(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部から供給される電気信号に応じた流体の出力圧を取出すようにした調整弁において、
供給圧が増加すると前記電気信号の信号電流値がゼロのときの０点の前記出力圧の目標値を与える信号圧が増加する電磁式ノズルフラッパと、
信号圧を受ける入力ダイヤフラムと出力圧を受ける出力ダイヤフラムとを備え、該入力ダイヤフラムと出力ダイヤフラムとが力を伝達する剛体を介して互いに押合うように配置され、しかも供給圧を受けるバランスダイヤフラムを有し、該バランスダイヤフラムがこのバランスダイヤフラムの圧力を受ける圧力板を介して前記出力ダイヤフラムを入力ダイヤフラム側に押圧し、さらにポペットを有し、ボディ内に弁の開閉方向に延びるように貫通して形成された案内孔内によって摺動可能に支持されているロッドを介して前記ポペットが前記圧力板に連結され、供給圧が増加すると前記０点の前記出力圧が減少する弁本体と、
を具備し、前記電磁式ノズルフラッパのノズルの背圧を前記弁本体の前記信号圧として用いることを特徴とする調整弁。
【請求項２】
電磁式ノズルフラッパの供給圧に対する前記０点の前記信号圧の変化の比例定数の増減と弁本体の供給圧に対する前記０点の前記出力圧の変化の比例定数の増減とが互いにほぼ逆の関係になるとともに、前記ノズルフラッパのノズルの背圧が前記入力ダイヤフラムに印加されて前記弁本体の信号圧となるように組合わせたときに供給圧の変化による前記電磁式ノズルフラッパの比例定数の増減と前記弁本体の比例定数の増減の影響がほぼ相殺されるように、前記電磁式ノズルフラッパの前記比例定数の特性と前記弁本体の前記比例定数の特性とが調整されることを特徴とする請求項１に記載の調整弁。
【請求項３】
電磁式ノズルフラッパのフラッパがリニアモータのコイルによって前記リニアモータの軸線方向に移動されてノズルの先端部との間の隙間が調整されることを特徴とする請求項１に記載の調整弁。
【請求項４】
電磁式ノズルフラッパのノズルに該ノズルがフラッパに対して噴流を生ずる作動圧として供給圧が印加されるとともに、前記ノズルの背圧が前記出力圧の目標値を与える信号圧として取出されることを特徴とする請求項１に記載の調整弁。
【請求項５】
バランスダイヤフラムの有効面積が入力ダイヤフラムおよび出力ダイヤフラムの有効面積に比べて小さいことを特徴とする請求項１に記載の調整弁。
【請求項６】
ロッドによって互いに連結されている前記圧力板と前記ポペットの内の一方を両者の重量を打消すようにばねによって押圧することを特徴とする請求項１に記載の調整弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は調整弁に係り、とく外部から供給される電気信号に応じた出力圧を取出すようにした調整弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば特公平７−１０７４０１号公報によって提案されているガス圧式ブースタは、可動板と中心側ではなく外周側で連結ロッドによって連結された補助板を設けるようにし、この補助板を出力圧側の空間に配するようにし、この補助板とケーシングの通路との間に供給圧を加えるためのダイヤフラムと有効面積がほぼ等しいシールリングを介装し、このシールリングによって供給圧と出力圧とを遮断するようにしている。このようなブースタによれば、出力圧が供給圧の影響を受けることなく、摩擦に伴うヒステリシスを防止でき、しかも小型で大容量になる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来のブースタから成る調整弁は、供給圧をパイロット圧に兼用すると０点の信号圧が供給圧の変動の影響を受ける問題がある。このような欠点を解消するために、供給圧の閉ループ制御を行なうようにしており、出力圧が供給圧に連動して変動した場合には、これを打消すように制御弁が制御動作を行なうようにする等の対策を採るようにしている。別の方法は供給圧を一定にすることである。
【０００４】
ところが閉ループ制御を行なうためには、供給圧を検出するためのセンサを必要とするとともに、このセンサによる検出出力に応じて制御を行なうための制御要素を必要とし、構成が複雑になる欠点がある。また供給圧を一定に保持するためには、専用の調整機構を必要とし、この場合にもやはり構成が複雑になる。
【０００５】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであって、センサによる閉ループ制御を行なうことなく、あるいはまた供給圧を一定に保持することなく、しかも供給圧の変動に対して出力圧、とくにその０点が変動しないで作動する調整弁を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本願の一発明は、外部から供給される電気信号に応じた流体の出力圧を取出すようにした調整弁において、
供給圧が増加すると前記電気信号の信号電流値がゼロのときの０点の前記出力圧の目標値を与える信号圧が増加する電磁式ノズルフラッパと、
信号圧を受ける入力ダイヤフラムと出力圧を受ける出力ダイヤフラムとを備え、該入力ダイヤフラムと出力ダイヤフラムとが力を伝達する剛体を介して互いに押合うように配置され、しかも供給圧を受けるバランスダイヤフラムを有し、該バランスダイヤフラムがこのバランスダイヤフラムの圧力を受ける圧力板を介して前記出力ダイヤフラムを入力ダイヤフラム側に押圧し、さらにポペットを有し、ボディ内に弁の開閉方向に延びるように貫通して形成された案内孔内によって摺動可能に支持されているロッドを介して前記ポペットが前記圧力板に連結され、供給圧が増加すると前記０点の前記出力圧が減少する弁本体と、
を具備し、前記電磁式ノズルフラッパのノズルの背圧を前記弁本体の前記信号圧として用いることを特徴とする調整弁に関するものである。ここで電磁式ノズルフラッパの供給圧に対する前記０点の前記信号圧の変化の比例定数の増減と弁本体の供給圧に対する前記０点の前記出力圧の変化の比例定数の増減とが互いにほぼ逆の関係になるとともに、前記ノズルフラッパのノズルの背圧が前記入力ダイヤフラムに印加されて前記弁本体の信号圧となるように組合わせたときに供給圧の変化による前記電磁式ノズルフラッパの比例定数の増減と前記弁本体の比例定数の増減の影響がほぼ相殺されるように、前記電磁式ノズルフラッパの前記比例定数の特性と前記弁本体の前記比例定数の特性とが調整されるようにしてよい。
【０００７】
またここで電磁式ノズルフラッパのフラッパがリニアモータのコイルによって前記リニアモータの軸線方向に移動されてノズルの先端部との間の隙間が調整されるようにしてよい。また電磁式ノズルフラッパのノズルに該ノズルがフラッパに対して噴流を生ずる作動圧として供給圧が印加されるとともに、前記ノズルの背圧が前記出力圧の目標値を与える信号圧として取出されるものであってよい。
【０００８】
またバランスダイヤフラムの有効面積が入力ダイヤフラムおよび出力ダイヤフラムの有効面積に比べて小さいものであってよい。またロッドによって互いに連結されている前記圧力板と前記ポペットの内の一方を両者の重量を打消すようにばねによって押圧するものであってよい。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施の形態に係る調整弁の全体の構成を示すものであって、この調整弁はボディ１０を備えており、このボディ１０の下側の部分にはその左側に供給ポート１１が、右側の部分には出力ポート１２がそれぞれ形成されている。
【００１０】
またこのボディ１０はその上部側に第１の凹部１６を有し、この凹部１６の上部開口を閉塞するように入力ダイヤフラム１７を備えている。そして入力ダイヤフラム１７はその下側に配されている圧力板１８によって受けられるようになっている。圧力板１８は下方へ突出するように比較的大きな直径のセンタボス１９を備え、このセンタボス１９が出力ダイヤフラム２０のほぼ中央部を押圧するようにしている。そして第１の凹部１６であって入力ダイヤフラム１７と出力ダイヤフラム２０との間の空間が小孔２１によって外部と連通され、大気圧に等しい圧力に維持されるようになっている。
【００１１】
上記第１の凹部１６の下側には第２の凹部２２が連設されている。そして第１の凹部１６と第２の凹部２２とを互いに遮断するように上記出力ダイヤフラム２０が配されている。そしてこのような出力ダイヤフラム２０を受けるように第２の凹部２２内には受け板２３が配されている。受け板２３はばね２４によって上方へ押圧付勢されている。
【００１２】
上記受け板２３の下面に接触するように第２の凹部２２には圧力板２５が配されている。この圧力板２５はロッド２６を介して下側に配されているポペット２７と連結されている。ここでポペット２７は第３の凹部２８内に配されている。また上記ロッド２６は貫通孔２９によってボディ１０に摺動可能に支持されている。そしてポペット２７の上面にはＯリング３０が取付けられており、このＯリング３０が凹部２８の内側の上面に圧着するようになっている。
【００１３】
圧力板２５の下側には突部３５が連設されるとともに、この突部３５がバランスダイヤフラム３６を押圧するようになっている。なおバランスダイヤフラム３６はその下側に配されているばね受け３７を介してキャンセルばね３８の押圧力を受けるようにしている。
【００１４】
次にこのような構成のボディ１０から成る弁本体の上側に配されているノズルフラッパの機構について説明する。ノズル４５は中心孔４６を具備するとともに、このノズル４５の基端側の部分が保持部４７に構成されており、上部ボディ４８に設けられている凹部４９内において支持されている。
【００１５】
上記ノズル４５は中心孔４６と連通する横孔５０を備えるとともに、横孔５０は保持部４７の外周面に形成されている連通溝５１に連通されている。そして上記連通溝５１と連通するようにボディ４８にはポート５２が形成されており、このポート５２が凹部１６内であって上記入力ダイヤフラム１７の上側の空間に連通されている。そして絞り通路５３および連通路５４を介してポート５２は供給ポート１１に連通されるようになっている。
【００１６】
次に上記ノズル４５の先端部と対向するように配されているフラッパ６０について説明する。フラッパ６０は例えばりん青銅の薄板から成り、その外周側の部分には表裏の両側を連通させる開口６１が形成されている。またこのようなフラッパ６０はその周縁部がケーシング６２によって張設されている。
【００１７】
ケーシング６２内にはヨーク６３が配されるとともに、このヨーク６３の内部にはマグネット６４とセンタコア６５とがそれぞれ取付けられている。またセンタコア６５の外周側であってヨーク６３の内周側との隙間の部分にはコイル６６が配されている。そしてこのコイル６６がボビン６７に取付けられている。そしてボビン６７を介してコイル６６は上記フラッパ６０に連結されている。なおヨーク６３およびケーシング６２を貫通するように小孔６８が形成されており、これによってケーシング６２の内部に圧力が大気圧に維持されている。
【００１８】
次にこのような調整弁の動作の概要を説明する。ケーシング６２内のコイル６６には信号電流が加えられる。コイル６６はマグネット６４によって形成される磁気回路のエアギャップの中に配されているために、コイル６６に加えられる信号電流によってこのコイル６６が軸線方向に移動する。すなわちここではコイル６６とマグネット６４とヨーク６３とセンタコア６５とによってリニアモータが構成されており、このようなリニアモータによってフラッパ６０が図１において左右の方向の力を受けることになる。従ってこのような力によってフラッパ６０がノズル４５の先端部に対して変位する。
【００１９】
供給ポート１１を通して加えられる供給圧は連通路５４および絞り通路５３を通してノズル４５に対して作動圧として印加される。そしてこのような作動圧は、フラッパ６０とノズル４５との隙間を通して流出する流出量に応じて減圧され、減圧された圧力が中心孔４６、横孔５０、連通溝５１、およびポート５２を通して信号圧として取出され、この信号圧が入力ダイヤフラム１７の上面に作用する。
【００２０】
これに対して下側の凹部２８が出力ポート１２と連通しているために、凹部２８内が出力圧に維持される。そしてこのような出力圧はボディ１０の貫通孔２９を通して凹部２２に印加されているために、凹部２２内の圧力が出力圧に等しくなるとともに、出力ダイヤフラム２０の下面が出力圧を受けることになる。
【００２１】
これに対して供給ポート１１からの供給圧はボディ１０の中心部に上下方向に貫通するように形成されている中心孔４０に印加されるために、バランスダイヤフラム３６の下面には供給圧が印加される。さらにこのバランスダイヤフラム３６の下面には、キャンセルばね３８の弾性復元力がばね受け３７を介して加わる。また中心孔４０に加わる供給圧はポペット２７の上面であってＯリング３０よりも中心側の領域に印加されることになる。
【００２２】
ここでコイル６６に流れる信号電流を増大させると、フラッパ６０が図１において左方に押圧され、ノズル４５の先端部に近接し、これによってノズル４５の背圧、すなわち信号圧が増大する。従ってこの信号圧が上面に加えられるダイヤフラム１７は下方へより大きな力を受けることになり、下方に移動する。そしてこのような入力ダイヤフラム１７の力が圧力板１８、センタボス１９、出力ダイヤフラム２０、受け板２３を介して圧力板２５に印加される。従ってこの圧力板２５が下方へ移動する。
【００２３】
圧力板２５はロッド２６を介してポペット２７と連結されているために、圧力板２５が下方へ移動するとポペット２７も下方へ移動する。従ってこのポペット２７の上面に設けられているＯリング３０が凹部２８の上面から離間する。従って供給ポート１１からの供給圧が中心孔４０から第３の凹部２８に流動し、出力ポート１２を通して取出される出力圧が上昇する。
【００２４】
出力圧は凹部２２内であって出力ダイヤフラム２０の下面に加えられており、出力圧の上昇に伴って出力ダイヤフラム２０が上方へ押す力が次第に増大し、やがて入力ダイヤフラム１７による下方への力の増加量をキャンセルするようになると、ここで再び力の平衡に達し、図１に示すように圧力板２５およびポペット２７が上方へ移動してＯリング３０が凹部２８の上面に接触し、供給圧を遮断する。これによって新しい平衡状態に達する。
【００２５】
コイル６６に加えられる信号電流を減少させた場合には、このコイル６６がフラッパ６０を左方へ押圧する力が少なくなり、このフラッパ６０自身の弾性復元力とのバランスによってノズル４５とフラッパ６０との間の隙間が増大する。従ってこの場合にはノズル４５の背圧が減少することになる。
【００２６】
ノズル４５の背圧、すなわち信号圧が減少すると、入力ダイヤフラム１７の上面に加えられる信号圧が減少するために出力圧を受ける出力ダイヤフラム２０の押圧力によって入力ダイヤフラム１７が上方へ移動することになる。従って圧力板１８およびセンタボス１９もばね２４の弾性復元力によって上方へ移動するようになる。
【００２７】
するとセンタボス１９の先端部が出力ダイヤフラム２０から離間する。従って出力ダイヤフラム２０および受け板２３に貫通して形成されている中心孔４１が開くようになる。従ってこのような中心孔４１を通して第２の凹部２２内の空間の出力圧が第１の凹部１６側へ逃げるようになり、さらに小孔２１を通してボディ１０の外側に流出する。これによって出力圧が次第に減少する。そして出力圧による力が信号圧による力とバランスする状態に達すると、再びセンタボス１９が出力ダイヤフラム２０の上面に接し、中心孔４１を閉塞して新たな力の平衡状態に達する。
【００２８】
次にこのような調整弁のとくにノズル４５の背圧として取出される信号圧の供給圧による影響について数式を用いて説明する。なおここで数式に用いられる記号を次の通り転記する。
【００２９】
Ｑ1 ：  オリフィス５３を通過する流量
Ｑ2 ：  ノズル４５とフラッパ６０との間を通過する流量
Ｐs ：  供給圧
Ｐi ：  信号圧（入力圧）
Ｐa ：  大気圧
Ｃ1 ：  オリフィス５３の抵抗
Ｃ2 ：  フラッパ６０の抵抗
Ｋ1 ：  比例定数
Ｋs ：  比例定数（フラッパ６０のスプリング定数）
ｓ：    ノズル４５の中心孔４６の内径
Ｋo ：  定数
まずノズル４５に作動圧として加えられる供給圧Ｐs の流量Ｑ1 は、
Ｑ1 ＝Ｃ1 ・Ｐs                     （１）
またフラッパ６０と対向するノズル４５の先端部から流出する流量Ｑ2 は、
Ｑ2 ＝Ｃ2 ・（Ｐi −Ｐa ）1/2             （２）
ここで                      Ｃ2 ＝Ｋ1 ・ｘ                    （３）
なおここでｘはノズル４５の先端部とフラッパ６０との間のギャップを示す。そしてこのギャップがｘのときのフラッパ６０における力のバランスは次式のようになる。
【００３０】
Ｋs ・ｘ＝（Ｐi −Ｐa ）・ｓ              （４）
ここでＱ1 ＝Ｑ2 であって、しかもＰa ＝０とすれば次の式が成立する。
【００３１】
Ｃ1 ・Ｐs ＝Ｃ2 ・Ｐi 1/2 ＝Ｋ1 ・ｘ・Ｐi 1/2 ＝Ｋ1 ・ｓ・Ｐi 3/2 ／Ｋs 
（５）
よってＰi ＝｛（Ｃ1 ・Ｋs ・Ｐs ）／（Ｋ1 ・ｓ）｝2/3           （６）
ここでＫo を次のように設定する。
【００３２】
｛（Ｃ1 ・Ｋs ）／（Ｋ1 ・ｓ）｝3/2 ＝Ｋo       （７）
この式を用いると、（６）式は次のように表わされる。
【００３３】
Ｐi ＝Ｋo ・Ｐs 2/3                 （８）
上記の式から明らかなように、信号圧Ｐi は供給圧Ｐs の関数になる。供給圧Ｐs をパラメータとしてコイル６６に流れる信号電流とノズル４５の背圧として得られる信号圧Ｐi との関係が図３によって示される。この式から明らかなように、供給圧Ｐs が増加するに従って信号圧Ｐi が増加することになる。
【００３４】
ここで０点の信号圧Ｐi に注目する。この調整弁の０点に相当する信号電流をコイル６６に流したときの信号圧Ｐi の変化は図４に示される。すなわち０点の信号圧Ｐi は供給圧Ｐs に依存することになり、供給圧Ｐs が増大すると増加する傾向になることが図４によって示される。
【００３５】
今供給圧Ｐs が５ｋｇｆ／ｃｍ2 のときの信号圧Ｐi を０．２ｋｇｆ／ｃｍ2 となるように設定すると、（７）式のＫo はＫo ＝０．０６８になる。従って（８）式は次の式で表わされる。
【００３６】
Ｐi ＝０．０６８Ｐs 2/3               （９）
この（９）式をグラフで表わすと図５に示すようになり、信号圧Ｐs の変化に対するこの調整弁の０点の信号圧Ｐi の変化が具体的な数値の変化として示される。
【００３７】
次に上記の信号圧Ｐi に応じた調整動作を行なう弁本体の供給圧Ｐs による出力圧Ｐo の変化について数式により考察する。なおここで記号を次のように設定する。
【００３８】
Ｐo ：  出力圧
Ａ1 ：  入力ダイヤフラム１７の有効面積
Ａ2 ：  出力ダイヤフラム２０の有効面積
Ａ3 ：  バランスダイヤフラム３６の有効面積
Ａ4 ：  ポペット３０の有効面積（Ｏリング３０の内側の面積）
図１に示す調整弁の弁本体の力のバランスの式は次のようになる。
【００３９】
Ｐi ・Ａ1 ＝Ｐo ・Ａ2 ＋Ｐs ・（Ａ3 −Ａ4 ）  （１０）
ここで左辺のＰi ・Ａ1 は信号圧Ｐi によって入力ダイヤフラム１７が受ける下方への力である。また右辺の第１項は出力圧Ｐo によって出力ダイヤフラム２０が受ける上方への力である。また右辺の第２項は、バランスダイヤフラム３０が供給圧Ｐs によって受ける上方への力からポペット２７が供給圧Ｐs によって受ける下方への力を差引いた値を示している。
【００４０】
ここでＡ3 −Ａ4 ＝△Ａとすると、
Ｐi ・Ａ1 ＝Ｐo ・Ａ2 ＋△Ａ・Ｐs           （１１）
よってＰo ＝Ｐi ・（Ａ1 ／Ａ2 ）−Ｐs ・（△Ａ／Ａ2 ）          （１２）
上記（１２）式に（８）式を代入すると、
Ｐo ＝Ｋo ・（Ａ1 ／Ａ2 ）・Ｐs 2/3 −（△Ａ／Ａ2 ）Ｐs   （１３）上記の（１３）式から明らかなように、出力圧Ｐo は供給圧Ｐs の関数になる。供給圧Ｐs をパラメータとして信号圧Ｐi を変化させたときの出力圧Ｐo の変化は図６に示すようになる。ここでこの調整弁の０点における出力圧Ｐo と供給圧Ｐs との関係は図７に示すようになる。この図７の式から明らかなように、供給圧Ｐs が増加すると出力圧Ｐo は次第に減少する傾向になる。すなわち図７に示す特性は図４に示す特性とは逆の特性になる。
【００４１】
従ってノズル４５とフラッパ６０とから成るノズルフラッパの部分の信号圧Ｐi の特性の比例定数と、図７に示す弁本体の部分の供給圧Ｐs に対する出力圧Ｐo の特性の比例定数とを巧みに選択すると、図８に示すように、総合特性としてフラットな特性の調整弁が得られる。このような特性は、供給圧Ｐs の変化にかかわらず０点の出力圧Ｐo をほぼ一定の値にする特性である。
【００４２】
このような特性によれば、供給圧Ｐs が変化しても０点の出力圧Ｐo をほぼ一定の値にすることが可能になる。従ってこのような特性とすることによって、調整弁の０点の安定性を確保できるばかりでなく、閉ループ制御によって出力圧Ｐo の０点の値を一定の値にする必要がなくなる。あるいはまた供給ポート１１を通して加えられる供給圧Ｐs を一定にするための特別な調整装置を必要としなくなる。
【００４３】
今図２に示すように、入力ダイヤフラム１７の有効面積Ａ1 と出力ダイヤフラム２０の有効面積Ａ2 とを等しくし、すなわちＡ1 ＝Ａ2 とするとともに、Ｋo ＝０．０６８とし、さらに△Ａ／Ａ2 を０．２４とすると、（１３）式は次のように表わされる。
【００４４】
Ｐｏ＝０．０６８Ｐｓ２／３−０．０２４Ｐｓ        （１４）
上記の（１４）式をグラフに表わしたのが図９である。この式から明らかなように、信号圧Ｐｓによる０点の出力圧Ｐｏの値の変化が少なくなっている。
【００４５】
【発明の効果】
本願の一発明は、外部から供給される電気信号に応じた流体の出力圧を取出すようにした調整弁において、供給圧が増加すると電気信号の信号電流値がゼロのときの０点の出力圧の目標値を与える信号圧が増加する電磁式ノズルフラッパと、信号圧を受ける入力ダイヤフラムと出力圧を受ける出力ダイヤフラムとを備え、該入力ダイヤフラムと出力ダイヤフラムとが力を伝達する剛体を介して互いに押合うように配置され、しかも供給圧を受けるバランスダイヤフラムを有し、該バランスダイヤフラムがこのバランスダイヤフラムの圧力を受ける圧力板を介して出力ダイヤフラムを入力ダイヤフラム側に押圧し、さらにポペットを有し、ボディ内に弁の開閉方向に延びるように貫通して形成された案内孔内によって摺動可能に支持されているロッドを介してポペットが圧力板に連結され、供給圧が増加すると０点の出力圧が減少する弁本体と、を具備し、電磁式ノズルフラッパのノズルの背圧を弁本体の信号圧として用いるようにしたものである。
【００４６】
従って電磁式ノズルフラッパの特性と弁本体の特性とが互いに相殺するように機能することになり、これによって供給圧の変化が出力圧の変化に及ぼす影響を軽減することが可能になる。
【００４７】
別の発明は、電磁式ノズルフラッパの供給圧に対する０点の信号圧の変化の比例定数の増減と弁本体の供給圧に対する０点の出力圧の変化の比例定数の増減とが互いにほぼ逆の関係になるとともに、ノズルフラッパのノズルの背圧が弁本体の信号圧となるように組合わせたときに供給圧の変化による電磁式ノズルフラッパの比例定数の増減と弁本体の比例定数の増減の影響がほぼ相殺されるように、電磁式ノズルフラッパの比例定数の特性と弁本体の比例定数の特性とが調整されるようにしたものである。
【００４８】
従って供給圧が変化したときのノズルフラッパの０点の信号圧の変化と弁本体の出力圧の変化とは互いに相殺され、このために供給圧の変化にかかわらず０点の出力圧の変化がなくなる。従って供給圧の変化にかかわらず０点が安定に確保されることになり、閉ループ制御を実施したり、供給圧を一定に保持するための機構を設けたりする必要がなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  調整弁の構成を示す縦断面図である。
【図２】  入力ダイヤフラムと出力ダイヤフラムの面積を等しくした調整弁の縦断面図である。
【図３】  ノズルフラッパの信号電流の変化に対する信号圧の変化を示すグラフである。
【図４】  ノズルフラッパの供給圧の変化に対する０点の信号圧の変化を示すグラフである。
【図５】  ノズルフラッパの具体的な０点の特性のグラフである。
【図６】  弁本体の信号圧に対する出力圧の変化を示すグラフである。
【図７】  弁本体の供給圧に対する０点の出力圧の変化を示すグラフである。
【図８】  ０点の出力圧の総合特性を示すグラフである。
【図９】  変形例の弁本体の供給圧に対する０点の出力圧の変化を示すグラフである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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