(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）エポキシ樹脂、（Ｂ）フェノール樹脂、（Ｃ）無機充填材、（Ｄ）硬化促進剤及び（Ｅ）酸化処理された着色剤を含むものであって、該酸化処理前の着色剤が、ＤＢＰ吸収量が１００ｃｍ３／１００ｇ以上、２００ｃｍ３／１００ｇ以下、一次粒子径が４０ｎｍ以上、９０ｎｍ以下のカーボンブラックであり、且つ、該酸化処理された着色剤（Ｅ）の抽出水のｐＨが、２以上５以下であることを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
【請求項２】
前記酸化処理が、ペルオキソ２硫酸塩、過酸化水素水、硫酸、硝酸、次亜塩素酸塩、塩素酸、亜塩素酸及び過マンガン酸塩のうちから選ばれる１種又は２種以上の酸液による酸化処理であることを特徴とする請求項１に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
【請求項３】
前記カーボンブラックは、窒素吸着比表面積が２０ｍ２／ｇ以上、１００ｍ２／ｇ以下であることを特徴とする請求項１又は２いずれか１項に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
【請求項４】
前記酸化処理された着色剤（Ｅ）を目開き２５μｍの篩に通した際の不通過分が０重量％である請求項１〜３のいずれか１項に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体封止用エポキシ樹脂組成物、及びこれを用いた半導体装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の半導体素子の封止方法として、エポキシ樹脂組成物のトランスファー成形が低コスト、大量生産に適しており、採用されて久しく、信頼性の点でもエポキシ樹脂や硬化剤であるフェノール樹脂の改良により特性の向上が図られてきた。しかし、近年の電子機器の小型化、軽量化、高性能化の市場動向において、半導体の高集積化も年々進み、また半導体装置の表面実装化が促進されるなかで、半導体封止用エポキシ樹脂組成物への要求は益々厳しいものとなってきている。このため、従来からのエポキシ樹脂組成物では解決出来ない問題点も出てきている。
従来、主にエポキシ樹脂組成物で封止された半導体装置は、その組成に着色剤としてカーボンブラックを含んでいる。これは半導体素子を遮蔽するためと半導体装置に品名やロット番号等をマーキングする際、背景が黒だとより鮮明な印字が得られるからである。また最近では取り扱いが容易な、ＹＡＧレーザーマーキングを採用する電子部品メーカーが増加しているためである。ＹＡＧレーザーマーキング性を向上させる手法に関しては、特開平２−１２７４４９号公報に、カーボン含有量が９９．５重量％以上、水素含有量が０．３重量％以下であるカーボンブラックが同目的に効果的であることが開示されており、また、その他の種々の研究もなされている。
しかし、最近の半導体装置のファインピッチ化に伴い、導電性着色剤であるカーボンブラックを含有した半導体封止材を用いた場合、カーボンブラックの凝集物等が粗大粒子としてインナーリード間、ワイヤー間に存在すると、配線のショート不良およびリーク不良といった電気特性不良を生じてしまうという点で問題となってきている。またカーボンブラックの凝集物等の粗大粒子が狭くなったワイヤー間に挟まることでワイヤーが応力を受け、これも電気特性不良の原因となるという点でも問題となってきている。これら電気的不良を回避するために、特開２００４−２６３０９１号公報には、窒素吸着比表面積が１３５ｍ２／ｇ、ＤＢＰ吸収量が５６ｃｍ３／１００ｇのカーボンブラックを酸化処理した着色剤を含む半導体封止用エポキシ樹脂組成物が提案されている。しかしながら、従来の酸化処理されたカーボンブラックを含む半導体封止用エポキシ樹脂組成物では、ワイヤー間距離が８０μｍの場合、配線のショート不良は生じないものの、ワイヤー間距離が４０μｍと狭くなると、配線のショート不良が生じることがあり、未だ、十分に良好な半導体封止用エポキシ樹脂組成物は得られるには至っていない。
従って、本発明の目的は、ワイヤー間距離が４０μｍと狭い場合であっても、配線のショート、リーク不良等の電気不良やワイヤー変形等を生ずることがなく、かつ優れたレーザーマーキング性を有する半導体封止用エポキシ樹脂組成物及びこれを用いた半導体装置を提供することにある。
【発明の開示】
【０００３】
かかる実情において、本発明者らは鋭意検討を行った結果、カーボンブラックの中でも、ＤＢＰ吸収量が１００ｃｍ３／１００ｇ以上のカーボンブラックを表面処理したもの、あるいは炭素含有量が９０重量％以上の炭素前駆体を表面処理したものを含む半導体封止用エポキシ樹脂組成物は、ワイヤー間距離が４０μｍと狭い場合であっても配線のショート、リーク不良等の電気不良やワイヤー変形等を生ずることがなく、かつ優れたレーザーマーキング性を有することを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、（Ａ）エポキシ樹脂、（Ｂ）フェノール樹脂、（Ｃ）無機充填材、（Ｄ）硬化促進剤及び（Ｅ）表面処理された着色剤を含むものであって、該表面処理前の着色剤が、炭素含有量が９０重量％以上の炭素前駆体又はＤＢＰ吸収量が１００ｃｍ３／１００ｇ以上のカーボンブラックである半導体封止用エポキシ樹脂組成物を提供することにある。
また、本発明は、前記表面処理が、酸化処理である前記半導体封止用エポキシ樹脂組成物を提供し、また、本発明は、前記表面処理された着色剤（Ｅ）の抽出水のｐＨが２以上、５以下である前記半導体封止用エポキシ樹脂組成物を提供し、また、本発明は、前記表面処理が、ペルオキソ２硫酸塩、過酸化水素水、硫酸、硝酸、次亜塩素酸塩、塩素酸、亜塩素酸及び過マンガン酸塩のうちから選ばれる１種又は２種以上の酸液による酸化処理である前記半導体封止用エポキシ樹脂組成物を提供し、また、本発明は、前記カーボンブラックは、一次粒子径が４０ｎｍ以上、９０ｎｍ以下である前記半導体封止用エポキシ樹脂組成物を提供し、また、本発明は、前記カーボンブラックは、窒素吸着比表面積が２０ｍ２／ｇ以上、１００ｍ２／ｇ以下である前記半導体封止用エポキシ樹脂組成物を提供し、また、本発明は、前記炭素前駆体は、電気抵抗値が、１×１０２Ω・ｃｍ以上、１×１０７Ω・ｃｍ以下である前記半導体封止用エポキシ樹脂組成物を提供し、また、本発明は、前記表面処理された着色剤（Ｅ）を目開き２５μｍの篩に通した際の不通過分が０重量％である前記半導体封止用エポキシ樹脂組成物を提供し、また、本発明は、前記半導体封止用エポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなる半導体装置を提供するものである。
［発明の効果］
本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物を用いて封止された半導体装置は、ワイヤー間距離が４０μｍと狭い場合であっても、配線のショート、リーク不良等の電気不良やワイヤー変形等を生ずることがなく、かつ優れたレーザーマーキング性を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００４】
本発明に用いるエポキシ樹脂（Ａ）としては、１分子内にエポキシ基を２個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般を言い、その分子量、分子構造は特に限定するものではないが、例えば、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、アルキル変性トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、トリアジン核含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール型エポキシ樹脂、フェニレン骨格、ビフェニレン骨格等を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂、硫黄原子含有型エポキシ樹脂等が挙げられ、これらは１種単独又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明に用いるフェノール樹脂（Ｂ）としては、１分子内にフェノール性水酸基を２個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般を言い、その分子量、分子構造を特に限定するものではないが、例えばフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、トリフェノールメタン型樹脂、フェニレン骨格、ビフェニレン骨格等を有するフェノールアラルキル樹脂、硫黄原子含有型フェノール樹脂等が挙げられ、これらは１種単独又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明に用いるエポキシ樹脂（Ａ）とフェノール樹脂（Ｂ）の配合量としては、全エポキシ樹脂のエポキシ基数と全フェノール樹脂のフェノール性水酸基数の比が０．８以上、１．３以下であることが好ましい。この範囲であると、エポキシ樹脂組成物の硬化性の低下、或いは硬化物のガラス転移温度の低下、耐湿信頼性の低下等を抑えることができる。
本発明に用いる無機充填材（Ｃ）としては、一般に半導体封止用エポキシ樹脂組成物に使用されているものを用いることができる。例えば、溶融シリカ、結晶シリカ、タルク、アルミナ、窒化珪素等が挙げられ、最も好適に使用されるものとしては、球状の溶融シリカである。これらの無機充填材は、１種単独又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。無機充填材（Ｃ）の最大粒径については、特に限定されないが、無機充填材の粗大粒子が狭くなったワイヤー間に挟まることによって生じるワイヤー変形等の不具合を考慮すると、１０５μｍ以下であることが好ましく、７５μｍ以下であることがより好ましく、５５μｍ以下であることが特に好ましい。無機充填材（Ｃ）の含有量は、特に限定されないが、全エポキシ樹脂組成物中、８０重量％以上、９４重量％以下が好ましい。この範囲であると、耐半田性の低下、流動性の低下等を抑えることができる。
本発明で用いられる硬化促進剤（Ｄ）としては、一般に半導体封止用エポキシ樹脂組成物に使用されているものを用いることができる。例えば、ホスフィン化合物とキノン化合物との付加物、１，８−ジアザビシクロ（５，４，０）ウンデセン−７等のジアザビシクロアルケン及びその誘導体、トリブチルアミン、ベンジルジメチルアミン等のアミン系化合物、２−メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物、トリフェニルホスフィン、メチルジフェニルホスフィン等の有機ホスフィン類、テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート、テトラフェニルホスホニウム・テトラ安息香酸ボレート、テトラフェニルホスホニウム・テトラナフトイックアシッドボレート、テトラフェニルホスホニウム・テトラナフトイルオキシボレート、テトラフェニルホスホニウム・テトラナフチルオキシボレート等のテトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレート等が挙げられ、これらは１種単独又は２種類以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明に用いる表面処理された着色剤（Ｅ）において、該表面処理前の着色剤は、炭素含有量が９０重量％以上の炭素前駆体又はＤＢＰ吸収量が１００ｃｍ３／１００ｇ以上のカーボンブラックである。
着色剤（Ｅ）において、表面処理前の炭素前駆体としては、Ｈ／Ｃ重量％比が、好ましくは２／９７〜８／９０、特に好ましくは２／９７〜６／９３である。また、電気比抵抗値が好ましくは１×１０２Ω・ｃｍ以上、１×１０７Ω・ｃｍ以下である。電気比抵抗値が１×１０７Ω・ｃｍを超えるか又はＨ／Ｃ重量％比が８／９０を超えると、絶縁領域へと近づくため、炭素前駆体粒子が静電気によって再凝集を起こしやすくなり、封止成形の際に金線変形等を生ずる恐れがあるので好ましくない。Ｈ／Ｃ重量％比が２／９７〜８／９０とは、元素分析による炭素前駆体のカーボン含有量が９０〜９７重量％であり、水素原子含有量が２〜８重量％のものを言う。また、炭素前駆体は一次粒子径が概ね２〜５ｎｍの微粒子である。
上記電気比抵抗値は、公知の方法で求めることができる。具体的にはＪＩＳＺ３１９７に準拠した方法で測定することができる。すなわち、くし形パターンのあるガラス布基材エポキシ樹脂銅張積層板のＧ−１０又はＳＥ−４を基材とし、該基材にフラックスを塗布したのち、はんだ付けを行い、温度２５℃、相対湿度６０％下、抵抗計により直流１００Ｖでの抵抗値を測定する。
本発明に用いる炭素前駆体の製造方法としては、特に制限されないが、例えばレゾール樹脂、フェノール樹脂、ポリアクリロニトリル等の芳香族ポリマーを例えば６００℃以上、６５０℃以下の焼成温度で適宜の時間焼成して炭化したものが挙げられる。当該製造方法で得られた炭素前駆体は１種単独又は２種以上を混合して用いてもよい。
着色剤（Ｅ）において、カーボンブラックは、着色性、遮蔽性、耐熱性及びレーザーマーキング性等の観点から着色剤として好適である。また、カーボンブラックの中でも表面処理前のＤＢＰ吸収量が１００ｃｍ３／１００ｇ以上の物性を備えるカーボンブラックを酸化処理したものは、カーボンの一次粒子が適度な大きさの範囲のものであり、表面処理前におけるカーボン一次粒子の凝集が少なく、表面処理時における実質的な比表面積が最も増大した状態で表面処理が行えることとなるため、表面処理後のカーボン粒子の凝集が最も起こり難くなると考えられる。カーボンブラックの一次粒子が細か過ぎる場合は、少なからず凝集物を含むものとなり、ＤＢＰ吸収量が１００ｃｍ３／１００ｇ未満となり、実質的な比表面積が低下したものを表面処理することとなるため、結果として、表面処理量が少なくなり、表面処理の効果が発揮しにくくなる。また、逆に、カーボンの一次粒子が大きい場合は、凝集物自体は少ないものの、ＤＢＰ吸収量は１００ｃｍ３／１００ｇ未満となり、比表面積が比較的小さいものを表面処理することとなるため、結果として、表面処理量が少なくなり、表面処理の効果が発揮しにくくなる。表面処理前のＤＢＰ吸収量の上限値については、１８０ｃｍ３／１００ｇ、あるいはそれ以上であってもよいが、一次粒子の大きさと凝集の有無との関係から、限界があるものと考えられ、２００ｃｍ３／１００ｇ程度である。このため、当該物性のカーボンブラックを酸化処理した着色剤を含む半導体封止用エポキシ樹脂組成物を用いて封止された半導体装置は、ワイヤー間距離が４０μｍのように狭くとも、電気不良やワイヤー変形が生じることはない。ＤＢＰ吸収量が１００ｃｍ３／１００ｇ未満の場合、十分な分散性が得られ難い。また、当該カーボンブラックは、一次粒子径が４０ｎｍ以上、９０ｎｍ以下であるもの、または窒素吸着比表面積が２０ｍ２／ｇ以上、１００ｍ２／ｇ以下であるもの、あるいは一次粒子径が４０ｎｍ以上、９０ｎｍ以下で且つ窒素吸着比表面積が２０ｍ２／ｇ以上、１００ｍ２／ｇ以下であるものが、表面処理が施しやすく、凝集物を最も低減することができるため、より好ましい。
ここで、ＤＢＰ吸収量とは、堆積するカーボンブラックの空隙を満たすに要するＤＢＰ（ジブチルフタレート）の量から、粒子間のつながり、又は凝集による構造の程度を示す特性である。また、一次粒子径とは、カーボンブラック凝集体を構成する小さな球状成分を電子顕微鏡により測定、算出した平均直径である。また、窒素吸着比表面積とは、カーボンブラックの全比表面積を測定する方法であり、脱気したカーボンブラックを液体窒素に浸漬させ、平衡時におけるカーボンブラック表面に吸着した窒素量を測定し、この値から比表面積（ｍ２／ｇ）を算出したものである。なお、これら表面処理前の着色剤は、市販品のものを使用することができる。
本発明の（Ｅ）成分において、表面処理としては、酸化処理が好ましい。また、酸化処理方法としては、ペルオキソ２硫酸塩、過酸化水素水、硫酸、硝酸、次亜塩素酸塩、塩素酸、亜塩素酸及び過マンガン酸塩のうちから選ばれる１種又は２種以上で酸化処理することが好ましい。通常、表面処理前の着色剤は、微細な粒子から成っており、非常に凝集しやすいが、表面処理を施すことにより凝集し難くなり分散性が良好となる。特に酸化処理により、着色剤の表面に水酸基、カルボン酸基のような酸性基を存在させることができ、これにより樹脂との馴染みがよくなり、凝集し難くなるものと思われる。
酸化処理されているかどうかは、その抽出水のｐＨから判断できる。具体的には、着色剤５ｇを純水５０ｇ中に入れ、プレッシャークッカー釜で１２５℃２４時間処理した時、その上澄み液のｐＨを測定することにより判断できる。本発明において、酸化処理された着色剤（Ｅ）の抽出水のｐＨは、２以上、５以下の範囲内であることが好ましい。また、酸化処理の方法としては、特に限定されないが、酸化処理剤を含む溶液中に着色剤を分散させる湿式処理が、均一に表面処理できる点で好ましい。また酸化処理の場合、酸化処理で生成する還元塩を除去するため、限外濾過膜等の分離膜を用いるのが好ましい。
本発明において、表面処理された着色剤（Ｅ）は、これを目開き２５μｍの篩に通した際の不通過分（以下、「篩残分」という。）が０重量％であることが好ましい。着色剤に限らず微細な粒子には少なからず粗大な粒子が存在しており、それを取り除いて使用するものである。篩残分の試験法は、ＪＩＳ  Ｋ６２１８（１９９７）「ゴム用カーボンブラックの付随的性質の試験法」に準拠して、目開き２５μｍの篩を用いて測定する。目開き２５μｍの篩残分が０重量％とする方法は、特に限定されないが、例えば着色剤を溶媒中に分散させた着色剤スラリーとしてから、１０μｍ以下のフィルターで濾過後、乾燥、解砕する方法がある。スラリー状態で表面処理を同時に施すことが好ましいが、溶媒によく分散させるために、着色剤に予め表面処理をある程度施しておくか、溶媒に界面活性剤を添加するとさらに好ましい。本発明では酸化処理が好ましいが、その場合には水を溶媒として用いれば、溶媒中での分散性が良好で粗大粒子を除去しやすい上に安価で安全性も高く好ましい。着色剤スラリーは、真空乾燥、加熱乾燥などの方法で乾燥後、ジェットミル、ボールミル、ヘンシェルミキサー等の解砕機で解砕すればよい。
本発明に用いる表面処理された着色剤（Ｅ）の配合量は、特に限定されないが、全エポキシ樹脂組成物中０．０５重量％以上、５重量％以下が望ましく、より好ましくは０．１重量％以上、３重量％以下である。上記範囲内であると、良好な着色性及びレーザーマーキング性が得られ、また着色剤の凝集による配線のショート、リーク不良等の電気不良やワイヤー変形等を抑えることができる。
本発明のエポキシ樹脂組成物には必要に応じてシランカップリング剤を用いることができる。使用できるシランカップリング剤としては、従来公知のものを用いることができるが、例えば、エポキシシラン、アミノシラン、アルキルシラン、ウレイドシラン、ビニルシラン等が挙げられ、これらを例示すると、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−フェニルγ−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−フェニルγ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−６−（アミノヘキシル）３−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−（３−（トリメトキシシリルプロピル）−１，３−ベンゼンジメタナン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、β−（３，４エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシランン、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、ビニルトリエトキシシランなどが挙げられ、これらは１種類単独又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。これらのうち２級アミノシラン、メルカプトシランが好ましい。シランカップリング剤の配合量は、特に限定されないが、全エポキシ樹脂組成物中０．０１重量％以上、１重量％以下が望ましく、より好ましくは０．０５重量％以上、０．８重量％以下である。上記範囲内であると、良好な粘度特性及び流動特性が得られ、また硬化性の低下を抑えることができる。また、これらシランカップリング剤は、予め水或いは必要に応じて酸又はアルカリを添加して、加水分解処理して用いてもよく、また予め無機充填材に処理されていてもよい。
本発明のエポキシ樹脂組成物には必要に応じて芳香環を構成する２個以上の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物を使用することができる。使用できる化合物として、例えば、カテコール、ピロガロール、没食子酸、没食子酸エステル、１，２−ジヒドロキシナフタレン、２，３−ジヒドロキシナフタレン及びこれらの誘導体が挙げられる。これらのうちカテコール、ピロガロール、１，２−ジヒドロキシナフタレン、２，３−ジヒドロキシナフタレンが好ましい。これらの化合物は１種類を単独で使用しても２種以上併用してもよい。これらの化合物の配合量は全エポキシ樹脂組成物中０．０１重量％以上、１重量％以下が望ましく、より好ましくは０．０２重量％以上、０．８重量％以下である。上記範囲内であると、良好な粘度特性及び流動特性が得られ、また硬化性の低下や硬化物物性の低下を抑えることができる。
本発明に用いることができる芳香環を構成する２個以上の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物は、前記シランカップリング剤との相乗効果により、低粘度化と流動性向上を図ることができるため、カーボンブラックの凝集物等が粗大粒子としてインナーリード間、ワイヤー間に挟まるのを抑える効果も有している。
本発明のエポキシ樹脂組成物には必要に応じて離型剤を用いることができる。使用できる離型剤としては、従来公知のものを用いることができるが、例えば、高級脂肪酸、高級脂肪酸金属塩、エステル系ワックス、ポリエチレン系ワックス等が挙げられ、これらは１種類単独でも２種以上併用しても構わない。これらのうちポリエチレン系ワックス、モンタン酸エステル系ワックスが離型性に優れ、着色剤が凝集し難いという点で好ましい。離型剤の配合量は特に制限されないが、全エポキシ樹脂組成物中０．０５重量％以上、３重量％以下が望ましく、より好ましくは０．１重量％以上、１重量％以下である。
本発明のエポキシ樹脂組成物は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、無機充填材、硬化促進剤、表面処理された着色剤が必須であり、更に必要に応じて、シランカップリング剤、芳香環を構成する２個以上の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物、離型剤を用いるが、これ以外に、ハイドロタルサイト類やマグネシウム、アルミニウム、ビスマス、チタン、ジルコニウムから選ばれる元素の含水酸化物等のイオントラップ剤、チタネートカップリング剤、アルミニウムカップリング剤、アルミニウム／ジルコニウムカップリング剤等のシランカップリング剤以外のカップリング剤、シリコーンオイル、ゴム等の低応力添加剤、チアゾリン、ジアゾール、トリアゾール、トリアジン、ピリミジン等の密着付与剤、臭素化エポキシ樹脂や三酸化アンチモン、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、ほう酸亜鉛、モリブデン酸亜鉛、フォスファゼン等の難燃剤等の添加剤を適宜配合しても差し支えない。
また、本発明のエポキシ樹脂組成物は、ミキサー等を用いて原料を充分に均一に混合した後、更に熱ロール又はニーダー等で溶融混練し、冷却後粉砕して得られる。本発明のエポキシ樹脂組成物を用いて、半導体素子等の各種の電子部品を封止し、半導体装置を製造するには、トランスファーモールド、コンプレッションモールド、インジェクションモールド等の従来からの成形方法で硬化成型すればよい。
【実施例】
【０００５】
次に、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、これは単に例示であって、本発明を制限するものではない。実施例及び比較例で用いる配合割合は重量部である。なお、実施例及び比較例で用いた表面処理された着色剤及び表面処理されていない着色剤の内容について以下に示す。
（着色剤１）
ＤＢＰ吸収量１４２ｃｍ３／１００ｇ、一次粒子径６０ｎｍ、窒素吸着比表面積３５ｍ２／ｇのカーボンブラックを、次亜塩素酸ナトリウム水溶液を用いて湿式表面処理し、還元塩を限外濾過膜で除去し、その後、５μｍのフィルターに通し、１１０℃で乾燥後、ジェットミルで微粉砕した。抽出水のｐＨは２．８であり、目開き２５μｍの篩残分は０重量％である。
（着色剤２）
ＤＢＰ吸収量１０５ｃｍ３／１００ｇ、一次粒子径４２ｎｍ、窒素吸着比表面積７０ｍ２／ｇのカーボンブラックを、次亜塩素酸ナトリウム水溶液を用いて湿式表面処理し、還元塩を限外濾過膜で除去し、その後、５μｍのフィルターに通し、１１０℃で乾燥後、ジェットミルで微粉砕した。抽出水のｐＨは２．９であり、目開き２５μｍの篩残分は０重量％である。
（着色剤３）
ＤＢＰ吸収量１５８ｃｍ３／１００ｇ、一次粒子径４１ｎｍ、窒素吸着比表面積５７ｍ２／ｇのカーボンブラックを、次亜塩素酸ナトリウム水溶液を用いて湿式表面処理し、還元塩を限外濾過膜で除去し、その後、５μｍのフィルターに通し、１１０℃で乾燥後、ジェットミルで微粉砕した。抽出水のｐＨは２．８であり、目開き２５μｍの篩残分は０重量％である。
（着色剤４）
炭素含有量９６重量％、一次粒子径３ｎｍ、体積抵抗値１０６Ω・ｃｍの炭素前駆体を、ペルオキソ２硫酸アンモニウム水溶液を用いて湿式表面処理し、還元塩を限外濾過膜で除去し、１０μｍのフィルターを通し、１１０℃で乾燥後、ジェットミルで微粉砕した。抽出水のｐＨは３．２であり、目開き２５μｍの篩残分は０重量％である。
（着色剤５）
ＤＢＰ吸収量７４ｃｍ３／１００ｇ、一次粒子径７８ｎｍ、窒素吸着比表面積２８ｍ２／ｇのカーボンブラックを、ペルオキソ２硫酸アンモニウム水溶液を用いて湿式表面処理し、還元塩を限外濾過膜で除去し、５μｍのフィルターを通し、１１０℃で乾燥後、ジェットミルで微粉砕した。抽出水のｐＨは３．３であり、目開き２５μｍの篩残分は０重量％である。
（着色剤６）
着色剤１で用いた酸化処理前のカーボンブラックである。抽出水のｐＨは６．８であり、目開き２５μｍの篩残分は０．００３重量％である。
（着色剤７）
着色剤４で用いた酸化処理前の炭素前駆体である。抽出水のｐＨは６．２であり、目開き２５μｍの篩残分は０．０３６重量％である。
実施例１
エポキシ樹脂１、フェノール樹脂１、溶融球状シリカ１、溶融球状シリカ２、硬化促進剤１、着色剤１、カップリング剤１、カップリング剤２、２，３−ジヒドロキシナフタレン及び離型剤を、表１に示す配合割合でミキサーにて混合し、熱ロールを用いて、９５℃で８分間混練して冷却後、粉砕し、エポキシ樹脂組成物を得た。得られたエポキシ樹脂組成物を、以下の方法で評価した。また、後述する高温リーク試験用に、上記成分から着色剤１のみを除いた成分を、上記と同様にミキサーにて混合し、熱ロールを用いて、９５℃で８分間混練して冷却後粉砕したものを作成し、評価に用いた。結果を表１に示す。
エポキシ樹脂１は、下記式（１）で表されるビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂（軟化点５８℃、エポキシ当量２７３、「商品名ＮＣ３０００Ｐ」：日本化薬（株）製）である。
0004381447.tif 000002
フェノール樹脂１は、下記式（２）で表されるビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル樹脂（軟化点１０７℃、水酸基当量２０４、「商品名ＭＥＨ−７８５１ＳＳ」；明和化成（株）製）である。
0004381447.tif 000003
溶融球状シリカ１は、平均粒径２３μｍ、最大粒径７５μｍ、比表面積３．５ｍ２／ｇであり、溶融球状シリカ２は、平均粒径０．５μｍ、最大粒径７５μｍ、比表面積６．０ｍ２／ｇであり、硬化促進剤１は、トリフェニルホスフィンと１，４−ベンゾキノンとの付加物であり、カップリング剤１は、Ｎ−フェニルγ−アミノプロピルトリメトキシシラン（「商品名ＫＢＭ−５７３」；信越化学（株）製）であり、カップリング剤２は、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン（「商品名ＫＢＭ−８０３」；信越化学（株）製）であり、２，３−ジヒドロキシナフタレンは関東化学（株）製の試薬であり、離型剤は、モンタン酸エステル系ワックス（「商品名リコルブＷＥ−４」；クラリアントジャパン（株）製）である。
＜評価方法＞
（スパイラルフロー）
低圧トランスファー成形機を用いて、ＥＭＭＩ−１−６６に準じたスパイラルフロー測定用金型に、金型温度１７５℃、注入圧力６．９ＭＰａ、硬化時間１２０秒の条件で、エポキシ樹脂組成物を注入し、流動長を測定した。
（硬化性）
キュラストメーター（「ＪＳＲキュラストメーターＩＶＰ  Ｓ型」；オリエンテック（株）製）を用い、１７５℃、６０秒後のトルク値を３００秒後のトルク値で除した値で示した。この値の大きい方が硬化性は良好である。
（外観（硬化物の色））
低圧トランスファー成形機を用いて、金型温度１７５℃、注入圧力６．９ＭＰａ、硬化時間７０秒で、８０ｐＱＦＰ（１４×２０×２．０ｍｍ厚）を成形し、１２個のパッケージを得た。外観（硬化物の色）のチェックは目視にて観察を行った。
（ＹＡＧレーザーマーキング性）
低圧トランスファー成形機を用いて、金型温度１７５℃、注入圧力６．９ＭＰａ、保圧時間１２０秒で、８０ｐＱＦＰ（２．７ｍｍ厚）を成形し、更に１７５℃、８時間でポストキュアした。次に、マスクタイプのＹＡＧレーザー捺印機（日本電気（株）製）を用い、印加電圧２．４ｋＶ、パルス幅１２０μｓの条件でマーキングし、印字の視認性（ＹＡＧレーザーマーキング性）を評価した。良好であれば○、使用可能範囲であれば△、使用不可能であれば×と表示した。
（凝集物）
低圧トランスファー成形機を用いて、金型温度１７５℃、注入圧力６．９ＭＰａ、保圧時間１２０秒で、１００ｍｍφの円板を成形した。この表面を研磨し研磨面を蛍光顕微鏡（「ＢＸ５１Ｍ−５３ＭＦ」；オリンパス（株）製）にて観察した。２５μｍ以上の着色剤凝集物個数を測定した。
（高温リーク）
実施例１の樹脂組成物並びに実施例１において着色剤１のみを除いた成分から得た樹脂組成物について、低圧トランスファー成形機を用いて、金型温度１７５℃、注入圧力７．８ＭＰａ、保圧時間９０秒で、８０μｍ、６０μｍ及び４０μｍの３種類のピッチのテスト用チップに径３０μｍの金線を施した１４４ｐＴＱＦＰを１００個封止成形した。次に、ＡＤＶＡＮＴＥＳＴ製の微少電流計８２４０Ａを用いてリーク電流を測定した。判断基準は１７５℃においてリーク電流が着色剤１のみを除いた樹脂組成物の場合におけるメジアン値と比較して、全て同じオーダーであった場合を符号「○」、１オーダーを超えて高い値を示すものが１個でもあった場合を符号「△」、２オーダーを超えて高い値を示すものが１個でもあった場合を符号「×」で表示した。
（ワイヤー変形）
低圧トランスファー成形機を用いて、金型温度１７５℃、注入圧力７．８ＭＰａ、保圧時間９０秒で、６０μｍピッチのテスト用チップに長さ３ｍｍ、径２５μｍの金線を施した１４４ｐＴＱＦＰを封止成形した。次に、ソフテックス（株）製の軟Ｘ線装置ＰＲＯ−ＴＥＳＴ−１００を用いてワイヤー流れを測定した。判断基準は最大ワイヤー流れ率（（ワイヤー流れ量／ワイヤー長さ）×１００）が３％以上になった場合を不良とした。
実施例２〜５、比較例１〜４
表１の配合に従い、実施例１と同様にしてエポキシ樹脂組成物を得て、実施例１と同様にして評価した。結果を表１に示す。なお、エポキシ樹脂２は、エポキシ当量１９０、融点１０５℃の下記式（３）で表されるビフェニル型エポキシ樹脂（「商品名ＹＸ−４０００」；ジャパンエポキシレジン（株）製）である。
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フェノール樹脂２は、水酸基当量１６５、軟化点７９℃の下記式（４）で表されるフェノールアラルキル樹脂（「商品名ＸＬＣ−ＬＬ」；三井化学（株）製）
である。
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硬化促進剤２は、トリフェニルホスフィン（「商品名ＰＰ−３６０」；ケイ・アイ化成（株）製）である。
【表１】
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【産業上の利用可能性】
【０００６】
本発明に従うと、半導体素子等の封止成形時において良好な流動性、硬化性を有し、かつ配線のショート、リーク不良等の電気不良やワイヤー変形等を生ずることのない半導体封止用エポキシ樹脂組成物が得られるので、特にワイヤー間が狭い表面実装型の半導体装置の製造用として好適に用いることができる。