(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを備え、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプが作動することにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製装置において、前記スパンガスの供給を開始する際に、前記開閉弁は、前記ポンプが所定時間作動した後に開くことを特徴とする校正用ガス調製装置。
【請求項２】
ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを備え、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプが作動することにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製装置において、前記スパンガスの供給を終了する際に、前記ポンプは、前記開閉弁が閉じた後も引き続き所定時間作動を続けることを特徴とする校正用ガス調製装置。
【請求項３】
ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを有し、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプが作動することにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製部と、供給されたガスを分析する分析部と、試料ガスが導入される試料ガス導入ラインと、前記校正用ガス供給ラインと前記試料ガス導入ラインのいずれか一方のラインを選択して前記分析部側にガスを流通させる切替部材とを備え、該切替部材により前記校正用ガス供給ライン側を選択することにより前記スパンガスを前記分析部に供給してスパン校正をするガス分析装置において、前記スパンガスの供給を開始するする際に、前記開閉弁は、前記ポンプが所定時間作動した後に開くことを特徴とするガス分析装置。
【請求項４】
ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを有し、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプが作動することにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製部と、供給されたガスを分析する分析部と、試料ガスが導入される試料ガス導入ラインと、前記校正用ガス供給ラインと前記試料ガス導入ラインのいずれか一方のラインを選択して前記分析部側にガスを流通させる切替部材とを備え、該切替部材により前記校正用ガス供給ライン側を選択することにより前記スパンガスを前記分析部に供給してスパン校正をするガス分析装置において、前記スパンガスの供給を終了する際に、前記ポンプは、前記開閉弁が閉じた後も引き続き所定時間作動を続けることを特徴とするガス分析装置。
【請求項５】
ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを有し、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプが作動することにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製部と、供給されたガスを分析する分析部と、試料ガスが導入される試料ガス導入ラインと、前記校正用ガス供給ラインと前記試料ガス導入ラインのいずれか一方のラインを選択して前記分析部側にガスを流通させる切替部材と、前記校正用ガス調製部の下流かつ前記切替部材の上流に配置されたオーバーフロー管とを備え、前記切替部材により前記校正用ガス供給ライン側を選択することにより前記スパンガス又は前記ゼロガスを前記分析部に供給してスパン校正又はゼロ校正するガス分析装置において、前記スパン校正又はゼロ校正を開始する際に、前記切替部材は、前記ポンプが所定時間作動した後に前記校正用ガス供給ライン側を選択することを特徴とするガス分析装置。
【請求項６】
ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを有し、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプが作動することにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製部と、供給されたガスを分析する分析部と、試料ガスが導入される試料ガス導入ラインと、前記校正用ガス供給ラインと前記試料ガス導入ラインのいずれか一方のラインを選択して前記分析部側にガスを流通させる切替部材と、前記校正用ガス調製部の下流かつ前記切替部材の上流に配置されたオーバーフロー管とを備えたガス分析装置において、前記切替部材が前記試料ガス導入ライン側を選択することにより前記分析部が前記試料ガスの分析を行っている期間に、前記ポンプは、前記開閉弁が閉じた状態で定期的に所定時間作動することを特徴とするガス分析装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、校正用ガス調製装置、及び校正用ガスを用いて分析部の校正を行うガス分析装置に関し、さらに詳しくは、高圧容器に充填された高濃度の標準ガスを希釈してスパン校正用のスパンガスとする校正用ガス調製装置及びガス分析装置に関する。なお、本明細書においてスパン校正とは、分析装置の所定の測定レンジにおける最大目盛付近の目盛値の校正だけでなく、最大目盛と最小目盛との間の目盛値の校正を含むものとし、係るスパン校正に用いる標準ガスをスパンガスとする。
【０００２】
【従来の技術】
環境大気中の汚染物質等、ガス中の微量成分を分析するガス分析装置では、分析部をゼロガス及び濃度既知のスパンガスにより定期的に校正することが行われている。この内、スパンガスについては、試料ガス中の分析対象成分が通常とりうる濃度範囲内またはそれに近い濃度とすることが求められる。
【０００３】
しかし、一般に、低濃度の標準ガスを保管することは安定性の点から困難なので、通常、高圧容器に充填した高濃度の標準ガスを、ゼロガスで希釈して用いることが行われている。例えば、環境基準が４０ｐｐｂである硫黄酸化物や窒素酸化物の分析装置では、４５ｐｐｍ又は９０ｐｐｍ程度の標準ガスを９０ｐｐｂにまで希釈してスパンガスとして用いることが行われている。
【０００４】
図１は、このようにしてスパンガスを得るガス分析装置１の基本的な構成を示すものである。図１において、１０はゼロガス供給ライン、２０は標準ガス供給ライン、３０は校正用ガス供給ラインで、これら３つのラインで校正用ガス調製装置が基本的に構成されている。また、４０は試料ガス導入ライン、５０は三方弁等の切替部材、６０は分析部である。
【０００５】
ゼロガス供給ライン１０は、ポンプ１１、精製器１２、流量コントローラ１３とを有し、材料ガス入口１４からポンプ１１により導入されたゼロガスの材料となるガスが精製器１２によって精製されて、所定流量のゼロガスが供給できるようになっている。なお、ゼロガスの材料ガスとしては、試料ガスと同じガス、例えば大気分析装置であれば大気を用いるのが簡便である。
【０００６】
標準ガス供給ライン２０は高圧容器２１、圧力調整器２２、開閉弁２３、流量コントローラ２４とを有し、高圧容器２１中の標準ガスを、開閉弁２３を開いたときに所定流量で供給できるようになっている。
【０００７】
校正用ガス供給ライン３０は、ゼロガス供給ライン１０と標準ガス供給ライン２０とが合流したもので、ポンプ１１を作動させたときの開閉弁２３の開閉状態により、ゼロガスと標準ガスが混合したスパンガス、又はゼロガスのみが校正用ガスとして供給できるようになっている。なお、３１は、校正用ガス供給ライン３０に設けられたオーバーフロー管で、切替部材５０を介して分析部６０に供給された残りの校正用ガスが排出されるようになっている。
【０００８】
試料ガス導入ライン４０は、試料ガス入口４１から、フィルタやサンプリングポンプ等（図示せず）を介して、試料ガスを導入できるようになっている。切替部材５０は、校正用ガス供給ライン３０と試料ガス導入ライン４０のいずれか一方のラインを選択して分析部６０側にガスを流通させるようになっている。
【０００９】
図１のガス分析装置において分析部の校正を行う場合、従来図６のようにポンプ１１、開閉弁２３、切替部材５０を動作させていた。すなわち、ゼロガスによる校正では、図６（ａ）に示すように、開閉弁２３を閉じたまま、校正開始時には、ポンプ１１をオンにするのと、切替部材５０を校正用ガスライン側にするのとを同時に行い、校正終了時には、ポンプ１１をオフにするのと、切替部材５０を試料ガスライン側にするのとを同時に行っていた。
【００１０】
また、スパンガスによる校正では、図６（ｂ）に示すように、校正開始時には、ポンプ１１をオンにするのと、開閉弁２３を開くのと、切替部材５０を校正用ガスライン側にするのとをすべて同時に行い、また、校正終了時には、ポンプ１１をオフにするのと、開閉弁２３を閉じるのと、切替部材５０を試料ガスライン側にするのとをすべて同時に行っていた。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
上記図６のようにして図１のガス分析装置を動作させる場合、以下のような問題点があった。
【００１２】
▲１▼スパン校正を開始する際、適切な濃度のスパンガスに先行して、高濃度の標準ガスが分析部６０に供給されてしまうことがあった。その結果、校正用ガス濃度が安定するまでに時間かかるだけでなく、校正用ガス供給ライン３０や分析部６０内に高濃度標準ガスが吸着されて、その後の校正や測定に誤差を与える虞があった。本発明者らが検討した結果、その原因は、ポンプ能力の劣化や一定の容量を有する精製器を通過する際の抵抗に起因して、ポンプを作動させて
も直ちにはゼロガスの供給圧が上がらないことにあることを見いだした。
【００１３】
▲２▼校正は、ゼロ校正を最後に行ってから終了するのが望ましい。しかし、手動校正の場合、時として、スパン校正を行ったまま校正を終了してしまうことがある。その場合、スパンガスが校正用ガス供給ライン３０や分析部６０内に残留
して、その後の測定や次回のゼロ校正に誤差を与える虞があった。
【００１４】
▲３▼校正している間試料ガスの測定ができなくなるので、できるだけ短時間で校正作業を終了させたいという要望がある。校正は、校正用ガスを導入したときの分析部６０の指示値が安定しないと行えないが、指示値が安定するまでの時間
が、必ずしも充分短いとは言えなかった。
【００１５】
▲４▼試料ガス測定中には、校正用ガス調製装置の配管内の気体が流動しないため、例えば配管材質から放出される微量の不純物等により校正用ガス調製装置の配管内の気体が徐々に汚染される懸念があった。
【００１６】
▲５▼標準ガスが開閉弁２３を閉じているにもかかわらず極僅かづつ漏洩している場合（いわゆるスローリーク）、極めて発見しにくい。このように僅かな漏洩であっても、校正用ガス調製装置の配管内の気体が流動していない試料ガス測定の間に、次回校正に影響を与える濃度の標準ガスが充満する虞がある。
【００１７】
▲６▼校正用ガス調製装置の配管内の気体が流動していない試料ガス測定中に、標準ガス供給ラインに残留する高濃度の標準ガスが、拡散によりゼロガス供給ライ
ンに入り、精製器１２を汚染する虞があった。
【００１８】
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、校正用ガス調製装置や分析部が汚染されることを防ぐと共に、仮に汚染された場合にも、ガス分析装置の測定精度に影響を与えない校正用ガス調製装置及びガス分析装置を提供することを課題とする。
【００１９】
本発明は上記課題を解決するために、ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを備え、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプが作動することにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製装置であって、以下のような特徴を有する校正用ガス調製装置を提供する。
【００２０】
まず、請求項１の校正用ガス調製装置は、前記スパンガスの供給を開始する際に、前記開閉弁は、前記ポンプが所定時間作動した後に開くことを特徴とする。これにより、ゼロガスの供給圧が充分上がってから、標準ガスが合流するので、適切な濃度のスパンガスに先行して、高濃度の標準ガスが分析部に供給されてしまうという問題を回避することができる。また、ゼロガス供給ラインや校正用ガス供給ラインに不純物や標準ガスの成分等が充満していても、スパンガス供給に先立ち装置外に流し出してきれいにしておくことができる。
【００２１】
また、請求項２の校正用ガス調製装置は、前記スパンガスの供給を終了する際に、前記ポンプは、前記開閉弁が閉じた後も引き続き所定時間作動を続けることを特徴とする。これにより、手動校正で、誤ってスパン校正を行ったまま校正を終了してしまった場合にも、スパンガスが校正用ガス供給ライン３０に残留して、次回のゼロ校正に誤差を与えるという不具合を解消することができる。
【００２２】
また、本発明は上記課題を解決するために、ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを有し、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプが作動することにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製部と、供給されたガスを分析する分析部と、試料ガスが導入される試料ガス導入ラインと、前記校正用ガス供給ラインと前記試料ガス導入ラインのいずれか一方のラインを選択して前記分析部側にガスを流通させる切替部材とを備え、該切替部材により前記校正用ガス供給ライン側を選択することにより前記スパンガスを前記分析部に供給してスパン校正をするガス分析装置であって、以下のような特徴を有するガス分析装置を提供する。
【００２３】
まず、請求項３のガス分析装置は、前記スパンガスの供給を開始するする際に、前記開閉弁は、前記ポンプが所定時間作動した後に開くことを特徴とする。これにより、ゼロガスの供給圧が充分上がってから、標準ガスが合流するので、適切な濃度のスパンガスに先行して、高濃度の標準ガスが分析部に供給されてしまうという問題を回避することができる。また、ゼロガス供給ラインや校正用ガス供給ラインに不純物や標準ガスの成分等が充満していても、スパン校正に先立ち装置外に流し出してきれいにしておくことができる。
【００２４】
また、請求項４のガス分析装置は、前記スパンガスの供給を終了する際に、前記ポンプは、前記開閉弁が閉じた後も引き続き所定時間作動を続けることを特徴とする。これにより、手動校正で、誤ってスパン校正を行ったまま校正を終了してしまった場合にも、スパンガスが校正用ガス供給ライン３０に残留して、次回のゼロ校正に誤差を与えるという不具合を解消することができる。
【００２５】
また、本発明は上記課題を解決するために、請求項５に記載の如く、ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを有し、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプが作動することにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製部と、供給されたガスを分析する分析部と、試料ガスが導入される試料ガス導入ラインと、前記校正用ガス供給ラインと前記試料ガス導入ラインのいずれか一方のラインを選択して前記分析部側にガスを流通させる切替部材と、前記校正用ガス調製部の下流かつ前記切替部材の上流に配置されたオーバーフロー管とを備え、前記切替部材により前記校正用ガス供給ライン側を選択することにより前記スパンガス又は前記ゼロガスを前記分析部に供給してスパン校正又はゼロ校正するガス分析装置において、前記スパン校正又はゼロ校正を開始する際に、前記切替部材は、前記ポンプが所定時間作動した後に前記校正用ガス供給ライン側を選択することを特徴とするガス分析装置を提供する。
【００２６】
これにより、ゼロガス供給ラインや校正用ガス供給ラインに不純物や標準ガスの成分等が充満していても、校正用ガスを分析部に供給するのに先立って、装置外に流し出してきれいにしておくことができる。このため、校正用ガスをその性状が安定してから分析部に導入できるので、切替部材により校正用ガス供給ライン側を選択した後、分析部の指示値が安定するまでの時間を短縮でき、ひいては校正作業によって試料ガスの測定ができない時間をできる限り短くすることができる。
【００２７】
さらに、本発明は上記課題を解決するために、請求項６に記載の如く、ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを有し、前記開閉弁を閉じた状態で前記ポンプが作動することにより前記ゼロガスを前記校正用ガス供給ラインから供給し、又は、前記開閉弁を開いた状態で前記ポンプが作動することにより前記標準ガスを前記ゼロガスで希釈して調製したスパンガスを前記校正用ガス供給ラインから供給する校正用ガス調製部と、供給されたガスを分析する分析部と、試料ガスが導入される試料ガス導入ラインと、前記校正用ガス供給ラインと前記試料ガス導入ラインのいずれか一方のラインを選択して前記分析部側にガスを流通させる切替部材と、前記校正用ガス調製部の下流かつ前記切替部材の上流に配置されたオーバーフロー管とを備えたガス分析装置において、前記切替部材が前記試料ガス導入ライン側を選択することにより前記分析部が前記試料ガスの分析を行っている期間に、前記ポンプは、前記開閉弁が閉じた状態で定期的に所定時間作動することを特徴とするガス分析装置を提供する。
【００２８】
これにより、試料ガス測定中にも校正用ガス調製装置の配管内や精製器内の気体を定期的に流動させ、かつ排出することができる。そのため、配管材質から放出される微量の不純物や、標準ガスのスローリーク、標準ガス供給ラインに残留する高濃度の標準ガスの拡散等によってゼロガス供給ライン等が汚染されても、次回校正時の校正用ガスの濃度や純度に影響を与えないように定期的にきれいにすることができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、図に沿って本発明の実施形態を説明する。なお、以下の図はいずれも図１に示すガス分析装置１の動作状態を説明するタイムチャートである。
図２は本発明の１実施形態であり、手動でゼロ校正を指示したときのガス分析装置１の動作内容を示すタイムチャートである。図２に示すように、切替部材５０により試料ガス導入ライン４０から校正用ガス供給ライン３０に切り替えるタイミングは、ポンプ１１を作動させるタイミングよりも若干、例えば１０秒程度遅らせるようになっている。なお、校正用ガス供給ライン３０側に切替部材５０を設定して、ゼロガスを分析部６０に供給する時間は、通常約２０分程度である。
【００３０】
この実施形態によれば、ゼロガス供給ライン１０や校正用ガス供給ライン３０に不純物や標準ガスの成分等が充満していても、ポンプ１１を作動させている間に、オーバーフロー管３１から装置外に流し出してきれいにしておくことができる。このため、分析部６０側に校正用ガス供給ラインを流通させるように切替部材５０により切り替えるときまでには、ゼロガスの純度が高まるので、ゼロガスに対する分析部の指示値が安定するまでの時間を短縮でき、ひいてはゼロ校正の作業によって試料ガスの測定ができない時間をできる限り短くすることができる。
【００３１】
図３は本発明の他の実施形態であり、手動でスパン校正を指示したときのガス分析装置１の動作内容を示すタイムチャートである。図３に示すように、開閉弁２３を開とするタイミングは、ポンプ１１を作動させるタイミングよりも若干、例えば１０秒程度遅らせるようになっている。また、切替部材５０により試料ガス導入ライン４０から校正用ガス供給ライン３０に切り替えるタイミングは、さらに若干、例えば１０秒程度送らせるようになっている。その後例えば２０分程度経過してから、開閉弁２３を閉とすると共に、切替部材５０により校正用ガス供給ライン３０から試料ガス導入ライン４０に切り替えるが、ポンプ１１は、同時には停止させず、さらに５分程度継続して作動させるようになっている。
【００３２】
この実施形態によれば、ゼロガスの供給圧が充分上がってから、標準ガスが合流するので、適切な濃度のスパンガスに先行して、高濃度の標準ガスが校正用ガス供給ライン３０や分析部６０に供給されてしまうという問題を回避することができる。
【００３３】
また、ゼロガス供給ライン１０等が汚染されていても、スパン校正に先立ち装置外に流し出してきれいにしておくことができる。さらに、スパンガスをその濃度が安定してから分析部に導入できるので、切替部材により校正用ガス供給ライン３０側を選択した後、分析部６０の指示値が安定するまでの時間を短縮でき、ひいてはスパン校正の作業によって試料ガスの測定ができない時間をできる限り短くすることができる。
【００３４】
また、誤ってスパン校正を行ったまま校正を終了してしまった場合にも、スパンガスが校正用ガス供給ライン３０や分析部６０内に残留して、その後の測定や次回のゼロ校正に誤差を与えるという不具合を解消することができる。
【００３５】
図４は本発明のさらに別の実施形態であり、分析部６０からの校正信号を受けて、一定周期で自動的にゼロスパン校正を行う場合のガス分析装置１の動作内容を示すタイムチャートである。図４に示すように、切替部材５０により試料ガス導入ライン４０から校正用ガス供給ライン３０に切り替えるタイミングは、ポンプ１１を作動させるタイミングよりも若干、例えば１０秒程度遅らせるようになっている。その後開閉弁２３を約２０分間ずつ閉から開、そして閉とし、その間に、分析部６０において、ゼロ校正、スパン校正、最終的なゼロ確認をできるようになっている。なお、ポンプ１１を停止するタイミングと、校正用ガス供給ライン３０側から試料ガス導入ライン４０側へと切替部材５０により切り替えるタイミングは、同時としてある。
【００３６】
この実施形態によれば、ゼロガス供給ライン１０等が汚染されていても、予めきれいにしておくことができる。このため、分析部６０側に校正用ガス供給ラインを流通させるように切替部材５０により切り替えるときまでには、ゼロガスの純度が高まるので、ゼロガスに対する分析部の指示値が安定するまでの時間を短縮でき、ひいてはゼロ校正の作業によって試料ガスの測定ができない時間をできる限り短くすることができる。また、最終的には、開閉弁２３を閉じてからもポンプ１１を作動させるので、スパンガスが校正用ガス供給ライン３０や分析部６０内に残留して、その後の測定や次回のゼロ校正に誤差を与えるという不具合を解消することができる。
【００３７】
図５は本発明のさらに別の実施形態であり、分析部６０からの校正信号を受けて、定期的に自動的にゼロスパン校正を行うガス分析装置１が、校正作業が終了してから、次の校正作業が開始するまでの期間内に、定期的に自動洗浄をする場合の動作内容を示すタイムチャートである。校正作業は、通常１週間か２週間に一度行うが、その校正作業と校正作業との間に、図５に示す如く例えば１日に一度、ポンプ１１のみを３分程度動作させるようになっている。
【００３８】
本実施形態によれば、切替部材５０により試料ガス導入ライン４０が選択されている試料ガス測定中にも校正用ガス調製装置の配管内や精製器内の気体を定期的に流動させ、かつ排出することができる。そのため、配管材質から放出される微量の不純物や、標準ガスのスローリーク、標準ガス供給ライン２０に残留する高濃度の標準ガスの拡散等によってゼロガス供給ライン１０やそこに設けられた精製器１２が汚染されても、次回校正時の校正用ガスの濃度や純度に影響を与えないように定期的にきれいにすることができる。
【００３９】
【発明の効果】
本発明によれば、ゼロガス供給ラインや校正用ガス供給ラインに不純物や標準ガスの成分等が充満していても、スパンガスやゼロガス供給に先立ち装置外に流し出してきれいにしておくことができる。このため、校正用ガスをその性状が安定してから分析部に導入できるので、校正作業によって試料ガスの測定ができない時間をできる限り短くすることができる。
【００４０】
また、スパン校正において、適切な濃度のスパンガスに先行して、高濃度の標準ガスが分析部に供給されてしまうという問題を回避することができる。
また、手動校正で、誤ってスパン校正を行ったまま校正を終了してしまった場合にも、スパンガスが校正用ガス供給ライン３０や分析部６０内に残留して、その後の測定や次回のゼロ校正に誤差を与えるという不具合を解消することができる。
【００４１】
さらに、試料ガス測定中にも校正用ガス調製装置の配管内や精製器内の気体を定期的に流動させ、かつ排出することができる。そのため、配管材質から放出される微量の不純物や、標準ガスのスローリーク、標準ガス供給ラインに残留する高濃度の標準ガスの拡散等によってゼロガス供給ラインや精製器が汚染されても、次回校正時の校正用ガスの濃度や純度に影響を与えないように定期的にきれいにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るガス分析装置の構成図である。
【図２】本発明の実施形態に係る動作内容を示すタイムチャートである。
【図３】本発明の他の実施形態に係る動作内容を示すタイムチャートである。
【図４】本発明の他の実施形態に係る動作内容を示すタイムチャートである。
【図５】本発明の他の実施形態に係る動作内容を示すタイムチャートである。
【図６】従来技術に係る動作内容を示すタイムチャートである。
【符号の説明】
１０          ゼロガス供給ライン
１１          ポンプ
１２          精製器
２０          標準ガス供給ライン
２１          高圧容器
２３          開閉弁
３０          校正用ガス供給ライン
４０          試料ガス導入ライン
５０          切替部材
６０          分析部
【図１】
0004240665.tif 000002
【図２】
0004240665.tif 000003
【図３】
0004240665.tif 000004
【図４】
0004240665.tif 000005
【図５】
0004240665.tif 000006
【図６】
0004240665.tif 000007