(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の凸型電極部を備える第１の電極膜と、
前記第１の電極膜の第１の方向における両端部に沿って配置され、前記第１の電極膜と電気的に接続される１組の端部電極と、
前記第１の電極膜に重ねて配置され、前記第１の方向及び前記第１の方向とは交差する第２の方向に沿って配列された複数の開口から前記第１の電極膜の凸型電極部の各々を露出する第２の電極膜と、
前記第２の電極膜の前記第２の方向における両端部に沿って配置され、前記第２の電極膜と電気的に接続される１組の端部電極と、
前記第１の電極膜と前記第２の電極膜との間に配置され、前記第１の電極膜と前記第２の電極膜とを絶縁するとともに、前記第２の電極膜の開口において前記第１の電極膜の凸型電極部の各々を露出する開口を有する絶縁膜と、
前記第１の電極膜と前記第２の電極膜とに重なる領域に対向配置された導電膜と、を備え、
前記第１の電極膜の複数の凸型電極部の各々が、前記第２の電極膜の上面の対応する前記複数の開口から露出していることを特徴とする入力装置。
【請求項２】
前記導電膜は、上方から押圧されたときに下方へ撓んで前記第１の電極膜の上面と前記第２の電極膜の上面とを導通させることを特徴とする請求項１に記載の入力装置。
【請求項３】
前記２組の端部電極のうちのいずれか一方の組の端部電極間に所定電圧を印加する電圧印加手段と、
前記電圧印加手段が電圧を印加したときに、前記２組の端部電極のうち他方の組の端部電極に現れる電位を測定する電位測定手段と、をさらに備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の入力装置。
【請求項４】
前記電圧印加手段が電圧を印加する１組の端部電極と、前記電位測定手段が電位を測定する１組の端部電圧を交互に切り換える切り換え手段をさらに備えることを特徴とする請求項３に記載の入力装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の入力装置と、
前記入力装置の下方に配置された表示部と、を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項６】
前記表示部は液晶表示装置であることを特徴とする請求項５に記載の電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電極膜としてＩＴＯ（Indium-Tin Oxide）を使用したタッチパネル型入力装置に関する。
【０００２】
【背景技術】
コンピュータの手書き入力装置として使用されるタブレット装置や、携帯型情報端末（ＰＤＡ）などに使用されるタッチパネル型入力装置は、抵抗膜方式、電磁誘導方式、静電容量方式などが知られており、その中でも抵抗膜方式は構造が簡単でコストも低い方式である。抵抗膜を使用したそのような入力装置としては、例えば特開昭５６−４８８５号、特開昭５９−８５５８４号、特開平６−６７７８８号公報などに記載されているものがある。
【０００３】
上記のような抵抗膜式のタッチパネル型入力装置では、２枚の矩形の抵抗膜（電極膜）がわずかな隙間をあけて重ね合わされて構成される。具体的には、抵抗膜を絶縁基板（ガラス板、樹脂シートなど）上に印刷、塗布、蒸着などにより形成し、抵抗膜同士が対向するように絶縁スペーサを介して重ね合わせることにより、パネルが構成される。一方の抵抗膜は一軸方向（例えばＸ軸方向）の検出に用いられ、他方の抵抗膜はそれと直角な方向（例えばＹ軸方向）の検出に用いられる。一方の抵抗膜上には、対向する２組の辺のうちの１組の辺に沿って両端に電極を設け、他方の抵抗膜上には対向する２組の辺のうち残りの１組の辺に沿って両端に電極を設ける。これにより、矩形の４辺に沿った方向にそれぞれ電極が設けられる。
【０００４】
一方の抵抗膜上の電極間に所定の電圧を印加して抵抗膜に電位勾配を形成させた状態で、ペン又は指などで入力装置の入力面（パネル）を押すと、対向する２枚の抵抗膜が相互に接触し、導通する。このとき、抵抗膜上の接触部位の電位が、電圧を印加していない方の抵抗膜に形成された電極から検出され、検出された電位に基づいて計算により、例えばＸ軸方向における接触部位の座標が得られる。
【０００５】
次に、電圧を印加する抵抗膜を他方の抵抗膜に切り換えることにより、同様にＹ軸方向における接触部位の座標が得られる。この２つの直交する軸方向における接触部位の検出を交互に時分割で行うことにより、ペン又は指などでパネルに接触した位置座標を検出することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のような構成によれば、対向する２枚の抵抗膜を上下方向に導通させて電位を検出するので、検出精度が抵抗膜の特性に大きく依存する。即ち、抵抗膜の膜厚が不均一になると抵抗値の分布が不均一となるので、精度良く接触位置を検出することができないという問題がある。
【０００７】
本発明は、以上の点に鑑みてなされたものであり、電極膜の均一性により影響を受けることなく、精度良く接触位置を検出することが可能なタッチパネル型の入力装置及びその製造方法、ならびにそれを用いた電子機器を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の入力装置は、複数の凸型電極部を備える第１の電極膜と、前記第１の電極膜の第１の方向における両端部に沿って配置され、前記第１の電極膜と電気的に接続される１組の端部電極と、前記第１の電極膜に重ねて配置され、前記第１の方向及び前記第１の方向とは交差する第２の方向に沿って配列された複数の開口から前記第１の電極膜の凸型電極部の各々を露出する第２の電極膜と、前記第２の電極膜の前記第２の方向における両端部に沿って配置され、前記第２の電極膜と電気的に接続される１組の端部電極と、前記第１の電極膜と前記第２の電極膜との間に配置され、前記第１の電極膜と前記第２の電極膜とを絶縁するとともに、前記第２の電極膜の開口において前記第１の電極膜の凸型電極部の各々を露出する開口を有する絶縁膜と、前記第１の電極膜と前記第２の電極膜とに重なる領域に対向配置された導電膜と、を備え、前記第１の電極膜の複数の凸型電極部の各々が、前記第２の電極膜の上面の対応する前記複数の開口から露出している。
【０００９】
上記の入力装置によれば、第１の電極膜上には第１の軸方向（例えばＸ軸方向）に沿って両端部に１組の端部電極が配置され、さらに複数の凸型電極部が配置される。また、その第１の電極膜上には、それと絶縁状態で第２の電極膜が配置される。第２の電極膜は、第１の軸方向と直交する第２の軸方向（例えばＹ軸方向）の端部に１組の端部電極が配置されている。また、第２の電極膜は、第１の電極膜上に配置された複数の凸型電極部の各々を収容するように複数の開口部を有する。これにより、第２の電極膜の上面では、複数の開口部以外の領域は第２の電極膜により構成され、複数の開口部内の領域は第１の電極膜の凸型電極部により構成され、両者が絶縁状態で位置することになる。
【００１１】
この態様によれば、第１の電極膜は基板上に配置され、第１の電極膜と第２の電極膜を絶縁膜により絶縁する。
【００１３】
この態様によれば、第２の電極膜の上面の一平面において第１の電極膜と第２の電極膜を配置することができる。
【００１５】
この態様によれば、導電体を第２の電極膜の上面に配置することにより、第１と第２の電極膜を導通させることができる。
【００１７】
この態様によれば、導電膜により第２の電極膜の上面を保護するとともに、導電膜により第１の電極膜と第２の電極膜とを導通させることができる。
【００１８】
上記の入力装置のさらに他の一態様は、前記導電膜は、上方から押圧されたときに下方へ撓んで前記凸型電極部の上面と前記第２の電極膜の上面とを導通させる。
【００１９】
この態様によれば、導電膜を上方から押圧することにより、導電膜が撓んで第２の電極膜の上面と接触し、第１の導電膜と第２の導電膜とを導通させることができる。よって、導電体を使用しなくても、第１の電極膜と第２の電極膜とを導通させることができる。
【００２０】
上記の入力装置のさらに他の一態様は、前記２組の端部電極のうちのいずれか一方の組の端部電極間に所定電圧を印加する電圧印加手段と、前記電圧印加手段が電圧を印加したときに、前記２組の端部電極のうち他方の組の端部電極に現れる電位を測定する電位測定手段と、をさらに備える。
【００２１】
この態様によれば、第１及び第２の電極膜の一方に電圧を印加して電位勾配を形成した状態で、他方の電極膜の端部電極の電位が検出される。ペンなど利用した押圧などにより第１と第２の電極膜が導通すると、その接触点の位置に対応する電位が測定される。よって、測定された電位に基づいてその接触点の位置座標を得ることができる。
【００２２】
上記の入力装置のさらに他の一態様は、前記電圧印加手段が電圧を印加する１組の端部電極と、前記電位測定手段が電位を測定する１組の端部電圧を交互に切り換える切り換え手段をさらに備える。
【００２３】
この態様によれば、電圧を印加する電極膜と、電位を検出する電極膜とを交互に切り換えることにより、２つの軸方向における接触点の座標を取得し続けることができる。
【００２４】
本発明の電子機器は、上記の入力装置と、前記入力装置の下方に配置された表示部と、を備える。
【００２５】
この電子機器によれば、表示部上に表示された表示内容に応じて、ペンなどで対応する位置を押圧することにより、表示内容に対して情報を入力することができる。
【００２６】
上記の電子機器において、前記表示部は液晶表示装置とすることができる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施の形態について説明する。
【００３３】
［入力装置］
図１〜３に、本発明の実施形態にかかるタッチパネル型の入力装置の構成を概略的に示す。図１はタッチパネル型入力装置（以下、「入力装置」と呼ぶ。）１００の使用時における斜視図であり、図２は入力装置１００の積層構造を示す分解斜視図であり、図３は図１のＡ−Ａ’線における入力装置１００の断面図である。なお、各図においては説明の便宜上、各構成要素の大きさ、スケールなどは現実の入力装置とは異なっている。
【００３４】
入力装置１００は、後述するように、例えばＰＤＡなどにおいて液晶表示装置の表示部上に配置して使用することができ、下方に配置される液晶表示装置の表示画像が上方向から見えるように透明に構成される。
【００３５】
図２に示すように、入力装置１００は大別して、基板１、Ｘ電極膜２、絶縁膜３、Ｙ電極膜４及び透明導電膜５が図中の下側から順に積層された構造を有する。基板１は、例えばガラスやプラスチックなどの絶縁性の樹脂から構成することができる透明基板である。
【００３６】
基板１上には、例えばＩＴＯなどの透明導電性材料によりＸ電極膜２が形成されている。Ｘ電極２は複数の凸型電極部２０を備えている。凸型電極部２０は、図２のＸ軸及びＹ軸方向に多数形成されており、１つの凸型電極部２０のＸ軸方向及びＹ軸方向における幅（即ち、上面の１辺の長さ）は１ｍｍを超えないオーダーである。凸型電極部２０の大きさを小さくすれば位置検出の精度は上がることになるが、その分微細な膜形成が必要となるために製造コストが上昇するので、現実には要求される検出精度と製造コストとを考慮して好適な大きさが決定されることになる。
【００３７】
さらに、Ｘ電極膜２上には、対向する２組の辺のうちの１組の辺に沿って（図２の例ではＸ軸方向に沿って）、一組の端部電極２１Ｕ及び２１Ｂが形成されている。端部電極２１Ｕ及び２１Ｂは、使用者がペンなどで接触した位置を検出する際に所定の電圧を印加し、または、接触位置の電位を検出するために使用される。端部電極２１Ｕ及び２１Ｂは、電極上のどの位置においても同一の電位が得られるように、抵抗の小さい金属により経営され、例えば銀などが好適に使用される。
【００３８】
Ｘ電極膜２上には、透明な絶縁膜３が形成される。絶縁膜３は、その上に配置されるＹ電極膜４とＸ電極膜２とを電気的に絶縁する役割を有する。また、絶縁膜３は、銀などにより形成される端部電極２１Ｕ及び２１Ｂを覆って酸化などを防止する保護膜としての役割も有する。絶縁膜３は、Ｘ電極膜２上の複数の凸型電極部２０を収容する開口部３１を有し、絶縁膜３の形成後には開口部３１内部においてのみＸ電極膜２の凸型電極部が露出する。なお、絶縁膜３は、図３に示すように、Ｘ電極膜２とＹ電極膜４とを、上下方向のみならず、凸型電極部２０の側面においても絶縁するように形成される。
【００３９】
絶縁膜３上にはＹ電極膜４が形成されている。Ｙ電極膜４は、Ｘ電極膜２と同様に例えばＩＴＯの膜として構成することができ、Ｘ電極膜２の複数の凸型電極部２０に対応する位置に開口部４１を備える。その結果、図３の断面図からわかるように、Ｘ電極膜２の凸型電極部２０以外の領域において、Ｘ電極膜２上に絶縁膜３を挟んでＹ電極膜４が形成される。また、Ｘ電極膜２の各凸型電極部２０は絶縁膜３を介してＹ電極膜４の各開口部４１内に収容される。
【００４０】
さらに、Ｙ電極膜４上には、対向する２組の辺のうち、Ｘ電極膜２上の端部電極２１Ｕ及び２１Ｂと直交する方向の１組の辺に沿って端部電極４２Ｌ及び４２Ｒが形成される。端部電極４２Ｌ及び４２Ｒは、Ｘ電極膜２上の端部電極２１Ｕ及び２１Ｂと同様に、抵抗の小さい銀などの金属により形成される。端部電極４２Ｌ及び４２Ｒも、使用者がペンなどで接触した位置を検出する際に所定の電圧を印加し、または接触位置の電位を検出するために使用される。
【００４１】
Ｙ電極４上には、透明導電膜５がＹ電極膜４とわずかな隙間をあけて対向配置される。透明導電膜５は、図３に示すように、絶縁支持体５１により支持されて、Ｙ電極膜４との隙間を維持している。透明導電膜５は、入力装置１００の入力面を構成し、使用者がペンなどで入力面に接触した位置において、Ｘ電極膜２とＹ電極膜４とを図中の横方向に導通させる役割を有する。また、透明導電膜５はＹ電極４の表面を保護するとともに、銀により構成される端部電極４２の酸化などを防止するための保護膜としての役割も有する。
【００４２】
以上のように、本発明の入力装置１００は、Ｘ電極膜２とＹ電極膜４とを横方向に導通させるように構成されている。通常の状態では、図３からわかるように、Ｘ電極膜２（特に凸型電極部２０）とＹ電極膜４とは、その間に形成された絶縁膜３により電気的に絶縁されている。しかし、使用者がペン先又は指などで図３の上方から透明導電膜５を押すと、その部分において透明導電膜５が下方に撓んでＸ電極膜２の凸型電極部２０とＹ電極膜４とを横方向に導通させる。
【００４３】
この様子を図４に示す。図４は、入力装置１００の一部の拡大断面図であり、ペン６０により透明導電膜５の一部を上方向から押した状態を示す。ペン６０の先端部が透明導電膜５を押すことにより、透明導電膜５が部分的に下方へ撓み、透明導電膜５が位置７１付近においてＹ電極膜４の上面に接触するとともに、位置７２付近でＸ電極膜２の凸型電極部２０の上面に接触している。よって、ペン６０により透明導電膜５を押圧すると、通常の状態では絶縁膜３により図中横方向に隔離されているＸ電極膜２とＹ電極膜４を、下方へ撓んだ透明導電膜５が橋渡しするようにして横方向に導通させる。
【００４４】
このように、本発明の入力装置１００では、透明導電膜５はその全体が従来技術における抵抗膜（電極膜）として使用されるのではなく、部分的にＸ電極膜２とＹ電極膜４とを導通させる導電体として使用される。即ち、透明導電膜５は、ペン６０により押圧された点（以下、「接触点」と呼ぶ。）のみにおいて導通部材として機能し、それ以外の点における抵抗値などはあまり問題とならない。よって、透明導電膜５は、従来技術において相互に対向配置された２枚の電極膜（抵抗膜）などと比較して、膜厚の不均一性などに対する許容度が大きく、製造コストを抑えることができる。
【００４５】
次に、入力装置１００による接触点の検出について図５を参照して説明する。図５は、入力装置１００の接触点検出を行う回路構成を示す。図示のように、Ｘ電極膜２の２つの端部電極２１Ｕ及び２１Ｂ、並びにＹ電極膜４の２つの端部電極４２Ｌ及び４２Ｒは、それぞれスイッチ群８０の複数のスイッチの入力端子に接続されている。スイッチ群８０は、各々が出力端子ａ及び出力端子ｂを有する４個のスイッチ８０１〜８０４からなり、４個のスイッチ８０１〜８０４の切り換えは連動している。即ち、４個のスイッチ８０１〜８０４の全てが同時に出力端子ａ又は出力端子ｂのいずれか一方を選択するようにコントローラ８５により制御される。
【００４６】
各スイッチ８０１〜８０４の出力端子ａ及び出力端子ｂは、図示のように、電源８１により電源電圧Ｅが印加された状態、接地状態、又は抵抗８２を介して接地された状態のいずれかに切り換えられる。
【００４７】
なお、抵抗８２は、ペン６０などにより接触点が形成されていないときに電位が不安定になるのを防ぐために必要であるが、位置検出精度が低下しないようになるべく抵抗値を高くする必要がある。
【００４８】
電位測定手段８３はＸ電極膜２及びＹ電極膜４上の接触点における電位を測定し、座標計算手段８４は電位測定手段８３により測定された電位に基づいて、Ｘ電極膜２又はＹ電極膜４上における接触点の座標を計算する。
【００４９】
次に、接触点の検出処理について説明する。Ｘ電極膜２上の接触点位置の検出とＹ電極膜４上の接触点位置の検出は、コントローラ８５によるスイッチ群８０の切り換え制御に応じて、時分割で交互に行われる。
【００５０】
まず、Ｘ座標の検出タイミングにおいては、コントローラ８５がスイッチ群８０を出力端子ａ側に切り換えるので、Ｙ電極膜４上の右側の端部電極４２Ｒには電源８１により電源電圧Ｅが印加され、左側の端部電極４２Ｌは接地レベル（ゼロレベル）となる。その結果、Ｙ電極膜４上には電位勾配が形成される。一方、Ｘ電極膜２上の端部電極２１Ｕ及び２１Ｂはともに抵抗８２を介して接地された状態となる。
【００５１】
この状態で、入力装置１００の入力面（透明導電膜５の上面）上の一点がペンなどにより押されると、接触点において前述のようにＸ電極膜２とＹ電極膜とが横方向に導通する（図４参照）。よって、Ｙ電極膜４上に形成された電位勾配における接触点の電位がＸ電極膜２に伝えられ、端部電極２１Ｕ及び２１Ｂを介して検出点８６の電位として現れる。よって、電位測定手段８３は、検出点８６の電位を測定する。
【００５２】
このとき、スイッチ８０は出力端子ａ側を選択しているので、Ｙ電極膜４上には端子電極４２Ｒ＝Ｅ［Ｖ］、端子電極４２Ｌ＝０［Ｖ］の線形な電位勾配が形成されており、ペンなどによる接触点の電位は、その接触点と端部電極４２Ｒ及び４２Ｌの間の距離（位置）に対応することになる。よって、座標計算手段８４は電位測定手段８３が検出した電位に基づいて、接触点のＸ軸上の位置座標を算出する。
【００５３】
次に、Ｙ座標の検出タイミングにおいては、コントローラ８５がスイッチ群８０を出力端子ｂ側に切り換え、Ｘ電極膜２上の端部電極２１Ｕには電源８１により電源電圧Ｅが印加され、端部電極４２Ｂは接地レベルとなる。その結果、Ｘ電極膜４上には電位勾配が形成される。一方、Ｙ電極膜４上の端部電極４２Ｌ及び４２Ｒはともに抵抗８２を介して接地された状態となる。
【００５４】
この状態で、接触点では前述のようにＸ電極膜２とＹ電極膜４とが横方向に導通しているので、Ｘ電極膜２上に形成された電位勾配における接触点の電位がＹ電極膜４に伝えられ、端部電極４２Ｌ及び４２Ｒを介して検出点８６の電位として現れる。よって、電位測定手段８３は、検出点８６の電位を測定する。
【００５５】
このとき、スイッチ８０は出力端子ｂ側を選択しているので、Ｘ電極膜２上では端子電極２１Ｕ＝Ｅ［Ｖ］、端子電極２１Ｂ＝０［Ｖ］の線形な電位勾配が形成されており、ペンなどによる接触点の電位は、その接触点と端部電極２１Ｕ及び２１Ｂとの間の距離に対応することになる。よって、座標計算手段８４は電位測定手段８３が検出した電位に基づいて、接触点のＹ軸上の位置座標を算出する。
【００５６】
コントローラ８５は上記のＸ座標検出タイミングとＹ座標検出タイミングを交互に生じさせるようにスイッチ群８０を切り換える。これにより、接触点の位置座標（ＸＹ座標）が検出される。コントローラ８５によるＸ座標検出タイミングとＹ座標検出タイミングの切り換えは高速に行われるので、使用者が入力装置の入力面上においてペンを移動させることにより接触点が移動しても、上述の方法で接触点のＸ座標とＹ座標は瞬時に取得され、ペンが移動した軌跡を位置座標値として得ることができる。
【００５７】
次に、図１及び図５を参照して、位置座標の検出例について説明する。今、図１に示すように、ペン６０が入力装置１００上の入力面と接触点Ｃにおいて接触しているとする。また、接触点Ｃは、Ｘ軸方向において端部電極４２Ｌまでの距離と端部電極４２Ｒまでの距離との比が３：２であり、Ｙ軸方向において端部電極２１Ｕまでの距離と端部電極２１Ｂまでの距離の比が１：４であると仮定する。また、電源８１の電源電圧Ｅは５ボルト［Ｖ］であるとする。
【００５８】
Ｘ座標検出タイミングでは、図１に示すように端部電極４２ＲがＥ＝５Ｖとなり、端部電極４２Ｌが０Ｖとなる。よって、接触点Ｃの電位は３Ｖとなり、これが端部電極２１Ｂ及び２１Ｕに現れ、電位測定手段８３により検出される。いま、端部電極４２Ｌの位置のＸ座標をゼロ、端部電極４２Ｒの位置のＸ座標を１０と仮定すれば、接触点のＸ座標は、
Ｘ座標＝１０×（３［Ｖ］／５［Ｖ］）＝６
と算出できる。
【００５９】
次に、Ｙ座標検出タイミングでは、コントローラ８５がスイッチ群８０を出力端子ｂ側に切り換えるので、端部電極２１Ｕ＝５Ｖ、端部電極２１Ｂ＝０Ｖとなり、接触点Ｃの電位４ＶがＹ電極膜４上の端部電極４２Ｌ及び４２Ｒに現れ、電位測定手段８３により検出される。いま、図１において端部電極２１Ｂの位置のＹ座標をゼロ、端部電極２１Ｕの位置のＹ座標を１０とすると、接触点ＣのＹ座標は、
Ｙ座標＝１０×（４［Ｖ］／５［Ｖ］）＝８
と算出できる。
【００６０】
このようして、入力装置１００は入力面上の接触点の位置座標を算出することができる。
【００６１】
［製造方法］
次に、入力装置１００の製造方法の一例について説明する。本発明の入力装置は、ガラス、プラスチック樹脂などの基板上に、インクジェット印刷技術を利用し、図２及び３に示した各膜を積層することにより製造することができる。インクジェット印刷では、ノズルから液体の材料を噴射して基板に吹き付けることにより膜を形成していく。テーブルなどの上に載置された基板１に対して、テーブル又はノズルの一方を移動させて基板１上の噴射位置を移動させつつ、ノズルからの噴射の有無又は噴射量を制御することにより、基板１上に所望のパターンで膜が形成される。
【００６２】
本発明の入力装置１００では、まず、基板１上にＩＴＯなどによりのＸ電極膜２を形成する。ＩＴＯ膜の形成は、液体ＩＴＯをノズルから基板１に対して噴射することにより行われる。なお、図２に示すＸ電極膜２上の複数の凸型電極部２０は、ノズルからの液体ＩＴＯの噴射位置の噴射量を制御することにより形成される。さらに、Ｘ電極膜２上に銀の端部電極２１Ｕ及び２１Ｂを塗布、蒸着などにより形成する。
【００６３】
次に、液体の絶縁材料をＸ電極膜２上に噴射することにより、絶縁膜３を形成する。このとき、絶縁膜３は、Ｘ電極膜２上の凸型電極部２０以外の領域及び凸型電極部２０の側面を覆うが、凸型電極部２０の上面は覆わないように形成される。
【００６４】
次に、Ｘ電極膜２と同様に、液体ＩＴＯなどを噴射することにより、絶縁膜３上にＹ電極膜４を形成する。このときも、Ｘ電極膜２の凸型電極部２０の上面が覆われないようにＹ電極膜４を形成する。そして、Ｙ電極膜４上の所定位置に銀などの端部電極４２Ｌ及び４２Ｒを形成する。
【００６５】
最後に、Ｙ電極膜４の端部に絶縁材料を利用して図３に示す絶縁支持体５１を形成し、その上に同じくＩＴＯなどの導電膜５を、Ｙ電極膜４と所定の間隙を維持するように対向配置する。こうして、入力装置１００が製造される。
【００６６】
なお、上記はインクジェット印刷技術を利用した製造方法の一例を示したが、膜形成の精度が確保できれば、例えばスクリーン印刷などの他の手法を利用して入力装置１００を製造することもできる。
【００６７】
［変形例］
図１乃至４に示した入力装置１００の積層構造においては、Ｙ電極膜４上に所定の間隙を有して導電膜５を配置し、ペン６０などで導電膜の一部をＸ電極膜２とＹ電極膜４に接触させることにより、Ｘ電極膜２とＹ電極膜４とを導通させている。その代わりに、この透明導電膜５を省略し、ペン６０の先端部を導電体で構成し又は導電体を貼り付けて、ペン６０の先端部の導電体によりＸ電極膜２とＹ電極膜４とを導通させるように構成することもできる。その場合には、銀などにより形成される端部電極の酸化などを防止するため、少なくともＹ電極膜４上の端部電極は保護膜により覆うことが望ましい。
【００６８】
また、上記の例では、Ｘ電極膜２上に形成される凸型電極部２０は略正方形の平面形状を有しているが、凸型電極部２０の形状はこれに限られるものではなく、例えば長方形、六角形、八角形などの多角形、円形などとすることも可能である。
【００６９】
また、上記の例では、基板１上にＸ電極膜２が形成され、絶縁膜３を介してその上にＹ電極膜４が形成されているが、Ｘ電極膜とＹ電極膜の上下関係を逆にすることもできる。即ち、図２において、Ｘ電極膜とＹ電極膜との端部電極の方向を逆にすれば、基板１の上がＹ電極膜となり、その上に絶縁膜を介してＸ電極膜が形成されることになる。
【００７０】
［電子機器］
図６に、本発明の入力装置１００を適用した電子機器の一例である携帯型情報端末装置（ＰＤＡ）を示す。ＰＤＡ２００は、その正面パネル上に本発明の入力装置１００を備える。入力装置１００は透明であり、その下には液晶表示装置などの表示部１５０が配置されている。使用者は、付属のペン６０を入力装置１００の入力面に接触させることにより、表示部１５０上に表示されたボタンを選択したり、文字、図形などを描いて必要な情報を入力したりすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるタッチパネル型入力装置の概略を示す図である。
【図２】本発明の入力装置の構成を示す図である。
【図３】図１に示す入力装置のＡ−Ａ’における断面図である。
【図４】本発明の入力装置による接触点の検出動作を説明する図である。
【図５】本発明の入力装置による接触点の検出部の回路構成を示す図である。
【図６】本発明の入力装置を適用した電子機器の一例を示す図である。
【符号の説明】
１  基板
２  Ｘ電極膜
３  絶縁膜
４  Ｙ電極膜
５  透明導電膜
２１、４２  端部電極
３１、４１  開口部
５１  絶縁支持体
６０  ペン
８０  スイッチ群
８１  電源
８２  抵抗
８３  電位測定手段
８４  座標計算手段
８５  コントローラ
１００  入力装置
１５０  表示部（液晶表示装置）
２００  携帯型情報端末（電子機器）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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