(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部、それに続く胴部及び前記胴部を閉塞する底部を有し、前記開口部の最小内径が前記胴部の最大内径よりも大きい広口の合成樹脂製容器の外壁に、ダイヤモンド・ライク・カーボン膜を形成する装置であって、
前記容器の前記開口部を支持する基台と、
前記基台に突出して配置され、前記開口部を介して前記容器内に挿入される内部電極と、
前記基台に支持された前記容器の周囲空間を気密に保持する外部電極と、
前記周囲空間を真空排気する真空ポンプと、
前記周囲空間に炭素原子を含むガスを供給するガス供給装置と、
前記内部電極及び前記外部電極を用いて、前記周囲空間にてプラズマを生成するためのプラズマ励起部と、
を有し、
前記内部電極は、
前記開口部内に配置されて前記容器を保持する保持部と、
前記保持部より上方に延びる電極棒部と、
を有し、
前記容器は、前記開口部に、薄肉で外側に広がる巻き締め用フランジを有し、前記フランジを保持する前記保持部の外周面が絶縁部材にて形成されていることを特徴とするガスバリア性合成樹脂製容器の製造装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記内部電極は、前記容器の内面に実質的に密着する形状であることを特徴とするガスバリア性合成樹脂製容器の製造装置。
【請求項３】
開口部、それに続く胴部及び前記胴部を閉塞する底部を有し、前記開口部の最小内径が前記胴部の最大内径より小さく、かつその差が２０ｍｍ以内の広口の合成樹脂製容器の外壁に、ダイヤモンド・ライク・カーボン膜を形成する装置であって、
前記容器の前記開口部を支持する基台と、
前記基台に突出して配置され、前記開口部を介して前記容器内に挿入される内部電極と、
前記基台に支持された前記容器の周囲空間を気密に保持する外部電極と、
前記外部電極前記周囲空間を真空排気する真空ポンプと、
前記周囲空間に炭素原子を含むガスを供給するガス供給装置と、
前記内部電極及び前記外部電極を用いて、前記周囲空間にてプラズマを生成するためのプラズマ励起部と、
を有し、
前記内部電極は、
前記開口部内に配置されて前記容器を保持する保持部と、
前記保持部より上方に延びる電極棒部と、
を有し、
前記容器は、前記開口部に、薄肉で外側に広がる巻き締め用フランジを有し、前記フランジを保持する前記保持部の外周面が絶縁部材にて形成されていることを特徴とするガスバリア性合成樹脂製容器の製造装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかにおいて、
前記内部電極は、前記内部電極と前記容器の内面との間を排気する排気部を内蔵することを特徴とするガスバリア性合成樹脂製容器の製造装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、
前記基台に支持された前記容器の前記開口部側より、前記ガス供給装置からのガスを前記容器の周囲に導入するガス導入口を有することを特徴とするガスバリア性合成樹脂製容器の製造装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記ガス導入口は、前記容器の前記開口部の全周に亘ってリング状に形成されていることを特徴とするガスバリア性合成樹脂製容器の製造装置。
【請求項７】
請求項６において、
前記外部電極は、前記容器の前記底部と対向する位置に、前記真空ポンプに接続されたガス排出口を有することを特徴とするガスバリア性合成樹脂製容器の製造装置。
【請求項８】
請求項７において、
前記ガス排気口の直径は、リング状の前記ガス導入口の内外径の寸法差よりも大きく設定されていることを特徴とするガスバリア性合成樹脂製容器の製造装置。
【請求項９】
請求項５乃至８のいずれかにおいて、
前記ガス導入口よりもガス導入方向の上流に、ガス導入室を形成する外周壁が設けられていることを特徴とするガスバリア性合成樹脂製容器の製造装置。
【請求項１０】
請求項９において、
前記ガス導入室内にて前記ガスを予備励起する予備励起部をさらに有することを特徴とするガスバリア性合成樹脂製容器の製造装置。
【請求項１１】
請求項１０において、
前記予備励起部は一対の電極にて形成され、前記一対の電極の一方は、前記内部電極が前記容器の開口部よりも外側に露出されることで形成され、前記一対の電極の他方は、前記外部電極及び前記外周壁のいずれかにて形成されていることを特徴とするガスバリア性合成樹脂製容器の製造装置。
【請求項１２】
請求項９乃至１１のいずれかにおいて、
前記外周壁を前記外部電極に対して相対的に接離させる駆動装置が設けられ、前記駆動装置は、前記外周壁と共に前記基台を介して前記内部電極を前記外部電極の内外に相対的に駆動することを特徴とするガスバリア性合成樹脂製容器の製造装置。
【請求項１３】
請求項１乃至１２のいずれかにおいて、
前記容器は、前記底部より外方に突出する複数の脚部を有し、
前記内部電極の頂部は、前記複数の脚部と対向する位置に複数の突起部を有することを特徴とするガスバリア性合成樹脂製容器の製造装置。
【請求項１４】
請求項１乃至１３のいずれかにおいて、
前記外部電極の内壁面と前記胴部の外壁面との離間距離は、１０〜２５ｍｍに設定されていることを特徴とするガスバリア性合成樹脂製容器の製造装置。
【請求項１５】
開口部、それに続く胴部及び前記胴部を閉塞する底部を有する合成樹脂製容器の外壁に膜を形成する装置であって、
前記容器の前記開口部を支持する基台と、
前記基台に突出して配置され、前記開口部を介して前記容器内に挿入される内部電極と、
前記基台に支持された前記容器の周囲空間を気密に保持する外部電極と、
前記周囲空間を真空排気する真空ポンプと、
前記周囲空間に炭素原子を含むガスを供給するガス供給装置と、
前記内部電極及び前記外部電極を用いて、前記周囲空間にてプラズマを生成するためのプラズマ励起部と、
前記基台に支持された前記容器の前記開口部側より、前記ガス供給装置からのガスを前記容器の周囲に導入するリング状のガス導入口と、
を有し、
前記内部電極は、
前記開口部内に配置されて前記容器を保持する保持部と、
前記保持部より上方に延びる電極棒部と、
を有し、
前記容器は、前記開口部に、薄肉で外側に広がる巻き締め用フランジを有し、前記フランジを保持する前記保持部の外周面が絶縁部材にて形成されていることを特徴とするガスバリア性合成樹脂製容器の製造装置。
【請求項１６】
請求項１乃至１５のいずれかの製造装置にて製造され、外壁にダイヤモンド・ライク・カーボン膜が形成され、前記フランジ部には、ダイヤモンド・ライク・カーボンが形成されていないことを特徴とするガスバリア性合成樹脂製容器。
【請求項１７】
請求項１６に記載のガスバリア性合成樹脂製容器内に内容物が充填され、前記フランジに金属製缶蓋が二重巻締めされていることを特徴とする物品入りガスバリア性合成樹脂製容器。
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明は、ガスバリア性合成樹脂製容器及びその製造装置並びに物品入りガスバリア性合成樹脂製容器に関する。
［背景技術］
現在、合成樹脂製容器は、飲料などの包装容器として普及している。例えばビールなどの酸化し易い内容物の包装容器として、ガスバリア性が求められる。
しかし、飲料用容器として現在最も利用されている容器であるポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製ボトルは、ビールに求められるガスバリア性を満足することはできない。
一般に、ＰＥＴ樹脂のガスバリア性を補償するためには、ボトル壁を複数層構造とし、ＰＥＴ樹脂とガスバリア性樹脂との積層構造としたボトルが製造されている。
これに代わって、ガスバリア性の容器を提供する手段として最近注目されているのが、ＣＶＤ（化学気相成長）によるコーティング技術である。
特に、ＤＬＣ（ダイヤモンド・ライク・カーボン）蒸着と呼ばれる技術は、非常に高いガスバリア性を包装容器に与えることができる。
このＤＬＣ蒸着法は、特許第２７８８４１２号、特開平１１−２５６３３１号、特開２０００−４３８７５号などに開示され、ＤＬＣ膜及びその性質について特許第２７８８４１２号に詳しく開示されている。
これらの公報に具体的に開示された容器は、容器内壁にＤＬＣ膜が成膜されたものであり、特開２０００−４３８７５号には容器外壁にＤＬＣ膜を成膜できることの言及はあるが、その製造装置等に関して具体的開示は一切ない。
容器内壁にＤＬＣを成膜すると、特に内容物が飲料である場合に消費者の抵抗感がある。
［発明の開示］
本発明は、容器外壁にＤＬＣ膜をコーティングするのに適したガスバリア性合成樹脂製容器の製造装置、並びにそれにより製造されるガスバリア性合成樹脂製容器及び物品入りガスバリア性合成樹脂製容器を提供することにある。
容器外壁にＤＬＣ膜をコーティングするには、容器内部に配置される内部電極を設けることが不可欠となる。いわゆる細口容器では、内部電極を細口の開口部より容器内部に挿入することはできても、その内部電極の外径は容器胴部の径に対して小さすぎ、ＤＬＣ膜を外壁表面にほぼ均一に成膜することはできない。
本発明にてＤＬＣ膜が成膜される対象は、開口部、それに続く胴部及び前記胴部を閉塞する底部を有し、開口部の最小内径と胴部の最大内径との差が小さい広口の合成樹脂製容器とし、その外壁にダイヤモンド・ライク・カーボン膜を形成することにした。広口の容器としては、開口部の最小内径が胴部の最大内径より大きいタイプと、開口部の最小内径が胴部の最大内径より小さく、かつその差が２０ｍｍ以内のタイプである。
これらの広口容器のための本発明の一態様に係る製造装置は、
前記容器の前記開口部を支持する基台と、
前記基台に突出して配置され、前記開口部を介して前記容器内に挿入される内部電極と、
前記基台に支持された前記容器の周囲空間を気密に保持する外部電極と、
前記周囲空間を真空排気する真空ポンプと、
前記周囲空間に炭素原子を含むガスを供給するガス供給装置と、
前記内部電極及び前記外部電極を用いて、前記周囲空間にてプラズマを生成するためのプラズマ励起部とを有することができる。
本発明の一態様では、広口の開口部より容器内部に挿入される内部電極の外径は、容器胴部の内径に対して充分な大きさを確保することができる。この製造装置では、容器外壁と外部電極との周囲空間に炭素原子を含むガスのプラズマが形成され、ＤＬＣを容器の外壁表面にほぼ均一に成膜することができる。
さらには、容器内壁にＤＬＣを成膜するには、特許第２７８８４１２号のように、外部電極は容器の外形とほぼ相似形とすることが求められ、外部電極の加工が複雑で高価となる問題も生ずる。本発明の一態様では外部電極の形状は容器外形と必ずしも相似形にする必要がないので、上記の問題も解決できる。
なお、外部電極の内壁面と前記胴部の外壁面との離間距離は、１０〜２５ｍｍに設定することができる。こうすると、前記周囲空間にてガスの円滑な移動が確保されると共に、容器外壁への成膜に寄与するプラズマを前記周囲空間にて励起することができる。
本発明の他の態様では、こうして、これらの製造装置にて製造され、ダイヤモンド・ライク・カーボン膜が形成されたガスバリア性合成樹脂製容器を提供することができる。
本発明の一態様に係る製造装置では、容器の開口部の最小内径が胴部の最大内径よりも大きい広口容器の場合、内部電極は、容器の内面に実質的に密着する形状とすることができる。
内部電極は、その内部電極と容器の内面との間を排気する排気部を内蔵することができる。こうすると、内部電極と容器の内面との間の空間から空気などが処理空間にリークすることを防止できる。
前記基台に支持された前記容器の前記開口部側より、前記ガス供給装置からのガスを前記容器の周囲に導入するガス導入口を有することができる。さらに、このガス導入口を、前記容器の前記開口部の全周に亘ってリング状に形成することができる。こうすると、容器の周方向で均一にガスが流れ、形成される膜の膜質及び膜厚が周方向にて均一化される。この場合、外部電極は、前記容器の前記底部と対向する位置に、前記真空ポンプに接続されたガス排出口を有することができる。また、この場合には、ガス排気口の直径は、排気コンダクタンスとの関係で、リング状の前記ガス導入口の内外径の寸法差よりも大きく設定される。
リング状のガス導入口よりもガス導入方向の上流に、ガス導入室を形成する外周壁を設けることができる。この場合、そのガス導入室内にて前記ガスを予備励起する予備励起部をさらに有することができる。こうすると、容器の開口部に到達する前に、ガスをプラズマ化することができる。この予備励起部は、マイクロ波などの各種励起手段を採用できるが、一対の電極にて形成してもよい。この場合、一対の電極の一方は、前記内部電極が前記容器の開口部よりも外側に露出されることで形成され、前記一対の電極の他方は、前記外部電極及び前記外周壁のいずれかにて形成することができる。
前記外周壁を前記外部電極に対して相対的に接離させる駆動装置を有することができる。この駆動装置は、前記外周壁と共に前記基台を介して前記内部電極を前記外部電極の内外に相対的に駆動することができる。
前記内部電極は、前記開口部内に配置されて前記容器を保持する保持部と、前記保持部より上方に延びる電極棒部とを有することができる。ここで、容器は、前記開口部に、薄肉で外側に広がる巻き締め用フランジを有することができる。このフランジにダイヤモンド・ライク・カーボン膜を形成しないためには、前記フランジを保持する前記保持部の外周面を絶縁部材にて形成すればよい。
前記容器は、前記底部より外方に突出する複数の脚部を有することができる。この場合、内部電極は、複数の脚部と対向する位置に複数の突起部を有することができる。
本発明のさらに他の態様に係る製造装置は、開口部、それに続く胴部及び前記胴部を閉塞する底部を有する合成樹脂製容器の外壁に膜を形成する装置であり、その処理対象は広口容器に限定されずに、細口容器等の他の容器であっても良い。
このような本発明のさらに他の態様に係る製造装置は、
前記容器の前記開口部を支持する基台と、
前記基台に突出して配置され、前記開口部を介して前記容器内に挿入される内部電極と、
前記基台に支持された前記容器の周囲空間を気密に保持する外部電極と、
前記周囲空間を真空排気する真空ポンプと、
前記周囲空間に炭素原子を含むガスを供給するガス供給装置と、
前記内部電極及び前記外部電極を用いて、前記周囲空間にてプラズマを生成するためのプラズマ励起部と、
前記基台に支持された前記容器の前記開口部側より、前記ガス供給装置からのガスを前記容器の周囲に導入するリング状のガス導入口と、
を有する。
リング状ガス導入口を設けた効果は、容器の周方向で均一にガスが流れ、形成される膜の膜質及び膜厚が周方向にて均一化されることであり、この効果は、広口容器、細口容器の他、他の種々の形状の容器についても奏することができる。
この容器の開口部に形成される巻締め用フランジには、金属製缶蓋が二重巻締めされていることが好ましい。缶蓋でのガスバリア性を金属製缶蓋にて確保できるからである。この場合、前記金属蓋が二重巻締めされる前記フランジは、ダイヤモンド・ライク・カーボンを形成するもの、しないもののいずれであってもよい。この部分のガスバリア性は金属蓋にて確保できるからである。フランジにダイヤモンド・ライク・カーボン膜を形成しないと、容器の変形を防止することができ、ダイヤモンド・ライク・カーボンが二重巻締めに与えるかもしれない悪影響を除去できる。開口部の閉鎖手段がそれ自体でガスバリア性を有しない場合、例えばプラスチックキャップの場合には、フランジにもダイヤモンド・ライク・カーボン膜を形成することが好ましい。
［発明を実施するための最良の形態］
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
＜第１の実施形態＞
（ＰＥＴ製缶及びビール入りＰＥＴ製缶の説明）
図１はガスバリア性合成樹脂製容器例えばＰＥＴ製缶などの容器１０の図であり、この容器１０は、開口部１２、それに続く胴部１４及びその胴部１４を閉塞する底部１６を有する。
開口部１２には、外側に広がる薄肉のフランジ１２Ａが形成されている。底部１６は例えば自立できる構造として例えば５本の脚部１６Ａを有する。
開口部１２の最小内径Ｄｍｉｎは胴部１４の最大内径Ｄｍａｘより小さく、かつその差は２０ｍｍ以内であり、容器１０はいわゆる広口容器である。
図２は、この容器１０に内容物例えばビールが充填され、開口部１２のフランジ１２Ａに金属例えばアルミニウム製缶蓋２０が二重巻締めされたビール入りＰＥＴ製缶３０を示している。
図１及び図２に示す容器１０の胴部１４及び底部１６の外壁にはＤＬＣ膜１８（図１参照）が成膜され、ＤＬＣ膜１８が成膜されないフランジ１２Ａは図２に示すアルミニウム製缶蓋２０にて覆われ、内部のビールに対するガスバリア性がＤＬＣ膜１８及びアルミニウム製缶蓋２０によって確保されている。また、二重巻締めされるフランジ１２Ａは胴部１４よりも例えば薄肉に形成されて巻締めされ易く形成されているが、この部分にＤＬＣ膜を成膜しないことで、その柔軟性が維持される。
（製造装置の構成及び製法の説明）
図３は、図１に示す容器１０を製造するための製造装置の一例を示している。なお、図３では、容器１０の断面を太線で示している（図４も同様）。図３に示す製造装置は大別して、基台１００、下部固定板１１０、外部電極１２０、上部昇降板１３０、内部電極１４０、マッチンググボックス１５０及び高周波電源１６０を有する。
図３において、絶縁性の基台１００の中央段部１０２に、容器１０が倒立載置される。この基台１００は下部固定板１１０に固定されている。この基台１００に対して接離可能に昇降される筒状の外部電極１２０が設けられている。この外部電極１１０は、図示しない駆動装置により昇降される上部可動板１３０に固定されている。
外部電極１２０及び上部固定板１３０の中心には、ガス導入管１２２が接続され、図示しないガス源より一種または複数種のガスが供給可能となっている。また、外部電極１２０の下端側には、周方向にて複数の真空排気管１２４が接続されている。この真空排気管１２４の接続高さ位置は、基台１００の中央段部１０２に載置されるフランジ１２Ａの高さ位置よりも低くなっている。この真空排気管１２４は図示しない真空ポンプに接続されている。また、外部電極１２０の下端には、基台１００との間の隙間を密閉させるＯリングなどのシール部材１２６が設けられている。
基台１００の中央段部１０２には、容器１０の内部に配置される内部電極１４０が設けられている。この内部電極１４０は、開口部１２のフランジ１２Ａ内に配置されて容器１０を保持する保持部１４２と、その保持部１４２より上方に延び、保持部１４２より外径の小さい電極棒部１４４とを有する。保持部１４２の少なくとも外壁は絶縁材にて形成されてもよい。
下部固定板１１０の下面にはマッチングボックス１５０が固定され、内部電極１５０と通電軸部１４６を介して電気的に接続されている。このマッチングボックス１５０は、高周波電源１６０から供給される高周波電力をインピーダンス整合させて内部電極１４０に供給するものである。
図３の装置では、外部電極１４０を上昇させた状態で、容器１０を基台１００の中央段部１０２上に、開口部１２を下向きとした倒立状態にて載置する。このとき、容器１０のフランジ１２Ａは保持部１４２と例えば嵌合され、容器１０を倒立状態で保持する。また、内部電極１４０の電極棒部１４２は、容器１０の内壁とは非接触にて容器１０内に配置される。なお、図３の上下を逆転させて、容器１０を正立状態としても良い。
この後、外部電極１２０を上部可動板１３０と共に下降させ、外部電極１２０の下端のシール部材１２６を基台１００の上面に密着させる。これにより、容器１０の周囲空間は、基台１１０と外部電極１２０とによって気密にシールされる。なお、外部電極１２０は円筒状に形成され、外部電極１２０の内径は胴部１４の外径よりも２０〜５０ｍｍ大きく設定されている。従って、容器１０の胴部１４の周囲には、距離１０〜２５ｍｍ離れた外部電極１２０との間に気密の周囲空間が形成されていることになる。
容器１０は広口容器、特に缶胴であるため、外部電極１２０は円筒状の単純な構造でよく、さらに容器肩部がほとんど縮径していないので、容器１０と外部電極１２０の間に無駄な空間がなく、真空引きするポンプの容量やサイクルの短縮が可能になる。
次に、図示しない真空ポンプを駆動させて、容器１０の周囲空間を真空排気管１２４を介して真空引きする。その周囲空間が所定の真空度に達したら、ガス導入管１２２よりプロセスガスを導入して周囲空間にプロセスガスを充満させると共に、高周波電源１６０からの高周波電力をマッチングボックス１５０及び通電軸部１４６を介して内部電極１４０に供給する。なお、プロセスガスを一定流量で供給しながら同時に排気して、周囲空間でのガス圧をほぼ一定となるようにしても良い。このとき、プロセスガスが容器１０の外壁に均一に接触するように、ガス導入管１２２、真空排気管１２４を図３のように配置することが好ましい。
以上の動作により、外部電極１２０及び内部電極１４０間の電界エネルギーにより励起されて、容器１０の周囲空間にプラズマが生成される。
ここで、プロセスガスとして例えばアセチレン等の炭素原子を含むガスを用いると、ブラズマにより正の電荷を持つ炭素イオンが生成される。一方、内部電極１４０は負の電位に自己バイアスされる。このため、正の炭素イオンは容器１０の外壁に向かって飛翔し、衝突時のエネルギーにより外壁上にて炭素同士を結合させて緻密なＤＬＣ膜１８を形成させる。こうして、容器１０の胴部１４及び底部１６にほぼ均一なＤＬＣ膜１８が形成され、ガスバリア性を確保できる。
なお、フランジ１２Ａの内側には、外壁が絶縁材で形成された保持部１４２が存在するため、フランジ１２Ａの外壁にはＤＬＣ膜１８は形成されない。フランジ１２Ａの外壁にＤＬＣ膜１８を形成しないと、処理時間は比較的短くて済み、容器１０が変形する要因を削減できる。
この後、周囲空間内のプロセスガスを排気し、周囲空間内にパージガスを充填して大気圧まで戻した後に、外部電極１２０を上昇させる。これによりＤＬＣ膜１８が外壁に形成された容器１０を取り出すことが可能となる。
＜第２の実施形態＞
図４は、図３とは異なる製造装置を示している。なお、図４において図３に示す部材と同一機能を有する部材については、図３と同一符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図４では、外部電極２００にマッチングボックス１５０を介して高周波電源１６０を接続し、内部電極２２０を通電軸部２２２を介して接地している。このような構成であるため、外部電極２００を上部固定板２１０に固定させ、基台１００を下部可動板２３０によって外部電極２００に対して接離可能とした。また、ガス導入管１２２は外部電極２００の上部中心に接続する一方で、複数の真空排気管１２４は基台１００に接続した。こうして、図３の製造装置と同様なガスの流れを実現している。
内部電極２２０は、図３と同様に容器１０の保持機能を有するが、図４では容器１０内に突出する長さが短く設定され、例えば内部電極２２０の頂面は容器１０の肩部（開口部から胴部に移行する移行部分）と対応する高さ位置に設定されている。
図４の製造装置では、図３の製造装置のように正の電荷の炭素イオンを負電位に自己バイアスされる電極側に飛翔させることは利用していないが、外部電極２００と内部電極２２０との間の高電界によって励起されたプラズマ中の炭素イオンによって、容器１０の胴部１４及び底部１６にＤＬＣ膜１８を形成することができた。
ここで、図１に示すように、容器１０の開口部１２の最小内径Ｄｍｉｎと胴部１４の最大内径Ｄｍａｘとの差は２０ｍｍ以内であり、容器１０はいわゆる広口容器である。一方、その開口部１２の最小内径Ｄｍｉｎよりわずかに小さい外径を有する内部電極２２０は、容器１０内部にて比較的広い面積を確保できる。よって、図３のように必ずしも容器１０内部の奥まで内部電極が突出していなくても、容器１０の周囲空間にプラズマを励起するに足る電界を形成することが可能となる。
なお、容器１０のフランジ１２Ａは、金属蓋２０に巻締められることから、図３の製造装置の場合と同様にして、ＤＬＣ膜１８が形成されない構造としている。
＜第３の実施形態＞
図５は、図３の製造装置を変形したものである。図５では、外部電極１２０は、容器１０の底部１６と対向する位置に、図示しない真空ポンプに接続されたガス排出口１２４を有する。また、外部電極１２０は、基台１００に支持された容器１０の開口部１２側より、図示しないガス供給装置からのガスを容器１０の周囲に導入する複数のガス導入口１２２を有する。さらに、図５に示す内部電極３００は、その頂部に、容器１０の複数の脚部１６Ａと対向する位置に複数の突起部３０２を有する。この内部電極３００には、排気部３０４が貫通して設けられている。この排気部３０４は、基台１００に設けられた排気部１０２に連通し、排気部１０２が図示しない真空ポンプに接続されている。
図５に示す製造装置によれば、容器１０の開口部１２側の複数のガス導入口１２２から導入されたガスは、容器１０の外壁と外部電極１２０の間の空間を上昇し、ガス排気口１２４から排気される過程でプラズマ化され、このプラズマ中の炭素イオンによって、容器１０の胴部１４及び底部１６の外壁にＤＬＣ膜１８を形成することができる。複数のガス導入口１２２の設定位置によっては、容器１０のフランジ１２ＡにＤＬＣ膜１８が形成されないようにすることもできる。
また、内部電極３００と容器１０の内壁との間の空間を、排気部１０２，３０４を介して排気しているので、この空間から空気などが処理空間にリークすることがなくなる。また、内部電極３００と容器１０の内壁との間の空間には無駄なプラズマが立たず、しかも、容器１０を基台１００側に真空吸着することができる。
さらに、内部電極１００の頂部に複数の突起部３０２を有するので、容器１０の底部１６より突出する脚部１６Ａに形成されるＤＬＣ膜１８の膜厚が均一化される。
＜第４の実施形態＞
図６は、図１とは異なるタイプの広口容器にＤＬＣ膜を形成する製造装置を示している。この広口容器４００は、開口部４０２と、胴部４０４と、底部４０６とを有している。この容器１０は開口部４０２が最大径であり、例えば底部４０６に向かうに従い胴部４０４の径は小さくなっている。換言すれば、容器４００は、開口部４０２の最小径は、胴部４０４の最大径よりも大きいタイプの広口容器である。
次に、製造装置について説明する。絶縁性の基台５００上には、露出電極５１０と内部電極５２０とが設けられている。内部電極５２０は容器４００の内壁形状と相応した形状であり、内部電極５２０は容器４００の内壁に実質的に密着する形状となっている。本実施形態でも、内部電極５２０には排気部５２２が、露出電極５１０には排気部５１２が、基台５００には排気部５０２がそれぞれ設けられ、容器４００の内壁と内部電極５２０との間の空間を排気することができる。
露出電極５１０には、基台５００を貫通して延びる電極棒５１４が連結されている。この電極棒５１４にマッチングボックス１５０を介して高周波電源１６０が接続されている。
接地された外部電極５３０は、容器４００の外壁形状とほぼ相似形の空洞部５３２を有し、その下端側にガス導入口５３４が、その上端に排気口５３６が設けられている。ガス導入口５３４は、内部電極５２０を図６に示す処理位置に設定することで、容器４００の開口部４０２の周囲にリング状の開口を形成することになる。なお、排気口５３６の直径は、リング状のガス導入口５３４の内外径の寸法差よりも大きく設定されている。
外部電極５３０の下方には、基台５００との間にガス導入室５４０を形成するための外周壁５５０が設けられている。この外周壁５５０にはガス導入管５６０が接続されたガス導入部５５２が形成されている。
なお、外周壁５５０は、基台５００、露出電極５１０及び内部電極５２０と一体的に、外部電極５３０に対して相対的に接離可能となっていて、その接離駆動を行う図示しない駆動装置が設けられている。
次に、図６に示す製造装置の動作について説明する。外周壁５５０を、基台５００、露出電極５１０及び内部電極５２０と一体的に下降させた状態で、内部電極５２０に容器４００を装着する。その後、外周壁５５０を上昇させて、外部電極５３０と外周壁５５０とが気密に連結される図６に示す状態に設定する。
その後、排気口４０６より排気して、ガス導入室５４０及びそれに連通する容器４００の周囲空間を真空引きする。所定の真空度に達したら、ガス導入管５６０より上述のプロセスガスを導入すると共に、露出電極５１０及び内部電極５２０に、高周波電源１６０よりマッチングボックス１５０を介してＲＦパワーを供給する。
ガス導入室５４０に導入されたガスは、ＲＦパワーが印加された露出電極５１０と、接地された外周壁５５０との間に形成される電界によって予備励起され、リング状のガス導入口５３４の上流側にてプラズマが生成される。
予備励起されたガスは、リング状のガス導入口５３４よりその周方向でほぼ等速にて、容器４００の周囲空間に導入される。この周囲空間に導入されたガスは、内部電極５２０と外部電極５３０との間の電界によりさらに励起されてプラズマを生成する。
このようなプラズマの生成により、容器４００の外壁にＤＬＳ膜１８を形成することができる。特に、ガス導入口５３４の上流側のガス導入室５４０にて生成されたプラズマにより、容器４００の開口部４０２側にもＤＬＣ膜１８を形成することができる。また、リング状のガス導入口５３４により、容器４００の周囲にて均等にガスが流れるため、容器４００の周方向にて均一な膜厚及び膜質のＤＬＣ膜１８を形成することが可能となる。
本発明は上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
例えば、上記の実施の形態ではプロセスガスとしてアセチレンを用いたが、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、エイコサンのような飽和炭素水素、もしくはエチレン、プロピレン、メチレアセチレンのような不飽和炭素水素、もしくはベンゼン、キシレン、ナフタレンなどの芳香族炭化水素の単体ガス、またはそれの組合わせを用いても、同様にしてＤＬＣ膜１８を形成することができる。さらには、上述の炭化水素ガスの導入と同時に、水素、窒素、酸素もしくはアルゴンガスの単体またはそれらの混合ガスを導入しても、上記と同様なＤＬＣ膜１８を形成することができる。
また、開口部にネジ部を有してプラスチックキャップを蓋として用いる容器等では、開口部までＤＬＣ膜を形成することで、容器本体のガスバリア性を向上させることができる。この場合、開口部を保持する保持部材も電極とすればよい。
また、図３では基台１００に中央段部１０２を設けたが、フラットな基台とし、基台１００及び絶縁部材１１０に排気管を接続しても良い。
また、容器１０の内側空間と外側空間とを同時に排気できるように、保持部材及び若しくは内部電極に連通路が設けられても良い。
さらに、上述した第１〜第４の実施の形態間で、部材を追加、変更することで、他の種々の実施形態を構築することができる。例えば、図６に示す第４の実施形態は、開口部の最小径が胴部の最大径よりも大きいタイプの広口容器４００に限らず、図１に示すタイプの広口容器１０についても適用でき。この場合、図１に示す広口容器１０に合わせて、内部電極及び外部電極等を交換すればよい。また、図３及び図４に示す内部電極１４０、２２０、基台１００などにも、図５または図６と同様な排気部を設け、容器１００と内部電極１４０、２２０との間の空間を真空引きするようにしても良い。
なお、本発明の第４実施形態については、上述した２種の広口容器を対象とするものに限らず、細口容器などの広口容器以外の各種容器にも適用することができる。特に、リング状ガス導入口、ガス導入室、予備励起部などを設ければ、各種の容器の外壁に均一に膜を形成することができる。この場合、膜の種類もダイヤモンド・ライク・カーボン膜に限定されない。
【図面の簡単な説明】
図１は、本発明の一実施の形態に係る容器（ＰＥＴ製缶）の概略説明図である。
図２は、図１に示す容器にビールを充填した後に金属蓋を二重巻締めしたＰＥＴ製缶ビールの概略説明図である。
図３は、図１に示す容器のための製造装置である本発明の第１の実施形態を示す概略説明図である。
図４は、図１に示す容器のための製造装置である本発明の第２の実施形態を示す概略説明図である。
図５は、図１に示す容器のための製造装置である本発明の第３の実施形態を示す概略説明図である。
図６は、図１とは異なる容器のための製造装置である本発明の第４の実施形態を示す概略説明図である。
【図１】
0004241050.tif 000002
【図２】
0004241050.tif 000003
【図３】
0004241050.tif 000004
【図４】
0004241050.tif 000005
【図５】
0004241050.tif 000006
【図６】
0004241050.tif 000007