(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に複数のインク吐出用ノズルを形成する工程と、少なくとも、形成されたノズルのサイズを測定して前記ノズルのインク吐出量に相当する前記ノズルの容積を求める工程と、求められた前記ノズルの容積とノズルの容積の所定の範囲とを比較して加工する前記ノズルを選び出す工程と、選び出された前記ノズルの前記容積が前記所定範囲内になるよう前記ノズルを加工する工程とを有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
基板に複数のインク吐出用ノズルを形成する工程と、前記ノズルが形成された基板を用いて記録ヘッド本体を形成する工程と、形成された前記記録ヘッド本体からインクを吐出させる工程と、前記記録ヘッド本体からのインク吐出量を測定する工程と、測定された前記インク吐出量とインク吐出量の所定の範囲とを比較して加工する前記ノズルを選び出す工程と、選び出された前記ノズルの前記インク吐出量が前記所定範囲内になるよう前記ノズルを加工する工程とを有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
さらに、前記記録ヘッド本体を形成する工程の前または後に、少なくとも、形成された前記記録ヘッド本体の前記ノズルのサイズを測定して前記ノズルのインク吐出量に相当する前記ノズルの容積を求める工程を有し、
前記ノズルを選び出す工程は、求められた前記ノズルの容積および前記測定された前記インク吐出量と、前記ノズルの容積の前記所定の範囲および前記インク吐出量の前記所定の範囲と、を比較して加工する前記ノズルを選び出すものであることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記ノズルを加工する工程は、前記基板の厚みを厚くして前記ノズルの長さを長くするか、または前記基板の厚みを薄くして前記ノズルの長さを短くすることであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記ノズルを加工する工程は、前記ノズルの面積を増加させるか、または前記ノズルの面積を減少させることであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクの液滴を飛翔させて画像を記録するインクジェットプリンタのインクジェット記録ヘッドの製造方法に関し、特にインク吐出量に製造ばらつきがある場合、各ノズルのインク吐出量が所定の範囲内に補正されたインクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット記録ヘッドにおいては、同一のノズルを製造しようとしても、隔壁高さ、オリフィスプレート厚さ又はノズルのサイズやノズル面積のばらつきにより、インク吐出量が変わってくる。このため、高速記録を行うために、ノズル数を増やせば増やす程、インクを所望のインク吐出量で吐出することができないノズルの数が増える。インク吐出量のばらつきは、画質の劣化をもたらす。このため、従来、各ノズルからのインク吐出量が一定になるように種々の補正が行われていた（特開平５−２２０９６３号公報及び特開平１１−３４８２６１号公報等）。
【０００３】
特開平５−２２０９６３号公報に記載の記録ヘッドは、吐出口面積に応じて投入エネルギーを変調し、吐出量を制御している。また、特開平１１−３４８２６１号公報に記載の記録ヘッドは、吐出口加工時に、加工した吐出口から流体を流出させ吐出方向を検査し、その結果を加工工程にフィードバックし、吐出方向の角度が正常になるように調整して製造されたものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平５−２２０９６３号公報に記載の記録ヘッドは、インクを吐出するために、ヘッド温度とこれに対応したプレヒートパルスの変調制御テーブルを持たなければならず、また、外部の温度により駆動パルスを変化させるため、制御が複雑になるという問題点がある。
【０００５】
また、大気連通型のサーマルインクジェットの記録ヘッドでは、ヒータサイズ、隔壁高さ、ノズル面積及びノズル長さによってインクの吐出量が決まってしまい、駆動パルスの制御で吐出量の補正を行うことが困難であるという問題点がある。
【０００６】
また、特開平１１−３４８２６１号公報に記載の記録ヘッドは、ノズルからの流体の吐出方向だけを測定して所定の吐出角度となるように、補正しているが、ノズルの吐出量のばらつきを補正していないので、各ノズルの吐出量にばらつきがある場合、記録（再現）画像、特に画質が劣化するという問題点がある。
【０００７】
本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決することにあり、ノズルのインク吐出量にばらつきがある場合、ノズル容積を調整してノズルのインク吐出量を均一にし、記録画像、特に画質の劣化を防止することができるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明の第１の態様は、基板に複数のインク吐出用ノズルを形成する工程と、少なくとも、形成されたノズルのサイズを測定して前記ノズルのインク吐出量に相当する前記ノズルの容積を求める工程と、求められた前記ノズルの容積とノズルの容積の所定の範囲とを比較して加工する前記ノズルを選び出す工程と、選び出された前記ノズルの前記容積が前記所定範囲内になるよう前記ノズルを加工する工程とを有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供するものである。
【０００９】
本発明の第２の態様は、基板に複数のインク吐出用ノズルを形成する工程と、前記ノズルが形成された基板を用いて記録ヘッド本体を形成する工程と、形成された前記記録ヘッド本体からインクを吐出させる工程と、前記記録ヘッド本体からのインク吐出量を測定する工程と、測定された前記インク吐出量とインク吐出量の所定の範囲とを比較して加工する前記ノズルを選び出す工程と、選び出された前記ノズルの前記容積が前記所定範囲内になるよう前記ノズルを加工する工程とを有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供するものである。
【００１０】
本発明の第２の態様に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法は、さらに、前記記録ヘッド本体を形成する工程の前または後に、少なくとも、形成された前記記録ヘッド本体の前記ノズルのサイズを測定して前記ノズルのインク吐出量に相当する前記ノズルの容積を求める工程を有し、前記ノズルを選び出す工程は、求められた前記ノズルの容積および前記測定された前記インク吐出量と、前記ノズルの容積の前記所定の範囲および前記インク吐出量の前記所定の範囲と、を比較して加工する前記ノズルを選び出すものであることが好ましい。
【００１１】
また、前記ノズルを加工する工程は、前記基板の厚みを厚くして前記ノズルの長さを長くするか、または前記基板の厚みを薄くして前記ノズルの長さを短くすることであることが好ましい。更に、前記ノズルを加工する工程は、前記ノズルの面積を増加させるか、または前記ノズルの面積を減少させることであることが好ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法について、添付の図面に示される好適実施例を基に詳細に説明する。図１は本発明の実施例に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を工程順に示すフローチャート、図２は本発明の実施例に係るインクジェット記録ヘッドのノズルの面積及びノズルの容積の第１の測定方法を示す模式的断面図、図３（ａ）及び（ｂ）は本発明の実施例に係るインクジェット記録ヘッドのノズルの面積及びノズルの容積の第２の測定方法を工程順に示す模式的断面図、図４（ａ）及び（ｂ）は本発明の実施例に係るインクジェット記録ヘッドのノズルの面積及びノズルの容積の第２の測定方法の変形例を工程順に示す模式的断面図である。図５は本発明の実施例に係るインクジェット記録ヘッドのノズルの面積及びノズルの容積の第３の測定方法に使用されるリファレンスサンプルを示す断面図である。
【００１３】
先ず、オリフィスプレート（基板）に複数のインク吐出用ノズルを形成する（ステップＳ１）。この場合、オリフィスプレートを、インク供給路を構成する隔壁を介して、各ノズルへのインク供給路にインクを供給するインク溝と、このインク溝にインクを供給するインク供給孔と、各ノズル内のインクを吐出させるためのヒータと、このヒータを駆動する駆動用ＬＳＩとが形成された基体に貼り付けて記録ヘッド本体としておいてもよい。
【００１４】
次いで、形成した各ノズルの面積及びオリフィスプレートの厚さを測定する。ノズルを加工したオリフィスプレートのノズルの容積の測定に使用される第１の測定方法について説明する。先ず、図２に示すように、オリフィスプレート１の両面側から顕微鏡１０によって測定する。そして、表面３側を測定する顕微鏡１０の焦点を表面３に合わせてノズル２の表面３側の穴径を測定する。一方、裏面４側を測定する顕微鏡１０は裏面４に焦点を合わせてノズル２の裏面４側の穴径を測定する。このようにして測定された表面３及び裏面４の穴径からノズル２の開口部の面積を求め、オリフィスプレート１の厚さと共に、インク吐出量に相当するノズル２の容積を算出する。なお、ノズル２は円錐台形状であると仮定して、図２に示すように、表面３側の穴の縁部と裏面４側の穴の縁部とが直線で結ばれていると近似した。また、オリフィスプレート１の厚さは、例えば光学式の膜厚計、レーザビーム変位又は触針式の膜厚計により測定することができる。なお、オリフィスプレート１の厚さが、均一であると見なせる場合には、実測することなく、予め与えられている規格値を用いてもよい。更に、２つの顕微鏡１０は夫々の光軸を合わせておくと、穴の位置ずれがわかり、ノズル２の容積がより一層正確にわかるのでなお好ましい。第１の測定方法においては、円錐台形状のノズル２について説明したが、円筒状のノズルについても同様に測定することができる。また、円筒状のノズルの場合には、両面側から測定する必要はなく、片側から測定すれば、ノズルの容積を求めることができる。
【００１５】
一方、オリフィスプレート１を前記基体に貼り付けた後、ノズル穴を加工した場合に、ノズルの容積を測定する第２の測定方法について説明する。この第２の測定方法は、オリフィスプレート１が、例えばポリイミド等の樹脂からなり、半透明である場合には、特に好ましく適用される。オリフィスプレート１が不透明である場合には、顕微鏡１０の観察方向側の穴径がその反対側の穴径よりも大きいときに、第２の測定方法を適用できる。
【００１６】
この第２の測定方法においては、顕微鏡１０の焦点深度がオリフィスプレート１の厚さよりも小さいことを利用するものである。先ず、図３（ａ）に示すように、オリフィスプレート１の表面３側から顕微鏡１０で観察する。顕微鏡１０の焦点をオリフィスプレート１の表面３に合わせてノズル２の表面３側の穴径を測定する。次に、顕微鏡１０の焦点をオリフィスプレート１の裏面４に合わせてノズル２の裏面４側の穴径を測定する。この２つの穴径からノズル面積を求め、オリフィスプレート１の厚さと共に、ノズル２の容積を求める。この第２の測定方法においても、ノズル２は円錐台形状であると仮定して、図３（ｂ）に示すように、第１の測定方法と同様にノズル２の斜面部は直線で結ばれていると近似することができる。なお、オリフィスプレート１の厚さは表面３と裏面４とに焦点を合わせる際に顕微鏡１０を動かした距離である。
【００１７】
また、図４（ａ）に示すように、ノズル２の表面３と裏面４との途中位置５における穴径を測定することにより、更に一層正確にノズル容積を求めることができる。
【００１８】
次に、オリフィスプレート１を基体に貼り付けた後、ノズル穴を加工した場合に、ノズルの容積を測定する第３の測定方法について説明する。この第３の測定方法は、ノズル２の加工形状が設計どおりに再現性が高い場合に適用される測定方法である。この第３の測定方法においては、図５に示すように、予め基準となるリファレンス用のノズル６、７、８をオリフィスプレート１に形成しておく。これらのノズル６、７、８の表面の穴径を測定し、ノズル表面の穴径とノズル容積との関係を各ノズル６、７、８について求めておく。そして、形成されたノズル２の表面３側の穴径を測定して各ノズル６、７、８と比較することにより、ノズル２の容積を概算する。なお、オリフィスプレート１のノズル形状が円筒状である場合でも、上述の第２の測定方法によりノズルの容積を求めることができる。
【００１９】
また、オリフィスプレート１を基体に貼り付けた後、ノズル穴を加工した場合には、実際にインクを吐出させてそのインク吐出量を測定する。インクの吐出量を測定する方法としては、例えばノズルからインク又は吐出量測定用の液体（水等）を吐出させて、飛翔中の液滴をＣＣＤ等で撮影し、この液滴の液滴径からインク吐出量を算出する。また、紙又はフィルムにインク又は吐出量測定用の液体（水等）を吐出し、付着後のインク又は前記液体の大きさからインク吐出量を算出する。これ以外にも、インク又は吐出量測定用の液体（水等）を紙又はフィルム等に、例えば１０００発、一定回数吐出し、吐出したインク又は液体の容積又は質量からインク吐出量を求めることもできる。なお、記録ヘッド本体において、ノズルの容積及びインク吐出量の両方を測定しているが、いずれか一方の測定を行えば十分な精度で補正することができる。但し、両方の測定を行うことにより、より一層正確な補正を行うことができるので好ましい。
【００２０】
次に、ステップＳ２で測定されたノズルの容積及びインク吐出量が所定の範囲内にあるか、否かを判断し、再度、加工するノズルを選び出す（ステップＳ３）。但し、オリフィスプレートにノズルが加工されて記録ヘッド本体に形成されていない場合には、ノズルの容積が所定の範囲内にあるか、否かを判断し、再度、加工するノズルを選び出す。なお、ステップＳ３においては、インクジェットの記録ヘッド本体の精度、解像度又はコスト等により、ノズルの容積が所定の範囲から外れる場合、再度、加工するノズルを選び出すこととしてもよいし、更にインク吐出量が所定の範囲から外れる場合、再度、加工するノズルを選び出すこととしてもよい。このとき、再度加工するノズルについて、そのインク吐出量と、設定値、規定上限値及び規定下限値との差を夫々求めておく。なお、ノズルの容積及びインク吐出量が所定の範囲内にあれば補正加工は不要である（ステップＳ４）。このステップＳ４においても、上述のステップＳ３に示すように、ノズルの容積が所定の範囲内にあるか、又はインク吐出量が所定の範囲内にある場合には補正加工しないこととしてもよい。
【００２１】
もし、ノズルの容積及びインク吐出量が所定の範囲内にない場合には、インク吐出量の分布を調べる（ステップＳ５）。
【００２２】
そして、インク吐出量が各ノズルに対してどのように分布しているかを調べる（ステップＳ６）。このとき、インク吐出量の分布が、インク吐出量が規定値の上限値を超えるものと、規定値の下限値未満であるものが混在している場合、規定値の上限値を超えるノズルのインク吐出量を減少させ、規定値の下限値未満であるノズルのインク吐出量を増加させる（ステップＳ７）。
【００２３】
図６は横軸にノズル番号をとり、縦軸にインク吐出量をとって、インク吐出量のばらつきに対して一定値の補正をして解消する補正方法を示すグラフ図、図７は横軸にノズル番号をとり、縦軸にインク吐出量をとって、インク吐出量のばらつきに対して最適量の補正をして解消する補正方法を示すグラフ図である。なお、図６及び図７において、●はインク吐出量の測定結果を示し、○は補正後のインク吐出量を示す。なお、本実施例においては、ノズル番号は９までだが、これに限定されるものではなく、図６及び図７の縦軸に示すインク吐出量をノズル容積と置き換えてもよい。この場合、インク吐出量と同じように補正することができる。
【００２４】
インク吐出量を規定の範囲内にする方法としては、図６に示すように、所定の範囲内から外れたノズルに対してインク吐出量を一定値だけ増加又は減少させることにより、全てのノズルのインク吐出量を規定範囲内にする。また、図７に示すように、所定の範囲内から外れたノズルに対して個別にインク吐出量を調整して設計値に近づけることにより、全てのノズルのインク吐出量を規定範囲内にする方法もある。この場合の方が画像劣化が少ない。
【００２５】
次に、インク吐出量の調整方法について説明する。先ず、インク吐出量の増加方法について説明する。図８（ａ）乃至（ｃ）はノズルのインク吐出量を増加させる方法を工程順に示す断面図である。図８（ａ）に示すように、例えばポリイミドからなるオリフィスプレート２０に直径が異なる円柱状のノズル２１、２２が形成されている。例えば、ノズル２１の容積は規定値範囲内にあり、ノズル２２の容積が規定値の下限値未満である場合、ノズル長さを増加させてノズル２２の容積を増加させる補正方法について説明する。
【００２６】
先ず、オリフィスプレート２０のノズル２２の表面２０ａ側周辺を親水化する。次に、図８（ｂ）に示すように、オリフィスプレート２０の表面２０ａの全面に親水性の部分に粘着性を有する粘着剤が塗布されたシート２３を貼り付ける。このシート２３の厚さは、ステップＳ３で算出された結果に基づいて、ノズル２２の容積が規定範囲内になるように計算された厚さである。次に、図８（ｃ）に示すように、シート２３をはがす。このとき、シート２３はノズル２２の表面２０ａ周辺の親水化された部分にのみ接着され、その他の部分には接着されないので、容易にはがすことができる。なお、シート２３の粘着性によっては、親水化を行わなくてもよい。例えば、露光された部分の粘着力が増す粘着剤が塗布されたシート、又は露光された部分の粘着力が弱くなる粘着剤が塗布されたシートであれば、親水化処理をしなくてもよい。
【００２７】
このようにして、ノズル２２のノズル長さを適切に長くすることにより、ノズル２２の容積、即ちインク吐出量を規定値範囲内にすることができる。この補正方法においては、シート２３を１枚貼り付けてノズル長を調整したが、これに限定されるものではなく、図８（ａ）乃至（ｃ）に示す工程を複数繰り返すことによってノズル長さを調整してもよい。また、ノズル長さを個別に調整する場合には、シート２３の厚さを適宜調整して、補正が必要なノズルに対して、図８（ａ）乃至（ｃ）に示す工程を必要な回数繰り返すことによって、各ノズルのインク吐出量を規定値範囲内にすることができる。
【００２８】
また、親水性の部分に粘着性を有する粘着剤が塗布されたシート２３を使用したが、これに限らず、例えば感光性ポリイミドからなるシートを使用することができる。このシートの厚さを適切な厚さとし、補正が必要なノズルのパターンを露光し、現像してシートを除去することにより、図８（ｃ）に示すように、補正が必要なノズル２２のノズル長を長くし、インク吐出量を規定値範囲内にすることができる。
【００２９】
また、上述の方法以外のインク吐出量を増加させる方法について説明する。先ず、オリフィスプレート２０の全面にレジスト膜を形成し、このレジスト膜に補正が必要なノズル２２を囲む領域以外が残存するパターンを露光し、現像する。そして、例えばスパッタリングにより、Ｎｉを、ステップＳ３により求められた結果に基づいて算出される必要な厚さだけ被着させる。そして、レジスト膜を除去する。これにより、レジスト膜上に形成されたＮｉ膜も同時に除去され、必要なところだけにＮｉ膜を形成することができる。この場合、レジスト膜形成前にノズル２１、２２内に後で除去可能なもの（例えば、アルカリ溶液で可溶なレジスト）を充填しておくことが好ましい。ノズル２１、２２内の除去可能な充填物は、例えばレジスト膜と一緒に除去する。
【００３０】
また、オリフィスプレート２０の全面に、好ましくはノズル２１、２２内に除去可能なものを充填し、例えばスパッタリングよりＮｉ膜を、ステップＳ３により求められた結果に基づいて算出される必要な厚さだけ形成する。このＮｉ膜上にレジスト膜を形成してパターニングする。次に、例えばドライエッチング又はウェットエッチングによりＮｉ膜を除去する。そして、レジスト膜及びノズル２１、２２内の充填物を除去する。これにより、補正が必要なノズル２２の縁部に、それを囲むＮｉ膜が形成される。ノズル長さを適切に長くしているので、インク吐出量を規定値範囲内にすることができる。
【００３１】
更に、オリフィスプレート２０が、例えばポリイミド又はポリエチレン等の樹脂からなる場合、直接めっきをすることができない。このため、上述の如く、好ましくはノズル２１、２２内に後で除去可能なものを充填し、オリフィスプレート２０の全面にレジスト膜を形成してパターニングを行い、必要なところに、例えばＮｉめっき等により、Ｎｉ膜を形成する。そして、例えば無電解めっき又は電解めっきにより、ステップＳ３により求められた結果に基づいて算出される必要な量のＮｉめっきを施し、その後、レジスト膜及びノズル２１、２２内の充填物を除去する。これにより、上述の如く、ノズル長を長くすることができるので、インク吐出量を規定値範囲内にすることができる。
【００３２】
更にまた、オリフィスプレート２０が、例えばＮｉ等の金属又は合金からなる場合、好ましくは、ノズル２１、２２内に後で除去可能なものを充填し、レジスト膜を形成してパターニングを行い、めっきによりＮｉ膜を必要な厚さ形成するか、又はオリフィスプレート２０の全面に、ステップＳ３により求められた結果に基づいて算出される必要な厚さのめっきを施し、レジスト膜を形成してパターニングを行い、ウェットエッチング又はドライエッチングにより、不必要な部分のめっきを除去し、その後、レジスト膜及びノズル２１、２２内の充填物を除去する。これにより、ノズル長さを適切に長くすることができるので、インク吐出量を規定値範囲内にすることができる。
【００３３】
次に、ノズルの面積を大きくしてインクの吐出量を増加させる方法について説明する。この方法は、ノズルのインク吐出量をノズル長さを変えずに、ノズル面積を増加させて規定値範囲内にする方法である。図９（ａ）及び（ｂ）は、本発明の実施例に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を工程順に示す平面図である。
【００３４】
図９（ａ）に示すように、オリフィスプレート２０に、例えばノズル２１、２２が隣接して形成されている。ノズル２２のインク吐出量が規定値の下限値未満である。
【００３５】
図９（ａ）に示すインク吐出量が少ないノズル２２に、例えばレーザ光線を表面２０ａ側から照射し、ノズル２２の縁部をトリミングし、図９（ｂ）に示すように、ノズル２２の縁部に穴２６を、例えば４個、点対称になるように形成する。これにより、ノズル長さを変えることなく、インク吐出量を、ステップＳ３により求められた結果に基づいて算出される必要な量だけ増加させてインク吐出量を規定値範囲内にすることができる。なお、レーザ光線のレーザパワー、加工回数を適宜調整することにより、ノズル２２の面積を調整することができる。また、穴２６を点対称に形成することにより、インクの吐出方向のばらつきを減少させることができる。この方法においては、ノズル２２の縁部をトリミングする際に、ノズル２２の下方に設けられたヒータに損傷を与えてしまう虞がある。このため、ノズル２２内に後で取り除くことができるものを入れておくか、又は予めヒータ表面に保護膜を形成しておくことが好ましい。また、レーザ光線が直接ヒータに当たらないように斜めから、照射するか、又はレーザ光線の波長をオリフィスプレート２０に吸収されやすく、ヒータには吸収されにくい波長にすることも好ましい。更に、加工条件を調整し、例えば加工時間を適切にしてヒータに熱が伝導される前にレーザ光線の照射を停止させるか、又は加工が進むにつれてレーザの出力を漸次低下させるようにしてもよい。なお、レーザ光線に代えて、例えばイオンビームを使用することもできる。
【００３６】
上述の方法以外にも、レジスト膜をオリフィスプレート２０の全面に形成し、レジスト膜をノズル２２の面積が規定値範囲内に入る所定の大きさにパターニングした後、オリフィスプレート２０をウェットエッチング又はドライエッチングする。これにより、ノズル２２の面積を、ステップＳ３により求められた結果に基づいて算出される必要な量だけ大きくすることができる。また、オリフィスプレート２０が金属又は合金等の導電性を有する素材からなる場合には、放電加工によりノズル２２の面積を大きくすることもできる。このように、ウェットエッチング若しくはドライエッチング又は放電加工では、レーザトリミングとは異なり、ノズル２２を相似形のままでその面積を大きくすることができるので、点対称にしなくてもよい。
【００３７】
次に、インク吐出量の減少方法について説明する。図１０（ａ）及び（ｂ）はノズルのインク吐出量を減少させる方法を工程順に示す断面図である。図１０（ａ）に示すように、本方法は、例えば感光性ポリイミド板３１が複数積層されてなるオリフィスプレート３０に直径が異なる円柱状のノズル３２、３３が形成されている。ノズル３２の容積は規定値範囲内にあり、ノズル３３の容積は規定値の上限値を超えている場合、ノズル長さを短かくしてノズル３３の容積を減少させる補正方法である。
【００３８】
先ず、図１０（ａ）に示すオリフィスプレート３０に、ノズルの長さを短くしたいノズル３３の周囲にだけ露光するようなパターンを露光する。次に、図１０（ｂ）に示すように、露光した部分を剥離して凹部３４を形成してノズル３３のノズル長さをステップＳ３により求められた結果に基づいて算出される必要な量だけ短くする。これにより、ノズル容積が減少するので、インク吐出量が減少し、インク吐出量を規定値範囲内にすることができる。
【００３９】
また、上述の方法以外に、インク吐出量を減少させる方法について説明する。先ず、前述の如く、好ましくはオリフィスプレート３０の各ノズル３２、３３に後で取り除くことができるものを充填する。次に、オリフィスプレート３０の全面にレジスト膜を形成し、ノズルの長さを短くしたいノズル３３の周囲が開口するように、パターニングする。そして、例えば、ウェットエッチング又はドライエッチングを施し、その後レジスト膜及びノズル３２、３３内の充填物を除去してノズル３３の長さを短くしてもよい。本方法においては、図１０（ａ）に示すように、オリフィスプレート３０を積層構造のものとしたが、これに限定されるものではなく、図８（ａ）に示すような１つの部材からなるものでもよい。特に、オリフィスプレート３０が金属又は合金等の導電性材料からなる場合、放電加工により、インク吐出量が多いノズル３３のノズル長さを、ステップＳ３により求められた結果に基づいて算出される必要な量だけ短くすることができる。これにより、インク吐出量を規定値範囲内にすることができる。
【００４０】
更に、例えばオリフィスプレート３０の全面に、例えば感光性ポリイミド膜を貼り付け、インクの吐出量を減少させたいノズルの開口部及びその周辺部に残存するように、パターニングする。そして、ノズルの開口部及びその周辺部に貼り付けられた感光性ポリイミド膜にインク吐出量が規定値範囲内となるようなノズル３３の穴径よりも小さい穴を、例えば反応性イオンエッチング、レーザビーム又はイオンビームにより開口する。このように、インク吐出量が多いノズル３３の穴径を小さくすることにより、インク吐出量を規定値範囲内にすることができる。
【００４１】
なお、ノズルの補正加工が終了した後、ノズル表面に撥水加工を施し、ノズル内壁に親水加工を施すことが好ましい。
【００４２】
また、全てのノズルのインク吐出量が規定値の下限値未満である場合、ノズルのインク吐出量を増加させる（ステップＳ８）。この工程においては、上述のステップＳ７と同様の方法によりノズルのインク吐出量を増加させることができる。これにより、全てのノズルのインク吐出量を規定値範囲内にすることができる。
【００４３】
更に、すべてのノズルのインク吐出量が規定値の上限値を超えている場合、ノズルのインク吐出量を減少させる（ステップＳ９）。上述のステップＳ７と同様の方法によりノズルのインク吐出量を減少させることができる。これにより、全てのノズルのインク吐出量を規定値範囲内にすることができる。
【００４４】
なお、ステップＳ１において、オリフィスプレートを基体に貼り付けて記録ヘッド本体としていない場合には、ステップＳ７乃至Ｓ９終了後に、上述の基体に貼り付けて記録ヘッド本体を作製する。また、ステップＳ７乃至Ｓ９に示す補正は、図６又は図７に示すいずれの補正量で補正してもよい。更に、本実施例においては、サーマルインクジェットの記録ヘッド本体としたが、これに限らず、複数のノズルが形成されたオリフィスプレートが設けられるものであれば、特に限定されるものではない。
【００４５】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、ノズルのインク吐出量にばらつきがある場合に、ノズル容積を調整してノズルのインク吐出量を均一にすることができるので、記録（再現）画像の劣化、特に画質の劣化を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を工程順に示すフローチャートである。
【図２】  本発明の実施例に係るインクジェット記録ヘッドのノズルの面積及びノズルの容積の第１の測定方法を示す模式的断面図である。
【図３】  （ａ）及び（ｂ）は本発明の実施例に係るインクジェット記録ヘッドのノズルの面積及びノズルの容積の第２の測定方法を工程順に示す模式的断面図である。
【図４】  （ａ）及び（ｂ）は本発明の実施例に係るインクジェット記録ヘッドのノズルの面積及びノズルの容積の第２の測定方法の変形例を工程順に示す模式的断面図である。
【図５】  本発明の実施例に係るインクジェット記録ヘッドのノズルの面積及びノズルの容積の第３の測定方法に使用されるリファレンスサンプルを示す模式的断面図である。
【図６】  横軸にノズル番号をとり、縦軸にインク吐出量をとって、インク吐出量のばらつきに対して一定値の補正をして解消する補正方法を示すグラフ図である。
【図７】  横軸にノズル番号をとり、縦軸にインク吐出量をとって、インク吐出量のばらつきに対して最適量の補正をして解消する補正方法を示すグラフ図である。
【図８】  （ａ）乃至（ｃ）はノズルのインク吐出量を増加させる方法工程順に示す断面図である。
【図９】  （ａ）及び（ｂ）は、本発明の実施例に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を工程順に示す平面図である。
【図１０】  （ａ）及び（ｂ）はノズルのインク吐出量を減少させる方法を工程順に示す断面図である。
【符号の説明】
１、２０、３０  オリフィスプレート
２、６、７、８、２１、２２、３２、３３  ノズル
３、２０ａ、３０ａ  表面
４  裏面
１０  顕微鏡
２６  穴
３４  凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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