(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光触媒機能を有する金属化合物粒子を備えた光触媒シートおよび、活性炭またはゼオライトからなる吸着剤を備えた吸着剤シートの双方を用いて、被処理ガス中の有害物質を分解および吸着除去する有害ガス処理装置であって、前記被処理ガスが、前記光触媒シートにより挟まれた第１の流路と前記吸着剤シートにより挟まれた第２の流路とを複数段交互に流れるようになし、光触媒シートに紫外線を照射する紫外線照射手段を、前記光触媒シートにより挟まれた第１の流路の光触媒シートを臨む位置に設けてなり、前記光触媒シートと前記吸着剤シートとを背中合わせに配置することにより、前記第１の流路と第２の流路とを構成することを特徴とする有害ガス処理装置。
【請求項２】
請求項１記載の有害ガス処理装置において、前記光触媒シートと前記吸着剤シートの配置を変えて背中合わせにしたものを２段に、前記被処理ガスの流れ方向に対して直列に設けることにより、前記第１の流路と第２の流路とを構成することを特徴とする有害ガス処理装置。
【請求項３】
請求項１記載の有害ガス処理装置において、前記金属化合物は二酸化チタン（ＴｉＯ2）とし、前記吸着剤は活性炭とすることを特徴とする有害ガス処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、光触媒によりガス中の窒素酸化物（ＮＯX）や、アンモニア，硫化水素などの悪臭物質等々の有害成分を分解および吸着除去するための有害ガス処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
大都市域では、自動車台数の増加や、渋滞等の交通事情の悪化などによって、環境基準を達成できない地域が数多く出現するようになっている。このようなことから、周辺地域の負荷を軽減するために、発生源対策以外にも、排出後のＮＯXを除去する方法に関して、様々な研究がなされている。
【０００３】
また家庭やオフィスなどでは、たばこ臭、ペット臭、さらには建材から放出され化学物質過敏症の原因物質とされるホルムアルデヒドの問題があり、さらに焼却炉から発生する排ガス中の有害ガスが問題となっており、これら有害物質の効率的な除去が望まれている。
【０００４】
上記窒素酸化物や悪臭物質等の有害成分の除去方法としては、活性炭、ゼオライト等による吸着法が知られている。特に活性炭は、カーボン表面に無数の細かな孔を有しているため、吸着能力が高く、排水処理装置などにも広く利用されている。ただし、この吸着法は悪臭物質等が吸着剤の飽和吸着量を超えると除去できなくなり、吸着剤の再生、交換作業が必要となる。
【０００５】
このような作業の煩わしさを解消する方法として、最近、二酸化チタン（ＴｉＯ2）、ＺｎＯ、Ｆｅ2Ｏ3、ＣｄＳ、ＣｄＳｅ、ＳｒＴｉＯ3等を主成分とする光触媒による分解方法が注目を浴びてきている。特に、二酸化チタン（ＴｉＯ2）が注目されている。
【０００６】
前記二酸化チタンは、約４００ｎｍ以下の紫外光により励起されて、電子，正孔対を発生する。正孔は、二酸化チタン表面の水酸基（ＯＨ基）と反応しＯＨラジカルを発生し、電子は酸素(Ｏ2)と反応し、スーパーオキシドアニオン（Ｏ2-）を発生させる。これらの活性酸素種は非常に強い酸化力を持ち、上記悪臭物質を分解、無害化する。このため二酸化チタン表面には悪臭物質等が蓄積せず、吸着剤の交換のような作業は必要なくなる。
【０００７】
二酸化チタンは粉末であり、実用上はこれを光触媒活性を低下させることなく固定化して用いる必要がある。固定化手法としては、無機系塗料やコーティング剤に混合してプラスチックフィルム上に塗布する方法やＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）樹脂と混合・圧延してシート化する方法等が知られている。
【０００８】
このＰＴＦＥ樹脂でシート化する方法は、二酸化チタンの担持量を大きくすることができ、また多孔質の材料であるためシート内部の二酸化チタンも反応に寄与でき、光触媒活性が高い。
【０００９】
上記シート化した光触媒あるいはプラスチックフィルム上にコーティング剤で二酸化チタンを担持した光触媒シートは、量産化にも好適であり、部品としての取り扱い性も良好である。従来、このような光触媒シートを、脱臭装置、排ガス処理装置、殺菌装置、酸化分解壁等を含む有害ガス処理装置に適用する場合には、有害ガス処理装置を構成する容器の壁や支持体に光触媒シートを貼りつけて使用している。
【００１０】
図９は、二酸化チタンを担持した光触媒シートを利用した従来の有害ガス処理装置の一例を示す概念的構成図である。図９の例においては、光触媒シート５０が、被処理ガス用のガイド１５に６シート取り付けられている。被処理ガスは、その入口１０から導入され、光触媒シート５０で挟まれた流路をジグザグに流れて、出口２０から導出するが、その間で、有害ガスが除去される。この装置の場合、光触媒シート５０に紫外線を照射する紫外線照射手段としての紫外線ランプ４０は、光触媒シート５０で挟まれた流路毎に２個、計６個設けられる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記光触媒シートを利用した従来の有害ガス除去装置においては、下記のような問題がある。
【００１２】
図９においては、光触媒シートで挟まれた流路を、被処理ガスがジグザグに流れるためのターン回数を２回とした例を示したが、実際の装置においては、ターン回数が数十回となり、そのため紫外線ランプが大量に必要となる。そのため、紫外線ランプにおいて消費する電力量もかなり大となり、運転コストが増大する問題がある。
【００１３】
また、有害ガス除去の対象や装置の設置状況によっては、光触媒と吸着剤とを併用して、有害ガス除去原理が異なる両者の双方の機能を十分発揮させた方が望ましい場合があり、このような場合に好適な有害ガス除去装置の要請がある。
【００１４】
この発明の課題は、上記のような点に鑑みてなされたもので、光触媒シートを用いた有害ガス処理装置の紫外線ランプおよび電力消費量の低減を図り、また、光触媒と吸着剤との効率的併用が容易に可能な有害ガス処理装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
前述の課題を解決するため、この発明においては、光触媒機能を有する金属化合物粒子を備えた光触媒シートおよび、活性炭またはゼオライトからなる吸着剤を備えた吸着剤シートの双方を用いて、被処理ガス中の有害物質を分解および吸着除去する有害ガス処理装置であって、前記被処理ガスが、前記光触媒シートにより挟まれた第１の流路と前記吸着剤シートにより挟まれた第２の流路とを複数段交互に流れるようになし、光触媒シートに紫外線を照射する紫外線照射手段を、前記光触媒シートにより挟まれた第１の流路の光触媒シートを臨む位置に設けてなり、前記光触媒シートと前記吸着剤シートとを背中合わせに配置することにより、前記第１の流路と第２の流路とを構成するものとする（請求項１の発明）。
【００１６】
上記請求項１の発明の構成によれば、詳細は後述するが、前記吸着剤シートにより挟まれた第２の流路には、紫外線ランプを設ける必要がなく、消費電力も削減できる。また、前記第２の流路は、ガス通路を狭くできるので、装置の設置スペースが低減できる。
【００１７】
また、請求項１記載の有害ガス処理装置において、前記光触媒シートと前記吸着剤シートの配置を変えて背中合わせにしたものを２段に、前記被処理ガスの流れ方向に対して直列に設けることにより、前記第１の流路と第２の流路とを構成する（請求項２の発明）。この構成によれば、直列に設けた前記光触媒シートと前記吸着剤シートの内、光触媒シート側のみに紫外線ランプを設ければよいので、紫外線ランプの設置個数がさらに低減する。
【００１８】
さらに、請求項１記載の有害ガス処理装置において、前記金属化合物は二酸化チタン（ＴｉＯ2）とし、前記吸着剤は活性炭とする（請求項３の発明）。なお、金属化合物としては、前記ＴｉＯ2以外に、ＺｎＯ、Ｆｅ2Ｏ3、ＣｄＳ、ＣｄＳｅおよびＳｒＴｉＯ3が使用できる。
【００１９】
上記装置あるいは光触媒と吸着剤との効率的併用の要請がある装置に好適な有害ガス処理シートとしては、下記のようなものが好ましい。即ち、結着材としてのフッソ樹脂中に光触媒機能を有する金属化合物粒子を含む第１の層と、結着材としてのフッソ樹脂中に活性炭粒子を含む第２の層とを、背中合わせに積層して２層構成のシートとしてなる有害ガス処理シートである。
【００２０】
上記構成によれば、処理シートの片面に紫外線を照射することにより、また他面に被処理ガスを直接接触させることにより、光触媒による分解作用と吸着剤の吸着作用とにより、有害ガスを効率的に除去できる。
【００２１】
また、上記のような有害ガス処理シートにおいて、シートの主面方向において前記第１の層と第２の層の配置を変えて、背中合わせに積層したものを２段に、前記主面方向に直列に積層して、２層２段構成のシートとすることが好ましい。このシートは、前記請求項３の発明の装置に適合する。
【００２２】
さらに、前記の有害ガス処理シートにおいて、前記金属化合物は二酸化チタン（ＴｉＯ2）とし、吸着剤は活性炭とし、フッソ樹脂はポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）とするのが好ましい。
【００２３】
さらにまた、有害ガス処理シートの強度向上の観点から、前記ＰＴＦＥに、さらに結着材としてテトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）を添加してなるものとするのが好ましい。
【００２４】
上記構成によれば、詳細は後述するが、ＦＥＰの融点がＰＴＦＥの融点より低いので、例えば後述する製造方法によって、溶融したＦＥＰが、ＰＴＦＥと二酸化チタン（ＴｉＯ2）ならびに、ＰＴＦＥと活性炭粒子とを結着して、機械的強度を向上する。被処理ガスの二酸化チタン（ＴｉＯ2）ならびに活性炭への有効な接触面積は、ＰＴＦＥの繊維状結合により確保できる。
【００２５】
また、有害ガス処理シートの強度向上と、二酸化チタン（ＴｉＯ2）の前記有効接触面積の向上の観点から、前記第１の層と第２の層との間に、結着材としてのＰＴＦＥおよびＦＥＰ中にセラミック粒子を含む第３の層を備えるものとすることもできる。
【００２６】
被処理ガスの二酸化チタン（ＴｉＯ2）ならびに活性炭への有効な接触面積は、前記ＦＥＰを添加した場合、溶融したＦＥＰの一部が酸化チタン（ＴｉＯ2）ならびに活性炭に付着して、有効面積を低下させるが、前記第３の層を備える構成によれば、詳細は後述するが、溶融したＦＥＰの一部は第３の層に留まるので、有効面積を低下させることはなく、溶融したＦＥＰがセラミック粒子とＰＴＦＥとを第３の層において結着して、機械的強度を向上させることができる。その結果この処理シートは、全体として接触面積が大きくかつ機械的強度が高いシートとなる。
【００２７】
また、前記セラミックは、酸化珪素、酸化亜鉛、炭化チタン、炭化珪素、および炭化タングステンの内の少なくとも一つとし、中でも、前記セラミックは、炭化珪素とするのが好適である。
【００２８】
次に、前記有害ガス処理シートの各製造方法としては、下記のようにするのが好適である。即ち、第１の層と第２の層とを背中合わせに積層した冒頭に記載の有害ガス処理シートの製造方法において、下記の工程を含むこととするのが好ましい。
１）フッソ樹脂と金属化合物粒子の液状分散液を混合し、この凝集沈殿物を混練した後、予備圧延して、前記第１の層をシート状に形成する工程。
２）フッソ樹脂および活性炭粒子の液状分散液を混合し、この凝集沈殿物を混練した後、予備圧延して、前記第２の層をシート状に形成する工程。
３）前記シート状の第１の層と第２の層とを重ね合わせて圧延する工程。
【００２９】
また、前記ＦＥＰを添加する有害ガス処理シートの製造方法において、下記の工程を含むこととするのが好ましい。
１）ＰＴＦＥおよびＦＥＰと二酸化チタン（ＴｉＯ2）粒子の液状分散液を混合し、この凝集沈殿物を混練した後、予備圧延して、前記第１の層をシート状に形成する工程。
２）ＰＴＦＥおよびＦＥＰと活性炭粒子の液状分散液を混合し、この凝集沈殿物を混練した後、予備圧延して、前記第２の層をシート状に形成する工程。
３）前記シート状の第１の層と第２の層とを重ね合わせて圧延し、２層構造のシートを作成した後、ＦＥＰは溶融し、かつＰＴＦＥは溶融しない温度範囲の温度で焼成を行なう工程。
【００３０】
さらに、前記第３の層を備える有害ガス処理シートの製造方法において、下記の工程を含むこととするのが好ましい。
１）ＰＴＦＥと二酸化チタン（ＴｉＯ2）粒子の液状分散液を混合し、この凝集沈殿物を混練した後、予備圧延して、前記第１の層をシート状に形成する工程。
２）ＰＴＦＥと活性炭粒子の液状分散液を混合し、この凝集沈殿物を混練した後、予備圧延して、前記第２の層をシート状に形成する工程。
３）ＰＴＦＥおよびＦＥＰとセラミック粒子の液状分散液を混合し、この凝集沈殿物を混練した後、予備圧延して、前記第３の層をシート状に形成する工程。
４）前記シート状の第１の層と第２の層とを前記第３の層を挟んで重ね合わせて圧延し、３層構造のシートを作成した後、ＦＥＰは溶融し、かつＰＴＦＥは溶融しない温度範囲の温度で焼成を行なう工程。
【００３１】
また、前記の製造方法において、前記焼成温度は、略３００℃とするのが好ましい。
【００３２】
なお、上記各製造方法において、前記第１ないし第３の層などの各層の厚さは、それぞれ少なくとも５０μｍとするのが好ましい。５０μｍ以下の場合、ロール成形において、ピンホールが発生する可能性がある。
【００３３】
また、前記各層において、結着材としてＦＥＰを含まずＰＴＦＥのみを含む場合には、ＰＴＦＥの成分割合は重量％で、５％〜７０％とするのが好ましい。ＰＴＦＥの成分割合が５％以下の場合、シート化成形が困難となる。また、ＰＴＦＥの成分割合が７０％を超えると、光触媒粒子の活性が低下する問題がある。
【００３４】
ＦＥＰとＰＴＦＥの両方を含む場合には、ＰＴＦＥおよびＦＥＰの成分割合は、それぞれ、少なくとも５％および１０％とするのが好ましい。ＰＴＦＥおよびＦＥＰの成分割合の上限は、明確には存在しないが、あまり多くても材料が無駄であり、上限の目安としては、ＰＴＦＥは２０％、ＦＥＰは５０％である。
【００３５】
また、諸材料のシートへの分散性向上の観点から、前記液状分散液の液体は、純水中に界面活性剤を添加したものとする。さらに、前記凝集沈殿物を形成する前に、メタノール，エタノール，２−プロパノール，エチレングリコール，グリセリン等の有機溶媒を液状分散液に混合する。
【００３６】
【発明の実施の形態】
図面により、この発明の実施例について以下にのべる。
【００３７】
図１および図２は、この発明に関わる有害ガス処理装置のそれぞれ異なる実施例の概念的構成図を示す。図１および図２において、前記図９における部材と同一の構成部材には、同一番号を付して説明を省略する。
【００３８】
図９と図１との相違点は、図１においては、前記請求項１のように、まず、被処理ガスが、光触媒シート５０により挟まれた第１の流路１１と吸着剤シート６０により挟まれた第２の流路１２とを複数段交互に流れるようにし、かつ光触媒シート５０に紫外線を照射する紫外線照射ランプ４０を、光触媒シートに紫外線が及ぶように、光触媒シートにより挟まれた第１の流路１１の光触媒シート５０を臨む位置に設けた点である。
【００３９】
また、図１においては、光触媒としては二酸化チタン（ＴｉＯ2）を用い、吸着剤としては活性炭を用いる。さらに、第２の流路１２を構成するシートは、光触媒シート５０と吸着剤シート６０とを背中合わせに配置している。また、第２の流路１２は、第１の流路１１より流路の幅を狭くしており、その分装置全体の寸法を図９の装置より低減している。さらに、吸着剤シートにより挟まれた第２の流路１２には、紫外線ランプを設ける必要がない。従って、図１の実施例によれば、消費電力が削減でき、また、装置の設置スペースが低減できる。
【００４０】
図２と図１の相違点は、図２においては、光触媒シート５０と吸着剤シート６０の配置を変えて背中合わせにしたものを２段に、被処理ガスの流れ方向に対して直列に設けることにより、第２の流路１２と第１の流路１１とを交互に構成している点である。また、紫外線ランプ４０の遠くなる部分に吸着剤シート６０を配置することにより、紫外線ランプの設置個数を図１の実施例よりもさらに低減している。
【００４１】
上記図１および図２の実施例においては、装置設置場所において、一部に紫外線照射が不可能な場所が存在する場合であっても、吸着剤シートを配置することにより、有害ガス除去スペースを有効に確保でき、さらに消費電力の削減と装置の設置スペースの低減が可能となる。
【００４２】
次に、有害ガス処理シートの構成とその製造方法について以下に述べる。
【００４３】
図３〜図５は、有害ガス処理シートのそれぞれ異なる構成の概念的模式図を示し、図６〜図８は、それぞれ図３〜図５に対応する上記有害ガス処理シートの製造方法の一例を示す。また、図３〜図５において、光触媒機能を有する金属化合物はＴｉＯ2とし、第３の層に用いるセラミックは炭化珪素とし、２種類のフッソ樹脂はＰＴＦＥおよびＦＥＰとした場合の例を示す。
【００４４】
図３において、有害ガス処理シートは、結着材としてのＰＴＦＥ３とＴｉＯ2粒子１を含む第１の層５と、結着材としてのＰＴＦＥ３と活性炭粒子２とを含む第２の層６とからなる。第１の層５または第２の層６において、ＰＴＦＥ３は、ＰＴＦＥ粒子（図１の黒丸）と繊維状のものとからなり、ＴｉＯ2粒子１または活性炭粒子２と絡み合って結合している。
【００４５】
次に、図６により、図３の有害ガス処理シートの製造手順を以下に述べる。
【００４６】
まず、二酸化チタン（ＴｉＯ2）の分散液（純水中に界面活性剤を添加した液）に、ＰＴＦＥの液状分散液を加えて混合し、さらにメタノールを混合して、凝集沈殿物を作成する。この凝集沈殿物を混練して、ＰＴＦＥの繊維状の結合を発生させ、これをロール圧延機により予備圧延して厚さ数ｍｍのシートを作成する。
【００４７】
次に、活性炭の分散液に、ＰＴＦＥの液状分散液を加えて混合し、さらにメタノールを混合して、凝集沈殿物を作成する。この凝集沈殿物を混練して、ＰＴＦＥの繊維状の結合を発生させ、これをロール圧延機により予備圧延して厚さ数ｍｍのシートを作成する。
【００４８】
上記二つの予備圧延シートを、重ね合わせて、再びロール圧延機により、ロール隙間をシートが所定の厚さとなるように設定して圧延し、二層構造のシートを作成する。このシートを純水で洗浄し、乾燥して、所望のシートを完成する。なお、使用目的により、機械的強度が必要な場合や接着が必要な場合には、ＰＴＦＥの融点以上、分解温度以下の温度範囲で、無加圧または加圧状態で焼成する。
【００４９】
図４は、図３における第１の層５および第２の層６に、さらにＦＥＰ４を加えて、第１の層５１および第２の層６１となし、ＦＥＰ４をそれぞれの層において、粒子と繊維状のＰＴＦＥ３をＴｉＯ2粒子１または活性炭粒子２と絡み合わせて結合させた有害ガス処理シートを示す。図７は、図４の有害ガス処理シートの製造手順を示す。図７において、図６と異なる点は、ＰＴＦＥの液状分散液の代わりに、ＰＴＦＥとＦＥＰの液状分散液を用いる点と、製造手順の最終段において、ＦＥＰの溶融温度３００℃で、焼成する手順を追加している点である。
【００５０】
次に、図５は、第３の層を有する有害ガス処理シートを示し、図８は、図５の有害ガス処理シートの製造手順を示す。
【００５１】
図５に示す有害ガス処理シートは、結着材としてのＰＴＦＥ３とＴｉＯ2粒子１を含む第１の層５２と、結着材としてのＰＴＦＥ３と活性炭粒子２とを含む第２の層６２と、結着材としてのＰＴＦＥ３と炭化珪素（ＳｉＣ）粒子７とＦＥＰ４を含む第３の層７０とからなる。第１の層５２または第２の層６２において、ＰＴＦＥ３は、粒子と繊維状のものとからなるＰＴＦＥが、ＴｉＯ2粒子１または活性炭粒子２と絡み合って結合しており、図４における第１の層５１または第２の層６１に比べて、被処理ガスとＴｉＯ2粒子１または活性炭粒子２との接触面積が十分に確保できるようになっている。
【００５２】
また、ＦＥＰ４は、第３の層７０内で溶融して、炭化珪素（ＳｉＣ）粒子２およびＰＴＦＥ３と絡み合って結合し、第３の層７０、ひいては有害ガス処理シート全体の機械的強度を高め、第３の層７０が、第１の層５２および第２の層６２の支持基材の役割を果たす。
【００５３】
ＦＥＰ４の溶融温度は、２９０〜３０５℃であり、ＰＴＦＥ３の溶融温度は、３２０〜３３０℃であるので、シートの焼成温度を、略３００℃とすることにより、ＰＴＦＥ３は溶融せずに、ＦＥＰ４のみを溶融させることができる。これにより、第１の層５２および第２の層６２におけるＴｉＯ2粒子１および活性炭粒子の表面は、溶融したＦＥＰで覆われることなく、有効に有害ガスと接触し、酸化反応および吸着反応に寄与する。また、第３の層７０においては、溶融したＦＥＰ４が、他の材料と満遍なく結着して、機械的強度の向上に寄与する。
【００５４】
次に、図８により、図５の有害ガス処理シートの製造手順を以下に述べる。
【００５５】
まず、二酸化チタン（ＴｉＯ2）の分散液（純水中に界面活性剤を添加した液）に、ＰＴＦＥの液状分散液を加えて混合し、さらにメタノールを混合して、凝集沈殿物を作成する。この凝集沈殿物を混練して、ＰＴＦＥの繊維状の結合を発生させ、これをロール圧延機により予備圧延して厚さ数ｍｍのシートを作成する。
【００５６】
次に、炭化珪素（ＳｉＣ）の分散液に、ＰＴＦＥおよびＦＥＰの液状分散液を加えて混合し、さらにメタノールを混合して、凝集沈殿物を作成する。この凝集沈殿物を混練して、ＰＴＦＥの繊維状の結合を発生させ、これをロール圧延機により予備圧延して厚さ数ｍｍのシートを作成する。
【００５７】
さらに、活性炭の分散液に、ＰＴＦＥの液状分散液を加えて混合し、さらにメタノールを混合して、凝集沈殿物を作成する。この凝集沈殿物を混練して、ＰＴＦＥの繊維状の結合を発生させ、これをロール圧延機により予備圧延して厚さ数ｍｍのシートを作成する。
【００５８】
上記三つの予備圧延シートを、重ね合わせて、再びロール圧延機により、ロール隙間をシートが所定の厚さとなるように設定して圧延し、三層構造のシートを作成する。このシートを純水で洗浄し、乾燥後、３００℃で焼成する。
【００５９】
上記工程により、ＦＥＰ樹脂被覆による有害ガスとの接触表面積低下がなく、機械的強度の高い有害ガス処理シートが作成できる。
【００６０】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、光触媒機能を有する金属化合物粒子を備えた光触媒シートおよび、活性炭またはゼオライトからなる吸着剤を備えた吸着剤シートの双方を用いて、被処理ガス中の有害物質を分解および吸着除去する有害ガス処理装置であって、前記被処理ガスが、前記光触媒シートにより挟まれた第１の流路と前記吸着剤シートにより挟まれた第２の流路とを複数段交互に流れるようになし、光触媒シートに紫外線を照射する紫外線照射手段を、前記光触媒シートにより挟まれた第１の流路の光触媒シートを臨む位置に設けてなり、前記光触媒シートと前記吸着剤シートとを背中合わせに配置することにより、前記第１の流路と第２の流路とを構成するものとしたので、前述のように、光触媒シートを用いた有害ガス処理装置の紫外線ランプおよび電力消費量の低減を図り、また、光触媒と吸着剤との効率的併用が容易に可能な有害ガス処理装置が提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明に関わる有害ガス処理装置の概念的構成図
【図２】  この発明の図１とは異なる有害ガス処理装置の概念的構成図
【図３】  この発明に関わる有害ガス処理シートの構成の概念的模式図
【図４】  図３とは異なる有害ガス処理シートの構成の概念的模式図
【図５】  図３とはさらに異なる有害ガス処理シートの構成の概念的模式図
【図６】  図３の有害ガス処理シートの製造方法の一例を示す図
【図７】  図４の有害ガス処理シートの製造方法の一例を示す図
【図８】  図５の有害ガス処理シートの製造方法の一例を示す図
【図９】  従来の有害ガス処理装置の一例の概念的構成図
【符号の説明】
１：二酸化チタン粒子、２：活性炭粒子、３：ＰＴＦＥ、４：ＦＥＰ、５，５１，５２：第１の層、６，６１，６２：第２の層、７：炭化珪素粒子、１０：被処理ガスの入口、１１：第１の流路、１２：第２の流路、１５：被処理ガスのガイド、２０：被処理ガスの出口、４０：紫外線照射ランプ、５０：光触媒シート、６０：吸着剤シート、７０：第３の層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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