(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線板のパターン形成に用いる露光マスクを保持するためのマスクホルダーにおいて，
該マスクホルダーは，上記露光マスクのパターン描画部を露出させる開口部を有する枠体と，
該枠体に取付けられ上記露光マスクの上端部と下端部とをそれぞれ支承する上側レールと下側レールとを有し，
かつ，上記上側レールと下側レールの一方又は双方は，両者が互いに近づく方向に移動して上記露光マスクを保持するロック機構を有してなり，
上記露光マスクを上記上側レールと下側レールとの間に挿入した後，これを上記ロック機構により保持するよう構成してあることを特徴とするマスクホルダー。
【請求項２】
請求項１において，上記マスクホルダーは，上記露光マスクを略垂直状態又は略水平状態で挿入するよう構成してあることを特徴とするマスクホルダー。
【請求項３】
請求項１又は２において，上記マスクホルダーは，上記露光マスクを所定位置に維持するためのストッパーを有することを特徴とするマスクホルダー。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項において，上記マスクホルダーは，上記露光マスクの挿入口を閉じるための開閉可能な開閉体を有することを特徴とするマスクホルダー。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項において，上記マスクホルダーは，上記上側レール及び下側レールのいずれか一方にガイドレールを一体的に形成してなることを特徴とするマスクホルダー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，プリント配線板のパターン形成に用いる露光マスクを保持するためのマスクホルダーに関する。
【０００２】
【従来技術】
プリント配線板の絶縁層や導電層等におけるパターンを形成するに当っては，上記プリント配線板の表面におけるパターン形成用樹脂を露光する。
この露光の際には，配線，バイアホール等の所望のパターンを描画した露光マスクを，上記パターン形成用樹脂を施したプリント配線板と，光源との間に配置する。このとき，上記露光マスクは，図６に示すマスクホルダー９によって保持する。
【０００３】
該マスクホルダー９は，上記露光マスク２のパターン描画部２１を露出させる開口部９１１を有する枠体９１と，該枠体９１に取付けられ上記露光マスク２の上端部２２と下端部２３とをそれぞれ支承する上側レール９２と下側レール９３とを有する。また，図７（Ａ），（Ｂ）に示すごとく，上記上側レール９２には板バネ９４が設けてある。
【０００４】
上記マスクホルダー９に露光マスク２を装着する際には，該露光マスク２を上記上側レール９２と下側レール９３のレール端における挿入口９５から，両者の間に挿入する（図６の矢印Ｄ）。そして，上記枠体９１における，上記挿入口９５と反対側に配設したストッパー９６に，上記露光マスク２が当接するまでスライドさせる。
これにより，上記露光マスク２は，上記上側レール９２と下側レール９３との間に配置される。そして，上記露光マスク２は，上記上側レール９２に設けられた板バネ９４によって，上記下側レール９３へ押し付けられることにより，確実に保持される。
【０００５】
【解決しようとする課題】
しかしながら，従来のマスクホルダー９には，以下の問題がある。
即ち，上記上側レール９２には，上述したごとく上記露光マスク２をマスクホルダー９に保持するために，上記板バネ９４が設けてある。
【０００６】
そのため，上記マスクホルダー９における上側レール９２と下側レール９３との間に露光マスク２をスライドさせて挿入する際にも，上記板バネ９４が上記露光マスク２の上端部２２を押圧した状態となる（図７（Ｂ））。この押圧された状態で，上記露光マスク２がスライドするため（図７（Ｂ）の矢印Ｅ），上記露光マスク２の上端部２２が上記板バネ９４によって削られることがある。
これにより，上記露光マスク２の上端部２２から粉塵が発生し，これが露光マスク２２やプリント配線板に付着するおそれがある。
【０００７】
上記粉塵が露光マスク２２に付着した状態で露光を行うと断線やショートが発生するおそれがある。また，上記粉塵がプリント配線板に付着した場合にも同様の不具合が発生するおそれがある。
かかる問題は，プリント配線板における配線の高密度化，微細化に伴い，一層顕在化する。
【０００８】
本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，露光マスクを確実に保持し，かつ露光マスクからの粉塵の発生を防止するマスクホルダーを提供しようとするものである。
【０００９】
【課題の解決手段】
請求項１に記載の発明は，プリント配線板のパターン形成に用いる露光マスクを保持するためのマスクホルダーにおいて，
該マスクホルダーは，上記露光マスクのパターン描画部を露出させる開口部を有する枠体と，
該枠体に取付けられ上記露光マスクの上端部と下端部とをそれぞれ支承する上側レールと下側レールとを有し，
かつ，上記上側レールと下側レールの一方又は双方は，両者が互いに近づく方向に移動して上記露光マスクを保持するロック機構を有してなり，
上記露光マスクを上記上側レールと下側レールとの間に挿入した後，これを上記ロック機構により保持するよう構成してあることを特徴とするマスクホルダーにある。
【００１０】
本発明において最も注目すべきことは，上記上側レールと下側レールのいずれか一方又は双方は，両者が互いに近づく方向に移動して上記露光マスクを保持するロック機構を有することである。
上記ロック機構には，例えばエアシリンダ，油圧シリンダ，電磁式シリンダ等を用いることができる。
なお，上記露光マスクの上端部及び下端部とは，両者が対向する２辺の端部であることを示す便宜上の名称であって，その位置関係が特に上下関係にあることを示すものではない。また，上記上側レールと下側レールについてもこれと同様である。
【００１１】
次に，本発明の作用効果につき説明する。
上記マスクホルダーに上記露光マスクを装着するに当っては，まず上記露光マスクを上記上側レールと下側レールとの間にスライドさせて挿入する。次いで，上記ロック機構により上記上側レールと下側レールの一方又は双方を，両者が近づく方向に移動させて上記露光マスクを保持する。
【００１２】
それ故，上記露光マスクを上記マスクホルダーに挿入する際には，上記露光マスクには，上記上側レールと下側レールのいずれからも押圧力が働かない。そのため，上記露光マスクの上端部と上側レール，あるいは露光マスクの下端部と下側レールとの間の接触による摩擦が生じない。
従って，上記露光マスクの上端部あるいは下端部が削れて粉塵が発生することを防ぐことができる。
【００１３】
また，上記露光マスクを上記マスクホルダーに挿入した後，上記ロック機構によって上記上側レールと下側レールのいずれか一方又は双方を，両者が近づく方向に移動させて上記露光マスクを保持することができる。そのため，上記露光マスクを確実に保持することができる。また，上記ロック機構による上側レールあるいは下側レールの移動の際にも，上記露光マスクの上端面あるいは下端面との間に特に摩擦が生じることはないため粉塵を発生させるおそれがない。
【００１４】
以上のごとく，本発明によれば，露光マスクを確実に保持し，かつ露光マスクからの粉塵の発生を防止するマスクホルダーを提供することができる。
【００１５】
次に，請求項２に記載の発明のように，上記マスクホルダーは，上記露光マスクを略垂直状態又は略水平状態で挿入するよう構成することもできる。
この場合にも，露光マスクを確実に保持し，かつ露光マスクからの粉塵の発生を防止するマスクホルダーを得ることができる。
なお，上記略垂直状態とは，上記露光マスクを立てた状態であって，水平面と上記露光マスクとの成す角度が例えば８０〜１００°の範囲となる状態をいう。また，上記略垂直状態とは，水平面と上記マスクホルダーの枠体との成す角度が例えば−１０〜＋１０°の範囲となる状態をいう。
【００１６】
次に，請求項３に記載の発明のように，上記マスクホルダーは，上記露光マスクを所定位置に維持するためのストッパーを有することが好ましい。
これにより，上記露光マスクを上記マスクホルダーにおける所定位置に，容易かつ確実に保持することができる。
上記ストッパーは，例えば上記枠体における挿入口と反対側に固定し，これに露光マスクが当接するよう構成してもよい（図２参照）。
【００１７】
次に，請求項４に記載の発明のように，上記マスクホルダーは，上記露光マスクの挿入口を閉じるための開閉可能な開閉体を有することが好ましい。
これにより，上記露光マスクをマスクホルダーに装着した後，上記露光マスクがマスクホルダーの所定位置からずれることを確実に防止することができる。
【００１８】
次に，請求項５に記載の発明のように，上記マスクホルダーは，上記上側レール及び下側レールのいずれか一方にガイドレールを一体的に形成してなることが好ましい。
【００１９】
上記ガイドレールとは，上記露光マスクを上記上側レールと下側レールとの間に案内するためのものである。
これにより，上記露光マスクを上記上側レールと下側レールとの間に容易に挿入することができるマスクホルダーを得ることができる。また，上記ガイドレールと上記上側レールあるいは下側レールとは一体的に形成されているため，上記露光マスクを円滑に挿入することができ，該露光マスクの上端部又は下端部から粉塵が発生することを防ぐことができる。
【００２０】
また，上記上側レール及び下側レールの少なくとも一方には，上記露光マスクの上端部又は下端部と対向する対向辺に転動ローラを配置してなることが好ましい。
これにより，上記露光マスクを挿入する際に，露光マスクの上端部と上記上側レールとの間，あるいは露光マスクの下端部と下側レールとの間の摩擦が一層小さくなる。それ故，上記露光マスクの上端部あるいは下端部からの粉塵の発生を一層確実に防ぐことができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
実施形態例
本発明の実施形態例にかかるマスクホルダーにつき，図１〜図５を用いて説明する。
本例のマスクホルダー１は，図２，図５に示すごとく，プリント配線板３のパターン形成に用いる露光マスク２を，露光時に保持するためのものである。
【００２２】
上記マスクホルダー１は，図１に示すごとく，上記露光マスク２のパターン描画部２１を露出させる開口部１１１を有する枠体１１と，該枠体１１に取付けられ上記露光マスク２の上端部２２と下端部２３とをそれぞれ支承する上側レール１２と下側レール１３とを有する。
【００２３】
また，上記上側レール１２は，図３（Ａ），（Ｂ）に示すごとく，下側レール１３に近づく方向に移動して上記露光マスク２を保持するロック機構１４０を有している。
そして，上記マスクホルダー１は，上記露光マスク２を図１の矢印Ａに示すごとく上記上側レール１２と下側レール１３との間にスライドさせて挿入した後，図２に示すごとく，上記ロック機構１４０により上記露光マスク２を保持するよう構成してある。
【００２４】
上記マスクホルダー１は，上記露光マスク２を略垂直状態で挿入するよう構成してある。即ち，上記マスクホルダー１は，上記上側レール１２が上側に，下側レール１３が下側になるよう配置されている。そして，上記露光マスク２は立った状態で，上記マスクホルダー１の側方の挿入口１５から上側レール１２と下側レール１３との間に挿入される（図１）。
【００２５】
上記ロック機構１４０は，図１〜図３に示すごとく，上記枠体１１に固定されていると共に上記上側レール１２を上下に移動させる２つのエアシリンダ１４によって構成されている。
【００２６】
上記マスクホルダー１は，図１に示すごとく，上記露光マスク２の挿入口１５とは反対側に，上記露光マスク２を所定位置に停止させるためのストッパー１６を有する。更に，上記マスクホルダー１は，上記露光マスク２の挿入口１５を閉じるための開閉可能な開閉体１７を有する。該開閉体１７は，上記枠体１１に対してヒンジ１７１によって回動可能に取り付けてある。
【００２７】
また，上記マスクホルダー１は，上記露光マスク２を挿入する際に露光マスク２を上記上側レール１２と下側レール１３との間に案内するガイドレール１３５を，上記下側レール１３に一体的に形成してなる。
また，図４に示すごとく，上記下側レール１３及びガイドレール１３５には，上記露光マスク２の下端部２２と対向する対向辺１３１に転動ローラ１３２を配置してある。
【００２８】
次に，上記マスクホルダー１に装着した露光マスク２を用いた露光方法について，図５を用いて説明する。
まず，感光性のパターン形成用樹脂３１を施したプリント配線板３を，略垂直状態で露光工程に搬入する（図５の矢印Ｄ）。次いで，上記プリント配線板３を，上記マスクホルダー１に略垂直状態で保持された露光マスク２に密着させる（矢印Ｅ）。
この状態で，上記露光マスク２の反対側に配置された光源４によって，上記プリント配線板３におけるパターン形成用樹脂３１に紫外線を照射して，露光を行う。即ち，光源４と露光マスク２との間に配置されたシャッター４２を所定時間開放することにより，所定時間の露光を行う。
【００２９】
露光の後，上記プリント配線板３と露光マスク２との密着を解除して，プリント配線板３を次工程へ搬送する（矢印Ｆ）。
なお，上記光源４の後方には，紫外線を上記露光マスク２側へ反射する反射板４１が配設してある。
【００３０】
次に，本例の作用効果につき説明する。
上記マスクホルダー１に上記露光マスク２を装着するに当っては，まず上記露光マスク２を上記上側レール１２と下側レール１３との間に挿入する。即ち，上記露光マスク２の下端部２３を上記ガイドレール１３５に載置し，挿入口１５から上記ストッパー１６に向かってスライドさせる（図１の矢印Ａ）。このとき，上記露光マスク２の下端部２３は，上記ガイドレール１３５及び下側レール１３の転動ローラ１３２の上に載置される。そして，該転動ローラ１３２が回転することによって上記露光マスク２は円滑に挿入される。
【００３１】
次いで，上記ロック機構１４０のエアシリンダ１４により，上記上側レール１２を下側レール１３に近づく方向に移動させて上記露光マスク２を保持する（図２，図３（Ｂ）の矢印Ｃ）。即ち，上記露光マスク２を挿入する際には，上記エアシリンダ１４のロッド１４１は図３（Ａ）に示すごとく縮退している。そして，上記露光マスク２が上記ストッパー１６に当接して挿入が完了した後に，上記エアシリンダのロッド１４１が図３（Ｂ）に示すごとく伸長する。
【００３２】
それ故，上記露光マスク２を上記マスクホルダー１に挿入する際には，上記露光マスク２には，上記上側レール１２と下側レール１３のいずれからも押圧力が働かない。そのため，上記露光マスク２の上端部２２と上側レール１２との間，あるいは露光マスク２の下端部２３と下側レール１３との間に摩擦が殆ど生じない。
従って，上記露光マスク２の上端部２２及び下端部２３が削れて粉塵が発生することを防ぐことができる。
【００３３】
また，上記露光マスク２を上記マスクホルダー１に挿入した後，上記ロック機構１４０によって上記上側レール１２を下方へ移動させて，上記露光マスク２を保持する（図３（Ｂ））。そのため，上記露光マスク２を確実に保持することができる。また，上記ロック機構１４０による上側レール１２の移動の際にも，上記露光マスク２の上端面２２との間に特に摩擦が生じることはないため粉塵を発生させるおそれがない。
【００３４】
また，上記マスクホルダー１は上記ストッパー１６を有するため，上記露光マスク２を上記マスクホルダー１における所定位置に，容易かつ確実に保持することができる。
また，上記マスクホルダー１は，上記挿入口１５を閉じるための開閉体１７を有するため，上記露光マスク２が，マスクホルダー１の所定位置からずれることを確実に防止することができる。
【００３５】
また，上記マスクホルダー１は，上記ガイドレール１３５を上記下側レール１３に一体的に形成してなるため，上記露光マスクを上記上側レール１２と下側レール１３との間に容易に挿入することができる。また，上記ガイドレール１３５と上記下側レール１３とは一体的に形成されているため，上記露光マスク２を円滑に挿入することができ，該露光マスク２の上端部２２又は下端部２３から粉塵が発生することを防ぐことができる。
【００３６】
また，上記下側レール１３及びガイドレール１３５には，上記転動ローラ１３２を配置してあるため，上記露光マスク２を挿入スライドさせる際に，上記下側レール１３あるいはガイドレール１３５との間の摩擦が一層小さくなり，上記露光マスク２の下端部２３からの粉塵の発生を一層確実に防ぐことができる。
【００３７】
以上のごとく，本例によれば，露光マスクを確実に保持し，かつ露光マスクからの粉塵の発生を防止するマスクホルダーを提供することができる。
【００３８】
なお，本発明にかかるマスクホルダーは，層間絶縁層におけるバイアホールの形成，エッチングレジスト，めっきレジスト，ドライフィルムにおける配線の形成，ソルダーレジストにおける半田パッドの形成等，プリント配線板の各種パターン形成において用いられる。
また，本発明のマスクホルダーは，ビルドアップ多層プリント配線板の製造における微細バイアホール，微細配線の形成にあたり，特に効果を発揮する。
【００３９】
【発明の効果】
上述のごとく，本発明によれば，露光マスクを確実に保持し，かつ露光マスクからの粉塵の発生を防止するマスクホルダーを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態例における，マスクホルダーと露光マスクの側面図。
【図２】実施形態例における，露光マスクを装着したマスクホルダーの側面図。
【図３】図２のＢ−Ｂ線矢視断面相当の，（Ａ）露光マスクを挿入している際の状態を表す説明図，（Ｂ）露光マスクをマスクホルダーに装着した状態を表す説明図。
【図４】実施形態例における，下側レールの転動ローラの側面図。
【図５】実施形態例における，露光方法の説明図。
【図６】従来例における，マスクホルダーと露光マスクの側面図。
【図７】従来例における，（Ａ）露光マスクと接触する前の板バネの説明図，（Ｂ）露光マスクを押圧している状態の板バネの説明図。
【符号の説明】
１．．．マスクホルダー，
１１．．．枠体，
１２．．．上側レール，
１３．．．下側レール，
１４．．．エアシリンダ，
１４０．．．ロック機構，
１５．．．挿入口，
２．．．露光マスク，
２２．．．上端部，
２３．．．下端部，
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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