(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
二枚の基板が複数の隔壁を介して対向配置され、一枚の前記基板上に設けられた各隔壁によって区画された間に蛍光体層が形成されたプラズマディスプレイパネルの前記蛍光体層の形成方法であって、
複数の前記隔壁が設けられた前記基板上に、前記隔壁の間の位置に対応する開口部を有するマスクを、前記隔壁を介して設置するマスク設置工程、
前記マスクの開口部から前記隔壁の間に粉末からなる蛍光体材料を充填し、移動体を用いて前記開口部へ前記蛍光体材料を押し付けることにより前記隔壁の各間における前記蛍光体材料の充填量を一定にする蛍光体材料充填工程、
前記マスクを前記隔壁から分離するマスク分離工程、
前記蛍光体材料を溶融させる溶融工程、
溶融した前記蛍光体材料を焼成させて前記蛍光体層とする焼成工程、
を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成方法。
【請求項２】
前記蛍光体材料として赤色、緑色および青色の前記蛍光体材料が用いられ、
前記マスク設置工程は、各色の前記蛍光体材料について異なる位置に前記マスクを設置し、
各色の前記蛍光体材料について、前記マスク設置工程、前記蛍光体材料充填工程、前記マスク分離工程および前記溶融工程を行った後、前記焼成工程を行うとともに、
前記蛍光体材料充填工程は、前記隔壁の各間における同一色の前記蛍光体材料の充填量を一定にすることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成方法。
【請求項３】
前記蛍光体材料は、蛍光体が樹脂で被覆された粉末であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成方法。
【請求項４】
前記蛍光体材料は、蛍光体粉末と樹脂粉末とからなる混合粉末であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成方法。
【請求項５】
前記蛍光体材料は、蛍光体：樹脂の重量比が３：７〜７：３であることを特徴とする請求項３または請求項４に記載のプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成方法。
【請求項６】
前記マスクの開口部は、前記隔壁と接する側が広がった形状、前記マスクの厚さ方向に平行である形状、前記マスクの厚みの間の位置から前記隔壁と接する側に向かって広がり前記隔壁と接しない側に向かって前記マスクの厚さ方向に平行である形状、または、前記マスクの厚みの間の位置から前記隔壁と接する側および前記隔壁と接しない側に向かって広がった形状を有することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載のプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成方法。
【請求項７】
前記マスクは、前記開口部の側壁が平滑であることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載のプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成方法。
【請求項８】
前記マスクには、前記蛍光体材料の付着を防止する表面処理が施されていることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載のプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成方法。
【請求項１０】
前記移動体は、スキージであることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成方法。
【請求項１１】
前記移動体は、内部に前記蛍光体材料が入っており、回転しつつ前記蛍光体材料を外側に供給する移動体であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成方法。
【請求項１２】
前記蛍光体材料充填工程は、前記隔壁の間に粉末からなる前記蛍光体材料を充填した後、前記マスク上に残留した前記蛍光体材料を除去する粉末除去工程を有することを特徴とする請求項１乃至請求項８、１０、１１のいずれか一項に記載のプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成方法。
【請求項１３】
二枚の基板が複数の隔壁を介して対向配置され、一枚の前記基板上に設けられた各隔壁によって区画された間に蛍光体層が形成されたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
複数の前記隔壁が設けられた前記基板上に、前記隔壁の間の位置に対応する開口部を有するマスクを、前記隔壁を介して設置するマスク設置工程、
前記マスクの開口部から前記隔壁の間に粉末からなる蛍光体材料を充填し、移動体を用いて前記開口部へ前記蛍光体材料を押し付けることにより前記隔壁の各間における前記蛍光体材料の充填量を一定にする蛍光体材料充填工程、
前記マスクを前記隔壁から分離するマスク分離工程、
前記蛍光体材料を溶融させる溶融工程、
溶融した前記蛍光体材料を焼成させて前記蛍光体層とする焼成工程、
を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、ディスプレイ等の表示装置に用いられるプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成方法およびプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディスプレイ等の表示装置に用いられるパネルとして、プラズマディスプレイパネルが開発されている。このプラズマディスプレイパネルは、通常、前面基板上に、透明電極、バス電極、ブラックストライプ、透明誘電体層および保護膜が、所定の位置に形成された前面板と、背面基板上に、アドレス電極、誘電体層、隔壁（一般に、リブとも呼ばれる。）、蛍光体層が所定の位置に形成された背面板とを、各基板が外側になるように貼り合わせ、ガス封入等を行うことにより製造される。
【０００３】
具体的に、プラズマディスプレイパネルの背面基板は、背面基板上に隔壁を並行に設置し、各隔壁の間にＲＧＢ（赤緑青）の三色の蛍光体層からなる画素を設けたものである。この画素となる蛍光体層は、例えば、特許文献１に示されるように、蛍光体とバインダーと溶剤との混合液からなる蛍光体ペーストが、スクリーン印刷によって各隔壁の間に塗られたものである。通常、画素のＲＧＢの三色を塗り分けるために、一色についてスクリーン印刷工程および蛍光体ペーストの溶剤の乾燥工程を行い、これを三回繰り返している。
【特許文献１】
特開平５−２９９０１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のようにプラズマディスプレイパネルの背面基板を作製するにあたり、スクリーン印刷の際に、スキージを移動させて、スクリーンマスクの蛍光体層に対応する開口部から蛍光体ペーストを挿入するとともに、不要な蛍光体ペーストを除去する。このとき、スキージの移動によりスクリーンマスクに圧力がかかることとなり、この圧力に耐えられるように、スクリーンマスクの開口部はメッシュを有した構造となっている。このプラズマディスプレイパネルの画素に対するメッシュの位置や粗さによっては、挿入される蛍光体ペースト、すなわち、蛍光体の量にばらつきが生じるため、製造されたプラズマディスプレイパネルにより表示される画像の画質が低下するという不都合がある。
［０００５］
今後、プラズマディスプレイパネルの画素がより精細になってくると、画素間の蛍光体の量にばらつきが生じる影響が顕著となるため、スクリーン印刷を用いてプラズマディスプレイパネルを量産することは困難となってくる。
［０００６］
そこで、本願は、上述の背景技術において生じる不都合を解決し、蛍光体層の形成における代替の技術を提供するとともに、画素を高精細なものとしても画質が良好であるプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成方法およびプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを課題の一例とする。
【課題を解決するための手段】
［０００７］
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、二枚の基板が複数の隔壁を介して対向配置され、一枚の前記基板上に設けられた各隔壁によって区画された間に蛍光体層が形成されたプラズマディスプレイパネルの前記蛍光体層の形成方法であって、複数の前記隔壁が設けられた前記基板上に、前記隔壁の間の位置に対応する開口部を有するマスクを、前記隔壁を介して設置するマスク設置工程、前記マスクの開口部から前記隔壁の間に粉末からなる蛍光体材料を充填し、移動体を用いて前記開口部へ前記蛍光体材料を押し付けることにより前記隔壁の各間における前記蛍光体材料の充填量を一定にする蛍光体材料充填工程、前記マスクを前記隔壁から分離するマスク分離工程、前記蛍光体材料を溶融させる溶融工程、溶融した前記蛍光体材料を焼成させて前記蛍光体層とする焼成工程、を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成方法である。
［０００８］
上記課題を解決するために、請求項１３に記載の発明は、二枚の基板が複数の隔壁を介して対向配置され、一枚の前記基板上に設けられた各隔壁によって区画された間に蛍光体層が形成されたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、複数の前記隔壁が設けられた前記基板上に、前記隔壁の間の位置に対応する開口部を有するマスクを、前記隔壁を介して設置するマスク設置工程、前記マスクの開口部から前記隔壁の間に粉末からなる蛍光体材料を充填し、移動体を用いて前記開口部へ前記蛍光体材料を押し付けることにより前記隔壁の各間における前記蛍光体材料の充填量を一定にする蛍光体材料充填工程、前記マスクを前記隔壁から分離するマスク分離工程、前記蛍光体材料を溶融させる溶融工程、溶融した前記蛍光体材料を焼成させて前記蛍光体層とする焼成工程、を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１（ａ）から図１（ｇ）は、本実施形態のプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成工程を示す工程図である。
【図２】図２（ａ）から図２（ｄ）は、本実施形態のプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成工程に用いられるマスクの各形状を示す断面図である。
【図３】図３（ａ）および図（ｂ）は、本実施形態のプラズマディスプレイパネルの製造に用いられる粉末からなる蛍光体材料の各例を示す図である。
【図４】図４（ａ）および図４（ｂ）は、他の実施形態の蛍光体材料充填工程を示す図である。
【図５】図５は、プラズマディスプレイパネルの一般的な構造を示す概略図である。
【符号の説明】
【００１０】
１０…背面板
１１…背面基板
１２…隔壁
１３１…粉末からなる蛍光体材料
１４１、１４２、１４３…溶融後の蛍光体材料
１５１、１５２、１５３…蛍光体層（焼成後の蛍光体材料）
１７…アドレス電極
１８…誘電体層
２１…マスク
２２１、２２２、２２３、２２４…開口部
３１…スキージ
３２…回転移動体
３３…粉末供給回転移動体
４０…プラズマディスプレイパネル
５０…前面板
５１…前面基板
５２…透明電極
５３…バス電極
５４…ブラックストライプ
５５…透明誘電体層
５６…保護膜
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に、図面を参照して、本実施形態のプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成方法およびプラズマディスプレイパネルの製造方法について具体的に説明する。
【００１２】
なお、図１（ａ）から図１（ｇ）は、本実施形態のプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成工程を示す工程図であり、図２（ａ）から図２（ｄ）は、本実施形態のプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成工程に用いられるマスクの各形状を示す断面図である。また、図３（ａ）および図３（ｂ）は、本実施形態のプラズマディスプレイパネルの製造に用いられる粉末からなる蛍光体材料の各例を示す図であり、図４（ａ）および図４（ｂ）は、他の実施形態の蛍光体材料の充填工程を示す図であり、図５は、プラズマディスプレイパネルの一般的な構造を示す概略図である。本願においては、各図にプラズマディスプレイやその一部が示されるように、背面基板１１を下側、隔壁１２を上側とした場合の上下を単に上下という。
【００１３】
まず、図１（ａ）から図１（ｇ）に示すように、本実施形態のプラズマディスプレイパネル４０の蛍光体層１５１の形成方法は、複数の隔壁１２が設けられた背面基板１１上に、隔壁１２の間の位置に対応する開口部２２１を有するマスク２１を、隔壁１２を介して設置するマスク設置工程（図１（ａ））、マスク２１の開口部２２１から隔壁１２の間に粉末からなる蛍光体材料１３１を充填する蛍光体材料充填工程（図１（ｂ）、図１（ｃ））、マスク２１を隔壁１２から分離するマスク分離工程（図１（ｄ））、蛍光体材料１３１を溶融させる溶融工程（図１（ｅ）、図１（ｆ））、溶融した蛍光体材料１４１を焼成させて蛍光体層１５１とする焼成工程（図１（ｇ））、を有することを特徴とする。
【００１４】
なお、この形成方法は、例えば、後述する図５に示すような、二枚の基板（背面基板）１１および（前面基板）５１が複数の隔壁１２を介して対向配置され、一枚の基板（背面基板）１１上に設けられた各隔壁１２によって区画された間に蛍光体層１５１、１５２、１５３が形成されたプラズマディスプレイパネル４０を対象とする。図１の各図、図２の各図および図４の各図は、図５に示されるようなプラズマディスプレイパネル４０に本来備えられるアドレス電極や誘電体層を省略し、背面基板１１上に隔壁１２を設けた状態の図である。
【００１５】
上述のプラズマディスプレイパネル４０における蛍光体層１５１、１５２、１５３を形成するための各工程について説明する。
【００１６】
まず、マスク設置工程（ａ）は、複数の隔壁１２が設けられた背面基板１１上に、隔壁１２の間の位置に対応する開口部２２１を有するマスク２１を、隔壁１２を介して設置する。このとき、マスク２１を隔壁１２に密着させる。なお、各隔壁１２の間の部分は、プラズマディスプレイパネルの画素に対応する部分であり、この部分を以下においてセルともいう。
【００１７】
各隔壁１２は、通常、画素に対応する距離を空けて、背面基板１１上に平行に設けられており、さらに、この設けられた隔壁１２に対して垂直方向にも設けられている。この背面基板１１および隔壁１２の材料は、従来公知のプラズマディスプレイパネルに用いられる材料が用いられ、隔壁１２の形成方法は、従来公知の隔壁１２の形成方法により形成することができる。
【００１８】
マスク２１は、隔壁１２上に設置したときに、隔壁１２の間の位置に対応する開口部２２１を有する。マスク２１としては、例えば、金属製のメタルマスクが用いられ、後述するように、粉末からなる蛍光体材料を開口部２２１から隔壁１２間に充填できるよう、スキージ等の圧力に耐えられる一定の形状を保てるマスクを用いることが好ましい。なお、マスク２１の開口部２２１は、スクリーン印刷用のマスクのようにメッシュ構造を有さないので、後述する蛍光体材料の充填量が画素によってばらつくことが防止され、また、マスク２１自体を簡易に作製することができ、マスク２１自体の寿命も長くなる。
【００１９】
図１（ａ）においては、マスク２１の開口部２２１の形状を、隔壁１２と接する側が広がった形状としているが、開口部の形状はこの構成に限定されない。例えば、図２（ａ）に示すように、マスク２１の開口部２２２の形状を、マスク２１の隔壁１２と接する面に対して垂直である形状としてもよい。また、図２（ｂ）に示すように、マスク２１の開口部２２３の形状を、マスク２１の厚みの間の位置から隔壁１２と接する側に向かって広がり、隔壁１２と接しない側に向かって垂直な形状としてもよいし、図２（ｃ）に示すように、マスク２１の開口部２２４の形状を、マスク２１の厚みの間の位置から隔壁１２と接する側および隔壁１２と接しない側に向かって広がった形状としてもよい。図２（ｂ）に示すマスク２１の開口部２２３や、図２（ｃ）に示すマスク２１の開口部２２４において、開口部の形状が変わる位置は、例えば、マスク２１の厚さ方向の中心とすることができる。
【００２０】
マスク２１の開口部の下端における幅Ｗ１は、セルの上端の幅Ｗ２よりも小さくする（図２（ｄ）参照）。この構成により、後述する蛍光体材料が隔壁１２を越えて隣のセルに混入することを抑えられるため、複数色の蛍光体材料を用いた場合に、隣り合う画素同士の混色が防止される。
【００２１】
また、マスク２１は、開口部２２１の側壁が平滑であることが好ましい。さらに、マスク２１には、蛍光体材料の付着を防止する表面処理、例えば、ポリテトラフルオロエチレンによるコーティング等が施されていることが好ましい。マスク２１やその開口部２２１がこのような構成になっていることにより、セルに充填された蛍光体材料がマスク２１に付着することが防止され、後述するマスク分離工程（ｄ）で、マスク２１を隔壁１２から分離させたときにマスク２１側に蛍光体材料が残らないため、蛍光体材料の充填量が画素によってばらつくことが防止される。
【００２２】
次いで、蛍光体材料充填工程（ｂ、ｃ）は、マスク２１の開口部２２１から隔壁１２の間に粉末からなる蛍光体材料１３１を充填する。
【００２３】
まず、蛍光体材料１３１について説明する。
【００２４】
粉末からなる蛍光体材料１３１は、例えば、図３（ａ）に示すように、黒丸で示す蛍光体１３５が白い層で示す樹脂１３６で被覆された粉末１３１であるか、図３（ｂ）黒丸で示す蛍光体粉末１３５と白丸で示す樹脂粉末１３７とからなる混合粉末１３１である。
【００２５】
蛍光体１３５としては、プラズマディスプレイパネルの画素に用いられる従来公知の材料が用いられ、例えば、マンガン付オルトケイ酸亜鉛（Ｚｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ）等が用いられる。
【００２６】
樹脂１３６および１３７としては、熱により溶融する特性を有するものが用いられ、例えば、アクリル樹脂、パラフィン等が用いられる。なお、この樹脂成分は後述する焼成工程（ｇ）において最終的に焼失するものである。
【００２７】
図３（ａ）に示す蛍光体材料１３１は、蛍光体粒子１３５が一個づつ樹脂１３６で被覆されている。蛍光体粒子１３５の粒径は、特に限定されないが、例えば、１ｎｍ〜１０μｍ程度であり、好ましくは、１〜５μｍ程度である。また、複数個の蛍光体粒子１３５を、樹脂１３６で被覆した粒子としてもよい。
【００２８】
図３（ｂ）に示す蛍光体材料１３１は、蛍光体粒子１３５と熱溶融性樹脂１３７とを、一定の比率で均一に混合させたものである。この蛍光体粒子１３５の粒径は、特に限定されないが、例えば、１ｎｍ〜１０μｍ程度であり、好ましくは、１〜５μｍ程度である。また、熱溶融性樹脂１３７の粒径も、特に限定されないが、例えば、１ｎｍ〜１０μｍ程度であり、好ましくは、１〜５μｍ程度である。
【００２９】
このように、蛍光体材料１３１を構成する粒子の粒径は、後述する溶融工程（ｅ、ｆ）において、溶融後の蛍光体材料１４１が各セル間で等量となるように、一定の範囲内にすることが好ましい。
【００３０】
図３（ａ）および図３（ｂ）のいずれの場合においても、蛍光体材料１３１は、蛍光体：樹脂の重量比が３：７〜７：３であることが好ましい。この蛍光体と樹脂との重量比は、後述する溶融工程（ｅ、ｆ）において、溶融した樹脂１３６、１３７中において、蛍光体粒子１３５が自由に動ける範囲としたものである。樹脂１３６、１３７に対して蛍光体１３５の重量が少ない場合には、形成される蛍光体層１５１が必要な厚さとならない。
【００３１】
蛍光体材料１３１には、蛍光体１３５および樹脂１３６または１３７の他に、電子写真で使用されるトナーと同様に、粉末の流動性を上げるための添加剤や、粉末の凝固を防止するための添加剤を添加することもできる。
【００３２】
次いで、上述の蛍光体材料１３１を用いた蛍光体材料充填工程（ｂ、ｃ）について説明する。
【００３３】
マスク２１の開口部２２１から隔壁１２の間（セル内）に粉末からなる蛍光体材料１３１を充填するためには、図１（ｂ）に示すように、マスク２１の上に蛍光体材料１３１を供給し、スキージ３１等の移動装置を往復させて、マスク２１の開口部２２１からセル内に蛍光体材料１３１を落とした後、蛍光体材料１３１を押し付けてセル内に充填する。
【００３４】
このとき、蛍光体材料１３１をセル内に強制的に充填し、充填された粉末を固形状（塊状）にするとともに、各セル内の蛍光体材料１３１の充填量を一定にする。各セル内の蛍光体材料１３１の充填量を一定にすることにより、後述する溶融工程（ｅ、ｆ）において、溶融後の蛍光体材料１４１の量を一定にすることができ、後述する焼成工程（ｇ）後において、各セル間の蛍光体層１５１に含まれる蛍光体１３５の量が均一になり、製造されたプラズマディスプレイパネルを使用して画像を表示したときの画質が良好となる。
【００３５】
また、マスク２１の開口部２２１から隔壁１２の間（セル内）に粉末からなる蛍光体材料１３１を充填するためには、図１（ｂ）に示される工程に限定されず、図４（ａ）に示すように、マスク２１の上に蛍光体材料１３１を供給した状態で、回転し、かつ、移動できる回転移動体３２等の回転移動装置により蛍光体材料１３１を充填してもよいし、図４（ｂ）に示すように、内部に充填した蛍光体材料１３１（粉末）を供給する機能を持った回転移動体３３等の粉末供給回転移動装置により蛍光体材料１３１を充填してもよい。
【００３６】
その後、図１（ｃ）に示すように、スキージを用いてマスク２１上に残った余分な蛍光体材料１３１を掻き取る。
【００３７】
次いで、マスク分離工程（ｄ）は、マスク２１を隔壁１２から分離する。
【００３８】
具体的に、蛍光体材料１３１が隣り合うセルの蛍光体材料と混色することを防止するために、背面基板１１に対し垂直にマスク２１を上げることにより、マスク２１を各隔壁１２から分離する。蛍光体材料１３１は、上述のように、強制的に充填されて、固形状になっていること、および、マスク２１を各隔壁１２および蛍光体材料１３１から分離する際に、マスク２１の開口部２２１が上述のような構成になっており摺動性が良いことにより、蛍光体材料１３１とマスク２１の開口部２２の側面との摩擦力は、蛍光体材料１３１と隔壁１２の側面との摩擦力より小さくなるため、蛍光体材料１３１は固形状のまま背面基板１１の隔壁１２間（セル内）に残る。
【００３９】
次いで、溶融工程（ｅ、ｆ）は、蛍光体材料１３１を溶融させる。
【００４０】
具体的に、各セル内に充填された蛍光体材料１３１を樹脂１３６または１３７の融点以上に加熱することにより、蛍光体材料１３１の樹脂１３６または１３７は、溶融して液状となる。
【００４１】
このとき、溶融した蛍光体材料１４１の液面が隔壁１２の上端と同程度、または、隔壁１２の上端よりもやや少ない程度になるようにする。蛍光体材料１４１の液面が低すぎると、隔壁１２間（セル内）に蛍光体層１５１が良好に形成されなくなる。一方、蛍光体材料１４１の液面が高すぎると、隣り合うセルの蛍光体１３５と混色したり、後述する他の色の蛍光体材料１４１または１５１用のマスクが隔壁１２に密着しにくくなる原因となる。
【００４２】
ここで、マスク２１を分離した後の蛍光体材料１３１は、マスク２１の厚さ分だけ、各隔壁１２よりも上側に盛り上がっており、この蛍光体材料１３１を加熱し、粉末状の蛍光体材料１３１から液状の蛍光体材料１４１になるときに、蛍光体材料１３１の粒子間の隙間がなくなり、その分だけ蛍光体材料の体積が減少する。
【００４３】
したがって、溶融した蛍光体材料１４１の液面の位置と、加熱時の体積の減少量を考慮して、上述の蛍光体材料充填工程（ｂ、ｃ）において、蛍光体材料１３１の粒子径を最適化し、セル内への蛍光体材料１３１の充填量を一定化する。また、使用するマスク２１の厚さを制御することによっても、蛍光体材料１３１の充填量を制御することができる。
【００４４】
その後、加熱を止め、蛍光体材料１４１を樹脂１３６または１３７の融点以下まで冷却させ、蛍光体材料１４１を硬化させる。
【００４５】
次いで、焼成工程（ｇ）は、溶融した蛍光体材料１４１を焼成させて蛍光体層１５１とする。
【００４６】
具体的に、蛍光体材料１４１を樹脂１３６または１３７の点火温度以上に加熱すると、蛍光体材料１４１中の樹脂１３６または１３７は焼失し、蛍光体１３５のみがセル内に残る。このとき、蛍光体層１５１を各隔壁１２および背面基板１２に所定の厚さで設けるために、蛍光体材料１４１の加熱温度プロファイルを最適化することが好ましい。
【００４７】
なお、画素を一色で形成するときや、複数色の画素を設ける場合に最後の色の蛍光体材料を溶融したとき（図１（ｆ）の状態）には、蛍光体材料を冷却することなく、そのまま加熱温度を上げていき、焼成工程（ｇ）を行ってもよい。
【００４８】
ここで、プラズマディスプレイパネル４０に複数色、例えば、赤色、緑色および青色（ＲＧＢ）の画素を設ける場合には、一色目の色の蛍光体材料についてマスク２１を設置するマスク設置工程（ａ）、蛍光体材料充填工程（ｂ、ｃ）、マスク分離工程（ｄ）および溶融工程（ｅ）を行い、他の各色の蛍光体材料について異なる位置にマスク２１を設置するマスク設置工程（ａ）、蛍光体材料充填工程（ｂ、ｃ）、マスク分離工程（ｄ）および溶融工程（ｅ）を行い、図１（ｆ）に示すように、各隔壁１２間（セル内）に赤色の蛍光体材料１４１、緑色の蛍光体材料１４２、青色の蛍光体材料１４３を溶融させた後に、焼成工程（ｇ）を行う。
【００４９】
次いで、上記実施形態の蛍光体層の形成方法を適用して製造されるプラズマディスプレイパネル４０の例を、図５を用いて説明する。
【００５０】
プラズマディスプレイパネル４０は、図５に示すように、上側から、前面基板５１上に、透明電極５２、バス電極５３、ブラックストライプ５４、透明誘電体層５５および保護膜（ＭｇＯ）５６が所定の位置に形成された前面板５０と、下側から、背面基板１１上に、アドレス電極１７、誘電体層１８、隔壁１２、蛍光体層１５１、１５２、１５３が所定の位置に形成された背面板１０とを、各基板５１および１１が外側になるように気密封止して貼り合わせ、ガス封入等を行うことにより製造されたものである。
【００５１】
このプラズマディスプレイパネル４０は、所定の電極に電流を流してパネル内部に封入されたガスを放電させることにより、蛍光体層１５１、１５２、１５３中の蛍光体を励起させて発光させ、画像等を表示する。
【００５２】
このプラズマディスプレイパネル４０の製造方法において、背面板１０を作製する際に、上述の蛍光体層１５１、１５２、１５３の形成方法が用いられる。なお、蛍光体層１５１、１５２、１５３を除いた各層や電極の材料および形成方法は、従来公知の材料および形成方法を用いればよい。
【００５３】
なお、プラズマディスプレイパネル４０の構成は、図５に示すものに限定されず、電極や隔壁の配置などは、必要に応じて適宜選択される。具体的に、図５のプラズマディスプレイパネル４０における隔壁１２は、縦横の方向に配置されて長方形状のセルが並んだ構成となっているが、隔壁がその長手方向に平行に配置されて、いわゆるストレートリブのような構成となっていてもよい。また、背面板１０を作製する際に、上述の蛍光体層１５１、１５２、１５３の形成方法が用いられていれば、その他の製造方法の各工程は、特に限定されない。
【００５４】
以上説明したように、本実施形態におけるプラズマディスプレイパネル４０の蛍光体層の形成方法は、二枚の基板１１、５１が複数の隔壁１２を介して対向配置され、一枚の基板１１上に設けられた各隔壁１２によって区画された間に蛍光体層１５１、１５２、１５３が形成されたプラズマディスプレイパネル４０の蛍光体層１５１、１５２、１５３の形成方法であって、複数の隔壁１２が設けられた基板１１上に、隔壁１２の間の位置に対応する開口部２２１を有するマスク２１を、隔壁１２を介して設置するマスク設置工程（図１（ａ））、マスク２１の開口部２２１から隔壁１２の間に粉末からなる蛍光体材料１３１を充填する蛍光体材料充填工程（図１（ｂ）、（ｃ））、マスク２１を隔壁１２から分離するマスク分離工程（図１（ｄ））、蛍光体材料１３１を溶融させる溶融工程（図１（ｅ）、（ｆ））、溶融した蛍光体材料１４１、１４２、１４３を焼成させて蛍光体層１５１、１５２、１５３とする焼成工程（図１（ｇ））、を有することを特徴とする。
【００５５】
よって、蛍光体材料として従来の蛍光体ペーストではなく粉末１３１を用いるので、粉末１３１を隔壁１２間に充填するときに、蛍光体ペーストを用いた場合よりもマスク２１に圧力がかからないため、マスク２１をメッシュ構造とする必要がない。そのため、従来のメッシュによる蛍光体の量のばらつきがなく、画素を高精細なものとしても画質が良好であるプラズマディスプレイパネル４０を提供することができる。
【００５６】
また、従来に比べて、蛍光体材料１３１を隔壁１２間に充填する際のマスク２１にかかる圧力が小さいので、マスク２１の寿命を長くすることができる。さらに、溶融工程において、樹脂１３６または１３７が溶融する程度まで加熱すればよいので、従来の乾燥工程に比べ、溶融工程（ｅ、ｆ）において樹脂１３６または１３７を溶融させるための加熱時間が短いため、蛍光体層１５１の形成にかかる全体の時間、すなわち、プラズマディスプレイパネル４０の製造にかかる全体の時間が短縮され、プラズマディスプレイパネル４０の製造効率が向上する。
【００５７】
上記本実施形態におけるプラズマディスプレイパネル４０の蛍光体層の形成方法においては、蛍光体材料１３１として赤色、緑色および青色の蛍光体材料１３１が用いられ、マスク設置工程（ａ）は、各色の蛍光体材料１３１について異なる位置にマスク２１を設置し、各色の蛍光体材料１３１について、マスク設置工程（ａ）、蛍光体材料充填工程（ｂ、ｃ）、マスク分離工程（ｄ）および溶融工程（ｅ、ｆ）を行った後、焼成工程（ｇ）を行うことを特徴とする。
【００５８】
よって、ＲＧＢの画素からなるフルカラーのプラズマディスプレイパネル４０を提供することができる。また、従来の蛍光体ペーストを用いた蛍光体層の形成方法においては、ＲＧＢの三色を塗り分けるために一色ごとに印刷工程および溶剤の乾燥工程を繰り返しているため、溶剤の乾燥のためにかかる加熱時間が長くなっていたが、上述の形成方法によれば、溶融工程（ｅ、ｆ）において樹脂１３６または１３７を溶融させるための加熱時間が短いため、蛍光体層１５１、１５２、１５３の形成にかかる全体の時間、すなわち、プラズマディスプレイパネル４０の製造にかかる全体の時間が短縮され、プラズマディスプレイパネル４０の製造効率が向上する。
【００５９】
上記本実施形態におけるプラズマディスプレイパネル４０の蛍光体層の形成方法においては、蛍光体材料１３１は、蛍光体１３５が樹脂１３６で被覆された粉末であること、または、蛍光体粉末１３５と樹脂粉末１３６とからなる混合粉末であることを特徴とする。
【００６０】
よって、蛍光体材料１３１が具体的にこのような構成になっているため、蛍光体材料充填工程（ｂ）において、各隔壁１２の間に蛍光体材料１３１を充填することが可能である。
【００６１】
上記本実施形態におけるプラズマディスプレイパネル４０の蛍光体層の形成方法においては、蛍光体材料１３１は、蛍光体１３５：樹脂１３６または１３７の重量比が３：７〜７：３であることを特徴とする。
【００６２】
よって、溶融工程（ｅ、ｆ）において、溶融後の蛍光体材料１４１の液面を隔壁１２の上端の高さよりも低く制御できるとともに、焼成工程（ｇ）において、この蛍光体材料１３１を焼成させた後に、隔壁１２間に必要な厚さの蛍光体層１５１、１５２、１５３を形成することができる。
【００６３】
上記本実施形態におけるプラズマディスプレイパネル４０の蛍光体層の形成方法においては、マスク２１の開口部は、隔壁１２と接する側が広がった形状２２１、マスク２１の厚さ方向に平行である形状２２２、マスク２１の厚みの間の位置から隔壁１２と接する側に向かって広がり隔壁１２と接しない側に向かってマスク２１の厚さ方向に平行である形状２２３、または、厚みの途中から隔壁１２と接する側および隔壁１２と接しない側に向かって広がった形状２２４を有することを特徴とする。
【００６４】
よって、マスク分離工程（ｄ）において、蛍光体材料１３１からマスク２１が分離しやすくなり、蛍光体材料１３１の形状を崩すことなく背面基板１１および隔壁１２側に残すことができる。そのため、溶融工程（ｅ、ｆ）において、良好に蛍光体材料１３１を溶融することができ、他の隔壁１２間へ蛍光体材料１３１が落ちることによる画素間の混色が防止される。
【００６５】
上記本実施形態におけるプラズマディスプレイパネル４０の蛍光体層の形成方法においては、マスク２１は、開口部２２１、２２２、２２３、２２４の側壁が平滑であることを特徴とし、また、マスク２１には、蛍光体材料１３１の付着を防止する表面処理が施されていることを特徴とする。
【００６６】
よって、マスク分離工程（ｄ）において、蛍光体材料１３１からマスク２１が分離しやすくなり、蛍光体材料１３１の形状を崩すことなく背面基板１１および隔壁１２側に残すことができる。そのため、溶融工程（ｅ、ｆ）において、良好に蛍光体材料１３１を溶融することができ、他の隔壁１２間へ蛍光体材料１３１が落ちることによる画素間の混色が防止される。
【００６７】
上記本実施形態におけるプラズマディスプレイパネル４０の蛍光体層の形成方法においては、蛍光体材料充填工程（ｂ、ｃ）は、移動体３１、３２、３３を用いて開口部２２１等へ蛍光体材料１３１を押し付けることを特徴とする。
【００６８】
よって、充填された蛍光体材料１３１が塊状となるため、マスク分離工程（ｄ）において、蛍光体材料１３１からマスク２１が分離しやすくなり、蛍光体材料１３１の形状を崩すことなく背面基板１１および隔壁１２側に残すことができる。そのため、溶融工程（ｅ、ｆ）において、良好に蛍光体材料１３１を溶融することができ、他の隔壁１２間へ蛍光体材料１３１が落ちることによる画素間の混色が防止される。
【００６９】
上記本実施形態におけるプラズマディスプレイパネル４０の蛍光体層の形成方法においては、上記移動体は、スキージ３１であること、または、内部に蛍光体材料１３１が入っており、回転しつつ蛍光体材料１３１を外側に供給する移動体３３であること、を特徴とする。
【００７０】
よって、上述のように、開口部２２１等へ蛍光体材料１３１充填し、押し付けることができ、充填された蛍光体材料１３１が塊状となるため、マスク分離工程（ｄ）において、蛍光体材料１３１からマスク２１が分離しやすくなり、蛍光体材料１３１の形状を崩すことなく背面基板１１および隔壁１２側に残すことができる。そのため、溶融工程（ｅ、ｆ）において、良好に蛍光体材料１３１を溶融することができ、他の隔壁１２間へ蛍光体材料１３１が落ちることによる画素間の混色が防止される。
【００７１】
上記本実施形態におけるプラズマディスプレイパネル４０の蛍光体層の形成方法においては、蛍光体材料充填工程（ｂ、ｃ）は、隔壁１２の間に粉末からなる蛍光体材料１３１を充填した後（図１（ｂ））、マスク２１上に残留した蛍光体材料１３１を除去する粉末除去工程（図１（ｃ））を有することを特徴とする。
【００７２】
よって、マスク２１上に残留した蛍光体材料１３１が他の隔壁１２間へ落ちることによる画素間の混色が防止される。
【００７３】
また、以上説明したように、本実施形態におけるプラズマディスプレイパネル４０の製造方法は、二枚の基板１１、５１が複数の隔壁１２を介して対向配置され、一枚の基板１１上に設けられた各隔壁１２によって区画された間に蛍光体層１５１、１５２、１５３が形成されたプラズマディスプレイパネル４０の製造方法であって、複数の隔壁１２が設けられた基板１１上に、隔壁１２の間の位置に対応する開口部２２１を有するマスク２１を、隔壁１２を介して設置するマスク設置工程（図１（ａ））、マスク２１の開口部２２１から隔壁１２の間に粉末からなる蛍光体材料１３１を充填する蛍光体材料充填工程（図１（ｂ）、（ｃ））、マスク２１を隔壁１２から分離するマスク分離工程（図１（ｄ））、蛍光体材料１３１を溶融させる溶融工程（図１（ｅ）、（ｆ））、溶融した蛍光体材料１４１、１４２、１４３を焼成させて蛍光体層１５１、１５２、１５３とする焼成工程（図１（ｇ））、を有することを特徴とする。
【００７４】
よって、蛍光体材料として従来の蛍光体ペーストではなく粉末１３１を用いるので、粉末１３１を隔壁１２間に充填するときに、蛍光体ペーストを用いた場合よりもマスク２１に圧力がかからないため、マスク２１をメッシュ構造とする必要がない。そのため、従来のメッシュによる蛍光体の量のばらつきがなく、画素を高精細なものとしても画質が良好であるプラズマディスプレイパネル４０を提供することができる。
【００７５】
また、従来に比べて、蛍光体材料１３１を隔壁１２間に充填する際のマスク２１にかかる圧力が小さいので、マスク２１の寿命を長くすることができる。さらに、溶融工程において、樹脂１３６または１３７が溶融する程度まで加熱すればよいので、従来の乾燥工程に比べ、溶融工程（ｅ、ｆ）において樹脂１３６または１３７を溶融させるための加熱時間が短いため、蛍光体層１５１の形成にかかる全体の時間、すなわち、プラズマディスプレイパネル４０の製造にかかる全体の時間が短縮され、プラズマディスプレイパネル４０の製造効率が向上する。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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