(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスク基板上のペリクル粘着材が接着する領域に、ガラス部と該ガラス部よりも前記ペリクル粘着材に対する粘着力の大きい金属部とを配置し、かつ、前記マスク基板上からペリクルを剥がす場合、前記マスク基板上から前記ペリクルの剥がれを容易にするように前記マスク基板上のペリクル粘着材が接着する領域の前記ガラス部の面積と前記金属部の面積とを配分してなることを特徴とするペリクル貼付部分を有するマスク。
【請求項２】
請求項１記載のペリクル貼付部分を有するマスクにおいて、前記ガラス部と前記金属部を交互に設けることを特徴とするペリクル貼付部分を有するマスク。
【請求項３】
請求項１記載のペリクル貼付部分を有するマスクにおいて、前記マスク基板上のペリクル粘着材が接着する領域の前記ガラス部内に前記金属部を帯状に設けることを特徴とするペリクル貼付部分を有するマスク。
【請求項４】
請求項１記載のペリクル貼付部分を有するマスクにおいて、前記マスク基板上のペリクル粘着材が接着する領域に前記ガラス部と前記金属部をチェッカフラッグ状に設けることを特徴とするペリクル貼付部分を有するマスク。
【請求項５】
請求項１記載のペリクル貼付部分を有するマスクにおいて、前記マスク基板上のペリクル粘着材が接着する領域に前記ガラス部と前記ペリクル粘着材幅より小さい前記金属部とを交互に設けることを特徴とするペリクル貼付部分を有するマスク。
【請求項６】
請求項１記載のペリクル貼付部分を有するマスクにおいて、前記マスク基板上のペリクル粘着材が接着する領域の前記ガラス部内に前記ペリクル粘着材幅より小さい前記金属部を帯状に設けることを特徴とするペリクル貼付部分を有するマスク。
【請求項７】
請求項１記載のペリクル貼付部分を有するマスクにおいて、前記マスク基板上のペリクル粘着材が接着する領域に前記ガラス部と前記ペリクル粘着材の幅より小さい前記金属部をチェッカフラッグ状に設けることを特徴とするペリクル貼付部分を有するマスク。
【請求項８】
（ａ）マスク基板上のペリクル粘着材が接着する領域にガラス部と該ガラス部よりも前記ペリクル粘着材に対する粘着力の大きい金属部とを配置し、
（ｂ）前記マスク基板上のペリクル粘着材が接着する領域の前記ガラス部の面積と前記金属部の面積との大きさを変化させ、前記マスク基板上へのペリクルフレームの接着力をコントロールすることを特徴とするペリクルの固定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路製造ホトリソ工程で使用するペリクル貼付部分を有するマスク及びその固定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ペリクルは、ペリクル膜、ペリクルフレーム、接着剤、粘着材、ライナーから構成される。
【０００３】
ペリクルの構造は、ペリクルフレームの一方の面に接着剤によりペリクル膜が固定され、反対の面に粘着材（使用するまで、ライナーが保護）が付着しており、この粘着材によりマスク基板表面に固定される。
【０００４】
ペリクルが固定される部分のマスク基板表面は、金属（クロムなど）またはガラス（石英など）である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
一般的にペリクル粘着材の接着力は、マスク基板ガラス表面部分に比較して金属表面部分の方が大きい。
【０００６】
この結果、マスク基板表面のガラス領域で粘着材の接着力を必要十分な条件に設定した場合、マスク基板表面の金属領域では必要十分以上の接着力となってしまい、例えば、マスク基板上からペリクルを剥がす場合、なかなか剥がれないという状況を引き起こしている。
【０００７】
本発明は、上記問題点を除去し、マスク基板上からのペリクルの剥がれを適切になし得るペリクル貼付部分を有するマスク及びその固定方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、
〔１〕ペリクル貼付部分を有するマスクにおいて、マスク基板上のペリクル粘着材が接着する領域に、ガラス部とこのガラス部よりも前記ペリクル粘着材に対する粘着力の大きい金属部とを配置し、かつ、前記マスク基板上からペリクルを剥がす場合、前記マスク基板上から前記ペリクルの剥がれを容易にするように前記マスク基板上のペリクル粘着材が接着する領域の前記ガラス部の面積と前記金属部の面積とを配分してなることを特徴とする。
【０００９】
〔２〕上記〔１〕記載のペリクル貼付部分を有するマスクにおいて、前記ガラス部と前記金属部を交互に設けることを特徴とする。
【００１０】
〔３〕上記〔１〕載のペリクル貼付部分を有するマスクにおいて、前記マスク基板上のペリクル粘着材が接着する領域の前記ガラス部内に前記金属部を帯状に設けることを特徴とする。
【００１１】
〔４〕上記〔１〕記載のペリクル貼付部分を有するマスクにおいて、前記マスク基板上のペリクル粘着材が接着する領域に前記ガラス部と前記金属部をチェッカフラッグ状に設けることを特徴とする。
【００１２】
〔５〕上記〔１〕記載のペリクル貼付部分を有するマスクにおいて、前記マスク基板上のペリクル粘着材が接着する領域に前記ガラス部と前記ペリクル粘着材幅より小さい前記金属部とを交互に設けることを特徴とする。
【００１３】
〔６〕上記〔１〕記載のペリクル貼付部分を有するマスクにおいて、前記マスク基板上のペリクル粘着材が接着する領域の前記ガラス部内に前記ペリクル粘着材幅より小さい前記金属部を帯状に設けることを特徴とする。
【００１４】
〔７〕上記〔１〕記載のペリクル貼付部分を有するマスクにおいて、前記マスク基板上のペリクル粘着材が接着する領域に前記ガラス部と前記ペリクル粘着材の幅より小さい前記金属部をチェッカフラッグ状に設けることを特徴とする。
【００１５】
〔８〕ペリクルの固定方法において、マスク基板上のペリクル粘着材が接着する領域にガラス部とこのガラス部よりも前記ペリクル粘着材に対する粘着力の大きい金属部とを配置し、前記マスク基板上のペリクル粘着材が接着する領域の前記ガラス部の面積と前記金属部の面積との大きさを変化させ、前記マスク基板上へのペリクルフレームの接着力をコントロールすることを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図を参照しながら詳細に説明する。
【００１７】
図１は本発明の第１実施例を示すペリクルの上面図、図２は図１のＡ−Ａ線断面図、図３は図１のＢ−Ｂ線断面図である。
【００１８】
ここでは、ペリクルフレーム１をマスク基板５表面上の金属部３が大部分を占める領域に貼り付ける場合について説明する。
【００１９】
ペリクルフレーム１は、マスク基板５上の金属部３とガラス部４が交互に並べられている領域部分に、ペリクル粘着材２により固定されている。
【００２０】
ペリクルフレーム１は、貼り付け圧力６によりマスク基板５上に接着される。前述したように、ペリクル粘着材２とマスク基板５の表面上の金属部３との接着力は、マスク基板５上のガラス部４との接着力より大きい。
【００２１】
このことから、金属部３とガラス部４の各々の幅（Ｗ金属、Ｗガラス）を最適化することにより接着力のコントロールが可能となる。
【００２２】
以上のように、第１実施例によれば、マスク基板５上に金属部３とガラス部４を設け各々の幅（Ｗ金属、Ｗガラス）を最適にすることにより、接着力を任意に設定可能にできる。
【００２３】
次に、本発明の第２実施例について説明する。
【００２４】
図４は本発明の第２実施例を示すペリクルの上面図、図５は図４のＡ−Ａ線断面図、図６は図４のＢ−Ｂ線断面図である。
【００２５】
ここでは、ペリクルフレーム１をマスク基板５上のガラス部１１が大部分を占める領域に貼り付ける場合を例に説明する。
【００２６】
ペリクルフレーム１は、マスク基板５上の金属部１２とガラス部１１が交互に並べられている領域部分に、ペリクル粘着材１３により固定されている。
【００２７】
ペリクルフレーム１は、貼り付け圧力６によりマスク基板５上に接着される。
【００２８】
前述したように、ペリクル粘着材１３とマスク基板５の表面上の金属部１２との接着力は、マスク基板５上のガラス部１１との接着力より大きい。
【００２９】
このことから、金属部１２とガラス部１１の各々の幅（Ｗ金属、Ｗガラス）を最適化することにより接着力のコントロールが可能となる。
【００３０】
以上のように、第２実施例によれば、マスク基板５上に金属部１２とガラス部１１を設け各々の幅（Ｗ金属、Ｗガラス）を最適にすることにより接着力を設定可能にできる。
【００３１】
次に、本発明の第３実施例について説明する。
【００３２】
図７は本発明の第３実施例を示すペリクルの上面図、図８は図７のＡ−Ａ線断面図である。
【００３３】
ここでは、ペリクルフレーム１をマスク基板５上の金属部２１が大部分を占める領域に貼り付ける場合について説明する。
【００３４】
ペリクルフレーム１は、マスク基板５上のガラス部２２内部に金属部２１が帯状に連続した領域部分に、ペリクル粘着材２３により固定されている。
【００３５】
そこで、ペリクルフレーム１は、貼り付け圧力６によりマスク基板５上に接着される。
【００３６】
前述したように、ペリクル粘着材２３とマスク基板５の表面上の金属部２１との接着力は、マスク基板５上のガラス部２２との接着力より大きい。
【００３７】
このことから、金属部２１とガラス部２２のペリクル粘着材２３との接着部分の各々の幅（Ｗ金属、Ｗガラス）を最適化することにより接着力のコントロールが可能となる。
【００３８】
以上のように、第３実施例によれば、マスク基板５上に金属部２１とガラス部２２を設け、接着部分の各々の幅（Ｗ金属、Ｗガラス）を最適にすることにより接着力を設定可能にできる。
【００３９】
次に、本発明の第４実施例について説明する。
【００４０】
図９は本発明の第４実施例を示すペリクルの上面図、図１０は図９のＡ−Ａ線断面図である。
【００４１】
ここでは、ペリクルフレーム１をマスク基板５上のガラス部３１が大部分を占める領域に貼り付ける場合を説明する。
【００４２】
ペリクルフレーム１は、マスク基板５上のガラス部３１内部に金属部３２が帯状に連続した領域部分に、ペリクル粘着材３３により固定されている。
【００４３】
ここで、ペリクルフレーム１は、貼り付け圧力６によりマスク基板５上に接着される。前述したように、ペリクル粘着材３３とマスク基板５の表面上の金属部３２との接着力は、マスク基板５上のガラス部３１との接着力より大きい。
【００４４】
このことから、金属部３２とガラス部３１のペリクル粘着材３３との接着部分の各々の幅（Ｗ金属、Ｗガラス）を最適化することにより接着力のコントロールが可能となる。
【００４５】
以上のように、第４実施例によれば、マスク基板５上のガラス部３１内部に金属部３２を帯状に設け、各々のペリクル粘着材３３との接着部分３３との幅（Ｗ金属、Ｗガラス）を最適にすることにより接着力を設定可能にできる。
【００４６】
次に、本発明の第５実施例について説明する。
【００４７】
図１１は本発明の第５実施例を示すペリクルの上面図、図１２は図１１のＡ−Ａ線断面図、図１３は図１１のＢ−Ｂ線断面図である。
【００４８】
ここでは、ペリクルフレーム１をマスク基板５上の金属部４１が大部分を占める領域に貼り付ける場合を説明する。
【００４９】
ペリクルフレーム１は、マスク基板５上のガラス部４２内部に金属部４１がチェッカフラッグ状に連続した領域部分に、ペリクル粘着材４３により固定されている。
【００５０】
そこで、ペリクルフレーム１は、貼り付け圧力６によりマスク基板５上に接着される。
【００５１】
前述したように、ペリクル粘着材４３とマスク基板５の表面上の金属部４１との接着力は、マスク基板５上のガラス部４２との接着力より大きい。
【００５２】
このことから、金属部４１とガラス部４２の各々の大きさ（Ｓ金属、Ｓガラス）を最適化することにより接着力のコントロールが可能となる。
【００５３】
以上のように、第５実施例によれば、マスク基板５上に金属部４１とガラス部４２をチェッカフラッグ状に設け、各々の大きさ（Ｓ金属、Ｓガラス）を最適にすることにより接着力を設定可能にできる。
【００５４】
次に、本発明の第６実施例について説明する。
【００５５】
図１４は本発明の第６実施例を示すペリクルの上面図、図１５は図１４のＡ−Ａ線断面図、図１６は図１１のＢ−Ｂ線断面図である。
【００５６】
ここでは、ペリクルフレーム１をマスク基板５上のガラス部５１が大部分を占める領域に貼り付ける場合を説明する。
【００５７】
ペリクルフレーム１は、マスク基板５上のガラス部５１内部に金属部５２がチェッカフラッグ状に連続した領域部分に、ペリクル粘着材５３により固定されている。
【００５８】
そこで、ペリクルフレーム１は、貼り付け圧力６によりマスク基板５上に接着される。
【００５９】
前述したように、ペリクル粘着材５３とマスク基板５の表面上の金属部５２との接着力は、マスク基板５上のガラス部５１との接着力より大きい。
【００６０】
このことから、金属部５２とガラス部５１の接着部分の各々の大きさ（Ｓ金属、Ｓガラス）を最適化することにより、接着力のコントロールが可能となる。
【００６１】
以上のように、第６実施例によれば、マスク基板５上に金属部５２とガラス部５１をチェッカフラッグ状に設け、各々の大きさ（Ｓ金属、Ｓガラス）を最適にすることにより接着力を設定可能にできる。
【００６２】
次に、本発明の第７実施例について説明する。
【００６３】
図１７は本発明の第７実施例を示すペリクルの上面図、図１８は図１７のＡ−Ａ線断面図、図１９は図１７のＢ−Ｂ線断面図である。
【００６４】
ここでは、ペリクルフレーム１をマスク基板５上の金属部６１が大部分を示す領域に貼り付ける場合を説明する。
【００６５】
ペリクルフレーム１は、マスク基板５上にガラス部６２と、ペリクル粘着材６３の幅より小さい金属部６１とが交互に並べられている領域部分に、ペリクル粘着材６３により固定されている。
【００６６】
そこで、ペリクルフレーム１は、貼り付け圧力６によりマスク基板５上に接着される。前述したように、ペリクル粘着材６３とマスク基板５の表面上の金属部６１との接着力は、マスク基板５上のガラス部６２との接着力より大きい。
【００６７】
このことから、金属部６１とガラス部６２の各々の幅（Ｗ金属、Ｗガラス）を最適化することにより接着力のコントロールが可能であり、且つ、ペリクル剥がし時にペリクル粘着材６３周辺はガラス部６２と接着しているため、ペリクルをマスク基板５から容易に剥がすことが可能であり、マスク基板５上に粘着材残りが少ない剥がしが可能となる。
【００６８】
以上のように、第７実施例によれば、金属部６１とガラス部６２の各々の幅（Ｗ金属、Ｗガラス）を最適化することにより接着力のコントロールが可能であり、且つ、ペリクル剥がし時にペリクル粘着材６３周辺はガラス部６２と接着しているため、ペリクルをマスク基板５から容易に剥がすことが可能であり、マスク基板５上に粘着材残りが少ない剥がしが可能となることから、ペリクル剥がし後の洗浄が容易となる。
【００６９】
次に、本発明の第８実施例について説明する。
【００７０】
図２０は本発明の第８実施例を示すペリクルの上面図、図２１は図２０のＡ−Ａ線断面図、図２２は図２０のＢ−Ｂ線断面図である。
【００７１】
ここでは、ペリクルフレーム１をマスク基板５上のガラス部７１が大部分を占める領域に貼り付ける場合を説明する。
【００７２】
ペリクルフレーム１は、マスク基板５上のペリクル粘着材７３幅より小さい金属部７２とガラス部７１が交互に並べられている領域部分に、ペリクル粘着材７３により固定されている。
【００７３】
そこで、ペリクルフレーム１は、貼り付け圧力６によりマスク基板５上に接着される。前述したように、ペリクル粘着材７３とマスク基板５表面上金属部７２との接着力は、マスク基板５上のガラス部７１との接着力より大きい。
【００７４】
このことから、金属部７２とガラス部７１の各々の幅（Ｗ金属、Ｗガラス）を最適化することにより接着力のコントロールが可能であり、且つ、ペリクル剥がし時にペリクル粘着材７３周辺はガラス部７１と接着しているため、ペリクルをマスク基板５から容易に剥がすことが可能であり、マスク基板５上に粘着材残りが少ない剥がしが可能となる。
【００７５】
以上のように、第８実施例によれば、金属部７２とガラス部７１の各々の幅（Ｗ金属、Ｗガラス）を最適化することにより接着力のコントロールが可能であり、且つ、ペリクル剥がし時にペリクル粘着材７３周辺はガラス部７１と接着しているため、ペリクルをマスク基板５から容易に剥がすことが可能であり、マスク基板５上に粘着材７３残りが少ない剥がしが可能となる結果、ペリクル剥がし後の洗浄が容易となる。
【００７６】
次に、本発明の第９実施例について説明する。
【００７７】
図２３は本発明の第９実施例を示すペリクルの上面図、図２４は図２３のＡ−Ａ線断面図、図２５は図２３のＢ−Ｂ線断面図である。
【００７８】
ここでは、ペリクルフレーム１をマスク基板５上の金属部８１が大部分を占める領域に貼り付ける場合を説明する。
【００７９】
ペリクルフレーム１は、マスク基板５上のペリクル粘着材８３の幅より小さく、且つ、端部形状が鋭角または円弧状である金属部８１とガラス部８２が交互に並べられている領域部分に、ペリクル粘着材８３により固定されている。
【００８０】
そこで、ペリクルフレーム１は、貼付け圧力６によりマスク基板５上に接着される。前述したように、ペリクル粘着材８３とマスク基板５表面上金属部８１との接着力は、マスク基板５上のガラス部８２との接着力より大きい。
【００８１】
このことから、金属部８１とガラス部８２の各々の幅（Ｗ金属、Ｗガラス）を最適化することにより接着力のコントロールが可能であり、且つ、ペリクル剥がし時にペリクル粘着材８３周辺はガラス部８２と接着していることにより、ペリクルをマスク基板５から容易に剥がすことが可能であり、且つ、金属部８１の端部が鋭角、または円弧状であることから金属部８１とガラス部８２境界で容易に剥がすことが可能であることから、マスク基板５上に粘着材残りが少ない剥がしが可能となる。
【００８２】
以上のように、第９実施例によれば、金属部８１とガラス部８２の各々の幅（Ｗ金属、Ｗガラス）を最適化することにより接着力のコントロールが可能であり、且つ、ペリクル剥がし時にペリクル粘着材８３周辺はガラス部８２と接着しているため、容易に剥がすことが可能である。
【００８３】
また、金属部８１端部が鋭角又は円弧状であることから金属部８１とガラス部８２境界で容易に剥がすことが可能であることから、マスク基板５上に粘着材８３残りが少ない剥がしが可能となる結果、ペリクル剥がし後のマスク基板５の洗浄が容易となる。
【００８４】
次に、本発明の第１０実施例について説明する。
【００８５】
図２６は本発明の第１０実施例を示すペリクルの上面図、図２７は図２６のＡ−Ａ線断面図、図２８は図２６のＢ−Ｂ線断面図である。
【００８６】
ここでは、ペリクルフレーム１をマスク基板５上のガラス部９１が大部分を占める領域に貼り付ける場合を説明する。
【００８７】
ペリクルフレーム１は、マスク基板５上のペリクル粘着材９３の幅より小さく、且つ、端部形状が鋭角または円弧状である金属部９２とガラス部９１が交互に並べられている領域部分に、ペリクル粘着材９３により固定されている。
【００８８】
そこで、ペリクルフレーム１は、貼り付け圧力６によりマスク基板５上に接着される。前述したように、ペリクル粘着材９３とマスク基板５表面上金属部９２との接着力は、マスク基板５上のガラス部９１との接着力より大きい。
【００８９】
このことから、金属部９２とガラス部９１の各々の幅（Ｗ金属、Ｗガラス）を最適化することにより接着力のコントロールが可能であり、且つ、ペリクル剥がし時にペリクル粘着材９３周辺はガラス部９１と接着していることにより、ペリクルをマスク基板５から容易に剥がすことが可能であり、且つ、金属部９２端部が鋭角又は円弧状であることから金属部９２とガラス部９１境界で容易に剥がすことが可能であることから、マスク基板５上に粘着材残りが少ない剥がしが可能となる。
【００９０】
以上のように、第１０実施例によれば、金属部９２とガラス部９１の各々の幅（Ｗ金属、Ｗガラス）を最適化することにより、接着力のコントロールが可能であり、且つ、ペリクル剥がし時にペリクル粘着材９３周辺はガラス部９１と接着しているため、容易にマスク基板５から剥がすことが可能である。
【００９１】
また、金属部９２端部が鋭角または円弧状であることから金属部９２とガラス部９１境界で容易に剥がすことが可能であることから、マスク基板５上に粘着材９３残りが少ない剥がしが可能となる結果、ペリクル剥がし後の洗浄が容易となる。
【００９２】
次に、本発明の第１１実施例について説明する。
【００９３】
図２９は本発明の第１１実施例を示すペリクルの上面図、図３０は図２９のＡ−Ａ線断面図、図３１は図２９のＢ−Ｂ線断面図である。
【００９４】
ここでは、ペリクルフレーム１をマスク基板５上の金属部１０１が大部分を占める領域に貼り付ける場合を説明する。
【００９５】
ペリクルフレーム１は、ガラス部１０２内部にマスク基板５上のペリクル粘着材１０３幅より小さく、且つ、端部形状が鋭角又は円弧状である金属部１０１がチェッカフラッグ状に連続した領域部分に、ペリクル粘着材１０３により固定されている。
【００９６】
ここでは、ペリクルフレーム１は、貼り付け圧力６によりマスク基板５上に接着される。前述したように、ペリクル粘着材１０３とマスク基板５表面上金属部１０１との接着力は、マスク基板５上のガラス部１０２との接着力より大きい。
【００９７】
このことから、金属部１０１とガラス部１０２の各々の大きさ（Ｓ金属、Ｓガラス）を最適化することにより接着力のコントロールが可能となる。
【００９８】
このように、第１１実施例によれば、金属部１０１とガラス部１０２の各々の面積（Ｓ金属、Ｓガラス）を最適化することにより接着力のコントロールが可能であり、且つ、ペリクル剥がし時にペリクル粘着材１０３周辺はガラス部１０２と接着しているため、容易に剥がすことが可能である。
【００９９】
また、金属部１０１端部が鋭角または円弧状であることから金属部１０１とガラス部１０２境界で容易に剥がすことが可能であることから、マスク基板５上に粘着材１０３残りが少ない剥がしが可能となる結果、ペリクル剥がし後の洗浄が容易となる。
【０１００】
次に、本発明の第１２実施例について説明する。
【０１０１】
図３２は本発明の第１２実施例を示すペリクルの上面図、図３３は図３２のＡ−Ａ線断面図、図３４は図３２のＢ−Ｂ線断面図である。
【０１０２】
ここでは、ペリクルフレーム１をマスク基板５上のガラス部１１１が大部分を占める領域に貼り付ける場合を説明する。
【０１０３】
ペリクルフレーム１は、ガラス部１１１内部にマスク基板５上のペリクル粘着材１１３幅より小さく、且つ、端部形状が鋭角または円弧状である金属部１１２が連続した領域部分に、ペリクル粘着材１１３により固定されている。
【０１０４】
ここでは、ペリクルフレーム１は、貼り付け圧力６によりマスク基板５上に接着される。前述したように、ペリクル粘着材１１３とマスク基板５表面上金属部１１２との接着力は、マスク基板５上のガラス部１１１との接着力より大きい。
【０１０５】
このことから、金属部１１２とガラス部１１１の接着部分の各々の幅（Ｓ金属、Ｓガラス）を最適化することにより接着力のコントロールが可能となる。
【０１０６】
以上のように、第１２実施例によれば、金属部１１２とガラス部１１１の各々の面積（Ｓ金属、Ｓガラス）を最適化することにより接着力のコントロールが可能であり、且つ、ペリクル剥がし時にペリクル粘着材１１３周辺はガラス部１１１と接着しているため、容易に剥がすことが可能である。
【０１０７】
また、金属部１１２端部が鋭角または円弧状であることから金属部１１２とガラス部１１１境界で容易に剥がすことが可能であることから、マスク基板５上に粘着材残りが少ない剥がしが可能となる結果、ペリクル剥がし後の洗浄が容易となる。
【０１０８】
なお、半導体集積回路の製造方法に適用した例を説明したが、液晶等のホトリソ工程で使用されるマスク用ペリクルにも適用可能である。
【０１０９】
また、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、それらを本発明の範囲から排除するものではない。
【０１１０】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、マスク基板上からのペリクルの剥がれを適切に実施することができる。かつ、欠陥の無いマスクをホトリソ工程で使用できることから、高い歩留りが可能となる。
【０１１１】
また、マスク基板上へのペリクル接着力をコントロールすることにより、貼付時に必要以上の圧力が不要なことから、マスクダメージが小さく、また、ペリクルをマスクから剥がした後、粘着剤残りが無いため、欠陥が少ない高品質マスクの提供が可能であり、ホトリソ工程で高い歩留りが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は本発明の第１実施例を示すペリクルの上面図である。
【図２】  図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】  図１のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】  本発明の第２実施例を示すペリクルの上面図である。
【図５】  図４のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】  図４のＢ−Ｂ線断面図である。
【図７】  本発明の第３実施例を示すペリクルの上面図である。
【図８】  図７のＡ−Ａ線断面図である。
【図９】  本発明の第４実施例を示すペリクルの上面図である。
【図１０】  図９のＡ−Ａ線断面図である。
【図１１】  本発明の第５実施例を示すペリクルの上面図である。
【図１２】  図１１のＡ−Ａ線断面図である。
【図１３】  図１１のＢ−Ｂ線断面図である。
【図１４】  本発明の第６実施例を示すペリクルの上面図である。
【図１５】  図１４のＡ−Ａ線断面図である。
【図１６】  図１１のＢ−Ｂ線断面図である。
【図１７】  本発明の第７実施例を示すペリクルの上面図である。
【図１８】  図１７のＡ−Ａ線断面図である。
【図１９】  図１７のＢ−Ｂ線断面図である。
【図２０】  本発明の第８実施例を示すペリクルの上面図である。
【図２１】  図２０のＡ−Ａ線断面図である。
【図２２】  図２０のＢ−Ｂ線断面図である。
【図２３】  本発明の第９実施例を示すペリクルの上面図である。
【図２４】  図２３のＡ−Ａ線断面図である。
【図２５】  図２３のＢ−Ｂ線断面図である。
【図２６】  本発明の第１０実施例を示すペリクルの上面図である。
【図２７】  図２６のＡ−Ａ線断面図である。
【図２８】  図２６のＢ−Ｂ線断面図である。
【図２９】  本発明の第１１実施例を示すペリクルの上面図である。
【図３０】  図２９のＡ−Ａ線断面図である。
【図３１】  図２９のＢ−Ｂ線断面図である。
【図３２】  本発明の第１２実施例を示すペリクルの上面図である。
【図３３】  図３２のＡ−Ａ線断面図である。
【図３４】  図３２のＢ−Ｂ線断面図である。
【符号の説明】
１    ペリクルフレーム
５    マスク基板
２，１３，２３，３３，４３，５３，６３，７３，８３，９３，１０３，１１３    ペリクル粘着材
３，１２，２１，３２，４１，５２，６１，７２，８１，９２，１０１，１１２    金属部
４，１１，２２，３１，４２，５１，６２，７１，８２，９１，１０２，１１１    ガラス部
６    貼り付け圧力
【図１】
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【図２】
0004372308.tif 000003
【図３】
0004372308.tif 000004
【図４】
0004372308.tif 000005
【図５】
0004372308.tif 000006
【図６】
0004372308.tif 000007
【図７】
0004372308.tif 000008
【図８】
0004372308.tif 000009
【図９】
0004372308.tif 000010
【図１０】
0004372308.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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