(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体試験装置によって半導体メモリを試験した結果を表示するフェイル解析装置であって、
前記半導体メモリに対応する試験結果を取得する試験結果取得手段と、
前記試験結果取得手段によって得られた前記半導体メモリのＩ／Ｏ番号毎の試験結果が１画面内に含まれる一覧画像を生成する一覧画像生成手段と、
前記一覧画像生成手段によって生成された前記一覧画像を表示する表示手段と、
を備えることを特徴とするフェイル解析装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記一覧画像には、前記試験結果として前記Ｉ／Ｏ番号毎にパスなのかフェイルなのかを示す結果画像が含まれていることを特徴とするフェイル解析装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記一覧画像には、前記試験結果として前記Ｉ／Ｏ番号毎にフェイルビットマップの縮小画像が含まれていることを特徴とするフェイル解析装置。
【請求項４】
請求項２において、
前記表示手段に表示された前記一覧画像内のいずれかの位置を指定する操作手段と、
前記操作手段によっていずれかの前記結果画像が指定されたときに、対応するフェイルビットマップの詳細画像を生成する詳細画像生成手段と、
をさらに備え、前記詳細画像生成手段によって生成された前記詳細画像を前記表示手段によって表示することを特徴とするフェイル解析装置。
【請求項５】
請求項３において、
前記表示手段に表示された前記一覧画像内のいずれかの位置を指定する操作手段と、
前記操作手段によっていずれかの前記縮小画像が指定されたときに、対応するフェイルビットマップの詳細画像を生成する詳細画像生成手段と、
をさらに備え、前記詳細画像生成手段によって生成された前記詳細画像を前記表示手段によって表示することを特徴とするフェイル解析装置。
【請求項６】
請求項３または５において、
前記半導体試験装置は、前記縮小画像の表示に必要な縮小フェイルビットマップデータを生成しており、
前記一覧画像生成手段は、前記縮小フェイルビットマップデータに基づいて前記縮小画像の生成を行うことを特徴とするフェイル解析装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体メモリの記憶セルのフェイル分布状態の測定結果を表示するフェイル解析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体試験装置は、被試験デバイス（ＤＵＴ）としての半導体メモリ（以下、単に「メモリ」と称する）内の各記憶セルに対してデータの読み書きを行うことにより、各記憶セルの不良を解析する。一般に、半導体試験装置は、ＤＵＴから読み出されたデータと所定の期待値データとを比較してパス・フェイルの判定を行い、この結果をフェイルメモリに格納する。このようにしてフェイルメモリに格納されたフェイル情報を、ワークステーション等によって構成されるフェイル解析装置によって収集してその内容を調べることにより、このＤＵＴに対する各種の不良解析が行われる。
【０００３】
例えば、フェイル解析装置は、所定のメモリデバイス評価ツールを用いることにより、大容量のＤＲＡＭのフェイル分布状態をフィジカルマップあるいはロジカルマップとして表示することができる。フィジカルマップは、物理アドレスＸ、Ｙを座標として用いる２次元のフェイルビットマップであり、メモリの不良記憶セルの物理的配置を確認するために用いられる。また、ロジカルマップは、論理アドレスＸ、ＹとＩ／Ｏ番号とを座標として用いる３次元のフェイルビットマップであり、論理アドレスＺを用いる場合には４次元になることもある。上述したフェイルメモリから読み出されるフェイル情報に基づいてこのロジカルマップが生成される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、一般的な半導体試験装置は、複数個のメモリに対して同時に試験を行うことが可能であり、これによりメモリ１個当たりの試験時間の短縮を図っている。したがって、１回の試験が終了すると、上述したフェイルメモリには、複数個のメモリのそれぞれに対応するフェイル情報が格納される。
【０００５】
ところが、このようにして得られたフェイル情報を解析するために、従来のフェイル解析装置でロジカルマップやフィジカルマップの内容を表示させようとすると、まずＤＵＴを特定する必要がある。このため、試験対象となった複数個のＤＵＴについてフェイル情報の概略を知りたい場合には、１つＤＵＴを指定した後にその内容を表示させる操作を各ＤＵＴ毎に繰り返す必要があり、煩雑な操作が必要であるとともに操作に時間がかかるという問題があった。
【０００６】
特に、ロジカルマップの内容を表示させる場合には、ＤＵＴとともにＩ／Ｏ番号を特定する必要がある。したがって、１つのＤＵＴについてフェイル情報の概略を見たい場合に、１つのＩ／Ｏ番号を指定した後にその内容を表示させる操作を各Ｉ／Ｏ番号毎に繰り返す必要があり、さらに操作が煩雑になるとともに、操作に時間がかかることになる。
【０００７】
また、上述したように従来のフェイル解析装置では、ＤＵＴやＩ／Ｏ番号を個別に指定してフィジカルマップやロジカルマップの内容を表示することしかできなかったため、同時に試験が行われた各ＤＵＴのフェイル情報を比較したり、１つのＤＵＴの各Ｉ／Ｏ番号のフェイル情報を比較しようとすると、比較対象となる各フィジカルマップや各ロジカルマップの内容を覚えておいたり、紙媒体に印刷する必要があり、複数のＤＵＴについてフェイル情報の概略を把握したり、各ＤＵＴの複数のＩ／Ｏ番号についてフェイル情報の概要を把握することが容易でないという問題があった。
【０００８】
本発明は、このような点に鑑みて創作されたものであり、その目的は、操作の簡略化が可能であり、操作時間を短くすることができるフェイル解析装置を提供することにある。また、本発明の他の目的は、フェイル情報の概要の把握が容易なフェイル解析装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、本発明のフェイル解析装置は、半導体試験装置によって半導体メモリを試験した結果を表示するためのものであり、半導体メモリに対応する試験結果を取得する試験結果取得手段と、この試験結果取得手段によって得られた半導体メモリのＩ／Ｏ番号毎の試験結果が１画面内に含まれる一覧画像を生成する一覧画像生成手段と、一覧画像生成手段によって生成された一覧画像を表示する表示手段とを備えている。１画面内に半導体メモリに含まれる複数のＩ／Ｏ番号に対応する試験結果が表示されるため、各Ｉ／Ｏ番号のそれぞれに対応するフェイル情報の概要の把握が容易となる。
【００１２】
具体的には、上述した一覧画像には、試験結果としてＩ／Ｏ番号毎にパスなのかフェイルなのかを示す結果画像が含まれていることが望ましい。あるいは、上述した一覧画像には、試験結果としてＩ／Ｏ番号毎にフェイルビットマップの縮小画像が含まれていることが望ましい。一覧画像を見たときに、各Ｉ／Ｏ番号に対応するフェイルビットマップにフェイル箇所が含まれているか否かがわかるため、あるいは各Ｉ／Ｏ番号に対応するフェイルビットマップのおおよその内容がわかるため、半導体メモリの複数のＩ／Ｏ番号の全体についてのフェイル情報の概要を確実に把握することができる。
【００１３】
また、上述した表示手段に表示された一覧画像内のいずれかの位置を指定する操作手段と、この操作手段によっていずれかの結果画像が指定されたときに、対応するフェイルビットマップの詳細画像を生成する詳細画像生成手段とをさらに備えることが望ましい。一覧画像に含まれる結果画像の中からいずれかを指定するだけで、対応する詳細内容を表示することができるため、フェイル箇所が含まれる半導体メモリあるいはＩ／Ｏ番号に対応する詳細なフェイルビットマップの内容を確認するまでに要する煩雑な手間が軽減され、操作の簡略化が可能になる。また、操作の簡略化に伴って、操作時間の短縮も可能になる。
【００１４】
また、上述した表示手段に表示された一覧画像内のいずれかの位置を指定する操作手段と、この操作手段によっていずれかの縮小画像が指定されたときに、対応するフェイルビットマップの詳細画像を生成する詳細画像生成手段とをさらに備えることが望ましい。一覧画像に含まれる複数の縮小画像の中からいずれかを指定するだけで、対応する詳細内容を表示することができるため、縮小表示を見た結果その詳細内容を確認したいと考えた場合に、実際に半導体メモリあるいはＩ／Ｏ番号に対応する詳細なフェイルビットマップの内容を確認するまでに要する煩雑な手間が軽減され、操作の簡略化が可能になる。また、操作の簡略化に伴って、操作時間の短縮も可能になる。
【００１５】
また、上述した半導体試験装置によって、縮小画像の表示に必要な縮小フェイルビットマップデータを生成し、一覧画像生成手段によって、この縮小フェイルビットマップデータに基づいて縮小画像の生成を行うことが望ましい。半導体試験装置によって縮小フェイルビットマップデータが生成されるため、フェイル解析装置では、この生成された縮小フェイルビットマップデータを読み込んで縮小画像を生成することができる。したがって、フェイル解析装置によって詳細なフェイルビットマップデータを読み込んで所定の縮小処理をして縮小画像を生成する場合に比べて、一覧画像の生成に必要なデータの読込に要する時間を短縮することができ、一覧画像を表示するまでの時間の短縮が可能になる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を適用した一実施形態のフェイル解析装置について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施形態のフェイル解析装置が接続される半導体試験装置の構成を示す図である。図１に示すように、半導体試験装置１００は、タイミング発生器１１０、パターン発生器１１２、波形整形器１１４、論理比較器１１６、ＡＦＭ（アドレスフェイルメモリ）１１８、ＣＦＭ（コンパクトフェイルメモリ）１２０、テスタ処理部１２２、通信制御部１２４、フィジカル変換部１２６を含んで構成されている。
【００１７】
パターン発生器１１２によって発生したアドレスとデータが波形整形器１１４により波形整形されてＤＵＴ１３０に入力される。論理比較器１１６は、ＤＵＴ１３０から読み出されたデータと、パターン発生器１１２から出力される期待値とを比較して、パス・フェイルの判定を行う。
【００１８】
ＡＦＭ１１８は、論理比較器１１６より出力されるフェイル信号と、パターン発生器１１２より出力されるアドレス信号により、各アドレス毎のフェイル情報を格納する。これらの一連の動作は全てタイミング発生器１１０から各部に入力されるシステムクロックに同期して行われる。このＡＦＭ１１８に格納されるフェイル情報は、論理フェイルビットマップデータであり、各Ｉ／Ｏ番号毎にＸアドレスとＹアドレスによって特定される各記憶セルについてパスかフェイルかを示すビットデータ（例えば、パスが“０”に、フェイルが“１”に対応する）が格納されている。
【００１９】
また、ＣＦＭ１２０は、ＡＦＭ１１８の内容を縮小したフェイル情報を格納する。例えば、各Ｉ／Ｏ番号毎に、Ｘアドレスがｎ分割、Ｙアドレスがｍ分割され、各分割領域に対応する１ビットデータが得られる。具体的には、この１ビットデータの値は、Ｘアドレスの該当分割領域およびＹアドレスの該当分割領域に対応するＡＦＭ１１８の複数のビットデータの論理和を演算することにより求められる。すなわち、各分割領域で特定される複数のビットデータの中に１つでもフェイルを示す“１”が含まれる場合には、ＣＦＭ１２０内の対応するビットデータがフェイルを示す“１”に設定され、各分割領域で特定される複数のビットデータの全てがパスを示す“０”である場合には、ＣＦＭ１２０内の対応するビットデータがパスを示す“０”に設定される。なお、以下の説明では、ＡＦＭ１１８から読み出されるデータを「ＡＦＭデータ」あるいは「詳細ロジカルデータ」、ＣＦＭ１２０から読み出されるデータを「ＣＦＭデータ」あるいは「縮小ロジカルデータ」と称して説明を行うものとする。
【００２０】
フィジカル変換部１２６は、ＡＦＭ１１８に格納されている詳細ロジカルデータに基づいてフィジカル変換処理を行うことにより、フィジカルフェイルビットマップデータ（以後、「詳細フィジカルデータ」と称する）を生成する。このフィジカル変換部１２６は、専用のハードウエアによって構成されており、フィジカル変換処理を高速に実行することができる。
【００２１】
また、テスタ処理部１２２は、オペレーティングシステム（ＯＳ）によってテストプログラムを実行して所定の試験を実施するために半導体試験装置１００の全体を制御する。例えば、ＡＦＭデータに基づいてＣＦＭデータを生成する処理はこのテスタ処理部１２２によって行われる。通信制御部１２４は、半導体試験装置１００に接続されたフェイル解析装置１０との間で各種データの送受信を行う。
【００２２】
図２は、本実施形態のフェイル解析装置１０の詳細構成を示す図である。図２に示すように、フェイル解析装置１０は、通信制御部１２、ロジカルマップ格納部１４、フィジカル変換部１６、フィジカルマップ格納部１８、縮小処理部２０、詳細データ取得部３０、縮小データ取得部４０、メインビューア作成部８０、ロジカルビューア作成部８２、フィジカルビューア作成部８４、表示制御部９０、表示装置９４、操作部９６、ＧＵＩ処理部９８を備えている。
【００２３】
通信制御部１２は、半導体試験装置１００との間で各種データの送受信を行う。ロジカルマップ格納部１４は、ＤＵＴ１３０に対する試験によって得られた詳細ロジカルデータおよび縮小ロジカルデータを格納する。
フィジカル変換部１６は、詳細ロジカルデータに基づいてフィジカル変換処理を行うことにより、フィジカルフェイルビットマップデータ（以後、「詳細フィジカルデータ」と称する）を生成する。フィジカルマップ格納部１８は、フィジカル変換部１６によるフィジカル変換処理によって得られた詳細フィジカルデータを格納する。縮小処理部２０は、詳細フィジカルデータの内容を縮小したビットマップデータ（以後、「縮小フィジカルデータ」と称する）を生成する縮小処理を行う。この縮小処理は、上述した半導体試験装置１００においてＡＦＭデータからＣＦＭデータを生成する場合の処理と同じである。
【００２４】
詳細データ取得部３０は、詳細ロジカルデータと詳細フィジカルデータを取得する。本実施形態のフェイル解析装置１０は、半導体試験装置１００から直接詳細ロジカルデータや縮小ロジカルデータを取得しながら各種の解析を行う「テスタモード」と、一旦保存した詳細ロジカルデータ等に基づいて各種の解析を行う「ファイルモード」の２種類の解析モードを有する。
【００２５】
具体的には、詳細ロジカルデータは、テスタモード時には半導体メモリ１００内のＡＦＭ１１８からＡＦＭデータを読み出すことによって取得され、ファイルモード時にはロジカルマップ格納部１４から該当するデータを読み出すことにより取得される。また、詳細フィジカルデータは、テスタモード時には半導体試験装置１００内のＡＦＭ１１８に格納されている詳細ロジカルデータに基づいてフィジカル変換部１２６によるフィジカル変換処理を行った結果を読み込むことにより取得され、ファイルモード時にはフィジカルマップ格納部１８から該当するデータを読み出すことにより取得される。
【００２６】
また、縮小データ取得部４０は、縮小ロジカルデータと縮小フィジカルデータを取得する。具体的には、縮小ロジカルデータは、テスタモード時には半導体試験装置１００内のＣＦＭ１２０からＣＦＭデータを読み出すことにより取得され、ファイルモード時にはロジカルマップ格納部１４から該当するデータを読み出すことにより行われる。また、縮小フィジカルデータは、テスタモード時にはフィジカル変換処理によって得られた詳細フィジカルデータに基づいて縮小処理部２０による縮小処理を行うことにより取得され、ファイルモード時にはフィジカルマップ格納部１８から読み出した詳細フィジカルデータに基づいて縮小処理部２０による縮小処理を行うことにより取得される。
【００２７】
メインビューア作成部８０は、表示装置９４にメインビューア・ウインドウを表示するために必要な描画データを作成する。このメインビューア・ウインドウには、試験対象となった複数個のＤＵＴ１３０の試験結果が一覧形式で含まれている。
【００２８】
ロジカルビューア作成部８２は、表示装置９４にロジカルビューア・ウインドウを表示するために必要な描画データを作成する。このロジカルビューア・ウインドウには、特定のＤＵＴ１３０およびＩ／Ｏ番号が指定されたときのロジカルフェイルビットマップが含まれる。
【００２９】
また、フィジカルビューア作成部８４は、表示装置９４にフィジカルビューア・ウインドウを表示するために必要な描画データを作成する。このフィジカルビューア・ウインドウには、特定のＤＵＴ１３０が指定されたときのフィジカルフェイルビットマップが含まれる。上述したメインビューア・ウインドウ、ロジカルビューア・ウインドウ、フィジカルビューア・ウインドウの具体例については後述する。
【００３０】
表示制御部９０は、メインビューア作成部８０、ロジカルビューア作成部８２、フィジカルビューア作成部８４のそれぞれによって作成された描画データに基づいて、表示装置９４に出力する映像信号を生成する。この表示制御部９０にはＶＲＡＭ（ビデオＲＡＭ）９２が備わっており、画面上で一番上に表示したいウインドウの描画データが格納される。
【００３１】
操作部９６は、利用者が各種の指示入力を行うためのものであり、表示装置９４の表示画面の任意位置を指定するポインティングデバイスとしてのマウスや、テンキーやアルファベットキーあるいは各種の記号キーからなるキーボードが含まれている。ポインティングデバイスは、マウス以外のデバイス、例えば入力タブレットやタッチパネル等を用いるようにしてもよい。ＧＵＩ（グラフィカル・ユーザ・インタフェース）処理部９８は、操作部９６の操作状態に対応するＧＵＩ処理を実現するためのものである。例えば、メインビューア・ウインドウ等に含まれる各種のコマンドやボタンがマウスを用いてクリックされたときに、対応する処理を判定し、この処理の依頼を行う。
【００３２】
上述した詳細データ取得部３０、縮小データ取得部４０が試験結果取得手段に、メインビューア作成部８０が一覧画像生成手段に、操作部９６、ＧＵＩ処理部９８が操作手段に、ロジカルビューア作成部８２、フィジカルビューア作成部８４が詳細画像生成手段に、表示制御部９０、表示装置９４が表示手段にそれぞれ対応する。
【００３３】
本実施形態のフェイル解析装置１０はこのような構成を有しており、次にその動作を説明する。
図３は、フェイル解析装置の動作手順を示す流れ図であり、テスタモード時にメインビューア・ウインドウを表示する一連の動作手順が示されている。
【００３４】
フェイル解析装置１０が起動されると、まず、メインビューア作成部８０は、メインビューア・ウインドウの画面を作成して表示装置９４に表示する（ステップ１００）。
図４は、メインビューア・ウインドウの具体例を示す図である。以下、メインビューア・ウインドウ内の各表示内容について説明する。
【００３５】
「Ｓｔａｒｔ  ＭＰＡＴ」ボタン（ａ１）
フェイル解析装置１０に接続された半導体試験装置１００に対して、セットされている１あるいは複数のＤＵＴ１３０の機能試験の開始を指示するとともに、この機能試験によって得られるＡＦＭデータおよびＣＦＭデータの取り込みを指示するために用いられる。
【００３６】
「Ｒｅａｄ」ボタン（ａ２）
既に機能試験が終了してＡＦＭ１１８、ＣＦＭ１２０にフェイルデータが格納されている場合にこれらのフェイルデータの読み込みを指示するために用いられる。このボタンが押下されると、詳細データ取得部３０によってＡＦＭデータが取得されるとともに、縮小データ取得部４０によってＣＦＭデータが取得される。
【００３７】
ＤＵＴ指定ボックスと番号指定用のプッシュボタン（ａ４）
特定のＤＵＴ１３０を指定したり、指定を変更するために用いられる。このボックス内に操作部９６に備わったテンキーを用いて直接数字を入力することにより、特定のＤＵＴ１３０を指定することができる。あるいは、このプッシュボタンを操作部９６に備わったマウスを操作して必要回数押下することにより、特定のＤＵＴ１３０を指定することもできる。ＤＵＴ番号変更後のフェイルマップを表示するには、上述した「Ｓｔａｒｔ  ＭＰＡＴ」ボタンａ１、「Ｒｅａｄ」ボタンａ２のいずれかを押す必要がある。
【００３８】
原点指定トグルボタン（ａ５）
原点位置を指定するために用いられる。４個のボタンのいずれかを押すことにより、任意の原点位置を指定することができる。メインビューア・ウインドウ内にロジカルフェイルビットマップの縮小画像（後述する）が含まれている場合には、この原点位置を用いて表示が行われる。また、メインビューア・ウインドウからロジカルマップビューア・ウインドウやフィジカルマップビューア・ウインドウが起動された場合には、ここで指定された原点位置が反映される。
【００３９】
軸変更プッシュボタン（ａ６）
フェイルビットマップのＸ軸とＹ軸を指定するために用いられる。このボタンを１回押す毎にＸ軸とＹ軸が入れ替わる。なお、メインビューア・ウインドウからロジカルビューア・ウインドウやフィジカルビューア・ウインドウが起動された場合には、ここで指定された原点位置が反映される。
【００４０】
ＤＵＴデータ表示領域（ａ７）
試験対象となった複数のＤＵＴ１３０のそれぞれの試験結果を示す結果画像を表示するために用いられる。矩形で示されたそれぞれの結果画像に含まれる数字がＤＵＴ番号を示しており、このＤＵＴ番号によって特定されたＤＵＴ１３０がパスなのかフェイルなのかがこの矩形内の色によって表現されている。例えば、パスの場合（このＤＵＴ番号に対応する縮小ロジカルデータが全てパスである場合）には矩形の内部が緑色に着色され、フェイルの場合（このＤＵＴ番号に対応する縮小ロジカルデータに一つでもフェイルがある場合）には矩形の内部が赤色に着色される。なお、図４に示したＤＵＴデータ表示領域ａ７には、１〜１２８のＤＵＴ番号を示したが、半導体試験装置１００に実際に実装されたＤＵＴ１３０の数が１２８より少ない場合には、対応するＤＵＴ１３０が存在しない矩形内の数字が非表示あるいはシャドウ表示される。このＤＵＴ１３０の数や次に示すＩ／Ｏ番号は、例えば、半導体試験装置１００からフェイル解析装置１０に通知（Notify）が送られてきたときに、これらの数に関する情報が読み込まれて更新される。また、半導体試験装置１００に実際に実装されたＤＵＴ１３０の数が１２８を超える場合には、１２８個のＤＵＴ１３０の結果画像が含まれるページを切り替えて表示する。
【００４１】
Ｉ／Ｏデータ表示領域（ａ８）
ＤＵＴ番号が指定された特定のＤＵＴ１３０について、各Ｉ／Ｏ番号毎の試験結果を示す結果画像を表示するために用いられる。矩形で示されたそれぞれの結果画像に含まれる数字がＩ／Ｏ番号を示しており、このＩ／Ｏ番号によって指定されるロジカルフェイルビットマップがパスなのかフェイルなのかがこの矩形内の色によって表現されている。例えば、パスの場合（このＩ／Ｏ番号に対応する縮小ロジカルデータが全てパスである場合）には矩形の内部が緑色に着色され、フェイルの場合（このＩ／Ｏ番号に対応する縮小ロジカルデータに一つでもフェイルがある場合）には矩形の内部が赤色に着色される。なお、図４に示したＩ／Ｏデータ表示領域ａ８には、０〜１４３のＩ／Ｏ番号を示したが、半導体試験装置１００に実際に実装されたＤＵＴ１３０のＩ／Ｏ番号の最大値が１４３より小さい場合には、対応するＩ／Ｏ番号が存在しない矩形内の数字が非表示あるいはシャドウ表示される。また、ＤＵＴ番号の最大値が１４３を超える場合には、ページを切り替えて表示する。
【００４２】
表示切替オプションメニュー（ａ９）
上述したＤＵＴデータ表示領域ａ７あるいはＩ／Ｏデータ表示領域ａ８における表示内容を切り替えるために用いられる。ＤＵＴデータ表示領域ａ７について、「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」、「ＣＦＭ（Ａｌｌ）」、「ＣＦＭ（１６ＤＵＴ）」、「ＣＦＭ（３２ＤＵＴ）」の各表示オプションが用意されている。また、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８について、「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」、「ＣＦＭ（Ａｌｌ）」、「ＣＦＭ（１６ｏｒ１８Ｉ／Ｏ）」、「ＣＦＭ（３２ｏｒ３６Ｉ／Ｏ）」の各表示オプションが用意されている。
【００４３】
「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」は、試験結果がパスかフェイルかを示す上述した結果画像を表示するためのオプションである。図４に示したメインビューア・ウインドウの画面では、起動時のデフォルトとしてこの表示オプションが選択された状態が示されている。
【００４４】
また、「ＣＦＭ（Ａｌｌ）」、「ＣＦＭ（１６ＤＵＴ）」、「ＣＦＭ（３２ＤＵＴ）」、「ＣＦＭ（１６ｏｒ１８Ｉ／Ｏ）」、「ＣＦＭ（３２ｏｒ３６Ｉ／Ｏ）」のそれぞれは、縮小ロジカルデータに対応するロジカルフェイルビットマップ（以後、「縮小ロジカルマップ」と称する）を示す縮小画像を括弧内の数だけ表示するためのオプションである。縮小画像の具体的な表示例については後述する。
【００４５】
「Ｐｈｙｓｉｃａｌ」ボタン（ａ１０）
ＤＵＴ番号が指定された特定のＤＵＴ１３０に対応するフィジカルビューア・ウインドウの表示を指示するために用いられる。
図４に示したメインビューア・ウインドウを表示した状態で、次に、ＧＵＩ処理部９８は、表示オプションが変更されたか否か（ステップ１０１）、ＤＵＴ番号が変更されたか否か（ステップ１０２）、Ｉ／Ｏ番号が指定されたか否か（ステップ１０３）、フィジカル変換が指示されたか否か（ステップ１０４）を判定する。
【００４６】
表示切替メニューに含まれる「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」以外の表示オプションは、いずれも縮小ロジカルマップの一覧を表示するためのものであり、これらの表示オプションが選択された場合にはステップ１０１の判定で肯定判断が行われ、次に、メインビューア作成部８０は、変更された表示オプションに基づいて、メインビューア・ウインドウの表示内容を変更する（ステップ１０５）。
【００４７】
図５は、縮小ロジカルマップを示す縮小画像の一覧が含まれるメインビューア・ウインドウの具体例を示す図である。例えば、ＤＵＴデータ表示領域ａ７に対応する表示オプションとして「ＣＦＭ（１６ＤＵＴ）」が、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８に対応する表示オプションとして「ＣＦＭ（１６ｏｒ１８Ｉ／Ｏ）」がそれぞれ選択された状態が示されている。
【００４８】
ＤＵＴデータ表示領域ａ７内において、数字が含まれる矩形領域は、表示オプションとして「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」が選択された場合と同じ内容であり、この番号で指定されるＤＵＴ１３０がパスなのかフェイルなのかを示す結果画像に対応する。その上部に位置する矩形領域は、ＤＵＴ１３０毎の縮小ロジカルマップの内容を示す縮小画像を示している。半導体試験装置１００内のＣＦＭ１２０からは、Ｉ／Ｏ番号毎のＣＦＭデータ（縮小ロジカルデータ）が読み出されるため、メインビューア作成部８０は、各ＤＵＴ１３０毎に全Ｉ／Ｏ番号の縮小ロジカルデータの各ビットの論理和を求めてこの縮小画像を生成する。
【００４９】
また、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８内において、数字が含まれる矩形領域は、表示オプションとして「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」が選択された場合と同じ内容であり、このＩ／Ｏ番号の縮小ロジカルデータがパスなのかフェイルなのかを示す結果画像に対応する。その上部に位置する矩形領域は、Ｉ／Ｏ番号毎の縮小ロジカルマップの内容を示す縮小画像を示している。
【００５０】
なお、図５に示した例では、ＤＵＴデータ表示領域ａ７とＩ／Ｏデータ表示領域ａ８の両方が表示されているが、いずれか一方を非表示状態にして他方の表示可能数を増やすこともできる。図６は、ＤＵＴデータ表示領域ａ７を非表示状態にするとともに、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８の表示オプションとして「ＣＦＭ（Ａｌｌ）」を選択した場合のメインビューア・ウインドウの具体例を示す図である。
【００５１】
また、メインビューア・ウインドウが表示された状態でその時点で選択されているＤＵＴ番号が変更されるとステップ１０２の判定において肯定判断が行われ、次に、メインビューア作成部８０は、変更された後のＤＵＴ番号に対応するＩ／Ｏデータ表示領域ａ８の表示内容変更を行う（ステップ１０６）。
【００５２】
また、メインビューア・ウインドウが表示された状態で、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８に含まれるいずれかのＩ／Ｏ番号が指定されるとステップ１０３の判定で肯定判断が行われ、次に、ロジカルビューア作成部８２は、この指定されたＩ／Ｏ番号に対応するロジカルビューア・ウインドウの画面を作成して表示装置９４に表示する（ステップ１０７）。
【００５３】
図７は、ロジカルビューア・ウインドウの具体例を示す図である。このウインドウには、縮小ロジカルマップａ１１とその一部あるいは全部に対応するロジカルフェイルビットマップａ１２が含まれている。このロジカルフェイルビットマップａ１２は、詳細データ取得部３０によって取得された詳細ロジカルデータに基づいて作成される。
【００５４】
また、メインビューア・ウインドウが表示された状態で、「Ｐｈｙｓｉｃａｌ」ボタンａ１０が選択されるとステップ１０４の判定で肯定判断が行われ、次に、フィジカルビューア作成部８４は、そのとき指定されているＤＵＴ番号に対応するフィジカルビューア・ウインドウの画面を作成して表示装置９４に表示する（ステップ１０８）。
【００５５】
図８は、フィジカルビューア・ウインドウの具体例を示す図である。このウインドウには、縮小フィジカルマップａ１３とその一部あるいは全部に対応するロジカルフェイルビットマップａ１４が含まれている。このロジカルフェイルビットマップａ１４は、詳細データ取得部３０によって取得された詳細ロジカルデータに基づいて作成される。
【００５６】
このように、本実施形態のフェイル解析装置１０では、メインビューア・ウインドウ内に複数のＤＵＴ１３０に対応する試験結果が一覧表示されるため、各ＤＵＴ１３０のフェイル情報の概要を容易に把握することができる。特に、結果画像の一覧表示によってフェイルの有無を容易に把握することができ、フェイルビットマップの縮小画像の一覧によっておおよそのフェイルの分布状態がわかるため、各ＤＵＴ１３０毎、あるいは各Ｉ／Ｏ番号毎のフェイル情報の概要を確実に把握することができる。
【００５７】
また、メインビューア・ウインドウに含まれる一覧画像（結果画像あるいは縮小画像）の中からいずれかを指定するだけで、対応するロジカルビューア・ウインドウあるいはフィジカルビューア・ウインドウを表示することができるため、一覧画像を見た結果その詳細内容を確認したいと考えた場合に、実際に特定のＤＵＴ１３０あるいは特定のＩ／Ｏ番号に対応する詳細なフェイルビットマップを表示させてその内容を確認するまでに要する煩雑な手間が軽減され、操作の簡略化が可能になる。また、操作の簡略化に伴って、操作時間の短縮も可能になる。
【００５８】
特に、メインビューア・ウインドウに含まれる縮小画像の一覧表示に必要な縮小ロジカルデータ（ＣＦＭデータ）は半導体試験装置１００で作成されるため、このような縮小画像の一覧表示を含むメインビューア・ウインドウを表示するまでの時間を短縮することが可能になる。
【００５９】
【発明の効果】
上述したように、本発明によれば、１画面内に複数の半導体メモリに対応する試験結果が表示されるため、各半導体メモリについてフェイル情報の概要の把握が容易となる。また、フェイル箇所が含まれる半導体メモリあるいはＩ／Ｏ番号に対応する詳細なフェイルビットマップの内容を確認するまでに要する煩雑な手間が軽減され、操作の簡略化が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施形態のフェイル解析装置が接続される半導体試験装置の構成を示す図である。
【図２】本実施形態のフェイル解析装置の詳細構成を示す図である。
【図３】フェイル解析装置の動作手順を示す流れ図である。
【図４】メインビューア・ウインドウの具体例を示す図である。
【図５】縮小ロジカルマップを示す縮小画像の一覧が含まれるメインビューア・ウインドウの具体例を示す図である。
【図６】メインビューア・ウインドウの他の具体例を示す図である。
【図７】ロジカルビューア・ウインドウの具体例を示す図である。
【図８】フィジカルビューア・ウインドウの具体例を示す図である。
【符号の説明】
１０  フェイル解析装置
１４  ロジカルマップ格納部
１６  フィジカル変換部
１８  フィジカルマップ格納部
２０  縮小処理部
３０  詳細データ取得部
４０  縮小データ取得部
８０  メインビューア作成部
８２  ロジカルビューア作成部
８４  フィジカルビューア作成部
９０  表示制御部
９４  表示装置
９６  操作部
９８  ＧＵＩ処理部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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