(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子入射の際に、Ｘ線を発生するＸ線生成装置であって、
当該Ｘ線生成装置は、液体金属区域を有し、該液体金属区域では、Ｘ線ターゲットとして、液体金属が、電子入射区域を流通し得るように提供され、
前記液体金属区域から分離された圧力区域に、圧力媒体が提供され、該圧力媒体は、前記液体金属が前記電子入射区域を通過するように、前記液体金属区域に存在する前記液体金属に圧力を加え、
前記圧力区域には、圧力アキュムレーターが設置され、該圧力アキュムレーターには、前記圧力を付加するため、前記圧力媒体が補充されることを特徴とするＸ線生成装置。
【請求項２】
前記液体金属区域及び前記圧力区域は、二つの分離区域内で相互に隣接するように、それぞれの分離手段により、相互に分離され、
前記分離手段は、前記分離手段を介して、両分離区域の前記液体金属に圧力が付加されるように、移動可能に構成されることを特徴とする請求項１に記載のＸ線生成装置。
【請求項３】
前記分離区域は、二つの分離チャンバーとして提供され、それぞれの分離チャンバーは、液体金属チャンバー及び圧力媒体チャンバーを有し、
該液体金属チャンバー及び圧力媒体チャンバーは、柔軟性のある隔板により、相互に分離されることを特徴とする請求項２に記載のＸ線生成装置。
【請求項４】
前記分離区域は、移動可能なピストンを有するシリンダーとして構成されることを特徴とする請求項２に記載のＸ線生成装置。
【請求項５】
前記圧力媒体として、ガスが使用され、
前記圧力アキュムレーターとして、ガス圧力チャンバーが提供され、
圧縮ガスを供給することにより、前記圧力アキュムレーターを補充するポンプが提供されることを特徴とする請求項１に記載のＸ線生成装置。
【請求項６】
前記ガスは、空気であることを特徴とする請求項５に記載のＸ線生成装置。
【請求項７】
使用される前記圧力媒体は、特に油圧油のような油圧液体であり、
前記圧力アキュムレーターとして、油圧圧力チャンバーが提供されることを特徴とする請求項１に記載のＸ線生成装置。
【請求項８】
前記圧力媒体として、液体が使用され、
前記圧力アキュムレーターとして、蒸気チャンバーが提供され、
前記圧力アキュムレーター内の前記液体は、気化されていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線生成装置。
【請求項９】
前記液体は、水であることを特徴とする請求項８に記載のＸ線生成装置。
【請求項１０】
前記液体金属に対する所望の圧力の適用を制御するため、制御手段が提供され、
前記液体金属は、所望の流速で、前記電子入射区域を流通することを特徴とする請求項１に記載のＸ線生成装置。
【請求項１１】
前記制御手段は、前記圧力区域において制御可能なバルブを有し、
これにより、前記圧力アキュムレーターからの圧力が制御され、該圧力が前記液体金属区域の前記液体金属に付加されることを特徴とする請求項１０に記載のＸ線生成装置。
【請求項１２】
前記液体金属区域の前記電子入射区域には、前記液体金属が圧縮を経て流れるような構成が提供され、
前記構成は、前記電子入射区域の二つの側で非対称となるように設定されることを特徴とする請求項１に記載のＸ線生成装置。
【請求項１３】
前記二つの分離区域の少なくとも一つには、冷却手段が提供され、作動中に、加熱された前記液体金属が冷却されることを特徴とする請求項２に記載のＸ線生成装置。
【請求項１４】
電子を放射する電子源と、請求項１に記載のＸ線生成装置とを含むＸ線源。
【請求項１５】
Ｘ線検出器と、請求項１４に記載のＸ線源とを含むＸ線装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子の配置は、電子入射帯を過ぎて流れることができるような方法でＸ線ターゲットとして液体金属が提供される液体金属帯を含んでいる、電子の入射におけるＸ線生成のための配置に関係がある。本発明は、さらに、Ｘ線生成のために電子の放射のための電子源及びかかる配置を含んでいるＸ線源に関する。また本発明は、Ｘ線検出器及びかかるＸ線源を含むＸ線装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
かかる種類の配置及びＸ線源は、米国特許出願番号６１８５２７７Ｂ１において既知である。電子源によって放射された電子は、薄い窓から液体金属に浸透し、Ｘ線を生成する。大きい原子番号を有する液体金属は、ポンプの影響を受けて循環し、その結果、窓及び液体金属の電子を備えた相互作用によって生成された熱を消すことができる。この帯で生成された熱は乱流によって運ばれ、それにより、効果的な冷却を保証する。
【０００３】
多くの異なる応用は、Ｘ線を生成するためのかかる配置に実現可能である。コンピュータ連動断層撮影装置の場合には、例えば、およそ２０ｓにおいて、短期間だけにおいて、例えばおよそ８０ｋＷの高いパルス力を運ぶことができるＸ線源が必要とされる。異なる種類の適用において、すなわち、爆発物や薬品の存在を検査するための手荷物を検査するためのＸ線システムにおいては、しかしながら、例えばおよそ３０ｋＷのみの低出力が要求され、数時間連続して伝達される。
【０００４】
液体金属ターゲットを伴う既知のＸ線源において、液体金属はポンプの手段によって循環され、単一のポンプの手段により記述された条件を満たすことができると仮定される。しかしながら、適用の第一の種類において、すなわちコンピュータ連動断層撮影において、必要とされるパルス化力は非常に高く、しかし平均力はより低いことが分かった。およそ２０ｓの使用の各期間が典型的にはおよそ８０  ｓの遊休時間により先行されると仮定すると、平均値電力は、（８０ｋｗ．２０ｓ）／（８０ｓ＋２０ｓ）＝１６ｋＷになる。結果、したがってポンプの力の縮減が可能であり、すなわち、８０ｋＷの最大のパルス力において代わりにおよそ１６ｋＷの要求された平均力におけるポンプを想定することであり；これは、空間とコストに関する重要な節約を提示するだろう。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、液体金属ターゲットを伴って供給され、様々な適用に使用され得、液体金属における比較的少ないポンピング容量のみを必要とするＸ線を生成するための配置を提供することを目的とする。記載の種類の配置に基づいて、本目的は、圧力媒体が、電子入射帯を過ぎた液体金属を強要するために圧力媒体が液体金属帯の中にある液体金属に対する圧力を用いることができる方法で、液体金属帯と離れている圧力帯は、電子入射帯を過ぎた液体金属を押し出すために圧力媒体が液体金属帯に存在する液体金属に対する圧力を用いることができる手法で、圧力媒体と提供され達成される。ここで前述の圧力帯は圧力を加えるために補充することができる圧力アキュムレーターと共に提供されている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明と一致して、最も高い電力（パルス力）において、電子入射帯を過ぎた液体金属を押し出すために必要とされるポンピング容量を想定する必要はないが、必要なポンピング容量が補足手段がポンピング容量の保存のために提供される場合に必要とされる平均電力に向けることができることが認識された。ΔＰになる圧力差によって液体の容積Ｖを移動させるのに必要なエネルギーがＶ．ΔＰと等しいと仮定する場合、ポンプは、１／ε．（Ｖ．ΔＰ）／Ｔの容量を必要とする。値εは、流体力学エネルギーへの力学的エネルギーの転換が１００％未満の効率を有しており、Ｔは液体金属へのエネルギー伝達が分配することができる期間であるという事実を考慮に入れる。ポンピング容量は、２０ｓだけにエネルギーを濃縮する代わりに１００ｓ（コンピュータ連動断層撮影に関する前述の実施例で）以上のエネルギーを注入する形態でエネルギーの供給を分配することによりこのように著しく縮小することができる。
【０００７】
このように、本発明と一致して下記の条件が満たされるに違いない：
ａ）液体金属を駆動するためのエネルギーは、必要な場合はいつでも短時間で効果的に保存され、補充され及び抽出される；
ｂ）エネルギー保存の種類は、液体金属がポンプ状の手法で駆動される条件と互換性がある。
【０００８】
前述のものは既知のＸ線源とは異なり、液体金属はポンプの手段によって循環しないが、しかしながら、循環なしで交互に移動されることができる液体金属帯で独占的に位置している本発明に従って達成される。さらに、そこから個別で、さらにエネルギーが必要な力で液体金属帯での液体金属を移動させるため、すなわち、電子入射帯を過ぎる液体金属を導くために抽出されるように保存することができる圧力アキュムレーターを含んでいる圧力帯が提供される。圧力アキュムレーターを充電するために、すなわちエネルギーを補充するために、充電装置が提供されるかもしれない。圧力アキュムレーターでのエネルギーが常に分配できるため、すなわちＸ線源の遊休期間においても分配できるので、例えば、既知のＸ線源のポンプよりも著しく低い容量を有するポンプであるかもしれない、一方で既知のＸ線源におけるフルポンピング容量は操作中に利用されるべきである。かかる充電装置は、したがって余計な部分及びコストを省くために構築され、かかるＸ線源のユニバーサルな使用として可能である。
【０００９】
好ましくは、液体金属帯及び圧力帯は二つの位置、すなわち、分離帯と呼ばれる位置でお互いに隣接しており、圧力は、圧力媒体の手段によって液体金属に及ぼすことができる。かかる分離帯は、例えば、液体金属チャンバー及び圧力媒体チャンバーの各々を伴うそれぞれの分離するチャンバーとして想定されるかもしれない。液体金属、及び圧力媒体は圧力媒体から液体金属まで圧力が転送することができる、柔軟な隔板によって分離されている。圧力媒体と同様に液体金属は、調節された圧力比の機能として重要な分離チャンバーに、このように拡大できるかもしれない。
【００１０】
さらに、他の解決策は、液体金属帯及び圧力帯の概念においては実現可能である。しかしながら、圧力が圧力媒体を介して液体金属帯の液体金属に直接及ぼし、その結果、液体金属が直接的に駆動されないことはすべてのかかる解決策の共通の態様である。ピストンが、液体金属と圧力媒体の間の分離する手段として役立つ場合に、分離帯も、それぞれの置き換え可能なピストンを備えたシリンダとしてこのように解釈されるかもしれない；さらに、任意の方法で駆動されるように原則として構築することができる。
【００１１】
特に空気であるガスが圧力媒体として好ましく使用される、圧力媒体における様々な代替が、請求項５乃至７に開示されている。圧力アキュムレーターの転換、すなわち、エネルギーの保存が、要求の圧力を用いるために、さらに様々な手法で実現することができる。圧力媒体としてのガスを用いて、制御可能なバルブの手段で密封されるガス圧力チャンバーを用い、従来のポンプの手段によって与えられたレベルに圧力が連続的に維持できることは特に利点である。
【００１２】
液体金属に対する圧力の適用の制御において、したがって電子入射帯における液体金属の流速の管理において、請求項８に開示されているような適切な制御手段が提供される。かかる制御手段は、特に、前述で言及された圧力アキュムレーターから液体金属帯へ、特に分離帯への圧力の適用が制御できることにより制御可能なバルブを伴って提供される。
【００１３】
電子入射帯での可能な限り高い流速を達成するために、液体金属帯は、入射帯のエリアでの構成を伴って提供される。この構造は例えば、少量の水の外部形状に接近するために、電子入射帯の両側に非対称となるために想定されるかもしれない。その結果、圧縮を経て流れる液体金属によって受ける圧力の損失は、可能な限り小さい。しかしながら、その場合にはできるだけ大きな必要な結果が達成されることを保証するために、操作中に液体金属が一方向のみで構造を経て常に流れるべきであるという事実を考慮に入れることが必要である。
【００１４】
操作中には、液体金属は、数１００℃まで加熱される。加熱された液体金属を冷却するために、したがって冷却手段、例えば分離帯周辺を延在する冷却管の形状で、液体金属が使用期間後に好ましく存在する二つの分離帯の少なくとも一つで提供される。
【００１５】
請求項１で開示されるようなＸ線を生成するために配置は、請求項１２で開示されているような電子照射のための電子源を含むＸ線源の部分を好ましく形成する。かかるＸ線源は、請求項１３に提示されているようなＸ線装置でＸ線検出器を伴う接続で好ましく使用される。
【００１６】
本発明は、図を参照して下記において詳細に記載されるであろう。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明と一致するＸ線源の図解的な表現であり、参照番号１は、好ましく設置され、窓５の手法によるバキュームタイトな手段で密封されるチューブ包を示す。チューブ包の真空空間において、操作状態で電子ビーム４を照射する陰極３の形態の電子源が提供され、そのビームは、Ｘ線を生成するために本発明と一致する配置２で存在する液体金属９に窓５を介して入射する。配置２は、電子入射帯８での電子ビーム４により打たれるように液体金属９が存在する、液体金属帯７から本質的になる。配置２はまた、液体金属９が操作中に所望の速度で電子入射帯８を過ぎて流れることを保証するために、圧力が液体金属帯７の液体金属９に及ぼすことによって圧力帯１０からなる。
【００１８】
窓５を横断する電子４と液体金属９との間の相互作用は、チューブ包１の窓５及びＸ線射出窓６によって発散するＸ線９を合成する。液体金属９は、このようにＸ線ターゲットとして役立つ。示されたＸ線源、すなわち特に電子ビーム４、窓５及び液体金属９の一層の概念において、この状況に関連する実施態様が現在のＸ線源における同じ有効性を有しており、したがって、本出願に組み入れられると考えられる、引用文献米国特許出願番号６１８５２７７Ｂ１が言及される。
【００１９】
図２ａ乃至２ｃは、異なる操作状態での配置２を図解的に示している。図２ａは、配置２の初期状態、すなわち操作開始前を示しており、一方で図２ｂは操作中の操作状態を示し、図２ｃは使用後の最終状態を示す。
【００２０】
図に示されるように、液体金属９が存在する液体金属帯７は、延長チューブとして構築される。電子入射帯８、すなわち窓５の後方の帯において、チューブは構成を伴って提供される。さらに、管状の液体金属帯７の二つの末端は、分離チャンバーＲ１及びＲ２に向かい広くなる。分離チャンバーは、分離チャンバーＲ１及びＲ２をそれぞれ液体金属チャンバーＬ１、Ｌ２及び圧力チャンバーＧ１、Ｇ２（図２ｂを参照）にさらに分割する、それぞれの柔軟な隔板Ｍ１、Ｍ２を伴って提供される。圧力チャンバーＧ１、Ｇ２は、圧力媒体１１が存在する圧力帯１０の部分をすでに形成し、例えば、かかる媒体は本発明においては特に空気にようなガスである。圧力帯１０はまた、本質的に管状になり、広がった管状の二つの末端が圧力チャンバーＧ１、Ｇ２を形成するように構成される。加えて、管状の圧力帯１０内において、圧力アキュムレーターＲ３、すなわち高圧で保存される本実施態様の圧力チャンバーの形状で提供される。この末端に、例えば空気である、ガス１２は圧力チャンバーＲ３に、ポンプ１３の手段によって所望の高圧に達するまで注入される。
【００２１】
圧力チャンバーＲ３と二つの分離チャンバーＲ１及びＲ２との間に、制御装置１５によって制御され、所望の瞬間において隔板Ｍ１及びＭ２で所望の値の圧力が及ぼすことができる、それぞれのバルブＶ１、Ｖ２が提供される。バルブＶ１及びＶ２は、下記の三つの異なる機能若しくは位置を本質的に有するべきコンピューター制御バルブとして特に構成されるかもしれない：
ａ）バルブはガスの流れを妨げるように閉じられる；
ｂ）バルブはガスの流れを可能にするように開かれる；
ｃ）バルブは異なる方向のガスの流れを可能にすべきであり、分離チャンバーＲ１及びＲ２での圧力を縮減するように、特に圧力アキュムレーターＲ３から分離チャンバーＲ１及びＲ２（所望の圧力レベルを伴う）の方向並びに分離チャンバーＲ１及びＲ２から外部へ向かう方向である。
【００２２】
例えば、２００ｂａｒの圧力が圧力アキュムレーターＲ３にて考察された。次いで、ポンプ１３は、５０Ｈｚモーター、２５ｍｍ半径のピストン及び６０ｍｍのストロークの長さで操作するガスコンプレッサーとして構成された。次いで、ポンプの容量は１１８ｃｍ３で、圧縮されたガス（２００ｂａｒにおける）の容量は、毎秒およそ３０ｃｍ３の容量に送られた。分離チャンバーＲ１及びＲ２は、それぞれ４ｌの容量を有するかもしれないし、１００ｂａｒの最大圧力に耐えることが可能である。これらのパラメーターは、およそ１０ｃｍの分離チャンバーの半径及びおよそ３ｋｇの重量を必要とする。
【００２３】
液体金属における使用は、好ましくは３５．６％Ｂｉ（共晶）、２２．９％Ｐｂ、１９．６％Ｉｎ及び２１．９％Ｓｎから成る合金で製造される（質量％で記載）。かかる合金の融点は５６．５℃に位置する。図２ａで示されるような開始状態、すなわち、Ｘ線源が不活性な状態において、分離チャンバーＲ１は実質的に空であり、分離チャンバーＲ２は実質的に充満している。次いで、液体金属は、加熱要素（ここでは示されていない）を採用することによって分離チャンバーＲ２でおよそ６５℃の温度、すなわち液体状態で維持される。
【００２４】
図２ａ乃至２ｃで示されるような様々な操作状態及び図３のフローチャートの詳細な記載はここでより詳細に記載され、本発明と一致するＸ線源がデータ獲得のためのコンピューター連動断層撮影装置で使用されると仮定される。第一に、第一段階において（図３のＳ１）、図２ａに示されるような開始状態はデータの獲得を開始する前に到達されることは保証される。分離チャンバーＲ２の圧力チャンバーＧ２における圧力Ｐ２が数ｂａｒ、例えば３ｂａｒ増加し、その結果、液体金属は分離チャンバーＲ２から完全に流れ出て、分離チャンバーＲ１に完璧に収集される。バルブＶ２は、圧力アキュムレーターＲ３から分離チャンバーＲ２にわずかな圧力を導入するためにわずかに開いている。しかしながら、バルブ１は外部に関して開いており、その結果、大気圧がガス圧力チャンバーＧ１に普及する。
【００２５】
図２ａで示される開始状態が到達された場合、データの獲得を始める前にバルブＶ１が圧力アキュムレーターＲ３の方向に向かって数秒間開き、その結果ガス圧力チャンバーＧ１内の圧力Ｐ１は操作レベルに非常に迅速に到達する。結果として、分離チャンバーＲ１の液体金属チャンバーＬ１に完全に存在している液体金属９は、隔板Ｍ１の圧力作用の影響を受けて分離チャンバーＲ１から追い出されて、その結果、電子入射帯の構成８を高速で通過して流れる。ベルヌーイ効果のために構造８で起こるキャビテーションを回避するために、逆圧は、分離チャンバーＲ２のガス圧力チャンバーＧ２で好ましくは同時に生産される。バルブＶ１の開きと同時に、バルブＶ２は圧力アキュムレーターＲ３に向かって開く（図３での段階Ｓ２）。例えば、分離チャンバーＲ１での圧力Ｐ１において、４０乃至７０ｂａｒの値で、好ましくは５０ｂａｒに調節され、例えば、２０ｂａｒ（若しくは２０ｂａｒより低く、すなわち１ｂａｒと同等に低い）の圧力Ｐ２が分離チャンバーＲ２で調節できて、その結果好ましくは２０乃至５０ｂａｒの圧力差Ｐ１乃至Ｐ２は普及している。
【００２６】
本発明と一致するＸ線源はかかる操作段階（図３の段階Ｓ３）で操作し、このように、電子ビームのスイッチがオンになり、Ｘ線が生成される。次いで液体金属９はデータ獲得の期間において所望の速度、例えば１００ｃｍ３／ｓで分離チャンバーＲ１から分離チャンバーＲ２に流れて、例えばＣＴの場合には２０ｓである。次いで、必要な操作圧力を合成するようにバルブＶ１及びＶ２は連続して開く（又は完全に若しくは部分的に閉じる）。明らかに、圧力アキュムレーターＲ３は、適切な期間において例えば４０乃至７０ｂａｒの高圧Ｐ１を充分に維持する容量を有しなければならず、このように液体金属９を充分に長期において及び適切な速度で、分離チャンバーＲ１から分離チャンバーＲ２に流れることが可能である。一つの実施態様において、例えば、圧力アキュムレーターＲ３が最大圧力２００ｂａｒを用いておよそ３ｌの容量を有することが整えられるかもしれない。
【００２７】
データの獲得が終了する場合、電子ビーム４のスイッチが切られ、バルブＶ１及びＶ２は外気に関して再び開かれ、その結果圧力Ｐ１及びＰ２は再び大気に対して減少する（段階Ｓ４）。次いで、液体金属９は図２ｃで示されるような分離チャンバーＲ２内に主に若しくは完璧に存在する。液体金属９が、電子入射帯８での電子４の入射のために熱されたので、冷却管１４は分離チャンバーＲ２の液体金属９を冷却するため、すなわち好ましくは６０乃至６５℃の温度に冷却するために提供され、結果として液体金属９は液体の状態を維持する。
【００２８】
最終的に、最後の段階（Ｓ５）において、ポンプ１３は、圧力アキュムレーターＲ３内の圧力が“補充されて”、その結果、次ぎの反応のために適切な圧力が再び利用可能であることを保証する。したがって、ポンプ１３の容量はＸ線源の操作中に利用可能にならなければならない、最も高い容量において想定する必要はなく；遊休期間に圧力アキュムレーターＲ３中で適切な高い値に圧力を再び調節することができるようなものであるために単に想定する必要がある。対照的に、それと同時に、既知のＸ線源におけるポンプは完璧な操作出力において設計されるに違いない。
【００２９】
図２ａ乃至２ｃで容易に見られるように、窓５の後方の構成８は、分離チャンバーＲ１及びＲ２に相関して非対称になるように設計される。目的は操作中に分離チャンバーＲ１から分離チャンバーＲ２に流れ込む液体金属９によって招かれた圧力損失ができるだけ小さいことを保証することであり、その結果、可能な限り速い液体流動速度が電子入射帯で達成される。したがって、示されている配置は、液体金属９が操作中に分離チャンバーＲ２へ分離チャンバーＲ１から常に押し出される手段で単に使用されるべきである。
【００３０】
しかしながら、代替として、構成８はまた、対称となるように設計されるかもしれないし、分離チャンバーＲ１の周囲に冷却管１４を提供することが可能であり、その結果、液体金属９は操作中に両方向に押し出され得る。
【００３１】
示された実施態様の代替として、他の可能性は、さらに、液体金属に対する圧力を用いるために存在する。例えば、ガス１１の代わりの使用は、非常に低い沸点を有しており、それは高圧を達成するための加熱装置（その結果、蒸発する）の手段によって煮沸することで合成可能な液体から合成することができる。次いで、蒸発された液体は、操作中に液体金属の必要な圧力を用いるように蒸気アキュムレーターに保存される。かかる配置において、ポンプは完全に分配することができるかもしれない。加熱装置だけが代わりに要求されるであろう。例えば、ポンプで起こるような機械的な動きは、このように完全に分配され、この種類のＸ線源がＣＴガントリーに使用される場合に著しい利点である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明と一致するＸ線源の図解的な表現である。
【図２ａ】異なる操作状態でＸ線を生成するための本発明と一致する配置の図解的な表現である。
【図２ｂ】異なる操作状態でＸ線を生成するための本発明と一致する配置の図解的な表現である。
【図２ｃ】異なる操作状態でＸ線を生成するための本発明と一致する配置の図解的な表現である。
【図３】Ｘ線を生成するために本発明と一致する配置の様々な操作状態を例証するフローチャートを示している。
【符号の説明】
１    チューブ包
２    配置
３    陰極
４    電子ビーム
５    窓
６    Ｘ線射出窓
７    液体金属帯
８    電子入射帯、電子入射帯の構成
９    液体金属
１０  圧力帯
１１  圧力媒体
１２  ガス
１３  ポンプ
１４  冷却管
１５  制御装置
Ｇ１  ガス圧力チャンバー
Ｇ２  ガス圧力チャンバー
Ｌ１  液体金属チャンバー
Ｌ２  液体金属チャンバー
Ｍ１  隔板
Ｍ２  隔板
Ｐ１  圧力
Ｐ２  逆圧
Ｒ１  分離チャンバー
Ｒ２  分離チャンバー
Ｒ３  圧力アキュムレーター
Ｖ１  バルブ
Ｖ２  バルブ
【図１】
0004338943.tif 000002
【図２ａ】
0004338943.tif 000003
【図２ｂ】
0004338943.tif 000004
【図２ｃ】
0004338943.tif 000005
【図３】
0004338943.tif 000006