(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被成形品供給ユニットより被成形品をプレス部に搬入するローダーと、前記プレス部より成形品を成形品収納ユニットへ取り出すアンローダーとが移動レール部を共用して移動することにより樹脂封止する樹脂封止装置であって、
前記被成形品供給ユニットと前記成形品収納ユニットとの間に、前記プレス部を搭載可能な増設レールユニットが挿脱可能に設けられ、
前記被成形品供給ユニット、前記増設レールユニット及び前記成形品収納ユニットは、前記ローダー及びアンローダーが移動可能な移動レール部及び前記アンローダーの吸引ダクトにダクト連結部を介して接続可能な吸引ダクトが各々台座部に併設されており、
前記供給側移動レール部、増設側移動レール部及び収納側移動レール部の一方端が前記台座部より延出した延出部と他方端が当該台座部より短く形成された空隙部を各々有し、前記供給側移動レール部の延出部が前記増設側移動レール部の空隙部と嵌め合い、前記増設側移動レール部の延出部が前記収納側移動レール部の空隙部と嵌め合うことで供給側移動レール部、増設側移動レール部、収納側移動レール部が直状に連結され、かつ供給側吸引ダクト、増設側吸引ダクト、収納側吸引ダクトがダクト連結部を介して直状に連結されて一の集塵機と接続されて前記被成形品供給ユニットと成形品供給ユニットとの間に少なくとも１以上の増設レールユニットが増設されることを特徴とする樹脂封止装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する利用分野】
本発明は被成形品供給ユニットより被成形品をプレス部に搬入するローダーと、プレス部より成形品を成形品収納ユニットへ取り出すアンローダーとが移動レール部を共用して移動することにより樹脂封止する樹脂封止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置として用いられる樹脂封止装置の構成について、図６及び図７を参照して説明する。図６において、樹脂封止装置は、モールド金型５１を備えたプレス部５２を中心にしてその周囲に供給マガジン５３に収納したリードフレーム、樹脂基板などの被成形品を供給テーブル５４へ供給する被成形品供給部５５、樹脂タブレットを貯蔵する保管部５６、樹脂タブレットを整列供給するボールフィーダ５７及びリニアフィーダ５８、及び樹脂タブレットを装填されて供給テーブル５４へ供給するタブレットホルダー５９を備えた樹脂タブレット供給部６０、モールド金型５１より取り出された成形品をゲートブレイクして不要樹脂を分離するディゲート部６１、不要樹脂を分離した成形品を収納する収納マガジン６２を備えた成形品収納部６３、装置全体の動作を制御する制御部６４などが設けられている。
【０００３】
被成形品及び樹脂タブレットは供給テーブル５４へ供給されると、ローダー６５に保持されて型開きしたモールド金型５１へ搬入される。また、成形品はモールド金型５１より離型されるとアンローダー６６に保持され、アンローダ６６は金型面をクリーニングしながら成形品をディゲート部６１へ搬出する。アンローダー６６は、ディゲート部６１において基板の反りを防止するため成形品を押さえたまま保持し、成形品にエアーが吹き付けられて冷却される。そして、基板がツイストされて成形品と不要樹脂とが分離され、アンローダー６６は成形品のみをディゲート部６１に受け渡してから次の成形品を取り出すため移動する。上記ローダー６５及びアンローダー６６は、プレス部５２の上方に架設されたガイドレール６７を共用して移動するようになっており、ローダー６５は供給テーブル５４とモールド金型５１との間、アンローダー６６はモールド金型５１とディゲート部６１との間を各々往復移動するようになっている（特開平３−２８６８１７号参照）。
【０００４】
次に、図７に示す樹脂封止装置は、成形品の数を増減したり、多品種少量生産にも対応できるよう、モールド金型７０ａ〜７０ｄを各々含むプレス機能のみを有するプレスユニット７１ａ〜７１ｄを基本ユニット７２のプレス着脱部７３に対して分離可能に設けたものである。基本ユニット７２には、供給マガジン７４に収納したリードフレーム、樹脂基板などの被成形品をターンテーブル７５へ供給する被成形品供給部７６、樹脂タブレットを収納するタブレットカセット７７からタブレットホルダー７８へ樹脂タブレットを装填して供給する樹脂タブレット供給部７９、プレスユニット７１ａ〜７１ｄより取り出された成形品を成形品ピップアップ８０により保持してゲートブレイクして不要樹脂を分離するディゲート部８１、不要樹脂を分離した成形品を収納する収納マガジン８２を備えた成形品収納部８３を備えている。
【０００５】
被成形品及び樹脂タブレットはローダーユニット８４に備えたローダー８５に保持されて型開きしたモールド金型７０ａ〜７０ｄへ搬入される。また、成形品はモールド金型７０ａ〜７０ｄより離型されると、ローダーユニット８４に備えたアンローダー８６に保持され、該アンローダー８６は金型面をクリーニングしながら成形品をディゲート部８１へ搬出する。上記ローダーユニット８４に備えたローダー８５及びアンローダー８６は上下に重なるように設けられており、基本ユニット７２に設けられたガイドレール８７を平面上位置で共用して各々独自に移動するようになっている。
【０００６】
ローダー８５は、待機位置Ｘにおいて旋回して向きを変えてターンテーブル７５より被成形品を保持し、タブレットホルダー７８より樹脂タブレットを各々保持する。そして、ローダー８５は、搬入先のプレスユニット７１ａ〜７１ｄへ向きを合わせて旋回した後、ガイドレール８７に沿って搬送位置Ｙ又はＺへ移動して所要のプレスユニットへ被成形品及び樹脂タブレットを搬入する。また、アンローダー８６は、搬送位置Ｂ又はＣに待機しており、成形動作が終了したプレスユニット７１ａ〜７１ｄの型開きしたモールド金型７０ａ〜７０ｄより離型された成形品を保持して取り出し、ガイドレール８７に沿って待機位置Ｘに移動してから必要に応じてディゲート部８１へ向きを合わせるべく旋回して移載する。各プレスユニット７１ａ〜７１ｄにおいて、アンローダ８６が型開きしたモールド金型７０ａ〜７０ｄへ進入して成形品を取り出すのと入れ替わりにローダー８５が次の被成形品及び樹脂タブレットを当該モールド金型へ搬入するようになっている（特開平１０−５８４５７号参照）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
近年、実装基板の微細配線化、高集積化に伴い、半導体パッケージも小型化して高密度実装化しており、ＱＦＮ（Ｑｕａｄ・Ｆｌａｔ・Ｎｏｎ−ｌｅａｄｅｄ）タイプのパッケージ、ＢＧＡ（ボールグリッドアレイ）タイプのパッケージ、ＣＳＰ（チップサイズパッケージ）などが実用化されている。例えば、ＱＦＮのようにインナーリードの一部をパッケージから露出させたり、ＢＧＡタイプ或いはフリップチップ実装タイプの半導体パッケージにおいては、接続端子（バンプ、はんだボールなど）の端部を露出させて樹脂封止したい、或いは複数の半導体チップを一括して樹脂封止したいという要請がある。この場合、モールド金型にリリースフィルムを張設して樹脂封止するのが好ましい場合があった。
また、製品によっては、半導体パッケージの熱放散性を高めるため、放熱板（ヒートシンクをチップと共に樹脂封止したいと言う要請もある。また、キャビティダウンタイプのパッケージのように、キャビティ周囲の基板面に端子接続面が形成されている場合には基板上に樹脂路を形成できないため、上下金型の間に中間金型プレート（中間型）を挿脱して樹脂封止したいと言う要請もあった。
【０００８】
しかしながら、図６に示す樹脂封止装置は、モールド金型５１を有するプレス部５２の周囲にローダー６５及びアンローダ６６、被成形品供給部５５、樹脂タブレット供給部６０、ディゲート部６１、成形品収納部６３などに囲まれているため、様々なニーズに応えて樹脂封止装置の多機能化を図るためには、設置スペースや作業スペースに乏しく装置を改変するのが困難であった。特にモールド金型５１の上方を通過してローダー６５及びアンローダ６６が共用して移動するガイドレール６７が設けられているため、これを回避して他の機能部を設けるのは困難である。
【０００９】
また、図７に示す樹脂封止装置は、複数プレスを有しているため、特に基本ユニット７２、ガイドレール８７、プレスユニット７１ｃ、７１ｄに囲まれたプレスユニット７１ａ、７１ｂは装置の多機能化を図るためには上記図６と同様に、装置を改変するのが困難である。
【００１０】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、装置の多機能化、設計の自由度を向上させて容易に拡張したり改変することができる樹脂封止装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は次の構成を備える。
即ち、被成形品供給ユニットより被成形品をプレス部に搬入するローダーと、前記プレス部より成形品を成形品収納ユニットへ取り出すアンローダーとが移動レール部を共用して移動することにより樹脂封止する樹脂封止装置であって、前記被成形品供給ユニットと前記成形品収納ユニットとの間に、前記プレス部を搭載可能な増設レールユニットが挿脱可能に設けられ、前記被成形品供給ユニット、前記増設レールユニット及び前記成形品収納ユニットは、前記ローダー及びアンローダーが移動可能な移動レール部及び前記アンローダーの吸引ダクトにダクト連結部を介して接続可能な吸引ダクトが各々台座部に併設されており、前記供給側移動レール部、増設側移動レール部及び収納側移動レール部の一方端が前記台座部より延出した延出部と他方端が当該台座部より短く形成された空隙部を各々有し、前記供給側移動レール部の延出部が前記増設側移動レール部の空隙部と嵌め合い、前記増設側移動レール部の延出部が前記収納側移動レール部の空隙部と嵌め合うことで供給側移動レール部、増設側移動レール部、収納側移動レール部が直状に連結され、かつ供給側吸引ダクト、増設側吸引ダクト、収納側吸引ダクトがダクト連結部を介して直状に連結されて一の集塵機と接続されて前記被成形品供給ユニットと成形品供給ユニットとの間に少なくとも１以上の増設レールユニットが増設されることを特徴とする。
【００１２】
また、被成形品供給ユニット、成形品収納ユニット及び増設レールユニットのうちいずれか又は全てに、生産性を向上させたり、多品種少量生産に対応するためプレス部が設けられていても良い。
また、被成形品供給ユニット、成形品収納ユニット及び増設レールユニットのうちいずれかに、プレス部の金型面に移動レール部と略平行にリリースフィルムを張設するフィルムユニットのフィルム供給部及び／又はフィルム巻取り部が設けられていても良い。
また、異なる製品に対応して多機能化するため、被成形品供給ユニット、成形品収納ユニット及び増設レールユニットのうちいずれかに、プレス部に封止樹脂を供給する樹脂供給部が設けられていても良く、或いはプレス部の上型と下型との間に中間型を挿脱する中間型供給部が設けられていても良く、更にはプレス部に放熱板を供給する放熱板供給部が設けられていても良い。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について添付図面と共に詳述する。樹脂封止装置は、被成形品をプレス部に搬入するローダーと、プレス部より成形品を成形品取出部へ取り出すアンローダーとが移動レール部を共用して樹脂封止するように構成されている。
［第１実施例］
本実施例は、増設レールユニットにプレス部を搭載して増設した態様を示す。図１（ａ）（ｂ）は樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図及び増設レールユニットの平面図、図２（ａ）（ｂ）は図１（ａ）の樹脂封止装置の右側面図及び移動レール部の拡大説明図である。
【００１４】
図１（ａ）において、先ず樹脂封止装置の概略構成について説明する。樹脂封止装置は被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを分離可能に備えている。被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣのそれぞれが移動レール部と台座部を有しており、台座部には各種機能部を備えることが可能である。各種機能部として、供給部、整列部、受渡部、取出部、ディゲート部、収納部、プレス部、フィルムユニット等が適宜設置されている。以下、各ユニットの構成について説明する。
【００１５】
［被成形品供給ユニットＡ］
図１（ａ）において、１は基板供給部であり、供給マガジン２に収納したリードフレーム、樹脂基板などの基板を整列部であるターンテーブル３へ向きを揃えて供給し、該ターンテーブル３から受渡部である供給位置４まで図示しない送り出し機構により送り出される。供給位置４には、基板の加熱手段を設けても良い。
５は樹脂タブレット供給部であり、樹脂タブレットを送り出すリニアフィーダ（図示せず）から樹脂タブレットをタブレットホルダー６へ装填し、該タブレットホルダー６を供給位置まで移動して供給する。
【００１６】
７はプレス部であり、モールド金型８及び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。プレス部７は、供給側台座部９に設けられており、モールド金型８にリリースフィルム１０を張設するフィルムユニットＦが取付け可能になっている。尚、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣにプレス部を備えた場合にも、フィルムユニットＦを同様に取付可能になっている（図示せず）。
【００１７】
フィルムユニットＦは、プレス部７の両側にフィルム供給部１１及びフィルム巻取り部１２を備えており、リリースフィルム１０は移動レール部と直交する方向に張設されている。リリースフィルム１０は、ＱＦＮのようにインナーリードの一部をパッケージから露出させたり、ＢＧＡタイプ或いはフリップチップ実装タイプの半導体パッケージにおいては、接続端子（バンプ、はんだボールなど）の端部を露出させて樹脂封止する場合などに好適に用いられる。リリースフィルム１０は、モールド金型８の加熱温度に耐えられる耐熱性を有するもので、金型面より容易に剥離するものであって、柔軟性、伸展性を有するフィルム材、例えば、ＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ、ＰＥＴ、ＦＥＰ、フッ素含浸ガラスクロス、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニリジン等が好適に用いられる。リリースフィルム１０は、モールド金型８のパーティング面に形成された吸着穴よりエアーを吸引することで、金型面に密着して張設される。尚、プレス部７は、必ずしも具備されているものではなく、該プレス部７の代わりに必要に応じて供給側台座部９に他の機能部を搭載しても良い。被成形品供給ユニットＡの台座幅を狭くしてプレス部７を省略しても良い。また、インラインのように外部から被成形品が供給される場合には、被成形品供給ユニットＡに設けられた供給部、整列部等は省略しても良い。
【００１８】
１３は供給側移動レール部であり、供給位置４で基板を受け取って保持し、タブレットホルダー６より樹脂タブレットを受け取って保持するローダー１４やプレス部７などから成形品を取出すアンローダー１５が共用して移動可能になっている。ローダー１４及びアンローダー１５は、供給側移動レール部１３を含む移動レール部を所要位置へ移動してプレス部７含む所要のプレス部に一方向から進退移動するようになっている。供給側移動レール部１３は、他のユニットとのレールどうしの接続性や拡張性を考慮して一方側端（図１（ａ）の右側）に延出部１３ａが設けられ、他方側端（図１（ａ）の左側）にレールの長さを短く形成して生じた空隙部１３ｂが設けられている。
【００１９】
１６はアンローダー１５の吸引ダクトに接続可能な供給側吸引ダクトであり、供給側移動レール部１３に併設されている。供給側吸引ダクト１６の一端は集塵機１７に連結しており、他端にはダクト連結部１６ａが設けられている。ダクト連結部１６ａには増設レールユニットＣの吸引ダクト３０が連結可能になっている。アンローダー１５は、プレス部７より成形品を取り出す際に、アンローダー側吸引ダクトが供給側吸引ダクト１６のダクト連結部１６ａに形成された連結孔（図示せず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移動する際に上下金型面をクリーニングしながら吸引動作を行い、樹脂かすなどの塵を集塵機１７へ集塵するようになっている。
【００２０】
[成形品収納ユニットＢ]
図１（ａ）において、１８は成形品取出部であり、いずれかのプレス部よりアンローダー１５により取出された成形品を下方に待機している移動テーブル１９へ受け渡される。アンローダ１５は、成形品を移動テーブル１９へ受け渡すと次の成形品の取出し動作に移行する。移動テーブル１９は成形品を載置してディゲート部２０へ搬送する。ディゲート部２０は、移動テーブル１９へ載置されて搬送された成形品を押えて冷却すると共に基板をツイストすることによりゲートブレイクし不要樹脂を分離する。不要樹脂は図示しないスクラップボックスへ回収される。移動テーブル１９は成形品のみを載置して成形品収納部２１へ搬送する。成形品収納部２１において、移動テーブル１９に搬送された成形品を成形品ピックアップ２２により一端保持する。そして、移動テーブル１９が成形品取出部１８へ向かって移動すると、下方に設けられた収納マガジン２３へ必要に応じて旋回して向きを揃えて収納する。
【００２１】
２４はプレス部であり、モールド金型８及び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。プレス部２４は、収納側台座部２５に設けられており、フィルムユニットＦなどを設けることも可能である。尚、プレス部２４は、必ずしも具備されているものではなく、該プレス部２４の代わりに必要に応じて収納側台座部２５に他の機能部を搭載しても良い。また、成形品収納ユニットＢの台座幅を狭くしてプレス部２４を省略しても良い。また、インラインのように外部へ成形品が搬出される場合には、成形品収納ユニットＢに設けられたディゲート部、収納部等は省略しても良い。
【００２２】
２６は収納側移動レール部であり、プレス部２４へ被成形品及び樹脂タブレットを搬入するローダー１４やプレス部２４などから成形品を取出すアンローダー１５が共用して移動可能になっている。収納側移動レール部２６は、他のユニットとのレールどうしの接続性や拡張性を考慮して一方側端（図１（ａ）の右側）に延出部２６ａが設けられ、他方側端（図１（ａ）の左側）にレールの長さを短く形成して生じた空隙部２６ｂが設けられている。
【００２３】
２７は収納側吸引ダクトであり、収納側移動レール部２６に併設されている。収納側吸引ダクト２７の一端は、後述する増設レールユニットＣの吸引ダクト３０に設けられたダクト連結部３０ａに連結しており、他端にはダクト連結部２７ａが設けられている。アンローダー１５は、プレス部２４より成形品を取り出す際に、アンローダー側吸引ダクトが収納側吸引ダクト２７のダクト連結部２７ａに形成された連結孔（図示せず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移動する際に金型面をクリーニングしながら吸引動作を行い、樹脂かすなどの塵を被成形品供給ユニットＡに設けられた集塵機１７へ集塵するようになっている。
【００２４】
[増設レールユニットＣ]
増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に挿脱可能に設けられている。２８は増設側移動レール部であり、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを増設した際にローダー１４及びアンローダー１５が共用して移動可能になっている。この増設側移動レール部２８は、供給側移動レール部１３と収納側移動レール部２６との間を連結してローダー１４及びアンローダー１５が移動可能になっている（図１（ａ）参照）。増設側移動レール部２８は、他の増設レールユニットＣや被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢとの接続用に一方側端（図１（ｂ）の右側）に延出部２８ａが設けられ、他方側端（図１（ｂ）の左側）にレールの長さを短く形成して生じた空隙部２８ｂが設けられている。
【００２５】
２９は増設側台座部であり、増設側移動レール部２８を支持すると共にプレス部３１やフィルムユニットＦなどの様々な機能を有する機能部を搭載可能になっている。増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に移動レール部どうしが連続するように挿入された後、増設側台座部２９と供給側台座部９との間、増設側台座部２９と収納側台座部２５との間、増設側台座部２９どうしの間を各々ボルト締めして連結されている。尚、増設レールユニットＣごと他の増設レールユニットＣに変更することは可能であるが、各種機能部の大きさを考慮しておけば、該機能部だけの交換も可能である。
【００２６】
また、増設側移動レール部２８には増設側吸引ダクト３０が併設されており、一端側にはアンローダー１５のアンローダー側吸引ダクトに接続可能なダクト連結部３０ａが設けられている。増設側吸引ダクト３０は、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを増設した際に、供給側移動レール部１３及び収納側移動レール部２６に各々設けられた供給側吸引ダクト１６及び収納側吸引ダクト２７間にダクト連結部１６ａ及びダクト連結部３０ａを介して各々連結して集塵機１７へ連通するようになっている（図１（ａ）参照）。
【００２７】
本実施例では、図１（ａ）に示すように、プレス部３１を搭載した増設レールユニットＣを被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に２台分増設している。増設レールユニットＣと被成形品供給ユニットＡとは、増設側移動レール部２８と供給側移動レール部１３とが、空隙部２８ｂに延出部１３ａが嵌め込まれて連結しており、供給側吸引ダクト１６のダクト連結部１６ａに増設側吸引ダクト３０の一端が連結している。また、増設レールユニットＣと成形品収納ユニットＢとは、延出部２８ａが空隙部２６ｂに嵌め込まれて連結しており、増設側吸引ダクト３０のダクト連結部３０ａに収納側吸引ダクト２７の一端が連結している。また、増設レールユニットＣどうしは、一方（図１（ａ）の左側）の延出部２８ａが他方の空隙部２８ｂに嵌め込まれて連結しており、一方のダクト連結部３０ａに他方の増設側吸引ダクト３０の一端が連結している。
【００２８】
ここで、プレス部３１を搭載した増設レールユニットＣの構成について図２（ａ）（ｂ）を参照して説明する。
増設側台座部２９は、レール台座部２９ａとベース台座部２９ｂとを備えており、ベース台座部２９ｂには、プレス部３１が搭載されている。レール台座部２９ａとベース台座部２９ｂとは一体に形成されていても或いは分離可能に構成されていても良い。分離可能にした場合には、機能部の大きさによってはベース台座部２９ｂの長さＬを変更すればよいという利点がある。尚、ここでは、長さＬは機能部であるフィルムユニットＦの大きさに合わせて設定されている。
【００２９】
レール台座部２９ａには、増設側移動レール部２８が搭載されている。増設側移動レール部２８には、レール支持部３２の上にレールブロック３３が固定されている。レールブロック３３の幅方向（図２（ｂ）の左右方向）両側には、Ｌ字状に切欠かれたアングル部３３ａが設けられており、該アングル部３３ａには移動レール３４が位置決め固定されている。また、レール支持部３２には、ダクト保持部３２ａが設けられており、増設側吸引ダクト３０が移動レール３４に沿って保持されている。移動レール３４の高さ位置Ｈは、ローダー１４（図２（ｂ）参照）及びアンローダー１５（図２（ａ）参照）に備えた進退機構１４ａ、１５ａのモールド金型８への進退位置に合わせて設けられており、レール台座２９ａ上にスペーサーなどを介在させてレール支持部３２の高さを調節できるようになっている。また、レール台座部２９ａには、ベース台座部２９ｂに搭載される機能部の制御ユニット（本実施例ではプレス部及びフィルムユニットの制御ユニット）３５が設けられている。尚、被成形品供給ユニットＡ、成形品供給ユニットＢの台座部も、レール台座部とベース台座部を有していても良い。
【００３０】
ローダー１４及びアンローダー１５は、被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣのいずれかのレール支持部３２に設けられた駆動軸３９、４０に回転駆動される駆動側プーリと従動側プーリとの間に掛け渡されたタイミングベルトに、ベルト連結片１４ｃ、１５ｃにより各々連繋している。ローダー１４及びアンローダー１５は、図示しない駆動源により各駆動軸３９、４０を所定方向に回転駆動させることにより移動レール３４上を各ユニット間にわたって移動するようになっている。ローダー１４及びアンローダー１５の下面には、移動レール３４をスライドするスライドガイド１４ｄ、１５ｄが設けられている。また、ローダー１４及びアンローダー１５に具備した進退機構１４ａ、１５ａはガイドローラ１４ｂ、１５ｂを備えており、各プレス部のプレスポストに設けられた進入ガイド４１の凹溝にガイドローラ１４ｂ、１５ｂが案内されて進退機構１４ａ、１５ａが進退移動するようになっている（図２（ａ）参照）。ガイドローラ１４ｂ、１５ｂ及び進入ガイド４１は、プレス部に対して各種機能部が進退方向と直交方向（図２の紙面に垂直方向）に進退移動する場合に備えて上下に移動調整可能になっている。
【００３１】
また、ベース台座部２９ｂには、プレス部３１が搭載されている。プレス部３１には、モールド金型８を開閉する公知の型開閉機構や、キャビティへ封止樹脂に樹脂圧を加えながら送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。尚、図２（ａ）では、被成形品供給ユニットＡのプレス部７に設けられたフィルムユニットＦを２点鎖線で示す。モールド金型（上型）８の両側には、リリースフィルムのフィルム供給部１１は装置奥側（移動レール部側）に設けられており、フィルム巻取り部１２は装置手前側に設けられている。フィルム供給部１１及びフィルム巻取り部１２は、フィルムカバー１１ａ、１２ａを回動させて、フィルムロールを各々着脱できるようになっている。
【００３２】
また、フィルムユニットＦは、上型のみならず下型の両側に設けても良い。この場合、例えば装置奥側に設けられたフィルム供給部１１はフィルムロール装着（又は交換）する場合の作業スペースに乏しいため、モールド金型８が型開きした状態でフィルム供給部１１を上下に移動可能にして移動レール部側の空いたスペースからフィルムカバー１１ａを回動させてフィルムロールを着脱するようにしても良い。
【００３３】
上記構成によれば、増設レールユニットＣを被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に移動レール部どうしが連続するように挿脱可能に設けたので、更に各ユニットの台座は搭載される（或いは搭載を予定する）機能部により大きさを設定すれば良く、各種機能部の追加変更が行い易くなり、よって樹脂封止装置を拡張又は改変して多機能化を容易に実現でき、設計の自由度を高めることができる。また、ローダー１４及びアンローダー１５が共用する増設側移動レール部２８には、アンローダー１５の吸引ダクトに接続可能な増設側吸引ダクト３０が併設されているので、増設レールユニットＣの増設作業も容易に行える。
また、被成形品供給ユニットＡ及び成形品収納ユニットＢにプレス部７、２４を有する場合には、ユニット分割が最小限で済み、該ユニットＡ、Ｂどうしを連結して樹脂封止装置の組立を容易に行える。また、被成形品供給ユニットＡ及び成形品収納ユニットＢのプレス部７、２４は変更、取り外しすることで多機能化（作業スペースの形成を含む）できる。また、増設側台座部２９は、増設側移動レール部２８を支持するレール台座部２９ａに機能部を搭載可能なベース台座部２９ｂが分離可能に設けられている場合には、機能部に応じて大きさを任意に設定でき、装置の拡張性が増加する。
また、増設レールユニットＣのベース台座部２９ｂにプレス部３１が搭載されている場合には、生産性を向上させたり、多品種少量生産に対応するための装置の改変を容易にできる。
また、プレス部が装置全体で複数搭載されている場合には、任意のプレス部を除冷装置として機能させることもできる。現在複数チップを一括して片面モールドしてダイサーで個片化する製法が採用されてきているが、パッケージ部（成形部）が片面であり成形面積が大きいため、経時的にパッケージ部が収縮して反り易く、単にパッケージ部を押さえるだけでは反りがとれずダイサーで切断し難くなる。そこで、任意のプレス部に平坦面を有する除冷用モールド金型を設置して、温度を適宜設定してパッケージ部をクランプして除冷することで反りを解消できる。また、プレス部の代わりに専用の除冷機能部を設けても良い。
【００３４】
［第２実施例］
次に、図３を参照して樹脂封止装置の他例について説明する。尚、第１実施例と同一部材には同一番号を付して説明を援用する。
本実施例では、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に、プレス部３１を搭載した増設レールユニットＣ1が２台増設され、増設レールユニットＣ1間に機能部を搭載していない増設レールユニットＣ2を１台増設してスペースを形成している。また、被成形品供給ユニットＡ及び成形品収納ユニットＢには、プレス部７やプレス部２４は取り外されてスペースを形成している。増設レールユニットＣ1と被成形品供給ユニットＡ及び成形品収納ユニットＢ間及び増設レールユニットＣ1と増設レールユニットＣ2間の移動レール部どうしの接続構成や吸引ダクトどうしの接続構成は第１実施例と同様である。
【００３５】
被成形品供給ユニットＡの供給側台座部９、成形品収納ユニットＢの収納側台座部２５及び増設レールユニットＣ2のベース台座部２９ｂの空いたスペースを利用して各プレス部３１の両側にフィルムユニットＦａ、Ｆｂを配設し、リリースフィルムを移動レール部と略平行に走らせるように設けた。具体的には、供給側台座部９にフィルム供給部１１が設けられ、増設レールユニットＣ2のベース台座部２９ｂにはフィルム巻取り部１２及びフィルム供給部１１が設けられ、収納側台座部２５には、フィルム巻取り部１２が各々設けられている。フィルムユニットＦａ、Ｆｂに用いられるリリースフィルム１０は同一厚さサイズのものを用いても良いが、製品によって異なる厚さサイズのフィルムを装着しても良い。
【００３６】
上記構成によれば、フィルムユニットＦａ、Ｆｂをリリースフィルム１０が移動レール部と直交する方向に張設して設ける場合より、繰出し側及び巻取り側のフィルムロールの着脱作業スペースが確保できるので、各種厚さのフィルムを交換する場合の作業性が良い。
【００３７】
［第３実施例］
次に、図４を参照して樹脂封止装置の他例について説明する。尚、第１実施例と同一部材には同一番号を付して説明を援用する。
本実施例では、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に、プレス部３１を搭載した増設レールユニットＣを１台と、ラッピングタブレットや液状樹脂などを供給する増設側樹脂供給部３６を搭載した増設レールユニットＤを１台増設している。被成形品供給ユニットＡには本体側樹脂供給部３７が供給側台座部９に搭載されている。成形品収納ユニットＢにはプレス部２４が収納側台座部２５に搭載されている。
【００３８】
また、被成形品供給ユニットＡには、供給マガジン２を収容した被成形品供給部１が設けられていても良いが、代わりに前工程の基板製造工程から直接ターンテーブル３へ供給されるようにしても良い。また、成形品収納ユニットＢの成形品収納部２１には、成形品ピックアップ２２及び収納マガジン２３が設けられていてもよいが、代わりに後工程の切断、曲げ、個片化工程等の他の製造工程へ供給されるようにしても良い。これらの場合には、樹脂封止装置のインライン化が実現できる。
また、増設レールユニットＣと被成形品供給ユニットＡ間、増設レールユニットＤと成形品収納ユニットＢ間及び増設レールユニットＣと増設レールユニットＤ間の移動レール部どうしの接続構成や吸引ダクト間の接続構成は第１実施例と同様である。
【００３９】
本実施例では、プレス部３１やプレス部２４に対して、本体側樹脂供給部３７又は増設側樹脂供給部３６よりラッピングタブレットや液状樹脂などをローダー１４により供給して樹脂封止するようにしても良いし、該本体側樹脂供給部３７よりプレス部３１へ、増設側樹脂供給部３６よりプレス部２４へ各々供給して樹脂封止するようにしても良い。
【００４０】
また、キャビティダウンタイプのパッケージのように、キャビティ周囲の基板上に端子接続面が形成されている場合には、基板上に樹脂路を形成できないため、上下金型の間に中間金型プレート（中間型）を挿脱して樹脂封止するのが好都合である。そこで、本体側樹脂供給部３７又は増設側樹脂供給部３６の代わりに、プレス部の上型と下型との間に中間型を挿脱する本体側中間型供給部及び増設側中間型供給部が各々搭載されていても良い。この場合には、本体側中間型供給部よりプレス部３１へ、増設側中間型供給部よりプレス部２４へ各々中間型を供給するのが好ましい。
【００４１】
上記構成によれば、製品の種類に応じて液状樹脂やラッピングタブレットなどを供給して樹脂封止したり、モールド金型８に中間型を挿脱して樹脂封止できるので、樹脂封止装置の多機能化を任意の設計レイアウトで容易に実現できる。
【００４２】
［第４実施例］
次に、図５を参照して樹脂封止装置の他例について説明する。尚、第１実施例と同一部材には同一番号を付して説明を援用する。
本実施例では、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に、プレス部３１を搭載した増設レールユニットＣを２台と、その両側に各プレス部に放熱板を供給する増設側放熱板供給部３８を搭載した増設レールユニットＥを１台ずつ合計２台増設している。被成形品供給ユニットＡにはプレス部７が供給側台座部９に搭載されている。成形品収納ユニットＢにはプレス部２４が収納側台座部２５に搭載されている。
また、増設レールユニットＣどうし間、増設レールユニットＣと増設レールユニットＥ間、増設レールユニットＥと被成形品供給ユニットＡ間、及び増設レールユニットＥと成形品収納ユニットＢ間の移動レール部どうしの接続構成や吸引ダクト間の接続構成は第１実施例と同様である。
【００４３】
半導体パッケージの熱放散性を高めるため、放熱板（ヒートシンクを基板実装された半導体チップに搭載して樹脂封止する場合、プレス部７、プレス部２４やプレス部３１に対して、増設側放熱板供給部３８より放熱板をローダー１４により供給して樹脂封止するようにしても良い。或いは増設側放熱板供給部３８より両側に配置された各プレス部へ各々放熱板を供給して樹脂封止するようにしても良い。
【００４４】
上記構成によれば、通常の半導体パッケージ製造用の樹脂封止装置を、放熱板を備えた半導体パッケージ製造用に改変でき、樹脂封止装置の多機能化を任意の設計レイアウトで容易に実現できる。
【００４５】
以上、本発明の好適な実施例について種々述べてきたが、本発明は上述した第１実施例〜第４実施例に限定されるのではなく、増設レールユニットに設けられた各種機能部は、プレス部の金型クリーニングユニットなどでも良く、更に他の機能部であっても良い等、発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【００４６】
【発明の効果】
本発明に係る樹脂封止装置を用いると、増設レールユニットを被成形品供給ユニットと成形品収納ユニットとの間に移動レール部どうしが連続するように挿脱可能に設けたので、樹脂封止装置を拡張又は改変して多機能化を容易に実現でき、設計の自由度を高めることができる。また、ローダー及びアンローダーが共用する移動レール部には、アンローダーの吸引ダクトに接続可能な吸引ダクトが併設されているので、増設レールユニットの増設作業も容易に行える。
また、各ユニットは、移動レール部と機能部を搭載可能な台座部とを備え、機能部の変更、取り外しができるので、多機能化（作業スペ−スの形成を含む）し易く、装置レイアウトの自由度が高く汎用性を高めることができる。また、台座部には、移動レール部を支持するレール台座部に機能部を搭載可能なベース台座部が分離可能に設けられている場合には、機能部に応じて大きさを設定でき、装置の拡張性が増加する。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例に係る樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図及び増設レールユニットの平面図である。
【図２】図１（ａ）の樹脂封止装置の右側面図及び移動レール部の拡大説明図である。
【図３】第２実施例に係る樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【図４】第３実施例に係る樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【図５】第４実施例に係る樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【図６】従来の樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【図７】従来の樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図である。
【符号の説明】
Ａ  被成形品供給ユニット
Ｂ  成形品収納ユニット
Ｃ、Ｄ、Ｅ  増設レールユニット
Ｆ  フィルムユニット
１  基板供給部
２  供給マガジン
３  ターンテーブル
４  供給位置
５  樹脂タブレット供給部
６  タブレットホルダー
７、２４、３１  プレス部
８  モールド金型
９  供給側台座部
１０  リリースフィルム
１１  フィルム供給部
１２  フィルム巻取り部
１３  供給側移動レール部
１４  ローダー
１５  アンローダー
１６  供給側吸引ダクト
１７  集塵機
１８  成形品取出部
１９  移動テーブル
２０  ディゲート部
２１  成形品収納部
２２  成形品ピックアップ
２３  収納マガジン
２５  収納側台座部
２６  収納側移動レール部
２７  収納側吸引ダクト
２８  増設側移動レール部
２９  増設側台座部
２９ａ  レール台座部
２９ｂ  ベース台座部
３０  増設側吸引ダクト
３２  レール支持部
３３  レールブロック
３４  移動レール
３５  制御ユニット
３６  増設側樹脂供給部
３７  本体側樹脂供給部
３８  増設側放熱板供給部
３９、４０  駆動軸
４１  進入ガイド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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