(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気センサを有するセンサユニットと、
１対のライト素子とリード素子を有する薄膜磁気ヘッド素子が複数個１列に整列して一体とされ、個片に切断することで１つの薄膜磁気ヘッド素子をそれぞれ有する複数のスライダとなるローバーとを用い、
前記磁気センサで読み取った前記ローバーに含まれる所定のライト素子の発生する磁界の測定値が前記ライト素子の磁界発生面に平行な第１及び第２の方向に関する所定位置において所定の条件を満たすように、前記磁界発生面と垂直な第３の方向についての前記ライト素子と前記磁気センサとの相対位置を、前記センサユニットを前記ライト素子に対して相対的に前記第３の方向に微動させるとともに前記ライト素子の発生する前記磁界を前記磁気センサで読み取りながら決定する第１工程と、
前記第１工程で決定した前記第３の方向についての前記相対位置を維持しながら前記磁気センサと前記ライト素子との前記第１及び第２の方向に関する相対位置を所定の範囲内で変化させる第２工程と、
前記第２工程で変化させた前記相対位置において前記ライト素子の発生する磁界を前記磁気センサで読み取る第３工程と、
前記第２及び第３工程を所定回数繰り返した後で、前記第１及び第２の方向に関する複数の前記相対位置の各々において前記磁気センサで読み取った前記磁界の測定値に基づいて前記ライト素子の特性を評価する第４工程とを有し、
前記ローバーに含まれる複数のライト素子に関して前記第１ないし第４工程を実行する、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の特性検査方法において、前記所定の条件は、前記磁気センサで読み取った前記ライト素子の発生する磁界の測定値が所定値以上となることである、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査方法。
【請求項３】
請求項１に記載の特性検査方法において、前記所定の条件は、前記磁気センサで読み取った前記ライト素子の発生する磁界の測定値の前記第３の方向への微動に対する増加率が所定値以下となることである、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の特性検査方法において、前記センサユニットは磁界発生手段をさらに有し、前記第３工程では前記薄膜磁気ヘッド素子の前記リード素子によって前記磁界発生手段の発生する磁界を読み取り、当該読み取った磁界に基づいて前記第４工程で前記リード素子の特性も評価する、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査方法。
【請求項５】
１対のライト素子とリード素子を有する薄膜磁気ヘッド素子が複数個１列に整列して一体とされ、個片に切断することで１つの薄膜磁気ヘッド素子をそれぞれ有する複数のスライダとなるローバーを、所定位置に保持する保持手段と、
前記ローバーに含まれる所定のライト素子の発生する磁界を読み取る磁気センサを有するセンサユニットと、
前記センサユニットと前記ライト素子との相対位置を制御する相対位置制御手段と、
前記相対位置制御手段によって所定の範囲内で変化させた複数の相対位置の各々において前記磁気センサで読み取った前記磁界の測定値に基づいて前記ライト素子の特性を評価する検査ユニットとを備え、前記相対位置制御手段は、
前記センサユニットを前記ローバーに対して相対的に、前記ローバーの長手方向と平行に移動可能な直線移動手段と、
前記センサユニットを前記ライト素子に対して相対的に、前記ライト素子の磁界発生面に平行な第１及び第２の方向にそれぞれ微動可能な第１及び第２の微動手段と、
前記センサユニットを前記ライト素子に対して相対的に、前記磁界発生面と垂直な第３の方向に微動可能な第３の微動手段とを有し、本特性検査装置は、
前記磁気センサで読み取った前記磁界の測定値が前記第１及び第２の方向に関する所定位置において所定の条件を満たすように、前記第３の微動手段によって前記第３の方向についての前記相対位置を、前記ライト素子の発生する前記磁界を前記磁気センサで読み取りながら決定し、
当該決定した前記第３の方向についての前記相対位置を維持しながら前記第１及び第２の微動手段によって変化させた前記第１及び第２の方向についての複数の前記相対位置の各々において前記磁気センサで読み取った前記磁界の測定値に基づいて前記ライト素子の特性を前記検査ユニットが評価するものであり、前記ローバーに含まれる複数のライト素子の特性を評価する、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査装置。
【請求項６】
請求項５に記載の特性検査装置において、前記所定の条件は、前記磁気センサで読み取った前記ライト素子の発生する磁界の測定値が所定値以上となることである、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査装置。
【請求項７】
請求項５に記載の特性検査装置において、前記所定の条件は、前記磁気センサで読み取った前記ライト素子の発生する磁界の測定値の前記第３の方向への微動に対する増加率が所定値以下となることである、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査装置。
【請求項８】
請求項５から７のいずれかに記載の特性検査装置において、前記第１ないし第３の微動手段のうち、少なくともひとつはピエゾ素子を用いたものである、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査装置。
【請求項９】
請求項５から８のいずれかに記載の特性検査装置において、前記検査ユニットは、前記磁界を読み取った結果としての前記磁気センサからの出力値を所定の基準値と比較することにより前記ライト素子の良否を判定するものである、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査装置。
【請求項１０】
請求項５から９のいずれかに記載の特性検査装置において、前記センサユニットは磁界発生手段をさらに有し、前記薄膜磁気ヘッド素子の前記リード素子によって前記磁界発生手段の発生する磁界を読み取った結果に基づいて前記検査ユニットが前記リード素子の特性も評価する、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばハードディスクドライブに用いられる薄膜磁気ヘッド素子の特性検査方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄膜磁気ヘッド素子は、対を成すライト素子とリード素子で構成される。図６は、薄膜磁気ヘッド素子の構成を例示する断面図である。薄膜磁気ヘッド素子２１において、ライト素子３１は、コイル３２に流れる電流から電磁誘導により発生する磁界によって信号を磁気ディスク５０に記録する。リード素子４１は、磁気抵抗素子(ＭＲ素子４２)で磁気ディスク５０上の磁界の向きを検出することによって信号を再生する。
【０００３】
図７は、薄膜磁気ヘッド素子の形成されたスライダの例示的な斜視図である。本図に示されるように、薄膜磁気ヘッド素子２１は電極２２とともにスライダ２の端部に位置する。図８は、スライダの製造方法の概念的説明図である。スライダを製造する際にはまず、ウェハ上に多数の薄膜磁気ヘッド素子を形成し、それを棒状に切断する（図８(Ａ)→(Ｂ)）。この棒状のものがローバーである。そしてローバーをさらに個片に切断することでスライダが得られる（図８(Ｂ)→(Ｃ)）。１本のローバーから一般的に約８０個のスライダが得られる。すなわち、１本のローバーには約８０個の薄膜磁気ヘッド素子が存在する。
【０００４】
スライダは、図９(Ａ)，(Ｂ)に例示のように、ＨＧＡ(Head Gimbal Assembly)の一部を成す。すなわち、スライダ２は、ロードビーム３及びフレキシャ５を有するサスペンション７（ジンバル）に組み付けられる。ロードビーム３は、金属製の板バネからなり、先端部にはフレキシャ５側に突出したディンプル１１が形成されている。ロードビーム３及びフレキシャ５は、先端部を除いて例えば溶接されて一体化され、サスペンション７を成す。フレキシャ５は、本体部５ａと、長方形状のタング５ｂとを有する。タング５ｂは、本体部５ａ先端側の辺のみが本体部５ａに接続され、その他の辺は切断されている。タング５ｂの背面はディンプル１１によって付勢（押圧）され、タング５ｂはロードビーム３と略平行となる。スライダ２は、タング５ｂ上に固定され、タング５ｂを介してディンプル１１に付勢されて実際の記録・再生において最適な姿勢が保たれる。
【０００５】
ハードディスクドライブ（以下「ＨＤＤ」）では、高速回転する磁気ディスクとＨＧＡのスライダとが非接触の状態で信号が磁気ディスクに記録され、また信号が磁気ディスクから再生される。ＨＧＡの最終検査は、実際のＨＤＤに対する記録・再生と同じような状況を作り出して行う必要がある。これは例えば動特性検査といわれる。ＨＧＡの動特性検査に関しては種々の方法が提案されており、一般的には、ＨＧＡによる擬似メディアへのデータの記録（書込み）及び再生（読出し）の結果をオリジナルデータと比較して、出力レベルやビット欠落などを基にＨＧＡの特性が評価される。
【０００６】
ＨＧＡの特性を検査する装置としては、例えば下記特許文献１に記載されたものが知られている。
【特許文献１】特開２００２−３７３４７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ＨＧＡが最終検査をパスしないと、サスペンション等の高価なパーツも廃棄しなければならず、結果的にコスト増大につながる。したがって、最終検査段階での不良品発生率は可能な限り低いことが望ましい。そこで検討すると、ＨＧＡが最終検査をパスしない原因の１つとして、薄膜磁気ヘッド素子の不良が考えられる。薄膜磁気ヘッド素子の不良はさらに、ライト素子の不良とリード素子の不良に分けられる。
【０００８】
ここで、リード素子については、外部磁界を与えることで特性(静特性)を得ることが可能なため、スライダ以降の工程のみならずローバーやウェハの状態で静特性検査を行うことができる。このため、リード素子が不良の薄膜磁気ヘッド素子を有するスライダは早い段階において比較的高い確率で除外することが可能である。つまり、ＨＧＡの最終検査の際にリード素子が不良である確率は比較的低い。
【０００９】
一方、ライト素子の特性を検査する際にはディスクと薄膜磁気ヘッド素子とのギャップを高精度で管理する必要があるため、ＨＧＡの最終検査よりも前の工程でライト素子の検査をするのは困難といえる。このため、ライト素子についてはＨＧＡの最終検査だけで良否判定をせざるを得ないのが現状である。したがって、ＨＧＡの最終検査の際に不良のライト素子が存在する確率はリード素子の場合と比較して高い。
【００１０】
このような問題は、垂直磁気記録方式ではより顕著となる。というのも、垂直磁気記録方式では水平磁気記録方式よりも記録密度が大きい（エネルギー分布が狭い）ため、薄膜磁気ヘッド素子の歩留まりが悪いからである。また、垂直磁気記録方式ではライト素子の特性を検査する際にディスクと薄膜磁気ヘッド素子とのギャップをナノメートル単位で管理する必要があり、ＨＧＡの最終検査よりも前の工程でライト素子の検査をするのは水平磁気記録方式の場合よりもさらに困難である。なお、水平磁気記録方式であっても垂直磁気記録方式であっても再生原理（読込み原理）は同じため、リード素子については上記の理由からＨＧＡの最終検査に不良品が残る確率は比較的低い。
【００１１】
本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、擬似メディアを用いることなく薄膜磁気ヘッド素子の記録特性を検査することが可能な、より詳しくは、ＨＧＡの最終検査よりも前に薄膜磁気ヘッド素子の記録特性を検査することの可能な、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査方法及び装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の第１の態様は、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査方法である。この方法は、
磁気センサを有するセンサユニットと、
１対のライト素子とリード素子を有する薄膜磁気ヘッド素子が複数個１列に整列して一体とされ、個片に切断することで１つの薄膜磁気ヘッド素子をそれぞれ有する複数のスライダとなるローバーとを用い、
前記磁気センサで読み取った前記ローバーに含まれる所定のライト素子の発生する磁界の測定値が前記ライト素子の磁界発生面に平行な第１及び第２の方向に関する所定位置において所定の条件を満たすように、前記磁界発生面と垂直な第３の方向についての前記ライト素子と前記磁気センサとの相対位置を、前記センサユニットを前記ライト素子に対して相対的に前記第３の方向に微動させるとともに前記ライト素子の発生する前記磁界を前記磁気センサで読み取りながら決定する第１工程と、
前記第１工程で決定した前記第３の方向についての前記相対位置を維持しながら前記磁気センサと前記ライト素子との前記第１及び第２の方向に関する相対位置を所定の範囲内で変化させる第２工程と、
前記第２工程で変化させた前記相対位置において前記ライト素子の発生する磁界を前記磁気センサで読み取る第３工程と、
前記第２及び第３工程を所定回数繰り返した後で、前記第１及び第２の方向に関する複数の前記相対位置の各々において前記磁気センサで読み取った前記磁界の測定値に基づいて前記ライト素子の特性を評価する第４工程とを有し、
前記ローバーに含まれる複数のライト素子に関して前記第１ないし第４工程を実行するものである。
【００１４】
第１の態様の特性検査方法において、前記所定の条件は、前記磁気センサで読み取った前記ライト素子の発生する磁界の測定値が所定値以上となることであってもよい。
【００１５】
第１の態様の特性検査方法において、前記所定の条件は、前記磁気センサで読み取った前記ライト素子の発生する磁界の測定値の前記第３の方向への微動に対する増加率が所定値以下となることであってもよい。
【００１６】
第１の態様の特性検査方法において、前記センサユニットは磁界発生手段をさらに有し、前記第３工程では前記薄膜磁気ヘッド素子の前記リード素子によって前記磁界発生手段の発生する磁界を読み取り、当該読み取った磁界に基づいて前記第４工程で前記リード素子の特性も評価するとよい。
【００１７】
本発明の第２の態様は、薄膜磁気ヘッド素子の特性検査装置である。この装置は、
１対のライト素子とリード素子を有する薄膜磁気ヘッド素子が複数個１列に整列して一体とされ、個片に切断することで１つの薄膜磁気ヘッド素子をそれぞれ有する複数のスライダとなるローバーを、所定位置に保持する保持手段と、
前記ローバーに含まれる所定のライト素子の発生する磁界を読み取る磁気センサを有するセンサユニットと、
前記センサユニットと前記ライト素子との相対位置を制御する相対位置制御手段と、
前記相対位置制御手段によって所定の範囲内で変化させた複数の相対位置の各々において前記磁気センサで読み取った前記磁界の測定値に基づいて前記ライト素子の特性を評価する検査ユニットとを備え、前記相対位置制御手段は、
前記センサユニットを前記ローバーに対して相対的に、前記ローバーの長手方向と平行に移動可能な直線移動手段と、
前記センサユニットを前記ライト素子に対して相対的に、前記ライト素子の磁界発生面に平行な第１及び第２の方向にそれぞれ微動可能な第１及び第２の微動手段と、
前記センサユニットを前記ライト素子に対して相対的に、前記磁界発生面と垂直な第３の方向に微動可能な第３の微動手段とを有し、本特性検査装置は、
前記磁気センサで読み取った前記磁界の測定値が前記第１及び第２の方向に関する所定位置において所定の条件を満たすように、前記第３の微動手段によって前記第３の方向についての前記相対位置を、前記ライト素子の発生する前記磁界を前記磁気センサで読み取りながら決定し、
当該決定した前記第３の方向についての前記相対位置を維持しながら前記第１及び第２の微動手段によって変化させた前記第１及び第２の方向についての複数の前記相対位置の各々において前記磁気センサで読み取った前記磁界の測定値に基づいて前記ライト素子の特性を前記検査ユニットが評価するものであり、前記ローバーに含まれる複数のライト素子の特性を評価するものである。
【００１８】
第２の態様の特性検査装置において、前記所定の条件は、前記磁気センサで読み取った前記ライト素子の発生する磁界の測定値が所定値以上となることであるとよい。
【００１９】
第２の態様の特性検査装置において、前記所定の条件は、前記磁気センサで読み取った前記ライト素子の発生する磁界の測定値の前記第３の方向への微動に対する増加率が所定値以下となることであるとよい。
【００２０】
第２の態様の特性検査装置において、前記第１ないし第３の微動手段のうち、少なくともひとつはピエゾ素子を用いたものであるとよい。
【００２１】
第２の態様の特性検査装置において、前記検査ユニットは、前記磁界を読み取った結果としての前記磁気センサからの出力値を所定の基準値と比較することにより前記ライト素子の良否を判定するものであってもよい。
【００２２】
第２の態様の特性検査装置において、前記センサユニットは磁界発生手段をさらに有し、前記薄膜磁気ヘッド素子の前記リード素子によって前記磁界発生手段の発生する磁界を読み取った結果に基づいて前記検査ユニットが前記リード素子の特性も評価してもよい。
【００２３】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現をシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、磁気センサと薄膜磁気ヘッド素子のライト素子との相対位置を所定の範囲内で変化させ、当該変化させた複数の前記相対位置の各々において前記磁気センサで読み取った前記ライト素子の発生する磁界に基づいて前記ライト素子の特性を評価するので、ＨＧＡの最終検査のように擬似メディアを用いる必要はなく、ＨＧＡの最終検査よりも前に薄膜磁気ヘッド素子の記録特性を検査することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
【００２６】
図１は、本発明の実施の形態に係る特性検査装置１００の構成を例示する概略斜視図である。ここでは、水平面内で互いに直交する２方向を第１及び第２の方向（Ｘ方向及びＹ方向）、鉛直方向を第３の方向（Ｚ方向）と定義する。特性検査装置１００は、基台１１と、保持手段としての固定台１２と、Ｘ方向移動軸１３と、直線移動手段としての直線移動ユニット１４と、第１ないし第３の微動手段としての微動ユニット１５と、センサホルダ１６と、センサユニット１７と、撮像装置１８と、検査ユニット１９とを備える。
【００２７】
基台１１に支持された固定台１２は、例えば真空吸着によりローバー２０を磁界発生面が上側になるように保持する。固定台１２に保持された状態で、ローバー２０は長手方向がＸ方向と平行で、ローバー２０の磁界発生面はＸＹ平面と略平行となっている。なお、固定台１２による保持は真空吸着に替えて機械的チャックとしてもよい。ここで、固定台１２の上面（ローバー２０の保持面）は、ローバー２０とセンサユニット１７との距離を所定値以内、つまりローバー２０とセンサユニット１７との磁界が測定可能な距離以内に収めるのに必要な平面度（Ｚ方向）が確保されている。ローバー２０は、１対のライト素子とリード素子を有する薄膜磁気ヘッド素子２１が複数個１列に整列して一体とされ、個片に切断することで１つの薄膜磁気ヘッド素子２１をそれぞれ有する複数のスライダとなるものである。
【００２８】
基台１１にはＸ方向移動軸１３がＸ方向と平行に支持され、Ｘ方向移動軸１３には直線移動ユニット１４がＸ方向にスライド可能に支持される。直線移動ユニット１４には微動ユニット１５が支持（搭載）される。微動ユニット１５は、例えばピエゾ素子（圧電素子）を用いたものであり、センサホルダ１６をＸ，Ｙ，Ｚ方向に高精度（例えばｎｍオーダー）で微動可能に支持する。センサホルダ１６にはセンサユニット１７が磁界発生面を下側にして固定支持される。したがってセンサユニット１７は、直線移動ユニット１４の直線移動に伴ってＸ軸方向に移動可能であり、かつ、微動ユニット１５による支持によりＸ，Ｙ，Ｚ方向（第１ないし第３の方向）に微動可能である。なお、センサユニット１７は、磁気ヘッド素子と同等の機能を有するもの（つまりライト素子に相当する磁界発生手段とリード素子に相当する磁気センサとを有するもの）であり、センサホルダ１６に支持された状態でローバー２０と磁界発生面同士が略平行に対向して互いの発生磁界を検出できる距離にある。
【００２９】
撮像装置１８は、センサユニット１７及びローバー２０の上方に支持され（支持手段は図示せず）、ローバー２０の位置決めあるいはローバー２０に対するセンサユニット１７の位置決めのために用いることができる。検査ユニット１９は、センサユニット１７の電極及びローバー２０の各薄膜磁気ヘッド素子２１の各電極と電気的に接続される。つまり、図２に模式的に示されるように、センサユニット１７及び各薄膜磁気ヘッド素子２１の電極２２に検査ユニット１９のプローブが接している。検査ユニット１９の有する電流発生手段から各薄膜磁気ヘッド素子２１のライト入力用電極間に磁界発生電流を流し、各薄膜磁気ヘッド素子２１の発生磁界をセンサユニット１７で検出した結果（つまり磁電変換で得られたリード出力用電極間の電圧値）に基づいて各薄膜磁気ヘッド素子２１の記録特性が検査ユニット１９の有する出力判定手段によって評価される。また、検査ユニット１９の有する電流発生手段からセンサユニット１７のライト入力用電極間に磁界発生電流を流し、センサユニット１７の発生磁界を各薄膜磁気ヘッド素子２１のリード素子で検出した結果（つまり磁電変換で得られたリード出力用電極間の電圧値）に基づいて各薄膜磁気ヘッド素子２１の再生特性が検査ユニット１９の有する出力判定手段によって評価される。
【００３０】
図３は、図１に示される特性検査装置１００による薄膜磁気ヘッド素子の特性検査の流れを示すフローチャートである。以下、図１及び２も参照しながら本実施の形態における特性検査の流れを説明する。ここで、ローバー２０に含まれる薄膜磁気ヘッド素子２１の数をＫ、１つの薄膜磁気ヘッド素子２１についての磁界測定点の数をＮと定義する。
【００３１】
・ローバー保持工程…  ローバー２０を固定台１２上面に例えば手供給もしくは所定の搬送機構を用いて配置し、固定台１２の例えば真空吸着によってローバー２０を保持する。この際、撮像装置１８による撮像画像を基にした画像処理によって固定台１２上におけるローバー２０の測定対象素子（薄膜磁気ヘッド素子）の大まかな位置決めをすることができる。
【００３２】
・仮位置決め工程…  直線移動ユニット１４をＸ方向移動軸１３に沿って直線移動させることによりセンサユニット１７を、ローバー２０に含まれるｉ番目（１≦ｉ≦Ｋ）の薄膜磁気ヘッド素子２１と対向するように仮位置決めする。このとき、直線移動ユニット１４の移動量は、予め定められた数値に基づいてもよいし、撮像装置１８による撮像画像を基にした画像処理に基づいてもよい。
【００３３】
・粗動工程…  ｉ番目の薄膜磁気ヘッド素子２１に検査ユニット１９の電流発生手段から記録用電気信号（磁界発生電流）を入力し、これによりｉ番目の薄膜磁気ヘッド素子２１が発生する磁界をセンサユニット１７で読み取りながら、読み取った結果としてセンサユニット１７から出力される電圧（以下「リード出力電圧」）が所定の条件を満たすように（例えばリード出力電圧が所定値以上となるように）微動ユニット１５をＸ，Ｙ方向に粗動させる。これにより、ｉ番目の薄膜磁気ヘッド素子２１のポール２７とセンサユニット１７のＭＲ素子１７５とがほぼ正対する。なお、粗動工程はセンサユニット１７がローバー２０に接した状態で行われてもよい。
【００３４】
・微動工程…  センサユニット１７のリード出力電圧がより大きくなるように微動ユニット１５をＺ方向に微動させる。通常はセンサユニット１７のＭＲ素子１７５と薄膜磁気ヘッド素子２１のポール２７との距離を小さくすることでセンサユニット１７のリード出力電圧は大きくなる。本工程ではリード出力電圧が所定の条件を満たすまで、例えばリード出力電圧が最大値又は最大値近傍になるまで、あるいはリード出力電圧が所定値以上となるまで、あるいは微動ユニット１５のＺ方向への微動に対するリード出力電圧の増加率が所定値以下となるまで、微動ユニット１５をＺ方向に微動させる。これでＺ方向に関する位置決めが終了する。なお、最大値近傍は、実験的に定めることができる。
【００３５】
・測定工程…  微動ユニット１５をＸ，Ｙ方向に所定量だけ移動させ、その位置でのセンサユニット１７のリード出力電圧を記録する。これをＮ回繰り返す。これにより、Ｎ箇所でのセンサユニット１７のリード出力電圧が測定データとして記録される。
【００３６】
・出力工程…  測定工程における測定結果を出力する。出力結果の一例を図４に示す。本図において、（Ａ）は記録用電流の周波数が１０ＭＨｚの場合を、（Ｂ）は同周波数が５０ＭＨｚの場合を示している。
【００３７】
・評価工程…  測定工程における測定結果に基づいて、ｉ番目の薄膜磁気ヘッド素子２１の記録特性を検査ユニット１９の出力判定手段が評価する。具体的には、測定結果（出力値）を基準値（例えば必要とされる強度と範囲に相当するもの）と比較する等によりｉ番目の薄膜磁気ヘッド素子２１の良否を判定する。
【００３８】
通常はローバー２０に含まれるＫ個の薄膜磁気ヘッド素子２１全てについて上記各工程を実行する。なお、上記一連の工程は薄膜磁気ヘッド素子２１の記録特性（書込み特性）を検査するものであったが、記録特性の検査に併せて再生特性（読出し特性）の検査をすることも可能である。この場合、上記測定工程においてはセンサユニット１７のリード出力電圧を記録した後、検査ユニット１９の電流発生手段から記録用電気信号（磁界発生電流）をセンサユニット１７に入力し、これによりセンサユニット１７の発生する磁界をｉ番目の薄膜磁気ヘッド素子２１で読み取り、読み取った結果として出力される電圧も併せて記録する。そして検査ユニット１９は薄膜磁気ヘッド素子２１の再生特性（すなわち薄膜磁気ヘッド素子２１のリード素子の特性）も併せて評価する。
【００３９】
本実施の形態によれば、下記の効果を奏することができる。
【００４０】
(1) 所定位置に保持された薄膜磁気ヘッド素子２１に記録用電気信号を入力することにより薄膜磁気ヘッド素子２１から発生する磁界を、薄膜磁気ヘッド素子２１の近傍のＮ箇所でセンサユニット１７により読み取り、各位置でのリード出力電圧に基づいて検査ユニット１９により薄膜磁気ヘッド素子２１の記録特性（すなわち薄膜磁気ヘッド素子２１のライト素子の特性）を評価することとしたので、ＨＧＡの最終検査のように擬似メディアを用いる必要がない。そして記録特性が不良の薄膜磁気ヘッド素子２１をＨＧＡの最終検査よりも前の段階で除外することができ、ＨＧＡの最終検査時に記録特性が不良の薄膜磁気ヘッド素子が残っている確率を減らすことができる。すなわち、記録特性が不良の薄膜磁気ヘッド素子のためにサスペンション等の高価なパーツを廃棄する無駄が少なくなるため、コスト低減の点で非常に有利である。
【００４１】
(2) ローバーの段階、つまり個片に切断してスライダとされる前の段階で各薄膜磁気ヘッド素子の記録特性を検査することが可能なため、個々のスライダよりも取り扱いが易しく検査効率も良い。
【００４２】
(3) 薄膜磁気ヘッド素子２１に対するセンサユニット１７の位置を微動ユニット１５の高精度な微動により制御するので、検査の信頼性が高い。
【００４３】
(4) 上述のとおり薄膜磁気ヘッド素子２１の記録特性の検査に併せて再生特性も検査することも可能であり、効率的である。
【００４４】
以下、本実施の形態の特性検査装置１００の具体的構成を説明する。
【００４５】
図５は、図１に示される特性検査装置１００の具体的な構成を例示する斜視図である。本図では、ローバー２０の供給から検査、排出までを自動的に行う場合の構成を例示している。
【００４６】
筐体２０１は、上面が特性検査装置１００の作業スペースを成す。制御盤２０５は、筐体２０１に内蔵され、特性検査装置１００全体の動作を統括して制御する。カバー２０６は、図１に示した各部材（検査ユニット１９以外）を囲むものである。供給部２１０は、順次供給される未検査のローバー２０を搬送ホルダ１３０の下方に移送する。搬送ホルダ１３０は搬送軸２１５（Ｘ軸）に沿って横方向に移動可能であり、また、自身の内蔵する移動機構により上下方向に移動可能である。排出部２２０は、検査済みのローバー２０を外部に移送する。モニタ２０７は、検査結果や装置全体の状況を使用者に知らせるためのものである。
【００４７】
図５の装置の流れを説明すると、まず、搬送ホルダ１３０は、供給部２１０によって移送されてきた未検査のローバー２０を保持し、搬送軸２１５に沿って図１の固定台１２（カバー２０６内）の上方まで右方向に移動して下降し、カバー２０６の上側開口を経由して固定台１２上にローバー２０を配置する。この状態でローバー２０の検査が実行され、検査が済むと搬送ホルダ１３０はローバー２０を保持して上昇し、搬送軸２１５に沿って排出部２２０の上方まで右方向に移動してローバー２０を排出する。
【００４８】
以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各工程には請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。
【００４９】
実施の形態では仮位置決め工程において直線移動ユニット１４をＸ方向移動軸１３に沿って直線移動させることによりセンサユニット１７をＸ方向に直線移動させる場合を説明したが、変形例では同工程においてローバー２０をＸ方向に直線移動させてもよい。要するにＸ方向（ローバー２０の長手方向）に対するセンサユニット１７と薄膜磁気ヘッド素子２１との相対位置を変化させることができればよい。センサユニット１７とローバー２０のいずれを動かすかは装置設計の都合に合わせて適宜決定することができる。
【００５０】
実施の形態ではセンサユニット１７は磁気ヘッド素子と同等の機能を有するものとしたが、変形例ではセンサユニット１７は記録用の磁界を発生する機能を有さずに磁界を読み取る機能を有するもの（磁気センサ）としてもよい。この場合でも薄膜磁気ヘッド素子の記録特性だけは検査可能である。
【００５１】
実施の形態では特性検査の対象をローバーに含まれる薄膜磁気ヘッド素子としたが、変形例では個片に切断された後の薄膜磁気ヘッド素子を特性検査の対象としてもよい。また、薄膜磁気ヘッド素子に限らず任意の磁界発生或いは磁界を有する素子や媒体を特性検査の対象としてもよい。また、実施の形態では微動ユニット１５としてピエゾ素子を用いたものを例示したが、変形例ではこれに替えて精密ボールネジをサーボモータで回転駆動する機構やリニアモータを採用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施の形態に係る特性検査装置の構成を例示する概略斜視図。
【図２】図１の模式的な部分拡大側面図。
【図３】図１に示される特性検査装置による薄膜磁気ヘッド素子の特性検査の流れを示すフローチャート。
【図４】実施の形態における測定結果の出力例の説明図。
【図５】図１に示される特性検査装置の具体的な構成を例示する斜視図。
【図６】薄膜磁気ヘッド素子の構成を例示する断面図。
【図７】薄膜磁気ヘッド素子の形成されたスライダの例示的な斜視図。
【図８】スライダの製造方法の概念的説明図。
【図９】ＨＧＡの形状説明図であり、(Ａ)は側面図、(Ｂ)は底面図。
【符号の説明】
【００５３】
１１  基台
１２  固定台
１３  Ｘ方向移動軸
１４  直線移動ユニット
１５  微動ユニット
１６  センサホルダ
１７  センサユニット
１８  撮像装置
１９  検査ユニット
２０  ローバー
２１  薄膜磁気ヘッド素子
２２  電極
３１  ライト素子
４１  リード素子
１００  薄膜磁気ヘッド素子の特性検査装置
１３０  搬送ホルダ
１７０  検査ユニット
２０１  筐体
２０５ 制御盤
２０６  カバー
２０７  モニタ
２１０  供給部
２１５  搬送軸
２２０  排出部
【要約】
【課題】ＨＧＡの最終検査よりも前に薄膜磁気ヘッド素子の記録特性を検査することの可能な、磁界発生素子の特性検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】センサユニット１７は、微動ユニット１５による支持によりＸ，Ｙ，Ｚ方向に微動可能である。この微動ユニット１５をＸ，Ｙ方向に所定量だけ移動させ、その位置で薄膜磁気ヘッド素子２１が発生する磁界をセンサユニット１７で読み取り、読み取った結果としてセンサユニット１７から出力される電圧を記録する。これを所定回数繰り返して得られた記録データに基づいて薄膜磁気ヘッド素子２１の記録特性を検査ユニット１９が評価する。
【選択図】図１【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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