(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドライアイススノ−を用いて被洗浄物を洗浄するドライアイススノ−噴射装置であって、
炭酸ガス源と連設されてドライアイススノ−を噴射するドライアイススノー噴射ノズルを中心に配し、その外周面に沿って略同軸に、噴射ガス源と連設されてなる外筒を配してなるとともに、該外筒の先端に噴射ガスを噴出する噴射ガス噴出口が形成されてなり、
前記ドライアイススノー噴射ノズルは、先端を偏平形状とした噴出口に向かって広がるテーパー形状を有してなることを特徴とする洗浄用ドライアイススノ−噴射装置。
【請求項２】
偏平形状をしたドライアイススノー噴射ノズルの先端噴出口部の短辺部にサイドスリットの切り欠き部を設けてなることを特徴とする請求項１記載の洗浄用ドライアイススノ−噴射装置。
【請求項３】
偏平形状をしたドライアイススノー噴射ノズルの先端噴出口の長辺部の規制部が略矩形状を有してなることを特徴とする請求項１または２記載の洗浄用ドライアイススノ−噴射装置。
【請求項４】
噴射ガス噴出口の先端形状は、細長形状であって、ドライアイススノー噴射ノズルの先端噴出口に設けたサイドスリットの切り欠き部を結んだ線と略平行であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項記載の洗浄用ドライアイススノ−噴射装置。
【請求項５】
ドライアイススノー噴射ノズルから噴射するドライアイススノ−と、該ドライアイススノー噴射ノズルの外周部に沿って配された噴射ガス噴出口から噴射される噴射ガスとによって被洗浄物を洗浄する洗浄用ドライアイススノ−噴射装置を用いて洗浄するにあたって、噴射ガスの流量または圧力を変化調整せしめて、ドライアイススノ−噴射ノズルの噴出口より噴出するドライアイススノーの噴射洗浄領域範囲を変動調整することを特徴とするドライアイススノ−を用いた洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ドライアイススノーを噴射して被洗浄物を洗浄するためのドライアイススノーを適切に噴射するよう特にドライアイススノ噴射ノズルを改良したドライアイススノー噴射装置に関するものであり、そして、複写機のリサイクル部品、半導体ウエハー（エッチング時のバリ）、電気基板、ＭＲヘッド（ディスク読み取り装置）、プラスチック成形のバリ及び精密部品等に付着した有機物、酸、炭化水素、金属薄膜、コネクター及びパーティクル等の除去するために有効に活用し得る洗浄用ドライアイススノー噴射装置とそのドライアイススノー噴射装置を使用した洗浄方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ドライアイスを用いて鋼板のスケール除去などの洗浄を行うためのドライアイスブラスト用の噴射ガンについて、例えば実開平５−４９２５８号公報の如き考案が提案されている。これは、噴射ガン内部に微小オリフィスを配し、液化炭酸ガスがこの微小オリフィスを通過する時に生じる断熱膨張によりドライアイススノーを発生させる系統と、噴射ガンの中を二重配管構造とし、このドライアイススノ−を発生させる系統とは別に噴射ガスを供給する噴射ガス系統を配して、この噴射ガスの圧力により、前記ドライアイススノー発生系統で発生したドライアイススノ−を加速制御して、ドライアイススノーを被洗浄面に吹き付ける構造としたものである。そして、この噴射ガンにおいては、噴射ガン先端噴出口の形状を、被洗浄物の形状に合わせて形成せしめて使用することが開示されている。例えば広幅の被洗浄物を洗浄する場合には、ガンの先端噴出口の形状を幅広形状にすることが有効であることが開示されている。
【０００３】
しかし、このガンの先端噴出口形状を幅広形状としても、ドライアイススノ−と同時に噴射される噴射ガスの噴射は、若干広がるものの噴射ガスの広がりには限度があり、特に噴射ガスの流量が少ないときには、その効果は殆どなく、洗浄幅が幅広にならず開口幅とほぼ同等の幅でドライアイススノ−は噴出されてしまうという問題を有していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記した従来の問題点や不都合を解決し、噴射ガスの圧力が低いときでも噴射せしめるドライアイススノ−に一定の噴射幅、噴射高さを有して噴射することができる噴射ノズルを備えたドライアイススノー噴射装置を提供することを課題とし、常に広角のドライアイススノ−を噴出せしめることができる噴射ガン（以下「噴射ノズル」と記す。）を備えたドライアイススノー噴射装置を得ることを目的とした。  
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記した従来の問題点や不都合を解消し、課題を解決するため、
請求項１に係わる発明は、ドライアイススノ−を用いて被洗浄物を洗浄するドライアイススノ−噴射装置であって、
炭酸ガス源と連設されてドライアイススノ−を噴射するドライアイススノー噴射ノズルを中心に配し、その外周面に沿って略同軸に、噴射ガス源と連設されてなる外筒を配してなるとともに、該外筒の先端に噴射ガスを噴出する噴射ガス噴出口が形成されてなり、
前記ドライアイススノー噴射ノズルは、先端を偏平形状とした噴出口に向かって広がるテーパー形状を有してなることを特徴とする洗浄用ドライアイススノ−噴射装置としたものである。
請求項２に係わる発明は、偏平形状をしたドライアイススノー噴射ノズルの先端噴出口部の短辺部にサイドスリットの切り欠き部を設けてなることを特徴とする請求項１記載の洗浄用ドライアイススノ−噴射装置としたものである。
請求項３に係わる発明は、偏平形状をしたドライアイススノー噴射ノズルの先端噴出口の長辺部の規制部が略矩形状を有してなることを特徴とする請求項１または２記載の洗浄用ドライアイススノ−噴射装置としたものである。
請求項４に係わる発明は、噴射ガス噴出口の先端形状は、細長形状であって、ドライアイススノー噴射ノズルの先端噴出口に設けたサイドスリットの切り欠き部を結んだ線と略平行であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項記載の洗浄用ドライアイススノ−噴射装置としたものである。
【０００６】
請求項５に係わる発明は、ドライアイススノー噴射ノズルから噴射するドライアイススノ−と、該ドライアイススノー噴射ノズルの外周部に沿って配された噴射ガス噴出口から噴射される噴射ガスとによって被洗浄物を洗浄する洗浄用ドライアイススノ−噴射装置を用いて洗浄するにあたって、噴射ガスの流量または圧力を変化調整せしめて、ドライアイススノ−噴射ノズルの噴出口より噴出するドライアイススノーの噴射洗浄領域範囲を変動調整することを特徴とするドライアイススノ−を用いた洗浄方法としたものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下本発明の洗浄用ドライアイススノー噴射装置（以下「ドライアイススノー噴射装置」という）の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明のドライアイススノー噴射装置の一例を説明する断面図であり、図２は同じくドライアイススノー噴射装置の正面図である。図１及び図２において、本発明のドライアイススノー噴射装置１は、液化炭酸ガス供給ラインの管５６と接続される内管２と、該内管２の外周に沿ってこれを間隙３を保って囲繞して配された、噴射ガス供給ラインの管４８に接続される外管４が配設されてなる外筒５とから構成され、内管２は外筒５に囲繞されてこれらは略同軸の二重管となっている。
【０００８】
内管２は、その一端が外筒５の一方の筒端部面を貫通して、継ぎ手部材５９を介して前記した通り液化炭酸ガス供給ラインの管５６に接続され、一方その他端２ｂは外筒５内でスリーブ６を介して先端が外部に延びて配設されるドライアイススノー噴射ノズル７に接続されている。従って、内管２と外筒５とは略同軸の二重管を形成しているが、それぞれスリーブ６で気密に閉塞区画されているので、内管２内を流れる液化炭酸ガスが外筒５内に流れる噴射ガスと混合することはない。
【０００９】
ドライアイススノー噴射ノズル７における液化炭酸ガス(ドライアイススノ−)の流路は、ドライアイススノー噴射ノズル７と内管２との接続側近傍７ａに口径が狭い絞り部８を有し、先端噴出口７ｂ側に向って徐々に拡径するテーパー形状９をなしている。その上更に、その先端噴出口７ｂは徐々に偏平形状１０を形成せしめてなり、そしてその偏平形状部１０の短辺部にサイドスリットの切り欠き１１を有し、長辺部には規制部１２を有していて、噴出口７ｂの正面は、略「＝」文字状の開口形状をなしている。そして噴出口７ｂの、噴射ノズルの長さ方向にサイドスリットの切り欠き１１で形成される二つの規制部１２は、矩形状の形状をなし、略平行に形成されている。かくして、液化炭酸ガスＴLがドライアイススノー噴出ノズル７に導入されると、絞り部８を通過する時、液化炭酸ガスＴLは断熱膨張してドライアイススノ−ＴSを生成し、規制部１２とサイドスリットの切り欠き部１１で形成されている先端噴出口７ｂからドライアイススノーＴSが噴射される。
【００１０】
一方、外筒５は、ドライアイススノ−噴射ノズル７の外周面に沿って配した外筒５の先端面５ａには、噴射ガスＧを噴出するための噴射ガス噴出口１３が設けられている。該噴射ガス噴出口１３の形状は、細長形状となっている。そして噴射ガス噴出口１３は、前記ドライアイススノー噴射ノズル７の先端噴出口７ｂに配設したの２つのサイドスリット切り欠き部１１を結んだ線と略平行に配置されており、好ましくはサイドスリットの切り欠き部１１を結んだ線を中心にして、略線対称にして少なくとも２個の噴射ガス噴出口１３を配置することが望ましい。そして、噴射ガス噴出口１３の配置位置は、サイドスリットの切り欠き部１１を結んだ線と略平行の関係にあれば良く、噴射ガス噴出口１３を配設する数は特に限定されるものでなく、適用状態に応じて適宜選択して設ければ良い。かくして、この様な構成とすることにより噴射ガスの噴出方向は、ドライアイススノー噴射ノズル７内をより噴射されるドライアイススノ−ＴSに対して略平行に流すことができる。
【００１１】
なお、上記した実施の形態では、図１及び図２の如くドライアイススノー噴射ノズル７の流路が噴出側に向って徐々に広がっていくテーパー形状９とし、その先端噴出口７ｂをサイドスリットの切り欠き１１を設けた偏平形状１０としたが、本発明のドライアイススノー噴射ノズル７はこれに限定されるものでなく、図１に示した形状のほかに図３に示す第２の実施の形態のドライアイススノー噴射ノズル２１としてもよい。図３はドライアイススノー噴射装置の第２の実施の形態のドライアイススノー噴射ノズルの要部拡大図である。このドライアイススノー噴射ノズル２１は図１に図示したドライアイススノー噴射装置１におけるドライアイススノー噴射ノズル７と取り替えて装着して使用するものである。
【００１２】
図３に図示する第２の実施の形態のドライアイススノー噴射ノズル２１の特徴は、その先端噴出口２１ｂの端部を曲部有する湾曲形状の規制部２２として形成せしめたもので、その他の構成は、図１及び図２で図示した第１の実施の形態のドライアイススノー噴射ノズル７と同一の構成をしているものである。そして、該ドライアイススノー噴射ノズル２１に液化炭酸ガスＴLを導入すると、先の第２の実施の形態と同様に、液化炭酸ガスＴLが絞り部８を通過する時、液化炭酸ガスＴLは断熱膨張し、ドライアイススノ−ＴSとなり、略「＝」字状のスリットの切り欠き１１を設けてなる噴出口２１ｂからドライアイススノ−ＴSが噴出する。
【００１３】
更に、図４はに本発明の第３の実施形態のドライアイススノー噴射ノズル３１の概略断面図を示す。図４に図示した第３の実施の形態のドライアイススノー噴射ノズル３１も、図３に図示した第２の実施の形態のドライアイススノー噴射ノズル２１と同様に、図１に図示した本発明のドライアイススノー噴射装置１における第１の実施の形態のドライアイススノー噴射ノズル７と取り替えて装着して使用するものである。
【００１４】
図４に図示する第３の実施の形態のドライアイススノー噴射ノズル３１の特徴は、ドライアイススノー噴射ノズル３１の先端噴出口３１ｂは偏平形状１０ではあるが、サイドスリットの切り欠き部を有していなく、噴出口３１ｂの正面が略「口」字形状を有している事を特徴としている。そしてその他絞り部８や、噴出口３１ｂに向け徐々に拡径したテーパー形状９のガス流路を形成していることは、先の第１及び第２の実施の形態のドライアイススノー噴射ノズル７、２１と共通した構造をなしている。従って、第１及び第２の実施の形態のドライアイススノー噴射ノズル７、２１と同様に、液化炭酸ガスＴLを第３の実施の形態のドライアイススノー噴射ノズル３１に導入すると、液化炭酸ガスＴLが絞り部８を通過する時断熱膨張し、ドライアイススノ−ＴSとなり、略「口」字状の形状の噴出口３１ａからドライアイススノ−ＴSが噴出する。
【００１５】
【実施例】
本発明のドライアイススノー噴射装置１をドライアイススノ−噴射洗浄装置として使用して、その効果を確認する実験を行った。この実験に使用したドライアイススノ−噴射洗浄装置を図５にその系統概略図を図示して説明する。
図５において、ドライアイススノー噴射洗浄装置５０は、液化炭酸ガスＴLを貯蔵する液化炭酸ガス容器５１と管５２で連結された適宜開閉操作可能な電磁弁等の開閉手段５３、そして該開閉手段５３より管５４で連結されたオリフィスの如き絞り手段５５を経て管５６により噴射洗浄ドライアイススノー噴射装置１に連結されている液化炭酸ガス供給ライン５７が形成されている。なおＰＩは圧力計である。
【００１６】
又一方、低露点の窒素ガス等の噴射ガスＧが貯蔵されている噴射ガス源容器４１が管４２により圧力調整器４３に連結され、更に管４４によりイオン化手段４６を経て弁４７を介して管４８により前記ドライアイススノー噴射装置１に連結されてなる噴射ガス供給ライン４９が設けられている。そして、前記噴射ガス供給ライン４９には噴射ガスＧを適切な温度に保持するため加熱制御手段４５が例えば管４４に併設されている。
【００１７】
なお、開閉手段５３としては、本確認実験においてはボール弁を使用した。また前記絞り手段５６としては、ニードル弁等を使用して、洗浄対象物や使用環境に応じて、例えば液化炭酸ガスＴLの流量を調整してドライアイススノーＴSの生成量を適宜調整できるようにした。なお又、加熱制御手段４５は、ヒーターとセンサーとそのコントローラーから構成されている。
更に、イオン化手段４６としては、各種のイオナイザー等を適宜選択して使用した。
又、液化炭酸ガス容器５１としては、高圧ガス容器（ガスボンベ）を使用し所望の圧力として使用し、噴射ガスＧとしては、低露点の窒素ガスを用いた。
【００１８】
本実施例に於いては、上記記載の使用機器や部材、ガスを用いたが、これらのほかにも適宜選択使用でき、開閉手段５３としては、電磁弁に代えて空気作動弁と電磁弁を組み合せて使用することができる。絞り手段５５としてはオリフィスを有した形状でもよい。液化炭酸ガス容器５１は、低温液化ガス用断熱容器（貯槽でも良い）を用い、必要に応じて液化炭酸ガスＴLを加圧し、所望の圧力として使用してもよい。
【００１９】
噴射ガスＧは前記窒素ガスの他に、炭酸ガス、アルゴンガスや圧縮空気等を用いることができる。これらのガスＧは噴射ガス源容器４１としての高圧ガス容器（ガスボンベ）に加圧充填して使用してもよく、又空気の場合は圧縮機で加圧して供給しても良い。この場合、ガスの露点が高いと、ドライアイススノーＴSを噴射する際、冷却されて水分が凝結して噴射を阻害することとなるので、露点が高い場合は別途乾燥器又は除湿器（図示せず）を用いて、露点を低下せしめて乾燥する必要がある。
【００２０】
［実験１］
上記の如き図５に図示したドライアイススノー噴射洗浄装置５０に本発明のドライアイススノー噴射装置を１を用い、それに図１、図３及び図４に図示した第１、第２及び第３の実施の形態のドライアイススノー噴射ノズル７、２１及び３１をそれぞれ装着してドライアイススノー噴射装置１にとして組み立て、それぞれのドライアイススノー噴射ノズルについて、ドライアイススノ−ＴSの噴射を幅広に噴出せしめることができるか噴射形状の状態について評価確認した。
●実験条件
・供給する液化炭酸ガスＴL：温度約２０℃、圧力６ＭＰａの状態で、流量１ｋｇ／minにて供給した。
・噴射ガスＧ：流さずに行なった（噴射ノズル形状の差異によるドライアイススノーの噴射状態のみの確認のため）。
【００２１】
●ドライアイススノー噴射ノズルの仕様諸元
・流路テーパー角度：５度
・絞り部８の内径：１.４ｍｍφ
・絞り部８から噴出口先端までの長さ：４０ｍｍ
・サイドスリットの切り欠き１１の長さ(第１及び第２実施形態の噴射ノズル)：５ｍｍ
・規制部１２間の噴出口の間隙：０．８ｍｍ
【００２２】
上記した実験条件により、第１乃至第３の実施形態の各ドライアイススノー噴射ノズル７、２１及び３１の噴出口から１５ｍｍの位置でのドライアイススノーＴSの噴射形状の観察とその寸法の測定、及び噴射密度を確認した。噴射形状を調べるに当たっては、シリコンシートにアルミテープを張り付け、そこにドライアイススノ−ＴSを吹付け、アルミテープの変形痕からドライアイススノ−ＴSの概略噴射面形状寸法を測定した。その結果を表１に示す。
【００２３】
［比較例］
本発明のドライアイススノー噴射装置の効果を確認するため、比較例として、図６に示すように噴出口６１ｂに向って徐々にテーパー形状９を有して広がり、その先端部に互いに１８０度の位置関係となる部分にサイドスリットの切り欠き１１を有したドライアイススノ噴射ノズル６１をドライアイススノー噴射装置として組み立て、比較実験を行なった。なお、実験条件、噴射ノズルの仕様諸元、及び噴射形状の観察と寸法測定、及び噴射密度の確認は、上記実験１と共通した状態で行った。その結果を同様に表１に併記した。
【００２４】
【表１】
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【００２５】
表１で明らかなように、図６で図示した比較例の噴出口がテーパー形状９の広がりを有するドライアイススノー噴射ノズル６１では、噴射形状が略円形であり、その中央部はドライアイススノ−ＴSの密度は疎の状態にあった。そしてに周辺部のドライアイススノ−ＴSの密度は密の状態であった。
一方、図１、３及び図４に示す先端が偏平している形状の本発明の第１乃至第３の実施形態のドライアイススノー噴射ノズル７、２１及び３１を用いた場合には、その噴射形状は、略楕円形であり、偏平形状１０をしている噴射ノズル先端の噴出口７ｂ、及び３１ｂの開口の長辺が楕円形の長辺に相当していることが確認された。又、ノズル先端の噴出口形状が偏平形状に加え、更に偏平形状の短辺部にサイドスリットの切り欠き１１を設けることにより、噴射したドライアイススノーＴSは楕円形状の長辺側により一層長くなるように噴射されることが、第１の実施形態のドライアイススノー噴射ノズル７（図１）と第３の実施形態のドライアイススノー噴射ノズル３１（図４）との比較により確認された。
【００２６】
更に、噴射されたドライアイススノーＴSの噴射密度は、比較例のドライアイススノー噴射ノズル６１（図６）と異なり、第１の実施形態のドライアイススノー噴射ノズル７（図１）、第２の実施形態のドライアイススノー噴射ノズル２１（図３）、第３の実施形態のドライアイススノー噴射ノズル３１（図４）では、楕円の周部がドライアイスノ−ＴSが疎の状態にあり、中央部が密の状態であった。
又、図３に示した噴出口２１ｂの規制部１２先端を湾曲した曲部面をもって形成した第２の実施形態のドライアイススノー噴射ノズル２１を使用すると、噴射形状が楕円形状より矩形に近くなり、ドライアイススノ−が均一に噴射されることが確認された。
【００２７】
［実験２］
次に実験２として、第１の実施形態のドライアイススノー噴射ノズル７（図１）を用いたドライアイススノー噴射装置１で、ドライアイススノーＴSの噴射とともに、外筒５の先端に設けた噴射ガス噴出口１３から噴射ガスＧを噴出せしめた時の効果を確認した。
●実験条件
・噴射ガスＧ：常温の低露点の窒素ガスを圧力０.４５ＭＰａにて供給し噴出せしめた。
・供給する液化炭酸ガスＴL：実験１と同様に、温度約２０℃、圧力６ＭＰａの状態で、流量１ｋｇ／minにて供給した。
【００２８】
●ドライアイススノー噴射ノズルの仕様諸元
・噴射ガス噴射口１３：噴射ノズル先端噴出口７ｂに設けたサイドスリット切り欠き１１を結んだ線を軸対象として、その上下に噴射ノズル中心から噴射ガス噴射口１３の距離を１１.５ｍｍとして配置させた。噴射ガス噴射口１３の形状は長辺が５.８ｍｍ、短辺が１.６ｍｍの細長形状として、サイドスリット切り欠き１１を結んだ線と平行に配置した。
・その他の仕様諸元は実験１と共通した仕様である。
【００２９】
上記した実験条件により、第１の実施形態のドライアイススノー噴射ノズル７の、噴射ガスＧの噴出使用の有無により噴出口から１５ｍｍの位置でのドライアイススノーの噴射形状の観察とその寸法の測定、及び噴射密度を確認した。噴射形状を調べるに当たっては、実験１と同様にシリコンシートにアルミテープを張り付け、そこにドライアイススノ−ＴSを吹付け、アルミテープの変形痕からドライアイススノ−ＴSの概略噴射面形状寸法を測定した。その結果を表２に示す。
【００３０】
【表２】
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【００３１】
この結果、表２で明らかなように、噴射ガスＧを噴射ガス噴出口１３から噴射すると、ドライアイススノーＴSの噴射形状は楕円形状の長辺寸法は変わらないものの、短辺は噴射ガスＧの影響によりドライアイススノ−ＴSの短辺方向の広がりが抑えられ、２から３ｍｍへと一層短くなった。又ドライアイススノ−ＴSの噴射密度は噴射ガスＧを用いないときと同様に、中央部が密で、周部が疎であった。ドライアイススノ−ＴSの噴出量は一定であるので、単位面積当たりのドライアイススノ−ＴSの密度は略２倍になっていることが確認された。これらの結果から、噴射ガスＧを噴射ガス噴出口１３から噴射すると、より被洗浄物の狙った箇所に一方向の幅を持って洗浄できることが確認された。又、この噴射ガスＧの流量または圧力を変化させる事により、ドライアイススノ−ＴSの噴射形状の短辺側の広がりは約２ｍｍから５ｍｍの間まで、変更が可能であった。
【００３２】
上記実験に於いては、絞り部８はドライアイススノー噴射装置１の各ドライアイススノー噴射ノズル７、２１、及び３１に設けているが、この設置位置は、ドライアイススノー噴射ノズル部に限定されるものでなく、例えば液化ガス供給ライン５７の管５６に設けても、同様の効果を得られることは言うまでもない。
またサイドスリットの切り欠き１１の長さを調整することで、所望の幅でドライアイススノ−ＴSを噴出することもできる。
【００３３】
【発明の効果】
本発明の洗浄用ドライアイススノー噴射装置は上記した形態で実施され、以下の如き効果を奏する。
本発明のドライアイススノー噴射装置では、ドライアイススノー噴射ノズルの周部に噴射ガス噴出口を設けて、噴射ガスを噴出せしめるようにしたので、噴射ガスの流量や圧力を調整することにより、ドライアイススノーの噴射領域範囲を適宜所望する範囲に調節し得たり、被洗浄物への噴射密度を適宜自由に変動せしめることができる。この結果、被洗浄物の汚染状態や、大きさによってドライアイススノーの噴射領域や噴射密度を、噴射ノズルを交換せしめることなく容易に調整し得て、作業性を向上せしめることができる。
【００３４】
又、本発明のドライアイススノー噴射装置では、噴射ノズルの噴出口先端を偏平形状に形成したので、噴射形状が楕円状の広がりを形成することとなり、面積を有する平面の洗浄に効果的であり、しかも中央部にドライアイススノーの噴射密度が密となって形成されることから、洗浄位置を適切に射程し得て、洗浄を的確になし得る効果を奏する。
【００３５】
更に、偏平形状の噴出口の短辺にサイドスリットの切り欠きを設けることによりドライアイススノーの噴射形状を幅広の略矩形状に形成することができ、しかもその矩形形状に沿った中央部にドライアイススノーが略均一の面密度で噴射されるので、被洗浄物を面洗浄でもって洗浄することができ、効率良く洗浄することができる。特に被洗浄物が矩形形状である場合の洗浄には効果的である。
【００３６】
又、噴射ガス噴出口を、ドライアイススノー噴射ノズルの噴出口に設けたサイドスリットの切り欠き同士を結ぶ線と平行な細長形状とし、かつ前記サイドスリットの切り欠き同士を結ぶ線を軸に線対称の位置に設けることにより、該噴射ガス噴出口から噴出せしめる噴射ガスの流量や圧力を調整することにより、噴射形状である矩形状の短辺側の寸法を可変にすることができ、更にドライアイススノ−の噴射密度をも可変にすることができ、被洗浄物の汚染度合いにより、適宜所望する噴射状態に効率よく調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１実施形態のドライアイススノー噴射ノズルを装着したドライアイススノ−噴射装置の一例を説明する断面図。
【図２】  図１の本発明のドライアイススノ−噴射洗浄装置の正面図。
【図３】  本発明のドライアイススノ−噴射装置の第２実施形態のドライアイススノー噴射ノズルの概略断面図。
【図４】  本発明のドライアイススノ−噴射装置の第３実施形態のドライアイススノー噴射ノズルの概略断面図。
【図５】  実験に使用したドライアイススノ−噴射洗浄装置の概略系統図。
【図６】  比較例で用いたドライアイススノ−噴射洗浄装置のドライアイススノー噴射ノズルの概略断面図。
【符号の説明】
１…ドライアイス噴射装置、  ２…内管、  ３…間隙、  ４…外管、
５…外筒、  ６…スリーブ、
７…第１実施形態のドライアイススノー噴射ノズル、
７ｂ、２１ｂ、３１ｂ…噴出口、  ８…絞り部、  ９…テーパー形状、
１０…偏平形状、  １１…サイドスリットの切り欠き、  １２、２２…規制部、
１３…噴射ガス噴出口、
２１…第２実施形態のドライアイススノー噴射ノズル、
３１…第３実施形態のドライアイススノー噴射ノズル、
６１…比較例のドライアイススノー噴射ノズル、
４８…噴射ガス供給ラインの管、  ５６…液化炭酸ガス供給ラインの管、
５９…継ぎ手部材、  ＴL…液化炭酸ガス、  ＴS…ドライアイススノー、
Ｇ…噴射ガス、５０…ドライアイススノー噴射洗浄装置、
４１…噴射ガス源容器、  ４３…圧力調整器、  ４５…加熱制御手段、
４６イオン化手段、  ４９…噴射ガス供給ライン、  ５１…液化炭酸ガス容器、
５３…開閉手段、  ５５…絞り手段、  ５７…液化炭酸ガス供給ライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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