(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動板と電極とを気体室を形成する所定のギャップを介して対向配置し、前記振動板と前記電極との間に電圧を印加することで静電気力で前記振動板が前記電極方向に変位し、前記電圧の印加を停止することで前記振動板が復元するアクチュエータにおいて、
前記気体室と外部との間は封止部材で封止され、
前記封止部材には、前記気体室と外部との間を連通する連通孔が形成され、
前記連通孔には、前記気体室から前記外部へ気体が流出するときに開き、前記外部から前記気体室へ気体が流入するときに閉じる開閉弁が設けられ、
前記振動板が繰り返し変位されることで前記気体室が減圧される
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載のアクチュエータを備えていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載のインクジェットヘッドを備えていることを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アクチュエータ及びインクジェットヘッド並びにインクジェット記録装置に関し、詳細には、静電引力を利用して振動板を変位させるアクチュエータ及び当該振動板上の液室を圧縮してインク滴を吐出するインクジェットヘッド並びにインクジェット記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット記録装置は、現像・定着等のプロセスを必要とせず、非接触で記録を行うことができるために、記録時の騒音が極めて小さいこと、インクの自由度が高く、安価な普通紙を使用できることなど多くの利点を有していることから、プリンタ、ファクシミリ装置、複写装置等の画像記録装置として利用されるようになってきている。
【０００３】
このようなインクジェット記録装置において使用するインクジェットヘッドは、インク滴を吐出するノズル孔と、このノズル孔が連通する吐出室（圧力室、加圧液室、液室、インク流路等とも称される。）と、この吐出室内のインクを加圧するエネルギーを発生するエネルギー発生手段（アクチュエータ）と、を備えて、アクチュエータを駆動することで吐出室内のインクを加圧して、ノズル孔からインク滴を吐出させるものであり、記録の必要なときにのみインク滴を吐出するインク・オン・デマンド方式のものが主流である。
【０００４】
アクチュエータやインクジェットヘッドは、インク滴（記録液体）の発生方法及び飛翔方向を制御する制御方法により、いくつかの方式に大別されるるが、静電気力でインク滴を発生させる静電型アクチュエータ及び静電型アクチュエータを用いたインクジェットヘッドが多く用いられている（例えば、特開平４−５２２１４号公報及び特開平３−２９３１４１号公報等参照）。
【０００５】
この静電型アクチュエータは、一般に、シリコン基板からなる第１の基板（振動板基板）にエッチングによって液室とこの液室の一壁面を形成する振動板とを形成し、この第１の基板の下側に電極を形成した第２の基板（電極基板）を配置して、振動板に所定ギャップをおいて電極を対向させることで静電型アクチュエータを構成し、静電型アクチュエータの振動板と電極間に電圧を印加することで、静電気力によって振動板を撓ませて液室の内容積を変化させて液室に連通するノズルからインク滴を吐出させる。
【０００６】
そして、静電型インクジェットヘッドのアクチュエータの駆動方式は、振動板を静電気力で引いたときの変位の限度によって方式が２種類に区別され、特開平７−１０４７０号公報等に開示されているように、振動板が対向する電極（対向電極）に接触（当接）するまで変位させる方式（「当接駆動」方式と呼ばれる。）と、振動板の変位を対向電極に接触しない範囲に限定する方式（「非当接駆動」方式と呼ばれる。）とがある。
【０００７】
当接駆動方式は、非当接駆動方式にひ比較して、振動板とそれに対向する電極との間の間隔が同じであれば、振動板の変位量が３倍程度に拡大するため、間隔を小さくしても非当接駆動と同等の噴射量が得られ、結果的により低い電圧で駆動可能になるという利点を持っている。また、当接駆動方式は、振動板の変位量が振動板とそれに対向する電極の間のギヤップサイズによって規制されるため、液滴の噴射量を一定に保たれやすいという点においても、非当接駆動方式に対して優れている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、静電型アクチュエータでは、振動板とそれに対向する電極との間に気体が存在し、振動板が電極に近づくとこの気体が圧縮されるために振動板に反発力を生じる。これをエアダンパ効果といわれており、振動板とそれに対向する電極の間の空間が密閉されているか、あるいは密閉されていなくても気体が逃げる時間が無い程の高速で振動板を動かすときに顕著に観測される。特に、アクチュエータが密閉されているときには、大気圧の変化やアクチュエータの温度変化により、振動板とそれに対向する電極との間の空間の体積が変化して、エアダンパ効果も著しく変化し、アクチュエータの変位量にばらつきが発生する原因になる。
【０００９】
また、このエアダンパ効果は、当接駆動方式の場合には非当接駆動方式と比較して振動板が空気を圧縮する量が多いため、特に顕著に観測され、駆動に必要な電圧を高くする主な原因となっている。
【００１０】
そこで、従来、電極またはその周辺に凹みを設けて、この窪みを空気の逃げ場にしたり、あるいは、振動板と振動板に対向する電極との間の空間を密閉しない大気開放の状態として、十分遅い速度で駆動したりしている。
【００１１】
しかしながら、前者の方法では、エアダンパ効果の絶対値をある程度減らすことはできるが、十分ではなく、また、振動板とそれに対向する電極のと間の空間の体積が増えるため、アクチュエータの温度や大気圧の変化によるアクチュエータの変位量のばらつきがさらに大きくなるという問題があった。また、後者の方法では、アクチュエータが遅いという根本的な問題があるだけでなく、アクチュエータ内に埃などの異物が進入し、また、大気中の水分や酸素等により電極や振動板表面が劣化して、アクチュエータの信頼性が低下するという問題があった。その結果、これらのいずれの方法も解決策として十分ではない。
【００１２】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、振動板の変位に対するエアダンパ効果を低減して、低い駆動電圧で駆動できるようにすることを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係るアクチュエータは、
振動板と電極とを気体室を形成する所定のギャップを介して対向配置し、前記振動板と前記電極との間に電圧を印加することで静電気力で前記振動板が前記電極方向に変位し、前記電圧の印加を停止することで前記振動板が復元するアクチュエータにおいて、
前記気体室と外部との間は封止部材で封止され、
前記封止部材には、前記気体室と外部との間を連通する連通孔が形成され、
前記連通孔には、前記気体室から前記外部へ気体が流出するときに開き、前記外部から前記気体室へ気体が流入するときに閉じる開閉弁が設けられ、
前記振動板が繰り返し変位されることで前記気体室が減圧される
構成とした。
【００２２】
本発明に係るインクジェットヘッドは、本発明に係るアクチュエータを備えたものである。
【００２３】
本発明に係るインクジェット記録装置は、本発明に係るインクジェットヘッドを備えたものである。
【００３９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な実施の形態であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
【００４０】
図１及び図２は、本発明のアクチュエータ及びインクジェットヘッドの第１の実施の形態を示す図であり、図１は、本発明のアクチュエータ及びインクジェットヘッドの第１の実施の形態を適用したインクジェットヘッド１の短辺方向要部断面図である。
【００４１】
図１において、インクジェットヘッド１は、電極基板２上に、振動板基板３、液室基板４及びノズルプレート５が順次積層されており、振動板基板３と液室基板４とノズルプレート５により、図１の紙面に表裏方向に複数の加圧液室６が画成されている。ノズルプレート５には、各加圧液室６に連通する複数のノズル７が形成されている。
【００４２】
振動板基板３は、加圧液室６となる凹部８が形成され、この凹部８の底面が振動板９として形成されている。また、振動板基板３には、図示しないが、各加圧液室６にインクを供給する共通インク室、共通インク室と加圧液室６とを連通する流体抵抗部等を形成する凹部や溝等が形成されている。振動板基板３は、ＳＵＳ基板などの金属基板、シリコン基板等をエッチングすることで所望の微細な液室パターンが形成されて、加圧液室６や上記凹部及び溝等が形成されている。
【００４３】
液室基板４には、振動板基板３の凹部８とともに加圧液室６を形成する孔１０が形成されており、この液室基板４の上部にノズルプレート５が接合されて加圧液室（液室）６が画成されている。
【００４４】
電極基板２、凹部１１が形成されており、凹部１１の底面であって振動板９に対向する位置に、所定（例えば、０．２μｍ）のギャップをおいて第２の電極となる個別電極１２が形成されており、個別電極１２と振動板９との間のギャップ部分に気体室１３を画成する状態で封止部材１４で封止されている。個別電極１２と振動板９によって、振動板９を変位させて加圧液室６の内容積を変化させるアクチュエータ部（アクチュエータ）１５を構成している。電極基板２は、ＳＵＳ等の金属、ガラス、Ｓｉ等をエッチングして、凹部１１を形成し、凹部１１にＮｉ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｐｔ、Ｃｕ等の電極材料を、スパッタ、ＣＶＤ、蒸着等の成膜技術で所望の厚さに成膜した後、フォトレジストを形成してエッチングすることで、凹部１１にのみ個別電極１２が形成されている。また、電極基板２の個別電極１２上には短絡、放電によって個別電極１２が破損するのを防止するために、ＳｉＯ２等の絶縁層１６が成膜されている。
【００４５】
ノズルプレート５は、ＮｉやＳＵＳなどの金属板、ガラス、あるいは、樹脂等で形成されており、エッチングやニッケルのエレクトロフオーミング法等の周知の方法で作製されている。ノズルプレート５には、上記ノズル７が２列千鳥状に配列して、ノズル密度が高く形成されており、これに対応して、上記振動板基板３及び液室基板２には、加圧液室６、振動板９が、電極基板２には、個別電極１２が、それぞれ２列配列して形成されている。さらに、ノズルプレート５のノズル面（吐出方向の表面）には、インクとの撥水性を確保するために、メッキ被膜、あるいは、撥水剤コーティング等の周知の方法で撥水膜が形成されている。
【００４６】
上記振動板基板３、液室基板４、電極基板２及びノズルプレート５は、接着剤や陽極接合等の直接接合法、共晶接合法等によって接合されている。
【００４７】
このインクジェットヘッド１は、振動板９と個別電極１２の間に電圧を印加して充電することで電荷によるクーロンカを発生させて、振動板９を個別電極１２に当接（接触）するまで撓ませ、加圧液室６の容積を拡大させる。インクジェットヘッド１は、この状態から、個別電極１２と振動板９との間の電荷を急激に放電させることにより、振動板９をその弾性復元力によって復帰させて、加圧液室６内の容積を急激に収縮させ、このとき加圧液室６内に発生するインク圧力によってノズル７からインク滴を吐出させる。インクジェットヘッド１は、再度、振動板９と個別電極１２の間に電圧を印加して振動板９を個別電極１２に接触するまで変位させてその状態に保持し、インク滴吐出により加圧液室６内に負圧が生じて共通インク流路からインク供給路（流体抵抗部）を通して加圧液室６内にインクを供給させ、ノズル７のインクメニスカスがある程度安定させた状態で、次のインク滴吐出行程へと移行する。
【００４８】
そして、振動板９と個別電極１２の間の気体室１３には、所定の気体、例えば、不活性ガスや空気が充満されている。そして、気体室１３内の気体の圧力は、従来では、振動板９に静電気力がかからずかつ振動板９が静止している状態において大気圧と同じ圧力となっている。
【００４９】
ところが、本実施の形態のインクジェットヘッド１では、気体室１３内の圧力を、振動板９に静電気力がかからずかつ振動板９が静止している状態において大気圧より低く、好適には、大気圧の９５％よりも低く設定している。
【００５０】
そこで、インクジェットヘッド１では、気体室１３を上述のように封止部材１４で密閉して気体室１３内の気体を減圧するか、または、図２に示すように、気体室１３を封止材１４で密封することなく、チャンバー２０内にアクチュエータ部１５ごと入れて、チャンバー２０と減圧ポンプ２１とを導気管２２で接続し、減圧ポンプ２１でチャンバー２０内を減圧して、気体室１３を減圧する。
【００５１】
次に、本実施の形態の作用を説明する。本実施の形態のインクジェットヘッド１は、上述のように、気体室１３を上述のように封止部材１４で密閉して気体室１３内の気体を減圧するか、または、図２に示すように、気体室１３を封止材１４で密封することなく、チャンバー２０内にアクチュエータ部１５ごと入れて、チャンバー２０と減圧ポンプ２１とを導気管２２で接続し、減圧ポンプ２１でチャンバー２０内を減圧して、気体室１３を減圧している。
【００５２】
一方、振動板９が個別電極１２に近づくことによって生じるエアダンパ効果は、振動板９によって気体室１３内の気体が圧縮されるために生ずる反発力であり、気体の圧縮による圧力の変化は、温度が一定のときには、次式のボイルの式であらわされる。
【００５３】
ＰＶ＝一定・・・（１）
ここで、Ｐは、気体の圧力、Ｖは、気体の体積である。
【００５４】
このボイルの式を変形させると、エアダンパ効果は、温度Ｔが一定という条件の下では、振動板９によって気体室１３の体積Ｖが、ΔＶだけ小さくなることにより、圧力Ｐが次式（２）で示されるΔＰだけ大きくなる現象として、説明することができる。
【００５５】
ΔＰ＝ＰＶ／（Ｖ＋ΔＶ）−Ｐ・・・（２）
この式（２）において、気体の圧力Ｐを小さくすると、圧力変化量ΔＶと同じだけ体積を変化させても、図３に示すように、圧力変化量ΔＰが小さくなる。
【００５６】
ここで、図３は、体積変化量ΔＶが、気体室１３の体積Ｖの８０％のときの圧力Ｐと圧力変化量ΔＰの関係を示す線図であり、横軸が気体の圧力（気圧）Ｐ、縦軸が気体の圧力変化量ΔＰであって、気体の圧力Ｐも圧力変化量ΔＰも大気圧を１としたときの圧力として正規化したものである。
【００５７】
図３で分かるように、圧力Ｐは、低ければ低いほど、エアダンパ効果を軽減させる効果が高い。例えば、極端な例として、気体室１３内が真空であると、エアダンパ効果は、０になる。アクチュエータ部１５をインクジェットヘッド１に用いた場合の実用上の目安としては、図３において大気圧の９５％程度以下からエアダンパ効果の軽減度合いが、顕著化する。
【００５８】
また、インクジェットヘッド１は、アクチュエータ部１５内の温度が変化すると、温度に比例して気体室１３の圧力Ｐと体積Ｖの積が上昇するため、元の圧力Ｐが小さいほど温度変化による体積Ｖの変化が小さくなり、結果として、エアダンパ効果の変動も小さくなる。例えば、気体室１３内が真空であると、温度にかかわらず真空のままであるため、変動は０になる。
【００５９】
そして、本実施の形態のインクジェットヘッド１は、上述のように、振動板９に静電気力がかからずかつ振動板９が静止している状態において大気圧より低く、好適には、大気圧の９５％よりも低く設定している。
【００６０】
したがって、エアダンパ効果を軽減させることができ、低い駆動電圧で駆動することができる。
【００６１】
図４及び図５は、本発明のアクチュエータ及びインクジェットヘッドの第２の実施の形態を示す図であり、図４は、本発明のアクチュエータ及びインクジェットヘッドの第２の実施の形態を適用したインクジェットヘッド３０の短辺方向要部断面図、図５は、図４のインクジェットヘッド３０の部分断面平面図である。
【００６２】
なお、本実施の形態は、上記第１の実施の形態のインクジェットヘッド１と同様のインクジェットヘッドに適用したものであり、本実施の形態の説明においては、上記第１の実施の形態のインクジェットヘッド１と同様の構成部分には、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００６３】
図４において、本実施の形態のインクジェットヘッド３０は、気体室３１に連通路３２を介して共通気体室３３に連通されており、各気体室３１は、図５に示すように、さらに、気体室３１を画成する電極基板２の隔壁に形成された所定開口径の室間連通路３４で連通されている。
【００６４】
したがって、本実施の形態のインクジェットヘッド３０は、各々の気体室３１内の圧力変化が、連通路３２を通して共通気体室３３に逃げ、また、室間連通路３４を通して隣接する気体室３１に逃げて、各気体室３１内の圧力を均一に保つことができる。
【００６５】
なお、本実施の形態では、共通気体室３３と連通路３２を介して各気体室３１を連通するとともに、室間連通路３４を介しても各気体室３１を連通しているが、いずれか一方のみであってもよい。
【００６６】
図６は、本発明のアクチュエータ及びインクジェットヘッドの第３の実施の形態を適用したインクジェットヘッド４０の短辺方向要部断面図である。
【００６７】
なお、本実施の形態は、上記第１の実施の形態のインクジェットヘッド１と同様のインクジェットヘッドに適用したものであり、本実施の形態の説明においては、上記第１の実施の形態のインクジェットヘッド１と同様の構成部分には、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００６８】
図６において、本実施の形態のインクジェットヘッド４０は、気体室１３を封止する封止部材１４に貫通口４１が形成されており、貫通口４１には、導気管４２が取り付けられている。導気管４２は、減圧ポンプ４３に接続されており、気体室１３は、導気管４２及び貫通口４１を通して減圧ポンプ４３により減圧される。
【００６９】
インクジェットヘッド４０は、少なくともアクチュエータ部１５の駆動中においては、所定の減圧状態を維持するために、アクチュエータ部１５の駆動中に減圧するか、または、アクチュエータ部１５の駆動前から減圧を開始して所定の減圧状態としてからアクチュエータ部１５の駆動を開始する。
【００７０】
したがって、インクジェットヘッド４０は、気体室１３の気密が不完全であっても、所定の減圧状態でアクチュエータ部１５を駆動することができるとともに、大気圧が変動したときにも、減圧の設定圧力を変更することにより容易に補正することができる。
【００７１】
図７は、本発明のアクチュエータ及びインクジェットヘッドの第４の実施の形態を適用したインクジェットヘッド５０の短辺方向要部断面図である。
【００７２】
なお、本実施の形態は、上記第１の実施の形態のインクジェットヘッド１と同様のインクジェットヘッドに適用したものであり、本実施の形態の説明においては、上記第１の実施の形態のインクジェットヘッド１と同様の構成部分には、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００７３】
図７において、本実施の形態のインクジェットヘッド５０は、各気体室１３と外部との間を封止する封止部材１４に、気体室１３と外部との間を連通する連通孔である貫通口５１が形成されており、貫通口５１の形成された封止部材１４の外側には、外方に開閉動作して、気体室１３から外部へ気体が流出するときに開き、外部から気体室１３へ気体が流入するときに閉じるように当該貫通口５１を開閉する逆止弁５２が取り付けられている。
【００７４】
また、インクジェットヘッド５０は、各気体室１３を仕切る電極基板２の隔壁には所定開口径の連通路５３が形成されており、各気体室１３は、隣接する気体室１３と連通路５３により連通されている。
【００７５】
本実施の形態のインクジェットヘッド５０は、振動板９の撓みにより気体室１３の圧力が高くなると、逆止弁５２が開いて気体室１３内の気体が外部に流出し、気体室１３内の圧力が下がると、逆止弁５２が閉じて、気体室１３内への気体の流入を防止する。また、インクジェットヘッド５０は、ある気体室１３内の圧力が高くなると、当該気体室１３内の気体が連通孔５３を介してより圧力の低い隣接する気体室１３内に逃げ、また、当該気体室１３内の圧力が隣接する気体室１３の圧力よりも低くなると、当該隣接する気体室１３から気体が流入する。
【００７６】
したがって、このアクチュエータ部１５は、貫通口５１、逆止弁５２及び連通孔５３が形成されることで、各気体室１３を減圧する減圧ポンプとして動作し、外部に減圧ポンプを設けることなく、気体室１３を減圧することができる。その結果、インクジェットヘッド５０を小型で安価なものとすることができる。
【００７７】
図８は、本発明のアクチュエータ及びインクジェットヘッドの第５の実施の形態を適用したインクジェットヘッド６０の短辺方向要部断面図である。
【００７８】
なお、本実施の形態は、上記第１の実施の形態のインクジェットヘッド１と同様のインクジェットヘッドに適用したものであり、本実施の形態の説明においては、上記第１の実施の形態のインクジェットヘッド１と同様の構成部分には、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００７９】
図８において、本実施の形態のインクジェットヘッド６０は、各気体室１３を封止する封止部材１４に貫通口６１が形成されており、貫通口６１の形成された封止部材１４の外側には、外方に開閉動作して当該貫通口６１を開閉する逆止弁６２が取り付けられている。
【００８０】
本実施の形態のインクジェットヘッド６０は、振動板９の撓みにより気体室１３の圧力が高くなると、逆止弁６２が開いて気体室１３内の気体が外部に流出し、気体室１３内の圧力が下がると、逆止弁６２が閉じて、気体室１３内への気体の流入を防止する。
【００８１】
したがって、このアクチュエータ部１５は、貫通口６１と逆止弁６２が形成されることで、各気体室１３を個別に減圧する減圧ポンプとして動作し、外部に減圧ポンプを設けることなく、気体室１３を減圧することができる。その結果、インクジェットヘッド６０を小型で安価なものとすることができる。
【００８２】
図９は、アクチュエータ及びインクジェットヘッドの第６の実施の形態を適用したインクジェットヘッド７０の短辺方向要部断面図である。
【００８３】
なお、本実施の形態は、上記第１の実施の形態のインクジェットヘッド１と同様のインクジェットヘッドに適用したものであり、本実施の形態の説明においては、上記第１の実施の形態のインクジェットヘッド１と同様の構成部分には、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００８４】
図９において、本実施の形態のインクジェットヘッド７０は、各気体室１３を封止する封止部材１４に貫通口７１が形成されている。
【００８５】
本実施の形態のインクジェットヘッド７０は、アクチュエータ部１５が駆動すると、振動板９の動きが遅いときには、振動板９が個別電極１２側に下がると、封止部材１４の貫通孔７１から気体が排出され、振動板９が個別電極１２から離れる方向に上がると、吸入される。したがって、気体室１３内の圧力は、脈打つだけであって、平均的には圧力が上昇も下降もしない。
【００８６】
ところが、振動板９の速度が上がるにつれて、封止部材１４の貫通孔７１を通過する気体の速度が振動板９の速度に追いつかなくなり、振動板９の速度が十分速いときには、気体室１３内の平均圧力は、外側の大気圧よりも低い一定の圧力になる。
【００８７】
したがって、アクチュエータ部１５が減圧ポンプとして作用し、コンパクトで部品点数の少ない減圧ポンプが形成されることになる。
【００８８】
このときの気体室１３内の平均圧力は、振動板９の行程容積と気体室１３の容積の比に比例し、また、アクチュエータ部１５を矩形パルス状の電圧波形で駆動するときには、そのデューティーに比例する。デューティーは、好適には２０％以上、好適には５０％以上が望ましい。これより少ないと、空気の粘性によるロスで、減圧ポンプとしての効果が低下するからである。
【００８９】
以上、本発明者によってなされた発明を好適な実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記のものに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００９０】
例えば、上記各実施の形態においては、アクチュエータ部をインクジェットヘッドに適用した場合について説明しているが、アクチュエータ部の用途としては、インクジェットヘッドに限られるものではない。
【００９１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るアクチュエータによれば、気体室と外部との間は封止部材で封止され、封止部材には、気体室と外部との間を連通する連通孔が形成され、連通孔には、気体室から外部へ気体が流出するときに開き、外部から気体室へ気体が流入するときに閉じる開閉弁が設けられ、振動板が繰り返し変位されることで気体室が減圧される構成としたので、振動板の変位に対するエアダンパ効果を低減して、低い駆動電圧で駆動できる。
【００９２】
本発明に係るインクジェットヘッドによれば、本発明に係るアクチュエータを備えているので、噴射性能が向上する。本発明に係るインクジェット記録装置によれば、本発明に係るインクジェットヘッドを備えているので、画像品質が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のアクチュエータ及びインクジェットヘッドの第１の実施の形態を適用したインクジェットヘッドの短辺方向要部断面図。
【図２】図１のインクジェットヘッドの気体室を密閉しないでアクチュエータをチャンバー内に入れて気体室を減圧する場合の一例を示す要部断面図。
【図３】図１の気体室の体積の８０％のときの圧力と圧力変化量の関係を示す線図。
【図４】本発明のアクチュエータ及びインクジェットヘッドの第２の実施の形態を適用したインクジェットヘッドの短辺方向要部断面図。
【図５】図４のインクジェットヘッドの部分断面平面図。
【図６】本発明のアクチュエータ及びインクジェットヘッドの第３の実施の形態を適用したインクジェットヘッドの短辺方向要部断面図。
【図７】本発明のアクチュエータ及びインクジェットヘッドの第４の実施の形態を適用したインクジェットヘッドの短辺方向要部断面図。
【図８】本発明のアクチュエータ及びインクジェットヘッドの第５の実施の形態を適用したインクジェットヘッドの短辺方向要部断面図。
【図９】本発明のアクチュエータ及びインクジェットヘッドの第６の実施の形態を適用したインクジェットヘッドの短辺方向要部断面図。
【符号の説明】
１  インクジェットヘッド
２  電極基板
３  振動板基板
４  液室基板
５  ノズルプレート
６  加圧液室
７  ノズル
８  凹部
９  振動板
１０  孔
１１  凹部
１２  個別電極
１３  気体室
１４  封止部材
１５  アクチュエータ部
１６  絶縁層
２０  チャンバー
２１  減圧ポンプ
２２  導気管
３０  インクジェットヘッド
３１  気体室
３２  連通路
３３  共通気体室
３４  室間連通路
４０  インクジェットヘッド
４１  貫通口
４２  導気管
４３  減圧ポンプ
５０  インクジェットヘッド
５１  貫通口
５２  逆止弁
５３  連通路
６０  インクジェットヘッド
６１  貫通口
６２  逆止弁
７０  インクジェットヘッド
７１  貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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