(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体磁器組成物からなる誘電体層と、該誘電体層を挟持している内部電極と、該内部電極に電気的に接続されている外部電極とを備え、該誘電体磁器組成物が所定の成分元素の濃度を異にする２種以上のセラミック粒子からなり、前記所定の成分元素は前記内部電極間で濃度勾配を有し、前記所定の成分元素は前記内部電極に近いセラミック粒子程濃度が高くなる濃度勾配を有し、前記所定の成分元素がＭｎであることを特徴とする磁器コンデンサ。
【請求項２】
誘電体磁器組成物からなる誘電体層と、該誘電体層を挟持している内部電極と、該内部電極に電気的に接続されている外部電極とを備え、該誘電体磁器組成物が所定の成分元素の濃度を異にする２種以上のセラミック粒子からなり、前記所定の成分元素は前記内部電極間で濃度勾配を有し、前記所定の成分元素は前記内部電極に近いセラミック粒子程濃度が高くなる濃度勾配を有し、前記所定の成分元素がＭｎ及び希土類元素であることを特徴とする磁器コンデンサ。
【請求項３】
セラミック原料を調整するセラミック原料調整工程と、セラミック原料を用いてセラミックグリーンシートを形成するシート形成工程と、該セラミックグリーンシートに導電性ペーストからなる内部電極パターンを印刷する印刷工程と、該内部電極パターンを印刷したセラミックグリーンシートを積層して積層体を得る積層工程と、該積層体を内部電極パターン毎に裁断してチップ状の積層体を得る裁断工程と、該チップ状の積層体を非酸化性雰囲気中で焼成する焼成工程と、該焼成工程を経た該積層体を酸化性雰囲気中で焼成する再酸化工程とを備え、該導電性ペーストがＭｎを前記セラミックグリーンシートより多く含むことを特徴とする磁器コンデンサの製造方法。
【請求項４】
セラミック原料を調整するセラミック原料調整工程と、セラミック原料を用いてセラミックグリーンシートを形成するシート形成工程と、該セラミックグリーンシートに導電性ペーストからなる内部電極パターンを印刷する印刷工程と、該内部電極パターンを印刷したセラミックグリーンシートを積層して積層体を得る積層工程と、該積層体を内部電極パターン毎に裁断してチップ状の積層体を得る裁断工程と、該チップ状の積層体を非酸化性雰囲気中で焼成する焼成工程と、該焼成工程を経た該積層体を酸化性雰囲気中で焼成する再酸化工程とを備え、前記導電性ペーストがＭｎ及び希土類元素を前記セラミックグリーンシートより多く含むことを特徴とする磁器コンデンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、温度特性及び寿命特性に優れた磁器コンデンサとその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、磁器コンデンサはチップ状の素体と、該素体の両側に形成された一対の電極とからなる。積層タイプの磁器コンデンサの場合、該素体は一般に誘電体層と内部電極とが交互に多数層積層された積層体からなる。該内部電極のうち、隣り合う内部電極は誘電体層を介して対向し、別々の外部電極と電気的に接続されている。
【０００３】
ここで、前記誘電体層としては、例えばチタン酸ジルコン酸バリウム｛Ｂａ（ＴｉＺｒ）Ｏ３｝を主成分とし、これに希土類元素を添加した、耐還元性を有する誘電体磁器組成物が使用されている。また、前記内部電極としては、例えばＮｉ金属粉末を主成分とする導電性ペーストを焼結させたものが使用されている。
【０００４】
前記素体は、セラミックグリーンシートと内部電極パターンとを交互に一体的に積層させたチップ状の積層体を脱バインダした後、非酸化性雰囲気中において１２００〜１３００℃程度の高温で焼成し、その後、弱酸化性雰囲気中で再酸化させることにより製造されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、電子機器の性能向上のため、磁器コンデンサについて、温度特性や寿命特性の良いものが求められ、そのため、種々の磁器コンデンサが提案されている。
【０００６】
しかし、近年における電子機器の性能の向上に対する要求はとどまるところがなく、そのため、電子部品の電気的特性に対する要求も益々厳しいものがあり、磁器コンデンサについても、その電気的特性に対する要求は益々厳しいものがあり、特に、温度特性や寿命特性の更に良いものが求められている。
【０００７】
本発明は、温度特性及び寿命特性に優れた磁器コンデンサとその製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る磁器コンデンサは、誘電体磁器組成物からなる誘電体層と、該誘電体層を挟持している内部電極と、該内部電極に電気的に接続されている外部電極とを備え、該誘電体磁器組成物が所定の成分元素の濃度を異にする２種以上のセラミック粒子からなることを特徴とするものである。
【０００９】
ここで、前記所定の成分元素は前記内部電極間で濃度勾配を有していてもよい。ここで、所定の成分元素について濃度勾配を有するとは、内部電極に近付くにつれて、又は遠ざかるにつれて所定の成分元素の濃度が連続的に増加又は減少することをいう。また、あるセラミック粒子について、特定の成分元素の濃度が高くなるにつれて他の成分元素の濃度が低くなってもよいし、その逆でもよい。更に、セラミック粒子内における所定の成分元素の濃度は均一でもよいし、表面近傍と内部で濃度勾配を有していてもよい。
【００１０】
前記所定の成分元素はＢａ、Ｔｉ，Ｚｒ，希土類元素，Ｍｎ，Ｓｉ，Ｃｒ，Ｖ，Ｃｏ，Ｍｏ及びＷから選択された１種又は２種以上を挙げることができるが、磁器コンデンサの寿命特性を良好ならしめるものであればこれら以外の元素でもよい。
【００１１】
また、この発明に係る磁器コンデンサの製造方法は、基本工程として、セラミック原料を調整するセラミック原料調整工程と、セラミック原料を用いてセラミックグリーンシートを形成するシート形成工程と、該セラミックグリーンシートに導電性ペーストからなる内部電極パターンを印刷する印刷工程と、該内部電極パターンを印刷したセラミックグリーンシートを積層して積層体を得る積層工程と、該積層体を内部電極パターン毎に裁断してチップ状の積層体を得る裁断工程と、該チップ状の積層体を非酸化性雰囲気中で焼成する焼成工程と、該焼成工程を経た該積層体を弱酸化性雰囲気中で焼成する再酸化工程とを備えている。
【００１２】
そして、この発明に係る一の磁器コンデンサの製造方法は、該原料調製工程が、２種以上の化合物、例えばＨｏ２Ｏ３とＭｎ３Ｏ４、を仮焼してなる添加成分粉末を形成する工程と、強誘電性を有する主成分粉末と該添加成分粉末とを混合する工程とを備え、他の磁器コンデンサの製造方法は、該原料調製工程が、強誘電性を有する２種以上の主成分粉末、例えばＢａＴｉＯ３とＢａＺｒＯ３、を混合する工程を備え、この発明に係る更に他の磁器コンデンサの製造方法は、該導電性ペーストが成分元素を含み、該成分元素はＢａ，Ｔｉ，Ｚｒ，希土類元素，Ｍｎ，Ｓｉ，Ｃｒ，Ｖ，Ｃｏ，Ｍｏ及びＷから選択された１種又は２種以上からなることを特徴とするものである。
【００１３】
【実施例】
実施例１：  まず、ＢａＴｉ0.854Ｚｒ0.146Ｏ3粉末を合成し、これをポットミルで解砕し、粒径Ｄ５０（％）＝０．５５μｍの主成分粉末を得た。また、Ｈｏ2Ｏ3を２９．６ｇ、Ｍｎ3Ｏ4を９．６ｇ、各々秤量し、これらをビーズとともにポットミルに入れ、湿式で攪拌・混合し、得られたスラリーを取り出して乾燥させ、これを１０００℃で２時間仮焼してＨｏ−Ｍｎの仮焼物を得た。次に、このＨｏ−Ｍｎの仮焼物をビーズとともにポットミルに入れ、乾式で粉砕し、粒度Ｄ５０（％）＝１．５μｍの添加成分粉末を得た。
【００１４】
次に、主成分｛ＢａＴｉ0.854Ｚｒ0.146Ｏ3｝粉末５００ｇにＳｉＯ2を１．２６ｇ添加し、これらをＺｒＯ2ビーズとともにポットミルに入れ、湿式で攪拌・混合し、粒度Ｄ５０（％）が０．４６μｍになったとき、先に準備した添加成分（Ｈｏ−Ｍｎ仮焼物）粉末を３．９２ｇ添加し、１時間・攪拌・混合し、得られたスラリーを取り出して乾燥させ、誘電体材料粉末を得た。なお、前記各粉末の粒度Ｄ５０（％）はレーザー回折粒度分布計によって測定した。
【００１５】
次に、この誘電体材料粉末１０００ｇ（１００重量部）に、アクリル酸エステルポリマー、グリセリン、縮合リン酸塩の水溶液からなる有機バインダーを１５重量％添加し、更に、５０重量％の水を加え、これらをボールミルに入れ、粉砕及び混合してスラリーを作成した。
【００１６】
次に、このスラリーを真空脱泡機に入れて脱泡した後、リバースロールコータに入れ、ポリエステルフィルム上にこのスラリーからなる薄膜を形成した。そして、この薄膜をポリエステルフィルム上で１００℃に加熱して乾燥させ、打ち抜き、厚さ約５μｍで、１０ｃｍ×１０ｃｍの正方形のグリーンシートを得た。
【００１７】
一方、平均粒径が０．５μｍのニッケル粉末１０ｇと、エチルセルロース０．９ｇをブチルカルビトール９．１ｇに溶解させたものとを撹拌機に入れ、１０時間撹拌して、内部電極用の導電性ペーストを得た。そして、上記グリーンシートにこの導電性ペーストからなる導電パターンを印刷し、乾燥させた。
【００１８】
次に、上記導電パターンの印刷面を上にしてグリーンシートを１１枚積層した。この際、隣接する上下のシートにおいて、その印刷面がパターンの長手方向に約半分程ずれるように配置した。更に、この積層物の上下両面に導電パターンの印刷の施されていないグリーンシートを積層した。
【００１９】
次に、この積層物を約５０℃の温度で厚さ方向に約４０トンの圧力を加えて圧着させ、その後、この積層物を格子状に裁断し、縦４．０ｍｍ×横２．０ｍｍの積層チップを得た。
【００２０】
次に、内部電極が露出する積層チップの端面にＮｉ外部電極をディップで形成し、この積層チップを雰囲気焼成が可能な炉に入れ、Ｎ２雰囲気中で加熱して有機バインダを除去させ、続いて、酸素分圧が１０−５〜１０−１０ａｔｍの条件下、１２６０℃〜１３６０℃で１〜５時間焼成し、その後、Ｎ２雰囲気下、６００〜８００℃で再酸化処理を行ない、積層磁器コンデンサを得た。
【００２１】
次に、積層磁器コンデンサの誘電体層を形成しているセラミック粒子３０〜５０個についてＴＥＭ−ＥＤＳを用いて成分組成を分析し、その結果をＨｏとＭｎの濃度に注目して３種（粒子Ａ，Ｂ，Ｃ）に分類したところ、表１の実施例１の欄に示すようになった。そして、粒子Ａ／粒子Ｂ／粒子Ｃの組成比は３５／２６／３９であった。
【００２２】
なお、この誘電体層は図１に示すような微細構造になっていると考えられる。また、表１の各組成値は、セラミック粒子の一粒を３点分析して得られた３個の組成値の平均値である。
【００２３】
次に、得られた積層磁器コンデンサの電気的特性を測定したところ、表２に示す通りであった。
【００２４】
電気的特性は次の要領で測定した。
【００２５】
(A) 比誘電率εは、温度２０℃、周波数１ｋＨｚ、電圧（実効値）１．０Ｖの条件で静電容量を測定し、この測定値と、一対の内部電極１４の対向面積と、一対の内部電極間の誘電体磁器層の厚さから計算で求めた。
【００２６】
(B) 誘電損失ｔａｎδ（％）は、上記した比誘電率の測定の場合と同一の条件で測定した。
【００２７】
(Ｃ) 容量変化率ΔＣ（％）は、恒温槽の中に試料を入れ、−２５℃及び＋８５℃の各温度において、周波数１ｋＨｚ、電圧（実効値）１．０Ｖの条件で静電容量を測定し、２０℃の静電容量に対する静電容量の変化率を求めることによって得た。
【００２８】
(D) 加速寿命（ｓｅｃ）は、１５０℃／２０Ｖ／μｍの直流電界下にて絶縁抵抗率（ρ）が１×１０１０Ωｃｍになるまでの時間を測定して得た。
【００２９】
実施例２：  まず、ＢａＴｉＯ３とＢａＺｒＯ３を合成し、これらを各々粉砕して粒度Ｄ５０（％）＝０．５２μｍのＢａＴｉＯ３と、粒度Ｄ５０（％）＝０．６５μｍのＢａＺｒＯ３を形成した。
【００３０】
次に、ＢａＴｉＯ３２２９．４５ｇ，ＢａＺｒＯ３２７０．５５ｇ，Ｈｏ２Ｏ３２．９６ｇ，ＳｉＯ２１．２６ｇ，Ｍｎ３Ｏ４０．９６ｇを秤量し、これらをＺｒＯ２ビーズとともにポットミルに入れ、粒度Ｄ５０（％）＝０．４８μｍになるまで湿式で撹拌・混合し、得られたスラリーを取り出して乾燥させ、誘電体材料粉末を得た。
【００３１】
次に、実施例１と同様にして積層磁器コンデンサを作成し、誘電体層を形成しているセラミック粒子３０〜５０個についてＴＥＭ−ＥＤＳを用いて成分組成を分析し、その結果をＴｉとＺｒの濃度に注目して３種（粒子Ｄ，Ｅ，Ｆ）に分類をしたところ、表１に示すようになった。そして、粒子Ｄ，粒子Ｅ，粒子Ｆの組成比は２９／４０／３１であった。この誘電体層も図１に示すような微細構造をしているものと考えられる。ただし、図１中、粒子Ａは粒子Ｄと、粒子Ｂは粒子Ｅと、粒子Ｃは粒子Ｆと置き換えて考える。
【００３２】
次に、得られた積層磁器コンデンサの電気的特性を実施例１と同様にして測定したところ、表２に示す通りであった。
【００３３】
比較例１：  予め合成し、解砕したＢａＴｉ0.854Ｚｒ0.146Ｏ3｛Ｄ５０（％）＝０．５３μｍ｝５００ｇにＨｏ２Ｏ３２．９６ｇ，ＳｉＯ２１．２６ｇ，Ｍｎ３Ｏ４０．９６ｇを添加し、これらをＺｒＯ2ビーズとともにポットミルに入れ、湿式で攪拌・混合し、粒度Ｄ５０（％）＝０．４５μｍとなるまで撹拌・混合し、得られたスラリーを取り出して乾燥させ、誘電体材料粉末を得た。
【００３４】
次に、実施例１と同様にして積層磁器コンデンサを作成し、誘電体層を形成しているセラミック粒子３０〜５０個についてＴＥＭ−ＥＤＳを用いて成分組成を分析したところ、表１の比較例１に示すようになった。この誘電体層の微細構造は図３に示すようになっていると考えられる。
【００３５】
次に、得られた積層磁器コンデンサの電気的特性を実施例１と同様にして測定したところ、表２に示す通りであった。
【００３６】
実施例３：  予め合成し、解砕したＢａＴｉ0.854Ｚｒ0.146Ｏ3｛Ｄ５０（％）＝０．５３μｍ｝５００ｇにＨｏ２Ｏ３２．９６ｇ，ＳｉＯ２１．２６ｇ，Ｍｎ３Ｏ４０．９６ｇを添加し、これらをＺｒＯ2ビーズとともにポットミルに入れ、湿式で攪拌・混合し、粒度Ｄ５０（％）＝０．４５μｍとなるまで撹拌・混合し、得られたスラリーを取り出して乾燥させ、誘電体材料粉末を得た。そして、実施例１と同様にしてグリーンシートを形成した。
【００３７】
一方、平均粒径が０．５μｍのニッケル粉末１０ｇと、エチルセルロース０．９ｇをブチルカルビトール９．１ｇに溶解させたものと、添加材（焼結遅延材）２．５ｇを撹拌機に入れ、１０時間撹拌して、内部電極用の導電性ペーストを得た。添加材としてはＺｒＯ２が上記グリーンシートより２０ｍｏｌ％多い材料を用いた。そして、上記グリーンシートにこの導電性ペーストからなる導電パターンを印刷し、乾燥させた。
【００３８】
そして、実施例１と同様にして積層磁器コンデンサを作成し、誘電体層を形成しているセラミック粒子３０〜５０個についてＴＥＭ−ＥＤＳを用いて成分組成を分析したところ、表１の実施例３に示すようになった。また、得られた積層磁器コンデンサの電気的特性を実施例１と同様にして測定したところ、表２に示す通りであった。なお、この誘電体層の微細構造は図２に示すような微細構造になっていると考えられる。
【００３９】
実施例４：  予め合成し、解砕したＢａＴｉ0.854Ｚｒ0.146Ｏ3｛Ｄ５０（％）＝０．５３μｍ｝５００ｇにＨｏ２Ｏ３２．９６ｇ，ＳｉＯ２１．２６ｇ，Ｍｎ３Ｏ４０．９６ｇを添加し、これらをＺｒＯ2ビーズとともにポットミルに入れ、湿式で攪拌・混合し、粒度Ｄ５０（％）が０．４５μｍになるまで撹拌・混合し、得られたスラリーを取り出して乾燥させ、誘電体材料粉末を得た。そして、実施例１と同様にしてグリーンシートを形成した。
【００４０】
一方、平均粒径が０．５μｍのニッケル粉末１０ｇと、エチルセルロース０．９ｇをブチルカルビトール９．１ｇに溶解させたものと、添加材（焼結遅延材）２．５ｇを撹拌機に入れ、１０時間撹拌して、内部電極用の導電性ペーストを得た。添加材としてはＭｎ３Ｏ４が上記グリーンシートより２atomic％多い材料を用いた。そして、上記グリーンシートにこの導電性ペーストからなる導電パターンを印刷し、乾燥させた。
【００４１】
そして、実施例１と同様にして積層磁器コンデンサを作成し、誘電体層を形成しているセラミック粒子３０〜５０個についてＴＥＭ−ＥＤＳを用いて成分組成を分析したところ、表１に示すようになった。また、得られた積層磁器コンデンサの電気的特性を実施例１と同様にして測定したところ、表２に示す通りであった。なお、この誘電体層の微細構造も図２に示すような微細構造になっていると考えられる。ただし、図２中、粒子Ｈは粒子Ｋと、粒子Ｉは粒子Ｌと、粒子Ｊは粒子Ｍと置き換えて考える。
【００４２】
実施例５：  予め合成し、解砕したＢａＴｉ0.854Ｚｒ0.146Ｏ3｛Ｄ５０（％）＝０．５３μｍ｝５００ｇにＨｏ２Ｏ３２．９６ｇ，ＳｉＯ２１．２６ｇ，Ｍｎ３Ｏ４０．９６ｇを添加し、これらをＺｒＯ2ビーズとともにポットミルに入れ、湿式で攪拌・混合し、粒度Ｄ５０（％）＝０．４５μｍとなるまで撹拌・混合し、得られたスラリーを取り出して乾燥させ、誘電体材料粉末を得た。そして、実施例１と同様にしてグリーンシートを形成した。
【００４３】
一方、平均粒径が０．５μｍのニッケル粉末１０ｇと、エチルセルロース０．９ｇをブチルカルビトール９．１ｇに溶解させたものと、添加材（焼結遅延材）２．５ｇを撹拌機に入れ、１０時間撹拌して、内部電極用の導電性ペーストを得た。添加材としてはＭｎ，Ｃｒ，Ｃｏ，Ｖが上記グリーンシートより２atomic％多い材料を用いた。そして、上記グリーンシートにこの導電性ペーストからなる導電パターンを印刷し、乾燥させた。
【００４４】
そして、実施例１と同様にして積層磁器コンデンサを作成し、誘電体層を形成しているセラミック粒子３０〜５０個についてＴＥＭ−ＥＤＳを用いて成分組成を分析したところ、表１に示すようになった。また、得られた積層磁器コンデンサの電気的特性を実施例１と同様にして測定したところ、表２に示す通りであった。なお、この誘電体層の微細構造も図２に示すような微細構造になっていると考えられる。ただし、図２中、粒子Ｈは粒子Ｎと、粒子Ｉは粒子Ｏと、粒子Ｊは粒子Ｐと置き換えて考える。
【００４５】
実施例６：  予め合成し、解砕したＢａＴｉ0.854Ｚｒ0.146Ｏ3｛Ｄ５０（％）＝０．５３μｍ｝５００ｇにＨｏ２Ｏ３２．９６ｇ，ＳｉＯ２１．２６ｇ，Ｍｎ３Ｏ４０．９６ｇを添加し、これらをＺｒＯ2ビーズとともにポットミルに入れ、湿式で攪拌・混合し、粒度Ｄ５０（％）が０．４５μｍになるまで撹拌・混合し、得られたスラリーを取り出して乾燥させ、誘電体材料粉末を得た。そして、実施例１と同様にしてグリーンシートを形成した。
【００４６】
一方、平均粒径が０．５μｍのニッケル粉末１０ｇと、エチルセルロース０．９ｇをブチルカルビトール９．１ｇに溶解させたものと、添加材（焼結遅延材）２．５ｇを撹拌機に入れ、１０時間撹拌して、内部電極用の導電性ペーストを得た。添加材としてはＳｍ，Ｇｄ，Ｙが上記グリーンシートより２atomic％多い材料を用いた。そして、上記グリーンシートにこの導電性ペーストからなる導電パターンを印刷し、乾燥させた。
【００４７】
そして、実施例１と同様にして積層磁器コンデンサを作成し、誘電体層を形成しているセラミック粒子３０〜５０個についてＴＥＭ−ＥＤＳを用いて成分組成を分析したところ、表１に示すようになった。また、得られた積層磁器コンデンサの電気的特性を実施例１と同様にして測定したところ、表２に示す通りであった。なお、この誘電体層の微細構造も図２に示すような微細構造になっていると考えられる。ただし、図２中、粒子Ｈは粒子Ｑと、粒子Ｉは粒子Ｒと、粒子Ｊは粒子Ｓと置き換えて考える。
【００４８】
実施例７：  予め合成し、解砕したＢａＴｉ0.854Ｚｒ0.146Ｏ3｛Ｄ５０（％）＝０．５３μｍ｝５００ｇにＨｏ２Ｏ３２．９６ｇ，ＳｉＯ２１．２６ｇ，Ｍｎ３Ｏ４０．９６ｇを添加し、これらをＺｒＯ2ビーズとともにポットミルに入れ、湿式で攪拌・混合し、粒度Ｄ５０（％）が０．４５μｍになるまで撹拌・混合し、得られたスラリーを取り出して乾燥させ、誘電体材料粉末を得た。そして、実施例１と同様にしてグリーンシートを形成した。
【００４９】
一方、平均粒径が０．５μｍのニッケル粉末１０ｇと、エチルセルロース０．９ｇをブチルカルビトール９．１ｇに溶解させたものと、添加材（焼結遅延材）２．５ｇを撹拌機に入れ、１０時間撹拌して、内部電極用の導電性ペーストを得た。添加材としてはＭｏ，Ｗが上記グリーンシートより２atomic％多い材料を用いた。そして、上記グリーンシートにこの導電性ペーストからなる導電パターンを印刷し、乾燥させた。
【００５０】
そして、実施例１と同様にして積層磁器コンデンサを作成し、誘電体層を形成しているセラミック粒子３０〜５０個についてＴＥＭ−ＥＤＳを用いて成分組成を分析したところ、表１に示すようになった。また、得られた積層磁器コンデンサの電気的特性を実施例１と同様にして測定したところ、表２に示す通りであった。なお、この誘電体層の微細構造も図２に示すような微細構造になっていると考えられる。ただし、図２中、粒子Ｈは粒子Ｔと、粒子Ｉは粒子Ｕと、粒子Ｊは粒子Ｖと置き換えて考える。
【００５１】
【表１】
0004208448.tif 000002
【００５２】
【表２】
0004208448.tif 000003
【００５３】
表１，２から、誘電体層を構成している誘電体磁器組成物が成分組成を異にする粒子から構成される場合、磁器コンデンサの寿命特性が良好になることがわかる。
【００５４】
【発明の効果】
本発明によれば、電気的特性の良い、特に寿命特性に優れた磁器コンデンサを得ることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１，２に係る誘電体層の微細構造を模式的に示した説明図である。
【図２】実施例３〜７に係る誘電体層の微細構造を模式的に示した説明図である。
【図３】比較例１に係る誘電体層の微細構造を模式的に示した説明図である。
【図１】
0004208448.tif 000004
【図２】
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【図３】
0004208448.tif 000006