(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機ＥＬ層となる有機ＥＬ材料の溶液を液滴噴射するＥＬパネル製造方法であって、
複数の色の複数の画素のうち同一色で連結されている画素群で構成され、隣接する異なる色の画素群と隔壁によって区切られており、前記隔壁が同一色の前記画素間の連結されている部分でくびれているセルに、液滴噴射装置の液滴噴射ヘッドのノズルから前記溶液を液滴噴射する、
ことを特徴とするＥＬパネル製造方法。
【請求項２】
前記セルの配列は、前記画素を対角に連結して同色の有機ＥＬ層が形成されるセルを、隣同士異なる色に並べるモザイク状であり、
前記ノズルは複数であり、前記溶液を前記セル中に液滴噴射する場合、前記各ノズルは前記各セル内の複数の画素に順に連続して液滴噴射する、ことを特徴とする請求項１記載のＥＬパネル製造方法。
【請求項３】
前記セルの配列は、前記画素を対角に連結して同色の有機ＥＬ層が形成されるセルを、隣同士異なる色に並べるモザイク状であり、
前記ノズルは各色毎に複数であり、前記溶液を前記セル中に液滴噴射する場合、前記液滴噴射ヘッドの移動にともない前記画素の色に対応する前記ノズルを選択して対応する画素に液滴噴射する、ことを特徴とする請求項１記載のＥＬパネル製造方法。
【請求項４】
前記溶液の液滴噴射は、前記溶液を貯める溶液タンクから、当該溶液を前記液滴噴射ヘッドへ供給し、前記液滴噴射ヘッドのノズルから当該溶液を液滴噴射して行い、
前記溶液タンク内の溶液の液面の位置又は溶液の重量を検出し、
前記液滴噴射ヘッドにかかる圧力を一定にするように、前記検出したデータにしたがって前記溶液タンク内に圧力を制御する、ことを特徴とする請求項１、２又は３記載のＥＬパネル製造方法。
【請求項５】
前記溶液の液滴噴射は、前記溶液を貯める溶液タンクから、当該溶液を前記液滴噴射ヘッドへ供給し、前記液滴噴射ヘッドのノズルから当該溶液を液滴噴射して行い、
前記噴射ヘッド内の溶液の自重による圧力を検出し、
前記液滴噴射ヘッドにかかる圧力を一定するように、前記検出したデータにしたがって、前記溶液タンク内に圧力を制御する、ことを特徴とする請求項１、２又は３記載のＥＬパネル製造方法。
【請求項６】
前記溶液の液滴噴射は、前記溶液を貯める溶液タンクから、当該溶液を前記液滴噴射ヘッドへ供給し、前記液滴噴射ヘッドのノズルから当該溶液を液滴噴射して行い、
前記ノズルのノズル口の溶液の液面の形状を検出し、
前記液滴噴射ヘッドにかかる圧力を一定するように、前記検出したデータにしたがって、前記溶液タンク内に圧力を制御する、ことを特徴とする請求項１、２又は３記載のＥＬパネル製造方法。
【請求項７】
前記溶液タンクから前記液滴噴射ヘッドへの前記溶液の供給は、当該溶液中の不溶物を取除くフィルタを介して行う、ことを特徴とする請求項４、５又は６記載のＥＬパネル製造方法。
【請求項８】
請求項１、２、３、４、５、６又は７記載のＥＬパネル製造方法により製造されたＥＬパネルを備えて画像を表示することを特徴とするＥＬディスプレイ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＥＬ（Electroluminescence）パネルを用いたＥＬディスプレイ及びＥＬパネルを製造するＥＬパネル製造方法、並びにＥＬパネルの製造に用いる液滴噴射装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＣＲＴに代わる新しい表示技術として、蛍光物質であるＥＬ（Electroluminescence）材料を用いてＥＬ発光を得る技術が研究されている。
【０００３】
蛍光物質であるＥＬ材料としては、まず無機ＥＬ材料を用いる研究がされていたが、その後、無機ＥＬにはない長所を有する有機ＥＬ材料について注目されてきている。有機ＥＬ材料は、無機ＥＬ材料に比べて、カラー化が容易なことと、はるかに低い電圧の電流で動作すること等の長所を有する。有機ＥＬ材料を用いた有機ＥＬ層薄膜を金属電極で挟み込み直流電流印加による電荷注入を行う素子は有機薄膜ＥＬダイオードと呼ばれ、その応用によるフラットパネルディスプレイの実現を目指し多くの研究が為されてきた。
【０００４】
有機ＥＬ素子によるフルカラーディスプレイのＲＧＢ（赤色、緑色、青色）画素構造としては、▲１▼有機ＥＬ素子の白色発光とＲＧＢカラーフィルタを用いる方法、▲２▼有機ＥＬ素子の青色発光とＧ，Ｒの色波長変換層を用いる方法、▲３▼ＲＧＢの各有機ＥＬ素子を各画素に形成する方法、等が提案されている。この中で▲３▼は、カラーフィルタや色波長変換層のような光出射量／光入射量が低い部材を設けることなく、各ＲＧＢの有機ＥＬ素子の各色の光を直接表示しているので、所定輝度に対して最も低消費電力が実現できるものとして期待されている。▲３▼の構造を高解像度で実現させるためには、ＥＬ発光を行う有機ＥＬ層薄膜の微細パターン形成を行わなければならない。有機ＥＬ層薄膜は、ダメージを受け易く、一般に有機薄膜のエッチングは困難であり、そのパターン形成は有機ＥＬ素子を用いたＥＬパネルディスプレイ実現の技術問題となっている。
【０００５】
有機ＥＬ素子の製膜方法は材料等の条件に応じて湿式コーティング法と抵抗加熱蒸着によるドライ蒸着加熱法に大別され、それぞれの製膜技術に対応したパターン形成方法として湿式コーティング法はジェットプリンティング法が、ドライ蒸着加熱法はシャドウマスク法が提案されている。
【０００６】
図１１〜図１３を参照して、従来のジェットプリンティング式の有機ＥＬ層形成方式を説明する。図１１は、従来のＥＬパネル８０の構造と液滴噴射ヘッド９１の位置を示す上面図であり、図１２は、従来のＥＬパネル８０の構造を示す概略断面図であり、図１３は、従来の液滴噴射装置９０の概略図である。
【０００７】
ＥＬパネル８０上に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の有機ＥＬ層８１Ｒ，８１Ｇ，８１Ｂを形成するために、液滴噴射装置９０の液滴噴射ヘッド９１の赤、緑、青の有機ＥＬ材料の溶液を、赤、緑、青の溶液を噴射するノズル９１ｒ，９１ｇ，９１ｂを介して、それぞれ隔壁８２で区分された各セル８３Ｒ，８３Ｇ，８３Ｂに噴射する。
【０００８】
図１２に示すように、ＥＬパネル８０は、ガラス等の透明基板８４上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等の透明な導電体であるアノード電極８５を形成し、赤の各セル８３Ｒ（及び緑、青のセル８３Ｇ，８３Ｂ）を区分するＳｉＮ（窒化シリコン）等の隔壁８２を形成し、正孔輸送層８６を形成し、各セル８３Ｒ（及び緑、青のセル８３Ｇ，８３Ｂ）への発光材料の液滴噴射により有機ＥＬ層８１Ｒ（及び緑、青の有機ＥＬ層８１Ｇ，８１Ｂ）を形成する。アノード電極８５をそれぞれ備える１セルを１画素とする。
【０００９】
実際には、この後、各画素共通の電極であるカソード電極を形成し、封止材、封止ガラスを順に形成して、ＥＬパネル８０となる。また、各有機ＥＬ層の発光のスイッチングを行うＴＦＴ（Thin Film Transistor）は図面上省略されている。
【００１０】
図１３に示すように、有機ＥＬ材料を各セル８３Ｒ，８３Ｇ，８３Ｂに液滴噴射する液滴噴射装置９０は、有機ＥＬ材料を各セル８３Ｒ，８３Ｇ，８３Ｂに液滴噴射し上下方向及びＥＬパネル８０の平面のＸＹ方向移動自在に可動する液滴噴射ヘッド９１と、有機ＥＬ材料の溶液を貯める溶液タンク９２と、溶液タンク９２の溶液を液滴噴射ヘッド９１へ供給する長い溶液供給ライン９３と、溶液タンク９２と溶液供給ライン９３との間に設ける接続口である溶液供給口９４と、溶液タンク９２へ大気を通す大気通用口９５とを設ける。実際には、有機ＥＬ材料として、赤、緑、青の発光材料、正孔輸送材料、電子輸送材料、それぞれに溶液タンク９２、溶液供給ライン９３、溶液供給口９４、大気通用口９５を設ける。
【００１１】
溶液タンク９２中の有機ＥＬ材料の溶液は、有機ＥＬ材料を溶媒に溶かした液体であり、溶液滴噴射ヘッド９１と溶液供給口９４との間の上下方向の水頭差を調整することにより、液滴噴射ヘッド９１のノズル９１ｒ，９１ｇ，９１ｂ内の溶液の圧力を変化させ、大気通用口９５からの大気圧と平衡させて、液滴の噴射量を安定させる。
【００１２】
透明基板８４上にアノード電極８５及び隔壁８２を形成したＥＬパネル８０のＸＹ平面上に、液滴噴射ヘッド９１を移動させ、目的のセルに液滴を噴射させ、噴射された有機ＥＬ材料の溶媒を蒸発させて乾燥させ、有機ＥＬ層８１Ｒ，８１Ｇ，８１Ｂを形成していた。各セル８３Ｒ，８３Ｇ，８３Ｂは、ＥＬパネル８０を用いたディスプレイの画素毎に形成される。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のジェットプリンティング式の有機ＥＬ層形成方式によれば、液滴噴射ヘッド９１のノズル９１ｒ，９１ｇ，９１ｂからの吐出量は通常数十〜数［ｐｌ］であり、濃度を１〜９９［ｗｔ％］程度の溶液を滴下する場合、有機ＥＬ層の仕上がり膜厚が数十［ｎｍ］であることを考慮すると、セルあたりの滴下量は数滴となる。よって、一つのセル内での溶液一滴のミスファイアにより、つまり一滴分溶液の増減によりセル内のＥＬ層の仕上がり膜厚に数十％の変化が生じ、その結果輝点不良や上下ショート等の画素不良を生じていた。
【００１４】
従来のジェットプリンティング式の有機ＥＬ層形成方式を用いて、例えば６４０＊４８０＊３（ＲＧＢ）のディスプレイを製造する場合を考えると、その画素数は９２１，６００となる。一セル当り３滴を滴下するとすれば、ディスプレイあたりの総滴下数は約３００万滴に達する。即ちもし、当該ジェットプリンティング式の有機ＥＬ層形成方式で１０万回に１回の過滴下又は滴下不足のミスファイアを生じた場合、その画素不良は最大約３０箇所にも及ぶ。即ち、隔壁８２を用いたセル８３Ｒ，８３Ｇ，８３Ｂを画素単位で形成する従来の方法では、ディスプレイ製造時に著しく高い不良率が生ずる可能性があった。
【００１５】
これを回避する方法として、十分に希釈した溶液において乾燥後の再塗布を繰り返し、適正な膜厚とする方法も考えられるが、一旦乾燥した膜上への再吐出は、既に形成されている膜の再溶解を生じる事で不均一な膜を形成してしまっていた。
【００１６】
また、従来の液滴噴射装置９０についても問題があった。有機ＥＬ層８１Ｒ，８１Ｇ，８１Ｂは、数十ｎｍ〜百数十ｎｍの超薄膜から構成されており、径がこの薄膜と同程度以上の導電性の微粒子等の不溶物が薄膜中に混入すると導電パスとなり、アノード−カソード間でショートすることによりダークスポットの要因となる。
【００１７】
また有機ＥＬ材料は、非局在化したπ電子平面を持つものが多く、一般に溶媒への溶解性は低いので、溶液中で分子鎖が会合して微粒子を形成しやすい構造となっている。このまま微粒子状を含んだ状態で成膜すると厚さが均一にならないために発光特性にバラツキが生じる。そのため、従来のジェットプリンティング式の有機ＥＬ層形成方式を用いる場合、製膜直前に有機ＥＬ溶液をメンブランフィルタ等でフィルタリングを行い、微粒子を除去させるのが一般的である。そこで、溶液供給ライン９３中にメンブランフィルタ等のフィルタを設けると、当該フィルタを通過させるために溶液に圧力をかけることが必要となる。
【００１８】
この時、吐出に必要な負圧条件を妨げてしまい、安定な溶液の吐出が困難となってしまっていた。また、高価な有機ＥＬ材料の利用率を上げるためには、溶液供給ライン９３を短くすることが望ましく、溶液タンク９２の溶液供給口９４を液滴噴射ヘッド９１の近傍下方に設けるのが理想的である。このとき、溶液タンク９２内の溶液の液面の高さ（残溶液の重量）によって、液滴噴射ヘッド９１内の溶液の圧力が変化してしまい、安定した溶液の吐出が困難となってしまっていた。
【００１９】
本発明の課題は、安定した膜厚の有機ＥＬ層の形成を行うことである。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、有機ＥＬ層となる有機ＥＬ材料の溶液を液滴噴射するＥＬパネル製造方法であって、複数の色の複数の画素のうち同一色で連結されている画素群で構成され、隣接する異なる色の画素群と隔壁によって区切られており、前記隔壁が同一色の前記画素間の連結されている部分でくびれているセルに、液滴噴射装置の液滴噴射ヘッドのノズルから前記溶液を液滴噴射する、ことを特徴とする。
【００２１】
請求項１の発明によれば、複数の画素を定義するセルに液滴噴射装置の液滴噴射ヘッドのノズルから前記溶液を液滴噴射することができるので、仮にある画素で有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射でのミスファイアが発生しても、ミスファイアした画素の溶液量と同一セル内の他の画素の溶液量とが均一になるように同一セル内で溶液が移動するので、ミスファイアによる有機ＥＬ層の膜厚への変化の影響を減少させ、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成し、輝点不良等の画像不良を無くすことができる。
【００２８】
請求項２に記載の発明は、前記セルの配列は、前記画素を対角に連結して同色の有機ＥＬ層が形成されるセルを、隣同士異なる色に並べるモザイク状であり、前記ノズルは複数であり、前記溶液を前記セル中に液滴噴射する場合、前記各ノズルは前記各セル内の複数の画素に順に連続して液滴噴射する、ことを特徴とする。
【００２９】
請求項２の発明によれば、各色を対角方向に配列したモザイク状のＥＬパネルの有機ＥＬ層形成において、液滴噴射ヘッドのノズルをセルの長手方向、つまり対角方向に走査して有機ＥＬ材料の溶液を連続して液滴噴射する。
【００３０】
従って、請求項２の発明によれば、溶液の液滴噴射の時間間隔によって、先に噴射した溶液が乾燥することによる乾きむらを抑制し、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができる。
【００３１】
請求項３に記載の発明は、前記セルの配列は、前記画素を対角に連結して同色の有機ＥＬ層が形成されるセルを、隣同士異なる色に並べるモザイク状であり、前記液滴噴射ヘッドの移動方向は前記セルの長手方向と異なり、前記ノズルは各色毎に複数であり、前記溶液を前記セル中に液滴噴射する場合、前記液滴噴射ヘッドの移動にともない前記画素の色に対応する前記ノズルを選択して対応する画素に液滴噴射する、ことを特徴とする。
【００３２】
請求項３の発明によれば、各色を対角方向に配列したモザイク状のＥＬパネルの有機ＥＬ層形成において、液滴噴射ヘッドのノズルから発光材料の溶液を連続して液滴噴射する。
【００３３】
従って、請求項３の発明によれば、溶液の液滴噴射の時間間隔により先に噴射した溶液が先に乾燥することによる乾きむらを抑制し、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができる。
【００３４】
請求項４に記載の発明は、前記溶液の液滴噴射は、前記溶液を貯める溶液タンクから、当該溶液を前記液滴噴射ヘッドへ供給し、前記液滴噴射ヘッドのノズルから当該溶液を液滴噴射して行い、前記溶液タンク内の溶液の液面の位置又は溶液の重量を検出し、前記液滴噴射ヘッドにかかる圧力を一定にするように、前記検出したデータにしたがって前記溶液タンク内に圧力を制御する、ことを特徴とする。
【００３５】
請求項５に記載の発明は、前記溶液の液滴噴射は、前記溶液を貯める溶液タンクから、当該溶液を前記液滴噴射ヘッドへ供給し、前記液滴噴射ヘッドのノズルから当該溶液を液滴噴射して行い、前記噴射ヘッド内の溶液の自重による圧力を検出し、前記液滴噴射ヘッドにかかる圧力を一定するように、前記検出したデータにしたがって、前記溶液タンク内に圧力を制御する、ことを特徴とする。
【００３６】
請求項６に記載の発明は、前記溶液の液滴噴射は、前記溶液を貯める溶液タンクから、当該溶液を前記液滴噴射ヘッドへ供給し、前記液滴噴射ヘッドのノズルから当該溶液を液滴噴射して行い、前記ノズルのノズル口の溶液の液面の形状を検出し、前記液滴噴射ヘッドにかかる圧力を一定するように、前記検出したデータにしたがって、前記溶液タンク内に圧力を制御する、ことを特徴とする。
【００３８】
請求項４記載の発明によれば、液滴噴射ヘッドのノズルからの有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射において、溶液タンク内の残溶液の液面の位置又は重量を検出して、溶液の残量の減少に伴い発生する、当該液面の位置又は重量に対応する揚力を打消す負圧を溶液に加えるフィードバック制御を行う。
【００３９】
従って、請求項４記載の発明によれば、安定した量の溶液の液滴を噴射させて、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができ、更に、適切な負圧を加えることにより、長い溶液供給ラインを必要としないので、有機ＥＬ材料の溶液の利用率を上げることができる。
【００４０】
請求項５の発明によれば、液滴噴射ヘッドのノズルからの有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射において、液滴噴射ヘッド中の溶液の圧力を検出して、溶液の残量の減少に伴い発生する揚力を打消す負圧を溶液に加えるフィードバック制御を行う。
【００４１】
従って、請求項５の発明によれば、密度、粘度のうち少なくとも１つが異なる溶液別に圧力の算出を行うことなく、安定した量の溶液の液滴を噴射させて、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができ、更に、適切な負圧を加えることにより、長い溶液供給ラインを必要としないので、有機ＥＬ材料の溶液の利用率を上げることができる。
【００４２】
請求項６の発明によれば、液滴噴射ヘッドのノズルからの有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射において、液滴噴射ヘッドのノズルのノズル口での溶液の液面の形状を検出して、最適な液面の形状を保つ負圧を溶液に加えるフィードバック制御を行うので、液滴噴射ヘッドを選ぶことなく、安定した量の溶液の液滴を噴射させて、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができ、更に、適切な負圧を加えることにより、長い溶液供給ラインを必要としないので、有機ＥＬ材料の溶液の利用率を上げることができる。
【００４３】
請求項７記載の発明は、前記溶液タンクから前記液滴噴射ヘッドへの前記溶液の供給は、当該溶液中の不溶物を取除くフィルタを介して行う、ことを特徴とする。
【００４５】
請求項７の発明によれば、フィルタを介して溶液の不要物を取除いてダークスポット及びリーク電流の発生を防ぎ、安定した量の溶液の液滴を噴射させて、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができる。
【００４６】
請求項８に記載の発明は、請求項１、２、３、４、５、６又は７記載のＥＬパネル製造方法により製造されたＥＬパネルを備えて画像を表示するＥＬディスプレイ、であることを特徴とする。
【００４７】
請求項８記載の発明によれば、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成されたＥＬパネルを用いるので、画素毎に安定した発光を行う画像を表示することができる。
【００４８】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の第１〜第６の実施の形態を順に説明する。
【００４９】
（第１の実施の形態）
本実施の形態を図１〜図５を参照して説明する。図１は、本実施の形態のＥＬパネル１０の構造と液滴噴射ヘッド２１Ａの位置を示す上面図であり、図２は、ＥＬパネル１０のセル構造を示す概略断面図であり、図３は、ＥＬパネル１０の電極構造を示す概略断面図であり、図４は、液滴噴射装置２０の概略図であり、図５は、ＸＹ位置決め制御装置Ｃの上面図である。
【００５０】
図１に示すように、ＥＬパネル１０上に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂを形成するために、液滴噴射装置２０の液滴噴射ヘッド２１Ａの赤、緑、青の有機ＥＬの発光材料の溶液を、赤、緑、青のノズル２１Ａｒ，２１Ａｇ，２１Ａｂを介して、それぞれ隔壁１２で区分された各セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂに噴射する。以下、各符号において、Ｒ，ｒは赤色を意味し、Ｇ，ｇは緑色を意味し、Ｂ，ｂは青色を意味するものとする。
【００５１】
ここで、ＥＬパネル１０の構造を説明する。図２は、図１の液滴噴射ヘッド２１Ａの走査方向に沿った断面図であり、四方を隔壁１２で区分された一つのセル１３Ｒを示している。図２及び図３には、赤のセル１３Ｒ、有機ＥＬ層１１Ｒを示すが、緑、青のセル１３Ｇ，１３Ｂ、有機ＥＬ層１１Ｇ，１１Ｂについても同様である。ＥＬパネル１０は、ガラス等の透明基板１４と、透明基板１４上に形成する、ＩＴＯ、ＳｎＯ2等の透明な導電体からなる走査方向と直行する方向に延在するアノード電極１５、及び、セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂを区分するＳｉＮ等の絶縁材料からなる隔壁１２と、セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂへの有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射により形成される有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂとを有する。
【００５２】
ＥＬパネル１０の各アノード電極１５と後述するカソード電極１６とがそれぞれ重なり合う有機ＥＬ層の発光区域が１画素であり、１セル内に１０画素（１０個のアノード電極１５）を有する構成となる。ＥＬパネル１０は、赤、緑、青のセル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂについて、１つセルに１０個の画素を液滴噴射ヘッド２１Ａの走査方向に平行に連結させ、各色のセルをストライプ状に配列した構成である。
【００５３】
ＥＬパネル１０は、完成時には、図３に示すように、有機ＥＬ層１１Ｒの形成の後、有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂ及び隔壁１３Ｒ上に形成する、各共通の電極であるカソード電極１６と、カソード電極１６上の封止材１７、封止材１７上の封止ガラス１８も有する。また、各画素の有機ＥＬ層の発光のスイッチングを行うＴＦＴ等は図面上省略されている。ＴＦＴは、例えば隔壁１２の下に形成される。
【００５４】
有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂは、例えば、アノード電極１５から順に正孔輸送層、発光層、電子輸送層となる三層構造であっても良いし、アノード電極１５から順に正孔輸送層、電子輸送層を兼ねた発光層となる二層構造であっても良いし、発光層からなる一層構造であっても良いし、その他の層構造であっても良い。
【００５５】
つまり、有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂは、正孔及び電子を注入する機能、正孔及び電子を輸送する機能、正孔と電子の再結合により励起子を生成して発光する機能を有する。有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂは、電子的に中立な有機化合物であることが望ましく、これにより正孔と電子が有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂでバランス良く注入及び輸送される。
【００５６】
なお、電子輸送性の物質が発光層に適宜混合されていても良いし、正孔輸送性の物質が発光層に適宜混合されても良いし、電子輸送性の物質及び正孔輸送性の物質が発光層に適宜混合されていても良い。
【００５７】
また、有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂの発光層には、発光材料が含有されている。発光材料としては、高分子系材料が用いられることになる。高分子系材料としては、ポリカルバゾール、ポリパラフェニレン、ポリアリーレンビニレン、ポリチオフェン、ポリフルオレン、ポリシラン、ポリアセチレン、ポリアニリン、ポリピリジン、ポリピリジンビニレン、ポリピロールが挙げられる。また、その他の高分子材料としては、上記高分子材料（ポリマー）を形成しているモノマーまたはオリゴマーの共重合体、或いはモノマーまたはオリゴマーの誘導物の重合体及び共重合体と、オキサゾール（オキサンジアゾール、トリアゾール、ジアゾール）又はトリフェニルアミン骨格を有するモノマーを重合した重合体及び共重合体を挙げることができる。また、これらポリマーのモノマーとしては、熱、圧、ＵＶ、電子線などを与える事で上述の化合物を形成するモノマー及びプレカーサポリマーを含むものである。また、これらモノマー間を結合する非共役系ユニットを導入しても構わない。
【００５８】
高分子材料の具体的なものとしては、ポリピニルカルバゾール、ポリトデシルチオフェン、ポリエチレンジオキシチオフェン、ポリスチレンスルフォン酸分散体変性物、ポリ９，９−ジアルキルフルオレン、ポリ（チエニレン−９，９−ジアルキルフルオレン）、ポリ（２，５−ジアルキルパラフェニレン−チエニレン）、（ジアルキル：R=C1〜C20）、ポリパラフェニレンビニレン、ポリ（２−メトキシ−５−（２’−エチル−ヘキシロキシ）−パラフェニレンビニレン）、ポリ（２−メトキシ−５−（２’−エチル−ペンチロキシ）−パラフェニレンビニレン）、ポリ（２，５−ジメチル−パラフェニレンビニレン）、ポリ（２，５−チエニレンビニレン）、ポリ（２，５−ジメトキシパラフェニレンビニレン）、ポリ（１，４−パラフェニレンシアノビニレン）などが挙げられる。
【００５９】
また、高分子系材料に限られるものではなく、低分子材料をポリマー分散して用いるものとしても良い。また、低分子材料の性質によっては、低分子材料を溶媒に溶かした状態で塗布して使用するものとしても良い。そして、低分子材料をポリマー分散する際のポリマーとしては、周知の汎用ポリマーを含む各種ポリマーを状況に応じて使用することができる。
【００６０】
低分子の発光材料（発光物質またはドーパント）としては、アントラセン、ナフタレン、フェナントレン、ピレン、テトラセン、コロネン、クリセン、フルオレセイン、ペリレン、フタロペリレン、ナフタロペリレン、ペリノン、フタロペリノン、ナフタロペリノン、ジフェニルブタジエン、テトラフェニルブタジエン、クマリン、オキサジアゾール、アルダジン、ビスベンゾキゾリン、ビススチリル、ピラジン、オキシン、アミノキノリン、イミン、ジフェニルエチレン、ビニルアントラセン、ジアミノカルバゾール、ピラン、チオピラン、ポリメチン、メロシアニン、イミダゾールキレート化オキシノイド化合物等、４−ジシアノメチレン−４Ｈ−ピラン及び４−ジシアノメチレン−４Ｈ−チオピラン、ジケトン、クロリン系化合物やこれらの誘導体が挙げられる。低分子発光材料の具体的なものとしては、Ａｌｑ３、キナクリドンなどが挙げられる。
【００６１】
また、発光材料は、次式に示すポリフルオレン系材料も用いられる。
【化１】
0004217820.tif 000002
当該ポリフルオレン系材料は、５未満の多分散度を有する化合物である。
【００６２】
但し、上式中、Ｅは各々独立に、水素、ハロゲン、アリール又は連鎖延長もしくは架橋することのできる反応性基で置換されたアリール、又はトリアルキルシロキシ部分であり、Ｒ1は、各々独立に、Ｃ1-20ヒドロカルビル又はＳ、Ｎ、Ｏ、ＰもしくはＳｉのヘテロ原子を１以上含むＣ1-20ヒドロカルビルであり、又は２つのＲ1はフルオレン環の９位の炭素と共に、Ｃ5-20環構造又はＳ、ＮもしくはＯのヘテロ原子を１以上含むＣ4-20環構造を形成してもよく、Ｒ2は、各々独立に、Ｃ1-20ヒドロカルビル、Ｃ1-20ヒドロカルビルオキシ、Ｃ1-20チオエーテル、Ｃ1-20ヒドロカルビルオキシカルボニル、Ｃ1-20ヒドロカルビルカルボニルオキシ、又はシアノである。ａは、各々独立に、０〜１の数であり、そしてｍは負でない数である。なお、発光材料は、上述のものに限定されるものではない。
【００６３】
発光層或いは電子輸送層に含有する電子輸送性物質としては、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム（Ａｌｑ３）等の８−キノリノール又はその誘導体を配位子とする有機金属錯体などのキノリン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ペリレン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、キノキサリン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、ニトロ置換フルオレン誘導体などが挙げられる。
【００６４】
発光層或いは正孔輸送層に含有する正孔輸送性物質としては、テトラアリールベンジシン化合物（トリアリールジアミンないしトリフェニルジアミン：ＴＰＤ）、芳香族三級アミン、フタロシアニン系化合物（phthalocyanines）、ナタフタロシアニン系化合物（naphthalocyanines）、ポルフィリン系化合物（porphyrins）、トリアゾール（triazole）、イミダゾール（imidazole）、イミダゾロン（imidazolon）、イミダゾールチオン（imidazolethione）、ピラゾリン（pyrazoline）、ピラゾロン（pyrazoline）、テトラヒドロイミダゾール（tetrahydroimidazole）、オキサゾール(oxazole)、オキサジアゾール(oxadiazole)、ヒドラゾン(hydrazone)、アシルヒドラゾン(acylhydrazone)、ポリアリールアルカン(polyarylalkane)スチルベン(stilbene)、ブタジエン(butadiene)、ベンジジン型トリフェニルアミン(benzidine-triphenylamine)、スチリルアミン型トリフェニルアミン(styrylamine-triphenylamine)、ジアミン型トリフェニルアミン(diamine-triphenylamine)やこれ等の誘導体(derivative)、ポリビニルカルバゾール(polyvinylcarbazole)、ポリシラン(polysilane)、ポリエチレンジオキシチオフェン(polyethylenedioxythiophophen：ＰＥＤＯＴ)、ポリスチレンスルホン酸(polysthyrenesulfonate：ＰＰＳ)、ポリアニリン（polyaniline）等の導電性の高分子材料の中から少なくとも１種類以上選択された材料であり、より好ましくは、次式
【化２】
0004217820.tif 000003
（式中、ｎ，ｌは負でない整数である。）で表されるＰＥＤＯＴをＰＳＳ等の保護コロイド(protective colloid)により分散重合してなる重合体を適用する材料も挙げられる。
【００６５】
カソード電極１６は、隔壁１２上にも形成されている。つまりカソード電極１６は、ＥＬパネル１０に設けられる画素全てに共通する層である。カソード電極１６の具体的なものとして、金、銀、銅、アルミニウム、インジウム、マグネシウム、カルシウム若しくはバリウム若しくはこれらの合金又はこれら金属若しくは合金にリチウム、マグネシウム若しくはインジウムを含む化合物若しくは混合物等が挙げられる。また、カソード電極１６は、以上の各種材料の層が積層された積層構造となっていても良く、具体的には、例えば、有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂ上にマグネシウムを銀を共蒸着させたマグネシウム／銀電極層等の通常の電極層が使用できるが、特にアルミニウム／リチウム電極層は他の材料の電極に比べて、有機ＥＬ層への電子の注入効率がよいため、ＥＬ素子の発光効率、発光輝度を高めることができ、異常な発熱の発生によるＥＬ素子の発光寿命、安定性も更に向上する。また、高純度のバリウム層、高純度アルミニウム層を順に形成する積層構造も挙げられる。
【００６６】
以上のように積層構造となるＥＬパネル１０の発光動作時には、図示しないＴＦＴのスイッチングにより、アノード電極１５とカソード電極１７との間に電界が生じると、アノード電極１５から正孔が有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂの発光層に注入され、カソード電極１６から有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂの発光層に電子が注入される。
【００６７】
そして、有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂの発光層へ正孔及び電子が輸送されて、発光層にて正孔及び電子が再結合することによって励起子が生成され、励起子が消滅するときに光子が発生して発光する。発生した光子は、アノード電極１５、透明基板１４を順に透過して出力される。
【００６８】
有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂの発光材料の各色の色分けは、赤、緑、青の各色を発光する各発光材料を用いる、又は、白色発光する発光材料に前記各色の蛍光塗料を混ぜることにより行われる。
【００６９】
有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂの形成は、以上説明した有機ＥＬ材料をエチレン等の溶媒に溶解させて、発光材料の溶液を生成し、当該溶液を液滴噴射装置２０で液滴噴射させる。
【００７０】
ここで、図４に示す液滴噴射装置２０を説明する。液滴噴射装置２０は、有機ＥＬ材料の溶液を各セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｇに液滴噴射しＥＬパネル８０の平面のＸＹ方向移動自在に可動する液滴噴射ヘッド２１Ａと、有機ＥＬ材料の溶液を貯める溶液タンク２２と、溶液タンク２２の溶液を液滴噴射ヘッド２１Ａへ供給する短い溶液供給ライン２３と、溶液タンク２２と溶液供給ライン２３との間の接続口である溶液供給口２４と、溶液供給ライン２３上に設けたメンブランフィルタ等のフィルタ２５と、溶液タンク２２に負の気圧（負圧）を供給する圧力源２６と、溶液タンク２２の液面の位置を検出して内部の溶液の残量を検出する液面センサ（液面位置検出手段）２７と、液面センサ２７で検出した液面の位置に基づき圧力源７６を制御するコントローラ（制御手段）２８とを有する。
【００７１】
液滴噴射ヘッド２１Ａは、赤、緑、青の有機ＥＬ材料の発光材料の溶液を噴射するノズル２１Ａｒ，２１Ａｇ，２１Ａｂをそれぞれ隣同士が異なる色となるよう、各色３個ずつ、全１２個を設ける。実際には、液滴噴射装置２０は、それぞれのノズル２１Ａｒ，２１Ａｇ，２１Ａｂに対応して、溶液タンク２２、溶液供給ライン２３、溶液供給口２４、フィルタ２５、圧力源２６、液面センサ２７、コントローラ２８とをそれぞれ設ける。
【００７２】
更に、正孔輸送層、電子輸送層を形成する場合、それぞれの材料の溶液に対応して、溶液タンク２２、溶液供給ライン２３、溶液供給口２４、フィルタ２５、圧力源２６、液面センサ２７、コントローラ２８とをそれぞれ設け、発光層以外の正孔輸送材料、電子輸送材料の液滴噴射においては、全色同じ材料を用いてもよい。
【００７３】
液滴噴射ヘッド２１Ａ中の溶液を噴射するために、ノズル２１Ａｒ，２１Ａｇ，２１Ａｂは、サーマルジェット式、ピエゾ式又は静電式等の液滴噴射機構を有する。
【００７４】
サーマルジェット式液滴噴射機構は、ノズル２１Ａｒ，２１Ａｇ，２１Ａｂ内の溶液に接した図示しない発熱体を発熱させることにより、当該発熱体の周りに溶液の気泡を発生させて、ノズル２１Ａｒ，２１Ａｇ，２１Ａｂ内の圧力を変化させることにより、液滴を吐出させる構成である。
【００７５】
ピエゾ式液滴噴射機構は、ノズル２１Ａｒ，２１Ａｇ，２１Ａｂ内の溶液に接した図示しない圧電体であるピエゾ素子に通電することにより、当該ピエゾ素子内の容積を変化させて、ノズル２１Ａｒ，２１Ａｇ，２１Ａｂ内の溶液に加わる圧力を変化させることにより、液滴を吐出させる構成である。
【００７６】
静電式液滴噴射機構は、ノズル２１Ａｒ，２１Ａｇ，２１Ａｂ内の溶液に接した図示しない第１の電極と、第１の電極とギャップを有して平行に設けられ溶液に接しない図示しない第２の電極とを設けてコンデンサとし、第１の電極と第２の電極との間に電圧を印加することによって、第２の電極に対する第１の電極のクーロン力による引力又は斥力を変化させて、ノズル２１Ａｒ，２１Ａｇ，２１Ａｂ内の溶液の圧力を変化させることにより、液滴を吐出させる構成である。
【００７７】
溶液タンク２２中の溶液の残量の重量により、溶液供給口２４、短い溶液供給ライン２３を介し、また溶液中の微粒子等の不溶物除去用のフィルタ２５を介して、液滴噴射ヘッド２１Ａ中の溶液に圧力がかかる。当該重量による圧力は、溶液タンク２２中の溶液の残量の体積（液面の値）に対応する。コントローラ２８は、プログラム制御により、溶液タンク２２中の液面の位置情報を液面センサ２７により検出させ、液面センサ２７で検出した液面の位置情報を用いて、溶液の重量による圧力を打消すような最適な負圧を算出し、算出した負圧を圧力源２６から供給させてフィードバック制御する。
【００７８】
手順としては、先ず、溶液タンク２２中の溶液の残量の重量により、溶液タンク２２中の溶液は、溶液供給口２４、溶液供給ライン２３を介し、フィルタ２５を通過することができる。そして、液滴噴射ヘッド２１Ａ中に溶液が充填し、コントローラ２８は、圧力源２６から液滴噴射ヘッド２１Ａ中の溶液にかかる重量による圧力を打消す最適な負圧を算出して供給させる。溶液タンク２２中の液面が下がった場合、溶液の体積も減少して、液滴噴射ヘッド２１Ａ中の溶液の重量による圧力が減少するので、減少した重量による圧力に対応して圧力源２６から供給する負圧も減少させる。
【００７９】
コントローラ２８には予め液滴噴射ヘッド２１Ａ中の溶液の種類に応じた溶液の密度、粘性、濃度や初期状態での残量、必要な噴射量が入力されている。コントローラ２８における、液滴噴射ヘッド２１Ａ中の溶液にかかる重量による圧力を打消す負圧の算出方法は、先ず、液面センサ２７で検出した溶液タンク２２中の液面の位置情報から、溶液の残量の自重によってフィルタ２５或いは液滴噴射ヘッド２１Ａに加わる圧力を計算する。フィルタ２５或いは液滴噴射ヘッド２１Ａに掛かる圧力が一定となるように、噴射により減少する溶液自体の圧力の変化を算出し、この算出データにしたがって圧力源２６が圧力を加える。つまり溶液タンク２２中の溶液が初期状態で満たされているときでも、噴射して残量が減っているときでも、液滴噴射ヘッド２１Ａは同じ動作で常に一定量の溶液を噴射することができる。このように、液滴噴射ヘッド２１Ａでの噴射機構を複雑にすることなく、容易に噴射量を制御することができる。溶液の噴射量は成膜時の有機ＥＬ層の厚さ、溶液タンク２２中の溶液の濃度に依存しているが、有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂの種類毎に適宜噴射量を変えることにより発光色のバランスを最適化してもよい。このとき、液滴噴射装置２０は、有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂ毎に別体とすることが望ましい。
【００８０】
次に、図５に示す液滴噴射ヘッド２１Ａを移動するＸＹ位置決め制御装置Ｃについて説明する。ＸＹ位置決め制御装置Ｃは、ＥＬパネル１０を搬送する図示しないＥＬパネル搬送装置に対して直角に、かつ、当該ＥＬパネル搬送装置を跨ぐようにして設けられる二本の支持梁Ｃ１，Ｃ２と、Ｙ軸方向へ移動自在となるように二本の支持梁Ｃ１，Ｃ２間に架け渡されるビームＣ３と、ビームＣ３の長手方向に移動自在に取付けられるヘッドＣ４と、ビームＣ３の各端で支持梁Ｃ１，Ｃ２それぞれの長手方向の移動の駆動力を供給するＹ軸リニアモータＣ５，Ｃ６と、ヘッドＣ４に対してビームＣ３の長手方向の移動の駆動力を供給するＸ軸リニアモータＣ７と、ビームＣ３のＹ軸位置を検出するための位置検出手段であり、支持梁Ｃ１，Ｃ２にそれぞれ設けられたＹ軸リニアエンコーダＣ８，Ｃ９と、ヘッドＣ４のＸ軸位置を検出するための位置検出手段であるＸ軸リニアエンコーダＣ１０と、各部を制御する図示しない位置決め制御部とを有する。
【００８１】
支持梁Ｃ１の長手方向をＹ１軸方向とし、支持梁Ｃ２の長手方向をＹ２軸方向とし、ビームＣ３の長手方向をＸ軸方向とする。そして、ヘッドＣ４に液滴噴射ヘッド２１Ａを搭載する構成であるとする。
【００８２】
ＸＹ位置決め制御装置Ｃは、位置決め制御部が、位置指令（ビームＣ３及びヘッドＣ４の位置、ＥＬパネル１０のセル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂ位置等に関する情報）と、Ｙ軸リニアエンコーダＣ８，Ｃ９から出力されたビームＣ３のＹ１軸、Ｙ２軸の位置フィードバック情報と、Ｘ軸リニアエンコーダＣ１０から出力されたヘッドＣ４のＸ軸の位置フィードバック情報とを用いて、それぞれ駆動手段であるＹ軸リニアモータＣ５，Ｃ６、Ｘ軸リニアモータＣ７の駆動を制御することで、ヘッドＣ４をＥＬパネル１０上の所定位置に移動させる構成である。
【００８３】
ＸＹ位置決め制御装置Ｃは、Ｙ軸の位置決め制御において、Ｙ１軸側のＹ軸リニアモータＣ５には、共通な位置指令と、Ｙ軸リニアエンコーダＣ８から出力されたビームＣ３のＹ１軸の位置フィードバック情報とを用いて位置決め制御し、Ｙ２軸側のＹ軸リニアモータＣ６には、共通な位置指令と、Ｙ軸リニアエンコーダＣ９から出力されたビームＣ３のＹ２軸の位置フィードバック情報とを用いて位置決め制御し、Ｙ１軸側とＹ２軸側で別々に制御する全軸式位置決め制御方式を採用している。
【００８４】
また、Ｙ１軸側をマスタ側、Ｙ２軸側をスレーブ側として、Ｙ２軸側のＹ軸リニアエンコーダＣ９を設けずに、Ｙ軸リニアモータＣ５，Ｃ６の両方に、位置指令及びＹ軸リニアエンコーダＣ８から出力されたビームＣ３のＹ１軸の位置フィードバック情報とを用いてＹ１軸方向及びＹ２軸方向を共通に位置決め制御するマスタスレーブ式位置決め制御方式を採用する構成でもよい。この場合、マスタ側とスレーブ側を代えた構成でもよい。
【００８５】
次に、ＥＬパネル１０製造方法を説明する。先ず、透明基板１４上にアノード電極１５、隔壁１２を形成し、ＸＹ位置決め制御装置Ｃにおいて、ＥＬパネル搬送装置によって搬送されたＥＬパネル１０上の各セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｇの所定位置に、ヘッドＣ４に搭載された液滴噴射ヘッド２１ＡをＸ軸方向及びＹ軸方向移動自在に位置決め制御し、セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｇの長手方向に走査しつつ、液滴噴射装置２０において、コントローラ２８は、液面センサ２７に溶液タンク２２内の発光材料の溶液の液面の位置を検出して、検出した液面の位置に対応する適切な負圧を圧力源２６から出力させて、ヘッドＣ４に搭載された液滴噴射ヘッド２１Ａ内の溶液の圧力を最適な圧力に保ち、上記の液滴噴射機構により、ノズル２１Ａｒ，２１Ａｇ，２１Ａｂ内の発光材料の溶液の圧力を微調整して、溶液の液滴を各セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの画素に連続して噴射して、有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂの発光層を形成する。
【００８６】
上記の製造方法の説明は、有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂが、発光層のみによる１層構造の場合であるが、２層構造の場合、セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂ内に、正孔輸送材料、発光材料の溶液を順に液滴噴射して、正孔輸送層、発光層の順に形成し、３層構造の場合、セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂ内に、正孔輸送材料、発光材料、電子輸送材料の溶液を順に液滴噴射して、正孔輸送層、発光層、電子輸送層を順に形成して、有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂを形成する。但し、有機ＥＬ材料の発光層以外の正孔輸送材料、電子輸送材料の液滴噴射を行う場合、赤、青、緑で同じ材料を用いてもよい。
【００８７】
有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂを形成した後、有機ＥＬ層１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂ及び隔壁１２上に、カソード電極１６を形成し、カソード電極１６上に封止材１７を、封止材１７上に封止ガラス１８を順に形成して、ＥＬパネル１０を製造する。
【００８８】
例えば、画素毎の適正な有機ＥＬ層の膜厚形成に必要な溶液の滴下量が４滴であるとすると、従来の１セルあたり１画素の構成では、１画素に１つのミスファイアが生じれば、溶液の滴下量は１セル全体の１／４、つまり２５％減或いは２５％増を生じてしまっていた。本実施の形態のように１セルあたり１０画素を有する構成においては、１セル内では４０滴が必要となる。ミスファイアの発生確率が１０万分の１であるとすると、１セル内の１０画素中で連続したミスファイアの生じる確率は、著しく低くなり、有機ＥＬ層の膜厚の不安定による画像不良を防ぐことができる。例えば、１セル（１０画素）に１つの滴下不足のミスファイアが生じれば、１セル全体の１／４０、つまり２．５％減或いは２．５％増を生じるに過ぎない。これは、実質的に輝点不良となる程度に至らない。
【００８９】
よって、ＥＬパネル１０の有機ＥＬ層形成において、有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射でのミスファイアの発生による有機ＥＬ層の膜厚への変化の影響を減少させ、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成し、輝点不良等の画像不良を無くすことができる。
【００９０】
また、セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの長手方向と液滴噴射ヘッド２１Ａの走査方向を同一にして、液滴噴射ヘッド２１Ｅから有機ＥＬ材料の溶液を連続して噴射し、溶液の液滴噴射の時間間隔によって、先に噴射した溶液が乾燥することによる乾きむらを抑制し、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができる。
【００９１】
また、液滴噴射ヘッド２１Ａのノズルからの有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射において、溶液タンク２２内の液面の位置を液面センサ２７で検出して、検出した液面の位置（溶液の残量）に対応する圧力を打消す負圧を溶液に加えるフィードバック制御を行うので、フィルタ２５を介して不溶物を取除いてダークスポット及びリーク電流の発生を防ぎ、安定した量の液滴を噴射させることができる。
【００９２】
更に、適切な負圧を加えることにより、長い溶液供給ラインを必要とせず、短い溶液供給ライン２３を設けるので、高価な有機ＥＬ材料の溶液の利用率を上げることができる。
【００９３】
なお、本実施の形態では、１セルあたりの画素数は１０個としたが、これに限定されるものではなく、これ以外の複数の画素数で形成される構成でもよい。
【００９４】
また、本実施の形態では、液滴噴射装置２０において、溶液タンク２２内の溶液の残量を求めるのに、液面センサ２７で検出した液面の位置を検出して用いたが、溶液タンク２２の重量を計測する重量秤等の他の計測機器やセンサで計測する構成でもよい。
【００９５】
（第２の実施の形態）
本実施の形態を図６を参照して説明する。図６は、本実施の形態のＥＬパネル３０の構造と液滴噴射ヘッド２１Ｄの位置を示す上面図である。本実施の形態は、第１の実施の形態のＥＬパネル１０をＥＬパネル３０に代え、液滴噴射装置２０の液滴噴射ヘッド２１Ａを液滴噴射ヘッド２１Ｄに代えた構成であり、同様な部分の説明は省略する。
【００９６】
ＥＬパネル３０は、赤、緑、青のセル３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂについて、１つのセルに２９個の画素を液滴噴射ヘッド２１Ｄの走査方向に垂直に連結させ、各色のセルをストライプ状に配列するように、赤、緑、青の有機ＥＬ層３１Ｒ，３１Ｇ，３１Ｂ及び隔壁３２を形成した構成である。
【００９７】
液滴噴射ヘッド２１Ｄは、赤、緑、青それぞれの有機ＥＬ材料の発光材料の溶液を噴射する液滴噴射ヘッド２１ＤＲ，２１ＤＧ，２１ＤＢを有し、液滴噴射ヘッド２１ＤＲ，２１ＤＧ，２１ＤＢそれぞれに、各２９個の同色の発光材料の溶液を噴射するノズル２１Ｄｒ，２１Ｄｇ，２１Ｄｂを設ける。つまり一つの画素に一つのヘッドが対応して配置されている。
【００９８】
ＥＬパネル３０と、液滴噴射ヘッド２１Ｄの構成によれば、ＥＬパネル３０の有機ＥＬ層形成方法において、赤、緑、青それぞれの有機ＥＬ材料の発光材料の溶液の液滴を、ノズル２１Ｄｒ，２１Ｄｇ，２１Ｄｂから、各セル毎の全画素に一度に噴射することができる。有機ＥＬ材料の発光層以外の正孔輸送材料、電子輸送材料の溶液の液滴噴射を行う場合は、全色同じ材料を用いてもよい。このように２９個の画素、つまり複数の画素をまとめてその周囲を隔壁３２で囲むことにより画素１個に対して仮にミスファイアがあったとしても、セル内で溶液の高さが均等になるように溶液が移動するので、一画素でのミスファイアの影響を低減することができる。
【００９９】
よって、液滴噴射ヘッド２１Ｄのノズルから各セル毎の全画素に一度に有機ＥＬ材料の溶液を噴射することができるので、液滴噴射ヘッド２１Ｄの移動による時間差によって、先に噴射した溶液が先に乾燥することによる乾きむらを抑制し、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができる。
【０１００】
なお、１セルあたりの画素数は２９個としたが、これに限定されるものではなく、これ以外の複数の画素数で形成される構成でもよい。
【０１０１】
（第３の実施の形態）
本実施の形態を図７を参照して説明する。図７は、本実施の形態のＥＬパネル４０の構造と液滴噴射ヘッド２１Ｅの位置を示す上面図である。本実施の形態は、第１の実施の形態のＥＬパネル１０をＥＬパネル４０に代え、液滴噴射装置２０の液滴噴射ヘッド２１Ａを液滴噴射ヘッド２１Ｅに代えた構成であり、同様な部分の説明は省略する。
【０１０２】
ＥＬパネル４０は、赤、緑、青のセル４３Ｒ，４３Ｇ，４３Ｂについて、１つのセルに１０個の画素を対角に連結させ、各色のセルをモザイク状に配列するように、赤、緑、青の有機ＥＬ層４１Ｒ，４１Ｇ，４１Ｂ及び隔壁４２を形成した構成である。なお、ＥＬパネル４０の端では、その形状に合せて、１セル内の画素数を増減させる。
【０１０３】
液滴噴射ヘッド２１Ｅは、赤、緑、青それぞれの有機ＥＬ材料の発光材料の溶液を隣同士が異色となるように噴射するよう配置された各色３個ずつ、全１２個のノズル２１Ｅｒ，２１Ｅｇ，２１Ｅｂを設ける。
【０１０４】
ＥＬパネル４０と、液滴噴射ヘッド２１Ｅの構成によれば、ＥＬパネル４０の有機ＥＬ層形成方法において、液滴噴射ヘッド２１Ｅを対角の走査方向に移動させつつ、赤、緑、青それぞれの有機ＥＬ材料の発光材料の溶液の液滴を、ノズル２１Ｅｒ，２１Ｅｇ，２１Ｅｂから、乾燥以前に連続して噴射する。有機ＥＬ材料の発光層以外の正孔輸送材料、電子輸送材料の溶液の液滴噴射を行う際は、全色同じ材料を用いてもよい。このように複数の画素をまとめてその周囲を隔壁３２で囲んでいるので画素１個に対して仮にミスファイアがあったとしても、溶液の高さが均等になるように隔壁４２でのくびれ部から溶液が移動するので、一画素でのミスファイアでの膜厚のバラツキを低減することができる。
【０１０５】
よって、各色を対角方向に配列したモザイク状のＥＬパネル４０における有機ＥＬ層形成において、液滴噴射ヘッド２１Ｅのノズルを対角方向に走査して有機ＥＬ材料の溶液を連続して液滴噴射するので、溶液の液滴噴射の時間間隔によって、先に噴射した溶液が乾燥することによる乾きむらを抑制し、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができる。
【０１０６】
なお、１セルあたりの画素数は１０個としたが、これに限定されるものではなく、これ以外の複数の画素数で形成される構成でもよい。
【０１０７】
（第４の実施の形態）
本実施の形態を図８を参照して説明する。図８は、本実施の形態のＥＬパネル５０の構造と液滴噴射ヘッド２１Ｆの位置を示す上面図である。本実施の形態は、第１の実施の形態のＥＬパネル１０をＥＬパネル５０に代え、液滴噴射装置２０の液滴噴射ヘッド２１Ａを液滴噴射ヘッド２１Ｆに代えた構成であり、同様な部分の説明は省略する。
【０１０８】
ＥＬパネル５０は、赤、緑、青のセル５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂについて、１つのセルに１２個の画素を対角方向に連結させ、更に液滴噴射ヘッド２１Ｆの走査方向に対して垂直方向に１２個の画素毎に区切り、各色のセルをモザイク配列するように、赤、緑、青の有機ＥＬ層５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂ及び隔壁５２を形成した構成である。なお、ＥＬパネル５０の端では、その形状に合せて、１セル内の画素数を増減させる。
【０１０９】
液滴噴射ヘッド２１Ｆは、赤、緑、青それぞれの有機ＥＬ材料の発光材料の溶液を噴射する液滴噴射ヘッド２１ＦＲ，２１ＦＧ，２１ＦＢを有し、液滴噴射ヘッド２１ＦＲ，２１ＦＧ，２１ＦＢそれぞれに、溶液を噴射する各１２個の同色のノズル２１Ｆｒ，２１Ｆｇ，２１Ｆｂを設ける。
【０１１０】
ＥＬパネル５０と、液滴噴射ヘッド２１Ｆの構成によれば、ＥＬパネル５０の有機ＥＬ層形成方法において、液滴噴射ヘッド２１Ｆを走査方向に移動させつつ、プログラム制御等により、液滴噴射ヘッド２１Ｆの現在の位置に対応する色の溶液のノズルをノズル２１Ｆｒ，２１Ｆｇ，２１Ｆｂから選択し、赤、緑、青それぞれの有機ＥＬ材料の発光材料の溶液の液滴を、前記選択したノズルから、乾燥以前に連続して噴射する。発光層以外の有機ＥＬ材料の正孔輸送材料、電子輸送材料の溶液の液滴噴射を行う際は、全色同じ材料を用いてもよい。
【０１１１】
よって、各色を対角方向に配列したモザイク状のＥＬパネル５０において、液滴噴射ヘッド２１Ｆのノズルから有機ＥＬ材料の溶液を連続して噴射し、溶液の液滴噴射の時間間隔によって、先に噴射した溶液が乾燥することによる乾きむらを抑制し、安定した膜厚の発光層を形成するので、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができる。
【０１１２】
なお、１セルあたりの画素数は１２個としたが、これに限定されるものではなく、これ以外の複数の画素数で形成される構成でもよい。
【０１１３】
（第５の実施の形態）
本実施の形態を図９を参照して説明する。図９は、本実施の形態の液滴噴射装置６０を示す概略図である。本実施の形態は、第１の実施の形態の液滴噴射装置２０を液滴噴射装置６０に代えた構成であり、同様な部分の説明は省略する。
【０１１４】
液滴噴射装置６０は、有機ＥＬ材料の溶液を各セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｇに液滴噴射しＥＬパネル１０の平面のＸＹ方向移動自在に可動する液滴噴射ヘッド６１と、有機ＥＬ材料の溶液を貯める溶液タンク６２と、溶液タンク６２の溶液を液滴噴射ヘッド６１へ供給する短い溶液供給ライン６３と、溶液タンク６２と溶液供給ライン６３との間の接続口である溶液供給口６４と、溶液供給ライン６３上に設けたメンブランフィルタ等のフィルタ６５と、溶液タンク６２に負圧を供給する圧力源６６と、液滴噴射ヘッド６１に設けられ液滴噴射ヘッド６１内の溶液の圧力を検出する圧力センサ（圧力検出手段）６７と、圧力センサ６７で検出した圧力に基づき圧力源７６を制御するコントローラ（制御手段）６８とを有する。
【０１１５】
液滴噴射ヘッド６１は、第１の実施の形態の液滴噴射ヘッド２１Ａに圧力センサ６７を設ける構成である。
【０１１６】
溶液タンク６２中の溶液の残量の重量により、溶液供給口６４及び短い溶液供給ライン６３を介し、また溶液中の微粒子等の不溶物除去用のフィルタ６５を介して、液滴噴射ヘッド６１中の溶液に圧力がかかる。コントローラ６８は、プログラム制御により、液滴噴射ヘッド６１中の溶液の圧力を圧力センサ６７により検出させ、圧力センサ６７で検出した溶液の圧力の値を用いて、残溶液の重量による圧力を打消すような最適な負圧を圧力源６６から供給させてフィードバック制御する。
【０１１７】
手順としては、先ず、溶液タンク６２中の溶液の残量の重量により、溶液タンク６２中の溶液は、溶液供給口６４、溶液供給ライン６３を介し、フィルタ６５を通過することができる。そして、液滴噴射ヘッド６１中に溶液が充填し、コントローラ６８は、圧力源６２から液滴噴射ヘッド６１中の溶液にかかる重量による圧力を打消す最適な負圧を供給させる。
【０１１８】
第１の実施の形態で述べたように、液滴噴射装置２０は、コントローラ２８において、液面センサ２７から検出された液面の位置を用いて、圧力源２６から供給する負圧を算出していたため、密度、粘度のうち少なくとも１つが異なる溶液を用いた場合、残溶液の重量による圧力の算出式も異なり、コントローラ２８で実行するプログラムを変更しなければならない。
【０１１９】
本実施の形態では、コントローラ６８において、圧力センサ６７から検出された溶液の圧力を液滴噴射ヘッド６１中の溶液の圧力とするため、密度、粘度のうち少なくとも１つが異なる溶液を用いた場合でも、コントローラ６８で実行する制御プログラムの変更は不要である。
【０１２０】
よって、液滴噴射ヘッド６１のノズルからの有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射において、液滴噴射ヘッド６１中の溶液の圧力情報を圧力センサ２７で検出して、検出した圧力に対応する揚力を打消す負圧を溶液に加えるフィードバック制御を行うので、密度、粘度のうち少なくとも１つが異なる溶液に対しても別々に圧力の算出をすることなく、フィルタ６５を介して不溶物を取除いてダークスポット及びリーク電流の発生を防ぎ、安定した量の液滴を噴射させ、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができる。
【０１２１】
なお、本実施の形態を第２、第３又は第４の実施の形態に適用する場合は、液滴噴射ヘッド６１は、それぞれ液滴噴射ヘッド２１Ｄ，２１Ｅ，２１Ｆに圧力センサ６７を設ける構成となる。
【０１２２】
（第６の実施の形態）
本実施の形態を図１０を参照して説明する。図１０は、本実施の形態の液滴噴射装置７０を示す概略図である。本実施の形態は、第１の実施の形態の液滴噴射装置２０を液滴噴射装置７０に代えた構成であり、同様な部分の説明は省略する。
【０１２３】
液滴噴射装置７０は、有機ＥＬ材料の溶液を各セル１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｇに液滴噴射しＥＬパネル１０の平面のＸＹ方向移動自在に可動する液滴噴射ヘッド７１と、有機ＥＬ材料の溶液を貯める溶液タンク７２と、溶液タンク７２の溶液を液滴噴射ヘッド７１へ供給する短い溶液供給ライン７３と、溶液タンク７２と溶液供給ライン７３との間の接続口である溶液供給口７４と、溶液供給ライン７３上に設けたメンブランフィルタ等のフィルタ７５と、溶液タンク７２に負圧を供給する圧力源７６と、液滴噴射ヘッド６１のノズルのノズル口から噴射する溶液のメニスカス（液面の形状）を検出するＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ（液面形状検出手段）７７と、ＣＣＤカメラ７７で検出したメニスカス情報に基づき圧力源７６を制御するコントローラ（制御手段）７８とを有する。液滴噴射ヘッド７１は、第１の実施の形態の液滴噴射ヘッド２１Ａと同様の構成である。
【０１２４】
溶液タンク７２中の溶液の残量の重量により、溶液供給口７４、短い溶液供給ライン７３を介し、また溶液中の微粒子等の不溶物除去用のフィルタ７５を介して、液滴噴射ヘッド７１中の溶液に圧力がかかる。コントローラ７８は、プログラム制御により、液滴噴射ヘッド７１内のノズルのノズル口での溶液のメニスカスをＣＣＤカメラ７７により検出させ、ＣＣＤカメラ７７で検出したメニスカスを用いて、残溶液の重量による圧力を打消し溶液のメニスカス状態を最適に保つような負圧を圧力源７６から供給させてフィードバック制御する。
【０１２５】
手順としては、先ず、溶液タンク７２中の溶液の残量の重量により、溶液タンク７２中の溶液は、溶液供給口７４、溶液供給ライン７３を介し、フィルタ７５を通過することができる。そして、液滴噴射ヘッド７１中に溶液が充填し、コントローラ７８は、圧力源７２から液滴噴射ヘッド７１中の溶液にかかる圧力を打消す最適な負圧を供給させる。
【０１２６】
第５の実施の形態で述べたように、液滴噴射装置６０は、液滴噴射ヘッド６１に圧力センサ６７を設けるため、液滴噴射ヘッド６１の製造段階で予め圧力センサ６７を組込む必要があるが、本実施の形態の液滴噴射装置７０は、液滴噴射ヘッド７１にＣＣＤカメラ７７を設ける必要がないため、あらゆる液滴噴射ヘッドに後付けが可能で、液滴噴射ヘッドを選ばずにフィードバック制御を行うことができる。例えば、本実施の形態を第２、第３又は第４の実施の形態に適用する場合、それぞれ液滴噴射ヘッド２１Ｄ，２１Ｅ，２１Ｆにも後付け可能である。
【０１２７】
よって、液滴噴射ヘッド７１のノズルからの有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射において、液滴噴射ヘッド７１のノズルのノズル口での溶液のメニスカスをＣＣＤカメラ６７で検出して、最適なメニスカスを保つ負圧を溶液に加えるフィードバック制御を行うので、液滴噴射ヘッドを選ぶことなく、フィルタ７５を介して不溶物を取除いてダークスポット及びリーク電流の発生を防ぎ、安定した量の液滴を噴射させて、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができる。
【０１２８】
なお、本実施の形態では、溶液のメニスカスを検出する手段として、ＣＣＤカメラ７７を用いたが、その他の画像センサ、レーザ変位形等の計測装置を用いる構成でもよい。
【０１２９】
なお、上記各実施の形態では、安定した膜圧の有機ＥＬ層を形成されたＥＬパネルを製造しているが、当該製造されたＥＬパネルに、アクティブマトリックス方式で各画素の発光を制御するドライバ、コントローラ等を設けて画像を表示するＥＬディスプレイは、画素毎に安定した発光を行う画像を表示することができる。また、上記各実施の形態では、各画素の形状は略四辺形であったが、これに限らず、三角形やその他の多角形や円形等であってもよい。このとき、このとき上記実施の形態の対角方向は、各画素の略４５゜斜め方向に相当する。
【０１３０】
以上、本発明の実施の形態につき説明したが、本発明は、必ずしも上述した手段及び手法にのみ限定されるものではなく、本発明にいう目的を達成し、本発明にいう効果を有する範囲内において適宜に変更実施が可能なものである。
【０１３１】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、複数の画素を定義するセルに液滴噴射装置の液滴噴射ヘッドのノズルから前記溶液を液滴噴射することができるので、仮にある画素で有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射でのミスファイアが発生しても、ミスファイアした画素の溶液量と同一セル内の他の画素の溶液量とが均一になるように同一セル内で溶液が移動するので、ミスファイアによる有機ＥＬ層の膜厚への変化の影響を減少させ、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成し、輝点不良等の画像不良を無くすことができる。
【０１３４】
請求項２記載の発明によれば、各色を対角方向に配列したモザイク状のＥＬパネルの有機ＥＬ層形成において、液滴噴射ヘッドのノズルをセルの長手方向、つまり対角方向に走査して有機ＥＬ材料の溶液を連続して液滴噴射するので、溶液の液滴噴射の時間間隔によって、先に噴射した溶液が乾燥することによる乾きむらを抑制し、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができる。
【０１３５】
請求項３記載の発明によれば、各色を対角方向に配列したモザイク状のＥＬパネルの有機ＥＬ層形成において、液滴噴射ヘッドのノズルから発光材料の溶液を連続して液滴噴射するので、溶液の液滴噴射の時間間隔によって、先に噴射した溶液が乾燥することによる乾きむらを抑制するので、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができる。
【０１３６】
請求項４記載の発明によれば、液滴噴射ヘッドのノズルからの有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射において、溶液タンク内の残溶液の液面の位置又は重量を検出して、溶液の残量の減少に伴い発生する、当該液面の位置又は重量に対応する揚力を打消す負圧を溶液に加えるフィードバック制御を行うので、安定した量の溶液の液滴を噴射させて、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができ、更に、適切な負圧を加えることにより、長い溶液供給ラインを必要としないので、有機ＥＬ材料の溶液の利用率を上げることができる。
【０１３７】
請求項５記載の発明によれば、液滴噴射ヘッドのノズルからの有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射において、液滴噴射ヘッド中の溶液の圧力を検出して、溶液の残量の減少に伴い発生する揚力を打消す負圧を溶液に加えるフィードバック制御を行うので、密度、粘度のうち少なくとも１つが異なる溶液別に圧力の算出を行うことなく、安定した量の溶液の液滴を噴射させて、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができ、更に、適切な負圧を加えることにより、長い溶液供給ラインを必要としないので、有機ＥＬ材料の溶液の利用率を上げることができる。
【０１３８】
請求項６記載の発明によれば、液滴噴射ヘッドのノズルからの有機ＥＬ材料の溶液の液滴噴射において、液滴噴射ヘッドのノズルのノズル口での溶液の液面の形状を検出して、最適な液面の形状を保つ負圧を溶液に加えるフィードバック制御を行うので、液滴噴射ヘッドを選ぶことなく、安定した量の溶液の液滴を噴射させて、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができ、更に、適切な負圧を加えることにより、長い溶液供給ラインを必要としないので、有機ＥＬ材料の溶液の利用率を上げることができる。
【０１３９】
請求項７記載の発明によれば、フィルタを介して溶液の不溶物を取除いてダークスポット及びリーク電流の発生を防ぎ、安定した量の溶液の液滴を噴射させて、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成することができる。
【０１４０】
請求項８記載の発明によれば、安定した膜厚の有機ＥＬ層を形成されたＥＬパネルを用いるので、画素毎に安定した発光を行う画像を表示することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態のＥＬパネル１０の構造と液滴噴射ヘッド２１Ａの位置を示す上面図である。
【図２】ＥＬパネル１０のセル構造を示す概略断面図である。
【図３】ＥＬパネル１０の電極構造を示す概略断面図である。
【図４】液滴噴射装置２０の概略図である。
【図５】ＸＹ位置決め制御装置Ｃの上面図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態のＥＬパネル３０の構造と液滴噴射ヘッド２１Ｄの位置を示す上面図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態のＥＬパネル４０の構造と液滴噴射ヘッド２１Ｅの位置を示す上面図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態のＥＬパネル５０の構造と液滴噴射ヘッド２１Ｆの位置を示す上面図である。
【図９】本発明の第５の実施の形態の液滴噴射装置６０を示す概略図である。
【図１０】本発明の第６の実施の形態の液滴噴射装置７０を示す概略図である。
【図１１】従来のＥＬパネル８０の構造と液滴噴射ヘッド９１の位置を示す上面図である。
【図１２】従来のＥＬパネル８０の構造を示す概略断面図である。
【図１３】従来の液滴噴射装置９０の概略図である。
【符号の説明】
１０，３０，４０，５０，８０…ＥＬパネル
１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂ，３１Ｒ，３１Ｇ，３１Ｂ，４１Ｒ，４１Ｇ，４１Ｂ，５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂ，８１Ｒ，８１Ｇ，８１Ｂ…有機ＥＬ層
１２，３２，４２，５２，８２…隔壁
１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂ，３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂ，４３Ｒ，４３Ｇ，４３Ｂ，５３Ｒ，５３Ｇ，５３Ｂ，８３Ｒ，８３Ｇ，８３Ｂ…セル
１４，８４…透明基板
１５，８５…アノード電極
１６…カソード電極
１７…封止材
１８…封止ガラス
２０，６０，７０，９０…液滴噴射装置
２１Ａ，２１Ｄ，２１ＤＲ，２１ＤＧ，２１ＤＢ，２１Ｅ，２１Ｆ，２１ＦＲ，２１ＦＧ，２１ＦＢ，６１，７１，９１…液滴噴射ヘッド
２１Ａｒ，２１Ａｇ，２１Ａｂ，２１Ｄｒ，２１Ｄｇ，２１Ｄｂ，２１Ｅｒ，２１Ｅｇ，２１Ｅｂ，２１Ｆｒ，２１Ｆｇ，２１Ｆｂ，９１ｒ，９１ｇ，９１ｂ…ノズル
２２，６２，７２，９２…溶液タンク
２３，６３，７３，９３…溶液供給ライン
２４，６４，７４，９４…溶液供給口
２５，６５，７５…フィルタ
２６，６６，７６…圧力源
２７…液面センサ
２８，６８，７８…コントローラ
６７…圧力センサ
７７…ＣＣＤカメラ
Ｃ…ＸＹ位置決め装置
Ｃ１，Ｃ２…支持梁
Ｃ３…ビーム
Ｃ４…ヘッド
Ｃ５，Ｃ６…Ｙ軸リニアモータ
Ｃ７…Ｘ軸リニアモータ
Ｃ８，Ｃ９…Ｙ軸リニアエンコーダ
Ｃ１０…Ｘ軸リニアエンコーダ
【図１】
0004217820.tif 000004
【図２】
0004217820.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0004217820.tif 000009
【図７】
0004217820.tif 000010
【図８】
0004217820.tif 000011
【図９】
0004217820.tif 000012
【図１０】
0004217820.tif 000013
【図１１】
0004217820.tif 000014
【図１２】
0004217820.tif 000015
【図１３】
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