(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板を保持する被検査基板保持手段と、
前記被検査基板保持手段を反転可能に支持する第１の支持手段と、
前記被検査基板保持手段を水平位置から所定の角度に起傾可能に支持する第２の支持手段と、
前記第２の支持手段により水平位置に戻された前記被検査基板保持手段の両側に対して平行に設けられた一対の観察ユニット支持部用ガイドレールと、
前記観察ユニット支持部用ガイドレールに移動可能に設けられ、前記被検査基板保持手段を跨ぐように門型に形成された観察ユニット支持部と、
前記観察ユニット支持部に対して水平方向に移動可能に設けられた観察ユニットと、
前記第２の支持手段により前記被検査基板を保持した前記被検査基板保持手段を所定の角度に立ち上げた状態で前記被検査基板の上方から照明光を照射するマクロ照明手段と、
前記被検査基板保持手段の側縁のＹ方向とＸ方向に沿って前記被検査基板保持手段上に一体に設けられたＸ方向とＹ方向との位置検出部用ガイドスケールと、
前記Ｘ方向とＹ方向との位置検出部用ガイドスケールのそれぞれに移動可能に設けられ、これらガイドスケールに対してそれぞれ直交する方向へレーザ光を出射する一対の位置検出部と、
前記一対の位置検出部を前記位置検出部用ガイドスケールに沿って移動させて前記被検査基板上の欠陥部に各レーザ光を一致させたときの前記各ガイドスケールの値から前記欠陥部の位置座標を求め、前記第２の支持手段により前記被検査基板保持手段を水平位置に戻した状態で前記欠陥部の位置座標に基づいて前記観察ユニット支持部と前記観察ユニットを移動制御する制御部と、
を具備したことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記位置検出部は、レーザ光源と、前記レーザ光源から出射されたレーザ光を前記被検査基板の面に対して垂直な面状のレーザ光に変換するシリンドリカルレンズとを備えることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記第１の支持手段は、前記第２の支持手段により前記被検査基板保持手段を垂直に立ち上げた後、この被検査基板保持手段を反転させ前記被検査基板の裏面を観察者側に向け、反転させた前記被検査基板保持手段を所定の角度まで下げて傾斜させることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記観察ユニットは、マクロ観察用の部分マクロ照明を有し、この部分マクロ照明は、水平にした前記被検査基板保持手段に前記被検査基板を保持した状態で前記観察ユニット支持部と前記観察ユニットをＸ方向とＹ方向に移動させることで前記被検査基板の全面に対して部分マクロ照明光を照射することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶ディスプレイで代表されるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板の欠陥検査に用いられる基板検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＦＰＤに用いられるガラス基板の欠陥検査は、観察対象であるガラス基板表面に照明光を当て、その反射光の光学的変化から基板表面の傷などの欠陥部分を目視などで観察するマクロ観察と、マクロ観察で検出された欠陥部分を拡大して観察するミクロ観察を切り換えて可能にしたものがある。
【０００３】
従来、このような基板検査装置として、被検査基板を保持するホルダを所定角度まで立ち上げ可能にするとともに、このホルダの立ち上げにより被検査基板のマクロ観察を行ない、その後、ホルダを水平位置に戻して、マクロ観察で確認された欠陥の位置座標に基づいて被検査基板面上に移動自在に設けられミクロ観察系をｘｙ方向に移動させて、ミクロ観察系の対物レンズの観察軸を被検査基板面上の欠陥位置に一致させミクロ観察を可能にしたものが考えられている。
【０００４】
このような基板検査装置によれば、マクロ観察で確認された欠陥位置に対しミクロ観察系側を移動させるようになるので、これまでのミクロ観察系が固定されていて被検査基板のステージをｘｙ方向に移動させ、基板上の欠陥位置をミクロ観察系の対物レンズの観察軸に一致させていたものと比べ、被検査基板の大型化傾向にも装置の接地面積の増大という問題点を解決し、しかも、ホルダの立ち上げにより作業者の目の近くでマクロ観察ができるので、精度の高い観察も可能になる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、最近、被検査基板に対するマクロ観察は、基板表面だけでなく裏面についても実施することが要求されるようになっており、このため、以下のような不都合が生じている。
【０００６】
（１）被検査基板の裏面観察を行なうには、被検査基板を搬送ロボットなどで、一旦ホルダから取外し、被検査基板を反転させて裏面を上にしてから再度ホルダ上に置き直す必要があるため、被検査基板の受け渡しに時間がかかり作業能率が著しく低下するという問題がある。
【０００７】
（２）被検査基板の裏面観察を可能にするため、ホルダを反転させる機構を設けようとすると、ホルダの下に配置されるミクロ観察系などの駆動機構（ステージ駆動方式ではステージ駆動機構）が邪魔になってホルダ反転のための空間を作り出すことが困難であり、これを実現しようとすると、装置が大型になってしまうという問題もある。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、装置の大型化を招くことなく、効率よく基板の表裏面検査を可能にした基板検査装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、被検査基板を保持する被検査基板保持手段と、前記被検査基板保持手段を反転可能に支持する第１の支持手段と、前記被検査基板保持手段を水平位置から所定の角度に起傾可能に支持する第２の支持手段と、前記第２の支持手段により水平位置に戻された前記被検査基板保持手段の両側に対して平行に設けられた一対の観察ユニット支持部用ガイドレールと、前記観察ユニット支持部用ガイドレールに移動可能に設けられ、前記被検査基板保持手段を跨ぐように門型に形成された観察ユニット支持部と、前記観察ユニット支持部に対して水平方向に移動可能に設けられた観察ユニットと、前記第２の支持手段により前記被検査基板を保持した前記被検査基板保持手段を所定の角度に立ち上げた状態で前記被検査基板の上方から照明光を照射するマクロ照明手段と、前記被検査基板保持手段の側縁のＹ方向とＸ方向に沿って前記被検査基板保持手段上に一体に設けられたＸ方向とＹ方向との位置検出部用ガイドスケールと、前記Ｘ方向とＹ方向との位置検出部用ガイドスケールのそれぞれに移動可能に設けられ、これらガイドスケールに対してそれぞれ直交する方向へレーザ光を出射する一対の位置検出部と、前記一対の位置検出部を前記位置検出部用ガイドスケールに沿って移動させて前記被検査基板上の欠陥部に各レーザ光を一致させたときの前記各ガイドスケールの値から前記欠陥部の位置座標を求め、前記第２の支持手段により前記被検査基板保持手段を水平位置に戻した状態で前記欠陥部の位置座標に基づいて前記観察ユニット支持部と前記観察ユニットを移動制御する制御部とにより構成している。
【００１２】
この結果、本発明によれば、第１の支持手段により第１の支持手段を介して被検査基板保持手段を所定の角度まで立ち上げることで、被検査基板表面のマクロ観察およびミクロ観察を行なうことができ、その後、再び第２の支持手段により被検査基板保持手段を、ほぼ垂直状態まで立ち上げるとともに、第１の支持手段により被検査基板保持手段を回転させて被検査基板を反転させることで、被検査基板裏面についてもマクロ観察およびミクロ観察も行なうことができる
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
【００１４】
（第１の実施の形態）
図１および図２は、本発明が適用される基板検査装置の概略構成を示している。図において、１は装置本体で、この装置本体１上には、被検査基板保持手段としてホルダ２を設けている。
【００１５】
ホルダ２は、図３に示すように下端縁部の中央に支持軸２ａを有し、この支持軸２ａを第１の支持部１５により回転自在に支持している。第１の支持部１５は、後述する第２の支持部１６の支持軸１６ａの回転中心に直交する方向に沿った軸を中心にホルダ２を回転させるようにしたもので、ホルダ２の支持軸２ａにプーリ１５ａを設け、このプーリ１５ａにベルト１５ｂを介して駆動モータ１５ｃのプーリ１５ｄを接続し、駆動モータ１５ｃの駆動力をベルト１５ｂを介して支持軸２ａに伝達し、ホルダ２を回転させるようにしている。
【００１６】
第１の支持部１５は、第２の支持部１６により装置本体１に回転自在に支持されている。この第２の支持部１６は、装置本体１上に平行に支持された支持軸１６ａにより第１の支持部１５を回動自在に支持したもので、支持軸１６ａにプーリ１６ｂを設け、このプーリ１６ｂにベルト１６ｃを介して駆動モータ１６ｄのプーリ１６ｅを接続し、駆動モータ１６ｄの駆動力をベルト１６ｃを介して支持軸１６ａに伝達し、図２に示すようにホルダ２を、ほぼ垂直位置まで立ち上げ可能にしている。
【００１７】
ホルダ２は、ＦＰＤに用いられるガラス基板のような大型の被検査基板３を載置保持するもので、周縁部に沿って被検査基板３を吸着保持するための複数の基板押さえ部材と被検査基板３の位置を規制する位置決め部材を配置し、これら位置決め部材と基板押さえ部材によりホルダ２上の被検査基板３を位置決めするとともに、脱落しないように吸着保持可能にしている。
【００１８】
ここで、ホルダ２は、図４に示すように被検査基板３側縁の図示Ｙ軸方向およびＸ軸方向に沿って欠陥部の位置座標を検出するガイドスケール１９、２０を配置している。そして、ガイドスケール１９にＹ軸方向の位置検出部２１を、ガイドスケール２０にＸ軸方向の位置検出部２２を、それぞれのガイドスケール１９、２０に沿って移動可能に設けている。
【００１９】
位置検出部２１は、図５に示すようにレーザ光源２１１およびシリンドリカルレンズ２１２からなっており、Ｘ軸方向に沿って被検査基板３面に垂直な面状のレーザ光２１３を出力するようになっている。位置検出部２２についても位置検出部２１と同様で、ここでは、Ｙ軸方向に沿って被検査基板３面に垂直な面状のレーザ光２２３を出力するようになっている。そして、被検査基板３面上の欠陥部に対し、ガイドスケール１９に沿って位置検出部２１を移動してレーザ光２１３を欠陥部に一致させ、同様にガイドスケール２０に沿って位置検出部２２を移動してレーザ光２２３を欠陥部に一致させることで、この時のガイドスケール１９、２０の値を読取ることにより欠陥部の位置座標（Ｘ、Ｙ）を検出し、この検出結果を後述する制御部１１に出力するようにしている。
【００２０】
このような位置検出部２１、２２は、手動でガイドスケール１９、２０に移動させてもよいが、被検査基板３の大型化を考慮すると、ガイド付きボールネジやリニアモータを用いて位置検出部２１、２２を電動で駆動させ、検査者の手元で操作できるようにすることが望ましい。
【００２１】
図１に戻って、装置本体１上には、ホルダ２の両側縁に沿って一対のガイドレール４、４を平行に配置している。このガイドレール４、４上には、このホルダ２を跨ぐように門型の観察ユニット支持部５を配置し、この観察ユニット支持部５をガイドレール４に沿って被検査基板３面上の図示Ｙ軸方向に移動可能に設けている。
【００２２】
観察ユニット支持部５には、観察ユニット６を観察ユニット支持部５の移動方向（Ｙ軸方向）と直交する図示Ｘ軸方向に移動可能に支持している。
【００２３】
また、観察ユニット支持部５には、観察ユニット６の移動ラインに対向するように透過ライン照明７を一体に設けている。この透過ライン照明７は、ホルダ２下方を通過する観察ユニット支持部５の底板に図示Ｘ軸方向に沿って配置され、被検査基板３の下方より直線状の照明を行うもので、観察ユニット支持部５とともに、図示Ｙ軸方向に移動可能になっている。
【００２４】
ここで、透過ライン照明７は、例えば、図６に示すように光源部７１と中実のガラスロッド７２を有するもので、光源部７１よりガラスロッド７２の端部に入射した光をガラスロッド７２中を全反射伝送するとともに、ガラスロッド７２の背部に沿って塗布加工された白色縞７３により拡散させ、ガラスロッド７２のレンズ作用によりライン状の光を射出するようにしたものである。この透過ライン照明は、上記のものに限られるものでなく、蛍光灯などによるライン照明であればよい。
【００２５】
観察ユニット６は、ミクロ観察用の指標用照明８を設けたミクロ観察ユニット９とマクロ観察用の部分マクロ照明１０を有している。指標用照明８は、光学的に集光されたスポット光を被検査基板３表面に投光するものである。このスポット光による被検査基板３表面の反射光は、部分マクロ照明１０による反射光より明るくなっており、部分マクロ照明１０によるマクロ観察中でも目視観察できるようになっている。また、ミクロ観察ユニット９は、対物レンズ９１と接眼レンズ９２および図示しない落射照明を有する顕微鏡機能を備え、対物レンズ９１を介して被検査基板３表面の像を接眼レンズ９２により観察できるようになっている。また、ミクロ観察ユニット９には、三眼鏡筒を介してＴＶカメラ９３が取り付けている。目視によるミクロ観察が不要な場合には、直筒を介してＴＶカメラ９３のみを取り付けることもできる。このＴＶカメラ９３は、対物レンズ９１より得られる被検査基板３表面の観察像を撮像してＴＶモニタ１２に表示するようにしている。
【００２６】
部分マクロ照明１０は、マクロ観察に用いられるもので、ホルダ２上の被検査基板３表面の一部分をマクロ照明光１０１で照射するようにしている。また、この部分マクロ照明１０は、被検査基板３表面に対する照明角度を、マクロ観察に最適な角度に調整できるようになっている。
【００２７】
また、装置本体１の上方には、図８に示すように被検査基板３の全面を照射する全面マクロ照明３０が配置されている。この全面マクロ照明３０は、点光源としてのメタルハライドランプ３１と、このメタルハライドランプ３１に対向して配置した反射ミラー３２と、反射ミラー３２の下方にフレネルレンズ３３を配置してなるものである。
【００２８】
反射ミラー３２は、４５°傾けて設けられるもので、メタルハライドランプ３１からの光を反射し、フレネルレンズ３３に与えるようにしている。フレネルレンズ３３は、メタルハライドランプ３１からの光を図示のように収束光にしてホルダ２上の被検査基板３全面を照射するようにしている。
【００２９】
なお、装置本体１には、観察ユニット支持部５のＹ軸方向の位置座標を検出するＹスケールを設け、観察ユニット支持部５には、観察ユニット６のＸ方向の位置座標を検出するＸスケールを設けている。
【００３０】
また、制御部１１は、ガイドスケール１９、２０による欠陥部の位置座標（Ｘ、Ｙ）、ＹスケールおよびＸスケールによる位置座標に対する管理を始めとして、観察ユニット支持部５および観察ユニット６の移動制御などを行うもので、さらに、指標用照明８の光軸と対物レンズ９１の光軸との間隔Ｘ0 を予め記憶している。そして、ガイドスケール１９、２０から与えられた欠陥部の位置座標（Ｘ、Ｙ）に対して、この位置座標（Ｘ、Ｙ）にミクロ観察ユニット９の対物レンズ９１の観察軸が合致するように、観察ユニット支持部５および観察ユニット６を移動制御し、また、指標用照明８のスポット中心を被検査基板３上の欠陥部に位置させた状態で所定の指示を与えた場合は、ＹスケールおよびＸスケールのデータから欠陥部の位置座標を求め、この求めた位置座標と指標用照明８の光軸と対物レンズ９１の光軸との間隔データに基づいて、被検査基板３上で指定された欠陥部にミクロ観察ユニット９の対物レンズ９１の観察軸が合致するように観察ユニット支持部５および観察ユニット６を移動制御するようになっている。
【００３１】
次に、以上のように構成した実施の形態の動作を説明する。
【００３２】
まず、被検査基板表面のマクロ観察を行う場合、観察ユニット支持部５を図１に示す初期位置に後退させた後、水平にしたホルダ２上に被検査基板３を供給し、この状態で、位置決め部材により被検査基板３を位置決めするとともに、基板押え部材により脱落しないように吸着保持しマクロ観察による欠陥検査を開始する。
【００３３】
次に、マクロ照明を用いて被検査基板３の前面を一括してマクロ観察する場合について説明する。
【００３４】
このマクロ観察の場合、第２の支持部１６の駆動モータ１６ｄを起動してベルト１６ｃを介してプーリ１６ｂにより支持軸１６ａを回転させ、この支持軸１６ａを中心に第１の支持部１５を介してホルダ２を所定の角度、好ましくは３０〜４５°まで立ち上げて傾斜させるか、もしくは揺動させる。この状態で、メタルハライドランプ３１からの光をフレネルレンズ３３を通して、収束光としてホルダ２上の被検査基板３表面全体に照射させる。
【００３５】
このマクロ照明下で、検査者は、ホルダ２上の被検査基板３を注視し、目視により被検査基板３上の傷や汚れなどの欠陥検査を行う。そして、このようなマクロ観察において、例えば、図７に示すように被検査基板３上で欠陥部Ａを認識すると、この時の欠陥部Ａに対し、まず、ガイドスケール１９に沿って位置検出部２１を移動してレーザ光２１３を欠陥部に一致させ、続けてガイドスケール２０に沿って位置検出部２２を移動してレーザ光２２３を欠陥部に一致させる。そして、この時のガイドスケール１９、２０の値を読取ることで欠陥部Ａの位置座標（Ｘ、Ｙ）が検出され、この検出結果が制御部１１に取り込まれ図示しないメモリに記憶される。以下、同様にして被検査基板３上で検査者が欠陥部Ａを認識する度に同じ動作を繰り返すことで、各欠陥部のそれぞれの位置座標（Ｘ、Ｙ）が制御部１１に取り込まれ記憶される。
【００３６】
そして、被検査基板３表面についてマクロ観察を終了すると、駆動モータ１６ｄを起動してベルト１６ｃを介してプーリ１６ｂにより支持軸１６ａを上述したと反対方向に回転させ、ホルダ２を最初の水平位置に戻す。
【００３７】
その後、マクロ観察により検出した各欠陥部について、ミクロ観察ユニット９によりミクロ観察を行うには、制御部１１より図示しないメモリに記憶された各欠陥部の位置座標（Ｘ、Ｙ）が読み出され、続けて、この位置座標（Ｘ、Ｙ）にミクロ観察ユニット９の対物レンズ９１の観察軸が合致するように、観察ユニット支持部５および観察ユニット６が移動制御される。
【００３８】
これにより、検査者は、ミクロ観察ユニット９の接眼レンズ９２を覗くことで、対物レンズ９１を介して得られる被検査基板３上の欠陥部を顕微鏡観察でき、また、ＴＶカメラ９３により、対物レンズ９１より得られる被検査基板３表面の欠陥部が撮像され、ＴＶモニタ１２に表示されミクロ観察が行われる。
【００３９】
また、被検査基板３裏面に対するミクロ観察を行なう場合には、第２の支持部１６の駆動モータ１６ｄを起動してベルト１６ｃを介してプーリ１６ｂにより支持軸１６ａを回転させ、ホルダ２を図２に示すようにほぼ垂直状態まで立ち上げる。そして、この状態から、第１の支持部１５の駆動モータ１５ｃを起動し、支持軸２ａを介してホルダ２を回転させて被検査基板３を反転し、被検査基板３裏面を前方に向ける。さらに第２の支持部１６の駆動モータ１６ｄを起動してホルダ２を所定の角度まで下げて傾斜させる。これにより、被検査基板３裏面についても、上述したと同様にマクロ観察およびミクロ観察を行なうことができる。
【００４０】
被検査基板３の裏面の欠陥検査が終了したならば、駆動モータ１５ｃと１６ｄを駆動し、被検査基板３の表面が上方を向くようにホルダ２を反転させた後に水平状態に戻す。
【００４１】
このようにして被検査基板３の表面もしくは裏面の欠陥検査が終了したならば、観察者は、再び制御部１１に所定の指示を与え、観察ユニット支持部５を初期状態に復帰させ、ホルダ２から検査済み被検査基板３を取り除き、新たな被検査基板３に交換するようになる。
【００４２】
次に、部分マクロ照明１０を用いてマクロ観察を行い、続けて、ミクロ観察ユニット９によるミクロ観察を行うような場合を説明する。
【００４３】
この場合も、上述したようにホルダ２上に被検査基板３を位置決めして吸着保持した水平状態で、観察ユニット６の部分マクロ照明１０を点灯し、ホルダ２上の被検査基板３表面に部分的なマクロ照明光１０１を照射する。
【００４４】
そして、図４に示すように観察ユニット６を観察ユニット支持部５に沿ってＸ軸方向に直線移動させ、さらに観察ユニット支持部５をガイドレール４に沿ってＹ軸方向に直線移動させて、マクロ照明光１０１によりホルダ２の被検査基板３上をラスタスキャンしながら、被検査基板３全面について検査者の目視による傷や汚れなどの欠陥検査を行う。この場合、被検査基板３上のマクロ照明光１０１は、最適なマクロ観察を行うことができるように入射角度を自由に調整できるようになっている。
【００４５】
こうした部分マクロ照明１０を用いた部分マクロ観察において、検査者が被検査基板３上のマクロ照明光１０１中で欠陥部を認識したような場合、検査者は、観察ユニット６を、Ｘ、Ｙ軸方向に移動させ、被検査基板３上の欠陥部に指標用照明８のスポット光を位置させる。
【００４６】
そして、検査者より制御部１１に所定の指示を与えると、透過ライン照明７が点灯し、ホルダ２の下方からＸ軸方向にライン状の透過照明が照射される。そして、制御部１１で、ミクロ観察ユニット１９の移動量を位置座標データに変換するＹスケールおよびＸスケールのデータに基づいて被検査基板３上の欠陥部の位置座標が求められ、続けて、この位置座標データと予め記憶している指標用照明８の光軸と対物レンズ９１の光軸との間隔データを用いて観察ユニット支持部５および観察ユニット６を移動制御し、指定した被検査基板３上の欠陥部に対物レンズ９１の光軸を合致させる。
【００４７】
これにより、対物レンズ９１の視野中心に指定した欠陥部が持ち込まれ、対物レンズ９１を介して欠陥部のミクロ観察ができ、同時に、ＴＶカメラ９３で、対物レンズ９１より得られる被検査基板３表面の欠陥部を撮像し、ＴＶモニタ１２上でミクロ観察ができる。この場合、欠陥や被検査基板の種類に応じて落射照明や透過照明に切換えてミクロ観察を行うことができる。
【００４８】
その後、再び、検査者によりマクロ観察を指示すると、被検査基板３上の欠陥部は、マクロ照明光１０１の照射範囲の基の位置に戻され、続けて部分マクロ観察による欠陥確認が行われる。そして、続けて、他の欠陥部観察する場合には、上述した操作を繰り返すことになる。
【００４９】
このような部分マクロ照明１０を用いた部分マクロ観察についても、被検査基板３の表面の観察が終了した時点で、ホルダ２を、ほぼ垂直状態まで立ち上げ、次いで、第１の支持部１５の駆動モータ１５ｃを起動し、ホルダ２を回転させて被検査基板３を反転し、被検査基板３裏面を前方に向けるとともに、第２の支持部１６の駆動モータ１６ｄによりホルダ２を水平状態に戻すことにより、被検査基板３裏面についても、上述したと同様に部分マクロ観察およびミクロ観察を行なうことができる。
【００５０】
なお、上述では、部分マクロ照明１０によりホルダ２の被検査基板３上を部分照明しながら、マクロ観察を行い、被検査基板３上に欠陥を認識すると、ミクロ観察に移行するような場合を述べたが、部分マクロ照明１０によるマクロ観察のみを行う場合は、観察ユニット支持部５を初期位置に後退させ、ホルダ２上に被検査基板３を載置保持した状態から、部分マクロ照明１０を点灯して、ホルダ２上の被検査基板３表面に部分的なマクロ照明光１０１を照射する。そして、この状態から、観察ユニット６を観察ユニット支持部５に沿ってＸ軸方向に直線移動させ、さらに観察ユニット支持部５をガイドレール４に沿ってＹ軸方向に直線移動させながら、マクロ照明光１０１によりホルダ２の被検査基板３上をラスタスキャカすることで、被検査基板３全面について検査者の目視による欠陥検査が行われるようになる。この場合、マクロ照明光１０１中における各欠陥部に指標用照明８のスポット光を合わせ各欠陥部の位置座標を制御部１１のメモリに記憶することができる。
【００５１】
また、制御部１１に記憶された欠陥部の位置座標データに基づいて、ミクロ観察ユニット９によるミクロ観察を一括して行う場合は、観察ユニット支持部５を初期位置に後退させ、ホルダ２上に被検査基板３を載置保持した状態から、透過ライン照明７が点灯し、ホルダ２の下方からＸ軸方向にライン状の透過照明を照射させる。そして、この状態からミクロ観察ユニット９の対物レンズ９１を透過ライン照明７に沿ってＸ軸方向に直線移動させ、さらに観察ユニット支持部５をガイドレール４に沿ってＹ軸方向に直線移動させることで、制御部１１により読出された被検査基板３上の各欠陥位置に対物レンズ９１が持ち込まれ顕微鏡によるミクロ観察ができると、同時に、ＴＶカメラ９３により、被検査基板３表面が撮像され、ＴＶモニタ１２に表示される。この場合も、被検査基板や欠陥の種類に応じて透過照明に代えて落射照明に切換えることができる。
【００５２】
従って、このようにすれば、第２の支持部１６の駆動モータ１６ｄを起動して支持軸１６ａを回転させ、この支持軸１６ａを中心に第１の支持部１５を介してホルダ２を所定の角度まで立ち上げて傾斜させることで、被検査基板３表面について、マクロ観察およびミクロ観察を行なうことができ、また、第２の支持部１６の駆動モータ１６ｄを起動して支持軸１６ａを回転させ、この支持軸１６ａを中心にホルダ２をほぼ垂直状態まで立ち上げるとともに、第１の支持部１５の駆動モータ１５ｃを起動し、支持軸２ａを介してホルダ２を回転させて被検査基板３の表面から裏面に反転させることで、被検査基板３裏面についてもマクロ観察およびミクロ観察も行なうことができるので、従来の被検査基板の裏面観察を行なうのに、被検査基板を搬送ロボットなどで、一旦ホルダから取外し、被検査基板を反転させて裏面を上にしてから再度ホルダ上に置き直す必要があるものと比べ、被検査基板３の表裏面の検査を短時間で効率よく行なうことができ、作業能率の向上を図ることができる。
【００５３】
また、ミクロ観察系のミクロ観察ユニット９が移動するスペースを利用して被検査基板３を反転させることができるので、ホルダ２の下側に基板反転のためのスペースを確保する必要がなくなり、装置の大型化を回避できる。
【００５４】
さらに、ホルダ２をほぼ垂直状態まで立ち上げた状態からホルダ２を反転させることで、回動による被検査基板３に加わる負荷が軽減され、反転時において自重により吸着効果が低下してホルダ２から離脱する問題を解消できる。
【００５５】
（第２の実施の形態）
図９は、本発明の第２の実施の形態の概略構成を示すもので、図１と同一部分には、同符号を付している。
【００５６】
この場合、ホルダ２は、両側縁部の中央に、それぞれ支持軸２ｂを有し、これら支持軸２ｂを、第１の支持部を構成する一対の腕部８１ａの一方端部に回転自在に支持し、ホルダ２を反転可能にしている。これら腕部８１ａの他方端部を、後述する第２の支持部の中空支持軸８２ａの両端部に固定し、支持軸８２ａの回転とともに、この支持軸８２ａの回転中心に平行する軸を中心に回転するようになっている。
【００５７】
第１の支持部は、図１０に示すようにホルダ２の支持軸２ｂにプーリ８１ｂを設け、このプーリ８１ｂに腕部８１ａの中空部に配置されるベルト８１ｃを介して支持軸８２ａの中空部に位置される回転軸８１ｄの一方端部のプーリ８１ｅを接続し、さらに回転軸８１ｄの他方端部にプーリ８１ｆを設け、このプーリ８１ｆにベルト８１ｇを介して駆動モータ８１ｈの駆動力を伝達することで、ホルダ２を回転させるようにしている。
【００５８】
第２の支持部は、装置本体１上に平行に支持された中空支持軸８２ａの両端部に第１の支持部の腕部８１を固定しており、さらに支持軸８２ａにプーリ８２ｂを設け、このプーリ８２ｂにベルト８２ｃを介して駆動モータ８２ｄの回転軸８２ｅを接続し、駆動モータ８２ｄの駆動力をプーリ８２ｃを介して支持軸８２ａに伝達することで、腕部８１ａを図示のように立ち上げることができるようになっている。
【００５９】
このような構成においても、マクロ照明を用いて被検査基板３の前面を一括してマクロ観察する場合は、第２の支持部の駆動モータ８２ｄを起動してベルト８２ｃを介してプーリ８２ｂにより支持軸８２ａを回転させることで、腕部８１ａが回転して、ホルダ２が所定の角度まで立ち上げられる。
【００６０】
次いで、第１の支持部の駆動モータ８１ｈを駆動し回転軸８１ｄ、ベルト８１ｃを介してホルダ２の支持軸２ｂを回転させることで、ホルダ２を所定の角度に傾斜もしくは揺動させたり、または裏面側に反転させることができる。そして、この状態から、第１の実施の形態で述べたと同様にして、メタルハライドランプ３１を点灯させ、収束光としてホルダ２上の被検査基板３表面全体に照射させることで、検査者がホルダ２上の被検査基板３を注視し、目視により被検査基板３上の傷や汚れなどの欠陥検査を行うことができる。
【００６１】
従って、このようにしても第２の支持部の中空支持軸８２ａを中心に腕部８１ａを介してホルダ２を立ち上げるとともに、第１の支持部の駆動モータ８１ｈを起動してホルダ２の支持軸２ｂを回転させ、ホルダ２を所定の角度に傾斜させることで、被検査基板３表面について、マクロ観察およびミクロ観察を行なうことができ、また、第１の支持部の駆動モータ８１ｈを起動してホルダ２の支持軸２ｂを回転させてホルダ２を反転し、被検査基板３裏面を前方に向けるとともに、ホルダ２を所定の角度に傾斜させることで、被検査基板３裏面についてもマクロ観察およびミクロ観察も行なうことができるようになり、上述した第１の実施の形態と同様の効果を期待できる。
【００６２】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、被検査基板の表裏面の検査を短時間で効率よく行なうことができ、作業能率の向上を図ることができる。また、被検査基板保持手段の下側に基板反転のためのスペースなどを確保する必要がなくなり、装置の大型化を回避できる。さらに、被検査基板の左右の揺動が可能になるので、この時の揺動位置により被検査基板を最適な姿勢に保ちながらマクロ観察ができ、検査精度の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す図。
【図２】  第１の実施の形態のホルダを立ち上げた状態の概略構成を示す側面図。
【図３】  第１の実施の形態のホルダを支持する第１および第２の支持部の概略構成を示す図。
【図４】  第１の実施の形態に用いられる欠陥の位置座標検出部の概略構成を示す図。
【図５】  第１の実施の形態に用いられる欠陥の位置座標検出部の光源の概略構成を示す図。
【図６】  第１の実施の形態に用いられる透過ライン照明の概略構成を示す図。
【図７】  第１の実施の形態に用いられる位置座標検出部での座標検出例を示す図。
【図８】  第１の実施の形態に用いられる全面マクロ照明の概略構成を示す図。
【図９】  本発明の第２の実施の形態の概略構成を示す図。
【図１０】  第２の実施の形態のホルダを支持する支持部の概略構成を示す図。
【符号の説明】
１…装置本体
２…ホルダ
２０１…基板押え部材
２ａ…支持軸
２ｂ…支持軸
３…被検査基板
４…ガイドレール
５…観察ユニット支持部
６…観察ユニット
７…透過ライン照明
８…指標用照明
９…ミクロ観察ユニット
１０…部分マクロ照明
１０１…マクロ照明光
１１…制御部
１２…ＴＶモニタ
１５…第１の支持部
１５ａ…プーリ
１５ｂ…ベルト
１５ｃ…駆動モータ
１５ｄ…プーリ
１６…第２の支持部
１６ａ…支持軸
１６ｂ…プーリ
１６ｃ…ベルト
１６ｄ…駆動モータ
１６ｅ…回転軸
１９…ガイドスケール
２０…ガイドスケール
２１．２２…位置検出部
２１１…レーザ光源
２１２…シリンドリカルレンズ
２１３…レーザ光
２２３…レーザ光
３０…全面マクロ照明
３１…メタルハライドランプ
３２…反射ミラー
３３…フレネルレンズ
７１…光源部
７２…ガラスロッド
７３…白色縞
８１ａ…腕部
８１ｂ…プーリ
８１ｃ…ベルト
８１ｄ…回転軸
８１ｅ…プーリ
８１ｆ…プーリ
８１ｇ…ベルト
８１ｈ…駆動モータ
８２ａ…支持軸
８２ｂ…プーリ
８２ｃ…ベルト
８２ｄ…駆動モータ
８２ｅ…プーリ
９１…対物レンズ
９２…接眼レンズ
９３…ＴＶカメラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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