(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外筒と、前記外筒の内周面に着磁された第１磁極群と、前記外筒の先端口から前記外筒に挿入される可動軸と、前記可動軸の外周面に着磁された第２磁極群と、前記可動軸に設けられた通気路と、前記通気路と連通するとともに前記可動軸の先端面に設けられた吸引口と、前記可動軸の先端側に設けられることにより前記吸引口を包囲するパッドと、前記パッドから吸気するための配管が接続される配管口とを有し、前記第２磁極群が前記第１磁極群に対して磁気抵抗の最も小さい安定点に向かうことにより、前記可動軸に対して一定値の推力を作用させる吸着パッドホルダにおいて、
前記外筒の後端口を塞ぐキャップを備え、
前記キャップに前記配管口を設けるとともに、前記可動軸の後端面に前記通気路と連通する接続口を設けることにより、前記配管口と前記接続口とを前記外筒の内部で連通させたこと、を特徴とする吸着パッドホルダ。
【請求項２】
請求項１に記載する吸着パッドホルダであって、
前記外筒の内部に気体を通わせるための通気孔を前記外筒に設けたこと、を特徴とする吸着パッドホルダ。
【請求項３】
請求項２に記載する吸着パッドホルダであって、
前記キャップから前記外筒の内部に突設する接続パイプを備え、
前記接続パイプの後端口が前記配管口と連通するとともに、前記接続パイプの先端口を前記接続口から前記可動軸に内挿させることにより、前記配管口と前記接続口とを前記外筒の内部で連通させたこと、を特徴とする吸着パッドホルダ。
【請求項４】
請求項３に記載する吸着パッドホルダであって、
前記接続パイプが前記可動軸に対して非接触であること、を特徴とする吸着パッドホルダ。
【請求項５】
請求項２に記載する吸着パッドホルダであって、
前記可動軸の後端面から前記外筒の内部に突設する接続パイプを備え、
前記接続パイプの後端口が前記接続口と連通するとともに、前記接続パイプの先端口を前記キャップに内挿させることにより、前記配管口と前記接続口とを前記外筒の内部で連通させるとともに、前記接続パイプと前記キャップの間にシール材を介在させたこと、を特徴とする吸着パッドホルダ。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一つに記載する吸着パッドホルダであって、
前記外筒の内周面に設けられた可動軸ガイドと、
前記キャップと前記可動軸ガイドとにより前記外筒に内蔵された樹脂リングと、
前記可動軸の後端側の外周面に設けられるとともに前記樹脂リングが装入される円周溝と、を備え、
前記可動軸を前記外筒の先端口から引き抜く際に、前記樹脂リングが前記可動軸ガイドに押しつけられることにより、前記樹脂リングが前記円周溝から取り外されるとともに、前記可動軸を前記外筒の先端口から入れ込む際に、前記樹脂リングが前記キャップに押しつけられて、前記樹脂リングが前記円周溝に装入される一方、
前記円周溝を介して前記可動軸に取り着けられた前記樹脂リングが前記可動軸ガイドに当接することにより、前記第２磁極群が前記安定点に向かう状態を維持し、前記推力を予め発生させたこと、を特徴とする吸着パッドホルダ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、外筒と可動軸との間に磁気力が作用することにより、外筒に対して可動軸が相対的に移動する吸着パッドホルダに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本出願人は、特願２０００−１５９５１９において、図１２に示すような、永久磁石を使用した吸着パッドホルダ１００を提案している。そして、図１２の吸着パッドホルダ１００では、固定軸１０２（「外筒」に相当するもの）の内周面と可動軸１０４の外周面において、それぞれ対向する面の磁極が異なるマグネット１０６，１０７（「第１磁極群」、「第２磁極群」に相当するもの）を設けており、可動軸１０４の一端部である吸引部１０８に取り付けられたパッド１１０を移送対象物に接触させたときに、可動軸１０４を固定軸１０２に対して吸引部１０８と反対の方向に移動させることによって、固定軸１０２のマグネット１０６に対する可動軸１０４のマグネット１０７の位置を相対的にずらしている。
【０００３】
このとき、固定軸１０２のマグネット１０６と可動軸１０４のマグネット１０７の間に作用する磁気力は、互いに引き戻そうと働き、また、固定軸１０２のマグネット１０６と可動軸１０４のマグネット１０７の相対距離に拘わらず、ほぼ同じ大きさとなる。
【０００４】
従って、図１２の吸着パッドホルダ１００において、可動軸１０４に取り付けられたパッド１１０を移送対象物に接触させたときは、可動軸１０４の移動距離に拘わらず、固定軸１０２のマグネット１０６と可動軸１０４のマグネット１０７の間にほぼ同じ大きさの磁気力が作用するので、可動軸１０４に取り付けられたパッド１１０が移送対象物に押し付けられる押圧力を、常に、一定とすることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図１２の吸着パッドホルダ１００においては、可動軸１０４の吸引部１０８に設けられた連通口１１２に対して、エジェクタに連接する配管（図示しない）が接続されるとともに、さらに、可動軸１０４が固定軸１０２の内部から抜け落ちることを防止する観点から、止めネジ１１３を可動軸１０４の他端部に螺挿してあるので、可動軸１０４を交換する際には、連通口１１２に接続された配管（図示しない）や止めネジ１１３を可動軸１０４から取り外さなければならず、著しく手間のかかる作業を必要としていた。
【０００６】
そこで、本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、可動軸が磁気力で移動するものであって、所謂「ワンタッチ」で可動軸を交換することができる吸着パッドホルダを提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために成された請求項１に係る発明は、外筒と、前記外筒の内周面に着磁された第１磁極群と、前記外筒の先端口から前記外筒に挿入される可動軸と、前記可動軸の外周面に着磁された第２磁極群と、前記可動軸に設けられた通気路と、前記通気路と連通するとともに前記可動軸の先端面に設けられた吸引口と、前記可動軸の先端側に設けられることにより前記吸引口を包囲するパッドと、前記パッドから吸気するための配管が接続される配管口とを有し、前記第２磁極群が前記第１磁極群に対して磁気抵抗の最も小さい安定点に向かうことにより、前記可動軸に対して一定値の推力を作用させる吸着パッドホルダにおいて、前記外筒の後端口を塞ぐキャップを備え、前記キャップに前記配管口を設けるとともに、前記可動軸の後端面に前記通気路と連通する接続口を設けることにより、前記配管口と前記接続口とを前記外筒の内部で連通させたこと、を特徴としている。
【０００８】
また、請求項２に係る発明は、請求項１に記載する吸着パッドホルダであって、前記外筒の内部に気体を通わせるための通気孔を前記外筒に設けたこと、を特徴としている。
【０００９】
また、請求項３に係る発明は、請求項２に記載する吸着パッドホルダであって、前記キャップから前記外筒の内部に突設する接続パイプを備え、前記接続パイプの後端口が前記配管口と連通するとともに、前記接続パイプの先端口を前記接続口から前記可動軸に内挿させることにより、前記配管口と前記接続口とを前記外筒の内部で連通させたこと、を特徴としている。
【００１０】
また、請求項４に係る発明は、請求項３に記載する吸着パッドホルダであって、前記接続パイプが前記可動軸に対して非接触であること、を特徴としている。
【００１１】
また、請求項５に係る発明は、請求項２に記載する吸着パッドホルダであって、前記可動軸の後端面から前記外筒の内部に突設する接続パイプを備え、前記接続パイプの後端口が前記接続口と連通するとともに、前記接続パイプの先端口を前記キャップに内挿させることにより、前記配管口と前記接続口とを前記外筒の内部で連通させるとともに、前記接続パイプと前記キャップの間にシール材を介在させたこと、を特徴としている。
【００１２】
また、請求項６に係る発明は、請求項１乃至請求項５のいずれか一つに記載する吸着パッドホルダであって、前記外筒の内周面に設けられた可動軸ガイドと、前記キャップと前記可動軸ガイドとにより前記外筒に内蔵された樹脂リングと、前記可動軸の後端側の外周面に設けられるとともに前記樹脂リングが装入される円周溝と、を備え、前記可動軸を前記外筒の先端口から引き抜く際に、前記樹脂リングが前記可動軸ガイドに押しつけられることにより、前記樹脂リングが前記円周溝から取り外されるとともに、前記可動軸を前記外筒の先端口から入れ込む際に、前記樹脂リングが前記キャップに押しつけられて、前記樹脂リングが前記円周溝に装入される一方、前記円周溝を介して前記可動軸に取り着けられた前記樹脂リングが前記可動軸ガイドに当接することにより、前記第２磁極群が前記安定点に向かう状態を維持し、前記推力を予め発生させたこと、を特徴としている。
【００１３】
このような特徴を有する本発明の吸着パッドホルダでは、外筒の後端口はキャップで塞がれる一方で、外筒の先端口は開口されており、かかる外筒の先端口に対し、可動軸が可動軸の後端面を先頭にして挿入される。このとき、外筒の後端口を塞ぐキャップに設けられた配管口は、可動軸の後端面に設けられた接続口と、外筒の内部で連通する。さらに、可動軸の後端面に設けられた接続口は、可動軸に設けられた通気路に連通し、可動軸に設けられた通気路は、可動軸の先端面に設けられた吸引口に連通する。従って、吸引口を包囲するパッドは、通気路、接続口を介して、配管口と連通することになる。ここで、配管口には、パッドから吸気するための配管が接続されるので、可動軸の先端側のパッドで移送対象物を吸着することができる。
【００１４】
また、第１磁極群が外筒の内周面に着磁されるとともに、第２磁極群が可動軸の外周面に着磁されており、外筒の先端口から可動軸が外筒に挿入されると、外筒の第１磁極群と可動軸の第２磁極群との間で磁気吸引力が作用する。これにより、可動軸の第２磁極群が外筒の第１磁極群に対して磁気抵抗の最も小さい安定点に向かうので、外筒の内部では、可動軸が、かかる安定点となる初期位置まで自動的に移動して停止する。
【００１５】
そのため、可動軸を初期位置から移動させると、可動軸の第２磁極群が外筒の第１磁極群に対して磁気抵抗の最も小さい安定点に向かうことになるので、可動軸に対して推力が作用する。
このとき、可動軸に作用する推力の大きさは、外筒の第１磁極群と可動軸の第２磁極群の各磁極の大きさなどに比例する。もっとも、外筒の第１磁極群と可動軸の第２磁極群の各磁極の大きさなどが決定されれば、可動軸に作用する推力の大きさは、通常は、可動軸を移動させても、可動軸の初期位置からの移動距離に比例することなく、一定値である。
【００１６】
そこで、本発明の吸着パッドホルダにおいて、外筒の第１磁極群と可動軸の第２磁極群の各磁極の大きさなどを決定する際には、「可動軸の先端側のパッドを移送対象物に押し付けた場合において、可動軸が外筒の内部に入り込んで、可動軸が初期位置から移動し、一定値の大きさの推力が可動軸に作用したときでも、可動軸の先端側のパッドに押しつけられた移送対象物に支障が生じない」ことも、考慮されている。
【００１７】
従って、本発明の吸着パッドホルダでは、パッドに移送対象物を吸着させるために、可動軸の先端側のパッドを移送対象物に押しつけたり、また、移送対象物を目的場所に配置するために、可動軸の先端側のパッドに吸着された移送対象物が目的場所に押しつけられたりすると、可動軸が外筒の内部に入り込んで、移送対象物に対する衝撃を吸収することになるが、さらに、このとき、可動軸には一定値の大きさの推力しか作用しないので、移送対象物に支障が生じることはない。
【００１８】
また、可動軸が外筒の内部に入り込むと、通常は、可動軸の初期位置からの移動距離に比例することなく、可動軸に一定値の大きさの推力が作用するので、可動軸の先端側のパッドを移送対象物に押しつけたときに、パッドと移送対象物との間を安定して密閉させることができる。
【００１９】
また、本発明の吸着パッドホルダにおいては、パッドから吸気するための配管が接続される配管口を、外筒の後端口を塞ぐキャップに設けており、従来技術の欄で説明した吸着パッドホルダとは異なって、可動軸に対し、パッドから吸気するための配管が接続されたり、止めネジが螺挿されることがないので、可動軸に作用する推力に対抗するだけで、外筒の先端口から、可動軸を引き抜いたり、挿入したりすることができる。さらに、外筒の先端口から、可動軸を一旦引き抜いた後に、再び挿入しても、あるいは、新たな可動軸を挿入しても、いずれの可動軸も、外筒の内部において、安定点となる初期位置まで自動的に移動して停止する。
【００２０】
すなわち、本発明の吸着パッドホルダにおいては、外筒の先端口から可動軸が外筒に挿入されると、外筒の第１磁極群と可動軸の第２磁極群との間で磁気吸引力が作用し、外筒の内部では、可動軸の第２磁極群が外筒の第１磁極群に対して磁気抵抗の最も小さい安定点となる初期位置まで、可動軸が自動的に移動して停止するので、本発明の吸着パッドホルダは、可動軸が磁気力で移動するものである。
【００２１】
さらに、本発明の吸着パッドホルダにおいては、外筒の後端口を塞ぐキャップを備え、キャップに配管口を設けるとともに、可動軸の後端面に通気路と連通する接続口を設けて、配管口と接続口とを外筒の内部で連通させたことにより、可動軸の先端側のパッドで移送対象物を吸着することを確保しており、また、従来技術の欄で説明した吸着パッドホルダとは異なって、可動軸に対し、配管が接続されたり、止めネジが螺挿されることがないので、外筒の先端口から、可動軸を容易に引き抜くことができ、さらに、新たな可動軸を挿入しても、外筒の内部において、安定点となる初期位置まで、新たな可動軸が自動的に移動して停止するので、所謂「ワンタッチ」で可動軸を交換することができる。
【００２２】
また、本発明の吸着パッドホルダにおいては、パッドから吸気するための配管が接続される配管口を、外筒の後端口を塞ぐキャップに設けており、従来技術の欄で説明した吸着パッドホルダとは異なって、可動軸に設けておらず、パッドから吸気するための配管からの外力が可動軸に作用することがないので、外筒の内部における可動軸の姿勢や移動に対して、パッドから吸気するための配管が悪影響を及ぼすことがない。
【００２３】
また、本発明の吸着パッドホルダにおいては、外筒の内部に気体を通わせるための通気孔を外筒に設ければ、配管口に接続された配管から吸気されたときに、通気孔を介して、外筒の内部に気体を通わせることができるので、外筒の内部が真空状態となって、外筒に挿入されている可動軸自体が吸引されることはない。
【００２４】
さらに、本発明の吸着パッドホルダにおいては、キャップから外筒の内部に突設する接続パイプを備え、接続パイプの後端口が配管口と連通するとともに、接続パイプの先端口を接続口から可動軸に内挿させることにより、配管口と接続口とを外筒の内部で連通させれば、可動軸の移動に際しても、接続パイプを介して、配管口と接続口とが確実に連通されるので、可動軸の先端側のパッドで移送対象物を吸着することをより高めることができる。
【００２５】
さらに、本発明の吸着パッドホルダにおいては、接続パイプが可動軸に対して非接触であれば、可動軸が移動しても、接続パイプと可動軸との間に摩耗や摺動抵抗などが生じないので、可動軸に作用する推力に対抗するだけで、可動軸を移動させることができ、可動軸が移動する際にパーティクルが発生することもない。
【００２６】
一方、本発明の吸着パッドホルダにおいて、可動軸の後端面から外筒の内部に突設する接続パイプを備え、接続パイプの後端口が接続口と連通するとともに、接続パイプの先端口をキャップに内挿させることにより、配管口と接続口とを外筒の内部で連通させても、接続パイプを介して、配管口と接続口とが確実に連通されるので、可動軸の先端側のパッドで移送対象物を吸着することをより高めることができるが、ここで、接続パイプとキャップの間にシール材を介在させれば、シール材により、接続パイプとキャップの間が密封されて、外筒の通気孔から外筒の内部に通わせた気体が、配管口に接続された配管から吸気されることはないので、吸気に費やされるエネルギーをより少なくした状態で、外筒に挿入されている可動軸自体の吸引を防止することが可能となる。
【００２７】
また、本発明の吸着パッドホルダにおいては、外筒の内周面に設けられた可動軸ガイドと、キャップと可動軸ガイドとにより外筒に内蔵された樹脂リングと、可動軸の後端側の外周面に設けられるとともに樹脂リングが挿入される円周溝と、を備えれば、可動軸を外筒の先端口から引き抜く際には、円周溝を介して可動軸に取り付けられた樹脂リングが可動軸ガイドに当接することになるが、その後は、樹脂リングが可動軸ガイドに押しつけられて、円周溝から取り外れるので、可動軸を外筒の先端口から引き抜くことができる。
【００２８】
逆に、可動軸を外筒の先端口から挿入する際には、キャップと可動軸ガイドとにより外筒に内蔵された樹脂リングが可動軸の後端側に触接することになるが、その後は、樹脂リングがキャップに押しつけられて、円周溝に装入される。
【００２９】
これにより、可動軸の円周溝から樹脂リングを取り外しながら、可動軸を外筒の先端口から引き抜くことも、可動軸の円周溝に樹脂リングを取り付けながら可動軸を外筒の先端口から挿入することもできるので、所謂「ワンタッチ」による可動軸の交換を、可動軸の円周溝に対する樹脂リングの着脱を伴いながら行うことができる。
【００３０】
ここで、可動軸を外筒の先端口から挿入して、可動軸の円周溝に樹脂リングを取り付けた場合は、その後、可動軸の第２磁極群が外筒の第１磁極群に対して磁気抵抗の最も小さい安定点に向かうことになる。しかしながら、本発明の吸着パッドホルダでは、その途中で、可動軸の円周溝に取り付けられた樹脂リングを、外筒の内周面に設けられた可動軸ガイドに当接させている。これにより、外筒の内部において、安定点となる初期位置にまで、可動軸が移動して停止することを阻止するとともに、可動軸が安定点に向かう状態を維持しており、また、可動軸に対して一定の大きさの推力を作用させている。
【００３１】
この点、上述したように、可動軸に作用する推力の大きさは、通常は、可動軸を移動させると、可動軸の初期位置からの移動距離に比例することなく、一定値となる。但し、可動軸を初期位置から僅かに移動させたときは、可動軸の初期位置からの移動距離に比例して、一定値とならない。
【００３２】
もっとも、本発明の吸着パッドホルダでは、樹脂リングと可動軸ガイドが当接して、可動軸が初期位置に停止することができず、さらに、可動軸には、既に一定値の大きさの推力が作用している。従って、可動軸は常に初期位置から離れた状態にあり、可動軸を初期位置から僅かに移動させることができないので、可動軸を移動させても、可動軸に作用する推力の大きさが、可動軸の初期位置からの移動距離に比例することはない。
【００３３】
すなわち、本発明の吸着パッドホルダにおいては、外筒の内周面に設けられた可動軸ガイドと、キャップと可動軸ガイドとにより外筒に内蔵された樹脂リングと、可動軸の後端側の外周面に設けられるとともに樹脂リングが挿入される円周溝と、を備えて、可動軸の円周溝に取り付けられた樹脂リングが、外筒の内周面に設けられた可動軸ガイドに当接することにより、可動軸に一定値の大きさの推力を予め発生させれば、可動軸に作用する推力の大きさが、可動軸の初期位置からの移動距離に比例することを回避でき、常に、可動軸に一定値の推力が作用するので、パッドと移送対象物との間をより一層安定して密閉することができる。と同時に、可動軸の円周溝から樹脂リングを取り外しながら、可動軸を外筒の先端口から引き抜くことも、可動軸の円周溝に樹脂リングを取り付けながら、可動軸を外筒の先端口から挿入することもできるので、所謂「ワンタッチ」による可動軸の交換も確保することができる。
【００３４】
尚、樹脂リングは、可動軸の後端部の円周溝に取り付けられて、外筒の内周面に設けられた可動軸ガイドに当接するので、可動軸の先端側のパッドに吸着された移送対象物が比較的重い場合には、外筒に対する可動軸の抜け防止機能を果たすこともある。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照にして説明する。図６に示すように、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａにおいては、円筒状の外筒１１の内周面に、４つの磁極からなる第１磁極群２１が設けられている（図７参照）。そして、第１磁極群２１の両端には、第１可動軸ガイド２４と第２可動軸ガイド２５がそれぞれ設けられている。また、外筒１１の先端口１１Ａには、上述した第２可動軸ガイド２５が嵌着されている。一方、外筒１１の後端口１１Ｂには、キャップ１３が固定されている。さらに、キャップ１３と第１可動軸ガイド２４との間において、外筒１１の側面に対し、通気孔３４が設けられている。
【００３６】
また、キャップ１３には、真空ポンプ等の真空発生器（図示しない）へ連通する配管（図示しない）を接続するための配管口３２が設けられている。そして、配管口３２に対し、接続パイプ３３が連通して固定されており、接続パイプ３３は、キャップ１３から外筒１１の内部に向かって突出している。さらに、キャップ１３には、接続パイプ３３を囲むようにして、切り欠き４５が設けられている。尚、キャップ１３は、外筒１１に設けられたネジ孔４６によって、外筒１１に螺設される。
【００３７】
また、キャップ１３と第１可動軸ガイド２４の間には、樹脂リング４２が配置されている。そして、樹脂リング４２は、図３に示すように、一部に空隙４３が設けられたＣ字状に形成されている。また、樹脂リング４２の内周面には、凸部４４が設けられている。
【００３８】
また、図６に示すように、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａにおいては、外筒１１の内部に、可動軸１２Ａが挿入されている。そして、可動軸１２Ａの外周面には、４つの磁極からなる第２磁極群２２が設けられており、かかる第２磁極群２２に対しガイドチューブ２６を覆設することにより、可動軸１２Ａの外周面を滑らかなものとしている（図７参照）。また、可動軸１２Ａの先端面２には、吸引口３６が設けられるとともに、可動軸１２Ａの後端面３には、接続口３０が設けられている。そして、可動軸１２Ａの内部においては、吸引口３６と接続口３０を連通させるように、通気路３１が貫通して設けられている。また、可動軸１２Ａの先端側には、後述するパッド５０Ａ（図４参照）を取り付けるためのパッド取付溝２３が設けられている。一方、可動軸１２Ａの後端側には、上述した樹脂リング４２の凸部４４が嵌合する円周溝４１が設けられている。
【００３９】
ここで、可動軸１２Ａのパッド取付溝２３に取り付けられるパッド５０Ａについて説明する。図４に示すように、パッド５０Ａの上方には、可動軸１２Ａの先端側が嵌め込まれる取付穴５１が設けられるとともに、パッド５０Ａの下方には、移送対象物（図示しない）が吸着される吸着口５２が設けられており、パッド５０Ａの内部において、取付穴５１と吸着口５２とが、吸気路５３を介して連通されている。従って、可動軸１２Ａの先端側をパッド５０Ａの取付穴５１に嵌め込めば、可動軸１２Ａの先端面２に設けられた吸引口３６を、パッド５０Ａの吸着口５２に連通させることができる。
【００４０】
尚、パッド５０Ａには、移送対象物（図示しない）の形や大きさなどに対応させるため、例えば、図５に示すように、様々な種類が存在するが、これらのパッド５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃは、その形や大きさが異なるものである。そこで、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａにおいては、これらのパッド５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃのそれぞれに適合するように、異なった先端側の形状を有する可動軸１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃを、別途に用意している。
【００４１】
この点、図６では、可動軸１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃのうち、一例として、可動軸１２Ａを、外筒１１の先端口１１Ａから挿入させている。ここで、可動軸１２Ａを自由にすると、外筒１１の第１磁極群２１と可動軸１２Ａの第２磁極群２２との間で作用する磁気力により、可動軸１２Ａは、図６に示す位置にまで移動して停止する。
【００４２】
このとき、外筒１１の第１磁極群２１と可動軸１２Ａの第２磁極群２２との位置関係は、図７の断面図に示すように、それぞれの４つの磁極が異極同士で互いに対向する位置となり、外筒１１の第１磁極群２１と可動軸１２Ａの第２磁極群２２の間には、異極同士の磁気吸引力と同極同士の磁気反発力が作用するので、外筒１１の内部において、可動軸１２Ａが回転することを防止できる。
【００４３】
また、外筒１１に対する可動軸１２Ａの位置関係が図６に示す状態でも、可動軸１２Ａの後端面３に設けられた接続口３０に対して、外筒１１のキャップ１３に設けられた接続パイプ３３の先端が非接触状態で内在される。従って、キャップ１３の配管口３２に接続された配管（図示しない）と連通する真空ポンプなどの真空発生器（図示しない）を作動させれば、キャップ１３の配管口３２、接続パイプ３３、可動軸１２Ａの接続口３０、可動軸１２Ａの通気路３１を介して、可動軸１２Ａの先端面２に設けられた吸引口３６から気体を吸い込むことができる。このとき、接続パイプ３３と可動軸１２Ａの接続口３０との間に形成される非接触空間と、外筒１１に設けられた通気孔３４とを介しても、若干の気体が吸い込まれる。
【００４４】
もっとも、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａにおいては、図１に示すように、可動軸１２Ａの後端側の円周溝４１に対して樹脂リング４２を装入させた状態で使用している。そのためには、まず、外筒１１の先端口１１Ａから可動軸１２Ａを挿入した後に、図８に示すように、図６の状態を越えてさらに可動軸１２Ａを入れ込むことにより、可動軸１２Ａの後端面３を樹脂リング４２に当接させるとともに、樹脂リング４２をキャップ１３に押し付ける。次に、さらに外筒１１の内部に入れ込むと、斜めに面取りされた可動軸１２Ａの後端面３の外周が、弾性のある樹脂リング４２の凸部４４に押しつけられて、樹脂リング４２の空隙４３が開くとともに、可動軸１２Ａの後端面３がキャップ１３の切り欠き４５にまで入り込むので、図２に示すように、可動軸１２Ａの後端側の円周溝４１に対して、樹脂リング４２を装入することができる。
【００４５】
その後、図２の状態において、可動軸１２Ａを自由にすると、可動軸１２Ａは、図６の状態に戻ろうとするが、樹脂リング４２が第１可動軸ガイド２４に当接するので、図１に示す状態となる。このとき、図１に示す状態でも、外筒１１の第１磁極群２１と可動軸１２Ａの第２磁極群２２との間で作用する磁気力により、可動軸１２Ａが図６の状態に戻ろうとするので、可動軸１２Ａにおいては、可動軸１２Ａの先端側に向かって推力が作用することになる。
【００４６】
ここで、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａが図１の状態にある場合において、可動軸１２Ａの移動距離と、そのときに可動軸１２Ａに作用する推力の大きさとの関係を、図９に示す。図９に示すように、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａが図１の状態にある場合では、可動軸１２Ａに作用する推力の大きさは、可動軸１２Ａの吸引口３６から気体が吸い込まれているか否か（図９の「吸気あり」と「吸気なし」）で異なるものの、可動軸１２Ａの移動距離に関係なく、一定にある。
【００４７】
尚、図１０に、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａが図６の状態にある場合において、外筒１１に対する可動軸１２Ａの相対速度が１０ｍｍ／ｓｅｃのときの可動軸１２Ａの移動距離と、そのときに可動軸１２Ａに作用する推力の大きさとの関係を示す。図１０に示すように、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａが図６の状態にある場合でも、可動軸１２Ａに作用する推力の大きさが、可動軸１２Ａの移動距離に関係なく一定となる領域が存在する。しかし、図１０では、可動軸１２Ａの移動距離が０〜３ｍｍぐらいのときに限って、可動軸１２Ａに作用する推力の大きさは、可動軸１２Ａの移動距離に比例する。
【００４８】
また、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａにおいては、可動軸１２Ａを、例えば、図５の可動軸１２Ｂ又は可動軸１２Ｃに交換することができる。そのためには、図１の状態にある吸着パッドホルダ１Ａにおいて、可動軸１２Ａを外筒１１の内部から引っ張ればよい。なぜなら、可動軸１２Ａの後端側の円周溝４１に装入された樹脂リング４２が第１可動軸ガイド２４に押し付けられて、弾性のある樹脂リング４２の空隙４３が開くとともに、可動軸１２Ａの後端面３が第１可動軸ガイド２４の内側にまで到達するので、可動軸１２Ａの後端側の円周溝４１から、樹脂リング４２を取り外すことができるからである。従って、その後、図５の可動軸１２Ｂ又は可動軸１２Ｃを、上述したようにして、外筒１１の内部に入れ込めば、可動軸１２Ａを、図５の可動軸１２Ｂ又は可動軸１２Ｃに交換することができる。
【００４９】
以上詳細に説明したように、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａは、図１，２，６，８に示すように、外筒１１の後端口１１Ｂがキャップ１３で塞がれる一方で、外筒１１の先端口１１Ａが開口されており、かかる外筒１１の先端口１１Ａに対し、可動軸１２Ａが可動軸１２Ａの後端面３を先頭にして挿入されるものである。そして、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａにおいては、外筒１１の後端口１１Ｂを塞ぐキャップ１３に設けられた配管口３２が、可動軸１２Ａの後端面３に設けられた接続口３０と、外筒１１の内部で連通する。さらに、可動軸１２Ａの後端面３に設けられた接続口３０が、可動軸１２Ａに設けられた通気路３１に連通し、可動軸１２Ａに設けられた通気路３１が、可動軸１２Ａの先端面２に設けられた吸引口３６に連通する。従って、吸引口３６を包囲するパッド５０Ａ（図５参照）が、通気路３１、接続口３０を介して、配管口３２と連通することになる。ここで、配管口３２には、パッド５０Ａ（図５参照）から吸気するための配管（図示しない）が接続されるので、可動軸１２Ａの先端側のパッド５０Ａ（図５参照）で移送対象物（図示しない）を吸着することができる。
【００５０】
また、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａにおいては、図１，２，６，８に示すように、第１磁極群２１が外筒１１の内周面に着磁されるとともに、第２磁極群２２が可動軸１２Ａの外周面に着磁されており、外筒１１の先端口１１Ａから可動軸１２Ａが外筒１１に挿入されると、外筒１１の第１磁極群２１と可動軸１２Ａの第２磁極群２２との間で磁気吸引力が作用する。これにより、可動軸１２Ａの第２磁極群２２が外筒１１の第１磁極群２１に対して磁気抵抗の最も小さい安定点に向かうので、外筒１１の内部では、可動軸１２Ａが、かかる安定点となる初期位置（図６の状態）まで自動的に移動して停止しようとする。
【００５１】
そのため、可動軸１２Ａを初期位置（図６の状態）から移動させると、可動軸１２Ａの第２磁極群２２が外筒１１の第１磁極群２１に対して磁気抵抗の最も小さい安定点（図６の状態）に向かうことになるので、可動軸１２Ａに対して推力が作用する。
【００５２】
このとき、可動軸１２Ａに作用する推力の大きさは、外筒１１の第１磁極群２１と可動軸１２Ａの第２磁極群２２の各磁極の大きさなどに比例する。もっとも、外筒１１の第１磁極群２１と可動軸１２Ａの第２磁極群２２の各磁極の大きさなどが決定されれば、可動軸１２Ａに作用する推力の大きさは、通常（図１０では、移動距離が３ｍｍ以上の範囲）は、可動軸１２Ａを移動させても、可動軸１２Ａの初期位置（図６の状態）からの移動距離に比例することなく、一定値である。
【００５３】
そこで、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａにおいて、外筒１１の第１磁極群２１と可動軸１２Ａの第２磁極群２２の各磁極の大きさなどを決定する際には、「可動軸１２Ａの先端側のパッド５０Ａ（図５参照）を移送対象物（図示しない）に押し付けた場合において、可動軸１２Ａが外筒１１の内部に入り込んで、可動軸１２Ａが初期位置（図６の状態）から移動し、一定値の大きさの推力が可動軸１２Ａに作用したときでも、可動軸１２Ａの先端側のパッド５０に押しつけられた移送対象物（図示しない）に支障が生じない」ことも、考慮されている。
【００５４】
従って、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａでは、パッド５０Ａ（図５参照）に移送対象物（図示しない）を吸着させるために、可動軸１２Ａの先端側のパッド５０Ａ（図５参照）を移送対象物（図示しない）に押しつけたり、また、移送対象物（図示しない）を目的場所に配置するために、可動軸１２Ａの先端側のパッド５０Ａ（図５参照）に吸着された移送対象物（図示しない）が目的場所に押しつけられたりすると、可動軸１２Ａが外筒１１の内部に入り込んで、移送対象物（図示しない）に対する衝撃を吸収することになるが、さらに、このとき、可動軸１２Ａには一定値の大きさの推力しか作用しないので（図１０参照）、移送対象物（図示しない）に支障が生じることはない。
【００５５】
また、可動軸１２Ａが外筒１１の内部に入り込むと、通常（図１０では、移動距離が３ｍｍ以上の範囲）は、可動軸１２Ａの初期位置（図６の状態）からの移動距離に比例することなく、可動軸１２Ａに一定値の大きさの推力が作用するので、可動軸１２Ａの先端側のパッド５０Ａ（図５参照）を移送対象物（図示しない）に押しつけたときに、パッド５０Ａ（図５参照）と移送対象物（図示しない）との間を安定して密閉させることができる。
【００５６】
また、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａにおいては、図１，２，６，８に示すように、パッド５０Ａ（図５参照）から吸気するための配管（図示しない）が接続される配管口３２を、外筒１１の後端口１１Ｂを塞ぐキャップ１３に設けており、従来技術の欄で説明した図１２の吸着パッドホルダ１００とは異なって、可動軸１２Ａに対し、パッド５０Ａ（図５参照）から吸気するための配管が接続されたり、図１２の止めネジ１１３が螺挿されることがない。
【００５７】
すなわち、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａにおいては、図６に示すように、外筒１１の先端口１１Ａから可動軸１２Ａが外筒１１に挿入されると、外筒１１の第１磁極群２１と可動軸１２Ａの第２磁極群２２との間で磁気吸引力が作用し、外筒１１の内部では、可動軸１２Ａの第２磁極群２２が外筒１１の第１磁極群２１に対して磁気抵抗の最も小さい安定点となる初期位置に向かって、可動軸１２Ａが自動的に移動するので、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａは、可動軸１２Ａが磁気力で移動するものである。
【００５８】
また、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａにおいては、図１，２，６，８に示すように、外筒１１の内周面に設けられた第１可動軸ガイド２４と、キャップ１３と第１可動軸ガイド２４とにより外筒１１に内蔵された樹脂リング４２と、可動軸１２Ａの後端側の外周面に設けられるとともに樹脂リング４２が挿入される円周溝４１と、を備えており、可動軸１２Ａを外筒１１の先端口１１Ａから引き抜く際には、図１に示すように、円周溝４１を介して可動軸１２Ａに取り付けられた樹脂リング４２が第１可動軸ガイド２４に当接することになるが、その後は、樹脂リング４２が第１可動軸ガイド２４に押しつけられて、円周溝４１から取り外れるので、可動軸１２Ａを外筒１１の先端口１１Ａから引き抜くことができる。
【００５９】
逆に、可動軸１２Ａを外筒１１の先端口１１Ａから挿入する際には、図６に示すように、キャップ１３と第１可動軸ガイド２４とにより外筒１１に内蔵された樹脂リング４２が可動軸１２Ａの後端面３に触接することになるが、その後は、図８に示すように、樹脂リング４２がキャップ１３に押しつけられて、円周溝４１に装入される。
【００６０】
これにより、可動軸１２Ａの円周溝４１から樹脂リング４２を取り外しながら、可動軸１２Ａを外筒１１の先端口１１Ａから引き抜くことも、可動軸１２Ａの円周溝４１に樹脂リング４２を取り付けながら可動軸１２Ａを外筒１１の先端口１１Ａから挿入することもできるので、所謂「ワンタッチ」による可動軸１２Ａの交換を、可動軸１２Ａの円周溝４１に対する樹脂リング４２の着脱を伴いながら行うことができる。
【００６１】
尚、この点は、可動軸１２Ａに代わって図５の可動軸１２Ｂ又は可動軸１２Ｃを外筒１１の先端口１１Ａから挿入したり引き抜いたりする際においても、同様である。
【００６２】
さて、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａにおいては、図８に示すように、可動軸１２Ａを外筒１１の先端口１１Ａから挿入して、可動軸１２Ａの円周溝４１に樹脂リング４２を取り付けた場合は、その後、可動軸１２Ａの第２磁極群２２が外筒１１の第１磁極群２１に対して磁気抵抗の最も小さい安定点（図６の状態）に向かうことになる。しかしながら、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａでは、図１に示すように、その途中で、可動軸１２Ａの円周溝４１に取り付けられた樹脂リング４２を、外筒１１の内周面に設けられた第１可動軸ガイド２４に当接させている。これにより、外筒１１の内部において、安定点となる初期状態（図６の状態）にまで、可動軸１２Ａが移動して停止することを阻止するとともに、可動軸１２Ａが安定点（図６の状態）に向かう図１の状態を維持しており、また、可動軸１２Ａに対して一定の大きさの推力を作用させている（図１０では、移動距離が３ｍｍ以上の範囲）。
【００６３】
この点、上述したように、可動軸１２Ａに作用する推力の大きさは、通常（図１０では、移動距離が３ｍｍ以上の範囲）は、可動軸１２Ａを移動させると、可動軸１２Ａの初期位置（図６の状態）からの移動距離に比例することなく、一定値となる。但し、可動軸１２Ａを安定点（図６の状態）から僅かに移動させたとき（図１０では、移動距離が３ｍｍ未満の範囲）は、可動軸１２Ａの安定点（図６の状態）からの移動距離に比例して、一定値とならない。
【００６４】
もっとも、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａでは、図１に示すように、樹脂リング４２と第１可動軸ガイド２４が当接して、可動軸１２Ａが安定点（図６の状態）に停止することができず、さらに、可動軸１２Ａには、既に一定値の大きさの推力を作用させている（図１０では、移動距離が３ｍｍ以上の範囲）。従って、可動軸１２Ａは常に安定点（図６の状態）から離れた状態にあり、可動軸１２Ａを安定点（図６の状態）から僅かに（図１０では、移動距離が３ｍｍ未満の範囲）移動させることができないので、図９に示すように、可動軸１２Ａを移動させても、可動軸１２Ａに作用する推力の大きさが、可動軸１２Ａの初期位置（図６の状態）からの移動距離に比例することはない。
【００６５】
すなわち、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａにおいては、図１に示すように、外筒１１の内周面に設けられた第１可動軸ガイド２４と、キャップ１３と第１可動軸ガイド２４とにより外筒１１に内蔵された樹脂リング４２と、可動軸１２Ａの後端側の外周面に設けられるとともに樹脂リング４２が挿入される円周溝４１と、を備えて、可動軸１２Ａの円周溝４１に取り付けられた樹脂リング４２が、外筒１１の内周面に設けられた第１可動軸ガイド２４に当接することにより、可動軸１２Ａに一定値の大きさの推力を予め発生させており、可動軸１２Ａに作用する推力の大きさが、可動軸１２Ａの初期位置（図６の状態）からの移動距離に比例することを回避でき、常に、可動軸１２Ａに一定値の推力が作用するので（図９参照）、パッド５０Ａ（図５参照）と移送対象物（図示しない）との間をより一層安定して密閉することができる。と同時に、可動軸１２Ａ（又は、図５の可動軸１２Ｂ，１２Ｃ）の円周溝４１から樹脂リング４２を取り外しながら、可動軸１２Ａ（又は、図５の可動軸１２Ｂ，１２Ｃ）を外筒１１の先端口１１Ａから引き抜くことも、可動軸１２Ａ（又は、図５の可動軸１２Ｂ，１２Ｃ）の円周溝４１に樹脂リング４２を取り付けながら、可動軸１２Ａ（又は、図５の可動軸１２Ｂ，１２Ｃ）を外筒１１の先端口１１Ａから挿入することもできるので、所謂「ワンタッチ」による可動軸１２Ａ（又は、図５の可動軸１２Ｂ，１２Ｃ）の交換も確保することができる。
【００６６】
尚、図１に示すように、樹脂リング４２は、可動軸１２Ａの後端部４０の円周溝４１に取り付けられて、外筒１１の内周面に設けられた第１可動軸ガイド２４に当接するので、可動軸１２Ａの先端側のパッド５０Ａ（図５参照）に吸着された移送対象物（図示しない）が比較的重い場合には、外筒１１に対する可動軸１２Ａの抜け防止機能を果たすこともある。
【００６７】
また、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａにおいては、図１，２，６，８に示すように、パッド５０Ａ（図５参照）から吸気するための配管（図示しない）が接続される配管口３２を、外筒１１の後端口１１Ｂを塞ぐキャップ１３に設けており、従来技術の欄で説明した図１２の吸着パッドホルダ１００とは異なって、可動軸１２Ａに設けておらず、パッド５０Ａ（図５参照）から吸気するための配管（図示しない）からの外力が可動軸１２Ａに作用することがないので、外筒１１の内部における可動軸１２Ａの姿勢や移動に対して、パッド５０Ａ（図５参照）から吸気するための配管（図示しない）が悪影響を及ぼすことがない。
【００６８】
また、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａにおいては、図１，２，６，８に示すように、外筒１１の内部に気体を通わせるための通気孔３４を外筒１１に設けており、配管口３２に接続された配管（図示しない）から吸気されたときに、通気孔３４を介して、外筒１１の内部に気体を通わせることができるので、外筒１１の内部が真空状態となって、外筒１１に挿入されている可動軸１２Ａ自体が吸引されることはない。
【００６９】
さらに、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａにおいては、図１，２，６，８に示すように、キャップ１３から外筒１１の内部に突設する接続パイプ３３を備え、接続パイプ３３の後端口が配管口３２と連通するとともに、接続パイプ３３の先端口を接続口３０から可動軸１２Ａに内挿させることにより、配管口３２と接続口３０とを外筒１１の内部で連通させており、可動軸１２Ａの移動に際しても、接続パイプ３３を介して、配管口３２と接続口３０とが確実に連通されるので、可動軸１２Ａの先端側のパッド５０Ａ（図５参照）で移送対象物（図示しない）を吸着することをより高めることができる。
【００７０】
さらに、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａにおいては、図１，２，６，８に示すように、接続パイプ３３が可動軸１２Ａに対して非接触であり、可動軸１２Ａが移動しても、接続パイプ３３と可動軸１２Ａとの間に摩耗や摺動抵抗などが生じないので、可動軸１２Ａに作用する推力に対抗するだけで、可動軸１２Ａを移動させることができ、可動軸１２Ａが移動する際にパーティクルが発生することもない。
【００７１】
尚、本実施の形態は上記実施の形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａにおいては、図１，２，６，８に示すように、外筒１１の内周面に設けられた第１可動軸ガイド２４と、キャップ１３と第１可動軸ガイド２４とにより外筒１１に内蔵された樹脂リング４２と、可動軸１２Ａの後端側の外周面に設けられるとともに樹脂リング４２が装入される円周溝４１と、を備えたものであったが、所謂「ワンタッチ」で可動軸１２Ａを交換する観点からすれば、第１可動軸ガイド２４、樹脂リング４２、円周溝４１を備えなくてもよい。
【００７２】
従って、このような吸着パッドホルダ１Ａにおいては、可動軸１２Ａに作用する推力に対抗するだけで、外筒１１の先端口１１Ａから、可動軸１２Ａを引き抜いたり、挿入したりすることができる。さらに、外筒１１の先端口１１Ａから、可動軸１２Ａを一旦引き抜いた後に、再び挿入しても、あるいは、新たな可動軸１２Ｂ又は可動軸１２Ｃを挿入しても、いずれの可動軸１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃも、外筒１１の内部において、安定点となる初期位置（図６の状態）まで自動的に移動して停止する。
【００７３】
すなわち、このような吸着パッドホルダ１Ａにおいては、外筒１１の先端口１１Ａから可動軸１２Ａが外筒１１に挿入されると、外筒１１の第１磁極群２１と可動軸１２Ａの第２磁極群２２との間で磁気吸引力が作用し、外筒１１の内部では、可動軸１２Ａの第２磁極群２２が外筒１１の第１磁極群２１に対して磁気抵抗の最も小さい安定点となる初期位置（図６の状態）まで、可動軸１２Ａが自動的に移動して停止するので、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａは、可動軸１２Ａが磁気力で移動するものである。
【００７４】
さらに、このような吸着パッドホルダ１Ａにおいては、外筒１１の後端口１１Ａを塞ぐキャップ１３を備え、キャップ１３に配管口３２を設けるとともに、可動軸１２Ａの後端面３に通気路３１と連通する接続口３０を設けて、配管口３２と接続口３０とを外筒１１の内部で連通させたことにより、可動軸１２Ａの先端側のパッド５０Ａ（図５参照）で移送対象物（図示しない）を吸着することを確保しており、また、従来技術の欄で説明した図１２の吸着パッドホルダ１００とは異なって、可動軸１２Ａに対し、配管（図示しない）が接続されたり、図１２の止めネジ１１３が螺挿されることがないので、外筒１１の先端口１１Ａから、可動軸１２Ａを容易に引き抜くことができ、さらに、新たな可動軸１２Ｂ又は可動軸１２Ｃを挿入しても、外筒１１の内部において、安定点となる初期位置（図６の状態）まで、新たな可動軸１２Ｂ又は可動軸１２Ｃが自動的に移動して停止するので、所謂「ワンタッチ」で可動軸１２Ａを交換することができる。
【００７５】
また、本実施の形態の吸着パッドホルダ１Ａにおいては、図１，２，６，８に示すように、キャップ１３から外筒１１の内部に突設する接続パイプ３３を備え、接続パイプ３３の後端口が配管口３２と連通するとともに、接続パイプ３３の先端口を接続口３０から可動軸１２Ａに内挿させることにより、配管口３２と接続口３０とを外筒１１の内部で連通させており、これにより、可動軸１２Ａの先端側のパッド５０Ａ（図５参照）で移送対象物（図示しない）を吸着することをより高めていた。そして、このとき、接続パイプ３３は、可動軸１２Ａに対して非接触であるので、外筒１１の通気孔３４から外筒１１の内部に通わせた気体が、接続パイプ３３と可動軸１２Ａの接続口３０との間に形成される非接触空間を介して、配管口３２に接続された配管（図示しない）から、真空ポンプなどの真空発生器（図示しない）により吸気されることになる。
【００７６】
この点、図１１の吸着パッドホルダ１Ｂのようにして、可動軸１２Ａの後端面から外筒１１の内部に突設する接続パイプ３３を備え、接続パイプ３３の後端口が接続口３０と連通するとともに、接続パイプ３３の先端口をキャップ１３に内挿させることにより、配管口３２と接続口３０とを外筒１１の内部で連通させても、接続パイプ３３を介して、配管口３２と接続口３０とが確実に連通されるので、可動軸１２Ａの先端側のパッド５０Ａ（図５参照）で移送対象物（図示しない）を吸着することをより高めることができる。
【００７７】
さらに、図１１の吸着パッドホルダ１Ｂでは、接続パイプ３３とキャップ１３の間にシール材６１を介在させており、シール材６１により、接続パイプ３３とキャップ１３の間が密封されて、外筒１１の通気孔３４から外筒１１の内部に通わせた気体が、配管口３２に接続された配管（図示しない）から、真空ポンプなどの真空発生器（図示しない）により吸気されることはないので、吸気に費やされるエネルギーをより少なくした状態で、外筒１１に挿入されている可動軸１２Ａ自体の吸引を防止している。
【００７８】
【発明の効果】
本発明の吸着パッドホルダにおいては、外筒の先端口から可動軸が外筒に挿入されると、外筒の第１磁極群と可動軸の第２磁極群との間で磁気吸引力が作用し、外筒の内部では、可動軸の第２磁極群が外筒の第１磁極群に対して磁気抵抗の最も小さい安定点となる初期位置まで、可動軸が自動的に移動して停止するので、本発明の吸着パッドホルダは、可動軸が磁気力で移動するものである。
【００７９】
さらに、本発明の吸着パッドホルダにおいては、外筒の後端口を塞ぐキャップを備え、キャップに配管口を設けるとともに、可動軸の後端面に通気路と連通する接続口を設けて、配管口と接続口とを外筒の内部で連通させたことにより、可動軸の先端側のパッドで移送対象物を吸着することを確保しており、また、従来技術の欄で説明した吸着パッドホルダとは異なって、可動軸に対し、配管が接続されたり、止めネジが螺挿されることがないので、外筒の先端口から、可動軸を容易に引き抜くことができ、さらに、新たな可動軸を挿入しても、外筒の内部において、安定点となる初期位置まで、新たな可動軸が自動的に移動して停止するので、所謂「ワンタッチ」で可動軸を交換することができる。
【００８０】
また、本発明の吸着パッドホルダにおいては、パッドから吸気するための配管が接続される配管口を、外筒の後端口を塞ぐキャップに設けており、従来技術の欄で説明した吸着パッドホルダとは異なって、可動軸に設けておらず、パッドから吸気するための配管からの外力が可動軸に作用することがないので、外筒の内部における可動軸の姿勢や移動に対して、パッドから吸気するための配管が悪影響を及ぼすことがない。
【００８１】
また、本発明の吸着パッドホルダにおいては、外筒の内部に気体を通わせるための通気孔を外筒に設ければ、配管口に接続された配管から吸気されたときに、通気孔を介して、外筒の内部に気体を通わせることができるので、外筒の内部が真空状態となって、外筒に挿入されている可動軸自体が吸引されることはない。
【００８２】
さらに、本発明の吸着パッドホルダにおいては、キャップから外筒の内部に突設する接続パイプを備え、接続パイプの後端口が配管口と連通するとともに、接続パイプの先端口を接続口から可動軸に内挿させることにより、配管口と接続口とを外筒の内部で連通させれば、可動軸の移動に際しても、接続パイプを介して、配管口と接続口とが確実に連通されるので、可動軸の先端側のパッドで移送対象物を吸着することをより高めることができる。
【００８３】
さらに、本発明の吸着パッドホルダにおいては、接続パイプが可動軸に対して非接触であれば、可動軸が移動しても、接続パイプと可動軸との間に摩耗や摺動抵抗などが生じないので、可動軸に作用する推力に対抗するだけで、可動軸を移動させることができ、可動軸が移動する際にパーティクルが発生することもない。
【００８４】
一方、本発明の吸着パッドホルダにおいて、可動軸の後端面から外筒の内部に突設する接続パイプを備え、接続パイプの後端口が接続口と連通するとともに、接続パイプの先端口をキャップに内挿させることにより、配管口と接続口とを外筒の内部で連通させても、接続パイプを介して、配管口と接続口とが確実に連通されるので、可動軸の先端側のパッドで移送対象物を吸着することをより高めることができるが、ここで、接続パイプとキャップの間にシール材を介在させれば、シール材により、接続パイプとキャップの間が密封されて、外筒の通気孔から外筒の内部に通わせた気体が、配管口に接続された配管から吸気されることはないので、吸気に費やされるエネルギーをより少なくした状態で、外筒に挿入されている可動軸自体の吸引を防止することが可能となる。
【００８５】
また、本発明の吸着パッドホルダにおいては、外筒の内周面に設けられた可動軸ガイドと、キャップと可動軸ガイドとにより外筒に内蔵された樹脂リングと、可動軸の後端側の外周面に設けられるとともに樹脂リングが挿入される円周溝と、を備えて、可動軸の円周溝に取り付けられた樹脂リングが、外筒の内周面に設けられた可動軸ガイドに当接することにより、可動軸に一定値の大きさの推力を予め発生させれば、可動軸に作用する推力の大きさが、可動軸の初期位置からの移動距離に比例することを回避でき、常に、可動軸に一定値の推力が作用するので、パッドと移送対象物との間をより一層安定して密閉することができる。と同時に、可動軸の円周溝から樹脂リングを取り外しながら、可動軸を外筒の先端口から引き抜くことも、可動軸の円周溝に樹脂リングを取り付けながら、可動軸を外筒の先端口から挿入することもできるので、所謂「ワンタッチ」による可動軸の交換も確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の吸着パッドホルダの断面図である。
【図２】本発明の吸着パッドホルダの断面図である。
【図３】樹脂リングを示した図である。
【図４】パッドの断面図である。
【図５】可動軸の種類を示した図である。
【図６】本発明の吸着パッドホルダの断面図である。
【図７】図６のＡ−Ａ断面図である。
【図８】本発明の吸着パッドホルダの断面図である。
【図９】本実施の形態の外筒と可動軸との相対距離とそのときの可動軸による推力との関係を示した図である。
【図１０】樹脂リングを装入していない場合の外筒と可動軸との相対距離とそのときの可動軸による推力との関係を示した図である。
【図１１】本発明の吸着パッドホルダのその他の例の断面図である。
【図１２】従来の吸着パッドホルダの断面図である。
【符号の説明】
１Ａ  吸着パッドホルダ
１Ｂ  吸着パッドホルダ
２    可動軸の先端面
３    可動軸の後端面
１１  外筒
１１Ａ  外筒の先端口
１１Ｂ  外筒の後端口
１２Ａ  可動軸
１２Ｂ  可動軸
１２Ｃ  可動軸
１３  キャップ
２１  第１磁極群
２２  第２磁極群
２４  第１可動軸ガイド
３０  接続口
３１  通気路
３２  配管口
３３  接続パイプ
３４  通気孔
３６  吸引口
４１  円周溝
４２  樹脂リング
５０  パッド
６１  シール部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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