(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学的に透明な材料又は不透明な材料のいずれであってもよい電気絶縁材料で形成された基板の上に取り付けられた有機エレクトロルミネセンスデバイスのアノード用多層電極であって、
（ａ）該基板上に設けられた導電層と、
（ｂ）該導電層上に、炭素及びフッ素を含むガスを使用したプラズマ重合によって成長されたフルオロカーボン層と
を含んでなる有機エレクトロルミネセンスデバイスのアノード用多層電極。
【請求項２】
前記導電層が、不透明であり、かつ、４．１ｅＶ以上の仕事関数を有する金属又は金属化合物からなる群から選択される、請求項１記載の多層電極。
【請求項３】
前記フルオロカーボン層の厚さが５乃至６０ｎｍの範囲内にある、請求項１記載の多層電極。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は多層電極に関し、特に有機エレクトロルミネセンス（ＥＬ）デバイスにおける使用に適し、効率的な正孔の注入／運搬を行い作動の安定性の良い多層電極に関する。
【０００２】
【従来の技術】
有機ＥＬデバイスは非常に効率的であり、幅広い範囲の色を生成することが可能であることが知られている。フラットパネルディスプレイといった有用な適用が意図されてきた。初期の有機ＥＬデバイスの代表的なものとしては、１９６５年３月９日に発行されたGurnee外による米国特許第３，１７２，８６２号、１９６５年３月９日に発行されたGurneeによる米国特許第３，１７３，０５０号及び１９７３年１月９日に発行されたDresner による米国特許第３，７１０，１６７号がある。典型的な有機放出材料は、共役有機ホスト材料と凝縮ベンジン環を有する共役有機活性剤とから形成されていた。有機放出材料は、１マイクロメートルをはるかに越える厚さを有する単層の媒体として存在した。従って、この有機ＥＬ媒体は非常に抵抗性が高く、ＥＬデバイスは動作するのに非常に高い電圧（１００ボルト以上）を必要とした。
【０００３】
有機ＥＬデバイス構造の技術における最も最近の発見の結果として、アノードとカソードとを分離する極めて薄い層（組み合わされた厚さが１．０マイクロメートル以下より小さい）からなる有機ＥＬ媒体を有するデバイスが得られた。薄い有機ＥＬ媒体は減少された抵抗を提供し、所与のレベルの電気バイアス電圧に対してより高い電流濃度を可能にする。基本的な２層ＥＬデバイス構造では、１つの有機層は正孔を注入し輸送するよう特に選択され、他の有機層は電子を注入し輸送するよう特に選択される。２つの層の間のインターフェースは、正孔−電子対の再結合及び結果としてのエレクトロルミネセンス用の有効な場所を与える。これらの例は、米国特許第４，３５６，４２９号、第４，３５９，５０７号、第４，７２０，４３２号、第４，８８５，２１１号、第４，９５０，９５０号、第５，０４７，６８７号、第５，０５９，８６１号、第５，０６１，５６９号、第５，０７３，４４６号、第５，１４１，６７１号、第５，１５０，００６号及び第５，１５１，６２９号によって与えられる。
【０００４】
簡単な構造は、３層構造、即ち主に正孔−電子再結合、従ってエレクトロルミネセンス用の場所として機能するよう正孔輸送層と電子輸送層との間に追加的な発光層が導入された構造へ変更されうる。この点で、個々の有機層の機能は独特であり、従って個別に最適化されうる。このように、発光又は再結合層は所望のＥＬ色及び高い輝度効率を有するよう選択されうる。同様に、電子輸送層及び正孔輸送層は、主にキャリア輸送性質について最適化されうる。
【０００５】
有機ＥＬデバイスはアノードがカソードよりも高い電位である場合に順方向バイアスされたダイオードとして見ることができる。有機ＥＬデバイスのアノード及びカソードは夫々、Tang外による米国特許第４，８８５，２１１号によって開示される様々な形式のうちのいずれかといった任意の便利な従来の形式を取りうる。低い仕事関数を有するカソードと高い仕事関数を有するアノードとを使用するとき、動作電圧は実質的に減少されうる。望ましいカソードは、４．０ｅＶ以下の仕事関数を有する金属と、望ましくは４．０ｅＶ以上の仕事関数を有する金属との化合物によって構成されるものである。Tang外による米国特許第４，８８５，２１１号のＭｇ：Ａｇは１つの望ましいカソード構成である。VanSlyke外による米国特許第５，０５９，０６２号のＡｌ：Ｍｇカソードは他の望ましいカソード構成である。有機ＥＬ層への電子注入を高めるためのＬｉＦ／Ａｌの二層の使用は、Hung外による米国特許第５，６２４，６０４号で開示されている。
【０００６】
従来のアノードは導電性を有し且つ透明な酸化物によって形成される。インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）は、透明であり、導電性がよく、高い仕事関数を有するため、アノード接触子として広く使用されてきた。しかしながら裸ＩＴＯ面上に成長されたデバイスは概して正孔注入が不十分であり、動作安定性がよくないことを示す。これらの問題の軽減はＩＴＯと有機媒体との間に中間層を導入することを含むものであった。
【０００７】
Yang外はＩＴＯと活性発光層との間にポリアニリン層を使用することにより改善された電荷キャリア注入を有するポリマーＥＬデバイスを報告した。これについては、Journal of Applied Physics Letters, Vol.77, 694(1995) のY.Yang, E.Westerweele, C.Zhang, P.Smith 及びA.J.Heegerによる「Enhanced performance of polymer light-emitting diodes using high-surface area polyaniline network electrodes」を参照のこと。
【０００８】
VanSlyke外は、ＩＴＯと正孔輸送層との間にＣｕＰｃ層を使用することによって形成される非常に安定した有機デバイスを示した。これについては、Applied Physics Letters, Vol.69, 2160(1996) のS.A.VanSlyke, C.H.Chen及びC.W.Tangによる「Organic electroluminescent devices with improved stability」を参照のこと。
【０００９】
発明者はまた、有機ＥＬデバイスに対するＩＴＯアノード接触は、ＣｕＰｃ層を導入することなく、酸素プラズマ処理によって非常に改善されうることを見出した。結果としてのデバイスは低い電圧で動作され得、良い安定性を示す。観察はＷｕ外によるポリマー発光ダイオードに関する報告と一貫している。これについては、Applied Physics Letters, Vol.70, 1348 (1997)のC.C.Wu, C.I.Wu, J.C. Sturm及びA.Kahnによる「Surface modification of indium tin oxide by plasma treatment: an effective method to improve the efficiency, brightness, and reliability of organic light emitting devices」を参照のこと。しかしながら、適用においては、正孔注入を更に高め動作安定性を更に改善させることが必要である。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、エレクトロルミネセンスデバイスでの使用に特に適した多層電極を提供することを目的とする。
本発明は有効な正孔注入／輸送及び良い動作安定性を有する有機エレクトロルミネセンスデバイスを提供することを更なる目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
これらの目的は、光学的に透明な材料又は不透明な材料のいずれであってもよい電気絶縁材料で形成された基板の上に取り付けられた有機エレクトロルミネセンスデバイスのアノード用多層電極であって、
（ａ）該基板上に設けられた導電層と、
（ｂ）該導電層上に、炭素及びフッ素を含むガスを使用したプラズマ重合によって成長されたフルオロカーボン層と
を含んでなる有機エレクトロルミネセンスデバイスのアノード用多層電極によって達成される。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の上述及び他の利点を添付の図面を参照して詳述する。
図１は、本発明による電極構造１００を概略的に示す図である。支持層１０２はガラス又はプラスチックといった電気絶縁性を有し光学的に透明な材料である。支持層１０２の上の二層１０４は、導電性及び透過性の層１０４ａとフルオロカーボン（fluorocarbon）層１０４ｂとによって形成される。図２に図示されるように、二層はポリマー又は小分子有機材料によって形成される有機ＥＬデバイスにおける有効な正孔注入のためのアノードとして使用されうる。
【００１３】
図２中、本発明による多層電極を使用する有機エレクトロルミネセンスデバイス２００が図示されている。絶縁性を有する透明な支持層は、層２０２である。アノード２０４は、導電性及び透過性の層２０４ａとフルオロカーボン被膜層２０４ｂとによって形成される。アノード２０４は、３つの重ね合わされた層を含むエレクトロルミネセンス媒体２０８によってカソード２０６から分離されている。アノード層２０４の上には、順に、有機正孔輸送層２１０、有機発光層２１２、及び有機電子輸送層２１４が配置される。エレクトロルミネセンス媒体は単層、又は正孔輸送層及び電子輸送層からなる二層でありうることがわかっている。そのような形状では、２つの層の間のインターフェースは注入された正孔−電子対の再結合及び結果としてのエレクトロルミネセンスに対する有効な場所を与える。エレクトロルミネセンス媒体が３つ以上の層を有しうることもまた理解される。
【００１４】
図１に示される電極構造１００の基板１０２及び図２に示される有機エレクトロルミネセンスデバイス２００の基板２０２は、電気的に絶縁され、光透過性又は不透明でありうる。光透過性の性質は基板を通してＥＬ放出を見るために必要である。ＥＬ放出が一番上の電極を通して見られる用途では、支持層の透過性特性は重要ではなく、従って不透明な半導体及びセラミックウェーハといった任意の適当な基板が使用されうる。もちろん、かかるデバイス形状では、一番上の電極は光を通すことが必要である。
【００１５】
多層電極１０４（図１参照）及び２０４（図２参照）は夫々、導電性且つ透過性の層１０４ａ及び２０４ａとフルオロカーボン被膜層１０４ｂ及び２０４ｂとによって形成される。層１０４ａ及び２０４ａの光を通す性質は、ＥＬ放出を基板を通して見るために必要である。ＥＬ放出が一番上の電極を通して見られる用途では、層１０４ａ及び２０４ａの透過性特性は重要ではなく、従って４．１ｅＶ以上の仕事関数を有する不透明な金属又は金属化合物といった任意の適当な基板が使用されうる。金属は、金、イリジウム、パラジウム及びプラチナを含む。導電性且つ透過性の層は、金属酸化物、窒化ガリウムといった窒化物、セレン化亜鉛といったセレン化物、硫化亜鉛といった硫化物の群から選択されうる。適当な金属酸化物は、インジウム−スズ酸化物、アルミニウム又はインジウムによってドープされた酸化亜鉛、酸化スズ、マグネシウム−インジウム酸化物、ニッケル−タングステン酸化物及びカドミウム−スズ酸化物である。
【００１６】
導電層の形成の後、導電層１０４ａ及び２０４ａの上に夫々、主に炭化フッ素からなる層１０４ｂ及び２０４ｂが形成される。このフルオロカーボン層は本発明の本質的な部分である。フルオロカーボン層はアルカリ又は酸に対して非常に良い耐久性を有する。フルオロカーボン層は高い仕事関数を有し、有効な正孔注入及び輸送をもたらす。フルオロカーボン層は導電層に良く接着し、導電層と正孔輸送層との間に緩衝層を形成し、従ってデバイスの動作安定性を大きく改善させる。
【００１７】
上述の導電層の表面は、炭化フッ素被膜層に対する接着性を高めるため前もって処理されうる。処理は、スパッタリング処理、コロナ処理、ＵＶ照射又は酸素プラズマ処理を含みうる。
フルオロカーボンの厚さは、下層の導電層を完全に覆い、その直列抵抗がデバイスの性能に大きく影響を与えないよう選択される。厚さの有用な範囲は１乃至２００ｎｍであり、望ましくは５乃至６０ｎｍである。このフルオロカーボン層は、環化ペルフルオロポリマー（Cyclized Perfluoro Polymer:CPFP）のスピンコーティング又はディップコーティング、蒸着、及びデカフルオロブタン（Ｃ4Ｆ10）及びテトラフルオロブタン（ＣＨＦ3）といった炭素及びフッ素を含む様々なガスを使用したプラズマ重合といった多数の従来の手段によって沈着されうる。
【００１８】
以下、デバイス構造２００を参照してＥＬ媒体の組成を説明する。
有機ＥＬデバイスの正孔輸送層は少なくとも１つの正孔輸送芳香族第三アミンを含み、この芳香族第三アミンは、そのうちの少なくとも１つが芳香族環のメンバーである炭素原子にのみ結合された少なくとも１つの三価窒素原子を含む化合物であると理解される。１つの形式では芳香族第三アミンはアリールアミン（arylamine ）、例えばモノアリールアミン（monarylamine）、ジアリールアミン（diarylamine ）、トリアリールアミン（triarylamine）又は高分子アリールアミン（polymeric arylamine ）でありうる。典型的なモノマートリアリールアミン（monomeric tryarylamine）はKlupfel 外による米国特許第３，１８０，７３０号に記載される。ビニル又はビニル基によって代替される及び／又は少なくとも１つの活性水素を含む群を含む他の適当なトリアリールアミンは、Brantley外による米国特許第３，５６７，４５０号及び第３，６５８，５２０号で開示される。
【００１９】
ＥＬデバイスの発光層は、この領域における電子−正孔対再結合の結果としてエレクトロルミネセンスが生成される発光又は蛍光材料からなる。最も簡単な構造では、発光層は単一の成分、即ち高い蛍光効率を有する純粋な材料からなる。周知の材料は、非常によい緑色のエレクトロルミネセンスを生成するトリス（８−キノリナート）アルミニウム（tris(8-quinolinato)aluminum ）、（Ａｌｑ）である。発光層の望ましい実施例は、蛍光染料の１つ以上の成分によってドープされたホスト材料からなる多成分材料を含む。この方法を使用し、非常に効率のよいＥＬデバイスが構築されうる。同時に、ＥＬデバイスの色は、共通のホスト材料の中で異なる放出波長の蛍光染料を使用することによって調整されうる。このドープ剤スキームは、Tang外による米国特許第４，７６９，２９２号の中でＡｌｑをホスト材料として使用するＥＬデバイスについてかなり詳細に記載されている。
【００２０】
本発明の有機ＥＬデバイスの電子輸送層の形成に使用されるのに望ましい材料は、オキシンのキレート自体（一般的に８−キノリノール（8-quinolinol）又は８−ヒドロキシキノリン（8-hydroxyquinoline）と称される）を含む金属キレートオキシノイド化合物（metal chelated oxinoid compounds）である。このような化合物は、性能の両方の高いレベルを表わし、薄膜の形式で容易に製造される。
【００２１】
本発明の有機ＥＬデバイスは、仕事関数が４．０ｅＶ以下である任意の金属、例えばカルシウム及びリチウムによって構築されたカソードを使用しうる。低い仕事関数の金属と少なくとも１つの他の金属との組み合わせであるカソードを形成することにより、予期されていなかった製造上、性能上及び安定性についての利点が実現された。更なる開示については、ここに参照として組み入れられるTang及びVan Slyke による米国特許第４，８８５，２１１号を参照のこと。Hung外による米国特許第５，６２４，６０４号に開示されるように、電子注入を高めるためにLiF/Alの二層構造が使用された。
【００２２】
以下、フルオロカーボン層の調整及び特性解析について説明する。フルオロカーボン被覆は、平行板ＲＦ反応器の中でＣＨＦ3を使用して５００ｍＴｏｒｒで１００Ｗの電力で行われた。約２０ｎｍの厚さのフルオロカーボン層は、インジウム−スズ−酸化物被覆ガラス基板上に沈着され、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）で分析された。ＣＨ，ＣＦ，ＣＦ2及びＣＦ3のピークはポリマーフルオロカーボン層について観察された。フルオロカーボン層のイオン化ポテンシャルは、紫外線光電子分光法（ＵＰＳ）により９．０ｅＶ以上であると決定された。接触角の測定は、層の表面上の水滴の湿潤性を観察することによって行われた。層は９５°以上の接触角では非常に疎水性が高い。
【００２３】
【実施例】
本発明及びその利点は以下の特定的な例によって更に例示される。
例１（従来技術）
ＥＬデバイスは以下の方法で構築された。ＥＬ媒体は３つの有機層、即ち、ＣｕＰｃ層と、正孔輸送層と、電子輸送層とを有する。
【００２４】
（ａ）インジウム−スズ−酸化物（ＩＴＯ）被覆ガラス基板は順次に市販の洗剤で超音波処理され、脱イオン水の中ですすぎ洗いされ、トルエン蒸気の中で脱脂され、数分間に亘って酸素プラズマに晒される。
（ｂ）銅フタロシアニン（copper phthalocyanine ）（１５０オングストローム）の正孔注入層は次にタンタルボートからの蒸着によってＩＴＯ被覆基板の上に沈着される。
【００２５】
（ｃ）銅フタロシアニン層の上には、やはりタンタルボートからの蒸着によってＮ，Ｎ’−ビス−（１−ナフチル）−Ｎ，Ｎ’−ジフェニルベンジジン（N,N'-bis-(1-naphthyl)-N,N'-diphenylbenzidine）（６００オングストローム）の正孔輸送層が沈着される。
（ｄ）Ａｌｑ（６００オングストローム）の電子輸送層は、次にタンタルボートからの蒸着によって正孔輸送層の上に沈着される。
【００２６】
（ｆ）Ａｌｑ層の上には蒸着によって１０：１の原子比のＭｇ及びＡｇによって形成されるカソード層（２０００オングストローム）が沈着される。
上述のシーケンスによりＥＬデバイスの沈着が完了する。デバイスは次に周囲環境に対する保護のために乾燥したグローブボックスの中に密封してパッケージされる。
【００２７】
１００ｍＡ／ｃｍ2 の電流密度では駆動電圧は１２Ｖであった。このＥＬデバイスからのルミネセンス出力は、９Ｖで動作されているとき、０．４５ｍＷ／ｃｍ2 であった。デバイスは次に５０％のデューティサイクルで４０ｍＡ／ｃｍ2 の定電流で動作され、順方向駆動電圧及びルミネセンスの両方が測定された。２，０００時間の動作の後、駆動電圧は１ボルト増加することが分かった。ルミネセンスは順次減少し、２，０００時間経過後はその初期値の半分に達した。
【００２８】
例２（従来技術）
ＥＬデバイスは以下の方法で構築された。ＥＬ媒体は２つの有機層、即ち、正孔輸送層と、電子輸送層とを有する。
（ａ）インジウム−スズ−酸化物（ＩＴＯ）被覆ガラス基板は順次に市販の洗剤で超音波処理され、脱イオン水の中ですすぎ洗いされ、トルエン蒸気の中で脱脂され、スピン乾燥される。
【００２９】
（ｂ）インジウム−スズ−酸化物層の上には、タンタルボートからの蒸着によってＮ，Ｎ’−ビス−（１−ナフチル）−Ｎ，Ｎ’−ジフェニルベンジジン（N,N'-bis-(1-naphthyl)-N,N'-diphenylbenzidine）（７５０オングストローム）の正孔輸送層が沈着される。
（ｃ）Ａｌｑ（６００オングストローム）の電子輸送層は、次にタンタルボートからの蒸着によって正孔輸送層の上に沈着される。
【００３０】
（ｄ）電子輸送層の上には蒸着によって１０：１の原子比のＭｇ及びＡｇによって形成されるカソード層（２０００オングストローム）が沈着される。
上述のシーケンスによりＥＬデバイスの沈着が完了する。デバイスは次に周囲環境に対する保護のために乾燥したグローブボックスの中に密封してパッケージされる。
【００３１】
１００ｍＡ／ｃｍ2 の電流密度では駆動電圧は１２．３Ｖであった。このＥＬデバイスからのルミネセンス出力は、９Ｖで動作されているとき、０．４０ｍＷ／ｃｍ2 であった。５０％のデューティサイクルで４０ｍＡ／ｃｍ2 の定電流での安定性テストは、低い動作安定性を示す印加電圧の急速な増加を示した。
例３（従来技術）
ＥＬデバイスは以下の方法で構築された。ＥＬ媒体は２つの有機層、即ち、正孔輸送層と、電子輸送層とを有する。
【００３２】
（ａ）インジウム−スズ−酸化物（ＩＴＯ）被覆ガラス基板は順次に市販の洗剤で超音波処理され、脱イオン水の中ですすぎ洗いされ、トルエン蒸気の中で脱脂され、数分間に亘って酸素プラズマに晒される。
（ｂ）インジウム−スズ−酸化物層の上には、タンタルボートからの蒸着によってＮ，Ｎ’−ビス−（１−ナフチル）−Ｎ，Ｎ’−ジフェニルベンジジン（N,N'-bis-(1-naphthyl)-N,N'-diphenylbenzidine）（６００オングストローム）の正孔輸送層が沈着される。
【００３３】
（ｃ）Ａｌｑ（６００オングストローム）の電子輸送層は、次にタンタルボートからの蒸着によって正孔輸送層の上に沈着される。
（ｄ）電子輸送層の上には蒸着によって１０：１の原子比のＭｇ及びＡｇによって形成されるカソード層（２０００オングストローム）が沈着される。
上述のシーケンスによりＥＬデバイスの沈着が完了する。デバイスは次に周囲環境に対する保護のために乾燥したグローブボックスの中に密封してパッケージされる。
【００３４】
１００ｍＡ／ｃｍ2 の電流密度では駆動電圧は１１Ｖであった。このＥＬデバイスからのルミネセンス出力は、９Ｖで動作されているとき、１．３６ｍＷ／ｃｍ2 であった。このデバイスの動作安定性は例１に開示されるデバイスに匹敵することが見出された。
例４
本発明の要件を満たすＥＬデバイスは以下の方法で構築された。媒体は２つの有機層、即ち、正孔輸送層と、電子輸送層とを有する。
【００３５】
（ａ）インジウム−スズ−酸化物（ＩＴＯ）被覆ガラス基板は順次に市販の洗剤で超音波処理され、脱イオン水の中ですすぎ洗いされ、トルエン蒸気の中で脱脂され、数分間に亘って酸素プラズマに晒される。
（ｂ）フルオロカーボン層（１００オングストローム）は次にＲＦ反応器の中でプラズマ重合によってＩＴＯ被覆基板の上に沈着される。
【００３６】
（ｃ）インジウム−スズ−酸化物層の上には、タンタルボートからの蒸着によってＮ，Ｎ’−ビス−（１−ナフチル）−Ｎ，Ｎ’−ジフェニルベンジジン（N,N'-bis-(1-naphthyl)-N,N'-diphenylbenzidine）（６００オングストローム）の正孔輸送層が沈着される。
（ｄ）Ａｌｑ（６００オングストローム）の電子輸送層は、次にタンタルボートからの蒸着によって正孔輸送層の上に沈着される。
【００３７】
（ｅ）電子輸送層の上には蒸着によって１０：１の原子比のＭｇ及びＡｇによって形成されるカソード層（２０００オングストローム）が沈着される。
上述のシーケンスによりＥＬデバイスの沈着が完了する。デバイスは次に周囲環境に対する保護のために乾燥したグローブボックスの中に密封してパッケージされる。
【００３８】
１００ｍＡ／ｃｍ2の電流密度では駆動電圧は８．０Ｖであった。このＥＬデバイスからのルミネセンス出力は、９Ｖで動作されているとき、４．５ｍＷ／ｃｍ2であった。デバイスは非常に安定性が高く、ルミネセンス損失は３５０時間の動作の後、その初期値の３％以下である。
図３は、例２，３及び４で説明されたデバイスの電流密度対駆動電圧特性を示す図である。図４は印加電圧の関数として３つのデバイスのルミネセンス出力を示す図である。結果は明らかに、フルオロカーボン被覆ＩＴＯアノードを有する本発明によるデバイスは例１乃至３に開示される従来技術と比較して、より低い電圧で動作し、定電圧でより高いＥＬ出力を表わすことを示している。この結果は予期されていなかった。図５，６は例３（従来技術）、例４（本発明）に示されるデバイスに対する動作安定性を示すグラフである。駆動電圧は両方の場合に一定に維持されることが分かった。酸素プラズマ処理されたＩＴＯアノードを有するデバイスからのエレクトロルミネセンス出力はその初期値の約７５％まで減少し、一方フルオロカーボン被覆ＩＴＯアノードを有するデバイスのルミネセンス損失は約３％であった。
【００３９】
例５
本発明の要件を満たす２つのＥＬデバイスは以下の方法で構築された。媒体は２つの有機層、即ち、正孔輸送層と、電子輸送層とを有する。
（ａ）インジウム−スズ−酸化物（ＩＴＯ）被覆ガラス基板は順次に市販の洗剤で超音波処理され、脱イオン水の中ですすぎ洗いされ、トルエン蒸気の中で脱脂され、数分間に亘って酸素プラズマに晒される。
【００４０】
（ｂ）フルオロカーボン層（夫々２００及び４００オングストローム）は次にＲＦ反応器の中でプラズマ重合によってＩＴＯ被覆基板の上に沈着される。
（ｃ）インジウム−スズ−酸化物層の上には、タンタルボートからの蒸着によってＮ，Ｎ’−ビス−（１−ナフチル）−Ｎ，Ｎ’−ジフェニルベンジジン（N,N'-bis-(1-naphthyl)-N,N'-diphenylbenzidine）（６００オングストローム）の正孔輸送層が沈着される。
【００４１】
（ｄ）Ａｌｑ（６００オングストローム）の電子輸送層は、次にタンタルボートからの蒸着によって正孔輸送層の上に沈着される。
（ｅ）電子輸送層の上には蒸着によって１０：１の原子比のＭｇ及びＡｇによって形成されるカソード層（２０００オングストローム）が沈着される。
上述のシーケンスによりＥＬデバイスの沈着が完了する。デバイスは次に周囲環境に対する保護のために乾燥したグローブボックスの中に密封してパッケージされる。
【００４２】
結果としてのデバイスは例４に開示されるデバイスと類似する。
本発明は望ましい実施例を特に参照して詳述されたが、本発明の精神及び範囲の中で変形及び修正がなされうることは理解されるべきである。
【００４３】
【発明の効果】
本発明によって形成された電極を使用するデバイスは、フルオロカーボン層を有さない従来のＥＬデバイスに対してより高い電流−電圧及びルミネセンス−電圧特性と、より高い動作安定性とを表わす。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明による電極構造の実施例を示す概略図である。
【図２】  本発明による多層電極を有する有機エレクトロルミネセンスデバイスを示す概略図である。
【図３】  一連のデバイスについて電流密度対駆動電圧のグラフを示し、「Ａ」は従来技術のＩＴＯアノードについてのグラフ、「Ｂ」は従来技術の酸素プラズマ処理されたＩＴＯアノードのグラフ、「Ｃ」、「Ｄ」及び「Ｅ」は本発明によって形成された電極を使用した場合のグラフを示す図である。
【図４】  エレクトロルミネセンス出力対駆動電圧のグラフを示し、「Ａ」はＩＴＯアノードを有するデバイスのグラフであり、「Ｂ」は酸素プラズマ処理されたＩＴＯアノードのグラフであり、「Ｃ」は本発明によるアノードを有するデバイスのグラフを示す図である。
【図５】  従来技術の酸素プラズマ処理されたアノードの、正規化されたルミネセンス対時間のグラフ及び駆動電圧対時間のグラフを示す図である。
【図６】  本発明によって形成されたアノードの、正規化されたルミネセンス対時間のグラフ及び駆動電圧対時間のグラフを示す図である。
【符号の説明】
１００…電極構造
１０２…基板
１０４…電極
１０４ａ…導電層
１０４ｂ…炭化フッ素層
２００…有機エレクトロルミネセンスデバイス
２０２…基板
２０４…アノード
２０４ａ…導電層
２０４ｂ…フルオロカーボン層
２０６…カソード
２０８…有機媒体
２１０…有機正孔輸送層
２１２…有機発光層
２１４…有機電子輸送層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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