(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を基板処理装置へ搬入する搬入コンベヤと、搬入コンベヤより遅い搬送速度の装置内コンベヤで基板を搬送しつつ基板に所定の処理を施す基板処理装置とを備えた基板搬送装置において、
基板処理装置の入口近傍に、搬入コンベヤ上にある基板を装置内コンベヤ上に乗り継がせつつ移送する際に、基板の移送速度を装置内コンベヤの搬送速度に強制的に同期させる速度同期手段を設けた基板搬送装置であって、
前記速度同期手段は、装置内コンベヤに設けられて基板の下面を支える支持ピン部と、装置内コンベヤとの間で基板を圧接状態で挟む周縁に弾性ゴムが取付けられた回転体と、前記支持ピン部に係合して装置内コンベヤの直進運動を回転運動に変換するスプロケットと、スプロケットの回転運動を回転体に伝える伝達手段とを備えた
ことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
装置内コンベヤで基板を搬送しつつ基板に所定の処理を施す基板処理装置と、処理された基板を基板処理装置から装置内コンベヤより速い搬送速度で基板を搬出する搬出コンベヤとを備えた基板搬送装置において、
基板処理装置の出口近傍に、装置内コンベヤ上にある基板を搬出コンベヤ上に乗り継がせつつ移送する際に、基板の移送速度を装置内コンベヤの搬送速度に強制的に同期させる速度同期手段を設けた基板搬送装置であって、
前記速度同期手段は、装置内コンベヤに設けられて基板の下面を支える支持ピン部と、装置内コンベヤとの間で基板を圧接状態で挟む周縁に弾性ゴムが取付けられた回転体と、前記支持ピン部に係合して装置内コンベヤの直進運動を回転運動に変換するスプロケットと、スプロケットの回転運動を回転体に伝える伝達手段とを備えた
ことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
基板を基板処理装置へ搬入する搬入コンベヤと、搬入コンベヤより遅い搬送速度の装置内コンベヤで基板を搬送しつつ基板に所定の処理を施す基板処理装置と、処理された基板を基板処理装置から装置内コンベヤより速い搬送速度で基板を搬出する搬出コンベヤとを備えた基板搬送装置において、
基板処理装置の入口近傍に、搬入コンベヤ上にある基板を装置内コンベヤ上に乗り継がせつつ移送する際に、基板の移送速度を装置内コンベヤの搬送速度に強制的に同期させる
入口側速度同期手段を設け、基板処理装置の出口近傍に、装置内コンベヤ上にある基板を搬出コンベヤ上に乗り継がせつつ移送する際に、基板の移送速度を装置内コンベヤの搬送速度に強制的に同期させる出口側速度同期手段を設けた基板搬送装置であって、
前記入口側速度同期手段は、装置内コンベヤに設けられて基板の下面を支える支持ピン部と、装置内コンベヤとの間で基板を圧接状態で挟む周縁に弾性ゴムが取付けられた回転体と、前記支持ピン部に係合して装置内コンベヤの直進運動を回転運動に変換するスプロケットと、スプロケットの回転運動を回転体に伝える伝達手段とを備え、
前記出口側速度同期手段は、装置内コンベヤに設けられて基板の下面を支える支持ピン部と、装置内コンベヤとの間で基板を圧接状態で挟む周縁に弾性ゴムが取付けられた回転体と、前記支持ピン部に係合して装置内コンベヤの直進運動を回転運動に変換するスプロケットと、スプロケットの回転運動を回転体に伝える伝達手段とを備えた
ことを特徴とする基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばプリント回路基板に電子部品を半田リフローによって固定するリフロー装置等の基板処理装置における基板搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
プリント回路基板に電子部品を半田リフローによって固定するリフロー装置における基板搬送方法としては、チェーンベルトで構成されるリフロー装置内のコンベヤに搬入・搬出される搬入コンベヤないし搬出コンベヤをタイミング制御して基板をリフロー装置内に搬入ないしリフロー装置から搬出する方法がある。その１つは、基板をリフロー装置へ搬入ないしリフロー装置から搬出する基板搬入・搬出速度を、リフロー装置での所定の基板搬送速度に合わせた状態で、リフロー装置から搬入コンベヤに受け入れ許可信号を所定の間隔で出し、その信号に基いて３つの各コンベヤを制御する基板搬送方法である。もう１つは、シリンダー等で構成されたストッパー等の速度同期手段で一旦、搬入コンベヤからリフロー装置へ乗り継がせつつ移送される基板をリフロー装置の入口近傍に停止させる方法である。
【０００３】
この従来の基板搬送方法を具現化した基板搬送装置を図４に示す。
【０００４】
この装置は、搬入コンベヤ１とリフロー装置２と搬出コンベヤ３とから構成される。４は装置内コンベヤである。搬入コンベヤ１と装置内コンベヤ４と搬出コンベヤ３はそれぞれ異なる搬送速度で駆動されるチェーンベルトから構成される。
【０００５】
搬入コンベヤ１とリフロー装置２との間には乗り継ぎ部２１が、リフロー装置２と搬出コンベヤ３との間には乗り継ぎ部２２が設けられている。搬入コンベヤ１は基板５を取り込んで、リフロー装置２へ搬入する。リフロー装置２に乗り継ぎ部２１を経て移送されてきた基板５は、半田リフローすることによって電子部品が固定される。そして電子部品が固定された基板５は、乗り継ぎ部２２を経て搬出コンベヤ３へ移送される。
【０００６】
搬入コンベヤ１は、リフロー装置２から受け入れ許可信号を受けると、基板５をリフロー装置２へ搬入する。搬入コンベヤ１のチェーンベルトの速度は、乗り継ぎ部２１で基板５が引っかかってスムーズな乗り継ぎがされないことを想定して、リフロー装置２における装置内コンベヤ４の搬送速度より速く設定してある。逆に基板５がスムーズにリフロー装置２へ乗り継いだ場合には、設定されている所定の時間間隔より短くリフロー装置２に基板５が搬入されることになるので、リフロー装置２の入口近傍に基板ストッパー２３を設置している。
【０００７】
リフロー装置２に搬入されてきた基板５は、基板ストッパー２３で確実に所定の時間間隔を置いて加熱部６へ搬送される。所定の加熱工程を終えた基板５は、冷却部７を通過する間冷却される。
【０００８】
搬出コンベヤ３のチェーンベルトの速度は、乗り継ぎ部２２で基板５が引っかかってスムーズな乗り継ぎがされないことを想定して、リフロー装置２における装置内コンベヤ４の搬送速度より速く設定してある。逆に基板５がスムーズに搬出コンベヤ３へ乗り継いだ場合には、設定されている所定の時間間隔より短く搬出コンベヤ３に基板５が搬出されて引張り出されることが起こる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のリフロー装置における基板搬送方法及び装置では、リフロー装置２への基板５の搬入間隔を保持するために、リフロー装置２の入口近傍に設けた基板ストッパー２３で基板５を１枚分停止させておくスペースが必要である。例えば、基板５の長さが３３０ｍｍまで対応する場合には、スペースも３３０ｍｍまで確保する必要があり、その分装置が大型化してしまうという問題がある。
【００１０】
またリフロー装置２の出口では、基板５の搬送方向の前方部分は、リフロー装置２の冷却部７で所定の時間冷却されるが、搬出コンベヤ３に基板５が半分程度乗り移った時点で、基板５が高速の搬出コンベヤ３に引き出されるため、リフロー装置２の冷却部７での所定の冷却時間が確保できないという問題がある。
【００１１】
そこで本発明は上記のような問題点を解決することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本願第１発明の基板搬送装置は上記目的を達成するため、基板を基板処理装置へ搬入する搬入コンベヤと、搬入コンベヤより遅い搬送速度の装置内コンベヤで基板を搬送しつつ基板に所定の処理を施す基板処理装置とを備えた基板搬送装置において、基板処理装置の入口近傍に、搬入コンベヤ上にある基板を装置内コンベヤ上に乗り継がせつつ移送する際に、基板の移送速度を装置内コンベヤの搬送速度に強制的に同期させる速度同期手段を設けた基板搬送装置であって、前記速度同期手段は、装置内コンベヤに設けられて基板の下面を支える支持ピン部と、装置内コンベヤとの間で基板を圧接状態で挟む周縁に弾性ゴムが取付けられた回転体と、前記支持ピン部に係合して装置内コンベヤの直進運動を回転運動に変換するスプロケットと、スプロケットの回転運動を回転体に伝える伝達手段とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
この第１発明によれば、基板処理装置の入口近傍に設けた速度同期手段によって、搬入コンベヤから基板処理装置に乗り継ぐ基板の移送速度を基板処理装置における装置内コンベヤの搬送速度に強制的に同期させるので、所定の搬入間隔をおいて基板処理装置に基板を搬入することができ、従来のように基板を停止させるための停止部が不要となって、装置のコンパクト化を可能にすることができる。
【００１４】
本願第２発明の基板搬送装置は上記目的を達成するため、装置内コンベヤで基板を搬送しつつ基板に所定の処理を施す基板処理装置と、処理された基板を基板処理装置から装置内コンベヤより速い搬送速度で基板を搬出する搬出コンベヤとを備えた基板搬送装置において、基板処理装置の出口近傍に、装置内コンベヤ上にある基板を搬出コンベヤ上に乗り継がせつつ移送する際に、基板の移送速度を装置内コンベヤの搬送速度に強制的に同期させる速度同期手段を設けた基板搬送装置であって、前記速度同期手段は、装置内コンベヤに設けられて基板の下面を支える支持ピン部と、装置内コンベヤとの間で基板を圧接状態で挟む周縁に弾性ゴムが取付けられた回転体と、前記支持ピン部に係合して装置内コンベヤの直進運動を回転運動に変換するスプロケットと、スプロケットの回転運動を回転体に伝える伝達手段とを備えたことを特徴とする。
【００１５】
この第２発明によれば、基板処理装置の出口近傍に設けられた速度同期手段によって、基板処理装置から搬出コンベヤに乗り継ぐ基板の移送速度を基板処理装置における装置内コンベヤの搬送速度に強制的に同期させるので、所定の搬出間隔をおいて基板処理装置から基板を搬出することができ、基板処理装置における所定の処理時間、例えば、リフロー装置での半田リフローによる電子部品の固定においては、その冷却部での所定の冷却時間を十分に確保できるようになる。
【００１６】
本願第３発明の基板搬送装置は上記目的を達成するため、基板を基板処理装置へ搬入する搬入コンベヤと、搬入コンベヤより遅い搬送速度の装置内コンベヤで基板を搬送しつつ基板に所定の処理を施す基板処理装置と、処理された基板を基板処理装置から装置内コンベヤより速い搬送速度で基板を搬出する搬出コンベヤとを備えた基板搬送装置において、基板処理装置の入口近傍に、搬入コンベヤ上にある基板を装置内コンベヤ上に乗り継がせつつ移送する際に、基板の移送速度を装置内コンベヤの搬送速度に強制的に同期させる入口側速度同期手段を設け、基板処理装置の出口近傍に、装置内コンベヤ上にある基板を搬出コンベヤ上に乗り継がせつつ移送する際に、基板の移送速度を装置内コンベヤの搬送速度に強制的に同期させる出口側速度同期手段を設けた基板搬送装置であって、前記入口側速度同期手段は、装置内コンベヤに設けられて基板の下面を支える支持ピン部と、装置内コンベヤとの間で基板を圧接状態で挟む周縁に弾性ゴムが取付けられた回転体と、前記支持ピン部に係合して装置内コンベヤの直進運動を回転運動に変換するスプロケットと、スプロケットの回転運動を回転体に伝える伝達手段とを備え、前記出口側速度同期手段は、装置内コンベヤに設けられて基板の下面を支える支持ピン部と、装置内コンベヤとの間で基板を圧接状態で挟む周縁に弾性ゴムが取付けられた回転体と、前記支持ピン部に係合して装置内コンベヤの直進運動を回転運動に変換するスプロケットと、スプロケットの回転運動を回転体に伝える伝達手段とを備えたことを特徴とする。
【００１７】
【００１８】
上記第３発明によれば、第１発明と第２発明の基板搬送装置を併せた作用を奏することができる。
【００１９】
また、上記第１〜第３発明によれば、回転体の駆動源を装置内コンベヤの直線運動から採ることによって、基板の搬入・搬出の際の移送速度を基板処理装置を駆動する装置内コンベヤの搬送速度に容易に同期させることができ、搬送速度の変更にも簡単に追随することができる。また、装置内コンベヤとの間で基板を圧接状態で挟む回転体が、従来例で示した基板へのストッパーの役割を果たし、所定の基板搬送間隔を保持することができる。
【００２０】
【００２１】
更に上記速度同期手段において、回転体の周縁に弾性ゴム体を取付けるように構成しているので、回転体によって基板を挟み易くすると共に、一旦挟み込んだ基板が空滑りするのを防止することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の基板搬送装置の一実施形態について、図１から図３を参照しながら説明する。
【００２３】
この装置の全体構成は図４に示した従来例と同様であるので、図１に表れない構成部分は図４を併せて参照する。本実施形態では基板処理装置であるプリント回路基板に電子部品を固定するリフロー装置２と、その出入口近傍にそれぞれ設けられる速度同期手段８を
主として説明する。
【００２４】
本実施形態の基板搬送装置は、搬入コンベヤ１とリフロー装置２と搬出コンベヤ３とから構成され、各部が異なる搬送速度で駆動されるチェーンベルトをそれぞれ備えている。リフロー装置２内のチェーンベルトは、搬入コンベヤ１や搬出コンベヤ３より遅い速度で駆動される装置内コンベヤ４を構成する。
【００２５】
搬入コンベヤ１は上流工程より搬送される基板５を取り込んだ後、リフロー装置２へ搬入する。その際、基板５は搬入コンベヤ１上から装置内コンベヤ４上に乗り継がせつつ移送される。リフロー装置２では搬入された基板５を、搬入コンベヤ１より遅い速度で装置内コンベヤ４で搬送しつつ半田付けによって電子部品を固定する。搬出コンベヤ３は電子部品が固定された基板５を、装置内コンベヤ４上から乗り継がせつつ移送した後、搬入コンベヤ１より速い速度で基板５を搬出する。
【００２６】
搬入コンベヤ１は、リフロー装置２から受け入れ許可信号を受けると、基板５をリフロー装置２へ送り出す。搬入コンベヤ１からリフロー装置２に搬入された基板５は、その入口近傍に設けられた速度同期手段８によって確実に所定の時間間隔を置いて加熱部６へ搬送される。所定の加熱工程を終えた基板５は、冷却部７を通過する間冷却される。リフロー装置２から搬出コンベヤ３へ搬出される基板５は、その出口近傍に設けられた速度同期手段８によって冷却部７での冷却時間を確保される。
【００２７】
図２及び図３は速度同期手段８と基板５及び装置内コンベヤ４との関係を示しており、図２はその縦断側面図、図３（ａ）はその横断平面図、図３（ｂ）はその縦断側面図、図３（ｃ）は速度同期手段８の後面図である。
【００２８】
速度同期手段８は、装置内コンベヤ４に設けられて基板５の下面を支える支持ピン部９と、基板５の上面を挟み込む回転体８ａと、装置内コンベヤ４の直線運動を回転運動に変換して回転体８ａに伝えるスプロケット８ｂと、回転体８ａの回転軸８ｈの変動を上下方向にだけ自由にする規制ブロック８ｃと、その上下方向の変動を調整する圧縮バネ８ｄ及びストッパー８ｅと、スプロケット８ｂと回転体８ａとを連結する自在ジョイント８ｆとから構成される。スプロケット８ｂは管状のスプロケット軸８ｊを備え、そのスプロケット軸８ｊが、スプロケット８ｂの回転を前記自在ジョイント８ｆを介して回転軸８ｈに伝達して回転体８ａを回転させる。自在ジョイント８ｆは前記回転軸８ｈに遊挿されたピン８ｋと球面軸受８ｍとからなり、前記回転軸８ｈがスプロケット軸８ｊの軸心に対して、自由に傾動するように両者８ｈ、８ｊを結合している。尚、支持ピン部９は、装置内コンベヤ４を構成するチェーンベルトの各チェーンの結合ピンを内側に延出することによって基板５を支持するように形成したものである。
【００２９】
速度同期手段８は、リフロー装置２の入口近傍と出口近傍に設けることによって、その出入口部分でリフロー装置２と搬入コンベヤ１ないし搬出コンベヤ３のそれぞれ両方に乗り継いでいる基板５が搬入コンベヤ１や搬出コンベヤ３より遅い装置内コンベヤ４の搬送速度に強制的に同期させるものである。
【００３０】
速度同期手段８をリフロー装置２の入口近傍に設置した場合を例にとり以下、説明する。
【００３１】
基板５は、搬入コンベヤ１上からリフロー装置２内の装置内コンベヤ４上へ乗り継がせつつ移送される際、装置内コンベヤ４の支持ピン部９によってその下面から両端を支えられて搬入コンベヤ１よりリフロー装置２へ搬入される。図示しない基板搬送モータによって駆動される装置内コンベヤ４の直線運動は、スプロケット８ｂで回転運動に変換される
。スプロケット８ｂに一体化されたスプロケット軸８ｊの回転運動は、自在ジョイント８ｆで連結されている回転軸８ｈに伝達され回転体８ａを回転させる。回転体８ａの周辺にはＯリング状のゴム弾性体８ｇが取付けられており、基板５を挟み込み易くすると共に、一旦挟み込んだ基板５が空滑りすることを防止している。
【００３２】
回転軸８ｈは、固定中心点８ｉを中心に３６０°回転可能なため、規制ブロック８ｃの拘束部８ｎにより、その左右方向の動きが拘束され、上下方向にのみ自由になっている。そして基板５を前記支持ピン部９と協働して回転体８ａによって圧接状態で挟み込むために、回転軸８ｈを圧縮バネ８ｄで押し上げ、その押し上げ量つまり上下方向の変動量はストッパー８ｅで調整している。この上下方向の変動の調整によって、さまざまな基板５の厚みに柔軟に対応できるようになる。
【００３３】
回転体８ａの回転運動の駆動源は装置内コンベヤ４の直線運動から採るので、搬入コンベヤ１とリフロー装置２の装置内コンベヤ４の両方にまたがる基板５の移送速度を、搬入コンベヤ１のチェーンベルトでなく装置内コンベヤ４のチェーンベルトの速度に容易に同期させることができ、搬送速度の変更にも簡単に追随することができる。また、回転体８ａ自体が、従来例で示したストッパー２３の役割を果たし、所定の基板間隔を保つことができる。
【００３４】
そして、この速度同期手段８をリフロー装置２の出口近傍に設ける場合には、リフロー装置２の装置内コンベヤ４と搬出コンベヤ３の両方にまたがる基板５の移送速度を、搬出コンベヤ３のチェーンベルトでなく装置内コンベヤ４のチェーンベルトの速度に容易に同期させることができるので、リフロー装置２内の冷却部７での所定の冷却時間を確保できる。
【００３５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、リフロー装置等の基板処理装置における入口・出口付近で、搬入コンベヤから基板処理装置へ、および基板処理装置から搬出コンベヤへとそれぞれに乗り継ぐ基板の搬入・搬出速度を、それらより遅い基板処理装置の搬送速度に強制的に同期させることによって、基板処理装置の入口では基板の搬入間隔を保つことで基板停止スペースが不要となると共に、基板処理装置の出口ではリフロー装置における冷却時間等のような所定時間を確保して搬出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態の要部を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は縦断側面図。
【図２】  同実施形態における速度同期手段を示す縦断側面図。
【図３】  同実施形態における速度同期手段を示し、（ａ）は横断平面図、（ｂ）は縦断側面図、（ｃ）はその後面図。
【図４】  従来例の概略構成を示す縦断側面図。
【符号の説明】
１  搬入コンベヤ
２  リフロー装置（基板処理装置）
３  搬出コンベヤ
４  装置内コンベヤ
５  基板
８  速度同期手段
【図１】
0004278753.tif 000002
【図２】
0004278753.tif 000003
【図３】
0004278753.tif 000004
【図４】
0004278753.tif 000005