(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガイドレールを有するベースと、前記ガイドレールに沿って移動可能に配置されているサブベースとを有しており、部品を保持し移動させる部品供給装置において、
前記サブベースに対してほぼ垂直に配置されたガイドポストと、
前記ガイドポストに保持されており、前記ガイドポストに沿って移動可能な可動ブロックと、
前記可動ブロックに回転可能に挿入された軸と、
前記可動ブロックに固定されており、前記軸を回転させる駆動部と、
前記軸に取り付けられたアームを有しており、前記部品を保持するための部品保持部と、
前記軸の回転により前記サブベースを前記ガイドレールに沿って移動させる第１移動機構と、
前記軸の回転により前記軸及び前記可動ブロックを前記ガイドポストに沿って移動させる第２移動機構と
を有することを特徴とする部品供給装置。
【請求項２】
前記第１移動機構は、前記軸に設けられている第１カムと、前記ベースに固定されたカムサポートに保持されており、前記第１カムに接触している第１カムフォロアとを有することを特徴とする請求項１に記載の部品供給装置。
【請求項３】
前記第２移動機構は、前記軸に設けられている第２カムと、前記サブベースに固定されており、第２カムと接触した第２カムフォロアとを有していることを特徴とする請求項１に記載の部品供給装置。
【請求項４】
前記アームは前記軸に対して摩擦力により回転方向に対して滑るように取り付けられていて、前記部品保持部は前記アームの移動を規制するストッパーを有することを特徴とする請求項１に記載の部品供給装置。
【請求項５】
部品を収容する部品収納ユニットと、前記部品を基板に装着させる部品装着装置と、前記部品収納ユニットから部品を取り出し、前記部品装着装置に供給する部品供給装置とを有する部品装着ユニットにおいて、
前記部品供給装置は、ガイドレールを有するベースと、前記ガイドレールに沿って移動可能に配置されているサブベースとを有しており、
前記サブベースに対してほぼ垂直に配置されたガイドポストと、
前記ガイドポストに保持されており、前記ガイドポストに沿って移動可能な可動ブロックと、
前記可動ブロックに回転可能に挿入された軸と、
前記軸を回転させる駆動部と、
前記軸に取り付けられたアームを有しており、前記部品を保持するための部品保持部と、
前記軸の回転により前記サブベースを前記ガイドレールに沿って移動させる第１移動機構と、
前記軸の回転により前記軸及び前記可動ブロックを前記ガイドポストに沿って移動させる第２移動機構と
を有することを特徴とする部品装着ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえばＩＣチップ等の部品を移動させ、プリント配線板に配置するときに、部品を供給する部品供給装置及び部品装着ユニットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ウェハから分割されたパッケージ前のＩＣであるベアチップをプリント基板に装着する際には、フリップチップボンダー（Ｆ／Ｃボンダー）が使用されている。このＦ／Ｃボンダーは、ＩＣチップを収納するための収納ユニット、チップを装着するためのヘッド、チップを収納ユニットから装着ヘッドへ搬送するためのユニット、プリント基板の位置を画像認識するためのユニット及びチップの位置を補正するためのユニットを有している。
具体的には、部品供給装置が収納ユニットに収容されたＩＣチップを取り出し、部品装着装置側へ供給する。そして、部品装着装置がＩＣチップをプリント基板に装着させる。
【０００３】
図１１は従来の部品供給装置の一例を示す模式図であり、図１１を参照して部品供給装置１について説明する。
部品供給装置１は、ベース２、ガイドレール３、本体部４、アーム５等を有している。ガイドレール３はベース２上に配置されていて、ガイドレール３の上には本体部４が配置されている。本体部４は、ベース２上に配置されたアクチュエータ４ａと接続されていて、アクチュエータ４ａの作動によりガイドレール３に沿って矢印Ｘ方向に移動する。
【０００４】
本体部４にはアーム保持部５が接続されており、アーム保持部５にはアーム６が接続されている。また、アーム保持部５にはアーム６を矢印Ｚ方向に移動させるためのアクチュエータ５ａが接続されていて、アクチュエータ５ａの作動によりアーム６が矢印Ｚ方向に移動する。
アーム６は、収納トレイの部品Ｗを保持するものであって、先端部に吸着ノズルを有している。アーム６はアクチュエータ６ａと接続されていて、アクチュエータ６ａの作動により矢印Ｒ方向に回転する。
【０００５】
ここで、部品供給装置１の動作例について説明する。
まず、アーム６が収納トレイの部品Ｗの上に位置決めされ、アクチュエータ５ａの作動により矢印Ｚ１方向に下降し部品Ｗを保持する。そして、アーム６は部品Ｗを保持した状態で、アクチュエータ５ａにより矢印Ｚ２方向に上昇する。
次に、アーム６はアクチュエータ６ａにより矢印Ｒ１方向に回転し、保持した部品Ｗを反転させる。これは、収納トレイに収容されている部品Ｗは、回路面を上向きにした状態で収容されているため、取り出した部品Ｗを反転させる必要があるからである。
その後、アクチュエータ４ａにより本体部４が矢印Ｘ２方向の部品装着装置側に移動する。そして、アクチュエータ５ａによりアーム６が矢印Ｚ２方向に移動して、保持した部品Ｗを部品装着装置に供給する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、部品供給装置１が部品を保持し部品装着装置に渡すためには、少なくとも本体部４を矢印Ｘ方向に移動させるアクチュエータ４ａ、アーム６を矢印Ｚ方向に移動させるアクチュエータ５ａ及びアーム６を矢印Ｒ方向に回転させるアクチュエータ６ａが必要となる。このため、部品供給装置１の機構が複雑で高価なものになってしまう。
【０００７】
また、すべてのアクチュエータ４ａ、５ａ、６ａについてその動作を制御する必要があり、各アクチュエータ４ａ、５ａ、６ａの制御するための時間がかかってしまう。このため、部品Ｗを取り出してから部品装着装置に受け渡すまでの時間がかかってしまい、作業効率の低下を招いてしまう。
さらに、精度良く本体部４及びアーム５を作動させるためには、複数のアクチュエータがそれぞれ正確に動作しているか否か検出するためのセンサが必要となる。このため、部品供給装置１の機構が複雑になるとともに信頼性の低下を招くという問題がある。
【０００８】
また、複数のアクチュエータ４ａ、５ａ、６ａが作動しているとき、各アクチュエータ同士が相互に干渉する場合があり、アクチュエータ４ａ、５ａ、６ａの動作が不安定になることがある。これを防止するためには、相互干渉防止策を講じる必要が生じてしまう。また、部品供給装置１を作動させるためのアクチュエータの数が増えると、アクチュエータを配置するスペースが必要となり、装置の小型化・軽量化を図ることができないという問題がある。
【０００９】
そこで本発明は上記課題を解決し、機構を簡略化し装置の小型化を図るとともに、作業の高速化を図る部品供給装置及び部品装着ユニットを提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、請求項１の発明によれば、ガイドレールを有するベースと、前記ガイドレールに沿って移動可能に配置されているサブベースとを有しており、部品を保持し移動させる部品供給装置において、前記サブベースに対してほぼ垂直に配置されたガイドポストと、前記ガイドポストに保持されており、前記ガイドポストに沿って移動可能な可動ブロックと、前記可動ブロックに回転可能に挿入された軸と、前記可動ブロックに固定されており、前記軸を回転させる駆動部と、前記軸に取り付けられたアームを有しており、前記部品を保持するための部品保持部と、前記軸の回転により前記サブベースを前記ガイドレールに沿って移動させる第１移動機構と、前記軸の回転により前記軸及び前記可動ブロックを前記ガイドポストに沿って移動させる第２移動機構とを有する部品供給装置により、達成される。
【００１１】
また、上記目的は、請求項５の発明によれば、部品を収容する部品収納ユニットと、前記部品を基板に装着させる部品装着装置と、前記部品収納ユニットから部品を取り出し、前記部品装着装置に供給する部品供給装置とを有する部品装着ユニットにおいて、前記部品供給装置は、ガイドレールを有するベースと、前記ガイドレールに沿って移動可能に配置されているサブベースとを有しており、部品を保持し移動させる部品供給装置において、前記サブベースに対してほぼ垂直に配置されたガイドポストと、前記ガイドポストに保持されており、前記ガイドポストに沿って移動可能な可動ブロックと、前記可動ブロックに回転可能に挿入された軸と、前記可動ブロックに固定されており、前記軸を回転させる駆動部と、前記軸に取り付けられたアームを有しており、前記部品を保持するための部品保持部と、前記軸の回転により前記サブベースを前記ガイドレールに沿って移動させる第１移動機構と、前記軸の回転により前記軸及び前記可動ブロックを前記ガイドポストに沿って移動させる第２移動機構とを有する部品装着ユニットにより、達成される。
【００１２】
請求項１又は請求項５の構成によれば、１つ駆動部により軸が回転すると、第１移動機構によりベースがガイドレールに沿って移動し、第２移動機構により可動ブロックが垂直方向に移動することができる。また、軸が回転すると、軸に取り付けられたアームも回転することとなる。すなわち、部品保持部をガイドレールに沿って移動させる動作、部品保持部を垂直方向に移動させる動作及び部品を反転させるためにアームを回転させる動作が、１つの駆動部により１つの軸を回転させることで行われる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００１４】
図１、図２及び図３はそれぞれ本発明の部品装着ユニットの好ましい実施の形態を示す構成図であり、図１から図３を参照して部品装着ユニットについて説明する。
部品装着装置１００は、たとえばプリント基板ＰＣに部品であるＩＣチップＷを装着するフリップチップボンダー（Ｆ／Ｃボンダー）であり、架台１０１の上に部品収納ユニット２００、部品供給装置３００、部品装着装置４００が配置されている。
【００１５】
部品収納ユニット２００は、プリント基板ＰＣに装着するＩＣチップＷを収納するものであって、ＸＹテーブル２０１、収納トレイ２０２を備えている。ＸＹテーブル２０１は架台１０１上に配置されていて、ＸＹテーブル２０１の上には収納トレイ２０２が配置されている。ＸＹテーブル２０１は架台１０１に対してＸＹ方向に移動可能であって、収納トレイ２０２もこれに合わせてＸＹ方向に移動することができる。収納トレイ２０２には回路面を上向きにした状態でＩＣチップＷが収納されている。
【００１６】
部品供給装置３００は、収納トレイ２０２のＩＣチップＷを取り出し、部品装着装置４００側に受け渡すものであって、駆動部３２０、部品保持部３５０等を有している。部品保持部３５０は収納トレイ２０２のＩＣチップＷを保持するものであって、駆動部３２０の作動により矢印Ｒ方向に回転可能に配置されている。また、部品保持部３５０は、後述する第１移動機構３３０及び第２移動機構３４０により矢印Ｘ方向、矢印Ｚ方向に移動し、収納トレイ２０２から取り出したＩＣチップＷを部品装着装置４００側に搬送する。
【００１７】
部品装着装置４００は、プリント基板ＰＣに対してＩＣチップＷを装着させるものであって、基板テーブル４０１、コラム４０２、ボンディングツール４０３、カメラユニット４０４等を有している。基板テーブル４０１は、架台１０１の上に矢印ＸＹ方向に移動可能に配置されている。基板テーブル４０１の上にはプリント基板ＰＣが配置されており、このプリント基板ＰＣにＩＣチップＷが実装される。
【００１８】
基板テーブル４０１の上にはコラム４０２により保持されたボンディングツール４０３が配置されている。ボンディングツール４０３は、部品供給装置３００から供給されるＩＣチップＷをプリント基板ＰＣに実装するものであって、図示しないモータの駆動により矢印Ｚ方向に移動可能に配置されている。
また、基板テーブル４０１の上側に配置されるようにカメラユニット４０４がコラム４０２に固定されている。カメラユニット４０４は、基板テーブル４０１を撮影することにより、ＩＣチップＷとプリント基板ＰＣの位置を検出し、プリント基板ＰＣの所定の位置にＩＣチップＷが実装されるようにする。
【００１９】
図４は本発明の部品装着ユニット１００の制御ブロックを示す図であり、図４を参照して部品装着ユニット１００について説明する。
部品装着ユニット１００は、制御部５００、機構部６００、操作パネル７００、カメラ部８００等を有している。機構部６００は、上述した部品収納ユニット２００、部品供給装置３００、部品装着装置４００を構成する各種部材であって、制御部５００によってその動作が制御されている。操作パネル７００は、機構部６００の動作をユーザにより制御するためのユーザインターフェイスとなるものであって、たとえばキーボード等の入力機器や表示機器等を有している。カメラ部８００は、基板カメラ、チップカメラにより画像を取り込むものであり、取り込まれた画像は制御部５００に送られる。
【００２０】
制御部５００は、部品装着ユニット１００の動作を制御するものであり、機構部６００に動作指令を送るとともに、機構部６００のモータ等を駆動させるための電力を供給する。また、制御部５００は機構部６００から各種部材の位置情報や温度・圧力等のプロセス情報を取得し、その情報に基づいて機構部６００を制御する機能を有している。さらに、制御部５００は、操作パネル７００に入力された情報により、機構部６００の動作を制御し、あるいは操作パネル７００に動作状況等のデータを出力する機能を有している。また制御部５００は、カメラユニット４０４に取り込まれた画像を取得して、画像解析によりプリント基板ＰＣ及びＩＣチップＷの位置情報を認識するとともに、カメラユニット４０４に対した画像の取り込み指令を送る機能を有している。
【００２１】
図５は部品装着ユニット１００の動作例を示すフローチャート図であり、図１から図５を参照して部品装着ユニット１００の動作例について説明する。
まず、図５のＳＴ１において、プリント基板ＰＣが基板テーブル４０１の上に配置され、ＳＴ２において、ＩＣチップＷを収容した収納トレイ２０２がＸＹテーブル２０１の上に配置される。
その後、ＳＴ３において、部品供給装置３００のアーム３５１が収納トレイ２０２の上に位置決めされ、アーム３５１が矢印Ｚ１方向に降下しＩＣチップＷを吸着して保持する。その後、アーム３５１は、ＩＣチップＷを反転させるために矢印Ｒ方向に回転するとともに矢印Ｘ２方向及び矢印Ｚ２方向に移動し、ＳＴ４において、吸着したＩＣチップＷを部品装着装置４００のボンディングツール４０３に受け渡す。
【００２２】
次に、ＳＴ５において、カメラユニット４０４がプリント基板ＰＣ及びＩＣチップＷの位置を認識する。その後、ＳＴ６において、ボンディングツール４０３が矢印Ｚ１方向に下降し、プリント基板ＰＣにＩＣチップＷが搭載される。その後、ＳＴ７において、搭載したＩＣチップＷが加熱・加圧処理されてプリント基板ＰＣに熱圧着される。
【００２３】
図６は本発明の部品供給装置の好ましい実施の形態を示す斜視図であり、図６を参照して部品供給装置３００について説明する。
部品装着装置３００は、ベース３０１、サブベース３１０、駆動部３２０、第１移動機構３３０、第２移動機構３４０及び部品保持部３５０等を備えている。ベース３０１にはガイドレール３０２、３０２が配置されており、ガイドレール３０２、３０２の上にはサブベース３１０が配置されている。サブベース３１０はガイドレール３０２、３０２に沿って矢印Ｘ方向に移動可能になっている。ここで、ベース１０１とサブベース３１０はバネ３０３により接続されていて、サブベース３１０は矢印Ｘ１方向の力を受けている。
【００２４】
サブベース３１０にはその垂直方向（矢印Ｚ方向）に向かってガイドポスト３１１、３１１が配置されており、ガイドポスト３１１、３１１には可動ブロック３１２が矢印Ｚ方向に移動可能に取り付けられている。可動ブロック３１２には軸３２１が可動ブロック３１２に対して回転可能に挿入されている。そして、可動ブロック３１２は、軸３２１から矢印Ｚ２方向の力を受けることで、ガイドポスト３１１、３１１に沿って矢印Ｚ２方向に上昇する。
また、可動ブロック３１２にはたとえば回転モータからなる駆動部３２０が固定されている。この駆動部３２０が作動することにより、軸３２１が矢印Ｒ方向に回転することとなる。
【００２５】
部品保持部３５０はＩＣチップＷを保持するものであって、アーム３５１、吸着ノズル３５２、ストッパー３５３を有している。アーム３５１は軸３２１に取り付けられており、軸３２１とともに矢印Ｒ方向に回転することができる。ここで、アーム３５１は軸３２１に対して固定されておらず、軸３２１とアーム３５０の間に一定の力が加わると、軸３２１が滑るようになっている。
アーム３５１の先端部には吸着ノズル３５２が取り付けられていて、吸着ノズル３５２はＩＣチップＷを吸着することにより保持する。
【００２６】
ストッパー３５３は、アーム３５１の回転移動を規制するものであって、たとえばアーム３５１が水平になる位置に２つ配置されている。これは、アーム３５１は、ＩＣチップＷを受け取るとき及びＩＣチップＷを受け渡すとき、水平に保つ必要があるためである。また、このストッパー３５３によりアーム３５１の回転が規制されているとき、軸３２１はアーム３５１に対して摩擦力により滑るようになる。
【００２７】
第１移動機構３３０は、部品保持部３５０を矢印Ｘ方向に移動させるものであって、第１カム３３１、第１カムフォロア３３２を有している。第１カム３３１は所定の形状を有していて、軸３２１に取り付けられている。一方、第１カムフォロア３３２は、略Ｌ字状のカムサポート３３３を介してベース１０１に固定されている。そして、第１カム３３１の外周に第１カムフォロア３３２がバネ３０３により押し当てられている。
【００２８】
ここで、第１カム３３１が回転したとき、第１カム３３１における第１カムフォロア３３２と接触している部位の法線方向の半径に応じて、第１カム３３１の位置が変わる。第１カム３３１は軸３２１と一体なので、軸３２１がサブベース３１０とともにガイドレール３０２、３０２に沿って矢印Ｘ方向に移動し、同時に部品保持部３５０も矢印Ｘ方向に移動することとなる。
【００２９】
第２移動機構３４０は、部品保持部３５０を矢印Ｚ方向に移動させるものであって、第２カム３４１、第２カムフォロア３４２等を有している。第２カム３４１は所定の形状を有しており、軸３２１に取り付けられている。第２カムフォロア３４２は、サブベース３１０の上に固定されており、第２カム３４１の重量により外周と接触している。
【００３０】
ここで、第２カム３４１が矢印Ｒ方向に回転したとき、第２カム３４１における第２カムフォロア３４２と接触している部位の法線方向の半径に応じて第２カム３４１の位置が変わる。第２カム３４１は軸３２１と一体なので、軸３２１が可動ブロック３１２とともにガイドポスト３１１、３１１に沿って矢印Ｚ方向に移動し、同時に部品保持部３５０も矢印Ｚ方向に移動することとなる。
【００３１】
図７は第１カム３３１及び第２カム３４１の形状の一例を示す図であり、図７を参照して第１カム３３１及び第２カム３４１について説明する。なお、図７において、反時計回り（矢印Ｒ１方向）に回転角度θが定義されており、第１カム３３１の最小半径ｒ１の位置を０°とし、第２カム３４１の最小半径ｒ１１と最大半径ｒ１３の段差を０°とする。また、アーム３５１は初期状態において９０°の方向にあるものとする。
図７（Ａ）の第１カム３３１において、たとえば回転角度θ＝０°〜２４０°において半径ｒ１の円が形成されていて、たとえば回転角度θ＝２４０°〜３００°において半径ｒ１から半径ｒ２まで大きくなるような曲面が形成されている。そして、回転角度θ＝３００°から３６０°において半径ｒ２の円弧が形成されている。
【００３２】
従って、図７（Ｃ）に示すように、第１カム３３１が矢印Ｒ方向に回転したとき、回転角度θ＝０°〜２４０°において部品保持部３５０は矢印Ｘ方向には動かず、回転角度θ＝２４０°〜３００°において矢印Ｘ方向に距離Ｃ（＝ｒ２−ｒ１）だけ移動する（ＩＣチップ搬送動作）。そして、回転角度θ＝３００°〜３６０°において、移動した場所から動かないようになる。そして、半径ｒ１、ｒ２を所定の大きさにすることで、矢印Ｘ方向の移動量を任意に設定することができる。
【００３３】
図７（Ｂ）の第２カム３４１は、たとえば回転角度θ＝０°〜６０°において、半径ｒ１１から半径ｒ１２へ大きくなるような曲面が形成されている。そして、回転角度θ＝回転角度６０°〜３００°まで半径ｒ１２の円が形成されている。また、回転角度θ＝３００°〜３６０°まで、半径ｒ１２から半径ｒ１３まで大きくなるような曲面が形成されている。
【００３４】
従って、図７（Ｃ）に示すように、第２カム３４１が矢印Ｒ方向に回転したとき、回転角度θ＝０°〜６０°において、可動ブロック３１２は、距離Ａ（＝ｒ１２−ｒ１１）だけ矢印Ｚ方向に上下動する（ＩＣチップ取り出し動作）。そして、回転角度θ＝６０°〜３００°までは矢印Ｚ方向には動かずに、回転角度θ＝３００°〜３６０°において矢印Ｚ方向に距離Ｂ（＝ｒ１３−ｒ１２）だけ上下動する（ＩＣチップ受け渡し動作）。そして、半径ｒ１１、ｒ１２、Ｒ１３を所定の大きさにすることで、矢印Ｘ方向の移動量を任意に設定することができる。
【００３５】
図８は部品供給装置の動作例を示すフローチャート図、図９と図１０はその動作を示す模式図であり、図１から図１０を参照して部品供給装置３００の動作例について説明する。
まず、部品供給装置３００は、図９（Ａ）に示すような待機状態で待機している。このとき、図７に示す第１カム３３１及び第２カム３４１の回転角度θはたとえば２４０°になっている（ＳＴ１０）。
次に、制御部５００からの指令により駆動部３２０が作動し、軸３２１が回転角度θ＝２４０°〜６０°まで矢印Ｒ１方向に１８０°回転する。すると、図９（Ｂ）に示すように、アーム３５１が部品収納ユニット２００側へ反転した状態となる（ＳＴ１１）。
【００３６】
その後、駆動部３２０により軸３２１が回転角度θ＝６０°〜０°まで矢印Ｒ１方向に回転する。このとき、アーム３５１はストッパー３５３により矢印Ｒ１方向には回転しない。すると、図９（Ｃ）に示すように、第２移動機構３４０によりアーム３５１が矢印Ｚ１方向に距離Ａだけ下降する（ＳＴ１２）。
次に、アーム３５１の吸着ノズル３５２が収納トレイ２０２のＩＣチップＷを吸着して取り出す。その後、モータ３２０の作動により軸３２１が回転角度θ＝０°〜６０°まで矢印Ｒ２方向に回転し、アーム３５１が矢印Ｚ２方向に上昇する（ＳＴ１３）。
そして、軸３２１が回転角度６０°〜２４０°まで矢印Ｒ２方向に回転し、図９（Ｄ）に示すように、アーム３５１がＩＣチップＷを装着して図９（Ａ）の待機状態に戻る（ＳＴ１４）。このとき、ストッパー３５３によりアーム３５１は１８０°以上回転しないようになっている。
【００３７】
その後、軸３２１が回転角度θ＝２４０°〜３００°まで矢印Ｒ２方向に回転する。すると、図１０（Ａ）に示すように、ベース３１１が第１カム３３１により矢印Ｘ２方向に移動し、部品保持部３５０が部品装着装置４００のボンディングツール４０３直下まで移動する（ＳＴ１５）。このとき、アーム３５１はストッパー３５３により回転しないようになっている。
その後、軸３２１が回転角度θ＝３００°〜３６０°まで矢印Ｒ２方向に回転する。すると、図１０（Ｂ）に示すように、第２移動機構３４０によりアーム３５１が距離Ｂだけ矢印Ｚ２方向に上昇する。そして、部品供給装置３００が部品装着装置４００へＩＣチップＷを受け渡す（ＳＴ１６）。
その後、軸３２１が回転角度θ＝３６０°〜３００°まで矢印Ｒ１方向に回転し、アーム３５１が矢印Ｚ１方向に下降し（ＳＴ１８）、回転角度θ＝３６０°〜２４０°まで矢印Ｒ１方向に回転し、図９（Ａ）の待機状態へ戻る（ＳＴ１９）。
【００３８】
上記実施の形態によれば、一つの駆動部３２０により回転する第１移動機構３３０及び第２移動機構３４０により、アーム３５１が矢印Ｘ方向及び矢印Ｚ方向に移動することができ、部品供給装置３００の機構を単純化でき安価な装置となる。また、アーム３５１の矢印Ｘ方向及び矢印Ｚ方向の移動は１つの駆動部３２０のカム曲線による連続動作のため、ＩＣチップＷを取り出してからＩＣチップＷを装着するまでの時間が短縮される。さらに、部品供給装置３００の動作を制御するには駆動部３２０の動作のみを制御すれば良いため、各部材の動作確認用のセンサー等が不要で信頼性の向上を図ることができる。
【００３９】
また、モータのみでＩＣチップＷの供給が行われているため、矢印Ｘ方向の動作及び矢印Ｚ方向の動作の間での相互干渉がなく誤動作防止機構が不要となる。さらに、部品供給装置３００には１つのモータを収容する空間のみ設ければ良いため、装置の小型化を図ることができる。
【００４０】
本発明の実施の形態は、上記実施の形態に限定されない。
たとえば、駆動部３２０の一例として回転モータを用いているが、リニアモータなど直線駆動型アクチュエータを回転駆動に変換して使用するようにしてもよい。また、第１カム３３１及び第２カム３４１の代わりに、リンク機構のような回転動作を直線動作に変換する機構を用いてもよい。さらに上下動作における千ストロークが一定の条件であれば、エアシリンダーとの使用も可能である。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、機構を簡略化し装置の小型化を図るとともに、作業の高速化を図る部品供給装置及び部品装着ユニットを提供することを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の部品装着ユニットの好ましい実施の形態を示す平面図。
【図２】本発明の部品装着ユニットの好ましい実施の形態を示す側面図。
【図３】本発明の部品装着ユニットの好ましい実施の形態を示す正面図。
【図４】本発明の部品装着ユニットの好ましい実施の形態を示すブロック図。
【図５】本発明の部品装着ユニットの動作例を示すフローチャート図。
【図６】本発明の部品供給装置の好ましい実施の形態を示す斜視図。
【図７】本発明の部品供給装置における第１カム及び第２カムの様子を示す図。
【図８】本発明の部品供給装置の動作例を示すフローチャート図。
【図９】本発明の部品供給装置の動作例を示す動作図。
【図１０】本発明の部品供給装置の動作例を示す動作図。
【図１１】従来の部品供給装置の一例を示す平面図。
【符号の説明】
１００・・・部品装着ユニット、２００・・・部品収納ユニット、３００・・・部品供給装置、３０１・・・ベース、３０２・・・ガイドレール、３１０・・・サブベース、３１２・・・可動ブロック、３２０・・・モータ、３２１・・・軸、３３０・・・第１移動機構、３４０・・・第２移動機構、３５０・・・部品保持部、３５１・・・アーム、３５２・・・吸着ノズル、３５３・・・ストッパー、４００・・・部品装着装置、Ｗ・・・チップ
【図１】
0004352595.tif 000002
【図２】
0004352595.tif 000003
【図３】
0004352595.tif 000004
【図４】
0004352595.tif 000005
【図５】
0004352595.tif 000006
【図６】
0004352595.tif 000007
【図７】
0004352595.tif 000008
【図８】
0004352595.tif 000009
【図９】
0004352595.tif 000010
【図１０】
0004352595.tif 000011
【図１１】
0004352595.tif 000012