(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂タブレットを整列して送り出すタブレット送出し部と、
前記樹脂タブレットの保持穴が長手方向に複数形成された一対のタブレットホルダーと、
前記タブレット送出し部より送り出された前記樹脂タブレットを装填位置にある前記タブレットホルダーの保持穴に装填するタブレット装填部と、
前記樹脂タブレットの装填位置と前記タブレットホルダーがローダーと対峙した受渡し位置との間で前記一対のタブレットホルダーを交互に往復動させて前記受渡し位置において前記保持穴に各々保持された樹脂タブレットが前記ローダーに一括して受け渡される一対のタブレット受渡し機構とを備え、
前記受渡し位置において、前記タブレット受渡し機構により一方のタブレットホルダーに装填された樹脂タブレットを一括して前記ローダーへ受け渡すと共に、前記装填位置において、前記タブレット装填部より樹脂タブレットを他方のタブレットホルダーの前記複数の保持穴に順次装填する動作を繰り返すことを特徴とする樹脂タブレット供給装置。
【請求項２】
前記タブレットホルダーを保持穴のピッチ間隔でピッチ送りするホルダー送り機構を備えており、前記タブレット送出し部より前記樹脂タブレットがほぼ同一の高さ位置を保って送り出されて前記タブレットホルダーの保持穴へ装填され、該樹脂タブレットが装填される度に前記タブレットホルダーをピッチ送りする動作を繰り返すことを特徴とする請求項１記載の樹脂タブレット供給装置。
【請求項３】
前記タブレット装填部は、前記タブレット送出し部から樹脂タブレットを保持して待機位置へ直線的に送り出す送りハンドを備えており、該送りハンドは次の樹脂タブレットを前記待機位置へ送り出す際に、先に待機位置へ供給された前記樹脂タブレットを前記送りハンドに設けられたプッシャーにより送り出して前記タブレットホルダーの保持穴へ装填することを特徴とする請求項１又は２記載の樹脂タブレット供給装置。
【請求項４】
前記タブレット送出し部から前記送りハンドにより送り出された待機位置には、不良樹脂タブレットを排出可能な排出ステージが開閉可能に設けられていることを特徴とする請求項３記載の樹脂タブレット供給装置。
【請求項５】
請求項１〜４のうちいずれか１項記載の樹脂タブレット供給装置より供給された樹脂タブレットがローダーに保持されてプレス部へ搬入され、該プレス部より成形品がアンローダーに保持されて成形品収納部へ搬出されて樹脂封止が行われることを特徴とする樹脂封止装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する利用分野】
本発明は樹脂タブレットが装填されたタブレットホルダーをローダーと対峙した受渡し側へ移動させて樹脂タブレットを受渡す樹脂タブレット供給装置及び該樹脂タブレット供給装置を備えた樹脂封止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置として用いられる樹脂封止装置には、被成形品供給部よりローダーにより被成形品がプレス部に搬入され、アンローダーにより成形品がプレス部より取出されて成形品収納部へ収納されるようになっている。被成形品供給部は、リードフレーム、樹脂基板などの基板を収納する供給マガジンよりプッシャーなどにより供給テーブルに送出する基板供給部と、ポットピッチに応じて保持穴が形成されたタブレットホルダーに樹脂タブレットを保持して供給テーブル上に供給する樹脂タブレット供給部とを備えている。基板供給部及び樹脂タブレット供給部より供給テーブルに供給された基板及び樹脂タブレットは、上方に待機しているローダーに受け渡される。ローダーは、基板及び樹脂タブレットを保持して型開きしたいずれかのプレス部に搬入し、該プレス部はこれらをクランプして樹脂封止が行われる。
【０００３】
この樹脂タブレット供給部の装置構成について、図６の模式図を参照して説明する。樹脂タブレットｔは、タブレット保管部１０１に保管されており、ボールフィーダーなどのタブレット送出し部１０２により整列しながら図６の矢印方向に送出される。先頭側の樹脂タブレットｔは、ハンドＰにより保持されて検査ステージ１０３に一旦載置されて良／不良の検査（樹脂量の検査）が行われ、良品であればハンドＱにより保持されてタブレットホルダー１０４の保持穴１０５に装填される。タブレットホルダー１０４の保持穴１０５は、図示しないモールド金型のポットピッチに対応して形成されている。また検査の結果不良品であれば、ハンドＱに保持されてタブレット排出部１０６へ排出される。
【０００４】
タブレットホルダー１０４は、ハンドＱにより樹脂タブレットｔを装填される装填位置とローダー１０７に樹脂タブレットｔを受け渡す受渡し位置との間を図示しない移動機構により往復移動するようになっている。ローダー１０７は、図示しない基板供給部から供給された基板とタブレットホルダー１０４より供給された樹脂タブレットｔを受け渡されると、各プレス部１０８の型開きしたモールド金型１０９へ搬入する動作を繰り返す。
【０００５】
ここでプレス部１０８を複数備えた場合の樹脂タブレット供給動作のサイクルについて図７に例示する。図７はプレス部１０８を４プレスまで増設した場合のローダー１０７及びアンローダー（図示せず）の各プレス部１０８へ進退するタイミング及びローダー１０７が樹脂タブレットを受け渡されるタイミングを示している。また、第１のプレス部に樹脂タブレットｔを受け渡してから第２のプレス部に樹脂タブレットｔを受け渡すまでの時間間隔タイミングをＴとして表記した。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
近年、半導体パッケージの生産調整や多品種少量生産の要請に伴い、プレス部をモジュール化して増減可能な樹脂封止装置が開発され実用化されている。このため、半導体パッケージの生産量を増やす場合には、被成形品供給部からローダー１０７により基板や樹脂タブレットをプレス部１０８へ高速に搬入する搬入動作が求められている。よって、ローダー１０７に受け渡される基板や樹脂タブレットの供給動作が迅速に行われる必要がある。
【０００７】
図６に示す樹脂タブレット供給装置の場合、タブレット送出し部１０２より供給された樹脂タブレットｔがタブレットホルダー１０４の保持穴１０５に装填されるまで、ハンドＰ及びハンドＱにより各々一旦保持されているため、複数ハンドによる保持動作が介在するため樹脂タブレットｔの供給に時間がかかる。また、装置レイアウトを変更して樹脂タブレットｔの移送経路を変更するとすれば、ハンドに複雑な動作が必要になり時間がかかる。
また、タブレットホルダー１０４がローダー１０７に樹脂タブレットｔを受け渡している間は、タブレット送出し部１０２から樹脂タブレットｔの送り動作を停止させており、待ち時間が生じて効率的な樹脂タブレットｔの供給が行えない。
また、検査ステージ１０３を設けて樹脂タブレットｔの良／不良の検査を行い、不良品であればハンドＱにより保持してタブレット排出部１０６へ排出するため樹脂タブレットｔの良／不良によって移送経路が異なるためタブレット移送動作に時間がかかる。
また、プレス部１０８が１プレスより２プレスに増設した場合には、図７に示す樹脂タブレットｔの受渡しサイクルＴをＴ→Ｔ´（Ｔ＜Ｔ´)に適宜調節して樹脂タブレットｔの供給動作もポット数が少なければ間に合わせることが可能であるが、３プレス更には４プレスとプレス部１０８を増設した場合には、受渡しサイクルＴの値が短くなるため、樹脂タブレットｔの供給が追従できずマシンサイクルが遅延してプレス部１０８の増加は困難になる。
【０００８】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、樹脂タブレットの供給動作を高速に処理できる樹脂タブレット供給装置及び該樹脂タブレット供給装置を用いて、プレス部の増設に伴う成形品の増産に対応可能にした樹脂封止装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は次の構成を備える。
即ち、樹脂タブレットを整列して送り出すタブレット送出し部と、前記樹脂タブレットの保持穴が長手方向に複数形成された一対のタブレットホルダーと、前記タブレット送出し部より送り出された前記樹脂タブレットを装填位置にある前記タブレットホルダーの保持穴に装填するタブレット装填部と、前記樹脂タブレットの装填位置と前記タブレットホルダーがローダーと対峙した受渡し位置との間で前記一対のタブレットホルダーを交互に往復動させて前記受渡し位置において前記保持穴に各々保持された樹脂タブレットが前記ローダーに一括して受け渡される一対のタブレット受渡し機構とを備え、前記受渡し位置において、前記タブレット受渡し機構により一方のタブレットホルダーに装填された樹脂タブレットを一括して前記ローダーへ受け渡すと共に、前記装填位置において、前記タブレット装填部より樹脂タブレットを他方のタブレットホルダーの前記複数の保持穴に順次装填する動作を繰り返すことを特徴とする。
また、前記タブレットホルダーを保持穴のピッチ間隔でピッチ送りするホルダー送り機構を備えており、前記タブレット送出し部より前記樹脂タブレットがほぼ同一の高さ位置を保って送り出されて前記タブレットホルダーの保持穴へ装填され、該樹脂タブレットが装填される度に前記タブレットホルダーをピッチ送りする動作を繰り返すことを特徴とする。
また、前記タブレット装填部は、前記タブレット送出し部から樹脂タブレットを保持して待機位置へ直線的に送り出す送りハンドを備えており、該送りハンドは次の樹脂タブレットを前記待機位置へ送り出す際に、先に待機位置へ供給された前記樹脂タブレットを前記送りハンドに設けられたプッシャーにより送り出して前記タブレットホルダーの保持穴へ装填することを特徴とする。
また、前記タブレット送出し部から前記送りハンドにより送り出された待機位置には、不良樹脂タブレットを排出可能な排出ステージが開閉可能に設けられていることを特徴とする。
【００１０】
また、樹脂封止装置においては、上述した樹脂タブレット供給装置より供給された樹脂タブレットがローダーに保持されてプレス部へ搬入され、該プレス部より成形品がアンローダーに保持されて成形品収納部へ搬出されて樹脂封止が行われることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について添付図面と共に詳述する。樹脂封止装置は、被成形品をプレス部に搬入するローダーと、プレス部より成形品を成形品取出部へ取り出すアンローダーとが移動レール部を共用して樹脂封止するように構成されている。
図１は樹脂タブレット供給装置の模式平面図、図２は図１の矢印Ｊ方向から見た側面模式図、図３は図２の他の構成を示す模式図、図４（ａ）（ｂ）は図１の矢印Ｋ−Ｋ方向の断面模式図及び矢印Ｌ方向から見た部分模式図、図５は樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【００１２】
図５において、先ず樹脂封止装置の概略構成について説明する。樹脂封止装置は被成形品供給部である被成形品供給ユニットＡと成形品収納部である成形品収納ユニットＢとの間に各種機能を備えた増設レールユニットＣを分離可能に備えている。被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣのそれぞれが移動レール部と台座部を有しており、該台座部には各種機能部を備えることが可能である。各種機能部として、供給部、整列部、受渡部、取出部、ディゲート部、収納部、プレス部、フィルムユニット等が適宜設置されている。以下各部の構成について説明する。
【００１３】
［被成形品供給ユニットＡ］
図５において、１は基板供給部であり、供給マガジン２に収納したリードフレーム、樹脂基板などの基板を整列部であるターンテーブル３へ向きを揃えて供給し、該ターンテーブル３から受渡部である供給位置４まで図示しない送り出し機構により送り出される。供給位置４には、基板の加熱手段を設けても良い。５は樹脂タブレット供給装置であり、樹脂タブレットを送り出すリニアフィーダ（図示せず）から樹脂タブレットをタブレットホルダー６へ装填し、該タブレットホルダー６を供給位置まで移動して供給する。
【００１４】
７はプレス部であり、モールド金型８及び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。プレス部７は、供給側台座部９に設けられている。
【００１５】
１３は供給側移動レール部であり、供給位置４で基板を受け取って保持し、タブレットホルダー６より樹脂タブレットを受け取って保持するローダー１４やプレス部７などから成形品を取出すアンローダー１５が共用して移動可能になっている。ローダー１４及びアンローダー１５は、供給側移動レール部１３を含む移動レール部を所要位置へ移動してプレス部７を含む所要のプレス部に一方向から進退移動するようになっている。
【００１６】
１６はアンローダー１５の吸引ダクトに接続可能な供給側吸引ダクトであり、供給側移動レール部１３に併設されている。供給側吸引ダクト１６の一端は集塵機１７に連結しており、他端にはダクト連結部１６ａが設けられている。ダクト連結部１６ａには増設レールユニットＣの吸引ダクト３０が連結可能になっている。アンローダー１５は、プレス部７より成形品を取り出す際に、アンローダー側吸引ダクトが供給側吸引ダクト１６のダクト連結部１６ａに形成された連結孔（図示せず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移動する際に上下金型面をクリーニングしながら吸引動作を行い、樹脂かすなどの塵を集塵機１７へ集塵するようになっている。
【００１７】
[成形品収納ユニットＢ]
図５において、１８は成形品取出部であり、いずれかのプレス部よりアンローダー１５により取出された成形品を下方に待機している移動テーブル１９へ受け渡される。アンローダー１５は、チャック機構やクリーニング機構及び吸引機構などが設けられているが、ゲートブレイク機構や冷却機構などは省略され、軽量化が図られている。よって、アンローダー１５は成形品を移送手段として設けた移動テーブル１９へ受け渡すと次の成形品の取出し動作に移行する。
【００１８】
移動テーブル１９は、アンローダー１５より成形品が受け渡される成形品取出部１８から、成形品のゲートブレイクが行われるディゲート部２０を経て、成形品が収納される成形品収納部２１までの間を往復移動する。ディゲート部２０において、移動テーブル１９のゲートブレイクトレイ３２へ載置されて移送された成形品は、成形品クランプ機構によりクランプされて冷却されると共に、ゲートブレイクトレイ３２と共に基板両側を回動させることによりゲートブレイクが行われ不要樹脂が分離される。分離された不要樹脂は図示しないスクラップボックスへ回収される。次いで、移動テーブル１９は成形品のみを載置して成形品収納部２１へ移送する。成形品収納部２１において、移動テーブル１９により移送された成形品は、成形品ピックアップ２２により一旦保持される。そして、移動テーブル１９が成形品取出部１８へ向かって移動すると、成形品ピックアップ２２は必要に応じて旋回して、下方に設けられた収納マガジン２３へ下動して向きを揃えて成形品を収納する。
【００１９】
２４はプレス部であり、モールド金型８及び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。
【００２０】
２６は収納側移動レール部であり、プレス部２４へ被成形品及び樹脂タブレットを搬入するローダー１４やプレス部２４などから成形品を取出すアンローダー１５が共用して移動可能になっている。
【００２１】
２７は収納側吸引ダクトであり、収納側移動レール部２６に併設されている。収納側吸引ダクト２７の一端は、後述する増設レールユニットＣの吸引ダクト３０に設けられたダクト連結部３０ａに連結しており、他端にはダクト連結部２７ａが設けられている。アンローダー１５は、プレス部２４より成形品を取り出す際に、アンローダー側吸引ダクトが収納側吸引ダクト２７のダクト連結部２７ａに形成された連結孔（図示せず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移動する際に金型面をクリーニングしながら吸引動作を行い、樹脂かすなどの塵を被成形品供給ユニットＡに設けられた集塵機１７へ集塵するようになっている。
【００２２】
[増設レールユニットＣ]
増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に挿脱可能に設けられている。２８は増設側移動レール部であり、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを増設した際にローダー１４及びアンローダー１５が共用して移動可能になっている。この増設側移動レール部２８は、供給側移動レール部１３と収納側移動レール部２６との間を連結してローダー１４及びアンローダー１５が移動可能になっている（図５参照）。
２９は増設側台座部であり、増設側移動レール部２８を支持すると共にプレス部３１やフィルムユニットなどの様々な機能を有する機能部を搭載可能になっている。増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に移動レール部どうしが連続するように挿入された後、増設側台座部２９と供給側台座部９との間、増設側台座部２９と収納側台座部２５との間、増設側台座部２９どうしの間を各々ボルト締めして連結されている。
【００２３】
また、増設側移動レール部２８には増設側吸引ダクト３０が併設されており、一端側にはアンローダー１５のローダー側吸引ダクトに接続可能なダクト連結部３０ａが設けられている。増設側吸引ダクト３０は、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを増設した際に、供給側移動レール部１３及び収納側移動レール部２６に各々設けられた供給側吸引ダクト１６及び収納側吸引ダクト２７間にダクト連結部１６ａ及びダクト連結部３０ａを介して各々連結して集塵機１７へ連通するようになっている（図５参照）。
【００２４】
［樹脂タブレット供給装置の詳細説明］
ここで、樹脂タブレット供給装置５の各部の構成について図１〜図４を参照して説明する。図１において、３３はタブレット送出し部であり、樹脂タブレットｔをタブレット保管部３４よりリニアフィーダー３５により整列して送り出す。先頭側の樹脂タブレットｔの端面は、タブレットストッパー３６ａに突き当てられて停止している。また、２番目の樹脂タブレットｔは押さえストッパー３６ｂに押さえられている（図４（ａ）参照）。
【００２５】
３７はタブレット装填部であり、タブレット送出し部３３より送り出された先頭側の樹脂タブレットｔからタブレットホルダー６の保持穴３９に装填する。タブレット装填部３７には、リニアフィーダー３５により送り出された先頭位置Ｘの樹脂タブレットｔを開閉可能な送りハンド４０に保持して排出ステージ４３上の待機位置Ｙへ直線的に送り出す。この送りハンド４０のタブレット搬送方向下流側の側面には送りプッシャー４１が設けられており、次の樹脂タブレットｔを待機位置Ｙへ送り出す際に、先に待機位置Ｙへ供給された樹脂タブレットｔを送りハンド４０に設けられた送りプッシャー４１により次ステージである後述する回転テーブル４８へ送り出すようになっている（図４（ａ）（ｂ）参照）。これにより、樹脂タブレットｔを簡易な機構により高速に供給できる。
【００２６】
４２はタブレット受渡し機構であり、樹脂タブレットｔが装填されたタブレットホルダー６を装填位置Ｍからローダー１４と対峙した受渡し位置Ｓへ移動させて保持穴３９に保持した樹脂タブレットｔを受渡すようになっている。
本実施例では、タブレットホルダー６及びタブレット受渡し機構４２を２個有し、各タブレットホルダー６をタブレット受渡し機構４２により装填位置Ｍと受渡し位置Ｓとの間を交互に移動させてローダー１４に樹脂タブレットｔを受け渡すようになっている。これによって、タブレット送出し部３３からタブレット装填部３７への樹脂タブレットｔの送り動作を中断することがないので樹脂タブレットｔの供給動作を高速化できる。
【００２７】
次に各部の構成について詳述する。先ずタブレット装填部３７の構成について説明する。図４（ａ）において、リニアフィーダー３５により送り出され、タブレットストッパー３６ａに突き当てられた樹脂タブレットｔは先頭位置Ｘより送りハンド４０に保持され、タブレットストッパー３６ａが下方に退避すると送りハンド４０により排出ステージ４３に送り出されて待機位置Ｙに一旦載置される。また、押さえストッパー３６ｂが上方に退避してリニアフィーダー３５により２番目の樹脂タブレットｔが先頭位置Ｘに送り出される。送りハンド４０は、ハンド保持部３８に取付けられており、該ハンド保持部３８はハンド移動用シリンダ４４に連繋している。ハンド移動用シリンダ４４を作動すると、ハンド保持部３８がスライドガイド４５に沿って往復移動し、送りハンド４０に保持した先頭位置Ｘの樹脂タブレットｔを待機位置Ｙへ送り出す動作を繰り返すようになっている（図２参照）。
【００２８】
また、排出ステージ４３は排出ステージ開閉シリンダ４５により開閉可能に設けられている。樹脂タブレットｔは、タブレットストッパー３６ａに突き当てられた先頭位置Ｘから先頭タブレットを送りハンド４０で送り出した直後、２個目のタブレット先端の位置で良否を検出する。先頭タブレットが長かったり短かったりすると、先端位置が許容範囲Δｕ以上にずれるため、不良タブレットか否か判定できる（図４（ａ）参照）。不良品の場合には排出ステージ開閉シリンダ４５により排出ステージ４３を開放して排出トレイ４６に沿って落下させ、排出ボックス４７に回収される（図３参照）。このように、樹脂タブレットｔの良／不良に関わらず、送りハンド４０によるタブレット送り動作が変わりなく行えるため、樹脂タブレットｔの供給動作を迅速に行える。
【００２９】
また、従来のように検査ステージ上へ樹脂タブレットを送り出して検査する場合、先ずタブレットをハンドにより検査ステージへ置く。次にタブレットの良否を検査する。そして、そのタブレットが不良品ならばハンドにより排出する。このようにステップを順に踏むので時間がかかっていた。これに対して本実施例では、タブレットの良否を先頭から２個目のタブレットで判定するので、送り出しと検査がほぼ同時に行えるのでタブレット供給動作を高速化できる。また、樹脂タブレットｔは待機位置Ｙへ送り出されたときには良否が既に判明しているので、不良タブレットは即座に排出できる。よって、不良タブレットの排出に要する時間的ロスを最小限に抑えられる。尚、タブレットの良否の検査は待機位置Ｙで行っても良い。
【００３０】
図２において、排出ステージ４３のタブレット搬送方向下流側には、回転テーブル４８が設けられている。回転テーブル４８は、周方向に９０度ずつ位相がずれた４位置にタブレット搭載部４８ａが設けられており、各タブレット搭載部４８ａには、排出ステージ４３の待機位置Ｙより送りプッシャー４１により送り出された樹脂タブレットｔを載置可能になっている。回転テーブル４８は、回転用駆動モータ４９により回転駆動され、タブレット搭載部４８ａに搭載された樹脂タブレットｔを図２の反時計回り方向に９０度回転してタブレットホルダー６の保持穴３９と対向した供給位置Ｚまで回転させる。また、回転テーブル４８の上側には、装填用プッシャー５０が設けられており、タブレット搭載部４８ａに載置された樹脂タブレットｔをタブレットホルダー６の保持穴３９に装填するようになっている。
【００３１】
装填用プッシャー５０は、装填用シリンダ５１を作動させて、装填用プッシャー５０をガイドロッド５２に沿って回転テーブル４８の中心側から径方向外側に向かってスライドさせて、樹脂タブレットｔを保持穴３９に送り込む。また、タブレットホルダー６は、保持穴３９に樹脂タブレットｔが装填される度に、次の保持穴３９が回転テーブル４８のタブレット搭載部４８ａに対向するよう後述するホルダー送り機構６５により長手方向（上下方向）にピッチ送りされる。このとき、送りハンド４０は、回転テーブル４８が９０度回転する毎に、排出ステージ４３の待機位置Ｙに次の樹脂タブレットｔを移送して、送りプッシャー４１により先に待機位置Ｙに載置されていた樹脂タブレットｔを回転テーブル４８のタブレット搭載部４８ａに送り込む。
【００３２】
また、図４（ａ）に示すように、樹脂タブレットｔがタブレット送出し部３３より送り出され、タブレット装填部３７により回転テーブル４８を介してタブレットホルダー６の保持穴３９へ装填されるまで、ほぼ同一の高さ位置を保って移送されるようになっている。このため、樹脂タブレットｔを簡易な機構により高速に移送でき、タブレット供給動作を迅速に行うことができる。
また、回転テーブル４８は複数（本実施例では４箇所）のタブレット搭載部４８ａを有しているので、待機位置Ｙから回転テーブル４８のタブレット搭載部４８ａへのタブレットの送りと該タブレット搭載部４８ａの供給位置Ｚからタブレットホルダー６へのタブレットの送りを同期して行えるので、タブレットの移送方向を変えても供給速度は低下しない。
尚、回転テーブル４８及び装填用プッシャー５０は、装置レイアウトや、設置スペースの関係で樹脂タブレットｔの移送方向を変更するため設けられているが、これらは省略されていても良い。この場合には、樹脂タブレットｔを待機位置Ｙより送りハンド４０及び送りプッシャー４１のみでタブレットホルダー６の保持穴３９に同一高さを保って直線的に装填するのが望ましい。また、排出ステージ４３の高さ位置は、樹脂タブレットｔが移送し易いように移送方向下流側が低くなるように若干の傾斜をつけてもよい。
【００３３】
次に、タブレット受渡し機構４２の構成について図１及び図２を参照して説明する。タブレットホルダー６は、ホルダーアーム部５５に一体に保持されている。ホルダーアーム部５５は、可動ブロック５３を挿通して設けられた可動軸５４に連繋している。可動ブロック５３には回動アクチュエータ５６が設けられており、該回動アクチュエータ５６により可動軸５４を所定範囲で回動可能になっている。具体的には、タブレットホルダー６をその長手方向が上下方向となる上下姿勢位置から、保持穴３９がローダー１４に対峙する水平姿勢位置へ９０度回動可能になっている（図２参照）。また、可動軸５４にはスライド用シリンダ５７が設けられており、タブレットホルダー６を回転テーブル４８のタブレット搭載部４８ａに対向する装填位置Ｍから上下動を行う移送位置Ｎへ水平方向にスライド可能になっている（図１参照）。
【００３４】
次に、ホルダー送り機構６５について説明する。ホルダー送り機構６５は、タブレットホルダー６に樹脂タブレットｔを装填する度に該タブレットホルダー６をピッチ送りするほかに、タブレットホルダー６の上下動を行う。以下、この構成について具体的に説明する。可動ブロック５３は装置フレーム５８の上下方向に２箇所に立設されたガイドロッド５９に連繋しており、該ガイドロッド５９に沿って上下にスライド可能になっている。図１に示すように可動ブロック５３の一部には無端状のタイミングベルト６０が連結されており、該タイミングベルト６０は上下に設けられたプーリ６１、６２間に掛け渡されている。このプーリ６１、６２のうち一方は図示しない駆動モータ（サーボモータ）により回転駆動され、可動ブロック５３と共にタブレットホルダー６を上下動させる。即ち、タブレットホルダー６が装填位置Ｍにある場合には、保持穴３９に樹脂タブレットｔが装填される度に次の保持穴３９をタブレット搭載部４８ａに対向させるべく、可動ブロック５３を上方にピッチ送りする。そして、樹脂タブレットｔの装填が完了すると、スライド用シリンダ５７を作動させて可動軸５４をスライドさせて装填位置Ｍから移送位置Ｎへ水平方向に移動させた後、移送位置Ｎより上方の受渡し位置Ｓへ移動させる。また、回動アクチュエータ５６によるタブレットホルダー６の上下姿勢位置から水平姿勢位置への回動は、他の機構との干渉を避けるため移送位置Ｎより若干上方へ移動した位置で行われる。
上述したように、ホルダー送り機構６５は、上下方向にタブレットホルダー６をポットピッチ送りさせているので、１の駆動源でタブレットホルダー６のポットピッチ送りと、タブレット装填側と受渡し側との往復動を行える。また、タブレットホルダー６を水平方向にポットピッチ送りするようにしても良い。この場合には、別途ホルダー送り機構を設ければ良い。
【００３５】
また、図１において、可動ブロック５３に可動軸５４を介して連繋するホルダーアーム５５部には受渡し用シリンダ６３が設けられており、該受渡し用シリンダ６３のシリンダロッドには、突き上げ手段である各保持穴３９のピッチで形成された櫛歯状の突き上げロッド６４が突き上げ可能に設けられている。タブレットホルダー６がローダー１４と対峙した受渡し位置Ｓへ移動した状態で、受渡し用シリンダ６３を作動させると、突き上げロッド６４が各保持穴３９の底部側より樹脂タブレットｔを突き上げてローダー１４側の保持部に受け渡すようになっている。
【００３６】
ここで、樹脂タブレットｔの供給動作の流れについて、図１及び図２を参照して説明する。タブレット送出し部３３より整列して送り出された樹脂タブレットｔは、先頭位置Ｘより送りハンド４０に保持されて排出ステージ４３へ送り込まれ待機位置Ｙに一旦載置される。樹脂タブレットｔが良品である場合には、送りハンド４０が次の樹脂タブレットｔを排出ステージ４３の待機位置Ｙへ送り込む際に、送りプッシャー４１により先に待機位置Ｙに載置された樹脂タブレットｔを回転テーブル４８のタブレット搭載部４８ａに送り込む。回転テーブル４８は９０度回転して樹脂タブレットｔを供給位置Ｚへ移送する（図１参照）。そして、装填用プッシャー５０により保持穴３９へ装填されると共に送りプッシャー４１により次の樹脂タブレットｔが待機位置Ｙよりタブレット搭載部４８ａに載置される。回転テーブル４８は更に９０度回転して樹脂タブレットｔを供給位置Ｚへ移送し、タブレットホルダー６は、ホルダー送り機構６５によりピッチ送りされて、次の保持穴３９を回転テーブル４８のタブレット搭載部４８ａに対向させる。以上の動作繰り返すことで、タブレットホルダー６の保持穴３９に全て樹脂タブレットｔが装填される。
【００３７】
次にスライド用シリンダ５７を作動させてタブレットホルダー６を装填位置Ｍより移送位置Ｎへ移動させた後、ホルダー送り機構６５により可動ブロック５３をガイドロッド５９に沿って上動させ、所定位置で回動アクチュエータ５６によりタブレットホルダー６を上下姿勢位置より水平姿勢位置へ９０度回転させた状態で受渡し位置Ｓまで移送する。また、空になった他方のタブレットホルダー６は装填位置Ｍへ戻って樹脂タブレットｔの装填動作が行われる。
【００３８】
そして、受渡し位置Ｓの上方に待機したローダー１４に、受渡し用シリンダ６３を作動させて、各保持穴３９より樹脂タブレットｔを突き上げロッド６４により突き上げて受渡しが行われる。樹脂タブレットｔの受渡しが行われると、逆の手順で再度装填位置Ｍに戻って樹脂タブレットｔの装填動作が行われ、樹脂タブレットｔの装填を終えた他方のタブレットホルダー６が受渡し位置Ｓへ交互に移送される。
【００３９】
尚、複数のタブレットホルダー６のうち、１のタブレットホルダー６を他のタブレットホルダーへ移載する移載専用とし、他のタブレットホルダー６をローダー１４へ移送する移送専用としても良い。即ち、図２の場合、右側側のタブレットホルダー６ａを移載専用とし、左側のタブレットホルダー６ｂを移送専用とする。タブレットホルダー６ａは樹脂タブレットｔが装填されたら、タブレットホルダー６ｂに樹脂タブレットｔをポットピッチを保って一度に移載する。タブレットを移載する機構は、タブレットホルダー６ａをタブレットホルダー６ｂの上に保持穴３９どうしが重なり合うように移動させて、タブレットホルダー６ａの底板を開閉させたり、タブレットホルダー６ａ及びタブレットホルダー６ｂを１８０度回転させるなどして移載すれば良い。そして、タブレットホルダー６ｂは移送位置Ｎと受渡し位置Ｓとを往復動してローダー１４へ専ら樹脂タブレットｔの受渡しを行うようにしても良い。
【００４０】
ここで、タブレット受渡し機構４２の他の構成について図３を参照して説明する。尚、図２と同一部材には同一番号を付して説明を援用するものとする。
図２のように、可動ブロック５３に、回動アクチュエータ５６、受渡し用シリンダ６３、スライド用シリンダ５７を一体に設けると、可動部が大型化、複雑化し、重量が重くなるので高速化には不利な点がある。そこで、可動ブロック５３より、回動アクチュエータ５６、受渡し用シリンダ６３を省略し、スライド用シリンダ５７を装置本体側に設け（外付けにし）、カムとバネを用いて簡易な構成にすることで、軽量化し、高速化を図る上で有利になる。
【００４１】
図３において、可動ブロック５３には、回転板６６が一体に設けられており、該回転板６６にはカムローラ６７が設けられている。可動ブロック５３及び回転板６６は可動軸５４に固定されている。可動ブロック５３を挿通して設けられた可動軸５４の一方側の軸端部には押当板６８が設けられている。回転板６６と押当板６８との間にはバネ６９が弾装されており、タブレットホルダー６が常時移送位置Ｎ側となるように可動軸５４を付勢している。上述したように、スライド用シリンダ５７は装置本体側に外付けされており、該スライド用シリンダ５７を作動させると、シリンダロッドが押当板６８を押して該押当板６８に連繋する可動軸５４をバネ６９の付勢力に抗してスライドさせて、タブレットホルダー６を装填位置Ｍへ移動させる。スライド用シリンダ５７の作動を解除すると、タブレットホルダー６は、バネ６９の付勢力により移送位置Ｎへ復帰するようになっている。
【００４２】
また、可動軸５４の他方側にはホルダー支持ブロック７０が連繋しており、可動軸５４と一体に回転可能になっている。ホルダー支持ブロック７０にはガイドロッド７１が貫通して設けられており、該ガイドロッド７１の上端はタブレットホルダー６に連結支持している。タブレットホルダー６とホルダー支持ブロック７０との間には、バネ７２が弾装されており、タブレットホルダー６をガイドロッド７１と共に常時上方に付勢している。また、ホルダー支持ブロック７０には、突き上げ手段である櫛歯状の突き上げロッド６４が一体に取付けられている。
【００４３】
可動ブロック５３は、図示しない駆動源（サーボモータ）により回転駆動されるプーリ６１、６２間に掛けわたされているタイミングベルト６０に連繋して上下動する。また、モータ軸やプーリ６１、６２の取付板には、カム板（図示せず）が各々設けられており、該カム板にカムローラ６７が当接することで回転板６６が９０度回転して、タブレットホルダー６が上方で水平姿勢位置となり下方で上下姿勢位置になるように回動する。
【００４４】
可動ブロック５３が上昇してタブレットホルダー６が上下姿勢位置から９０度回転して水平姿勢位置となった後、更に上昇して受渡し位置Ｓへ移動して上方で待機しているローダー１４に胴突いた（突き当たった）後、また更にタイミングベルト６０を回転し続けると、可動ブロック５３が更に上昇して、ホルダー支持ブロック７０もバネ７２の付勢力に抗して上昇する。このとき、ホルダー支持ブロック７０に一体に設けられた突き上げロッド６４がタブレットホルダー６の各保持穴３９の底部側より樹脂タブレットｔを突き上げてローダー１４側の保持部に受け渡す。このように、突き上げロッド６４の作動に、タイミングベルト６０の駆動がそのまま適用できるため、機構的に簡略化が図れる。可動ブロック５３が下動してタブレットホルダー６とローダー１４が離れれば、バネ７２の付勢力により、タブレットホルダー６はガイドロッド７１と共に上方位置へ復帰して突き上げロッド６４が保持穴３９より退避する。
【００４５】
上記構成によれば、樹脂タブレット供給装置５は複数設けられたタブレットホルダー６のうち樹脂タブレットｔが装填された少なくとも１のタブレットホルダー６をタブレット受渡し機構４２により受渡し位置Ｓへ往復動させてローダー１４に樹脂タブレットｔを受け渡すことにより、タブレット送出し部３３からタブレット装填部３７への樹脂タブレットｔの送り動作を中断することがないので樹脂タブレットｔの供給速度を向上できる。
また、タブレット送出し部３３より樹脂タブレットｔがほぼ同一の高さ位置を保って送り出されてタブレットホルダー６の保持穴３９へ装填され、該樹脂タブレットｔが装填された後タブレットホルダー６をピッチ送りする動作を繰り返すことにより、タブレット供給動作を速めることができる。
また、タブレット装填部３７は、タブレット送出し部３３から先頭側の樹脂タブレットｔを保持して待機位置Ｙへ直線的に送り出す送りハンド４０を備えており、該送りハンド４０は次の樹脂タブレットｔを待機位置Ｙへ送り出す際に、先に待機位置Ｙへ供給された樹脂タブレットｔを送りハンド４０に設けられた送りプッシャー４１により送り出してタブレットホルダー６の保持穴３９へ装填するので、樹脂タブレットｔを簡易な機構により高速に供給できる。
また、タブレット送出し部３３から送りハンド４０により送り出された待機位置Ｙには、不良樹脂タブレットを排出可能な排出ステージ４３が開閉可能に設けられているので、樹脂タブレットｔの良／不良に関わらず、タブレット移送動作が変わりなく行えるため、樹脂タブレットｔの供給動作を迅速に行える。
また、樹脂封止装置においては、樹脂タブレットｔの供給動作が高速化できるため、プレス数が複数であってもローダーへのタブレットの供給が追従できる。よって、半導体パッケージを増産するためプレス数を３つ４つと増やしても対応可能である。
【００４６】
以上、本発明の好適な実施例について種々述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるのではなく、増設レールユニットに搭載される機能部の種類はプレス部に限定されず他の機能部でも良い。樹脂封止装置は、被成形品供給ユニットＡと成形品供給ユニットＢとが分離するように構成されているが、これらを一体に備えた樹脂封止装置であっても良い。また、被成形品は、樹脂タブレットｔと別にプレス部へ搬送しても良い。また、タブレットホルダー６は２個設けた他が必要に応じて更に増設しても良い等、発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【００４７】
【発明の効果】
本発明に係る樹脂タブレット供給装置を用いると、複数設けられたタブレットホルダーのうち樹脂タブレットが装填された少なくとも１のタブレットホルダーをタブレット受渡し機構により受渡し側へ往復動させてローダーに樹脂タブレットを受け渡すことにより、タブレット送出し部からタブレット装填部への樹脂タブレットの送り動作を中断することがないので樹脂タブレットの供給動作を高速化できる。
また、タブレット送出し部より樹脂タブレットがほぼ同一の高さ位置を保って送り出されてタブレットホルダーの保持穴へ装填され、該樹脂タブレットが装填された後タブレットホルダーをピッチ送りする動作を繰り返すことにより、タブレット供給速度を速めることができる。
また、タブレット装填部は、タブレット送出し部から先頭側の樹脂タブレットを保持して待機位置へ直線的に送り出す送りハンドを備えており、該送りハンドは次の樹脂タブレットを待機位置へ送り出す際に、先に待機位置へ供給された樹脂タブレットを送りハンドに設けられたプッシャーにより送り出してタブレットホルダーの保持穴へ装填するので、樹脂タブレットを簡易な機構により高速に供給できる。
また、タブレット送出し部から送りハンドにより送り出された待機位置には、不良樹脂タブレットを排出可能な排出ステージが開閉可能に設けられているので、樹脂タブレットの良／不良に関わらず、タブレット移送動作が変わりなく行えるため、樹脂タブレットの供給動作を迅速に行える。
また、樹脂封止装置においては、樹脂タブレットの供給動作が高速化できるため、プレス数が複数であってもローダーへのタブレットの供給が追従できる。よって、半導体パッケージを増産するためプレス数を３つ４つと増やしても対応可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】樹脂タブレット供給装置の模式平面図である。
【図２】図１の矢印Ｊ方向から見た側面模式図である。
【図３】図２の他の構成を示す模式図である。
【図４】図２の矢印Ｋ−Ｋ方向の断面模式図及び矢印Ｌ方向から見た部分模式図である。
【図５】樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【図６】従来の樹脂タブレット供給装置の模式平面図である。
【図７】複数プレス部を有する場合の樹脂タブレットの受渡しサイクルを示す説明図である。
【符号の説明】
Ａ  被成形品供給ユニット
Ｂ  成形品収納ユニット
Ｃ  増設レールユニット
１  基板供給部
２  供給マガジン
３  ターンテーブル
４  供給位置
５  樹脂タブレット供給装置
６  タブレットホルダー
７、２４、３１  プレス部
８  モールド金型
９  供給側台座部
１３  供給側移動レール部
１４  ローダー
１５  アンローダー
１６  供給側吸引ダクト
１７  集塵機
１８  成形品取出部
１９  移動テーブル
２０  ディゲート部
２１  成形品収納部
２２  成形品ピックアップ
２３  収納マガジン
２５  収納側台座部
２６  収納側移動レール部
２７  収納側吸引ダクト
２８  増設側移動レール部
２９  増設側台座部
３０  増設側吸引ダクト
３２  ゲートブレイクトレイ
３３  タブレット送出し部
３４  タブレット保管部
３５  リニアフィーダー
３６ａ  タブレットストッパー
３６ｂ  押さえストッパー
３７  タブレット装填部
３８  ハンド保持部
３９  保持穴
４０  送りハンド
４１  送りプッシャー
４２  タブレット受渡し機構
４３  排出ステージ
４４  ハンド移動用シリンダ
４５  スライドガイド
４６  排出トレイ
４７  排出ボックス
４８  回転テーブル
４８ａ  タブレット搭載部
４９  回転用駆動モータ
５０  装填用プッシャー
５１  装填用シリンダ
５２、５９  ガイドロッド
５３  可動ブロック
５４  可動軸
５５  ホルダーアーム部
５６  回動アクチュエータ
５７  スライド用シリンダ
５８  装置フレーム
６０  タイミングベルト
６１、６２  プーリ
６３  受渡し用シリンダ
６４  突き上げロッド
６５  ホルダー送り機構
６６  回転板
６７  カムローラ
６８  押当板
６９、７２  バネ
７０  ホルダー支持ブロック
７１  ガイドロッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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