(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体との間に生じる空気流の上流側及び下流側に位置する流入端と流出端を有し、かつ前記記録媒体に対向する浮上面を有するディスク記録再生装置のスライダであって、
前記流出端側にパッド部を有し、
前記パッド部は、前記空気流が該パッド部の空気流入側から前記流出端に向かうに従って、該パッドの中心軸上に向かって前記空気流を集める部材を有し、
前記部材は、溝部を含むディスク記録再生装置のスライダ。
【請求項２】
前記溝部は、先端部を有し、前記先端部は、該パッド部の中心軸上の流出端側に向いている請求項１に記載のディスク記録装置のスライダ。
【請求項３】
前記パッドの中心軸上の後端に配置されたヘッドを有する請求項１または２に記載のディスク記録再生装置のスライダ。
【請求項４】
記録媒体との間に生じる空気流の上流側及び下流側に位置する流入端と流出端と、前記記録媒体に対向する浮上面と、前記流出端側に設けられたパッド部とを有し、
前記パッド部は、前記空気流が該パッド部の空気流入側から前記流出端に向かうに従って、該パッドの中心軸上に向かって前記空気流を集める部材を有し、前記部材は、溝部を含むディスク記録再生装置のスライダを用いて記録再生する記録再生方法。
【請求項５】
前記溝部は、先端部を有し、前記先端部は、該パッド部の中心軸上の流出端側に向いているスライダを用いて記録再生する請求項４に記載の記録再生方法。
【請求項６】
前記パッドの中心軸上の後端にヘッドが配置されている請求項４または５に記載の記録再生方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，ハードディスク装置等の記憶装置に用いられるスライダに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ハードディスク装置（以下「ＨＤＤ」という）は、記録媒体であるディスクの両面に対してデータの記録再生を行なうヘッドを備えている。ＨＤＤでは、ヘッドはスライダと称するセラミック材質等の支持体に実装されており、ディスクのデータ記録面に対して、所定の間隔を以て浮上した状態で支持されている。
【０００３】
ＨＤＤは、１枚あるいは数枚のディスクを包含している。それらのディスクは互いに接触しないように間隔を空けて主軸上に積み重ねられてある。
【０００４】
それぞれのディスクの表面は、見掛け上同一である。しかし実際には、それぞれの表面は、トラックと呼ばれるパッド区画に分割されており、そこにデータが記憶される。これらのトラックは、同心状の円として配置されている。ディスクは、金属、樹脂、ガラス等の種々の材料から作られている。ＣＤに用いられているような樹脂のディスクでは、レーザがデータを記憶し検索する。金属のディスクでは、一般にトランスとして知られている電磁石によってデータを記憶し検索する。
【０００５】
磁気ディスク上にデータを記憶するためには、一般にスライダと呼ばれる小さなセラミックのブロックを用いてディスク表面を磁化する。そのスライダは、いわゆる書込みヘッドである磁気変換器を内蔵している。更に特記すると、その書き込みヘッドを内蔵するスライダは、ディスク表面から数百ＮＭから数十ＮＭの高さに浮いて、ヘッドはいくつかの状態に励起され、その下に位置するトラックをデータに対応するように磁化する。
【０００６】
磁気ディスク上に記憶されたデータを検索するためには、読取りヘッドを内蔵するスライダをディスク上で浮動させる。この時、トラック上の磁化された部分によって、読取りヘッド内に電流が誘起される。この読取りヘッドから出力される電流を解析することによりコンピュータシステムは、磁気ディスク上に記憶されたデータを再生し利用することができる。いくつかのＨＤＤは、読取りと書込みの両方の動作をする変換器を用いている。また，読み取りヘッドとして最近は，磁気抵抗効果素子やインダクタンス素子が用いられている。
【０００７】
レコードと同様に、ディスクの両面も通常、データまたは他のＨＤＤの操作に必要な情報を記憶するために使われる。ディスクは積層されておりかつ互いに間隔をあけているため、積層されたディスクの一枚一枚の表面と裏面の両方に固有の読取り書込みヘッドを有している。これはあたかも、両面にそれぞれレコード針を備えたステレオが同時にレコードの両面を再生できるようなものである。
【０００８】
回転型のアクチュエータとリニア型のアクチュエータを備えた二種類のＨＤＤがある。回転型のアクチュエータは、レコードプレーヤのトーンアームに似たアクチュエータ・アームを持っている。トーンアームのように、そのアクチュエータ・アームは、読取り書込みヘッドを内蔵したスライダがディスク上の色々なトラックの上の位置に移動できるように回転する。
【０００９】
このようにして、読取り書込みヘッドは、データに対応するパターンにディスクの表面のトラックを磁化したり、トラック上の磁化されたパターンを検出したりするのに用いることができる。例えば、必要とされるデータが、あるディスクの二つの異なるトラック上に記憶されているとすると、磁気的にデータを表しているものを読取るために、アクチュエータ・アームは一方のトラックから他方のトラックへと回転する。この発明は、回転型アクチュエータ・ＨＤＤに関連するものである。
【００１０】
リニア型アクチュエータも、類似のアクチュエータ・アームを有しているが、位置の移動は、回転ではなく直線的動きによって行なわれる。
【００１１】
ＨＤＤのアクチュエータ・アームは、その先端にスライダが取り付けられており、その中に読取り書込みヘッドを内蔵している。また、スライダにはパッドが固定されている。ディスクが回転する時、パッドとディスク表面の間にエアが引きこまれ、それによってディスクからヘッドを離しておくための圧力がかかるようになっている。こうしてヘッドは、前記したように回転するディスク上を浮動する。その浮動高度は、エア潤滑膜の厚さであり、即ちディスク表面とヘッドとの距離である。
【００１２】
このように、パッドはエア・ベアリング表面（ＡＢＳ）をなし、ヘッドとディスク記憶面との間の自己加圧式のエア潤滑膜を形成しかつこれを維持している。この膜によって、摩擦及び、ディスク回転中にヘッドとディスクが機械的に接触した場合に生じる摩耗がなくなる。
【００１３】
従来のＡＢＳの設計は、基本的には、テーパーフラット・スライダとして知られているテーパー形状の二つのパッドから構成されている。二つのパッドのテーパーフラットな形状は、典型的には、それぞれがテーパー状の先端を持った二つ以上の平らなパッドを有している。それらのパッドは延長されて、テーパー状の先端がディスク表面の回転方向に向けられている。
【００１４】
このような設計は、ディスクとスライダの間のエアが、基本的にパッドの長さ方向に沿った一方向に流れるため、リニア型アクチュエータ・ＨＤＤにおいてはうまく動作する。他の言い方をするなら、このような設計は、スライダの下に粘性的に引き出されたエアが、スライダの前面から後方へパッドと平行な縦軸に沿って流れるように、ディスクに対してスライダを配置した場合にうまく動作するといえる。
【００１５】
テーパーフラット設計の考え方は、リニア型アクチュエータを用いた、アクセス速度の相対的に遅い、直径の大きいファイルの時代にさかのぼる。
【００１６】
今日のＨＤＤは、リニア型アクチュエータを用いた直径の大きいＨＤＤとは大きく異なっている。現在のファイルは、非常に小さくてデータのアクセスも高速である。現在のところ、ＨＤＤは、５．２５”、３．５０”、２．５０”、１．８０”の直径のディスクを処理し、速いアクセス速度を得るために回転型アクチュエータを備えている。
【００１７】
主に回転型アクチュエータを使用していることにより、スライダの下のエアフローはもはや本質的に一方向的ではなくなり、スライダの縦軸に関してさまざまな角度に広がっている。加えて、アクセス中のアクチュエータの高速探索動作が、ヘッドとディスクの間のフローが傾く原因となっている。
【００１８】
従って、近年の回転型アクチュエータ・ＨＤＤにおいては、エアフローは、もはやスライダの前方から後方へ移動する、あるいはわずかにそれから逸れる程度とは考えられない。
【００１９】
スライダの縦軸に対するエアフローの角度は、スキュー角と呼ばれる。エアフローが、スライダの外側の端または外にあたるようにアクチュエータ・アームが位置しているときは、傾斜角は正である。スライダの内側の端またはハブにあたるようにアクチュエータ・アームが位置しているときは、スキュー角は負である。
【００２０】
テーパーフラット設計は、そのスライダが回転型アクチュエータ用ではなくむしろリニア型アクチュエータ用に設計されているために、正または負の高スキュー角でかつアクセス速度の速いときに浮動高度の極端な低下が起きやすい。
【００２１】
また、エアフローのねじれによって、スライダが回転するために、浮動高度が全てのパッドの下で一定ではなくなる。
【００２２】
スライダの回転は、飛行機が方向を変える時に、機体を傾けるのに類似している。つまり、片方の翼を揚げて、もう一方の翼を下げる動きである。ＨＤＤにおいては、外パッドがディスク表面から離れるときに正の回転が生じ、外パッドがディスク表面に近付くときに負の回転が生じる。
【００２３】
ＨＤＤにおいては、スライダの浮動高度は、制御を必要とする重要なパラメータである。浮動高度が上昇すると、信号振幅が小さくなり、信号対雑音比が減少し、従って誤り率が高くなる。
【００２４】
浮動高度が低下すると、ヘッドがディスク表面と接触する可能性が高くなり、接触すれば、ヘッドとディスク表面双方の摩耗が進み、信頼性が低下し、さらにはＨＤＤの故障の原因ともなる。故障を引き起こすような極端なディスク表面との接触は、クラッシュと呼ばれ、その結果データは再生不能になる。
【００２５】
スライダの回転の制御もまた重要である。回転によってスライダの端部分が低くなると、ヘッドがディスク表面と接触する可能性が高くなる。スライダの一方の端部分を持ち揚げるような回転が起きると、読取り書込みヘッドのディスク表面からの距離が長くなり、浮動高度が高くなったときにデータエラーを生じるのと同様にデータエラーの原因となる。このような回転の悪影響は、読取り書込みヘッドがその持ち揚げられる端部分に装着されている場合に、更にひどくなる。
【００２６】
従来の技術は，特開平８―２５５３３１号公報に示されている。特開平８−２５５３３１号公報では，パッドのテーパ部の後端は，パッド幅が減少する位置にあるように構成し，加工公差が浮上特性に影響しにくくしている。
【００２７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，近年のＨＤＤの記録密度の向上とともに浮上量が極小化し，さらにスキュー角の変化速度（シーク速度）が高速化している。特開平８―２５５３３１号公報に示された従来の構成では，シーク速度の高速化に伴い，浮上量の変化量が大きく，スライダとディスクの接触による摩耗を発生させるおそれが有るという課題がある。
【００２８】
本発明の目的は、浮上量が極小化しても浮上量変動の小さいエア・ベアリング表面のスライダを提供することである。
【００２９】
本発明の他の目的は、浮上量が極小化してもディスクとスライダのＡＢＳとの接触を防止でき摩耗の抑制が図れるスライダを提供することである。
【００３０】
本発明のさらに他の目的は、浮上量が極小化できるスライダを提供することである。
【００３１】
本発明のさらに他の目的は、ディスク停止時にスライダが停止し，ディスク始動時およびディスク停止動作中に発生する吸着力を抑制することのできるスライダを提供することである。
【００３２】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るディスク記録再生装置のスライダは、記録媒体との間に生じる空気流の上流側及び下流側に位置する流入端と流出端を有し、かつ前記記録媒体に対向する浮上面を有するディスク記録再生装置のスライダであって、前記流出端側にパッド部を有し、
前記パッド部は、前記空気流が該パッド部の空気流入側から前記流出端に向かうに従って、該パッドの中心軸上に向かって前記空気流を集める部材を有し、前記部材は、溝部を含み、そのことにより上記目的が達成される。
【００３３】
前記溝部は、先端部を有し、前記先端部は、該パッド部の中心軸上の流出端側に向いていてもよい。
前記パッドの中心軸上の後端に配置されたヘッドを有してもよい。
【００３６】
本発明に係るディスク記録再生方法は、記録媒体との間に生じる空気流の上流側及び下流側に位置する流入端と流出端と、前記記録媒体に対向する浮上面と、前記流出端側に設けられたパッド部とを有し、前記パッド部は、前記空気流が該パッド部の空気流入側から前記流出端に向かうに従って、該パッドの中心軸上に向かって前記空気流を集める部材を有し、前記部材は、溝部を含むディスク記録再生装置のスライダを用いて記録再生し、そのことにより上記目的が達成される。
【００３７】
前記溝部は、先端部を有し、前記先端部は、該パッド部の中心軸上の流出端側に向いているスライダを用いて記録再生してもよい。
前記パッドの中心軸上の後端にヘッドが配置されていてもよい。
【００３９】
本発明のある局面に従えば、スライダの浮上量が低い場合であっても，スライダの下面に生ずる圧力の発生を一定量確保でき，浮上量を安定的に保つことができる。
【００４０】
本発明の他の局面に従えば、スライダの浮上量を低く保つことができ，さらに周辺の圧力の変動による浮上量変動が少ない。
【００４１】
本発明のさらに他の局面に従えば、スライダの浮上量が低い場合であっても，スライダの下面に生ずる圧力の発生を一定量確保でき，浮上量を安定的に保つことができる。さらに，ディスク停止時の吸着力の抑制が行える。
【００４２】
【発明の実施の形態】
以下，本発明の実施の形態について説明する。
【００４３】
（実施の形態１）
図１は、ＨＤＤ１００の内部の斜視図である。図２は，ＨＤＤ１００の断面図である。ＨＤＤ１００は、ハウジングカバー（図示せず）により覆われている。アクチュエータ軸２０に回動可能に取り付けられたアクチュエータ・アームの組５のそれぞれの先端には，サスペンション１４が取り付けられている。それぞれのサスペンション１４の先端には、磁気変換器あるいは読取り書込みヘッド９９（図１および図２には図示せず）を運ぶスライダ３が取り付けられている。
【００４４】
ハウジング７内には主軸１が装着されている。主軸１には、多数のディスク２が回転可能に間隔をあけて取り付けられている。ディスク２は、モーター８によって回転する主軸１とともに矢印Ａで示す方向に回転する。スライダ３の中にあって、アクチュエータ・アームの組５で位置決めされるヘッド９９（図示せず）によって、情報がディスク２上に書込まれあるいはディスク２から読取られる。
【００４５】
ディスク２のそれぞれの表面と裏面の両方にスライダ３が設けられており，各ディスク２の表面と裏面に情報が書き込まれあるいはディスク２から読み取られる。ボイスコイルモータ６によって、アクチュエータの組５に動力があたえられ、アクチュエータアーム５はアクチュエータ軸２０の周りを揺動する。
【００４６】
スライダ３とそれに一体化された磁気変換器（図示せず）は、データの磁気的表示をディスク２上のどのトラックにでも記憶できるようにディスク２の表面上を動く。ＨＤＤ１００中では、この変換器の動きは、アクチュエータ軸２０の周りの回転によるものである。アクチュエータ・アクチュエータアーム５を回転させることで、スライダ３及びその中の変換器は、ディスク２の表面上のどのトラックの上にでも位置することができる。
【００４７】
図３は、ディスク２の中の一枚を上から見た詳細図である。ＨＤＤの技術としてよく知られているように、それぞれのディスクには、磁気情報が記録される同心上のトラックの列がある。内直径（ＩＤ）１１は、データが記憶される最も内側の同心トラックである。外直径（ＯＤ）１０は、データが記憶される最も外側の同心トラックである。
【００４８】
図４（ａ）に、実施の形態１のスライダ３のエア・ベアリング表面（以下「ＡＢＳ」という）の形状を示す。ＡＢＳは、スライダ３の下面に形成され、ディスク表面に向き合っている。ＡＢＳの形状は、型成形、エッチング、レーザ切削加工、イオン粉砕加工、汎用の機械加工、あるいは他の種々の方法によって形成される。
【００４９】
スライダ３には、流入端２１、流出端２２、内周側端２３、外周側端２４がある。図４（ａ）に示すように、スライダ３には、内パッド３１、外パッド３２、流出端パッド３３が設けられている。
【００５０】
また，内パッド３１，外パッド３２から一段高さが低い流入端リセス４１が設けられ，さらに高さの低い中心リセス４３が設けられている。流入端リセス４１には，内パッド３１と外パッド３２が設けられており，内パッド３１と外パッド３２の流入端２１側には一段低い流入端リセス４１が位置している。
【００５１】
流入端２１は，ディスク表面が回転する方向に向いている。回転するディスク２は、粘性効果によって、空気を流入端リセス４１の下を通過し，内パッド３１と外パッド３２の中へ押し込み、それによって、それぞれのパッドの下方にディスク方向に圧力を生じ、その結果エア潤滑膜を形成する。スライダ３のディスク２方向に作用する圧力を正圧呼び，スライダ３の上方に作用する圧力を負圧と呼ぶ。
【００５２】
中心リセス４３は、エア潤滑膜効果によって揚力が生じないように、十分な深さにつくられている。記録用変換器あるいは読取り書込みヘッド９９は、通常、流出端パッド３３の後端に位置している。
【００５３】
流入端リセス４１は，わずかな揚力が生じるように所定量の深さでつくられる。本実施の形態では，流入端リセス４１は、０．２μｍの深さであり，中心リセス４３は、１μｍの深さである。
【００５４】
図４（ａ）には、縦軸６０も示している。スライダ３の縦軸６０に対するエアフローの角度は、スキュー角と呼ばれており、回転アクチュエータ軸２０へのアクチュエータアーム５の取付け位置に依存する。
【００５５】
スキュー角はＩＤからＯＤまでの間で大きく変化する。また、スキュー角は、正にも負にもなる。矢印Ｅで示すように，エアフローがスライダ３の外端２４にあたるようにアクチュエータアーム５が位置している場合は、スキュー角は正であるという。矢印Ｆで示すようにエアフローがスライダ３の内端２３にあたるようにアクチュエータアーム５が位置している場合は、スキュー角は負であるという。
【００５６】
実施の形態１においては、回転型アクチュエータ・アクチュエータアーム５は、ＯＤにおいてスキューが正の最大角度になり、ＩＤにおいて負の最小角度となるように設置されている。アクチュエータアーム５の回動により，空気の流入方向が異なり，かつ全てのパッドの下で流入速度も一定ではなくなる。
【００５７】
実施の形態１においては，ディスク２の回転数は，一定であり，ＩＤとＯＤのディスク半径変動より，スライダの下方でのディスク速度が異なり，空気の流速が異なっている。ＩＤでは，最低速度，ＯＤでは最高速度となる。
【００５８】
内パッド３１，外パッド３２，流出端パッド３３では，エア潤滑膜によりスライダの下方に正圧が発生する。また，流入端リセス４１の稜線８１，８２，８３，８４および８５では負圧が発生する。スライダ３は，内パッド３１，外パッド３２，流出端パッド３３と流入端リセス４１等で発生するエア潤滑膜による正圧とエア潤滑膜による負圧とサスペンション１４による押し付け力によりつりあい，ディスク２から所定量浮上して保持される。
【００５９】
流出端パッド３３の空気流入側には，溝部７６が設けられている。溝部７６は，くの字の形状に形成されている。空気流入側稜線７３側から流出端パッド３３の下方に流入した空気は，溝部７６により中心軸６０に向かって流れ、相対的に中心軸６０上での空気流量を増加させる。
【００６０】
中心軸６０側に流れ込んだ空気は，さらに溝部７６の閉じたくの字の先端部の壁面に衝突し，ディスク２側に流れ込み圧力を発生させる。さらにヘッドの９９下方に流れ込み，ヘッド９９の下方での圧力を増加させる。
【００６１】
したがって，ヘッド９９の下方の圧力は，溝部７６がない場合に比較して高く保つことが可能であり，浮上量が低い場合であっても高い圧力が保てるため，安定的に一定の浮上量が保てるばかりでなく，ディスク２とスライダ３のＡＢＳとの接触も防止できる。
【００６２】
実施の形態１では，溝部７６の深さは，０．０６ミクロンである。溝部７６の幅は，２０ミクロンである。溝部７６と溝部７６の間隔は，３０ミクロンである。
【００６３】
また，実施の形態１でディスクが停止し，スライダがディスク上に停止する際に，スライダ３には溝部７６を設けてあるため，溝部７６の部分はディスクに接触せず，接触面積を減少させることができる。このため，ディスクとスライダの接触による吸着力を減少させることができる。
【００６４】
さらに，実施の形態１でディスク２が停止し，スライダ３がディスク２上に停止する際に，ディスク表面に設けられた潤滑剤がスライダに付着した場合，スライダ３には溝部７６を設けてあるため，余分な潤滑剤が溝部７６に流入し，適度な潤滑作用をディスクとスライダ間で保つことができる。
【００６５】
図４（ａ）に示される溝部７６の溝パターンはあくまで例示であり、流入端から流出端に向かう空気流を集める限り、任意の溝パターンを採用し得る。例えば、図４（ｂ）および図４（ｃ）に示す溝部７６Ａまたは溝部７６Ｂに示される溝パターンを採用しても良い。
【００６６】
図６に潤滑剤の膜厚と吸着力との関係を示す。一点鎖線は，溝がない場合であり，実線は，溝がある場合の吸着力である。溝がある場合は，ない場合に比較して，潤滑剤の膜厚に依存せず，吸着力を低く保つことができることがわかる。
【００６７】
（実施の形態２）
図７は、実施の形態２のスライダの記録再生時の状態を模式的に現した図である。図８は，実施の形態２のスライダのＡＢＳの形状の一例を示す。実施の形態１と符号は同じであり，実施の形態１と異なる部分のみ説明する。
【００６８】
スライダ３Ａには、流入端２１、流出端２２、内周側端２３、外周側端２４がある。図８に示すように、スライダ３Ａには、内パッド３１、外パッド３２、流出端パッド３３が設けられている。
【００６９】
また，内パッド３１，外パッド３２から一段高さが低い流入端リセス４１が設けられ，さらに高さの低い中心リセス４３が設けられている。流入端リセス４１には，内パッド３１と外パッド３２が設けられており，内パッド３１と外パッド３２の流入端２１側には一段低い流入端リセス４１が位置している。
【００７０】
流入端２１は，ディスク表面が回転する方向に向いている。回転するディスク２は、粘性効果によって、空気を流入端リセス４１の下を通過し，内パッド３１と外パッド３２の中へ押し込み、それによって、それぞれのパッドの下方にディスク方向に圧力を生じ、その結果エア潤滑膜を形成する。スライダ３のディスク２方向に作用する圧力を正圧呼び，スライダ３の上方に作用する圧力を負圧と呼ぶ。
【００７１】
ディスク２の表面には磁性層５８が形成されその上に保護膜５９さらに潤滑膜６０が形成されている。
【００７２】
回転するディスク２の表面の潤滑膜６０と流出端パッド３３とは接触しながら，高速で回転する。潤滑剤の粘性効果によって、潤滑膜６０とスライダ３との間には圧力が発生する。その結果、潤滑剤スライダが潤滑剤中で浮上する。
【００７３】
中心リセス４３は、エア潤滑膜効果によって揚力が生じないように、十分な深さにつくられている。記録用変換器あるいは読取り書込みヘッド９９は、通常、流出端パッド３３の後端に位置している。
【００７４】
流入端リセス４１は，エア潤滑膜効果によりわずかな揚力が生じるように所定量の深さでつくられる。実施の形態２では，流入端リセス４１は，０．２μｍの深さであり，中心リセス４３は，１μｍの深さである。
【００７５】
内パッド３１，外パッド３２ではエア潤滑膜によりスライダの下方に正圧が発生する。また，流入端リセス４１の稜線８１，８２，８３，８４，８５では負圧が発生する。
【００７６】
流出端パッド３３では，潤滑剤による粘性効果により潤滑剤浮上力がスライダ３は，内パッド３１，外パッド３２，と流入端リセス４１等で発生するエア潤滑膜による正圧と，流出端パッド３３で生ずる潤滑剤浮上力とサスペンション１４による押し付け力とによりつりあい，ディスク２から所定量浮上して保持される。
【００７７】
実施の形態１では，スライダ３は空気流によりディスクから浮上していたが，実施の形態２では，スライダ３ＡはＧで示す方向に進行しながら流入側のパッドは浮上しているが，流出端側のパッド３３はディスク表面に設けられた潤滑剤と接触している。
【００７８】
図８に示すように，流出端側のパッド３３は，実施の形態１に比較して十分小さく形成されている。実施の形態２では，スライダの幅１ｍｍに対し流出端のパッド３３の幅は２０ミクロンであり，長さは，３０ミクロンである。
【００７９】
このように流出端側のパッド３３を十分小さく設定することにより，潤滑剤との接触により発生する潤滑剤の液体浮上力によりスライダ３Ａは潤滑剤中で浮上する。
【００８０】
このとき潤滑剤の下には，保護膜および磁性層が形成されているが，潤滑剤浮上により保護膜および磁性層とスライダとの接触は起こりにくい。潤滑剤による浮上力を利用しているため，周辺の圧力環境による浮上量変動が起こりにくい。
【００８１】
図９に周辺の圧力が減圧された際の磁性層とスライダのヘッドとの間隔を示す。一点鎖線はパッド３３がディスクの潤滑剤から離れてエア潤滑により浮上している場合であり，実線が実施の形態２による、潤滑剤に接触し潤滑剤による粘性力により潤滑剤中で浮上している場合である。
【００８２】
実施の形態２によれば，圧力が変化しても浮上量の変化が抑制される。これは，エア潤滑は大気圧の影響を受けるが潤滑剤による浮上圧力は大気圧の影響を受け難いためである。
【００８３】
また，図９で用いた潤滑剤の厚みは，空気潤滑の場合は６ｎｍであり，潤滑剤による粘性利用の場合は，８ｎｍである。図９に示すように、空気の潤滑膜を利用する場合に比較して，圧力の影響を考慮せずにすみ磁性層とヘッドの間隔を低くたもつことができる。
【００８４】
なお，実施の形態２のスライダのＡＢＳ形状は，これに限るものではなく，図１０、図１１に示すような形状であってもよい。図１０は本実施の形態２の他のスライダ３Ｃの表面の形状を示す図であり，流出端パッド３３には溝が形成されている。
【００８５】
図１１には流出端パッドの拡大図を示す。このように溝形成を行うことにより，潤滑剤が溝にそって流れ，溝の中心軸上では高い潤滑剤の圧力が作用する。この潤滑剤の圧力により，容易にスライダが潤滑剤中で浮上する。
【００８６】
（実施の形態３）
図１２（ａ）に実施の形態３のスライダ３ＤのＡＢＳ形状を示す。ＡＢＳは、スライダ３Ｄの下面に形成され、ディスク表面に向き合っている。ＡＢＳの形状は、型成形、エッチング、レーザ切削加工、イオン粉砕加工、汎用の機械加工、あるいは他の種々の方法によって形成される。以下実施の形態１および実施の形態２と共通する部分は説明を省略する。
【００８７】
スライダ３には、流入端２１、流出端２２、内周側端２３、外周側端２４がある。図１２（ａ）に示すように、スライダ３には、内パッド３１、外パッド３２、流出端パッド３３が設けられている。また，内パッド３１，外パッド３２から一段高さが低い流入端リセス４１が設けられ，さらに高さの低い中心リセス４３が設けられている。
【００８８】
流入端リセス４１には，内パッド３１と外パッド３２が設けられており，内パッド３１と外パッド３２の流入端２１側には一段低い流入端リセス４１が位置している。流入端２１は，ディスク表面が回転する方向に向いている。
【００８９】
回転するディスク２は、粘性効果によって、空気を流入端リセス４１の下を通過し，内パッド３１と外パッド３２の中へ押し込み、それによって、それぞれのパッドの下方にディスク方向に圧力を生じ、その結果エア潤滑膜を形成する。スライダ３のディスク２方向に作用する圧力を正圧呼び，スライダ３の上方に作用する圧力を負圧と呼ぶ。
【００９０】
中心リセス４３は、エア潤滑膜効果によって揚力が生じないように、十分な深さにつくられている。記録用変換器あるいは読取り書込みヘッド９９は、通常、流出端パッド３３の後端に位置している。
【００９１】
流入端リセス４１は，わずかな揚力が生じるように所定量の深さでつくられる。実施の形態３では，流入端リセス４１は，０．２μｍの深さであり，中心リセス４３は，１μｍの深さである。
【００９２】
内パッド３１，外パッド３２，流出端パッド３３では，エア潤滑膜によりスライダの下方に正圧が発生する。また，流入端リセス４１の稜線８１，８２，８３，８４，８５では負圧が発生する。
【００９３】
スライダ３は，内パッド３１，外パッド３２，流出端パッド３３と流入端リセス４１等で発生するエア潤滑膜による正圧とエア潤滑膜による負圧とサスペンション１４による押し付け力によりつりあい，ディスク２から所定量浮上して保持される。
【００９４】
流出端パッド３３の空気流入側には，突起９２が設けられている。突起９２は，流出端パッド３３からディスク方向に突出するように形成される。突起９２は，ＤＬＣのスパッタ等で形成される。
【００９５】
また本実施の形態では突出量は，流出端パッド表面から３０ｎｍである。空気流入側稜線７３側から流出端パッド３３の下方に流入した空気は，突起９２により中心軸６０に向かって流れ相対的に中心軸６０上での空気流量を増加させる。
【００９６】
中心軸６０側に流れ込んだ空気は，さらに突起９２の閉じたくの字の先端部の壁面に衝突し，ディスク２側に流れ込み圧力を発生させる。したがって，ヘッド９９の下方の圧力は，溝がない場合に比較して高く保つことが可能であり，浮上量が低い場合であっても高い圧力が保てるため，安定的に一定の浮上量が保てるばかりでなく，ディスク２とスライダ３のＡＢＳとの接触も防止できる。
【００９７】
また，実施の形態３でディスクが停止し，スライダがディスク上に停止する際に，スライダ３には突起９２を設けてあるため，突起９２の部分と稜線７１稜線７２のみがディスクに接触し，スライダとディスクの接触面積を減少させることができる。このため，ディスクとスライダの接触による吸着力を減少させることができる。
【００９８】
さらに，実施の形態３でディスク２が停止し，スライダ３がディスク２上に停止する際に，ディスク表面に設けられた潤滑剤が突起９２にしか付着せず，スライダ３の流出端パッド３３の全面に潤滑剤が付着しにくい。
【００９９】
図１２（ａ）に示される突起９２のパターンはあくまで例示であり、流入端から流出端に向かう空気流を集める限り、任意のパターンを採用し得る。例えば、図１２（ｂ）に示す突起９２Ａに示されるパターンを採用しても良い。図１２（ｂ）に示すように突起部は複数あってもよい。
【０１００】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば，スライダとディスクの接触による摩耗を抑制できるという優れた効果を有する。
【０１０１】
また本発明によれば、ディスク停止時にスライダが停止し，ディスク始動時およびディスク停止動作中、発生する吸着力を抑制することのできる優れた効果を有する。
【０１０２】
更に本発明によれば、浮上量が極小化できるスライダを提供できるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＨＤＤの斜視図。
【図２】ＨＤＤの断面図。
【図３】ディスク２の中の一枚を上から見た詳細図。
【図４】実施の形態１のスライダ３のエア・ベアリング表面（ＡＢＳ）の形状を示す図。
【図５】実施の形態１のスライダ３の断面図。
【図６】実施の形態１の潤滑剤の膜厚と吸着力の関係を示すグラフ。
【図７】実施の形態２のスライダの記録再生時の状態を模式的に現した図。
【図８】実施の形態２の実施の形態２のスライダのＡＢＳ形状を示す図。
【図９】実施の形態２の周辺圧力環境と浮上量の関係を示すグラフ。
【図１０】実施の形態２の他のスライダのＡＢＳ形状を示す図。
【図１１】実施の形態２の他のスライダの流出端パッドの拡大図。
【図１２】実施の形態３のスライダのＡＢＳ形状を示す図。
【符号の説明】
１  主軸
２  ディスク
３  スライダ
５  アクチュエータ・アームの組
６  ボイスコイルモータ
７  ハウジング
８  モーター
１４  サスペンション
２０  アクチュエータ軸
９９  ヘッド
１１  内直径（ＩＤ）
１０  外直径（ＯＤ）
２１  流入端
２２  流出端
２３  内周側端
２４  外周側端
３１  内パッド
３２  外パッド
３３  流出端パッド
４１  流入端リセス
４３  中心リセス
５９  保護膜
６０  潤滑膜
９２  突起
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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