(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
極性が交番する磁界を発生させるための励磁コイルと、この励磁コイルによる極性が交番する磁界の強さによって長さが弾性変化する超磁歪素子と、この超磁歪素子の長さが弾性変化する方向におけるその超磁歪素子の両側にそれぞれ設けられる一対の可動部と、これら一対の可動部に対し超磁歪素子側へ予荷重を与える付加手段とを備え、各可動部の作用点となる一端と他端との間の支点寄りの両可動部に上記超磁歪素子の両端がそれぞれ接することを特徴とする超磁歪リニアアクチュエータ。
【請求項２】
励磁コイルおよび超磁歪素子は、固定部材の両側に設けられる２組の励磁コイルおよび超磁歪素子により構成され、一方の組みの超磁歪素子の一端と他方の組みの超磁歪素子の一端とが一対の可動部とそれぞれ接することを特徴とする請求項１記載の超磁歪リニアアクチュエータ。
【請求項３】
付加手段は、超磁歪素子への予荷重を各可動部における上記超磁歪素子の両端が接する部位よりも支点寄りの位置に付加することを特徴とする請求項２記載の超磁歪リニアアクチュエータ。
【請求項４】
一対の可動部をこれらの各他端側で支持するとともに一対の可動部間の励磁コイルおよび超磁歪素子を支持する支持体と、一対の可動部間に設けられこれらの間の励磁コイルおよび超磁歪素子を介して支持体と対向する磁性部材とを備え、一対の可動部および支持体は磁性体であり、超磁歪素子、一対の可動部、支持体および磁性部材により閉磁路を形成することを特徴とする請求項１または２記載の超磁歪リニアアクチュエータ。
【請求項５】
磁性部材は、一対の可動部の運動方向を含む平面と直交する方向において、一定の空隙を介して一対の可動部に対向するように配置されることを特徴とする請求項４記載の超磁歪リニアアクチュエータ。
【請求項６】
磁性材料により一の開口点を持つ断面Ｃ字状に形成されるヨークを備えるとともに、極性が交番する磁界を発生させるための励磁コイルと、この励磁コイルによる極性が交番する磁界の強さによって長さが弾性変化する超磁歪素子と、ヨークの開口点から一部が外部に突出する可動部と、超磁歪素子の長さが弾性変化する方向におけるその超磁歪素子の両側に予荷重を付加する付加手段とを上記ヨークの内部に備え、励磁コイルおよび超磁歪素子は可動部の残部の両側に設けられる２組の励磁コイルおよび超磁歪素子により構成され、付加手段はヨークの内壁に固定されて一方の組みの超磁歪素子の一端と他方の組みの超磁歪素子の一端とに予荷重を与え、可動部が自己の残部先端寄りで２組の超磁歪素子により狭持されることを特徴とする超磁歪リニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、０．１ｍｍ〜１ｍｍ程度の大変位振動が可能な超磁歪リニアアクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１９は従来の超磁歪アクチュエータの構成図である。この超磁歪アクチュエータは、駆動力を発生させる超磁歪素子２と、超磁歪素子２と接するようにして配設され出力を外部に伝える出力軸３Ｘと、磁気バイアスを超磁歪素子２に与えるための永久磁石８と、磁気回路を構成するヨーク７Ｘと、超磁歪素子２に予荷重を付与する予荷重ばね４Ｘと、起磁力を付与するための励磁コイル１とからなる。
【０００３】
励磁コイル１に正弦波または矩形波等の交流電流を与えると、図２０に示すように、ヨーク７Ｘおよび超磁歪素子２で構成される磁路中を通る磁束も交流的に変化する。これにより、磁歪が生じ、駆動周波数と同じ周波数の微小振動が生じる。その振動出力が出力軸３Ｘを通して外部へ伝達される。
【０００４】
図２１は超磁歪リニアアクチュエータの構成図である（特願２００１−２６２８７５）。この超磁歪リニアアクチュエータは、Ｌ字状の可動部３Ｙを用い、てこの原理と機械的共振を利用した振幅拡大機構を有している。また、図２２に示すように、Ｌ字状の可動部３Ｙを一対用いてカウンタ動作を実現した超磁歪リニアアクチュエータも提案されている。なお、図２１，図２２中の４は予荷重皿バネである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
図１９のアクチュエータでは、励磁コイル１を励磁することにより、出力軸３Ｘに出力として微小振動が生じるが、出力変位は、超磁歪素子２の伸縮による変位の振幅そのものであり、超磁歪素子２の軸方向の長さに対して最大１０００〜２０００ｐｐｍの微小振動しか取り出せない。例えば、超磁歪素子の軸方向の長さを１０ｍｍとすると、最大１０〜２０μｍ程度の振動となる。
【０００６】
図２１のアクチュエータでは、てこの原理と機械的共振を利用した振幅拡大機構により大振幅のリニア駆動が可能になるが、可動部３Ｙが超磁歪素子２の伸縮方向に対してほぼ直交方向に運動するので、振動が発生する。
【０００７】
図２２のアクチュエータでは、一対の可動部３Ｙが互いに逆向きに運動するので可動部３Ｙの運動方向の振動は大幅に低減できるが、超磁歪素子２の伸縮方向の振動を抑えることができない。
【０００８】
なお、図２１，図２２のアクチュエータは開磁路構造であり、磁気効率が悪いという問題もある。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、振動の小さな超磁歪リニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための請求項１記載の発明の超磁歪リニアアクチュエータは、極性が交番する磁界を発生させるための励磁コイルと、この励磁コイルによる極性が交番する磁界の強さによって長さが弾性変化する超磁歪素子と、この超磁歪素子の長さが弾性変化する方向におけるその超磁歪素子の両側にそれぞれ設けられる一対の可動部と、これら一対の可動部に対し超磁歪素子側へ予荷重を与える付加手段とを備え、各可動部の作用点となる一端と他端との間の支点寄りの両可動部に上記超磁歪素子の両端がそれぞれ接することを特徴とする。
【００１１】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の超磁歪リニアアクチュエータにおいて、励磁コイルおよび超磁歪素子は、固定部材の両側に設けられる２組の励磁コイルおよび超磁歪素子により構成され、一方の組みの超磁歪素子の一端と他方の組みの超磁歪素子の一端とが一対の可動部とそれぞれ接することを特徴とする。
【００１２】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の超磁歪リニアアクチュエータにおいて、付加手段が、超磁歪素子への予荷重を各可動部における上記超磁歪素子の両端が接する部位よりも支点寄りの位置に付加することを特徴とする。
【００１３】
請求項４記載の発明は、請求項１または２記載の超磁歪リニアアクチュエータにおいて、一対の可動部をこれらの各他端側で支持するとともに一対の可動部間の励磁コイルおよび超磁歪素子を支持する支持体と、一対の可動部間に設けられこれらの間の励磁コイルおよび超磁歪素子を介して支持体と対向する磁性部材とを備え、一対の可動部および支持体は磁性体であり、超磁歪素子、一対の可動部、支持体および磁性部材により閉磁路を形成することを特徴とする。
【００１４】
請求項５記載の発明は、請求項４記載の超磁歪リニアアクチュエータにおいて、磁性部材が、一対の可動部の運動方向を含む平面と直交する方向において、一定の空隙を介して一対の可動部に対向するように配置されることを特徴とする。
【００１５】
請求項６記載の発明の超磁歪リニアアクチュエータは、磁性材料により一の開口点を持つ断面Ｃ字状に形成されるヨークを備えるとともに、極性が交番する磁界を発生させるための励磁コイルと、この励磁コイルによる極性が交番する磁界の強さによって長さが弾性変化する超磁歪素子と、ヨークの開口点から一部が外部に突出する可動部と、超磁歪素子の長さが弾性変化する方向におけるその超磁歪素子の両側に予荷重を付加する付加手段とを上記ヨークの内部に備え、励磁コイルおよび超磁歪素子は可動部の残部の両側に設けられる２組の励磁コイルおよび超磁歪素子により構成され、付加手段はヨークの内壁に固定されて一方の組みの超磁歪素子の一端と他方の組みの超磁歪素子の一端とに予荷重を与え、可動部が自己の残部先端寄りで２組の超磁歪素子により狭持されることを特徴とする。
【００１６】
ここで、本発明では、可動部の運動方向と超磁歪素子の伸縮方向とを一致させた振幅拡大機構により低振動化を図る。また、閉磁路構造により高効率化を実現する。
【００１７】
一般的な磁歪素子は、純Ｎｉ、Ｆｅ−Ｎｉ系合金、ＮｉやＺｎを添加したフェライト（酸化鉄）などの材料を用いて形成され、磁歪により全長の数十ｐｐｍ程度の長さ弾性変化する。これに対して、超磁歪材料は、テルビウム（Ｔｂ）やディスプロジウム（Ｄｙ）などの希土類元素と鉄の合金により成り、磁歪により全長の１０００〜２０００ｐｐｍ程度の長さ弾性変化する。このような超磁歪素子は、米国海軍によって開発され、ＥＴＲＥＭＡ社によって実用化され、Ｔｅｒｆｅｎｏｌ−Ｄ（Ｔｂ0.3Ｄｙ0.7Ｆｅ1.91）などが知られている。本発明ではこのような超磁歪素子などが用いられる。
【００１８】
上記構成の本発明によれば、てこ機構による増幅率、および共振系による増幅率を乗じたものが出力振幅となるため、大振幅のリニアアクチュエータを実現でき、可動部の出力の運動方向と超磁歪素子の伸縮方向とを一致させた振幅拡大機構により振動を抑え、閉磁路構造により高効率化が可能となる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
図１は本発明に係る第１実施形態の超磁歪リニアアクチュエータの構成図である。
【００２０】
第１実施形態の超磁歪リニアアクチュエータは、図１に示すように、極性が交番する磁界を発生させるための励磁コイル１と、この励磁コイル１の軸内に設けられ励磁コイル１による極性が交番する磁界の強さによって長さが弾性変化する棒状の超磁歪素子２と、この超磁歪素子２の長さが弾性変化する方向におけるその超磁歪素子２の両側にそれぞれ設けられる一対の可動部３と、これら一対の可動部３に対し超磁歪素子２側へ予荷重を与える一対の予荷重皿バネ４と、一対の可動部３間の励磁コイル１および超磁歪素子２を支持する支持体５とを備えている。
【００２１】
この支持体５は断面コ字状に形成されており、支持体５の各端部５１の内面に予荷重皿バネ４が固着されている。そして、各可動部３の作用点３２となる一端と他端３１との間の支点寄りの両可動部３に超磁歪素子２の両端がそれぞれ接する配置構造になっている。ただし、図１の例では、超磁歪素子２の両端に半球状の駆動力伝達部材２１が設けられており、これらの駆動力伝達部材２１の極点が動作点となって両可動部３と接する。また、超磁歪リニアアクチュエータは、各可動部の作用点３２側が超磁歪素子２の伸縮による振動に共振するように構成される。さらに、支点は、動作点の上側（作用点３２側）のその動作点寄りに設けられる。
【００２２】
ここで、励磁コイル１の励磁周波数の２倍の周波数で各可動部３が運動する。振幅は、支点から動作点までの長さをｌ1 、支点から作用点３２までの長さをｌ2 とすると、超磁歪素子２の伸縮×０．５×ｌ2 ／ｌ1 ×共振増幅率で拡大される。
【００２３】
このような構造の超磁歪リニアアクチュエータによれば、可動部３の作用点３２の振動方向と超磁歪素子２の伸縮方向とが一致し、そして一対の可動部３が互いに逆方向に運動するので、各運動による振動がキャンセルされることになり、振動の小さな超磁歪リニアアクチュエータを実現することができる。
【００２４】
なお、第１実施形態では、予荷重を付加する付加手段として皿バネが使用される構成になっているが、本発明の付加手段は、これに限らず、例えばコイルバネ等の他の弾性体でもよい。
【００２５】
また、磁気バイアスをかけない構成になっているが、磁石または直流電流により磁気バイアスをかける構成でもよい。磁気バイアスをかけると、励磁電流の周波数と同じ周波数で可動部が運動する。
【００２６】
（第２実施形態）
図２は本発明に係る第２実施形態の超磁歪リニアアクチュエータの構成図である。
【００２７】
第２実施形態の超磁歪リニアアクチュエータは、図２に示すように、第１実施形態との相違点として、励磁コイルおよび超磁歪素子が、支持体５に連設される板状の固定部材５２の両側に設けられる２組の励磁コイル１Ａ，１Ｂおよび超磁歪素子２Ａ，２Ｂにより構成され、一方の組みの超磁歪素子２Ａの一端と他方の組みの超磁歪素子２Ｂの一端とが一対の可動部３とそれぞれ接する構造になっている。
【００２８】
このような構造の超磁歪リニアアクチュエータによれば、２つの超磁歪素子２Ａ，２Ｂの各他端が固定部材５２に固定されるので、予荷重皿バネ４による予荷重の調節を左右独立で行うことができる。これにより、初期調節が容易となり生産性が向上する。
【００２９】
（第３実施形態）
図３は本発明に係る第３実施形態の超磁歪リニアアクチュエータの構成図である。
【００３０】
第３実施形態の超磁歪リニアアクチュエータは、第２実施形態との相違点として、超磁歪素子への予荷重をてこの原理を用いて付加する構造になっている。図３の例では、励磁コイル１Ａ，１Ｂおよび超磁歪素子２Ａ，２Ｂの作用点３２側の各可動部３に孔３ａが穿設され、両孔３ａに棒状の予荷重付加用部材４Ａが挿通されている。そして、予荷重付加用部材４Ａの両端に、外形寸法が大きい端部４１Ａが固着され、各端部４１Ａと可動部３との間に、予荷重付加用部材４Ａに挿通された予荷重付加バネ４２Ａが設けられている。
【００３１】
このような構造の超磁歪リニアアクチュエータによれば、てこの原理により、予荷重を増幅することができ、調整の幅が広がる。また、予荷重を超磁歪素子の伸縮方向に設置する必要がなく、横幅を小さくすることができる。
【００３２】
（第４実施形態）
図４は本発明に係る第４実施形態の超磁歪リニアアクチュエータの構成図、図５は同超磁歪リニアアクチュエータの特徴となる閉磁路の説明図、図６は同超磁歪リニアアクチュエータの比較対照となる閉磁路の説明図である。
【００３３】
第４実施形態の超磁歪リニアアクチュエータは、第１実施形態との相違点として、図４に示すように、一対の可動部３間に設けられこれらの間の励磁コイル１および超磁歪素子２を介して支持体５と対向する、例えば鉄製の磁路バイパス６を備え、一対の可動部３および支持体５は磁性体であり、超磁歪素子２、一対の可動部３、支持体５および磁路バイパス６により閉磁路を形成する構造になっている。
【００３４】
このような構造の超磁歪リニアアクチュエータによれば、図５に示すように閉磁路が形成されるから、図６に示す開磁路のものよりも磁気回路の磁気抵抗が減少し、超磁歪素子２を伸縮させるために必要な交番磁界を発生させる電流を抑えることができるため、高効率化を図ることができる。
【００３５】
なお、第４実施形態では、磁路バイパス６を第１実施形態の超磁歪リニアアクチュエータに設けた構造になっているが、図７に示すように、磁路バイパス６を第２実施形態の超磁歪リニアアクチュエータに設ける構造にしてもよい。この構造でも、図８に示すように閉磁路が形成されるから、図９に示す開磁路のものよりも磁気回路の磁気抵抗が減少し、超磁歪素子２Ａ，２Ｂを伸縮させるために必要な交番磁界を発生させる電流を抑えることができるため、高効率化を図ることができる。ただし、図７における固定部材５２も磁性体になる。
【００３６】
（第５実施形態）
図１０は本発明に係る第５実施形態の超磁歪リニアアクチュエータの外観図、図１１は同超磁歪リニアアクチュエータの構成図、図１２は同超磁歪リニアアクチュエータを出力部側から見た図である。
【００３７】
第５実施形態の超磁歪リニアアクチュエータは、第４実施形態との相違点として、磁路バイパスと一対の可動部との間の空隙が、可動部の運動に依らず一定となることを特徴とする。図１０〜図１２の例では、磁路バイパス６Ａは２枚の平行磁性体により成っている。
【００３８】
ここで、磁路バイパス６Ａから可動部３、可動部３から磁路バイパス６Ａへの磁束の流れに対して可動部３の運動方向を垂直にすることにより、磁路中の空隙を一定とする。
【００３９】
図４，図７の構造では、可動部３の運動により磁路中の空隙が大きくなり、磁路の磁気抵抗が増加するが、第５実施形態によれば、可動部３の運動に対して磁路中の空隙が一定となり、安定的に高効率化を図ることができる。
【００４０】
なお、第５実施形態では、磁路バイパス６Ａを図４の超磁歪リニアアクチュエータに設けた構造になっているが、図１３〜図１５に示すように、磁路バイパス６Ａを図７の超磁歪リニアアクチュエータに設けてもよい。この構造でも安定的に高効率化を図ることができる。
【００４１】
また、図１０〜図１５の例では、磁路バイパス６Ａは２枚の平行磁性体により成るが、図１６に示すようなＨ字状の磁性体により磁路バイパス６Ｂを形成するようにしてもよい。この構造でも安定的に高効率化を図ることができる。
【００４２】
（第６実施形態）
図１７は本発明に係る第６実施形態の超磁歪リニアアクチュエータの外観図、図１８は同超磁歪リニアアクチュエータの構成図である。
【００４３】
第６実施形態の超磁歪リニアアクチュエータは、図１７，図１８に示すように、磁性材料により一の開口点（支点）７ａを持つ断面Ｃ字状に形成されるヨーク７を備えているとともに、極性が交番する磁界を発生させるための励磁コイル１と、この励磁コイル１による極性が交番する磁界の強さによって長さが弾性変化する超磁歪素子２と、ヨーク７の開口点７ａから一部３２Ａが外部に突出する可動部３Ａと、超磁歪素子２の長さが弾性変化する方向におけるその超磁歪素子２の両側に予荷重を与える一対の予荷重皿バネ４とをヨーク７の内部に備えている。
【００４４】
励磁コイル１および超磁歪素子２は、可動部７の残部３１Ａの両側に設けられる２組の励磁コイル１Ａ，１Ｂおよび超磁歪素子２Ａ，２Ｂにより構成され、各予荷重皿バネ４は、ヨーク７の内壁に固定されて、一方の組みの超磁歪素子２Ａの一端と他方の組みの超磁歪素子２Ｂの一端とに予荷重を与え、可動部３Ａが自己の残部３１Ａ先端寄りで２組の超磁歪素子２Ａ，２Ｂにより狭持される構造になっている。
【００４５】
ここで、超磁歪素子２Ａ，２Ｂは、一方の超磁歪素子が伸びている時にもう一方の超磁歪素子が縮んだ状態となるように励磁される。これにより、２つの超磁歪素子の伸縮に応じてその伸縮方向に可動部３Ａが運動する。なお、各超磁歪素子と接する、可動部３Ａの残部３１Ａの点が動作点であり、可動部３Ａの一部３２Ａの先端が作用点となる。また、開口点（支点）７ａと作用点との間の距離は、開口点（支点）７ａと動作点との間の距離よりも長く設定される。
【００４６】
このような構造の超磁歪リニアアクチュエータでは、２組の励磁コイル１Ａ，１Ｂに交互に通電することにより可動部３Ａが往復動するが、可動部３Ａがどちらの方向に運動しているときでも超磁歪素子による駆動力が生じる。また、ほぼ閉磁路構造であるから、高効率化を図ることができる。
【００４７】
なお、第６実施形態では、磁気バイアスをかけない構成になっているが、磁石または直流電流により磁気バイアスをかける構成でもよい。磁気バイアスをかけると、励磁電流の周波数と同じ周波数で可動部が運動する。
【００４８】
また、ヨーク全体の構造は、図１７に示すように箱形に限らず、Ｃ字状の筒形でもよい。
【００４９】
【発明の効果】
以上のことから明らかなように、請求項１記載の発明によれば、極性が交番する磁界を発生させるための励磁コイルと、この励磁コイルによる極性が交番する磁界の強さによって長さが弾性変化する超磁歪素子と、この超磁歪素子の長さが弾性変化する方向におけるその超磁歪素子の両側にそれぞれ設けられる一対の可動部と、これら一対の可動部に対し超磁歪素子側へ予荷重を与える付加手段とを備え、各可動部の作用点となる一端と他端との間の支点寄りの両可動部に上記超磁歪素子の両端がそれぞれ接するので、可動部の作用点の振動方向と超磁歪素子の伸縮方向とが一致し、そして一対の可動部が互いに逆方向に運動するので、各運動による振動がキャンセルされることになり、振動の小さな超磁歪リニアアクチュエータを実現することができる。
【００５０】
請求項２記載の発明によれば、請求項１記載の超磁歪リニアアクチュエータにおいて、励磁コイルおよび超磁歪素子は、固定部材の両側に設けられる２組の励磁コイルおよび超磁歪素子により構成され、一方の組みの超磁歪素子の一端と他方の組みの超磁歪素子の一端とが一対の可動部とそれぞれ接するのであり、この構造でも、振動が小さくなる。
【００５１】
請求項３記載の発明によれば、請求項２記載の超磁歪リニアアクチュエータにおいて、付加手段が、超磁歪素子への予荷重を各可動部における上記超磁歪素子の両端が接する部位よりも支点寄りの位置に付加するので、てこの原理により、予荷重を増幅することができ、調整の幅が広がる。
【００５２】
請求項４記載の発明によれば、請求項１または２記載の超磁歪リニアアクチュエータにおいて、一対の可動部をこれらの各他端側で支持するとともに一対の可動部間の励磁コイルおよび超磁歪素子を支持する支持体と、一対の可動部間に設けられこれらの間の励磁コイルおよび超磁歪素子を介して支持体と対向する磁性部材とを備え、一対の可動部および支持体は磁性体であり、超磁歪素子、一対の可動部、支持体および磁性部材により閉磁路を形成するので、開磁路よりも磁気回路の磁気抵抗が減少し、超磁歪素子を伸縮させるために必要な交番磁界を発生させる電流を抑えることができるため、高効率化を図ることができる。
【００５３】
請求項５記載の発明によれば、請求項４記載の超磁歪リニアアクチュエータにおいて、磁性部材が、一対の可動部の運動方向を含む平面と直交する方向において、一定の空隙を介して一対の可動部に対向するように配置されるので、安定的に高効率化を図ることができる。
【００５４】
請求項６記載の発明によれば、磁性材料により一の開口点を持つ断面Ｃ字状に形成されるヨークを備えるとともに、極性が交番する磁界を発生させるための励磁コイルと、この励磁コイルによる極性が交番する磁界の強さによって長さが弾性変化する超磁歪素子と、ヨークの開口点から一部が外部に突出する可動部と、超磁歪素子の長さが弾性変化する方向におけるその超磁歪素子の両側に予荷重を付加する付加手段とを上記ヨークの内部に備え、励磁コイルおよび超磁歪素子は可動部の残部の両側に設けられる２組の励磁コイルおよび超磁歪素子により構成され、付加手段はヨークの内壁に固定されて一方の組みの超磁歪素子の一端と他方の組みの超磁歪素子の一端とに予荷重を与え、可動部が自己の残部先端寄りで２組の超磁歪素子により狭持されるので、２つの励磁コイルに交互に通電することにより可動部が往復動するが、可動部がどちらの方向に運動しているときでも超磁歪素子による逆向きの駆動力が生じるから、振動の小さな超磁歪リニアアクチュエータを実現することができる。また、閉磁路構造であるから、高効率化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る第１実施形態の超磁歪リニアアクチュエータの構成図である。
【図２】本発明に係る第２実施形態の超磁歪リニアアクチュエータの構成図である。
【図３】本発明に係る第３実施形態の超磁歪リニアアクチュエータの構成図である。
【図４】本発明に係る第４実施形態の超磁歪リニアアクチュエータの構成図である。
【図５】同超磁歪リニアアクチュエータの特徴となる閉磁路の説明図である。
【図６】同超磁歪リニアアクチュエータの比較対照となる閉磁路の説明図である。
【図７】図４中の磁路バイパスを図２の超磁歪リニアアクチュエータに設けた場合の構造を示す図である。
【図８】同超磁歪リニアアクチュエータの特徴となる閉磁路の説明図である。
【図９】同超磁歪リニアアクチュエータの比較対照となる閉磁路の説明図である。
【図１０】本発明に係る第５実施形態の超磁歪リニアアクチュエータの外観図である。
【図１１】同超磁歪リニアアクチュエータの構成図である。
【図１２】同超磁歪リニアアクチュエータを出力部側から見た図である。
【図１３】図１０〜図１２中の磁路バイパスを図２の超磁歪リニアアクチュエータに設けた場合の外観図である。
【図１４】同超磁歪リニアアクチュエータの構成図である。
【図１５】同超磁歪リニアアクチュエータを出力部側から見た図である。
【図１６】別の磁路バイパスの構造例を示す図である。
【図１７】本発明に係る第６実施形態の超磁歪リニアアクチュエータの外観図である。
【図１８】同超磁歪リニアアクチュエータの構成図である。
【図１９】従来の超磁歪アクチュエータの構成図である。
【図２０】同超磁歪アクチュエータの磁束の流れを示す図である。
【図２１】特願２００１−２６２８７５で提案されている超磁歪リニアアクチュエータの構成図である。
【図２２】特願２００１−２６２８７５で提案されているカウンタ動作を実現した超磁歪リニアアクチュエータの構成図である。
【符号の説明】
１，１Ａ，１Ｂ  励磁コイル
２，２Ａ，２Ｂ  超磁歪素子
３，３Ａ  可動部
４  予荷重皿バネ
４Ａ  予荷重付加用部材
４２Ａ  予荷重付加バネ
５  支持体
５２  固定部材
６，６Ａ，６Ｂ  磁路バイパス
７  ヨーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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