(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から入射したビーム光の反射面が、回転軸回りに回転対称に形成された回転体であって、
上記反射面に、回転に伴って反射角を変化させ、ｆθ補正を行いながらビーム光を被走査面に投光走査する回折格子が設けられており、
前記回転体の内部に、反射面として円錐面が設けられ、回転体の外周面から回転体内に入射したビーム光を、前記円錐面で反射させ、その反射光を被走査面に向けて回転体の平面部又は外周面から出射させ、
前記回折格子が、ブレーズドの直線又は曲線構造を持ち、回転体の回転に伴ってその分光角度を変化させ、被走査面に向けて投光走査を行うものであることを特徴とする光偏向器。
【請求項２】
光源から入射したビーム光の反射面が、回転軸回りに回転対称に形成された回転体であって、
上記反射面に、回転に伴って反射角を変化させ、ｆθ補正を行いながらビーム光を被走査面に投光走査する回折格子が設けられており、
前記回転体の内部に、反射面として円錐面が設けられ、回転体の外周面から回転体内に入射したビーム光を、前記円錐面で反射させ、その反射光を被走査面に向けて回転体の平面部又は外周面から出射させ、
前記回折格子が、マルチレベルの直線又は曲線構造を持ち、回転に伴って、その分光角度を変化させ、被走査面に向けて投光走査を行うものであることを特徴とする光偏向器。
【請求項３】
光源から入射したビーム光の反射面が、回転軸回りに回転対称に形成された回転体であって、
上記反射面に、回転に伴って反射角を変化させ、ｆθ補正を行いながらビーム光を被走査面に投光走査する回折格子が設けられており、
前記回転体の内部に、反射面として円錐面が設けられ、回転体の外周面から回転体内に入射したビーム光を、前記円錐面で反射させ、その反射光を被走査面に向けて回転体の平面部又は外周面から出射させ、
前記回折格子が、バイナリーの直線又は曲線構造を持ち、回転に伴って、その分光角度を変化させ、被走査面に向けて投光走査を行うものであることを特徴とする光偏向器。
【請求項４】
前記反射面において、入射したビーム光が全反射する請求項１〜３のいずれか１項に記載された光偏向器。
【請求項５】
反射面が曲面であることによって生じる光の散乱を収束する補正レンズを、ビーム光の光路に設けたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載された光偏向器。
【請求項６】
補正レンズをビーム光の入射側に設けたことを特徴とする請求項５記載の光偏向器。
【請求項７】
回折格子を形成したテープ材を貼り付けて反射面を形成したことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載した光偏向器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は走査光学系に用いる回折格子を利用した光偏向器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
レーザープリンタ、複写機、ファクシミリ等の印字ユニットやバーコードリーダの投受光ユニットにおいて、光源から発したビーム光を、被走査面上に投光・走査する光偏向器は、一般に、図１３に示すようなポリゴンミラー１が多用されている。
【０００３】
このポリゴンミラー１は、例えば図１４に示すように、走査光学系２に組込まれる。図１４において、３はレーザダイオード等の光源、４は光源から出たレーザー光を収束する第１光学系である。ポリゴンミラー１は、この第１光学系４から入射したビーム光Ｌを回転することにより反射方向を変化させ、感光ドラム等の被走査面５に投光・走査する。６はｆθレンズからなる第２光学系で、ポリゴンミラー１と走査面５との間にあって、ｆθ補正を行いながら、ビーム光Ｌを被走査面５に収束・結像させる。
【０００４】
ここで、上記第２光学系６が行うｆθ補正とは、ポリゴンミラー１の回転角θ／２と被走査面５上の結像の走査位置Ｘとの関係（Ｘ＝ｆθ）をリニアに保つための補正である。
【０００５】
また、光偏向器として、図１５に示すように、回折格子を形成した回転円板７にビーム光Ｌを透過させ、回折による透過方向の変化を利用して、ビーム光Ｌを被走査面に投光・走査するものもある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記ポリゴンミラー１を用いた光学系は、図１６に示すように回転に伴って反射点が移動するので、被走査面５上の光スポット位置がポリゴンミラー１の回転角に対応した位置からずれる。したがって、ｆθ補正を行う第２光学系６（ｆθレンズ）に、このずれの補正を同時に行わせる必要があり、第２光学系は必須となっている。
【０００７】
また、ポリゴンミラー１は多角形構造のため、複数の反射面の全てを回転軸に対して平行に精密加工するのが困難である。したがって、図１７に示すように反射して被走査面に向かうビーム光Ｌが副走査方向に傾く、いわゆる面倒れが生じる。このため、第２光学系６に、ビーム光Ｌを中心方向に向かって収束させる面倒れ補正の機能を持たせる必要があり、第２光学系６の設計を難しくしていた。
【０００８】
また、ポリゴンミラーを用いた光偏向器１は、周方向に多角形形状を持つ構造のため、高速回転させると風切り音が発生し、高速度化ができなかったのと同時に、歪んで反射方向が変動する。これを防止するため走査速度の向上に限界があり、高解像度化の障害になっていた。
【０００９】
さらに、ポリゴンミラー１は、各反射面の交わる稜線の付近は、加工上精度を高くすることができないため、反射面として利用できない部分となっていた。これは、光偏向器の小型化を妨げることになる。
【００１０】
一方、図１５に示す回折格子を形成した回転円板７を用いる透過型の光偏向器は、上記回転に伴う反射点の移動がなく、回折格子にｆθ補正の機能を持たせれば、第２光学系をなくすことができる。また、面倒れの問題も生じない。
【００１１】
しかし、回転円板７を用いた透過型の光偏向器は、反射を行わないで光を透過させるので、この部分でビーム光Ｌの折り返しがされない。したがって、光源から被走査面までの全光路（図１５はビーム光Ｌの折り返しミラーを省略して描いている。）を、レーザプリンタ等の光学機器の筐体内に収めるための光路設計において、反射鏡等の光を折り返す部材を、ポリゴンミラー１を用いた場合に比べて１つ多く設ける必要がある。この光路長は、被走査面である感光ドラムの長さ（主走査方向の走査幅）に対応する長さのもので、走査光学系を組込む光学機器を小型化する場合には、ビーム光を複数回折り返すことが必須とされている。
【００１２】
また、回転円板７を用いた光偏向器は、光の透過時に内部でビーム光を屈折させているので、素材の材質が不均一な場合や樹脂成形時に残留歪みが発生した場合に、複屈折して光学性能が低下する。したがって、これらが生じないようにするためにコストが高くなるという問題があった。
【００１３】
さらに、回転円板７を用いた光偏向器は、ビーム光Ｌを効率良く透過させるため薄い円板を用いるので、高速回転させると歪んで精度の高い走査が行えなくなり、ポリゴンミラー１を用いた場合と同様に高速走査による高解像度化に不向きであるという問題があった。
【００１４】
そこで、本発明は、上記ポリゴンミラー１及び回転円板７を用いた光偏向器の持つ上記問題を解決できる光偏向器を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に係る発明は、光源から入射したビーム光の反射面が、回転軸回りに回転対称に形成された回転体であって、上記反射面に、回転に伴って反射角を変化させ、ｆθ補正を行いながらビーム光を被走査面に投光走査する回折格子が設けられており、前記回転体の内部に、反射面として円錐面が設けられ、回転体の外周面から回転体内に入射したビーム光を、前記円錐面で反射させ、その反射光を被走査面に向けて回転体の平面部又は外周面から出射させ、前記回折格子が、ブレーズドの直線又は曲線構造を持ち、回転体の回転に伴ってその分光角度を変化させ、被走査面に向けて投光走査を行うものであることを特徴とする光偏向器である。
【００１６】
上記光偏向器は、回転に伴って移動する回折格子に、ｆθ補正機能を持たせている。また、反射面の形状が、回転軸回りの回転軌跡となっているので、反射面においてビーム光を定位置で反射でき回転に伴う反射点の移動がなく、樹脂成形型の反射面部分を旋盤加工によって一時に形成できるので精密加工が可能であるので面倒れも生じない。したがって、第２光学系（ｆθレンズ）を不要にすることができる。
【００１７】
また、上記光偏向器は、周方向に凹凸なく形成された回転体であると共に、回転円板を用いた光偏向器と異なり厚さが大きいので、高速回転させても歪まない設計が可能であり、風切り音が発生しない。したがって、高速回転による高解像度化が可能になる。
【００１８】
さらに、上記光偏向器は、ポリゴンミラーのように反射面として利用できない稜線部分がないため小型化の妨げになるという問題がなく、反射面の全周面に回折格子を形成することができる。
【００１９】
特に、上記光偏向器は、反射による回折によって、ビーム光を折り返すように向き変えするので、回転円板７を用いた透過型の光偏向器に比べて、反射鏡等の光を折り返す部材を１つ少なくすることができ、光学機器を小型化するためのコストを少なくすることができる。
【００２０】
また、上記光偏向器において、光源から入射したビーム光を直接に被走査面側に反射する場合には、回転円板を用いた光偏向器７において問題になる複屈折による精度低下を防止するための素材選択や管理、及び、残留歪み防止のための成形管理が不要であり、この面でのコストを低くすることができる。
【００２１】
また、回折格子は、回転に伴って反射角を変化させ、ｆθ補正を行いながらビーム光を被走査面に投光走査させるという本発明の機能を持たせるため、例えば、回転方向に沿う方向にビーム光の回折方向が変わるように形成される。なお、光偏向器へのビーム光の入射方向は、回転軸と平行、あるいはこれと直交する方向など任意に設計することができる。
【００２２】
また、ブレーズド構造の回折格子は、回折光の１次項に反射成分が集中し、０次項及び−１次項は殆ど表われないという特性を有し、光の利用率が高い投光走査が行えるという特性を有する。
【００２３】
請求項２にかかる発明は、光源から入射したビーム光の反射面が、回転軸回りに回転対称に形成された回転体であって、上記反射面に、回転に伴って反射角を変化させ、ｆθ補正を行いながらビーム光を被走査面に投光走査する回折格子が設けられており、前記回転体の内部に、反射面として円錐面が設けられ、回転体の外周面から回転体内に入射したビーム光を、前記円錐面で反射させ、その反射光を被走査面に向けて回転体の平面部又は外周面から出射させ、前記回折格子が、マルチレベルの直線又は曲線構造を持ち、回転に伴って、その分光角度を変化させ、被走査面に向けて投光走査を行うものであることを特徴とする光偏向器である。
【００２４】
マルチレベル構造は、前記ブレーズ構造よりは光の利用効率が低いが、バイナリーよりは高い。そして、バイナリー構造を部分的にずらした形で構成される。
【００２５】
請求項３にかかる発明は、光源から入射したビーム光の反射面が、回転軸回りに回転対称に形成された回転体であって、上記反射面に、回転に伴って反射角を変化させ、ｆθ補正を行いながらビーム光を被走査面に投光走査する回折格子が設けられており、前記回転体の内部に、反射面として円錐面が設けられ、回転体の外周面から回転体内に入射したビーム光を、前記円錐面で反射させ、その反射光を被走査面に向けて回転体の平面部又は外周面から出射させ、前記回折格子が、バイナリーの直線又は曲線構造を持ち、回転に伴って、その分光角度を変化させ、被走査面に向けて投光走査を行うものであることを特徴とする光偏向器である。
【００２６】
このバイナリー構造は、バー状の凹と凸の溝を所定ピッチで形成して直線又は曲線で構成されるもので、前記ブレーズド構造に比べて光の利用率が低いが、鏡面へのマスク印刷により形成すれば低コスト化が可能という特徴を有するものである。
【００２７】
請求項４にかかる発明は、請求項１〜請求項３の光偏向器において、反射面において、入射したビーム光が全反射する光偏向器である。
【００２８】
請求項５，６にかかる発明は、請求項１〜請求項４の光偏向器において、反射面が曲面であるため光が散乱し、ビーム径が回転体の周方向に増加し、被走査面に結像した光スポットが楕円形状に広がる問題を解決するための構造で、被走査面に結像される光スポットの径を真円に近付ける必要がある場合に採用される。
【００２９】
請求項５にかかる発明は、反射面が曲面であることによって生じる光の散乱を収束する補正レンズを、ビーム光の光路に設けるものであり、請求項６にかかる発明は、この補正レンズの取付位置を入射側に限定したものである。
【００３０】
この補正レンズは、光偏向器で反射する際に周方向に広がるビーム光を、光源から被走査面に到る光路において収束し、被走査面に結像するスポット光が、結果的に真円に近い形状となるようにする。光偏向器の入射側に設ける場合は、予め、光偏向器の周方向にビーム光を収束しておき、出射側に設ける場合は、光偏向器における反射によって周方向に拡散したビーム光を、この拡散をなくすように被走査面に向けて収束する。入射側に設けると、出射側に設ける場合のようにビーム光が主走査方向に振れることがなく、定位置を通るので小さなレンズで足りる利点がある。
【００３１】
請求項７にかかる発明は、回折格子を形成したテープ材を、回転体に貼り付けて反射面を形成したもので、本発明の請求項１〜６にかかる光偏向器に適用される。
【００３２】
これは、本発明の光偏向器において反射面が曲面であるため回折格子の形成が困難になる問題を解決したもので、平面状のテープ材への回折格子の形成は、曲面に回折格子を形成するよりも容易であることを利用している。
【００３３】
【実施形態】
初めに、本発明の光偏向器の構造例について説明する。
【００３４】
参考例としての図１（ａ）（ｂ）に示す光偏向器８は、円柱体の外周面に回折格子９を形成するもので、この回折格子９は、例えば、回転方向に沿う方向に分光角が変化するように設計される。この回折格子９を形成する光偏向器８の外周面は、反射面である必要があり、例えば金属の研摩面又は金属メッキ面又は金属蒸着による金属面又は複数の多層膜による反射面とする。
【００３５】
図１（ａ）と図１（ｂ）はビーム光Ｌの入射方向が異なる２つの例を示すものである。図１（ａ）の光偏向器８は、ビーム光Ｌの入射方向が、光偏向器８の回転軸を含む面を通り、反射面に立てた垂線に対して所定角度傾けた方向である。図１（ｂ）の光偏向器８は、ビーム光Ｌの入射方向が、光偏向器８の回転軸と直交する面を通り、反射面に立てた垂線に対して所定角度傾けた方向である。
【００３６】
参考例としての図２（ａ）（ｂ）に示す光偏向器１０は、円錐台形状の回転体１１の外周円錐面に回折格子１２を形成するもので、この回折格子１２は、例えば、回転方向に沿う方向に分光角が変化するように設計される。この回折格子１２を形成する光偏向器１０の外周面は、反射面である必要があり、例えば金属の研摩面又は金属メッキ面又は金属蒸着による金属面又は複数の多層膜による反射面とする。
【００３７】
図２（ａ）と図２（ｂ）は、ビーム光の入射方向が異なる２つの例を示すものである。図２（ａ）の光偏向器１０は、ビーム光Ｌを、光偏向器１０の回転軸を含む面を通り、反射面に立てた垂線に対して所定角度傾けた方向から入射させている。図２（ｂ）の光偏向器１０は、ビーム光Ｌを、光偏向器１０の回転軸及び反射面に立てた垂線を含む面と、垂直な面であって、この垂線を含む面を通り、前記垂線に対して所定角度傾けて入射させている。
【００３８】
図３（ａ）（ｂ）に示す光偏向器１３、及び図４に示す光偏向器１４は、ビーム光Ｌを、光偏向器の内部に設けた回折格子面で全反射させて、外部空間に出射させる構造である。
【００３９】
図３（ａ）（ｂ）に示す光偏向器１３は、透明な回転体１５に、回転軸と同軸に円錐台形状の孔１６を形成し、この円錐面に回折格子１７を形成し回折格子面１８としている。なお、図３（ｂ）は、図３（ａ）の光偏向器を、Ａ−Ａ線で切断した下半分を示す斜視図である。この回折格子１７は、例えば、周方向に分光角度を変化させるように設計される。この構造は、回転体１５の外周面から入射したビーム光Ｌを、回折格子面１８で反射させ、その反射光を回転体１５の平面部から回転軸と平行に出射させる。
【００４０】
また、図４の光偏向器１４は、回転体１９の外周面から入射したビーム光Ｌを内部の回折格子面１８で反射させ、回転体１９の外周面２０から出射させる。この回転体１９の構造は、図３（ａ）（ｂ）で説明した回転体１５と同様のもので、その外周面形状が、回折格子面１８と同軸の円錐面２０になっていることのみが異なる。この光偏向器１４は、ビーム光Ｌを、光偏向器１４の回転軸及び反射面に立てた垂線を含む面と、垂直な面であって、この垂線を含む面を通り、前記垂線に対して所定角度傾けて入射させている。
【００４１】
図３（ａ）（ｂ）の光偏向器１３、及び図４の光偏向器１４の回折格子面１７はビーム光Ｌの入射角が全反射する角度になっている場合は、回折格子１８を形成するだけでよいが、入射角が全反射しない角度になっている場合は、金属メッキ、金属蒸着、多層反射膜等により、反射面とする必要がある。
【００４２】
なお、本発明は、反射面が、回転軸回りに回転対称に形成されていればよいので、図１〜図４の構造において、反射面を回転軸方向に湾曲した構造にすることも可能である。
【００４３】
上記図１〜図４に示す構造において形成される回折格子の種類は任意である。ここで、回折格子の例を説明する。
【００４４】
図５にブレーズド構造の回折格子２１を示す。この回折格子２１は、断面が鋸歯状の溝を平行に並べたもので、その傾斜面の角度を徐々に変化させることにより、分光角度を変化させる。
【００４５】
この回折格子２１は、図６に示すように入射した平行光を、角度が変化しない０次項、θだけ方向が変化する１次項、−θだけ方向が変化する−１次項に分光する。図５のブレーズド構造では、１次項に反射成分が集中し、０次項及び−１次項は殆ど表われない。１次項の角度θは、傾斜面の角度αによって決まる。
【００４６】
そこで、被走査面への一走査に必要な、反射角０〜θの変化が得られるように、ブレーズドの傾斜角αの変化範囲を決め、さらに、入射ビーム径内に、少なくとも１つ以上の傾斜面が入るように、その形成ピッチを決める。このようにして決定された、一走査分のブレーズド構造を、光偏向器の反射面に、傾斜面の角度変化方向を回転体の周方向に揃え複数パターン並べる。このパターン数が、回転体の一回転当たりの走査回数となる。
【００４７】
このブレーズド構造の回折格子２１は、前述したように回折光の１次項に反射成分が集中し、効率の良い走査が行えるという特性を有する。
【００４８】
図５のブレーズド構造の回折格子２１は、傾斜面の角度が一方向のみに変化し、１次項のみを利用するものであった。この傾斜面の形成は、図７に示す回折格子２２のように、傾斜面の角度αが０°の部分（反射成分が０次項のみとなる通常の正反射をする）の両側に、増加方向に変化する部分と減少方向に変化する部分を持つパターンとすることもできる。これは、片側で１次項、その反対側で−１次項を利用するようにしたもので、この構造は、図５の構造に比べて、ビーム光Ｌの反射角度の範囲を２倍の大きさにできる特徴がある。
【００４９】
また、上記ブレーズド構造の傾斜面を、図８に示すように段差を並べた擬似傾斜面とすることもできる。これは、マルチレベル構造と呼ばれるもので、前記ブレーズ構造より光の利用効率が低くなるが、製造が容易になる利点を有する。
【００５０】
回折格子は、図５〜図８で説明したようなブレーズド構造やマルチレベル構造とする他に、図９に示すようにバー形状の反射面と非反射面を交互に並べたなバイナリー構造とすることもできる。このバイナリー構造の回折格子２４は、上記ブレーズド構造と異なり、１次項と−１次項が同じエネルギー比率で発生する。このため、走査角度範囲を、例えば１次項の反射方向の変化範囲と対応させ、−１次項の反射方向の変化範囲が、これと重ならないように設計する。この場合、光の利用率が低下することになるが、光偏向器としての機能は十分に満足される。なお、このバイナリー構造は、反射面に非反射のマスクを形成する方法や、矩形溝を刻設する方法等によって製作できる。
【００５１】
上記ブレーズド構造、マルチレベル構造、及びバイナリー構造の図示例は、溝または反射面のパターンが直線形状のものを示しているが、要求性能に合せて曲線形状のものを使用する場合がある。
【００５２】
参考例として、次に、コンピュータ・ジェネレ−テッド・ホログラム（ＣＧＨ）によって回折格子を形成する方法について説明する。
【００５３】
ＣＧＨの設計は、例えば、キノフォーム、フレネルゾーンプレート等の各種ホログラムの作成システムと、誤差拡散法やフーリエ変換法等を利用した最適化システムを併用し、設計を行う光偏向器の要求性能に適したホログラムを選択して、回折格子を作成した後、所望の特性が得られるように最適化を行う。
【００５４】
例えば、フーリエ変換法は、回折格子に入射したビーム光Ｌを、複数の光波の集合として扱い、各光波が回折格子で分光して生じる光波が被走査面に到達したときのエネルギー分布をフーリエ変換によって計算するもので、このエネルギー分布が所望の値になるように、回折格子の形状を最適化する。
【００５５】
本発明の光偏向器は、反射面が曲面であるため光が散乱し、ビーム径が光偏向器の周方向に増加し、被走査面に結像したスポット光が楕円形状に広がる性質を有する。したがって、被走査面に結像されるスポット光の径を真円に近付ける必要がある場合は、次に説明する補正レンズを併用する。
【００５６】
図１０及び図１１は、図１（ｂ）の光偏向器８に、反射面が凸面形状であるために拡散するビーム光Ｌを収束する補正レンズ２５，２６を設けたもので、図１０は、ビーム光Ｌの出射側、図１１はビーム光Ｌの入射側に配置している。
【００５７】
これらの補正レンズ２５，２６は、光偏向器８の外周が円筒面になっているため、反射する際に周方向に広がるビーム光Ｌを、光源から被走査面に到る光路において周方向に収束し、被走査面に結像するスポット光を、結果的に真円に近付けるものである。
【００５８】
図１０の補正レンズ２５は、主走査方向に走査されるビーム光Ｌの出射側に設けるので、この走査範囲をカバーする長さで製作される。図１１の補正レンズ２６は、光源からの入射方向が一定であるビーム光Ｌの入射側に設けるので、ビーム光Ｌの径に対応する大きさでよく、小さなレンズで足りる利点がある。
【００５９】
参考例としてであるが、反射面の回折格子を、コンピュータ・ジェネレ−ティド・ホログラム（ＣＧＨ）によって形成した場合は、このＣＧＨに、光偏向器の周方向に収束力を持つレンズ作用を持たせて、反射面が曲面であることによって生じるビーム光Ｌの散乱を収束することができる。
【００６０】
このＣＧＨによる回折格子は、例えば、ビーム光Ｌを主走査方向に走査するＣＧＨパターンと、補正レンズ作用を持つＣＧＨパターンを組み合わせたものと考えることができ、両パターンを先に製作しておき、これらを合成したものに対して、所望の光学性能が得られるように最適化するという方法によって設計を行うことができる。なお、この設計において、被走査面に結像するスポット光は、要求されるスポット径の範囲内にビーム光Ｌのエネルギーが所定パーセント以上集中すればよく、周辺にエネルギーの一部が拡散した状態でも実用になるため、これを満たすように設計を行なう。
【００６１】
なお、上記補正レンズ２５，２６、及びＣＧＨによる補正レンズ作用は、光偏向器の反射面形状に対応させ、被走査面上で所望の結像が得られるように設計されるもので、周方向の他に、軸方向にも湾曲している場合は、その方向にも対応させた設計を行う。
【００６２】
図１２は、予め回折格子を形成したテープ材２７を、回転体２８の反射面２９に貼り付けて回折反射面を形成する手法を示している。
【００６３】
本発明の光偏向器は、反射面が曲面であるため回折格子の形成が困難な問題があるが、平面状のテープ材２７への回折格子の形成は、比較的容易なため、別に用意したテープ材２７に回折格子を形成し、このテープ材２７を光偏向器の回転体２８の周面に張り付ける。これによって、製造コストを低下させることができる。
【００６４】
【発明の効果】
本発明の光偏向器は、回転体の周面に形成した回折格子における反射により、回転に伴い、ｆθ補正を行いながらビーム光を被走査面に投光走査する。
【００６５】
したがって、ポリゴンミラーの持つ、ビーム光の反射点移動、面倒れ、高速回転不可、稜線部分が反射面として利用できないという欠点をなくし、ｆθレンズ（第２光学系）を省略した低コストな光偏向器が提供できる。
【００６６】
この光偏向器は、回折格子を形成した回転円板からなる透過型の光偏向器に対して、（１）光学機器を小型化するために、反射鏡等の光の折り返し部材を１つ少なくできる。（２）複屈折による精度低下を防止するために、素材選択や管理、及び、残留歪み防止のための成形管理が不要となる。（３）高速回転による高解像度化が可能であるという利点を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の光偏向器での第１の構造例を、ビーム光の入射方向が異なる２つの使用例（ａ）（ｂ）について示した斜視図である。
【図２】  本発明の光偏向器での第２の構造例を、ビーム光の入射方向が異なる２つの使用例（ａ）（ｂ）について示した側面図である。
【図３】  本発明の光偏向器での第３の構造例を、一部を断面にした側面図（ａ）と、この側面図の下半分を示す斜視図（ｂ）で示す。
【図４】  図３に示した本発明での光偏向器の第３の構造例を変化させた例を示す側面図である。
【図５】  本発明の光偏向器において使用する回折格子のブレーズドの直線構造である一例を示す斜視図である。
【図６】  ブレーズド構造における分光成分の説明図である。
【図７】  回折格子のブレーズドの直線構造で、他の例を示す斜視図である。
【図８】  マルチレベル構造の傾斜面を表す構造例を示す断面図である。
【図９】  バー形状の反射面の非反射面を並べて形成した回折格子の形状例を示す平面図である。
【図１０】  出射側に、ビーム光を周方向に収束する補正レンズを設けた光偏向器を示す斜視図である。
【図１１】  入射側に、ビーム光を周方向に収束する補正レンズを設けた光偏向器を示す斜視図である。
【図１２】  回折格子を形成したテープ材を貼り付けて製作される光偏向器を示す斜視図である。
【図１３】  従来のポリゴンミラーの一例を示す斜視図である。
【図１４】  ポリゴンミラーを用いた走査光学系を示す図である。
【図１５】  回折格子を形成した回転円板（光偏向器）の斜視図である。
【図１６】  ポリゴンミラーの回転による反射点移動を説明する図である。
【図１７】  ポリゴンミラーの面倒れを説明する図である。
【符号の説明】
Ｌ  ビーム光
８，１０，１３，１４  光偏向器
９，１２，１７，２１，２２，２３，２４  回折格子
１１，１５，１９，２８  回転体
２５，２６  補正レンズ
２７  回折格子を形成したテープ材
【図１】
0004376337.tif 000002
【図２】
0004376337.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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