(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
受光面に結像した入射光を電気信号に変換する光電変換手段と、
光軸と直交する第１方向に第１寸法を有し光束の特性を変えながらその光束を通過させる第１光学特性の第１光学素子と、前記第１方向に前記第１寸法とは異なる第２寸法を有し前記第１光学特性とは異なる光学特性であって光束の特性を変えながらその光束を通過させる第２光学特性の第２光学素子とを積層し、前記第１光学素子の第１寸法と前記第２光学素子の第２寸法との差および前記第１光学素子の光軸方向の厚さにより形成される段差を備え、前記光電変換手段の入射面側に配置される光学ローパスフィルタと、
前記第１光学素子の光軸方向の厚さよりも薄く形成され、前記光学ローパスフィルタの段差を光軸方向に付勢して前記光学ローパスフィルタを保持するバネ性を有する保持部材とを備えることを特徴とする光学装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光学装置において、
前記光学ローパスフィルタは、前記第１光学素子の第１寸法が前記第２光学素子の第２寸法よりも小さく、前記第２光学素子が前記光電変換手段と対向して配置され、
前記保持部材は、前記光学ローパスフィルタを前記光電変換手段に向けて付勢して保持することを特徴とする光学装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の光学装置において、
前記光学ローパスフィルタは、前記第１光学素子が複数の光学素子層からなることを特徴とする光学装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の光学装置において、
前記第１光学素子は赤外カットフィルタを含み、
前記第２光学素子は１／４λ板を含むことを特徴とする光学装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体撮像素子（ＣＣＤ等）などの前面に設ける光学ローパスフィルタを組み込んだ光学装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
デジタルカメラなどに使用されるＣＣＤは、ある空間周波数特性をもった２次元的光学像を時系列的にサンプリングすることにより、電気信号に変換する。この光学像の空間周波数が、ナイキスト周波数（サンプリングクロックの１／２の周波数）以下であれば、折り返しノイズ等が生じない。このため、ＣＣＤに入力される光学像の空間周波数をナイキスト周波数以下に制限する必要がある。また、ＣＣＤの特性より赤外光をカットする必要もある。従って、複屈折板（光学ローパスフィルタ）や赤外カット濾光板（赤外カットフィルタ）などを張り合わせた光学濾光板をＣＣＤの前面に使用する必要がある。
【０００３】
従来の光学濾光板の形状は、切り出し加工の都合で円形にできないことや、複屈折板の向きを規制するためなどの理由で、単純な直方体で形成されていた。例えば、２枚の複屈折板が、１／４λ板と赤外カット濾光板を挟んで構成された外形は、各板とも同一形状で形成されていたので、直方体にならざるを得ない形状であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
この直方体の光学濾光板を保持するには、光軸方向に保持部材のスペースが必要となり、限られたスペースの中に光学濾光板を配置するのが困難であるという問題が生じていた。例えば、光学レンズと固体撮像素子間や機械シャッタと固体撮像素子間に光学濾光板を配置する際、光軸方向の寸法が厳しく制限されるため、設計の自由度が大きく奪われていた。また、保持部材を使用せずに固体撮像素子の保護ガラスに光学濾光板を接着剤で貼り付ける方法も考えられるが、接着時のゴミや気泡の品質管理が困難であり、接着した後にゴミ等を発見した場合には改修が不可能であるという問題が生じる。特に、高密度画素の単価の高い固体撮像素子などを使用する場合は大きなコスト増になるという問題が生じる。
【０００５】
本発明は、固体撮像素子などの前面において限られたスペースに効率よく配置することを可能とする光学ローパスフィルタを設けた光学装置を提供する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、光学装置に適用され、受光面に結像した入射光を電気信号に変換する光電変換手段と、光軸と直交する第１方向に第１寸法を有し光束の特性を変えながらその光束を通過させる第１光学特性の第１光学素子と、第１方向に第１寸法とは異なる光学特性であって光束の特性を変えながらその光束を通過させる第２寸法を有し第１光学特性とは異なる第２光学特性の第２光学素子とを積層し、第１光学素子の第１寸法と第２光学素子の第２寸法との差および第１光学素子の光軸方向の厚さにより形成される段差を備え、光電変換手段の入射面側に配置される光学ローパスフィルタと、第１光学素子の光軸方向の厚さよりも薄く形成され、光学ローパスフィルタの段差を光軸方向に付勢して光学ローパスフィルタを保持する保持部材とを備えることを特徴とするものである。
請求項２の発明は、請求項１に記載の光学装置において、光学ローパスフィルタは、第１光学素子の第１寸法が第２光学素子の第２寸法よりも小さく、第２光学素子が光電変換手段と対向して配置され、保持部材は、光学ローパスフィルタを光電変換手段に向けて付勢して保持することを特徴とするものである。
請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載の光学装置において、光学ローパスフィルタは、第１光学素子が複数の光学素子層からなることを特徴とするものである。
請求項４の発明は、請求項１から３のいずれかに記載の光学装置において、第１光学素子は赤外カットフィルタを含み、第２光学素子は１／４λ板を含むことを特徴とするものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
−第１の実施形態−
図１は、本発明の光学濾光板（素子）を取り付けたデジタルスチルカメラの第１の実施の形態の構成を示す図である。撮影レンズ１０は、不図示の被写体からの光束（光）を固体撮像素子７の受光面に、あるいはクイックリターンミラー５を介してピント板４に結像させるための光学系である。ファインダ光学系は、上面がフレネルコンデンサとなっているピント板４を含み、その上側に平凸レンズのコンデンサレンズ３を重ね、これをペンタプリズム２を通して接眼レンズ１で撮影者が観測するものである。また、ファインダ光学系は交換式であり、固体撮像素子７の位置とピント板４との位置は撮影レンズ１０に関して共役である。撮影レンズ１０は、レンズ側マウント９をカメラ側マウント８に係合させることにより取り付けられる。
【０００９】
シャッタ６は、フォーカルプレーンシャッタである。撮影者が不図示のレリーズボタンを押圧することにより撮影信号を不図示のＣＰＵに送り、シャッタ６は作動する。固体撮像素子７は、例えばＣＣＤ（電荷結合素子）などで構成され、入力した光を光電変換して電気的な画像信号を出力する。固体撮像素子７は、撮像レンズ１０および光学濾光板１１を通過した光を電気信号に変換する。固体撮像素子保護ガラス１４は、固体撮像素子７の受光素子を保護するためにパッケージに封止された物である。固体撮像素子７は、ブラケット１５に粘着剤や接着剤等で取り付けられている。光学濾光板１１は、シャッタ６と固体撮像素子７の間に配置されるが、詳細については後述する。
【００１０】
次に図２を用いて、光学濾光板１１の形状を説明する。図２の手前側が、図１における撮影レンズ１０側である。光学濾光板１１は、撮影レンズ１０側から順番に矩形形状をした複屈折板（光学ローパスフィルタあるいは空間周波数濾光板とも言う）１０１、赤外カット濾光板１０２、１／４λ板１０３、複屈折板１０４が貼り合わされ構成されている。すなわち、光軸１０５方向に各層（板）が重ね合うように貼り合わされている。
【００１１】
複屈折板１０１、１０４は、通過する光束を常光線と異常光線とに分離するものであり、水晶やＬｉＮｂＯ3により形成される。ＬｉＮｂＯ3により形成する場合は、光軸方向の厚さを水晶に比べ約１／３に抑えることができるため、本実施の形態ではＬｉＮｂＯ3を使用する。赤外カット濾光板１０２は、可視光のみをＣＣＤなどの固体撮像素子７に受光させるために、赤外光をカットするものであり、ガラス板に赤外線カット部材が蒸着あるいはコーティング処理されている。１／４λ板は、互いに垂直な方向に振動する直線偏光の間に１／４波長の光路差を生じさせて円偏光にするものであり、水晶より形成される。光学濾光板１１の全体の厚さは約１．５ｍｍとなる。
【００１２】
以下、光学濾光板１１の動作原理について図９を用いて説明する。撮影レンズ１０を透過した自然光の撮影光束Ｌは、１枚目の複屈折板１０１に入射すると、光の強度比が１：１の常光Ｌ１０と異常光Ｌ２０となって２つの光路に分かれ２重像となる。常光Ｌ１０と異常光Ｌ２０は、赤外カット濾光板１０２（図９では不図示）により赤外光の成分をカットされた後に１／４λ板１０３に入射すると、相互に９０°位相の異なる２つの円偏光Ｌ１０’と円偏光Ｌ２０’とに変換される。その後２枚目の複屈折板１０４に入射した円偏光Ｌ１０’と円偏光Ｌ２０’は、前者の円偏光Ｌ１０’がそれぞれ強度の等しい常光Ｌ１１と異常光Ｌ１２とに、また、同様に、後者の円偏光Ｌ２０’がそれぞれ強度の等しい常光Ｌ２１と異常光Ｌ２２とに分かれる。これにより、固体撮像素子７上には４重像が形成される。複屈折板１０１、１０４は、それぞれの複屈折による像のずれ方向が９０°ずれるように組み合わされているので、固体撮像素子７上の４重像は、各点の強度が等しい正方形を構成する。すなわち、複屈折板１０１、１０４は、空間周波数の所定の周波数を通過させるいわゆる光学ローパスフィルタとしての機能を果たす。
【００１３】
なお、１／４λ板１０３は、このように２枚の複屈折板１０１、１０４間に配置する必要があり、また、赤外カット濾光板１０２は、空気に触れると白濁を起こすことから、表面が空気に触れないように他の基板ではさむようにするのが通例である。なお、赤外カット濾光板１０２は、ガラス基板の表面に赤外カット効果のある多層膜を蒸着することによって構成しているが、この他に、例えば、基板としてＬｉＮｂＯ３を使用し、その表面に上述と同様の多層膜を設けるようにしてもよい。この場合、赤外カット濾光板１０２の厚さをさらに薄くすることができる。
【００１４】
図２に戻って説明を続ける。図２の２点鎖線１０６は撮像範囲を示す。複屈折板１０１、１０４、赤外カット濾光板１０２、１／４λ板１０３の鉛直方向の寸法はすべて同じであるが、水平方向の寸法が異なる。複屈折板１０１と赤外カット濾光板１０２の水平方向の寸法を同じにし、１／４λ板１０３と複屈折板１０４の水平方向の寸法は同じにし、前者の組み合わせの寸法を後者の組み合わせの寸法より若干小さくして、段差１０７、１０８を形成している。通常、１／４λ板１０３より赤外カット濾光板１０２の方がコストが高く、強度も低いので、図２のような構成にすることにより、コストの削減と強度の確保が同時に達成できる。
【００１５】
図３は、上記光学濾光板１１の取り付けを説明する図である。光学濾光板１１と固体撮像素子７の受光面の鉛直方向（矢印Ａ方向）の位置決めは、光学濾光板１１の段差１０７、１０８に、４角形形状の開口を有するアダプタ１２をはめ込むことにより行う。アダプタ１２の開口は、複屈折板１０１と赤外カット濾光板１０２の寸法に合わせて空けられ、特に鉛直方向の隙間は取り付け時の遊び等を考慮した上で隙間が最小になるように形成される。固体撮像素子７を取り付けるブラケット１５には、壁１６があり、アダプタ１２はこの壁１６により位置が規制されるので、光学濾光板１１の鉛直方向の位置もこれにより規制されることになる。
【００１６】
水平方向（矢印Ｂ方向）の位置決めは、アダプタ１２を付けた光学濾光板１１の段差にホルダ１３の４角形形状の開口の内側をはめ込むことにより行う。ホルダ１３の開口は、複屈折板１０１と赤外カット濾光板１０２の寸法に合わせて空けられ、特に水平方向の隙間は取り付け時の遊び等を考慮した上で隙間が最小になるように形成される。そうすることで、光学濾光板１１とホルダ１３の水平方向のがたつきが抑えられる。ブラケット１５は位置ピン１８、１９を有し、ホルダ１３に空けられた穴２０、２１に位置ピン１８、１９をはめ込むことで、ホルダ１３の位置が規制される。特に水平方向の位置が精度よく決められる。
【００１７】
図４は、図３におけるホルダ１３を右側面から見た図である。ホルダ１３は、弾性のある板金より形成され図４のように少し波形形状をしている。ホルダ１３は、その４隅でねじ２２によりブラケット１５に固定される。このとき、ホルダ１３のこの波形形状によるバネ力により、ホルダ１３は光学濾光板１１を固体撮像素子７側に押しつけ、固定する。
【００１８】
このように、ホルダ１３は波形形状をしバネ性を有しているため、ねじ２２により締め付ける際、寸法が鉛直方向に若干延びる。このため、穴２１は長穴構造となっている。また、これによりホルダ１３では光学濾光板１１の鉛直方向の位置決め精度が出ないため、本実施の形態では前述したようにアダプタ１２により鉛直方向の位置決めを行っている。
【００１９】
本実施の形態では、アダプタ１２の板厚とホルダ１３の板厚（バネ性のたわみも考慮した寸法）の合計を段差１０７、１０８の光軸方向の寸法より小さく設定しているため、ホルダ１３を取り付けた状態で、ホルダ１３の面が光学濾光板１１の撮影レンズ１０側の面より高くならない。これにより、光学濾光板１１の取り付け用保持部材のための光軸方向のスペースが必要なくなり、限られたスペースに光学濾光板１１の取り付けを容易に行うことができる。
【００２０】
光学濾光板１１は、上記の通りホルダ１３のネジ留めにより最終的に固体撮像素子７に固定しているので、組立完了後の撮影確認時に固体撮像素子保護ガラス１４と光学濾光板１１間にゴミが付着していることを発見した場合には、ねじ２２を外すことで分解清掃が可能である。接着剤で光学濾光板１１と固体撮像素子７とを貼り付けた場合には、ゴミが付着していたり気泡が生じていることを発見したりしても改修が不可能であったが、本発明の光学濾光板１１と固体撮像素子７ではその改修が可能となりコストダウンにつながる。
【００２１】
光学濾光板１１と固体撮像素子保護ガラス１４との間には、傷防止シート１７が設けられている。この傷防止シート１７は、ガラス材同士がすれて傷つかないようにしたり、ニュートンリングの発生を防止したりすることを目的とするもであり、固体撮像素子７に入射する光束を阻害しないよう、光束が入射する範囲すなわち撮像範囲１０６を切り抜いた矩形形状の開口を有する。傷防止シート１７は、ポリエチレンテレフタレートなどのシートであり、表面はサンドブラスト処理により艶消し処理が施され、黒色である。
【００２２】
以上のようにして、第１の実施の形態では、複屈折板１０１と赤外カット濾光板１０２の通過する光束の光軸に垂直な面（撮像面と平行）における水平方向の大きさを、１／４λ板１０３と複屈折板１０４の同様な水平方向の大きさより少し小さくすることにより段差１０７、１０８を設けるようにしている。そして、この段差１０７、１０８にホルダ１３をはめ込み、光軸に垂直な段差面にホルダ１３のバネ力を付加し、光学濾光板１１を固体撮像素子７側に押しつけるようにして保持する。これにより、ホルダ１３の面は光学濾光板１１の撮影レンズ１０側の面より高くならず、限られたスペースに光学濾光板１１の取り付けを容易に行うことができる。
【００２３】
なお、アダプタ１２の板厚とホルダ１３の板厚（バネ性のたわみも考慮した寸法）の合計寸法は、必ずしも段差１０７、１０８の光軸方向の寸法より小さくする必要はない。小さくない場合でも、ホルダ１３の面が段差の寸法に応じて下げられ、それに応じてスペースが確保でき本発明の目的は達成できる。
【００２４】
−光学濾光板の変形例−
図５は、光学濾光板１１において段差を形成する場合の変形例を示す図である。図５（ａ）は、複屈折板１０１と赤外カット濾光板１０２の水平方向および鉛直方向の寸法を同じにし、１／４λ板１０３と複屈折板１０４の水平方向と鉛直方向の寸法も同じにする。そして、前者の組み合わせの水平方向および鉛直方向の寸法を後者の組み合わせのそれぞれの寸法より若干小さくして、光学濾光板１１の外周部全体に段差１０９を形成している。
【００２５】
図５（ｂ）は、複屈折板１０１、赤外カット濾光板１０２、１／４λ板１０３、複屈折板１０４のすべてを同じ寸法の矩形形状に構成する。そして、複屈折板１０１と赤外カット濾光板１０２の４隅を切り落とし段差１１０を４隅に形成している。ホルダやアダプタの開口は、図５における複屈折板１０１、および赤外カット濾光板１０２の形状に合わせて空けられる。
【００２６】
以上のように、光学濾光板１１において層の大きさを異ならせることにより段差を形成しているが、図２および図５の内容に限定する必要はない。その他にも各種の層のあらゆる組み合わせが考えられるが、すべて本発明の範囲に含まれる。
【００２７】
−第２の実施の形態−
図６は、本発明の光学濾光板（素子）を取り付けたデジタルスチルカメラの第２の実施の形態の構成を示す図である。第１の実施の形態と異なるところは、アダプタ１２がないところである。その他の構成は第１の実施の形態と同じであるのでその説明を省略し、このアダプタ１２がないことについてのみ以下説明する。
【００２８】
図７は、第１の実施の形態の図３に対応する図であり、光学濾光板１１の取り付けを説明する図である。光学濾光板１１は図２に示すものである。図６および図７に示す通り、第２の実施の形態ではアダプタ１２がなく、またアダプタ１２の位置を規制する壁１６が設けられていない。
【００２９】
すなわち、光学濾光板１１はホルダ１３の開口部によってのみ位置決めがなされるが、特に鉛直方向の位置決めにおいてそれほど精度が必要ない場合には本実施の形態の内容が適用可能である。また、光学濾光板１１はホルダ１３のバネ力で固体撮像素子７側に押しつけられるのでがたつくこともない。さらには、ホルダ１３と光学濾光板１１の段差面とが接触する部分を接着剤で固定するようにすれば、光学濾光板１１のがたつきはより一層防止できる。
【００３０】
−第３の実施の形態−
図８は、本発明の光学濾光板（素子）を取り付けたデジタルスチルカメラの第３の実施の形態の構成を示す図である。第１の実施の形態では、光学濾光板１１をシャッタ６と固体撮像素子７間に配置する例を示したが、第３の実施の形態では、シャッタ６とクイックリターンミラー５の間に設ける実施の形態である。その他の構成は、第１の実施の形態と同一であるのでそれらの説明を省略し、この異なる部分について以下説明する。
【００３１】
光学濾光板１１の構成は図２の通りである。光学濾光板１１の固定は、段差のうち光軸に垂直な面とホルダ３１と接する面を接着剤で接着して行う。ホルダ３１は、カメラ本体のフレーム３２に固定され、複屈折板１０１および赤外カット濾光板１０２の大きさに合わせた開口を有する。開口寸法は第１の実施の形態のホルダ１３と同様であるが、ホルダ１３のバネ性による変形がないため、鉛直方向の寸法は光学濾光板１１との隙間をより小さく設定することが可能である。
【００３２】
このように、光学濾光板１１の段差面とホルダ３１とを面で接着するようにしているので、強固な固定が可能となる。しかも光軸方向にホルダ３１の板厚分のスペースを確保する必要がないため、シャッタ６とクイックリターンミラー５の間のような狭い場所に光学濾光板１１を配置することが可能となる。光学濾光板１１をこのような場所に配置すると、クイックリターンミラー５をアップすることにより光学濾光板１１の掃除を容易に行える構成にすることが可能となる。
【００３３】
上記第１〜第３の実施の形態では、固体撮像素子７としてＣＣＤの例を示したが、この内容に限定される必要ない。本発明は、限られたスペースしかなくかつ前面に光学濾光板を設ける必要があるような撮像素子すべてに適用が可能である。
【００３４】
上記第１〜第３の実施の形態では、光学濾光板１１の層の構成や組み合わせ順序について、図２に示すものを例示したが、この構成や組み合わせ順序に限定する必要はない。その他の機能を有する層を追加したり、図２に示す層の一部を削除したりしてもよい。削除するとは、例えば、赤外カット濾光板１０２を削除し３枚構成にするなどである。また、層の並び順序も任意に変更してもよい。すなわち、あらゆる濾光層の組み合わせで構成される光学濾光板に本発明は適用できる。
【００３５】
また、本願でいう「濾光」とは、上記の実施の形態にも示した、赤外線をカットしながら光を通過させること、空間周波数の所定の周波数を通過させること、互いに異なる方向に振動する直線偏光の位相をずらすために偏光を通過させることなどを含む概念である。さらに、紫外線をカットしながら光を通過させることや、可視光の所定の波長の光のみ通過させることや、自然光を直線偏光や円偏光などに偏光するために通過させることなども含む概念である。すなわち、本願で言う「濾光」とは光束の特性等を変えながらその光束を通過させることを言う。従って、固体撮像素子の前面に置かれ、このような機能を有するすべての素子に本発明は適用される。
【００３６】
上記第１〜第３の実施の形態では、一眼レフカメラの例で説明をしたが、この内容に限定する必要はない。レンズ交換式でないカメラにおいても本発明は適用できる。また、機械シャッタ６が設けられている場合で説明をしたが、電子シャッタのみしかない場合でも本発明は適用できる。さらには、上記実施の形態ではスチルカメラの例で説明をしたが、動画を扱うビデオカメラにおいても適用できる。すなわち、固体撮像素子を使用し、その前面に光学濾光板を設ける必要があるすべての態様に本発明は適用できる。
【００３７】
上記第１の実施の形態では、光学濾光板１１を固体撮像素子７に押しつけ固定する例を示したが、光学濾光板１１の位置や押しつける方向についてこの内容に限定する必要はない。例えば、図１のカメラマウント８近辺に光学濾光板１１を設けるようにし、カメラマウント側に押しつけ固定するような構成にしてもよい。また、第３の実施の形態のような位置において、接着剤を使用せず、他の補助ホルダを光学濾光板１１の段差にはめ込みホルダ３１に押しつけ固定するような構成にしてもよい。
【００３８】
上記第１の実施の形態では、固体撮像素子７側の面とは反対側の面、すなわちホルダ１３により押しつけ力を付加する側に段差を設ける例を説明したが、固体撮像素子側７にも段差を設けるようにしてもよい。例えば、固体撮像素子自体にフレームがあったり、固体撮像素子の取り付けブラケットにフレーム等が設けられていたりして、固体撮像素子の受光面がフレームのトップ面より少し下がっている場合には、光学濾光板の固体撮像素子側に段差を設け、この段差にフレームトップ面を係合させ、光学濾光板の固体撮像素子側の面を固体撮像素子の受光面ぎりぎりまで下げることが可能となる。このようにすることによっても、限られたスペースに光学濾光板の配置が可能となる。
【００３９】
【発明の効果】
本発明によれば、固体撮像素子などの前面において限られたスペースに効率よく配置することを可能とする光学ローパスフィルタを設けた光学装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光学濾光板（素子）を取り付けたデジタルスチルカメラの第１の実施の形態の構成を示す図である。
【図２】光学濾光板の形状を説明する図である。
【図３】光学濾光板の取り付けを説明する図である。
【図４】ホルダを右側面から見た図である。
【図５】光学濾光板において段差を形成する場合の変形例を示す図である。
【図６】本発明の光学濾光板（素子）を取り付けたデジタルスチルカメラの第２の実施の形態の構成を示す図である。
【図７】第２の実施の形態における光学濾光板の取り付けを説明する図である。
【図８】本発明の光学濾光板（素子）を取り付けたデジタルスチルカメラの第２の実施の形態の構成を示す図である。
【図９】光学濾光板の動作原理を説明する図である。
【符号の説明】
１  接眼レンズ
２  ペンタプリズム
３  コンデンサレンズ
４  ピント板
５  クイックリターンミラー
６  シャッタ
７  固体撮像素子
８  カメラ側マウント
９  レンズ側マウント
１０  撮影レンズ
１１  光学濾光板
１２  アダプタ
１３、３１  ホルダ
１４  固体撮像素子保護ガラス
１５  ブラケット
１６  壁
１７  傷防止シート
１８、１９  位置ピン
２０、２１  穴
２２  ねじ
３２  フレーム
１０１  複屈折板
１０２  赤外カット濾光板
１０３  １／４λ板
１０４  複屈折板
１０５  光軸
１０６  撮像範囲
１０７〜１１０  段差
【図１】
0004300617.tif 000002
【図２】
0004300617.tif 000003
【図３】
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【図４】
0004300617.tif 000005
【図５】
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【図６】
0004300617.tif 000007
【図７】
0004300617.tif 000008
【図８】
0004300617.tif 000009
【図９】
0004300617.tif 000010