(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状基板を上面に載置して第１の搬送用ベルトで搬送する工程と、前記第１の搬送用ベルトの上面に載置されたシート状基板を第１の分割用ベルトの上面に移載して搬送する工程と、前記第１の分割用ベルトの上面に載置されたシート状基板を搬送用フィルムを介して第２の分割用ベルトとの間に挟持してシート状基板を分割した後前記第２の分割用ベルトのみを離す工程と、前記第１の分割用ベルトと搬送用フィルムとで分割された短冊状基板を挟持しながらローラーが１８０度回転することにより前記分割された短冊状基板を反転させる工程と、この反転により前記搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板から前記第１の分割用ベルトを離した後短冊状基板を第２の搬送用ベルトに移載する工程とを備え、前記搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板から第１の分割用ベルトを離した後短冊状基板を第２の搬送用ベルトに移載する工程において、搬送用フィルムの両脇に吸着ブロックを配設し、この吸着ブロックにより、少なくとも第１の分割用ベルトが短冊状基板から離れる位置まで短冊状基板の下面を吸着するようにしたシート状基板の分割方法。
【請求項２】
搬送用フィルムの幅をシート状基板の幅よりも狭くした請求項１記載のシート状基板の分割方法。
【請求項３】
搬送用フィルムをポリエチレンテレフタレートフィルムで構成した請求項１記載のシート状基板の分割方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はシート状基板の分割方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来におけるシート状基板の分割方法としては、実願昭５４−１６８２９３号（実開昭５６−８６１０９号）の明細書および図面の内容を撮影したマイクロフィルムに開示されたものが知られている。
【０００３】
図２はセラミック基板からなるシート状基板の斜視図を示したもので、１はシート状基板で、このシート状基板１には縦・横の分割溝ａを設けている。
【０００４】
図３は従来のシート状基板の分割方法を示す分割装置の斜視図である。図３において、２はコンベアベルト駆動軸３とコンベアベルト張力調整軸４に保持されているコンベアベルトである。５はコンベアベルト２の上面に位置して押さえベルト張力調整軸６と押さえベルト駆動軸７に保持されている押さえベルトである。８はコンベアベルト２の内面に当接している第１の分割用ローラーで、この第１の分割用ローラー８はコンベアベルト２の内面に当接している第２の分割用ローラー９より高い位置に配設されている。１０は押さえベルト５の内面に当接し、かつ第１の分割用ローラー８と第２の分割用ローラー９間に配設されている第３の分割用ローラーである。
【０００５】
以上のように構成された従来のシート状基板の分割方法を示す分割装置において、以下にシート状基板の分割方法について説明する。
【０００６】
まず、コンベアベルト２の上面に分割溝ａが下面になるようにシート状基板１を載置する。
【０００７】
次に、コンベアベルト２が矢印方向に走行しシート状基板１はコンベアベルト２と押さえベルト５により挟持され、そしてコンベアベルト２の内面に当接した第１，第２の分割用ローラー８，９と、押さえベルト５の内面に当接し、かつシート状基板１に歪みを十分に与えることができる高さに配設した第３の分割用ローラー１０との間を通過することによりシート状基板１は分割される。
【０００８】
最後に、分割された短冊状基板１ａはコンベアベルト２と押さえベルト５に挟持されながら搬送され、そして押さえベルト５が離れた時から、分割された短冊状基板１ａがコンベアベルト２に置かれた状態が得られる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来のシート状基板の分割方法においては、シート状基板１の幅より分割用のコンベアベルト２と押さえベルト５の幅が広いため、コンベアベルト２と押さえベルト５で挟持されて分割された短冊状基板１ａから押さえベルト５が離れた時、分割された短冊状基板１ａがコンベアベルト２の上のみに整列されずに、押さえベルト５の方に送られてしまうものが出るという不具合を有していた。
【００１０】
また分割された短冊状基板１ａをコンベアベルト２から他の所へ移設する方法としては、コンベアベルト２の上に置かれた前記短冊状基板１ａを吸着して他の所へ移設する方法と、分割された短冊状基板１ａをコンベアベルト２からそのまま落下させる方法が考えられるが、前者の場合は、分割された短冊状基板１ａを吸着する方法であるため、吸着の安定性の面で正確さに欠けるものであり、一方、後者の場合は、コンベアベルト２からそのまま落下させた短冊状基板１ａを収納するだけであるため、そこからの自動化において十分なものとは言えず、そのため、分割された短冊状基板１ａを自動化の行いやすい状態に整列させることが要求されていた。
【００１１】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、分割された短冊状基板を自動化の行い易い状態に整列させることができるシート状基板の分割方法を提供することを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明のシート状基板の分割方法は、シート状基板を上面に載置して第１の搬送用ベルトで搬送する工程と、前記第１の搬送用ベルトの上面に載置されたシート状基板を第１の分割用ベルトの上面に移載して搬送する工程と、前記第１の分割用ベルトの上面に載置されたシート状基板を搬送用フィルムを介して第２の分割用ベルトとの間に挟持してシート状基板を分割した後前記第２の分割用ベルトのみを離す工程と、前記第１の分割用ベルトと搬送用フィルムとで分割された短冊状基板を挟持しながらローラーが１８０度回転することにより前記分割された短冊状基板を反転させる工程と、この反転により前記搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板から前記第１の分割用ベルトを離した後短冊状基板を第２の搬送用ベルトに移載する工程とを備え、前記搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板から第１の分割用ベルトを離した後短冊状基板を第２の搬送用ベルトに移載する工程において、搬送用フィルムの両脇に吸着ブロックを配設し、この吸着ブロックにより、少なくとも第１の分割用ベルトが短冊状基板から離れる位置まで短冊状基板の下面を吸着するようにしたもので、この分割方法によれば、分割された短冊状基板を自動化の行い易い状態に整列させることができ、かつ分割された短冊状基板を第１の分割用ベルトから安定した状態で離すことができるものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、シート状基板を上面に載置して第１の搬送用ベルトで搬送する工程と、前記第１の搬送用ベルトの上面に載置されたシート状基板を第１の分割用ベルトの上面に移載して搬送する工程と、前記第１の分割用ベルトの上面に載置されたシート状基板を搬送用フィルムを介して第２の分割用ベルトとの間に挟持してシート状基板を分割した後前記第２の分割用ベルトのみを離す工程と、前記第１の分割用ベルトと搬送用フィルムとで分割された短冊状基板を挟持しながらローラーが１８０度回転することにより前記分割された短冊状基板を反転させる工程と、この反転により前記搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板から前記第１の分割用ベルトを離した後短冊状基板を第２の搬送用ベルトに移載する工程とを備え、前記搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板から第１の分割用ベルトを離した後短冊状基板を第２の搬送用ベルトに移載する工程において、搬送用フィルムの両脇に吸着ブロックを配設し、この吸着ブロックにより、少なくとも第１の分割用ベルトが短冊状基板から離れる位置まで短冊状基板の下面を吸着するようにしたもので、この分割方法によれば、第１の分割用ベルトと搬送用フィルムとで分割された短冊状基板を挟持しながらローラーが１８０度回転することにより前記分割された短冊状基板を反転させる工程と、この反転により前記搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板から前記第１の分割用ベルトを離した後短冊状基板を第２の搬送用ベルトに移載する工程を備えているため、分割された短冊状基板は搬送用フィルムの上面に載置されることになり、これにより、分割された短冊状基板を自動化の行い易い状態に整列させることができ、また、搬送用フィルムの両脇に吸着ブロックを配設し、この吸着ブロックにより、少なくとも第１の分割用ベルトが短冊状基板から離れる位置まで短冊状基板の下面を吸着するようにしているため、短冊状基板を第１の分割用ベルトから安定した状態で離すことができるという作用を有するものである。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、特に、搬送用フィルムの幅をシート状基板の幅よりも狭くしたもので、この分割方法によれば、搬送用フィルムの幅がシート状基板の幅より狭くなっているため、搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板を第２の搬送用ベルトに移載する場合、この移載をスムーズに行わせることができるという作用を有するものである。
【００１５】
請求項３に記載の発明は、特に、搬送用フィルムをポリエチレンテレフタレートフィルムで構成したもので、この分割方法によれば、搬送用フィルムをポリエチレンテレフタレートフィルムで構成しているため、大きな抗張力を有し、かつ強靭である搬送用フィルムを得ることができ、そして破損しにくいという作用を有するものである。
【００１６】
以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１７】
図１は本発明の一実施の形態におけるシート状基板の分割方法を示す分割装置の斜視図である。図１において、１１は第１のローラー１２を介して分割溝１６を有するシート状基板１３を搬送する第１の搬送用ベルトである。１４は第１の搬送用ベルト１１のほぼ終端の上方に配設された上下左右に移動するユニットで、このユニット１４には吸着パッド１５を保持し、かつこの吸着パッド１５は第１の搬送用ベルト１１の上面に載置されたシート状基板１３を吸着し、後述する第１の分割用ベルト１７に移載させるものである。１７は第１の搬送用ベルト１１のほぼ終端の直近に位置して第１の搬送用ベルト１１とほぼ同じ高さに配設された第１の分割用ベルトで、この第１の分割用ベルト１７は第２のローラー１８と第３のローラー１９に張架され、第３のローラー１９が回転駆動することにより走行するものである。この場合、第２，第３のローラー１８，１９の間には第１の分割用ベルト１７の内面に当接するように小径ローラー２０を配設しており、そしてこの小径ローラー２０はシート状基板１３を短冊状基板２１に分割するときに寄与するものである。また前記第１の分割用ベルト１７の幅はシート状基板１３の幅よりも広くしているものである。２２は第１の分割用ベルト１７の上方に位置して配設された第２の分割用ベルトで、この第２の分割用ベルト２２は第４，第５のローラー２３，２４に張架されているものである。そしてこの第２の分割用ベルト２２は大径ローラー２５が回転駆動することにより走行するものである。
【００１８】
また前記大径ローラー２５は第４，第５のローラー２３，２４間に位置して第２の分割用ベルト２２の内面に当接し、かつ第１の分割用ベルト１７の内面に当接している小径ローラー２０よりも上方に位置してシート状基板１３を短冊状基板２１に分割するときに寄与するものである。そしてまた、前記第２の分割用ベルト２２の幅はシート状基板１３の幅よりも広くしているものである。２６は第１，第２の分割用ベルト１７，２２間を走行する搬送用フィルムで、この搬送用フィルム２６は第１の分割用ベルト１７との間にシート状基板１３を挟持してシート状基板１３を短冊状基板２１に分割した後、第３のローラー１９が１８０度回転することにより、第１の分割用ベルト１７と搬送用フィルム２６との間に挟持された短冊状基板２１は反転し、そしてこの短冊状基板２１は第２のローラー１８の近傍まで搬送されるものである。
【００１９】
また前記搬送用フィルム２６はポリエチレンテレフタレートフィルムで構成され、かつその幅はシート状基板１３の幅よりも狭くしているものである。２７は第２のローラー１８の近傍で、かつ第１の分割用ベルト１７の下端に位置して搬送用フィルム２６の両脇に配設された吸着ブロックで、この吸着ブロック２７は短冊状基板２１を吸着して第２のローラー１８の下端の近傍から搬送用フィルム２６の上面の所定の位置まで移動させるものである。２８は搬送用フィルム２６の両脇に位置して搬送用フィルム２６とほぼ同じ高さに配設された一対の第２の搬送用ベルトであり、前記搬送用フィルム２６の上面に載置された短冊状基板２１は搬送用フィルム２６が移動するにつれ第２の搬送用ベルト２８に移し替えられるものである。
【００２０】
以上のように構成されたシート状基板の分割方法を示す分割装置において、以下にシート状基板の分割整列方法について説明する。
【００２１】
まず、第１の搬送用ベルト１１の上面にシート状基板１３を載置して吸着パッド１５の下部まで移動させる。
【００２２】
次に、吸着パッド１５でシート状基板１３を吸着して第１の搬送用ベルト１１から第１の分割用ベルト１７の上面にシート状基板１３を移動させる。
【００２３】
次に、第１の分割用ベルト１７は第３のローラー１９が回転することにより走行しているもので、第１，第２の分割用ベルト１７，２２の間を走行する搬送用フィルム２６と第１の分割用ベルト１７でシート状基板１３を挟持しながら第１の分割用ベルト１７の内面に当接する小径ローラー２０と第２の分割用ベルト２２の内面に当接する大径ローラー２５間をシート状基板１３が通過するときにシート状基板１３に歪みが与えられ分割溝の部分で短冊状基板２１に分割される。
【００２４】
次に、第２の分割用ベルト２２が第１の分割用ベルト１７から離れ、そして第１の分割用ベルト１７の上面で短冊状基板２１は搬送用フィルム２６により挟持され、第３のローラー１９が１８０度回転することにより、第１の分割用ベルト１７と搬送用フィルム２６との間に挟持された短冊状基板２１は反転し、そして短冊状基板２１は搬送用フィルム２６の上面に配置され、さらに第１の分割用ベルト１７とにより挟持される。
【００２５】
次に、第１の分割用ベルト１７と搬送用フィルム２６が共に走行し、第２のローラー１８の下端の近傍に配設されている吸着ブロック２７により短冊状基板２１を吸着し、そして搬送用フィルム２６の上面の所定の位置まで搬送用フィルム２６と同じ速度で吸着ブロック２７を移動させる。この移動時において、第１の分割用ベルト１７は搬送用フィルム２６から離れるものである。
【００２６】
最後に、搬送用フィルム２６が走行すると、搬送用フィルム２６の上面に位置する短冊状基板２１は搬送用フィルム２６の両脇に搬送用フィルム２６とほぼ同じ高さに配設された一対の第２の搬送用ベルト２８に移し替えられるもので、これにより、分割された短冊状基板２１を自動化の行い易い状態に整列させることができるものである。
【００２７】
上記した本発明の一実施の形態においては、第１の分割用ベルト１７と搬送用フィルム２６とで分割された短冊状基板２１を挟持しながら第３のローラー１９が１８０度回転することにより前記分割された短冊状基板２１を反転させる工程と、この反転により前記搬送用フィルム２６の上面に載置された短冊状基板２１から前記第１の分割用ベルト１７を離した後短冊状基板２１を第２の搬送用ベルト２８に移載する工程を備えているため、分割された短冊状基板２１は搬送用フィルム２６の上面に載置されることになり、これにより、分割された短冊状基板２１を自動化の行い易い状態に整列させることができるものである。
【００２８】
また本発明の一実施の形態においては、搬送用フィルム２６の幅をシート状基板１３の幅より狭くしているため、搬送用フィルム２６の上面に載置された短冊状基板２１を第２の搬送用ベルト２８に移載する場合、この移載をスムーズに行わせることができるものである。
【００２９】
そしてまた本発明の一実施の形態においては、第１の分割用ベルト１７および第２の分割用ベルト２２の幅をシート状基板１３の幅より広くしているため、第１の分割用ベルト１７と第２の分割用ベルト２２との間でシート状基板１３を分割する場合、シート状基板１３が分割方向と直角方向に割れにくくなるものである。
【００３０】
さらに本発明の一実施の形態においては、搬送用フィルム２６の上面に載置された短冊状基板２１から第１の分割用ベルト１７を離した後短冊状基板２１を第２の搬送用ベルト２８に移載する工程において、搬送用フィルム２６の両脇に吸着ブロック２７を配設し、この吸着ブロック２７により、少なくとも第１の分割用ベルト１７が短冊状基板２１から離れる位置まで短冊状基板２１の下面を吸着するようにしているため、短冊状基板２１を第１の分割用ベルト１７から安定した状態で離すことができるものである。
【００３１】
さらにまた本発明の一実施の形態においては、搬送用フィルム２６をポリエチレンテレフタレートフィルムで構成しているため、大きな抗張力を有し、かつ強靭である搬送用フィルム２６を得ることができ、かつ破損しにくいものが得られるものである。
【００３２】
【発明の効果】
以上のように本発明のシート状基板の分割方法は、シート状基板を上面に載置して第１の搬送用ベルトで搬送する工程と、前記第１の搬送用ベルトの上面に載置されたシート状基板を第１の分割用ベルトの上面に移載して搬送する工程と、前記第１の分割用ベルトの上面に載置されたシート状基板を搬送用フィルムを介して第２の分割用ベルトとの間に挟持してシート状基板を分割した後前記第２の分割用ベルトのみを離す工程と、前記第１の分割用ベルトと搬送用フィルムとで分割された短冊状基板を挟持しながらローラーが１８０度回転することにより前記分割された短冊状基板を反転させる工程と、この反転により前記搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板から前記第１の分割用ベルトを離した後短冊状基板を第２の搬送用ベルトに移載する工程とを備えたもので、この分割方法によれば、第１の分割用ベルトと搬送用フィルムとで分割された短冊状基板を挟持しながらローラーが１８０度回転することにより前記分割された短冊状基板を反転させる工程と、この反転により前記搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板から前記第１の分割用ベルトを離した後短冊状基板を第２の搬送用ベルトに移載する工程を備えているため、分割された短冊状基板は搬送用フィルムの上面に載置されることになり、これにより、分割された短冊状基板を自動化の行い易い状態に整列させることができ、また、前記搬送用フィルムの上面に載置された短冊状基板から第１の分割用ベルトを離した後短冊状基板を第２の搬送用ベルトに移載する工程において、搬送用フィルムの両脇に吸着ブロックを配設し、この吸着ブロックにより、少なくとも第１の分割用ベルトが短冊状基板から離れる位置まで短冊状基板の下面を吸着するようにしているため、短冊状基板を第１の分割用ベルトから安定した状態で離すことができるというすぐれた効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施の形態におけるシート状基板の分割方法を示す分割装置の斜視図
【図２】  セラミック基板からなるシート状基板の斜視図
【図３】  従来におけるシート状基板の分割方法を示す分割装置の斜視図
【符号の説明】
１１  第１の搬送用ベルト
１３  シート状基板
１７  第１の分割用ベルト
１８  第２のローラー
１９  第３のローラー
２１  短冊状基板
２２  第２の分割用ベルト
２６  搬送用フィルム
２７  吸着ブロック
２８  第２の搬送用ベルト
【図１】
0004253884.tif 000002
【図２】
0004253884.tif 000003
【図３】
0004253884.tif 000004