(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸送りスイッチの手動操作によってレーザ加工ヘッドとワークテーブル上のワークとをＸ軸方向、Ｙ軸方向に相対的に移動させて前記ワークを切断するジョグ切断を行うレーザ加工機において、
前記軸送りスイッチの手動操作に基づき、ジョグ切断開始位置へ前記レーザ加工ヘッドを移動する制御を実行し、
前記ジョグ切断開始位置でのジョグ切断開始の手動操作に応じてジョグ切断を開始し、前記ジョグ切断開始時に前記軸送りスイッチによる軸送り方向とは逆方向に自動軸送りを行い、前記ジョグ切断開始位置と離れた位置であり前記ワークの外縁に相当する逆方向軸送り完了位置にて自動でレーザ照射を開始し、レーザ照射によるレーザ切断状態で前記ジョグ切断開始位置まで戻る自動軸送りの制御を実行し、
前記軸送りスイッチの手動操作に基づき、前記ジョグ切断開始位置より引き続きレーザ切断状態で前記軸送りスイッチによる軸送り方向と同方向に軸送りの制御を実行するジョグ切断制御手段を有するレーザ加工機。
【請求項２】
請求項１記載のレーザ加工機において、
前記ジョグ切断制御手段は、ジョグ切断開始位置より所定量に設定された距離だけ離れた位置を前記ジョグ切断開始時の逆方向自動軸送り完了位置とするもの。
【請求項３】
軸送りスイッチの手動操作によってレーザ加工ヘッドとワークテーブル上のワークとをＸ軸方向、Ｙ軸方向に相対的に移動させて前記ワークを切断するジョグ切断制御方法において、
前記軸送りスイッチの手動操作に基づき、ジョグ切断開始位置へ前記レーザ加工ヘッドを移動し、
前記ジョグ切断開始位置でのジョグ切断開始の手動操作に応じてジョグ切断を開始し、前記ジョグ切断開始時に前記軸送りスイッチによる軸送り方向とは逆方向に自動軸送りを行い、前記ジョグ切断開始位置と離れた位置であり前記ワークの外縁に相当する逆方向軸送り完了位置にて自動でレーザ照射を開始し、レーザ照射によるレーザ切断状態で前記ジョグ切断開始位置まで戻る自動軸送りを行い、
前記軸送りスイッチの手動操作に基づき、前記ジョグ切断開始位置より引き続きレーザ切断状態で前記軸送りスイッチによる軸送り方向と同方向に軸送りを行うジョグ切断制御方法。
【請求項４】
請求項３記載のジョグ切断制御方法において、
ジョグ切断開始位置より所定量に設定された距離だけ離れた位置を前記ジョグ切断開始時の逆方向自動軸送り完了位置とする。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、レーザ加工機およびジョグ切断制御方法に関し、特に、手操作による軸移動によって切断を行うジョグ切断制御を行うレーザ加工機およびジョグ切断制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
レーザビームを被加工材に照射して切断加工を行う数値制御式のレーザ加工機では、加工プログラムによる自動制御運転以外に、一つの操作モードとして、ＮＣ操作盤にてジョグモード（手動送りモード）を設定することができる。
【０００３】
ジョグモードでは、数値制御装置のキャビネットに設けられているタッチセンサパネル付きのディスプレイに設定される切断ボタン（ソフトボタン）を押しながらＮＣ操作盤の軸送りスイッチを押すと、レーザビーム照射、アシストガス噴出のレーザ切断状態で、軸送りスイッチによる軸送り方向と同方向に軸送りが行われ、ジョグ切断が行われる。ジョグ切断は、材料裁断や端材切断等に使用される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来のジョグ切断では、材料の外縁（端面）からレーザ切断が行われるためには、切断開始に際して手動操作と目視確認によって材料の外縁をレーザ切断位置に位置決めしなくてはならない。このため、ジョグ切断が煩雑な作業になり、特に、作業経験が少ない作業者では、作業能率が著しく低下する原因になる。
【０００５】
この発明は、上述の如き問題点を解消するためになされたもので、煩雑な作業を省略し、ジョグ切断が作業経験が少ない作業者でも能率よく行われ得るように改善されたレーザ加工機およびジョグ切断制御方法を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、軸送りスイッチの手動操作によってレーザ加工ヘッドとワークテーブル上のワークとをＸ軸方向、Ｙ軸方向に相対的に移動させて前記ワークを切断するジョグ切断を行うレーザ加工機において、
前記軸送りスイッチの手動操作に基づき、ジョグ切断開始位置へ前記レーザ加工ヘッドを移動する制御を実行し、
前記ジョグ切断開始位置でのジョグ切断開始の手動操作に応じてジョグ切断を開始し、前記ジョグ切断開始時に前記軸送りスイッチによる軸送り方向とは逆方向に自動軸送りを行い、前記ジョグ切断開始位置と離れた位置であり前記ワークの外縁に相当する逆方向軸送り完了位置にて自動でレーザ照射を開始し、レーザ照射によるレーザ切断状態で前記ジョグ切断開始位置まで戻る自動軸送りの制御を実行し、
前記軸送りスイッチの手動操作に基づき、前記ジョグ切断開始位置より引き続きレーザ切断状態で前記軸送りスイッチによる軸送り方向と同方向に軸送りの制御を実行するジョグ切断制御手段を有するレーザ加工機。
請求項２に係る発明は、請求項１記載のレーザ加工機において、
前記ジョグ切断制御手段は、ジョグ切断開始位置より所定量に設定された距離だけ離れた位置を前記ジョグ切断開始時の逆方向自動軸送り完了位置とするもの。
請求項３に係る発明は、軸送りスイッチの手動操作によってレーザ加工ヘッドとワークテーブル上のワークとをＸ軸方向、Ｙ軸方向に相対的に移動させて前記ワークを切断するジョグ切断制御方法において、
前記軸送りスイッチの手動操作に基づき、ジョグ切断開始位置へ前記レーザ加工ヘッドを移動し、
前記ジョグ切断開始位置でのジョグ切断開始の手動操作に応じてジョグ切断を開始し、前記ジョグ切断開始時に前記軸送りスイッチによる軸送り方向とは逆方向に自動軸送りを行い、前記ジョグ切断開始位置と離れた位置であり前記ワークの外縁に相当する逆方向軸送り完了位置にて自動でレーザ照射を開始し、レーザ照射によるレーザ切断状態で前記ジョグ切断開始位置まで戻る自動軸送りを行い、
前記軸送りスイッチの手動操作に基づき、前記ジョグ切断開始位置より引き続きレーザ切断状態で前記軸送りスイッチによる軸送り方向と同方向に軸送りを行うジョグ切断制御方法。
請求項４に係る発明は、請求項３記載のジョグ切断制御方法において、
ジョグ切断開始位置より所定量に設定された距離だけ離れた位置を前記ジョグ切断開始時の逆方向自動軸送り完了位置とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下に添付の図を参照してこの発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１２】
図１はこの発明によるレーザ加工機の一つの実施の形態を示している。
【００１３】
レーザ加工機１はコの字形のフレーム３を備えている。フレーム３は、下部フレーム５と、上部フレーム７と、下部フレーム５と上部フレーム７とを連結するサイドフレーム９とで構成されている。
【００１４】
上部フレーム７にはレーザ加工ヘッド１１がＺ軸方向（垂直方向）に軸移動可能に設けられている。レーザ加工ヘッド１１には図示省略のレーザ発振装置よりレーザビームを与えられ、図示省略のアシストガス供給源よりアシストガスを供給される。
【００１５】
下部フレーム５上にはワーク支持移動装置１３が設けられている。ワーク支持移動装置１３は、下部フレーム５上に固定配置されたセンタテーブル１５と、センタテーブル１５の両側に配置されてＹ軸方向に移動自在なサイドテーブル１７と、センタテーブル１５を跨いでＸ軸方向に延在して両側のサイドテーブル１７に固定連結されたキャレッジベース１９とを含んでいる。
【００１６】
キャレッジベース１９にはキャレッジ２１がＸ軸方向に移動可能に設けられており、キャレッジ２１にはテーブル上においてワーク（板材）Ｗをクランプするワーククランプ２３が取り付けられている。
【００１７】
ワーククランプ２３によってクランプされたワークＷは、キャレッジ２１のＸ軸方向の軸移動によってＸ軸方向へ移動し、サイドテーブル１７のＹ軸方向の軸移動によってＹ軸方向移動する。このＸ軸移動とＹ軸移動により、ワークＷの被加工位置をレーザ加工ヘッド１１の真下位置に移動させることができ、レーザ加工ヘッド１１の先端ノズル２５（図２参照）よりレーザビームがアシストガス噴射と共にワークＷの被加工位置に向けて照射されることにより、レーザ切断が行われる。
【００１８】
サイドフレーム９側にはレーザ加工機１の制御を行う数値制御装置（ＣＮＣ）３１のキャビネット３３がプレス本体に隣接して設けられている。キャビネット３３には、ＮＣ操作盤３５、タッチセンサパネル付きのディスプレイ装置３７が取り付けられている。
【００１９】
レーザ加工機１の制御系を図２を参照して説明する。レーザ加工機１は、キャレッジ２１をＸ軸方向に駆動するＸ軸サーボモータ３９と、サイドテーブル１７をＹ軸方向に駆動するＹ軸サーボモータ４１と、レーザ加工ノズル１１をＺ軸方向に駆動するＺ軸サーボモータ４３とを有している。各軸のサーボモータ３９、４１、４３には、ロータリエンコーダ等によるモータ位置検出器４５、４７、４９が取り付けられている。
【００２０】
ＣＮＣ３１は、モータ位置検出器４５、４７、４９の各々よりモータ位置信号を入力し、加工プログラムに従ってフィードバック制御式に各制御軸（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸）の軸制御を行うと共に、レーザ出力制御部５１、アシストガス制御部５３へ制御信号を出力する。
【００２１】
レーザ加工ヘッド１１の先端ノズル２５には先端ノズル２５とワーク上面とのＺ軸方向の距離を静電容量や渦電流等によって非接触式に計測する距離センサ５５を取り付けられている。ＣＮＣ３１は、倣い制御部５７と、ジョグ切断制御部５９とを含んでいる。
【００２２】
ＮＣ操作盤３５は、図３に示されているように、複数個の操作モード選択スイッチ６１、軸送りスイッチ６２、オーバライト設定スイッチ６３、スタートスイッチ６４、ストップスイッチ６５、非常停止スイッチ６６等をハードスイッチとして有している。
【００２３】
操作モード選択スイッチ６１には、メモリに登録されている加工プログラムを実行するメモリ運転モードを設定するメモリ運転スイッチ６１Ａやジョグモードを設定するジョグスイッチ６１Ｂ等がある。軸送りスイッチ６２は、各軸（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸）毎に、プラス方向（＋方向）、マイナス方向（−方向）の個別のスイッチ６２Ａ〜６２Ｆを有する。
【００２４】
ジョグモード時には、ディスプレイ装置３７の画面表示は図４に示されているようになる。ジョグモード時には、ヘッド降下ボタン７１、ピアスボタン７３、切断ボタン７５、スタートアップ切断ボタン７７等がディスプレイ装置３７にソフトスイッチで与えられる。
【００２５】
倣い制御部５７は、距離センサ５５によって計測された先端ノズル２５とワーク上面とのＺ軸方向距離の計測値に基づいて、レーザ加工ヘッド１１のＺ軸サーボモータ４３によるＺ軸制御により、先端ノズル２５とワーク上面との間隙を予めパラメータ設定されている所定値に保つＺ軸倣い制御を行い、ワークの開口部通過時にはその倣い制御をキャンセルし、レーザ加工ヘッド１１のＺ軸位置を保持してレーザ加工ヘッド１１がワーク開口部へ落ち込むことを回避する。
【００２６】
ジョグ切断制御部５９は、ジョグスイッチ６１Ｂによつてジョグモードが選択設定された場合に動作する。ジョグモード時に、ディスプレイ装置３７に画面表示されている各ソフトボタンの機能について説明する。
【００２７】
（ヘッド降下ボタン７１）
ヘッド降下ボタン７１を押しながら、スタートスイッチ６４を押すと、レーザ加工ヘッド１１が降下する。このヘッド降下過程では、Ｚ軸倣い制御が行われ、レーザ加工ヘッド１１が倣いながら降下する。
【００２８】
（ピアスボタン７３）
ピアスボタン７３を押しながら、スタートスイッチ６４を押すと、ピアス加工が行われる。
【００２９】
（切断ボタン７５）
ピアスボタン７３を押しながら軸送りスイッチ６２を押すと、レーザビーム照射、アシストガス噴出のレーザ切断状態で、軸送りスイッチ６２による軸送り方向と同方向に軸送りが行われ、ジョグ切断が行われる。
【００３０】
（スタートアップ切断ボタン７７）
スタートアップ切断ボタン７７を押しながら軸送りスイッチ６２を押すと、ジョグ切断開始時に軸送りスイッチ６２による軸送り方向とは逆方向に自動軸送りを行い、逆方向軸送り完了位置にてレーザ照射、アシストガス噴射を開始し、レーザ照射によるレーザ切断状態で、元のジョグ切断開始位置まで自動軸送りを行い、ジョグ切断開始位置より引き続きレーザ切断状態で軸送りスイッチ６２による軸送り方向と同方向に軸送りを行う。ジョグ切断開始位置より軸送りスイッチ６２による軸送り方向と同方向に軸送りする過程では、倣い制御手段５７による倣い制御が有効になる。
【００３１】
スタートアップ切断においては、距離センサ５５によってレーザ加工ヘッド１１の先端ノズル２５とワーク上面との距離を計測し、この計測値よりワークＷの端縁を検出し、このワーク端縁の検出結果に基づいてジョグ切断開始時の逆方向自動軸送り完了位置をワーク端縁外に設定することができる。また、自動軸送り完了位置は、これとは別に、変更可能なパラメータ設定により、ジョグ切断開始位置より所定量離れた位置に設定することもできる。
【００３２】
つぎに、ジョグ切断処理（ジョグモード）を、図５〜図８を参照して説明する。  図５に示されているジョグ切断制御ルーチンは、ジョグスイッチ６１Ｂが押されることにより呼び出され（ステップＳ１１）、ジョグモードを設定する。
【００３３】
ジョグモードでは、軸送りスイッチ６２が押されると（ステップＳ１２）、軸送りスイッチ６２による軸送り方向と同方向に軸送りが行われる（ステップＳ１３）。例えば、プラスＸ軸送りスイッチ６２が押されると、プラスＸ軸送りスイッチ６２Ａが押されている間、キャレッジ２１が＋Ｘ軸方向に移動する。この軸移動によってジョグ切断開始位置Ａが設定される（ステップＳ１５）。
【００３４】
この状態で、ヘッド降下ボタン７１を押しながら、スタートスイッチ６４を押すと（ステップＳ１６）、倣い制御部５７によるＺ軸倣い制御がオン状態になり、Ｚ軸倣い制御状態で、図８（ａ）の工程▲１▼で示されているように、先端ノズル２５とワーク上面との間隙が予めパラメータ設定されている所定値になるまでレーザ加工ヘッド１１が降下する（ステップＳ１７）。
【００３５】
ステップＳ１８で、スタートアップ切断ボタン７７が押されており且つ軸送りスイッチ６２が押されていると判断すると（この時、スタートアップ切断ボタン７７は押されているとする）、倣い制御部５７によるＺ軸倣い制御がオフ状態になり、軸送りスイッチ６２による軸送り方向とは逆方向に自動軸送りが行われる（ステップＳ１９）。例えば、プラスＸ軸送りスイッチ６２Ａが押されると、図８（ｂ）の工程▲２▼に示されているように、キャレッジ２１（ワークＷ）が−Ｘ軸方向に移動する。
【００３６】
この−Ｘ軸方向移動は、スタートアップ移動と呼ばれ、図６あるいは図７に示されているスタートアップ移動ルーチンにより行われる。図６に示されているスタートアップ移動ルーチンでは、逆方向移動が実行され（ステップＳ３１）、この逆方向移動過程で、距離センサ５５によってＺ軸倣いセンシングが行われる（ステップＳ３２）。つまり、距離センサ５５によってレーザ加工ヘッド１１の先端ノズル２５とワーク上面との距離計測が行われ、この計測値よりワークＷの端縁検出が行われる（ステップＳ３３）。ワーク端縁が検出されると、結果に基づいてジョグ切断開始時の逆方向自動軸送りが完了（停止）し（ステップＳ３４）、図５のジョグ切断ルーチンのステップＳ１９に戻る。
【００３７】
図７に示されているスタートアップ移動ルーチンでは、逆方向移動が実行され（ステップＳ４１）、この逆方向移動過程で、モータ位置検出器４５、４７によって軸移動量のセンシングが行われ（ステップＳ４２）、逆方向移動開始位置（ジョグ切断開始位置Ａ）よりの移動量が予めパラメータ設定されている所定値になると（ステップＳ４３）、ジョグ切断開始時の逆方向自動軸送りが完了（停止）し（ステップＳ４４）、図５のジョグ切断ルーチンのステップＳ１９に戻る。この移動量のパラメータ設定値は、通常設定されるジョグ切断開始位置Ａよりワーク端縁のまでの距離相当に設定される。
【００３８】
図５のジョグ切断ルーチンに戻り、逆方向自動軸送りが完了すると（ステップＳ２０）、その逆方向軸送り完了位置Ｂにて、図８（ｃ）の工程▲３▼で示されているように、レーザ照射、アシストガス噴射を開始し、レーザ切断状態で、元のジョグ切断開始位置Ａまで自動軸送りが行われる（ステップＳ２１）。なお、工程▲３▼はＺ軸倣い制御オフ状態で行われる。例えば、工程▲３▼においてワークの外側からワークの端部を横切るまでは前記倣い制御がオフされ得る。
【００３９】
自動戻しによりジョグ切断開始位置Ａまで戻ると、倣い制御手段５７によるＺ軸倣い制御がオンし（なお、ワークの外側からワークの端部を横切るまでは前記倣い制御がオフされ得る：ステップＳ２２）、図８（ｄ）の工程▲４▼で示されているように、軸送りスイッチ６２が押されている間、引き続きレーザ切断状態で、軸送りスイッチ６２による軸送り方向と同方向に軸送りが行われ、スタートアップ・ジョグ切断が行われる（ステップＳ２３〜ステップＳ２６）。
【００４０】
これにより、ジョグ切断の開始に際して、手動操作と目視確認によって材料の外縁をレーザ切断位置に位置決めする作業を省略することができる。
【００４１】
ヘッド降下、ピアス後に、ジョグ７５を押しながら軸送りスイッチ６２を押すと（ステップＳ２７）、レーザ照射、アシストガス噴射のもとに、軸送りスイッチ６２が押されるている間、レーザ切断状態で、軸送りスイッチ６２による軸送り方向と同方向に軸送りが行われ、通常のジョグ切断が行われる（ステップＳ２８〜ステップＳ２９）。
【００４２】
つぎに、図９〜図１１を参照して上述のジョグ切断時に行われるＺ軸倣い制御について説明する。
【００４３】
図９に示されている倣い制御ルーチンは所定時間（数ｍｓｅｃ）毎に繰り返し実行される。
【００４４】
まず、Ｚ軸倣いセンシング情報を読み取る（ステップＳ１１）。Ｚ軸倣いセンシング情報は距離センサ５５による計測値であり、距離センサ５５による計測値の取り込みが所定のサンプリングタイム間隔で行われ、その計測値がＺ軸倣いセンシング情報として時系列にストアされる。
【００４５】
つぎに、Ｚ軸倣いセンシング情報より材料上面に変位がある否かを判別する（ステップＳ５２）。材料上面に変位があれば、倣い制御フラグがオンであるか否かを判別する（ステップＳ５３）。倣い制御フラグは、図１０に示されている倣い制御オン・オフルーチンによってオン、オフされるものであり、倣い制御フラグがオンである場合には、Ｚ軸倣い制御を実行し、倣い制御フラグがオフである場合には、Ｚ軸倣い制御を停止、すなわち、キャンセルする。
【００４６】
倣い制御フラグがオンであれば、Ｚ軸倣いセンシング情報より、先端ノズル２５のワーク上面に対する高さ位置（Ｚ軸位置）が、定常位置より高いか否かの判別を行い（ステップＳ５３）、定常位置より高ければ、レーザ加工ヘッド１１を−Ｚ軸方向に移動させ、これに対し、定常位置より高くなければ、レーザ加工ヘッド１１を＋Ｚ軸方向に移動させるＺ軸位置制御を行う（ステップＳ５４）。これにより、倣い制御フラグがオンである期間は、レーザ加工ヘッド１１のＺ軸方向位置が定常位置に収束する。
【００４７】
つぎに、図１０に示されている倣い制御オン・オフルーチンについて説明する。  倣い制御オン・オフルーチンは所定時間（数ｍｓｅｃ）毎に繰り返し実行され、まず、Ｚ軸倣いセンシングを行う（ステップＳ６１）。これは、距離センサ５５による計測値の取り込みであり、距離センサ５５による計測値に基づいてレーザ加工ヘッド１１の先端ノズル２５の下方位置（真下位置）が材料端縁であるか否かを判別する（ステップＳ６２）。
【００４８】
ここでの材料端縁の検出は、ワークＷの開口Ｗｈの開口端縁ＷｅｆあるいはＷｅｏ（図５参照）の検出であり、材料端縁が検出されると、倣い制御フラグがオンであるか否かの判別を行う（ステップＳ６３）。
【００４９】
倣い制御フラグの初期値（加工開始時の値）はオンである。従って、倣い制御フラグがオンであると、開口部以外のワーク上にレーザ加工ヘッド１１が位置することを意味するから、材料端縁の検出で、倣い制御フラグがオンであると、手前側の開口端縁Ｗｅｆの検出であり、この場合には、これから、ワーク開口Ｗｈの通過が始まるとして、倣い制御フラグをオフする（ステップＳ６４）。
【００５０】
これに対し、材料端縁の検出で、倣い制御フラグ・オフであると、向こう側の開口端縁Ｗｅｏの検出であり、この場合には、ワーク開口Ｗｈの通過が終わるとして、倣い制御フラグをオンする（ステップＳ６５）。
【００５１】
上述のＺ軸倣い制御により、図１１に示されているように、ジョグ切断過程で、レーザ加工ヘッド１１がワーク開口Ｗｈ内に落ち込むことが回避される。
【００５２】
【発明の効果】
以上の説明から理解される如く、この発明によるレーザ加工機、ジョグ切断制御方法によれば、ジョグ切断開始時に軸送りスイッチが操作されると、一旦、軸送りスイッチによる軸送り方向とは逆方向に、エアーカット状態で、自動軸送りが行われ、逆方向軸送り完了位置から、レーザ照射によってレーザ切断が開始され、送りスイッチによる軸送り方向と同方向の軸送りが行われるから、ジョグ切断の開始に際して、手動操作と目視確認によって材料の外縁をレーザ切断位置に位置決めする作業を省略することができ、ジョグ切断が作業経験が少ない作業者でも能率よく行われ得るようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるレーザ加工機の一つの実施形態を示す全体斜視図である。
【図２】この実施形態によるレーザ加工機の制御系を示すブロック図である。
【図３】この実施形態によるレーザ加工機のＮＣ操作盤を示す図ある。
【図４】この実施形態によるレーザ加工機におけるジョグモードの画面図である。
【図５】この実施形態によるレーザ加工機におけジョグ切断ルーチンを示すフローチャートである。
【図６】この実施形態によるレーザ加工機におけるスタートアップ移動ルーチンを示すフローチャートである。
【図７】この実施形態によるレーザ加工機におけるスタートアップ移動ルーチンをを示すフローチャートである。
【図８】この実施形態によるジョグ切断制御方法におけるレーザ加工ヘッドとワークとの相対的な運動軌跡を示す図である。
【図９】この実施形態によるレーザ加工機における倣い制御ルーチンを示すフローチャートである。
【図１０】この実施形態によるレーザ加工機における倣い制御オン・オフルーチンを示すフローチャートである。
【図１１】この実施形態によるジョグ切断制御方法におけるレーザ加工ヘッドの運動軌跡を示す図である。
【符号の説明】
１  レーザ加工機
３  フレーム
１１  レーザ加工ヘッド
３１  数値制御装置（ＣＮＣ）
３５  ＮＣ操作盤
３７  ディスプレイ装置
４３  Ｚ軸サーボモータ
５５  距離センサ
５７  倣い制御部
５９  ジョグ切断制部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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