(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボール供給部を支持部材に装着し、ボール供給部をボール供給部駆動手段により吸着ヘッド下方へ進退動自在とするとともに、該ボール供給部を支持する支持部材に吸着ヘッドからの排出ボールを受ける排出ボックスを移動可能に支持させ、排出ボックスにも吸着ヘッド下方へ進退動自在とする排出ボックス駆動手段を設け、制御手段によりボール排出の指令を受けたときに排出ボックス駆動手段を作動させることを特徴とするボールマウント装置における余剰ボールの排出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハや基板に半田ボールや半田バンプ等をマウントするボールマウント装置において、検査装置が、吸着ヘッドのミッシングボールや余剰ボール等を検出したとき、吸着ヘッドに吸着されている半田ボール等を排出するための余剰ボール等の排出装置の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半田ボールマウント装置における余剰ボール等の排出装置はボール供給部の横にディスチャージボックスを設けたものであった。そして、吸着ヘッドがボール供給部から半田ボールを吸着後、ボール検査でミッシングボールや余剰ボールが検出された場合には、吸着ヘッドがディスチャージボックス上方へ移動してミッシングボールや余剰ボールを排出し、その後、再び吸着ヘッドがボール供給部へ移動して半田ボールを再度吸着し、検査結果が適正な場合には、吸着した半田ボールをステージ上のウエハ等にマウントしていた。
【０００３】
しかし、余剰ボール等の排出のために何度も吸着ヘッドの移動や停止を繰り返すことは、マウント動作の高速化や吸着ヘッドの精度向上のためには好ましいことではなかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記課題を解決するため、吸着ヘッドからの排出ボールを受ける排出ボックスを、排出ボックス駆動手段を作動させることにより、吸着ヘッド下方へ進退動自在とすることとし、ミッシングボールや余剰ボールの排出のための吸着ヘッドの移動や停止の動作数を削減し、マウント動作の高速化や吸着ヘッドのマウント精度の向上を図ることを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するため、ボール供給部を支持部材に装着し、ボール供給部をボール供給部駆動手段により吸着ヘッド下方へ進退動自在とするとともに、該ボール供給部を支持する支持部材に吸着ヘッドからの排出ボールを受ける排出ボックスを移動可能に支持させ、排出ボックスにも吸着ヘッド下方へ進退動自在とする排出ボックス駆動手段を設け、制御手段によりボール排出の指令を受けたときに排出ボックス駆動手段を作動させることを特徴とするボールマウント装置における余剰ボールの排出装置を提供するものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、図面に従って、実施例と共に本発明の実施の形態について説明する。
本発明に係る半田ボールマウント装置は、吸着ヘッド５と、吸着ヘッド５に半田ボール１４を供給するボール供給部となるボールトレイ１と、吸着ヘッド５により吸着された半田ボール１４がミッシングボールや余剰ボールでないかを検査する検査部２と、吸着された半田ボール１４が余剰ボール等であった場合に吸着ヘッド５からの排出ボールを受ける排出ボックス３と、排出ボックス駆動手段であるシリンダ１３と、シリンダ１３を作動させる制御手段（図示されていない）と、マウント部４とよりなるものである。
【０００７】
吸着ヘッド５は、本実施例では、図示されていないＺ軸駆動機構によりＺ軸方向（上下方向）にのみ移動可能とされており、水平方向への駆動機構を有しない。吸着ヘッド５のＺ軸上の下方には、マウント部４が設けられており、吸着ヘッド５の移動をＺ軸方向のみとすることにより、マウント動作の高速化や吸着ヘッド５のマウント精度を向上させることができる。
【０００８】
吸着ヘッド５とマウント部４との間には、支持部材７がＺ軸と交差する方向（水平方向）に移動可能に設けられており、該支持部材７には、ボールトレイ１と、検査部２と、排出ボックス３とが設けられている。
【０００９】
支持部材７は、ボールネジ９とナット１０を介して、ボール供給部駆動手段であるモータ８に連結されている。モータ８が駆動することによりボールネジ９が回転し、ボールネジ９に螺着されたナット１０が移動、ナット１０に固着されている支持部材７が移動する。
【００１０】
ボールトレイ１は、支持部材７上面に取り付けられた多数の半田ボール１４が貯留されるトレイ状のものであり、支持部材７の進退により吸着ヘッド５下方と待避位置間を進退動自在とされている。
【００１１】
検査部２は、吸着ヘッド５に吸着されたミッシングボールの有無を検査するミッシングボール検査装置１１と吸着ヘッド５に吸着された余剰ボールの有無を検査する余剰ボール検査装置１２とよりなるものである。該検査部２も、支持部材７の動作によって吸着ヘッド５下方と待避位置間を進退動自在とされている。
【００１２】
排出ボックス３は、吸着ヘッド５からの排出ボールを受けるためのボックスである。排出ボックス３は、単独動作可能な排出ボックス駆動手段であるシリンダ１３により、吸着ヘッド５下方と待避位置間を進退動自在とされている。排出ボックス３の待避位置は、図１に示されるように、ボールトレイ１の側方（図中右上側）である。排出ボックス３は、制御装置（図示されていない）からのボール排出の指令を受けたときにシリンダ１３は作動する。これにより、排出ボックス３は吸着ヘッド５下方に位置する。
【００１３】
マウント部４は、吸着ヘッド５の下方に位置するステージ６によりなるもので、ステージ６上にて基板やウエハ１５は位置決めされ、半田ボール１４を正常に吸着した吸着ヘッド５によりマウントされる。
【００１４】
以下、図１から図４に従って、本発明に係る余剰ボール等の排出装置の作動手順について説明する。図１は半田ボール吸着直前を示す説明図であり、同図に示されるように、排出ボックス３を待避位置に待避させた状態でボールトレイ１をボール供給部駆動手段により吸着ヘッド５の下方へ位置させる。この状態で吸着ヘッド５をＺ軸駆動機構によりボールトレイ１上の所定の高さ位置に下降させて、図示されていないブロアモータを作動させると、吸着ヘッド５は半田ボール１４の吸着のための負圧を得、ボールトレイ１内の半田ボール１４を吸引吸着する。
【００１５】
次に、図２は、吸着ヘッド５が半田ボール１４を吸着したときの吸着ミス検査時を示す説明図である。吸着ヘッド５に吸着された半田ボール１４の吸着ミスを検査する場合には、吸着ヘッド５を適正な検査位置に位置させ、ボール供給部駆動手段により、ミッシングボール検査装置１１及び余剰ボール検査装置１２を図２中、左から右へ移動させながらミッシングボール及び余剰ボールの有無を検査する。
【００１６】
吸着ミスを検出した場合には、制御装置からボール排出指令がシリンダ１３に対して与えられる。このボール排出指令によりシリンダ１３が作動し、排出ボックス３が吸着ヘッド５下方に位置する。ここで、吸着ヘッド５の負圧を切り、吸着ヘッド５が吸着していた全ての半田ボール１４を排出ボールとして排出ボックス３へ排出する。排出ボックス３を待避位置へ待避後、再びボールトレイ１に貯留された半田ボール１４を吸引吸着して、吸着ミスの検査を行う。図３は、半田ボール排出時を示す説明図である。
【００１７】
吸着ミスを検出しない場合は、ボール供給部駆動手段により支持部材７は図４中の右方向の待避位置へ待避させる。これにより、吸着ヘッド５の下方には、ステージ６上に位置決めされたウエハ１５のみが存在することとなり、半田ボール１４を吸着した吸着ヘッド５をウエハ１５上に下降させることにより、マウントが可能となる。図４は、半田ボールマウント直前を示す説明図である。
【００１８】
【発明の効果】
本発明は、如上のように構成されるため、以下のような効果を発揮する。吸着ヘッドからの排出ボールを受ける排出ボックスを、排出ボックス駆動手段を作動させて、吸着ヘッド下方へ進退動自在とすることにより、ミッシングボール及び余剰ボール排出のための吸着ヘッドの移動や停止の動作数を削減し、マウント動作の高速化や吸着ヘッドのマウント精度の向上を図ることができた。
【００１９】
請求項２の効果であるが、ボール供給部を支持部材に装着し、ボール供給部をボール供給部駆動手段により吸着ヘッド下方へ進退動自在とするとともに、該ボール供給部を支持する支持部材に排出ボックスを移動可能に支持させ、排出ボックスにも吸着ヘッド下方へ進退動自在とする排出ボックス駆動手段を設けることにより、ボール供給部からのボール吸着時及び余剰ボール等の排出時においても、吸着ヘッドを水平方向に移動させることなく、半田ボールの吸着及び余剰ボール等の排出を行うことができるので、吸着ヘッドの駆動機構をＺ軸駆動機構のみとすることができ、吸着ヘッドの移動や動作数を更に削減することができ、より効率的なマウント動作の高速化や吸着ヘッドのマウント精度の向上を図ることができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】半田ボール吸着直前を示す説明図
【図２】吸着ミス検査時を示す説明図
【図３】半田ボール排出時を示す説明図
【図４】半田ボールマウント直前を示す説明図
【符号の説明】
１．．．．．．ボールトレイ
２．．．．．．検査部
３．．．．．．排出ボックス
４．．．．．．マウント部
５．．．．．．吸着ヘッド
６．．．．．．ステージ
７．．．．．．支持部材
８．．．．．．モータ
９．．．．．．ボールネジ
１０．．．．．ナット
１１．．．．．ミッシングボール検査装置
１２．．．．．余剰ボール検査装置
１３．．．．．シリンダ
１４．．．．．半田ボール
１５．．．．．ウエハ
【図１】
0004258747.tif 000002
【図２】
0004258747.tif 000003
【図３】
0004258747.tif 000004
【図４】
0004258747.tif 000005