(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極間に切り替え可能なオーミック抵抗を有する領域を持つメモリ・セルであって、
異なる電圧パルスを印加して異なる状態に導くことによって異なる状態間を反転可能に切り替えられるオーミック抵抗を有する領域は、（BaSr）TiO3またはSrZrO3を含む物質から形成され、クロム、バナジウム、及びマンガンからなる群から選択された１以上のドーパントを０％を超え５％未満でドーピングされていることを特徴とするメモリ・セル。
【請求項２】
前記領域のオーミック抵抗は、異なる電圧パルスのうち第１電圧パルスを前記電極に印加し、第２状態から第１状態に切り替える、または該異なる電圧パルスのうち第２電圧パルスを印加し、該第１状態から該第２状態に切り替えることによって、前記異なる状態のうち少なくとも該第１状態と前記異なる状態のうち該第２状態との間で切り替え可能な、請求項１記載のメモリ・セル。
【請求項３】
前記第１状態のオーミック抵抗は、前記第２状態より大きく、前記第１状態に切り替える前記異なる電圧パルスのうちの前記第１電圧パルスは、前記第２状態に切り替える前記異なる電圧パルスのうちの前記第２パルスと符号が反対である、請求項２記載のメモリ・セル。
【請求項４】
前記異なる状態はそれぞれ前記領域のオーミック抵抗を前記異なる状態のうち高オーミック状態に切り替える消去パルス、或いは該高オーミック状態から前記異なる状態のうち低オーミック状態に切り替える少なくとも１つの書込みパルスから得ることができる、請求項１記載のメモリ・セル。
【請求項５】
前記消去パルスは、前記低オーミック状態のうち１つに切り替えるため異なる振幅を有する、請求項４記載のメモリ・セル。
【請求項６】
前記異なる状態は、前記異なる状態に切り替えるため印加される前記異なる電圧パルスより小さい読取り電圧により読取ることができる、請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のメモリ・セル。
【請求項７】
コンデンサ状構造として使用でき、前記領域は誘電体を表す、請求項１記載のメモリ・セル。
【請求項８】
前記異なる状態の１つに関連する前記領域の特定のオーミック抵抗は、該特定のオーミック抵抗を導く前記異なる電圧パルスの１つが前記電極に印加された後にも残る、請求項１記載のメモリ・セル。
【請求項９】
前記領域のオーミック抵抗の異なる値により表されるデジタル情報を保存でき、よって好適にはデジタル情報として２つ以上のビットを保存する、前記請求項のいずれかに記載のメモリ・セル。
【請求項１０】
前記Ｃｒまたはバナジウムのドーパントを０．２％含む、請求項１記載のメモリ・セル。
【請求項１１】
前記物質は、単位胞や小単位胞の組み合わせにより形成された超格子の形で存在する、請求項１記載のメモリ・セル。
【請求項１２】
請求項１乃至請求項１１のいずれかに記載のメモリ・セルを含む、メモリ・セル構成。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項１１のいずれかに記載のメモリ・セルを含む、半導体デバイス。
【請求項１４】
請求項１２記載のメモリ・セル構成に情報を書込む方法であって、
前記異なる電圧パルスのうち１つの電圧パルスを前記メモリ・セル構造の前記電極に印加して情報を書込むステップを含む、方法。
【請求項１５】
前記領域のオーミック抵抗は、少なくとも前記異なる状態のうち第１状態と前記異なる状態のうち第２状態の間で、前記電極に、前記異なる電圧パルスのうち第１電圧パルスを印加することによって、該第２状態から該第１状態に切り替えられ、前記異なる電圧パルスのうち第２電圧パルスを印加することによって該第１状態から該第２状態に切り替えられる、請求項１４記載の方法。
【請求項１６】
前記第１状態のオーミック抵抗は第２状態より大きく、前記第１状態に切り替える前記第１電圧パルスは、前記第２状態に切り替える前記第２電圧パルスとは符号が反対である、請求項１５記載の方法。
【請求項１７】
前記異なる状態はそれぞれ、前記領域のオーミック抵抗を前記異なる状態のうち高オーミック状態に切り替える消去パルスや、該高オーミック状態から前記異なる状態のうち書込みパルスに対応する低オーミック状態に切り替える少なくとも１つの該書込みパルスにより得られる、請求項１４記載の方法。
【請求項１８】
前記消去パルスは、前記低オーミック状態のうち１つに切り替えるため異なる振幅を有する、請求項１７記載の方法。
【請求項１９】
請求項１４記載のメモリ・セル構成から情報を読取る方法であって、
読取り電圧を前記メモリ・セル構成に印加するステップと、
この情報に、前記メモリ・セル構成を流れる電流の値を関連付けるステップ、または
電流パルスを前記メモリ・セル構成に印加するステップと、
この情報に、前記メモリ・セル構成の前記電極間に現れる電圧の値を関連付けるステップと、
を含む、方法。
【請求項２０】
コンデンサ状構造内の切り替え可能なオーミック抵抗を有する領域を形成するための物質を使用する方法であって、
前記領域を形成する前記物質は、（BaSr）TiO3またはSrZrO3を含む物質から形成され、形成され、クロム、バナジウム、及びマンガンからなる群から選択された１以上のドーパントを０％を超え５％未満でドーピングされていることを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子デバイスやマイクロ電子デバイスに関し、特に、半導体チップのメモリ・セルに情報を保存しそこから情報を読取る新しい原理及び電子デバイスやマイクロ電子デバイスの基本的な改良が得られる、スイッチング現象を示す複数の物質及びビルトイン・メモリに関する。
【０００２】
【従来の技術】
本発明は、電子やマイクロ電子の分野に幅広く応用できるが、ここでは例えば、ＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）としてのメモリ・セルへの応用に焦点を当てる。
【０００３】
半導体デバイスの生産に関しては、コストと性能の面で競争力を維持するため、集積回路のデバイス密度を上げる努力が続けられている。デバイス密度の向上を図るには、半導体デバイスのフィーチャを縮小できるような新しい技術が常に必要とされる。
【０００４】
従来のＤＲＡＭ（ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ）セルは、ほとんどが二酸化シリコン（ＳｉＯ2）から作られるトランジスタとコンデンサを含む。トランジスタは、情報の保存に利用できる物理量としてコンデンサに蓄積される電荷の流入、流出を制御するため必要である。トランジスタはまたコンデンサを相互に分離する。このようなＤＲＡＭセルには、保存された情報は揮発性であり、原理的に電源が断たれる度に失われるという欠点がある。更に、ＤＲＡＭセルに格納された情報をリフレッシュするため必要な時間により、セルの読取りと書込みの性能が限定される。その上、このようなＤＲＡＭセルの構造は、必要なトランジスタの影響によりかなり複雑になる。
【０００５】
従って、コンピュータのＲＡＭ技術に、従来のＤＲＡＭ技術にはない変化が求められる。
【０００６】
強誘電不揮発性ＲＡＭ（ＮＶＲＡＭ）セルは、電源が失われても情報は失われないという点で大きく前進したとは言えるが、メモリ・セルの構造は複雑なままである。このような強誘電ＲＡＭでは、２つの異なる論理値に関連付けることのできる２つの異なる状態を定義するため、ＤＲＡＭセルのコンデンサの容量ではなくビット記憶層の分極が利用される。しかし、２つの異なる残留極性状態間のスイッチングの反復が長期に渡ると、ＰＺＴ（lead zirconium titanate、チタン酸ジルコン酸鉛）等の物質の強誘電特性が疲労する。
【０００７】
Physics Today（July 1998、page 24）によると、高誘電率物質とその半導体作製技術が提案されている。この技術では、基本的には装置類を組み直すことなく従来のＤＲＡＭ生産プラントの機器を使用できる。これは、いわゆる高誘電率ＤＲＡＭ技術である。
【０００８】
ＤＲＡＭコンデンサをチャージするため必要なように、高誘電層の分極は印加電圧に比例して変化するため、コンデンサの電荷により従来のＤＲＡＭ技術で行われるように情報を保存することができる。二酸化シリコンで誘電率εrが約４ではなく約５００のＢＳＴ（barium strontium titanate、チタン酸バリウム・ストロンチウム）等の高誘電率物質では、コンデンサのキャパシタンスが面積と誘電率の大きさに比例するので、コンデンサに必要なスペースを縮小することができる。これにより、コンデンサの占有面積が結合トランジスタに比べて大きいので、ＤＲＡＭセルに用いられる従来の二酸化シリコン物質に比べて集積レベルが高くなる。しかしそれでも、漏れ電流が依然大きいという欠点が残る。従ってリフレッシュは必須である。
【０００９】
６０年代の酸化物ダイオードと薄膜酸化物を調べると明らかになる現象がある。例えば、J．F．GibbonsとW．E．Beadleは、その記事"Switching properties of thin NiO films"、（Solid-State Electronics、Pergamon Press 1964、Vol．7、pp．785-797）で、ニッケル酸化物薄膜から形成された２端子固体スイッチについて述べている。約１００乃至１０００のスイッチング・サイクルの後、通常のスイッチング信号振幅でデバイスをＯＮ状態から切り替えることができなかった。酸化物ダイオードに関する他のテストをみると、スイッチングは、高電圧を印加することによって誘導されている。これらのダイオードは、数サイクル後に破損し使用できなくなっている。T．W．HickmottはApplied Physics Letters、Vol．6、No．6、page 106及びJournal of Vacuum Science and Technology、Vol．6、No．5、page 828で、ニオビウム酸化物ダイオードの双安定スイッチングについて述べている。Hickmottは、金属電極が重要な役割を果たすことに気づいた。要約すると、テストされたデバイスと物質は、制御が困難であるかまたは信頼性のないことを示した。
【００１０】
米国特許第４９３１７６３号は、金属酸化物の薄膜をベースにしたメモリ・スイッチについて述べている。メモリ・スイッチは反転できず、従って一度しか切り替えられない。回路やアレイの接続素子として使用できるが、変化する情報の保存には使用できない。
【００１１】
また、コンデンサの小型化により１ギガビット付近またはそれを超えるまでチップの集積度を上げると、メモリ・セルのトランジスタの占有面積はそれ以上無視できなくなる。従って、ＵＬＳＩ（超超ＬＳＩ）への道は、メモリ・セルを出来るだけ簡素化することだった。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、シンプルで安定した構造を持ち、信頼性のある不揮発性メモリ・セルを提供することである。
【００１３】
本発明の他の目的は、メモリ・セルに情報を安定に保存し、情報を再生可能に消去し読取るため、簡素化された新しい方法を提供することである。
【００１４】
本発明の他の目的は、２つ以上の個別値を保存することができる、つまりマルチレベル・ストレージに使用でき、シンプルな構造を持つ不揮発性メモリ・セルを提供することである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的は、特許請求の範囲の独立項に述べている特徴により達成される。また、従属項には、本発明の他の有用な構成、実施例について述べている。
【００１６】
本発明の基礎を成す基本的な発見は、マイクロ電子デバイスや電子回路に用いられ、特に抵抗のスイッチング現象とビルトイン・メモリの両方を組み合わせた半導体チップに利用されるペロブスカイトや関連化合物を含むドープした複数の酸化物に関する。
【００１７】
マイクロ電子デバイスは、電極間に、化合物Ａx、Ｂy、及び酸素Ｏzを含む物質から形成された、切り替え可能なオーミック抵抗のある領域が含まれるように設計することができる。領域のオーミック抵抗は、異なる電圧パルスを印加することによって、異なる状態間で反転スイッチングが可能である。異なる電圧パルスは対応する異なる状態につながる。物質のドーパント量が適切であれば、スイッチングが改良され、よってマイクロ電子デバイスを制御できるようになり信頼性が得られる。
【００１８】
一般に、また特許請求の範囲の文言と同じく、物質は、化合物Ａx、Ｂy及び酸素Ｏzを含むものを意味する。該物質内の化合物Ａはアルカリ金属（元素の周期表でＩＡ族）、アルカリ土類金属（ＩＩＡ族）、希土類元素、スカンジウム、またはイットリウムである。化合物Ｂは、ＩＢ族乃至ＶＩＩＩ族のいずれかまたはＩＩＩＡ族、ＩＶＡ族、ＶＡ族のいずれかの遷移金属である。物質は結晶構造を持つ。
【００１９】
一般に、対応する格子構造の単位胞は、それぞれ中心分子を持つ複数の酸素分子に囲まれた細胞中心分子を含む。いずれのタイプの中心位置も、基本的には化合物Ａ、Ｂに占められ得る。言い換えると、化学的に適合するならＡとＢが場所を交換する複数の物質がある。使用可能な様々な物質が多数あることを考慮すると、このような基本公式の理解は、請求項の所望の範囲を保証し、請求項の簡潔明瞭性を守るため、強調する必要がある。
【００２０】
前記物質は、クロム、バナジウム、もしくはマンガン、または他の遷移金属の所定量のドーパントを含む。
【００２１】
特に、化合物Ａx、Ｂy、及び酸素Ｏzを含む物質中、化合物Ａはアルカリ金属（ＩＡ族）、アルカリ土類金属（ＩＩＡ族）、希土類元素、スカンジウム、またはイットリウムであり、化合物Ｂは、ＩＢ族乃至ＶＩＩＩ族のいずれかまたはＩＩＩＡ族、ＩＶＡ族、ＶＡ族のいずれかの遷移金属である。これらの物質は、特にクロム、バナジウムまたはマンガンを含む遷移金属の１つまたは組み合わせでドープしたとき、本発明下の問題を解決できる物質である。ドーパントの総量は０ｗｔ％を超え、５ｗｔ％未満、好適には（ＢａＳｒ）ＴｉＯ3をクロムのみでドープしたとき約０．２ｗｔ％（以下、％はｗｔ％を意味する）である。この他、好適なドーパント量は、使用される各ドーパント元素とドープされる物質により異なる。
【００２２】
ドーパントの適正量を確認すれば、メモリ・セル等のマイクロ電子デバイスを動作させるのに必要な安定したスイッチング挙動を実現することができる。従来のダイナミック・メモリで可能な時間スケールと同様の高速な書込み、読取り、消去のプロセスを実現することができる。
【００２３】
この他、本発明の概念に適合した物質を見つけるため、指数ｘ、ｙ、ｚの組み合わせにより満足すべき要件がある。次の項はそれぞれ、所望のスイッチング効果を示す物質のサブクラスを定義する。
【００２４】
ｎ＝０、１、２、３のときｘ＝ｎ＋２、ｙ＝ｎ＋１、ｚ＝３ｎ＋４により定義される指数ｘ、ｙ、ｚの組み合わせは、例えばＳｒ2ＲｕＯ4（ｘｙｚ指数（２１４））またはＳｒ3Ｒｕ2Ｏ7（ｘｙｚ＝３２７）のような、いわゆるRuddlesden Popper相を示す。
【００２５】
ｎ＝０のとき前記のように定義される指数の組み合わせは、特に、例えばＡ、Ｂの位置が反転した、つまり最初は指数ｙであったＢカチオンが指数ｘの位置にあり、Ａカチオンが指数ｙの位置にある、Ｍｇ2ＴｉＯ4（２１４）、Ｃｒ2ＭｇＯ4、Ａｌ2ＭｇＯ4のように、スピネル型構造を採る独立した物質クラス、またはＦｅ2ＣｏＯ4、Ｆｅ2ＦｅＯ4（Ｆｅ3Ｏ4）等、ｘ、ｙ指数がＢカチオンのみ（Ｂ2ＢＯ4）である物質を含む。
【００２６】
ｎ＝１、２、３、４のときｘ＝ｎ＋１、ｙ＝ｎ＋１、ｚ＝３ｎ＋５により定義される指数ｘ、ｙ、ｚの組み合わせは、部分的に酸素インタカレーションを有する物質を与える独立した物質クラスを示す。
【００２７】
ｘ＝１、ｙ＝１、ｚ＝１と、指数ｘまたはｙが０のいずれかにより定義される指数ｘ、ｙ、ｚの組み合わせは、ＢｅＯ、ＭｇＯ、ＢａＯ、ＣａＯ、．．．ＮｉＯ、ＭｎＯ、ＣｏＯ、ＣｕＯ、ＺｎＯのような典型的物質を示す。或いは
ｎ＝１または２のとき、ｘ＝ｎ、ｙ＝ｎ、ｚ＝ｎ＋１と、ｎ＝１で指数ｘまたはｙが０のいずれかにより定義される指数ｘ、ｙ、ｚの組み合わせは、ＴｉＯ2、ＶＯ2、ＭｎＯ2、ＧｅＯ2、ＣｅＯ2、ＰｒＯ2、ＳｎＯ2のような物質を示す。
Ｎ＝２のときは、Ａｌ2Ｏ3、Ｃｅ2Ｏ3、Ｎｄ2Ｏ3、Ｔｉ2Ｏ3、Ｓｃ2Ｏ3、Ｌａ2Ｏ3のような物質を示す。または
ｎ＝２でｘ＝ｎ、ｙ＝ｎ、ｚ＝２Ｎ＋１と、指数ｘまたはｙが０のとき、Ｎｂ2Ｏ5、Ｔａ2Ｏ5等のような典型的物質を示す。
【００２８】
ｎ＝１、２または３で、ｘ＝ｎ、ｙ＝ｎ、ｚ＝３ｎにより定義される指数ｘ、ｙ、ｚの組み合わせは、ｎ＝１で、ＳｒＴｉＯ3、ＢａＴｉＯ3、ＫＮｂＯ3、ＬｉＮｂＯ3等のような、独立した物質クラス、いわゆるペロブスカイトを示す。
ｎ＝２では、Ｓｒ2ＦｅＭｏＯ6等の指数（２２６）の物質が得られる。
【００２９】
ｎ＝１または２で、ｘ＝ｎ＋１、ｙ＝ｎ、ｚ＝４ｎ＋１により定義される指数ｘ、ｙ、ｚの組み合わせは、独立した物質クラスを示す。
ｎ＝１のとき、Ａｌ2ＴｉＯ5、Ｙ2ＭｏＯ5等のような、指数（２１５）の物質が得られる。
ｎ＝２のとき、ＳｒＢｉ2Ｔａ２Ｏ9等が得られる。
【００３０】
前記クラスはそれぞれ、化合物ＡｘやＢｙの少なくともいずれかが、Ａ、Ｂの対応するグループの１つまたはいくつかの元素の組み合わせからなるように、物質の組成を変えることによって変更を加えることができる。
【００３１】
また、E．Kaldis（eds．）らによるHigh-Tc Superconductivity 1996：Ten Years After Discovery、pp．95-108で公開されているように、それぞれｎが異なり、構造単位胞や小単位胞がそれぞれ酸素インタカレーションにより得られた対応する同族列の一部である構造単位胞または小単位胞の組み合わせにより形成される超格子を与えることによって変更を加えられる。更に、それぞれｎが異なり、構造単位胞や小単位胞がそれぞれ対応する同族列の一部であるRuddlesden Popper型構造の構造単位胞や小単位胞の組み合わせにより形成される超格子を与えることにより変更が加えられる。このような格子の変更では、単一または複数の遷移金属の酸素八面体層が、化合物Ａと酸素を含む１つ以上のブロック層により分離した格子構造が形成される。
【００３２】
このような複数の物質の１つの好適な例として、クロム・ドーパント量が０％乃至５％、好適には０％乃至１％、より好適には０．２％のＢａxＳｒ1-xＴｉＯ3（０＜＝ｘ＜＝０．７）がある。
【００３３】
前記複数の物質の他の要素は、バナジウム・ドーパントが０％乃至５％のＢａxＳｒ1-xＴｉＯ3（０＜＝ｘ＜＝０．７）による物質である。
【００３４】
マンガンも、特にクロムやバナジウムを伴う組成で好適なドーパントである。
【００３５】
前記複数の物質の他の要素は、Ｎｂ等、他の遷移金属カチオンを持つペロブスカイト系化合物である。他のドーパントとしては、遷移金属元素とその組み合わせ、つまりｄ軌道（３ｄ、４ｄ、または５ｄ軌道）に価電子を持つ元素がある。
【００３６】
このような物質が、例えばコンデンサ状構造の誘電層に用いられてマイクロ電子デバイスが形成されると、新しい電圧パルスの印加により他の状態に切り替えられるまで、印加される電圧パルスに応じてＨＩＧＨまたはＬＯＷ導通状態に切り替えられた状態にとどまる。従って、そのような複雑な誘電物質を持つコンデンサ状構造の抵抗は、組み込まれた電極に短い電圧パルス或いは短い電流パルスを印加することによって変更できる。
【００３７】
このようなマイクロ電子デバイスで最も決定的な電気特性は、マイクロ電子デバイスの２つの端子間の所定印加電圧パルスに応じた抵抗の変化であり、これにより前記コンデンサ状構造は"切り替え可能な抵抗"とみなすことができる。そのスイッチング挙動は、電圧または電流によるヒステリシス挙動によって生じることが知られている。
【００３８】
前記の性質のため、異なる抵抗値により、つまり高抵抗状態を論理"０"に、低抵抗状態を論理"１"に関連付けることによってデジタル情報を保存することが可能である。実際の状態、つまり保存される情報は、誘電層の抵抗が低いとき比較的大きく、またその逆であることから、電流読取りまたは漏れ電流の測定によって読出される。従って従来技術のＤＲＡＭの性能を妨げる漏れ電流を利用して保存値を読取ることができる。本発明によれば、情報を保存するためにコンデンサの静電荷も強誘電物質の分極も不要であり、その代わりその抵抗を必要とする。
【００３９】
従って、前記の概念を具体化することによって、情報を簡単に保存する方法を採ることができる。
【００４０】
本発明に使用できる物質には、例えばＲＡＭセルに用いる場合、従来のメモリ・セルに対して、１つのコンデンサ状構造デバイスしか含まないこの新しいセルを、それを動作させる、つまり読取り、書込み、或いは消去を行うため、従来のＤＲＡＭセルの機能を実行する従来技術に用いられるコンデンサにトランジスタ構成を結合する必要なしに、一対の電極端子のみで構成できるという利点がある。そのようなセルの１つの端子がグランドに接続され、もう１つが書込み、消去、または読取りのため使用される。
【００４１】
従って、チップ上に占めるスペースがかなり小さく、作製ステップもかなり少ないＲＡＭセルを構成することができる。
【００４２】
更に、使用可能な物質は、電源を接続しない場合の保持時間が少なくとも数か月とかなり長く、よって不揮発性メモリとして使用できる。従って、２重のメリットが得られる。まず、リフレッシュ・サイクル、よってリフレッシュ回路が不要になるので、読取りと書込みのプロセスに全時間を利用できる。第２に、電源断は保存データの喪失を意味しないので、データ保存セキュリティが向上する。
【００４３】
基本的に、メモリ・セルは、電圧制御方式か電流制御方式のいずれかで動作可能である。つまり電圧パルスの印加または電流パルスの印加により情報を保存できる。いずれの場合も、電圧または電流を検出することによって情報を読取ることができる。便宜上、ここでは、電圧方式についてのみ説明する。
【００４４】
例えば電圧制御方式で、"１"を読取るとき流れる電流は、"０"の読取りに比べると、抵抗の違いにより約２０倍大きい。この性質は、同じセルにビットを２つ以上保存するとき都合よく利用できる。従って、書込みと消去に、形状、レベル、或いは期間が異なるか、もしくは数の異なる電圧パルス、単一パルス、或いはそのシーケンスを印加することによって、２ビット、３ビット、またはそれ以上の複数のビットを保存または削除することができる。これにより、異なるレベル間に十分大きい距離が保たれる。
【００４５】
【発明の実施の形態】
各図、特に図１を参照する。コンデンサ状構造を持つマイクロ電子デバイス１０の基本構造について詳しく説明する。このマイクロ電子デバイスはメモリ・セルとして使用できる。
【００４６】
マイクロ電子デバイス１０は、ＳｒＴｉＯ3基板１８と、その基板１８上のＳｒＲｕＯ3から形成された酸化物のベース電極１２と、絶縁物質をクロム（Ｃｒ）で低ドープした（ＢａＳｒ）ＴｉＯ3から形成された酸化物の絶縁層の領域１４と、及びその領域１４上の金属（Ａｕ）の上電極１６とを含み、上電極１６は領域１４上に、パルス・レーザ堆積により作製される。マイクロ電子デバイス１０は薄膜コンデンサ状構造を持つ。
【００４７】
前記上電極１６上に端子２０、前記ベース１２にもう１つの端子２２が接続される。
【００４８】
マイクロ電子デバイス１０の基本的スイッチング挙動及び他の物理的性質をテストするため設定した実験用構成では、絶縁層の厚みは３００ナノメートルだった。
【００４９】
領域１４の絶縁層は、クロム（Ｃｒ）０．２％でドープした。
【００５０】
漏れ電流は、図に示しているように、前記端子２０、２２間でＤＣ電圧源２４により生成されるバイアス電圧の関数として測定した。
【００５１】
図２乃至図４を参照する。漏れ電流電圧特性は、図２では線形に示し、図３では漏れ電流の絶対量の対数表示で、図４では両方の対数表示で示す。
【００５２】
印加バイアス電圧が数１０ｍＶ程度と小さい場合、線形電流電圧特性（ＩＶＣ）を観察することができる。数１００ｍＶと中程度の印加電圧では、印加電圧からの電流の２次依存が見られる。
【００５３】
このＩＶＣ形状及び挙動は、空間電荷制限電流として説明することができる。印加電圧が大きくなると、漏れ電流が印加電圧の上昇とともに指数的に増加する。
【００５４】
マイクロ電子デバイス１０のコンデンサ状構造は、再現可能なスイッチング挙動を示し、以下に述べるように、電流電圧特性にヒステリシス・ループが生じる。
【００５５】
ＳｒＲｕＯ3電極に対して負の大きなバイアス電圧は、約−０．８ボルトでの漏れ電流の突然の上昇につながる。大きい正バイアス電圧に戻すと、漏れ電流も＋０．７ボルトで再び低い値に戻る。漏れ電流のこの突然の上昇と突然の下降は、スイッチングの基本的特徴であり、異なる状態の決め手になる。
【００５６】
本発明によれば、ここに説明した基本的なスイッチング挙動により、マイクロ電子デバイス１０を非常にシンプルなデバイスまたはメモリ・デバイスとして、つまりＲＡＭのメモリ・セルとして動作させることが可能である。これについては、図５乃至図１０を参照して説明する。
【００５７】
基本的に、書込み電圧パルスをマイクロ電子デバイス１０に印加することで、システムは、情報を保存するとみなすことのできる低抵抗値に切り替わる。消去電圧パルスは、マイクロ電子デバイス１０の抵抗状態を回復し、情報が削除つまり消去される。
【００５８】
図５からわかるように、急峻なピークとして示した３００ｍｓ長の異なる電圧パルス列がマイクロ電子デバイス１０の電極（１２、１６）に印加された。
【００５９】
ここでは、負のパルスである書込みパルス（第２電圧パルス６．１）により情報が書込まれ、情報は、一定の遅延の後、ここでは正パルスである消去パルス（第１電圧パルス５．１）により削除される。図５、図７に示すように、一般に、各第１電圧パルス５．１は第１状態１（高オーミック状態）につながり、一方、各第２電圧パルス６．１は第２状態２（低オーミック状態）につながる。繰り返し電圧パルス５．１、６．１の間、小さい負の読取り電圧９が周期的にオン／オフ切り替えられ、情報が読取られ、現実的読取りプロセスがシミュレートされる。書込みまたは消去の各パルスの後、それぞれ１秒周期の読取りサイクルが１２０回実行される。この読取り手順は、図５の拡大部分に時間を細かくして示している。
【００６０】
マイクロ電子デバイス１０からの読取りは、電流が一桁低い読取り期間が後に続く書込みと消去のとき発生する電流スパイクを示す図６からわかるように、−０．２Ｖと小さい印加電圧で流れる漏れ電流を測定することによって行われる。図７は図６の漏れ電流をスケーリングしたもので、前記の第１状態１と第２状態２が明らかに見て取れる。
【００６１】
２つの異なる抵抗状態ははっきり分けることができる。３０ナノアンペア付近の第１状態１は、抵抗Ｒ＝６．６メガオーム、第２状態２は漏れ電流６５０ナノアンペアで、抵抗Ｒ＝３００キロオームである。第１状態１はここで論理"０"に、第２状態２は論理"１"にそれぞれ関連付けられる。
【００６２】
"１"の抵抗値は"０"値の２０分の１である。従って２つの論理状態"１"と"０"の明確な分離が得られる。
【００６３】
また、印加電圧パルス５．１、６．１に対する抵抗のこの著しい依存と、ヒステリシス挙動により、マイクロ電子デバイス１０に異なる値を書込み、１つの所定読取り電圧で読取ることができる。この、いわゆるマルチレベル・スケーリング現象については後で詳しく説明する。
【００６４】
この例の実験的測定の間、３００ｍｓ（急峻なピークの周期）の間に情報が書込まれて消去され、２４０ｓ保存された。情報の書込みと消去の時間は、特別に選択された実験パラメータであるが、メモリ・デバイス自体によっては制限されない。従って、図１１に関して示しているように、書込み／消去プロセスの最終速度はかなり大きい。
【００６５】
情報を保存できる時間は、図１１に示す他の測定で確認された通り、実験で測定された２４０ｓよりかなり長い。
【００６６】
このようなコンデンサ状構造のスイッチング挙動を、Ｃｒドーピングを変えて分析すると、スイッチング挙動はＣｒ低ドープ構造で著しいこと、つまり最適な結果は約０．２％のＣｒドーピングで得られることを観察することができる。こうしたコンデンサ状構造では、"０"と"１"の違いは最適であり再現性も良い。
【００６７】
本発明の主な側面をまとめると、ＤＣ抵抗は印加電圧パルスとともに変化し、ドープした酸化物を含む構造は、次のような興味深い性質を持つメモリ・デバイスまたはメモリ・セルとして動作させることができる。
【００６８】
まず、メモリ・セル全体がコンデンサ状構造であるため、構造が非常にシンプルである。従って、読取り、書込み、消去に１つの端子を用い、２つの端子のみで動作させることができる。つまり、ＵＬＳＩ技術に最適である。
【００６９】
その他、"０"値と"１"値の抵抗差は、図７からわかるように少なくとも一桁である。更に図２のＩＶＣからわかるように、複数の異なる論理値を保存するため、大きい抵抗範囲を利用することができる。つまりマルチレベル・スイッチングを達成できる。そのため、２進法を実現するためではなく、例えば、後続の読取り／消去サイクルでメモリ・セルに書込み、そこから読取ることのできる１０個の異なる論理値をベースにしたデジタル１０進法を実現するため、先に述べたように、サイズ等の異なる複数の書込みパルスを印加し、特定の論理値をメモリ・セルに書込みことができる。
【００７０】
また情報は、長い時間保存され、これは従来のＤＲＡＭセルと比べて大きなメリットである。
【００７１】
図８乃至図１０は、他のマイクロ電子デバイスであり、マルチレベル・メモリ・デバイスとして使用できる第２メモリ・デバイスの動作を示す。図８乃至図１０は互いに関連しているので、第２メモリ・デバイスの動作を理解するという文脈で考える。この第２メモリ・デバイスは簡潔化のため図には示していないが、構造は図１に示す通りである。第２メモリ・デバイスは、ＳｒＴｉＯ3基板１８と、その基板１８上のＳｒＲｕＯ3から形成された酸化物のベース電極１２と、絶縁物質をクロム（Ｃｒ）を０．２％低ドープしたＳｒＺｒＯ3から形成された領域１４と、その領域１４条の金属（Ｐｔ／Ｔｉ）の上電極１６を含み、上電極１６は領域１４上に、パルス・レーザ堆積により作製される。
【００７２】
図８からわかるように、急峻なピークとして示している異なる電圧パルス列が第２メモリ・デバイスに印加された。特に、現実的な消去、書込みプロセスをシミュレートするため、消去電圧パルス５、低書込みパルス６、中間書込みパルス７、及び高書込みパルス８が、所定の繰り返し順序で印加された。消去電圧パルス５のピークはそれぞれ、期間１ｍｓで３０個のパルスを示す。情報を読取るため、１０ｓの間隔で小さい読取り電圧９が適宜印加された。この読取り電圧９は、異なる状態１乃至４へのスイッチングのため印加される異なる電圧パルス５乃至８よりも小さい。
【００７３】
図９は、異なる電圧パルス５乃至８により生成される電流を示し、図１０は、図９の読取り電流を拡大したものを示す。図１０から、異なるオーミック抵抗に対応した異なる状態１乃至４がはっきり見て取れる。第２メモリ・デバイスの領域１４のオーミック抵抗は、１つの消去パルスが印加された後はＨＩＧＨとみなすことができる。つまり第２メモリ・デバイスはそのとき、高オーミック状態（第１状態１）を保存している。逆に、低書込みパルス６はそれぞれ第２状態２につながり、中間書込みパルス７はそれぞれ第３状態３に、高書込みパルス８はそれぞれ第４状態４につながり、これにより第４状態４は最低オーミック状態になる。第２状態２と第３状態３は、高オーミック状態と最低オーミック状態の中間にある。図８からわかるように、消去パルス５は書込みパルス６乃至８の間に印加され、それぞれ第２状態２、第３状態３、または第４状態４から第１状態１に切り替えられている。
【００７４】
２ビットのメモリ・セルでは、第１状態１は論理"００"、第２状態２は論理"０１"、第３状態３は論理"１０"、第４状態４は論理"１１"に等、異なる状態１乃至４それぞれに論理値を関連付けることができる。一般には、図の４つの異なる状態１乃至４よりも多くの状態を得ることができる。
【００７５】
消去電圧パルス５は、ここでは負の電圧パルス、書込みパルス６乃至８は正パルスである。基本的には、初めてメモリ・デバイスを使用する前に、このデバイスを分極するため初期化電圧を印加する必要がある。この分極により、消去電圧パルスが正になり、書込みパルスは負になる、または消去電圧パルスが負になり書込みパルスは正になる。
【００７６】
消去パルス５それぞれの大きさが書込みパルス６乃至８と同等またはより小さいかどうかが示されるので都合が良い。
【００７７】
例とは逆に、消去パルス５は、第４状態４からオーミック抵抗の大きい異なる状態３、２、１へ直接スイッチングするため、振幅を変えることができる。つまり、特に低オーミック状態（ここでは第４状態４）から高オーミック状態（第３状態３、第２状態２、或いは第１状態１へも等）へのスイッチングでは、消去パルス５は、調整され段階的に増加する振幅を有する。このような方法ではまた、第４状態４から第２状態２へ直接スイッチングすることも可能である。
【００７８】
マルチレベル・メモリ・デバイスのスイッチング挙動を７７Ｋで調べテストしたが、同じスイッチング挙動を室温で実現することも可能である。
【００７９】
図１１は、別のマイクロ電子デバイス（第３メモリ・デバイス）の一定時間での測定結果を示す。第３メモリ・デバイスは、先に述べた第２メモリ・デバイスと同じ構造であるが、上電極１２はＡｕを含む。
【００８０】
図の上の列に印加電圧を、下の列に得られる電流値を示している。図１１のａは２つの消去パルス５と３つの書込みパルス６で、それぞれ周期は１μｓ、１分間隔で印加される。対応する状態１、２での電流値を図１１のｂに示す。図からわかるように、２８．４．９９の第３正書込みパルス６は、第１状態１から第２状態２へのスイッチングにつながった。その後、第３メモリ・デバイスは、電源を接続することなく保存され、長期間使用されなかった。図１１のｃとｄは、２か月間での非周期的測定を示す。測定日付を図１１のｄに示している。特に図１１のｃは読取り電圧パルス９を、図１１のｄは電流値を示す。結果をみると、第２状態２は長期に渡って保存され、よって第３メモリ・デバイスはこの期間には不揮発性とみなすことができる。図１１のｅは更に、書込みと消去のパルスを図１１のｆは得られた状態を示す。図１１のｇとｈは、３か月間での非周期的測定を示す。測定日付は図１１のｈに示している。図１１のｇは、ここでも読取り電圧パルス９を、図５のｈは得られた電流値を示す。測定結果は、ここでも、第３メモリ・デバイスに最後に保存された情報が、減衰なく長期に渡って保存されたことを示す。
【００８１】
図１２を参照する。４ビット・メモリ回路の構成が示してある。
【００８２】
アドレス・ライン２８を介してデコーダ３０によりアドレス指定される４ビット・メモリ回路を表すため、４つのマイクロ電子デバイス１０（メモリ・セル１０）が線形に構成される。デコーダ３０の出力は上電極１６（図１）に接続される。ベース電極２２はそれぞれグランドに接続される。書込み、消去、または読取りの電圧パルスは、バイアス・ライン３２を通して特定のメモリ・セル１０に印加することができる。出力ライン３４を通して、メモリ・セルの出力電流が評価される。
【００８３】
同様に、メモリ・セル１０列のベース電極２２を他のデコーダに接続することによって、マトリックス状構成が得られる。
【００８４】
図１に示すように、チップ上のコンデンサ状構造の特定のコンポーネント１２、１４、１６、１８が、そのチップで達成される特定の集積レベルにより課される条件に合わせて調整されることは明らかである。従って、幅広い様々なアーキテクチャを実現することができる。
【００８５】
前記のメモリ・セル１０の情報格納機能の他、電気回路や電子回路のアクティブなスイッチング素子として、ドープしたコンデンサ状構造を含むシステムを使用することも可能である。
【００８６】
この領域では、スイッチング動作は特定の抵抗値に限定されない。数メガオームの抵抗を持つデバイスは、書込みと消去では電圧１ボルト乃至５ボルト、読取りでは０．０５ボルト乃至０．５ボルトで動作可能である。抵抗がより低いデバイスも、電圧は異なるが動作可能である。
【００８７】
更に本発明の概念は、ＡＮＧゲート、ＯＲゲート、調整可能なコンデンサ、他のより複雑なロジック回路等、ＥＥＰＲＯＭ（電気的消去可能ＰＲＯＭ）ロジック・ゲートを形成する物質の用途に適している。
【００８８】
特に、チタン酸ストロンチウムではなくシリコン（Ｓｉ）や他の半導体物質を基板物質とするとき、従来技術による現在の半導体物質を基板上に成長させることができ、よって従来の半導体技術と本発明の概念によるメモリ・セルやスイッチング素子を接合する機能が得られる。
【００８９】
以上、本発明について実施例を参照して説明したが、特に特許請求の範囲に述べているように、多種多様な物質の用途に関して、本発明の広範な主旨と範囲から逸脱することなく様々な変形が可能なことは明らかであろう。
【００９０】
従って、明細と図は、限定的な意味ではなく説明の便宜とみなすべきである。
【００９１】
特に、領域１４の厚み及びメモリ・セルの横寸法と印加バイアス電圧またはバイアス電流は、それぞれ、様々なチップ設計の目的に応じて変更することができる。
【００９２】
また、下電極に選択する物質も変更可能である。プラチナ（Ｐｔ）のようなシンプルな金属も適している。
【００９３】
上電極の物質も可変である。Ａｕ、Ｐｔが適しているが、基本的には全ての金属、導電酸化物が、上下両方の電極用物質として適している。
【００９４】
まとめとして、本発明の構成に関して以下の事項を開示する。
【００９５】
（１）電極間に切り替え可能なオーミック抵抗を有する領域を持つマイクロ電子デバイスであって、該領域の該オーミック抵抗は、異なる電圧パルスを印加して異なる状態に導くことによって該異なる状態間を反転可能に切り替えられ、該領域は化合物Ａx、Ｂy及び酸素Ｏzを含む物質から形成され、該物質の該化合物Ａは、アルカリ金属（ＩＡ族）、アルカリ土類金属（ＩＩＡ族）、希土類元素、スカンジウム、またはイットリウムであり、該化合物ＢはＩＢ族乃至ＶＩＩＩ族のいずれか、またはＩＩＩＡ族、ＩＶＡ族、ＶＡ族のいずれかの遷移金属であり、該物質は異なる遷移金属のうちの１つまたはその組み合わせのドーパントを含み、ドーパント総量は０％を超え５％未満である、マイクロ電子デバイス。
（２）前記領域のオーミック抵抗は、異なる電圧パルスのうち第１電圧パルスを前記電極に印加し、第２状態から第１状態に切り替える、または該異なる電圧パルスのうち第２電圧パルスを印加し、該第１状態から該第２状態に切り替えることによって、前記異なる状態のうち少なくとも該第１状態と前記異なる状態のうち該第２状態との間で切り替え可能な、前記（１）記載のマイクロ電子デバイス。
（３）前記第１状態のオーミック抵抗は、前記第２状態より大きく、前記第１状態に切り替える前記異なる電圧パルスのうちの前記第１電圧パルスは、前記第２状態に切り替える前記異なる電圧パルスのうちの前記第２パルスと符号が反対である、前記（２）記載のマイクロ電子デバイス。
（４）前記異なる状態はそれぞれ前記領域のオーミック抵抗を前記異なる状態のうち高オーミック状態に切り替える消去パルス、或いは該高オーミック状態から前記異なる状態のうち低オーミック状態に切り替える少なくとも１つの書込みパルスから得ることができる、前記（１）記載のマイクロ電子デバイス。
（５）前記消去パルスは、前記低オーミック状態のうち１つに切り替えるため異なる振幅を有する、前記（４）記載のマイクロ電子デバイス。
（６）前記異なる状態は、前記異なる状態に切り替えるため印加される前記異なる電圧パルスより小さい読取り電圧により読取ることができる、前記（１）乃至（４）のいずれかに記載のマイクロ電子デバイス。
（７）コンデンサ状構造として使用でき、前記領域は誘電体を表す、前記（１）記載のマイクロ電子デバイス。
（８）前記異なる状態の１つに関連する前記領域の特定のオーミック抵抗は、該特定のオーミック抵抗を導く前記異なる電圧パルスの１つが前記電極に印加された後にも残る、前記（１）記載のマイクロ電子デバイス。
（９）前記領域のオーミック抵抗の異なる値により表されるデジタル情報を保存でき、よって好適にはデジタル情報として２つ以上のビットを保存する、前記のいずれかに記載のマイクロ電子デバイス。
（１０）前記物質の指数ｘ、ｙ、ｚの組み合わせは、
ｎ＝０、１、２、３のとき、ｘ＝ｎ＋２、ｙ＝ｎ＋１、ｚ＝３ｎ＋４、または
ｎ＝１、２、３、４のとき、ｘ＝ｎ＋１、ｙ＝ｎ＋１、ｚ＝３ｎ＋５
により定義される、前記（１）記載のマイクロ電子デバイス。
（１１）前記物質の指数ｘ、ｙ、ｚの組み合わせは、
ｘ＝１、ｙ＝１、ｚ＝１、及び指数ｘかｙのいずれかが０、
ｎ＝１もしくは２のとき、ｘ＝ｎ、ｙ＝ｎ、ｚ＝ｎ＋１、及び指数ｘかｙのいずれかが０、または
ｎ＝２のとき、ｘ＝ｎ、ｙ＝ｎ、ｚ＝２ｎ＋１、及び指数ｘかｙのいずれかが０、
により定義される、前記（１）記載のマイクロ電子デバイス。
（１２）前記物質の指数ｘ、ｙ、ｚの組み合わせは、
ｎ＝１、２または３のとき、ｘ＝ｎ、ｙ＝ｎ、ｚ＝３ｎ、または
ｎ＝１または２のとき、ｘ＝ｎ、ｙ＝ｎ、ｚ＝４ｎ＋１、
により定義される、前記（１）記載のマイクロ電子デバイス。
（１３）Ｃｒまたはバナジウムのドーパントを０％を超え５％未満、好適には約０．２％含む、前記（１）記載のマイクロ電子デバイス。
（１４）前記物質の化合物ＡxまたはＢyは、Ａ、Ｂの前記対応するグループの１つまたはいくつかの元素の組み合わせを含む、前記（１）記載のマイクロ電子デバイス。
（１５）前記物質は、単位胞や小単位胞の組み合わせにより形成された超格子の形で存在する、前記（１１）記載のマイクロ電子デバイス。
（１６）前記物質は、それぞれｎの異なる、単位胞や小単位胞の組み合わせにより形成された超格子の形で存在し、該単位胞や小単位胞はそれぞれ対応する同族列の１つである、前記（１０）または（１２）に記載のマイクロ電子デバイス。
（１７）前記（１）乃至（１６）のいずれかに記載のマイクロ電子デバイスを含む、メモリ・セル構成。
（１８）前記（１）乃至（１６）のいずれかに記載のマイクロ電子デバイスを含む、半導体デバイス。
（１９）前記（１７）記載のメモリ・セル構成に情報を書込む方法であって、
前記異なる電圧パルスのうち１つの電圧パルスを前記メモリ・セル構造の前記電極に印加して情報を書込むステップを含む、方法。
（２０）前記領域のオーミック抵抗は、少なくとも前記異なる状態のうち第１状態と前記異なる状態のうち第２状態の間で、前記電極に、前記異なる電圧パルスのうち第１電圧パルスを印加することによって、該第２状態から該第１状態に切り替えられ、前記異なる電圧パルスのうち第２電圧パルスを印加することによって該第１状態から該第２状態に切り替えられる、前記（１９）記載の方法。
（２１）前記第１状態のオーミック抵抗は第２状態より大きく、前記第１状態に切り替える前記第１電圧パルスは、前記第２状態に切り替える前記第２電圧パルスとは符号が反対である、前記（２０）記載の方法。
（２２）前記異なる状態はそれぞれ、前記領域のオーミック抵抗を前記異なる状態のうち高オーミック状態に切り替える消去パルスや、該高オーミック状態から前記異なる状態のうち書込みパルスに対応する低オーミック状態に切り替える少なくとも１つの該書込みパルスにより得られる、前記（１９）記載の方法。
（２３）前記消去パルスは、前記低オーミック状態のうち１つに切り替えるため異なる振幅を有する、前記（２２）記載の方法。
（２４）前記（１７）記載のメモリ・セル構成から情報を読取る方法であって、
読取り電圧を前記メモリ・セル構成に印加するステップと、
この情報に、前記メモリ・セル構成を流れる電流の値を関連付けるステップ、または
電流パルスを前記メモリ・セル構成に印加するステップと、
この情報に、前記メモリ・セル構成の前記電極間に現れる電圧の値を関連付けるステップと、
を含む、方法。
（２５）コンデンサ状構造内の切り替え可能なオーミック抵抗を有する領域を形成するため、化合物Ａx、Ｂy、及び酸素Ｏzを含む物質を使用する方法であって、
前記物質内の前記化合物Ａは、アルカリ金属（ＩＡ族）、アルカリ土類金属（ＩＩＡ族）、希土類元素、スカンジウム、またはイットリウムであり、前記化合物ＢはＩＢ族乃至ＶＩＩＩ族のいずれか、またはＩＩＩＡ族、ＩＶＡ族、ＶＡ族のいずれかの遷移金属であり、前記物質は、異なる遷移金属のうちの１つまたはその組み合わせのドーパントを含み、ドーパント総量は０％を超え５％未満である、方法。
（２６）前記（２５）記載の物質使用方法であって、指数ｘ、ｙ、ｚの組み合わせが、
ｎ＝０、１、２、３のとき、ｘ＝ｎ＋２、ｙ＝ｎ＋１、ｚ＝３ｎ＋４、もしくは
ｎ＝１、２、３、４のとき、ｘ＝ｎ＋１、ｙ＝ｎ＋１、ｚ＝３ｎ＋５、または
ｘ＝１、ｙ＝１、ｚ＝１、及び指数ｘかｙのいずれかが０、
ｎ＝１或いは２のとき、ｘ＝ｎ、ｙ＝ｎ、ｚ＝ｎ＋１、及び指数ｘかｙのいずれかが０、もしくは
ｎ＝２のとき、ｘ＝ｎ、ｙ＝ｎ、ｚ＝２ｎ＋１、及び指数ｘかｙのいずれかが０、または
ｎ＝１、２或いは３のとき、ｘ＝ｎ、ｙ＝ｎ、ｚ＝３ｎ、または
ｎ＝１或いは２のとき、ｘ＝ｎ＋１、ｙ＝ｎ、ｚ＝４ｎ＋１、
により定義される、方法。
【図面の簡単な説明】
【図１】  メモリ・セルとして使用可能なマイクロ電子デバイスの酸化物ペロブスカイトのコンデンサ状構造を示す図である。
【図２】  ３００ｎｍ厚Ｃｒドープ酸化物のコンデンサ状構造の電圧電流特性を示す図である。
【図３】  ３００ｎｍ厚Ｃｒドープ酸化物のコンデンサ状構造の電圧電流特性を示す図である。
【図４】  ３００ｎｍ厚Ｃｒドープ酸化物のコンデンサ状構造の電圧電流特性を示す図である。
【図５】  メモリ・デバイスとして図２乃至図４で分析したコンデンサ状構造の動作原理を示す図である。
【図６】  メモリ・デバイスとして図２乃至図４で分析したコンデンサ状構造の動作原理を示す図である。
【図７】  メモリ・デバイスとして図２乃至図４で分析したコンデンサ状構造の動作原理を示す図である。
【図８】  マルチレベル・メモリ・デバイスとしての他のマイクロ電子デバイスの動作を示す図である。
【図９】  マルチレベル・メモリ・デバイスとしての他のマイクロ電子デバイスの動作を示す図である。
【図１０】  マルチレベル・メモリ・デバイスとしての他のマイクロ電子デバイスの動作を示す図である。
【図１１】  長時間での測定の結果を示す図である。
【図１２】  ４ビット・メモリ回路の構成を示す図である。
【符号の説明】
１  第１状態
２  第２状態
３  第３状態
４  第４状態
５  消去パルス
６  低書込みパルス
８  高書込みパルス
１０  マイクロ電子デバイス（メモリ・セル）
１２、１６  電極
１４  領域
１８  基板
２０、２２  端子（電極）
２４  電圧源
２８  アドレス・ライン
３０  デコーダ
３２  バイアス・ライン
３４  出力ライン
【図１】
0004204755.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0004204755.tif 000008
【図８】
0004204755.tif 000009
【図９】
0004204755.tif 000010
【図１０】
0004204755.tif 000011
【図１１】
0004204755.tif 000012
【図１２】
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