(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つのヘッド素子を浮上面とは略垂直方向の一方の面上に有している薄い平板形状のヘッド部と、該ヘッド部の該一方の面とは反対側の他方の面側に位置していると共に該ヘッド部に一体的に固着されており、前記ヘッド素子の微小位置決めを行うためのアクチュエータ部とを備えており、前記アクチュエータ部が、駆動信号に従って変位する先端部に前記ヘッド部の両側端部が固着された１対の可動アーム部と、該可動アーム部間に離隔して設けられた静止部とを備えていることを特徴とする微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダ。
【請求項２】
前記浮上面が、前記静止部に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のヘッドスライダ。
【請求項３】
支持機構に固定される基部を備えており、前記可動アーム部が該基部から前記浮上面に沿って突出していることを特徴とする請求項１又は２に記載のヘッドスライダ。
【請求項４】
前記可動アーム部が、アーム部材と、該アーム部材の面上に積層又は接着された圧電素子部材とを備えていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のヘッドスライダ。
【請求項５】
前記ヘッド素子が薄膜磁気ヘッド素子であることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のヘッドスライダ。
【請求項６】
ヘッド素子用基板の一方の面上に複数のヘッド素子を形成した後、該一方の面とは反対側の他方の面を研削することによって薄いヘッド素子用基板を形成し、該薄いヘッド素子用基板を複数の部材に切断分離し、切断分離して得た各部材の前記他方の面側に位置するように、微小位置決めアクチュエータ部を形成した部材を該切断分離して得た各部材に一体的に固着することを特徴とする微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダの製造方法。
【請求項７】
前記薄いヘッド素子用基板を個々のヘッド部に切断分離し、該切断分離して得たヘッド部の前記他方の面側に位置するように、アクチュエータ部を該切断分離して得たヘッド部に一体的に固着してヘッドスライダを得ることを特徴とする請求項６に記載の製造方法。
【請求項８】
基材部上にアクチュエータ層が設けられている前記アクチュエータ部の該アクチュエータ層側の面を前記切断分離して得たヘッド部の前記他方の面に固着してヘッドスライダを得ることを特徴とする請求項７に記載の製造方法。
【請求項９】
駆動信号に従って変位する先端部を有する１対の可動アーム部と、該可動アーム部間に離隔して設けられた静止部とを備えた前記アクチュエータ部を用意し、該アクチュエータ部の該可動アーム部の先端部に前記切断分離して得たヘッド部の側端部を固着してヘッドスライダを得ることを特徴とする請求項７に記載の製造方法。
【請求項１０】
前記アクチュエータ部が、支持機構に固定するための基部から前記可動アーム部が突出するように形成されていることを特徴とする請求項９に記載の製造方法。
【請求項１１】
前記可動アーム部が、アーム部材の面上に圧電素子部材を積層又は接着して形成されていることを特徴とする請求項９又は１０に記載の製造方法。
【請求項１２】
前記薄いヘッド素子用基板を複数のヘッド素子が列状に並ぶ複数の第１のバー部材に切断分離し、該第１のバー部材の前記他方の面側に位置するように、複数のアクチュエータ部が列状に並ぶ第２のバー部材を該第１のバー部材に一体的に固着した後、これを切断分離して個々のヘッドスライダを得ることを特徴とする請求項６に記載の製造方法。
【請求項１３】
基材部上にアクチュエータ層を設けられている前記第２のバー部材の該アクチュエータ層側の面を前記第１のバー部材の前記他方の面に固着した後、これを切断分離して個々のヘッドスライダを得ることを特徴とする請求項１２に記載の製造方法。
【請求項１４】
駆動信号に従って変位する先端部を有する１対の可動アーム部領域と、該可動アーム部領域間に離隔して設けられた静止部領域とを有する前記第２のバー部材を用意し、該第２のバー部材の該可動アーム部領域の先端部に前記第１のバー部材の側端部を固着した後、これを切断分離して個々のヘッドスライダを得ることを特徴とする請求項１２に記載の製造方法。
【請求項１５】
前記第２のバー部材が、支持機構に固定するための基部領域から前記可動アーム部領域が突出するように形成されていることを特徴とする請求項１４に記載の製造方法。
【請求項１６】
前記可動アーム部領域が、アーム部材の面上に圧電素子部材を積層又は接着して形成されていることを特徴とする請求項１４又は１５に記載の製造方法。
【請求項１７】
ヘッド素子用基板の一方の面上に複数のヘッド素子を形成した後、該一方の面とは反対側の他方の面を研削することによって薄いヘッド素子用基板を形成し、該薄いヘッド素子用基板の前記他方の面に複数の微小位置決めアクチュエータ部を形成したアクチュエータ用基板を一体的に固着した後、これを切断分離して個々のヘッドスライダを得ることを特徴とする微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダの製造方法。
【請求項１８】
基材部上にアクチュエータ層が設けられている前記アクチュエータ用基板の該アクチュエータ層側の面を前記薄いヘッド素子用基板の前記他方の面に固着した後、これを切断分離して個々のヘッドスライダを得ることを特徴とする請求項１７に記載の製造方法。
【請求項１９】
個々のヘッドスライダの前記アクチュエータ部に浮上面を形成することを特徴とする請求項７から１８のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項２０】
ヘッド素子用基板の一方の面上に複数のヘッド素子を形成した後、該ヘッド素子用基板を複数の部材に切断分離し、切断分離して得た各部材の該一方の面とは反対側の他方の面を研削することによって薄い部材を得、該薄い部材の前記他方の面側に位置するように、微小位置決めアクチュエータ部を形成した部材を該薄い部材に一体的に固着することを特徴とする微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダの製造方法。
【請求項２１】
前記ヘッド素子が薄膜磁気ヘッド素子であることを特徴とする請求項６から２０のいずれか１項に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜磁気ヘッド素子又は光ヘッド素子等のヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダ及びこのヘッドスライダの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク装置では、サスペンションの先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを、回転する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状態で、この磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘッド素子により磁気ディスクへの記録及び／又は磁気ディスクからの再生が行われる。
【０００３】
近年、磁気ディスク装置の大容量化及び高密度記録化に伴い、ディスク半径方向（トラック幅方向）の密度の高密度化が進んできており、従来のごときボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）のみによる制御では、磁気ヘッドの位置を正確に合わせることが難しくなってきている。
【０００４】
磁気ヘッドの精密位置決めを実現する手段の一つとして提案されているのが、従来のＶＣＭよりさらに磁気ヘッドスライダ側にもう１つのアクチュエータ機構を搭載し、ＶＣＭで追従しきれない微細な精密位置決めを、そのアクチュエータによって行う技術である（例えば、特開平６−２５９９０５号公報、特開平６−３０９８２２号公報、特開平８−１８０６２３号公報参照）。
【０００５】
この種のアクチュエータとして、ロードビーム型アクチュエータ、ピギーバック型アクチュエータ等の種々の構造のものが存在する。
【０００６】
ロードビーム型アクチュエータは、サスペンションのロードビーム上に２つのＰＺＴを搭載し、これらＰＺＴを互いに補助し合うように駆動してロードビームを変位させこれに取り付けられている磁気ヘッドスライダを微小変位させるものである。
【０００７】
一方、ピギーバック型アクチュエータは、サスペンションに固定される一方の端部と、磁気ヘッドスライダに固定される他方の端部と、これら端部を連結するピラー状の変位発生部とをＰＺＴによりＩ字形状に一体形成してなるものであり、ＰＺＴを駆動することによって磁気ヘッドスライダ全体を直接的に微小変位させるものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の微小精密位置決め用アクチュエータは、サスペンション全体又は磁気ヘッドスライダ全体を変位させるものであるため、変位部の質量が大きく、このため、▲１▼アクチュエータを構成する材料に非常に大きな変位発生力を持つものを用いなければならないので材料が特定されてしまう、▲２▼大きな変位を発生するためアクチュエータに高い駆動電圧を印加する必要があるので、磁気ヘッド素子の電磁変換特性に悪影響を与えるおそれがある、▲３▼使用する材料及び構造が特定されてしまうので駆動部の形状や駆動方向等が決まってしまい、アクチュエータ形状の設計における自由度が非常に低い、▲４▼機械的共振が比較的低い周波数で発生するためサスペンションの振動特性が悪化する、等の種々の問題が生じていた。
【０００９】
また、従来の微小精密位置決め用アクチュエータは、磁気ヘッドスライダ全体を動かして磁気ヘッド素子を微小変位させるものであるため、磁気ヘッド素子を変位させるとスライダの浮上面（ＡＢＳ）も姿勢変化する可能性があり、浮上特性に悪影響を生じさせることが考えられる。
【００１０】
変位部の質量を低減化するために、アクチュエータを磁気ヘッドスライダ内部に埋め込んだ構造も提案されている（植松  幸弘、「磁気ディスク装置とピギーバックアクチュエータ」、エレクトロニクス、ｐｐ．４６〜４８、１９９８年９月号）。
【００１１】
しかしながら、この構造は、磁気ヘッド素子を集積製造する際にアクチュエータ構造をも同時に集積する必要があり、磁気ヘッド素子の製造工程を根本から大きく変えることが要求されるため採用することは非常に難しい。しかも、アクチュエータの変位量が非常に小さいため、実用的でない。
【００１２】
従って本発明は、従来技術の上述した問題点を解消するものであり、その目的は、ヘッド素子の製造工程を変更することなく変位部の質量低減化を図れる微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダ及びこのヘッドスライダの製造方法を提供することにある。
【００１３】
本発明の他の目的は、ヘッド素子の製造工程を変更することなく充分な変位量を得ることのできる微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダ及びこのヘッドスライダの製造方法を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、少なくとも１つのヘッド素子をＡＢＳとは略垂直方向の一方の面上に有している薄い平板形状のヘッド部と、ヘッド部のこの一方の面とは反対側の他方の面側に位置していると共にヘッド部に一体的に固着されており、ヘッド素子の微小位置決めを行うためのアクチュエータ部とを備えており、アクチュエータ部が、駆動信号に従って変位する先端部にヘッド部の両側端部が固着された１対の可動アーム部と、可動アーム部間に離隔して設けられた静止部とを備えている微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダが提供される。
【００１５】
ヘッド部をＡＢＳとは略垂直方向の一方の面上にヘッド素子を設けた薄い平板形状に形成し、その薄い平板形状の反対面側でアクチュエータ部が一体的に固着されているため、アクチュエータ部の駆動する変位部の質量が非常に小さくなり、しかもヘッド素子は通常の製造工程でヘッド部に形成可能である。また、アクチュエータ部は、ヘッド部に固着される独立構造であるため、充分な変位量のものを用意することができる。アクチュエータ部は、駆動信号に従って変位する先端部にヘッド部の両側端部が固着された１対の可動アーム部と、可動アーム部間に離隔して設けられた静止部とを備えている。この場合、ＡＢＳが静止部に形成されていることが好ましい。静止部にＡＢＳが形成されていれば、ヘッド部が変位した際にもＡＢＳの姿勢が変わらないため、安定した浮上特性を維持することができる。
【００１９】
この場合、支持機構に固定される基部を備えており、可動アーム部が基部からＡＢＳに沿って突出していることが好ましい。また、可動アーム部が、アーム部材と、アーム部材の面上に積層又は接着された圧電素子部材とを備えていることもより好ましい。
【００２０】
本発明によれば、さらに、ヘッド素子用基板の一方の面上に複数のヘッド素子を形成した後、この一方の面とは反対側の他方の面を研削することによって薄いヘッド素子用基板を形成し、薄いヘッド素子用基板を複数の部材に切断分離し、切断分離して得た各部材の他方の面側に位置するように、微小位置決めアクチュエータ部を形成した部材をこの切断分離して得た各部材に一体的に固着する、微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダの製造方法が提供される。
【００２１】
ヘッド素子用基板のヘッド素子を形成した面とは反対側の面を研削することによって薄くした後、これを複数の部材に切断分離し、この切断分離して得た各部材の反対面側でアクチュエータ部を形成した部材を一体的に固着しているため、ヘッド素子を通常の製造工程でヘッド素子用基板に形成可能であるにもかかわらずアクチュエータ部の駆動する変位部の質量を非常に小さくすることができる。また、アクチュエータ部用の部材を別個に作成し、これをヘッド素子の存在する部材に固着する構造であるため、アクチュエータ部として充分な変位量のものを用意することができる。
【００２２】
薄いヘッド素子用基板を個々のヘッド部に切断分離し、切断分離して得たヘッド部の他方の面側に位置するように、アクチュエータ部をこの切断分離して得たヘッド部に一体的に固着してヘッドスライダを得ることが好ましい。
【００２３】
この場合、基材部上にアクチュエータ層が設けられているアクチュエータ部のこのアクチュエータ層側の面を切断分離して得たヘッド部の他方の面に固着してヘッドスライダを得ることが好ましい。
【００２４】
または、駆動信号に従って変位する先端部を有する１対の可動アーム部と、可動アーム部間に離隔して設けられた静止部とを備えたアクチュエータ部を用意し、このアクチュエータ部の可動アーム部の先端部に切断分離して得たヘッド部の側端部を固着してヘッドスライダを得ることが好ましい。この場合、アクチュエータ部が、支持機構に固定するための基部から可動アーム部が突出するように形成されていることがより好ましい。さらに、可動アーム部が、アーム部材の面上に圧電素子部材を積層又は接着して形成されていることがより好ましい。
【００２５】
薄いヘッド素子用基板を複数のヘッド素子が列状に並ぶ複数の第１のバー部材に切断分離し、第１のバー部材の他方の面側に位置するように、複数のアクチュエータ部が列状に並ぶ第２のバー部材を第１のバー部材に一体的に固着した後、これを切断分離して個々のヘッドスライダを得ることも好ましい。
【００２６】
この場合、基材部上にアクチュエータ層を設けられている第２のバー部材のアクチュエータ層側の面を第１のバー部材の他方の面に固着した後、これを切断分離して個々のヘッドスライダを得ることが好ましい。
【００２７】
または、駆動信号に従って変位する先端部を有する１対の可動アーム部領域と、可動アーム部領域間に離隔して設けられた静止部領域とを有する第２のバー部材を用意し、第２のバー部材の可動アーム部領域の先端部に第１のバー部材の側端部を固着した後、これを切断分離して個々のヘッドスライダを得ることも好ましい。この場合、第２のバー部材が、支持機構に固定するための基部領域から可動アーム部領域が突出するように形成されていることがより好ましい。さらに、可動アーム部領域が、アーム部材の面上に圧電素子部材を積層又は接着して形成されていることも好ましい。
【００２８】
本発明によれば、またさらに、ヘッド素子用基板の一方の面上に複数のヘッド素子を形成した後、この一方の面とは反対側の他方の面を研削することによって薄いヘッド素子用基板を形成し、薄いヘッド素子用基板の他方の面に複数の微小位置決めアクチュエータ部を形成したアクチュエータ用基板を一体的に固着した後、これを切断分離して個々のヘッドスライダを得る微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダの製造方法が提供される。
【００２９】
ヘッド素子用基板のヘッド素子を形成した面とは反対側の面を研削することによって薄くし、その反対側面に複数のアクチュエータ部を形成したアクチュエータ用基板を一体的に固着した後、これを切断分離して個々のヘッドスライダを得ているため、ヘッド素子を通常の製造工程でヘッド素子用基板に形成可能であるにもかかわらずアクチュエータ部の駆動する変位部の質量を非常に小さくすることができる。また、アクチュエータ用基板を別個に作成し、これをヘッド素子用基板に固着する構造であるため、アクチュエータ部として充分な変位量のものを用意することができる。
【００３０】
基材部上にアクチュエータ層が設けられているアクチュエータ用基板のアクチュエータ層側の面を薄いヘッド素子用基板の他方の面に固着した後、これを切断分離して個々のヘッドスライダを得ることが好ましい。
【００３１】
以上の製造方法において、個々のヘッドスライダのアクチュエータ部にＡＢＳを形成することが好ましい。
【００３２】
本発明によれば、さらに、ヘッド素子用基板の一方の面上に複数のヘッド素子を形成した後、ヘッド素子用基板を複数の部材に切断分離し、切断分離して得た各部材の一方の面とは反対側の他方の面を研削することによって薄い部材を得、薄い部材の他方の面側に位置するように、微小位置決めアクチュエータ部を形成した部材を薄い部材に一体的に固着する微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダの製造方法が提供される。
【００３３】
ヘッド素子用基板を複数の部材に切断分離した後、ヘッド素子を形成した面とは反対側の面を研削することによってこの部材を薄くし、その薄くした部材のこの反対面側でアクチュエータ部を形成した部材を一体的に固着しているため、ヘッド素子を通常の製造工程でヘッド素子用基板に形成可能であるにもかかわらずアクチュエータ部の駆動する変位部の質量を非常に小さくすることができる。また、アクチュエータ部用の部材を別個に作成し、これをヘッド素子の存在する部材に固着する構造であるため、アクチュエータ部として充分な変位量のものを用意することができる。
【００３４】
以上述べたヘッド素子が薄膜磁気ヘッド素子であることも好ましい。
【００３５】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施形態として、微小位置決め用アクチュエータ付き磁気ヘッドスライダを表す斜視図である。
【００３６】
同図において、１０は例えば厚さが５０μｍと非常に薄い基板１０ａ上に薄膜磁気ヘッド素子１０ｂ及びその端子電極１０ｃを含む厚さが３５〜５０μｍ程度の薄膜層１０ｄが形成されている磁気ヘッド部、１１はこの磁気ヘッド部１０の素子集積面（表面）の反対側の面（裏面）に例えば接着により固着されたアクチュエータ部をそれぞれ示している。
【００３７】
アクチュエータ部１１は薄いアクチュエータ層１１ａが基材部１１ｂに積層された構成となっており、このアクチュエータ層１１ａの基材部１１ｂとは反対側の面が磁気ヘッド部１０の裏面に固着されている。アクチュエータ部１１の図にて隠れている下面、即ち磁気ヘッド部１０の素子集積面と略垂直方向の面には、ＡＢＳが形成されている。
【００３８】
磁気ヘッド部１０の基板１０ａとしては、従来より一般的に用いられているアルティック（Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＣ）基板が使用されているが、その厚さ（磁気ヘッドスライダの前後方向に沿った長さ）が非常に薄く形成されている。磁気ヘッド部１０の薄膜磁気ヘッド素子１０ｂ及びその端子電極１０ｃは、従来と同様の薄膜集積工程で形成されている。
【００３９】
アクチュエータ部１１は、本実施形態では、比較的厚い（従来より一般的に用いられているアルティック基板と同等の厚さの）ジルコニア基材１１ｂ上に例えば静電型構造のアクチュエータ層１１ａが半導体集積技術で形成されている。後述するように、このアクチュエータ部１１は、磁気ヘッド部１０と別個に作成されるので、静電型構造のものの他に圧電型構造、磁歪型構造、電磁誘導型構造又はその他のいかなる構造のものであっても容易に適用可能である。
【００４０】
磁気ヘッド部１０及びアクチュエータ部１１を合わせた本実施形態の磁気ヘッドスライダの寸法は、例えば１．２５ｍｍ×１．０ｍｍ×０．３ｍｍと従来のものとほぼ同じであり、またその外観形状もほぼ同じである。
【００４１】
図示しない電極を介してアクチュエータ層１１ａに駆動電圧が印加されると、このアクチュエータ層１１ａは矢印１２に示すように横方向に直線的に変位する。その結果、磁気ヘッド部１０も同様に横方向に直線的に変位して磁気ヘッド素子１０ｂの精密位置決めが行われる。
【００４２】
可動部である磁気ヘッド部１０が薄く質量が非常に小さいため、微小な力でも充分な変位を発生することができる。なお、変位するのは磁気ヘッド部１０のみであり、アクチュエータ部１１の基材１１ｂに設けられたＡＢＳは全く変位しない。従って、ＡＢＳの姿勢が変わらないため、安定した浮上特性を常に維持することができる。
【００４３】
可動部の質量が非常に小さいことによって、▲１▼低電圧駆動型のアクチュエータを使用することが可能となり磁気ヘッド素子の電磁変換特性に悪影響を与えるようなことがなくなる、▲２▼変位発生力の小さな材料、構造によるアクチュエータを選択することが可能となる、▲３▼アクチュエータの設計における自由度が高くなる、▲４▼機械的共振周波数が高くなるためサスペンションの振動特性を阻害することがなくなる、等の利便が得られる。
【００４４】
図２は本実施形態における磁気ヘッドスライダの製造工程の一部のフローチャートであり、図３は本実施形態及び後述するその変更態様における磁気ヘッドスライダの製造工程の一部を説明する図である。以下これらの図を用いて本実施形態における磁気ヘッドスライダの製造方法を説明する。
【００４５】
まず、従来と同様の厚さのアルティックウエハ３０を用意し（ステップＳ１）、このアルティックウエハ３０上に多数の薄膜磁気ヘッド素子及びその端子電極を従来と同様の薄膜集積技術で形成することにより、表面に磁気ヘッド素子等の薄膜層３１が設けられたウエハ３２を得る（ステップＳ２）。
【００４６】
次いで、この素子集積後のウエハ３２の裏面を研削し、集積した素子の厚さを含まないウエハ部分の厚さが数十μｍ程度の非常に薄いウエハ３３を得る（ステップＳ３）。現在の加工機であれば、この程度の薄さまで研削が可能であるが、将来は、さらに薄く研削できるかもしれない。
【００４７】
なお、あらかじめ薄いウエハ上に薄膜磁気ヘッド素子を集積することも可能であるが、ウエハの歪曲等の問題の生じる恐れがあり、集積工程が難しくなるため、集積後に裏面を研削することが望ましい。
【００４８】
その後、この薄いウエハ３３を切断分離して個々のピース状態の磁気ヘッド部３４を得る（ステップＳ４）。
【００４９】
一方、従来のアルティックウエハとほぼ同様の厚さの比較的厚いジルコニアウエハ３５を用意し（ステップＳ５）、このウエハ３５上に多数の静電型のアクチュエータ素子を半導体集積技術で形成することにより、表面にアクチュエータ層３６の形成されたウエハ３７を得る（ステップＳ６）。
【００５０】
次いで、このウエハ３７を切断分離して個々のピース状態のアクチュエータ部３８を得る（ステップＳ７）。この切断分離する過程で、例えば複数のアクチュエータ部が列状に並ぶバー部材の状態で、アクチュエータ部の底面にＡＢＳが形成される。
【００５１】
その後、個々のピース状態の磁気ヘッド部３４の裏面に個々のピース状態のアクチュエータ部３８のアクチュエータ層３６表面を樹脂接着剤で接着するか又はガラスボンディングで接着することにより、個々の磁気ヘッドスライダ３９を得る（ステップＳ８）。
【００５２】
図４は図２の実施形態の変更態様における磁気ヘッドスライダの製造工程の一部のフローチャートであり、以下、図３及び図４を用いてこの変更態様における磁気ヘッドスライダの製造方法を説明する。
【００５３】
まず、従来と同様の厚さのアルティックウエハ３０を用意し（ステップＳ１１）、このアルティックウエハ３０上に多数の薄膜磁気ヘッド素子及びその端子電極を従来と同様の薄膜集積技術で形成することにより、表面に磁気ヘッド素子の薄膜層３１が設けられたウエハ３２を得る（ステップＳ１２）。
【００５４】
次いで、この素子集積後のウエハ３２の裏面を研削し、集積した素子の厚さを含まないウエハ部分の厚さが数十μｍ程度の非常に薄いウエハ３３を得る（ステップＳ１３）。現在の加工機であれば、この程度の薄さまで研削が可能であるが、将来は、さらに薄く研削できるかもしれない。
【００５５】
なお、あらかじめ薄いウエハ上に薄膜磁気ヘッド素子を集積することも可能であるが、ウエハの歪曲等の問題の生じる恐れがあり、集積工程が難しくなるため、集積後に裏面を研削することが望ましい。
【００５６】
その後、この薄いウエハ３３を切断分離して複数の磁気ヘッド部が列状に並ぶバー部材４０を得る（ステップＳ１４）。
【００５７】
一方、従来のアルティックウエハとほぼ同様の厚さの比較的厚いジルコニアウエハ３５を用意し（ステップＳ１５）、このウエハ３５上に多数の静電型のアクチュエータ素子を半導体集積技術で形成することにより、表面にアクチュエータ層３６の形成されたウエハ３７を得る（ステップＳ１６）。
【００５８】
次いで、このウエハ３７を切断分離して複数のアクチュエータ部が列状に並ぶバー部材４１を得る（ステップＳ１７）。このバー部材の状態で、アクチュエータ部の底面にＡＢＳが形成される。
【００５９】
その後、磁気ヘッド部のバー部材４０の裏面にアクチュエータ部のバー部材４１のアクチュエータ層３６表面を樹脂接着剤で接着するか又はガラスボンディングで接着することにより、複数の磁気ヘッドスライダが列状に並ぶバー部材４２を得る（ステップＳ１８）。次いで、このバー部材４２を分離切断することにより個々のピース状態の磁気ヘッドスライダ３９を得る（ステップＳ１９）。
【００６０】
図５は図２の実施形態の他の変更態様における磁気ヘッドスライダの製造工程の一部のフローチャートであり、以下、図３及び図５を用いてこの変更態様における磁気ヘッドスライダの製造方法を説明する。
【００６１】
まず、従来と同様の厚さのアルティックウエハ３０を用意し（ステップＳ２１）、このアルティックウエハ３０上に多数の薄膜磁気ヘッド素子及びその端子電極を従来と同様の薄膜集積技術で形成することにより、表面に磁気ヘッド素子の薄膜層３１が設けられたウエハ３２を得る（ステップＳ２２）。
【００６２】
次いで、この素子集積後のウエハ３２の裏面を研削し、集積した素子の厚さを含まないウエハ部分の厚さが数十μｍ程度の非常に薄いウエハ３３を得る（ステップＳ２３）。現在の加工機であれば、この程度の薄さまで研削が可能であるが、将来は、さらに薄く研削できるかもしれない。
【００６３】
なお、あらかじめ薄いウエハ上に薄膜磁気ヘッド素子を集積することも可能であるが、ウエハの歪曲等の問題の生じる恐れがあり、集積工程が難しくなるため、集積後に裏面を研削することが望ましい。
【００６４】
一方、従来のアルティックウエハとほぼ同様の厚さの比較的厚いジルコニアウエハ３５を用意し（ステップＳ２４）、このウエハ３５上に多数の静電型のアクチュエータ素子を半導体集積技術で形成することにより、表面にアクチュエータ層３６の形成されたウエハ３７を得る（ステップＳ２５）。
【００６５】
次いで、磁気ヘッド部のウエハ３３の裏面にアクチュエータ部のウエハ３５のアクチュエータ層３６表面を樹脂接着剤で接着するか又はガラスボンディングで接着することにより、ウエハ４３を得る（ステップＳ２６）。
【００６６】
その後、このウエハ４３を切断分離することにより個々のピース状態の磁気ヘッドスライダ３９を得る（ステップＳ２７）。この切断分離する過程で、例えば複数の磁気ヘッドスライダが列状に並ぶバー部材の状態で、アクチュエータ部の底面にＡＢＳが形成される。
【００６７】
なお、以上述べた実施形態及びその変更態様においては、バー部材の状態でアクチュエータ部の底面にＡＢＳが形成されているが、個々のピース状態にあるアクチュエータ部又は磁気ヘッドスライダの底面にＡＢＳを形成するようにしても良い。
【００６８】
また、上述した実施形態及びその変更態様においては、素子集積後のウエハ３２の裏面を研削して磁気ヘッド部を薄くしているが、複数の磁気ヘッド部が列状に並ぶバー部材又は個々のピース状態の磁気ヘッド部の裏面を研削して薄くするようにしても良いことは明らかである。
【００６９】
図６は本発明の他の実施形態として、微小位置決め用アクチュエータ付き磁気ヘッドスライダを表す分解斜視図であり、図７はこの実施形態における磁気ヘッドスライダをＡＢＳ側から見た平面図である。
【００７０】
これらの図において、６０は例えば厚さが５０μｍと非常に薄い基板６０ａ上に薄膜磁気ヘッド素子６０ｂ及びその端子電極を含む厚さが３５〜５０μｍ程度の薄膜層６０ｄが形成されている磁気ヘッド部、６１はこの磁気ヘッド部６０の素子集積面（表面）の反対側の面（裏面）側に位置しており、磁気ヘッド部６０の両側端に例えば接着により固着されたアクチュエータ部をそれぞれ示している。
【００７１】
アクチュエータ部６１は、基部６１ａと、この基部６１ａに対して略垂直を保った状態で前方に伸びている１対の可動アーム部６１ｂ及び６１ｃと、可動アーム部６１ｂ及び６１ｃ間に離隔して設けられており、基部６１ａに対して略垂直を保った状態で前方に伸びている静止部６１ｄとを備えている。可動アーム部６１ｂ及び６１ｃの先端部を磁気ヘッド部６０の両側端に例えば接着することにより、磁気ヘッド部６０とアクチュエータ部６１とが固着されている。
【００７２】
静止部６１ｄの図に示す方の面、即ち磁気ヘッド部６０の素子集積面と略垂直方向の面には、ＡＢＳ６１ｅが形成されている。
【００７３】
磁気ヘッド部６０の基板６０ａとしては、従来より一般的に用いられているアルティック（Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＣ）基板が使用されているが、その厚さ（磁気ヘッドスライダの前後方向に沿った長さ）が非常に薄く形成されている。磁気ヘッド部６０の薄膜磁気ヘッド素子６０ｂ及びその端子電極等は、従来と同様の薄膜集積工程で形成されている。
【００７４】
アクチュエータ部６１は、本実施形態では、断面がＥ字形状のジルコニア基材から主として形成されている。このアクチュエータ部６１の可動アーム部６１ｂ及び６１ｃは、それぞれ、アーム部材の側面に圧電型構造のアクチュエータ層６１ｆ及び６１ｇを半導体集積技術、厚膜積層技術又は印刷技術等で設けることによって形成されている。後述するように、このアクチュエータ部６１は、磁気ヘッド部６０と別個に作成されるので、圧電型構造のものの他に静電型構造、磁歪型構造、電磁誘導型構造又はその他のいかなる構造のものであっても容易に適用可能である。
【００７５】
磁気ヘッド部６０及びアクチュエータ部６１を合わせた本実施形態の磁気ヘッドスライダの外形寸法は、例えば１．２５ｍｍ×１．０ｍｍ×０．３ｍｍと従来のものとほぼ同じである。
【００７６】
図示しない電極を介してアクチュエータ層６１ｆ及び６１ｇに駆動電圧が印加されると、可動アーム部６１ｂ及び６１ｃは矢印６２に示すように横方向に直線的に変位する。その結果、磁気ヘッド部６０も同様に横方向に直線的に変位して磁気ヘッド素子６０ｂの精密位置決めが行われる。
【００７７】
可動部である磁気ヘッド部６０が薄く質量が非常に小さいため、微小な力でも充分な変位を発生することができる。なお、変位するのは磁気ヘッド部６０のみであり、アクチュエータ部６１の静止部６１ｄに設けられたＡＢＳ６１ｅは全く変位しない。従って、ＡＢＳ６１ｅの姿勢が変わらないため、安定した浮上特性を常に維持することができる。
【００７８】
可動部の質量が非常に小さいことによって、▲１▼低電圧駆動型のアクチュエータを使用することが可能となり磁気ヘッド素子の電磁変換特性に悪影響を与えるようなことがなくなる、▲２▼変位発生力の小さな材料、構造によるアクチュエータを選択することが可能となる、▲３▼アクチュエータの設計における自由度が高くなる、▲４▼機械的共振周波数が高くなるためサスペンションの振動特性を阻害することがなくなる、等の利便が得られる。
【００７９】
図８は本実施形態における磁気ヘッドスライダの製造工程の一部のフローチャートであり、図９は本実施形態及び後述するその変更態様における磁気ヘッドスライダの製造工程の一部を説明する図、図１０は本実施形態及び後述するその変更態様におけるアクチュエータ部の製造工程の一部を説明する図である。以下これらの図を用いて本実施形態における磁気ヘッドスライダの製造方法を説明する。
【００８０】
まず、従来と同様の厚さのアルティックウエハ９０を用意し（ステップＳ３１）、このアルティックウエハ９０上に多数の薄膜磁気ヘッド素子及びその端子電極を従来と同様の薄膜集積技術で形成することにより、表面に磁気ヘッド素子等の薄膜層９１が設けられたウエハ９２を得る（ステップＳ３２）。
【００８１】
次いで、この素子集積後のウエハ９２の裏面を研削し、集積した素子の厚さを含まないウエハ部分の厚さが数十μｍ程度の非常に薄いウエハ９３を得る（ステップＳ３３）。現在の加工機であれば、この程度の薄さまで研削が可能であるが、将来は、さらに薄く研削できるかもしれない。
【００８２】
なお、あらかじめ薄いウエハ上に薄膜磁気ヘッド素子を集積することも可能であるが、ウエハの歪曲等の問題の生じる恐れがあり、集積工程が難しくなるため、集積後に裏面を研削することが望ましい。
【００８３】
その後、この薄いウエハ９３を切断分離して複数の磁気ヘッド部が列状に並ぶバー部材９４を得る（ステップＳ３４）。次いで、各バー部材９４を切断分離して個々のピース状態の磁気ヘッド部９５を得る（ステップＳ３５）。
【００８４】
一方、従来のアルティックウエハとほぼ同様の厚さの比較的厚いジルコニアウエハ９６を用意し（ステップＳ３６）、このウエハ９６を切断分離して複数のバー部材９７を作成する（ステップＳ３７）。
【００８５】
次いで、各の外形加工を行い、基部、この基部に対して略垂直を保った状態で前方に伸びている１対のアーム部材、及び基部に対して略垂直を保った状態で前方に伸びている静止部に対応する部分を有する断面がＥ字形状のジルコニア基材９８を形成する（ステップＳ３８）。このジルコニア基材９８のアーム部材の側面に圧電型構造のアクチュエータ層９９を形成してアクチュエータ用バー部材１００を得る（ステップＳ３９）。次いで、このアクチュエータ用バー部材１００を切断分離して個々のピース状態のアクチュエータ部１０１を得る（ステップＳ４０）。
【００８６】
その後、個々のピース状態の磁気ヘッド部９５の両側端を個々のピース状態のアクチュエータ部１０１の先端部で挟むように樹脂接着剤で接着するか又はガラスボンディングで接着して固着することにより、個々の磁気ヘッドスライダ１０２を得る（ステップＳ４１）。この磁気ヘッドスライダ１０２の静止部にＡＢＳを形成することによって、最終的な磁気ヘッドスライダ１０３が得られる（ステップＳ４２）。
【００８７】
図１１は図６の実施形態の変更態様における磁気ヘッドスライダの製造工程の一部のフローチャートであり、以下、図９〜図１１を用いてこの変更態様における磁気ヘッドスライダの製造方法を説明する。
【００８８】
まず、従来と同様の厚さのアルティックウエハ９０を用意し（ステップＳ５１）、このアルティックウエハ９０上に多数の薄膜磁気ヘッド素子及びその端子電極を従来と同様の薄膜集積技術で形成することにより、表面に磁気ヘッド素子等の薄膜層９１が設けられたウエハ９２を得る（ステップＳ５２）。
【００８９】
次いで、この素子集積後のウエハ９２の裏面を研削し、集積した素子の厚さを含まないウエハ部分の厚さが数十μｍ程度の非常に薄いウエハ９３を得る（ステップＳ５３）。現在の加工機であれば、この程度の薄さまで研削が可能であるが、将来は、さらに薄く研削できるかもしれない。
【００９０】
なお、あらかじめ薄いウエハ上に薄膜磁気ヘッド素子を集積することも可能であるが、ウエハの歪曲等の問題の生じる恐れがあり、集積工程が難しくなるため、集積後に裏面を研削することが望ましい。
【００９１】
その後、この薄いウエハ９３を切断分離して複数の磁気ヘッド部が列状に並ぶバー部材９４を得る（ステップＳ５４）。
【００９２】
一方、従来のアルティックウエハとほぼ同様の厚さの比較的厚いジルコニアウエハ９６を用意し（ステップＳ５５）、このウエハ９６を切断分離して複数のバー部材９７を作成する（ステップＳ５６）。
【００９３】
次いで、各の外形加工を行い、基部、この基部に対して略垂直を保った状態で前方に伸びている１対のアーム部材、及び基部に対して略垂直を保った状態で前方に伸びている静止部に対応する部分を有する断面がＥ字形状のジルコニア基材９８を形成する（ステップＳ５７）。このジルコニア基材９８のアーム部材の側面に圧電型構造のアクチュエータ層９９を形成してアクチュエータ用バー部材１００を得る（ステップＳ５８）。
【００９４】
次いで、バー部材９４の両側端をアクチュエータ用バー部材１００の先端部で挟むように樹脂接着剤で接着するか又はガラスボンディングで接着して固着することにより、磁気ヘッドスライダのバー部材１０４を得る（ステップＳ５９）。
【００９５】
その後、バー部材１０４を切断分離して個々のピース状態の磁気ヘッドスライダ１０２を得る（ステップＳ６０）。この磁気ヘッドスライダ１０２の静止部にＡＢＳを形成することによって、最終的な磁気ヘッドスライダ１０３が得られる（ステップＳ６１）。
【００９６】
なお、以上述べた実施形態及びその変更態様においては、ジルコニアウエハ９６を切断分離して複数のバー部材９７を作成しているが、ジルコニア材料をバー部材の形状に成型して焼結することにより、バー部材１０５を直接的に作成するようにしても良い。さらに、ジルコニア材料を断面がＥ字形状となるように成型して焼結することにより、ジルコニア基材１０６を直接的に作成するようにしても良い。
【００９７】
また、上述した実施形態及びその変更態様においては、素子集積後のウエハ９２の裏面を研削して磁気ヘッド部を薄くしているが、複数の磁気ヘッド部が列状に並ぶバー部材又は個々のピース状態の磁気ヘッド部の裏面を研削して薄くするようにしても良いことは明らかである。
【００９８】
以上、薄膜磁気ヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータを用いて本発明を説明したが、本発明は、このようなアクチュエータにのみ限定されるものではなく、薄膜磁気ヘッド素子以外の例えば光ヘッド素子等のヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータにも適用可能である。
【００９９】
以上述べた実施形態は全て本発明を例示的に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【０１００】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本発明によれば、ヘッド部をＡＢＳとは略垂直方向の一方の面上にヘッド素子を設けた薄い平板形状に形成し、その薄い平板形状の反対面側でアクチュエータ部が一体的に固着されているため、アクチュエータ部の駆動する変位部の質量が非常に小さくなり、しかもヘッド素子は通常の製造工程でヘッド部に形成可能である。また、アクチュエータ部は、ヘッド部に固着される独立構造であるため、充分な変位量のものを用意することができる。
【０１０１】
さらに、本発明によれば、ヘッド素子用基板のヘッド素子を形成した面とは反対側の面を研削することによって薄くした後、これを複数の部材に切断分離し、この切断分離して得た各部材の反対面側でアクチュエータ部を形成した部材を一体的に固着しているため、ヘッド素子を通常の製造工程でヘッド素子用基板に形成可能であるにもかかわらずアクチュエータ部の駆動する変位部の質量を非常に小さくすることができる。また、アクチュエータ部用の部材を別個に作成し、これをヘッド素子の存在する部材に固着する構造であるため、アクチュエータ部として充分な変位量のものを用意することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態として、微小位置決め用アクチュエータ付き磁気ヘッドスライダを表す斜視図である。
【図２】図１の実施形態における磁気ヘッドスライダの製造工程の一部のフローチャートである。
【図３】図１の実施形態及びその種々の変更態様における磁気ヘッドスライダの製造工程の一部を説明する図である。
【図４】図１の実施形態の一変更態様における磁気ヘッドスライダの製造工程の一部のフローチャートである。
【図５】図１の実施形態の他の変更態様における磁気ヘッドスライダの製造工程の一部のフローチャートである。
【図６】本発明の他の実施形態として、微小位置決め用アクチュエータ付き磁気ヘッドスライダを表す分解斜視図である。
【図７】図６の実施形態における磁気ヘッドスライダをＡＢＳ側から見た平面図である。
【図８】図６の実施形態における磁気ヘッドスライダの製造工程の一部のフローチャートである。
【図９】図６の実施形態及びその種々の変更態様における磁気ヘッドスライダの製造工程の一部を説明する図である。
【図１０】図６の実施形態及びその種々の変更態様におけるアクチュエータ部の製造工程の一部を説明する図である。
【図１１】図６の実施形態の一変更態様における磁気ヘッドスライダの製造工程の一部のフローチャートである。
【符号の説明】
１０、３４、６０、９５  磁気ヘッド部
１０ａ、６０ａ  基板
１０ｂ、６０ｂ  薄膜磁気ヘッド素子
１０ｃ  端子電極
１０ｄ、３１、６０ｄ、９１  薄膜層
１１、６１、３８、１０１  アクチュエータ部
１１ａ、３６、６１ｆ、６１ｇ、９９  アクチュエータ層
１１ｂ  基材部
３０、９０  アルティックウエハ
３２、３７、９２  ウエハ
３３、９３  薄いウエハ
３５、９６  ジルコニアウエハ
３９、１０２、１０３  磁気ヘッドスライダ
４０、４１、４２、９４、９７、１００、１０４、１０５  バー部材
６１ａ  基部
６１ｂ、６１ｃ  可動アーム部
６１ｄ  静止部
６１ｅ  ＡＢＳ
９８、１０６  ジルコニア基材
【図１】
0004258126.tif 000002
【図２】
0004258126.tif 000003
【図３】
0004258126.tif 000004
【図４】
0004258126.tif 000005
【図５】
0004258126.tif 000006
【図６】
0004258126.tif 000007
【図７】
0004258126.tif 000008
【図８】
0004258126.tif 000009
【図９】
0004258126.tif 000010
【図１０】
0004258126.tif 000011
【図１１】
0004258126.tif 000012