(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸引方式の吸着載置テーブルに著脱自在に載置するアダプターにおいて、全面吸着タイプの吸引孔を持ち第１サイズ用吸着載置テーブルに取り付く第１接触面と、被測定対象物に接触する、全面吸着タイプの吸引孔を持ち第１サイズより小さいか又は大きな第２サイズ用第２接触面とを有するアダプター。
【請求項２】
吸引方式の吸着載置テーブルに着脱自在に載置するアダプターにおいて、周辺吸着タイプの吸引孔を持ち第１サイズ用吸着載置テーブルに取り付く第１接触面と、被測定対象物に接触する、周辺吸着タイプの吸引孔を持ち第１サイズより小さいか又は大きな第２サイズ用第２接触面とを有するアダプター。
【請求項３】
テーブルと接触するための上記第１サイズ用の第１接触面に、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで多数の吸引孔が形成され、被測定対象物に接触する上記第２サイズ用の第２接触面に、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで多数の吸引孔が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のアダプター。
【請求項４】
被測定対象物を保持する請求項１乃至３のいずれか１項に記載のアダプターと、上記アダプターを載置又は取り付ける吸着載置テーブルと、光を被測定対象物に照射する照射光学系と、被測定対象物からの反射光を受光する受光光学系と、被測定対象物の高さを測定する高さ検出部と、その高さ検出部の出力に基づき、照射光学系からの光が被測定対象物上で所定の条件で照射するように、照射光学系と被測定対象物との位置関係を調整する位置調整部とから構成される異物検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、検査や測定のために吸着載置テーブルに被測定対象物（たとえばウエハ）を吸引吸着させる際に使用するテーブル用アダプターや被測定対象物用アダプター、並びにこれらのアダプターを用いる異物検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の載置テーブルは、一つのサイズのウエハを一つの吸着タイプのみで載置吸着するものであった。
【０００３】
小さいサイズ、例えば４インチや６インチなどのウエハを測定する場合には、略等間隔で一様な吸着孔を設けて、ウエハの略全面を吸着していた。
【０００４】
最近、描画サイズも微細化の一途をたどると共に、ウエハサイズが拡大され、８インチ用ウエハや１２インチ用ウエハに関しては、従来あまり問題とされなかったウエハ裏面のゴミが問題にされるようになってきている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
検査装置は、ウエハのサイズが異なってくると、異なるサイズのウエハを一つの検査装置で検査したいという要望が生じてくる。
【０００６】
また、従来の測定データとの比較のためには、従来と同じ条件で検査することが望ましい。
【０００７】
このように、異なるサイズのウエハを測定することや、吸着タイプを変更することなどの要望が出ている。
【０００８】
しかし、従来の異物検査装置においては、１つの吸着載置テーブルは特定の１つのサイズのウエハを載置吸着するものであった。したがって、２種類以上のサイズのウエハに対しては、２種類以上の吸着載置テーブルを用いていた。つまり、２種類以上のサイズのウエハに対しては、２種類以上の異なるサイズの吸引チャックを用いていた。
【０００９】
本発明は、異なるサイズのウエハを測定することや、吸着タイプを変更することを可能にするアダプターと異物検査装置を提供することを目的とする。
【００１０】
本発明の他の目的は、異なるサイズのウエハを１つの異物検査装置で検査できるようにすることである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の好適な解決手段は、請求項１〜５に記載のアダプターである。
【００１２】
本発明の別の好適な解決手段は、請求項６に記載の異物検査装置である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明は、検査や測定のために吸着載置テーブルに被測定対象物を吸引吸着させるアダプターや異物検査装置を改良したものである。とくに、異なるサイズの被測定対象物を吸引吸着させて、測定、計測を行うことを可能とする吸着載置テーブル用アダプターや被測定対象物用アダプター、並びにこれらのアダプターを用いる異物検査装置を改良したものである。
【００１４】
本発明の好ましい実施例においては、アダプターが第１接触面と第２接触面を有する。つまり、アダプターは、第１サイズ用吸着載置テーブルに取り付く第１接触面と、被測定対象物を吸引吸着させる第２サイズ用第２接触面とを有する。第１接触面は第１サイズを有し、第２接触面は第２サイズを有する。第１接触面と第２接触面は、全面吸着タイプ又は周辺吸着タイプである。これらのサイズやタイプの組合せの一例が表１に示されている。表１に示されている第１〜第８実施例は、あとで詳細に説明する。
【００１５】
【表１】
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この表１に示されている実施例のうち、好ましい例のいくつかを説明する。
【００１６】
１つの例は、第１サイズ用吸着載置テーブルに取り付く第１接触面と、ウエハに接触する第１サイズより小さいか又は大きな第２サイズ用第２接触面からなる吸着載置テーブルに取り付けるアダプターである。
【００１７】
好ましくは、アダプターは、吸着載置テーブル用アダプター又はウエハ用アダプターである。上記第１サイズ用第１接触面と上記第２サイズ用第２接触面とは、同じ吸着タイプで構成する。また、上記第１サイズ用第１接触面と上記第２サイズ用第２接触面とは、共に、周辺吸着タイプ又は全面吸着タイプで構成する。
【００１８】
別の例は、上記の第１サイズより小さいか又は大きな第２サイズ用第２接触面からなる吸着載置テーブルに載置するウエハ用アダプターである。上記第１サイズ用第１接触面と上記第２サイズ用第２接触面とは、異なる吸着タイプで構成する。この場合、好ましくは、第１サイズ用第１接触面は、周辺吸着タイプで構成し、上記第２サイズ用第２接触面は全面吸着タイプで構成する。これとは別に、第１サイズ用第１接触面は、全面吸着タイプで構成し、上記第２サイズ用第２接触面は周辺吸着タイプで構成することも好ましい。
【００１９】
また、別の例では、上記第１サイズより小さいか又は大きな第２サイズ用第２接触面からなる吸着載置テーブルに取りつけるテーブル用アダプターにおいて、上記第１サイズ用第１接触面と上記第２サイズ用第２接触面とは、異なる吸着タイプで構成する。この場合、好ましくは、第１サイズ用第１接触面は、周辺吸着タイプで構成され、上記第２サイズ用第２接触面は全面吸着タイプで構成する。これとは別に、第１サイズ用第１接触面は、全面吸着タイプで構成し、上記第２サイズ用第２接触面は周辺吸着タイプで構成することも好ましい。
【００２０】
本発明のさらに別の例は、吸着載置テーブルと、照射光学系と、受光光学系と、高さ検出部と、位置調整部とから構成される異物検査装置である。吸着載置テーブルは、被測定対象物を上述のアダプターを介して載置するか、取り付ける。照射光学系、つまり、発光系は、光源を有し、光源からの光を被測定対象物に照射する。受光光学系は、その反射光を受光する。
【００２１】
高さ検出部は、被測定対象物の高さを測定する。その高さ検出部からの出力に基づいて、位置調整部は、照射光学系からの光が被測定対象物上で所定の条件で照射するように照射光学系と被測定対象物との位置関係を調整する。
【００２２】
【実施例】
以下、本発明の好適な実施例を図面により説明する。
【００２３】
表１に示す第１〜第８実施例を順に説明する。
【００２４】
第１〜第８実施例において、ウエハ用アダプターは、ウエハと共に交換され、載置テーブルに載せられるものである。
【００２５】
［第１実施例］
ウエハ用アダプター７は、第１サイズ用吸着載置テーブル１に着脱自在に載置する第１接触面７ａと、第１サイズより大きい第２サイズ用の第２接触面７ｂを有する。
【００２６】
第１サイズ用第１接触面７ａは、全面吸着タイプである。
【００２７】
第２サイズ用第２接触面７ｂは、全面吸着タイプである。
【００２８】
図１〜６を参照して、さらに第１実施例を詳細に説明する。
【００２９】
まず図１〜２を参照して装置の概略を説明する。図１（ａ）は、第1実施例を 示す異物検査装置の概念図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す異物検査測定装置の測定部を示す概略説明図である。
【００３０】
図２（ａ）は、吸着載置テーブルにウエハとウエハ用アダプターが吸着される様子を示す図である。図２（ｂ）は、その図２（ａ）に示す異物検査測定装置の測定部を示す概略説明図である。図２（ｃ）は、図２（ａ）に示すものとは異なる種類のウエハ用アダプターと、異なるサイズのウエハを使用する第６実施例（後述する）を示す図である。
【００３１】
異物検査装置は、吸着載置テーブル１と、搬送装置２と、検査光学系３（たとえばオートフォーカス機構を含む検査光学系）を備えている。
【００３２】
搬送装置２は、カセット４と、ロボット５と、アライメント皿６を備えている。カセット４は、ウエハ用アダプター７に保持されたウエハ８をカセット４の内部に収納するものである。
【００３３】
アライメント皿６は、異物検査装置のフレーム（図示せず）に固定されている。アライメント皿６は、一部に半円形状に段差が形成された２つの部材６Ａ、６Ｂを組合せたものであり、一定の隙間９を空けて構成されている。
【００３４】
ロボット５は、その一部が示してあるように、アーム部１０と、吸着部１２を備えている。吸着部１２は公知の吸着機構を採用できる。アーム部１０を曲げ又は延ばすことによって、吸着部１２を前後方向に移動させる。アーム部１０をＺ方向に移動させることによって、吸着部１２をＺ方向に移動させる。Ａ点を中心としてＳ方向にアーム部１０を回転させることにより、吸着部１２をＳ方向に旋回させる。吸着部１２は、ウエハ用アダプター７を吸着して保持する。そして、吸着部１２でウエハ用アダプター７を吸着して保持し、ウエハ８を保持したウエハ用アダプター７をアライメント皿６に載置する。
【００３５】
ロボット５によってウエハ用アダプター７をアライメント皿６に載置する際には、吸着部１２は、アライメント皿６の上方から、上述のアライメント皿６に形成された隙間９を通ってアライメント皿６の下方に移動する。
【００３６】
吸着載置テーブル１は、ネジ棒１３を利用した駆動機構によってＸ方向に移動可能にする。吸着載置テーブル１が移動するとき、吸着載置テーブル１の細長部１ａ（図５）が上述のアライメント皿６に形成された隙間９を通る。そして、吸着載置テーブル１は、アライメント皿６から測定部３へ移動する。
【００３７】
これとは逆の方向に、吸着載置テーブルの細長部１ａが上述のアライメント皿６に形成された隙間９を通って、吸着載置テーブル１は、測定部３からアライメント皿６へ移動することもできる。
【００３８】
吸着載置テーブル１は、テーブル面１ｂ、つまり吸引チャック面でウエハアダプタ７を吸着する。吸着載置テーブル１のテーブル面１ｂは回転する。
【００３９】
測定部３の検査光学系は、図１（ｂ）に示すように、発光系（照射光学系）１４と受光系（受光光学系）１５とを備えている。
【００４０】
受光系１５は、図３に示すように散乱光受光系１６と鏡面反射受光系１９を備えている。発光系１４は光源（図示せず）を有し、光源からレーザービームをウエハ８の表面に照射し、ウエハ８表面の異常によって生じる散乱反射光を受光系１５によって受光する。
【００４１】
図３に示すように、受光系１５の受光信号を電気信号として取り出して制御演算部２５に送り、そこで所定のデータ処理を行い、ウエハ表面の傷、ゴミ、汚れ等の有無とその欠陥位置を検出する。
【００４２】
測定部３は、従来の検査装置の測定部と同様に構成できる。測定部３は、前述の検査光学系の外にオートフォーカス機構つまり自動合焦系２０（図３）を備えている。
【００４３】
図３は、図１の異物検査装置の概略を示すブロック図である。
【００４４】
図３に示すように、異物検査装置は、高さ検出部４３と位置調整部４４を備えている。位置調整部４４は、テーブルＸ方向移動部２２と、テーブルＺ方向移動部２３と、テーブル回転部２４を備えている。高さ検出部４３は、所定レベルからのウエハ８の高さを測定する。その高さ検出部４３からの出力に基づき、位置調整部４４は、発光系１４からの光束がウエハ８上で所定の条件で照射するように、発光系１４とウエハ８との位置関係を調整する。
【００４５】
制御演算部２５は、ロボットアーム駆動部２６を制御して、ロボットアーム１０（図１）を旋回させる。制御演算部２５は、ロボットアーム駆動部２６を制御して、ロボットアーム１０（図１）を上下と前後方向に移動させる。
【００４６】
制御演算部２５は、テーブルＸ方向移動部２２と、テーブルＺ方向移動部２３と、テーブル回転部２４を制御する。制御演算部２５は、吸着載置テーブル１（図１）をＸ方向とＺ方向に移動させ、テーブル１（図１）を回転させる。制御演算部２５でテーブルＺ方向移動部２３を制御することにより、測定部３（図１）における焦点合わせをすることができる。制御演算部２５でテーブルＺ方向移動部２３を制御することにより、吸着載置テーブル１へのウエハ用アダプター７の載置を行う。
【００４７】
制御演算部２５は、自動合焦系（オートフォーカス機構）２０と、発光系１４と、散乱光受光系１６と、鏡面反射受光系１９と、駆動部２９を制御する。
【００４８】
制御演算部２５は、検査結果を必要に応じて表示器３０で表示させる。表示器３０は、異物の位置や数、散乱光レベル等を表示する。
【００４９】
図４は、図１の異物検査装置による検査の概略フローチャートを示す図である。
【００５０】
検査が開始されると、ステップＳ１において、被検査物８（図１）の種類を判別し、表面散乱の少ないもの（例えばベアウエハ、ＳｉＯ2 膜付きのウエハ）か、表面散乱の多いもの（例えば、金属膜付きのウエハ）かを判別する。
【００５１】
被検査物８（図１）が、表面散乱の少ない被検査物のときには、ステップＳ２に進み、感度を表面散乱の少ない被検査物８（図１）に適した設定（第１条件）とし、ステップＳ３に進む。ステップＳ３で、走査が行われ、ステップＳ４に進む。
【００５２】
ステップＳ４では、制御演算部２５が受光系１５からの受光信号を受け取り、信号処理を行う受光信号を選択し、ステップＳ５に進む。
【００５３】
ステップＳ５では、制御演算部２５が、選択された受光信号に所定の信号処理を施し、検査対象（たとえば凸状の異物や、凹状の結晶欠陥等。ここでは図示されていない。）を抽出し、その開始座標、終了座標、ピーク座標などのデータを求め、ステップＳ６に進む。
【００５４】
ステップＳ６では、抽出されたデータに基づき、検査対象（図示せず）の種類（たとえば凸状の異物や、凹状の結晶欠陥）を判別し、ステップＳ７に進む。
【００５５】
ステップＳ７では、走査を終了するか否かが判断される。終了でなければ、ステップＳ４に戻り、処理が走査終了まで繰り返される。走査終了であれば、ステップＳ８に進む。
【００５６】
ステップＳ８では、検査対象（図示せず）の検査データを記憶し、ステップＳ９に進む。
【００５７】
ステップＳ９では、検査対象（図示せず）の検査データを所定の形式で表示器３０で表示し、ステップＳ１０に進む。
【００５８】
ステップＳ１０では、測定終了かどうかが判断される。測定終了でなければ、ステップＳ１に戻り、新たな測定が行われる。そうでなければ、そのまま終了する。
【００５９】
ステップＳ１において、被検査物が、表面散乱の多いもの（例えば、金属膜付きのウエハ）と判断されたときには、ステップＳ１１に進み、感度を表面散乱の多い被検査物８（図１）に適した設定（第２条件）とする。この場合、ステップＳ３に進み、検査が、上述したものと同様に行われる。
【００６０】
次に図５と図６を参照して、異物検査装置におけるウエハ用アダプターの使用様態を説明する。
【００６１】
図５は、第１実施例に用いられるウエハ用アダプターの使用様態を示す図である。図６は、第１実施例のウエハ用アダプターの縦断面図である。
【００６２】
第１実施例においては、第１サイズ用吸着載置テーブル１のテーブル面１ｂには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで多数の吸引孔１ｃが形成されている。つまり、第１サイズ用吸着載置テーブル１は、全面吸着タイプの吸引チャック面を有している。吸引孔１ｃは、配管系（図示せず）を介して吸引装置（図示せず）に接続されている。したがって、吸着載置テーブル１は、ウエハ８とウエハ用アダプター７をテーブル面１ｂに吸着する。
【００６３】
ウエハ用アダプター７は、第１サイズ用第１接触面７ａと、第２サイズ用第２接触面７ｂと、保持部材３２を備えている。第１接触面７ａは、第１サイズ用吸着載置テーブル１と接触する。第２接触面７ｂは、第２サイズのウエハ８と接触する。第２接触面の外側には、複数の保持部材３２が取り付けられている。複数の保持部材３２は、第２サイズのウエハ８の外周側面と接触し、ウエハ８を保持する。
【００６４】
第２サイズは、第１サイズより大きい。つまり、第１実施例のウエハ用アダプター７を介することにより、第１サイズより大きい第２サイズのウエハ８を第１サイズ用吸着載置テーブル１に吸着載置する。
【００６５】
第１実施例においては、ウエハ用アダプター７の第１サイズ用第１接触面７ａには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで多数の吸引孔７ｃが形成されている。ウエハ用アダプターの第２サイズ用第２接触面７ｂの中心付近には、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで多数の吸引孔７ｄが形成されている。吸引孔７ｃと吸引孔７ｄは、互いに通じている。したがって、ウエハ８は、ウエハ用アダプター７を介して、略全面吸着で、全面吸着タイプの吸着載置テーブルにより載置吸着される。
【００６６】
つまり、第１実施例においては、吸着載置テーブル１の吸着タイプとウエハ８が吸着されるタイプは、全面吸着のまま変換されない。
【００６７】
なお、ウエハ用アダプターの第２接触面７ｂにおける吸引孔７ｄの存在範囲は、ウエハ用アダプターの第１接触面７ａにおける吸引孔７ｃの存在範囲より小さい。しかしながら、ウエハ用アダプターの第２接触面７ｂにおける吸引孔７ｄの存在範囲は、ウエハ用アダプターの第１接触面７ａにおける吸引孔７ｃの存在範囲より大きくしてもよいし、等しくしてもよい。
【００６８】
以上のような構成の、ウエハ用アダプターを用いた異物検査装置の使用態様の概要は、図１を参照して説明すると、次のとおりである。
【００６９】
▲１▼ロボット５で、ウエハ用アダプターに保持されたウェーハ８をカセット４から取出し、アライメント皿６に受け渡す。
【００７０】
▲２▼アライメント皿６の下部に、吸着載置テーブル１が移動してくる。
【００７１】
▲３▼吸着載置テーブル１が吸着しながら上昇してきて、ウエハ用アダプター７とウェーハ８を吸着する。
【００７２】
▲４▼吸着載置テーブル１が測定部３まで移動し、測定を開始する。
【００７３】
次に、本発明のウエハ用アダプターの他の実施例について説明する。
【００７４】
［第２実施例］
図７と図８を参照して、本発明の第２実施例を説明する。
【００７５】
ウエハ用アダプター１７は、第１サイズ用吸着載置テーブル１に取り付く第１接触面１７ａと、第１サイズより小さい第２サイズ用の第２接触面１７ｂを有する。第１サイズ用第１接触面１７ａは、全面吸着タイプである。第２サイズ用第２接触面１７ｂは、周辺吸着タイプである。
【００７６】
図７は、第２実施例に用いられるウエハ用アダプターの使用様態を示す図である。図８は、第２実施例のウエハ用アダプターの縦断面図である。
【００７７】
第２実施例においては、第１サイズ用吸着載置テーブル１のテーブル面１ｂにほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで多数の吸引孔１ｃが形成されている。つまり、第１サイズ用吸着載置テーブル１は、全面吸着タイプの吸引チャック面を有している。吸引孔１ｃは、配管系（図示せず）を介して吸引装置（図示せず）に接続されている。したがって、吸着載置テーブル１は、ウエハ１８とウエハ用アダプター１７をテーブル面１ｂに吸着する。
【００７８】
ウエハ用アダプター１７は、第１サイズ用第１接触面１７ａと、第２サイズ用第２接触面１７ｂと、保持部材３２を備えている。第１接触面１７ａは、第１サイズ用吸着載置テーブル１と接触する。第２接触面１７ｂは、第２サイズのウエハ１８と接触する。第２接触面の外側には、複数の保持部材３２が取り付けられている。複数の保持部材３２は、第２サイズのウエハ１８の外周側面と接触し、ウエハ１８を保持する。
【００７９】
第２サイズは、第１サイズより小さい。つまり、ウエハ用アダプター１７を介することにより、第１サイズより小さい、第２サイズのウエハ１８を第１サイズ用吸着載置テーブル１に吸着載置する。
【００８０】
ウエハ用アダプター１７の第１サイズ用第１接触面１７ａには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで多数の吸引孔１７ｃが形成されている。
【００８１】
ウエハ用アダプターの第２サイズ用第２接触面１７ｂの外周付近には、円形に吸着溝１７ｄが形成されている。吸引孔１７ｃと吸着溝１７ｄは、互いに通じている。したがって、ウエハ１８は、ウエハ用アダプター１７を介して、周辺吸着で、全面吸着タイプの吸着載置テーブルにより載置吸着される。
【００８２】
つまり、吸着載置テーブル１の吸着タイプとウエハ８が吸着されるタイプが、全面吸着から周辺吸着に変換される。
【００８３】
なお、ウエハ用アダプターの第２接触面１７ｂにおける吸着溝１７ｄの包囲範囲は、ウエハ用アダプターの第１接触面１７ａにおける吸引孔１７ｃの存在範囲より小さい。しかしながら、ウエハ用アダプターの第２接触面１７ｂにおける吸着溝１７ｄの包囲範囲は、ウエハ用アダプターの第１接触面１７ａにおける吸引孔１７ｃの存在範囲より大きくしてもよいし、等しくしてもよい。
【００８４】
［第３実施例］
次に、図９と図１０を参照して、第３実施例を説明する。
【００８５】
ウエハ用アダプター２７は、第１サイズ用吸着載置テーブル１に取り付く第１接触面２７ａと、第１サイズより大きい第２サイズ用の第２接触面２７ｂを有する。第１サイズ用第１接触面２７ａは、全面吸着タイプである。第２サイズ用第２接触面２７ｂは、周辺吸着タイプである。
【００８６】
図９は、ウエハ用アダプターの使用様態を示す図である。図１０は、第３実施例のウエハ用アダプターの縦断面図である。
【００８７】
第１サイズ用吸着載置テーブル１のテーブル面１ｂには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで多数の吸引孔１ｃが形成されている。つまり、第１サイズ用吸着載置テーブル１は、全面吸着タイプの吸引チャック面を有している。吸引孔１ｃは、配管系（図示せず）を介して吸引装置（図示せず）に接続されている。したがって、吸着載置テーブル１は、ウエハ８とウエハアダプター２７をテーブル面１ｂに吸着する。
【００８８】
ウエハ用アダプター２７は、第１サイズ用第１接触面２７ａと、第２サイズ用第２接触面２７ｂと、保持部材３２を備えている。第１接触面２７ａは、第１サイズ用吸着載置テーブル１と接触する。第２接触面２７ｂは、第２サイズのウエハ８と接触する。第２接触面の外側には、複数の保持部材３２が取り付けられている。複数の保持部材３２は、第２サイズのウエハ８の外周側面と接触し、ウエハ８を保持する。
【００８９】
第３実施例においては、第２サイズは、第１サイズより大きい。つまり、ウエハ用アダプター２７を介することにより、第１サイズより大きい第２サイズのウエハ８を第１サイズ用吸着載置テーブル１に吸着載置する。
【００９０】
ウエハ用アダプター２７の第１サイズ用第１接触面２７ａには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで多数の吸引孔２７ｃが形成されている。
【００９１】
ウエハ用アダプターの第２サイズ用第２接触面２７ｂの外周付近には、円形に吸着溝２７ｄが形成されている。吸引孔２７ｃと吸引孔２７ｄは、互いに通じている。したがって、ウエハ８は、ウエハ用アダプター２７を介して、周辺吸着で、全面吸着タイプの吸着載置テーブルにより載置吸着される。
【００９２】
つまり、吸着載置テーブル１の吸着タイプとウエハ８が吸着されるタイプが、全面吸着から周辺吸着に変換される。
【００９３】
なお、第３実施例においては、ウエハ用アダプターの第２接触面２７ｂにおける吸着溝２７ｄの包囲範囲は、ウエハ用アダプターの第１接触面２７ａにおける吸引孔２７ｃの存在範囲より大きい。しかしながら、ウエハ用アダプターの第２接触面２７ｂにおける吸着溝２７ｄの包囲範囲は、ウエハ用アダプターの第１接触面２７ａにおける吸引孔２７ｃの存在範囲より小さくしてもよいし、等しくしてもよい。
【００９４】
［第４実施例］
次に、図１１と図１２を参照して、第４実施例を説明する。
【００９５】
ウエハ用アダプター３７は、第１サイズ用吸着載置テーブル１１に取り付く第１接触面３７ａと、第１サイズより大きい第２サイズ用の第２接触面３７ｂを有する。第１サイズ用第１接触面３７ａは、周辺吸着タイプである。第２サイズ用第２接触面３７ｂは、全面吸着タイプである。
【００９６】
図１１は、ウエハ用アダプターの使用様態を示す図である。図１２は、ウエハ用アダプターの縦断面図である。
【００９７】
第４実施例においては、第１サイズ用吸着載置テーブル１１のテーブル面１１ｂには、テーブル面外周付近に吸着溝１１ｃが形成されている。つまり、第１サイズ用吸着載置テーブル１１は、周辺吸着タイプの吸引チャック面を有している。吸着溝１１ｃは、配管系（図示せず）を介して吸引装置（図示せず）に接続されている。したがって、吸着載置テーブル１１は、ウエハ８とウエハ用アダプター３７をテーブル面１１ｂに吸着する。
【００９８】
ウエハ用アダプター３７は、第１サイズ用第１接触面３７ａと、第２サイズ用第２接触面３７ｂと、保持部材３２を備えている。第１接触面３７ａは、第１サイズ用吸着載置テーブル１１と接触する。第２接触面３７ｂは、第２サイズのウエハ８と接触する。第２接触面の外側には、複数の保持部材３２が取り付けられている。複数の保持部材３２は、第２サイズのウエハ８の外周側面と接触し、ウエハ８を保持する。
【００９９】
第４実施例においては、第２サイズは、第１サイズより大きい。つまり、ウエハ用アダプター３７を介することにより、第１サイズより大きい、第２サイズのウエハ８を第１サイズ用吸着載置テーブル１１に吸着載置する。
【０１００】
ウエハ用アダプター３７の第１サイズ用第１接触面３７ａの外周付近には、円形に吸着溝３７ｃが形成されている。
【０１０１】
ウエハ用アダプターの第２サイズ用第２接触面３７ｂには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで、多数の吸引孔３７ｄが形成されている。吸引溝３７ｃと吸引孔３７ｄは、互いに通じている。したがって、ウエハ８は、第４実施例のウエハ用アダプター３７を介して、略全面吸着で、周辺吸着タイプの吸着載置テーブルにより載置吸着される。
【０１０２】
つまり、吸着載置テーブル１１の吸着タイプとウエハ８が吸着されるタイプが、周辺吸着から全面吸着に変換される。
【０１０３】
なお、第４実施例においては、ウエハ用アダプターの第２接触面３７ｂにおける吸引孔３７ｄの存在範囲は、ウエハ用アダプターの第１接触面３７ａにおける吸着溝３７ｃの包囲範囲より小さい。しかしながら、ウエハ用アダプターの第２接触面３７ｂにおける吸引孔３７ｄの存在範囲は、ウエハ用アダプターの第１接触面３７ａにおける吸着溝３７ｃの包囲範囲より大きくしてもよいし、等しくしてもよい。
【０１０４】
［第５実施例］
次に、図１３と図１４を参照して、第５実施例を説明する。
【０１０５】
ウエハ用アダプター４７は、第１サイズ用吸着載置テーブル１１に取り付く第１接触面４７ａと、第１サイズより小さい第２サイズ用の第２接触面４７ｂを有する。第１サイズ用第１接触面４７ａは、周辺吸着タイプである。第２サイズ用第２接触面４７ｂは、周辺吸着タイプである。
【０１０６】
図１３は、ウエハ用アダプターの使用様態を示す図である。図１４は、ウエハ用アダプターの縦断面図である。
【０１０７】
第１サイズ用吸着載置テーブル１１のテーブル面１１ｂには、テーブル面外周付近に吸着溝１１ｃが形成されている。つまり、第１サイズ用吸着載置テーブル１１は、周辺吸着タイプの吸引チャック面を有している。吸着溝１１ｃは、配管系（図示せず）を介して吸引装置（図示せず）に接続されている。したがって、吸着載置テーブル１１は、ウエハ１８とウエハ用アダプター４７をテーブル面１１ｂに吸着する。
【０１０８】
ウエハ用アダプター４７は、第１サイズ用第１接触面４７ａと、第２サイズ用第２接触面４７ｂと、保持部材３２を備えている。第１接触面４７ａは、第１サイズ用吸着載置テーブル１１と接触する。第２接触面４７ｂは、第２サイズのウエハ１８と接触する。第２接触面の外側には、複数の保持部材３２が取り付けられている。複数の保持部材３２は、第２サイズのウエハ１８の外周側面と接触し、ウエハ１８を保持する。
【０１０９】
第２サイズは、第１サイズより小さい。つまり、ウエハ用アダプター４７を介することにより、第１サイズより小さい、第２サイズのウエハ１８を第１サイズ用吸着載置テーブル１に吸着載置する。
【０１１０】
ウエハ用アダプター４７の第１サイズ用第１接触面４７ａの外周付近には、円形に吸着溝４７ｃが形成されている。
【０１１１】
ウエハ用アダプターの第２サイズ用第２接触面４７ｂの外周付近には、円形に吸着溝４７ｄが形成されている。吸引溝４７ｃと吸引溝４７ｄは、互いに通じている。したがって、ウエハ１８は、ウエハ用アダプター４７を介して、周辺吸着で、周辺吸着タイプの吸着載置テーブルにより載置吸着される。
【０１１２】
つまり、吸着載置テーブル１１の吸着タイプとウエハ１８が吸着されるタイプは、周辺吸着のまま変換されない。
【０１１３】
なお、第５実施例においては、ウエハ用アダプターの第２接触面４７ｂにおける吸着溝４７ｄの包囲範囲は、ウエハ用アダプターの第１接触面４７ａにおける吸着溝４７ｃの包囲範囲より小さい。しかしながら、ウエハ用アダプターの第２接触面４７ｂにおける吸着溝４７ｄの包囲範囲は、ウエハ用アダプターの第１接触面４７ａにおける吸着溝４７ｃの包囲範囲より大きくしてもよいし、等しくしてもよい。
【０１１４】
［第６実施例］
次に、図１５と図１６を参照して第６実施例を説明する。
【０１１５】
ウエハ用アダプター５７は、第１サイズ用吸着載置テーブル１に取り付く第１接触面５７ａと、第１サイズより小さい第２サイズ用の第２接触面５７ｂを有する。第１サイズ用第１接触面５７ａは、全面吸着タイプである。第２サイズ用第２接触面５７ｂは、全面吸着タイプである。
【０１１６】
図１５は、ウエハ用アダプターの使用様態を示す図である。図１６は、ウエハ用アダプターの縦断面図である。
【０１１７】
第１サイズ用吸着載置テーブル１のテーブル面１ｂには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで、多数の吸引孔１ｃが形成されている。つまり、第１サイズ用吸着載置テーブル１は、全面吸着タイプの吸引チャック面を有している。吸引孔１ｃは、配管系（図示せず）を介して吸引装置（図示せず）に接続されている。したがって、吸着載置テーブル１は、ウエハ１８とウエハ用アダプター５７をテーブル面１ｂに吸着する。
【０１１８】
ウエハ用アダプター５７は、第１サイズ用第１接触面５７ａと、第２サイズ用第２接触面５７ｂと、保持部材３２を備えている。第１接触面５７ａは、第１サイズ用吸着載置テーブル１と接触する。第２接触面５７ｂは、第２サイズのウエハ１８と接触する。第２接触面の外側には、複数の保持部材３２が取り付けられている。複数の保持部材３２は、第２サイズのウエハ１８の外周側面と接触し、ウエハ１８を保持する。
【０１１９】
第２サイズは、第１サイズより小さい。つまり、第６実施例のウエハ用アダプター５７を介することにより、第１サイズより小さい、第２サイズのウエハ１８を第１サイズ用吸着載置テーブル１に吸着載置する。
【０１２０】
ウエハ用アダプター５７の第１サイズ用第１接触面５７ａには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで、多数の吸引孔５７ｃが形成されている。
【０１２１】
ウエハ用アダプターの第２サイズ用第２接触面５７ｂには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで、多数の吸引孔５７ｄが形成されている。吸引孔５７ｃと吸引孔５７ｄは、互いに通じている。したがって、ウエハ１８は、第６実施例のウエハ用アダプター５７を介して、略全面吸着で、全面吸着タイプの吸着載置テーブルにより載置吸着される。
【０１２２】
つまり、吸着載置テーブル１の吸着タイプとウエハ１８が吸着されるタイプは、全面吸着のまま変換されない。
【０１２３】
なお、第６実施例においては、ウエハ用アダプターの第２接触面５７ｂにおける吸引孔５７ｄの存在範囲は、ウエハ用アダプターの第１接触面５７ａにおける吸引孔５７ｃの存在範囲と等しい大きさである。しかしながら、ウエハ用アダプター５７の第２接触面５７ｂにおける吸引孔５７ｄの存在範囲は、ウエハ用アダプターの第１接触面５７ａにおける吸引孔５７の存在範囲より大きくしてもよいし、小さくしてもよい。
【０１２４】
［第７実施例］
次に、図１７と図１８を参照して第７実施例を説明する。
【０１２５】
ウエハ用アダプター６７は、第１サイズ用吸着載置テーブル１１に取り付く第１接触面６７ａと、第１サイズより大きい第２サイズ用の第２接触面６７ｂを有する。第１サイズ用第１接触面６７ａは、周辺吸着タイプである。第２サイズ用第２接触面６７ｂは、周辺吸着タイプである。
【０１２６】
図１７は、ウエハ用アダプターの使用様態を示す図である。図１８は、ウエハ用アダプターの縦断面図である。
【０１２７】
第１サイズ用吸着載置テーブル１１のテーブル面１１ｂには、テーブル面外周付近に吸着溝１１ｃが形成されている。つまり、第１サイズ用吸着載置テーブル１は、周辺吸着タイプの吸引チャック面を有している。吸着溝１１ｃは、配管系（図示せず）を介して吸引装置（図示せず）に接続されている。したがって、吸着載置テーブル１１は、ウエハ８とウエハ用アダプター６７をテーブル面１１ｂに吸着する。
【０１２８】
ウエハ用アダプター６７は、第１サイズ用第１接触面６７ａと、第２サイズ用第２接触面６７ｂと、保持部材３２を備えている。第１接触面６７ａは、第１サイズ用吸着載置テーブル１１と接触する。第２接触面６７ｂは、第２サイズのウエハ８と接触する。第２接触面の外側には、複数の保持部材３２が取り付けられている。複数の保持部材３２は、第２サイズのウエハ８の外周側面と接触し、ウエハ８を保持する。
【０１２９】
第２サイズは、第１サイズより大きい。つまり、ウエハ用アダプター６７を介することにより、第１サイズより大きい、第２サイズのウエハ８を第１サイズ用吸着載置テーブル１１に吸着載置する。
【０１３０】
ウエハ用アダプター６７の第１サイズ用第１接触面６７ａの外周付近には、円形に吸着溝６７ｃが形成されている。
【０１３１】
ウエハ用アダプターの第２サイズ用第２接触面６７ｂの外周付近には、円形に吸着溝６７ｄが形成されている。
【０１３２】
吸着溝６７ｃと吸着溝６７ｄは、互いに通じている。
【０１３３】
したがって、ウエハ８は、第７実施例のウエハ用アダプター６７を介して、周辺吸着で、周辺吸着タイプの吸着載置テーブルにより載置吸着される。
【０１３４】
つまり、吸着載置テーブル１１の吸着タイプとウエハ８が吸着されるタイプは、周辺吸着のまま変換されない。
【０１３５】
なお、第７実施例においては、ウエハ用アダプターの第２接触面６７ｂにおける吸着溝６７ｄの包囲範囲は、ウエハ用アダプターの第１接触面６７ａにおける吸着溝６７ｃの包囲範囲より大きい。しかしながら、ウエハ用アダプターの第２接触面６７ｂにおける吸着溝６７ｄの包囲範囲は、ウエハ用アダプターの第１接触面６７ａにおける吸着溝６７ｃの包囲の存在範囲より小さくしてもよいし、等しくしてもよい。
【０１３６】
［第８実施例］
次に、図１９と図２０を参照して、第８実施例を説明する。
【０１３７】
ウエハ用アダプター７７は、第１サイズ用吸着載置テーブル１に取り付く第１接触面７７ａと、第１サイズより小さい第２サイズ用の第２接触面７７ｂを有する。第１サイズ用第１接触面７７ａは、周辺吸着タイプである。第２サイズ用第２接触面７７ｂは、全面吸着タイプである。
【０１３８】
図１９は、ウエハ用アダプターの使用様態を示す図である。図２０は、ウエハ用アダプターの縦断面図である。
【０１３９】
第１サイズ用吸着載置テーブル１１のテーブル面１１ｂには、テーブル面外周付近に吸着溝１１ｃが形成されている。つまり、第１サイズ用吸着載置テーブル１１は、周辺吸着タイプの吸引チャックを有している。吸着溝１１ｃは、配管系（図示せず）を介して吸引装置（図示せず）に接続されている。したがって、吸着載置テーブル１１は、ウエハ１８とウエハ用アダプター７７をテーブル面１１ｂに吸着する。
【０１４０】
ウエハ用アダプター７７は、第１サイズ用第１接触面７７ａと、第２サイズ用第２接触面７７ｂと、保持部材３２を備えている。第１接触面７７ａは、第１サイズ用吸着載置テーブル１１と接触する。第２接触面７７ｂは、第２サイズのウエハ１８と接触する。第２接触面の外側には、複数の保持部材３２が取り付けられている。複数の保持部材３２は、第２サイズのウエハ１８の外周側面と接触し、ウエハ１８を保持する。
【０１４１】
第２サイズは、第１サイズより小さい。つまり、第８実施例のウエハ用アダプター７７を介することにより、第１サイズより小さい、第２サイズのウエハ１８を第１サイズ用吸着載置テーブル１１に吸着載置する。
【０１４２】
ウエハ用アダプター７７の第１サイズ用第１接触面７７ａの外周付近には、円形に吸着溝７７ｃが形成されている。
【０１４３】
ウエハ用アダプターの第２サイズ用第２接触面７７ｂには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで吸引孔７７ｄが形成されている。吸着溝７７ｃと吸引孔７７ｄは、互いに通じている。
【０１４４】
したがって、ウエハ１８は、第８実施例のウエハ用アダプター７７を介して、略全面吸着で、周辺吸着タイプの吸着載置テーブルにより載置吸着される。
【０１４５】
つまり、第８実施例においては、吸着載置テーブル１１の吸着タイプとウエハ１８が吸着されるタイプは、周辺吸着から全面吸着に変換される。
【０１４６】
なお、ウエハ用アダプターの第２接触面７７ｂにおける吸引孔７７ｄの存在範囲は、ウエハ用アダプターの第１接触面７７ａにおける吸着溝７７ｃの包囲範囲より小さい。しかしながら、ウエハ用アダプターの第２接触面７７ｂにおける吸引孔７７ｄの存在範囲は、ウエハ用アダプターの第１接触面７７ａにおける吸着溝７７ｃの包囲範囲より大きくしてもよいし、等しくしてもよい。
【０１４７】
［第９実施例］
図２１〜２５を参照して、第９実施例（本発明のテーブル用アダプターを用いた実施例）を説明する。
【０１４８】
吸着載置テーブル用アダプター１０７は、吸着載置テーブル１１に取り付けて、ウエハのみが交換されるタイプである。第１サイズ用第１接触面１０７ａは、周辺吸着タイプである。第２サイズ用第２接触面１０７ｂは、全面吸着タイプである。
【０１４９】
ウエハ用アダプター８７は、第１サイズ用吸着載置テーブル１１に着脱自在に載置する第１接触面８７ａと、第１サイズより大きい第２サイズ用の第２接触面８７ｂを有する。
【０１５０】
まず、図２１を参照して装置の概略を説明する。
【０１５１】
図２１（ａ）は、第９実施例を示す異物検査装置の概念図である。図２１（ｂ）は、図２１（ａ）に示す異物検査測定装置の測定部を示す概略説明図である。
【０１５２】
異物検査装置は、吸着載置テーブル１１と、搬送装置２と、検査光学系３（たとえばオートフォーカス機構を含む検査光学系）を備えている。
【０１５３】
搬送装置２は、カセット４と、ロボット５と、アライメント皿６を備えている。カセット４は、ウエハ用アダプター８７に保持されたウエハ８をカセット４の内部に収納するものである。
【０１５４】
アライメント皿６は、異物検査装置のフレーム（図示せず）に固定されている。アライメント皿６は、一部に半円形状に段差が形成された２つの部材６Ａ、６Ｂを組み合せたものであり、一定の隙間９を空けて構成されている。
【０１５５】
ロボット５は、その一部が示してあるように、アーム部１０と吸着部１２を備えている。吸着部１２は公知の吸着機構を採用できる。アーム部１０を曲げ又は延ばすことによって、吸着部１２を前後方向に移動させる。アーム部１０をＺ方向に移動させることによって、吸着部１２をＺ方向に移動させる。Ａ点を中心としてＳ方向にアーム部１０を回転させることにより、吸着部１２をＳ方向に旋回させる。吸着部１２は、ウエハ用アダプター８７を吸着して保持する。そして、ロボット５は、吸着部１２でウエハ用アダプター７を吸着して保持し、ウエハ８を保持したウエハ用アダプター８７をアライメント皿６に載置する。ロボット５がウエハ用アダプター８７をアライメント皿６に載置する際には、吸着部１２は、アライメント皿６の上方から、上述のアライメント皿６に形成された隙間９を通ってアライメント皿６の下方に移動する。
【０１５６】
吸着載置テーブル１１は、ネジ棒１３を利用した駆動機構によってＸ方向に移動可能にする。吸着載置テーブル１１が移動するとき、吸着載置テーブル１１の細長部１１ａ（図２４）が上述のアライメント皿６に形成された隙間９を通る。そして、吸着載置テーブル１１は、アライメント皿６から測定部３へ移動する。これとは逆の方向に、吸着載置テーブル１１の細長部１１ａが上述のアライメント皿６に形成された隙間９を通って、吸着載置テーブル１１が、測定部３からアライメント皿６へ移動することもできる。
【０１５７】
吸着載置テーブル１１のテーブル面１１ｂ（図２４）には、テーブルアダプター１０７が取付部材４０（図２４）によって取り付けられている。
【０１５８】
吸着載置テーブル１１は、テーブル面１１ｂ（つまり吸引チャック面）でテーブルアダプター１０７を介してウエハアダプタ８７を吸着する。吸着載置テーブル１１は、テーブル面１１ｂ（つまり吸引チャック面）でテーブルアダプター１０７を介してウエハ８を吸着することもできる。吸着載置テーブル１１のテーブル面１１ｂは回転し、テーブルアダプター１０７を回転させる。
【０１５９】
測定部３の検査光学系は、図２１（ｂ）に示すように、発光系（照射光学系）１４と受光系（受光光学系）１５とを備えている。受光系１５は、図２２に示すように散乱光受光系１６と、鏡面反射受光系１９を備えている。発光系１４は光源（図示せず）を有し、光源からレーザービームをウエハ８の表面に照射し、ウエハ８表面の異常によって生じる散乱反射光を受光系１５によって受光する。
【０１６０】
図２２に示すように、受光系１５の受光信号を電気信号として取り出して制御演算部２５に送り、そこで所定のデータ処理を行い、ウエハ表面の傷、ゴミ、汚れ等の有無とその欠陥位置を検出する。
【０１６１】
測定部３は、従来の検査装置の測定部と同様に構成できる。測定部３は、前述の検査光学系の外にオートフォーカス機構つまり自動合焦系２０（図２２）を備えている。
【０１６２】
図２２は、図２１の異物検査装置の概略を示すブロック図である。
【０１６３】
図２２に示すように、異物検査装置は、高さ検出部４３と位置調整部４４を備えている。位置調整部４４は、テーブルＸ方向移動部２２と、テーブルＺ方向移動部２３と、テーブル回転部２４を備えている。高さ検出部４３は、所定レベルからのウエハ８の高さを測定する。その高さ検出部からの出力に基づき、位置調整部４４は、発光系１４からの光束がウエハ８上で所定の条件で照射するように、発光系１４とウエハ８との位置関係を調整する。
【０１６４】
制御演算部２５は、ロボットアーム駆動部２６を制御して、ロボットアーム１０（図２１）を旋回させる。制御演算部２５は、ロボットアーム駆動部２６を制御して、ロボットアーム１０を上下方向と前後方向に移動させる。
【０１６５】
制御演算部２５は、テーブルＸ方向移動部２２と、テーブルＺ方向移動部２３と、テーブル回転部２４を制御する。制御演算部２５は、吸着載置テーブル１１（図２１）をＸ方向とＺ方向に移動させ、テーブル１１を回転させる。制御演算部２５でテーブルＺ方向移動部２３を制御することにより、測定部３（図２１）における焦点合わせをすることができる。制御演算部２５でテーブルＺ方向移動部２３を制御することにより、ウエハ用アダプター８７（図２１）をテーブルアダプター１０７を介して吸着載置テーブル１１に載置することができる。
【０１６６】
制御演算部２５は、自動合焦系（オートフォーカス機構）２０と、発光系１４と、散乱光受光系１６と、鏡面反射受光系１９と、駆動部２９を制御する。
【０１６７】
制御演算部２５は、検査結果を必要に応じて表示器３０で表示させる。表示器３０は、異物の位置や数、散乱光レベル等を表示する。
【０１６８】
図２３は、図１の異物検査装置による検査の概略フローチャートを示す図である。
【０１６９】
検査が開始されると、ステップＳ１において、被検査物８（図２１）の種類を判別し、表面散乱の少ないもの（例えばベアウエハ、ＳｉＯ2 膜付きのウエハ）か、表面散乱の多いもの（例えば、金属膜付きのウエハ）かを判別する。
【０１７０】
被検査物８（図２１）が、表面散乱の少ない被検査物８（図２１）のときには、ステップＳ２に進み、感度を表面散乱の少ない被検査物に適した設定（第１条件）とし、ステップＳ３に進む。ステップＳ３で、走査が行われ、ステップＳ４に進む。
【０１７１】
ステップＳ４では、制御演算部２５が受光系１５からの受光信号を受け取り、信号処理を行う受光信号を選択し、ステップＳ５に進む。
【０１７２】
ステップＳ５では、制御演算部２５が、選択された受光信号に所定の信号処理を施し、検査対象（たとえば凸状の異物や、凹状の結晶欠陥等。ここでは、図示せず。）を抽出し、その開始座標、終了座標、ピーク座標などのデータを求め、ステップＳ６に進む。
【０１７３】
ステップＳ６では、抽出されたデータに基づき、検査対象（図示せず）の種類（たとえば凸状の異物や、凹状の結晶欠陥）を判別し、ステップＳ７に進む。
【０１７４】
ステップＳ７では、走査を終了するか否かが判断される。終了でなければ、ステップＳ４に戻り、処理が走査終了まで繰り返される。走査終了であれば、ステップＳ８に進む。
【０１７５】
ステップＳ８では、検査対象（図示せず）の検査データを記憶し、ステップＳ９に進む。
【０１７６】
ステップＳ９では、検査対象（図示せず）の検査データを所定の形式で表示器３０で表示し、ステップＳ１０に進む。
【０１７７】
ステップＳ１０では、測定終了かどうかが判断される。測定終了でなければ、ステップＳ１に戻り、新たな測定が行われる。そうでなければ、そのまま終了する。
【０１７８】
ステップＳ１において、被検査物が、表面散乱の多いもの（例えば、金属膜付きのウエハ）と判断されたときには、ステップＳ１１に進み、感度を表面散乱の多い被検査物に適した設定（第２条件）とする。この場合、ステップＳ３に進み、検査が、上述したものと同様に行われる。
【０１７９】
次に、図２４と図２５を参照して、異物検査装置におけるテーブルアダプターの使用様態を説明する。
【０１８０】
図２４は、テーブルアダプターの使用様態を示す縦断面図である。図２５は、ウエハ用アダプターの縦断面図である。
【０１８１】
第９実施例においては、第１サイズ用吸着載置テーブル１１のテーブル面１１ｂには、テーブル面外周付近に吸着溝１１ｃが形成されている。さらに、テーブル面１１ｂには、テーブルアダプター１０７が取り付けられている。テーブルアダプター１０７は、第１サイズ用第１接触面１０７ａと、第２サイズ用第２接触面１０７ｂを備えている。
【０１８２】
第１接触面１０７ａは、第１サイズ用吸着載置テーブル１１と接触する。
【０１８３】
第２接触面１０７ｂは、第２サイズ（ウエハ用アダプター８７における第１サイズ）のウエハ用アダプター８７と接触する。
【０１８４】
テーブルアダプター１０７の第１サイズ用第１接触面１０７ａの外周付近には、円形に吸着溝１０７ｃが形成されている。
【０１８５】
テーブルアダプター１０７の第２サイズ用第２接触面１０７ｂの中心付近には、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで、多数の吸引孔１０７ｄが形成されている。つまり、第１サイズ用吸着載置テーブル１１が有する周辺吸着タイプの吸引チャック面が、全面吸着タイプに変換される。
【０１８６】
吸引孔１０７ｄは、吸着溝１０７ｃと通じている。吸着溝１０７ｃは、吸着載置テーブルの吸着溝１１ｃと通じている。吸着溝１１ｃは、配管系４２を介して吸引装置（図示せず）に接続されている。したがって、吸着載置テーブル１１は、ウエハ８（図２１）とウエハ用アダプター８７を、テーブルアダプター１０７を介してテーブル面１１ｂに吸着する。
【０１８７】
また、テーブルアダプター１０７は、吸着載置テーブルを、第１サイズ用から、第２サイズ（ウエハ用アダプター８７における第１サイズ）用に変換している。テーブルアダプター１０７における第２サイズは、テーブルアダプターにおける第１サイズより小さい。
【０１８８】
ウエハ用アダプター８７は、第１サイズ（テーブルアダプター１０７における第２サイズ）用第１接触面８７ａと、第２サイズ用第２接触面８７ｂと、保持部材３２を備えている。
【０１８９】
ウエハ用アダプター８７の第１サイズ（テーブルアダプター１０７における第２サイズ）用第１接触面８７ａは、テーブルアダプターの第２接触面１０７ｂ（図２４）と接触する。なお、ウエハ用アダプター８７における第１サイズは、テーブルアダプター１０７における第２サイズに対応する。
【０１９０】
ウエハ用アダプター８７の第２接触面８７ｂは、第２サイズのウエハ８（図２１）と接触する。
【０１９１】
ウエハ用アダプター８７の第２接触面８７ｂの外側には、複数の保持部材３２が取り付けられている。複数の保持部材３２は、第２サイズのウエハ８の外周側面と接触し、ウエハ８を保持する。
【０１９２】
ウエハ用アダプターにおける第２サイズは、ウエハ用アダプターにおける第１サイズより大きい。つまり、ウエハ用アダプター８７を介することにより、第１サイズ（テーブルアダプター１０７における第２サイズ）より大きい、第２サイズのウエハ８を吸着載置テーブル１１に吸着載置する。
【０１９３】
ウエハ用アダプター８７の用第１接触面８７ａには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで、多数の吸引孔８７ｃが形成されている。
【０１９４】
ウエハ用アダプターの第２接触面８７ｂには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで、多数の吸引孔８７ｄが形成されている。吸引孔８７ｃと吸引孔８７ｄは、互いに通じている。したがって、ウエハ８は、第９実施例のウエハ用アダプター８７を介して、略全面吸着で、全面吸着タイプに変換された吸着載置テーブル１１により載置吸着される。
【０１９５】
以上のような構成の、ウエハ用アダプターを用いた異物検査装置の使用態様の概要は、図２１を参照して説明すると、次のとおりである。
【０１９６】
▲１▼ロボット５で、ウエハ用アダプター８７に保持されたウェーハ８をカセット４から取出し、アライメント皿６に受け渡す。
【０１９７】
▲２▼アライメント皿６の下部に、テーブルアダプター１０７が取り付けられた吸着載置テーブル１１が移動してくる。
【０１９８】
▲３▼テーブルアダプター１０７が取り付けられた吸着載置テーブル１１が吸着しながら上昇してきて、ウエハ用アダプター８７とウェーハ８を吸着する。
【０１９９】
▲４▼テーブルアダプター１０７が取り付けられた吸着載置テーブル１１が測定部３まで移動し、測定を開始する。
【０２００】
本発明は、以上の実施例に限定されない。
【０２０１】
第９実施例においては、ウエハを保持したウエハ用アダプターが、テーブルアダプターを取り付けた吸着載置テーブルで吸着載置されている。しかしながら、ウエハ用アダプターを用いないで、テーブルアダプターを取り付けた吸着載置テーブルでウエハを吸着載置してもよい。
【０２０２】
また、テーブルアダプターの構成は、第９実施例で用いるテーブルアダプターの構成以外にも、例えば、第１〜８実施例のウエハ用アダプターと同様の構成にすることもできる。
【０２０３】
さらに、必要なら、本発明のアダプターの第２接触面を凹状に形成して、ウエハと、アダプターの第２接触面との接触面積を小さくすることもできる。
【０２０４】
【発明の効果】
本発明のアダプターを用いることにより、吸着載置テーブルで、吸着載置テーブルのテーブル面より大きいサイズのウエハを保持することができる。
【０２０５】
また、本発明のアダプターを用いることにより、吸着載置テーブルで、吸着載置テーブルのテーブル面より小さいサイズのウエハを保持することができる。
【０２０６】
さらに、本発明の異物検査装置によれば、異なるサイズのウエハを1つの異物 検査装置で検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、本発明の好ましい第１実施例の異物検査装置を示す概念図。（ｂ）は、図１（ａ）の異物検査装置の測定部の概略説明図。
【図２】（ａ）は、第１実施例の吸着載置テーブルにウエハとウエハ用アダプターが吸着される様子を示す図。（ｂ）は、図２（ａ）の異物検査測定装置の測定部の概略説明図。（ｃ）は、異なる種類のウエハ用アダプターと異なるサイズのウエハを示す図。
【図３】図１の異物検査装置の概略を示すブロック図。
【図４】図１の異物検査装置による検査の概略フローチャートを示す図。
【図５】第１実施例に用いられるウエハ用アダプターの使用様態を示す図。
【図６】第１実施例のウエハ用アダプターの縦断面図。
【図７】第２実施例に用いられるウエハ用アダプターの使用様態を示す図。
【図８】第２実施例のウエハ用アダプターの縦断面図。
【図９】第３実施例に用いられるウエハ用アダプターの使用様態を示す図。
【図１０】第３実施例のウエハ用アダプターの縦断面図。
【図１１】第４実施例に用いられるウエハ用アダプターの使用様態を示す図。
【図１２】第４実施例のウエハ用アダプターの縦断面図。
【図１３】第５実施例に用いられるウエハ用アダプターの使用様態を示す図。
【図１４】第５実施例のウエハ用アダプターの縦断面図。
【図１５】第６実施例に用いられるウエハ用アダプターの使用様態を示す図。
【図１６】第６実施例のウエハ用アダプターの縦断面図。
【図１７】第７実施例に用いられるウエハ用アダプターの使用様態を示す図。
【図１８】第７実施例のウエハ用アダプターの縦断面図。
【図１９】第８実施例に用いられるウエハ用アダプターの使用様態を示す図。
【図２０】第８実施例のウエハ用アダプターの縦断面図。
【図２１】（ａ）は、本発明の好ましい第９実施例を示す異物検査装置の概念図。（ｂ）は、図２１（ａ）の異物検査測定装置の測定部の概略説明図。
【図２２】図２１の異物検査装置の概略を示すブロック図。
【図２３】図１の異物検査装置による検査の概略フローチャートを示す図。
【図２４】第９実施例に用いられるテーブルアダプターの使用様態を示す縦断面図。
【図２５】第９実施例で用いるウエハ用アダプターの縦断面図。
【符号の説明】
１、１１  テーブル
１ａ、１１ａ  細長部
１ｂ、１１ｂ  テーブル面
１ｃ  吸引孔
１１ｃ  吸引溝
２  搬送装置
３  測定部
４  カセット
５  ロボット
６  アライメント皿
７、１７、２７、３７、４７、５７、６７、７７、８７  ウエハ用アダプター
７ａ、１７ａ、２７ａ、３７ａ、４７ａ、５７ａ、６７ａ、７７ａ、８７ａ  ウエハ用アダプターの第１接触面
７ｂ、１７ｂ、２７ｂ、３７ｂ、４７ｂ、５７ｂ、６７ｂ、７７ｂ、８７ｂ  ウエハ用アダプターの第２接触面
７ｃ、７ｄ、１７ｃ、２７ｃ、３７ｄ、５７ｃ、５７ｄ、７７ｄ  吸引孔
１７ｄ、２７ｄ、３７ｃ、４７ｃ、４７ｄ、６７ｃ、６７ｄ、７７ｃ  吸着溝
８、１８  ウエハ
９  すき間
１０  アーム
１２  吸着部
１３  ネジ棒
１４  発光系
１５  受光系
１６  散乱光受光系
１９  鏡面反射受光系
２０  自動合焦系
２２  テーブルＸ方向移動部
２３  テーブルＹ方向移動部
２４  テーブル回転部
２５  制御演算部
２６  ロボットアーム駆動部
２９  駆動部
３０  表示器
３２  保持部材
４０  取付部材
４２  配管系
１０７  テーブルアダプター
１０７ａ  テーブルアダプターの第１接触面
１０７ｂ  テーブルアダプターの第２接触面
１０７ｃ  吸着溝
１０７ｄ  吸着孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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