(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
分極された圧電材料で少なくとも一部が構成されるものであって、所定の上面には、インクを噴射する凹形状の複数の噴射チャンネルと、インクを噴射しない凹形状の複数の非噴射チャンネルとが形成されるとともに、所定の第１方向において前記噴射チャンネルと前記非噴射チャンネルとが互いに間隔を空けて交互に配置されたアクチュエータ基板と、
前記複数の噴射チャンネル及び前記複数の非噴射チャンネルの内部にそれぞれ形成された複数の電極と、
前記アクチュエータ基板の前記上面に固定されたカバープレートと、
前記アクチュエータ基板の前記所定方向と直交し且つ前記上面と平行な第２方向における一端部側の側端面に接合されるとともに、前記噴射チャンネルにインクを分配するマニホールドとを備え、
前記電極を通じて前記アクチュエータ基板に電圧を印加することにより、前記アクチュエータ基板を変形させ、前記噴射チャンネル内のインクに圧力を与えてそのインクを噴射するインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記アクチュエータ基板の前記上面に、前記複数の噴射チャンネルを前記アクチュエータ基板の前記一端部側の側端面及び他端部側の側端面に開口するように前記第２方向に延在して形成するとともに、前記複数の非噴射チャンネルを前記他端部側の側端面のみ開口するように前記第２方向に延在して形成する第１の工程と、
前記複数の噴射チャンネル及び前記複数の非噴射チャンネルの内部に複数の電極それぞれを形成する第２の工程と、
前記アクチュエータ基板の前記上面における、前記一端部における前記非噴射チャンネルと離れた部分に、前記複数の噴射チャンネル内の前記複数の電極と接続される導電体層を形成する第３の工程と、
前記アクチュエータ基板の前記上面と反対側の下面に、前記複数の非噴射チャンネル内の前記複数の電極とそれぞれ接続される複数の接続端子と、前記複数の噴射チャンネル内の前記複数の電極とそれぞれ接続される共通接続端子とを形成する第４の工程と、
前記アクチュエータ基板の前記上面に前記カバープレートを固定する第５の工程と、
前記カバープレートが、前記アクチュエータ基板の前記一端部側の側端面と面一となるように調整する第６の工程と、
前記第６の工程の後、前記アクチュエータ基板の前記所定方向と直交し且つ前記上面と平行な第２方向における一端部側の側端面に前記マニホールドを接合する第７の工程とを備え、
前記第２の工程は、前記噴射チャンネルおよび前記非噴射チャンネルの内部を含め前記アクチュエータの前記上面全体に亘って導電体層を形成した後、前記噴射チャンネルおよび非噴射チャンネルの内部を除く前記上面のみ前記導電体層を除去して、各チャンネルごとの導電体層を独立した電極とするものであり、
前記第３の工程は、前記アクチュエータ基板の前記上面における前記一端部側に、前記第１方向に延びる溝を形成する工程を有し、前記第２工程で前記導電体層を形成する際に該溝内に導電体層を形成し、さらに、前記第２の工程で導電体層を除去する際に該溝内の導電体層を残すものであることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、インクジェット式記録装置は、記録用紙に文字や図形を記録できるように、インク液滴を噴射する多数のノズルを有するインクジェットヘッドを備えている。このようなインクジェットヘッドとして、インクを噴射するようにノズルに連通された噴射チャンネルと、インクを噴射しない非噴射チャンネルとを交互に備え、両チャンネル間の隔壁を駆動電界により屈曲させて噴射チャンネルの容積を変化させることによって、インク噴射を行うように構成されたものが知られている。
【０００３】
このようなインクジェットヘッドを製造する場合には、まず、図１３に示すように、圧電材料からなるアクチュエータ基板１０１の上面にその前端面から後端面にかけて、インクを噴射するための複数の噴射チャンネル１０２を形成するとともに、その噴射チャンネル１０２の両側に、インクを噴射しない複数の非噴射チャンネル１０３を前端面から後端面に達しない位置まで形成する。そして、非噴射チャンネル１０３の前端に連続してアクチュエータ基板１０１の下面へ延びる縦溝１０４を形成する。この後、両チャンネル１０２，１０３および縦溝１０４内も含めたアクチュエータ基板１０１の全表面に、導電層（金属薄膜）を形成する。そして、アクチュエータ基板１０１の上面の導電層を除去して、両チャンネル１０２，１０３の内面の導電層を上面から見てそれぞれ独立させる。
【０００４】
また、非噴射チャンネル１０３の底面から縦溝１０４の底面にかけて導電層を線状に除去する分割溝１０６ａを形成することによって、その非噴射チャンネル１０３の両側面の導電層をそれぞれ独立した電極１０７とする。また、図１６，１７に示すように、アクチュエータ基板１０１の下面の導電層に、複数の分割溝１０６ｂ，１０６ｃを形成することによって、複数の接続端子１０８を形成する。各接続端子１０８は、１つの噴射チャンネル１０２を挟む２つの電極１０７に、２つ縦溝１０４内の導電層を介して接続される。一方、噴射チャンネル１０２の内面の電極１０９は、図１７に示すようにアクチュエータ基板１０１の後端面の導電層１１０を介して、接続端子１０８の周囲の１つの共通端子１１１に接続している。
【０００５】
そして、図１４，１５に示すように、アクチュエータ基板１０１の上面に、複数の噴射チャンネル１０２および非噴射チャンネル１０３を覆ってカバープレート１２３を接着し、その後、アクチュエータ基板１０１とカバープレート１２３の前端面を研削して一平面にそろえるとともに、アクチュエータ基板１０１前端面の導電層を除去して両チャンネル１０２，１０３の内面の導電層を完全に独立させる。アクチュエータ基板１０１とカバープレート１２３の前端面に、噴射チャンネル１０２に対応したノズル穴１２２ａを有するノズルプレート１２２を接着し、後端面に、噴射チャンネル１０２に対してインクを供給するマニホールド１２１を接着する。図１４，１５において、１２４は接着剤層である。
【０００６】
接続端子１０８および共通端子１１１は、フレキシブル配線板１１２の導電パターン１１２ａを介して、駆動電圧を給電する記録装置の制御部に接続される。
そして、噴射チャンネル１０２内の電極１０９を接地し、その噴射チャンネル１０２の両側の非噴射チャンネル１０３内の電極１０７に電圧を印加することで、噴射チャンネル１０２両側の隔壁を変形させ、噴射チャンネル１０２内のインクを噴射することができるようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、各噴射チャンネル１０２の電極１０９を共通端子１１１に接続するために、マニホールド１２１が接合される後端面の導電層１１０を利用しているので、カバープレート１２３をアクチュエータ基板１０１に接着した後、カバープレート１２３とアクチュエータ基板１０１の後端面を平面に揃える加工を行うことができない。このため、カバープレート１２３とアクチュエータ基板１０１との間に段差や凹凸ができ、マニホールド１２１を接着したときに、後端面とマニホールド１２１の端面との間に隙間が形成されやすく、インクが漏れたり、エアが侵入したりする。
【０００８】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたもので、マニホールドとアクチュエータ基板およびカバープレートとの接合部からのインク漏れ、エアの侵入を少なくしたインクジェットヘッドおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、分極された圧電材料で少なくとも一部が構成されるものであって、所定の上面には、インクを噴射する凹形状の複数の噴射チャンネルと、インクを噴射しない凹形状の複数の非噴射チャンネルとが形成されるとともに、所定の第１方向において前記噴射チャンネルと前記非噴射チャンネルとが互いに間隔を空けて交互に配置されたアクチュエータ基板と、前記複数の噴射チャンネル及び前記複数の非噴射チャンネルの内部にそれぞれ形成された複数の電極と、前記アクチュエータ基板の前記上面に固定されたカバープレートと、前記アクチュエータ基板の前記所定方向と直交し且つ前記上面と平行な第２方向における一端部側の側端面に接合され、前記噴射チャンネルにインクを分配するマニホールドとを備え、前記電極を通じて前記アクチュエータ基板に電圧を印加することにより、前記アクチュエータ基板を変形させ、前記噴射チャンネル内のインクに圧力を与えてそのインクを噴射するインクジェットヘッドの製造方法であって、前記アクチュエータ基板の前記上面に、前記複数の噴射チャンネルを前記アクチュエータ基板の前記一端部側の側端面及び他端部側の側端面に開口するように前記第２方向に延在して形成するとともに、前記複数の非噴射チャンネルを前記他端部側の側端面のみ開口するように前記第２方向に延在して形成する第１の工程と、前記複数の噴射チャンネル及び前記複数の非噴射チャンネルの内部に複数の電極それぞれを形成する第２の工程と、前記アクチュエータ基板の前記上面における、前記一端部における前記非噴射チャンネルと離れた部分に、前記複数の噴射チャンネル内の前記複数の電極と接続される導電体層を形成する第３の工程と、前記アクチュエータ基板の前記上面と反対側の下面に、前記複数の非噴射チャンネル内の前記複数の電極とそれぞれ接続される複数の接続端子と、前記複数の噴射チャンネル内の前記複数の電極とそれぞれ接続される共通接続端子とを形成する第４の工程と、前記アクチュエータ基板の前記上面に前記カバープレートを固定する第５の工程と、前記カバープレートが、前記アクチュエータ基板の前記一端部側の側端面と面一となるように調整する第６の工程と、前記第６の工程の後、前記アクチュエータ基板の前記所定方向と直交し且つ前記上面と平行な第２方向における一端部側の側端面に前記マニホールドを接合する第７の工程とを備え、前記第２の工程は、前記噴射チャンネルおよび前記非噴射チャンネルの内部を含め前記アクチュエータの前記上面全体に亘って導電体層を形成した後、前記噴射チャンネルおよび非噴射チャンネルの内部を除く前記上面のみ前記導電体層を除去して、各チャンネルごとの導電層を独立した電極とするものであり、前記第３の工程は、前記アクチュエータ基板の前記上面における前記一端部側に、前記第１方向に延びる溝を形成する工程を有し、前記第２工程で前記導電体層を形成する際に該溝内に導電体層を形成し、さらに、前記第２の工程で導電体層を除去する際に該溝内の導電体層を残すものであることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
【００１０】
【００１１】
【００１２】
【００１３】
【００１４】
【００１５】
ここで、第１の工程〜第７の工程は、必ずしもこの順番で行う必要はなく、適宜順番を入れ代えることは可能である。
【００１６】
【００１７】
【００１８】
【００１９】
【００２０】
【００２１】
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に沿って説明する。
【００２３】
図１はインクジェットヘッドの各要素を分解して示す図である。図１において、インクジェットヘッド１は、アクチュエータ基板２を備え、その上面側に、インクを噴射する複数の噴射チャンネル３Ａと、その噴射チャンネル３Ａの両側に設けられインクを噴射しない複数の非噴射チャンネル３Ｂとが隔壁４によって相互に隔てて形成されている。また、アクチュエータ基板２は、チタン酸ジルコン酸鉛系（ＰＺＴ）のセラミックス材料からなる上側圧電材料層２Ａと下側圧電材料層２Ｂとが接着剤層（図示せず）を介して積層して構成され、各圧電材料層２Ａ，２Ｂの圧電材料は、相互に反対方向（それぞれアクチュエータ基板２の厚さ方向）に分極処理されている。よって、前記隔壁４も、分極された圧電材料で少なくとも一部が構成されていることとなる。なお、前記圧電材料には、チタン酸鉛系（ＰＴ）のセラミックス材料を用いることもできる。
【００２４】
また、前記噴射チャンネル３Ａは、アクチュエータ基板２の前端面２ｅから後端面２ｄにかけて、上側および下側圧電材料層２Ａ，２Ｂにわたる深さで形成されている。一方、前記非噴射チャンネル３Ｂは、アクチュエータ基板２の前端面から後端面の手前まで、上側および下側圧電材料層２Ａ，２Ｂにわたる深さで形成され、その後端部において立ち上げられた立ち上がり部２ａによって、後端部が閉塞されている。各非噴射チャンネル３Ｂの前端は、アクチュエータ基板の下面２ｃに達する縦溝５と接続されている。噴射チャンネル３Ａと非噴射チャンネル３Ｂとは、隔壁４を挟んで、交互に平行に配置されており、それらのチャンネル列の両端には、非噴射チャンネル３Ｂが配置されている。なお、立ち上がり部２ａは、隔壁４と一体に連続し、かつ上面が相互に面一になるように形成されている。
【００２５】
噴射チャンネル３Ａおよび非噴射チャンネル３Ｂがなす列の外側、すなわち該列の端部の非噴射チャンネル３Ｂのさらに外側には、非噴射チャンネル３Ｂと同形状の捨て溝３Ｃが形成され、非噴射チャンネル３Ｂと同様にその前端側に縦溝６が形成されている。
【００２６】
噴射チャンネル３Ａに面した両隔壁４の側面には、一体に連続した電極１１が形成されている。アクチュエータ基板２の後端面寄り上面２ｂには、噴射チャンネル３Ａ内の電極１１を捨て溝３Ｃ内の導電層２４に接続する導電体層１２が形成されている。導電体層１２は、立ち上がり部２ａの頂部では幅が狭く、非噴射チャンネル３Ｂ内の電極とは絶縁間隔を維持するように形成され、捨て溝３Ｃ付近では幅が広く、捨て溝３Ｃ内の導電層２４に接続されている。捨て溝３Ｃ内の導電層は、図２に示すように縦溝６内の導電層をへてアクチュエータ基板下面２ｃの共通接続端子１６に接続されている。
【００２７】
非噴射チャンネル３Ｂに面した両隔壁４の側面には、それぞれ電極１４が形成され、両電極１４は、非噴射チャンネル３Ｂの底面に沿った第１の分割溝１３ａによって相互に独立している。第１の分割溝１３ａは、縦溝５の底面に沿った第２の分割溝１３ｂに接続され、さらに第２の分割溝１３ｂは、図２に示すように下面２ｃの第３の分割溝１３ｃに接続され、第３の分割溝１３ｃに直交して第４の分割溝１３ｄが形成され、下面２ｃには、複数の個別接続端子１５が形成されている。これにより、１つの噴射チャンネル３Ａを挟む両隔壁４，４の電極１４，１４は、縦溝５内の導電層をへて、下面の１つの個別接続端子１５に接続されることとなる。複数の個別接続端子１５と共通接続端子１６とは、第３および第４の分割溝１３ｃ，１３ｄによって分離されている。
【００２８】
また、図２に示すように、アクチュエータ基板下面２ｃの個別接続端子１５および共通接続端子１６には、配線部材すなわちフレキシブルプリント配線板１７が接続されるようになっている。フレキシブルプリント基板１７には、個別接続端子１５および共通接続端子１６に対応して基板側接続端子１７ａおよび基板側共通接続端子１７ｂが形成されている。各端子１７ａ，１７ｂは、図示しない駆動回路に接続されている。
【００２９】
よって、１つの噴射チャンネル３Ａを挟む両隔壁４，４とその両面の電極１１，１４，１４とを一組のアクチュエータとして、電極１１を接地し、電極１４，１４に駆動電圧を印加することで、図４に示すように、隔壁４に駆動電界を発生し、上側および下側圧電材料層２Ａ，２Ｂがそれぞれ反対方向に菱形に変形しかつ対向する隔壁４において対称に変形し、噴射チャンネル３Ａにインク滴の噴射のための大きな容積変化を与えることができることになる。
【００３０】
アクチュエータ基板２の上面２ｂ側には、複数の噴射チャンネル３Ａおよび非噴射チャンネル３Ｂを覆って、セラミックス材料または樹脂材料からなる平板状のカバープレート７が、例えばエポキシ系の接着剤を用いて液密状に接着固定されている。これにより、噴射チャンネル３Ａは、両端が開口するとともに、非噴射チャンネル３Ｂは、一端部に立ち上がり部２ａを有するので、非噴射チャンネル３Ｂの後端部を閉塞し、前端を開口することになる。
【００３１】
アクチュエータ基板２およびカバープレート７の後端面には、複数の噴射チャンネル３Ａにインクを分配するマニホールド８が接着剤により接合されている。
マニホールド８の中心部には、インク供給口８ａが形成されており、図示しないインクタンクからインクが供給されるようになっている。
【００３２】
また、アクチュエータ基板２およびカバープレート７の前端面には、各噴射チャンネル３Ａに１対１で対応する複数のノズル穴９ａを有するノズルプレート９が接着剤により接合されている。
【００３３】
ここで、アクチュエータ基板２は、噴射チャンネル３Ａの両側に位置する隔壁４が変形してインクを噴射する構造であるため、噴射チャンネル３Ａの間に空間をおく必要があることから、非噴射チャンネル３Ｂを形成しているのであるが、この非噴射チャンネル３Ｂは、捨て溝３Ｃとともにカバープレート７を接着剤にて固定する際の接着剤の逃げとしての機能も併せて有する。この機能を達成するためには、捨て溝３Ｃは、間隔を置いて複数個あることが望ましい。
【００３４】
続いて、上記インクジェットヘッド１の製造方法について説明する。
【００３５】
まず、圧電材料層２Ａ，２Ｂを構成するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる平板を、１辺が噴射チャンネルの長さの２倍よりもやや大きいサイズに加工し接着剤層（図示せず）を介して積層し、前記アクチュエータ基板２個分に相当する大きさの基板材２１を形成する。
【００３６】
このようにして形成された基板材２１に、図５に示すように２個の前記アクチュエータ基板の後端面同士が接合し、２個分の噴射チャンネルおよび非噴射チャンネルが直列に接続した状態となるように、両チャンネルをダイヤモンドブレードにより切削する（第１の工程）。すなわち、基板材２１の上面に、２つの噴射チャンネル３Ａ，３Ａに対応する溝を、基板材２１の一側から他側に貫通した状態で形成する。一方、非噴射チャンネル３Ｂ，３Ｂを、中央部分に立ち上がり部２ａ，２ａを後端面同士が接合し合った状態に残して形成する。
【００３７】
このとき、各非噴射チャンネル３Ｂに連通する縦溝５も同時に形成するとともに、溝３Ａ，３Ｂがなす列の外側に、前記非噴射チャンネル３Ｂと同形状である捨て溝３Ｃおよびそれに連通する縦溝６も、さらに形成する。
【００３８】
なお、２つの噴射チャンネル３Ａに対応する溝と、非噴射チャンネル３Ｂおよび捨て溝３Ｃおよび縦溝５，６とは、どちらを先に形成してもよい。また、捨て溝３Ｃは、加工性を考えて、非噴射チャンネル３Ｂと同形状としているが、異なる形状とすることができるのはいうまでもない。
【００３９】
次に図６に示すように、溝３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，５，６の内部を含め基板材２１の各面全体にわたって、真空蒸着や無電解メッキにより、ニッケルなどの金属薄膜からなる導電層２４を形成したする。そして図７に示すように、溝３Ａ，３Ｂ，３Ｃの内部を除く上面のみ、すなわち隔壁４の上端面に沿った面を、平面状に研削または研磨して、その部分の導電層２４を除去して、各溝３Ａ，３Ｂごとの導電層を電気的に独立した電極とする。また、捨て溝３Ｃ内の導電層２４も、それらと電気的に独立したものとされる。これにより、噴射チャンネル３Ａに対応する溝内には２つの電極１１に相当する長さの電極が形成される（第２の工程）。
【００４０】
それから、非噴射チャンネル３Ｂおよび縦溝５の底面の導電層をレーザ加工またはダイヤモンドブレードにより、線状に除去することによって、第１および第２の分割溝１３ａ，１３ｂを形成し、非噴射チャンネル３Ｂおよび縦溝５の内面の導電層を各側面毎に分割する。これにより、非噴射チャンネル３Ｂ内の導電層が、対応する側面において、それぞれ独立した２つの電極１４として形成される（第２の工程）。なお、基板材２１の下面の導電層は、縦溝５，６内の導電層を介して非噴射チャンネル３Ｂ内の電極１４および捨て溝３Ｃ内の導電層と接続した状態となる。
【００４１】
基板材２１の上面における中央部分（２個のアクチュエータ基板２の非噴射チャンネル３Ｂの後端部の間の部分すなわちアクチュエータ基板の後端面に対応する部分）に、導電体層１２，１２を形成する（第３の工程）。この導電体層は、図８に示すように、後述する切断線をまたがって２個分の導電体層の幅を有し、複数の噴射チャンネル３Ａに対応する溝を横切る方向に延び、捨て溝３Ｃ内の導電層に接続する。また導電体層１２，１２は、第２の工程で導電層が除去された基板材２１の上面における中央部分に、例えば導電体層１２，１２に対応する形状のマスクを用いて蒸着またはスパッタ等により形成する。なお、第１〜第４の分割溝１３ａ〜１３ｄを形成する工程は、導電体層１２，１２を形成した後に行ってもよい。
【００４２】
ついで、図９に示すように、溝３Ａ〜３Ｃを覆って、基板材２１の上面側に、カバープレート７の２個分に対応する大きさのカバープレートを接合する（第５の工程）。
【００４３】
そして、基板材２１の下面の導電層をレーザ加工またはダイヤモンドブレードにより線状に除去して、第３〜第４の分割溝１３ｃ〜１３ｄを形成し、複数の接続端子１５，１６を形成する（第４の工程）。なお、第３〜第４の分割溝１３ｂ〜１３ｄに対応する溝２９は、第２の工程において、第１および第２の分割溝１３ａ，１３ｂを形成するときに一緒に形成することも可能である。
【００４４】
その後、図１０に示すように、アクチュエータ基板２およびカバープレート７の前端面に相当する基板材２１およびカバープレートの前後両端部を研磨または研削して、平面に形成するとともに、アクチュエータ基板２の前端面２ｅの導電層を除去する。これにより、電極１１と１４との分離が完全になる。
また、基板材２１およびカバープレートを、２個のアクチュエータ基板２の後端面に相当する位置Ｋで切断する。基板材２１とプレート部材２８を重ねた状態で切断しているから、アクチュエータ基板２とカバープレート７の後端面は一平面になる（第６の工程）。
【００４５】
第６の工程の後、前記アクチュエータ基板２とカバープレート７との後端面に、前記マニホールド８を接合する（第７の工程）。また、前端面にノズルプレート９を接合する。
【００４６】
その後、フレキシブルプリント基板１７の端子１７ａ，１７ｂとアクチュエータ基板２の接続端子１５および共通接続端子１６とが一致するように、はんだ付けすることによって、インクジェットヘッド１として組み立てる。
【００４７】
前記実施の形態においては、導電体層１２は、複数の噴射チャンネル３Ａおよび非噴射チャンネル３Ｂとは別に設けられた溝である捨て溝３Ｃの内面を経て接続端子１６に接続するようにしているが、そのほか、図１に示すように、最列端の非噴射チャンネル３Ｂ−１内の、噴射チャンネルと反対側の導電層は、電極を構成せず共通接続端子１６に接続しているから、これに導電体層１２を接続することもできる。
【００４８】
図１１，１２は本発明の他の実施の形態を示すものである。
【００４９】
この実施の形態では、基板材２１の切断線をまたがる幅の溝２５を形成し、その溝２５内に２個分の導電体層１２，１２を形成する。
【００５０】
すなわち、基板材２１に、噴射チャンネル３Ａに対応する溝、非噴射チャンネル３Ｂを形成するする際、溝２５をダイヤモンドブレードにより、噴射チャンネル３Ａに対応する溝に交差するように形成する。捨て溝３Ｃは、この溝２５と接続する長さに形成する。そして、基板材２１の各面にわたって導電層２４を被着する際、溝２５の内面にも導電層を形成する。
【００５１】
基板材２１の上面の導電層２４を研削または研磨によって平面状に除去すると、図１１に示すように、溝２５内の導電層は、噴射チャンネル３Ａ内の電極１１および捨て溝３Ｃ内の導電層と接続した状態で残り、前記実施の形態の導電体層１２と同等の機能を発揮する。
【００５２】
基板材２１にカバープレート７を接着した後、１個分のアクチュエータ基板２およびカバープレート７に切断する際、溝２５の中央に沿って切断する。その後、マニホールド８およびノズルプレート９を接着することは前記実施の形態と同様である。ただ、溝２５から捨て溝３Ｃをへてインクが漏出することを防止するために、基板材２１にカバープレート７を接着する際、最外列の噴射チャンネル３Ａに対応する溝と捨て溝３Ｃとの間の部分の溝２５をシール剤で塞いでおく。
また、マニホールド８内の流路は、捨て溝３Ｃの位置には対応しない大きさとする。
【００５３】
この実施の形態では、溝２５の幅を狭くしてもその深さによって導電体層１２の大きさを確保することができ、噴射チャンネル３Ａ内の電極１１と確実に接続し、かつ非噴射チャンネル内の電極とは絶縁を保つことができる。また、導電体層１２を他の工程の中で同時に形成することができるので、前記実施の形態に比して工数を節減することができる。
【００５４】
なお、前記各実施の形態において、導電体層１２をアクチュエータ基板２の端まで形成し、アクチュエータ基板側面の導電層をへて、共通接続端子１６に接続することもできる。
【００５５】
また、接続端子１５，１６を、アクチュエータ基板２の前記上面および前記後端面を除けば、下面だけでなく他の側面に形成することも可能である。
【００５６】
さらに、少なくともアクチュエータ基板２個分の大きさの基板材２１を用いて製作しているが、アクチュエータ基板１個分の基板材を用いることもできる。
【００５７】
【発明の効果】
本発明は、以上に説明したような形態で実施され、以下に述べるような効果を奏する。
【００５８】
【００５９】
【００６０】
【００６１】
【００６２】
請求項１の発明は、アクチュエータ基板の上面における一端部と非噴射チャンネルとの間の部分に、前記複数の噴射チャンネル内の電極と接続する導電体層を形成し、前記アクチュエータ基板の前記上面側および前記一端部を除く一側面に、前記導電体層および前記複数の非噴射チャンネル内の電極と接続する複数の接続端子を形成し、それから、複数の噴射チャンネルおよび非噴射チャンネルを覆って、前記アクチュエータ基板の上面側に前記カバープレートを接合し、それらの一端部を平面に形成した後、マニホールドを接合するようにしているので、マニホールドを平面状の前記一端部に接合することが可能となり、それらの接合部の隙間を減少させることができ、インク漏れやエアの侵入を少なくすることができる。前記噴射チャンネルおよび非噴射チャンネルの内部を含め前記アクチュエータ基板の上面全体に亘って導電層を形成した後、前記噴射チャンネルおよび非噴射チャンネルの内部を除く上面のみ前記導電層を除去するようにしているので、簡単に、各チャンネルごとの導電層を独立した電極とすることができる。また、アクチュエータ基板の上面全体に亘って導電層を形成した後除去することで、該溝内に前記導電体層を形成するので、導電体層を他の工程の中で同時に形成することができ、工数を節減することができる。
【００６３】
【００６４】
【００６５】
【００６６】
【００６７】
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施の形態のインクジェットヘッドの各構成要素を分解して示す分解斜視図である。
【図２】  アクチュエータ基板の下面の電極と、フレキシブルプリント配線板との接続の説明図である。
【図３】  アクチュエータ基板を後方下面側から見た斜視図である。
【図４】  インクジェットヘッドの動作の説明図である。
【図５】  インクジェットヘッドの製造方法の説明図である。
【図６】  インクジェットヘッドの製造方法の説明図である。
【図７】  インクジェットヘッドの製造方法の説明図である。
【図８】  インクジェットヘッドの製造方法の説明図である。
【図９】  インクジェットヘッドの製造方法の説明図である。
【図１０】  インクジェットヘッドの製造方法の説明図である。
【図１１】  他の実施の形態のインクジェットヘッドの製造方法の説明図である。
【図１２】  図１１のアクチュエータ基板を後方上面側から見た斜視図である。
【図１３】  従来のアクチュエータ基板の斜視図である。
【図１４】  従来のインクジェットヘッドの噴射チャンネルの部分の断面図である。
【図１５】  従来のインクジェットヘッドの非噴射チャンネルの部分の断面図である。
【図１６】  従来のアクチュエータ基板の下面の電極と、フレキシブルプリント配線板の接続端子との接続の説明図である。
【図１７】  従来のアクチュエータ基板を後方下面側から見た斜視図である。
【符号の説明】
２    アクチュエータ基板
２ａ  立ち上がり部
２ｂ  上面
２ｃ  下面
３Ａ  噴射チャンネル
３Ｂ  非噴射チャンネル
３Ｃ  捨て溝
４    隔壁
８    マニホールド
９    ノズルプレート
１１    電極
１２    導電体層
１４    電極
１５    接続端子
１６    共通接続端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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