(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバー、
前記真空チャンバーの内部に備えられ、複数のセル領域及びダミー領域を有し、前記各セル領域の角部、前記各セル領域の横列方向を基準に前記各横列の少なくとも２つの角部のダミー領域、前記各セル領域の縦列方向を基準に前記各縦列の少なくとも２つの角部のダミー領域、または前記各セル領域の縦列方向或いは横列方向を基準に前記各縦列或いは横列の周縁側の各中央部のダミー領域にアラインマークが形成された第１基板及び第２基板を各々固定する上部ステージ及び下部ステージ、
前記各ステージのうち、少なくとも何れか一方のステージを移動させるステージ移動手段、
前記アラインマークに対応して前記上部ステージに貫通して形成された複数の第１観測孔、
前記各第１観測孔に対向して前記真空チャンバーに形成された複数の第２観測孔、及び
前記各第１観測孔及び第２観測孔に対応して前記真空チャンバーに設けられた複数のアラインカメラ
を含むことを特徴とする液晶表示素子用貼り合わせ装置。
【請求項２】
前記アラインマークは、前記各セル領域に隣接した各ダミー領域にそれぞれ形成される請求項１記載の液晶表示素子用貼り合わせ装置。
【請求項３】
前記各アラインカメラは、前記各観測孔が形成された位置に沿って移動可能に構成される請求項１記載の液晶表示素子用貼り合わせ装置。
【請求項４】
各アラインカメラは、所定の範囲内にある複数のアラインマークをそれぞれ観測できるように構成される請求項３記載の液晶表示素子用貼り合わせ装置。
【請求項５】
各アラインカメラは、真空チャンバーの外部に備えられる請求項１記載の液晶表示素子用貼り合わせ装置。
【請求項６】
各アラインカメラは、前記複数のアラインマークをそれぞれ観測できるように備えられる請求項１記載の液晶表示素子用貼り合わせ装置。
【請求項７】
各アラインカメラは、前記各アラインマーク間の中間位置を観測できるように構成される請求項１記載の液晶表示素子用貼り合わせ装置。
【請求項８】
各アラインカメラは、前記複数のアラインマークをそれぞれ観測する第１アラインカメラ、及び
第１基板及び第２基板の各アラインマーク間の中間位置を観測する第２アラインカメラを含む請求項１記載の液晶表示素子用貼り合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶表示素子の製造工程のうち、基板間の貼り合わせのための真空貼り合わせ装置に関し、特に基板間の位置整列の正確度をより向上させるようにすると共に、大型化した液晶表示素子の製造工程により適した液晶表示素子用真空貼り合わせ装置に関する。
【０００２】
【関連技術】
情報化社会の発展に伴い、表示装置に対する要求も多様な形態に増加しており、これに応じて、最近はＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）、ＥＬＤ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ Ｄｉｓｐｌａｙ）、ＶＦＤ（Ｖａｃｕｕｍ Ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ Ｄｉｓｐｌａｙ）など様々な平板表示装置が研究され、その一部は既に各種装備で表示装置として活用されている。
【０００３】
そのうち、現在、優秀な画質、軽量薄型、低消費電力などの長所のため、移動型画像表示装置の用途としてＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ Ｒａｙ Ｔｕｂｅ）に代替してＬＣＤが最も多く使われており、ノートパソコンのモニターのような移動型の用途の他にも、放送信号を受信してディスプレイするＴＶ及びコンピュータのモニターなどに多様に開発されている。
【０００４】
このように、液晶表示素子は様々な分野で画面表示装置としての役割を果たすため多様な技術的な発展が進められてきているにも拘わらず、画面表示装置として画像の品質を高めるような作業においては上記の長所と背馳している面が多かった。
従って、液晶表示素子が一般的な画面表示装置として多様な部分に使用されるためには、軽量薄型、低消費電力の特徴を維持しながらも、高精細、高輝度、大面積など、高品位の画像をどれほど実現できるかが重要な問題とされている。
【０００５】
上記のような液晶表示素子の製造方法としては、大きく分けて、液晶注入口が形成されるように一方の基板上にシール剤を塗布して、真空中で一対の基板を接合した後、形成された注入口を介して液晶を注入する液晶注入方式と、特開２０００−２８４２９５号及び特開２００１−００５４０５号公報で提案されたように、液晶注入口を設けないようにシール剤を閉じたパターンで形成した一つの基板を用意し、この基板上のシール剤で囲まれた領域に液晶を滴下した後、他の基板を前記一つの基板上に配置し、真空中で上下の基板を近接させて接合する液晶滴下方式とがある。
【０００６】
前記した各種方式のうち、液晶滴下方式は液晶注入方式に比べていくつかの工程（例えば、液晶注入口の形成、液晶の注入、液晶注入口の密封などのための各々の工程）を省略して行うことができることから、それらの工程に伴う装備が必要ではなくなるという長所を有する。このため、最近は液晶滴下方式を用いた各種製造装置の研究が行われている。
【０００７】
図１及び図２はかかる関連技術の液晶滴下方式を適用した基板間の真空貼り合わせ装置を示す。即ち、関連技術の真空貼り合わせ装置は、外形をなすフレーム１０と、ステージ部２１、２２と、シール剤吐出部（図示せず）及び液晶滴下部３０と、チャンバー部３１、３２と、チャンバー移動手段と、ステージ移動手段と、アライン手段と、そして、真空ポンプ６０とから構成されている。
【０００８】
この際、前記ステージ部は上部ステージ２１と下部ステージ２２とからなり、シール剤吐出部及び液晶滴下部３０は基板の貼り合わせ工程が行われる位置である前記フレーム側部に装着され、前記チャンバー部は上部チャンバーユニット３１と下部チャンバーユニット３２とでそれぞれ合体可能となるように構成される。
【０００９】
これと共に、前記チャンバー移動手段は下部チャンバーユニット３２が前記貼り合わせ工程が行われる位置や、シール剤の吐出及び液晶の滴下が行われる位置に選択的に移動するように駆動する駆動モータ４０で構成され、前記ステージ移動手段は前記上部ステージ２１が選択的に上部或いは下部に移動するように駆動する駆動モータ５０で構成されている。
【００１０】
そして、真空ポンプ６０は、上部チャンバーユニット３１の内部と連通した管路と連結され、その管路を介してチャンバーの内部を真空の状態に維持させるための空気吸入力を伝達する。
【００１１】
そして、アライン手段は、上部ステージ２１に取り付けられた基板（以下、第２基板）５２と、下部ステージ２２に取り付けられた基板（以下、第１基板）５１との位置整列状態を判読できるようにアラインカメラ７０で構成し、上部チャンバーユニット３１の上面に固定される。この際、前記アラインカメラ７０による各基板間の位置整列状態を確認できるように、上部チャンバーユニット３１には透視窓３１ａが設けられている。
【００１２】
以下、上記した関連技術の基板組立装置を用いた液晶表示素子の製造過程を、その工程順序に従いより具体的に説明する。
まず、上部ステージ２１には第２基板５２がローディングされて固定され、下部ステージ２２には第１基板５１がローディングされて固定される。この状態で前記下部ステージ２２を有する下部チャンバーユニット３２はチャンバー移動手段４０によって、図１に示すように、シール剤の塗布及び液晶滴下のための位置に移動する。
【００１３】
そして、前記状態でシール剤吐出部及び液晶滴下部３０によるシール剤の塗布及び液晶滴下が完了すると、再び前記チャンバー移動手段４０によって、図２に示すように、基板間の貼り合わせのための位置に移動する。
その後、チャンバー移動手段４０による各チャンバーユニット３１，３２の合体がなされて各ステージ２１，２２が位置した区間が密閉され、真空ポンプ６０の駆動によって前記空間が真空の状態になる。
【００１４】
そして、上部ステージ２１が下向きに移動しながら各基板５１、５２間のアライン工程のための位置に達すると、アラインカメラ７０は、上部チャンバーユニット３１に形成された透視窓３１ａ、及び上部ステージ２１に形成された開口孔２１ａを介して各ステージ２１、２２に取り付けられた第２基板５２と第１基板５１の各アラインマークを確認して、前記各基板間の位置整列を行う。
この際の位置整列は、前記アラインカメラ７０により判読された基板間のすれ違い分をステージ微動量として換算して、この換算した数値だけステージ移動手段を制御して補正することで、各基板間の位置整列を行う。
【００１５】
そして、上記のような位置整列が完了すると、ステージ移動手段５０によって上部ステージ２１が更に下向き移動を行い、前記上部ステージ２１に固定された第２基板５２を下部ステージ２２に固定された第１基板５１に密着させると共に、継続的な加圧による各基板間の貼り合わせを行うことで液晶表示素子の製造が完了する。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような関連技術の貼り合わせ装置は次のような問題がある。
【００１７】
第一に、従来は、単純に一対の基板間の貼り合わせにより製造される液晶表示素子がただ一つであるため、基板間の位置整列に対する問題がそれほど深刻ではなかったが、最近は、前記液晶表示素子が次第に大型化されつつあると共に、一対の基板間の貼り合わせにより製造される液晶表示素子が多数であることを考慮する時、各基板間の位置整列に対する重要性が次第に大きくなっている。
即ち、各基板間の位置整列が正確に行われていない状態で基板間の貼り合わせを行う場合、前記基板に形成された各セル領域（パネル）を正確な位置で貼り合わせ難いため、貼り合わせ不良が発生した。
【００１８】
第二に、前記基板に形成されるセル領域が多ければ多いほど、各基板間の位置整列が正確に行われなければならないにも拘わらず、従来は単純に各基板の２つの対角部の地点にのみアラインマークを形成していたため、前記アラインマークが形成されていない部位への位置整列を正確に行うことができず、このため、基板間の位置整列の不良による製造不良を引き起こすおそれがある。
即ち、基板のサイズが次第に大型化するほど、前記基板の何れか一方が微細に捻れた場合、その反対側にはかなり大きな位置偏差が発生し得るが、既存の構成では単純に２つの対角部位のみを概略的に確認できるように成されているため、他の部分の位置整列が正確に行われず、結局、製品不良を引き起こした。
【００１９】
第三に、上記したように、各基板の２つの対角部の地点にのみアラインマークが形成されているので、各セル領域単位ではその位置整列が行われず、各セル領域の形成位置による微細な誤差が発生した場合、これの補正が困難であった。
特に、かかる問題点は、一対の基板に多数のセル領域を形成して大量生産を行おうとする場合には適合しないので、その改善が至急に要求されている。
【００２０】
そこで、本発明の目的は、一対の基板間の貼り合わせのための位置整列が正確に行われ得るようにし、特に各基板に形成されたセル領域間の位置整列も行われ得るようにして、基板間の位置整列が最大限正確に行われ得るようにすることで、液晶表示素子の製品不良を最小化できるようにした液晶表示素子用貼り合わせ装置及び液晶表示素子製造工程用の基板を提供することにある。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明の液晶表示素子製造工程用の基板は、複数のセル領域及びダミー領域を有し、前記各セル領域に隣接した各ダミー領域には、位置整列のためのアラインマークがそれぞれ形成されてなることを特徴とし、この際の各アラインマークは、各セル領域の角部と隣接した各ダミー領域にそれぞれ形成されることを特徴とする。
【００２２】
上記目的を達成するための本発明の液晶表示素子製造工程用の基板間の位置整列実行構造によれば、複数のセル領域及びダミー領域を有し、前記各セル領域に隣接した各ダミー領域には、その位置整列のためのアラインマークがそれぞれ形成されてなる第１基板及び第２基板と、前記各基板間の貼り合わせ工程が行われる真空チャンバーと、前記真空チャンバー内の上側の空間に設けられて第２基板の固定を行うと共に、各基板の各アラインマークと対応する部位には、複数の観測孔が形成された上部ステージ、及び前記真空チャンバー内の下側の空間に設けられて第１基板の固定を行う下部ステージと、前記何れかのステージに形成された観測孔を介して各基板のアラインマークを確認するように設けられ、各基板間の位置整列を行うアライン手段とを含むことを特徴とする。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態を添付の図３Ａ乃至図３Ｅ、図4及び図５に基づいて詳細に説明する。
【００２４】
まず、図３Ａは本発明による液晶表示素子製造工程用の基板を概略的に示す。
これから分かるように、本発明の液晶表示素子製造工程用の基板５１０、５２０は、複数のセル領域及びダミー領域を有し、前記各セル領域に隣接した各ダミー領域には、位置整列のためのアラインマーク５１１、５２１がそれぞれ形成されて成る。
この際、前記各アラインマーク５１１、５２１は、図示したように、各セル領域の角部と隣接した各ダミー領域に形成されることを本発明の実施形態として提示しているが、必ずしもこれに限定されるものではない。
【００２５】
即ち、各セル領域の横列、或いは縦列を基準に、図３Ｂのように、前記各横列の少なくとも２つの角部の各ダミー領域に形成することができ、図３Ｃのように、前記各縦列の少なくとも２つの角部のダミー領域にそれぞれ形成することもできる。
それだけでなく、前記各アラインマーク５１１、５２１は、各セル領域の横列、或いは縦列を基準に、図３Ｄのように、前記各横列の周縁側の各中央部のダミー領域に形成することができ、図３Ｅのように、前記各縦列の周縁側の各中央部のダミー領域にそれぞれ形成することもできる。
【００２６】
また、本発明では、図示してはいないが、上述したような各アラインマーク５１１、５２１とは別途に各基板の２つの対角部、或いは４つの角部に更に形成することもできる。
即ち、上述したような本発明による基板５１０、５２０は、各基板間の位置整列のための部位が単に各基板５１０、５２０の２つの対角部や４つの角部だけでなく、各液晶表示素子を成す各セル領域ごとに行われ得るようにしたものである。
【００２７】
一方、図４は、前記基板を用いて貼り合わせを行う貼り合わせ装置を示す。
この際の貼り合わせ装置は、真空チャンバー１１０、上部ステージ１２１及び下部ステージ１２２、そして、アライン手段のアラインカメラ２００を含み、この様な構成は本発明による基板の形状に対応して形成する。
【００２８】
即ち、本発明では、各ステージ１２１、１２２のうち、アラインカメラ２００が設けられた側の上部ステージ１２１に各基板５１０、５２０の各アラインマーク５１１、５２１を観測できるように、前記各アラインマーク５１１、５２１の位置に対応する観測孔（以下、″第１観測孔″）１２１ａを複数個形成し、真空チャンバー１１０にも前記第１観測孔１２１ａの位置に対応する位置に観測孔（以下、″第２観測孔″）１１０ａを複数個形成する。
勿論、アラインカメラ２００が真空チャンバー１１０の下側に設けられると、下部ステージ１２２に該当観測孔を各々形成して構成することもできる。
【００２９】
また、本発明を構成するアラインカメラ２００は、前記真空チャンバー１１０の各第２観測孔１１０ａ、及び上部ステージ１２１の各第１観測孔１２１ａを介して各基板５１０、５２０の各アラインマーク５１１、５２１を確認できるように設ける。
この際、前記アラインカメラ２００の個数は、各アラインマーク５１１、５２１の個数に対応するように備え、その設置位置は、真空チャンバー１１０の各第２観測孔１１０ａが形成された部位とそれぞれ対応する位置（例えば、各第２観測孔の上側部）に設ける。
【００３０】
しかしながら、前記アラインカメラ２００の個数は必ずしも各アラインマーク５１１、５２１の個数に対応すべきわけではない。即ち、単に一つのアラインカメラ２００を真空チャンバー１１０の上側に移動可能に設けることで、各基板５１０、５２０間の位置整列の実行時に前記アラインカメラ２００が各第２観測孔１１０ａの形成位置に移動しながら、各基板５１０、５２０の相互に対応する位置に形成されたセル領域間の位置確認を行うように構成することもできる。
【００３１】
この際、前記各アラインカメラ２００を移動可能に設ける構成は、図５に示すように、前記各アラインカメラ２００の一端を各第２観測孔１１０ａが形成された位置に沿って設けられたレール２１０にそれぞれ装着し、流空圧シリンダー（或いは、ステップモータ）２２０のような駆動手段を用いて前記各アラインカメラ２００が移動可能となるように構成できるが、これに限定されず、多様な構成に形成可能である。
【００３２】
また、他の実施形態としては、アラインカメラ２００を各基板５１０、５２０の各角部と対応する真空チャンバー１１０の上側部にそれぞれ一つずつ総４つを備え、それぞれのアラインカメラ２００は、該当設置位置から隣接した所定の範囲内の各アラインマーク５１１、５２１を全部確認できるよう移動可能に構成することもできる。
これは、アラインカメラ２００の個数を最小化すると共に、基板間の位置整列のための工程が円滑に進行し得るようにするための構成であり、これについては図示していない。
【００３３】
そして、上記した場合、前記各アラインカメラ２００を移動可能にした構成は、前記各アラインカメラ２００の一端を、既設定された所定の範囲内に位置した各アラインマーク５１１、５２１の形成位置に対応する位置（真空チャンバーの上側の各角部に形成される各第２観測孔の形成位置）に沿って設けられた各レールに装着し、流空圧シリンダー（或いは、ステップモータ）のような駆動手段を用いて前記各アラインカメラ２００が移動可能なように構成することができる。
【００３４】
一方、上述した構成を有する本発明の貼り合わせ装置において、各ステージ１２１、１２２は、各基板５１０、５２０間の位置整列、及び貼り合わせ工程を行えるように移動可能である。この際、前記各ステージ１２１、１２２を移動させる構成は多様に形成され得るが、本発明の実施形態では、上部ステージ１２１を選択的に上下に移動させるように駆動する移動軸１３１を有し、下部ステージ１２２を選択的に左右に回転させるように駆動する回転軸１３２を有し、真空チャンバー１１０の内側、又は外側に前記各ステージ１２１、１２２と軸結合した状態で上記したそれぞれの軸を選択的に駆動させるための駆動モータ１３３、１３４を含む。
【００３５】
しかしながら、上記した構成は単に前記上部ステージ１２１を上下にのみ移動させるか、下部ステージ１２２を左右にのみ回転させるように構成したものに限定されるわけではない。
即ち、前記上部ステージ１２１が左右に回転可能なように構成することができ、前記下部ステージ１２２が上下に移動できるように構成することもできる。
【００３６】
この場合、前記上部ステージ１２１には別途の回転軸（図示せず）を更に設けて回転可能にし、前記下部ステージ１２２には別途の移動軸（図示せず）を更に設けて上下移動が可能なようにすることもできる。
また、未説明の符号３００は、真空チャンバー１１０の内部を真空の状態にするため、空気の吸入力を提供する真空手段である。
【００３７】
以下、上述したような構成を有する本発明の液晶表示素子用貼り合わせ装置を用いた基板間の貼り合わせ過程を概略的に説明する。
【００３８】
まず、各ステージ１２１、１２２に各基板５１０、５２０のローディングが完了すると、真空チャンバーの基板の流出入口１１１に設けられた遮蔽ドア１１３が動作しながら前記基板の流出入口１１１を閉鎖させ、真空チャンバー１１０の内部は密閉の状態になる。
この状態で、真空手段３００の駆動により発生した空気吸入力が真空チャンバー１１０の内部に伝達されると、前記真空チャンバー１１０の内部は少しずつ真空の状態になる。
このように、一定の時間の間の真空手段３００の駆動によって真空チャンバー１１０の内部が完全な真空状態になると、前記真空手段３００の駆動が中断され、この際の上部ステージ１２１及び下部ステージ１２２は各基板５１０、５２０を固定させた状態になる。
【００３９】
その後、駆動モータ１３３が駆動しながら移動軸１３１を回転させると、上部ステージ１２１が下向きに移動しながら下部ステージ１２２に近接して位置し、この状態は図６に示す通りである。
そして、上記した状態で本発明の各アラインカメラ２００は、真空チャンバー１１０に形成された第２観測孔１１０ａ、及び上部ステージ１２１に形成された第１観測孔１２１ａを介して各ステージ１２１、１２２に固定された各基板５１０、５２０間の位置整列の状態を判読する。
【００４０】
これは、各基板５１０、５２０のうち、互いに対応する各セル領域の位置整列のための各アラインマーク５１１、５２１を、その位置に対応して設けられた各アラインカメラ２００が観測して判読する。
即ち、各セル領域ごとに相互間の位置確認を行うことで、各セル単位への位置整列が行われ得る。
【００４１】
そして、上記した過程による各基板５１０、５２０の各セル領域間の整列状態の判読が完了すると、この判読されたデータ値に従って各ステージ１２１、１２２の移動のための制御が行われ、上部ステージ１２１、或いは下部ステージ１２２の前後、左右、対角など、ｘ方向とｙ方向とに移動させ、その位置補償を行う。
【００４２】
仮に、多数のセル領域間の位置整列は正確に行われているが、特定のセル領域の位置整列が正確に行われていない場合には、各アラインマーク５１１、５２１間の位置整列による誤差の範囲を外れない限りで各ステージ１２１、１２２を移動させ、位置補償を行う。
【００４３】
しかしながら、上記した方法を通じてもその位置補償が完全に行われない場合には、該当位置のセル領域の座標を記憶した後、その記憶されたローグファイルを後工程に伝達して、貼り合わせ不良が発生した場合にそれを認知しやすくすることが好ましい。
【００４４】
上述したような各過程による各基板５１０、５２０の位置整列が完了すると、上部ステージ１２１を移動させるために駆動する駆動モータ１３３は、継続的な駆動信号が伝達され駆動しながら前記上部ステージ１２１を下向きに移動させ、上部ステージ１２１に固定された基板５２０を下部ステージ１２２に固定された基板５１０に密着させた状態で加圧して、相互間の貼り合わせを行う。この状態は図７に示す通りである。
【００４５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の液晶表示素子製造工程用の基板、及びその基板間の位置整列のための貼り合わせ装置による構成によれば、次のような効果が得られる。
【００４６】
第一に、各基板単位での位置整列ではない前記各基板の各セル単位で位置整列が行われるようにすることで、各基板間の位置整列による正確度をより向上させ得る。これにより、特に各基板間の位置整列の不良による貼り合わせ不良を未然に防止することができる。
【００４７】
第二に、各基板に形成されるセル領域が多くても、それぞれのセル領域単位でその位置整列が行われるため、多数の液晶表示素子を一回の工程で製造する大型サイズの基板を使用する貼り合わせ装置への適用時に有利な効果がある。
即ち、基板の何れか一方が僅かに捻れている場合にも正確な位置整列が行えるようにすることで、貼り合わせに伴う製品不良の発生を未然に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】関連技術の液晶表示素子の製造装備のうち、基板の組立装置を概略的に示す構成図である。
【図２】関連技術の液晶表示素子の製造装備のうち、基板の組立装置を概略的に示す構成図である。
【図３Ａ】本発明の液晶表示素子製造工程用の基板を概略的に示す平面図である。
【図３Ｂ】本発明の液晶表示素子製造工程用の基板の他の実施形態を示す平面図である。
【図３Ｃ】本発明の液晶表示素子製造工程用の基板の他の実施形態を示す平面図である。
【図３Ｄ】本発明の液晶表示素子製造工程用の基板の他の実施形態を示す平面図である。
【図３Ｅ】本発明の液晶表示素子製造工程用の基板の他の実施形態を示す平面図である。
【図４】本発明の液晶表示素子製造工程用の基板間の貼り合わせ工程を行う貼り合わせ装置の構成を概略的に示す構成図である。
【図５】本発明の液晶表示素子製造工程用の基板間の貼り合わせ工程を行う貼り合わせ装置の他の実施形態による構成を概略的に示す構成図である。
【図６】本発明の貼り合わせ装置がアライン工程位置に移動した状態を概略的に示す構成図である。
【図７】本発明の貼り合わせ装置による基板間の貼り合わせが行われる状態を概略的に示す構成図である。
【符号の説明】
１１０：真空チャンバー
１１０ａ：第２観測孔
１１１：基板の流出入口
１１３：遮蔽ドア
１２１：上部ステージ
１２１ａ：第１観測孔
１２２：下部ステージ
１３１：移動軸
１３２：回転軸
１３３、１３４：駆動モータ
２００：アラインカメラ
２１０：レール
２２０：流空圧シリンダー
３００：真空手段
５１０、５２０：基板
５１１、５２１：アラインマーク
【図１】
0004212930.tif 000002
【図２】
0004212930.tif 000003
【図３Ａ】
0004212930.tif 000004
【図３Ｂ】
0004212930.tif 000005
【図３Ｃ】
0004212930.tif 000006
【図３Ｄ】
0004212930.tif 000007
【図３Ｅ】
0004212930.tif 000008
【図４】
0004212930.tif 000009
【図５】
0004212930.tif 000010
【図６】
0004212930.tif 000011
【図７】
0004212930.tif 000012