(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周面に研削部を有した複数段の研削手段を共通の軸心回りに回転させるとともに、これら複数段の研削手段と被研削部材とを所定の加工方向に沿って相対的に移動させ、この被研削部材を第一段となる研削手段の研削部から順次後段となる研削手段の研削部に摺接させることにより、該被研削部材の端面に研削加工を施すようにした研削装置において、複数段の研削手段は、円板状の砥石であって、砥石軸に所定の間隔を隔てて並設してあり、
円板状の砥石の外周部に設けた研削部は研削始めとなる外径を研削終わりとなる外径よりも小さく形成したテーパ面になっていて、
テーパ面の軸心からの傾斜角度を前段から後段となる研削手段に向けて漸次小さくしてあり、
軸心は後段になるにしたがって被研削部材に近接するように傾斜させてあることを特徴とする研削装置。
【請求項２】
第１の軸部材と第２の軸部材とを互いに平行に配置するとともに、前記第１の軸部材に保持させた複数段の研削手段と、第２の軸部材に保持させた複数段の研削手段とを交互に並設し、前記第１の軸部材および前記第２の軸部材と被研削部材とを相対的に移動させることにより、該被研削部材の端面両縁部にそれぞれ面取加工を施すようにしたことを特徴とする請求項１に記載の研削装置。
【請求項３】
外周面に研削部を有した複数段の研削手段を共通の軸心回りに回転させるとともに、これら複数段の研削手段と被研削部材とを所定の加工方向に沿って相対的に移動させ、この被研削部材を第一段となる研削手段の研削部から順次後段となる研削手段の研削部に摺接させることにより、該被研削部材の端面に研削加工を施すようにした研削装置において、複数段の研削手段は、円板状の砥石であって、砥石軸に所定の間隔を隔てて並設してあり、
円板状の砥石の外周部に設けた研削部は研削始めとなる外径を研削終わりとなる外径よりも小さく形成したテーパ面になっていて、
テーパ面の軸心からの傾斜角度を前段から後段となる研削手段に向けて漸次小さくしてあり、
軸心は後段になるにしたがって被研削部材に近接するように傾斜させてある研削装置を適用し、被研削部材の前端角部をこれら研削始めとなる外径と研削終わりとなる外径との間に摺接させることを特徴とする研削方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス、プラスティック、金属等の被研削部材の端面に研削加工を施す研削装置および研削方法に関し、特に、外周面に研削部を有した複数段の研削手段を共通の軸心回りに回転させるとともに、これら複数段の研削手段と被研削部材とを所定の加工方向に沿って相対的に移動させ、この被研削部材を第一段となる研削手段の研削部から順次後段となる研削手段の研削部に摺接させることにより、該被研削部材の端面に研削加工を施すようにした研削装置および研削方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の従来技術としては、例えば図９乃至図１１に示すようなものがある。この研削装置において加工対象となるガラス基板１は、真空吸着等、適宜の方法によって図示せぬ移動テーブル上に保持してあり、該移動テーブルの駆動により所定の加工送り方向（図９中の矢印ａ）に沿って移動可能である。
【０００３】
一方、上記研削装置では、研削工具として、所謂マルチ砥石１０と称されるものを用いる。マルチ砥石１０は、軸部材である砥石軸１１に複数段の砥石ホイール１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄを保持させたものである。砥石ホイール１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄは、それぞれが一様の外径を有した円板状を成し、個々の外周面に研削部を設けたもので、砥石軸１１に等間隔となるように並設してある。これら砥石ホイール１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄは、研削部を構成する研削砥粒が、砥石軸１１の一端から他端に向かうに従って漸次小さくなるように構成してある。このような構成を有するマルチ砥石１０は、研削砥粒の最も大きい砥石ホイール１２Ａが加工送り方向の上流側に向かう態様で、上述したガラス基板１の移動領域の左右両側にそれぞれ一対ずつ配置してある。各対を成すマルチ砥石１０は、砥石軸１１が互いに近接した状態で平行に延在しており、一方の砥石ホイール１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄの相互間に他方の砥石ホイール１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄが交互に介在している。一方、上述した加工送り方向に対しては、その下流側（図９において上方側）に向かうに従って漸次ガラス基板１の移動領域に近接する態様で砥石軸１１をごく僅かだけ傾斜させてある。
【０００４】
上記のように構成した研削装置では、個々のマルチ砥石１０をそれぞれの軸心回りに回転させた状態で移動テーブルを加工送り方向に沿って移動させると、対を成すマルチ砥石１０の砥石ホイール１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄがガラス基板１の端面両縁部を挟み込むような形で摺接し、図１２に示すように、該ガラス基板１の端面にＣ面取加工が施されることになる。この場合、上述したように、各マルチ砥石１０の砥石軸１１が加工送り方向の下流側に向かうに従って漸次ガラス基板１の移動領域に近接する態様で傾斜しているため、当該ガラス基板１に対して第一段となる砥石ホイール１２Ａの研削部から順次後段となる砥石ホイール１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄの研削部が摺接することになる。また、研削部の研削砥粒が加工送り方向の下流側に向かうに従って漸次小さくなるように構成してあるため、ガラス基板１の研削加工箇所には、粒度の大きい研削砥粒が摺接した後、順次粒度の小さい研削砥粒が摺接することになる。これらの結果、上記研削装置によれば、粗研削、中研削、仕上げ研削といった一連の研削加工を一度に連続して施すことができ、加工効率を大幅に向上させることが可能になる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述したマルチ砥石１０では、砥石軸１１の傾斜によって生じたガラス基板１の端面に対する砥石ホイール１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄの偏差が研削加工の際の研削代となる。つまり、図１３に示すように、第一段となる砥石ホイール１２Ａの研削部において研削始めとなる外径から、最後段となる砥石ホイール１２Ｄの研削部において研削終わりとなる外径までの差分Ｘが最大研削代となる。
【０００６】
従って、上述した従来の研削装置にあっては、ガラス基板１に対して研削代Ｘよりも大きな幅の面取加工を施す場合、当該研削代Ｘを越える部分についてはこれを第一段となる砥石ホイール１２Ａによって研削しなければならず、その負荷が著しく大きくなる。しかも、第一段となる砥石ホイール１２Ａの前端縁部１２Ａａがガラス基板１の前端面に当接することになり、砥石ホイール１２Ａおよびガラス基板１の双方に大きな衝撃が負荷となって加わることになる。さらに、研削加工中においては、常に上述した状態が継続することになる。これらの結果、第一段となる砥石ホイール１２Ａに早期に偏摩耗を招来し、さらにはこの砥石ホイール１２Ａの偏摩耗に起因して研削加工中にガラス基板１にクラックやチッピング不良を招来する虞れがある。因に、クラックやチッピング不良が発生するのは必ずしもガラス基板１に限らず、被研削部材がガラス以外のプラスティックや金属の場合であっても、砥石ホイールの研削部にダイヤモンド等の超硬度の研削砥粒を用いていれば、同様に起こり得るものである。
【０００７】
こうした事態は、砥石軸１１の傾斜角度θを大きくすれば解決することが可能である。すなわち、砥石軸１１の傾斜角度θが大きくなれば、当該砥石軸１１の傾斜によって生じる研削代も大きくなるため、第一段となる砥石ホイール１２Ａの負荷を低減することが可能になり、その偏摩耗やガラス基板１のクラックやチッピング不良を防止することが可能になる。しかしながら、砥石軸１１の傾斜角度θを大きくした場合には、研削加工中において各砥石ホイール１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄから砥石軸１１に加わる力もきわめて大きなものとなり、砥石軸１１の芯ずれによる加工不良といった新たな問題を来す虞れがある。さらに、マルチ砥石１０の回転駆動系に不具合を来す虞れさえある。
【０００８】
この発明は、上記従来技術による課題を解決するためになされたものであり、芯ずれによる加工不良や回転駆動系の不具合を招来することなく、被研削部材のクラックやチッピング不良を有効に防止することのできる研削装置および研削方法を提供することを目的とする。
【０００９】
本発明は、上記目的を達成するためになされたもので、外周面に研削部を有した複数段の研削手段を共通の軸心回りに回転させるとともに、これら複数段の研削手段と被研削部材とを所定の加工方向に沿って相対的に移動させ、この被研削部材を第一段となる研削手段の研削部から順次後段となる研削手段の研削部に摺接させることにより、該被研削部材の端面に研削加工を施すようにした研削装置において、複数段の研削手段は、円板状の砥石であって、砥石軸に所定の間隔を隔てて並設してあり、円板状の砥石の外周部に設けた研削部は研削始めとなる外径を研削終わりとなる外径よりも小さく形成したテーパ面になっていて、テーパ面の軸心からの傾斜角度を前段から後段となる研削手段に向けて漸次小さくしてあり、軸心は後段になるにしたがって被研削部材に近接するように傾斜させてあることを特徴とする。
【００１０】
上記の発明において、第一段となる研削手段から後段となる研削手段に向かうに従って漸次被研削部材に近接する態様でこれら研削手段の軸心を前記加工方向に対して傾斜させることが好ましい。また、複数段の研削手段の各研削部において研削始めとなる外径を研削終わりとなる外径よりも小さく形成することが好ましい。この場合、第一段となる研削手段の研削部において研削始めとなる外径と研削終わりとなる外径との差を、後段となる研削手段の研削部において研削始めとなる外径と研削終わりとなる外径との差以上としてもよいし、各研削手段の研削部において研削始めとなる外径と研削終わりとなる外径との差を、後段となる研削手段に向けて漸次小さくしてもよい。
【００１１】
研削始めとなる外径と研削終わりとなる外径との間は、研削手段の軸心に対して傾斜するテーパ面によって連続させることが好ましい。また、複数段の研削手段の各研削部において研削始めとなる外径を研削終わりとなる外径よりも小さく形成し、かつ個々の研削部において研削始めとなる外径と研削終わりとなる外径との間を前記研削手段の軸心に対して傾斜するテーパ面によって連続させることが好ましい。この場合、第一段となる研削手段の研削部に設けたテーパ面の前記研削手段の軸心からの傾斜角度を、後段となる研削手段の研削部に設けたテーパ面の前記研削手段の軸心からの傾斜角度以上としてもよいし、各研削手段の研削部に設けたテーパ面の前記研削手段の軸心からの傾斜角度を、後段となる研削手段に向けて漸次小さくしてもよい。
【００１２】
上記の発明において、研削手段の研削部は、研削砥粒によって被研削部材に研削を施すものであり、後段となる研削手段の研削砥粒粒度をその前段となる研削手段の研削砥粒粒度以下とすることが好ましい。また、第１の軸部材と第２の軸部材とを互いに平行に配置するとともに、前記第１の軸部材に保持させた複数段の研削手段と、第２の軸部材に保持させた複数段の研削手段とを交互に並設し、前記第１の軸部材および前記第２の軸部材と被研削部材とを相対的に移動させることにより、該被研削部材の端面両縁部にそれぞれ面取加工を施すようにしてもよい。
【００１３】
また、本発明は、外周面に研削部を有した複数段の研削手段を共通の軸心回りに回転させるとともに、これら複数段の研削手段と被研削部材とを所定の加工方向に沿って相対的に移動させ、この被研削部材を第一段となる研削手段の研削部から順次後段となる研削手段の研削部に摺接させることにより、該被研削部材の端面に研削加工を施すようにした研削装置において、複数段の研削手段は、円板状の砥石であって、砥石軸に所定の間隔を隔てて並設してあり、円板状の砥石の外周部に設けた研削部は研削始めとなる外径を研削終わりとなる外径よりも小さく形成したテーパ面になっていて、テーパ面の軸心からの傾斜角度を前段から後段となる研削手段に向けて漸次小さくしてあり、軸心は後段になるにしたがって被研削部材に近接するように傾斜させてある研削装置を適用し、被研削部材の前端角部をこれら研削始めとなる外径と研削終わりとなる外径との間に摺接させることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照して、この発明に係る研削装置の好適な実施の形態を詳細に説明する。
【００１５】
図３乃至図６は、本発明に係る研削装置の一実施形態を示したものである。ここで例示する研削装置は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）およびカラーフィルタを実装したガラス基板１を研削対象とし、このガラス基板１の左右両端面（図において長辺となる端面）、並びに前後両端面（図において短辺となる端面）にそれぞれＣ面取加工を施すものである。この研削装置は、真空吸着等、適宜の方法によってガラス基板１を水平に保持する移動テーブル２を備えている。移動テーブル２は、支持軸３の上方に水平に設けたものである。この移動テーブル２は、装置本体４との間に設けた案内手段５の駆動により、支持軸３とともに加工送り方向（図４中の矢印ａ）に沿って水平に移動することが可能であるとともに、図示せぬ旋回駆動手段の駆動により、支持軸３に対して鉛直軸回りに旋回することが可能である。
【００１６】
上記研削装置には、ガラス基板１の移動領域においてその左右両側となる位置に、それぞれ研削工具としてマルチ砥石２０を設けてある。マルチ砥石２０は、図１に示すように、軸部材である砥石軸２１に複数段、本実施形態では４段の砥石ホイール２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄを保持させてある。砥石ホイール２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄは、それぞれ円板状を成すベース２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ，２３Ｄの外周面に研削部２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄを設けたもので、互いの間にカラー２５を介在させることにより、砥石軸２１に等間隔となるように並設してある。砥石ホイール２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄのベース２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ，２３Ｄは、金属、例えばマルテンサイト系ステンレス鋼（ＳＵＳ４２０）によって成形してある。砥石ホイール２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄの研削部２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄは、例えばダイヤモンド等の研削砥粒をバインダーによって結合させたものである。研削部２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄの研削砥粒は、砥石軸２１の一端側（図１において左側）に配置した２つの砥石ホイール２２Ａ，２２Ｂよりも、砥石軸２１の他端側に配置した２つの砥石ホイール２２Ｃ，２２Ｄの粒度が小さくなるように構成してある。具体的には、砥石軸２１の一端側に配置した２つの砥石ホイール２２Ａ，２２Ｂの研削部２４Ａ，２４Ｂを粒度＃４００で構成し、砥石軸２１の他端側に配置した２つの砥石ホイール２２Ｃ，２２Ｄの研削部２４Ｃ，２４Ｄを粒度＃６００で構成してある。
【００１７】
これらのマルチ砥石２０は、研削砥粒の大きい砥石ホイール２２Ａ，２２Ｂが加工送り方向ａの上流側となる態様で、上述したガラス基板１の移動領域両側にそれぞれ一対ずつ配置してある。各対を成すマルチ砥石２０は、砥石軸２１が互いに近接した状態で上下に平行に延在しており、一方の砥石ホイール２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄの相互間に他方の砥石ホイール２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄが交互に介在している。上述した加工送り方向ａに対しては、その下流側に向かうに従って漸次ガラス基板１の移動領域に近接する態様でごく僅かだけ、例えば２００μｍ／１００ｍｍの割合で砥石軸２１を傾斜させてある。
【００１８】
一方、上記研削装置の各マルチ砥石２０では、図１および図２に示すように、砥石ホイール２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄの外径を一端面側と他端面側とで相違させてあり、これらの間を連絡する外周面にテーパ面２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ，２６Ｄを構成してある。いずれの砥石ホイール２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄにおいても、砥石軸２１の一端側、つまり加工送り方向ａの上流側となる外径を加工送り方向ａの下流側となる外径よりも小さく構成してあり、テーパ面２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ，２６Ｄの傾斜方向が互いに同一となっている。但し、砥石ホイール２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄ毎にテーパ面２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ，２６Ｄの傾斜角度を相違させるようにしている。すなわち、加工送り方向ａの上流側から下流側に向かうに従ってテーパ面２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ，２６Ｄの傾斜角度が漸次小さくなるように構成してある。砥石軸２１の傾斜角度θが上述した２００μ／１００ｍｍの場合の具体的な寸法を示せば図２に示すとおりである。同図からも明らかなように、砥石ホイール２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄにおいて加工送り方向ａの下流側となる外径は、互いにほぼ同一である。
【００１９】
図３に示すように、上記研削装置には、それぞれのマルチ砥石２０を個々の軸心回りに回転駆動するための個別の回転駆動手段６が設けてある。なお、図には明示していないが、各マルチ砥石２０には、それぞれの姿勢を維持した状態で、ガラス基板１の移動領域に近接離反する方向に移動させるスライド手段を設けてある。また、各対を成すマルチ砥石２０において上方に位置するものには、それぞれ下方に位置するものに対して近接離反する方向に移動させる昇降手段を設けてある。なお、図３中の符号７は研磨水を噴射するノズル、符号８は移動テーブル２に載置されたガラス基板１を撮像するための撮像手段である。
【００２０】
図７（ａ）〜図７（ｈ）は、ガラス基板１の研削手順を順に示した概念図である。以下、図７を参照しながら上記研削装置の動作について説明する。
【００２１】
まず、この研削装置では、図示していない搬送ハンドによって搬送されたガラス基板１が、図７（ａ）に示すように、その短辺となる前端面を加工送り方向ａの下流側に向けた状態で移動テーブル２の上面に載置される。移動テーブル２の上面にガラス基板１が載置されると、該ガラス基板１の左右両端面にそれぞれ位置決め部材９ａを当接させることによって左右方向の位置決めを行うとともに、図７（ｂ）に示すように、ガラス基板１の前後両端面にそれぞれ位置決め部材９ｂを当接させることによって前後方向の位置決めを行う。位置決めを終了すると、真空吸着等によってガラス基板１を移動テーブル２の上面に吸着保持させる。その後、この状態から撮像手段８を駆動して移動テーブル２に保持されたガラス基板１を撮像し、該ガラス基板１に設けたアライメントマークに基づいて位置補正量を算出する。位置補正量が「０」でない場合には、支持軸３に対して移動テーブル２を適宜旋回させ、当該位置補正量が「０」となるように修正を行う。
【００２２】
次いで、個々のマルチ砥石２０を所定の第１加工位置まで移動させるとともに、各マルチ砥石２０をそれぞれの軸心回りに回転させる。この状態から、図７（ｃ）に示すように、ノズル７を通じて研磨水を供給するとともに、移動テーブル２を加工送り方向ａに沿って順次移動させると、各対を成すマルチ砥石２０の砥石ホイール２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄがガラス基板１の端面両縁部を挟み込むような形で摺接し、該ガラス基板１の長辺となる両端面において２つの縁部にＣ面取加工を同時に施すことが可能になる。
【００２３】
この場合、各マルチ砥石２０の砥石軸２１が加工送り方向ａの下流側に向かうに従って漸次ガラス基板１の移動領域に近接する態様で傾斜しているため、当該ガラス基板１に対して第一段となる砥石ホイール２２Ａの研削部２４Ａから後段となる砥石ホイール２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄの研削部２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄが順次摺接することになる。また、研削部２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄの研削砥粒が第一段となる砥石ホイール２２Ａから後段となる砥石ホイール２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄに向かうに従って小さくなるように構成してあるため、ガラス基板１の研削加工箇所には、粒度の大きい研削砥粒が摺接した後、粒度の小さい研削砥粒が摺接することになる。これらの結果、上記研削装置によれば、粗研削、中研削、仕上げ研削といった一連の研削加工を一度に連続して施すことができ、加工効率を大幅に向上させることが可能になる。
【００２４】
しかも、上記研削装置によれば、各マルチ砥石２０において加工送り方向ａの最も上流側に位置する砥石ホイール、つまり研削加工の際に第一段となる砥石ホイール２２Ａの研削部２４Ａに、加工送り方向ａの上流側に向けて漸次外径が小さくなるテーパ面２６Ａを設けているため、図９に示した従来の研削装置と比較した場合、砥石軸２１の傾斜角度θが同一のときの研削代Ｙを大きく取ることが可能になる。換言すれば、砥石軸２１の傾斜角度θを大きくすることなく研削代Ｙを増大することが可能になる。従って、図８に示すように、研削加工の際に第一段となる砥石ホイール２２Ａの研削部２４Ａの前端縁部がガラス基板１の前端面に当接する事態を回避し、しかもテーパ面２６Ａの広い範囲でガラス基板１に研削加工を施すことが可能となり、当該砥石ホイール２２Ａに早期に偏摩耗が招来する事態を防止することができる。この結果、砥石軸２１の傾斜角度θを大きくすることに起因した芯ずれによる加工不良や回転駆動系に不具合を招来することなく、砥石ホイール２２Ａの偏摩耗によるガラス基板１のクラックやチッピング不良を有効に防止して、ガラス基板１の加工品質を向上させることができるようになる。また、テーパ面２６Ａの広い範囲でガラス基板１に研削加工を施すことで負荷を分散することができ、研削加工の際のガラス基板１をより高速で移動させることも可能であり、加工時間を短縮することができる。
【００２５】
さらに、上記研削装置によれば、上述した第一段となる砥石ホイール２２Ａ以降の各砥石ホイール２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄの研削部２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄにも加工送り方向ａの上流側に向けて漸次外径が小さくなるテーパ面２６Ｂ，２６Ｃ，２６Ｄを設けているため、これら後段の砥石ホイール２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄの研削部２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄの前端縁部がガラス基板１の前端面に当接する事態を招来する虞れがない。従って、後段の砥石ホイール２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄに偏摩耗が招来する事態をも防止することができ、ガラス基板１の加工品質を一層向上させることが可能となる。この場合、図８に示すように、加工送り方向ａの下流側に向かうに従ってテーパ面２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ，２６Ｄの傾斜角度を漸次小さくするようにしているため、研削加工中において各砥石ホイール２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄから砥石軸２１に加わる力を可及的に小さくすることができ、芯ずれによる加工不良といった新たな問題を来す虞れもない。
【００２６】
ガラス基板１の左右両端面に対するＣ面取加工が終了すると、各マルチ砥石２０を待避させた状態から移動テーブル２が最初の位置まで復帰する。その後、図７（ｄ）に示すように、支持軸３に対して移動テーブル２が９０°回転し、既に加工の終了した長辺となる端面を加工送り方向ａの下流側に向けた状態となる。その後、個々のマルチ砥石２０が所定の第２加工位置まで移動するとともに、各マルチ砥石２０がそれぞれの軸心回りに回転する。この状態から、図７（ｅ）に示すように、移動テーブル２を加工送り方向ａに沿って順次移動することになり、先と同様の作用により、ガラス基板１の短辺となる両端面にそれぞれＣ面取加工が施される。
【００２７】
ガラス基板１のすべての端面に対するＣ面取加工が終了すると、各マルチ砥石２０を待避させた状態から移動テーブル２が再び最初の位置まで復帰した後、図７（ｆ）に示すように、支持軸３に対して移動テーブル２が９０°回転し、さらに、図７（ｇ）に示すように、移動テーブル２が手前側に移動する。この状態から移動テーブル２に対するガラス基板１の真空吸着状態が解除され、図７（ｈ）に示す状態から、図示していない搬送ハンドによってガラス基板１が搬出される。以降、上述した動作が繰り返し行われることになる。
【００２８】
なお、上述した実施の形態では、ガラス基板１の端面にＣ面取加工を施す研削装置を例示しているが、プラスティックや金属等、その他の被研削部材に対して研削加工を施すものにももちろん適用することが可能である。また、被研削部材のみを加工方向に沿って移動させることにより、当該被研削部材に研削加工を施すようにしているが、研削手段のみを移動させてもよいし、被研削部材および研削手段の双方を移動させることによって被研削部材に研削加工を施すように構成することも可能である。さらに、被研削部材の一方の端面に対して一対のマルチ砥石２０、つまり研削工具を配置するようにしているため、一度に端面の両縁部に研削加工を施すことが可能であるが、必ずしも一対ずつ配置する必要はない。因に、上述した実施の形態のごとく、一対のマルチ砥石２０の各砥石ホイールを交互に配置するようにした研削装置にあっては、一方の第一段となる砥石ホイールに被研削部材が摺接した場合、当該被研削部材が研削圧力によって他方のマルチ砥石２０において第一段となる砥石ホイールに近接するように変形するため、当該他方のマルチ砥石２０において第一段となる砥石ホイールの研削部前端縁部がガラス基板１の前端面に当接する事態が発生し易くなる。しかしながら、本発明者らが検証した結果、砥石ホイールに設けるテーパ面の傾斜角度を適宜調整することにより、本発明が上述した事態に対しても有効であることを確認することができた。
【００２９】
また、上述した実施の形態では、砥石軸に砥石ホイールを４段備えた研削装置を例示しているが、必ずしも４段である必要はなく、複数段であればよい。さらに、砥石ホイールのすべてにテーパ面を設けるようにしているが、つまり複数段の研削手段の各研削部において研削始めとなる外径を研削終わりとなる外径よりも小さく形成しているが、必ずしもすべての研削手段に適用する必要はなく、少なくとも第一段となる研削手段の研削部に対してのみ、研削始めとなる外径を研削終わりとなる外径よりも小さく形成すれば十分である。また、砥石ホイールのテーパ面は、必ずしも研削部の外周面全域に設ける必要はなく、研削始め側にのみ形成するようにしても構わない。
【００３０】
さらに、上述した実施の形態で具体的に示した数値は、あくまでも例示のためであって、本発明がこれらの値に限定されるものでないのはいうまでもない。
【００３１】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、少なくとも第一段となる研削手段の研削部において研削始めとなる外径を研削終わりとなる外径よりも小さく形成したため、軸心の傾斜角度を大きくすることなく研削代を増大することが可能となり、第一段となる研削手段の前端縁部が被研削部材の前端面に当接する事態を回避することができる。この結果、芯ずれによる加工不良や回転駆動系の不具合を招来することなく、被研削部材のクラックやチッピング不良を有効に防止することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る研削装置の実施の形態を示すもので、複数段の研削手段を軸部材に保持させた状態を示す断面側面図である。
【図２】図１に示した複数段の研削手段の外径寸法の一例を示す概念図である。
【図３】図１に示した研削手段を適用する研削装置を概念的に示す正面図である。
【図４】図１に示した研削手段を適用する研削装置の要部拡大平面図である。
【図５】図４における矢視 V 拡大図である。
【図６】図５における矢視 VI 図である。
【図７】（ａ）〜（ｈ）は被研削部材の研削手順を順に示す概念図である。
【図８】図１に示した研削手段の研削代と被研削部材との関係を示す図である。
【図９】従来の研削装置を概念的に示す平面図である。
【図１０】図９における矢視 X 拡大図である。
【図１１】図１０における矢視 XI 図である。
【図１２】研削加工後の被研削部材の要部を示す概念図である。
【図１３】図９に示した研削装置の研削代と被研削部材との関係を示す図である。
【符号の説明】
１  ガラス基板
２  移動テーブル
３  支持軸
４  装置本体
５  案内手段
６  回転駆動手段
７  ノズル
８  撮像手段
９ａ，９ｂ  位置決め部材
２０  マルチ砥石
２１  砥石軸
２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄ  砥石ホイール
２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ，２３Ｄ  ベース
２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄ  研削部
２５  カラー
２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ，２６Ｄ  テーパ面
Ｙ  研削代
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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