(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ブロックと、帯状の中央領域並びに該中央領域の先端及び後端からそれぞれさらに前方及び後方へ伸びる第１及び第２の針先領域を備える複数のプローブであって前記中央領域の幅方向が上下方向となる状態に前記ブロックの下側に並列的に配置された複数のプローブとを含み、各プローブは、さらに、前記中央領域に形成されて前記中央領域をその長手方向へ伸びる１以上の切欠部であって前記幅方向における少なくとも一方又は他方に開放する切欠部を備え、隣り合うプローブの前記切欠部は前記幅方向に変位されている、プローブ組立体。
【請求項２】
各プローブは、さらに、前記幅方向における前記切欠部の隣を前記中央領域の長手方向へ伸びる１以上の長穴を備え、隣り合うプローブの前記長穴は前記幅方向に変位している、請求項１に記載のプローブ組立体。
【請求項３】
前記幅方向における一方に開放する前記切欠部及び前記幅方向における他方に開放する前記切欠部を有するプローブが、前記切欠部が前記幅方向における一方に開放するプローブと、前記切欠部が前記幅方向における他方に開放するプローブとの間に配置されている、請求項１に記載のプローブ組立体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネル、集積回路等の平板状被検査体の検査に用いるプローブ組立体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種のプローブ組立体として、金属細線からなるプローブを用いたニードルタイプのもの、帯状のプローブを用いたブレードタイプのもの、スプリングピンをプローブとして用いたスプリングピンタイプのもの等が提案され、販売されている。これらのうち、ブレードタイプのプローブを用いた組立体は、プローブ自体の製作及びプローブ組立体への組み立てが容易で廉価になる等、多くの利点を有する。
【０００３】
しかし、従来のプローブ組立体、特にプレードタイプのプローブを用いたものは、隣り合うプローブの対向面積が大きいから、隣り合うプローブ間における電気信号の漏洩の影響を大きく受け、従って試験用信号として高周波信号を用いるいわゆる高周波試験に適さない。
【０００４】
【解決しようとする課題】
それゆえに、隣り合うプローブ間における電気信号の漏洩を可能な限り小さくすることは、特に高周波試験において重要である。
【０００５】
【解決手段、作用、効果】
本発明のプローブ組立体は、ブロックと、複数のプローブとを含む。各プローブは、帯状の中央領域と、該中央領域の先端及び後端からそれぞれさらに前方及び後方へ伸びる第１及び第２の針先領域と、前記中央領域に形成されて前記中央領域をその長手方向へ伸びる１以上の切欠部であって前記中央領域の幅方向における少なくとも一方又は他方に開放する切欠部とを備える。
【００１２】
これらのプローブは、前記幅方向が上下方向とされた状態に前記ブロックの下側に並列的に配置されており、また、隣り合うプローブの前記切欠部を前記幅方向に変位させている。
【００１３】
本発明のプローブ組立体によれば、隣り合うプローブの切欠部が中央領域の幅方向に互いにずれているから、ブレードタイプのプローブを用いているにもかかわらず、隣り合うプローブの切欠部を対向させた場合に比べ、隣り合うプローブの対向する部分の面積が両プローブの切欠部の面積の和に対応するだけ小さくなり、その結果隣り合うプローブ間における電気信号の漏洩が小さくなる。
【００１４】
各プローブにさらに前記幅方向における前記切欠部の隣を前記中央領域の長手方向へ伸びる１以上の長穴を形成し、隣り合うプローブの前記長穴を前記幅方向に変位させることができる。これにより、隣り合うプローブの対向する部分の面積が両プローブの長穴の面積の和に対応する分だけさらに小さくなるから、隣り合うプローブ間における電気信号の漏洩がさらに小さくなる。
【００１５】
前記幅方向の一方に開放する前記切欠部及び前記幅方向の他方に開放する前記切欠部を有するプローブを、前記切欠部が前記幅方向の一方に開放するプローブと、前記切欠部が前記幅方向の他方に開放するプローブとの間に配置することができる。これにより、各プローブの幅寸法を切欠部の部分においてより小さくすることができるから、隣り合うプローブの対向する部分の面積がより小さくなり、隣り合うプローブ間における電気信号の漏洩がさらに小さくなる。
【００１６】
プローブ組立体は、さらに、前記プローブの中央領域を貫通して伸びる１以上のガイドバーであって前記ブロックに支持されたガイドバーを含むことができる。これにより、例えば、多数のプローブを液晶表示パネルのような平板状被検査体の電極の配置パターンに応じたパターンとなるようにブロックに配置し、ガイドバーをプローブのガイド穴に通し、その後ガイドバーをブロックに支持させることにより、組み立てることができるから、組立が容易になる。
【００１７】
プローブ組立体は、さらに、前記ブロックの先端側及び後端側にそれぞれ配置されて前記プローブの配列方向へ伸びる第１及び第２のスリットバーであって前記プローブの先端側及び後端側の部位をそれぞれ受け入れるべく長手方向に間隔をおいた複数のスリットをそれぞれ有する第１及び第２のスリットバーを含むことができる。これにより、プローブがスリットバーによりガイドバーの長手方向（すなわち、プローブの入れる方向）における所定の位置に維持されるから、組立作業がより容易になり、より廉価になる。また、組立後においても、ガイドバーの長手方向へのプローブの変位がプローブの両端部においてスリットバーにより阻止されるから、ガイドバーの長手方向における両針先領域の位置が安定し、各プローブの針先が所定の電極に確実に接触する。
【００１８】
前記ガイドバーの長手方向の端部を受け入れる板状の一対のサイドカバーであって前記ブロックの側部に取り外し可能に組み付けられた一対のサイドカバーを含むことができる。これにより、サイドバーを介してガイドバーをブロックに支持させることができる。
【００１９】
さらに、プローブの中央領域の長手方向に間隔をおいた部位、好ましくは先端部及び後端部を貫通して伸びる一対のガイドバーを設けることができる。これにより、ブロックに対する各プローブの姿勢が安定する。
【００２０】
さらに、ガイドバーの長手方向へ伸びる状態にブロックの後端に組み付けられた長い板状のガイド部材であって第２の針先領域の針先が貫通する複数の穴を有するガイド部材を含むことができる。これにより、第２の針先領域の針先がガイド部材によりガイドバーの長手方向における所定の位置に維持されるから、第２の針先領域の針先の位置がより安定する。
【００２１】
【発明の実施の形態】
図１〜図６を参照するに、プローブ組立体１０は、ブロック１２と、ブロック１２の下側に交互に並列的に配置された帯状の複数のプローブ１４ａ，１４ｂと、プローブ１４ａ，１４ｂを貫通する細長い一対のガイドバー１６と、プローブ１４ａ，１４ｂの一部を受け入れる一対のスリットバー１８と、プローブ１４ａ，１４ｂの後端側に針先の位置を安定化させる長尺のガイド部材２０と、ガイドバー１６をブロック１２に支持させる一対のサイドカバー２２とを含む。
【００２２】
なお、本発明においては、ブロック１２の厚さ方向（図１において上下の方向）を上下方向といい、プローブ１４ａ，１４ｂの伸長方向すなわち長手方向（図１において左下から右上の方向及びその逆の方向）を前後方向といい、ガイドバー１６の長手方向（図１において左上から右下及びその逆の方向）を左右方向という。
【００２３】
ブロック１２は、ねじ穴２４及び一対のガイド穴２６を上面の側に有すると共に、一対のガイド穴２８を各側面の側に有する。ブロック１２の下面は、図４に示すように、複数の段部により階段状に形成されている。ブロック１２は、電気を通さないいわゆる非導電性の、金属材料、セラミック又は合成樹脂から製作することができる。
【００２４】
プローブ１４ａ，１４ｂのそれぞれは、図４〜図７に示すように、帯状の中央領域３０と、該中央領域の先端（前端）及び後端からそれぞれさらに前方及び後方へ伸びる一対の針先領域３２及び３４とを備える。
【００２５】
中央領域３０は、ガイドバー１６が貫通するガイド穴３６を各端部に有すると共に、中央領域３０の長手方向に間隔をおいた部位を貫通する複数の長穴３８をガイド穴３６の間の部位に有する。各長穴３８は、中央領域３０の長手方向へ伸びていると共に、中央領域３０の長手方向に間隔をおいている。
【００２６】
図示の例では、各ガイド穴３６は、円形であるが、ガイドバー１６の断面形状に対応した形状とすることができる。また、ガイド穴３６を、中央領域３０の長手方向に間隔をおいた他の箇所に形成してもよいし、中央領域３０の長手方向へ伸びる長穴としてもよく、この場合長穴３８に続く長い穴としてもよい。
【００２７】
図６（Ａ）及び（Ｂ）にそれぞれ示すように、プローブ１４ａ及び１４ｂは、さらにそれぞれ、中央領域３０の幅方向における長穴３８の隣をその長手方向へ伸びる細長い切欠部４０ａ及び４０ｂを有する。切欠部４０ａ及び４０ｂは、それぞれ、中央領域３０の幅方向における一方及び他方に開放していると共に、中央領域３０を厚さ方向へ貫通している。
【００２８】
針先領域３２及び３４は、それぞれ、中央領域３０の幅方向における一方の縁部の側及び他方の縁部の側から前方及び後方へ伸びており、また中央領域３０の最大幅寸法より小さい最大幅寸法を有する。針先領域３２及び３４の針先３２ａ及び３４ａは、それぞれ、針先領域３２及び３４の先端部及び後端部から下方及び上方へ突出している。プローブ１４ａ，１４ｂをその厚さ方向から見たとき、針先３２ａは半円形の形状を有するが、針先３４ａは三角形の形状を有する。
【００２９】
プローブ１４ａ，１４ｂは、導電性の薄い金属板にエッチング加工をしてプローブを作成し、次いでポリイミド材のような電気絶縁性材料によるコーティングをプローブ１４ａ，１４ｂの針先となる部分を除いて形成することにより、製作することができる。
【００３０】
プローブ１４ａ，１４ｂは、中央領域３０の幅方向が上下方向となり、プローブ１４ａ及び１４ｂがそれらの配列方向に交互となる状態に、ブロック１２の下側に並列的に配置されている。このため、隣り合うプローブ１４ａ，１４ｂの長穴３８及び切欠部４０ａ，４０ｂは中央領域３０の幅方向にずれている（図４、図６（Ｃ）及び図７参照）。しかし、隣り合うプローブ１４ａ，１４ｂのガイド穴３６は、一致している。
【００３１】
各ガイドバー１６は、図示の例では、円形の断面形状を有しており、また非導電性の金属材料により形成されている。各ガイドバー１６は、プローブ１４ａ，１４ｂのガイド穴３６に押し込まれ、各端部がサイドカバー２２を貫通することにより、両サイドカバー２２によりブロック１２に組み付けられる。
【００３２】
各スリットバー１８には、複数のスリット４２が長手方向に所定のピッチで形成されている。各スリット４２は、プローブ１４ａ，１４ｂの厚さ寸法とほぼ同じ幅寸法を有しており、またスリットバー１８の幅方向全体にわたって伸びている。スリットバー１８はセラミックのような非導電性材料から製作することができる。また、各スリット４２は、スリットバー１８をブロック１２に装着する前又は装着した後に、形成することができる。
【００３３】
一方のスリットバー１８は、これがプローブ１４ａ，１４ｂの配列方向へ伸びてスリット４２が下方に向く状態にブロック１２の前端下面に接着される。他方のスリットバー１８は、これがプローブ１４ａ，１４ｂの配列方向へ伸びてスリット４２が下方に向く状態にブロック１２の後端下面に接着される。しかし、各スリットバー１８をブロック１２に１以上のねじ部材により又は嵌合により取り付けてもよい。
【００３４】
各プローブは、針先３２ａが一方のスリットバー１８から前方及び下方へ突出するように、針先領域３２を一方のスリットバー１８のスリット４２に受け入れられており、また針先３４ａが他方のスリットバー１８から後方及び上方へ突出するように、中央領域３０と針先領域３４との境界近傍を他方のスリットバー１８のスリット４２に受け入れられている。
【００３５】
ガイド部材２０は、Ｌ字型の断面形状を有しており、またガイド部材２０の長手方向に間隔をおいた複数の貫通穴４４（図５参照）をＬ字の一方の辺部分に有する。ガイド部材２０はポリイミド材のような非導電性のフィルムから製作することができ、また穴４４は例えばレーザ加工により形成することができる。
【００３６】
ガイド部材２０は、各針先３４ａが穴４４を貫通するように、Ｌ字の他方の辺部分おいてプローブ１４の配列方向へ伸びる状態に複数のねじ部材４６によりブロック１２の後端面下部に取り外し可能に取り付けられている。しかし、ガイド部材２０をブロック１２に、嵌合又は接着により取り付けてもよい。
【００３７】
各サイドカバー２２は、ブロック１２の側面と対応した形状の板部材から形成されており、また一対のガイドピン４８と複数のねじ部材５０とによりブロック１２の側面に取り外し可能に取り付けられている。
【００３８】
各ガイドピン４８は、ブロック１２に形成されたガイド穴２８に脱出不能に嵌合されており、端部をサイドカバー２２に形成されたガイド穴に嵌合される。しかし、ガイドピン４８をサイドカバー２２に固定してもよい。サイドカバー２２は、両ガイドバー１６の端部を受け入れる貫通穴を有する。
【００３９】
図においては、隣り合うプローブ１４ａ，１４ｂが大きく間隔をおいているように示しているが、実際にはプローブ１４ａ，１４ｂの配列ピッチは小さい。プローブ１４ａ，１４ｂの厚さ寸法及び配列ピッチ、ならびに、スリット４２の配置ピッチ及び幅寸法は、被検査体の種類、特に電極の配置ピッチと幅寸法により異なる。
【００４０】
たとえば、被検査体の電極の配置ピッチ及び幅寸法がそれぞれ５５μｍ及び４０μｍである場合、プローブ１４ａ，１４ｂ及びスリット４２の配置ピッチを５５μｍ、スリット４２の幅寸法を３５μｍ、プローブ１４用の薄い金属板素材の厚さ寸法を３０μｍとすることができる。
【００４１】
プローブ組立体１０は、先ず、両スリットバー１８とガイド部材２０とを上記した状態にブロック１２に取り付けた状態で、プローブ１４ａ，１４ｂの両端部をスリットバー１８のスリット４２に挿し込むと共に針先３４ａをガイド部材２０の穴４０に通し、次いでガイドバー１６をプローブ１４ａ，１４ｂのガイド穴３６に挿し通し、次いでガイドピン４８をサイドカバー２２とブロック１２とに挿し通すと共にガイドバー１６の端部をサイドカバー２２に挿し通し、その後サイドカバー２２をねじ部材５０でブロック１２に取り付けることにより、組み立てることができる。
【００４２】
これにより、プローブ１４ａ，１４ｂ及びガイドバー１６は、サイドカバー２２を介してブロック１２に支持されており、また、プローブ１４ａ，１４ｂは、中央領域３０の幅方向が上下方向となり、プローブ１４ａ及び１４がそれらの配列方向に交互となる状態に、ブロック１２の下側に並列的に配置されている。
【００４３】
プローブ組立体１０において、隣り合うプローブ１４ａ，１４ｂの長穴３８及び切欠部４０ａ，４０ｂは中央領域３０の幅方向にずれている。換言すれば、隣り合うプローブ１４ａ，１４ｂの中央領域３０のうち、長穴３８及び切欠部４０ａ又は４０ｂが形成された部分の残存部分（導電性の残存部分）は対向することなく、幅方向へずれている。それゆえに、これらの残存部分は、隣のプローブの長穴３８及び切欠部４０ａ又は４０ｂと対向する。
【００４４】
上記のように組み立てた状態において、プローブ１４ａ，１４ｂは液晶表示パネルのような平板状被検査体７０（図４参照）の電極の配置パターンに応じたパターンにブロック１２の下側に並列的に配置され、針先３２ａはスリットバー１８から前方及び下方へ突出し、針先３４ａはスリットバー１８から後方及び上方へ突出してガイド部材２０から上方へ突出しており、針先領域３２のスリット４２の底面との間に空間が形成されている。
【００４５】
検査用ヘッド５２に組み付けるとき、プローブ組立体１０は、図４及び図５に示すように、針先３４ａがＴＡＢ(Tape Automated Bonding)テープ５４に設けられた駆動用集積回路５６の電極に接触し、かつ、針先３４ａが駆動用集積回路５６の電極にわずかに過剰に押圧された状態に、検査用ヘッド５２の取付体５８に組み付けられる。
【００４６】
これにより、プローブ１４ａ，１４ｂは針先領域３４の幅寸法が中央領域３０のそれより小さいから弧状に反り、各針先３４ａは電極に確実に接触する。駆動用集積回路５６は、可撓性の配線基板６０に形成された配線に接続されている。
【００４７】
図５に示すように、ガイド部材２０の貫通穴４４に対応する微小な複数のガイド穴６４を有するガイドフィルム６２を駆動用集積回路５６の電極の下面に貼着することが好ましい。これにより、針先３４ａが駆動用集積回路５６の電極に押圧されたときに針先３４ａが電極に対して滑ることに起因する針先３４ａと電極との接触位置ずれがガイド穴６４により防止される。
【００４８】
プローブ組立体１０を取付体５８に組み付けるとき、プローブ組立体１０は、図１に示すガイド穴２６に差し込まれるガイドピンにより取付体５８に対する位置決めをされ、またねじ穴２４に螺合されるねじ部材により取付体５８に取り外し可能に組み付けられる。
【００４９】
プローブ組立体１０を取付体５８に組み付けるとき、上下方向における針先３４ａの位置に多少のずれがあると、そのようなずれは、プローブ１４ａ，１４ｂがガイドバー１６に対し、針先領域３４側のガイドバー１６とガイド穴３６との間のわずかな間隙内で変位することにより吸収される。
【００５０】
完成した検査用ヘッド５２は、針先３２ａが被検査体７０（図５参照）の電極に対向するように図示しない試験装置に組み付けられる。
【００５１】
検査時、プローブ組立体１０は、針先３２ａを被検査体７０の電極にわずかに過剰に押圧される。このとき、上下方向における針先３２ａ相互間の位置に多少のずれがあると、そのようなずれは、プローブ１４ａ，１４ｂがガイドバー１６に対し、針先領域３２側のガイドバー１６とガイド穴３６との間のわずかな間隙内で変位することにより吸収される。
【００５２】
針先３２ａを被検査体７０の電極にわずかに過剰に押圧されると、針先領域３２の上方に空間を有することとあいまって、針先領域３２が図５に示すように弧状に反るから、針先３２ａが被検査体の電極に対してわずかに滑る。そのような擦り作用により、針先３２ａは、電極表面の酸化膜を掻き取るか、又は電極内にわずかに食い込む。このため、各プローブと電極とは電気的に確実に接触する。プローブの反り量及び滑り量を図５にそれぞれＬ1 及びＬ2 で示す。
【００５３】
針先領域３２が図５に示すように弧状に反ったとき、針先３２ａが半円形の形状を有すると、被検査体の電極への針先３２ａの当接部位が変位するから、電極に対する針先３２ａの滑り量Ｌ2 が小さくなり、電極の削り屑が少なくなる。しかし、針先３２ａを、三角形、平坦面等、他の形状に形成してもよい。
【００５４】
検査時、プローブ１４ａ，１４ｂは、被検査体７０への通電用として用いられるか、被検査体７０からの電気信号の取出し用として用いられる。いずれの場合も、隣り合うプローブ１４ａ，１４ｂの長穴３８及び切欠部４０ａ，４０ｂは中央領域３０の幅方向にずれているから、隣り合うプローブの長穴及び切欠部を対向させた場合に比べ、プローブがブレードタイプであるにもかかわらず、隣り合うプローブ１４ａ，１４ｂの対向する部分の面積が両プローブの長穴３８及び切欠部４０ａ又は４０ｂの面積の和に対応するだけ小さくなる。
【００５５】
上記の結果、プローブ１４ａ及び１４ｂ並びにこれらを用いたプローブ組立体１０は、隣り合うプローブの長穴及び切欠部を対向させた場合に比べ、隣り合うプローブ間の静電容量又は浮遊容量が小さく、隣り合うプローブ間における電気信号の漏洩が小さい。しかし、長穴３８を各プローブに設けなくてもよい。
【００５６】
プローブの交換は、プローブ組立体１０を取付体５８から外し、サイドカバー２２をブロック１２から外し、ガイドバー１６を抜き、交換すべきプローブを取り去り、その代わりに新たなプローブをブロック１２に配置し、その後既に述べた手法で、プローブ組立体１０を組み立て、そのプローブ組立体１０を取付体５８に取り付ければよい。このため、プローブの交換が容易になる。
【００５７】
プローブ組立体１０によれば、プローブ組立体１０及びその部品の製作が従来のプローブ組立体に比べて著しく容易であるから、プローブ組立体１０が廉価になり、また針先３２ａが被検査体の電極に確実に接触し、さらにプローブの交換が従来のプローブ組立体に比べ著しく容易になる。
【００５８】
プローブ組立体１０の組立時、プローブがスリットバー１８によりガイドバー１６の長手方向における所定の位置に維持されるから、組立作業が容易になり、廉価になる。また、組立後においても、ガイドバー１６の長手方向へのプローブの変位がプローブの両端部においてスリットバー１８により阻止されるから、ガイドバー１６の長手方向における針先領域３２，３４の位置が安定し、各プローブの針先３２ａ，３４ａが所定の電極に確実に接触する。しかし、スリットバー１８を設けなくてもよい。
【００５９】
上記実施例のように、プローブの中央領域３０の長手方向に間隔をおいた部位、好ましくは先端部及び後端部を貫通して伸びる一対のガイドバー１６を設けるならば、ブロック１２に対する各プローブ１２の姿勢が安定する。しかし、１つのガイドバー１６を用いてもよい。
【００６０】
針先領域３４の針先が貫通する複数の穴４４を有するガイド部材２０を備えるならば、針先３４ａがガイド部材２０によりガイドバー１６の長手方向における所定の位置に維持されるから、針先３４ａの位置がより安定する。しかし、ガイド部材２０を備えなくてもよい。
【００６１】
図８及び図９を参照するに、プローブ７２ａは中央領域３０の幅方向の一方に開放する切欠部７４ａを有しており、プローブ７２ｂは中央領域３０の幅方向の一方及び他方にそれぞれ開放する２つの切欠部７４ｂ及び７４ｂを有しており、プローブ７２ｃは中央領域３０の幅方向の他方に開放する切欠部７４ｃを有している。
【００６２】
切欠部７４ａ，７４ｂ及び７４ｃは、中央領域３０を厚さ方向へ貫通していると共に、中央領域３０の長手方向へ連続して伸びている。切欠部７４ａ及び７４ｃの深さ寸法は、切欠部７４ｂのそれより大きい。
【００６３】
プローブ７２ａ，７２ｂ，７２ｃは、図８（Ｄ）及び図９に示すように、同じプローブがそれらの配列方向へ連続しないように、例えばプローブ７２ｂがプローブ７２ａ，７２ｃの間となるように、プローブの配列方向に交互にかつ並列的にブロックに配置される。
【００６４】
プローブ７２ａ，７２ｂ，７２ｃも、プローブ組立体に組み立てられた状態において、同じプローブがそれらの配列方向へ連続しないから、隣り合うプローブ７２ａ，７２ｂ，７２ｃの切欠部７４ａ，７４ｂ，７４ｃは中央領域３０の幅方向にずれている。換言すれば、隣り合うプローブ７２ａ，７２ｂ，７２ｃの中央領域３０のうち、切欠部７４ａ，７４ｂ又は７４ｃが形成された部分の残存部分（導電性の残存部分）は対向することなく、幅方向へずれている。それゆえに、前記残存部分は、隣のプローブの切欠部７４ａ，７４ｂ又は７４ｃと対向する。
【００６５】
上記の結果、プローブ７２ａ，７２ｂ及び７２ｃ並びにこれらを用いたプローブ組立体は、プローブがブレードタイプであるにもかかわらず、隣り合うプローブの切欠部を対向させた場合に比べ、隣り合うプローブ間の静電容量又は浮遊容量が小さく、隣り合うプローブ間における電気信号の漏洩が小さい。
【００６６】
本発明は、液晶表示パネルの検査に用いるプローブ及びプローブ組立体のみならず、集積回路のような他の平板状被検査体の検査に用いるプローブ及びプローブ組立体にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係るプローブ組立体の一実施例を示す斜視図である。
【図２】  図１に示すプローブ組立体の平面図である。
【図３】  図２の左側面図である。
【図４】  図１に示すプローブ組立体を検査用ヘッドの取付体に取り付けた状態の一実施例を示す図である。
【図５】  図４におけるプローブの端部近傍を拡大して示す図である。
【図６】  図１に示すプローブ組立体で用いるプローブの一実施例を示す図であって、（Ａ）及び（Ｂ）はそれぞれ第１及び第２のプローブを示す図、（Ｃ）はそれらのプローブの配置例を示す図である。
【図７】  図６における７−７線に沿って得た断面図である。
【図８】  プローブの他の実施例を示す図であって、（Ａ），（Ｂ）及び（Ｃ）はそれぞれ第１，第２及び第３のプローブを示す図、（Ｄ）はそれらのプローブの配置例を示す図である。
【図９】  図８における９−９線に沿って得た断面図である。
【符号の説明】
１０  プローブ組立体
１２  ブロック
１４ａ，１４ｂ  プローブ
１６  ガイドバー
１８  スリットバー
２０  ガイド部材
２２  サイドカバー
２８  ガイド穴
３０  中央領域
３２，３４  針先領域
３６  ガイド穴
３８  長穴
４０ａ，４０ｂ  切欠部
４２  スリット
７２ａ，７２ｂ，７２ｃ  プローブ
７４ａ，７４ｂ，７４ｃ  切欠部
【図１】
0004235280.tif 000002
【図２】
0004235280.tif 000003
【図３】
0004235280.tif 000004
【図４】
0004235280.tif 000005
【図５】
0004235280.tif 000006
【図６】
0004235280.tif 000007
【図７】
0004235280.tif 000008
【図８】
0004235280.tif 000009
【図９】
0004235280.tif 000010