(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の受光領域を含み、当該受光領域への光照射レベルに応じた受光信号を出力する受光素子を検査するため、
前記受光素子の受光領域に所定レベルの検査光を照射し、かつ当該検査光を前記受光領域上において走査させる光照射部と、
前記検査光の各走査点における前記受光素子からの受光信号に基づいて、画像データを作成して所定の処理を行う処理系を含むデータ処理部と
を有し、
前記データ処理部の処理系は、
前記画像データを２値化処理し、当該２値画像データに基づいて前記受光領域の形状を抽出して基準位置を決定し、当該基準位置に基づいて検査範囲を設定する検査範囲設定部と、
前記検査範囲設定部において設定された前記検査範囲内における前記画像データに基づいて、前記受光素子の欠陥の検査を行う検査部と
を有し、
前記検査範囲設定部は、
前記抽出した複数の受光領域が含む、互いに対向した第１の受光領域および第２の受光領域の間に存在する不感帯領域を除去することができるように、前記第１の受光領域および前記第２の受光領域の各画像データを拡大または縮小して、見かけ上一つの受光領域を作成し、前記不感帯領域を除去した後の各受光領域の形状と予め設定された設定パターンの各受光領域の形状とを比較し、最も相関を有する受光領域により前記基準位置を決定する
受光素子の検査装置。
【請求項２】
前記検査範囲設定部は、前記見かけ上一つの受光領域全体の面積と、前記第１の受光領域の面積および前記第２の受光領域の面積の和とが等しくなるように、前記第１の受光領域および前記第２の受光領域の画像データを拡大または縮小する
請求項１記載の受光素子の検査装置。
【請求項３】
前記検査範囲設定部は、最も相関を有する前記受光領域に対して外接する互いに所定角度をもって交差可能な４つの外接辺を算出し、当該４つの外接辺により形成される外接長方形の辺重心を前記基準位置として決定する
請求項１または２記載の受光素子の検査装置。
【請求項４】
前記検査部は、前記２値画像データに基づいて抽出した前記受光領域の形状の前記検査範囲内における面積により前記受光素子の良否を判定する
請求項１記載の受光素子の検査装置。
【請求項５】
前記検査部は、前記画像データの前記検査範囲内における前記各走査点ごとの前記受光信号の強弱に対応する濃度値により前記受光素子の良否を判定する
請求項１記載の受光素子の検査装置。
【請求項６】
前記検査部は、前記画像データの前記検査範囲内における前記濃度値の平均値を算出し、当該平均値を用いて前記受光素子の良否を判定する
請求項５記載の受光素子の検査装置。
【請求項７】
前記検査部は、前記平均値と所定の設定値とを比較して前記受光素子の良否を判定する
請求項６記載の受光素子の検査装置。
【請求項８】
前記検査部は、前記検査範囲内における濃度値の前記平均値からの偏差に基づいて、前記受光素子の良否を判定する
請求項６記載の受光素子の検査装置。
【請求項９】
各受光領域に対応する受光信号を演算する演算部をさらに有し、
前記データ処理部は、前記演算部により演算された受光信号から前記受光素子の前記画像データを作成する
請求項１記載の受光素子の検査装置。
【請求項１０】
複数の受光領域を含み、当該受光領域への光照射レベルに応じた受光信号を出力する受光素子を検査するため、
前記受光素子の受光領域に所定レベルの検査光を照射し、かつ当該検査光を前記受光領域上において走査させるステップと、
前記検査光の各走査点における前記受光素子からの受光信号に基づいて、画像データを作成するステップと、
前記画像データを２値化処理し、当該２値画像データに基づいて前記受光領域の形状を抽出して基準位置を決定し、当該基準位置に基づいて検査範囲を設定するステップと、
前記検査範囲内における前記画像データに基づいて、前記受光素子の欠陥の検査を行うステップと
を有し、
前記検査範囲を設定するステップにおいて、
前記抽出した複数の受光領域が含む、互いに対向した第１の受光領域および第２の受光領域の間に存在する不感帯領域を除去することができるように、前記第１の受光領域および前記第２の受光領域の各画像データを拡大または縮小して、見かけ上一つの受光領域を作成し、
前記不感帯領域を除去した後の各受光領域の形状と予め設定された設定パターンの各受光領域の形状とを比較し、
最も相関を有する受光領域により前記基準位置を決定する
受光素子の検査方法。
【請求項１１】
前記検査範囲を設定するステップにおいて、前記見かけ上一つの受光領域全体の面積と、前記第１の受光領域の面積および前記第２の受光領域の面積の和とが等しくなるように、前記第１の受光領域および前記第２の受光領域の画像データを拡大または縮小する
請求項１０記載の受光素子の検査方法。
【請求項１２】
前記検査範囲を設定するステップにおいて、最も相関を有する前記受光領域に対して外接する互いに所定角度をもって交差可能な４つの外接辺を算出し、当該４つの外接辺により形成される外接長方形の辺重心を前記基準位置として決定する
請求項１０または１１記載の受光素子の検査方法。
【請求項１３】
前記検査を行うステップにおいて、前記２値画像データに基づいて抽出した前記受光領域の形状の前記検査範囲内における面積により前記受光素子の良否を判定する
請求項１０記載の受光素子の検査方法。
【請求項１４】
前記検査を行うステップにおいて、前記画像データの前記検査範囲内における前記各走査点ごとの受光信号の強弱に対応する濃度値により前記受光素子の良否を判定する
請求項１０記載の受光素子の検査方法。
【請求項１５】
前記検査を行うステップにおいて、前記画像データの前記検査範囲内における前記濃度値の平均値を算出し、当該平均値を用いて前記受光素子の良否を判定する
請求項１４記載の受光素子の検査方法。
【請求項１６】
前記検査を行うステップにおいて、前記平均値と所定の設定値とを比較して前記受光素子の良否を判定する
請求項１５記載の受光素子の検査方法。
【請求項１７】
前記検査を行うステップにおいて、前記検査範囲内における濃度値の前記平均値からの偏差に基づいて、前記受光素子の良否を判定する
請求項１５記載の受光素子の検査方法。
【請求項１８】
前記画像データを作成するステップにおいて、各受光領域に対応する受光信号を演算し、当該演算された受光信号から前記受光素子の前記画像データを作成する
請求項１０記載の受光素子の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば受光した光に応じた電気信号を出力する受光素子の検査装置および検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＣＤ（Compact Disc) 、ＣＤ−Ｒ(Compact Disc Recordable) 、ＤＶＤ(Digital Versatile Disc)等には、フォトダイオード等の受光素子が使用されている。
例えば、ＣＤの再生には、半導体レーザから出射されたレーザ光が、ＣＤの反射膜により反射され、当該反射面にあるピットと呼ばれる長さ数μｍの窪みによって反射光は強度変調をうけ、当該反射光をフォトダイオードなどの受光素子により当該反射光に応じた電気信号に変換して、当該電気信号をディジタル信号に変換して信号の再生を行っている。
【０００３】
上記の例えばＣＤ等に用いられる受光素子を有する半導体チップの断面図を図１９（ａ）に示す。
図１９（ａ）に示すように、半導体チップ１００には、例えばフォトダイオードからなる受光素子１０１が形成されている。
半導体チップ１００はリードフレーム１０３上に実装されており、当該半導体チップ１００に形成された受光素子１０１の各受光領域の出力端子に接続する不図示のパッドと、リードフレーム１０３とが金線等のワイヤにより接続されている。
また、当該半導体チップ１００の周囲を被覆して透明樹脂１０２が形成され、透明樹脂１０２からはリードフレーム１０３の一部が突き出ており、外部端子に接続可能となっている。
なお、透明樹脂１０２は、ディスクからの反射光を受光素子に透過させる等の役割を有している。
【０００４】
図１９（ｂ）は、図１９（ａ）の半導体チップ１００上に形成された受光素子１０１の拡大平面図を示したものである。
図１９（ｂ）に示すように、受光素子１０１は、６分割された矩形状の受光領域（Ａ〜Ｆ）を有している。本願明細書において、当該受光領域をパッドと呼ぶ。
例えば、上記の受光素子１０１のパッド（Ａ〜Ｄ）で検出した光量から、当該光量に応じた所定の電気信号（ＳＡ〜ＳＤ）が出力されて、当該電気信号（ＳＡ〜ＳＤ）に所定の演算を施すことにより、フォーカスエラー信号が生成される。
また、例えば受光素子１０１のパッド（Ｅ，Ｆ）で検出した光量から、当該光量に応じた所定の電気信号（ＳＥ，ＳＦ）が出力されて、当該電気信号（ＳＥ，ＳＦ）に所定の演算を施すことにより、トラッキングエラー信号が生成される。
【０００５】
上記のフォトダイオード等の受光素子１０１の検査において、各パッド（Ａ〜Ｆ）の面内においてレーザ光の有効径である数ミクロンの欠陥を選別する必要がある。
上記の欠陥の検査としては、例えば、半導体チップ１００上の透明樹脂１０２の剥離の有無、透明樹脂１０２中の異物の有無、汚れの有無などの検査を行う。
また、例えば、各パッド（Ａ〜Ｆ）の面内、パッド（Ａ〜Ｄ）間およびパッド（Ｅ〜Ｆ）間のそれぞれの感度の偏差を±５％で保証する必要がある。
【０００６】
上記の保証のため、従来、受光素子の検査において、数ミクロンの欠陥は、顕微鏡による目視、または、照明装置により受光素子に光を当てた状態で撮像装置により撮像し、画像処理を行うことによって、画像データを明暗に基づいて２値化し、受光素子の欠陥の有無の検査を行っていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の人の目視による検査では、経験時間、人による判断のバラツキで検査のレベルは安定せず、歩留りの低下、不良品の流出をもたらしてしまうという問題があり、また、上記の画像処理による検査では、２値化のレベルが照明条件に左右されるという問題があった。
【０００８】
また、いずれの方法も、面内検査は、ある程度可能であるが、面間検査には対応できないという問題があった。
さらに、上記の従来方法では、受光素子１０１上の透明樹脂１０２の剥離の有無、特に、受光素子１０１上の透明樹脂１０２が一様に全剥離している場合に、欠陥品として見分けることは、実質的に不可能であった。
【０００９】
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、従って、本発明は、検査の精度および安定度を向上させ、信頼性の高い受光素子を提供可能な受光素子の検査装置および検査方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明の受光素子の検査装置は、複数の受光領域を含み、当該受光領域への光照射レベルに応じた受光信号を出力する受光素子を検査するため、前記受光素子の受光領域に所定レベルの検査光を照射し、かつ当該検査光を前記受光領域上において走査させる光照射部と、前記検査光の各走査点における前記受光素子からの受光信号に基づいて、画像データを作成して所定の処理を行う処理系を含むデータ処理部とを有し、前記データ処理部の処理系は、前記画像データを２値化処理し、当該２値画像データに基づいて前記受光領域の形状を抽出して基準位置を決定し、当該基準位置に基づいて検査範囲を設定する検査範囲設定部と、前記検査範囲設定部において設定された前記検査範囲内における前記画像データに基づいて、前記受光素子の欠陥の検査を行う検査部とを有し、前記検査範囲設定部は、前記抽出した複数の受光領域が含む、互いに対向した第１の受光領域および第２の受光領域の間に存在する不感帯領域を除去することができるように、前記第１の受光領域および前記第２の受光領域の各画像データを拡大または縮小して、見かけ上一つの受光領域を作成し、前記不感帯領域を除去した後の各受光領域の形状と予め設定された設定パターンの各受光領域の形状とを比較し、最も相関を有する受光領域により前記基準位置を決定する。
【００１１】
好適には、前記検査範囲設定部は、前記見かけ上一つの受光領域全体の面積と、前記第１の受光領域の面積および前記第２の受光領域の面積の和とが等しくなるように、前記第１の受光領域および前記第２の受光領域の画像データを拡大または縮小する。
【００１２】
また、好適には、前記検査範囲設定部は、最も相関を有する前記受光領域に対して外接する互いに所定角度をもって交差可能な４つの外接辺を算出し、当該４つの外接辺により形成される外接長方形の辺重心を前記基準位置として決定する。
【００１４】
例えば、前記検査部は、前記２値画像データに基づいて抽出した前記受光領域の形状の前記検査範囲内における面積により前記受光素子の良否を判定する。
【００１５】
例えば、前記検査部は、前記画像データの前記検査範囲内における前記各走査点ごとの前記受光信号の強弱に対応する濃度値により前記受光素子の良否を判定する。
【００１６】
例えば、前記検査部は、前記画像データの前記検査範囲内における前記濃度値の平均値を算出し、当該平均値を用いて前記受光素子の良否を判定する。
この場合、例えば、前記検査部は、前記平均値と所定の設定値とを比較して前記受光素子の良否を判定する。
また、例えば、前記検査部は、前記検査範囲内における濃度値の前記平均値からの偏差に基づいて、前記受光素子の良否を判定する。
【００１７】
好適には、各受光領域に対応する受光信号を演算する演算部をさらに有し、前記データ処理部は、前記演算部により演算された受光信号から前記受光素子の前記画像データを作成する。
【００１８】
上記の本発明の受光素子の検査装置によれば、光照射部からの検査光の各走査点における受光素子からの受光信号に基づいて、データ処理部により、画像データが作成され、当該データ処理部の検査範囲設定部により、画像データが２値化処理され、当該２値画像データに基づいて受光領域の形状が抽出されて基準位置が決定され、当該基準位置に基づいて検査範囲が設定される。
そして、データ処理部の検査部において、検査範囲設定部において設定された検査範囲内における画像データに基づいて、受光素子の欠陥の検査が行なわれる。
上記のように検査範囲を設定して、当該検査範囲内の画像データから受光素子の欠陥を検査することにより、当該画像データから受光素子の欠陥の検査処理を容易に行え、かつ、受光素子の検査を精度良く行うことが可能となる。
【００１９】
さらに、上記の目的を達成するため、本発明の受光素子の検査方法は、複数の受光領域を含み、当該受光領域への光照射レベルに応じた受光信号を出力する受光素子を検査するため、前記受光素子の受光領域に所定レベルの検査光を照射し、かつ当該検査光を前記受光領域上において走査させるステップと、前記検査光の各走査点における前記受光素子からの受光信号に基づいて、画像データを作成するステップと、前記画像データを２値化処理し、当該２値画像データに基づいて前記受光領域の形状を抽出して基準位置を決定し、当該基準位置に基づいて検査範囲を設定するステップと、前記検査範囲内における前記画像データに基づいて、前記受光素子の欠陥の検査を行うステップとを有し、前記検査範囲を設定するステップにおいて、前記抽出した複数の受光領域が含む、互いに対向した第１の受光領域および第２の受光領域の間に存在する不感帯領域を除去することができるように、前記第１の受光領域および前記第２の受光領域の各画像データを拡大または縮小して、見かけ上一つの受光領域を作成し、前記不感帯領域を除去した後の各受光領域の形状と予め設定された設定パターンの各受光領域の形状とを比較し、最も相関を有する受光領域により前記基準位置を決定する。
【００２０】
好適には、前記検査範囲を設定するステップにおいて、前記検査範囲設定部は、前記見かけ上一つの受光領域全体の面積と、前記第１の受光領域の面積および前記第２の受光領域の面積の和とが等しくなるように、前記第１の受光領域および前記第２の受光領域の画像データを拡大または縮小する。
【００２１】
また、好適には、前記検査範囲を設定するステップにおいて、最も相関を有する前記受光領域に対して外接する互いに所定角度をもって交差可能な４つの外接辺を算出し、当該４つの外接辺により形成される外接長方形の辺重心を前記基準位置として決定する。
【００２３】
好適には、前記検査を行うステップにおいて、前記２値画像データに基づいて抽出した前記受光領域の形状の前記検査範囲内における面積により前記受光素子の良否を判定する。
【００２４】
好適には、前記検査を行うステップにおいて、前記画像データの前記検査範囲内における前記各走査点ごとの受光信号の強弱に対応する濃度値により前記受光素子の良否を判定する。
【００２５】
上記の本発明の受光素子の検査方法によれば、受光素子の受光領域に所定レベルの検査光を照射し、かつ当該検査光を受光領域上において走査させ、検査光の各走査点における受光素子からの受光信号に基づいて、画像データを作成し、画像データを２値化処理し、当該２値画像データに基づいて受光領域の形状を抽出して、所定の検査範囲の基準となる基準位置を決定し、基準位置を基準とする検査範囲内における画像データに基づいて、受光素子の欠陥の検査を行う。
上記のように検査範囲を設定して、当該検査範囲内の画像データから受光素子の欠陥を検査することにより、当該画像データからの受光素子の検査処理を容易に行え、かつ、受光素子の検査を精度良く行うことが可能となる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の受光素子の検査装置および検査方法の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００２７】
図１は本実施形態に係る受光素子の検査装置の概略構成図である。
【００２８】
図１に示す検査装置１は、レーザ光源１１と、ビームエキスパンダー１２と、ガルバノレンズ１３と、Ｘ方向アクチュエータ１４ａ、Ｙ方向アクチュエータ１４ｂ、スキャナドライバ１５、リレーレンズ組立体１６、対物レンズ１７、被検査対象物を備えたワーク１８、ソケット１９、制御部２１、スキャナコントローラ２２、変換部２３、データ処理部２４、表示部２５、電源部２６を有している。
なお、レーザ光源１１、ビームエキスパンダー１２、ガルバノレンズ１３、Ｘ方向アクチュエータ１４ａ、Ｙ方向アクチュエータ１４ｂ、およびスキャナドライバ１５が、請求の範囲における光照射部に対応している。
【００２９】
レーザ光源１１は、例えばレーザダイオードからなり、例えば、被検査対象物である受光素子に実際に使用される波長のレーザ光をビームエキスパンダー１２に向けて出射する。例えば、ＣＤ用に使用される受光素子を検査する場合には、波長が７８０ｎｍで、出力が２ｍＷのレーザ光を出力するレーザ光源を使用する。
【００３０】
ビームエキスパンダー１２は、レーザ光源１１から出射されたレーザ光１２の細い平行光線束を太い平行光線束に変換する。
【００３１】
ガルバノレンズ１３は、ビームエキスパンダー１２を介して出射されたレーザ光を反射して、ワーク１８の方向にレーザ光を導く。
【００３２】
Ｘ方向アクチュエータ１４ａは、ガルバノレンズ１３をＸ軸方向に移動させることにより、ガルバノレンズ１３によって反射されてワーク１８の方向へ導かれるレーザ光をＸ方向に走査する。
Ｙ方向アクチュエータ１４ｂは、ガルバノレンズ１３をＹ軸方向に移動させることにより、ガルバノレンズ１３によって反射されてワーク１８の方向へ導かれるレーザ光をＹ方向に走査する。
【００３３】
スキャナドライバ１５は、スキャナコントローラ２２からのコントロール信号を受けて、Ｘ方向アクチュエータ１４ａおよびＹ方向アクチュエータ１４ｂを駆動するのに必要な駆動電圧を生成し、当該駆動電圧をＸ方向アクチュエータ１４ａおよびＹ方向アクチュエータ１４ｂへ出力する。
【００３４】
リレーレンズ組立体１６は、ガルバノレンズ１３により反射されたレーザ光をワーク１８の方向に照射させる。例えば、リレーレンズ組立体１６は、θレンズ１６ａ、リレーレンズ１６ｂ、結像レンズ１６ｃにより構成されている。
【００３５】
対物レンズ１７は、リレーレンズ組立体１６から導かれたレーザ光を受光素子に集光させる。
【００３６】
ワーク１８は、図１９（ａ）に示すように被検査対象物である受光素子１０１を備えた半導体チップ１００を有し、上述したように、当該ワーク１８には、当該半導体チップ１００に形成された受光素子１０１の各受光領域（Ａ〜Ｆ）の出力端子に接続するリードフレーム１０３等が形成されている。
【００３７】
ソケット１９は、ワーク１８を搭載して固定し、受光素子の各受光領域の出力端子に接続するリードフレーム等に接続するための電極パッド等が形成されており、当該ソケット１９を介して、受光素子からの出力信号が変換部２３へ出力される。
【００３８】
制御部２１は、データ処理部２４およびスキャナコントローラ２２へ各種の制御を行う。
例えば、制御部２１では、スキャンを行う始点、スキャン速度、およびスキャンサイズが設定され、当該設定に応じた制御信号をスキャナコントローラに出力する。
【００３９】
スキャナコントローラ２２は、制御部２１からの制御信号に基づいて、コントロール信号をスキャナドライバ１５に出力する。
【００４０】
変換部２３は、詳細は後述するが、ソケット１９を介して入力された受光素子からの出力信号に所定の処理を行いデータ処理部２４へ出力する。
【００４１】
データ処理部２４は、詳細は後述するが、変換部２３により得られた画像データに所定の処理を施して、受光素子の良否の検査を行う。
【００４２】
表示部２５は、データ処理部２４により得られた画像データや処理結果等を画面に表示する。
【００４３】
電源部２６は、ソケット１９を介してワーク１８の半導体チップに電源を供給する。
【００４４】
上記構成の本実施形態に係る検査装置の動作を説明する。
レーザ光源１１から出射されたレーザ光は、ビームエキスパンダー１２を介してガルバノレンズ１３へ入射し、ガルバノレンズ１３により反射され、リレーレンズ組立体１６を介して対物レンズ１７へ導かれ、受光素子の受光領域に集光することになる。
そして、レーザ光を受光した受光素子から当該入射光量に応じた電気信号が変換部２３へ出力され、所定の処理が施されて、データ処理部２４へ出力される。データ処理部２４において、出力信号に所定の処理が施され、画像データが生成される。
なお、制御部２１からの制御信号に基づいてスキャナコントローラ２２から出力されるコントロール信号を受けたスキャナドライバ１５により、駆動電圧が生成されて、当該駆動電圧を受けたＸ方向アクチュエータ１４ａおよびＹ方向アクチュエータ１４ｂにより、ガルバノレンズ１３が走査され、これによって、レーザ光が受光素子の受光領域におけるＸ−Ｙ方向に走査され、受光素子の出力信号から画像データがデータ処理部２４において作成され、後述する所定の処理が行われる。
【００４５】
図２に、変換部２３の構成の一例を示す。
図２に示すように、変換部２３は、ゲイン調整器３１、加算器３２、Ａ／Ｄ変換器３３、インターフェース（Ｉ／Ｆ）部３４とを有している。
なお、受光素子１０１は、例えば図１９（ｂ）に示すように、６分割された矩形状の受光領域Ａ〜Ｆを有しているとする。
【００４６】
ゲイン調整器３１は、レーザ光に応じた受光素子１０１の各受光領域（Ａ〜Ｆ）により生成された電気信号（ＳＡ〜ＳＦ）がそれぞれ入力されると、当該信号のゲイン調整を行い、ゲイン調整された信号を加算器３２へ出力する。例えばゲイン調整器３１では、受光素子１０１の出力が定格出力の時に、後のＡ／Ｄ変換器３３への入力において、１Ｖ±０．２％となるように各信号のゲインを調整する。
【００４７】
加算器３２は、ゲイン調整器３１からゲイン調整された信号（ＳＡ〜ＳＦ）が入力されると、当該各受光領域からの信号を加算する。この加算処理は、後にデータ処理部２４において、複数の受光領域全体の出力信号として画像処理するために行っている。
ここで、例えば、レーザ光が受光領域Ｅから受光領域Ｆへと走査されて電気信号が取り出される場合に、例えば受光領域Ｅへレーザ光が照射しているときには、他の受光領域からの出力信号は実質的に０であるため、後に加算器３２により各受光領域（ＳＡ〜ＳＦ）からの信号を加算しても、各受光領域における信号が混ざりあうことはなく、走査点に対応する受光領域からの出力信号として検出することが可能となる。
なお、当該加算器３２が、請求の範囲における演算部に対応している。
【００４８】
Ａ／Ｄ変換器３３は、加算器３２により加算されたアナログ信号を、ディジタル入力のデータ処理部２４に入力するためにディジタル信号に変換する。例えば、このＡ／Ｄ変換器３３は、後の画像処理の絶対精度を補うために、１６ビットのＡ／Ｄ変換器を使用する。
【００４９】
インターフェース部３４は、Ａ／Ｄ変換器３３から入力されたディジタル信号をデータ処理部２４に出力するためのインターフェースを行う。例えば、データ処理部２４において、８ビットのデータ処理しか行えない場合には、Ａ／Ｄ変換器３３からの１６ビットのデータをそのまま扱うと分解能が０．４％程度になってしまうため、フルスケールのデータの１／２以下のデータを切り捨てて、データ処理部２４へ出力する。これにより、分解能を０．２％程度に向上させることができる。
【００５０】
上記の変換部２３の動作について説明する。
【００５１】
図１９（ｂ）に示すような各位置における受光領域（Ａ〜Ｆ）からの電気信号がゲイン調整器３１に入力されると、当該信号のゲイン調整が行われ、ゲイン調整された信号が加算器３２へ出力される。
そして、ゲイン調整器３１からゲイン調整された信号（ＳＡ〜ＳＦ）が加算器３２に入力されると、当該各受光領域からの信号が加算され、これにより、受光素子の全体の出力としてＡ／Ｄ変換器３３へ出力される。
そして、加算器３２からの加算されたアナログ信号がＡ／Ｄ変換器３３に入力され、ディジタル信号に変換され、インターフェース部３４を介して、データ処理部２４へ出力され、データ処理部２４において後述する受光素子の検査が行われることとなる。
【００５２】
図３に、データ処理部２４の構成の一例を示す。
図３に示すように、データ処理部２４は、大別して、画像データ作成部４０と、検査範囲設定部５０と、検査部６０とを有する。
検査範囲設定部５０は、２値化処理部４１、拡大・縮小部４２、形状抽出部４３、基準位置決定部４４、位置補正部４５とを有している。
また、検査部６０は、面積算出部４６、１次平均値算出部４７、２次平均値算出部４８、判定部４９とを有している。
なお、当該データ処理部２４が請求の範囲におけるデータ処理部に対応している。
【００５３】
画像データ作成部４０は、変換部２３のインターフェース部３４を介して入力されたディジタルデータを、例えば不図示のメモリに制御部２１からの信号にもとづいてスキャニング位置に対応させて保存し、当該保存されたデータに基づいて画像データを作成する。
【００５４】
２値化処理部４１は、画像データ作成部４０により作成された多値の画像データが入力されると、当該画像データにおける受光信号の強弱に対応した濃度値（各画素の明暗）に基づいて、画像データを２値化処理する。
具体的には、各画素の濃度値を所定のしきい値と比較し、濃度値がこのしきい値よりも小さい場合には、当該画素に”１”（暗い）の値を付与し、濃度値がこのしきい値よりも大きい場合には、当該画素に”０”（明るい）の値を付与する。
多値の画像データに２値化処理を施すことにより、受光領域部分と不感帯部分との境界が明確になり、受光領域の輪郭形状が特定される。
なお、本願明細書において、各受光領域からの信号により画像処理を施して形成された受光領域の画像データをパッドデータと呼ぶ。
【００５５】
拡大・縮小部４２は、２値化処理部４１により２値化され特定された各パッドデータを拡大、縮小する。
具体的には、各パッドデータを拡大して、パッドデータ間の不感帯を埋めて、１つのパッドデータを作成し、当該１つのパッドデータを作成するために拡大した分、パッドデータの外形を縮小する。
これは、基準位置を決定するための対象パッドデータの個数を減らして、計測処理時間の短縮を図るためであり、また、不感帯を埋めることにより、パッドデータ外の不感帯ＤＺにおける穴や、亀裂、孤立点等の雑音成分を除去するためである。
【００５６】
形状抽出部４３は、２値画像データから、例えば、個々のパッドデータの外接長方形を算出する。
【００５７】
基準位置決定部４４は、受光領域の画像データの基準位置を決定する。
基準位置が設定されると、２値化処理部４１から２値画像データ、および画像データ作成部４０から多値画像データを入力して、当該２値および多値画像データに基準位置の情報を付加して、位置補正部４５に出力する。
なお、具体的な基準位置の決定の仕方としては、例えば、受光領域が矩形形状である場合に、形状抽出部４３により、算出された個々のパッドデータの外接長方形のうち、マスタパターンと最も相関値の大きい外接長方形を求め、当該最大相関値を有する外接長方形の辺重心を基準位置として決定する。
【００５８】
位置補正部４５は、基準位置決定部４４により基準位置の情報が付加された２値画像データにおける外接長方形の傾きを検出し、当該傾きが所定の基準方向に沿うように２値および多値画像データを座標変換する。
すなわち、２値化されただけの受光領域の画像データでは、受光領域の輪郭形状は特定されるが、受光領域の傾きは画像データ毎に一定ではない。
このため、後述するように、画像データの面積等を検出するために、受光領域の画像データの傾きを検出し、上記の画像データの基準位置を中心に、受光領域の傾きが所定の基準方向に沿うように画像データを回転させる。
当該位置補正部４５により、２値の画像データとマスクパターンとの位置合わせを行うことが可能となり、２値の画像データにおける面積の検査範囲が設定される。
また、当該位置補正部４５により、上記の面積の検査範囲における周辺部分を除いた検査範囲が、多値の画像データにおける濃度値の検査範囲として設定される。
【００５９】
面積算出部４６は、検査範囲設定部５０により、所定の検査範囲が設定された２値の画像データを入力し、検査範囲内における２値の画像データの各パッドデータの面積を算出する。
【００６０】
１次平均値算出部４７は、検査範囲設定部２４により、所定の検査範囲が設定された多値の画像データを入力し、検査範囲内における多値の画像データの各画素の濃度値の平均値（１次平均値）を算出し、かつ、当該１次平均値からの所定の偏差の濃度を有する画素の面積を算出する。
【００６１】
２次平均値算出部４９は、当該１次平均値からの所定の偏差以上の濃度値を有する画素をのぞいた平均値（２次平均値）をさらに算出し、かつ、当該２次平均値からの所定の偏差の濃度を有する画素の面積を算出する。
【００６２】
判定部４９は、面積算出部４６、１次平均値算出部４７、および２次平均値算出部４８により、算出された各データを入力し、受光素子の良否を判定する。
具体的には、面積算出部４６により算出された面積が、設定値を満たすか否かを評価する。
また、１次平均値算出部４７により算出された１次平均値が設定値に達しているか否かの判定、および当該１次平均値からの所定の偏差の濃度を有する画素の面積が所定の設定値以内か否かを判定する。
また、２次平均値算出部４８により算出された２次平均値からの所定の偏差の濃度を有する画素の面積が所定の設定値以内か否かを判定する。
上記の面積、１次平均値、２次平均値の判定において、１つでも設定値を満たさない場合には受光素子は不良と判定される。
【００６３】
次に、上記の本実施形態に係る検査装置による受光素子の検査方法について、図４〜図６に示すフローチャート、および図７〜図１０に示す表示部２５の表示画面２５ａ上における受光領域の画像を参照して説明する。
【００６４】
まず、図７（ａ）に示すように、画像データ作成部４０により作成された多値の画像データを２値化処理部４１に入力し（ステップＳＴ１）、表示部２５の表示画面２５ａ上に表示された各受光領域のパッドデータ（ＰＡ〜ＰＦ）を、各画素の明暗（濃度値）に基づいて、２値化処理する（ステップＳＴ２）。
【００６５】
次に、図７（ｂ）に示すように、拡大・縮小部４２では、パッドデータ（ＰＡ〜ＰＤ）を拡大し、パッドデータ（ＰＡ〜ＰＤ）間の不感帯ＤＺを埋めて、１つのパッドデータＰＡＤ’を作成する（ステップＳＴ３）。
これは、上述したように、後に基準位置を決定するための対象パッドデータの個数を減らして、計測処理時間の短縮を図るためである。
また、不感帯ＤＺを埋めることにより、パッドデータ外の不感帯ＤＺにおける穴や、亀裂、孤立点等の雑音成分を除去するためである。
【００６６】
次に、図７（ｃ）に示すように、対象パッドデータの個数を減らした後に、さらに拡大・縮小部４２により、パッドデータＰＡＤ’を作成するために拡大した分、パッドデータＰＡＤ’の外形を縮小してパッドデータＰＡＤを作成し、パッドデータＰＡ〜ＰＤの合計面積とパッドデータＰＡＤの面積が等しくなるようにする（ステップＳＴ４）。
【００６７】
次に、形状抽出部４３により、２値画像データから、例えば、各パッドデータ（ＰＥ，ＰＡＤ，ＰＦ）の外接長方形を算出する（ステップＳＴ５）。
【００６８】
次に、基準位置決定部４４により、各パッドデータの外接長方形の長軸および短軸と、予めデータ処理部２４のメモリに保存されているマスタパターンの長方形の長軸および短軸を比較して、最大相関値を有する外接長方形を算出する（ステップＳＴ６）。
【００６９】
次に、図８（ｄ）に示すように、例えば、パッドデータＰＥの外接長方形が最大相関値を有する場合には、当該パッドデータＰＥの外接長方形の縦線および横線の中心線の交点である辺重心Ｇを求め、これを基準位置として決定する（ステップＳＴ７）。
なお、辺重心を採用する理由は、面積重心の場合には、パッドデータ内のボイド等により、面積重心位置が影響を受けるからである。
【００７０】
次に、位置補正部４５により、基準位置Ｇの決定された画像データにおける最大相関値を有する外接長方形の傾きを検出し、当該傾きが所定の基準方向に沿うように２値化された画像データを座標変換する（ステップＳＴ８）。
具体的には、例えば、図８（ｅ）に示すように、最大相関値を有するパッドデータＰＥの外接長方形と同一の面積をもつ等価楕円Ｃを算出し、当該等価楕円Ｃの主軸Ｃ１の水平軸（Ｙ軸）に対する角度θを算出し、角度θが９０°の場合には傾きはゼロとし、角度が９０＋α°の場合には、傾きがα°であるとする。
なお、図中、水平軸（Ｙ軸）および垂直軸（Ｘ軸）は予め所定の方向に設定されている。
そして、角度θを算出後、傾きがある場合には、例えば画像データにアフィン変換を施して、上記の画像データの基準位置Ｇを中心に、受光領域の傾きが所定の基準方向に沿うように画像データを回転させる。
【００７１】
次に、図９（ｆ）に示すように、最大相関値を有するパッドデータＰＥの基準位置（辺重心）Ｇと、対応するマスタパターン（ＭＡ〜ＭＦ）のパッドデータＭＥの辺重心ＭＧとが一致するように、マスタパターン（ＭＡ〜ＭＦ）を移動させる。
【００７２】
次に、図９（ｇ）に示すように、面積算出部４６により、基準位置Ｇを中心として位置補正された２値画像データ（ＰＡ〜ＰＦ）とマスタパターン（ＭＡ〜ＭＦ）との論理積（ＡＮＤ処理）をとる（ステップＳＴ９）。
これは、マスタパターン（ＭＡ〜ＭＦ）の領域内で２値画像データにおける各パッドデータ（ＰＡ〜ＰＦ）の面積が所定の設定値を有しておれば、デバイスとしては何ら支障はないため、マスタパターン（ＭＡ〜ＭＦ）の領域以外における２値画像データのボイド等の影響を排除するためである。
【００７３】
次に、図９（ｇ）に示すマスタパターンとの論理積後の２値画像データにおける各パッドデータ（ＰＡ’〜ＰＦ’）にラベリング（パッドデータ毎に番号を付ける）を行い（ステップＳＴ１０）、面積算出部４６によりラベリング後の各パッドデータ（ＰＡ’〜ＰＦ’）毎の面積を計測する（ステップＳＴ１１）。
【００７４】
次に、判定部４９により、ラベリング後の各パッドデータ（ＰＡ’〜ＰＦ’）毎に規定値面積を満たすか否かを評価する（ステップＳＴ１２）。
そして、全パッドデータ（ＰＡ’〜ＰＦ’）が規定値面積を満たすときのみ当該面積評価を良好として、次の検査ステップへ移り、１つのパッドデータ（ＰＡ’〜ＰＦ’）でも規定値面積を満たさない場合には、不良品としてそれ以降の検査を中止する（ステップＳＴ１３）。
なお、当該面積の判定において、２値画像データ（ＰＡ〜ＰＦ）とマスタパターン（ＭＡ〜ＭＦ）との論理積により、パッドパターンがマスタパターンと所定の一致度を有さないものも不良品として判定される。
【００７５】
次に、ステップＳＴ１２により、規定値面積を満たすと判定された場合には、多値画像データにおける濃度値の計測に移る。
具体的には、図１０に示すように、１次平均値算出部４７により、各パッドデータ（ＰＡ〜ＰＦ）の周辺角部分を除いた、濃度値の検査範囲（ＲＡ〜ＲＦ）における濃度値の平均値（１次平均値）を算出する（ステップＳＴ１４）。例えば、当該検査範囲（ＲＡ〜ＲＦ）は、目視規格に準拠したものとする。
【００７６】
次に、判定部４９により、各パッドデータ（ＰＡ〜ＰＦ）の検査範囲内における１次平均値が設定値の範囲内にあるか否かを判定する（ステップＳＴ１５）。
そして、１次平均値が設定値の範囲内にある場合には、良好として次の検査ステップへ移り、１次平均値が設定値の範囲内にない場合には、不良品としてそれ以降の検査を中止する（ステップＳＴ１３）。
【００７７】
次に、ステップＳＴ１５において１次平均値の値が良好であると判定された場合には、さらに１次平均値算出部４７により、１次平均値から偏差−Ｘ％の濃度値をしきい値として、多値画像データを２値化（ステップＳＴ１６）して、偏差−Ｘ％の濃度値の画素の面積を計測する（ステップＳＴ１７）。
図１１は、所定方向における各位置ごとの濃度値を示したものである。なお、図１１において、縦軸は濃度値を示し、横軸は位置を示している。
図１１に示すように、１次平均値Ｍから偏差−Ｘ％の濃度値をしきい値として、多値画像データを２値化して、偏差−Ｘ％以下の濃度値の画素（図中、黒色領域で示す）の面積を計測する。
【００７８】
次に、判定部４９により、偏差−Ｘ％以下の濃度値の画素の面積が、目視規格（直径１０μｍ相当の画素）内か否かの判定を行い（ステップＳＴ１８）、目視規格内の場合には良好として次の検査ステップへ移り、目視規格外の場合には不良品と判定し、それ以降の検査を中止する（ステップＳＴ１３）。
なお、上記の評価に偏差＋Ｘ％以上の濃度値の画素の面積の評価を加えないのは、パッドデータ（ＰＡ〜ＰＦ）近傍のボイド等により、パッドデータ（ＰＡ〜ＰＦ）の一部の出力に急激な上昇が発生することがあり、このパッドデータ外（近傍も含む）のボイドは、デバイスの使用上問題ないからである。
【００７９】
次に、ステップＳＴ１８において、良好と判定された場合には、２次平均値算出部４８により、１次平均値から偏差−Ｘ％以下の濃度値の画素を除去して、１次平均値から偏差−Ｘ％以上の濃度値を有する画素の濃度値の平均値（２次平均値）を算出する（ステップＳＴ１９）。
これは、１次平均値には、検査範囲内で平均値から極端に偏った（低濃度の）濃度値も平均値の算出のために加わるため、平均値が下がり、この分の誤差が生じる可能性があるからである。
従って、検査の精度を上げるため、この極端に偏った濃度値を除いて、もう一度平均値（２次平均値）を算出する。
【００８０】
そしてさらに、２次平均値算出部４８により、２次平均値から偏差−Ｘ％の濃度値をしきい値として、多値画像データを２値化（ステップＳＴ２０）して、偏差−Ｘ％以下の濃度値の画素の面積を計測する（ステップＳＴ２１）。
【００８１】
次に、判定部４９により、偏差−Ｘ％以下の濃度値の画素の面積が、目視規格（直径１０μｍ相当の画素）内か否かの判定を行い（ステップＳＴ２２）、目視規格内の場合には良品と判定し（ステップＳＴ２３）、目視規格外の場合には不良品と判定する（ステップＳＴ１３）。
なお、上記の評価に偏差＋Ｘ％以上の濃度値の画素の面積の評価を加えないのは、１次平均値を用いた評価と同様の理由からである。
【００８２】
次に、図１２〜図１７に、受光素子の良品、不良品のそれぞれの画像データを示す。
【００８３】
まず、図１２〜図１４を用いて、受光素子の良、不良のそれぞれの場合におけるパッドデータについて説明する。図１２〜図１４には、受光素子の画像データに加えて、Ｘ−Ｘ’線に沿ってＸ方向にレーザ光を走査した場合における各受光領域からの出力ｘ１〜ｘ５、およびＹ−Ｙ’線に沿ってＹ方向にレーザ光を走査した場合における各受光領域からの出力ｙ１〜ｙ５も併記してある。さらに、各図には、全受光領域の濃度の平均値を示してある。
【００８４】
図１２（ａ）および（ｂ）は、本実施形態に係る検査装置を用いた検査方法により良品と判定された受光素子の画像を示しており、図１２（ａ）および（ｂ）に示す画像には、特にボイドや受光素子を被覆する透明樹脂の剥離等に基づく影響は見られず、出力波形（ｘ１，ｙ１）および（ｘ２，ｙ２）の分布も特にバラツキはなく、かつ、平均濃度も規定値の範囲内にあることが確認された。
【００８５】
図１３（ａ）および（ｂ）は、本実施形態に係る検査装置を用いた検査方法により不良品と判定された受光素子の画像を示しており、図１３（ａ）および（ｂ）に示す画像には、特にボイドや受光素子を被覆する透明樹脂の剥離等に基づく影響は見られず、また、出力波形（ｘ３，ｙ３）および（ｘ４，ｙ４）の分布も特にバラツキはないが、濃度の平均値が６７および６８と小さく、規定値の範囲内にないことから、ステップＳＴ１５において当該受光素子は不良品と判定されたものである。
【００８６】
図１４に示す受光素子の出力からの画像では、特にボイドや受光素子を被覆する透明樹脂の剥離等に基づく影響は見られないが、特に出力波形ｘ５の分布にバラツキがあり、また、平均濃度が６８と小さく規定値の範囲内にないことから、ステップＳＴ１５（ステップＳＴ１８においても）において、当該受光素子は不良品と判定されたものである。
【００８７】
次に、図１５〜図１７に示す画像データを用いて、受光素子の良否の判定について説明する。
【００８８】
図１５に示す受光素子の出力からの画像では、図１２に示す良品の受光素子からの画像では確認できなかった縞模様が発生している。これは、受光素子を被覆する透明樹脂の剥離に基づく影響が現れており、ステップＳＴ１８において、当該受光素子は不良品と判定された。
【００８９】
図１６に示す受光素子の出力からの画像では、まだらに散っているボイドが明確に確認できる。これは、受光素子の表面あるいは内部に存在するボイドの影響が現れており、従って、ステップＳＴ１８において、当該受光素子は不良品と判定された。
【００９０】
図１７に示す受光素子の出力からの画像では、図中、左上の部分に影があることがクッキリと確認される。これは、受光素子を被覆する透明樹脂中に存在する異物の影響が現れていると考えられ、従って、ステップＳＴ１８において、当該受光素子は不良品と判定された。
【００９１】
以上説明したように、上記の本実施形態に係る受光素子の検査装置によれば、受光素子を撮像する等により、受光素子の欠陥の有無を検査するのではなく、実際に使用する波長のレーザ光を受光素子の受光領域に走査して、受光素子から得られる出力から、画像処理を行うことにより、例えば、受光素子を被覆する透明樹脂の剥離、透明樹脂中の異物、汚れ、受光素子の感度の低下等の種々の欠陥が当該画像データへ影響を与えることから、当該欠陥からの影響のレベルを選別することにより、受光素子の良不良を精度良く判定することが可能となる。
従って、従来の方法では対応できなかった、受光領域間に感度の差がある場合にも不良として判断することができる。
また、従来のような、人の目視による検査における検査レベルのバラツキの問題、画像処理による検査における照明条件での検査レベルのバラツキの問題等もなく、安定した検査をすることが可能となる。
【００９２】
また、画像処理で検査する際に、各パッドデータの外接長方形を算出して、基準位置を決定し、当該基準位置に基づいて各パッドデータの位置補正を行い、基準位置に基づいて検査範囲を設定して、検査範囲内における面積および濃度値等の評価を行うため、通常の画像処理の際に使用するパターンマッチング等のように座標等を算出する必要はないことから、処理速度の高速化を図ることができる。
また、上記の基準位置を決定する際に、複雑な受光領域のパッドデータを拡大および縮小して、対象形状の個数を減らすことにより、さらに処理速度の高速化を図ることができる。
さらに、位置補正も辺重心を中心として行うことにより、簡易にかつパッドデータ内のボイド等により影響を受けない基準位置を算出して、適切な検査範囲を設定することが可能となる。
【００９３】
本発明の受光素子の検査装置および検査方法の実施形態は、上記の説明に限定されない。
例えば、本実施形態では、受光素子としてＣＤ用の受光素子の検査について説明したが、これに限られるものでなく、ＭＤに使用される受光素子等、受光素子の種類は問わない。
例えば、ＭＤ用の受光素子からの画像データのラベリング処理において、例えば、図１８の矢印で示すように、ラベリングを行う場合に、パッドデータＰＩ、ＰＤ、ＰＡ、ＰＪの順に番号付けが行われない場合がある。例えば図１８に示すように、パッドデータＰＤが他のパッドデータ（ＰＩ，ＰＡ，ＰＪ）よりも図中、左にずれて存在する場合に、最初に検出されるパッドデータＰＤの出現順序が１番となる。例えば、これを回避するために、ナンバリング後、各パッドデータのＹ座標で並び替えを実行する等の各種の改変は受光素子毎に可能である。
【００９４】
また、例えば、本実施形態では、レーザ光を受光素子に導く光学部材として、θレンズ１６ａ、リレーレンズ１６ｂ、結像レンズ１６ｃからなるリレーレンズ組立体１６、および対物レンズ１７等を使用したが、受光素子の受光領域にレーザ光を集光可能であれば、これに限定されるものではない。
さらに、本実施形態では、Ｘ方向アクチュエータ１４ａ、Ｙ方向アクチュエータ１４ｂにより、ガルバノレンズ１３を走査することにより、レーザ光を受光素子の受光領域において走査することとしたが、レーザ光を受光素子の受光領域に走査可能であれば他の形態をとることも可能である。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
【００９５】
【発明の効果】
本発明によれば、受光素子の検査の精度および安定度を向上させ、信頼性の高い受光素子を良品として提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の受光素子の検査装置の概略構成図である。
【図２】図２は、図１に示す変換部の構成を詳細に示す図である。
【図３】図３は、図１に示すデータ処理部の構成の一例を示す図である。
【図４】図４は、本実施形態に係る受光素子の検査方法における処理のフローチャートを示したものである。
【図５】図５は、図４に示すフローチャートの続きを示したものである。
【図６】図６は、図５に示すフローチャートの続きを示したものである。
【図７】図７は、本実施形態に係る受光素子の検査方法の各処理における表示部の表示画面上の受光素子の画像を示したものである。
【図８】図８は、図７の続きの処理における表示部の表示画面上の受光素子の画像を示したものである。
【図９】図９は、図８の続きの処理における表示部の表示画面上の受光素子の画像を示したものである。
【図１０】図１０は、図９の続きの処理における表示部の表示画面上の受光素子の画像を示したものである。
【図１１】図１１は、所定方向における各位置ごとの濃度値を示したものである。
【図１２】図１２は、良品と判定される受光素子の出力からの画像を示す。
【図１３】図１３は、平均濃度が規定値に比して小さく、不良品と判定される受光素子の出力からの画像を示す。
【図１４】図１４は、平均濃度が規定値に比して小さく、不良品と判定される受光素子の出力からの画像を示す。
【図１５】図１５は、受光素子を被覆する透明樹脂が剥離している場合における受光素子の出力からの画像を示す。
【図１６】図１６は、受光素子の表面あるいは内部にボイドが存在する場合における受光素子の出力からの画像を示す。
【図１７】図１７は、受光素子を被覆する透明樹脂中に異物がある場合における受光素子の出力からの画像を示す。
【図１８】図１８は、ＭＤ用の受光素子からの画像データにおける各パッドデータへラベリングを行う際における、ラベリング処理の改変の１態様を示したものである。
【図１９】図１９（ａ）は、例えばＣＤ等に用いられる受光素子を有する半導体チップの断面図であり、図１９（ｂ）は、図１９（ａ）の半導体チップ上に形成された受光素子の拡大平面図である。
【符号の説明】
１…検査装置、１１…レーザ光源、１２…ビームエキスパンダー、１３…ガルバノレンズ、１４ａ…Ｘ方向アクチュエータ、１４ｂ…Ｙ方向アクチュエータ、１５…スキャナドライバ、１６…リレーレンズ組立体、１６ａ…θレンズ、１６ｂ…リレーレンズ、１６ｃ…結像レンズ、１７…対物レンズ、１８…ワーク、１９…ソケット、２１…制御部、２２…スキャナコントローラ、２３…変換部、２４…データ処理部、２５…表示部、２６…電源部、３１…ゲイン調整器、３２…加算器、３３…Ａ／Ｄ変換器、３４…インターフェース部、４０…画像データ作成部、４１…２値化処理部、４２…拡大・縮小部、４３…形状抽出部、４４…基準位置決定部、４５…位置補正部、４６…面積算出部、４７…１次平均値算出部、４８…２次平均値算出部、４９…判定部、５０…検査範囲設定部、６０…検査部、１０１…受光素子、１０２…透明樹脂、１０３…リードフレーム、１０４…ワイヤ、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ…受光領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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