(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
玉軸受軌道輪を軸線まわりに回転させながら、前記軌道輪の軌道面の断面円弧中心から該軸線に垂線を下す方向に該断面円弧の半径寸法の０ないし１０％だけ該断面円弧中心より離れた位置で、前記軌道輪の回転軸線に対して直角方向にのびる砥石揺動軸線を中心に、この揺動軸線方向にとった「またぎ」寸法が以下の式（１）の範囲のＴ、
【数１】
0004284792.tif 000011
なる角柱状砥石を揺動させて、前記砥石を前記軌道輪の軌道面の断面円弧半径方向に押圧して表面を除去する超仕上加工方法。
ただし前記（１）式で、Ｚは前記軸受の玉数、Ｄは軸受軌道輪の軌道面の内で最大直径寸法であり、前記軸受軌道輪が内輪の場合は砥石またぎ寸法にＴｓ、内輪軌道面内の最大直径寸法である内輪外径寸法にＤｏを、また外輪の場合は砥石またぎ寸法にＴｓｅ、外輪軌道面内の最大直径寸法である外輪溝径寸法にＤｅをそれぞれ前記Ｔおよび前記Ｄの代りに用いる。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術の分野】
本発明は、例えばパーソナルコンピュータなどに用いられる磁気記録装置のハードディスクドライブ（以下ＨＤＤ）主軸モータ用玉軸受における内外輪軌道面の多角うねりを修正する超仕上加工方法に関する。具体的には上記ＨＤＤ主軸モータ軸受で問題となる非同期回転振れの要因の１つである玉軸受内外輪軌道面の真円度特定多角成分のうねりを極めて小さく修正する超仕上加工方法に関する。
【０００２】
ここで前記玉軸受の非同期回転振れの要因となる内外輪軌道面の真円度特定多角成分のうねりとは既に知られているように、例えば文献「綿林  英一著、転がり軸受マニュアル、日本規格協会、頁１６９、１９９９年」に記されるように、内外輪軌道面間に介在する軸受転動体（玉）数の自然数倍±１に相当する回数で円周上に繰り返されるうねりをいう。
【０００３】
【従来の技術】
長方形あるいは任意断面形状の柱状砥石を揺動させながら、軸受回転時と同軸で回転する内輪あるいは外輪の軌道面に対して、この軌道面の断面円弧半径方向に適切な力で押し当てながら除去加工を行う玉軸受内外輪軌道面の超仕上加工法は既に知られている。前記砥石の揺動軸は、加工を受ける軌道面の断面円弧中心位置あるいはその近傍で砥石切込み方向に直角に、かつ軸受軸線方向に位置し、前記砥石は適切な大きさの振り角で前記揺動軸まわりに繰り返し揺動運動する。
【０００４】
従来から一般的に用いられている玉軸受の加工方法では、軸受内外輪軌道面は研削加工された後、超仕上加工により仕上げられる。研削工程には主に前記軌道面の断面円弧形状と回転方向の真円度を精度よく成形することが任され、超仕上工程では研削後の軌道面の面粗度を向上させる磨きの作用が主に任されている。
【０００５】
ただしこの超仕上工程においても、ワーク加工面円周上に砥石の「またぎ」寸法が投影されて出来る接触円弧の長さよりも短い周期の凹凸が砥石とワークの接触範囲内の平均化効果により修正されることは公知の事実である。しかしこの方法により修正される真円度の多角うねりは従来一般的に１０ないし２０角以上のうねりであり、それより低い角数で周期の大きなうねり成分に対しては、もっぱらワークと砥石の相対運動精度の転写に基づく運動転写加工により形状成形が行われている。
【０００６】
上述の運動精度転写加工理論に基づき、超仕上工程におけるワークの運動精度向上には多くの努力が注がれてきた。例えば、米国特許第５，６７９，０６１号明細書にはリング状ワークの回転面を静圧油膜でシュー上に支持することにより、加工中のリング状ワークの回転精度を向上させることが記載されている。ただし、ワークと砥石間の切込み剛性が小さい超仕上加工法では真円度修正の効率が低い。
【０００７】
一般に、回転する円筒状加工物の外周面に柱状砥石を押し当てて、加工物回転軸と平行に砥石を直線往復運動させる超仕上加工法の場合には、砥石の作用面は常時全面で加工物表面に接しているため、加工物真円度のうねりは例えば10角未満の低い角数であっても、うねり一周期波長を覆う寸法のまたぎを有する超仕上用砥石を用いて容易に修正できる加工方法は知られている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし玉軸受の内輪あるいは外輪の軌道面の場合には前記円筒加工物の外周面の超仕上加工とは異なり、幾何学的な位置関係により揺動する超仕上用砥石の作用面上で軌道面に接触する範囲が変化し、作用面全てを常時軌道面に接触させることは不可能である。そのため砥石のまたぎ寸法を大きくして真円度のうねりを低い角数の、波長の長いうねりまで修正することは難しいとされてきた。
【０００９】
この問題に関連してＳＫＦ社の発明に係わる米国特許第３，４２３，８８７号明細書には、玉軸受内外輪の軌道面円周長さの１／３に相当するまたぎ寸法の超仕上砥石を用いて軌道面ウェービネス（真円度の多角うねり）を向上させるためには砥石を揺動させず、保持された砥石は内輪あるいは外輪軌道面に押し当てて５〜３０ｋＨｚの高周波で垂直に微振動させることによって砥石の切れ味を維持する超仕上加工法を開示している。
【００１０】
しかしながら前述のＳＫＦ社の発明による超仕上加工方法では、加工される軌道面に対して砥石は揺動せずに垂直に押し当てて、砥石自身の形状を転写することによって軌道面の断面円弧形状精度を維持しようとする方法である。従って前の工程となる研削工程から次々に供給されるワークの幅方向の形状ばらつきや軌道面の断面円弧形状誤差などにより、超仕上用砥石の作用面上では研削量の分布がばらつき、即ち砥石摩耗の分布が均一にはならないため砥石自身の断面形状を崩しやすく、これが転写される軌道面の断面円弧形状精度を確保することは難しい。
【００１１】
このＳＫＦ社の発明の例からも明らかなように、玉軸受内外輪の軌道面の断面円弧形状を精度よく仕上げるためには、超仕上砥石の揺動運動は不可欠であるが、軌道面の断面円弧形状の崩れを起こさずに真円度多角うねりを高能率に修正する方法は未だ確立されていなかった。
【００１２】
そこで本発明は、玉軸受内外輪の軌道面真円度の特定角数、即ち［軸受玉数−１］角のうねりの波長を覆う砥石接触長さを実現して、［軸受玉数−１］角およびそれよりも短い波長のうねりの振幅を高精度に修正する超仕上加工方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、玉軸受軌道輪を軸線まわりに回転させながら、前記軌道輪の軌道面の断面円弧中心から該軸線に垂線を下す方向に該断面円弧の半径寸法の０ないし１０％だけ該断面円弧中心より離れた位置で、前記軌道輪の回転軸線に対して直角方向にのびる砥石揺動軸線を中心に、この揺動軸線方向にとった「またぎ」寸法が以下の式（１）の範囲のＴ、
【数２】
0004284792.tif 000002
なる角柱状砥石を揺動させて、前記砥石を前記軌道輪の軌道面の断面円弧半径方向に押圧して表面を除去する超仕上加工方法が提供される。
ただし前記（１）式で、Ｚは前記軸受の玉数、Ｄは軸受軌道輪の軌道面の内で最大直径寸法であり、前記軸受軌道輪が内輪の場合は砥石またぎ寸法にＴｓ、内輪軌道面内の最大直径寸法である内輪外径寸法にＤｏを、また外輪の場合は砥石またぎ寸法にＴｓｅ、外輪軌道面内の最大直径寸法である外輪溝径寸法にＤｅをそれぞれ前記Ｔおよび前記Ｄの代りに用いる。
【００１４】
本発明の１つの態様によれば、玉軸受内輪を軸線まわりに回転させながら、前記内輪の軌道面の断面円弧中心から該軸線に垂線を下す方向に該断面円弧の半径寸法の０ないし１０％だけ該断面円弧中心より離れた位置で、前記内輪の回転軸線に対して直角方向にのびる砥石揺動軸線を中心に、この揺動軸線方向にとった「またぎ」寸法が以下の式（２）の範囲のＴｓ、即ち内輪軌道面内の最大直径である内輪外径寸法をＤｏ、軸受の玉数をＺとして、
【数３】
0004284792.tif 000003
なる角柱状砥石を揺動させて、該砥石を前記内輪軌道面の断面円弧半径方向に押圧して表面を除去する超仕上加工において、砥石揺動振り角の最大値θｓが軸受の玉と内輪軌道面との接触角θｃに対して８０ないし２００％の範囲をとり、且つ前記揺動軸及び押圧方向に対して直角なる方向の砥石幅側面位置が、砥石揺動振り角の最大時に内輪軌道面の端と内輪軌道面上の玉が接触する位置との間に収まるように、該砥石幅の寸法Ｂｓが該内輪軌道面の幅Ｂｗに対して８０ないし１５０％の範囲をとることを特徴とする玉軸受内輪軌道面の超仕上加工方法が提供される。
【００１５】
本発明の他の態様によれば、玉軸受外輪を軸線まわりに回転させながら、該外輪の軌道面の断面円弧中心から該軸線に垂線を下す方向と反対側に該断面円弧の半径寸法の０ないし１０％だけ該断面円弧中心より離れた位置で、該外輪の回転軸線に対して直角方向にのびる砥石揺動軸線を中心に、この揺動軸線方向にとった「またぎ寸法」が以下の式（３）の範囲で式（４）の制限を受けるＴｓｅ、即ち外輪軌道面内の最大直径である外輪溝径寸法をＤｅ、軸受転動体（玉）数をＺ、外輪軌道面の断面円弧半径ｒｅとして、
【数４】
0004284792.tif 000004
【数５】
0004284792.tif 000005
なる柱状砥石を揺動させて、該砥石を前記外輪軌道面の断面円弧半径方向に押圧して表面を除去する超仕上加工において、砥石揺動振り角の最大値θｓｅが治工具等の干渉の無い状態で軸受の玉と外輪軌道面の接触角θｃに対して５０ないし２００％の範囲をとり、且つ前記揺動軸及び押圧方向に対して直角なる方向の砥石幅側面位置が、砥石揺動振り角の最大時に外輪軌道面の端と外輪軌道面上の玉が接触する位置との間に収まるように、該砥石幅の寸法Ｂｓｅが該外輪軌道面の幅Ｂｗｅに対して８０ないし１５０％の範囲をとる玉軸受外輪軌道面の超仕上加工方法が提供される。
【００１６】
また本発明の他の態様によれば、上述の玉軸受外輪軌道面の超仕上加工方法において、前記砥石揺動軸方向にとった変位ｙを変数、外輪軌道面の最大直径である外輪溝径寸法Ｄｅ、外輪軌道面断面円弧半径ｒｅ、外輪軌道面の深さＰｏ、外輪軌道面の幅Ｂｗｅおよび最大砥石揺動振り角θｓｅをパラメータとし、前記柱状砥石の軸受外輪回転軸方向にとった幅寸法Ｂｓｙを関数とした以下の演算式（５）を基に砥石断面形状を中央線に対して軸対称な樽型、あるいは該樽型を直線近似した多角形とする玉軸受外輪軌道面の超仕上加工方法が提供される。
【数６】
0004284792.tif 000006
ただし、−Ｔｓｅ／２≦ｙ≦＋Ｔｓｅ／２とする。
【００１７】
さらに本発明によれば、前記またぎ寸法ＴｓまたはＴｓｅを有する柱状砥石を保持し、玉軸受内外輪軌道面の超仕上加工に用いられる砥石ホルダにおいて、前記柱状砥石を前記玉軸受内輪または外輪となるワークの回転方向に対向するように形成された砥石案内面と、該砥石案内面に前記柱状砥石を弾性体を介して押し付ける手段とを有する砥石ホルダが提供される。
【００１８】
また本発明の他の形態によれば、上記の玉軸受内輪軌道面の超仕上加工方法において、またぎ寸法Ｔｓを有する前記柱状砥石の代りに、該柱状砥石と同等の先端部形状をもつ柱状押圧治具と、前記玉軸受内輪軌道面と前記柱状押圧治具との間に挟み込まれて伸張する研磨テープとを用い、前記玉軸受内輪を軸線まわりに回転させながら、前記柱状押圧治具を前記研磨テープを介して前記内輪軌道面の断面円弧半径方向に押圧しつつ、上記玉軸受内輪軌道面の超仕上加工方法における前記柱状砥石の揺動中心軸線と同じ軸線まわりに前記柱状押圧治具を前記研磨テープと一体で揺動させることを特徴とする研磨テープを用いた玉軸受内輪軌道面の超仕上加工方法が提供される。
【００１９】
また本発明の他の形態によれば、上記の玉軸受外輪軌道面の超仕上加工方法において、またぎ寸法Ｔｓｅを有する前記柱状砥石の代りに、該柱状砥石と同等の先端部形状をもつ柱状押圧治具と、前記玉軸受外輪軌道面と前記柱状押圧治具との間に挟み込まれて伸張する研磨テープとを用い、前記玉軸受外輪を軸線まわりに回転させながら、前記柱状押圧治具を前記研磨テープを介して前記外輪軌道面の断面円弧半径方向に押圧しつつ、上記玉軸受外輪軌道面の超仕上加工方法における前記柱状砥石の揺動中心軸線と同じ軸線まわりに前記柱状押圧治具を前記研磨テープと一体で揺動させることを特徴とする研磨テープを用いた玉軸受外輪軌道面の超仕上加工方法が提供される。
【００２０】
また本発明によれば、内輪と外輪との間に複数個の転動体（玉）が介在された玉軸受において、前記内輪または外輪の少なくとも一方が［軸受玉数−１］角及びこれよりうねり周期が短いすべての軌道面うねりの振幅が片振幅で１ｎｍ（ナノメータ）未満で形成されている玉軸受が提供される。
【００２１】
【作用】
本発明では、玉数Ｚの玉軸受における（ｎＺ±１）角のうねり振幅を修正するため、（Ｚ−１）角をまたぐ軸受円周方向のまたぎ長さを持つ柱状砥石によって超仕上加工を行うことを特徴としている。ここでｎは自然数である。玉軸受内外輪の（ｎＺ±１）角は軸受半径方向の振動を大きくするうねり成分である。したがって（ｎＺ±１）角のうねり振幅を小さくするのが本発明の目的であり、この角の頂点を円周方向にまたいで、最もうねり周期の大きな（Ｚ−１）角以上の山を選択的に超仕上により修正する。図１は玉数が７個の場合について玉軸受内輪（ワーク）１と砥石３のまたぎ状態を模式的に示したものである。２０は軸受内外輪間に介在される玉である。図中のＴｓがこの場合のまたぎ寸法であり、前述の式（２）で特定される。
【００２２】
【発明の実施の形態】
次に、本発明を好適な実施形態について図面を参照して説明する。まず被加工物である玉軸受内輪の軌道面の超仕上加工について説明する。
内輪軌道面と砥石の接触状態について
玉軸受内輪の軌道面を揺動する柱状砥石で超仕上加工する場合には、前記砥石は砥石全面が常に軌道面に接触しつつ加工することは不可能である。図２は砥石３とワークとなる内輪１の外周軌道面の接触状態を例示した図であり、砥石が揺動するに従って砥石３と前記ワークの接触状態が変化する様子を同図（Ａ）から（Ｃ）まで段階的に表している。ここでは長方形断面の角柱砥石３の先端が同図（Ａ）の直立状態から図中左方向に振れて、同図（Ｂ）の状態を経て、同図（Ｃ）の揺動振り角が最大状態となるまでを砥石揺動振り角０°（直立）時の砥石押圧方向から、つまりワーク上面から見た図と、これに該当するワーク円周方向の砥石中央位置（Ｆ−Ｆ線）における砥石断面図を示してある。なお、図２の「ワーク上面」を示す図では砥石は説明上図示省略してある。
【００２３】
図２において、太線は揺動運動する砥石が通過しながらワーク１の軌道面に接触する「線当り」位置を示し、平行斜線で示された範囲は砥石揺動振り角が最大の瞬間においてのみ砥石が軌道面に広い面積で接触する「面当り」範囲を示している。ここで前記線当りとは、砥石の揺動軸中心から最も近いワーク表面を結んだ線を示し、前記面当りとは、砥石作用面上で軌道面と線当りしない部分に対して砥石揺動振り角最大時における軌道面形状が転写されて出来た砥石の形状が、再び振り角最大時に軌道面に接触する範囲を示す。
【００２４】
砥石とワークの接触状態は、砥石が反対方向に揺動した場合の最大振り角位置では図２で軌道面底部の縦中央面（軸受軸線に垂直な軌道面底部中央面）に対し対称の形状となる。また途中の振り角位置では砥石位置に相応した範囲で線当りのみ生じる。
【００２５】
図３は図２における砥石揺動振り角最大時の砥石と内輪軌道面の接触状態を詳しく説明した図であり、図４は内輪軌道面に対する円弧中心Ｏｒと砥石揺動軸心Ｏｓとの関係を示した図である。図３は長方形断面の角柱砥石の先端が図中左方向に振れて、揺動振り角最大での接触状態を砥石揺動振り角０°（直立）時の砥石押圧方向から、つまり上面から見た図を示してある。なお、砥石は説明上図示省略してある。図２と同様に、図中で太線は揺動運動する砥石が通過しながら軌道面に接触する「線当り」位置を示し、平行斜線で示された範囲は砥石揺動振り角が最大の瞬間においてのみ砥石が軌道面に接触する「面当り」範囲を示している。なお、図中には玉軸受で転動体（玉）が軌道面と接触する位置（以下玉接触位置という）と軌道面底部及びワーク回転中心線Ｃが一点鎖線で記入してある。また、図上基礎となる点と座標軸Ｘ−Ｙを記入してある。Ｆが上述の玉接触位置であり、Ｇが軌道面底部である。
【００２６】
接触状態図について
図３に示された砥石と内輪軌道面の接触状態は、砥石の面当り範囲が玉接触範囲を含み、円周方向またぎ長さが目的とする真円度多角うねりを覆う、本発明の効果を得るための理想的な状態である。
【００２７】
内輪軌道面はその最大直径をＤｏ、幅をＢｗとし、断面円弧半径をｒｗとする。また超仕上用砥石の断面形状（角柱砥石の長さ方向に直角な断面形状）は長方形で、またぎ寸法をＴｓ、砥石幅（内輪軸方向に平行な幅）をＢｓ（図３では図示省略）とする。図４に示すように、砥石揺動軸の軸心Ｏｓは内輪軌道面断面円弧中心Ｏｒからδｓだけ軌道面方向にずれて位置し、最大砥石揺動振り角θｓが与えられ、軌道面断面円弧半径ｒｗより小さい揺動半径で内輪軸線を含む平面内（垂直平面内）で前記Ｏｓを中心に揺動させる。
図３を参照して、作図上、座標原点Ｏを内輪の縦横中心線の交点とし、内輪および砥石の幅方向をＸ、砥石のまたぎ方向をＹとする。また図上基礎となる点をそれぞれｐ１、ｐ２、ｐ３、ｐ４およびｐ５とし、ｐ４またはｐ５を含む曲線を各々ｆ４、ｆ５とする。
【００２８】
本発明の効果を得るためには、砥石またぎ方向の長さがＴｓなる面当り範囲が、軌道面上の玉接触位置を含むことが必要である。また同時に軌道面断面形状の悪化を起こさない様、各々の面当り範囲の大きさを調整する必要が有る。図中の面当り範囲α１、α２及びβを適切な大きさとするためには、砥石またぎ寸法Ｔｓおよび面当り範囲α１、α２の境界線となるｆ４と、面当り範囲βの境界線、つまり曲線ｆ５の位置と境界線を決定する点であるｐ１、ｐ２の座標が重要である。
【００２９】
点ｐ１およびｐ２は線当り即ち砥石揺動軸中心から最も近い内輪軌道面上の点を結んだ線の節点であり、二つの点の間は直線で結んで差し支えない。ｐ１およびｐ２のＸ座標は図より明らかであるが、Ｙ座標は砥石揺動軸心と軌道面断面円弧中心の距離δｓを変数とした関数であり、δｓを大きくすることによりｐ１およびｐ２のＹ座標は大きくなる。即ち軌道面の幅方向中央でＹ方向に伸びる線当りを示す線分が長くなると共に、面当り範囲βはＹ方向に広がる。δｓが０の場合は砥石揺動軸中心と軌道面断面円弧中心が一致してｐ１およびｐ２のＹ座標は０となり、面当り範囲βは消滅するが、ｐ１とｐ２間およびｐ１とｐ５間の線当りは残る。δｓが負の場合はこれらの線当りも消滅し、砥石と軌道面の当りは不安定になる。
【００３０】
前記曲線ｆ４は砥石揺動振り角最大時の砥石幅方向中央の母線位置であり、線当りを示す直線と共に、面当り範囲α１、α２の境界線となる。ｆ４位置は最大砥石揺動振り角θｓによる関数であり、θｓが大きいとα１、α２は幅が小さくなる。
【００３１】
曲線ｆ５は砥石揺動振り角最大時における砥石作用面上の幅方向側面位置であり、線当りを示す図中の太い直線とともに、面当り範囲βの境界線となる。ｆ５位置は最大砥石揺動振り角θｓと砥石幅Ｂｓによって決まる関数であり、θｓが大きいほど、Ｂｗが小さいほどｆ５は軌道面の縦中央線に近くなり、従ってβ範囲の幅は小さくなる。
以上により砥石と内輪軌道面の接触状態図を説明した。以下で本発明による最適接触状態を実現するための超仕上パラメータを説明する。
【００３２】
内輪軌道面の超仕上パラメータについて
図３で長方形断面形状の柱状砥石のまたぎ寸法Ｔｓは、内輪軌道面内最大円周上で目的とする真円度角数のうち最大の波長を有するもの、即ち［玉数−１］角のうねり波長に対する弦の長さを基に設定する。砥石またぎ寸法Ｔｓは以下の式（２）で表す範囲が適正である。
【００３３】
【数７】
0004284792.tif 000007
ここで、Ｄｏは内輪軌道面内の最大直径（多くの場合内輪外径寸法）、Ｚは玉数である。砥石またぎ寸法は注目する真円度角数うねりを修正するために適正な範囲にとって、軌道面断面円弧形状の崩れを最小限に抑える必要がある。なぜならば、玉軸受軌道面の超仕上では、軸受回転軸を含み砥石揺動軸と垂直に交わる平面内でのみ、砥石揺動運動の軌跡となる円弧と、軸受内外輪軌道面の円弧が一致するため、この面から離れた位置で砥石揺動させることは玉軸受内外輪軌道面の断面円弧形状精度を著しく悪化させる要因となるからである。従って上述のまたぎ寸法Ｔｓは小さい方が前記軌道面の断面円弧半径と砥石軌跡との違いが少なく望ましいが、またぎ寸法Ｔｓが上記（２）式の下限を下回ると、うねりの頂点間距離より短くなり過ぎて本発明の目的であるうねり修正が困難となる。Ｄｏ・ｓｉｎ１８０°／（Ｚ−１）＝Ｔｓがうねりの頂点を丁度またぐ寸法であって、うねりの片振幅の修正に対して理論的には好ましい値であるが、図１に示す砥石幅方向両端部が薄くなって砥石が欠け易くなるので、仮に欠けても上述の理論上のまたぎ寸法を補償するため（２）式の上限を定めた。
【００３４】
最大砥石揺動振り角θｓは玉接触位置での軌道面断面円弧形状の精度を維持するため、玉と軌道面の接触角（以下玉接触角という）θｃ近傍とする。最大砥石揺動振り角θｓは玉接触角θｃの８０％ないし２００％の範囲が適正である。８０％未満では、内輪軌道面の溝形状を軸受の接触角範囲にわたって充分な超仕上加工ができない。理論的には１００％であれば良いが、超仕上前の内輪の軌道面溝形状の製作誤差、加工上の内輪取付誤差などを考えて砥石保持部材（砥石ホルダ）が干渉し加工に不具合を生じない範囲であれば、２００％と余裕をもって設定するのが良い。
【００３５】
玉軸受軌道面のうち特に玉接触位置近傍における真円度精度が重要である。本発明では砥石作用面の接触範囲内の平均化効果を利用して軸受内外輪表面を修正するのであるから、面当り接触範囲βが玉接触位置を含む必要がある。従って砥石幅は小さすぎると玉接触位置の真円度うねりが修正されず、大きすぎると砥石最大揺動振り角時に砥石が軌道面幅内に収まりきらず加工精度に悪影響を及ぼす。砥石幅Ｂｓは内輪軌道面の幅Ｂｗに対し８０％ないし１５０％の範囲が適正である。本発明の最大砥石振り角θｓの範囲では８０％未満になると、砥石先端の振れ方向と反対側の当り面（β）のＸ方向の幅が小さくなり、内輪軌道面のうねりを修正することが困難となり、１５０％を超えると、この振れ方向反対側の内輪軌道面の溝からはみ出た部分の砥石が振動を起して加工精度を悪化させる。
【００３６】
軌道面断面円弧形状の悪化を防ぐために、砥石揺動軸と軌道面断面円弧中心の距離δｓを変更し、図３における軌道面幅中央部の線当りＯ−ｐ１の長さ、即ち面当りβの円周方向範囲を調整する。δｓが過大では軌道面断面円弧の中央部Ｇが過度に除去されて凹み、δｓが過小では同円弧の中央部Ｇが除去されずに盛り上がって残る、または目的とする軌道面真円度のうねり角数が修正されない。後述の図１５にも例示するように、例えば溝底での円周方向当り長さが長くなると、溝底が過度に除去されて溝形状がくずれる。しかがってδｓは内輪軌道面の断面円弧半径ｒｗに対し０ないし１０％の範囲が適正である。
以上により本発明による最適接触状態を実現するための超仕上パラメータを説明した。
【００３７】
次に、本発明の他の実施形態、即ち玉軸受外輪軌道面の超仕上加工の場合について説明する。
外輪軌道面と砥石の接触状態について
加工中の外輪軌道面と砥石の接触状態は図５に示されている。図５は長方形断面の角柱砥石が揺動振り角最大状態で外輪軌道面に接する状態を、砥石揺動振り角０°（直立）時の砥石押圧方向から見た平面図であり、ここでは図３と同様砥石は図示省略してある。なお外輪２は断面で示してある。図６は外輪軌道面に対する円弧中心と砥石３の揺動中心軸心との関係を示した図である。図５中、太線は揺動運動する砥石が通過しながら外輪軌道面に接触する「線当り」位置を示し、平行斜線で示された範囲は砥石揺動振り角が最大の瞬間に砥石が軌道面に接する「面当り」を示す。図５においては図３と同様に玉軸受で玉が外輪２の軌道面と接する位置、即ち玉接触位置Ｆと軌道面底部Ｇ及びワーク回転中心線Ｃが一点鎖線で示されている。
【００３８】
接触状態図について
図５に示される砥石と軸受外輪軌道面の接触状態は、砥石の面当り接触範囲が玉接触位置を含み、円周方向接触長さが目的とする真円度多角うねりを覆う、本発明の効果を得るための理想的な状態である。また、長方形断面の砥石の作用面は最大揺動振り角時にすべて軌道面内に収まっている。超仕上パラメータを説明する前に、砥石と外輪軌道面の接触状態図を説明する。
【００３９】
外輪軌道面はその最大直径をＤｅ、幅をＢｗｅとし、断面円弧半径をｒｅとする。また超仕上用砥石の断面形状は長方形で、またぎ寸法をＴｓｅ、幅（外輪軸方向に平行な幅）をＢｓｅとする。図６に示すように、砥石揺動軸の軸心Ｏｓｅは外輪軌道面断面円弧中心Ｏｒｅからδｓｅだけ外輪の回転軸心方向にずれて位置し、最大砥石揺動振り角θｓｅが与えられ、軌道面断面円弧半径ｒｅより大きい揺動半径で外輪軸線を含む平面内（垂直平面内）で揺動させる。
図５を参照して、図上、座標原点Ｏを外輪の縦横中心線の交点とし、外輪及び砥石の幅方向をＸ、砥石のまたぎ方向をＹとする。また作図上基礎となる点をｐ６、ｐ７、ｐ８、ｐ９およびｐ１０とし、ｐ８を含む曲線をｆ８、ｐ９及びｐ１０を含む曲線をｆ９とする。
【００４０】
本発明の効果を得るためには、砥石またぎ方向の長さがＴｓｅなる面当たり範囲が軌道面上の玉接触位置を含むことが必要である。また同時に軌道面断面形状の悪化を起こさない様、各々の面当り範囲の大きさを調整する必要がある。図中の面当り範囲γおよびε１、ε２を適切な大きさとするためには、外輪の場合の砥石またぎ寸法Ｔｓｅと、面当り範囲γの境界線となる曲線ｆ８と境界線を決定する点ｐ６及びｐ７の座標と、面当り範囲ε１、ε２の境界線となる曲線ｆ９の位置が重要である。
【００４１】
ｐ６およびｐ７は線当り即ち砥石揺動中心から最も近い外輪軌道面上の点を結んだ線の節点であり、二つの点の間は直線で結んで差し支えない。ｐ６およびｐ７のＸ座標は図より明らかであるが、Ｙ座標は砥石揺動軸心と軌道面断面円弧中心の距離δｓｅを変数とした関数であり、δｓｅを大きくすることによりｐ６及びｐ７のＹ座標は大きくなる。即ち面当り範囲γはＹ方向に広がる。δｓｅが０の場合は砥石揺動軸中心と軌道面断面円弧中心が一致してｐ６およびｐ７のＹ座標は０となり、面当り範囲γは消滅するが、ｐ６とｐ７間およびｐ６とｐ９間の線当りは残る。δｓｅが負の場合はこれらの線当りも消滅し、砥石と軌道面の当りは不安定になる。
【００４２】
曲線ｆ８は砥石揺動振り角最大時の砥石幅方向中央の母線位置であり、線当りを示す直線と共に、面当り範囲γの境界線となる。ｆ８位置は最大砥石揺動振り角θｓｅによる関数であり、θｓｅが大きいとｆ８位置は外輪軌道面端に近くなり、面当り範囲γは幅が小さくなる。
【００４３】
曲線ｆ９は砥石揺動振り角最大時の砥石作用面上の幅方向側面位置であり、線当りを示す直線とともに、面当り範囲ε１およびε２の境界線となる。ｆ９位置は最大砥石揺動振り角θｓｅと砥石幅Ｂｓｅによって決まる関数であり、θｓｅが大きいほど、Ｂｓｅが小さいほど曲線ｆ９は軌道面縦中央線に近くなり、面当り範囲ε１およびε２のＸ方向の幅は小さくなる。
以上により砥石と外輪軌道面の接触状態を説明したので、以下で本発明による最適接触状態を実現するための超仕上パラメータを説明する。
【００４４】
外輪軌道面の超仕上パラメータについて
外輪軌道面に対する超仕上砥石またぎ寸法Ｔｓｅは次式（３）の範囲が適正である。
【数８】
0004284792.tif 000008
ここでＤｅは外輪軌道面内の最大直径、即ち軌道面底部の直径であり、Ｚは軸受の玉数である。外輪超仕上の場合、砥石またぎ寸法が大きくなり外輪軌道面と砥石揺動軸との交点を結んだ線分長さ以上になると、砥石は揺動運動が出来なくなる。図７は砥石が外輪軌道面に振り角０°（直立）で接触している状態を側面から見た断面図である。これを基に砥石またぎ寸法の大きさを砥石揺動軸Ｏｓｅと外輪軌道面断面円弧中心Ｏｒｅを一致させて近似的に導いた以下の式（４）により制限する。
【数９  】
0004284792.tif 000009
ここでｒｅは外輪軌道面の断面円弧半径である。
上述のまたぎ寸法Ｔｓｅは小さい方が前記軌道面の断面円弧半径と砥石軌跡との違いが少なく望ましいが、またぎ寸法Ｔｓｅが上記（３）式の下限を下回ると、うねりの頂点間距離より短くなり過ぎて本発明の目的であるうねり修正が困難となる。Ｄｅ・ｓｉｎ１８０°／（Ｚ−１）＝Ｔｓｅがうねりの頂点を丁度またぐ寸法であって、うねりの片振幅の修正に対して理論的には好ましい値であるが、外輪軌道面溝加工の場合、外輪内径に挿入できる砥石の大きさの制限を受けるので、またぎ寸法を充分与えてうねりの修正機能を確保するため（３）式の上限とした。ただしＴｓｅの上限は砥石の揺動上、（４）式の制限を受けるので、この値を上限とした。
【００４５】
最大砥石揺動振り角θｓｅは、軸受外輪の内側に挿入し揺動運動させる砥石保持の為の治工具と外輪の干渉が生じない範囲で、玉接触角θｃの近傍とする。最大砥石揺動振り角θｓｅは玉接触角θｃの５０％ないし２００％の範囲が適正である。この砥石揺動振り角θｓｅは、軸受の外輪内径が小さくなると、この中に挿入される砥石保持部材も小さくせざるを得ず、揺動角もスペース上の制限を受け小さくせざるを得ず、内輪より小さな５０％を下限とする。また、揺動振り角は可能な限り大きい方が外輪軌道面のうねり修正機能上からは望ましいので、上限は２００％とする。
【００４６】
図５の外輪軌道面に対して、砥石の面当り接触範囲ε１およびε２は玉接触位置を含む必要がある。砥石幅が小さすぎるとε１およびε２が玉接触位から外れると真円度うねりは修正されず、砥石幅が大きすぎると砥石最大振り角時に砥石が軌道面幅内に収まりきらず、砥石先端の振れ方向と反対側の外輪軌道面溝からはみ出た部分の砥石が欠け易く、軌道面を傷付けるおそれがあり、加工精度に悪影響を及ぼす。砥石幅Ｂｓｅは外輪軌道面の幅Ｂｗｅに対し８０％ないし１５０％の範囲が適正である。
【００４７】
軌道面断面円弧形状の悪化を防ぐため、即ち図５中の点ｐ６座標と共に面当り範囲γの大きさを調整するために、砥石揺動軸心Ｏｓｅと軌道面断面円弧中心Ｏｒｅの距離δｓｅを調整する。δｓｅが過大では軌道面断面円弧の中央部が除去されずに盛り上がって残り、δｓｅが過小では同円弧の中央部が過度に除去されて凹む、または軌道面全体に砥石が当たらずに前加工面が残る。δｓｅは外輪軌道面の断面円弧半径ｒｅに対し０ないし１０％の範囲が適正である。
【００４８】
一方、砥石断面形状（砥石伸長方向に対して直角な横断面形状）を上述の長方形ではなく樽型として、砥石揺動振り角が最大時に砥石幅方向の側面を外輪軌道面の端と一致させる、即ち図５における曲線ｆ９を軌道面端と一致させることにより、砥石と外輪軌道面の接触効率を向上させることが可能である。図８（ａ）の樽型砥石は砥石幅Ｂｓｙをまたぎ方向中央位置ＯｎｅからのＹ方向変位を変数とする関数の式（５）を基に得られる本発明による最適な砥石形状である。
【数１０】
0004284792.tif 000010
ここでＤｅは外輪軌道面内の最大直径（多くの場合外輪溝径寸法）、ｒｅは軌道面断面円弧半径、ｐｏは軌道面の深さ、θｓｅは最大砥石揺動振り角、Ｂｗｅは軌道面の幅である。当然ｙはまたぎ寸法Ｔｓｅに対し、−Ｔｓｅ／２≦ｙ≦＋Ｔｓｅ／２の範囲をとる。
また、砥石断面形状を図８（ａ）の砥石幅方向側面を構成する曲線を直線近似した多角形とすることにより砥石３の製造が容易となる。同図（ｂ）あるいは（ｃ）はその例である。いずれも砥石３の両側面はまたぎ方向中央線に対し対称に形成されている。
【００４９】
次に、本発明を実施する場合の砥石ホルダ及びワーク保持構造を玉軸受内輪を例にとって説明する。
図９は本発明の実施例に係る玉軸受の内輪軌道面を超仕上加工する装置のワーク装着部分の側面断面図である。リング状のワーク１は玉軸受内輪であり、ワーク主軸装置１０に装着されたバッキングプレート４の端部とプレッシャプレート５との間にワーク１が挟圧されて保持され、前記主軸装置１０の駆動によりワーク１とバッキングプレート４およびプレッシャプレート５が一体で主軸軸線まわりに回転する。なおワーク１を軸線方向に固定する手段としては図示のプレッシャプレート５以外に例えばプレッシャロールなども採用され得る。ワーク１は径方向には該ワーク内に挿入されるシュー６によって支持され、シュー６上のワーク１の中心と主軸バッキングプレート４の中心の間に適当な大きさの偏心を持たせることにより、回転中のワーク１は常にシュー６に対して押し付けられた状態となっている。図９の実施例ではシュー６はワーク１の内径を支持する構成となっているが、ワーク１の外径部を支持する構造でも良く、またチャックなどでワーク１を主軸装置１０の回転主軸に固定することもできる。
【００５０】
後述する砥石ホルダ７は、ワーク軌道面断面円弧中心の近傍を軸心として主軸装置の主軸軸線を含む垂直平面内で適切に設定された振り角θｓで揺動運動する。これと同時に砥石３は、図９には図示しない加圧ピストンによりワーク軌道面断面円弧の半径方向に押圧され（加圧力Ｆｓ）、これによってワーク軌道面は砥石３の先端作用面で超仕上加工される。なおワーク１はバッキングプレート４の端部位置まで図示しない供給装置により自動的に１個ずつ供給され、超仕上加工の終了したワークは自動的に排出されるとともに次ワークが自動的に供給され、このサイクルを繰り返す。
【００５１】
図１０は本発明の実施例に係る砥石ホルダの縦断面図であり、ワーク１の内輪軌道面に対して砥石ホルダ７の先端に保持された砥石３が垂直に押し当てられている状態を示している。図１０を参照すれば、砥石ホルダ７は内部に柱状砥石３を収容するように貫通する角穴が形成され、外側部の下部に大径フランジ部１１を有し、このフランジ部１１の外周に所定深さの切欠き１２が形成されている。切欠き１２はその片側部でホルダ角穴部と連通しており、このフランジ部外周の切欠き部位置にＯリング９が或る程度の張力を有して装着されている。図１１は図１０のＸ−Ｘ面で切断した断面図である。図１１を参照して、柱状砥石３は砥石ホルダ７の角穴内に或る隙間をもって挿入されるが、角穴部に通じる切欠き部位置で砥石３の片側部がＯリング９に接当しかつ該Ｏリング９の張力により、柱状砥石３は砥石ホルダ７内の角穴部の反対側砥石案内面８に常に弾性的に押し付けられている。
【００５２】
砥石またぎ寸法はワーク１の内輪軌道面真円度の注目する角数うねりの波長を覆うように設定されるため、柱状砥石３とワーク１は大きな円弧で接する。砥石３は回転するワーク１に引きずられてワーク円周方向に振動しやすく、砥石作用面形状がワーク１の軌道面の曲面と誤差を生じて摩耗する恐れがある。これを防止するために、図１０に示す如く、砥石案内面８はワーク１の回転方向に対向する側に形成されており、これによって砥石３は砥石ホルダ７の角穴部砥石案内面８に対して常時弾性的に押し当てられた状態で使用される。砥石ホルダ７は大径フランジ部１１より上部分がスリーブ１３に嵌挿され、該スリーブ１３内に設けられた加圧ピストン１４により空圧付加手段などを介して砥石３がワーク１の軌道面に押し付けられる。
【００５３】
次に本発明による超仕上加工パラメータの設定例を示す。まず実施例の玉軸受は直径２ｍｍの玉７個を接触角１７°で有する構成としており、ワークとなる軸受内輪軌道面の最大直径は７．５ｍｍ、最小直径は７ｍｍ、幅は１．１ｍｍである。軌道面断面円弧半径は玉半径と同じとする。
図１２は従来の加工条件により超仕上加工された軸受内輪軌道面の玉接触部の真円度測定結果を示した図である。従来条件における砥石またぎ寸法は２．３ｍｍ（０．６１３Ｄｅ・ｓｉｎ１８０°／（Ｚ−１）＝０．６１３×３．７５）である。同図（Ａ）はうねり状態つまり内輪軌道面の玉接触部全周を拡大して示した図、同図（Ｂ）は真円度ハーモニクス解析を示している。図１２（Ｂ）でＵＰＲとあるのは１回転当りの山数（角数）であり、縦欄の０，５，１０，１５…はＮの値を示している。真円度の測定はランクテーラーホブソン社のタリロンド７３を使用した。図中の真円度ハーモニクス解析結果は真円度各角成分の片振幅をμｍ単位で表示してある。同図（Ｂ）中、横線で数値が記入されていない角数成分の片振幅は０．００１μｍ、即ち１ナノメータ未満であることを示す。本例で目的とされる角数は玉数である７の自然数倍±１角、つまり（Ｎ±１）角、即ち６、８、１３、１５、……角であるが、各々４、３、１未満、１、……ナノメータの片振幅が測定されている。
【００５４】
本発明による好適な内輪軌道面の超仕上加工パラメータ、即ち内輪軌道面に対する超仕上砥石の寸法、最大砥石揺動振り角および砥石揺動中心位置を決定する。なお本例では柱状超仕上砥石の断面形状を長方形としているが、これは別の任意断面形状であってもよい。砥石のまたぎ寸法Ｔｓは、既に述べた式（２）により求められる。ここで式（２）中の係数を１．１とし、Ｄｏに７．５ｍｍ、Ｚに７を代入すると、Ｔｓ＝４．１ｍｍが得られる。また最大砥石揺動振り角θｓは玉接触角θｃ＝１７（ｄｅｇ．）に対して１２０％を適用し、θｓ＝２０（ｄｅｇ．）とする。
【００５５】
砥石幅を設定する際に本発明における適正範囲よりも小さすぎる値、即ち砥石幅Ｂｓを内輪軌道面の幅Ｂｗ＝１．１ｍｍに対して７０％としてＢｓ＝０．８ｍｍを与え、既に設定したＴｓ＝４．１ｍｍとθｓ＝２０（ｄｅｇ．）および後述のδｓ＝０．０５ｍｍを用いて超仕上加工した内輪軌道面の玉接触部真円度測定結果を図１３に示す。同図（Ｂ）のハーモニクス解析結果によれば、目的とする真円度角数うねり即ち６、８、１３、１５、……角は各々２、４、１未満、１未満、……ナノメータであり十分に修正されていない。
次に、砥石幅を本発明の適正範囲とした場合を説明する。砥石の幅方向側面が砥石振り角最大時にすべて軌道面内に収まる範囲で大きくした砥石幅、即ち内輪軌道面の幅に対して１２０％である砥石幅Ｂｓ＝１．３ｍｍを上述の条件に加えることによって得られた内輪軌道面の玉接触部真円度測定結果を図１４に示す。図１４（Ａ）は内輪軌道面の玉接触部全周を拡大して示したである。同図（Ｂ）のハーモニクス解析結果によれば、目的とする真円度角数うねり即ち６、８、１３、１５、……角の片振幅は数秒の加工時間内にすべて１ナノメータ未満に修正されており、注目する［玉数−１］角以上のすべての角数うねりを選択的に極めて高精度に仕上げることができた。
【００５６】
砥石揺動軸の軌道面断面円弧中からの軸心の距離δｓを設定する際に本発明における適正範囲よりも大きすぎる値、即ちδｓが内輪軌道面半径ｒｗ＝１ｍｍの１５％つまりδｓ＝０．１５ｍｍを既に設定したＴｓ＝４．１ｍｍ、θｓ＝２０（ｄｅｇ．）とＢｓ＝１．３ｍｍと共に用いて超仕上加工した内輪軌道面の断面円弧形状を図１５に示す。同図は軌道面断面円弧形状を単一円弧に近似した際の誤差を縦方向の凹凸で表し、図の横軸と平行な線より下方向へ凹んだ部分は目標よりも多く加工されたことを示す。また横軸方向は軌道面の幅方向を示し、ここでは軌道面の幅すべてが表示されている。図１５によれば、内輪軌道面の幅方向中央部は目標よりも多く加工されて凹んでいる。
次に、砥石揺動軸の軌道面断面円弧中からの軸心の距離δｓを本発明の適正範囲である、内輪軌道面半径ｒｗに対し５％のδｓ＝０．０５ｍｍとした場合の超仕上加工では、図１６に示される内輪軌道面の断面円弧形状が測定された。図１５と同様に横軸上に軌道面の全幅を表示してある。図１６に示される軌道面断面円弧形状は単一円弧からの誤差が少なく良好である。また同時に測定された軌道面玉接触部の真円度測定結果は前記図１４の通りであり、目的とする真円度角数のうねりは極めて高精度に仕上げられている。
【００５７】
図１７は本発明の他の実施例に係る超仕上加工装置によって軸受内輪軌道面の超仕上を行う状態を示した斜視図である。この実施例では図９〜図１１のような柱状砥石を用いず、代りに先端が前記柱状砥石の先端円弧形状と同じ形状をなす柱状押圧治具１５と、該押圧治具１５の先端に密着される研磨テープ１６が用いられる。研磨テープ１６の片面、即ち研磨作用面には前述した砥石の砥粒サイズ、砥粒密度と同等な研磨材が付着されている。研磨テープ１６は柱押圧治具１５の両側に配置された支持ロール１７に掛け渡されて押圧治具１５の先端に一体的に張り付くように張力が与えられており、柱状押圧治具１５を回転するワーク１に向けて押し付けながら、押圧治具１５、研磨テープ１６および支持ロール１７が一体でワーク１の軌道面断面円弧中心の近傍の軸心位置１５ａ（この軸心位置については図４、図６に関して既述した）を中心に揺動することにより、ワーク軌道面の超仕上加工がなされる。
【００５８】
ワーク軌道面に対する柱状押圧治具１５のまたぎ寸法、該治具先端の幅寸法、揺動振り角等は柱状砥石で既に述べた事項が適用される。研磨テープ１６の作用面が磨耗した場合は該テープ１６を長さ方向に所定量移動（インデックス）させることで押圧治具先端に新たな超仕上作用面を形成する。図示しないテープ供給部に巻かれた充分長い研磨テープを繰り出していくことにより、砥石の場合よりも取り付け、取り外しの交換頻度が少なく、その分加工能率が向上する。
【００５９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明により求めた柱状超仕上砥石の断面寸法と、最大砥石揺動振り角および揺動軸と軌道面断面円弧中心の距離を適用することにより、玉軸受の内外輪軌道面で注目される真円度の玉数の自然数倍±１角のうねり成分を、軌道面断面円弧形状の崩れを起こさずに、極めて高精度に超仕上加工することができ、これによって上記玉軸受を組み込んだ主軸の非同期回転振れを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】玉数が７個の場合について玉軸受内輪と砥石のまたぎ状態を模式的に示した図である。
【図２】砥石と内輪軌道面の接触状態の変化を例示した図である。
【図３】砥石揺動振り角最大状態で砥石と内輪軌道面の接触状態を例示した図である。
【図４】内輪軌道面に対する円弧中心Ｏｒと砥石の揺動軸心Ｏｓとの関係を示した図である。
【図５】砥石揺動振り角最大状態で長方形断面の砥石と外輪軌道面の接触状態を例示した図である。
【図６】外輪軌道面に対する円弧中心Ｏｒｅと砥石の揺動軸心Ｏｓｅとの関係を示した図である。
【図７】砥石と外輪軌道面の接触状態を外輪側面から見た断面図である。
【図８】外輪軌道面を超仕上する樽型あるいは樽型近似砥石の断面形状を示した図である。
【図９】本発明の実施例に係る玉軸受の内輪軌道面を超仕上加工する装置のワーク装着部分の側面断面図である。
【図１０】本発明の実施例に係る砥石ホルダの縦断面図である。
【図１１】本発明の実施例に係る砥石ホルダの横断面図である。
【図１２】従来の超仕上加工方法による軸受内輪軌道面の玉接触位置の真円度測定結果を示す図である。
【図１３】本発明を適用するが砥石幅が不適切な条件で超仕上加工した内輪軌道面の玉接触位置の真円度測定結果を示す図である。
【図１４】本発明を適用して適切な条件により超仕上加工した軸受内輪軌道面の玉接触位置の真円度測定結果を示す図である。
【図１５】本発明を適用するが砥石揺動軸心の位置が不適切な条件で超仕上加工した内輪軌道面の断面円弧形状の測定結果を示す図である。
【図１６】本発明を適用して適切な砥石揺動軸心の位置で超仕上加工した内輪軌道面の断面円弧形状の測定結果を示す図である。
【図１７】本発明の他の実施例に係る玉軸受の内輪軌道面を研磨テープにより超仕上加工する装置のワーク装着部分の斜視図である。
【符号の説明】
1  内輪
2  外輪
3  柱状砥石
4  バッキングプレート
5  プレッシャプレート
6  シュー
7  砥石ホルダ
8  砥石案内面
9  Ｏリング
１０  ワーク主軸装置
１１  フランジ
１２  切欠き
１３  スリーブ
１４  加圧ピストン
１５  柱状押圧治具
１６  研磨テープ
１７  支持ロール
【図１】
0004284792.tif 000012
【図２】
0004284792.tif 000013
【図３】
0004284792.tif 000014
【図４】
0004284792.tif 000015
【図５】
0004284792.tif 000016
【図６】
0004284792.tif 000017
【図７】
0004284792.tif 000018
【図８】
0004284792.tif 000019
【図９】
0004284792.tif 000020
【図１０】
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【図１１】
0004284792.tif 000022
【図１２】
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【図１３】
0004284792.tif 000024
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
0004284792.tif 000027
【図１７】
0004284792.tif 000028