(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を搭載した搬送台車が軌道上を走行するとともに、前記被搬送物の前記搬送台車と外部との間の移載が、受け渡し装置により行われる構成とされた搬送設備において、
前記受け渡し装置は、前記軌道の側方の床面上に配置された装置本体と、該装置本体の上面に形成されて前記被搬送物の載置が行われる載置部とを備えた構成とされ、
前記装置本体は、上部構成体と下部構成体とに分離可能に形成され、
前記下部構成体は、その上面が、前記軌道側から該軌道から離間する方向に向けて漸次その高さ位置が小となる形状とされるとともに、該上面の前記軌道側の端部の高さ位置が、前記軌道上面の高さ位置と同一またはそれより上方となるように形成され、
前記上部構成体は、その下面の少なくとも一部が、前記下部構成体の上面の形状に沿った形状に形成され、
前記搬送設備には、前記軌道上を走行可能とされるとともに、前記受け渡し装置の少なくとも上部構成体を運搬するための交換台車が備えられ、
該交換台車には、前記上部構成体を載置するための荷台が設けられ、
前記荷台は、その上面が前記上部構成体の下面に沿った形状に形成されるとともに、該上面における前記受け渡し装置側の端部の高さ位置が、前記下部構成体の上面の前記軌道側の端部の高さ位置と略同一とされていることを特徴とする搬送設備。
【請求項２】
請求項１記載の搬送設備であって、
前記交換台車には、該交換台車に固定された巻き取り機構と、該巻き取り機構によって前記軌道と直交する方向に巻き取り・巻き出し可能とされた紐状部材と、該紐状部材の先端に設けられて前記上部構成体の一部と係合可能な係合部材とが備えられていることを特徴とする搬送設備。
【請求項３】
請求項１または２記載の搬送設備であって、
前記下部構成体の上面および前記交換台車の荷台の上面には、前記軌道と平行方向な軸周りに回転可能なローラが配置されていることを特徴とする搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工場等において用いられて被搬送物を搬送する搬送設備に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
周知のように、工場、特に、半導体製造施設にあっては、工程内のワーク等の搬送のために、工程内に設置された軌道上を、ワークを搭載した搬送台車が走行する構成とされた搬送設備が広く採用されている。また、最近では、このような搬送設備において、各工程と搬送台車との間のワークの受け渡しのための自動移載装置が設置されたものが、多く用いられるようになってきている。
【０００３】
図１２は、このような移載装置を用いた搬送設備が適用された半導体製造施設の内部の状況を示した図である。
図中、符号１は、半導体製造装置を示す。この半導体製造装置１においては、半導体製造工程の一部をなす研磨、洗浄、表面処理等の処理、あるいは、保管、仮置き等が行われる。半導体製造装置１の前面には、搬送設備２が設けられている。搬送設備２は、半導体製造装置１の前面にそれぞれ二基ずつ固定された受け渡し装置３（ロードポートと呼ばれる。）と、受け渡し装置３の前面に設けられた軌道４と、軌道４上を走行する搬送台車５を備えた構成とされている。
【０００４】
受け渡し装置３は、半導体製造装置１との間で、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼ばれる収納容器６に収納された半導体ウェーハの受け渡しを行う機能を有している。具体的には、受け渡し装置３は、その容器載置部７が、半導体製造装置１の内部に対して出入口８を介して接続された構成となっており、容器載置部７上の収納容器６の蓋を開いて半導体ウェーハを半導体製造装置１内に取り込み、あるいは、半導体製造装置１から半導体ウェーハを受け取って容器載置部７上の収納容器６に収納するとともに、収納容器６の蓋を閉める等の動作を行う。
【０００５】
容器載置部７には、三つのピン９，…が突出しており、これらのピン９，…を収納容器６の下面の溝（図示略）に嵌合させることにより、収納容器６を容器載置部７上の所定位置に位置決めすることができるようになっている。
【０００６】
また、受け渡し装置３の前方に設けられた軌道４は、半導体製造装置１の配列方向と平行に延在しており、搬送台車５は、軌道４上をリニアモータの原理により駆動される構成となっている。また、搬送台車５には、ロボット１０が搭載されており、このロボット１０が有するフィンガー装置１１により、搬送台車５と受け渡し装置３との間で半導体ウェーハの収納された収納容器６の受け渡しが行われるようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述の搬送設備２は、以下のような問題点を有していた。
まず、受け渡し装置３は、その交換やメンテナンスの際には、半導体製造設備１から取り外して外部へ搬出し、所定のメンテナンス処理を経た後、再度所定位置まで搬入して取り付けることが必要とされている。しかしながら、この受け渡し装置３は、６０〜８０キログラムの重量を有しているから、人手により扱うにはかなりの困難が伴い、これら一連の作業に多くの時間と労力がかかるという問題点があった。
【０００８】
また、特に、半導体製造装置１が密集して設けられている場合には、受け渡し装置３の周囲に、装置の交換のための十分な作業スペースを確保することが困難であった。さらに、半導体製造装置１の前面に軌道４が設けられ、しかも、この軌道４が床面から突出しているから、天井クレーン等の特別な設備を用いない限り、軌道４が障害となって受け渡し装置３の搬出および搬入が困難となっていた。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、受け渡し装置を容易に搬出入可能とすることにより、受け渡し装置の交換やメンテナンスに係る作業の容易化を図ることを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明においては以下の手段を採用した。
すなわち、請求項１記載の搬送設備は、被搬送物を搭載した搬送台車が軌道上を走行するとともに、前記被搬送物の前記搬送台車と外部との間の移載が、受け渡し装置により行われる構成とされた搬送設備において、
前記受け渡し装置は、前記軌道の側方の床面上に配置された装置本体と、該装置本体の上面に形成されて前記被搬送物の載置が行われる載置部とを備えた構成とされ、
前記装置本体は、上部構成体と下部構成体とに分離可能に形成され、
前記下部構成体は、その上面が、前記軌道側から該軌道から離間する方向に向けて漸次その高さ位置が小となる形状とされるとともに、該上面の前記軌道側の端部の高さ位置が、前記軌道上面の高さ位置と同一またはそれより上方となるように形成され、
前記上部構成体は、その下面の少なくとも一部が、前記下部構成体の上面の形状に沿った形状に形成され、
前記搬送設備には、前記軌道上を走行可能とされるとともに、前記受け渡し装置の少なくとも上部構成体を運搬するための交換台車が備えられ、
該交換台車には、前記上部構成体を載置するための荷台が設けられ、
前記荷台は、その上面が前記上部構成体の下面に沿った形状に形成されるとともに、該上面における前記受け渡し装置側の端部の高さ位置が、前記下部構成体の上面の前記軌道側の端部の高さ位置と略同一とされていることを特徴としている。
【００１１】
上記のような構成とされるために、この搬送設備においては、交換台車を受け渡し装置の正面に位置させた場合に、下部構成体の上面と荷台の上面とが連続した斜面を形成することとなり、したがって、この場合に、受け渡し装置のうちの少なくとも上部構成体を、下部構成体の上面から荷台の上面側に容易に引き上げることができる。
【００１２】
請求項２記載の搬送設備は、請求項１記載の搬送設備であって、
前記交換台車には、該交換台車に固定された巻き取り機構と、該巻き取り機構によって前記軌道と直交する方向に巻き取り・巻き出し可能とされた紐状部材と、該紐状部材の先端に設けられて前記上部構成体の一部と係合可能な係合部材とが備えられていることを特徴としている。
【００１３】
上記のような構成とされるために、この搬送設備においては、係合部材を上部構成体に係合させるとともに、紐状部材を巻き取ることにより、上部構成体を荷台側に引き上げることができる。
【００１４】
請求項３記載の搬送設備は、請求項１または２記載の搬送設備であって、
前記下部構成体の上面および前記交換台車の荷台の上面には、前記軌道と平行方向な軸周りに回転可能なローラが配置されていることを特徴としている。
【００１５】
上記のような構成とされるために、この搬送設備においては、上部構成体の下面と、下部構成体の上面および荷台の上面との摩擦を、ローラにより低減することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を、図面に基づいて説明する。
なお、この実施の形態において、上記の従来技術と異なる点は、受け渡し装置の構成に関する点と、受け渡し装置を搬送するための交換台車が備えられている点のみであるため、以下、これらの点のみについて説明を行うとともに、その他の共通の構成については、同一の符号を付し、説明を省略することとする。
【００１７】
図１は、本発明の一実施の形態である搬送設備１２の一部を構成する受け渡し装置１３を示す図である。図中に示すように、受け渡し装置１３は、垂直配置された取付板１４の一面に、装置本体１５を固定した概略構成となっている。
【００１８】
取付板１４は、半導体製造装置１の前面に形成された開口部１６に、はめ込まれて固定されている。また、装置本体１５は、その上面１５ａが、被搬送物の収納容器等が載置される載置部１７として形成されている。
【００１９】
この装置本体１５は、床面１８上に配置された下部構成体１９と、下部構成体１９の上部に設けられて下部構成体１９と一体化された上部構成体２０とに分離可能な構成となっている。ここに、下部構成体１９は、一対のベース部材２１，２１により形成されており、また、上部構成体２０は、載置部１７に載置された収納容器を開閉する等の機能を実現するための機器類が収納された構成となっている。そして、下部構成体１９上に上部構成体２０が配置され、さらに、その前面からカバー２２が取り付けられることにより、装置本体１５が形成される。
【００２０】
下部構成体１９を構成するベース部材２１は、図２に示すように、略三角形状とされており、これにより、その上面２１ａが、軌道４側の端部２１ｂから軌道４と反対側の端部２１ｃに向けて、漸次その高さ位置が小となる形状となっている。また、この端部２１ｂの高さ位置は、軌道４の上面の高さ位置と略同一とされている。
また、ベース部材２１の上面２１ａには、軌道４と平行な方向（図中Ａ方向）の軸周りに回転可能なローラ２３，…が設けられている。
【００２１】
一方、図１に示したように、上部構成体２０は、その下面２０ａが、ベース部材２１の上面２１ａの形状に沿うように、軌道４側から軌道４から離間する方向（図中Ｂ方向）に向けて、漸次その高さ位置が小となる形状となっている。
【００２２】
図３は、搬送設備１２において、受け渡し装置１３の交換等のために用いられる交換台車２５の構成を示した図である。
これら図中に示すように、交換台車２５は、台車本体２６の下面に、軌道４を走行するための車輪２７，…が設けられた構成となっている。台車本体２６は、荷台２８と、荷台２８の端部から立ち上がる構成とされた垂直部２９とにより形成されている。
【００２３】
荷台２８は、その上面２８ａが、上部構成体２０の下面２０ａに沿った形状、すなわち、一方の側端縁２８ｂから他方の側端縁２８ｃに向けて一定角で傾斜する構成となっている。側端縁２８ｂは、交換台車２５を半導体製造装置１の前に配置した場合に、受け渡し装置１３側に位置する端縁であり、その高さ位置は、ベース部材２１の上面２１ａにおける軌道４側の端部２１ｂの高さ位置と略同一とされている。また、荷台２８の上面２８ａには、軌道４と平行な軸周りに回転可能なローラ３０，…が突出状態に設けられている。
【００２４】
また、図４は、図３におけるＩ−Ｉ断面を示す図である。図中に示すように、荷台２８の内部には、巻き取り機構３１が設けられている。巻き取り機構３１は、垂直部２９に設けられたハンドル３２を回転させることにより、ワイヤ（紐状部材）３３を軌道４と平行方向（紙面と直交方向）に巻き取り・巻き出し可能な構成となっている。また、ワイヤ３３は、荷台２８の側面に設けられた開口部３４から外部に延出する構成となっており、なおかつ、ワイヤ３３の先端には、フック（係合部材）３５が設けられている。
【００２５】
このような概略構成とされた搬送設備１２において、メンテナンス等のために受け渡し装置１３を搬出する必要がある場合には、以下のような手順で作業が行われる。
【００２６】
まず、図５に示すように、カバー２２、および取付板１４のうち載置部１７の上方を覆うカバー３６を、受け渡し装置１３から取り外す。次に、図６に示すように、受け渡し装置１３を半導体製造装置１に固定しているビス３７，…を取り外す。そして、図７に示すように、上部構成体２０内部に設けられている配線・配管類３８を取り外し、さらに、図８に示すように、交換台車２５を受け渡し装置１３の前面にまで移動させ、ワイヤ３３を開口部３４から巻き出すとともに、受け渡し装置１３の上部構成体２０にフック３５を係合させる。
【００２７】
図８のように交換台車２５を受け渡し装置１３の前面に移動させた場合、下部構成体１９の上面および荷台２８の上面２８ａが、ともに上部構成体２０の下面２０ａに沿う形状に形成されており、かつ、下部構成体１９を構成するベース部材２１の上面２１ａの端部２１ｂと、荷台２８の上面２８ａの側端縁２８ｂとが略同一の高さ位置とされていることから、下部構成体１９の上面と荷台２８の上面２８ａは、一体となって、一定角で傾斜する斜面を形成することとなる。したがって、図８に示したような状態から、ハンドル３２を回転させて巻き取り機構３１（図４参照）によりワイヤ３３を巻き取ることにより、図９に示すように、受け渡し装置１３のうち、上部構成体２０から上の部分を、荷台２８上に引き上げることができる。また、この場合、下部構成体１９のローラ２３，…および荷台２８のローラ３０，…は、上部構成体２０の下面２０ａと下部構成体１９および荷台２８との摩擦を低減して、受け渡し装置１３の引き上げ作業を容易化する役割を果たす。
【００２８】
このように上部構成体２０から上の部分を、荷台２８上に引き上げたら、図１０のように、取り外しておいたカバー２２および３６を再び取り付け、さらに、図１１に示すように、交換台車２５を移動させることにより、受け渡し装置１３の下部構成体１９以外の部分を、搬出することができる。
【００２９】
また、受け渡し装置１３のメンテナンスが終了した後は、以上示したような手順と逆の手順を行うことにより、受け渡し装置１３を再び所定位置に取り付けることができる。
【００３０】
上述の搬送設備１２においては、受け渡し装置１３の装置本体１５が下部構成体１９および上部構成体２０に分離可能とされ、また、下部構成体１９の上面が軌道４側から軌道４から離間する方向に向けて漸次その高さ位置が小となる構成とされるとともに、上部構成体２０の下面２０ａが、下部構成体１９の上面の形状に合わせて形成され、さらに、荷台２８の上面２８ａが、上部構成体２０の下面２０ａの形状に合わせて形成された構成となっており、なおかつ、下部構成体１９の上面の軌道４側の端部（すなわち、ベース部材上面２１ａの端部２１ｂ）の高さ位置と、荷台上面２８ａの側端縁２８ｂの高さ位置とが略同一とされている。これにより、上述のように、下部構成体１９の上面と荷台上面２８ａとを連続した斜面として形成することができ、受け渡し装置１３のうちの下部構成体１９以外の部分を荷台２８上に容易に引き上げることができる。この場合、従来と異なり、作業に要する労力を大幅に低減することが可能であり、また、作業上の制約が少ないため、作業効率を向上させることができる。
【００３１】
また、上述の搬送設備１２においては、交換台車２５に巻き取り機構３１、ワイヤ３３、および、上部構成体２０と係合可能なフック３５が設けられているために、特別な設備を要することなく、容易に受け渡し装置１３の主要部を荷台２８上に引き上げることができ、従来と異なり、天井クレーン等の大がかりな設備が必要とならない。
【００３２】
さらに、上述の搬送設備１２においては、下部構成体１９の上面および荷台２８の上面２８ａに、それぞれ、ローラ２３，…および３０，…が備えられているために、上部構成体２０の下面２０ａと、下部構成体１９および荷台２８との間に生じる摩擦を低減することができ、これにより、受け渡し装置１３の引き上げ作業をより一層容易化して労力の低減化を図ることができる。
【００３３】
なお、上記実施の形態において、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、搬送設備１２の適用対象や各部の構造等について、他の構成を採用するようにしてもよい。
【００３４】
例えば、搬送設備１２の適用対象は、半導体製造施設に限らず、他の工場等であってもよい。
また、上記実施の形態において用いられていたワイヤ３３に代えて、例えば、ベルト等を用いるようにしてもよい。
また、上記実施の形態におけるフック３５に代えて、例えば、上部構成体２０にネジ等により固定されるような構造を有する部材を使用するようにしてもよい。
さらに、上記実施の形態においては、上部構成体２０の下面２０ａと、下部構成体１９および荷台２８との間に生じる摩擦を低減するためにローラ２３，…および３０，…が設けられているが、これに代えて、プラスチック材（ポリエチレン）などの低摩擦材を使用することにより、上部構成体２０の下面２０ａと下部構成体１９および荷台２８との間の摩擦を低減させるようにしても同様の効果を得ることができる。
【００３５】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１に係る搬送設備は、受け渡し装置の装置本体が下部構成体および上部構成体に分離可能とされ、また、下部構成体の上面が軌道側から軌道から離間する方向に向けて漸次その高さ位置が小となる構成とされるとともに、上部構成体の下面が、下部構成体の上面の形状に合わせて形成され、さらに、交換台車の荷台の上面が、上部構成体の下面の形状に合わせて形成された構成となっており、なおかつ、下部構成体上面の軌道側の端部の高さ位置と、荷台上面の受け渡し装置側の端部の高さ位置とが略同一とされているため、下部構成体上面と荷台上面とを連続した斜面として形成することができ、受け渡し装置の一部を荷台上に容易に引き上げることができる。したがって、従来と異なり、作業に要する労力を大幅に低減することが可能であり、また、作業上の制約が少ないため、作業効率を向上させることができる。
【００３６】
請求項２に係る搬送設備においては、交換台車に巻き取り機構、紐状部材、および、受け渡し装置の上部構成体と係合可能な係合部材が設けられているために、特別な設備を要することなく、容易に受け渡し装置を荷台上に引き上げることができ、従来と異なり、天井クレーン等の大がかりな設備が必要とならない。
【００３７】
請求項３に係る搬送設備においては、下部構成体の上面および荷台の上面に、それぞれ、ローラが備えられているために、上部構成体の下面と、下部構成体および荷台との間に生じる摩擦を低減することができ、これにより、受け渡し装置の引き上げ作業をより一層容易化して労力の低減化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施の形態である搬送設備の一部を構成する受け渡し装置の外観斜視図である。
【図２】  図１に示した受け渡し装置の下部構成体を構成するベース部材の外観斜視図である。
【図３】  本発明の一実施の形態である搬送設備の一部を構成する交換台車の外観斜視図である。
【図４】  図３におけるＩ−Ｉ線矢視断面図である。
【図５】  本発明の搬送設備において、受け渡し装置を交換する際の手順を示す工程図である。
【図６】  本発明の搬送設備において、受け渡し装置を交換する際の手順を示す工程図である。
【図７】  本発明の搬送設備において、受け渡し装置を交換する際の手順を示す工程図である。
【図８】  本発明の搬送設備において、受け渡し装置を交換する際の手順を示す工程図である。
【図９】  本発明の搬送設備において、受け渡し装置を交換する際の手順を示す工程図である。
【図１０】  本発明の搬送設備において、受け渡し装置を交換する際の手順を示す工程図である。
【図１１】  本発明の搬送設備において、受け渡し装置を交換する際の手順を示す工程図である。
【図１２】  本発明の従来の技術を示す搬送設備の要部の外観斜視図である。
【符号の説明】
４  軌道
１２  搬送設備
１３  受け渡し装置
１５  装置本体
１５ａ  上面
１７  載置部
１９  下部構成体
２０  上部構成体
２０ａ  下面
２３  ローラ
２５  交換台車
２８  荷台
２８ａ  上面
３０  ローラ
３１  巻き取り機構
３３  ワイヤ（紐状部材）
３５  フック（係合部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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