(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転可能に設けられ、研磨布が上面に貼付されて研磨面が形成された研磨定盤と、前記研磨定盤の研磨面にウェーハの研磨面を押し付けて回転するウェーハ保持盤と、前記ウェーハ保持盤を研磨定盤に対して接離動する接離動手段とが、ケーシング内に収容されて成るウェーハの研磨装置において、
該ウェーハ保持盤が一端部に装着されて前記研磨定盤に対して平行に延びるアームの他端部が連結された回動軸を中心として、前記アームを所定角度回動したとき、前記ウェーハ保持盤がケーシングの外側に位置するように、前記回動軸が研磨定盤の外側に立設されていることを特徴とするウェーハの研磨装置。
【請求項２】
回動軸に、ウェーハ保持盤を研磨定盤に対して接離動する接離動手段と、前記回動軸を回動する駆動手段とが設けられている請求項１記載のウェーハの研磨装置。
【請求項３】
回動軸が、中空回動軸であって、前記中空回動軸の周壁の長手方向に所定長のスリットが形成され、前記スリットに挿入されたアームの他端部と、前記アームに設けられたウェーハ保持盤を研磨定盤に対して接離動する接離動手段を構成する駆動手段とが、前記中空回転軸内に挿通された連結部材によって連結されている請求項１又は請求項２記載のウェーハの研磨装置。
【請求項４】
回転可能に設けられ、研磨布が上面に貼付されて研磨面が形成された研磨定盤と、前記研磨定盤の研磨面にウェーハの研磨面を押し付けて互いに独立に回転する二基のウェーハ保持盤と、前記ウェーハ保持盤の各々を研磨定盤に対して接離動する互いに独立に設けられた接離動手段とが、ケーシング内に収容されて成るウェーハの研磨装置であって、
該ウェーハ保持盤の各々が一端部に装着されて前記研磨定盤に対して平行に延びるアームの他端部が、互いに独立して回動可能に設けられた回動軸に連結され、
且つ前記回動軸を回動して前記アームを所定角度回動したとき、前記ウェーハ保持盤がケーシングの外側に位置するように、前記回動軸の各々が研磨定盤の外側に立設されていることを特徴とするウェーハの研磨装置。
【請求項５】
回動軸の各々に、ウェーハ保持盤を研磨定盤に対して接離動する接離動手段と、前記回動軸を回動する駆動手段とが設けられている請求項４記載のウェーハの研磨装置。
【請求項６】
回動軸の各々が、中空回動軸であって、前記中空回動軸の周壁の長手方向に所定長のスリットが形成され、前記スリットに挿入されたアームの他端部と、前記アームに設けられたウェーハ保持盤を研磨定盤に対して接離動する接離動手段を構成する駆動手段とが、前記中空回転軸内に挿通された連結部材によって連結されている請求項４又は請求項５記載のウェーハの研磨装置。
【請求項７】
ケーシング内に、ウェーハ保持盤にウェーハを貼付する貼付部、前記ウェーハ保持盤に貼付されたウェーハに研磨を施す研磨定盤等の研磨部、及び研磨を施したウェーハをウェーハ保持盤から剥離する剥離部から成る研磨経路が、二経路設けられている請求項４〜６のいずれか一項記載のウェーハの研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はウェーハの研磨装置に関し、更に詳細には回転可能に設けられ、研磨布が上面に貼付されて研磨面が形成された研磨定盤と、前記研磨定盤の研磨面にウェーハの研磨面を押し付けて回転するウェーハ保持盤と、前記ウェーハ保持盤を研磨定盤に対して接離動する接離動手段とが、ケーシング内に収容されて成るウェーハの研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
シリコンウェーハ（以下、単にウェーハと称する）の研磨には、図５に示すウェーハの研磨装置が使用されている。この研磨装置には、基台１００に定盤受１０４がベアリング１１２を介して回転可能に設けられている。この定盤受１０４は、駆動モータ等の駆動源（図示せず）によって矢印方向に回転する回転軸１０２によって回転され、この定盤受１０４に一体に定盤１０６が載置されている。かかる定盤１０６上には、研磨布１０８が載置されて研磨面を形成しており、研磨布１０８と定盤１０６とによって研磨定盤１１０を形成する。
更に、研磨定盤１１０の周縁近傍上には、ウェーハ保持装置２２が矢印方向に回転可能に設けられている。このウェーハ保持装置２２は、ウェーハの研磨面を研磨定盤１１０の研磨面に加圧して押し付ける装置であって、ウェーハ保持盤（後述）が設けられている。かかるウェーハ保持盤の研磨定盤１１０の研磨面に対向する対向面には、ウェーハが貼着されている。
この様に、ウェーハ保持盤に貼着されたウェーハの研磨面は、パイプ１０７から研磨布１０８に供給される研磨剤が混合された研磨液等により研磨される。
【０００３】
ウェーハ保持装置２２の構造を図６に示す。図６に示す様に、ウェーハ保持盤２４は、主としてセラミックから成る保持部材６０がヘッド部材６２に下方に向けて開口された凹部６４内に、上下方向及び左右方向に移動可能に内装されている。かかる保持部材６０の凹部６４の底面側端面には、ゴム等の弾性材料から成る板状体７０がダイアフラムとして設けられている。この板状体７０と凹部６４の底面との間の空間部７２は、軸７４内に設けられた管７６から供給される加圧流体によって加圧されて加圧室となっている。この空間部７２の圧力を調整することによって、保持部材６０の凹部６４からの押出量を調整できる。
更に、外周面と凹部６４の内周面との間隙には、ゴム等の弾性材料から成るリング状弾性部材６６、及びデルリン等の樹脂材料から成るリング状規制部材６８が内嵌されており、保持部材６０が移動許容の範囲外に移動しないように規制されている。
【０００４】
この様に、ヘッド部材６２の凹部６４に内装された保持部材６０の一面側には、湿式発泡ポリウレタン等の樹脂から成るバッキング材２７が貼着されていると共に、バッキング材２７の一面側に水の表面張力によって保持されているウェーハ２６の周囲を取り囲むように、ウェーハ２６の滑り移動を防止するガイドリング２９が装着されている。
このウェーハ保持装置２２の保持部材６０の一面側に貼着されたバッキング材２７に、水の表面張力によって張付けられたウェーハ２６の研磨面を研磨する際には、ウェーハ２６の研磨面が研磨定盤１１０の研磨面（研磨布１０８によって形成された研磨面）に直近するまでウェーハ保持装置２２を降下する。次いで、管７６を経由してウェーハ保持盤２４に形成された空間部７２に所定圧力の加圧流体を供給し、保持部材６０の一面側を研磨面方向に押し出し、ウェーハ２６の研磨面を研磨定盤１１０の研磨面に所定の荷重で押し付ける。その後、ウェーハ保持盤２４と研磨定盤１１０とを同一方向に回転させることによって、ウェーハ２６の研磨面を研磨する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
図５に示すウェーハの研磨装置によれば、ウェーハ２６を簡単な機構でウェーハ保持装置２２に装着して研磨することができる。
ところで、ウェーハ保持盤２４の保持部材６０の一面側に貼付されたバッキング材２７は、ウェーハ２６を張付する際には、塵埃等がウェーハ２６と保持部材６０との間に塵埃が介在しないように洗浄され、且つ相当な荷重が加えられて研磨されるウェーハ２６を保持するため、磨耗が激しく交換頻度が高い部材である。更に、ガイドリング２９も、その内周面に当接するウェーハ２６の外周面に損傷を与えないように、樹脂等の軟質材が使用されため、交換頻度が高い材料である。
かかるバッキング材２７やガイドリング２９の交換作業は、通常、ウェーハ保持装置２２にウェーハ保持盤２４を装着した状態で行うことができず、ウェーハ保持装置２２からウェーハ保持盤２４を取り外し、研磨定盤１１０等が収容されているケーシング外に搬出して行っている。
【０００６】
しかしながら、ウェーハ保持盤２４は、ウェーハ２６のサイズによれば数百ｋｇにも達し、ウェーハ保持盤２４の人力での取外し及びケーシング外への搬送作業は不可能になりつつある。
このため、本発明者等は、ウェーハ保持盤２４の取外し及びケーシング外への搬送作業を機械化すべく検討したが、研磨装置が大型化することが判明した。
そこで、本発明の課題は、装置の大型化を伴うことなく、ウェーハ保持盤の取外し及びケーシング外への搬送作業を容易に行うことのできるウェーハの研磨装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、前記課題を解決するには、一端部にウェーハ保持盤を装着したアームを回動することによって、ケーシング外にウェーハ保持盤を取り出すことができれば、ウェーハ保持盤の取外し作業等を容易に行うことができるものと考え検討した結果、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、回転可能に設けられ、研磨布が上面に貼付されて研磨面が形成された研磨定盤と、前記研磨定盤の研磨面にウェーハの研磨面を押し付けて回転するウェーハ保持盤と、前記ウェーハ保持盤を研磨定盤に対して接離動する接離動手段とが、ケーシング内に収容されて成るウェーハの研磨装置において、該ウェーハ保持盤が一端部に装着されて前記研磨定盤に対して平行に延びるアームの他端部が連結された回動軸を中心として、前記アームを所定角度回動したとき、前記ウェーハ保持盤がケーシングの外側に位置するように、前記回動軸が研磨定盤の外側に立設されていることを特徴とするウェーハの研磨装置にある。
【０００８】
また、本発明は、回転可能に設けられ、研磨布が上面に貼付されて研磨面が形成された研磨定盤と、前記研磨定盤の研磨面にウェーハの研磨面を押し付けて互いに独立に回転する二基のウェーハ保持盤と、前記ウェーハ保持盤の各々を研磨定盤に対して接離動する互いに独立に設けられた接離動手段とが、ケーシング内に収容されて成るウェーハの研磨装置であって、該ウェーハ保持盤の各々が一端部に装着されて前記研磨定盤に対して平行に延びるアームの他端部が、互いに独立して回動可能に設けられた回動軸に連結され、且つ前記回動軸を回動して前記アームを所定角度回動したとき、前記ウェーハ保持盤がケーシングの外側に位置するように、前記回動軸の各々が研磨定盤の外側に立設されていることを特徴とするウェーハの研磨装置にある。
【０００９】
かかる本発明において、回動軸に、ウェーハ保持盤を研磨定盤に対して接離動する接離動手段と、前記回動軸を回動する駆動手段とを設けることによって、油滴や塵埃が発生し易い装置を、研磨定盤の外側に設けることができる。
更に、回動軸を中空回動軸とし、前記中空回動軸の周壁の長手方向に所定長のスリットが形成され、前記スリットに挿入されたアームの他端部と、前記アームに設けられたウェーハ保持盤を研磨定盤に対して接離動する接離動手段を構成する駆動手段とが、前記中空回転軸内に挿通された連結部材によって連結することにより、ウェーハ保持盤を研磨定盤に対して接離動する接離動手段のコンパクト化を図ることができる。
また、ケーシング内に、ウェーハ保持盤にウェーハを貼付する貼付部、前記ウェーハ保持盤に貼付されたウェーハに研磨を施す研磨部、及び研磨を施したウェーハをウェーハ保持盤から剥離する剥離部から成る研磨経路を、二経路設けることによって、同時に二枚のウェーハを処理可能とすることができる。
【００１０】
本発明に係るウェーハの研磨装置によれば、回動軸によってアームを所定角度回動し、ウェーハ保持盤をケーシング外に位置させることができる。この様に、ケーシング外にウェーハ保持盤を位置させることによって、ウェーハ保持盤の取外し・搬送作業は、容易に且つ安全に行うことができる。
その結果、ウェーハ保持盤に貼付されたバッキング材やガイドリングの交換等を容易に行うことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明に係るウェーハの研磨装置の一例を図１に示す。図１に示す研磨装置では、基台１０に定盤受１２がベアリング１４を介して回転可能に設けられている。この定盤受１２は、駆動モータ１６によって回転する回転軸１８によって回転されており、この定盤受１２に一体に定盤２０が載置されている。かかる研磨定盤２１上には、研磨布が載置されて研磨面を形成しており、研磨布と定盤２０とによって研磨定盤２１を形成する。
更に、研磨定盤２１の周縁近傍上には、ウェーハ保持装置２２が設けられている。このウェーハ保持装置２２には、図６に示すウェーハ保持盤２４が、研磨定盤２１と同一方向に回転可能に設けられており、その下面に水を含有する湿式発泡ポリウレタン等の樹脂から成るバッキング材２７（図６）が貼着されている。かかるバッキング材２７に含有された水の表面張力によってウェーハ２６が、その研磨面を研磨定盤２１の研磨面に対向するように保持されている。
また、ウェーハ保持盤２４は、その上方に設けられた駆動モータ２８によって研磨定盤２１と同一方向に回転される。この駆動モータ２８は、研磨定盤２１上に位置するため、油滴や塵埃が研磨定盤２１上に落下しないようにダイレクトモータで且つシール付きのものである。
【００１２】
かかるウェーハ保持装置２２は、研磨定盤２１と平行に延びるアーム３０の一端部に固着されている。このアーム３０の他端部は、下端部に回動手段としての回動モータ３４が設けられ、研磨定盤２１の外側に立設されている中空回動軸３２に連結されている。かかるアーム３０の他端部の一部は、中空回動軸３２の周壁の長手方向に形成された所定長のスリット３６に挿入されている。このスリット３６に挿入されたアーム３０の他端部の一部は、中空回動軸３２の上端部に設けられたシリンダ装置３８のシリンダから延出され且つ中空回動軸３２の中空部に挿通されたロッド４０の端部に連結されている。
かかるシリンダ装置３８は、ウェーハ保持盤２４を研磨定盤２１に対して接離動する接離動手段を構成する駆動手段であり、ウェーハ２６の研磨面を研磨定盤２１の研磨面に接触させるべく、図１に示すウェーハ保持盤２４′の様に、ウェーハ保持盤２４を研磨定盤２１に近接させることができる。
ここで、中空回動軸３２のスリット３６に挿入されたアーム３０の他端部の一部は、その外壁面がスリット３６の内壁面と摺接しつつ上下動可能に挿入されている。このため、中空回動軸３２が回動する際には、アーム３０もガタ等が発生することなく中空回動軸３２と連回りできる。
尚、図１ではウェーハ保持盤２４を研磨定盤２１に対して接離動する接離動手段を構成する駆動手段としてシリンダ装置３８を用いたが、駆動手段としてモータを用いることができ、この場合、連結部材としてのロッド４０に代えてボールネジを用いる。
【００１３】
図１に示すウェーハの研磨装置では、研磨中に研磨剤等が外部に飛散しないように、研磨定盤２１、ウェーハ保持装置２２及び中空回動軸３２等はケーシング４２内に収容されている。
かかる図１に示す研磨装置では、中空回動軸３２は、中空回動軸３２を中心としてアーム３０を所定角度回動したとき、図１に示すウェーハ保持装置２２′の様に、ケーシング４２の外側に位置するように立設されている。
このため、ウェーハ保持装置２２を構成するウェーハ保持盤２４の一面側に貼付されたバッキング材２７等を交換する際には、回動モータ３４を駆動して中空回動軸３２を所定角度回動することによって、ウェーハ保持装置２２をケーシング４２の外側とすることができ、ウェーハ保持盤２４をウェーハ保持装置２２から安全に且つ容易に取り外し、バッキング材２７等を交換することができる。
【００１４】
図１に示すウェーハの研磨装置のケーシング４２内には、図２に示す様に、外部から供給されたウェーハ２６が載置される載置部５２、ウェーハ保持盤２４にウェーハを貼付する貼付部５４、ウェーハ保持盤２４に貼付されたウェーハ２６に研磨を施す研磨定盤２１等の研磨部５１、研磨を施したウェーハ２６をウェーハ保持盤２４から剥離する剥離部５６、及び剥離したウェーハ２６を収納する収納部５８から成る研磨経路が設けられている。
かかる研磨経路のうち、載置部５２に載置されたウェーハ２６の貼付部５４への搬送は、先端部に吸着装置を具備する搬送装置５３により行われている。
この研磨装置では、通常のウェーハの研磨では、ウェーハ保持盤２４は、図２に示す様に、貼付部５４、研磨部５１及び剥離部５６の間を往復動する。かかる往復動は、回動モータ３４を駆動して中空回動軸３２を所定角度回動することによって行われている。
【００１５】
先ず、搬送装置５３によって貼付部５４に搬送されて載置されたウェーハ２６と、ウェーハ保持盤２４を構成する保持部材６０の一面側に貼付された水を含むバッキング材２７とを当接させる。両者の当接によって、バッキング材２７に含有されている水の表面張力によってウェーハ２６をウェーハ保持盤２４の保持部材６０に貼付することができる。
この様に、保持部材６０にウェーハ２６を貼付したウェーハ保持盤２４を、シリンダ装置３８を駆動して所定高さに上昇させた後、回動モータ３４を駆動してウェーハ保持盤２４を研磨定盤２１上に位置するように中空回動軸３２を回動する。
研磨定盤２１の上方にウェーハ保持盤２４に到達した際に、回動モータ３４を停止し、シリンダ装置３８を駆動してウェーハ保持盤２４を、図１のウェーハ保持盤２４′のように研磨定盤２１に近接させる。
更に、図６に示す軸７４に設けられた管７６を経由してウェーハ保持盤２４の空間部７２に所定圧力の加圧流体を供給し、保持部材６０の一面側を研磨面方向に押し出し、保持部材６０に貼付されたウェーハ２６の研磨面を研磨定盤２１の研磨面に所定の荷重で当接させる。
その後、駆動モータ２８を駆動してウェーハ保持盤２４を研磨定盤２１と同一方向に回転し、ウェーハ２６の研磨を開始する。
【００１６】
ウェーハ２６の研磨が終了した際に、シリンダ装置３８を駆動してウェーハ保持盤２４を上昇させた後、回動モータ３４を駆動してウェーハ保持盤２４を剥離部５６まで中空回動軸３２を回動し、研磨されたウェーハ２６を剥離する。
ウェーハ２６が剥離されたウェーハ保持盤２４は、回動モータ３４を駆動して中空回動軸３２を回動し、ウェーハ保持盤２４を貼付部５４まで回動した後、再度、貼付部５４に載置されているウェーハ２６を同様にして研磨する。
一方、剥離部５６で剥離されたウェーハ２６は、収納部５８に収容され研磨装置から取り出される。
ところで、ウェーハ保持盤２４に貼着されたバッキング材２７やガイドリング２９は、損傷が激しい消耗品であるため、所定枚数のウェーハ２６の研磨がなされたとき、交換がなされる。
【００１７】
かかるバッキング材２７やガイドリング２９の交換を行う際には、研磨を施したウェーハ２６を剥離部５６で剥離した後、回動モータ３４を駆動して中空回動軸３２を所定角度回動することによって、図１に示すウェーハ保持装置２２′の様に、ウェーハ保持装置２２をケーシング４２の外側とする。この様に、ウェーハ保持装置２２をケーシング４２の外側とすることによって、ウェーハ保持装置２２からウェーハ保持盤２４を安全に且つ容易に取り外すことができ、バッキング材２７等を容易に交換できる。
特に、研磨を施すウェーハ２６が大径化すると、ウェーハ保持盤２４も大型化し、従来の如く、ウェーハ保持装置２２からウェーハ保持盤２４を人力による取外し・搬送は不可能となる。
この点、図１の研磨装置では、ウェーハ保持装置２２からのウェーハ保持盤２４の取外し・搬送をケーシング４２の外で行うことができるため、器具を用いてウェーハ保持盤２４の取外し・搬送を行うことができ、作業性及び安全性を従来よりも向上できる。
【００１８】
図１及び図２に示す研磨装置では、ウェーハ保持装置２２が一基であったが、図３に示す様に、二基のウェーハ保持装置２２，２２を設けてもよい。この様に、二基のウェーハ保持装置２２，２２を設けることによって、ウェーハ２６の研磨処理量を図１及び図２に示す研磨装置よりも増加できる。
図３においては、図１に示すウェーハ保持装置２２と同一装置を二基設けている。図３に示すウェーハの研磨装置では、ウェーハ保持装置２２，２２によって同時に研磨加工を施す場合、定盤受１２及び研磨定盤２１に平均に荷重が加えられるように、ウェーハ保持装置２２，２２を対称位置に設けている。この様に、定盤受１２及び研磨定盤２１に平均に荷重が加えられる場合、図１及び図２に示す様に、ウェーハ保持装置２２によって定盤受１２及び研磨定盤２１に片荷重が加えられる場合に比較して、定盤受１２及び研磨定盤２１の設計を容易とすることができる。
尚、図３に示すウェーハ保持装置２２，２２は、図１及び図２に示すウェーハ保持装置２２と同一構造であるため、図３のウェーハ保持装置２２，２２の各部材には、図１及び図２に示すウェーハ保持装置２２の各部材と同一番号を付して詳細な説明を省略した。
【００１９】
図３に示すウェーハの研磨装置のケーシング４２内には、図４に示す様に、外部から供給されたウェーハ２６が載置される載置部５２、ウェーハ保持盤２４にウェーハを貼付する貼付部５４、ウェーハ保持盤２４に貼付されたウェーハ２６に研磨を施す研磨定盤２１等の研磨部５１、研磨を施したウェーハ２６をウェーハ保持盤２４から剥離する剥離部５６、及び剥離したウェーハ２６を収納する収納部５８から成る研磨経路が二経路設けられている。
かかる研磨経路のうち、載置部５２，５２に載置されたウェーハ２６，２６の貼付部５４，５４への搬送は、先端部に吸着装置を具備する搬送装置５３，５３により行われている。
この研磨装置では、通常のウェーハの研磨では、ウェーハ保持盤２４，２４は、図４に示す様に、貼付部５４，５４、研磨部５１，５１及び剥離部５６，５６の間を往復動する。かかる往復動は、回動モータ３４，３４を駆動して中空回動軸３２，３２を所定角度回動することによって行われている。
【００２０】
先ず、矢印Ａ，Ａの方向から送られて載置部５２，５２載置されたウェーハ２６，２６を搬送装置５３，５３によって貼付部５４、５４に搬送する。貼付部５４，５４に載置されたウェーハ２６，２６と、シリンダ装置３８，３８を駆動してウェーハ保持装置２２，２２を降下し、ウェーハ保持盤２４，２４の各保持部材６０の一面側に貼付された水を含むバッキング材２７，２７とを当接させる。両者の当接によって、バッキング材２７，２７に含有されている水の表面張力によってウェーハ２６，２６をウェーハ保持盤２４，２４の各保持部材６０に貼付することができる。
この様に、ウェーハ２６を貼付した保持部材６０を具備するウェーハ保持盤２４，２４を、シリンダ装置３８，３８を駆動して所定高さに上昇させた後、回動モータ３４，３４を駆動してウェーハ保持盤２４，２４を研磨定盤２１上に位置するように中空回動軸３２，３２を回動する。
研磨定盤２１の上方にウェーハ保持盤２４，２４に到達した際に、回動モータ３４，３４を停止し、シリンダ装置３８，３８を駆動してウェーハ保持盤２４，２４を、図３のウェーハ保持盤２４′のように研磨定盤２１に近接させる。
更に、各ウェーハ保持盤２４の軸７４（図６）に設けられた管７６を経由してウェーハ保持盤２４の各空間部７２に所定圧力の加圧流体を供給し、保持部材６０の一面側を研磨面方向に押し出し、保持部材６０に貼付されたウェーハ２６の研磨面を研磨定盤２１の研磨面に所定の荷重で当接させる。
その後、駆動モータ２８，２８を駆動してウェーハ保持盤２４，２４を研磨定盤２１と同一方向に回転し、ウェーハ２６，２６の研磨を開始する。
【００２１】
ウェーハ２６，２６の研磨が終了した際に、シリンダ装置３８，３８を駆動してウェーハ保持盤２４，２４を上昇させた後、回動モータ３４，３４を駆動してウェーハ保持盤２４，２４を剥離部５６，５６まで中空回動軸３２，３２を回動し、研磨されたウェーハ２６，２６を剥離する。
ウェーハ２６，２６が剥離されたウェーハ保持盤２４，２４は、回動モータ３４，３４を駆動して中空回動軸３２，３２を回動し、ウェーハ保持盤２４，２４を貼付部５４，５４まで回動した後、再度、貼付部５４，５４に載置されているウェーハ２６，２６を同様にして研磨する。
一方、剥離部５６，５６で剥離されたウェーハ２６，２６は、収納部５８，５８に収容され研磨装置から取り出される。
【００２２】
また、ウェーハ保持盤２４，２４の各保持部材６０に貼着されたバッキング材２７やガイドリング２９の交換を行う際には、研磨を施したウェーハ２６，２６を剥離部５６，５６で剥離した後、回動モータ３４，３４を駆動して中空回動軸３２，３２を所定角度回動することによって、図３及び図４に示すウェーハ保持装置２２′，２２′の様に、ウェーハ保持装置２２，２２をケーシング４２の外側とする。
この様に、ウェーハ保持装置２２，２２をケーシング４２の外側とすることによって、ウェーハ保持装置２２，２２からウェーハ保持盤２４，２４を安全に且つ容易に取り外すことができ、バッキング材２７等を容易に交換できる。
かかるバッキング材２７等の交換は、ウェーハ保持装置２２，２２を同時に行っても、両者を個々に行ってもよい。
また、載置部５２，５２載置されたウェーハ２６，２６は、研磨を施す複数枚のウェーハが収納された一個の供給用収納部から交互に供給されてもよく、二個の供給用収納部から同時又は交互に供給されてもよい。
【００２３】
【発明の効果】
本発明によれば、ウェーハ保持盤の取外し・搬送作業を容易に且つ安全に行うことができ、ウェーハ保持盤に貼付されたバッキング材やガイドリングの交換等を容易に行うことができる。
更に、研磨対象のウェーハの大径化に伴ってウェーハ保持盤が大型化しても、ウェーハ保持盤の取外し・搬送作業を容易に且つ安全に行うことができるため、ウェーハの大径化に対応し得る研磨装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るウェーハの研磨装置の一例を示す縦断面図である。
【図２】図１に示すウェーハの研磨装置の平面図である。
【図３】本発明に係るウェーハの研磨装置の他の例を示す縦断面図である。
【図４】図３に示すウェーハの研磨装置の平面図である。
【図５】従来のウェーハの研磨装置を説明するための部分断面図である。
【図６】ウェーハ保持盤の構造を説明するための概略断面図である。
【符号の説明】
１２  研磨定盤受け
２０  定盤
２１  研磨定盤
２２  ウェーハ保持装置
２４  ウェーハ保持盤
２６  ウェーハ
２８  駆動モータ
３０  アーム
３２  中空回動軸
３４  回動モータ
３６  スリット
３８  シリンダ装置
４０  ロッド
４２  ケーシング
５１  研磨部
５２  載置部
５４  貼付部
５６  剥離部
【図１】
0004257017.tif 000002
【図２】
0004257017.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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