(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボディ両端面に環状溝を形成し、前記環状溝の底部に圧力室へ連通する一対の貫通孔を設け、前記環状溝へ１個のＯリングを嵌着し、前記環状溝の底部と前記Ｏリングとの間に前記一対の貫通孔を連通させる連通路を形成すると共に、前記環状溝へスペーサを圧入して前記Ｏリングを前記環状溝へ固定して成ることを特徴とするダブルベーン型揺動アクチュエータ。
【請求項２】
ボディの一端側に同心円状に複数の環状溝を形成し、それぞれの環状溝の底部に圧力室へ連通する一対の貫通孔を設け、前記各環状溝へ１個のＯリングを嵌着し、前記環状溝の底部と前記Ｏリングとの間に前記一対の貫通孔を連通させる連通路を形成すると共に、前記複数の環状溝へ１個のスペーサを圧入して前記複数のＯリングを前記環状溝へ固定して成ることを特徴とするダブルベーン型揺動アクチュエータ。
【請求項３】
前記環状溝のＯリングを嵌着する部位と底部との間に段部を設け、前記段部を前記連通路として成ることを特徴とする請求項１または請求項２のダブルベーン型揺動アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダブルベーン型揺動アクチュエータに係り、特にダブルベーン型揺動アクチュエータにおける流体流路に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ダブルベーン型揺動アクチュエータは、例えば、特開昭６４−６５３１３号公報の第７図に示すように、ボディ（１）内に一対のストッパ（２ａ，２ｂ）を対向させて設け、これらのストッパ（２ａ，２ｂ）間をシャフト（３）に設けた一対の羽根（４，４）によって部屋（５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂ）に区画し、部屋（５ａと６ａ，５ｂと６ｂ）によって一対の圧力室（７Ａ，７Ｂ）を構成し、ボディ（１）の周壁に圧力室（７Ａ，７Ｂ）に給排する給排ポート（８ａ，８ｂ）を開設している。
【０００３】
このため、圧力流体の給排に伴い、部屋（５ａと６ａ，５ｂと６ｂ）を通路によって連通させることが必要であり、この通路（９ａ，９ｂ）はシャフト（３）に設けられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ダブルベーン型揺動アクチュエータが小型でシャフト径が小さい場合、通路（９ａ，９ｂ）の加工が困難であり、シャフト（３）の強度も低下するという欠点を有している。
【０００５】
また、シャフトを中空構造として吸着パッドを取り付けたり、直動アクチュエータを内蔵させたりして、揺動アクチュエータに複合機能を持たせることも不可能であった。
これに対して、実公平７−２２４８２号公報のように、揺動アクチュエータのボディの一端側にアダプタ（４），カバー（８），シール部材（２７ａ，２７ｂ）を装着して連通路をその内部に形成するようにした例もある。
【０００６】
しかし、アダプタ（４）とカバー（８）のためアクチュエータが大型化し、また、アダプタ（４）とシール部材（２７ａ，２７ｂ）の形状も複雑になるという欠点を有している。
さらに、実開昭６２−１６６３０４号公報や特開昭６４−６５３１４号公報のように、連通路を揺動アクチュエータの端面部に内蔵させて設けた例もある。
【０００７】
しかし、前者において、図示された円弧状の通路（２０ａ，２０ｂ）を形成することは非常に困難であり、その形成方法も開示されていない。後者においては、流路（２６ａ，２６ｂ）が揺動アクチュエータの軸芯部を貫通する構成となっており、流路の孔加工は容易であるが、シャフトまたはボディのシャフト貫通孔に周溝（２８，２９）を形成する必要があり、シャフト径が小さい場合加工が困難であり、Ｏリング（３０）のためシャフトの摺動抵抗が高くなる欠点を有している。
【０００８】
本発明は斯かる従来の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、複数の圧力室を連通させる連通路を容易に形成することができるダブルベーン型揺動アクチュエータを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、ボディ両端面に環状溝を形成し、前記環状溝の底部に圧力室へ連通する一対の貫通孔を設け、前記環状溝へ１個のＯリングを嵌着し、前記環状溝の底部と前記Ｏリングとの間に前記一対の貫通孔を連通させる連通路を形成すると共に、前記環状溝へスペーサを圧入して前記Ｏリングを前記環状溝へ固定して成ることを特徴とする。
【００１０】
請求項２に係る発明は、ボディの一端側に同心円状に複数の環状溝を形成し、それぞれの環状溝の底部に圧力室へ連通する一対の貫通孔を設け、前記各環状溝へ１個のＯリングを嵌着し、前記環状溝の底部と前記Ｏリングとの間に前記一対の貫通孔を連通させる連通路を形成すると共に、前記複数の環状溝へ１個のスペーサを圧入して前記複数のＯリングを前記環状溝へ固定して成ることを特徴とする。
請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２のダブルベーン型揺動アクチュエータにおいて、前記環状溝のＯリングを嵌着する部位と底部との間に段部を設け、前記段部を前記連通路として成ることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す実施形態に基づいて説明する。
図１〜図４は、本発明の第１の実施形態に係るダブルベーン型揺動アクチュエータ（請求項１に対応する）を示し、図１は図３のＡ−Ａ線断面図、図２は図１の一部拡大図、図３はスペーサおよびＯリングを除いて示す正面図、図４はスペーサおよびＯリングを除いて示す背面図である。
【００１２】
本実施形態に係るダブルベーン型揺動アクチュエータは、ボディが１Ａ，１Ｂに分割されている。ボディ１Ａ，１Ｂはボルト１８により一体になるように構成されている。
【００１３】
ボディ１Ａ，１Ｂは、それぞれの端面に環状溝１２ａ，１２ｂが形成されている。環状溝１２ａ，１２ｂの底部１２ａ１，１２ｂ１にはそれぞれ貫通孔１０，１０，１１，１１が形成されている。各貫通孔１０，１０，１１，１１は、ダブルベーン型揺動アクチュエータの部屋５ａ，６ａ，５ｂ，６ｂに連通している。環状溝１２ａ，１２ｂには、Ｏリング１３ａ，１３ｂが環状溝１２ａ，１２ｂの底部１２ａ１，１２ｂ１との間に連通路１５を設けるように嵌着され、さらにスペーサ１４ａ，１４ｂが圧入されＯリング１３ａ，１３ｂを固定している。
【００１４】
このダブルベーン型揺動アクチュエータの内部には、ストッパ２ａ，２ｂとシャフト３に取り付けられた羽根４，４により区画された部屋５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂが形成されている。
シャフト３は、軸受１６ａ，１６ｂとＯリング１７ａ，１７ｂを介してボディ１Ａ，１Ｂに装着されている。
【００１５】
斯くして構成された本実施形態に係るダブルベーン型揺動アクチュエータが作動すると、部屋５ａ内の流体は貫通孔１０から連通路１５を通り、反対側の貫通孔１０から部屋６ａに流入する。他の部屋５ｂ，６ｂも同様である。
図５〜図１０は、本発明の第２の実施形態に係るダブルベーン型揺動アクチュエータ（請求項２に対応する）を示し、図５は図９のＢ−Ｂ線断面図、図６は図９のＣ−Ｃ線断面図、図７は図５の一部拡大図、図８は図６の一部拡大図、図９はスペーサおよびＯリングを除いて示す正面図、図１０はスペーサおよびＯリングを除いて示す背面図である。
【００１６】
本実施形態に係るダブルベーン型揺動アクチュエータは、ボディが１Ａ，１Ｂに分割されている。そして、いずれか一方のボディ１Ａ，１Ｂの端面（本実施形態では、ボディ１Ａ）には、環状溝１２ａ，１２ｂが形成されている。環状溝１２ａ，１２ｂの底部１２ａ１，１２ｂ１には、それぞれ貫通孔１０，１０，１１，１１が形成されている。各貫通孔１０，１０，１１，１１は、ダブルベーン型揺動アクチュエータの部屋５ａ，６ａ，５ｂ，６ｂに連通している。
【００１７】
環状溝１２ａ，１２ｂには、Ｏリング１３ａ，１３ｂが環状溝１２ａ，１２ｂの底部１２ａ１，１２ｂ１との間に連通路１５を設けるように嵌着され、１個のスペーサ１４ｃが圧入されＯリング１３ａ，１３ｂを固定している。
このダブルベーン型揺動アクチュエータの内部には、ストッパ２ａ，２ｂとシャフト３に取り付けられた羽根４，４により区画された部屋５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂが形成されている。
【００１８】
シャフト３は、軸受１６ａ，１６ｂとＯリング１７ａ，１７ｂを介してボディ１Ａ，１Ｂに装着されている。
斯くして構成された本実施形態に係るダブルベーン型揺動アクチュエータにおいては、環状溝１２ａ，１２ｂをダブルベーン型揺動アクチュエータのボディ１Ａの一端側に設けたので、１個のスペーサ１４ｃで２個のＯリング１３ａ，１３ｂを固定することができる。
【００１９】
なお、本実施形態では、２条の環状溝１２ａ，１２ｂを設けた場合について説明したが、本発明はこれに限らず、２条以上であれば良く、これに限定するものではない。
図１１〜図１４は、本発明の第３の実施形態に係るダブルベーン型揺動アクチュエータ（請求項１，３に対応する）を示し、図１１は図１３のＤ−Ｄ線断面図、図１２は図１１の一部拡大図、図１３はスペーサおよびＯリングを除いて示す正面図、図１４はスペーサおよびＯリングを除いて示す背面図である。
【００２０】
本実施形態に係るダブルベーン型揺動アクチュエータは、図１に示すダブルベーン型揺動アクチュエータの環状溝１２ａ，１２ｂの底部に、Ｏリング１３ａ，１３ｂより狭幅の段部１２ｃを設けることによって、連通路１５を形成するように構成したことに特徴を有する。
本実施形態においては、ダブルベーン型揺動アクチュエータの動作が切り換わり、連通路１５内が負圧になっても、環状溝１２ａ，１２ｂの底部にＯリング１３ａ，１３ｂより狭幅の段部１２ｃが設けられているので、Ｏリング１３ａ，１３ｂが連通路１５を塞いでしまうことが無い。
【００２１】
なお、本実施形態では、ボディ１Ａ，１Ｂの各端面に１条の環状溝１２ａ，１２ｂを設けた場合について説明したが、本発明はこれに限らず、図５に示すダブルベーン型揺動アクチュエータのボディ１Ａ，１Ｂの一端面に２条あるいはそれ以上の環状溝１２ａ，１２ｂを設けた場合について当然に適用できるものである。
【００２２】
【発明の効果】
本発明は、ダブルベーン型揺動アクチュエータにおいて、圧力室を連通させる連通路がアクチュエータ本体に設けられているので、従来のようにシャフトに貫通孔を開口させる必要が無く、シャフトを中空構造として吸着パッドを取り付けたり、直動アクチュエータを内蔵させる等の複合機能を揺動アクチュエータに追加することができる。
【００２３】
また、シャフトに貫通孔を設けた従来製品をシャフト中空構造に改造することも可能である。
また、ダブルベーン型揺動アクチュエータのボディに別部材を外装する必要が無いため、ボディの大きさをシングルベーン型揺動アクチュエータと同等のコンパクトなものとすることができる。
また、１個のＯリングとスペーサで連通路を形成するので、部品点数が少なく、加工も容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図２】図１の一部拡大図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係るダブルベーン型揺動アクチュエータを示す正面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係るダブルベーン型揺動アクチュエータを示す背面図である。
【図５】図９のＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】図９のＣ−Ｃ線断面図である。
【図７】図５の一部拡大図である。
【図８】図６の一部拡大図である。
【図９】本発明の第２の実施形態に係るダブルベーン型揺動アクチュエータ正面図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態に係るダブルベーン型揺動アクチュエータ背面図である。
【図１１】図１１のＤ−Ｄ線断面図である。
【図１２】図１１の一部拡大図である。
【図１３】本発明の第３の実施形態に係るダブルベーン型揺動アクチュエータ正面図である。
【図１４】本発明の第３の実施形態に係るダブルベーン型揺動アクチュエータ背面図である。
【符号の説明】
１Ａ，１Ｂ  ボディ
２ａ，２ｂ  ストッパ
３  シャフト
４  羽根
５ａ，６ａ，５ｂ，６ｂ  部屋
１０，１０，１１，１１  貫通孔
１２ａ，１２ｂ  環状溝
１２ａ１，１２ｂ１  底部
１２ｃ  段部
１３ａ，１３ｂ，１７ａ，１７ｂ  Ｏリング
１４ａ，１４ｂ，１４ｃ  スペーサ
１５，１５ａ，１５ｂ  連通路
１６ａ，１６ｂ  軸受
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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