(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボールパッド及びボンディングパッドを含み、引込み線を含まない回路パターンを形成する印刷回路基板の製造方法であって、
基板に形成された金属層上に、露光された部分が現像によって除去されるポジティブタイプである、１次フォトレジストが塗布される段階と、
前記金属層の少なくとも一つ以上の前記ボールパッド及び前記ボンディングパッドが形成される領域が露出されるように前記１次フォトレジストを除去する段階と、
前記ボールパッド及び前記ボンディングパッドが形成される前記露出された金属層にめっき層が形成される段階と、
前記めっき層に前記１次フォトレジストより感度の低い２次フォトレジストが塗布される段階と、
前記１次フォトレジストと前記２次フォトレジストに前記１次フォトレジストのみ反応する予め指定された光を照射して、現像して前記１次フォトレジスト部分のみ除去されて、前記金属層から形成される前記回路パターン以外の部分が露出される段階と、
前記露出された金属層が除去されることによって前記回路パターンが形成される段階と、
前記１次フォトレジストと前記２次フォトレジストとを剥離して除去する段階と、が含まれることを特徴とする印刷回路基板の製造方法。
【請求項２】
前記回路パターンの保護のためにフォトソルダレジストが塗布される段階と、少なくとも一つ以上の前記ボールパッド及び前記ボンディングパッドが形成されるために少なくとも一つ以上の前記ボールパッド及び前記ボンディングパッド形成領域が前記フォトソルダレジストから露出される段階がさらに含まれることを特徴とする請求項１に記載の印刷回路基板の製造方法。
【請求項３】
前記めっき層は、金メッキであることを特徴とする請求項１に記載の印刷回路基板の製造方法。
【請求項４】
前記回路パターン上に保護層が塗布される段階が含まれることを特徴とする請求項１に記載の印刷回路基板の製造方法。
【請求項５】
前記金属層を通して少なくとも一つ以上の前記ボールパッド及び前記ボンディングパッド形成領域に十分な電力が供給されて前記めっき層が形成されることを特徴とする請求項１に記載の印刷回路基板の製造方法。
【請求項６】
最終層の配線、ボールパッド、及び、ボンディングパッドのみからなる回路パターンを形成する印刷回路基板の製造方法であって、
基板に形成された金属層上に、露光された部分が現像によって除去されるポジティブタイプである、１次フォトレジストが塗布される段階と、
前記金属層の少なくとも一つ以上の前記ボールパッド及び前記ボンディングパッドが形成される領域が露出されるように前記１次フォトレジストを除去する段階と、
前記ボールパッド及び前記ボンディングパッドが形成される前記露出された金属層にめっき層が形成される段階と、
前記めっき層に前記１次フォトレジストより感度の低い２次フォトレジストが塗布される段階と、
前記１次フォトレジストと前記２次フォトレジストに前記１次フォトレジストのみ反応する予め指定された光を照射して、現像して前記１次フォトレジスト部分のみ除去されて、前記金属層から形成される前記回路パターン以外の部分が露出される段階と、
前記露出された金属層が除去されることによって前記回路パターンが形成される段階と、
前記１次フォトレジストと前記２次フォトレジストとを剥離して除去する段階と、が含まれることを特徴とする印刷回路基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は印刷回路基板に係り、さらに詳細にはワイヤボンディングやソルダボールボンディングの接着力を高めるための金メッキを遂行する際に電源を供給するタイバーを形成しなくても良いので回路パターンの密集度を高めることができる印刷回路基板の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１１には従来技術による印刷回路基板の表面が図示されている。ここで、印刷回路基板１中実際に一つの製品に用いられる部分は点線で表示された製品部１′である。
【０００３】
前記印刷回路基板１の中央にはチップ装着部２が具備される。前記チップ装着部２には半導体素子であるチップ（図示せず）が搭載される。前記チップ装着部２の縁を囲むワイヤボンディングパッド３が形成される。前記ワイヤボンディングパッド３は前記チップと印刷回路基板１の回路を電気的に連結するワイヤ（図示せず）がボンディングされる部分である。このようなワイヤボンディングパッド３は印刷回路基板１の表面に露出されるように形成されて、その表面にはワイヤとのボンディング力を高めるために金メッキをする。前記ワイヤボンディングパッド３は印刷回路基板１に形成された回路パターン（図示せず）と電気的に連結される。
【０００４】
そして前記印刷回路基板１の表面には多数個のボールパッド４が形成される。前記ボールパッド４は印刷回路基板１と外部基板との連結のためのソルダボール（図示せず）が付着される部分でここにもやはり附着力を高めるために金メッキをする。このようなボールパッド４は印刷回路基板１に形成された回路パターン（図示せず）と電気的に連結されて実質的に前記ワイヤボンディングパッド３とも連結される。
【０００５】
前記ワイヤボンディングパッド３とボールパッド４の表面に金メッキを実行するためには前記ワイヤボンディングパッド３とボールパッド４に電源を供給しなければならない。したがって前記製品部１′の外郭には電源が供給される主引込線６がその面積が広く回路パターンの形態で形成される。
【０００６】
一方、前記各々のワイヤボンディングパッド３とボールパッド４には前記主引込線とは大きさが小さい副引込線５が各々連結される。前記副引込線５は各々のワイヤボンディングパッド３とボールパッド４に金メッキをするための電源を供給するものである。前記副引込線５は図面で一部のワイヤボンディングパッド３及びボールパッド４とのみ連結されるように図示されているが、実際にはすべてのワイヤボンディングパッド３及びボールパッド４に各々一つずつ形成される。前記副引込線５は再び印刷回路基板１が製品部１′外郭を囲み形成されている主引込線６と電気的に連結される。
【０００７】
したがって前記ワイヤボンディングパッド３とボールパッド４に金メッキをするためには前記主引込線６に電源を供給すると、前記副引込線５を通して前記ワイヤボンディングパッド３及びボールパッド４に電源が伝えられるようになってその表面に金メッキが可能になる。
前記主引込線６と副引込線５は印刷回路基板１の製造過程中に形成され、一般的に回路パターンの形態で製造される。
図面中未説明符号７は、印刷回路基板の位置を設定するためのガイドホールである。
【０００８】
しかし前記したような構成を有する従来の印刷回路基板には次のような問題点がある。
すなわち、チップが高集積化されることによってチップと印刷回路基板１そして印刷回路基板１と外部基板との連結のための多くのワイヤボンディングパッド３とボールパッド４が必要になる。そして製品の大きさが小型化されることによって印刷回路基板の大きさも小型が要求されており、印刷回路基板１の大きさを減らすために前記ワイヤボンディングパッド３とボールパッド４が稠密に配置されることが要求されて、前記ワイヤボンディングパッド３及びボールパッド４と連結される副引込線５の配置設計も稠密して精密にしなければならない。
【０００９】
このような副引込線５は、各々のワイヤボンディングパッド３とボールパッド４の間をすぎるように形成され、金メッキが完了されると、前記点線部分に沿って切断して製品部１′のみ用いられる。
この際実際に用いられる製品部１′には金メッキ時に利用される以外には何らの機能がない副引込線５が存在するようになる。このように残存する副引込線５はチップが高密度になって高周波で利用される場合、前記副引込線５にもチップからの信号が流れて隣接した副引込線５と干渉を起こすようになって製品の性能が低下するという問題がある。
【００１０】
このような問題点を改善するために、副引込線５を除去するエッジバック（Ｅｄｇｅ  ｂａｃｋ）技術が提示されている。これは副引込線５に金メッキレジストを塗布した状態で前記ワイヤボンディングパッド３とボールパッド４にのみ金メッキを実施して、前記金メッキレジストを除去して副引込線５を露出させて、製品をアルカリエッチング溶液に通過させて露出された副引込線を除去するものである。
【００１１】
しかしこの方法は、前記副引込線５を除去するために印刷回路基板１がエッチング液を通過する時、エッチング液が製品のワイヤボンディングパッド３とボールパッド４が同時に除去されることを防止するためにワイヤボンディングパッド３とボールパッド４から一定長さの副引込線５は除去しない。また、前記金メッキレジストは感光性レジストを用いるのでレジスト塗布時に位置偏差、ソルダレジストとの密着性低下などを考慮する時副引込線５を完全に除去できないという問題がある。
【００１２】
他の方法でフルボディ（Ｆｕｌｌ  ｂｏｄｙ）金メッキ法が用いられる場合もあるが、この方法によると印刷回路基板１の回路パターンが損傷されて微細な回路パターンを形成することが難しくなるという問題がある。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は前記したような従来技術の問題点を解決するためのものであり、印刷回路基板の機能と関係がない部分を除去して印刷回路基板の性能を極大化して、印刷回路基板に形成される回路パターンの密集度を高め、したがって結局これを用いて形成される製品の信頼性を高める印刷回路基板の製造方法を提供することにその目的がある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために本発明による印刷回路基板の製造方法は、表面に金属層が形成された基板に１次フォトレジストが塗布される段階と、前記１次フォトレジストを露光して現像してボールパッド及び／またはボンディングパッドが形成される領域の金属層が露出される段階と、ボールパッド及び／またはボンディングパッドが形成される前記露出された金属層にめっき層が形成される段階と、前記めっき層に前記１次フォトレジストより相対的に差がある量の光量に反応する２次フォトレジストが塗布される段階と、前記１次フォトレジストと２次フォトレジストが塗布された表面に前記１次フォトレジストのみ反応する光を照射して現像して前記１次フォトレジスト部分のみ除去されて、回路パターンが形成される部分が除外された金属層が露出される段階と、前記露出された金属層に回路パターンが形成される段階が含まれる。
【００１５】
また、前記１次フォトレジストは、露光された部分が現像により除去されるポジティブタイプであることを特徴とし、前記回路パターンが形成された後には回路パターンの保護のためにフォトソルダレジストが塗布されてボンディングパッドとボールパッドが露出されることを特徴とする。
また、前記めっきは金メッキであって、前記２次フォトレジストは１次フォトレジストより多量の光に反応することを特徴とする。
【００１６】
本発明の他の特徴によると、本発明は基板の表面に形成された金属層中ボールパッド及び／またはボンディングパッドが形成される部分のみ露出される段階と、前記露出された金属層に金メッキ層が形成される段階と、前記金属層が選択的に除去されて前記基板上に回路パターンが形成される段階が含まれる。
【００１７】
前記回路パターンが形成される段階は、金メッキされた前記ボールパッド及び／またはボンディングパッドが形成される部分に前記１次フォトレジストより相対的に多量の光に反応する２次フォトレジストが塗布される段階と、前記１次フォトレジストが反応できる程度の光を提供して回路パターン、ボールパッド及び／またはボンディングパッドが形成される部分を除外した残り部分に残存する１次フォトレジストが除去される段階と、前記回路パターン、ボールパッド及び／またはボンディングパッドが形成される部分に残っている１次及び２次フォトレジストをレジストとして用いて露出された金属層が除去される段階が含まれることを特徴とする。
【００１８】
また、前記表面に金属層が形成された基板は、多数の層で形成されて内部の層との電気的連結のためのスルーホールが金属層と基板に形成されることを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、前記したような本発明による印刷回路基板の製造方法の望ましい実施形態を添付された図面を参考にして詳細に説明する。
図１乃至図１０は、本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した平面図及び断面図である。
図１乃至図１０を参照して本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に説明すると次のとおりである。
参考で図１乃至図１０には印刷回路基板が製造される過程の平面図（ａ）と断面図（ｂ）が同時に示されている。
【００２０】
まず、図１に示したように、金属層３０が表面に形成された基板２０に１次フォトレジスト４０を塗布する。ここで前記金属層３０と基板２０には層間を連結するためのスルーホール（図示せず）等が形成された状態であって、前記基板２０が多層で形成された場合には最上層にのみ回路パターンが形成されない状態である。
【００２１】
前記塗布された１次フォトレジスト４０は、ポジティブタイプであって露光された部分が除去される特性を有する。これはボールパッド及び／またはボンディングパッドが形成される部分のみを露光させて金メッキさせて、残り部分に塗布された１次フォトレジスト４０は後ほど回路パターンのための過程でレジストとして用いるためである。
【００２２】
そして前記１次フォトレジスト４０上に、図２に示したように、露光用フィルム５０を位置させる。前記露光用フィルム５０には金メッキがなされる領域、すなわちボールパッドとボンディングパッドが形成される部分に露光されるように露光ウィンドウ５２が形成される。
【００２３】
前記露光用フィルム５０の露光ウィンドウ５２を通して前記１次フォトレジスト４０を露光して現像する。このようにすると、前記露光ウィンドウ５２に該当する部分の１次フォトレジスト４０は光に反応した部分であるので除去されて金属層３０が露出される。このような状態が図３に示されている。
【００２４】
次に前記金属層３０に電極を連結して前記金属層３０が露出された部分に金メッキ層６０を形成する。前記露出された部分に金メッキ層６０が形成された状態が図４に示されている。この際前記金属層３０の表面にはニッケル層が形成されて前記ニッケル層の上部には金層が形成されて金メッキ層６０を構成する。
【００２５】
そして前記金メッキ層６０の表面にのみ２次フォトレジスト７０をコーティングする。前記２次フォトレジスト７０はポジティブタイプであって前記１次フォトレジスト４０に比べて相対的に多量の光に露光されてこそ反応するものを用いなければならない。図５には金メッキ層６０の表面に２次フォトレジスト７０がコーティングされた状態が図示されている。
【００２６】
次に前記１次フォトレジスト４０と２次フォトレジスト７０上に再び露光用フィルム５０′を位置させる。前記露光用フィルム５０′には前記基板２０上に形成される回路パターンの形状によって露光ウィンドウ５２′が形成される。前記露光ウィンドウ５２′は１次フォトレジスト４０の領域に位置する第１領域５３と２次フォトレジスト７０の領域に位置する第２領域５４を除外した部分に形成される。
【００２７】
すなわち前記第１領域５３と第２領域５４には光が遮蔽される。ここで、前記露光用フィルム５０′の積層時の位置、組立て偏差が発生しても前記１次フォトレジスト４０が露光可能なように前記第１領域５３はその端の一部が前記第２領域５４と重畳されて形成される。このような構成が図６に示されている。
【００２８】
ここで、前記露光ウィンドウ５２′が形成される位置は、前記実施形態以外にも異なるように形成されることができることは本発明の技術分野に属する通常の知識を有する者に対して自明である。
そして、前記露光用フィルム５０′を用いて露光を遂行し、光は露光ウィンドウ５２′を通してフォトレジストに照射される。この際、照射される光量は前記１次フォトレジスト４０は反応して２次フォトレジスト７０は反応しない程度である。
【００２９】
このような露光と現像過程を経ながらポジティブタイプである前記１次フォトレジスト４０の特性上露光された部分が除去されて前記２次フォトレジスト７０は露光されなかったことによって図７に示したように、露光された１次フォトレジスト４０の領域は金属層３０が露出された状態になる。
【００３０】
但し、この際前記２次フォトレジスト７０は、露光されても照射される光量が前記２次フォトレジスト７０が反応されない量であるので前記２次フォトレジスト７０は除去されない。したがって、除去されないフォトレジスト領域をさらに正確に形成できるようになる。
もちろん露光されていない露光ウィンドウ５２′領域以外部分のフォトレジストは、除去されずに残っている。したがって、第１領域５３と第２領域５４に存在する１次フォトレジスト４０と２次フォトレジスト７０は除去されない。
【００３１】
このような状態でエッチングを実施すると前記１次フォトレジスト４０と２次フォトレジスト７０が塗布されている部分はエッチング液が浸透できず金属層３０が保存され、それ以外の露出された部分はエッチング液によって金属層３０が除去される。図８にはこのような露出された金属層３０が除去された状態が図示されている。
【００３２】
そして前記１次フォトレジスト４０と２次フォトレジスト７０を剥離して除去すると図９に示したように、回路パターン３２と金メッキ層６０が形成されたボールパッド領域及びボンディングパッド領域が形成される。ここで前記回路パターン３２は前記金属層３０に形成されるものであり、前記金メッキされたボールパッド領域及びボンディングパッド領域は前記金メッキ層６０と同一である。
【００３３】
前記のように回路パターン３２が完成された後にはこれら間の絶縁特性を向上させて回路パターン３２の損傷（隣接回路パターンとの導通等）を防ぐためにフォトソルダレジスト８０を塗布する。そして現像とキュアリング過程を経てワイヤボンディングのためのボンディングパッド６３とソルダボールボンディングのためのボールパッド６２が形成される。このような状態は図１０に示されている。
また、前記回路パターン上に保護層が塗布できる。
【００３４】
以下、前記したような過程で構成される本発明実施例の印刷回路製造方法の作用を説明する。
本発明では前記ボールパッド６２及びボンディングパッド６３表面の金メッキ層６０を基板２０の最上層に備わる回路パターン３２の形成前に予め形成している。すなわち、基板２０の最外側表面に金属層３０を形成した状態でポジティブタイプの１次フォトレジスト４０を塗布して前記金属層３０中ボールパッド６２とボンディングパッド６３が形成される部分のみを露光して除去する。
【００３５】
このような状態で予め前記ボールパッド６２とボンディングパッド６３が形成される部分に前記金属層３０を電極と連結してめっき層６０を形成する。
即ち、前記金属層を通して少なくとも一つ以上のボールパッド及びボンディングパッド形成領域に十分な電力が供給されて前記めっき層が形成されるものである。
【００３６】
そして前記めっき層６０には相対的に多量の光に反応する２次フォトレジスト７０を塗布して、まだ残っている１次フォトレジスト４０中回路パターン３２になる部分を除外した残り部分を露光して除去する。この際１次フォトレジスト４０の露光のために用いる光の量は前記２次フォトレジスト７０が反応しない程度である。したがってボールパッド６２とボンディングパッド６３をさらに正確に形成できるようになる。
このようにすると前記基板２０上には回路パターン３２と前記ボールパッド６２及びボンディングパッド６３を形成する部分を除外した金属層３０は全く存在しなくなる。言い換えれば従来の金メッキのための引込線が基板２０で完全に除去される。
【００３７】
【発明の効果】
以上で説明したような本発明による印刷回路基板の製造方法によると、ボールパッド及び／またはボンディングパッドの金メッキを回路パターンの形成前に予めめっきして、回路パターンの形成時に要らない金属層部分をすべて除去する。したがって、印刷回路基板に不要な構造物が形成されなくなり相対的に回路パターンの密集度を高めることができ、ノイズの発生、信号伝達の遅延などの現像を無くして印刷回路基板の性能を高めることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、（ａ）は平面図、（ｂ）及び断面図である。
【図２】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、（ａ）は平面図、（ｂ）及び断面図である。
【図３】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、（ａ）は平面図、（ｂ）及び断面図である。
【図４】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、（ａ）は平面図、（ｂ）及び断面図である。
【図５】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、（ａ）は平面図、（ｂ）及び断面図である。
【図６】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、（ａ）は平面図、（ｂ）及び断面図である。
【図７】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、（ａ）は平面図、（ｂ）及び断面図である。
【図８】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、（ａ）は平面図、（ｂ）及び断面図である。
【図９】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、（ａ）は平面図、（ｂ）及び断面図である。
【図１０】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、（ａ）は平面図、（ｂ）及び断面図である。
【図１１】従来技術による印刷回路基板の表面構成を示した平面図。
【符号の説明】
２０…基板
３０…金属層
３２…回路パターン
４０…１次フォトレジスト
５０、５０′…露光用フィルム
５２、５２′…露光ウィンドウ
６０…金メッキ層
６２…ボールパッド
６３…ボンディングパッド
７０…２次フォトレジスト
８０…フォトソルダレジスト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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