(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部開口面をダクトホースを介して集塵機に連通し、底面を開口したハウジング内に、圧縮空気供給源に配管を介して連通するエアーブローノズルを装着し、前記ハウジングの開口底面を被加工物に対して間隙を介して対峙すると共に、前記ハウジングの開口底面に前記エアーブローノズルの噴射開口面の幅方向対称位置に所定間隙を介して平行に被加工物に対して傾斜する吸込板を並設したことを特徴とするサンドブラスト加工における被加工物のクリーニングユニット。
【請求項２】
前記ハウジング底部開口面及び前記エアーブローノズルの噴射開口面は、矩形など幅方向に比して長手方向が大きい形状から成る請求項１記載のサンドブラスト加工における被加工物のクリーニングユニット。
【請求項３】
前記吸込板は、エアーブローノズルの幅方向対称位置に５゜〜４５゜好ましくは、約３０゜の角度で被加工物に対して傾斜し、所定間隙を介して平行に吸込板を並設し、被加工物に対して前記ハウジングの開口底面を好ましくは７mmの間隙を介して対峙して配置する請求項１記載のサンドブラスト加工における被加工物のクリーニングユニット。
【請求項４】
前記ハウジングの側面に柔軟な材料から成るクリーナを取り付けた請求項１記載のサンドブラスト加工における被加工物のクリーニングユニット。
【請求項５】
前記ハウジングの側面に設けたブラケットにゴム又はスプリングなど弾性材料から成るクリーナ支持桿を取り付け、該クリーナ支持桿に柔軟な材料から成るクリーナを取り付けた請求項４記載のサンドブラスト加工における被加工物のクリーニングユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、サンドブラスト加工における被加工物のクリーニングユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のサンドブラスト後の被加工物たる加工基板３０のクリーニング方法として、図６に示すようにサンドブラスト加工室４３の加工基板３０の搬送方向下流側に噴射空気ブロー室４４を設け、該部で加工基板３０上の研磨材及び切削屑等の塵埃を吹き払い集塵するようにしていた。
【０００３】
すなわち、加工室４３内の４本のサンドブラストノズル５０はノズル駆動装置５２により同図紙面表裏（前後）方向に高速で往復移動するよう構成され、加工基板３０は加工基板搬送用ローラー５４上を同図紙面左から右に搬送され加工される。加工基板搬送用ローラー５４を上方から下方へ通過した研磨材などはサイクロン４１の負圧により加工室ホッパー４２を介して回収され、塵埃は、集塵機４０へ捕集される。
【０００４】
他のエアブローノズル５１にてエアーブローされ加工基板３０上の研磨材及び切削屑等の塵埃が除去され、加工基板搬送用ローラー５４を通過した塵埃などはサイクロン４１の負圧により回収され、集塵機４０へ捕集され、この加工基板３０がエアブロー室４４から排出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
この手段ではエアーブロー室４４で吹き払った研磨材がエアーブロー室４４内で舞い上がりエアーブロー後に研磨材等が加工基板３０上に乗ってしまい加工基板３０上の研磨材等を完全に除去することは不可能に近い。
【０００６】
特に、最近は電子部品にサンドブラスト加工を行うことが多く、サンドブラスト加工後クリーンルームに入る場合もありサンドブラスト加工後の加工基板３０に付着した研磨材等をできるだけ完全に除去する必要がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明サンドブラスト機における被加工物のクリーニングユニットは、上部開口面をダクトホース１６を介して集塵機４０に連通し、底面を開口したハウジング１５内に、圧縮空気供給源に配管１１を介して連通するエアーブローノズル１２を装着し、前記ハウジング１５の開口底面を被加工物に対して間隙を介して対峙すると共に、前記ハウジング１５の開口底面に前記エアーブローノズル１２の噴射開口面の幅方向対称位置に所定間隙を介して平行に被加工物３０に対して傾斜する吸込板１３を並設したことを特徴とする。
【０００８】
前記吸込板１３は、エアーブローノズル１２の幅方向対称位置に５゜〜４５゜好ましくは、約３０゜の角度で加工基板３０に対して傾斜し、所定間隙を介して平行に吸込板１３を並設し、被加工物たる加工基板に対して前記ハウジング１５の開口底面を好ましくは７mmの間隙を介して対峙して配置する。
【０００９】
また、前記ハウジング１５の側面に、例えば、ブラケット２１を介して、このブラケット２１にゴム又はスプリングなど弾性材料から成るクリーナ支持桿２２を取り付け、スポンジなどの柔軟な材料から成るクリーナ２３を取り付けることができる。
【００１０】
したがって、ハウジングの中のエアーブローノズル１２から噴射空気を噴射させスリットと平行に複数列設けた吸込板１３から、前記噴射した空気をハウジング内に集塵機からの負圧により回収し、被加工物たる加工基板上に付着した研磨材と塵埃を除去する。強固に付着し噴射空気だけでは取れない汚れは前記ハウジングに取り付けたスポンジなどの柔軟材料からなるクリーナで擦過して除去することが可能となる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本願発明の実施の形態を従来技術と同一の部分については、説明を省略して説明すると、図１において、サンドブラストノズル５０は同図紙面表裏（前後）方向に高速で往復移動し、加工基板３０は前記サンドブラストノズル５０下方を前記サンドブラストノズル５０の往復移動方向と直交方向すなわち同図紙面左から右に搬送されながら加工される。
【００１２】
加工基板３０の搬送方向最後尾のノズル５０を加工基板３０が通過後、直ちに加工室４３内のエアブローノズル５１にてエアーブローされ、さらに、搬送されてエアブロー室４４に入る。エアーブロー４４室に入るとクリーニングユニット１０の下を通過する。クリーニングユニット１０はサンドブラストノズル５０と同じようにクリーニングユニット駆動装置５３により同図紙面表裏（前後）方向に高速で移動する。
【００１３】
クリーニングユニット１０は、上部開口面を図１に示すダクトホース１６を介して集塵機４０に連通し、矩形の底面を開口したハウジング１５内に、０. ０５mm〜１. ５mmの噴射開口面の幅方向に比して長手方向が、大きい矩形などの形状の噴射ノズルを有するスリット型のエアーブローノズル１２を装着し、前記ハウジング１５の開口底面に、前記エアーブローノズル１２の幅方向対称位置に５゜〜４５゜好ましくは、約３０゜の角度で加工基板３０に対して傾斜し、所定間隙を介して平行に吸込板１３を並設したもので、加工基板と距離が離れていると完全に噴射空気を捕集することができません。加工基板と前記ハウジング１５の開口底面に設けた吸込板１３の距離は集塵機４０による負圧にもよるが、約１０mm好ましくは７mm以下である。前記エアーブローノズル１２の上端は、図示せざる圧縮空気供給源に配管１１を介して連通している。
【００１４】
図２〜図４に示すようにスリット型エアーブローノズル１２から高圧空気を噴射すると、噴射空気のほとんどがエアーブローノズル１２の噴射開口面に対し垂直方向に圧送され、噴射した空気は加工基板３０と前記ハウジング１５の開口底面との間で、上下に拡散しようとし、多列に設けられた吸込板１３により集塵機４０からの負圧で集塵容器を成すハウジング１５に入り、噴射空気を拡散しながら集塵機４０に吸い込まれる。噴射空気を吹きつけて取れる塵埃及び被加工物の機械的強度が弱く、異物との接触で損傷する対象の場合は、図２に示す構成により、加工基板に付着した研磨材や塵埃を除去する。
【００１５】
図３に示す実施例は、現像時に加工基板の裏面にまわりこんだ現像液が乾燥し、そこに研磨材等が付着した場合等のエアーブローのみで落ちない汚れがある場合等に対応するもので、ハウジング１５の側面にブラケット２１及び該ブラケット２１に設けたゴム又はスプリングなど弾性材料から成るクリーナ支持桿２２に、例えばスポンジなどの柔軟な材料から成る円筒状のクリーナ２３を取り付け、このクリーナ２３を加工基板に接触させ研磨剤などを除去する。図３に示す構成は、図２の実施例においては、加工基板３０の下面（裏面）に配置し、図２に示す構成を加工基板３０の上面（表面）に配置している。
【００１６】
また、スポンジ製クリーナ２３は、図５に示すように、形状は任意であるが好ましくは、加工基板にあたる面がアール又はテーパーとし、加工基板がクリーナに当たったとき逃げやすい形状にする。これにより加工基板に付着した汚れは完全に除去される。
【００１７】
実施例
加工目的: プラズマディスプレイ隔壁形成
加工ワーク: ４２インチガラス基板上に低融点ガラスを塗布したもの
加工パターン: ライン幅１２０μm、ラインピッチ３７０μm
低融点ガラスの高さ１８０μm
使用した低融点ガラスペースト: 奥野製薬製G ３- ２１４１
使用したドライブィルム: 東京応化工業製BF- ６０３
基板とファイナブローユニットとの隙間: ５mm
エアブローノズルのスリット幅: ０. ２mm
エアブローノズルのスリット長さ: ３０mm
エアブローの圧力：３kg/cm2
クリーナ材質: ブリジストン製ウレタンスポンジ
上面のクリーニングユニットはスポンジ製クリーナ無し
下面のクリーニングユニットはスポンジ製クリーナ有り
上記の条件でクリーニングユニット１０からの噴射空気及び研磨材の飛び出しは無く、加工基板３０上面はクリーニング後噴射空気を吹きつけても、変化が無い状態( 研磨材及び塵埃の飛散がない) レベルまでクリーニングされた。下面は手でこすって研磨材が手に付着しないレベルまでクリーニングされた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願クリーニングユニットを取り付けた装置の全体図
【図２】要部断面図
【図３】他の実施例を示す要部断面図
【図４】図３の断面斜視図
【図５】クリーナの複数の実施形態を示す斜視図
【図６】従来のクリーニングユニットを示す全体図
【符号の説明】
１０  クリーニングユニット
１１  噴射空気配管
１３  吸込板
１５  ハウジング
１６  ダクトホース
２１  ブラケット
２２  クリーナ支持桿
２３  クリーナ
３０  加工基板
４０  集塵機
４１  サイクロン
４２  加工室ホッパー
４３  加工室
４４  エアーブロー室
５０  サンドブラストノズル
５１  エアーブローノズル
５２  ノズル駆動装置
５３  クリーニングユニット駆動装置
５４  加工基板搬送用ローラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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