(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板上に弾性表面波の伝播方向に沿って平行にかつ相対向して延設された第１及び第２連結部と、これら第１及び第２連結部から直角方向にそれぞれ延設されて互いに交差する複数対の第１及び第２電極指により構成した櫛歯状の重み付け電極を備えた弾性表面波フィルタ装置において、
前記重み付け電極の端部（弾性表面波の伝播方向の端部）にて隣り合う前記複数対の第１及び第２電極指の各交差部の交差長を弾性表面波の伝播方向に向けて小さくするとともに、前記隣り合う交差部の交差長の差を一定に保つようにしたことを特徴とする弾性表面波フィルタ装置。
【請求項２】
圧電基板上に弾性表面波の伝播方向に沿って平行にかつ相対向して延設された第１及び第２連結部と、これら第１及び第２連結部から直角方向にそれぞれ延設されて互いに交差する複数対の第１及び第２電極指により構成した櫛歯状の重み付け電極を備えた弾性表面波フィルタ装置において、
前記重み付け電極の端部（弾性表面波の伝播方向の端部）にて隣り合う前記複数対の第１及び第２電極指の各交差部の交差方向を互いに逆にするとともに、前記各交差部の互いに異なる交差方向を正負として、前記隣り合う交差部の交差長の差を一定に保つようにしたことを特徴とする弾性表面波フィルタ装置。
【請求項３】
前記重み付け電極をダブル電極で構成したことを特徴とする請求項１又は２に記載の弾性表面波フィルタ装置。
【請求項４】
圧電基板上に弾性表面波の伝播方向に沿って平行にかつ相対向して延設された第１及び第２連結部と、これら第１及び第２連結部から直角方向にそれぞれ延設されて互いに交差する複数対の第１及び第２電極指により構成した櫛歯状の重み付け電極を備えた弾性表面波フィルタ装置において、
前記重み付け電極の端部（弾性表面波の伝播方向の端部）にて隣り合う前記複数対の第１及び第２電極指の各交差部の交差長を周波数特性の最適化を図るミニマックス法により小さく設定するとともに、前記複数対の各交差部の交差長の差を一定に保つようにしたことを特徴とする重み付け電極の形成方法。
【請求項５】
圧電基板上に弾性表面波の伝播方向に沿って平行にかつ相対向して延設された第１及び第２連結部と、これら第１及び第２連結部から直角方向にそれぞれ延設されて互いに交差する複数対の第１及び第２電極指により構成した櫛歯状の重み付け電極を備えた弾性表面波フィルタ装置において、
前記重み付け電極の端部（弾性表面波の伝播方向の端部）にて隣り合う前記複数対の第１及び第２電極指の各交差部の交差方向を互いに逆にするとともに、前記各交差部の互いに異なる交差方向を正負として、前記複数対の電極指の各交差部の交差長を周波数特性の最適化を図るミニマックス法により小さく設定するとともに、同複数対の電極指の各交差部の交差長の差を一定に保つようにしたことを特徴とする重み付け電極の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電基板上に重み付け電極及び正規型電極を弾性表面波の伝搬方向に並設して、重み付け電極を周波数特性の最適化を図る設計法、例えばミニマックス法で設計した弾性表面波フィルタ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、この種の弾性表面波フィルタ装置の設計においては、所望の周波数特性を得るために電極パターン（隣り合う電極指が交差する交差部の分布）を最小二乗法を用いて設計していた。
【０００３】
しかし、最小二乗法を用いて設計した弾性表面波フィルタ装置の周波数特性は、図２１のようになり、所望とする通過帯域の両側でゲインが傾斜をもって減衰したものとなる。この場合、前記通過帯域の両側のゲインの傾斜を大きくすることにより、通過帯域の両側のゲインを所望の特性を得るために抑えることはできるが、前記ゲインの傾斜を大きくするためにはチップサイズを大きくする必要がある。
【０００４】
これに対し、周波数特性（振幅特性及び遅延特性）の最適化を図る設計法（以下、最適化法という）を用いて弾性表面波フィルタ装置を設計すれば、同装置の周波数特性は図２２のようになり、ゲインが所望の通過帯域の両側で急激に小さくなるととも一定の大きさを維持する。そして、最適化法を用いた弾性表面波フィルタ装置においては、チップサイズをそれ程大きくしなくても前記通過帯域の両側のゲインを急激に小さくすることができる。したがって、近年、弾性表面波フィルタ装置の設計においては、最適化法が利用されるようになってきている。
【０００５】
なお、最適化法とは、弾性表面波フィルタ装置の周波数特性（振幅特性及び遅延特性）を最適化する方法であり、同最適化法の代表例であるミニマックス法は次のように定義される。すなわち、ミニマックス法とは、別名重み付き等リプル近似法（又はチェビシェフ近似法）とも呼ばれ、フィルタの振幅特性Ｆ(Ω)を下記数１のように定義した上で、指定した周波数帯域内での下記数２によって定義される重み付き誤差｜Ｅ(Ω)｜の最大値を最小にするように係数ａiを定めるものである。
【０００６】
【数１】
0004243377.tif 000002
【０００７】
【数２】
Ｅ(Ω)＝Ｗ(Ω)｛Ｄ(Ω)−Ｆ(Ω)｝
ここで、上記数２中、Ｗ(Ω)は近似誤差に対する重み関数であり、Ｄ(Ω)は目的とする特性である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ミニマックス法を用いて設計した弾性表面波フィルタ装置においては、交差部の交差長の中心が電極パターンの端部にいくに従って傾き、かつ電極パターンの端部の交差長が大きくなるために、すなわち図２３のようになるために、チップサイズが大きくならざるを得ない。
【０００９】
一方、これを回避するために、本出願人は特願平９−１９６１９９号で提案したように、ダブル電極を構成する一対の電極指の長さを異ならせるようにした（図２４参照）。これによれば、弾性表面波フィルタ装置の電極パターンは、図２５に示すように、交差長の中心が傾き、かつ端部の交差長がある程度大きくなっても、チップサイズを小さく抑えることができた。
【００１０】
また、上述した全ての弾性表面波フィルタ装置は正規型電極として電極指を偶数にした場合であり、本願発明者はこの正規型電極の電極指数を奇数にすることも考えた。これによれば、図２６のように、電極パターンの交差長の中心の傾きがなくなり、端部の交差長が大きくなっても、チップサイズを小さく抑えることができた。
【００１１】
しかしながら、上述したこれらの弾性表面波フィルタ装置にあっても、端部における交差長が大きいために、弾性表面波の回折が大きく現れ、周波数特性が悪化し好ましくない。
【００１２】
【発明の概要】
本発明は上記問題に対処するためになされもので、その目的は、上記周波数特性の変化を極力小さく抑えた上で、重み付け電極の端部における交差長を小さくして、弾性表面波の回折を減少させるようにした弾性表面波フィルタ装置を提供することにある。
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明の特徴は、圧電基板上に弾性表面波の伝播方向に沿って平行にかつ相対向して延設された第１及び第２連結部と、これら第１及び第２連結部から直角方向にそれぞれ延設されて互いに交差する複数対の第１及び第２電極指により構成した櫛歯状の重み付け電極を備えた弾性表面波フィルタ装置において、前記重み付け電極の端部（弾性表面波の伝播方向の端部）にて隣り合う前記複数対の第１及び第２電極指の各交差部の交差長を弾性表面波の伝播方向に向けて小さくするとともに、前記隣り合う各交差部の交差長の差を一定に保つようにしたことにある。なお、前記隣り合う各交差部の交差長は、周波数特性の最適化を図る設計法（ミニマックス）法によって設定するのが望ましい。また、重み付け電極をダブル電極で構成するとよい。
【００１４】
詳しくは発明の実施の形態に記載の理論説明にて後述するが、最適化法、例えばミニマックス法で設計した隣り合う交差部の交差長の差を一定に保つように両交差部の交差長をそれぞれ変更しても、これらの交差部により得られる周波数成分は同一に保たれる。例えば、図１(Ａ)に示すように最適化法で設計した隣り合う交差部の交差長ａi＝０．３，ａi+2＝０．２を、ａi＝１．０，ａi+2＝０．０に変更しても、前記隣り合う交差部により得られる周波数成分は同一に保たれる。したがって、本願発明のように、重み付け電極の端部にて隣り合う交差部の交差長を周波数特性の最適化を図る設計法で設定した交差長よりそれぞれ小さくするとともに、隣り合う交差部の交差長の差を周波数特性の最適化を図る設計法で設定した同交差長の差と等しく保つようにしても、最適化法で設計した弾性表面波フィルタ装置と同様な周波数特性を得ることができる。その結果、本願発明によれば、周波数特性の変化を極力小さく抑えた上で、重み付け電極の端部における交差長を小さくすることができるので、弾性表面波の回折を減少させることができる。特に、前記のように重み付け電極をダブル電極で構成することにより電極指端で生じる弾性表面波の音響的反射を打ち消すことができる。
【００１５】
また、本発明の他の特徴は、
圧電基板上に弾性表面波の伝播方向に沿って平行にかつ相対向して延設された第１及び第２連結部と、これら第１及び第２連結部から直角方向にそれぞれ延設されて互いに交差する複数対の第１及び第２電極指により構成した櫛歯状の重み付け電極を備えた弾性表面波フィルタ装置において、前記重み付け電極の端部（弾性表面波の伝播方向の端部）にて隣り合う前記複数対の第１及び第２電極指の各交差部の交差方向を互いに逆にするとともに、前記各交差部の互いに異なる交差方向を正負として、前記隣り合う交差部の交差長の差を周波数特性の最適化を図る設計法で設定した同交差長の差と等しく保つようにしたことにある。好ましくは、周波数特性の最適化を図る設計法として、ミニマックス法を採用するとよい。また、重み付け電極をダブル電極で構成するとよい。
【００１６】
詳しくは発明の実施の形態に記載の理論説明にて後述するが、最適化法、例えばミニマックス法で設計した隣り合う交差部の交差長の差を一定に保つように両交差部の交差長をそれぞれ変更しても、これらの交差部により得られる周波数成分は同一に保たれる。例えば、図１(Ａ)に示すように最適化法で設計した隣り合う交差部の交差長ａi＝０．３，ａi+2＝０．２を、図１(Ｂ)に示すようにａi＝０．０５，ａi+2＝−０．０５に変更しても、前記隣り合う交差部により得られる周波数成分は同一に保たれる。したがって、本願発明のように、重み付け電極の端部にて隣り合う交差部の交差方向を互いに逆にするととともに、交差部の互いに異なる交差方向を正負として隣り合う交差部の交差長の差を最適化法で設定した同交差長の差と等しく保つようにしても、最適化法で設計した弾性表面波フィルタ装置と同様な周波数特性を得ることができる。その結果、本願発明によれば、周波数特性の変化を極力小さく抑えた上で、重み付け電極の端部における交差長を小さくすることができるので、弾性表面波の回折を減少させることができる。特に、前記のように重み付け電極をダブル電極で構成することにより電極指端で生じる弾性表面波の音響的反射を打ち消すことができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
［理論説明］
弾性表面波フィルタ装置においては、各櫛歯状電極をダブル電極にて設計するのが一般的なので、まず、ダブル電極型の重み付け電極の設計について考える。図１(Ａ)に示すように、隣り合う電極指が交差する各交差部の交差長を中心から外側に向かっていくにしたがってａ0，ａ2，ａ4，…ａi，ａi+2，…と表すと、重み付け電極の周波数特性は下記数３のように表される。
【００１８】
【数３】
0004243377.tif 000003
【００１９】
ただし、ｉ，ｎは偶数であり、Ωは所望の通過帯域の中心周波数ｆ0を０．５として０〜２ｆ0の周波数範囲を０〜１で表した場合の規格化周波数である（図２参照）。
【００２０】
ここで、本願発明者らは、ｉ番目とｉ＋２番目の交差部が周波数特性に与える影響に着目し、前記数３の右辺のうちａi及びａi+2を含む部分だけ抜き出すと、ｉ番目及びｉ＋２番目の交差部により得られる周波数成分の和ｙを下記数４のように表される。
【００２１】
【数４】
ｙ＝ａiｃｏｓ(ｉπΩ)＋ａi+2ｃｏｓ((ｉ＋２)πΩ)
この数４において通過帯域の周波数特性を近似するものとしてΩ＝０．５を採用して、前記数４に代入すると、前記数４は下記数５のように表される。
【００２２】
【数５】
0004243377.tif 000004
【００２３】
この数５から隣り合う交差部の交差長の差を一定にすれば、ｉ番目及びｉ＋２番目の交差部の通過帯域の周波数成分をほぼ同一に維持できる、すなわちこれらの和である重み付け電極の通過帯域の周波数特性をほぼ同一に維持できることが解った。したがって、隣り合う交差部の交差長を小さくするとともに隣り合う交差部の交差長の差を一定に保ちさえすれば、一対の交差長をそれぞれ変更しても重み付け電極の周波数特性を同一に維持することができる。例えば、ミニマックス法による設計データとして、図１(Ａ)に示すようにａi＝０．３，ａi+2＝０．２を得たとしても（ミニマックス法を用いると、通常、このように同一方向に大きな交差長を有するものとなる）、ａi＝０．１，ａi+2＝０．０に変更することができ、さらに、図１(Ｂ)に示すようにａi＝０．０５，ａi+2＝−０．０５に変更することができる。なお、前記交差長の数値は最大交差長を「１．０」とした場合の各交差長の比率を表す値であり、図１(Ａ)，(Ｂ)の下部に示されている。したがって、このことを使えば、図２６のＸに示すような電極パターンの端部における交差長を短くすることができ、同端部の大きい交差長を有する交差部による回折の問題を解消することができる。
【００２４】
次に、シングル電極型の重み付け電極の設計について考える。ダブル電極型の重み付け電極において対となる電極指を１つの電極指とするとともに、シングル電極型の重み付け電極の各交差部の交差長の分布（電極パターン）をダブル電極型の重み付け電極の電極パターンと同一に設定すれば、シングル電極型の重み付け電極はダブル電極型の重み付け電極と同一の周波数特性が得られることがわかっている（図３(Ａ)(Ｂ)参照）。図３(Ｂ)に示すように、隣り合う電極指が交差する各交差部の交差長を中心から外側に向かっていくにしたがってｂ0，ｂ1，ｂ2，…ｂI，ｂI+1，…と表すと、各交差長ｂ0，ｂ1，ｂ2，…ｂI，ｂI+1，…は、図３(Ａ)に示す各交差長ａ0，ａ2，ａ4，…ａi，ａi+2，…に相当するので、シングル電極型においても、上述したダブル電極型と同様に、隣り合う交差部の交差長の差を一定に保ちさえすれば、一対の交差長をそれぞれ変更しても中心周波数付近の周波数特性を同一に維持することができる。したがって、シングル型においても、前記一対の交差長をそれぞれ変更することにより、電極パターンの端部における交差長を短くすることができ、同端部の大きい交差長を有する交差部による回折の問題を解消することができる。
【００２５】
［具体的実施形態］
以下、本発明の一実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置を図面を用いて説明すると、図４は同弾性表面波フィルタ装置を上面から見て概略的に示している。
【００２６】
この弾性表面波フィルタ装置は、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、水晶などの圧電材料で厚さの薄い直方体状に形成した圧電基板１０を備えている。圧電基板１０上には、櫛歯状の重み付け電極で構成した入力電極２０と、櫛歯状の正規型電極で構成した出力電極３０とが弾性表面波の伝搬方向に並設されている。
【００２７】
入力電極（重み付け電極）２０は、図１(Ｂ)及び図４に示すように、導電体帯により形成された第１及び第２連結部２１，２２、並びに複数の第１及び第２電極指２３，２４を備えている。第１及び第２連結部２１，２２は、所定距離だけ隔てて平行かつ相対向して弾性表面波の伝搬方向（図示左右方向）に沿って延設されている。複数の第１及び第２電極指２３，２４は、第１及び第２連結部２１，２２から直角方向にそれぞれ延設されて互いに交差している。各第１電極指２３は、電極指端で生じる弾性表面波の音響的反射を打ち消すために、第１及び第２連結部２１，２２の延設方向に２つに分割されて同じ長さに設定された一対の分割電極指２３ａ，２３ｂによりそれぞれ構成されている。各第２電極指２４も、前記と同じ理由のために、第１及び第２連結部２１，２２の延設方向に２つに分割されて同じ長さに設定された一対の分割電極指２４ａ，２４ｂによりそれぞれ構成されている。なお、図１(Ｂ)は図４に示す重み付け電極の一部を抜き出して簡略して示しており、実際には電極指の幅及び隣り合う電極指間の距離は共に等しく設定されている（例えば、λ／８に設定されている。λは弾性表面波の波長を表す）。本願明細書においては、一対の分割電極指で構成する電極指をダブル電極といい、１つの電極指で構成するものをシングル電極という。
【００２８】
この場合、第１電極指２３と第２電極指２４との各交差部の交差長ａi（ｉは偶数）、すなわち第１電極指２３の分割電極指２３ａと第２電極指２４の分割電極指２４ｂとの各交差部の交差長ａi（ｉは偶数）、及び第１電極指２３の分割電極指２３ｂと第２電極指２４の分割電極指２４ａとの各交差部の交差長ａi（ｉは偶数）は、所定の周波数特性を得るためにミニマックス法により計算した値にそれぞれ設定してある。なお、交差長ａiは、隣り合う電極指の交差部における同電極指の延設方向に沿った長さだけではなく、同延設方向（図示上下方向）に沿った交差方向を正負で表している。すなわち、左側に位置する第１電極２３及び右側に位置する第２電極２４からなる交差部の交差長は図示上向きであり（これを正とする）、左側に位置する第２電極２４及び右側に位置する第１電極２３からなる交差部の交差長は図示下向きである（これを負とする）。
【００２９】
ミニマックス法により弾性表面波フィルタ装置を設計すると、図２６に示すように、電極パターンの端部Ｘは、同方向に比較的大きな交差長を有する隣り合う一対の交差部からなる複数の交差対Ｘ１〜Ｘ５を有することとなる。しかし、本実施形態では、上記理論説明で述べた方法を採用することにより、隣り合う交差部の交差長の差を一定に保つように両交差部の交差長をそれぞれ変更するので、図５に示すように、交差対Ｘ１を互いに逆方向かつ小さな交差長を有する交差部に変更した電極パターンに設定されている。また、３つの交差対Ｘ１〜Ｘ３を互いに逆方向かつ小さな交差長を有する交差部に変更して、図６に示すような電極パターンに設定してもよい。さらに、５つの交差対Ｘ１〜Ｘ５を互いに逆方向かつ小さな交差長を有する交差部に変更して、図７に示すような電極パターンに設定してもよい。なお、図５〜図７及び図２６は電極パターンの右半分のみを示しており、その左半分は右半分の点対称の関係にある。
【００３０】
出力電極（正規型電極）３０は、図４に示すように、重み付け電極２０と同様に導電体帯により形成された第１及び第２連結部３１，３２、並びに複数の第１及び第２電極指３３，３４を備えており、これら第１及び第２電極指３３，３４も、同じ長さに設定された一対の分割電極指３３ａ，３３ｂによりそれぞれ構成されている。このとき、第１及び第２電極指３３，３４の総数は奇数に設定されている。
【００３１】
上記のように構成した実施形態においては、重み付け電極２０の端部に位置する交差長を小さく設定したので、同交差長による弾性表面波の回折を減少させ、周波数特性の悪化を防ぐことができる。
【００３２】
このことを図８に示すような測定回路を用いて実験により確認する。この実験には、下記表１に示す仕様の弾性表面波フィルタ装置を使用する。
【００３３】
【表１】
圧電基板              タンタル酸リチウム(LiTaO3) Ｘカット
重み付け電極本数      ８３６本
正規型電極本数        ２１本
交差長                ４０００μｍ
電極中心間距離        １４８６０μｍ
電極櫛幅（Ｗ／Ｐ）    ０．４
なお、交差長は重み付け電極の最大交差長（本実施形態においては、正規型電極の交差長と等しい）を表し、電極中心間距離は重み付け電極２０の中心と正規型電極３０の中心との間の距離を表し、電極櫛幅は電極指幅（Ｗ）の隣り合う電極指の中心間距離（Ｐ）に対する比を表している。
【００３４】
弾性表面波フィルタ装置の入力端４１には、抵抗５１を介して信号発生器５２が接続されており、その出力端４２には、抵抗５３及び測定器５４が接続されている。弾性表面波フィルタ装置の他の端子４３，４４と、信号発生器５２、抵抗５３及び測定器５４はそれぞれアースされている。入力端４１は入力電極（重み付け電極）２０の第１連結部２１（又は第２連結部２２）に接続されており、出力端４２は出力電極（正規型電極）３０の第１連結部３１（又は第２連結部３２）に接続されている。他の端子４３，４４は第２連結部２２，３２（又は第１連結部２１，３１）に接続されている。
【００３５】
この測定回路により図２６、図５〜７にそれぞれ示す電極パターンを有する重み付け電極２０の周波数特性を測定すると、図９〜１２及び図１４〜１７に示す実験データをそれぞれ得ることができる。図９〜１２は、通過帯域の振幅特性を示しており、特に中心周波数ｆ0を中心とする平坦な部分を拡大したもので振幅リップルをよく表すものをグラフ下部中央に示している。これらをまとめると、図１３に示すように、電極パターンの端部において交差長を小さく変更する交差対の数を増やすにしたがって、すなわち大きな交差長を有する交差対を減らすにしたがって振幅リップルが小さくなり振幅特性が改善されることが確認できる。さらに、図１４〜１７は、通過帯域の群遅延特性を示しており、これらをまとめると、図１８に示すように、電極パターンの端部において交差長を小さく変更する交差対の数を増やすにしたがって、すなわち大きな交差長を有する交差対を減らすにしたがって遅延リップルが小さくなり群遅延特性が改善されることが確認できる。
【００３６】
上述したように、本実施形態によれば、周波数特性の変化を極力小さく抑えた上で、重み付け電極２０の端部における交差対の交差長を小さくすることができるので、弾性表面波の回折を減少させることができる。特に、前記のように重み付け電極２０をダブル電極で構成することにより電極指端で生じる弾性表面波の音響的反射を打ち消すことができる。
【００３７】
［変形例］
次に、上記実施形態の変形例について説明する。この変形例は、上記従来技術に記載した図２３に示す電極パターンを有する重み付け電極と、偶数本の電極指を有する正規型電極とで構成した弾性表面波フィルタ装置に本発明を適用したものである。すなわち、図２３に示す電極パターンの端部において、隣り合う交差部の交差長の差を一定に保つように両交差部の交差長をそれぞれ変更するので、図１９に示すように、端部の複数の交差対を互いに逆方向かつ小さな交差長を有する交差部に変更するとともに、交差長の中心の傾きを抑えた電極パターンに設定する。これによっても、重み付け電極の端部に位置する交差長を小さく設定したので、同交差長による弾性表面波の回折を減少させ、周波数特性の悪化を防ぐことができる。
【００３８】
さらに、他の変形例について説明する。この変形例は、上記従来技術に記載した図２５に示す電極パターンを有する重み付け電極と、偶数本の電極指を有する正規型電極とで構成した弾性表面波フィルタ装置に本発明を適用したものである。すなわち、図２５に示す電極パターンの端部において、隣り合う交差部の交差長の差を一定に保つように両交差部の交差長をそれぞれ変更するので、図２０に示すように、端部の複数の交差対を互いに逆方向かつ小さな交差長を有する交差部に変更するとともに、交差長の中心の傾きを抑えた電極パターンに設定する。なお、重み付け電極を構成する電極指は互いに異なる長さの分割電極指で構成されている。これによっても、前記と同様な作用・効果を期待できる。
【００３９】
なお、上記実施形態及び変形例においては、重み付け電極及び正規型電極をダブル電極で構成するようにしたが、このダブル電極の代わりに、シングル電極で構成するようにしてもよい。
【００４０】
なお、上記実施形態及び変形例においては、最適化法の例としてミニマックス法についてのみ説明したが、同最適化法には、線形計画法、非線形計画法もあり、これら設計法にも本発明は適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  (Ａ)はミニマックス法で設計した重み付け電極を示す概略図であり、(Ｂ)は本発明の一実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の重み付け電極を示す概略図である。
【図２】  規格化周波数を示すグラフである。
【図３】  (Ａ)は図１に示す重み付け電極の一部分を拡大した図であり、(Ｂ)は(Ａ)に示す重み付け電極と同一の電極パターンを有し、かつシングル電極型で構成した重み付け電極の一部分を拡大した図である。
【図４】  本発明の一実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置を上面から見た概略図である。
【図５】  図４の重み付け電極の端部にて１つの交差対を変更した電極パターンの右半分を示す図である。
【図６】  図４の重み付け電極の端部にて３つの交差対を変更した電極パターンの右半分を示す図である。
【図７】  図４の重み付け電極の端部にて５つの交差対を変更した電極パターンの右半分を示す図である。
【図８】  弾性表面波フィルタ装置を構成する重み付け電極の周波数特性を測定するための測定回路を示す図である。
【図９】  図２６に示す電極パターンを有する重み付け電極の振幅特性を示すグラフである。
【図１０】  図５に示す電極パターンを有する重み付け電極の振幅特性を示すグラフである。
【図１１】  図６に示す電極パターンを有する重み付け電極の振幅特性を示すグラフである。
【図１２】  図７に示す電極パターンを有する重み付け電極の振幅特性を示すグラフである。
【図１３】  交差対変更数と振幅リップルとの関係を示すグラフである。
【図１４】  図２６に示す電極パターンを有する重み付け電極の群遅延特性を示すグラフである。
【図１５】  図５に示す電極パターンを有する重み付け電極の群遅延特性を示すグラフである。
【図１６】  図６に示す電極パターンを有する重み付け電極の群遅延特性を示すグラフである。
【図１７】  図７に示す電極パターンを有する重み付け電極の群遅延特性を示すグラフである。
【図１８】  交差対変更数と遅延リップルとの関係を示すグラフである。
【図１９】  本発明の変形例に係る弾性表面波フィルタ装置の重み付け電極の電極パターンの右半分を示す図である。
【図２０】  本発明の他の変形例に係る弾性表面波フィルタ装置の重み付け電極の電極パターンの右半分を示す図である。
【図２１】  最小二乗法を用いて設計した弾性表面波フィルタ装置の周波数特性を示すグラフである。
【図２２】  ミニマックス法を用いて設計した弾性表面波フィルタ装置の周波数特性を示すグラフである。
【図２３】  従来の弾性表面波フィルタ装置の重み付け電極の電極パターンの右半分を示す図である。
【図２４】  従来の弾性表面波フィルタ装置の重み付け電極の一部を拡大した一例を示す図である。
【図２５】  図２４に示す重み付け電極の電極パターンの右半分を示す図である。
【図２６】  従来の弾性表面波フィルタ装置の重み付け電極の電極パターンの右半分を示す図である。
【符号の説明】
１０…圧電基板、２０…入力電極（重み付け電極）、２１，３１…第１連結部、２２，３２…第２連結部、２３，３３…第１電極指、２４，３４…第２電極指、２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂ，３３ａ，３３ｂ，３４ａ，３４ｂ…分割電極指、３０…出力電極（正規型電極）、Ｘ…電極パターンの端部、Ｘ１〜Ｘ５…交差対、ａ0，ａ2，ａ4，ａi，ａi+2，ｂ0，ｂ1，ｂ2，ｂI，ｂI+1，…交差長。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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