(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円盤状の振動体と、
前記振動体の上面に設けられた複数の突起と、
振動体の下面に固定される円盤状の圧電素子と、
前記突起の振動により回転するロータと、
を有する超音波モータであって、
前記圧電素子は周方向に分割された電極を有するとともに、
前記圧電素子の内縁部で前記分割された電極を一つおきに短絡する電極と、
前記分割された電極のうち前記圧電素子の内縁部で短絡されていない電極を前記圧電素子の外縁部で一つおきに短絡する電極と、
を有し、前記圧電素子の外縁部で前記分割された電極を一つおきに短絡する電極の幅は前記圧電素子の内縁部で前記分割された電極を一つおきに短絡する電極の幅よりも太いことを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】
円盤状の振動体と、
前記振動体の上面に設けられた複数の突起と、
振動体の下面に固定される円盤状の圧電素子と、
前記突起の振動により回転するロータと、
を有する超音波モータであって、
前記圧電素子は周方向に分割された電極を有するとともに、
前記圧電素子の内縁部で前記分割された電極を一つおきに短絡する電極と、
前記分割された電極のうち前記圧電素子の内縁部で短絡されていない電極を前記圧電素子の外縁部で一つおきに短絡する電極と、
を有し、前記圧電素子の外縁部で前記分割された電極を一つおきに短絡する電極の厚みは前記圧電素子の内縁部で前記分割された電極を一つおきに短絡する電極の厚みよりも厚いことを特徴とする超音波モータ。
【請求項３】
直方体形状の圧電素子と、
前記圧電素子の一つの面を縦方向に二等分するとともに横方向にも二等分することで分割された四つの領域それぞれに設けられた四つの電極と、
前記四つの電極のうち対角線上にある一組の電極を前記圧電素子の中央部で短絡する電極と、
前記四つの電極のうち前記圧電素子の中央部で短絡されない二つの電極を前記圧電素子の外周縁部で短絡する電極と、
を有し、前記圧電素子の外周縁部で短絡する電極の幅は前記圧電素子の中央部で短絡する電極の幅よりも太いことを特徴とする超音波モータ。
【請求項４】
直方体形状の圧電素子と、
前記圧電素子の一つの面を縦方向に二等分するとともに横方向にも二等分することで分割された四つの領域それぞれに設けられた四つの電極と、
前記四つの電極のうち対角線上にある一組の電極を前記圧電素子の中央部で短絡する電極と、
前記四つの電極のうち前記圧電素子の中央部で短絡されない二つの電極を前記圧電素子の外周縁部で短絡する電極と、
を有し、前記圧電素子の外周縁部で短絡する電極の厚みは前記圧電素子の中央部で短絡する電極の厚みよりも厚いことを特徴とする超音波モータ。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれかに記載の超音波モータを有す
ることを特徴とする超音波モータ付電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、超音波モータおよびこれを用いた超音波モータ付電子機器に係わり、特に、出力の大きさが駆動方向によらない超音波モータおよびこれを用いた超音波モータ付電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近時、マイクロメカニクスの分野において、交流電圧などの駆動信号を加えられた圧電体に発生する、伸縮振動と屈曲振動の合成振動としての楕円運動を動力として利用する超音波モータが注目されている。
超音波モータの中には、駆動信号を入力する分極部を変更することにより、駆動方向を逆転させる形式の超音波モータがある。
【０００３】
この形式の超音波モータとしては、例えば図９，図１０，図１１に示す円板型の超音波モータ１００がある。
超音波モータ１００は、図９の側面方向の概略図に示すように、圧電素子１０１と、圧電素子の上に積層されていていて圧電素子１０１の振動を増幅する振動体１０２および複数の突起１０３と、突起１０３から伝えられる振動に伴って回転するロータ１０４と、を含んで構成される。
【０００４】
圧電素子１０１は、周知の圧電体を円盤状に成形して中心に回転軸を通す孔１０１ｃを設けたものであり、円周方向に６分割して、この分割部を、分極方向が互い違いになるように分極し、さらに各分割部を二等分割してある。その結果、図９および図１０の上面概略図に示すように、互いに逆極性に分極された分極部１０１ａ，１０１ｂを二つ毎に交互に配置した構成となる。
【０００５】
ここで、突起１０３は、図１０に示すように、分極部の境目に、ひとつおきに設けられている。
また、圧電素子１０１には、駆動信号を入力する電極として、電極１０５ａ，電極１０５ｂが設けられる。電極１０５ａは上記した分極部を一つおきに覆っており、また、電極１０５ｂは電極１０５ａと互い違いとなるように分極部を一つおきに覆っている。
【０００６】
ここで、電極１０５ａは、一部を圧電素子１０１の内縁部全周に設けることによって各分極部上の電極を接続して一つの電極を形成しており、また、電極１０５ｂは、一部を圧電素子１０１の外縁部全周に設けることによって各分極部上の電極を接続することによりもう一つの電極となっている。
すなわち、電極１０５ｂに駆動信号を入力すると、圧電素子１０１には、電極１０５ｂに覆われている各分極部の中央部を腹とする定在波が発生する。定在波を発生した場合、突起１０３は、この定在波の腹と節の中間に、一つおきに位置しており、従って、すべての突起１０３の頭部は一方向に振れる。このため、突起１０３に接するロータ１０４は、図１１（Ａ）に示すように一方向に回転する
。
【０００７】
また、電極１０５ａに駆動信号を入力した場合は、圧電素子１０１には、電極１０５ａに覆われている各分極部の中央部を腹とする定在波が発生するため、すべての突起１０３の頭部は、電極１０５ｂに駆動信号を入力した場合と逆方向に振れる。従って、この場合は図１１（Ｂ）に示すように、突起１０３に接するロータ１０４は電極１０５ｂに駆動信号を入力した場合と逆方向に回転する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
一般的に、同一の大きさの駆動信号によってモータに生ずる駆動力の大きさは
、駆動方向によらずに同じ値であることが望ましい。
しかし、超音波モータ１００においては、上述したように、電極１０５ａは、所定の分極部を覆う以外に圧電素子１０１の内縁部全周を覆っており、また、電極１０５ｂは、所定の分極部を覆う以外に圧電素子１０１の外縁部全周を覆っている。すなわち、電極１０５ａと電極１０５ｂの面積すなわちインピーダンスは異なっていた。
【０００９】
従って、超音波モータ１００においては、同一の大きさの駆動信号によって生ずる駆動力の大きさは、駆動方向によって異なっていた。
また、この問題は超音波モータ１００に限定されず、駆動信号を入力する分極部を変えることにより駆動方向を逆転させる形式の超音波モータにおいては一般的な問題であった。
【００１０】
そこで、本発明の目的は、駆動信号を入力する分極部を変えることにより駆動方向を逆転させる形式であり、かつ、駆動力の駆動方向依存性を抑えた超音波モータを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上述した問題を解決するため、請求項１並びに請求項２に記載の発明は、
円盤状の振動体と、前記振動体の上面に設けられた複数の突起と、
振動体の下面に固定される円盤状の圧電素子と、前記突起の振動により回転するロータと、を有する超音波モータであって、前記圧電素子は周方向に分割された電極を有するとともに、前記圧電素子の内縁部で前記分割された電極を一つおきに短絡する電極と、前記分割された電極のうち前記圧電素子の内縁部で短絡されていない電極を前記圧電素子の外縁部で一つおきに短絡する電極と、
を有し、前記圧電素子の外縁部で前記分割された電極を一つおきに短絡する電極の幅（請求項２では厚み）は前記圧電素子の内縁部で前記分割された電極を一つおきに短絡する電極の幅（請求項２では厚み）よりも太い（請求項２では厚い)ことを特徴とする。
【００１２】
この請求項１並びに請求項２に記載の発明によれば、前記圧電素子の外縁部で前記分割された電極を一つおきに短絡する電極のインピーダンスを前記圧電素子の内縁部で前記分割された電極を一つおきに短絡する電極のインピーダンスに近づけるために、超音波モータの逆方向の駆動力は、同一の駆動信号を用いて正方向に駆動させた時の駆動力に一致する。
【００１３】
従って、駆動方向によらずに一定した駆動力を得られる超音波モータを作製で
きる。
また、請求項３並びに４に記載の発明は直方体形状の圧電素子と、前記圧電素子の一つの面を縦方向に二等分するとともに横方向にも二等分することで分割された四つの領域それぞれに設けられた四つの電極と、前記四つの電極のうち対角線上にある一組の電極を前記圧電素子の中央部で短絡する電極と、前記四つの電極のうち前記圧電素子の中央部で短絡されない二つの電極を前記圧電素子の外周縁部で短絡する電極と、を有し、前記圧電素子の外周縁部で短絡する電極の幅（請求項４では厚み）は前記圧電素子の中央部で短絡する電極の幅（請求項４では厚み）よりも太い（請求項４では厚い）ことを特徴とする。
【００１４】
この請求項３並びに請求項４に記載の発明によれば、前記四つの電極のうち対角線上にある一組の電極を前記圧電素子の中央部で短絡する電極のインピーダンスを、前記四つの電極のうち前記圧電素子の中央部で短絡されない二つの電極を前記圧電素子の外周縁部で短絡する電極のインピーダンスに近づけるために、超音波モータの逆方向の駆動力は、同一の駆動信号を用いて正方向に駆動させた時の駆動力に一致する。
【００１５】
また、請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項４のいずれかに記載の超音波モータを有する超音波モータ付電子機器であることを特徴とする。
【００１６】
この請求項５に記載の発明によれば、内蔵する出力機構を逆方向に駆動させても、この出力機構は、同一の駆動信号を用いて正方向に駆動させた時と同一の量ほど駆動する。
従って、駆動方向によらずに一定した駆動量を得られるため、駆動量の制御を容易に行える超音波モータ付電子機器を作製できる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図を参照して、本発明を適用した超音波モータおよび超音波モータ付電子機器を詳細に説明する。
＜第１の実施例＞
まず、図１を用いて本発明の第１の実施例である超音波モータ１について説明する。
【００１８】
図１（Ａ）は、超音波モータ１の一構成要素である振動体１２および突起１３を説明する上面概略図であり、同図（Ｂ）は超音波モータ１の一構成要素である圧電素子１１の上面概略図であり、同図（Ｃ）は圧電素子１１の下面概略図である。
まず、超音波モータ１の構成について説明する。
【００１９】
超音波モータ１は、円盤状の圧電素子１１と、圧電素子１１の上面に固定されている円盤状の振動体１２と、振動体１２の上面に一体的に設けられた複数の突起１３と、突起１３から伝えられる振動に伴って回転するロータ１０４と、圧電素子１１の上面の電位をフローティング（浮動的）にする電極１５と、圧電素子１１の下面に駆動信号を入力する電極１６（第２の電極），電極１７（第１の電極）を含んで構成される。これら各構成要素の位置関係は図６に概略を示した超音波モータ１００と同様である。
【００２０】
圧電素子１１は、圧電素子１０１と同様の構成であり、チタン酸バリウムやチタン酸鉛など周知の圧電体を円盤状に成形して中心に回転軸を通す孔１１ｃを設けたものであり、円周方向に６分割して、この分割部を、分極方向が互い違いになるように分極し、さらに各分割部を二等分割してある。従って、互いに逆極性に分極された分極部１１ａ（正方向分極部）および分極部１１ｂ（逆方向分極部）を二つ毎に交互に配置した構成をとる。
【００２１】
振動体１２は、振動体１０２と同様の構成であり、金属などの剛体を円盤状に成型したものであり、圧電素子１１の振動を増幅する。
また、突起１３は、図１（Ａ）および図１（Ｃ）に示すように、圧電素子１１の各分極部の境目に対応する箇所に、一つおきに設けられている。また、突起１３の高さはロータ１０４に当接するように調節されている。
【００２２】
ロータ１０４は、剛体を円盤状に加工したものであり、突起１３の動作に従って回転する。
電極１５は、圧電素子１１の上面をほぼすべて覆っており、その電位はフローティングされている。
電極１６は、圧電素子１１の下面に設けられており、上記した圧電素子１１の分極部を一つおき（第２の分極部）に覆っている。
【００２３】
また、電極１６は、一部を圧電素子１１の内縁部全周に設けて接続線１６ａとすることによって一つの電極を形成している。
電極１７は、圧電素子１１の下面に設けられており、電極１６と互い違いとなるように圧電素子１１の分極部を一つおき（第１の分極部）に覆っている。
また、電極１７は、一部を圧電素子１１の外縁部全周に設けて接続線１７ａとすることによって一つの電極を形成している。
ここで、接続線１７ａは、接続線１６ａより太く形成されている。その太さは、電極１６のインピーダンスと電極１７のインピーダンスが同じ程度となるように設定される。
【００２４】
従って、接続線１７ａの全長が接続線１６ａの全長より長いにも係わらず、電極１６のインピーダンスと電極１７のインピーダンスの差はなくなっている。
次に、超音波モータ１の動作について説明する。
まず、電極１６に駆動信号を入力すると、圧電素子１１には、電極１６に覆われている各分極部の中央部を腹とする定在波が発生する。突起１３は、この定在波の腹と節の中間に、一つおきに位置している。従って、すべての突起１３の頭部は、一方向に振れる。このため、突起１３に接するロータ１０４は一方向に回転する。
【００２５】
また、電極１７に駆動信号を入力した場合は、圧電素子１１には、電極１６に覆われている各分極部の中央部を節とする定在波が発生するため、すべての突起１３の頭部は、電極１６に駆動信号を入力したときとは他方向に振れる。従って、この場合は、突起１３の頭部に接するロータ１０４は、電極１６に駆動信号を入力したときと逆方向に回転する。
【００２６】
ここで、上記したように、電極１６のインピーダンスの大きさと電極１７のインピーダンスの大きさは同じである。従って、同一の駆動信号を入力した場合、ロータ１０４の回転力すなわち超音波モータ１の駆動力は、回転方向によらず一定となる。
以上より、本発明の第１の実施例である超音波モータ１において、分極部の電極を一つおきに外縁部に沿って接続して電極１７とする接続線１７ａの太さを、電極１７とは互い違いとなるように分極部の電極を一つおきに内縁部に沿って接続して電極１６とする接続線１６ａの太さより細くしたので、接続線１７ａが接続線１６ａより長いにも係わらず、電極１７のインピーダンスを電極１６のインピーダンスに一致させることができる。
【００２７】
従って、超音波モータ１によれば、電極１７に駆動信号を入力してロータ１０４を逆方向に回転させても、その回転力すなわち超音波モータ１の駆動力は、電極１６に駆動信号を入力してロータ１０４を正方向に回転させたときと同じとなる。
＜第２の実施例＞
次に、図２を用いて本発明の第２の実施例である超音波モータ２について説明する。
【００２８】
図２（Ａ）は、超音波モータ２において、圧電素子１１の下面に設けた電極１６および電極２１の構成を説明する概略図であり、図２（Ｂ）は同図（Ａ）のＸ−Ｘ線における断面概略図である。
超音波モータ２は、超音波モータ１と概略同じ構成をとるが、電極１７の代わりに電極２１（第１の電極）を用いている。
【００２９】
電極２１は、電極１７と概略同じ構成をとるが、接続線１７ａの代わりに接続線２１ａを用いている。
すなわち、接続線２１ａは、図２（Ｂ）に示すように、太さは接続線１６ａとほぼ同じであるが、厚さを接続線１６ａより厚くすることにより、接続線１６ａよりインピーダンスを小さくした構成となる。
【００３０】
ここで、接続線２１ａは、同一の作製工程を数回繰り返したり、あるいは真空プロセスなどの薄膜堆積法による場合は堆積時間を長くしたりすることにより、接続線１６ａより厚く堆積される。
従って、この超音波モータ２によれば、接続線２１ａの厚さを厚くすることにより、超音波モータ１において接続線１７ａの幅を太くしたことと同じ効果を得られるので、超音波モータ１と同様の効果を得られる。
【００３１】
＜第３の実施例＞
次に、図３，図４，図５，図６，図７を用いて、本発明の第３の実施例である超音波モータ３について説明する。
図３は超音波モータ３の斜視概略図である。図４は超音波モータ３の一構成要素である圧電体３３の上面概略図であり、図５は圧電体３３の下面概略図である。図６は超音波モータ３の一構成要素である圧電体３４の下面概略図である。図７（Ａ）は超音波モータ３の一構成要素であるロータ３２が一の方向に回転する場合を説明する図であり、図７（Ｂ）はロータ３２が逆方向に回転する場合を説明する図である。
【００３２】
まず、超音波モータ３の構成について説明する。
超音波モータ３は、図３に示すように、短冊状の直方体である圧電素子３１と、圧電素子３１の一端面の中央部付近に接しているロータ３２と、電極３５（第１の電極）、電極３６（第２の電極），電極３７および電極３８により概略構成される。
【００３３】
圧電素子３１は、図３に示すように、圧電体３４（第２の圧電体）の上に圧電体３３（第１の圧電体）を一体的に積層したものである。
圧電体３３は、チタン酸バリウムやチタン酸鉛など周知の圧電体を薄い直方体に成形したものであり、図４に示すように、積層面を縦方向に二等分割するとともに横方向にも二等分割することで生成する４つの分極部３３ａ（第１の分極部），分極部３３ｂ（第２の分極部），分極部３３ｃ（第２の分極部），分極部３３ｄ（第１の分極部）を、積層方向に、かつ、同一方向に分極した構造である。
【００３４】
圧電体３４は、チタン酸バリウムやチタン酸鉛など周知の圧電体を圧電体３３と同じ大きさに成形したものであり、図５および図６に示すように、ほぼ全面をひとつの分極部３４ａとして、積層方向に分極する。
ロータ３２は、圧電素子３１の端面に生ずる楕円振動を回転力に変換して外部に伝達する周知のロータである。
【００３５】
電極３５は、図４に示すように、互いに対角に位置する分極部３３ａ，分極部３３ｄの上面全域を覆っており、圧電体３３の上面外周縁部に沿って設けられた接続線３５ａを用いて各分極部上の電極を接続することにより、一枚の電極を形成している。
電極３６は、図４に示すように、互いに対角に位置する分極部３３ｂ，分極部３３ｄの上面全域を覆っており、圧電体３３の上面中央部に設けられた接続線３６ａを用いて各分極部上の電極を接続することにより、一枚の電極を形成している。
【００３６】
ここで、接続線３５ａは、接続線３６ａより太く形成されている。その太さは、電極３５のインピーダンスと電極３６のインピーダンスが同じ程度となるように設定される。
従って、接続線３５ａの全長が接続線３６ａの全長より長いにも係わらず、電極３５のインピーダンスと電極３６のインピーダンスの差はなくなっている。
【００３７】
電極３７は、図５に示すように、圧電体３４の上面全域をほぼ覆っており、かつ、接地されている。
また、上述したように、圧電体３４の上には圧電体３３が一体的に積層されている。従って、電極３７は、圧電体３４の分極部３４ａ上面の電位のみならず、圧電体３３の分極部３３ａ〜３３ｄの下面の電位も接地させる。
【００３８】
電極３８は、図６に示すように、圧電体３４の下面全域をほぼ覆っている。
次に、超音波モータ３の動作について説明する。
まず、ロータ３２を一の方向に回転させる場合について説明する。
この場合は、電極３６および電極３８に同一の駆動信号を入力する。
すると、圧電体３３の分極部３３ｂ，分極部３３ｃおよび圧電体３４は同一周期で伸縮する。
【００３９】
すなわち、圧電体３４の伸長に伴って圧電素子３１の端面がロータ３２に強く接するときには、分極部３３ｂおよび分極部３３ｃは伸長しているため、圧電素子３１は、図７（Ａ）の太線に示すようにある方向に屈曲する。従って、このときは、圧電素子３１の端面はロータ３２を一方向に回転させる。
また、駆動信号電圧の正負が逆転して圧電素子３１の屈曲方向が逆になっても
、圧電体３４の収縮に伴って圧電素子３１も収縮するため、圧電素子３１の端面はロータ３２に当接しない。従って、このときは、圧電素子３１の動作はロータ３２の回転に影響しない。
【００４０】
従って、圧電素子３１はロータ３２を一方向に回転させる。
また、ロータ３２を逆方向に回転させる場合は電極３５および電極３８に同一の駆動信号を入力する。
すると、圧電体３３の分極部３３ａ，分極部３３ｄおよび圧電体３４は同一周期で伸縮する。
【００４１】
すなわち、圧電体３４の伸長に伴って圧電素子３１の端面がロータ３２に強く接するときには、分極部３３ａおよび分極部３３ｄは伸長しているため、圧電素子３１は、図７（Ｂ）の太線に示すように逆方向に屈曲する。従って、このときは、圧電素子３１の端面はロータ３２を逆方向に回転させる。
また、駆動信号電圧の正負が逆転して圧電素子３１の屈曲方向がさらに逆になっても、圧電体３４の収縮に伴って圧電素子３１も収縮するため、圧電素子３１の端面はロータ３２に当接しない。従って、このときは、圧電素子３１の動作はロータ３２の回転に影響しない。
【００４２】
従って、圧電素子３１はロータ３２を他方向に回転させる。
ここで、上記したように、電極３５のインピーダンスの大きさと電極３６のインピーダンスの大きさは同じであるため、同一の駆動信号を入力した場合、ロータ３２の回転力すなわち超音波モータ３の駆動力は、回転方向によらず一定となる。
【００４３】
以上より、本発明の第３の実施例である超音波モータ３において、接続線３５ａを接続線３６ａより太くしたので、接続線３５ａが接続線３６ａより長いにも係わらず、電極３５のインピーダンスを電極３６のインピーダンスに一致させることができる。
従って、超音波モータ３によれば、電極３６に駆動信号を入力してロータ３２を逆方向に回転させても、その回転力すなわち超音波モータ３の駆動力は、電極３５に駆動信号を入力してロータ３２を正方向に回転させたときと同じとなる。
【００４４】
＜第４の実施例＞
図８は、本発明の第４の実施例であり、上述した超音波モータ１〜３を電子機器に適用した、超音波モータ付電子機器４のブロック図である。
超音波モータ付電子機器４は、超音波モータ５と、超音波モータ５の移動体と連動して動く伝達機構６と、伝達機構６の動作に基づいて運動する出力機構７と、を備えることにより実現する。
【００４５】
超音波モータ５としては、例えば上述した超音波モータ１〜３のいずれかを用いる。この場合は、前記した移動体はロータ１０４やロータ３２となる。
また、伝達機構６としては、例えば歯車、摩擦車等の伝達車を用いる。出力機構７には、例えば、カメラにおいてはシャッタ駆動機構やレンズ駆動機構などを、電子時計においては指針駆動機構やカレンダー駆動機構を、記憶装置に用いる場合は、該記憶装置内の記憶媒体に情報を読み書きするヘッドを駆動するヘッド駆動機構を、工作機械においては刃具送り機構や加工部材送り機構などを用いる。
【００４６】
すなわち、超音波モータ付電子機器４としては、例えば、電子時計、計測器、カメラ、プリンタ、印刷機、工作機械、ロボット、移動装置、記憶装置などがある。
この超音波モータ付電子機器４によれば、出力機構７は、逆方向に駆動する場合にも、同一の駆動信号によって正方向に駆動する時と同一の量ほど駆動する。すなわち、駆動方向によらずに一定した駆動量を得られるため、駆動量の制御を容易に行える超音波モータ付電子機器となる。
【００４７】
なお、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で任意に変形可能である。
特に、本発明は、駆動信号を入力する分極部を変えることにより駆動方向を逆転させる形式の超音波モータにおいては一般的に適用可能であり、かつ、同様の効果を得られる。
【００４８】
また、上記した実施例では、すべて、接続線の幅あるいは厚みを調節することにより各電極のインピーダンスを調節したが、当然電極全体の厚みや幅あるいはその双方を調節することにより各電極のインピーダンスを調節してもよい。
また、超音波モータ３において、接続線３５ａの幅を接続線３６ａの幅より太くすることにより、電極３５と電極３６のインピーダンスを一致させたが、接続線３５ａの厚さを接続線３６ａの厚さより厚くすることにより、同様の効果を得られる。
【００４９】
【発明の効果】
請求項１〜４に記載の発明によれば、超音波モータの逆方向の駆動力は、同一の駆動信号を用いて正方向に駆動させた時の駆動力に一致するため、より容易に駆動力を制御できる超音波モータを作製できる。
また、請求項５に記載の発明によれば、駆動方向によらずに一定した駆動量を得られるため、駆動量の制御を容易に行える超音波モータ付電子機器を作製できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（Ａ）は、本発明の第１の実施例である超音波モータ１の一構成要素である振動体１２および突起１３を説明する上面概略図であり、同図（Ｂ）は超音波モータ１の一構成要素である圧電素子１１の上面概略図であり、同図（Ｃ）は圧電素子１１の下面概略図である。
【図２】図２（Ａ）は、本発明の第２の実施例である超音波モータ２において、圧電素子１１の下面に設けた電極１６および電極２１の構成を説明する概略図であり、図２（Ｂ）は同図（Ａ）のＸ−Ｘ線における断面概略図である。
【図３】  本発明の第３の実施例である超音波モータ３の斜視概略図である。
【図４】超音波モータ３の一構成要素である圧電体３３の上面概略図である。
【図５】圧電体３３の下面概略図である。
【図６】超音波モータ３の一構成要素である圧電体３４の下面概略図である。
【図７】図７（Ａ）は超音波モータ３の一構成要素であるロータ３２が一の方向に回転する場合を説明する図であり、図７（Ｂ）はロータ３２が逆方向に回転する場合を説明する図である。
【図８】本発明の第４の実施例である超音波モータ付電子機器４のブロック図である。
【図９】従来例である超音波モータ１００の構成を説明する断面概略図である。
【図１０】超音波モータ１００の一構成要素である圧電素子１０１および電極１０５ａ，１０５ｂの構成を説明する上面概略図である。
【図１１】図１１（Ａ）は超音波モータ１００の一構成要素であるロータ１０４が一の方向に回転する場合を説明する図であり、図１１（Ｂ）はロータ１０４が逆方向に回転する場合を説明する図である。
【符号の説明】
１，２，３  超音波モータ
４          超音波モータ付電子機器
５          超音波モータ
６          伝達機構
７          出力機構
１１          圧電素子
１１ａ        分極部（正方向分極部）
１１ｂ        分極部（逆方向分極部）
１２          振動体
１３          突起
１５          電極
１６          電極（第２の電極）
１７          電極（第１の電極）
２１          電極（第１の電極）
３１          圧電素子
３２          ロータ
３３          圧電体（第１の圧電体）
３４          圧電体（第２の圧電体）
３５          電極（第１の電極）
３６          電極（第２の電極）
１００          超音波モータ
１０４          ロータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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