(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数種類のガイド機構により案内されて真空容器の開口と略平行な方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間を移動可能な弁板支持体と、
上記弁板支持体に弁板支持機構を介して接離可能に支持され、弁板支持体の閉弁位置で上記弁板支持体に対し接離して上記真空容器の開口を開閉する弁板と、
上記弁板及び上記弁板支持体を収容する弁箱とを備えた真空ゲート弁であって、
上記弁板支持機構は、上記弁板及び上記弁板支持体の間に設けられた対なるリンクを有する平行リンク機構であり、
上記複数種類のガイド機構は、上記弁板支持体における上記弁板とは反対側の表面が対向する上記弁箱の内面を転動するように、上記弁板支持体に支持された複数の後側ガイドローラからなるガイド機構を有し、
上記複数の後側ガイドローラの各摺動部と、上記平行リンク機構の各摺動部との少なくとも一方を、上記各後側ガイドローラ毎又は上記各リンク毎に、個別に覆うように設けられ、上記各摺動部からの発塵をそれぞれ内部に封入保持する発塵保持手段を備えることを特徴とする真空ゲート弁。
【請求項２】
請求項１の真空ゲート弁において、
上記発塵保持手段は、上記平行リンク機構の摺動部周りの弁板又は弁板支持体上に設けられた板状の摺動部カバーであることを特徴とする真空ゲート弁。
【請求項３】
請求項１の真空ゲート弁において、
上記発塵保持手段は、上記後側ガイドローラの摺動部周りに設けられた板状の摺動部カバーであることを特徴とする真空ゲート弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空容器の開口を開閉するための真空ゲート弁に関し、特に、その摺動部からの発塵を抑制するための技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、例えば実開昭６４―７７０号公報等に示されるように、隣接する１対の真空容器に連通する弁箱内に弁板支持体を、その背面に軸支したガイドローラで案内しながら昇降可能に配置し、この弁板支持体の一方の真空容器側の側面に、弁箱と一方の真空容器との間の連通部を開閉する弁板を平行リンク機構を介して接離可能に支持し、弁箱内の下部に、弁板支持体の下降時に弁板に当接して弁板を支持体に対し閉じ方向に相対移動させるストッパを設け、弁箱上壁外面に、該上壁を上下方向に気密状に貫通するピストンロッドを有するシリンダを取り付けて、そのピストンロッドの下端部を弁箱内の弁板支持部に連結し、シリンダの伸縮作動により弁板支持体を弁箱内で昇降移動させて弁板を開閉させ、シリンダの収縮作動により弁板支持体を上昇させたときには、その弁板支持体と共に弁板を上昇させて弁箱の真空容器との連通部を開き、両真空容器同士を連通させる一方、シリンダの伸長動作により弁板支持体を下降させたときには、その途中で、弁板支持体と共に下降する弁板をストッパに当接させて平行リンク機構により弁板支持体から離隔させ、この離隔により弁板を弁箱と真空容器との連通部の周りに押し付けて両真空容器同士の連通を遮断するようにした真空ゲート弁は知られている。
【０００３】
また、例えば、特開２０００―７４２５８号公報に示されるように、真空ゲート弁において、弁板を開閉させる平行リンク機構（弁体駆動部）の全体をベローズで覆うことによって、この平行リンク機構の摺動部からの発塵をベローズ内に閉じこめて真空空間が汚染されるのを防止することが知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ベローズは発塵をその内部へ封入する能力が高いので、真空空間の清浄度を高く維持するのに適している。しかし、ベローズは高価なものであるために、このベローズを備えることにより真空ゲート弁全体のコストが高くなるという問題があった。
【０００５】
一方、真空ゲート弁の用途によっては、真空空間に高い清浄度までは要求されず、それよりも低いある程度の清浄度だけが要求されて、清浄度よりもコストを優先する場合がある。このような場合に対しても、一律に高価なベローズによって真空空間の清浄度を維持するようにすると、その要求仕様に応じて真空ゲート弁のコストを下げることができない。
【０００６】
また、このように真空ゲート弁での発塵の拡散防止を目的としてベローズを設けるようにすると、ベローズのひだの間に摩耗粉等の発塵が溜まってしまい、この状態でベローズが長期間に亘り伸縮動作したときに、そのひだが発塵によって傷ついて終いには破損してしまう虞れもあった。
【０００７】
本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、真空ゲート弁について、その弁体駆動部等からの発塵の拡散をベローズに代わる簡単な構成によって防止するようにして、コストの低減を図りつつ真空空間の汚染を抑制することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１の発明の真空ゲート弁は、複数種類のガイド機構により案内されて真空容器の開口と略平行な方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間を移動可能な弁板支持体と、上記弁板支持体に弁板支持機構を介して接離可能に支持され、弁板支持体の閉弁位置で上記弁板支持体に対し接離して上記真空容器の開口を開閉する弁板と、上記弁板及び上記弁板支持体を収容する弁箱とを備えた真空ゲート弁であって、上記弁板支持機構は、上記弁板及び上記弁板支持体の間に設けられた対なるリンクを有する平行リンク機構であり、上記複数種類のガイド機構は、上記弁板支持体における上記弁板とは反対側の表面が対向する上記弁箱の内面を転動するように、上記弁板支持体に支持された複数の後側ガイドローラからなるガイド機構を有し、上記複数の後側ガイドローラの各摺動部と、上記平行リンク機構の各摺動部との少なくとも一方を、上記各後側ガイドローラ毎又は上記各リンク毎に、個別に覆うように設けられ、上記各摺動部からの発塵をそれぞれ内部に封入保持する発塵保持手段を備えるようにした。
【０００９】
上記の構成により、平行リンク機構又は後側ガイドローラの各摺動部は発塵保持手段によって各後側ガイドローラ毎又は上記各リンク毎に、個別に覆われるので、その内部に弁板の開閉に伴う摺動部からの発塵を封入保持して真空空間の汚染を抑えることができる。
【００１０】
そして、高価なベローズを設ける代わりに摺動部を個別に覆うという簡単な構成によって真空空間の汚染を防止するので、コストを低減させることができる。特に、清浄度よりもコストを優先して、ある程度の清浄度だけが要求されるような場合に好適なものとなる。
【００１１】
また、主要な発塵箇所だけを個別に覆うので、ベローズ等で平行リンク機構全体を覆う場合に比べて真空ゲート弁全体を小型化することができる。
【００１２】
請求項２の発明では、上記請求項１の真空ゲート弁において、発塵保持手段は、平行リンク機構の摺動部周りの弁板又は弁板支持体上に設けられた板状の摺動部カバーであるようにした。また、請求項３の発明では、上記請求項１の真空ゲート弁において、発塵保持手段は、後側ガイドローラの摺動部周りに設けられた板状の摺動部カバーであるようにした。
【００１３】
これら発明の構成により、発塵保持手段を具体化することができる。また、板状のものとすることで、加工を容易化して製造コストを低減させることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図９〜図１１は本発明の実施形態を示し、１は前側に位置する第１真空容器、２は第１真空容器１の後側に隣接する第２真空容器であって、各真空容器１，２はそれぞれ互いに対向配置された略矩形状の開口３，４を有する。この両真空容器１，２間には両真空容器１，２の内部空間（真空空間）同士を連通又は連通遮断するための真空ゲート弁５が配設されている。この真空ゲート弁５は、両真空容器１，２間に気密状に挟まれた薄厚矩形状の弁箱６を備え、この弁箱６の前壁（図１０及び図１１で左側壁）の下部には上記第１真空容器１の開口３に対応する前側連通口７が、また後壁（図１０及び図１１で右側壁）の下部には第２真空容器２の開口４に対応する後側連通口８がそれぞれ開口されており、この連通口７，８を介して弁箱６内の真空空間が各真空容器１，２と連通している。
【００１５】
上記弁箱６内の上部には、左右方向に所定間隔離れた位置を前後方向（図１０及び図１１で左右方向）に互いに平行に延びる左右１対の支持軸１１，１１がそれぞれ弁箱６の前後壁に形成した軸孔６ａ，６ａを貫通して回転可能に支持されている。つまり、この弁箱６前後壁の軸孔６ａ，６ａにはそれぞれ軸受１０，１０が気密シールされて嵌合固定され、この両軸受１０，１０には各支持軸１１が軸受１０，１０にそれぞれ内挿したシール部材（図示省略）を介して回転可能にかつ気密状にシールされて挿通されている。
【００１６】
上記左右の支持軸１１，１１において弁箱６内に位置する中間部にはそれぞれ前後方向に２股状に分かれた左右アーム１２，１２の基端部が回転一体に取付固定され、この両アーム１２，１２の各先端部にはアーム１２と略同じ長さの板状の左右内側リンク１３，１３の各一端部（上端部）がそれぞれ前後方向に延びるリンク軸１４，１４により揺動可能に支持されている。この内側リンク１３，１３の各他端部（下端部）は、上記弁箱６下部の連通口７，８よりも若干大きくかつ弁箱６内の後側（第２真空容器２側）にオフセット配置した弁板支持体１５上端に対し、その左右方向に離れた位置にある前後方向に２股状に分かれた取付部１７，１７にてそれぞれ前後方向のリンク軸１９，１９により揺動可能に連結されている。
【００１７】
このことにより、弁板支持体１５は、左右の両アーム１２，１２の先端部にそれぞれ外側リンク１３，１３を介して吊り下げられていて、左右の両支持軸１１，１１が互いに逆方向に同期して回転することで弁箱６内を昇降し、左側（図９で左側）の支持軸１１が図９で反時計回り方向に、また右側支持軸１１が図９で時計回り方向にそれぞれ同期回転したときに上昇するようになっている。
【００１８】
上記各支持軸１１の前端部は弁箱６の前壁外面よりも前側（弁箱６外）に延び、その前端部には、前側（支持軸１１の軸方向）から見て弁箱６の左右中央側に上記アーム１２と直角となるように延びる１対の平行な板材からなる内側リンク２８が基端部にて回転一体に取付固定されている。この内側リンク２８の先端部には板状のレバー２９の一端部が前後方向のリンク軸３０により揺動可能に支持されている。また、弁箱６よりも前側の左右中央部には上下方向の軸線を有するリニアアクチュエータとしてのシリンダ３１が配置固定されている。このシリンダ３１は、シリンダボディから下方に突出して直線運動をするピストンロッド３１ａを有し、このピストンロッド３１ａの下端部には左右方向に延びる板状の連結部３２が中央にて移動一体に取付固定され、この連結部３２の両端部にそれぞれ上記内側リンク２９，２９の他端部が前後方向のリンク軸３０により揺動可能に連結されている。すなわち、シリンダ３１のピストンロッド３１ａは各内側リンク２８先端部にレバー２９を介して連結されており、シリンダ３１の伸縮作動によりピストンロッド３１ａを昇降させて両支持軸１１，１１を同期して逆方向に回転させることにより、弁板支持体１５及び後述の弁板３４を昇降させ、シリンダ３１を収縮作動させたときには、左側支持軸１１を図９で反時計回り方向に、また右側支持軸１１を図９で時計回り方向にそれぞれ回転させて弁板支持体１５及び弁板３４を上昇させ、ゲート弁５を開弁状態とする一方、シリンダ３１を伸長作動させたときには、左側支持軸１１を図９で時計回り方向に、また右側支持軸１１を図９で反時計回り方向にそれぞれ回転させて弁板支持体１５及び弁板３４を下降させ、ゲート弁５を閉弁状態とする。そして、上記アーム１２と内側リンク２８とは、各支持軸１１の軸方向から見て直交方向に延びていて、弁板支持体１５が上昇端位置近傍にあるときにアーム１２が略水平状態になる一方、弁板支持体１５が下降端位置近傍にあるときに内側リンク２８が略水平状態になるように配置されている。
【００１９】
そして、上記弁板支持体１５を弁箱６内で昇降案内する複数種類の案内用ローラ２２，２４，２６が設けられている。すなわち、図７及び図８に示すように、弁板支持体１５の左右側部の上下端部にはそれぞれ水平左右方向の軸心を持ったローラ軸２１，２１，…が突出して取付固定され、この各ローラ軸２１には、弁箱６の前後壁内面間の間隔よりも若干小さい外径を有しかつ弁箱６の連通孔７，８の左右両側の前後壁内面上を転動する前後ガイドローラ２２が回転可能に支持されている。そして、この前後ガイドローラ２２とその回転軸であるローラ軸２１との間に例えばＭｏＳ２等の固体潤滑材料を成形してなる円筒状ブッシュ６０が介在されている。
【００２０】
また、図１、図２及び図８に示す如く、上記弁板支持体１５の第２真空容器２側（図１０及び図１１で右側）である後側面の上下端部にはそれぞれ切り欠き部８０，８０，…が２つずつ設けられている。この上端部の切り欠き部８０，８０は、上及び後方向に開口する一方、下端部の切り欠き部８０，８０は、下及び後方向に開口している。そして、これら切り欠き部８０，８０，…には、それぞれ水平左右方向に延びるローラ軸２３，２３，…が上下に略対応して左右方向に並んだ状態で取付固定され、この各ローラ軸２３には弁箱６の後壁内面上を転動可能な後側ガイドローラ２４が支持されている。そして、この後側ガイドローラ２４とそのローラ軸２３との間にも上記と同様のブッシュ６１が介在されている。
【００２１】
さらに、図５、図６及び図８に示す如く、弁板支持体１５の左右側部の上下端部にはそれぞれ水平前後方向の軸心を持つローラ軸２５，２５，…（一方のみを示す）が取付固定され、この各ローラ軸２５に弁箱６の左右側壁内面上を転動するサイドローラ２６が回転可能に支持されている。そして、この各サイドローラ２６とそのローラ軸２５との間にも上記と同様のブッシュ５９が介在されている。そして、これらガイドローラ２２，２４及びサイドローラ２６により弁板支持体１５が弁箱６内で前後方向及び左右方向に殆ど位置ずれすることなく昇降するようになっている。
【００２２】
このようにして、弁板支持体１５は、ガイド機構としての前後ガイドローラ２２、後側ガイドローラ２４、及びサイドローラ２６により案内されて、第１及び第２真空容器１，２の各開口と略平行な方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間を移動可能とされている。
【００２３】
上記弁板支持体１５の前側面（図１０び図１１で左側面）には弁板支持体１５と略同じ大きさ（弁箱６下部の前側連通口７よりも若干大）の弁板３４が弁板支持機構としての平行リンク機構４４，４４，…を介して接離可能に支持されている。この弁板３４は、弁板支持体に対し接離して、第１真空容器１の開口３つまり弁箱６の前側連通口７を開閉して第１及び第２真空容器１，２同士を連通又は連通遮断させるもので、その前側面外周部には弁箱６の前壁内面における連通口７周りに当接してシールする金属製等のシール部材３５が取付固定されている。
【００２４】
上記平行リンク機構４４，４４，…は、弁板３４及び弁板支持体１５の間に設けられて上記弁板支持体１５の閉弁位置で弁板３４及び弁板支持体１５が互いに接離するように支持しており、この弁板３４及び弁板支持体１５が接触することによって真空ゲート弁が開弁する一方、離隔することによって閉弁するように構成されている。そして、この平行リンク機構４４，４４，…の各々のリンク取付構造は以下のとおりである。
【００２５】
すなわち、弁板支持体１５の上下中間部には、弁板支持体１５を前後方向に貫通しかつ上下１対を１組とした例えば２組の開口部１６，１６，…がそれぞれ左右方向に並んだ状態で形成され、この各開口部１６内でリンク４５の後端部（弁板支持体１５側の端部）が弁板支持体１５の移動方向と直交する水平左右方向の軸心回りに揺動可能に軸支されている。また、弁板３４の後側面には上記弁板支持体１５の各開口部１６に略対応して凹部３６ａが形成され、さらに、この凹部３６ａの底部に凹部３６が形成されている。そして、この各凹部３６内で上記各リンク４５の前端部（弁板３４側の端部）が水平左右方向の軸心回りに揺動可能に軸支されている。そして、上記上下に対応する１対のリンク４５，４５で平行リンク機構４４，４４，…が構成されており、この平行リンク機構４４，４４，…を介して弁板３４が弁板支持体１５の前側面（第１の真空容器１側の側面）に接離可能に支持されている。
【００２６】
具体的には、図１〜４に拡大詳示するように、上記弁板３４の後側面（弁板支持体１５側の側面）の各凹部３６には、各リンク４５の前端部を軸支する弁板側受け部材４９がボルト５０，５０，…により取付固定されている。この弁板側受け部材４９には前後方向に貫通する断面矩形状のリンク収容部４９ａが形成され、このリンク収容部４９ａの上側の側面は後側に向かって上側に所定角度で傾斜する傾斜面とされている。リンク収容部４９ａの左右側壁には左右方向の軸孔４９ｂ，４９ｂが貫通形成されており、この軸孔４９ｂ，４９ｂ及びリンク４５の前端部に形成した軸孔４５ａ（図３参照）にリンク軸４６を挿通させることにより、リンク４５の前端部が弁板側受け部材４９により鉛直面内で回動可能に軸支されている。
【００２７】
これに対し、上記弁板支持体１５の開口部１６周囲面のうち上下側面にはそれぞれ弁板支持体１５の厚さ方向中央部に左右方向に延びる突起部１６ａ，１６ｂが上下に対向して形成されている。また、この上側の突起部１６ａよりも前側の開口部１６上側面は後側の上側面よりも高くなっている。上記弁板支持体１５の開口部１６周りには、各リンク４５の後端部を軸支する支持体側受け部材５２が弁板支持体１５の後側つまり弁板３４と反対側から操作されるボルト５５，５５，…により取付固定されている。すなわち、この支持体側受け部材５２は、弁板支持体１５の前側面（弁板３４側の側面）の開口部１６周りに配置されてリンク４５の後端部を軸支する第１受け部材５３と、弁板支持体１５の後側面（弁板３４と反対側の側面）の開口部１６周りに配置された第２受け部材５４とからなる。第１受け部材５３の隅角部にはねじ孔からなる４つのボルト孔５３ａ，５３ａ，…が貫通形成されている。また、この第１受け部材５３には前後方向に貫通する断面矩形状のリンク収容部５３ｂが形成され、このリンク収容部５３ｂの下側の側面は前側に向かって下側に所定角度で傾斜する傾斜面とされている。リンク収容部５３ｂの左右側壁には左右方向の軸孔５３ｄ，５３ｄが貫通形成されており、この軸孔５３ｄ，５３ｄ及びリンク４５の後端部に形成した軸孔４５ｂにリンク軸４７（図３参照）を挿通させることにより、リンク４５の後端部が第１受け部材５３により鉛直面内で回動可能に軸支されている。
【００２８】
一方、上記第２受け部材５４には前後方向に貫通する受け部材嵌合部５４ａが形成されており、この受け部材嵌合部５４ａに上記第１受け部材５３の後部を密着状態に嵌合するようにしている。また、第２受け部材５４の隅角部には４つのボルト挿通孔５４ｂ，５４ｂ，…が上記第１受け部材５３のボルト孔５３ａ，５３ａ，…に対応して貫通形成されており、この各ボルト挿通孔５４ｂに挿通した六角穴付等のボルト５５を第１受け部材５３の対応するボルト孔５３ａに螺合することで、第１及び第２受け部材５３，５４同士を両者間に弁板支持体１５（開口部１６の上下突起部１６ａ，１６ｂ）を挟んで締結し、第１受け部材５３を弁板支持体１５に取付固定するようにしている。
【００２９】
そして、上記各平行リンク機構４４における各リンク４５の前後の軸孔４５ａ，４５ｂ内周面と、該軸孔４５ａ，４５ｂに挿通されるリンク軸４６，４７の外周面との間には、各ロータに設けたものと同様の例えばＭｏＳ２等の固体潤滑材料を成形してなる円筒状ブッシュ５７が介在されている。
【００３０】
尚、この各ブッシュ５７は軸方向に２分割されていて、軸方向両側から嵌挿されるようになっている。また、アーム１２の軸孔１２ａ及び取付部１７の軸孔１７ａとリンク軸１４，１９との間に同様のブッシュを介在させることもできる。また、上記内側リンク１３の一方の端部のみにブッシュを設けてもよい。
【００３１】
図５，図６及び図８に示すように、上記弁板３４の前側面における左右側部下端にはそれぞれ水平左右方向に延びるローラ軸３８，３８が取付固定され、この各ローラ軸３８にはストッパローラとしての弁板前ローラ３９が回転可能に支承されている。そして、この弁板前ローラ３９とそのローラ軸３８との間に他のローラと同様のブッシュ６２がそれぞれ介在されている。また、弁箱６の前壁内面における左右側部の下端には、弁板３４が弁箱６の前側連通口７を閉じた閉弁状態にあるときの上記各弁板前ローラ３９に対応して有底の凹部６ｂが形成されており、弁板３４が前側連通口７を開いた状態では、弁板前ローラ３９は前側連通口７の左右両側の前壁内面上を転動するが、閉じた状態では、弁板前ローラ３９が弁箱６の凹部６ｂ内にその底面から浮いた状態で落ち込むようになっている。
【００３２】
そして、上記弁箱６内の下部には上記各弁板前ローラ３９の真下位置にそれぞれストッパ４０，４０が左右方向に並んだ状態で取り付けられている。この各ストッパ４０はブロック状のもので、弁板支持体１５が下降端位置近傍まで下降したときに弁板３４詳しくは弁板前ローラ３９に当接して弁板３４の下降移動を停止させ、その後の弁板支持体１５の下降移動に伴い、弁板３４を平行リンク機構４４，４４，…によって弁板支持体１５から離隔する前方向つまり閉じ方向に相対移動させるように案内する。尚、この弁板前ローラ３９に代え、各ストッパ４０に、弁板３４に当接して転動するストッパローラを軸支するようにしてもよい。
【００３３】
尚、図４中、４２は弁板３４の後側面と弁板支持体１５との間に伸装された引張ばねで、弁板３４を弁板支持体１５に接近する後側に付勢してその踊り（揺れや振れ）を防止するためのものである。
【００３４】
本発明の特徴として、図１及び図２に示すように、弁板支持機構としての平行リンク機構４４，４４，…における摺動部と、ガイド機構としての後側ガイドローラ２４，２４，…における摺動部とを発塵保持手段としての摺動部カバー７０，７１，７２によって局所的に覆うことによって、これら平行リンク機構４４，４４，…及び後側ガイドローラ２４，２４，…からの発塵をその摺動部カバー７０，７１，７２で覆われた内部に封入保持するようにしている。
【００３５】
ここで、平行リンク機構４４，４４，…の摺動部とは、リンク４５の軸孔４５ａ，４５ｂ及びブッシュ５７外周面の接触部と、リンク軸４６，４７の外周面及びブッシュ５７内周面の接触部とをいう。また、後側ガイドローラ２４，２４，…の摺動部とは、ガイドローラ２４の内周面及びブッシュ６１外周面の接触部と、ローラ軸２３の外周面及びブッシュ６１内周面の接触部とをいう。
【００３６】
尚、本実施形態では、大きい負荷が作用する箇所である平行リンク機構４４，４４，…及び後側ガイドローラ２４，２４，…の各摺動部のみを摺動部カバー７０，７１，７２で覆うようにしており、他のサイドローラ２６、前後ガイドローラ２２及び弁板前ローラ３９の各摺動部については、大きい負荷は作用せず発塵が問題とはならないため、摺動部カバーは設けていない。
【００３７】
具体的には、まず平行リンク機構４４，４４，…については、図１〜４に示すように、例えばＳＵＳ等の薄板からなる略箱筒状の摺動部カバー７０と、同様の薄板からなる蓋状の摺動部カバー７１とによって、各摺動部が局所的に覆われている。
【００３８】
摺動部カバー７０は、図１、図２及び図８に示すように、左側面部７０ａ、右側面部７０ｂ、上側面部７０ｃ及び下側面部７０ｄからなり、左側面部７０ａ及び右側面部７０ｂは、弁板支持体１５の開口部１６の弁板３４側の左右方向の内壁面である左方向内壁面９０ａ及び右方向内壁面９０ｂのそれぞれに沿って、例えばねじ等により各々固着されている。同様に、摺動部カバー７０の上側面部７０ｃも開口部１６の弁板３４側の上方向の内壁面である上方向内壁面９０ｃに固着されている。そして、摺動部カバー７０の下側面部７０ｄは、開口部１６の突起部１６ｂの弁板３４側の壁面である下部壁面９０ｄに沿って同様に固着され、この固着部分の上側から弁板３４側へ延びる面が、上記上側面部７０ｃと対向するようにして設けられている。
【００３９】
さらに、これら左側面部７０ａ、右側面部７０ｂ、上側面部７０ｃ及び下側面部７０ｄの各々の弁板３４側端部によって、カバー開口部７０ｅが形成され、さらにこのカバー開口部７０ｅの開口部面積が小さくなるようにしてフランジ部７０ｆが形成されている。
【００４０】
そして、弁板３４の凹部３６ａの前後方向（図の左右方向）の深さは、弁板３４の開弁時の弁板３４及び弁板支持体１５の接合面間距離よりも若干大きい大きさとなっており、閉弁時には、摺動部カバー７０のフランジ部７０ｆと弁板の凹部３６ａとが略接する一方、開弁時には、フランジ部７０ｆは弁板３４の後側（弁板支持体１５側）の接合面よりも若干前側に位置するようになっている。
【００４１】
また、弁板支持体１５後側（図の右方向）の支持体側受け部材５２及び貫通口であるリンク収容部５３ｂは、中央部に凹部が形成された薄板からなる蓋状の摺動部カバー７１によって覆われている。
【００４２】
このようにして、摺動部カバー７０，７１を配設することによって、平行リンク機構４４，４４，…の摺動部は、摺動部カバー７０，７１と、弁板凹部３６ａの壁面弁板側受け部材４９と、支持体側受け部材５２とにより形成される略閉空間内に収容されるようになり、この略閉空間に平行リンク機構４４，４４，…の摺動部からの発塵が封入保持される。
【００４３】
次に、後側ガイドローラ２４，２４，…については、図１，図２及び図８に示すように、例えばＳＵＳ等の薄板からなる摺動部カバー７２によって、この後側ガイドローラ２４，２４，…の摺動部が局所的に覆われている。
【００４４】
摺動部カバー７２は、平面部７２ａ，７２ｂ及び突出口部７２ｃからなり、切り欠き部８０，８０，…の上又は下方向開口部８０ａ，８０ａのそれぞれを平面部７２ａで塞ぐ一方、後側ガイドローラ２４，２４，…は弁板支持体１５の後側面から突出しているために、このローラ周りを囲む突出口部７２ｃとこの突出口部７２ｃに連続する平面部７２ｂとによって、後方向開口部８０ｂを塞ぐようにして設けられている。
【００４５】
このようにして、摺動部カバー７２を配設することによって、後側ガイドローラ２４，２４，…の摺動部は、摺動部カバー７２と、弁板３４の切り欠き部８０の内壁面とにより形成される略閉空間内に収容されるようになり、この略閉空間に後側ガイドローラ２４，２４，…の摺動部からの発塵が封入保持される。
【００４６】
次に、上記実施形態の作動について説明する。図９で実線及び図１１に示す閉弁状態にある真空ゲート弁５を開くときには、シリンダ３１の収縮作動によりピストンロッド３１ａを上昇移動させる。このことで、ピストンロッド３１ａ下端の連結部３２にレバー２９，２９及び内側リンク２８，２８を介して連結されている両支持軸１１，１１が同期して互いに逆方向に回転し、左側支持軸１１は図９で反時計回り方向に、また右側支持軸１１は同時計回り方向にそれぞれ回転する。この支持軸１１，１１の回転駆動により該支持軸１１，１１と一体のアーム１２，１２も回動し、その先端に外側リンク１３，１３を介して連結されている弁板支持体１５がガイドローラ２２，２４により前後方向に、またサイドローラ２６により左右方向にそれぞれ移動規制されて案内されながら弁箱６内を上昇する。この弁板支持体１５の上昇により、弁箱６と第１真空容器１との間の連通部つまり前側連通口７を気密状に閉じていた弁板３４が平行リンク機構４４，４４，…により引き上げられて、その前側連通口７が開かれる。
【００４７】
そして、上記シリンダ３１の収縮ストロークエンド近傍で、図９で仮想線及び図１０示すように弁板支持体１５により弁板３４が下端部を弁箱６の連通口７，８の上端位置に略一致させるように移動して、両真空容器１，２の内部空間同士が弁箱６内を介して連通状態となる。
【００４８】
これに対し、上記開弁状態から逆にゲート弁５を閉じるときには、シリンダ３１の伸長作動によりピストンロッド３１ａを下降させる。このことで、両支持軸１１，１１が同期して互いに逆方向に回転し、左側支持軸１１は図９で時計回り方向に、また右側支持軸１１は反時計回り方向にそれぞれ回転する。この支持軸１１，１１の回転駆動により該支持軸１１，１１と一体のアーム１２，１２も回動して、その先端に外側リンク１３，１３を介して連結されている弁板支持体１５が、ガイドローラ２２，２４及びサイドローラ２６により移動規制されて案内されながら弁板３４と共に弁箱６内を下降する。そして、弁板支持体１５の下降端位置近傍で弁板３４下端の上記各弁板前ローラ３９がストッパ４０に当接すると、弁板３４のそれ以上の下降移動が停止され、弁板支持体１５のさらなる下降移動により弁板３４が今度は平行リンク機構４４，４４，…における各リンク４５の立上がり動作により弁板支持体１５から離隔するように前側に移動案内される。図９で実線及び図１１に示すように、上記シリンダ３１の伸長ストロークエンド近傍で弁板支持体１５が下降端位置に達すると、弁板３４はガイドローラ２２，２４により後側面を移動規制されている弁板支持体１５によりリンク４５，４５，…を介して前側に押されて弁箱６と第１真空容器１との間の連通部つまり弁箱６の前側連通口７の周りに気密シール状態で押し付けられ、両真空容器１，２の内部空間同士の連通が弁板３４によって遮断される。尚、この状態では、上記各弁板前ローラ３９が弁箱６の前壁内面の凹部６ｂ内に落ち込む。
【００４９】
そして、この実施形態においては、平行リンク機構４４，４４，…及び後側ガイドローラ２４，２４，…の各摺動部は、それぞれ摺動部カバー７０，７１，７２と、弁板３４又は弁板支持体１５の一部とにより形成される略閉空間内に収容されるので、その内部に弁板３４の開閉に伴って発生する摺動部からの発塵を封入保持して真空空間の汚染を抑えることができる。
【００５０】
そして、高価なベローズを設ける代わりに平板からなる摺動部カバー７０，７１，７２によって平行リンク機構４４，４４，…及び後側ガイドローラ２４，２４，…の各摺動部を局所的に覆うようにするので、コストの低減化を図ることができる。特に、高い清浄度は不要であるが、ある程度の清浄度だけが要求されて清浄度よりもコストを優先するような場合に好適なものとなる。
【００５１】
また、主要な発塵箇所である平行リンク機構４４，４４，…及び後側ガイドローラ２４，２４，…だけを局所的に覆うので、平行リンク機構４４，４４，…、後側ガイドローラ２４，２４，…等からなる弁体駆動部全体をベローズ等によって覆う場合に比べて真空ゲート弁全体を小型化することができる。
【００５２】
尚、上記実施形態では、真空ゲート弁５は前後２つの真空容器１，２に連通するようにしたが、真空ゲート弁の前後どちらか一方の連通口が真空容器に連通していればよく、このとき他方の連通口は外部の真空ポンプへの排気通路等に連通するようにしてもよい。
【００５３】
また、平行リンク機構４４及び後側ガイドローラ２４の双方を摺動部カバー７０，７１，７２で覆うようにしたが、平行リンク機構４４又は後側ガイドローラ２４の少なくとも一方のみを覆うようにしてもよい。
【００５４】
そして、弁板支持機構は、平行リンク機構４４としたが、他の摺動部を有する機構でもよい。また、平行リンク機構４４とその他の機構とが組み合わされてなるようにしてもよい。
【００５５】
また、リンク軸４６，４７とリンク４５との間、及びローラ軸２１，２３，２５，３８とローラ２２，２４，２６，３９との間にブッシュ５７及び５９〜６２を介在させているが、これらの摺動部にブッシュ等の固体潤滑剤の皮膜をコーティングするようにしてもよい。また、これら複数の摩擦摺接部材の全てにブッシュを介在させる必要はなく、必要な箇所の摩擦摺接部のみにブッシュを介在させるようにしてもよい。
【００５６】
そして、上記実施形態では、リニアアクチュエータをシリンダ３１としているが、その他、直線運動をする出力部を有するものであればよく、また回転型のアクチュエータにより支持軸１１を直接に回転駆動するようにしてもよい。
【００５７】
また、上記各実施形態では、シリンダ３１から弁板支持体１５に至る駆動連絡系を２つとしているが、３つ以上又は１つに増減変更することもできる。
【００５８】
さらに、上記各実施形態では、弁板支持体１５及び弁板３４を上昇移動させて開弁し、下降移動させて閉弁するようにしているが、逆に弁板支持体１５及び弁板３４の下降移動により開弁し、上昇移動により閉弁するようにしてもよい。また、弁板支持体１５及び弁板３４の開閉動作の向きを必ずしも上下方向に限定する必要はない。
【００５９】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明によると、真空ゲート弁として、複数の後側ガイドローラの各摺動部と、平行リンク機構の各摺動部との少なくとも一方を、各後側ガイドローラ毎又は各リンク毎に、個別に覆うように設けられ、各摺動部からの発塵をそれぞれ内部に封入保持する発塵保持手段を備えるようにしたことにより、発塵保持手段の内側に弁板の開閉に伴う摺動部からの発塵を封入保持して真空空間の汚染を抑えることができ、さらにコストを低減させることができる。特に、清浄度よりもコストを優先して、ある程度の清浄度だけが要求されるような場合に好適なものとなる。また、ベローズ等で平行リンク機構全体を覆う場合に比べて真空ゲート弁全体を小型化することができる。
【００６０】
請求項２の発明では、発塵保持手段は、平行リンク機構の摺動部周りの弁板又は弁板支持体上に設けられた板状の摺動部カバーであるようにした。また、請求項３の発明では、発塵保持手段は、後側ガイドローラの摺動部周りに設けられた板状の摺動部カバーであるようにした。従って、これら発明によると、発塵保持手段を具体化することができる。また、加工を容易化して製造コストを低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本実施形態に係る真空ゲート弁の開弁状態における平行リンク機構及び後側ガイドローラを拡大して示す側面断面図である。
【図２】  本実施形態に係る真空ゲート弁の閉弁状態を示す図１相当図である。
【図３】  図２のIII−III線断面図である。
【図４】  本発明の実施形態に係る真空ゲート弁における弁板支持体及び弁板間の平行リンク機構を拡大して示す側面断面図である。
【図５】  弁板支持体左右側部のサイドローラ及び弁板下端部の弁板前ローラの支持構造を拡大して示す一部破断側面図である。
【図６】  弁板支持体左右側部のサイドローラ及び弁板下端部の弁板前ローラの支持構造を拡大して示す平面断面図である。
【図７】  弁板支持体左右側部の前後ガイドローラの支持構造を拡大して示す平面断面図である。
【図８】  弁板支持体の左右側部を拡大して示す正面図である。
【図９】  真空ゲート弁の要部を示す正面図である。
【図１０】  真空ゲート弁の開弁状態を示す断面図である。
【図１１】  真空ゲート弁の閉弁状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１  第１真空容器（真空容器）
２  第２真空容器（真空容器）
３，４  開口
５  真空ゲート弁
７  前側連通口
８  後側連通口
１５  弁板支持体
２２  前後ガイドローラ（ガイド機構）
２３  ローラ軸（摺動部）
２４  後側ガイドローラ（ガイド機構、ガイドローラ、摺動部）
２６  サイドローラ（ガイド機構）
３４  弁板
４４  平行リンク機構（弁板支持機構）
４５  リンク（摺動部）
４７  リンク軸（摺動部）
７０〜７２  摺動部カバー（発塵保持手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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