(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空排気系に接続されるとともにパネルの排気管に接続される複数の排気ヘッドを周縁部にそれぞれ設けた第１の排気ステーションおよび第２の排気ステーションを有する排気台と、この排気台に対して相対的に移動可能に設けられかつ前記第１の排気ステーションおよび前記第２の排気ステーションのうちのいずれか一方を覆うように設けた加熱炉とを備え、かつ前記排気台にパネルを配置する際は、隣接するパネルの排気管が互いに対向する周縁部にくるように配置し、前記第１および第２の排気ステーションのうち、一方の排気ステーションを覆うように加熱炉を配置して複数のパネルの排気作業を行っている間に、排気作業が終了した他方の排気ステーションの複数のパネルにガスを封入する放電ガスの封入作業を行い、その後未排気のパネルと交換する作業を行うことを特徴とする排気方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネルや蛍光表示管等の平板型ディスプレイパネルの真空排気を行うための排気方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のプラズマディスプレイパネル等の製造工程で用いられる排気装置について、図５、図６および図７を用いて説明する。図５は従来の排気装置の側面図であり、図６は図５のＸ−Ｘ線から見た平面図であり、図７は台車を加熱炉から引き出した状態を示す側面図である。
【０００３】
図５〜図７に示すように、台車１の底部には真空ポンプからなる真空排気系２が内蔵されており、真空排気系２に連結された排気パイプ３の端部には排気ヘッド４が設けられている。また、排気ヘッド４を冷却するための冷却配管５が設けられている。この台車１上に排気管６がそれぞれ設けられた複数のパネル７を設置し、排気管６を排気ヘッド４に接続して、加熱炉８の内部に台車１を移動させる。図５および図６は台車１を加熱炉８の内部に移動させた時の状態を示している。図５では加熱炉８の側壁部８ａ（図６参照）を省略している。
【０００４】
次に、加熱炉８を約２時間かけて約３５０℃まで昇温加熱して、その温度で２時間保持した後、約２時間かけて約１００℃まで降温する。そして、この時点で図７に示すように、台車１を加熱炉８から引き出し、図７に示す状態でパネル７の温度が常温になるまで約１時間自然空冷する。パネル７の温度が常温になってから、パネル７に所定のガスを封入した後、排気管６をガスバーナで加熱して封止を完了する。封止が完了したパネル７を台車１から取り出した後、未排気のパネルを設置して上記動作を繰り返してパネルの排気を順次行う。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来の排気装置を用いて一度により多くのパネルを製造するために、より多くのパネルを収納することができる排気装置にする場合、パネルを排気台へ設置するための時間がパネルの数に応じて長くなるとともに、設置するパネルの間隔が小さくなるので、炉から取り出したパネルを自然空冷する時間が長くなる。また、冷却後のパネルにガスを封入し排気管を封止するための作業時間も長くなる。さらに、加熱炉内でパネルを加熱、保持、冷却するための時間を短縮すると真空排気の特性が悪くなり、パネル内のガスを十分に排気できず、到達真空度が低下することになる。
【０００６】
また、２台の台車を交互に加熱炉内に移動させることによりパネルの排気を行う方法が考えられるが、台車に設けられた真空排気系や冷却配管には、台車の外部から電源配線や配管を接続する必要があるため、台車を入れ替える度に配管等を接続し直す必要があるので、かえって作業効率が悪くなる。
【０００７】
このため、加熱炉内にパネルを入れるまでの作業時間と加熱炉からパネルを取り出した後の作業時間をいかにして短縮し、パネルの製造効率を向上させることが課題であった。これらの作業時間の短縮化が図れない場合、パネルの製造効率を向上させるために排気装置の台数を増加せざるを得なかった。
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、排気装置の台数を増加させず、排気台へのパネルの設置時間および排気台からパネルを取り出すための時間のロスをなくすことにより、パネルの製造を効率的に行うことのできる排気装置および排気方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために本発明は、真空排気系に接続されるとともにパネルの排気管に接続される複数の排気ヘッドを周縁部にそれぞれ設けた第１の排気ステーションおよび第２の排気ステーションを有する排気台と、この排気台に対して相対的に移動可能に設けられかつ前記第１の排気ステーションおよび前記第２の排気ステーションのうちのいずれか一方を覆うように設けた加熱炉とを備え、かつ前記排気台にパネルを配置する際は、隣接するパネルの排気管が互いに対向する周縁部にくるように配置し、前記第１および第２の排気ステーションのうち、一方の排気ステーションを覆うように加熱炉を配置して複数のパネルの排気作業を行っている間に、排気作業が終了した他方の排気ステーションの複数のパネルにガスを封入する放電ガスの封入作業を行い、その後未排気のパネルと交換する作業を行うことを特徴とする。この構成により、加熱炉の効率的な運転が可能となり、パネルの排気およびガス封入を効率的に行うことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１１】
図１は本発明の排気方法に用いる排気装置の側面図、図２は図１のＹ−Ｙ線から見た平面図、図３は図１の矢印Ａの方向から見た図である。図１または図２に示すように、本実施の形態の排気装置は、第１の排気ステーション９と第２の排気ステーション１０とを有する排気台１１により構成されている。排気台１１の第１および第２の排気ステーション９，１０それぞれには、底部に設けられた真空ポンプを含む真空排気系１２と、この真空排気系１２に連結された排気パイプ１３と、この排気パイプ１３の端部に接続された排気ヘッド１４とが設けられている。この排気ヘッド１４は、パネル１５の端部に設けられた排気管１６に接続されるもので、この排気ヘッド１４の内部には、真空排気したパネル１５の内部の真空度を保つためにＯリング（図示せず）が設けられている。また、排気ヘッド１４には、Ｏリングを冷却するための冷却配管１７が接続されている。
【００１２】
また、図１に示すように、排気台１１の第１および第２の排気ステーション９，１０には、外壁１１ａの内面に近接してヒータ１８と風向板１９ａとが設けられるとともに、中央部にある断熱材からなる中央壁１１ｂの両面に近接してヒータ１８と風向板１９ｂとが設けられている。排気台１１の第１および第２の排気ステーション９，１０の底部にもヒータ１８と風が通過する穴を有する底板２０が設けられている。
【００１３】
さらに、排気台１１の第１および第２の排気ステーション９，１０のうちのいずれか一方の排気ステーションを覆うように、加熱炉２１が設けられており、その加熱炉２１の内部の上部には循環ファン２２と風向板２３とが設けられている。また、図２に示すように加熱炉２１には、側壁２１ａの内面に近接してそれぞれヒータ１８および風向板１９ｃが設けられている。図１では加熱炉２１の側壁２１ａを省略している。
【００１４】
ここで、加熱炉２１の循環ファン２２によって発生した風は、風向板２３の上側を前後左右にわかれて流れ、すなわち、外壁１１ａと風向板１９ａとの間、中央壁１１ｂと風向板１９ｂとの間または側壁２１ａと風向板１９ｃとの間を流れ、つづいて風向板２０の下側に流れ込み、風向板２０に設けられた穴を通って上へ向かって流れることにより加熱炉２１内を循環する。この時、加熱炉２１内を流れる風はヒータ１８によって加熱される。このようにして加熱炉２１内の温度が上昇し、ヒータ１８の熱がパネル１５に効率よく伝わるように構成されている。また、加熱炉２１には排気ダクト２４およびダンパー２５が接続されており、加熱炉２１内部の温度を下げる場合には、排気装置が設置された部屋の天井に設けられた排気ダクト２６を通じて加熱炉２１内部の熱気を部屋の外部に放出することにより行うことができる。
【００１５】
また、加熱炉２１は、図３に示すように、その下部に設けられた移動用ローラ２７により移動可能に構成され、そして加熱炉２１の両側面には駆動軸２８に連結された軸受け２９が設けられており、モータ（図示せず）の駆動により、軸受け２９を介して、加熱炉２１を図１に示す矢印ＣＤ方向に移動させることができる。
【００１６】
また、図２に示すように、排気ヘッド１４は中央壁１１ｂに垂直な排気台１１の周縁部の近傍に配設されており、隣接するパネルの排気管が互いに対向する周縁部にくるようにパネルが配置される。このようにパネルを配置することで、より多くのパネルを配置できるようにしている。
【００１７】
次に、本実施の形態の排気装置の動作を説明する。
【００１８】
図１は第１の排気ステーション９にパネル１５の設置が完了し、加熱炉２１が排気台１１の第１の排気ステーション９側に移動している状態を示している。この状態で真空排気系１２を動作させることにより、パネル１５からガスを排気することが可能か否か、すなわちパネル１５および排気管１６の気密性が保たれているか否かを真空排気系１２と排気ヘッド１４との間に設けられた真空計（図示せず）によって確認し、気密性が保たれていない場合はパネル１５を交換する。
【００１９】
次に、真空排気系１２を動作させてパネル１５のガス排気を開始し、パネル１５内が所定の真空度（例えば２．６×１０-4Ｐａ）に到達したことを確認した後、ヒータ１８を作動させるとともに循環ファン２２を作動させる。これにより、ヒータ１８によって加熱したエアーが加熱炉２１内を循環してパネル１５が加熱される。このようにして、加熱炉２１内の温度が約３５０℃になるまで約２時間かけて昇温させる。加熱炉２１内の温度が約３５０℃になった後、その温度が一定となるように所定時間（例えば２時間）の間保持する。その後ヒータ１８の温度を下げながら加熱炉２１内の降温を行うことにより、排気作業が終了する。このとき、加熱炉２１内の熱せられた空気は、排気ダクト２６から部屋の外部に排気される。
【００２０】
そして、加熱炉２１内の温度が約１００℃に達した時点で、図４に示すように加熱炉２１を第２の排気ステーション１０側に移動させ、第１の排気ステーション９を常温の雰囲気に開放してパネル１５を自然空冷で常温まで冷却する。
【００２１】
その後、パネル１５内に放電ガスを封入して排気管１６のガス封止を行った後、パネル１５を第１の排気ステーション９から取り出すことにより、放電ガスの封入作業が終了する。パネル１５を第１の排気ステーション９から取り出した後は、順次、次の未排気のパネル１５を第１の排気ステーション９に設置し、次の作業に備える。なお、パネルの枚数が増加するとそれに応じてパネル設置に要する時間が長くなるが、例えば８枚のパネルを設置するために要する時間は３０分程度である。
【００２２】
一方、第２の排気ステーション１０においても、上述した第１の排気ステーション９と同様の動作を行う。図４が第２の排気ステーション１０において排気作業を行う際の状態を示す図である。ここで、第２の排気ステーション１０において、加熱炉２１の昇温、保持および降温を行うことによりパネルの排気作業を行っている間、上述したように、第１の排気ステーション９ではパネル１５を自然空冷し、パネル１５内に放電ガスを封入し、排気管のガス封止を行う放電ガスの封入作業を行い、その後、未排気のパネルと交換する作業を行う。
【００２３】
以降、上記した第１および第２の排気ステーション９，１０における排気作業を交互に繰り返すことにより、パネル１５の排気作業、放電ガスの封入、封止作業が行われる。
【００２４】
すなわち、一方の第２の排気ステーション１０で加熱炉の昇温、保持および降温することによりパネル１５の排気作業を行っている間に、排気作業が終了した他方の第１の排気ステーション９ではパネル１５を自然空冷し、放電ガスの封入、封止作業を行った後、未排気のパネル１５と交換する作業を行うことができるので、時間的に余裕が生まれる。このため、一方の排気ステーションでパネルの排気が終了するまでに、他方の排気ステーションで未排気のパネルの設置が完了できる程度まで、パネルの枚数を増やすことができる。また、加熱炉は、一方の排気ステーションでの加熱が完了すると、続けて他方の排気ステーションでの加熱を行うため、加熱炉の利用効率が従来に比べて格段に向上する。以上の動作を繰り返すことで、パネルの排気およびガス封入を効率的に行うことができる。
【００２５】
また、本実施の形態の排気装置を用いると、一方の排気ステーションにおいて例えば８枚のパネルを配置して、パネルの排気およびガス封入を行い、パネルを取り出すまでに要する時間は、一例では約６時間である。一方、同じ数のパネルを従来の排気装置を用いて排気、ガス封入を行うと、台車上へのパネルの設置からパネルの取り出しまでに要する時間は約１０時間である。すなわち、本実施の形態の排気装置では１日に４回のパネルの排気およびガス封入を行うことができるのに対し、従来の排気装置では１日に２回しかできない。したがって、本実施の形態の排気装置を用いることにより、従来に比べて製造効率が２倍程度向上する。
【００２６】
なお、上記実施の形態では第１および第２の排気ステーションを有する排気台を固定して加熱炉を移動させるようにしていたが、逆に加熱炉を固定して排気台を移動させるようにしてもよく、加熱炉は排気台に対して相対的に移動可能であればよい。
【００２７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、真空排気系に接続されるとともにパネルの排気管に接続される複数の排気ヘッドをそれぞれ設けた第１の排気ステーションおよび第２の排気ステーションを有する排気台と、この排気台に対して相対的に移動可能に設けられかつ前記第１の排気ステーションおよび前記第２の排気ステーションのうちのいずれか一方を覆うように設けた加熱炉とを備えた構成とすることにより、パネルの自然冷却、パネルへのガス封入、パネルの封止およびパネルの設置に要するための時間のロスをなくすことができるので、生産性が高く、従来と同等の床面積を占める排気装置を提供することができるものである。
【００２８】
また本発明は、第１および第２の排気ステーションのうち、一方の排気ステーションを覆うように加熱炉を配置して複数のパネルの排気作業を行っている間に、排気作業が終了した他方の排気ステーションの複数のパネルにガスを封入するとともに、未排気のパネルと交換する作業を行うことにより、生産性の高い排気およびガス封入を行うことができる排気方法を提供することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施の形態の排気装置の側面図
【図２】  図１のＹ−Ｙ線から見た平面図
【図３】  図１の矢印Ａの方向から見た図
【図４】  本発明の一実施の形態の排気装置の動作を説明するための側面図
【図５】  従来の排気装置の側面図
【図６】  図５のＸ−Ｘ線から見た平面図
【図７】  従来の排気装置の動作を説明するための側面図
【符号の説明】
９  第１の排気ステーション
１０  第２の排気ステーション
１１  排気台
１１ａ  外壁
１１ｂ  中央壁
１２  真空排気系
１３  排気パイプ
１４  排気ヘッド
１５  パネル
１６  排気管
１７  冷却配管
１８  ヒータ
２１  加熱炉
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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