(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材に形成され、前記板状部材の回転方向の位置決め用の基準部の位置を検出する検出手段と、前記基準部が接着テープの接着部に位置しないように前記板状部材を位置決めする位置決め手段と、前記板状部材に貼付されたシートの端部に、ヒーターによって加熱することにより前記接着テープを接着する接着手段と、前記接着テープを引っ張って前記シートを剥離する剥離手段とを備え、前記ヒーターは、実質的に前記接着テープに対する接離動作のみによって前記接着テープを前記シートに接着することを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
前記接着テープが感熱性接着テープである請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項３】
板状部材に貼付されたシートを接着テープを用いて剥離するシート剥離方法において、前記板状部材に形成され、前記板状部材の回転方向の位置決め用の基準部の位置を検出し、前記接着テープを前記基準部以外の前記シートの端部にヒーターによって加熱することによって接着し、前記接着テープを引っ張って前記シートを剥離するシート剥離方法であって、前記ヒーターは、実質的に前記接着テープに対する接離動作のみによって前記接着テープを前記シートに接着することを特徴とするシート剥離方法。
【請求項４】
前記シートとして紫外線硬化型シートを使用し、前記シートを剥離する前に前記シートに紫外線を照射する請求項３に記載のシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハ等の板状部材に貼付されたシートを剥離するシート剥離装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工程において、半導体チップを小型化、薄型化するために半導体ウェハ（以下単にウェハという）の裏面を研磨して薄くする工程があり、その工程においてはウェハの表面（回路が形成された面）を、粘着フィルム等から成る保護シートを貼り付けて保護する。研磨後は保護シートをウェハから剥離する。
【０００３】
保護シートの剥離方法としては、従来、２５mm〜５０mm幅の粘着テープをプレスローラを用いて、ウェハ上に貼付された保護シート上に貼付し、この粘着テープを引っ張ることにより保護シートをウェハから剥がしていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記方法によれば、粘着テープをプレスローラで押し付けて保護シートに貼付するため、この押し付けに起因するウェハ割れが生じるおそれがあった。特に、近年ウェハ外径が大型化し、又厚さが更に薄くなるに伴いウェハ割れの問題について考慮する必要がでてきている。
【０００５】
そこで、本発明は、ウェハ等の板状部材を傷つけることなく、保護シート等のシートを板状部材から剥離できるようにすることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明においては、板状部材に貼付されたシートを接着テープを用いて剥離するシート剥離装置および方法において、前記板状部材に形成された基準部（たとえば半導体ウェハに形成されたオリエンテーションフラットやＶノッチ）の位置を検出し、前記接着テープを前記基準部以外の前記シートの端部に接着し、前記接着テープを引っ張って前記シートを剥離するように構成した。
【０００７】
また、近年ウェハの外径の大型化及びウェハの薄型化に伴いＵＶ（紫外線）硬化型の保護シートを用いて剥離時にＵＶ照射して粘着力を弱めてシートを剥がす方式も採用されており、こうした方式の場合には、接着テープを使用してシートを剥がす前に保護シートにＵＶ照射を行うようにした。
【０００８】
なお、本発明は、ウェハ上に貼付された保護シートの剥離に特に適したものではあるが、本発明はそれに限らず、板状部材に貼付されたシートを接着テープを用いて剥離するシート剥離装置及び方法一般に適用できるものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下本発明についてウェハの保護シート剥離装置を例にとって説明する。
図１は本発明の一実施形態を示す保護シート剥離装置の平面図であり、保護シート剥離装置は、ウェハ供給部６００と、ウェハ搬送部７００と、オリフラアライメント部８００と、ＵＶ照射部９００と、シート剥離部９５０とから構成されている。以下、各部について説明する。
【００１０】
図２は、ウェハ供給部６００を図１の矢印Ａの方向に見た図であり、ウェハ供給部６００では、支柱６０１に２本のガイドレール６０３が取り付けられ、このガイドレール６０３にガイド６０５を介してテーブル６０７が上下動自在に取り付けられている。支柱６０１に沿ってボールネジ６０９が取り付けられ、ボールネジ６０９と係合する板６１１がテーブル６０７に接続されている。ボールネジ６０９はベルト６１３を介してモータ６１５によって回転され、この回転によってテーブル６０７が上下動する。テーブル６０７上にウェハキャリア（ウェハ搬送容器）６１７が置かれ、ウェハキャリア６１７内の棚には保護シートが貼付されたウェハＷが複数収容されている。
【００１１】
支柱６０１には板６１９が取り付けられ、板６１９にはウェハキャリア６１７を挟むように、板６２１，６２３が接続され（図１）、板６２１，６２３にはウェハ検出センサ（光透過型や光反射型のセンサ等）６２５，６２７が取り付けられている。ウェハキャリア６１７を上下に移動させながらセンサ６２５，６２７によってウェハＷの段位置、枚数等を検出する。
【００１２】
搬送部７００は、多軸の可動アーム７０１を備え、可動アーム先端には吸着部材７０３が設けられ、可動アーム７０１上にウェハＷを載せて吸着部材７０３によってウェハＷを吸着固定する。可動アーム７０１は鎖線７０５で示す範囲でウェハＷを搬送可能である。
【００１３】
図３は、オリフラアライメント部８００を図１の矢印Ｂの方向に見た図であり、図４はその平面図である。オリフラアライメント部８００は、ウェハＷに形成された基準部としてのオリエンテーションフラット（オリフラ）部を検出し、このオリフラ部が、後述する接着テープの接着部に位置しないように、ウェハＷを回転させて位置決めを行う。
【００１４】
ウェハＷは可動アーム７０１によってターンテーブル８０１上に截置される。ターンテーブル８０１は吸着口を備え、ウェハＷを吸着固定する。ターンテーブル８０１はモータ８０３によって回転し、シリンダ８０５によって上下動する。ターンテーブル８０１の両側には、センタリング板８０７が取り付けられ、センタリング板８０７はシリンダ８０９によってターンテーブル８０１方向へ移動可能である。センタリング板８０７にはウェハＷの径の大きさに合わせて段部８０７ａが形成されている。
【００１５】
可動アーム７０１によって搬送されたウェハＷはターンテーブル８０１上に截置され、センタリング板８０７はターンテーブル８０１方向に移動してウェハＷのセンタリングを行う。その後ターンテーブル８０１がウェハＷを吸着して回転する。ウェハＷを挟んで光透過型や光反射型のセンサ８１１が配置され、センサ８１１はウェハＷのオリフラ部を検知し、センサ８１１がオリフラ部を検知した後所定角度だけ回転させてターンテーブル８０１を制止させる。これにより、オリフラ部が接着テープの接着部に位置しないようにウェハＷを位置決めする。すなわち、後述するヒーターカッター部５００（図１３）によってテープをシートに接着する際にこの接着部上にオリフラ部がこないようにし、接着テープが確実にシートに接着されるようにする。
【００１６】
ターンテーブル８０１の上方には、ウェハＷの位置決めを行っているときに次のウェハを吸着保持しておくためのウェハ保持アーム８１３が配置され、ウェハ保持アーム８１３はウェハＷを吸着保持した後、ウェハＷの大きさに応じた位置（図４の鎖線８１３ａ，８１３ｂで示す）で待機する。
【００１７】
図５は、ＵＶ照射部９００を図１の矢印Ｃの方向に見た図であり、その角部９０１にＬ字形の開口部９０３が形成され、その開口部９０３からウェハＷが可動アーム７０１によって図１の線７０７に沿って搬入される。開口部９０３は、Ｌ字形の蓋９０５によって開閉され、蓋９０５はシリンダ９０７により駆動される。ウェハＷはテーブル９０９上に吸着される。ＵＶ照射部９００の中央にはＵＶランプ室９１１が設置され、その中にＵＶランプ９１３が取り付けられている。ＵＶランプ９１３の下方には、シリンダ９１５によって開閉するシャッタ９１７が配置されている。ＵＶランプ室９１１の空気は、図示しないが、排気用動力によってダクト９１９を通って強制排気される。
【００１８】
ウェハＷの保護シートの粘着面にＵＶランプ９１３のＵＶ光が当たるようにウェハＷがテーブル９０９に載せられると、シャッタ９１７が開き、テーブル９０９はウェハＷを吸着手段９０９ａにより吸着保持し、図５の左方向へ移動してウェハＷの保護シートの粘着面に紫外線が照射される。照射完了後テーブル９０９は再び角部９０１へ戻り、吸着手段９０９ａが解除され、ウェハＷは可動アーム７０１によって搬出される。搬出されたウェハＷは、図１の線７０９に沿って剥離部９５０へ搬送される。剥離部９５０の詳細は後述する。
【００１９】
なお、ＵＶ硬化型保護シート以外の保護シートを使用する場合は、ＵＶ照射部９００を設けなくてもよい。
【００２０】
次に保護シート剥離装置の全体の動作の流れを説明する。
（１）ウェハ供給部６００のテーブル６０７上に人手または自動搬送機によってウェハキャリア６１７を截置する。
（２）モータ６１５の駆動によりテーブル６０７が上下動し、センサ６２５，６２７によってウェハキャリア６１７内のウェハＷの段位置、枚数等が検出される。
（３）ウェハキャリア６１７の最上段からウェハＷを可動アーム７０１によって１枚ずつ取り出し、オリフラアライメント部８００へ移載する。テーブル６０７が上昇してウェハキャリア６１７は１段上昇し、可動アーム７０１は次のウェハＷの取り出しを行う。
（４）オリフラアライメント部８００では、センタリング板８０７によってウェハＷのセンタリングが行われ、ウェハＷがターンテーブル８０１に吸着回転される。この間に可動アーム７０１は次のウェハＷをウェハキャリア６１７から取り出し、ウェハ保持アーム８１３へ移載し、待機保持しておく。
（５）ターンテーブル８０１によってウェハＷを吸着保持しながら回転させ、センサ８１１によってオリフラ部を検出し、検出後、所定角だけ回転させてウェハＷを吸着保持しながら位置決めする。
（６）ウェハＷ位置決め後、可動アーム７０１によりウェハＷをＵＶ照射部９００へ移動させる。
（７）ＵＶ照射後、可動アームによってウェハＷをシート剥離部９５０へ搬送し、シート剥離部９５０において保護シートを剥離する。
（８）剥離後、可動アーム７０１によってウェハＷをシート剥離部９５０から搬出し、ウェハキャリア６１７の所定段へ収納する。
（９）次のウェハについても同様の処理を行い、ウェハキャリア６１７内のすべてのウェハのシート剥離が終了したら、ウェハキャリアを人手または自動搬送機によって次工程へ搬送する。なお、ＵＶ硬化型保護シート以外の保護シートを使用する場合は、上述の中で、ＵＶ照射部９００への移動、ＵＶ照射などは不要となる。
【００２１】
以上のようにすれば、ウェハ等の板状部材を傷つけることなく、保護シート等のシートを板状部材から剥離できるとともに、ウェハの基準部（オリフラ、Ｖノッチ等）上に接着テープの接着部が位置しないので、保護シートに接着テープを確実に接着することができ、保護シートを剥がすことができる。
【００２２】
上記例ではウェハ搬送手段として可動アームを用いたが他の搬送手段を利用してもよい。また、各部の配置も上記例に限定されない。ＵＶ硬化型保護シートを使用した場合は、ウェハ供給部、オリフラアライメント部、ＵＶ照射部の順に配置すれば、比較的時間のかかるＵＶ照射の間にウェハＷの位置決めを実行すれば効率が良く、ウェハ処理枚数を増やすことができる。
【００２３】
次にシート剥離部９５０について詳細に説明する。
図６はシート剥離部９５０の正面図、図７は側面図、図８は平面図である。シート剥離部９５０は、台１００と、テーブル部２００と、テープ繰出し部３００と、剥がしヘッド部４００と、ヒーターカッター部５００とから構成されている。
【００２４】
はじめに、このシート剥離部９５０の概要を説明すると、保護シートの貼付されたウェハは、テーブル部２００によって搬送される。一方、接着テープＴが、テープ繰出し部３００から繰出され、剥がしヘッド部４００によって引き出される。接着テープＴは、ヒーターカッター部５００によって保護シートの端部に熱圧着され、所定の長さに切断される。次いで、剥がしヘッド部４００は、接着テープＴを保持して引っ張って保護シートをウェハから引き剥がす。以下、各部の詳細について説明する。
【００２５】
テーブル部２００は、台１００上に設置された２本のガイドレール２０１と、ガイドレール２０１上に截置されたテーブル２０３とを備えている。テーブル２０３は、ガイドレール２０１上を図に示すＸ軸方向に移動可能である。台１００上には、プーリー２０５，２０７間にベルト２０９が掛けられ、プーリー２０５はモーター２１１によって回転する。ベルト２０９は連結具２１３によってテーブル２０３と接続され、モーター２１１の回転によってテーブル２０３はガイドレール２０１上を移動する。
【００２６】
テーブル２０３の中央部には、シリンダ２１５によって昇降する昇降テーブル２１７が配置されている。またテーブル２０３には、昇降テーブル２１７と同心状に環状の吸着溝２１９がウェハの口径に合わせて複数形成され、各吸着溝２１９には吸着口が複数形成され、これら吸着口に負圧が与えられ、ウェハが吸着保持される。ウェハをテーブル２０３から取り上げるときは吸着を解除したのちシリンダ２１５を駆動して昇降テーブル２１７を上昇させる。
【００２７】
接着テープＴとしては、ここではポリエチレンテレフタレートフィルムなどの耐熱フィルムに感熱性接着剤層を設けた感熱性接着テープを使用しているが、基材自体に感熱接着性を有する感熱性接着テープを用いてもよい。接着テープＴはリール３０１にセットされて、テープ繰出し部３００に送られる。リール３０１の回転軸には、スプリング３０２（図７）が取り付けられ、これにより摩擦板を介してリール３０１の回転軸に摩擦力が与えられている。
【００２８】
テープ繰出し部３００は、図１０に示すように、互いに圧接するピンチローラー３０３およびテンションローラ３０５と、ガイドローラ３０７およびピンチローラ３０８とを備えている。テープ繰出し部３００の下端部には、テープ受け板３０９が軸３１０によってボールブッシュ３１１に取り付けられている。テープ受け板３０９は、Ｘ軸方向に移動可能でありスプリング３１３によって突出方向（図１０の左方向）に常時付勢されている。
【００２９】
接着テープＴは、リール３０１から繰り出されてピンチローラー３０８とガイドローラー３０７との間に挟持された後、ガイドローラー３０７で方向転換され、さらにピンチローラ３０３とテンションローラ３０５との間に挟持されテープ受け板３０９へ送られ、テープ受け板３０９上でテープ押え板３１５によって押えられている。テープ押え板３１５の前端部にはカッター溝３０９ａが形成されている。テープ押え板３１５はシリンダ３１７によって駆動される。また、テンションローラー３０５には、タイミングプーリー３１９からタイミングベルト３２１が掛けられ、タイミングプーリー３１９はモーター３２３（図８）で駆動される。テンションローラー３０５は、接着テープＴの繰出し方向と逆方向に回転されて、接着テープＴに繰出し方向と逆方向の張力（バックテンション）が掛けられている。
【００３０】
テンションローラ３０５の後側（図１０の右側）にはテープ押えガイド３０６が取り付けられ、テープ受け板３０９上の接着テープＴが後退することを防止している。
【００３１】
テープ繰出し部３００は上下方向（図に示すＺ軸方向）に移動可能である。すなわち、図７に示すように、台部１００には基板１０１が設置され、この基板１０１上に固定されたシリンダ３２５によってテープ繰出し部３００がＺ軸方向に移動する。
【００３２】
剥がしヘッド部４００は、図７に示すように、剥がしヘッド４０１と、剥がしヘッドを支持するアーム４０３とを備え、アーム４０３はガイド４０５にＸ軸方向に移動自在に取り付けられている。アーム４０３は、動力伝達機構（図示せず）を介して、ガイド４０５の端部に設置されたモータ４０７によって駆動される。ガイド４０５は、台１００上に支持板４０９によって取り付けられている。
【００３３】
剥がしヘッド４０１は、上あご４１１と下あご４１３とで成るテープチャック４１２を備え、上あご４１１をシリンダ４１５で上下動させることによってテープチャック４１２を開閉する。剥がしヘッド４０１には、テープチャック４１２内に接着テープＴが存在するかどうか検出するテープ検出センサ４１７（例えば光電センサ等、図１０参照）が取り付けられている。
【００３４】
次にヒーターカッター部５００について説明する。図９（Ａ）はヒーターカッター部の拡大平面図、（Ｂ）は側面図である。また図１３にはヒーターカッター部５００の正面図が描かれている。ヒーターブロック５０１内には、棒状のヒーター５０３が埋設され、ヒーターブロック５０１の下端にはヒーター工具５０５がネジ５０７で固定されている。ヒーター工具５０５の下端には図９（Ｂ）に示すような凹凸が形成され局所的に熱を与えるようになっている。また、ヒーター工具５０５は取替可能であり、ウェハの大きさやウェハ外周の曲率に応じて、異なる形状の工具を使用することができる。ヒーターブロック５０１は、２本のガイド棒５０６によってフレーム５０８に上下動（図のＺ軸方向）自在に取り付けられ、フレーム５０８に固定されたヒーター上下シリンダ５０９によって昇降する。
【００３５】
ヒーターブロック５０１を前後（Ｘ軸方向）から挟むように２枚の板状のテープ押えガイド５１１がフレーム５０８に取り付けられている。テープ押えガイド５１１は断熱性を有する部材、例えばポリイミド樹脂やポリエーテルエーテルケトン樹脂などから作成される。テープ押えガイド５１１の上端はフレーム５０８に固定され、下端は丸く形成され、フリーになっていて接着テープＴを押さえるようになっている。一方のテープ押えガイド５１１の側面には、カッター移動シリンダ５１３が取り付けられ（図９（Ａ））、このシリンダ５１３のピストン先端部にカッター刃５１５が取り付けられ、カッター刃５１５はシリンダ５１３の駆動によってＹ軸方向に往復動する。シリンダ５１３の下方には板状のテープ押え５１７が配置され、テープ押え５１７にはカッター刃５１５が通るためのスリット５１７ａが形成されている。
【００３６】
ヒーターカッター部５００は上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能である。すなわち、基板１０１に取り付けられたシリンダ５１９（図８）によってヒーターカッター部５００がＺ軸方向に移動する。
【００３７】
次にシート剥離部９５０の動作について、ステップ１からステップ８に分けて説明する。
【００３８】
（ステップ１：  ウェハセット）
可動アーム７０１によってウェハＷをテーブル２０３上にセットする。ウェハＷは、テーブル２０３上の該当するサイズの吸着溝２１９に合わせて截置され、その後バキューム装置（図示せず）が作動してウェハＷを吸着し、テーブル２０３はテープ繰出し部３００の直下へ移動する（図１０）。
【００３９】
テープ繰出し部３００においては、事前に接着テープＴがガイドローラ３０７、ピンチローラ３０３、テンションローラ３０５に順に掛けられ、接着テープＴの先端部近くはテープ押え３１５とテープ受け板３０９によって把持されている。また、テンションローラ３０５は駆動されており、接着テープＴには適当なバックテンションがかけられている。
【００４０】
このとき、剥がしヘッド部４００のテープチャック４１２は開いている。そして、剥がしヘッド部４００はＸ軸方向にテープ繰出し部３００へ向って移動する。なお、この剥がしヘッド部４００の移動は、上記テーブル２０３の移動と同時に行ってもよい。
【００４１】
（ステップ２：  接着テープ先端部把持）
図１１に示すように、剥がしヘッド部４００はテープ受け板３０９を押し、これによりテープ受け板３０９が後退し、接着テープＴの先端はテープチャック４１２の開口部へ挿入される。このとき接着テープＴはテンションローラー３０５とピンチローラー３０３とによって挟持され、さらにテープ押えガイド３０６によって後方を押えられているので、テープ受け板３０９のみが後退しテープ受け板３０９につられて接着テープＴが後退することはなく、接着テープＴの先端は確実にテープチャック４１２の開口部へ挿入される。接着テープＴ先端がセンサ４１７で検知されるとテープチャック４１２が閉じ接着テープＴ先端が把持される。次にテンションローラ３０５によるバックテンションを解除し、テープ押え３１５は上昇して接着テープＴから離れる。
【００４２】
（ステップ３：  接着テープ引き出し）
図１２に示すように、剥がしヘッド部４００をＸ軸方向に沿ってテープ繰出し部３００から離れる方へ移動させ、接着テープＴを引き出す。このときテンションローラ３０５は作動してバックテンションがかかっている。
【００４３】
（ステップ４：  テープ熱圧着、切断）
図１３に示すように、ヒーターカッター部５００が下降し、テープ押えガイド５１１が接着テープＴをウェハＷの近くまで押し下げる。接着テープＴはテープ受け板３０９上でテープ押え５１７，３１５によって押えられる。その後、ヒーター上下シリンダ５０９が駆動されてヒーター工具５０５が接着テープＴをウェハＷの先端部の保護シートＦに数秒間押し付け、接着テープＴを保護シートに熱圧着する。このときテーブル２０３の位置はウェハＷの大きさに応じて調整しておく。テーブル２０３は、接着テープＴの熱圧着までにヒーターカッター部５００の直下まで移動していればよい。続いて、カッター刃５１５がＹ軸方向に移動して接着テープＴが所定長に切断される。
【００４４】
（ステップ５：  テープ繰出し部、ヒーターカッター部上昇）
図１４に示すように、テープ繰出し部３００、ヒーターカッター部５００が上昇する。図に示すように、接着テープＴと保護シートＦとの接着点ＰはウェハＷの端部近傍にある。例えば、ウェハＷの端からの距離ｄが３mm以内である。
【００４５】
（ステップ６：  保護シート剥離）
図１５に示すように、剥がしヘッド４００をモータ４０７により図の右方向へ、テーブル２０３をモータ２１１により図の左方向へそれぞれ移動させ、剥がしヘッド４００によって保護シートＦを保持し引っ張って剥がしていく。このとき、剥がしヘッド４００による保持箇所はできるだけ保護シートＦに近くして引っ張り方向が水平になることが望ましい。それにより、ウェハＷにかかるストレスを最小にすることができ、また、ウェハＷとテーブル２０３との吸着もはずれにくくなる。剥がしヘッド４００の移動と同時にテーブル２０３も逆方向に移動するので、剥がし動作は短時間で終了する。
【００４６】
（ステップ７：  保護シート廃棄）
図１６に示すように、剥がしヘッド４００は所定位置まで移動するとテープチャック４１２を開き、接着テープＴおよび保護シートＦを、台１００内に収容した廃棄ボックス１０３に投下する。このとき上方から高圧エアを吹き付けるようにしてもよい。
【００４７】
（ステップ８：  ウェハ取り出し）
テーブル２０３は当初の位置に戻ると昇降テーブル２１７を上昇させ、その後ウェハＷを取り出す。この取り出しは可動アーム７０１によって行われる。
【００４８】
以上のように、接着テープＴを保護シートＦの端部に接着するので、従来のようにプレスローラによってウェハを押圧することもなく、ウェハ割れを防止することができ、ウェハの外径の大型化及びウェハの薄型化に対応することができる。接着テープとしては、上述したように、ウェハ端部の保護シートを接着するものであればよく、感熱性接着テープが好ましく用いられるが、端部すなわち小面積で強く接着できるものであれば他の接着テープも使用できる。
【００４９】
なお、接着テープＴとして感熱性接着テープを使用すれば、保護シートＦの一部を熱圧着するだけなので、従来のようにプレスローラによってウェハを押圧することもなく、ウェハ割れを防止することができる。また、粘着テープを使用する場合、保護シートの表面に研磨屑、切削屑や水が付着すると、粘着テープとの密着性が悪くなるため、保護テープを１回の引っ張りで剥がせないことがあったり、あるいは保護テープの表面をクリーニングする必要があった。しかし、感熱性接着テープを使用すれば、表面にごみや水等が付着しても接着可能である。しかも、感熱性接着テープは、室温状態で粘着性がないので搬送ローラの表面加工が不要、剥離シートが不要、というように取り扱いが容易である。そして、材料としてもヒートシール材等の安価な材料が使用でき、さらに接着力が強いので使用量は少なくて済み、省資源、低コストである。
【００５０】
さらに、上記装置のように、保護シートの端部を接着し、かつ感熱性接着テープを使用すれば、ウェハの端部は一般に電子回路が形成されていないので、熱圧着してもウェハに損傷を与えることがなく、感熱性接着テープの使用が容易になるという利点がある。
【００５１】
なお、上記装置においては、接着テープを所定長に切断する切断手段としてカッター刃を設けたが、これに限定されることなく種々の切断手段を用いることができる。さらに上記装置においてはこの切断手段を設けなくてもよい。例えば、はじめから適当な長さの接着テープを使用すれば、切断しなくても、そのような接着テープをそのまま保護シートＦの端部に接着して引っ張れば保護シートを剥がすことができる。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ウェハ等の板状部材を傷つけることなくシートを剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一例を示す保護シート剥離装置の平面図。
【図２】ウェハ供給部を図１の矢印Ａの方向に見た図。
【図３】オリフラアライメント部を図１の矢印Ｂの方向に見た図。
【図４】オリフラアライメント部の平面図。
【図５】ＵＶ照射部を図１の矢印Ｃの方向に見た図。
【図６】シート剥離部の正面図。
【図７】シート剥離部の側面図。
【図８】シート剥離部の平面図。
【図９】ヒーターカッター部の平面図及び側面図。
【図１０】シート剥離部の動作を説明する図。
【図１１】シート剥離部の動作を説明する図。
【図１２】シート剥離部の動作を説明する図。
【図１３】シート剥離部の動作を説明する図。
【図１４】シート剥離部の動作を説明する図。
【図１５】シート剥離部の動作を説明する図。
【図１６】シート剥離部の動作を説明する図。
【符号の説明】
１００  台部
２００  テーブル部
３００  テープ繰出し部
４００  剥がしヘッド部
５００  ヒーターカッター部
５０５  ヒーター工具
５１５  カッター刃
６００  ウェハ供給部
７００  ウェハ搬送部
８００  オリフラアライメント部
９００  ＵＶ照射部
９５０  シート剥離部
Ｗ  半導体ウェハ
Ｆ  保護シート
Ｔ  接着テープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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