(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明支持体上の一方の面にレジスト付着防止層を設け、反対面に粘着層を設けた表面保護フィルムであって、前記支持体はポリエチレンテレフタレートフィルムであり、前記レジスト付着防止層は、離型剤として樹脂系ポリマーを幹部分に有し、シロキサン結合を有する有機化合物から誘導される単位もしくはフッ素原子含有単量体から誘導される単位を枝成分に有する櫛形グラフトポリマー、バインダーポリマーとしてアクリルポリール及びイソシアネートプレポリマーを含む塗布液により形成されてなることを特徴とする表面保護フィルム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント基板用原稿、印刷物などに用いる表面保護フィルムに関し、特にプリント基板作製工程などにおいて粘着性を有するフォトレジストを露光する際の原稿表面に好適に用いられる表面保護フィルムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
通常、プリント配線板や樹脂凸版は、液状フォトレジストなどの粘着性のあるフォトレジストに露光用原稿を密着露光して作製される。かかるに露光用原稿は、フォトレジストに密着して使用されるので、その表面に何らの処理も施さないと、露光終了後の原稿を剥がす際にフォトレジストの一部が原稿表面に転写され、汚れを生じてしまう。このような事情から、従来より露光用原稿上のフォトレジストに対向する面に、表面にレジスト付着防止層を有する表面保護フィルムを設けるようにしている。このようなフォトマスク用表面保護フィルムとしては、ポリエステル基材の片面に粘着層が、他面にレジスト付着防止層が設けられている。
【０００３】
このようなレジスト付着防止層は、樹脂及び離型性付与剤（以下、離型剤という）の混合物から構成されており、この離型剤としては低分子量のシリコーン系添加剤が一般に用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような離型剤は、離型性は得られるものの、離型剤がレジスト側に転写し、後工程で種々の問題が生ずる。このような問題としては、プリフラックスを塗布する際にプリフラックスがはじいてしまう、文字印刷時にインキをはじいてしまう等があげられる。このため、転写した離型剤を除去するなどの工程が別に必要とされる。
【０００５】
本発明は、上記の欠点を解消するためになされたものであって、粘着性のフォトレジストが付着せず、かつ、離型剤がレジストに転写しない表面保護フィルムを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を解決する本発明の表面保護フィルムとしては、透明支持体上の一方の面にレジスト付着防止層を設け、反対面に粘着層を設けた表面保護フィルムであって、前記支持体はポリエチレンテレフタレートフィルムであり、前記レジスト付着防止層は、離型剤として樹脂系ポリマーを幹部分に有し、シロキサン結合を有する有機化合物から誘導される単位もしくはフッ素原子含有単量体から誘導される単位を枝成分に有する櫛形グラフトポリマー、バインダーポリマーとしてアクリルポリール及びイソシアネートプレポリマーを含む塗布液により形成されてなるものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図１を用いて詳述する。
【０００８】
表面保護フィルム４の透明支持体２としては、露光の際に使われる紫外線の透過率の高い物で有れば良く、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン等の透明なプラスチックフィルムが用いられる。特に二軸延伸されたポリエチレンテレフタレートフィルムが強度、耐熱性、寸法安定性に優れているために好適に使用される。透明支持体の厚みは、解像度に影響するため薄い方が好ましいが、取扱性も考慮して、１〜１００μｍ、好ましくは２〜２５μｍ、さらに好ましくは４〜１２μｍ程度である。
【０００９】
透明支持体の片面に設けられる粘着層３は、一般に使用されるアクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤などが使用される。また、帯電防止などの性能を持つ粘着剤を使用しても良い。粘着層の厚みとしては、透明性（解像度）を阻害せず、適度な粘着性が得られるよう、０．５〜２０μｍ、好ましくは１〜１０μｍ、さらに好ましくは２〜４μｍの範囲が採用される。
【００１０】
表面保護フィルムの他面に形成されるレジスト付着防止層１は、樹脂系ポリマーを幹部分に有し、シロキサン結合を有する有機化合物から誘導される単位もしくはフッ素原子含有単量体から誘導される単位を枝成分に有する櫛形グラフトポリマーを含有するものである。前記櫛形グラフトポリマーは透明支持体への接着性などを考慮して前記櫛形グラフトポリマーを離型剤として他のバインダーポリマーに混合して使用する。
【００１１】
樹脂系ポリマーを幹部分に有し、シロキサン結合を有する有機化合物から誘導される単位もしくはフッ素原子含有単量体から誘導される単位を枝成分に有する櫛形グラフトポリマーとしては、シリコーンマクロモノマーもしくはパーフルオロアルキルマクロモノマーなどと、アクリル系、ウレタン系、ポリエステル系モノマーなどとの共重合により合成された、幹部分が各樹脂系ポリマーで、枝部分にシロキサン結合またはフッ素原子を含有する櫛形グラフトポリマーが好適に使用される。このような離型剤を使用することで、プリフラックスやインキなどのハジキを起こすことなく、レジスト等の付着を極めて有効に防止できるものである。
【００１２】
レジスト付着防止層に使用されるバインダーポリマーとしては、ウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、塩化ビニル系樹脂、アルキッド樹脂、ポリエステル樹脂、塩化ビニリデン系樹脂、アミノ系樹脂、メラミン系樹脂等があげられ、これらは単独あるいは混合して用いられる。
【００１３】
前記グラフトポリマーを前記バインダーポリマーに混合して使用する場合の混合割合としては、バインダーポリマーとグラフトポリマーの種類により一概にはいえないが、前記バインダーポリマー１００重量部に対して前記グラフトポリマーを１〜１００重量部、好ましくは２〜３０重量部の範囲で使用される。
【００１４】
なお、レジスト付着防止層には真空プリンターでレジスト付着防止層をフォトレジストに密着させ露光する際の密着性を良好にするため、透明性及び光を乱反射させない範囲で顔料などを添加しても良い。
【００１５】
レジスト付着防止層の厚みとしては、透明性（解像度）を維持しつつ、必要とされる離型性を得るため、０．０５〜５μｍ、好ましくは０．１〜２μｍの範囲が採用される。
【００１６】
【実施例】
以下、本発明の実施例を説明する。なお、本実施例の「％」、「部」とあるのは特に断りのない限り重量基準である。
【００１７】
［実施例１］
厚さ６μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（ルミラー：東レ社）の片面に下記レジスト付着防止層用塗布液を、反対面に下記粘着層用塗布液をバーコーターにより塗布、９０℃・２分の乾燥を行い塗膜を形成した。これらの膜厚は、レジスト付着防止層約１μｍ、粘着層約２μｍであり、粘着層に取扱上のため、厚さ２５μｍのポリエチレンテレフタレート離型フィルム（ＭＲＢ：ダイアホイルヘキスト社）を貼り合わせて表面保護フィルムを作製した。
【００１８】
〈レジスト付着防止層用塗布液〉
・アクリルポリオール（固形分５０％）
（アクリディック A-801：大日本インキ化学工業社）６．０部
・イソシアネートプレポリマー（固形分７５％）
（バーノック D-750：大日本インキ化学工業社）１．５部
・シリコーン−アクリルグラフトポリマー
（LSI-60：綜研化学社）（固形分４５％）    ０．５部
・トルエン                                  ２０部
・メチルエチルケトン                        ２０部
【００１９】
〈粘着層用塗布液〉
・アクリル酸エステル共重合体（固形分４０％）
（アロンタック SCL-200：東亞合成化学社）    １０部
・トルエン                                  １０部
・酢酸エチル                                １０部
【００２０】
［実施例２］
実施例１のレジスト付着防止層用塗布液中「シリコーン−アクリルグラフトポリマー  ０．５部」を「フッ素−アクリルグラフトポリマー（ＧＦ−３００（固形分２５％）：東亞合成化学社）  １．０部」に変更した以外は、実施例１と同様にして表面保護フィルムを作製した。
【００２１】
［比較例１］
実施例１のレジスト付着防止層用塗布液中「シリコーン−アクリルグラフトポリマー  ０．５部」を「シリコーン添加剤（ペインタッド５３（固形分１０％）：ダウコーニング社）  ２．０部」に変更した以外は実施例１と同様にして表面保護フィルムを作製した。
【００２２】
［比較例２］
実施例１の表面保護フィルムのレジスト付着防止層を設けないものを表面保護フィルムとして作製した。
【００２３】
実施例、比較例で得られた表面保護フィルムについて以下の評価試験を行った。
【００２４】
Ａ．プラスチックフィルムへの離型剤の転写性（転写１）
表面保護フィルムのレジスト付着防止層面と未処理のポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）を重ね合わせ、これに４０g/cm2の荷重をかけ、１２０℃の状態で１時間静置した後、ＰＥＴフィルム側にマジックで画線を引きそのハジキ具合を目視により評価し、離型剤のプラスチックフィルムへの転写の有無を確認した。マジック画線にハジキがなかったものを「○」、ハジキを生じたものを「×」とした。
【００２５】
Ｂ．レジストへの離型剤の転写性（転写２）
回路パターンのない原稿に表面保護フィルムを貼り合わせ、ソルダーレジストの塗布された銅板の前記レジストと、前記表面保護フィルムのレジスト付着防止層が対向するように密着して露光し、銅板上のレジストを全面硬化させた。その後、表面保護フィルムを貼り合わせた原稿を剥がし、硬化したレジストにマジックで画線を引き、目視にてそのハジキ具合を観察し、離型剤のレジストへの転写の有無を確認した。マジック画線にハジキがなかったものを「○」、ハジキを生じたものを「×」とした。
【００２６】
Ｃ．表面保護フィルムへのレジスト付着防止性（剥離性）
レジスト付着防止層の離型効果を確認するため、粘着テープをレジスト付着防止層に貼り合わせ、その剥離力をテンシロンによって測定した。剥離力が１g/inch〜１２０g/inchであったものを「○」、１２０g/inch以上であったものを「×」とした。
【００２７】
Ｄ．表面保護フィルムの全光線透過率（透過率）
表面保護フィルムの光学的透明性を評価するため、表面保護フィルムの全光線透過率をＪＩＳ−Ｋ７１０５に準じて測定した。単位は「％」で示される。
【００２８】
Ｅ．表面保護フィルムのヘーズ（ヘーズ）
表面保護フィルムの曇りを評価するために、表面保護フィルムのヘーズをＪＩＳ−Ｋ７１０５に準じて測定した。単位は「％」で示される。
【００２９】
これらの評価結果を表１に示す。
【００３０】
【表１】
0004257803.tif 000002
【００３１】
以上の結果から明らかなように、実施例１、２の表面保護フィルムは離型剤の転写が全く認められなかった。一方、比較例１のものは離型剤の転写が認められた。また、比較例２のものはレジスト付着防止層が無いため転写するものはないが、剥離性が悪く、レジスト付着防止効果を得ることはできなかった。
【００３２】
これらのことから、実施例１、２の表面保護フィルムは、離型剤の転写を抑えると共にレジストの付着を防止することが可能なものである。
【００３３】
さらに、実施例１、２のものは、比較例１、２のものと比較して全光線透過率、ヘーズ共に同レベルであり、十分な透明性が確保されていることが分かる。
【００３４】
【発明の効果】
本発明の表面保護フィルムは、レジスト付着防止層における離型剤に、樹脂系ポリマーを幹部分に有し、シロキサン結合を有する有機化合物から誘導される単位もしくはフッ素原子含有単量体から誘導される単位を枝成分に有する櫛形グラフトポリマーを用いることによって、レジストなどの原稿への転写を防止できるとともに、表面保護フィルムからレジストなどへの離型剤の転写を抑えることが可能になった。これによって、プリント配線板作製時において、露光後レジスト側に転写した離型剤を除去する等の煩雑な工程が省略でき作業効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の表面保護フィルムの実施例を示す断面図。
【符号の説明】
１・・・レジスト付着防止層
２・・・透明支持体
３・・・粘着層
４・・・表面保護フィルム
【図１】
0004257803.tif 000003