(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
媒体の局所的照明用に、マイクロシャッタ配列体を介して少なくとも一つの照明面を照らすために配列された複数の光エミッタを配置した照明ユニットであって、
該マイクロシャッタ配列体は複数のマイクロシャッタを具備し、マイクロシャッタのそれぞれは光経路と該光経路に連係し電気的に可動な隔膜要素とを具備する照明ユニットであって、
さらに、該複数の光エミッタの少なくとも一つは該照明ユニットの第一レンズ配列体を介して少なくとも二つのマイクロシャッタを照らすように配置され、
該第一レンズ配列体は、各マイクロシャッタについて配置される少なくとも一つのマイクロレンズを備え、それにより該複数の光エミッタにより放たれる光が該個々のマイクロシャッタの該光経路の光軸上またはその付近に集められることを特徴とする照明ユニット。
【請求項２】
請求項１に記載の照明ユニットであって、該複数の光エミッタは、少なくとも一つの光源に光学的につなげられた光学的光ガイドによって形成されることを特徴とする照明ユニット。
【請求項３】
請求項２に記載の照明ユニットであって、前記少なくとも一つの光源は短アーク灯によって形成されることを特徴とする照明ユニット。
【請求項４】
請求項３に記載の照明ユニットであって、該光学的光ガイドは前記短アーク灯の赤道軸上から±７５°の範囲内の該短アーク灯周りの球面上に配置され、かつ光エミッタに光学的につながって該光エミッタに光を導くことを特徴とする照明ユニット。
【請求項５】
請求項２から４のいずれか一項に記載の照明ユニットであって、該光学的光ガイドは光ファイバにより形成されることを特徴とする照明ユニット。
【請求項６】
請求項２から５のいずれか一項に記載の照明ユニットであって、少なくとも一つの光源はレーザー光源により形成されることを特徴とする照明ユニット。
【請求項７】
請求項３から６のいずれか一項に記載の照明ユニットであって、該光学的光ガイドは、所定の面形状で配置される該複数のマイクロシャッタを照らすように配置され、該複数の光エミッタと該面形状の間には少なくとも一つのコリメーションレンズが配置され、該マイクロシャッタと連係して、平行化された光が該第一レンズ配列体に向けられることを特徴とする照明ユニット。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか一項に記載の照明ユニットであって、該隔膜要素は該マイクロシャッタ配列に回転可能に取り付けられた板により形成されることを特徴とする照明ユニット。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項に記載の照明ユニットであって、該マイクロシャッタの面形状は６角形からなることを特徴とする照明ユニット。
【請求項１０】
請求項９に記載の照明ユニットであって、該照明ユニットの６角形は少なくとも８個であって、該６角形の各々は光学的に照明源につなげられた光学ファイバにより照らされることを特徴とする照明ユニット。
【請求項１１】
請求項７から１０のいずれか一項に記載の照明ユニットであって、さらに、第二マイクロレンズ配列体を備え、
該第二マイクロレンズ配列体は、該複数のマイクロシャッタと該照明面の間に配置され、個々のマイクロシャッタの該光経路を通った光が該照らされる面上に集められることを特徴とする照明ユニット。
【請求項１２】
請求項１１に記載の照明ユニットであって、個々のマイクロシャッタはある距離で該面形状の横方向に列をなして配置されていて、該列は横方向にそれぞれずれていることを特徴とする照明ユニット。
【請求項１３】
請求項１２に記載の照明ユニットであって、該列は該面形状の横方向の個々のマイクロシャッタ全部の投影が該横方向に同じ間隔で複数の照明点を生ずることを特徴とする照明ユニット。
【請求項１４】
請求項１１から１３のいずれか一項に記載の照明ユニットであって、該第一レンズ配列体と該第二レンズ配列体の少なくとも一方は、その全部または一部が６角形の焦点レンズから形成されることを特徴とする照明ユニット。
【請求項１５】
請求項７から１４のいずれか一項に記載の照明ユニットであって、該面形状は一以上の照明ヘッド上に配列され、各々の照明ヘッドと該照明面は互いが相対的に移動し、前記装置は照明ヘッドと照明面との間の相対的な移動によりマイクロシャッタを制御するための制御ユニットを備えていることを特徴とする照明ユニット。
【請求項１６】
請求項１５に記載の照明ユニットであって、照明ヘッドは軸によって形成され、該照明面と該軸間の該相対的移動は軸に横向きの一方向への移動であることを特徴とする照明ユニット。
【請求項１７】
請求項１から１６のいずれか一項に記載の照明ユニットであって、該マイクロシャッタの隔膜要素は２つの位置間を移動可能な振動式隔膜要素によって形成され、該振動式隔膜要素は該２つの位置間の釣合位置に向かって弾力的に作用するように吊り下げられ、該２つの位置の一方において前記隔膜要素が光経路を遮断することを特徴とする照明ユニット。
【請求項１８】
請求項１から１７のいずれか一項に記載の照明ユニットであって、該照明ユニットは、さらに、該マイクロシャッタ配置と照らされる面との間に、光経路から放たれた光束を拡げるための光学手段を有することを特徴とする照明ユニット。
【請求項１９】
媒体の局所的照明用にマイクロシャッタ配列体を介して少なくとも一つの照明面を照らすために配列された複数の光エミッタを配置した照明ユニットを使用した照明方法であって、
該マイクロシャッタ配列体は複数のマイクロシャッタを具備し、各マイクロシャッタは光経路と該光経路に連係し電気的に可動な隔膜要素とを具備し、
さらに、該複数の光エミッタの少なくとも一つは該照明ユニットの第一レンズ配列体を介して少なくとも二つのマイクロシャッタを照らすように配置され、
該第一レンズ配列体は各マイクロシャッタについて配置される少なくとも一つのマイクロレンズを備え、それにより該複数の光エミッタにより放たれる光を該個々のマイクロシャッタの該光経路の光軸上またはその付近に集めることを特徴とする照明方法。
【請求項２０】
請求項１９に記載の照明方法であって、さらに、第二マイクロレンズ配列体を備え、
該第二マイクロレンズ配列体は該複数のマイクロシャッタと該照明面の間に配置され、個々のマイクロシャッタの該光経路を通った光を該照明面上に適切に集めることを特徴とする照明方法。
【請求項２１】
請求項１９または２０に記載の照明方法であって、該複数の光エミッタは、少なくとも一つの光源に光学的につなげられた光学的光ガイドによって形成されることを特徴とする照明方法。
【発明の詳細な説明】
発明の分野
本発明は、請求の範囲１の導入部に記載した媒体の局所照明のための照明ユニットと、請求の範囲１９の導入部に記載した媒体を照明する方法とに関する。
グラフィック産業において、オフセットプリント板は伝統的に、プリントされる画像を含むフィルムをプリント板に複写することによって作られる。
このことは、フィルムとプリント板との間の密な接触を確実にするため、真空下でプリントダウンフレームにおいて行われる。写真乳剤が一定の範囲、例えば３５０−４５０nm（ナノメートル）において感応するフィルムは、例えばキセノン灯あるいは水銀灯などの強力なランプによりフィルムを通して照明され、これによりフィルムからの画像はプリント板へ転写される。
使用フィルム上の画像は、典型的にはレーザー光がフィルム上の画像を画像セッターに引きつけることで作られる。レーザー光は、ディジタル情報により制御される変調器でオンオフされる。
上記の如く、２つの主な処理段階、つまりフィルムの製造とプリント板の複写とが関わってくる。
フィルムの製造を省略しかつディジタル情報に基づきプリント板上に画像を直接照明することで、時間と金の両方が節約可能なことは明らかである。この解決法は、市場で売れ筋の従来のプリント板を露出することができれば、特に好都合であろう。
しかしながら、ディジタル制御された照明源、特に従来のプリント板を正しい波長と十分な光学的パワーで照明できるレーザー源を得ることには問題がある。この問題は、３５０−４５０nmレンジの紫外光領域及び青色領域において特に顕著である。
これらの環境を除去する１つの方法は、大きい波長でレーザーにより露出できる特に高感応なプリント板を開発することだろう。この技術は、今日ではいわゆるＣｔＰ機械（Computer-to-Plate Image Setter）において用いられる。しかしながら、これらのプリント板は入手するのに高価な上に、昼光にさらされることに気を使いながら取り扱わなければならない。したがって、低感応度の商業的に魅力のあるプリント板に対して十分な照明が達成できれば、数多くの点において有利であろう。十分な照明はプリント板自身の光の強度を増すことにより達成できる。
しかしながら、上述のもののような商業的にしか有用でない光源は必要な波長で十分な光学的パワーを提供しないため、この解決策は新たな問題を与える。この問題は、大きい光のパワーを放射できる例えば短アーク灯を用いることで除くことができる。
しかしながらこの技術的解決法は、周知のレーザーと同様の方法でランプを変調できないため、更なる複雑さを伴う。しかし、このことは光源を純粋に機械的に変調することにより解決できる。
本出願人の欧州特許第EP０６４２４２３号及び第ＥＰ０６４３６４５号は、上述タイプの応用例を開示しており、これらによればフィルムまたはプリント板は、いわゆる直露出によりいわゆるマイクロシャターを介して直接照明される。
しかしながら、照明の分解能条件が増えるこれらの応用例は、各マイクロシャターが、光ファイバ及び関連したレンズの形状の関連した光源により照明されるため、構造が比較的複雑で高価である。大きい照明分解能の場合、これらの応用例は上記の如く極めて高い複雑性と極めて多数の光ファイバの必要性とを伴い、各光ファイバを関係する応用のために較正しなければならない。上述タイプの照明システムの場合、光ファイバは上記の如く可能な分解能を実際に制限し、光学損失が全システムの要素を制限する。なぜならこの接近露出の利用は、個々のピンホールを入口側の孔表面全部に均一に照明する必要があるからである。光を単に例えばコリメーションレンズから個々のピンホール側に伝導する場合、光がピンホールの外側に落ちる大きな光の損失がある。光が例えばマイクロレンズにより孔に集められると、孔の入口での光の強度輪郭は、均一ではなくガウス曲線に類似するため、光束の小部分しか均一な照明を達成するのに用いることができない。
したがって、本発明の目的はまず、比較的高い照度を要求する従来のプリント板を効果的かつ経済的に照明する照明システムに使用可能な、変調器タイプを達成することにある。
発明の概要
請求の範囲１に記載したように、照明ユニットの光エミッタの少なくとも１つが配置され、第１のレンズ構成を介して少なくとも２つのマイクロシャッタを照明する場合、低い光感度の感光媒体を照明するに極めて適した装置が達成される。前記レンズ構成は、各マイクロシャッタに対して配置される少なくとも１つのマイクロレンズを含んで、光エミッタにより放射される光が個々のマイクロシャッタの光径路の光学軸あるいはその近傍に集められるようにしてある。
光エミッタあるいは複数の光エミッタの１つからの光は上記の如く個々のマイクロシャッタに集められ、マイクロシャッタは送られたコヒーレントな光を照明位置で変調することができる。
市場で手に入るプリント板を使用する時、十分な「光学エネルギー」すなわち強度が、１つの光エミッタから数多のマイクロシャッタへ同時に供給できることが分かっている。したがって、本発明により使用されるマイクロシャッタを小さいグループへ細分することに不足はないだろう。
このことは、平行光束を数多の光束に細分し、これらを本発明によるマイクロレンズの第１の構成によりそれぞれのマイクロシャッタに集めることで、平行光束の分配が機械的に可能であることが分かっている環境により、部分的に達成される。さらに、かなりの光学損失がこの分割によりなくなるにせよ、この分配には極めて小さい光学損失を伴うことも分かっている。
本発明の範囲内において、マイクロレンズの配置は数多の異なる方法で構成することができる。本発明の範囲内における変更態様の例は多層ライン構成であろう。
留意すべきは、本発明によるパワーの最適化は、光径路全体の入口において平らな強度輪郭に対する要請がなく、全光束あるいはその大部分を関連した光径路を介して集めることにより達成できることである。シャッタ開口間の最少のパワー浪費あるいはパワー浪費の低減が、上記の如く適切な集光により達成できる。
本発明によれば、例えば光ファイバ端部の形状の光エミッタにより数多のシャッタを照明することもまた可能である。
１つあるいは比較的少数の光エミッタを使って、媒体の照明が上記の如く平行に行われるので、この分割は個々の照明ポイントにおいて極めて高い照明率で高い照度を達成しかつ維持することができる。
上記の如く、高い照度により個々のマイクロシャッタの開放時間が短くできるので、蓄積されたディジタルデータに基づき媒体の再現可能な照明が高速度の露出により可能となる。しかしながらこのことはまた、立ち上り／立ち下がり時間の短縮をも要求する。全体のシステムが、例えば照明領域の走査についても言える照明領域と照明構成との間の相対運動を伴う時にもまた、微小機械的シャッタの合理的構造は、本発明のシャッタ構成が使用できる非常に短い立ち上り／立ち下がり時間を達成可能にさせる。短い立ち上り／立ち下がり時間は、かくして照明スポットをその理想的形に近づける。
本発明によれば、マイクロシャッタの特に有利な実施形態は、光径路を形成する孔により達成される。光はこの光径路を介して減光することなく、また例えば鏡の使用による反射もなく伝送することができる。この径路において、電気的に作動する機械式絞りにより、開口を伝送のため機械的に遮断、開放することができる。光径路自身における調光は理想的にはゼロとなる。
微小機械的シャッタを用いる数多の異なる利点のうちの１つは、これらが短い時間間隔で比較的大きな光エネルギーを照明領域に伝送可能なことである。したがって上述のシャッタ構成と照明領域との間の相対運動について、照明領域の一定のポイントが特定の光量を受け取ってから所望の照明成果が達成される環境に対して、わずかの余裕が作られる。例えば、同じポイントが正しい露出を達成するために照明が数回必要であれば、大きな余裕を作らなければならないだろう。
本発明はまた、照明が例えば走査により行われる場合でも、個々の照明ポイントの迅速かつ強力な照明を可能にし、同時に走査運動の速度を上げることができる。
感光媒体の例は、例えばプリント板、フィルム、プリント基板（ＰＣＢ）などでもよい。
留意すべきは、本発明が効果的に同時平行変調を大きな領域に亘り極めて高い照度で可能にすることである。
本発明によれば、同様に極めて高いオン／オフ比、すなわち開状態と閉状態における光の量のマイクロシャッタ通過比率、を達成することが可能である。
光径路の形状は、例えば断面の適当な変更により個々の応用例に適応させることができる。
さらに本発明により、プリント板を露出する同じ機械上で、例えば訂正を行うなどディジタルの試し焼きを作ることが可能となる。プリント用紙上に画像と同じ試し焼きを作成することは、例えばクロマリン（Cromalin）やマッチプリント（Matchprint）などの知られた試し焼き方法がそうであるように、最初にフィルムを露出する必要のない従来の試し焼き方法では不可能である。
上記の如く、本発明によれば試し焼き用紙とプリント用紙の両方に同一の画像を作ことができるから、最終プリントと極めて良好に整合する試し焼きを得ることができる。
このことは、例えば本発明がプリントにおけるモアレ問題の予測可能性を提供することを意味する。その理由は、本発明により紫外線光を直接変調することが可能となり、これにより伝統的な紫外線感応の試し焼き材料に最終プリントと同様に同じラスタドットを生成するからである。
本発明の実行に使用可能な照明源は、例えば紫外線短アーク灯でもよい。したがって、水銀短アークギャップ灯を用いることにより３５０−４５０nmレンジの極めて高い照度（放射強度）が達成可能となる。１０W/srを超える放射強度はこれにより達成でき、従来のオフセット板にふさわしい照明比を達成する放射強度は、１つのランプで十分である。
全体の態様において、本発明は上記の如く極めて高い照度と極めて小さい波長で変調を可能にし、このため従来型の安価なプリント板が達成可能となる。
本発明の他の極めて不可欠な態様と上述のプリント板の使用とにより、やはり上述した低い光感度が、保管と取扱いの両方に関して大きな利点となる。なぜならこれらのプリント板は、高感応プリント板と異なり、露出されずに一定の期間昼光に耐えることができるからである。
言うまでもなく、本発明はフィルムやプリント板を露出するために使用可能なだけでなく、全く異なる使用分野でその他のタイプの感光材料を照明するためにも有利に使用することができる。
請求の範囲２に記載したように、照明ユニットが追加的にマイクロシャッタと照明面との間に配置される第２のマイクロレンズ構成を含み、個々のマイクロシャッタの光径路を通って伝送される光が照明面に正しく集められるようにした場合、シャッタを介して変調された光を、その形状及び範囲が寸法決めと光学系構造とにより与えられる照明面上のライトスポットに集めることができるので、照明面上に有利な照明が達成される。
シャッタ開口における個々の光束の強度輪郭は不均一であるため、第２のマイクロレンズ構成を用いることにより光学エネルギーの利用が改良される。このことは特に小径の光径路（ピンホール）について適応される。マイクロシャッタの出口側に焦点レンズを使用すれば、光束の輪郭の端部領域が同様に照明ポイントに向かって集められるので、上記の如く効率が著しく増加する。
請求の範囲３に記載したように、光エミッタの少なくとも１つが、少なくとも１つの光源に光学的に接続される光学的光ガイドにより形成される場合、光は光学損失も少なく簡単な方法で関係するマイクロシャッタ構成に選択的に伝導できるため、本発明の有利な実施形態が達成される。
光ガイドは、光ファイバ、セルフォックガイド（selfoc guide）導波管等の意味に取られる。
光ガイドを光エミッタとして用い、光学的に光源に接続すると、大量の光を最適の方法で照明位置へ伝導することができる。特にアーク灯を光源として用いる場合はそう言える。なぜならアーク灯は例えばレーザーの場合より輪郭のはっきりしない光を放射するからである。
さらに放射された光の量を、例えば光源のアークからの放射強度輪郭と所望の強度レベルとに依存する異なるグレーフィルタを用いて、個々の光ガイドへ分類することができる。
光ファイバなどの光ガイドを使用すると、光源を変調組立体から間隔を置いて中心に配置することができ、修理及び冷却が容易になる。
１以上の光源を配置することで追加的な自由度も得られ、設計と構成とが容易になる。光ガイドを使用せずシャッタの上に直接取付けた光源の物理的範囲が、比較的高い露出分解能が望まれる照明システムの寸法決めに対して大きな要求をすることを想起すれば、このことは特に利点であると見做されるべきである。
ファイバ端部は通常光源より小さい広がりを持ち、マイクロシャッタ構成の直接上に光源よりも光ガイド端部を配置する方が容易であるから、空間の考慮は上記の如く照明システムを小程度に制限する。
光ガイドあるいは光ファイバを光源に光学的に接続可能な光エミッタとして使用することにより、幾つかの非常にコンパクトな照明ユニットを作ることも可能となる。これらの照明ユニットを一緒にして比較的簡単な方法で大きい照明ユニットに組み立てることができる。また、照明源と個々の照明ポイントすなわち全照明位置との間に重大な光学的伝送も、個々の照明ユニットの物理的位置すなわち全照明システムにおける光源の必要位置に対しては重大ではないから、要求される物理的照明条件を第一に考慮して、これらの照明ユニットを組み立てることができる。
同様に光源を、構造に含められる感応構成要素から距離を置いて配置することができるから、全構成の構造を大いに簡素化できる。このことは多数のレーザーソースを用いる時に、特に利点として見られるだろう。
最後に留意すべきは、光ファイバが一定の長さ、典型的には２−３メーターに亘って均質化、すなわち「ビームクリーニング」されるので、光源により放射された光は自動的な修正を受けてから、照明位置すなわち照明面と変調レンズとに向かって伝導されることである。
請求の範囲４に記載したように、光学的光ガイドが光ファイバにより形成されると、光ファイバは従来の光学系に対して比較的取扱いが容易であるため、本発明の特に有利な実施形態が達成される。このことは、比較的複雑な光学系、すなわち光ガイドを欠いた従来の伝送レンズが、それ自身の光エミッタをそれぞれ有する多数の副照明システムを用いることのできないに光学系、に関して顕著である。
請求の範囲５に記載したように、光源の少なくとも１つが短アーク灯により形成される場合、例えば市場で手に入るレーザー源と比較すると、一定の所望の波長で比較的大きいパワーを達成できるので、極めて多数のマイクロシャッタに、つまり大きい照明領域に極めて高い照度を達成することができる。
照明源の数に制限がある場合は、達成される利点は極めて顕著となる。なぜなら技術状態として短アーク灯がレーザー源よりも利点を持つから、１つのランプで変調マイクロシャッタを介して大きい照明面を照明することができるからである。
例えば３５０−４５０nmレンジの所望の放射強度は、水銀短アークギャップ灯を用いることで達成することができる。１０W/srを超える放射強度はこれにより達成でき、従来のオフセット板にふさわしい照明比を達成する放射強度は、１つのランプで十分である。
本発明は、このようにすることにより大きな領域に亘る先例のない均質な照度を比較的簡単な方法で達成する可能性を公開する。
光ファイバをアーク灯からの光学的パワーを吸収するために用いる場合、光ファイバをアーク灯の光の場に比較的自由に必要なだけ配置できるから、光源の物理的形状と構造とによる廃パワーを簡単かつ最適の方法で回避することができる。
光ファイバはまた、照明領域の照度を追加する可能性ももたらす。
ファイバは例えば大きなファイバの束にも組み立てられ、この束は、光源が配置される反射鏡により集められた集中光束に対して配置されると好都合である。
請求の範囲６に記載したように、光源が、ランプのまわりの球面上であって該ランプ赤道軸Eに対して＋／−７５°の角度内で配置され、かつ光エミッタに光学的に接続されこれに光を伝導する受光光学光ガイドあるいはファイバを有する短アーク灯を含む場合、短アーク灯からの光が、バルブと同じ形状の球面にバルブから距離を置いて配置できる個々のファイバに最適に受け取られるから、本発明によれば、有利な実施形態が反射鏡を使用せずに達成される。
具体的な使用例によれば、ファイバ結線は、短アーク灯とマイクロシャッタアレーとの間に配置される約１５０本の光ファイバを含む。
上記の如く、本発明によれば、ランプ、例えば紫外線ランプの使用が魅力的であることが分かる。なぜなら、ランプの別の幾分不均一な光の方位と強度が、対応的に方位した光ガイドにより吸収され利用されて、光ガイドはその後面照明システムに伝導しこれを照明するからである。
ランプは例えば水銀短アーク灯でもよい。
複数の受光端部がランプの球面に分配される場合、ランプとその放射輪郭とに対して光ガイドの受光端部の位置を調節することにより、この受光端部において光の吸収を調節することもまた可能である。
他の可能な実施形態は、適当なフィルタコーティングを施した上述の反射鏡付き光源とそれに対して適当に方位したファイバの束とを構成することだろう。この種の濾過はこの場合通常反射鏡の冷却を必要とする。
光エネルギーをこのように集中させる利点は、方法が極めて制御可能であり、この方法が反射鏡に対して方位した光ガイドに比較的簡単に均質な入力を提供できることである。この反射鏡集中と予備的濾過との更なる利点は、取付及び修理が相当に簡易化できることである。
請求の範囲７に記載したように、光源の少なくとも１つがレーザー源により形成されると、大きな照明領域への必要な照明パワーが数多のレーザー源により集計可能となるので、本発明によれば追加的利点が達成される。
さらに本発明によれば、レーザー源の使用は、一部は放射損失減少の可能性のため、一部は光源の相当高い利用度のために、エネルギー損失の減少とそれによる効率の向上とを伴う。典型的に２０００Ｗのアーク灯が、２０Ｗの所望の波長領域のパワー、つまり約１％を変調された光のポイントの形状で感光媒体に生成できる場合、輪郭のはっきりした波長を持つダイオードレーザーは典型的には５％台のパワーを生成する。
レーザー源からの光は長円形で非点収差を補正してあり、光学系において修正されなければならない。ファイバを使用する場合、光はファイバに分配され、ファイバは、光学的修正を要求しないかなり均一な「混合」光束を放出する。
照明源が上記の如く数多のレーザー源として面集計される場合、全システムの効率向上の同時達成と併せて、個々のマイクロシャッタ構成の均質な照明の達成のために、レーザー源は個々に調整可能であるから、照明面の照明の均質性を高めることができる。
レーザー源は、例えばダイオードレーザー、ソリッドステートレーザー、ガスレーザー、液体レーザー、半導体レーザー等であってもよい。
請求の範囲８に記載したように、作動可能な絞り装置が、マイクロシャッタ構成に蝶番で回転可能に取りつけられたプレートにより形成されると、本発明の有利な実施形態が達成される。
請求の範囲９に記載したように、照明ユニットが、光源に光学的に接続されかつ一定の面形状に構成された複数のマイクロシャッタを照明するために配置される光ガイドの形状で光エミッタを含み、マイクロシャッタに関連した第１のマイクロレンズ構成により平行光が複数のマイクロシャッタにむけて伝導されるように、少なくとも１つのコリメーションレンズが光エミッタと面形状との間に配置される場合、マイクロシャッタ構成及び関連したレンズの有利な細分が達成され、完全な、細分された照明システムの一部が形成可能となる。
留意すべきは、照明ユニットは、マイクロシャッタ、レンズ及び一体化した光ガイドあるいは光ファイバを有するコンパクトなユニットとして構成でき、この種のユニットは、一定の応用に用いられる光源に対してだけ調整されるコンパクトな調節されたユニットとして販売可能なことである。
請求の範囲１０に記載したように、マイクロシャッタの面形状が６角形を形成する場合、簡単な方法で対応するマイクロシャッタ構成と共に組み立てが可能で、かつこれと協働することのできるマイクロシャッタ構成の面形状が達成される。
対応するマイクロシャッタ構成についての上述の幾何学的な条件に加えて、マイクロシャッタ構成を円断面で照明する光エミッタを用いると、６角形の面形状は比較的大きい充填度を達成できる利点を有する。
６角形の面形状の充填度はこうすることで約８３％になる。４角形の面形状については外接円に対して約６３％の充足度であることを諒解すべきだろう。
加えて６角形の面形状は、所望の照明分配を達成するため、簡単な方法で個々のマイクロシャッタを面形状の上に分配することができる利点を持つ。
しかしながら、その他多くの面形状もまた本発明の範囲内で実行されることは想像できる。
請求の範囲１１に記載したように、照明ユニットが、照明源に光学的に接続した光ファイバにより照明される少なくとも８つの６角形を備える場合、モジュラーエレメント型照明システムが達成される。モジュラーエレメントは、照明源により光ファイバを介して各６角形が与えられる所望の照明特性に、簡単に組み立てられる。
請求の範囲１２に記載したように、関連したマイクロレンズの光学系を持つ個々のマイクロシャッタが、面形状の横方向Ｔに一列に一定の間隔を置いて配置され、この列が列の長手方向に互いにずれる場合、照明分解能の向上が達成される。
請求の範囲１３に記載したように、面形状における横方向Ｔ上の個々のマイクロシャッタ全部の投影が、横方向Ｔの同じ距離ΔＬにおいて複数の照明ポイントをもたらすように列が配置される場合、面形状を例えば、照明分解能がマイクロシャッタ間の最小可能距離より短い走査あるいは類似の移動照明に有利に用いることができ、本発明の有利な実施形態が達成される。
請求の範囲１４に記載したように、第１及び／または第２のレンズ構成が６角形の焦点レンズにより全体または部分的に形成される場合、６角形レンズは円形のレンズより密に詰めることができるから、特に有利な幾何学的形状のレンズ構成が達成され、本システムの効率を追加的に向上させる。
請求の範囲１５に記載したように、マイクロシャッタの面形状が１以上の照明ヘッド上に配置され、照明ヘッドと照明面とが照明領域を横切って相互の相対運動を行うようにされ、該装置もまた制御ユニットを具備して、軸と照明面との間の相対運動に依存してマイクロシャッタを制御する場合、照明ユニットは上記の如く大きい照明領域の照明に使用できるため、フラッシュ露出に代わる有利な形態が達成され、同時に照明分解能も向上可能となる。
言うまでもなく、各照明ヘッドと照明領域との間の相対運動は、各照明ヘッドを固定し照明領域を移動するとか、照明領域を固定し照明ヘッドを移動するとか、照明ヘッドと照明領域とを移動することにより実行できる。
照明面を横切る運動は、とりわけ可動ユニットの構成と形状とに依存して決定される。例えば、複数のシャッタを持つ別個の照明ユニットは、段階的運動により照明面のまわりを移動することができ、これにより一定の露出が別個の照明面の全体領域への集計として達成される。
請求の範囲１６に記載したように、可動ユニットは軸により形成され、照明面と軸の間の相対運動は軸の横方向の単独の移動運動であるため、本発明の特に有利な実施形態が達成される。なぜなら、この種の走査は全体の照明を照明面の横方向全体に与えることができ、これにより別個の照明領域間の境界線を回避して、全露出の移動方向へ横方向に位置を決めるポイント露出における不確実性が、実質的に照明ユニットの個々のマイクロシャッタ間の相互的位置決めの不確実性と案内の不確実性とに軽減されるからである。
請求の範囲１７に記載したように、各個々のマイクロシャッタが２つの位置間をあちこち移動する振動式絞り部材により形成され、前記振動式絞り部材は弾性力が２つの位置間の平衡位置に向かって作用するようにつるされて、さらに前記照明ユニットが静電力により振動式絞り部材を制御する制御ユニットを有し、前記絞り要素は２つの位置のうちの１つにおいてマイクロシャッタの光径路を遮断する。ここで、該振動部材の固有振動数が、質量、弾性、形状及び内外力など該部材の振動をパラメータとする関数としてマイクロシャッタの切替時間を決定するので、迅速な変調を達成することができる。
個々のマイクロシャッタの制御ユニットから一定の制御信号へ応答時間は、上記の如く、所望の切替時間に合った振動システムの固有振動数に応じて高くなる。
例えば上述の弾性的に吊したことが意味ない状態であっても他のタイプのマイクロシャッタが、主に絞り部材とその腕部に沿った全ての方向に配置された電極により、シャッタの絞り部材を位置から位置へと引張ることができる。
請求の範囲１８に記載したように、マイクロシャッタ構成と照明面との間の照明ユニットは、さらに光径路により放射された光束を照明面に広げるために光学的手段を備える場合は、光径路により放射された光束を広げるための該光学的手段は、確実にマイクロシャッタ構成が、関連したマイクロシャッタ構成の範囲に相当する領域を照明できるように、とりわけ照明システムの各種モジュール式要素間のブラインド領域も含むことができるようにするため、大きな照明領域に亘ってフラッシュ露出を行うことができる。
光径路の断面が、光径路の下方終端で照明面に向かって大径を有する場合、個々のシャッタプレートが光径路の上方終端かあるいはその上に配置されていれば、光は最良可能な方法でマイクロシャッタを介して伝導することができる。典型的には第１のマイクロレンズ構成からシャッタプレート自身に光を集めるようにされていることが想起される。
光径路の少なくとも１つが、その下方終端の大径が照明面側にある円錐形である場合、本発明の有利な実施形態が達成される。
図面
本発明を以下図面を参照しながらより完全に説明する。
図１は本発明をその基本的形で示す。
図２は光エミッタがどのようにして光源に接続されるかの一例を示す。
図３は、光源がレーザーダイオードにより形成される本発明の更なる例を示す。
図４は、光エミッタが光ガイドにより形成される本発明の更なる例を示す。
図５は本発明による更なる照明ユニットの構成を示す。
図６は本発明による走査ユニットを示す。
図７乃至１０は、本発明の多数のマイクロシャッタを有する照明ユニットの作動方法を示す。
図１１及び１２は本発明の走査用の照明モジュールを示す。
図１３は、フラッシュ露出のための本発明による照明モジュールの構成を示す。
図１４は、図１３に示した照明モジュールの断面を示す。
図１５は本発明による光径路の形状の例を示す。
実施例
図１は本発明による一例を示す。
媒体９の局所照明のための装置は、光エミッタ１とマイクロシャッタ構成とを含み、光エミッタ１は、マイクロレンズ２から成るレンズ構成から間隔を置いて配置され、マイクロシャッタ構成は、複数の開口６及び関連した絞り部材４とを有する板部材から成る。絞り部材４は回転変位により個々に電気的に作動可能である。
マイクロシャッタすなわち光バルブは、広義には透過可能光の絞りの意味に取られ、これらは例えば微小機械的なシャッタにより形成されることができる。個々のシャッタ要素は、例えばフランス特許出願番号第９４１２９２８号あるいは相当する欧州特許第ＥＰ−Ａ７０９７０６号に記述されたタイプであってもよいが、本発明によれば、決定的な違いは変調される光は最少の伝送損失を達成するために直接個々のマイクロシャッタを介して伝送される点である。
この点で留意すべきは、上述の特許出願に記述されたマイクロシャッタは、本発明に関して特に好都合であることである。なぜなら、照明構成と媒体との間の相互運動中に適度に輪郭のはっきりしたスポットを感光媒体上に達成すべき場合に、このマイクロシャッタはきわめて小さな立ち上り／立ち下がり時間を持たなければならない（持つことができる）からである。この点に関しさらに留意すべきは、本発明によれば高い伝送光効果のため、個々の照明ポイントに比較的短い照明時間を持つことができることである。
各光弁は少なくとも１つの個々にアドレサブルな開閉状態を持ち、これらの状態においてそれぞれ最小調光と最大調光とが、関連した光径路を通る光の通路に対して表示される。
これに関して微小機械的なシャッタは、上述の２つの状態における調光が真に最適であるという利点を持つ。なぜなら最大調光状態で光の通路を遮断し最小調光状態で原則的に立ち上りに光束の調光を与えない微小機械的なプレート等により、物理的に調光がもたらされるからだ。
図示した例の機能は、集められた平行光束Ａがマイクロシャッタ構成の開口６に集められて、図１に示す位置の隔膜要素４が光の通路を遮断するようにし、一方開状態において、隔膜要素４が開口６を通る光の通過を許し、媒体９上の個々の開口６に関連した照明ポイントが照明されるようにすることである。
留意すべきは、開口６と媒体９との間に焦点レンズを用いないため、本実施形態がその構成において特に単純であることである。
この技術は欧州特許第ＥＰ０６４２４２３ＥＩ号にその基本型記が記述されており、媒体９すなわち照明面は、精確に光束のフレネル領域とフラウンホーファー領域間の遷移のところに配置される。
さらに留意すべきは、マイクロシャッタ構成の適当な実施形態において、シャッタプレートを、照明面すなわち媒体９側に配置されたウェーハ板の下側に配置できることである。
図２は本発明の更なる実施形態の断面を示す。
照明システムは複数のマイクロシャッタ構成（図示せず）を含み、各マイクロシャッタ構成は光学的に複数の光ファイバ１３に接続できる。光ファイバ１３はさらに、短アーク灯１０の軸線のまわりを共に３６００伸長するアーク型吸収ジャケット１１、１２に光学的に接続される。
光ファイバ１３は吸収ジャケットに固定され、ランプのまわりの３６０°の光を上方の角度Ｕａと下方の角度Ｌａとの間の吸収ジャケット１１、１２上の領域で吸収する。
角度ＵａとＬａは、使用される実際の短アーク灯１０に適合される。水銀短アーク灯については、ＵａとＬａは例えばランプの赤道面Ｅに対して＋６０°と−３０°のところで選択してもよい。
吸収ジャケット１１、１２上の個々のファイバ１３の、これら１３と赤道面との間の角度に対する実際の位置と固定は、同様に関係するランプの強度輪郭に対して選択することができる。
各光ファイバ１３は、上記の如く例えば図１に示したものと対応するサブシステムを照明する。図１では、光ファイバの放光端部１３は光エミッタ１に対応する。
１実施形態によれば、吸収ジャケット１１、１２のまわりの光ファイバ１３の数は約１５０であり、この各々がこれと光学的に接続されたマイクロシャッタシステムを照明することができる。
本実施形態によれば、各光ファイバは５−６００の光径路を照明することができ、これによりファイバからの光は対応する数の小さい光束に分配される。
上記の如く、本発明によれば、効率のよさを維持しながらマイクロシャッタの均質な照明とそれにより照明面の均質な照明とを達成することができる。
本発明の図示した実施形態によれば、照明面全体に亘り均質な照明を維持しながら、各光径路に対して個別の光ガイドを有する５−６００の要素により、光源と照明面との間の必要な光ガイドの数を少なくすることができる。
２つの隣接したファイバ間の強度の違いが一定の最大限度を超えないように、あるいは最大限度を超えた場合は、２つの隣接するファイバが２つの隣接するマイクロシャッタ構成に通じないように、ファイバ１３がマイクロシャッタシステムに分配されれば好都合である。
図３は、レーザーダイオードを光源として使用する本発明の更なる実施形態を示す。
レーザーダイオード２１は、コリメーションレンズ２２、第１のマイクロレンズ構成２３、光径路２６及び関連した隔膜要素２４とを持つウェーハ板２５に配置されるマイクロシャッタ構成、第２のマイクロレンズ構成２７、最後に照明面２８、とを照明するために、固定装置２０に配置される。
強調すべきは、明瞭のため示された図面は、例えば画像露出のための典型的応用を示していないことである。なぜならその種応用におけるコリメーションレンズ２２は、典型的にはもっと多数のマイクロレンズ及び関連したシャッタを照明するからである。
個々の隔膜要素２４は、蓄積されたディジタルデータと照明面２８に対する一定の可能な相対運動とに依存して、開閉、つまり変調される。
レーザーダイオード２１は、上記の如くコリメーションレンズ２２で光束Ａ’に平行化された光束を放射する。光束Ａ’は次にマイクロレンズ構成２３に伝導され、マイクロレンズ構成２３は光束Ａ’をマイクロシャッタ構成の光径路２６で多数の光束Ｂ’に集める。そこから光束Ｃ’は第２のマイクロシャッタ構成２７に伝導され、ここで個々の光束Ｄ’がスポット直径Ｓｄの照明スポットとして照明面２８に集められる。スポットは明瞭のため図面には尺度通りに描かれていない。
各光エミッタは特定の応用において５−６００の光径路を照明することができる。本発明による分解能は、例えばポイント間２４５０ＤＰＩ、すなわち１０μｍで選択可能である。
コリメーションレンズ２２の直径は５−１０ｍｍであり、マイクロレンズ構成２２及び２７における個々のマイクロレンズは２−３００μｍの直径を有する。
同様に、マイクロレンズ間の中心距離は２−３００μｍ台であって、これはまたウェーハ板２５の孔と孔との距離に相当する。ウェーハ板２５の個々の光径路２６は典型的には２０−４０μｍの小径を持ち、シャッタプレート２４自身は幾分か大きくて、孔を完全に覆うことができるようにしてある。照明面２８のスポット直径Ｓｄは、本実施形態によれば１２−２５μｍであってもよい。
オン−オフ比（どのくらいの量の光がそれぞれ開シャッタと閉シャッタを通って到達するかの比率）は、１０００対１台あるいはそれ以上であり、これは最もよく知られたＬＣＤチップより約１０倍よい。
言うまでもなく本発明によれば、コリメーションレンズは、高い効率を達成するために、コリメーションレンズ系として構成することができ、かつある場合にはそのようにすべきである。
図４は、図３にその基本型を示したものと同様に構成した実施形態を示す。
光ガイド２９は、コリメーションレンズ２２、第１のマイクロレンズ構成２３、光径路２６及び関連した隔膜要素２４とを有するプレート２５に配置されるマイクロシャッタ構成、第２のマイクロレンズ構成２７、最後に照明面２８とを、照明するために固定装置２０に配置される。
強調すべきは、明瞭のため示された図面は、例えば画像露出のための典型的な応用例を示してはいないことである。なぜならその種の応用におけるコリメーションレンズ２２は、典型的にはもっと多数のマイクロレンズ及び関連したシャッタを照明するからである。
個々の絞り部材２４は、蓄積されたディジタルデータと照明面２８に対する可能な一定の相対運動とに依存して、開閉、つまり変調される。
光ファイバ２９あるいは適応した光学的特性を有する光ガイドは、コリメーションレンズ２２において光束Ａ’に平行化した光束を放射する。光束Ａ’は次にマイクロレンズ構成２３に伝導され、マイクロレンズ構成２３は光束Ａ’をマイクロシャッタ構成の開口２６において複数の光束Ｂ’に集める。そこから光束Ｃ’は第２のマイクロレンズ構成２７に伝導され、ここで個々の光束Ｄ’が照明スポットとして照明面２８に集められる。
この応用例において決定的なことは、個々のマイクロシャッタ群が光源から光を図示した光ファイバを介して受け取ることである。
図示したように、照明面の実際の照明に対して必要なあるいは所望の位置を第一に考慮しながら個々のマイクロシャッタを配置することができる。その結果光は、大きな技術的困難もなく図示した光ファイバあるいは相当する特性を有するその他の形状の光ガイドを介して、マイクロシャッタ群へ伝導することができる。
図５は、上から見た本発明によるマイクロシャッタ構成の１例を示す。
方向Ｘに動くための走査軸３０は多数の６角形３２を含み、各６角形は本発明による多数のマイクロシャッタを含む。
各６角形は、図４に示したものに対応するマイクロシャッタ構成を備え、該マイクロシャッタ構成は、関連したマイクロレンズ構成と隔膜要素２６とを有する４００−６００の光径路を備える。
各６角形３２は、図４に示したものに対応するコリメーションレンズ３１を介して、自身の上に配置された光ファイバにより照明される。
小領域３４及び３８は走査軸３０の長手方向にいわゆる重複領域（図５中０ｚ１，０ｚ２）を構成し、該重複領域は、走査軸３０が走査軸３０と下側の感光媒体との間の相対的な速度により決まる適当な時間的同期で方向Ｘへ動くことにより、走査軸３０の個々のマイクロシャッタが媒体上の等距離間隔の照明ポイントを照明できるように相互に配置される。
６角形の中の全マイクロシャッタが走査軸３０の長手方向に照明ポイントを投射することは、走査軸３０の長手方向全部に等間隔の照明ポイントを提供することになる。
上述した本発明による６角形の中の個々のマイクロシャッタの詳細な部分は、図７乃至９に示してある。
図６は走査構成４０の断面を示す。
走査軸を本発明の実行に用いる全体の目的は、選択されたマイクロシャッタの寸法が許す以上の大きい分解能を達成し、またシステムの経済的に有利な構成を達成することにある。
走査ユニット４０は、移動手段（図示せず）により基板４１に対してＸ方向に相対的運動を行うことができる。走査ユニット４０は、図５に示したものに対応する走査軸３０を備える。
図示した走査構成は比較的速い走査運動が実行できる一方、高い照度、高いオン−オフ比、高い照明分解能及び小さい立ち上り／立下り時間を有する効果的な照明を維持する。
図７乃至９は本発明によるマイクロシャッタ構成の一部分であり、ここに個々のマイクロシャッタが列６１、６２、６３、６４、６５及び６６の面形状で配置される。
明瞭のため、専ら個々のマイクロシャッタに関連したマイクロレンズ５０とマイクロシャッタに設けられた光径路５１とを示す。
関連したレンズ付きの各マイクロシャッタは、例示によれば約１００μｍの関連のマイクロレンズ５０間の中心距離に対応する最大範囲を有する。個々のマイクロシャッタと関連した下側の感光媒体（図示せず）上のライトスポットは約１２−２５μｍであり、約１０μｍの分解能と１０列のシャッタを持つ。
列６１、６２；６３、６４；６５及び６６は有効な相互距離を半分だけずれているが、列６２、６３；６４、６５は有効な相互距離の半分プラス所望の分解能だけ互いにずれている。
実際に、各マイクロシャッタは典型的には約２５０μｍの範囲を持つため、マイクロシャッタアレーの多数の列は約１０μｍの分解能が要求される。
図７に、線ＢＬ１に示したポイントにおいて走査線のアドレス指定と変調とを可能にする走査ユニットの移動中に、列６１がどのように走査線ＳＬを通過するかを示す。
図８に、線ＢＬ２に示したポイントにおいて走査線上のアドレス指定と変調とを可能にする走査ユニットの移動中に、列６２がどのように走査線ＳＬを通過するかを示す。図中、ポイント６１’はマイクロシャッタ列６１に由来し、ポイント６２’はマイクロシャッタ列６２に由来する。
図９に、線ＢＬ３に示したポイントにおいて走査線上のアドレス指定と変調とを可能にする走査ユニットの移動中に、列６３がどのように走査線ＳＬを通過するかを示す。ただし、図８に示すように、ポイント６１’はマイクロシャッタ列６１に、ポイント６２’はマイクロシャッタ列６２に由来し、ポイント６３’はマイクロシャッタ列６３に由来する。
図１０に、全１０列（そのうちの列６１乃至６６だけを図示）が走査線を通過した時、集計された画像はどのように形成できるかを示す。ライトスポット６１’乃至６６’は列６１乃至６６に対応する。
図７乃至９に関して言及すべきは、各シャッタに関連した個々のマイクロレンズが、例えば６角形のレンズとして構成可能であり、このため光がマイクロレンズの外側に落ちないことにより光損失を最小化できることである。
図１１は本発明による照明モジュールの更なる例を示す。
照明モジュール８０は、本発明及び関連の光学によれば、８つの６角面８１を備え、その各々は４００−６００のマイクロシャッタ（図示せず）を含む。各６角形は光ファイバ（図示せず）から平行光８２により照明される。個々の６角面の基本的構造は図４に示す通りである。光ファイバは水銀短アーク灯の形状の紫外線源に接続される。
個々の照明モジュールは相互に約±１μｍの精度で配置することができる。
６角面８１は相互に協働して、重複領域の外側の照明アレーに対応する照明アレーを、重複領域が一緒に形成するようにする。
６角面８１のマイクロシャッタは電気的に制御ユニットに接続される。該制御ユニットは例えばＲＩＰ（Raster Image Processor）に基づいてマイクロシャッタに必要な制御データを提供し、走査軸と感光媒体との間の相対運動に同期して個々のマイクロシャッタを開閉する。
照明モジュール８０の幾何学的形状により、簡単な方法で確実にモジュール８０を例えば所望の長さを持つ走査軸に組み立てることができる。
図示した照明モジュールの各々は、本例によれば８つの光ファイバ（図示せず）により照明される。
照明モジュール８０は、一体化したコリメーションレンズと光ファイバを持つコンパクトなモジュールとして製造可能なため、光源付き光ファイバを簡単な方法で接続調整することで、モジュールは較正され得て「作動可能」となる。同時に１以上の電気的ゲート（図示せず）が１つの全体制御処理装置（図示せず）に接続可能となる。
照明モジュールは、例えば、２４個の光学的に８つの光ガイドに接続される各照明モジュール８０（ＬＳＡｓ、Light Screen Arrays）を走査軸に配置した状態で、図６に示したものに対応する走査ユニットに用いることができる。
全部で１９２本のファイバは同じ光源、例えば１ｋｗの水銀短アーク灯に接続される。
個別の領域を照明するより、１本の長い走査軸を使用することは、照明面の全断面に亘って連続的な照明をもたらし、これにより不連続性すなわち、いわゆる境界領域の緩衝ゾーンを除去することができる。
図１２は本発明による照明モジュール８５の１例の概略を示す。該モジュールは基本的に図１１に示した照明モジュール８０に対応する。
個々の照明領域８５は相互に約±１μｍの精度で配置することができる。
照明モジュール８０、８５は、例えば２４５０ＤＰＩの分解能を有するフラットベッド型画像セッターに用いることができる。
照明モジュール８５は８つの６角面８７を含み、その各々は、本発明及び関連の光学によれば、４００−６００のマイクロシャッタ（図示せず）を含む。各６角面は光ファイバ（図示せず）から平行光８７により照明される。光ファイバは例えば水銀短アーク灯の形状の１以上の紫外線源に接続される。
６角面８７は相互に協働して、重複領域の外側の照明アレーに対応する照明アレーを重複領域が一緒に形成するようにする。
６角面８７のマイクロシャッタは電気的に制御ユニットに接続し、該制御ユニットは例えばＲＩＰ（Raster Image Processor）に基づいてマイクロシャッタに必要な制御データを提供する。
照明モジュール８５の幾何学的形状により、簡単な方法で確実にモジュールを例えば所望の長さの走査軸に組み立てることができる。
追加的に、各ポイントは簡単な方法で２度照明できるため、図示した面の輪郭を、所望であれば、二重露出に用いると好都合である。
図示した照明モジュールの各々は、８つの光ファイバ（図示せず）により照明される。
照明モジュール８５は、一体化したコリメーションレンズと光ファイバとを有するコンパクトなモジュールとして製造可能なため、光ファイバを簡単な方法で光源に接続することで、モジュールは較正され得て「作動可能」となる。同時に１以上の電気的ゲート（図示せず）が基本的な制御処理装置（図示せず）に接続可能となる。
図１３は本発明による照明モジュール９５の１例の概略を示す。該照明モジュールはその基本形が図１２に示したものに対応するが、光径路の下方終端と照明領域との間に拡大レンズが付加される。
照明モジュール９５は８つの６角面９７を含み、その各々は、本発明及び関連の光学によれば、４００−６００のマイクロシャッタ（図示せず）を含む。各６角面は光ファイバ（図示せず）から平行光９７により照明される。光ファイバは、例えばレーザーダイオード（図示せず）の形状の１以上の紫外線源に接続される。
６角面９７は相互に協働し、これらが共に、走査を行わずに下側の照明領域全体を同時に照明可能な照明アレーを形成する。このタイプのフラッシュ露出は、例えば約５０μｍ、５０８ＤＰＩの分解能と、５０−１００μｍの照明スポットとで行うことができる。例えばＡ４全面のフラッシュ露出について、この種の照明マトリックスは４２００ｘ５９４０個のマイクロシャッタを備えなければならない。
理想的には、個々の照明モジュール９５は、投影画像上の約±１μｍに相当する相互的な精度で配置されるべきである。
６角面９７のマイクロシャッタは電気的に制御ユニットと接続し、該制御ユニットはＲＩＰ（Raster Image Processor）に基づいてマイクロシャッタに必要な制御データを提供する。
照明モジュール９５の幾何学的形状により、簡単な方法で確実にモジュールを所望の領域範囲を持つ完全な照明ユニットに組み立てることができる。
留意すべきは、例示した光源は単色でもよく、したがって各面の輪郭を図３に示すようにレーザーダイオードにより照明できることである。
さらに留意すべきは、個々のシャッタエンクレーブの配置すなわち面の形状は、
例えば６角形の代わり４角形でも、異なるサイズでもよいことである。
図１４は図１３に示した照明モジュールの断面を示す。
照明モジュールは、その基本的特性が図４に示したものに対応し、第２のマイクロレンズ構成が拡大レンズ９８に置き換えられる。拡大レンズは光束Ｃ′、９９を光束Ｄ′、９９′に拡大しこれらを照明板９４に集める。
図１５は、本発明によれば光径路をがどのように形成できるかについての更なる例を示す。
明瞭のため、図示した光径路は同じウェーハ板に示してある。
光径路１０１は、ガラスのウェーハ板１００にエッチングされた２つの小区画として形成することができる。
他の光径路１０２も同様に同じか別のウェーハ板１００に円錐形として整形することができる
図示した実施形態において、光エミッタあるいは照明源（図示せず）からの光は、関連する照明スポット全体にできるだけ個別で迅速な変調を達成するように、典型的にはシャッタプレート自身に集められるため、光径路に関連したシャッタプレートは光径路の断面が小さいウェーハ板の側部に配置することができる。シャッタプレートがウェーハ板の下側に配置されると、光径路は通常下側（図示せず）に最小の断面を作る。
言うまでもなく、図示した例は説明のため幾つかの点で簡単化してある。しかしながら、このことは少しも本発明を上述した内容に制限するものではなく、専ら本発明の全体の基本的特徴を説明するためである。
したがって本発明は、例示したようなフィルムあるいはプリント板の露出に使用可能なだけではなく、全く異なる応用での他のタイプの感光材料の照明にも有利に使用できることが諒解されよう。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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