(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部に１つ以上のオリフィスからなる開口部を備え、各開口部へ電圧を印加するための電極を配設し、且つ、高粘度のスペーサ形成用組成物をその中に充填してスペーサ形成用組成物を開口部から吐出する吐出手段を用いて、目的とする媒体上に、前記スペーサ形成用組成物を所定形状に形成させ、乾燥、熱処理を施し、ギャップ調整用のスペーサ層とするスペーサ層の形成方法であって、吐出手段内のスペーサ形成用組成物に圧力をかけスペーサ形成用組成物のメニスカスを形成し、更に前記電極を介して吐出手段の開口部と媒体間に第１の所定電圧値のパルス電圧もしくは一定電圧を印加して、開口部にスペーサ形成用組成物のメニスカスを縦長に伸長した伸長部を形成した状態で、前記電極を介して吐出手段の開口部と媒体間に前記第１の所定電圧より大きい第２の所定電圧を印加して、伸長部の先端よりその一部を分離して、あるいは分離せずに垂れ流して、直接媒体上に付着させるものであり、スペーサ形成用組成物を媒体上に付着させながら、吐出手段を、媒体と相対的に位置制御しながら移動させて、所望の形状にスペーサ形成用組成物を媒体上に形成することを特徴とするスペーサ層の形成方法。
【請求項２】
下部に１つ以上のオリフィスからなる開口部を備え、各開口部へ電圧を印加するための電極を配設し、且つ、高粘度のスペーサ形成用組成物をその中に充填してスペーサ形成用組成物を開口部から吐出する吐出手段を用いて、目的とする媒体上に、前記スペーサ形成用組成物を所定形状に形成させ、乾燥、熱処理を施し、ギャップ調整用のスペーサ層とするスペーサ層の形成方法であって、吐出手段内のスペーサ形成用組成物に圧力をかけスペーサ形成用組成物のメニスカスを形成し、更に前記電極を介して吐出手段の開口部と媒体間に第１の所定電圧値のパルス電圧もしくは一定電圧を印加して、開口部にスペーサ形成用組成物のメニスカスを縦長に伸長した伸長部を形成した状態で、伸長部の先端よりその一部を分離して、あるいは分離せずに垂れ流して、スペーサ形成用組成物を、吐出手段の開口部と媒体間の、前記伸長部先端近傍に設けられた、前記パルス電圧もしくは一定電圧を印加時の電気力線を制御するための微小な針状物に当て、更に該微小な針状物から、媒体上にスペーサ形成用組成物を落下して付着させるものであり、スペーサ形成用組成物を媒体上に付着させながら、吐出手段を、針状物と一体として、媒体と相対的に位置制御しながら移動させて、所望の形状にスペーサ形成用組成物を媒体上に形成することを特徴とするスペーサ層の形成方法。
【請求項３】
請求項２に記載のスペーサ層の形成方法であって、開口部にスペーサ形成用組成物のメニスカスを縦長に伸長した伸長部を形成した状態で、電極を介して吐出手段の開口部と媒体間に第２の所定電圧値以上のパルス電圧もしくは一定電圧を印加することを特徴とするスペーサ層の形成方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載のスペーサ層の形成方法であって、前記スペーサ形成用組成物は、樹脂またはガラスからなるビーズを分散させていることを特徴とするスペーサ層の形成方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載のスペーサ層の形成方法であって、目的とする媒体が、ディスプレイパネル用の基板で、スペーサ層をＲＧＢの各光の非開口部に設けるものであることを特徴とするスペーサ層の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、１０００ｃｐｓ〜１００００００ｃｐｓの高粘度のスペーサ形成用組成物を吐出し、これを媒体上に付着させ、所望の形状に形成し、必要に応じ、乾燥、熱処理を施してスペーサ層とするスペーサ層の形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、液晶表示ディスプレイパネルは、各々に電極が設けられた、２枚の透明基板の間に液晶組成物を挟持している構成となっている。
カラー表示用の液晶表示ディスプレイパネルは、上記２枚の基板のうち一方の基板にＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の着色層からなるカラーフィルタが形成されている。
例えば、単純マトリクス駆動方式のカラー液晶表示ディスプレイパネルにおいては、帯状にパターニングされた信号電極を有する信号電極基板と、帯状にパターンニングされた走査電極及びこの信号電極の下に着色層を有する走査電極基板とを、上記信号電極と走査電極が直交するように対向配置し、これらの基板間に間隙調整のためのスペーサが散在されて液晶組成物が挟持される構成となっている。
【０００３】
液晶としては、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）型、ＳＴＮ（Ｓｕｐｅｒ−Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）型、ＧＨ（Ｇｕｅｓｔ−ｈｏｓｔ）型、ＥＣＢ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ  Ｂｉｒｅｆｒｉｎｇｅｎｃｅ）型、あるいは強誘電性液晶などが用いられる。
封止剤としては、熱または紫外線硬化型のアクリル系あるいはエポキシ系の接着剤が用いられる。
【０００４】
また、カラー型アクティブマトリクス駆動液晶表示ディスプレイパネルにおいては、例えば、アルモファスシリコン層を半導体層とした薄膜トランジスタ（以下ＴＦＴとも言う）、このＴＦＴに接続された画素電極、信号電極、およびゲート電極が形成されたアレイ基板（アレイ電極基板とも言う）と、上記画素電極に対向配置された対向電極を有する対向基板（対向電極基板とも言う）とを備え、ＲＧＢカラーフィルタが対向基板またはアレイ基板の一方の基板に形成され、これらの２枚の基板間にスペーサが散在されて、液晶組成物が挟持された構成となっている。
そして、これらの２枚の基板を偏光板で挟持し、この偏光板を光シヤッタとして用い、カラー画像として表示している。
図１４にこのタイプの液晶表示ディスプレイパネルの１例を示しておく。
図１４中、７０１は対向基板、、７０２はガラス基板、７０３は着色層、７０４は遮光層、７０５は保護層、７０６は対向電極、７０７は配向膜、７１１はアレイ基板、７１２はガラス基板、７１３は薄膜トランジスタ、７１４は画素電極、７１５は配向膜、７２２は接着剤、７２４は液晶組成物、７２５ａ、７２５ｂは偏光板である。
【０００５】
従来、このような液晶表示ディスプレイパネルにおけるスペーサの形成は、を製造する場合、スペーサを基板上に散在させる工程で、スペーサが不均一に配置されると所望の基板間隙が得られず、均一な表示が得られなくなり、歩留りが低下するという問題があった。
また、配向の乱れによりスペーサ周辺部から光が漏れコントラストが低下するという問題があった。
光漏れ対策として、黒色のスペーサに置き換えることも行われたが、散在むらを解消させることができず、依然として均一な表示を得ることができなかった。
【０００６】
これらの問題に対応し、均一なスペーサ層を得るため、特開平９−１０５９４６号公報に記載のように、インクジエットを用い、樹脂を含むスペーサ用組成物を所望の絵柄に塗布し、これを硬化させて、スペーサとする方法も提案されている。
しかし、このような目的に利用されるスペーサ用組成物は、ガラスからなるビーズを分散させているため、ノズルの詰まりが生じ易く、実用的とは言えなかった。
即ち、ノズルの開口を、ビーズの径に比べ、比較的小としたピエゾ式インクジエットノズルを用い、図１３に示すように、そのままスペーサ用組成物を垂れ流すため、ノズルの詰まりが生じ易いのである。
尚、図１３中、７３０ノズルで、他の符号の意味は図１４と同じである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、液晶表示ディスプレイパネルにおけるスペーサ層を均一に形成する方法が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、具体的には、開口からスペーサ形成用組成物を吐出させる吐出手段を用い、液晶表示ディスプレイパネルにおけるスペーサ層を均一に形成できる方法を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明のスペーサ層の形成方法は、下部に１つ以上のオリフィスからなる開口部を備え、各開口部へ電圧を印加するための電極を配設し、且つ、高粘度のスペーサ形成用組成物をその中に充填してスペーサ形成用組成物を開口部から吐出する吐出手段を用いて、目的とする媒体上に、前記スペーサ形成用組成物を所定形状に形成させ、乾燥、熱処理を施し、ギャップ調整用のスペーサ層とするスペーサ層の形成方法であって、吐出手段内のスペーサ形成用組成物に圧力をかけスペーサ形成用組成物のメニスカスを形成し、更に前記電極を介して吐出手段の開口部と媒体間に第１の所定電圧値のパルス電圧もしくは一定電圧を印加して、開口部にスペーサ形成用組成物のメニスカスを縦長に伸長した伸長部を形成した状態で、前記電極を介して吐出手段の開口部と媒体間に前記第１の所定電圧より大きい第２の所定電圧を印加して、伸長部の先端よりその一部を分離して、あるいは分離せずに垂れ流して、直接媒体上に付着させるものであり、スペーサ形成用組成物を媒体上に付着させながら、吐出手段を、媒体と相対的に位置制御しながら移動させて、所望の形状にスペーサ形成用組成物を媒体上に形成することを特徴とするものである。
あるいはまた、本発明のスペーサ層の形成方法は、下部に１つ以上のオリフィスからなる開口部を備え、各開口部へ電圧を印加するための電極を配設し、且つ、高粘度のスペーサ形成用組成物をその中に充填してスペーサ形成用組成物を開口部から吐出する吐出手段を用いて、目的とする媒体上に、前記スペーサ形成用組成物を所定形状に形成させ、乾燥、熱処理を施し、ギャップ調整用のスペーサ層とするスペーサ層の形成方法であって、吐出手段内のスペーサ形成用組成物に圧力をかけスペーサ形成用組成物のメニスカスを形成し、更に前記電極を介して吐出手段の開口部と媒体間に第１の所定電圧値のパルス電圧もしくは一定電圧を印加して、開口部にスペーサ形成用組成物のメニスカスを縦長に伸長した伸長部を形成した状態で、伸長部の先端よりその一部を分離して、あるいは分離せずに垂れ流して、スペーサ形成用組成物を、吐出手段の開口部と媒体間の、前記伸長部先端近傍に設けられた、前記パルス電圧もしくは一定電圧を印加時の電気力線を制御するための微小な針状物に当て、更に該微小な針状物から、媒体上にスペーサ形成用組成物を落下して付着させるものであり、スペーサ形成用組成物を媒体上に付着させながら、吐出手段を、針状物と一体として、媒体と相対的に位置制御しながら移動させて、所望の形状にスペーサ形成用組成物を媒体上に形成することを特徴とするものであり、開口部にスペーサ形成用組成物のメニスカスを縦長に伸長した伸長部を形成した状態で、電極を介して吐出手段の開口部と媒体間に第２の所定電圧値以上のパルス電圧もしくは一定電圧を印加することを特徴とするものである。
【０００９】
そして、上記いずれかのスペーサ層の形成方法であって、前記スペーサ形成用組成物は、樹脂またはガラスからなるビーズを分散させていることを特徴とするものである。
そしてまた、上記いずれかのスペーサ層の形成方法であって、目的とする媒体が、ディスプレイパネル用の基板で、スペーサ層をＲＧＢの各光の非開口部に設けるものであることを特徴とするものである。
【００１１】
【作用】
本発明のスペーサ層の形成方法は、このような構成にすることにより、開口からスペーサ形成用組成物を吐出させる吐出手段を用い、目的とする媒体へ、スペーサ形成用組成物を所望のパターン状に簡単に形成でき、且つ、均一に形成することを可能としている。特に、液晶表示ディスプレイパネルにおけるスペーサ層の形成も簡単に、且つ、均一にできるものとしている。
具体的には、下部に１つ以上のオリフィスからなる開口部を備え、各開口部へ電圧を印加するための電極を配設し、且つ、高粘度のスペーサ形成用組成物をその中に充填してスペーサ形成用組成物を開口部から吐出する吐出手段を用いて、目的とする媒体上に、前記スペーサ形成用組成物を所定形状に形成させ、乾燥、熱処理を施し、ギャップ調整用のスペーサ層とするスペーサ層の形成方法であって、吐出手段内のスペーサ形成用組成物に圧力をかけスペーサ形成用組成物のメニスカスを形成し、更に前記電極を介して吐出手段の開口部と媒体間に第１の所定電圧値のパルス電圧もしくは一定電圧を印加して、開口部にスペーサ形成用組成物のメニスカスを縦長に伸長した伸長部を形成した状態で、前記電極を介して吐出手段の開口部と媒体間に前記第１の所定電圧より大きい第２の所定電圧を印加して、伸長部の先端よりその一部を分離して、あるいは分離せずに垂れ流して、直接媒体上に付着させるものであり、あるいはまた、伸長部の先端よりその一部を分離して、あるいは分離せずに垂れ流して、スペーサ形成用組成物を、吐出手段の開口部と媒体間の、前記伸長部先端近傍に設けられた、前記パルス電圧もしくは一定電圧を印加時の電気力線を制御するための微小な針状物に当て、更に該微小な針状物から、媒体上にスペーサ形成用組成物を落下して付着させるものであり、且つ、スペーサ形成用組成物を媒体上に付着させながら、吐出手段を、針状物と一体として、媒体と相対的に位置制御しながら移動させて、所望の形状にスペーサ形成用組成物を媒体上に形成することにより、これを達成している。
【００１２】
即ち、本発明は、吐出手段開口にスペーサ形成用組成物のメニスカスを縦長に伸長した伸長部を形成した状態で、伸長部の先端よりその一部を分離、あるいは垂れ流しするもので、これにより、開口部の径を大きくとることができ、特に、１０００ｃｐｓ〜１００００００ｃｐｓの高粘度のスペーサ形成用組成物の媒体への付着の際、開口部の詰まりが発生せず、安定的に開口部からスペーサ形成用組成物を吐出させることができる。
そして、開口部と媒体とを相対的に位置制御しながら移動させることにより、その移動に対応した絵柄でスペーサ形成用組成物を媒体上に付着させることができるものとしている。
更に、開口部にスペーサ形成用組成物のメニスカスを縦長に伸長した伸長部を形成した状態で、電極を介して吐出手段の開口部と媒体間に第２の所定電圧値以上のパルス電圧等の電圧を印加することにより、伸長部の先端よりその一部を分離するものであることにより、吐出手段の開口部からのスペーサ形成用組成物の吐出を制御しており、開口部と媒体とを相対的に位置制御しながら移動させることと合わせて、基本的に所望の絵柄に、スペーサ形成用組成物を媒体上に付着させることを可能としている。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明のスペーサ層の形成方法の実施の形態を挙げ、図に基づいでに説明する。
図１は本発明のスペーサ層の形成方法の実施の形態の第１の例を実施するためのスペーサ形成用組成物の吐出装置（ディスペンサとも言う）の概略構成図、図２は本発明のスペーサ層の形成方法の実施の形態の第２の例とその変形例を実施するための吐出装置の概略構成図で、図３（ａ）は第２の例を説明するための図で、図３（ｂ）は、その変形例を説明するための図で、図４は図１、図２に示す装置における吐出手段の開口部を示した図で、図５は吐出手段とスペーサ形成用組成物の付着状態を説明するための図で、図６はスペーサ形成用組成物吐出装置の吐出原理を説明するための図で、図７はパルス電圧の印加と分離を説明するための図で、図８はスペーサ形成用組成物の分離制御を説明するための図で、図９〜図１１はパルス電圧の印加と分離を説明するための図で、図１２は吐出されるスペーサ形成用組成物の位置制御の必要性を説明するための図である。
尚、図４（ａ）は図１、図２に示すスペーサ形成用組成物の吐出装置の吐出手段３０を開口１３側からみた状態の一部を示した図で、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ１−Ａ２側からみた吐出手段３０の図で、図３（ｃ）は図３（ａ）のＡ３−Ａ４側からみた吐出手段の３０の図である。
また、図４（ｂ）、図４（ｃ）は伸長部付近を拡大して示した図である。
図１〜図１２中、１０はスペーサ形成用組成物、１１は制御部、１２は容器、１３は開口部、１４は電極、１５、１５Ａは電源、１６は媒体、１７はメニスカス、１８は伸長部、１９は滴、２０は針状物、３０、３０Ａは吐出手段、３５は加圧手段、５０は固定部、６０はステージである。
【００１４】
本発明のスペーサ層の形成方法の実施の形態の第１の例を、図１に基づいて説明する。
本例は、下部に複数（６個）の円形のオリフィスからなる開口部１３を備え、該開口部１３へ電圧を印加するための電極１４を配設し、且つ、高粘度のスペーサ形成用組成物１０をその中に充填し、スペーサ形成用組成物１０を開口部から吐出する吐出手段３０を有する図１に示す装置を用いて、目的とする媒体１６上に、スペーサ形成用組成物１０を所望形状に形成するスペーサ形成用組成物の形成方法である。
本例は、液晶表示ディスプレイパネルの液晶を挟むアレイ基板あるいは対向基板間の間隙を制御するためのスペーサ層を、両基板のいずれか一方の所定の領域のみに付着させ、所定形状に形成するスペーサ層の形成等に適用できる。
【００１５】
図１に示す装置は、その上に目的する媒体１６を載せ、ＸＹ移動制御ができるステージ６０を備え、制御部１１からの支持のもとに、吐出手段３０内のスペーサ形成用組成物１０に圧力手段３５により所定の圧力をかけることができ、電源１５により開口部１３に電極１４を介して所定電圧値のパルス電圧を印加することができる。
【００１６】
本例は、必要に応じて吐出手段３０内のスペーサ形成用組成物１０に圧力をかけ、スペーサ形成用組成物１０のメニスカスを形成し、更に必要に応じて前記電極１４を介して吐出手段の開口部１３と媒体１６間に第１の所定電圧値のパルス電圧を印加して、開口部１３にスペーサ形成用組成物１０のメニスカスを縦長に伸長した伸長部１８を形成した状態で、電極１４を介して吐出手段の開口部１３と媒体１６間に第２の所定電圧値のパルス電圧を印加して、伸長部１８の先端よりその一部を分離して、直接媒体１６上に付着させるもので、具体的には、第２のパルス電圧を制御することにより、その分離を制御し、更にステージ６０のＸＹ移動により媒体１６の吐出手段との相対的なＸＹ位置を制御することにより、所望の絵柄にスペーサ形成用組成物１０のを媒体１６上に形成するものである。尚、伸長部１８の形成には、スペーサ形成用組成物によっては、必ずしもパルス電圧を必要とせず、一定電圧でも、場合によっては、伸長部１８の形成を行える。
【００１７】
オリフィスの開口部としては、円形に限らず、多角形のものでも良く、開口径が５０μｍ〜１ｍｍ程度のものが好ましく、１０００ｃｐｓ〜１００００００ｃｐｓ程度の高粘のスペーサ形成用組成物１０を、媒体１６へ所望の形状で付着できる。
１０００ｃｐｓ以下では対象物上に付着したドット（分離されたスペーサ形成用組成物１０の滴）の形状が維持できなく、また１００万ｃｐｓを超えるものでは高粘度のスペーサ形成用組成物１０のオリフィスヘの充墳が困難である。
また、吐出させる高粘度のスペーサ形成用組成物１０に含まれる粒子の径は、吐出開口径（５０μｍ〜１ｍｍ）のｌ／１０程度まで可能である。
スペーサ形成用組成物１０中に、樹脂またはガラスからなるビーズを分散させても良い。
また、スペーサ形成用組成物１０中に、染料ないし顔料を含有させても良い。
媒体１６は、ガラス、フィルム、プラスチック、木材等任意である。
【００１８】
電極１５の出力電圧としては周波数１０Ｈｚ〜１ｋＨｚが適用できる。
開口部１３の先端から、媒体１６までの距離としては０．１ｍｍ〜１０ｍｍが好ましい。
【００１９】
吐出装置３０としては、例えば、図４にその開口部を示すようなものが用いられる。
図４のＸ方向に平行な方向に沿い開口部１３は配列されている。
相対的に図４のＹ方向に平行な方向に沿い開口部は媒体１６に対し連続移動制御され、適宜、相対的に図４のＸ方向に平行な方向に沿い開口部は媒体１６に対しステップ送りされる。
溝３１は液溜まりによる弊害を除くためのもので、この溝を伝わり不要な液は回収される。
【００２０】
スペーサ形成用組成物１０としては、樹脂の中に所定の粒子径のガラスビーズを分散させたものを用いるが、必要に応じて、顔料や燃料を分散させても良い。
【００２１】
樹脂としては、例えばアクリル系樹脂、アクリル酸エステル系樹脂、又はこれらの共重合体系、エチレンー酢酸ビニル系樹脂、スチレンーイソプレン系樹脂、スチレンーブタジエン共重合体系、天然ゴム系、カゼイン系、ゼラチン系、ロジンエステル系、テルペン系樹脂、フェノール系樹脂、スチレン系樹脂、クロマンインデン系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリビニルエーデル系樹脂、シリコーン系樹脂へまた、アルファーシアノアクリレート系樹脂、マレイミド系樹脂、スチロール系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、レゾルシノール系樹脂、ポリウレタン系樹脂、メラミン系樹脂等が使用できるが、適宜選択して使用する。
また、場合によっては、加熱により接着性が付与されるヒートシール剤を使用してもよい。
このヒートシール剤を構成する材料としては、エチレンー酢酸ビニル共重合体系樹脂、エチレンーアクリル酸共重含体系樹脂、ポリビニルエーテル系樹脂、ナイロン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、スチレンーイソプレンースチレン共重合体系樹脂、スチレンーブタジエンースチレン共重合体系樹脂、セルロース系樹脂、アクリル酸エステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ワックス類、パラフィン類、ロジン類、アスファルト類等の熱可塑性樹脂等がある。
また、紫外線硬化型樹脂、電子線硬化型樹脂使用してもよい。
紫外線硬化型樹脂の組成例としては、ウレタンアクリレートやエポキシアクリレート等の反応性ポリマー、ケトン類やキノン類、トリアジン類等の光開始剤、ロジン類やテルペン類等の粘着付与樹脂、フェノール系等の酸化防止剤系をそれぞれ適当量配合したものが挙げられる。
また、各種単官能モノマー、２官能モノマー等で希釈して使用することもできる。
【００２２】
次に、図６、図７に基づいて、パルス電圧を用いた場合のスペーサ形成用組成物１０の分離を更に説明する。
スペーサ形成用組成物１０が容器１２より充填されたオリフィスの開口部１３に所定の圧力を加えると、先端開口に突出したメニスカス１７が形成される。（図６（ａ））
この状態で図７に示すように、１０Ｈｚ〜１ｋＨｚ以下の繰り返し周波数での電圧値Ｖ１のパルス電圧を電極１４と媒体（対象物）１６間（図１参照）に加えていくと、次第にメニスカス１７が下方へ伸長して伸長部１８が生成される。（図６（ｂ）■図６（ｃ））
電圧値Ｖ１のパルス電圧を繰り返し印加していくと、伸長部１８はあるところで伸びなくなる。（図６（ｄ））
この状態は、高粘度のスペーサ形成用組成物１０の表面張力と、電界及ぴ重力による下方への引っ張り力とがバランスした状態である。
このとき、図７に示すように、電圧値Ｖ２のパルス電圧を印加すると、伸長部ｌ８がのびて先端部が切断分離して、あるいは先端部が対象物に直接接触して切断分離し、対象物上に、高粘度のスペーサ形成用組成物１０の滴（ドットとも言う）１９が形成される。（図６（ｅ））伸長部１８の先端が媒体（対象物）に直接接触しても、いなくても、伸長部１８の先端部の分離が起こる。
この状態で印加するパルス電圧を電圧値Ｖ１に戻すと、伸長部１８が若干収縮して短くなりその状態で安定し、伸長部１８の先端部での分離は行われなくなる。
さらに、パルス電圧の印加を停止すると、高粘度物質の表面張力によって伸長部１８はさらに収縮し（図６（ｃ）■図６（ｂ））、図６（ａ）に示すメニスカス１７の状態に復帰する。
なお、上記の例におけるパルス電圧の電圧値Ｖ１、Ｖ２は高粘度のスペーサ形成用組成物１０の種類によって異なるので、物質の粘度、表面張力、の開口部１３の開口径等に応じて適宜電圧を変える必要がある。
メニスカス１７は吐出させる開口径と同じ径を有しているが、メニスカス先端からのびた伸長部１８の先端から分離される高粘度のスペーサ形成用組成物１０（滴１９）は、開口径よりはるかに小さい。
このように、大きな径の開口から小さな滴１９が得られるので、高粘度のスペーサ形成用組成物１０を細線状に塗布したり、狭い領域に塗布するなど、広い応用が期待できる。また、開口部の径を大きくすることにより１００万ｃｐｓ程度の高粘度のスペーサ形成用組成物であっても充填させて吐出させることができる。
【００２３】
分離される高粘度物質（滴１９）の形成は、図７に示すように、電圧値Ｖ２のパルス電圧の立ち上がり、立ち下がりのタイミングで行われ、この場合、１パルスに対して２つの分離された高粘度物質（滴１９）が形成されるが、パルス電圧が印加される時間を極端に小さくしていくと、１パルスに対して１つの分離された高粘度物質（滴１９）が形成される。
勿論、図７では、パルス電圧が印加される時間Ｔｗが極端に小でない場合である。
図７中、丸印は、その時刻（タイミング）で１回の分離が行われることを示している。
更に、パルス電圧の電圧値の大きさを小さくしていくと、所定の電圧（電圧値Ｖｍ）以下で、分離は行われなくなる。
パルス電圧が印加される時間Ｔｗが極端に小になった場合には、前述の所定の電圧（電圧値Ｖ０）以上でも、１パルスに対し１つの分離された高粘度のスペーサ形成用組成物１０（滴１９）しか形成されないこともあるが、パルス電圧が前述の所定の電圧（電圧値Ｖ０）以上で、且つ、約１０ｍｍｓｅｃ以上の印加時間である場合には、印加時間によらず、パルス電圧の立ち上がり、立ち下がりのタイミングで分離がそれぞれ行われる。
【００２４】
したがって、例えば、所定の電圧（電圧値Ｖ０）より大きい、上記電圧値Ｖ３のパルス電圧と、所定の電圧（電圧値Ｖｍ）より小さい、電圧値Ｖ４のパルス電圧を用い、図８のようにかけて、高粘度物質の分離を制御することができる。  図８中、丸印は、図７と同様、その時刻（タイミング）で１回の分離が行われることを示している。
即ち、電圧値Ｖ３のパルス電圧の立ち上がり、立ち下がりのタイミングで分離を行い、電圧値Ｖ４のパルス電圧の印加により、伸長部１８を所定の長さに保ちもので、電圧値Ｖ４のパルス電圧の印加により、電圧値Ｖ３のパルス電圧の立ち上がり、立ち下がりのタイミングで分離がスムーズに行えるように制御するものである。
尚、伸長部の形成は、所定の電圧（図７の電圧値Ｖ１のパルス電圧に相当）をかけて行うが、必ずしもＶ１と上記Ｖ４とを同じにする必要はないが、作業上、Ｖ１、Ｖ４とをＶｍに近い（Ｖｍよりも小さい）、同じ値とすることもある。
勿論、図８は、パルス電圧が印加される時間が極端に小でない場合である。
【００２５】
尚、図６（ｄ）の状態から、図９に示すようにパルス電圧をかけた場合にも、分離が見られることが知られている。
尚、図６（ｄ）の状態から、図１０に示すようにパルス電圧をかけた場合にも、分離が見られることが知られている。
この場合には、正負の２パルスの境に１回の分離が見られる。
また、図６（ｄ）の状態から図１１のようにかけた場合には、分離がみられないことも知られている。
尚、図９〜図１１中、丸印は、図７、図８と同様、その時刻（タイミング）で１回の分離が行われることを示している。
勿論、図９〜図１１においてもは、パルス電圧が印加される時間は極端に小ではない。
【００２６】
本例の変形例としては、図５に示すように、第１の例の吐出手段３０の開口部を一方向に長く配列した吐出手段３０Ａを備え、開口部の配列方向に交叉する方向（図５の矢印の方向）に、相対的に吐出手段３０Ａを媒体１６から移動するもので、且つ、移動に対応させながら各開口部からのスペーサ形成用組成物の吐出を、耐１の例と同様に制御するものが挙げられる。
各開口部からのスペーサ形成用組成物の吐出と、吐出されたスペーサ形成用組成物の媒体への付着の基本的な原理は第１の例と同様で、ここでは説明を省略する。
また、電源１５Ａについては、複数個の開口部１３の、各開口部１３の電極１４へ、それぞれ、制御部１１に制御されて、選択的に所望のパルス電圧を印加できるものである。
各開口部について、あるいは、使用するスペーサ形成用組成物については、第１の例と同様のものが使用できる。
【００２７】
また、他の変形例としては、第１の例、あるいは上記図５に示す装置を用いた例において、開口部１３に設けたスペーサ形成用組成物１０の伸長部１８先端から、スペーサ形成用組成物１０を分離せずに、垂れ流した状態で、付着させる方法も挙げられる。
尚、伸長部１８先端からのスペーサ形成用組成物１０の吐出の制御は、所定電圧値のパルス電圧等の高電圧で行うことができる。
また、垂れ流す場合には、圧力手段のにより粘着物１０へかかる圧を適当に制御して行う。
【００２８】
本発明のスペーサ層の形成方法の実施の形態の第２の例を、図２に基づいて説明する。
本例は、第１の例と同様の、下部に複数個（６個）の円形のオリフィスからなる開口部１３を備え、各開口部１３へ、それぞれ、電圧を印加するための電極１４を配設し、且つ、高粘度のスペーサ形成用組成物１０を充填し、スペーサ形成用組成物１０を開口部から吐出する吐出手段３０を有する、図２に示す装置を用いて、目的とする媒体１６上に、スペーサ形成用組成物１０を所望形状に形成するスペーサ層の形成方法である。
本例も、第１の例と同様、液晶表示ディスプレイパネルの液晶を挟むアレイ基板あるいは対向電極基板間の間隙を制御するためのスペーサ層を、両基板のいずれか一方の所定の領域のみに付着させ、所定形状に形成するスペーサ層の形成等に適用できる。
図２に示す装置は、図１に示す装置と同様、その上に目的する媒体１６を載せ、ＸＹ移動制御ができるステージ６０を備え、制御部１１からの支持のもとに、吐出手段３０内のスペーサ形成用組成物１０に圧力手段３５により所定の圧力をかけることができ、電源１５により開口部１３に電極１４を介して所定電圧値のパルス電圧を印加することができる。
【００２９】
本例は、第１の例と同様、必要に応じて吐出手段３０内のスペーサ形成用組成物１０に圧力をかけスペーサ形成用組成物１０のメニスカスを形成し、更に必要に応じて前記電極１４を介して吐出手段の開口部１３と媒体１６間に第１の所定電圧値のパルス電圧を印加して、開口部１３にスペーサ形成用組成物１０ののメニスカスを縦長に伸長した伸長部１８を形成した状態とし、この状態で、電極１４を介して吐出手段の開口部１３と媒体１６間に第２の所定電圧値のパルス電圧を印加して、伸長部１８の先端よりその一部を分離して、スペーサ形成用組成物を、吐出手段の開口部と媒体間の、前記伸長部先端近傍に設けられた、パルス電圧を印加時の電気力線を制御するための微小な針状物に当て、更に該微小な針状物から、媒体上にスペーサ形成用組成物を落下して付着させるものである。
第１の例が、伸長部１８から分離したスペーサ形成用組成物を直接媒体１６上に付着させるのに対し、本例の場合は、パルス電圧を印加時の電気力線を制御するための微小な針状物を設けこれに当て、更に該微小な針状物から、媒体上にスペーサ形成用組成物を落下して付着させるものである。
その他の点については、第１の例と同様で、説明を省略する。
【００３０】
針状物２０を設ける意味について、図１２に基づき簡単に説明しておく。
第１の例のように、図１に示す、針状物２０を備えていない装置を用いた場合でも、安定的に、図１２（ａ）に示すように、媒体１６の進行方向（太線矢印）に沿い、滴１９が配列されれば、針状物２０を備えていなくても良いが、実際には、種々の原因により、伸長部１８の先端位置が不安定となり、その結果、図１２（ｂ）に示すように、媒体１６の進行方向（太線矢印）から、ばらついた位置に分離された高粘度のスペーサ形成用組成物１０（滴１９）は付着されることとなる。
本例では、図４（ａ）の装置のように、パルス電圧を印加した際の電気力線を、針状物２０にて調整し、図４（ｂ）に示すように、分離されたスペーサ形成用組成物（滴１９）を針状物２０の所定領域におき、更に、針状物２０の所定位置（図４（ｂ）では針状物２０の先端部）から媒体１６上に落とし、付着させるため、各分離された高粘度のスペーサ形成用組成物１０（滴１９）の媒体への付着の際、媒体１６の進行方向からの位置のばらつきは殆ど発生しないのである。
【００３１】
尚、針状物２０の表面を撥油性、撥水性として、スペーサ形成用組成物１０をはじく物質を少なくともその表面に配設置しておくと良い。
これにより、針状物２０から媒体１６へのスペーサ形成用組成物１０の転移がスムースに行われる。
スペーサ形成用組成物１０が油性の場合には、その表面に撥油性の、例えば、一般式、Ｒ１n ＳｉＲ２4-n で表される、フルオロアルキルシランの加水分解縮合物、あるいは、サイトップ（旭硝子社製のフッ素樹脂）、ＦＸ−３３２５（３Ｍ社製のフッ素樹脂）、テフロンＡＦ（デュポン社製のフッ素樹脂）を配設しておく。
なお、上記一般式においては、Ｒ１＝ＣＦ3 （ＣＦ2 ）5 ＣＨ2 −、Ｒ２＝ＯＭｅ、ｎ＝１、あるいは、Ｒ１＝ＣＦ3 （ＣＦ2 ）7 ＣＨ2 −、Ｒ２＝ＯＭｅ、ｎ＝１が具体的な例として挙げられる。
また、スペーサ形成用組成物１０が水性の場合には、その表面に撥水性の、例えば、信越化学社製の、ＫＳ７０５Ｆを硬化剤ＣＡＴ−ＰＳ−１で硬化させたもの、東芝シリコーン社製の、ＹＳＲ３０２２を触媒ＹＣ６８３１で反応させたもの等のジメチルシリコーン樹脂を配設しておく。
【００３２】
本例の変形としては、本例の開口部１３と針状物２０の組を、図５に示す装置と同様に、一方向に長く配列した吐出手段を備え、開口部の配列方向に交叉する方向（図５の矢印の方向）に、相対的に吐出手段を媒体１６から移動するもので、且つ、移動に対応させながら各開口部からのスペーサ形成用組成物の吐出を、第２の例と同様に制御するものが挙げられる。
各開口部からのスペーサ形成用組成物の吐出と、吐出されたスペーサ形成用組成物の媒体への付着の基本的な原理は第２の例と同様で、ここでは説明を省略する。
【００３３】
また、他の変形例としては、第２の例、あるいは上記変形例において、開口部１３に設けたスペーサ形成用組成物１０の伸長部１８先端から、スペーサ形成用組成物１０を分離せずに、垂れ流した状態で、付着させる方法も挙げられる。
尚、伸長部１８先端からのスペーサ形成用組成物１０の吐出の制御は、所定電圧値のパルス電圧等の高電圧で行うことができる。
また、垂れ流す場合には、圧力手段のによりスペーサ形成用組成物１０へかかる圧を適当に制御して行う。
【００３４】
尚、上記において、オリフィスからなる開口部１３以外の吐出手段３０の下部全面を、あるいは、必要に応じ、吐出手段３０の下部の開口部１３周辺領域のみを撥水性ないし撥油性の領域として、スペーサ形成用組成物１０の溜まりによる弊害を防止しても良い。
【００３５】
以下、圧力のみでスペーサ形成用組成物を吐出する吐出方式を簡単に説明し、上記実施例の電圧を印加してスペーサ形成用組成物を吐出する吐出方式と比較しておく。
図１５は、圧力のみでスペーサ形成用組成物を吐出する吐出方式の場合の開口部付近の図で、説明を簡単にするため、平面の基板に対して接着剤を付着させる場合の図である。
図１５において、容器８２１の底部には、オリフィス８２２が設けられている。また、容器８２１内にはスペーサ形成用組成物８１０が収容されており、図示しない、加圧手段により、圧力が加えられてスペーサ形成用組成物８１０が押し出され、基板８１６上にスペーサ形成用組成物層８１５が形成される。
尚、図１５では、矢印の方向にオリフィス８２２が容器８２１と一体で移動している。
このとき安定に吐出を行うためには、オリフィス８２２と基板８１６との距離を精密に制御する必要がある。
この距離は、吐出する物質のレオロジー特性や、吐出量、移動速度により適切な値にする必要がある。
これは、図１５に示したように、スペーサ形成用組成物８１０がオリフィス下部と基板８１６との間に満たされた状態でオリフィス下部と基板８１６の両方の濡れ性や表面張力の影響を受けていて、バランスがとれた状態を維持する必要があるためである。
このため、移動速度や基板８１６との距離が少しでも変化するとバランスが崩れ、吐出が不安定になる。
スペーサ形成用組成物８１０を用いた場合には、基板８１６とオリフィス８２２位置との適切な距離は０．２ｍｍの、数パーセントの範囲の数μｍ程度の精度で制御する必要があり、このような吐出方式を用いる場合には、基板８１６との距離を測定し、距離を調整するサーボ機能を有しているのが普通である。
これに対して、上記実施の形態場合には、基材（目的とする媒体）からの影響は少なく、ギャップを厳密に制御する必要がない。
また、上記実施の形態では、パルス電圧等の電圧により、伸長部の先端を分離し易く、吐出の制御をし易いものとしている。
【００３６】
【発明の効果】
以上のように、本発明のスペーサ層の形成方法は、開口からスペーサ形成用組成物を吐出させる吐出手段を用い、目的とする媒体へ、スペーサ形成用組成物を所望のパターン状に簡単に形成でき、且つ、均一に形成することを可能とした。
更に、本発明によれば、径の大きい拉子を含む高粘度のスペーサ形成用組成物１０の媒体上へのパターン形成を安定的に連続して行うことができる方法の提供を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態の第１の例のスペーサ層の形成方法を、実施するためのスペーサ形成用組成物吐出装置（ディスペンサとも言う）の概略構成図
【図２】実施の形態の第２の例と、その変形例のスペーサ層の形成方法を、実施するための装置の概略構成図
【図３】図３（ａ）は実施の形態の第２の例を説明するための図で、図３（ｂ）は、その変形例を説明するための図
【図４】図４は図１、図２に示す装置における吐出手段の開口部を示した図
【図５】吐出手段とスペーサ形成用組成物の付着状態を説明するための図
【図６】スペーサ形成用組成物吐出装置（ディスペンサ）の吐出原理を説明するための図
【図７】パルス電圧の印加と分離を説明するための図
【図８】スペーサ形成用組成物の分離制御を説明するための図
【図９】パルス電圧の印加と分離を説明するための図
【図１０】パルス電圧の印加と分離を説明するための図
【図１１】パルス電圧の印加と分離を説明するための図
【図１２】伸長部から分離されたスペーサ形成用組成物の位置の不安定さを説明するための図
【図１３】従来のインクジェットを用いたスペーサ形成用組成物の媒体への付着方法を説明するための図
【図１４】液晶表示ディスプレンパネルを説明するための図
【図１５】圧力のみでスペーサ形成用組成物を吐出する吐出方式を説明するための図
【符号の説明】
１０          スペーサ形成用組成物
１１          制御部
１２          容器
１３          開口部
１４          電極
１５、１５Ａ  電源
１６          媒体（対象物）
１７          メニスカス
１８          伸長部
１９          滴
２０          針状物
３０、３０Ａ  吐出手段
３５          加圧手段
５０          固定部
６０          ステージ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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