(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形の被測定基板の周辺部に配置された多数の電極に接触子を接触させて被測定基板を検査するプローブユニットにおいて、次の構成を備えるプローブユニット。
（イ）Ｘ方向に延びる二つのＸ辺と前記Ｘ方向に垂直なＹ方向に延びる二つのＹ辺とを備える枠状のプローブベース。
（ロ）前記プローブベースの二つのＸ辺のそれぞれにおいてＹ方向に位置調節可能に取り付けられた第１可動ベース。
（ハ）前記第１可動ベースに取り付けられていて、前記接触子を前記電極に接触可能な状態と接触不能の状態のいずれかの状態にする第１上部プレート。
（ニ）前記第１上部プレートに対してＸ方向に位置調節可能に取り付けられていて前記接触子を備える複数のプローブブロック。
（ホ）前記プローブベースの二つのＹ辺のそれぞれにおいてＸ方向に位置調節可能に取り付けられた第２可動ベース。
（ヘ）前記第２可動ベースに取り付けられていて、前記接触子を前記電極に接触可能な状態と接触不能の状態のいずれかの状態にする第２上部プレート。
（ト）前記第２上部プレートに対してＹ方向に位置調節可能に取り付けられていて前記接触子を備える複数のプローブブロック。
【請求項２】
前記第１上部プレートはＸ方向に延びる回動軸の回りに回動可能であり、前記第２上部プレートはＹ方向に延びる回動軸の回りに回動可能であることを特徴とする請求項１記載のプローブユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、矩形の被測定基板の周辺部に配置された多数の電極に接触子を接触させて被測定基板を検査するプローブユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶プローバにおいて、液晶表示パネル基板（以下、液晶基板という。）の全ての電極（ＴＡＢパッド）に接触子（プローブ針等）が接触するように、接触子を位置決め固定したユニットをプローブユニットと呼んでいる。このようにプローブユニットと呼ぶことで、ウェーハプローバで使用するプローブカードと区別している。
【０００３】
図８は矩形の液晶基板を検査するための従来のプローブユニットの平面図であり、図９はその側面断面図（図８のＡ−Ａ線断面図）である。矩形の枠状のプローブベース１０には、複数のプローブブロック１２が正確に位置決めされてネジ等で固定されている。液晶基板１８の電極（ＴＡＢパッド）に接触するための多数のプローブ針は、ＴＡＢ単位にグループ化されていて、各グループが一つのプローブブロック１２に取り付けられている。プローブブロック１２の後端にはフレキシブル配線板１４の一端が接続され、フレキシブル配線板１４の他端にはコネクタ１６が接続されている。このコネクタ１６はテスターに接続される。プローブブロック１２には、プローブブロックに対するプローブ針の取り付け位置を微調節するための位置調節機構を設けることもある。
【０００４】
図１０は液晶基板に形成された配線図の一例である。なお、この図は、液晶基板の縦横の中心線３０、３２に挟まれた４分の１の領域の配線状態を示している。縦方向に延びるデータ線２０は、その両端部において、交互に信号入力用のＴＡＢパッド２２を有する。これらのパッド２２はＴＡＢ単位にグループ化されていて、ＴＡＢの配線パターンのピッチに適合するように集約化されている。パッド２２がこのように集約化された領域２４を、以下、パッド領域と呼ぶことにする。横方向に延びるゲート線２６は、左右どちらかの端部（図１０では左端）にパッド領域２８を有する。
【０００５】
データ線２０のパッド領域２４の、パッド配列方向の寸法はＷｘであり、隣り合うパッド領域２４の間隔はＸ１である。また、ゲート線２６のパッド領域２８の、パッド配列方向の寸法はＷｙであり、隣り合うパッド領域２６の間隔はＹ１である。
【０００６】
図１１は液晶基板のパッド領域の配置例を示す平面図である。液晶基板１８において、対向する二つのＸ辺３４（Ｘ方向に延びる辺）に沿って、データ線のパッド領域２４が各辺に４個並んでいる。また、一つのＹ辺３６（Ｙ方向に延びる辺）に沿って、ゲート線のパッド領域２８が３個並んでいる。Ｘ辺３４のパッド領域２４の中心間距離（すなわちピッチ）はＰｘであり、Ｙ辺３６のパッド領域２８の中心間距離はＰｙである。この液晶基板は、データ線のためのパッド領域２４が両側のＸ辺３４に形成されているので、両タブタイプの液晶基板と呼んでいる。これに対して一方のＸ辺３４だけにパッド領域２４を形成したものは、片タブタイプの液晶基板と呼んでいる。すなわち、両タブタイプの液晶基板では二つのＸ辺と一つのＹ片にパッド領域があり、片タブタイプの液晶基板には一つのＸ片と一つのＹ片にパッド領域がある。
【０００７】
図１２は、同じ形式（例えばＳＶＧＡ形式）の液晶基板の、サイズの違いによるパッド領域の位置の違いを示す平面図である。同じ形式の液晶基板では、サイズが違っていても、同じ配線ピッチのＴＡＢを使用しているので、パッド領域の寸法は同じになる。ただし、隣り合うパッド領域の間隔が異なる。すなわち、Ｘ辺において、１０インチの液晶基板１８ａでは隣り合うパッド領域２４の間隔はＸ１であるが、１１インチの液晶基板１８ｂではこれがＸ２に広がり、１２インチの液晶基板１８ｃではさらにＸ３に広がる。したがって、パッド領域２４の中心間距離（ピッチ）も液晶基板のサイズに応じて異なってくる。Ｙ辺においても同様に、１０インチの液晶基板１８ａでは隣り合うパッド領域２８の間隔はＹ１であるが、１１インチの液晶基板１８ｂではこれがＹ２に広がり、１２インチの液晶基板１８ｃではさらにＹ３に広がる。なお、使用するＴＡＢは基板メーカによって異なっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
図１２で示したように液晶基板のサイズが違うとパッド領域の位置が異なるので、図８で示した従来のプローブユニットは、液晶基板のサイズごとに別個のプローブユニットとして作られている。すなわち、同じ形式（例えばＳＶＧＡ形式）の液晶基板であっても、１０インチ基板用、１１インチ基板用、１２インチ基板用などのように、基板サイズごとにプローブユニットを準備する必要がある。そして、検査する液晶基板のサイズを変更するには、液晶プローバにおいてプローブユニットの交換作業が必要になる。このプローブユニットは、ウェーハ用のプローブカードと比較して非常に大きいので、その交換作業は二人がかりの作業になり、時間もかかる。また、作業時の事故によるプローブユニットの破損のおそれもある。
【０００９】
ところで、液晶プローバの種類としては、ガラス基板に形成されたトランジスタ等の回路素子の電気特性を検査するアレイプローバと、液晶基板の最終検査である点灯検査を実施する点灯検査プローバとがあリ、それぞれ専用のプローブユニットを必要とする。その理由は、プローブ針のコンタクト位置が同じでも、テスターが違うことによりプローブユニットの構成（ＴＡＢ・ＩＣの有無など）が違うためである。結局、液晶基板を検査するためのプローブユニットとしては、（ａ）液晶基板の形式、（ｂ）液晶基板のサイズ、（ｃ）アレイプローバと点灯検査プローバの区別、に応じてそれぞれ専用のプローブユニットが必要になる。例えば、液晶基板の形式や品種が２種類で、サイズが３種類あれば、これだけで合計６種類のプローブユニットが必要になり、さらに、アレイプローバ用と点灯検査用の２種類を揃えれば、合計で１２種類のプローブユニットが必要になる。そして、実際には、それぞれのプローブユニットに対して予備用のプローブユニットをもう１個準備しているので、２４個のプローブユニットを準備することになる。
【００１０】
このように、従来のプローブユニットは、基板サイズごとに及び基板品種ごとにプローブユニットを準備するので、（１）プローブユニットの個数が増えて高価になる、（２）使用していない多くのプローブユニットを安全に保管する必要がある、（３）サイズ変更や品種変更に伴うプローブユニットの交換作業が必要になる、などの問題があった。
【００１１】
この発明は上述の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、被測定基板のサイズが違っても共通のプローブユニットで対応できるようにすることにある。また、この発明の別の目的は、基板のタイプ（例えば、両タブタイプか片タブタイプか）と検査の種類（例えば、点灯検査やＴＦＴアレイ検査かオープン／ショート検査か）との組み合わせに応じて２品種または４品種の基板を共通のプローブユニットで検査できるようにすることにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この発明のプローブユニットは、枠状のプローブベースの４辺のそれぞれに複数のプローブブロックを配置して、各辺のプローブブロックをＸＹ方向に位置調整できるようにして、複数の基板サイズに対応できるようにしてある。さらに、各辺に属するプローブブロックを各辺ごとに接触可能状態と接触不能状態とに切り替えることができるようにして、一部の辺のプローブブロックだけを使用して残りの辺のプローブブロックを使用しないようにしている。すなわち、この発明は、矩形の被測定基板の周辺部に配置された多数の電極に接触子を接触させて被測定基板を検査するプローブユニットにおいて、次の（イ）〜（ト）の構成を備えている。（イ）Ｘ方向に延びる二つのＸ辺と前記Ｘ方向に垂直なＹ方向に延びる二つのＹ辺とを備える枠状のプローブベース。（ロ）前記プローブベースの二つのＸ辺のそれぞれにおいてＹ方向に位置調節可能に取り付けられた第１可動ベース。（ハ）前記第１可動ベースに取り付けられていて、前記接触子を前記電極に接触可能な状態と接触不能の状態のいずれかの状態にする第１上部プレート。（ニ）前記第１上部プレートに対してＸ方向に位置調節可能に取り付けられていて前記接触子を備える複数のプローブブロック。（ホ）前記プローブベースの二つのＹ辺のそれぞれにおいてＸ方向に位置調節可能に取り付けられた第２可動ベース。（ヘ）前記第２可動ベースに取り付けられていて、前記接触子を前記電極に接触可能な状態と接触不能の状態のいずれかの状態にする第２上部プレート。（ト）前記第２上部プレートに対してＹ方向に位置調節可能に取り付けられていて前記接触子を備える複数のプローブブロック。
【００１３】
この発明は、被測定基板のサイズに合わせてプローブブロックの位置を調節できるようにしたので、少なくとも２種類の基板サイズに対して共通のプローブユニットが使える。したがって、被測定基板のサイズを変更する場合に、プローブユニットの交換作業が不要になり、基板サイズの変更に伴うプローブユニットの調節作業は一人の作業者によって短時間で終了する。また、基板サイズごとにプローブユニットを準備したり保管したりする必要がない。さらに、被測定基板のタイプや検査の種類の組み合わせによっては、特定の辺に属するプローブブロックとその他の辺に属するプローブブロックとで構成を異なるようにして、２品種あるいは４品種の基板に対して共通のプローブユニットを使うことができる。
【００１４】
この発明を適用できる被測定基板は、矩形であって周辺部に多数の電極が配置されているものであり、典型的には、液晶表示パネルやプラズマディスプレイパネルなどのフラットディスプレイパネルの基板が該当する。さらには、これらの基板の周辺部において、基板サイズが違っても、ＴＡＢごとに分割されたパッド領域の寸法が共通しているものに本発明は適用できる。
【００１５】
プローブブロックに取り付けられる接触子の形態は特に限定されないが、片持ち式のプローブ針や、配線パターン上に形成されたバンプ電極などが利用できる。
【００１６】
この発明では、プローブブロックの位置を調節することによって、異なる基板サイズに対応させているので、プローブブロックの位置決め精度が、プローブ針と被測定基板の電極との位置合わせ精度に影響してくる。そこで、各プローブブロックにプローブ針の位置調節機構を設ければ、プローブブロック自体の位置決め精度がそれほど高くなくても、プローブ針と被測定基板の電極との位置合わせ精度を確保できる。プローブブロックに設けることのできる、プローブ針の位置調節機構としては、特開平３−２１８４７２号公報に開示されたものがある。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１は、この発明のプローブユニットの一実施形態を示す平面図である。図２はその正面図（図１のＢ方向から見たもの）である。図１において、矩形の枠状のプローブベース４０には、対向する二つのＸ辺（Ｘ方向に延びる辺）４２と、対向する二つのＹ辺（Ｙ方向に延びる辺）４４がある。Ｘ辺４２には第１プローブ組立体４６、４７が取り付けられ、Ｙ辺４４には第２プローブ組立体４８、４９が取り付けられている。
【００１８】
次に、プローブ組立体の構成を説明する。図３は第２プローブ組立体４８を拡大して示した平面図であり、図４はその側面図（図３の矢印Ｃ方向から見たもの）であり、図６はその分解斜視図である。図６において、第２プローブ組立体４８は、大きく分けて、下側の第２可動ベース５０と、上側の第２上部プレート５２からなる。第２可動ベース５０は２本のガイドレール５４上をＸ方向に移動できる。ガイドレール５４はプローブベース４０（図１を参照）に固定されている。２本の固定ネジ５６を締め付けることで第２可動ベース５０を２本のガイドレール５４に固定できる。固定ネジ５６をゆるめると第２可動ベース５０はガイドレール５４上を移動できるようになる。第２可動ベース５０には２本の支柱５８が間隔を置いて立っており、これらの支柱５８の間に回動軸６０が取り付けられている。回動軸６０はＹ方向に延びている。
【００１９】
上側の第２上部プレート５２には貫通孔６２が形成されていて、この貫通孔６２に第２可動ベース５０の回動軸６０を挿入することで、第２上部プレート５２を第２可動ベース５０に取り付けることができる。これにより、第２上部プレート５２は回動軸６０の回りを回動できる。第２上部プレート５２の上面には案内溝６４が形成されている。この案内溝６４はＹ方向に延びていて断面形状が台形である。一方、プローブブロック６６の下面には締結ブロック６８が固定ネジ７０で取り付けられている（図７（Ａ）も参照）。この締結ブロック６８の幅（案内溝６４の長手方向に沿う寸法）はプローブブロック６６の幅と同じであり、案内溝６４と同様の台形断面をしている。この締結ブロック６８は案内溝６４の内部をＹ方向に移動できる。固定ネジ７０を締め付けると締結ブロック６８が上昇して案内溝６４に固定され、プローブブロック６６も固定される。固定ネジ７０をゆるめると、締結ブロック６８とプローブブロック６６は一緒にＹ方向に移動できる。この第２上部プレート５２には３個のプローブブロック６６が取り付けられている。
【００２０】
第２上部プレート５２の後端部（回動軸６０から最も離れている端部）の２本のピン７２と第２可動ベース５０の後端部の２本のピン７４の間には、２本の引っ張りコイルバネ７６が引っ掛けられている。これにより、第２上部プレート５２の後端部は下方に引っ張られている。第２上部プレート５２の後端部の下面には突出片７８が固定されている。この突出片７８の下面の傾斜面は、第２可動ベース５０上の可動片８０の上面の傾斜面に載っている。可動片８０はエアーシリンダ８２のピストンの先端に固定されていて、エアーシリンダ８２の動作によりＸ方向に進退できる。
【００２１】
次に、図３を参照して、第２プローブ組立体４８におけるＸＹ方向の動きを説明する。固定ネジ５６をゆるめることで第２可動ベース５０をガイドレール５４に沿ってＸ方向に移動させることができる。また、それぞれの固定ネジ７０をゆるめることで３個のプローブブロック６６をＹ方向に移動させることができ、これにより、プローブブロック６６のピッチＰｙを変更できる。このように、プローブブロック６６をＸ方向およびＹ方向に移動させることで、サイズの異なる液晶基板１８に対応できる。さらに、プローブブロック６６自体にプローブ針の位置調節機構（例えばＸＹＺ方向の調節機構）を設ければ、プローブ針の位置を微調整できる。
【００２２】
次に、図７を参照して、第２プローブ組立体４８を接触可能状態と接触不能状態とで切り替える機能を説明する。図７（Ａ）は図３のＤ−Ｄ線断面図である。エアーシリンダ８２のピストンを伸長させると可動片８０が右方向に移動する。すると、第２上部プレート５２の突出片７８は、可動片８０の上面の傾斜面に押されて上昇し、第２上部プレート５２の上面はほぼ水平を保つ。この状態では、プローブユニットと液晶基板１８を所定の検査位置まで互いに近づけたときに、プローブブロック６６の下端のプローブ針８４の先端は液晶基板１８の電極に接触できる。
【００２３】
一方、図７（Ｂ）に示すように、エアーシリンダ８２のピストンを収縮させると、可動片８０が左方向に移動する。すると、引っ張りコイルバネ７６（図６を参照）に引っ張られて、第２上部プレート５２は回動軸６０の回りに図面の時計方向に回動する。この状態では、プローブユニットと液晶基板１８を所定の検査位置まで互いに近づけても、プローブ針８４の先端は液晶基板１８よりも数ｍｍ上方にあるので、液晶基板１８の電極に接触しない。このように、エアーシリンダ８２の動作に応じて、プローブブロック６６の接触可能状態と接触不能状態が切り換わる。
【００２４】
ところで、図１の二つの第２プローブ組立体４８、４９は互いに全く同じ構造である。また、第１プローブ組立体４６、４７は、第２プローブ組立体４８、４９とほとんど同じ構造であるが、プローブブロックの数が４個である点と、それに応じてＹ方向の幅が第２プローブ組立体のＸ方向の幅よりも大きくなっている点だけが異なっている。この第１プローブ組立体４６、４７についても、図６を参照して説明した第２プローブ組立体４８の説明内容がそのまま当てはまるが、ただ、「第２可動ベース」を「第１可動ベース」と読み替え、「第２上部プレート」を「第１上部プレート」と読み替え、「Ｘ方向」を「Ｙ方向」と読み替え、「Ｙ方向」を「Ｘ方向」と読み替えればよい。
【００２５】
図２は図１のプローブユニットの正面図であるが、二つの第２プローブ組立体４８、４９の側面と第１プローブ組立体４７の背面が見えている。図４は図３の第２プローブ組立体４８の側面図であるが、第２可動ベース５０の支柱５８に取り付けられた回動軸６０や、台形断面の案内溝６４や、その内部の締結ブロック６８が明瞭に示されている。
【００２６】
図５は第１プローブ組立体４７の背面図である。第１可動ベース５０ａが２本のガイドレール５４ａに載っている様子や、第１上部プレート５２ａが２本の引っ張りコイルバネ７６ａで第１可動ベース５０ａの方向に引っ張られている様子や、突出片７８ａが可動片８０ａに接触している様子が見える。
【００２７】
次に、このプローブユニットを用いて各種の液晶基板を検査する手順を説明する。図１に示す状態は、１０インチの液晶基板１８を測定するときのプローブユニットの状態である。各プローブブロック６６のプローブ針の位置は、図１２の１０インチの液晶基板１８ａのパッド領域２４に対応している。そして、両タブタイプの液晶基板の点灯検査またはＴＦＴアレイ検査をする場合は、二つの第１プローブ組立体４６、４７と一つの第２プローブ組立体４９を図７（Ａ）に示す接触可能状態にする。残りの第２プローブ組立体４８は図７（Ｂ）に示すようにプローブ針８４の先端を上げて接触不能状態にする。このようにセットしたプローブユニットを用いて、両タブタイプの液晶基板の３辺のパッド領域にプローブ針を接触させて所定の検査を実行する。一方、片タブタイプの液晶基板の点灯検査またはＴＦＴアレイ検査をする場合は、一つの第１プローブ組立体４６と一つの第２プローブ組立体４９を接触可能状態に、残りの第１プローブ組立体４７と第２プローブ組立体４８を接触不能状態にする。このように、プローブ組立体ごとにプローブ針の接触可能状態と接触不能状態を選択できるので、両タブタイプの液晶基板と片タブタイプの液晶基板の両方に対応できる。
【００２８】
液晶基板のサイズを１０インチから１１インチまたは１２インチに変更するには、プローブユニットを次のように調節する。まず、第２プローブ組立体４８、４９においては、図３に示すように、固定ネジ５６をゆるめて第２可動ベース５０をガイドレール５４に沿ってＸ方向に動かして、１１インチまたは１２インチの液晶基板に対応した位置まで移動し、固定ネジ５６で固定する。次に、固定ネジ７０をゆるめて３個のプローブブロック６６をＹ方向に動かして、１１インチまたは１２インチの液晶基板に対応したパッド領域の位置まで移動し、固定ネジ７０で固定する。これにより、プローブブロック６６は１１インチまたは１２インチの液晶基板に適合する位置にくる。図１の第１プローブ組立体４６、４７についても、同様の作業をして、プローブブロックを１１インチまたは１２インチの液晶基板に適合させる。
【００２９】
同じ形式（例えばＳＶＧＡ形式）の液晶基板であれば、サイズが違っても、ＴＡＢごとに分割された個々のパッド領域が同じ寸法なので、各プローブブロックの位置を液晶基板のサイズに応じて（すなわちパッド領域の配置位置に応じて）調節すれば、本発明のように共通のプローブユニットで対応できる。
【００３０】
もし、片タブタイプの液晶基板だけを点灯検査またはＴＦＴアレイ検査するのであれば、同一のプローブユニットを用いて、２品種の液晶基板の検査ができる。すなわち、第１プローブ組立体４６と第２プローブ組立体４９には第１品種の液晶基板を検査できるように構成しておき、一方、第１プローブ組立体４７と第２プローブ組立体４８は第２品種の液晶基板を検査できるように構成しておく。そして、第１品種の液晶基板を検査するときは、プローブ組立体４７、４８を接触不能状態にして、プローブ組立体４６、４９だけを使用する。一方、第２品種の液晶基板を検査するときは、これとは逆に、プローブ組立体４６、４９を接触不能状態にして、プローブ組立体４７、４８だけを使用する。
【００３１】
ところで、液晶基板のデータ線のオープン／ショート検査だけを実行するならば、図１０のデータ線２０につながるパッド領域２４だけにプローブ針を接触させればよいので、ゲート線につながるパッド領域２８にはプローブ針を接触させる必要がない。すなわち、両タブタイプの液晶基板のオープン／ショート検査（データ線）をするには、対向する二つのプローブ組立体だけを利用することになる。したがって、二つの第１プローブ組立体を両タブタイプの第１品種の液晶基板のオープン／ショート検査（データ線）のための構成とし、二つの第２プローブ組立体を両タブタイプの第２品種の液晶基板のオープン／ショート検査（データ線）のための構成とすることができる。これにより、同一のプローブユニットを用いて、両タブタイプの２品種の液晶基板のオープン／ショート検査（データ線）を実行できる。さらに、片タブタイプの液晶基板のオープン／ショート検査（データ線）では、一つのプローブ組立体だけしか必要としないから、同一のプローブユニットで４品種の液晶基板の検査ができる。
【００３２】
結局、このプローブユニットは、基板サイズに応じて各プローブ組立体のプローブブロックの位置を調節できて、かつ、プローブ組立体ごとに接触可能状態と接触不能状態を選択できるので、同一のプローブユニットで各種の液晶基板の検査ができる。これをまとめると次のようになる。（１）サイズの異なる液晶基板に対応できる。（２）両タブタイプの液晶基板と片タブタイプの液晶基板の両方に対応できる。（３）片タブタイプの液晶基板の点灯検査またはＴＦＴアレイ検査を実行する場合は、２品種の液晶基板に対応できる。（４）両タブタイプの液晶基板のオープン／ショート検査（データ線）を実行する場合は、２品種の液晶基板に対応できる。（５）片タブタイプの液晶基板のオープン／ショート検査（データ線）を実行する場合は、４品種の液晶基板に対応できる。
【００３３】
上述の実施形態の説明では、１０インチ、１１インチ、１２インチの３種類のサイズの液晶基板の例を用いて説明したが、基板サイズはこれに限定されない。また、液晶基板以外の被測定基板に本発明を適用することもできる。
【００３４】
上述の実施形態では、第１上部プレートと第２上部プレートは回動可能に構成しているが、接触可能状態と接触不能状態との間で切り替えるには、上下に昇降可能にしてもよい。
【００３５】
【発明の効果】
この発明は、被測定基板のサイズに合わせて複数のプローブブロックの位置を調節できるようにし、かつ、各辺ごとにプローブブロックを接触可能状態と接触不能状態に切り替えることができるようにしたので、サイズや品種の異なる基板に対して共通のプローブユニットを使用でき、プローブユニットの交換作業が不要になる。したがって、基板サイズや品種の変更に伴うプローブユニットの調節作業は一人の作業者によって短時間で終了する。また、基板サイズや品種ごとにプローブユニットを準備したり保管したりする必要がない。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明のプローブユニットの一実施形態を示す平面図である。
【図２】図１のプローブユニットの正面図である。
【図３】第２プローブ組立体の平面図である。
【図４】第２プローブ組立体の側面図である。
【図５】第１プローブ組立体の背面図である。
【図６】第２プローブ組立体の分解斜視図である。
【図７】図３のＤ−Ｄ線断面図である。
【図８】従来のプローブユニットの平面図である。
【図９】図８のＡ−Ａ線断面図である。
【図１０】液晶基板に形成された配線図の一例である。
【図１１】液晶基板のパッド領域の配置例を示す平面図である。
【図１２】液晶基板のサイズの違いによるパッド領域の位置の違いを示す平面図である。
【符号の説明】
１８  液晶基板
４０  プローブベース
４２  Ｘ辺
４４  Ｙ辺
４６、４７  第１プローブ組立体
４８、４９  第２プローブ組立体
５０  第２可動ベース
５０ａ  第１可動ベース
５２  第２上部プレート
５２ａ  第１上部プレート
５４  ガイドレール
５６  固定ネジ
５８  支柱
６０  回動軸
６４  案内溝
６６  プローブブロック
６８  締結ブロック
７０  固定ネジ
７６  引っ張りコイルバネ
８４  プローブ針
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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