(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハのノッチの幅よりも薄く形成されかつ研摩剤を含んだゴムホイールを前記ウェーハの面と直角方向に回転させるスピンドル部と、該スピンドル部が固定され前記ノッチへ前記ゴムホイールを押圧付勢する弾性体の押圧力を調節する研摩力調節機構が設けられた浮動部と、該浮動部をリニアガイドを介して支持するテーブル部と、該テーブル部を前記ゴムホイールの回転軸方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせると同時に研摩中は前記ゴムホイールを前記浮動部により前記ノッチの形状に追従させながら直進往復動させる駆動機構とを備え、前記テーブル部に対して前記浮動部を前記ゴムホイールと前記ノッチとが接近又は離脱する方向にわずかに摺動自在に構成すると共に、前記ゴムホイールを前記駆動機構により該ゴムホイールの回転軸方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせながら前記ノッチの上側の面取り面、下側の面取り面、端面、前記上側の面取り面と前記端面との間の角部及び前記下側の面取り面と前記端面との間の角部を夫々研摩可能に構成し、前記ゴムホイールを同様にトラバースさせながら前記上側の面取り面又は前記下側の面取り面から前記端面に沿って移動させて該面取り面から該端面までを連続的に研摩するように構成したことを特徴とするウェーハのノッチの研摩装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェーハのノッチの研摩装置に係り、特に研摩剤を含んだ１つの薄いゴムホイール（ＲＢＷ＝Ｒｕｂｂｅｒ  Ｂｏｎｄｅｄ  Ｗｈｅｅｌ）を適切に移動させながら研摩を行うことで、前工程の研削によりウェーハのノッチの面取り面に形成された条痕等の傷を取り除くことができ、またノッチの上側及び下側の面取り面、端面、該端面と上側及び下側の面取り面との間の夫々の角部を、極めて均一で表面粗さの小さい連続的な世界最高水準の鏡面に研摩することができるようにし、ウェーハの品質を著しく高めることを可能とする画期的なウェーハのノッチの研摩装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
シリコンウェーハには、シリコンの結晶軸の方向を示す目印として、直線上にカットされたＯＦ（オリエンテーションフラット）又はＶ溝状に切り欠かれたノッチが形成されている。該ノッチは、主に直径２００ｍｍφ以上のシリコンウェーハに形成され、ウェーハの外周のエッジと同様に、面取り研削及び研摩がなされて鏡面に仕上げられるようになっている。
【０００３】
ノッチの研削は、直径の小さなメタルボンドホイールで例えば上側の面取り面、端面及び下側の面取り面が夫々形成されるように行うが、この際に砥粒の摩耗や脱落により、図１４に示すように、ウェーハ１のノッチ１ａの上側の面取り面１ｂに不良箇所である、例えば条痕１ｃが形成されてしまうことがあり、また多量のウェーハ１を生産すると、この条痕１ｃの大きさや位置が経時的に変化してしまい、対応が非常に難しかった。
【０００４】
ノッチを鏡面に仕上げるためには、この条痕を研摩工程において完全に取り除く必要がある。特開２０００−５２２１０で開示されているように、研摩剤を含んだゴムホイールを研摩に用いると、スラリーを全く用いずに良好な研摩を行うことができるので、ノッチよりも幅広でかつ比較的柔らかいゴムホイールを使用してノッチの面取り面及び端面を研摩することが検討されていた。
【０００５】
ところが、これではノッチの最深部にまでゴムホイールが届きにくく、また軟らかいゴムホイールでは、研摩時の接触圧力が小さいことから研摩力も小さくなってしまい、条痕がなくなるまで研摩するのに多くの時間を要するという不具合があった。
【０００６】
一方ウェーハを平面的に見た場合のノッチの端面がなすＶ溝の角度は９０°前後であるのに対し、面取り研削後のノッチの面取り面がなす角度は１４６°程度に広がっており、このため端面を研摩するゴムホイールと、面取り面を研摩するゴムホイールとでは、その外周面の形状を若干変えなければならず、最低２つのゴムホイールが必要であった。
【０００７】
また従来の研摩方法は、まず上側の面取り面、次に下側の面取り面、最後に端面の順に研摩するものであったが、研摩後の端面の表面粗さは研摩後の面取り面に比べて粗くなる傾向があり、該端面の表面粗さを小さくして表面粗さを均一化するための方策が必要とされていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記した従来技術の欠点を除くためになされたものであって、その目的とするところは、ウェーハの面と垂直な方向に回転し該ウェーハのノッチの最深部にまで余裕をもって入り込むことができる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴムホイールを、ウェーハの面方向にトラバースさせながらノッチの面取り面から端面に沿って移動させて該面取り面及び該端面を連続的に研摩し、該端面の研摩完了後そのまま該端面方向にゴムホイールを逃がすことにより、粗くなり易い端面を少なくとも２度研摩し、かつ面取り面と連続した極めて表面粗さの小さい鏡面に研摩できるようにすることである。
【０００９】
また他の目的は、ウェーハの面と垂直な方向に回転し該ウェーハのノッチの最深部にまで余裕をもって入り込むことができる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴムホイールを、ウェーハの面方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせ、かつノッチとの接触状態を維持しながらノッチの面取り面を研摩することによって、前工程の研削で形成された条痕を速やかに除去できるようにすることである。
【００１０】
更に他の目的は、上記方法に加えて、上側の面取り面と端面との間の角部及び下側の面取り面と端面との間の角部を夫々研摩することによって、面取り面に形成された条痕を容易に除去すると共に、面取り面と端面とがなす上下の角部を研摩により除去できるようにすることである。
【００１１】
また他の目的は、上記したゴムホイールによるウェーハのノッチの面取り面の研摩と、該ゴムホイールにより面取り面から端面まで連続的に行う研摩とを組み合わせて行うことによって、上側及び下側の面取り面だけでなく、上側及び下側の面取り面と端面とが夫々なす上下の角部を丸めることができるようにすることであり、またこれによって１つのゴムホイールにより上側及び下側の面取り面と端面とを連続した鏡面に研摩できるようにすることである。
【００１２】
更に他の目的は、上記したゴムホイールによるウェーハのノッチの上側及び下側の面取り面、端面、上側及び下側の面取り面と端面との間の夫々の角部の研摩と、該ゴムホイールにより面取り面から端面まで連続的に行う研摩とを組み合わせて行うことによって、１つのゴムホイールにより上側及び下側の夫々の面取り面と端面とを、極めて均一で表面粗さの小さい連続的な世界最高水準の鏡面（表面粗さ２００オングストローム）に研摩できるようにすることである。
【００１３】
また他の目的は、ウェーハのノッチの幅よりも薄く形成されかつ研摩剤を含んだゴムホイールをウェーハの面と直角方向に回転させるスピンドル部と、該スピンドル部が固定されノッチへゴムホイールを押圧付勢する弾性体の押圧力を調節する研摩力調節機構が設けられた浮動部と、該浮動部をリニアガイドを介して支持するテーブル部と、該テーブル部をゴムホイールの回転軸方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせると同時に研摩中はゴムホイールを浮動部によりノッチの形状に追従させながら直進往復動させる駆動機構とを備え、テーブル部に対して浮動部をゴムホイールとノッチとが接近又は離脱する方向にわずかに摺動自在に構成すると共に、ゴムホイールを駆動機構により該ゴムホイールの回転軸方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせながらノッチの上側の面取り面、下側の面取り面、端面、前記上側の面取り面と端面との間の角部及び前記下側の面取り面と端面との間の角部を夫々研摩可能に構成し、ゴムホイールを同様にトラバースさせながら上側の面取り面又は下側の面取り面から端面に沿って移動させて該面取り面から該端面までを連続的に研摩するように構成することによって、非常に取扱いの困難なスラッジの使用を不要としながら非常に表面粗さの小さいウェーハのノッチを得ることである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
【００１９】
要するに本発明は、ウェーハのノッチの幅よりも薄く形成されかつ研摩剤を含んだゴムホイールを前記ウェーハの面と直角方向に回転させるスピンドル部と、該スピンドル部が固定され前記ノッチへ前記ゴムホイールを押圧付勢する弾性体の押圧力を調節する研摩力調節機構が設けられた浮動部と、該浮動部をリニアガイドを介して支持するテーブル部と、該テーブル部を前記ゴムホイールの回転軸方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせると同時に研摩中は前記ゴムホイールを前記浮動部により前記ノッチの形状に追従させながら直進往復動させる駆動機構とを備え、前記テーブル部に対して前記浮動部を前記ゴムホイールと前記ノッチとが接近又は離脱する方向にわずかに摺動自在に構成すると共に、前記ゴムホイールを前記駆動機構により該ゴムホイールの回転軸方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせながら前記ノッチの上側の面取り面、下側の面取り面、端面、前記上側の面取り面と前記端面との間の角部及び前記下側の面取り面と前記端面との間の角部を夫々研摩可能に構成し、前記ゴムホイールを同様にトラバースさせながら前記上側の面取り面又は前記下側の面取り面から前記端面に沿って移動させて該面取り面から該端面までを連続的に研摩するように構成したことを特徴とするものである。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下本発明を図面に示す実施例に基いて説明する。本発明に係るウェーハのノッチの研摩装置２は、図３において、スピンドル部３と、浮動部４と、テーブル部５と、駆動機構６とを備えている。
【００２１】
スピンドル部３は、図２から図４に示すように、ウェーハ１のノッチ１ａの最深部１ｄまで余裕をもって入り込むことができる程度にノッチ１ａの幅よりも薄く形成され、かつ研摩剤（図示せず）を含んだゴムホィール８をウェーハ１の面１ｅと直角方向に回転させるためのものであって、浮動部４の浮動板１０に挿通し、ゴムホィール８が下方に突き出るようにブロック１１及びブロック１２によって挟持されている。該スピンドル部３は縦型スピンドルであり、先端部３ａで回転方向が横軸回転に変換されるようになっており、該先端部３ａにゴムホィール８を取り付けて、その軸８ａを中心としてウェーハ１の面１ｅと直角方向に回転させることかできる構造になっている。
【００２２】
浮動部４は、スピンドル部３が固定され、ウェーハ１のノッチ１ａへゴムホイール８を押圧付勢する弾性体（図示せず）の押圧力を調節する研摩力調節機構９が設けられたものであって、水平に配置された断面コの字形の浮動板１０にスピンドル部３と、研摩力調節機構９とが取り付けられたものである。
【００２３】
浮動部４は、リニアガイド１８を介してテーブル部５に取り付けられており、研摩時にテーブル部５に対してゴムホイール８とノッチ１ａとが接近又は離脱する方向にわずかに摺動自在となるように構成されている。
【００２４】
研摩力調節機構９は、図示しない弾性体の研摩力をウェーハ１の材質に応じて調節するためのものであって、浮動板１０の上面１０ａに固定されたブロック１４内に弾性体を収納し、該弾性体のばね力を調節する調節ねじ１５と、浮動部４の後退時にテーブル部５の垂直テーブル２０に当接し、ブロック１４内に押し込まれることによって弾性体を押し縮めて研摩力を発生させるピン１６とを弾性体と同軸上に配設してなっており、調節ねじ１５によって弾性体を予め変形させることによって、研摩力を変化させることができるようになっている。
【００２５】
テーブル部５は、浮動部４をリニアガイド１８を介して支持するための土台となる部分であって、断面凸の字形の水平テーブル１９を上に凸に水平に配置し、該水平テーブル１９と直角に配設された垂直テーブル２０に固定してなるもので、上下動も可能に構成されている。また水平テーブル１９には、スピンドル部３が貫通する図示しない長穴が穿孔されており、浮動部４の浮動時にスピンドル部３が水平テーブル１９に干渉しないようになっている。垂直テーブル２０には、例えば４個のガイドブロック２１が固着され、該ガイドブロック２１はベース板２２に取り付けられたガイドレール２３上を摺動するようになっている。
【００２６】
駆動機構６は、テーブル部５をゴムホイール８の回転軸方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせると同時に研摩中はゴムホイール８を浮動部４によりノッチ１ａの形状に追従させながら直進往復動させるためのものであって、垂直テーブル２０をボールねじ２４と図示しないサーボモータによりゴムホイール８の回転軸方向、即ち矢印Ａ又はＢ方向に直進往復動させることができるようになっている。
【００２７】
垂直テーブル２０を矢印Ａ又はＢ方向に直進往復動させることによって、ゴムホイール８もそれに伴って直進往復動するので、研摩時には該機構を用いてゴムホイール８をトラバースさせながら研摩できるようになっている。
【００２８】
また駆動機構６は、図３に示すように、ゴムホイール８をウェーハ１に対して相対的に上下方向、即ち矢印Ｃ又はＤ方向に往復動させることができるようになっている。ウェーハ１は、図示しない機構によりゴムホイール８と接近又は離間する方向、即ち矢印Ｅ又はＦ方向に移動できるようになっている。
【００３４】
本発明は、上記のように構成されており、以下その作用について説明する。まず図４において、ゴムホイール８は、スピンドル部３の回転方向により、矢印Ｇ又はＨ方向に回転し、駆動機構６により矢印Ａ又はＢ方向にトラバースすることができ、またウェーハ１はゴムホイール８と接近又は離脱するように矢印Ｅ又はＦ方向に移動することができる。
【００３５】
ウェーハ４のノッチ１ａを研摩する際には、特定の場所が集中的に研摩されて掘れてしまうことを防ぐために、ゴムホイール８を常にトラバースさせておくようにしている。その振幅は、図５に示す振幅線図Ｌ１のような漸増振幅の場合と、図６に示す振幅線図Ｌ２のような一定振幅の場合とがある。
【００３６】
漸増振幅の場合には、回転するゴムホイール８をノッチ１ａの最深部１ｄに接触させ次第にトラバースの振幅を増加させながら、例えば２乃至４往復研摩を行い、一定振幅の場合には、回転するゴムホイール８をノッチ１ａの最深部１ｄに接触させトラバースの振幅を一定に保ちながら、例えば２乃至４往復研摩を行う。
【００３７】
なお、図５及び図６において、振幅線図Ｌ１，Ｌ２は、単にトラバース中の振幅を示しているものであり、ゴムホイール８とノッチ１ａとの距離を示しているものではない。従ってトラバースの回数の増加と共にゴムホイール８がノッチ１ａから離間して行くわけではなく、ゴムホイール８は常にノッチ１ａに接触した状態で研摩が行われる。
【００３８】
ノッチ１ａは、Ｖ溝であるので、トラバース時には浮動部４と共にゴムホイール８が適切に移動し、該ノッチ１ａの形状に追従しながら研摩が行われる。またこれによりウェーハ１を折損することなく研摩することが可能である。
【００３９】
次に実際の研摩工程における作用について説明する。ウェーハ１のノッチ１ａは前工程で面取り研削されて、図７及び図１４に示すように、上側の面取り面１ｂ、下側の面取り面１ｆ及び端面１ｇが形成された状態になっているが、研削工程で上側の面取り面１ｂ等に条痕１ｃが残ってしまっているものとする。
【００４０】
上側の面取り面１ｂ及び下側の面取り面１ｆを夫々研摩する２面研摩では、ゴムホイール８を矢印Ｇ方向に回転させながら、高さを一定にしたまま矢印Ｉ方向に移動させて上側の面取り面１ｂに接触させ、上記した一定振幅又は漸増振幅のトラバースを行いながら例えば２乃至４往復させて研摩を行う。これにより上側の面取り面１ｂに残っていた条痕１ｃを消すことができる。研摩後はゴムホイール８が矢印Ｊ方向に引かれ、ウェーハ１から離間する。
【００４１】
下側の面取り面１ｆの研摩においては、ゴムホイール８の回転方向が矢印Ｈ方向となるだけで、その他の作用は上側の面取り面１ｂの研摩における作用と同様であり、下側の面取り面１ｆの条痕（図示せず）も容易に消すことができる。
【００４２】
なお、矢印Ｉ方向及び矢印Ｊ方向は、ゴムホイール８を移動させる場合の方向を示しており、ゴムホイール８とウェーハ１との接近及び離間はあくまで相対的なものである。従って、図３において、ウェーハ１を移動させる場合には、矢印Ｉ方向が矢印Ｅ方向に相当し、矢印Ｊ方向が矢印Ｆ方向に相当する。
【００４３】
上記の２面研摩が終了した後、半軌跡研摩を行う。図５及び図６、図１０及び図１１に示すように、ゴムホイール８を矢印Ｇ方向に回転させ、ウェーハ１の面１ｅ方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせながら、まずノッチ１ａの上側の面取り面１ｂから端面１ｇに沿って移動させて該面取り面１ｂ及び該端面１ｇを連続的に研摩し、そのまま矢印Ｋ方向、即ち下方向にゴムホイール８を逃がすことにより、図１１に示すように、上側の面取り面１ｂと端面１ｇとの間の角部１ｈが丸められ、極めて表面粗さの小さい連続した鏡面に研摩される。
【００４４】
次に図５及び図６、図１２及び図１３に示すように、ゴムホイール８を矢印Ｈ方向に回転させ、同様にトラバースさせながら、ノッチ１ａの下側の面取り面１ｆから端面１ｇに沿って移動させて該面取り面１ｂ及び該端面１ｇを連続的に研摩し、そのまま矢印Ｍ方向、即ち上方向にゴムホイール８を逃がすことにより、図１３に示すように、下側の面取り面１ｆと端面１ｇとの間の角部１ｉが丸められ、極めて表面粗さの小さい連続した鏡面に研摩される。ここで端面１ｇについても２回の研摩が行われたことになる。
【００４５】
このように、２面研摩と半軌跡研摩を行うことにより、図１３に示すように、上側の面取り面１ｂ、端面１ｇ及び下側の面取り面１ｆが極めて均一で表面粗さの小さい連続的な世界最高水準の鏡面（表面粗さ２００オングストローム）に研摩される。
【００４６】
一方上側の面取り面１ｂ、下側の面取り面１ｆ、端面１ｇ、上側の面取り面１ｂと端面１ｇとの間の角部１ｈ及び下側の面取り面１ｆと端面１ｇとの間の角部１ｉを夫々研摩する５面研摩では、図８に示すように、まずゴムホイール８を矢印Ｇ方向に回転させながら、高さを一定にしたまま矢印Ｉ方向に移動させて上側の面取り面１ｂに接触させ、上記した一定振幅又は漸増振幅のトラバースを行いながら例えば２乃至４往復させて研摩を行う。これにより上側の面取り面１ｂに残っていた条痕１ｃを消すことができる。研摩後はゴムホイール８が矢印Ｊ方向に引かれ、ウェーハ１から離間する。
【００４７】
次にゴムホイール８を矢印Ｈ方向に回転させ、同様にゴムホイール８を移動させて、トラバースを行いながら下側の面取り面１ｆの研摩を行い、更にゴムホイール８を矢印Ｇ又はＨ方向に回転させ、同様にゴムホイール８を移動させて、トラバースを行いながら端面１ｇの研摩を行う。
【００４８】
そしてゴムホイール８を夫々矢印Ｇ，Ｈ方向に回転させ、同様にゴムホイール８を移動させて、トラバースを行いながら角部１ｈ及び角部１ｉの研摩を行う。
【００４９】
５面研摩を行うと、角部１ｈ，１ｉも面取りされたような形状となるため、図９に示すように、ノッチ１ａの断面が５角形となる。そこで図１０から図１２に示す上記した半軌跡研摩をあわせて行うと、図１３に示すように、上側の面取り面１ｂ、端面１ｇ及び下側の面取り面１ｆが極めて均一で表面粗さの小さい連続的な世界最高水準の鏡面（表面粗さ２００オングストローム）に研摩される。端面１ｇについては、３回の研摩が行われ、２面研摩よりも更に良好な仕上がりとなる。
【００５０】
【発明の効果】
本発明は、上記のようにウェーハの面と垂直な方向に回転し該ウェーハのノッチの幅よりも薄く形成されかつ研摩剤を含んだゴムホイールを、ウェーハの面方向にトラバースさせながらノッチの面取り面から端面に沿って移動させて該面取り面及び該端面を連続的に研摩し、該端面の研摩完了後そのまま該端面方向にゴムホイールを逃がすようにしたので、粗くなり易い端面を少なくとも２度研摩し、かつ面取り面と連続した極めて表面粗さの小さい鏡面に研摩できるという効果がある。
【００５１】
またウェーハの面と垂直な方向に回転し該ウェーハのノッチの最深部にまで余裕をもって入り込むことができる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴムホイールを、ウェーハの面方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせ、かつノッチとの接触状態を維持しながらノッチの面取り面を研摩するようにしたので、前工程の研削で形成された条痕を速やかに除去できるという効果がある。
【００５２】
更には、上記方法に加えて、上側の面取り面と端面との間の角部及び下側の面取り面と端面との間の角部を夫々研摩するようにしたので、面取り面に形成された条痕を容易に除去することができると共に、面取り面と端面とがなす上下の角部を研摩により除去できるという効果が得られる。
【００５３】
また上記したゴムホイールによるウェーハのノッチの面取り面の研摩と、該ゴムホイールにより面取り面から端面まで連続的に行う研摩とを組み合わせて行うようにしたので、上側及び下側の面取り面だけでなく、上側及び下側の面取り面と端面とが夫々なす上下の角部を丸めることができ、またこの結果１つのゴムホイールにより上側及び下側の面取り面と端面とを連続した鏡面に研摩できるという効果がある。
【００５４】
更には、上記したゴムホイールによるウェーハのノッチの上側及び下側の面取り面、端面、上側及び下側の面取り面と端面との間の夫々の角部の研摩と、該ゴムホイールにより面取り面から端面まで連続的に行う研摩とを組み合わせて行うようにしたので、１つのゴムホイールにより上側及び下側の夫々の面取り面と端面とを、極めて均一で表面粗さの小さい連続的な世界最高水準の鏡面（表面粗さ２００オングストローム）に研摩できるという優れた効果が得られる。
【００５５】
また、ウェーハのノッチの最深部にまで余裕をもって入り込むことができる程度にノッチの幅よりも薄く形成されかつ研摩剤を含んだゴムホイールをウェーハの面と直角方向に回転させるスピンドル部と、該スピンドル部が固定されノッチへゴムホイールを押圧付勢する弾性体の押圧力を調節する研摩力調節機構が設けられた浮動部と、該浮動部をリニアガイドを介して支持するテーブル部と、該テーブル部をゴムホイールの回転軸方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせると同時に研摩中はゴムホイールを浮動部によりノッチの形状に追従させながら直進往復動させる駆動機構とを備え、テーブル部に対して浮動部をゴムホイールとノッチとが接近又は離脱する方向にわずかに摺動自在に構成すると共に、ゴムホイールを駆動機構により該ゴムホイールの回転軸方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせながらノッチの上側の面取り面、下側の面取り面、端面、前記上側の面取り面と端面との間の角部及び下側の面取り面と前記端面との間の角部を夫々研摩可能に構成し、ゴムホイールを同様にトラバースさせながら上側の面取り面又は下側の面取り面から端面に沿って移動させて該面取り面から該端面までを連続的に研摩するように構成したので、非常に取扱いの困難なスラッジの使用を不要としながら非常に表面粗さの小さいウェーハのノッチを得ることができる効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１から図１３は、本発明の実施例に係り、図１は、ノッチ及びＯＦが形成され、面取り研削がされたウェーハの斜視図である。
【図２】ウェーハのノッチに対するゴムホイールの位置を示す要部平面図である。
【図３】ウェーハのノッチの研摩装置の斜視図である。
【図４】ゴムホイールの回転方向、移動方向、及びウェーハの移動方向を示す要部斜視図である。
【図５】ノッチ研摩時にゴムホイールを漸増振幅でトラバースさせる場合の、振幅の変化を示す平面図である。
【図６】ノッチ研摩時にゴムホイールを一定振幅でトラバースさせる場合の振幅の変化を示す平面図である。
【図７】２面研摩時のゴムホイールの回転方向及び移動方向、並びにウェーハとの位置関係を示す縦断面図である。
【図８】５面研摩時のゴムホイールの回転方向及び移動方向、並びにウェーハとの位置関係を示す縦断面図である。
【図９】５面研摩により角部が面取り状態となり、断面が５角形となったウェーハのノッチ部の縦断面図である。
【図１０】ウェーハのノッチの上側の面取り面から端面までを半軌跡研摩により研摩する状態を示す縦断面図である。
【図１１】半軌跡研摩により上側の面取り面と端面との間の角部が丸く研摩され、上側の面取り面から端面までが連続的な鏡面に研摩された状態を示すウェーハのノッチの縦断面図である。
【図１２】ウェーハのノッチの下側の面取り面から端面までを半軌跡研摩により研摩する状態を示す縦断面図である。
【図１３】半軌跡研摩により下側の面取り面と端面との間の角部が丸く研摩され、上側の面取り面、端面及び下側の面取り面までが連続的な鏡面に研摩された状態を示すウェーハのノッチ部の縦断面図である。
【図１４】従来例に係り、面取り研削により面取り面に条痕が残されたウェーハのノッチの斜視図である。
【符号の説明】
１    ウェーハ
１ａ  ノッチ
１ｂ  上側の面取り面
１ｃ  条痕
１ｄ  最深部
１ｅ  面
１ｆ  下側の面取り面
１ｇ  端面
１ｈ  角部
１ｉ  角部
２    ウェーハのノッチの研摩装置
３    スピンドル部
４    浮動部
５    テーブル部
６    駆動機構
８    ゴムホイール
９    研摩力調節機構
【図１】
0004323058.tif 000002
【図２】
0004323058.tif 000003
【図３】
0004323058.tif 000004
【図４】
0004323058.tif 000005
【図５】
0004323058.tif 000006
【図６】
0004323058.tif 000007
【図７】
0004323058.tif 000008
【図８】
0004323058.tif 000009
【図９】
0004323058.tif 000010
【図１０】
0004323058.tif 000011
【図１１】
0004323058.tif 000012
【図１２】
0004323058.tif 000013
【図１３】
0004323058.tif 000014
【図１４】
0004323058.tif 000015