(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
片面側に光学素子を取り付けた煽りプレートの反対側の面をベースプレートに向け対峙させて配置し、該両プレートの重なり部における上記光学素子を取り囲む三角形の各頂点位置に、第１支点部と第２支点部と第３支点部とを設定し、上記第１支点部には、煽りプレートとベースプレートに貫通孔を設けて、該ベースプレートの貫通孔を、該煽りプレートの貫通孔よりも大径とし、且つ該ベースプレートの貫通孔内に、後端部を煽りプレートに当接させるようにしたセンター孔付きの球面軸受と、該球面軸受に当接させる球面軸受支持用のリングナットとを配置して、該リングナットをベースプレートに固定し、更に、皿ばねを煽りプレートの上記片面側に配してその外側から締め付けボルトを、該皿ばね、煽りプレートの貫通孔、上記球面軸受のセンター孔に挿通させてからリングナットに螺合させて煽りプレートをベースプレート側に押し付ける方向に締め付けて固定するようにしてなる定圧支持機構を組み付け、又、上記第２支点部及び第３支点部には、煽りプレートとベースプレートに貫通孔を設けて、該ベースプレートの貫通孔を該煽りプレートの貫通孔よりも大径とし、且つ該ベースプレートの貫通孔内に、後端部を煽りプレートに当接させるようにしたセンター孔付き球面軸受と、該球面軸受の前端側に後端側を当接させるようにしたブッシュと、該ブッシュの前端側に当接させる雌ねじブロックとを順に配置して、該雌ねじブロックをベースプレートに対して回転を規制して軸方向にのみ動けるようにすると共に、且つ上記煽りプレートの片面側に皿ばねとその外側に止めナットを配置して、該止めナットをベースプレート側に固定し、更に、煽りプレートをベースプレート側に押し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ部を有する調整ねじを、上記ブッシュ及び球面軸受のセンター孔、皿ばねに通して、一方の差動ねじ部を上記雌ねじブロックに、又、他方の差動ねじ部を止めナットにそれぞれ螺合させ、該調整ねじを回転させて雌ねじブロックを軸方向に変位させることにより上記第１支点部の球面軸受部を支点に煽りプレートの煽り角度を調整できるようにしてなる煽り調整機構を組み付けた構成を有することを特徴とする光学機器の光学素子角度調整装置。
【請求項２】
第２支点部のベースプレートの貫通孔を、第１支点部方向へ延びる長孔とし、第３支点部のベースプレートの貫通孔を、ブッシュ部分が３６０°の方向に動ける大きさに設定した請求項１記載の光学機器の光学素子角度調整装置。
【請求項３】
第１支点部に定圧支持機構を組み付けることに代えて、第１支点部に、煽りプレートをベースプレート側に押し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ部を有する調整ねじを用いた煽り調整機構を組み付けて、各支点部を、センター孔付きの球面軸受にブッシュを当接させる構成とする請求項１記載の光学機器の光学素子角度調整装置。
【請求項４】
第１支点部に定圧支持機構を組み付け、第２支点部と第３支点部に煽り調整機構を組み付けることに代えて、いずれか１つの支点部のみに、煽りプレートをベースプレート側に押し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ部を有する調整ねじを用いた煽り調整機構を組み付け、且つ残りの支点部に定圧支持機構を組み付けた請求項１記載の光学機器の光学素子角度調整装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はレーザ発振器等の光学機器に具備されている光学素子の角度位置を調整するために用いる角度調整装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光学機器の一つであるレーザ発振器は、図５にその一例の概略を示す如く、レーザ媒質ガスを封入した容器１内に一対の放電電極２を配置し、該放電電極２の放電によりレーザ媒質ガスを励起させて発生させたレーザ光３を、容器の長手方向に対峙させて配置した共振器ミラーとしての半反射ミラー４、全反射ミラー５，６，７の間でＺ字状に繰り返し反射させて共振させ、該レーザ光３の一部をレーザ発振器の前面側にあるレーザ光取出口部の半反射ミラー４から誘導放出させるようにしてある。
【０００３】
上記レーザ発振器において、レーザ光３の位置精度（ポインテイング）を安定させることは重要であり、そのため、従来より、ミラーの角度を角度調整装置により調整できるようにしてある。
【０００４】
従来の角度調整装置としては、レーザ発振器の後方へ向いている上記全反射ミラー６の部分について図６（イ）（ロ）に一例を示す如く、ベースプレート８の後面側に、表面に全反射ミラー６を取り付けた煽りプレート９を、後方へ向けて引張りばね１０を介しほぼ平行に配置して、該引張りばね１０により煽りプレート９を常時ベースプレート８側へ引き付けているような力が付与されているようにし、且つ上記ベースプレート８と煽りプレート９との重合部において、上記全反射ミラー６を取り囲む三角形の各頂点位置に、第１支点部Ｏ1 と第２支点部Ｏ2 と第３支点部Ｏ3 とを定め、第１支点部Ｏ1 には、先端を球面状に形成した支点軸１１をベースプレート８の後面部に突設して、該支点軸１１の先端を、煽りプレート９の前面に取り付けた受け部１２ａに当接させ、更に、第２支点部Ｏ2 と第３支点部Ｏ3 には、先端を球面状に形成した調整ねじ１３を、ベースプレート８の前面側より後面側へ突出するようにそれぞれ貫通螺合させて、該各調整ねじ１３の先端を、煽りプレート９の前面に取り付けた受け部１２ｂに当接させ、第２支点部Ｏ2 と第３支点部Ｏ3 のいずれか一方又は両方の調整ねじ１３の煽りプレート側への突出量を変化させることで、煽りプレート９の煽り角度を支点軸１１の先端を支点として変化させることにより、全反射ミラー６の角度を調整できるようにした、所謂キネマティックマウント方式としたものがある（特開平５−８２８６７号公報）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記キネマティックマウント方式を採用した角度調整装置の場合、その構造上、実装できる引張りばね１０が小さいため、支点軸１１と受け部１２ａあるいは調整ねじ１３と受け部１２ｂの接点が少しでも浮いてしまうと、見かけの接触状態は同じでも（調整ねじ１３を回していなくても）、微小な角度精度の差が発生するため、レーザ発振器の機能、性能に支障を来す問題がある。特に、煽りプレート９に冷却水流路を通し、該冷却水流路に配管を接続するようにしてある冷却構造付きのものでは、煽りプレート９を動かすときに配管も動かすことになって外力が加わるので、煽りプレート８の角度精度に影響を与える場合がある。
【０００６】
又、従来、上記３つの支点部に皿ばねを配置し、各皿ばねにねじを挿入することにより、ベースプレートに対して煽りプレートを引張り勝手又は離し勝手にねじを保持させるようにした皿ばね３点支持方式もあるが、この方式の場合、荷重については大きなものが掛かっていることから、よほど大きな外力が加わらない限り動くことはないが、構造上、煽りプレートには、各支点部に煽り角度分以上の逃げ孔を大きく設けることになって、プレート面方向に若干のがたを許容できるようにしなければならないので、微小な角度調節をする際に、調整ターゲット位置近傍で、煽り角度の往復動作を行うと、同じ調整ねじ位相に対して、煽りプレートの角度の再現精度が得にくいという問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、ベースプレートに対し煽りプレートを押し付けるような拘束力を作用させた状態で通常の外力が加わっても煽りプレートの位置安定性を高く保つことができるような皿ばね３点支持方式において、調整ねじの操作により煽りプレートの角度を調整ターゲット位置付近で往復動作による微調整を行っても、煽りプレートの角度再現性を得ることができるようにしようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために、片面側に光学素子を取り付けた煽りプレートの反対側の面をベースプレートに向け対峙させて配置し、該両プレートの重なり部における上記光学素子を取り囲む三角形の各頂点位置に、第１支点部と第２支点部と第３支点部とを設定し、上記第１支点部には、煽りプレートとベースプレートに貫通孔を設けて、該ベースプレートの貫通孔を、該煽りプレートの貫通孔よりも大径とし、且つ該ベースプレートの貫通孔内に、後端部を煽りプレートに当接させるようにしたセンター孔付きの球面軸受と、該球面軸受に当接させる球面軸受支持用のリングナットとを配置して、該リングナットをベースプレートに固定し、更に、皿ばねを煽りプレートの上記片面側に配してその外側から締め付けボルトを、該皿ばね、煽りプレートの貫通孔、上記球面軸受のセンター孔に挿通させてからリングナットに螺合させて煽りプレートをベースプレート側に押し付ける方向に締め付けて固定するようにしてなる定圧支持機構を組み付け、又、上記第２支点部及び第３支点部には、煽りプレートとベースプレートに貫通孔を設けて、該ベースプレートの貫通孔を該煽りプレートの貫通孔よりも大径とし、且つ該ベースプレートの貫通孔内に、後端部を煽りプレートに当接させるようにしたセンター孔付き球面軸受と、該球面軸受の前端側に後端側を当接させるようにしたブッシュと、該ブッシュの前端側に当接させる雌ねじブロックとを順に配置して、該雌ねじブロックをベースプレートに対して回転を規制して軸方向にのみ動けるようにすると共に、且つ上記煽りプレートの片面側に皿ばねとその外側に止めナットを配置して、該止めナットをベースプレート側に固定し、更に、煽りプレートをベースプレート側に押し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ部を有する調整ねじを、上記ブッシュ及び球面軸受のセンター孔、皿ばねに通して、一方の差動ねじ部を上記雌ねじブロックに、又、他方の差動ねじ部を止めナットにそれぞれ螺合させ、該調整ねじを回転させて雌ねじブロックを軸方向に変位させることにより上記第１支点部の球面軸受部を支点に煽りプレートの煽り角度を調整できるようにしてなる煽り調整機構を組み付けた構成とする。
【０００９】
光学素子の角度調整を行う場合には、第２支点部と第３支点部の少なくとも一方の煽り調整機構の差動ねじ部付き調整ねじを操作して煽りプレートの煽り角度を調整するようにする。この際、ベースプレートと煽りプレートは球面軸受部で強く押し付けられた状態となっているため、位置保持能力が高く、調整時の繰り返し動作再現性を高いものとすることができ、しかも調整ねじが差動ねじであることから、微調整を容易に行うことができる。
【００１０】
又、第２支点部のベースプレートの貫通孔を、第１支点部方向へ延びる長孔とし、第３支点部のベースプレートの貫通孔を、ブッシュ部分が３６０°の方向に動ける大きさに設定した構成とすることにより、第１支点部の球面軸受部分に対し、第２支点部の球面軸受部分は一方向の自由度を持ち、第３支点部の球面軸受部分は３６０°方向の自由度を持つため、調整ねじの移動量に追従して煽りプレートの角度が決められる。
【００１１】
一方、第１支点部に定圧支持機構を組み付けることに代えて、第１支点部に、煽りプレートをベースプレート側に押し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ部を有する調整ねじを用いた煽り調整機構を組み付けて、各支点部を、センター孔付きの球面軸受にブッシュを当接させる構成とすると、煽りプレートをベースプレートに対して並進移動させることが可能となる。
【００１２】
更に、第１支点部に定圧支持機構を組み付け、第２支点部と第３支点部に煽り調整機構を組み付けることに代えて、いずれか１つの支点部のみに、煽りプレートをベースプレート側に押し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ部を有する調整ねじを用いた煽り調整機構を組み付け、且つ残りの支点部に定圧支持機構を組み付けた構成とした場合は、煽りプレートを一方向にのみ角度調整することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００１４】
図１乃至図３は本発明の実施の一形態を示すもので、図５に示したレーザ発振器の前面側にあるレーザ光取出口部に位置する半反射ミラー４の角度を調整する角度調整装置について示す。
【００１５】
すなわち、半反射ミラー４を保持するミラープレート１４を後面側となる片面側に取り付けた煽りプレート１５の反対面側をベースプレート１６の後面側に所要間隔を隔てて平行に対峙させて配置して、該両プレート１５，１６の光路孔１７と１８が一致するようにすると共に、両プレート１５，１６の重なり部における上記半反射ミラー４を取り囲む三角形の各頂点位置に、第１支点部Ｏ1 と第２支点部Ｏ2 と第３支点部Ｏ3 とを定め、第１支点部Ｏ1 に定圧支持機構１９を組み付け、又、第２支点部Ｏ2 と第３支点部Ｏ3 に煽り調整機構２０と２１を組み付ける。
【００１６】
上記第１支点部Ｏ1 の定圧支持機構１９は、煽りプレート１５に貫通孔２２を設けると共に、該貫通孔２２よりも大径の貫通孔２３をベースプレート１６に設け、該ベースプレート１６の貫通孔２３内に、煽りプレート１５の貫通孔２２よりも大径としたセンター孔付きの球面軸受２４を、後端側中心部が煽りプレート１５の貫通孔２２に圧入されるように配置すると共に、該球面軸受２４と対応する円錐状凹部を後端に有する所要長さの軸受支持用リングナット２６を挿入してベースプレート１６にフランジ部２６ａを固定し、一方、上記煽りプレート１５の貫通孔２２の後面側には皿ばね２８を配置して、該皿ばね２８の外側に座金２７を配置し、煽りプレート１５の後面側より締め付けボルト２５を座金１７、皿ばね２８、球面軸受２４のセンター孔に挿通させてからその先端部をリングナット２６に螺合させ、該締め付けボルト２５で締め付けることにより、該締め付けボルト２５の頭部２５ａで押される座金２７を介して圧縮される皿ばね２８により煽りプレート１５がベースプレート１６側に押し付けられるようにして固定されるような構成としてある。
【００１７】
一方、上記第２支点部Ｏ2 の煽り調整機構２０は、次の如き構成としてある。すなわち、煽りプレート１５に貫通孔２９を設けると共に、該貫通孔２９よりも大径として第１支点部Ｏ1 方向へ向けて延びる長孔状の貫通孔３０をベースプレート１６に設け、該ベースプレート１６の貫通孔３０内に、上記貫通孔２９よりも大径として後端側中心部を貫通孔２９に圧入させるようにしたセンター孔付きの球面軸受３１と、該球面軸受３１と対応する円錐状凹部を後端面に有するセンター孔付きの軸受支持用ブッシュ３２と、該ブッシュ３２の前端面に当接させるようにした雌ねじブロック３３とを順に挿入して配置し、該雌ねじブロック３３をベースプレート１６に対して前後方向（軸方向）へのみ移動できるようにして、回転は規制されるようにする。なお、雌ねじブロック３３の回転の規制の仕方は、たとえば、該雌ねじブロック３３の前端面部に形成したフランジ部３３ａの一部に切り欠き３４を設け、該切り欠き３４に係合させるピン３５をベースプレート１６の前面部に固定して、フランジ部３３ａがピン３５の軸方向には摺動できるが回転方向にはピン３５で制限されて雌ねじブロック３３の回転を拘束させるようにしてある。更に、煽りプレート１５の貫通孔２９の後面側に、皿ばね４１と座金４０と止めナット３９を順に配置して、該止めナット３９に形成したフランジ部３９ａを、ベースプレート１６の後面に突設したリング状のスペーサケーシング３８にボルト４６で固定し、先端部側と基端部側に互いにピッチを異ならせた差動ねじ部３６ａと３６ｂを有し且つ基端につまみ３７を有する差動ねじ部付き調整ねじ３６を、上記ベースプレート１６の前面側から雌ねじブロック３３に基端部側の差動ねじ部３６ｂを螺合させてから、ブッシュ３２、球面軸受３１の各センター孔、皿ばね４１、座金４０に通して先端部側の差動ねじ部３６ａを止めナット３９に螺合させて、煽りプレート１５をベースプレート１６側へ押し付けるようにして球面軸受３１とブッシュ３２を当接させるようにした構成とし、かかる状態で差動ねじ部３６ａ，３６ｂを有する調整ねじ３６を回転させることにより雌ねじブロック３３を前後方向に移動させ、該雌ねじブロック３３の移動で煽りプレート１５を第１支点部Ｏ1 の球面軸受２４部を支点に煽って、煽り角度を調整できるようにしてある。なお、上記スペーサケーシング３８の壁部所要位置には切り欠き３８ａが設けてあって、煽りプレート１５とは干渉しないようにしてある。又、スペーサケーシング３８に止めナット３９を固定するためのボルト４６及びそのボルト穴には、調整ねじ３６の差動ねじ部３６ａよりもピッチの小さいねじが切ってある。
【００１８】
又、上記第３支点部Ｏ3 の煽り調整機構２１は、図１に破線で示す如く、ベースプレート１６に設けた貫通孔４２の直径を、ブッシュ３２及び雌ねじブロック３３の部分が３６０°の方向に動ける大きさに設定している点を除いて、上記第２支点部Ｏ2 の煽り調整機構２０と同様な構成としてあり、詳細説明は省略してある。
【００１９】
なお、上記調整ねじ３６のつまみ３７や締め付けボルト２５の頭部２５ａには、六角レンチを挿入するための六角穴が形成されている。図中、４３はベースプレート１６の固定台、４４はミラープレート１４内に形成した冷却水流路を示す。
【００２０】
煽りプレート１５は、皿ばねの圧力によってベースプレート１６側に押し付けられるが、その初期設定は、第２、第３支点部Ｏ2 ，Ｏ3 における調整ねじ３６のつまみ３７に六角レンチを差し込んで調整ねじ３６の回転を規制しつつ、差動ねじ部３６ａに螺合させてある止めナット３９をスパナで回転させることにより、規定荷重及び支点突出状態（＝並進および煽り状態）を決めるようにするが、更にこの際、調整ねじ３６の差動ねじ部３６ａよりもピッチの小さいボルト４６の締め込み調整を段階的に行うようにすると、初期設定を細かく行うことができる。
【００２１】
半反射ミラー４の角度を調整する場合には、第２支点部Ｏ2 の煽り調整機構２０と第３支点部Ｏ3 の煽り調整機構２１の一方もしくは双方の調整ねじ３６を回して雌ねじブロック３３を軸方向に移動させることにより煽りプレート１５の煽り角度を調整するようにする。
【００２２】
この場合、たとえば、第２支点部Ｏ2 の煽り調整機構２０の調整ねじ３６を回転させると、回転が規制されている雌ねじブロック３３が、異なるピッチの差動ねじ部３６ａ，３６ｂによる差動ねじの原理により軸方向へ移動させられるため、この移動力で、当接した状態のブッシュ３２、球面軸受３１を介して煽りプレート１５が変位させられ、煽りプレート１５は、第１支点部Ｏ1 の球面軸受２４部と第３支点部Ｏ3 の球面軸受３１部を支点として傾動させられることになる。又、同様に、第３支点部Ｏ3 の煽り調整機構２１を操作すると、煽りプレート１５は、第１支点部Ｏ1 の球面軸受２４部と第２支点部Ｏ2 の球面軸受３１部を支点として傾動させられることになる。
【００２３】
上記において、第２支点部Ｏ2 の煽り調整機構２０にけるベースプレート１６の貫通孔３０は第１支点部Ｏ1 の方向へ向け延びる長孔としてあるため、煽りプレート１５の煽り角度の調整時には、一方向の自由度をもち、又、第３支点部Ｏ3 の煽り調整機構２１におけるベースプレート１６の貫通孔４２は、ブッシュ３２の部分が３６０°動けるようにしてあるため、煽りプレート１５の煽り角度の調整時には、プレート面方向の自由度をもつため、煽りプレート１５は、各調整ねじ３６の移動に追従することができる。
【００２４】
又、各煽り支点は球面軸受によって構成されていて、第１支点部Ｏ1 、第２支点部Ｏ2 、第３支点部Ｏ3 の順で位置エネルギーが安定する系となっていること、更に、煽りプレート１５には、皿ばね２８や４１によりベースプレート１６側へ向けて大きな押付荷重を掛けることができることから、ベースプレート１６に対する煽りプレート１５の位置関係を一意に決めることができて、高い位置安定性を得ることができると共に、調整ねじ３６の操作により煽りプレート１５の角度を調整ターゲット位置近傍で往復動作させても位置再現性の高い系を実現することができる。
【００２５】
次に、図４は本発明の実施の他の形態を示すもので、図１乃至図３に示したものと同様な構成において、第１支点部Ｏ1 に定圧支持機構を組み付けることに代えて、第１支点部Ｏ1 に、第２支点部Ｏ2 や第３支点部Ｏ3 と同様な構成の煽り調整機構４５を組み付けたものである。なお、図２と同一部分には同一符号が付してある。
【００２６】
図４に示すような構成とすると、煽りプレート１５の煽り角度調整は勿論のこと、煽りプレート１５をベースプレート１６に対して並進移動調整することもできるようになり、半反射ミラー４の位置調整範囲を拡大することができる。
【００２７】
又、いずれか一つの支点部Ｏ1 、Ｏ2 又はＯ3 のみに、煽り調整機構４５、２０又は２１を組み付けた構成としても、煽りプレート１５の一方向のみの煽り角度調整を、高い位置安定性と再現性をもって実現することができる。
【００２８】
なお、上記実施の形態では、煽りプレート１５の煽り角度を調整する際にベースプレート１６の前側でつまみ３７を回すようにした場合を示したが、図２や図４において、調整ねじ３６を左右勝手反対に配置構成して、煽りプレート１５の後側でつまみ３７を回すようにしてもよいこと、又、実施の形態では、煽りプレート１５に、ミラープレート１４を介して半反射ミラー４を取り付けた場合を示したが、煽りプレート１５にミラーを直接取り付けるようにしてもよいこと、更に、実施の形態では、図５のレーザ発振器の半反射ミラー４の部分への適用例について示したが、他の全反射ミラーの部分についても同様に適用できること、更に又、レーザ発振器以外の光学機器による光ビームの指向角度を調整する部分についても同様に適用できること、すなわち、ミラーに限らず、レンズやプリズム等の光学素子を用いた部分であれば適宜採用できること、その他本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【００２９】
【発明の効果】
以上述べた如く、本発明の光学機器の光学素子角度調整装置によれば、片面側に光学素子を取り付けた煽りプレートの反対側の面をベースプレートに向け対峙させて配置し、該両プレートの重なり部における上記光学素子を取り囲む三角形の各頂点位置に、第１支点部と第２支点部と第３支点部とを設定し、上記第１支点部には、煽りプレートとベースプレートに貫通孔を設けて、該ベースプレートの貫通孔を、該煽りプレートの貫通孔よりも大径とし、且つ該ベースプレートの貫通孔内に、後端部を煽りプレートに当接させるようにしたセンター孔付きの球面軸受と、該球面軸受に当接させる球面軸受支持用のリングナットとを配置して、該リングナットをベースプレートに固定し、更に、皿ばねを煽りプレートの上記片面側に配してその外側から締め付けボルトを、該皿ばね、煽りプレートの貫通孔、上記球面軸受のセンター孔に挿通させてからリングナットに螺合させて煽りプレートをベースプレート側に押し付ける方向に締め付けて固定するようにしてなる定圧支持機構を組み付け、又、上記第２支点部及び第３支点部には、煽りプレートとベースプレートに貫通孔を設けて、該ベースプレートの貫通孔を該煽りプレートの貫通孔よりも大径とし、且つ該ベースプレートの貫通孔内に、後端部を煽りプレートに当接させるようにしたセンター孔付き球面軸受と、該球面軸受の前端側に後端側を当接させるようにしたブッシュと、該ブッシュの前端側に当接させる雌ねじブロックとを順に配置して、該雌ねじブロックをベースプレートに対して回転を規制して軸方向にのみ動けるようにすると共に、且つ上記煽りプレートの片面側に皿ばねとその外側に止めナットを配置して、該止めナットをベースプレート側に固定し、更に、煽りプレートをベースプレート側に押し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ部を有する調整ねじを、上記ブッシュ及び球面軸受のセンター孔、皿ばねに通して、一方の差動ねじ部を上記雌ねじブロックに、又、他方の差動ねじ部を止めナットにそれぞれ螺合させ、該調整ねじを回転させて雌ねじブロックを軸方向に変位させることにより上記第１支点部の球面軸受部を支点に煽りプレートの煽り角度を調整できるようにしてなる煽り調整機構を組み付けた構成としてあるので、煽りプレートの角度調整時の支点を皿ばねによる大きな押し付け荷重で保持することができて、高い位置安定性と位置再現性及び高剛性を得ることができると共に、球面軸受と差動ねじ部を有する調整ねじの組み合わせにより、微調整を簡単に行うことができ、したがって、産業用大出力レーザ発振器等の精度の要求される光学機器の光学素子の位置、角度を正確に調整することができ、たとえば、振動や冷却水ホース（配管）の引き回しにより外力の加わる可能性が高い系においても、安定した位置保持力、位置再現性を実現することができる。又、第２支点部のベースプレートの貫通孔を、第１支点部方向へ延びる長孔とし、第３支点部のベースプレートの貫通孔を、ブッシュ部分が３６０°の方向に動ける大きさに設定した構成とすることにより、調整ねじに煽りプレートを正確に追従させることができる。更に、第１支点部に定圧支持機構を組み付けることに代えて、第１支点部に、煽りプレートをベースプ���ート側に押し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ部を有する調整ねじを用いた煽り調整機構を組み付けて、各支点部を、センター孔付きの球面軸受にブッシュを当接させる構成とすることにより、煽りプレートをベースプレートに対し並進移動調整することができて、位置調整範囲を拡大することができ、更に又、第１支点部に定圧支持機構を組み付け、第２支点部と第３支点部に煽り調整機構を組み付けることに代えて、いずれか１つの支点部のみに、煽りプレートをベースプレート側に押し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ部を有する調整ねじを用いた煽り調整機構を組み付け、且つ残りの支点部に定圧支持機構を組み付けた構成とすることによって、煽りプレートの一方向のみの煽り角度調整を安定して行うことができる、等の優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光学機器の光学素子角度調整装置の実施の一形態を示す正面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ方向矢視図である。
【図３】図１の背面図である。
【図４】本発明の実施の他の形態を示す断面図である。
【図５】レーザ発振器の一例を示す概略図である。
【図６】従来の角度調整装置の一例を示すもので、（イ）は正面図、（ロ）は（イ）の切断側面図である。
【符号の説明】
４  半反射ミラー（光学素子）
１５  煽りプレート
１６  ベースプレート
１９  定圧支持機構
２０，２１  煽り調整機構
２２，２３  貫通孔
２４  球面軸受
２５  締め付けボルト
２６  リングナット
２８  皿ばね
２９，３０  貫通孔
３１  球面軸受
３２  ブッシュ
３３  雌ねじブロック
３６  調整ねじ
３６ａ，３６ｂ  差動ねじ部
３９  止めナット
４１  皿ばね
４２  貫通孔
４５  煽り調整機構
【図１】
0004294806.tif 000002
【図２】
0004294806.tif 000003
【図３】
0004294806.tif 000004
【図４】
0004294806.tif 000005
【図５】
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【図６】
0004294806.tif 000007