(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ターンテーブルを回転支持する変形六角形状で６個の側面部を有するターンテーブル支持土台フレームと該ターンテーブル支持土台フレームに設けられて前記ターンテーブルを回転駆動するターンテーブル駆動ユニットと、前記ターンテーブル支持土台フレームの三つの側面部に対応する形状の土台フレームと該土台フレーム上に設けられた駆動部とを有して前記ターンテーブルに設けられたピッチポリシャ盤をドレッシングするドレッシングユニットと、前記ターンテーブル支持土台フレームの前記三つの側面部を除く一側面部に対応する形状の土台フレームと該土台フレーム上に設けられた駆動部とを有して加工物を回転可能に保持する駆動リングを有する回転型研磨ユニットと、前記各側面部を除く一側面部に対応する形状の土台フレームと該土台フレーム上に設けられた駆動部とを有して加工物を研磨する往復動型の研磨ユニットとを有し、
前記ターンテーブル支持土台フレームは、前記６個の側面部のうち、前記ドレッシングユニットが連結される土台フレームに対応する三つの側面部を除く各側面部が、前記往復動型の研磨ユニットの土台フレームと前記回転型の研磨ユニットとに寸法と締結手段が共通化され、各土台フレームが前記ターンテーブル支持土台フレームに前記締結手段により連結されていることを特徴とするポリッシング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、装置の搬入又は搬送、組立て、調整作業の容易化と生産状況に応じたレイアウトの変更の容易化を図ることのできるポリッシング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、ポリッシング装置には、ターンテーブル駆動用土台フレームの内部にターンテーブルをベアリングを介して回転可能に保持させ、ターンテーブル駆動用土台フレームの内部に駆動源としての電動機と歯車、ベルト等の減速機構又は動力伝達機構を適正にレイアウトして格納し、そのターンテーブル駆動用土台フレームの上部に加工物を保持しつつ駆動する研磨装置を設けると共に、ターンテーブルの表面若しくはその上に貼り付けられたピッチポリシャ盤の表面を適正な状態に維持するためにピッチポリシャ盤の表面をドレッシングするドレッシング装置（ツルーイング装置）が適宜適正箇所に配設したものが知られている。
【０００３】
また、ポリッシング装置には、ターンテーブル駆動用土台フレームの側面にコラムを張り出させて設け、このコラムに研磨装置、ドレッシング装置を取り付け、ポリッシング装置の搬送、搬入の際には、この研磨装置、ドレッシング装置を分解できるようにした構成のものも知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この従来のポリッシング装置は、いずれもターンテーブル駆動用土台フレームが、ターンテーブルの大きさに比例してその大きさが確定する箱型形状であり、ターンテーブルが大きくなると、そのターンテーブルの大きさに比例してターンテーブル駆動用土台フレームが大きくなり、このターンテーブル駆動用土台フレームの余剰空間に研磨装置、ドレッシング装置を組み付けたままで、一括して搬入することが困難なものとなる。
【０００５】
例えば、ターンテーブル駆動用土台フレームの上部に研磨装置、ドレッシング装置を配設したポリッシング装置では、ターンテーブルの直径の約１．２倍から１．５倍程度の一辺の長さを有する土台寸法が必要になり、大型のポリッシング装置、例えば、直径が約２ｍのターンテーブルを有するポリッシング装置では、土台フレームだけで搬入困難な寸法及び重量の構造体となって、ポリッシング装置の搬入又は搬送、組立て、調整作業の容易化と生産状況に応じたレイアウトの変更が容易でないという問題がある。
【０００６】
また、ターンテーブル駆動用土台フレームの側面にコラムを設けて、このコラムに研磨装置、ドレッシング装置を取り付けた構成のものでは、土台フレームの寸法をターンテーブルの直径よりも小さくすることはできるが、その搬入、組立て、調整作業が容易でないという問題がある。
【０００７】
本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、その目的とするところは、搬入、組立て、調整作業が容易なポリッシング装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載のポリッシング装置は、ターンテーブルを回転支持する変形六角形状で６個の側面部を有するターンテーブル支持土台フレームと該ターンテーブル支持土台フレームに設けられて前記ターンテーブルを回転駆動するターンテーブル駆動ユニットと、前記ターンテーブル支持土台フレームの三つの側面部に対応する形状の土台フレームと該土台フレーム上に設けられた駆動部とを有して前記ターンテーブルに設けられたピッチポリシャ盤をドレッシングするドレッシングユニットと、前記ターンテーブル支持土台フレームの前記三つの側面部を除く一側面部に対応する形状の土台フレームと該土台フレーム上に設けられた駆動部とを有して加工物を回転可能に保持する駆動リングを有する回転型研磨ユニットと、前記各側面部を除く一側面部に対応する形状の土台フレームと該土台フレーム上に設けられた駆動部とを有して加工物を研磨する往復動型の研磨ユニットとを有し、
前記ターンテーブル支持土台フレームは、前記６個の側面部のうち、前記ドレッシングユニットが連結される土台フレームに対応する三つの側面部を除く各側面部が、前記往復動型の研磨ユニットの土台フレームと前記回転型の研磨ユニットとに寸法と締結手段が共通化され、各土台フレームが前記ターンテーブル支持土台フレームに前記締結手段により連結されていることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１において、１はターンテーブルを駆動するターンテーブル駆動用ユニットである。このターンテーブル駆動用ユニット２は図２（ａ）に拡大して示すようにターンテーブル支持土台フレーム６を有する。このターンテーブル支持土台フレーム６は図２（ｂ）に示すように上面から見て変形の６角形状を呈している。このターンテーブル支持土台フレーム６の上面にはグラナイト製のターンテーブル（図示を略す）がベアリング（図示を略す）を介して設けられ、このターンテーブルにはピッチポリシャ盤７が貼り付けられている。そのターンテーブルの直径はピッチポリシャ盤７の外径と略同径で、ターンテーブル支持土台フレーム６の外径はそのターンテーブルの直径よりも小さい。
【００１２】
ターンテーブル支持土台フレーム６の内部には電動機等の駆動源、この駆動源の動力を伝達する回転伝達機構が配設され、これによって駆動源の回転がターンテーブルに伝達されて、ターンテーブルが回転される。
【００１３】
そのターンテーブル支持土台フレーム６は６個の側面部６ａ〜６ｆを有する。側面部６ａ〜６ｃを基準にして、図１に示すドレッシングユニットとしてのツルーイング装置２が配設されて組立てられる。図３はそのツルーイング装置２の配設状態を示す。このツルーイング装置２は土台フレーム２Ａとピッチポリシャ盤７をドレッシングするドレッシング機構を含む駆動部２Ｂとを有し、その詳細については、特願平１１−１２４５２１号に詳述されているので、その詳細な説明は省略する。
【００１４】
そのターンテーブル支持土台フレーム６の側面部６ｄには、図４に示すように駆動部を有して加工物を研磨する研磨ユニットしての回転型研磨装置３が配設されて組み立てられる。この回転型研磨装置３は、図５に詳細に示すように、土台フレーム８を有する。この土台フレーム８はターンテーブル支持土台フレーム６ｄ、６ｅ、６ｆのいずれかと連結できるように、その正面の寸法と締結手段としての締結ネジの配置位置とが整合されている。
【００１５】
土台フレーム８には中間フレーム２３を介して基盤１７が取り付けられている。この基盤１７には円錐形ガイドローラ１３が取り付けられ、この円錐形ガイドローラ１３には駆動リング９が回転可能に支持されている。その円錐形ガイドローラ１３の外径形状と駆動リング９の外径形状とは適合している。駆動リング９は、その円錐形ガイドローラ１３によって、加工物とリングポリッシャ盤７との間に発生する摩擦抵抗に起因するラジアル方向、スラスト方向の荷重、モーメント荷重が吸収される。
【００１６】
この駆動リング９は加工物を回転可能に保持する。この駆動リング９はその内側に複数個のブラケット部材１０を有する。このブラケット部材１０はネジ（図示を略す）により駆動リング９に取り付けられる。このブラケット部材１０の下部には樹脂製の加工物保持用プレート１１が吊り下げられている。
【００１７】
この加工物保持用プレート１１の下面とピッチポリシャ盤７の表面とのギャップを約２ｍｍ程度に調整できるように、ブラケット部材１０の駆動リング９へのネジ取り付け穴は上下方向に長穴に形成されている。
【００１８】
その加工物保持用プレート１１は加工物の輪郭形状よりもその輪郭形状が１〜２ｍｍ程度大きな保持穴が設けられ、加工物は側面方向に適度のガタを有してこの保持穴に保持された状態で研磨される。
【００１９】
土台フレーム８の下部には、駆動リング９の旋回面とリングポリッシャ盤７の旋回面との傾きを調整できるようにレベル調整ネジ１２が設けられている。
【００２０】
基盤１７にはモータ１４が設けられ、モータ１４の出力軸にはプーリが取り付けられ、そのプーリの回転は摩擦車１５にタイミングベルト（図示を略す）を介して伝達される。そのタイミングベルトは安全カバー１６の内部に設けられている。その摩擦車１５は駆動リング９に摩擦接触され、駆動リング９の回転トルクはその摩擦車１５によって与えられる。
【００２１】
中間フレーム２３には回転軸１８が設けられ、基盤１７はこの回転軸１８を中心にして上方に持ち上げ可能とされ、これによってメンテナンス作業などを行うことができる。
【００２２】
基盤１７には駆動リング９の設置端部とは反対側の端部に重錘１９が取り付けられると共に、握り部２０が取り付けられている。その重錘１９は基盤１７の持ち上げの容易化を図るためのもので、基盤１７の持ち上げの際には、握り部２０を掴んで下方に向けて体重をかければ良い。
【００２３】
基盤１７の両側部には固定ネジ２１が設けられ、この固定ネジ２１は基盤１７を持ち上げた状態で固定するためのものであり、これによって、基盤１７を持ち上げた状態で、メンテナンス作業などの作業を安全に行うことができる。基盤１７には左右に一対のクランプレバー２２が設けられ、このクランプレバー２２は基盤１７を持ち下げた状態で固定するためのもので、これによって研磨を行う場合に基盤１７が固定され、研磨作業を安全に行うことができる。
【００２４】
土台フレーム８と中間フレーム２３との間には中間フレーム用すべり台２４が設けられ、中間フレーム用すべり台２４の下部には自己潤滑性を有する樹脂材２５が貼り付けられ、中間フレーム用すべり台２４はガイド部材２６にスライド可能に支持されている。
【００２５】
その中間フレーム用すべり台２４にはハンドル２７が取り付けられ、ハンドル２７を回転させるとネジ棒２８が回転して、中間フレーム２３と一体に基盤１７がリングポリッシャ盤７の半径方向に進退され、これによって、リングポリッシャ盤７に対する駆動リング盤９の位置調整が行われる。
【００２６】
中間フレーム２３と中間フレーム用すべり台２４との間には、自己潤滑性を有する樹脂材２９が設けられている。また、中間フレーム２３と中間フレーム用すべり台２４とは左右一対のクランプレバー３０によって一体的にクランプされ、クランプレバー３０によるクランプを解除すると、中間フレーム２３は中間フレーム用すべり台２４に対してフランジ部３１に支持された軸部の回りに旋回可能となり、基盤１７の旋回角度を調整できる。
【００２７】
そのターンテーブル支持土台フレーム６の側面部６ｅ、６ｆには、図６に示すように、研磨ユニットしての往復動型研磨装置４が配設されている。この往復動型研磨装置４は図７（ａ）、図７（ｂ）に示すように、土台フレーム３２を有する。この土台フレーム３２はターンテーブル支持土台フレーム６ｄ、６ｅ、６ｆと連結できるように、その正面の寸法と締結ネジの配設位置とが整合されている。
【００２８】
土台フレーム３２には中間フレーム５７を介して往復動基盤３９が設けられている。往復動基盤３９には駆動フォーク部材３３が設けられている。この駆動フォーク部材３３には一対のブラケット部材３３ａが設けられている。この一対のブラケット部材３３ａの下方には複数個の支持棒３４を介して樹脂製の加工物保持用プレート３５が吊り下げられている。駆動フォーク部材３３の背面には保持板３６が設けられている。
【００２９】
往復動基盤３９には４本のリニアシャフト４１とリニアガイド４２とが設けられている。そのリニアシャフト４１の上端部には天井板４０が設けられている。その天井板４０にはジャッキ装置３７が設けられている。
【００３０】
このジャッキ装置３７は出力軸３７’、ハンドル４４、入力軸４３を有している。ジャッキ装置３７の出力軸３７’には高さ調整板３８が取り付けられ、保持板３６はその高さ調整板３８上に取り付けられている。
【００３１】
その高さ調整板３８はリニアガイドシャフト４１とリニアガイド４２とに案内されて垂直方向に摺動可能とされ、ハンドル４４を操作して回転角を入力すると、入力軸４３を介して出力軸３７’に伝達され、これによって、高さ調整板３８は摺動可能な範囲内で所望の位置に高さ調整されてセルフロックされる。
【００３２】
これによって、加工物保持用プレート３５の下面とピッチポリシャ盤７の表面とのギャップを容易に調整することができ、その間隔は約２ｍｍ程度が望ましい。土台フレーム３２の下部には、往復動基盤３９の往復面とピッチポリシャ盤７の旋回面との傾きを調整できるようにレベル調整ネジ５４が設けられている。
【００３３】
加工物保持用プレート３５には、加工物の輪郭形状よりもその輪郭形状が１〜２ｍｍ程度大きな保持穴が設けられ、加工物はこの保持穴に設置されて適度なガタを有して保持されつつ研磨されるものである。
【００３４】
保持板３６と高さ調整板３８との間には自己潤滑性を有する樹脂材４５が介在され、この樹脂材４５は保持板３６に貼り付けられている。高さ調整板３８には往復方向に延びる一対のガイド部材４６が設けられ、保持板３６は一対のガイド部材４６に案内されてピッチポリシャ盤７の半径方向に進退可能であり、これによって保持板３６のピッチポリシャ盤７に対する位置調整が行われる。
【００３５】
保持板３６には長穴が形成され、この長穴にボルトを挿通して高さ調整板３８にネジ締結することにより、保持板３６は高さ調整板３８に固定される。
【００３６】
中間フレーム５７にはその上部に直線ガイド基盤５６が取り付けられ、この直線ガイド基盤５６には一対の直線ガイド部材４８が設けられている。往復動基盤３９にはその下部に４個の円錐形ガイドローラ４７が取り付けられ、直線ガイド部材４８にはこの円錐形ガイドローラ４７に対応する形状のガイド溝が形成され、円錐形ガイドローラ４７はそのガイド溝に摺動可能に嵌合され、これによって、往復動基盤３９は直線ガイド基盤５６に対して相対移動可能に支持される。その円錐形ガイドローラ４７は加工物とピッチポリシャ盤７との間の摩擦抵抗に起因する荷重モーメントを吸収する役割を果たす。
【００３７】
土台フレーム３２の上部には、モータ４９が取り付けられ、モータ４９の出力軸にはプーリが取り付けられ、直線ガイド基盤５６にはクランク軸５０が設けられ、そのクランク軸５０にはプーリが設けられ、その一対のプーリは安全カバー５１内のタイミングベルトによって連結されている。そのクランク軸５０にはクランク旋回板５５が設けられ、このクランク旋回板５５には係合ピン５２が突設されている。往復動基盤３９にはその係合ピン５２と係合する係合板５３が設けられている。往復動基盤３９はそのクランク軸５０の回転によって直線方向に往復動され、これによって、駆動フォーク部材３３がピッチポリシャ盤７の半径方向に往復動される。
【００３８】
係合ピン５２のクランク軸５０に対する偏心量は、クランク旋回板５５の図示を略す移動調整ネジを操作することによって行うことができ、これにより、駆動フォーク部材３３の往復動振幅を調整可能である。
【００３９】
土台フレーム３２と中間フレーム５７との間には、自己潤滑性を有する樹脂材５８が介在されている。その中間フレーム５７には左右一対のクランプレバー５９が設けられ、このクランプレバー５９によるクランプを解除すると、中間フレーム５７はフランジ６０の軸回りに旋回可能となり、これによって、土台フレーム３２に対する中間フレーム５７の旋回角度を調整できる。
【００４０】
このポリッシング装置には、作業台５を適宜配設することもでき、この作業台５は図８に拡大して示すように、工具、加工物の載置板６２、手摺り６１等を有し、この作業台５の下部には図示を略すキャスターが設けられている。
【００４１】
この作業台５は加工物の着脱作業、ポリッシング装置のメンテナンス作業を行うときに用いられる。
【００４２】
本発明によれば、装置搬入後、ターンテーブル駆動用ユニットの周囲に放射状にドレッシングユニット、研磨ユニットが組み立てられる。
【００４３】
この発明の実施の形態では、回転型研磨装置３をターンテーブル支持土台フレーム６の側面部６ｄに設け、往復動型研磨装置４をターンテーブル支持土台フレーム６の側面部６ｅ、６ｆに設けることとして説明したが、往復動型研磨装置４を側面部６ｄに設け、回転型研磨装置３を側面部６ｅ、６ｆに設けることもできる。
【００４４】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように、ターンテーブル支持土台フレームとは別個に、ドレッシング装置、研磨装置に独立して土台フレームを設けてドレッシング装置のユニット化、研磨装置のユニット化を図り、これらの連結部分の寸法の共通化を図ることにしたので、ターンテーブル支持用土台フレームの寸法をターンテーブルの直径に応じて大きくする必要がなく、また、搬入、組立て、生産状況に応じたレイアウト変更等の調整作業が容易であるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係わるポリッシング装置の配設状態を示す斜視図である。
【図２】  図１に示すターンテーブル駆動用ユニットを示し、（ａ）その駆動用ユニットの全体構成を示す斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示すターンテーブル支持土台フレームの平面図である。
【図３】  図２に示すターンテーブル駆動用ユニットにツルーイング装置を配設した状態を拡大して示す斜視図である。
【図４】  図３に示すターンテーブル駆動用ユニットに回転型研磨装置を配設した状態を示す斜視図である。
【図５】  図４に示す回転型研磨装置の拡大斜視図である。
【図６】  図４に示すターンテーブル駆動用ユニットに往復動型研磨装置を配設した状態を示す斜視図である。
【図７】  図６に示す往復動型研磨装置の拡大斜視図であり、（ａ）はその往復動型研磨装置をターンテーブル駆動用ユニットの側から目視した正面側斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示す往復動型研磨装置の背面側から目視した状態を示す斜視図である。
【図８】  図１に示す作業台の拡大斜視図である。
【符号の説明】
１  ターンテーブル駆動用ユニット１
２  ツルーイング装置（ドレッシングユニット）
２Ａ  土台フレーム
２Ｂ  駆動部
３  回転型研磨装置（研磨ユニット）
４  往復動型研磨装置（研磨ユニット）
６  ターンテーブル支持土台フレーム
７  ピッチポリシャ盤
８  土台フレーム
【図１】
0004342675.tif 000002
【図２】
0004342675.tif 000003
【図３】
0004342675.tif 000004
【図４】
0004342675.tif 000005
【図５】
0004342675.tif 000006
【図６】
0004342675.tif 000007
【図７】
0004342675.tif 000008
【図８】
0004342675.tif 000009