(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
貼り合わせ対象物たる二枚の基板の内の一方の基板を加圧板の下面に保持すると共にクローズしたパターンでシール剤が塗布された他方の基板をテーブル上に保持し、該他方の基板上に液晶剤を供給した後、対向した前記各基板を各々の間隔を狭めて前記他方の基板に塗布された前記シール剤で貼り合わせる液晶基板の組立方法であって、
前記他方の基板の上方にて、該他方の基板の表面に対して所定の高さに液晶剤吐出用のノズル先端を位置決めするノズル位置決め工程と、
前記他方の基板上に、前記液晶剤の広がり速度の遅い方を前記シール剤に近くするように、該他方の基板の配向方向に対して所定の角度で、前記液晶剤を予め設定された少なくとも一つの略直線状の塗布パターンで塗布する液晶剤塗布工程と
を有し、
前記液晶剤塗布工程は、前記液晶剤の塗布前にノズル先端周辺に不活性ガスを供給し、そして、前記液晶剤と不活性ガスを同時に吐出しながら前記液晶剤の塗布を行うことを特徴とした液晶基板の組立方法。
【請求項２】
前記液晶剤塗布工程の前に、前記他方の基板の表面にＵＶ式ドライ洗浄又はイオンブロー洗浄を行うことを特徴とした請求項１に記載の液晶基板の組立方法。
【請求項３】
貼り合わせ対象物たる二枚の基板の内の一方の基板を保持する加圧板と、前記各基板の内のクローズしたパターンでシール剤が塗布された他方の基板を保持し且つ当該他方の基板を前記一方の基板に対向配置可能なテーブルと、前記他方の基板上に液晶剤を供給する液晶供給手段とを備え、前記一方の基板と液晶剤を供給した他方の基板とを減圧チャンバ内で加圧貼り合わせする液晶基板の組立装置であって、
前記他方の基板上に液晶剤を吐出する前記液晶供給手段に備えたノズルと、
前記他方の基板の面とノズルとの間隔を測定する測定器と、
前記ノズルにて、前記液晶剤の広がり速度の遅い方を前記シール剤に近くするように、前記液晶剤を前記他方の基板の配向方向に対して所定の角度で略直線状に塗布する為の前記テーブルの移動を付勢する駆動手段と、
前記ノズルに、前記液晶剤の塗布前に不活性ガスを吐出し且つ前記液晶剤の塗布と同時に不活性ガスを吐出する前記ノズルの液晶剤吐出口を包囲した不活性ガス供給口と
を設けることを特徴とした液晶基板の組立装置。
【請求項４】
前記ノズルの液晶剤吐出口は、前記液晶剤を所定の幅の略直線状に塗布する為の多孔直列形に形成することを特徴とした請求項３に記載の液晶基板の組立装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶剤を介在させた貼り合わせ対象物たる基板同士を対向させて保持し、その各基板の間隔を狭めて貼合せる液晶基板の組立方法及びその組立装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示パネルの製造には、透明電極や薄膜トランジスタアレイが設けられた二枚のガラス基板を、基板の周縁部に口字状に設けたシール剤や基板の外周部の適宜な位置に塗布した接着剤で数μｍ程度の極めて接近した間隔をもって貼り合わせ、その各基板と接着剤（以下、「シール剤」ともいう。）で形成される空間に液晶を封止するという工程がある。
【０００３】
従来、その液晶の封止を行う際の基板貼り合わせ方法としては、注入口を設けないようにシール剤をクローズしたパターン（口字形）に描画した一方の基板上に液晶を滴下しておく。そして、真空チャンバ内にて他方の基板を一方の基板の上方に配置し、真空状態でその他方の基板と一方の基板との間隔を狭めて加圧して上下の基板を貼り合わせる、という特開昭６２−８９０２５号公報に開示された方法がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特開昭６２−８９０２５号公報に開示された方法では、基板上へ液晶剤を滴下しているので、基板膜面と液晶剤との間に発生する分子間力や滴下衝撃や貼り合わせ時の加圧に伴う液晶剤の反力（特に液晶剤の粘度増加に伴う反力）により生じる膜面の変形又は破損によって，更には配向不良等によって色ムラ不良が生じる、という不都合があった。また、貼り合わせ処理時における上下基板の狭いギャップ状態で、滴下した液晶剤の界面が発生して色ムラが生じるという不都合があった。更に又、液晶剤を滴下する際の空気の巻き込みにより、空気中の水分や不純物等が貼り合わされた基板と液晶剤との間に閉じ込められ、それが酸化現象等を引き起こして基板上に滴下痕として残ってしまう、という不都合があった。そして、その滴下痕によって、組み立てられた液晶パネルに色ムラが生じる、という不都合があった。
【０００５】
本発明は、かかる従来例の有する不都合を改善し、液晶剤の滴下痕や貼り合わせ時の液晶剤の界面による表示ムラの無い液晶パネルを生産することができる液晶基板の組立方法及びその組立装置を提供することを、その目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する為、本発明では、貼り合わせ対象物たる二枚の基板の内の一方の基板を加圧板の下面に保持すると共にクローズしたパターンでシール剤が塗布された他方の基板をテーブル上に保持し、その他方の基板上に液晶剤を供給した後、対向した各基板を各々の間隔を狭めて前記他方の基板に塗布された前記シール剤で貼り合わせる液晶基板の組立方法において、前記他方の基板の上方にてこの基板の表面に対して所定の高さに液晶剤吐出用のノズル先端を位置決めするノズル位置決め工程と、前記他方の基板上に、前記液晶剤の広がり速度の遅い方を前記シール剤に近くするように、この基板の配向方向に対して所定の角度で、液晶剤を予め設定された少なくとも一つの略直線状の塗布パターンで塗布する液晶剤塗布工程とを有し、この液晶剤塗布工程は、前記液晶剤の塗布前にノズル先端周辺に不活性ガスを供給し、そして、前記液晶剤と不活性ガスを同時に吐出しながら前記液晶剤の塗布を行う。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明に係る液晶基板の組立装置の一実施形態について図１から図３に基づいて説明する。
【０００８】
本実施形態の液晶基板の組立装置の構成を図１に示す。この液晶基板の組立装置は、大別すると、液晶塗布装置たる液晶パターン塗布部Ｓ１と、上基板１ｂを保持する加圧板２７を備えると共にその上基板１ｂを下基板１ａに加圧する基板貼合部Ｓ２と、下基板１ａを載置保持するテーブル９を備えるＸＹθステージＴ１とから構成される。ここで、液晶パターン塗布部Ｓ１及び基板貼合部Ｓ２は、架台２上に立設された複数の支持柱と各支持柱間を横架する横架材とから成るフレーム３に支持されると共に隣接して配置され、ＸＹθステージＴ１は液晶パターン塗布部Ｓ１及び基板貼合部Ｓ２と架台２との間に移動自在に配置される。以下、これら各構成について詳述する。
【０００９】
液晶パターン塗布部Ｓ１は、後述するテーブル９に載置保持された下基板１ａ上（下基板１ａの主面）に所望量の液晶剤を塗布するノズル１８を備えたディスペンサ１７と、このディスペンサ１７を保持すると共に上下方向（図１に示すＺ軸方向）に移動させるＺ軸ステージ１５と、このＺ軸ステージ１５の上下移動を付勢するモータ１６と、ディスペンサ１７の近傍に配設されると共にＺ軸ステージ１５に保持される基板表面高さ測定器ＬＳとで構成される。このように構成された液晶パターン塗布部Ｓ１は、基板貼合部Ｓ２を支持する後述するフレーム３から突設されたブラケット１４でＺ軸ステージ１５を保持して支持される。
【００１０】
ここで、そのディスペンサ１７について説明する。このディスペンサ１７には、図示しない圧力源（例えばポンプ）とエアフィルタが接続されており、その圧力源から送出された不活性ガス（例えば、窒素ガスやアルゴンガス等）をエアフィルタを通すことによって、ゴミ等の不純物を含まない不活性ガスが送り込まれる。この不活性ガスは、図３に示すが如く、液晶剤を納めたディスペンサ１７の溜め部１７ａと，下基板１ａに不活性ガスを供給するガス供給部１８ａとに送り込まれる。このように不活性ガスを溜め部１７ａに供給することによって液晶剤が圧送され、これによりノズル先端部１８ｂからその液晶剤が下基板１ａに塗布される。また、ガス供給部１８ａはノズル先端部１８ｂに覆設されており、そのノズル先端部１８ｂを囲うように不活性ガスが吐出される。本実施形態のノズル先端部１８ｂの先端（液晶剤吐出口）形状は、略円形のものが用いられる。このように２重ノズルを用いることによって、液晶剤をできるだけ空気に触れずに塗布することが可能となる。
【００１１】
上述したディスペンサ１７を用いて液晶剤を塗布する場合、一般に液晶剤を塗布すると同時に不活性ガスを吐出させている。ここで、本実施形態にあっては、それに加えて、液晶剤の塗布を開始する前から不活性ガスの吐出を開始しているので、下基板１ａ表面の空気が除去される為に、液晶剤が空気に触れる可能性を更に少なくすることができる。
【００１２】
続いて、前述した基板表面高さ測定器ＬＳについて説明する。この基板表面高さ測定器ＬＳは、例えば下基板１ａの主面に向けて超音波を発射してからその反射波が戻ってくるまでの時間を計測し、その時間に基づいて基板表面高さ測定器ＬＳと下基板１ａとの間の距離を測定するものである。この基板表面高さ測定器ＬＳは、例えば後述するが如くディスペンサ１７のノズル位置を調整する際に使用される。即ち、そのノズル位置が下基板１ａに対して所望高さになるようＺ軸ステージ１５を上下移動させる際に、基板表面高さ測定器ＬＳによる測定距離を用いる。
【００１３】
ここで、図１には示していないが、その液晶剤塗布用のディスペンサ１７の近くにはシール剤を吐出する為のディスペンサが配設されている。このシール剤供給用のディスペンサは、液晶剤塗布用のディスペンサ１７と同様に図示しないブラケットを介してフレーム３に固定されている。
【００１４】
基板貼合部Ｓ２は、後述する下チャンバユニット１０と共に減圧チャンバを成す下方が開口した上チャンバユニット２１と、この上チャンバユニット２１内にシャフト２９を介して配設され且つ吸引吸着機構及び静電吸着機構を備えた加圧板２７とから成り、それぞれが独立して上下動できる構造になっている。
【００１５】
具体的に、上チャンバユニット２１には複数のシャフト２９を挿通する図示しない貫通孔が各々形成されている。そして、上チャンバユニット２１の上部には、その貫通孔とシャフト２９との間の間隙を覆うと共にそのシャフト２９に覆設するリニアブッシュ及び真空シールを内蔵したハウジング３０と、本体をフレーム３の横架材に固定すると共にその本体内にて上下方向に往復移動する部材を上チャンバユニット２１の上部に固定するシリンダ２２とが備えられる。このように構成することで、上チャンバユニット２１がシャフト２９をガイドとしてシリンダ２２により上下方向に移動する。
【００１６】
上述したハウジング３０の真空シールは、上チャンバユニット２１と下チャンバユニット１０とが合体して減圧チャンバを形成し、その際にハウジング３０が変形しても貫通孔とシャフト２９との間の間隙から真空漏れを起こさないように内蔵される。これが為、減圧チャンバの変形によってシャフト２９に負荷が掛かっても、その力を吸収することができる。また、シャフト２９の一端に固定された加圧板２７の変形を防止でき、後述するが如き各基板１ａ，１ｂの貼り合わせの際に、加圧板２７に保持された上基板１ｂとテーブル９に保持された下基板１ａとの平行を保って貼り合わせを行うことができる。
【００１７】
ここで、上チャンバユニット２１の下端部（開口の周縁部）には、下チャンバユニット１０と共に減圧チャンバを形成した際にその減圧チャンバ内を気密する為のフランジ２１ａが設けられている。
【００１８】
また、上チャンバユニット２１の一方の側部には、減圧チャンバ内を減圧する為に、減圧チャンバ内に連通する配管ホース２４と、この配管ホース２４の途中に配設された真空バルブ２３と、配管ホース２４に接続された図示しない真空ポンプとが備えられる。
【００１９】
更に又、上チャンバユニット２１の他方の側部には、減圧された減圧チャンバ内を大気圧に戻す為に、減圧チャンバ内に連通するガスパージバルブ２５と、このガスパージバルブ２５に一端が接続されたガスチューブ２６と、このガスチューブ２６の他端に接続された窒素やクリーンドライエアー等を送出する加圧ポンプとが備えられる。
【００２０】
ここで、上チャンバユニット２１の上部には加圧板２７に形成された図示しないマーク認識用孔を通して各基板１ａ，１ｂの位置合わせマークを観測する為の窓が複数設けられる。この場合、その位置合わせマークの観測には、上チャンバユニット２１の窓の上方に配設された図示しない画像認識カメラが用いられ、この画像認識カメラによって各基板１ａ，１ｂの位置合わせマークのずれを測定する。
【００２１】
続いて、加圧板２７は、前述したが如くシャフト２９の一端に固定されている。ここで、このシャフト２９の他端はハウジング３１に固定されており、このハウジング３１の両側部に配設されたリニアガイド３４とそのリニアガイド３４に係合するフレーム３に設けられたガイド部３ａとによって、加圧板２７の上下動が可能な構造になっている。より具体的には、ハウジング３１の上部に配設されたハウジング３２と、このハウジング３２の上面に配設された荷重計３３と、上下方向に螺刻された雌螺子部を有し且つその荷重計３３の上部に配設されたナットハウジング３７と、このナットハウジング３７の雌螺子部にて回動自在に螺合するボールねじ３６と、このボールねじ３６をその軸中心で回動する出力軸を備えたモータ４０とを有し、このモータ４０を駆動することによって加圧板２７の上下動を行う。この場合、モータ４０は、フレーム３の上部に配設されたフレーム３５上のブラケット３８に固定される。
【００２２】
このように構成することで、モータ４０の駆動によって上基板１ｂを保持した加圧板２７を下降させ、その上基板１ｂをテーブル９上の下基板１ａに密着させて貼り合わせに必要な加圧力を与えることができる。ここで、上述した荷重計３３は加圧力センサとして働き、逐次フィードバックされた信号に基づいてモータ４０を制御することで、各基板１ａ，１ｂに所望の加圧力を与えることが可能になっている。
【００２３】
以上の如く上下動する加圧板２７には、前述したように吸引吸着機構及び静電吸着機構が備えられる。この吸引吸着機構は、加圧板２７の下面から形成された複数の図示しない吸引孔と、これら各吸引孔に連通すると共に上チャンバユニット２１に配設された吸引吸着用継手４１と、この吸引吸着用継手４１に連通する吸引チューブ４２と、この吸引チューブ４２に接続する図示しない真空ポンプとで構成される。このように構成した吸引吸着機構は、大気下にあっては真空ポンプを駆動して上基板１ｂを加圧板２７の下面に真空吸着（或いは吸引吸着）で密着保持する。
【００２４】
続いて、静電吸着機構について説明する。この静電吸着機構は、本実施形態にあっては略矩形の平板電極から成り、加圧板２７の下面の両端側に形成された二つの略矩形の凹部に各々嵌着される。また、その平板電極は、その表面（加圧板２７の下面側）が誘電体で覆われており、この誘電体の主面が加圧板２７の下面と面一になるよう設けられる。このように加圧板２７に配設された平板電極は、夫々正負の直流電源に適宜なスイッチを介して接続されている。これが為、各平板電極に正或いは負の電圧が印加されると、上記誘電体の主面に負或いは正の電荷が誘起される。そして、その電荷によって上基板１ｂに形成されている透明電極膜との間に発生するクーロン力で上基板１ｂが加圧板２７に静電吸着される。ここで、各平板電極に印加する電圧は、同極でもよいし、夫々異なる双極でもよい。
【００２５】
尚、その周囲が大気の場合は、前述した吸引孔による吸引吸着を行った方がよい。その理由は、静電吸着を行う場合、上基板１ｂと加圧板２７の間に空気層があると、静電気による放電現象が発生して上基板１ｂや加圧板２７を損傷してしまう。これが為、例えば上基板１ｂを加圧板２７に最初に密着保持するときは周囲が大気下にあるので、先ず吸引吸着機構で吸着し、減圧チャンバ内を減圧していって放電現象が発生しない程度まで減圧されてから静電吸着を行うことが望ましい。
【００２６】
ここで、後述するが如く加圧板２７にて上基板１ｂを吸引吸着している状態で減圧チャンバ内を減圧していくと、その吸着力が小さくなり上基板１ｂが落下する虞がある。これが為、上チャンバユニット２１には、加圧板２７の僅か下の位置で上基板１ｂを受け止める受止爪６０が設けられている。この受止爪６０は、図２に示すように、上基板１ｂの対角位置たる二つの角部に対応して配設されており、上チャンバユニット２１から下方に向けて延設したシャフト５９で釣り下げ保持される。
【００２７】
具体的には、図示しないが、上チャンバユニット２１に形成された貫通孔にシャフト５９が挿通されており、このシャフト５９がその軸中心で回転し且つ上下移動できるように構成されている。この場合、減圧チャンバ内が真空漏れを起こさないようにシャフト５９に真空シールが覆設されている。上記回転はシャフト５９の端部に接続された図示しない回転アクチェータによって、上下移動は同様にシャフト５９の端部に接続された図示しない昇降アクチェータによって行われる。このようにシャフト５９を回転又は上下移動させることによって、各基板１ａ，１ｂの貼り合わせを行ない、下基板１ａ上に塗布された液晶剤を各基板１ａ，１ｂの主面の広がり方向に拡張させる場合に邪魔にならぬように受止爪６０を退避させることができる。
【００２８】
次に、ＸＹθステージＴ１について説明する。このＸＹθステージＴ１は、架台２上に配設されたＸステージ４ａと、このＸステージ４ａ上に配設されたＹステージ４ｂと、このＹステージ４ｂ上に配設されたθステージ４ｃと、このθステージ４ｃ上に配設され且つ下基板１ａを載置保持するテーブル９と、Ｙステージ４ｂ上にプレート１３を介して固定され且つ上チャンバユニット２１と共に減圧チャンバを成す上方が開口した下チャンバユニット１０とを有する。
【００２９】
本実施形態のＸステージ４ａは、駆動モータ５によってＹステージ４ｂ，θステージ４ｃ，テーブル９並びに下チャンバユニット１０を左右方向（図１中のＸ軸方向）に、即ち液晶パターン塗布部Ｓ１と基板貼合部Ｓ２の下方にて往復移動できるよう構成される。また、Ｙステージ４ｂは、駆動モータ６によってθステージ４ｃ，テーブル９並びに下チャンバユニット１０を前後方向（図１中のＹ軸方向）に移動できるよう構成される。更に又、θステージ４ｃは、回転ベアリング７を介し駆動モータ８によってＹステージ４ｂに対して図１に示すθ方向に回転するよう構成される。ここで、θステージ４ｃは、下チャンバユニット１０に対し回転ベアリング１１と真空シール１２を介して回転自在に取付けられており、これによりθステージ４ｃが回転しても下チャンバユニット１０がつられて回転しない構造となっている。
【００３０】
ここで、下基板１ａはテーブル９上で重力方向に載置されているので、その下基板１ａの位置決めを図る為に、テーブル９には、図２に示すように、下基板１ａの隣り合う二つの周縁部に対応して各々配設された複数の位置決め部材８１と、下基板１ａの残りの二つの周縁部に対応して各々配設された複数の押付ローラ８２とを有する位置決め機構が備えられる。この押付ローラ８２は、例えば図２に示す矢印方向にテーブル９上を移動できるよう構成されており、各押付ローラ８２で下基板１ａを位置決め部材８１に押付けることによって、その下基板１ａの水平方向（テーブル９の面方向）の位置決めを行うと共にテーブル９上での保持を行う。
【００３１】
しかしながら、各基板１ａ，１ｂを貼り合わせる直前の微小位置決めの際に、上基板１ｂが下基板１ａ上のシール剤や液晶剤と接触した影響で下基板１ａがずれたり持上がる虞がある。又は、減圧チャンバ内を減圧する際に、その減圧過程で下基板１ａとテーブル９との間に入り込んでいる空気が逃げ、これにより下基板１ａが踊ってずれてしまう虞がある。これが為、そのテーブル９にあっても、前述した加圧板２７と同様に構成された吸引吸着機構及び静電吸着機構が備えられており、これによりテーブル９上に下基板１ａが密着保持される。
【００３２】
ここで、そのテーブル９には、下基板１ａの載置面から突出可能であり且つ上下方向に移動自在な図示しないピンが複数配設される。このようにピンを設けることによって、各ピンを上昇させて貼り合わせ後の基板を押し上げることができ、これによりテーブル９からの取り出しを容易にしている。また、例えば各ピンを上昇させた際にテーブル９に当接させることで接地状態にし、貼り合わせ後の基板の除電を行なうことができる。
【００３３】
続いて、下チャンバユニット１０には、上端部（開口の周縁部）に配設されたＯリング４４と、このＯリング４４の外側に配設されたボールベアリング８７とが備えられる。このようにＯリング４４を設けているので、後述するが如く上チャンバユニット２１を下降させてそのフランジ２１ａをＯリング４４に当接させた際に、各チャンバユニット１０，２１が一体となり、減圧チャンバとして機能させることができる。また、ボールベアリング８７は、減圧チャンバを減圧した際のＯリング４４のつぶれ量を調整する為に、上下方向の任意の位置に設定できるよう構成される。このようにボールベアリング８７の位置を適宜調整することによって、減圧により掛かる大きな力を、ボールベアリング８７を介して下チャンバユニット１０で受けることができる。そして、このようなボールベアリング８７が配設されることによってＯリング４４の弾性変形が可能となるので、後述する貼り合わせ時に、ＸＹθステージＴ１をＯリング４４の弾性範囲内で容易に微動させ精密に位置決めすることができる。
【００３４】
次に、本実施形態の液晶基板の組立装置の動作を説明する。
【００３５】
先ず、テーブル９に上基板１ｂを保持した治具を図示しない移載機のハンドを用いて載置した後、駆動モータ５を駆動してＸステージ４ａを動かし、ＸＹθステージＴ１を基板貼合部Ｓ２の下に移動させる。そして、モータ４０を駆動して加圧板２７を下降させ、テーブル９上の上基板１ｂを加圧板２７に吸引吸着する。しかる後、モータ４０を駆動して加圧板２７を上昇させ、その加圧板２７に上基板１ｂを保持した状態で待機させる。
【００３６】
上基板１ｂの加圧板２７への保持が終了すると、駆動モータ５を駆動してＸＹθステージＴ１を液晶パターン塗布部Ｓ１の下に移動する。そして、テーブル９から空になった治具を外してそのテーブル９上に移載機のハンドを用いて下基板１ａを載置し、この下基板１ａを前述した図２に示す位置決め部材８１と押付ローラ８２で位置決めして保持する。
【００３７】
ここで、通常、上基板１ｂと下基板１ａは、この各基板１ａ，１ｂに設ける配向膜のラビング方向各々が略直角になるように配置されるので、液晶剤を所定の面積（位置）に供給する際は、貼り合わせ時に液晶剤を押し広げることができるように各基板１ａ，１ｂのラビング方向を考慮する必要がある。即ち、供給された液晶剤の形状を配向方向に対して略直角方向に細長い形状にすれば、液晶剤が略均一に広がる。このようにラビング方向を考慮して液晶剤を塗布する理由は、液晶剤はラビング（配向）方向に流れ易いので、その液晶剤がシール剤に到達するまでの時間をその方向に関係なく略均一にし、液晶剤の広がる速度の遅い方をシール剤に近くなるように塗布する為にである。これが為、貼り合わせ時の液晶剤の広がりも考慮して、後述するが如く下基板１ａの配向方向に対して所定の角度の傾きを設けてパターンを形成し、貼り合わせ完了時の液晶剤の広がりを略均一にする。
【００３８】
以上のことから、各基板１ａ，１ｂは、そのラビング方向が液晶剤の塗布方向（例えば本実施形態にあっては図１に示すＸ軸方向）に対して所定の角度をもつようにテーブル９上に載置する。
【００３９】
前述したが如くテーブル９上に下基板１ａが保持されると、その状態で下基板１ａ表面の液晶剤の濡れ性を向上させる為、図１に示すイオンブロー手段ＩＢを用いてイオンブローを行う。このイオンブローとは、イオン化超音波エアーを下基板１ａ表面に吹き付けることで、その基板表面の清掃と液晶剤の濡れ性を向上させるものである。ここで、このイオンブローに替えて、図１に示すＵＶ（紫外線）式ドライ洗浄器ＵＶＬによりドライ洗浄を行ってもよい。但し、このドライ洗浄は、後述するシール剤塗布後に行うとシール剤に悪影響を及ぼす（シール剤を固化する）虞がある為、シール剤塗布前に行うことが望ましい。尚、イオンブローを用いる場合は、シール剤塗布後に行っても問題はない。
【００４０】
続いて、各駆動モータ５，６を駆動し、Ｘステージ４ａとＹステージ４ｂを動かしてＸＹθステージＴ１をＸ軸，Ｙ軸方向に移動させながらシール剤供給用のディスペンサから下基板１ａ上にシール剤を吐出する。その際、下基板１ａ上にはクローズ（閉鎖）したパターン（例えば口字形）でシール剤が塗布される。このようにしてシール剤を塗布した後、そのシール剤から成る枠内にディスペンサ１７から液晶剤を必要量だけ塗布する。以下に、その液晶剤の塗布方法について詳述する。
【００４１】
先ず、下基板１ａに液晶剤Ｐを塗布するノズル先端部１８ｂの高さ（液晶剤Ｐの吐出高さ）を、液晶剤塗布用のディスペンサ１７の近傍に設けた前述した基板表面高さ測定器ＬＳを用いて測定する。しかる後、その測定値に基づきモータ１６を駆動してＺ軸ステージ１５を上下移動させ、ディスペンサ１７のノズル先端部１８ｂを所定の高さに位置決めする。本実施形態にあっては、このノズル先端部１８ｂの高さは、シール剤の高さ（本実施形態にあっては２０〜３０μｍ程度の高さ）より低い１０〜２０μｍ程度に設定している。このように液晶剤Ｐの吐出高さをシール剤の高さより低くすることによって、基板貼り合わせの際の基板加圧時に液晶剤Ｐにより基板１ａ，１ｂ間に作用する反力を緩和でき、更には従来例の如き液晶剤滴下時の衝撃力を小さくできる。そしてこれが為、色ムラの発生を防止できる。更には供給した液晶剤Ｐの高さが低い為、貼り合わせ時間の短縮も図れる。
【００４２】
続いて、Ｘステージ４ａやＹステージ４ｂを動かして下基板１ａをＸ軸やＹ軸方向に移動させながら、ノズル先端部１８ｂから液晶剤Ｐを吐出して下基板１ａの主面上の略中央部付近に所定のパターンで塗布する。
【００４３】
本実施形態における液晶剤塗布パターンは、図４（ａ）に示すが如く、クローズしたシール剤のパターン内に、前述したノズル先端部１８ｂの設定高さで直線状に液晶剤Ｐを塗布したものである。その際の塗布方向は、下基板１ａの配向膜の配向方向Ｒ（ラビング方向）に対して角度θ（例えば、約３０〜６０度）で塗布しており、この場合の液晶剤Ｐの塗布量は、基板貼り合わせが完了したときの各基板１ａ，１ｂとシール剤との間の容積と略一致する量としている。尚、液晶剤Ｐの塗布方向は、基板貼り合わせ時に液晶剤Ｐが広がるものであれば配向方向に対して４５度にすることが望ましい。このように液晶剤Ｐを連続的に吐出して下基板１ａに塗布することによって、液晶剤Ｐの供給時間の短縮が図れる。
【００４４】
ここで、液晶剤Ｐの吐出前にガス供給部１８ａから不活性ガスのみを予め供給して下基板１ａ表面を不活性ガス雰囲気とし、しかる後、液晶剤Ｐと不活性ガスを同時に吐出しながら液晶剤Ｐを塗布することが望ましい。このように不活性ガス雰囲気中で液晶剤Ｐの塗布を行うことで、大気中の水分や不純物の巻き込み，液晶剤Ｐの酸化を防止できる。また、吐出された不活性ガスの作用によって液晶剤Ｐを濡れ広げることができ、液晶面の高さをより低くすることができるので、基板貼り合わせ時間の更なる短縮が可能となる。また、テーブル９に図２に示すヒータＨＴを設置し、このヒータＨＴで下基板１ａを暖めることによって塗布された液晶剤Ｐの粘度を低下させ、液晶面の高さを低くしてもよい。
【００４５】
ここで、上述したが如く液晶剤Ｐを塗布した後で再度下基板１ａ表面をイオンブローしてもよい。これにより、下基板１ａは液晶剤の濡れ性が更に向上し、イオンブローしない場合に比べて液晶剤を早くシール剤端面まで広げることができる。また、液晶剤Ｐを塗布する際に、下基板１ａを加振しながら塗布を行ってもよい。これにより、従来例の如き液晶剤滴下時の衝撃力を更に緩和することができ、更には液晶剤と下基板１ａとの間の表面張力の作用が無くなり易くなる為、よりいっそう色ムラの発生を防止できる。
【００４６】
ここで、説明を省略したが、上基板１ｂ又は下基板１ａには予めスペーサが散布され，若しくは貼付けられている。この場合のスペーサとは、各基板１ａ，１ｂを貼り合わせる際に、その各基板１ａ，１ｂ間の隙間が所定量以下とならないようにするものである。尚、そのスペーサを液晶剤に混入しておき、液晶塗布と共にスペーサの散布を行ってもよい。
【００４７】
前述したが如く液晶剤が必要量だけ塗布された後、駆動モータ５を駆動してＸＹθステージＴ１を基板貼合せ部Ｓ２の下の所定位置に移動する。そして、ＸＹθステージＴ１が停止すると、シリンダ２２を作動させて上チャンバユニット２１を下降させ、そのフランジ部２１ａをＯリング４４に当接させる。これにより、下チャンバユニット１０と上チャンバユニット２１とから成る減圧チャンバが形成される。
【００４８】
減圧チャンバが形成された後、真空バルブ２３を開放して減圧チャンバ内を減圧していく。その際、前述したが如く上基板１ｂは加圧板２７に吸引吸着された状態である為、減圧チャンバ内の減圧が進み真空化していくと上基板１ｂに作用していた吸引吸着力が徐々に小さくなってその上基板１ｂを保持できなくなり、上基板１ｂが自重で落下する。これが為、前述した回転アクチェータや昇降アクチェータによって図２に示す受止爪６０を動かし、上基板１ｂを受止爪６０で受け止めて加圧板２７の僅かに下の位置に保持する。
【００４９】
減圧チャンバ内が充分減圧された時点（本実施形態にあっては約５×１０−３Torr程度）で、加圧板２７に設けた静電吸着機構に電圧を印加し、受止爪６０上にある上基板１ｂを加圧板２７にクーロン力で保持する。その際、減圧チャンバ内は既にかなり減圧されており、加圧板２７と上基板１ｂの間に空気が残っていないので、静電気による放電が発生しない。また、空気が逃げるときに発生する上基板１ｂの踊りもない。
【００５０】
上基板１ｂが静電吸着されると、シャフト５９を昇降アクチェータで下降させ且つ回転アクチェータで回転させて、受止爪６０を各基板１ａ，１ｂの貼り合わせの邪魔にならぬように待避させる。そして、モータ４０を駆動して加圧板２７を下降させ、上基板１ｂを下基板１ａに接近させる。しかる後、画像認識カメラを用いて各基板１ａ，１ｂに設けた位置合わせマークを読み取って画像処理で位置ずれの測定を行い、この測定値に基づきＸステージ４ａ，Ｙステージ４ｂ並びにθステージ４ｃの動作制御を行ってテーブル９を微動させ、下基板１ａと上基板１ｂとの高精度な位置合わせを行う。ここで、下チャンバユニット１０には前述したが如きボールベアリング８７が配設されているので、その微動の際にボールベアリング８７が各チャンバユニット１０、２１の間隔を維持でき、Ｏリング４４を極端に変形させないで真空状態（減圧状態）を維持することができる。
【００５１】
その位置合わせが終了すると、加圧板２７を更に下降させ、上基板１ｂの下面を下基板１ａ上のシール剤に接触させる。その際、荷重計３３でシール剤に掛かる加圧力を計測しながらモータ４０の駆動力を制御して各基板１ａ，１ｂを所望間隔に貼り合わせる。この場合、上基板１ｂは加圧板２７に静電吸着力により密着している為その中央部が垂れ下がることはない。従って、液晶剤中のスペーサに悪影響を与えたり、基板１ａ，１ｂ同士の位置合せ不良が生じることはない。
【００５２】
ここで、貼り合わせる基板の面積が大きくなると、前述した加圧力による貼り合わせだけでは十分にシール剤を潰すことができない。これが為、その加圧力による貼り合わせ（一次加圧）が終了すると、加圧板２７の静電吸着を解除し、シリンダ２２を動作して上チャンバユニット２１を上昇させる。そして、真空バルブ２３を締めてガスパージバルブ２５を開き、真空チャンバ内に窒素ガスやクリーンドライエアーを供給して大気圧に戻す。このように真空チャンバ内を大気圧に戻すことによって液晶基板面に圧力を加え、所望の厚みに確実に貼り合わせる（二次加圧）。
【００５３】
ここで、真空チャンバ内圧力を真空状態から大気圧へと変化させた際に、基板１ａ，１ｂ間における液晶剤間の空間部分が真空状態である為、各基板１ａ，１ｂには略均一にその外部から大きな圧力が加わる。例えば各基板１ａ，１ｂ間の空間部分が真空状態のときに大気圧を加えると１２１．６ｋＮの力を掛けることができる。上記本加圧は、その各基板１ａ，１ｂに掛かる圧力を利用して貼り合わせを行うものである。
【００５４】
貼り合わせが終了すると、ガスパージバルブ２５を閉じ、ＸＹθステージＴ１を液晶パターン塗布部Ｓ１の下に戻してテーブル９から貼り合わせた基板を移載機のハンドで取り出し、次の基板の貼り合わせに備える。その取り出された貼り合わせ後の基板は、下流のＵＶ光照射装置や加熱装置等に送られてシール剤の硬化が行われる。
【００５５】
以上示したが如く、本実施形態にあってはシール剤を塗布し、液晶剤を塗布した後直ちに貼り合わせ工程に移行することができるので、貼り合わせ前の基板に塵埃が付着し難い。そしてこれが為、貼り合わせ後の基板にて前述した従来例の如き滴下痕等に起因する不良品が発生し難く、生産時の歩留まり向上を図ることができる。
【００５６】
また、液晶剤は、正確な量を供給することができるので、液晶剤の無駄な消費を無くすことができ、且つ液晶剤がシール剤のパターンの外側に溢れて基板を汚染する虞がなくなる。この場合、汚染された基板の洗浄工程が不要となるので、更なる生産性の向上を図ることができる。
【００５７】
更に又、下基板１ａを載置保持するＸＹθステージＴ１を上基板１ｂの上チャンバユニット２１への搬送に利用できるので、上基板１ｂ搬送用の他の機構を設けなくてもよく、組立装置の小型化を図ることができる。
【００５８】
尚、本発明は、必ずしも上記実施形態の態様に限定するものではなく、以下の如く実施してもよい。
（１）本実施形態にあっては、共通の架台２上に液晶パターン塗布部Ｓ１と基板貼合部Ｓ２を配置しているものを例示したが、シール剤塗布と液晶剤塗布を行う一つの装置を設け、貼り合わせを行う装置とは別構成としてよい。更には、シール剤塗布と液晶剤塗布も別々の装置構成としてもよい。
（２）上基板１ｂは、ＸＹθステージＴ１に搭載せずに、本実施形態にてＸＹθステージＴ１に搭載する為に使用される移載機のハンドから直接加圧板２７に搬送して吸引吸着させてよい。
（３）本実施形態にあっては、ノズルから局所的に不活性ガスを供給する方式を例示したが、組立装置全体を不活性ガス雰囲気のチャンバー内に配設したり、減圧チャンバー内に配設したりすることで、液晶剤滴下雰囲気を不活性ガスや真空（減圧）状態にしてもよい。
（４）本実施形態にあっては、下基板１ａにシール剤を塗布する場合について例示したが、上基板１ｂに塗布してもよい。但し、この場合は、上基板１ｂにシール剤を塗布した後、上基板１ｂを反転させる工程が必要となるので、どちらの基板にシール剤を塗布するかについて適宜選択することが望ましい。
【００５９】
ここで、液晶剤塗布パターンは、前述した図４（ａ）に示すものに替えて以下の如く行ってもよい。
【００６０】
第一に、図４（ｂ）に示すが如く図４（ａ）に示す液晶剤Ｐの直線パターンを複数本近づけて描画（塗布）する。この場合、液晶剤Ｐの塗布方向は、図４（ａ）に示す液晶剤塗布パターンと同様にラビング方向（配向方向）Ｒに対して角度θで塗布する。このような液晶剤塗布パターンとすることによって、ノズル先端部１８ｂと下基板１ａとの間隔を小さくしても十分な量の液晶剤Ｐを下基板１ａに供給することができる。そして、これにより液晶剤Ｐの高さをより低くできるので、更に前述した色ムラの防止や貼り合わせ時間の短縮を図ることができる。尚、この場合の基板貼り合わせを実行するタイミングは、塗布した複数本の液晶剤Ｐがシール剤のパターン内に広がって密着してから行うことが望ましい。
【００６１】
第二に、図４（ｃ）に示すが如く液晶剤Ｐを略十字状に塗布する。このように略十字状に塗布する理由は、上基板１ｂと下基板１ａとではラビング方向Ｒが略直角となっているので、基板貼り合わせ時に液晶剤Ｐを広がり易くする為にである。このような液晶剤塗布パターンは、図４（ｃ）に示すが如くラビング方向（配向方向）Ｒと液晶剤Ｐの塗布方向とが一致しても液晶剤Ｐが広がり易くなるので、ラビング方向Ｒと一致した方向に液晶剤Ｐを塗布する場合に有効である。
【００６２】
第三に、図４（ｄ）に示すが如く液晶剤Ｐを幅広の略直線状（略矩形状）に塗布する。この場合は、前述した略円形状の吐出口のノズル先端部１８ｂに替え、複数の液晶剤吐出孔を直列配置した多孔直列状の吐出口を有するノズル先端部を用いる。その際の液晶剤Ｐの塗布方向は、図４（ａ）に示す液晶剤塗布パターンと同様にラビング方向（配向方向）Ｒに対して角度θで塗布する。このようなノズル先端部を用いて液晶剤Ｐを塗布することによって、所望量の液晶剤Ｐを供給する為に図４（ｂ）の如く複数回吐出位置を変えて液晶剤Ｐを吐出する必要がなくなり、液晶剤Ｐの供給時間を短縮できる。また、ノズル先端部１８ｂと下基板１ａとの間隔を小さくしても十分な量の液晶剤Ｐを下基板１ａに供給することができるので、液晶剤Ｐの高さをより低くすることが可能となり、更に前述した色ムラの防止や貼り合わせ時間の短縮を図ることができる。
【００６３】
【発明の効果】
本発明に係る液晶基板の組立方法及びその組立装置は、従来例にて基板上へ液晶剤を滴下することによって生じていた基板膜面と液晶剤との間に発生する分子間力，滴下衝撃や貼り合わせ時の加圧に伴う液晶剤の反力により生じる膜面の変形又は破損による色ムラの発生を防止できる。また、貼り合わせ処理時における上下基板の狭いギャップ状態での滴下した液晶剤の界面の発生を防止でき、色ムラの発生を防止できる。更に又、酸化現象等を引き起こして滴下痕を生じさせていた液晶剤供給時の空気中の水分や不純物等の混入を防止できるので、その滴下跡によって生じていた色ムラを防止できる、という従来にない優れた液晶基板の組立方法及びその組立装置を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る液晶基板の組立装置の一実施形態の構成を示す部分断面図である。
【図２】本実施形態に係る上基板の受止爪や下基板の位置決め機構を説明する斜視図である。
【図３】本実施形態に係る液晶剤供給用ディスペンサのノズル部分の構成を説明する説明図である。
【図４】液晶剤の塗布パターンを下基板の上方から観た上面図であって、図４（ａ）は略直線状のパターンを、図４（ｂ）は図４（ａ）に示す略直線状のパターンを複数本設けたものを、図４（ｃ）は略十字状のパターンを、図４（ｄ）は幅広の略直線状のパターンを説明する説明図である。
【符号の説明】
１ａ  下基板（他方の基板）
１ｂ  上基板（一方の基板）
９  テーブル
１７  ディスペンサ（液晶供給手段）
１８  ノズル
１８ａ  ガス供給部
１８ｂ  ノズル先端部
２７  加圧板
Ｐ  液晶剤
Ｒ  ラビング方向（配向方向）
θ  角度
Ｔ１  ＸＹθステージ（駆動手段）
ＬＳ  基板表面高さ測定器
ＩＢ  イオンブロー手段
ＵＶＬ  ＵＶ式ドライ洗浄器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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