(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つのヘッド素子を有しており、該少なくとも１つのヘッド素子の微小位置決めを行うためのアクチュエータに接着されるヘッドスライダであって、前記アクチュエータとの接着部に、接着剤を流し込むための少なくとも１つの溝を備えていると共に、前記アクチュエータによって挟設支持される２つの側面を有しており、前記少なくとも１つの溝が該各側面に、浮上面に沿って形成されていることを特徴とするヘッドスライダ。
【請求項２】
前記少なくとも１つの溝が、前記各側面の前記浮上面側のエッジに設けられた１つの溝であることを特徴とする請求項１に記載のヘッドスライダ。
【請求項３】
前記溝が、前記エッジの全長に渡って形成されていることを特徴とする請求項２に記載のヘッドスライダ。
【請求項４】
前記少なくとも１つのヘッド素子が少なくとも１つの薄膜磁気ヘッド素子であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のヘッドスライダ。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載のヘッドスライダと、前記少なくとも１つの溝に流し込まれた接着剤によって該ヘッドスライダと接着されている微小位置決め用アクチュエータと、該アクチュエータが固着された支持機構とを備えたことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項６】
前記アクチュエータが１対の可動アーム部を備えており、前記ヘッドスライダが該１対の可動アーム部によって挟設支持される２つの側面を有していることを特徴とする請求項５に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項７】
前記アクチュエータの前記１対の可動アーム部の間隔が、前記ヘッドスライダの前記２つの側面間の距離にほぼ等しいか僅かに大きいことを特徴とする請求項６に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項８】
前記アクチュエータが基部を備えており、前記１対の可動アーム部が該基部から突出しており駆動信号に従って前記ヘッドスライダの前記浮上面に沿って変位するように構成されていることを特徴とする請求項６又は７に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項９】
前記アクチュエータの前記可動アーム部及び前記基部が、弾性を有するセラミック焼結体で形成されていることを特徴とする請求項８に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１０】
前記アクチュエータの前記可動アーム部及び前記基部が、金属板部材で形成されていることを特徴とする請求項８に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１１】
前記アクチュエータの前記可動アーム部が、アーム部材と、該アーム部材の面上に積層又は接着された圧電素子とを備えていることを特徴とする請求項６から１０のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１２】
少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダと、該少なくとも１つのヘッド素子の微小位置決めを行うためのアクチュエータとの接着方法であって、前記ヘッドスライダの側面を前記アクチュエータの１対の可動アーム部で挟んだ後、前記ヘッドスライダの前記各側面に設けられた少なくとも１つの溝に接着剤を流し込むことにより、該側面と前記可動アーム部とを接着することを特徴とするヘッドスライダとアクチュエータとの接着方法。
【請求項１３】
前記少なくとも１つの溝が、前記ヘッドスライダの浮上面に沿って形成されていることを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記少なくとも１つの溝が、前記各側面の前記浮上面側のエッジに設けられた１つの溝であることを特徴とする請求項１２又は１３に記載の方法。
【請求項１５】
少なくとも１つのヘッド素子を有しており側面に接着剤を流し込むための少なくとも１つの溝を備えたヘッドスライダを形成し、一方、基部及び該基部から突出しており駆動信号に従って変位する１対の可動アーム部を備えており前記少なくとも１つのヘッド素子の微小位置決め用のアクチュエータを形成し、該アクチュエータの前記１対の可動アーム部間に前記ヘッドスライダを挟んだ後、前記少なくとも１つの溝に接着剤を流し込むことにより、前記ヘッドスライダの前記側面と前記アクチュエータの前記可動アーム部とを接着し、前記アクチュエータの前記基部を支持機構に固着することを特徴とするヘッドジンバルアセンブリの製造方法。
【請求項１６】
前記少なくとも１つの溝が、前記ヘッドスライダの浮上面に沿って形成されていることを特徴とする請求項１５に記載の製造方法。
【請求項１７】
前記少なくとも１つの溝が、前記各側面の前記浮上面側のエッジに設けられた１つの溝であることを特徴とする請求項１５又は１６に記載の製造方法。
【請求項１８】
前記溝が、前記エッジの全長に渡って形成されていることを特徴とする請求項１７に記載の製造方法。
【請求項１９】
前記アクチュエータの前記１対の可動アーム部の間隔を、前記ヘッドスライダの前記２つの側面間の距離にほぼ等しいか僅かに大きくすることを特徴とする請求項１５から１８のいずれか１項に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜磁気ヘッド素子又は光ヘッド素子等のヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータに接着されるヘッドスライダ、このヘッドスライダを備えたヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）、このヘッドスライダとアクチュエータとの接着方法及びＨＧＡの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク装置では、ＨＧＡのサスペンションの先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを、回転する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状態で、この磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘッド素子により磁気ディスクへの記録及び／又は磁気ディスクからの再生が行われる。
【０００３】
近年、磁気ディスク装置の大容量化及び高密度記録化に伴い、ディスク半径方向（トラック幅方向）の密度の高密度化が進んできており、従来のごときボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）のみによる制御では、磁気ヘッドの位置を正確に合わせることが難しくなってきている。
【０００４】
磁気ヘッドの精密位置決めを実現する手段の一つとして提案されているのが、従来のＶＣＭよりさらに磁気ヘッドスライダ側にもう１つのアクチュエータ機構を搭載し、ＶＣＭで追従しきれない微細な精密位置決めを、そのアクチュエータによって行う技術である（例えば、特開平６−２５９９０５号公報、特開平６−３０９８２２号公報、特開平８−１８０６２３号公報参照）。
【０００５】
この種のアクチュエータとして、ピギーバック構造のアクチュエータが存在する。このピギーバック構造のアクチュエータは、サスペンションに固定される一方の端部と、磁気ヘッドスライダに固定される他方の端部と、これら端部を連結するピラー状の変位発生部とをＰＺＴによる圧電部材でＩ字形状に一体形成してなるものであり、サスペンション上にアクチュエータと磁気ヘッドスライダとが階段状に取り付けられる。即ち、サスペンションと磁気ヘッドスライダとの間にアクチュエータが挟まれた積上げ式の構造となっている。
【０００６】
このようなピギーバック構造のアクチュエータを用いたＨＧＡは、
（１）積上げた構造であるため、磁気ヘッドスライダ部分のＨＧＡの厚みがアクチュエータの分だけ増大する、
（２）アクチュエータ全体がもろい材質のＰＺＴ等の圧電部材で構成されていること、並びにアクチュエータ及び磁気ヘッドスライダが階段状に積上げたカンチレバー構造となるため、モーメントで衝撃が働き、耐衝撃性が非常に低い、
（３）磁気ヘッドスライダの寸法によって、微小位置決め動作時のストロークが変わってしまい、十分なストロークを得られないことがある、
（４）立体的で複雑な取り付け構造を有しているため、組み立て時の取り扱いが非常に困難であり、従来のＨＧＡ組み立て装置を適用できず、生産性が非常に悪い、
（５）アクチュエータの動きを阻害しないために、磁気ヘッドスライダ及びアクチュエータ間、並びにアクチュエータ及びサスペンション間に間隙を置いて組み立てる必要があるが、このような間隙を設けることは、耐衝撃性をさらに悪化させるのみならず、組み立てにあたって間隙を一定としなければならないので、組み立て精度が低下する。特に、サスペンション、アクチュエータ及び磁気ヘッドスライダの平行度が正確に保つことが難しいので、ヘッド特性が悪化する、
等の種々の問題点を有している。
【０００７】
このような従来技術の問題点を解消するべく、本願発明者等は、駆動信号に従って変位可能な１対の可動アーム部間にヘッドスライダを挟設するように構成したヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ及びＨＧＡを既に提案している（特願２０００−２５３９３０号）。また、同様の構造を有しており、可動アーム部を含むアクチュエータの主要部を金属板部材で構成したヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ及びＨＧＡをも既に提案している（特願２０００−３３２２５５号）。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような可動アーム部間にヘッドスライダを挟みこんで固着する構造においては、ヘッドスライダをアクチュエータに接着するためにその可動アーム部を広げると、可動アーム部の付け根や可動アーム部に設けられている圧電素子にダメージを与えてしまう。このため、アクチュエータの可動アーム部の間隔は、ヘッドスライダの側面間の間隔（幅）よりも充分大きくして接着剤が両者間に回り込むように構成することが必要となる。
【０００９】
しかしながら、このように可動アーム部の間隔をヘッドスライダの幅より広くすると、
（Ａ）接着剤の層が厚くなりすぎて共振特性の劣化及び変位量の減少が起こる可能性があり、また、接着面間の中央部で接着剤がくびれてしまうことから接着強度が低下し、かつ共振周波数の低下及び変位量の減少が起こる可能性がある、
（Ｂ）粘性の高い接着剤を用いると、可動アーム部及びヘッドスライダ側面の接着面に接着剤が充分に回り込まず、充分な接着強度が得られない、
（Ｃ）可動アーム部とヘッドスライダ側面との間隔が左右等しくなるように制御することが非常に難しい、
（Ｄ）接着剤を塗布した後にアクチュエータとヘッドスライダとを組み付けるため、接着剤が接着面からはみだして例えばヘッドスライダの浮上面（ＡＢＳ）やアクチュエータの可動アーム部等に付着してしまい、このため、使用する接着剤の量を正確に制御することが難しい、
（Ｅ）上述した（Ａ）〜（Ｄ）に起因して、量産時における接着強度、共振周波数及び変位量特性等にばらつきが発生する、
といった種々の問題が発生する。
【００１０】
従って本発明は、従来技術の上述した問題点を解消するものであり、その目的は、アクチュエータとヘッドスライダとの接着処理が容易となる、微小位置決め用アクチュエータに接着されるヘッドスライダ、このヘッドスライダを備えたＨＧＡ、ヘッドスライダとアクチュエータとの接着方法及びＨＧＡの製造方法を提供することにある。
【００１１】
本発明の他の目的は、接着強度、共振周波数及び変位量特性に劣化が少なくかつそれらのばらつきが少ない、微小位置決め用アクチュエータに接着されるヘッドスライダ、このヘッドスライダを備えたＨＧＡ、ヘッドスライダとアクチュエータとの接着方法及びＨＧＡの製造方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、少なくとも１つのヘッド素子を有しており、この少なくとも１つのヘッド素子の微小位置決めを行うためのアクチュエータに接着されるヘッドスライダであって、アクチュエータとの接着部に、接着剤を流し込むための少なくとも１つ溝を備えていると共に、アクチュエータによって挟設支持される２つの側面を有しており、少なくとも１つの溝が各側面に、浮上面に沿って形成されているヘッドスライダが提供される。
【００１３】
アクチュエータと接着される部分に、接着剤を流し込むための少なくとも１つの凹部が設けられているため、接着剤を接着部に確実に挿入することができるから、安定したかつ充分な接着強度を得ることができる。また、接着剤がその他の部分にはみだしたりしないので、その量を正確に制御することができるから、量産時における接着強度、共振周波数及び変位量特性等にばらつき発生を防止できる。さらに、ヘッドスライダを把持するアクチュエータのアーム部の間隔を大きくとることなく、ヘッドスライダの幅にほぼ等しいかこれより僅かに大きい程度に設定できるため、接着剤の厚い層による影響が少なくなり、しかもヘッドスライダとアクチュエータとの接着部における左右の間隔差を最小限とすることができるから、共振特性及び変位特性の劣化を防止することができる。さらにまた、アクチュエータとヘッドスライダとを組み付けた後に接着剤を流し込めば良いため、接着処理が非常に容易となる。
【００１６】
少なくとも１つの溝が、各側面のＡＢＳ側のエッジに設けられた１つの溝であることが好ましい。溝が、エッジの全長に渡って形成されていることも好ましい。
【００１７】
少なくとも１つのヘッド素子が少なくとも１つの薄膜磁気ヘッド素子であることも好ましい。
【００１８】
本発明によれば、さらに、上述したヘッドスライダと、少なくとも１つの溝に流し込まれた接着剤によってこのヘッドスライダと接着されている微小位置決め用アクチュエータと、このアクチュエータが固着された支持機構とを備えたＨＧＡが提供される。
【００１９】
ヘッドスライダのアクチュエータと接着される部分に、接着剤を流し込むための少なくとも１つの溝が設けられているため、接着剤が接着部に確実に挿入されるので安定したかつ充分な接着強度を得ることができる。また、接着剤がその他の部分にはみだしたりしないので、その量を正確に制御することができるから、量産時における接着強度、共振周波数及び変位量特性等にばらつき発生を防止できる。さらに、ヘッドスライダを把持するアクチュエータのアーム部の間隔を大きくとることなく、ヘッドスライダの幅にほぼ等しいかこれより僅かに大きい程度に設定できるため、接着剤の厚い層による影響が少なくなり、しかもヘッドスライダとアクチュエータとの接着部における左右の間隔差を最小限とすることができるから、共振特性及び変位特性の劣化を防止することができる。さらにまた、アクチュエータとヘッドスライダとを組み付けた後に接着剤を流し込めば良いため、接着処理が非常に容易となる。
【００２０】
アクチュエータが１対の可動アーム部を備えており、ヘッドスライダが１対の可動アーム部によって挟設支持される２つの側面を有していることが好ましい。
【００２１】
アクチュエータの１対の可動アーム部の間隔が、ヘッドスライダの２つの側面間の距離にほぼ等しいか僅かに大きいことも好ましい。
【００２２】
アクチュエータが基部を備えており、１対の可動アーム部が基部から突出しており駆動信号に従ってＡＢＳに沿って変位するように構成されていることも好ましい。
【００２３】
アクチュエータの可動アーム部及び基部が、弾性を有するセラミック焼結体又は金属板部材で形成されていることが好ましい。
【００２４】
アクチュエータの可動アーム部が、アーム部材と、アーム部材の面上に積層又は接着された圧電素子とを備えていることも好ましい。
【００２５】
本発明によれば、さらにまた、少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダと、少なくとも１つのヘッド素子の微小位置決めを行うためのアクチュエータとの接着方法であって、ヘッドスライダの側面をアクチュエータの１対の可動アーム部で挟んだ後、ヘッドスライダの各側面に設けられた少なくとも１つの溝に接着剤を流し込むことにより、側面と可動アーム部とを接着するヘッドスライダとアクチュエータとの接着方法が提供される。
【００２６】
アクチュエータとヘッドスライダとを組み付けた後に、ヘッドスライダの側面に設けた少なくとも１つの溝に接着剤を流し込んでいる。このように接着剤を後で付与しているため、接着処理が非常に容易となる。しかも、接着剤が接着部に確実に挿入されるので安定したかつ充分な接着強度を得ることができ、接着剤がその他の部分にはみだしたりしないのでその量を正確に制御することができるから、量産時における接着強度、共振周波数及び変位量特性等にばらつき発生を防止できる。また、接着剤を溝に流し込めるため、アクチュエータの可動アーム部の間隔を接着剤用に大きくとる必要がなく、ヘッドスライダの幅にほぼ等しいかこれより僅かに大きい程度に設定できる。その結果、接着剤の厚い層による影響が少なくなり、しかもヘッドスライダとアクチュエータとの接着部における左右の間隔差を最小限とすることができるから、共振特性及び変位特性の劣化を防止することができる。
【００２７】
少なくとも１つの溝が、ヘッドスライダのＡＢＳに沿って形成されていることが好ましい。
【００２８】
少なくとも１つの溝が、ヘッドスライダの各側面のＡＢＳ側のエッジに設けられた１つの溝であることも好ましい。
【００２９】
本発明によれば、各々が少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダが複数互いに連接して配列されたバーの各ヘッドスライダ間に非貫通溝を形成し、非貫通溝の中央を非貫通溝の幅より狭い幅を有する切断刃によって切断してヘッドスライダを個々に分離するヘッドスライダの製造方法が提供される。
【００３０】
バーの状態において、非貫通溝を形成するのみで接着剤を流し込むための溝が得られるので、製造工程をさほど変える必要がないから工程が複雑化することを防止できる。
【００３１】
非貫通溝をＡＢＳ側に形成することが好ましい。
【００３２】
本発明によれば、また、少なくとも１つのヘッド素子を有しており、側面に接着剤を流し込むための少なくとも１つの溝を備えたヘッドスライダを形成し、一方、基部及びこの基部から突出しており駆動信号に従って変位する１対の可動アーム部を備えており、少なくとも１つのヘッド素子の微小位置決め用のアクチュエータを形成し、アクチュエータの１対の可動アーム部間にヘッドスライダを挟んだ後、少なくとも１つの溝に接着剤を流し込むことにより、ヘッドスライダの側面とアクチュエータの可動アーム部とを接着し、アクチュエータの基部を支持機構に固着するＨＧＡの製造方法が提供される。
【００３３】
アクチュエータとヘッドスライダとを組み付けた後に、ヘッドスライダの側面に設けた少なくとも１つの溝に接着剤を流し込んでいる。このように接着剤を後で付与しているため、接着処理が非常に容易となる。しかも、接着剤が接着部に確実に挿入されるので安定したかつ充分な接着強度を得ることができ、接着剤がその他の部分にはみだしたりしないのでその量を正確に制御することができるから、量産時における接着強度、共振周波数及び変位量特性等にばらつき発生を防止できる。また、接着剤を溝に流し込めるため、アクチュエータの可動アーム部の間隔を接着剤用に大きくとる必要がなく、ヘッドスライダの幅にほぼ等しいかこれより僅かに大きい程度に設定できる。その結果、接着剤の厚い層による影響が少なくなり、しかもヘッドスライダとアクチュエータとの接着部における左右の間隔差を最小限とすることができるから、共振特性及び変位特性の劣化を防止することができる。
【００３４】
少なくとも１つの溝が、ヘッドスライダのＡＢＳに沿って形成されていることが好ましい。
【００３５】
少なくとも１つの溝が、各側面のＡＢＳ側のエッジに設けられた１つの溝であることも好ましい。溝が、エッジの全長に渡って形成されていることも好ましい。
【００３６】
アクチュエータの１対の可動アーム部の間隔を、ヘッドスライダの２つの側面間の距離にほぼ等しいか僅かに大きくすることも好ましい。
【００３７】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施形態として、磁気ディスク装置の要部の構成を概略的に示す斜視図であり、図２はＨＧＡ全体を表す斜視図であり、図３及び図４は本実施形態におけるＨＧＡの先端部を互いに異なる方向から見た斜視図である。
【００３８】
図１において、１０は軸１１の回りを回転する複数の磁気ディスク、１２は磁気ヘッドスライダをトラック上に位置決めするためのアセンブリキャリッジ装置をそれぞれ示している。アセンブリキャリッジ装置１２は、軸１３を中心にして角揺動可能なキャリッジ１４と、このキャリッジ１４を角揺動駆動する例えばボイスコイルモータ（ＶＣＭ）からなる主アクチュエータ１５とから主として構成されている。
【００３９】
キャリッジ１４には、軸１３の方向にスタックされた複数の駆動アーム１６の基部が取り付けられており、各駆動アーム１６の先端部にはＨＧＡ１７が固着されている。各ＨＧＡ１７は、その先端部に設けられている磁気ヘッドスライダが、各磁気ディスク１０の表面に対して対向するように駆動アーム１６の先端部に設けられている。
【００４０】
図２〜図４に示すように、ＨＧＡは、サスペンション２０の先端部に、磁気ヘッド素子を有する磁気ヘッドスライダ２１の側面を挟持している精密位置決めを行うためのアクチュエータ２２を固着して構成される。
【００４１】
図１に示す主アクチュエータ１５はＨＧＡ１７を取り付けた駆動アーム１６を変位させてアセンブリ全体を動かすために設けられており、アクチュエータ２２はそのような主アクチュエータ１５では駆動できない微細な変位を可能にするために設けられている。
【００４２】
サスペンション２０は、図２〜図４に示すように、第１及び第２のロードビーム２３及び２４と、これら第１及び第２のロードビーム２３及び２４を互いに連結する弾性を有するヒンジ２５と、第２のロードビーム２４及びヒンジ２５上に固着支持された弾性を有するフレクシャ２６と、第１のロードビーム２３の取り付け部２３ａに設けられた円形のベースプレート２７とから主として構成されている。
【００４３】
フレクシャ２６は、第２のロードビーム２４に設けられたディンプル（図示なし）に押圧される軟らかい舌部２６ａを一方の端部に有しており、この舌部２６ａ上には、ポリイミド等による絶縁層２６ｂを介してアクチュエータ２２の基部２２ａが固着されている。このフレクシャ２６は、この舌部２６ａでアクチュエータ２２を介して磁気ヘッドスライダ２１を柔軟に支えるような弾性を持っている。フレクシャ２６は、本実施形態では、厚さ約２０μｍのステンレス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）によって構成されている。なお、フレクシャ２６と第２のロードビーム２４及びヒンジ２５との固着は、複数の溶接点によるピンポイント固着によってなされている。
【００４４】
ヒンジ２５は、第２のロードビーム２４にアクチュエータ２２を介してスライダ２１を磁気ディスク方向に押えつける力を与えるための弾性を有している。このヒンジ２５は、本実施形態では、厚さ約４０μｍのステンレス鋼板によって構成されている。
【００４５】
第１のロードビーム２３は、本実施形態では、約１００μｍ厚のステンレス鋼板で構成されており、ヒンジ２５をその全面に渡って支持している。ただし、ロードビーム２３とヒンジ２５との固着は、複数の溶接点によるピンポイント固着によってなされている。また、第２のロードビーム２４も、本実施形態では、約１００μｍ厚のステンレス鋼板で構成されており、ヒンジ２５にその端部において固着されている。ただし、ロードビーム２４とヒンジ２５との固着も、複数の溶接点によるピンポイント固着によってなされている。なお、この第２のロードビーム２４の先端には、非動作時にＨＧＡを磁気ディスク表面から離しておくためのリフトタブ２４ａが設けられている。
【００４６】
ベースプレート２７は、本実施形態では、約１５０μｍ厚のステンレス鋼又は鉄で構成されており、第１のロードビーム２３の基部の取り付け部２３ａに溶接によって固着されている。このベースプレート２７が駆動アーム１６（図１）に取り付けられる。
【００４７】
フレクシャ２６上には、積層薄膜パターンによる複数のリード導体を含む可撓性の配線部材２８が形成又は載置されている。配線部材２８は、フレクシブルプリント回路（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔ  Ｃｉｒｃｕｉｔ、ＦＰＣ）のごとく金属薄板上にプリント基板を作成するのと同じ公知のパターニング方法で形成されている。この配線部材２８は、例えば、厚さ約５μｍのポリイミド等の樹脂材料による第１の絶縁性材料層、パターン化された厚さ約４μｍのＣｕ層（リード導体層）及び厚さ約５μｍのポリイミド等の樹脂材料による第２の絶縁性材料層をこの順序でフレクシャ２６側から順次積層することによって形成される。ただし、磁気ヘッド素子、アクチュエータ及び外部回路と接続するための接続パッドの部分は、Ｃｕ層上にＡｕ層が積層形成されており、その上に絶縁性材料層は形成されていない。
【００４８】
本実施形態においてこの配線部材２８は、磁気ヘッド素子に接続される片側２本、両側で計４本のリード導体を含む第１の配線部材２８ａと、アクチュエータ２２に接続される片側１本、両側で計２本のリード導体を含む第２の配線部材２８ｂとから構成されている。
【００４９】
第１の配線部材２８ａのリード導体の一端は、フレクシャ２６の先端部において、このフレクシャ２６から切り離されており自由運動できる分離部２６ｃ上に設けられた磁気ヘッド素子用接続パッド２９に接続されている。接続パッド２９は、磁気ヘッドスライダ２１の端子電極２１ａに金ボンディング、ワイヤボンディング又はステッチボンディング等により接続されている。第１の配線部材２８ａのリード導体の他端は外部回路と接続するための外部回路用接続パッド３０に接続されている。
【００５０】
第２の配線部材２８ｂのリード導体の一端は、フレクシャ２６の舌部２６ａの絶縁層２６ｂ上に形成されたアクチュエータ用接続パッド３１に接続されており、この接続パッド３１はアクチュエータ２２の基部２２ａに設けられたＡチャネル及びＢチャネル信号端子電極２２ｂ及び２２ｃにそれぞれ接続されている。第２の配線部材２８ｂのリード導体の他端は外部回路と接続するための外部回路用接続パッド３０に接続されている。
【００５１】
本発明のＨＧＡにおけるサスペンションの構造は、以上述べた構造に限定されるものではないことは明らかである。なお、図示されていないが、サスペンション２０の途中にヘッド駆動用ＩＣチップを装着してもよい。
【００５２】
図５は本実施形態におけるアクチュエータの構造を示す平面図であり、図６はこのアクチュエータの圧電素子部分の構造を示す断面図であり、図７はこのアクチュエータの動作を説明するための斜視図である。
【００５３】
図５に示すように、アクチュエータ２２は、その平面形状が略コ字状となっており、サスペンションに固着される基部５０（２２ａ）の両端から１対の可動アーム部５１及び５２が垂直に伸びている。可動アーム部５１及び５２の先端部には、磁気ヘッドスライダ２１の側面２１ｂ及び２１ｃに固着されるスライダ固着部５３及び５４がそれぞれ設けられている。スライダ固着部５３及び５４間の間隔は、挟設すべき磁気ヘッドスライダの幅にほぼ等しいかこれより僅かに大きくなるように設定されている。アクチュエータ２２の厚さは、アクチュエータ実装によりＨＧＡの厚さを増大させないように、挟設すべき磁気ヘッドスライダの厚さ以下に設定されている。逆にいえば、アクチュエータ２２の厚さを挟設すべき磁気ヘッドスライダの厚さまで大きくすることによって、ＨＧＡの厚さを増大させることなくアクチュエータ自体の強度を上げることができる。
【００５４】
スライダ固着部５３及び５４は、磁気ヘッドスライダ２１方向に突出しており、これによって、この部分のみが磁気ヘッドスライダ２１の側面と固着され、磁気ヘッドスライダ側面と可動アーム部５１及び５２との間の残りの部分が空隙となるようになされている。
【００５５】
可動アーム部５１及び５２は、それぞれ、アーム部材５１ａ及び５２ａとこれらアーム部材５１ａ及び５２ａの側面に形成された圧電素子５１ｂ及び５２ｂとから構成されている。
【００５６】
基部５０並びにアーム部材５１ａ及び５２ａは、弾性を有するセラミック焼結体、例えばＺｒＯ２で一体的に形成されている。このように、アクチュエータの主要部を剛性の高い即ちたわみに対して強いＺｒＯ２等のセラミック焼結体とすることにより、アクチュエータ自体の耐衝撃性が向上する。
【００５７】
圧電素子５１ｂ及び５２ｂの各々は、図６に示すように、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する圧電・電歪材料層６０と信号電極層６１とグランド電極層６２とが交互に積層された多層構造となっている。信号電極層６１は図３及び図４に示すＡチャネル又はＢチャネル信号端子電極２２ｂ又は２２ｃに接続されており、グランド電極層６２はグランド端子２２ｄ又は２２ｅに接続されている。
【００５８】
圧電・電歪材料層６０がＰＺＴ等のいわゆる圧電材料から構成されており、通常、変位性能向上のための分極処理が施されている。この分極処理による分極方向は、圧電素子の積層方向である。電極層に電圧を印加したときの電界の向きが分極方向と一致する場合、両電極間の圧電・電歪材料層はその厚さ方向に伸長（圧電縦効果）し、その面内方向では収縮（圧電横効果）する。一方、電界の向きが分極方向と逆である場合、圧電・電歪材料層はその厚さ方向に収縮（圧電縦効果）し、その面内方向では伸長（圧電横効果）する。
【００５９】
圧電素子５１ｂ及び５２ｂに、収縮又は伸長を生じさせる電圧を印加すると、各圧電素子部分がその都度収縮又は伸長し、これによって可動アーム部５１及び５２の各々は、図７に示すようにＳ字状に撓みその先端部が横方向に直線的に揺動する。その結果、磁気ヘッドスライダ２１も同様に横方向に直線的に揺動する。このように、角揺動ではなく、直線揺動であるため、磁気ヘッド素子のより精度の高い位置決めが可能となる。
【００６０】
両圧電素子に、互いに逆の変位が生じるような電圧を同時に印加してもよい。即ち、一方の圧電素子と他方の圧電素子とに、一方が伸長したとき他方が収縮し、一方が収縮したとき他方が伸長するような交番電圧を同時に印加してもよい。このときの可動アーム部の揺動は、電圧無印加時の位置を中央とするものとなる。この場合、駆動電圧を同じとしたときの揺動の振幅は、電圧を交互に印加する場合の約２倍となる。ただし、この場合、揺動の一方の側では圧電素子を伸長させることになり、このときの駆動電圧は分極の向きと逆となる。このため、印加電圧が高い場合や継続的に電圧印加を行う場合には、圧電・電歪材料の分極が減衰するおそれがある。従って、分極と同じ向きに一定の直流バイアス電圧を加えておき、このバイアス電圧に上述の交番電圧を重畳したものを駆動電圧とすることにより、駆動電圧の向きが分極の向きと逆になることがないようにする。この場合の揺動は、バイアス電圧だけを印加したときの位置を中央とするものとなる。
【００６１】
なお、圧電・電歪材料とは、逆圧電効果または電歪効果により伸縮する材料を意味する。圧電・電歪材料は、上述したようなアクチュエータの変位発生部に適用可能な材料であれば何であってもよいが、剛性が高いことから、通常、ＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３］、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）等のセラミックス圧電・電歪材料が好ましい。
【００６２】
このように、アクチュエータ２２は、可動アーム部５１及び５２間に磁気ヘッドスライダ２１の側面を挟み込むように構成しているため、アクチュエータ２２を設けてもその部分でＨＧＡの厚みが増大しない。このため、アクチュエータ装着による磁気ディスク装置の寸法変更等は不要となる。また、アクチュエータ２２及び磁気ヘッドスライダ２１の複合体がカンチレバー構造とはなっていないため、耐衝撃性が大幅に向上する。しかも、可動アーム部５１及び５２間に磁気ヘッドスライダ２１を挟設する構造としているため、変位を実際に与える可動アーム部５１及び５２の先端部が磁気ヘッドスライダ２１の先端まで伸ばせることとなる。このため、磁気ヘッドスライダ２１の寸法が変った場合にも微小位置決め動作時に同じ大きさのストロークを提供できるから必要十分なストロークを得ることができる。
【００６３】
本発明においては、磁気ヘッドスライダ２１の形状に工夫が施されている。即ち、磁気ヘッドスライダ２１の両側面２１ｂ及び２１ｃに、アクチュエータ２２との接着時に接着剤を流し込むための少なくとも１つの凹部が設けられている。以下、この点について詳細に説明する。
【００６４】
図８及び図９は本実施形態における磁気ヘッドスライダ２１をアクチュエータ２２に接着した状態を互いに異なる方向から見た斜視図であり、図１０及び図１１は本実施形態における磁気ヘッドスライダ２１及びアクチュエータ２２を互いに異なる方向から見た分解斜視図であり、図１２は本実施形態における磁気ヘッドスライダ２１をアクチュエータ２２に接着した状態を磁気ヘッドスライダ２１の素子形成面側ら見た立面図であり、図１３は本実施形態における磁気ヘッドスライダ２１及びアクチュエータ２２を磁気ヘッドスライダ２１の素子形成面側から見た分解立面図である。
【００６５】
これらの図、図１〜図５及び図７に示すように、磁気ヘッドスライダ２１は、ＡＢＳ２１ｄ、その反対側の面２１ｅ、側面２１ｂ及び２１ｃ、前面２１ｆ、磁気ヘッド素子２１ｇ及び端子電極２１ａが形成された素子形成面（後面）２１ｈを備えた略直方体形状となっており、特に本実施形態では、側面２１ｂ及び２１ｃのそれぞれのＡＢＳ２１ｄ側のエッジの全長に渡って形成された溝２１ｉ及び２１ｊを備えている。これら溝２１ｉ及び２１ｊは、磁気ヘッドスライダ２１をアクチュエータ２２のスライダ固着部５３及び５４に接着する際に接着剤を流し込むために設けられている。このような溝２１ｉ及び２１ｊを側面２１ｂ及び２１ｃにそれぞれ設けることによって、種々の利点が得られる。以下この点について説明する。
【００６６】
図１４はこのような溝を持たない従来の磁気ヘッドスライダ２１´とアクチュエータとを接着する状況を説明する図であり、図１５は本実施形態の磁気ヘッドスライダ２１とアクチュエータ２２とを接着する状況を説明する図である。
【００６７】
図１４（Ａ）に示すように、従来技術によると、接着剤を流し込むために、磁気ヘッドスライダ２１´を把持するアクチュエータのスライダ固着部５３´及び５４´の間隔をあらかじめ大きくとっておく必要がある。このため、磁気ヘッドスライダ２１´の側面とスライダ固着部５３´及び５４´との左右の間隔１４０及び１４１を均等に制御することが非常に難しく、また、接着剤の層が厚くなりすぎて共振特性の劣化及び変位量の減少が起こる可能性がある。さらに、同図（Ｂ）に示すように、接着面間の中央部で接着剤によるくびれ１４２が生じてしまうことから接着強度が低下し、かつ共振周波数の低下及び変位量の減少が起こる可能性がある。さらにまた、粘性の高い接着剤を用いると、可動アーム部及びヘッドスライダ側面の接着面に接着剤が充分に回り込まず、充分な接着強度が得られない。また、同図（Ｂ）に示すように、接着剤を塗布した後にアクチュエータと磁気ヘッドスライダ２１´とを組み付けるため、接着剤が接着面からはみだして磁気ヘッドスライダのＡＢＳに付着１４３が生じたり、下方の面に付着１４４が生じてしまう。このため、使用する接着剤の量を正確に制御することが難しい。さらに、以上のことに起因して、量産時における接着強度、共振周波数及び変位量特性等にばらつきが発生するといった問題が生じる。
【００６８】
これに対して、図１５に示すように、接着剤１５０及び１５１を流し込むための溝２１ｉ及び２１ｊを磁気ヘッドスライダ２１の側面２１ｂ及び２１ｃにそれぞれ設けることによって、接着剤が接着個所に確実に挿入されるので安定したかつ充分な接着強度を得ることができる。また、接着剤がその他の部分にはみだしたりしないので、その量を正確に制御することができるから、量産時における接着強度、共振周波数及び変位量特性等にばらつき発生を防止できる。さらに、磁気ヘッドスライダ２１を把持するアクチュエータ２２のスライダ固着部５３及び５４の間隔を大きくとることなく、磁気ヘッドスライダ２１の幅にほぼ等しいかこれより僅かに大きい程度に設定できるため、接着剤の厚い層による影響が少なくなり、しかも磁気ヘッドスライダ２１とアクチュエータ２２との接着部における左右の間隔差を最小限とすることができるから、共振特性及び変位特性の劣化を防止することができる。さらにまた、アクチュエータ２２と磁気ヘッドスライダ２１とを組み付けた後に接着剤を流し込めば良いため、接着処理が非常に容易となる。
【００６９】
なお、上述した実施形態では、溝２１ｉ及び２１ｊを磁気ヘッドスライダ２１の側面２１ｂ及び２１ｃのＡＢＳ２１ｄ側のエッジの全長に渡って形成しているが、接着部であるアクチュエータ２２のスライダ固着部５３及び５４に対応する部分のみに溝を設けても良いことは明らかである。また、溝に代えて、その他の形状の凹部を設けても良い。さらに、各側面に設ける溝又は凹部の数は、複数であっても良い。
【００７０】
図１６は本実施形態における磁気ヘッドスライダの製造工程の一部を説明する斜視図である。
【００７１】
まず、薄膜技術によって多数の磁気ヘッド素子がマトリクス状に形成されたウエハを切断することにより、複数のバーを得る。各バー１６０は、同図（Ａ）に示すように、それぞれが磁気ヘッド素子１６１を有する磁気ヘッドスライダが複数互いに連接して配列されている。
【００７２】
次いで、同図（Ｂ）に示すように、砥石１６２によってバー１６０のＡＢＳ側から溝加工を行う。この溝加工は、同図（Ｃ）に示すように、バー１６０を貫通させることなく途中で止めるように行い、これによって、砥石１６２の刃先形状に対応する形状の非貫通溝１６３を形成する。
【００７３】
次いで、同図（Ｄ）に示すように、非貫通溝１６３の中央をこの非貫通溝の幅より狭い幅を有する砥石１６４で溝加工することにより、バー１６０を切断し、同図（Ｅ）及び（Ｆ）に示すように、個々に分離された磁気ヘッドスライダ１６５を形成する。
【００７４】
従って、このようにして得られた磁気ヘッドスライダ１６５は、その両側面のＡＢＳ側のエッジの全長に渡って溝１６６を有することとなる。
【００７５】
このように、本実施形態によれば、バー１６０の状態において、非貫通溝１６３を形成するのみで接着剤を流し込むための溝１６６が得られるので、溝形成のためにバー１６０を治具から張り替える等の工程が不用となるから、製造工程を現行のものからさほど変える必要がなく、工程が複雑化しない。
【００７６】
図１７は、本発明の他の実施形態において磁気ヘッドスライダをアクチュエータに接着した状態を示す斜視図である。
【００７７】
本実施形態における磁気ヘッドスライダ２１の構成は、上述した図１の実施形態の場合と全く同様である。
【００７８】
しかしながら、本実施形態においては、アクチュエータ２２´の主要部が、１枚の金属板をコ字状に切り抜いたものを立体的に折り曲げて形成されている。即ち、コ字状に切り出した個々のアクチュエータ部材を、図にて上側の面がサスペンションへの固着面となる平板状の基部１７０の両側端が略垂直に折り曲げ、その部分から基部１７０に対して略垂直を保った状態で１対の可動アーム部１７１及び１７２が前方に伸びているように形成している。可動アーム部１７１及び１７２は、磁気ヘッドスライダ２１の側面に平行となるような平板状に形成されている。
【００７９】
可動アーム部１７１及び１７２の先端部は、内側に（磁気ヘッドスライダ２１の方向に）クランク状に折り曲げられて磁気ヘッドスライダ２１の側面に固着されるスライダ固着部１７３及び１７４をそれぞれ形成している。スライダ固着部１７３及び１７４間の間隔は、挟設すべき磁気ヘッドスライダ２１の幅とほぼ等しいかこれより僅かに大きくなるように設定されている。このように、スライダ固着部１７３及び１７４が磁気ヘッドスライダ２１方向に折り曲げられて突出しているので、この部分のみが磁気ヘッドスライダ２１の側面と固着され、磁気ヘッドスライダ側面と可動アーム部１７１及び１７２との間の残りの部分に空隙が生じる。
【００８０】
可動アーム部１７１及び１７２は、それぞれ、アーム部材（１７１ａ）とこれらアーム部材の側面に形成された圧電素子（１７１ｂ）とから構成されている。
【００８１】
基部１７０並びにアーム部材は、弾性を有する１枚の金属板、例えばステンレス鋼板、を折り曲げて一体的に形成されている。このように、アクチュエータの主要部を金属板とすることにより、アクチュエータが軽量化されかつアクチュエータ自体の耐衝撃性が大幅に向上する。金属板としては、ステンレス鋼板等の合金鋼ばねの他に、炭素鋼ばねや、銅チタン板、リン青銅板又はベリリウム銅板等の銅合金ばねや、チタン板等、弾性を有する板ばね部材が用いられる。なお、圧電素子を印刷及び焼成によって形成する場合には、耐熱性の高い板部材を用いることが望ましい。
【００８２】
このように、本実施形態におけるアクチュエータ２２´は、主要部が金属板で形成されているため、アクチュエータ全体の軽量化を図ることができ、その結果、機械的振動周波数を高めることができる。また、強度があり軽量である金属板を基材として用いることにより、特に衝撃に弱い可動アーム部１７１及び１７２の耐衝撃性を大幅に向上させることができる。しかも、強度の高い金属板を用いることから、ＨＧＡへの組み立て時の取り扱いが非常に容易になる。さらに、金属板を用いれば、その形状や寸法等で設計上の自由度が向上するので、充分なストロークを確保することが可能となる。また、アクチュエータ形状や寸法等の設計上の自由度が増すことによって、アクチュエータ２２´の中心位置に磁気ヘッドスライダ２１の中心及び荷重点（ディンプル位置）を合わせることが可能となり、その結果、磁気ヘッドスライダ２１の浮上特性が著しく安定化する。しかも、高精度に加工できる金属板を用いることによって、アクチュエータ２２´自体の寸法精度を大幅に高めることが可能となる。さらに、可動アーム部１７１及び１７２間に磁気ヘッドスライダ２１の側面を挟み込むように構成しているため、アクチュエータ２２´を設けてもその部分でＨＧＡの厚みが増大しない。このため、アクチュエータ装着による磁気ディスク装置の寸法変更等は不要となる。また、アクチュエータ２２´及び磁気ヘッドスライダ２１の複合体がカンチレバー構造とはなっていないため、耐衝撃性が大幅に向上する。しかも、可動アーム部１７１及び１７２間に磁気ヘッドスライダ２１を挟設する構造としているため、変位を実際に与える可動アーム部１７１及び１７２の先端部が磁気ヘッドスライダ２１の先端まで伸ばせることとなる。このため、磁気ヘッドスライダ２１の寸法が変った場合にも微小位置決め動作時に同じ大きさのストロークを提供できるから必要十分なストロークを得ることができる。
【００８３】
磁気ヘッドスライダ２１に接着剤を流し込むための溝を設けることなど、本実施形態のその他の構成及び作用効果、さらに変更態様は、図１の実施形態の場合と全く同様であるため、説明を省略する。
【００８４】
以上、薄膜磁気ヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ及びこのアクチュエータを備えたＨＧＡを用いて本発明を説明したが、本発明は、このようなアクチュエータにのみ限定されるものではなく、薄膜磁気ヘッド素子以外の例えば光ヘッド素子等のヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ及びこのアクチュエータを備えたＨＧＡにも適用可能である。
【００８５】
以上述べた実施形態は全て本発明を例示的に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【００８６】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本発明によれば、ヘッドスライダのアクチュエータと接着される部分に、接着剤を流し込むための少なくとも１つの凹部が設けられているため、接着剤を接着部に確実に挿入することができるから、安定したかつ充分な接着強度を得ることができる。また、接着剤がその他の部分にはみだしたりしないので、その量を正確に制御することができるから、量産時における接着強度、共振周波数及び変位量特性等にばらつき発生を防止できる。さらに、ヘッドスライダを把持するアクチュエータのアーム部の間隔を大きくとることなく、ヘッドスライダの幅にほぼ等しいかこれより僅かに大きい程度に設定できるため、接着剤の厚い層による影響が少なくなり、しかもヘッドスライダとアクチュエータとの接着部における左右の間隔差を最小限とすることができるから、共振特性及び変位特性の劣化を防止することができる。さらにまた、アクチュエータとヘッドスライダとを組み付けた後に接着剤を流し込めば良いため、接着処理が非常に容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態として、磁気ディスク装置の要部の構成を概略的に示す斜視図である。
【図２】図１の実施形態におけるＨＧＡ全体を表す斜視図である。
【図３】図１の実施形態におけるＨＧＡの先端部の斜視図である。
【図４】図１の実施形態におけるＨＧＡの先端部を図３とは異なる方向から見た斜視図である。
【図５】図１の実施形態におけるアクチュエータの構造を示す平面図である。
【図６】図５のアクチュエータの圧電素子部分の構造を示す断面図である。
【図７】図５のアクチュエータの動作を説明するための斜視図である。
【図８】図１の実施形態における磁気ヘッドスライダをアクチュエータに接着した状態を示す斜視図である。
【図９】図１の実施形態における磁気ヘッドスライダをアクチュエータに接着した状態を図８とは異なる方向から見た斜視図である。
【図１０】図１の実施形態における磁気ヘッドスライダをアクチュエータに接着した状態を示す分解斜視図である。
【図１１】図１の実施形態における磁気ヘッドスライダをアクチュエータに接着した状態を図１０とは異なる方向から見た分解斜視図である。
【図１２】図１の実施形態における磁気ヘッドスライダをアクチュエータに接着した状態を磁気ヘッドスライダの素子形成面側ら見た立面図である。
【図１３】図１の実施形態における磁気ヘッドスライダをアクチュエータに接着した状態を磁気ヘッドスライダの素子形成面側ら見た分解立面図である。
【図１４】接着剤を流し込むための溝を持たない従来の磁気ヘッドスライダとアクチュエータとを接着する状況を説明する図である。
【図１５】図１の実施形態の磁気ヘッドスライダとアクチュエータとを接着する状況を説明する図である。
【図１６】図１の実施形態における磁気ヘッドスライダの製造工程の一部を説明する斜視図である。
【図１７】本発明の他の実施形態において磁気ヘッドスライダをアクチュエータに接着した状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１０  磁気ディスク
１１、１３  軸
１２  アセンブリキャリッジ装置
１４  キャリッジ
１５  主アクチュエータ
１６  駆動アーム
１７  ＨＧＡ
２０  サスペンション
２１、２１´、１６５  磁気ヘッドスライダ
２１ａ  端子電極
２１ｂ、２１ｃ  側面
２１ｄ  ＡＢＳ
２１ｅ  反対側の面
２１ｆ  前面
２１ｇ、１６１  磁気ヘッド素子
２１ｈ  素子形成面（後面）
２１ｉ、２１ｊ、１６６  溝
２２、２２´  アクチュエータ
２２ａ、５０、１７０  基部
２２ｂ、２２ｃ  信号端子電極
２２ｄ、２２ｅ  グランド端子電極
２３  第１のロードビーム
２３ａ  取り付け部
２４  第２のロードビーム
２４ａ  リフトタブ
２５  ヒンジ
２６  フレクシャ
２６ａ  舌部
２６ｂ  絶縁層
２６ｃ  分離部
２７  ベースプレート
２８  配線部材
２８ａ  第１の配線部材
２８ｂ  第２の配線部材
２９  磁気ヘッド素子用接続パッド
３０  外部回路用接続パッド
３１  アクチュエータ用接続パッド
５１、５２、１７１、１７２  可動アーム部
５１ａ、５２ａ、１７１ａ  アーム部材
５１ｂ、５２ｂ、１７１ｂ  圧電素子
５３、５４、５３´、５４´、１７３、１７４  スライダ固着部
６０  圧電・電歪材料層
６１  信号電極層
６２  グランド電極層
１４２、１４３、１４４、１５０、１５１  接着剤
１６０  バー
１６２、１６４  砥石
１６３  非貫通溝
【図１】
0004360053.tif 000002
【図２】
0004360053.tif 000003
【図３】
0004360053.tif 000004
【図４】
0004360053.tif 000005
【図５】
0004360053.tif 000006
【図６】
0004360053.tif 000007
【図７】
0004360053.tif 000008
【図８】
0004360053.tif 000009
【図９】
0004360053.tif 000010
【図１０】
0004360053.tif 000011
【図１１】
0004360053.tif 000012
【図１２】
0004360053.tif 000013
【図１３】
0004360053.tif 000014
【図１４】
0004360053.tif 000015
【図１５】
0004360053.tif 000016
【図１６】
0004360053.tif 000017
【図１７】
0004360053.tif 000018