(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
角基板を２つの処理ステーション間で搬送する基板搬送装置において、この搬送装置は搬送方向に沿ってガイドレールが設けられ、このガイドレールに一対の搬送アームが取り付けられ、この一対の搬送アームは水平方向に開閉動するとともに水平方向にスライド移動し、更に一対の搬送アームは搬送方向と直交する第１の保持部と、搬送方向と平行に前記第１の保持部から延びる第２の保持部とを備え、前記一対の搬送アームの第２の保持部は互いに向い合う方向に延びることで、前記角基板の四辺部を下方から保持し、更に前記一対のアームは待機位置でその一部が重なり搬送時にその高さ位置が揃うように独立して昇降動することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板搬送装置において、前記第１の保持部及び第２の保持部の寸法は、角基板の四辺を保持する寸法としたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の基板搬送装置を用いた基板搬送方法において、この方法は、支持治具にて角基板を下方から支持し、この状態の角基板よりも一対の搬送アームを上方に位置せしめるとともに一対の搬送アームを搬送方向を基準として角基板よりも拡開し、次いで相対的に角基板よりも一対の搬送アームを下方に位置せしめ、この後、一対の搬送アームを閉じ、更に角基板を一対の搬送アームに対して相対的に下降せしめることで一対の搬送アームの第１及び第２の保持部にて角基板の下面周辺部を保持し、支持治具を一対の搬送アームに対して相対的に下方に位置せしめた後、角基板を保持した一対の搬送アームをスライド移動せしめることを特徴とする基板搬送方法。
【請求項４】
請求項３に記載の基板搬送方法において、一対の搬送アームのうちの一方を角基板の上方を通過させて反対側に移動することで、一対の搬送アームを搬送方向を基準として角基板よりも拡開した状態とすることを特徴とする基板搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は例えば液晶表示装置用のガラス基板等の角基板を搬送する装置及び搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置用のガラス基板は１枚の大寸法のガラス基板にホトレジストを塗布・乾燥し、更に露光、現像等の処理を施し、最終的に製品寸法のガラス基板を切り出している。
【０００３】
大寸法のガラス基板に各種処理を施すには、１つの処理ステーションでの処理が終了した後、搬送装置で他の処理ステーションへ大寸法のガラス基板を搬送するようにしている。
図７（ａ）及び（ｂ）は従来の搬送装置の平面図と側面図であり、搬送装置は一対の搬送アーム１００に角基板Ｗの側辺部下面を支持するフック１０１…を設けた構造となっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述した搬送装置を用いて角基板Ｗを搬送するには、ピンやチャック等の支持治具１０２にて支持されている角基板Ｗよりも搬送アーム１００のフック１０１…が若干低くなるように搬送装置の高さを調整し、次いで搬送アーム１００を水平方向に移動してフック１０１…を角基板Ｗの下に入り込ませ、この後搬送アーム１００を上昇させるか或いは支持治具１０２を下降させることでフック１０１…にて角基板Ｗを保持し、この状態で搬送アーム１００をスライド移動することで角基板Ｗを次ステーションへ移送するようにしている。
【０００５】
しかしながら、液晶表示装置用のガラス基板等にあっては、厚みが０．７ｍｍ程度と薄く大面積となるので、図７（ｂ）に示すように自重によって基板中央部が撓んで大きく垂れ下がり、支持治具に干渉して搬送できなくなったり、基板の割れが発生する。
【０００６】
特に最近では、液晶表示装置の表示部の寸法が大きくなる傾向にありこれに伴って切り出し前のガラス基板の寸法も一辺が１０００ｍｍを越すものも利用され、例えば寸法が９６０ｍｍ×１１００ｍｍ×０．７ｍｍのガラス基板を従来の搬送装置で持ち上げると、中央部で約１００ｍｍも撓んでしまう。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決すべく本発明に係る角基板を搬送する基板搬送装置及び基板搬送方法は、一対の搬送アームを備え、この一対の搬送アームは水平方向に開閉動するとともに水平方向にスライド移動し、更に一対の搬送アームは搬送方向と直交する角基板の周辺部を下から保持する第１の保持部と、搬送方向と平行な角基板の周辺部を下から保持する第２の保持部とを備えた構成とした。
斯かる構成とすることで、基板中央部の撓み量を抑えることができ、他の部材との干渉や基板の割れが防止できる。
【０００８】
上記の基板搬送装置において、第１の保持部及び第２の保持部の寸法を、角基板の略四辺を保持する寸法とすることで、更に基板中央部の撓み量を小さくすることができる。
【０００９】
また、一対の搬送アームについては水平動のみを行わせ、角基板を支持するチャック或いはピンに昇降動を行わせてもよいが、搬送アームにも昇降動を行わせることで、効率のよい搬送が行える。
【００１０】
また、待機位置において、一対の搬送アーム同士若しくは隣接する一対の搬送アームの一方と上下方向に重なるような構成とすることで、スペースの有効利用が図れる。
【００１１】
更に、上記の基板搬送装置を用いた基板搬送方法は、チャックやピン等の支持治具にて角基板を下方から支持し、この状態の角基板よりも一対の搬送アームを上方に位置せしめるとともに一対の搬送アームを搬送方向を基準として角基板よりも拡開し、次いで相対的に角基板よりも一対の搬送アームを下方に位置せしめ、この後、一対の搬送アームを閉じ、更に角基板を一対の搬送アームに対して相対的に下降せしめることで一対の搬送アームの第１及び第２の保持部にて角基板の下面周辺部を保持し、支持治具を一対の搬送アームに対して相対的に下方に位置せしめた後、角基板を保持した一対の搬送アームをスライド移動せしめる。
【００１２】
尚、一対の搬送アームを角基板よりも上方に位置せしめるとともに搬送方向を基準として角基板よりも拡開するには、一対の搬送アームの両方を動作させてもよいし片方のみを動作させてもよい。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明に係る基板搬送装置の待機状態を示す斜視図、図２は同基板搬送装置の一対の搬送アームが開いた状態を示す斜視図、図３は同基板搬送装置の一対の搬送アームが相対的に角基板よりも下方に位置した状態を示す斜視図、図４は同基板搬送装置の一対の搬送アームが閉じた状態を示す斜視図、図５は同基板搬送装置の一対の搬送アームが角基板を保持した状態を示す斜視図、図６は同基板搬送装置の一対の搬送アームが角基板を保持したままスライド移動した状態を示す斜視図である。
【００１４】
先ず、本発明に係る搬送装置の構成は、処理ステーションＳ１，Ｓ２に沿ってガイドレール１が設けられ、このガイドレール１に一対の搬送アーム２，３が取り付けられている。
尚、図示例では一対の搬送アームを取り付けたが、複数対の搬送アームを取り付けるようにしてもよい。
【００１５】
搬送アーム２，３は搬送方向と直交する方向に延びる第１の保持部２ａ，３ａと、搬送方向と平行に第１の保持部から延びる第２の保持部２ｂ，３ｂとからなる。そして、搬送アーム２の第２の保持部２ｂ，２ｂの間隔及び搬送アーム３の第２の保持部３ｂ，３ｂの間隔はガラス基板Ｗの幅方向寸法よりも若干短く設定され、また第２の保持部２ｂ，２ｂ，３ｂ，３ｂは互いに向い合う方向に延び、その長さはガラス基板Ｗの搬送方向寸法の１／２よりも若干短く設定されている。
【００１６】
また、搬送アーム２，３は独立して昇降動、水平方向の開閉動及びガイドレール１に沿ったスライド移動が可能とされている。尚、搬送アーム２，３については独立して昇降動しないものであっても、ガラス基板Ｗを支持するピンやチャック等の支持治具４の昇降動作を細かく設定することで、支障なくガラス基板Ｗを搬送することができる。
【００１７】
次に、搬送方法について図１の待機状態を出発点として説明する。先ず待機状態にあっては搬送アーム２，３が上下方向に重なっている。このようにすることで、スペースの有効利用が図れる。
また待機状態では、搬送アーム２，３の方がガラス基板Ｗよりも上方位置にある。
【００１８】
次いで、一方の搬送アーム２がガラス基板Ｗの上方を通過して反対側までスライド移動する。この移動により図２に示すように、搬送アーム２，３の搬送方向の間隔がガラス基板Ｗの搬送方向の長さよりも大きくなる。
【００１９】
次いで、搬送アーム２，３を下降させるかガラス基板Ｗを上昇させて、図３に示すように、搬送アーム２，３の方がガラス基板Ｗよりも下方位置になるようにする。尚、この時、搬送アーム２，３の高さ位置も揃えておく。
【００２０】
この後、搬送アーム２，３を閉じる。即ち、水平方向に互いに近づく方向に移動する。移動する量は、平面視でガラス基板Ｗの四辺部と搬送アーム２，３の第１及び第２の保持部２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂとが重なる量とする。
【００２１】
そして、上記の状態から搬送アーム２，３を上昇させるか支持治具４を下降させることで、図５に示すように、ガラス基板Ｗの四辺部を搬送アーム２，３の第１及び第２の保持部２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂで下方から保持する。即ち、ガラス基板Ｗはその下面の略全周が搬送アームにて保持された状態になる。
【００２２】
このとき、保持部２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂには真空吸着用の孔５が多数形成されているので、ガラス基板を保持すると同時に真空吸着を行い、搬送時にガラス基板がずれないようにする。
【００２３】
次いで、搬送アーム２，３と支持治具４とが干渉しない位置まで搬送アーム２，３を上昇させるか支持治具４を下降させ、図６に示すように、搬送アーム２，３を一体的に、即ち、搬送アーム２，３の位置関係を崩すことなく同期して処理ステーションＳ２までスライド移動する。
この後は、処理ステーションＳ２の支持治具４に前記と逆の動作にて受け渡して、元の待機位置に戻ることで搬送作業が終了する。
【００２４】
【発明の効果】
以上に説明したように本発明に係る角基板を搬送する基板搬送装置によれば、一対の搬送アームに、搬送方向と直交する角基板の周辺部を下から保持する第１の保持部と、搬送方向と平行な角基板の周辺部を下から保持する第２の保持部とを設けたので、角基板の四辺部若しくは略四辺部を下方から保持するため、基板中央部の撓み量を抑え、他の部材との干渉や基板の割れが防止できる。
【００２５】
具体的には、９６０ｍｍ×１１００ｍｍ×０．７ｍｍのガラス基板を従来の搬送装置で搬送する場合には、中央部で１００ｍｍの撓みが生じたが、本発明に係る搬送装置を用いた場合には、中央部での撓み量は１０ｍｍ以下になった。
【００２６】
また、待機位置において、一対の搬送アーム同士若しくは隣接する一対の搬送アームの一方と上下方向に重なるような構成とすることで、スペースの有効利用が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板搬送装置の待機状態を示す斜視図
【図２】同基板搬送装置の一対の搬送アームが開いた状態を示す斜視図
【図３】同基板搬送装置の一対の搬送アームが相対的に角基板よりも下方に位置した状態を示す斜視図
【図４】同基板搬送装置の一対の搬送アームが閉じた状態を示す斜視図
【図５】同基板搬送装置の一対の搬送アームが角基板を保持した状態を示す斜視図
【図６】同基板搬送装置の一対の搬送アームが角基板を保持したままスライド移動した状態を示す斜視図
【図７】（ａ）は従来の搬送装置の平面図、（ｂ）は従来の搬送装置の側面図
【符号の説明】
１…ガイドレール、２，３…搬送アーム、２ａ，３ａ…第１の保持部、２ｂ，３ｂ…第２の保持部、４…支持治具、５…吸着用の孔、Ｓ１，Ｓ２…処理ステーション、Ｗ…ガラス基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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