(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部と、
前記ベース部にあって、第１の方向に移動するステージ部と、
前記ステージ部の移動方向と直交する第２の方向に移動し、前記ステージ部の観察領域を観察する観察部と、
を備える光学装置に含まれ、前記観察部の移動に連動し前記観察領域を照明する可動式照明装置であって、
光源と、
前記観察部の移動に連動して前記第２の方向へ直線移動し、前記観察領域を照明する投光部と、
前記投光部に一端を接続され、他端を前記光源に接続された光ファイバと、
前記投光部の移動行程から引き出した垂線上の支点を回転中心として回転自在に前記ベース部に取り付けられた第１のアームと、前記投光部と前記支点とを結ぶ方向にスライド可能に取り付けられ前記投光部を支持する第２のアームと、前記第１のアームと一体的に設けられ前記光ファイバを前記第２のアーム側及び前記第２のアームとは反対側に誘導し、前記スライドに伴う前記光ファイバの支持長変化を前記第１のアームの外側でたわむように誘導する誘導部とを有し前記光ファイバの移動方向を前記投光部及び前記回転中心を結ぶ方向に規制するガイド部と、
を備える可動式照明装置。
【請求項２】
ベース部と、
前記ベース部にあって、第１の方向に移動するステージ部と、
前記ステージ部の移動方向と直交する第２の方向に移動し、前記ステージ部の観察領域を観察する観察部と、
を備える光学装置に含まれ、前記観察部の移動に連動し前記観察領域を照明する可動式照明装置であって、
電源と、
前記観察部の移動に連動して前記第２の方向へ直線移動し、前記観察領域を照明する光源を含む投光部と、
前記投光部に一端を接続され、他端を前記電源に接続された電源ケーブルと、
前記投光部の移動行程から引き出した垂線上の支点を回転中心として回転自在に前記ベース部に取り付けられた第１のアームと、前記投光部と前記支点とを結ぶ方向にスライド可能に取り付けられ前記投光部を支持する第２のアームと、前記第１のアームと一体的に設けられ前記電源ケーブルを前記第２のアーム側及び前記第２のアームとは反対側に誘導し、前記スライドに伴う前記電源ケーブルの支持長変化を前記第１のアームの外側でたわむように誘導する誘導部とを有し前記電源ケーブルの移動方向を前記投光部及び前記回転中心を結ぶ方向に規制するガイド部と、
を備える可動式照明装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の可動式照明装置において、
前記支点は、前記ステージ部のストローク終端の外側にあること、
を特徴とする可動式照明装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の可動式照明装置において、
前記第２の方向に平行に配置された直線移動案内部と、
前記直線移動案内部に沿って移動自在に前記直線移動案内部に取り付けられた、スライド部とを備え、
前記投光部又はその投光部を設けられたガイド部は、前記スライド部に回転可能に取り付けられていること、
を特徴とする可動式照明装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の可動式照明装置において、
前記支点は、前記投光部の移動行程の中間付近から引き出した垂線上にあること、
を特徴とする可動式照明装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の可動式照明装置において、
前記誘導部は、前記スライド可能な方向と直交する方向に回転軸を有する２つのローラを有すること、
を特徴とする可動式照明装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ブリッジ固定ステージ移動式の光学装置等の、観察部の移動に連動して観察領域を照明する可動式照明装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ブリッジ固定ステージ移動式の光学装置は、固定されたブリッジを持ち、ブリッジ上の左右方向をｘ軸として移動する観察部と、ブリッジの両側の支柱間で前後方向をｙ軸として移動するステージ部とを有する装置であり、ステージ部上に載せられた被測定物を測定する測定機等に主に使用される。
従来、このような光学装置は、ステージ部上の観察領域をステージ部の下方から照明する透過照明装置として、細長い円柱形状の線光源を観察部の移動方向（ｘ方向）に沿って配置するものが使用されていた。しかし、このような線光源では、観察していない位置も照明しているので、照明効率が悪く、照度が不足する場合が多かった。
【０００３】
この点を改善するために、観察部の動作に連動して移動する可動式照明装置が使用されてきた。図９は、従来の可動式照明装置の概略を説明する図である。直線レール５５は、ｘ方向に平行に配置され、スライド部５３をｘ方向に移動可能に保持している。スライド部５３は、投光部５４を保持すると共に、ケーブルベア５１の一方の端部も保持する。光ファイバ５２は、ケーブルベア５１内を通ることによりガイドされ、投光部５４に照明光を供給する。なお、スライド部５３は、不図示の駆動機構（ベルトや送りネジによるもの等、方式は、任意）によって観察部と同方向（ｘ方向）に駆動される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前述した従来の装置は、光ファイバ５２の曲げ半径を小さくすると、光ファイバ５２が断線しやすくなり、また、作動抵抗も大きくなるという問題があった。そのため、ケーブルベア５１の曲げ半径を大きくする必要があり、ステージガラスの下に機構が配置されるという透過照明光学系の性質上、ステージ部をコンパクトに構成することが困難になるという問題があった。
また、このような構造では、光ファイバ５２は、ｘ軸ストロークの約７割以上にわたって屈曲動作を受けるため、光ファイバ５２が断線する頻度が高いという問題もあった。
【０００５】
一方、特公平７−１１７３６９号公報に掲載のテーブル型測長装置は、ケーブルベア５１を使用しない可動式照明装置として、揺動アーム内に光ファイバを通し、透過照明光学系を移動させる手法を開示している。
しかし、特公平７−１１７３６９号公報の手法は、揺動アームの関節に相当する部分において、光ファイバが小さい曲げ半径で曲げられるうえに、その関節部分の数も多く、光ファイバが断線する頻度が高く、信頼性が低かった。
また、光ファイバを小さい曲げ半径で多数同時に曲げる必要があるため、作動抵抗が大きく、透過照明光学系を滑らかに作動させることが難しかった。
【０００６】
本発明の課題は、投光部が移動しても、光ファイバ又は電源ケーブルの屈曲による断線がなく、作動も滑らかで小型である可動式照明装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。すなわち、請求項１の発明は、ベース部（２０）と、前記ベース部にあって、第１の方向（ｙ）に移動するステージ部（４３）と、前記ステージ部の移動方向と直交する第２の方向（ｘ）に移動し、前記ステージ部の観察領域を観察する観察部（４２）とを備える光学装置（４０）に含まれ、前記観察部の移動に連動し前記観察領域を照明する可動式照明装置（１０）であって、光源（２１）と、前記観察部の移動に連動して前記第２の方向（ｘ）へ直線移動し、前記観察領域を照明する投光部（３１）と、前記投光部に一端を接続され、他端を前記光源に接続された光ファイバ（３０）と、前記投光部の移動行程から引き出した垂線上の支点（１１Ａ）を回転中心として回転自在に前記ベース部に取り付けられた第１のアーム（１１）と、前記投光部と前記支点とを結ぶ方向にスライド可能に取り付けられ前記投光部（３１）を支持する第２のアーム（１２）と、前記第１のアームと一体的に設けられ前記光ファイバ（３０）を前記第２のアーム側及び前記第２のアームとは反対側に誘導し、前記スライドに伴う前記光ファイバの支持長変化を前記第１のアームの外側でたわむように誘導する誘導部とを有し前記光ファイバの移動方向を前記投光部及び前記回転中心を結ぶ方向に規制するガイド部（１５）とを備える可動式照明装置である。
【０００８】
請求項２の発明は、ベース部（２０）と、前記ベース部にあって、第１の方向（ｙ）に移動するステー一ジ部（４３）と、前記ステージ部の移動方向と直交する第２の方向（ｘ）に移動し、前記ステージ部の観察領域を観察する観察部（４２）とを備える光学装置に含まれ、前記観察部の移動に連動し前記観察領域を照明する可動式照明装置であって、電源と、前記観察部の移動に連動して前記第２の方向へ直線移動し、前記観察領域を照明する光源を含む投光部と、前記投光部に一端を接続され、他端を前記電源に接続された電源ケーブルと、前記投光部の移動行程から引き出した垂線上の支点を回転中心として回転自在に前記ベース部に取り付けられた第１のアーム（１１）と、前記投光部と前記支点とを結ぶ方向にスライド可能に取り付けられ前記投光部（３１）を支持する第２のアームと、前記第１のアーム（１１）と一体的に設けられ前記電源ケーブルを前記第２のアーム側及び前記第２のアーム（１２）とは反対側に誘導し、前記スライドに伴う前記電源ケーブルの支持長変化を前記第１のアーム（１１）の外側でたわむように誘導する誘導部とを有し前記電源ケーブルの移動方向を前記投光部及び前記回転中心を結ぶ方向に規制するガイド部と、を備える可動式照明装置である。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載の可動式照明装置において、前記支点（１１Ａ）は、前記ステージ部（４３）のストローク終端の外側にあることを特徴とする可動式照明装置である。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の可動式照明装置において、前記第２の方向（ｘ）に平行に配置された直線移動案内部（１４）と、前記直線移動案内部に沿って移動自在に前記直線移動案内部に取り付けられた、スライド部（１４Ｂ）とを備え、前記投光部（３１）又はその投光部を設けられたガイド部（１５）は、前記スライド部に回転可能に取り付けられていることを特徴とする可動式照明装置である。
【００１３】
請求項５の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の可動式照明装置において、前記支点は、前記投光部の移動行程の中間付近から引き出した垂線上にあることを特徴とする可動式照明装置である。
請求項６の発明は、請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の可動式照明装置において、前記誘導部は、前記スライド可能な方向と直交する方向に回転軸を有する２つのローラを有することを特徴とする可動式照明装置である。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面等を参照して、本発明の実施の形態について、さらに詳しく説明する。
（第１実施形態）
図１は、本発明による可動式照明装置の第１実施形態の概要を示す図である。図２は、ブリッジ固定ステージ移動式の光学装置の概要を示す図である。図３は、可動式照明装置の上面図である。図４は、図３のＥＥ断面を示す図である。図５は、図４の投光部付近（Ｆ部）を拡大した図である。図６は、図４の軸Ｂ付近（Ｇ部）を拡大した図である。
以下、図１を中心にし、各図を参照しながら、可動式照明装置１０について説明する。
図１に示す可動式照明装置１０は、ブリッジ固定ステージ移動式の光学装置４０（図２参照）の下面にあって、下方から測定領域を照明する透過照明用の可動式照明装置である。光学装置４０は、固定されたブリッジ４１を持ち、ブリッジ４１上の左右方向をｘ軸として移動する観察部４２と、ブリッジ４１の両側の支柱間で前後方向をｙ軸として移動するステージ部４３とを有する光学装置であり、ステージ部４３上に載せられた被測定物を測定する測定機等に主に使用される。
【００１５】
可動式照明装置１０は、第１のアーム１１，第２のアーム１２，誘導器１５により本発明のガイド部をなしている。
【００１６】
第１のアーム１１は、軸Ｂを中心にベース部２０に立てられた支柱１１Ａに備わるベアリング１１Ｂを介して回転自在に取り付けられ（図６参照）、その内側には、第２のアーム１２が挿入されている。軸Ｂは、投光部３１のｘ方向ストロークのほぼ中間位置から引き出した垂線上にあって、ステージ部４３のｙ方向ストローク終端の外側に配置されている（図３参照）。
【００１７】
第２のアーム１２は、その一端が軸Ａ部分でベアリング１３ａを介して軸受け台１３に回転自在に取り付けられるとともに、もう一端は、第１のアーム１１に対して抜き差し方向（軸Ａと軸Ｂを結ぶ方向）にスライド自在に挿入された状態で取り付けられている。また、第１のアーム１１と第２のアーム１２とは、図示しないベアリングを介して挿入されており、スライド動作が滑らかになるようになっている。
【００１８】
誘導器１５は、第１のアーム１１上にあって、１対のローラ１５ａ，１５ｂを有し、光ファイバ３０の移動方向を軸Ａ及び軸Ｂを結ぶ方向に規制するとともに、その作動を滑らかにする部分である（図６参照）。図７は、誘導器１５のＤ矢視図である。ローラ１５ａ，１５ｂは、糸巻き型（中央部がへこんだ円柱形状）をしており、この間を光ファイバ３０が誘導されて移動する。
【００１９】
投光部３１は、その投光する光軸が軸Ａと一致する位置、すなわちベアリング１３ａの回転中心と一致する位置となるように、投光部取り付け部１２ａを介して第２のアーム１２に固定され、第２のアーム１２と一体となって移動し、観察領域を照明する部分である。投光部３１には、光ファイバ３０の一端（３０ｂ）が接続され、透過照明レンズ３１ａ〜３１ｃ及びミラー３１ｄにより、光ファイバ３０からの照明光を観察領域へ導く（図５参照）。
【００２０】
光ファイバ３０は、一端（３０ａ）が光源２１に接続され、もう一端（３０ｂ）が投光部３１に接続されており、照明光を光源２１から投光部３１へ導く部材である。光ファイバ３０は、投光部３１から誘導器１５までの間では、たるみを生じないように誘導器１５により支えられ、誘導器１５からファイバ支持部３２までの間のたるみ部３０ｃの部分において、緩やかに曲げられるとともに、投光部３１の移動による軸Ａから軸Ｂまでの距離の変化を吸収するように、たるまされている。
【００２１】
ここで、投光部３１を駆動するベルト駆動機構について説明する。
モータ１６は、図示しない制御回路により制御され、プーリ１８Ａを駆動する駆動源である。モータ１６の同軸上には、ロータリエンコーダ１７が取り付けられ、モータ１６の回転角度を図示しない制御部へと伝える。
プーリ１８Ａ，１８Ｂは、対になって、タイミングベルト１９が掛けられた歯付きベルト車である。
タイミングベルト１９は、歯付きベルトであり、平行掛された一方には、ベルト締結部１４Ｄが接続されている（図５参照）。
ベルト締結部１４Ｄは、スライド部１４Ｂをタイミングベルト１９の動作に同期させて移動させるために、スライド部１４Ｂとタイミングベルト１９とを接続する部材であり、タイミングベルト１９の動作に連動して、ｘ方向に移動する。
スライド部１４Ｂは、直線レール１４にガイドされ、ｘ方向にのみ滑らかに移動する部材である。
直線レール１４は、観察部４２の移動するｘ方向に平行に配置されたレールよりなる直線移動案内部である。
軸受け台１３は、スライド部１４Ｂに固定されており、スライド部１４Ｂと一体となりｘ軸方向に移動する。軸受け台１３には、軸Ａの位置に回転中心を持つベアリング１３ａが設けられている（図５参照）。
【００２２】
つぎに、投光部３１の移動時の動作について説明する。観察部４２の移動は、図示しないｘ軸エンコーダにより検出される。このｘ軸エンコーダの出力に応じてモータ１６を回転させることにより、図示しない制御部は、投光部３１を移動させる。このとき、ロータリエンコーダ１７は、モータ１６の回転角度に応じたパルスを制御部に伝えるので、モータ１６の回転量から投光部３１の移動量及び移動速度が分かるようになっている。なお、観察部４２のｘ軸エンコーダとモータ１６のロータリエンコーダ１７は、同一の分解能である必要はない。
【００２３】
ここで、制御部における駆動制御方法を以下に説明する。観察部４２のｘ軸エンコーダが読み取った座標をＸ０、モータ１６のロータリエンコーダ１７から算出した座標をＸ１とする。制御部は、観察位置を変えるため観察部４２の駆動機構に速度指令Ｖ０を与える。つぎに、制御部は、可動式照明装置の制御部における演算では、動作の遅れを防ぐため以下の処理をおこない速度指令Ｖ１を与える。ただし、次式において、α及びβは、係数である。
Ｖ１＝αＶ０＋β（Ｘ０−Ｘ１）
上記の制御により、制御部は、投光部３１を観察部４２の動作に正確に対応させて移動させる。
【００２４】
投光部３１が移動すると、軸Ａの位置が移動するので、第２のアーム１２も軸Ａの移動に応じて回転しながら移動する。投光部３１が図３の位置Ｐ１から位置Ｐ２（又はＰ３）へ移動するときには、第２のアーム１２は、第１のアーム１１から引き出されながら移動する。
【００２５】
図４において、光ファイバ３０のたるみ部３０ｃの変形状態を、投光部３１が位置Ｐ１にあるときを３０−１、投光部３１が位置Ｐ２及びＰ３にあるときを３０−２により示した。
投光部３１が図３の位置Ｐ１から位置Ｐ２（又はＰ３）へ移動するとき、光ファイバ３０は、３０−１の状態から３０−２の状態へと変化することにより、軸Ａから軸Ｂの距離の変化を吸収する。
逆に、投光部３１が図３の位置Ｐ２（又はＰ３）から位置Ｐ１方向へ移動するときには、第２のアーム１２は、第１のアーム１１に挿入されながら移動する。このとき、光ファイバ３０は、３０−２の状態から３０−１の状態へと変化することにより、軸Ａから軸Ｂの距離の変化を吸収する。
【００２６】
ここで、投光部３１が図３の位置Ｐ１から位置Ｐ２へ移動する場合の、光ファイバ３０の屈曲量を従来技術の場合と比較する。観察部４２のｘ軸方向ストロークをｘ、ステージ部４３のｙ軸方向ストロークをｙとする。図３に示すように、投光部３１がｘ軸方向ストロークの中央（位置Ｐ１）にあるときの、軸Ａから軸Ｂまでの距離Ｌ１は、Ｌ１＝ｙ＋α＝１．１ｙとした。本実施形態では、軸Ｂの位置をステージ部４３のｙ軸方向ストロークの外側に配置したため、＋αを必要とした。また、今回は、ｘ＝ｙとした。投光部３１が位置Ｐ２にあるときの、軸Ａから軸Ｂまでの距離Ｌ２は、以下により与えられる。
【００２７】
【数１】
0004253940.tif 000002
【００２８】
よって、軸Ａから軸Ｂまでの距離の変化量ΔＬは、以下のようになる。
【００２９】
【数２】
0004253940.tif 000003
【００３０】
一方、ケーブルベア５１を使用する従来技術（図９参照）の場合は、光ファイバ５２は、ｘ軸方向ストロークの７割以上の長さにわたり、屈曲されるので、その屈曲量を、上記ΔＬと同様に表現すると、０．７ｘとなる。よって、本実施形態における、光ファイバ３０の屈曲量は、従来技術と比較して１／７程度となる。
【００３１】
このように、本実施形態によれば、光ファイバ３０が受ける屈曲量は、低減され、断線事故等が発生することが無くなる。また、光ファイバ３０を配線するスペースも少なくて済み、光学装置全体のサイズを小型化することができる。さらに、動作抵抗も低減されるので、駆動装置等も簡単にすることができ、より小型化が達成できる。さらにまた、光学装置全体のサイズが小型化することにより、光学装置自体の精度確保が容易となり、より小型で高精度な光学装置を低価格で提供することができる。
【００３２】
（第２実施形態）
図８は、本発明による可動式照明装置の第２実施形態の概要を示す図である。
第２実施形態における可動式照明装置６０は、第１実施形態における可動式照明装置１０の第１のアーム１１及び第２のアーム１２の代わりに、アーム６１を使用している他は、第１実施形態と同様な構成であるので、共通する部分の詳しい説明は、省略する。
【００３３】
アーム６１は、長孔６１ａにより、支柱１１Ａに回転自在かつ長手方向に移動自在に取り付けられている。アーム６１のもう一端は、軸Ａ部分でベアリング１３ａを介して軸受け台１３に回転自在に取り付けられている。
【００３４】
投光部３１が移動すると、軸Ａの位置が移動するので、アーム６１も軸Ａの移動に応じて回転しながら移動する。このとき、第１実施形態では、第２のアーム１２は、第１のアーム１１に対して抜き差しすることにより、軸Ａ〜軸Ｂ間の距離変化を吸収していたが、第２実施形態では、長孔６１ａにより、アーム６１が長手方向に移動することによって同様な作用をしている。
【００３５】
このように、本実施形態によれば、１本のアーム６１によって、軸Ａ〜軸Ｂ間の距離変化を吸収するので、構造がさらに簡単になり、より低価格に可動式照明装置を提供できる。
【００３６】
（変形形態）
以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
【００３７】
（１）各実施形態において、光源２１の照明光を光ファイバ３０により投光部３１へ導く例を示したが、これに限らず、例えば、投光部３１は、光源を備え、光ファイバ３０に相当する部分は、その光源に電力を供給する電源ケーブルであるようにしてもよい。
【００３８】
（２）各実施形態において、投光部３１を駆動するための動力伝達機構としてベルト駆動を使用する例を示したが、これに限らず、例えば、送りネジを使用しても良いし、軸Ａの位置にモータを取り付け回転させてもよい。
【００３９】
（３）各実施形態において、観察部４２との位置関係を常に一定に保つ方法として、ロータリエンコーダ１７をモータ１６と同軸に配置しているが、これに限らず、例えば、タイミングベルト１９を回転するプーリ１８ｂの軸上にロータリエンコーダを取り付けてもよいし、直線レール１４と平行にリニアエンコーダを取り付けてもよい。さらに、軸Ａの軸上にロータリエンコーダを取り付けて円弧角から算出してもよい。
【００４０】
（４）各実施形態において、モータ１６及びロータリエンコーダ１７を使用し、フィードバック制御を行う例を示したが、これに限らず、例えば、ステッピングモータ等を使用してオープンループで制御してもよい。
【００４１】
（５）各実施形態において、観察部４２と投光部３１との連動機構は、別々の駆動機構と制御機構を用いた例を示したが、これに限らず、例えば、ギヤ列又は巻掛機構等を用いて、機械的に連動させてもよい。
【００４２】
（６）第２実施形態において、アーム６１は、支点においてスライド可能に取り付けられた例を示したが、これに限らず、例えば、投光部の取り付け部において、スライド可能に取り付けられた１本のアームであってもよい。
【００４３】
（７）各実施形態において、誘導器は、１対のローラ１５ａ，１５ｂを備えた例を示したが、これに限らず、例えば、光ファイバ３０の表面素材との摩擦係数の小さな樹脂等を素材としたガイド部材でもよい。
【００４４】
（８）各実施形態において、軸Ｂは、投光部３１のｘ方向ストロークのほぼ中間位置から引き出した垂線上にある例を示したが、これに限らず、垂線が十分に長く確保できる場合には、中間位置になくてもよい。
【００４５】
【発明の効果】
以上詳しく説明したように、請求項１の発明によれば、投光部の移動行程から引き出した垂線上の支点を中心として回転自在に取り付けられ、光ファイバの移動方向を規制するガイド部を備えたので、光ファイバの屈曲量を少なくすることができ、光ファイバが断線することがない。
【００４６】
請求項２の発明によれば、投光部の移動行程から引き出した垂線上の支点を中心として回転自在に取り付けられ、電源ケーブルの移動方向を規制するガイド部を備えたので、電源ケーブルの屈曲量を少なくすることができ、電源ケーブルが断線することがない。
【００４７】
請求項３の発明によれば、ガイド部は、第１のアームと第２のアームとを備え、第２のアームは、第１のアームの長手方向に伸縮可能に取り付けられているのでより確実に光ファイバ又は電源ケーブルをガイドすることができる。
【００４８】
請求項４の発明によれば、ガイド部は、支点及び／又は投光部の取り付け部において、スライド可能に取り付けられた１本のアームであるので、構造が簡単になり、より低価格に製造することができる。
【００４９】
請求項５の発明によれば、支点は、ステージ部のストローク終端の外側にあるので、簡単な構成であってもステージ部の移動による干渉などが生じない。
【００５０】
請求項６の発明によれば、直線移動案内部と、スライド部とを備え、投光部又はその投光部を設けられたガイド部は、スライド部に回転可能に取り付けられているので、第２の方向の移動が滑らかになり、確実にすることができる。
【００５１】
請求項７の発明によれば、支点は、前記投光部の移動行程の中間付近から引き出した垂線上にあるので、垂線が短い場合でも、光ファイバの屈曲量を少なくすることができ、光ファイバが断線することがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態を説明する図である。
【図２】ブリッジ固定ステージ移動式の光学装置の概要を示す図である
【図３】可動式照明装置の上面図である。
【図４】図３のＥＥ断面を示す図である。
【図５】図４の投光部付近（Ｆ部）を拡大した図である。
【図６】図４の軸Ｂ付近（Ｇ部）を拡大した図である。
【図７】誘導器１５のＤ矢視図である。
【図８】第２実施形態を説明する図である。
【図９】従来技術を示す図である。
【符号の説明】
１０  可動式照明装置
１１  第１のアーム
１２  第２のアーム
１４  直線レール
１４Ｂ  スライド部
１５  誘導器
１６  モータ
１７  ロータリエンコーダ
１８Ａ，１８Ｂ  プーリ
１９  タイミングベルト
２１  光源
３０  光ファイバ
３１  投光部
【図１】
0004253940.tif 000004
【図２】
0004253940.tif 000005
【図３】
0004253940.tif 000006
【図４】
0004253940.tif 000007
【図５】
0004253940.tif 000008
【図６】
0004253940.tif 000009
【図７】
0004253940.tif 000010
【図８】
0004253940.tif 000011
【図９】
0004253940.tif 000012