(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板形状を有する蓋と前記蓋により閉鎖される開口を一側面に有すると共に内部に被収容物を収容可能な本体とからなる密閉容器であって、
前記蓋は、外部からの操作によって前記平板形状から突出するラッチ爪を含むラッチ機構と、センサ光の投光及び受光により物体の有無を検知する所定のセンサの前記センサ光を反射可能であって前記ラッチ爪の先端部分に配置される検出マークと、を有し、
前記本体は前記蓋の前記平板形状から突出するラッチ爪を収容可能であって前記ラッチ爪が付勢された状態で係合することで前記蓋と前記本体との固定を為す爪受容孔と、前記ラッチ爪が前記爪受容孔に付勢されて係合した状態にある時に前記検出マークに対する前記センサ光の投光及び前記所定のセンサによる前記検出マークからの前記検出光からの受光を可能とする位置に配置された検知窓とを有することを特徴とする密閉容器。
【請求項２】
前記検知窓は透明な遮蔽部材により開口部分が閉鎖されることを特徴とする請求項１に記載の密閉容器。
【請求項３】
前記検知窓は、前記ラッチ爪の延在方向に対して垂直な方向に沿って前記本体に対して設けられることを特徴とする請求項１乃至２何れかに記載の密閉容器。
【請求項４】
請求項１乃至３何れかに記載の密閉容器に対して前記蓋を開閉して前記密閉容器内部への前記被収容物の挿脱を可能とする蓋開閉システムであって、
開口部を有する微小空間と、
前記開口部を閉鎖する位置と開放する位置との間で移動可能であって、前記蓋を保持する蓋保持手段及び前記蓋の前記ラッチ機構を操作可能なラッチキーを有するドアと、
前記開口部に対して前記開口が正対するように前記密閉容器を載置可能であると共に、前記密閉容器と共に前記開口部に対して接近及び離間可能であって、接近時において前記蓋を取り外して前記被収容物を挿脱する位置に前記密閉容器を配置し、離間時において前記密閉容器のロード及びアンロードを行う位置に前記密閉容器を配置するドッキングプレートと、
前記ドッキングプレートの前記接近及び離間の動作を為すドッキングプレート駆動手段と、
前記検知窓を介して前記爪受容孔内へ前記センサ光を投光し且つ前記爪受容孔内からの前記センサ光を受光することにより、前記検出マークが前記爪受容孔内にあることを検知可能な前記所定のセンサと、を有することを特徴とする蓋開閉システム。
【請求項５】
請求項１乃至３何れかに記載の密閉容器と、前記密閉容器に対して前記蓋を開閉して前記密閉容器内部への前記被収容物の挿脱を可能とする請求項４記載の蓋開閉システムと、を有し、前記被収容物はウエハであることを特徴とするウエハ搬送システム。
【請求項６】
平板形状を有する蓋と前記蓋により閉鎖される開口を一側面に有すると共に内部に被収容物を収容可能な本体とからなる密閉容器に対して前記蓋を開閉して前記密閉容器内部への前記被収容物の挿脱を可能とする蓋開閉システムにおいて、前記蓋により前記開口を閉鎖する蓋閉鎖方法であって、
前記蓋は、外部からの操作によって前記平板形状から突出するラッチ爪を含むラッチ機構と、センサ光の投光及び受光により物体の有無を検知する所定のセンサの前記センサ光を反射可能であって前記ラッチ爪の先端部分に配置される検出マークと、を有し、
前記本体は、前記蓋の前記平板形状から突出した前記ラッチ爪を収容可能であって前記ラッチ爪が付勢状態で係合することで前記蓋と前記本体との固定を為す爪受容孔と、前記ラッチ爪が前記爪受容孔に付勢されて係合した状態にある時に前記検出マークに対する前記センサ光の投光及び前記所定のセンサによる前記検出マークからの前記検知光の受光を可能とする位置に配置された検知窓と、を有し、
前記蓋開閉システムは、
開口部を有する微小空間と、
前記開口部を閉鎖する位置と開放する位置との間で移動可能であって、前記蓋を保持する蓋保持手段及び前記ラッチ機構を操作可能なラッチキーを有するドアと、
前記開口部に対して前記開口が正対するように前記密閉容器を載置可能であると共に、前記密閉容器と共に前記開口部に対して接近及び離間可能であって、接近時において前記蓋を取り外して前記被収容物を挿脱する位置に前記密閉容器を配置し、離間時において前記密閉容器のロード及びアンロードを行う位置に前記密閉容器を配置するドッキングプレートと、
前記ドッキングプレートの前記接近及び離間の動作を為すドッキングプレート駆動手段と、
前記検知窓を介して前記爪受容孔内へ前記センサ光を投光し且つ前記爪受容孔内からの前記センサ光を受光することにより、前記検出マークが前記爪受容孔内にあることを検知可能な前記所定のセンサと、を有し、
前記ドアにより前記開口を閉鎖する位置に前記蓋を取り付け、
前記ラッチキーにより前記ラッチ機構を操作して前記ラッチ爪を前記爪受容孔に挿入して前記蓋と前記密閉容器との固定を図り、
前記所定のセンサにより前記検出マークが所定位置に存在することを確認し、
前記ドアによる前記蓋の保持を維持したまま前記ドッキングプレートを前記接近時の位置から移動するように前記ドッキングプレート駆動手段を動作させ、
前記ドッキングプレート駆動手段の動作に伴う前記ドッキングプレートの変位及び前記検出マークの前記爪受容孔内の所定位置からの移動を検知し、
前記変位の検知結果及び前記検出マークの移動の有無についての検知結果に基づいて前記蓋と前記密閉容器との固定状態の適否を判定する工程を有することを特徴とする密閉容器の蓋閉鎖方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造プロセス等において、ポッドと呼ばれる搬送容器に内部保持されたウエハを半導体処理装置間にて移送する際に用いられる、所謂FIMS（Front-Opening Interface Mechanical Standard）システムに関する。より詳細には、ウエハを収容する密閉容器たる所謂FOUP（Front-Opening Unified Pod）と呼ばれるポッド、及び当該ポッドの蓋を開閉して該ポッドに対するウエハの移載を行うFIMSシステムにおいて、蓋が取り外された状態にあるポッドに対して該蓋を固定してポッド開口を閉鎖する蓋開閉システム、当該ポッドと蓋開閉システムとからなるウエハ搬送システム、更には当該ポッドを蓋により閉鎖する際の蓋閉鎖方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
以前、半導体製造プロセスは、半導体ウエハを取り扱う部屋内部を高清浄化した所謂クリーンルーム内において行われていた。しかしウエハサイズの大型化への対処とクリーンルームの管理に要するコスト削減の観点から、近年では処理装置内部、ポッド（ウエハの収容容器）、及び当該ポッドから処理装置への基板受け渡しを行う微小空間のみを高清浄状態に保つ手法が採用されるに至っている。
【０００３】
ポッドは、その内部に複数のウエハを平行且つ隔置した状態で保持可能な棚と、外面を構成する面の一つにウエハ出し入れに用いられる開口とを有する略立方体形状を有する本体と、その開口を閉鎖する蓋とから構成される。この開口が形成されている面がポッドの底面ではなく一側面（微小空間に対して正対する面）に位置するポッドは、FOUP（front-opening unified pod）と総称され、本発明はこのFOUPを用いる構成を主たる対象としている。
【０００４】
上述した微小空間は、ポッドの開口と向かい合う開口部と、開口部を閉鎖するドアと、半導体処理装置側に設けられた処理装置側の他の開口部と、開口部からポッド内部に侵入してウエハを保持すると共に該処理装置側の他の開口部を通過して処理装置側にウエハを搬送する移載ロボットとを有している。微小空間を形成する構成は、同時にドア正面にポッド開口が正対するようポッドを支持する載置台を有している。
【０００５】
載置台上面には、ポッド下面に設けられた位置決め用の穴に嵌合されてポッドの載置位置を規定する位置決めピンと、ポッド下面に設けられた被クランプ部と係合してポッドを載置台に対して固定するクランプユニットとが配置されている。通常、載置台はドア方向に対して所定距離の前後移動が可能となっている。ポッド内のウエハを処理装置に移載する際には、ポッドが載置された状態でポッドの蓋がドアと接触するまでポッドを移動させ、接触後にドアによってポッド開口部からその蓋が取り除かれる（特許文献１参照）。これら操作によって、ポッド内部と処理装置内部とが微小空間を介して連通することとなり、以降ウエハの移載操作が繰り返して行われる。この載置台、ドア、開口部、ドアの開閉機構、開口部が構成された微小空間の一部を構成する壁等を含めて、FIMS（front-opening interface mechanical standard）システムと総称される。
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−２８８９９１号公報
【特許文献２】特開２００１−０７７１７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
当該ポッドの蓋には、特許文献２に詳細に開示されるように蓋外周から外方方向に伸縮可能な爪が配され、当該爪の伸縮によってポッド本体−蓋の係合及び解除の各々の状態を得ることとしている。例えば、ポッド開口を当該蓋によって閉鎖する場合、開口と蓋との間の異物の存在、或いは載置台上のポッドの位置精度、ドアの動作精度等の誤差の積算による位置ずれによって、蓋に配された爪がポッド側の受容孔に正確に挿入されない場合がある。この場合、ポッド開口が蓋によって完全に閉鎖されたと認識されてしまうと、ポッドの移動等の操作が続けて実行されてしまい、搬送中等において蓋がポッドから外れてしまう可能性がある。現在は、当該状況への対処として、特許文献２に開示されるように、爪を駆動させるモータの動作を検出するセンサを配して、当該爪の動作位置を類推して蓋による開口閉鎖の可否を知る方法が検討されている。
【０００８】
従来のポッドサイズにおいては、蓋、ポッド側の受容孔及び爪の突き出し部分各々のサイズの関係から、蓋による閉鎖不良自体がそれほど生ずる可能性があるものではなかった。また、爪の動作を検知することも比較的容易であり、爪を動作させる機構からの異常検知によって閉鎖状態の適否を知ることも可能であった。しかしながら、昨今のウエハサイズの大径化によりポッドが大型化したことによって、ポッドサイズに対する爪の係合部分のサイズが相対的に小型化せざるを得なくなったことから、閉鎖不良が生じる可能性の増加、或いは閉鎖不良が生じても爪の動作上は異常が検知され得ない事態が生じる可能性の発現が考えられる。
【０００９】
本発明は以上の状況に鑑みて為されたものであり、ポッドに対して蓋を取付けて開口を閉鎖する動作において、蓋がポッドに対してラッチ爪が確実に係合した状態に在ることを検知し、当該検知の後にポッドのFIMSからの離脱を可能とする密閉容器及び当該密閉容器に対応する蓋開閉システム、並びに当該密閉容器と蓋開閉システムとからなるウエハ搬送システム、及び当該密閉容器を蓋により閉鎖する際の閉鎖方法の提供を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明に係る密閉容器は、略平板形状を有する蓋と該蓋により閉鎖される開口を一側面に有すると共に内部に被収容物を収容可能な本体とからなる密閉容器であって、当該蓋は、外部からの操作によって略平板形状から突出するラッチ爪を含むラッチ機構と、所定のセンサによって有無を検知可能な検出マークと、を有し、本体は略平板形状の蓋から突出するラッチ爪を収容可能な爪受容孔と、ラッチ爪が爪受容孔に挿入されて蓋が本体に固定された状態において所定のセンサにより検出マークが所定位置に存在することを確認可能とする検知窓とを有することを特徴としている。
【００１１】
なお、上述した密閉容器において、該検出マークはラッチ爪に配置されることが好ましい。また、所定のセンサは光を用いるセンサであり、検知窓は透明な遮蔽部材により開口部分が閉鎖されることが好ましい。
【００１２】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る密閉容器の蓋開閉システムは、前述した密閉容器に対して該蓋を開閉して密閉容器内部への被収容物の挿脱を可能とする蓋開閉システムであって、開口部を有する微小空間と、該開口部を略閉鎖する位置と開放する位置との間で移動可能であって、該蓋を保持する蓋保持手段及び該蓋のラッチ機構を操作可能なラッチキーを有するドアと、開口部に対して開口が正対するように密閉容器を載置可能であると共に、密閉容器と共に開口部に対して接近及び離間可能であって、接近時において蓋を取り外して被収容物を挿脱する位置に密閉容器を配置し、離間時において密閉容器のロード及びアンロードを行う位置に密閉容器を配置するドッキングプレートと、該ドッキングプレートの接近及び離間の動作を為すドッキングプレート駆動手段と、検出マークを検知可能な前述した所定のセンサと、を有することを特徴としている。
【００１３】
また、上記課題を解決するために、本発明に係るウエハ搬送システムは、前述した密閉容器と、該密閉容器に対して前記蓋を開閉して前記密閉容器内部への前記被収容物の挿脱を可能とする前述した蓋開閉システムと、を有し、対象となる被収容物はウエハであることを特徴としている。
【００１４】
更に、上記課題を解決するために、本発明に係る密閉容器の蓋閉鎖方法は、略平板形状を有する蓋と該蓋により閉鎖される開口を一側面に有すると共に内部に被収容物を収容可能な本体とからなる密閉容器に対して該蓋を開閉して密閉容器内部への被収容物の挿脱を可能とする蓋開閉システムにおいて、該蓋により該開口を閉鎖する蓋閉鎖方法であって、該蓋は、外部からの操作によって略平板形状から突出するラッチ爪を含むラッチ機構と、所定のセンサによって有無を検知可能な検出マークと、を有し、本体は、該蓋の略平板形状から突出したラッチ爪を収容可能な爪受容孔と、該ラッチ爪が爪受容孔に挿入されて蓋が本体に固定された状態において所定のセンサにより検出マークが所定位置に存在することを確認可能とする検知窓と、を有し、蓋開閉システムは、開口部を有する微小空間と、該開口部を略閉鎖する位置と開放する位置との間で移動可能であって、蓋を保持する蓋保持手段及びラッチ機構を操作可能なラッチキーを有するドアと、開口部に対して開口が正対するように密閉容器を載置可能であると共に、密閉容器と共に開口部に対して接近及び離間可能であって、接近時において該蓋を取り外して被収容物を挿脱する位置に密閉容器を配置し、離間時において密閉容器のロード及びアンロードを行う位置に密閉容器を配置するドッキングプレートと、該ドッキングプレートの接近及び離間の動作を為すドッキングプレート駆動手段と、検出マークを検知可能な所定のセンサと、を有し、ドアにより開口を閉鎖する位置に蓋を取り付け、ラッチキーによりラッチ機構を操作してラッチ爪を爪受容孔に挿入して蓋と密閉容器との固定を図り、所定のセンサにより検出マークが所定位置に存在することを確認し、ドアによる蓋の保持を維持したままドッキングプレートを接近時の位置から移動するようにドッキングプレート駆動手段を動作させ、ドッキングプレート駆動手段の動作に伴うドッキングプレートの変位及び検出マークの所定位置からの移動を検知し、変位の検知結果及び検出マークの移動の有無についての検知結果に基づいて蓋と密閉容器との固定状態の適否を判定する工程を有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ポッドサイズ等によらず、蓋の爪がポッド本体と係合しているか否かを確実に知ることが可能となる。従って、搬送時において蓋の脱落等が生じる可能性なくすることができ、ポッドの搬送速度をより早くすること等、ポッド搬送系の操作条件、或いは搬送系自体の選択肢を大きくすることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の実施形態を述べるに先立って、本発明の対称となる密閉容器たるポッドのラッチ機構について、図１、２Ａ、２Ｂ及び図３を参照して簡単に説明する。尚、図１はポッド１の部分的に透視した領域を含む概略斜視図を、図２Ａ及び２Ｂはラッチ機構の正面拡大図であって各々ラッチ状態及びラッチ解除状態での位置を示している。また、図３は蓋が固定された状態のポッドの断面の模式図を示している。ポッド１は、大きくは内部にウエハ等収容物４を縦方向に平行にして複数枚収容可能な略箱状の本体２と蓋３とからなる。本体２は一側面に蓋３によって閉鎖可能な開口２ａを有する。蓋３は平板形状（凹凸、シール部材、後述するラッチキー等が配置されることから略平板状として定義する。）を有し、その外側面（蓋開閉装置と向かい合う面）には被吸着領域５、及びラッチ機構１０の矩形孔３ｃに連通する受容孔１１が配置される。なお、ラッチ機構１０は蓋３の平板形状の内部に収容され、該矩形孔３ｃが所定配置にある際にこれに連通するように受容孔１１は配置される。被吸着領域５は、蓋開閉装置側に配置される後述する吸着パッドによって吸着される領域であり、該吸着パッドが容易且つ確実蓋が吸着保持されるように平滑な領域とされている。
【００１７】
ラッチ機構１０は蓋３に対して一対配置されており、各々の機構はラッチバー１３及び円板１５から構成され、これら構成は蓋３の内部に配置される。ラッチバー１３は、一方向に延在する板状の部材からなり、一方の端部（先端部）においてラッチ爪１３ａとして作用する領域を有し、他方の端部（後端部）には延在面に対して垂直に起立する連結ピン１３ｂを有する。ラッチ爪１３ａは、蓋３の外周面３ａに設けられた突き出し孔３ｂから突き出し可能な幅及び厚さを有しする。即ち、ラッチ爪１３ａは、蓋の略平板形状から突出する構成として把握される。また、ラッチバー１３は、個々の突き出し孔３ｂに対応して配置される。外周面３ａの上面及び下面には各々２つの突き出し孔３ｂが配置され、当該突き出し孔３ｂは、対辺同士では各々平行且つ向かい合って配置される。ラッチバー１３は、各々軸線方向にスライドすることで突き出し可能となるように、対抗する突き出し孔３ｂに対応する一対が延在方向に整列して配置される。
【００１８】
円板１５は、延在方向に整列して配置されるラッチバー１３の間の中心にその中心が位置するよう配置され、蓋３に対して回動可能に支持される。円板１５は、回転中心を中心として対称に配置される溝カム１５ａ、及び中心部を円板と一致させた一方向に長い矩形状キー受容孔１５ｂを有する。該溝カム１５ａは中心から見て９０°の角度範囲の領域に延在し、一方の端部の溝幅の中心と円板中心との距離Ｒ１と、他方の端部の溝幅の中心と円板中心との距離Ｒ２とが異なるように構成される。前述した連結ピン１３ｂは当該溝カム１５ａに挿貫される。以上の構成より、キー受容孔１５ｂに後述するラッチキーが挿貫され円板１５が回転されると、キー溝１５ａに沿って連結ピン１３ｂの円板中心からの距離が変化し、当該変化に従ってラッチバー１３が延在方向に沿ったスライド動作を行う。ラッチバー１３の長さを適当な長さとすることにより、円板１５を図３Ａに示す状態（ラッチバー１３の伸延状態）と図３Ｂに示す状態（ラッチバーの収縮状態）で、ラッチ爪１３ａの蓋３ａ外周面からの突き出し及び収容の状態を各々作ることが可能となる。
【００１９】
なお、ラッチ機構１０を蓋３内部に収容するに際して、図３Ａに示す状態にあるキー受容孔１５ｂと整列するように蓋３の外側面には矩形孔３ｃが設けられている。後述するラッチキーはＴ字形状を有し、拡径部分がキー受容孔１５ｂの奥行きと同等或いはそれ以下の厚さとされている。従って、ラッチキーを矩形孔３ｃに完全に挿入した状態において、蓋外側面はラッチキー及び円板１５の回転に対して何ら障害とならなくなる。以上の構成からなるラッチ機構を動作させることにより、ポッド本体２に設けられた爪受容孔２ｂに対するラッチ爪１３ａへの突き出し及び退避の動作を実施することが可能となり、ポッド本体２に対する蓋３の固定或いは取り外しの動作を行うことが可能となる。
【００２０】
次に、本発明の一実施形態について、以下に図面を参照して説明する。図４は、本発明の一実施形態に係る密閉容器たるポッドについて、図３と同様の様式にてこれを示すものである。なお、従来構成である図３に示すポッドの諸構成と同じ機能を有する構成については同一の参照符号を用いて図中に示すこととし、詳細な説明については省略する。以下図３に示す従来構成と異なる本発明の特徴的部分について述べる。本発明の一実施形態においては、蓋３の外周面３ｂ上の所定位置に当該蓋３の材質とは異なる反射率、色等を有する検出マーク３ｄが設けられている。ポッド本体２には、当該蓋３がポッド本体２の適正位置に固定された状態においてのみ該検出マーク３ｄを検知可能な検知窓２ｃが設けられている。ラッチ機構１０によってポッド本体２に対して蓋３を固定した後、当該検知窓２ｃを介して、反射光等を光学的の手法により或いは接触センサを用いる等物理的な手法により検出マーク３ｄが適正位置に存在することを確認することにより、ポッド本体２に対して蓋３が適切な状態にて固定されていることが確認できる。
【００２１】
なお、このような検出マーク３ｄをラッチ爪１３ａに対して付与することも可能である。図５にこのような場合の構成を図３と同様の様式にて、また、ラッチ爪１３ａ周辺を拡大して図６に示す。なお、従来構成である図３に示すポッドの諸構成と同じ機能を有する構成については同一の参照符号を用いて図中に示すこととし、詳細な説明については省略する。本実施形態において、検知窓２ｃは爪受容孔２ｂと連続するように設けられ、当該検知窓２ｃを介してラッチ爪１３ａの先端部を観察可能となっている。また、ラッチ爪１３ａの先端部分には、光学センサ２１が用いる光を反射可能な検出マーク１３ｃが配置される。
【００２２】
なお、本実施形態においては、検知窓２ｃ、爪受容孔２ｂ、ラッチバー１３が主要される穴等を介して、微小空間側まで気体流路が連通してしまうことから、検知窓２ｃの開口部分に樹脂等からなる透明な閉鎖部材２ｄを配置し、検知窓２ｃを閉鎖すると共にラッチ爪１３ａの観察可能な状態を維持している。当該実施形態によれば、ラッチ爪１３ａが爪受容孔２ａに収容されているか否か、即ち蓋３がポッド本体２に固定されているか否かを正確且つ確実に知ることが可能となる。また、当該実施形態の場合、従来の所謂ロードポート装置に対して微小空間の開口部近辺に光学センサを配置するだけで実施することが可能であり、従来構成に対しても実施が容易であるというメリットも有する。
【００２３】
なお、検出マーク１３ｃは、前述したように反射材で構成されることが好ましい。この場合、反射材は正反射或いは再帰反射の何れを行うものであっても良い。また、図６において検出マーク１３ｃの表面と光学センサ２１の投光及び受光の光軸とは互いに垂直として描かれているが、光学センサ２１の光軸が検出マーク１３ｃの法線に対して傾けられていても良い。この場合、ラッチ爪１３ａが爪受容孔２ｂに対して所定の位置まで挿入された場合に初めて反射光がセンサに至るようにセンサを設置することにより、より正確にラッチ爪１３ａの状態を把握することが可能となる。また、光学センサ２１に所謂測距センサを用いることとして、得られる距離によってラッチ爪１３ａの状態を把握することとしても良い。
【００２４】
また、本実施形態においては、検出マーク１３ｃをラッチ爪１３ａの先端部分（より厳密には端面）に配置しているが、例えば図７に示すように端部の側面にこれを配置することとしても良い。図７は、当該実施形態を図６と同様の様式にて示すものである。本形態においては、検知窓２ｃは爪受容孔２ｂの形成方向（ラッチバー１３の延在方向）に対して垂直な方向に沿ってポッド本体２の開口形成面側の端面から爪受容孔２ｂに連通するように設けられている。より詳細には、ラッチ爪１３ａが蓋３を本体２に固定するように爪受容孔２ｂの所定位置まで入り込んだ状態で、始めて検知窓２ｃからの検出マーク１３ｃの観察が可能となるように、検知窓２ｃの配置が設定されている。即ち、検知窓２ｃを当該配置とすることにより、光学センサ２１によって検出マーク１３ｃの所定位置での存在の有無を検知することで、ラッチ爪１３ａが好適に動作しているか否かを的確に知ることが可能となる。
【００２５】
なお、当該実施形態についても、図６に示す実施形態と同様の理由により閉鎖部材２ｄを配置して検知窓２ｃを光学的には開放されているが物理的には閉鎖された状態となるようにしても良い。このような実施形態を図８に示す。図８は当該実施形態を図６と同様の様式にて示すものである。これら図７或いは８に示す実施形態では、所謂ロードポート装置に対して光学センサをどのように取付けるかという点で考慮を要する。しかし、検出マーク１３ｃが観察可能か否かによってラッチ爪１３ａがラッチ機能を正しく提供しているか否かを判別することが可能であることから、光学センサとして単に反射の有無のみでラッチ状態を判別できるメリットがある。
【００２６】
ここで、上述した実施形態では、検知窓２ｃは爪受容孔２ｂと整列する或いは爪受容孔２ｂの端部と接続されるように配置されているが、本発明の形態において該検知窓２ｃの配置はこれらに限定されない。例えば、これら実施形態に示すように爪受容孔２ｃとポッド本体２の直近する外壁との間に検知窓２ｃを設けるのではなく、例えば爪受容孔２ｃから離れたポッドの側面側から当該孔２ｃに至る検知窓２ｃを設けても良い。即ち、ラッチ爪１３ａが適正位置に存在するか否かを観察可能であれば、いずれの方向に向けて検知窓を形成する構成としても良い。或いはポッドを構成する材質を透明なものとして、全方位からラッチ爪１３ａを観察可能としても良い。
【００２７】
また、検出マーク１３ｃはラッチバー１３の延在方向に対して垂直な平面状の領域として例示されているが、当該構成に限定されない。通常ラッチ爪１３ａはラッチバー１３の延在方向にスライド後、ポッド本体２との係合状態を確実なものとするために、該延在方向に垂直な方向に付勢され、若干の軸のシフトを伴う動作を為すことが好適であるとされている。当該構成の場合、このシフト動作によってセンサが検出マークの有無或いはシフトを検知するように、スポット、線状等種々の形状とすることが可能である。例えば線状の検出マークが光学センサのスポットを横切ったことによりラッチ動作が完了したと判別するように光学センサから得られる信号の処理を行うことにより、より確実なラッチ状態の認識を可能とすることができる。また、単純にラッチ爪１３ａに着色をするだけでも良い。
【００２８】
上述した実施形態においては、検出マークを光学センサによって検知する態様を示している。しかしながら、本発明は当該形態に限定されず、図９に示すように接触式のセンサを用いる様式とすることも可能である。なお、図９は当該実施形態を図６と同様の様式にて示すものである。検知窓２ｃは爪受容孔２ｂと連続するように形成されており、当該検知窓２ｃから爪受容孔２ｂに向かうように接触式センサ２２の検知ピン２２ａが挿貫されている。当該検知ピン２２ａの先端にラッチ爪１３ａの先端に設けられた検出マーク１３ｃと接触して、ラッチ爪１３ａが当該ピン２２ａを押し縮めることにより、ラッチ爪１３ａが適正位置に存在するか否かが判別される。本実施形態では、ポッド本体２が蓋３を開閉する際の所定位置に存在した状態で、検知ピン２２ａを検知窓２ｃ内部に挿貫可能となるように接触式センサ２２を配置し、且つ適当な段階にて検知ピン２２ａを挿貫させる動作を行う必要がある。このため、構成が複雑になる可能性があるが、本実施形態の場合、例えば閉鎖部材が汚れ、或いはその他の迷光等、所謂光学式センサの誤作動要因と比較して、誤作動の可能性は格段に低くなるというメリットがある。
【００２９】
以上述べた本発明に係るポッドに対応した密閉容器の蓋開閉システムについて以下に述べる。図１０は、概略構成を示す該システムの側断面図であり、図１１は、該システム１０１におけるポッド載置部、ドア、ポッド、及び蓋等を同様の様式にて拡大して示した図である。また、図１２Ａはポッドの開口を蓋が閉鎖した状態での、ポッド載置部、ドア等を模式的に示す図であり、図１２Ｂは図１２Ａに示す矢印１２Ｂに沿ってドアの表面等を見た状態の概略構成を示している。
【００３０】
FIMSシステム１０１は、微小空間１０３を構成する筐体１０５及び筐体１０５に隣接して配置されるポッド載置部１２１を有する。筐体１０５は、更にファン１０７、ロボット１０９、第一の開口部１１１、第二の開口部１１３、ドアシステム１１５を有する。ファン１０７は筐体１０５によって微小空間１０３の上部に配置され、筐体１０５の外部空間に存在する気体を微小空間内部に導入する。筐体１０５の下部には気流が流出可能となるような構造が配置されており、微小空間１０３内部で発生する粉塵等は当該気流に運ばれて筐体１０５の下部から外部空間に排出される。ロボット１０９におけるロボットアーム１０９ａは、第一の開口部１１１及び第二の開口部１１３を介して微小空間の外部に突出可能となっている。第一の開口部１１１はドアシステム１１５におけるドア１１５ａにより一見閉鎖状態とされるが、ドア１１５ａの外周と第一の開口部１１１の内周面との間には隙間が形成されることから、当該ドア１１５ａは第一の開口部１１１を略閉鎖可能となっていると述べる。第二の開口部１１３は、ウエハ処理装置１１７の内部と接続されているが、当該ウエハ処理装置１１７の詳細に関しては本発明と直接の関係を有さないために本明細書における説明は省略する。
【００３１】
ポッド載置部１２１は、ドッキングプレート１２３、ポッド固定システム１２５、及びドッキングプレート駆動システム１２７を有する。ドッキングプレート１２３の上面は略平面とされており、該上面にはポッド固定システム１２５の一部が配置される。本発明に係るポッド１は、ドッキングプレート１２３の上面に載置され、ポッド固定システム１２５の当該一部、具体的にはピンがポッド１の下面に配置された不図示の被係合部と係合することによりドッキングプレート１２３上の所定位置に固定される。なお、ドッキングプレート１２３は、ポッド１を上面に載置した際に、ポッド１における本体開口２ａが前述した第一の開口部１１１と正対するよう配置されている。ドッキングプレート駆動システム１２７は、ガイドレール１２７ａ及び駆動シリンダ１２７ｂを用いて、ドッキングプレート１２３と共に該所定位置に固定されたポッド１を該第一の開口部１１１に向かう方向及び離間する方向に駆動する。
【００３２】
駆動用シリンダ１２７ｂは載置台本体１２１ａに一端部が固定されており、他端部となる伸縮するシリンダ端部がドッキングプレート１２３に固定されている。ドッキングプレート１２３はガイドレール１２７ａに対して摺動可能に支持されており、駆動シリンダ１２７ｂのシリンダ端部の伸縮に応じてガイドレール１２７ａ上を摺動する。ここで、ドッキングプレート１２３は、ポッド１を当該ドッキングプレート１２３上に外部から搭載する（ロードする）或いは取り除く（アンロードする）位置が微小空間１０３から最も離れた位置に存在することとなり、ポッドの蓋３を取り外す位置が微小空間１０３に対して最も接近する位置となる。
【００３３】
ドア１１５ａの外部空間側面（ポッド１と対向する面）には、図１２Ａ及び１２Ｂに示すように、前述したラッチキー１１５ｅが設けられている。当該ラッチキー１１５ｅはポッド１の蓋３の表面に設けられた前述したラッチ機構１０のキー受容孔１５ｂに挿貫され、円板１５を回転することによって、上述したラッチ爪１３ａをポッド本体２に設けられた爪受容孔２ｂから退避させ、当該蓋３をポッド本体２に対して着脱することを可能とする。
【００３４】
吸着パッド１１５ｋは該蓋３と当接した状態で不図示の配管を通じて負圧供給源１０８（図１３参照）より負圧を供給することにより該蓋３を吸着し、当該蓋３をドア１１５ａによって保持することを可能とする。ドアシステム１１５は、ドアアーム１１５ｂ、ドア開閉アクチュエータ１１５ｃ及びドア上下機構１１５ｄを有する。ドアアーム１１５ｂは棒状の部材からなり、一端においてドア１１５ａを支持し、他端においてドア開閉アクチュエータ１１５ｃと連結されており、中間部の適当な位置において当該位置を中心に回転可能に軸支されている。ドア開閉アクチュエータ１１５ｃによって該回転中心を軸としてドアアーム１１５ｂは回転し、該ドアアーム１１５ｂの一端及びここに支持されるドア１１５ａは第一の開口部１１１に対して接近或いは離間の動作を行う。ドア上下機構１１５ｄは、ドア開閉アクチュエータ１１５ｃと前述したドアアーム１１５ｂの回転軸とを支持し、上下動用アクチュエータによって上下方向に延在するガイドに沿って当該アクチュエータ及びこれに支持されるドアアーム１１５ｂ及びドア１１５ａを上下方向に駆動する。また、ラッチキー１１５ｅは、ラッチキー駆動機構１１５ｆ（図１３参照）と接続されており、当該駆動機構により所定の角度範囲内での順方向及び逆方向での回転動作を行う。
【００３５】
なお、図１３に当該FIMSシステム１０１の構成をブロック図として示す。上述したファン１０７、ロボット１０９、ドアシステム１１５、ポッド固定システム１２５、及びドッキングプレート駆動システム１２７は、制御装置１０２によって各々制御される。ドアシステム１１５は、ラッチ機構駆動１１５ｆ、ドア開閉用アクチュエータ１１５ｃ、及びドア上下機構１１５ｄを各々独立して制御可能であるが、実際上はこれら各々の構成が一連のタイムチャートに応じて動作するようにこれら構成を制御する。なお、吸着パッド１１５ｋに対する負圧供給源１０８からの負圧の供給及び供給停止（負圧の破壊）の動作は、制御装置１０２によって行われる。ドッキングプレート駆動システム１２７は、駆動シリンダ１２７ｂの駆動のオンオフを行うが、当該駆動シリンダ１２７の動作によってドッキングプレート１２３が確実に所定の二位置、即ちポッド１のロード位置に存在する場合とポッド１がウエハ挿脱可能な位置であるドック位置に存在する場合とを検知する必要がある。
【００３６】
このため、ポッド１がドッキングプレート１２３上の載置されたこと、及びドッキングプレート１２３に対してポッド１をロード・アンロードすべき位置に該ドッキングプレート１２３が存在することを検知するロードセンサ１２７ｄが、ドッキングプレート駆動システム１２７に接続されている。また、ドッキングプレート１２３が上述したドック位置に存在するか否かを検知するドックセンサ１２７ｃも該ドッキングプレート駆動システム１２７に接続されている。また、本発明においては、これら通常のセンサ群に加え、ラッチ爪１３ａの状態を検知する上述した光学センサ等からなる爪検知センサ１２７ｆを有する。
【００３７】
本実施形態においては、当該爪検知センサ１２７ｆによるラッチ爪１３ａの爪受容孔２ｂに対する適正状態での挿貫の有無を検知し、その検知結果に基づいて蓋３のポッド本体２への固定状態の適否を判断している。通常は、検知結果が適切であるとして得られた場合には、通常のポッド１のアンロード動作が実施される。また、検知結果が不適切である、即ち蓋３のポッド本体２に対する固定状態が得られておらず、搬送等において蓋３が外れる可能性があると認められる場合には、一端蓋３をポッド本体より取り外し、再度蓋３の固定操作を行った後にラッチ爪１３ａの状態検知を再度行うこととしている。
【００３８】
ここで、実際にウエハ処理作業を行う際の当該FIMSシステム１０１の動作について説明する。ウエハ処理作業において、所定枚数のウエハを収容し内部が清浄気体によって満たされたポッド１がドッキングプレート１２３上に載置される。ドッキングプレート１２３を載置する際に、ポッド固定システム１２５が動作してドッキングプレート１２３に対するポッド１の載置位置を所定のものとする。続いてドッキングプレート駆動システム１２７が動作し、ポッド１を第一の開口部１１１に向けて駆動する。具体的には、ポッド固定システム１２５によってドッキングプレート１２３と一体化されたポッド１を、ドッキングプレート１２３を介する様式にて駆動シリンダ１２７ｂが移動させる。その際、ドア１１５ａは第一の開口部１１１を略閉鎖する位置で停止している。当該駆動動作は、ポッド１の蓋３がドア１１５ａの当接面と当接し、ドッキングプレート１２３と第一の開口部１１１と所定の位置関係となった段階にて終了する。この時、ラッチキー駆動機構１１５ｆにおけるラッチキー１１５ｅが蓋３表面の露出するキー受容孔１５ｂに挿貫され円板１５を回転することによって蓋３をポッド本体２に対して着脱可能な状態とすると同時に、吸着パッド１１５ｋが蓋３を吸着し、蓋３がドア１１５ａによって保持された状態となる。
【００３９】
当該状態からドア開閉アクチュエータ１１５ｃが動作を開始し、ドアアーム１１５ｂが回動して蓋３を保持するドア１１５ａを第一の開口部１１１から微小空間１０３の内部方向に運ぶ。ドアアーム１１５ｂが所定角度で回動を停止した後、ドア上下機構１１５ｄが動作を開始し、ドア開閉アクチュエータ１１５ｃと共にドア１１５ａを下方に移動させる。当該動作によって第一の開口部１１１は全開状態となり、微小空間１０３は第一の開口部１１１を介してポッド本体２の内部と連通した状態となる。この状態においてロボット１０９が動作を開始し、ロボットアーム１０９ａによってウエハ４をポッド１の内部から第二の開口部１１３を介してウエハ処理装置１１７に搬送する。また、この状態を維持して、当該ロボット１０９は、更にウエハ処理装置１１７内部において所定の処理が施されたウエハをポッド１内部へも搬送する。蓋３をポッド１に取り付け、ポッド１をFIMSシステム１０１より取り外し可能とする場合には、基本的にはこれら動作が逆に行われるが、本発明においては、前述のように蓋３をポッド１に取付けた後に、爪検知センサ１２７ｆによりラッチ爪１３ａが爪受容孔２ｂに適正な状態で挿入されているか否かを確認してから、ポッド１が移動されることとなる。
【００４０】
以上に述べた構成からなるロードポート装置１０１において、本発明を実施した上で、更に蓋に対して直接的に負荷を加える操作を追加して、当該蓋の固定状態を更に確度良く得る方法について以下に詳述する。通常ポッド１をFIMSシステム１０１からアンロードする（ポッドを取り外し可能な状態とする。）場合には、上述したようにロード（ポッドを載置台に装着する。）時とは逆の手順で各々の構成を動作させる。しかしながら、従来構成ではポッド本体２に対して蓋３が確実に固定されているか否かを知ることは困難である。また、本発明を実施した場合であっても、例えば図６に示す実施形態の場合、単純に光学センサによる検出マーク１３ｃ検知のみでは確認ラッチ爪１３ａの有無を誤検出する場合或いは検出結果自体の精度が低い場合も考えられる。
【００４１】
本実施形態においては、各構成の動作を以下の順序とすることによって、蓋３のポッド本体２に対する固定状態の適否をラッチ爪の直接的な検知以外の方法によって判別することとしている。当該方法を組み合わせることにより、ポッド本体２に対する蓋３の固定状態をより確実に把握することが可能となる。なお、当該実施形態では、例えば図６、７或いは８に示す形態のように光学センサを用いて検出マーク１３ｃの存在を検知する形態であって、光軸に対して垂直に検出マーク１３ｃが構成されたポッド及びロードポートを用いることとする。
【００４２】
以下、制御装置１０２によって為される当該動作を、図１４のフローチャートに示す。また、各フローにおけるポッド本体２、蓋３及びこれらを支持するドッキングプレート１２３等の状態を、図４或いは１１と略同様の様式にて図１５Ａ〜１５Ｅに、また図１５Ｄに示されるポッド１等の上面概略図を図１５Ｆに示す。具体的には、ドアシステム１１５を動作させ、ドック位置に停止中のポッド本体２の開口２ａに対して蓋３を取付ける（Ｓ１及び図１５Ａ）。開口２ａに対して蓋３がおおむね所定の配置に至ったと判断された時点（図１５Ｂ）で、ラッチキー１１５ｅを動作させ、蓋３に配置されるラッチ爪１３ａを突き出させてこれをポッド本体２側の爪受容孔２ｂ内部に挿入させる。当該ラッチ爪１３ａが爪受容孔２ｂの内壁等と係合することによって、蓋３はポッド本体２に固定される（Ｓ２及び図１５Ｄ及びＥ）。
【００４３】
通常は、当該ラッチ爪１３ａの突き出し操作が終了すると共に、吸着パッド１１５ｋによる蓋３の保持を解除し、ドッキングプレート１２３の後退が始められる。本実施形態では、当該操作と異なり、突き出し操作が終了した段階においても吸着パッド１１５ｋによる蓋３の保持を維持し、当該状態のままで、ドッキングプレート２３の後退動作を一時的に実施する（Ｓ３）。後退動作によって、本来であれば、ポッド１或いはドッキングプレート１２３のドック位置からの変位により、爪検知センサ１２７ｆ（図６及び７の光学センサ２１）が検出マーク１３ｃの検知可能な位置からの移動を示す、即ち当該センサよりラッチ爪１３ａが所定位置に存在しないとの信号が得られる。なお、ここで、吸着パッド１１５ｋによる蓋３の保持力は、駆動シリンダ１２７ｂによるドッキングプレート１２３等を移動させる駆動力よりも小さくなるように設定されている。
【００４４】
これに対し、蓋３のポッド本体２に対する固定が不完全な場合（図１５Ｃ）、具体的にはラッチ爪１３ａが爪収容孔２ｂに適切に挿入されていない場合には、当該蓋３はポッド本体２との再分離が可能であることから、爪検知センサ１２７ｆによって複数個の内の何れかの検出マーク１３ｃがその位置を変えないことが検知される。フローチャートにおいてはＳ４の操作であって、爪検知センサ１２７ｆにより所定の検知結果が得られているか否かにより、蓋３のポッド本体２に対しての変位の有無が確認される。また、その際、ドックセンサ１２７ｃからの信号であって、ポッド本体２が後退したことを同時に確認することにより、ポッド本体２と蓋３とが異なった動作を為していることを確実に知ることができる。
【００４５】
より具体的には、駆動シリンダ１２７ｂの動作開始から、制御装置１０２が有するタイマ１０２ａにおいて規定された所定時間が経過する間に、爪検知センサ１２７ｆから所定の検知結果が得られた場合であって、且つドックセンサ１２７ｃによるポッド本体２の移動が確認された時、蓋３はポッド本体２に適切に固定されていると判断される。従って、フローはＳ５に進み、当該状態から一旦駆動シリンダ１２７ｂからドッキングプレート１２３に加えられる駆動力を解除し、その後吸着パッド１１５ｋによる蓋３の保持の解除（Ｓ６）等、通常のポッド１のアンロードの際の操作を実施することとなる（図１５Ｅ）。一方、所定時間が経過しても、爪検知センサセンサ１２７ｆから所定の検知結果を得たとの信号が得られない場合には、蓋３のポッド本体２に対する固定が不完全であると判断される。この場合には、駆動シリンダ１２７ｂを逆に動作させてドッキングプレート１２３等を再度ドック位置に帰還させる（Ｓ７）。その後、再度Ｓ１からの操作を行い、蓋３がポッド本体２に対して適切に固定されていることが確認されるまで当該操作が繰り返されることとなる。或いは、蓋３の固定状態が不良であるとして、制御装置１０２がアラーム信号を出力し、作業者への通知が行われる。
【００４６】
以上に述べた実施形態に係るポッドの蓋閉鎖方法を、上述したポッド及びロードポートにおいて実施することによって、ポッドに対して蓋か好適に固定されているか否かを簡便且つ更に確実に知ることが可能となる。また、従来装置において得られる爪検知センサ１２７ｆからの信号を判定するステップ、当該判定結果に応じて再度蓋の固定操作を行うループ、及び駆動シリンダからの荷重を一旦解除するステップを、従来装置における動作フローに付加することだけでも、本実施形態に係る方法の実施が可能となるという効果も得られる。
【００４７】
なお、上述した実施形態においては、ドッキングプレート１２３等の変位を検知する変位検知手段として、ドックセンサ１２７ｃを用いることとしている。しかしながら、ポッドの形状、例えば開口面が突き出す形状の場合には、前述したドックセンサ１２７ｃでは、配置上適切に変位を検地できない場合も考えられる。この場合、前述したドックセンサの信号のみならず、ドッキングプレートがある程度ドック位置から移動したことを検知するために配置される不図示の所謂アンドックセンサから信号を併用して用いることとしても良い。ドックセンサ及びアンドックセンサからの二つの位置信号を用いることによって、用いるポッドに応じて特定区間の変位によりポッド本体２の移動の有無を判定することが可能となる。従って、このような構成であっても、上述の方法の実施によってポッドの形状に依存することなく、蓋とポッドとの固定状態を知ることが可能となる。
【００４８】
なお、上記実施形態においては、蓋保持手段として吸着パッド１１５ｋを用いることとしているが、当該様式のみならず所謂ラッチによる保持等、種々の構成を用いることが可能である。なお、他の構成を用いる場合には、前述した駆動シリンダ１２７ｂから供給される駆動力との間において、蓋の固定状態を判定する際の操作において、駆動力＞保持力の関係を満たすようにドッキングプレート駆動手段及び蓋保持手段の構成を選択することが好ましい。しかし、駆動力＜保持力であったとしても、この場合、ドックセンサの信号から蓋固定状態の適否を判定することは可能である。具体的には、ドッキングプレート駆動力が付加されているにも拘わらず、ドックセンサから当該プレートの移動を示す信号が出されなければ、蓋３は好適にポッド本体２に固定されていると判断できる。これに対し、駆動力の付加により当該プレートが移動した場合には、蓋はポッド本体に固定されていないと判断できる。
即ち、上記実施形態においては、吸着パッド１１５ｋによる蓋３の保持力が駆動シリンダ１２７ｂによるドッキングプレート１２３等を駆動させる駆動力よりも小さく設定される例を示しているが、これを大きく設定しても良い。その場合、ラッチ爪１３ａが爪受容孔２ｂに適切に挿入されておらず蓋３とポッド本体２とが再分離可能である時に、何れかの検出マーク１３ｃがその位置を変えることが検知される。適正な状態にてラッチ爪１３ａが挿入されている場合には、蓋３がドア１１５ａの保持により動けないことから、全ての検出マーク１３ｃもその位置を変えないこととなる。
【００４９】
以上述べた実施形態では、本発明はウエハを対象とするFIMSシステムに関して主として述べている。しかしながら、本発明の適用対象は該システムに限定されず、例えばディスプレイ用のパネル、光ディスク等を収容する密閉容器等に対しても適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】一般的なポッドの概略構造を示す斜視図である。
【図２Ａ】図１に示すポッドにおけるラッチ機構を示す図である。
【図２Ｂ】図１に示すポッドにおけるラッチ機構を示す図である。
【図３】図１に示すポッドの断面の概略構成を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るポッドの概略構成を図３と同様の様式にて示す図である。
【図５】本発明の他の実施形態に係るポッドの概略構成を図３と同様の様式にて示す図である。
【図６】図５に示す実施形態に係るポッドについてラッチ爪及びその近傍を拡大して示す図である。
【図７】本発明の更なる実施形態に係るポッドについてラッチ爪及びその近傍を図６と同様の様式にて拡大して示す図である。
【図８】本発明の更なる実施形態に係るポッドについてラッチ爪及びその近傍を図６と同様の様式にて拡大して示す図である。
【図９】本発明の更なる実施形態に係るポッドについてラッチ爪及びその近傍を図６と同様の様式にて拡大して示す図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係るロードポート装置の概略構成を示す側断面図である。
【図１１】本発明の一実施形態に係るロードポート装置の主要部概略構成を図１０と同様の様式にて示す拡大側断面図である。
【図１２Ａ】図１０に示すロードポート装置においてドア及び第一の開口部周辺に配置される構成を拡大して模式的に示す図である。
【図１２Ｂ】図１２Ａに示す構成を矢印１２Ａ方向から見た際の概略構成を示す図である。
【図１３】本発明の一実施形態に係るFIMSシステムの概略構成を示すブロック図である。
【図１４】本発明の一実施形態に係る密閉容器たるポッドの蓋閉鎖方法を示すフローチャートである。
【図１５Ａ】図１４に示すフローチャートにおいて特定段階でのポッド本体と蓋との状態を示す側面図である。
【図１５Ｂ】図１４に示すフローチャートにおいて特定段階でのポッド本体と蓋との状態を示す側面図である。
【図１５Ｃ】図１４に示すフローチャートにおいて特定段階でのポッド本体と蓋との状態を示す側面図である。
【図１５Ｄ】図１４に示すフローチャートにおいて特定段階でのポッド本体と蓋との状態を示す側面図である。
【図１５Ｅ】図１４に示すフローチャートにおいて特定段階でのポッド本体と蓋との状態を示す側面図である。
【図１５Ｆ】図１５Ｄに示す段階でのポッド本体と蓋との状態を示す上面図である。
【符号の説明】
【００５１】
１：ポッド、  ２：ポッド本体、  ３：蓋、  ４：ウエハ、  ５：被吸着領域、１０：ラッチ機構、  １１：受容孔、  １３：ラッチバー、  １５：円板、  １０１：ロードポート装置、  １０２：制御装置、  １０３：微小空間、  １０５：筐体、  １０７：ファン、  １０８：負圧供給源  １０９：ロボット、  １１１：第一の開口部、  １１３：第二の開口部、  １１５：ドアシステム、  １１７：ウエハ処理装置、  １２１：ポッド載置部、  １２３：ドッキングプレート、  １２５：ポッド固定システム、  １２７：ドッキングプレート駆動システム、
【要約】
【課題】FIMSシステムにおいてポッド開口を蓋によって閉鎖する動作時に当該蓋が適切にポッドに固定されていることを検知する構成を提供する。
【解決手段】ポッドの蓋に対して外部から検出可能な検複数の出マークを配し、当該マークが所定位置に存在することにより、蓋がポッド本体に対して適切に固定されていることを知る。
【選択図】図４【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１５Ｃ】
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【図１５Ｄ】
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【図１５Ｅ】
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【図１５Ｆ】
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