(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームのファン運転制御システムにおいて、
前記クリーンルーム内は、複数のエリアに分けられ、該各エリアの各々にはファン付きフィルタユニットが複数設置されており、該ファン付きフィルタユニットは複数のグループの何れかに属しており、
前記ファン運転制御システムは、クリーンルーム側システムと、クリーンルーム内部を遠隔監視する監視センタ側システムと、これらのシステムを接続する通信回線とを有し、
前記監視センタ側システムは、記憶装置を有する情報処理装置と、入力装置とを有し、
前記クリーンルーム側システムは、前記ファン付きフィルタユニットの各々のモータの回転数を制御する制御盤を有し、
前記監視センタ側システムの前記情報処理装置の前記記憶装置には、
フィルタの種類ごとに、風速情報と、該風速情報に示される風速を実現するためのモータの回転数とを対応付けた管理テーブルと、
前記ファン付きフィルタユニットの識別情報毎に、少なくとも、該ファン付きフィルタユニットの設置されているエリアと、該ファン付きフィルタユニットの属するグループと、該ファン付きフィルタユニットのフィルタの種類とを対応付けた設定登録テーブルと、が記憶されており、
前記監視センタ側システムの前記情報処理装置は、
前記入力装置から、前記エリア毎、前記グループ毎、前記ファン付きフィルタユニット毎のうち何れかで入力された、前記ファン付きフィルタユニットの各々の風速情報を、該ファン付きフィルタユニットの識別情報と対応付けて前記設定登録テーブルに登録する手段と、
前記設定登録テーブルに登録されているファン付きフィルタユニットの識別情報毎に、該識別情報に対応付けられたフィルタの種類と風速情報とを読み出し、該読み出したフィルタの種類と同じフィルタの種類の管理テーブルから、前記読み出した風速情報と同じ風速情報に対応付けられた回転数を抽出する手段と、
前記ファン付きフィルタユニットの識別情報と、該識別情報のファン付きフィルタユニットの回転数との組合せを、前記制御盤に出力する手段と、を有し、
前記制御盤は、
前記情報処理装置から入力された、ファン付きフィルタユニットの識別情報と、該ファン付きフィルタユニットの回転数とに基づいて、前記各ファン付きフィルタユニットのモータの回転数を制御する手段、を有すること
を特徴とするファン運転制御システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム設置された複数のファン付きフィルタユニットのファン運転制御技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ダウンフロー方式のクリーンルームの天井部には、ルーム内に清浄空気を供給するためのファン付きフィルタユニットが複数設置されている。それらのファン付きフィルタユニットは、図１４に示すように、ファン１２０１、ファン１２０１を回転させるモータ１２００、これらが収納されたケース１２０２、ケース１２０２に装着されたフィルタ(例えば、ＵＬＰＡフィルタ、ＨＥＰＡフィルタ、ＰＴＦＥフィルタ等)１２０３、等を備えている。ケース１２０２には、吸込み口１２０２ａ、吸込み口１２０２ａに面した吹出し口１２０２ｂが形成されている。ファン１２０１は、吸込み口１２０２ａと吹出し口１２０２ｂとの間に、送風側を吹出し口１２０２ｂに向けて配置され、フィルタ１２０３は、ケース外側から吹出し口１２０２ｂにかぶさられている。このような配置とされているため、モータ１２００の駆動によってファン１２０１が回転すると、外部の空気Ａが吸込み口１２０２ａからケース内部に吸い込まれるとともに、ケース内部の空気Ｂが吹出し口１２０２ｂのフィルタ１２０３を通過して外部に放出される。
【０００３】
さて、クリーンルーム内の清浄度は、気流の循環回数、すなわち、ファン付きフィルタユニットからの吹出し風量によって左右される。ところが、そのファン付きフィルタユニットは、図１５に示すように、フィルタの種類(ＵＬＰＡフィルタ：Ultra Low Penetration Air、ＨＥＰＡフィルタ：High Efficiency Particulate Air、ＰＴＦＥフィルタ：Poly Tetra Fluoro Ethylene等)によって特性(定格処理風量、定格圧力損失等)が異なる。したがって、各ファン付きフィルタユニットからの吹出し風量を所期のものとするために、クリーンルームの立ち上げ時等に、各ファン付きフィルタユニットのファンをフィルタの種類に応じて調整しておく必要がある。例えば、ＤＣブラシレスモータをファン駆動源として用いている場合には、所期の吹出し風量に応じた回転数でファンが回転するように、ＤＣブラシレスモータの回転数を調整しておく必要がある。また、ＡＣモータをファン駆動源として用いている場合には、所期の吹出し風量を与える回転数で回転するファンを取り付けておく必要がある。
【０００４】
ところで、特開平１１−２３０５９２号公報には、クリーンルームに設置された複数のファン付きフィルタユニットを制御するシステム(以下、従来のシステムと呼ぶ)が記載されている。この従来のシステムは、各ファン付きフィルタユニットの状態を遠隔監視しながら、各ファン付きフィルタユニットのモータのＯＮ／ＯＦＦを制御するものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記従来のシステムによる制御では、フィルタの異なるファン付きフィルタユニットがクリーンルームに設置された場合に生じる気流の乱れを抑制することはできない。このような気流の乱れは、クリーンルームエリア内の清浄度低下の原因となることがある。そこで、フィルタの異なるファン付きフィルタユニットをクリーンルームに設置するときには、そのファン付きフィルタユニットがクリーンルーム内に気流の乱れを生じさせないように、管理者が、いちいち、そのファン付きファイルユニットについて、上述の、フィルタの種類に応じたファン調整を行なっておく必要がある。
【０００６】
そこで、本発明は、複数のファン付きフィルタユニットが設置されたクリーンルームの管理負担を軽減することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記発明を解決するために、本発明では、クリーンルームのファン運転制御システムにおいて、前記クリーンルーム内は、複数のエリアに分けられ、該各エリアの各々にはファン付きフィルタユニットが複数設置されており、該ファン付きフィルタユニットは複数のグループの何れかに属しており、前記ファン運転制御システムは、クリーンルーム側システムと、クリーンルーム内部を遠隔監視する監視センタ側システムと、これらのシステムを接続する通信回線とを有し、前記監視センタ側システムは、記憶装置を有する情報処理装置と、入力装置とを有し、前記クリーンルーム側システムは、前記ファン付きフィルタユニットの各々のモータの回転数を制御する制御盤を有し、前記監視センタ側システムの前記情報処理装置の前記記憶装置には、フィルタの種類ごとに、風速情報と、該風速情報に示される風速を実現するためのモータの回転数とを対応付けた管理テーブルと、前記ファン付きフィルタユニットの識別情報毎に、少なくとも、該ファン付きフィルタユニットの設置されているエリアと、該ファン付きフィルタユニットの属するグループと、該ファン付きフィルタユニットのフィルタの種類とを対応付けた設定登録テーブルと、が記憶されており、前記監視センタ側システムの前記情報処理装置は、前記入力装置から、前記エリア毎、前記グループ毎、前記ファン付きフィルタユニット毎のうち何れかで入力された、前記ファン付きフィルタユニットの各々の風速情報を、該ファン付きフィルタユニットの識別情報と対応付けて前記設定登録テーブルに登録する手段と、前記設定登録テーブルに登録されているファン付きフィルタユニットの識別情報毎に、該識別情報に対応付けられたフィルタの種類と風速情報とを読み出し、該読み出したフィルタの種類と同じフィルタの種類の管理テーブルから、前記読み出した風速情報と同じ風速情報に対応付けられた回転数を抽出する手段と、前記ファン付きフィルタユニットの識別情報と、該識別情報のファン付きフィルタユニットの回転数との組合せを、前記制御盤に出力する手段と、を有し、前記制御盤は、前記情報処理装置から入力された、ファン付きフィルタユニットの識別情報と、該ファン付きフィルタユニットの回転数とに基づいて、前記各ファン付きフィルタユニットのモータの回転数を制御する手段、を有することを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら、本発明に係る実施の一形態について説明する。
【００１１】
まず、図１により、本実施の形態に係るファン付きフィルタユニットの構造について説明する。
【００１２】
ファン付きフィルタユニット１００は、ファン１０４、ファン１０４を回転させるＤＣブラスレスモータ１０３、ＤＣブラスレスモータ１０３の回転数を制御するモータコントローラ１０５、モータコントローラ１０５と外部との通信を制御する通信器１０６、これらが収納されたケース１０２、ケース１０２に装着されたフィルタ(例えば、ＵＬＰＡフィルタ、ＨＥＰＡフィルタ、ＰＴＦＥフィルタ等)１０１、等を備えている。
【００１３】
ケース１０２には、吸込み口１０２ａ、吸込み口１０２ａに面した吹出し口１０２ｂが形成されている。ファン１０４は、吸込み口１０２ａと吹出し口１０２ｂとの間に、送風側を吹出し口に向けて配置され、フィルタ１０１は、ケース外側から吹出し口１０２ｂにかぶさられている。このような配置とされているため、ＤＣブラスレスモータ１０３の駆動によってファン１０４が回転すると、外部の空気Ａが吸込み口１０２ａからケース内部に吸い込まれるとともに、ケース内部の空気Ｂが吹出し口１０２ｂのフィルタを通過して外部に放出される。例えば、図２に示したように、このファン付きフィルタユニット１００をダウンフロー方式のクリーンルームの天井部にアルミフレームで複数取り付けた場合には、クリーンルーム内部から床下に抜け出た空気Ａが、天井側に周り込み、ファン付きフィルタユニット１００によって所期の清浄度の空気Ｂに清浄化されてから、再度、クリーンルーム内部に供給される。
【００１４】
また、クリーンルームに設置されるファン付きフィルタユニット１００には、すべて、同じ仕様のＤＣブラスレスモータ１０３が搭載されている。これにより、クリーンルームに設置されたファン付きフィルタユニット１００のファン能力を標準化っている。なお、本実施の形態では、取付けフィルタの種類を問わず、主だった種類のフィルタに適用可能なモータ(通常は、定格圧力損失の大きなＵＬＰＡフィルタに対応可能なファン能力を発揮させることができるモータ)を搭載してある。
【００１５】
つぎに、図３により、本実施の形態に係る、クリーンルームのファン制御システムの全体構成について説明する。ここでは、ダウンフロー方式のクリーンルーム(図２参照)の天井部に設置された複数のファン付きフィルタユニットのファンを制御対象とする。
【００１６】
このファン制御システムは、クリーンルーム４００側のシステムと、クリーンルーム内部を遠隔監視する監視センタ３００側のシステムと、これらのシステムの間をつなぐ通信回線５００と、を有している。
【００１７】
監視センタ３００側のシステムは、情報処理装置３０１、ユーザからの入力を受け付けるための入力装置(キーボード、マウス等)３０２、情報処理装置３０１からのデータを出力する出力装置(表示装置３０３Ａ、プリンタ３０３Ｂ等)、情報処理装置３０１と通信回線５００との間をつなぐハブ３０５、停電が発生した場合等にも情報処理装置３０１およびその周辺機器に電力を供給可能な無停電電源装置(ＵＰＳ:Uniterruptible Power Supply)３０４、等を備えている。
【００１８】
一方、クリーンルーム４００側のシステムは、制御盤４０１、停電が発生した場合等にも制御盤４０１に電力を供給可能な無停電電源装置(ＵＰＳ:Uniterruptible Power Supply)４５０等を備えている。
【００１９】
制御盤４０１の筐体内部には、プログラマブルコンピュータ４０２、プログラマブルコンピュータ４０２と通信回線５００との間をつなぐハブ４０３、プログラマブルコンピュータ４０２からの制御指令に対して所定の信号変換を施す変換器４０５、プログラマブルコンピュータ４０２からの制御指令を変換器４０５経由で受け付ける複数のインタフェースユニット４０４、インターフェースユニット用の電源装置４０３、無停電電源装置４５０と制御盤各部４０３,４０４,４０５,４０６との間をつなぐ中継端子台４０７、等が搭載されている。
【００２０】
クリーンルーム内には、複数のエリアに分けられており、各エリアに設置された複数のファン付きフィルタユニット１００は、複数のグループ１００Ａ1,１００Ａ2...,１００Ａnに分けられている。そして、同じグループに属するファン付きフィルタユニット群の各通信機１０６は、通信ケーブルで、共通のインタフェースユニット４０４に接続されている。なお、エリアおよびグループの設定は、管理の便宜上のものであるため、必ずしも設定されている必要はない。
【００２１】
このようなシステム構成において、監視センタ３００側の情報処理装置３０１からの制御指令が、通信回線５００経由で、クリーンルーム４００側のプログラマブルコンピュータ４０２に与えられると、クリーンルーム４００側のプログラマブルコンピュータ４０２が、その制御指令に応じて、各グループ１００Ａ1,１００Ａ2...,１００Ａnに属するファン付きフィルタユニット群の各モータコントローラ１０５に対して制御指令を与える。これにより、クリーンルームに設置された複数のファン付きフィルタユニットの各ファンの回転数がそれぞれ制御され、クリーンルーム内の気流が調整される。
【００２２】
つぎに、監視センタ３００側の情報処理装置の内蔵ハードディスク内の格納データについて説明する。
【００２３】
監視センタ３００側の情報処理装置３０１の内蔵ハードディスクには、後述のファン制御処理プログラムの実行に必要となるデータとして、(１)クリーンルームのファン付きフィルタユニットを管理するための設定登録テーブル、(２)フィルタの種類ごとに準備された管理テーブルが格納されている。なお、前者(１)は、ユーザが、自身の管理するクリーンルームのレイアウト等に応じて作成するものであり、後者(２)は、予め準備されたものである。
【００２４】
設定登録テーブルには、図６に示すように、クリーンルーム内の各ファン付きフィルタユニットごとに、それぞれ、そのファン付きフィルタユニットに関する設定情報が登録されている。この設定情報には、ファン付きフィルタユニットに割り当てられたＩＤ番号６０、ファン付きフィルタユニットの設置位置を表すアドレス情報６１、ファン付きフィルタユニットの取付けフィルタの種類名６２、ファン付きフィルタユニットの設置エリア名６３、ファン付きフィルタユニットの所属グループ名６４、ファン付きフィルタユニットからの吹出し風についての設定風速６５、等が含まれている。このような設定登録テーブルが、情報処理装置３０１の内蔵ハードディスクに格納されているため、各グループに属するファン付きフィルタユニットのファンの設定風速を、情報処理装置３０１の検索処理によって見つけだすことができる。
【００２５】
この設定登録テーブルへの設定情報登録処理を簡易化するため、本実施の形態では、図７に示すような設定登録画面を、表示装置３０３Ａのディスプレイ上に表示させることとしている。なお、この設定登録画面に関する処理(設定登録画面の表示処理、設定登録テーブルへのデータ登録処理等)は、後述のファン制御処理プログラムに含まれているモジュールに定義されている。
【００２６】
設定登録画面上には、各ファン付きフィルタユニットの設定情報を設定するための入力エリア７３、入力エリア７３上の情報の登録指示を受け付ける登録ボタン７４、が設けられている。
【００２７】
入力エリア７３には、ファン付きフィルタユニット１個の設定情報設定につき１行ずつ用いられる設定登ラインが複数配置されている。各設定登ラインには、システムが割り当てたＩＤ番号が表示される出力フィールド７３Ａ、ファン付きフィルタユニットの設置エリア名の設定を受け付ける入力フィールド７３Ｂ、ファン付きフィルタユニットの所属グループ名の設定を受け付ける入力フィールド７３Ｃ、ファン付きフィルタユニットの種類の設定を受け付ける入力フィールド７３Ｄ、ファン付きフィルタユニットからの吹出し風の風速設定(段数設定)を受け付ける入力フィールド７３Ｅ、ファン付きフィルタユニットのアドレス情報の設定を受け付ける入力フィールド７３Ｆが含まれている。
【００２８】
クリーンルーム内のファン付きフィルタユニット設置台数分の設定登ラインの入力フィールド７３Ｂ,７３Ｃ,７３Ｄ,７３Ｅ,７３Ｆにそれぞれ必要情報が入力された段階で登録ボタン７４が指示されると、それらの設定登ラインに含まれている各フィールド７３Ａ,７３Ｂ,７３Ｃ,７３Ｄ,７３Ｅ,７３Ｆ内の情報が設定登録テーブル(図６参照)に登録される。
【００２９】
また、本実施の形態では、ファン付きフィルタユニットからの吹出し風の風速をグループ単位で一括設定することができるように、設定登録画面上には、さらに、風速の一括設定対象となるグループを特定するための情報(設置エリア名、所属グループ名)の入力を受け付ける入力フィールド７０,７１、そのグループに属するファン付きフィルタユニットからの吹出し風の風速設定(段数設定)を受け付ける風速(段数)選択用プルダウンメニュー付き入力フィールド７２、これらの入力フィールド７０,７１,７２内の設定を入力エリア７３に反映させるための一括設定ボタン(不図示)が配置されている。例えば、入力フィールド７０,７１に設置エリア名「エリアＡ」および所属グループ名「グループａ」を入力し、入力フィールド７２に設定風速として「４段」を入力してから、一括設定ボタンを指示すると、入力エリアの設定登ラインのうち、設置エリア名「エリアＡ」および所属グループ名「グループａ」を含むすべての設定登ラインの入力フィールド７３Ｅに「４段」を一括入力することができる。このため、ユーザのデータ入力負担が軽減される。
【００３０】
なお、本実施の形態で、ファン付きフィルタユニットの風速をグループ単位で一括設定するためのツールを設定登録画面上に設けているのは、一般に、クリーンルームの清浄度を維持するために、同じにエリアにあるファン付きフィルタユニット等の風量を統一することが多いからであって、同一グループに属するファン付きフィルタユニットには必ず共通の風速が設定されるべきことを意味しているのではない。
【００３１】
一方、各フィルタ種類ごとの管理テーブルには、図４に示すように、クリーンルームの風速３１ごとに、それぞれ、その風速を表す段数３０、その風速の送風を実現し得るモータ回転数３２が格納されている。なお、図４の管理テーブルに登録されている数値は、あくまでも一例として示したものに過ぎない。
【００３２】
図５に示すように、同じ回転数でファンが回転していても、フィルタの種類が異なれば、ファン付きフィルタユニットからの吹出し風量は異なる。このため、設定登録テーブルに登録された風速でファン付きフィルタユニットから吹出し風を吹き出させるためには、取付けフィルタの種類に応じた回転数でファンを回転させる必要がある。
【００３３】
そこで、本実施の形態では、フィルタの種類ごとの管理テーブルを、情報処理装置３０１の内蔵ハードディスクに格納しておくことによって、例えば、定格圧力損失１１８ＰａのＵＬＰＡフィルタから９速の風速(０.３５ｍ／ｓ)の風を送り出す場合には、１０５０ｍｉｎ−１でモータを回転させ、定格圧力損失９８ＰａのＨＥＰＡフィルタから９速の風速(０.３５ｍ／ｓ)の風を送り出すには、モータを１０００ｍｉｎ−１で回転させる、というように、情報処理装置３０１の検索処理によって、ユーザが設定した風速(設定登録テーブルに設定された風速)の送風を実現し得るモータ回転数をフィルタ種類ごとに見つけだすことができるようにしてある。
【００３４】
また、監視センタ３００側の情報処理装置３０１の内蔵ハードディスクには、情報処理装置３０１が実行するファン制御処理が定義されたファン制御処理プログラムが記録媒体等からインストールされている。このファン制御処理プログラムを情報処理装置３０１上で起動すると、情報処理装置３０１は、以下のファン制御処理を実行する。
【００３５】
設定登録画面表示コマンドを受け付けた場合には、前述の設定登録画面(図７参照)を、表示装置３０３Ａのディスプレイ上に表示させる。この設定登録画面上で、各ファン付きフィルタユニットに関する設定情報の入力が終了した後に登録ボタン７４が指示されると、それらの設定情報をそれぞれ設定登録テーブル(図６参照)に登録する。
【００３６】
以上の登録処理により、設定登録テーブルへの設定情報登録が終了した後、クリーンルーム立上げコマンドを受け付けると、情報処理装置３０１は、設定登録テーブルから、各ファン付きフィルタユニットに関する設定情報６０〜６５を読み出す。そして、各ファン付きフィルタユニットごとに、取付けフィルタの種類名６２に合致する名前に対応付けられた管理テーブルから、設定風速６５に合致する風速３１に対応付けられた回転数３２を取り出す。そして、各ファン付きフィルタユニットのアドレス情報６１に、このとき取り出した回転数３２を対応付けて、クリーンルーム４００側のプログラマブルコンピュータ４０２宛に制御指令として送信する。
【００３７】
クリーンルーム４００側のプログラマブルコンピュータ４０２は、監視センタ３００側の情報処理装置３０１からの制御指令を通信回線経由で受け付けると、その制御指令に含まれているアドレス情報に対応するファン付きフィルタユニット１００に、その制御指令に含まれている対応回転数を制御指令として送信する。
【００３８】
各ファン付きフィルタユニット１００では、モータコントローラ１０５が、プログラマブルコンピュータ４０２から与えられた制御指令に基づき、モータ１０３の回転数を制御する。これにより、各ファン付きフィルタユニット１００では、設定風速の送風を実現し得る回転数でファンが回転する。その結果、クリーンルーム内のすべてのファン付きフィルタユニット１００から設定風速の風が吹き出す。
【００３９】
このように、本実施の形態に係るファン制御処理によれば、ユーザは、クリーンルームの立上げ時に、フィルタの種類の別を問わず共通に定められた風速尺度(風速段数)を用いて、各ファン付きフィルタユニットの吹出し風の風速を設定するだけで、各ファン付き制御ユニットから設定風速の風を吹き出させることができる。また、クリーンルームの立ち上げ時だけでなく、ファン付きフィルタユニットの交換時、クリーンルームの拡張再立ち上げ時、クリーンルームのレイアウト変更時等にも、上述と同様、ファン付きフィルタユニットについての設定風速の登録を監視センタ側で行なうだけで、ファン付きフィルタユニットから設定風速の風を吹き出させることができる。このように、各ファン付きフィルタユニットごとに、フィルタの種類を考慮した調整を行なう必要がなくなるため、クリーンルームの管理者の管理負担が軽減される。
【００４０】
なお、ここでは、各ファン付きフィルタユニットの設定風速を登録しておき、情報処理装置が、各ファン付きフィルタユニットのモータ回転数を設定情報に基づき制御するようにしているが、手動運転か自動運転かの別を表すデータ項目を設定情報に追加して、そのデータ項目に自動運転が設定されている設定登録テーブルのモータ回転数だけを情報処理装置が制御するようにしてもよい。
【００４１】
ところで、クリーンルームの天井裏の静圧は必ずしも一様というわけではないため、上述のように、各ファン付きフィルタユニットのモータの回転数を制御していても、クリーンルーム内の気流が斜流等になることがある。このような気流の乱れを抑制するため、図８に示すように、クリーンルーム内部に複数の３次元風速計８００を分散配置しておき、それらの３次元風速計８００からの出力を、図９に示すように、主フィードバック信号Ｄとして、プログラマブルコンピュータを介して通信回線経由で情報処理装置３０１にフィードバックするフィードバック系を構成してもよい。これにより、クリーンルーム内の各所における風速の乱れが小さくなるように、各ファン付きフィルタユニットのモータの回転数が制御されるため、クリーンルーム内の気流が乱れを抑制することできる。
【００４２】
また、クリーンルームに設置されたファン付きフィルタユニットのなかには、稼動中に異常が発生するものもある。
【００４３】
そこで、図１０に示すように、各ファン付きフィルタユニット１００をフィルタ外縁で支持しているアルミフレーム１０００に複数の塵埃濃度センサ１００１を取り付けておき、情報処理装置３０１が、それらのセンサ出力に基づき各ファン付きフィルタユニットの動作状態を診断するようにしてもよい。
【００４４】
このようにするには、まず、複数の塵埃濃度センサ１００１を、各ファン付きフィルタユニット１００のフィルタ１０１の前方位置、すなわち、各ファン付きフィルタユニット１００からの吹出し風Ｂが通過する位置にそれぞれ１ずつ配置しておき、それらのセンサ出力が、通信回線経由で情報処理装置３０１に入力されるようにする。そして、塵埃濃度センサ１００１が所定以上の塵埃を検出した場合に、情報処理装置３０１が、その塵埃濃度センサ１００１に対応付けられたファン付きフィルタユニット１００にモータ回転停止指令を与えるとともに、表示装置３０３Ａのディスプレイ上に警告メッセージを表示させるようにすればよい。これにより、稼動中に異常が発生したファン付きフィルタユニット１００を自動的に停止させることができるとともに、ファン付きフィルタユニット１００の異常発生をユーザに通知することができる。
【００４５】
または、図１２に示すように、各ファン付きフィルタユニット１００をフィルタ外縁で支持しているアルミフレーム１０００に複数のガスセンサ１２００を取り付けておき、情報処理装置３０１が各ファン付きフィルタユニットの動作状態を診断するようにしてもよい。
【００４６】
このようにするには、まず、複数のガスセンサ１２００を、各ファン付きフィルタユニット１００のフィルタ１０１の前方位置、すなわち、各ファン付きフィルタユニット１００からの吹出し風Ｂが通過する位置にそれぞれ１ずつ配置しておき、それらのセンサ出力が、通信回線経由で情報処理装置３０１に入力されるようにする。そして、ガスセンサ１２００が所定濃度以上の不良ガス(例えば、アンモニア等)を検出した場合に、情報処理装置３０１が、そのガスセンサ１２００に対応付けられたファン付きフィルタユニット１００にモータ回転停止指令を与えるとともに、表示装置３０３Ａのディスプレイ上に警告メッセージを表示させるようにすればよい。これにより、稼動中に異常が発生したファン付きフィルタユニット１００を自動的に停止させることができるとともに、ファン付きフィルタユニット１００の異常発生をユーザに通知することができる。
【００４７】
このような塵埃濃度センサ１００１およびガスセンサ１２０１の一方または両方をクリーンルームに設置する場合には、ファン付きフィルタユニット１００の設定情報に、そのファン付きフィルタユニット１００の動作状態を表すステータス情報を付加し、ファン付きフィルタユニット１００の異常発生が検出されたときに、そのファン付きフィルタユニット１００のステータス情報が更新されるようにしておけば、適当なタイミング(例えば、ユーザから指示があったとき等)で、各ファン付きフィルタユニット１００のステータス情報を表示させることができる。その表示方法は、特に限定されるものではない。例えば、図１３に示すように、各エリアが色分け表示等されたクリーンルームレイアウト図１３００上で、異常が発生したファン付きフィルタユニット１００に相当する箇所を反転表示させるようにしてもよい。さらに、ユーザがレイアウト図１３００上で指定した領域を拡大表示する拡大表示エリア１３０１、拡大エリア１３０１内の表示領域に含まれるファン付きフィルタユニットの設定情報(アドレス情報、設置エリア、所属グループ、運転モード、設定速度またはステータス情報、等)を表示する関連情報エリア１３０２、等を、レイアウト図１３００と同一画面上に設けてもよい。
【００４８】
なお、以上においては、ＤＣブラシレスモータが搭載されたファン付きフィルタユニットを例に挙げて説明したが、ＡＣサーボモータが搭載されたファン付きフィルタユニット、ＡＣモータおよびインバータが搭載されたファン付きフィルタユニットについても、同様に、本発明が適用可能である。
【００４９】
【発明の効果】
本発明によれば、複数のファン付きフィルタユニットが設置されたクリーンルームの管理負担が軽減される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態に係るファン付きフィルタユニットの構造を説明するための図である。
【図２】図１のファン付きフィルタユニットが複数設置されたダウンフロー型のクリーンルームの気流を示した図である。
【図３】本発明の実施の一形態に係るシステムの構成図である。
【図４】本発明の実施の一形態に係る設定登録テーブルのデータ構造を概念的に示した図である。
【図５】ファンおよびフィルタの風量−静圧特性線図である。
【図６】本発明の実施の一形態に係る管理テーブルである。
【図７】本発明の実施の一形態に係る設定登録画面を示した図である。
【図８】本発明の実施の一形態に係るクリーンルーム内のレイアウトを説明するための図である。
【図９】本発明の実施の一形態に係るシステムの構成図である。
【図１０】本発明の実施の一形態に係るファン付きフィルタユニットと塵埃濃度センサとの位置関係を説明するための図である。
【図１１】本発明の実施の一形態に係るシステムの構成図である。
【図１２】本発明の実施の一形態に係るファン付きフィルタユニットとガスセンサとの位置関係を説明するための図である。
【図１３】本発明の実施の一形態に係るレイアウト表示画面を説明するための図である。
【図１４】従来のファン付きフィルタユニットの構造を説明するための図である。
【図１５】ファンおよびフィルタの風量−静圧特性線図である。
【符号の説明】
１００…ファン付きフィルタユニット
１０１…フィルタ
１０２…ケース
１０３…モータ
１０４…ファン
１０５…モータコントローラ
１０６…通信装置
３０１…監視センタ側の情報処理装置
３０３Ａ,３０３Ｂ…出力装置(３０３Ａ:表示装置、３０３Ｂ：プリンタ)
４０２…クリーンルーム側のプログラマブルコンピュータ
４０４…インターフェース
５００…通信回線
８００…３次元風速計
１００１…塵埃濃度センサ
１２００…ガスセンサ
【図１】
0004235351.tif 000002
【図２】
0004235351.tif 000003
【図３】
0004235351.tif 000004
【図４】
0004235351.tif 000005
【図５】
0004235351.tif 000006
【図６】
0004235351.tif 000007
【図７】
0004235351.tif 000008
【図８】
0004235351.tif 000009
【図９】
0004235351.tif 000010
【図１０】
0004235351.tif 000011
【図１１】
0004235351.tif 000012
【図１２】
0004235351.tif 000013
【図１３】
0004235351.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
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