(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄部と対向して回転する硬質の板状ベースと、このベースの作業面上に配置されるシート部とを有し、前記シート部の周縁には、前記ベースの周縁部が嵌合される嵌合凹部を前記シート部の裏面との間で区画する装着部が設けられ、シート部の表面上に洗浄部が突設され、該洗浄部の頂部は、略同一面平面内で回転して前記被洗浄部と接触し、前記シート部と洗浄部とは、ポリビニルアセタール系多孔質弾性体によって一体的に形成され、前記嵌合凹部に前記ベースの周縁部が嵌合された状態で、前記シート部が自身の弾性力によって前記ベースに保持されて、前記作業面に対する前記シート部の相対回転が抑制され、前記洗浄部は、前記シート部の回転中心側の内側基準点から該シート部の周縁側の外側基準点まで延びる複数の第１の仮想湾曲線上に１本ずつ連続的に配置された複数の第１の畝状突起と、前記第１の仮想湾曲線の内側基準点よりも前記回転中心から離れた内側基準点から前記シート部の周縁に近接する外側基準点まで延びる複数の第２の仮想湾曲線上に１本ずつ連続的に配置された複数の第２の畝状突起とを含み、前記各畝状突起の前記仮想湾曲線に沿った長手方向の長さは、該畝状突起の幅方向の長さよりも大きく形成され、前記第１および第２の仮想湾曲線は、前記ベースの回転方向前方へ膨出するように湾曲して交互に配置されている洗浄用回転ブラシであって、
前記第１および第２の仮想湾曲線上の任意点と前記回転中心とを通る直線と、前記任意点における該第１および第２の仮想湾曲線の接線とは、前記任意点が前記回転中心から離れるほど前記直線に対して前記第１および第２の仮想湾曲線の接線が０゜以上４５゜以下の範囲の交叉角度で前記回転方向後方へ徐々に大きく傾くように設定されていることを特徴とする洗浄用回転ブラシ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、極めて高い表面精度と清浄性を必要とする物品、例えばシリコンウェーハ、フォトマスク、磁気ディスク基板、液晶用ガラス基板等のエレクトロニクス部品の製造工程における精密洗浄に適する回転ブラシに関し、特にブラシスクラブ洗浄に好適な回転ブラシに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、エレクトロニクス工業においては、例えばシリコンウエーハの集積度や磁気ディスクの記録密度に代表されるように、各種部品の精密度が飛躍的に向上しており、それに伴って、部品表面の仕上げ精度及び清浄度に対する要求も高まっている。特に、部品表面の化学的汚染や付着粒子は、製品の歩留まりや動作の信頼性に大きな影響を与えるため、製造工程における精密洗浄の重要性は非常に大きい。
【０００３】
従来の精密洗浄の方法としては、湿式のブラシスクラブ法が知られている。ブラシスクラブ法は、水その他の洗浄液を供給しながら回転するブラシを被洗浄物に押し当てて摩擦洗浄を施すものであり、装置の構造が単純で洗浄コストが低く、且つ優れた洗浄力を発揮するため、広く用いられている。
【０００４】
ブラシスクラブ洗浄に用いられるブラシの形状には、ローラー型とカップ型のものがある。ローラー型ブラシが被洗浄物と線接触するのに対し、カップ型ブラシは被洗浄物と面接触する。このため、カップ型ブラシは、ローラー型に比して、被洗浄物との接触面積が大きく、洗浄斑が少ないという長所を有している。
【０００５】
カップ型ブラシとしては、ブラシ本体の円盤面に、合成繊維モノフィラメントを多数植毛したものや不織布を貼着したものが一般的に使用されている。
【０００６】
ところが、被洗浄物との接触部として合成繊維モノフィラメントや不織布を使用した上記カップ型ブラシでは、繊維の剛性に起因する被洗浄物表面の損傷や、繊維の脱落による汚染等といった新たな問題を招く恐れがあった。
【０００７】
これに対し、被洗浄物との接触部として円柱突起状のポリビニルアセタール  （以下、ＰＶＡｔと略記する）系多孔質弾性体を用いた洗浄用回転ブラシが提案されている（実公昭６４−６９５３号公報参照）。ＰＶＡｔ系多孔質弾性体は、保水性及び耐磨耗性に優れ、水を含むことによって適度な柔軟性を示すという特性を有している。従って、ＰＶＡｔ系多孔質弾性体を用いた洗浄用回転ブラシは、被洗浄物に傷をつけにくく、且つ、耐久性にも優れているため、エレクトロニクス部品の精密洗浄に好適である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、上記カップ型ブラシでは、被洗浄物表面から擦り取られた汚れや粒子は、使用後の洗浄廃液とともに被洗浄物表面上をその外周側へ移動し、最終的に系外へと排出される。
【０００９】
ところが、上記従来のＰＶＡｔ系多孔質弾性体を用いた回転ブラシは、被洗浄物表面上における洗浄廃液の流れを考慮した構成ではあるものの、近年の精密洗浄に対する要求の高まりに対して十分に対処可能であるとは言い難い。すなわち、汚れや粒子を含有する洗浄廃液が被洗浄物表面上に不必要に滞留し、長時間滞留する汚れや粒子によって被洗浄物表面が再汚染されてしまう可能性が否めず、被洗浄物から擦り取られた汚れ等をより速やかに系外へ排出して、係る再汚染の発生を一段と低減することが要望されている。
【００１０】
また、滞留する粒子が砥粒のような硬質な物質である場合、滞留する粒子が被洗浄物表面へ強く押し付けられると、粒子によって被洗浄物表面に引っ掻き傷がつけられてしまう恐れがある。上記従来の回転ブラシでは、被洗浄物表面と接触するＰＶＡｔ系多孔質弾性体が柔軟性を有しているため、係る不都合についてもある程度解消されているが、近年の精密洗浄に対する要求の高まりに十分対処可能であるとは言い難く、このような観点からも、滞留する粒子等を速やかに系外へ排出することが望まれている。
【００１１】
本発明は上記の実情に鑑みてなされたものであって、被洗浄物から擦り取られた汚れ等を速やかに系外へ排出することができ、一段と優れた洗浄効率を有する洗浄用回転ブラシの提供を目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく、本発明に係る洗浄用回転ブラシは、被洗浄部と対向して回転する硬質の板状ベースと、このベースの作業面上に配置されるシート部とを有し、前記シート部の周縁には、前記ベースの周縁部が嵌合される嵌合凹部を前記シート部の裏面との間で区画する装着部が設けられ、シート部の表面上に洗浄部が突設され、該洗浄部の頂部は、略同一面平面内で回転して前記被洗浄部と接触し、前記シート部と洗浄部とは、ポリビニルアセタール系多孔質弾性体によって一体的に形成され、前記嵌合凹部に前記ベースの周縁部が嵌合された状態で、前記シート部が自身の弾性力によって前記ベースに保持されて、前記作業面に対する前記シート部の相対回転が抑制され、前記洗浄部は、前記シート部の回転中心側の内側基準点から該シート部の周縁側の外側基準点まで延びる複数の第１の仮想湾曲線上に１本ずつ連続的に配置された複数の第１の畝状突起と、前記第１の仮想湾曲線の内側基準点よりも前記回転中心から離れた内側基準点から前記シート部の周縁に近接する外側基準点まで延びる複数の第２の仮想湾曲線上に１本ずつ連続的に配置された複数の第２の畝状突起とを含み、前記各畝状突起の前記仮想湾曲線に沿った長手方向の長さは、該畝状突起の幅方向の長さよりも大きく形成され、前記第１および第２の仮想湾曲線は、前記ベースの回転方向前方へ膨出するように湾曲して交互に配置されている洗浄用回転ブラシであって、
前記第１および第２の仮想湾曲線上の任意点と前記回転中心とを通る直線と、前記任意点における該第１および第２の仮想湾曲線の接線とは、前記任意点が前記回転中心から離れるほど前記直線に対して前記第１および第２の仮想湾曲線の接線が０゜以上４５゜以下の範囲の交叉角度で前記回転方向後方へ徐々に大きく傾くように設定されていることを特徴としている。
【００１３】
前記構成の洗浄用回転ブラシを用いて被洗浄部を洗浄するときは、回転軸によって高速回転する畝状突起を、被洗浄部に押し付けると共に、被洗浄部上に水その他の洗浄液を供給する。これにより、被洗浄部がＰＶＡｔ系多孔質弾性体によって良好に摩擦洗浄される。そして、被洗浄部から擦り取られた汚れや粒子は、使用後の洗浄廃液とともに外周側へ移動し、最終的に系外へと排出される。
【００１４】
このとき、畝状突起がシート部の回転中心側の内側基準点から周縁側の外側基準点まで連続的に延びているので、被洗浄部から擦り取られた汚れや粒子を含む使用後の洗浄廃液は、遠心力を受け畝状突起に案内されて外側基準点まで良好に導かれる。これにより、洗浄廃液が系外へ速やかに排出され、汚れや粒子の滞留時間が著しく低減される。
【００１５】
特に、ベースの回転方向前方へ膨出するように湾曲した複数の第１の畝状突起を１本ずつ連続的に配置する複数の第１の仮想湾曲線と、複数の第２の畝状突起を１本ずつ連続的に配置する複数の第２の仮想湾曲線において、前記第１および第２の仮想湾曲線上の任意点と前記回転中心とを通る直線と、前記任意点における該第１および第２の仮想湾曲線の接線とは、前記任意点が前記回転中心から離れるほど前記直線に対して前記第１および第２の仮想湾曲線の接線が０゜以上４５゜以下の範囲の交叉角度で前記回転方向後方へ徐々に大きく傾くように設定されていることにより、洗浄廃液は畝状突起によって円滑に且つ効率良く案内される。シート部の中心側と周縁側とを比較すると、被洗浄物表面上に付着した汚れ等に対する相対速度は、中心側が小さく、周縁側が大きい。また、中心を通る径方向からの第１および第２の畝状突起の傾き量は、中心側が小さく、周縁側が大きい。ここで、被洗浄物表面上の汚れ等を擦り取るブラッシング性能と汚れ等に対する相対速度との関係は、相対速度が大きいほどブラッシング性能が良くなる傾向にある。一方、ブラッシング性能と径方向からの傾き量との関係は、傾き量が小さいほどブラッシング性能が良くなる傾向にある。このため、中心側と周縁側とでは、ブラッシング性能に対する相対速度による影響と傾き量による影響とが良好に相殺される。従って、上記バランス良く配置された畝状突起によって、シート部３の全域においてほぼ同等のブラッシング効果が得られる。
【００１６】
また、上記構成では、面積の狭いシート部の中央部分には第１の仮想湾曲線のみが存在し、面積の広いシート部の外周部分には第１及び第２の仮想湾曲線の双方が存在し、且つ第１及び第２の仮想湾曲線は交互に配置されているので、シート部の全域において洗浄廃液の流通路が十分確保されるように畝状突起がバランス良く配置される。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を、図１〜図５に基づいて説明する。
【００１８】
図１は第１実施形態に係る洗浄用回転ブラシの平面図、図２は図１のＡ−Ａ断面図、図３は図１のＢ方向矢視平面図、図４は図２の回転ブラシをベースから取り外した状態を示す断面図、図５は図１の要部拡大図である。
【００１９】
図１及び図２に示すように、洗浄用回転ブラシ１は、薄肉円板状のシート部３と、シート部３の表面３ａ上に突設された洗浄部としての複数の第１及び第２の畝状突起５，７と、シート部３の周縁３ｃに全周に亘って設けられた装着部９とを備えている。第１の畝状突起５と第２の畝状突起７とは、それぞれ同数（本実施形態では６本ずつ）設けられている。シート部３と畝状突起５，７と装着部９とは、含水状態で弾性を有するポリビニルアセタール（ＰＶＡｔ）系多孔質弾性体によって一体的に形成されている。
【００２０】
装着部９は、シート部３の周縁３ｃから裏面３ｂ上方側へ突出し、シート部３の中心１１に向かって曲折して延びる。すなわち、シート部３の周縁３ｃ付近と装着部９とは略Ｕ字状断面を形成し、シート部３の裏面３ｂと装着部９との間に袋状の嵌合凹部１５が区画形成される。
【００２１】
嵌合凹部１５内には、略円板状に形成された金属又は樹脂製の硬質のベース１３の周縁部１３ｂが嵌合される。図４に示すように、嵌合凹部１５がベース１３の周縁部１３ｂから外された状態では、嵌合凹部１５の内径Ｒｉは、ベース１３の外径Ｒｏ（図２参照）よりも僅かに小さい径寸法を有し、シート部３は、その中央部分が裏面３ｂ側へ凹む湾曲板状に形成されている。図２に示すように、嵌合凹部１５にベース１３の周縁部１３ａが嵌合された装着状態では、シート部３が全体的に僅かに伸び、回転ブラシ１が自身の弾性力によってベース１３に保持され、作業面１３ａに対するシート部３の相対回転が抑制される。また、シート部３は、ベース１３の表面（作業面）１３ａを密着状態で覆い、作業面３ａに沿った略平面状に維持される。また、シート部３の中心１１は、ベース１３の中心とほぼ一致する。
【００２２】
ベース１３は、回転軸１７に対して固定され、回転軸１７と共に回転する。ベース１３の中心と回転軸１７の回転中心とは、ほぼ一致している。従って、ブラシ１がベース１３に装着された状態で、シート部３の中心１１は、回転軸１７の回転中心とほぼ一致する。また、ベース３の作業面１３ａは、被洗浄物表面２１と対向して位置する。
【００２３】
第１の畝状突起５は、シート部３の中心（ベース１３の回転中心）１１に近接する内側基準点３１ａから周縁３ｃに近接する外側基準点３１ｂまで延びる複数（６本）の第１の仮想湾曲線３１上に、それぞれ１本ずつ連続的に配置されている。第２の畝状突起７は、シート部３の中心１１側の内側基準点３３ａから周縁３ｃに近接する外側基準点３３ｂまで延びる複数（６本）の第２の仮想湾曲線３３上に、それぞれ１本ずつ連続的に配置されている。
【００２４】
第１及び第２の仮想湾曲線３１，３３は、同一の曲率半径Ｒａを有し、中心１１を通り、中心１１周りを１２等分する放射状の円弧２３上にそれぞれ交互に配されている。また、全ての仮想曲線３１，３３は、ベース部３の回転方向Ｃの後方へ傾いていると共に、回転方向Ｃの前方へ膨出している。
【００２５】
すなわち、第１及び第２の畝状突起５，７は、シート部３の周縁３ｃ側の外側基準点３１ｂ，３３ｂから中心１１側の内側基準点３１ａ，３１ｂまで延び、回転方向Ｃの前方へ膨出するように湾曲し、且つ回転方向Ｃの後方へ傾く曲線形状を有している。
【００２６】
第１の仮想湾曲線３１の内側基準点３１ａは、中心１周りの円周２５上に等間隔に設定され、第２の仮想湾曲線３３の内側基準点３３ａは、内側基準点３１ａの外側に位置する中心１周りの円周２７上に等間隔に設定されている。すなわち、第２の仮想湾曲線３３の内側基準点３３ａは、第１の仮想湾曲線３１の内側基準点３１ａよりも中心１１から離れている。
【００２７】
畝状突起５，７は、平面視略長円形状であり、幅方向の断面が略半円形状、長手方向の断面が略長方形状に形成され、長手方向の断面における底辺との対向辺が被洗浄物表面２１と接触する頂部を構成している。
【００２８】
各畝状突起５，７では、仮想湾曲線３１，３３に沿った長手方向の長さ（仮想湾曲線３１の長さ）Ｌ１，Ｌ２が、仮想湾曲線３１の法線方向に沿った幅方向の長さＤ１，Ｄ２よりも大きく形成されている。各畝状突起５，７は、ほぼ等しい突出高さＨを有し、畝状突起５，７の頂部は、略同一平面内で回転しながら被洗浄物表面２１と接触する。洗浄効果の点を考慮すると、長手方向の各長さＬ１，Ｌ２は、幅方向の各長さＤ１，Ｄ２の２倍以上（Ｌ１＞２×Ｄ１，Ｌ２＞２×Ｄ２）が好ましく、幅方向の各長さＤ１，Ｄ２は、シート部３の直径Ｒの１／２０以上１／１０以下の範囲が好ましく、畝状突起５，７の高さＨは、幅方向の長さＤ１以下が好ましいが、それぞれこれらの範囲に限定されるものではない。
【００２９】
また、シート部３において、被洗浄物表面２１と接触する畝状突起５，７が設けられた部分と、洗浄液が流通する平面部分との面積があまりに大きく異なると、洗浄効果が小さくなる。このような観点から、シート部３の全面積に対する畝状突起５，７全体の占有面積は、２０％以上６０％以下が好ましく、３０％以上５０％以下がより好ましい。
【００３０】
図５に示すように、第１及び第２の仮想湾曲線３１，３３において、内側基準点３１ａ，３３ａと外側基準点３１ｂ，３３ｂとの間の仮想湾曲線３１，３３に沿った長さ（図１に示す各畝状突起５，７の長手方向の長さＬ１，Ｌ２）を二等分する中央点３１ｃ，３３ｃにおける仮想湾曲線３１，３３の接線４１，５１は、中心１１と中央点３１ｃ，３３ｃとを通る直線４３，５３に対して回転方向Ｃの後方へ傾いている。直線４３，５３と接線４１，５１との交叉角度θ１，θ４は、０°以上４５°以下の範囲が良好であり、本実施形態では、θ１は約１６°、θ４は約２１°に設定されている。
【００３１】
また、各仮想湾曲線３１，３３において、仮想湾曲線３１，３３上の任意点と中心１１とを通る直線と、任意点における仮想湾曲線３１，３３の接線との交叉角度は、任意点が中心１１から離れるほど９０°に近づくように変化する。この交叉角度は、０°以上４５°以下の範囲で変化するのが好適である。本実施形態の第１の仮想湾曲線３１では、内側基準点３１ａにおける交叉角度θ２が約４°、中央点３１ｃにおける交叉角度θ１が前記のように約１６°、外側基準点３１ｂにおける交叉角度θ３が約２８°となるように設定され、第２の仮想湾曲線３３では、内側基準点３３ａにおける交叉角度θ５が約１４°、中央点３３ｃにおける交叉角度θ４が前記のように約２１°、外側基準点３３ｂにおける交叉角度θ６が約２８°となるように設定されている。すなわち、畝状突起３１，３３は、中心１１から周縁３ｃに向かうほど、中心１１を通る径方向から回転方向Ｃの後方へ徐々に大きく傾くように配置されている。
【００３２】
ＰＶＡｔ系多孔質弾性体を得る方法としては、例えば、平均重合度３００〜２０００、ケン化度８０％以上のポリビニルアルコールを一種又はそれ以上混合して水溶液とし、それに架橋剤としてアルデヒド類、触媒として鉱酸類、及び気孔形成材として澱粉等を加え、これらの混合液を所定の型内に注入し、５０〜８０℃で反応させた後、型から取り出す方法を挙げることができるが、必ずしもこの方法に限定されるものではない。また、反応完了後、型から取り出されたＰＶＡｔ系多孔質弾性体は、水中に溶存、浮遊する粒子、イオン、有機物等の夾雑物を除去した純水にて洗浄されて、使用される。
【００３３】
上記方法にて得られたＰＶＡｔ系多孔質弾性体は、乾燥状態で硬化し、湿潤状態で軟化する。また、吸水性及び保水性に優れ、湿潤時に好ましい柔軟性と適度な反発弾性を示し、耐磨耗性にも優れている。
【００３４】
また、回転ブラシ１を形成するＰＶＡｔ系多孔質弾性体としては、気孔率が８０％以上９５％以下、平均気孔径が３０μｍ以上２５０μｍ以下、乾燥重量に対して２５０％〜４００％の水分を含んだ状態（以下、このような状態を適正含水状態と称する）での３０％圧縮応力が１５ｇ／ｃｍ2 以上１５０ｇ／ｃｍ2 以下のものが好適である。
【００３５】
気孔率が８０％より小さいと、湿潤時の柔軟性が不十分となり、また、気孔率が９５％より大きいと、実用的強度に乏しく、何れも洗浄用途には適さないためである。また、平均気孔径が３０μｍよりも小さいと、湿潤時の弾性が不足して十分な洗浄効果が得られず、２５０μｍを超えると、目が粗すぎて精密洗浄の効果が低減する可能性が高いためである。
【００３６】
ここでいう気孔率とは、乾燥機で十分に乾燥された直方体のＰＶＡｔ系多孔質素材を乾式自動密度計にて測定し、直方体の見掛け体積と真体積とから、次式  （１）にて算出される値である。
【００３７】
気孔率（％）＝（見掛け体積−真体積）／見掛け体積×１００  …（１）
また、平均気孔径は、ＰＯＲＵＳ  ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣ社製水銀ポロシメータを用いた、水銀圧入法細孔測定によって求められる値である。
【００３８】
さらに、適正含水状態での３０％圧縮応力が１５ｇ／ｃｍ2 未満であると、柔らかすぎて適度な弾性が得られず、１５０ｇ／ｃｍ2 超えると、硬すぎて適度な弾性が得られないためである。
【００３９】
ここでいう３０％圧縮応力とは、適正含水状態のＰＶＡｔ系多孔質弾性体を、端面全体に荷重がかかるようにデジタル式荷重測定器にセットし、３０％押し潰した時の荷重を計測し、該荷重を端面の面積で割った値として得られる。
【００４０】
次に、本実施形態の作用を説明する。
【００４１】
回転ブラシ１によって被洗浄物表面２１を洗浄するときは、回転軸１７によって高速回転する畝状突起５，７を、被洗浄物表面２１に押し付けると共に、被洗浄物表面２１上に水その他の洗浄液を供給する。これにより、被洗浄物表面２１の全域がＰＶＡｔ系多孔質弾性体製の畝状突起５，７によって良好に摩擦洗浄される。そして、被洗浄物表面２１から擦り取られた汚れや粒子は、使用後の洗浄廃液とともに被洗浄物表面２１上をその外周側へ移動し、最終的に系外（被洗浄物表面２１の外側）へと排出される。
【００４２】
このとき、畝状突起５，７は、シート部３の中心１１側の内側基準点３１ａ，３３ａから周縁側の外側基準点３１ｂ，３３ｂまで連続的に延びているので、被洗浄物表面２１から擦り取られた汚れや粒子を含む使用後の洗浄廃液は、遠心力を受け畝状突起５，７に案内されて外側基準点３１ｂ，３３ｂまで良好に導かれる。これにより、洗浄廃液が被洗浄物表面２１上から系外へ速やかに排出され、汚れや粒子の滞留時間が著しく低減される。
【００４３】
特に、畝状突起５，７が回転方向Ｃの前方へ膨出するように湾曲し、且つ、仮想湾曲線３１，３３の中央点３１ｃ，３３ｃにおける接線４１，５１が中心１１と中央点３１ｃ，３３ｃとを通る直線４３，５３に対して回転方向Ｃの後方へ傾いているので、洗浄廃液は畝状突起５，７によって円滑に且つ効率良く案内される。
【００４４】
また、面積の狭いシート部３の中央部分（内側基準点３３ａを通る円の内側の部分）には、第１の仮想湾曲線３１（第１の畝状突起５）のみが存在し、面積の広いシート部３の外周部分（内側基準点３３ａを通る円の外側の部分）には、第１及び第２の仮想湾曲線３１，３３（第１及び第２の畝状突起５，７）の双方が存在し、且つ第１及び第２の仮想湾曲線３１，３３（第１及び第２の畝状突起５，７）は交互に配置されているので、シート部３の全域において洗浄廃液の流通路が十分確保されるように畝状突起５，７がバランス良く配置される。
【００４５】
また、シート部３の中心１１側と周縁３ｃ側とを比較すると、被洗浄物表面２１上に付着した汚れ等に対する相対速度は、中心１１側が小さく、周縁３ｃ側が大きい。また、中心１１を通る径方向からの畝状突起５，７の傾き量は、中心１１側が小さく、周縁３ｃ側が大きい。ここで、被洗浄物表面２１上の汚れ等を擦り取るブラッシング性能と汚れ等に対する相対速度との関係は、相対速度が大きいほどブラッシング性能が良くなる傾向にある。一方、ブラッシング性能と径方向からの傾き量との関係は、傾き量が小さいほどブラッシング性能が良くなる傾向にある。このため、中心１１側と周縁３ｃ側とでは、ブラッシング性能に対する相対速度による影響と傾き量による影響とが良好に相殺される。従って、上記バランス良く配置された畝状突起５，７によって、シート部３の全域においてほぼ同等のブラッシング効果が得られる。
【００４６】
さらに、シート部３は、回転ブラシ１がベース１３から取り外された状態ではその中央部分が裏面３ｂ側へ凹む湾曲板形状であり、ベース１３に装着されることによってベース１３の作業面３ａに沿った略平面状に維持される。このため、畝状突起５，７が略同一平面内に確実に位置する。
【００４７】
従って、洗浄廃液中の汚れや粒子による被洗浄物表面２１の再汚染の発生を確実に防止することができる。また、滞留する粒子が砥粒のような硬質な物質である場合であっても、被洗浄物表面２１の引っ掻き傷の発生をより確実に防止することができる。
【００４８】
加えて、嵌合凹部１５内にベース１３の周縁部１３ｂを嵌合するだけで回転軸１７に対する回転ブラシ１の装着が完了するので、回転ブラシ１の取り外し及び装着作業を、特に治具等を要すること無く簡単且つ迅速に行うことができる。
【００４９】
以上のように、本実施形態に係る回転ブラシ１によれば、被洗浄物表面２１から擦り取られた汚れ等を速やかに系外へ排出することができ、一段と優れた洗浄効率を有する回転ブラシ１とすることができる。
【００５０】
なお、畝状突起５，７は、平面視略長方形状であっても良く、幅方向の断面が略三角や四角等の多角形上及びその角を丸めたものであっても良く、長手方向の断面が略台形状であっても良い。また、各仮想湾曲線３１，３３に対して、複数の畝状突起を連続的に設けても良い。さらに、畝状突起の幅方向の長さを、中心１１からの距離に応じて変化させても良い。また、仮想湾曲線３１，３３の曲率を相違させたり変化させても良い。
【００５１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、被洗浄部から擦り取られた汚れや粒子を含む使用後の洗浄廃液は、畝状突起に案内されて外側基準点まで良好に導かれるので、洗浄廃液が系外へ速やかに排出され、汚れや粒子の滞留時間が著しく低減される。
【００５２】
従って、洗浄廃液中の汚れや粒子による被洗浄部の再汚染の発生を確実に防止することができる。また、滞留する粒子が砥粒のような硬質な物質である場合であっても、被洗浄部の引っ掻き傷の発生をより確実に防止することができる。
【００５３】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る洗浄用回転ブラシの平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１のＢ方向矢視平面図である。
【図４】図２の回転ブラシをベースから取り外した状態を示す断面図である。
【図５】図１の要部拡大図である。
【００５４】
【符号の説明】
１  回転ブラシ
３  シート部
３ａ  シート部の表面
３ｂ  シート部の裏面
５  第１の畝状突起（洗浄部）
７  第２の畝状突起（洗浄部）
９  装着部
１１  シート部の中心（回転中心）
１３  ベース
１３ａ  作業面
２１  被洗浄物表面（被洗浄部）
３  シート部
３１  第１の仮想湾曲線
３１ａ  内側基準点
３１ｂ  外側基準点
３１ｃ  中央点
３３  第２の仮想湾曲線
３３ａ  内側基準点
３３ｂ  外側基準点
３３ｃ  中央点
【図１】
0004359906.tif 000002
【図２】
0004359906.tif 000003
【図３】
0004359906.tif 000004
【図４】
0004359906.tif 000005
【図５】
0004359906.tif 000006