(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペーストを通過させる複数のメッシュ孔が形成されたメッシュ孔形成領域（メッシュ領域）と、
ペーストを通過させるメッシュ孔が形成されていないメッシュ孔非形成領域（非メッシュ領域）と、
前記メッシュ領域の、被印刷体と対向する面に形成された、所定の印刷図形に対応する平面形状を有する凹部と
を備えたスクリーン印刷版であって、
(ａ)前記メッシュ領域が形成された金属膜（メッシュ領域用金属膜）と、
(ｂ)前記凹部に対応する形状の開口を備え、前記メッシュ領域用金属膜に接合されて、前記メッシュ領域用金属膜とともに前記凹部を構成する凹部形成用金属膜とを備え、
前記メッシュ領域用金属膜及び凹部形成用金属膜の膜厚が、それぞれ１〜１００μｍの範囲にあり、
前記被印刷体と接する面のＲａ値が０．０１〜０．３０μｍの範囲にあるとともに、
前記メッシュ領域用金属膜が、無光沢めっき法により形成され、かつ、前記凹部形成用金属膜が、光沢めっき法により形成されていること
を特徴とするスクリーン印刷版。
【請求項２】
請求項１に記載のスクリーン印刷版を製造するための方法であって、
メッシュ領域用金属膜を無光沢めっき法により形成した後、該メッシュ領域用金属膜上に、光沢めっき法により凹部形成用金属膜を形成すること
を特徴とするスクリーン印刷版の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、スクリーン印刷に用いられるスクリーン印刷版に関し、特に、印刷図形の滲み出しや、摩耗による印刷図形の寸法変化などの抑制、防止を意図したスクリーン印刷版及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、積層電子部品の分野において、積層されるグリーンシートに内部電極を形成するような場合、所定の印刷図形を得る方法として、スクリーン印刷法が広く用いられている。このスクリーン印刷法において用いられる印刷版（スクリーン印刷版）には、印刷すべき図形に対応する、所定形状の図形パターンが形成されており、所望の印刷図形を得ることができるように、高い寸法精度で製造されている。
【０００３】
なお、図４は、従来のスクリーン印刷版５１の要部を示す斜視図であり、図５はその断面図である。このスクリーン印刷版５１は、図４，５に示すように、印刷されるペースト（例えば、電極ペースト）を通すメッシュ孔（貫通孔）５４が形成されたメッシュ孔形成領域（メッシュ領域）５２と、メッシュ孔が形成されておらず、ペーストを通さないメッシュ孔非形成領域（非メッシュ領域）５３とを備えている。
【０００４】
メッシュ領域５２は、破線１００により囲まれた領域であり、印刷図形に対応する平面形状を有しており、このメッシュ領域５２には、所定形状の複数個のメッシュ孔５４が所定のパターンで配設されている。
【０００５】
また、スクリーン印刷版５１の、被印刷体５９と対向する面には印刷図形に対応する平面形状を備えた凹部５５が形成されている。
【０００６】
なお、このスクリーン印刷版５１は、例えば、無光沢めっき法の１種であるエレクトロフォーミング法により、メッシュ領域を形成するメッシュ領域用金属膜５６を形成した後、その上に、凹部５５に対応する平面形状の開口５８を備え、メッシュ領域用金属膜５６と一体になって、凹部５５を構成する凹部形成用金属膜５７を形成することにより製造されている。
なお、このスクリーン印刷版５１においては、被印刷体５９と接する面（接触面）５１ａ及びメッシュ領域用金属膜５６の下面（凹部５５の天井面）５６ａの表面粗度（Ｒａ値）は、いずれも１．６〜２．２μm程度とされている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来のスクリーン印刷版５１を用いてペースト６０を印刷するにあたっては、図６に示すように、スキージにより、ペースト６０がメッシュ領域５２のメッシュ孔５４から凹部５５内に供給され、さらに、凹部５５を経て被印刷体５９上に印刷され、所定の印刷図形が形成されることになる。
【０００８】
しかし、スクリーン印刷版５１の、被印刷体５９との接触面５１ａの表面粗度（Ｒａ値）が１．６〜２．２μmと粗いことから、ペースト６０が接触面５１ａと被印刷体５９の表面５９ａの隙間から滲み出すため、所望のパターンの印刷図形を得ることができないという問題点がある。
【０００９】
また、スクリーン印刷版５１の使用回数（印刷回数）が増えると、スクリーン印刷版５１の、被印刷体５９との接触面５１ａに摩耗が生じて、表面状態（粗度）が変化し、印刷図形の寸法や形状が変動するという問題点がある。
【００１０】
本願発明は、上記問題点を解決するものであり、ペーストの滲み出しや、被印刷体との接触面の摩耗を抑制、防止することが可能で、長期間安定して、所望の印刷図形が得られる高精度のスクリーン印刷を行うことが可能なスクリーン印刷版及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、発明者等は、種々の実験、検討を行い、スクリーン印刷版の、被印刷体との接触面の表面粗度を小さくすることにより、ペーストの滲み出しや、スクリーン印刷版の摩耗が抑制されることを知り、さらに実験検討を行って、本願発明を完成した。
【００１２】
すなわち、本願発明（請求項１）のスクリーン印刷版は、
ペーストを通過させる複数のメッシュ孔が形成されたメッシュ孔形成領域（メッシュ領域）と、
ペーストを通過させるメッシュ孔が形成されていないメッシュ孔非形成領域（非メッシュ領域）と、
前記メッシュ領域の、被印刷体と対向する面に形成された、所定の印刷図形に対応する平面形状を有する凹部と
を備えたスクリーン印刷版であって、
(ａ)前記メッシュ領域が形成された金属膜（メッシュ領域用金属膜）と、
(ｂ)前記凹部に対応する形状の開口を備え、前記メッシュ領域用金属膜に接合されて、前記メッシュ領域用金属膜とともに前記凹部を構成する凹部形成用金属膜とを備え、
前記メッシュ領域用金属膜及び凹部形成用金属膜の膜厚が、それぞれ１〜１００μｍの範囲にあり、
前記被印刷体と接する面のＲａ値が０．０１〜０．３０μｍの範囲にあるとともに、
前記メッシュ領域用金属膜が、無光沢めっき法により形成され、かつ、前記凹部形成用金属膜が、光沢めっき法により形成されていること
を特徴としている。
【００１３】
スクリーン印刷版を、(ａ)メッシュ領域を形成するメッシュ領域用金属膜と、(ｂ)メッシュ領域用金属膜とともに凹部を構成する凹部形成用金属膜とを備えた構成とし、メッシュ領域用金属膜及び凹部形成用金属膜の膜厚を、それぞれ１〜１００μｍとし、かつ、被印刷体と接する面（接触面）の表面粗度、すなわちＲａ値を０．０１〜０．３０μｍの範囲とすることにより、ペーストの滲み出しを抑制、防止するとともに、スクリーン印刷版を繰り返して使用することによる接触面の摩耗を抑制して、印刷図形の寸法や形状の変化を抑制、防止し、長期間にわたって、高品質のスクリーン印刷を行うことが可能になる。
【００１４】
また、無光沢めっき法により形成されたメッシュ領域用金属膜と、光沢めっき法により形成された凹部形成用金属膜とを備えた構成としているので、複雑な製造工程を必要とすることなく、めっき法のみで、メッシュ領域用金属膜と凹部形成用金属膜を効率よく形成することが可能になる。
【００１５】
また、スクリーン印刷版を、光沢めっき法のみで形成した場合には、光沢めっき膜の圧縮応力により、印刷図形に伸びが生じて、図形寸法が大きくなる傾向があるが、無光沢めっき膜（メッシュ領域用金属膜）と、光沢めっき膜（凹部形成用金属膜）の２種類のめっき膜による２層構造とすることにより、印刷図形の伸びを抑制して、図形寸法精度を向上させることが可能になる。
【００１６】
なお、無光沢めっき法とは、表面粗さに影響を及ぼす添加剤（光沢剤）が加えられていないめっき浴でめっきを行う方法を意味する概念であり、また、光沢めっき法とは、表面粗さに影響を及ぼす添加剤（光沢剤）が加えられためっき浴でめっきを行う方法を意味する概念である。
【００１７】
また、本願発明（請求項２）のスクリーン印刷版の製造方法は、
請求項１〜３のいずれかに記載のスクリーン印刷版を製造するための方法であって、
メッシュ領域用金属膜を無光沢めっき法により形成した後、該メッシュ領域用金属膜上に、光沢めっき法により凹部形成用金属膜を形成すること
を特徴としている。
【００１８】
無光沢めっき法によりメッシュ領域用金属膜を形成した後、光沢めっき法により、メッシュ領域用金属膜上に、凹部形成用金属膜を形成することにより、被印刷体との接触面の表面粗度、すなわち、Ｒａ値が０．０１〜０．３０μｍと低く、被印刷体との接触面の摩耗の少ない本願発明のスクリーン印刷版を効率よく製造することが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本願発明の実施の形態を示してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。
図１は、本願発明の一実施形態にかかるスクリーン印刷版の要部を示す斜視図、図２はその断面図である。
【００２０】
このスクリーン印刷版１は、ニッケル金属材料により形成されており、印刷されるペースト（例えば、電極ペースト）を通すメッシュ孔（貫通孔）４が形成されたメッシュ孔形成領域（メッシュ領域）２と、メッシュ孔の形成されていないメッシュ孔非形成領域（非メッシュ領域）３とを備えている。
【００２１】
なお、メッシュ領域２は、破線２００に囲まれた領域であり、印刷図形に対応する平面形状を有しており、このメッシュ領域２には、所定形状の複数個のメッシュ孔４が所定のパターンで配設されている。
【００２２】
また、スクリーン印刷版１の、被印刷体９と接する面（接触面）１ａには所定の印刷図形に対応する平面形状を有する凹部５が形成されている。
そして、このスクリーン印刷版１は、メッシュ領域を構成するメッシュ領域用金属膜（メッシュ領域用ニッケル膜）６と、凹部５に対応する平面形状の開口８を備え、メッシュ領域用金属膜６とともに凹部５を構成する凹部形成用金属膜（凹部形成用ニッケル膜）７からなる２層構造を有している。
【００２３】
なお、この実施形態のスクリーン印刷版１においては、メッシュ領域用ニッケル膜６の膜厚Ａ（図２）及び凹部形成用ニッケル膜７の膜厚Ｂ（図２）が、それぞれ５０μmとされている。
また、スクリーン印刷版１の、被印刷体９と接する面（接触面）１ａの表面粗度（Ｒａ値）は０．１μmとされている。
【００２４】
次に、上記のスクリーン印刷版１の製造方法について説明する。
(１)まず、メッシュパターン形状のレジストを介して、工レクトロフォーミング法（電鋳法）により、膜厚が１〜１００μm（この実施形態では５０μm）のメッシュ領域用ニッケル膜６を形成する。
なお、このとき、めっき浴として、無光沢めっき用スルファミン酸ニッケル浴を用いて無光沢めっきを行う。これにより、メッシュ領域用ニッケル膜６の、被印刷体９と対向する側の面（凹部５の天井面）６ａの表面粗度（Ｒａ値）は１．６〜２．２μｍとなる。
(２)次に、めっき浴として、光沢めっき用スルファミン酸ニッケル浴を用い、開口８が形成されるべき領域を覆うようなレジストを介して、工レクトロフォーミング法（電鋳法）により、膜厚が１〜１００μm（この実施形態では５０μm）の、印刷図形に相当する凹部５を備えた凹部形成用ニッケル膜７を形成する。
なお、光沢めっき用スルファミン酸ニッケル浴は、無光沢めっき用スルファミン酸ニッケル浴に光沢剤を添加することにより得ることができる。
このように、光沢めっき法によって凹部形成ニッケル膜７を形成することにより、接触面の表面粗度の値が低い（この実施形態ではＲａ値で０．１μm）凹部形成ニッケル膜７が形成される。
【００２５】
次に、この実施形態にかかるスクリーン印刷版を使用して、ペースト（電極ペースト）を被印刷体の表面に印刷する方法について説明する。
図３は、この実施形態にかかるスクリーン印刷版１を使用し、スキージにより、ペースト１０を被印刷体９の表面９ａに印刷している状態を説明する要部断面図である。
図３に示すように、この実施形態のスクリーン印刷版１を用いて、ペースト１０を被印刷体９の表面９ａに印刷する場合、ペースト１０は、メッシュ孔４を経て凹部５内に注入され、凹部５の平面形状に対応する形状で、被印刷体９の表面９ａに印刷される。
【００２６】
そして、この実施形態のスクリーン印刷版１においては、接触面１ａの表面粗度（Ｒａ値）が０．１μmと小さく、スクリーン印刷版１の接触面１ａが被印刷体９の表面９ａに密着するため、凹部５内のペースト１０が、スクリーン印刷版１の接触面１ａと被印刷体９の表面９ａの隙間から滲み出すことが抑制、防止される。
その結果、滲み出しがなく、寸法精度や形状精度に優れた、所望のパターン形状の印刷図形を確実に得ることが可能になる。
【００２７】
また、スクリーン印刷版１の、被印刷体９との接触面１ａの平面粗度が低く、平滑であるため、印刷回数（印刷ショット数）が増えても、接触面１ａの摩耗が少なく、接触面１の表面状態が変動しにくいため、長期間にわたり、安定して、高品位のスクリーン印刷を行うことが可能になる。
【００２８】
また、上記実施形態のスクリーン印刷版は、無光沢めっき法により形成されたメッシュ領域用ニッケル膜６と、光沢めっき法により形成された凹部形成用ニッケル膜７とからなる２層めっき膜構造を有しており、複雑な製造工程を必要とすることなく、めっき法により効率よく製造することが可能である。
【００２９】
また、スクリーン印刷版を、無光沢めっき膜（メッシュ領域用金属膜）と、光沢めっき膜（凹部形成用金属膜）の２種類のめっき膜による２層構造とすることにより、印刷図形の伸びを抑制して、図形寸法精度を向上させることが可能になる。
【００３０】
また、上記実施形態では、スクリーン印刷版の構成材料として、ニッケルを用いた場合について説明したが、本願発明において、スクリーン印刷版の構成材料に特別の制約はなく、他の金属材料（例えば、ニッケル−コバルト合金など）を用いることも可能である。
また、上記実施形態では、１種類の材料（ニッケル）からスクリーン印刷版を形成しているが、場合によっては、メッシュ領域用金属膜と、凹部形成用金属膜で、材料の種類を異ならせることも可能である。
また、本願発明は、印刷すべきペーストの種類や、被印刷体の種類に特別の制約はなく、種々のペーストを種々の被印刷体に印刷する場合に広く適用することが可能である。
【００３１】
なお、本願発明はさらにその他の点においても上記の実施形態に限定されるものではなく、被印刷体との接触面の表面粗度の具体的な値、メッシュ領域用金属膜及び凹部形成用金属膜の膜厚の値、及び両者の膜厚の関係、スクリーン印刷版の製造方法の具体的な条件などに関し、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【００３２】
【発明の効果】
上述のように、本願発明（請求項１）のスクリーン印刷版は、スクリーン印刷版を、(ａ)メッシュ領域を形成するメッシュ領域用金属膜と、(ｂ)メッシュ領域用金属膜とともに凹部を構成する凹部形成用金属膜とを備えた構成とし、メッシュ領域用金属膜及び凹部形成用金属膜の膜厚を、それぞれ１〜１００μｍとし、かつ、被印刷体と接する面（接触面）のＲａ値が０．０１〜０．３０μｍの範囲としているので、ペーストの滲み出しを抑制、防止するとともに、スクリーン印刷版を繰り返して使用することによる接触面の摩耗を抑制して、印刷図形の寸法や形状の変化を抑制、防止することが可能になり、長期間にわたって、高品質のスクリーン印刷を行うことができるようになる。
【００３３】
また、無光沢めっき法により形成されたメッシュ領域用金属膜と、光沢めっき法により形成された凹部形成用金属膜とを備えた構成としているので、複雑な製造工程を必要とすることなく、めっき法によりメッシュ領域用金属膜と凹部形成用金属膜を効率よく形成することが可能になり、低コストのスクリーン印刷版を提供することが可能になる。
また、スクリーン印刷版を、無光沢めっき膜（メッシュ領域用金属膜）と、光沢めっき膜（凹部形成用金属膜）の２種類のめっき膜による２層構造とすることにより、印刷図形の伸びを抑制して、図形寸法精度を向上させることができる。
【００３４】
また、本願発明（請求項２）のスクリーン印刷版の製造方法は、無光沢めっき法によりメッシュ領域用金属膜を形成した後、光沢めっき法により、メッシュ領域用金属膜上に、凹部形成用金属膜を形成するようにしているので、被印刷体との接触面のＲａ値が０．０１が０．０１〜０．３０μｍと低く、被印刷体との接触面の摩耗の少ない本願発明のスクリーン印刷版を効率よく製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本願発明の一実施形態にかかるスクリーン印刷版の要部を示す斜視図である。
【図２】  本願発明の一実施形態にかかるスクリーン印刷版の要部を示す断面図である。
【図３】  本願発明の一実施形態にかかるスクリーン印刷版を使用して、ペーストを被印刷体の表面に印刷している状態を示す要部断面図である。
【図４】  従来のスクリーン印刷版の要部を示す斜視図である。
【図５】  従来のスクリーン印刷版の要部を示す断面図である。
【図６】  従来のスクリーン印刷版を使用して、ペーストを被印刷体の表面に印刷している状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１            スクリーン印刷版
１ａ          スクリーン印刷版の被印刷体との接触面
２            メッシュ孔形成領域（メッシュ領域）
３            メッシュ孔非形成領域（非メッシュ領域）
４            メッシュ孔（貫通孔）
５            凹部
６            メッシュ領域用金属膜（メッシュ領域用ニッケル膜）
６ａ          メッシュ領域用金属膜の被印刷体との対向面（凹部の天井面）
７            凹部形成用金属膜（凹部形成用ニッケル膜）
８            開口
９            被印刷体
９ａ          被印刷体の表面
１０          ペースト
Ａ            メッシュ領域用ニッケル膜の膜厚
Ｂ            凹部形成用ニッケル膜の膜厚
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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