(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の薄板を収納支持する容器本体と、当該容器本体を塞いで内部を清浄に保つ蓋体と、当該蓋体に設けられて蓋体を容器本体側に固定する蓋体固定手段とを備えて構成された薄板用収納・保管容器において、
上記蓋体固定手段が、出没動可能に且つ先端部が回動可能に形成されて、上記容器本体側に形成された蓋体引き込み面に当接して回転しながら上記蓋体を上記容器本体側へ引き込む係止片と、回転することで上記係止片を上記蓋体から出没動させるクランク機構とを備えて構成され、
上記クランク機構が、上記係止片に直接的に係合されて回転することで当該係止片を出没動させる回転板と、当該回転板の回転を支持する支持片とを備え、上記支持片が、上記係止片を上記蓋体から延出させた状態で上記回転板に複数設けられた係止ピンを個別に嵌合支持するピン受け部と、当該複数のピン受け部をそれぞれ弾性的に支持して上記回転板を設定角度及び設定位置に整合させる弾性支持部とを備えて構成されたことを特徴とする薄板用収納・保管容器。
【請求項２】
請求項１に記載の薄板用収納・保管容器において、
上記係止片が、上記蓋体から出没動するラッチシャフトと、当該ラッチシャフトの先端に回動可能に取り付けられ、上記容器本体側から上記ラッチシャフト側へ向けて且つ上記容器本体の開口部の外側へ開くように傾斜して上記容器本体側に形成された蓋体引き込み面に当接して上記ラッチシャフトの延出により回転しながら蓋体を上記容器本体側へ引き込むラッチローラとを備えて構成されたことを特徴とする薄板用収納・保管容器。
【請求項３】
請求項１または２に記載の薄板用収納・保管容器において、
上記容器本体に小孔を設けると共に、当該容器本体の内外側間で塵埃を除いて空気のみの出入りを許容するフィルタを設け、当該フィルタの外側にカバーを設けたことを特徴とする薄板用収納・保管容器。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の薄板用収納・保管容器において、
上記容器本体内に収納される複数枚の薄板を一定間隔を空けて１枚ずつ支持する櫛歯を備えた薄板支持部のうち最上段にさらに薄板一枚分の櫛歯を設けたことを特徴とする薄板用収納・保管容器。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の薄板用収納・保管容器において、
上記蓋体引き込み面が、上記クランク機構で上記蓋体から出没動される上記係止片を直接的に押して間接的に上記蓋体を上記容器本体側に押圧することを特徴とする薄板用収納・保管容器。
【請求項６】
請求項３乃至５のいずれか１項に記載の薄板用収納・保管容器において、
上記係止ピンが、上記回転板の裏面に取り付けられ、上記支持片に係合して上記回転板の位置及び角度を調整することを特徴とする薄板用収納・保管容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、蓋体と容器本体とのシール性及び蓋体の着脱性を向上させた薄板用収納・保管容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
薄板用収納・保管容器としては、半導体シリコンウエハを内部に収納して輸送する容器が一般的に知られている。このようなウエハ収納・輸送容器では、収納したウエハ表面の汚染等を防止するために、容器内を清浄に保って輸送することが重要である。このため、容器内は密封されている。即ち、蓋体を容器本体に固定して、容器本体内を密封している。蓋体と容器本体との密封は通常、蓋体と容器本体との間にシール材を設けて行う。このシール材は、蓋体の周縁部に取り付けられ、蓋体が容器本体に押し付けられる力を利用して容器本体に弾性的に当接され、内部を密封している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述のような薄板用収納・保管容器においては、蓋体と容器本体との間にある程度の隙間を有しているため、シール材は実質的に外部に晒されている。このため、外部よりゴミが侵入することがある。このゴミは、シール材と容器本体との当接部にも侵入してくる。この場合、蓋体が容器本体に取り付けられた状態では特に問題にならないが、蓋体を容器本体から取り外すときに問題が生じる。即ち、蓋体を容器本体から取り外す際に、一時的に容器本体内が負圧になって、シール材と容器本体との当接部の隙間から外気が容器本体内に流入してしまうことがある。そして、シール材と容器本体との当接部にゴミが侵入していた場合は、そのゴミが容器本体内に侵入してしまうという問題があった。
【０００４】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、蓋体と容器本体とのシール性及び蓋体の着脱性を向上させた薄板用収納・保管容器を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために第１の発明に係る薄板用収納・保管容器は、複数枚の薄板を収納支持する容器本体と、当該容器本体を塞いで内部を清浄に保つ蓋体と、当該蓋体に設けられて蓋体を容器本体側に固定する蓋体固定手段とを備えて構成された薄板用収納・保管容器において、上記蓋体固定手段が、出没動可能に且つ先端部が回動可能に形成されて、上記容器本体側に形成された蓋体引き込み面に当接して回転しながら上記蓋体を上記容器本体側へ引き込む係止片と、回転することで上記係止片を上記蓋体から出没動させるクランク機構とを備えて構成され、上記クランク機構が、上記係止片に直接的に係合されて回転することで当該係止片を出没動させる回転板と、当該回転板の回転を支持する支持片とを備え、上記支持片が、上記係止片を上記蓋体から延出させた状態で上記回転板に複数設けられた係止ピンを個別に嵌合支持するピン受け部と、当該複数のピン受け部をそれぞれ弾性的に支持して上記回転板を設定角度及び設定位置に整合させる弾性支持部とを備えて構成されたことを特徴とする。
【０００６】
以上の構成により、上記クランク機構が回転することで上記係止片を上記蓋体から出没動させ、この係止片が、蓋体引き込み面に当接して回転しながら上記蓋体を上記容器本体側へ引き込む。これにより、蓋体が容器本体側へ引き込まれて、固定される。また、係止片を蓋体から延出させた状態で、支持片のピン受け部が、回転板に複数設けられた係止ピンを個別に嵌合支持する。このとき、ピン受け部は弾性支持部で弾性的に支持され、回転板を設定角度及び設定位置に整合させて、弾性的に支持する。これにより、蓋体着脱装置の着脱腕部のＴ字型先端部と、薄板用収納・保管容器とが多少位置ずれを起こしても、支持片が回転板を弾性的に支持することでずれを吸収する。
【０００７】
第２の発明に係る薄板用収納・保管容器は、第１の発明に係る薄板用収納・保管容器において、上記係止片が、上記蓋体から出没動するラッチシャフトと、当該ラッチシャフトの先端に回動可能に取り付けられ、上記容器本体側から上記ラッチシャフト側へ向けて且つ上記容器本体の開口部の外側へ開くように傾斜して上記容器本体側に形成された蓋体引き込み面に当接して上記ラッチシャフトの延出により回転しながら蓋体を上記容器本体側へ引き込むラッチローラとを備えて構成されたことを特徴とする。
【０００８】
以上の構成により、蓋体固定手段のラッチシャフトが蓋体から延出されることで、ラッチシャフトの先端のラッチローラが記容器本体側の蓋体引き込み面に当接する。この状態で、さらにラッチシャフトが延出されると、ラッチローラは蓋体引き込む面に当接して回転しながら押し込まれる。これにより、蓋体が容器本体側へ引き込まれて、固定される。
【００１１】
第３の発明に係る薄板用収納・保管容器は、第１または第２の発明に記載の薄板用収納・保管容器において、上記容器本体に小孔を設けると共に、当該容器本体の内外側間で塵埃を除いて空気のみの出入りを許容するフィルタを設け、当該フィルタの外側にカバーを設けたことを特徴とする。
【００１２】
上記構成により、薄板用収納・保管容器を移動したり種々の場所に置いたりする場合に、フィルタが何かに接触して破れるのを防止する。
【００１３】
第４の発明に係る薄板用収納・保管容器は、第１乃至第３の発明のいずれかに記載の薄板用収納・保管容器において、上記容器本体内に収納される複数枚の薄板を一定間隔を空けて１枚ずつ支持する櫛歯を備えた薄板支持部のうち最上段にさらに薄板一枚分の櫛歯を設けたことを特徴とする。
【００１４】
上記構成により、最上段にさらに薄板一枚分の櫛歯を設けて、不要な薄板を最上段の薄板のカバーとして使用する。これにより、最上段の薄板への塵埃等の付着を防止することができる。
【００１５】
第５の発明に係る薄板用収納・保管容器は、上記蓋体引き込み面が、上記クランク機構で上記蓋体から出没動される上記係止片を直接的に押して間接的に上記蓋体を上記容器本体側に押圧することを特徴とする。
【００１６】
上記構成により、上記蓋体引き込み面が上記係止片を直接的に押して間接的に上記蓋体を上記容器本体側に押圧して、上記蓋体を上記容器本体側に固定する。
【００１７】
第６の発明に係る薄板用収納・保管容器は、上記係止ピンが、上記回転板の裏面に取り付けられ、上記支持片に係合して上記回転板の位置及び角度を調整することを特徴とする。
【００１８】
上記構成により、上記係止ピンが、上記支持片に係合して上記回転板の位置及び角度を調整して、係止片を設定位置に出没動さて、上記蓋体を上記容器本体側に固定する。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００２０】
本実施形態では、薄板としての半導体シリコンウエハを収納して輸送する半導体シリコンウエハ用収納・保管容器を例に説明する。
【００２１】
この半導体シリコンウエハ収納・保管容器１は、図２、図３及び図１２に示すように、内部に半導体シリコンウエハＳを多数枚収納支持する容器本体２と、この容器本体２内の対向する側壁にそれぞれ設けられ、内部に収納された多数枚の半導体シリコンウエハＳを一定間隔を空けて両側から１枚ずつ保持する薄板支持部としてのウエハ支持部３と、容器本体２の開口部を気密に塞いで内部を清浄に保つ蓋体４とを有して構成されている。
【００２２】
容器本体２は、全体をほぼ立方体状に形成されている。容器本体２の側壁の内側にはウエハ支持部３が取り付けられている。
【００２３】
容器本体２の一側（図１２中の上側）の端壁には、製造ライン等に設けられた搬送装置（図示せず）で搬送される際にその腕部で掴まれる搬送用フランジ部７が設けられている。容器本体２の他側の端壁には、図２に示すように、自己の載置位置を正確に調整するための位置決め用嵌合部８が設けられている。
【００２４】
また、両側壁には、作業者が手で持って容器本体２を持ち運んだり縦にしたり横にしたりするためにハンドル９が設けられている。
【００２５】
容器本体２の前端部（図１２の左側端部）には、蓋体４が嵌合するための蓋体受け部１１が設けられている。この蓋体受け部１１は、図１、図４、図５及び図６に示すように、容器本体２の端部を蓋体４に合わせて拡大されて形成されている。この蓋体受け部１１は、後述する二重シール機構６５に合わせて２段に形成されている。具体的には、内側段部１２と外側段部１３とから構成されている。
【００２６】
内側段部１２は、容器本体２の側壁の前端から外周へ広げられて形成されている。この内側段部１２は、二重シール機構６５の内側シール片６６が当接される内側シール受け部１５を構成している。内側シール受け部１５には、内側シール片６６の先端の膨らみ部６６Ｃが嵌合する嵌合溝１６が形成されている。内側段部１２はそのまま延長されて把持用フランジ１７が構成されている。この把持用フランジ１７は、容器本体２が搬送装置で搬送されるときに把持されるフランジである。
【００２７】
外側段部１３は、内側段部１２の外側（図１中の右側）に蓋体４の厚み分だけずらして形成されている。この外側段部１３は、二重シール機構６５の外側シール片６７が当接される外側シール受け部１８を構成している。
【００２８】
内側段部１２と外側段部１３との間には、ローラ受け穴２１が設けられている。このローラ受け穴２１は、後述するラッチローラ４２に対応して４カ所に設けられている。ローラ受け穴２１は、ラッチローラ４２が収納できる大きさに設定されいる。ローラ受け穴２１の外側面２２は、蓋体支持面２２Ａと、蓋体引き込み面２２Ｂとから構成されている。蓋体支持面２２Ａは、水平面状（垂直面状）に形成され、ラッチローラ４２が完全にはまり込んだ状態で当接することにより、蓋体４を容器本体２側に固定して支持するようになっている。蓋体引き込み面２２Ｂは、ラッチローラ４２側へ向けて外側へ開くように傾斜して形成されている。これにより、蓋体引き込み面２２Ｂは、直接的にラッチローラ４２を押して間接的に蓋体４を容器本体２側に押圧するようになっている。即ち、後述するラッチシャフト４１の延出によりラッチローラ４２がローラ受け穴２１に侵入してくると、ラッチローラ４２は蓋体引き込み面２２Ｂに当接して回転しながら傾斜面を奥へ進み、図１の状態から図６に状態のように蓋体４を容器本体２側へ引き込むようになっている。外側段部１３の周囲にはもう一段の段差部２４を有して外側端面２５が形成されている。そして、ラッチローラ４２がローラ受け穴２１の蓋体支持面２２Ａに当接して蓋体４が容器本体２に取り付けられた状態で、容器本体２の外側端面が蓋体４の外側端面と面一になるように設定されている。
【００２９】
蓋体４は、図１〜図６に示すように、中空の厚板状に構成されている。具体的には、浅い皿状の本体部２７と、本体部２７を塞ぐ蓋板部２８とから構成されている。皿状の本体部２７の周縁には、内側ガスケット支持溝２９と、外側ガスケット支持溝３０が設けられている。
【００３０】
内側ガスケット支持溝２９は、本体部２７の周縁の内側面（図１の左側面）に環状に形成されている。後述する断面Ｌ字型の内側シール片６６は、その基端部が内側ガスケット支持溝２９に嵌合支持された状態で、法線方向外方へ延出される。本体部２７の周縁の内側面（図１中の左側面）のうち、内側ガスケット支持溝２９の法線方向外方（図１中の上方）には、内側シール片６６の外側面に当接して押圧するシール押圧部３２が環状に形成されている。このシール押圧部３２が内側シール片６６の外側面を押圧することで、シール押圧部３２と容器本体２側の内側シール受け部１５とで内側シール片６６を挟み持つようになっている。
【００３１】
外側ガスケット支持溝３０は、本体部２７の周縁の外側部（図１の右側部分）に環状に形成されている。この外側ガスケット支持溝３０は、法線方向外方へ向けて開口した環状溝として構成されている。外側ガスケット支持溝３０の外側壁３０Ａは、外側シール片６７を覆って保護するように拡大して形成されている。
【００３２】
内側ガスケット支持溝２９と外側ガスケット支持溝３０との間には、４カ所の位置にシャフト穴３４が設けられている。このシャフト穴３４は、後述するラッチシャフト４１を摺動自在に支持するための穴である。シャフト穴３４には軸受け３５が取り付けられている。この軸受け３５は、ラッチシャフト４１のローラ支持部４１Ｂとほぼ同じ寸法に設定されて、摺動部分にあまり隙間が生じないように設定されている。これは、本体部２７内で塵埃等が発生してもその塵埃等が内側シール片６６側に侵入しないようにするためである。
【００３３】
本体部２７内には、図１、図５〜図１０に示すように、蓋体４を容器本体２側に固定するための蓋体固定手段３７が設けられている。この蓋体固定手段３７は、係止片３８と、クランク機構３９とから構成されている。
【００３４】
係止片３８は、ラッチシャフト４１と、ラッチローラ４２とから構成されている。ラッチシャフト４１は、蓋体４の本体部２７から直線的に出没動するシャフトである。ラッチシャフト４１は、金属棒部４１Ａと、ローラ支持部４１Ｂと、クランク係止部４１Ｃとから構成されている。金属棒部４１Ａはラッチシャフト４１の強度を保持するための部材である。ローラ支持部４１Ｂは、合成樹脂で成形され、本体部２７の軸受け３５に摺動自在に挿入されてラッチシャフト４１の出没動を支持する。クランク係止部４１Ｃは、後述する回転板４５の出没用長穴４７に係止するための部材である。このクランク係止部４１Ｃの先端部には回転板４５の出没用長穴４７にはまり込む係合ピン４１Ｄが設けられている。
【００３５】
ラッチローラ４２は、摩擦することなく容器本体２側に係止して蓋体４を容器本体２側に固定するための部材である。このラッチローラ４２はローラ支持部４１Ｂの先端に回動可能に取り付けられている。
【００３６】
クランク機構３９は、回転することで、係止片３８を蓋体４から出没動させるための部材である。このクランク機構３９は、回転板４５と、支持片４６とから構成されている。
【００３７】
回転板４５は、係止片３８に係合されて、回転することで係止片３８を出没動させるための部材である。この回転板４５は円盤状に形成され、中心に向かって螺旋状に延びる２つの出没用長穴４７が設けられている。この出没用長穴４７にラッチシャフト４１のクランク係止部４１Ｃが係止され、回転板４５の回転によりクランク係止部４１Ｃが回転板４５の中心に引き寄せられたり周縁に押しやられたりして係止片３８を出没させる。回転板４５の表面の心には嵌合凹部４９が設けられている。この嵌合凹部４９は、周囲を隆起させることで窪ませて形成されている。嵌合凹部４９は、蓋体着脱装置（図示せず）の着脱腕部のＴ字型先端部が嵌合する部分である。
【００３８】
回転板４５の裏面には、３カ所の位置に係止ピン５１が取り付けられている。この係止ピン５１は、後述する支持片４６に係合して回転板４５の位置及び角度を調整するための部材である。回転板４５の裏面の中央には回転軸５２が設けられている。
【００３９】
支持片４６は、回転板４５の回転を支持するための部材である。この支持片４６は、Ｕ字状固定部５４と、ピン受け部５５と、弾性支持部５６と、回転軸穴５７とから構成されている。
【００４０】
Ｕ字状固定部５４は、支持片４６自体を蓋体４側に固定するための部材である。Ｕ字状固定部５４は、回転軸穴５７の周囲の３カ所に設けられ、蓋体４側の固定具５９にそれぞれ取り付けられて、支持片４６を蓋体４側に固定している。
【００４１】
ピン受け部５５は、回転板４５を設定角度で支持するための部材である。即ち、係止片３８を蓋体４から延出させた状態で、回転板４５の係止ピン５１を嵌合支持して、回転板４５を設定角度及び設定位置で支持するための部材である。このピン受け部５５はＶ字型に形成されて、係止ピン５１に嵌合する。ピン受け部５５は、回転板４５の裏面の３カ所の位置に設けられた係止ピン５１にそれぞれ対応して３カ所に設けられている。
【００４２】
弾性支持部５６は、各ピン受け部５５をそれぞれ弾性的に支持するための部材である。この弾性支持部５６は、隣り合うＵ字状固定部５４の先端間に掛け渡された棒材で構成されている。この弾性支持部５６は、弾性を有し、その基端部が各Ｕ字状固定部５４に支持された状態で先端部でピン受け部５５を弾性的に支持する。これにより、弾性支持部５６は、各ピン受け部５５を設定位置に弾性的に支持して、このピン受け部５５に嵌合された係止ピン５１を介して回転板４５を設定角度及び設定位置に整合させて支持するようになっている。なお、６０，６１は回転板４５の回転を規制するためのストッパである。このストッパ６０，６１に係止ピン５１が当接することで、回転板４５が必要以上に回転しないように規制されている。
【００４３】
回転軸穴５７は、回転板４５の回転を支持するための部材である。この回転軸穴５７の内径は、回転板４５の回転軸５２の外径よりも僅かに大きく設定されて、回転板４５にあそびが設けられている。このあそびによって、半導体シリコンウエハ収納・保管容器１と蓋体着脱装置の着脱腕部のＴ字型先端部との位置が多少ずれている場合でも、それを吸収できるようになっている。
【００４４】
蓋体固定手段３７は本体部２７内の２カ所に位置に設けられ、４つの係止片３８を蓋体４の四隅近傍から出没させることができるようになっている。
【００４５】
蓋板部２８は蓋体固定手段３７を内蔵した本体部２７を覆って塞ぐ部材である。蓋板部２８は、四角形平板状に形成され、蓋体着脱装置の着脱腕部のＴ字型先端部が挿入される長穴６３が設けられている。この長穴６３は、本体部２７内に２つ設けられた蓋体固定手段３７の各係止片３８に対応して２カ所に設けられている。これにより、蓋体着脱装置の着脱腕部の２つのＴ字型先端部が各長穴６３から挿入されて本体部２７内の蓋体固定手段３７の各嵌合凹部４９にそれぞれ嵌合するようになっている。
【００４６】
蓋体４の周縁部には、容器本体２内を密封する二重シール機構６５が設けられている。この二重シール機構６５は、内側シール片６６と、外側シール片６７とから構成されている。
【００４７】
内側シール片６６は容器本体２内を密封するための部材である。この内側シール片６６は、蓋体４の周縁部に取り付けられて容器本体２側に当接することで容器本体２内を密封するようになっている。内側シール片６６は、断面Ｌ字状でほぼ環状平板状に形成され、蓋体４の内側ガスケット支持溝２９に嵌合する支持部６６Ａと、容器本体２側と蓋体４側とで挟まれて容器本体２内を密封する延出部６６Ｂとから構成されている。支持部６６Ａが蓋体４の内側ガスケット支持溝２９に嵌合することで、内側シール片６６が蓋体４側に支持されている。支持部６６Ａが蓋体４の内側ガスケット支持溝２９に嵌合された状態で、延出部６６Ｂが法線方向外方へ延出して設けられている。延出部６６Ｂは、法線方向外方へ延出して設けられた状態で、シール押圧部３２を覆って設けられている。延出部６６Ｂの先端には、嵌合溝１６に嵌合する膨らみ部６６Ｃが形成されている。膨らみ部６６Ｃは、延出部６６Ｂの先端を断面円形状に膨らませて形成されている。
【００４８】
外側シール片６７は、内側シール片６６と容器本体２との当接部を密封するための部材である。この外側シール片６７は、ほぼ環状平板状に形成され、蓋体４の外側ガスケット支持溝３０嵌合されている。これにより、内側シール片６６の外側を覆って取り付けられている。外側シール片６７は、基端嵌合部６７Ａと、先端当接部６７Ｂとから構成されている。基端嵌合部６７Ａは、蓋体４の外側ガスケット支持溝３０に嵌合されて、外側シール片６７を蓋体４側に支持している。先端当接部６７Ｂは、容器本体２側の外側段部１３に当接することで、内側シール片６６と容器本体２側の内側シール受け部１５との当接部を密封している。
【００４９】
蓋体４の内側面には、図４に示すように、ウエハ押え７１が取り付けられている。
【００５０】
容器本体２の載置面には、図２及ぶ図１１に示すように、小孔（図示せず）が設けられ、フィルタ７２が取り付けられている。このフィルタ７２は、容器本体２の内外側間で塵埃を除いて空気のみの出入りを許容するための部材である。このフィルタ７２の外側には、フィルタ７２を保護するためのカバー７３が設けられている。このカバー７３は、フィルタ７２の周囲を覆う環状部７４と、この環状部７４から中心に向けて延出されてフィルタ７２を覆う放射状保護腕部７５とから構成されている。
【００５１】
容器本体２内に取り付けられたウエハ支持部３は、図１２に示すように、一定間隔を空けて並列に多数枚配設されて各半導体シリコンウエハＳを１枚ずつ一定間隔を空けて支持する櫛歯５を備えて構成されている。容器本体２内に支持される半導体シリコンウエハＳの枚数は規格で決められているため、櫛歯５はそれに応じた枚数が設けられている。さらに、櫛歯５のうち最上段のさらにその上に、半導体シリコンウエハＳ一枚分の櫛歯５が設けられている。これは、最上段の半導体シリコンウエハＳを保護するためである。即ち、複数枚収納される半導体シリコンウエハＳのうち最上段の半導体シリコンウエハＳの上側面に塵埃等が付着することが少なくないため、最上段の半導体シリコンウエハＳの上側面の不要な半導体シリコンウエハＳを収納しておけば、塵埃等はその不要な半導体シリコンウエハＳに付着して上記最上段の半導体シリコンウエハＳへの塵埃等の付着を防止することができるためである。
【００５２】
［動作］
以上のように構成された半導体シリコンウエハ収納・保管容器１は、次のようにして使用される。
【００５３】
容器本体２内に半導体シリコンウエハＳを収納する場合はまず、蓋体着脱装置の着脱腕部の２つのＴ字型先端部が各長穴６３から挿入されて蓋体固定手段３７の回転板４５の嵌合凹部４９にそれぞれ嵌合される。このとき、回転板４５は支持片４６で弾性的に支持されて、設定角度及び設定位置に整合されているため、Ｔ字型先端部は、嵌合凹部４９に接触することなく、スムーズに嵌合する。この状態で、Ｔ字型先端部が回転され、ラッチシャフト４１を介してラッチローラ４２が蓋体４内に引き込まれる。これにより、ラッチローラ４２がローラ受け穴２１から外れて蓋体４の固定が解除され、蓋体着脱装置が蓋体４を容器本体２から外す。
【００５４】
次いで、容器本体２内に半導体シリコンウエハＳを搬送装置で装着する。このとき、設定枚数の半導体シリコンウエハＳが装着されたあと、塵埃等で汚染されてよい不要な半導体シリコンウエハＳを最上段に装着する。
【００５５】
次いで、蓋体着脱装置が蓋体４を容器本体２に取り付ける。具体的には、まず蓋体４を容器本体２の蓋体受け部１１に挿入し、蓋体固定手段３７の回転板４５を回転させる。これにより、ラッチシャフト４１が蓋体４から外方に延出され、ラッチローラ４２がローラ受け穴２１の蓋体引き込み面２２Ｂに当接する。さらに、当接したまま押し込まれる。ラッチローラ４２は蓋体引き込み面２２Ｂに圧接した状態で蓋体支持面２２Ａまで押し込まれ、蓋体４が図１の状態から図６の状態まで引き込まれて固定される。これにより、二重シール機構６５の内側シール片６６が内側シール受け部１５に当接すると共に外側シール片６７が外側シール受け部１８に当接する。さらに、内側シール片６６の膨らみ部６６Ｃは嵌合溝１６に嵌合し、延出部６６Ｂは内側シール受け部１５とシール押圧部３２とで挟まれて、容器本体２内が確実に密封される。また、外側シール片６７と外側シール受け部１８が当接することで、内側シール片６６と内側シール受け部１５との当接部が密封され、搬送時に外部から塵埃等が内側シール片６６と内側シール受け部１５との当接部に侵入することがなくなる。
【００５６】
この状態で、回転板４５の嵌合凹部４９は長穴６３に整合しており、Ｔ字型先端部はそのまま引き抜かれる。半導体シリコンウエハ収納・保管容器１は所定場所に搬送される。
【００５７】
このとき、塵埃等が半導体シリコンウエハ収納・保管容器１の周囲に浮遊しても、外側シール片６７が外側シール受け部１８に当接しているため、内側シール片６６と内側シール受け部１５との当接部に侵入することはない。
【００５８】
目的地で蓋体４を外すときは、蓋体着脱装置の着脱腕部の２つのＴ字型先端部を各長穴６３から挿入して蓋体固定手段３７の回転板４５の嵌合凹部４９に嵌合させる。このとき、回転板４５は支持片４６で弾性的に支持されて、設定角度及び設定位置に整合されているため、Ｔ字型先端部は、嵌合凹部４９に接触することなく、スムーズに嵌合する。この状態で、Ｔ字型先端部が回転され、ラッチローラ４２をローラ受け穴２１から外して蓋体４の固定が解除し、蓋体着脱装置が蓋体４を容器本体２から外す。
【００５９】
このとき、蓋体４を容器本体２から外す際に瞬間的に容器本体２内が負圧になって内側シール片６６の外側の空気が容器本体２内に流入しても、内側シール片６６と内側シール受け部１５の接触部分に塵埃等はほとんど存在せず、容器本体２内の塵埃等が侵入することがなくなる。
【００６０】
また、半導体シリコンウエハ収納・保管容器１は、搬送時に種々の場所に載置されるが、フィルタ７２にはカバー７３が設けられているため、破損することはない。
【００６１】
［効果］
以上のように、二重シール機構６５を備えたので、蓋体４の取り外し時にゴミが容器本体２内に侵入するのを確実に防止することができる。
【００６２】
また、内側シール片６６は、内側シール受け部１５とシール押圧部３２とで挟まれるので、容器本体２内を確実に密封することができる。
【００６３】
内側シール片６６の先端の膨らみ部６６Ｃが、容器本体２側の内側シール受け部１５の嵌合溝１６に嵌合するので、容器本体２内を確実に密封することができる。
【００６４】
蓋体固定手段３７のラッチシャフト４１が蓋体４から延出されることで、ラッチシャフト４１の先端のラッチローラ４２が容器本体２側のローラ受け穴２１の蓋体引き込み面２２Ｂに当接して回転しながら押し込まれることで、蓋体４が容器本体２側へ引き込まれるので、蓋体４を容器本体２に確実に固定することができる。
【００６５】
支持片４６が回転板４５を弾性的に支持して回転板４５を設定角度及び設定位置に整合させるため、蓋体着脱装置の着脱腕部のＴ字型先端部と、薄板用収納・保管容器とが多少位置ずれを起こしても、そのずれを吸収して、蓋体４の着脱をスムーズに行うことができる。
【００６６】
フィルタ７２の外側にカバー７３を設けたので、薄板用収納・保管容器を移動したり種々の場所に置いたりする場合でも、フィルタ７２が何かに接触して破れることがなくなる。
【００６７】
不要な半導体シリコンウエハＳを最上段の半導体シリコンウエハＳのカバーとして使用するため、最上段の半導体シリコンウエハＳへの塵埃等の付着を防止することができる。
【００６８】
［変形例］
（１）  上記実施形態では、薄板として半導体シリコンウエハＳを例に説明したが、これに限らず、液晶用ガラス板や記憶ディスク等の、ガスや微粒子等による悪影響を受けるおそれのある薄板であれば、本発明の薄板用収納・保管容器を適用することができる。
【００６９】
（２）  上記実施形態では、支持片４６の弾性支持部５６を隣り合うＵ字状固定部５４に接続したが、必要な弾性を確保するために、他の形状にしてもよい。例えば、図１３のように、弾性支持部５６Ａを途中で切断して、より大きな弾性を得るようにしてもよい。
【００７０】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の薄板用収納・保管容器によれば次のような効果を奏する。
【００７１】
二重シール機構を備えたので、蓋体の取り外し時にゴミが容器本体内に侵入するのを確実に防止することができる。
【００７２】
また、内側シール片は、内側シール受け部とシール押圧部とで挟まれるので、容器本体内を確実に密封することができる。
【００７３】
内側シール片の先端の膨らみ部が、容器本体側の内側シール受け部の嵌合溝に嵌合するので、容器本体内を確実に密封することができる。
【００７４】
蓋体固定手段のラッチシャフトが蓋体から延出されることで、ラッチシャフトの先端のラッチローラが容器本体側のローラ受け穴の蓋体引き込み面に当接して回転しながら押し込まれることで、蓋体が容器本体側へ引き込まれるので、蓋体を容器本体に確実に固定することができる。
【００７５】
支持片が回転板を弾性的に支持して回転板を設定角度及び設定位置に整合させるため、蓋体着脱装置の着脱腕部のＴ字型先端部と、薄板用収納・保管容器とが多少位置ずれを起こしても、そのずれを吸収して、蓋体の着脱をスムーズに行うことができる。
【００７６】
フィルタの外側にカバーを設けたので、薄板用収納・保管容器を移動したり種々の場所に置いたりする場合でも、フィルタが何かに接触して破れることがなくなる。
【００７７】
不要な半導体シリコンウエハを最上段の半導体シリコンウエハのカバーとして使用するため、最上段の半導体シリコンウエハへの塵埃等の付着を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る半導体シリコンウエハ収納・保管容器の蓋体受け部を示す要部断面図である。
【図２】本発明に係る半導体シリコンウエハ収納・保管容器を示す斜視図である。
【図３】本発明に係る半導体シリコンウエハ収納・保管容器を示す斜視図である。
【図４】本発明に係る半導体シリコンウエハ収納・保管容器の蓋体受け部を示す要部斜視図である。
【図５】本発明に係る半導体シリコンウエハ収納・保管容器の蓋体受け部を示す要部斜視図である。
【図６】本発明に係る半導体シリコンウエハ収納・保管容器の蓋体受け部を示す要部断面図である。
【図７】蓋体固定手段のクランク機構を示す要部斜視図である。
【図８】蓋体固定手段のクランク機構を示す要部斜視図である。
【図９】蓋体固定手段のクランク機構の支持片を示す斜視図である。
【図１０】蓋体固定手段のクランク機構を示す要部斜視図である。
【図１１】フィルタを示す斜視図である。
【図１２】半導体シリコンウエハ収納・保管容器を示す断面図である。
【図１３】変形例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１：半導体シリコンウエハ収納・保管容器、２：容器本体、３：ウエハ支持部、４：蓋体、７：搬送用フランジ部、８：位置決め用嵌合部、９：ハンドル、１１：蓋体受け部、１２：内側段部、１３：外側段部、１５：内側シール受け部、１６：嵌合溝、１７：把持用フランジ：１８：外側シール受け部、２１：ローラ受け穴、２２：外側面、２２Ａ：蓋体支持面、２２Ｂ：蓋体引き込み面、２４：段差部、２５：外側端面、２７：本体部、２８：蓋板部、２９：内側ガスケット支持溝、３０：外側ガスケット支持溝、３２：シール押圧部、３４：シャフト穴、３５：軸受け、３７：蓋体固定手段、３８：係止片、３９：クランク機構、４１：ラッチシャフト、４２：ラッチローラ、４５：回転板、４６：支持片、４７：出没用長穴、４９：嵌合凹部、５１：係止ピン、５２：回転軸、５４：Ｕ字状固定部、５５：ピン受け部、５６：弾性支持部、５７：回転軸穴、５９：固定具、６３：長穴、６５：二重シール機構、６６：内側シール片、６７：外側シール片、７２：フィルタ、７３：カバー、７４：環状部、７５：放射状保護腕部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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