(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を気化する気化装置に対して、液体材料の流量を測定する液体用流量計を備えた液体材料供給ラインと、キャリアガスとしての機能をも有する希釈ガスの流量を制御するガス流量制御器を備えた第１希釈ガスラインとを並列的に接続するとともに、前記気化装置に、それにおいて発生したガスが前記希釈ガスとともに流れる発生ガスラインを接続し、この発生ガスラインにガス流量制御器を設け、さらに、この発生ガスラインのガス流量制御器より下流側に、希釈ガスの流量を制御するガス流量制御器を備えた第２希釈ガスラインを接続し、気化装置が、その内部に気液混合部およびノズル部が互いに近接して形成され、前記気液混合部において液体材料を流量制御しながら希釈ガスと混合し、このときの気液混合体を前記ノズル部から噴霧状態で放出して液体材料を気化し、この気化によって発生したガスを希釈ガスとともに前記ノズル部の下流側のガス導出路から取り出すようにしてあることを特徴とする標準ガス発生装置。
【請求項２】
気化装置に導入される液体材料の流量が、液体用流量計の出力または発生ガスラインに設けられる気体用流量計の出力に基づいて制御されるようにしてある請求項１に記載の標準ガス発生装置。
【請求項３】
液体を気化する気化装置に対して、液体材料を供給する液体材料供給ラインと、キャリアガスとしての機能をも有する希釈ガスの流量を制御するガス流量制御器を備えた第１希釈ガスラインとを並列的に接続するとともに、前記気化装置に、それにおいて発生したガスが前記希釈ガスとともに流れる発生ガスラインを接続し、この発生ガスラインにガス流量制御器を設け、さらに、この発生ガスラインのガス流量制御器より下流側に、希釈ガスの流量を制御するガス流量制御器を備えた第２希釈ガスラインを接続し、また、前記気化装置に導入される前記液体材料の流量を調整することにより所定量のガスが発生し、前記液体材料の流量は、前記液体材料供給ラインに設けられる液体用流量計の出力または前記発生ガスラインに設けられる気体用流量計の出力に基づいて制御されるようにしてあることを特徴とする標準ガス発生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、標準ガス発生装置に関し、特に、液体材料を気化して所望濃度の標準ガスを発生する装置に関する。
【０００２】
【発明の背景】
我が国においては、平成９年に、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）の中で、特に発癌性の恐れがあるベンゼン、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレンに対し、環境基準値が定められた。そのため、環境濃度のモニタリングが必要になり、前記ＶＯＣを測定する分析計を校正する標準ガスが必要になってきている。
【０００３】
【従来の技術】
前記標準ガスを調整する手法として、圧希釈法や流量比混合法などが公知であるが、これらはいずれも原料として気体を使用している。これに対して、液体材料を原料として所定の濃度の標準ガスを発生する装置として、例えば、図７に概略的に示すものがある。この図において、７１は気化室で、その内部には、液体材料７２を収容し、上部に孔７３を有する容器７４が設けられ、この容器７４を適宜の加熱手段７５で加熱し、液体材料７２を気化させてガス７６が発生するように構成されている。
【０００４】
そして、この気化室７１の一方には、キャリアガスボンベ７７、圧力調整器７８、流量コントローラ７９、モレキュラーシーブス８０を備えたキャリアガスライン８１が接続されており、他方には、希釈器ライン８２を有する発生ガスライン８３が接続され、さらに、希釈用ガスボンベ８４、圧力調整器８５、流量コントローラ８６、モレキュラーシーブス８７を備えた希釈ガスライン８８が接続され、気化室７１において生じたガス７６が希釈ガスライン８８によって供給される希釈ガスと混合されて希釈され、所定の濃度のガスが得られるようにしてある。
【０００５】
なお、図７において、８９は精密重量測定器、９０は信号処理装置である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の標準ガス発生装置においては、液体材料７２を収容した容器７４を気化室７１内に設け、容器７４を加熱によって容器７４内の液体材料７２を気化させるだけであるため、気化量が気化室７１内における蒸気圧に支配され、気化される量が少なく、このため、広い濃度範囲のガスを発生させることが困難である。そして、気化した液体材料７２が気化室７１の内壁に吸着または付着し、汚染の原因になる。また、液体材料７２を交換した後、気化室７１内の温度や圧力などが安定するまでに時間を要するとともに、多種類の液体材料を用いたガス発生には不向きである。
【０００７】
この発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、多種類の液体材料を原料とする標準ガスを得ることができ、しかも広い濃度範囲にわたって標準ガスを連続的に得ることができる標準ガス発生装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明の標準ガス発生装置は、液体を気化する気化装置に対して、液体材料の流量を測定する液体用流量計を備えた液体材料供給ラインと、キャリアガスとしての機能をも有する希釈ガスの流量を制御するガス流量制御器を備えた第１希釈ガスラインとを並列的に接続するとともに、前記気化装置に、それにおいて発生したガスが前記希釈ガスとともに流れる発生ガスラインを接続し、この発生ガスラインにガス流量制御器を設け、さらに、この発生ガスラインのガス流量制御器より下流側に、希釈ガスの流量を制御するガス流量制御器を備えた第２希釈ガスラインを接続し、気化装置が、その内部に気液混合部およびノズル部が互いに近接して形成され、前記気液混合部において液体材料を流量制御しながら希釈ガスと混合し、このときの気液混合体を前記ノズル部から噴霧状態で放出して液体材料を気化し、この気化によって発生したガスを希釈ガスとともに前記ノズル部の下流側のガス導出路から取り出すようにしてあることを特徴としている（請求項１）。
【０００９】
上記構成よりなる標準ガス発生装置においては、液体を気化する気化装置に対して、液体材料とキャリアガスとしての機能をも有する希釈ガスとが導入される。この場合、気化装置が液体材料の流量を調整することにより、所定量のガスが発生し、このガスは前記希釈ガスによって発生ガスラインに導出されるとともに希釈ガスによって希釈される。この場合、希釈ガスは流量調整されているので、前記発生ガスは希釈ガスによって適宜の濃度に希釈される（第１回希釈）。
【００１０】
前記発生ガスラインに導出された発生ガス（第１回希釈後のガス）は、さらに、流量制御された希釈ガスによって所定の濃度に希釈される（第２回希釈）。
【００１１】
前記気化装置は、その内部に気液混合部およびノズル部が互いに近接して形成され、前記気液混合部において液体材料を流量制御しながら希釈ガスと混合し、このときの気液混合体を前記ノズル部から噴霧状態で放出して液体材料を気化し、この気化によって発生したガスを前記希釈ガスとともに前記ノズル部の下流側のガス導出路から取り出すようにしてあるので、液体材料と希釈ガスとを、液体流量制御機能を備えた気化装置内の気液混合部において流量制御しながら混合し、この気液混合体をノズル部から効率よく噴霧することができ、液体材料を効率よくしかも安定した状態で気化することができる。
【００１２】
また、気化装置に導入される液体材料の流量は、液体用流量計の出力または発生ガスラインに設けられる気体用流量計の出力に基づいて制御されるようにしてあってもよい（請求項２）。
また、この発明の標準ガス発生装置が、液体を気化する気化装置に対して、液体材料を供給する液体材料供給ラインと、キャリアガスとしての機能をも有する希釈ガスの流量を制御するガス流量制御器を備えた第１希釈ガスラインとを並列的に接続するとともに、前記気化装置に、それにおいて発生したガスが前記希釈ガスとともに流れる発生ガスラインを接続し、この発生ガスラインにガス流量制御器を設け、さらに、この発生ガスラインのガス流量制御器より下流側に、希釈ガスの流量を制御するガス流量制御器を備えた第２希釈ガスラインを接続し、また、前記気化装置に導入される前記液体材料の流量を調整することにより所定量のガスが発生し、前記液体材料の流量は、前記液体材料供給ラインに設けられる液体用流量計の出力または前記発生ガスラインに設けられる気体用流量計の出力に基づいて制御されるようにしてあることを特徴としていてもよい（請求項３）。
【００１３】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。図１は、この発明の標準ガス発生装置の全体構成を概略的に示すもので、この図において、１は液体流量制御機能を備えた気化装置（その構成は、後で詳しく説明する）である。この気化装置１には、液体材料ＬＭを気化装置１に供給する液体材料供給ライン２と、キャリアガスとしても機能する希釈ガス（以下、第１希釈ガスという）ＤＧ1 を気化装置１に供給する第１希釈ガスライン３とが互いに並列的に接続されるとともに、気化装置１において発生したガスＧが第１希釈ガスＤＧ1 とともに流れる発生ガスライン４が接続されている。
【００１４】
そして、前記液体材料供給ライン２は、次のように構成されている。すなわち、５は液体材料供給ライン２に設けられる原料タンクで、その内部には液体材料ＬＭが液密に収容され、その上流側には、レギュレータ６を有する不活性ガス供給管７が接続されている。そして、Ｎ2 、Ｈｅ、Ａｒなどの不活性ガスＩＧが原料タンク５内の上部空間に供給されることにより、液体材料ＬＭが液体材料供給ライン２に押し出されるように構成されている。８は開閉弁９を介して原料タンク５の下流側に設けられる液体マスフローメータとしての液体用流量計で、原料タンク５側から流れてくる液体材料ＬＭの流量を計測するものである。この液体用流量計８として例えば公知の液体マスフローメータを用いることができる。そして、この液体用流量計８の検出結果は、装置全体を制御したり、検出信号などに基づいて演算を行う装置制御部１０に送出される。なお、１１は液体用流量計８と気化装置１との間に介装される開閉弁である。
【００１５】
また、前記第１希釈ガスライン３は、次のように構成されている。すなわち、第１希釈ガスライン３の上流側には、希釈ガス供給源（図示していない）が設けられており、例えば、Ｎ2 、Ｈｅ、Ａｒなどの不活性ガスのいずれかを第１希釈ガスＤＧ1 として供給するもので、その下流側には、開閉弁（図示していない）を介してレギュレータ１２が設けられ、さらに、開閉弁１３を介して希釈用マスフローコントラーラとしての気体用流量制御装置１４が設けられている。この気体用流量制御装置１４は、気化装置１に対して供給される第１希釈ガスＤＧ1 が所定量になるように制御するもので、装置制御部１０からの制御信号に基づいて開度が調節される。この気体用流量制御装置１４として例えば公知の気体マスフローコントローラを用いることができる。なお、１５は気体用流量制御装置１４と気化装置１との間に介装される開閉弁である。
【００１６】
前記発生ガスライン４は、次のように構成されている。この発生ガスライン４には、気体用流量計１６が介装され、その下流側には排気ライン１７が分岐接続されている。そして、気体用流量計１６は、気化装置１からのガス（後述するように、液体材料ＬＭが気化して生じたガスＧと第１希釈ガスＤＧ1 との混合ガス）ＫＧ1 の流量を計測するもので、その計測結果は装置制御部１０に送られる。この気体用流量計１６として例えば公知のガスマスフローメータを用いることができる。また、排気ライン１７には分岐接続点近傍に開閉弁１８が設けられ、その下流側は適宜のガス処理部（図示していない）に接続されている。そして、前記排気ライン１７と分岐した発生ガスライン４には、サンプリング用マスフローコントローラとしての気体用流量制御装置１９が介装されている。この気体用流量制御装置１９は、前記混合ガスＫＧ1 のうちの所定量をサンプリングするもので、装置制御部１０からの制御信号に基づいて開度が調節される。この気体用流量制御装置１９として例えば公知の気体マスフローコントローラを用いることができる。
【００１７】
２０は第２希釈ガスラインで、その下流側が発生ガスライン４の気体用流量制御装置１９の下流側の点４ａにおいて合流している。この第２希釈ガスライン２０は、その上流側に希釈ガス供給源（図示していない）が設けられており、例えば、Ｎ2 、Ｈｅ、Ａｒなどの不活性ガスのいずれかを第２希釈ガスＤＧ2 として供給するもので、その下流側には、開閉弁（図示していない）を介してレギュレータ２１が設けられ、さらに、開閉弁２２を介して希釈用マスフローコントローラとしての気体用流量制御装置２３が設けられている。この気体用流量制御装置２３は、発生ガスライン４を流れるガスＫＧ1 に対して供給される第２希釈ガスＤＧ2 が所定量になるように制御するもので、装置制御部１０からの制御信号に基づいて開度が調節される。この気体用流量制御装置２３として例えば公知の気体マスフローコントローラを用いることができる。第２希釈ガスライン２０と合流した発生ガスライン４の下流側は、発生口（図示していない）に接続されている。
【００１８】
次に、前記気化装置１の具体的構造について、図２〜図５を参照しながら説明する。まず、図２において、２４は例えば直方体形状の本体ブロックで、ステンレス鋼などのように耐熱性および耐腐食性に富む素材よりなる。この本体ブロック２４の内部には、３つの流路２５，２６，２７が形成されている。
【００１９】
前記流路２５は、液体材料ＬＭを後述する気液混合部４１に導入するもので、この液体材料導入路２３は、その一端が本体ブロック２４の左側面に開口し、他端が本体ブロック２４の上面に開口するよう、逆Ｌ字型を呈している。そして、流路２６は、第１希釈ガスＤＧ1 を気液混合部４１に導入するもので、この希釈ガス導入路２６は、その一端が本体ブロック２４の右側面に開口し、他端が本体ブロック２４の上面に開口するよう、Ｌ字型を呈している。また、流路２７は、ガス導出路として機能するもので、このガス導出路２７は、その一端が本体ブロック２４の下面に開口し、他端が本体ブロック２４の適宜位置までほぼ一直線に形成され、その上端側は後述するノズル部４３を介して気液混合部４１に連なっている。
【００２０】
さらに、図２において、２８は本体ブロック２４全体を加熱するヒータで、例えばカートリッジヒータよりなり、ガス導出路２７の近傍に着脱自在に内蔵されている。２９は本体ブロック２４の温度を検出する温度センサとしての熱電対である。
【００２１】
そして、図２において、３０，３１は本体ブロック２４の左右の側面にシール部材３２を介して着脱自在に設けられる接続ブロックで、各ブロック３０，３１には、液体材料導入路２５、第１希釈ガス導入路２６とそれぞれ連通する流路３０ａ，３１ａが形成されており、液体材料導入路２５、希釈ガス導入路２６のそれぞれがブロック３０，３１を介して外部の液体材料供給ライン２、第１希釈ガス供給ライン３と接続されるようになっている。なお、図２においては、ガス導出路２５と外部の発生ガスライン４との接続構造については示してないが、適宜の接続部材を用いて所定の接続が行われることはいうまでもない。
【００２２】
次に、上記本体ブロック２４の上面における構成を、図２〜図４を参照しながら説明する。図２において、３３は弁ブロックで、本体ブロック２４の上面２４ａにＯリング３４を介して載置され、例えばステンレス鋼などのように熱伝導性および耐腐食性の良好な素材からなる。この弁ブロック３３と前記上面２４ａとの間に、液体流量制御機能を有するバルブ３５が形成される。すなわち、弁ブロック３３の内部空間３６に、ダイヤフラム３７がばね３８によって常時上方に付勢されるようにして設けられている。
【００２３】
ここで、前記本体ブロック２４の上面２４ａにおける構成を、図３および図５を参照しながら説明すると、３９は前記上面２４ａのほぼ中央部に形成されるバルブシートで、二つの環状の隔壁３９ａ，３９ｂよりなり、ダイヤフラム３７とともにバルブ３５を構成するものである。そして、両バルブシート３９ａ，３９ｂによって囲まれた平面視環状の凹部４０は、液体材料導入路２５の下流側の開口２５ａを含むように形成され、液流路として機能する。
【００２４】
また、内側のバルブシート３９ａによって囲まれた平面視円形の凹部３９には、図５に示すように、その直径上に第１希釈ガス導入路２６の下流側の開口２６ａと、ガス導出路２７への孔４２とが開設されるとともに、これらの開口２６ａおよび孔４２を含む浅い細長い溝４３が形成されており、開口２６ａから流入する第１希釈ガスＤＧ1 と、内側のバルブシート３９ａとダイヤフラム３７との間の隙間から流入する液体材料ＬＭとが混合されるように構成され、気液混合部として機能する。
【００２５】
そして、４４は前記孔４２とガス導出路２７との間に形成されるノズル部で、このノズル部４４は、その直径および長さはかなり小さく、例えば直径は０．８ｍｍ以下、長さは１．０ｍｍ以下である。また、このノズル部４４は、気液混合部４１とできるだけ近接して設けるのがよい。そして、このノズル部４４においては、気液混合部４１において生じた気液混合体Ｍが噴霧状態にしてガス導出路２７に放出され、これにより、気液混合体Ｍに含まれる液体材料ＬＭがガス化され、このガスは第１希釈ガスＤＧ1 と混合して混合ガスＫＧとなる。
【００２６】
なお、図３において、４５は外側のバルブシート３９ｂ外側に形成されるＯリング溝で、前記Ｏリング３４が装填される。
【００２７】
そして、前記ダイヤフラム３７は、耐熱性および耐腐食性が良好かつ適当な弾性を有する素材よりなり、図４（Ａ），（Ｂ）に示すように、軸部３７ａの下方にバルブシート３９の上面と当接または離間する弁部３７ｂが形成されるとともに、この周囲に薄肉部３７ｃを備え、さらに、この薄肉部３７ｃの周囲に厚肉部３７ｄを備えてなるもので、常時はばね３８によって上方に付勢されることにより、弁部３７ｂがバルブシート３９ａからは離間しているが、軸部３７ａに下方向への押圧力が作用すると、弁部３７ｂがバルブシート３９ａと当接する方向に変移するように構成されている。
【００２８】
４６はダイヤフラム３７を下方に押圧してこれを歪ませるアクチュエータで、この実施の形態においては、弁ブロック３３の上部に立設されたハウジング４７内に複数の圧電素子を積層してなるピエゾスタック４８を設け、このピエゾスタック４８の下方の押圧部４９をダイヤフラム３７の軸部３７ａに当接させたピエゾアクチュエータに構成されている。
【００２９】
次に、上述のように構成された標準ガス発生装置の動作について説明する。不活性ガスＩＧとしてのＨｅガスを原料タンク５に供給すると、原料タンク５内の液体材料ＬＭが加圧され、液体材料ＬＭは液体材料供給ライン２を気化装置１方向に流れる。この液体材料ＬＭの流量は、液体流量計８で計測され、この計測結果は、装置制御部１０に入力される。そして、前記液体材料ＬＭは、気化装置１内に導入される。そして、液体流量設定信号に応じた流量となるように、装置制御部１０から制御信号が気化装置１に送られる。これにより、ピエゾアクチュエータ４６が動作して、バルブ３５の開度を調整する。これにより、気化装置１内に導入された液体材料ＬＭは、図３に示すように、液体材料導入路２５を経て液流路４０に至り、さらに、図３および図５に示すように、液流路４０からバルブシート３９ａとダイヤフラム３７の弁部３７ｂとの隙間を経て、適宜の温度になっている気液混合部４１に入る。
【００３０】
一方、第１希釈ガスライン３には、図示していない希釈ガス供給源からの第１希釈ガスＤＧ1 （例えばＮ2 ガス）が流れ、この第１希釈ガスＤＧ1 は、気体用流量制御装置１４において流量制御されて気化装置１方向に送られ、この気化装置１内の気液混合部４１に送られる。気化装置１内に導入された第１希釈ガスＤＧ1 は、図３に示すように、第１希釈ガス導入路２６を経て気液混合部４１に入る。
【００３１】
前記気液混合部４１に入った液体材料ＬＭと第１希釈ガスＤＧ1 は互いに混合される。特に、気液混合部４１に細長い溝４３が形成されており、液体材料ＬＭがこの溝４３に流れこみながら第１希釈ガスＤＧ1 と混合されるので、両者ＬＭ，ＤＧ1 が十分に混ざり合った気液混合体Ｍとなる。
【００３２】
そして、前記気液混合体Ｍは、気液混合部４１の孔４２を経てノズル部４４からガス導出路２７に向けて放出される。このとき、気液混合体Ｍのなかの液体材料ＬＭが気化されてガスＧとなる。この気化ガスＧは、気液混合体Ｍ中の第１希釈ガスＤＧ1 と混合する。つまり、液体材料ＬＭが気化して発生したガスＧは、第１希釈ガスＤＧ1 によって希釈され、混合ガスＫＧ1 となってガス導出路２７を下流側に流れていく。このとき、ガス導出路２７は、ヒータ２８によって加熱されているので、結露が生ずることはない。
【００３３】
そして、前記混合ガスＫＧ1 は、ガス導出路２７の下流側の発生ガスライン４を流れ、気体用流量計１６を経て下流側に流れる。混合ガスＫＧ1 の流量は、気体用流量計１６で計測され、この計測結果は、装置制御部１０に入力される。そして、発生ガスライン４には、その開度が装置制御部１０からの指令によって設定される気体用流量制御装置１９が設けられているので、この気体用流量制御装置１９によってサンプリングされる所定量の混合ガスＫＧ1 が発生ガスライン４を下流側に流れ、余剰の混合ガスＫＧ1 は、排気ライン１７に導かれ、適宜処理される。
【００３４】
そして、前記気体用流量制御装置１９を経た混合ガスＫＧ1 は、さらに、発生ガスライン４を下流側に流れ、発生ガスライン４と第２希釈ガスライン２０の合流点４ａに至る。この第２希釈ガスライン２０には、図示していない希釈ガス供給源からの第２希釈ガスＤＧ2 （第１希釈ガスＤＧ1 と同じガス、つまり、Ｎ2 ガス）が流れており、この第２希釈ガスＤＧ2 は、装置制御部１０からの指令によって制御された気体用流量制御装置２３において流量制御されて、前記合流点４ａ方向に送られる。その結果、合流点４ａにおいては、混合ガスＫＧ1 と第２希釈ガスＤＧ2 とが合流し、混合ガスＫＧ1 は第２希釈ガスＤＧ2 によって希釈され、混合ガスＫＧ2 となる。この混合ガスＫＧ2 は、Ｎ2 ガスによる２回にわたる希釈により、所定濃度の標準ガスとなっており、発生ガスライン４の下流側の発生口（図示していない）方向に流れていく。
【００３５】
次に、上述した標準ガス発生装置によって、液体材料としてのオクタフルオロシクロペンテン（Ｃ5 Ｆ6 ）を気化した例について、数値を挙げて説明する。液体状態のオクタフルオロシクロペンテンを所定の温度に保持された気化装置１に供給することにより、上述したように、オクタフルオロシクロペンテンが気化して、標準ガスＧが発生し、その流量は０℃換算で２ｃｃ／ｍｉｎとなる（以下、０℃換算の流量をＳＣＣＭと表記する）。この場合、気化装置１には、第１希釈ガスＤＧ1 としてＮ2 ガスが流量制御されて供給されており、このＮ2 ガスによる１回目の希釈により濃度が１／５０００の標準ガスとなる。
【００３６】
そして、前記希釈された標準ガスを、気体用流量制御装置１９によって１０ＳＣＣＭサンプリングし、第２希釈ガスＤＧ2 としてのＮ2 ガス（これは気体用流量制御装置２３によって所定流量となるようにしてある）によって２回目の希釈を行ってさらに濃度を１／２０００希釈することにより、０．２ｐｐｍの標準ガスが得られた。この場合、１回希釈の標準ガスを１００ＳＣＣＭサンプリングすると、２ｐｐｍの標準ガスが得られる。
【００３７】
図６は、上記標準ガス発生装置によって、０．２〜２ｐｐｍのオクタフルオロシクロペンテンの標準ガスを発生させたときの発生濃度と波数１０００．５９ｃｍ-1における吸光度との関係を示すもので、相関係数の２乗が０．９９９５となり、非常に直線性に優れた標準ガスが得られることがわかる。
【００３８】
以上説明したように、この発明の標準ガス発生装置によれば、広い濃度範囲にわたって標準ガスを連続的に得ることができる。そして、多種類の液体材料を原料とする標準ガスを得る場合、液体材料を取り替えるだけでよく、冒頭に掲げた従来装置のような不都合が生ずることはない。
【００３９】
そして、上述の実施の形態においては、液体流量制御機能を備えた気化装置１内に形成した気液混合部４１において、液体材料ＬＭを流量制御しながら第１希釈ガスＤＧ1 と混合し、このときの気液混合体Ｍを、気液混合部４１に近接するノズル部４４から噴霧状態で放出して液体材料ＬＭを気化するようにしているので、良好に混合された状態の気液混合体Ｍをノズル部４４から放出することができ、気液混合体Ｍ中の液体材料ＬＭを効率よくしかも安定した状態で気化することができる。
【００４０】
また、上記実施の形態においては、気化装置１における液体材料ＬＭの流量制御を、液体用流量計８の出力に基づいて行うようにしているので、気液混合部４１に対して液体材料ＬＭを最適量供給することができる。
【００４１】
この発明は、上述の実施の形態に限られるものではなく、種々に変形して実施することができる。すなわち、液体材料導入路２５や第１希釈ガス導入路２６は、必ずしも鉤型状に形成する必要はなく、ストレートであってもよい。そして、ヒータ２８はプレートヒータであってもよく、ヒータ２８による加熱温度は、液体材料ＬＭの種類などに応じて適宜設定できる。また、このヒータ２８は、本体ブロック２４の気液混合部４１やガス導出路２７の近傍を加熱できるようにしてあればよく、特に、ノズル部４４から液体材料ＬＭを噴霧状態で放出することによってガスを好適に生成できる程度にしてあればよい。
【００４２】
そして、気化装置１における液体材料ＬＭの流量制御を、発生ガスライン４に設けられた気体用流量計１６の出力に基づいて行うようにしてもよく、このようにした場合、より精度よく液体材料ＬＭの流量を制御することができる。
【００４３】
また、アクチュエータ４６として、電磁式のものやサーマル式のものを用いてもよい。
【００４４】
さらに、液体材料ＬＭは、常温常圧で液体状態であるものに限られるものではなく、常温常圧で気体であっても適宜加圧することにより常温で液体となるようなものであってもよい。
【００４５】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明においては、気化装置、液体マスフローメータ、希釈用マスフローコントローラ、サンプリング用マスフローコントローラを組み合わせてなるものであり、多種類の液体材料を原料とする標準ガスを確実に得ることができ、しかも広い濃度範囲にわたって標準ガスを連続的に得ることができる。そして、前記各部材の組み合わせにより、ｐｐｂ、ｐｐｔレベルといった非常に低濃度の標準ガスを精度よく確実に発生させることができるため、特に、揮発性有機化合物の標準ガスの発生に適している。
【００４６】
そして、液体材料と希釈ガスとを、液体流量制御機能を備えた気化装置内の気液混合部において流量制御しながら混合し、この気液混合体をノズル部から効率よく噴霧することができ、液体材料を効率よくしかも安定した状態で気化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る標準ガス発生装置の全体構成を概略的に示す図である。
【図２】前記標準ガス発生装置における気化装置の一例を示す縦断面図である。
【図３】前記気化装置における要部の構成を示す縦断斜視図である。
【図４】前記気化装置の動作説明図で、（Ａ）はバルブの閉状態を示す図、（Ｂ）はバルブの開状態を示す図である。
【図５】前記気液混合部の動作説明図である。
【図６】０．２〜２ｐｐｍのオクタフルオロシクロペンテンの標準ガスを発生させたときの発生濃度と波数１０００．５９ｃｍ-1における吸光度との関係を示す図である。
【図７】従来の標準ガス発生装置を概略的に示す図である。
【符号の説明】
１…気化装置、２…液体材料供給ライン、３…第１希釈ガスライン、４…発生ガスライン、８…液体用流量計、１４…ガス流量制御器、１６…気体用流量計、１９…ガス流量制御器、２０…第２希釈ガスライン、２３…ガス流量制御器、２７…ガス導出路、４１…気液混合部、４４…ノズル部、ＬＭ…液体材料、ＤＧ1 ，ＤＧ2 …希釈ガス、Ｇ…気化ガス。
【図１】
0004354059.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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