(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シースケーブル（７）を他のケーブルに着脱自在に接続するシースケーブル用コネクタ端子において、円筒形のアウタケース（１３）を有するコネクタ本体（１）と、このコネクタ本体（１）の中心にセラミックからなる絶縁体（１４）で絶縁された状態で配置され、コネクタ本体（１）の先端側で他のケーブルと接続された他のコネクタ（３０）と着脱自在に接続されるコネクタピン部材（２）と、前記コネクタ本体（１）内で前記コネクタピン部材（２）に接続されるターミナルピン（１０）をシースケーブル（７）に接続したセラミック端子（６）とを有し、このセラミック端子（６）をセラミックからなる絶縁ブッシュ（３）で絶縁した状態でコネクタ本体（１）に嵌め込み、さらに絶縁ブッシュ（３）とコネクタ本体（１）の基端部との間に、基端からシースケーブル（７）の引出部（２５）を引き出した円筒形のケース（４）を嵌め込み、このケース（４）をコネクタ本体（１）の基端側にねじ込んだ円筒形の押さえネジ（５）で固定することによりセラミック端子（６）と絶縁ブッシュ（３）とをコネクタ本体（１）の基端部に固定したことを特徴とする請求項１に記載のシースケーブル用コネクタ端子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、シースケーブルを他のケーブル等に接続するためのコネクタ端子に関し、特に市販のコネクタを使用して真空雰囲気等でシースケーブルを接続するのに好適なシースケーブル用コネクタ端子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来におけるこの種のシースケーブル用コネクタ端子は、シースケーブルの端部にセラミック端子を接続し、樹脂絶縁材等で覆われたいわゆるソフトケーブルを前記コネクタ端子に接続し、このソフトケーブルを市販のコネクタ端子に接続している。この市販のコネクタ端子は、円筒形のアウターケースを有するもので、その中心に絶縁状態でピン状のコネクタピン部材を配置したものである。前記のソフトケーブルは、このコネクタピン部材に接続される。
【０００３】
前記の市販のコネクタ端子は、ステンレス等の金属製からなる円筒形のアウタケースを有し、コネクタピン部材は、このアウタケース内にアルミナ等のセラミック絶縁材を介して保持される。この市販のコネクタ端子は、その先端に他のコネクタ端子を着脱自在に嵌め込み、前記コネクタピン部材を介して前記シースケーブルを他のケーブルと接続するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとしている課題】
半導体堆積装置のような真空装置の真空チャンバ内では、基板や分子線源の加熱等にヒータが使用されている。また、真空チャンバ内では、トランスファーロッドやその他のアクチュエータも使用されている。これらのヒータやアクチュエータには、電気が供給され、そのため真空チャンバ内に配線を施す必要がある。これまで、真空チャンバ内での配線の接続はできるだけ避けられてきたが、真空装置の設計の柔軟性等の観点から真空チャンバ内でケーブルを接続する要請が高まっており、そのための真空雰囲気内コネクタの開発が必要である。
【０００５】
真空チャンバ内では、分子密度が小さくなり、ガス分圧が低下するに従って材料表面からの分子放出が無視できなくなる。そのため、ターボ分子ポンプ等による真空チャンバ内の分子の排出と共に、真空チャンバを高温で加熱し、真空チャンバ内部に存在する固体表面から予め分子を放出させてしまう、いわゆるベーキングが行われる。そのため、真空チャンバ内で使用する材料には、耐熱性が要求される。
【０００６】
前記のような従来のシースケーブル用コネクタ端子では、樹脂製の絶縁体を使用したいわゆるソフトケーブルが使用されているため、耐熱性が良くない。しかも、高温では樹脂材料が分解してガス放出量も非常に多くなるため、真空チャンンバ内を高真空度の真空雰囲気に維持することができない。。
【０００７】
また、核融合装置や加速器等のように、放射線の発生が避けられない真空チャンバ内で、前述した従来のシースケーブル用コネクタ端子を使用すると、樹脂絶縁体の電気的、機械的特性が放射線被曝により急速に劣化し、短期間のうちにシースケーブル用コネクタ端子としての機能が果たせなくなってしまう。その結果、シースケーブル用コネクタ端子を頻繁に交換する必要が生じ、保守に手間がかかるという不都合があった。
このような理由から、前述したシースケーブル用コネクタ端子は真空チャンバ内で使用するのには適さなかった。
【０００８】
本発明は、前記のような従来のシースケーブル用コネクタ端子における課題に鑑み、市販のコネクタをそのまま使用して汎用性を保持しながら、高温下のベーキングや放射線の被曝に耐え、しかも真空中におけるガス放出が少ないシースケーブル用コネクタ端子を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明では、前記の目的を達成するため、市販のコネクタ端子を使用し、このコネクタ本体１のアウタケース１３の中でコネクタピン部材２とシースケーブル７に接続したターミナルピン６とを接続すると共に、ターミナルピン６をセラミックからなる絶縁ブッシュ３及びケース４で覆い、これらを押さえネジ５でコネクタ本体１内に固定したものである。このシースケーブル用コネクタ端子は、樹脂絶縁体を使用していないので、ベーキング処理等の高温や放射線の被曝に耐えることができると共に、真空雰囲気中での分子の放出も最小限に抑えることができる。
【００１０】
すなわち、本発明によるシースケーブル用コネクタ端子は、円筒形のアウタケース１３を有するコネクタ本体１と、このコネクタ本体１の中心にセラミックからなる絶縁体１４で絶縁された状態で配置され、コネクタ本体１の先端側で他のケーブルと接続された他のコネクタ３０と着脱自在に接続されるコネクタピン部材２と、前記コネクタ本体１内で前記コネクタピン部材２に接続されるターミナルピン１０をシースケーブル７に接続したセラミック端子６とを有し、このセラミック端子６をセラミックからなる絶縁ブッシュ３で絶縁した状態でコネクタ本体１に嵌め込み、さらに絶縁ブッシュ３とコネクタ本体１の基端部との間に、基端からシースケーブル７の引出部２５を引き出した円筒形のケース４を嵌め込み、このケース４をコネクタ本体１の基端側にねじ込んだ円筒形の押さえネジ５で固定することによりセラミック端子６と絶縁ブッシュ３とをコネクタ本体１の基端部に固定したことを特徴とする。
【００１１】
このようなシースケーブル用コネクタ端子は、樹脂絶縁体を使用せずに、コネクタ本体１の内部でシースケーブル７をコネクタピン部材２と接続することができるので、高温に耐えることができると共に、真空雰囲気においた分子放出を無くすとができる。これにより、真空チェンバ内におけるベーキングに耐えることが可能であり、真空チャンバ内での真空雰囲気に影響を与えない。しかも、コネクタ本体１として市販のコネクタ端子を使用することができるので、汎用性を高めることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
次に、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について、具体的且つ詳細に説明する。
図２に示すように、本発明ではコネクタ本体１として市販のコネクタ端子を使用する。このコネクタ本体１は、円筒形のアウタケース１３とその中に嵌め込まれた円筒形の絶縁体１４とからなる。
【００１３】
アウタケース１３は、ステンレス等の金属製からなり、その中央に貫通孔を有する仕切１５を有する。図２においてこの仕切の左側がアウタケース１３の先端側、つまり接続すべき他のコネクタ端子３０（図１参照）と接続する側となっている。このアウタケース１３の先端側の内周に円筒形の凹部１７が形成され、この円筒形の凹部１７は、接続すべき他のコネクタ端子３０（図１参照）のアース側の円筒形の端子が嵌め込まれる。
【００１４】
アウタケース１３の先端側の内側にアルミナ等の絶縁セラミックス等からなる前記の絶縁体１４が嵌め込まれている。この絶縁体１４は、中心軸上に貫通孔を有する円筒形のものである。その通孔は仕切１５側で内径が大きく、先端側で内径が小さいくなるような段差が設けられ、さらにその先端側はより径の大きな凹部１６となっている。
【００１５】
アウタケース１３の仕切１５より基端側には、基端へ向けて内径が次第に増大するようなテーパ面１８が形成されている。このテーパ面１８よりさらに基端側の内径部分は円筒面となっている。この円筒面の基端開口部からその奥にわたって雌ネジ１２が形成されている。
【００１６】
前記コネクタ本体１の絶縁体１４には、図２に示すようなコネクタピン部材２が嵌合される。このコネクタピン部材２の先端は先鋭なコンタクトピン８となっている。また、コネクタピン部材２の基端側は大小の径からなる２段の円柱体となっており、径の大きな基端部の中心に穴９が設けられている。
【００１７】
前記コネクタ本体１のアウタケース１３の基端側には、図２に示すような円筒形の絶縁ブッシュ３が嵌合される。この絶縁ブッシュ３の先端部外周面は、前記アウタケース１３のテーパ面１８に対応したテーパ面１９となっている。この先端部より基端側は、前記テーパ面１９より外径が小さな円筒形となっている。この絶縁ブッシュ３の内径は、前記のコネクタピン部材２の基端部の外径と同じである。
【００１８】
さらに、前記コネクタ本体１のアウタケース１３の基端側には、絶縁ブッシュ３の背後から図２に示すような円筒形のケース４が嵌合される。このケース４は、先端側にフランジ２０を有し、このフランジ２０の基端側を押さえネジ５の先端で押しつける。このケース４の基端側端面の中心に貫通孔２２が設けられている。このケース４の内径は、前記絶縁ブッシュ３の基端側の外径と同じであり、ケース４の外径は、後述する押さえネジ５の内径と同じである。また、ケース４の基端面の貫通孔２２の径は、後述するセラミック端子６の引出部２５の径と同じである。
【００１９】
前記コネクタ本体１のアウタケース１３の基端側の雌ネジ１２には、ケース４の背後から図２に示すような円筒形の押さえネジ５がねじ込まれる。この押さえネジ５の先端側外周には、前記アウターケース１３の雌ネジ１２と適合する雄ネジ２４が形成され、基端側にはフランジを有する。この押さえネジ５の内径は、ケース４の外形と同じである。
【００２０】
シースケーブル７は、セラミック端子６を介してターミナルピン１０に接続されている。すなわち、シースケーブル７のシース内に収納された図示してない導電線が、セラミック端子６のセラミック絶縁部１１の中でターミナルピン１０に接続されている。このターミナルピン１０は、セラミック絶縁部１１の先端部に固定された状態で同セラミック絶縁部１１の先端方向へ突出されている。また、このターミナルピン１０の径は、前記コネクタピン部材２の基端側の穴９の径と同じである。シースケーブル７のシースは、セラミック絶縁部１１の基端部に固定された状態で同セラミック絶縁部１１の基端方向へ突出されたスリーブ状の引出部２５に固定されている。前述したように、この引出部２４の径はケース４の基端面の貫通孔２２の径と同じであり、且つセラミック絶縁部１１の径より小さい。また、セラミック絶縁部１１の径は、前記絶縁ブッシュ３の内径と同じである。
【００２１】
次に、このような構成部材からなるシースケーブル用コネクタ端子の組立手順について順を追って説明する。
まず、図２に示すコネクタ本体１の中の絶縁体１４の中にコネクタピン部材２を嵌め込む。すなわち、絶縁体１４の基端側からコネクタピン部材２の先端のコンタクトピン８を嵌め込み、絶縁体１４の通孔の段部と大小の円柱体の段部との突き合わせによりコネクタピン部材２を停止させる。この状態で、コネクタピン部材２の先端部のコンタクトピン８が絶縁体１４の先端部の凹部１６内に突出し、コネクタピン部材２の基端部が仕切１５の通孔からアウタケース１３の基端側に突出している。
【００２２】
次に、コネクタピン部材２の基端部とアウタケース１３の基端部との間に絶縁ブッシュ３を嵌合する。既に述べた通り、この絶縁ブッシュ３の内径は、前記のピンコネクタ２の基端部の外径と同じであるため、絶縁ブッシュ３は、ピンコネクタ２の基端部に密に嵌合される。また絶縁ブッシュ３の先端部外周面は、前記アウタケース１３のテーパ面１８に対応したテーパ面１９となっているため、絶縁ブッシュ３がアウタケース１３の仕切１５のある最も奥まで嵌合されると、前記らのテーパ面１８、１９が密に接触する。
【００２３】
他方、シースケーブル７の端部にセラミック端子６を介してターミナルピン１０を接続する前に、予めシースケーブル７に前記のケース４の貫通孔２２と押さえネジ５とを通しておく。この状態で、シースケーブル７の端部にセラミック端子６を介してターミナルピン１０を取り付け、このターミナルピン１０を前記コネクタピン部材２の穴９に嵌め込む。前述のように、セラミック端子６のセラミック絶縁部１１の径は、前記絶縁ブッシュ３の内径と同じであるため、セラミック絶縁部１１を絶縁ブッシュ３に嵌め込み、その案内により先端のターミナルピン１０を前記コネクタピン部材２の基端側の穴９に嵌め込む。ターミナルピン１０の径は、前記コネクタピン部材２の基端側の穴９の径と同じであるため、このターミナルピン１０は、コネクタピン部材２の基端側の穴９に密に嵌め込まれる。
【００２４】
次に、予めシースケーブル７に通しておいたケース４のフランジ２０側をコネクタ本体１のアウターケース１３の基端側に嵌め込む。これにより、絶縁ブッシュ３がアウターケース１３の基端部１２内に嵌め込まれ、また、ケース４の基端側の壁により、セラミック端子６のセラミック絶縁部１１が絶縁ブッシュ３内に嵌め込まれる。
【００２５】
さらに、押さえネジ５の外周の雄ネジ２４をコネクタ本体１のアウターケース１３の基端側の雌ネジ１２に螺合し、締め付ける。これにより、ケース４のフランジ２０部が押さえネジ５の先端部により押しつけられ、ケース４が絶縁ブッシュ３の外側に固定される。これにより、セラミック端子６と絶縁ブッシュ３とがコネクタ本体１の基端部に固定される。
これらの工程により、図１に示すようにしてシースケーブル用コネクタ端子の組立が完了する。
【００２６】
このようなシースケーブル用コネクタ端子は、コネクタ本体１の先端側で、別のケーブルに接続された他のコネクタ３０と着脱自在に接続される。
既に述べた通り、このようなシースケーブル用コネクタ端子は、樹脂絶縁体を使用せずに、コネクタ本体１の内部でシースケーブル７をコンタクトピン８と接続することができる。このため、高温に耐えることができ、しかも真空雰囲気においた分子放出を無くすとができる。従って、、真空チェンバ内におけるベーキングに耐えることが可能であり、真空チャンバ内での真空雰囲気に影響を与えない。しかも、コネクタ本体１として市販のコネクタ端子を使用することができるので、汎用性を高めることができる。
【００２７】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明によれば、市販のコネクタをそのまま使用して汎用性を保持しながら、高温下のベーキングや放射線の被曝に耐え、しかも真空中におけるガス放出が少ないシースケーブル用コネクタ端子を提供することができるようになり、所期の目的を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるシースケーブル用コネクタ端子の一例の組み立てた状態を示す一部縦断側面図である。
【図２】同シースケーブル用コネクタ端子の一例の各部品を分解した状態を示す一部縦断側面図である。
【符号の説明】
１    コネクタ本体
２    コネクタピン部材
３    絶縁ブッシュ
４    ケース
５    押さえネジ
７    シースケーブル
８    コネクタピン部材のコンタクトピン
１０  ターミナルピン
１３  コネクタ本体のアウタケース
１４  コネクタ本体の絶縁体
３０  他ののコネクタ
【図１】
0004235315.tif 000002
【図２】
0004235315.tif 000003