(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下に一定間隔で配置された、被処理物を載置するための複数の平板状被処理物載置用部材を、垂直方向に前記一定間隔よりも大きい所定のピッチに変化させるための配列ピッチ変換装置であって、
１つの平板状被処理物載置用部材を支持するための第１爪板部と、
前記第１爪板部の下方に配置され、前記１つの平板状被処理物載置用部材の下に位置する平板状被処理物載置用部材を支持するための第２爪板部と、
前記第１爪板部と前記第２爪板部とが密着した状態から前記第１爪板部を吊り上げるための第１移動機構と、
前記第１爪板部と前記第２爪板部とを、前記第２爪板部が前記第１爪板部に吊り下げられた状態で前記第１爪板部と前記第２爪板部との間隔が前記所定のピッチとなるように連結する結合部材と
を備え、
前記第１爪板部、前記第２爪板部および前記第１移動機構は、前記平板状被処理物載置用部材を挟んで対向するようにそれぞれ配置され、
互いに向い合う前記第１移動機構のそれぞれには、互いに向い合う方向に沿って水平に移動可能な第２移動機構がさらに設けられ、
前記第１爪板部と前記第２爪板部との間に緩衝材が装着された、配列ピッチ変換装置。
【請求項２】
前記結合部材は、軸部と前記軸部の両端にそれぞれ前記軸部の軸方向と垂直に設けられた第１フランジおよび第２フランジとを有し、
前記第１爪板部は、前記結合部材の前記第１フランジの挿通が可能な第１開口部と、前記第１開口部に連通し前記第１開口部の開口径よりも小さい前記軸部の挿通が可能な第２開口部とを有し、
前記第２爪板部は、前記第１爪板部と密着した状態で前記第２開口部と連通し前記軸部の挿通が可能な第３開口部と、前記第３開口部に連通し前記第３開口部の開口径よりも大きな前記第２フランジの挿通が可能な第４開口部とを有し、
前記第１フランジが前記第１開口部の底面に当接するとともに、前記第２フランジが前記第４開口部の上面に当接することで、前記第２爪板部が前記第１爪板部に吊り下げられた状態になり、
前記第２爪板部の下に位置する第３爪板部を備え、
前記第３爪板部は、前記第２爪板部と密着した状態で、前記第４開口部と連通する前記第２フランジが挿通可能な第５開口部を備えた、請求項１記載の配列ピッチ変換装置。
【請求項３】
前記緩衝材は圧縮コイルばねである、請求項１または２に記載の配列ピッチ変換装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、配列ピッチ変換装置に関し、特に、略垂直方向に一定の間隔で積み重ねられた被処理物を略垂直方向に所定のピッチに変換することができる配列ピッチ変換装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
複数のウェハについて同時に同じプロセスを施す場合には、ウェハを所定のピッチにて並べるための配列ピッチ変換装置が使用される。そのような配列ピッチ変換装置の第１の例として、特開平３−１８５７１８号公報に記載された配列ピッチ変換装置について説明する。
【０００３】
図１０に示すように、ボート１０２がパンタグラフ機構を有しており、ウェハ１０１を１枚づつ保持し、ボート保持治具（図示せず）上をウェハ面と略直交する方向（軸方向）に伸縮自在にスライドする。ボート１０２の端部にピッチ可変機構１０３が接続されている。ピッチ変換機構１０３を伸ばすと、ボート１０２のピッチが軸方向に縮む。
【０００４】
一方、ピッチ変換機構１０３を縮めるとボート１０２のピッチが軸方向に伸びる。この配列ピッチ変換装置は、たとえば、ボート１０２を炉心管に挿入してウェハに所定のプロセスを施す場合に用いられる。
【０００５】
次に、配列ピッチ変換装置の第２の例として、特開平１−２８９２６３号公報に記載された配列ピッチ変換装置について説明する。図１１に示すように、この配列ピッチ変換装置では、ベローズ機構が適用されている。ベローズ機構においては、ベローズ２０２とこのベローズ２０２を貫通し、その両端がベローズガイド軸２０３とからなる。ベローズ２０２は、このベローズガイド軸２０３に沿って伸縮するように構成されている。
【０００６】
ベローズガイド軸２０３には、このベローズガイド軸２０３と平行にスライド軸２０４、駆動ねじ２０５が順に配列されている。また、ベローズ２０２の長手方向両端面とスライド軸２０４および駆動ねじ２０５は連結板２０６により連結されている。連結板２０６とベローズ２０２の端面との当接部は固定されている。
【０００７】
連結板２０６とスライド軸２０４とは、連結板２０６が軸方向に移動可能な構造である。また、駆動ねじ２０５と連結板２０６との接続部はボールスクリュー構造２０７を構成している。駆動ねじ２０５には中心部を挟んで逆ピッチのねじ山が形成されている。
【０００８】
各駆動ねじ２０５は駆動モータ（図示せず）に接続されており、この駆動モータの回転により駆動ねじ２０５が回転して連結板２０６が互いに接近または離間することで、ベローズ２０２の伸縮が行われる。
【０００９】
複数の半導体ウェハ２０１は、各ベローズ２０２の谷部で挟持される。半導体ウェハ２０１が挟持された後、連結板の間隔を接近させる。連結板２０６が接近することで各ベローズ２０２は収縮し、ベローズ２０２に挟持された半導体ウェハ２０１の配列ピッチが所定のピッチに変換される。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の配列ピッチ変換装置では以下に説明する問題点があった。
【００１１】
まず、第１の従来技術における配列ピッチ変換装置では、パンタグラフ機構により半導体ウェハの水平方向の配列ピッチが変換される。ところが、これを垂直方向に配列ピッチを変換しようとする場合、特に、数ｍｍ程度の比較的小さいピッチに変換する場合には、パンタグラフ機構を小型化する必要がある。
【００１２】
つまり、パンタグラフ機構を構成するアームを細くしたり、アームを接続する接続軸受の径を小さくしなければならない。このため、比較的細いアームや、小径の接続軸受で、特に液晶パネルなどの比較的重いものを所定のピッチに変換するには、パンタグラフ機構の剛性が十分でなかった。
【００１３】
また、第２の従来技術における配列ピッチ変換装置では、ベローズの谷間で挟持された半導体ウェハが、水平方向にベローズが伸縮することで所定の配列ピッチに変換される。
【００１４】
ところが、これを垂直方向に配列ピッチを変換しようとする場合、各ベローズの各段の伸縮が不均一になる。このため、垂直方向に配列ピッチを変換させようとすると、精度の高いピッチを出すことができなかった。
【００１５】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであり、垂直方向に精度の高い配列ピッチをもたせることのできる配列ピッチ変換装置を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る配列ピッチ変換装置は、上下に一定間隔で配置された、被処理物を載置するための複数の平板状被処理物載置用部材を、垂直方向に前記一定間隔よりも大きい所定のピッチに変化させるための配列ピッチ変換装置であって、第１爪板部と、第２爪板部と、第１移動機構と、結合部材とを備えている。第１爪板部は１つの平板状被処理物載置用部材を支持する。第２爪板部は第１爪板部の下方に配置され、１つの平板状被処理物載置用部材の下に位置する平板状被処理物載置用部材を支持する。第１移動機構は第１爪板部と第２爪板部とが密着した状態から第１爪板部を吊り上げる。結合部材は第１爪板部と第２爪板部とを、第２爪板部が第１爪板部に吊り下げられた状態で第１爪板部と第２爪板部との間隔が所定のピッチとなるように連結している。
また、第１爪板部、第２爪板部および第１移動機構は、平板状被処理物載置用部材を挟んで対向するようにそれぞれ配置され、互いに向い合う第１移動機構のそれぞれには、互いに向い合う方向に沿って水平に移動可能な第２移動機構がさらに設けられている。
さらに、第１爪板部と第２爪板部との間に緩衝材が装着されている。
【００１７】
この配列ピッチ変換装置によれば、第１爪板部と第２爪板部とが密着した状態から第１移動機構により第１爪板部を吊り上げることで、第２爪板部が結合部材により第１爪板部と所定のピッチを隔てて第１爪板部によって吊り下げられた状態になる。これにより、比較的簡単な構造で、再現性が高く、また、剛性の高い配列ピッチの変換を行うことができる。また、この配列ピッチ変換装置により、精度の高い配列ピッチが得られるので、平板状被処理物載置用部材に載置された被処理物に所定の処理を施す際に均一に処理を施すことができて、被処理物の品質や歩留まりの向上を図ることができる。
また、第１爪板部、第２爪板部および第１移動機構は、平板状被処理物載置用部材を挟んで対向するようにそれぞれ配置され、互いに向い合う第１移動機構のそれぞれには、互いに向い合う方向に沿って水平に移動可能な第２移動機構がさらに設けられていることで、上下に一定間隔に配置された平板状被処理物載置用部材を配列ピッチ変換装置の上に載置したり所定の処理が被処理物に施された後に平板状被処理物載置用部材を配列ピッチ変換装置から取除く際に、各爪板部を退避させた状態に設定することができる。これにより、平板状被処理物載置用部材を配列ピッチ変換装置に載置したり取除く方向の自由度が増して、作業が容易になる。また、平板状被処理物載置用部材の載置や取除きの作業をロボットによって簡単に行うことができるようになる。
さらに、第１爪板部と第２爪板部との間に緩衝材が装着されていることで、爪板部がたとえば数ｍｍ程度上下に移動することができて、平板状被処理物載置用部材が多少傾いた状態で配列ピッチ変換装置に載置される場合でも、各平板状被処理物載置用部材の間に爪板部を配置させることができる。
【００１８】
このような結合部材としては、軸部とその軸部の両端にそれぞれ軸部の軸方向と垂直に設けられた第１フランジおよび第２フランジとを有している結合部材であることが望ましい。そして第１爪板部は、結合部材の第１フランジの挿通が可能な第１開口部と、その第１開口部に連通し第１開口部の開口径よりも小さい軸部の挿通が可能な第２開口部とを有し、第２爪板部は、第１爪板部と密着した状態で第２開口部と連通し軸部の挿通が可能な第３開口部と、その第３開口部に連通し第３開口部の開口径よりも大きな第２フランジの挿通が可能な第４開口部とを有していることが望ましい。これにより、第１フランジが第１開口部の底面に当接するとともに、第２フランジが第４開口部の上面に当接することで、第２爪板部が第１爪板部に吊り下げられた状態になる。
【００１９】
また、第２爪板部の下に位置する第３爪板部を備え、その第３爪板部は、第２爪板部と密着した状態で、第４開口部と連通する第２フランジが挿通可能な第５開口部を備えていることが望ましい。
【００２０】
この場合には、結合部材の軸部としてより長いものを使用することができて、配列ピッチ変換後の所定のピッチをより大きく設定することが可能になる。
【００２５】
そのような緩衝材として、具体的には圧縮コイルばねが好ましい。
【００２６】
【発明の実施の形態】
実施の形態１
本発明の実施の形態１に係る配列ピッチ変換装置について説明する。図１および図２に示すように、この配列ピッチ変換装置では、たとえば、ガラス製の液晶ディスプレイパネルを載置した樹脂製の平板状被処理物載置用部材としての搬送用トレイ１が所定の配列ピッチに変換される。
【００２７】
搬送用トレイ１の寸法は、たとえば３００×３６０×１０ｍｍ（縦×横×厚さ）である。搬送用トレイ１の上面には液晶ディスプレイパネル２１を取囲むように土手状の突起１ａが設けられている。一方、搬送用トレイ１の下面には突起１ａが嵌合する溝１ｂが設けられている。
【００２８】
積み重ねられた搬送用トレイ１は、台板７の上に載置される。積み重ねられた各搬送用トレイ１に両端側には、各搬送用トレイ１を支持する爪板２がそれぞれ設けられている。各爪板２ａ、２ｂ等は、各爪板２が密着した状態から１つの爪板がその上に位置する爪板に吊り下げられた状態で所定のピッチとなるように結合部材３によって互いに連結されている。最上段の爪板２ａは、支持フレーム９に固定されている。最下段の爪板２ｄは、結合部材３によって台板７と連結されている。
【００２９】
支持フレーム９は移動機構５に取付けられている。この移動機構５は、たとえば、エアシリンダにより構成される。そして、移動機構５には制御系（図示せず）が接続され、外部信号または手動操作により移動機構５の移動操作が行なわれる。爪板２、支持フレーム９、結合部材３、および移動機構５によりピッチ変換機構１０ａ、１０ｂが構成される。
【００３０】
次に、各爪板と結合部材の基本構造について詳しく説明する。図３に示すように、爪板２ａとその下に位置する爪板２ｂとは所定の長さの結合部材３ａによって連結されている。結合部材３ａは、フランジ部３３ａ、３３ｂおよびそのフランジ３３ａ、３３ｂを接続する接続部３３ｃとを有している。接続部３３ｃの径は、フランジ３３ａ、３３ｂの径よりも小さい。爪板２ａには、フランジ３３ａの挿通を許容する開口部２２ａと接続部３３ｃの挿通を許容する開口部２２ｂが設けられている。
【００３１】
一方、爪板２ｂにも、同様に、フランジ３３ｂの挿通を許容する開口部２２ｄと接続部３３ｃの挿通を許容する開口部２２ｃが設けられている。以下、同様にして、各爪板２ｂ、２ｃ等が結合部材３ｂによって連結されている。
また、各爪板２ａ等には貫通孔８ａ等が設けられている。特に爪板２ｂに設けられた貫通孔８ｂにはガイド軸４が圧入され、ガイド軸４が爪板２ｂに固定されている。一方、爪板２ｃに形成された貫通孔８ｃでは、ガイド軸４がスライド可能なように挿通されている。
【００３２】
なお、貫通孔８ａ等は、最上段の爪板から最下段の爪板までを貫通するように形成されているが、ガイド軸４が圧入される貫通孔と、そうでない貫通孔とでは、当然その開口径が異なっている。
【００３３】
このように、各爪板２ａ等は所定の長さの結合部材３ａ等によって順次連結されていることで、各爪板同士が接触した状態から１つの爪板がその上に位置する爪板に吊り下げられた状態で所定のピッチとなる。また、この際に各爪板の移動がガイド軸４によってガイドされることになる。
【００３４】
次に、配列ピッチ変換装置の動作について説明する。まず、図１に示すように、積み重ねられた搬送用トレイ１を、紙面に垂直な方向から水平に台板７の所定の位置に載置する。これにより、各搬送用トレイ１の間に各爪板２の先端部分が位置する状態になる。これを側面方向からみた状態を図４に示す。図４は配列ピッチ変換前の状態を示し、各爪板２は互いに接触している状態にある。
【００３５】
次に、制御系（図示せず）により、移動機構５を動作させて、支持フレーム９を上昇させる。支持フレーム９には、最上段の爪板２ａが固定されている。この支持フレーム９の上昇に伴って、爪板２ａもガイド軸４ａにガイドされながら上昇する。そして、爪板２ａの上昇に伴い、結合部材３ａの上方のフランジ３３ａが爪板２ａに支持され、爪板２ｂが結合部材３の下方のフランジ３３ｂにより支持される。
【００３６】
このようにして、爪板２ａが結合部材３ａで定まるピッチだけ上昇すると、次の爪板２ｂが上昇を開始する。爪板２ｂが、爪板２ａの場合と同様に結合部材３で定まるピッチだけ上昇すると、次の爪板２ｃが上昇を開始する。以下、同様にして上方の爪板から順次各爪板が上昇する。
【００３７】
最下段の爪板２ｄでは、結合部材３ｃの下方のフランジが台板７に組込まれているので、爪板２ｄが結合部材３ｃで定まるピッチだけ上昇すると、それ以上は上昇せず、上昇動作が完了する。
【００３８】
このようにして、図５に示すように、液晶ディスプレイパネルを積載した搬送用トレイを支持する各爪板２が垂直方向に所定のピッチに変換される。
【００３９】
次に、所定のピッチに変換された搬送用トレイ１に積載された液晶ディスプレイパネルに、たとえば、偏光板貼付け後の加圧脱泡処理を施す。このとき、台板７ごと加圧脱泡装置内に設置する。加圧脱泡装置内で、たとえば圧力３〜７気圧、温度４０〜７０℃のもとで、約１０〜３０分間保持して、加圧脱泡装置内から取出す。
【００４０】
このようにして、所定の処理を液晶ディスプレイパネルに施した後、変換された各爪板２のピッチを元のピッチに戻す操作を行う。この操作は、移動機構５を下降させることで行われる。移動機構５を下降させることで、最下段の爪板２ｄが台板７上に密着し、次の爪板が下降を開始して爪板２ｄに密着する。
【００４１】
このようにして、最下段の爪板から順次各爪板が直下に位置する爪板に密着する。そして、最上段の爪板２ａが爪板２ｂに密着する。これにより下降操作完了し、移動機構５の動作を止める。このようにして、搬送用トレイ１が初期の積み重ねられた状態に戻る。
【００４２】
上述した配列ピッチ変換装置によれば、各爪板が所定の結合部材で上に位置する爪板に吊り下げられることで、比較的簡単な構造で、再現性が高く、また、剛性の高い配列ピッチの変換を行うことができる。
【００４３】
また、この配列ピッチ変換装置により、精度の高い配列ピッチが得られるので、搬送用トレイに積載された液晶ディスプレイパネルに、たとえば加圧脱泡処理を施す際に、均一に加圧および加温ができて、偏光板貼付け時に生じた偏光板と液晶ディスプレイパネルとの間に存在する気泡を効率よく除去することができる。その結果、液晶ディスプレイパネルの品質が向上し、歩留まりが向上するという効果が得られる。
【００４４】
実施の形態２
次に、本発明の実施の形態２に係る配列ピッチ変換装置について説明する。図６に示すように、本配列ピッチ変換装置では、ピッチ変換機構１０ａ、１０ｂにそれぞれ水平方向の移動機構１１ａ、１１ｂを備えている。なお、これ以外の構成については、実施の形態１において説明した図１に示す配列ピッチ変換装置と同様なので、同一部材には同一符号を付し、その説明を省略する。
【００４５】
水平方向の移動機構１１ａ、１１ｂとして、たとえば、エアシリンダ１５ａとリニアガイド１５ｂを有している。
【００４６】
次に、この配列ピッチ変換装置の動作について説明する。まず、移動機構１１ａ、１１ｂを動作させて、互いに向い合うピッチ変換機構１０ａ、１０ｂの間隔を広げて爪板をあらかじめ退避させておく。積み重ねられた搬送用トレイ１を台板７の上に載置する。
【００４７】
搬送用トレイ１が載置された後、移動機構１１ａ、１１ｂを動作させて搬送用トレイ１の側に爪板２を接近させ、各搬送用トレイの間にそれぞれ爪板２を配置させる。この後、実施の形態１において説明したのと同様に、ピッチ変換機構１０ａ、１０ｂを動作させることにより、垂直方向に各搬送用トレイ１のピッチを所定のピッチに変換する。
【００４８】
搬送用トレイに載置された液晶ディスプレイパネルに所定の処理を施した後に、実施の形態１において説明したのと同様に、ピッチ変換機構１０ａ、１０ｂを動作させることにより、各搬送用トレイ１を当初の積み重ねられた状態に戻す。
【００４９】
次に、移動機構１１ａ、１１ｂを動作させて対向するピッチ変換機構１０ａ、１０ｂの間隔を広げて各爪板２を退避させる。このようにして、配列ピッチ変化装置の一連の動作が完了する。
【００５０】
上述した配列ピッチ変換装置によれば、積み重ねられた搬送用トレイ１を台板７の上に載置したり所定の処理が施された後に搬送用トレイ１を台板７から取除く際に、各爪板２が退避した状態にある。これにより、積み重ねられた搬送用トレイを配列ピッチ変換装置に載置したり取除く方向の自由度が増して、作業が容易になる。また、搬送用トレイ１の載置や取除きの作業をロボットによって簡単に行うことができるようになる。
【００５１】
実施の形態３
本発明の実施の形態３に係る配列ピッチ変換装置について説明する。実施の形態１において説明した配列ピッチ変換装置における結合部材３の長さは、爪板２枚分の厚さよりも短いものであった。このため、爪板のピッチには限界があった。そこで、この実施の形態では、搬送用トレイの積み重ねの間隔に対して、変換するピッチをより大きく設定できるように、結合部材として、図７に示すように、結合部材の接続部がより長いものを適用する。したがって、爪板２ｃには爪板２ｂに設けられた開口部２２ｄに連通する開口部２２ｅが形成されている。
【００５２】
結合部材３ａのフランジ３３ｂは、この開口部２２ｅ、２２ｄにスライド可能に挿通されている。これ以外の構成については、実施の形態１において説明した図３に示す基本構造と同じなので、同一部材には同一符号を付し、その説明を省略する。
【００５３】
この配列ピッチ変換装置の動作も、上記のように結合部材に長さ実施の形態１の場合よりも長くなっているだけで、動作は全く同じである。このため、ピッチ変換機構により、配列ピッチの変換が完了した後には、図８に示すように、各爪板２ａ〜２ｆのピッチがより拡大された状態が実現する。この配列ピッチ変換装置により、積み重ねられた搬送用トレイのピッチが５ｍｍの場合、約１２ｍｍまで拡大することができる。
【００５４】
なお、さらに変換ピッチを拡大させたい場合には、結合部材の接続部をさらに長くするとともに、その結合部材の下方のフランジを挿通するために対応する各爪板に開口部（貫通孔）を設けることで対応可能である。すなわち、たとえば、図７に示す爪板２ｄに開口部２２ｅに連通する新たな開口部を設けることで、変換後のピッチをより拡大することが可能になる。
【００５５】
実施の形態４
本発明の実施の形態４に係る配列ピッチ変換装置について説明する。
図９に示すように、本配列ピッチ変換装置では各爪板２ａ、２ｂ等間に緩衝材としての圧縮コイルばね６が装着されている。これ以外の構成については、実施の形態１等において説明した配列ピッチ変換装置の構成と同様なので、同一部材には同一符号を付しその説明を省略する。
【００５６】
この圧縮コイルばねとして、反発力が液晶ディスプレイパネルを載置したトレイ１つ分の重量よりもわずかに下回るようにばね定数が選択されている。
【００５７】
次に、この配列ピッチ変換装置の動作について説明する。まず、積み重ねられた搬送用トレイのピッチは５〜１０ｍｍ程度である。積み重ねられた搬送用トレイを各爪板と平行になるようにして台板上に載置する必要がある。このとき、積み重ねられた搬送用トレイ間の間隔の精度が低い場合や搬送用トレイが傾いていた場合など、爪板に対して搬送用トレイが平行でない場合がある。このような場合には、搬送用トレイが爪板に接触することがある。
【００５８】
このとき、各爪板の間に圧縮コイルばねが装着されていることで、爪板が数ｍｍ程度上下に移動することができて、搬送用トレイを容易に台板の上に載置することができる。したがって、搬送用トレイが多少傾いた状態で台板上に載置される場合でも、各搬送用トレイの間に爪板を配置させることができ、その後、実施の形態１において説明したのと同様に、所定の配列ピッチに容易に変換することができる。
【００５９】
なお、上記各実施の形態においては、爪板同士の連結に所定の長さの結合部材３を適用した。このような結合部材の他に、たとえば所定長さのワイヤーや鎖を用いて、その一端を爪板の下部に接続するとともに、他端を直下の爪板に接続することでも、搬送用トレイのピッチを容易に変換することができる。
【００６０】
また、上記各実施の形態では、液晶ディスプレイを塔載したトレイを例に挙げて説明したが、これに限られず、垂直方向に所定のピッチを開けて処理を施すものに対して適用することができる。
【００６１】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【００６２】
【発明の効果】
この配列ピッチ変換装置によれば、第１爪板部と第２爪板部とが密着した状態から第１移動機構により第１爪板部を吊り上げることで、第２爪板部が結合部材により第１爪板部と所定のピッチを隔てて第１爪板部によって吊り下げられた状態になる。これにより、比較的簡単な構造で、再現性が高く、また、剛性の高い配列ピッチの変換を行うことができる。また、この配列ピッチ変換装置により、精度の高い配列ピッチが得られるので、平板状被処理物載置用部材に載置された被処理物に所定の処理を施す際に均一に処理を施すことができて、被処理物の品質や歩留まりの向上を図ることができる。
また、第１爪板部、第２爪板部および第１移動機構は、平板状被処理物載置用部材を挟んで対向するようにそれぞれ配置され、互いに向い合う第１移動機構のそれぞれには、互いに向い合う方向に沿って水平に移動可能な第２移動機構がさらに設けられていることで、上下に一定間隔に配置された平板状被処理物載置用部材を配列ピッチ変換装置の上に載置したり所定の処理が被処理物に施された後に平板状被処理物載置用部材を配列ピッチ変換装置から取除く際に、各爪板部を退避させた状態に設定することができる。これにより、平板状被処理物載置用部材を配列ピッチ変換装置に載置したり取除く方向の自由度が増して、作業が容易になる。また、平板状被処理物載置用部材の載置や取除きの作業をロボットによって簡単に行うことができるようになる。
さらに、第１爪板部と第２爪板部との間に緩衝材が装着されていることで、爪板部がたとえば数ｍｍ程度上下に移動することができて、平板状被処理物載置用部材が多少傾いた状態で配列ピッチ変換装置に載置される場合でも、各平板状被処理物載置用部材の間に爪板部を配置させることができる。
【００６３】
このような結合部材としては、軸部とその軸部の両端にそれぞれ軸部の軸方向と垂直に設けられた第１フランジおよび第２フランジとを有している結合部材であることが望ましい。そして第１爪板部は、結合部材の第１フランジの挿通が可能な第１開口部と、その第１開口部に連通し第１開口部の開口径よりも小さい軸部の挿通が可能な第２開口部とを有し、第２爪板部は、第１爪板部と密着した状態で第２開口部と連通し軸部の挿通が可能な第３開口部と、その第３開口部に連通し第３開口部の開口径よりも大きな第２フランジの挿通が可能な第４開口部とを有していることが望ましい。これにより、第１フランジが第１開口部の底面に当接するとともに、第２フランジが第４開口部の上面に当接することで、第２爪板部が第１爪板部に吊り下げられた状態になる。
【００６４】
また、第２爪板部の下に位置する第３爪板部を備え、その第３爪板部は、第２爪板部と密着した状態で、第４開口部と連通する第２フランジが挿通可能な第５開口部を備えていることで、結合部材の軸部としてより長いものを使用することができて、配列ピッチ変換後の所定のピッチをより大きく設定することが可能になる。
【００６７】
そのような緩衝材として、具体的には圧縮コイルばねが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態１に係る配列ピッチ変換装置の一側面図である。
【図２】  同実施の形態において、トレイの断面図である。
【図３】  同実施の形態において、爪板と結合部材の基本構造を示す断面図である。
【図４】  同実施の形態において、配列ピッチ変換前の状態を示す一断面図である。
【図５】  同実施の形態において、配列ピッチ変換後の状態を示す一断面図である。
【図６】  本発明の実施の形態２に係る配列ピッチ変換装置の一側面図である。
【図７】  本発明の実施の形態３に係る配列ピッチ変換装置における爪板と結合部材の基本構造を示す配列ピッチ変換前の状態を示す一断面図である。
【図８】  同実施の形態において、配列ピッチ変換後の状態を示す一断面図である。
【図９】  本発明の実施の形態４に係る配列ピッチ変換装置の部分拡大側面図である。
【図１０】  第１の従来技術に係る配列ピッチ変換装置の側面図である。
【図１１】  第２の従来技術に係る配列ピッチ変換装置の側面図である。
【符号の説明】
１  トレイ、１ａ  突起、１ｂ  溝、２、２ａ、２ｂ〜２ｆ  爪板、３、３ａ、３ｂ  結合部材、４  ガイド軸、５  移動機構、６  圧縮コイルばね、７  台板、８  貫通孔、９  支持フレーム、１０ａ、１０ｂ  ピッチ変換機構、１１ａ、１１ｂ  水平方向移動機構、１５ａ  エアシリンダ、１５ｂ  リニアガイド、２１  液晶ディスプレイパネル、２２ａ〜２２ｅ  開口部、３３ａ、３３ｂ、３３ｄ、３３ｅ  フランジ、３３ｃ、３３ｆ  接続部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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