(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光パターンデータを電気信号としてディジタルマイクロミラーデバイスに入力してその複数の微小ミラーを上記露光パターンデータに応じて傾動させるとともに、該ディジタルマイクロミラーデバイスに光を入射してその複数の微小ミラーからの反射光を被露光体に投射して露光させるようにしたダイレクト露光装置であって、
上記ディジタルマイクロミラーデバイスの微小ミラーからの反射光を受ける受光センサーと、
検査パターンデータを電気信号として上記ディジタルマイクロミラーデバイスに入力する検査パターンデータ入力手段と、
上記受光センサーの出力信号と上記検査パターンデータとから上記ディジタルマイクロミラーデバイスの微小ミラーの動作異常を検知する異常検知手段と、
を備えたダイレクト露光装置において、
上記検査パターンデータは、以下のいずれかであり、
a)上記複数の微小ミラーについて一つずつ受光センサーに向けて光を反射するような動作を繰り返すパターン、
b)上記複数の微小ミラーについて所定個ずつ間隔をあけた複数個ずつ、受光センサーに向けて光を反射するような動作を繰り返すパターン、
上記異常検知手段は、上記いずれかの繰り返しパターンにより、ディジタルマイクロミラーデバイスの全微小ミラーの動作異常を検知すること、
を特徴とするダイレクト露光装置。
【請求項２】
上記受光センサーを上記微小ミラーからの所定の光反射経路上に位置させるとともに該光反射経路から退避させるセンサー駆動機構と、
上記受光センサーが検査開始時に上記光反射経路上に前進し検査終了後に上記光反射経路から後退するように上記センサー駆動機構を制御するセンサー駆動制御手段と、
を更に備えた請求項１記載のダイレクト露光装置。
【請求項３】
上記ディジタルマイクロミラーデバイスの微小ミラーからの反射光を上記受光センサーに向けて反射する反射ミラーを、
更に備えた請求項１記載のダイレクト露光装置。
【請求項４】
上記微小ミラーからの所定の光反射経路上に位置して上記微小ミラーからの反射光を上記光反射経路外に設置された上記受光センサーに向けて反射する反射ミラーと、
該反射ミラーを上記光反射経路上に位置させるとともに該光反射経路から退避させるミラー駆動機構と、
上記反射ミラーが検査開始時に上記光反射経路上に前進し検査終了後に上記光反射経路から後退するように上記ミラー駆動機構を制御するミラー駆動制御手段と、
を更に備えた請求項１記載のダイレクト露光装置。
【請求項５】
ディジタルマイクロミラーデバイスを利用して被露光体を露光させるにあたり、検査パターンデータを電気信号として上記ディジタルマイクロミラーデバイスに入力して各微小ミラーを上記検査パターンデータに応じて傾動させ、上記ディジタルマイクロミラーデバイスの微小ミラーからの反射光を受光センサーで受け、該受光センサーの出力信号と上記検査パターンデータとから上記ディジタルマイクロミラーデバイスの微小ミラーの動作異常を検知するようにしたダイレクト露光方法であって、
上記検査パターンデータとして、以下のいずれかであり、
a)上記各微小ミラーについて一つずつ受光センサーに向けて光を反射するような動作を繰り返すパターン、
b)上記各微小ミラーについて所定個ずつ間隔をあけた複数個ずつ、受光センサーに向けて光を反射するような動作を繰り返すパターン、
上記いずれかの繰り返しパターンにより、ディジタルマイクロミラーデバイスの全微小ミラーの動作異常を検知すること、
を特徴とするダイレクト露光方法。
【請求項６】
検査開始時に上記受光センサーを上記ディジタルマイクロミラーデバイスの微小ミラーからの光反射経路上に位置させ、検査終了後に上記受光センサーを上記光反射経路から後退させるようになした請求項５記載のダイレクト露光方法。
【請求項７】
検査開始時に反射ミラーによって上記ディジタルマイクロミラーデバイスの微小ミラーからの反射光を上記受光センサーに向けて反射させるようにした請求項５記載のダイレクト露光方法。
【請求項８】
検査開始時に上記ディジタルマイクロミラーデバイスの微小ミラーからの光反射経路上に反射ミラーを位置させて上記微小ミラーからの反射光を上記光反射経路外に設置された上記受光センサーに向けて反射させ、検査終了後に上記反射ミラーを上記光反射経路から後退させるようになした請求項５記載のダイレクト露光方法。
【請求項９】
複数の微小ミラーを有するディジタルマイクロミラーデバイスを利用して被露光体を露光させるダイレクト露光装置における上記微小ミラーの異常を検知するように、コンピュータを制御する異常検知プログラムであって、
上記コンピュータを、
受光センサーが検査開始時に上記ディジタルマイクロミラーデバイスの上記複数の微小ミラーからの光反射経路上に位置し検査終了後に上記光反射経路から退避するように、上記受光センサーを進退させるセンサー駆動機構を制御するセンサー駆動制御手段、
以下の検査パターンデータa),b)のいずれかパターンを電気信号として上記ディジタルマイクロミラーデバイスに入力する検査パターンデータ入力手段、
a)上記複数の微小ミラーについて一つずつ受光センサーに向けて光を反射するような動作を繰り返すパターン、
b)上記複数の微小ミラーについて所定個ずつ間隔をあけた複数個ずつ、受光センサーに向けて光を反射するような動作を繰り返すパターン、
上記受光センサーの出力信号と上記検査パターンデータとから上記ディジタルマイクロミラーデバイスの全微小ミラーの動作異常を検知する異常検知手段、
として機能させるようにしたことを特徴とするダイレクト露光の異常検査プログラム。
【請求項１０】
複数の微小ミラーを有するディジタルマイクロミラーデバイスを利用して被露光体を露光させるダイレクト露光装置における上記微小ミラーの異常を検知するように、コンピュータを制御する異常検知プログラムであって、
上記コンピュータを、
反射ミラーが検査開始時に上記ディジタルマイクロミラーデバイスの上記複数の微小ミラーからの光反射経路上に位置して上記微小ミラーからの反射光を上記光反射経路外に設置された上記受光センサーに向けて反射し検査終了後に上記光反射経路から退避するように、上記反射ミラーを進退させるミラー駆動機構を制御するミラー駆動制御手段、
以下の検査パターンデータa),b)のいずれかパターンを電気信号として上記ディジタルマイクロミラーデバイスに入力する検査パターンデータ入力手段、
a)上記複数の微小ミラーについて一つずつ受光センサーに向けて光を反射するような動作を繰り返すパターン、
b)上記複数の微小ミラーについて所定個ずつ間隔をあけた複数個ずつ、受光センサーに向けて光を反射するような動作を繰り返すパターン、
上記受光センサーの出力信号と上記検査パターンデータとから上記ディジタルマイクロミラーデバイスの全微小ミラーの動作異常を検知する異常検知手段、
として機能させるようにしたこと
を特徴とするダイレクト露光の異常検査プログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明はディジタルマイクロミラーデバイス（以下、単にＤＭＤともいう）を利用したダイレクト露光装置に関し、特に高精度な露光を信頼性よく行えるようにした装置に関する。以下では説明の便宜上、半導体デバイスやプリント基板の製造工程におけるレジストの露光を例に説明する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイスやプリント基板等、各種の電気的デバイスを製造する場合、半導体ウエハや基板の上に感光性樹脂膜であるレジストを形成し、該レジストを所望のパターンに露光して感光させた後、エッチング等の処理を行い、イオン打込みや不純物の拡散等、あるいは電気回路の形成を所望パターンに行っていた。
【０００３】
上述のような製造方法ではパターンマスクの精度が半導体デバイスやプリント基板の品質に密接に関係し、厳しい管理下の工程においてレチクルの作製及びマスタマスクの作製を経てワークコピーマスク（パターンマスク）を作製しなければならず、パターンマスクの製作が非常に複雑であった。
【０００４】
また、形成すべきパターンが異なる毎にマスクを製作しなければならず、多品種少量生産には対応し難い。
【０００５】
これに対し、本件発明者らは電気的デバイスの製作時に、ウエハや基板の上に形成したレジストを露光するにあたり、露光すべきパターンに対応したパターンデータを作成し、該パターンデータを電気信号としてＤＭＤに入力し、その複数の各微小ミラーをパターンデータに応じて傾動させ、該ＤＭＤに光を投射してその各微小ミラーからの反射光をレジストに投影してパターンデータに対応した形状に露光させるようにしたダイレクト露光装置を開発し、出願するに至った（特開平１０−１１２５７９号公報、参照）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述のダイレクト露光装置ではパターンマスクを使用することなく、レジストを精度よく露光できるという利点が期待できるものの、実用レベルではＤＭＤの１つの微小ミラーが電気信号を受けても動作しない、いわゆるドット抜けの問題が懸念される。このドット抜けが発生すると、例えば高精細回路の露光において回路上の断線を招来し、最終製品の製品不良の原因となる。
【０００７】
上述のドット抜けは作業者が目視で確認できるようなレベルの大きさではなく、又露光工程の完了時に電気的又は機械的に検査することも可能であるが、工程上及び時間的なロスが発生し、これが上述のダイレクト露光装置の普及を阻害する要因となっていた。
【０００８】
本発明はかかる状況において、高精度な露光を信頼性よく行えるようにしたダイレクト露光装置を提供することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明に係るダイレクト露光装置は、露光パターンデータを電気信号としてＤＭＤに入力してその複数の微小ミラーを上記露光パターンデータに応じて傾動させ、該ＤＭＤに光を入射してその複数の微小ミラーからの反射光を被露光体に投射して露光させるようにしたダイレクト露光装置において、上記ＤＭＤの微小ミラーからの反射光を受ける受光センサーと、検査パターンデータを電気信号として上記ＤＭＤに入力する検査パターンデータ入力手段と、上記受光センサーの出力信号から上記ＤＭＤの異常を検知する異常検知手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
本発明の特徴は検査パターンデータをＤＭＤに入力して微小ミラーを傾動させ、微小ミラーの反射光を受光センサーで受けてその出力信号からＤＭＤの異常を検知するようにした点にある。
【００１１】
これにより、被露光体、例えばレジストの露光に先立ってＤＭＤの異常を検知することができ、レジストの露光時にいわゆるドット抜けがないことを保証できる結果、高精度な露光を信頼性よく行うことができ、最終製品の製品不良を確実に防止できる。
【００１２】
また、露光前に、ＤＭＤの異常を自動的に検知することができるので、露光工程の完了時に電気的又は機械的に検査する場合のように工程上及び時間的なロスが発生することはなく、ダイレクト露光装置の普及を図ることができる。
【００１３】
検査パターンは、複数の微小ミラーが１個ずつ、隣接する複数個ずつあるいは所定個ずつ間隔をあけた複数個ずつ受光センサーに向けて光を反射するような動作を繰り返すパターンとし、そのタイミングと光量とからＤＭＤの異常を検知する。
【００１４】
受光センサーは微小ミラーから被露光体に向かう光の反射経路（露光経路）上に設置してもよく、余剰光の反射経路、例えば余剰光の吸収板に向かう反射経路（余剰光経路）上に設置してもよいが、露光時には受光センサーが露光に悪影響を与えるおそれがある。そこで、受光センサーを所定の光反射経路に対して進退させるのがよい。ここで、所定の光反射経路とは露光経路、余剰光経路、その他の光反射経路を含むことを意味している。
【００１５】
即ち、受光センサーを微小ミラーからの所定の光反射経路上に位置せるとともに該光反射経路から退避させるセンサー駆動機構と、受光センサーが検査開始時に光反射経路上に前進し検査終了後に光反射経路から後退するようにセンサー駆動機構を制御するセンサー駆動制御手段とを更に備えるのがよい。
【００１６】
また、反射ミラーを利用して微小ミラーからの反射光を受光センサーに反射させるようにしてもよい。即ち，ＤＭＤの微小ミラーからの反射光を受光センサーに向けて反射する反射ミラーを、更に備えるようにしてもよい。
【００１７】
この反射ミラーの場合もこれを露光経路や余剰光経路等の光反射経路上に設置してもよいが、露光時には受光センサーが露光に悪影響を与えるおそれがある。そこで、反射ミラーを所定の光反射経路に対して進退させるのがよい。
【００１８】
即ち、微小ミラーからの所定の光反射経路上に位置して微小ミラーからの反射光を光反射経路外に設置された受光センサーに向けて反射する反射ミラーと、該反射ミラーを光反射経路上に位置せるとともに該光反射経路から退避させるミラー駆動機構と、反射ミラーが検査開始時に光反射経路上に前進し検査終了後に光反射経路から後退するようにミラー駆動機構を制御するミラー駆動制御手段と、を更に備えるのが好ましい。
【００１９】
センサー駆動機構やミラー駆動機構は受光センサーや反射ミラーを光反射経路に対して進退できればどのような機構でもよく、例えは流体シリンダ、モータとねじ送り機構の組合せ等を採用できる。
【００２０】
本発明は半導体デバイスのウエハやプリント基板のレジストの露光に適用すればその効果が大きいが、他の被露光体の露光にも適用できる。また、露光パターンデータはこれを電気信号としてＤＭＤに与える関係上、ＣＡＤ等のデータ処理装置で作成するのがよい。ＤＭＤからの反射光は例えばパターンマクス密着方式が採用されるプリント基板の場合にはそのままレジストに投影するのがよく、縮小方式が採用される半導体デバイスの場合には光学系で縮小してレジストに投影するのがよい。
【００２１】
また、露光前にＤＭＤの異常を検査するようにしたダイレクト露光方法も新規である。本発明に係るダイレクト露光方法は、ＤＭＤを利用して被露光体を露光させるにあたり、検査パターンデータを電気信号として上記ＤＭＤに入力してその複数の微小ミラーを上記検査パターンデータに応じて傾動させ、上記ＤＭＤの微小ミラーからの反射光を受光センサーで受け、該受光センサーの出力信号から上記ＤＭＤの異常を検知するようになしたことを特徴とする。
【００２２】
本発明のダイレクト露光方法においても、検査開始時に受光センサーをＤＭＤの微小ミラーからの光反射経路上に位置させ、検査終了後に受光センサーを光反射経路から後退させるようになすのがよい。
【００２３】
また、検査開始時に反射ミラーによってＤＭＤの微小ミラーからの反射光を受光センサーに向けて反射させるようにすることもできる。
【００２４】
さらに、検査開始時にＤＭＤの微小ミラーからの光反射経路上に反射ミラーを位置させて微小ミラーからの反射光を光反射経路外に設置された受光センサーに向けて反射させ、検査終了後に反射ミラーを光反射経路から後退させるようになすこともできる。
【００２５】
また、パーソナルコンピュータやワークステーションにプログラムソフトをインストールすることによって本発明のダイレクト露光装置を構築することができる。即ち、本発明によれば上述のダイレクト露光装置を制御するダイレクト露光の異常検査プログラムを提供することができる。
【００２６】
本発明に係るダイレクト露光の異常検査プログラムは、ＤＭＤを利用して被露光体を露光させるダイレクト露光装置における上記ＤＭＤの微小ミラーの異常を検知するように、コンピュータを制御する異常検知プログラムであって、上記コンピュータを、受光センサーが検査開始時に上記ＤＭＤの微小ミラーからの光反射経路上に位置し検査終了後に上記光反射経路から退避するように、上記受光センサーを進退させるセンサー駆動機構を制御するセンサー駆動制御手段、検査パターンデータを電気信号として上記ＤＭＤに入力する検査パターンデータ入力手段、及び上記受光センサーの出力信号から上記ＤＭＤの異常を検知する異常検知手段、として機能させるようにしたことを特徴とする。
【００２７】
本発明に係るダイレクト露光の異常検査プログラムは、ＤＭＤを利用して被露光体を露光させるダイレクト露光装置における上記ＤＭＤの微小ミラーの異常を検知するように、コンピュータを制御する異常検知プログラムであって、上記コンピュータを、反射ミラーが検査開始時に上記ＤＭＤの微小ミラーからの光反射経路上に位置して上記微小ミラーからの反射光を上記光反射経路外に設置された上記受光センサーに向けて反射し検査終了後に上記光反射経路から退避するように、上記反射ミラーを進退させるミラー駆動機構を制御するミラー駆動制御手段、検査パターンデータを電気信号として上記ＤＭＤに入力する検査パターンデータ入力手段、及び上記受光センサーの出力信号から上記ＤＭＤの異常を検知する異常検知手段、として機能させるようにしたことを特徴とする。
【００２８】
コンピュータは信号や情報を処理して各種の演算処理を行えるデータ処理装置であればどのようなものでもよいが、一般的にはワークステーションやパーソナルコンピュータが用いられる。
【００２９】
ここで、検査パターンデータは予め製作してコンピュータに記憶させておいてもよく、又検査の都度、ＣＡＤ等で作成するようにしてもよい。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す具体例に基づいて詳細に説明する。図１ないし図４は本発明に係るダイレクト露光装置の好ましい実施形態を示す。図において、ＸーＹステージ１２は例えばボールネジとモータとで構成され、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に高精度の送りができるように構成されている。
【００３１】
このＸーＹステージ１２の上方にはテーブル１１が搭載され、該テーブル１１上には表面にレジスト（被露光体）が形成されたウエハ（基体）１３が載置されるようになっている。
【００３２】
ＸーＹステージ１２の上方にはプロジェクションレンズ７、ＤＭＤ６、第１、第２の平面ミラー４、５、レンズ群３及びキセノンランプ（光源）１が１つの光軸上に配置され、キセノンランプ１には光を前方に反射する楕円ミラー２が設けられ、又ＤＭＤ６からの光軸を対称軸として第２の平面ミラー５と対称な位置には余剰光の吸収板９が設けられてＤＭＤ６による画像作成に必要な反射光以外の光を吸収するようになっている。
【００３３】
ＤＭＤ６は例えば約１９０万のメモリーセルを２次元に配列してメモリーアレイとなし、各メモリーセル上にアルミニウムの微小ミラーを形成して構成され、微小ミラー間隔は約１７μｍとなっている。
【００３４】
また、ＤＭＤ６の微小ミラーの光反射経路、具体的にはＤＭＤ６とウエハ１３とを結ぶ光軸上には受光センサー８が設けられ、該受光センサー８は流体シリンダ（センサー駆動機構）１０によって微小ミラーの光反射経路上の位置と光反射経路を退避した位置との間で進退されるようになっている。
【００３５】
また、図中、１３はパーソナルコンピュータで、ＤＭＤ６の検査時に流体シリンダ１に制御信号を出力して受光センサー８を光反射経路上に前進させ、ＤＭＤ６に検査パターンデータを電気信号として入力してＤＭＤ６の複数の微小ミラーをパターンデータに対応して傾動させ、受光センサー８の出力信号からＤＭＤ６の異常を検知し、異常がない場合には流体シリンダ１に制御信号を出力して受光センサー８を光反射経路から後退させる一方、異常があった場合には例えば表示装置に異常の表示を行うようになっている。
【００３６】
また、パーソナルコンピュータ１３はＤＭＤ６に露光パターンデータを電気信号として入力してＤＭＤ６の複数の微小ミラーをパターンデータに対応して傾動させてウエハ１１上のレジストを露光させるようになっている。
【００３７】
ここで、パーソナルコンピュータ１３は基本的には図２に示されるようにＣＰＵ１３０、ＲＡＭ１３１、ＲＯＭ１３２、ＨＤＤ１３３、ＣＲＴ等の表示装置１３４、キーボード、マウスあるいはタッチパネル等の入力装置１３５及びＬＡＮボードやモデム等の通信装置１３６から構成されている。
【００３８】
ＨＤＤ１３３によって駆動されるハードディスクにはオペレーションシステム（ＯＳ）の他、パーソナルコンピュータ１３に本例のダイレクト露光及び異常検査を実行させるプログラム、検査パターンデータ及び露光パターンデータが格納されている。
【００３９】
ＣＰＵ１３０は入力装置１３５からのＤＭＤ検査の指示を受けると、流体シリンダ１０の制御系（図１の矢印参照）に制御信号を与えて受光センサー８をＤＭＤ６からの光反射経路上に前進させ、検査パターンデータを読み出してＤＭＤ６に入力し、検査パターンデータに応じて傾動されたＤＭＤ６の微小ミラーからの反射光を受光センサー８で受光し、受光センサー８の出力信号と検査パターンデータとを比較してＤＭＤ６の異常を検知する一方、検査が終了すると、流体シリンダ１０の制御系に制御信号を与えて受光センサー８をＤＭＤ６からの光反射経路から後退させるようになっている。
【００４０】
また、ＣＰＵ１３０は入力装置１３５からの露光の指示を受けると、露光パターンデータを読み出してＤＭＤ６に入力し、露光パターンデータに対応する反射光をＸ−Ｙステージ１２に設置されたウエハのレジストに入射させるようになっている。
【００４１】
図３は本例のダイレクト露光装置の基本的な機能ブロックを示す。本例のダイレクト露光装置は原理的にはＤＭＤ６、流体シリンダ（センサー駆動機構）１０及び受光センサー８及びパーソナルコンピュータ１３から構成され、パーソナルコンピュータ１３は機能的にはセンサー駆動制御手段２００、検査パターンデータ入力手段２１０及び異常検知手段２２０から構成されている。
【００４２】
センサー駆動制御手段２００はＣＰＵ１３０及び通信装置１３６によって実現される機能であって、流体シリンダ１０の制御系に制御信号を与え、受光センサー８を進退させるようになっている。
【００４３】
検査パラメータデータ入力手段２１０はＣＰＵ１３０、ＨＤＤ１３３によって駆動されるハードディスク及び通信装置１３６によって実現される機能であって、検査パターンデータをＤＭＤ６に入力するようになっている。
【００４４】
異常検知手段２２０はＣＰＵ１３０及び通信装置１３６によって実現される機能であって、受光センサー８の出力信号と検査パターンデータとからＤＭＤ６の異常を検知するようになっている。
【００４５】
次に、ＤＭＤ６の検査方法を図４を用いて説明する。図４はパーソナルコンピュータ１３におけるＤＭＤ検査の制御処理を示すフローチャートである。処理が開始されると、検査か否かが判定され（ステップＳ１００）、ＤＭＤ検査の場合には流体シリンダ１０の制御系に制御信号が与えられて受光センサー８が前進し（ステップＳ１１０）、パラメータＮが１とされ（ステップＳ１２０）、ＤＭＤ６の第１番目の微小ミラーが傾動されてその反射光が光反射経路を指向され、他の微小ミラーは光反射経路以外の方向を指向するように傾動される（ステップＳ１３０）。
【００４６】
第１番目の微小ミラーが傾動すると、受光センサー８の出力信号が読み込まれ（ステップＳ１４０）、センサー信号Ｓが基準値Ｓ0以上か否かか判定され（ステップＳ１５０）、センサー信号Ｓが基準値Ｓ0以上の場合にはその微小ミラーは正常と判断され、パラメータＮの値が１だけ増加され（ステップＳ１６０）、パラメータＮの値が微小ミラーの数Ｎnに達しか否かを判定され（ステップＳ１７０）、達していない場合にはＤＭＤ６の第２番目の微小ミラーが傾動され、上記と同様にしてその微小ミラーの異常が検知される（ステップＳ１３０〜Ｓ１７０）。
【００４７】
同様の処理がＤＭＤ６の全ての微小ミラーについて済むと、流体シリンダ１０の制御系に制御信号が与えられて受光センサー８が後退し（ステップＳ１７０）、処理が終了する。
【００４８】
他方、いずれかの微小ミラーについて異常が検知されると、表示装置１３４に警告の表示がなされる等、異常の検知が出力され（ステップＳ１９０）、処理を終了する。
【００４９】
こうしてＤＭＤ６の検査が完了すると、従来と同様にしてレジストの露光が行われる。
【００５０】
ここで、レジスト露光方法について簡単に説明する。例えば、ＣＡＤ等で形成すべき露光パターンのデータを作成し、そのパターンデータをパーソナルコンピュータ１３に格納しておく。露光の処理が開始されると、露光パターンのデータを読み出し、それを電気信号としてＤＭＤ６に入力する。ＤＭＤ６はいわゆる空間光変調素子であって、面上に多数の微小ミラーを有し、その個々の微小ミラーの角度が電気信号により変化するデバイスである。
【００５１】
従って、ＤＭＤ６の複数の各微小ミラーは入力されたパターンデータに応じて傾動する。かかる複数の微小ミラーにキセノンランプ１から光が反射ミラー４、５を経て入射されると、複数の微小ミラーで構成されるミラー面上に仮想原像が形成され、その反射光が投影レンズ７を経てＸ−Ｙステージ１２上に載せられたウエハのレジスト上に投影され、レジストにパターンデータに応じた画像が形成され、レジストを露光することができる。
【００５２】
なお、上記では１つの微小ミラーに異常があると、それを警告して処理を終了したが、全ての微小ミラーについて異常を検査した後、第何番目の微小ミラーに異常があるかを表示するようにしてもよい。
【００５３】
また、受光センサーをレジストに向かう光の反射経路に対して進退させたが、余剰光の吸収板９に向かう光反射経路に対して進退させるようにしてもよく、又光の反射経路外に設置し、光反射経路、露光経路又は余剰光経路には反射ミラーを進退させ、反射ミラーから受光センサーに反射光を反射させるようにしもよい。反射ミラーを用いる場合、図３におけるセンサー駆動機構１０がミラー駆動機構となり、センサー駆動制御手段２００がミラー駆動制御手段となる。
【００５４】
さらに、上記の実施形態では検査パターンをプログラム処理によってパターン化しているが、記憶した複数のパターンを順次読み出してＤＭＤ６を制御するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係るダイレクト露光装置の好ましい実施形態を示す概略構成図である。
【図２】  上記実施形態におけるパーソナルコンピュータの基本的な構成を示す図である。
【図３】  上記実施形態における機能ブロックを示す図である。
【図４】  上記実施形態における制御処理のフローを示す図である。
【符号の説明】
６      ＤＭＤ
８      受光センサー
１０    流体シリンダ（センサー駆動機構）
１３    パーソナルコンピュータ（センサー駆動制御手段、検査パターンデータ入力手段、異常検知手段）
２００      センサー駆動制御手段
２１０      検査パターンデータ入力手段
２２０      異常検知手段
【図１】
0004208045.tif 000002
【図２】
0004208045.tif 000003
【図３】
0004208045.tif 000004
【図４】
0004208045.tif 000005