(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブ案内機構に取り付けるための取付部と、前記プローブ案内機構の案内に従ってプロービング対象体に先端部が接触するプローブ本体と、当該プローブ本体が固定されるプローブ固定部と、前記取付部に対する前記プローブ固定部の相対的な上下動を許容可能に当該取付部および当該プローブ固定部を相互に連結する連結手段とを備え、前記連結手段は、上下に並設されると共に各々の一端部に前記取付部をそれぞれ連結する２つの板バネを有し上下方向に弾性変形が可能な第１の弾性変形部と、上下に並設されると共に各々の一端部に前記プローブ固定部をそれぞれ連結する２つの板バネを有し上下方向に弾性変形が可能な第２の弾性変形部と、前記第１の弾性変形部および前記第２の弾性変形部を前記プローブ案内機構の案内方向に直交する平面上において互いに平行配置可能に当該両弾性変形部における前記各板バネの他端部同士を連結する連結部とを備えて構成されているコンタクトプローブ装置において、
上下に並設されると共に各々の一端部に前記プローブ案内機構に取り付けるための取付部をそれぞれ連結する２つの板バネを有し上下方向に弾性変形が可能な第３の弾性変形部を備え、前記連結部は、前記第１および第３の弾性変形部の間に前記第２の弾性変形部を挟んだ状態で当該第１、第２および第３の弾性変形部を前記案内方向に直交する平面上において互いに平行配置可能に前記第３の弾性変形部における前記各板バネの他端部を連結することを特徴とするコンタクトプローブ装置。
【請求項２】
前記連結手段は、前記第１および第３の弾性変形部の弾性変形に基づく前記プローブ本体における前記先端部の前記案内方向に直交する平面上の移動量と、前記第２の弾性変形部の弾性変形に基づく前記先端部の前記案内方向に直交する平面上の移動量とが相殺可能に構成されていることを特徴とする請求項１記載のコンタクトプローブ装置。
【請求項３】
前記第２の弾性変形部の前記両板バネは、上面視における前記他端部が前記一端部よりも幅広に形成されていることを特徴とする請求項１または２記載のコンタクトプローブ装置。
【請求項４】
前記第１および第３の弾性変形部の前記各板バネは、上面視における前記一端部が前記他端部よりも幅広に形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のコンタクトプローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローブ本体の先端部をプロービング対象体に接触させて所定の電気的検査を実行するためのコンタクトプローブ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種のコンタクトプローブ装置（以下、「プローブ装置」ともいう）として、図１５に示すプローブ装置６１が従来から知られている。このプローブ装置６１は、可撓性を有する角棒状のアーム部６２の一端側にプローブ案内機構ＰＭ（図１６参照）に取り付けるための取付用孔６３ａ，６３ｂが形成されると共に、他端側にプローブ本体６４が形成され、全体として導電性素材でＬ字状に一体成形されている。この場合、取付用孔６３ａ，６３ｂを挿通させた取付用ボルト（図示せず）をプローブ案内機構ＰＭにボルト締めすることによってプローブ装置６１をプローブ案内機構ＰＭに取り付けた状態では、プローブ本体６４の先端部６４ａとプローブ案内機構ＰＭとが電気的に相互に接続される。
【０００３】
このプローブ装置６１を用いてのプロービングの際には、まず、プローブ案内機構ＰＭを駆動して、アーム部６２をプロービング対象体Ｐに向けて下動させ、図１６の実線で示すように、プローブ本体６４の先端部６４ａをプロービング対象体Ｐの表面Ｐｘに接触させる。次に、アーム部６２をさらに下動させると、同図の一点鎖線で示すように、アーム部６２が矢印Ｉの方向（上向き方向）に弾性変形し、その弾性力によって先端部６４ａが矢印Ａの向き（下向き）でプロービング対象体Ｐ側に付勢される。これにより、先端部６４ａとプロービング対象体Ｐとの電気的接続が完全となる。なお、同図では、プローブ装置６１についての動作原理の理解を容易にするために、一点鎖線で示すプローブ装置６１およびプロービング対象体Ｐについては、アーム部６２の取付用孔６３ａ，６３ｂを基準とした相対的な位置に図示している。この後、プローブ案内機構ＰＭがアーム部６２およびプローブ本体６４を介してプロービング対象体Ｐに測定用電圧を印加することにより、所定の電気的検査が実行される。
【０００４】
一方、図１７に示すプローブ装置７１も従来から知られている。このプローブ装置７１は、プローブ案内機構ＰＭに取り付けるための取付用孔６３ａ，６３ｂが形成された取付部７２と、一端が取付部７２に固定された板バネ７８，７８を有する弾性変形部７３と、板バネ７８，７８の他端部がそれぞれ固定されると共に下向きにプローブ本体７７が形成された固定部７６とを備え、全体として導電性素材で一体成形されている。この場合、両板バネ７８，７８は、各々の幅、厚みおよび長さが互いに等しく形成されると共に上下方向に並設され、取付部７２に対する固定部７６の相対的上下動を許容する。また、プローブ装置７１をプローブ案内機構ＰＭに取り付けた状態では、プローブ本体７７の先端部７７ａとプローブ案内機構ＰＭとが電気的に相互に接続される。
【０００５】
このプローブ装置７１を用いてのプロービングの際には、まず、プローブ案内機構ＰＭを駆動して取付部７２をプロービング対象体Ｐに向けて下動させ、図１８の実線で示すように、プローブ本体７７の先端部７７ａをプロービング対象体Ｐの表面Ｐｘに接触させる。次に、取付部７２をさらに下動させると、同図の一点鎖線で示すように、板バネ７８，７８が弾性変形し、その弾性力によって先端部７７ａが同図に示す矢印Ａの向き（下向き）でプロービング対象体Ｐ側に付勢される。これにより、先端部７７ａとプロービング対象体Ｐとの電気的接続が完全となる。なお、同図でも、一点鎖線で示すプローブ装置７１およびプロービング対象体Ｐについては、取付部７２の取付用孔６３ａ，６３ｂを基準とした相対的な位置に図示している。この後、プローブ案内機構ＰＭが取付部７２、弾性変形部７３、固定部７６およびプローブ本体７７を介してプロービング対象体Ｐに測定用電圧を印加することにより、所定の電気的検査が実行される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のプローブ装置６１，７１には、以下の問題点がある。すなわち、従来のプローブ装置６１では、プローブ本体６４の先端部６４ａがプロービング対象体Ｐの表面Ｐｘに接触した状態でアーム部６２がさらに下動させられた際に、先端部６４ａは、図１６に示すように、取付用孔６３ａ，６３ｂの位置を基準とすれば、取付用孔６３ｂの近傍を中心として矢印Ｊで示すように上向き円弧状の軌跡で相対的に移動する。したがって、先端部６４ａは、接触当初の位置からプロービング対象体Ｐの表面Ｐｘを矢印Ｋの方向（プローブ本体６４の前方）に距離Ｓ１１だけ位置ずれする。このため、このプローブ装置６１には、先端部６４ａの位置ずれに起因して、プロービング対象体Ｐの表面Ｐｘに大きな接触痕ができてしまうという問題がある。
【０００７】
一方、従来のプローブ装置７１では、先端部７７ａがプロービング対象体Ｐの表面Ｐｘに接触した状態で取付部７２がさらに下動させられた際に、固定部７６は、図１８に示すように、取付用孔６３ａ，６３ｂの位置を基準とすれば、矢印Ｍ１，Ｍ２で示すように、取付用孔６３ｂの近傍を中心とした上向き円弧状の軌跡で相対的に移動する。これに伴い、プローブ本体７７の先端部７７ａが、矢印Ｍで示すように、固定部７６と共に上向き円弧状の軌跡で相対的に移動する。この結果、先端部７７ａは、接触当初の位置からプロービング対象体Ｐの表面Ｐｘを矢印Ｎの方向（取付部７２側）に距離Ｓ１２だけ位置ずれする。この場合、プローブ装置７１では、固定部７６が２枚の板バネ７８，７８によって取付部７２に連結されているため、プローブ装置６１とは異なり、プローブ本体７７は、接触時の姿勢を維持した状態でプロービング対象体Ｐに対してほぼ上動する。したがって、このプローブ装置７１では、先端部７７ａがプロービング対象体Ｐの表面Ｐｘを位置ずれする距離Ｓ１２がプローブ装置６１における先端部６４ａが位置ずれする距離Ｓ１１よりも短くなる結果、プローブ装置６１と比較して接触痕が小さくなる。しかし、プロービング対象体Ｐのファインピッチ化が進む今日においては、無視することのできない大きさの接触痕であり、この接触痕が可能な限り小さいプローブ装置の登場が望まれている。
【０００８】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、プロービング時の接触痕を極力小さくすることが可能なコンタクトプローブ装置を提供することを主目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項１記載のコンタクトプローブ装置は、プローブ案内機構に取り付けるための取付部と、プローブ案内機構の案内に従ってプロービング対象体に先端部が接触するプローブ本体と、プローブ本体が固定されるプローブ固定部と、取付部に対するプローブ固定部の相対的な上下動を許容可能に取付部およびプローブ固定部を相互に連結する連結手段とを備え、連結手段は、上下に並設されると共に各々の一端部に取付部をそれぞれ連結する２つの板バネを有し上下方向に弾性変形が可能な第１の弾性変形部と、上下に並設されると共に各々の一端部にプローブ固定部をそれぞれ連結する２つの板バネを有し上下方向に弾性変形が可能な第２の弾性変形部と、第１の弾性変形部および第２の弾性変形部をプローブ案内機構の案内方向に直交する平面上において互いに平行配置可能に両弾性変形部における各板バネの他端部同士を連結する連結部とを備えて構成されているコンタクトプローブ装置において、上下に並設されると共に各々の一端部にプローブ案内機構に取り付けるための取付部をそれぞれ連結する２つの板バネを有し上下方向に弾性変形が可能な第３の弾性変形部を備え、連結部は、第１および第３の弾性変形部の間に第２の弾性変形部を挟んだ状態で第１、第２および第３の弾性変形部を案内方向に直交する平面上において互いに平行配置可能に第３の弾性変形部における各板バネの他端部を連結することを特徴とする。
【００１１】
請求項２記載のコンタクトプローブ装置は、請求項１記載のコンタクトプローブ装置において、連結手段は、第１および第３の弾性変形部の弾性変形に基づくプローブ本体における先端部の案内方向に直交する平面上の移動量と、第２の弾性変形部の弾性変形に基づく先端部の案内方向に直交する平面上の移動量とが相殺可能に構成されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項３記載のコンタクトプローブ装置は、請求項１または２記載のコンタクトプローブ装置において、第２の弾性変形部の両板バネは、上面視における他端部が一端部よりも幅広に形成されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項４記載のコンタクトプローブ装置は、請求項１から３のいずれかに記載のコンタクトプローブ装置において、第１および第３の弾性変形部の各板バネは、上面視における一端部が他端部よりも幅広に形成されていることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、コンタクトプローブ装置の好適な実施の形態について説明する。
【００１５】
最初に、プローブ装置１の構成について、図１，２を参照して説明する。
【００１６】
プローブ装置１は、図１に示すように、プローブ案内機構ＰＭ（図４参照）に取り付けるための取付部２と、プローブ固定部に相当する固定部６と、一端部に取付部２をそれぞれ連結する板バネ８，８が上下方向に並設された弾性変形部３と、一端部に固定部６をそれぞれ連結する板バネ８，８が上下方向に並設された弾性変形部５と、弾性変形部３，５の各板バネ８，８，８，８の各他端部を連結することによってプローブ案内機構ＰＭの案内方向に直交する水平面において両弾性変形部３，５を互いに平行配置する連結部４と、固定部６に下向きに固定されたプローブ本体７とを備えて構成され、全体として導電性素材でコ字状に一体形成されている。この場合、弾性変形部３，５および固定部６が連結手段を構成する。また、図２に示すように、取付部２、弾性変形部３，５、連結部４および固定部６は、それぞれ所定形状に打ち抜いた基材Ｒ１〜Ｒ４を積層して形成されている。また、プローブ本体７は、同図（ｂ）に示すように、固定部６を形成する基材Ｒ４の下面に導電性接着剤で固着されている。さらに、取付部２を形成する基材Ｒ１〜Ｒ４には、同図（ａ）に示すように、プローブ案内機構ＰＭに取り付けるための取付用孔２ａ，２ａが連通形成されている。
【００１７】
弾性変形部３は、第１の弾性変形部に相当し、板バネ８，８の弾性変形によって取付部２に対する連結部４の相対的な上下動を許容する。弾性変形部５は、第２の弾性変形部に相当し、板バネ８，８の弾性変形によって連結部４に対する固定部６の相対的な上下動を許容する。したがって、弾性変形部３，５および連結部４は、全体として、取付部２に対する固定部６の相対的な上下動を許容する。この場合、図１，２に示すように、４つの板バネ８，８・・は、互いに同じ材質で、各々の幅Ｗ、長さＬおよび厚みＴが等しくなるように形成されている。したがって、両弾性変形部３，５は、所定押圧力に対する弾性変形の比率としての弾性率が互いに等しくなるように形成されている。
【００１８】
次に、プロービング時におけるプローブ装置１の動作について、図３〜６を参照して説明する。
【００１９】
まず、プローブ案内機構ＰＭを駆動して、プローブ本体７の先端部７ａをプロービング対象体Ｐの上方に位置させる。次に、プローブ案内機構ＰＭをさらに駆動して、取付部２を下動させる。これにより、プローブ本体７が下動するため、図５の実線で示すように、その先端部７ａがプロービング対象体Ｐの表面Ｐｘに接触する。次いで、取付部２が同図の矢印Ａの向き（下向き）にさらに下動すると、図３に示すように、弾性変形部３，５の板バネ８，８・・がそれぞれ弾性変形する。これにより、先端部７ａは、プロービング対象体Ｐの表面Ｐｘに付勢される。
【００２０】
この際には、図４（ａ）に示すように、弾性変形部５の板バネ８，８における固定部６側の端部は、矢印Ｂ１，Ｂ２で示すように、連結部４側の端部を中心とした上向き円弧状の軌軸で相対的に移動する。これに伴い、固定部６は、矢印Ｂで示すように、上向き円弧状の軌跡で相対的に移動する。この結果、連結部４の位置を基準とすれば、固定部６は、矢印Ｃの方向（連結部４側の方向）に距離Ｓ１ｂだけ移動する。なお、同図では、プローブ装置１についての動作原理の理解を容易にするために、一点鎖線で示す弾性変形部５および固定部６については、連結部４を基準とした相対的な位置に図示している。一方、弾性変形部３の板バネ８，８における連結部４側の端部は、図４（ｂ）に示すように、矢印Ｄ１，Ｄ２で示すように、取付部２側の端部を中心とした上向き円弧状の軌軸で相対的に移動する。これに伴い、連結部４は、矢印Ｄで示すように、上向き円弧状の軌跡で移動する。この結果、取付部２の位置を基準とすれば、連結部４は、矢印Ｅの方向（取付部２側の方向）に距離Ｓ１ａだけ移動させられる。なお、同図では、プローブ装置１についての動作原理の理解を容易にするために、一点鎖線で示す弾性変形部３および連結部４については、取付部２を基準とした相対的な位置に図示している。
【００２１】
この場合、両弾性変形部３，５の弾性率が互いに等しく、かつ、取付部２によって弾性変形部３に下向きに加わる押圧力と、固定部６によって弾性変形部５に上向きに加わる押圧力が互いに等しいため、弾性変形部３の弾性変形に基づく連結部４の水平面に対する移動量Ｓ１ａと、弾性変形部５の弾性変形に基づくプローブ本体７の水平面に対する移動量Ｓ１ｂとが互いに等しくなる。したがって、両移動量Ｓ１ａ，Ｓ１ｂが互いに相殺されるため、固定部６は、図５に示すように、取付部２に対し、水平面方向において相対的に移動することなく同じ位置を維持する。この結果、プローブ本体７の先端部７ａは、プロービング対象体Ｐ上で位置ずれすることなく点的接触状態を維持する。これは、プローブ本体７の先端部７ａがプローブ案内機構ＰＭの案内方向に対して実質的に直動することを意味する。この後、例えば、回路基板のパターン断線などを検査する場合、一方のプローブ装置１におけるプローブ本体７の先端部７ａを介してプロービング対象体Ｐに電圧または電流を供給し、かつ、他方のプローブ装置１におけるプローブ本体７の先端部７ａを介して電圧または電流を入力することにより、その入力した電流または電圧に基づいて、パターン断線が検査可能となる。
【００２２】
このように、このプローブ装置１では、プローブ本体７の先端部７ａが、プローブ案内機構ＰＭの案内方向に対して直動するため、プロービング対象体Ｐの表面Ｐｘに生じる接触痕を極めて小さくすることができる。このため、プロービング対象体Ｐの美観や機能を損なうことなくプロービングを行うことができる。一方、このプローブ装置１では、先端部７ａがプロービング対象体Ｐの表面Ｐｘに接触した状態の取付部２（つまり、図６の実線で示す状態の取付部２）をさらに下動させると、同図の一点鎖線で示すように、連結部４が矢印Ｆの向きで回転するおそれがある。かかる場合には、連結部４の回転に伴ってプローブ本体７が傾くため、プローブ本体７の先端部７ａがプロービング対象体Ｐの表面Ｐｘ上を矢印Ｇの向き（取付部２から遠ざかる向き）で距離Ｓ２だけ位置ずれし、これにより、表面Ｐｘに極く小さな線的接触痕ができてしまう。なお、同図では、連結部４およびプローブ本体７の傾きや先端部７ａの位置ずれ量を実際の傾きおよび位置ずれ量よりも誇張して図示している。
【００２３】
このため、プローブ本体７の傾きに起因する接触痕を小さくするのが好ましく、以下に、この点を改善した他の実施の形態に係るプローブ装置１１について説明する。
【００２４】
最初に、プローブ装置１１の構成について、図７，８を参照して説明する。なお、プローブ装置１と同一の構成要素については同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【００２５】
プローブ装置１１は、図７に示すように、プローブ案内機構ＰＭに取り付けるための取付部１２，１２と、固定部６と、一端部に取付部１２をそれぞれ連結する板バネ１８，１８が上下方向に並設された弾性変形部１３，１３と、弾性変形部５と、弾性変形部１３，１３の各板バネ１８，１８，１８，１８の各他端部および弾性変形部５の各板バネ８，８を連結することによって弾性変形部１３，１３，５を水平面において互いに平行配置する連結部１４と、固定部６に下向きに取り付けられたプローブ本体７とを備えて構成され、全体として導電性素材でＥ字状に一体形成されている。また、このプローブ装置１１でも、プローブ装置１と同様にして、それぞれ所定形状に打ち抜いた基材Ｒ１〜Ｒ４を積層して形成され、プローブ本体７が基材Ｒ４の下面に導電性接着剤で固着されている。
【００２６】
弾性変形部１３，１３は、本発明における第１および第３の弾性変形部に相当し、板バネ１８，１８の弾性変形によって取付部１２に対する連結部１４の相対的な上下動を許容する。弾性変形部５は、弾性変形部１３，１３の間に配設されると共に、板バネ８，８の弾性変形によって連結部１４に対する固定部６の相対的な上下動を許容する。この場合、同図および図８に示すように、各板バネ１８，１８・・８，８は、例えば、互いに同じ材質で、各々の長さＬおよび厚みＴがそれぞれ等しく、かつ、板バネ１８の幅Ｗ１が板バネ８の幅Ｗの１／２となるように形成されている。したがって、両弾性変形部１３，１３全体としての弾性率と弾性変形部５の弾性率とが互いに等しくなるように形成されている。
【００２７】
次に、プロービング時におけるプローブ装置１１の動作について、図９，１０を参照して説明する。
【００２８】
このプローブ装置１１では、図１０の実線で示すように、プローブ本体７の先端部７ａがプロービング対象体Ｐの表面Ｐｘに接触した状態において、取付部１２がさらに下動すると、図９に示すように、弾性変形部１３，１３，５における各板バネ１８，１８・・８，８がそれぞれ弾性変形する。この際に、固定部６は、プローブ装置１によるプロービングと同様にして、連結部１４が取付部１２に対して矢印Ｅの向き（取付部１２側の向き）で距離Ｓ１ａだけ移動し、固定部６が連結部１４に対して矢印Ｃの向き（連結部１４側の向き）で距離Ｓ１ｂだけ移動する。この場合にも、距離Ｓ１ａと距離Ｓ１ｂとが互いに等しくなる。したがって、両移動量Ｓ１ａ，Ｓ１ｂが互いに相殺されるため、固定部６は、取付部１２に対して、相対的に移動することなく同じ位置を維持する。この結果、プローブ本体７の先端部７ａは、プロービング対象体Ｐ上で位置ずれすることなく点的接触状態を維持する。これは、プローブ本体７の先端部７ａがプローブ案内機構ＰＭの案内方向に対して実質的に直動することを意味する。
【００２９】
また、図１０に示すように、プローブ案内機構ＰＭによって取付部１２，１２が互いに等しい付勢力でプロービング対象体Ｐ側に押圧される。したがって、同図の一点鎖線で示すように、連結部１４がプロービング対象体Ｐの表面Ｐｘに対して上下方向で平行移動する。このため、連結部１４の矢印Ｇ１，Ｇ２の向きへの回転、つまり連結部１４の傾きが抑制される。この結果、プローブ装置１とは異なり、プローブ本体７の傾きが抑制される結果、プローブ本体７の先端部７ａは、プロービング対象体Ｐの表面Ｐｘ上で位置ずれすることなくプローブ案内機構ＰＭの案内方向に直動させられて、プロービング対象体Ｐの表面Ｐｘに下向きに付勢される。
【００３０】
このように、このプローブ装置１１では、プローブ本体７の先端部７ａがプローブ案内機構ＰＭの案内方向に対して確実に直動するため、プロービング対象体Ｐの表面Ｐｘ形成される接触痕が、さらに極小となる。このため、プロービング対象体Ｐの美観や機能を損なうことなくプロービングを行うことができる。
【００３１】
なお、本発明は、上記本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、図１１に示すプローブ装置２１のように、本発明における第２の弾性変形部に相当する弾性変形部２５における連結部２４側の端部の幅Ｗ１１ａを、固定部２６側の端部の幅Ｗ１１ｂよりも幅広に形成することにより、プロービング時におけるプローブ本体２７の矢印Ｇ１，Ｇ２の向きへの回転、つまりプローブ本体２７の傾きをより確実に防止することができ、これにより先端部２７ａの左右方向への位置ずれを有効に防止することができる。この場合、弾性変形部２５は、Ｖ字形の板バネ２８，２８が上下方向に並設されて構成されている。また、本発明における第１および第３の弾性変形部に相当する両弾性変形部３，３全体としての弾性率と弾性変形部２５の弾性率とが互いに等しくなるように形成されている。このため、このプローブ装置２１でも、プローブ装置１，１１と同様にして、プロービング時におけるプローブ本体２７の先端部２７ａの矢印Ｃ，Ｅの向きへの移動が防止され、ひいては、先端部２７ａの前後方向への位置ずれが確実に防止される。このように、このプローブ装置２１では、プローブ本体２７における先端部２７ａの前後左右方向への位置ずれが確実に防止されるため、接触痕を確実に小さくすることができる。
【００３２】
また、図１２に示すプローブ装置３１のように、本発明における第１および第３の弾性変形部に相当する弾性変形部３３，３３における取付部３２側の端部の幅Ｗ１２ａを連結部３４側の端部の幅Ｗ１２ｂよりも幅広に形成することもできる。この場合、弾性変形部３３は、Ｖ字形の板バネ３８，３８が上下方向に並設されている。また、両弾性変形部３，３の各板バネ３８，３８，３８，３８における上面の面積の和と、弾性変形部２５の両板バネ２８，２８における上面の面積の和とが等しくなるように形成されている。したがって、両弾性変形部３，３全体としての弾性率と、弾性変形部２５の弾性率とが互いに等しくなっている。このため、プローブ装置１，１１，２１と同様にして、プロービング時におけるプローブ本体２７の先端部２７ａの矢印Ｃ，Ｅの向きへの位置ずれが防止される。
【００３３】
加えて、このプローブ装置３１では、弾性変形部３３，３３の取付部３２側の端部が幅広に形成されているため、プロービング時において、両弾性変形部３３，３３の傾きが防止されるため、連結部３４が矢印Ｇ１，Ｇ２のいずれかの向き（下向き）で傾くことなく水平状態を維持される。この結果、プローブ本体２７の傾きをさらに確実に防止することができるため、その先端部２７ａをさらに確実に点接触させることができる。また、弾性変形部３３，３３，２５に三角形状の切欠きを形成することにより、プローブ本体２７における先端部２７ａの位置ずれを防止しつつ、プローブ装置３１の軽量化を図ることもできる。
【００３４】
さらに、本発明の実施の形態では、導電性素材製のプローブ本体７を固定部６に固着した例について説明したが、プローブ本体の形状およびプローブ固定部への固定方法はこれに限定されない。例えば、図１３に示すプローブ装置４１のように、本発明における第２の弾性変形部に相当する弾性変形部２５に連結された固定部４６に嵌入用溝４６ａを形成し、ピン状のプローブ本体４７を嵌入用溝４６ａに嵌入することによって固定してもよい。また、プローブ装置３１，４１における弾性変形部３３，３３における取付部３２側の端部や、弾性変形部２５における連結部３４側の端部は必ずしも連結されている必要はなく、例えば、図１４に示すプローブ装置５１のように、弾性変形部３３の端部に分離独立した取付部５２，５２を連結したり、弾性変形部２５の端部に分離独立した連結部５４，５４を連結したりしてもよい。
【００３５】
さらに、本発明の実施の形態では、同一形状の板バネを上下方向に並設して弾性変形部を構成した例について説明したが、長さ、幅および厚みのいずれか１つ以上が互いに異なる板バネを上下に並設して弾性変形部を構成してもよい。また、本発明の実施の形態では、本発明における第１および第３の弾性変形部全体としての弾性率と、本発明における第２の弾性変形部の弾性率とが互いに等しくなるように構成した例について説明したが、若干相違する場合であっても、従来のプローブ装置７１と比較して、プローブ本体における先端部の位置ずれ量をより小さくすることができる。
【００３６】
【発明の効果】
以上のように、請求項１記載のコンタクトプローブ装置によれば、第１および第２の弾性変形部と連結部とを備えて連結手段を構成したことにより、プローブ本体の先端部がプローブ案内機構の案内方向に沿って直動するため、プローブ本体による接触痕を極力小さくすることができる。
【００３７】
また、第１および第３の弾性変形部の間に第２の弾性変形部を挟んだ状態で第１〜第３の弾性変形部が案内方向に直交する平面上において平行配置されるように、連結部が各弾性変形部の各板バネを連結することにより、プロービング時におけるプローブ本体の傾きを防止することができるため、プロービング時におけるプローブ本体の先端部の位置ずれを確実に防止することができ、これにより、プロービング時におけるプロービング対象体への接触痕を極限まで小さくすることができる。
【００３８】
さらに、請求項２記載のコンタクトプローブ装置によれば、第１および第３の弾性変形部の弾性変形に基づくプローブ本体における先端部の案内方向に直交する平面上での移動量と、第２の弾性変形部の弾性変形に基づく先端部の案内方向に直交する平面上での移動量とを相殺可能に連結手段を構成したことにより、プローブ本体の先端部がプローブ案内機構の案内方向に沿って直動するため、プロービング対象体に対してプローブ本体の先端部を点接触させることができ、これにより、プロービング時におけるプロービング対象体への接触痕をより小さくすることができる。
【００３９】
また、請求項３記載のコンタクトプローブ装置によれば、第２の弾性変形部の両板バネの上面視における他端部を一端部よりも幅広に形成したことにより、プロービング時におけるプローブ本体の傾きを確実に防止することができ、これにより、プロービング時におけるプロービング対象体への接触痕を確実に小さくすることができる。
【００４０】
さらに、請求項４記載のコンタクトプローブ装置によれば、第１および第３の弾性変形部の各板バネの上面視における一端部を他端部よりも幅広に形成したことにより、プロービング時における連結部の傾きを確実に防止することができる結果、プローブ本体の傾きをさらに確実に防止することができ、これにより、プロービング時におけるプロービング対象体への接触痕をより確実に小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  プローブ装置１の外観斜視図である。
【図２】  （ａ）は図１におけるＸ−Ｘ線断面図、（ｂ）は図１におけるＹ−Ｙ線断面図である。
【図３】  プロービング時におけるプローブ装置１の外観斜視図である。
【図４】  （ａ）は弾性変形部５の変形状態を示すプローブ装置１の側面図、（ｂ）は弾性変形部３の変形状態を示すプローブ装置１の側面図である。
【図５】  プローブ装置１の動作原理を説明するための側面図である。
【図６】  プローブ装置１の動作原理を説明するための正面図である。
【図７】  本発明の実施の形態に係るプローブ装置１１の外観斜視図である。
【図８】  図７におけるＺ−Ｚ線断面図である。
【図９】  プロービング時におけるプローブ装置１１の外観斜視図である。
【図１０】  プローブ装置１１の動作原理を説明するための正面図である。
【図１１】  本発明の他の実施の形態に係るプローブ装置２１の外観斜視図である。
【図１２】  本発明の他の実施の形態に係るプローブ装置３１の外観斜視図である。
【図１３】  本発明の他の実施の形態に係るプローブ装置４１の外観斜視図である。
【図１４】  本発明の他の実施の形態に係るプローブ装置５１の外観斜視図である。
【図１５】  従来のプローブ６１の外観斜視図である。
【図１６】  従来のプローブ６１の動作を説明するための説明図である。
【図１７】  従来のプローブ７１の外観斜視図である。
【図１８】  従来のプローブ７１の動作を説明するための説明図である。
【符号の説明】
１，１１，２１，３１，４１，５１  プローブ装置
２，１２，３２，５２  取付部
３，１３，３３  弾性変形部
４，１４，２４，３４，５４  連結部
５，２５  弾性変形部
６，２６，４６  固定部
７，２７，４７  プローブ本体
７ａ，２７ａ  先端部
８，１８，２８，３８  板バネ
Ｐ  プロービング対象体
ＰＭ  プローブ案内機構
【図１】
0004330736.tif 000002
【図２】
0004330736.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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