(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御機構の制御下で、Ｘ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構及びＺ軸駆動機構により載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させ、上記載置台上に載置された被検査体とプローブカードのプローブとを接触させた後、上記載置台をオーバドライブさせて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ方法において、
上記載置台に上記被検査体を載置する工程と、
上記載置台上の上記被検査体の電極パッドと上記プローブとが接触するように上記Ｘ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構及びＺ軸駆動機構により上記載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させる工程と、
上記制御機構は、ソフト的に設定され且つ上記各駆動機構それぞれと信号回線で接続された一つの仮想コントローラを含み、上記仮想コントローラは、上記電極パッドと上記プローブが接触した後、上記各駆動機構それぞれを、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号に基づいて同時に一括して制御することにより、上記プローブが上記電極パッド内に留まるように、上記載置台を上記プローブカードの方向へオーバドライブさせる工程と、を備えた
ことを特徴とするプローブ方法。
【請求項２】
上記仮想コントローラがコンピュータから受信する上記指令信号に基づいて上記各駆動機構を補間制御することを特徴とする請求項１に記載のプローブ方法。
【請求項３】
制御機構の制御下で、Ｘ軸駆動機構及びＹ軸駆動機構とこれらの駆動機構と動作特性を異にするＺ軸駆動機構とを用いて載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させ、上記載置台上に載置された被検査体とプローブカードのプローブとを接触させた後、上記載置台をオーバドライブさせて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ方法において、
上記載置台に上記被検査体を載置する工程と、
上記載置台上の上記被検査体の電極パッドと上記プローブとが接触するように上記Ｘ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構及びＺ軸駆動機構により上記載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させる工程と、
コンピュータからの指令信号が付与される一つの仮想コントローラが上記制御機構に含まれ、上記仮想コントローラは、上記電極パッドと上記プローブが接触した後、上記各駆動機構それぞれを、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号に基づいて同時に一括して制御することにより、上記プローブが上記電極パッド内に留まるように、上記載置台を上記プローブカードの方向へオーバドライブさせる工程と、を備えた
ことを特徴とするプローブ方法。
【請求項４】
上記仮想コントローラは、上記制御機構にソフト的に設定されることを特徴とすることを特徴とする請求項３に記載のプローブ方法。
【請求項５】
上記コンピュータからの指令信号は、オーバドライブされる載置台上の上記被検査体の電極パッド内の目標位置及び各駆動機構により駆動する載置台のＸ、Ｙ及びＺ方向の移動速度を含むことを特徴とする請求項３または請求項４に記載のプローブ方法。
【請求項６】
被検査体を載置する載置台と、この載置台をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向へそれぞれ移動させるＸ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構及びＺ軸駆動機構と、上記載置台の上方に配置され且つ上記被検査体に電気的に接触する複数のプローブを有するプローブカードとを備え、且つ、上記載置台がオーバドライブする時に上記プローブの先端が上記被検査体の電極パッド内に留まるように上記載置台を上記プローブカードの方向へオーバドライブさせるために、上記各駆動機構それぞれと信号回線で接続され且つ上記各駆動機構それぞれを、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号に基づいて同時に一括して補間制御する制御機構を備えたことを特徴とするプローブシステム。
【請求項７】
上記制御機構は、コンピュータとネットワーク回線を介して接続された仮想コントローラを有することを特徴とする請求項６に記載のプローブシステム。
【請求項８】
被検査体を載置する載置台と、この載置台をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向へそれぞれ移動させる駆動機構と、上記載置台の上方に配置され且つ上記被検査体に電気的に接触する複数のプローブを有するプローブカードと、上記各駆動機構を介して上記載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させ、上記被検査体と上記プローブカードの複数のプローブを接触させた後、上記載置台をオーバドライブするように、各駆動機構を制御する制御機構と、を備え、
上記制御機構は、コンピュータと、上記コンピュータからの指令信号に基づいて動作する一つの仮想コントローラと、を有し、且つ
上記仮想コントローラはソフト的に設定され、更に、上記仮想コントローラは、上記載置台のオーバドライブ時に、上記プローブが上記被検査体の電極パッド内に留まるように、上記載置台を駆動させる上記各駆動機構それぞれを、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号に基づいて同時に一括して補間制御する
ことを特徴とするプローブシステム。
【請求項９】
上記コンピュータからの指令信号は、オーバドライブする載置台上の上記被検査体の電極パッド内の目標位置及び各駆動機構により駆動する載置台のＸ、Ｙ及びＺ方向の移動速度を含むことを特徴とする請求項８に記載のプローブシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローブ方法及びプローブシステムに関し、更に詳しくはスループットを高めることができるプローブ方法及びプローブシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
プローブ装置１０は、例えば図６に示すように、カセットＣ内に収納されたウエハＷを１枚ずつ取り出して搬送するローダ室１１と、このローダ室１１に隣接しローダ室１１から搬送されたウエハＷを検査するプローバ室１２と、このプローバ室１２及びローダ室１１を制御するコントローラ１３と、このコントローラ１３を操作する操作パネルを兼ねる表示装置１４とを備えている。
【０００３】
上記ローダ室１１にはウエハＷの搬送機構としてピンセット１５が回転軸を介して立設され、このピンセット１５が水平方向で進退動すると共に正逆回転することによりカセットＣ内のウエハＷを１枚ずつ取り出してプローバ室１２へ搬送する。また、ピンセット１５の近傍にはウエハＷのプリアライメントを行うサブチャック１６が配設され、このサブチャック１６がピンセット１５からウエハＷを受け取った後、θ方向に正逆回転し、その間にウエハＷのオリエンテーションフラット（以下、単に「オリフラ」と称す。）を光学的に検出し、オリフラを基準にしてウエハＷをプリアライメントする。
【０００４】
上記ローダ室１１に隣接するプローバ室１２にはウエハＷを載置するメインチャック１７が配設され、このメインチャック１７はＸ、Ｙステージ１８、１９を介してＸ、Ｙ方向に移動すると共に内蔵の駆動機構を介してＺ、θ方向に移動するようになっている。また、プローバ室１２内にはアライメント手段２０が配設され、このアライメント手段２０を介してウエハＷのアライメントを行う。このアライメント手段２０はウエハＷを撮像するＣＣＤカメラ等からなる第１撮像手段２１を有するアライメントブリッジ２２と、このアライメントブリッジ２２のＹ方向への往復移動を案内する一対のガイドレール２３、２３と、メインチャック１７に付設されたＣＣＤカメラ等からなる第２撮像手段（図示せず）とを備えている。また、プローバ室１２の上面には図示しないプローブカードが配設され、このプローブカードの上面には図示しないテストヘッドが接続リング（図示せず）を介して電気的に接続されている。そして、テスタからのテスト信号をテストヘッド及び接続リングを介してプローブカードにおいて受信し、プローブと接触したウエハＷについて電気的特性検査を行う。
【０００５】
ウエハＷの検査を行う場合には、まず、ローダ室１１内でピンセット１５が駆動してカセットＣ内から１枚のウエハＷを取り出し、ピンセット１５を介してウエハＷをプローバ室１２へ搬送する間にサブチャック１６においてウエハＷのプリアライメントを行い、その後、ピンセット１５からプローバ室１２内のメインチャック１７へウエハＷを引き渡す。その後、アライメントブリッジ２２がプローブセンタへ移動すると共に、アライメントブリッジ２２の第１撮像手段２１の下方へ移動し、第１撮像手段２１とメインチャック１７側の第２撮像手段とが協働してメインチャック１７上のウエハＷのアライメントを行う。その後、メインチャック１７がＸ、Ｙ方向に移動してウエハＷをインデックス送りすると共にメインチャック１７がＺ方向に上昇し、ウエハＷとプローブとが接触した後、メインチャック１７がオーバドライブしてウエハＷの各ＩＣチップとプローブとが電気的に接触し、各ＩＣチップについて電気的特性検査を行う。
【０００６】
ウエハサイズが例えば２００ｍｍまでのウエハＷの場合には、図７の（ａ）で示すようにメインチャック１７のオーバドライブにより、載置されたウエハＷが一点鎖線で示す位置から実線で示す位置まで上昇しても、ウエハＷは同図の実線で示すように殆ど傾くことなく水平状態のままＺ方向に上昇する。この際、プローブカード２４のプローブ２４Ａは同図（ａ）の一点鎖線で示す位置から実線で示す位置まで弾力的に持ち上げられ針先が太い線の始点Ｓから終点Ｅまで移動する。この状態を平面的に観ると、針先の始点Ｓから終点Ｅに至る移動距離は同図（ｂ）の斜線の矢印で示すようにＩＣチップの電極パッドＰ内にあり、プローブ２４Ａと電極パッドＰが電気的に接触し、ＩＣチップの検査を行う。
【０００７】
ところで、ウエハサイズが例えば３００ｍｍの時代になると、ウエハサイズが大きくなるばかりでなく、ＩＣチップが超微細化して電極パッド間のピッチが狭くなる。これに伴ってプローブカードが多ピン化してピン数が例えば約２０００ピンにも達すると、オーバドライブ時に全プローブ２４Ａからメインチャック１７に働く荷重が例えば１０数Ｋｇ〜２０Ｋｇにもなるため、ウエハＷが図８（ａ）の一点鎖線で示す位置からオーバドライブしてプローブ２４Ａと電気的に接触すると、この時の偏荷重でメインチャック１７の回転軸（図示せず）が撓み、ウエハＷが同図の実線で示すように例えば２０〜３０μｍ程度傾いて本来の上昇位置よりも外側へ偏倚する。この時、プローブ２４Ａは、その針先が同図（ａ）の一点鎖線で示す位置から実線で示す位置まで弾力的に持ち上げられて図７に示す場合よりも長い針跡を図８（ａ）の太い線で示すように残す。この時の針先の始点Ｓは図７で示す場合と同じ位置でも終点Ｅが図８の（ｂ）に斜線の矢印で示すように電極パッドＰからはみ出した位置に達し、検査時には針先が電極パッドＰから外れる虞があり、ひいてはプローブ２４Ａから電極パッドＰにテスト信号を送れず、検査の信頼性を損なう虞がある。
【０００８】
そこで、本出願人は特願平９−２０２４７６号明細書においてオーバドライブ時に偏荷重を受けてもプローブが確実にウエハの電極パッドと接触し信頼性の高い検査を行うことができるプローブ方法及びプローブ装置を提案した。このプローブ方法では、オーバドライブ時の荷重によりウエハチャックが傾斜する時には、ウエハチャックの情報、ウエハの情報及びプローブカードの情報に基づいてオーバドライブ時の載置台のＸ、Ｙ及びＺ方向の移動補正量を求め、これらの移動補正量に基づいてＸ、Ｙ及びＺ方向への移動量を補正して載置台をオーバドライブさせるようにしている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図９に示すようにウエハチャック１７をＸ、Ｙ方向へ移動させる駆動機構にはサーボモータ３１、３２が使用され、Ｚ方向へ移動させる駆動機構にはサーボモータ３１、３２とは動作特性が異なるステッピングモータ３３が使用されているため、サーボモータ３１、３２とステッピングモータ３３を同時に駆動させ、同時に停止させることは実質的に不可能で、各モータ３１、３２、３３はばらばらに駆動し、停止する。尚、以下の説明では、サーボモータ３１、３２及びステッピングモータ３３をそれぞれＸ軸モータ３１、Ｙ軸モータ３２及びＺ軸モータ３３と称す。そこで、本出願人は上述したプローブ方法においては、ホストコンピュータ４０からの指令により作動するドライバー３１Ａ、３２Ａ及びステッピングドライバー３３Ａからの信号に基づいてＸ軸モータ３１、Ｙ軸モータ３２とＺ軸モータ３３がそれぞれの交互に駆動して斜め上方へ移動し、しかも各モータは交互に複数段階に分けて駆動することで図１０、図１１に示すようにプローブ２４Ａが略補正軌道に従って電極パッドＰ上をジグザクに移動して目標位置（終点Ｅ）に達する。しかし、この方法ではプローブ２４Ａと電極パッドとを確実に接触させることができるが、各モータを複数回に渡って駆動、停止を繰り返し、ジグザク移動するため、スループットが低下するという課題があった。
【００１０】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、動作特性が相違する駆動機構が混在していても各駆動機構を分割して駆動させる必要がなく、スループットを高めることができるプローブ方法及びプローブシステムを提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載のプローブ方法は、制御機構の制御下で、Ｘ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構及びＺ軸駆動機構により載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させ、上記載置台上に載置された被検査体とプローブカードのプローブとを接触させた後、上記載置台をオーバドライブさせて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ方法において、上記載置台に上記被検査体を載置する工程と、上記載置台上の上記被検査体の電極パッドと上記プローブとが接触するように上記Ｘ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構及びＺ軸駆動機構により上記載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させる工程と、上記制御機構は、ソフト的に設定され且つ上記各駆動機構それぞれと信号回線で接続された一つの仮想コントローラを含み、上記仮想コントローラは、上記電極パッドと上記プローブが接触した後、上記各駆動機構それぞれを、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号に基づいて同時に一括して制御することにより、上記プローブが上記電極パッド内に留まるように、上記載置台を上記プローブカードの方向へオーバドライブさせる工程と、を備えたことを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明の請求項２に記載のプローブ方法は、請求項１に記載の発明にいて、上記仮想コントローラがコンピュータから受信する上記指令信号に基づいて上記各駆動機構を補間制御することを特徴とするプものである。
【００１３】
また、本発明の請求項３に記載のプローブ方法は、制御機構の制御下で、Ｘ軸駆動機構及びＹ軸駆動機構とこれらの駆動機構と動作特性を異にするＺ軸駆動機構とを用いて載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させ、上記載置台上に載置された被検査体とプローブカードのプローブとを接触させた後、上記載置台をオーバドライブさせて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ方法において、上記載置台に上記被検査体を載置する工程と、上記載置台上の上記被検査体の電極パッドと上記プローブとが接触するように上記Ｘ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構及びＺ軸駆動機構により上記載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させる工程と、コンピュータからの指令信号が付与される一つの仮想コントローラが上記制御機構に含まれ、上記仮想コントローラは、上記電極パッドと上記プローブが接触した後、上記各駆動機構それぞれを、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号に基づいて同時に一括して制御することにより、上記プローブが上記電極パッド内に留まるように、上記載置台を上記プローブカードの方向へオーバドライブさせる工程と、を備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項４に記載のプローブ方法は、請求項３に記載の発明において、上記仮想コントローラは、上記制御機構にソフト的に設定されることを特徴とすることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項５に記載のプローブ方法は、請求項３または請求項４に記載の発明において、上記コンピュータからの指令信号は、オーバドライブされる載置台上の上記被検査体の電極パッド内の目標位置及び各駆動機構により駆動する載置台のＸ、Ｙ及びＺ方向の移動速度を含むことを特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明の請求項６に記載のプローブシステムは、被検査体を載置する載置台と、この載置台をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向へそれぞれ移動させるＸ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構及びＺ軸駆動機構と、上記載置台の上方に配置され且つ上記被検査体に電気的に接触する複数のプローブを有するプローブカードとを備え、且つ、上記載置台がオーバドライブする時に上記プローブの先端が上記被検査体の電極パッド内に留まるように上記載置台を上記プローブカードの方向へオーバドライブさせるために、上記各駆動機構それぞれと信号回線で接続され且つ上記各駆動機構それぞれを、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号に基づいて同時に一括して補間制御する制御機構を備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項７に記載のプローブシステムは、請求項７に記載の発明において、上記制御機構は、コンピュータとネットワーク回線を介して接続された仮想コントローラを有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項８に記載のプローブシステムは、被検査体を載置する載置台と、この載置台をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向へそれぞれ移動させる駆動機構と、上記載置台の上方に配置され且つ上記被検査体に電気的に接触する複数のプローブを有するプローブカードと、上記各駆動機構を介して上記載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向へ移動させ、上記被検査体と上記プローブカードの複数のプローブを接触させた後、上記載置台をオーバドライブするように、各駆動機構を制御する制御機構と、を備え、上記制御機構は、コンピュータと、上記コンピュータからの指令信号に基づいて動作する一つの仮想コントローラと、を有し、且つ上記仮想コントローラはソフト的に設定され、更に、上記仮想コントローラは、上記載置台のオーバドライブ時に、上記プローブが上記被検査体の電極パッド内に留まるように、上記載置台を駆動させる上記各駆動機構それぞれを、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号に基づいて同時に一括して補間制御することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項９に記載のプローブシステムは、請求項８に記載の発明において、上記コンピュータからの指令信号は、オーバドライブする載置台上の上記被検査体の電極パッド内の目標位置及び各駆動機構により駆動する載置台のＸ、Ｙ及びＺ方向の移動速度を含むことを特徴とするものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図５に示す実施形態に基づいて従来と同一または相当部分には同一符号を附して本発明を説明する。
本実施形態のプローブ方法は図１に示すプローブシステム１００を用いて実施する。このプローブシステム１００は、同図に示すように、プローブ装置１０と、プローブ装置１０に各種の指令信号を授受するホストコンピュータ４０と、これら両者１０、４０を互いに接続するネットワーク回線（フィールドバス）５０と、プローブ装置１０のＸ軸モータ３１、Ｙ軸モータ３２及びＺ軸モータ３３を一括制御するためにソフト的に設定された単一の仮想コントローラ３４とを備え、単一の仮想コントローラ３４によってＸ軸モータ３１、Ｙ軸モータ３２及びＺ軸モータ３３を同時に一括制御するようになっている。
【００１６】
そして、仮想コントローラ３４（実際には各モータのドライバー３１Ａ、３２Ａ、３３Ａ）はホストコンピュータ４０から受信した指令信号に基づいて各モータ３１、３２、３３を補間制御するようにしてある。即ち、メインチャックのオーバードライブ時に、仮想コントローラ３４は、ホストコンピュータ４０からウエハの電極パッド上のプローブに関する始点及び終点（目標位置）の位置情報（三次元アドレス）及び各モータ３１、３２、３３に関する速度情報を受信すると、図２に示すようにプローブがウエハの電極パッド上の始点及び終点（目標位置）間にある時にもこれらの位置情報及び速度情報に基づいて常にプローブのウエハ上での現在位置を把握、監視し、結果的にプローブが始点から終点（目標位置）まで最短距離（後述する理想軌道）を通って移動する。
【００１７】
上記各モータ３１、３２、３３はそれぞれ独自のドライバー３１Ａ、３２Ａ、３３Ａ（図９参照）を具備しているものの、仮想コントローラ３４が設定されているため、これらのドライバー３１Ａ、３２Ａ、３３Ａはホストコンピュータ４０から単一の仮想コントローラ３４があたかも指令信号を受信したかのように振る舞って各モータ３１、３２、３３を駆動させてメインチャックを移動させ、ひいてはプローブが電極パッド上の始点から終点（目標位置）まで最短距離を通って移動する。従って、ホストコンピュータ４０から仮想コントローラ３４に対してオーバドライブのウエハ上の始点Ｓと終点Ｅの三次元アドレスを与え、更に、各モータ３１、３２、３３の速度情報を与えれば、これらの情報に基づいてメインチャックが移動しプローブが電極パッドＰ上の始点Ｓから終点Ｅまで最短距離を通って移動し（図３参照）、電極パッドＰと確実に接触する。
【００１８】
従って、各モータ３１、３２、３３の動作特性によりプローブの現在位置が所定の理想軌道から外れれば、そのずれ量を自動的且つ瞬時に補正する。この補正は極めて短時間で実行されるため、仮想コントローラ３４と各モータのアンプ部３１Ｂ、３２Ｂ、３３Ｂ間が高速応答可能なバス５１によって接続されている。その結果、プローブは図２に示すようにウエハＷ上の始点Ｓから終点Ｅまで最短距離を移動し、短時間でオーバドライブを終了する。この際、ウエハの電極パッドＰにはプローブの移動軌跡が図３に示す直線状の針跡Ｔとして残る。
【００１９】
ところで、プローブからウエハに偏荷重がかかるとメインチャックが傾斜し、図８に示したようにプローブが電極パッドＰから外れることがある。そのため、本実施形態の前提として本出願人が提案したプローブ方法によってプローブの位置補正を行う。即ち、検査時にメインチャックがＺ方向に上昇すると、ウエハＷは図４の一点鎖線位置でプローブ２４Ａと接触し、一点鎖線位置から実線位置までオーバドライブする。この時、ウエハＷ上でプローブ２４Ａから掛かる偏荷重が発生し、この偏荷重によりメインチャック１７の回転軸が傾いてウエハＷが本来の上昇位置よりも外側へ偏倚して傾斜し、プローブ２４Ａの針先の始点Ｓが同図の矢印Ａで示す方向へ移動しようとする。
【００２０】
この際、コントローラ１３（図６参照）においてメインチャック１７のＸ、Ｙ及びＺ方向への移動補正量を求め、図４に示すようにこの移動補正量に基づいてメインチャック１７を介してウエハＷを同図の矢印Ａ方向への移動量に見合った量だけ同図の矢印Ｂ方向へ移動させて移動方向を矯正するため、あたかもウエハＷが水平を保持したまま上昇するかのようにプローブ２４Ａの針先が同図の矢印Ｃで示すように垂直上方に持ち上げられる。この結果、針先は図５の（ａ）で太い線で示すようにウエハＷが水平に持ち上げられた場合（図７参照）と殆ど変わらない軌道を描いて移動し、同図の（ｂ）で示すように針先の終点Ｅが電極パッドＰ内に留まり、検査時にプローブ２４Ａが電極パッドＰと確実に接触し、チップの検査を確実に行うことができる。
【００２１】
上記メインチャック１７の移動量を補正する際に、Ｘ、Ｙステージ１８、１９間の重量の違いやプローブ２４Ａとの接触毎の移動距離の違い、更にＸ、Ｙ方向とＺ方向の移動分解能の違い等があるため、メインチャック１７をＸ、Ｙ及びＺ方向へ同時に始動させ、あるいは同時に停止させることができず、Ｘ、Ｙ及びＺ方向の移動開始に時間的な遅れが生じ、メインチャック１７を補正後の理想軌道に従って正確に移動させることができない。そして、各方向での移動時の時間的なずれが大きいほどメインチャック１７の理想軌道からのずれも大きく、メインチャック１７の正確な動作を実現できなくなる。しかしながら、本実施形態では各モータ３１、３２、３３があたかも単一の仮想コントローラ３４の制御下で単一制御され、各モータがあたかも同期駆動しているかの如くに見え、プローブは補正後の理想軌道に倣って移動する。
【００２２】
以上説明したように本実施形態によれば、Ｘ軸モータ３１、Ｙ軸モータ３２及びＺ軸モータ３３を一括制御する単一の仮想コントローラ３４をソフト的に設定し、単一の仮想コントローラ３４により各モータ３１、３２、３３を、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号で補間制御すると共に各モータ３１、３２、３３によるプローブの移動軌跡を監視するようにしたため、プローブは電極パッドＰ上を理想軌道に補正しながら始点Ｓから終点Ｅまで移動することができ、検査のスループットを高めることができる。
【００２３】
また、本実施形態によれば、ホストコンピュータ４０から仮想コントローラ３４へプローブの始点Ｓ、終点Ｅの三次元アドレス及び各モータ３１、３２、３３の速度情報を与えるだけで、電極パッドＰ上でプローブを理想軌道（偏荷重による補正軌道）に則って移動することができる。
【００２４】
尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではない。要は、Ｘ軸モータ３１、Ｙ軸モータ３２及びＺ軸モータ３３の各ドライバーに代えて単一の仮想コントローラ３４の制御下に各モータ３１、３２、３３を駆動するようにしたものであれば、本発明に包含される。
【００２５】
【発明の効果】
本発明によれば、動作特性が相違する駆動機構が混在していても、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号で各駆動機構を同時に駆動させることにより、複数回の指令信号で各駆動機構を段階的に分割して駆動制御する必要がなく、検査のスループットを高めることができるプローブ方法及びプローブシステムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のプローブ方法に用いられるプローブ装置を示すブロック図である。
【図２】本発明のプローブ方法におけるオーバドライブ時の時間とＺ方向移動量の関係を説明するためのグラフである。
【図３】本発明のプローブ方法によって電極パッド上に形成された針跡を示す平面図である。
【図４】オーバドライブ時のメインチャックの補正量を説明する説明図である。
【図５】（ａ）はメインチャックの移動量を補正した後のメインチャックとプローブ針との関係を部分的に拡大して示す概念図、（ｂ）は電極パッドと針跡との関係を示す説明図である。
【図６】プローブ装置の一部を破断して示す斜視図である。
【図７】（ａ）は多ピン化前のプローブカードを用いて従来のプローブ方法によりメインチャックをオーバドライブした時のメインチャックとプローブとの関係を部分的に拡大して示す概念図、（ｂ）は（ａ）の状態における電極パッドと針跡との関係を示す説明図である。
【図８】（ａ）は多ピン化したプローブカードを用いて従来のプローブ方法によりメインチャックをオーバドライブした時のメインチャックとプローブとの関係を部分的に拡大して示す概念図、（ｂ）は（ａ）の状態における電極パッドと針跡との関係を示す説明図である。
【図９】メインチャックの各モータとホストコンピュータとの関係を示す概念図である。
【図１０】従来のプローブ方法におけるオーバドライブ時の時間とＺ方向移動量の関係を説明するためのグラフである。
【図１１】従来のプローブ方法によって電極パッド上に形成された針跡を示す平面図である。
【符号の説明】
１０ プローブ装置
２４ プローブカード
２４Ａ プローブ
３１ Ｘ軸モータ（駆動機構）
３１Ａ サーボドライバー
３２Ａ サーボドライバー
３３Ａ ステッピングドライバー
３２ Ｙ軸モータ（駆動機構）
３３ Ｚ軸モータ（動作特性を異にする駆動機構）
３４ 仮想コントローラ
４０ ホストコンピュータ
５０ ネットワーク回線
１００ プローブシステム
Ｗ ウエハ（被検査体）
【図１】
0004223640.tif 000002
【図２】
0004223640.tif 000003
【図３】
0004223640.tif 000004
【図４】
0004223640.tif 000005
【図５】
0004223640.tif 000006
【図６】
0004223640.tif 000007
【図７】
0004223640.tif 000008
【図８】
0004223640.tif 000009
【図９】
0004223640.tif 000010
【図１０】
0004223640.tif 000011
【図１１】
0004223640.tif 000012