(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
バンプを有する被検査対象に対し、該バンプの形成面と所定角度をなす斜め方向から第一照射光を当て、
該被検査対象からの第一反射光を結像させ、該バンプからの第一反射光により構成される反射領域である第一正反射領域及び多重反射領域を含む第一反射画像と、該第一正反射領域に対応する該バンプの高さデータを取得し、
該第一反射画像における該第一正反射領域及び該多重反射領域の位置を、該高さデータの値と該所定角度とに基づいた値に応じて該第一反射画像の中で移動させ、
該第一反射画像から、該バンプの中心位置に対応する領域内に存在する該第一正反射領域を抽出し、抽出した該第一正反射領域に対応する該高さデータに基づいて該バンプの高さを検出することを特徴とするバンプ検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載のバンプ検査方法において、
前記高さデータの値がｈであって、前記所定角度がθであるとき、前記第一正反射領域及び前記多重反射領域をｈ／ｔａｎ（θ）に基づいた値に応じて移動させる
ことを特徴とするバンプ検査方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のバンプ検査方法において、
前記バンプの中心位置に対応する領域は、前記第一反射画像または予め用意されたデータに基づいて定められること
を特徴とするバンプ検査方法。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載のバンプ検査方法において、
前記被検査対象へ第二照射光を当て、
該被検査対象からの第二反射光を結像させて第二反射画像を取得し、
該第二反射画像の中の、前記バンプからの第二反射光により構成される反射領域である第二正反射領域に基づいて前記バンプの中心位置に対応する領域を定めること
を特徴とするバンプ検査方法。
【請求項５】
請求項４に記載のバンプ検査方法において、
前記被検査対象からの反射光から、波長選択フィルタを介して前記第一反射光と前記第二反射光とを選択的に得ること
を特徴とするバンプ検査方法。
【請求項６】
バンプを有する被検査対象に対し、該バンプの形成面と所定角度をなす斜め方向から第一照射光を当て、該被検査対象からの第一反射光を結像させ、該バンプからの第一反射光により構成される反射領域である第一正反射領域及び多重反射領域を含む第一反射画像と、該第一正反射領域に対応する該バンプの高さデータを取得する第一光学装置と、
該第一反射画像における該第一正反射領域及び該多重反射領域の位置を、該高さデータの値と該所定角度とに基づいた値に応じて第一反射画像の中で移動させ、該第一反射画像から該バンプの中心位置に対応する領域内に存在する該第一正反射領域を抽出し、抽出した該第一正反射領域に対応する該高さデータに基づいて該バンプの高さを検出する制御装置と、
を有することを特徴とするバンプ検査装置。
【請求項７】
請求項６記載のバンプ検査装置において、
前記被検査対象へ第二照射光を当て、該被検査対象からの第二反射光を結像させて第二反射画像を取得する第二光学装置を備え、
前記制御装置が、該第二反射画像の中の、前記バンプからの第二反射光により構成される反射領域である第二正反射領域に基づいて前記バンプの中心位置に対応する領域を定めること
を特徴とするバンプ検査装置。
【請求項８】
バンプを有する被検査対象に対し、該バンプの形成面と所定角度をなす斜め方向から第一照射光を当て、
該被検査対象からの第一反射光を結像させ、該バンプからの該第一反射光による反射領域及び多重反射領域を含む第一反射画像と、該反射領域及び該多重反射領域に対応する高さデータを取得し、
該第一反射画像における該反射領域及び該多重反射領域の位置を、該高さデータの値と該所定角度とに基づいた値に応じて該第一反射画像の中で移動させ、
該移動後の該第一反射画像をマスクし、該バンプの中心位置に対応する領域にウィンドウを設けて、該バンプからの第一反射光により構成される反射領域である第一正反射領域を抽出し、抽出後の該第一正反射領域に対応する該高さデータに基づいて該バンプの高さを検出すること
を特徴とするバンプ検査方法。
【請求項９】
バンプを有する被検査対象に対し、該バンプの形成面と所定角度をなす斜め方向から第一照射光を当て、
該被検査対象からの第一反射光を結像させ、該バンプからの該第一反射光による構成される反射領域である第一正反射領域及び多重反射領域を含む第一反射画像と、該第一正反射領域及び該多重反射領域に対応する該バンプの高さデータを取得し、
該第一正反射領域及び該多重反射領域に対応する該高さデータの位置を、該高さデータの値と該所定角度とに基づいた値に応じて該第一反射画像に対応する高さデータ領域の中で移動させ、
該高さデータ領域から該バンプの中心位置に対応する領域内に存在する該高さデータを抽出し、抽出した該高さデータに基づいて該バンプの高さを検出すること
を特徴とするバンプ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、バンプを有する被検査対象、特にフリップチップボンディング方式等の、表面にバンプを設けたチップまたはウェーハ、ＢＧＡ等の、実装端子としてバンプを有するパッケージのバンプの高さを検査するバンプ検査方法とその装置に関する。
【０００２】
近年、ＬＳＩチップの入出力端子を高密度に実装できる構造として、接続端子にバンプを用いたフリップチップボンディングやパッケージが注目されている。
【０００３】
しかし、バンプの形成時においてその大きさにばらつきが生ずると、チップまたはパッケージの実装時において、隣接するバンプ間の短絡や実装基板への接続不良をおこす原因となる。
【０００４】
このような問題を防止するためには、実装前において予めバンプの欠陥を発見する必要がある。ところが、種類によってはチップ上にバンプが数千個以上形成されているものも存在し、この場合目視による検査はほとんど不可能である。従って、バンプの欠陥を自動的に検査できる装置が必要とされている。
【０００５】
【従来の技術】
図８は、従来のバンプ検査装置の構成を示す図である。図中、１はウェーハ、２はウェーハ１上に形成されたバンプ、２６はウェーハ１を載置する移動可能な検査ステージ、１０はレーザ発振器であり照射光３となるレーザ光を発生するもの、１１は走査器であり照射光３を一定方向に走査するもの、１２は走査された照射光３をバンプ２に照射するための対物レンズ、１３はバンプ２で反射された反射光を受ける対物レンズ、１４は対物レンズ１３からの光を受け、その結像位置と明るさを電気信号により出力するＰＳＤ（Ｐｏｓｉｔｉｏｎ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ  Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）である。
【０００６】
次に、このバンプ検査装置の動作を説明する。
【０００７】
レーザ発振器１０からの照射光３を、走査器１１により図面に対して垂直方向（主走査方向）に走査し、その走査光を対物レンズ１２によりバンプ２が形成されたウェーハ１面に照射する。ウェーハ１面から反射した光は対物レンズ１３を経てＰＳＤ１４に結像する。ＰＳＤ１４は、結像した光点位置と光の明るさに対応する電気信号を出力する。また、走査器１１が走査を行う毎に、ステージ２６を図面と水平な方向（副走査方向）に移動させることにより、照射光３をウェーハ１の被検査範囲全面を走査する。ここで、ＰＳＤ１４に結像する反射光４の光点位置はバンプ２の高さにより変化するものであるため、照射光３の走査位置とＰＳＤ１４からの出力信号によりバンプ２の高さを検出することができる。なお、このような三角測量の技術を使用してバンプを測る公知技術としては、例えば、特開平６−１３７８２５号公報に示されるものがある。
【０００８】
次に、被検査範囲の全面を走査した場合の、ＰＳＤ１４からの画像と高さプロファイルについて図９を参照しながら説明する。
【０００９】
はじめに、図９（ａ）について説明する。図９（ａ）は、ＰＳＤ１４からの反射光４の明るさを示す信号を図示しないメモリに逐次記憶させた結果できた画像（反射画像）である。ここでは、説明の簡単化のため、図１に示されるように、バンプ２が１個であって周囲に他のバンプが存在しない場合を想定して説明する。また、バンプ影６は、実際は瓢箪型の形状となるが、本発明の説明と関係しないため楕円として図示する。
【００１０】
図中、５は正反射領域であり、照射光３がバンプ２の頂点付近において正反射した反射光４がＰＳＤ１４の位置に結像した明るい領域を示す。また、６はバンプ影であり、ＰＳＤに反射光３が届かない領域である。また、バンプ影６の周囲は、ウェーハ１表面に反射された反射光４により明るい領域となる。この画像は、照射光３がバンプ２の形成面に対して斜め方向から照射され反射光４から構成される画像であるため、バンプ２の頂点付近で正反射した反射光４は、反射画像において、正反射領域５に示されるように、バンプ影６の中に照射光３の進行方向に沿ってずれて現れる。
【００１１】
この反射画像についてａ−ａ’線上での高さプロファイルを示したものが図９（ｂ）である。図中、横軸は位置を示し、縦軸は高さプロファイルを示す。高さプロファイルは、照射光３の走査位置とＰＳＤ１４の光点位置から求められた走査点ごとの高さデータを逐次メモリに記憶させることにより作成されるものである。
【００１２】
なお、図９（ｂ）においては、正反射領域５に対応する部分のみ高さプロファイルが高くなっており、その他のバンプ影６の領域に対応する部分については便宜的に低く示してあるが、実際には、バンプ影６に対応する領域においては、高さデータ自体を取得することができないため高さプロファイルが存在しない。即ち、バンプ影６の中において高さデータを取得できる領域は、反射光４がＰＳＤ１４に結像する正反射領域５のみである。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
従来技術の問題点を、図１０〜図１３を参照しながら説明する。
【００１４】
前述のように、バンプが１つだけでその周囲には他のバンプが存在しない場合、反射画像において反射領域となる正反射領域５は一つであるため、バンプ２の高さを求める上で問題となることはない。しかし、通常ウェーハやパッケージ上には、所定ピッチで配置されたバンプが多数存在するため、照射光３が複数のバンプ間で多重に反射され、反射画像においても、正反射領域以外に多重反射による反射領域が多く現れる。
【００１５】
この多重反射には無数のパターンがあり、バンプの大きさ、ピッチ、照射光の方向によりいく通りにも変化するものであるが、特に代表的な例を以下に挙げ説明する。
【００１６】
図１０は、多重反射の例を示す図である。図１０（ａ）中、１はウェーハ、２ａ〜２ｃはバンプである。ここで、照射光３ａがバンプ２ｂの頂点付近に当たる場合、その反射光は反射光４ａとして反射される。しかし、照射光３ｂのような位置に照射光が走査された場合、反射光４ｂは、バンプ２ｂからバンプ２ａに反射した後ウェーハ１表面で反射され再びバンプ２ｂで反射した後に、図１で示した対物レンズ１３を介してＰＳＤ１４で結像する。
【００１７】
また、別の多重反射の例を図１０（ｂ）に示す。照射光が、照射光３ｂの位置に走査された場合、反射光４ｂは、バンプ２ｂからバンプ２ｃを経て対物レンズを介しＰＳＤで結像する。
【００１８】
上記の２つの例の多重反射を含む反射画像と高さプロファイルを図１１に示す。
【００１９】
図１１（ａ）は、多重反射領域を含む反射画像である。図中、５ａ〜５ｃは正反射領域であり、バンプの頂点付近において反射された反射光４により構成される領域である。５１ｂ、５２ｂ、５１ｃは多重反射領域であり、それぞれ図１０に示される多重反射により発生する反射領域である。また、６ａ〜６ｃはバンプ影であり、図１１（ａ）では一体化して現れる。
【００２０】
次に、図１１（ａ）に示される反射画像のａ−ａ’線上での高さプロファイルを図１１（ｂ）に示す。図中、横軸が位置、縦軸が高さプロファイルを示す。
【００２１】
多重反射領域５１ｂ、５２ｂ、５１ｃも、反射光４がＰＳＤ１４に結像する反射領域であるため高さデータが検出される。しかし、多重反射領域における高さデータは、図１１（ｂ）に示すように、バンプ２ａ〜２ｂの高さとは関係のない値であるため，多重反射領域に基づいてバンプ高さを求めてしまうと誤差を生ずるという問題がある。
【００２２】
この問題を解決する方法として、多重反射領域５１ｂ、５２ｂ、５１ｃにマスクをして正反射領域５ａ〜５ｂのみを抽出することが考えられる。この方法を図１２を参照しながら説明する。
【００２３】
図１２は、反射画像にウィンドウを設定することを示す図である。図中７ａ、７ｂはウィンドウであり、設定された範囲以外をマスクするものである。
【００２４】
前述した多重反射領域に対し、ウィンドウ７ａを設けて検出範囲を制限することを考える。しかし、この場合多重反射領域５１ｂが含まれてしまうため多重反射の影響を完全に除去できない。従って、ウィンドウの大きさをウィンドウ７ｂまで小さくして設定する必要がある。即ち、多重反射領域５１ｂが正反射領域５ｂの近くに存在するため、ウィンドウは大きく設定することができない。
【００２５】
一方、正反射領域５ｂは、バンプ２ｂの高さによりその位置が変わってしまう。この様子を図１３に示す。図１３は、バンプが低い場合の正反射領域の位置ずれを示す図である。図１３（ａ）に示すように、バンプ２ｂの高さが他のバンプ２ａ、２ｃよりも低い場合、その反射光４による正反射領域は、図１３（ｂ）に示すように、反射画像において相対的に右側にずれる結果となる。
【００２６】
このように、正反射領域５ｂはバンプ２ｂの高さによりその位置を変えてしまうのに対し、ウィンドウ７ｂは多重反射領域を避けるため一定以上に大きくすることができない。従って、反射画像の所定位置に単なるウィンドウを設けて検出領域を制限するだけでは、バンプの高さを正確に測定することは困難である。
【００２７】
そこで、本発明は、バンプの高さのバラツキに対しても多重反射の影響を排除し得るウィンドウを設定することにより、正確なバンプ高さを測定できるバンプ検査方法及び検査装置を提供することを目的とする。
【００２８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。
【００２９】
請求項１記載の発明は、バンプを有する被検査対象に対し、該バンプの形成面と所定角度をなす斜め方向から第一照射光を当て、該被検査対象からの第一反射光を結像させ、該バンプからの第一反射光により構成される反射領域である第一正反射領域及び多重反射領域を含む第一反射画像と、該第一正反射領域に対応する該バンプの高さデータを取得し、該第一反射画像における該第一正反射領域及び多重反射領域の位置を、該高さデータの値と該所定角度とに基づいた値に応じて該第一反射画像の中で移動させ、該第一反射画像から、該バンプの中心位置に対応する領域内に存在する該第一正反射領域を抽出し、抽出した該第一正反射領域に対応する該高さデータに基づいて該バンプの高さを検出することを特徴とするものである。
【００３０】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のバンプの発明において、前記高さデータの値がｈであって、前記所定角度がθであるとき、前記第一正反射領域及び前記多重反射領域をｈ／ｔａｎ（θ）に基づいた値に応じて移動させることを特徴とするものである。
【００３１】
請求項３記載の発明は、請求項１または請求項２に記載のバンプ検査方法において、前記バンプの中心位置に対応する領域は、前記第一反射画像または予め用意されたデータに基づいて定められることを特徴とするものである。
【００３２】
請求項４記載の発明は、請求項１または請求項２に記載のバンプ検査方法において、前記被検査対象へ第二照射光を当て、該被検査対象からの第二反射光を結像させて第二反射画像を取得し、該第二反射画像の中の、前記バンプからの第二反射光により構成される反射領域である第二正反射領域に基づいて前記バンプの中心位置に対応する領域を定めることを特徴とするものである。
【００３３】
請求項５記載の発明は、請求項４記載のバンプ検査方法において、前記被検査対象からの反射光から、波長選択フィルタを介して前記第一反射光と前記第二反射光とを選択的に得ることを特徴とするものである。
【００３４】
請求項６記載の発明は、バンプを有する被検査対象に対し、該バンプの形成面と所定角度をなす斜め方向から第一照射光を当て、該被検査対象からの第一反射光を結像させ、該バンプからの第一反射光により構成される反射領域である第一正反射領域及び多重反射領域を含む第一反射画像と、該第一正反射領域に対応する該バンプの高さデータを取得する第一光学装置と、該第一反射画像における該第一正反射領域及び該多重反射領域の位置を、該高さデータの値と該所定角度とに基づいた値に応じて第一反射画像の中で移動させ、該第一反射画像から該バンプの中心位置に対応する領域内に存在する該第一正反射領域を抽出し、抽出した該第一正反射領域に対応する該高さデータに基づいて該バンプの高さを検出する制御装置とを有することを特徴とするものである。
【００３５】
請求項７記載の発明は、請求項６記載のバンプ検査方法において、前記被検査対象へ第二照射光を当て、該被検査対象からの第二反射光を結像させて第二反射画像を取得する第二光学装置を備え、前記制御装置が、該第二反射画像の中の、前記バンプからの第二反射光により構成される反射領域である第二正反射領域に基づいて前記バンプの中心位置に対応する領域を定めることを特徴とするものである。
【００３６】
請求項８記載の発明は、バンプを有する被検査対象に対し、該バンプの形成面と所定角度をなす斜め方向から第一照射光を当て、該被検査対象からの第一反射光を結像させ、該バンプからの該第一反射光による反射領域及び多重反射領域を含む第一反射画像と、該反射領域及び該多重反射領域に対応する高さデータを取得し、該第一反射画像における該反射領域及び該多重反射領域の位置を、該高さデータの値と該所定角度とに基づいた値に応じて該第一反射画像の中で移動させ、該移動後の該第一反射画像をマスクし、該バンプの中心位置に対応する領域にウィンドウを設けて、該バンプからの第一反射光により構成される反射領域である第一正反射領域を抽出し、抽出後の該第一正反射領域に対応する該高さデータに基づいて該バンプの高さを検出するものである。
【００３７】
請求項９記載の発明は、バンプを有する被検査対象に対し、該バンプの形成面と所定角度をなす斜め方向から第一照射光を当て、該被検査対象からの第一反射光を結像させ、該バンプからの該第一反射光による構成される反射領域である第一正反射領域及び多重反射領域を含む第一反射画像と、該第一正反射領域及び該多重反射領域に対応する該バンプの高さデータを取得し、該第一正反射領域及び該多重反射領域に対応する該高さデータの位置を、該高さデータの値と該所定角度とに基づいた値に応じて該第一反射画像に対応する高さデータ領域の中で移動させ、該高さデータ領域から該バンプの中心位置に対応する領域内に存在する該高さデータを抽出し、抽出した該高さデータに基づいて該バンプの高さを検出するものである。
【００３８】
上記各手段は、次のように作用する。
【００３９】
請求項１記載の発明によれば、
第一正反射領域の位置を、対応する該高さデータの値と所定角度とに基づいた値に応じて、第一反射画像の中でそれぞれ移動させるので、バンプの高さに関係なく第一正反射領域の位置が定まり、その所定の位置にウィンドウを設定して、多重反射領域をマスクし第一正反射領域を抽出することにより、多重反射の影響を排除しバンプ高さを正確に検出することができる。
【００４０】
請求項２記載の発明によれば、
第一正反射領域の位置の移動を単位画素毎に行い、単位画素に対応する高さデータの値をｈ、所定角度がθとしたときに、単位画素の位置を第一照射光の照射方向とは逆向きにｈ／ｔａｎ（θ）に基づいた値に応じて移動させることにより、バンプ高さに関係なく、照射光の方向にずれていた第一正反射領域をバンプ中心に対応する位置に正確に定めることができる。
【００４１】
請求項３記載の発明によれば、
第一反射画像またはＣＡＤデータを用いて、マスクして抽出するバンプの中心領域を特定することができる。
【００４２】
請求項４記載の発明によれば、
被検査対象のバンプ形成面の上部から第二反射画像を取得し、そのバンプの反射領域から抽出すべき第一正反射領域を特定することができる。
【００４３】
請求項５記載の発明によれば、
第一照射光と第二照射光との波長を異ならせることにより、第一反射光と第二反射光とを波長選択フィルタを用いて選択的に得ることができる。
【００４４】
請求項６記載の発明によれば、
第一正反射領域の位置を、対応する高さデータの値と該所定角度とに基づいた値に応じて、該第一反射画像の中でそれぞれ移動させるので、バンプの高さによらず第一正反射領域の位置が定まり、その所定の位置にウィンドウを設定して第一正反射領域のみを抽出することにより多重反射の影響を排除し、バンプ高さを正確に検出することができる。
【００４５】
請求項７記載の発明によれば、
被検査対象のバンプ形成面の上部から第二反射画像を取得し、そのバンプの反射領域から抽出すべき第一正反射領域を特定することができる。
【００４６】
請求項８記載の発明によれば
第一反射画像の中の反射領域の位置を、その反射領域に対応する高さデータの値と所定角度とに基づいた値に応じて、第一反射画像の中でそれぞれ移動させた後、第一反射画像の所定領域から、該バンプの頂点付近からの該第一反射光による反射領域（第一正反射領域）を抽出するため、バンプの高さに関係なく第一正反射領域の位置が定まり、多重反射の影響を排除しバンプ高さを正確に検出することができる。
【００４７】
請求項９記載の発明によれば
第一反射画像の中の高さデータの位置を、その反射領域に対応する高さデータの値と所定角度とに基づいた値に応じて、第一反射画像に対応する高さデータ領域の中でそれぞれ移動させた後、高さデータ領域の所定領域から、該バンプの頂点付近からの該第一反射光による反射領域（第一正反射領域）に対応する高さデータを抽出するため、バンプの高さに関係なく第一正反射領域の位置が定まり、多重反射の影響を排除しバンプ高さを正確に検出することができる。
【００４８】
【発明の実施の形態】
以下、ウェーハ上に形成されたバンプの検査についての実施例を説明する。しかし、本発明は、ウェーハ上にバンプへの適用に限定されるものではなく、ダイシング後のチップ上のバンプや、パッケージ上に形成された実装端子としてのバンプ等に適用可能である。
【００４９】
［第一実施例］
以下、本発明のバンプ検査方法に関する第一実施例について図１〜図３を参照しながら説明する。
【００５０】
図１は、第一正反射領域の移動量を説明するための図である。図中、１はウェーハ、２ａ〜２ｃはウェーハ１上に形成されたバンプである。これらウェーハ１とバンプ２ａ〜２ｃにより被検査対象を構成する。なお、バンプの数は被検査対象の種類により変わるが、本実施例においては、説明の簡単化のためバンプを数を３つとしている。
【００５１】
また、第一照射光３１はレーザ光を走査して得られる光である。第一照射光３１は、図面に対して垂直方向（主走査方向）に被検査対象を走査し、走査を行う毎にウェーハ１を載置する図示しない検査ステージを図面と水平な方向（副走査方向）に移動させることにより、ウェーハ１の被検査範囲全面を照射する。なお、走査方法としては、ステージ移動をなしに第一照射光３１の二次元走査のみでウェーハ１全面を走査してもよい。また、走査されたレーザ光の代わりに、シリンドリカルレンズを使用した一直線の形状のシート光を第一照射光３１として使用し、シート光を走査するかまたはステージ移動するかで被検査対象の全面を照射してもよい。この場合は、後述する第一反射光４１の結像位置を検出するには、二次元の位置を検出できる素子、例えば、ＣＣＤを使用する必要がある。また、第一照射光３１は、バンプ２ａ〜２ｃが形成されたウェーハ１の面と４５度の角度となる斜め方向から照射される。角度としては、斜め方向からであれば特に限定されないが、ウェーハ１面との角度が０度に近くなると、より多重反射が起きやすくなり、逆に角度が直角に近くなるとバンプ高さ検出の分解能が悪くなるため好ましくない。
【００５２】
このようにして、ウェーハ１の検査範囲全面に第一照射光３１を照射し、ウェーハ１からの第一反射光４１の結像された光の明るさデータをメモリに逐次記憶して第一反射画像を作成する。また、第一反射光４１の結像位置と第一照射光３１の走査位置とから、三角測量の原理によりバンプ２ａ〜２ｃの高さに対応する高さデータを検出し、逐次メモリに記憶し、第一反射画像に対応する高さデータ領域を作成する。即ち、第一反射画像の単位画素ごとに高さデータがメモリに記憶されており、その高さデータが第一反射画像とは異なるメモリ領域に、第一反射画像に対応する形で高さデータ領域が形成されている。
【００５３】
次に、ウェーハ１の検査範囲全面を走査した場合の、第一反射光４１の結像画像（第一反射画像）について図２（ａ）を参照しながら説明する。
【００５４】
図２（ａ）は、第一正反射領域の移動を説明するための図である。図中、図５（ａ）と同じものについては同じ符号を付しその説明を省略する。なお、図２（ａ）における第一正反射領域５０ｂは、図５（ａ）における正反射領域５ｂに対応するものである。また、図２（ａ）では、説明の簡単化のため、図５（ａ）に示される反射領域のうち、第一照射光３１がバンプ２ｂに最初に当たったものの反射領域である、第一正反射領域５０ｂと多重反射領域５１ｂ、５２ｂのみを示す。
【００５５】
図２（ａ）に示される第一反射画像では、第一正反射領域５０ｂの位置が、バンプ影６に対して第一照射光３１の進行方向にずれて現れる。ここで、第一正反射領域５０ｂはバンプ２ｂの頂点付近からの第一反射光４１により構成されている。この場合、第一反射画像において、第一反射バンプ領域５０ｂがバンプ２ｂの中心位置からどの程度ずれるのか、図１を参照しながら説明する。
【００５６】
図１において、反射光４１が反射される点をＱとし、ウェーハ１表面を基準面とする点Ｑにおける高さデータをｈとする。また、第一照射光３１方向の延長線とウェーハ１面との光点をＰとし、点Ｑのウェーハ１面への垂線とウェーハ１面との交点をＲとし、第一照射光３１のウェーハ１面に対する角度がθとすると、直線ＰＲの長さはｈ／ｔａｎ（θ）となる。一方、点Ｐの位置は第一反射画像での位置の基準となるため、点Ｑで反射された第一反射光４１は点Ｐの位置における反射光として第一反射画像に現れる。この場合、ウェーハ１面における点ＲからＰまでが、第一反射画像での第一正反射領域５０ｂの位置ずれ量となる。
【００５７】
従って、第一反射画像において、第一正反射領域５０ｂを、直線ＰＲに相当する分だけ位置補正すれば、バンプ２ｂの中心位置に対応する位置に一致することになる。具体的には、第一照射光３１とは逆向きにｈ／ｔａｎ（θ）に基づいた値に応じて移動させればよい。
【００５８】
このように、第一正反射領域５０ｂの位置をバンプ中心位置に補正することにより、第一反射画像における第一正反射領域５０ｂの位置を、バンプ２ｂの高さに関係なく固定することができる。即ち、点Ｐの位置はバンプ２ｂの高さにより移動するが、バンプ２ｂの中心位置は高さに関係なく固定されているため、第一反射画像におけるバンプ２ｂの中心位置の対応位置に第一正反射領域５０ｂを移動させることにより、第一反射画像において第一反射領域５０ｂの位置を固定することができる。
【００５９】
第一反射領域５０ｂの移動方法について図２（ｂ）を参照しながら詳細に説明する。
【００６０】
図２（ｂ）は、第一反射画像における第一正反射領域の移動を説明するための図である。図中、５００ｂは、移動前の第一正反射領域５０ｂや多重反射領域５１ｂ、５２ｂを構成する、第一反射画像における単位画素である。また、５０１ｂは、移動後の第一正反射領域５０ｂや多重反射領域５１ｂ、５２ｂを構成する、第一反射画像における単位画素である。単位画素中に含まれる画素数については、第一反射画像の画素数や要求される精度や速度に応じて変更できる。また、第一反射画像の中で第一正反射領域５０ｂを移動することは、第一反射画像自体を変更することの他に、第一反射画像を別のメモリ領域に転写した後にそのメモリ領域内で第一正反射領域５０ｂを移動して画像を変更することも含む。
【００６１】
第一正反射領域及び多重反射領域の移動方法を説明する。バンプ２ａ〜２ｃからの反射領域である第一正反射領域５０ｂと多重反射領域５１ｂ、５２ｂについて、それらを構成する単位画素５００ｂ毎に、高さデータ領域内に記憶された対応する高さデータを読みだす。第一正反射領域５０ｂでは、その画素単位５００ｂに対応する高さデータは、バンプ２ｂの頂点部分の高さにほぼ対応することになるが、多重反射領域５１ｂ、５２ｂでは、その画素単位５００ｂに対応する高さデータは、バンプ２ａ〜２ｃで最後に反射された第一反射光４１の反射点のウェーハ１面からの高さと、照射光３１の走査位置により決まる値になる。なお、第一反射画像の中で移動させる領域の位置は、予めＣＡＤデータ等によりおおよその位置を特定して処理を行えば、高速に処理することが可能である。
【００６２】
次いで、その単位画素５００ｂの位置、読み出した高さデータｈ及び角度θにより、それぞれの単位画素５００ｂを元の位置から第一照射光３１とは逆向きに、第一反射画像におけるｈ／ｔａｎ（θ）に対応した値に応じて移動させ、単位画素５０１ｂとする。具体的には、移動後の位置における単位画素に対応する明るさデータを、移動前の位置における単位画素に対応する明るさデータに置き換える処理をする。また、第一反射画像における単位画素５００ｂの移動に対応させて、単位画素５００ｂに対応する高さデータも高さデータ領域において移動させておく。これにより移動前の単位画素５００ｂと対応する高さデータの対応関係が、移動後の単位画素５０１ｂにおいても保持される。これらの工程をすべての第一正反射領域５０ｂ、多重反射領域５１ｂ、５２ｂについて繰り返す。
【００６３】
なお、この場合、単位画素が５００ｂと対応する高さデータの対応関係が、移動後の単位画素５０１ｂでも保持される構成になっていれば、特に高さデータを高さデータ領域内で移動させる必要はない。また、第一反射画像において第一正反射領域や多重反射領域を移動させる代わりに、高さデータ領域において、第一正反射領域や多重反射領域にそれぞれ対応する高さデータの位置を移動させることもできる。この場合、図２（ｂ）で示した移動前の単位画素５００ｂに対応する高さデータ領域における高さデータを、移動後の単位画素５０１ｂに対応する高さデータ領域における位置に移動させることになる。
【００６４】
また、上記工程の繰り返しの結果、ノイズの影響等により、複数の画素単位が同一の画素単位に偶然に移動して重なることがある。この場合、移動後の同一の単位画素において、値の異なる高さデータが複数存在し精度を低下させることになるため、この単位画素において高さデータを予め決定しておくことが望ましい。この高さデータを決定するための方法を図３を参照しながら以下に説明する。
【００６５】
図３は、複数の単位画素が重なる場合の高さデータの決定を説明するための図である。図中、８１ａ〜８１ｃは単位画素高さを示す点で、移動の結果重なりが生じた単位画素の近傍の単位画素の位置と高さデータの値を示す点であって、そのＸＹ方向の位置が第一反射画像における位置により規定され、そのＺ軸方向の位置がその単位画素における高さデータの値により規定されるものである。なお、近傍の単位画素は、第一正反射領域５０ｂや多重反射領域５１ｂ、５２ｂ内の単位画素で単位画素位置８０からの距離が小さいものであって、移動後も対応する高さデータが一意的に決定されているものから少なくとも３つ選択される。
【００６６】
また、仮想平面８は、点８１ａ〜８１ｃを通る平面である。また、８０は、単位画素位置であり、移動の結果重なりが生じた単位画素に対応する位置に存在し、そのＸＹ方向の位置が第一反射画像における位置により規定され、そのＺ軸方向の位置が仮想平面８との交点の位置により規定されるものである。この単位画素位置の高さをＨとする。また、高さ点９ａは、単位画素位置８０を通るＺ軸上に存在し、重なりが生じた単位画素における移動前の一方の単位画素に対応する高さデータの値を示す点であり、高さ点９ｂは、他方の高さデータの値を示す点である。また、ｈ１は高さ点９ａから単位画素位置８０までの距離を示し、ｈ２は、高さ点９ｂから単位画素位置８０までの距離を示す。
【００６７】
上記のように仮定した場合、重なりが生じた単位画素の高さデータの値が示す高さ点９ａ、９ｂは、ノイズ等の影響がなければ、その周囲の高さデータで作成される仮想平面８に近い距離に存在するはずである。このような考えから、所定の値βを設定し、以下のように判断する。
【００６８】
【表１】
0004207302.tif 000002
なお、βの値は、例えば、高さデータの最小分解能に設定される。例を挙げて説明する。高さデータが２５６階調で表される場合に、画素高さ８１ａ〜８１ｃの高さデータがそれぞれ１０５、９７、１００であり、単位画素単位位置８０での高さＨが１０２．５であると仮定し、高さ点９ａ、ｂがそれぞれ１０３、１１０と仮定する。このときｈ１、ｈ２はそれぞれ０．５、７．０となる。このときβを１に設定すると、ｈ１＜β、ｈ２＞βとなるので、重なる単位画素における高さデータは、Ｈ＋ｈ１となり１０２．５＋０．５で１０３となる。
【００６９】
以上、２つの単位画素が同一の単位画素に重なる場合を説明したが、３つ以上の単位画素が重なった場合も同様の方法で処理することができる。
【００７０】
次に、移動後の第一反射画像を図２（ｃ）に示す。
【００７１】
図２（ｃ）は、第一正反射領域の移動後にウィンドウを設定することを示す図である。第一正反射領域５０ｂは、第一反射画像においてバンプ２ｂの中心位置に対応する位置に補正される。なお、図２（ａ）に示される多重反射領域５１ｂは第一正反射領域５０ｂに比較的近い位置に存在するが、図２（ｂ）では図２（ａ）よりも両者は離れた位置に移動する。これは、図５（ｂ）に示されるように、多重反射領域５１ｂは第一正反射領域５０ｂに比べ対応する高さデータが低いため、多重反射領域５１ｂの移動量は第一正反射領域５０ｂの移動量よりも小さくなるためである。これにより、次に説明するウィンドウの設定を容易にする効果がある。
【００７２】
次に、図２（ｃ）を参照しながらウィンドウの設定について説明する。図中７ａ、７ｂはウィンドウであり、設定された領域の画像のみを抽出しそれ以外の領域をマスクするものである。
【００７３】
ウィンドウの設定については、その中心位置と形状、大きさを定めることが必要である。中心位置の決め方は、第一にはバンプ影６を利用する方法がある。これは、例えばバンプ影６の形状からその重心位置を求め、それをバンプの中心点とし、その点を中心とする所定の大きさにウィンドウを設定する方法がある。
【００７４】
また、第二に、ＣＡＤデータを利用する方法がある。これは予め用意しておいたＣＡＤデータと第一反射画像の位置合わせを行い、ＣＡＤデータに存在するバンプの位置情報を利用してウィンドウの中心位置を設定するものである。
【００７５】
次に、ウィンドウの形状については、被検査対象であるバンプの形状により、好ましい形状がある。これは、ウィンドウの形状は第一正反射領域の形状と同じであるほうが多重反射領域を除去する上で好ましいからであり、また第一正反射領域の形状は被検査対象のバンプの形状に依存するからである。例えば、球状のバンプであれば、ウィンドウも円形にするのが好ましいが、円柱状や直方体のバンプであれば、それに応じた第一正反射領域の形状にウィンドウの形状を合わせるのが好ましい。また、同様の理由からウィンドウの大きさも第一正反射領域の大きさに合わせるのが好ましい。
【００７６】
図２（ｃ）において、ウィンドウ７ａの設定では、第一正反射領域５０ｂの他に多重反射領域５１ｂを含んでしまう。この場合、バンプ２ｂの高さを一意的に正確に検出できない。従って、第一正反射領域５０ｂのみがウィンドウ内に含まれるように、ウィンドウ７ｂを設定する。この場合、前述のように、多重反射領域５１ｂと第一正反射領域５０ｂとの距離が補正により大きくなるため、ウィンドウ７ｂの設定が容易となる。
【００７７】
以上のように、第一反射画像のバンプ影６またはＣＡＤデータに基づいて第一反射画像をマスクし、多重反射領域５１ｂ、５２ｂを含む第一反射画像から第一正反射領域５０ｂを抽出する。第一反射画像において、どの第一正反射領域が、実際の被検査対象のどのバンプに対応するかは、ＣＡＤデータを参照することにより特定することができる。
【００７８】
最後に、抽出した第一正反射領域における単位画素に対応する高さデータを高さデータ領域から読み出し、ノイズにより極端に値が大きくなっているデータを除去した上で、一番高い値の高さデータをバンプ２ｂの高さとして検出する。
【００７９】
なお、第一反射画像における第一正反射領域及び多重反射領域を移動を行わずに、高さデータ領域における高さデータの移動を行った場合は、高さデータ領域に対して図２（ｃ）に示されるマスクによりマスクし、ウィンドウ７ｂ内の高さデータを抽出し、上記と同様の処理をしてバンプ２ｂの高さを検出する。
【００８０】
［第二実施例］
第二実施例では、バンプが潰れた形状の場合にも適用できる検査方法を、図４〜図６を参照しながら説明する。
【００８１】
はじめに、バンプの形状が潰れている場合の問題点について簡単に説明する。
【００８２】
図４は、バンプが潰れた形状の場合の第一正反射領域の拡大を示す図である。図４（ａ）は、バンプ２ｂがバンプ２ａやバンプ２ｃに比べ潰れた形状を有していることを除き、図１と同じである。この場合、バンプ２ｂの頂点領域が広くなるため、それに対応する第一正反射領域も大きくなる。この様子を図４（ｂ）に示す。
【００８３】
図４（ｂ）は、図４（ａ）に示される被検査対象から、第一実施例で示した方法を用いて第一正反射領域を移動させた第一反射画像を示す図であり、図２（ｃ）に対応するものである。図２（ｃ）と異なるのは、第一正反射領域５０ｂが第一正反射領域５０ａ、５０ｃに比べ拡大していることである。
【００８４】
このように、第一正反射領域５０ｂが拡大するとウィンドウの設定が困難となる。即ち、バンプ２ｂの形状が、図４（ｂ）に示されるように均一に潰れている場合はよいが、例えば、頂点部分がバンプの中心位置からずれて潰れている場合等バンプが不均一な形状になっている場合、対応する第一正反射領域５０ｂは面積が大きくなると同時に、バンプの一番高い部分からの第一反射光４１による反射領域が第一正反射領域の中心位置からずれてしまう。この場合、第一実施例で示したウィンドウの設定だけでは、バンプ２ｂの一番高い部分に対応する反射領域がウィンドウ内から外れてしまい、バンプ高さの精度が低下する問題が生ずる。
【００８５】
次に、上記の問題を解決する第二実施例を説明する。
【００８６】
第二実施例が第一実施例と異なるのは、第一実施例では、第一反射画像から第一正反射領域を抽出するマスクとしてバンプ影やＣＡＤデータを用いたのに対して、第二実施例では、被検査対象の上部から得る画像を用いる点である。従って、第一反射画像において第一バンプ反射画像を移動させる工程までは、第二実施例は第一実施例と同様であるためその説明を省略する。
【００８７】
はじめに、被検査対象であるウェーハの、バンプが形成された面の上部から第二照射光を当てる。照明の光源としてはハロゲンランプやレーザ光が考えられる。照射方向としては，被検査対象に対して垂直の上部方向の他，第一照射光と同様に斜め方向から照射して反対側の斜め方向から第二反射光を得ることも可能である。
【００８８】
次に、被検査対象で反射された第二反射光を上部において結像させ第二反射画像を取得する。
【００８９】
図５は、第二反射画像を示す図である。第二反射画像は、第二反射光を結像させた画像である。また、図５は、図１に示される３つのバンプ２ａ〜２ｃに対応する第二反射画像を示している。図中５３ａ〜５３ｃは第二正反射領域であり、各バンプ２ａ〜２ｃの頂点付近から反射される第二反射光により構成される正反射領域である。また、６１ａ〜６１ｃはバンプ影であり、バンプ２ａ〜２ｃのバンプが存在する領域で、上部から照射した第二照射光が第二反射光として上部へ反射されない領域である。なお、図５（ａ）では、第二正反射領域５３ａ〜５３ｃを等しい大きさで図示しているが、図４（ａ）に示すように、バンプ２ｂがその頂点部分が潰れた形状になっている場合、頂点領域が広くなるため第二バンプ領域５３ｂもそれに応じて大きくなる。
【００９０】
また、第二反射画像は、バンプ２ａ〜２ｃの高さを見る必要はない画像であるため、第二反射光を受ける受光側のレンズのＮＡ（Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ  Ａｐｅｒｔｕｒｅ）を小さくして第二反射光の入射範囲を制限することができる。これにより第二正反射領域をより限定して抽出することができ、それ以外の領域から反射されてくる多重反射光を影響を抑制することができる。本実施例では、多重反射光の輝度が第二正反射領域における反射光の輝度の８０％以下となるように設定する。
【００９１】
ただし、受光側レンズのＮＡを小さくすると、第二正反射領域が相対的に縮小する。この場合、第一反射光を取得する受光側レンズのＮＡとの差異が生ずると、第一正反射領域に対して第二正反射領域が相対的に小さくなってしまう。このため、図５（ａ）に示される第二反射画像の第二正反射領域を拡大して補正する必要がある。この様子を図５（ｂ）に示す。図中、点線で描かれている領域は、図５（ａ）における第二正反射領域に対応する。このときの拡大率は、ダミーのサンプルを用いて実際に第一正反射領域と第二正反射領域を比べた上で設定する他、第一反射光に用いる受光側レンズと第二反射光に用いる受光側レンズのそれぞれのＮＡの比から求めることができる。
【００９２】
以上により第二正反射領域をウィンドウとするマスクが完成する。
【００９３】
次に、第一反射画像から第一正反射領域を抽出する工程を図６を参照しながら説明する。
【００９４】
図６（ａ）は、第一正反射領域の移動後の第一反射画像を示す図である。本図は、第一正反射領域を３つとし他の多重反射領域を図示したことを除いて、その図２（ｃ）と同様である。
【００９５】
この第一反射画像を、図５（ｂ）に示される第二反射バンプ領域をウィンドウとするマスクによりマスクし、第一反射画像の中の第一正反射領域を抽出する。第一反射画像とマスクとの位置合わせは，例えば，両者における同一対象のずれ量を算出し，補正することに行うことができる。
【００９６】
次に，抽出後の第一反射画像を図６（ｂ）に示す。
【００９７】
ここで、仮にバンプ２ｂが、図４（ａ）に示されるように潰れた形状を有していると、図６（ａ）に示される第一正反射領域５０ｂが大きくなるが、マスクとなる第二反射画像の第二反射領域５３ｂも同様に大きくなるので、マスクしても多重反射領域を除去しつつ第一正反射領域５０ｂを漏れなく抽出することができる。言い換えれば、第一反射画像に設定するウィンドウの大きさが、第一正反射領域の大きさに応じて自動的に設定される。
【００９８】
従って、バンプ２ｂの頂点位置がバンプの中心位置からずれている場合においても、頂点位置からの第一反射光による第一反射領域をウィンドウにより漏れなく抽出することができるため、高精度のバンプ高さ検出が可能となる。なお、抽出した第一正反射領域からバンプ２ａ〜２ｃの高さを検出する方法は、第一実施例で説明したものと同様であるためその説明を省略する。
【００９９】
なお、第一反射画像における第一正反射領域及び多重反射領域を移動を行わずに、高さデータ領域における高さデータの移動を行った場合は、高さデータ領域に対して図５（ｂ）に示されるマスクによりマスクし、ウィンドウ７ｂ内の高さデータを抽出してバンプ２ｂの高さを検出する。
【０１００】
［第三実施例］
第三実施例では、バンプ検査装置について図７を参照しながら説明する。
【０１０１】
図７は、本発明のバンプ検査装置の構成を説明する図である。図中、１はウェーハであり、その表面には図示しないバンプが多数形成されている。
【０１０２】
次に、第一光学装置に対応する実施例の構成を説明する。１０はレーザ発振器であり、第一照射光３１となるレーザ光を照射するものである。１１はＡＯＤ（Ａｃｏｕｓｔｅｄ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｄｅｆｌｅｃｔｏｒ；音響光学素子）であり、第一照射光３１を走査するものである。これはポリゴンミラー等の走査器を代用することもできる。また、１５ａ、１５ｂはレンズであり、第一照射光３１の走査範囲の倍率を調整するものである。１２は対物レンズであり、第一照射光３１をウェーハ１面上に結像させるものである。１３は対物レンズであり、１６は結像レンズであり、それぞれウェーハ１面からの第一反射光４１を受けるものである。１７は波長選択フィルタであり、反射されて第一反射光４１を選択的に透過するものである。１４はＰＳＤであり、結像した光の光点位置と明るさに応じた電流を出力するものである。光点位置と明るさを検出する手段としては他にＣＣＤ等が使用できる。１８は信号処理部であり、ＰＳＤ１４から出力された電流に基づいて光点の位置と明るさのデータを出力するものであり、１９はメモリであり、信号処理部１８から出力されたデータを記憶するものである。
【０１０３】
次に、第二光学装置に対応する実施例の構成を説明する。２０は照明であり、ハーフミラー２１を介してウェーハ１に第二照明光３１を照射するハロゲンランプである。２２は結像レンズであり、ウェーハ１からの第二反射光４２を受けて、波長選択フィルタ２３を介してＣＣＤカメラ２４にウェーハ１面の像を結像させるものである。２５はメモリであり、ＣＣＤカメラ２４から出力された画像を記憶するものである。
【０１０４】
次に、ウェーハ搬送ロボットを中心とする実施例の構成について説明する。２６は検査ステージであり、ウェーハ１を載置しウェーハ１をＸＹＺ−θ方向に移動可能に構成されている。２７はウェーハカセットであり、被検査対象であるウェは１を多数格納するものである。２８はアライナであり、ウェーハの回転位置を調整するものである。２９はウェーハ搬送ロボットであり、ウェーハ１をウェーハカセット２７から取り出し、アライナ２８でウェーハ１の回転位置を調整した後、検査ステージ２６にウェーハ１を搬送し、また検査の終わったウェーハ１を検査ステージ２６からウェーハカセット２７に搬送するものである。
【０１０５】
次に、制御装置を中心とする実施例の構成について説明する。３５は制御装置であり、メモリ１９に記憶された第一反射画像と、メモリ２５に記憶された第二反射画像とを読み出し、所定の処理を行うものである。３６は端末であり、制御装置３５に対し処理の指示を行うキーボード等や、または制御装置３５から処理の結果等を表示する表示装置である。３７は外部記憶装置であり、ウェーハ１上に設けられたバンプ位置等のＣＡＤデータを記憶したり、検査結果を記憶するものである。３８は変調制御回路であり、ウェーハ１を適切な光量かつ走査速度で走査できるようＡＯＤ１１０を制御するものであり、３９はステージコントローラであり、ＡＯＤが主走査方向に走査を行う毎に、制御装置３５からの信号に基づいて、検査ステージ２６を副走査方向に移動させ速度制御を行うものである。
【０１０６】
次に、上記のように構成されたバンプ検査装置の動作について説明する。
（第一実施例に対応した動作）
第一実施例にて説明したバンプ検査方法に対応したバンプ検査装置の動作について説明する。なお、本動作の場合、前述した第二光学装置や波長選択フィルタ１７は不要である。
【０１０７】
はじめに、第一光学装置の動作について説明する。
【０１０８】
レーザ発振器１０は、所定の波長を有するレーザ光を第一照明光３１として発光する。発光した第一照射光３１は、ＡＯＤ１１０とレンズ１５ａ、ｂおよび対物レンズ１２により、多数のバンプが形成されたウェーハ１面上を主走査方向に走査する。
【０１０９】
ウェーハ１面で反射した第一反射光４１は、対物レンズ１３と結像レンズ１６に入射し、波長選択フィルタ１７を介してＰＳＤ１４上で結像する。ＰＳＤ１４から出力される信号は信号処理部１８で明るさと高さのデータ信号に変換され、メモリ１９は明るさと高さデータを走査位置毎に逐次記憶して第一反射画像と高さデータ領域を作成する。
【０１１０】
次に、制御装置３５の動作について説明する。
【０１１１】
まず、制御装置３５は、変調制御回路３８を介してＡＯＤ１１０の走査タイミングを制御する。同時に制御装置３５は、ＡＯＤ１１０が主走査方向に走査を行う毎に、ステージコントローラ３９を介して検査ステージ２６を副走査方向に移動させる。これによりウェーハ１の被検査範囲全面を第一照射光３１で走査する。  また、制御装置３５は、メモリ１９に記憶された第一反射画像と高さデータを読み出し、また、外部記憶装置３７に記憶されたバンプ位置に関するＣＡＤデータを読み出し、そのデータによるバンプ位置を参照しながら第一実施例で示した方法により、第一反射画像における第一正反射領域の移動を実施し、第一反射画像にマスクをして第一正反射領域を抽出し、バンプ高さを検出する。
【０１１２】
端末３６は制御装置３５に対して適宜指示を行い、制御装置３５は端末３６と外部記憶装置３７に対して検査結果等のデータを通知し、端末３６において表示、印刷を行い、外部記憶装置３７で検査結果を記憶する。
【０１１３】
次に、ウェーハ搬送ロボットを中心とする構成の動作について説明する。
【０１１４】
まず、ウェーハ搬送ロボット２９は、ウェーハカセットに多数格納されたウェーハ１をアライナ２８に搬送し、アライナ２８はウェーハ１の回転位置の調整を行う。ウェーハ搬送ロボット２８は、位置調整後のウェーハ１を検査ステージ２６に搬送する。また、ウェーハ搬送ロボット２９は、検査が終了したウェーハ１を検査ステージ２６からウェーハカセット２７に搬送し格納する。この動作を繰り返す。
（第二実施例に対応した動作）
第二実施例にて説明したバンプ検査方法に対応したバンプ検査装置の動作について説明する。なお、本動作の場合、前述した第二光学装置を使用するが、その他の構成の動作についてはほぼ前述の通りであるので、第二光学装置の動作とその動作に関連する他の構成の動作について説明する。
【０１１５】
はじめに、第二光学装置の動作について説明する。なお、第二光学装置の動作は第一光学装置の動作と同時に行われる。
【０１１６】
照明２０は、第一照射光３１とは異なる波長である第二照射光３２を発光する。これは波長選択フィルタ１７、２３によりそれぞれ第一反射光４１、第二反射光４２をそれぞれ選択的に透過させるためである。発光した第二照射光３２は、ハーフミラー２１を介してウェーハ１面に照射される。ウェーハ１面上で反射された第二反射光４２は、ハーフミラー２１を介して結像レンズ２２に入射し、波長選択フィルタ２３において第二反射光４２のみが選択的に透過し、ＣＣＤカメラ２４に結像する。ＣＣＤカメラ２４は結像した画像の信号をメモリ２５に送付し、メモリ２５においてその画像を第二反射画像の原画像として記憶する。
【０１１７】
次に、制御装置３５の動作について説明する。なお、走査に関する制御は前述の通りである。
【０１１８】
制御装置３５は、第二実施例で説明した動作により第一反射画像における第一正反射領域の移動を実施する。また、制御装置３５は、メモリ２５に記憶された第二反射画像により、第二実施例で示した方法により第一反射画像をマスクし、第一正反射領域を抽出しバンプの高さ検出を行う。
【０１１９】
また、制御装置３５は、第二反射画像に基づいて、ステージコントローラ３９を介して検査ステージ２６を移動させウェーハ１の姿勢制御を行い、ウェーハ１に形成されたバンプの直径を計測し、エキストラバンプの検出、バンプ欠損有無の検出等を行う。
【０１２０】
【発明の効果】
以上説明したように、第一正反射領域の位置を、対応する高さデータの値と所定角度とに基づいた値に応じて移動させるので、多重反射に起因する高さエラーデータを効果的に除去でき、より正確なバンプ高さ検出が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第一正反射領域の移動量を説明するための図
【図２】  第一正反射領域の移動を説明するための図
【図３】  複数の単位画素が重なる場合の高さ決定を説明するための図
【図４】  バンプが潰れた形状の場合の正反射領域の拡大を示す図
【図５】  第二バンプ反射画像を示す図
【図６】  第二正反射領域により第一反射画像をマスクすることを示す図
【図７】  本発明のバンプ検査装置の構成を示す図
【図８】  従来技術のバンプ検査装置の構成を示す図
【図９】  反射画像と高さプロファイルを示す図
【図１０】  多重反射の例を示す図
【図１１】  反射画像と高さプロファイルを示す図
【図１２】  反射画像にウィンドウを設定することを示す図
【図１３】  バンプが低い場合の正反射領域の位置ずれを示す図
【符号の説明】
１  ウェーハ
２、２ａ〜２ｃ  バンプ
３、３ａ、３ｂ  照射光
３１  第一照射光
３２  第二照射光
４、４ａ、４ｂ  反射光
４１  第一反射光
４２  第二反射光
５、５ａ〜５ｃ  正反射領域
５０ａ〜５０ｃ  第一正反射領域
５１ａ〜５１ｃ、５２ａ〜５２ｂ  多重反射領域
５３ａ〜５３ｃ  第二正反射領域
６、６ａ〜６ｃ、６１ａ〜６１ｃ  バンプ影
７ａ、７ｂ  ウィンドウ
８  仮想平面
８０  単位画素位置
８１ａ〜８１ｃ  画素高さ
９ａ、９ｂ  点
１０  レーザ発振器
１１  走査器
１１０  ＡＯＤ
１２、１３  対物レンズ
１４  ＰＳＤ
２０  照明
２１  ハーフミラー
２２  結像レンズ
２３  波長選択フィルタ
２４  ＣＣＤカメラ
２６  ステージ
３５  制御装置
【図１】
0004207302.tif 000003
【図２】
0004207302.tif 000004
【図３】
0004207302.tif 000005
【図４】
0004207302.tif 000006
【図５】
0004207302.tif 000007
【図６】
0004207302.tif 000008
【図７】
0004207302.tif 000009
【図８】
0004207302.tif 000010
【図９】
0004207302.tif 000011
【図１０】
0004207302.tif 000012
【図１１】
0004207302.tif 000013
【図１２】
0004207302.tif 000014
【図１３】
0004207302.tif 000015