(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体が循環する空間を画定するストッカと、前記ストッカに連結し、処理対象物に対して処理を行う複数の処理装置とを有し、
前記ストッカは複数個備えられていると共に、
前記複数個のストッカは、前記処理対象物が当該ストッカを一巡することにより、１区分の工程が終了するように環状に接続されており、
前記ストッカ内に、処理対象物を保管する複数の保管用格納場所、前記処理装置の各々に対応して設置され対応する処理装置に対して処理対象物の受け渡しを行うことができる複数の受渡用格納場所が確保され、該ストッカが、その内部空間内に、前記保管用格納場所から他の保管用格納場所もしくは受渡用格納場所へ、または前記受渡用格納場所から他の受渡用格納場所もしくは保管用格納場所へ処理対象物を移送する移送手段を有し、前記処理装置の各々が、対応する受渡用格納場所に格納されている処理対象物を受け取り、受け取った処理対象物に対して処理を行い、処理後の処理対象物を対応する受渡用格納場所に戻す搬送装置。
【請求項２】
前記複数の保管用格納場所及び受渡用格納場所の少なくとも一部が、第１の仮想的な面に沿って２次元的に配置されており、前記移送手段が、前記第１の仮想的な面の片方の面に配置され、前記第１の仮想的な面に沿って配置された保管用格納場所及び受渡用格納場所の、該第１の仮想的な面の一方の側を前面とし、他方の側を背面としたとき、前記移送手段が、前面を通して前記保管用格納場所及び受渡用格納場所と処理対象物の受け渡しを行い、前記処理装置が、背面を通して前記受渡用格納場所と処理対象物の受け渡しを行い、さらに、前記保管用格納場所内に、背面から前面に向かって清浄化された気体を流す第１の送風路を有する請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
さらに、前記複数の保管用格納場所及び受渡用格納場所の他の一部が、前記第１の仮想的な面の前面に対向するように配置された第２の仮想的な面に沿って２次元的に配置され、前記第２の仮想的な面に沿って配置された保管用格納場所及び受渡用格納場所の前記第１の仮想的な面側を前面とし、他方の側を背面としたとき、前記移送手段が、前記第２の仮想的な面に沿って配置された保管用格納場所及び受渡用格納場所と、前面を通して処理対象物の受け渡しを行い、前記処理装置が、前記第２の仮想的な面に沿って配置された受渡用格納場所と、背面を通して処理対象物の受け渡しを行う請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
さらに、前記受渡用格納場所の前面側に配置され、該受渡用格納場所の内部の空間と、前記ストッカ内の他の空間とを隔離する開閉可能なシャッタを有する請求項２または３に記載の搬送装置。
【請求項５】
さらに、前記受渡用格納場所内の前面と背面とを接続する側面もしくは上面から、該受渡用格納場所内の空間に清浄化された気体を流し込む第２の送風路を有する請求項２〜４のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項６】
前記ストッカが、前記第１の仮想的な面に沿った第１の方向に並ぶ複数のユニットを含んで構成され、該ユニットの各々は、保管用格納場所と受渡用格納場所のうち保管用格納場所のみを確保された保管専用ユニットと、保管用格納場所と受渡用格納場所の双方を確保された受渡可能ユニットとに分類される請求項２〜５のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項７】
前記保管専用ユニットの前記第１の方向の幅と、前記受渡可能ユニットの前記第１の方向の幅とが等しく、両者が相互に入れ替え可能である請求項６に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記第１の送風路が、前記保管用格納場所の背面に沿って配置され、下流端から前記第２の送風路に気体を供給する第３の送風路と、前記第２の送風路に接続されていない第４の送風路とを含み、該第３の送風路が該第４の送風路よりも太い請求項５に記載の搬送装置。
【請求項９】
さらに、第１の端部が前記ストッカ内の空間に接続され、第２の端部が前記第１の送風路に接続されたリターンダクトと、前記第１の端部において、前記ストッカ内の気体を前記リターンダクト内に送り込む送風装置とを有し、前記第１の送風路が、前記リターンダクトから送り込まれた気体を前記保管用格納場所の背面まで輸送する請求項２〜８のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項１０】
さらに、前記リターンダクトと第１の送風路との接続箇所に挿入された気体ミキシング部を有し、該気体ミキシング部が、前記リターンダクトから送られてきた気体を、気体清浄化フィルタを通して前記第１の送風路に送り込む請求項９に記載の搬送装置。
【請求項１１】
前記処理装置が、対応する受渡用格納場所の背面に接続され、当該受渡用格納場所内の空間と連続した空間を画定するロボット室と、前記ロボット室に接続された処理室と、前記ロボット室内に配置され、前記受渡用格納場所と前記処理室との間で処理対象物の移送を行う移載ロボットと、前記ロボット室内に清浄化した気体を送り込むロボット室用送風路とを有する請求項１〜１０のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項１２】
気体が循環する閉じた空間を画定する複数のストッカと、前記複数のストッカの各々に連結し、処理対象物に対して処理を行う複数の処理装置と、前記複数のストッカのうち２つのストッカを相互に接続し、対応するストッカ内の空間に連通する空間を画定し、対応するストッカ間で処理対象物の移送を行う接続路とを有し、
前記複数個のストッカは、前記処理対象物が当該ストッカを一巡することにより、１区分の工程が終了するように環状に接続されており、
前記ストッカ内に、処理対象物を保管する保管用格納場所、及び前記処理装置の各々に対応して設置され対応する処理装置に対して処理対象物の受け渡しを行うことができる受渡用格納場所のうち少なくとも一方の格納場所が複数個確保されているとともに、前記接続路の各々に対応して設置され対応する接続路に対して処理対象物の受け渡しを行うことができる入出庫用格納場所、及び前記複数の保管用格納場所、受渡用格納場所、入出庫用格納場所のいずれか一つの格納場所から他の格納場所へ処理対象物を移送する移送手段を有し、前記処理装置の各々が、対応する受渡用格納場所に格納されている処理対象物を受け取り、受け取った処理対象物に対して処理を行い、処理後の処理対象物を対応する受渡用格納場所に戻す搬送装置。
【請求項１３】
さらに、前記接続路内の空間に、清浄化された気体を送り込む第１の送風路と、前記接続路内の空間から気体を排出する第１の排出孔とを有する請求項１２に記載の搬送装置。
【請求項１４】
前記ストッカ内の圧力が、当該ストッカに接続されている接続路内の圧力よりも高くなるように制御されている請求項１２または１３に記載の搬送装置。
【請求項１５】
前記複数のストッカのうち少なくとも一つのストッカの内部空間内に、開閉可能な第１の受渡窓を介して搬送車と処理対象物の受け渡しを行うための搬出入用格納場所が確保されており、該ストッカが、該搬出入用格納場所内の空間と当該ストッカ内の他の空間とを隔離する開閉可能なシャッタと、該搬出入用格納場所内に清浄化された気体を送り込む第２の送風路とを有する請求項１２〜１４のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項１６】
前記第２の送風路が、前記搬出入用格納場所の前記第１の受渡窓とは反対側の面から第１の受渡窓に向かって気体を流す請求項１５に記載の搬送装置。
【請求項１７】
さらに、前記ストッカ内に気体を循環させるための第１の送風装置と、前記第２の送風路を経由して前記搬出入用格納場所内に気体を送り込む第２の送風装置とを有する請求項１５または１６に記載の搬送装置。
【請求項１８】
さらに、前記搬出入用格納場所に処理対象物を搬入し、及び該搬出入用格納場所から処理体対象物を搬出する搬送車であって、該搬送車は、処理対象物を格納するする搬送用格納場所と、処理対象物を該搬送用格納場所から搬出入する開閉可能な第２の受渡窓と、前記第２の受渡窓から流入した気体が前記搬送用格納場所を通過して反対側の面から排出されるように、該反対側の面に形成された第２の排出孔とを有する請求項１５〜１７のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項１９】
さらに、前記複数の処理装置を、同一処理を行う処理装置をまとめた装置群に分類し、装置群毎に安全仕掛を置くか否かを記憶する安全仕掛記憶手段と、処理対象物を処理する装置群の順番を記憶する工程記憶手段と、前記工程記憶手段に記憶された順番に従って、処理対象物を移送するように前記移送手段を制御する制御手段とを有し、該制御手段は、安全仕掛を置く装置群に対応する受渡用格納場所から次の受渡用格納場所に移送する場合には、処理対象物を一旦保管用格納場所に移送するように移送手段を制御する請求項１２に記載の搬送装置。
【請求項２０】
前記制御手段が、処理対象物を、安全仕掛を置かない装置群に対応する受渡用格納場所から次の受渡用格納場所へ移送する場合には、保管用格納場所を経由することなく直接次の受渡用格納場所へ処理対象物を移送するように制御する請求項１９に記載の搬送装置。
【請求項２１】
前記工程記憶手段に記憶された装置群の並びにおいて、安全仕掛を置くある装置群の次の装置群が安全仕掛を置かず、その次の安全仕掛を置く装置群までの各装置群の並びに対応するように受渡用格納場所から次の受渡用格納場所に順番に処理対象物を移送する場合、装置群の並びの下流側の装置群に対応する受渡用格納場所間の移送を、上流側の装置群に対応する受渡用格納場所間の移送よりも優先して行うように、前記制御手段が前記移送手段を制御する請求項１９または２０に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送装置に関し、特に半導体装置や液晶表示装置の生産ラインに適した搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
多くの半導体装置や液晶表示装置の生産ラインでは、同種の機能を持つ処理装置をまとめた装置群、または装置群を複数合わせたさらに大きな装置群を一単位として管理するジョブショップ生産形態が採用されている。各装置群に含まれる複数の装置及びそれに付属するローダ、アンローダが、パーティションで仕切られた小部屋内に配置される。１つの装置群が配置された小部屋は、ベイと呼ばれる。
【０００３】
図９（Ａ）は、半導体装置の生産ラインを構成する従来の搬送装置の平面配置図を示す。搬送装置が配置される領域のほぼ中央に、図の横方向に延在する主搬送路１００が配置されている。主搬送路１００の複数の所定の位置から、副搬送路１０１が主搬送路１００から枝分かれするように延びている。複数の副搬送路１０１は、主搬送路１００の両側に配置されている。ある１つの副搬送路１０１に着目すると、それは、主搬送路１００の片側にのみ配置されている。１つのベイに１つの副搬送路が対応する。副搬送路は、ベイ内搬送路とも呼ばれる。主搬送路１００及び副搬送路１０１は、処理対象物、例えばウエハカセットを搬送する。
【０００４】
各副搬送路１０１に対応してストッカ１０２が配置されている。ストッカ１０２は、主搬送路１００と副搬送路１０２との間で、処理対象物の移送を行うとともに、処理対象物を一時的に保管する。あるベイから他のベイに処理対象物を移送するときには、処理対象物が、移送元のベイのストッカ１０２及び主搬送路１００を介して移送先のベイのストッカ１０２まで移送される。すなわち、ベイに跨がって処理対象物を移送するときに、主搬送路１００が用いられる。従って、主搬送路１００は、ベイ間搬送路とも呼ばれる。
【０００５】
副搬送路１０１の周囲には、所定の処理装置１０３が配置されている。処理装置１０３は、副搬送路１０１を搬送されている処理対象物を受け取り、所定の処理を行った後、当該副搬送路１０１に戻す。
【０００６】
図９（Ｂ）は、従来の他の配置例を示す。図９（Ｂ）の例では、主搬送路１００の片側にのみ副搬送路１０１が配置されている。その他は、図９（Ａ）の構成と同様である。図９（Ａ）の搬送装置は両側ベイ方式と呼ばれ、図９（Ｂ）の搬送装置は片側ベイ方式と呼ばれる。
【０００７】
あるベイ内の処理対象物の移送先を決定する場合、その処理対象物の次工程の処理を行う処理装置群を決め、その処理装置群が収容されているベイのストッカを移送先とする。
【０００８】
搬送装置内には、段取りの異なる種々の処理を行うべき複数の処理対象物が存在する。段取りの異なる処理対象物を処理するには、各処理装置において段取り替え作業が必要になる。例えば、露光装置の場合には、フォトマスクの交換等の作業が必要になる。段取り替え作業によるロスを少なくするために、同一の段取りで処理可能な処理対象物を連続して処理するようにスケジューリングすることが好ましい。このために、ストッカ１０２内に、同一段取りで処理できる処理対象物を複数個保管しておき、処理装置に、同一段取りで処理される処理対象物を連続的に供給できるようにしておく。
【０００９】
また、複数の処理対象物を同時にバッチ処理する処理装置には、同一段取りで処理される処理対象物をまとめて供給する必要がある。このためにも、ストッカ１０２内に、同一段取りで処理できる処理対象物を複数個保管しておく必要がある。このように、ストッカ１０２内には、種々の段取りで処理すべき処理対象物が、各段取りごとに複数個保管される。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
図９に示す主搬送路１００及び副搬送路１０１は、例えば天井に取り付けたレールに沿ってコンテナが移動する天井搬送装置、または床に設けられたレールに沿って走行する地上搬送無人台車により実現される。このような構成では、半導体基板や液晶基板等の処理対象物を一時的に保管するための空間、搬送路と処理装置との間で処理対象物の受け渡しを行うためのローダ／アンローダの空間が、各装置毎に独立に必要になる。
【００１１】
処理対象物の大型化に伴い、これらの保管設備やローダ／アンローダも大型化する。このため、必要とされるクリーンルームの面積が大きくなる。また、処理装置の大型化に伴い、搬送路が長くなる。このため、搬送路を構成するコンテナや無人台車の必要数も増加する。
【００１２】
また、処理対象物をベイから他のベイに移送する場合には、処理を終了した処理装置から、副搬送路、ストッカ、主搬送路、他のストッカ、他の副搬送路を経由して、次に処理する処理装置に移送される。このため、これら各装置毎に、独立してクリーン度を管理する必要がある。
【００１３】
本発明の目的は、処理装置を含む搬送装置全体のクリーン度の管理を容易に行うことが可能な搬送装置を提供することである。
【００１４】
本発明の他の目的は、処理装置を大型化する場合にも、搬送装置の省スペース化を図ることが可能な搬送装置を提供することである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明の一観点によると、気体が循環する空間を画定するストッカと、前記ストッカに連結し、処理対象物に対して処理を行う複数の処理装置とを有し、
前記ストッカは複数個備えられていると共に、
前記複数個のストッカは、前記処理対象物が当該ストッカを一巡することにより、１区分の工程が終了するように環状に接続されており、
前記ストッカ内に、処理対象物を保管する複数の保管用格納場所、前記処理装置の各々に対応して設置され対応する処理装置に対して処理対象物の受け渡しを行うことができる複数の受渡用格納場所が確保され、該ストッカが、その内部空間内に、前記保管用格納場所から他の保管用格納場所もしくは受渡用格納場所へ、または前記受渡用格納場所から他の受渡用格納場所もしくは保管用格納場所へ処理対象物を移送する移送手段を有し、前記処理装置の各々が、対応する受渡用格納場所に格納されている処理対象物を受け取り、受け取った処理対象物に対して処理を行い、処理後の処理対象物を対応する受渡用格納場所に戻す搬送装置が提供される。
【００１６】
ストッカの内部空間を経由して、処理対象物を、ある処理装置から他の処理装置まで移送することができる。処理対象物がストッカ外の雰囲気に晒されないため、処理対象物の汚染を防止することができる。また、クリーン度を管理すべき空間がストッカ内に限定されるため、容易にスリーン度の管理を行うことができる。
【００１７】
本発明の他の観点によると、気体が循環する閉じた空間を画定する複数のストッカと、前記複数のストッカの各々に連結し、処理対象物に対して処理を行う複数の処理装置と、前記複数のストッカのうち２つのストッカを相互に接続し、対応するストッカ内の空間に連通する空間を画定し、対応するストッカ間で処理対象物の移送を行う接続路とを有し、
前記複数個のストッカは、前記処理対象物が当該ストッカを一巡することにより、１区分の工程が終了するように環状に接続されており、
前記ストッカ内に、処理対象物を保管する保管用格納場所、及び前記処理装置の各々に対応して設置され対応する処理装置に対して処理対象物の受け渡しを行うことができる受渡用格納場所のうち少なくとも一方の格納場所が複数個確保されているとともに、前記接続路の各々に対応して設置され対応する接続路に対して処理対象物の受け渡しを行うことができる入出庫用格納場所、及び前記複数の保管用格納場所、受渡用格納場所、入出庫用格納場所のいずれか一つの格納場所から他の格納場所へ処理対象物を移送する移送手段を有し、前記処理装置の各々が、対応する受渡用格納場所に格納されている処理対象物を受け取り、受け取った処理対象物に対して処理を行い、処理後の処理対象物を対応する受渡用格納場所に戻す搬送装置が提供される。
【００１８】
ストッカ及び接続路内の空間を経由して、処理対象物を、ある処理装置から他の処理装置まで移送することができる。処理対象物がストッカ及び接続路外の雰囲気に晒されないため、処理対象物の汚染を防止することができる。また、クリーン度を管理すべき空間がストッカ及び接続路内に限定されるため、容易にスリーン度の管理を行うことができる。
【００１９】
本発明の一参考観点によると、気体が循環する空間を画定するストッカと、前記ストッカに連結し、処理対象物に対して処理を行う複数の処理装置とを有し、前記ストッカ内に、処理対象物を保管する複数の保管用格納場所、前記処理装置の各々に対応して設置され対応する処理装置に対して処理対象物の受け渡しを行うことができる複数の受渡用格納場所が確保され、該ストッカが、その内部空間内に、前記保管用格納場所から他の保管用格納場所もしくは受渡用格納場所へ、または前記受渡用格納場所から他の受渡用格納場所もしくは保管用格納場所へ処理対象物を移送する移送手段を有し、前記処理装置の各々が、対応する受渡用格納場所に格納されている処理対象物を受け取り、受け取った処理対象物に対して処理を行い、処理後の処理対象物を対応する受渡用格納場所に戻す搬送装置が提供される。
【００２０】
本発明の他の参考観点によると、気体が循環する閉じた空間を画定する複数のストッカと、前記複数のストッカの各々に連結し、処理対象物に対して処理を行う複数の処理装置と、前記複数のストッカのうち２つのストッカを相互に接続し、対応するストッカ内の空間に連通する空間を画定し、対応するストッカ間で処理対象物の移送を行う接続路とを有し、前記ストッカ内に、処理対象物を保管する保管用格納場所、及び前記処理装置の各々に対応して設置され対応する処理装置に対して処理対象物の受け渡しを行うことができる受渡用格納場所のうち少なくとも一方の格納場所が複数個確保されているとともに、前記接続路の各々に対応して設置され対応する接続路に対して処理対象物の受け渡しを行うことができる入出庫用格納場所、及び前記複数の保管用格納場所、受渡用格納場所、入出庫用格納場所のいずれか一つの格納場所から他の格納場所へ処理対象物を移送する移送手段を有し、前記処理装置の各々が、対応する受渡用格納場所に格納されている処理対象物を受け取り、受け取った処理対象物に対して処理を行い、処理後の処理対象物を対応する受渡用格納場所に戻す搬送装置が提供される。
【００２１】
【発明の実施の形態】
図１〜図５を参照して、本発明の第１の参考実施例について説明する。
【００２２】
図１は、第１の実施例による搬送装置の平面レイアウトを示す概略図である。搬送装置のほぼ中央に、主ストッカ１が配置されている。主ストッカ１は、図１の横方向に延在する。主ストッカ１の両側に、複数のストッカ２が配置されている。各ストッカ２は、図１の縦方向に延在する。各ストッカ２の主ストッカ１側の端部が、接続路３を介して主ストッカ１の側面に接続されている。
【００２３】
各ストッカ２の両側に、複数の処理装置５が配置されている。各処理装置５は、対応するストッカ２の側面に接続されている。処理装置５は、例えば、成膜装置、エッチング装置、洗浄装置、フォトリソグラフィ装置等である。主ストッカ１の側面に検査装置６が接続されている。
【００２４】
図２（Ａ）は、主ストッカ１の平面図を示す。主ストッカ１の中央をクレーンユニット１０が貫く。クレーンユニット１０の両側に、その長さ方向に沿って複数の保管専用ユニット１１、受渡可能ユニット１２、及び接続用ユニット１３が配置されている。保管専用ユニット１１、受渡可能ユニット１２、及び接続用ユニット１３は、クレーンユニット１０の長さ方向に関して等しい幅を有する。このため、必要に応じて、あるユニットを他のユニットに置きかえることが可能である。
【００２５】
クレーンユニット１０の一方の端部に搬送車連絡用ユニット１４が配置されている。クレーンユニット１０内に、クレーン１５が配置されている。クレーン１５は、クレーンユニット１０内を、その長さ方向に移動し、処理対象物を移送する。
【００２６】
図２（Ｂ）〜（Ｄ）は、それぞれ保管専用ユニット１１、受渡可能ユニット１２、及び接続路用ユニット１３の正面図を示す。いずれのユニットにおいても、最下段に送風機格納場所２０が確保され、その上に、２列３段構成になるように６個の格納場所が確保されている。各格納場所は、処理対象物を載置するための棚を有する。相互に隣接する格納場所の間には、特に隔壁を設ける必要はない。送風機格納場所２０内に送風機が配置され、この送風機がストッカ１内の気体を循環させる。気体の内部循環率は、例えば８０％程度である。
【００２７】
保管専用ユニット１１においては、図２（Ｂ）に示すように、全ての格納場所が保管用格納場所１７とされている。各保管用格納場所１７は、一つの処理対象物を保管する。受渡可能ユニット１２においては、図２（Ｃ）に示すように、１段目及び２段目が保管用格納場所１７とされ、３段目が受渡用格納場所１８とされている。受渡用格納場所１８を介して、図１に示す処理装置５または検査装置６と、処理対象物の受け渡しが行われる。接続用ユニット１３においては、図２（Ｄ）に示すように、１段目が入出庫用格納場所１９とされ、２段目及び３段目が保管用格納場所１７とされている。
【００２８】
このように構成された保管専用ユニット１１、受渡可能ユニット１２、及び接続用ユニット１３が、図２（Ａ）に示すように、クレーンユニット１０の両側に配列している。これにより、複数の保管用格納場所１７、受渡用格納場所１８、及び入出庫用格納場所１９の一部が、第１の仮想的な面２２に沿って２次元的に配置される。残りの保管用格納場所１７、受渡用格納場所１８、及び入出庫用格納場所１９は、クレーンユニット１０に関して第１の仮想的な面２２と反対側の第２の仮想的な面２３に沿って２次元的に配置される。第１及び第２の仮想的な面の各々のクレーンユニット１０側の面を前面と呼び、反対側の面を背面と呼ぶこととする。
【００２９】
クレーン５は、保管用格納場所１７、受渡用格納場所１８、及び入出庫用格納場所１９と、それらの前面を通して処理対象物の受け渡しを行う。これにより、ストッカ１内の任意の格納場所から他の任意の格納場所に、処理対象物を移送することができる。
【００３０】
図１に示すストッカ２は、図２（Ａ）の主ストッカ１から搬送車連絡用ユニット１４を取り外したものと同様の構成を有する。なお、ストッカ２においては、接続用ユニット１３が配置されず、その代わりに一方の端部に図５を参照して後述する接続用ユニット１３ａが配置される。
【００３１】
図３（Ａ）は、図１のストッカ２と処理装置５との接続箇所の平断面図を示す。処理装置５の移載用ロボット室３０が、ストッカ２の受渡用格納場所１８に結合している。受渡用格納場所１８の前面に開閉可能なシャッタ２２が配置されている。シャッタ２２を閉じることにより受渡用格納場所１８内の空間とクレーンユニット１０内の空間とが仕切られる。
【００３２】
受渡用格納場所１８の背面にも、開閉可能なシャッタ（隔離板）２３が配置されている。シャッタ２３を閉じることにより、受渡用格納場所１８内の空間と移載用ロボット室３０内の空間とが仕切られる。移載用ロボット室３０内に、移載ロボット３１が配置されている。移載ロボット３１は、処理対象物を受渡用格納場所１８から取り出して処理装置５の処理室３５内に移送し、処理室３５内の処理対象物を取り出して受渡用格納場所１８に戻す。移載用ロボット室３０に、扉３２が取り付けられている。扉３２を開けて、移載ロボット３１のメンテナンスを行うことができる。移載ロボット３１のメンテナンス時にシャッタ２３を閉じておくことにより、埃がストッカ２内に侵入することを防止できる。
【００３３】
保管用格納場所１７の背面に、送風路２５が取り付けられている。送風路２５から保管用格納場所１７内に清浄化された気体、例えば空気が送り出される。これにより、保管用格納場所１７内に、その背面から前面に向かう気流が形成される。受渡用格納場所１８においては、その前面と背面とを接続する側面に、送風路２６が取り付けられている。送風路２６から受渡用格納場所１８内に清浄化された気体が送り出される。送風路２６の出口近傍に、イオン化装置２１が取り付けられている。受渡用格納場所１８内に流入する気体をイオン化することにより、処理後の処理対象物に蓄積されている静電気を除去することができる。これら送風路の詳細な構成については、図３（Ｂ）を参照して後述する。
【００３４】
図３（Ｂ）は、ストッカ２の横断面図を示す。クレーンユニット１０の両側に、それぞれ保管専用ユニット１１及び受渡可能ユニット１２が配置されている。保管専用ユニット１１及び受渡可能ユニット１２の最下段に確保された送風機格納場所２０内に送風機２７が設置されている。
【００３５】
ストッカ２の上に、ミキシング室２９が配置されている。リターンダクト２８が、送風機２７の排気口とミキシング室２９とを接続する。送風機２７は、ストッカ２内の気体を吸い込み、リターンダクト２８内に送り込む。リターンダクト２８内に送り込まれた気体は、ミキシング室２９内に輸送される。
【００３６】
保管専用ユニット１１の保管用格納場所１７の背面に、送風路２５が取り付けられている。受渡可能ユニット１２の保管用格納場所１７の背面に、送風路２５ａが取り付けられている。送風路２５ａは送風路２５よりも太い。
【００３７】
ミキシング室２９内の気体が、清浄化用フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ）ＨＰを通って送風路２５及び２５ａ内に送り出される。送風路２５及び２５ａ内の気体は、保管用格納場所１７内に送り出され、クレーンユニット１０内を経由して送風機２７に回収される。このように、ストッカ２内を気体が循環する。この循環路の途中に配置されたＨＥＰＡフィルタにより、循環する気体が清浄化される。
【００３８】
送風路２５ａの下流側の端部が、図３（Ａ）に示す送風路２６に連通している。送風路２５ａと送風路２６との接続部分において、流路抵抗が大きくなると考えられる。このため、受渡用格納場所１８の上の保管用格納場所１７に流れ込む気流が、他の保管用格納場所１７に流れ込む気流よりも弱くなると考えられる。送風路２５ａを送風路２５よりも太くしておくことにより、気流の強さを均一に近づけることができる。
【００３９】
送風機格納場所２０内の空間とクレーンユニット１０内の空間との境に、ケミカルフィルタＣＦ及び冷却パネルＣＰを配置してもよい。
【００４０】
移載用ロボット室３０内に、その上面に取り付けられたＨＥＰＡフィルタＨＰを通して清浄化された気体が送り込まれる。このとき、受渡用格納場所１８内の圧力よりも移載用ロボット室３０内の圧力のほうが低くなるように制御されている。このように圧力を制御することにより、移載用ロボット室３０内の埃がストッカ２内に侵入することを防止できる。
【００４１】
移載ロボット３１が、処理室３５から処理済の処理対象物を受渡用格納場所１８内に戻す。処理直後の処理対象物は、その表面からパーティクルや化学的汚染物質を放出し易い。処理対象物を受渡用格納場所１８内に戻す時に、シャッタ２２を閉じておくことにより、これらパーティクルや化学的汚染物質がストッカ２内の他の空間に流入することを防止できる。このとき、受渡用格納場所１８内から移載用ロボット室３０内に向かう気流が形成され、パーティクルや汚染物質は移載用ロボット室３０側に運ばれる。
【００４２】
図４（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ図２（Ａ）の搬送車連絡用ユニット１４の概略平面図及び正面図を示す。搬送車連絡用ユニット１４は、クレーンユニット１０の両側に並ぶユニットの端に配置される。搬送車連絡用ユニット１４内に、搬出入用格納場所４０が確保されている。搬送者連絡用格納場所４０の前面に、開閉可能なシャッタ４１が配置されている。シャッタ４１を開けることにより、クレーン１５と搬出入用格納場所４０との間で処理対象物の受け渡しが行われる。
【００４３】
搬出入用格納場所４０の端面に、開閉可能な受渡窓４２が設けられている。受渡窓４２とは反対側の側面に、送風路４３が配置されている。送風路４３から搬出入用格納場所４０内に清浄化された気体が送り込まれる。送風路４３から受渡窓４２に向かう気流が形成される。この気流により、受渡窓４２を開放した時に外部からストッカ１内へ埃が侵入することを防止できる。
【００４４】
送風路４３に気体を送り込む送風機４４が、図３（Ｂ）に示すストッカ内循環用の送風機２７とは別に設置されている。専用の送風機４４を設置することにより、搬出入用格納場所４０内に十分な風量の気流を形成することができる。また、ストッカ１内を循環する気流の乱れを抑制するとともに、気体の十分な内部循環率を維持することができる。
【００４５】
処理対象物の搬出入を行う際には、受渡窓４２に対向する位置で、搬送車５０が停止する。搬送車５０内に処理対象物の格納場所５１が確保され、その中に受け渡し用ロボット５５が設置されている。格納場所５１の、ストッカ１に対向する面に受渡窓５２が設けられている。格納場所５１の、受渡窓５２とは反対側の壁面には、複数の貫通孔５３が形成されている。
【００４６】
送風路４３から送り出され、搬出入用格納場所４０、受渡窓４２と５２、及び格納場所５１内を経由して、貫通口５３から外部に流れ出る気流が形成される。これにより、処理対象物の受け渡し時における汚染を防止することができる。
【００４７】
格納場所５１の他の面に、清浄化された気体を格納場所５１内に送り出す送風装置５６が設置されている。その反対側の壁面に複数の貫通孔５７が形成されており、送風装置５６からその反対側の壁面に向かう気流が形成される。
【００４８】
図５は、図１の主ストッカ１とストッカ２との接続箇所の概略平面図を示す。ストッカ２の端部に、接続用ユニット１３ａが配置されている。接続用ユニット１３ａ内に、入出庫用格納場所１９ａが確保されている。入出庫用格納場所１９ａ内の空間は、接続路３内の空間に連通している。
【００４９】
入出庫用格納場所１９ａとクレーンユニット１０との間に開閉可能なシャッタ６０が配置されている。シャッタ６０を開けることにより、クレーン１５と入出庫用格納場所１３ａとの間で処理対象物の受け渡しが行われる。入出庫用格納場所１９ａの側面に送風路６１が設置されている。送風機６２から送風路６１を経由して入出庫用格納場所１９ａ内に清浄化された気体が送り出される。この気体は、接続路３内に輸送される。
【００５０】
接続路３の他端が、主ストッカ１の入出庫用格納場所１９に接続されている。主ストッカ１のクレーンユニット１０内の空間と入出庫用格納場所１９とは、開閉可能なシャッタ６５で隔離される。
【００５１】
主ストッカ１内のクレーン１５が処理対象物を入出庫用格納場所１９に載置すると、接続路３内のコンベアが、その処理対象物をストッカ２の入出庫用格納場所１９ａに移送する。接続路３は、処理対象物を逆方向に移送することもできる。
【００５２】
接続路３の側壁に送風路６７が取り付けられている。送風路６７から接続路３内に清浄化された気体が送り込まれる。接続路３内に送り込まれた気体は、例えばその底面に形成された貫通孔から排出される。処理対象物が板状のもの、例えば液晶基板等である場合、送風路６７から送り出される気流の向きを、基板面に平行にすることが好ましい。
【００５３】
接続路３内の圧力は、ストッカ１及び２内の圧力よりも低くなるように制御されている。これにより、接続路内の埃がストッカ内に侵入することを防止できる。
【００５４】
上記第１の実施例によると、複数の処理装置間で、処理対象物をストッカ及び接続路内の空間のみを経由して移送することができる。処理対象物がストッカ及び接続路外の雰囲気に晒されないため、処理対象物の汚染を防止することができる。また、クリーン度を管理すべき空間がストッカ及び接続路内に限定されるため、容易にスリーン度の管理を行うことができる。また、専用の搬送路が不要であるため、省スペース化を図ることが可能になる。
【００５５】
図６は、第２の実施例による搬送装置の概略平面図を示す。図１に示す第１の実施例では、１つの主ストッカ１に、他の全てのストッカ２が直接接続されていた。第２の実施例では、複数のストッカ２が環状に接続されている。図６の各構成部分には、図１に示す第１の実施例の対応する構成部分と同一の参照符号が付されている。
【００５６】
例えば、環状に配置されたストッカ２を一巡することにより、成膜、フォトリソグラフィ、エッチング、及び試験からなる１層分の工程が終了する。この１層分の工程を５〜６回繰り返すことにより、１枚の基板に対する全工程が終了する。
【００５７】
図７（Ａ）は、搬送装置内を移送される処理対象基板を保持するトレーを示す。複数のトレー７０が積み重ねられている。各トレーに、処理対象基板７５が載置されている。このように、重ねられた複数のトレー７０が、１つの単位として搬送内を移送される。
【００５８】
図７（Ｂ）は、搬送装置内を移送されるカセットを示す。１つのカセット７１内に複数の処理対象基板７５が保持されている。このカセット７１が、１つの単位として搬送装置内を移送される。
【００５９】
次に、図１及び図８を参照して、処理対象物の移送手順について説明する。安全仕掛記憶手段８０が、複数の処理装置５を、同一処理を行う処理装置をまとめた装置群に分類し、装置群毎に安全仕掛を置くか否かを記憶する。工程記憶手段８１が、処理対象物を処理する装置群の順番を記憶する。制御手段８２が、工程記憶手段８１に記憶された順番に従って、処理対象物を移送するように移送手段８３を制御する。
【００６０】
安全仕掛を置く第１の装置群に対応する受渡用格納場所から次の工程を実施する第２の装置群の受渡用格納場所に移送する場合には、処理対象物を一旦保管用格納場所に移送する。このように、保管用格納場所に処理すべき処理対象物を一時的に保管しておくことにより、第１の装置群の装置が故障して処理能力が低下した場合にも、第２の装置群に安定して処理対象物を供給することが可能になる。
【００６１】
処理対象物を、安全仕掛を置かない第３の装置群に対応する受渡用格納場所から次の工程を実施する第４の装置群の受渡用格納場所へ移送する場合には、保管用格納場所を経由することなく直接次の受渡用格納場所へ処理対象物を移送する。
【００６２】
工程記憶手段８１に記憶された装置群の並びにおいて、安全仕掛を置く第１の装置群の次の第２の装置群が安全仕掛を置かず、その次の安全仕掛を置く第３の装置群までの各装置群の並びに対応するように受渡用格納場所から次の受渡用格納場所に順番に処理対象物を移送する場合、装置群の並びの下流側の装置群に対応する受渡用格納場所間の移送を、上流側の装置群に対応する受渡用格納場所間の移送よりも優先して行う。このように、後工程における移送を優先することにより、干渉ロスや仕掛の滞留を防止することができる。
【００６３】
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
【００６４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、専用の搬送路を設けることなく処理装置間の搬送を行うことができる。このため、搬送装置の占めるスペースを少なくすることが可能になる。また、ほぼ閉じた空間内を搬送されるため、搬送空間のクリーン度を容易に管理することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施例による搬送装置の概略平面図である。
【図２】第１の実施例による主ストッカの平面図、保管専用ユニット、受渡可能ユニット、及び接続用ユニットの正面図である。
【図３】ストッカと処理装置との接続部分の平面図及び横断面図である。
【図４】搬送車連絡用ユニットの平面図及び正面図である。
【図５】主ストッカとストッカとの接続部分の平面図である。
【図６】第２の実施例による搬送装置の概略平面図である。
【図７】実施例による搬送装置で搬送する対象となる処理対象物を保持するトレー及びカセットの断面図である。
【図８】実施例による搬送装置の搬送手順を説明するためのブロック図である。
【図９】従来例による搬送装置の平面図である。
【符号の説明】
１、２  ストッカ
３  接続路
５  処理装置
１０  クレーンユニット
１１  保管専用ユニット
１２  受渡可能ユニット
１３  接続用ユニット
１４  搬送車連絡用ユニット
１５  クレーン
１７  保管用格納場所
１８  受渡用格納場所
１９  入出庫用格納場所
２０  送風機格納場所
２２、２３  シャッタ
２５、２６  送風路
２８  リターンダクト
２９  ミキシング室
３０  移載用ロボット室
３１  移載ロボット
３２  扉
３５  処理室
４０  搬出入用格納場所
４１  シャッタ
４２、５２  受渡窓
４３  送風路
４４  送風機
５０  搬送車
５１  格納場所
５３、５７  貫通孔
５５  ロボット
５６  送風装置
６０、６５  シャッタ
６１、６７  送風路
６２  送風機
７０  トレー
７１  カセット
７５  処理対象基板
８０  安全仕掛記憶手段
８１  工程記憶手段
８２  制御手段
８３  搬送装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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