(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉状態での処理が要求される特殊ガスの除湿装置であって、
前記特殊ガスが流通される特殊ガス流路と、一つの密閉された再生ガス循環流路を構成するとともに再生ガスが流通される脱着側再生ガス流路および冷却側再生ガス流路が形成され、
軸回りに回転されるとともに内部に吸着剤が充填されたデシカントロータが、特殊ガス流路と脱着側再生ガス流路，冷却側再生ガス流路のそれぞれの流路を遮るとともに、充填されている吸着剤が回転にともなって特殊ガス流路から脱着側再生ガス流路，冷却側再生流路の順にそれぞれの流路内を順次通過するように配置され、
前記特殊ガス流路に特殊ガスを供給する特殊ガス供給部材が接続され、
前記脱着側再生ガス流路のデシカントロータよりも上流側に再生ガス循環流路内を循環する再生ガスを加熱する加熱部材が接続され、
前記冷却側再生ガス流路のデシカントロータよりも下流側に再生ガス循環流路内を循環する再生ガスを冷却する冷却部材と再生ガスに速度エネルギを加える速度エネルギ付加部材が接続されている、
ことを特徴とする特殊ガスの除湿装置。
【請求項２】
前記特殊ガス流路と再生ガス循環流路との間に、特殊ガス流路から再生ガス循環流路側にガスを流入させるガス流入路と再生ガス循環流路から特殊ガス流路側にガスを流出させるガス流出路が、それぞれ開閉バルブを介して接続されている請求項１に記載の特殊ガスの除湿装置。
【請求項３】
前記デシカントロータの脱着側再生ガス流路内と冷却側再生ガス流路内に位置して再生ガスが通過するそれぞれの部分の面積が、互いにほぼ等しくなるように設定されている請求項１に記載の特殊ガスの除湿装置。
【請求項４】
前記特殊ガス供給部材が、ＤＸガスを生成する燃焼炉である請求項１に記載の特殊ガスの除湿装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、外部との接触を遮断する必要がある特殊ガスを完全密閉状態で除湿する除湿装置に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】
外部との接触を遮断する必要がある特殊ガスには、例えば毒性を有するガスや脱酸素状態にあることが要求されるものがあり、さらに、これらのガスの中には、湿度が所定値以下に保たれていることが要求されるものがある。
【０００３】
例えば、金属の熱処理を行う際等に雰囲気ガスとして使用されるＤＸガスは、ＬＰＧ等の炭化水素ガスを低酸素状況下において不完全燃焼させることにより生成される変成ガスであり、一酸化炭素を含んでいて大気中に漏れると一酸化炭素中毒を引き起こすために密閉状態で処理する必要があり、また、熱処理中に金属が酸化するのを防止するとともに金属表面を還元させるために、酸素を含まない脱酸素状態が維持されているとともに湿度を含んでいないことが要求される。
【０００４】
図３および４は、このＤＸガスの生成および除湿を行う従来のＤＸガス生成装置を示している。
【０００５】
この図３および４において、従来のＤＸガス生成装置におけるＤＸガスの生成は、燃焼炉１にエア・ガスミキサ２からプロパンガス等の原料ガスと燃焼用空気が供給され、この原料ガスが燃焼炉１内において低酸素状態で不完全燃焼されることにより行われる。
【０００６】
そして、この燃焼炉１で生成されたＤＸガスは、ガスクーラ３によって一次冷却され、さらに冷凍機４によって冷凍除湿された後、除湿器５に導かれる。
【０００７】
この除湿器５は、冷凍機４から導通されてくるＤＸガスの除湿を行うものであり、シリカアルミナ系吸着剤が充填された二基の吸着塔５Ａ，５Ｂを備えていて、切替バルブＶ１とＶ２の切り替えにより、吸着塔５Ａと５Ｂに冷凍機４からのＤＸガスが所定時間（例えば、８時間）毎に交互に導通されて、吸着剤によって水分を吸着することによりＤＸガスの除湿を行う。
【０００８】
そして、切替バルブＶ１とＶ２には、再生ガスクーラ６と循環ファン７，ヒータ８からなる再生ガス回路Ｃが接続されていて、切替バルブＶ１，Ｖ２の切り替えにともなって、加熱された再生ガス（例えば、ＤＸガス）が、吸着塔５Ａと５ＢのうちのＤＸガスが導通されていない他方の吸着塔に導通されるようになっており、この再生ガスによって、ＤＸガスの除湿を終えた吸着塔５Ａまたは５Ｂ内の吸着剤から水分が脱着されて、吸着剤の再生が行われる。
【０００９】
この吸着塔５Ａまたは５Ｂの吸着剤から脱着された水分は、再生ガスが再生ガス回路Ｃの再生ガスクーラ６によって冷却されることにより凝縮されて排水され、この水分が除去された再生ガスは、循環ファン７によってヒータ８に送り込まれて、このヒータ８において所定の温度まで加熱された後、再び吸着塔５Ａまたは５Ｂに導通される。
【００１０】
以上のようにして、このＤＸガス生成装置は、極低湿度のＤＸガスを生成して、金属の熱処理を行う焼鈍炉などへの供給を行う。
しかしながら、上記のような構成を有する従来のＤＸガス生成装置は、以下のような問題点を有している。
【００１１】
すなわち、ＤＸガスの生成については、生成するＤＸガスの露点が例えば−４０℃というような非常にシビアな精度が要求されるが、上記従来のＤＸガス生成装置は、前述したように二基の吸着塔５Ａと５Ｂを一定時間毎に交互に切り替えて一方の吸着塔５Ａまたは５Ｂによって水分の吸着を行っている間に他方の吸着塔５Ａまたは５Ｂの吸着剤の再生を行うといういわゆる連続バッチ方式によってＤＸガスの除湿を行っているために、吸着塔５Ａと５Ｂの切り替え時に除湿量が変動して、要求される所要の極低湿度を有するＤＸガスの生成を常に安定して行うことが難しいという問題がある。
【００１２】
さらに、上記従来のＤＸガス生成装置は、再生ガス回路Ｃにおいて再生ガスを循環させる際に、吸着塔５Ａ，５Ｂにおいて水分の脱着を行うために加熱した後、さらに脱着した水分を排水するために冷却するという加熱と冷却の工程を繰り返すために、非常に熱量を必要とし、運転コストが高くなってしまうという問題がある。
【００１３】
このような問題は、上記のようなＤＸガスの除湿装置に限らず、密閉性を要し極低湿度が要求される他の特殊ガスの除湿を行う除湿装置についても同様である。
【００１４】
この発明は、上記のような特殊ガスの除湿を行う従来の除湿装置が有している問題点を解決するために為されたものである。
すなわち、この発明は、密閉性を要する特殊ガスの除湿を行う際に、常に安定した除湿を行うことが出来るとともに運転コストが安い除湿装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
第１の発明による特殊ガスの除湿装置は、上記目的を達成するために、密閉状態での処理が要求される特殊ガスの除湿装置であって、前記特殊ガスが流通される特殊ガス流路と、一つの密閉された再生ガス循環流路を構成するとともに再生ガスが流通される脱着側再生ガス流路および冷却側再生ガス流路が形成され、軸回りに回転されるとともに内部に吸着剤が充填されたデシカントロータが、特殊ガス流路と脱着側再生ガス流路，冷却側再生ガス流路のそれぞれの流路を遮るとともに、充填されている吸着剤が回転にともなって特殊ガス流路から脱着側再生ガス流路，冷却側再生流路の順にそれぞれの流路内を順次通過するように配置され、前記特殊ガス流路に特殊ガスを供給する特殊ガス供給部材が接続され、前記脱着側再生ガス流路のデシカントロータよりも上流側に再生ガス循環流路内を循環する再生ガスを加熱する加熱部材が接続され、前記冷却側再生ガス流路のデシカントロータよりも下流側に再生ガス循環流路内を循環する再生ガスを冷却する冷却部材と再生ガスに速度エネルギを加える速度エネルギ付加部材が接続されていることを特徴としている。
【００１６】
この第１の発明による特殊ガスの除湿装置は、デシカントロータがその軸回りに回転されて、充填されている吸着剤が、特殊ガス流路から脱着側再生ガス流路，冷却側再生流路の順にそれぞれの流路内を順次通過している状態で、特殊ガス流路内に特殊ガス供給部材から除湿対象のＤＸガス等の特殊ガスが供給され、また再生ガス循環流路内を再生ガスが、速度エネルギ付加部材によって速度エネルギを加えられることにより循環される。
【００１７】
これによって、特殊ガス流路内を流通する特殊ガスがデシカントロータの特殊ガス流路を遮るように位置している部分を通過する際に、デシカントロータ内の吸着剤によって特殊ガスに含まれている水分が吸着されて、特殊ガスの除湿が行われる。
【００１８】
この特殊ガス流路内において特殊ガスに含まれている水分を吸着した吸着剤が充填されているデシカントロータの部分は、デシカントロータの回転にともなって、順次、再生ガス循環流路を構成する脱着側再生ガス流路内に移動してゆく。
【００１９】
そして、この脱着側再生ガス流路内において、デシカントロータの脱着側再生ガス流路を遮るように位置する部分を加熱部材によって加熱された再生ガスが通過することにより、この加熱された再生ガスによって吸着剤に吸着されている水分が脱着される。
【００２０】
次に、脱着側再生ガス流路内において水分が脱着された吸着剤が充填されているデシカントロータの部分は、デシカントロータの回転にともなって、順次、再生ガス循環流路を構成する冷却側再生ガス流路内に移動してゆく。
【００２１】
デシカントロータの吸着剤から脱着された水分は、再生ガスとともに再生ガス循環流路内を流れて冷却部材に流入され、この冷却部材によって冷却されて凝縮されることにより再生ガスから除去される。
【００２２】
冷却部材によって冷却されるとともに水分が除去された再生ガスは、冷却側再生ガス流路内において、デシカントロータの冷却側再生ガス流路を遮るように位置する部分を通過する。
【００２３】
これによって、このデシカントロータの脱着側再生ガス流路内において高温の再生ガスにより加熱された吸着剤が冷却されるとともに、この吸着剤の熱によって再生ガスの温度が上昇する。
【００２４】
このようにして、デシカントロータに充填された吸着剤は、特殊ガス流路内において水分を吸着した後、脱着側再生ガス流路および冷却側再生ガス流路を順次通過することによって再生されて、再度、特殊ガス流路内に移動されることにより特殊ガスの除湿を行う。
【００２５】
冷却側再生ガス流路において吸着剤の熱により暖められた再生ガスは、再生ガス循環流路内を循環して加熱部材によりさらに加熱されることにより、前述したように、脱着側再生ガス流路内においてデシカントロータの吸着剤の脱着を行う。
【００２６】
以上のように、上記第１の発明によれば、デシカントロータの軸回りの回転にともなって吸着剤が特殊ガス流路から脱着側再生ガス流路，冷却側再生流路の順にそれぞれの流路内を順次通過することにより、特殊ガスの除湿とこの特殊ガスの除湿を行った吸着剤の再生とが装置の切り替えなどを必要とせずに連続的に行われるので、特殊ガスの除湿を常時安定して行うことが出来るようになる。
【００２７】
さらに、冷却部材によって冷却された再生ガスが、デシカントロータの脱着後の吸着剤が充填されている部分を通過した後に加熱部材によって加熱されて、吸着剤の脱着を行うようになっていることにより、脱着の際に加熱された吸着剤の冷却を効率良く行うことが出来るとともに、冷却されていた再生ガスが吸着剤の熱によって暖められるので、熱の効率的な利用が行われて、再生ガスを吸着剤の脱着に必要な温度まで上昇させるのに必要な加熱部材における熱量を減少させることができ、これによって、運転コストを安くすることが出来るようになる。
【００２８】
第２の発明による特殊ガスの除湿装置は、前記目的を達成するために、第１の発明の構成に加えて、前記特殊ガス流路と再生ガス循環流路との間に、特殊ガス流路から再生ガス循環流路側にガスを流入させるガス流入路と再生ガス循環流路から特殊ガス流路側にガスを流出させるガス流出路が、それぞれ開閉バルブを介して接続されていることを特徴としている。
【００２９】
この第２の発明による特殊ガスの除湿装置によれば、この除湿装置の運転開始時にそれぞれ開閉バルブを解放して、ガス流入路とガス流出路とにより特殊ガス流路と再生ガス循環流路とを互いに連通させることにより、特殊ガス流路内を流れる特殊ガスがガス流入路を通って再生ガス循環流路内に流れ込み、この流れ込んで来る特殊ガスの圧力によって再生ガス循環流路内にあったガスがガス流出路を通って特殊ガス流路に排出される。
【００３０】
これによって、再生ガス循環流路内のガスを特殊ガスと完全に置換することができ、特殊ガスが再生ガスとして使用することが出来るので、除湿の際に、除湿する特殊ガスにデシカントロータを介して他のガスの成分が混入するのを防止することが出来るようになる。
【００３１】
第３の発明による特殊ガスの除湿装置は、前記目的を達成するために、第１の発明の構成に加えて、前記デシカントロータの脱着側再生ガス流路内と冷却側再生ガス流路内に位置して再生ガスが通過するそれぞれの部分の面積が、互いにほぼ等しくなるように設定されていることを特徴としている。
【００３２】
この第３の発明による特殊ガスの除湿装置によれば、再生ガス循環流路内を循環する一定風量の再生ガスが、デシカントロータの脱着側再生ガス流路内と冷却側再生ガス流路内に位置しているそれぞれの部分を通過する際に、これらの部分の面積が互いにほぼ等しくなるように設定されていることによって、その通過速度が互いにほぼ等しくなり、これによって、再生ガス循環流路内を流れる再生ガスの流速の変動を小さくすることが出来るので、吸着剤からの脱着とこの吸着剤の再生を安定して行うことが出来るようになる。
【００３３】
第４の発明による特殊ガスの除湿装置は、前記目的を達成するために、第１の発明の構成に加えて、前記特殊ガス供給部材が、ＤＸガスを生成する燃焼炉であることを特徴としている。
【００３４】
この第４の発明による特殊ガスの除湿装置によれば、大気との接触を遮断して完全密閉状態で除湿する必要があるＤＸガスを、常に安定した状態でかつ安い運転コストで除湿することが出来る。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の最も好適と思われる実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明を行う。
【００３６】
図１は、この発明による特殊ガスの除湿装置の実施形態における一例を示す接続構成図であり、図２は同例における除湿装置のダクト構成を示す斜視図である。
なお、以下においては、除湿の対象である特殊ガスとしてＤＸガスを例に挙げて説明を行う。
【００３７】
この図１および２において、除湿装置は、内部にシリカアルミナ系吸着剤が充填されて図示しない駆動装置により軸回りに回転されるデシカントロータ１０が、図２に示されるように内部が三つの流路ＤＡ，ＤＢ，ＤＣに分割されているダクトＤ内に設置されている。
【００３８】
そして、このデシカントロータ１０の下側の中心角度が１８０°の部分（以下、この部分を吸着ゾーンという）１０ＡにダクトＤの流路ＤＡが対向されていて、この吸着ゾーン１０Ａを、後述するように流路ＤＡ内を流れるＤＸガスが通過するようになっている。
【００３９】
デシカントロータ１０の回転方向ｘにおいて吸着ゾーン１０Ａの下流側の中心角度が９０°の部分（以下、この部分を脱着ゾーンという）１０ＢにダクトＤの流路ＤＢが対向されていて、この脱着ゾーン１０Ｂを、後述するように流路ＤＢ内を流れる加熱された再生ガスが通過するようになっている。
【００４０】
さらに、デシカントロータ１０の回転方向ｘにおいて脱着ゾーン１０Ｂの下流側（吸着ゾーン１０Ａの上流側）の中心角度が９０°の部分（以下、この部分をパージ・ゾーンという）１０ＣにダクトＤの流路ＤＣが対向されていて、このパージ・ゾーン１０Ｃを、後述するように流路ＤＣ内を流れる冷却された再生ガスが通過するようになっている。
【００４１】
ここで、ダクトＤの各流路ＤＡ，ＤＢ，ＤＣの間は、これらの中を流れるＤＸガスと再生ガスが、他の流路内に漏れ出ることがないように互いに密閉されている。
【００４２】
ダクトＤの流路ＤＡは、ＤＸガス流通路Ｌ１を構成していて、その上流側にＤＸガスを発生させる燃焼炉１１がプレクーラ１２およびダンパ１３を介して接続され、下流側には金属の熱処理を行う焼鈍炉などが接続されて、燃焼炉１１で発生されプレクーラ１２によって所定温度まで冷却されたＤＸガスが、ダクトＤの流路ＤＡ内を流通してデシカントロータ１０の吸着ゾーン１０Ａを通過した後、焼鈍炉などに供給されるようになっている。
【００４３】
ダクトＤの流路ＤＢとＤＣは、互いの上流側と下流側が連通されていて、デシカントロータ１０を挟んだ再生ガス循環流通路Ｌ２を形成している。
【００４４】
そして、この流路ＤＢとＤＣによって形成される再生ガス循環流通路Ｌ２には、デシカントロータ１０の脱着ゾーン１０Ｂの上流側とパージ・ゾーン１０Ｃの下流側の間にヒータ１４が設置され、脱着ゾーン１０Ｂの下流側とパージ・ゾーン１０Ｃの上流側の間にクーラ１５とブロワ１６が設置されている。
【００４５】
さらに、ＤＸガス流通路Ｌ１のプレクーラ１２とダンパ１３の間と再生ガス循環流通路Ｌ２のブロワ１６とデシカントロータ１０間が接続流路Ｌ３によって接続されていて、この接続流路Ｌ３に開閉バルブＶ１０が接続されており、ＤＸガス流通路Ｌ１のデシカントロータ１０よりも下流側と再生ガス循環流通路Ｌ２のヒータ１４とデシカントロータ１０間が接続流路Ｌ４によって接続されていて、この接続流路Ｌ４に開閉バルブＶ１１が接続されている。
【００４６】
これらＤＸガス流通路Ｌ１と再生ガス循環流通路Ｌ２は、何れも外部に対して密閉されている。
【００４７】
次に、上記除湿装置の作動について説明を行う。
【００４８】
ＤＸガスは、燃焼炉１１においてプロパンガス等の原料ガスが低酸素状態で不完全燃焼されることにより生成される。
そして、このＤＸガスは、プレクーラ１２において所定の温度まで冷却された後、ＤＸガス流通路Ｌ１の一部を構成する流路ＤＡを通って、ダクトＤ内において軸回りに回転するデシカントロータ１０の吸着ゾーン１０Ａに導通される。
【００４９】
このとき、除湿装置の運転開始時には、開閉バルブＶ１０とＶ１１が開かれて、ＤＸガス流通路Ｌ１内を流れるＤＸガスの一部が接続流路Ｌ３を通って再生ガス循環流通路Ｌ２内に流入され、その圧力によって再生ガス循環流通路Ｌ２内にあったガスが接続流路Ｌ４を通ってＤＸガス流通路Ｌ１内に排出される。
【００５０】
そして、この状態で所定の時間が経過して再生ガス循環流通路Ｌ２内のガスがＤＸガス流通路Ｌ１から導入されるＤＸガスによって完全に置換された後、開閉バルブＶ１０とＶ１１が閉鎖されて、再生ガス循環流通路Ｌ２が密閉される。
【００５１】
なお、このとき、ＤＸガス流通路Ｌ１を通って流出されるＤＸガスは、まだ完全な除湿が行われておらず、また、再生ガス循環流通路Ｌ２内にあった他のガスが混合されているものなので、廃棄される。
【００５２】
再生ガス循環流通路Ｌ２内に導入されたＤＸガスは、酸素を含まない再生ガスとして使用される。
【００５３】
以上のようにして、除湿装置は、準備運転が完了すると、再生ガス循環流通路Ｌ２内を循環する再生ガス（ＤＸガス）によってデシカントロータ１０に充填されている吸着剤の再生を行いながら、ＤＸガスの除湿を行ってゆく。
【００５４】
すなわち、燃焼炉１１において発生されプレクーラ１２によって所定の温度まで冷却されたＤＸガスは、流路ＤＡ内を流れる際に、デシカントロータ１０の吸着ゾーン１０Ａを通過し、このとき、ＤＸガスに含まれている水分がデシカントロータ１０内の吸着剤によって吸着されることによって除湿される。
【００５５】
この吸着ゾーン１０Ａに位置するデシカントロータ１０の部分は、デシカントロータ１０の回転にともなって、順次、脱着ゾーン１０Ｂに移動してゆく。
【００５６】
そして、この脱着ゾーン１０Ｂを、ブロワ１６によって再生ガス循環流通路Ｌ２を循環しヒータ１４によって所定の温度まで加熱された再生ガスが通過することにより、デシカントロータ１０の吸着剤から吸着ゾーン１０Ａにおいて吸着した水分が脱着される。
【００５７】
この脱着ゾーン１０Ｂにおいてデシカントロータ１０の吸着剤から脱着された水分は、この水分を含んだ再生ガスがクーラ１５によって冷却されることにより凝縮されて、除去される。
【００５８】
このクーラ１５を通過して水分が除去された再生ガスは、さらに、ブロワ１６によって速度エネルギを与えられてデシカントロータ１０のパージ・ゾーン１０Ｃを通過した後、ヒータ１４によって加熱されて、再度、デシカントロータ１０の脱着ゾーン１０Ｂを通過し、吸着剤からの水分の脱着を行なって、吸着剤を再生させる。
【００５９】
このようにして、デシカントロータ１０内に充填されている吸着剤が、デシカントロータ１０の回転にともなって吸着ゾーン１０Ａ−脱着ゾーン１０Ｂ−パージ・ゾーン１０Ｃ−吸着ゾーン１０Ａの順に通過してゆくことにより、水分の吸着と脱着を行って、再生を繰り返しながらＤＸガスの除湿を行ってゆく。
【００６０】
ここで、パージ・ゾーン１０Ｃは、脱着ゾーン１０Ｂにおいて再生ガスにより熱せられたデシカントロータ１０内の吸着剤を、吸着ゾーン１０Ａに移行される前に冷ますために設けられている。
【００６１】
すなわち、デシカントロータ１０内の吸着剤は、脱着ゾーン１０Ｂにおいてヒータ１４によって加熱された再生ガスにより熱せられて、吸着していた水分を蒸発させるが、この高温になった吸着剤をそのまま吸着ゾーン１０Ａに移動させると、この吸着剤は、温度が高いために吸着ゾーン１０Ａへの移動直後は十分に水分の吸着を行うことが出来なくなる。
【００６２】
このため、パージ・ゾーン１０Ｃを設けることによって、脱着ゾーン１０Ｂで加熱された吸着剤が、その温度が所定の温度まで低下された後に吸着ゾーン１０Ａに移動されることになるので、吸着ゾーン１０Ａの全領域において安定した水分の吸着を行うことができるようになる。
【００６３】
そして、この除湿装置は、クーラ１５によって冷却された再生ガスがデシカントロータ１０のパージ・ゾーン１０Ｃを通過した後にヒータ１４によって加熱されて脱着ゾーン１０Ｂに導通されるようになっていることにより、冷却された再生ガスがパージ・ゾーン１０Ｃを通過する際に高温の吸着剤によって暖められることになるので、ヒータ１４における再生ガスの加熱量が、パージ・ゾーン１０Ｃにおいて暖められている分だけ少なくて済むという高い熱効率を備えている。
【００６４】
一方、デシカントロータ１０のパージ・ゾーン１０Ｃを通過する吸着剤は、このパージ・ゾーン１０Ｃを通過する冷却された再生ガスによって冷却されるので、吸着ゾーン１０Ａにおいて水分の吸着が可能な温度まで確実に冷却されることになる。
【００６５】
さらに、このパージ・ゾーン１０Ｃの中心角度が脱着ゾーン１０Ｂと同じ９０度になっており、再生ガス循環流通路Ｌ２内を循環する再生ガスの流量が一定であることによって、パージ・ゾーン１０Ｃを通過する再生ガスの流速が脱着ゾーン１０Ｂを通過する際と同じになる。
【００６６】
これによって、再生ガスの再生ガス循環流通路Ｌ２内における速度変動が少なくなり、スムースに再生ガス循環流路Ｌ２内を循環することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態における一例を模式的に示す構成図である。
【図２】同例におけるデシカントロータの配置を説明するための模式図である。
【図３】従来例を示す接続構成図である。
【図４】同従来例の配置を示す平面図である。
【符号の説明】
１０          …デシカントロータ
１０Ａ        …吸着ゾーン
１０Ｂ        …脱着ゾーン
１０Ｃ        …パージ・ゾーン
１１          …燃焼炉（特殊ガス供給部材）
１４          …ヒータ（加熱部材）
１５          …クーラ（冷却部材）
１６          …ブロワ（速度エネルギ付加部材）
Ｄ            …ダクト
ＤＡ          …流路（特殊ガス流路）
ＤＢ          …流路（脱着側再生ガス流路）
ＤＣ          …流路（冷却側再生ガス流路）
Ｌ１          …ＤＸガス流通路（特殊ガス流路）
Ｌ２          …再生ガス循環流通路
Ｌ３          …接続流路（ガス流入路）
Ｌ４          …接続流路（ガス流出路）
Ｖ１０，Ｖ１１…開閉バルブ
【図１】
0004372977.tif 000002
【図２】
0004372977.tif 000003
【図３】
0004372977.tif 000004
【図４】
0004372977.tif 000005