(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物を収納するキャリアを識別するクリーンルームにおけるシステムであって、
前記キャリアの底に設けられ、左右逆に印字されて印刷された前記キャリアを識別する文字又は記号と、前記キャリアを識別するバーコードとで構成される識別手段と、
前記キャリアの底側を受けて載置され且つ前記立った状態のオペレータの腰の高さ位置辺りに位置づけられるポートの上向き面に設置され、前記立った状態のオペレータが前記キャリアを移載する際に、前記識別手段の文字又は記号を対峙させて、これら文字又は記号を左右逆に写し出し、前記立った状態のオペレータに前記キャリアを識別させる写出手段と、
前記立った状態のオペレータの腰の高さ位置辺りに位置づけられるポートの上向き面に配置され、前記立った状態のオペレータが前記キャリアを移載する際に、前記識別手段のバーコードを対峙させて、バーコードを読み取り、クリーンルームの制御システムにデータとして送信する読取手段と、
を備え、
前記写出手段と前記読取手段とが前記キャリアが載置される前記立った状態のオペレータの腰の高さ位置辺りに位置づけられるポートの上向き面に並べて設けられるキャリア識別システム。
【請求項２】
前記被処理物は、半導体ウェーハであり、
前記ポートは、クリーンルームにおいて前記半導体ウェーハを処理する半導体プロセス処理装置に設けられ、前記立った状態のオペレータが前記キャリアを載置するためのポートであり、
前記写出手段と前記読取手段とが前記ポート上に配置される請求項１に記載のキャリア識別システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体デバイス製造、半導体製造などで用いられる半導体ウェーハを処理、保管及び搬送するために収納するキャリアを認識できるキャリア識別システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、クリーンルームにおける半導体デバイス製造においては、半導体ウェーハを複数枚収納したキャリアを、搬送車或いはオペレータによって半導体プロセス処理装置、検査装置或いはストッカとの間で搬送を繰り返しながら半導体ウェーハの処理を行なう。ここでキャリアとは、ＭＥ(Mini Enviroment) ボックス、ＦＯＵＰ(Front Open Unified Pod)、カセットなどの搬送用容器の総称である。
【０００３】
半導体デバイス製造では、半導体ウェーハを間違いなく処理、保管、搬送するために、キャリアに半導体ウェーハ種類、状態等を示すバーコードラベルを貼り付けて、各装置に設けられたバーコードリーダで読み取ることで、キャリア（半導体ウェーハ）を認識するシステムが採用されている。バーコードラベルには、オペレータがキャリアを搬送する際の認識を可能とするため、バーコード側に英数字などの文字が併記してある。又バーコードラベルの貼り付け態様は、各装置に設置するバーコードリーダの都合により決定されるもので、例えば図５に示す様なものがある。図５では、半導体プロセス処理装置１０１のポート１０２にバーコードリーダ１０３を設けるもので、このポート１０２に移載されるキャリア１０４の底にバーコードラベル１０５を貼り付けたものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
キャリア１０４の底にラベル１０５を貼り付けるものでは、オペレータがポート１０２上に移載するに際して、バーコードリーダ１０３でバーコードラベル１０５を読み取ることができるものの、オペレータ自身がラベル１０５の文字を読んでキャリア１０４を認識することができない（図５参照）。この場合、オペレータが頭上までキャリア１０４を持ち上げて、バーコードラベル１０５の文字等を読むこともできるが、近年、大径化（直径３００ｍｍ）の半導体ウェーハを複数枚収納したキャリア１０４を持ち上げるには多大な労力を要し、又持ち上げに際してキャリア１０４が傾くと半導体ウェーハを落下させる恐れもある。そこで、オペレータが容易にキャリア１０４を認識できるように、別途、キャリア１０４の上などに同じバーコードラベル１０５を貼り付けることが行なわれている。
【０００５】
しかしながら、複数枚のバーコードラベル１０５をキャリア１０４に付着すると、その分付着する費用や手間がかかる。又複数枚貼られるバーコードラベル１０５を間違えて、底と上とか横の他の箇所のラベルを異にする様な場合、キャリア１０４に収納された半導体ウェーハを誤って処理する恐れがあり、多大な損害発生にもつながりかねない。
【０００６】
本発明のキャリア識別システムは、キャリアの底に設けられた識別手段を、オペレータに読ませることで、キャリアを識別できる様にすることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のキャリア識別システムは、被処理物を収納するキャリアを識別するクリーンルームにおけるシステムであって、キャリアの底に設けられ、左右逆に印字されて印刷されたキャリアを識別する文字又は記号と、キャリアを識別するバーコードとで構成される識別手段と、キャリアの底側を受けて載置され且つ立った状態のオペレータの腰の高さ位置辺りに位置づけられるポートの上向き面に設置され、立った状態のオペレータがキャリアを移載する際に、識別手段の文字又は記号を対峙させて、これら文字又は記号を左右逆に写し出し、立った状態のオペレータにキャリアを識別させる写出手段と、立った状態のオペレータの腰の高さ位置辺りに位置づけられるポートの上向き面に配置され、立った状態のオペレータがキャリアを移載する際に、識別手段のバーコードを対峙させて、バーコードを読み取り、クリーンルームの制御システムにデータとして送信する読取手段と、を備え、写出手段と読取手段とがキャリアが載置される立った状態のオペレータの腰の高さ位置辺りに位置づけられるポートの上向き面に並べて設けられるものである。立った状態のオペレータがキャリアをポートに載置するに際して、識別手段をキャリアが載置される立った状態のオペレータの腰の高さ位置辺りに位置づけられるポートの上向き面に設けられる写出手段に写すことで、キャリアを識別する文字又は記号などを読み取ることができる。特に、立った状態のオペレータは、重いキャリアを頭上まで持ち上げることなく、容易にキャリアを識別できる。また、立った状態のオペレータによるキャリアの認識の他に、キャリアが載置される立った状態のオペレータの腰の高さ位置辺りに位置づけられるポートの上向き面に写出手段と並べて設けられる読取手段の読み取りに基づいてキャリアを認識でき、誤った被処理物の処理を確実に防止できる。
【０００８】
また、被処理物は、半導体ウェーハであり、ポートは、クリーンルームにおいて半導体ウェーハを処理する半導体プロセス処理装置に設けられ、立った状態のオペレータがキャリアを載置するためのポートであり、写出手段と読取手段とがポート上に配置される構成とすることが好ましい。立った状態のオペレータがキャリアを半導体プロセス処理装置のポートに載置する際、近年大径化の半導体ウェーハを複数枚収納したキャリアを立った状態のオペレータが持ち上げるのに多大な労力を要していたのを防止し、又、立った状態のオペレータによる持ち上げに際してキャリアが傾くことによる半導体ウェーハの落下の恐れを防止することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態におけるキャリア識別システムについて、図面を参照しつつ説明する。本発明のキャリア識別システムは、キャリアの底に貼り付けられる識別ラベル（識別手段）を、対象装置に載置する際にオペーレタにも読めるようにしたものである。
【００１０】
図１のキャリア識別システム１は、半導体デバイス製造に用いられる半導体プロセス処理装置２と、半導体デバイス用ウェーハＷ（以下、「半導体ウェーハＷ」という）を収納するキャリア３に適用したものを示している。キャリア識別システム１は、識別ラベル４、バーコードリーダ５（読取手段）、反射鏡６（写出手段）とからなる。
【００１１】
識別ラベル４は、図２及び図３に示す様に、キャリア３を識別（半導体ウェーハＷの処理状態を示す）するバーコード、同じくキャリア３を識別する数文字とが印刷されたものである。識別ラベル４の数文字は、バーコードの側に沿って左右逆に印字されている。尚、キャリア３を識別させるものとして、数文字に限定されるものでなく、アルファベットやその他記号など種々のものが含まれる。この様にバーコード、数文字が印刷された識別ラベル４は、キャリア３の底に貼り付けられる。
【００１２】
キャリア３は、ＭＥ(Mini Enviroment) ボックス、ＦＯＵＰ(Front Open Unified Pod)、カセットなどの搬送用容器であって、その一例として、図３に直径３００ｍｍの半導体ウェーハＷを複数枚収納するＦＯＵＰ(Front Open Unified Pod)を示している。図３のＦＯＵＰは、前面が開口して後面が湾曲した側壁の上下を覆ったボックス形状にされており、複数枚の半導体ウェーハＷを上下積み重ね状態で差し込み可能とする棚７を有するものである。又ＦＯＵＰの開口には蓋８が自動開閉機構により開閉自在に取り付けられている。尚、キャリア３としては、開口を蓋８で開閉しないＦＯＵＰの他に、上記のＭＥボックス、オープンカセットなどの種々のものが用いられる。
【００１３】
バーコードリーダ５、反射鏡６は、半導体プロセス処理装置２のポート９上に並列して設けられている。バーコードリーダ５はクリーンルームの制御システム（図示しない）に接続されており、読み取った識別ラベル４のバーコードを制御システムでのキャリアの識別処理に供せられる。反射鏡６は、識別ラベル４より大きな表面を有するものであって、ポート９上側でずらして位置されるキャリア３の識別ラベル４の数字を左右逆に写し出すものである。この反射鏡６としては、ガラスの鏡、ステンレスやアルミニウムなどの金属を鏡面仕上げしたものなど容易に製造、入手できるものを用いることが好ましい。
【００１４】
オペレータが、キャリア３を半導体プロセス処理装置２のポート９に移載する際には、キャリア３の底の識別ラベル４をポート９の反射鏡６に対峙させる。続いて、キャリア３を、反射鏡６に対して半導体プロセス処理装置２の本体２Ａ側にずらせる事で、オペレータが反射鏡６に写し出された識別ラベル４の数文字を読める状態にする（図１参照）。これで、オペレータは、反射鏡６に左右逆で正常な状態に写し出された識別ラベル４の数文字を読むことで、キャリア３を識別する。
【００１５】
オペレータは、移載するキャリア３の識別をした後に、ポート９上に三角状に配置されたピン（図示しない）にキャリア３を載置することで、識別ラベル４をバーコードリーダ５に対峙させる。これで、バーコードリーダ５は識別ラベル４のバーコードを読み取り、上記制御システムにデータとして送信してキャリア３の識別に供する。尚、オペレータがキャリア３の識別ラベル４を読んで、その識別ラベル４の情報から半導体ウェーハＷの処理が誤っていると識別した場合には、適当な後処理を行なうことになる。
【００１６】
この様に、キャリア識別システム１によれば、キャリア３を半導体プロセス処理装置２のポート９に載置する際に、オペレータが反射鏡６に写し出される識別ラベル４の数文字を読み取ってキャリア３の適正を識別できる。したがって、複数の識別ラベル４をキャリア３に貼り付ける必要がなく、複数の識別ラベル４を貼り付ける手間、費用をなくすことが可能となる。又従来のように複数の識別ラベル４を貼り付けることに起因する、半導体ウェーハＷの誤った処理を確実防止して、多大な損害の発生をなくせる。
特に、バーコードリーダ５の配置の都合によって、識別ラベル４をキャリア４の底に貼り付けるざるを得ないものについては、有効である。
【００１７】
また、キャリア識別システム１を半導体プロセス処理装置２に適用したものを示したが、図４に示す半導体デバイス製造に用いられる検査装置、搬送車やストッカ１０のポート１１上にバーコードリーダ５、反射鏡６を設けて、ストッカ１０内に保管されるキャリア４の適正を識別する様にしても良い。更に、半導体ウェーハＷを収納するキャリア３に適用したものについて説明したが、これに限定されるものでなく、液晶などの板状処理物を含む種々ものをキャリア３で搬送、保管するものに適用しても良い。
【００１８】
また、識別ラベル４として、バーコード、数文字を印刷したものについて説明したが、キャリア３を識別する文字だけが印刷されたものを用いても良い。更に、識別ラベル４を貼り付けるものでなくても良く、例えばキャリア３の底に設けられた透明なケース内に識別ラベルを差し込む様にしたもの、キャリア３の底に直接文字を書き込んだものを識別手段としても良い。
【００１９】
【発明の効果】
本発明のキャリア認識システムでは、被処理物を収納するキャリアを識別するクリーンルームにおけるシステムであって、キャリアの底に設けられ、左右逆に印字されて印刷されたキャリアを識別する文字又は記号と、キャリアを識別するバーコードとで構成される識別手段と、キャリアの底側を受けて載置され且つ立った状態のオペレータの腰の高さ位置辺りに位置づけられるポートの上向き面に設置され、立った状態のオペレータがキャリアを移載する際に、識別手段の文字又は記号を対峙させて、これら文字又は記号を左右逆に写し出し、立った状態のオペレータにキャリアを識別させる写出手段と、立った状態のオペレータの腰の高さ位置辺りに位置づけられるポートの上向き面に配置され、立った状態のオペレータがキャリアを移載する際に、識別手段のバーコードを対峙させて、バーコードを読み取り、クリーンルームの制御システムにデータとして送信する読取手段と、を備え、写出手段と読取手段とがキャリアが載置される立った状態のオペレータの腰の高さ位置辺りに位置づけられるポートの上向き面に並べて設けられるので、立った状態のオペレータがキャリアをポートに載置するに際して、識別手段をキャリアが載置される立った状態のオペレータの腰の高さ位置辺りに位置づけられるポートの上向き面に設けられる写出手段に写すことで、キャリアを識別する文字又は記号などを読み取ることができるとともに、立った状態のオペレータは、重いキャリアを頭上まで持ち上げることなく、容易にキャリアを識別できる。また、立った状態のオペレータによるキャリアの認識の他に、キャリアが載置される立った状態のオペレータの腰の高さ位置辺りに位置づけられるポートの上向き面に写出手段と並べて設けられる読取手段の読み取りに基づいてキャリアを認識でき、誤った被処理物の処理を確実に防止できる。この結果、誤って被処理物を処理して多大な損害を被ることを最小限にすることが可能となる。
【００２０】
また、被処理物は、半導体ウェーハであり、ポートは、クリーンルームにおいて半導体ウェーハを処理する半導体プロセス処理装置に設けられ、立った状態のオペレータがキャリアを載置するためのポートであり、写出手段と読取手段とがポート上に配置される構成とすることが好ましい。立った状態のオペレータがキャリアを半導体プロセス処理装置のポートに載置する際、近年大径化の半導体ウェーハを複数枚収納したキャリアを立った状態のオペレータが持ち上げるのに多大な労力を要していたのを防止し、又、立った状態のオペレータによる持ち上げに際してキャリアが傾くことによる半導体ウェーハの落下の恐れを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】キャリア識別システムを、半導体デバイス製造に用いられる半導体プロセス処理装置に適用したものを示す図である。
【図２】キャリア識別システムの識別ラベルを示す拡大図である。
【図３】キャリアの一例としてのＦＯＵＰを示す斜視図である。
【図４】半導体デバイス製造に用いられる半導体プロセス処理装置、ストッカを示す斜視図である。
【図５】従来のキャリア識別システムを示す斜視図である。
【符号の説明】
１  キャリア認識システム
２  半導体プロセス処理装置（対象装置）
３  キャリア
４  識別ラベル（識別手段）
５  バーコードリーダ（読取手段）
６  反射鏡（写出手段）
【図１】
0004305969.tif 000002
【図２】
0004305969.tif 000003
【図３】
0004305969.tif 000004
【図４】
0004305969.tif 000005
【図５】
0004305969.tif 000006