(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
各インク通路の両側に横ダミー通路を備えるように、複数のインク通路と複数の横ダミー通路とを交互に配列し前記インク通路内のインクに圧力を加えてインクを噴射させるアクチュエータ部材と、該アクチュエータ部材の一端面に接着剤にて接合されたノズルプレートとを備え、前記アクチュエータ部材とノズルプレートとの間に、前記各横ダミー通路に一端部が連通し他端部が外部に開口する縦ダミー通路が形成されているインクジェットヘッドであって、
前記アクチュエータ部材と前記ノズルプレートとの間であって前記複数のインク通路と横ダミー通路とがなす前記配列のうち前記配列する方向において両末端に位置する前記横ダミー通路に連通する前記縦ダミー通路よりもさらに前記アクチュエータ部材の端部側に、一端部が前記外部に開口する縦空通路が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記縦空通路は、前記縦ダミー通路と略平行に形成されたものであるところの請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記縦空通路は、一端部が外部に開口する縦空溝を形成したアクチュエータ部材又はノズルプレートの面に、ノズルプレート又はアクチュエータ部材を接着剤にて接合することで形成されるものであるところの請求項１又は２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記アクチュエータ部材は、アクチュエータ基板とカバープレートとを、それらの間にインク通路及び横ダミー通路が形成されるように接着剤にて接合してなるものであり、
前記アクチュエータ基板と前記カバープレートとの間であって前記複数のインク通路と前記横ダミー通路とがなす前記配列のうち前記配列する方向において両末端に位置する前記横ダミー通路よりもさらに前記アクチュエータ部材の端部側に、一端部が前記外部に開口する横空通路が形成されているところの請求項１〜３のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記横空通路は、前記横ダミー通路と略平行に形成されたものであるところの請求項４記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記横空通路は、一端部が外部に開口する横空溝が形成されたアクチュエータ基板又はカバープレートの面に、カバープレート又はアクチュエータ基板を接着剤にて接合することで形成されるものであるところの請求項４又は５記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記カバープレートとノズルプレートとの接合部分であって、それらの間に一端部が外部に開口する空通路が形成されているところの請求項４〜６のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記アクチュエータは、電圧を印加することによりインク噴射のための圧力を発生させる圧電材料からなり、
前記各インク通路及び各横ダミー通路は、両側面に電極が設けられ、
前記横ダミー通路の電極は、前記縦ダミー通路を経て外部に導き出されているところの請求項１〜７のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インク通路内のインクに圧力を作用させることによりインクをノズルから噴射させるインクジェットヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、インクジェット記録装置において用いられるインクジェットヘッドとして、複数のインク通路と複数の横ダミー通路とが交互に位置するように形成され前記インク通路内のインクに圧力を加えてインクを噴射させるアクチュエータ部材と、インクが噴射される複数のノズルが列状に形成され、前記アクチュエータ部材の端面に接着剤によって接合されるノズルプレートとを備えるものが知られている。
【０００３】
ところで、かかるインクジェットヘッドは、一般に、ノズルプレート（例えばポリイミド等の合成樹脂プレートやニッケル等の金属プレートからなる平板）にノズルを形成した後に、ノズルプレート側の接合面全体あるいはアクチュエータ部材側の接合面全体に接着剤（例えば熱硬化性エポキシ系接着剤や二液性エポキシ系接着剤）を塗布し、その後に、両者を位置決めして加圧・加熱処理を施すことによりノズルプレートとアクチュエータ部材とを接着することにより製造されるものである。
【０００４】
具体的には、例えば図４に示すように、インクジェットヘッドのヘッドサイズに切り出したアクチュエータ基板１０１の上面にインク通路となるインク溝１０２等を多数形成し、上記インク溝１０２内の表面に導電層からなる電極を形成した後、アクチュエータ基板１０１の上面に接着剤を塗布してカバープレート１０３を接着し、アクチュエータ部材１０４とする。この後、アクチュエータ部材１０４（アクチュエータ基板１０１及びカバープレート１０３）の一端面側あるいはノズルプレート１０５側に接着剤を塗布してそれらを接着して、また、アクチュエータ部材１０４の他端面にマニホールド部材１０６等を接着して、インクジェットヘッドとされる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなインクジェットヘッドでは、アクチュエータ部材１０４とノズルプレート１０５との接着の際に、それらの間に気泡１０７（エア）が混入することで、接着される部分の面積が減少せしめられ、その結果、接着力や密着力が不十分となるという課題がある。
【０００６】
このような気泡が発生する原因としては、（１）接着剤中に混入している目に見えない微細気泡が加熱硬化時に熱膨張により気泡へと成長し、そのまま硬化してしまうこと、（２）アクチュエータ部材１０４とノズルプレート１０５との接合面の端面切断や研磨の際に使用される切削液や研磨液等の水分が十分に除去されずに接着面に残り、この水分が加熱硬化時に水蒸気となって気泡が生じること、（３）二液性エポキシ系接着剤を使用する場合には、主剤と硬化剤を撹拌・混合する際に微細気泡が混入し、ノズルプレート１０５を加圧固定するときに気泡を取り除くことができない等の原因が考えられる。
【０００７】
特に、アクチュエータ部材１０４とノズルプレート１０５との間に存在する前記気泡１０７は、アクチュエータ部材１０４の中央部付近においては、ノズルプレート１０５を押圧することにより、インク溝１０２等が気泡の逃し部として機能して、気泡１０７をほぼ完全に外部に排出することができるが、左右両端部付近においては、インク溝１０２等のように気泡の逃し部となるものが形成されておらず面状に形成されているため、気泡１０７が閉じこめられやすい。
【０００８】
また、同様な課題が、アクチュエータ部材１０４とカバープレート１０３との間の接着にも存在する。
【０００９】
本発明は、アクチュエータ部材とノズルプレートとの間の左右両端部付近における接着力及び密着力が向上したインクジェットヘッドを提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１の発明は、各インク通路の両側に横ダミー通路を備えるように、複数のインク通路と複数の横ダミー通路とを交互に配列し前記インク通路内のインクに圧力を加えてインクを噴射させるアクチュエータ部材と、該アクチュエータ部材の一端面に接着剤にて接合されたノズルプレートとを備え、前記アクチュエータ部材とノズルプレートとの間に、前記各横ダミー通路に一端部が連通し他端部が外部に開口する縦ダミー通路が形成されているインクジェットヘッドであって、前記アクチュエータ部材と前記ノズルプレートとの間であって前記複数のインク通路と横ダミー通路とがなす前記配列のうち前記配列する方向において両末端に位置する前記横ダミー通路に連通する前記縦ダミー通路よりもさらに前記アクチュエータ部材の端部側に、一端部が前記外部に開口する縦空通路が形成されているものである。ここで、一端部が外部に開口するとは、一端部が直接に外部に開口する場合だけでなく、例えば外部に開口する端部を有する通路に連通することで間接的に外部に開口する場合も含む意味である。
【００１１】
請求項１の発明によれば、アクチュエータ部材とノズルプレートとの間においては、各横ダミー通路に一端部が連通し他端部が外部に開口する縦ダミー通路が形成され、複数のインク通路と横ダミー通路とがなす前記配列のうち前記配列する方向において両末端に位置する前記横ダミー通路に連通する前記縦ダミー通路よりもさらに前記アクチュエータ部材の端部側に、一端部が外部に開口する縦空通路が形成されていることから、アクチュエータ部材の一端面にノズルプレートが接着剤にて接合される際に、前記縦ダミー通路及び縦空通路を通じて、アクチュエータ部材の一端面とノズルプレートとの間に挟み込まれた気泡が逃され、接着不良になることが回避される。また、前記縦ダミー通路及び縦空通路が前記接着剤の逃げ部としても機能するので、インク溝への接着剤のはみ出しが防止される。
【００１２】
請求項２の発明は、請求項１記載のインクジェットヘッドであって、前記縦空通路が、前記縦ダミー通路と略平行に形成されたものである。
【００１３】
請求項２の発明によれば、前記縦空通路が、前記縦ダミー通路と略平行に形成されたものであり、インク溝に隣接する縦ダミー通路を加工する際に、一緒に加工することが可能とされ、それの加工のための特別な工程を必要としない。
【００１４】
請求項３の発明は、請求項１又は２のインクジェットヘッドにおいて、前記縦空通路が、一端部が外部に開口する縦空溝を形成したアクチュエータ部材又はノズルプレートの面に、ノズルプレート又はアクチュエータ部材を接着剤にて接合することで形成されるものである。
【００１５】
請求項３の発明によれば、アクチュエータ部材又はノズルプレートの１つの面に一端部が外部に開口する縦空溝を形成し、それから、その面に対しノズルプレート又はアクチュエータ部材を接着剤にて接合することで、縦空通路が形成される。
【００１６】
請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれかのインクジェットヘッドにおいて、前記アクチュエータ部材は、アクチュエータ基板とカバープレートとを、それらの間にインク通路及び横ダミー通路が形成されるように接着剤にて接合してなるものであり、前記アクチュエータ基板と前記カバープレートとの間であって前記複数のインク通路と前記横ダミー通路とがなす前記配列のうち前記配列する方向において両末端に位置する前記横ダミー通路よりもさらに前記アクチュエータ部材の端部側に、一端部が前記外部に開口する横空通路が形成されているものである。
【００１７】
請求項４の発明によれば、アクチュエータ基板とカバープレートとの間においては、複数のインク通路と前記横ダミー通路とがなす前記配列のうち前記配列する方向において両末端に位置する前記横ダミー通路よりもさらに前記アクチュエータ部材の端部側に、一端部が外部に開口する横空通路が形成されていることから、アクチュエータ基板の一端面にノズルプレートが接着剤にて接合される際に、前記横ダミー通路及び横空通路を通じてアクチュエータ基板の一端面とカバープレートとの間に挟み込まれた気泡が逃され、接着不良になることが回避される。また、前記横ダミー通路及び横空通路が前記接着剤の逃げ部として機能し、インク溝への接着剤のはみ出しが防止される。
【００１８】
請求項５の発明は、請求項４のインクジェットヘッドにおいて、前記横空通路が、前記横ダミー通路と略平行に形成されたものである。
【００１９】
請求項５の発明によれば、前記横空通路が、前記横ダミー通路と略平行に形成されたものであり、インク溝に隣接する横ダミー通路を加工する際に一緒に加工することが可能とされる。
【００２０】
請求項６の発明は、請求項４又は５のインクジェットヘッドにおいて、前記横空通路が、一端部が外部に開口する横空溝が形成されたアクチュエータ基板又はカバープレートの面に、カバープレート又はアクチュエータ基板を接着剤にて接合することで形成されるものである。
【００２１】
請求項６の発明によれば、アクチュエータ基板又はカバープレートの１つの面に一端部が外部に開口する横空溝を形成し、それから、その面に対しカバープレート又はアクチュエータ基板を接着剤にて接合することで、横空通路が形成される。
【００２２】
請求項７の発明は、請求項４〜６のいずれかのインクジェットヘッドにおいて、前記カバープレートとノズルプレートとの接合部分であって、それらの間に一端部が外部に開口する空通路が形成されているものである。ここで、空通路は、一端部が、前述したところの意味において外部に開口していればよく、ノズル列に沿って延びるように設けてもよいし、縦ダミー通路や縦空通路に連通するように設けてもよい。
【００２３】
請求項７の発明によれば、カバープレートとノズルプレートとの接合部分であって、それらの間に前記複数の空通路を通じてカバープレートの一端面とノズルプレートとの間に挟み込まれた気泡が逃され、接着不良になることが回避される。また、前記空通路が接着剤の逃げ部としても機能し、インク溝への接着剤のはみ出しが防止される。
【００２４】
請求項８の発明は、請求項１〜７のいずれかのインクジェットヘッドにおいて、前記アクチュエータが、電圧を印加することによりインク噴射のための圧力を発生させる圧電材料からなり、前記各インク通路及び各横ダミー通路の両側面に電極が設けられ、前記横ダミー通路の電極が、前記縦ダミー通路を経て外部に導き出されている。
【００２５】
請求項８の発明によれば、アクチュエータ（圧電材料）を駆動するために給電する横ダミー通路の電極が、縦ダミー通路を経て外部に導き出され、電力供給源に接続される。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２７】
図１は本発明に係るインクジェットヘッドの要部の分解斜視図である。図１に示すように、インクジェットヘッド１は、一対のアクチュエータ基板２，２が、それらの間に、中間プレート３（カバープレート）を挟持した状態で、接着剤にて接合されることで形成されるアクチュエータ部材４と、該アクチュエータ部材４の一端面に接着剤にて接合されたノズルプレート５とを備える。そして、アクチュエータ部材４の他端面には、インクを供給するためのマニホールド部材６が接合される。
【００２８】
前記各アクチュエータ基板２は、図２に示すように、チタン酸ジルコン酸鉛系（ＰＺＴ）のセラミックス材料からなる圧電材料層２Ａ，２Ｂを接着剤層２Ｃを介して積層して構成されており、各層２Ａ，２Ｂの圧電材料は相互に反対方向（それぞれアクチュエータ基板２の厚さ方向）に分極処理されている。尚、圧電材料層２Ａ，２Ｂは、本実施の形態においては、２層であるが、３層、４層あるいはそれ以上の層であってもよく、また、上記圧電材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛系（ＰＺＴ）のセラミックス材料のほか、チタン酸鉛系（ＰＴ）のセラミックス材料を用いることもできる。
【００２９】
また、前記中間プレート３と対向する側のアクチュエータ基板２の上面２ａには、例えばダイヤモンドブレードにより、各層にわたって切削加工された複数のインク溝１１，・・及び横ダミー溝１２Ａ，・・が交互に並列に形成（配列）されている。そして前記インク溝１１，・・及び横ダミー溝１２Ａ，・・間に位置する各側壁１３，・・は、溝の深さ方向と平行にかつ相互に反対方向に分極された複数層の圧電材料により形成されていることになる。
【００３０】
上記インク溝１１は、アクチュエータ基板２の先端面２ｂ付近においてはノズルプレート５に向け徐々に深さが浅くなるように形成されているものの、それよりも後から後端面２ｃにかけて、所定の深さを有するように形成されている。一方、横ダミー溝１２Ａは、アクチュエータ基板２の先端面２ｂ側から後端面２ｃ側の近傍まで所定の深さを有するように形成され、横ダミー溝１２Ａの後端部（後端面２ｃ側の近傍）は、図３に示すように、アクチュエータ基板２の上面２ａと面一となるように立ち上げられてその横ダミー溝１２Ａを閉鎖している。
【００３１】
そして、中間プレート３の上下に接着剤３６，３６を介してアクチュエータ基板２，２が接合されることで、前記アクチュエータ基板２のインク溝１１，・・及び横ダミー溝１２Ａ，・・は、中間プレート３にて長手方向開口部が閉塞され、それによって、図２に示すように、インク通路２１，・・及び横ダミー通路２２Ａ，・・となる。すなわち、各アクチュエータ基板２と中間プレート３との間において、複数のインク通路２１，・・と複数の横ダミー通路２２Ａ，・・とを交互に配列し、これらによって前記インク通路２１，・・内のインクに圧力を加えてインクを噴射させるアクチュエータ部材４が形成される。
【００３２】
また、アクチュエータ基板２の先端面２ｂ側には、横ダミー溝１２Ａに対応した位置に、一端部が横ダミー溝１２Ａに連通し他端部が下面１２側に開口する縦ダミー溝１２Ｂが形成されている。前記アクチュエータ基板２の縦ダミー溝１２Ｂは、アクチュエータ部材４にノズルプレート５が接着剤３７（図２（ｂ）参照）を介して接合され、ノズルプレート５にて長手方向開口部が閉塞されることで、縦ダミー通路２２Ｂ，・・となる。
【００３３】
さらに、複数のインク溝１１と横ダミー溝１２Ａとがなす前記配列のうち前記配列する方向の両末端に位置する横ダミー溝１２Ａ及び縦ダミー溝１２Ｂよりもさらにアクチュエータ部材４の端部側には、それらと平行に等ピッチ間隔で、前記横ダミー溝１２Ａ及び縦ダミー溝１２Ｂと同一形状である横空溝１４Ａ，・・と縦空溝１４Ｂ，・・が形成されている。よって、縦空溝１４Ｂは、一端部が横空溝１４Ａに連通し他端部がアクチュエータ基板２の下面２ｄに開口している。そして、前記アクチュエータ基板２の横空溝１４Ａ，・・及び縦空溝１４Ｂ，・・は、中間プレート３及びノズルプレート５にて長手方向開口部が閉塞されることで、横ダミー溝１２Ａや縦ダミー溝１２Ｂと同様に、横空通路２４Ａ，・・及び縦空通路２４Ｂ，・・となる。
【００３４】
また、前記中間プレート３の、ノズルプレート５が接合される面にも、ノズル列に沿って延び両端が外部に開口する複数の横方向の空溝１５，・・が形成されている。そして、前記中間プレート３の空溝１５，・・は、ノズルプレート５にて長手方向開口部が閉塞されることで、ノズル列に沿って延びる空通路２５・・となる。
【００３５】
よって、アクチュエータ基板２に中間プレート３が接合されることで、一端部が大気に開口する横ダミー通路２２Ａ，・・及び横空通路２４Ａ，・・が形成され、アクチュエータ部材４にノズルプレート５が接合されることで、一端部が大気に開口する縦ダミー通路２２Ｂ，・・及び縦空通路２４Ｂ，・・、ノズル列に沿って延びる空通路２５，・・が形成されることになる。そして、これらの各通路（溝）が、アクチュエータ基板２に対し中間プレート３を接合する際やアクチュエータ部材４に対しノズルプレート５を接合する際に、それらの間の挟み込まれた気泡やそれらの接合のために用いられる接着剤のための逃げ部として機能するようになっている。
【００３６】
尚、図１においては、インク通路２１（複数のインク溝１１）と横ダミー通路２２Ａ（横ダミー溝１２Ａ）とがなす前記配列のうち前記配列する方向の両末端に位置する横ダミー通路２２Ａ及びこの横ダミー通路２２Ａに連通する縦ダミー通路２２Ｂ（縦ダミー溝１２Ｂ）よりもさらにアクチュエータ部材４の端部側に、横空通路２４Ａ（横空溝１４Ａ）と縦空通路２４Ｂ（縦空溝１４Ｂ）とを３組又は４組ずつ設けているが、その数は特に限定されず、それ以上の組であってもよいし、１組だけであってもよい。すなわち、両端のインク溝１１の、アクチュエータ部材４の端部側に隣接する横ダミー溝１２Ａと縦ダミー溝１２Ｂよりもさらにアクチュエータ部材４の端部側の部分の大きさに応じて、必要な組数だけ横空溝１４Ａと縦空溝１４Ｂとを設けることができる。横空溝１４Ａと縦空溝１４Ｂを、横ダミー溝１２Ａ及び縦ダミー溝１２Ｂと同一形状にすることで、それらを一緒に加工することができる。なお、それらは、同一形状でなくても、一端部が外部（大気）に開口するものであれば前述したところの逃げ部として機能する。
【００３７】
また、上記アクチュエータ基板２におけるインク溝１１，・・、横ダミー溝１２Ａ，・・、及び後端面２ｃ（横ダミー溝１２Ａ，・・が閉塞されている側）には、Ｎｉ等の導電性材料からなる導電層が蒸着やメッキにより形成されている。
【００３８】
そして、アクチュエータ基板２の先端面２ｂ（ノズルプレート５が接着される面）及び上面２ａは、導電層が除去され、インク溝１１，・・と横ダミー溝１２Ａ，・・の各溝面の導電層をそれぞれ独立させ、図３（ａ）（ｂ）に示すように、インク溝１１，・・の溝面に電極３１を形成している。横ダミー溝１２Ａの底面には、レーザ加工によって、導電層を線状に除去した第１分割溝３２ａが先端側から後端側にかけて形成されており、横ダミー溝１２Ａの内面の導電層を独立した２個の電極３３，３３としている。横ダミー溝１２Ａに連通する縦ダミー溝１２Ｂには、第１分割溝３２ａに接続された第２分割溝３２ｂが形成されている。よって、前記各横ダミー溝１２Ａの両側面に設けられた電極３３，３３が、前記縦ダミー溝１２Ｂを経て外部（アクチュエータ基板２の下面２ｄ側）に導き出されている。
【００３９】
さらに、アクチュエータ基板２の下面２ｄには、第２分割溝３２ｂに接続された第３分割溝３２ｃが先端から後端近傍まで横ダミー溝１２Ａの溝方向に沿って形成されており、第３分割溝３２ｃの後端側には、複数の第３分割溝３２ｃに直交するように第４分割溝３２ｄが形成されている。
【００４０】
第３及び第４分割溝３２ｃ，３２ｄによって、アクチュエータ基板２の下面２ｄに導電層からなる複数の駆動電極３４が平行に形成されている。各駆動電極３４は、横ダミー溝１２Ａの一方の壁面の電極３３と、インク溝１１を挟んで隣接する横ダミー溝１２Ａの他方の壁面の電極３３とに縦ダミー溝１２Ｂを経て電気的に接続された状態にされている。また、第４分割溝３２ｄと第３分割溝３２ｃとに囲まれた駆動電極３４列の外周には、共通接地電極３５が形成されており、共通接地電極３５は、アクチュエータ基板２の後端面２ｃの導電層を介してすべてのインク溝１１内の電極３１に接続されている。そして、インク溝１１を挟んだ一対の側壁１３，１３と、その両側面に形成された一対の電極３１，３３を一組として、一対の側壁１３，１３の外側の電極３３，３３に駆動電圧を印加する一方、一対の側壁１３，１３間のインク溝１１の内側の電極３１，３１を接地することにより、その側壁内部に圧電材料の分極方向に対して直角方向の電界を生成し、分極処理された側壁１３，１３を、インク溝１１の容積が変化する方向に変形させるようになっている。
【００４１】
また、駆動電極３４が形成されたアクチュエータ基板２の下面２ｄには、配線部材すなわちフレキシブルプリント基板４１が接続されるようになっている。フレキシブルプリント基板４１には、駆動電極３４及び共通接地電極３５に対応して基板側駆動電極４２及び基板側接地電極４３が形成されている。基板側駆動電極４２は、図示しない駆動制御部に接続されており、印字データに基づいて駆動制御部から出力された駆動電圧を駆動電極３４を介して各電極３３に印加するようになっている。尚、予めはんだ層が形成された電極４２，４３を有したフレキシブルプリント基板４１を用意し、フレキシブルプリント基板４１の電極４３，４４とアクチュエータ基板２の電極３４，３５とが一致するように、アクチュエータ基板２にフレキシブルプリント基板４１を当接した後、はんだ付けすることによりインクジェットヘッドとして組み立てる。
【００４２】
上記のように、アクチュエータ基板２を中間プレート３に押し付けて接着する際、あるいはアクチュエータ部材４にノズルプレート５を押し付けて接着する際に、前記両プレート３，５が押圧されることで、それらの間に挟み込まれた気泡が押し出されて、中央に相当する位置ではダミー通路２２Ａ，２２Ｂを通じて、左右両端に相当する（インク溝１１が存在しない）位置では空通路２４Ａ，２４Ｂを通じてそれぞれ逃され、外部に排出される。また、中間プレート３とノズルプレート５が対応する位置では、空通路２５を通じて気泡が逃される。よって、接着に要する必要面積が確保され、それらの密着力や接着力が高められるので、接着不良になるのが回避される。また、これらの位置では、接着面積が大きく、したがって接着剤の量も多くなるが、接着剤３６，３７も、空通路２４Ａ，２４Ｂ，２５に流れ込み、インク溝１１に流れ込むのが回避される。
【００４３】
これにより、アクチュエータ基板２と各プレート３，５とは、接着剤３６，３７中に気泡が殆ど存在することがないため、設計仕様通りの接着力（接着面積）で接着されることになり、かつ、気泡に押されてインク通路２１へ逃げる接着剤３６，３７も少なくなり、インク溝１１（インク通路２１）は、接着剤３６，３７の進入による容積の変化量が僅かであるため、設計仕様通りの噴射特性を発揮することになる。
【００４４】
以上の説明において、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明はそれに限定されるものではなく、以下に述べるように種々の変更が可能である。
【００４５】
(1)前記実施の形態においては、縦空溝を形成したアクチュエータ基板に対しノズルプレートを接合することで縦空通路を形成するようにしているが、逆に、ノズルプレートに縦空溝を形成し、そのノズルプレートに対しアクチュエータ基板を接合することで縦空通路を形成するようにすることもできる。この場合、ノズルプレートは通常合成樹脂材料（例えばポリイミド樹脂、ポリエーテルサルフォン樹脂）により形成されていることから、レーザ手段（ＴＥＡ−ＣＯ2，Ｅｘｃｉｍａ等）による加工が可能であり、加工部周辺の盛り上がりを小さくして、接着力、密着力の向上を図る観点から、パルス幅の短いレーザ（具体的には、パルス幅が１ｍｓ以下）を出力するレーザ手段にて加工することが望ましい。
【００４６】
また、アクチュエータ基板及びノズルプレートの両方に、相互に対向する縦空溝を形成し、アクチュエータ基板とノズルプレートとが接合されることでそれらが合わされて縦空通路が形成されるようにすることも可能であり、この場合、アクチュエータ基板とノズルプレートとに設ける縦溝の形状を変え、例えばノズルプレート側の縦空溝を細く、アクチュエータ基板側の縦空溝を太くすることも可能である。
【００４７】
さらに、これらと同様のことを、アクチュエータ部材と中間プレート（カバープレート）との間、中間プレートとノズルプレートとの間にも適用することができるのは勿論である。
【００４８】
(2)前記実施の形態は、１個の中間プレート３（カバープレート）の上下両側に２個のアクチュエータ基板２，２を接合したインクジェットヘッドに適用したものについて説明しているが、アクチュエータ部材の端面に接着剤によって接合されるノズルプレートを有するインクジェットヘッドであれば、すべてに適用することができる。すなわち、１個のカバープレートに１個のアクチュエータ基板を接合したインクジェットヘッドや、カバープレートとアクチュエータ基板とを交互に接合して３個以上のアクチュエータ基板１を有する構造としたインクジェットヘッドに対しても適用することができ、また、前述したところの電圧を印加すると機械的変形（伸び縮み）をする性質を有する圧電素子を利用して、インク溝内に溜めてあるインクを押し出し射出する圧電素子型のみならず、例えばインクに発熱抵抗体（硼化ジルコニウム等）の発する熱を瞬間的に与え、膜沸騰させ、その沸騰気泡の体積膨張を利用してインクを射出させるいわゆるバブルジェット型のインクジェットヘッドにも適用することができる。
【００４９】
(３)前記実施の形態においては、前記空通路２４Ａ，２４Ｂを、直線状の側面を有する形状としているが、それに限定されるものではなく、空通路の形状としては各種の形状を用いることができる。例えば湾曲形状の側面や、波形形状の側面を有する空通路とすることもできる。
【００５０】
【発明の効果】
本発明は、以上に説明したような形態で実施され、以下に述べるような効果を奏する。
【００５１】
請求項１の発明は、アクチュエータ部材とノズルプレートとの間において、各横ダミー通路に一端部が連通し他端部が外部に開口する縦ダミー通路を形成し、複数のインク通路と横ダミー通路とがなす前記配列のうち前記配列する方向において両末端に位置する前記横ダミー通路に連通する前記縦ダミー通路よりもさらに前記アクチュエータ部材の端部側に、一端部が外部に開口する縦空通路を形成しているので、アクチュエータ部材の一端面にノズルプレートを接着剤にて接合する際に、前記縦ダミー通路及び縦空通路を通じてアクチュエータ部材の一端面とノズルプレートとの間に挟み込まれた気泡を逃すことができ、接着力や密着力が低下するのを回避することが可能となる。また、前記縦ダミー通路及び縦空通路は、前記接着剤の逃げ部としても機能するので、インク溝への接着剤のはみ出しを防止する上でも有利である。
【００５２】
請求項２の発明は、縦空通路を、縦ダミー通路と略平行に形成するようにしているので、インク溝に隣接する縦ダミー通路を加工する際に一緒に加工することができ、それの加工のための特別な工程を必要としない。
【００５３】
請求項３の発明は、アクチュエータ部材又はノズルプレートの１つの面に一端部が外部に開口する縦空溝を形成し、それから、その面に対しノズルプレート又はアクチュエータ部材を接着剤にて接合することで、縦空通路を形成するようにしているので、縦空通路を簡単に形成することができる。
【００５４】
請求項４の発明は、アクチュエータ基板とカバープレートとの接合において、前記横ダミー通路及び横空通路を通じてアクチュエータ基板の一端面とカバープレートとの間に挟み込まれた気泡を逃すようにしているので、請求項１の発明と同様に、接着力や密着力が低下するのを回避することができ、また、前記横ダミー通路及び横空通路を前記接着剤の逃げ部としても機能させて、インク溝への接着剤のはみ出しを防止することもできる。
【００５５】
請求項５の発明は、前記横空通路を、前記横ダミー通路と略平行に形成されたものとしているので、インク溝に隣接する横ダミー通路を加工する際に一緒に加工することが可能である。
【００５６】
請求項６の発明は、アクチュエータ基板又はカバープレートの１つの面に一端部が外部に開口する横空溝を形成し、それから、その面に対しカバープレート又はアクチュエータ基板を接着剤にて接合することで、横空通路を形成しているので、簡単に横空通路を形成することができる。
【００５７】
請求項７の発明は、カバープレートとノズルプレートとの接合部分であって、それらの間に位置する前記複数の空通路を通じてカバープレートの一端面とノズルプレートとの間に挟み込まれた気泡を逃すようにしているので、カバープレートとノズルプレートとの接合における接着力や密着力が低下するのを防止する上でより有利となる。
【００５８】
請求項８の発明は、アクチュエータ（圧電材料）を駆動するために設けた横ダミー通路の電極を、縦ダミー通路を経て外部に導き出すようにしているので、縦ダミー通路を有効に利用して、横ダミー通路の電極の接続を簡単に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係るインクジェットヘッドの要部分解斜視図である。
【図２】  （ａ）（ｂ）はそれぞれアクチュエータ部材の横断面図及び縦断面図である。
【図３】  （ａ）は上側に位置するアクチュエータ基板とプリント基板との関係を示す図、（ｂ）は上記（ａ）のアクチュエータ基板を後方から見た図である。
【図４】  従来例を示すものであり、アクチュエータ基板に対しカバープレート、ノズルプレート及びマニホールド部材を接着する状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１       インクジェットヘッド
２       アクチュエータ基板
２Ａ     圧電材料層
２Ｂ     圧電材料層
３       中間プレート（カバープレート）
４       アクチュエータ部材
５       ノズルプレート
５ａ     ノズル孔
６       マニホールド部材
１１     インク溝
１２Ａ   横ダミー溝
１２Ｂ   縦ダミー溝
１３     側壁
１４Ａ   横空溝
１４Ｂ   縦空溝
１５     空溝
２１     インク通路
２２Ａ   横ダミー通路
２２Ｂ   縦ダミー通路
２４Ａ   横空通路
２４Ｂ   縦空通路
２５     空通路
３１     電極
３３     電極
３４     駆動電極
３６     接着剤
【図１】
0004253859.tif 000002
【図２】
0004253859.tif 000003
【図３】
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【図４】
0004253859.tif 000005