(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状基体を収納すると共に、板状基体を処理するときに、収納している板状基体を外部に排出する板状基体の収納ユニットにおいて、
板状基体を置くための保持面を具備する本体部と、
前記保持面の一端およびこの一端の両側の端に設けられると共に、板状基体が前記３つの端に移動することを防ぐ壁部と、
前記保持面に置かれている板状基体を前記保持面から浮上させるために、供給された気体を前記保持面から噴出する浮上用噴出部と、
前記浮上用噴出部によって浮上している板状基体を、前記壁部に衝突を防ぐと共に、前記保持面の他端に向けて押し出す排出部とを備えることを特徴とする板状基体の収納ユニット。
【請求項２】
板状基体を収納すると共に、板状基体を処理するときに、収納している板状基体を外部に排出する板状基体の収納ユニットにおいて、
板状基体を置くための保持面を具備する本体部と、
前記保持面の一端側に設けられると共に、前記保持面に置かれている板状基体が前記一端側に移動することを防ぐ第１壁部と、
板状基体が前記直角方向にそれぞれ移動することを防ぐと共に、前記保持面にそれぞれ着脱可能に取り付けられる第２および第３壁部と、
前記第２および第３壁部にそれぞれ設けられると共に、前記第２および第３壁部を前記保持面に取り付けるための第１固定手段と、
前記第１固定手段とそれぞれ係合して前記第２および第３壁部を前記保持面に固定すると共に、前記直角方向に対して順に並んで設けられているｎ組（ｎは正の整数）の第２固定手段と、
前記保持面に置かれている板状基体を前記保持面から浮上させるために、供給された気体を前記保持面から噴出する浮上用噴出部と、
前記浮上用噴出部によって浮上している板状基体を、前記移動方向に押し出す排出部とを備えることを特徴とする板状基体の収納ユニット。
【請求項３】
前記排出部が、前記壁部から板状基体の側面に向けて、供給された気体を噴出する排出用噴出部で形成されることを特徴とする請求項１または２に記載の板状基体の収納ユニット。
【請求項４】
前記壁部の周辺に位置すると共に前記本体部の上面に設けられた突出部分または窪み部分で形成される第１嵌合部と、
前記本体部の下面に設けられ、前記第１嵌合部と同位置にかつ前記第１嵌合部に嵌合する第２嵌合部とを備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の板状基体の収納ユニット。
【請求項５】
板状基体を収納すると共に、板状基体を処理するときに、収納している板状基体を処理装置の搬入部に送り出す板状基体の収納装置において、
請求項３または４に記載の収納ユニットが積み重ねられている運搬具と、
前記運搬具を置くことが可能であり、置かれた前記運搬具を上下して、指定された前記収納ユニットの保持面の一端を前記搬入部に合わせる昇降装置と、前記昇降装置による位置合わせが終了すると、位置合わせをされた前記収納ユニットに気体を供給する供給装置とを備えることを特徴とする板状基体の収納装置。
【請求項６】
前記運搬具を外気から遮断する密閉装置を備えることを特徴とする請求項５に記載の板状基体の収納装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、板状基体の収納ユニットおよび収納装置に係わり、より詳細には、板状基体としてガラス板などの保管や運搬をする板状基体の収納ユニットおよび収納装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ガラス板には、例えば、ＴＦＴ型液晶ディスプレイ用のものなど各種のものがある。このような四角形状のガラス板は、通常、ガラスメーカで生産されて、ユーザに運搬される。従来、ガラス板の運搬は次のようにして行われている。メーカ側は、ガラス板を送る際に、合成樹脂製等のパッドをガラス板の間に置き、ガラス板を積み重ねて、ガラス板の梱包をする。ガラス板が積み重ねられた状態の梱包が、ユーザに向けて発送される。この場合、内部のガラス板の姿勢が板の厚みや強度から選択されて、縦形、横形の何れかの輸送姿勢や梱包形態が決められている。
【０００３】
ガラス板のユーザ側は、受け取った梱包を開いて、パッドを除いて取り出したガラス板を棚台に置く。棚台は、ガラス板を運ぶための専用運搬具である。この後、ガラス板の処理および加工をするプロセス装置が設置されている作業場所まで、棚台が移動される。棚台が作業場所まで移動されると、棚台からプロセス装置の搬入部までガラス板が移動される。ガラス板の移動は、ロボット装置のロボットハンドによって行われる。
【０００４】
ロボットハンドは、棚台から順にガラス板を吸着によって取り出し、ガラス板を回転し、搬入部の搬送面に移動する。ロボットハンドは、ガラス板を移動すると、このガラス板を搬送面に置く。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
画面の大型化に伴って、フラット・パネル・ディスプレイ（ＦＰＤ）分野では、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）用やプラズマディスプレイ・パネル（ＰＤＰ）用として、次のような大型ガラス板が使用されようとしている。つまり、薄膜トランジスタ用として、厚さ０．３〜１．１[ｍｍ]、平面寸法６５０×８３０[ｍｍ]以上のガラス板が試作され、プラズマディスプレイ・パネル用として、厚さ〜８[ｍｍ]、平面寸法１０００×１０００[ｍｍ]以上のものが試作されている。
【０００６】
ロボットハンドでの支持または棚台の棚板での両端支持によって、大型ガラス板が重力で大きく撓む。この場合、薄板状の大型ガラス板では、１００〜２５０[ｍｍ]の凹状の反りが発生し、厚板状の大型ガラス板でも、２０〜３０[ｍｍ]の反りが生じる。
【０００７】
したがって、大型ガラス板に発生する撓みを考慮して、棚台の棚板間隔、つまり、上下に配置されるガラス板の間隔を大きく設定する必要が発生する。また、ロボットハンドが棚台からガラス板を取り出す場合、ガラス板が平面でないため、ロボットハンドによる吸着が不完全になり、ガラス板の脱落が発生しやすくなる。
【０００８】
棚台を使用しないで、輸送梱包の上面を直接開き、ロボットハンドで垂直に引き出す方法がある。しかし、引き出し時に、ガラス板の端部と梱包材の内壁との擦れが、ガラス板に傷の発生する原因となる。また、ガラス板が薄板状である場合、ガラス板に撓みが生じて、ガラス板の引き出しが極めて困難になる。
【０００９】
また、積み重ねられたガラス板を置いた場所に隣接して、ロボット装置を設置する必要がある。このために、従来の運搬方式には、棚台を置くためのスペースとは別に、ロボット装置を設置するためのスペースと、ロボット装置がガラス板を棚台からプロセス装置へ回転移送するためのスペースとを必要とする。
【００１０】
また、ロボット装置には、ロボットハンドによってガラス板を吸着する機能と、ロボットハンドによってガラス板を１８０度に水平回転する機能とが必要である。このために、従来の運搬方式では、使用されるロボット装置の構造および制御が複雑になる。
【００１１】
さらに、ガラス板の取り出しの際に、ロボット装置のロボットハンドがガラス板に吸着するので、ガラス板を非接触で取り出すことができない。
【００１２】
この発明は、板状基体を取り出すためのロボット装置を不要にすることができ、しかも、ガラス板を非接触で取り出すことを可能にする板状基体の運搬装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
この発明の板状基体の運搬装置は、板状基体を収納すると共に、板状基体を処理するときに、収納している板状基体を外部に排出する板状基体の収納ユニットにおいて、板状基体を置くための保持面を具備する本体部と、前記保持面の一端およびこの一端の両側の端に設けられると共に、板状基体が前記３つの端に移動することを防ぐ壁部と、前記保持面に置かれている板状基体を前記保持面から浮上させるために、供給された気体を前記保持面から噴出する浮上用噴出部と、  前記浮上用噴出部によって浮上している板状基体を、前記壁部に衝突を防ぐと共に、前記保持面の他端に向けて押し出す排出部とを備えることを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、板状基体が本体部の保持面に置かれる。この後、板状基体の運搬や保管が行われる。運搬や保管が終了すると、本体部に気体が供給される。供給された気体が保持面の浮上用噴出部から噴出する。これによって、板状基体が保持面から浮上する。さらに、浮上している板状基体は、排出部によって保持面の他端に向けて押し出され、収納ユニットの外部に排出される。
【００１５】
また、この発明は、板状基体を収納すると共に、板状基体を処理するときに、収納している板状基体を外部に排出する板状基体の収納ユニットにおいて、板状基体を置くための保持面を具備する本体部と、前記保持面の一端側に設けられると共に、前記保持面に置かれている板状基体が前記一端側に移動することを防ぐ第１壁部と、板状基体が前記直角方向にそれぞれ移動することを防ぐと共に、前記保持面にそれぞれ着脱可能に取り付けられる第２および第３壁部と、前記第２および第３壁部にそれぞれ設けられると共に、前記第２および第３壁部を前記保持面に取り付けるための第１固定手段と、前記第１固定手段とそれぞれ係合して前記第２および第３壁部を前記保持面に固定すると共に、前記直角方向に対して順に並んで設けられているｎ組の第２固定手段と、前記保持面に置かれている板状基体を前記保持面から浮上させるために、供給された気体を前記保持面から噴出する浮上用噴出部と、前記浮上用噴出部によって浮上している板状基体を、前記移動方向に押し出す排出部とを備えることを特徴とする。
【００１６】
この構成によれば、第２および第３壁部が保持面に対して着脱自在になる。この結果、保管や運搬をされる板状基体幅に合わせて、第２および第３壁部を保持面に取り付け、保持面の大きさを板状基体に合わせる。
【００１７】
また、この発明は、板状基体を収納すると共に、板状基体を処理するときに、収納している板状基体を処理装置の搬入部に送り出す板状基体の収納装置において、請求項２または３に記載の収納ユニットが積み重ねられている運搬具と、前記運搬具を置くことが可能であり、置かれた前記運搬具を上下して、指定された前記収納ユニットの位置を前記搬入部に合わせる昇降装置と、前記昇降装置による位置合わせが終了すると、前記搬入部に位置する前記収納ユニットに気体を供給する供給装置とを備えることを特徴とする。
【００１８】
この構成によれば、多数の板状基体が運搬具で運搬され、また、保管される。板状基体の運搬や保管が終了すると、運搬具が昇降装置に置かれる。昇降装置は、置かれた運搬具を上下して、指定された収納ユニットを搬入部に位置合わせする。昇降装置による位置合わせが終了すると、供給装置は、搬入部に位置する収納ユニットに気体を供給する。これによって、板状基体が運搬具から搬入部に向かって排出される。
【００１９】
【発明の実施の形態】
次に、発明の実施の形態について説明する。
【００２０】
［発明の実施の形態１］
実施の形態１では、この発明による板状基体の収納ユニットについて述べる。図１は、この発明の実施の形態１に係わる板状基体の収納ユニットを示す斜視図である。図２は、図１の平面図である。図３は、図１の背面図である。図４は、図２のＩ−Ｉ断面を示す断面図である。図５は、図２のＩＩ−ＩＩ断面を示す断面図である。図６は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面を示す断面図である。図７は、実施の形態１によってガラス板を移動する様子を示す説明図である。図８は、実施の形態１によってガラス板を移動する様子を示す説明図である。
【００２１】
実施の形態１の板状基体の収納ユニットは、図１に示すように、板状基体（例えば、ガラス板）を置くための保持面（底面１１Ｅ）を具備する本体部１０と、保持面の一端およびこの一端の両側の端に設けられると共に、板状基体が３つの端に移動することを防ぐ壁部と、保持面に置かれている板状基体を保持面から浮上させるために、供給された気体を保持面から噴出する浮上用噴出部（複数の噴出孔１４）と、浮上用噴出部によって浮上している板状基体を保持面の他端（搬出口１１Ａ）に向けて押し出す排出部（複数の噴出孔１６）とを備えることを特徴とする。
【００２２】
実施の形態１による板状基体の収納ユニット（以下、単に収納ユニットと記す）について、以下では詳細に説明する。
【００２３】
図１に示すように、収納ユニット１は四角形状の本体部１０を備えている。本体部１０の上面１０Ａには、窪み１１が設けられている。窪み１１の外側の本体部１０が壁部である。窪み１１は、輸送されるガラス板を置くためのものである。窪み１１に置かれるガラス板は、ＴＦＴ型液晶ディスプレイ用のものであり、四角形状をしている。窪み１１の１つの側壁が取り除かれて、置かれたガラス板を取り出すための搬出口１１Ａが通過部分として設けられている。窪み１１と搬出口１１Ａとによって、保持部が形成される。窪み１１の１つの側壁が取り除かれているので、窪み１１は、３つの側壁１１Ｂ〜１１Ｄが平面状の底面１１Ｅを囲むような形状をしている。
【００２４】
本体部１０の内部には、図２に示すように、本体部分１２Ａと供給路１２Ｂとを備えた第１中空部１２が設けられている。本体部分１２Ａは、窪み１１の底面１１Ｅおよび側壁１１Ｂ，１１Ｄと向かい合うように形成された空洞である。供給路１２Ｂの形状がパイプ状であり、供給路１２Ｂの一端が本体部分１２Ａに接続されている。供給路１２Ｂの他端がテーパー状に広げられて、本体部１０の側壁１０Ｂに接続されている。これによって、本体部１０の側壁１０Ｂに開口が形成され、この開口が図３に示すように浮上用気体供給口１２Ｃである。
【００２５】
また、本体部１０には、本体部分１３Ａと２つの排出路１３Ｂとを備えた第２中空部１３が設けられている。本体部分１３Ａは、窪み１１の側壁１１Ｃと向かい合うように形成された空洞である。
【００２６】
２つの排出路１３Ｂが側壁１１Ｂ，１１Ｄの長手方向と平行に配置されている。排出路１３Ｂは、図４に示すように、本体部分１２Ａを仕切るように、本体部分１２Ａ内に設けられている。排出路１３Ｂの一端の延長方向にある本体部分１２Ａの側壁に対して非接触の状態で、各排出路１３Ｂの一端が閉じられている。この結果、排出路１３Ｂで仕切られた状態にある本体部分１２Ａ内を、気体が自由に流れることが可能になる。排出路１３Ｂの他端が本体部分１３Ａに接続されている。
【００２７】
本体部１０の側壁１０Ｂには、本体部分１３Ａに接続されている開口が設けられている。この開口が排出用気体供給口１３Ｃ（図３参照）である。
【００２８】
本体部１０には、多数の浮上用の噴出孔１４が設けられている。噴出孔１４は、底面１１Ｅに置かれたガラス板を浮上させるためのものである。噴出孔１４の形状がパイプ状であり、噴出孔１４の一端が底面１１Ｅに接続されている。これによって、底面１１Ｅには開口が形成される。噴出孔１４の他端が本体部分１２Ａに接続されている。
【００２９】
噴出孔１４は、図５に示すように接続されている。つまり、パイプ状の噴出孔１４の長手方向が底面１１Ｅに対して直角になるように、噴出孔１４は、底面１１Ｅと本体部分１２Ａとの間に設けられている。この結果、側壁１０Ｂに形成された浮上用気体供給口１２Ｃに気体が供給されると、この気体は、本体部分１２Ａを流れて、各噴出孔１４から噴出される。噴出孔１４が底面１１Ｅに対して直角に接続されているので、噴出孔１４からの気体は、底面１１Ｅに対して直角方向に噴出される。噴出される気体によってガラス板に加えられる力は、浮上専用としてガラス板に作用することになる。
【００３０】
本体部１０には、多数の排出用の噴出孔１５〜１８（図４，５，６参照）が設けられている。噴出孔１５〜１８は、噴出孔１４によって浮上したガラス板を、収納ユニット１の搬出口１１Ａから方向Ａ（図２参照）に排出するためのものである。
【００３１】
噴出孔１５，１７（図４参照）は、浮上したガラス板が側壁１１Ｂ，１１Ｄに衝突することを防ぐ。噴出孔１６（図５参照）は、浮上したガラス板が側壁１１Ｃに衝突することを防ぐと共に、ガラス板を方向Ａに排出する。
【００３２】
噴出孔１５，１７の形状がパイプ状であり（図４参照）、噴出部１５，１７の一端が側壁１１Ｂ，１１Ｄにそれぞれ接続されている。これによって、側壁１１Ｂ，１１Ｄには、開口が形成される。噴出孔１５，１７の他端が、第１中空部１２の本体部分１２Ａに接続されている。
【００３３】
同じように、噴出孔１６の形状がパイプ状であり（図５，６参照）、噴出孔１６の一端が側壁１１Ｃに接続されている。これによって、側壁１１Ｃには、開口が形成される。噴出孔１６の他端が、第２中空部１３の本体部分１３Ａに接続されている。
【００３４】
パイプ状の噴出孔１５〜１７の長手方向が底面１１Ｅに対して平行になるように、噴出孔１５，１７は、側壁１１Ｂ，１１Ｄと本体部分１２Ａとの間に設けられ、噴出孔１６は、側壁１１Ｃと本体部分１３Ａとの間に設けられている。
【００３５】
噴出孔１８は、浮上したガラス板を方向Ａに排出する。噴出孔１８の形状がパイプ状であり（図６参照）、噴出孔１８の一端が底面１１Ｅに接続されている。これによって、底面１１Ｅには、開口が形成される。噴出孔１８の他端が、第２中空部１３の排出路１３Ｂに接続されている。パイプ状の噴出孔１８の長手方向が、底面１１Ｅに対して方向Ａに傾斜するように、底面１１Ｅと排出路１３Ｂとの間に噴出孔１８が接続されている。
【００３６】
側壁１０Ｂに形成された浮上用気体供給口１２Ｃに気体が供給されると、気体は、本体部分１２Ａを流れて、先に述べたように噴出孔１４から噴出すると同時に、噴出孔１５，１７から噴出する。噴出孔１５，１７が底面１１Ｅに対して平行に設けられているので、噴出孔１５，１７からの気体が底面１１Ｅに対して平行に、かつ、底面１１Ｅの中心に向かって噴出する。
【００３７】
側壁１０Ｂに形成された排出用気体供給口１３Ｃに気体が供給されると、気体は、本体部分１３Ａを流れて、噴出孔１６，１８から噴出する。噴出孔１６が底面１１Ｅに対して平行に設けられているので、噴出孔１６からの気体が底面１１Ｅに対して平行に、かつ、搬出口１１Ａに向かって噴出される。また、噴出孔１８が底面１１Ｅに対して傾斜して設けられているので、噴出孔１８からの気体が底面１１Ｅに対して傾斜し、かつ、搬出口１１Ａに向かって噴出する。
【００３８】
次に、この実施の形態の使用方法について説明する。
【００３９】
例えば、ＴＦＴ型液晶ディスプレイ用のガラス板を移動して、プロセス装置に供給する場合、図７（ａ）に示すように、作業者が収納ユニット１の底面１１Ｅにガラス板１０００を置く。この後、ガラス板１０００が置かれた収納ユニット１を、作業者がプロセス装置の搬入口へ移動する。
【００４０】
収納ユニット１の移動が終了すると、図７（ｂ）に示すように、作業者は、気体を供給する供給管のテーパー状の先端９１を収納ユニット１の浮上用気体供給口１２Ｃに差し込み、収納ユニット１に気体を供給する。このとき使用する気体は、清浄なドライエアー、高純度窒素、他の不活性ガス等多種から選択できる。気体の供給によって、収納ユニット１の噴出孔１４，１５，１７から気体が噴出する。
【００４１】
噴出孔１４から噴出される気体によって、ガラス板１０００が底面１１Ｅから浮上する。また、噴出孔１５，１７から噴出される気体によって、図８に示すように、ガラス板１０００の中心１００１が底面１１Ｅの中心１１Ｆと一致するように、ガラス板１０００の位置が保たれる。なお、図８では、各噴出孔１４，１５，１７から噴出される気体を矢印で示している。各噴出孔１４，１５，１７からの気体によって、ガラス板１０００は、底面１１Ｅから浮上して、側壁１１Ｂ，１１Ｄや底面１１Ｅに対して非接触状態になる。
【００４２】
ガラス板１０００が浮上した後、図７（ｃ）に示すように、作業者は、気体を供給する供給管のテーパー状の先端９２を収納ユニット１の排出用気体供給口１３Ｃに直ちに差し込み、収納ユニット１に気体を供給する。気体の供給によって、収納ユニット１の噴出孔１６，１８から気体が噴出する。気体の噴出によって、浮上状態にあるガラス板１０００が搬出口１１Ａに向かって、つまり、方向Ａに移動する。この結果、ガラス板１０００が収納ユニット１からプロセス装置に向かって排出される。
【００４３】
こうして、実施の形態１によれば、ガラス板の非接触状態を保ちながら、このガラス板を目的の装置等に排出することができる。この結果、ガラス板が収納ユニット１の側面１１Ｂ〜１１Ｄや底面１１Ｅと擦れることがないので、傷等がガラス板に発生することを防ぐことができる。
【００４４】
また、窪み１１の側壁１１Ｃに設けた噴出孔１６からの気体と、底面１１Ｅに設けた噴出孔１８からの気体とによって、排出用の力をガラス板１０００に加える。したがって、ガラス板１０００が重くなっても、ガラス板１０００を収納ユニット１から排出することができる。
【００４５】
［発明の実施の形態２］
実施の形態２では、この発明による収納ユニットについて述べる。図９は、この発明の実施の形態２に係わる板状基体の収納ユニットを示す平面図である。なお、図９では、先に説明した図１〜６の収納ユニットと同一または同一と見なされる構成要素には、それと同じ符号が付けられている。
【００４６】
図９に示すように、実施の形態２の収納ユニット２は、実施の形態１の収納ユニット１から２つの排出路１３Ｂを省略したものである。そして、底面１１Ｅには、すべて本体部分１２Ａに接続された噴出孔１４だけが設けられている。
【００４７】
この結果、実施の形態２による収納ユニット２は、比較的重量の軽いガラス板を保持および搬送する場合に最適である。また、実施の形態２によれば、例えば、ドリル歯によって噴出孔１４を底面１１Ｅに形成する場合、収納ユニット２の本体部１０に対して直角方向からの加工だけでよいので、本体部１０に対する加工を簡単にすることが可能である。
【００４８】
［発明の実施の形態３］
実施の形態３では、この発明による収納ユニットについて述べる。図１０は、この発明の実施の形態３に係わる板状基体の収納ユニットを示す断面図である。図１０に示すように、実施の形態３の収納ユニット３では、実施の形態１，２で用いられている本体部１０の代わりに、本体部３０が用いられている。つまり、浮上用および排出用の噴出孔３１を囲む周囲面３２に比べて、他の面が低くなっている。
【００４９】
この収納ユニット３によれば、ガラス板１０００を置いたときに、ガラス板１０００の下面１００２と、本体部３０の窪みの底面との接触面積を小さくすることができる。
【００５０】
［発明の実施の形態４］
実施の形態４では、この発明による収納ユニットについて述べる。図１１は、この発明の実施の形態４に係わる板状基体の収納ユニットを示す斜視図である。図１２は、図１１の側面図である。図１３は、実施の形態４の使用状態を説明するための説明図である。
【００５１】
保持部の周辺に位置すると共に本体部４０の上面４０Ａに設けられた突出部分または窪み部分（例えば、結合ピン４１）で形成される第１嵌合部と、本体部の下面に設けられ、第１嵌合部と同位置にかつ第１嵌合部に嵌合する第２嵌合部とを備えることを特徴とする。
【００５２】
実施の形態４による板状基体の収納ユニットについて、以下では詳細に説明する。
【００５３】
図１１，１２に示すように、実施の形態４の収納ユニット４では、実施の形態１〜３で用いられている本体部１０，３０の代わりに、本体部４０が用いられている。なお、図１１，１２では、浮上用および排出用噴出孔の図示を省略している。
【００５４】
本体部４０の上面４０Ａの四隅に４つの結合ピン４１が互いに離れて設けられている。各結合ピン４１は、円筒形をして、上面４０Ａから突き出ている。本体部４０の下面４０Ｃには、結合ピン４１の取り付け位置に対応する部分に凹部４２がそれぞれ設けられている。凹部４２は、結合ピン４１に嵌合する形状をしている。つまり、凹部４２は、円筒形をした窪みである。
【００５５】
このような収納ユニット４によれば、図１３に示すように、作業者は、各本体部４０の窪みにガラス板１０００を置いた後、収納ユニット４を重ねる。このとき、作業者が上段の収納ユニット４の凹部４２に下段の収納ユニット４の結合ピン４１を挿入して、収納ユニット４を積み重ねていく。
【００５６】
積み重ねられた収納ユニット４の運送に際して、トラック運送等で振動が発生しても、結合ピン４１と凹部４２との嵌合によって、収納ユニット４が滑り動くことを防ぐことができる。つまり、実施の形態４によって、収納ユニット４をまとめて運ぶことを可能にする。かつ、結合ピン４１が上面４０Ａの四隅に設けられているので、収納ユニット４が運送される場合、各収納ユニット４のずれを防いで、積み重ねられた収納ユニット４を堅固にすることができる。
【００５７】
なお、最上段の収納ユニット４に対して、必要に応じて蓋４３を被せてもよい。蓋４３は、収納ユニット４と同じ形状の四角形である。蓋４３の下面には、収納ユニット４の凹部４２と同じ凹部４３Ａが設けられている。蓋４３によって、収納ユニット４の上側から落ちてくる塵等がガラス板１０００に付着することを防ぐことができる。
【００５８】
実施の形態４の変形例として、４つの結合ピン４１の中の少なくとも１つ、また、多くとも３つの代わりに、図１４（ａ）に示す半円柱状の結合ピンや、図１４（ｂ）に示す円錐状の結合ピン、図１４（ｃ）に示す４角柱状の変形結合ピンを用いる。円柱形状の結合ピン４１と異なる変形結合ピンには、各種の形状のものがある。また、本体部４０の下面４０Ｃには、図示を省略しているが、変形結合ピンと嵌合する凹部を設ける。
【００５９】
このような、変形結合ピンとこのピンに嵌合する凹部とを用いることにより、収納ユニットの重ね合わせが一種類だけになるので、搬出口の向きをそろえることができる。
【００６０】
［発明の実施の形態５］
実施の形態５では、この発明による板状基体の収納装置について述べる。図１５は、この発明の実施の形態５に係わる板状基体の収納装置の構成を示す構成図である。図１６は、実施の形態５の供給装置の概略的な構成を示す構成図である。図１７は、実施の形態５の結合部を説明するための説明図である。
【００６１】
実施の形態１〜４の収納ユニットが積み重ねられている運搬具５１と、運搬具５１を置くことが可能であり、置かれた運搬具５１を上下して、指定された収納ユニット５１Ａの高さ位置を搬入部１１００に合わせる昇降装置５２と、昇降装置５２による位置合わせが終了すると、搬入部１１００に位置する収納ユニット５１Ａに気体を供給する供給装置５３とを備えることを特徴とする。
【００６２】
実施の形態５による板状基体の収納装置について、以下では詳細に説明する。
【００６３】
図１５に示すように、実施の形態５の板状基体の収納装置５（以下、単に収納装置５と記す）は、運搬具５１、昇降装置５２および供給装置５３を備えている。
【００６４】
昇降装置５２と供給装置５３とは、台５Ａ上に設置されている。さらに、台５Ａがガラス板の作業場所に設置されている。作業場所には、ガラス板の処理および加工をするプロセス装置が接近されて設置されている。プロセス装置は、ガラス板を受け入れる搬入部１１００を備えている。そして、搬入部１１００は、ガラス板を搬送面１１０１に沿って方向Ｂに移動する。このとき、ガラス板の移動が、気体の噴出でガラス板を浮上して運ぶ浮上搬送や、コンベア等の機械的手段で運ぶ機械搬送によって行われる。
【００６５】
運搬具５１は、収納ユニット５１Ａを積み重ねたものである。収納ユニット５１Ａは、実施の形態１〜４の収納ユニット１〜４の中の１つである。運搬具５１の各収納ユニット５１Ａ内には、ガラス板が置かれている。これらのガラス板は、ガラスメーカ側で各収納ユニット５１Ａに積み込まれたものである。そして、運搬具５１がトラック等の運送手段によってユーザ側のプロセス装置に運ばれて来る。また、場合によって、運搬具５１は、メーカ側やユーザ側で保管された後、プロセス装置に運ばれることもある。
【００６６】
このように、運搬具５１は、ガラス板の保管や運送に用いられる。そして、保管や運送の後で、運搬具５１が昇降装置５２に置かれる。
【００６７】
昇降装置５２は、割出し上下機構である。割出し上下機構は、あらかじめプロセス装置の搬入部１１００の手前に設置されている。昇降装置５２は、テーブル５２Ａと本体５２Ｂとを備えている。テーブル５２Ａ上には、運搬具５１を置くことができる。本体５２Ｂは、図示を省略しているアクチュエータおよび位置検出器を内部に備えている。
【００６８】
アクチュエータは、空気圧でシャフト５２Ｃを上下方向に、つまり方向Ｃおよびその逆方向に動かす。このような空気圧による駆動装置の他に、機械的な駆動装置がある。その一例として、ボールねじを用いた駆動装置がある。ボールねじは、ナットと棒状のねじとの間に多数のボールが挿入された構造であり、精密な送りを可能にする。
【００６９】
本体５２Ｂは、アクチュエータによる１回の移動によって、シャフト５２Ｃの先端に取り付けられているテーブル５２Ａを所定のピッチつまり収納ユニット５１Ａの厚みだけ移動する。このとき、位置検出器がテーブル５２Ａの位置を検出し、本体５２Ｂは、検出されたテーブル位置に基づいて、アクチュエータを駆動する。この駆動によって、本体５２Ｂは、あらかじめ設定されたサイクル時間毎に、テーブル５２Ａを初期位置から順に方向Ｃに降ろす。初期位置は、運搬具５１の一番下側の収納ユニット５１Ａの搬出口と、搬入部１１００の搬送面１１０１とが一致するように設定されている。もちろん、初期位置として任意の段の収納ユニット５１Ａを選択することも可能である。
【００７０】
テーブル５２Ａの移動が終了した後、運搬具５１がテーブル５２Ａに置かれると、テーブル５２Ａは、信号線５２Ｄを経由して、終了を示す終了信号を供給装置５３に、自動的に出力する。また、一番上側の収納ユニット５１Ａを搬入部１１００に移動する作業が終了すると、本体５２Ｂは、次のサイクル時間でテーブル５２Ａを初期位置に戻し、先の一連の動作を繰り返す。
【００７１】
供給装置５３は、図１６に示すように、制御部５３Ａ、供給部５３Ｂ、電磁弁５３Ｃおよび結合部５３Ｄを備えている。
【００７２】
制御部５３Ａは、信号線５２Ｄから終了信号を受け取ると、第１駆動信号を結合部５３Ｄに送る。第１駆動信号を出力した後、所定時間が経過すると、制御部５３Ａは、第２駆動信号を供給部５３Ｂに送る。また、第２駆動信号を出力した後、所定の遅延時間が経過すると、制御部５３Ａは、第３駆動信号を電磁弁５３Ｃに送る。サイクル時間が終了するまで、制御部５３Ａは、第１駆動信号、第２駆動信号および第３駆動信号を送り続ける。
【００７３】
結合部５３Ｄは、駆動装置５３Ｄ1と、図１７に示すように、結合器５３Ｄ2，５３Ｄ3とを備えている。
【００７４】
駆動装置５３Ｄ1は、制御部５３Ａから第１駆動信号を受け取っている間だけ、結合器５３Ｄ2，５３Ｄ3を収納ユニット５１Ａに向けて、すなわち、方向Ｄに移動させる。
【００７５】
結合器５３Ｄ2および結合器５３Ｄ3は、収納ユニット５１Ａの浮上用気体供給口５１Ａ1および排出用気体供給口５１Ａ2とそれぞれ向かい合うように配置されている。結合器５３Ｄ2および結合器５３Ｄ3は、駆動装置５３Ｄ1によって方向Ｄに移動されると、浮上用気体供給口５１Ａ1および排出用気体供給口５１Ａ2にそれぞれ挿入される。結合器５３Ｄ2および結合器５３Ｄ3には、後述するように、配管５３Ｅおよび配管５３Ｆから気体がそれぞれ流れ込む。そして、結合器５３Ｄ2および結合器５３Ｄ3は、供給された気体を浮上用気体供給口５１Ａ1および排出用気体供給口５１Ａ2にそれぞれ流す。
【００７６】
供給部５３Ｂは、制御部５３Ａから第２駆動信号を受け取ると、気体を配管５３Ｅに流す。このとき使用される気体は、清浄なドライエアー、高純度窒素、他の不活性ガス等多種からあらかじめ選択される。供給部５３Ｂからの気体は、配管５３Ｅを経由して、結合器５３Ｄ2と電磁弁５３Ｃとに流れる。
【００７７】
電磁弁５３Ｃは、制御部５３Ａからの第３駆動信号によって動作する弁である。つまり、電磁弁５３Ｃは、第３駆動信号を受け取ると開状態になり、供給部５３Ｂからの気体を配管５３Ｆに流す。電磁弁５３Ｃからの気体は、配管５３Ｆを経由して、結合器５３Ｄ3に流れる。
【００７８】
次に、実施の形態５の動作について説明する。
【００７９】
運搬具５１がガラス板の運搬や保管を行う。ガラス板の運搬や保管が終了すると、運搬具５１が昇降装置５２のテーブル５２Ａに置かれる。これによって、本体５２Ｂが終了信号を供給装置５３に送る。
【００８０】
供給装置５３の制御部５３Ａは、終了信号を受け取ると、第１駆動信号を結合部５３Ｄに送る。第１駆動信号を受け取っている間だけ、結合部５３Ｄの駆動装置５３Ｄ1が結合器５３Ｄ2，５３Ｄ3を収納ユニット５１Ａに向けて移動させる。結合器５３Ｄ2および結合器５３Ｄ3が駆動装置５３Ｄ1によって方向Ｄに移動されると、浮上用気体供給口５１Ａ1および排出用気体供給口５１Ａ2にそれぞれ挿入される。
【００８１】
結合器５３Ｄ2および結合器５３Ｄ3の挿入がそれぞれ終了すると、つまり、第１駆動信号の出力後、所定時間が経過すると、制御部５３Ａが第２駆動信号を供給部５３Ｂに送る。
【００８２】
供給部５３Ｂは、第２駆動信号を受け取ると、気体を配管５３Ｅに流す。供給部５３Ｂからの気体が配管５３Ｅを経由して結合器５３Ｄ2と電磁弁５３Ｃとに流れる。結合器５３Ｄ2は、供給された気体を浮上用気体供給口５１Ａ1に流す。これによって、収納ユニット５１Ａ内のガラス板が浮上する。ガラス板が浮上すると、つまり、第２駆動信号の出力後、遅延時間が経過すると、制御部５３Ａが第３駆動信号を電磁弁５３Ｃに送る。
【００８３】
第３駆動信号を受け取ると、電磁弁５３Ｃが開状態になり、供給部５３Ｂからの気体が配管５３Ｆを経由して結合器５３Ｄ3に流れる。結合器５３Ｄ3は、供給された気体を排出用気体供給口５１Ａ2に流す。これによって、収納ユニット５１Ａ内の浮上しているガラス板が、搬入部１１００の搬送面１１０１に向けて排出される。
【００８４】
このようにして、実施の形態５によって、複数の収納ユニット５１Ａを備える運搬具５１が昇降装置５２に置かれると、運搬具５１内のガラス板を順にプロセス装置に自動的に排出することができる。
【００８５】
また、ガラス板を取り出すためのロボット装置を不要にして、ガラス板を非接触で、つまり、ガラス板の上面を吸着することなく、かつ、下面をこすることなく、ガラス板を排出することができる。さらに、ガラス板を取り出すためのロボット装置が不要となる等の設備投資の削減効果が非常に大きい。
【００８６】
また、ガラスメーカ側がクリーンルーム内で収納容器である運搬具５１に入れれば、運搬具５１をそのまま輸送荷姿梱包としてエンドユーザまで輸送することが可能になる。エンドユーザ側では、受け取った運搬具５１を移し替えることなしに、運搬具５１をプロセス装置に直結することができる。ガラスメーカ側およびエンドユーザ側では、収納ユニット５１Ａを繰り返して使用することができるので、ガラス板の輸送の合理化が可能になる。
【００８７】
さらに、実施の形態５では、収納装置５からのガラス板の搬出について述べたが、逆に、ガラス板を収納装置５に搬入して、収納装置５を保管装置として使用することも可能である。この場合には、搬送されてくるガラス板の補足ブレーキとして、排出用気体噴出孔の気体噴出を使うことができる。
【００８８】
［発明の実施の形態６］
実施の形態６では、この発明による収納装置について述べる。図１８は、この発明の実施の形態６に係わる板状基体の収納装置の構成を示す構成図である。図１９は、実施の形態６の収納ユニットの平面図である。図２０は、図１９の斜視図である。図２１は、収納ユニットの部分断面図である。図２２は、コネクタを示す斜視図である。なお、図１８〜２２では、先に説明した図１〜６の収納ユニットと同一または同一と見なされる構成要素には、それと同じ符号が付けられている。
【００８９】
図１８に示すように、実施の形態６の収納装置６は、運搬具６１と昇降装置６２とを備えている。収納装置６の昇降装置６２が台６Ａ上に設置され、収納装置６が実施の形態５と同様にプロセス装置の搬入部１１００に接近して設置されている。
【００９０】
運搬具６１は、収納ユニット６１Ａを積み重ねたものである。収納ユニット６１Ａは、実施の形態１〜４の収納ユニットの第１中空部１２および第２中空部１３を次のように変更したものである。つまり、実施の形態１〜４の第１中空部１２から浮上用気体供給口１２Ｃを除き、第２中空部１３から排出用気体供給口１３Ｃを除いた構造である。
【００９１】
さらに、図１９に示すように、収納ユニット６１Ａでは、第１中空部１２の本体部分１２Ａに接続管６１Ａ1の一端が接続されている。なお、図１９では、側壁１１Ｂ〜１１Ｄの噴出孔１５〜１８の図示を省略している。接続管６１Ａ1は、パイプ状であり、気体を流すためのものである。接続管６１Ａ1の他端が第２中空部１３の本体部分１３Ａに接続されている。これによって、本体部分１２Ａからの気体が本体部分１３Ａに流れる。
【００９２】
接続管６１Ａ1の途中には、電磁弁６１Ａ2が取り付けられている。電磁弁６１Ａ2は、通常、閉状態にあり、気体が接続管６１Ａ1に流れることを阻止する。電磁弁６１Ａ2は、第２制御信号を受け取った時点から遅延時間後に動作する。つまり、電磁弁６１Ａ2は、遅延時間だけ遅れて開状態になり、気体を接続管６１Ａ1に流す。遅延時間の発生のために、電磁弁６１Ａ2は、抵抗とコンデンサとで第２制御信号を遅らせる遅延回路を内部に備えている。
【００９３】
第２制御信号は、図２０に示すように、コネクタ６１Ａ3を経由して電磁弁６１Ａ2に加えられる。コネクタ６１Ａ3は、図２１に示すように、収納ユニット６１Ａの上下を貫通して設けられた円形の穴６１Ａ4に挿入されている。コネクタ６１Ａ3は、図２２に示すように、絶縁体で作られた円柱部６０１を備えている。円柱部６０１には、共通電極６１０と選択電極６２１〜６３１とが設けられている。そして、各収納ユニット６１Ａの電磁弁６１Ａ2には、選択電極６２１〜６３１の中の１つと共通電極６１０とが接続されている。これら２つの電極に加えられる各信号が第２制御信号である。
【００９４】
収納ユニット６１Ａの上面には、第１クイックコネクタ６１Ａ5（図２０参照）が設けられている。第１クイックコネクタ６１Ａ5は、第１中空部１２の本体部分１２Ａに接続されている。第１クイックコネクタ６１Ａ5は、通常、閉じていて、本体部分１２Ａ内の気体を外部に逃がさない。第２クイックコネクタ（図示を省略）が第１クイックコネクタ６１Ａ5に挿入されると、第１クイックコネクタ６１Ａ5が開いて、本体部分１２Ａの気体を外部に流す。図２０では、図示が省略されているが、第１クイックコネクタ６１Ａ5と向かい合うように、第２クイックコネクタが収納ユニット６１Ａの下面に設けられている。
【００９５】
収納ユニット６１Ａの上面には、実施の形態４と同様に、２つの円筒形の結合ピン６１Ａ6が設けられている。収納ユニット６１Ａの下面には、結合ピン６１Ａ6と向かい合うように、かつ、結合ピン６１Ａ6と嵌合する凹部（図示を省略）が設けられている。
【００９６】
昇降装置６２は、テーブル６２Ａと本体６２Ｂとを備えている。テーブル６２Ａには、収納ユニット６１Ａの穴６１Ａ4、第２クイックコネクタおよび２つの凹部と同じ位置に、コネクタ６１Ａ3、第１クイックコネクタ６１Ａ5および２つの結合ピン６１Ａ6が設けられている。これによって、運搬具６１の収納ユニット６１Ａの中で一番下側の収納ユニット６１Ａの穴６１Ａ4、第２クイックコネクタおよび２つの凹部が、テーブル６２Ａのコネクタ６１Ａ3、第１クイックコネクタ６１Ａ５および２つの結合ピン６１Ａ6とそれぞれ嵌合する。特に、穴６１Ａ4の内部では、２つのコネクタ６１Ａ3の共通電極６１０および選択電極６２１〜６３１が接触によって互いに電気的に接続される。
【００９７】
本体６２Ｂは、図示を省略しているが、実施の形態５の昇降装置５２と同じ割出し上下機構を内部に備えている。さらに、本体６２Ｂは、制御部６２Ｂ1と供給部６２Ｂ2とを内部に備えている。割出し上下機構によるテーブル６２Ａの移動が終了すると、制御部６２Ｂ1は、供給部６２Ｂ2に第１制御信号を送る。第１制御信号を出力した後、所定時間が経過すると、制御部６２Ｂ1は、信号線６２Ｂ3を経由して、テーブル６２Ａのコネクタ６１Ａ3に第２制御信号を送る。第２制御信号は、搬入部１１００と向かい合っている収納ユニット６１Ａを選択するための信号である。
【００９８】
供給部６２Ｂ2は、制御部６２Ｂ1から第１制御信号を受け取ると、配管６２Ｂ4を経由して、テーブル６２Ａの第１クイックコネクタ６１Ａ5に気体を供給する。使用される気体として、清浄なドライエアー、高純度窒素、他の不活性ガス等多種からあらかじめ選択することができる。
【００９９】
次に、実施の形態６の動作について述べる。
【０１００】
運搬具６１が昇降装置６２のテーブル６２Ａに置かれると、制御部６２Ｂ1が第１制御信号を供給部６２Ｂ2に送る。第１制御信号を受け取ると、供給部６２Ｂ2が配管６２Ｂ4を経由して、テーブル６２Ａの第１クイックコネクタ６１Ａ5に気体を流す。これによって、収納ユニット６１Ａ内のガラス板が浮上する。
【０１０１】
ガラス板が浮上すると、つまり、第１制御信号の出力後から、遅延時間が経過すると、信号線６２Ｂ3を経由して、制御部６２Ｂ1が第２制御信号をコネクタ６１Ａ3に送る。第２制御信号を受け取ると、この信号が加えられた収納ユニット６１Ａの電磁弁６１Ａ2が開状態になり、第１中空部１２の本体部分１２Ａからの気体が電磁弁６１Ａ2を経由して第２中空部１３の本体部分１３Ａに流れる。これによって、収納ユニット６１Ａ内の浮上しているガラス板が、搬入部１１００の搬送面１１０１に向けて排出される。
【０１０２】
このようにして、実施の形態６によって、複数の収納ユニット６１Ａを備える運搬具６１が昇降装置６２に置かれると、運搬具６１内のガラス板をプロセス装置に自動的に排出することができる。また、ガラス板を取り出すためのロボット装置を不要にして、ガラス板を非接触で、つまり、ガラス板の上面を吸着することなく、かつ、下面をこすることなく、ガラス板を排出することができる。この場合にも、初期位置として任意の段の収納ユニット５１Ａを選択することが可能である。
【０１０３】
[発明の実施の形態７]
実施の形態７では、この発明による収納装置に用いられる運搬具について述べる。図２３は、この発明の実施の形態７に係わる運搬具を説明する説明図である。
【０１０４】
実施の形態７の収納装置は、運搬具を外気から遮断する密閉装置を備える。
【０１０５】
実施の形態７の収納装置に用いられる運搬具ついて、以下では詳細に説明する。図２３に示すように、実施の形態７では、実施の形態５の運搬具５１の運送や保管の際に、運搬具５１に対して密閉具７が装着される。なお、運搬具５１には、蓋５１Ｂが被されている。密閉具７は、台部分７１、遮蔽板７２，７３およびコンテナケース７４を備えている。
【０１０６】
台部分７１は、運搬具５１を置くためのものであり、四角形状をしている。
【０１０７】
遮蔽板７２は、運搬具５１の各収納ユニット５１Ａの搬出口５１Ａ１側を覆うものであり、遮蔽板７３は、収納ユニット５１Ａの浮上用気体供給口５１Ａ２側を覆うものである。遮蔽板７２，７３によって、運搬具５１のすべての開口部分が覆われる。遮蔽板７２，７３には、図示が省略されているが、遮蔽板７２，７３の転倒を防ぐために遮蔽板７２，７３に挿入される棒状の固定具が台部分７１に設けられている。
【０１０８】
コンテナケース７４は、装着具７４Ａとカバー７４Ｂとを備えている。装着具７４Ａは、台部分７１と嵌合する四角形状であり、台部分７１と密着するするものである。カバー７４Ｂは、装着具７４Ａに取り付けられた袋状のものであり、運搬具５１を覆うような大きさをしている。
【０１０９】
このような構成の密閉具７は、次のようにして用いられる。運搬具５１の運搬や保管をする場合、クリーンな雰囲気の中で作業者が運搬具５１を台部分７１に載せる。この後、作業者がコンテナケース７４の装着具７４Ａを台部分７１に装着する。これによって、コンテナケース７４内に局所清浄空間７５が形成される。この結果、運搬具５１内の各ガラス板が外気と遮断され、外気の流れによって運ばれてくる塵等によるガラス板の汚染を防ぐことができる。
【０１１０】
[発明の実施の形態８]
実施の形態８では、この発明による収納ユニットについて述べる。図２４は、この発明の実施の形態８に係わる収納ユニットを説明する説明図である。
【０１１１】
図２４に示すように、収納ユニット８は、実施の形態１〜４の収納ユニットおよび実施の形態５〜７の運搬具に用いられている収納ユニットの本体部の代わりに、本体部８０が用いられている。本体部８０では、搬出口８１Ａと向かい合う窪み８１の部分が半円形状に加工されている。
【０１１２】
これによって、半円形状の側壁８１Ｂが形成される。側壁８１Ｂには、実施の形態１〜４と同じように、排出用噴出部が設けられている。同様にして、浮上用噴出部だけ、または、浮上用噴出部と排出用噴出部との両方が本体部８０の底面８１Ｃに設けられている。なお、図２４では、各噴出部とそれに伴う噴出孔の図示を省略している。
【０１１３】
これによって、収納対象が四角形状のガラス板などに限定されることがなく、円形状の板状基体全般、例えば、大型のシリコンウエハを収納ユニット８に収納することが可能になる。さらに、板状基体の形状に合わせて、本体部の側壁を加工すれば、任意形状の板状基体を収納することも可能になる。
【０１１４】
[発明の実施の形態９]
実施の形態９では、この発明による収納ユニットについて述べる。図２５は、この発明の実施の形態９に係わる板状基体の収納ユニットを示す平面図である。図２６は、図２５のＩＶ−ＩＶ断面を示す断面図である。図２７は、図２５のＶ−Ｖ断面を示す断面図である。
【０１１５】
実施の形態９による収納ユニットは、図２５に示すように、本体部１０１と固定部１０２とを備えている。
【０１１６】
本体部１０１は、本体部分１０１Ａと側部分１０１Ｂ，１０１Ｃとを備えている。本体部分１０１Ａは、内部が中空である厚みの薄い直方体であり、本体部１０１Ａの上部が平面１０１Ａ1である。平面１０１Ａ1には、多数の噴出孔１０１Ａ2が空けられている。噴出孔１０１Ａ2は、実施の形態１と同じように、ガラス板の浮上用である。このために、図２６に示すように、噴出孔１０１Ａ2が供給路１０３からの気体を噴出する。
【０１１７】
本体部分１０１Ａの両側には、内部が中空である側部分１０１Ｂ，１０１Ｃが、一体的に取り付けられている。側部分１０１Ｂ，１０１Ｃの高さが、実施の形態１と同じように、本体部分１０１Ａに比べて高くなっている。側部分１０１Ｂ，１０１Ｃの互いに向かい合う前面１０１Ｂ1，１０１Ｃ1が、実施の形態１と同じように傾斜している。前面１０１Ｂ1，１０１Ｃ1には、噴出孔１０１Ｂ2，１０１Ｃ2が空けられている。噴出孔１０１Ｂ2，１０１Ｃ2は、実施の形態１と同じように、平面１０１Ａ1の中心１０１Ｄにガラス板を移動するためのものであり、供給路１０３に供給された気体を噴出する。
【０１１８】
このような本体部１０１は、平板の組み合わせによって作られている。つまり、各種サイズの平板が溶接等でつなぎ合わされることによって、本体部１０１が形成される。
【０１１９】
本体部１０１には、固定部１０２が取り付けられている。本体部１０１に対する固定部１０２の取り付けの様子は、次のとおりである。つまり、図２７に示すように、内部が中空である本体部１０１に対して、同じく内部が中空である固定部１０２が一体的に取り付けられている。このとき、本体部１０１と固定部１０２との間が、仕切り板１０４で仕切られている。この固定部１０２と側部分１０１Ｂ，１０１Ｃとによって、壁部が形成されている。
【０１２０】
実施の形態１と同様に、浮上用の気体を供給する供給路１０３が固定部１０２の内部を通っている。供給路１０３の一端が仕切り板１０４に接続され、また、供給路１０３の他端が浮上用気体供給口１０３Ａとして、テーパ状に加工されている。また、図示を省略しているが、実施の形態１と同様に、固定部１０２には、浮上用気体供給口１０３Ａと並ぶようにして、排出用気体供給口が空けられている。
【０１２１】
固定部１０２の平面１０１Ａ1側の前面１０２Ａには、多数の噴出孔１０２Ａ1が空けられている。噴出孔１０２Ａ1は、実施の形態１と同じように、ガラス板の排出用であり、先の排出用気体供給口に供給された気体を噴出する。
【０１２２】
こうして、実施の形態９では、各種サイズの平板の組み合わせによって、収納ユニットが作られるので、収納ユニットの製造を簡単に行うことを可能にする。
【０１２３】
なお、実施の形態９では、平面１０１Ａ1に浮上用の噴出孔１０１Ａ2だけを設けたが、実施の形態１と同様に、排出用の噴出孔を平面１０１Ａ1に設けてもよい。この場合、固定部１０２に通じる仕切りを排出用の噴出孔に設けて、固定部１０２に供給された気体を排出用の噴出孔に流すようにすればよい。
【０１２４】
[発明の実施の形態１０]
実施の形態１０では、この発明による収納ユニットについて述べる。図２８は、この発明の実施の形態１０に係わる板状基体の収納ユニットを示す分解斜視図である。図２９は、図２８の収納ユニットを組み立てた状態を示す斜視図である。
図３０は、図２９の平面図である。図３１は、図３０のＶＩ−ＶＩ断面を示す断面図である。図３２は、図３１の嵌合穴を示す断面図である。図３３は、図２８の可動部の正面図である。図３４は、図３３の可動部の底面図である。図３５は、図２８の可動部の位置を変更したときの様子を示す平面図である。
【０１２５】
実施の形態１０の板状基体の収納ユニットは、図２８に示すように、板状基体を置くための保持面（平面１１１Ａ）を具備する本体部１１１と、保持面の一端側に設けられると共に、保持面に置かれている板状基体が一端側に移動することを防ぐ第１壁部（固定部１１２）と、板状基体が直角方向にそれぞれ移動することを防ぐと共に、保持面にそれぞれ着脱可能に取り付けられる第２および第３壁部（可動部１１３，１１４）と、第２および第３壁部にそれぞれ設けられると共に、前記第２および第３壁部を前記保持面に取り付けるための第１固定手段と、第１固定手段とそれぞれ係合して第２および第３壁部を保持面に固定すると共に、直角方向に対して順に並んで設けられているｎ組の第２固定手段（嵌合穴列１１７，１１８）と、保持面に置かれている板状基体を保持面から浮上させるために、供給された気体を保持面から噴出する浮上用噴出部（複数の噴出孔１１５Ａ）と、浮上用噴出部によって浮上している板状基体を、移動方向に押し出す排出部（複数の（噴出孔１１２Ａ1）とを備えることを特徴とする。
【０１２６】
実施の形態１０による板状基体の収納ユニットについて、以下では詳細に説明する。
【０１２７】
図２８，２９に示すように、本体部１１１、固定部１１２および可動部１１３，１１４を備えている。
【０１２８】
本体部１１１は、内部が中空である厚みの薄い直方体であり、本体部１１１の上部が平面１１１Ａである。平面１１１Ａの一方の端には、細長形状の直方体の固定部１１２が取り付けられている。このとき、図３０に示すように、縦方向の距離、つまり、平面１１１Ａの他方の端から固定部１１２までの長さがＬ１である。平面１１１Ａの両端には、細長形状の可動部１１３，１１４が取り付け可能である。後で述べるように、可動部１１３，１１４の取り付け位置を変えることができる。可動部１１３，１１４の取り付けに際して、横方向の最大距離、つまり、可動部１１３から可動部１１４までの最大長がＬ２（図３０）である。
【０１２９】
本体部１１１に対する固定部１１２の取り付けの様子は、次のとおりである。つまり、図３１に示すように、内部が中空である本体部１１１に対して、同じく内部が中空である固定部１１２が一体的に取り付けられている。このとき、実施の形態９と同じように、本体部１１１と固定部１１２との間が、仕切り板１１０Ａで仕切られている。また、実施の形態１と同様に、浮上用の気体を供給する供給路１１９Ａが固定部１１２の内部を通っている。供給路１１９Ａの一端が仕切り板１１０Ａに接続され、また、供給路１１９Ａの他端が浮上用気体供給口１１９Ｂとして、テーパ状に加工されている。また、図示を省略しているが、実施の形態１と同じように、固定部１１２には、浮上用気体供給口１１９Ｂと並ぶようにして、排出用気体供給口が空けられている。
【０１３０】
平面１１１Ａの方に向いている固定部１１２の前面１１２Ａには、多数の噴出孔１１２Ａ1が空けられている。噴出孔１１２Ａ1は、実施の形態１と同様に、ガラス板の排出用であり、先の排出用気体供給口に供給された気体を噴出する。
【０１３１】
固定部１１２と可動部１１３，１１４とで囲まれた平面１１１Ａの中で最大の部分、つまり、縦の長さがＬ１であり横の長さがＬ２である部分（以下、最大面部分と記す）には、複数の噴出孔列１１５が等間隔で設けられている。１つの噴出孔列１１５には、多数の噴出孔１１５Ａが縦方向に並べられている。噴出孔１１５Ａは、実施の形態１と同じようにガラス板の浮上用である。
【０１３２】
さらに、最大面部分を挟むように、かつ、噴出孔列１１５と同じ間隔で、別の噴出孔列１１６が１列づつ設けられている。噴出孔列１１６の各噴出孔１１６Ａは、噴出孔１１５Ａと同じようにガラス板の浮上用である。
【０１３３】
平面１１１Ａには、２組の第２固定手段として嵌合穴列１１７，１１８がそれぞれ設けられている。なお、嵌合穴列が２組に限られることはない。嵌合穴列１１７は、互いに縦方向に離れている２つの円形の嵌合穴１１７Ａを備えている。嵌合穴列１１７は、可動部１１３，１１４の位置決め用である。嵌合穴１１７Ａには、この穴と同じ直径であり、かつ、後で述べる突起部分の長さに等しい深さを持つ嵌合筒部１１７Ｂが取り付けられている。嵌合筒部１１７Ｂは、図３２に示すように、筒状の筒部分１１７Ｂ1を備え、かつ、筒部分１１７Ｂ1の下側を底部分１１７Ｂ2で閉じた構造である。このような構造によって、本体部１１１に供給された気体が嵌合穴１１７Ａから吹き出ることが防止される。嵌合穴列１１８の嵌合穴１１８Ａに対しても、嵌合穴１１７Ａと同様に、嵌合筒部（図示を省略）が取り付けられている。
【０１３４】
嵌合穴列１１７の配置は次のとおりである。つまり、嵌合穴列１１７は、本体部１１１の側壁から距離Ｌ３（図３０）だけ離れて配置されている。距離Ｌ３は次のように設定されている。可動部１１３，１１４が平面１１１Ａの中心方向に移されたとき、可動部１１３，１１４の底面が噴出孔列１１６を塞ぐように、距離Ｌ３が決められている。これによって、可動部１１３，１１４が平面１１１Ａの中心に向かって移されたとき、噴出孔列１１６からの気体が平面１１１Ａから噴出されることがない。つまり、ガラス板に噴出されない無駄な気体が、平面１１１Ａから噴出されることが防止されている。
【０１３５】
嵌合穴列１１８の配置は、次のとおりである。つまり、嵌合穴列１１８は、嵌合穴列１１７から距離Ｌ４（図３０）だけ離れて、かつ、平面１１１Ａの中心側にそれぞれ配置されている。嵌合穴列１１８から嵌合穴列１１７までの距離が可動部１１３，１１４の移動距離になる。
【０１３６】
このように配置された嵌合穴列１１７，１１８の嵌合穴１１７Ａ，１１８Ａに嵌合する部材が、可動部１１３，１１４に設けられている。可動部１１３の底面１１３Ａに対して、図３３に示すように、２つの突起部分１１３Ｂが嵌合部材として設けられている。突起部分１１３Ｂの周囲には、シート１１３Ｂ1が巻き付けられている。シート１１３Ｂ1は、合成ゴム等の弾性材で作られている。これらの突起部分１１３Ｂとシート１１３Ｂ1とが第１固定手段を形成する。シート１１３Ｂ1によって、突起部分１１３Ｂが嵌合穴１１７Ａ，１１８Ａに密着して固定される。可動部１１４にも、可動部１１３と同じように２つの突起部分が設けられている。
【０１３７】
可動部１１３の内部は中空状態（図３１）になっている。可動部１１４と向かい合う可動部１１３の前面１１３Ｃが傾斜している。前面１１３Ｃには、多数の噴出孔１１３Ｃ1が空けられている。噴出孔１１３Ｃ1は、実施の形態１と同じように、ガラス板の排出用であり、可動部１１３に供給された気体を噴出する。可動部１１４の前面１１４Ｃにも、噴出孔１１３Ｃ1と同じ噴出孔１１４Ｃ1が設けられている。
【０１３８】
可動部１１３，１１４に気体を供給するための構造は、次のとおりである。可動部１１３の場合、図３４に示すように、その底面１１３Ａには開口１１３Ｄが空けられている。開口１１３Ｄは、幅が噴出孔１１５Ａ，１１６Ａの直径より大きな、細長形状の穴である。開口１１３Ｄが設けられている位置は、次のとおりである。可動部１１３，１１４が嵌合穴列１１７によって平面１１１Ａにそれぞれ固定された場合、固定部１１２と可動部１１３，１１４とで囲む部分が最大面部分であるとき、開口１１３Ｄが噴出孔列１１６と向かい合うように配置されている。なお、図３４では、噴出孔列１１６を鎖線で示している。開口１１３Ｄの配置に際して、嵌合穴１１７Ａと交差しないように、開口１１３Ｄの長さが短くなっている。これによって、開口１１３Ｄから可動部１１３に入り込んだ気体が嵌合穴１１７Ａから逃げることが防止されている。
【０１３９】
このような構造によって、噴出孔列１１６の噴出孔１１６Ａから開口１１３Ｄを通って、気体が可動部１１３に供給される。可動部１１３の前面１１３Ｃに設けられている噴出孔１１３Ｃ1が、可動部１１３に供給された気体を、平面１１１Ａの中心に向けて噴出する。可動部１１４も可動部１１３と同じようにして、噴出孔列１１６から供給された気体を噴出する。
【０１４０】
このような構造の収納ユニットによれば、可動部１１３と可動部１１４との距離がＬ２になるように、つまり、可動部１１３，１１４の突起部分１１３Ｂを嵌合穴列１１７の嵌合穴１１７Ａに挿入すると、この収納ユニットに収納することができる最大幅のガラス板の運搬、保存が可能になる。また、可動部１１３，１１４の突起部分１１３Ｂを嵌合穴列１１８の嵌合穴１１８Ａに挿入すると、図３５に示すように、可動部１１３，１１４が距離Ｌ４だけ平面１１１Ａの中心に向かってそれぞれ移動し、可動部１１３と可動部１１４との距離がＬ５になる。距離Ｌ５が距離Ｌ２に比べて小さくなるので、幅の狭いガラス板の運搬、保存用に収納ユニットを変更することができる。
【０１４１】
このように、実施の形態１０によれば、可動部１１３，１１４を差し替えるだけの簡単な作業で、異なる幅のガラス板に応じることが可能になる。
【０１４２】
[発明の実施の形態１１]
実施の形態１１では、この発明による収納ユニットについて述べる。図３６は、この発明の実施の形態１１に係わる板状基体の収納ユニットを示す平面図である。図３７は、図３６のＶＩＩ−ＶＩＩ断面を示す断面図である。図３８は、図３６の可動部の底面図である。図３９は、他の可動部の底面図である。
【０１４３】
実施の形態１１による収納ユニットでは、図３６に示すように、実施の形態１０の本体部１１１に設けられた噴出孔列１１６の代わりに、気体導入部１２１が用いられ、また、実施の形態１０の可動部１１３，１１４の代わりに、可動部１２２，１２３が用いられている。
【０１４４】
気体導入部１２１はＬ字形の筒である。気体導入部１２１は、本体部１１１の最大面部分の外側にそれぞれ設けられている。図３７に示すように、気体導入部１２１の一端が、本体部１１１と固定部１１２との間の仕切り板１１０Ａに接続されている。なお、図３７では、供給路１１９Ａおよび浮上用気体供給口１１９Ｂ（図３１）の図示を省略している。また、気体導入部１２１の他端が最大面部分の外側に接続され、平面１１１Ａには、開口１２１Ａが形成されている。
【０１４５】
開口１２１Ａの設置位置は、次のとおりである。つまり、可動部１２２，１２３が平面１１１Ａの嵌合穴列１１８に移されたとき、可動部１２２，１２３の底面が開口１２１Ａの上にそれぞれ位置して、開口１２１Ａを塞ぐように、開口１２１Ａが設置されている。このような気体導入部１２１によって、固定部１１２に供給された気体が、気体導入部１２１をそれぞれ流れて、開口１２１Ａから可動部１２２，１２３に供給される。
【０１４６】
気体の供給を受ける可動部１２２は、次のような構造である。つまり、実施の形態１０の可動部１１３に設けられている開口１１３Ｄの代わりに、図３８に示すように、可動部１２２の底面１２２Ａに開口１２２Ｂ1，１２２Ｂ2が空けられている。開口１２２Ｂ1，１２２Ｂ2は、円形であり、突起部分１２２Ｃの間に位置している。突起部分１２２Ｃは、実施の形態１０の突起部分１１３Ｂと同じものであり、かつ、同じ位置に設けられている。また、開口１２２Ｂ1は、開口１２２Ｂ2から間隔Ｌ６だ離れた所に配置されている。なお、開口１２２Ｂ1，１２２Ｂ2の代わりに、図３９に示すように、開口１２２Ｂ1と開口１２２Ｂ2とを連結した穴１２２Ｄを底面１２２Ａに空けてもよい。可動部１２３にも、可動部１２２と同じような開口が空けられている。
【０１４７】
このような構造の収納ユニットによれば、実施の形態１０と同じように、可動部１２２，１２３の突起部分１２２Ｃを嵌合穴列１１７または嵌合穴列１１８に置くことによって、異なる幅のガラス板用に応じることが可能になる。
【０１４８】
[発明の実施の形態１２]
実施の形態１２では、この発明による収納ユニットについて述べる。図４０は、この発明の実施の形態１２に係わる板状基体の収納ユニットを示す平面図である。図４１は、図４０の可動部の側面である。図４２は、本体部の他の例を示す斜視図である。
【０１４９】
実施の形態１２による収納ユニットでは、可動部に対する気体の供給を固定部から行っている。つまり、図４０に示すように、固定部１１２の前面１１２Ａに設けられている噴出孔１１２Ａ1の列の両側に、複数の噴出孔１３１が並んで空けられている。噴出孔１３１は、固定部１１２に供給された気体を噴出する。
【０１５０】
実施の形態１２では、実施の形態１０の可動部１１３，１１４の代わりに、可動部１３２，１３３が用いられている。図４１に示すように、固定部１１２の前面１１２Ａと向かい合う可動部１３２の側面１３２Ａには、細長形状の気体導入部１３２Ｂが空けられている。気体導入部１３２Ｂの位置は、次のとおりである。つまり、突起部分１１３Ｂが嵌合穴列１１７に挿入されているとき、可動部１３２の気体導入部１３２Ｂがすべての噴出孔１３１と向かい合うように、かつ、突起部分１１３Ｂが嵌合穴列１１８に挿入されているとき、気体導入部１３２Ｂが噴出孔１１２Ａ1と向かい合うように、気体導入部１３２Ｂは配置されている。
【０１５１】
可動部１３３は、可動部１３２と同様である。
【０１５２】
このような構造の収納ユニットによれば、実施の形態１０と同じように、可動部１３２，１３３の突起部分１１３Ｂを嵌合穴列１１７または嵌合穴列１１８に挿入することによって、異なる幅のガラス板用に応じることが可能になる。
【０１５３】
以上、実施の形態１〜１２について説明したが、この発明は、これらの実施の形態に限定されることはない。例えば、実施の形態１〜４および実施の形態８〜１２では、ガラス板を排出するために、気体の噴出を利用したが、特に、これに限定されることはない。例えば、機械的な突き出し力によって、ガラス板を排出してもよい。
【０１５４】
また、実施の形態７では、実施の形態５の運搬具５１に対して密閉具７を装着する場合について説明したが、実施の形態６の運搬具６１に対しても密閉具７の装着が可能である。この場合には、遮蔽板７３を省くことができる。
【０１５５】
実施の形態１〜７で用いられている本体部１０，３０，４０および実施の形態９〜１２で用いられている本体部１０１，１１１の代わりに、図４２に示す本体部２００を用いてもよい。なお、図４２では、噴出孔の図示を省略している。本体部２００では、浮上したガラス板との接触を防ぐために、窪み２０１が設けられている。このような本体部２００を用いることによって、厚みの大きいガラス板の収納が可能になる。
【０１５６】
また、実施の形態４の結合ピンの配置、および、実施の形態６のコネクタ６１Ａ3と第１クイックコネクタ６１Ａ5と結合ピン６１Ａ6との配置が本体部の上面の隅に限定されることがなく、上面の任意の所に配置することが可能である。結合ピンの数も少なくとも１つあればよい。
【０１５７】
さらに、実施の形態１〜１２では、収納ユニットを積み重ねたときに、搬出口を覆い、かつ、ガラス板の上下振動を押さえる形状のクッション材を挿入してもよい。このようなクッション材は、気体を収納ユニットに供給した際に、搬出口を覆っているので、最初に外部に排出される。この後、ガラス板の排出が行われる。
【０１５８】
【発明の効果】
以上、説明したように、この発明は、板状基体を置くための保持面を具備する本体部と、保持面の一端およびこの一端の両側の端に設けられると共に、板状基体が３つの端に移動することを防ぐ壁部と、保持面に置かれている板状基体を保持面から浮上させるために、供給された気体を保持面から噴出する浮上用噴出部と、浮上用噴出部によって浮上している板状基体を保持面の他端に向けて押し出す排出部とを備えることを特徴とする。
【０１５９】
これによって、板状基体を保持部の保持面に置くだけで、板状基体の保管や運送が可能になる。
【０１６０】
また、収納ユニット内の板状基体を、例えばこの板状基体を処理する処理装置に送り出すときに、本体部の浮上用噴出部に対する気体の供給によって、板状基体を浮上させた状態で、つまり、板状基体の下面が非接触状態を保って、撓みも振動もなく板状基体を処理装置に送り出すことができる。この結果、板状基体の下面が窪みの底面と接触しながら滑ることによって発生する傷や破損等を、確実に防ぐことができる。
【０１６１】
また、この発明は、板状基体を置くための保持面を具備する本体部と、保持面の一端側に設けられると共に、保持面に置かれている板状基体が一端側に移動することを防ぐ第１壁部と、板状基体が直角方向にそれぞれ移動することを防ぐと共に、保持面にそれぞれ着脱可能に取り付けられる第２および第３壁部と、第２および第３壁部にそれぞれ設けられると共に、第２および第３壁部を保持面に取り付けるための第１固定手段と、第１固定手段とそれぞれ係合して第２および第３壁部を保持面に固定すると共に、直角方向に対して順に並んで設けられているｎ組の第２固定手段と、保持面に置かれている板状基体を保持面から浮上させるために、供給された気体を保持面から噴出する浮上用噴出部と、浮上用噴出部によって浮上している板状基体を、移動方向に押し出す排出部とを備えることを特徴とする。
【０１６２】
これによって、保持面に置かれる板状基体の幅が変更されたときに、第２および第３壁部の取り付け位置を変更すれば、板状基体の保管や運送の際に、板状基体の幅に保持面を合わせることが可能になる。
【０１６３】
また、この発明では、排出部が、壁部から板状基体の側面に向けて、供給された気体を噴出する排出用噴出部で形成されることを特徴とする。これによって、収納ユニットに対する気体の供給だけで、板状基体の浮上と排出とを行うことができる。
【０１６４】
また、この発明は、保持部の周辺に位置すると共に本体部の上面に設けられた突出部分または窪み部分で形成される第１嵌合部と、本体部の下面に設けられ、第１嵌合部と同位置にかつ第１嵌合部に嵌合する第２嵌合部とを備えることを特徴とする。これによって、収納ユニットを積み重ねて運ぶとき、上段の収納ユニットが下段の収納ユニットから滑って動くことを防ぐことができる。
【０１６５】
また、この発明は、請求項２または３に記載の収納ユニットが積み重ねられている運搬具と、運搬具を置くことが可能であり、置かれた運搬具を上下して、指定された収納ユニットの位置を搬入部に合わせる昇降装置と、昇降装置による位置合わせが終了すると、位置合わせをされた前記収納ユニットに気体を供給する供給装置とを備えることを特徴とする。
【０１６６】
これによって、板状基体の下面の非接触状態を保ちながら、運搬具から処理装置の搬入部に板状基体を排出することができる。この結果、処理装置に対する板状基体の排出の際に、この板状基体の汚染や破損を防ぐことができる。
【０１６７】
また、切断等の処理をしたガラス板をガラスメーカ側がクリーンルーム内で運搬具に入れれば、その運搬具をそのまま輸送荷姿梱包としてエンドユーザまで輸送することができる。エンドユーザ側では、受け取った運搬具を移し替えることなしに、運搬具を昇降装置に装着して、運搬具をプロセス装置に直結することができる。
【０１６８】
また、ガラスメーカ側およびエンドユーザ側では、運搬具の収納ユニットを繰り返して使用することができるので、ガラス板の輸送の合理化が可能になり、ガラス板を取り出すためのロボット装置が不要となる等の設備投資の削減効果も非常に大きい。
【０１６９】
また、この発明は、運搬具を外気から遮断する密閉装置を備えている。これによって、運搬具の保管や運搬の際に、外気の流れによって運ばれてくる塵等が運搬具内のガラス板に付着することを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１に係わる板状基体の収納ユニットを示す斜視図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図１の背面図である。
【図４】図２のＩ−Ｉ断面を示す断面図である。
【図５】図２のＩＩ−ＩＩ断面を示す断面図である。
【図６】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面を示す断面図である。
【図７】実施の形態１によってガラス板を移動する様子を示す説明図である。
【図８】実施の形態１によってガラス板を移動する様子を示す説明図である。
【図９】この発明の実施の形態２に係わる板状基体の収納ユニットを示す平面図である。
【図１０】この発明の実施の形態３に係わる板状基体の収納ユニットを示す断面図である。
【図１１】この発明の実施の形態４に係わる板状基体の収納ユニットを示す斜視図である。
【図１２】図１１の側面図である。
【図１３】実施の形態４の使用状態を説明するための説明図である。
【図１４】実施の形態４の変形例に用いられる結合ピンを示す斜視図である。
【図１５】この発明の実施の形態５に係わる板状基体の収納装置の構成を示す構成図である。
【図１６】実施の形態５の供給装置の概略的な構成を示す構成図である。
【図１７】実施の形態５の結合部を説明するための説明図である。
【図１８】この発明の実施の形態６に係わる板状基体の収納装置の構成を示す構成図である。
【図１９】実施の形態６の収納ユニットの平面図である。
【図２０】図１９の斜視図である。
【図２１】収納ユニットの部分断面図である。
【図２２】コネクタを示す斜視図である。
【図２３】この発明の実施の形態７に係わる運搬具を説明する説明図である。
【図２４】この発明の実施の形態８に係わる収納ユニットを説明する説明図である。
【図２５】この発明の実施の形態９に係わる板状基体の収納ユニットを示す平面図である。
【図２６】図２５のＩＶ−ＩＶ断面を示す断面図である。
【図２７】図２５のＶ−Ｖ断面を示す断面図である。
【図２８】この発明の実施の形態１０に係わる板状基体の収納ユニットを示す分解斜視図である。
【図２９】図２８の収納ユニットを組み立てた状態を示す斜視図である。
【図３０】図２９の平面図である。
【図３１】図３０のＶＩ−ＶＩ断面を示す断面図である。
【図３２】図３１の嵌合穴を示す断面図である。
【図３３】図２８の可動部の正面図である。
【図３４】図３３の可動部の底面図である。
【図３５】図２８の可動部の位置を変更したときの様子を示す平面図である。
【図３６】この発明の実施の形態１１に係わる板状基体の収納ユニットを示す平面図である。
【図３７】図３６のＶＩＩ−ＶＩＩ断面を示す断面図である。
【図３８】図３６の可動部の底面図である。
【図３９】他の可動部の底面図である。
【図４０】この発明の実施の形態１２に係わる板状基体の収納ユニットを示す平面図である。
【図４１】図４０の可動部の側面である。
【図４２】本体部の他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１，２，３，４，８，５１Ａ，６１Ａ  収納ユニット
５，６  収納装置
７  密閉具
５Ａ，６Ａ  台
１０，３０，４０，８０，１０１，１１１，２００  本体部
１０Ａ，４０Ａ  上面
１０Ｂ，４０Ｂ  側壁
１１，８１，２０１  窪み
１１Ａ，５１Ａ1，８１Ａ  搬出口
１１Ｂ〜１１Ｄ，８１Ｂ  側壁
１１Ｅ，８１Ａ，１１３Ａ，１２２Ａ  底面
１１Ｆ，１０１Ａ，１０１Ｄ  中心
１２  第１中空部
１２Ａ，１３Ａ，１０１Ａ，１１１Ａ  本体部分
１２Ｂ，１０３，１１９Ａ  供給路
１２Ｃ，５１Ａ1，５１Ａ2，１０３Ａ，１１９Ｂ  浮上用気体供給口
１３  第２中空部
１３Ｂ  排出路
１３Ｃ，５１Ａ2  排出用気体供給口
１４，１５〜１８，３１，１０１Ａ2，１０１Ｂ2，
１０１Ｃ2，１０２Ａ1，１１２Ａ1，１１３Ｃ1，１１４Ｃ1，１１５Ａ，
１１６Ａ，１３１  噴出孔
３２  周囲面
４０Ｃ，１００２  下面
４１，６１Ａ6  結合ピン
４２，４３Ａ  凹部
４３，５１Ｂ  蓋
５１，６１  運搬具
５２，６２  昇降装置
５２Ａ，６２Ａ  テーブル
５２Ｂ，６２Ｂ  本体
５２Ｃ  シャフト
５２Ｄ，６２Ｂ3  信号線
５３  供給装置
５３Ａ，６２Ｂ1  制御部
５３Ｂ，６２Ｂ2  供給部
５３Ｃ，６１Ａ2  電磁弁
５３Ｄ  結合部
５３Ｄ1  駆動装置
５３Ｄ2，５３Ｄ3  結合器
５３Ｅ，５３Ｆ，６２Ｂ4  配管
６１Ａ1  接続管
６１Ａ3  コネクタ
６１Ａ4  穴
６１Ａ5  第１クイックコネクタ
７１  台部分
７２，７３  遮蔽板
７４  コンテナケース
７４Ａ  装着具
７４Ｂ  カバー
７５  局所清浄空間
９１，９２  先端
１０１Ａ1  平面
１０１Ｂ，１０１Ｃ  側部分
１０１Ｂ1，１０１Ｃ1，１０２Ａ，１１２Ａ，１１３Ｃ，１１４Ｃ  前面
１０２，１１２  固定部
１０４，１１０Ａ  仕切り板
１１３，１１４，１２２，１２３，１３２，１３３  可動部
１１３Ｂ，１２２Ｃ  突起部分
１１３Ｂ1  シート
１１３Ｄ，１２１Ａ，１２２Ｂ1，１２２Ｂ2  開口
１１５，１１６  噴出孔列
１１７，１１８  嵌合穴列
１１７Ａ，１１８Ａ  嵌合穴
１１７Ｂ  嵌合筒部
１１７Ｂ1  筒部分
１１７Ｂ2  底部分
１２１，１３２Ｂ  気体導入部
１３２Ａ  側面
６０１  円柱部
６２１〜６３１  選択電極
６１０  共通電極
１０００  ガラス板
１００１  中心
１１００  搬入部
１１０１  搬送面
Ａ〜Ｄ  方向
Ｌ１〜Ｌ６  距離
【図１】
0004358924.tif 000002
【図２】
0004358924.tif 000003
【図３】
0004358924.tif 000004
【図４】
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【図５】
0004358924.tif 000006
【図６】
0004358924.tif 000007
【図７】
0004358924.tif 000008
【図８】
0004358924.tif 000009
【図９】
0004358924.tif 000010
【図１０】
0004358924.tif 000011
【図１１】
0004358924.tif 000012
【図１２】
0004358924.tif 000013
【図１３】
0004358924.tif 000014
【図１４】
0004358924.tif 000015
【図１５】
0004358924.tif 000016
【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
0004358924.tif 000019
【図１９】
0004358924.tif 000020
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
0004358924.tif 000029
【図２９】
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【図３０】
0004358924.tif 000031
【図３１】
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【図３２】
0004358924.tif 000033
【図３３】
0004358924.tif 000034
【図３４】
0004358924.tif 000035
【図３５】
0004358924.tif 000036
【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
0004358924.tif 000040
【図４０】
0004358924.tif 000041
【図４１】
0004358924.tif 000042
【図４２】
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