(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送部品の受渡領域を有して通路に面するパスボックス付のクリーンルーム相互間を、床面に設けられた線路に沿って移動する搬送車で搬送部品を搬送する搬送システムであって、
前記搬送部品を載置する棚板と、複数の前記搬送部品を前記棚板上に収容しまたは前記棚板上から取り出すクレーンとを有し、前記クリーンルームの少なくとも１つに設けられて複数の前記搬送部品を収容するストッカーと、
前記棚板に対応する位置に前記棚板と同様の仕切板を備えた枠形で該ストッカーの搬送部品収容部としての機能を有すると共に、前記クレーンの動作で複数の前記搬送部品が収容されまたは取り出せるように構成され、複数の前記搬送部品を収容する大きさを有して前記ストッカーの前記受渡領域に載置されるコンテナと、
前記各クリーンルーム内で移動する第一の搬送車と、前記クリーンルーム間を移動する第二の搬送車とを含んで構成され、
前記ストッカーの前記受渡領域と第一及び第二の搬送車のそれぞれが、ストッカーと第一の搬送車間及び第一の搬送車と第二の搬送車間で前記コンテナを自動的に受渡しし得る移載手段を備えていることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記パスボックスが、前記第一の搬送車と第二の搬送車とを縦列駐車し得る大きさを備えていることを特徴とする請求項１記載の搬送システム。
【請求項３】
前記第二の搬送車が、該第二の搬送車の内部を横切る方向に流れて前記コンテナの前記搬送部品を収容する領域を通って片側の壁面から流出排気させる送風手段を備えていることを特徴とする請求項１記載の搬送システム。
【請求項４】
搬送部品の受渡領域を有して通路に面するパスボックス付のクリーンルーム相互間を、床面に設けられた線路に沿って移動する搬送車で搬送部品を搬送する搬送方法であって、
前記クリーンルーム間を繋ぐ単線化された主線路の一端に処理作業用のクリーンルームに対応する数の第二の搬送車を配する工程と、
前記各第二の搬送車を同一時間帯に同一方向に同時移動させて、該各第二の搬送車のそれぞれを対応するクリーンルームのパスボックス内に分岐移動させる工程と、
前記各クリーンルーム内のそれぞれに設ける支線路に沿って移動する第一の搬送車を前記パスボックス近傍に移動させる工程と、
複数の前記搬送部品を収容するコンテナを前記第一の搬送車と前記第二の搬送車間の自動的な受渡しで移載せしめる工程と、
移載終了後の前記各第二の搬送車を、同一時間帯に逆の方向に同時移動させて前記主線路に戻す工程と、を含むことを特徴とする搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は複数のクリーンルーム間でカセットやウェーハ等の電子部品を遣り取りする場合の搬送システムと搬送方法に係わり、特に部材倉庫としてのストッカーとクリーンルーム内の第一の搬送車間や該第一の搬送車と一般通路用の第二の搬送車間の電子部品の遣り取りを自動化し、または単線の主線路上の複数の第二の搬送車を同一時間帯・同一方向に移動させることで複数のクリーンルーム間での搬送効率アップによる生産性向上を図った搬送システムと搬送方法に関する。
【０００２】
最近の電子装置の生産工程では技術の進展と特性確保及び生産性向上に対応させるため、ストッカーや各種製造装置の殆ど総てを高度の防塵対策を備えたクリーンルーム内に配置すると共に工程途中の電子部品のストッカーと各製造装置間の一般通路を介する移動搬送に防塵対策を施した自動搬送車を利用するようになってきているが、搬送の効率化による生産性向上が強く求められている。
【０００３】
なお本発明では、上記工程途中の電子部品（以下搬送部品とする）がほぼ立方体状の外形を持つ電子機器用のカセットである場合を例として説明する。
【０００４】
【従来の技術】
図１４は技術的背景として搬送システムの適用場所を例示説明する図、図１５は従来の搬送システムの構成を説明する図、図１６は図１５のストッカーを説明する図、図１７は図１５のストッカーでのカセット取り出し状態を説明する図、図１８は図１５のクリーンルーム内の第一の搬送車を説明する図、図１９は図１５の一般通路用の第二の搬送車を説明する図、図２０は各搬送車間でのカセットの遣り取り状態を説明する図、図２１は従来の搬送方法を説明する図である。
【０００５】
搬送システムの適用場所を平面視して説明する図１４で、通常空間に位置する一般通路Ｒには隔壁Ｗ1 を介して第一のクリーンルームＣＲ-1と第二のクリーンルームＣＲ-2とが面しており、更に該各クリーンルーム間は上記隔壁Ｗ1 に繋がる隔壁Ｗ2 で隔てられている。
そして上記各クリーンルームＣＲ-1とＣＲ-2のそれぞれには、一般通路側と反対側との双方に位置する二重の開閉ドアＤ1 ，Ｄ2 で仕切られた通常のエアシャワー付パスボックスＰＢ-1，ＰＢ-2が設けられており、該各開閉扉の開閉とエアシャワーのタイミングを適当に設定することで上記一般通路Ｒとそれに繋がるクリーンルーム間の塵埃の行き来が遮断できるようになっている。
【０００６】
なお以下図１４を除く他の図面では、上記各開閉扉の設置が一般的なることもあってその図示や説明を省略する。
また上記一般通路Ｒの床面には該通路に沿って磁気テープからなる主線路Ｔ-1，Ｔ-2が複線として並行に設けられ、更に該各主線路のそれぞれから分岐し上記各エアシャワー付パスボックス（以下単にパスボックスとする）を経由して上記各クリーンルーム内の所定位置に伸びる支線路Ｔ-3，Ｔ-4が設けられている。
【０００７】
そして上記主線路や支線路からの磁気で誘導されて自走し得る自走搬送車ＡＧＶ（Automatic Guided Vehicle) を点線の如く主線路や支線路上に配置することで、該各自走搬送車ＡＧＶが自由に移動できるようになっている。
かかる適用場所に対応する搬送システムの構成を説明する図１５で、（ａ）は図１４の当該場所を平面視した図、（ｂ）は（ａ）を側面視した図である。
【０００８】
なお図では、図１４における第一のクリーンルームＣＲ-1を倉庫としまた第二のクリーンルームＣＲ-2を処理室として使用すると共に、クリーンルーム内に配する上記自走搬送車を第一の搬送車とし一般通路に配する自走搬送車を第二の搬送車とした場合を例として説明する。
図１５で搬送システム１は、上記第一のクリーンルームＣＲ-1に配設されるストッカー１１と、該ストッカー内のカセットＡの受渡領域１１ｃ近傍の床面に立設されているロボット１２と、該クリーンルーム内の支線路に配される第一の搬送車１３と、前記主線路Ｔ-1，Ｔ-2上で移動して上記クリーンルームＣＲ-1のパスボックスＰＢ-1に進入し得る第二の搬送車１４と、上記第二のクリーンルームＣＲ-2に配置される机１５と、該クリーンルーム内の支線路Ｔ-4に配される第一の搬送車１３′と、上記机近傍の床面に立設されるロボット１２  の諸設備を少なくとも含んで構成されているものである。
【０００９】
ここで理解し易くするため先に図１６乃至図１９で上記各設備を説明する。
ストッカーを説明する図１６で、（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は（ａ）を矢印ａ〜ａ′で断面視した正面図、（ｃ）は側壁を一部断面視した側面図、（ｄ）は天井側を一部断面視した平面図である。
図で、左右それぞれ二段重ねの前記カセットＡが十分な余裕を持って収容し得る断面積を持つ角形トンネル状のストッカー１１は、片側の開口側に長手方向に沿った中央域の床面１１ａとほぼ同じ高さで開口側端面１１ｂから突出する前記受渡領域１１ｃが前記カセットＡを載置するに足る面積を備えて形成されていると共に、上記床面１１ａの巾方向中心線上には断面角形で該床面から突出するクレーンガイド１１ｄが設けられているものである。
【００１０】
そして該ガイド両サイドの中心振り分け所定巾“ｂ”を越える位置から両側の側壁１１ｅまでの前記カセットＡの辺長を超える領域は上記床面に対する凸の段差面１１ｆがカセット載置面として形成され、且つ該凸の段差面には上記クレーンガイド側の壁面１１ｆ′から側壁１１ｅまで伸びる凹溝１１ｇが該カセットＡの辺長を越えるピッチで形成されているが、この場合の各凹溝１１ｇは前記開口側端面１１ｂから上記カセットＡの辺長の半分程度離れた位置を始点として等間隔に設けられているものである。
【００１１】
また上記両側壁１１ｅの高さ方向中間域には、上記凸の段差面１１ｆとほぼ同様の棚板１１ｈが上記凹溝１１ｇと同じ凹溝１１ｇを有して形成されており、該棚板１１ｈにも前記カセットＡが載置できるようになっている。
なお、前記受渡領域１１ｃの上面には高さが上記凸の段差面１１ｆの形成高さとほぼ等しい２本の直方体が前記カセットＡ用のカセット載置台１１ｊとして固定されている。
【００１２】
更に該ストッカー１１には上記クレーンガイド１１ｄを跨ぐロボット状のクレーン１１１が装着されているが、このクレーン１１１は図示されない制御部からの信号によって上記ガイドに沿って自在に往復動できると共に上記凹溝１１ｇに入り得る大きさのブレード１１１ａが該ストッカー巾方向への往復動と上下動・回転動作等が自在にできるように構成されている。
【００１３】
例えば図（ｂ）で、降下させた状態の上記ブレード１１１ａを矢印ａ1 のようにストッカー巾方向左側に移動させると該ブレード１１１ａが凸の段差面１１ｆにおける凹溝１１ｇに入り込むことから該凸の段差面に載置されているカセットを持ち上げられるようになり、また上記棚板１１ｈと対応する位置まで上昇させた状態のブレード１１１ａを矢印ａ2 のようにストッカー巾方向右側に移動させると該ブレード１１１ａが上記棚板１１ｈの凹溝１１ｇに入り込むことから該棚に載置されているカセットを持ち上げられるようになっている。
【００１４】
従って、上記カセット載置台１１ｊに位置するカセットやストッカーに収容されているカセットを自由に出し入れすることができる。
図１７で、（ａ）はカセット収容時のストッカー斜視図、（ｂ）はクレーンによるカセットの把持状態を示す平面図、（ｃ）はカセットの受渡領域への載置状態を示す平面図である。
【００１５】
図の（ａ）で、ストッカー１１における凸の段差面１１ｆと棚板１１ｈそれぞれの所定位置には、上記カセットＡが載置されている。
そこで（ｂ）に示す如く、前述したクレーン１１１を開口側端部のカセットＡ1 と対応する位置まで移動させた後、該クレーンのブレード領域を降下させてブレード１１１ａを下段のカセットＡ1 下側の凹溝１１ｇに対応させる。
【００１６】
次いで該ブレードをそのまま上記凹溝１１ｇに挿入してから該ブレードを僅かに上昇させると該カセットＡ1 が持ち上げられるので、例えば該ブレード領域をそのまま前述した受渡領域１１ｃのカセット載置台１１ｊまで回動して降下させることで、カセットＡ1 がカセット載置台１１ｊに置かれた（ｃ）に示す状態にすることができる。
【００１７】
なお上記回動の代わりに、持ち上げられたカセットＡ1 をクレーン軸上に戻してから該クレーンを移動させても（ｃ）の状態にすることができる。
また上記クレーン１１１のブレード領域を上昇させてブレード１１１ａを上段のカセットＡ2 下側の凹溝１１ｇに対応させた後、該ブレードを該凹溝１１ｇに挿入し、以下上記同様の手順を踏むことでカセットＡ2 をカセット載置台１１ｊに載置することができる。
【００１８】
一方図示されない制御部からの信号で動作する図１５で示したロボット１２は、その上部に伸縮自在で且つ三次元方向に移動し得るアームを備えていると共に該アームの先端には図示されない真空ポンプに繋がる真空吸着機構を備えているものであり、該真空吸着機構部を上記カセットＡ1 の上面に当接させることで該カセットＡ1 が自在に移動できるようになっている。
【００１９】
従って、前記ストッカー１１の受渡領域１１ｃに位置するカセットＡを後述する第一の搬送車１３に容易に移載することができる。
図１８で前記ＡＧＶとしての第一の搬送車１３は、積載しているバッテリーを電源とし前記主線路Ｔ1 ，Ｔ2 や支線路Ｔ3 ，Ｔ4 を構成する磁気テープからの信号で該各線路に沿って前後進可能に誘導される機能を備えた通常公知のものであり、その上面１３ａには前記カセット載置台１１ｊと同様のカセット載置台１３ｂが装着されている。
【００２０】
また図１９で前記ＡＧＶとしての第二の搬送車１４は、上記第一の搬送車１３と該搬送車の上面１３ａを余裕を持って覆い得るカバー１４１とで構成されるものである。
そして上記第一の搬送車１３の上面近傍の側面で該第一の搬送車に固定されるこの場合の上記該カバー１４１には、搬送車としての進行方向前後の壁面１４１ａのほぼ全面に外気を遮断し得る開閉扉１４２が設けられているが、該開閉扉１４２の下端辺は上記カセットＡの移載に便なるように上記上面１３ａより低く位置するように設定されている。
【００２１】
また図１５で示した机１５は所要の製造装置や試験装置等を含めた通常のものであり、その所定位置にカセットＡを位置せしめることで爾後の処理作業や検査が容易に実現し得るようになっているものである。
図２０は上記第一の搬送車と第二の搬送車間のカセット受渡状態を時系列的に説明する図であり、（ａ）は受渡前の状態を、（ｂ）は受渡直前の状態を、（ｃ）は受渡時の状態をそれぞれ示している。
【００２２】
すなわちカセット受渡前の（ａ）の状態では、前記ストッカー１１の近傍の支線路Ｔ-3上に位置する第一の搬送車１３には複数（図では２個）のカセットＡが前述したロボット１２の動作によって載置されており、また主線路Ｔ-1上には空の第二の搬送車１４が位置している。
そこで上記第一の搬送車１３を前記パスボックスＰＢ-1近傍まで移動させると共に、支線路Ｔ-3に分岐させた上記第二の搬送車１４をパスボックスＰＢ-1に入れると該搬送車１４の車輪領域を含む外面の全部がエアシャワーで清掃されて（ｂ）で示す状態になる。
【００２３】
次いで第二の搬送車１４のクリーンルーム側の開閉扉１４２を開けた（ｃ）で示す状態で、第一の搬送車上の各カセットＡをマニュアル手段で第二の搬送車に移載することで、清浄雰囲気中での搬送車間のカセットの受渡しを実現することができる。
従って図１５に示す如く、ストッカー１１に保管されているカセットＡを順次上記ロボット１２で第一の搬送車１３に載置した後、該搬送車１３を前記パスボックスＰＢ-1の近傍まで移動せしめると共に上記主線路Ｔ-1上の第二の搬送車１４を上記パスボックスＰＢ-1内に位置せしめる。
【００２４】
次いで、上記第一の搬送車上のカセットＡを上述したように第二の搬送車１４に移載した後、該第二の搬送車１４を主線路Ｔ-1を経由して第二のクリーンルームＣＲ-2のパスボックスＰＢ-2内に移動せしめ、該クリーンルーム内の第一の搬送車１３′に上記カセットＡを上記同様の方法で移載した後、該第一の搬送車１３′を上記作業机１５近傍まで移動させ更に前記ロボット１２を使用することで該カセットＡを作業机上に移載することができる。
【００２５】
一方従来の搬送方法では上述したように主線路を複線化しているが、この場合には該主線路が一般通路Ｒを塞いで他の物流や人の往来に支障を来たし易いことから、主線路を単線化させて第二の搬送車１４をシャトル的に往復動させることがある。
図２１は主線路を単線化させた上で３個のクリーンルーム間のカセットＡの搬送を１台の第二の搬送車１４で実現する搬送方法を例示したものである。
【００２６】
すなわち図で、主線路Ｔ-1の一端には上記第二の搬送車充電用の電池室Ｃが設けられ、該主線路Ｔ-1からは３個のクリーンルームＣＲ-1，ＣＲ-2，ＣＲ-3のそれぞれに支線路Ｔ-3，Ｔ-4，Ｔ-5が分岐している。
そして１台の第二の搬送車１４を主線路Ｔ-1上で適宜往復動させて各支線路Ｔ-3，Ｔ-4，Ｔ-5へ分岐せしめ、それぞれのクリーンルーム内に配した第一の搬送車１３との間でカセットを遣り取りすることで、各クリーンルーム間のカセットＡの搬送を実現するようにしている。
【００２７】
例えばクリーンルームＣＲ-1内のカセットＡを２個のクリーンルームＣＲ-2とＣＲ-3のそれぞれに搬送する場合には、充電済の第二の搬送車１４を一旦クリーンルームＣＲ-1のパスボックスＰＢ-1に進入せしめてカセットＡを受取った後クリーンルームＣＲ-2のパスボックスＰＢ-2に１４′の如く進入させてカセットＡを移載せしめ、更にクリーンルームＣＲ-1のパスボックスＰＢ-1でカセットＡを受取った後クリーンルームＣＲ-3のパスボックスＰＢ-3に１４″の如く進入させてカセットＡを移載せしめる、等の方法を採るようにしている。
【００２８】
【発明が解決しようとする課題】
従来の搬送システムでは、ストッカーと第一の搬送車間のカセットの遣り取りにロボットを使用するため特に複数のカセットを移載するときにはロボットアームを昇降させたり上記第一の搬送車を前後進させる等複雑な機構や制御が必要となるばかりでなく移載に長時間を要すると言う問題があり、また第一の搬送車と第二の搬送車間のカセットの遣り取りにマニュアル等特別な移載手段が必要になると言う問題があった。
【００２９】
また従来の搬送方法では、主線路上を往復動する１台の第二の搬送車１４で複数のクリーンルーム間のカセット搬送で実現させているため、搬送カセット数の増加につれて第二の搬送車の搬送頻度が増えることとなり、結果的に一般通路Ｒでの物流や人の往来との共用が難しくなると言う問題があった。
【００３０】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、搬送部品の受渡領域を有して通路に面するパスボックス付のクリーンルーム相互間を、床面に設けられた線路に沿って移動する搬送車で搬送部品を搬送する搬送システムであって、前記クリーンルームの少なくとも１つに設けられるストッカーと、複数の前記搬送部品を収容する大きさを有して前記ストッカーの前記受渡領域に載置されるコンテナと、前記各クリーンルーム内で移動する第一の搬送車と、前記クリーンルーム間を移動する第二の搬送車とを含んで構成され、前記ストッカーの前記受渡領域と第一及び第二の搬送車のそれぞれが、ストッカーと第一の搬送車間及び第一の搬送車と第二の搬送車間で前記コンテナを自動的に受渡しし得る移載手段を備えている搬送システムによって解決される。
【００３１】
また、搬送部品の受渡領域を有して通路に面するパスボックス付のクリーンルーム相互間を、床面に設けられた線路に沿って移動する搬送車で搬送部品を搬送する搬送方法であって、前記クリーンルーム間を繋ぐ単線化された主線路の一端に処理作業用のクリーンルームに対応する数の第二の搬送車を配する工程と、
前記各第二の搬送車を同一時間帯に同一方向に同時移動させて、該各第二の搬送車のそれぞれを対応するクリーンルームのパスボックス内に分岐移動させる工程と、前記各クリーンルーム内のそれぞれに設ける支線路に沿って移動する第一の搬送車を前記パスボックス近傍に移動させる工程と、複数の前記搬送部品を収容するコンテナを第一の搬送車と第二の搬送車間の自動的な受渡しで移載せしめる工程と、移載終了後の前記各第二の搬送車を、同一時間帯に逆の方向に同時移動させて前記主線路に戻す工程と、を含む搬送方法によって解決される。
【００３２】
ストッカーと第一の搬送車間のカセットの遣り取りや第一の搬送車と第二の搬送車間のカセットの遣り取りが自動的に実現できるように搬送システムを構成すると、従来の搬送システムで必要とするロボットやマニュアル等による移載手段をなくすことができる。
また単線化された主線路上に複数の第二の搬送車を配置した上で一定時間内全て同じ方向に移動させる搬送方法にすると、１度に多くのカセットを搬送することができる。
【００３３】
そこで本発明では、搬送システムについては、ストッカーでのカセット収容状態と同様に複数のカセットが収容できる棚板付のコンテナを搬送単位とした上で、ストッカーの開口側端部と第一及び第二の各搬送車上面とにコンテナ遣り取り用のベルトコンベアを設けて搬送システムを構成するようにしている。
このことは、上記コンテナへの複数のカセット収容に関しては該ストッカー内に設置されている従来のクレーンがそのまま使用できると共に、前述したロボットが削減できると同時にマニュアルによる移載手段がなくなってストッカー〜第一の搬送車〜第二の搬送車間のコンテナひいてはカセットの相互移載がすべて自動化できることを意味する。
【００３４】
また搬送方法については、単線化させた主線路上に複数の第二の搬送車を配した上で該各第二の搬送車を一定時間同一方向に一斉に移動できるように搬送方法を構成している。
このことは、一般通路での物流や人の往来を妨げることなくコンテナひいてはカセットの搬送の効率化と搬送量増加とが容易に実現できることを意味する。
【００３５】
従って、搬送工程での生産性向上を期待することができる。
【００３６】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の搬送システムの全体構成を示す図であり、図２は図１におけるストッカーを説明する図、図３は図１におけるコンテナを説明する図、図４は図２のストッカーへのコンテナの収容手段を説明する図、図５は図１における第一の搬送車を説明する図、図６はストッカーと第一の搬送車間の移載手段を説明する図、図７は図１における第二の搬送車を説明する図、図８は第一の搬送車と第二の搬送車間の移載手段を説明する図、図９は図１における作業机を説明する図、図１０は本発明の搬送方法を時系列的に説明する図である。
【００３７】
また、図１１は第一の搬送車と第二の搬送車間の他の移載手段を説明する図、図１２は他の第二の搬送車を説明する図、図１３は図１２における第二の搬送車の搬送状態を説明する図、である。
なお図では、いずれも図１４で説明した適用場所や設備に本発明を適用させる場合を例としているので、図１５乃至図２１と同じ対象部材や部位には同一の記号を付して表わすと共に重複する説明についてはそれを省略する。
【００３８】
本発明になる搬送システムを説明する図１で、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。
図１で搬送システム２は、前記第一のクリーンルームＣＲ-1に配設されるストッカー２１と、該ストッカー２１内に配置されるコンテナ２２と、上記クリーンルーム内の支線路Ｔ-3に配される第一の搬送車２３と、前記主線路Ｔ-1上で移動し得る第二の搬送車２４と、前記第二のクリーンルームＣＲ-2に配置される作業机２６と、該クリーンルーム内の支線路Ｔ-4に配される第一の搬送車２３  の諸設備を少なくとも含んで構成されている。
【００３９】
なお上記クリーンルームＣＲ-1，ＣＲ-2のそれぞれが、一般通路Ｒ側にパスボックスＰＢ-1，ＰＢ-2を備えていることは前述した通りである。
ここで前記同様に理解し易くするため、先に図２乃至図１０で上記各設備をその動作を含めて説明する。
図１で示した本発明に関わるストッカーを説明する図２で、（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は（ａ）を開口側から見た正面図、（ｃ）は（ｂ）を矢印ａ〜ａ′で断面視した側面図、（ｄ）は天井側を一部断面視した平面図である。
【００４０】
図２でストッカー２１は、前記ストッカー１１における受渡領域１１ｃを削除すると共に、該ストッカー１１の両側壁内に設けた前記凸の段差面１１ｆと棚板１１ｈの形成領域のみを開口側端面１１ｂから所定距離（例えば図示の如くストッカー長手方向で隣接する２個のカセット載置長さ）だけ後退させた上でその後退領域のみを前記床面１１ａに対する凹の段差面２１ａに形成し、更に該凹の段差面２１ａの領域にストッカー長手方向で往復動するベルトコンベア２１１を配設したものである。
【００４１】
なお、上記床面１１ａに設けたクレーンガイド１１ｄをガイドとする前記クレーン１１１が設けられていることは上記ストッカー１１と同様である。
従って上記クレーン１１１で前記カセットＡを該ストッカー２１に収容すると、上記ベルトコンベア２１１の配設領域を除く凸の段差面１１ｆ上と棚板１１ｈ上とに図（ｂ），（ｃ）の破線Ｂで示す如く載置することができる。
【００４２】
また図１におけるコンテナを説明する図３で、（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は（ａ）を一部断面視した側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は（ｃ）を矢印ａ〜ａ′で断面視した平面図である。
図３でコンテナ２２は、前記ストッカー２１の棚板１１ｈに対応する仕切板２２ａを備えた枠形で該ストッカーの棚としての機能を有すると同時に、前記クレーン１１１の動作で複数の前記カセットＡを収容しまたは取り出せるように構成されているものである。
【００４３】
すなわち平面視サイズが上記ストッカー２１におけるベルトコンベア２１１の平面視サイズにほぼ対応する大きさで側面視高さが該ストッカー２１における凸の段差面１１ｆから天井面までの高さを超えない正面視枠形で、且つ上記ストッカー２１における棚板１１ｈと対応する位置に該棚板と同様の仕切板２２ａが設けられているものである。
【００４４】
そして底板２２ｂの上面には上記凸の段差面１１ｆにおける凹溝１１ｇと同じ大きさの凹溝２２ｃが該凹溝１１ｇと対応する位置に設けられていると共に、上記仕切板２２ａ上面の該凹溝２２ｃと対応する位置にも該凹溝２２ｃひいては上記凹溝１１ｇと同じ大きさの凹溝２２ｄが設けられている。
従って、前記カセットＡを該コンテナ２２に収容することで図（ｃ）の破線Ｂで示す状態にすることができるが、この場合の該コンテナへのカセットＡの収容は上記凹溝２２ｃと２２ｄをストッカー２１における凹溝１１ｇに合わせているので該ストッカー２１の前記クレーン１１１で実現できるようになっている。
【００４５】
ストッカーへのコンテナの収容手段を説明する図４で、（ａ）はコンテナ未収容状態を示し、（ｂ）はコンテナ収容時の状態を、（ｃ）はカセット収容時の状態をそれぞれ示している。
すなわち図の（ａ）で、図２で説明した前記ストッカー２１のベルトコンベア２１１を除く領域に位置する前記凸の段差面１１ｆと棚板１１ｈそれぞれの所定位置には、該ストッカー２１に装着されている前記クレーン１１１によって前記カセットＡが載置収容されている。
【００４６】
そこで、図３で説明したコンテナ２２を上記ストッカー２１のベルトコンベア領域にセットするが、この場合のセットは上記ベルトコンベア２１１を矢印ａ1 方向に移動させながらカセット未収容の空のコンテナの下面端部を該ベルトコンベアの端部に載せることで実現できるので、該ベルトコンベアの動作時間を設定するだけで容易に（ｂ）に示す状態にすることができる。
【００４７】
次いで、前述したクレーン１１１の動作で該コンテナ近傍のカセットＡを順次該コンテナの底板２２ｂと仕切２２ａに移載することで、図（ｃ）に示すようにカセットＡをコンテナに収容することができる。
一方図５で上記第一の搬送車２３は、図１８で説明した第一の搬送車１３と同様にバッテリーを電源とし前記主線路Ｔ-1，Ｔ-2や支線路Ｔ-3，Ｔ-4を構成する磁気テープからの信号で該各線路に沿って前後進可能に誘導される機能を備えているものであり、その上面に進行方向に対して前後進し得るコンテナ２３１を備えて構成されているものである。
【００４８】
そして搬送車としての床面から上記ベルトコンベア２３１の上面までの高さ“ｈ1 ”は、上記ストッカー２１における基盤面からベルトコンベア２１１の上面までの高さ“ｈ2 ”にほぼ対応するようになっている。
従ってストッカー２１と上記第一の搬送車２３間のコンテナすなわちカセットＡの移載状態を断面視した図６の（ａ）で示す如く、ストッカー２１におけるベルトコンベア上面と該第一の搬送車２３のベルトコンベア上面とがほぼ同一面になるので、この状態で該ストッカー２１のベルトコンベア２１１と第一の搬送車２３のベルトコンベア２３１とを共に図示ａ2 方向に動作させることで、図（ｂ）のようにストッカー側ベルトコンベア２３１上のカセットＡ収容済のコンテナ２２をそのまま第一の搬送車２３のベルトコンベア２３１上に破線の如く移載することができてコンテナひいてはカセットＡとしての移載を実現することができる。
【００４９】
なお上記ベルトコンベア２１１は、例えば磁気テープからなる前記線路Ｔ-1，Ｔ-3等からの磁気信号によって自動的に動作させまた該動作を停止させられるようになっている。
また図７で上記第二の搬送車２４は、上記第一の搬送車２３とその上面をベルトコンベアと上記コンテナとを含めて余裕を持って覆い得るカバー２４１とで構成されるものである。
【００５０】
そして上記第一の搬送車２３のベルトコンベア近傍の側面で該第一の搬送車に固定されるこの場合の上記該カバー２４１には、搬送車としての進行方向前後の壁面２４１ａのほぼ全面に外気を遮断し得る開閉扉２４２が設けられているが、該開閉扉１４２の下端辺が上記ベルトコンベア２３１より低く位置するように設定されていることは前記第二の搬送車１４の場合と同様である。
【００５１】
第一の搬送車と第二の搬送車間のコンテナの移載手段を説明する図８の（ａ）で、クリーンルームＣＲ-1内の支線路Ｔ-3上にはカセット収容済のコンテナ２２を載置した第一の搬送車２３が、また主線路Ｔ-1上には空の第二の搬送車２４がそれぞれ位置している。
そこで先ず、上記第一の搬送車２３を上記クリーンルームのパスボックスＰＢ-1の直前まで移動させると共に上記第二の搬送車２４を前述したように該パスボックスＰＢ-1内に移動させて（ｂ）に示す状態にする。
【００５２】
なおこの時点で、該第二の搬送車２４はその車輪を含む外面が清掃されることは前述した通りである。
次いで、（ｃ）に示す如く前記開閉扉２４２を開けた第二の搬送車２４に上記第一の搬送車２３を接するように接近させた状態で該各搬送車のベルトコンベア２３１を矢印ａ2 方向に移動させると、円内図に示すように第一の搬送車２３上のコンテナ２２を第二の搬送車２４に移載することができる。
【００５３】
従って、以後（ｄ）に示す如く第一の搬送車２３を所定の位置まで後退させると共に上記開閉扉２４２を閉じた状態の第二の搬送車２４を主線路Ｔ-1に戻すことで、搬送車間のコンテナ移載を実現することができる。
図９で本発明に関わる作業机２６は、各種の処理作業等に必要とする機器装置や試験検査器具等を設置するものであるが、その受渡領域の部分が凹の段差面２６ａに形成されていると共に、該凹の段差面領域に例えば前記ストッカー２１におけるベルトコンベア２１１と同様のベルトコンベア２６１を設置したものであり、該作業机２６の基盤面から上記ベルトコンベア２６１の上面までの高さ“ｈ3 ”が前記第一の搬送車２３の高さ“ｈ1 ”と合致するように設定されているものである。
【００５４】
従って、上記第一の搬送車２３のベルトコンベア２３１と上記作業机２６のベルトコンベア２６１を同じ方向に動作させることで、該作業机２６と第一の搬送車２３間のコンテナ２２の受渡し遣り取りを図６で説明したように実現することができる。
従って以下図１の（ｂ）に示す如く、空になった第一の搬送車に例えば前述した如くストッカー２１から次のコンテナ２２を移載する。
【００５５】
一方、主線路Ｔ-1上の第二の搬送車２４を例えば処理作業用の第二のクリーンルームＣＲ-2のパスボックスＰＢ-2内に導き、更に該パスボックス近傍まで移動させたクリーンルーム内の第一の搬送車２３に上述した移載手段で上記コンテナ２２を移載し、更に該第一の搬送車２３を作業机２６の近傍まで移動させて該第一の搬送車のベルトコンベア２３１と該作業机のベルトコンベア２６１の動作で上記コンテナ２２を該作業机上に移載することで、所要のコンテナひいてはカセットＡの作業机までの搬送が容易に実現できる搬送システム２を構成することができる。
【００５６】
かかる搬送システムでは、ストッカーや作業机と第一の搬送車間の積替用ロボットや第一の搬送車と第二の搬送車間の特別なマニュアル積み替え作業等を要することなく、複数のカセットＡを任意のクリーンルーム間で容易且つ効率的に搬送することができて生産性の向上を実現することができる。
本発明の搬送方法を時系列的に説明する図１０で、（ａ）は適用場所を例示した平面図、（ｂ）は搬送時のシーケンスダイアグラムを示す図である。
【００５７】
なお図（ａ）では図２１の場合と同様に、主線路Ｔ-1の一端に上記第二の搬送車充電用の電池室Ｃが設けられ、該主線路Ｔ-1から倉庫としてのクリーンルームＣＲ-1を含む３個のクリーンルームＣＲ-1，ＣＲ-2，ＣＲ-3のそれぞれに支線路Ｔ-3，Ｔ-4，Ｔ-5を分岐している場合とし、また処理作業用としての上記二つのクリーンルームＣＲ-2，ＣＲ-3のそれぞれに対応するように２台の第二の搬送車２４-1，２４-2を主線路Ｔ-1に配置する場合を例としている。
【００５８】
そして倉庫としての上記クリーンルームＣＲ-1で２台の第二の搬送車２４-1，２４-2に移載されたコンテナを処理作業用の上記クリーンルームＣＲ-2，ＣＲ-3のそれぞれに搬送し、また該各クリーンルームＣＲ-2，ＣＲ-3のそれぞれで移載された作業済カセットを収容したコンテナを倉庫としてのクリーンルームＣＲ-1に搬送する場合について説明する。
【００５９】
また図（ｂ）では、縦軸を上記クリーンルームＣＲ-1からの距離Ｌとし横軸を該クリーンルームＣＲ-1対応位置からの経過時間Ｔとして示している。
すなわち図の（ａ），（ｂ）で、倉庫としてのクリーンルームＣＲ-1でカセット収容済のコンテナ２２を積載した状態で充電室Ｂで充電した２台の第二の搬送車２４-1，２４-2を同時に発進させると、主線路Ｔ-1を共に矢印Ａ1 方向に進む先頭の第二の搬送車２４-1が先ずクリーンルームＣＲ-2への分岐点ｐ1 で主線路から分岐して該クリーンルームのパスボックスＰＢ-2に進入するが、続く第二の搬送車２４-2はそのまま進行しクリーンルームＣＲ-3への分岐点ｐ2 で主線路から分岐して該クリーンルームのパスボックスＰＢ-3に進入する。
【００６０】
そして該各パスボックスＰＢ-2，ＰＢ-3で前述した如くそれぞれのクリーンルーム側の第一の搬送車２３に上記コンテナを移載すると同時に、必要に応じて作業済カセットを収容したコンテナ２２を移載する。
そこで上記各第二の搬送車２４-1と２４-2を逆方向に発進させるが、上記各クリーンルームＣＲ-2，ＣＲ-3のクリーンルームＣＲ-1からの距離（Ｌ）の違いによって搬送車２４-2が搬送車２４-1よりも時間“ｔ”だけ遅れて主線路Ｔ-1に戻るので、該主線路Ｔ-1上で相互に干渉することなく共に矢印Ａ2 方向に進行して倉庫としての上記クリーンルームＣＲ-1のパスボックスＰＢ-1に進入させることができる。
【００６１】
かかる搬送方法では、例えば処理作業用のクリーンルームが５個の場合には上記主線路Ｔ-1上に５台の第二の搬送車２４を配する等、処理作業用のクリーンルーム数に合わせて第二の搬送車２４を主線路Ｔ-1上に配することで、同一時間帯・同一方向への各搬送車の往復移動が可能になって効率的な搬送が実現できるメリットがある。
【００６２】
更に、上記各パスボックスＰＢ-1〜ＰＢ-3での第一の搬送車と第二の搬送車間でのコンテナの遣り取りには、マニュアル作業等を必要とせずすべて前述したベルトコンベア２１１を使用するので該遣り取りに要する時間が各パスボックスごとでほぼ同一となり、結果的にｐ1 とｐ2 間の時間差“ｔ1 ”とほぼ同じ時間差“ｔ2 ”の点ｐ1 ′とｐ2 ′で共に作業が終了することから、以後の搬送時の時間設定が極めて容易にできるメリットがある。
【００６３】
搬送システムとしての応用例を本発明に関わる主要部を抽出して示した図１１で、（ａ）はクリーンルーム内のパスボックスを示した平面図、（ｂ）はコンテナ移載時の状態を、（ｃ）は搬送時の状態をそれぞれ示したものである。
図でこの場合の搬送システム３は、図１の搬送システム２の各クリーンルームにおけるパスボックスＰＢ-1とＰＢ-2のみを、図（ａ）に示す如くその平面視サイズが前記第一の搬送車２３と第二の搬送車２４とが縦列状態で入り得る大きさのパスボックスＰＢ-6に変えて構成したものである。
【００６４】
そして、クリーンルームＣＲ-1内のカセット収容済の上記コンテナ２２が積載された第一の搬送車２３と、主線路Ｔ-1上に位置する空の第二の搬送車２４とを共に該パスボックスＰＢ-6に移動させると、該各搬送車２３，２４のそとめんを清掃することができる。
次いで図（ｂ）に示す如く、開閉扉２４２を開けた第二の搬送車に第一の搬送車２３を接するように接近させ、両車それぞれのベルトコンベア２３１を前記ａ2 方向に動作させて上記コンテナ２２を第二の搬送車２４に移載させる。
【００６５】
その後、図（ｃ）のように第一の搬送車２３を所定の位置まで後退させると共に上記第二の搬送車２４を主線路Ｔ-1に戻すことで、搬送車間のコンテナ移載を実現することができる。
かかるパスボックスＰＢ-6を備えた搬送システム３では、搬送車間のコンテナ移載がエアシャワーからなる清掃手段を備えたパスボックス内で実現できることから、コンテナ移載時に発生し易い塵埃が除去できるメリットがある。
【００６６】
なお、第二の搬送車２４に積載された上記コンテナを他のクリーンルーム内に搬送するときでも、該クリーンルームに上記パスボックスＰＢ-6を設けることで同様のメリットを得ることができる。
第二の搬送車の応用例を説明する図１２で、（ａ）は全体斜視図であり、（ｂ）は進行方向に直行する面での断面図である。
【００６７】
図で第二の搬送車２５は、前述した第二の搬送車２４におけるカバー２４１のみを本発明に関わるカバー２５１に変えたものである。
すなわちこの場合のカバー２５１は、上記カバー２４１と同様に第一の搬送車２３のベルトコンベア近傍の側面で該第一の搬送車に固定されるものであり、その進行方向前後の壁面２５１ａのほぼ全面に外気を遮断し得るように前記開閉扉２４２が設けられていることも上記カバー２４１と同様である。
【００６８】
更に該カバー２５１には、その天井域に該カバー内部に送風し得る送風手段２５２が設けられていると共に進行方向と並行する片側の壁面２５１ｂに複数の排気孔２５１ｃが設けられ、上記送風手段２５２からの気流が上記壁面２５１ｂとの対向壁面２５１ｄ側に設けた開口孔２５１ｅを通ってカバー内部に流入するように構成されている。
【００６９】
このことは上記送風手段２５２からの気流が、上記開口孔２５１ｅを通った後に該第二の搬送車２５に載置されているコンテナ２２のカセット収容域を通って上記排気孔２５１ｃから排出される矢印ａ3 の流路を経ることを示している。
従ってコンテナとカセットの表面やベルトコンベア近傍等に付着している塵埃等を常時清掃することができて更なるクリーンアップが実現できるメリットがある。
【００７０】
上記第二の搬送車の搬送状態を説明する図１３の（ａ）で、クリーンルームＣＲ-1内の支線路Ｔ-3にはコンテナ２２を載置した前記第一の搬送車２３が、また主線路Ｔ-1上には空の上記第二の搬送車２５がそれぞれ位置しており、該第二の搬送車２５の内部は上記送風手段２５２からの気流によって清掃されている。
そこで、上記第一の搬送車２３を上記クリーンルームのパスボックスＰＢ-6内に移動させると共に上記送風手段２５２を停止させた第二の搬送車２５を該パスボックス内に移動させて（ｂ）に示す状態にするが、この時点で該第二の搬送車２５の車輪を含む外面が清掃されることは前述した通りである。
【００７１】
そしてこの時点で、前述した如く開閉扉２４２を開けた第二の搬送車２５に第一の搬送車２３を上記同様に接近させ、両車それぞれのベルトコンベア２３１を動作させて上記コンテナ２２を第二の搬送車２５に移載させる。
以後（ｃ）に示す如く、第一の搬送車２３を後退させると共に上記開閉扉を閉じた第二の搬送車２５を主線路Ｔ-1に戻して上記送風手段２５２を動作させながら移動させると、コンテナとカセットの表面やその近傍及びベルトコンベア近傍等に付着している塵埃等が除去できるので、更なるクリーンアップ状態で所要のコンテナひいてはカセットＡを搬送することができる。
【００７２】
なお、第二の搬送車２５に積載された上記コンテナを他のクリーンルーム内に搬送するときでも該第二の搬送車２５を該クリーンルームのパスボックスＰＢ-6内に移動させてその車輪を含む外面を清掃することで、該第二の搬送車の内外共の清浄状態を保ったままコンテナひいてはカセットＡの移載と搬送が実現できるメリットがある。
【００７３】
また上記第二の搬送車２５を図１で説明した搬送システム２における第二の搬送車２４に代えて搬送システムを構成しても同等の効果を得ることができる。
（付記１）搬送部品の受渡領域を有して通路に面するパスボックス付のクリーンルーム相互間を、床面に設けられた線路に沿って移動する搬送車で搬送部品を搬送する搬送システムであって、前記クリーンルームの少なくとも１つに設けられるストッカーと、複数の前記搬送部品を収容する大きさを有して前記ストッカーの前記受渡領域に載置されるコンテナと、前記各クリーンルーム内で移動する第一の搬送車と、前記クリーンルーム間を移動する第二の搬送車とを含んで構成され、前記ストッカーの前記受渡領域と第一及び第二の搬送車のそれぞれが、ストッカーと第一の搬送車間及び第一の搬送車と第二の搬送車間で前記コンテナを自動的に受渡しし得る移載手段を備えていることを特徴とする搬送システム。
【００７４】
（付記２）前記コンテナが、前記ストッカーに設けられた棚板に対応する仕切板を備えた枠形で該ストッカーの搬送部品収容部としての機能を有すると共に、前記ストッカーに設けられたクレーンの動作で複数の前記搬送部品が収容されまたは取り出せるように構成されていることを特徴とする付記１記載の搬送システム。
【００７５】
（付記３）前記コンテナの移載手段が、該コンテナの受渡し方向に往復動可能なベルトコンベアで構成されていることを特徴とする搬送システム。
（付記４）前記パスボックスが、前記第一の搬送車と第二の搬送車とを縦列駐車し得る大きさを備えていることを特徴とする付記１記載の搬送システム。
（付記５）前記第二の搬送車が、該第二の搬送車の内部を横切る方向に流れて片側の壁面から流出排気させる送風手段を備えていることを特徴とする付記１記載の搬送システム。
【００７６】
（付記６）搬送部品の受渡領域を有して通路に面するパスボックス付のクリーンルーム相互間を、床面に設けられた線路に沿って移動する搬送車で搬送部品を搬送する搬送方法であって、前記クリーンルーム間を繋ぐ単線化された主線路の一端に処理作業用のクリーンルームに対応する数の第二の搬送車を配する工程と、前記各第二の搬送車を同一時間帯に同一方向に同時移動させて、該各第二の搬送車のそれぞれを対応するクリーンルームのパスボックス内に分岐移動させる工程と、前記各クリーンルーム内のそれぞれに設ける支線路に沿って移動する第一の搬送車を前記パスボックス近傍に移動させる工程と、複数の前記搬送部品を収容するコンテナを第一の搬送車と第二の搬送車間の自動的な受渡しで移載せしめる工程と、移載終了後の前記各第二の搬送車を、同一時間帯に逆の方向に同時移動させて前記主線路に戻す工程と、を含むことを特徴とする搬送方法。
【００７７】
（付記７）前記第一の搬送車と第二の搬送車間での搬送部品の自動的な受渡しを，前記パスボックス内で行わしめることを特徴とする搬送方法。
【００７８】
【発明の効果】
上述の如く本発明により、ストッカーとクリーンルーム内の第一の搬送車間や該第一の搬送車と一般通路用の第二の搬送車間の電子部品の遣り取りを自動化し、または単線の主線路上の複数の第二の搬送車を同一時間帯・同一方向に移動させることで複数のクリーンルーム間での搬送効率アップによる生産性向上を図った搬送システムと搬送車及び搬送方法を提供することができる。
【００７９】
なお本発明では、ストッカーが各側壁面二段宛カセットを収容する大きさでありまたコンテナが４個のカセットを収容する大きさである場合を例としているが、特にこれに限定されるものでなく如何なる大きさのストッカーでもまた如何なる数のカセットを収容するコンテナでも、本発明を適用することで同様の降下が得られることは明らかである。
【００８０】
また本発明ではコンテナの移載手段にベルトコンベアを使用しているが、該ベルトコンベアを例えばローラコンベアやころコンベア等に代えても同等の効果が得られることは明らかである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の搬送システムの全体構成を示す図。
【図２】  図１におけるストッカーを説明する図。
【図３】  図１におけるコンテナを説明する図。
【図４】  図２のストッカーへのコンテナの収容手段を説明する図。
【図５】  図１における第一の搬送車を説明する図。
【図６】  ストッカーと第一の搬送車間の移載手段を説明する図。
【図７】  図１における第二の搬送車を説明する図。
【図８】  第一の搬送車と第二の搬送車間の移載手段を説明する図。
【図９】  図１における作業机を説明する図。
【図１０】  本発明の搬送方法を時系列的に説明する図。
【図１１】  第一の搬送車と第二の搬送車間の他の移載手段を説明する図。
【図１２】  他の第二の搬送車を説明する図。
【図１３】  図１２における第二の搬送車の搬送状態を説明する図。
【図１４】  技術的背景として搬送システムの適用場所を例示説明する図。
【図１５】  従来の搬送システムの構成を説明する図。
【図１６】  図１５のストッカーを説明する図。
【図１７】  図１５のストッカーでのカセット取り出し状態を説明する図。
【図１８】  図１５のクリーンルーム内の第一の搬送車を説明する図。
【図１９】  図１５の一般通路用の第二の搬送車を説明する図。
【図２０】  各搬送車間でのカセットの遣り取り状態を説明する図。
【図２１】  従来の搬送方法を説明する図。
である。
【符号の説明】
Ｃ    電池室
ＣＲ-1，ＣＲ-2，ＣＲ-3，クリーンルーム
ＰＢ-1，ＰＢ-2，ＰＢ-5  エアシャワー付パスボックス
Ｔ-1，Ｔ-2  主線路
Ｔ-3，Ｔ-4，Ｔ-5  支線路
Ｒ          一般通路
２          搬送システム
１１ａ      底面
１１ｂ      開口側端面
１１ｄ      クレーンガイド
１１ｆ      凸の段差面
１１ｈ      棚板
１１１      クレーン
２１        ストッカー
２１ａ      凹の段差面
２１１      ベルトコンベア
２２        コンテナ
２２ａ      仕切り板
２２ｂ      底板
２２ｃ      凹溝
２２ｄ      凹溝
２３        第一の搬送車
２３１      ベルトコンベア
２４，２４-1, ２４-2，  第二の搬送車
２４１      カバー
２４２      開閉扉
２５        第二の搬送車
２５１      カバー
２５１ａ    壁面
２５１ｂ    壁面
２５１ｃ    排気孔
２５１ｄ    開口孔
２５２      送風手段
２６        作業机
２６ａ      凹の段差面
２６１      ベルトコンベア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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