(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周面に環状溝を所定ピッチで形成した複数の加工用ローラにより加工用ローラ組を構成し、その加工用ローラ組に巻回されたワイヤを一方向へ所定の送り量で送った後に、他方向へ前記一方向の送り量よりも少ない送り量で送り、これを一送りサイクルとして繰り返すことにより、ワイヤを一方向へ前進させるようにしたワイヤ送り方法であって、
前記加工用ローラ組のワイヤ周回領域においてワイヤの一方向送りの加減速送り時にワイヤが進行する領域と他方向送りの加減速送り時にワイヤが進行する領域とがオーバーラップしないように、ワイヤの送り量を制御することを特徴とするワイヤソーのワイヤ送り方法。
【請求項２】
前記ワイヤの一送りサイクル中で、その一方向送りと他方向送りとの少なくともいずれか一方にて、ワイヤの送り量を変化させることを特徴とする請求項１に記載のワイヤソーのワイヤ送り方法。
【請求項３】
前記ワイヤの送り量を定量ずつ変化させることを特徴とする請求項２に記載のワイヤソーのワイヤ送り方法。
【請求項４】
前記ワイヤの送り量をランダムに変化させることを特徴とする請求項２に記載のワイヤソーのワイヤ送り方法。
【請求項５】
前記ワイヤの送り量の変化量が予め決められた複数の送りサイクル内で合計ゼロとなるように制御することを特徴とする請求項２〜請求項４のうちのいずれか一項に記載のワイヤソーのワイヤ送り方法。
【請求項６】
前記ワイヤの一送りサイクル中で、その一方向送りと他方向送りとの少なくともいずれか一方の送り量を、前記加工用ローラ組上での一方向送りと他方向送りとの加減速送り時におけるワイヤ進行長さに対応する幅の領域がオーバーラップしないように設定することを特徴とする請求項１に記載のワイヤソーのワイヤ送り方法。
【請求項７】
前記各送りサイクルにおけるワイヤの一方向送り及び他方向送りの定速送り時の速度を一定にすることを特徴とする請求項２〜請求項６のうちのいずれか一項に記載のワイヤソーのワイヤ送り方法。
【請求項８】
複数の加工用ローラ間に巻回されたワイヤを送るワイヤ送り手段と、そのワイヤ送り手段を制御する制御手段とを備え、前記請求項１〜請求項７のうちのいずれか一項に記載のワイヤ送り方法を行うようにしたことを特徴とするワイヤソーのワイヤ送り装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ワイヤソーにおいて、外周面に環状溝を所定ピッチでで形成した複数の加工用ローラにより加工用ローラ組を構成し、その加工用ローラ組に巻回されたワイヤを送り制御するためのワイヤの送り方法及び送り装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ワイヤソーにおいては、１本のワイヤの両端が一対のリールに巻き付けられ、両リール間において、加工用ローラ組に前記ワイヤが所定ピッチで多数回巻回されている。前記加工用ローラ組を構成する各加工用ローラには多数の環状溝が形成され、ワイヤはこれらの環状溝に周回される。そして、加工用ローラ用モータ及びリール用モータの回転制御により、ワイヤを一方向へ所定の送り量で送った後に、他方向へ前記一方向の送り量よりも少ない送り量で送り、これを一送りサイクルとして繰り返すことによって、ワイヤを一方向へ一定量ずつ前進させるようになっている。このワイヤの前進及び後退によりシリコンインゴット等のワークがウェーハ状にスライス加工される。
【０００３】
すなわち、ワイヤの一送りサイクルでは、図１１に示すように、ワイヤを一方向（加工用ローラの正転側、以下は単に正転側という）へ、ｔ１（sec）の時間内で速度Ｖ１（m/min）に達するまで加速送りし、速度Ｖ１（m/min）でＴ１（sec）の時間だけ定速送りした後、ｔ１（sec）の時間内で速度ゼロになるまで減速送りする。続いて、ワイヤを他方向（加工用ローラの逆転側、以下は単に逆転側という）へ、ｔ２（sec）の時間内で速度Ｖ２（m/min）に達するまで加速送りし、速度Ｖ２（m/min）でＴ２（sec）の時間だけ定速送りした後、ｔ２（sec）の時間内で速度ゼロになるまで減速送りする。
【０００４】
この場合、加工用ローラ組上におけるワイヤの前進後退の進行量（以下、このワイヤの進行量をワイヤ長さと称する）は、ワイヤの正転側の加速送り時及び減速送り時にはｌ１（m）、正転側の定速送り時にはＬ１（m）、逆転側の加速送り時及び減速送り時にはｌ２（m）、逆転側の定速送り時にはＬ２（m）となっている。また、加工用ローラ組上における前記ワイヤ長さのワイヤが周回状態で進行する環状溝の数（以下、この環状溝の数をワイヤの巻数と称する）、言い換えればそのワイヤの巻数に対応する加工用ローラの軸方向における幅は、ワイヤの正転側の加速送り時及び減速送り時にはｗ１、正転側の定速送り時にはＷ１、逆転側の加速送り時及び減速送り時にはｗ２、逆転側の定速送り時にはＷ２となっている。
【０００５】
このような方法でワイヤ送りを行った場合、同じく図１１の下部に示すように、ワイヤの送り速度の変更時、すなわち、ワイヤの正転側の加速送り時及び減速送り時、並びにワイヤの逆転側の加速送り時及び減速送り時において、ワイヤに大きな張力変動が発生する。このため、ワイヤの送り動作が不安定になり、後述のように前記環状溝の摩耗量が大きくなり、所定の加工精度を確保するのが困難になる。
【０００６】
よって、ワイヤソーでは、一対のリールと加工用ローラ組との間のワイヤの走行経路中にダンサーアームが設けられ、それらのダンサーアーム上のダンサローラにワイヤが掛けられている。そして、ワイヤの張力変動に伴うダンサーアームの回動量がエンコーダで検出され、その検出結果に基づいて加工用ローラ用モータ及び一対のリール用モータの回転数が制御されて、ワイヤの張力変動が吸収されるようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記のようにダンサーアームを含む張力吸収機構を装備した場合でも、ワイヤの張力変動を十分に吸収することができず、ワイヤの正転側及び逆転側の加減速送り時では、依然としてワイヤに張力変動が発生するのが現状であった。このため、特に加工用ローラ組のワイヤ周回領域においてワイヤの正転側送りの加減速送り時と逆転側送りの加減速送り時にワイヤが進行する領域とが、加工用ローラ上の同一箇所の環状溝でオーバーラップした場合、そのオーバーラップ部分の環状溝が大きく摩耗する。そして、摩耗量の大きな環状溝の領域が広がると、加工精度が著しく低下するという問題があった。以下に、その詳細を説明する。
【０００８】
従来のワイヤソーにおけるワイヤ送り方法において、例えば、以下の条件が設定されていたとする。すなわち、図１２及び図１３に示すように、加工用ローラ組，すなわち加工用ローラ上でのワイヤの総巻数が４４１（巻）に設定されていたとする。この場合、ワイヤの正転側においては、定速送り時の速度Ｖ１が６００（m/min）、加減速送りの時間ｔ１が６（sec）、定速送りの時間Ｔ１が２３（sec）に設定されている。さらに、ワイヤの正転側における加減速送り時のワイヤ長さｌ１が３０（m）、定速送り時のワイヤ長さＬ１が２３０（m）で、加減速送り時の前記幅ｗ１が１４（巻）分、定速送り時の幅Ｗ１が１０９（巻）分に設定されている。
【０００９】
これに対して、ワイヤの逆転側においては、定速送り時の速度Ｖ２が６００（m/min）、加減速送りの時間ｔ２が６（sec）、定速送りの時間Ｔ２が１３（sec）に設定されている。また、ワイヤの逆転側における加減速送り時のワイヤ長さｌ２が３０（m）、定速送り時のワイヤ長さＬ２が１３０（m）で、加減速送り時の前記幅ｗ２が１４（巻）分、定速送り時の幅Ｗ２が６２（巻）分に設定されている。
【００１０】
このような設定において、ワイヤ送りが行われた場合、図１２に示すように、１サイクル目の正転時には、加工用ローラの一端側（図１２及び図１３の左側）に向かって他端側（図１２及び図１３の右側）からワイヤが巻回送りされる。これにより、加工用ローラ上の右側端部には、加速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ１の１４（巻）分、定速送り時のワイヤ長さに対応した幅Ｗ１の１０９（巻）分及び減速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ１の１４（巻）分のワイヤが巻き付けられる。
【００１１】
次の１サイクル目の逆転時には、加工用ローラの右側に向かって左側からワイヤが巻回送りされる。これにより、加工用ローラ上の左側端部には、加速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ２の１４（巻）分、定速送り時のワイヤ長さに対応した幅Ｗ２の６２（巻）分及び減速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ２の１４（巻）分のワイヤが巻き付けられる。これとともに、加工用ローラ上の右側端部においては、前記１サイクル目の正転時に巻き付けられたワイヤが、１サイクル目の逆転巻数分、すなわち１４＋６２＋１４（巻）分だけ後退（巻き戻し）されて、加速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ１の１４（巻）分、及び定速送り時のワイヤ長さに対応した幅Ｗ１の余り３３（巻）分だけ残される。
【００１２】
続いて、２サイクル目の正転時には、加工用ローラ上の右側端部に、加速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ１の１４（巻）分、定速送り時のワイヤ長さに対応した幅Ｗ１の１０９（巻）分及び減速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ１の１４（巻）分のワイヤが新たに巻き付けられる。これにより、前記１サイクル目の逆転時に、加工用ローラ上の右側端部に残されていた加速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ１の１４（巻）分、及び定速送り時のワイヤ長さに対応した幅Ｗ１の余り３３（巻）分のワイヤ部分が、２サイクル目の正転巻数分、すなわち１４＋１０９＋１４（巻）分だけ左側に前進される。また、１サイクル目の正転時に、加工用ローラ上の左側端部に巻き付けられていた加減速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ２の各１４（巻）分及び定速送り時のワイヤ長さに対応した幅Ｗ２の６２（巻）分のワイヤ部分は、正転送りに伴って加工用ローラ上から送り出される。
【００１３】
さらに、２サイクル目の逆転時には、加工用ローラ上の左側端部に、加速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ２の１４（巻）分、定速送り時のワイヤ長さに対応した幅Ｗ２の６２（巻）分及び減速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ２の１４（巻）分のワイヤが巻き付けられる。これにより、加工用ローラ上の右側端部では、前記２サイクル目の正転時に巻き付けられたワイヤが、２サイクル目の逆転巻数分、すなわち１４＋６２＋１４（巻）分だけ後退されて、加速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ１の１４（巻）分、及び定速送り時のワイヤ長さに対応した幅Ｗ１の余り３３（巻）分だけ新たに残される。これとともに、１サイクル目の正転時における加速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ１の１４（巻）分、及び定速送り時のワイヤ長さに対応した幅Ｗ１の余り３３（巻）分のワイヤ部分も加工用ローラ上の右側端部に残される。
【００１４】
以下、図１２及び図１３に示すように、３サイクル目〜６サイクル目においても、前記１サイクル目及び２サイクル目と同様の正転側及び逆転側のワイヤ送り動作が行われる。そして、７サイクル目の正転時には、図１３に示すように、加工用ローラ上の右側端部に、加速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ１の１４（巻）分、定速送り時のワイヤ長さに対応した幅Ｗ１の１０９（巻）分及び減速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ１の１４（巻）分のワイヤが新たに巻き付けられる。また、このワイヤの巻き付け部分に続いて加工用ローラ上には、６サイクル目〜１サイクル目の正転時において残された加速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ１の１４（巻）分、及び定速送り時のワイヤ長さに対応した幅Ｗ１の余り３３（巻）分のワイヤ部分が、左側端部に向かって順に巻き付けられている。
【００１５】
さらに、７サイクル目の逆転時には、加工用ローラ上の左側端部に、加速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ２の１４（巻）分、定速送り時のワイヤ長さに対応した幅Ｗ２の６２（巻）分及び減速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ２の１４（巻）分のワイヤが巻き付けられる。また、このワイヤの巻き付け部分に続いて加工用ローラ上には、１サイクル目〜６サイクル目の正転時において残された加速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ１の１４（巻）分、及び定速送り時のワイヤ長さに対応した幅Ｗ１の余り３３（巻）分のワイヤ部分が、右側端部に向かって順に巻き付けられている。そして、８サイクル目以降は、図１３に示すように、前記７サイクル目の正転側及び逆転側の送り動作が繰り返し行われる。
【００１６】
このように、ワイヤの送り動作が行われた場合、図１２及び図１３に斜線を施して示すように、加工用ローラ組、すなわち各加工用ローラ上の長さ方向の中間部分には、ワイヤの正転側送り時と逆転側送り時との双方における加減速送り時にワイヤが進行した領域であるオーバーラップ部分が、一定の巻数に対応した幅Ｗ３の間隔おきで所定巻数に対応した幅Ｗ４ずつ交互に出現する。すなわち、幅Ｗ３が３７（巻）分の間隔で、オーバーラップ幅Ｗ４が１０（巻）分のオーバーラップ部分が、各加工用ローラの長さ方向において周期的に繰り返し現れることになる。つまり、常にワイヤの張力変動部分によって巻回される１０（巻）分の環状溝が加工用ローラの長さ方向に一定間隔をおいて出現する。
【００１７】
そして、このワイヤの正転側送り時及び逆転側送り時に前記のようにワイヤに張力変動が生じるため、各オーバーラップ部分では、すなわち１０（巻）分の環状溝では、ワイヤの張力変動が重合されて作用する。このため、各加工用ローラ上の各オーバーラップ部分の環状溝には、所定幅Ｗ４の１０（巻）分ずつ、深溝状の摩耗が発生することになった。そして、このように、１０（巻）分の広い幅領域における環状溝が深溝状になるため、ワークに対する加工精度が著しく低下することになるとともに、加工用ローラの寿命を低下させる原因となった。
【００１８】
この発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的は、ワイヤの送り動作に伴い、加工用ローラ上の中間部分の環状溝に摩耗が発生するのを抑制することができて、加工用ローラの使用寿命を延ばすことができるとともに、高精度の加工を行うことができるワイヤソーのワイヤ送り方法及び送り装置を提供することにある。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、外周面に環状溝を所定ピッチで形成した複数の加工用ローラにより加工用ローラ組を構成し、その加工用ローラ組に巻回されたワイヤを一方向へ所定の送り量で送った後に、他方向へ前記一方向の送り量よりも少ない送り量で送り、これを一送りサイクルとして繰り返すことにより、ワイヤを一方向へ前進させるようにしたワイヤ送り方法にであって、前記加工用ローラ組のワイヤ周回領域においてワイヤの一方向送りの加減速送り時にワイヤが進行する領域と他方向送りの加減速送り時にワイヤが進行する領域とがオーバーラップしないように、ワイヤの送り量を制御することを特徴とするものである。
【００２０】
従って、この請求項１に記載の発明によれば、ワイヤの送り動作時に、加工用ローラ上でワイヤの一方向送り時の加減速送り領域と他方向送り時の加減速送り領域とが大きくオーバーラップするのを回避することができる。このため、加工用ローラ上の中間部分において、一定の間隔おきで所定巻数分の環状溝に摩耗が発生するのを抑制することができる。よって、加工用ローラの使用寿命を延ばすことができるとともに、高精度の加工を行うことができる。
【００２１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記ワイヤの一送りサイクル中で、その一方向送りと他方向送りとの少なくともいずれか一方にて、ワイヤの送り量を変化させることを特徴とするものである。
【００２２】
従って、この請求項２に記載の発明によれば、ワイヤの各送りサイクルにおいて、一方向送り時のワイヤ送り量と他方向送り時のワイヤ送り量との少なくともいずれか一方を変化させることにより、加工用ローラ上で一方向送り時と他方向送り時との加減速送り領域がオーバーラップしないようにすることができる。
【００２３】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記ワイヤの送り量を定量ずつ変化させることを特徴とするものである。
従って、この請求項３に記載の発明によれば、一方向送り時と他方向送り時との少なくともいずれか一方のワイヤ送り量を定量ずつ変化させることにより、加工用ローラ上で加減速送り領域のオーバーラップ部分が広範囲に発生するのを回避することができる。
【００２４】
請求項４に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記ワイヤの送り量をランダムに変化させることを特徴とするものである。
従って、この請求項４に記載の発明によれば、一方向送り時と他方向送り時との少なくともいずれか一方のワイヤ送り量をランダムに変化させることにより、加工用ローラ上で加減速送り領域のオーバーラップ部分が広範囲に発生するのを回避することができる。
【００２５】
請求項５に記載の発明は、請求項２〜請求項４のうちのいずれか一項に記載の発明において、前記ワイヤの送り量の変化量が予め決められた複数の送りサイクル内で合計ゼロとなるように制御することを特徴とするものである。
【００２６】
従って、この請求項５に記載の発明によれば、複数の送りサイクル内でワイヤ送り量の変化量が最終的にゼロに戻されることになり、ワイヤの送り動作に伴って、ワイヤの送り量が増加または減少方向に変化してしまって、加工精度に悪影響を及ぼすおそれを防止することができる。
【００２７】
請求項６に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記ワイヤの一送りサイクル中で、その一方向送りと他方向送りとの少なくともいずれか一方の送り量を、前記加工用ローラ組上での一方向送りと他方向送りとの加減速送り時におけるワイヤ進行長さに対応する幅の領域がオーバーラップしないように設定することを特徴とするものである。
【００２８】
従って、この請求項６に記載の発明によれば、ワイヤの一送りサイクル中で、その一方向送りと他方向送りとの少なくともいずれか一方の送り量を任意に設定することにより、加工用ローラ上で加減速送り領域のオーバーラップ部分が発生するのを回避することができる。
【００２９】
請求項７に記載の発明は、請求項２〜請求項６のうちのいずれか一項に記載の発明において、前記各送りサイクルにおけるワイヤの一方向送り及び他方向送りの定速送り時の速度を一定にすることを特徴とするものである。
【００３０】
従って、この請求項７に記載の発明によれば、ワイヤの一方向送り時及び他方向送り時の定速送り領域の速度を一定に保つことで、所定の加工精度を維持することができる。
【００３１】
請求項８に記載のワイヤソーのワイヤ送り装置に係る発明は、複数の加工用ローラ間に巻回されたワイヤを送るワイヤ送り手段と、そのワイヤ送り手段を制御する制御手段とを備え、前記請求項１〜請求項７のうちのいずれか一項に記載のワイヤ送り方法を行うようにしたことを特徴とするものである。
【００３２】
従って、この請求項８に記載の発明によれば、前記請求項１〜請求項７に記載と同様の作用を得ることができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下に、この発明の第１実施形態を、図１〜図４に基づいて説明する。
【００３４】
図１に示すように、この実施形態のワイヤソーにおいては、３本の加工用ローラ１１，１２，１３が所定の間隔をおいて配設され、これらの各加工用ローラ１１，１２，１３の外周にはそれぞれ多数の環状溝１１ａ，１２ａ，１３ａが所定ピッチで形成されている。これらの加工用ローラ１１，１２，１３により加工用ローラ組が構成されている。１本のワイヤ１４は、一対のリール１６，１７に両端がそれぞれ巻き付けられている。そして、両リール１６，１７間において、ワイヤ１４が加工用ローラ組、すなわち加工用ローラ１１，１２，１３の環状溝１１ａ，１２ａ，１３ａ間に連続して巻回されている。
【００３５】
そして、ワイヤ送り手段としての加工用ローラ用モータ１８及び一対のリール用モータ１９，２０の回転により、ワイヤ１４が一方向（加工用ローラ１１，１２，１３の正転側）へ所定の送り量で送られた後に、他方向（加工用ローラ１１，１２，１３の逆転側）へ前記正転側の送り量よりも少ない送り量で送られる。この正転側送りと逆転側送りとが一送りサイクルとして繰り返し行われることにより、ワイヤ１４が正転側へ前進されるようになっている。そして、このワイヤ１４の走行状態で、加工用ローラ１１，１２間のワイヤ１４にワーク２１が押し付けられることにより、ワーク２１が所定の厚さをなすようにスライス状に切断されるようになっている。
【００３６】
前記一対のリール１９，２０と前記加工用組との間のワイヤ１４の走行経路中にはダンサーアーム２２，２３が設けられ、それらの先端のダンサローラ２２ａ，２３ａにはワイヤ１４が掛けられている。そして、ワイヤ１４の走行中に張力変動が発生したとき、ダンサーアーム２２，２３が回動され、その回動量に基づいてエンコーダ２４，２５からワイヤ張力変動の検出信号が出力されるようになっている。なお、両ダンサアーム２２は、それぞれウェイト２２ａを有し、ワイヤ１４に対して所定の張力を付与するようになっている。
【００３７】
図２に示すように、制御手段としての制御装置２６は、前記エンコーダ２４，２５からの検出信号を入力して、その検出信号に応じて加工用ローラ用モータ１８及び一対のリール用モータ１９，２０の回転数（回転速度）を制御する。また、制御装置２６は、ワイヤ１４の一送りサイクル中の逆転送り時において、メモリ２７に記憶されたデータに基づいて、加工用ローラ用モータ１８及び一対のリール用モータ１９，２０の回転を制御し、逆転側送りにおけるワイヤ１４の送り量を定量ずつ変化させる。これにより、加工用ローラ組、すなわち加工用ローラ１１，１２，１３のワイヤ周回領域においてワイヤ１４の正転側送りの加減速送り時のワイヤ進行領域と逆転側送りの加減速送り時のワイヤ進行領域とがオーバーラップしないように制御している。
【００３８】
すなわち、この実施形態のワイヤ送り方法では、図３及び図４に示すように、加工用ローラ組内でのワイヤの総巻数が４４１（巻）に設定されている。そして、ワイヤ１４の正転及と逆転とにおける巻数の差が４９となるように設定されている。このため、ワイヤは巻数４９分ずつ歩進的に進行する。
【００３９】
すなわち、ワイヤ１４の正転側においては、従来のワイヤ送り方法と同様に、加速送り時及び減速送り時のワイヤ長さに対応した数の環状溝１１ａ，１２ａ，１３ａの幅ｗ１が１４（巻）分、定速送り時のワイヤ長さに対応した数の環状溝１１ａ，１２ａ，１３ａの幅Ｗ１が１０９（巻）分となるように設定されている。また、このワイヤ１４の正転側における定速送り時の速度Ｖ１は、例えば６００（m/min）等の一定に保たれるようになっている。
【００４０】
これに対して、ワイヤ１４の逆転側においては、加速送り時及び減速送り時のワイヤ長さに対応した数の環状溝１１ａ，１２ａ，１３ａの幅ｗ２が１４（巻）分に設定されるとともに、定速送り時のワイヤ長さに対応した数の環状溝１１ａ，１２ａ，１３ａの幅Ｗ２が平均６０（巻）分となるように、５８〜６０（巻）分の範囲内で定量ずつ変化されるようになっている。例えば、図３及び図４に示すように、１サイクル目には６０（巻）分、２サイクル目には５８（巻）分、３サイクル目には６２（巻）分、４サイクル目には５９（巻）分、５サイクル目には６１（巻）分のように変化される。そして、この５サイクル分の変化が繰り返し行われるとともに、５サイクル内で平均送り量に対する変化量が合計ゼロになるよう制御される。さらに、このワイヤ１４の逆転側においても、定速送り時の速度Ｖ２が、例えば６００（m/min）等の一定に保たれるようになっている。
【００４１】
よって、この設定状態でワイヤ送りを行なった場合には、前述した図１２及び図１３に示す従来のワイヤ送りの場合とほぼ同様で、加工用ローラ組、すなわち各加工用ローラ１１，１２，１３上に図３及び図４に示すようなワイヤ１４の巻き付け部分が順に形成される。この場合、各サイクルの逆転側送りにおける定速送り時のワイヤ長さに対応した前記幅Ｗ２が５８〜６０（巻）の範囲内で定量ずつ順に変化されるため、各加工用ローラ１１，１２，１３の右側端部に残る前サイクルの定速送り時のワイヤ長さに対応した前記幅Ｗ１の余りが３３〜３７（巻）分の範囲で変化する。このため、図３及び図４に斜線を施して示すように、加工用ローラ１１，１２，１３上でワイヤ１４の正転側送りの加減速送り時と逆転側送りの加減速送り時とにワイヤ１４がオーバーラップする部分の幅Ｗ４が、従来の１０（巻）分から１〜７（巻）分の範囲に大幅に減少する。従って、正転と逆転とにおける巻数の差を大きくすれば、オーバーラップ部分が存在しないようにすることも可能になる。
【００４２】
従って、この実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）  このワイヤソーのワイヤ送り方法においては、前記ワイヤ１４の一送りサイクル中で、その逆転側送りにおけるワイヤ１４の送り量を定量ずつ変化させることにより、加工用ローラ組，すなわち各加工用ローラ１１，１２，１３のワイヤ周回領域においてワイヤ１４の正転側送りの加減速送り時にワイヤが進行する領域と逆転側送りの加減速送り時にワイヤが進行する領域とが大きくオーバーラップしないように制御している。
【００４３】
このため、ワイヤ１４の送り動作時に、加工用ローラ１１，１２，１３上でワイヤ１４の正転側送りの加減速送り時の領域と逆転側送りの加減速送り時の領域とが大きくオーバーラップするのを回避することができる。このため、加工用ローラ１１，１２，１３上の中間部分において、一定の間隔おきで所定巻数分の環状溝１１ａ，１２ａ，１３ａに摩耗が発生するのを抑制することができる。よって、加工用ローラ１１，１２，１３の使用寿命を延ばすことができるとともに、高精度の加工を行うことができる。
【００４４】
（２）  このワイヤソーのワイヤ送り方法においては、前記ワイヤ１４の送り量の変化量が正転と逆転との差に対して予め決められた複数の送りサイクル内でゼロとなるように制御している。このため、複数の送りサイクル内でワイヤ送り量の前記差に対する変化量がゼロに戻されることになり、ワイヤ１４の送り動作に伴って、ワイヤ１４の送り量が増加または減少方向に変化することを防止できる。従って、ワイヤ１４をその全長にわたって予め定められた回数だけ正確に使用でき、ワイヤ１４の使用回数が所定回数未満でワイヤ１４を無駄に使用したり、逆に所定回数以上使用されて加工精度に悪影響を及ぼしたり、断線したりするおそれを防止することができる。
【００４５】
（３）  このワイヤソーのワイヤ送り方法においては、前記各送りサイクルにおけるワイヤ１４の正転側送り及び逆転側送りの定速送り時の速度Ｖ１，Ｖ２を一定にするようになっている。このため、ワイヤ１４の正転側送り及び逆転側送りにおける定速送り時の速度Ｖ１，Ｖ２の変動に起因して、所定の加工精度が維持できなくなるようなことを防止できる。
【００４６】
（第２実施形態）
次に、この発明の第２実施形態を、前記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００４７】
さて、この第２実施形態のワイヤ送り方法では、図５及び図６に示すように、加工用ローラ組に対するワイヤの総巻数が４４１（巻）に設定されている。そして、ワイヤ１４の正転側においては、加速送り時及び減速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ１が１４（巻）分に設定されるとともに、定速送り時のワイヤ長さに対応した幅Ｗ１が１１０〜１１４（巻）分の範囲内で定量ずつ変化されるようになっている。例えば、図５及び図６に示すように、１サイクル目には１１２（巻）分、２サイクル目には１１０（巻）分、３サイクル目には１１４（巻）分、４サイクル目には１１１（巻）分、５サイクル目には１１３（巻）分のように変化される。そして、この５サイクル分の送り変化が繰り返し行われるとともに、５サイクル内で変化量が合計ゼロになるよう制御される。
【００４８】
これに対して、ワイヤ１４の逆転側においては、従来のワイヤ送り方法と同様に、加速送り時及び減速送り時のワイヤ長さに対応した幅ｗ２が１４（巻）分、定速送り領域のワイヤ長さに対応した幅Ｗ２が６２（巻）分となるように設定されている。そして、ワイヤ１４の正転側及び逆転側における定速送り時速度Ｖ１，Ｖ２は、例えば６００（m/min）等の一定に保たれるようになっている。
【００４９】
よって、この設定状態でワイヤ送りを行なった場合には、前述した図３及び図４に示す第１実施形態のワイヤ送りの場合とほぼ同様で、各加工用ローラ１１，１２，１３上に図５及び図６に示すようなワイヤ１４の巻き付け部分が順に形成される。この場合、各サイクルの正転側送りにおける定速送り時のワイヤ長さに対応した幅Ｗ１が１１０〜１１４（巻）分の範囲内で定量ずつ順に変化されるため、各加工用ローラ１１，１２，１３の右側端部に残る前サイクルの定速送り領域の幅Ｗ１の余りが３４〜３８（巻）分の範囲で変化する。このため、図５及び図６に斜線を施して示すように、加工用ローラ１１，１２，１３上でワイヤ１４の正転側送りの加減速送り時と逆転側送りの加減速送り時とにオーバーラップする領域の幅Ｗ４が、従来の１０（巻）分から１〜７（巻）分の範囲に大幅に減少する。従って、この第２実施形態においても、正転と逆転とにおける巻数の差を大きくすれば、オーバーラップ部分が存在しないようにすることも可能になる。
【００５０】
従って、この第２実施形態によれば、前記第１実施形態における（１）〜（３）に記載の効果とほぼ同様の効果を得ることができる。
（第３実施形態）
次に、この発明の第３実施形態を、前記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００５１】
さて、この第３実施形態のワイヤ送り方法では、図７及び図８に示すように、加工用ローラ組に対するワイヤの総巻数が４４１（巻）に設定されている。そして、ワイヤ１４の正転側においては、従来のワイヤ送り方法と同様に、加速送り時及び減速送り時のワイヤ長さに対応する幅ｗ１が１４（巻）分、定速送り時のワイヤ長さに対応する幅Ｗ１が１０９（巻）分となるように設定されている。
【００５２】
これに対して、ワイヤ１４の逆転側においては、加速送り時及び減速送り時のワイヤ長さに対応する幅ｗ２が従来方法と同様の１４（巻）分に設定されるとともに、定速送り時のワイヤ長さに対応する幅Ｗ２が従来方法の６２（巻）分から５８（巻）分に変更して設定されている。そして、このワイヤ１４の正転側及び逆転側における前記幅Ｗ１，Ｗ２の設定によって、加工用ローラ１１，１２，１３上での正転側送りと逆転側送りとの加減速送り時のワイヤ長さに対応する幅の領域がオーバーラップしないようになっている。
【００５３】
すなわち、この設定状態でワイヤ送りを行なった場合には、前述した図１２及び図１３に示す従来のワイヤ送りの場合とほぼ同様で、各加工用ローラ１１，１２，１３上に図７及び図８に示すようなワイヤ１４の巻き付け部分が順に形成される。この場合、各サイクルのワイヤ逆転側送りにおける定速送り時の幅Ｗ２が５８（巻）分に変更して設定されているため、図８に斜線を施して示すように、ワイヤ１４の正転側送りと逆転側送りとの加減速送り時のオーバーラップ部分が、加工用ローラ１１，１２，１３の左側端部のみに限定して出現することになる。そして、加工用ローラ１１，１２，１３の端部は、ワーク切断にほとんど関与しないため、環状溝１１ａ，１２ａ，１３ａの摩耗量が多くなっても、加工上問題は生じない。
【００５４】
従って、この第３実施形態によれば、前記第１実施形態における（１）及び（３）に記載の効果に加えて、以下のような効果を得ることができる。
（４）  このワイヤソーのワイヤ送り方法においては、前記加工用ローラ１１，１２，１３上での正転側送りと逆転側送りとの加減速送り時におけるワイヤ長さに対応する領域がオーバーラップしないように、ワイヤ１４の一送りサイクル中で、その逆転側の送り量を任意に変更して設定している。このため、簡単な制御によって、加工用ローラ１１，１２，１３上で加減速送りにおけるオーバーラップ部分が発生するのを回避することができる。
【００５５】
（第４実施形態）
次に、この発明の第４実施形態を、前記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００５６】
さて、この第４実施形態のワイヤ送り方法では、図９及び図１０に示すように、加工用ローラ１１，１２，１３内でのワイヤの総巻数が４４１（巻）に設定されている。そして、ワイヤ１４の正転側においては、加速送り時及び減速送り時のワイヤ長さに対応する幅ｗ１が従来方法と同様の１４（巻）分に設定されるとともに、定速送り時のワイヤ長さに対応する幅Ｗ１が従来方法の１０９（巻）分から１１４（巻）分に変更して設定されている。
【００５７】
これに対して、ワイヤ１４の逆転側においては、従来のワイヤ送り方法と同様に、加速送り時及び減速送り時のワイヤ長さに対応する幅ｗ２が１４（巻）分、定速送り時のワイヤ長さに対応する幅Ｗ２が６２（巻）分となるように設定されている。そして、このワイヤ１４の正転側及び逆転側における幅Ｗ１，Ｗ２の設定によって、加工用ローラ１１，１２，１３上での正転側送りと逆転側送りとの加減速送り時のワイヤ長さに対応する領域がオーバーラップしないようになっている。
【００５８】
すなわち、この設定状態でワイヤ送りを行なった場合には、前述した図７及び図８に示す第３実施形態の場合とほぼ同様で、加工用ローラ１１，１２，１３上に図９及び図１０に示すようなワイヤ１４の巻き付け部分が順に形成される。この場合、各サイクルのワイヤ正転側送りにおける定速送り時領域のワイヤ巻数Ｗ１が１１４（巻）に変更して設定されているため、図１０に斜線を施して示すように、ワイヤ１４の正転側送りと逆転側送りとの加減速送り時に形成される領域のオーバーラップ部分が、加工用ローラ１１，１２，１３の左側端部のみに限定して僅かに出現することになる。そして、前記第３の実施形態と同様に、加工用ローラ１１，１２，１３の端部は、ワーク切断にほとんど関与しないため、環状溝１１ａ，１２ａ，１３ａの摩耗量が多くなっても、加工上問題は生じない。
【００５９】
従って、この第４実施形態によれば、前記各実施形態における（１）、（３）及び（４）に記載の効果とほぼ同様の効果を得ることができる。
（変更例）
なお、この実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
【００６０】
・  前記第１及び第２実施形態では、ワイヤ１４の逆転側送りまたは正転側送りにおける定速送り時のワイヤ長さに対応する幅Ｗ２，Ｗ１を定量ずつ変化させているが、この幅Ｗ２，Ｗ１をランダムに変化させるようにしてもよい。
【００６１】
・  前記第１及び第２実施形態では、ワイヤ１４の正転側または逆転側における定速送り時のワイヤ長さに対応する幅Ｗ１，Ｗ２を変化させているが、加減速送り時のワイヤ長さに対応する幅ｗ１，ｗ２を変化させるようにしてもよい。
【００６２】
・  前記第３及び第４実施形態では、ワイヤ１４の正転側または逆転側における定速送り時のワイヤ長さに対応する幅Ｗ１，Ｗ２を従来方法の場合と変更して設定しているが、加減速送り時のワイヤ長さに対応する幅ｗ１，ｗ２を従来方法の場合と変更して設定するようにしてもよい。
【００６３】
・  前記各実施形態では、ワイヤ１４の正転側送り時及び逆転側送り時における速度Ｖ１，Ｖ２を一定に保つようにしているが、この送り速度Ｖ１，Ｖ２を変更して、ワイヤ１４の送り量を変化させるようにしてもよい。
【００６４】
以上のように構成した場合でも、前記実施形態とほぼ同様の効果を得ることができる。
【００６５】
【発明の効果】
以上、実施形態で例示したように、この発明においては、ワイヤの送り動作時に、加工用ローラ組、すなわち加工用ローラ上でワイヤの一方向送りの加減速送り時と他方向送りの加減速送り時とにおけるワイヤ長さに対応する幅の領域が大きくオーバーラップするのを回避することができる。このため、加工用ローラ上の中間部分において、一定の間隔おきで所定巻数分の環状溝に異常摩耗が発生するのを抑制することができ、加工用ローラの使用寿命を延ばすことができるとともに、高精度の加工を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第１実施形態のワイヤソーを示す概略構成図。
【図２】  図１のワイヤソーの回路構成を示すブロック図。
【図３】  第１実施形態のワイヤ送り方法を示す説明図。
【図４】  同じく第１実施形態のワイヤ送り方法を示す説明図。
【図５】  第２実施形態のワイヤ送り方法を示す説明図。
【図６】  同じく第２実施形態のワイヤ送り方法を示す説明図。
【図７】  第３実施形態のワイヤ送り方法を示す説明図。
【図８】  同じく第３実施形態のワイヤ送り方法を示す説明図。
【図９】  第４実施形態のワイヤ送り方法を示す説明図。
【図１０】  同じく第４実施形態のワイヤ送り方法を示す説明図。
【図１１】  従来のワイヤ送り方法を示す説明図。
【図１２】  同じく従来のワイヤ送り方法を示す説明図。
【図１３】  同じく従来のワイヤ送り方法を示す説明図。
【符号の説明】
１１，１２，１３…加工用ローラ、１４…ワイヤ、１６，１７…リール、１８…ワイヤ送り手段としての加工用ローラ用モータ、１９，２０…ワイヤ送り手段としてのリール用モータ、２６…制御手段としての制御装置、Ｗ１，Ｗ２…定速送り時のワイヤ長さに対応した幅、Ｖ１，Ｖ２…定速送り時のワイヤ長さに対応した幅。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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