(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイヘッドからペーストを吐出して基板上に塗膜を形成する塗布方法であって、攪拌脱泡機にセットした攪拌容器に所定量のペースト材料を投入し、脱泡カバーで蓋をしてから、攪拌ハネを回転させてペーストの粘度調整を行うと同時に、真空ポンプにより攪拌容器内を減圧し、ペーストに対して脱泡処理も併せて行った後、その攪拌容器を専用台車に移載してから、専用台車により塗布ポンプのところまで移動した後、専用台車に乗せたままで攪拌容器を塗布ポンプに接続し、異物除去用フィルターを途中に配設した配管を通してペーストを攪拌容器から直接ダイヘッドに液送しながら塗布を行うようにしたことを特徴とするペースト塗布方法。
【請求項２】
専用台車が、攪拌脱泡機から攪拌容器を直接受け取り可能であることを特徴とする請求項１に記載のペースト塗布方法。
【請求項３】
異物除去用フィルターの耐圧差が１０ｋｇｆ／ｃｍ2 以上であることを特徴とする請求項１又は２に記載のペースト塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイヘッドによりペーストを塗布して基板上に塗膜を形成するペースト塗布方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、エクストルージョン式のダイヘッドを使用する塗布装置は、均一な薄膜塗工が可能であることから種々の分野で広く利用されている。このダイヘッドは、液入口からのペーストを幅方向に広がらせるためのマニホールドと、そのマニホールドからペーストが押し出されるスリットとを備えている。そして、液入口から内部に流入したペーストはマニホールド内にて幅方向に広がり、スリットの先端から押し出され、ダイヘッドと所定間隔を保って相対的に移動する基板の表面に塗布（コーティング）されるようになっている。
【０００３】
上記したタイプの塗布装置にて塗布を行うに際しては、塗布液であるペーストに対し、粘度が均一であること、ペーストを構成している粒子よりも大きなサイズの異物をペースト中に含まないこと、ペースト中に気泡の混入のないこと等の特性が要求される。すなわち、ペーストの粘度が終始一定でないと、膜厚分布、塗布量が安定しないという問題を生じる。また、ペーストを構成している粒子よりも大きいサイズの異物があったり、ペースト中に気泡があったりすると、塗膜に局所的な欠陥が生じ、塗膜の平坦性が確保できないという問題が生じるからである。
【０００４】
このため、例えば、図１に示すような手順によりペーストの調製が行われている。この手順を説明すると次のようである。まず、図１（ａ）に示すように、攪拌容器１にペースト材料を投入し、攪拌ハネを回転させてペーストＰの粘度調整を行う。次に、図１（ｂ）に示すように、ペーストＰが入った攪拌容器１を台車２に乗せて塗布用タンク３の傍まで移動し、作業者が攪拌容器１のペーストを汲み取り、塗布用タンク３の上に置いた濾過機４へ投入する。濾過機４に投入されたペーストＰは、濾過されて塗布用タンク３へ落ちるが、この時にペースト内に泡が発生する。次いで、図１（ｃ）に示すように、真空ポンプ５により塗布用タンク３内を減圧し、所定時間（例えば１２時間程度）放置してペーストの脱泡を行う。このようにして攪拌、濾過、脱泡の各処理を施したペーストをポンプ６により塗布部であるダイヘッドへ移送するのである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来は上記したような手順で、塗布液であるペーストに対し、攪拌、濾過、脱泡の各処理を施してから、その調製済みのペーストをダイヘッドに移送して塗布を行うようにしている。しかしながら、ペーストを調製する工程数が多いために手間がかかり、生産性が悪いという問題があった。また、作業者がペーストを濾過機に移し替える作業があるため、塗布用タンクの周囲を汚したり、塗布用タンクへの異物の混入が避けられないという問題点があった。
【０００６】
本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ペーストの粘度が一定で、しかもペースト中に異物や気泡を含まない良好な状態での塗布を、周囲を汚すことなく効率的に行うことができるペースト塗布方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明のペースト塗布方法は、ダイヘッドからペーストを吐出して基板上に塗膜を形成する塗布方法であって、攪拌脱泡機にセットした攪拌容器に所定量のペースト材料を投入し、脱泡カバーで蓋をしてから、攪拌ハネを回転させてペーストの粘度調整を行うと同時に、真空ポンプにより攪拌容器内を減圧し、ペーストに対して脱泡処理も併せて行った後、その攪拌容器を専用台車に移載してから、専用台車により塗布ポンプのところまで移動した後、専用台車に乗せたままで攪拌容器を塗布ポンプに接続し、異物除去用フィルターを途中に配設した配管を通してペーストを攪拌容器から直接ダイヘッドに液送しながら塗布を行うようにしたことを特徴としている。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の望ましい実施形態を説明する。
【０００９】
図２は本発明に係るペースト塗布方法の一例を示す説明図である。
【００１０】
本発明の塗布方法では、まず、図２（ａ）に示すように、攪拌脱泡機にセットした攪拌容器１１に所定量のペースト材料を投入し、脱泡カバー１２で蓋をしてから、攪拌ハネを回転させてペーストＰの粘度調整を行うと同時に、大容量用の真空ポンプ１３により攪拌容器１１内を減圧し、ペーストＰに対して脱泡処理も併せて行う。この攪拌容器１１には、底部に取出バルブ１１ａが取り付けられたタイプのものを使用する。
【００１１】
次いで、図２（ｂ）に示すように、ペーストＰが入った攪拌容器１１を高足タイプの専用台車１４に乗せる。この場合、専用台車１４は攪拌脱泡機から攪拌容器１１を直接受け取るように構成するのが好ましい。例えば、脱泡カバー１２から外した攪拌容器１１をそのまま下降させ、下方で待機する専用台車１４に載せるようにする。
【００１２】
このように攪拌容器１１を専用台車１４に移載してから、図２（ｃ）に示すように、専用台車１４をポンプ台車１５を跨ぐところまで移動させた後、攪拌容器１１を専用台車１４に乗せたままで、攪拌容器１１の取出バルブ１１ａとポンプ１６の入口１６ａとの接続を行う。この場合、ジャッキ１５ａによりポンプ台車１５を上昇させ、ポンプ１６の入口１６ａを攪拌容器１１の取出バルブ１１ａに接続する。
【００１３】
ポンプ１６の出口１６ｂには、ダイヘッド１７に繋がる配管１８が接続されており、その配管１８の途中には異物除去用フィルター１９が配設されている。したがって、異物除去用フィルター１９を途中に配設した配管１８を通してペーストＰを攪拌容器１１から直接ダイヘッド１７に液送しながらペースト塗布を行うことになる。この異物除去用フィルター１９としては、絶対濾過精度１５０μｍ以下であり、耐圧差が１０ｋｇｆ／ｃｍ2 以上のものを使用するのが好ましい。このように、塗布するペーストを攪拌容器１１から直接ダイヘッド１７に液送するので、準備作業が簡単であり、またペーストの散乱により周囲を汚すこともなくなる。
【００１４】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明によるペースト塗布方法は、上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能であることは当然のことである。
【００１５】
【発明の効果】
本発明のペースト塗布方法は、ダイヘッドからペーストを吐出して基板上に塗膜を形成する塗布方法であって、攪拌脱泡機にセットした攪拌容器に所定量のペースト材料を投入し、脱泡カバーで蓋をしてから、攪拌ハネを回転させてペーストの粘度調整を行うと同時に、真空ポンプにより攪拌容器内を減圧し、ペーストに対して脱泡処理も併せて行った後、その攪拌容器を専用台車に移載してから、専用台車により塗布ポンプのところまで移動した後、専用台車に乗せたままで攪拌容器を塗布ポンプに接続し、異物除去用フィルターを途中に配設した配管を通してペーストを攪拌容器から直接ダイヘッドに液送しながら塗布を行うようにしたことを特徴としているので、ペーストを移し替える作業がないことから、ペーストの粘度が一定でしかもペースト中に異物や気泡を含まない良好な状態で塗布を効率的に行うことができ、またペーストが散乱して周囲を汚すようなこともない。
【図面の簡単な説明】
【図１】  従来のペースト塗布方法の一例を示す説明図である。
【図２】  本発明に係るペースト塗布方法の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
１１  攪拌容器
１１ａ  取出バルブ、
１２  脱泡カバー
１３  真空ポンプ
１４  専用台車
１５  ポンプ台車
１５ａ  ジャッキ
１６  ポンプ
１６ａ  入口
１６ｂ  出口
１７  ダイヘッド
１８  配管
１９  異物除去用フィルター
【図１】
0004330295.tif 000002
【図２】
0004330295.tif 000003