(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体と摺動体とから成り、この基体及び摺動体には夫々負荷路が設けられ、この夫々の負荷路間には前記基体に対して前記摺動体を摺動せしめる転動機構が介在せしめられ、この転動機構として、板体に並設された窓孔に転動体が回動自在に配設され、前記摺動体の摺動の際、夫々の前記負荷路に当接する転動体の回動により該摺動体の摺動量に対して約１／２摺動する構造の転動機構が採用された摺動装置であって、前記板体の一端部は前記摺動体の摺動方向側に突出状態に設けられ、この板体の一端部には前記摺動体の摺動方向と直交する方向に突出する突出部が設けられ、この突出部には貫通孔が設けられ、一方、前記摺動体の一端部には前記貫通孔に貫通される突出軸が連設され、この突出軸には該突出軸が前記貫通孔を貫通し前記突出部から突出する部分を抜け止め状態にする抜止部が設けられ、前記基体に対して前記摺動体を摺動させた際、前記突出部が前記摺動体の一端部若しくは前記抜止部に当接するように構成されていることを特徴とする摺動装置。
【請求項２】
請求項１記載の摺動装置において、前記基体に対して前記摺動体を一方へ摺動させた際、前記摺動体の一端部と前記板体の突出部とが当接することで該板体のズレが修正され、前記基体に対して前記摺動体を他方へ摺動させた際、この摺動体に連設された前記突出軸の前記抜止部と前記突出部とが当接することで前記板体のズレが修正されるように構成されていることを特徴とする摺動装置。
【請求項３】
請求項１，２いずれか１項に記載の摺動装置において、前記突出部は、弾性部材を介して前記摺動体の一端部若しくは前記抜止部に当接するように構成されていることを特徴とする摺動装置。
【請求項４】
請求項３記載の摺動装置において、前記弾性部材の弾性力は、前記転動体と前記負荷路との摩擦力よりも大きい弾性力に設定されていることを特徴とする摺動装置。
【請求項５】
請求項１〜４いずれか１項に記載の摺動装置において、前記転動体としてローラ体が採用され、前記転動機構として隣接する前記ローラ体の回転軸が交互に直交する構造の転動機構が採用されていることを特徴とする摺動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、摺動装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
半導体製造装置等の精密な摺動が要求される摺動装置として、例えば、特開昭５５−６０７１８号公報に開示されているように、基体と摺動体とから成り、基体及び摺動体には夫々負荷路が設けられ、該夫々の負荷路間には、板体に並設された窓孔に転動体が回動自在に配設された転動機構が介在せしめられ、この転動機構により基体に対して摺動体が往復摺動される摺動装置が提案されている。
【０００３】
この転動機構を有する摺動装置は、摺動体の摺動の際、夫々の負荷路に当接する転動体の回動により摺動体の摺動量に対して板体（転動機構）が約１／２摺動するものである。
【０００４】
しかし、この構造の摺動装置では、前記特開昭５５−６０７１８号公報にも開示されているように、摺動体の往復摺動回数が多くなると、転動体と負荷路との間に生じるわずかな滑りにより、板体の配設位置が適正な位置から摺動体の摺動方向に徐々にズレてしまい、結果として板体が不適正な位置に移動してしまうという問題点がある。
【０００５】
この問題点の解決手段として、例えば、前記特開昭５５−６０７１８号公報に開示されているように、リンク機構や滑車機構や歯車機構等によって確実に板体の摺動量を摺動体の摺動量の１／２となるように構成し、該板体の配設位置のズレを防止する方法、即ち、板体のズレを防止する方法や、摺動装置の端部にして基体と摺動体との間隙から押圧体を挿入し、該押圧体によって板体を押圧し、板体を適正な配設位置に修正する方法、即ち、板体のズレを修正する方法があるが、前者の方法では、リンク機構や滑車機構や歯車機構が複雑で、摺動装置がコスト高になり、更に該リンク機構や滑車機構や歯車機構等が摺動装置の周囲に複雑に配設される為邪魔になるという欠点があり、後者の方法では、摺動装置の端部双方のいずれからでも押圧体を挿入できるように構成しないと板体を適正な配設位置に修正することができず、例えば、摺動装置の端部を前記半導体製造装置等に付設した場合、該付設側端部からは押圧体を挿入することができず板体のズレを修正することができない。
【０００６】
本発明は、上記問題点を解決するもので、簡単な構成でありながら、摺動装置の一端部側からのみで板体を適正な配設位置に修正することが可能で、この修正も基体に対する摺動体の摺動の際に確実に行われることになる実用性，コスト安に秀れた摺動装置を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【０００８】
基体１と摺動体２とから成り、この基体１及び摺動体２には夫々負荷路３・４が設けられ、この夫々の負荷路３・４間には前記基体１に対して前記摺動体２を摺動せしめる転動機構５が介在せしめられ、この転動機構５として、板体６に並設された窓孔７に転動体８が回動自在に配設され、前記摺動体２の摺動の際、夫々の前記負荷路３・４に当接する転動体８の回動により該摺動体２の摺動量に対して約１／２摺動する構造の転動機構５が採用された摺動装置であって、前記板体６の一端部は前記摺動体２の摺動方向側に突出状態に設けられ、この板体６の一端部には前記摺動体２の摺動方向と直交する方向に突出する突出部９が設けられ、この突出部９には貫通孔10が設けられ、一方、前記摺動体２の一端部には前記貫通孔10に貫通される突出軸11が連設され、この突出軸11には該突出軸11が前記貫通孔10を貫通し前記突出部９から突出する部分を抜け止め状態にする抜止部12が設けられ、前記基体１に対して前記摺動体２を摺動させた際、前記突出部９が前記摺動体２の一端部若しくは前記抜止部12に当接するように構成されていることを特徴とする摺動装置に係るものである。
【０００９】
また、請求項１記載の摺動装置において、前記基体１に対して前記摺動体２を一方へ摺動させた際、前記摺動体２の一端部と前記板体６の突出部９とが当接することで該板体６のズレが修正され、前記基体１に対して前記摺動体２を他方へ摺動させた際、この摺動体２に連設された前記突出軸11の前記抜止部12と前記突出部９とが当接することで前記板体６のズレが修正されるように構成されていることを特徴とする摺動装置に係るものである。
【００１０】
また、請求項１，２いずれか１項に記載の摺動装置において、前記突出部９は、弾性部材13・14を介して前記摺動体２の一端部若しくは前記抜止部12に当接するように構成されていることを特徴とする摺動装置に係るものである。
【００１１】
また、請求項３記載の摺動装置において、前記弾性部材13・14の弾性力は、前記転動体８と前記負荷路３・４との摩擦力よりも大きい弾性力に設定されていることを特徴とする摺動装置に係るものである。
【００１２】
また、請求項１〜４いずれか１項に記載の摺動装置において、前記転動体８としてローラ体８が採用され、前記転動機構５として隣接する前記ローラ体８の回転軸が交互に直交する構造の転動機構５が採用されていることを特徴とする摺動装置に係るものである。
【００１３】
【発明の作用及び効果】
板体６が適正な配設位置からズレた場合、摺動体２の摺動に伴って摺動する板体６の突出部９が摺動体２の一端部若しくは抜止部12に当接して該板体６のズレは修正される。
【００１４】
この板体６の突出部９及び抜止部12は、摺動体２の摺動方向の一端部側にのみ設けられている為、基体１の他端部側を工作装置等に取り付けても、該修正機構の保守，点検は容易に行われる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図面は本発明の一実施例を図示したものであり、以下に説明する。
【００１６】
本実施例は、基体１と摺動体２とから成り、基体１及び摺動体２には夫々負荷路３・４が設けられ、該夫々の負荷路３・４間には基体１に対して摺動体２を摺動せしめる転動機構５が介在せしめられ、この転動機構５として、板体６に並設された窓孔７に転動体８が回動自在に配設され、摺動体２の摺動の際、夫々の負荷路３・４に当接する転動体８の回動により摺動体２の摺動量に対して転動機構５が約１／２摺動する構造の転動機構５が採用された摺動装置であって、摺動体２の摺動方向の一端部側にのみ、摺動体２の摺動の際、転動機構５の板体６が当接して該板体６のズレを修正する修正機構が突出状態に設けられているものである。
【００１７】
この修正機構は、板体６の一端部は摺動体２の摺動方向側に突出状態に設けられ、該板体６の一端部には摺動体２の摺動方向と直交する方向に突出する突出部９が設けられ、摺動体２の摺動の際、該突出部９が任意の部位に当接することで板体６が押圧され、この押圧により該板体６のズレを修正する構成の修正機構が採用されている。
【００１８】
また、突出部９には、摺動体２の摺動方向に貫通する貫通孔10が設けられ、一方、摺動体２の一端部には前記貫通孔10に嵌挿される突出軸11が連設され、この突出軸11には、該突出軸11が前記貫通孔10に嵌挿された前記板体６の突出部９（突出軸11が貫通孔10を貫通し突出部９から突出する部分）を抜け止め状態にする抜止部12が設けられ、基体１に対して摺動体２を一方へ摺動させた際、該摺動体２の一端部と前記突出部９とが第一弾性部材13を介して当接し、基体１に対して摺動体２を他方へ摺動させた際、突出軸11の抜止部12と前記突出部９とが第二弾性部材14を介して当接するように構成されている。尚、摺動体２の摺動方向が垂直方向で、転動機構５が一方向へズレてしまうおそれが高い場合等には、第一弾性部材13若しくは第二弾性部材14のいずれか１方のみが設けられる構成でも良い。
【００１９】
基体１としては、左右側壁間が凹溝15に設定され、この左右側壁面に上下２条の負荷路３が形成された基体１が採用されている。
【００２０】
摺動体２としては、前記基体１の凹溝15に挿入され、該凹溝15に沿って摺動する摺動体２が採用されている。また、この摺動体２の左右側面には前記基体２の上下２条の負荷路３と対向状態に上下２条の負荷路４が形成されている。
【００２１】
転動機構５としては、転動体８としてローラ体８が採用され、隣接するローラ体８の回転軸が交互に直交する構造の転動機構５が採用されている。このローラ体８は、外周面が前記基体１側の負荷路３及び摺動体２側の負荷路４に当接する構成で、摺動体２の摺動の際、該ローラ体８が回動し、摺動体２の摺動量の１／２だけ板体６（転動機構５）が該摺動体２の摺動方向に移動する。
【００２２】
板体６の突出部９は、該板体６の端部を屈曲して形成している。
【００２３】
摺動体２の摺動方向の側面には突出軸11が連設され、該突出軸11の先端には抜止部12として螺着体が螺着脱自在に設けられている。従って、突出軸11から抜止部12を取り外した後、該突出軸11に前記突出部９の貫通孔10を嵌挿させ、続いて、再び突出軸11に抜止部12を螺着することで該突出部９を抜け止め状態にすることができる。また、本実施例では、ダブルナット方式によって螺着した抜止部12の螺合移動を阻止する構成を採用している。
【００２４】
第一弾性部材13は、摺動体２の摺動方向の側面に付設されている。尚、第一弾性部材13が突出部９に付設される構成でも同様である。
【００２５】
また、この第一弾性部材13としては、ウレタンワッシャが採用されている。尚、ウレタンワッシャ以外の弾性部材、例えば、コイルバネ等を採用しても同様である。
【００２６】
第二弾性部材14は、突出部９にして前記抜止部12側に付設されている。尚、第二弾性部材14が抜止部12に付設される構成でも同様である。
【００２７】
また、この第二弾性部材13としては、コイルバネが採用されている。尚、コイルバネ以外の弾性部材、例えば、合成樹脂製ゴム等を採用しても同様である。
【００２８】
この第一弾性部材13及び第二弾性部材14の弾性力は、前記転動体８と負荷路３・４との摩擦力よりも大きい力に設定される。この弾性力が前記摩擦力よりも小さいと、第一弾性部材13及び第二弾性部材14の押圧によって板体６のズレ修正することができなくなる。
【００２９】
また、第一弾性部材13と突出部９との距離は、図１中左方向への摺動体２の摺動量の１／２に設定される。また、第二弾性部材14と抜止部12との距離は図１中右方向への摺動体２の摺動量の１／２に設定される。この構成によれば、基体１に対する摺動体２の摺動量と，第一弾性部材13と突出部９との距離及び第二弾性部材14と抜止部12との距離の２倍とが等しくなり、板体６が適正な配設位置から僅かでもズレた際、第一弾性部材13若しくは第二弾性部材14の押圧作用によって突出部９、即ち、板体６が押圧されることになり、よって、板体６が適正な配設位置に修正されることになる。
【００３０】
図中符号16は、転動機構５が基体１と摺動体２との間隙から万が一抜け出ること（即ち、摺動体２が摺動し過ぎること）を防止するストッパーである。このストッパー16は、前記板体６がズレていない状態では、該板体６が該ストッパー16に当接しないように設定される。また、符号17は摺動体２に工作具等を取り付け固定する取付部である。
【００３１】
尚、図面では、摺動体２の片側側面にのみ転動機構５を配設し、摺動体２の他側側面の転動機構５は省略しているが、この摺動体２の他側側面の転動機構５にも本実施例と同様に突出部９等が設けられる。
【００３２】
本実施例は上述のように構成したから、摺動体２の摺動方向片側のみに突設された修正機構により、摺動体２の摺動の際に板体６が押圧されて該板体６のズレが修正されることになる実用性に秀れた摺動装置となる。
【００３３】
また、板体６の一端部に設けられた突出部９が押圧される構成であるから、摺動体２の摺動方向片側のみに修正機構が設けられた構成でも、転動機構５の適正な配設位置からのズレが摺動体２の前後摺動方向のいずれの方向に向かって発生しても該ズレを修正することができる実用性に秀れた摺動装置となる。
【００３４】
また、修正機構は、摺動体２の摺動方向の一端部側にのみ設けられ、この修正機構は突出状態で設けられた構成であるから、該修正機構の保守，点検を容易に行え、更に、修正機構の形成も容易に行えることになる実用性，コスト安に秀れた摺動装置となる。
【００３５】
また、突出部９の押圧による転動機構５の板体６のズレの修正は、第一弾性部材13若しくは第二弾性部材14により行われるから、該突出部９に加えられる押圧力が、硬質部材とぶつかる衝撃力のような強い力とは異なり、板体６のずれを緩やかに修正できる程度の押圧力となり、よって、突出部９が押圧され過ぎて逆に板体６が不適正な位置にズレたりすることがなく、確実に板体６を適正な配設位置へ修正することができる実用性に秀れた摺動装置となる。
【００３６】
また、第一弾性部材13及び第二弾性部材14の押圧力は、転動体８と負荷路３・４との摩擦力よりも大きい力に設定されているから、該第一弾性部材13及び第二弾性部材14の押圧による板体６のズレの修正が確実に行われることになるより一層実用性に秀れた摺動装置となる。
【００３７】
また、この修正機構は、板体６の一端部を摺動体２より突出させ、この板体６の一端部に突出部９を設け、該突出部９に貫通孔10を設け、この貫通孔10に摺動体２に連設された突出軸11を嵌挿させる構成で、突出部９や摺動体２の側面等に弾性部材を付設することで簡単に設けることができ、更に、この修正機構を非常にコンパクトに設けることができる実用性，コスト安に秀れた摺動装置なる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本実施例の説明平面図である。
【図２】  本実施例の要部の説明図である。
【図３】  本実施例の転動機構５の説明斜視図である。
【図４】  本実施例の要部の説明断面図である。
【符号の説明】
１  基体
２  摺動体
３・４  負荷部
５  転動機構
６  板体
７  窓孔
８  転動体
９  突出部
10  貫通孔
11  突出軸
12  抜止体
13・14  弾性部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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