(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
垂直壁と斜め壁とからなる対向する一対の側壁と、
前記一対の側壁の各々の一部を成す、収納されるウエハを左右で支持する、横支持部と、
前記横支持部の上および下となる前記側壁に前記横支持部に沿って１段ずつ設けられた連続する開口部と、
前記一対の側壁の内側に対向して配置され、前記開口部によって分断されている、上段の前記開口部の上方に配置された前記収納されるウエハを案内するための上段溝壁と、前記横支持部に配置された、収納されたウエハをそれが形成する溝の底部で左右方向に支持する中段溝壁と、下段の前記開口部の下方に配置された、前記収納されたウエハをそれが形成する溝の底部で上下方向に支持する下段溝壁と、からなり、
前記中段溝壁の高さは前記上段溝壁および前記下段溝壁の高さよりも低いウエハキャリアケース。
【請求項２】
前記上段溝壁の下部、前記中段溝壁の上部と下部、および前記下段溝壁の上部は前記開口部に突出している請求項１記載のウエハキャリアケース。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハを収納するウエハキャリアケースに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１に従来のウエハキャリアケース１０の平面図を示す。図中のＣ−Ｃ線断面図を図２に、図中のＥ−Ｅ線断面図を図３に示す。従来のウエハキャリアケース１０の筐体１の両側壁２、２に対向する一組の溝２ａが複数設けられている。溝２aは、ウエハ１００を案内するものである。側壁２は、垂直な壁である垂直壁と、ウエハ１００を受ける斜めの壁である斜め壁にて形成されている。なお、筐体１の底部は、開口されている。更に、垂直壁と斜め壁の各溝２aには、それぞれ対向する位置に開口スリット４が設けられている。この各溝２ａの溝幅はウエハ１００の厚さのおよそ６倍程度の寸法に形成されている。上部の開口スリット４は、側壁２の垂直壁とウエハ１００の接する位置の上部とその下部に設けられている。下部の開口スリット４は、垂直壁と斜め壁に連なって形成されており、斜め壁とウエハ１００とが接する位置の手前まで形成されている。
【０００３】
また、開口スリット４は、エッチング等する際に、エッチング液等を速やかに排除するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の構造の図１乃至３に示すウエハキャリアケース１０では、ウエハ１００をウエハキャリアケース１０に収納し洗浄またはウェットエッチする際に、ウエハ１００がキャリアケース１０の壁２の上段部である垂直壁側と斜め壁側との接触、またはウエハ１００端部が溝２ａの溝壁７の影になることにより、ウエハ１００の表面、裏面、側面の洗浄を不均一にし、歩留まり低下や、ウエハ表面状態を不均一にし、膜ムラ等の異常の原因となる。
【０００５】
細かい開口スリット４にてもウエハキャリアケース１０内と外側とが繋がっているが、細かいためエッチング液等の速やかな導入・排出が困難であり、上に記載の課題が存在する。
【０００６】
本発明は、上記問題を生じる事無くウエハをウエハキャリアケースに収納し、洗浄またはウェットエッチングまたは乾燥する際に、ウエハキャリアケース内のウエハの洗浄またはエッチングまたは乾燥を均一にすることによりウエハ表面状態または裏面状態の均一性を向上させ、製品の歩留まり低下を抑制することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本願発明は、筐体における対向する一組の溝支持部により支持される複数の溝を対向する状態にかつ等間隔に形成したウエハキャリアケースにおいて、前記対向する各溝のある側壁のうち、側壁の溝とウエハとが接する部分の側壁部の一部に、溝２ａの溝壁７を取り除いた、大きな開口部を設けるものである。各溝２ａに設けられた開口部がそれぞれ繋がっていることである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図４及び図5は、本発明のウエハキャリアケース１０の側断面図および縦断面図である。図4、５に示すように筐体の外形は、従来のものとほぼ同一である。図5に示すように図3に於ける上段及び下段の開口スリット４部の溝支持部２及び溝壁７は取り除かれた形状になっている。つまり、筐体の片側には上下２段の連続開口部４ａが設けられている。つまり両側に4つ設けられている。尚筐体の天井及び底も開口されている。
【０００９】
図４、５に示すように、筐体１の上下段側の溝支持部２、２（溝４、溝壁７）は取り除かれ、それぞれの隣り合う開口スリット４は一体化され、片側側壁に上下２つの開口部4ａとして形成されている。残された溝壁７は、上段溝壁７Ｘと中段溝壁７Ｚと下段溝壁７Ｙに分断されることになる。勿論各溝壁７Ｘ、７Ｚ、７Ｙにはそれぞれ溝４Ｘ、４Ｚ、４Ｙが設けられることになる。更に、各溝壁７Ｘ、７Ｚ、７Ｙの図5における上下方向は、各開口部４ａに重なるように突出している。
【００１０】
ここで、中段溝壁７Ｚの溝４Ｚの底部は、ウエハ１００を左右で支持するものである。この支持を横支持部１１Xとする。ここで溝４Ｘ，４ＺＹ，４Ｙの幅は市販されているウエハの厚さ以上である。更に下段溝４Ｙの底部もウエハ１００を上下方向に支持するものである。
【００１１】
以上の様に構成されたウエハキャリアケース１０によれは、ウエハ１００が支持されるため、ウエハ１００の大きな振動を低減し、ウエハのずれや隣接し合うウエハへの重なり等の問題を防止している。
【００１２】
更に、図４に示す様に、溝壁の高さ（図４の左右方向）は、中段の溝壁７Ｚが最も低くなっている。これは、上段の溝壁７Ｘは、ウエハ１００をウエハキャリア１０に挿入する際の案内になり、高くしてもウエハ１００と重ならないため高くすることができる。中段の溝壁７Ｚは、ウエハ１００をウエハキャリア１０に挿入する際の案内と同時に、ウエハ１００を所定位置に支持するものであり、一旦ウエハ１００が所定位置に配置されれば、外れることが無いので、高さを低くしても良いことになる。低くすると、中段溝壁７Ｚとウエハ１００の重なり面積が狭くなる。下段溝壁７Ｙは、ウエハ１００の挿入案内となり、更に、位置がずれないようにするため、高くなっている。ウエハ１００は衝撃等により、所定の下段溝４Ｙから外れることがある。
【００１３】
従来の構造の図１と図２と図３に示すウエハキャリアケースでは、ウエハ１００をウエハキャリアケース１０に収納し洗浄またはウェットエッチする際に、ウエハがキャリアケースのウエハ支持部上段側の溝壁７とウエハ支持部下段側溝壁７との接触またはウエハ端部がウエハ支持部の影になることによりウエハの表面、裏面、側面の洗浄を不均一にし、歩留まり低下や、ウエハ表面状態を不均一にし、膜ムラ等の異常の原因となる。また、ウエハを洗浄またはウェットエッチングする際に、ウエハキャリアケースの外壁２によりキャリアケース側面からの洗浄薬液の洗浄効果またはエッチング薬液のエッチング効果が著しく低下し、洗浄またはエッチングのウエハ面内不均一の原因となり、膜ムラ異常や歩留まり低下の原因となる。
【００１４】
また、スピンドライヤー等での乾燥機による乾燥する際に、水滴もしくは薬液がキャリアケースの溝４に残りやすく、ウエハ側壁部が乾燥不均一になり、ウエハのシミ異常や歩留まり低下の原因となる。
【００１５】
本願発明は、筐体１０の両側壁２、２の横支持部１１Xの上段側または下段側を部分的に開口部４aを設けている。ことによって、ウエハ１００をウエハキャリアケース１０に収納し、洗浄またはウェットエッチングする際に、ウエハキャリアケース１０の側面からも洗浄薬液またはウェットエッチング薬液がウエハキャリアケース１０内に入り込む。それにより、ウエハ１００面内およびウエハキャリア１０内のウエハ１００間の洗浄均一性の向上またはウェットエッチングのウエハ面内およびウエハキャリア内のウエハ間のエッチング均一性を向上させ、ウエハの膜ムラ異常、シミ異常などのウエハ表面状態または裏面状態の異常を低減することができる。また、製品の歩留まり低下を抑制することができる。
【００１６】
また、ウエハ１００をウエハキャリアケース１０に収納し乾燥する際においても、ウエハ面内およびウエハキャリア内のウエハ間の乾燥均一性を向上させ、シミ異常などのウエハ表面状態または裏面状態の異常を低減するとともに製品の歩留まり低下を抑制することができる。
更に、ウエハ支持部である横支持部１１Xの溝たかさを他の溝高さよりも低くすることによって、ウエハ１００をウエハキャリアケース１０に収納し、洗浄またはウェットエッチングする際に、洗浄薬液またはウェットエッチング薬液が、ウエハ端部まで入り込む。そして、ウエハ面内およびウエハキャリア内のウエハ間の洗浄均一性の向上またはウェットエッチングのウエハ面内およびウエハキャリア内のウエハ間のエッチング均一性を向上させ、ウエハの膜ムラ異常、シミ異常などのウエハ表面状態または裏面状態の異常を低減するとともに、製品の歩留まり低下を抑制することができる。また、ウエハをウエハキャリアケースに収納し乾燥する際においても、ウエハ面内およびウエハキャリア内のウエハ間の乾燥均一性を向上させ、シミ異常などのウエハ表面状態または裏面状態の異常を低減するとともに製品の歩留まり低下を抑制することができる。
【００１７】
横支持部１１Ｘに、開口部４ａに突出した溝壁７Ｚを設けることにより、ウエハ１００の横方向支持の強度を保つことができる。また、横支持部１１Ｘの存在により、キャリアケース１０の変形やゆがみを抑制することができ、ウエハへのダメージを生じることを抑制することができる。
【００１８】
【発明の効果】
本発明によれば、ウエハをウエハキャリアケースに収納し洗浄またはウェットエッチングまたは乾燥する際に、キャリアケース側面を部分的に削除することによりキャリアケース内のウエハの洗浄効果またはエッチング効果または乾燥効果の均一性を向上することによりウエハの膜ムラ異常、シミ異常などのウエハ表面状態または裏面状態の異常を低減し、歩留まり低下を抑制することができる。
【００１９】
また、中段部の筐体骨部付近のスリット部を1部残し、前記対向する各溝のある筐体側面のスリット部を部分的に削除することにより、キャリアケースの強度を保つことができキャリアケースの変形やゆがみを抑制することができウエハへのダメージを生じることがない。
【００２０】
更に、前記対向する各溝の中段部の溝において筐体側面からの高さを低くすることによって、ウエハをウエハキャリアケースに収納し洗浄またはウェットエッチングまたは乾燥する際に、キャリアケース内のウエハの洗浄効果またはエッチング効果または乾燥効果の均一性を向上することによりウエハの膜ムラ異常、シミ異常などのウエハ表面状態または裏面状態の異常を低減し、歩留まり低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の平面図である。
【図２】図１中のＣ−Ｃ線断面図である。
【図３】図１中のＥ−Ｅ線の側断面図である。
【図４】本願発明の側断面図である。
【図５】本願発明の縦断面図である。
【符号の説明】
１    筐体
２    側壁
４a  開口部
７Ｘ、７Ｙ、７Ｚ    溝壁
１０  ウエハキャリアケース
１１Ｘ  横支持部
１００  ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
0004256122.tif 000005
【図５】
0004256122.tif 000006