(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、ガラス基体、底部反射防止層、熱線反射層、頂部反射防止層、の順に構成された積層体を有するガラス積層体であって、反射防止層のうち少なくとも一方は、
ａ）ＺｎとＡｌとの混合酸化物層であって、原子比Ａｌ／Ｚｎが０．０３以上である混合酸化物層、及び、
ｂ）Ａｌ、Ｓｉ及びＺｒのうち少なくとも１種の元素を含む窒化物層、
を有することを特徴とするガラス積層体。
【請求項２】
少なくとも、ガラス基体、底部反射防止層、熱線反射層、中央部反射防止層、熱線反射層、頂部反射防止層、を順に有するガラス積層体であって、反射防止層のうち少なくとも一層は、
ａ）ＺｎとＡｌとの混合酸化物層であって、原子比Ａｌ／Ｚｎが０．０３以上である混合酸化物層、及び、
ｂ）Ａｌ、Ｓｉ及びＺｒのうち少なくとも１種の元素を含む窒化物層、
を有することを特徴とするガラス積層体。
【請求項３】
中央部反射防止層が、前記のＺｎとＡｌとの混合酸化物層を有することを特徴とする請求項２に記載のガラス積層体。
【請求項４】
混合酸化物層における原子比Ａｌ／Ｚｎが０．０３〜１であることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項に記載のガラス積層体。
【請求項５】
混合酸化物層における原子比Ａｌ／Ｚｎが０．０８〜０．５であることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項に記載のガラス積層体。
【請求項６】
請求項１〜５いずれか１項に記載のガラス積層体に、５７０℃以上の温度で、曲げ加工及び／又は強化加工を施すことを特徴とするガラス積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス積層体、特に太陽光制御フィルタとして適用でき、熱処理工程に耐え得る、ガラス積層体とその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ヨーロッパ特許出願公開第２３３００３号には、ガラス基板／ＳｎＯ2底部反射防止層／Ａｌ、Ｔｉ、Ｚｎ、Ｚｒ又はＴａの第１金属バリア層／Ａｇ層／Ａｌ、Ｔｉ、Ｚｎ、Ｚｒ又はＴａの第２金属バリア層／ＳｎＯ2頂部反射防止層、という構成の、スパッタリングにより形成された光学フィルタを有するガラス積層体が記載されている。この光学フィルタは、可視光領域においては入射光の大部分を透過しながら、赤外領域においては入射光の大部分を遮断するように設計されている。このため、このフィルタは、良好な可視透過性を保ちつつ、入射太陽光による温度上昇を低減するように働き、特に自動車の風防ガラスに適している。
【０００３】
Ａｇ層は、赤外域の入射光を反射するように働くため、この役割を果たすためには、銀の酸化物ではなく、金属の銀として維持されていなくてはならない。Ａｇ層を両側から挟んでいる反射防止層は、可視光領域における反射を低減するように働く。
【０００４】
第２金属バリア層は、その上のＳｎＯ2反射防止層を酸化性雰囲気中でスパッタリングにより形成する間に、Ａｇ層が酸化されるのを防ぐように働く。このバリア層は、このスパッタリングプロセス中に少なくとも部分的に酸化される。
【０００５】
第１金属バリア層の主な役割は、Ａｇ層へ酸素を到達させずに、このバリア層自身が酸化されることによって、曲げ加工及び／又は強化加工等の熱処理中に、Ａｇ層が酸化されるのを防ぐことである。この熱処理中のバリア層の酸化は、ガラス積層体の光透過率の上昇を引き起こす。
【０００６】
ヨーロッパ特許出願公開第７９２８４７号には、これと同じ原理に基づく、ガラス基板／ＺｎＯ反射防止層／Ｚｎバリア層／Ａｇ層／Ｚｎバリア層／ＺｎＯ反射防止層／Ｚｎバリア層／Ａｇ層／Ｚｎバリア層／ＺｎＯ反射防止層、という構成の、熱処理可能な太陽光制御ガラス積層体が記載されている。各Ａｇ層の下に位置するＺｎバリア層は、熱処理中に完全に酸化され、Ａｇ層が酸化されるのを防ぐように働くように意図されている。この分野でよく知られているように、間隔をあけて設けられた２層のＡｇ層を有する構成は、Ａｇ層が１層の場合に比べて、フィルタの選択透過度（可視光に対する透明性を保ちつつ赤外光の入射を有効に抑制する性能）を向上させる。
【０００７】
ヨーロッパ特許出願公開第２７５４７４号には、ガラス基板／ＺｎとＳｎの酸化物の反射防止層／Ｔｉバリア層／Ａｇ層／Ｔｉバリア層／ＺｎとＳｎの酸化物の反射防止層、という構成の、熱処理可能な太陽光制御ガラス積層体が記載されている。Ｔｉバリア層は、酸素に対する親和力が高く、酸化されて酸化チタンとなりやすいことから、熱処理可能な膜構成においてはよく用いられている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、熱処理時の熱線反射層としての金属層の劣化が効果的に防止され、熱処理を施しても低いヘイズ値を有するガラス積層体とその製造方法の提供を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、少なくとも、ガラス基体、底部反射防止層、熱線反射層、頂部反射防止層、の順に構成された積層体を有するガラス積層体であって、反射防止層のうち少なくとも一方は、
ａ）Ｚｎと材料Ｘとの混合酸化物層であって、原子比Ｘ／Ｚｎが０．０３以上であり、材料Ｘは周期表の２ａ、３ａ、５ａ、４ｂ、５ｂ及び６ｂ族の元素の群から選ばれた少なくとも１種の材料である混合酸化物層（以下、特定混合酸化物層という）、及び、
ｂ）Ａｌ、Ｓｉ及びＺｒのうち少なくとも１種の元素を含む窒化物層（以下、特定窒化物層という）、
を有することを特徴とするガラス積層体を提供する。
【００１０】
本発明はまた、少なくとも、ガラス基体、底部反射防止層、熱線反射層、中央部反射防止層、熱線反射層、頂部反射防止層、を順に有するガラス積層体であって、反射防止層のうち少なくとも一層は、特定混合酸化物層及び特定窒化物層を有することを特徴とするガラス積層体を提供する。
【００１１】
本発明において、反射防止層のうち少なくとも一層は特定混合酸化物層及び特定窒化物層を有するが、その他の反射防止層は、酸化物、窒化物及び炭化物から選ばれる少なくとも１種からなる膜を用い得る。
【００１２】
酸化物としては、例えば、Ｚｎ、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｔａ及びＺｒから選ばれる少なくとも１種の元素の酸化物が挙げられる。他には、例えば、Ａｌ、Ｇａ、Ｓｉ、Ｓｎ等を含む酸化亜鉛、Ｓｎを含む酸化インジウムが挙げられる。窒化物としては、例えば、Ｓｉ、Ａｌ及びＢから選ばれる少なくとも１種以上の元素の窒化物Ａ、又はＺｒ、Ｔｉいずれかの窒化物と窒化物Ａとの混合物（複合窒化物を含む。）などが挙げられる。
また、その他としては、ＳｉＯxＣy、ＳｉＯxＮy、ＳｉＡｌxＮy、ＳｉＡｌxＯyＮz等が挙げられる。
【００１３】
特に、熱線反射層を安定的に、かつ高い結晶性を有しながら形成できる点で、Ｚｎの酸化物膜又はＳｎ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｓｉ、Ｂ、Ｍｇ、Ｉｎ及びＧａから選ばれる少なくとも１種の金属元素を含むＺｎの酸化物膜が好ましい。特に、Ａｌ及び／又はＴｉを含むＺｎの酸化物膜が好ましい。
【００１４】
本発明においては、底部反射防止層及び頂部反射防止層のいずれもが、特定混合酸化物層及び特定窒化物層を有することが好ましい。特に、底部反射防止層においては特定窒化物層がガラス基体側に、また、頂部反射防止層においては特定窒化物層が空気側に設けられることが好ましい。
【００１５】
熱線反射層は、Ａｇのみからなる層、又はＡｇを主成分とし、他の金属元素（例えば、Ｐｄ、Ａｕ、Ｃｕ等）を含む層である。他の金属元素を含む場合、他の金属元素の含有割合は、Ａｇと他の金属元素の総量に対して０．３〜１０原子％であることが好ましい。他の金属元素が０．３原子％未満では、Ａｇの安定化の効果が低下し、また、１０原子％を超えても安定化の効果が低下する。特に０．３〜５原子％であることが好ましい。特に、他の金属元素がＰｄであると、Ａｇ原子の不動化、すなわちＡｇのマイグレーションの低減を図ることができ、高温下での安定性及び化学的耐久性に優れた層を形成できる。Ｐｄの含有量が多くなると、成膜速度が低下し、また、可視光透過率も低下し、かつ、可視光線と近赤外線との選択遮断性が悪化する傾向にある。そのため、Ｐｄの含有量は、５．０原子％以下が適当である。特に、０．３〜２．０原子％が好ましい。
【００１６】
本発明のガラス積層体が、熱線反射層を複数層有する場合には、それぞれの熱線反射層は、同じ組成でもよいし、異なる組成でもよい。また、熱線反射層は、複数の層が積層された構造の層でもよい。例えば、ＡｇとＰｄとからなる多層構造の層であってもよい。
【００１７】
３層系の積層膜を有するガラス積層体において、基体側から順に形成される底部反射防止層、熱線反射層及び頂部反射防止層の各層の厚さは、それぞれ１５〜４５ｎｍ、９〜１６ｎｍ（特に９〜１２ｎｍ）及び３０〜４５ｎｍが適当である。厚さ２ｍｍの無着色ソーダライムガラスからなるガラス基体の上に、３層系の積層膜を形成したガラス積層体の熱処理後の代表的な光学特性としては、約７５〜８５％のＴＬと、約５０〜７０％のＴＥが挙げられる。
【００１８】
なお、ＴＥは、太陽エネルギー透過率（日射透過率）であり、入射した全太陽光エネルギー（可視域及び可視域以外の波長の光のエネルギー）に対する、基体を透過した全太陽光エネルギーの割合を示す。また、ＴＬは、光透過率（可視光透過率）であり、入射した可視光線に対する、基体を透過した可視光線の割合を示す。
【００１９】
５層系の積層膜を有するガラス積層体において、基体側から順に形成される底部反射防止層、熱線反射層、中央部反射防止層、熱線反射層及び頂部反射防止層の各層の厚さは、それぞれ１６〜５０ｎｍ（特に２０〜４５ｎｍ）、６．５〜１６ｎｍ（特に６．５〜１２．５ｎｍ）、４０〜１００ｎｍ（特に４５〜９０ｎｍ）、６．５〜１６ｎｍ（特に６．５〜１２．５ｎｍ）及び１６〜５０ｎｍ（特に２０〜４５ｎｍ）が適当である。厚さ２ｍｍの無着色ソーダライムガラスからなるガラス基体の上に、５層系の積層膜を形成したガラス積層体の熱処理後の代表的な光学特性としては、約７０〜８０％のＴＬと、約４０〜５０％のＴＥが挙げられる。
【００２０】
本発明における反射防止層のうち少なくとも１層に、特定混合酸化物層と特定窒化物層とを組み合わせて用いることにより後述するような作用効果が発現される。該反射防止層は、可視光領域の過度の反射を抑えるという反射防止層としての役割を果たすだけでなく、機械的耐久性及び化学的耐久性の向上にも寄与する。
【００２１】
本発明の積層体における積層膜の形成には、例えば、蒸着法（熱蒸着又は電子ビーム蒸着）、液体を熱分解する方法、化学的気相蒸着法、真空蒸着法、スパッタリング法（特にマグネトロンスパッタリング法）などが用いられる。なかでも、直流マグネトロンスパッタリング法が好ましい。積層膜を構成する異なる層を異なる方法で成膜してもよい。
【００２２】
本発明によれば、以下に挙げる作用効果が発現される。すなわち、
１）ガラス積層体が曲げ加工及び／又は強化加工等の熱処理を施される際、従来の酸化物層（例えばＺｎＯやＳｎＯ2）を反射防止層として用いた同等の膜構成と比較して、熱線反射層の劣化を低減できる。本発明における特定窒化物層は、積層膜を通って酸素及び／又はイオンが、移動及び／又は拡散するのを防ぎ、また、本発明における特定混合酸化物層は、この作用を高めるとともに、前記した従来の酸化物層より熱的により安定している。
【００２３】
２）底部反射防止層に特定混合酸化物層を用いると、従来、ガラス基体からのアルカリ成分の拡散を防止するためにガラス基体表面に使用されている酸化物層（例えばＡｌ2Ｏ3やＳｉＯ2）よりも、より簡単に、より安定に形成できる。Ａｌ2Ｏ3やＳｉＯ2は、良好な熱的安定性を示すが、通常のスパッタリング技術を用いて形成するのが難しい。
【００２４】
３）Ａｇ層の結晶化は光学特性に影響を与える。純粋なＺｎＯ層がＡｇ層と隣接していると、特に熱処理中にＡｇの過度の結晶化が起こり、ヘイズ値が高くなることがあり得る。一方、ＺｎＯ以外の材料を用いた場合には、Ａｇ層の結晶化が不充分となり、結果として、熱線反射性及び電気伝導性が不充分となる場合がある。
【００２５】
特定混合酸化物層を用いる（特に特定混合酸化物層をＡｇ層下に接して設ける）ことで、ヘイズ値を高くすることなく、優れた熱線反射特性が得られるに充分なＡｇ層の結晶化を実現できる。特に、本発明によれば、Ａｇ層の下層にＴｉＯ2層を用いた場合と比べて好ましい結晶化を行うことができる。これは、ＺｎＯ構造における材料Ｘの存在が、混合酸化物層における結晶粒成長（特に基体と垂直な方向の結晶粒成長）を低減し、結果としてよりアモルファスな構造となっているためと考えられる。
【００２６】
４）特定混合酸化物層（特に、材料ＸがＴｉ、Ｔａ、Ｚｒ、Ｎｂ及びＢｉからなる群から選ばれる１種以上である場合）は、従来よく使用されるＺｎＯ層やＳｎＯ2層より通常屈折率が高い。さらに、従来の比較的屈折率の高い酸化物層（例えばＴｉＯ2層等）より膜形成に要する時間が短い。その結果として、生産サイクル（時間）の短縮化が可能となる。
【００２７】
５）特定混合酸化物層（特に、材料ＸがＴｉ、Ｔａ、Ｚｒ、Ｎｂ及びＢｉからなる群から選ばれる１種以上である場合）は前記したように比較的屈折率が高く、結果として得られる積層体の選択透過度（後述）の向上に寄与する。
【００２８】
６）特定混合酸化物層と特定窒化物層とからなる層を、頂部反射防止層として、又は、頂部反射防止層の一部として（特に大気に曝される層として）用いると、優れた化学的耐久性及び機械的耐久性が得られる。さらに、ＰＶＢ（ポリビニルブチラール）膜等の合わせ加工用中間膜との相性が良いので、車両用風防ガラスや他の合わせガラス等を形成するべく、ガラス積層体が合わせ加工される場合に有利である。すなわち、本発明のガラス積層体が合わせガラス構造（例えば自動車用フロントガラス）に用いられたとき、パンメル試験において良い結果を示す。
【００２９】
特定混合酸化物層における材料ＸがＺｎ中に不純物としてのみ存在する場合や、原子比Ｘ／Ｚｎが小さすぎる場合には、前記した有利な作用効果が発現しない可能性がある。
【００３０】
特定窒化物層は、Ａｌ、Ｓｉ及びＺｒのうち少なくとも１種の元素を含む。その含有割合は、元素Ｚ（Ａｌ、Ｓｉ及びＺｒのうち少なくとも１種の元素を含む）の窒化物において、元素Ｚに対して、Ａｌ、Ｓｉ及びＺｒのうち少なくとも１種の元素が、原子比で０．１以上であることが好ましい。
【００３１】
特に、アルミニウムの窒化物層、ケイ素の窒化物層、ＡｌとＳｉの混合窒化物層、ＡｌとＺｒの混合窒化物層、ＳｉとＺｒの混合窒化物層、Ａｌ、Ｓｉ及びＺｒの混合窒化物層であることが好ましい。
【００３２】
特定窒化物層をガラス基体表面に形成すると、その上に形成された積層膜中にガラス基体中からアルカリ成分（例えばナトリウムイオンやカリウムイオン）や酸素が、移動及び／又は消散するのを防ぐ。また、イオンやその他の物質（特にナトリウムイオンやカリウムイオン）が、ガラス基体から積層膜へ、移動及び／又は拡散するのを防ぐ。
【００３３】
特定窒化物層は窒素雰囲気中でターゲットをスパッタすることにより形成できる。アルゴンと窒素の混合雰囲気中でターゲットをスパッタリングすることにより形成することもできる。
特定窒化物層は、純粋な窒化物を含んでいてもよいし、酸窒化物、炭窒化物、酸化炭化窒化物を含んでいてもよい。
【００３４】
本発明において好ましい構成は、
ガラス基体、
特定窒化物層、及び、その上の特定混合酸化物層を有する底部反射防止層、
銀を含む熱線反射層、
銀を酸化から保護するバリア層、
特定混合酸化物層、及び、その上の特定窒化物層を有する頂部反射防止層、
を、この順に有することを特徴とするガラス積層体である。
【００３５】
底部反射防止層において、特定窒化物層（ガラス基体の表面上に直接形成されるのが好ましい）は、ガラス基体からのアルカリ成分（ナトリウムイオンやカリウムイオン）や酸素の拡散を防止し、一方、その上の特定混合酸化物層は熱線反射層と優れた相性を示す。
頂部反射防止層において、特定混合酸化物層は熱線反射層と優れた相性を示し、一方、特定窒化物層は、大気からの酸素の拡散を防止する。
特定窒化物層や特定混合酸化物層の作用効果は、ガラス積層体が熱処理される場合には特に有利に働く。
【００３６】
特定混合酸化物層と特定窒化物層を組合わせて発現する前記の作用効果は、２層、又は２層以上の熱線反射層を有する積層膜においても発現する。
多層の熱線反射層は、１．５（特に１．７）を超える選択透過度（ＴＥに対するＴＬの割合、すなわち、ＴＬ／ＴＥ）を有するガラス積層体を形成するうえで好適である。
【００３７】
特定混合酸化物層における材料Ｘは、１）本質的にＴｉからなる、２）Ｔｉと特定された材料の群から選ばれる１種以上とからなる（例えばＴｉとＡｌ）、３）本質的にＡｌからなる、又は４）Ａｌと、特定された材料の群から選ばれる１種以上とからなる、ことが好ましい。
【００３８】
本発明においては、熱線反射層の下及び／又は上に、１層又は２層以上のバリア層を有していてもよい。例えば、次に挙げる材料からなるバリア層を使用できる。すなわち、Ｔｉ、Ｚｎ、Ｔａ、Ｃｒ、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、Ｚｒ、Ｎｉ、ＮｉＣｒ、ＺｎＴｉ、ＮｉＴｉ、ＺｎＡｌ等である。こうしたバリア層は、例えば、金属層として、又は、部分的に酸化された酸化物層として形成される。また、窒化されたバリア層も使用できる。
【００３９】
このようなバリア層のうち１層又は２層以上は、特定混合酸化物層と同じ材料を含有することが好ましい。特定混合酸化物層と同じ材料を含有すると、ターゲットの取り扱いや、膜形成条件のコントロールが容易になる。特に隣接する特定混合酸化物層と同じ材料を含有する場合には、互いの層間の優れた密着性、及び、積層膜全体の優れた機械的耐久性を示すことがある。
前記の作用効果は、熱処理可能なガラス積層体、又は熱処理されたガラス積層体に対して特に有利に働く。熱処理されないガラス積層体に対しても有利である。
【００４０】
本明細書において「熱処理可能なガラス積層体」とは、積層膜が形成されたガラス積層体が、熱処理（曲げ加工及び／又は強化加工など）を経ても、ヘイズ値が０．５を超えない、好ましくは０．３を超えないように設計されていることを意味する。
【００４１】
熱処理は、例えば、１）曲げ加工、２）強化加工、３）着色セラミックスプリントや銀からなるバスバープリントの焼成、４）真空複層ガラスの真空封止シール加工、５）ウェット法により塗布した低反射膜や防眩膜の焼成工程などにおいて施される。例えば、１）曲げ加工や２）強化加工では、大気雰囲気中で５７０〜７００℃に加熱される。
【００４２】
本明細書において「実質的にヘイズのない、熱処理されたガラス積層体」とは、熱処理を施された後、ヘイズ値が０．５を超えていない（好ましくは０．３を超えていない）ガラス積層体を意味する。
【００４３】
熱処理は、例えば、６００℃以上で少なくとも１０分間（例えば１２分間又は１５分間）、６２０℃以上で少なくとも１０分間（例えば１２分間又は１５分間）、又は、６４０℃以上で少なくとも１０分間（例えば１２分間又は１５分間）、の工程である。
本明細書において、ヘイズ値は、ＡＳＴＭ  Ｄ  １００３−６１（１９８８年版）に準じて測定されたものをいう。
【００４４】
特定混合酸化物層の膜厚は５ｎｍ以上であることが好ましい。特に８ｎｍ以上、さらに１０ｎｍ以上、またさらには１２ｎｍ以上、またさらには１４ｎｍ以上、またさらには１６ｎｍ以上であることが好ましい。
【００４５】
特定混合酸化物層は、積層膜の反射防止膜のうち１層以上、好ましくは反射防止膜全てにおいて用いられる。積層膜の反射防止膜全てにおいて用いると、生産工程の制御や、必要なターゲットの準備及び保管を単純化できる。２層以上の反射防止層が特定混合酸化物層を含む場合、各特定混合酸化物層は、同一か又は実質的に同じ組成とすることができる。
【００４６】
特定混合酸化物層における原子比Ｘ／Ｚｎは、０．０３〜１、特に０．０５〜０．６、さらには０．０８〜０．５であることが好ましい。特に、原子比Ｘ／Ｚｎは、０．１２以上、特に０．１５以上、さらには０．３以上であることが好ましい。
【００４７】
熱処理は、ガラス積層体のＴＬの上昇を引き起こす可能性がある。ＴＬの上昇は、自動車用の風防ガラスに用いられるガラス積層体に対して、ＴＬが充分高いことを保証するうえで都合がよい。ＴＬは、熱処理中に、絶対値で、例えば、２．５％超、３％超、５％超、８％超、又は１０％超、上昇することがある。
【００４８】
ＴＬが熱処理中に大きく上昇しないように構成することもできる。すなわち、熱処理前後のＴＬの変化が大きく、熱処理後のＴＬの管理が難しい場合には、熱線反射層の下のバリア層を設けないようにする。
【００４９】
本発明は、前記のガラス積層体に、５７０℃以上の温度で、曲げ加工及び／又は強化加工を施すことを特徴とするガラス積層体の製造方法を提供する。前記の５７０℃以上の温度で熱処理（例えば大気雰囲気中で熱処理）された後のガラス積層体は、ヘイズ値が０．５未満（好ましくは０．３未満）であることが好ましい。該製造方法は、例えば、建築用、自動車用（特に風防ガラス）や、産業用の用途に好適な、熱処理されたガラス積層体を生産するのに使用できる。
【００５０】
【実施例】
本発明の実施例を、図１を参照しながら以下に説明する。図１は、曲げ加工（又は強化加工）される前のガラス積層体の模式断面図である。
【００５１】
「実施例１」
図１に、２層の熱線反射層としてのＡｇ層を有し、熱処理可能な、マグネトロンスパッタリング法によってガラス基体上に形成された、表１に示すような連続した構成を有する被膜を示す。
【００５２】
【表１】
0004359980.tif 000002
【００５３】
表１のＺｎＡｌＯxは、ＺｎとＡｌの合金又は混合物のターゲットを用い、酸素存在下で反応性直流マグネトロンスパッタリング法で形成された、ＺｎとＡｌを含む混合酸化物である。ＺｎＡｌＯyバリア層はどれも、完全に酸化されていないバリア層が形成できるように、酸素（完全に酸化させるには不充分な量の酸素）を含むアルゴン雰囲気中で、ＺｎとＡｌの合金又は混合物のターゲットを直流マグネトロンスパッタリング法で形成された。
【００５４】
他の手段として、混合酸化物のＺｎＡｌＯx層は、酸化亜鉛及びアルミニウムの酸化物の混合物のターゲットを、アルゴンガス中又は酸素（完全に酸化させるには不充分な量の酸素）を含むアルゴン雰囲気中でスパッタリングして形成することもできる。
バリア層が、他の混合酸化物層（特に隣接した混合酸化物層）と同じ材料を含んでいると、ターゲットの管理や膜形成状態の制御が容易となる。また、層間の密着力が上がり、積層膜の機械的耐久性が向上することがある。
【００５５】
底部、中央部、及び頂部ＺｎＡｌＯx反射防止層各々の酸化状態は必ずしも同一であることを要しない。同様に、ＺｎＡｌＯyバリア層各々の酸化状態も必ずしも同一であることを要しない。また、原子比Ａｌ／Ｚｎの値も、すべての膜において同一であることを要しない。例えば、バリア層が反射防止層と異なる原子比Ａｌ／Ｚｎを有していてもよいし、反射防止層どうしが互いに異なった原子比Ａｌ／Ｚｎを有していてもよい。
【００５６】
各上部バリア層は、その上のＺｎＡｌＯx酸化物層を反応性直流マグネトロンスパッタリング法で形成する際に、その下のＡｇ層が酸化されるのを防ぐ。これらのバリア層は、その上の酸化物層を形成する際に酸化が進むかもしれないが、続いてガラス積層体に対して行われる熱処理においてバリアの役割を果たすために、これらのバリア層の一部分は、完全に酸化されていない酸化物のまま残っていることが好ましい。
【００５７】
ＡｌＮ層は、６０６１合金をターゲットとして用いて、窒素とアルゴンとの混合ガス雰囲気中で、反応性直流マグネトロンスパッタリング法で形成した。
Ａｇ層はＡｇターゲットを用い、アルゴン雰囲気中で直流マグネトロンスパッタリング法で形成した。
ガラス基体としては、２ｍｍ厚のクリアガラスを用いた。
【００５８】
本実施例のガラス積層体は、自動車用合わせ風防ガラスやディスプレイに用いられることを意図されており、表２に示す特性を有する。
表中のａ*、ｂ*は、ＣＩＥ Ｌａｂ表示における通常入射光での色度の値である。システムムーン２は光源の種類である。
【００５９】
【表２】
0004359980.tif 000003
【００６０】
熱処理によって全てのバリア層が実質的に完全に酸化され、熱処理後には表３に示すような膜構成となっていることが好ましい。
【００６１】
【表３】
0004359980.tif 000004
【００６２】
部分的に酸化されているＡｌＮ層は、ＡｌＮが熱処理中に部分的に酸化され、ＡｌＮとＡｌ2Ｏ3の混合物を含んでいることがある。
【００６３】
「実施例２」
実施例２は、積層膜の下部バリア層が省かれていること以外は、実施例１と同様である。本実施例の膜構成及び膜厚等を表４に示す。
【００６４】
【表４】
0004359980.tif 000005
【００６５】
表４のＺｎＡｌＯxは、ＺｎとＡｌの合金又は混合物のターゲットを用い、酸素存在下で反応性直流マグネトロンスパッタリング法で形成された、ＺｎとＡｌを含む混合酸化物である。ＺｎＡｌバリア層はどれも、実質的に酸素を含まない不活性雰囲気中で、ＺｎとＡｌの合金又は混合物のターゲットを用いて直流マグネトロンスパッタリング法で形成された。
【００６６】
上部バリア層１６、２０の少なくとも一部分は、その上の酸化物層の形成中に酸化される。それでも、これらのバリア層の一部分は、続いてガラス積層体に対して行われる熱処理においてバリアの役割を果たすために、金属状態又は少なくとも完全には酸化されていない酸化物の状態で残っていることが好ましい。
【００６７】
本実施例のガラス積層体は、自動車用合わせ風防ガラスやディスプレイに用いられることを意図されており、表５に示す特性を有する。
【００６８】
【表５】
0004359980.tif 000006
【００６９】
熱処理によって全てのバリア層が実質的に完全に酸化され、熱処理後には表６に示すような膜構成となっていることが好ましい。
【００７０】
【表６】
0004359980.tif 000007
【００７１】
「実施例３」
実施例３は、ガラス基体上に直接形成されたＺｎＡｌＯxを用いたものである。本実施例の膜構成及び膜厚等を表７に示す。
【００７２】
【表７】
0004359980.tif 000008
【００７３】
表７のＺｎＡｌＯxは、ＺｎとＡｌの合金又は混合物のターゲットを用い、酸素存在下で反応性直流マグネトロンスパッタリング法で形成された、ＺｎとＡｌを含む混合酸化物である。ＺｎＡｌバリア層はどれも、実質的に酸素を含まない不活性雰囲気中で、ＺｎとＡｌの合金又は混合物のターゲットを用いて直流マグネトロンスパッタリング法で形成された。
【００７４】
上部バリア層１６、２０の少なくとも一部分は、その上の酸化物層の形成中に酸化される。それでも、これらのバリア層の一部分は、続いてガラス積層体に対して行われる熱処理においてバリアの役割を果たすために、金属状態又は少なくとも完全には酸化されていない酸化物の状態で残っていることが好ましい。
本実施例のガラス積層体は、自動車用合わせ風防ガラスやディスプレイに用いられることを意図されており、表８に示す特性を有する。
【００７５】
【表８】
0004359980.tif 000009
【００７６】
熱処理によって全てのバリア層が実質的に完全に酸化されていることが好ましい。
【００７７】
「実施例４」
実施例４は、頂部反射防止層の一部としてＳｉＡｌxＮyを用いたものである。本実施例の膜構成及び膜厚等を表９に示す。
【００７８】
【表９】
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【００７９】
ＳｉＡｌxＮyは、原子比Ａｌ／Ｓｉが０．１以上、特に０．１５以上、さらには０．２以上、またさらには０．３以上、またさらには０．４以上、またさらには０．５以上であることが好ましい。本実施例の場合は原子比Ａｌ／Ｓｉが０．５である。
【００８０】
ＺｎＡｌＯxは、ＺｎとＡｌの合金又は混合物のターゲットを用い、酸素存在下で反応性直流マグネトロンスパッタリング法で形成された、ＺｎとＡｌを含む混合酸化物である。ＺｎＡｌバリア層はどれも、実質的に酸素を含まない不活性雰囲気中で、ＺｎとＡｌの合金又は混合物のターゲットを用いて直流マグネトロンスパッタリング法で形成された。
【００８１】
上部バリア層１６、２０の少なくとも一部分は、その上の酸化物層の形成中に酸化される。それでも、これらのバリア層の一部分は、続いてガラス積層体に対して行われる熱処理においてバリアの役割を果たすために、金属状態又は少なくとも完全には酸化されていない酸化物の状態で残っていることが好ましい。
本実施例のガラス積層体は、自動車用合わせ風防ガラスやディスプレイに用いられることを意図されており、表１０に示す特性を有する。
【００８２】
【表１０】
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【００８３】
熱処理によって全てのバリア層が実質的に完全に酸化されていることが好ましい。
【００８４】
本発明においては、必要であれば、他の膜を本発明の膜構成の上、下、又は層間に、付加的に導入してもよい。
各実施例において得られる優れた光学特性に加えて、各実施例で得られたガラス積層体は、適当に配置された電気接続子（コネクタ）を付加すれば、例えば、防曇及び／又は防霜機能を果たす自動車の電気的に加熱可能な風防ガラスとして使用できる。
【００８５】
各実施例の色度（ａ*及びｂ*）は、ある角度をもって車体に取り付けられたとき、反射色調がニュートラル（見た目に無色）か、わずかに青味がかるか、又は、わずかに緑がかるような値であり、特に自動車の風防ガラスに好適な値である。他の用途、例えば、建築用の用途には、従来から知られているように、反射防止層及び／又は熱線反射層の膜厚を調整することにより、反射色を調整できる。
【００８６】
本発明のガラス積層体のＴＬは、求められる用途に合うように調整できる。例えば、
１）ヨーロッパ市場向けの自動車用風防ガラスに使用される場合は、ＴＬは７５％超となるように選択される（ヨーロッパの規則により必要とされている）、
２）日本と米国市場向けの自動車用風防ガラスに使用される場合は、ＴＬは７０％超となるように選択される（日本と米国の規則により必要とされている）、
３）自動車の前方サイドガラスに使用される場合は、ＴＬは７０％超となるように選択される（ヨーロッパの規則により必要とされている）、
４）自動車の後方サイドガラス又はリア窓ガラスに使用される場合は、ＴＬは約３０％と７０％の間となるように選択される。
【００８７】
ＴＬを調整するには、例えば、
１）形成される積層膜の各層の厚さ、特に反射防止層及び／又は熱線反射層の膜厚を変える、
２）形成される積層膜を着色ガラス基体と組み合わせる、
３）形成させる積層膜を、着色されたＰＶＢ膜又は他の合わせ加工用の膜と組み合わせる、などの方法を採用できる。
【００８８】
【発明の効果】
本発明によれば、熱処理時の熱線反射層としての金属層の劣化が効果的に防止され、熱処理を施しても低いヘイズ値を有するガラス積層体が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガラス積層体の模式断面図
【符号の説明】
１０：ガラス基体
１１：底部反射防止層
１２：特定窒化物層
１３：特定混合酸化物層
１４：下部バリア層
１５：熱線反射層
１６：上部バリア層
１７：中央部反射防止層
１８：下部バリア層
１９：熱線反射層
２０：上部バリア層
２１：頂部反射防止層
２２：特定混合酸化物層
２３：特定窒化物層
【図１】
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