(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電空間を区画する隔壁を有するプラズマディスプレイパネル形成用のパネル背面板において、
前記隔壁は、溶融母体となるガラスフリットと、球状または球類似多面体の無機粒子から構成される骨材と、を含有し、
前記骨材は、隔壁中に、５〜１０重量％含有されており、
骨材の５０％粒子径（ｄ50）および９０％粒子径（ｄ90）が、それぞれ、０．７μｍ≦ｄ50≦２．４μｍ、および３．０μｍ≦ｄ90≦４．６μｍの範囲内であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル形成用のパネル背面板。
【請求項２】
さらに着色用の顔料が含有されてなる請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル形成用のパネル背面板。
【請求項３】
ガラスフリットと骨材とを主成分として含有するフリット混合物と、有機ビヒクルとが混合、分散されて構成される、プラズマディスプレイパネルの隔壁形成用の塗布組成物であって、
前記フリット混合物は、溶融母体となるガラスフリットと、球状または球類似多面体の無機粒子から構成される骨材と、を含有し、
前記骨材は、フリット混合物中に、５〜１０重量％含有されており、
骨材の５０％粒子径（ｄ50）および９０％粒子径（ｄ90）が、それぞれ、０．７μｍ≦ｄ50≦２．４μｍ、および３．０μｍ≦ｄ90≦４．６μｍの範囲内であることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成用の塗布組成物。
【請求項４】
さらに着色用の顔料が含有されてなる請求項３に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成用の塗布組成物。
【請求項５】
請求項１または請求項２に記載のプラズマディスプレイパネル形成用のパネル背面板と前面板を重ね合わせて密着させてなるプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、厚膜パターン組成物、厚膜パターン形成用塗布組成物、およびプラズマディスプレイパネルに係り、特に、気体放電を用いた自発光形式の平板ディスプレイパネルの隔壁として用いられる厚膜パターン組成物、およびその厚膜パターン組成物を用いたプラズマディスプレイパネルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ガス放電パネルであるプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、２枚の対向するガラス基板にそれぞれ規則的に配列した一対の電極を設け、その間にＮｅ、Ｈｅ、Ｘｅ等を主体とする希ガスを封入した構造となっている。そして、これらの電極間に電圧を印加し、電極周辺の微小なセル内で放電を発生させることにより、各セルを発光させて表示を行うようにしている。情報の表示するためには、規則的に並んだセルを選択的に放電発光させる。このＰＤＰには、電極が放電空間に露出している直流型（ＤＣ型）と絶縁層で覆われている交流型（ＡＣ型）の２タイプがあり、双方とも表示機能や駆動方式の違いによって、さらにリフレッシュ駆動方式とメモリー駆動方式に分類される。
【０００３】
ＤＣ型のＰＤＰおよびＡＣ型のＰＤＰにおいて、各セルは２枚のガラス基板が隔壁により対向保持されて形成されている。このような隔壁は、表示放電空間をできるだけ大きくして高輝度の発光を得るために、ガラス基板に対して垂直に切り立ち、かつ、幅が狭く十分な高さを有することが要求される。特に高精細のＰＤＰでは、例えば、高さ１００μｍに対して幅が３０〜５０μｍであるような高アスペクト比の隔壁が必要とされる。
【０００４】
従来より、ＰＤＰにおける隔壁は、ガラスフリット、不定形のアルミナ、ジルコン、ジルコニア等の骨材、着色剤からなる組成物と焼成により消失するエチルセルロース、アクリル系樹脂をターピネオール、ブチルカルビトールアセテート等の溶剤に溶解させた有機ビヒクルを三本ロール等により混練したペーストをスクリーン印刷によりパターン状に印刷、乾燥を所望の高さになるまで繰り返し、焼成する方法、あるいはスクリーン印刷、ブレードコート、ダイコート等により塗布、乾燥しベタ膜を形成した後、ベタ膜上に耐サンドブラスト性を有するマスクをパターン状に形成し、サンドブラスト加工を行い、マスクを剥離した後焼成する方法等により形成されている。
【０００５】
このようにして背面板（片方のガラス基板）の上に形成された隔壁間には蛍光体が充填され、しかる後、前面板（もう一方のガラス基板）と重ね合わせられ、封着される。この封着時に隔壁頂部と前面板とが密着し隔壁に圧力が加わるため、隔壁は高強度であり、しかもその頂部は平坦であることが要求される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の隔壁組成物においては、骨材に起因したクラックの発生が問題となっている。さらに、三本ロールにより混練した後も骨材の凝集物が多数存在し局部的に強度の弱い部分ができるため、封着時に破損が生じたり、また、隔壁頂部に凝集体が突起を形成し、封着時に突起部に圧力が集中するために隔壁が欠けてしまうという問題がある。これら隔壁の欠陥は、隣接する放電空間での誤放電や、蛍光体上に隔壁の欠片が残ることによる発光の点欠陥の原因を引き起こしてしまうという問題がある。
【０００７】
このような実状のもとに本発明は創案されたものであり、その目的は、隔壁の局部的な強度不足を無くし、封着時に破損が生じるのを防止し、しかも隔壁の頂部に凝集体が突起を形成するのを防止し、隔壁の欠けが生じることが極めて少ない厚膜パターン組成物、およびそれを形成するための厚膜パターン形成用塗布組成物、およびそれを用いた誤放電や点欠陥の極めて少ないプラズマディスプレイパネルを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決するために、本発明は、放電空間を区画する隔壁を有するプラズマディスプレイパネル形成用のパネル背面板において、前記隔壁は、溶融母体となるガラスフリットと、球状または球類似多面体の無機粒子から構成される骨材と、を含有し、前記骨材は、隔壁中に、５〜１０重量％含有されており、骨材の５０％粒子径（ｄ50）および９０％粒子径（ｄ90）が、それぞれ、０．７μｍ≦ｄ50≦２．４μｍ、および３．０μｍ≦ｄ90≦４．６μｍの範囲内となるように構成される。
【０００９】
また、本発明のラズマディスプレイパネルの好ましい態様として、さらに着色用の顔料が含有されて構成される。
【００１０】
ガラスフリットと骨材とを主成分として含有するフリット混合物と、有機ビヒクルとが混合、分散されて構成される、プラズマディスプレイパネルの隔壁形成用の塗布組成物であって、前記フリット混合物は、溶融母体となるガラスフリットと、球状または球類似多面体の無機粒子から構成される骨材と、を含有し、前記骨材は、フリット混合物中に、５〜１０重量％含有されており、骨材の５０％粒子径（ｄ50）および９０％粒子径（ｄ90）が、それぞれ、０．７μｍ≦ｄ50≦２．４μｍ、および３．０μｍ≦ｄ90≦４．６μｍの範囲内となるように構成される。
【００１１】
本発明の厚膜パターン形成用塗布組成物の好ましい態様として、さらに着色用の顔料が含有されて構成される。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１４】
まず、本発明の厚膜パターン組成物の一例として、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の作製時に用いられる隔壁の組成物を例にとって説明する。当該隔壁の組成物の説明をする前に、プラズマディスプレイパネル全体の構成を簡単に説明しておく。
【００１５】
図１は、ＡＣ型ＰＤＰの一構成例を示す斜視図である。この図において、符号１は前面板、符号２は背面板、符号３は隔壁、符号４は維持電極、符号５はバス電極、符号６は誘電体層、符号７はＭｇＯ層、符号８はアドレス電極、符号９は蛍光体層を示している。
【００１６】
図１は、ＰＤＰの構成が理解しやすいように、前面板１と背面板２を離した状態で示してある。図１に示されるようにＡＣ型ＰＤＰは、ガラス板からなる前面板１と背面板２とが互いに平行に対峙され、背面板２に立設された隔壁３によって前面板１と背面板２とが密封されたセルを構成するように一定間隔で固着されている。
【００１７】
前面板１の背面側には、透明電極である維持電極４と金属電極であるバス電極５とからなる複合電極が互いに平行に形成され、これを覆うように誘電体層６、およびＭｇＯ層７が順次形成されている。
【００１８】
また、背面板２の前面側には、複合電極と直交するとともに隔壁３の間に位置するようにアドレス電極８がストライプ状に互いに平行に形成され、また、アドレス電極８上のセル底面上に蛍光体層９が設けられている。また、図２にその断面図が示されるように、ガラス基板２に下地層１０を形成した後にアドレス電極８を設け、さらに誘電体層６’を積層した後、隔壁３、蛍光体層９を設けた構造としたものである。
【００１９】
このようなＡＣ型ＰＤＰは面放電型であり、前面板１における複合電極間に交流電源から所定の電圧を印加して電場を形成することにより、前面板１と背面板２と隔壁３とで区画される表示要素としての各セル内で放電が行われる。そして、この放電により生じる紫外線により蛍光体９を発光させることで、前面板１を透過する光を観察者が視認できるようになっている。
【００２０】
図３はＤＣ型ＰＤＰの一構成例を示したものであり、そのなかで、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は図３（ａ）におけるＸ−Ｘ線での断面図である。図中、符号１１は前面板、符号１２は背面板、符号１３は陰極、符号１４は電極体、符号１５は表示陽極、符号１６は隔壁、符号１７は放電セル、符号１８は端子部、符号１９は抵抗体、符号２０は補助電極、符号２１は電極体、符号２２は蛍光体層、符号２３はプライミングスリットをそれぞれ示している。
【００２１】
ＤＣ型ＰＤＰは、図３に示されるように、前面板１１と背面板１２の２枚のガラス基板を合わせてパネル化され、また、前面板１１上には陰極１３からなる第１の電極群が形成され、背面板１２上には電気的に接続した電極４本と表示陽極１５とからなる第２の電極群が形成されている。陰極１３と表示陽極１５が略直交するように前面板１１と背面板１２とが隔壁１６により対向保持されて放電セル１７が形成されている。放電セル１７内の陰極１３と電極体１４とによって単位放電電極対が構成されている。
【００２２】
そして、表示陽極１５は線状部１５ａとこの線状部１５ａから横向きに突き出た突起部１５ｂとを備え、電極体１４からは端子部１８が表示陽極１５と平行に伸びており、表示陽極１５の突起部１５ｂと電極体１４の端子部１８との間は抵抗体１９により電気的に接続されている。また、隣接する表示陽極１５の間にはそれと平行に補助陽極２０が設けられており、陰極１３と交差する箇所には補助陽極２０上にも電極体２１が設けられている。
【００２３】
ＤＣ型ＰＤＰでは、陰極１３と表示陽極１５の間に所定の電圧を印加すると、抵抗体１９を介して電極体１４に電流が流れ、放電セル１７内にて陰極１３と電極体１４との間で放電が起こり、この放電により発生する紫外線で、例えばＲ，Ｇ，Ｂ，各３色の蛍光体層２２を発光させるようになっている。この発光は前面板１１を通して外部に放射され、フルカラーの画像表示が行われる。この場合、補助陽極１８は放電セル１７内に放電の種火となる荷電粒子をプライミングスリット２３を通して供給する役目を持つ。なお、符号２４は誘電体層で、表示陽極１５、端子部１８、抵抗体１９及び補助陽極２０を放電空間から電気的に隔絶せしめ、放電発生箇所を電極体１４、２１のみに限定する。
【００２４】
本発明におけるＰＤＰ用の隔壁３および隔壁１６（以下隔壁３を代表として取りあげて説明する）は、厚膜パターン形成用塗布組成物をスクリーン印刷により隔壁形状にパターン印刷する方法や、厚膜パターン形成用塗布組成物をスクリーン印刷、ブレードコート、ダイコート等により塗布、乾燥しベタ膜を形成した後、ベタ膜上に耐サンドブラスト性を有するマスクをパターン状に形成し、サンドブラスト加工を行い、マスクを剥離した後焼成する方法等により形成される厚膜パターン組成物である。
【００２５】
上記の隔壁３（厚膜パターン組成物）は、溶融母体となるガラスフリットと、主として隔壁３の形態および強度を維持するための骨材とが主成分として含有される。そして、隔壁３に含有される骨材としては、骨材成分の中で球状または球類似多面体からなる無機粒子が２５％以上、好ましくは４０％含有される。骨材成分の中で球状または球類似多面体からなる無機粒子を２５％以上含有させることにより、このものを含む塗布組成物の調製時の分散性が向上し、凝集体の存在が極めて少なくなる。その結果、隔壁３全体の強度が上り、さらに頂部に凝集物突起の存在もなくなるので、隔壁３の欠け等の発生の問題もなくなる。さらに、骨材を球状または球類似多面体とすることによって、内部および外部からの応力を分散緩和することができ封着時の圧力に耐え得る高い強度の隔壁３が得られる。
【００２６】
球状とは、一般に、三次元空間において一定点（重心）から一定の距離Ｒにある点全部からなる立体として定義されるが、これはあくまでもバラツキのない理想的な定義であり、本発明における球状とは、本発明の作用効果が発現できる一定の幅を持ったものとして定義され、具体的には上記の一定の距離Ｒから±２０％までの変動幅を含む点全部からなる角の無い滑らかな面を持った立体として定義される。また、本発明における球類似多面体とは、正八面体以上で球に類似できる立体と定義される。
【００２７】
本発明に用いられる好適な骨材の粒子径は、５０％粒子径をｄ50、９０％粒子径をｄ90として表記した場合、０．１μｍ≦ｄ50≦５μｍ（好ましくは、０．３μｍ≦ｄ50≦３μｍ）およびｄ90≦１５μｍ（好ましくは、ｄ90≦１０μｍ）の範囲内に設定するのがよい。
【００２８】
ｄ50の値が５μｍを超えたり、あるいはｄ90の値が１５μｍを超えたりすると隔壁の強度が不十分となり、また、前面板と密着する隔壁頂部に大きな突起を形成し封着時に破損し易くなる。さらに、隔壁側面の大きな突起は発光ムラの原因となるため好ましくない。ｄ50の値が０．１μｍ未満となると、隔壁の形状を維持できる焼成温度においてガラスフリットが溶融して骨材をぬらし骨材間の空隙を満たすことが難しく、隔壁の緻密性が得られないため好ましくない。
【００２９】
なお、上記５０％粒子径（ｄ50）は、縦軸に頻度、横軸に粒子径をとった粒径分布において、累積頻度５０％における粒子径（メジアン径）を示しており、上記９０％粒子径（ｄ90）は、縦軸に頻度、横軸に粒子径をとった粒径分布において、累積頻度９０％における粒子径を示している。
【００３０】
本発明における骨材としては、例えば、アルミナ、シリカ、ジルコニア、酸化チタン、マグネシア、ジルコン、ムライト、コージェライト、炭化珪素、チタン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、ガラス等の隔壁の焼成温度以下の温度で安定に存在するものであって、かつその形状が球状または球類似多面体であるものが使用される。より具体的にはスミコランダムＡＡ−０４、同ＡＡ−０５、同ＡＡ−０７、同ＡＡ−１、同ＡＡ−１．５、同ＡＡ−２、同ＡＡ−５、同ＡＡ−１０（住友化学工業製）；アドマファインＳＯ−Ｃ１、同ＳＯ−Ｃ２、同ＳＯ−Ｃ３、同ＳＯ−Ｃ５、同ＳＯ−Ｅ１、同ＳＯ−Ｅ２、同ＳＯ−Ｅ３、同ＳＯ−Ｅ５、同ＡＯ−５０２、同ＡＯ−８０２（アドマテックス製）；極小フィラービーズＭＢ−１０、同ＭＢ−２０、同ＥＭＢ−１０、同ＥＭＢ−２０（東芝バロティーニ製）；アルミナビーズＣＢ−Ａ０５Ｓ、ＣＢ−Ａ０１（昭和電工製）；ＢＴ−０１、ＢＺ−０７（堺化学工業製）；ラウンドシリカ（巴工業製）；球状シリカ、球状アルミナ（マイクロン製）；ハイプレシカ（宇部日東化成製）等が例示される。これらの中でもより球状に近い、上記スミコランダムのシリーズと上記アドマファインのシリーズを用いるのが最も好ましい。
【００３１】
これらの球状または球類似多面体からなる骨材は、上述したように分散性に優れ、凝集体が少なく、また、内部、外部の応力を分散、緩和するために封着時の圧力に耐えうる高強度の隔壁となると考えられる。
【００３２】
本発明におけるＰＤＰ用の隔壁３に含有されるガラスフリットはバインダー（接着剤）として役割をなすものであり、そのガラス転移点（Ｔｇ）は、塗布組成物中、ペーストとして用いる樹脂が焼成により完全に消失する温度以上であることが望ましい。さらに、ガラスフリットの軟化点はガラス基板が変形する温度以下でなければならない。具体的には、Ｔｇが３５０〜５００℃、軟化点が４００〜６００℃の間で適宜選択される。
【００３３】
なお、本発明における軟化点とは、示差熱分析（ＤＴＡ）により粉末状のガラスフリットやガラス、骨材、顔料の混合フリット等を所定の条件で加熱し、フリットが軟化する際の形状変化に起因するレファレンスとの温度差の変化率（傾き）を検出し、その傾きの変化点（屈曲点）を軟化点とする。具体的には、（株）リガク社製の高温型ＴＧ−ＤＴＡ  ＴＧ−８１１０タイプ、マクロ試料ホルダーを用い空気中昇温速度１０℃／ｍｉｎ．、サンプル量４００〜６５０ｍｇ程度、レファレンスとしてアルミナ、試料容器として（株）リガク社製マクロ用一対型Ｐｔ容器を使用してフリットの軟化点を測定する。参考までに軟化点が５５０℃とされているガラスフリットを実際に測定したチャートを図４に示す。図４において矢印で示した点が本発明で言う軟化点である。
【００３４】
さらに、残留歪を極力小さくし、基板の反りや誘電体層のクラックの発生を抑えるために、ガラスフリットの熱膨張係数（α）をガラス基板、下地層、誘電体層の熱膨張係数にできるだけ合わせる必要がある。従って、具体的には、α＝６０〜９０×１０-7／℃程度のものを使用するのが望ましいが、骨材、着色剤を添加することでαが変化するため、最終的に隔壁組成物とした時のαが６０〜９０×１０-7／℃程度となるよう適宜選択すればよい。
【００３５】
上記本発明に用いられる骨材は、その材料の選定の仕方次第では、着色剤としての機能をも併用させることができるが、さらに、積極的に着色を要す場合が多々あり、その場合には隔壁３中に着色剤が含有される。
【００３６】
着色剤としては、耐熱性があるものが用いられる。本発明の場合、基板の作製工程中の焼成温度以上の耐熱性があればよい。このような着色剤としては、複合酸化物系顔料（Ｃｒ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｆｅ，Ｍｎ，Ｃｕ，Ｓｂ，Ａｓ，Ｂｉ，Ｔｉ，Ｃｄ，Ａｌ，Ｃａ，Ｓｉ，Ｍｇ，Ｂａ等の２種以上の金属の酸化物からなる顔料）、酸化チタン、アルミナ、ジルコン、ジルコニア、シリカ、マグネシア、チタン酸鉛、チタン酸カリウム、硫セレン化カドミウム、弁柄（Ｆｅ2 Ｏ3 ）、亜酸化銅、カドミウム水銀赤（ＣｄＳ＋ＨｇＳ）、クロムバーミリオン、銀朱、アンチモン赤ヨード赤、ジンクアイアンレッド、モリブデン赤、鉛丹、カドミウムレッド、クロムグリーン、亜鉛緑、コバルトグリーン、酸化クロム、ビリジアン、エメラルドグリーン群青、紺青、コバルトブルー、セルリアンブルー、硫化銅、チタンイエロー、チタンブラック、黒色酸化鉄（Ｆｅ3 Ｏ4 ）、黄色酸化鉄、カドミウムイエロー、黄鉛などが挙げられ、これらは適宜目的に応じ選択して用いれば良い。
【００３７】
上述してきた隔壁３の組成物は、ガラスフリットを４０〜９５％、好ましくは６０〜９０％；骨材を１〜６０％、好ましくは５〜３０％；着色剤を０〜３０％の範囲で構成するのがよい。これらを含む厚膜パターン形成用塗布組成物は、これらを混合した後、有機ビヒクルを加え三本ロール、ビーズミル等により混練、分散してペースト状の塗布組成物とされる
ここで用いる有機ビヒクルの樹脂としては、エチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、メチルセルロース、ニトロセルロース等のセルロース誘導体、ポリアクリルエステル、アルキッド樹脂等のポリエステル系樹脂、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、ビニル酢酸、メチルメタクリレート、メチルアクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、プロピルメタクリレート、プロピルアクリレート、ｎ−ブチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、２−エチルヘキシルメタクリレート、２−ヘキシルアクリレート、ラウリルメタクリレート、ラウリルアクリレート、ステアリルメタクリレート、ステアリルアクリレート、ドデシルメタクリレート、ドデシルアクリレート、ヘキシルメタクリレート、ヘキシルアクリレート、オクチルメタクリレート、オクチルアクリレート、セチルメタクリレート、セチルアクリレート、ノニルメタクリレート、ノニルアクリレート、デシルメタクリレート、デシルアクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレート、グリシジルメタクリレート、ジメチルアミノエチルメタクリレート、２−メトキシアクリレート、２（２−エトキシエトキシ）エチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、ダイアセトンアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアクリルアミド、イソプロピルアクリルアミド、ジエチルアミノエチルメタクリレート、ｔ−ブチルメタクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド、α−メチルスチレン、スチレン、ビニルトルエン、Ｎ−ビニル−２−ピロリドン等のモノマーからなるホモポリマーおよび上記モノマーから選択された２種以上のモノマーからなる共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体等のポリオレフィン系樹脂、ポリビニルホルマール、ポリビニルブチラール等が例示される。
【００３８】
溶剤としては、α−、β−、γ−テルピネオールのようなテルペン類、エチレングリコールモノアルキルエーテル類、エチレングリコールジアルキルエーテル類、ジエチレングリコールモノアルキルエーテル類、ジエチレングリコールジアルキルエーテル類、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、エチレングリコールジアルキルエーテルアセテート類、ジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ジエチレングリコールジアルキルエーテルアセテート類、プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、プロピレングリコールジアルキルエーテル類、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、プロピレングリコールジアルキルエーテルアセテート類、メタノール、エタノール、イソプロパノール、２−エチルヘキサノール、１−ブトキシ−２−プロパノール等のアルコール類等が例示され、これらを単独または、２種類以上を混合して使用してもよい。
【００３９】
さらに、可塑剤、沈降防止剤、分散剤等を必要に応じて適宜使用することができる。
【００４０】
次に、図１を参照しつつ隔壁３を備える背面板の作製方法について簡単に説明する。まず、ガラス基板２の上にアドレス電極８をパターン形成する。
【００４１】
電極８の形成方法としては、（１）スパッタ法、真空蒸着法等の薄膜形成プロセスとフォトプロセスを組み合わせる方法、（２）スクリーン印刷法によるパターン印刷による方法、（３）スクリーン印刷やブレードコート、ダイコート、ロールコート、リバースコート等のコーティング法とフォトプロセスを組み合わせる方法等が挙げられる。フォトプロセスとしては、フォトレジストを塗布して乾燥させた後、露光及び現像工程によりパターニングする方法、あるいは、ドライフィルムレジストを用いて同様にパターニングする方法などがある。電極の膜厚としては、例えば、電極材料としてＣｒを用い、スパッタ法により成膜を行った場合には、０．０５〜０．２μｍ程度であり、成膜されたＣｒ薄膜をフォトレジストを用いてパターニングして電極が形成される。なお、電極材料及びパターニング方法は必ずしもこれらの方法に限定されるものではない。
【００４２】
上記いずれかの方法を使用して所定パターンのアドレス電極８を形成した後、隔壁３を形成する。隔壁３の形成方法としては、前述したように前記厚膜パターン形成用塗布組成物を用い、スクリーン印刷により隔壁形状にパターン印刷する方法や、スクリーン印刷、ブレードコート、ダイコート等によりベタ膜を作製した後、ベタ膜上に耐サンドブラスト性を有するマスクをパターン状に形成し、サンドブラストにより隔壁形成材の不要部分を除去して所定の隔壁形状にする方法が例示できる。またさらには、ペーストを予めフィルムにコーティングした後、基板にラミネートし同様にサンドブラスト加工を行う方法等が例示される。上記何れかの方法によって隔壁を形成した後、焼成を行い所定の隔壁３を得る。形成する隔壁３の高さは、５０μｍ〜２５０μｍ程度である。
【００４３】
なお、図２に示すようなＰＤＰにおいては、下地層１０、誘電体層６’として隔壁３の焼成温度以上の軟化点を有するガラスフリットを主要成分とするペーストを使用して形成すればよく、その膜厚は１μｍ〜５０μｍ程度とする。
【００４４】
また、この作製方法は、図３に示すＤＣ型構造のＰＤＰにも応用できることは勿論である。
【００４５】
【実施例】
以下に具体的実施例を示し、本発明をさらに詳細に説明する。実施例では比較評価のために骨材以外の材料は同一のものとしたが、本発明は骨材も含めこれらに限定されるものではない。なお、実施例中「部」は重量部、「％」は「重量％」を示す。
【００４６】
（実施例１）
フリット混合物の作製
下記の要領でフリット混合物の作製を行った。
【００４７】
・ガラスフリットＭＢ−１０Ａ（松波硝子工業製，ｄ50＝２．６μｍ）…  ８０部
・骨材（スミコランダムＡＡ−１（住友化学工業製、球類似多面体：
ｄ50＝１μｍ，ｄ90＝３．５μｍ））                …  １０部
・顔料（ダイピロキサイドブラック＃９５１０（大日精化工業製））…  １０部
これらを弗素樹脂製の容器に入れ、ペイントコンディショナーＲＣ−５０００（レッドデビル社製）により１５分間混合し、フリット混合物を作製した。
【００４８】
隔壁形成材（ペースト）の作製
次いで、下記の要領で上記フリット混合物に下記の添加物を加えて隔壁形成材（ペースト）を作製した。
【００４９】
・上記フリット混合物                                      …  ８０部
・エトセルＳＴＤ−１００ＦＰ（ダウ・ケミカル社製）        …    ２部
・ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（純正化学製）…    ９部
・スクリーンオイル７５９（奥野製薬工業製）                …    ９部
これらを均一に混合した後、三本ロールミル（井上製作所製、Ｃ−４・３／４×１０）にて混練しペーストを作製した。
【００５０】
パネル背面板の作製
３００×４５０ｍｍのガラス基板上に下地層としてＥＬＤ−１１５５（奥野製薬工業製）をスクリーン印刷にて印刷し、乾燥、焼成して膜厚１０μｍの下地層を形成した後、この下地層の上にアドレス電極としてＤ−５９０−ＨＶ−ＭＯＤ（イー・エス・エル日本製）をスクリーン印刷にて電極パターン状に印刷、焼成し、膜厚８μｍ、線幅４０μｍ、ピッチ２４０μｍの電極を形成した。
【００５１】
次に、このアドレス電極上に誘電体層としてＰＬＳ−３２３２（日本電気硝子製）をスクリーン印刷にて印刷し、乾燥、焼成して膜厚１２μｍの誘電体層を形成した。
【００５２】
次いで、上記隔壁形成材（ペースト）をスクリーンオイル７５９（奥野製薬工業製）で希釈しシェアーレート１５［１／ｓｅｃ］、２２℃で６００ポイズに粘度調整し、スクリーン印刷により印刷、乾燥をそれぞれ１０回繰り返し、乾燥膜厚２００μｍのベタ膜を作製した。ベタ膜が形成された基板を８０℃に加熱しベタ膜上にドライフィルムレジスト（東京応化工業製、ＯＳＢＲフィルムＢＦ−６０５）をラミネートした後、超高圧水銀灯を光源とする平行光プリンターを使用し、線幅１００μｍ、ピッチ２４０μｍのラインパターンマスクを介して露光を行った。露光条件は、３６５μｍで測定した時に強度２００μＷ／ｃｍ2 、照射量８０ｍＪ／ｃｍ2 であった。
【００５３】
次に、無水炭酸ナトリウム０．２％水溶液を用い、液温３５℃でスプレー現像を行いサンドブラスト用マスクを作製し、乾燥した後、溶融アルミナＡ−＃８００（不二見研磨材工業製）を切削材としてサンドブラスト加工により不要部分を除去した。
【００５４】
次いで、水酸化ナトリウム０．７％水溶液を用い、液温３０℃にてサンドブラスト用マスクを剥離し、乾燥した後、ピーク温度５７５℃、保持時間２０分、全焼成時間２時間で焼成を行い線幅６５μｍ、高さ１５０μｍの隔壁を得た。
【００５５】
このようにして作製した隔壁の封着時の破損を『隔壁破損頻度』として、以下の要領で評価を行った。
【００５６】
隔壁破損頻度
隔壁を形成した背面板と同一サイズの素ガラス基板を隔壁面で重ね合わせ、密着プリンター（大日本スクリーン製造製、Ｐ−２０２−Ｇ）にて４０ｍｍＨｇで３分間密着した後、破損した隔壁の個数をカウントした。結果は表１に示すとおりである。なお、表１に示す数値（隔壁破損頻度）は比較例１の破損数を１００として相対表記した。
【００５７】
表１に示される結果より、本実施例１の隔壁破損頻度は２０であり、比較例１の１００に比べ著しく減少しており、隔壁強度が格段と高くなっていることがわかる。
【００５８】
（実施例２）
フリット混合物の作製
下記の要領でフリット混合物の作製を行った。
【００５９】
・ガラスフリットＭＢ−１０Ａ（松波硝子工業製，ｄ50＝２．６μｍ）…  ８０部
・骨材（アドマファインＳＯ−Ｃ５（アドマテックス製、球状粒子、
ｄ50＝２．４μｍ，ｄ90＝４．６μｍ）    …  １０部
・顔料（ダイピロキサイドブラック＃９５１０（大日精化工業製））…  １０部
これらを弗素樹脂製の容器に入れ、ペイントコンディショナーＲＣ−５０００（レッドデビル社製）により１５分間混合しフリット混合物を作製した。
【００６０】
隔壁形成材（ペースト）の作製
次いで、下記の要領で上記フリット混合物に下記の添加物を加えて隔壁形成材（ペースト）を作製した。
【００６１】
・上記フリット混合物                                      …  ８０部
・エトセルＳＴＤ−１００ＦＰ（ダウ・ケミカル社製）        …    ２部
・ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（純正化学製）…    ９部
・スクリーンオイル７５９（奥野製薬工業製）                …    ９部
これらを均一に混合した後、三本ロールミル（井上製作所製、Ｃ−４・３／４×１０）にて混練しペーストを作製した。
【００６２】
パネル背面板の作製
上記隔壁形成材（ペースト）を使用し、実施例１と同じ要領で背面板を作製し、作製した隔壁について実施例１と同じ要領で隔壁の破損数をカウントし、『隔壁破損頻度』を求めた。表１に示されるように、本実施例２の隔壁破損頻度は比較例１の１００に比べ１３と著しく減少した。
【００６３】
（参考例３）
フリット混合物の作製
下記の要領でフリット混合物の作製を行った。
【００６４】
・ガラスフリットＭＢ−１０Ａ（松波硝子工業製，ｄ50＝２．６μｍ）…  ８０部
・骨材（スミコランダムＡＡ−０４（住友化学工業製、球類似多面体粒子、
ｄ50＝０．５μｍ，ｄ90＝２．０μｍ））  …    ５部
・骨材（スミコランダムＡＡ−５（住友化学工業製、球類似多面体粒子、
ｄ50＝４．８μｍ，ｄ90＝８．２μｍ））  …    ５部
・顔料（ダイピロキサイドブラック＃９５１０（大日精化工業製））…  １０部
これらを弗素樹脂製の容器に入れ、ペイントコンディショナーＲＣ−５０００（レッドデビル社製）により１５分間混合しフリット混合物を作製した。
【００６５】
隔壁形成材（ペースト）の作製
次いで、下記の要領で上記フリット混合物に下記の添加物を加えて隔壁形成材（ペースト）を作製した。
【００６６】
・上記フリット混合物                                      …  ８０部
・エトセルＳＴＤ−１００ＦＰ（ダウ・ケミカル社製）        …    ２部
・ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（純正化学製）…    ９部
・スクリーンオイル７５９（奥野製薬工業製）                …    ９部
これらを均一に混合した後、三本ロールミル（井上製作所製、Ｃ−４・３／４×１０）にて混練しペーストを作製した。
【００６７】
パネル背面板の作製
上記隔壁形成材（ペースト）を使用し、実施例１と同じ要領で背面板を作製し、作製した隔壁について実施例１と同じ要領で隔壁の破損数をカウントし、『隔壁破損頻度』を求めた。表１に示されるように、参考例３の隔壁破損頻度は比較例１の１００に比べ１６と著しく減少した。
【００６８】
（実施例４）
フリット混合物の作製
下記の要領でフリット混合物の作製を行った。
【００６９】
・ガラスフリットＭＢ−１０Ａ（松波硝子工業製，ｄ50＝２．６μｍ）…  ８０部
・骨材（アドマファインＡＯ−５０２（アドマテックス製、球状粒子、
ｄ50＝０．７μｍ，ｄ90＝３．０μｍ））  …  １０部
・顔料（ダイピロキサイドブラック＃９５１０（大日精化工業製））…  １０部
これらを弗素樹脂製の容器に入れ、ペイントコンディショナーＲＣ−５０００（レッドデビル社製）により１５分間混合しフリット混合物を作製した。
【００７０】
隔壁形成材（ペースト）の作製
次いで、下記の要領で上記フリット混合物に下記の添加物を加えて隔壁形成材（ペースト）を作製した。
【００７１】
・上記フリット混合物                                      …  ８０部
・エトセルＳＴＤ−１００ＦＰ（ダウ・ケミカル社製）        …    ２部
・ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（純正化学製）…    ９部
・スクリーンオイル７５９（奥野製薬工業製）                …    ９部
これらを均一に混合した後、三本ロールミル（井上製薬社製、Ｃ−４・３／４×１０）にて混練しペーストを作製した。
【００７２】
パネル背面板の作製
上記隔壁形成材（ペースト）を使用し、実施例１と同じ要領で背面板を作製し、作製した隔壁について実施例１と同じ要領で隔壁の破損数をカウントし、『隔壁破損頻度』を求めた。表１に示されるように、本実施例４の隔壁破損頻度は比較例１の１００に比べ２４と著しく減少した。
【００７３】
（比較例５）
フリット混合物の作製
下記の要領でフリット混合物の作製を行った。
【００７４】
・ガラスフリットＭＢ−１０Ａ（松波硝子工業製，ｄ50＝２．６μｍ）…  ８０部
・骨材（アドマファインＡＯ−５０２（アドマテックス製、球状粒子、
ｄ50＝０．７μｍ，ｄ90＝３．０μｍ））  …    ３部
・骨材（ＷＡ＃８０００（フジミインコーポレーティド製、不定形粒子、
ｄ50＝１μｍ，ｄ90＝３．１μｍ））      …    ７部
・顔料（ダイピロキサイドブラック＃９５１０（大日精化工業製））…  １０部
これらを弗素樹脂製の容器に入れ、ペイントコンディショナーＲＣ−５０００（レッドデビル社製）により１５分間混合しフリット混合物を作製した。
【００７５】
隔壁形成材（ペースト）の作製
次いで、下記の要領で上記フリット混合物に下記の添加物を加えて隔壁形成材（ペースト）を作製した。
【００７６】
・上記フリット混合物                                      …  ８０部
・エトセルＳＴＤ−１００ＦＰ（ダウ・ケミカル社製）        …    ２部
・ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（純正化学製）…    ９部
・スクリーンオイル７５９（奥野製薬工業製）                …    ９部
これらを均一に混合した後、三本ロールミル（井上製薬社製、Ｃ−４・３／４×１０）にて混練しペーストを作製した。
【００７７】
パネル背面板の作製
上記隔壁形成材（ペースト）を使用し、実施例１と同じ要領で背面板を作製し、作製した隔壁について実施例１と同じ要領で隔壁の破損数をカウントし、『隔壁破損頻度』を求めた。表１に示されるように、比較例５の隔壁破損頻度は比較例１の１００に比べ７５と減少した。
【００７８】
（比較例６）
フリット混合物の作製
下記の要領でフリット混合物の作製を行った。
【００７９】
・ガラスフリットＭＢ−１０Ａ（松波硝子工業製，ｄ50＝２．６μｍ）…  ８０部
・骨材（アドマファインＳＯ−Ｃ１（アドマテックス製、球状粒子、
ｄ50＝０．２μｍ，ｄ90＝８．６μｍ））  …  １０部
・顔料（ダイピロキサイドブラック＃９５１０（大日精化工業製））…  １０部
これらを弗素樹脂製の容器に入れ、ペイントコンディショナーＲＣ−５０００（レッドデビル社製）により１５分間混合しフリット混合物を作製した。
【００８０】
隔壁形成材（ペースト）の作製
次いで、下記の要領で上記フリット混合物に下記の添加物を加えて隔壁形成材（ペースト）を作製した。
【００８１】
・上記フリット混合物                                      …  ８０部
・エトセルＳＴＤ−１００ＦＰ（ダウ・ケミカル社製）        …    ２部
・ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（純正化学製）…    ９部
・スクリーンオイル７５９（奥野製薬工業製）                …    ９部
これらを均一に混合した後、三本ロールミル（井上製薬社製、Ｃ−４・３／４×１０）にて混練しペーストを作製した。
【００８２】
パネル背面板の作製
上記隔壁形成材（ペースト）を使用し、実施例１と同じ要領で背面板を作製し、作製した隔壁について実施例１と同じ要領で隔壁の破損数をカウントし、『隔壁破損頻度』を求めた。表１に示されるように、比較例６の隔壁破損頻度は比較例１の１００に比べ５５と著しく減少した。
【００８３】
（比較例７）
フリット混合物の作製
下記の要領でフリット混合物の作製を行った。
【００８４】
・ガラスフリットＭＢ−１０Ａ（松波硝子工業製，ｄ50＝２．６μｍ）…  ８０部
・骨材（スミコランダムＡＡ−５（住友化学工業製、球類似多面体、
ｄ50＝４．８μｍ，ｄ90＝８．２μｍ））…  １０部
・顔料（ダイピロキサイドブラック＃９５１０（大日精化工業製））…  １０部
これらを弗素樹脂製の容器に入れ、ペイントコンディショナーＲＣ−５０００（レッドデビル社製）により１５分間混合しフリット混合物を作製した。
【００８５】
隔壁形成材（ペースト）の作製
次いで、下記の要領で上記フリット混合物に下記の添加物を加えて隔壁形成材（ペースト）を作製した。
【００８６】
・上記フリット混合物                                      …  ８０部
・エトセルＳＴＤ−１００ＦＰ（ダウ・ケミカル社製）        …    ２部
・ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（純正化学製）…    ９部
・スクリーンオイル７５９（奥野製薬工業製）                …    ９部
これらを均一に混合した後、三本ロールミル（井上製薬社製、Ｃ−４・３／４×１０）にて混練しペーストを作製した。
【００８７】
パネル背面板の作製
上記隔壁形成材（ペースト）を使用し、実施例１と同じ要領で背面板を作製し、作製した隔壁について実施例１と同じ要領で隔壁の破損数をカウントし、『隔壁破損頻度』を求めた。表１に示されるように、比較例７の隔壁破損頻度は比較例１の１００に比べ８８と減少した。
【００８８】
（比較例１）
フリット混合物の作製
下記の要領でフリット混合物の作製を行った。
【００８９】
・ガラスフリットＭＢ−１０Ａ（松波硝子工業製，ｄ50＝２．６μｍ）…  ８０部
・骨材（ＷＡ＃８０００（フジミインコーポレーティド製、不定形粒子、
ｄ50＝１μｍ，ｄ90＝３．１μｍ））      …  １０部
・顔料（ダイピロキサイドブラック＃９５１０（大日精化工業製））…  １０部
これらを弗素樹脂製の容器に入れ、ペイントコンディショナーＲＣ−５０００（レッドデビル社製）により１５分間混合しフリット混合物を作製した。
【００９０】
隔壁形成材（ペースト）の作製
次いで、下記の要領で上記フリット混合物に下記の添加物を加えて隔壁形成材（ペースト）を作製した。
【００９１】
・上記フリット混合物                                      …  ８０部
・エトセルＳＴＤ−１００ＦＰ（ダウ・ケミカル社製）        …    ２部
・ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（純正化学製）…    ９部
・スクリーンオイル７５９（奥野製薬工業製）                …    ９部
これらを均一に混合した後、三本ロールミル（井上製作所製、Ｃ−４・３／４×１０）にて混練しペーストを作製した。
【００９２】
パネル背面板の作製
上記隔壁形成材（ペースト）を使用し、実施例１と同じ要領で背面板を作製し、作製した隔壁について実施例１と同じ要領で隔壁の破損数をカウントした。表１に示されるように、この破損数を隔壁破損頻度１００（従来の基準値）とした。
【００９３】
（比較例２）
フリット混合物の作製
下記の要領でフリット混合物の作製を行った。
【００９４】
・ガラスフリットＭＢ−１０Ａ（松波硝子工業製，ｄ50＝２．６μｍ）…  ８０部
・骨材（ＷＡ＃３０００（フジミインコーポレーティド製、不定形粒子、
ｄ50＝４．９μｍ，ｄ90＝９．１μｍ））  …  １０部
・顔料（ダイピロキサイドブラック＃９５１０（大日精化工業製））…    ８部
これらを弗素樹脂製の容器に入れ、ペイントコンディショナーＲＣ−５０００（レッドデビル社製）により１５分間混合しフリット混合物を作製した。
【００９５】
隔壁形成材（ペースト）の作製
次いで、下記の要領で上記フリット混合物に下記の添加物を加えて隔壁形成材（ペースト）を作製した。
【００９６】
・上記フリット混合物                                      …  ８０部
・エトセルＳＴＤ−１００ＦＰ（ダウ・ケミカル社製）        …    ２部
・ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（純正化学製）…    ９部
・スクリーンオイル７５９（奥野製薬工業製）                …    ９部
これらを均一に混合した後、三本ロールミル（井上製作所製、Ｃ−４・３／４×１０）にて混練しペーストを作製した。
【００９７】
パネル背面板の作製
上記隔壁形成材（ペースト）を使用し、実施例１と同じ要領で背面板を作製し、作製した隔壁について実施例１と同じ要領で隔壁の破損数をカウントし、『隔壁破損頻度』を求めた。表１に示されるように、比較例２の隔壁破損頻度は１２８であった。
【００９８】
（比較例３）
フリット混合物の作製
下記の要領でフリット混合物の作製を行った。
【００９９】
・ガラスフリットＭＢ−１０Ａ（松波硝子工業製，ｄ50＝２．６μｍ）…  ８０部
・骨材（アドマファインＡＯ−５０２（アドマテックス製、球状粒子、
ｄ50＝０．７μｍ，ｄ90＝３．０μｍ））  …    １部
・骨材（ＷＡ＃８０００（フジミインコーポレーティド製、不定形粒子、
ｄ50＝１μｍ，ｄ90＝３．１μｍ））      …    ９部
・顔料（ダイピロキサイドブラック＃９５１０（大日精化工業製））…  １０部
これらを弗素樹脂製の容器に入れ、ペイントコンディショナーＲＣ−５０００（レッドデビル社製）により１５分間混合しフリット混合物を作製した。
【０１００】
隔壁形成材（ペースト）の作製
次いで、下記の要領で上記フリット混合物に下記の添加物を加えて隔壁形成材（ペースト）を作製した。
【０１０１】
・上記フリット混合物                                      …  ８０部
・エトセルＳＴＤ−１００ＦＰ（ダウ・ケミカル社製）        …    ２部
・ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（純正化学製）…    ９部
・スクリーンオイル７５９（奥野製薬工業製）                …    ９部
これらを均一に混合した後、三本ロールミル（井上製作所製、Ｃ−４・３／４×１０）にて混練しペーストを作製した。
【０１０２】
パネル背面板の作製
上記隔壁形成材（ペースト）を使用し、実施例１と同じ要領で背面板を作製し、作製した隔壁について実施例１と同じ要領で隔壁の破損数をカウントし、『隔壁破損頻度』を求めた。表１に示されるように、比較例３の隔壁破損頻度は１０１であった。
【０１０３】
（比較例８）
上記実施例１において、フリット混合物の作製時に用いた骨材の含有量を１０部から２５部に変えた。それ以外は、上記実施例１と同じ要領でパネル背面板を作製し、『隔壁破損頻度』を求めた。その結果、表１に示されるように、比較例８の隔壁破損頻度は４５であり、良好な隔壁が形成されていることが確認できた。
【０１０４】
（実施例９）
上記実施例１において、フリット混合物の作製時に用いた骨材の含有量を１０部から５部に変えた。それ以外は、上記実施例１と同じ要領でパネル背面板を作製し、『隔壁破損頻度』を求めた。その結果、表１に示されるように、実施例９の隔壁破損頻度は１７であり、良好な隔壁が形成されていることが確認できた。
【０１０５】
【表１】
0004268240.tif 000002
【０１０６】
【発明の効果】
上記の結果より本発明の効果は明らかである。すなわち、本発明は、厚膜パターンの溶融母体となるガラスフリットと、主として厚膜パターンの形態および強度を維持するための骨材とを主成分として含有する厚膜パターン組成物（好適な一例が、プラズマディスプレイパネルの隔壁）であって、前記骨材は、骨材成分の中で球状または球類似多面体からなる無機粒子が２５％以上含有されるように構成しているので、隔壁の局部的な強度不足を無くし、封着時に破損が生じるのを防止し、しかも隔壁の頂部に凝集体が突起を形成するのを防止し、隔壁の欠けが生じることが極めて少ない。そして、これにより誤放電や点欠陥の極めて少ないプラズマディスプレイパネルを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＡＣ型ＰＤＰの一構成例を示す斜視図である。
【図２】図１の背面板の構造を説明するための断面図である
【図３】ＤＣ型ＰＤＰの一構成例を示したものであり、そのなかで、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は図３（ａ）におけるＸ−Ｘ線での断面図である。
【図４】軟化点の測定例を示すためのグラフである。
【符号の説明】
１…前面板
２…背面板
３…隔壁
４…維持電極
５…バス電極
６…誘電体層
７…ＭｇＯ層
８…アドレス電極
【図１】
0004268240.tif 000003
【図２】
0004268240.tif 000004
【図３】
0004268240.tif 000005
【図４】
0004268240.tif 000006