(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向に沿って延びる互いに向かい合った両内側壁面にそれぞれ一条列の第１軌道溝が形成された一対の側部と前記側部の下部を互いに一体構造で連結する底部とで断面Ｕ字形状に形成され且つベッドに取り付けられる軌道レール，及び前記ベッドと相対移動するテーブルに取り付けられ前記軌道レールの前記両側部間に形成された断面Ｕ字状凹部の案内路内の前記長手方向に沿って転動体を介して摺動自在であるスライダから成る直動案内ユニットであって，
前記スライダは，前記軌道レールの各前記第１軌道溝に対向して両側面にそれぞれ一条列の第２軌道溝と前記第２軌道溝と平行に成るリターン孔とが形成され且つ前記軌道レールの前記側部の上面を超えて上方に突出する突出量が５〜１０ｍｍで成るスライダヘッド部を備えて略直方体形状でなるケーシング，前記第１及び第２軌道溝間に形成されるそれぞれの前記一条列の負荷軌道路を４点接触して転走する前記転動体，前記ケーシングの両端面に配設され且つ前記負荷軌道路と前記リターン孔とを接続して前記転動体が循環する無限循環路を形成する方向転換路が形成されたエンドキャップ，及び前記エンドキャップの端面に配設されたエンドシールから構成され，
前記軌道レールは，前記ベッドに対して前記直動案内ユニットを位置決めして取り付けるために前記底部の底面が軌道レール取付け基準底面に形成され且つ前記側部の一方の外側側面に前記軌道レール取付け基準底面に直交して前記スライダの摺動方向に平行な平面に成る軌道レール取付け基準側面が形成され，
前記スライダヘッド部は，前記ベッドに対して前記直動案内ユニットを介し前記テーブルを位置決めして取り付けるために頂面が前記軌道レール取付け基準底面に平行になるスライダ取付け基準頂面に形成され且つ前記軌道レール取付け基準側面と反対側に成る側面に前記スライダ取付け基準頂面に直交して前記軌道レール取付け基準側面に平行な平面に成るスライダ取付け基準側面が形成されていることから成る直動案内ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば、工作機械、各種組立装置、又は試験装置等の直線摺動部に適用される軌道レールに対して長手方向に沿って移動するスライダを備えた直動案内ユニットの取付け構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、メカトロ技術の発展が目覚ましく、当該技術を支える基礎的且つ汎用的な装置として直動案内ユニットがある。直動案内ユニットは、現在では、工作機械、半導体製造装置、搬送装置、検査装置、測定器、加工機、組立機、産業用ロボット等の各技術分野の装置に組み込まれて多用されているが，技術の発展と共にその用途は拡大しており、高精度、高速摺動化、組立容易性、汎用化等の要求が益々高まっている。
【０００３】
図８には、従来の直動転がり案内ユニットの一例が一部破断して示されている。直動転がり案内ユニット６０は、一般に、ベッドとテーブルのような相互に相対移動する部材間に適用されている。直動転がり案内ユニット６０は、軌道レール６１と、軌道レール６１上を摺動可能なスライダ６２とを備えている。軌道レール６１の外側に面した一対の長手方向側壁面６３に軌道溝６４が形成されている。軌道レール６１の上面６５には、軌道レール６１をベッド６８に取り付けるための取付け孔６６が開口している。
【０００４】
スライダ６２は、軌道レール６１の上面６５を跨ぐケーシング７０、ケーシング７０の長手方向両端面に当接して取り付けられたエンドキャップ７１、及び軌道レール６１とエンドキャップ７１との間の隙間をシールするためエンドキャップ７１の端面に配置されたエンドシール７２から構成されている。エンドキャップ７１とエンドシール７２とは、取付けねじ７３によってケーシング７０に取り付けられている。ケーシング７０とエンドキャップ７１との下面には、下面シール（図示せず）が配置されている。また、ケーシング７０には、軌道レール６１の軌道溝６４に対向する位置に軌道溝７４と、ケーシング７０をテーブル７８に取り付けるために、頂面７５に開口するねじ穴７６が形成されている。
【０００５】
スライダ６２を軌道レール６１に対して摺動可能に案内するため、軌道レール６１に形成されている軌道溝６４とケーシング７０に形成されている軌道溝７４との間に形成される負荷軌道路８１にボール等の転動体８０を介して転走可能に配設されている。転動体８０は、保持バンド８４によってケーシング７０に保持されており、スライダ６２を軌道レール６１から分離した状態であっても、ケーシング７０に保持される。転動体８０は、負荷軌道路８１、転動体８０を循環させるためのケーシング７０に形成された無負荷軌道路としてのリターン孔８２、及び負荷軌道路８１とリターン孔８２とに連通するエンドキャップ７１に形成された無負荷軌道路としての方向転換路（図示せず）から成る無限循環路を無限循環して転走するように直動転がり案内ユニット６０に組み込まれている。また、無限循環路に潤滑剤を供給するためのグリースニップル８５が、エンドシール７２の外面から突出した状態でエンドキャップ７１に取り付けられている。
【０００６】
図９は、図８に示す直動転がり案内ユニットのベッド及びテーブルへの取付け状態を一部を破断して示す正面図である。図９に示すように、直動転がり案内ユニット６０の軌道レール６１は、軌道レール６１の取付け孔６６に挿通した取付けボルト６９をベッド６８にねじ込むによってベッド６８に取り付けられる。軌道レール６１は、底面８６と長手方向側壁面６３の下側面８７とを、それぞれベッド６８の対応する上面９０と側面９１に当接させた位置決め状態でベッド６８に取り付けられている。また、スライダ６２は、テーブル７８に挿通させた取付けボルト７９をケーシング７０のねじ穴７６にねじ込むことにより、テーブル７８に取り付けられる。スライダ６２は、頂面７５と一方の側面７７とを、それぞれテーブル７８の底面９２と側面９３とに当接させた状態でテーブル７８に取り付けられている。このとき、スライダ６２の側面７７は、ケーシング７０の上部が横方向に張り出した張出し部７０ａに形成されており、側面７７が横方向の取付け基準面となっている。
【０００７】
上記の直動転がり案内ユニットとは別に、両端固定のトラックレール、前記トラックレールに跨架される上段スライドユニット、及び前記トラックレールに垂架される下段スライドユニットから成り、両スライドユニットをそれぞれトラックレールに沿って直動自在にした直動転がり案内ユニットが提案されている（特開平４−３４７００９号公報）。
【０００８】
また、ボールねじに螺合した角型ナットと、角型ナットが軸方向に移動自在に遊嵌する凹溝が形成されたガイドレールとを備え、ボールねじを駆動することにより、角型ナットの両側面に形成されたボール転動溝とガイドレールに形成されたボール転動溝とにボールを転動させて、角型ナットをガイドレールに対して軸方向に移動可能とした、ボールねじとリニアガイド装置とを一体的に組み合わせて構成されるボールねじ一体型リニアガイド装置が提案されている（実開昭６３−１９３６３７号公報）。角型ナットは、ガイドレール上面から上の高さがかなり高いものである。
【０００９】
更に、断面コ字状のガイドレールにテーブルを転動体を介してガイドレールの内側面によって挟み込むようにして移動自在に支持し、転動体を互いに対向するテーブル側面とガイドレール内側面に上下２条づつ設けられた転動体転走面に転動自在に介在させ、テーブルにその両側面に設けられた上下２条の転動体転走面のスパンの略中心を結ぶ線状に位置するように送りねじ軸が螺合されるねじ孔を設けたテーブル移送装置において、前記ガイドレールを一体成形とし、前記各転動体の転動体転走面との接触方向を、各転動体のテーブル側とガイドレール側のそれぞれの転動体転走面との接点を結ぶ仮想線が、送りねじ軸の中心に向かってその間隔が狭まるような外開き接触又は間隔が拡がるような内開き接触としたテーブル移送装置が提案されている（特開平２−２９８４４６号公報）。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、特にボールねじによって駆動されるナット体から成るスライダがスライドレールに形成された凹溝内を移動する直動案内ユニットにおいては、テーブルは、スライダの平坦な外面に対してボルト穴に取付けボルトを螺合させることによって取り付けられているだけであり、スライダへの取付け位置については、取付け基準となるものが特段、配慮がなされていないのが通常である。
【００１１】
そこで、スライダが軌道レールの凹溝内で長手方向に案内される直動案内ユニットにおいては、直動案内ユニットをコンパクトに構成し、テーブルとベッドをそれぞれスライダと軌道レールに対して取付け位置及び姿勢を予め決められた状態で取り付けることにより、長期に渡って使用されても、スライダと軌道レールとがそれぞれテーブルとベッドに対して予め定められた位置と姿勢が確保される直動案内ユニットが望まれている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この発明の目的は、上記の課題を解決することであり、ベッドやテーブルに対して軌道レールとスライダを取付け基準面で予め定められた位置と姿勢で規制した状態で取り付けることにより、テーブルがスライダと共に軌道レールに沿って移動しても、ベッドとテーブルとを精度良い姿勢に保ち、半導体製造装置、検査装置、測定器、加工機、組立機等において、ワークの加工や搬送を行う際に、ワークの位置及び姿勢を好ましい状態に維持することを可能にする直動案内ユニットを提供することである。
【００１３】
この発明は，長手方向に沿って延びる互いに向かい合った両内側壁面にそれぞれ一条列の第１軌道溝が形成された一対の側部と前記側部の下部を互いに一体構造で連結する底部とで断面Ｕ字形状に形成され且つベッドに取り付けられる軌道レール，及び前記ベッドと相対移動するテーブルに取り付けられ前記軌道レールの前記両側部間に形成された断面Ｕ字状凹部の案内路内の前記長手方向に沿って転動体を介して摺動自在であるスライダから成る直動案内ユニットであって，
前記スライダは，前記軌道レールの各前記第１軌道溝に対向して両側面にそれぞれ一条列の第２軌道溝と前記第２軌道溝と平行に成るリターン孔とが形成され且つ前記軌道レールの前記側部の上面を超えて上方に突出する突出量が５〜１０ｍｍで成るスライダヘッド部を備えて略直方体形状でなるケーシング，前記第１及び第２軌道溝間に形成されるそれぞれの前記一条列の負荷軌道路を４点接触して転走する前記転動体，前記ケーシングの両端面に配設され且つ前記負荷軌道路と前記リターン孔とを接続して前記転動体が循環する無限循環路を形成する方向転換路が形成されたエンドキャップ，及び前記エンドキャップの端面に配設されたエンドシールから構成され，
前記軌道レールは，前記ベッドに対して前記直動案内ユニットを位置決めして取り付けるために前記底部の底面が軌道レール取付け基準底面に形成され且つ前記側部の一方の外側側面に前記軌道レール取付け基準底面に直交して前記スライダの摺動方向に平行な平面に成る軌道レール取付け基準側面が形成され，
前記スライダヘッド部は，前記ベッドに対して前記直動案内ユニットを介し前記テーブルを位置決めして取り付けるために頂面が前記軌道レール取付け基準底面に平行になるスライダ取付け基準頂面に形成され且つ前記軌道レール取付け基準側面と反対側に成る側面に前記スライダ取付け基準頂面に直交して前記軌道レール取付け基準側面に平行な平面に成るスライダ取付け基準側面が形成されていることから成る直動案内ユニットに関する。
【００１４】
この直動案内ユニットによれば、スライダは軌道レールの各側部の上面を超えて突出するスライダヘッド部を備えており、軌道レールをベッドに取り付けるに際して、軌道レールに形成された前記第１取付け基準面がベッドに形成された前記軌道レール取付け面に対して位置決めされた状態で取り付けられ、また、スライダをテーブルに取り付けるに際して、スライダヘッド部に形成された前記第２取付け基準面がテーブルに形成されたスライダ取付け面に対して位置決めされた状態で取り付けられるので、スライダが軌道レールに対して摺動しても、テーブルとベッドとは、摺動方向の位置以外については、長期に渡って所定の相対位置及び姿勢に維持することが可能である。
【００１５】
前記第１取付け基準面は，前記軌道レールの一方の側面と底面とにおいてそれぞれ前記軌道レールの長手方向と平行に延びるように形成された軌道レール取付け基準側面と軌道レール取付け基準底面とから構成されているので，軌道レールは，軌道レール取付け基準側面と軌道レール取付け基準底面との二つの基準面でベッドの軌道レール取付け面に対して位置決めされ，その位置決めされた状態でベッドに取り付けられる。
【００１６】
前記軌道レールは前記各側部の下部を互いに連結する底部を備えており，前記スライダが摺動可能な前記案内路は，前記各側部と前記底部とによって形成される前記軌道レールの断面Ｕ字状凹部内に形成されているので，軌道レールには，各側部と底部とによって断面Ｕ字状の凹部が形成され，スライダは軌道レールの断面Ｕ字状凹部内を摺動自在に走行する。
【００１７】
この直動案内ユニットにおいて，前記第２取付け基準面は，前記スライダヘッド部の一方の側面と頂面とにおいてそれぞれ前記スライダの摺動方向と平行に延びるように形成されたスライダ取付け基準側面とスライダ取付け基準頂面とから構成されているので，スライダは，スライダ取付け基準側面とスライダ取付け基準頂面との二つの基準面でテーブルのスライダ取付け面に対して位置決めされた状態でテーブルに取り付けられる。
【００１８】
前記軌道レール取付け基準側面と前記スライダ取付け基準側面とは，互いに平行であり且つ反対側になっているので，軌道レール取付け基準側面と前記スライダ取付け基準側面とに作用する力は互いに直動案内ユニット１において相殺され，直動案内ユニット１を傾転させるモーメントが抑制される。
【００１９】
この直動案内ユニットにおいて，前記スライダヘッド部が前記軌道レールの前記側部の上面を超えて突出する突出量は，５〜１０ｍｍの範囲内である。前記スライダ取付け基準側面は，この突出量の範囲内に設けられており，前記テーブル取付け側面に対して実質的に全面に渡って付き当てられる平面である。スライダヘッド部の突出量が少ないので，直動案内ユニットがコンパクトに構成される。また，スライダ取付け基準側面が５〜１０ｍｍの範囲内にある幅を有していれば，スライダの大きさにかかわらず，スライダをテーブルに対して確実に位置決めして取り付けることが可能である。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、この発明による直動案内ユニットの実施例を説明する。図１はこの発明による直動案内ユニットの一例を示す斜視図、図２は図１に示す直動案内ユニットの矢視Ａの方向で見た断面図、図３は図１に示す直動転がり案内ユニットの平面図、図４は図１に示す直動転がり案内ユニットの側面図、図５は図１〜図４に示すこの発明による直動案内ユニット１が相対的に移動するベッド２とテーブル３との間に適用された状態を一部破断して示す正面図である。この発明の実施例を説明するに際して、上面、下面、頂面及び底面等の上下に関する概念は、直動案内ユニットを通常の姿勢で置いた場合における上下であり、横置きや逆さ置きの場合を含む実際の使用状態を何ら制限するものではない。
【００２１】
図１〜図４に示す直動案内ユニット１は、相対的に移動するベッド２とテーブル３（図５を参照）との間の案内ユニットであり、基本的に、長尺な軌道レール１１と、軌道レール１１の長手方向に沿って摺動可能に嵌挿されたスライダ１２とから構成される。軌道レール１１及びスライダ１２は、それぞれ取付けボルト等の固着手段によってベッド２又はテーブル３に取り付けられ、スライダ１２が軌道レール１１に対して移動することにより、テーブル３はベッド２に対して移動することができる。図１〜図４では、軌道レール１１に対して１つのスライダ１２のみを示しているが、二つ以上のスライダ１２を軌道レール１１に配設してもよい。
【００２２】
軌道レール１１は、一対の側部１３と各側部１３の下部を連結する底部１４とから成り、両側部１３と底部１４との内側に断面Ｕ字状の凹部１５が形成されている。軌道レール１１の両側部１３間、即ち、凹部１５内において、スライダ１２が走行可能な案内路が形成されている。スライダ１２は、軌道レール１１との間において後述する直動転がり案内機構を介して摺動自在である。軌道レール１１には、直動転がり案内機構の転動体を転走可能とするため、各側部１３の内側に長手方向に沿って互いに向かい合った内側壁面１６において、互いに対向した一対の第１軌道溝１７が形成されている。
【００２３】
軌道レール１１は、その断面はＵ字形であり、例えば、棒状の軌道レールと比較して、高い断面二次モーメントを有しているので、スライダ１２との間で作用する曲げや捩じりに対する剛性を大幅に高めることが可能である。その結果、軌道レール１１を全底面で支持させる使用形態以外にも、軌道レール１１の一端だけを支持した片持ち支持や軌道レール１１の両端を支持した両端支持の態様で使用することが可能である。更に、軌道レール１１は、直動案内ユニットが適用される機械や装置の構造材料として使用することも可能である。軌道レール１１の高さは、極力低くされており、直動案内ユニットがコンパクトに形成される。また、図示しないが、軌道レール１１には直動案内ユニット１の駆動機構等の周辺機器を直接追加して取り付けることも可能である。
【００２４】
スライダ１２は、軌道レール１１の凹部１５内に大部分が収容されたケーシング２０、ケーシング２０の両端面に配設されたエンドキャップ２１、及び軌道レール１１とエンドキャップ２１との隙間をシールするため各エンドキャップ２１の端面に配設されたエンドシール２２から構成されている。エンドキャップ２１とエンドシール２２とは、取付けねじ２５によってケーシング２０に取り付けられる。ケーシング２０には、取付けねじ２５が螺着される複数のねじ穴２６が形成されている。軌道レール１１の各内側壁面１６にそれぞれ対向したケーシング２０の側面２３には、各第１軌道溝１７に対向した第２軌道溝２４が形成されている。軌道レール１１に形成されている第１軌道溝１７とその第１軌道溝１７に対向して第２軌道溝２４とは、転動体としての複数のボール３０が転動する負荷軌道路３１を形成している。ボール３０が負荷軌道路３１を転走することにより、スライダ１２は軌道レール１１に対してスムーズに摺動可能である。
【００２５】
スライダ１２のケーシング２０は、略直方体の形状を有しており、軌道レール１１の内幅の範囲内に納まっている。ケーシング２０の高さは、軌道レール１１と同様、極力低くされている。即ち、ケーシング２０は、軌道レール１１の側部１３の上面１８より上方に突出するスライダヘッド部５０を備えているが、その突出量Ｄは、略５ｍｍ、高くても１０ｍｍ以内にある。したがって、スライダ１２は、軌道レール１１の上面１８よりも突出する突出量Ｄが極力小さくなるように構成されている。スライダ１２は、軌道レール１１と共に直動案内ユニット１をコンパクトに構成しており、スライダ１２を軌道レール１１に対して駆動するボールねじや駆動モータ等の駆動機構等、周辺機器の設計自由度が拡がり、直動案内ユニット１が適用される機械、装置の小形・軽量を図ることが可能である。
【００２６】
転動体３０は無限循環して転走するように直動案内ユニット１に組み込まれており、無限循環路は、対向する軌道溝１７，２４から成る負荷軌道路３１、ボール３０を帰還させるためのケーシング２０に形成された無負荷軌道路としてのリターン孔３２、及び負荷軌道路３１とリターン孔３２とに連通するエンドキャップ２１に形成された無負荷軌道路としての方向転換路３３（図６参照）から構成される。負荷軌道路３１を含む無限循環路とボール３０とにより、スライダ１２を軌道レール１１に対して摺動案内する直動転がり案内機構が構成されている。スライダ１２の各側に配設されている列状に転走するボール３０は比較的大径のボールであり、軌道レール１１の各第１軌道溝１７に対して、微視的に見れば上下２つの接触域で接触している。したがって、スライダ１２は軌道レール１１に対して合計４つの線状領域で接触することになり、方向や大きさが変動する負荷荷重や複合荷重が作用する用途で使用しても、直動案内ユニット１に安定した高い精度と剛性を得ることができる。
【００２７】
スライダ１２には、無限循環路に潤滑剤を供給するためのグリースニップル３５が、一方のエンドシール２２の外面から突出した状態でエンドキャップ２１に取り付けられており、外部からの潤滑油が各無限循環路内に供給される。他方のエンドキャップ２１には、潤滑油が漏れるのを封じる止め栓３６が取り付けられている。負荷軌道路３１の上面において、ケーシング２０と軌道レール１１との隙間は上面シール（図示せず）によってシールされており、上方からの塵埃や異物等が負荷軌道路３１に侵入するのを防止している。
【００２８】
エンドキャップ２１の詳細が図６に示されている。図６は、エンドキャップ２１のケーシング２０側に面する背面図である。エンドキャップ２１は、ケーシング２０の長手方向両端面に取り付けられており、ボール３０を負荷軌道路３１とリターン孔３２との間で方向転換させるため、ケーシング２０に面する側に一対の方向転換路３３が形成されている。方向転換路３３は、ボール３０が転動しながら方向転換できる形状に溝状に形成されている。エンドキャップ２１には、グリースニップル３５が接続される接続孔４０、接続孔４０に繋がり且つ各方向転換路３３に潤滑油を供給する供給溝４１が形成されている。また、ケーシング２０に螺入される取付けねじ２５が挿通するための複数のねじ挿通孔４２が所定の位置に形成されている。
【００２９】
エンドシール２２の詳細が図７に示されている。図７は、エンドシール２２の正面図である。エンドシール２２の本体４５には、グリースニップル３５が挿通される挿通孔４６、ケーシング２０に螺入される取付けねじ２５が挿通するためのねじ挿通孔４７が、所定の位置に形成されている。挿通孔４６及びねじ挿通孔４７は、それぞれ、エンドキャップ２１の接続孔４０又はねじ挿通孔４２に整合した位置に設けられている。エンドシール２２は、負荷軌道路３１の長手方向両端部を覆うように且つ輪郭が第１軌道溝１７に整合するように本体４５から突出して形成されたリップ部４８を備えている。
【００３０】
次に、直動案内ユニット１のベッド２及びテーブル３への取付けに関して、図５を参照して説明する。軌道レール１１の一方の側部１３には軌道レール１１の長手方向に沿って延びる軌道レール取付け基準側面２７が形成されており、軌道レール取付け基準側面２７に対応して、ベッド２には軌道レール取付け側面４が形成されている。軌道レール取付け基準側面２７と軌道レール取付け側面４とは、軌道レール１１の長手方向と平行に延び且つ互いに当接する平面に形成されている。軌道レール１１は、軌道レール取付け基準側面２７が軌道レール取付け側面４に対して突き当てられることにより、横方向に位置と姿勢が決められた状態となる。
【００３１】
軌道レール１１の各側部１３の下部を互いに連結する底部１４の底面は、軌道レール１１のベッド２への取付け基準となる軌道レール取付け基準底面２８となっており、軌道レール取付け基準側面２７と軌道レール取付け基準底面２８とは、互いに直交する平面に形成されている。軌道レール取付け基準底面２８に対応して、ベッド２には軌道レール取付け上面５が形成されており、軌道レール取付け側面４と軌道レール取付け上面５とは、互いに直交する段状の面に形成されている。軌道レール取付け側面４と軌道レール取付け上面５との交差部には加工用の逃げ溝８が形成されている。軌道レール１１は、軌道レール取付け基準底面２８が軌道レール取付け上面５に突き当てられることにより、縦方向に位置と姿勢が決められた状態となる。軌道レール１１の底部１４には、軌道レール１１の長手方向に適当な間隔で２列に並ぶ取付孔１９が形成されている。軌道レール１１は、軌道レール取付け基準側面２７及び軌道レール取付け基準底面２８をそれぞれベッド２の軌道レール取付け側面４と軌道レール取付け上面５とに突き合わせて縦及び横方向に位置と姿勢が決められた状態で、取付孔１９を挿通する取付けボルト６をベッド２に形成されているねじ穴７に螺合させることにより、ベッド２に固定される。
【００３２】
直動案内ユニット１において、スライダ１２のケーシング２０は、軌道レール１１の両側部１３の上面１８よりも上方に長さＤだけ突出したスライダヘッド部５０を有している。スライダヘッド部５０の横方向に面する一方の側面は、仕上げ面を精度良くしたスライダ取付け基準側面５１となっている。スライダヘッド部５０の両方の側面をスライダ取付け基準側面５１に形成しておき、いずれか一方のスライダ取付け基準側面５１のみを利用してもよい。スライダ取付け基準側面５１は、スライダ１２の摺動方向に平行な平面である。スライダヘッド部５０の頂面５２の一部はテーブル３に取り付けられるスライダ取付け基準頂面５３となっており、スライダ取付け基準頂面５３にはテーブル取付け用の４個のねじ穴５４が開口している。取付けボルト５６が螺入されるねじ穴５４は、中心線Ｂ−Ｂに平行に穿孔されている。スライダ取付け基準側面５１とスライダ取付け基準頂面５３とは、互いに直交する平面として形成されている。テーブル３にはねじ穴５４に対応して４個で１組の取付け孔５５が形成されており、取付けボルト５６を、テーブル３の取付け孔５５を通してスライダ１２のねじ穴５４に螺入することにより、スライダ１２がテーブル３に取り付けられる。
【００３３】
テーブル３には、スライダ１２の取付け時において、スライダ１２のスライダ取付け基準側面５１が当接するスライダ取付け側面５７と、スライダ１２のスライダ取付け基準頂面５３が当接するスライダ取付け下面５８とが、互いに直交する面として段状に形成されている。スライダ取付け側面５７とスライダ取付け下面５８との交差部には、加工用の逃げ溝５９が形成されている。スライダ取付け基準側面５１は、幅がＤ以内（５ｍｍ〜１０ｍｍ）の平面であり、実質的に全面に渡って充分な剛性を以てスライダ取付け側面５７に突き当てられ、スライダ１２のテーブル３への取付けに際してスライダ１２を横方向に位置決めし且つ姿勢を規制している。スライダ取付け基準側面５１とスライダ取付け側面５７とによってスライダ１２を横方向に規制し、且つスライダ１２のスライダ取付け基準頂面５３をスライダ取付け下面５８に当接させて縦方向に規制した状態で、取付けボルト５６により、スライダ１２がテーブル３に取り付けられる。スライダ１２のスライダ取付け基準側面５１は、軌道レール１１の軌道レール取付け基準側面２７と平行な面に形成されているので、テーブル３を軌道レール１１の基準側面に沿って精度良く取り付けることができる。
【００３４】
軌道レール１１の取付けのための軌道レール取付け基準側面２７とスライダ１２の取付けのためのスライダ取付け基準側面５１とは互いに反対側になっている。即ち、スライダ取付け側面５７と軌道レール取付け側面４とは、互いに対向している。両側面４，５７に面する方向の力は互いに直動案内ユニット１において相殺され、直動案内ユニット１を傾転させるモーメントが抑制される。特には、直動案内ユニット１を図５に示す状態から９０°回転してなる横置き状態で使用する場合に、有効な取付けとなる。
【００３５】
【発明の効果】
この発明による直動案内ユニットの取付け構造によれば、スライダは軌道レールの各側部の上面を超えて突出するスライダヘッド部に形成された前記第２取付け基準面がテーブルに形成されたスライダ取付け面に対して位置決めされた状態で取り付けられ、また、軌道レールをベッドに取り付けるに際しても、軌道レールに形成された前記第１取付け基準面がベッドに形成された前記軌道レール取付け面に対して位置決めされた状態で取り付けられるので、スライダが軌道レールに対して摺動しても、相対的な姿勢を所定の姿勢に維持することができる。その結果、この発明による直動案内ユニットによれば、半導体製造装置、検査装置、測定器、加工機、組立機等において、ワークの加工や搬送を行う際に、ワークの位置及び姿勢を好ましい状態に維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による直動案内ユニットの一例を示す斜視図である。
【図２】図１に示す直動案内ユニットの矢視Ａの方向で見た断面図である。
【図３】図１に示す直動案内ユニットの平面図である。
【図４】図１に示す直動案内ユニットの側面図である。
【図５】図１〜図４に示す直動案内ユニットをベッドとテーブルとに取り付けて適用された状態を示す一部破断して示す正面図である。
【図６】図１に示す直動案内ユニットに用いられるエンドキャップの背面図である。
【図７】図１に示す直動案内ユニットに用いられるエンドシールの正面図である。
【図８】従来の直動転がり案内ユニットを示す一部破断して示す斜視図である。
【図９】図８に示す従来の直動転がり案内ユニットのベッド及びテーブルへの取付け状態を一部破断して示す正面図である。
【符号の説明】
１    直動案内ユニット
２    ベッド
３    テーブル
４    軌道レール取付け側面
５    軌道レール取付け上面
６    取付けボルト
１１  軌道レール
１２  スライダ
１３  側部
１５  凹部
１６  内側壁面
１７  第１軌道溝
１８  側部の上面
１９  取付け孔
２０  ケーシング
２１  エンドキャップ
２２  エンドシール
２４  第２軌道溝
２７  軌道レール取付け基準側面
２８  軌道レール取付け基準底面
３０  ボール（転動体）
３１  負荷軌道路
３２  リターン孔
３３  方向転換路
５０  スライダヘッド部
５１  スライダ取付け基準側面
５３  スライダ取付け基準頂面
５４  ねじ穴
５６  取付けボルト
５７  スライダ取付け側面
５８  スライダ取付け下面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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