(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半透明のＣＯＦを供給リールからプッシャーを経て収容リールまで搬送し、ＣＯＦに対しプッシャーと反対側に配置され、ＣＯＦを照射する撮像用照明装置を備え、ＣＯＦに対しプッシャーと反対側に配置され、ＣＯＦを撮像する撮像装置を有し、撮像装置によりＣＯＦ表面を撮像し、プッシャーを動かしてプローブカードとＣＯＦを位置決めするＣＯＦ用オートハンドラにおいて、
前記プッシャーと前記ＣＯＦとの間に浮き部分が生じた場合においても、鮮明なＣＯＦ画像が得られるようにするために、前記プッシャーの前記ＣＯＦの背面に当接する面を、前記撮像用照明装置から照射され、ＣＯＦを通過した光を吸収する光吸収色部としたことを特徴とするＣＯＦ用オートハンドラ。
【請求項２】
前記撮像用照明装置は前記ＣＯＦの表面と照射がなす角が鋭角な照明部を有することを特徴とする請求項１記載のＣＯＦ用オートハンドラ。
【請求項３】
前記撮像用照明装置は散乱光を照射することを特徴とする請求項２記載のＣＯＦ用オートハンドラ。
【請求項４】
前記光吸収色部は黒色メッキが施されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のＣＯＦ用オードハンドラ。
【請求項５】
前記プッシャーは前記ＣＯＦを平坦に密着保持することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のＣＯＦ用オートハンドラ。
【請求項６】
前記ＣＯＦは位置決めマークを有し、
前記ＣＯＦに対し前記プッシャーと反対側に配置された撮像装置により前記位置決めマークを含んで前記ＣＯＦ表面を撮像し、
その位置決めマークを含んだ画像を取り込んだ画像処理装置において、予め登録されている位置決めマークの画像データと現在の画像データの位置決めマークの位置関係を計算し、
その位置決めマークの位置の差分だけ前記プッシャーを動かして、前記ＣＯＦとその表面側に配置されたプローブカードの位置決めを行うことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のＣＯＦ用オートハンドラ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＣＯＦ（Chip on film）を試験・分類するオートハンドラに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＣＯＦ用オートハンドラは、周知のＴＡＢ（Tape Automated Bonding）用オートハンドラと同様、テープ上に実装したＩＣデバイスを搬送し、ＩＣテスタからの分類信号に従って、ＩＣデバイスを、例えば、良品、不良品に分類する装置である。
ここで、ＣＯＦは、従来のＴＡＢと比較し、下記の特徴を備えている。
（１）ＴＡＢのテープ厚さは７５ｕｍ以上であったのに対し、ＣＯＦは、テープの厚さが４０ｕｍ以下で薄く半透明なものがある。
（２）ＴＡＢではパターン裏面よりの実装が主流であったのに対し、ＣＯＦは、ＩＣチップ実装とパターン面が同一である。
（３）ＴＡＢでは折り曲げ窓での短絡があったのに対し、ＣＯＦは、折り曲げ用の窓が無く、裏面での電気的な短絡がない。
このような特徴を備えるＣＯＦは、例えば、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）の駆動用ＩＣ等に利用されている。
【０００３】
図４はＣＯＦの一般な構成例を示したもので、１はＣＯＦ、１ａはリード、１ｂはＩＣチップ、１ｃはテストパッド、１ｄはレジスト、１ｅは位置決めマークである。
ＣＯＦ１において、リード１ａでＩＣチップ１ｂとテストパッド１ｃが電気的接続され、ＩＣチップ１ｂの周辺には、リード１ａとＩＣチップ１ｂを保護するためのレジスト１ｄと位置決めマーク１ｅが形成されている。
【０００４】
図５は従来のＣＯＦ用オートハンドラと撮像装置及び照明装置の概略構成を正面から示したもので、２はプッシャー（測定部）、２ａはプッシャープレート、３はプローブカード、４はテストヘッド、４ａは穴部、５はカメラユニット（撮像装置）、６は照明装置、１１は供給リール、１２は収容リール、１３と１４はスプロケット、１５はパンチ（分類部）である。
このＣＯＦ用オートハンドラは、具体的には、ＣＯＦ１を供給リール１１から測定部（プッシャー）２、分類部（パンチ）１５に搬送し、収容リール１２まで搬送して、実装したＩＣデバイス（ＩＣチップ１ｂ）を分類する。例えば、不良品はパンチ１５による穴あけ処理により分類される。
なお、供給リール１１及び収容リール１２の近傍において、ＣＯＦ１が一定以上たるむと、図示しない光センサにより検出され、それぞれスプロケット１３・１４が必要に応じ駆動されることで、ＣＯＦ１の一定以上のたるみが取り除かれる。
【０００５】
そして、測定部（プッシャー）２において、ＣＯＦ１はプローブカード３に遮られることなく照明装置６により照明され、その画像がカメラユニット５により撮像される。
ここで、プッシャープレート２ａは、ＣＯＦ１の裏面に密着し、ＣＯＦ１を平坦に保持している。また、カメラユニット５及び照明装置６は、プッシャー２に対しテストヘッド４の対向側に配置されており、テストヘッド４の中央の穴部４ａを通して照明・撮像される。すなわち、ＣＯＦ１に対してほぼ平行となるように配置されたカメラユニット５によって、照明装置６により照射されたＣＯＦ１がテストヘッド４中央の穴部４ａを通してＣＯＦ１表面の位置決めマーク１ｅやテストパッド１ｃ、リード１ａが撮像される。
撮像後は、図示しない画像処理装置において、予め登録されている位置決めマーク１ｅの画像データと、現在の画像データの位置決めマーク１ｅの位置関係を計算し、その差分だけプッシャー２を動かし、プローブカード３とＣＯＦ１を位置決めする。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、照明時において、半透明のＣＯＦ１は光を透過するため、その表面と裏面のプッシャープレート２ａで反射する光が交錯し、図６に示したように、乱反射が発生する。この乱反射の状態を撮像すると、ＣＯＦ１のパターンは、その裏面側のプッシャープレート２ａの表面と混じりあった状態となり、目視でも確認できない状態となる。
従って、画像処理装置においても、特定のパターンの登録、検出ができなかった。
【０００７】
本発明の課題は、オートハンドラにおいて、ＣＯＦ撮像の際に、光の反射量を押さえ、更には、乱反射を防止し、画像処理可能な安定したＣＯＦの画像が取り込めるようにすることである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決すべく請求項１記載の発明は、
例えば、図１及び図２に示すように、
半透明のＣＯＦ１を供給リール１１からプッシャー２を経て収容リール１２まで搬送し、ＣＯＦ１に対しプッシャー２と反対側に配置され、ＣＯＦ１を照射する撮像用照明装置７を備え、ＣＯＦ１に対しプッシャー２と反対側に配置され、ＣＯＦ１を撮像する撮像装置５を有し、撮像装置５によりＣＯＦ表面を撮像し、プッシャー２を動かしてプローブカード３とＣＯＦ１を位置決めするＣＯＦ用オートハンドラにおいて、
プッシャー２とＣＯＦ１との間に浮き部分が生じた場合においても、鮮明なＣＯＦ画像が得られるようにするために、前記プッシャー２の前記ＣＯＦ１の背面に当接する面を、前記撮像用照明装置７から照射され、ＣＯＦ１を通過した光を吸収する光吸収色部２ｂとしたことを特徴とする。
【０００９】
請求項１記載の発明によれば、オートハンドラのプッシャーにおいて、撮像時の照明光がＣＯＦ背面に当接する面の光吸収色となる黒色の表面部で吸収されるので、プッシャー表面での反射光が微小なものとなる。
従って、光の反射量を押さえて、画像処理可能な安定したＣＯＦ画像が取り込めるようになる。
【００１０】
請求項２記載の発明は、
請求項１記載のＣＯＦ用オートハンドラであって、
前記撮像用照明装置７は前記ＣＯＦ１の表面と照射がなす角が鋭角な照明部７ｂを有することを特徴とする。
【００１１】
請求項２記載の発明によれば、請求項１記載の撮像用照明装置による鋭角な入射角をもった照明光がＣＯＦ表面とプッシャー表面とで鋭角な斜め方向に抜けるので、ＣＯＦ表面及びプッシャー表面での反射光は撮像装置には直接戻らない。
従って、光の反射量を押さえて、画像処理可能な安定したＣＯＦ画像が取り込めるようになる。
【００１２】
請求項３記載の発明は、
請求項２記載のＣＯＦ用オートハンドラであって、
前記撮像用照明装置７は散乱光を照射することを特徴とする。
【００１３】
請求項３記載の発明によれば、請求項２記載の撮像用照明装置による散乱光の照射によって、乱反射を防止でき、より安定したＣＯＦ画像が取り込める。
【００１４】
請求項４記載の発明は、
請求項１〜３のいずれかに記載のＣＯＦ用オートハンドラであって、
前記光吸収色部は黒色メッキが施されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項５記載の発明は、
請求項１〜４のいずれかに記載のＣＯＦ用オートハンドラであって、
前記プッシャーは前記ＣＯＦを平坦に密着保持することを特徴とする。
【００１６】
請求項６記載の発明は、
請求項１〜５のいずれかに記載のＣＯＦ用オートハンドラであって、
前記ＣＯＦは位置決めマークを有し、
前記ＣＯＦに対し前記プッシャーと反対側に配置された撮像装置により前記位置決めマークを含んで前記ＣＯＦ表面を撮像し、
その位置決めマークを含んだ画像を取り込んだ画像処理装置において、予め登録されている位置決めマークの画像データと現在の画像データの位置決めマークの位置関係を計算し、
その位置決めマークの位置の差分だけ前記プッシャーを動かして、前記ＣＯＦとその表面側に配置されたプローブカードの位置決めを行うことを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
まず、図１及び図２において、１はＣＯＦ、２はプッシャー（測定部）、２ａはプッシャープレート、３はプローブカード、４はテストヘッド、４ａは穴部、５はカメラユニット（撮像装置）、７は照明装置、１１は供給リール、１２は収容リール、１３・１４はスプロケット、１５はパンチ（分類部）である。
本発明は、プッシャープレート２ａ及び照明装置７に変更を施したものである。
【００１８】
すなわち、プッシャー２には、ＣＯＦ１の種類に応じて製作されたプッシャープレート２ａが装着されている。
このプッシャープレート２ａのＣＯＦ１の裏面に平坦に密着する部分は、例えば、黒色メッキが施された黒色表面部２ｂとなっている。すなわち、この黒色表面部２ｂは、光の反射を防止する光吸収機能を有している。
【００１９】
そして、照明装置７は、プッシャー２に対しテストヘッド４の手前側に配置されており、例えば、ＬＥＤ照明のような散乱光を発する中央照明部７ａ及び側方照明部７ｂからなる。
これら中央照明部７ａ及び側方照明部７ｂは、図示のように、プローブカード３とテストヘッド４の間に配置され、プローブカード３に遮られない位置でＣＯＦ１を照射する。特に、中央照明部７ａの両側の側方照明部７ｂは、ＣＯＦ１の表面と照射がなす角が浅い角度（鋭角）で照射する配置となっている。
【００２０】
以上のようにＣＯＦ用オートハンドラにおいて、黒色表面部２ｂを有するプッシャープレート２ａと、ＣＯＦ１の表面と照射がなす角が鋭角に照射する側方照明部７ｂを有する照明装置７とを備えたことで、測定部（プッシャー）２でのＣＯＦ撮像時に以下の作用効果が得られる。
測定部（プッシャー）２において、プッシャープレート２ａの黒色表面部２ｂにより背面を平坦に密着保持されたＣＯＦ１が、照明装置７のＬＥＤ照明のような散乱光により照射された状態で、カメラユニット５により良好に撮像される。
【００２１】
すなわち、照明装置７の中央照明部７ａ及び側方照明部７ｂからそれぞれ照射された散乱光は、半透明のＣＯＦ１を通過してプッシャープレート２ａに達するが、その黒色表面部２ｂで吸収される。このため、プッシャープレート２ａ表面での反射光は、図３に矢印で示したように、ＣＯＦ１表面のレジスト１ｄ及び位置決めマーク１ｅでの反射光と同様、微小な反射光となる。
そして、側方照明部７ｂから照射された散乱光は、図３に矢印で示したように、ＣＯＦ１表面とプッシャープレート２ａ表面とで鋭角な斜め方向に抜け、プッシャープレート２ａ表面に対し直角方向のカメラユニット５には直接戻らない。
以上の結果、図３に小さな矢印で示したように、ＣＯＦ１表面の位置決めマーク１ｅで代表される光沢面で反射した散乱光のみがカメラユニット５に戻るだけとなる。
【００２２】
従って、カメラユニット５によりＣＯＦ１表面の位置決めマーク１ｅを含んで撮像し、その位置決めマーク１ｅを含んだ画像を図示しない画像処理装置に取り込んで、乱反射が生じない鮮明な画像が得られる。
その結果、画像処理装置において、予め登録されている位置決めマーク１ｅの画像データと現在の画像データの位置決めマーク１ｅの位置関係を計算後、その差分だけプッシャー２を動かしてプローブカード３とＣＯＦ１を正確に位置決めできる。また、同様に、ＣＯＦ１のテストパッド１ｃとプローブカード３のプローブの初期の位置合わせも正確にできる。
【００２３】
なお、プッシャープレート２ａの黒色表面部（光吸収色部）２ｂの形成、照明装置７の散乱光用の光源、その側方照明部７ｂの配置角度等については、実施形態に限らず任意であることは勿論である。
【００２４】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、ＣＯＦ背面に当接する面の光吸収色による黒色の表面部で照明光を吸収して、プッシャー表面での反射光を微小にできるため、光の反射量を押さえて安定したＣＯＦ画像の取り込みが可能になる。
請求項２記載の発明によれば、請求項１記載の発明により得られる効果に加え、ＣＯＦ表面とプッシャー表面で照明光を鋭角な斜め方向に反射させて、反射光を撮像装置に直接戻らなくできるため、光の反射量を押さえて安定したＣＯＦ画像の取り込みが可能になる。
請求項３記載の発明によれば、請求項２記載の発明により得られる効果に加え、撮像用照明装置による散乱光による照射により乱反射を防止して、より安定したＣＯＦ画像を撮像できる。
従って、本発明によれば、オートハンドラにおいて、乱反射が生じない鮮明なＣＯＦ画像を得て、プローブカードとＣＯＦを正確に位置決めできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した一例としてのＣＯＦ用オートハンドラと撮像装置及び照明装置の概略構成を正面から見た模式図である。
【図２】図１の測定部及び照明装置部分の拡大図である。
【図３】図１及び図２の照明装置による照明光の反射状態を示した図である。
【図４】ＣＯＦの一般な構成例を示した平面図である。
【図５】従来のＣＯＦ用オートハンドラと撮像装置及び照明装置の概略構成を正面から見た模式図である。
【図６】図５の照明装置による照明光の反射状態を示した図である。
【符号の説明】
１    ＣＯＦ
１ａ  リード
１ｂ  ＩＣチップ
１ｃ  テストパッド
１ｄ  レジスト
１ｅ  位置決めマーク
２    プッシャー（測定部）
２ａ  プッシャープレート
２ｂ  黒色表面部（光吸収色部）
４    テストヘッド
４ａ  穴部
５    撮像装置
７    照明装置
７ａ  中央照明部
７ｂ  側方照明部
１１  供給リール
１２  収容リール
１５  パンチ（分類部）
【図１】
0004380926.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
0004380926.tif 000005
【図５】
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【図６】
0004380926.tif 000007