(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱分解により検知対象分解ガスを生成する被検知ガスと、その被検知ガスに対する妨害ガスとを含んでなる測定対象ガス中に含まれる前記被検知ガス濃度を測定するガス濃度測定方法であって、
前記妨害ガスが分解され、前記被検知ガスが分解されない第一条件下で前記測定対象ガスを熱分解させる第一熱分解工程と、前記妨害ガスの分解により生成した分解ガスを吸着除去する吸着工程と、前記被検知ガスが分解される第二条件下で測定対象ガスを熱分解させる第二熱分解工程とを行い、前記第二熱分解工程で被検知ガスの分解により生成した検知対象分解ガスの濃度を測定する測定工程を行って、前記被検知ガスの熱分解により検知対象分解ガスが生成する相関から前記被検知ガスの濃度を知るガス濃度測定方法。
【請求項２】
熱分解により検知対象分解ガスを生成する被検知ガスと、その被検知ガスに対する妨害ガスとを含んでなる測定対象ガスを、前記妨害ガスが分解され、前記被検知ガスが分解されない第一条件下で熱分解する第一熱分解部を設け、前記第一熱分解部で前記妨害ガスの分解により生成した分解ガスを吸着除去する吸着部を設け、前記吸着部からの測定対象ガスを前記被検知ガスが分解される第二条件下で熱分解する第二熱分解部を設け、前記第二熱分解部を経由し、前記測定対象ガス中に生成した検知対象分解ガス濃度を測定するガス検知部を設けたガス検知器。
【請求項３】
ポリフッ化炭化水素とポリフッ化ポリエーテルとを含んでなる測定対象ガス中におけるポリフッ化炭化水素濃度を測定するガス検知器であって、８００℃〜９５０℃の低温での熱分解を行う第一熱分解部を設け、フッ化水素ガスまたはフッ素ガスの少なくとも一方を吸着除去する吸着部を設け、１０００℃〜１１００℃の高温での熱分解を行う第二熱分解部を設け、前記測定対象ガス中に生成したフッ化水素ガスまたはフッ素ガスの少なくとも一方の濃度を測定するガス検知部を設けたガス検知器。
【請求項４】
ポリフッ化炭化水素とポリフッ化ポリエーテルとを含んでなる測定対象ガス中におけるポリフッ化炭化水素濃度を測定するガス検知器であって、８００℃〜９５０℃に加熱状態のガス配管に所定の流速でガス供給しつつ熱分解を行う第一熱分解部を設け、フッ化水素ガスまたはフッ素ガスの少なくとも一方を吸着除去する吸着部を設け、１０００℃〜１１００℃に加熱状態のガス配管に前記所定の流速の２〜４倍の流速でガス供給しつつ熱分解を行う第二熱分解部を設け、前記測定対象ガス中に生成したフッ化水素ガスまたはフッ素ガスの少なくとも一方の濃度を測定するガス検知部を設けたガス検知器。
【請求項５】
内管と外管とからなるガス流通管を設け、前記内管内部の内部流路に通電発熱部を設けて、前記通電発熱部を設けてある内管内部を第二熱分解部に形成するとともに、前記内管と外管との間に形成される中間流路に第一熱分解部を形成し、前記中間流路に供給された測定対象ガスを吸着部を経由させて前記内部流路に誘導するガス流通路を形成してある請求項２〜４のいずれか１項に記載のガス検知器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱分解により検知対象分解ガスを生成する被検知ガスと、その被検知ガスに対する妨害ガスとを含んでなる測定対象ガス中に含まれる前記被検知ガス濃度を測定するガス濃度測定方法及びガス検知器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、複数種のガスが混合された測定対象ガス中から特定の被検知ガスのみを選択性高く検知してその濃度を知るためには、前記測定対象ガス中に含まれる複数のガスの内前記被検知ガスのみに活性を有するガス検知素子を用いて前記測定対象ガスと検知させ、その素子からのガス検知出力を求め、被検知ガス濃度に換算するという方法が採られており、このような検知を可能とするために特定のガス種にのみ活性を有するガス検知素子が種々開発されている。また、このようなガス濃度測定方法を行うには、上述のガス検知素子を設けて、前記被検知ガス由来の出力を求めて、その被検知ガスの濃度に換算可能に構成したガス検知器が用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述のように、このようなガス検知器を構成する際には、被検知ガス選択性の高いガス検知素子を用いる必要が生じるので、被検知ガスと妨害ガスとの物性が類似しているような場合ガス検知素子の組成を選択するだけで選択性を高めることが困難となる場合が多く、その状況を解決するために上述のガス検知素子を複数設けて、前記被検知ガス由来の出力を演算により求めることも試みられているが、測定対象ガス中のガス種が増えれば演算条件が複雑になり解決しきれない状況になる場合もあって、特にポリフッ化炭化水素の類の混合ガス中における濃度を正確に知ることは困難であり、効率よく測定対象ガス中の被検知ガスを選択性よく検知する技術が望まれている。
【０００４】
従って、本発明の目的は、上記実状に鑑み、妨害ガスを含む測定対象ガス中から特定の被検知ガスのみを選択性高く検知してその濃度を知る事のできるガス濃度測定方法及びガス検知器を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
熱分解により検知対象分解ガスを生成する被検知ガスと、その被検知ガスに対する妨害ガスとを含んでなる測定対象ガス中に含まれる前記被検知ガス濃度を測定するには、従来の技術に述べたガス選択性の高いガス検知素子を用いることができるが、たとえば、ポリフッ化炭化水素とポリフッ化ポリエーテルを含んでなる測定対象ガス中におけるポリフッ化炭化水素濃度のみを選択性よく測定することができるガス検知素子は知られていない。
そこで、この目的を達成するための本発明のガス濃度測定方法の特徴手段は、
熱分解により検知対象分解ガスを生成する被検知ガスと、その被検知ガスに対する妨害ガスとを含んでなる測定対象ガス中に含まれる前記被検知ガス濃度を測定するに、前記妨害ガスが分解され、前記被検知ガスが分解されない第一条件下で前記測定対象ガスを熱分解させる第一熱分解工程と、前記妨害ガスの分解により生成した分解ガスを吸着除去する吸着工程と、前記被検知ガスが分解される第二条件下で測定対象ガスを熱分解させる第二熱分解工程とを行い、前記第二熱分解工程で被検知ガスの分解により生成した検知対象分解ガスの濃度を測定する測定工程を行って、前記被検知ガスの熱分解により検知対象分解ガスが生成する相関から前記被検知ガスの濃度を知る点にある。
また、この目的を達成するための本発明のガス検知器の特徴構成は、
熱分解により検知対象分解ガスを生成する被検知ガスと、その被検知ガスに対する妨害ガスとを含んでなる測定対象ガスを、前記妨害ガスが分解され、前記被検知ガスが分解されない第一条件下で熱分解する第一熱分解部を設け、前記第一熱分解部で前記妨害ガスの分解により生成した分解ガスを吸着除去する吸着部を設け、前記吸着部からの測定対象ガスを前記被検知ガスが分解される第二条件下で熱分解する第二熱分解部を設け、前記第二熱分解部を経由し、前記測定対象ガス中に生成した検知対象分解ガス濃度を測定するガス検知部を設けた点にあり、
より具体的には、
ポリフッ化炭化水素とポリフッ化ポリエーテルとを含んでなる測定対象ガス中におけるポリフッ化炭化水素濃度を測定するガス検知器であって、８００℃〜９５０℃の低温での熱分解を行う第一熱分解部を設け、フッ化水素ガスまたはフッ素ガスの少なくとも一方を吸着除去する吸着部を設け、１０００℃〜１１００℃の高温での熱分解を行う第二熱分解部を設け、前記測定対象ガス中に生成したフッ化水素ガスまたはフッ素ガスの少なくとも一方の濃度を測定するガス検知部を設けてあれば、もしくは、
ポリフッ化炭化水素とポリフッ化ポリエーテルとを含んでなる測定対象ガス中におけるポリフッ化炭化水素濃度を測定するガス検知器であって、８００℃〜９５０℃に加熱状態のガス配管に所定の流速でガス供給しつつ熱分解を行う第一熱分解部を設け、前記ポリフッ化炭化水素の分解により生じたフッ化水素ガスまたはフッ素ガスの少なくとも一方を吸着除去する吸着部を設け、１０００℃〜１１００℃に加熱状態のガス配管に前記所定の流速の２〜４倍の流速でガス供給しつつ熱分解を行う第二熱分解部を設け、前記測定対象ガス中に生成したフッ化水素ガスまたはフッ素ガスの少なくとも一方濃度を測定するガス検知部を設けてあれば好ましい。
尚、上述のガス検知装置は、
内管と外管とからなるガス流通管を設け、前記内管内部の内部流路に通電発熱部を設けて、前記通電発熱部を設けてある内管内部を第二熱分解部に形成するとともに、前記内管と外管との間に形成される中間流路に第一熱分解部を形成し、前記中間流路に供給された測定対象ガスを吸着部を経由させて前記内部流路に誘導するガス流通路を形成することにより構成できる。
【０００６】
〔作用効果〕
つまり、熱分解により検知対象分解ガスを生成する被検知ガスと、その被検知ガスに対する妨害ガスとを含んでなる測定対象ガス中に含まれる前記被検知ガス濃度を測定するに、前記妨害ガスを前記妨害ガスが分解され、前記被検知ガスが分解されない第一条件下で前記測定対象ガスを熱分解させる第一熱分解工程を行えば、前記妨害ガスが分解されるが、被検知ガスが分解されない状況を作ることが出来る。
たとえば、本発明者らは、被検知ガスとしてのポリフッ化炭化水素中に妨害ガスとしてポリフッ化ポリエーテルを含んでなる測定対象ガス中におけるポリフッ化炭化水素濃度を測定する場合には、ポリフッ化ポリエーテルは、約９００℃で激しく分解を始めるのに対して、ポリフッ化炭化水素は、１０００℃以上になるまで分解し始めないという新知見を見いだしており、これに従えば、温度設定によりポリフッ化ポリエーテルは分解するがポリフッ化炭化水素は分解しないという条件が得られる。すると、前記測定対象ガス中の妨害ガスが減少させられる。
【０００７】
次に、前記妨害ガスの分解により生成した分解ガスを吸着除去する吸着工程を行うと、前記測定対象ガス中に含まれる分解ガスは除去され、前記測定対象ガス中には、ほぼ前記被検知ガスと、被検知ガス濃度の測定に無関係なガスだけが含まれる状況を得ることが出来る。
たとえば、前記ポリフッ化ポリエーテルは分解によりフッ化水素ガスや、フッ素ガスを生成するものと考えられており、これらのガスを吸着除去することにより、前記ポリフッ化炭化水素とポリフッ化ポリエーテルとを含み他の妨害ガスを考慮する必要のないような測定対象ガスを吸着工程に供すると、ほぼポリフッ化炭化水素のみが残存することになる。
【０００８】
さらに、前記被検知ガスが分解される第二条件下で測定対象ガスを熱分解させる第二分解工程とを行うと、前記測定対象ガス中に含まれる被検知ガスは、分解を受け、検知対象分解ガスを生成する。
つまり、上述の例の流れでは、前記ポリフッ化炭化水素が分解を受け、フッ化水素ガスや、フッ素ガスを生成する。この例では、分解ガスと検知対象分解ガスとは同種のガスとなっているが、前記被検知ガスと、妨害ガスとの関係によっては同一となるとは限らず、いかなる組み合わせになっても良い。
【０００９】
そのため、上述の第二分解工程を行った後、前記第二分解工程で被検知ガスの分解により生成した検知対象分解ガスの濃度を測定する測定工程を行えば、前記被検知ガスの熱分解により生じた検知対象分解ガス量を求めることが出来、前記ポリフッ化炭化水素の分解反応における前記検知対象分解ガスの生成する当量比等、両ガス成分の相関から前記被検知ガスの濃度を知ることができるのである。
つまり、上述の例では、フッ化水素ガスや、フッ素ガスを検出した際のガス検知出力の前記ポリフッ化炭化水素濃度依存性を求めてあれば、測定工程における最終的なガス検知出力より測定対象ガス中に含まれていたポリフッ化炭化水素濃度を知ることが出来るのである。
【００１０】
そこで、このようなガス測定方法を行うためのガス検知器としては、
熱分解により検知対象分解ガスを生成する被検知ガスと、その被検知ガスに対する妨害ガスとを含んでなる測定対象ガスを、前記妨害ガスが分解され、前記被検知ガスが分解されない第一条件下で熱分解する第一熱分解部を設け、前記第一熱分解部で前記妨害ガスの分解により生成した分解ガスを吸着除去する吸着部を設け、前記吸着部からの測定対象ガスを前記被検知ガスが分解される第二条件下で熱分解する第二熱分解部を設け、前記第二熱分解部を経由し、前記測定対象ガス中に生成した検知対象分解ガス濃度を測定するガス検知部を設けてあることにより、前記測定対象ガス中の被検知ガス濃度を知ることが出来るのである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図面に基づいてより具体的に説明する。
ポリフッ化炭化水素中にポリフッ化ポリエーテルを含んでなる測定対象ガス中におけるポリフッ化炭化水素濃度を測定するガス検知器にあっては、好ましくは８００℃（さらに好ましくは８５０℃）以上９５０℃（さらに好ましくは９００℃）以下の低温（第一条件）での熱分解を行う第一熱分解部を設け、フッ化水素ガスまたはフッ素ガスの少なくとも一方を吸着除去する吸着部を設け、好ましくは９５０℃以上（さらに好ましくは１０００℃）以上１１００℃（さらに好ましくは１０５０℃）以下の高温（第二条件）での熱分解を行う第二熱分解部を設け、前記測定対象ガス中に生成したフッ化水素ガスまたはフッ素ガスの少なくとも一方の濃度を測定するガス検知部を設けてあれば良い。
【００１２】
具体的には図１に示すように、
ガス流通管Ｐの流路に沿って、上流側から順に、第一熱分解部１、吸着部３、第二熱分解部２、ガス検知部４を設けて、そのガス流通管Ｐ内に測定対象ガスを供給して流通させられる構成としてあればよい。
【００１３】
前記第一熱分解部１は、前記ガス流通管Ｐの外周部に電熱線１１を巻き付け、通電によるジュール熱を用いて加熱する構成を採用することが出来る。これにより、前記第一熱分解部１では、前記ガス流通管Ｐ内部に比較的緩やかに流れる測定対象ガスを比較的広範囲に渡って８５０℃〜９００℃に加熱することが出来るようになる。これにより、ポリフッ化炭化水素中にポリフッ化ポリエーテルを含んでなる測定対象ガス中におけるポリフッ化ポリエーテルは分解を受け、フッ化水素ガスとフッ素ガスを生成する。（第一熱分解工程）
【００１４】
前記吸着部３は、フッ化水素ガス及びフッ素ガスを吸着して前記ポリフッ化炭化水素を吸着しにくいソーダライム等の吸着剤を例えば０．６ｇ／ｃｍ3 程度に充填して形成してあり、測定対象ガス中に生成したフッ化水素ガス及びフッ素ガスを流通させて吸着除去可能に構成してある。（吸着工程）
【００１５】
前記第二熱分解部２は、前記ガス流通管Ｐの内部を加熱する加熱機構２６を内装して構成してある。前記加熱機構２６は、耐熱性支持体２２２の先端部に通電発熱部２２Ｂを設け、前記耐熱性支持体２２２の基部に前記通電発熱部２２Ｂに電力供給する通電部２４を設けた加熱素子２２を設け、前記ガス流通管内部の上流側に、前記加熱素子２２を取付ける取付部２１１を設けて前記加熱素子２２の基部２２１側を取付け、前記加熱素子２２の先端部２２４を前記ガス流通管内部軸心近傍に配置させ、前記上流側に、前記通電部２４に対して電気配線可能にする配線部２４２を設けて構成してある。
【００１６】
より具体的には、図２、３に示すように、前記第二熱分解部２の上流側に、アダプタ２３１，２３２，２３３を設け、一端側２１ａから他端側２１ｂへ熱反応対象ガスを流通させられる構成としてある。
【００１７】
前記アダプタは、前記ガス流通管Ｐの一端部２１ａを嵌入接続する嵌入凹部２３１ａを備えた第一アダプタ２３１、及び、前記加熱素子２２に電力供給するための端子２４Ａを形成する第二アダプタ２３２、及び、前記ガス流通管Ｐに対するガス供給部２５を形成する第三アダプタ２３３とからなる。
前記第一アダプター２３１は、前記嵌入凹部２３１ａから凹部背面に貫通する２対の孔部２４１，２４１，２５１，２５１を設けてあり、そのうち、一対の孔部２５１，２５１は、前記第一〜第三アダプタ２３１，２３２，２３３を積層した際に、これらを貫通するガス供給部２５を形成し、他の一対２４１，２４１は、外部端子２４Ａと前記通電部２４とを電気接続して、前記第二アダプタから前記加熱素子２２に通電するための端子部材２４ａを挿通する配線部２４２に形成されている。また、前記孔部２４１，２４１，２５１，２５１の中央部には、前記加熱素子２２を取付ける取付部２１１が形成してあり、前記加熱素子２２の基部２２１を保持する。なお、前記第一アダプター２３１の外周面には多数のフィン２３４を設けて、前記加熱素子２２からの放射熱を受けたとしても、効率よく逃がすことが出来るように形成してある。
前記第二アダプタ２３２は、一対の円柱状部材を前記第一アダプター２３１の凹部背面に接合し、前記配線部２４２から端子部材２４ａを取付け、外部に導線２４ｂを導出して端子２４Ａに形成する。
前記第三アダプター２３３は、前記第一アダプター２３１へと貫通形成されるガス供給部２５に熱反応対象ガスを導く管部２５Ａを設け、前記第二アダプター２３２に接合された状態で、前記ガス流通管Ｐの上流側管路に接続自在に形成してある。
【００１８】
前記加熱素子２２は、図４に示すように、耐熱性が高く、成型性のよい窒化ケイ素をヤスリ型に成型した耐熱性支持体２２２に、導線２２３を埋設して通電部２２Ａを形成するとともに、先端部２２４に貴金属線からなる発熱体２２５を埋設して通電発熱部２２Ｂを形成してある。また、基部２２１は、前記取付部２１１に嵌合固定される。前記通電部２４に通電すると、前記発熱体２２５は、通電によるジュール熱により、１１００度〜１２００度にまで加熱可能な構成となる。
【００１９】
これにより、前記加熱素子２２は、外部の端子２４Ａから前記配線部４２、通電部２４を介して、電力供給自在に配線され、加熱機構として働くとともに、前記ガス流通管内部に流通される測定対象ガスを、比較的狭い範囲内で１０００℃〜１０５０℃に加熱することが出来るようになる。これにより、ポリフッ化炭化水素は分解を受け、フッ化水素ガスとフッ素ガスを生成する。（第二熱分解工程）
【００２０】
前記ガス検知部４は、定電位電解式のガス検知素子４１を内装してあり、このガス検知素子４１を、図５に示すように、ガス検知回路４２に組み込むことにより、測定対象ガス中に含まれるフッ化水素ガスとフッ素ガスに対応する出力がえられる。（測定工程）これにより、前記出力を前記被検知ガス濃度に換算することが出来、その濃度を知ることが出来る。
尚、図中４１１は作用極、４１２は参照極、４１３は対極であり、前記作用極４１１は、前記ガス流通管Ｐ内のガスと接触するとともに、前記参照極４１２及び対極４１３が大気中の酸素に晒される構成としてあり、前記作用極４１１と対極４１３との間で電解反応を所定条件で生起し、前記フッ化水素ガスとフッ素ガスとの反応量に従った出力を呈する構造となっている。
【００２１】
【実施例】
以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
前記第一熱分解部の熱分解特性を図６に示す。ここでは、ポリフッ化炭化水素としては、日本ゼオン株式会社製ゼオローラ（主成分パーフルオロペンタン）を用い、ポリフッ化ポリエーテルとしては、アウジモント（株）社製ガルデン（主成分パーフルオロポリエーテル（ＣＡＳ  Ｎｏ．６９９９１−６７−９））を用いており、以下ゼオローラ、ガルデンと称する。また、それぞれのガスの検知出力は、５ｐｐｍのゼオローラを熱分解した後、新コスモス電機株式会社製のフッ化水素検知用の定電位分解式ガスセンサを用いて得た出力を１とする相対値で示している。
【００２２】
図６に示すように第一分解部ではゼオローラの出力（実線）に対してガルデンの出力（破線）が高く、主にガルデンの分解が進むことが示されている。また、第一分解部通過後のガルデンを吸着部に流通させた後の出力（鎖線）を求めると、大きく低下しており、前記吸着部はガルデンの分解物を効率よく吸着していることがわかり、ガルデンの分解物による出力はほとんどなくなっているものと推定される。
【００２３】
前記第二熱分解部の熱分解特性を図７に示す。測定条件等は図５の場合に準ずる。
【００２４】
図７に示すように第二熱分解部ではゼオローラの出力（実線）に対してガルデンの出力（破線）が低く、ガルデンの分解に優先してゼオローラの分解が進むことが示されている。また、第二熱分解部通過後のガルデンを吸着部に流通させた後の出力（鎖線）を求めると、やはり低下しているが、その低下量はあまり大きくないため、残存するガルデンの分解物による出力は、前記ゼオローラの出力にあまり影響しない物となっていると推定される。
【００２５】
それぞれのガスの熱分解後のガス検知出力の分解温度依存性を調べたところ図８のようになった。ここでは、それぞれのガスの検知出力は、５ｐｐｍのゼオローラを１１００℃で熱分解した後、新コスモス電機株式会社製のフッ化水素検知用の定電位分解式ガスセンサを用いて得た出力を１とする相対値で示している。
図８より、８００℃〜９５０℃の低温部近傍では、第一熱分解部の低温低速の熱分解方式によって細線のようにガルデン（破線）がゼオローラ（実線）に比べて優先的に分解され、９５０℃から１１００℃の高温部近傍では、第二分解部の高温高速の熱分解方式によって太線のようにゼオローラ（実線）がガルデン（破線）に比べて優先的に分解されていることがわかる。
【００２６】
〔別実施の形態〕
尚、上述のガス濃度測定方法を行うためのガス検知装置は、図９に示すように構成してあっても良い。つまり、内管Ｐ１と外管Ｐ２とからなるガス流通管Ｐを設け、前記内管Ｐ１内部の内部流路に通電発熱部２２Ｂを設けて、前記通電発熱部２２Ｂを設けてある内管Ｐ１内部を第二熱分解部２に形成するとともに、前記内管Ｐ１と外管Ｐ２との間に形成される中間流路に第一熱分解部１を形成し、前記中間流路に供給された測定対象ガスを吸着部３を経由させて前記内部流路に誘導するガス流通路を形成することによって構成することが出来る。このような場合、前記通電発熱部２２Ｂ周辺部において、前記第一熱分解部１では低温で時間をかけた（低速）で熱分解を行いやすく、前記第二熱分解部２では高温短時間（高速）での熱分解を行いやすい管径を設定しやすい。というのは、前記第一熱分解部１は内管Ｐ１と外管Ｐ２との間に形成されるため、ガス流路断面積を大きく設定しやすく、その第一熱分解部１を経由した測定対象ガスを内管Ｐ１に導けば、ガス流路断面積を小さく絞ることになるから流速を上げられる。また、前記第二熱分解部２に供給された熱は、前記内管Ｐ１を伝導して第一熱分解部１に伝導されるから、前記第一熱分解部１に伝導される熱量は前記第二熱分解部２に伝導される熱量よりも少なくなり、前記第二熱分解部２より前記第一熱分解部１のほうが、低温での熱分解反応を行うことになる。すなわち、先述のガス濃度測定方法を行うに好適な条件をコンパクトな構成にて実現できるのである。
【００２７】
尚、前記第二条件の測定対象ガス供給速度は、前記第一条件の２〜４倍の流速となる高速であることが好ましく、これにより、上記例示のポリフッ化炭化水素濃度測定が正確に行えるようになる。
【００２８】
先の実施の形態では、フロン系炭化水素の濃度を測定する例を示したが、他に同様のフロン系炭化水素同士の識別濃度測定以外に塩素を含むハロン系炭化水素等の識別濃度測定等であってもよく、このような場合ガス検知部に用いるガス検知素子としても、塩素系ガスを選択的に検知可能なガス検知素子等を用いることが出来る。
【００２９】
また、前記第一、第二条件の個々の状態を設定するには、単にガス流通管路の流路断面積を変えてガス流速をコントロールし、熱分解反応に要する時間を設定することによって行ってもよく、あるいは、第一、第二条件に加熱するガス流通管路と熱源との間隔を変えて熱分解反応を行う温度を設定することによって行ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガス検知器の概略図
【図２】ガス検知器の縦断正面図
【図３】ガス検知器の縦断側面図
【図４】ガス検知器の要部詳細図
【図５】ガス検知素子の概略図
【図６】第一熱分解部におけるガス検知特性を示すグラフ
【図７】第二熱分解部におけるガス検知特性を示すグラフ
【図８】各被検知ガスの分解特性を示すグラフ
【図９】別実施の形態のガス検知器の概略図
【符号の説明】
Ｐ    ガス流通管
１    第一熱分解部
３    吸着部
２    第二熱分解部
４    ガス検知部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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