(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁石材料の溶湯を回転する冷却ロールの周面に衝突させ、冷却固化することにより急冷薄帯を得、該急冷薄帯を粉砕して磁石粉末を得る磁石粉末の製造方法であって、
前記磁石粉末が、（ＮｄｖＰｒｖ−１）ｘＦｅｂａｌＣｏｗＢｙＭｚ（ただし、Ｍは、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｖ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｗ、Ｍｎ、Ｚｒ、Ｄｙのうち少なくとも１種の元素、ｘ：８．２〜９．０原子％、ｙ：５．５〜５．８原子％、ｚ：１．５〜２．０原子％、ｗ：５．０〜８．０原子％、ｖ：０．４〜０．８）で表される合金組成からなり、ハード磁性相とソフト磁性相とを有する複合組織で構成されるものであり、
結晶粒径が５〜５０ｎｍであり、
前記磁石粉末の平均粒径が０．５〜１５０μｍであり、
結合樹脂と混合し、射出成形または押出成形して密度ρ［Ｍｇ／ｍ3］のボンド磁石としたとき、当該ボンド磁石の室温での最大磁気エネルギー積（ＢＨ）max［ｋＪ／ｍ3］が、２．１０≦（ＢＨ）max／ρ2［×１０-9Ｊ・ｍ3／ｇ2］≦２．９２の関係を満足するとともに、当該ボンド磁石の室温での残留磁束密度Ｂｒ［Ｔ］が、０．１２５≦Ｂｒ／ρ［×１０-6Ｔ・ｍ3／ｇ］≦０．１４２の関係を満足し、かつ当該ボンド磁石の室温での固有保磁力ＨcJが４５２〜５７１ｋＡ／ｍであり、
前記冷却ロールは、金属または合金で構成される基部と、周面を構成し、表面層とを有し、該表面層の熱伝導率が前記基部の熱伝導率より小さいものであり、
前記表面層は、その厚さが０．５〜５０μｍであり、かつ、ＺｒＣで構成されていることを特微とする磁石粉末の製造方法。
【請求項２】
前記急冷薄帯の厚さは、１０〜４０μｍである請求項１に記載の磁石粉末の製造方法。
【請求項３】
前記急冷薄帯の粉砕前および／または粉砕後に、少なくとも１回熱処理を施す請求項１または２に記載の磁石粉末の製造方法。
【請求項４】
磁石材料の溶湯を回転する冷却ロールの周面に衝突させ、冷却固化することにより急冷薄帯を得る工程と、
前記急冷薄帯を粉砕して磁石粉末を得る工程と、
前記磁石粉末を結合樹脂と混合し射出成形または押出成形して密度ρ［Ｍｇ／ｍ3］のボンド磁石を得る工程とを有し、
前記磁石粉末が、（ＮｄｖＰｒｖ−１）ｘＦｅｂａｌＣｏｗＢｙＭｚ（ただし、Ｍは、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｖ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｗ、Ｍｎ、Ｚｒ、Ｄｙのうち少なくとも１種の元素、ｘ：８．２〜９．０原子％、ｙ：５．５〜５．８原子％、ｚ：１．５〜２．０原子％、ｗ：５．０〜８．０原子％、ｖ：０．４〜０．８）で表される合金組成からなり、ハード磁性相とソフト磁性相とを有する複合組織で構成されるものであり、
結晶粒径が５〜５０ｎｍであり、
前記磁石粉末の平均粒径が０．５〜１５０μｍであり、
結合樹脂と混合し、射出成形または押出成形して密度ρ［Ｍｇ／ｍ3］のボンド磁石としたとき、当該ボンド磁石の室温での最大磁気エネルギー積（ＢＨ）max［ｋＪ／ｍ3］が、２．１０≦（ＢＨ）max／ρ2［×１０-9Ｊ・ｍ3／ｇ2］≦２．９２の関係を満足するとともに、当該ボンド磁石の室温での残留磁束密度Ｂｒ［Ｔ］が、０．１２５≦Ｂｒ／ρ［×１０-6Ｔ・ｍ3／ｇ］≦０．１４２の関係を満足し、かつ当該ボンド磁石の室温での固有保磁力ＨcJが４５２〜５７１ｋＡ／ｍであり、
前記冷却ロールは、金属または合金で構成される基部と、周面を構成し、表面層とを有し、該表面層の熱伝導率が前記基部の熱伝導率より小さいものであり、
前記表面層は、その厚さが０．５〜５０μｍであり、かつ、ＺｒＣで構成されていることを特微とするボンド磁石の製造方法。
【請求項５】
前記ボンド磁石の最大磁気エネルギー積（ＢＨ）maxが４０ｋＪ／ｍ3以上である請求項４に記載のボンド磁石の製造方法。
【請求項６】
前記ボンド磁石を１００℃×１時間の環境に保持した後、室温に戻した際における不可逆減磁率（初期減磁率）の絶対値が６．２％以下である請求項４または５に記載のボンド磁石の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁石粉末の製造方法およびボンド磁石の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
モータ等の小型化を図るためには、そのモータに使用される際の（実質的なパーミアンスにおいての）磁石の磁束密度が高いことが望まれる。ボンド磁石における磁束密度を決定する要因は、磁石粉末の磁化の値と、ボンド磁石中における磁石粉末の含有量（含有率）とがある。従って、磁石粉末自体の磁化がそれほど高くない場合には、ボンド磁石中の磁石粉末の含有量を極端に多くしないと十分な磁束密度が得られない。
【０００３】
ところで、現在、高性能な希土類ボンド磁石として使用されているものとしては、希土類磁石粉末として、ＭＱＩ社製のＭＱＰ−Ｂ粉末を用いた等方性ボンド磁石が大半を占めている。等方性ボンド磁石は、異方性ボンド磁石に比べ次のような利点がある。すなわち、ボンド磁石の製造に際し、磁場配向が不要であるため、製造プロセスが簡単で、その結果製造コストが安価となることである。しかしこのＭＱＰ−Ｂ粉末に代表される従来の等方性ボンド磁石には、次のような問題点がある。
【０００４】
１）  従来の等方性ボンド磁石では、磁束密度が不十分であった。すなわち用いられる磁石粉末の磁化が低いため、ボンド磁石中の磁石粉末の含有量（含有率）を多くしなければならないが、磁石粉末の含有量を多くすると、ボンド磁石の成形性が悪くなるため、限界がある。また、成形条件の工夫等により磁石粉末の含有量を多くしたとしても、やはり、得られる磁束密度には限界があり、このためモータの小型化を図ることはできない。
【０００５】
２）  ナノコンポジット磁石で残留磁束密度の高い磁石も報告されているが、その場合は保磁力が小さすぎて、実用上モータとして得られる磁束密度（実際に使用される際のパーミアンスでの）は非常に低いものであった。また、保磁力が小さいため、熱的安定性も劣る。
【０００６】
３）  ボンド磁石の耐食性、耐熱性が低くなる。すなわち、磁石粉末の磁気特性の低さを補うために、ボンド磁石中の磁石粉末の含有量を多くしなければならず（すなわちボンド磁石の密度を極端に高密度化することとなり）、その結果、ボンド磁石は、耐食性、耐熱性が劣り信頼性が低いものとなる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、磁気特性が優れ、信頼性に優れた磁石を提供することができる磁石粉末およびボンド磁石を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記（１）〜（６）の本発明により達成される。
【０００９】
（１）  磁石材料の溶湯を回転する冷却ロールの周面に衝突させ、冷却固化することにより急冷薄帯を得、該急冷薄帯を粉砕して磁石粉末を得る磁石粉末の製造方法であって、
前記磁石粉末が、（ＮｄｖＰｒｖ−１）ｘＦｅｂａｌＣｏｗＢｙＭｚ（ただし、Ｍは、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｖ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｗ、Ｍｎ、Ｚｒ、Ｄｙのうち少なくとも１種の元素、ｘ：８．２〜９．０原子％、ｙ：５．５〜５．８原子％、ｚ：１．５〜２．０原子％、ｗ：５．０〜８．０原子％、ｖ：０．４〜０．８）で表される合金組成からなり、ハード磁性相とソフト磁性相とを有する複合組織で構成されるものであり、
結晶粒径が５〜５０ｎｍであり、
前記磁石粉末の平均粒径が０．５〜１５０μｍであり、
結合樹脂と混合し、射出成形または押出成形して密度ρ［Ｍｇ／ｍ3］のボンド磁石としたとき、当該ボンド磁石の室温での最大磁気エネルギー積（ＢＨ）max［ｋＪ／ｍ3］が、２．１０≦（ＢＨ）max／ρ2［×１０-9Ｊ・ｍ3／ｇ2］≦２．９２の関係を満足するとともに、当該ボンド磁石の室温での残留磁束密度Ｂｒ［Ｔ］が、０．１２５≦Ｂｒ／ρ［×１０-6Ｔ・ｍ3／ｇ］≦０．１４２の関係を満足し、かつ当該ボンド磁石の室温での固有保磁力ＨcJが４５２〜５７１ｋＡ／ｍであり、
前記冷却ロールは、金属または合金で構成される基部と、周面を構成し、表面層とを有し、該表面層の熱伝導率が前記基部の熱伝導率より小さいものであり、
前記表面層は、その厚さが０．５〜５０μｍであり、かつ、ＺｒＣで構成されていることを特微とする磁石粉末の製造方法。
【００１１】
（２）  前記急冷薄帯の厚さは、１０〜４０μｍである上記（１）に記載の磁石粉末の製造方法。
【００１６】
（３）  前記急冷薄帯の粉砕前および／または粉砕後に、少なくとも１回熱処理を施す上記（１）または（２）に記載の磁石粉末の製造方法。
【００１７】
（４）  磁石材料の溶湯を回転する冷却ロールの周面に衝突させ、冷却固化することにより急冷薄帯を得る工程と、
前記急冷薄帯を粉砕して磁石粉末を得る工程と、
前記磁石粉末を結合樹脂と混合し射出成形または押出成形して密度ρ［Ｍｇ／ｍ3］のボンド磁石を得る工程とを有し、
前記磁石粉末が、（ＮｄｖＰｒｖ−１）ｘＦｅｂａｌＣｏｗＢｙＭｚ（ただし、Ｍは、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｖ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｗ、Ｍｎ、Ｚｒ、Ｄｙのうち少なくとも１種の元素、ｘ：８．２〜９．０原子％、ｙ：５．５〜５．８原子％、ｚ：１．５〜２．０原子％、ｗ：５．０〜８．０原子％、ｖ：０．４〜０．８）で表される合金組成からなり、ハード磁性相とソフト磁性相とを有する複合組織で構成されるものであり、
結晶粒径が５〜５０ｎｍであり、
前記磁石粉末の平均粒径が０．５〜１５０μｍであり、
結合樹脂と混合し、射出成形または押出成形して密度ρ［Ｍｇ／ｍ3］のボンド磁石としたとき、当該ボンド磁石の室温での最大磁気エネルギー積（ＢＨ）max［ｋＪ／ｍ3］が、２．１０≦（ＢＨ）max／ρ2［×１０-9Ｊ・ｍ3／ｇ2］≦２．９２の関係を満足するとともに、当該ボンド磁石の室温での残留磁束密度Ｂｒ［Ｔ］が、０．１２５≦Ｂｒ／ρ［×１０-6Ｔ・ｍ3／ｇ］≦０．１４２の関係を満足し、かつ当該ボンド磁石の室温での固有保磁力ＨcJが４５２〜５７１ｋＡ／ｍであり、
前記冷却ロールは、金属または合金で構成される基部と、周面を構成し、表面層とを有し、該表面層の熱伝導率が前記基部の熱伝導率より小さいものであり、
前記表面層は、その厚さが０．５〜５０μｍであり、かつ、ＺｒＣで構成されていることを特微とするボンド磁石の製造方法。
【００１８】
（５）  前記ボンド磁石の最大磁気エネルギー積（ＢＨ）maxが４０ｋＪ／ｍ3以上である上記（４）に記載のボンド磁石の製造方法。
【００１９】
（６）  前記ボンド磁石を１００℃×１時間の環境に保持した後、室温に戻した際における不可逆減磁率（初期減磁率）の絶対値が６．２％以下である上記（４）または（５）のいずれかに記載のボンド磁石の製造方法。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の磁石粉末の製造方法およびボンド磁石の製造方法の実施の形態について、詳細に説明する。
【００３２】
［本発明の概要］
モータなどの小型化を図るために、磁束密度が高い磁石を得ることが課題となっている。ボンド磁石における磁束密度を決定する要因は、磁石粉末の磁化の値と、ボンド磁石中における磁石粉末の含有量（含有率）とがあるが、磁石粉末自体の磁化がそれほど高くない場合には、ボンド磁石中の磁石粉末の含有量を極端に多くしないと十分な磁束密度が得られない。
【００３３】
現在普及している前述のＭＱＩ社製のＭＱＰ−Ｂ粉末は、前述したように、用途によっては磁束密度が不十分であり、よって、ボンド磁石の製造に際し、ボンド磁石中の磁石粉末の含有量を多くすること、すなわち高密度化を余儀なくされ、耐食性、耐熱性や機械的強度等の面で信頼性に欠けるとともに、保磁力が高いため、着磁性が悪いという欠点を有している。
【００３４】
これに対し、本発明の磁石粉末およびボンド磁石は、十分な磁束密度と適度な保磁力が得られ、これにより、ボンド磁石中の磁石粉末の含有量（含有率）をそれほど高める必要がなく、その結果、高強度で、成形性、耐食性、着磁性等に優れた信頼性の高いボンド磁石を提供することができ、また、ボンド磁石の小型化、高性能化により、モータ等の磁石搭載機器の小型化にも大きく貢献することができる。
【００３５】
さらに、本発明の磁石粉末は、ハード磁性相とソフト磁性相とを有する複合組織を構成するものとすることができる。
【００３６】
前述のＭＱＩ社製のＭＱＰ−Ｂ粉末は、ハード磁性相の単相組織であるが、このような複合組織では磁化の高いソフト磁性相が存在するため、トータルの磁化が高くなるという利点があり、さらにリコイル透磁率が高くなるため、一旦逆磁場を加えてもその後の減磁率が小さいという利点を有する。
【００３７】
［磁石粉末の合金組成］
本発明の磁石粉末は、Ｒx（Ｆｅ1-aＣｏa）100-x-y-zＢyＭz（ただし、Ｒは、Ｄｙを除く少なくとも１種の希土類元素、Ｍは、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｖ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｗ、Ｍｎ、Ｚｒ、Ｄｙのうち少なくとも１種の元素、ｘ：７．１〜９．９原子％、ｙ：４．６〜８．０原子％、ｚ：０．１〜３．０原子％、ａ：０〜０．３０）で表される合金組成からなるものである。
【００３８】
Ｒ（Ｄｙを除く希土類元素）としては、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、ミッシュメタルが挙げられ、これらを１種または２種以上含むことができる。
【００３９】
Ｒの含有量（含有率）は、７．１〜９．９原子％とされる。Ｒの含有量が７．１原子％未満では、十分な保磁力が得られず、Ｍを添加しても保磁力の向上が少ない。一方、Ｒの含有量が９．９原子％を超えると、磁化のポテンシャルが下がるため、十分な磁束密度が得られなくなる。
【００４０】
ここで、ＲはＮｄおよび／またはＰｒを主とする希土類元素であるのが好ましい。その理由は、これらの希土類元素は、複合組織（特にナノコンポジット組織）を構成するハード磁性相の飽和磁化を高め、また磁石として良好な保磁力を実現するために有効だからである。
【００４１】
また、Ｒは、Ｐｒを含み、その割合がＲ全体に対し５〜７５％であるのが好ましく、２０〜６０％であるのがより好ましい。この範囲であると、残留磁束密度の低下をほとんど生じることなく、保磁力および角型性を向上させることができるためである。
【００４２】
Ｃｏは、Ｆｅと同様の特性を有する遷移金属である。このＣｏを添加すること（Ｆｅの一部を置換すること）により、キュリー温度が高くなり、温度特性が向上するが、Ｆｅに対するＣｏの置換比率が０．３０を超えると、保磁力、磁束密度は共に低下する傾向を示す。Ｆｅに対するＣｏの置換比率が０．０５〜０．２０の範囲では、温度特性の向上のみならず、磁束密度自体も向上するので、さらに好ましい。
【００４３】
Ｂ（ボロン）は、高い磁気特性を得るのに有効な元素であり、その含有量は、４．６〜８．０原子％とされる。Ｂが４．６原子％未満であると、Ｂ−Ｈ（Ｊ−Ｈ）ループにおける角型性が悪くなる。一方、Ｂが８．０原子％を超えると、非磁性相が多くなり、磁束密度が急減する。
【００４４】
Ｍは、保磁力向上にとって有利な元素であり、その含有量は、０．１〜３．０原子％とされる。特に、Ｍの含有量は、０．２〜２．５原子％であるのが好ましく、０．５〜２．０原子％であるのがより好ましい。このような範囲でＭを含有することにより、顕著な保磁力向上の効果が現れる。また、このような範囲では、保磁力向上に追随して、角型性および最大磁気エネルギー積も向上する。さらに、耐熱性および耐食性についても良好となる。ただし、上述したように、Ｒの含有量が７．１原子％未満では、Ｍの添加によるこのような効果は非常に小さい。また、Ｍの含有量が上限値を超えると、磁化の低下が生じる。
【００４５】
なお、Ｍ自体は新規な物質ではないが、本発明では、実験、研究を重ねた結果、ソフト磁性相とハード磁性相を有する複合組織で構成される磁石粉末において、Ｍを前述の範囲内で含有せしめることにより、▲１▼優れた角型性、最大磁気エネルギー積を確保しつつ保磁力の向上が図れる、▲２▼不可逆減磁率の改善（絶対値の低減）が図れる、▲３▼良好な耐食性を保持できる、という３つの効果が得られること、特にこれらの効果が同時に得られることを見出したものであり、この点に本発明の意義がある。
【００４６】
また、磁気特性をさらに向上させる等の目的で、磁石粉末を構成する合金中には、必要に応じ、Ｔａ、Ｚｎ、Ｐ、Ｇｅ、Ｃｕ、Ｇａ、Ｓｉ、Ｉｎ、Ａｇ、Ａｌよりなる群（以下この群を「Ｑ」で表す）から選択される少なくとも１種の元素を含有することもできる。Ｑに属する元素を含有する場合、その含有量は、２．０原子％以下であるのが好ましく、０．１〜１．５原子％であるのがより好ましく、０．２〜１．０原子％であるのがさらに好ましい。
【００４７】
Ｑに属する元素の含有は、その種類に応じた固有の効果を発揮する。例えば、Ｔａ、Ｃｕ、Ｇａ、Ｓｉ、Ａｌは、耐食性を向上させる効果がある。
【００４８】
［複合組織］
また、磁石材料は、ソフト磁性相とハード磁性相とを有する複合組織となっている。
【００４９】
この複合組織（ナノコンポジット組織）は、ソフト磁性相１０とハード磁性相１１とが、例えば図１、図２または図３に示すようなパターン（モデル）で存在しており、各相の厚さや粒径がナノメーターレベルで存在している。そして、ソフト磁性相１０とハード磁性相１１とが相隣接し（粒界相を介して隣接する場合も含む）、磁気的な交換相互作用を生じる。
【００５０】
平均結晶粒径は、５〜５０ｎｍであり、特に、１０〜４０ｎｍであるのが好ましい。平均結晶粒径が下限値未満であると、結晶粒間の交換相互作用の影響が強くなり過ぎて、磁化反転が容易となり、保磁力が劣化する場合がある。
【００５１】
一方、平均結晶粒径が上限値を超えると、結晶粒径の粗大化と、結晶粒間の交換相互作用の影響が弱くなることから、磁束密度、保磁力、角型性、最大エネルギー積が劣化する場合がある。
【００５２】
なお、図１〜図３に示すパターンは、一例であって、これらに限られるものではなく、例えば図２に示すパターンにおいて、ソフト磁性相１０とハード磁性相１１とが逆になっているものでもよい。
【００５３】
ソフト磁性相の磁化は、外部磁界の作用により容易にその向きを変えるので、ハード磁性相に混在すると、系全体の磁化曲線は、Ｂ−Ｈ図の第二象現で段のある「へび型曲線」となる。しかし、ソフト磁性相のサイズが十分小さい場合には、ソフト磁性体の磁化が周囲のハード磁性体の磁化との結合によって十分強く拘束され、系全体がハード磁性体として振舞うようになる。
【００５４】
このような複合組織（ナノコンポジット組織）を持つ磁石は、主に、以下に挙げる特徴１）〜５）を有している。
【００５５】
１）Ｂ−Ｈ図（Ｊ−Ｈ図）の第二象現で、磁化が可逆的にスプリングバックする（この意味で「スプリング磁石」とも言う）。
２）着磁性が良く、比較的低い磁場で着磁できる。
３）磁気特性の温度依存性がハード磁性相単独の場合に比べて小さい。
４）磁気特性の経時変化が小さい。
５）微粉砕しても磁気特性が劣化しない。
【００５６】
前述した合金組成において、ハード磁性相およびソフト磁性相は、例えば、次のようなものとなる。
【００５７】
ハード磁性相：Ｒ2ＴＭ14Ｂ系（ただし、ＴＭは、ＦｅまたはＦｅとＣｏを主とする遷移金属）
ソフト磁性相：ＴＭ（特にα−Ｆｅ，α−（Ｆｅ，Ｃｏ））
【００５８】
［磁石粉末の製造］
本発明の磁石粉末は、溶湯合金を急冷することにより製造されたものであるのが好ましく、特に、合金の溶湯を急冷、固化して得られた急冷薄帯（リボン）を粉砕して製造されたものであるのが好ましい。以下、その方法の一例について説明する。
【００５９】
図４は、単ロールを用いた急冷法により磁石材料を製造する装置（急冷薄帯製造装置）の構成例を示す斜視図、図５は、図４に示す装置における溶湯の冷却ロールへの衝突部位付近の状態を示す断面側面図である。
【００６０】
図４に示すように、急冷薄帯製造装置１は、磁石材料を収納し得る筒体２と、該筒体２に対し図中矢印９Ａ方向に回転する冷却ロール５とを備えている。筒体２の下端には、磁石材料（合金）の溶湯を射出するノズル（オリフィス）３が形成されている。
【００６１】
また、筒体２のノズル３近傍の外周には、加熱用のコイル４が配置され、このコイル４に例えば高周波を印加することにより、筒体２内を加熱（誘導加熱）し、筒体２内の磁石材料を溶融状態にする。
【００６２】
冷却ロール５は、基部５１と、冷却ロール５の周面５３を形成する表面層５２とで構成されている。
【００６３】
表面層５２は、基部５１と同じ材質で一体構成されていてもよいが、基部５１の構成材料より熱伝導率の小さい材料で構成されているのが好ましい。
【００６４】
基部５１の構成材料は、特に限定されないが、表面層５２の熱をより速く放散できるように、例えば銅または銅系合金のような熱伝導率の高い金属材料で構成されているのが好ましい。
【００６５】
また、表面層５２の構成材料としては、例えば、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｗ等、またはこれらを含む合金等の金属薄層や金属酸化物層、セラミックス等が挙げられる。その中でも、特に、急冷薄帯８のロール面（冷却ロール５と接触する側の面）８１とフリー面（ロール面８１の反対側の面）８２との冷却速度の差をより小さくできるという点で、セラミックスであるのが好ましい。
【００６６】
セラミックスとしては、例えば、Ａｌ2Ｏ3、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、Ｔｉ2Ｏ3、ＺｒＯ2、Ｙ2Ｏ3、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム等の酸化物系セラミックス、ＡｌＮ、Ｓｉ3Ｎ4、ＴｉＮ、ＢＮ等の窒化物系セラミックス、グラファイト、ＳｉＣ、ＺｒＣ、Ａｌ4Ｃ3、ＣａＣ2、ＷＣ等の炭化物系のセラミックス、あるいは、これらのうちの２以上を任意に組合せた複合セラミックスが挙げられる。
【００６７】
また、表面層５２は、図示のような単層のみならず、例えば組成の異なる複数の層の積層体であってもよい。この場合、隣接する層同士は、密着性の高いものが好ましく、その例としては、隣接する層同士に同一の元素が含まれているものが挙げられる。
【００６８】
また、表面層５２が単層で構成されている場合でも、その組成は、厚さ方向に均一なものに限らず、例えば、含有成分が厚さ方向に順次変化するもの（傾斜材料）であってもよい。
【００６９】
表面層５２の平均厚さ（前記積層体の場合はその合計厚さ）は、特に限定されないが、０．５〜５０μｍであることが好ましく、１〜２０μｍであることがより好ましい。
【００７０】
表面層５２の平均厚さが下限値未満であると、次のような問題が生じる場合がある。すなわち、表面層５２の材質によっては、冷却能が大きすぎて、厚さがかなり大きい急冷薄帯８でもロール面８１では冷却速度が大きく、非晶質になり易くなる。一方、フリー面８２では急冷薄帯８の熱伝導率が比較的小さいので急冷薄帯８の厚さが大きいほど冷却速度が小さくなり、その結果、結晶粒径の粗大化が起こり易くなる。すなわち、フリー面８２では粗大粒、ロール面８１では非晶質といった急冷薄帯となり易くなり、満足な磁気特性が得られない場合がある。また、フリー面８２での結晶粒径を小さくするために、例えば、冷却ロール５の周速度を大きくして、急冷薄帯８の厚さを小さくしたとしても、ロール面８１での非晶質がよりランダムなものとなり、急冷薄帯８の作成後に、熱処理を施したとしても、十分な磁気特性が得られない場合がある。
【００７１】
また、表面層５２の平均厚さが上限値を超えると、急冷速度が遅く、結晶粒径の粗大化が起こり、結果として磁気特性が低下する場合がある。
【００７２】
このような急冷薄帯製造装置１は、チャンバー（図示せず）内に設置され、該チャンバー内に、好ましくは不活性ガスやその他の雰囲気ガスが充填された状態で作動する。特に、急冷薄帯８の酸化を防止するために、雰囲気ガスは、例えばアルゴンガス、ヘリウムガス、窒素ガス等の不活性ガスであるのが好ましい。
【００７３】
急冷薄帯製造装置１では、筒体２内に磁石材料（合金）を入れ、コイル４により加熱して溶融し、その溶湯６をノズル３から吐出すると、図５に示すように、溶湯６は、冷却ロール５の周面５３に衝突し、パドル（湯溜り）７を形成した後、回転する冷却ロール５の周面５３に引きずられつつ急速に冷却されて凝固し、急冷薄帯８が連続的または断続的に形成される。このようにして形成された急冷薄帯８は、やがて、そのロール面８１が周面５３から離れ、図４中の矢印９Ｂ方向に進行する。なお、図５中、溶湯の凝固界面７１を点線で示す。
【００７４】
冷却ロール５の周速度は、合金溶湯の組成、表面層５２の構成材料（組成）、周面５３の表面性状（特に、周面５３の溶湯６に対する濡れ性）等によりその好適な範囲が異なるが、磁気特性向上のために、５〜６０ｍ／秒であるのが好ましく、１０〜４０ｍ／秒であるのがより好ましい。冷却ロール５の周速度が下限値未満であると、溶湯６（パドル７）の冷却速度が低下し、結晶粒径が増大する傾向を示し、磁気特性が低下する場合がある。一方、冷却ロール５の周速度が上限値を超えると、逆に冷却速度が大きくなり、非晶質組織が占める割合が大きくなり、その後に、後述する熱処理を施したとしても、磁気特性が十分に向上しない場合がある。
【００７５】
以上のようにして得られた急冷薄帯８は、その幅ｗおよび厚さができるだけ均一であるものが好ましい。この場合、急冷薄帯８の平均厚さｔは、１０〜４０μｍであるのが好ましく、１２〜３０μｍであるのがより好ましい。平均厚さｔが下限値未満であると、非晶質組織が占める割合が大きくなり、その後に、後述する熱処理を施したとしても磁気特性が十分に向上しない場合がある。単位時間当たりの生産性も低下する。一方、平均厚さｔが上限値を超えると、フリー面８２側の結晶粒径が粗大化する傾向を示すため、磁気特性が低下する場合がある。
【００７６】
なお、得られた急冷薄帯８に対しては、例えば、非晶質組織の再結晶化の促進、組織の均質化のために、少なくとも１回熱処理を施すこともできる。この熱処理の条件としては、例えば、４００〜９００℃で、０．２〜３００分程度とすることができる。
【００７７】
また、この熱処理は、酸化を防止するために、真空または減圧状態下（例えば１×１０-1〜１×１０-6Ｔｏｒｒ）、あるいは窒素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガス等の不活性ガス中のような、非酸化性雰囲気中で行うのが好ましい。
【００７８】
以上のような製造方法により得られた急冷薄帯（薄帯状の磁石材料）８は、微細結晶組織、もしくは微細結晶がアモルファス組織中に含まれるような組織となり、優れた磁気特性が得られる。そして、この急冷薄帯８を粉砕することにより、本発明の磁石粉末が得られる。
【００７９】
粉砕の方法は、特に限定されず、例えばボールミル、振動ミル、ジェットミル、ピンミル等の各種粉砕装置、破砕装置を用いて行うことができる。この場合、粉砕は、酸化を防止するために、真空または減圧状態下（例えば１×１０-1〜１×１０-6Ｔｏｒｒ ）、あるいは窒素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガス等の不活性ガス中のような、非酸化性雰囲気中で行うこともできる。
【００８０】
磁石粉末の平均粒径は、後述するボンド磁石を製造するためのものの場合、磁石粉末の酸化防止と、粉砕による磁気特性劣化の防止とを考慮して、０．５〜１５０μｍであり、特に、０．５〜８０μｍであるのが好ましく、１〜５０μｍであるのがより好ましい。
【００８１】
また、ボンド磁石の成形時のより良好な成形性を得るために、磁石粉末の粒径分布は、ある程度分散されている（バラツキがある）のが好ましい。これにより、得られたボンド磁石の空孔率を低減することができ、その結果、ボンド磁石中の磁石粉末の含有量を同じとしたときに、ボンド磁石の密度や機械的強度をより高めることができ、磁気特性をさらに向上することができる。
【００８２】
なお、得られた磁石粉末に対しては、例えば、粉砕により導入されたひずみの影響の除去、結晶粒径の制御を目的として、熱処理を施すこともできる。この熱処理の条件としては、例えば、３５０〜８５０℃で、０．２〜３００分程度とすることができる。
【００８３】
また、この熱処理は、酸化を防止するために、真空または減圧状態下（例えば１×１０-1〜１×１０-6Ｔｏｒｒ）、あるいは窒素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガス等の不活性ガス中のような、非酸化性雰囲気中で行うのが好ましい。
【００８４】
以上のような磁石粉末を用いてボンド磁石を製造した場合、そのような磁石粉末は、結合樹脂との結合性（結合樹脂の濡れ性）が良く、そのため、このボンド磁石は、機械的強度が高く、熱安定性（耐熱性）、耐食性が優れたものとなる。従って、当該磁石粉末は、ボンド磁石の製造に適している。
【００８５】
なお、以上では、急冷法として、単ロール法を例に説明したが、双ロール法を採用してもよい。また、その他、例えばガスアトマイズのようなアトマイズ法、回転ディスク法、メルト・エクストラクション法、メカニカル・アロイング（ＭＡ）法等により製造してもよい。このような急冷法は、金属組織（結晶粒）を微細化することができるので、ボンド磁石の磁石特性、特に保磁力等を向上させるのに有効である。
【００８６】
［ボンド磁石およびその製造］
次に、本発明のボンド磁石について説明する。
【００８７】
本発明のボンド磁石は、磁石粉末と、結合樹脂とを混合し、射出成形または押出成形してなるものである。
【００８８】
結合樹脂（バインダー）は、主として熱可塑性樹脂が用いられる。
熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリアミド（例：ナイロン６、ナイロン４６、ナイロン６６、ナイロン６１０、ナイロン６１２、ナイロン１１、ナイロン１２、ナイロン６−１２、ナイロン６−６６）、熱可塑性ポリイミド、芳香族ポリエステル等の液晶ポリマー、ポリフェニレンオキシド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体等のポリオレフィン、変性ポリオレフィン、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリエーテル、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリアセタール等、またはこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイ等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を混合して用いることができる。
【００８９】
これらのうちでも、成形性が特に優れており、機械的強度が高いことから、ポリアミド、耐熱性向上の点から、液晶ポリマー、ポリフェニレンサルファイドを主とするものが好ましい。また、これらの熱可塑性樹脂は、磁石粉末との混練性にも優れている。
【００９０】
このような熱可塑性樹脂は、その種類、共重合化等により、例えば成形性を重視したものや、耐熱性、機械的強度を重視したものというように、広範囲の選択が可能となるという利点がある。
【００９１】
このような本発明のボンド磁石は、例えば次のようにして製造される。磁石粉末と、結合樹脂と、必要に応じ添加剤（酸化防止剤、潤滑剤等）とを混合、混練（例えば、温間混練）してボンド磁石用組成物（コンパウンド）を製造し、このボンド磁石用組成物を用いて、押出成形または射出成形により、無磁場中で所望の磁石形状に成形する。
【００９２】
射出成形は、磁石の形状選択の自由度が大きく、特に複雑な形状の磁石をも容易に製造できるという利点を有している。また、押出成形は、射出成形と同様に、磁石の形状選択の自由度が大きく、生産性も高いという利点を有している。
【００９３】
しかしながら、これらの成形方法では、良好な成形性を得るために、成形機内におけるコンパウンドの十分な流動性を確保しなければならないため、圧縮成形に比べて、磁石粉末の含有量を多くすること、すなわちボンド磁石を高密度化することができない。
【００９４】
ところで、本発明の磁石粉末は、前述したように、従来の磁石粉末に比べ、非常に高い磁気特性を有している。そのため、本発明の磁石粉末を用いて、これらの成形方法（射出成形または押出成形）でボンド磁石を製造した場合、優れた成形性、生産性を確保しながら、従来の圧縮成形により製造されたボンド磁石と同等もしくはそれ以上の高い磁気特性を得ることができる。
【００９５】
ボンド磁石中の磁石粉末の含有量（含有率）は、特に限定されないが、７５〜９８ｗｔ％程度であるのが好ましく、８５〜９７ｗｔ％程度であるのがより好ましい。
【００９６】
ボンド磁石の密度ρは、それに含まれる磁石粉末の比重、磁石粉末の含有量、空孔率等の要因により決定される。本発明のボンド磁石において、その密度ρは特に限定されないが、４．３〜６．３Ｍｇ／ｍ3程度であるのが好ましく、４．８〜６．２Ｍｇ／ｍ3程度であるのがより好ましい。
【００９７】
なお、本発明では、成形性の向上等を優先すべく、磁石粉末の含有量を少なくした場合でも、前述したように、磁石粉末自体の磁気特性が高いので、十分な磁気特性を得ることができる。
【００９８】
本発明のボンド磁石の形状、寸法等は特に限定されず、例えば、形状に関しては、例えば、円柱状、角柱状、円筒状（リング状）、円弧状、平板状、湾曲板状等のあらゆる形状のものが可能であり、その大きさも、大型のものから超小型のものまであらゆる大きさのものが可能である。特に、小型化、超小型化された磁石に有利であることは、本明細書中で度々述べている通りである。
【００９９】
このようなことから、本発明のボンド磁石は、多極着磁に供される、または多極着磁されたものであるのが好ましい。
【０１００】
［１］ボンド磁石の保磁力（室温での固有保磁力）ＨcJは、４５２〜５７１ｋＡ／ｍである。保磁力が前記下限値未満では、モータの用途によっては逆磁場がかかったときの減磁が顕著になり、また、高温における耐熱性が劣る。また、保磁力が前記上限値を超えると、着磁性が低下する。従って、保磁力ＨcJを上記範囲とすることにより、ボンド磁石（特に、円筒状磁石）に多極着磁等をするような場合に、十分な着磁磁場が得られないときでも、良好な着磁が可能となり、十分な磁束密度が得られ、高性能なボンド磁石、特にモータ用ボンド磁石を提供することができる。
【０１０１】
［２］ボンド磁石は、最大磁気エネルギー積（ＢＨ）max［ｋＪ／ｍ3］と密度ρ［Ｍｇ／ｍ3］との間で、下記式（I）を満足する。
２．１０≦（ＢＨ）max／ρ2［×１０-9Ｊ・ｍ3／ｇ2］・・・（I）
また、式（I）に代わり、式（II）を満足するのが好ましく、式（III）を満足するのがより好ましい。
２．２≦（ＢＨ）max／ρ2［×１０-9Ｊ・ｍ3／ｇ2］≦３．２・・・（II）
２．３≦（ＢＨ）max／ρ2［×１０-9Ｊ・ｍ3／ｇ2］≦３．１・・・（III）
（ＢＨ）max／ρ2［×１０-9Ｊ・ｍ3／ｇ2］の値が前記式中の下限値未満であると、磁石の密度を高くしないと、すなわち磁石粉末の含有量（含有率）を多くしないと、十分な磁気特性が得られない。そうした場合、高コスト化、結合樹脂の減少による成形性の低下という問題を招く。また、一定の磁気特性を得るためには、体積が増えることとなり、機器の小型化が困難となる。
【０１０２】
［３］ボンド磁石は、室温での残留磁束密度Ｂｒ［Ｔ］と密度ρ［Ｍｇ／ｍ3］との間で、下記式（IV）を満足する。
【０１０３】
０．１２５≦Ｂｒ／ρ［×１０-6Ｔ・ｍ3／ｇ］・・・（IV）
また、式（IV）に代わり、式（V）を満足するのが好ましく、式（VI）を満足するのがより好ましい。
０．１２８≦Ｂｒ／ρ［×１０-6Ｔ・ｍ3／ｇ］≦０．１６・・・（V）
０．１３≦Ｂｒ／ρ［×１０-6Ｔ・ｍ3／ｇ］≦０．１５５・・・（VI）
Ｂｒ／ρ［×１０-6Ｔ・ｍ3／ｇ］の値が前記式中の下限値未満であると、磁石の密度を高くしないと、すなわち磁石粉末の含有量（含有率）を多くしないと、十分な磁束密度が得られない。そうした場合、高コスト化、結合樹脂の減少による成形性の低下という問題を招く。また、一定の磁束密度を得るためには、体積が増えることとなり、機器の小型化が困難となる。
【０１０４】
［４］ボンド磁石は、最大磁気エネルギー積（ＢＨ）maxが４０ｋＪ／ｍ3以上であるのが好ましく、５０ｋＪ／ｍ3以上であるのがより好ましく、６０〜１１０ｋＪ／ｍ3であるのがさらに好ましい。最大磁気エネルギー積（ＢＨ）maxが４０ｋＪ／ｍ3未満であると、モータ用に用いた場合、その種類、構造によっては、十分なトルクが得られない。
【０１０５】
［５］ボンド磁石は、不可逆減磁率（初期減磁率）の絶対値が６．２％以下であるのが好ましく、５％以下であるのがより好ましく、４％以下であるのがさらに好ましい。これにより、熱的安定性（耐熱性）に優れたボンド磁石が得られる。
【０１０６】
【実施例】
次に、本発明の具体的実施例について説明する。
【０１０７】
（実施例１）
以下に述べるような方法で、表１に示す合金組成で表される７種の磁石粉末（サンプルＮｏ．１〜Ｎｏ．７）を得た。
【０１０８】
まず、Ｎｄ、Ｐｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、ＢおよびＭの各原料を秤量して母合金インゴットを鋳造した。
【０１０９】
図４および図５に示す構成の急冷薄帯製造装置１を用意し、底部にノズル（円孔オリフィス：オリフィス直径０．６ｍｍ）３を設けた石英管内に前記サンプルを入れた。急冷薄帯製造装置１が収納されているチャンバー内を脱気した後、不活性ガス（アルゴンガス）を導入し、所望の温度および圧力の雰囲気とした。
【０１１０】
冷却ロール５としては、銅製の基部５１の外周に、ＺｒＣよりなる厚さ約７μｍの表面層５２を設けたもの（直径２００ｍｍ）を用いた。
【０１１１】
その後、石英管内のインゴットサンプルを高周波誘導加熱により溶解し、さらに、溶湯の噴射圧（石英管の内圧と筒体２内における液面の高さに比例してかかる圧力の和と、雰囲気圧との差圧）、冷却ロールの周速度を調整して、急冷薄帯を作製した。このとき得られた急冷薄帯の厚さは、いずれも約２０μｍであった。
【０１１２】
得られた急冷薄帯を粗粉砕した後、アルゴンガス雰囲気中で６８０℃×３００秒の熱処理を施して、磁石粉末を得た。
【０１１３】
次に、粒度調整のために、この磁石粉末をさらに粉砕機（ライカイ機）を用いてアルゴンガス中で粉砕し、平均粒径６０μｍの磁石粉末（サンプルＮｏ．１〜Ｎｏ．７）にした。
【０１１４】
得られた各磁石粉末について、その相構成を分析するため、Ｃｕ−Ｋαを用い回折角２０°〜６０°にてＸ線回折を行った。回折パターンからハード磁性相であるＲ2（Ｆｅ・Ｃｏ）14Ｂ型相と、ソフト磁性相であるα−（Ｆｅ，Ｃｏ）型相の回折ピークが確認でき、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）による観察結果から、いずれも、複合組織（ナノコンポジット組織）を形成していることが確認された。また、各磁石粉末について、平均結晶粒径の測定を行った。これらの値を表１に示す。
【０１１５】
【表１】
0004243415.tif 000002
【０１１６】
この磁石粉末に、ポリアミド樹脂（ナイロン１２）を混合し、これらを２２５℃×１５分間、混練してボンド磁石用組成物（コンパウンド）を作製した。このとき、磁石粉末とポリアミド樹脂との配合比率（重量比）は、各ボンド磁石についてほぼ等しい値とした。すなわち、各ボンド磁石中の磁石粉末の含有量（含有率）は、約９５ｗｔ％であった。
【０１１７】
次いで、このコンパウンドを粉砕して粒状とし、この粒状物を射出成形機（（株）日本製鋼所製、Ｊ５０−Ｅ２）を用いて射出成形した。このとき、金型温度は、９０℃、射出シリンダー内温度は、２４０℃であった。冷却後、成形金型から離型し、直径１０ｍｍ×高さ７ｍｍの円柱状のボンド磁石を得た。
【０１１８】
これらのボンド磁石について、磁場強度３．２ＭＡ／ｍのパルス着磁を施した後、直流自記磁束計（東英工業（株）製、ＴＲＦ−５ＢＨ）にて最大印加磁場２．０ＭＡ／ｍで磁気特性（残留磁束密度Ｂｒ、保磁力ＨcJおよび最大磁気エネルギー積（ＢＨ）max）を測定した。測定時の温度は、２３℃（室温）であった。
【０１１９】
次に耐熱性のテストを行った。この耐熱性は、ボンド磁石を１００℃×１時間の環境下に保持した後、室温に戻した際の不可逆減磁率（初期減磁率）を測定し、評価した。不可逆減磁率（初期減磁率）の絶対値が小さいほど、耐熱性（熱安定性）に優れる。
【０１２０】
また、各ボンド磁石について、密度ρをアルキメデス法により測定した。
【０１２１】
これらの測定値および（ＢＨ）max／ρ2、Ｂｒ／ρの値を表２に示す。
【０１２２】
【表２】
0004243415.tif 000003
【０１２３】
（実施例２）
実施例１で得られた磁石粉末に、ポリアミド樹脂（ナイロン１２）を混合し、これらを２２５℃×１５分間、混練してボンド磁石用組成物（コンパウンド）を作製した。このとき、磁石粉末とポリアミド樹脂との配合比率（重量比）は、各ボンド磁石についてほぼ等しい値とした。すなわち、各ボンド磁石中の磁石粉末の含有量（含有率）は、約９６．５ｗｔ％であった。
【０１２４】
次いで、このコンパウンドを粉砕して粒状とし、この粒状物を押出成形機を用いて連続的に押出成形し、所定長さに切断して、直径１０ｍｍ×高さ７ｍｍの円柱状のボンド磁石を得た。成形時の金型温度は、１５０℃であった。
【０１２５】
これらのボンド磁石について、実施例１と同様にして、磁気特性、不可逆減磁率および密度を測定した。
【０１２６】
これらの測定値および（ＢＨ）max／ρ2、Ｂｒ／ρの値を表３に示す。
【０１２７】
【表３】
0004243415.tif 000004
【０１２８】
表２、３から明らかなように、サンプルＮｏ．２〜Ｎｏ．６（本発明）によるボンド磁石は（成形方法が射出成形、押出成形のいずれであっても）、優れた磁気特性（残留磁束密度Ｂｒ、最大磁気エネルギー積（ＢＨ）maxおよび保磁力ＨcJ）を有するとともに、不可逆減磁率が小さく、熱的安定性（耐熱性）にも優れている。
【０１２９】
これに対し、サンプルＮｏ．１、Ｎｏ．７（いずれも比較例）のボンド磁石は、磁気特性が劣っているとともに、不可逆減磁率の絶対値が大きく、熱的安定性も低い。
【０１３０】
このように、所定量のＭを含有する磁石粉末を用いて製造されたボンド磁石は、優れた磁気特性、熱的安定性（耐熱性）を有する。
【０１３１】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、次のような効果が得られる。
【０１３２】
・磁石粉末がＭ（Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｖ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｗ、Ｍｎ、Ｚｒ、Ｄｙのうち少なくとも１種の元素）を所定量含有し、また、ソフト磁性相とハード磁性相とを有する複合組織を有することにより、磁化が高く、優れた磁気特性を発揮し、特に固有保磁力と角型性が改善される。
・Ｍ元素の組み合わせやそれらの含有率を適宜選択することにより、さらに優れた磁気特性、耐熱性が得られる。
・不可逆減磁率の絶対値が小さく、優れた耐熱性（熱的安定性）が得られる。・高い磁束密度が得られることから、射出成形または押出成形によりボンド磁石とした場合、従来の圧縮成形によるボンド磁石と同等またはそれ以上の高い磁気特性を得ることができる。すなわち、優れた成形性、生産性を確保しながら、磁気特性の高いボンド磁石を得ることができる。
・また、ボンド磁石用組成物中における磁石粉末の含有量を少なくした場合であっても、十分な磁気特性を得ることができるので、成形性の向上と共に、寸法精度、機械的強度、耐食性、耐熱性（熱的安定性）等のさらなる向上が図れ、信頼性の高いボンド磁石を容易に製造することが可能となる。
・着磁性が良好なので、より低い着磁磁場で着磁することができ、特に多極着磁等を容易かつ確実に行うことができ、かつ高い磁束密度を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の磁石粉末における複合組織（ナノコンポジット組織）の一例を模式的に示す図である。
【図２】本発明の磁石粉末における複合組織（ナノコンポジット組織）の一例を模式的に示す図である。
【図３】本発明の磁石粉末における複合組織（ナノコンポジット組織）の一例を模式的に示す図である。
【図４】磁石材料を製造する装置（急冷薄帯製造装置）の構成例を示す斜視図である。
【図５】図４に示す装置における溶湯の冷却ロールへの衝突部位付近の状態を示す断面側面図である。
【符号の説明】
１          急冷薄帯製造装置
２          筒体
３          ノズル
４          コイル
５          冷却ロール
５１        ロール基材
５２        表面層
５３        周面
６          溶湯
７          パドル
７１        凝固界面
８          急冷薄帯
８１        ロール面
９Ａ        矢印
９Ｂ        矢印
１０        ソフト磁性相
１１        ハード磁性相
【図１】
0004243415.tif 000005
【図２】
0004243415.tif 000006
【図３】
0004243415.tif 000007
【図４】
0004243415.tif 000008
【図５】
0004243415.tif 000009