(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部がダイアフラムにより仕切られる上チャンバと下チャンバを具備し、該下チャンバ内に加熱装置を有するか又は有しないラミネート装置における被加工物を搬送する搬送装置であって、被加工物を載置する部分に比べて厚さが大きい接続部によって、ベルトの端部同士を接続して、連続したエンドレス状に構成したリリースシート機能を有する搬送用のベルトを、当該ベルトが前記チャンバの４辺のうち搬送方向の対向する２辺のみをまたいで通過するように被加工物の下側に配すると共に、前記上チャンバと前記下チャンバからなる真空容器を閉じたときに、前記搬送用のベルトと前記真空容器とが接触する一方の真空容器の面に、柔軟性があり圧縮可能なシール材を設け、前記搬送用のベルトと前記真空容器とが接触する他方の真空容器の面を平面に形成し、
前記搬送用のベルトの接続部を検出する接続部検出器と前記搬送用のベルトが巻回される駆動ローラとを配設し、前記接続部検出器が前記搬送用のベルトの接続部を検出し、前記接続部を避けて前記搬送用のベルトに搬送される被加工物を載せかつ前記接続部を避けて上チャンバと下チャンバからなる真空容器を閉じるように、前記駆動ローラが前記搬送用のベルトを駆動及び停止することを特徴とするラミネート装置における搬送装置。
【請求項２】
内部がダイアフラムにより仕切られる上チャンバと下チャンバを具備し、該下チャンバ内に加熱装置を有するか又は有しないラミネート装置における被加工物を搬送する搬送装置であって、被加工物を載置する部分に比べて厚さが大きい接続部によって、ベルトの端部同士を接続して、連続したエンドレス状に構成し前記チャンバに連通する複数の穴を備えてリリースシート機能を有する搬送用のベルトを、当該ベルトがチャンバの４辺を覆うように被加工物の下側に配すると共に、前記上チャンバと前記下チャンバからなる真空容器を閉じたときに、前記搬送用のベルトと前記真空容器とが接触する一方の真空容器の面に、柔軟性があり圧縮可能なシール材を設け、前記搬送用のベルトと前記真空容器とが接触する他方の真空容器の面を平面に形成し、
前記搬送用のベルトの接続部を検出する接続部検出器と前記搬送用のベルトが巻回される駆動ローラとを配設し、前記接続部検出器が前記搬送用のベルトの接続部を検出し、前記接続部を避けて前記搬送用のベルトに搬送される被加工物を載せかつ前記接続部を避けて上チャンバと下チャンバからなる真空容器を閉じるように、前記駆動ローラが前記搬送用のベルトを駆動及び停止することを特徴とするラミネート装置における搬送装置。
【請求項３】
被加工物の上側に前記搬送用のベルトに対向する被覆用のベルトを配した請求項１または２に記載の搬送装置。
【請求項４】
搬送用のベルトに、２箇所以上において分離可能に接続したベルトを使用した請求項１〜３のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項５】
搬送用のベルトの移動量を検出する手段を具えた請求項１〜４のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項６】
搬送用のベルトの搬出側に、ラミネート装置において加熱加工された被加工物を放冷する区間を設けた請求項１〜５のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項７】
搬送用のベルトを複数のローラに掛け回し、前記ローラの１以上がアクチュエータにより駆動され、ベルトの張力を制御するようにした請求項１〜６のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項８】
搬送用のベルト又は搬送用のベルト及び被覆用のベルトにブラシを当て、被加工物の搬送時、ベルトに付着した異物を除去するようにした請求項１〜７のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項９】
被加工物の上側に被覆用のベルトを走行可能に配した請求項３〜８のいずれかに記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、太陽電池パネルなどを製造するラミネート装置において被加工物を搬送する搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
太陽電池パネルを製造するラミネート装置としては、特開平9-14743号や実用新案第3037201号などの公報に開示されているが、従来の一般的なラミネート装置は、下方に向けて膨張自在なダイアフラムを具えた上チャンバと、発熱板を具えた下チャンバとにより構成され、下チャンバに設けられた発熱板に、最下層がガラス板で、その上にシート状の充填材，太陽電池セル，シート状の充填材を順次積層し、最上部にシート状の裏面材を配した被加工物を載置して、上チャンバと下チャンバを減圧し、被加工物を加熱して、上チャンバに大気を導入することにより、被加工物を発熱板の上面とダイアフラムとの間で挟圧してラミネートするようになっている。
【０００３】
上記において、上チャンバと下チャンバを減圧即ち真空引きするのは、被加工物内に気泡を残存させないためで、その理由は、太陽電池に気泡が残されたままの状態で太陽光にさらされ、温度が上昇すると、気泡が膨張して劣化が早まるからである。
【０００４】
また、被加工物は発熱板により加熱されるが、発熱板の温度は設定温度に制御され、適宜時間経過すると、被加工物は発熱板の温度と略同一となるから、前記設定温度を充填材の融点より高くしておくことにより、充填材は溶融するようになっており、上チャンバにのみ大気を導入することにより、ダイアフラムは膨張し、被加工物を発熱板に押し付けて一体に接合するので、この接合の後、下チャンバを大気圧に戻して蓋を開き、被加工物を搬出するようになっている。
【０００５】
一方、充填材としては、ＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）などが使用される。このＥＶＡ樹脂を使用した場合、ＥＶＡ樹脂は80〜100℃程度で溶融するので、ラミネート装置においては、前記温度以上の温度で該樹脂を溶融させて、加圧接合させるのであるが、接合させただけでは樹脂が安定しないので、架橋させなければならない。架橋の条件は樹脂の特性により異なり、ＥＶＡ樹脂の場合、150℃程度の温度で数分〜20分程度保持することによって、適度に架橋されるのであるが、比較的長い時間を要するので、架橋の工程は、ラミネート装置においてではなく、別のオーブン装置又はコンベア炉において行われることもある。
【０００６】
上記充填材の大きさは、被加工物の最下層のガラス層に対して、通常、数mm程度大きくしているが、これは、端面でのシール性を確保するためであって、このようにすると、ガラスからはみ出ている部分の充填材が発熱板に付着し、この状態で、次の被加工物をラミネート装置に搬入すると、ガラスの下面に充填材が付着してしまい、その除去が困難となる。これを防止する手段として、剥離性の良好なシート（以下、リリースシートという）を２枚用意しておき、被加工物をそれらの間に挟んだ状態でラミネート装置に入れる方法がある。
【０００７】
リリースシートとしては、フッ素樹脂を含浸させたガラスクロスシートが有用であり、これにＥＶＡ樹脂が付着しても、容易に除去することができるが、前述の公知の技術では、このリリースシートの機能はなく、はみ出した充填材がチャンバ内の発熱板及びダイアフラムに付着して残存してしまうのが現状である。また、リリースシートを使用し、被加工物をこれに挟んで搬送する場合は、該リリースシートをかぶせたり、剥がしたり、付着した充填材を除去したりする作業が必要であるが、これらの作業は人手によらなければならず、コスト高の原因となる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述のような従来技術に鑑み、ラミネート装置において、ラミネート機能を損なうことなく、リリースシート機能を有し、被加工物を合理的に搬送する搬送装置を提供することを、その課題とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決することを目的としてなされた本発明の構成は、内部がダイアフラムにより仕切られる上チャンバと下チャンバを具備し、該下チャンバ内に加熱装置を有するか又は有しないラミネート装置における被加工物を搬送する搬送装置であって、被加工物を載置する部分に比べて厚さが大きい接続部によって、ベルトの端部同士を接続して、連続したエンドレス状に構成したリリースシート機能を有する搬送用のベルトを、当該ベルトが前記チャンバの４辺のうち搬送方向の対向する２辺のみをまたいで通過するように被加工物の下側に配すると共に、前記上チャンバと前記下チャンバからなる真空容器を閉じたときに、前記搬送用のベルトと前記真空容器とが接触する一方の真空容器の面に、柔軟性があり圧縮可能なシール材を設け、前記搬送用のベルトと前記真空容器とが接触する他方の真空容器の面を平面に形成し、前記搬送用のベルトの接続部を検出する接続部検出器と前記搬送用のベルトが巻回される駆動ローラとを配設し、前記接続部検出器が前記搬送用のベルトの接続部を検出し、前記接続部を避けて前記搬送用のベルトに搬送される被加工物を載せかつ前記接続部を避けて上チャンバと下チャンバからなる真空容器を閉じるように、前記駆動ローラが前記搬送用のベルトを駆動及び停止することを特徴とするものである。
【００１０】
即ち、本発明は、真空容器の蓋に取付けたダイアフラムにより仕切られて形成された上チャンバと真空容器自体に形成された下チャンバを有するラミネート装置において、搬送手段としてベルトを使用し、該ベルトがチャンバの４辺のうち搬送方向の対向する２辺にのみまたがって通過するようにした。このようにして真空容器の蓋を閉じると、ベルトのチャンバの２辺にまたがった箇所は蓋に挟まれるが、他の２辺は蓋に挟まれないので、この挾まれない部分から気体の通過が可能となり、真空容器の下チャンバを真空引きした際、ベルトの上にある被加工物内の気体（空気）を脱気できる。ベルトの蓋に挟まれた箇所は、上，下チャンバのシール材にまたがることになるが、シール材の柔軟性と圧縮量及びベルトの厚みを適度にすることにより、この部分からの真空漏れは加工に問題ない程度に防ぐことができる。因みに、シール材の圧縮量は数mm程度、ベルトの厚みは0.1〜0.5mm程度であり、また、ベルトの材質としては、前述のリリースシートと同じものが好ましい。
【００１１】
搬送用のベルトは一箇所以上の箇所において、分離可能に環状に接続したベルトを使用することが好ましい。これは、被加工物の加工時に充填材がはみ出してベルトに付着することが多く、付着した充填材はこれを加工後に除去するが、この除去作業を繰返し行っていくと、ベルトが傷んで交換する必要が生じるのに対応するためであって、こうすることにより、ベルトの傷んだ部分のみを交換することが可能となり、経済的である。
【００１２】
被加工物は、通常、加熱装置を具えたラミネート装置内において、真空引き，加熱，加圧接合されるが、この加工時に、前述のように、充填材がはみ出てベルトに付着する。しかし、はみ出ている充填材は、熱い間は柔らかく粘着力があるため、被加工物はベルトから剥がれにくく、ある程度冷却されると、固化し、被加工物はベルトから容易に剥がれるようになる。そこで、本発明においては、ベルトの搬出側に被加工物を放冷できる区間を持たせるようにした。
【００１３】
ラミネート装置における真空容器とその蓋の接する面には、真空漏れをなくすために、シール材が取付けられている。加熱装置の上面は、シール材よりわずかに高くして、搬送用のベルトが加熱装置の上面を滑っていくようにする。これはベルトを駆動することによるシール材の摩耗を防ぐためである。しかしながら、この場合、ベルトに張力を加えたまま蓋を閉じると、加熱装置の上面が高いために、ベルトを更に引き伸ばしてしまい、ベルトに過度の張力を与えて傷めてしまう。そこで、本発明では、複数のローラを設け、そのうちの１以上がアクチュエータにより可動し、ベルトの張力を緩めた状態で蓋を閉じるようにしたので、ベルトを傷めることがない。
【００１４】
また、本発明においては、搬送用のベルトによる被加工物下面のリリースシート機能に加え、前記搬送用のベルトと同様の被覆用のベルトを被加工物の上を覆わせるようにして、上側のリリースシート機能を持たせた。これは、ラミネート加工を施す前に、被加工物を積層する際の位置の誤差、被加工物をラミネート装置に入れる際の積層された位置のズレ、被加工物の大きさの誤差により、加熱，加圧された際、充填材が裏面材よりはみ出てしまい、はみ出した充填材がダイアフラムに付着し、該ダイアフラムの伸びを阻害する虞れがあるが、上記被覆用ベルトを被加工物の上に被せることにより、裏面材よりはみ出た充填材は該被覆用のベルトに付着し、ダイアフラムに付着するのを防止できる。因みに、ダイアフラムは、通常、耐熱性を有するゴムシートでできており、加圧時には、伸びる必要があるが、充填材が付着すると、付着した部分の伸びを阻害するので、その近傍の部分が伸びない分を補うために通常以上に伸びて、この部分から劣化しやすくなり、そのまま繰返し使用すると、この部分から裂けが発生し、加圧時に上チャンバに大気を導入すると、下チャンバに空気が流れ込み、真空度が悪くなると共に、上チャンバと下チャンバとの間に充分な圧力差を維持できなくなって、加圧が不十分となり、被加工物は不良品となってしまう。
【００１５】
本発明においては、搬送用のベルト又は搬送用のベルト及び被覆用のベルトにブラシを当てることにより、ベルトに付着した充填材を除去するようにすると、ベルトを長持ちさせることができる。
【００１６】
上記の本発明においては、搬送装置の無穴の搬送用のベルトにリリース機能を持たせたが、これに代え、被加工物の下側に、搬送手段としてチャンバに連通する複数の穴を有するベルトを通し、該ベルトによりチャンバの４辺を覆わせるようにしてもよく、被覆用のベルトもこの搬送用のベルトと同様にしてもよい。
【００１７】
また、上述の被加工物の上側のリリース機能を実現するに当り、ラミネート装置の搬入側と搬出側に、それぞれベルトを巻き付けるロールを設けて、一方のロールからベルトを繰り出し、他方のロールで巻き取るようにしてもよい。
【００１８】
また、ベルトを環状にして、ラミネート装置の上チャンバと下チャンバの間を通すようにしてもよい。
【００１９】
前述した搬送用ベルトの分離，接続可能な部分は、該ベルトのその他の部分に比べて厚さが大きくなるので、この部分をラミネート装置の蓋で挟んでしまうと、シール材によっては、下チャンバを真空引きした際、真空漏れを起こす場合がある。これを防ぐためには、このベルトの接続部分を検出する検出手段とベルトの移動量を検出する検出手段とを設けて、ベルト接続部分を検出してから、蓋がこの部分を挟まない所定の移動量を移動したところで、ベルトを停止させることによって、接続部分を蓋で挟まない位置まで、被加工物を搬送できるようにすればよい。
【００２０】
上記の場合、ベルト搬送起動スイッチを設けておき、装置の操作者が、被加工物と搬送用のベルトの接続部を目視により確認して、前記スイッチをオフにすることにより、ベルト搬送を停止させるようにしても、ベルトをその接続部分を蓋で挟まない位置で停止させることができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態例を、ラミネート装置に太陽電池用ラミネート装置を使用した例の図により説明する。図１は被加工物の構成を示す断面図、図２は蓋が開いている状態のラミネート装置の断面図、図３は図２の状態から蓋を閉じて下チャンバを真空引きし、上チャンバに大気を導入して、ダイアフラムにより被加工物を発熱板に押し付けた状態の断面図、図４は本発明における搬送用ベルトの平面図、図５は図４の別例の平面図、図６は搬送用ベルトの接合部の平面図、図７は図６の側面図、図８は本発明搬送装置の一例の搬送状態を示す図、図９は図８の状態から加工が終了し蓋を開いた状態を示す図、図10は図９の状態から被覆用ベルトを少し浮かした状態を示す図、図11は図10の状態から被加工物を搬送している状態を示す図、図12は図11の状態から被覆用ベルトを更に高い位置に上げた状態を示す図、図13は図12の状態から被覆用ベルトを巻戻している状態を示す図、図14は図13の状態から被覆用ベルトを元の位置に下げた状態を示す図、図15は図14の状態から蓋を閉じた状態を示す図、図16は被覆用ベルトを環状にした例を示す図、図17は図16の別例を示す図である。
【００２２】
図１において、Ａはラミネート加工すべき被加工物で、最下層のガラス板１の上に、シート状の充填材２、太陽電池セル３、シート状の充填材５を順次積層し、最上位に裏面材６を配して構成される。なお、４は太陽電池セル３を連結するリボン状の電極である。
【００２３】
図２，３において、７は真空容器、８はその蓋、９は蓋８に取付けたダイアフラム、10は蓋８とダイアフラム９により形成された上チャンバ、11は真空容器７に取付けた発熱板、12は真空容器７とダイヤフラム９により形成された下チャンバで、真空容器７と蓋８はシール材13により密封されるようになっている。7aは真空容器７の配管接続口、8aは蓋８の配管接続口であって、両接続口7a，8aは、真空引きと大気導入の両動作のためのものである。通常のラミネート装置は上記により構成され、発熱板11の上に被加工物Ａを載置して、図３に示すように、真空容器７に蓋８を施し、発熱板11により被加工物Ａを加熱すると共に真空容器７を真空引きして、ダイアフラム９を被加工物Ａの上面から発熱板11に押し付けるようにすることにより、発熱板11の加熱により充填材２，５が溶融すると共に被加工物Ａが脱泡され、ラミネート体に形成された後、蓋８を取り外して該ラミネート体を取り出すのであるが、本発明は被加工物Ａを搬送するため、発熱板11と被加工物Ａとの間に搬送用の下側ベルト14を配して、ラミネート加工後の被加工物Ａを下側ベルト14により搬送するようにした。
【００２４】
なお、上記下側ベルト14は、図４に示すように、チャンバ12の４辺のうち搬送側の対向する２辺にのみまたいで通過するようにして、真空容器７の蓋８を閉じると、ベルト14のチャンバの２辺にまたがった箇所は蓋８に挟まれ、そうでない箇所は蓋８に挟まれないので、気体の通過が可能である。従って、下チャンバ12を真空引きした際、被加工物Ａ内の気体（空気）を脱気できる。また、蓋８に挟まれた箇所は、シール材13にまたがることになるが、シール材13の柔軟性と圧縮量及びベルトの厚みを適度にすることにより、この部分からの真空漏れは、加工に問題のない程度に防ぐことができる。前述のように、シール材13の圧縮量は数mm程度で、ベルト14の厚みは0.1〜0.5mm程度である。
【００２５】
更に、ベルト14の材質は、前述のように、リリース機能を有するフッ素樹脂を含浸させたガラスクロスシートが有用である。その理由は、ラミネート加工に際し、充填材２，５が発熱板11により加熱されて溶融すると、はみ出して発熱板11に付着し、前述のような不具合が生じるからで、本発明においては、はみ出た充填材２が下側ベルト14に付着するようにしたので、従来のような問題はなくなる。
【００２６】
15は被加工物Ａの上に被せた被覆用の上側ベルトで、下側ベルト14と同様のベルトであり、リリース機能を持たせて、ラミネート加工時に溶融しはみ出た充填材２，５がダイアフラム９に付着して不具合が生じるのを防ぐためのものである。
【００２７】
図４において、16はラミネート装置Ｌのフレーム、17は下側ベルト用ローラ、18は球面軸受け、19は下側ベルト用ブラケット、20は下側ベルト用直動ガイド、21は下側ベルト用シリンダ、22は搬入コンベア、23は下側ベルト14における加工後の被加工物A´を放冷する区間、24は下チャンバ12の気体の流路である。
【００２８】
図５は下側ベルト14に代えて、両側に穴26を列設した穴明きベルト25を用いた例を示す平面図で、この穴明きベルト25を用いることにより、チャンバ12の四辺を覆っても、穴26が気体の流路になるため、ラミネート加工に際して脱気が可能である。
【００２９】
図６は下側ベルト14の接合部の平面図、図７は図６の正面図であり、27はヒンジ状をなすベルト接続部材、28は該接続部材27に通したピンであって、ピン28により下側ベルト14の分離及び接続が可能である。
【００３０】
図８〜図15は、本発明搬送装置により被加工物Ａを搬送する実施状態を例示するもので、これらの図においては、上側ベルト15も用いられている。そして、下側ベルト14は複数箇所において接続されて環状をなし、その駆動ローラ29に電動機等のアクチュエータを取付けて駆動するようになっており、また、搬送される被加工物Ａが下側ベルト14の接合部に乗らないように、ベルト14の接続部を検出する接続部検出器30配設して、該検出器30によりベルト14の継ぎ目を検出して、回転量検出器31により前記ローラ29の回転量を測定し、下側ベルト14の移動量が所定の長さになるまで該ベルト14を駆動し停止させることによって、被加工物Ａをラミネート装置内の所定位置まで搬入することができる。なお、ベルト14の接続部検出器30としては、厚さ測定センサ又は色判別センサ等が例示され、一方、ローラ29の回転量検出器としては、パルス発生器が例示される。
【００３１】
一方、上側ベルト15は、搬入側と搬出側にそれぞれベルトを巻きつけるローラを設け、一方から繰り出し、他方で巻き取るようにしてある。図８において、32は搬入側の上側ベルトロール、33は搬出側の上側ベルトロールで、それらロールのそれぞれに電動機を取付け、繰り出し側においてトルクの制御を行い、巻き取り側において速度の制御を行うことにより、上側ベルト15の搬送が可能である。なお、ベルト15の張力は前記トルクの制御により制御することができる。
【００３２】
34は上側ベルト用シリンダ、35は同じく上側ベルト用シリンダ、36は上側ベルト用ブラケット、37は上側ベルト用ローラ、38は上側ベルト用ブラシ、39は下側ベルト用ブラシであり、上側ベルト用ローラ37は、上側ベルト用ブラケット36を介して上側ベルト用シリンダ34，35により上下動が可能であって、これらにより上側ベルト15の高さを変更できる。また、図8においては、搬入コンベア22には未加工の被加工物Ａがあり、ラミネート装置内では被加工物Ａが加工されており、下側ベルト14の搬出側には放冷中の被加工物A'がある状態を示していて、この状態にあっては、下側ベルト14には下側ベルト用ブラシ39が、また、上側ベルト14には上側ベルト用ブラシ38が当てられ、それぞれのベルトに付着した充填材２，５を除去している。図中、40は搬出用コンベアである。
【００３３】
図９は、図８の状態から、ラミネート加工が終了して、真空容器７の蓋８を開いた状態を示しており、図10は、図9の状態から上側ベルト15を少し浮かした状態を示している。この時点では、上側ベルト15は高く上げないほうがよい。その理由は、上側ベルト15を高く上げると、裏面材６からはみ出した充填材５が上側ベルト15に付着していた場合、該充填材５が糸状に伸びて長くなってしまい、上側ベルト用ブラシ38による充填材５の除去が困難になるからである。
【００３４】
図11は、図10の状態から、被加工物Ａ，A'を搬送している状態を示しており、下側ベルト14及び上側ベルト15に付着した充填材２，５は前記ブラシ39，38により除去される。
【００３５】
図12は、図11の状態から上側ベルト15を更に高い位置に上げた状態を示しており、図13は、図12の状態から該ベルト15を巻戻している状態を示している。
【００３６】
図14は、図13の状態から上側ベルト15を元の位置に下げた状態、即ち、被加工物Ａに該ベルト15を被せた状態を示しており、図15は、図14の状態から蓋８を閉じた状態を示している。
【００３７】
本発明では、図８〜図15により説明した上側ベルト15を環状に形成したものに代替することができる。即ち、図16は、上側ベルトを環状にした例を示すもので、図16における41は上下動用電動機、42はカップリング、43はギアボックス、44はベアリングユニット、45はネジ、46は該ネジ45に螺合するナット、47は上側ベルト駆動ローラ、48は環状、つまりエンドレスの上側ベルト、49は、前記ナット46，駆動ローラ47及び上側ベルト用シリンダ50，上側ベルト用ブラケット51を取付けた上下動用ブラケット、52は連結シャフト、53はギアボックスであって、上側ベルト用ローラ37は、上下動用ブラケット49を介して前記シリンダ50，ブラケット51により、上下動可能にされており、これによって上側ベルト48の張力を緩めることができるようになっている。 また、上下動用ブラケット49はナット46を介してネジ45により上下動可能であるが、これはギアボックス43を介して上下動用電動機41により駆動される。更に、上側ベルト48は前記駆動ローラ47により駆動され、搬送される。なお、駆動ローラ47の駆動は電動機などで可能である。
【００３８】
図17は、図16と同様、上側ベルト48を環状にした例を示すもので、図16の例と異なるところは、上下動用ブラケット49に代え、固定ブラケット54を用い、このブラケット54に駆動ローラ47及び上側ベルト用シリンダ50，上側ベルト用ブラケット51を取付け、該ブラケット51を連結ビーム55を介してラミネート装置Ｌの蓋８に取付けた点である。上側ベルト48の張力を緩めるのは上述の例と同様であるが、ベルト48の上下動は、該ベルト48の関連部品が蓋８と一体になっているので、蓋８の開閉動作により行うのである。
【００３９】
なお、上記例においては、太陽電池用ラミネート装置における搬送装置について述べたが、本発明搬送装置は太陽電池用ラミネート装置に限られることなく、他のラミネート装置に適用することも可能である。また、本発明では下側ベルト14を設けず、上側ベルト15のみで本発明を適用することも可能である。この場合、被加工物はシート状のリリースシートの上に乗せて、発熱板11上へ搬入される。
【００４０】
【発明の効果】
本発明は上述のとおりであって、ダイアフラムにより仕切られた上チャンバと下チャンバを有すると共に下チャンバ内に加熱装置を設け又は設けないラミネート装置における被加工物を搬送する搬送装置であって、被加工物を載置する部分に比べて厚さが大きい接続部によって、ベルトの端部同士を接続して、連続したエンドレス状に構成したリリースシート機能を有する搬送用のベルトを、当該ベルトが前記チャンバの四辺のうち搬送方向の対向する２辺のみをまたいで通過するように被加工物の下側に配して構成するか、又は、前記チャンバに連通する複数の穴を備えてリリースシート機能を有する搬送用のベルトを、当該ベルトがチャンバの４辺を覆うように被加工物の下側に配して上記と同様に構成し、更に、前記上チャンバと前記下チャンバからなる真空容器を閉じたときに、前記搬送用のベルトと前記真空容器とが接触する一方の真空容器の面に、柔軟性があり圧縮可能なシール材を設け、前記搬送用のベルトと前記真空容器とが接触する他方の真空容器の面を平面に形成し、前記搬送用のベルトの接続部を検出する接続部検出器と前記搬送用のベルトが巻回される駆動ローラとを配設し、前記接続部検出器が前記搬送用のベルトの接続部を検出し、前記接続部を避けて前記搬送用のベルトに搬送される被加工物を載せかつ前記接続部を避けて上チャンバと下チャンバからなる真空容器を閉じるように、前記駆動ローラが前記搬送用のベルトを駆動及び停止することにより、従来装置の問題点を払拭することができて、太陽電池用ラミネート装置に適用すれば、きわめて品質の良好な太陽電池パネルを得ることができる。
【００４１】
即ち、最下層がガラス板で、その上にシート状の充填材、太陽電池セル、シート状の充填材を順次積層し、最上部に裏面材を配したものを被加工物とする太陽電池用ラミネート装置において、被加工物の下又は下及び上にベルトを配し、被加工物を加熱加圧してラミネート加工を施すと、加熱により充填材がはみ出しても、はみ出した充填材は搬送用ベルト又は搬送用ベルト及び被覆用ベルトに付着して発熱板には付着せず、従来行っていた発熱板からの充填材の除去作業がふようとなるので、作業能率は向上するばかりでなく、得られた太陽電池パネルの品質は極めて良好なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】被加工物の構成を示す断面図。
【図２】蓋が開いている状態のラミネ−ト装置の断面図。
【図３】図２の状態から蓋を閉じて下チャンバを真空引きし、上チャンバに大気を導入して、ダイアフラムにより被加工物を発熱板に押し付けた状態の断面図。
【図４】本発明における搬送用ベルトの平面図。
【図５】搬送用ベルトの別例の平面図。
【図６】搬送用ベルトの接合部の平面図。
【図７】図６の接合部の側面図。
【図８】本発明搬送装置の一例の搬送状態を示す図。
【図９】図８の状態から加工が終了し蓋を開いた状態を示す図。
【図１０】図９の状態から被覆用ベルトを少し浮かした状態を示す図。
【図１１】図10の状態から被加工物を搬送している状態を示す図。
【図１２】図11の状態から被覆用ベルトを更に高い位置に上げた状態を示す図。
【図１３】図12の状態から被覆用ベルトを巻戻している状態を示す図。
【図１４】図13の状態から被覆用ベルトを元の位置に下げた状態を示す図。
【図１５】図14の状態から蓋を閉じた状態を示す図。
【図１６】被覆用ベルトを環状にした例を示す図。
【図１７】図16の別例を示す図。
【符号の説明】
Ａ  被加工物
A'  加工済みの被加工物
１  ガラス板
２，５  シート状充填材
３  太陽電池セル
４  電極
６  裏面材
Ｌ  ラミネート装置
７  真空容器
８  蓋
９  ダイアフラム
10  上チャンバ
11  発熱板
12  下チャンバ
13  シール材
14  下側ベルト（搬送用ベルト）
15  上側ベルト（被覆用ベルト）
22  搬入コンベア
23  被加工物の放冷区間
25  穴明きベルト（下側ベルト）
26  穴
27  下側ベルトの接続部材
28  ピン
29  下側ベルトの駆動ローラ
30  接続部検出器
31  駆動ローラの回転量検出器
38  下側ベルト用ブラシ
39  上側ベルト用ブラシ
40  搬出用コンベア
48  環状にした上側ベルト
【図１】
0004354029.tif 000002
【図２】
0004354029.tif 000003
【図３】
0004354029.tif 000004
【図４】
0004354029.tif 000005
【図５】
0004354029.tif 000006
【図６】
0004354029.tif 000007
【図７】
0004354029.tif 000008
【図８】
0004354029.tif 000009
【図９】
0004354029.tif 000010
【図１０】
0004354029.tif 000011
【図１１】
0004354029.tif 000012
【図１２】
0004354029.tif 000013
【図１３】
0004354029.tif 000014
【図１４】
0004354029.tif 000015
【図１５】
0004354029.tif 000016
【図１６】
0004354029.tif 000017
【図１７】
0004354029.tif 000018