(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
在庫物品を処理ステーションに搬送する在庫物品搬送システムにおいて、
上半部領域と下半部領域とに分かれ、該上半部にはトレーを収納する複数のゴンドラを設け、該下半部には複数のトレー積み卸しポートと、複数の作業ロボットとを設け、起重機をさらに設けるとともに、該起重機とゴンドラ及びトレー積み卸しポートとの間には空気流通路を形成してなるとともに、空気洗浄構造部を具えてなり、
該空気洗浄構造部は、少なくとも１つ以上の空気取り込み口と、複数のフィルタユニットと、該複数のフィルタユニットから該トレイを経て該空気流通路に至る空気を該複数のフィルタユニットの上流側に導くために該複数のフィルタユニットの上流側に連通している複数の空気逆流通路とによってなり、
該空気取り込み口は、該在庫物品搬送システムの上半部の領域に設けられ、洗浄処理を加えた空気を該在庫物品搬送システムに取り込み、
該フィルタユニットは、空気流通路に面して立設されるゴンドラを密閉する壁の外面に設けられ、該空気取り込み口から取り込んだ空気を濾過して該トレーに送る複数の空気洗浄手段と、該フィルタユニットの底部に設けられる、該空気逆流通路と該フィルタユニットの上流側を接続する空気逆流口とを具えてなり、
該空気逆流通路は、該ゴンドラの下端に設けられ、
該空気取り込み口から該フィルタユニットを介して該トレーに至る空気の一部を該フィルタユニットの逆流口、及び該ゴンドラ下端の空気逆流通路から該フィルタユニットの空気洗浄手段に送り、空気洗浄手段によって洗浄された空気を循環させて利用できるように構成し、
前記空気洗浄構造部は、気流阻害凸縁をさらに具え、該気流阻害凸縁は、在庫物品搬送システムの上半部と下半部との間に設けられ、該空気流通路内に水平方向に延伸して、上半部の領域から下半部の領域に至る空気流通路を狭めていることを特徴とする空気洗浄構造部を具える在庫物品搬送システム。
【請求項２】
前記空気洗浄構造部は、さらに該作業ロボットの上方に第２の空気洗浄手段を具え、該作業ロボットからトレー積み卸しポートに至る清浄な空気を提供することを特徴とする請求項１に記載の空気洗浄構造部を具える在庫物品搬送システム。
【請求項３】
前記空気取り込み口が該在庫物品搬送システムの上半部領域の最上部に設けられることを特徴とする請求項１に記載の空気洗浄構造部を具える在庫物品搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一種の在庫物品搬送システムに関し、特に、空気洗浄構造部を具える在庫物品搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１は、従来の技術である中華民国（台湾）公告第４３０６３１号「在庫物品搬送システム」の構造を表わす説明図である。図示によれば、ストックス・ステーション（１００）は高架搬送システム（３００）と、作業ロボット（２００）と、ゴンドラ（７００）と、トレー（８００）と起重機（４００）とを具え、処理ステーション（９０１）に対応する位置に設けられる。かかる在庫物品搬送システムにおいて、起重機（４００）がトレー（８００）を取り出して搬入／搬出ポートに移動させると、作業ロボット（２００）がウエハー、もしくはガラス板などの物品を処理ステーション（９０１）に搬送して処理を行う。
【０００３】
上述のシステムにおいて、起重機（４００）が稼動する場合、空気の不規則な流れが発生して一部の埃が舞い上がり、トレー（８００）内のウエハー、もしくはガラス板などを汚染する可能性があり、極めて高い清潔度の要求に対して大きな影響を与える。
【０００４】
また、処理ステーション（９０１）において処理を行う場合、もしくは作業ロボット（２００）が物品を搬送する工程において、仮にウエハーやガラス板の破片が存在すると、トレー（８００）内のその他ウエハーやガラス板の汚染を招く。これに起重機（４００）の稼動による汚染が併せて発生した場合、上層のトレー（８００）は極めて重大な汚染を受けることになる。よって、より進歩性を有する在庫品搬送システムの空気洗浄手段を開発して、このような汚染の問題を解決する必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、起重機の稼動によって起きる不規則な気流が埃を舞い上げる現象を効率よく抑制するとともに、ウエハーやガラス板などの破片によって起きる汚染を防ぐことのできる空気洗浄構造部を具える在庫物品搬送システムを提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明者は従来の技術に見られる欠点に鑑みて鋭意研究を重ね、在庫物品を処理ステーションに搬送する在庫物品搬送システムに空気流通路を設けるとともに、少なくとも１つ以上の空気取り込み口と、複数のフィルタユニットと、複数の空気逆流通路とによってなる該空気洗浄構造部を設け、該空気取り込み口によって洗浄処理を加えた空気を取り込み、該空気取り込み口から取り込んだ空気を該フィルタユニットで濾過して在庫物品搬送システム内に供給し、かつ空気逆流通路によって供給される一部の空気を該フィルタユニットに戻し、循環して利用する構造に着眼し、かかる見地に基づいて本発明の完成に至った。
【０００７】
以下に詳述する。
請求項１に記載する空気洗浄構造部を具える在庫物品搬送システムは、在庫物品を処理ステーションに搬送する在庫物品搬送システムであって、上半部領域と下半部領域とに分かれ、該上半部にはトレーを収納する複数のゴンドラを設け、該下半部には複数のトレー積み卸しポートと、複数の作業ロボットとを設け、起重機をさらに設けるとともに、該起重機とゴンドラ及びトレー積み卸しポートとの間には空気流通路を形成してなるとともに、空気洗浄構造部を具えてなる。該空気洗浄構造部は、少なくとも１つ以上の空気取り込み口と、複数のフィルタユニットと、該複数のフィルタユニットから該トレイを経て該空気流通路に至る空気を該複数のフィルタユニットの上流側に導くために該複数のフィルタユニットの上流側に連通している複数の空気逆流通路とによってなり、該空気取り込み口は、該在庫物品搬送システムの上半部の領域に設けられ、洗浄処理を加えた空気を該在庫物品搬送システムに取り込み、該フィルタユニットは、空気流通路に面して立設されるゴンドラを密閉する壁の外面に設けられ、該空気取り込み口から取り込んだ空気を濾過して該トレーに送る複数の空気洗浄手段と、該フィルタユニットの底部に設けられる、該空気逆流通路と該フィルタユニットの上流側を接続する空気逆流口とを具えてなり、該空気逆流通路は、該ゴンドラの下端に設けられ、該空気取り込み口から該フィルタユニットを介して該トレーに至る空気の一部を該フィルタユニットの逆流口、及び該ゴンドラ下端の空気逆流通路から該フィルタユニットの空気洗浄手段に送り、空気洗浄手段によって洗浄された空気を循環させて利用できるように構成する。
【０００８】
当該空気洗浄構造部を具える在庫物品搬送システムでは、空気洗浄構造部が気流阻害凸縁をさらに具え、該気流阻害凸縁は、在庫物品搬送システムの上半部と下半部との間に設けられ、該空気流通路内に水平方向に延伸して、上半部の領域から下半部の領域に至る空気流通路を狭める。
【０００９】
請求項２に記載する空気洗浄構造部を具える在庫物品搬送システムは、請求項１における空気洗浄構造部が、さらに該作業ロボットの上方に第２の空気洗浄手段を具え、該作業ロボットからトレー積み卸しポートに至る清浄な空気を提供する。
【００１０】
請求項３に記載する空気洗浄構造部を具える在庫物品搬送システムは、請求項１における空気取り込み口が該在庫物品搬送システムの上半部領域の最上部に設けられる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明は、一種の在庫物品搬送システムに関し、特に、空気洗浄構造部を具える在庫物品搬送システムに関する。該在庫物品搬送システムは、上半部の領域と、下半部の領域に分けられ、それぞれの領域に在庫物品搬送システムを構成する各ユニットを設けるとともに、該上半部の領域から下半部の領域に至る空気流通路を設け、かつ少なくとも１つ以上の空気取り込み口と、複数のフィルタユニットと、複数の空気逆流通路とによってなる該空気洗浄構造部を設ける。かかる空気洗浄構造部を具える在庫物品搬送システムの構造と特徴を詳述するために、具体的な実施例を挙げ、図示を参照にして以下に詳述する。
【００１２】
【実施例】
図２に本発明による在庫物品搬送システムと、該システムに用いられる空気洗浄構造部を開示する。図示によれば、在庫物品搬送システム（２）は、複数のトレー（２１）と、起重機（２２）と、複数のゴンドラ（２３）と、複数のトレー積み卸しポート（２４）と、作業ロボット（２５）と、処理ステーション（２６）とによってなる。ゴンドラ（２３）は在庫物品搬送システム（２）の上半部の領域に設けられ、それぞれのゴンドラ（２３）はトレー（２１）を収納することができる。トレー積み卸しポート（２４）と、作業ロボット（２５）と、処理ステーション（２６）は在庫物品搬送システム（２）の下半部の領域に設けられる。該起重機（２２）は下半部の領域から上半部の領域に至るように立設され、該起重機（２２）とゴンドラ（２３）、トレー積み卸しポート（２４）との間には空気流通路（２７）を形成する。
【００１３】
かかる在庫物品搬送システムにおいて、起重機（２２）がトレー（２１）をゴンドラ（２３）から取り出してトレー積み卸しポート（２４）に移動させると、作業ロボットが積み卸しポート（２４）に移動したトレー（２４）からウエハー、もしくはガラス板などの物品を処理ステーション（２６）に搬送して処理を行う。
【００１４】
空気洗浄構造部（３）は、空気取り込み口（３１，３２）と、フィルタユニット（３３，３４）と、空気逆流通路（３５，３６）とによってなる。該空気取り込み口（３１，３２）は上半部領域の最上部に設けられ、化学フィルタ（４１，４２）によって処理された空気を取り込んで在庫物品搬送システム（２）に供する。フィルタユニット（３３，３４）は空気流通路（２７）に面して立設されるゴンドラ（２３）の外側の面に設けられ、図３に開示するように複数の空気洗浄手段（Fan  Filter  Unit／ＦＦＵ）（３３１，３３２）などと、密閉壁（３３３）と、複数の空気逆流口（３３４）などを具えてなる。該空気逆流口（３３４）はフィルタユニット（３３）の底部に設けられる。また、フィルタユニット（３３）は空気洗浄手段（３３１，３３２）及び空気逆流口（３３４）を空気の流通に供する以外、その他部分は密閉壁（３３４）によって密閉空間を形成する。
【００１５】
空気洗浄手段（３３１，３３２）は空気取り込み口（３１，３２）から取り込んだ空気に再度洗浄処理を行い、洗浄した空気をトレー（２１）に送る。また、洗浄された空気はトレー（２１）から空気流通路（２７）に送られ、該空気流通路（２７）に沿って在庫物品搬送システム（２）の上半部の領域から下半部の領域に至る。
【００１６】
図２と図４に開示するように、空気逆流通路（３５，３６）はゴンドラ（２３）の下端に設けられる。洗浄された空気がトレー（２１）から空気流通路（２７）に至ると、空気逆流通路（３５）及び空気逆流口（３３４）を介して空気洗浄手段（３３１，３３２）の空気入り口近くに至る。よって、空気洗浄手段（３３１，３３２）によって洗浄された空気を循環させて利用することができ、空気洗浄手段（３３１，３３２）によって処理される空気量の減少を防ぐことから空気洗浄手段（３３１，３３２）の使用寿命を延長することができる。
【００１７】
図２に開示するように、空気洗浄構造部（３）は、気流阻害凸縁（３７，３８）をさらに有する。気流阻害凸縁（３７，３８）は、在庫物品搬送システム（２）の上半部と下半部との間に設けられ、空気流通路（２７）内に水平方向に延伸して、上半部の領域から下半部の領域に至る空気流通路（２７）を短縮する。よって、空気流通路（２７）内において上から下に向かう気流の流速を増加し、起重機（２２）の稼動によって発生する不規則な気流が埃を舞い上げる現象を抑制することができる。したがって、在庫物品搬送システム（２）の上半部領域のトレー（２１）に収納したウエハー、もしくはガラス板などの物品に対する汚染の影響を低下させることができる。
【００１８】
また、図２に開示するように空気洗浄手段（３）は、さらに作業ロボット（３９）の上方に設けられ、該作業ロボット（２５）に清浄な空気を提供するための第２の空気洗浄手段（３９）を複数具える。このため、清浄な空気が作業ロボット（２５）から積み卸しポート（２４）を経て空気流通路（２７）に至る空気の流通路が形成される。したがって、処理ステーション（２６）で処理を行う場合、もしくは作業ロボット（２５）が物品を搬送する過程において、ウエハーやガラス板の破片が存在する場合、前記の気流によって汚染源が空気流通路（２７）に排出される。また、空気流通路（２７）内においては上から下に向かう気流の流速が早いため、破片などの汚染源は在庫物品搬送システム（２）の上半部の領域に至り、トレー（２１）内のウエハーやガラス板を汚染して影響を与えることがない。
【００１９】
以上は本発明における好ましい実施例であって、本発明の実施の範囲を限定するものではない。よって、当業者のなし得る変更、もしくは修正であって、本発明に対して均等の効果を有するものは、いずれも本発明の特許請求の範囲に含まれるものとする。
【００２０】
【発明の効果】
本発明による空気洗浄構造部を具える在庫物品搬送システムは、起重機の稼動によって起きる不規則な気流が埃を舞い上げる現象を効率よく抑制するとともに、ウエハーやガラス板などの破片によって起きる汚染を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の在庫物品搬送システムの構造を表わす説明図である。
【図２】本発明による在庫物品搬送システムの構造を表わす説明図である。
【図３】本発明における空気洗浄構造部における空気洗浄手段の構造を表わす説明図である。
【図４】本発明におけるトレーナーとゴンドラと空気逆流通路の関係を表わす説明図である。
【符号の説明】
２…在庫物品搬送システム
３…空気洗浄構造部
２１…トレー
２２…起重機
２３…ゴンドラ
２４…トレー積み卸しポート
２５…作業ロボット
２６…処理ステーション
２７…空気流通路
３１…空気取り込み口
３２…空気取り込み口
３３…フィルタユニット
３４…フィルタユニット
３５…空気逆流通路
３６…空気逆流通路
３７…気流阻害凸縁
３８…気流阻害凸縁
３９…空気流通手段
４１…化学フィルタ
４２…化学フィルタ
１００…ストック・ステーション
２００…作業ロボット
３００…高架搬送システム
３３１…空気洗浄手段
３３２…空気洗浄手段
３３３…密閉壁
３３４…空気逆流口
４００…起重機
７００…ゴンドラ
８００…トレー
９０１…処理ステーション
【図１】
0004287100.tif 000002
【図２】
0004287100.tif 000003
【図３】
0004287100.tif 000004
【図４】
0004287100.tif 000005