(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向両側面にそれぞれ形成された第１軌道溝を備えた軌道レール，前記第１軌道溝に対向して形成された第２軌道溝を備え且つ前記軌道レールに相対移動可能に跨架したスライダ，並びに前記軌道レールの前記第１軌道溝と前記スライダの前記第２軌道溝とで形成される負荷軌道路，前記スライダに設けられ前記負荷軌道路に沿って延びるリターン路，及び前記負荷軌道路と前記リターン路とを接続する方向転換路からなる無限循環路を転走する転動体である複数のボールを有する直動案内ユニットにおいて，  前記スライダは，前記第２軌道溝と前記第２軌道溝に沿って延びる挿通孔とが形成されたケーシング，前記ケーシングの前記挿通孔の両端部を除いた部分に嵌挿されて前記リターン路の中間部を形成するリターン路部材，前記ケーシングの両端面にそれぞれ配設されて前記方向転換路の内周部を備え且つ前記挿通孔の前記端部に嵌合されて前記内周部に続く前記リターン路の端部を形成する接続管部の内側部分を備えているスペーサ，及び前記スペーサの端面に配設されて前記方向転換路の外周部を備え且つ前記挿通孔の前記端部に嵌合されて前記外周部に続く前記リターン路の前記端部を形成する前記接続管部の外側部分を備えているエンドキャップから構成され，
前記スペーサは，前記エンドキャップと前記ケーシングとの間に挟持部分を構成するスペーサ本体と，前記スペーサ本体に取り付けられた前記方向転換路の前記内周部と前記接続管部の前記内側部分とを構成する複数のスペーサ駒部とから構成され，前記方向転換路の前記内周部は前記負荷軌道路にそれぞれ対応し且つ前記接続管部の前記内側部分は前記リターン路にそれぞれ対応してなり，
前記リターン路部材は，潤滑剤を担持できる多孔質構造を有する焼結樹脂部材で形成され，前記ケーシングの前記挿通孔に隙間で嵌合する円形状の外形に形成され且つ前記リターン路を形成する直線孔が形成され，前記リターン路部材の両端面が前記接続管部に当接することにより前記挿通孔に沿う長手方向への前記リターン路部材の移動が規制されてなり，
前記接続管部は，前記スペーサの前記内側部分と前記エンドキャップの前記外側部分とが互いに整合してストレート管部に構成されて前記リターン路の前記端部を形成し，前記リターン路の前記端部は，前記リターン路部材の前記直線孔の端に当接して整合する直線孔に形成されてなり，
前記接続管部により前記方向転換路からの前記転動体である前記ボールによる前記焼結樹脂部材の入口部分への衝突が緩和されて成る
ことを特徴とする方向転換路とリターン路とを接続管部で連通した直動案内ユニット。
【請求項２】
前記接続管部を形成する前記内側部分は半円筒形より小さく且つ前記外側部分は半円筒形より大きく形成され，前記内側部分と前記外側部分との整合面は前記接続管部の中心軸からオフセットされていることを特徴とする請求項１に記載の方向転換路とリターン路とを接続管部で連通した直動案内ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は，例えば，半導体製造装置，産業ロボット，エンジン等の機械装置の高速化や高サイクル化に対応させるためケーシングに形成したリターン路を多孔質構造の焼結樹脂部材で形成すると共に，該リターン路とエンドキャップに形成した方向転換路とを接続管部で連通させた直動案内ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来，直動案内ユニットは，長尺の軌道レールに対してスライダを複数の転動体を介して摺動自在に構成したものであり，転動体は軌道レールとスライダとの間に形成される負荷軌道路，スライダに形成された方向転換路とリターン路からなる無限循環路を転走する。無限循環路と転動体との金属接触を防止して定格の耐久寿命を達成するには，無限循環路と転動体との間での潤滑剤を切らさずに供給して両者間の潤滑を確保することが不可欠である。無限循環路と転動体との間における潤滑の確保は，通常，定期的な給油によって行われている。
【０００３】
近年，省エネや設備維持に費やすコストを削減するため，半導体製造装置，産業ロボット，エンジン等の各種機械装置においては，メンテナンスフリーが要求されるようになり，機械装置に組み込まれる直動案内ユニットについても，潤滑に関してメンテナンスフリーの実現が要望されている。また，半導体製造装置等のクリーンルーム仕様の装置に組み込まれる直動案内ユニットは，発塵性の小さいものが要望されており，潤滑剤が微粒子となって発塵することを考慮して，潤滑剤の使用を最小限に抑えることが要求されている。
【０００４】
また，直動案内ユニットとして，特開２００１−８２４６９号公報に開示されたものが知られている。該直動案内ユニットは，スライダに形成されるリターン通路孔を多孔質構造から成る焼結樹脂部材によって形成することにより，潤滑油を長期にわたって転動体に供給し耐久性を向上させたものであり，軌道レールに対して転動体を介して摺動自在なスライダには，嵌挿孔に多孔質構造を有するスリーブ状の焼結樹脂部材を嵌挿させ，焼結樹脂部材の内部にリターン通路孔を形成し，潤滑油やグリースが焼結樹脂部材の多孔質構造の内部に吸収され、通過する転動体に潤滑油やグリースを長期にわたって供給し続け，転動体を介して軌道路を潤滑し，耐久性を向上し，スライダの摺動抵抗を軽減するものである。
【０００５】
また，特開２０００−１６１３５４号公報に開示されたリニアガイド装置は，スライダ本体におけるボール循環路の直線部とエンドキャップにおけるボール循環路の湾曲部との連通部を，湾曲部を連通部に対して延長するように設けられた円筒状の凸部及び直線部に設けられた円筒状の凸部に応じる円筒状の凹部からなる印籠嵌合により構成されている。即ち，該リニアガイド装置は，直線部の開口部において，エンドキャップに略円筒状の凸部を設け，スライダ本体に印寵嵌合する略円筒状の凹部を設けたものである。
【０００６】
更に，特開昭６１−１３６８０５号公報に開示されたリニアガイド装置では，レールと移動台とで形成された循環路は，レールの溝と移動台の本体の溝とで形成された導溝通路と，本体の溝に並列したボールの戻り通路と，移動台のエンドキャップに形成された湾曲通路から成り，戻り通路は本体を貫通する貫通孔に圧入したパイプで構成されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，従来の各装置は，クリーンルーム仕様で軽荷重なところでの使用において潤滑剤の塗布を不要にするものであるが，近年益々高速化し，高サイクル化する機械装置に使用される上で，充分満足できるものではなかった。従来の潤滑剤含有ポリマ部材は，ポリマに潤滑油を混合して成形加工しなければならず，強度そのものに問題があり，実際の使用においては潤滑剤含有ポリマ部材を補強材で補強しなければならず，従って，構造が複雑になり高度な技術を要するものであった。また，潤滑プレートをスライダに配設するものでは，潤滑プレートが軌道溝と摺接するため，高速化，高サイクル化した装置に使用する場合には，摺動抵抗が大きくなるという問題があった。
【０００８】
現在では，装置そのものは，益々高速化し，高サイクル化したものが使用される傾向があり，それを充分に満足させるために，例えば，本出願人に係る特開２００１−８２４６９号公報に開示された直動案内ユニットが使用されているところであるが，該直動案内ユニットでは，リターン通路孔が多孔質構造を有する焼結樹脂部材で形成されたものであり，実用化されつつあるのが現状である。
【０００９】
また，前掲特開２０００−１６１３５４号公報に開示されたリニアガイド装置は，循環路の直線部は焼結樹脂部材の構成を有しておらず，リターンガイドが個別になっており，エンドキャップの循環路の湾曲部に位置合せをして嵌合するものになっているので，メンテナンスフリーが要求される装置には不適正なものである。また，前掲特開昭６１−１３６８０５号公報に開示されたリニアガイド装置は，本体を貫通する貫通孔にパイプを圧入したものに構成されており，パイプを交換することは極めて困難なものである。
【００１０】
そこで，直動案内ユニットについて，スライダに形成したリターン路を通って循環転走する転動体がリターン路と方向転換路との接続部においてスムースな転走を可能にし，ケーシングに形成された挿通孔に嵌挿してリターン路を構成するリターン路部材が転動体に潤滑油を自己供給すると共に補強材で補強する必要がなく，それ自体で充分な強度を持つ構造に構成され，長期にわたって転動体のスムーズな走行を可能にして転動体に潤滑油を供給し続けることが課題となる。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明の目的は，上記課題を解決することであり，ケーシングに形成された挿通孔にリターン路を形成するため嵌合されたリターン路部材の両端部とエンドキャップに形成された方向転換路との接続部を接続管部で接続し，転動体のスムースな転走を可能にするものであり，雰囲気や支持荷重において過酷な環境下での使用であっても，負荷軌道路，方向転換路及びリターン路から成る無限循環路を転走する転動体に対して定期的な潤滑剤の塗布や潤滑油の供給等のメンテナンスを不要にし，高速化し高サイクル化した装置に適用しても，無限循環路における転動体の摺動抵抗を抑制し，良好な潤滑を安価に達成できる方向転換路とリターン路を接続管部で接続した直動案内ユニットを提供することである。
【００１２】
この発明は，長手方向両側面にそれぞれ形成された第１軌道溝を備えた軌道レール，前記第１軌道溝に対向して形成された第２軌道溝を備え且つ前記軌道レールに相対移動可能に跨架したスライダ，並びに前記軌道レールの前記第１軌道溝と前記スライダの前記第２軌道溝とで形成される負荷軌道路，前記スライダに設けられ前記負荷軌道路に沿って延びるリターン路，及び前記負荷軌道路と前記リターン路とを接続する方向転換路からなる無限循環路を転走する転動体である複数のボールを有する直動案内ユニットにおいて，
前記スライダは，前記第２軌道溝と前記第２軌道溝に沿って延びる挿通孔とが形成されたケーシング，前記ケーシングの前記挿通孔の両端部を除いた部分に嵌挿されて前記リターン路の中間部を形成するリターン路部材，前記ケーシングの両端面にそれぞれ配設されて前記方向転換路の内周部を備え且つ前記挿通孔の前記端部に嵌合されて前記内周部に続く前記リターン路の端部を形成する接続管部の内側部分を備えているスペーサ，及び前記スペーサの端面に配設されて前記方向転換路の外周部を備え且つ前記挿通孔の前記端部に嵌合されて前記外周部に続く前記リターン路の前記端部を形成する前記接続管部の外側部分を備えているエンドキャップから構成され，
前記スペーサは，前記エンドキャップと前記ケーシングとの間に挟持部分を構成するスペーサ本体と，前記スペーサ本体に取り付けられた前記方向転換路の前記内周部と前記接続管部の前記内側部分とを構成する複数のスペーサ駒部とから構成され，前記方向転換路の前記内周部は前記負荷軌道路にそれぞれ対応し且つ前記接続管部の前記内側部分は前記リターン路にそれぞれ対応してなり，
前記リターン路部材は，潤滑剤を担持できる多孔質構造を有する焼結樹脂部材で形成され，前記ケーシングの前記挿通孔に隙間で嵌合する円形状の外形に形成され且つ前記リターン路を形成する直線孔が形成され，前記リターン路部材の両端面が前記接続管部に当接することにより前記挿通孔に沿う長手方向への前記リターン路部材の移動が規制されてなり，
前記接続管部は，前記スペーサの前記内側部分と前記エンドキャップの前記外側部分とが互いに整合してストレート管部に構成されて前記リターン路の前記端部を形成し，前記リターン路の前記端部は，前記リターン路部材の前記直線孔の端に当接して整合する直線孔に形成されてなり，
前記接続管部により前記方向転換路からの前記転動体である前記ボールによる前記焼結樹脂部材の入口部分への衝突が緩和されて成る
ことを特徴とする方向転換路とリターン路とを接続管部で連通した直動案内ユニットに関する。
【００１３】
この直動案内ユニットでは，前記接続管部を形成する前記内側部分は半円筒形より小さく且つ前記外側部分は半円筒形より大きく形成され，前記内側部分と前記外側部分との整合面は前記接続管部の中心軸からオフセットされている。
【００１４】
この直動案内ユニットは，上記のように構成されているので，エンドキャップに設けた外側部分とスペーサに設けた内側部分とから成る接続管部によって，リターン路と方向転換路との接続状態が極めて堅固に，正確にしかも滑らかになり，転動体であるボールの摺動抵抗が低減でき，ボールの転走がスムースになる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下，図面を参照して，この発明による方向転換路とリターン路とを接続管部で接続した直動案内ユニットの実施例を説明する。この直動案内ユニットは，例えば，半導体製造装置，産業ロボット，工作機械，エンジン等の機械装置の相対移動部に介在して部品，機器間の相対移動をスムースに達成させるものである。
【００１６】
この直動案内ユニットは，例えば，ベッドとテーブルのような相対移動すべき部材間に適用されるユニットであり，軌道レール１と軌道レール１上を跨架して摺動自在なスライダ２とを備えている。軌道レール１の長手方向両側面３に軌道溝４（第１軌道溝）がそれぞれ形成されている。軌道レール１の上面２６には，軌道レール１をベッド，機台等のベース４３に取り付けるための取付け孔２７が開口している。スライダ２は，軌道レール１に相対移動可能に跨架し，軌道レール１の軌道溝４に対向して軌道溝１４（第２軌道溝）が形成されている。また，軌道レール１の軌道溝４とスライダ２の軌道溝１４とで負荷軌道路２１が形成され，スライダ２の軌道レール１に対する相対移動に伴って転動体であるボール２０が負荷軌道路２１を転走する。エンドキャップ１１の外側端面３８には，エンドシール１３が配設されている。
【００１７】
スライダ２は，軌道レール１の上面２６に跨架するケーシング１０，ケーシング１０の長手方向両端面側に位置して取り付けられたエンドキャップ１１，ケーシング１０とエンドキャップ１１との間に介在されたスペーサ１２，及び軌道レール１とエンドキャップ１１との間の隙間をシールするためエンドキャップ１１の端面に配設されたエンドシール１３から構成されている。エンドキャップ１１とエンドシール１３とは，エンドキャップ１１に設けた位置決め凸部３７によってエンドシール１３がエンドキャップ１１に位置決めされ，エンドキャップ１１に形成した取付け孔４５とスペーサ１２に形成した取付け孔４６に取付けねじ１７を通し，取付けねじ１７をケーシング１０に設けたねじ孔４４に螺入してケーシング１０に取り付けられている。ケーシング１０には，軌道溝１４と，軌道溝１４に沿って延びるリターン路２２を構成するための挿通孔５と，スライダ２をテーブルに取り付けるため頂面１５に開口するねじ穴１６とが形成されている。ケーシング１０及びエンドキャップ１１と軌道レール１の長手方向両側面３との間の隙間をシールするため，エンドキャップ１１及びケーシング１０の下面には，例えば，下面シール（図示せず）が取り付けられている。
【００１８】
また，スライダ２を軌道レール１に対して摺動可能にするため，軌道レール１に形成されている軌道溝４とケーシング１０に形成されている軌道溝１４との間に形成される負荷軌道路２１には転動体としてのボール２０が転走可能になっている。ボール２０は，スライダ２を軌道レール１から分離した状態にしても散逸しないように，保持バンド２４によってケーシング１０に保持されている。ボール２０は，負荷軌道路２１からエンドキャップ１１に設けたすくい爪３５にガイドされてエンドキャップ１１に形成された一方の方向転換路１９へ転走し，一方の方向転換路１９から一方の接続管部４８を通ってケーシング１０に形成されたリターン路２２へと転走し，次いで，リターン路２２から他方の接続管部４８を通って他方の方向転換路１９へ，そして，負荷軌道路２１へと転走し，無限循環路を無限循環して転走するものである。この場合に，方向転換路１９とリターン路２２とは，無負荷軌道路１８を構成している。ボール２０に潤滑剤（潤滑油）を供給するためのグリースニップル２５がエンドシール１３の外面から突出した状態でエンドキャップ１１に取り付けられている。グリースニップル２５からの潤滑剤は，油孔３４から油溝３３を通ってボール２０へと供給され，方向転換路１９，リターン路２２及び負荷軌道路２１の無限循環路に供給される。
【００１９】
リターン路２２は，ケーシング１０にスリーブ状の焼結樹脂部材から成るリターン路部材６を配設することにより，リターン路部材６のスリーブ内部の空間として形成されている。従って，ケーシング１０には，ボール２０が通ることが可能な通路径にリターン路部材６の肉厚を加算した径，即ち，リターン路部材６の外径に相当する内径を備えた挿通孔５が形成されており，挿通孔５にリターン路部材６が嵌挿されている。リターン路部材６は，両端が接続管部４８に当接することにより，挿通孔５に沿う長手方向への移動が規制されている。
【００２０】
この直動案内ユニットにおいて，スライダ２は，挿通孔５を形成したケーシング１０，リターン路２２の中間部を形成するリターン路部材６，ケーシング１０の両端面４０にそれぞれ配設されたスペーサ１２，及びスペーサ１２の端面３９に配設されたエンドキャップ１１から構成されている。スペーサ１２の端面３９にエンドキャップ１１の端面を互いに当接させる時には，スペーサ１２のスペーサ駒部７の挿入部４７（図１４）をエンドキャップ１１の挿入凹部３６に嵌合させることによって，スペーサ１２とエンドキャップ１１とが互いに位置決めされ，内側部分８と外側部分２８とが互いに整合して接続管部４８を構成すると共に，内周部９と外周部２９とが互いに整合して方向転換路１９を構成することができる。
【００２１】
リターン路部材６は，ケーシング１０の挿通孔５の両端部３１を除いた部分に嵌挿されている。また，スペーサ１２は，負荷軌道路２１とリターン路２２とを接続する方向転換路１９の内周部９と，挿通孔５の端部３１に嵌合されて内周部９に続くリターン路２２の端部４９を形成する接続管部４８の内側部分８とを備えている。更に，エンドキャップ１１は，方向転換路１９の外周部２９と，挿通孔５の端部３１に嵌合されて外周部２９に続くリターン路２２の端部４９を形成する接続管部４８の外側部分２８とを備えている。
【００２２】
リターン路部材６は，ケーシング１０の挿通孔５に嵌挿されるものであり，潤滑剤を担持できる多孔質構造を有する焼結樹脂部材で形成されている。リターン路部材６は，ケーシング１０の挿通孔５に嵌合する円形状の外形に形成され，図７に示すように，リターン路２２を形成する直線孔３０が形成されている。リターン路２２と方向転換路１９とを接続する接続管部４８は，スペーサ１２の内側部分８とエンドキャップ１１の外側部分２８とが互いに整合し，リターン路２２の端部４９を形成し，端部４９は，リターン路２２とリターン路部材６の直線孔３０と整合する機能を果たす。
【００２３】
図３に示すように，接続管部４８を形成する内側部分８は半円筒形より小さく，エンドキャップ１１の外側部分２８は半円筒形より大きく形成され，また，内側部分８と外側部分２８との整合面４１は，接続管部４８の中心軸Ｏからオフセットされている。この場合には，ボール２０の転走が両整合面４１に同時に接触することが避けられ，転走がスムースに行われる。場合によっては，内側部分８と外側部分２８とは，互いに同一サイズの半円筒形に形成されてもよいことは勿論である。また，内側部分８と外側部分２８とは，整合することによってストレートの接続管部４８に形成されている。
【００２４】
また，軌道溝４，１４で形成された負荷軌道路２１は，軌道レール１の両側面３にそれぞれ構成されていることに対応して，スペーサ１２に設けられた方向転換路１９の内周部９は負荷軌道路２１にそれぞれ対応し，また，スペーサ１２の内側部分８はリターン路２２にそれぞれ対応している。
【００２５】
スペーサ１２は，エンドキャップ１１とケーシング１０との間に挟持部分を構成するスペーサ本体５０と，スペーサ本体５０に一体構造に構成された方向転換路１９の内周部９と，接続管部４８の内側部分８とを構成するスペーサ駒部７とから構成されている。
【００２６】
この直動案内ユニットは，上記のように構成されているので，リターン路２２の中間部を形成するリターン路部材６の両端に，方向転換路１９に続く接続管部４８を設けたので，リターン路２２の接続が挿通孔５内で合致することになり，ボール２０の循環が滑らかになると共に，焼結樹脂部材で形成されたリターン路部材６の入口部分へのボール２０の衝突が緩和され，耐久性があるものになる。また，スペーサ１２には，接続管部４８を形成するスペーサ駒部７を複数設けたので，エンドキャップ１１の挿入凹部３６にスペーサ１２のスペーサ駒部７の挿入部４７を嵌合させることによって，複数の内側部分８がエンドキャップ１１の複数の外側部分２８に合致され，これらを個々に位置合せして組み込む必要が不要になる。
【００２７】
リターン路部材６は，ケーシング１０の挿通孔５に隙間嵌合されている。即ち，リターン路部材６は，ケーシング１０の挿通孔５に対して，例えば，０ｍｍを超え０．１５ｍｍ以下の隙間３２を持った状態に嵌合されている。リターン路部材６は，図２に示すように，その両端面がそれぞれの接続管部４８の端部に当接しているので，上記の隙間嵌合を許容するものになっている。また，リターン路部材６がケーシング１０の挿通孔５に対して締まり嵌め状態でないので，そして両者間に０ｍｍを超え０．１５ｍｍ以下の隙間３２があれば，ケーシング１０とリターン路部材６との熱膨張差等によるリターン路部材６の破損等が発生することはない。また，リターン路部材６に形成された直線路３０でなるリターン路２２の孔は，孔径が小さくなる等の変形することが無くなり，ボール２０のスムースな循環を可能にしている。
【００２８】
【発明の効果】
この発明による直動案内ユニットは，上記のように構成されているので，リターン路を構成するリターン路部材の両端が接続管部で連通され，無限循環路が全行程でスムースな通路となり，転動体であるボールが無限循環路をスムースな転走を行うことができる。また，リターン路部材は，多孔質構造の焼結樹脂部材から構成されているので，潤滑油やグリースを多孔質構造内に吸収する吸収体としての機能を果たし，潤滑油又はグリースが多孔質構造に保持され，ボールに対して適正な潤滑を可能にする。即ち，多孔質構造に吸収保持された潤滑油又はグリースは，リターン路を通るボールが焼結樹脂部材に接触して，微量ずつ転動体に付着され，ボールに付着された潤滑油又はグリースがボールが負荷軌道路を通過する時に，負荷軌道路に供給される。焼結樹脂部材から成るリターン路部材は，それ自体が充分な強度を有しているので補強を必要とせず，また摩耗粉の発生が少ないので摩耗粉による多孔質構造の目詰まりが生じることなく，多孔質構造に保持した潤滑油又はグリースを長期にわたってボールに供給することができる。従って，この直動案内ユニットは，定期的な潤滑剤の塗布や潤滑油の供給等のメンテナンスを不要にし，高速化，高サイクル化した装置にも負荷軌道路における摺動抵抗を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明による直動案内ユニットの一実施例の一部を破断して示す斜視図である。
【図２】  図１の直動案内ユニットのリターン路を示す図１のＡ−Ａ断面における部分断面図である。
【図３】  図２のＥ−Ｅ断面における断面図である。
【図４】  図１の直動案内ユニットにおけるリターン路部材を含むケーシングを示す正面図である。
【図５】  図４の一部分を断面で示す側面図である。
【図６】  図４のケーシングの挿通孔に挿通されるリターン路部材を示す横断面図である。
【図７】  図６のリターン路部材の縦断面図である。
【図８】  図１の直動案内ユニットにおけるエンドキャップをケーシング側から見た背面図である。
【図９】  図８のエンドキャップのＢ−Ｂ断面を示す断面図である。
【図１０】  図８の符号Ｃ部を拡大した背面図である。
【図１１】  図１０のエンドキャップのＤ−Ｄ断面を示す断面図である。
【図１２】  図１の直動案内ユニットにおけるスペーサをエンドキャップ側から見た正面図である。
【図１３】  図１２のスペーサの側面図である。
【図１４】  図１２のスペーサの左側部分の下面図である。
【図１５】  図１４のスペーサの下面図である。
【符号の説明】
１    軌道レール
２    スライダ
３    側面
４    軌道溝（第１軌道溝）
５    挿通孔
６    リターン路部材
７    スペーサ駒部
８    スペーサの接続管部の内側部分
９    スペーサの方向転換路の内周部
１０  ケーシング
１１  エンドキャップ
１２  スペーサ
１３  エンドシール
１４  軌道溝（第２軌道溝）
１９  方向転換路
２０  ボール（転動体）
２１  負荷軌道路
２２  リターン路
２８  エンドキャップの接続管部の外側部分
２９  エンドキャップの方向転換路の外周部
３０  直線孔
３１  挿通孔の端部
３６  スペーサ駒部の挿入凹部
３８  エンドキャップの端面
３９  スペーサの端面
４０  ケーシングの端面
４１  整合面
４７  スペーサのスペーサ駒部の挿入部
４８  接続管部
４９  リターン路の端部
５０  スペーサ本体
【図１】
0004384379.tif 000002
【図２】
0004384379.tif 000003
【図３】
0004384379.tif 000004
【図４】
0004384379.tif 000005
【図５】
0004384379.tif 000006
【図６】
0004384379.tif 000007
【図７】
0004384379.tif 000008
【図８】
0004384379.tif 000009
【図９】
0004384379.tif 000010
【図１０】
0004384379.tif 000011
【図１１】
0004384379.tif 000012
【図１２】
0004384379.tif 000013
【図１３】
0004384379.tif 000014
【図１４】
0004384379.tif 000015
【図１５】
0004384379.tif 000016