(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダ内の流動性材料を前記シリンダ内に供給された圧縮気体による圧力によって前記シリンダの先端側に設けられたノズルから吐出するようにした吐出装置において、前記シリンダと前記ノズルとの間に漏れ防止弁およびノズル取付部材が設けられ、前記ノズルは、前記ノズル取付部材の外形に取り付けられ、前記ノズルの先端部の内径よりも大きい内径を有する取付け部と前記取付け部との境界から先端面まで内径が同一径の先端部とからなり、前記漏れ防止弁およびノズル取付部材の一方は前記ノズルの先端部の内径よりも小さい内径の流路が設けられていることを特徴とする吐出装置。
【請求項２】
請求項１記載の発明において、前記流路は前記シリンダと前記ノズルとの間に設けられた漏れ防止弁に設けられた流路であることを特徴とする吐出装置。
【請求項３】
請求項１記載の発明において、前記流路は前記シリンダと前記ノズルとの間に設けられたチューブに設けられた流路であることを特徴とする吐出装置。
【請求項４】
請求項１記載の発明において、前記流路は前記ノズルの基端部に設けられた流路であることを特徴とする吐出装置。
【請求項５】
請求項１記載の発明において、前記流路は前記シリンダの先端部設けられた流路であることを特徴とする吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液状樹脂等の流動性材料を吐出するための吐出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、ＴＡＢ(tape automated bonding)、ＣＯＦ(chip on film)、ＣＯＧ(chip on glass)、ＣＳＰ(chip size package)等と呼ばれる半導体チップの実装技術では、一般に、基板上に搭載されたＬＳＩ等からなる半導体チップを樹脂封止材で封止している。この場合、液状の樹脂封止材を、ディスペンサと呼ばれる吐出装置を用いて、基板上に搭載された半導体チップの周囲に吐出して封止している。
【０００３】
図４は従来のこのような吐出装置の一例の一部の断面図を示したものである。この吐出装置はシリンダ１を備えている。シリンダ１内には円板状のピストン２が上下動可能に設けられている。シリンダ１の先端側には筒状の連結部材３、チューブ４、漏れ防止弁５、チューブ６、筒状のノズル取付部材７及びノズル８がこの順でそれぞれねじ方式により取り付けられている。漏れ防止弁５は、筒状の弁本体５ａ内にボール５ｂ及びスプリング５ｃが収納された構造となっている。シリンダ１の基端部にはキャップ９が取り付けられている。キャップ９の外部に設けられたチューブ取付部９ａにはチューブ１０の一端部が取り付けられている。チューブ１０の他端部は、図示していないが、圧力コントローラを介してコンプレッサやボンベ等からなる圧縮気体（Ｎ２）供給源に接続されている。
【０００４】
そして、この吐出装置では、図示しない外部スイッチがオンされるごとに、圧力コントローラで圧力を制御された圧縮気体がチューブ１０を介してシリンダ１内のピストン２の上側に供給され、これによりピストン２が下動し、シリンダ１内のピストン２の下側に充填された液状の樹脂（図示せず）がノズル８の先端部から外部スイッチがオンしている間だけ吐出されるようになっている。
【０００５】
ところで、従来のこのような吐出装置では、非常に高価なものは別として、圧力コントローラで制御された吐出圧力が変動し、例えば所期の吐出圧力が１ｋｇ／ｃｍ2であるとき、±０．１ｋｇ／ｃｍ2程度の圧力変動がある。一方、単位時間当たりの吐出量は、吐出圧力に比例し、且つ、ノズル８の先端部の流路の断面積に反比例する。この結果、ノズル８の先端部の内径を比較的大きくすると、単位時間当たりの吐出量のバラツキが大きくなり、好ましくない。そこで、従来では、ノズル８の先端部の内径を比較的小さくしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来の吐出装置では、ノズル８の先端部の内径を比較的小さくしている。しかしながら、ノズル８の先端部の内径が比較的小さいと、吐出線幅も比較的小さくなるので、封止領域がある程度の面積を有している場合、封止するのに時間がかかるという問題があった。
この発明の課題は、単位時間当たりの吐出量のバラツキを小さくすることができ、且つ、吐出線幅を比較的大きくすることができるようにすることである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明は、シリンダ内の流動性材料を前記シリンダ内に供給された圧縮気体による圧力によって前記シリンダの先端側に設けられたノズルから吐出するようにした吐出装置において、前記シリンダと前記ノズルとの間に漏れ防止弁およびノズル取付部材が設けられ、前記ノズルは、前記ノズル取付部材の外形に取り付けられ、前記ノズルの先端部の内径よりも大きい内径を有する取付け部と前記取付け部との境界から先端面まで内径が同一径の先端部とからなり、前記漏れ防止弁およびノズル取付部材の一方は前記ノズルの先端部の内径よりも小さい内径の流路を設けたものである。この発明によれば、シリンダとノズルとの間における流路の内径をノズルの内径よりも小さくしているので、この小径の流路により単位時間当たりの吐出量のバラツキを小さくすることができ、この結果ノズルの先端部の内径を比較的大きくすることができ、ひいては吐出線幅を比較的大きくすることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
図１はこの発明の第１実施形態における吐出装置の要部の断面図を示したものである。この図において、図４と同一名称部分には同一の符合を付し、その説明を適宜省略する。この吐出装置において、図４に示す場合と異なる点は、ノズル８の先端部の内径をある程度大きくすると共に、ノズル取付部材７に設けられた流路７ａの内径をノズル８の先端部の内径よりも小さくした点である。
【０００９】
このように、この吐出装置では、シリンダ１とノズル８との間に設けられたノズル取付部材７の流路７ａの内径をノズル８の先端部の内径よりも小さくしているので、ノズル取付部材７の流路７ａにより単位時間当たりの吐出量のバラツキを小さくすることができる。この結果、ノズル８の先端部の内径を比較的大きくして、吐出線幅を比較的大きくすることができ、ひいては封止（塗布）領域がある程度の面積を有していても、短時間で封止（塗布）することができる。
【００１０】
（第２実施形態）
図２はこの発明の第２実施形態における吐出装置の要部の断面図を示したものである。この図において、図４と同一名称部分には同一の符合を付し、その説明を適宜省略する。この吐出装置において、図４に示す場合と異なる点は、ノズル８の先端部の内径をある程度大きくすると共に、漏れ防止弁５の弁本体５ａの基端部に設けられた流路５ｄの内径をノズル８の先端部の内径よりも小さくした点である。
【００１１】
このように、この吐出装置では、シリンダ１とノズル８との間に設けられた漏れ防止弁５の基端部の流路５ｄの内径をノズル８の先端部の内径よりも小さくしているので、漏れ防止弁５の基端部の流路５ｄにより単位時間当たりの吐出量のバラツキを小さくすることができる。この結果、ノズル８の先端部の内径を比較的大きくして、吐出線幅を比較的大きくすることができ、ひいては封止（塗布）領域がある程度の面積を有していても、短時間で封止（塗布）することができる。なお、漏れ防止弁５の先端部の流路の内径がノズル８の先端部の内径よりも小さくなるようにしてもよい。
【００１２】
（第３実施形態）
図３はこの発明の第３実施形態における吐出装置の要部の断面図を示したものである。この図において、図４と同一名称部分には同一の符合を付し、その説明を適宜省略する。この吐出装置において、図４に示す場合と異なる点は、ノズル８の先端部の内径をある程度大きくすると共に、漏れ防止弁５とノズル取付部材７との間に３つのチューブ１１、１２、１３を設けた点である。この場合、上側及び下側のチューブ１１、１３の流路１１ａ、１３ａの内径はノズル８の先端部の内径よりも大きくなっており、中間のチューブ１２の流路１２ａの内径はノズル８の先端部の内径よりも小さくなっている。
【００１３】
このように、この吐出装置では、シリンダ１とノズル８との間に設けられたチューブ１２の流路１２ａの内径をノズル８の先端部の内径よりも小さくしているので、チューブ１２の流路１２ａにより単位時間当たりの吐出量のバラツキを小さくすることができる。この結果、ノズル８の先端部の内径を比較的大きくして、吐出線幅を比較的大きくすることができ、ひいては封止（塗布）領域がある程度の面積を有していても、短時間で封止（塗布）することができる。なお、シリンダ１と漏れ防止弁５との間に小径の流路を有するチューブを設けるようにしてもよい。
【００１４】
なお、上記実施形態では、シリンダ１とノズル８との間に設けられた部材の流路の内径をノズル８の先端部の内径よりも小さくした場合について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、ノズル８として基端部の内径が先端部の内径よりも小さくなっているものを用いるようにしてもよい。また、シリンダ１として先端部の内径がノズル８の先端部の内径よりも小さくなっているものを用いるようにしてもよい。
【００１５】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、シリンダとノズルとの間における流路の内径をノズルの内径よりも小さくしているので、この小径の流路により単位時間当たりの吐出量のバラツキを小さくすることができ、この結果ノズルの先端部の内径を比較的大きくして、吐出線幅を比較的大きくすることができ、ひいては塗布領域がある程度の面積を有していても、短時間で塗布することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１実施形態における吐出装置の要部の断面図。
【図２】この発明の第２実施形態における吐出装置の要部の断面図。
【図３】この発明の第３実施形態における吐出装置の要部の断面図。
【図４】従来の吐出装置の一例の一部の断面図。
【符号の説明】
１  シリンダ
５  漏れ防止弁
７  ノズル取付部材
８  ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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