(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルカリ土類過酸化物を出発原料に用いたＰＶＤ法により成膜されたアルカリ土類一酸化物からなることを特徴とする吸湿膜。
【請求項２】
透明基板と、該透明基板上に形成された透明電極層、該透明電極層上に形成された有機ＥＬ発光層及び該有機ＥＬ発光層上に形成された金属電極層よりなる有機ＥＬ素子と、内部に不活性流体を封入しつつ該有機ＥＬ素子を被覆するように該透明基板に接合された封止部材とを備えた有機ＥＬ表示装置において、
上記有機ＥＬ素子上の非発光部及び上記封止部材の内側面のうちの少なくとも該有機ＥＬ素子上の該非発光部には、アルカリ土類過酸化物を出発原料として用いたＰＶＤ法により成膜されたアルカリ土類一酸化物からなる吸湿膜が形成されていることを特徴とする有機ＥＬ表示装置。
【請求項３】
透明基板と、該透明基板上に形成された透明電極層、該透明電極層上に形成された有機ＥＬ発光層及び該有機ＥＬ発光層上に形成された金属電極層よりなる有機ＥＬ素子と、内部に不活性流体を封入しつつ該有機ＥＬ素子を被覆するように該透明基板に接合された封止部材とを備えた有機ＥＬ表示装置において、
上記有機ＥＬ素子上の非発光部及び上記封止部材の内側面のうちの少なくとも該封止部材の該内側面には、アルカリ土類過酸化物を出発原料として用いたＰＶＤ法により成膜されたアルカリ土類一酸化物からなる吸湿膜が形成されていることを特徴とする有機ＥＬ表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は吸湿膜及び有機ＥＬ表示装置に関し、詳しくはアルカリ土類一酸化物からなる吸湿膜及びその吸湿膜を備えた有機ＥＬ表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
表示用ディスプレイデバイスとしては、ブラウン管（Cathode Ray Tube）、液晶（Liquid Crystal）、プラズマ（Plasma）、発光ダイオード（Light Emitting Diode）及びＥＬ（Electro Luminescence）などが従来より知られ、コンピュータ用ディスプレイ、液晶ディスプレイのバックパネルなどに広く利用されている。
【０００３】
この中でもＥＬは自発光形であり、また薄膜とすることができるために薄い表示素子として期待されている。そして薄膜型直流ＥＬとして、低電圧で駆動できる有機薄膜ＥＬが近年注目を集めている。
有機ＥＬ素子は、一般に、透明基板上に形成された透明電極層と、この透明電極層上に形成された有機ＥＬ発光層と、この有機ＥＬ発光層上に形成された金属電極層とから構成されている。そして、透明電極層及び金属電極層への通電により、それぞれの電極から注入された正孔と電子とが有機ＥＬ発光層内で再結合し、このときのエネルギーにより発光現象が生じる。この発光現象は、発光ダイオードと類似した注入発光であり、発光電圧が１０Ｖ以下と低いことが特徴である。
【０００４】
かかる有機ＥＬ素子を利用した有機ＥＬ表示装置としては、上記有機ＥＬ素子構造を単位画素として、透明基板上にこの単位画素を平面的に二次元配置してマトリクス駆動するものが知られている。これは、透明基板上にストライプ状の透明電極群を、この透明電極群上に有機ＥＬ発光層を、さらにこの有機ＥＬ発光層上に透明電極群と互いに直交するストライプ状の金属電極群を順次形成し、透明電極群と金属電極群との交差部分を単位画素である有機ＥＬ素子構造として平面的に二次元配置したものである。この方式の表示装置では、電圧のかかった２本のストライプ状電極の交差部分が発光部となるので、電圧を印加して発光させるストライプを順次ずらすことで画像を表示することができる。そして、有機ＥＬ発光層から発せられた光は、直接又は金属電極で反射して透明電極及び透明基板を透過し、該透明基板の表示側表面から出射して視認される。
【０００５】
ところが、有機ＥＬ素子に用いられる有機発光材料は、耐水性が低く、湿気により寿命が短くなるという欠点がある。また有機ＥＬ素子に用いられるＭｇ合金などの金属電極層も、水や酸素に対する耐性が低いという欠点がある。
そこで、特開平９−１４８０６６号公報には、有機ＥＬ素子を封止部材内に封止するとともに、この封止部材の内側面に吸湿剤を配設した有機ＥＬ表示装置が開示されている。
【０００６】
この有機ＥＬ表示装置は、図６に示すように、透明なガラス基板８０と、ガラス基板８０上に形成された透明電極層８１ａ、透明電極層８１ａ上に形成された有機ＥＬ発光層８１ｂ及び有機ＥＬ発光層８１ｂ上に形成された金属電極層８１ｃからなる有機ＥＬ素子８１とを備え、内部に不活性ガスを封入しつつ有機ＥＬ素子８１を被覆するようにガラス基板８０に封止剤８２を介して封止部材８３が接合されている。そして封止部材８３の内側面には吸湿剤８４が粘着剤により固着されている。
【０００７】
この有機ＥＬ表示装置では、内部に不活性ガスを封入しつつ有機ＥＬ素子８１を被覆するようにガラス基板８０の周縁部に封止部材８３が接合されているため、有機ＥＬ素子１を大気と遮断することができる。また、封止部材８３の内側面に固着された吸湿剤８４により、封止剤８２を介して封入空間内に侵入等した水分を吸湿することができる。したがって、封入空間内の乾燥性を高めて、素子寿命を延ばすことができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ここに、上記吸湿剤の一つとして、Ｃａ、ＢａやＭｇ等のアルカリ土類金属の一酸化物が例示される。そして、このアルカリ土類金属一酸化物を出発原料に用いて真空蒸着法やスパッタ法等のＰＶＤ法（物理蒸着法）を行い、上記封止基板８３の内側面にアルカリ土類金属一酸化物よりなる吸湿膜を成膜することもできる。
【０００９】
しかしながら、アルカリ土類金属一酸化物を出発原料に用いたＰＶＤ法によりアルカリ土類金属一酸化物よりなる吸湿膜を上記封止部材８３の内側面に成膜した場合、以下に示すような問題点がある。
すなわち、アルカリ土類金属一酸化物は大気中で不安定であり、水和物や炭酸化物に変化し易い。例えば一酸化バリウム（ＢａＯ）はＣＯ2 やＨ2 Ｏと以下のように反応してＢａＣＯ3 ・ｎ（Ｈ2 Ｏ）やＢａ（ＯＨ）2 ・ｎ（Ｈ2 Ｏ）の水和物やＢａＣＯ3 の炭酸化物に変化する。
【００１０】
ＢａＯ＋ＣＯ2 →ＢａＣＯ3
ＢａＣＯ3 ＋ｎＨ2 Ｏ→ＢａＣＯ3 ・ｎ（Ｈ2 Ｏ）
ＢａＯ＋Ｈ2 Ｏ→Ｂａ（ＯＨ）2
Ｂａ（ＯＨ）2 ＋ｎＨ2 Ｏ→Ｂａ（ＯＨ）2 ・ｎ（Ｈ2 Ｏ）
このため、アルカリ土類金属一酸化物をそのまま粉末で出発原料として用いたり、あるいはその粉末を焼結し、その焼結体を出発原料として用いたりして、ＰＶＤ法により吸湿膜を成膜した場合、出発原料中に水和物や炭酸化物の不純物が存在するため、安定に成膜することができず、また成膜された膜の品質も不均質で低純度となり、均質で純度の高い吸湿膜、すなわち吸湿性能の高い吸湿膜を成膜することが困難である。
【００１１】
また、封止部材８３の内側面に吸湿膜を成膜した場合、有機ＥＬ素子８１と吸湿膜との間に封入空間が介在し、両者間に距離があるため、有機ＥＬ素子８１の有機ＥＬ発光層８１ｂ等に水分が侵入することを効果的に防止することが困難である。
本発明は上記実情に鑑みてなされたものであり、高純度及び高均質で吸湿性能の高い吸湿膜を提供することを解決すべき第１の技術課題とし、有機ＥＬ素子の有機ＥＬ発光層等に水分が侵入することを効果的に防止することのできる吸湿膜を備えた有機ＥＬ表示装置を提供することを解決すべき第２の技術課題とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記第１の課題を解決する本発明の吸湿膜は、アルカリ土類過酸化物を出発原料に用いたＰＶＤ法により成膜されたアルカリ土類一酸化物からなることを特徴とするものである。
上記第２の課題を解決する本発明の有機ＥＬ表示装置は、透明基板と、該透明基板上に形成された透明電極層、該透明電極層上に形成された有機ＥＬ発光層及び該有機ＥＬ発光層上に形成された金属電極層よりなる有機ＥＬ素子と、内部に不活性流体を封入しつつ該有機ＥＬ素子を被覆するように該透明基板に接合された封止部材とを備えた有機ＥＬ表示装置において、上記有機ＥＬ素子上の非発光部及び上記封止部材の内側面のうちの少なくとも一方には、アルカリ土類過酸化物を出発原料として用いたＰＶＤ法により成膜されたアルカリ土類一酸化物からなる吸湿膜が形成されていることを特徴とするものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の吸湿膜は、アルカリ土類過酸化物を出発原料に用いたＰＶＤ法により成膜されたアルカリ土類一酸化物からなる。アルカリ土類過酸化物は、アルカリ土類一酸化物と違って大気中で安定に保存することができる。このため、アルカリ土類過酸化物の粉末を出発原料としたり、あるいはアルカリ土類過酸化物の粉末を焼結して、この焼結体を出発原料としたりして、ＰＶＤ法によりアルカリ土類一酸化物からなる吸湿膜を成膜した場合、出発原料中、例えば焼結体の粒界に水和物や炭酸化物等の不純物が介在することが無いことから、均質で純度の高い吸湿膜を成膜することができる。したがって、アルカリ土類過酸化物を出発原料に用いて成膜された本発明の吸湿膜は高い吸湿性能を発揮する。
【００１４】
上記アルカリ土類過酸化物とは、アルカリ土類金属の二酸化物、すなわちアルカリ土類金属の酸化物のうちＯ22-を有するものをいい、アルカリ土類金属を空気又は酸素中で熱すること等により生成することができる。アルカリ土類金属にはＣａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｒａ、ＢｅやＭｇがあり、本発明の吸湿膜にはいずれのアルカリ土類金属も用いることができるが、コスト、高純度材料の入手の容易性や実用性等を考慮すればＣａ、Ｓｒ、ＢａやＭｇを好適に用いることができる。
【００１５】
このアルカリ土類金属過酸化物からＰＶＤ法によりアルカリ土類一酸化物よりなる吸湿膜を成膜するには、アルカリ土類過酸化物の粉末を出発原料としたり、あるいはこの粉末を焼結した焼結体を出発原料としたりしてＰＶＤ法を行えばよい。
アルカリ土類過酸化物の粉末の調整条件は特に限定されず通常の条件とすることができる。例えば、ＢａＯ2 粉末を得る場合は、Ｂａ粉末、ＢａＯ・ｎ（Ｈ2 Ｏ）粉末又はＢａＯ・ＣＯ3 粉末を酸素雰囲気中、５００℃程度で加熱することにより、ＢａＯ2 粉末とすることができる。
【００１６】
また、アルカリ土類過酸化物の焼結体の焼結条件は特に限定されず、通常の焼結条件とすることができる。例えば、ＢａＯ2 粉末の焼結体を得る場合は、ＢａＯ2 の融点が４５０℃であるため、この温度よりも若干低い温度（４００〜４４０℃程度）で３０〜６０分程度、大気中で焼結することができる。なお、アルカリ土類一酸化物たる、例えばＢａＯを焼結する場合は１０００℃程度以上で焼結するため、これと比較してアルカリ土類過酸化物を焼結する場合は低温での焼結が可能なり、コスト面等で有利となる。
【００１７】
上記ＰＶＤ法としては特に限定されないが、電子ビーム加熱法やイオンプレーティング法等の真空蒸着法やスパッタ法等を好適に採用することができる。成膜条件も出発原料や成膜する吸湿膜の膜厚等に応じて適宜設定することができる。例えば、電子ビーム加熱法を採用した場合の成膜条件は、
出力    ：１〜２０ｋＶ程度、０．０５〜０．３Ａ程度
真空度  ：２×１０-6Ｐａ以下
成膜速度：０．１〜１．０ｎｍ／ｓｅｃ程度
とすることができ、イオンプレーティング法を採用した場合の成膜条件は、
出力    ：１〜２０ｋＶ程度、０．０５〜０．３Ａ程度
真空度  ：０．５〜２×１０-4Ｐａ程度（アルゴン圧力）
成膜速度：０．０５〜０．３ｎｍ／ｓｅｃ程度
とすることができ、スパッタ法を採用した場合の成膜条件は、
出力    ：５０〜５００Ｗ程度
真空度  ：１〜８×１０-4Ｐａ程度（アルゴン圧力）
成膜速度：５〜４０ｎｍ／ｓｅｃ程度
とすることができる。
【００１８】
ここに、吸湿膜を有機ＥＬ素子上に形成する場合は、成膜時における素子の損傷を抑える観点より、電子ビーム加熱法等の真空蒸着法を採用することが好ましい。
上記吸湿膜の膜厚としては特に限定されないが、膜厚が厚くなればなるほど吸湿性能は高くなるので、所望の吸湿性能を発揮しうるように適宜設定することができる。なお、吸湿膜の膜厚を厚くしすぎると、成膜コストが上昇したり、吸湿膜が剥離したりするおそれがある。このため、有機ＥＬ表示装置に適用する場合は、吸湿膜の膜厚を１００μｍ以下とすることが好ましく、０．１〜３０μｍ程度とすることがより好ましい。
【００１９】
また、本発明の吸湿膜を有機ＥＬ表示装置に適用する場合、有機ＥＬ素子を覆うように透明基板に接合されて透明基板との間に不活性流体が封入された封入空間を形成する封止部材の内側面に、この吸湿膜を形成することもできるが、有機ＥＬ発光層等への水分の侵入をより確実に防ぐ観点から、この吸湿膜は有機ＥＬ素子上に形成することが好ましい。この場合、吸湿膜をＰＶＤ法により成膜する際に有機ＥＬ素子の発光部が熱等により損傷することを防ぐべく、吸湿膜は有機ＥＬ素子上の非発光部に部分的に形成することが好ましい。このように有機ＥＬ素子上の非発光部に吸湿膜を部分的に形成した場合は、吸湿膜に吸着された水分や酸素が発光部の金属電極層等に悪影響を及ぼすことを阻止することができるとともに、後述するようにかかる悪影響を防止すべく金属電極層を安定な保護膜で覆う必要がなく、コスト面や生産面で有利となる。なお、吸湿膜を有機ＥＬ素子上の非発光部に部分的に形成する態様は、時計等のセグメント表示のように、有機ＥＬ素子上に非発光部が多く存在したり、マスクでパターンが形成できるほど粗いパターンの場合により好適に適用することができる。
【００２０】
ここに、吸湿膜は有機ＥＬ素子上に全面に形成することも可能であり、この場合、この吸湿膜の上にさらにＳｉＯ2 膜や樹脂膜等の保護膜を形成することにより、封止部材を省くことができる。また、有機ＥＬ素子上の発光部に吸湿膜を形成する場合（有機ＥＬ素子上に全面に吸湿膜を形成する場合を含む）は、吸湿膜に吸着された水分や酸素が金属電極層等に悪影響を及ぼすことを防ぐべく、金属電極層を安定な保護膜（ＳｉＯ2 膜やＭｇＦ膜等）で覆い、その上に吸湿膜を形成することが好ましい。
【００２１】
また、有機ＥＬ素子上の非発光部及び封止部材の内側面の双方に上記吸湿膜を形成することも勿論可能であり、この場合双方の吸湿膜による吸湿効果により、有機ＥＬ素子のさらなる長寿命化を図ることができる。
このように有機ＥＬ素子の上に、アルカリ土類過酸化物を出発原料として用いたＰＶＤ法により成膜されたアルカリ土類一酸化物からなる吸湿膜が、有機ＥＬ素子上の非発光部及び封止部材の内側面のうちの少なくとも一方に形成された本発明の有機ＥＬ表示装置では、吸湿性能の高い吸湿膜の吸湿効果により有機ＥＬ素子の長寿命化を図ることができる。また、有機ＥＬ素子上の非発光部に上記吸湿膜が形成されていれば、有機ＥＬ素子の有機ＥＬ発光層等と吸湿膜との距離が極めて短くなるため、該有機ＥＬ発光層等に水分が侵入することを吸湿膜により確実に防ぐことができ、有機ＥＬ素子の長寿命化を効果的に図ることが可能となる。
【００２２】
この有機ＥＬ表示装置は、透明基板と、該透明基板上に形成された透明電極層、該透明電極層上に形成された有機ＥＬ発光層及び該有機ＥＬ発光層上に形成された金属電極層よりなる有機ＥＬ素子と、内部に不活性流体を封入しつつ該有機ＥＬ素子を被覆するように該透明基板に接合された封止部材とを備えたものとすることができる。
【００２３】
透明基板としては、通常ガラス基板が用いられるが、合成樹脂基板を用いることもできる。また、透明基板として、フレキシブルな合成樹脂フィルムを用いることも可能である。なお、合成樹脂フィルムを用いた場合は、この合成樹脂フィルム自身を透過して外部から侵入した水分等を吸湿すべく、合成樹脂フィルムとこの合成樹脂フィルム上に形成された透明電極層との間にも、補助的な吸湿膜を形成することが好ましい。
【００２４】
有機ＥＬ素子は、従来と同様、透明基板上に形成された透明電極層と、該透明電極層上に形成された有機ＥＬ発光層と、該有機ＥＬ発光層上に形成された金属電極層とからなる。
透明電極層の材料としては、従来と同様にＩＴＯ（インジウム錫酸化物）、ＡＺＯ（Ａｌ添加ＺｎＯ）、ＳｎＯ2 などが例示される。この透明電極層はスパッタリングなどの方法により形成することができる。透明電極層のパターンは特に制限されず、ストライプ状など従来と同様のパターンに形成することができる。
【００２５】
有機ＥＬ発光層は、正孔輸送層と、正孔輸送層上に形成された発光体層と、発光体層上に形成された電子輸送層とから、従来と同様に構成することができる。この有機ＥＬ発光層は、真空蒸着法、ラングミュアブロジェット蒸着法、ディップコーティング法、スピンコーティング法、真空気体蒸着法、有機分子線エピタキシ法などを用いて形成することができる。
【００２６】
金属電極層の材料としては、Ｍｇ−Ａｇ合金、Ａｌなどの導電性金属が例示される。この金属電極層は、有機ＥＬ発光層上に形成するため、スパッタリングなどの高温や高エネルギーガスが作用する成膜法を用いて形成することができない。したがって、金属電極層の材料は蒸着法などで形成できる材料から選択される。
【００２７】
封止部材の形状としては、有機ＥＬ素子を封止部材内に気密的に封止しうるものであれば特に限定されない。例えば、一面に開口をもつ箱状あるいは板状の封止ガラスや樹脂等を用い、この封止ガラス等の周縁を透明基板の周縁に接着剤などの封止剤によって接合したり、あるいは箱状の封止部材のみで封入空間を構成しその内部に透明基板及び有機ＥＬ素子を配設したりすることができる。
【００２８】
封止部材と有機ＥＬ素子の金属電極層又は吸湿膜との間隔は、一般に１０〜１５０μｍとされる。この間隔が狭すぎると、封止部材と有機ＥＬ素子とが接触して有機ＥＬ素子が損傷するおそれがある。また、有機ＥＬ素子部以外の封入空間にスペーサを介在させて、有機ＥＬ素子の損傷を防止することもできる。
また封入空間内に封入される不活性物質としては、有機ＥＬ素子、封止部材及び封止剤に対して不活性なものであればよく、窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガスなどの不活性ガス、あるいはフッ素系の不活性液体を用いることができる。
【００２９】
【実施例】
以下、実施例により本発明を具体的に説明する。
（実施例１）
図１に示す本実施例１の有機ＥＬ表示装置は、本発明の吸湿膜を封止部材の内側面に設けたものである。
【００３０】
この有機ＥＬ表示装置は、透明基板としてのガラス基板１と、ガラス基板１上に形成されたＩＴＯ膜からなる透明電極層２１、透明電極層２１上に形成された有機ＥＬ発光層２２及び有機ＥＬ発光層２２上に形成されＭｇ−Ａｇ合金からなる金属電極層２３よりなる有機ＥＬ素子２と、内部に不活性流体を封入しつつ有機ＥＬ素子２を被覆するようにガラス基板１に接合された封止部材としての背面ガラス基板３と、ガラス基板１及び背面ガラス基板３の周縁同士を接合して両者間に封止空間４を形成する封止剤としての接着剤５と、背面ガラス基板３の内側面に形成された吸湿膜６とから構成されている。
【００３１】
ガラス基板１及び背面ガラス基板３はソーダ石灰ガラスよりなり、板厚はいずれも１．１ｍｍである。
透明電極層２１は、スパッタリングによりガラス基板１上にストライプ状に形成され、その厚さは１０００〜２０００Åである。また有機ＥＬ発光層２２は、透明電極層２１上のほぼ全面に形成された正孔輸送層と、正孔輸送層上に形成された発光体層と、発光体層上に形成された電子輸送層とから構成され、それぞれ公知の有機材料から蒸着法により形成されて、全体の厚さは１０００〜１５００Åとなっている。
【００３２】
そして金属電極層２３は、マスクを介して蒸着法により厚さ１５００〜２０００Åに形成され、透明電極層２１に対して直交するストライプ状となっている。したがってこの有機ＥＬ素子２では、ドットマトリクス方式で駆動される透明電極層２１及び金属電極層２３を介して有機ＥＬ発光層２２に直流電圧を印加することにより発光し、その発光は透明電極層２１及びガラス基板１を透過してガラス基板１の表面から視認される。また透明電極層２１と金属電極層２３とで形成されるマトリクスの所定点を選択して通電すれば、その点が画素となるので、ディスプレイとして画像を表示することが可能となる。
【００３３】
背面ガラス基板３の内側面に形成された吸湿膜６は、アルカリ土類過酸化物を出発原料に用いたＰＶＤ法により成膜されたアルカリ土類一酸化物からなる。吸湿膜６は、具体的に二酸化バリウム（ＢａＯ2 ）粉末を大気中で、４４０℃×３０分の条件で焼結して得られた焼結体をターゲットとして、イオンプレーティング法により成膜された一酸化バリウム（ＢａＯ）からなるもので、背面ガラス基板３の内側面に膜厚１．０μｍの厚さで成膜されている。以下、吸湿膜６の成膜方法を詳細に示す。
【００３４】
まず、背面ガラス基板３をアルカリ洗浄、純水洗浄、乾燥窒素でのスピン乾燥、超音波を用いたウェット洗浄及び紫外線によるドライ洗浄を順次行い、純水による接触角が５°程度となるように表面を浄化した。そして、蒸着及びスパッタが可能な装置を用い、真空度が２．０×１０-6Ｐａの下でＲＦ逆スパッタ（Ａｒ等の気体粒子を基板表面に直接衝突させて洗浄する方法）を施してから、背面ガラス基板３を２５０℃に加熱し、さらに表面を浄化した。そして、背面ガラス基板３を２５０℃に加熱した状態で、上記二酸化バリウムの焼結体をターゲットとしてＤＣイオンプレーティングを行って、背面ガラス基板３の表面に一酸化バリウム（ＢａＯ）よりなる吸湿膜６を成膜した。なおイオンプレーティングの成膜条件は以下のとおりである。また得られた吸湿膜６について成分をＸ線回折及びＥＰＭＡにより調べたところ、吸湿膜６はＢａＯのみからなり、吸湿膜６内に不純物の存在は認められなかった。また吸湿膜６の密度は５．７２ｇ／ｃｍ3 であり、バルクの密度とほぼ同一であった。
【００３５】
出力    ：１０ｋＶ、０．１５Ａ
真空度  ：１．３３×１０-2Ｐａ（Ａｒ圧）
成膜速度：５０ｎｍ／ｓｅｃ
上記のように吸湿膜６が成膜された背面ガラス基板３と、上記有機ＥＬ素子２が形成されたガラス基板１とは、１気圧の窒素ガス雰囲気内で両者の周縁同士が紫外線硬化型の接着剤５により接合される。なお、紫外線硬化型の接着剤を用いることで、接着時に高温となって有機ＥＬ素子２が劣化するような不具合が防止されている。また、接着剤５は、透明電極層２１、有機ＥＬ発光層２２及び金属電極層２３が存在せずに表出するガラス基板１の表面に設けられている。こうしてガラス基板１、背面ガラス基板３及び接着剤５により気密な封入空間４が形成され、この封入空間４内には窒素ガスが封入されている。なお、窒素ガスの圧力は室温（２５℃）において１気圧となるように設定されている。また封入空間４への窒素ガスの封入は、予め有機ＥＬ素子２を形成したガラス基板１と背面ガラス基板３とを窒素ガス中で接着剤６により接合することで行うことができる。
【００３６】
本実施例の有機ＥＬ表示装置では、有機ＥＬ素子２を封止する封止部材としての背面ガラス基板３の内側面に、アルカリ土類過酸化物（ＢａＯ2 ）を出発原料に用いたイオンプレーティング法により成膜されたアルカリ土類一酸化物（ＢａＯ）のみからなる吸湿膜６が形成されている。このように大気中で安定なアルカリ土類過酸化物をターゲットとして吸湿膜６を成膜しているので、この吸湿膜６は均質で純度の高いものとなり、したがって高い吸湿性能を発揮する。よって、本実施例の有機ＥＬ表示装置では、有機ＥＬ素子２の有機ＥＬ発光層２２等に水分が侵入することを効果的に防ぐことができ、有機ＥＬ素子２の長寿命化を図ることができる。
【００３７】
なお、上記実施例１の有機ＥＬ表示装置を製造する場合、大きなガラス基板１及び背面ガラス基板３を用い、ガラス基板１上に複数個の有機ＥＬ素子２を形成するとともに、背面ガラス基板３の表面全面に又はマスクを使用して所定部位に複数個の吸湿膜６を形成した後、所定部位に接着剤５を塗布して両者を接合し、最後に分断することにより、複数個の有機ＥＬ表示装置を生産性高く製造することができる。
【００３８】
（比較例１）
アルカリ土類金属過酸化物としてのＢａＯ2 の代わりに、アルカリ土類金属一酸化物としてのＢａＯを出発原料に用いること以外は、上記実施例１と同様である。
（比較例２）
吸湿膜６を形成しないこと以外は上記実施例１と同様である。
【００３９】
（評価）
上記実施例１並びに比較例１及び２の有機ＥＬ表示装置について、吸湿膜６による吸湿性能を評価した。これは、この有機ＥＬ表示装置を温度が８５℃、相対湿度が８５％の高温高湿雰囲気に放置し、放置前の初期状態に認められた直径８〜１５μｍのダークスポットが成長する様子を観測することにより行った。その観測結果、すなわち放置時間とダークスポットの直径との関係を図２に示す。なお、図２は試料数３０についての平均観測結果を示すものである。また、ダークスポットの直径が大きくなるほど、有機ＥＬ素子２内に水分が侵入していること、すなわち吸湿膜６による吸湿性能が低下していることを示す。
【００４０】
図２から明らかなように、アルカリ土類金属一酸化物としてのＢａＯを出発原料として成膜した吸湿膜を備えた比較例１の有機ＥＬ表示装置と、吸湿膜を形成していない比較例２の有機ＥＬ表示装置とでは、放置時間に対するダークスポットの成長割合が大きく、有機ＥＬ素子２等が時間とともに大きく劣化している。これに対し、アルカリ土類過酸化物としてのＢａＯ2 を出発原料として成膜した吸湿膜６を備えた実施例１の有機ＥＬ表示装置では、比較例１及び比較例２のものと比べて、ダークスポットの成長割合が極めて小さく、有機ＥＬ素子２等の水分による劣化度合が小さい。したがって、アルカリ土類過酸化物としてのＢａＯ2 を出発原料として成膜した吸湿膜６は高い吸湿性能を示すことがわかる。
【００４１】
（第２実施例）
図３及び図４に示す本実施例２の有機ＥＬ表示装置は、アルカリ土類過酸化物としてのＢａＯ2 を出発原料として成膜した上記吸湿膜６を有機ＥＬ素子２の上に非発光部に部分的に形成したものである。
すなわち、この有機ＥＬ表示装置では、上記実施例１と同様にガラス基板１の上にドットマトリクス方式で駆動される有機ＥＬ素子２を形成した後、マスキング処理を施すことにより、有機ＥＬ発光層２２の上であって金属電極層２３が形成されていない周縁部のみに、上記吸湿膜６を成膜した。なお、図４において、点線斜線で示す領域Ａが金属電極層２３が形成された発光部領域を示し、この領域の周囲の斜線で示す領域Ｂが非発光部領域であって吸湿膜６が形成された領域を示す。
【００４２】
この吸湿膜６は、上記実施例１と同様、アルカリ土類過酸化物としてのＢａＯ2 を出発原料として用いたイオンプレーティング法により成膜したＢａＯのみからなるもので、その膜厚は実施例１と同様１μｍとされている。
その他の構成は上記実施例１と同様である。
この有機ＥＬ表示装置では、吸湿膜６が有機ＥＬ素子２の上であって非発光部領域Ｂに部分的に形成されているため、有機ＥＬ素子２の有機ＥＬ発光層２２等と吸湿膜６との距離が極めて短くなるため、該有機ＥＬ発光層２２等に水分が侵入することを吸湿膜６により確実に防ぐことができ、有機ＥＬ素子２の長寿命化を効果的に図ることが可能となる。
【００４３】
また、吸湿膜６は有機ＥＬ素子２上の非発光部領域Ｂに部分的に形成されているため、吸湿膜６を成膜する際の熱等により有機ＥＬ素子２の発光部領域Ａが損傷することを防ぐことができる。
さらに、有機ＥＬ素子２上の非発光部領域Ｂに吸湿膜６が部分的に形成されているため、吸湿膜６に吸着された水分や酸素が発光部領域Ａの金属電極層２３等に悪影響を及ぼすことを阻止することができる。また、かかる悪影響を防止すべく金属電極層２３を安定な保護膜で覆う必要がなく、コスト面や生産面で有利となる。
【００４４】
なお、図５に示すように、セグメント方式で有機ＥＬ素子２を駆動する場合は、有機ＥＬ素子２上であって、図５に斜線で示される非発光部領域Ｂに吸湿膜６を形成することができる。
【００４５】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明の吸湿膜は、大気中で安定なアルカリ土類過酸化物を出発原料に用いたＰＶＤ法により成膜されたアルカリ土類一酸化物からなるので、高純度及び高均質で、したがって吸湿性能の高いものとなる。
また、このように吸湿性能の高い吸湿膜を備えた本発明の有機ＥＬ表示装置は、有機ＥＬ素子の有機ＥＬ発光層等に水分が侵入することを効果的に防止することができ、有機ＥＬ素子の長寿命化を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の有機ＥＬ表示装置の断面図である。
【図２】吸湿膜による吸湿性能の評価結果を示し、放置時間とダークスポット直径との関係を示すグラフである。
【図３】本発明の他の実施例の有機ＥＬ表示装置の断面図である。
【図４】上記他の実施例の有機ＥＬ表示装置の平面図であり、吸湿膜を成膜する非発光部の領域を示す説明図である。
【図５】本発明のさらに他の実施例の有機ＥＬ表示装置の平面図であり、吸湿膜を成膜する非発光部の領域を示す説明図である。
【図６】従来の有機ＥＬ表示装置の断面図である。
【符号の説明】
１…ガラス基板（透明基板）        ２…有機ＥＬ素子
３…背面ガラス基板（封止部材）    ４…封入空間
５…接着剤                        ６…吸湿膜
Ａ…発光部領域                    Ｂ…非発光部領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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