(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下駆動機構を有しこの上下駆動機構により水槽内に水没されたワークを収納するカセットの上昇駆動を行ってワークを一枚ずつ水面に露出させることが可能なローディング装置において、
上記カセットの上方に設けられ、水を噴出させることにより前記ワークの収納方向の奥行き側に荷重を与えるノズル体を備え、
前記カセットは、円筒形状に形成され、側面の半分側が開放し、複数枚の前記ワークを上下方向に所定の隙間を有して積層状に収納可能な複数のワーク収納部を有し、
前記ノズル体は、水の噴射により前記ワークの収納方向の奥行き側に荷重を与えることで、前記ワークを前記ワーク収納部に対して押し付け、前記カセット上昇駆動時のワーク支持状態のバランスを調整することを特徴とするローディング装置。
【請求項２】
前記ノズル体は、前記上下駆動機構の上昇駆動により、前記ワークが水面に露出させるに従い噴射される水の流量を少なくし、前記ワークが完全に露出した際に、前記水の噴射を停止可能に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のローディング装置。
【請求項３】
水槽内に水没されたカセットに収納されたワークのローディングを行うローディング方法において、
円筒形状に形成され、側面の半分側が開放し、複数枚の前記ワークを上下方向に所定の隙間を有して積層状に収納可能な複数のワーク収納部を有する上記カセットを上昇駆動させるカセット上昇工程と、
このカセット上昇工程と同期して、前記ワーク収納部に収納されたワークの収納方向奥行き側に水を噴出させて荷重を付加し、前記ワークを前記ワーク収納部に対して押し付け、前記カセット上昇駆動時のワーク支持状態のバランスを調整する水噴出工程と、
上記水槽の水面上に露出したワークの取出しを行う取出し工程と、
を具備することを特徴とするローディング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カセットに収納されて水槽に浸漬されたワークを取り出すローディング装置およびローディング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体装置や液晶表示装置の製造過程においては、ワークとしての半導体ウエハや液晶用ガラス基板に回路パターンを形成するための成膜プロセスやフォトプロセスがある。これらのプロセスでは、ワークの処理と洗浄とが繰り返し行われて表面に付着するパーティクルの除去が為されている。
【０００３】
この場合、特に研磨やＣＭＰの研磨材を用いた工程後の洗浄処理においてワークが乾燥すると、ワークの表面に研磨材が付着して剥がれ難くなるので、水槽内でワークを乾燥させないよう水没させるローディング装置が用いられることがある。
【０００４】
ローディング装置はワークを水平に複数枚収納できるカセットを備えており、これが支持部材と連動している。このカセットは、略半円形状のリング状のワーク収納部を有しており、その半円形状をなす反対側の開放部分からワークの取出しおよび収納を行える構成となっている。
【０００５】
ワークの取出しを行うときは、ロボット装置のハンドをワーク収納部にワーク下面側から差し込み、このハンドを上昇駆動させてワークにハンドを接触させた後にこれを上方に持ち上げてハンドで保持してワークを取り出すという動作を行っている。
【０００６】
すなわち、ロボット装置のハンドでワークの取り出しを行う場合には、ワーク下面がハンドと接触し、その上面側は何等係止されていない状態であり、そのような取り出しを実現するために、隣り合うワーク収納部位との間に十分な間隔を設けてワークの持ち上げを行える構成としている。
【０００７】
また支持部材はモータやボールネジを備えたエレベータ機構に取り付けられ、その駆動によって上下駆動を行える構成となっている。
なお、実際にワークを取出す場合には、カセットに収納されて水没されたワークを一枚ずつ水槽の水面より露出させ、この露出したワークに対してロボット装置を駆動させて一枚ずつの取出しを行っている。
【０００８】
また、ワークを取り出すロボット装置のハンドは、バキュームによる裏面吸着方式、或いはセラミックを材質として上載せする方式、更にはテフロン材質からなるチャック部を設けてワークのチャッキングを行うメカチャック方式等、種々の方式がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、水没されたカセットを上昇駆動させてワークを水面上に露出させる場合には、このカセットに収納されたワークが水圧等により傾斜して安定しないという問題があった。すなわち、ワークは上述の如くワーク収納部に下面接触のみにより収納され、また略半円形状のワーク収納部では、開放側は何等支持されない構成となっている。さらに、夫々のワーク収納部は所定の間隔を有している。これらの条件によって、例えばカセットが上昇駆動された場合には、ワークに負荷する水圧によって片持ち状態のワークが傾斜してしまうといった問題が生じていた。
【００１０】
ワーク収納部においてこのようなワークの傾斜が生じてしまうと、ワークの取出しが良好に行えない。そのためワークは傾斜せずに安定した状態である必要がある。
【００１１】
また、バキュームによる裏面吸着方式のハンド、或いは上乗せ方式のハンドでは、ワークの裏面へ面接触するため、それによってパーティクルなどが転写されるという問題が生じている。
【００１２】
また、上乗せ方式においては、ワークのずれを防止するためのガイドが設けられていないため、ハンド上に水膜が形成されるとワークがその水膜によってスリップし、それによってワークに位置ずれや良好に保持が行えないといった問題が生じている。そのため、ウエット時のワークの搬送を行えないものとなっている。
【００１３】
さらに、メカチャック方式の場合には、チャッキング機構が備えられるためにハンドの厚さが増し、そのためピッチの狭いワーク収納部からのワークの取出しに難があるという問題がある。
【００１４】
本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、水槽内のワークのローディングを良好に行えるローディング装置およびローディング方法を提供しようとするものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、上下駆動機構を有しこの上下駆動機構により水槽内に水没されたワークを収納するカセットの上昇駆動を行ってワークを一枚ずつ水面に露出させることが可能なローディング装置において、上記カセットの上方に設けられ、水を噴出させることにより前記ワークの収納方向の奥行き側に荷重を与えるノズル体を備え、前記カセットは、円筒形状に形成され、側面の半分側が開放し、複数枚の前記ワークを上下方向に所定の隙間を有して積層状に収納可能な複数のワーク収納部を有し、前記ノズル体は、水の噴射により前記ワークの収納方向の奥行き側に荷重を与えることで、前記ワークを前記ワーク収納部に対して押し付け、前記カセット上昇駆動時のワーク支持状態のバランスを調整することを特徴とするローディング装置である。
【００１７】
請求項２記載の発明は、前記ノズル体は、前記上下駆動機構の上昇駆動により、前記ワークが水面に露出させるに従い噴射される水の流量を少なくし、前記ワークが完全に露出した際に、前記水の噴射を停止可能に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のローディング装置である。
【００１８】
請求項３記載の発明は、水槽内に水没されたカセットに収納されたワークのローディングを行うローディング方法において、円筒形状に形成され、側面の半分側が開放し、複数枚の前記ワークを上下方向に所定の隙間を有して積層状に収納可能な複数のワーク収納部を有する上記カセットを上昇駆動させるカセット上昇工程と、このカセット上昇工程と同期して、前記ワーク収納部に収納されたワークの収納方向奥行き側に水を噴出させて荷重を付加し、前記ワークを前記ワーク収納部に対して押し付け、前記カセット上昇駆動時のワーク支持状態のバランスを調整する水噴出工程と、上記水槽の水面上に露出したワークの取出しを行う取出し工程と、を具備することを特徴とするローディング方法である。
【００１９】
請求項１の発明によると、カセットの上方に水を噴出するノズル体が位置し、このノズル体からの水の噴出でカセットに収納されたワークの収納方向の奥行き側に荷重が与えられ、これによってカセット上昇駆動時のワーク支持状態のバランスが調整されるため、カセットに収納されたワークに傾斜が生じず、それによってロボット装置のハンドの差し込みを良好に行える。このため、ワークの搬送を常に良好な状態に維持できる。
【００２０】
特に、ワークに対して線接触で保持するハンドを有するロボット装置では、ワークの状態が安定するため、ハンドによる保持状態を良好にすることができる。請求項２の発明によると、アーム体のハンドは、ワーク下面の外周部分と当接するテーパ部と、ワークの位置ずれを防止する位置規制部とを有しているため、位置規制部によってワークに位置ずれを生じさせることなく確実に保持でき精度の良い搬送を行えると共に、テーパ部に対しワークが下面の外周部分で当接するため、面接触ではなく線接触を行うことになる。このため、パーティクル等の汚染物の転写がテーパ部から生じ難くなる。
【００２１】
請求項３の発明によると、上記ハンドには、ワークを保持したときの下面側に位置する部分に排水孔が形成されているため、ハンドとワークの間に水膜が形成されることがなく水切り性が向上する。よってハンドに保持されたワークにスリップが生じることがなくなる。
【００２２】
請求項４の発明によると、カセットを上昇駆動させるカセット上昇工程と、このカセット上昇工程と同期して、該カセットに収納されたワークの収納方向奥行き側に水を噴出させて荷重を付加する水噴出工程と、上記水槽の水面上に露出したワークの取出しを行う取出し工程と、を具備するため、水槽内に水没されたカセットに収納されたワークのローディングを安定的且つ良好に行うことができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について、図１ないし図５に基づいて説明する。図１に示す本発明のローディング装置２０は、水槽２１を有している。この水槽２１は、例えば断面が四角形状を為す有底筒状体であり、この水槽２１底部には内部に蓄えられる水の排出を行うための排出管路が設けられ、また水槽２１の適宜の高さ位置に水の供給管路が備えられている。
【００２４】
上記水槽２１はベース２２に取り付けられているが、そのベース２２にはさらに上下駆動機構２３が取り付けられている。上下駆動機構２３は、後述する支持機構３０の上下駆動を行うためのもので、駆動源としてベース２２にはモータ２４が取り付けられており、さらにこのモータ２４に駆動プーリ２５が取り付けられ、これにベルト２６が掛け渡されて従動プーリ２７へ駆動力を伝達するように構成されている。
【００２５】
上記従動プーリ２７は、ボールネジ２８の先端部に取り付けられており、そのため従動プーリ２７が回転駆動されるとそれに伴ってボールネジ２８が回転駆動され、このボールネジ２８に螺合されたホルダ２９の上下駆動が行える。
【００２６】
上記ホルダ２９は、支持機構３０を為す取付板３１に取り付けられている。この取付板３１には、一対の側面板３２が両端に取り付けられており、さらにこの一対の側面板３２の上端の適宜の部位には、これら側面板３２の間を掛け渡すように上面板３３が取り付けられている。
【００２７】
なお、上記取付板３１の両端側には、支持機構３０の上下方向へのスライドをガイドするためのガイド機構３４が設けられており、それによって安定したスライド駆動を実現できるものとなっている。なお、このガイド機構３４の配置は、支持機構３０の上下方向へのスライド性が安定して行えるならば、その配置及び取付位置は、特に限定されたものではない。
【００２８】
上面板３３には、ワーク３５を収納するためのカセット４０を保持するカセット保持部３６が取り付けられている。カセット保持部３６は、上面板３３の両端側から下方に向かって垂下して設けられた垂下板３７を一対備え、その垂下板３７の下端側にこれらの間を橋渡し状に掛け渡して設けられたカセット取付板３８を有している。すなわち、これら一対の垂下板３７およびカセット取付板３８によってブランコ形状を為すように構成されている。
【００２９】
そして、上記カセット取付板３８には、ワーク３５を収納するためのカセット４０が取付固定されている。カセット４０は、これを上方から見た場合に略半円のリング形状に形成されていて、一方側が開放してワーク３５の取出しを行える構成としている。また、ワーク３５の支持具合を安定化させるために、略半円形状よりも開放側に向かってそのリング形状が平行に幾分延出した構成となっている。
【００３０】
そのため、カセット４０は、円筒形状の略半分側が開放した状態となっており、その上面及び下面側も開放した状態となっている。
カセット４０は、複数枚のワーク３５を上下方向に所定の隙間を有して積層状に収納する構成とすべく、そのワーク３５の収納枚数に対応した複数のワーク収納部４１が設けられている。
【００３１】
ここで、ワーク収納部４１は、従来形状のワーク収納部４１とは異なって例えばその断面形状が緩やかな略波形曲線を為す係止部４２が複数段縦列した構成である。それと共に、ワーク収納部４１の大きさは、収納対象物たるワーク３５よりも若干大き目（しかしながら、ワーク３５の収納性が悪化しない程度）に形成されている。
【００３２】
そのため、ワーク３５を収納する場合には、略波形に形成された係止部４２の窪みの部分にワーク３５を差し込んで収納する構成となっており、その場合には、係止部の略波形を為す傾斜部分でワーク３５を保持する構成となっている。そのため、ワーク収納部４１では、線接触にてワーク３５が保持された状態となっている。
【００３３】
また後述するロボット装置６０のハンドによってワーク３５を取り出す場合には、ワーク３５の下方側からハンドを差し込んでハンドをワーク３５に接触させてこれを持ち上げ、そしてワーク３５をわずかばかり持ち上げた状態でハンドを抜き出す。それによってワーク３５とワーク収納部４１との間には僅かばかりの隙間が存してワーク３５が非接触の状態となり、ワーク３５の抜き出し具合を良好にすることを可能としている。
【００３４】
このカセット４０の上方側には、ノズル体５０が設けられている。ノズル体５０は、ワーク収納部４１に収納されたワーク３５を傾斜させずにそのバランスを取るべく水を噴出するものであり、ワーク３５に対してカセット４０の開放側とは反対の位置（すなわち、ワーク３５の収納方向の奥行き側）に水を噴出するように配置されている。
【００３５】
このノズル体は上面板３３に取り付けられ、さらに外部に設けられた供給源に対し配管などによって連結された構成となっている。また、カセット４０の最上部に位置するワーク３５のみに適宜の勢いの水を与え、それ以外のワーク３５の収納状態を乱さないため、そのノズル体５０の噴出口からの高さの調整が為されている。
【００３６】
このようなローディング装置２０からワーク３５を取り出し、外部の他の装置へこれを搬送させるために、ロボット装置６０が設けられている。
ロボット装置６０は、図２に示すように、ベース６１に装置本体６２が固定されて設けられている。この装置本体６２は、内部に後述する基端のアーム８１を回転駆動させる駆動源６３を有しており、またこの駆動源６３と共に装置本体６２内部にはその駆動源６３を内蔵する円筒形状のハウジング６４が設けられている。さらに、そのハウジング６４の下面側には、下方に向かって延出する旋回軸６５が設けられている。
上記旋回軸６５には従動プーリ６６が取り付けられている。この従動プーリ６６に対しては、ハウジング６４の回転駆動を行うための駆動源６７及びこの駆動源６７に取り付けられた駆動プーリ６８が配置されている。これら従動プーリ６６及び駆動プーリ６８には、ベルト６９が掛け渡されることで、ハウジング６４の回転を行うことを可能としている。
【００３７】
また、この駆動源６７は板状部材７０に取り付けられていて、その板状部材７０の所定部位がボールネジ７１に螺合されている。それによって、ボールネジ７１が回転駆動されると、板状部材７０及びこの板状部材７０に対して相対的な高さが変わらぬように設けられたハウジング６４等の上下方向への駆動を行える構成となっている。
【００３８】
なお、このボールネジ７１を回転駆動させるために、ボールネジ７１下端に駆動源が設けられている。
装置本体６２の上部開口からは、駆動源６３に直結されている駆動軸７２が上方に突出して設けられている。この駆動軸７２の上端には、装置本体６２を覆うカバー体である覆い体７３が一体的に取り付けられている。この覆い体７３は、装置本体６２のハウジング６４よりも大きな外径を有して形成されており、また覆い体７３外周端部には、下方に向かって円筒形状のスカート部７３ａが一体的に形成され下方に突出した構成となっている。これらスカート部７３ａ及び覆い体７３により、装置本体６２の外周面の上部が覆い隠される構成となっている。
【００３９】
また、覆い体７３に覆われた構成ではあるが、ハウジング６４の外周部には耐薬品性の優れた樹脂等を材質として形成された排水層７４が設けられている。排水層７４は、スカート部７３ａよりも外周側に設けられた外壁７４ａと、このスカート部７３ａの内周側に位置してこれとの組み合わせで略ラビリンス状を為して内部側に処理液や水の浸入を防止する内壁７４ｂとで囲まれて構成されている。
【００４０】
排水槽２１の底部には、一つまたは複数個の排水孔７５が設けられており、この排水層７４の底部に溜まった処理液等を外部へ排出するようにしている。
覆い体７３の回転中心に該当する駆動軸７２には、これと連動するように設けられたアーム体８０が連結されている。すなわち、駆動軸７２に基端のアーム８１が一体的に連結されており、そのため駆動軸７２が回転駆動されると、この基端のアーム８１も同じ角度だけ回転駆動を行う。
【００４１】
ここで、アーム体８０は図３に示すように、基端のアーム８１、中間のアーム８２および先端のアーム８３、さらには先端のアーム８３に取り付けられたワーク３５を保持するためのハンド８４より構成されている。
【００４２】
そして、ハウジング６４の上面には、このハウジング６４と一体的に形成された筒状軸８５が存しており、この筒状軸８５には第１のプーリ８６が取り付けられてこれらが共に基端のアーム８１の内部に設けられた構成となっている。この筒状軸８５は中央が空洞に形成されており、内部に駆動軸７２が挿通される構成となっている。
【００４３】
基端のアーム８１の内部では、この第１のプーリ８６と共にベルト８７を張設する第２のプーリ８８が第１のプーリ８６の反対側に設けられている。第２のプーリ８８は、中間のアーム８２と一体的な駆動軸８９に取り付けられており、この第２のプーリ８８に駆動力が伝達されるとそれが中間のアーム８２の回転駆動力として伝わるようになっている。
【００４４】
なお、駆動軸８９を覆うように、基端のアーム８１と一体的に設けられた筒状軸９０が設けられており、その上端側に第３のプーリ９１が取り付けられている。この第３のプーリ９１は、中間のアーム８２の内部に位置しており、第４のプーリ９２とでベルト９３を張設している。
【００４５】
第４のプーリ９２は、先端のアーム８３と一体的に設けられた駆動軸９４の先端に取り付けられており、この第４のプーリ９２に駆動力が伝達されることで先端のアーム８３の回転駆動を行える仕組みとなっている。
【００４６】
以上のようなアーム体８０の構成により、駆動源６３が作動すれば、アーム体８０が図３の二点鎖線に示す如き伸縮作動を行える構成となっている。
上記先端のアーム８３に取り付けられたハンド８４は、その形状が図４に示す構成となっている。
【００４７】
このハンド８４は、把手部１００が先端のアーム８３に取り付けられ、さらに把手部１００に連なって保持部１０１が設けられている。保持部１０１は、把手部１００よりも薄肉となるように形成されており、さらにワーク３５の保持を安定化させるために、把手部１００よりも幅広に形成されている。また、保持部１０１の両端部には、その材質をＰＶＣ（塩化ビニール）やＣＴＦＥ（フッ素樹脂）とするワーク係止部材１０２，１０３が取り付けられており、これが保持部１０１に形成された孔部１０４に対し、同じくＰＶＣやＣＴＦＥを材質とする不図示のピン部材を熱を付与しながらかしめて固定している。
【００４８】
このワーク係止部材１０２，１０３は、図５に示すように、ワーク３５をずれさせないように、その外周を係止する所定の高さを有した位置規制部１０５と、その位置規制部１０５よりも保持部１０１の中心部側（ワーク３５を係止させたときのワーク３５中心側）に向かい高さが低くなるように傾斜して形成されたテーパ部１０６とを有している。それにより、ワーク３５をこのワーク係止部材１０２，１０３で保持するときには、ワーク３５の下面側の外周縁部とテーパ部１０６とで線接触を為して保持し、またワーク３５の外周が位置規制部１０５の内周壁により係止される構成となっている。
【００４９】
このワーク係止部材１０２，１０３はハンド８４の幅方向の全体に亘って設けられている。
上記保持部１０１の所定位置には、排水性を良好とするための排水孔１０７が形成されている。排水孔１０７は、保持部１０１の水切り性を良好にするために形成されたものであって、それによってワーク３５を保持したときに、水膜によるずれが生じるのを防止するものである。
【００５０】
以上のような構成を有するローディング装置２０およびロボット装置６０を用いて水槽２１に水没されたカセット４０に収納されているワーク３５を取り出す場合の動作について、以下に説明する。
【００５１】
カセット４０のワーク収納部４１に存するワーク３５を取り出す場合には、このカセット４０を上昇駆動させて一枚ずつ水面より上に露出させる必要がある。そのため、上下駆動機構２３を作動させてカセット４０を上昇させるが、水没しているカセット４０に収納されたワーク３５に対しては、上昇駆動時に水圧が負荷してカセット４０の開放側に作用するその水圧によってワーク３５が傾斜する虞がある。
【００５２】
そのため、上記ノズル体５０より水を噴出させ、ワーク３５のカセット４０開放側とは反対側（すなわち、ワーク３５の収納方向の奥行き側）に水圧による荷重を負荷し、この部分が浮き上がるのを防止する。
【００５３】
それによって、ワーク３５に対してワーク収納部４１に押し付けられる荷重が付加されるため、カセット４０を上昇駆動させても水圧によるワーク３５の傾斜が生じるのを防止できる。
【００５４】
この場合、水の流量はハンド８４に保持されているワーク３５のバランスを良好にする程度に調整して噴出する。
そして、この水の流量は、例えば水面にワーク３５を露出させるに従い、上記ノズル体５０より噴出させる水の流量を調整して少なくする等の流量の制御を行い、完全に露出した場合には、ノズル体５０からの水の噴出を完全に停止させる。
【００５５】
この後に、上記ロボット装置６０を駆動させてワーク収納部４１にアーム体８０のハンド８４を差し込む。
そして、このハンド８４を上昇駆動させることで、ワーク３５が下方から持ち上げられ、それによってワーク３５をハンド８４のワーク係止部材１０２，１０３で保持させることが可能となる。
【００５６】
その後にアーム体８０を伸縮作動させ、これと共にアーム体８０の旋回動作等によってワーク３５を適宜の位置に搬送する。
そして、次のワーク３５の搬送を行う場合にも、同様にノズル体５０から水を噴出させつつ上下駆動機構２３を作動させてカセット４０を上昇駆動させ、最上位に位置するワーク３５を水面に露出させるようにする。以後、この動作を繰り返し行えば、カセット４０に収納されたワーク３５のローディングを次々と行える。
【００５７】
このような構成のローディング装置２０によると、上下駆動機構２３を作動させて支持機構３０の上下駆動を行えば、水槽２１に水没されたカセット４０のワーク収納部４１に収納されたワーク３５に水圧が付与して、ワーク収納部４１に片持ち支持されたワーク３５を傾斜させる力が作用する。
【００５８】
しかしながら、ノズル体５０から水を噴出させてこの水の噴出によりワーク３５のワーク収納部４１の奥行き側に荷重を付与すれば、このワーク３５がワーク収納部４１に対して押し付けられ、それによってワーク３５の水圧による傾斜を防止することができる。
【００５９】
そのため、ワーク収納部４１へのハンド８４の差込みが妨げられず、精度良くハンド８４でワーク３５を保持することができる。
このようなノズル体５０での水の噴出によってワーク３５のバランスが保たれて傾斜を防げるので、ハンド８４によるワーク３５の搬送状態を良好にすることができる。
【００６０】
また、上述の構成のロボット装置６０によると、アーム体８０のハンド８４にはワーク係止部材１０２，１０３が取り付けられ、このワーク係止部材１０２，１０３には位置規制部１０５が形成されているので、ロボット装置６０を作動させてハンド８４でワーク３５の搬送を行う場合でも、位置規制部１０５によってワーク３５の位置ずれを防止することができる。
【００６１】
それと共に、テーパ部１０６が形成され、ワーク３５はこのテーパ部１０６に対して下面側の外周部分で当接して保持されるので、ワーク３５はこの下面側で面接触によってではなく線接触によって保持される。
【００６２】
そのため、テーパ部１０６にパーティクルが付着している場合でも、このテーパ部１０６からワーク３５下面へのパーティクルの転写が防止できる。それによって、以後のワーク３５の処理に悪影響を及ぼすことを防止できる。
【００６３】
また、ハンド８４の保持部１０１には、排水孔１０７が形成されているので、この保持部１０１とワーク３５下面との間の水切り性が向上し、そのためこの間の部分に水膜が形成されるのを防止することができる。そのため、ワーク３５とハンド８４の間でスリップが生じてワーク３５の保持具合が悪化することがなくなる。
【００６４】
以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下それについて述べる。
上記実施の形態では、水槽２１内に水没されたカセット４０に収納されたワーク３５に対してノズル体５０から水を噴出する構成について述べたが、本発明の被対象物に水を噴出してそのバランスを保つ構成は、ローディング装置２０以外の装置にも適用可能である。
【００６５】
また、ワーク係止部材１０２，１０３は、ハンド８４の幅方向の全体に亘って設けられているが、例えば位置規制部１０５は適宜の間隔でピン状部材を配置し、それによってワーク３５の位置規制を行う構成であっても構わない。
その他、本発明の要旨を変更しない範囲において、種々変形可能となっている。
【００６６】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１記載の発明によると、カセットの上方に水を噴出するノズル体が位置し、このノズル体からの水の噴出でカセットに収納されたワークの収納方向の奥行き側に荷重が与えられ、これによってカセット上昇駆動時のワーク支持状態のバランスが調整されるため、カセットに収納されたワークに傾斜が生じず、それによってロボット装置のハンドの差し込みを良好に行える。このため、ワークの搬送を常に良好な状態に維持できる。
【００６７】
特に、ワークに対して線接触で保持するハンドを有するロボット装置では、ワークの状態が安定するため、ハンドによる保持状態を良好にすることができる。
アーム体のハンドは、ワーク下面の外周部分と当接するテーパ部と、ワークの位置ずれを防止する位置規制部とを有しているため、位置規制部によってワークに位置ずれを生じさせることなく確実に保持でき精度の良い搬送を行えると共に、テーパ部に対しワークが下面の外周部分で当接するため、面接触ではなく線接触を行うことになる。このため、パーティクル等の汚染物の転写がテーパ部から生じ難くなる。
【００６８】
上記ハンドには、ワークを保持したときの下面側に位置する部分に排水孔が形成されているため、ハンドとワークの間に水膜が形成されることがなく水切り性が向上する。よってハンドに保持されたワークにスリップが生じることがなくなる。
【００６９】
請求項４記載の発明によると、カセットを上昇駆動させるカセット上昇工程と、このカセット上昇工程と同期して、該カセットに収納されたワークの収納方向奥行き側に水を噴出させて荷重を付加する水噴出工程と、上記水槽の水面上に露出したワークの取出しを行う取出し工程と、を具備するため、水槽内に水没されたカセットに収納されたワークのローディングを安定的且つ良好に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係わるローディング装置の構成を示す斜視図。
【図２】同実施の形態に係わるロボット装置の構成を示す側断面図。
【図３】同実施の形態に係わるロボット装置の構成を示す平面図。
【図４】同実施の形態に係わるロボット装置のハンドの構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【図５】同実施の形態に係わるハンドのワーク係止部材の構成を示す側断面図。
【符号の説明】
２０…ローディング装置
２１…水槽
２３…上下駆動機構
３０…支持機構
３１…取付板
３３…上面板
３４…ガイド機構
３５…ワーク
３６…カセット保持部
４０…カセット
４１…ワーク収納部
５０…ノズル体
６０…ロボット装置
６２…装置本体
６４…ハウジング
７２…駆動軸
７３…覆い体
８０…アーム体
８４…ハンド
１０１…保持部
１０２，１０３…ワーク係止部材
１０５…位置規制部
１０６…テーパ部
１０７…排水孔
【図１】
0004227212.tif 000002
【図２】
0004227212.tif 000003
【図３】
0004227212.tif 000004
【図４】
0004227212.tif 000005
【図５】
0004227212.tif 000006