(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体中の汚染物質を除去する汚染ガス除去フィルタにおいて、支持体に吸着剤が担持された汚染ガス除去フィルタで、被処理気体の通過方向に対し少なくとも該支持体の下流側表面に該吸着剤が担持され、更に該吸着剤の下流側に合成高分子材料からなる不織布製のカバー材を設けた汚染ガス除去フィルタであって、前記カバー材はあらかじめ熱処理されることで揮発性物質が除去されているか、または極性物質の発生を抑える添加剤が使用されており、ユニットに成型した場合にユニット単位間口面積（１ｍ２）当りに設けられる該カバー材から単位時間当りに発生する総有機物質量（トルエン換算重量）を、発生ガス推測法により算出した場合、２３℃において１．０ｐｇ／ｍ２・ｈｒ以上１０μｇ／ｍ２・ｈｒ以下の汚染ガス除去フィルタ。
【請求項２】
気体中の汚染物質を除去する汚染ガス除去フィルタにおいて、支持体に吸着剤が担持された汚染ガス除去フィルタで、被処理気体の通過方向に対し少なくとも該支持体の下流側表面に該吸着剤が担持され、更に該吸着剤の下流側に合成高分子材料からなる不織布製のカバー材を設けた汚染ガス除去フィルタであって、前記カバー材はあらかじめ熱処理されることで揮発性物質が除去されているか、または極性物質の発生を抑える添加剤が使用されており、ユニットに成型した場合にユニット単位間口面積（１ｍ２）当りに設けられる該カバー材から単位時間当りに発生する添加剤量（トルエン換算重量）を、発生ガス推測法により算出した場合、２３℃において１．０ｐｇ／ｍ２・ｈｒ以上０．１５μｇ／ｍ２・ｈｒ以下の請求項１記載の汚染ガス除去フィルタ。
【請求項３】
前記カバー材がスパンボンド不織布である請求項１または２のいずれかに記載の汚染ガス除去フィルタ。
【請求項４】
前記吸着剤が、ホットメルト樹脂からなる連結部と樹脂凝集部とで構成されたウェブの表面に、前記樹脂凝集部を介して固着され、前記吸着剤が表面に露出した状態である積層単位を少なくとも１層有する請求項１，２，３のいずれかに記載の汚染ガス除去フィルタ。
【請求項５】
前記カバー材が、ホットメルト樹脂からなる連結部と樹脂凝集部とで構成されたウェブを介して接着されている請求項１，２，３，４のいずれかに記載の汚染ガス除去フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体や液晶生産施設またはその周辺技術関連のクリーンルームなどにおいて空気や雰囲気中に含まれる有機系及び無機系ガス状汚染物質を除去する汚染ガス除去フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体や液晶生産施設またはその周辺技術関連のクリーンルーム等においては高い清浄度が要求され、空気や雰囲気中に含まれるまたはクリーンルーム構成部材及び作業員等から発生する有機系及び無機系ガス状汚染物質を除去するために汚染ガス除去フィルタが使用されている。
【０００３】
汚染物質のうち極性の低い有機物質は少量であればシリコンウェハやガラス基板表面上に物理吸着しても表面洗浄や加熱により除去可能であるが、多量に存在すると除去は困難になる。また、汚染物質のうち添加剤のような極性の高い有機物質は、シリコンウェハやガラス基板表面上に強固に吸着し簡単には除去出来ず、特に高分子材料に対する可塑剤であるフタル酸ジオクチルエステルはウェハ上への付着力が強く、既にウェハ上に付着している付着力の弱い汚染物質を追い出して置き換わると考えられている。
【０００４】
添加剤とは、高分子材料等の機能性を向上させる為に添加される物で、たとえば可塑剤，酸化防止剤，紫外線吸収剤，光安定剤，難燃剤，滑剤， 帯電防止剤，造核剤，発泡剤等がある。特に、フタル酸エステル系可塑剤，トリメリット酸エステル系可塑剤，脂肪族二塩基酸エステル系可塑剤，脂肪化エステル系可塑剤，エポキシ系可塑剤，リン酸エステル系可塑剤，ポリエステル系可塑剤，フェノール系酸化防止剤，チオ系酸化防止剤，リン系酸化防止剤，ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤，ベンゾフェノン系紫外線吸収剤，ＵＶＡ紫外線吸収剤，ヒンダードアミン系光安定剤，リン系難燃剤等が問題となっている。
【０００５】
これら有機物質のウェハ表面への吸着を防止するには、クリーンルーム雰囲気中の該有機物質の濃度をできるだけ低いレベルで管理しなければならない。１９９９年版ＳＩＡ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｉｎｄｕｓｔｒｙ Ａｓｓｏｃｉａｔｉｏｎ）ロードマップによれば、西暦２０００年のウェハ表面上有機物質管理レベルは６．６×１０13炭素原子個数／ｃｍ2以下が必要とされている。これをトルエン換算すると１４．４μｇ／ｍ2となる。しかし、一般に、ウェハ上への付着力の強いフタル酸ジオクチルエステルは、ウェハ上に２μｇ／ｍ2付着するとゲート酸化膜の絶縁破壊が起こるといわれている。
これらの値と、一般に知られている付着確率から、クリーンルーム空気中の管理濃度を下式に従って求めた。総有機物質は４１．７μｇ／ｍ3，フタル酸ジオクチルエステル等の付着力の強い物質は０．００７μｇ／ｍ3の管理レベルを要することを導き出した。
［空気中の汚染物質濃度（μｇ／ｍ3）］＝Ａｓ／（ｖ・ｔ・γ）
Ａｓ；トルエン換算したウェハ表面の汚染物質濃度（μｇ／ｍ2）
ｖ；クリーンルーム空気の流速（０．４ｍ／秒）
ｔ；ウェハの空気中暴露時間（秒）
γ；付着確率
総有機物質の付着確率：１０-5（芳香族炭化水素類の値を適用）
フタル酸ジオクチルエステル等の付着確率：１／１２０
【０００６】
このような汚染物質を吸着する汚染ガス除去フィルタには吸着剤として、活性炭，活性炭繊維，ゼオライト，イオン交換樹脂，イオン交換繊維，その他化学吸着剤が利用され、これら吸着剤は、特開平１１−２２１４１４号公報に掲載されているように、通気性を有する２層以上の濾材の間に保持され使用されている。
【０００７】
しかし、前述のような通気性を有する２層以上の濾材等の間に吸着剤を保持する構成の汚染ガス除去フィルタは、被処理気体中の上記汚染物質を除去する際、被処理気体に対し吸着剤より下流側にも濾材等が設けられる為、吸着剤で被処理気体中の汚染物質がいったん除去された後、被処理気体は該下流側濾材等を通過することとなり、この際該下流側濾材等との接触により該下流側濾材等から発生する汚染物質により再び汚染された被処理気体が、クリーンルーム内に流入し、雰囲気を汚染する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、クリーンルームで使用される汚染ガス除去フィルタにおいて、濾材との接触を原因とする被処理気体汚染によるクリーンルーム内の製品などへの悪影響を防止する事を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１の発明は、気体中の汚染物質を除去する汚染ガス除去フィルタにおいて、支持体に吸着剤が担持された汚染ガス除去フィルタで、被処理気体の通過方向に対し少なくとも該支持体の下流側表面に該吸着剤が担持され、更に該吸着剤の下流側に合成高分子材料からなる不織布製のカバー材を設けた汚染ガス除去フィルタであって、前記カバー材はあらかじめ熱処理されることで揮発性物質が除去されているか、または極性物質の発生を抑える添加剤が使用されており、ユニットに成型した場合にユニット単位間口面積（１ｍ2）当りに設けられる該カバー材から単位時間当りに発生する総有機物質量（トルエン換算重量）を、発生ガス推測法により算出した場合、２３℃において１．０ｐｇ／ｍ2・ｈｒ以上１０μｇ／ｍ2・ｈｒ以下の範囲とすることで、クリーンルーム内の製品への影響を低減した汚染ガス除去フィルタである。請求項２の発明では、請求項１に記載の気体中の汚染物質を除去する汚染ガス除去フィルタにおいて、支持体に吸着剤が担持された汚染ガス除去フィルタで、被処理気体の通過方向に対し少なくとも該支持体の下流側表面に該吸着剤が担持され、更に該吸着剤の下流側に合成高分子材料からなる不織布製のカバー材を設けた汚染ガス除去フィルタであって、前記カバー材はあらかじめ熱処理されることで揮発性物質が除去されているか、または極性物質の発生を抑える添加剤が使用されており、ユニットに成型した場合にユニット単位間口面積（１ｍ2）当りに設けられる該カバー材から単位時間当りに発生する添加剤量（トルエン換算重量）を、発生ガス推測法により算出した場合、２３℃において１．０ｐｇ／ｍ2・ｈｒ以上０．１５μｇ／ｍ2・ｈｒ以下の範囲とすることで、クリーンルーム内の製品への影響を低減した汚染ガス除去フィルタである。
【００１１】
これら本願の発明において、吸着剤については特に限定されるものではないが、請求項４に示したようなホットメルト樹脂からなる連結部と樹脂凝集部とで構成されたウェブの表面に、前記樹脂凝集部を介して固着され、前記吸着剤が表面に露出した状態である積層単位を少なくとも１層有する構成のものが特に適している。この構成によれば、吸着剤の飛散が少なく、圧損が低いうえに、該積層単位を繰り返し重ねることで吸着性能を任意に高められるので、本発明の汚染ガス除去フィルタへの使用に特に適している。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明にかかる汚染ガス除去フィルタの好ましい実施の形態について詳細に説明する。
【００１３】
本発明に用いる吸着剤は、脱臭用途に使用できるものならばいずれも使用可能で、活性炭、活性炭繊維、ゼオライト、その他化学吸着剤を選択して使用できる。
【００１４】
吸着剤は、被処理気体の通過方向に対し下流側に吸着剤を設けるため、飛散しにくい状態にあることが好ましく、例えば、図３に示すように、ホットメルト樹脂からなる連結部５と樹脂凝集部６とで構成されたウェッブの表面に、前記樹脂凝集部６を介して固着され、吸着剤７が表面に露出した状態である積層単位８を少なくとも１層有する構成のものは、吸着剤７の飛散が少なく、圧損が低く、高い吸着性能を有するので特に適している。吸着剤の飛散を防止するカバー材を使用するには、吸着剤の形態は繊維状、粒子状、シート状など、どのようなものでも良い。例えば図４に示すように、ホットメルト樹脂からなる連結部５と樹脂凝集部６とで構成されたウェッブの一方の表面に、前記樹脂凝集部６を介して吸着剤７を固着してなる積層単位８を有し、該積層単位を少なくとも１単位以上重ねて固着したものを用い、被処理気体の通過方向４に対して吸着剤の下流側にカバー材３を設けた構成のものは圧損が低く、高い吸着性能を有するので、本発明の汚染ガス除去フィルタへの使用に特に適している。吸着剤の飛散防止効果を高めるために、カバー材はホットメルト樹脂からなる連結部５ａと樹脂凝集部６ａとで構成されたウェッブを介して接着してもよい。
【００１５】
支持体に吸着剤を担持する場合は、該支持体は不織布，織物，膜，ろ紙など通気性を有するシート状の物ならばいずれも使用可能で、なかでも高分子材料由来の繊維を用いた不織布は、通気性が高く、耐久性に優れているので特に好ましい。一般に、フィルタを使用する際は、図２のようにフィルタを枠体に装着したパネル型ユニットや、図１のようにフィルタをプリーツ状に折り曲げて枠体に装着したプリーツ型ユニットと称する形態に加工するため、加工性と耐久性が優れている点でも高分子材料が好ましく、特に通気性が良好な不織布が好ましい。
【００１６】
本願請求項４に係るような状態の吸着剤を得る具体的な方法について図３を用いて説明する。まず、前述したシート状の支持体２の片面に、接着層として、ホットメルト不織布を積層する。該ホットメルト不織布は、１種類以上の熱可塑性樹脂からなり、１９０℃におけるメルトインデックスが５０以上５００以下のものが好適である。この好適範囲よりも低いメルトインデックスの樹脂は、水蒸気加熱時に流動性が低く、樹脂凝集部が形成されにくいため、吸着剤の固着が不完全になることがある。さらに上記範囲よりも高いメルトインデックスの樹脂では、水蒸気加熱時の流動性が高く、積層単位の形態保持が難しくなる。次に、該接着層の上に吸着剤７を散布し、支持体２側から接着層が可塑化溶融するまで水蒸気加熱を行った後放冷し、吸着剤７を固着する。この水蒸気加熱によりホットメルト不織布を構成する繊維の一部が溶融切断されて吸着剤７との接点に集まり樹脂凝集部６を形成する。固着されていない吸着剤を除去すると、ホットメルト樹脂からなる連結部５と樹脂凝集部６とで構成されたウェブの表面に、前記樹脂凝集部６を介して固着された吸着剤７が表面に露出した状態である積層単位８が得られる。さらに、多層にする場合はこの積層単位８に上記ホットメルト不織布を積層し、吸着剤７の散布、水蒸気加熱、並びに固着されていない吸着剤の除去を経て、２層目の積層単位８を得る。これら一連の操作を任意の回数繰り返すことにより積層単位８を複数積層し、所望の吸着性能を得ることができる。
吸着剤の脱落を防止するカバー材３を固定させる場合は、図４に示すように、最下流の積層単位８の次に前述のホットメルト不織布の接着層を積層し、その上にカバー材３を重ねたあとで、支持体２側から水蒸気処理を行い接着層を可塑化溶融せしめ、連結部５ａと樹脂凝集部６ａとで構成されたウエブの該樹脂凝集部６ａを介して吸着剤７とカバー材３を固着する。
【００１７】
カバー材３は、通気性があり、かつ被処理気体を汚染してクリーンルーム内の製品に悪影響を及ぼす有機物質等が発生しにくいものを使用する。例えば、合成高分子材料からなる繊維を用いた不織布等が使用できるが、ユニットの形態に加工するときの加工性と耐久性に優れ、かつ軽量である合成高分子材料が好ましく、特に通気性が良好な不織布の形態が好ましい。カバー材の耐性が低いと、カバー材自体が脱落する可能性があるため、その製造過程で、酸化、機械的応力、薬品、水などの劣化要因に耐性をもたせる添加剤を任意に添加し、機能性を付与する。しかしながら、このような添加剤を添加することは、有機物質が発生する原因となるため、カバー材としての機能と汚染ガス除去フィルタとしての機能を両立させるため、カバー材をあらかじめ熱処理して揮発性物質を除去したり、極性物質の発生を抑える添加剤を使用する方法で有機物質などの上限を管理レベルよりも十分低く、ユニットに成型した場合のカバー材からの総有機物質（トルエン換算重量）を、クリーンルームの標準条件温度２３℃においてユニットの単位間口面積１ｍ2あたり１．０ｐｇ／ｍ2・ｈｒ以上１０μｇ／ｍ2・ｈｒ以下に、添加剤量に関しては１．０ｐｇ／ｍ2・ｈｒ以上０．１５μｇ／ｍ2・ｈｒ以下にコントロールすることでクリーンルーム内でおこる汚染ガスの問題は回避しつつ、合成高分子の利用と両立出来る。本発明の請求項１，２に係るカバー材を設けた汚染ガス除去フィルタにおいては、カバー材のすぐ上流側にある吸着剤によって上流側の濾材や支持体等で発生する汚染物質は吸着されているため、カバー材から発生する汚染物質、特に有機物質について配慮すれば良い。
【００１８】
以下、カバー材からの発生ガスを測定するダイナミックヘッドスペース法について図５を用いて説明する。図５はこの方法に用いる発生ガス捕集装置（ジーエルサイエンス(株)製  ＭＳＴＤ−２５８Ｍ）の説明図である。
実際のクリーンルームの室温２３℃での発生ガスは極微量なので実測では分析感度の点で長時間の測定が必要になるなど、現実的には測定困難なため、ダイナミックヘッドスペース法は６０℃、８０℃の高温下で行い、後述する推測法を用いて室温での発生量を推測する。
まず、カバー材を直径７ｃｍの円形に切り、試料９を２枚作成する。試料９の１枚をチャンバー１０内の中央のガス吹き出し口１３の上に設置する。次に、清浄なヘリウムガス１１をチャンバー１０内に流速１２０ｍｌ／ｍｉｎで連続的に流通させながらチャンバー１０内が６０℃になるように加熱する。ヘリウムガス１１は試料９と接触する際、試料９から発生する物質がヘリウムガス中に混入するので、気体濃度が平衡になった後、捕集速度１００ｍｌ／ｍｉｎで固体吸着剤１２（成分；2,6-diphenylene oxide）に捕集する。次いで、固体吸着剤１２に捕集した物質をガスクロマトグラフ質量分析計（(株)島津製作所製  ＱＰ−５０５０）で分析し、トルエン換算により発生ガス量を半定量する。試料９のもう１枚を、チャンバー１０の加熱温度を８０℃に代える以外は全く同様の手順で捕集した物質を分析し、トルエン換算により発生ガス量を半定量する。
【００１９】
以下、発生ガス推測法について説明する。（株）住化分析センターの竹田らによれば、試験温度と発生ガスの関係については、経験則として下記の式が成り立つことがわかっている。（平成１１年第１７回コンタミネーションコントロール研究大会予稿集などに記載）
lｎ（M/A・h）＝−C１／T＋C２
M；トルエン換算により半定量した発生ガス量（μｇ）
A；測定試料面積（ｍ2）
h：捕集に要した時間（ｈ）
T；試験温度（絶対温度K）
C１、C２：定数
ダイナミックヘッドスペース法を６０℃、８０℃の高温下で行った結果を上記の数字に当てはめて、定数Ｃ１及びＣ２を算出し、クリーンルームの室温２３℃での発生ガスを推測する。
【００２０】
以下、本発明の実施例につき説明するが、これは発明の理解を容易とするための好適例に過ぎず、本願発明はこれら実施例の内容に限定されるものではない。
【００２１】
【実施例】
（実施例１）
支持体としてポリエステルのスパンボンド不織布（面密度３０ｇ／ｍ2）を準備し、その片面に、熱可塑性ポリアミド系樹脂（１９０℃におけるメルトインデックス：８０）からなる面密度２０ｇ／ｍ2のホットメルト不織布を接着層として積層した。次に、該接着層の上に吸着剤として粒径０．２５〜０．５ｍｍに分級した市販の活性炭を、１ｍ2当たり１８０ｇの量になるように散布した。続いて、約５Ｋｇ／ｃｍ2の水蒸気処理を支持体側から約７秒間行ない、該接着層を可塑化溶融せしめた後、固着されていない活性炭を除去した。以上の手順により、被処理気体の通過方向に対し最下流側に吸着剤（活性炭）を設け、該吸着剤がホットメルト樹脂からなる連結部と樹脂凝集部とで構成されたウェブの表面に前記樹脂凝集部を介して固着され、表面に露出した状態の汚染ガス除去フィルタを得た。
【００２２】
（実施例２）
実施例１で得られた汚染ガス除去フィルタの吸着剤側にさらに熱可塑性ポリアミド系樹脂（１９０℃におけるメルトインデックス：８０）からなる面密度２０ｇ／ｍ2のホットメルト不織布を接着層として積層し、その上にカバー材として面密度３０ｇ／ｍ2のポリエステルスパンボンド不織布を積層した後、約５Ｋｇ／ｃｍ2の水蒸気処理を支持体側から約７秒間行なった。以上の手順により、被処理気体の通過方向に対し支持体の下流側に吸着剤（活性炭）を設け、該吸着剤がホットメルト樹脂からなる連結部と樹脂凝集部とで構成されたウェブの表面に前記樹脂凝集部を介して固着された状態であり、更に該吸着剤の下流側にホットメルト樹脂からなる連結部と樹脂凝集部とで構成されたウエブの樹脂凝集部を介してポリエステルスパンボンド不織布製のカバー材を固着した汚染ガス除去フィルタを得た。
【００２３】
（比較例１）
実施例１で得られた汚染ガス除去フィルタの吸着剤側にさらに熱可塑性ポリアミド系樹脂（１９０℃におけるメルトインデックス：８０）からなる面密度２０ｇ／ｍ2のホットメルト不織布を接着層として積層し、その上にカバー材として面密度３０ｇ／ｍ2のポリプロピレンスパンボンド不織布を積層した後、約５Ｋｇ／ｃｍ2の水蒸気処理を支持体側から約７秒間行なった。以上の手順により、被処理気体の通過方向に対し支持体の下流側に吸着剤（活性炭）を設け、該吸着剤がホットメルト樹脂からなる連結部と樹脂凝集部とで構成されたウェブの表面に前記樹脂凝集部を介して固着された状態であり、更に該吸着剤の下流側にホットメルト樹脂からなる連結部と樹脂凝集部とで構成されたウエブの樹脂凝集部を介してポリプロピレンスパンボンド不織布製のカバー材を固着した汚染ガス除去フィルタを得た。
【００２４】
（比較例２）
比較例２として、市販の汚染ガス除去フィルタ（ニッタ株式会社製  ギガソーブ）を用いた。この汚染ガス除去フィルタは、活性炭を混合したウレタンフォームを不織布で包んだ構造のものである。該不織布はスチレン系バインダーで結合したレーヨン繊維の不織布である。
【００２５】
（カバー材の評価方法）
カバー材の評価方法について発生ガス捕集装置の説明図である図５を用いて説明する。カバー材を使用した実施例２，比較例１，比較例２に用いたカバー材を直径７ｃｍの円形に切り、試料９として各々２枚ずつ用意した。試料９の１枚をチャンバー１０内の中央のガス吹き出し口１３の上に設置し、次いで、清浄なヘリウムガス１１をチャンバー１０内に流速１２０ｍｌ／ｍｉｎで連続的に流通させながらチャンバー１０を６０℃に加熱した。３０分後に捕集速度１００ｍｌ／ｍｉｎで固体吸着剤１３（成分；2,6-diphenylene oxide）に１時間捕集した。試料９のもう１枚は、チャンバー１０の加熱温度を８０℃にして同様の手順で発生ガスを捕集した。前述した発生ガス推測法により、２３℃での発生ガスを推測し、汚染ガス除去フィルタをプリーツ型ユニット（山高さ３．３ｃｍ、山間５ｍｍ）に成型したときの、単位間口面積当たりのカバー材からの発生ガス量に換算して表１にまとめた。
【００２６】
（汚染ガス除去フィルタの評価方法）
汚染ガス除去フィルタの評価方法について、発生ガス捕集装置の説明図である図５を用いて説明する。まず、各実施例および比較例の汚染ガス除去フィルタを直径３ｃｍの円形に切って、試料９としてそれぞれ２枚ずつ用意した。試料９は、その周縁を覆うことができる内径２．５ｃｍの円筒形のガラスセル（図示無し）２枚の間に挟み込んで周囲をテフロンテープで封じ、被処理気体であるヘリウムガス１１が試料９を通過後に再度回り込んで吸着剤に接することのないようにした。次に、試料９がはめ込まれたセルを、発生ガス捕集装置（ジーエルサイエンス(株)製  ＭＳＴＤ−２５８Ｍ）のチャンバー中央のガス吹き出し口１３の上に試料９の支持体側が下側（ガス吹き出し口１３に面した状態）になるよう置いた。次いで、清浄なヘリウムガス１１を流速２４０ｍｌ／ｍｉｎで連続的に流通させながらチャンバー１０内を６０℃にて加熱し、３０分後に捕集速度１００ｍｌ／ｍｉｎで固体吸着剤１３（成分；2,6-diphenylene oxide）に１時間捕集した。試料９のもう１枚は、チャンバー１０の加熱温度を８０℃にして同様の手順で発生ガスを捕集した。発生ガス推測法により、２３℃での発生ガスを推測し、汚染ガス除去フィルタをプリーツ型ユニット（山高さ３．３ｃｍ、山間５ｍｍ）に成型したときの、単位間口面積当たりの発生ガス量に換算して表１にまとめた。
【表１】
0004256570.tif 000002
カバー材を用いず、被処理気体の通過方向に対して最下流側に吸着剤を設けた実施例１のフィルタは、発生する有機物質量が最も少なく、添加剤量は測定限界以下であった。カバー材を用いた実施例２はカバー材の総有機物発生量が少なく、汚染ガス除去フィルタとしても発生する総有機物質量と添加剤量が少ないものであった。
【００２７】
【発明の効果】
本発明の汚染ガス除去フィルタは、汚染ガス除去フィルタ自体のカバー材等の被処理気体との接触を原因とする有機系及び無機系ガス状汚染物質を低減し、クリーンルーム内の製品などへの悪影響の少ない物である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の汚染ガス除去フィルタをプリーツ型ユニットに成型した状態の見取り図である。
【図２】本発明の汚染ガス除去フィルタを平面型ユニットに成型した状態の見取り図である。
【図３】本発明の汚染ガス除去フィルタの吸着剤の模式的断面図である。
【図４】本発明の汚染ガス除去フィルタの吸着剤でカバー材を有する場合の模式的断面図である。
【図５】ダイナミックヘッドスペース法に用いる発生ガス捕集装置の説明図である。
【符号の説明】
１：ユニット枠体
２：支持体
３：カバー材
４：被処理気体の通過方向
５：連結部
６：樹脂凝集部
７：吸着剤
８：積層単位
９：試料
１０：チャンバー
１１：ヘリウムガス
１２：固体吸着剤
１３：ガス吹き出し口
【図１】
0004256570.tif 000003
【図２】
0004256570.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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