(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部に１つ以上の５０μｍ〜１ｍｍ程度の円形または多角形のオリフィス、ノズル等の開口部を有し、その一部または全体を電極として配置し、且つ、１０００ｃｐｓ〜１００００００ｃｐｓの高粘度物質からなる蛍光体形成用組成物を充填し、前記蛍光体形成用組成物を開口部から吐出する吐出手段を用い、開口部から、前記蛍光体形成用組成物を吐出してプラズマディスプレイパネル用の背面板の障壁間を蛍光体形成用組成物で埋めた後に、乾燥、熱処理を施して蛍光体層を障壁間および障壁側面に形成する蛍光体層形成方法であって、吐出手段内の蛍光体形成用組成物に圧力をかけ開口部に蛍光体形成用組成物のメニスカスを形成し、更に前記電極を介して吐出手段の開口部と背面板間に第１の所定電圧値のパルス電圧を印加して、開口部に蛍光体形成用組成物のメニスカスを縦長に伸長した伸長部を形成した状態で、伸長部の先端から背面板の障壁間に蛍光体形成用組成物を垂れ流すようにして、且つ、プラズマディスプレイパネル用の背面板と吐出手段とを背面板の障壁に沿う方向に相対的に移動させながら、蛍光体形成用組成物を背面板の障壁間に充填するもので、背面板の障壁間への蛍光体形成用組成物の充填に先立ち、伸長部を形成した状態で、伸長部先端位置を障壁間の所定位置に制御する、伸長部先端位置決め工程を施すものであり、前記伸長部先端位置決め工程が、伸長部を形成した状態で、吐出手段の開口部と背面板間の、前記伸長部先端近傍に設けられた、パルス電圧を印加時の電気力線を制御するための微小な針状物に、伸長部の先端を近づけ、あるいは接触させ、電極を介して吐出手段の開口部と背面板間に第２の所定電圧値以上のパルス電圧を印加することにより伸長部の先端からその一部を分離して、あるいは伸長部の先端から垂れ流すようにして、蛍光体形成用組成物を針状物に付着させ、更に、該微小な針状物から蛍光体形成用組成物を背面板の障壁間の所定の位置に落下させ、蛍光体形成用組成物を障壁間に埋めるものであることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用の背面板の蛍光体層形成方法。
【請求項２】
請求項１において針状物の表面が、フッ素加工されているか、テフロンまたはパーフルオロフッ素化合物からなることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用の背面板の蛍光体層形成方法。
【請求項３】
請求項１ないし２において、蛍光体形成用組成物が開口部の開口径の１／１０以下の粒径の粒子を含んでいることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用の背面板の蛍光体層形成方法。
【請求項４】
請求項１ないし３において、蛍光体形成用組成物が１〜１０μｍの平均粒径の粒子を含んでいることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用の背面板の蛍光体層形成方法。
【請求項５】
請求項１ないし４において、パルス電圧の周波数が１０〜１００ｋＨｚであることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用の背面板の蛍光体層形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネル用の背面板の蛍光体層形成方法に関し、特に、１０００ｃｐｓ〜１００００００ｃｐｓの高粘度物質からなる蛍光体用組成物を吐出し、これを背面板の所定位置の障壁間に埋め込み、必要に応じ、乾燥熱処理を施して蛍光体層を障壁間、障壁側面に形成する蛍光体層の形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、プラズマディスプレイパネル（以下ＰＤＰとも記す）は、その奥行きの薄いこと、軽量であること、更に鮮明な表示と液晶パネルに比べ視野角が広いことにより、種々の表示装置に利用されつつある。
一般に、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、２枚の対向するガラス基板にそれぞれ規則的に配列した一対の電極を設け、その間にネオン、キセノン等を主体とするガスを封入した構造となっている。そして、これらの電極間に電圧を印加し、電極周辺の微小なセル内で放電を発生させることにより、各セルを発光させて表示を行うようにしている。特に情報表示をするためには、規則的に並んだセルを選択的に放電発光させている。
【０００３】
ここで、ＰＤＰの構成を、図１６に示すＡＣ型ＰＤＰの１例を挙げて説明しておく。
図１６はＰＤＰ構成斜視図であるが、分かり易くするため前面板（ガラス基板６１０）、背面板（ガラス基板６２０）とを実際より離して示してある。
図１６に示すように、２枚のガラス基板６１０、６２０が互いに平行に且つ対向して配設されており、両者は背面板となるガラス基板６２０上に互いに平行に設けられた障壁（セル障壁とも言う）６３０により、一定の間隔に保持されている。
前面板となるガラス基板６１０の背面側には、放電維持電極である透明電極６４０とバス電極である金属電極６５０とで構成される複合電極が互いに平行に形成され、これを覆って、誘電体層６６０が形成されており、更にその上に保護層（ＭｇＯ層）６７０が形成されている。
また、背面板となるガラス基板６２０の前面側には前記複合電極と直交するように障壁６３０間に位置してアドレス電極６８０が互いに平行に形成されており、更に障壁６３０の壁面とセル底面を覆うように螢光面６９０が設けられている。
障壁６３０は放電空間を区画するためのもので、区画された各放電空間をセルないし単位発光領域と言う。
このＡＣ型ＰＤＰは面放電型であって、前面板上の複合電極間に交流電圧を印加し、で放電させる構造である。この場合、交流をかけているために電界の向きは周波数に対応して変化する。そして、この放電により生じる紫外線により螢光体６９０を発光させ、前面板を透過する光を観察者が視認できるものである。
なお、ＤＣ型ＰＤＰにあっては、電極は誘電体層で被膜されていない構造を有する点でＡＣ型と相違するが、その放電効果は同じである。
また、図１６に示すものは、ガラス基板６２０の一面に下地層６６７を設けその上に誘電体層６６５を設けた構造となっているが、下地層６６７、誘電体層６６５は必ずしも必要としない。
【０００４】
そして、ＡＣ型のプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、例えば、図１５に示すようにして、作製されていた。
図１５はＡＣ型のＰＤＰ作製工程を示したもので、背面板、前面板をそれぞれ別個の工程で作製し、両者を用いてＰＤＰをアセンブリするものである。
先ず、背面板の作製工程を説明する。
尚、Ｓ５１〜Ｓ７４は処理ステップを表す。
はじめに、ガラス基板を用意し（Ｓ５１）、ガラス基板上に電極配線用ペーストを一面に塗布、乾燥し、これを製版処理を経て、所定形状に加工して、あるいは、ガラス基板に厚膜印刷法により電極配線用ペーストを所定形状に印刷した後、これを乾燥、焼成し、電極配線を形成する。（Ｓ５２）
次いで、形成された電極上にガラス基板面を覆うように全面に誘電体層を形成する。（Ｓ５３）
次いで、このガラス基板の誘電体層上に障壁（バリアリブとも言う）を、印刷法ないしサンドブラスト法により形成する。（Ｓ５４）
印刷法の場合、ガラス基板に厚膜印刷法により障壁（バリアリブ）形成用ペーストを所定のパターンに印刷し、これを乾燥する。障壁の層厚は厚く（例えば１００〜２００μｍの厚さ）１回の厚膜印刷ではこの膜厚が得られないため、障壁形成用ペーストの印刷および乾燥は複数回行う。所定の膜厚が得られた後、ペーストの焼成がなされる。
サンドブラスト法の場合は、障壁形成材料をガラス基板上に塗布し、更にこの上に所定のレジストパターンを形成した後、研磨砂を吹きかけレジストパターンに対応した形状に障壁形成材料を加工して、これを焼成して障壁を形成する。
更に、障壁が形成された基板に厚膜印刷法により蛍光体用ペースト（例えば、酸化インジウム含有の螢光体用ペースト）を所定パターンに印刷し、次いでその乾燥及び焼成を行い（Ｓ５５）、蛍光体層を形成して背面板を作製する。（Ｓ５６）
【０００５】
次に、前面板の作製工程を説明する。
先ず、ガラス基板を用意し（Ｓ６１）、ガラス基板に例えばＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）の蒸着層をパターニングする。（Ｓ６２）
パターニングは通常のフォトリソ工程（リゾグラフィー技術）により行う。
次いで、Ｃｒ−Ｃｕ−Ｃｒ（クロム、銅、クロム）の３層を蒸着やスパッタリングにより成膜し、同様にフォトリソ工程（リゾグラフィー技術）によりパターニングして、パターニングされたＩＴＯ膜とともに、放電用の電極配線を形成する。（Ｓ６３）
次いで、ペースト状にした低融点ガラスのベタ印刷により、透明誘電体層を形成して（Ｓ６４）、更に保護層（ＭｇＯ）を蒸着して（Ｓ６５）、前面板が得られる。（Ｓ６６）
【０００６】
次いで、このようにして得られた、背面板、前面板を用い、以下のようにしてＰＤＰを作製する。
先ず、前面板及び背面板の位置合わせを行い、その状態で両基板の縁部分にシール用鉛ガラスを塗布し、次いでシールが行われる。（Ｓ７１）
次に、両基板（背面板と前面板）及びシール部で囲われる空隙内が排気管を介して排気された後、この排気管を介して上述の空隙に放電ガスが封入される。（Ｓ７２）
その後、排気管の焼きちぎり（チップオフ）を行い、ドライバＩＣ取付けを行い（Ｓ７３）、ＰＤＰが得られる。（Ｓ７４）
【０００７】
上記のように、ＰＤＰの作製に際し、これに使用する背面板、前面板は、それぞれ、各種工程を経て、電極配線部、障壁部、螢光体部、誘電体層部等が形成され、併せてＰＤＰとなる。
【０００８】
このようなＰＤＰの作製における蛍光体部（以降蛍光体パターンとも言う）の形成には、障壁形成後、光硬化型の感光性の蛍光体パターン形成用組成物を、背面板の障壁形成面側全面に塗布した後、これをフォトマスクを用い、露光、現像等を行うフォトリソ工程（製版工程）により行い、その形状を決めるフォトリソ法が採られる場合がある。
この方法においては、背面板の障壁の頂部は、前面板の電極位置にあたる為、現像後、障壁の頂部に蛍光体層が残らないことが必要で、蛍光体層の形成の際、背面板自体の（焼成等の）処理による伸縮や、フォトマスクとのアライメントによる位置ズレの発生もあり、通常、フォトマスクの露光幅は障壁間隔よりも若干小さめに作成したものが使用されている。
しかし、このような従来のフォトリソ法を用いた蛍光体パターンの形成方法においては、障壁の側面全部、障壁間の底部全部に確実に蛍光体パターンを、障壁の側面部、障壁間の底部に密着性良く、形成することは困難であった。
図１２に示すように、現像処理後、障壁３１３間の底部３１５Ａの障壁側の隅に、空間３５１が発生したり、また、障壁３１３の側面３１３Ａに沿うように隙間３５２が発生することがあった。
尚、図１２中、３１１はガラス基板、３１２は電極、３１３は障壁、３１３Ａは側面、３１４ＲはＲ（赤）色蛍光体パターン、３１４ＧはＧ（緑）色蛍光体パターン、３１４ＢはＢ（青）色蛍光体パターン、３１５は誘電体層、３１５Ａは底部である。
この方法の場合、工程が多くコスト高になると言う問題に加え、蛍光体パターンを、障壁の側面部、障壁間の底部に密着性良く、形成することは困難であった。
【０００９】
別に、特開平６−５２０５号公報に記載の、スクリーン印刷を行った後にサンドブラストを用いる方法、特開平５−１４４３７５号公報に記載の、架橋剤を塗布した後にスクリーン印刷を用いる方法が提案されているが、いずれもスクリーン印刷を用いており、精度的な問題がある。
【００１０】
蛍光体パターン形成における、これらの問題に対応するため、特開平６−１６２０１９号公報に記載の、インクジエットヘッドの噴出口から、蛍光体を含むインキ（蛍光体組成物とも言う）を噴出させて、ガラス基板（背面板）上に蛍光体パターンを描画する方法が提案されている。
しかし、ノズルからの噴出するインク滴径は、略ノズル径に相当するのが一般的で、プラズマディスプレイパネルの背面板の障壁間のような微細な分に、これを滴下するには、ノズル径自体も小さくする必要があるが、蛍光体を含むインキ（蛍光体組成物）自体が高粘度であるため、さらには、蛍光体を含むインキ（蛍光体用組成物）には、ガラスフリット等の径の大きい粒子を含まれているため、この方法では、頻繁にノズルの目詰まりを起こしており、その対応が求められていた。
また、プラズマディスプレイパネルの表示品質向上のため、障壁自体の狭ピッチ化が進む中、この方法による、蛍光体を含むインキ（蛍光体組成物とも言う）の狭い障壁間への充填（描画）は、精度的に難しくなってきた。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来のプラズマディスプパイパネルの背面板への蛍光体パターンの形成においては、各方法とも、それぞれ、種々の問題があり、品質的にも対応でき、安定的に、比較的簡単に行える蛍光体パターンの形成方法が求められていた。
本発明はこれに対応するもので、具体的には、下部に１つ以上の５０μｍ〜１ｍｍ程度の円形または多角形のオリフィス、ノズル等の開口部を有し、その一部または全体を電極として配置し、且つ、１０００ｃｐｓ〜１００００００ｃｐｓの高粘度物質からなる蛍光体形成用組成物を充填し、前記蛍光体形成用組成物を開口部から吐出する吐出手段を用い、開口部から、前記蛍光体形成用組成物を吐出してプラズマディスプレイパネル用の背面板の障壁間を埋めるようにし、必要に応じて乾燥、熱処理を施して蛍光体層を障壁間および障壁側面に形成する蛍光体層形成方法であって、精細なパターンを蛍光体形成用組成物で背面板上に形成することができ、且つ、蛍光体形成用組成物の粘度が非常に大きかったり、蛍光体形成用組成物を構成する粒子径が大きい場合にもノズルの目詰まりを起こさず使用することができるプラズマディスプレイパネル用の背面板上への蛍光体層の形成方法を提供しようとするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明のプラズマディスプレイパネル用の背面板の蛍光体層形成方法は、下部に１つ以上の５０μｍ〜１ｍｍ程度の円形または多角形のオリフィス、ノズル等の開口部を有し、その一部または全体を電極として配置し、且つ、１０００ｃｐｓ〜１００００００ｃｐｓの高粘度物質からなる蛍光体形成用組成物を充填し、前記蛍光体形成用組成物を開口部から吐出する吐出手段を用い、開口部から、前記蛍光体形成用組成物を吐出してプラズマディスプレイパネル用の背面板の障壁間を蛍光体形成用組成物で埋めた後に、乾燥、熱処理を施して蛍光体層を障壁間および障壁側面に形成する蛍光体層形成方法であって、吐出手段内の蛍光体形成用組成物に圧力をかけ開口部に蛍光体形成用組成物のメニスカスを形成し、更に前記電極を介して吐出手段の開口部と背面板間に第１の所定電圧値のパルス電圧を印加して、開口部に蛍光体形成用組成物のメニスカスを縦長に伸長した伸長部を形成した状態で、伸長部の先端から背面板の障壁間に蛍光体形成用組成物を垂れ流すようにして、且つ、プラズマディスプレイパネル用の背面板と吐出手段とを背面板の障壁に沿う方向に相対的に移動させながら、蛍光体形成用組成物を背面板の障壁間に充填するもので、背面板の障壁間への蛍光体形成用組成物の充填に先立ち、伸長部を形成した状態で、伸長部先端位置を障壁間の所定位置に制御する、伸長部先端位置決め工程を施すものであり、前記伸長部先端位置決め工程が、伸長部を形成した状態で、吐出手段の開口部と背面板間の、前記伸長部先端近傍に設けられた、パルス電圧を印加時の電気力線を制御するための微小な針状物に、伸長部の先端を近づけ、あるいは接触させ、電極を介して吐出手段の開口部と背面板間に第２の所定電圧値以上のパルス電圧を印加することにより伸長部の先端からその一部を分離して、あるいは伸長部の先端から垂れ流すようにして、蛍光体形成用組成物を針状物に付着させ、更に、該微小な針状物から蛍光体形成用組成物を背面板の障壁間の所定の位置に落下させ、蛍光体形成用組成物を障壁間に埋めるものであることを特徴とするものである。
そして、上記において、針状物の表面が、フッ素加工されているか、テフロンまたはパーフルオロフッ素化合物からなることを特徴とするものである。
そしてまた、上記において、蛍光体形成用組成物が開口部の開口径の１／１０以下の粒径の粒子を含んでいることを特徴とするものである。
また、上記において、蛍光体形成用組成物が１〜１０μｍの平均粒径の粒子を含んでいることを特徴とするものである。
また、上記において、パルス電圧の周波数が１０〜１００ｋＨｚであることを特徴とするものである。
【００１３】
【作用】
本発明のプラズマディスプレイパネル用の背面板の蛍光体層形成方法は、このような構成にすることにより、精細なパターンを蛍光体形成用組成物で背面板上に形成することができ、且つ、蛍光体形成用組成物の粘度が非常に大きかったり、蛍光体形成用組成物を構成する粒子径が大きい場合にもノズルの目詰まりを起こさず使用することができる、プラズマディスプレイパネル用の背面板上への蛍光体層の形成方法の提供を可能としている。  即ち、吐出手段内の蛍光体形成用組成物に圧力をかけ開口部に蛍光体形成用組成物のメニスカスを形成し、更に前記電極を介して吐出手段の開口部と背面板間に第１の所定電圧値のパルス電圧を印加して、開口部に蛍光体形成用組成物のメニスカスを縦長に伸長した伸長部を形成した状態で、伸長部の先端から背面板の障壁間に蛍光体形成用組成物を垂れ流すようにして、蛍光体形成用組成物を背面板の障壁間に充填するもので、開口部を伸長部の径に比べ大きくとれ、径の大きい粒子を含む高粘度物質からなる蛍光体組成物であっても、開口部の目詰まりを起こすことなく、微小の径の蛍光体組成物を形成できるものとしている。
特に、背面板の障壁間への蛍光体形成用組成物の充填に先立ち、伸長部を形成した状態で、伸長部先端位置を障壁間の所定位置に制御する、伸長部先端位置決め工程を施すことにより、安定的な充填を可能としている。
【００１４】
具体的には、伸長部先端位置決め工程が、伸長部を形成した状態で、吐出手段の開口部と背面板間の、前記伸長部先端近傍に設けられた、パルス電圧を印加時の電気力線を制御するための微小な針状物に、伸長部の先端を近づけ、あるいは接触させ、電極を介して吐出手段の開口部と背面板間に第２の所定電圧値以上のパルス電圧を印加することにより伸長部の先端からその一部を分離して、あるいは伸長部の先端から垂れ流すようにして、蛍光体形成用組成物を針状物に付着させ、更に、該微小な針状物から蛍光体形成用組成物を背面板の障壁間の所定の位置に落下させ、蛍光体形成用組成物を障壁間に埋めるものであることにより、安定的な充填を可能としている。
尚、伸長部先端位置決め工程において、その箇所の障壁間に蛍光体形成用組成物が充填されていくと、伸長部の先端が、障壁間の所定位置で、充填された蛍光体形成用組成物面上に接触した状態となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図を基に説明する。
図１本発明のプラズマディスプレイパネル用の背面板の蛍光体層形成方法の実施の形態の第１の例の特徴部である伸長部先端位置決め工程を説明するための概略図で、図２は実施の形態の第２の例の特徴部である伸長部先端位置決め工程を説明するための概略図で、図３は本発明のプラズマディスプレイパネル用の背面板の蛍光体層形成方法の工程を説明するための概略断面図で、図４は蛍光体組成物の障壁間への充填を実施するためのディスペンサの概略構成図で、図５は針状物の別の形態を示した図で、図６は図１に示すディスペンサの吐出原理を説明するための図、図７はパルス電圧の印加と分離を説明するための図で、図８は吐出手段の他の例の概略斜視図で、図９は蛍光体組成物の分離制御を説明するための図で、図１０はパルス電圧の印加と分離を説明するための図である。
尚、図１（ａ）は図４に示す装置の伸長部１８付近を拡大して示した図で、図１（ｂ）は図１（ａ）をＡ１−Ａ２側からみた図で、図１（ｃ）は伸長部先端位置決め工程後の状態を示している。
また、図２（ａ）は、図１（ａ）に対応する位置での図で、図２（ｂ）は図２（ａ）をＢ１−Ｂ２側からみた図てある。
図１〜図１３中、１０は蛍光体組成物、１０ｒは赤色用蛍光体組成物、１０ｇは緑色用蛍光体組成物、１０ｂは青色用蛍光体組成物、１０Ａは蛍光体層、１０Ｒは赤色用蛍光体層、１０Ｇは緑色用蛍光体層、１０Ｂは青色用蛍光体層、１１は制御部、１２は容器、１３は開口部、１４は電極、１５は電源、１７はメニスカス、１８、１８Ａは伸長部、１９は滴、２０は針状物、２５は回転軸、３０は吐出手段、３５は加圧手段、４０は容器、４１は開口、５０は固定部、６０はステージ、８０は背面板、８１はガラス基板、８１Ａは底部、８５は障壁、８５Ａは頂部、８５Ｂは側面である。
【００１６】
本発明のプラズマディスプレイパネル用の背面板の蛍光体層形成方法の実施の形態の第１の例を図に基づいて、説明する。
本例は、図４に示すディスペンサを用いて実施するもので、下部に１つの円形のオリフィスからなる開口部１３を有し、オリフィスの一部を電極１４として配置し、且つ、蛍光体組成物１０を充填し、前記蛍光体組成物を開口部１３から吐出する吐出手段３０を用い、形成する各色の蛍光体層毎に、開口部１３から、前記蛍光体組成物１０を吐出して、吐出された蛍光体組成物１０を背面板８０の所定位置の障壁８５間に、障壁間の底部８１Ａと障壁の側面８５Ｂ全体が埋まり、且つ障壁の頂部８５Ａには触れないように充填し、充填された蛍光体組成物１０を乾燥、加熱処理して蛍光体層１０Ａを背面板８０の障壁８５間と障壁８５の側面８５Ｂに形成する、プラズマディスプレイパネル用の背面板８０への蛍光体組成物１０の形成方法である。
そして、蛍光体組成物１０の障壁間への埋め込みは、必要に応じて吐出手段内の蛍光体形成用組成物に圧力をかけ開口部に蛍光体形成用組成物にメニスカスを形成し、更に必要に応じて前記電極を介して吐出手段の開口部と背面板間に第１の所定電圧値のパルス電圧を印加して、開口部に蛍光体形成用組成物のメニスカスを縦長に伸長した伸長部を形成した状態で、伸長部の先端から背面板の障壁間に蛍光体形成用組成物を垂れ流すようにして、且つ、プラズマディスプレイパネル用の背面板と吐出手段とを背面板の障壁に沿う方向に相対的に移動させながら、蛍光体形成用組成物を背面板の障壁間に充填するものであるが、背面板の障壁間への蛍光体形成用組成物の充填に先立ち、伸長部を形成した状態で、伸長部先端位置を障壁間の所定位置に制御する、伸長部先端位置決め工程を行うものである。
【００１７】
各色の蛍光体組成物の背面板障壁間への充填を行うが、それぞれ、伸長部先端位置決めを行った後に、所定の障壁間への充填を以下のようにして行う。
図１、図３に基づいて、説明する。
先ず、伸長部先端位置決め工程を以下のように行う。
予め、必要に応じて吐出手段３０内の蛍光体組成物１０に圧力をかけて開口部１３に蛍光体組成物１０のメニスカスを形成し、電極１４を介して吐出手段の開口部１３と背面板８０との間に第１の所定電圧値のパルス電圧を印加して、開口部１３に蛍光体組成物１０のメニスカスを縦長に伸長した伸長部１８を形成した状態としておく。
伸長部１８を維持するための第１の所定電圧値のパルス電圧は継続的にかけておく。
次いで、開口部と背面板８０間にパルス電圧を印加時の電気力線を制御するための微小な針状物２０を、図１（ａ）、図１（ｂ）に示すように、ほぼ障壁８５の高さで、障壁１８５間のほぼ中心に沿うように、置いておくと、伸長部１８の先端が針状物２０に近ずき、場合によっては接触する状態となる。
この状態で、電極１４を介して吐出手段の開口部１３と背面板８０間に第２の所定電圧値のパルス電圧を印加することにより、伸長部１８の先端よりその一部を分離する。
分離された蛍光体組成物１０（滴１９）は、微小な針状物２０に付着するが、その先端から障壁８５間へ落下して、障壁８５間へ堆積されていく。
そして、この箇所の障壁間に蛍光体形成用組成物が次第に充填されていくと、伸長部の先端が、障壁間の所定位置で、充填された蛍光体形成用組成物面上に接触した状態となる。
この状態で、針状物２０を除去し、吐出手段３０内の蛍光体組成物１０にかかる圧を適当に制御しておくと、図１（ｃ）に示すように、伸長部の先端が、障壁間のほぼ中心で、障壁間に充填されている蛍光体組成物１０の上面に接し、且つ、伸長部１８の先端から障壁間側へ、蛍光体組成物１０が垂れ流し状態で、流入される。
尚、図１（ｃ）では、針状物２０は省略して示してある。
これで、伸長部先端位置決めが行われたこととなる。
【００１８】
次いで、吐出手段３０内の蛍光体組成物１０にかかる圧を図４に示す加圧手段３５により適当に制御しながら、蛍光体組成物１０を伸長部１８から障壁８５間に垂れ流した状態で、且つ、プラズマディスプレイパネル用の背面板と吐出手段とを背面板の障壁に沿う方向に相対的に移動させながら、背面板の障壁間への蛍光体組成物の充填を行う。
本例では、ステージ６０を移動させ、ステージ６０上の媒体１６を吐出手段３０に対して、相対的に移動させながら蛍光  組成物１０の充填を行う。
障壁の頂部８５Ａには、蛍光体組成物１０が触れないように、且つ、障壁の側面８５Ｂ全体を覆うように、蛍光体組成物１０を障壁間に充填する。
伸長部１８の先端が当初に、電界の分布の安定した位置に制御されているため、継続して安定的に充填を行うことができる。
【００１９】
背面板の各障壁８５間への蛍光体組成物の充填は、このようにして行うが、必要に応じて、上記作業を繰り返す。
【００２０】
そして、プラズマディスプレイパネルの背面板全体にわたり、形成する各色の蛍光体層に対応した蛍光体組成物１０（赤色用蛍光体組成物１０ｒ、緑色用蛍光体組成物１０ｇ、青色用蛍光体組成物１０ｂ）を、それぞれ、所定の障壁８５間に充填させる。（図３（ａ））
【００２１】
次いで、乾燥、熱処理を施し、蛍光体層１０Ａ（赤色用蛍光体層１０Ｒ、緑色用蛍光体層１０Ｇ、青色用蛍光体層１０Ｂ）を障壁間と障壁の側面８５Ｂ全体を覆うように、背面板８０の全体に形成する。（図３（ｂ））
このようにして、各色の蛍光体層をそれぞれ所定の障壁間に充填して、蛍光体層の形成を行うことができる。
【００２２】
尚、図４に示すディスペンサにおいて、針状物２０と開口部１３の相対位置が所定の範囲内で可変としておけば、本例に方法において、更に、針状物と開口部の相対位置を適宜制御することにより、より精確な滴１９の背面板８０への付着位置制御を行える。
【００２３】
本例は、１０００ｃｐｓ〜１００００００ｃｐｓの高粘度物質からなる蛍光体組成物１０を背面板８０の障壁間への充填して、これを乾燥、加熱して蛍光体層を障壁間、障壁側面に形成する場合に適用でき、開口部の径としては５０μｍ〜１ｍｍ程度が好ましい。
１０００ｃｐｓ以下では対象物上に付着したドットの形状が維持できないため好ましくなく、また１００万ｃｐｓを超えるものでは蛍光体組成物１０のノズルヘの充墳が困難である。
また、吐出させる蛍光体組成物１０に含まれる粒子の径は、吐出開口径（５０μｍ〜１ｍｍ）のｌ／１０程度まで可能である。
本例に適用可能な蛍光体組成物１０としては、蛍光体、低融点ガラスからなるガラスフリット、バインダー樹脂、有機溶剤を混練してなり、更に増粘剤を加えても良い。
【００２４】
バインダー樹脂は、セルロース誘導体或いはアクリル共重合体で、具体的にはメチルセルロース、エチルセルロース、エトキシセルロース、メチルヒドロキシエチルセルロース、メチルヒドロキシプロピルセルロース、メチルヒドロキシプロピルセルロースフタレート、メチルヒドロキシプロピルセルロースアセテートサクシネート、ヒドロキシプロピルセルロース、セルロースプロピオネート、アセチルエチルセルロース、アセチルセルロース、ブチルセルロース、ベンジルセルロース等が挙げられる。
特に、蛍光体層形成用組成物を塗布し、乾燥した、感光性の蛍光体形成層１８４を水現像可能とするためには、水及び有機溶剤の双方に可溶性であるセルロース誘導体、例えば、ヒドロキシプロピルセルロースを選択して使用する。
【００２５】
また、使用する増粘剤としては、カゼイン、カゼインの塩等の蛋白質系、ポリビニルアルコール、脂肪族アマイド、アクリル共重合物系、ポリビニルピロリドン等のポリビニル系、ポリアクリル酸ナトリウム等のアクリル酸系、ポリエーテルジアルキルエステル等のポリエーテル系、ビニルメチルエーテル−無水マレイン酸共重合物の部分エステル等の無水マレイン酸系、及びアセチレングリコール等の有機系増粘剤、マイクロシリカ、カオリンベントナイト、タルク等の無機系増粘剤が挙げられるが、どれも塗料分野において公知である。
これら増粘剤は、蛍光体層形成用組成物１００重量部中で、０．５〜１０重量％を占める割合で使用することが好ましい。
【００２６】
蛍光体としては特に制限はなく、従来より知られているものを使用できる。
例えば、赤色蛍光体として、（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ3 ：Ｅｕ、ＹＯ3 ：Ｅｕ等、緑色蛍光体として、Ｚｎ2 ＳｉＯ4 ：Ｍｎ、ＢａＡｌ12Ｏ19：Ｍｎ、（Ｂａ、Ｓｒ、Ｍｇ）Ｏ・ａＡｌ2 Ｏ3 ：Ｍｎ等、青色蛍光体として、ＢａＭｇＡｌ14Ｏ23：Ｅｕ、ＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕ等が挙げられる。
【００２７】
有機溶剤としては、エーテル類、エーテルエステル類、エステル類、アミド類、アルコール類、ケトン類、アセテート類、ケトンエステル類、グリコール類、グリコールエステル類、スルホン類、スルホキシド類、ハロゲン化炭化水素類及び炭化水素類が挙げられる。
【００２８】
開口部１３としては、ノズル、オリフィス等のメニスカスを形成することができるものであれば良い。
【００２９】
電源１５の出力電圧としては周波数１０Ｈｚ〜１ｋＨｚが適用できる。
開口部１３の先端から、背面板１０までの距離としては０．１ｍｍ〜１０ｍｍが好ましい。
【００３０】
針状物２０としては、蛍光体組成物１０をそのまま背面板８０へ落とすため、滴１９をはじくことが好ましく、表面が、フッ素加工されているか、テフロンまたはパーフルオロフッ素化合物からなるものが好ましい。
【００３１】
ここで、図６、図７に基づいて、蛍光体組成物１０の分離を説明しておく。
蛍光体組成物１０が容器１２より充填されたオリフィスの開口部１３に所定の圧力を加えると、先端開口に突出したメニスカス１７が形成される。（図６（ａ））
この状態で図７に示すように、１０Ｈｚ〜１ｋＨｚ以下の繰り返し周波数での電圧値Ｖ１のパルス電圧を電極１４と対象物１６間（図１参照）に加えていくと、次第にメニスカス１７が下方へ伸長して伸長部１８が生成される。（図６（ｂ）■図６（ｃ））
電圧値Ｖ１のパルス電圧を繰り返し印加していくと、伸長部１８はあるところでのびなくなる。（図６（ｄ））
この状態は、蛍光体組成物の表面張力と、電界及ぴ重力による下方への引っ張り力とがバランスした状態である。
このとき、図７に示すように、電圧値Ｖ２のパルス電圧を印加すると、伸長部ｌ８がのぴて先端部が切断分離して、あるいは先端部が対象物に直接接触して切断分離し、対象物上に、蛍光体組成物の滴（ドットとも言う）１９が形成される。（図６（ｅ））
伸長部１８の先端が媒体（対象物）に直接接触しても、いなくても、伸長部１８の先端部の分離が起こる。
この状態で印加するパルス電圧を電圧値Ｖ１に戻すと、伸長部１８が若干収縮して短くなりその状態で安定し、伸長部１８の先端部での分離は行われなくなる。
さらに、パルス電圧の印加を停止すると、蛍光体組成物の表面張力によって伸長部１８は収縮し（図６（ｃ）■図６（ｂ））、図６（ａ）に示すメニスカス１７の状態に復帰する。
なお、上記の例におけるパルス電圧の電圧値Ｖ１、Ｖ２は蛍光体組成物の種類によって異なるので、物質の粘度、表面張力、の開口部１３の開口径等に応じて適宜電圧を変える必要がある。
メニスカス１７は吐出させる開口径と同じ径を有しているが、メニスカス先端からのびた伸長部１８の先端から分離される蛍光体組成物（滴１９）は、開口径よりはるかに小さい。
このように、大きな径の開口から小さく分離される蛍光体組成物（滴１９）が得られるので、蛍光体組成物を細線状に塗布したり、狭い領域に塗布するなど、広い応用が期待できる。
また、開口部の径を大きくすることにより１００万ｃｐｓ程度の蛍光体組成物であっても充填させて吐出させることができる。
【００３２】
分離される蛍光体組成物（滴１９）の形成は、図７に示すように、電圧値Ｖ２のパルス電圧の立ち上がり、立ち下がりのタイミングで行われ、この場合、１パルスに対して２つの滴１９が形成されるが、パルス電圧が印加される時間を極端に小さくしていくと、１パルスに対して１つの分離される蛍光体組成物（滴１９）が形成される。
勿論、図７では、パルス電圧が印加される時間が極端に小でない場合である。
図７中、丸印は、その時刻（タイミング）で１回の分離が行われることを示している。
更に、パルス電圧の電圧値の大きさを小さくしていくと、所定の電圧（電圧値Ｖｍ）以下で、分離は行われなくなる。
パルス電圧が印加される時間Ｔｗが極端に小になった場合には、前述の所定の電圧（電圧値Ｖ０）以上でも、１パルスに対し１つの分離される蛍光体組成物（滴１９）しか形成されないこともあるが、パルス電圧が前述の所定の電圧（電圧値Ｖ０）以上で、且つ、約１０ｍｍｓｅｃ以上の印加時間である場合には、印加時間によらず、パルス電圧の立ち上がり、立ち下がりのタイミングで分離がそれぞれ行われる。
【００３３】
したがって、例えば、所定の電圧（電圧値Ｖ０）より大きい、上記電圧値Ｖ３のパルス電圧と、所定の電圧（電圧値Ｖｍ）より小さい、電圧値Ｖ４のパルス電圧を用い、図９のようにかけて、蛍光体組成物の分離を制御することができる。図９中、丸印は、図７と同様、その時刻（タイミング）で１回の分離が行われることを示している。
即ち、電圧値Ｖ３のパルス電圧の立ち上がり、立ち下がりのタイミングで分離を行い、電圧値Ｖ４のパルス電圧の印加により、伸長部１８を所定の長さに保ちもので、電圧値Ｖ４のパルス電圧の印加により、電圧値Ｖ３のパルス電圧の立ち上がり、立ち下がりのタイミングで分離がスムーズに行えるように制御するものである。
尚、伸長部１８の作成は、所定の電圧（図７の電圧値Ｖ１のパルス電圧に相当）をかけて行うが、必ずしもＶ１と上記Ｖ４とを同じにする必要はないが、作業上、Ｖ１、Ｖ４とをＶｍに近い（Ｖｍよりも小さい）、同じ値とすることもある。
勿論、図９は、パルス電圧が印加される時間Ｔｗが極端に小でない場合である。
【００３４】
尚、図６（ｄ）の状態から、図１０に示すようにパルス電圧をかけた場合にも、分離が見られることが知られている。
尚、図６（ｄ）の状態から、図１１に示すようにパルス電圧をかけた場合にも、分離が見られることが知られている。
この場合には、正負の２パルスの境に１回の分離が見られる。
また、図６（ｄ）の状態から図１２のようにかけた場合には、分離がみられないことも知られている。
尚、１０〜図１２中、丸印は、図７、図９と同様、その時刻（タイミング）で１回の分離が行われることを示している。
勿論  図１０〜図１２においてもは、パルス電圧が印加される時間Ｔｗは極端に小ではない。
【００３５】
図４に示す装置において、針状物２０を備えていない場合でも、図１１（ａ）に示すように、安定的に背面板の進行方向（太点線矢印）に滴１９が配列されていれば、針状ふへつ２０を備えていなくても良いが、実際には、種々の原因により、伸長部１８の先端位置が不安定となり、その結果、図１１（ｂ）に示すように、背面板８０の進行方向（太点線矢印）から、ばらついた位置に滴１９が付着されることとなる。
本例では、図４の装置（ディスペンサ）のように、パルス電圧を印加した際の電気力線を、針状物２０にて調整し、図１に示すように、滴１９を針状物２０の所定領域におき、更に、針状物２０の所定位置（図１（ａ））の針状物２０の先端部）から背面板８０の障壁８５間へ落とし、付着させるため、各滴１９の背面板８０への付着の際、背面板８０の進行方向からの位置のばらつきは殆ど発生しない。
このため、伸長部先端位置決めは精確に行われる。
【００３６】
（変形例）
本例では、１本のオリフィスからなる開口部１３を持つ装置（ディスペンサ）を各色毎に計３個用いたが、必ずしもこのような吐出手段３０を有するものに限定されない。
例えば、図８に示すように、容器４０の１面に多数の開口４１を形成した吐出装置を用い、容器４０内に蛍光体組成物を満たして加圧し、容器にパルス電圧を印加して開口４１から蛍光体組成物を吐出させるようにしても良い。
また、本例では、ステージ６０を移動させて、背面板８０と開口部１３の相対的な位置を変えながら、背面板８０の障壁８５間に、分離された蛍光体組成物１０を充填していくが、開口部１３の位置のみを移動させ、あるいは開口部１３の位置移動とステージの移動とを併せて背面板８０と開口部１３の相対的な位置を変えながら、分離された蛍光体組成物１０を充填していく方法でも良い。
また、図５に示すように軸２５を中心として回転が可能で、２０Ａの位置で分離された蛍光体組成物（滴１９）を受け、回転した状態（２０Ｂの状態）で、  分離された蛍光体組成物（滴１９）を背面板８０の障壁８５間へ充填させる方法を取り入れたものでも良い。
また、蛍光体組成物１０の種類に応じて適宜５０℃〜１５０℃程度に加熱しても良い。
【００３７】
次に、実施の形態の第２の例を挙げる。
本例は、伸長部先端位置決め工程が第１の例と若干異なるだけで、その他については、第１の例と同じである。
図２に基づいて、本例の伸長部先端位置決め工程のみを説明する。
本例の伸長部先端位置決め工程においては、図２に示すように、伸長部１８の先端から、針状物２０へ蛍光体組成物１０を垂れ流し、更に、針状物２０から、その蛍光体組成物１０を背面板の障壁８５間に落として、蛍光体形成用組成物を障壁間に埋めるものである。
本例の場合も、第１の例と同様、予め、必要に応じて吐出手段３０内の蛍光体組成物１０に圧力をかけて開口部１３に蛍光体組成物１０のメニスカスを形成し、電極１４を介して吐出手段の開口部１３と背面板８０との間に第１の所定電圧値のパルス電圧を印加して、開口部１３に蛍光体組成物１０のメニスカスを縦長に伸長した伸長部１８を形成した状態としておく。
伸長部１８を維持するための第１の所定電圧値のパルス電圧は継続的にかけておく。
次いで、開口部１３と背面板８０間にパルス電圧を印加時の電気力線を制御するための微小な針状物２０を、図２（ａ）、図２（ｂ）に示すように、ほぼ障壁８５の高さで、障壁１８５間のほぼ中心に沿うように、置いておくと、伸長部１８の先端が針状物２０に近ずき、吐出手段３０内の蛍光体組成物１０にかかる圧を適当に制御しておくと、図２（ａ）に示すように、伸長部の先端から針状物２０へ蛍光体組成物１０が垂れ流れ、更に針状物２０から障壁８5 間へと垂れ流れ堆積されていく。
そして、第１の例と同様、この箇所の障壁間に蛍光体形成用組成物が次第に充填されていくと、伸長部の先端が、障壁間の所定位置で、充填された蛍光体形成用組成物面上に接触した状態となる。
この状態で、針状物２０を除去し、吐出手段３０内の蛍光体組成物１０にかかる圧を適当に制御しておくと、第１の例と同様、図１（ｃ）に示すように、伸長部の先端が、障壁間のほぼ中心で、障壁間に充填されている蛍光体組成物１０の上面に接し、且つ、伸長部１８の先端から障壁間側へ、蛍光体組成物１０が垂れ流し状態で、流入される。
このようにして、伸長部先端位置決めが行われる。
【００３８】
本例の場合も、第１の例と同様、針状物２０を用いているため、伸長部先端位置決めは精確に行われる。
第２の例においても、変形例としては、図８に示すような吐出装置（手段）を用いてたものが挙げられる。
また、第２の例においても、蛍光体組成物１０の種類に応じて適宜５０℃〜１５０℃程度に加熱しても良い。
【００３９】
【発明の効果】
以上のように、本発明は、精細なパターンを蛍光体形成用組成物で背面板上に形成することができ、且つ、蛍光体形成用組成物の粘度が非常に大きかったり、蛍光体形成用組成物を構成する粒子径が大きい場合にもノズルの目詰まりを起こさず使用することができる、プラズマディスプレイパネル用の背面板上への蛍光体層の形成方法の提供を可能した。
これにより、プラズマディスプレイパネルの、精細化、大サイズ化、量産化への対応を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のプラズマディスプレイパネル用の背面板の蛍光体層形成方法の実施の形態の第１の例の特徴部である伸長部先端位置決め工程を説明するための概略図
【図２】本発明のプラズマディスプレイパネル用の背面板の蛍光体層形成方法の実施の形態の第２の例の特徴部である伸長部先端位置決め工程を説明するための概略図
【図３】本発明のプラズマディスプレイパネル用の背面板の蛍光体層形成方法の工程を説明するための概略断面図
【図４】ディスペンサの概略構成図
【図５】図２は針状物の別の形態を示した図
【図６】図１に示すディスペンサの蛍光体組成物の吐出原理を説明するための図
【図７】パルス電圧の印加と分離を説明するための図
【図８】吐出手段の他の例の概略斜視図
【図９】蛍光体組成物の分離制御を説明するための図
【図１０】パルス電圧の印加と分離を説明するための図
【図１１】パルス電圧の印加と分離を説明するための図
【図１２】パルス電圧の印加と分離を説明するための図
【図１３】分離される蛍光体組成物の位置の不安定さを説明するための図
【図１４】従来のフォトリソ法を用いた蛍光体パターンの形成方法における問題点を説明するための断面図
【図１５】プラズマディスプレイパネルの製造工程図
【図１６】プラズマディスプレイパネル用基板を説明するための図
【符号の説明】
１０          蛍光体組成物
１０ｒ        赤色用蛍光体組成物
１０ｇ        緑色用蛍光体組成物
１０ｂ        青色用蛍光体組成物
１０Ａ        蛍光体層
１０Ｒ        赤色用蛍光体層
１０Ｇ        緑色用蛍光体層
１０Ｂ        青色用蛍光体層
１１          制御部
１２          容器
１３          開口部
１４          電極
１５          電源
１７          メニスカス
１８          伸長部
１９          滴
２０          針状物
２５          回転軸
３０          吐出手段
３５          加圧手段
４０          容器
４１          開口
５０          固定部
６０          ステージ
８０          背面板
８１          ガラス基板
８１Ａ        底部
８５          障壁
８５Ａ        頂部
８５Ｂ        側面
【図１】
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【図２】
0004372880.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0004372880.tif 000008
【図８】
0004372880.tif 000009
【図９】
0004372880.tif 000010
【図１０】
0004372880.tif 000011
【図１１】
0004372880.tif 000012
【図１２】
0004372880.tif 000013
【図１３】
0004372880.tif 000014
【図１４】
0004372880.tif 000015
【図１５】
0004372880.tif 000016
【図１６】
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