(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品製造装置が有するチャンバ内の粉塵を集めるとともに清浄な気体を排出する電子部品製造装置用の集塵機構であって、
前記チャンバに連通するダクトと、
前記ダクトが接続された粉塵分離器と、
前記粉塵分離器により分離された粉塵を所定の方向に案内する案内管と、
前記粉塵が滞留する集塵箱と、
前記粉塵分離器及びダクトを介して前記チャンバ内の雰囲気を吸引し、かつ、前記粉塵分離器から受け取った清浄な気体を排出する吸引機構とを備えるとともに、
前記粉塵分離器は、該粉塵分離器内における旋回気流による遠心力を使用して前記粉塵を分離することを特徴とする電子部品製造装置用の集塵機構。
【請求項２】
電子部品製造装置が有するチャンバ内の粉塵を集めるとともに清浄な気体を排出する電子部品製造装置用の集塵方法であって、
前記チャンバに連通するダクトを吸引することにより前記チャンバ内の雰囲気を粉塵分離器に吸入する工程と、
前記粉塵分離器における旋回気流による遠心力を使用して前記雰囲気から前記粉塵を分離する工程と、
前記粉塵が除去された清浄な気体を排出する工程とを備えたことを特徴とする電子部品製造装置用の集塵方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品製造装置に使用される集塵機構及び集塵方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の電子部品製造装置用の集塵機構を、図２を参照して説明する。図２は、従来の電子部品製造装置用の集塵機構を示す部分断面図である。
図２において、装置２１のチャンバ２２内には、製造工程で発生した粉塵２３が浮遊している。このような粉塵２３は様々な不良の原因になるので、チャンバ２２の内部から粉塵２３を除去する必要がある。そこで、チャンバ２３にダクト２４が接続され、ダクト２４は集塵機構２５に接続されている。集塵機構２５の内底部には集塵箱２６が、取っ手２７により引き出されることができるように設けられている。更に、集塵箱２６の上方には、粉塵分離用のフィルタ２８，ブロワ２９が、それぞれ適当な空間をおいて設けられている。ブロワ２９には排気管３０が接続され、排気管３０からは排気３１が排出される。一方、集塵箱２６には、粉塵２３からなる滞留物３２が溜まっている。
【０００３】
従来の集塵機構は、ブロワ２９により、フィルタ２８，ダクト２４を順次経由してチャンバ２２内の雰囲気を吸引する。そして、粉塵２３を含む雰囲気は、フィルタ２８により粉塵と清浄な気体とに分離され、粉塵２３は滞留物３２として集塵箱２６に滞留し、清浄な気体は排気３１として排気管３０から排出される。集塵箱２６に滞留物３２が溜まると、取っ手２７により集塵箱２６を引き出して滞留物３２を捨て、からになった集塵箱２６を再び集塵機構２５に装着する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の集塵機構によれば、次のような問題がある。第１に、図２に示すように粉塵分離用のフィルタ２８を使用しているので、フィルタ２８が目詰まりした場合に、その交換や清掃等のメンテナンスが必要になる。第２に、集塵機構２５を床置きにするので、ダクト２４と排気管３０とが長くなる。したがって、この部分で圧力損失が生じるので集塵効率が低下する。一方、圧力損失を防ぐために、集塵機構２５を、装置２１の上方、例えば装置２１の天井に取り付けることも可能である。しかし、この場合には、フィルタ２８の交換や集塵箱２６の引き出し等のメンテナンスが困難になる。第３に、集塵効率はフィルタ２８の面積に左右されるので、集塵機構２５の専有面積を小さくすることができない。
【０００５】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、集塵効率の低下を防止し、メンテナンスが容易であるとともに、専有面積が小さい電子部品製造装置用の集塵機構及び集塵方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記技術的課題を解決するために、本発明に係る電子部品製造装置用の集塵機構は、電子部品製造装置が有するチャンバ内の粉塵を集めるとともに清浄な気体を排出する電子部品製造装置用の集塵機構であって、チャンバに連通するダクトと、ダクトが接続された粉塵分離器と、粉塵分離器によって分離された粉塵を所定の方向に案内する案内管と、粉塵が滞留する集塵箱と、粉塵分離器及びダクトを介してチャンバ内の雰囲気を吸引し、かつ、粉塵分離器から受け取った清浄な気体を排出する吸引機構とを備えるとともに、粉塵分離器は該粉塵分離器内における旋回気流による遠心力を使用して粉塵を分離することを特徴とする。
【０００７】
これによれば、粉塵分離用のフィルタを使用せずに、粉塵分離器内における旋回気流が引き起こした遠心力により気体から粉塵が分離される。これにより、まず、フィルタの交換や清掃等のメンテナンスが不要になる。また、案内管を長くしても集塵効率が低下しないので、集塵箱を床置きにすることができる。したがって、集塵効率の低下を防止するとともに、集塵箱の脱着というメンテナンスを容易にすることができる。また、面積が集塵効率を左右するフィルタを使用しないので、集塵機構の専有面積を小さくすることができる。
【０００８】
また、本発明に係る電子部品製造装置用の集塵方法は、電子部品製造装置が有するチャンバ内の粉塵を集めるとともに清浄な気体を排出する電子部品製造装置用の集塵方法であって、チャンバに連通するダクトを吸引することによりチャンバ内の雰囲気を粉塵分離器に吸入する工程と、粉塵分離器における旋回気流による遠心力を使用して雰囲気から粉塵を分離する工程と、粉塵が除去された清浄な気体を排出する工程とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
これによれば、粉塵分離用のフィルタを使用せずに、粉塵分離器内における旋回気流が引き起こした遠心力によって気体から粉塵を分離する。これにより、まず、フィルタの交換や清掃等のメンテナンスが不要になる。また、案内管を長くしても集塵効率が低下しないので、集塵箱を床置きにすることができる。したがって、集塵効率の低下を防止するとともに、集塵箱の脱着というメンテナンスを容易にすることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明に係る電子部品製造装置用の集塵機構を、図を参照して説明する。図１は、本発明に係る電子部品製造装置用の集塵機構を示す部分断面図である。
図１において、装置１は、半導体等の電子部品の製造工程で使用される電子部品製造装置であって、塗布装置、研磨装置、切断装置、ボンダ、樹脂封止装置等からなる電子部品製造装置である。装置１のチャンバ２内には、製造工程で発生した粉塵３が浮遊している。このような粉塵３は電子部品の製造工程において様々な不良の原因になるので、チャンバ２の内部から粉塵３を除去する必要がある。そこで、チャンバ２にダクト４が接続され、ダクト４は更にサイクロン分離器５に接続されている。サイクロン分離器５の下部には案内管６が接続され、案内管６の下部には集塵箱７が着脱自在に装着されている。そして、集塵箱７には、粉塵３からなる滞留物８が溜まっている。
【００１１】
サイクロン分離器５の上部には、吸入管９が、先端がサイクロン分離器５の中間部まで届くようにして、装着されている。吸入管９は、装置１の上方に設けられた架台（図示なし）に設置されたブロワ１０に接続されている。ブロワ１０には排気管１１が接続され、排気管１１からは排気１２が排出される。
旋回気流１３は、サイクロン分離器５内で発生した渦巻き状の気流である。また、分離された粉塵１４は、サイクロン分離器５内で、ダクト４を介して吸引されたチャンバ２内の雰囲気から取り出された粉塵である。
【００１２】
本発明に係る電子部品製造装置用の集塵機構の動作を、図１を参照して説明する。まず、ブロワ１０により、吸入管９，サイクロン分離器５，ダクト４を順次介して、チャンバ２内の雰囲気を吸引する。これにより、チャンバ２内の粉塵３は、サイクロン分離器５の内部に吸引される。
【００１３】
次に、ダクト４を介して吸引された粉塵３は、サイクロン分離器５の内部で発生している旋回気流１３が引き起こした遠心力によりサイクロン分離器５の内壁に沿って集められ、案内管６の中を落下していく。そして、粉塵３は、集塵箱７に案内されてその底部に溜まっていく。一方、粉塵３が分離された後の清浄な気体は、ブロワ１０によって吸引され、吸入管９と排気管１１とを順次経由して排気１２として排出される。
【００１４】
更に、分離された粉塵１４からなる滞留物８が集塵箱７に溜まると、着脱自在に設けられた集塵箱７を取り外して滞留物８を捨て、からになった集塵箱７を再び案内管６に装着する。
【００１５】
以上説明したように、本発明によれば、粉塵分離用のフィルタを使用せずに、サイクロン分離器５の内部において旋回気流１３が引き起こした遠心力により、吸入された気体から粉塵３が分離される。これにより、第１に、フィルタの交換や清掃等のメンテナンスが不要になる。第２に、案内管６の内部を粉塵３が落下するだけなので、案内管６を長くしても集塵効率が低下しない。したがって、ブロワ１０を装置１の上方に設置して集塵箱７を床置きにすることができる。このことから、集塵効率の低下を防止するとともに、集塵箱７の脱着というメンテナンスを容易にすることができる。第３に、面積が集塵効率を左右する粉塵分離用のフィルタを使用しない。したがって、集塵機構の専有面積を小さくすることができる。
【００１６】
なお、上述の説明では、サイクロン分離器５，案内管６，集塵箱７を、装置１の外部に設けた。これに限らず、サイクロン分離器５，案内管６，集塵箱７を、装置１の内部に設けることもできる。
【００１７】
また、ブロワ１０を、装置１の上方に設けられた架台に設置した。これに代えて、ブロワ１０を、装置１の天井自体に設置することもできる。
【００１８】
また、装置１の内部において下部にスペースがあれば、ブロワ１０を装置１の底面に設置し、集塵箱７，案内管６，サイクロン分離器５を順次積み重ねて装置１の底面に設置することもできる。この場合には、吸入管９を適当に屈曲させてサイクロン分離器５とブロワ１０とを接続すればよい。これにより、装置１の専有面積をいっそう小さくすることができるとともに、集塵機構の配置場所の自由度、ひいては装置１の設計の自由度が高まる。
【００１９】
また、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意にかつ適宜に変更し、選択し、又は組み合わせて採用できるものである。
【００２０】
【発明の効果】
本発明によれば、粉塵分離用のフィルタを使用せずに、旋回気流による遠心力を使用して、吸引されたチャンバ内の雰囲気から粉塵を分離する。このことにより、第１に、フィルタを使用しないので、その交換や清掃等のメンテナンスが不要になる。第２に、案内管を長くしても、集塵効率が低下しない。したがって、吸引機構を電子部品製造装置の上方に設置して集塵箱を床置きにすることができる。このことから、集塵効率の低下を防止するとともに、集塵箱の脱着というメンテナンスを容易にすることができる。第３に、面積が集塵効率を左右する粉塵分離用のフィルタを使用しないので、集塵機構の専有面積を小さくすることができる。
したがって、本発明は、集塵効率の低下を防止し、メンテナンスが容易であるとともに、専有面積が小さい、電子部品製造装置用の集塵機構及び集塵方法を提供できるという優れた実用的な効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る電子部品製造装置用の集塵機構を示す部分断面図である。
【図２】  従来の電子部品製造装置用の集塵機構を示す部分断面図である。
【符号の説明】
１  装置（電子部品製造装置）
２  チャンバ
３  粉塵
４  ダクト
５  サイクロン分離器（粉塵分離器）
６  案内管
７  集塵箱
８  滞留物
９  吸入管
１０  ブロワ
１１  排気管
１２  排気
１３  旋回気流
１４  分離された粉塵
【図１】
0004299481.tif 000002
【図２】
0004299481.tif 000003