(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品の複数の端子にプローブ部のプローブ端子をそれぞれ接触させるとともに該プローブ端子を介して前記電子部品に検査信号を印加する電子部品検査装置の配線構造であり、
前記プローブ部には、各プローブ端子にそれぞれ接続されて相互に略平行に延びる複数のプローブ配線と、前記複数のプローブ配線を２本おきに連結して該プローブ部から引き出す第１の引出配線と、前記第１の引出配線とは別個に前記複数のプローブ配線を２本おきに連結して該プローブ部から引き出す第２の引出配線と、前記第１及び前記第２の引出配線とは別個に前記プローブ配線を２本おきに連結して該プローブ部から引き出す第３の引出配線とが備えられ、
前記プローブ部は一対の基板が重ね合わされて構成されるとともに、
一方の基板には、前記複数のプローブ配線と、前記第１の引出配線と、前記複数のプローブ配線及び前記第１の引出配線を覆う一方の絶縁層とが形成されるとともに、該一方の絶縁層に一方の開口部が設けられ、
他方の基板には、前記第２及び第３の引出配線と、前記第２及び第３の引出配線を覆う他方の絶縁層とが形成されるとともに、該他方の絶縁層に他方の開口部が設けられ、
前記一対の基板を重ねる際に前記一方及び前記他方の開口部が相互に重ね合わされて、前記各開口部を介して前記複数のプローブ配線と前記第２及び第３引出配線とがそれぞれ接続されており、
前記第２の引出配線は、前記プローブ配線の形成位置に対応するとともにその一部が前記他方の開口部内に位置する複数の接続配線と、前記接続配線を前記他方の基板の一端側で相互に連結する渡り配線とからなり、
前記第３の引出配線は、前記プローブ配線の形成位置に対応するとともにその一部が前記他方の開口部内に位置する複数の接続配線と、前記接続配線を前記他方の基板の他端側で相互に連結する渡り配線とからなり、
前記第２、第３の引出配線の各接続配線が相互に平行に配置されることによって前記第２、第３の引出配線が相互にかみ合う形で配置されることを特徴とする電子部品検査装置の配線構造。
【請求項２】
前記の接続配線が前記一方及び前記他方の開口部を介して前記複数のプローブ配線に接続されることを特徴とする請求項１に記載の電子部品検査装置の配線構造。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の配線構造を具備してなることを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項４】
前記電子部品が液晶表示パネルであることを特徴とする請求項３に記載の電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品検査装置の配線構造及び電子部品検査装置に関するものであり、特に液晶表示パネルや半導体素子のように多数の端子を備えた電子部品の検査に好適に用いられる検査装置及びその配線構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コモン電極とセグメント電極を交差させてなるパッシブ型の液晶表示装置が携帯電話等に使用されている。近年の液晶表示装置の高品位化に対応すべく、コモン電極やセグメント電極を微細に形成する必要があるが、これに伴い、各電極の断線又は短絡等の不良が発生する場合がある。従って、これら不良の検査、不良箇所の検出を行う必要がある。
【０００３】
上記の検査方法としては、液晶表示パネルを動作状態で検査又は修正すべく、液晶表示パネルの多数の駆動信号入力用の端子列に対応したプローブ端子を装着固定したプローブ基板を用意し、このプローブ基板よりプローブ端子を介して駆動信号を印加して検査又は修正する方法が行われている。
【０００４】
一般的に、液晶表示パネルの検査を行う場合、コモン電極の奇数又は偶数端子にのみ検査信号を入力する偶奇点灯表示検査や、カラー液晶表示パネルのカラーフィルタの色相に対応して赤、緑、青の単色を表示させる単色点灯表示検査があるが、画素欠陥や検査時間の制約から、通常は、単色点灯表示検査が行われている。単色点灯表示検査では、点灯絵素がすべて同色であり、電極間又は絵素間の短絡がある場合には周辺とは異なる色の絵素が点灯状態になるため、欠陥検出が早くなる。従って、単色点灯表示検査は視認性がよく、検査時間も短く電極間又は画素間の短絡検出には最適の方法である。
【０００５】
液晶表示パネルのセグメント電極は、カラーフィルタに対応して赤、緑、青の順に繰り返し連続配置されているから、単色点灯表示検査のためには、プローブ基板よりこの順番にプローブ端子をグループ化して信号を印加する必要がある。通常、プローブ端子の他端側にはプローブ基板上に形成された配線パターンが接続され、この配線パターンを介して液晶表示パネルを動作状態で検査又は修正を行うための検査信号が印加されるようになっている。
【０００６】
図７に、従来の液晶表示パネルの検査に用いられる検査装置を示す。この検査装置は、液晶表示パネル３１０の端子部３１０ａに接続される多数のプローブ端子を有するプローブ基板３０３と、プローブ基板３０３からの配線を駆動用ＩＣ基板３０７の駆動用ＩＣ３０７ａに各々接続するための接続配線を備えた配線基板３０４と、別の配線基板３０８を介して駆動用ＩＣ基板３０７に駆動電力を供給するＬＣ回路３０９ａ等を備えた電源回路基板３０９と、電源回路基板３０９にケーブル３０５を介して接続されるコントローラ３０６とから構成されている。
【０００７】
液晶表示パネル３１０の端子部３１０ｃには、コモン電極及びセグメント電極の端子が形成されており、通常、この端子の数は数十〜数百個にのぼる。プローブ基板３０３には、この端子の数に対応した多数のプローブ端子が備えられており、各プローブ端子から引き出された多数の配線が、上記の配線基板３０４、駆動用ＩＣ基板３０７及び電源回路基板３０９を介してコントローラ３０６に各々接続されている。従って配線基板３０４、駆動用ＩＣ基板３０７及び電源回路基板３０９には、プローブ端子に対応した数の配線が各々設けられている。
【０００８】
図７に示す液晶表示パネルの検査装置においては、液晶表示パネル３１０のセグメント電極の端子にプローブ端子を各々接続し、各セグメント電極に検査信号を流して検査を行うようになっている。尚、検査信号は、コントローラからの駆動信号を受けた制御用ＩＣ基板３０７上の制御用ＩＣ３０７ａが発振するようになっている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の液晶表示パネルの検査装置では、プローブ基板３０３、配線基板３０４、駆動用ＩＣ基板３０７及び電源回路基板３０９並びにコントローラ３０６の各部同士の接続が、上記のプローブ端子の数に対応した多数の配線によりなされているため、検査の準備の過程においては、各配線の接続を配線毎に確認する必要があり、検査の準備に膨大な時間を要するといった問題があった。
また、検査を行う過程で液晶表示パネル３１０に表示欠陥が発見された場合でも、この表示欠陥が液晶表示パネル３１０自体の不良によるものか、検査装置の各部分における配線接続不良によるものかを直ちに判別できず、表示欠陥の確認に長時間を要するといった問題があった。
【００１０】
上記の問題を解決には、プローブ基板からコントローラまでの配線数を減らす必要がある。しかし、先に述べたように、セグメント電極は、カラーフィルタに対応して赤、緑、青の順に繰り返し連続配置されているため、各色毎に配線を纏めるためには、別の配線と絶縁を保ちながら交差させる必要がある。
このため、プローブ基板に接続される配線基板を多層化したり、配線基板の両面に配線パターンを形成して各配線パターンをスルーホールで接続するといったことが行われているが、この場合は配線基板のコスト高になるといった問題があった。
【００１１】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、配線基板等のコストを増やすことなく配線数を減らすことにより、検査の準備時間や労力を軽減することが可能な電子部品検査装置及びその配線構造を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
本発明の電子部品検査装置の配線構造は、電子部品の複数の端子にプローブ部のプローブ端子をそれぞれ接触させるとともに該プローブ端子を介して前記電子部品に検査信号を印加する電子部品検査装置の配線構造であり、前記プローブ部には、各プローブ端子にそれぞれ接続されて相互に略平行に延びる複数のプローブ配線と、前記複数のプローブ配線を２本おきに連結して該プローブ部から引き出す第１の引出配線と、前記第１の引出配線とは別個に前記複数のプローブ配線を２本おきに連結して該プローブ部から引き出す第２の引出配線と、前記第１及び前記第２の引出配線とは別個に前記プローブ配線を２本おきに連結して該プローブ部から引き出す第３の引出配線とが備えられ、前記プローブ部は一対の基板が重ね合わされて構成されるとともに、一方の基板には、前記複数のプローブ配線と、前記第１の引出配線と、前記複数のプローブ配線及び前記第１の引出配線を覆う一方の絶縁層とが形成されるとともに、該一方の絶縁層に一方の開口部が設けられ、他方の基板には、前記第２及び第３の引出配線と、前記第２及び第３の引出配線を覆う他方の絶縁層とが形成されるとともに、該他方の絶縁層に他方の開口部が設けられ、前記一対の基板を重ねる際に前記一方及び前記他方の開口部が相互に重ね合わされて、前記各開口部を介して前記複数のプローブ配線と前記第２及び第３引出配線とがそれぞれ接続されており、前記第２の引出配線は、前記プローブ配線の形成位置に対応するとともにその一部が前記他方の開口部内に位置する複数の接続配線と、前記接続配線を前記他方の基板の一端側で相互に連結する渡り配線とからなり、前記第３の引出配線は、前記プローブ配線の形成位置に対応するとともにその一部が前記他方の開口部内に位置する複数の接続配線と、前記接続配線を前記他方の基板の他端側で相互に連結する渡り配線とからなり、前記第２、第３の引出配線の各接続配線が相互に平行に配置されることによって前記第２、第３の引出配線が相互にかみ合う形で配置されることを特徴とする。
【００１３】
係る配線構造によれば、複数のプローブ配線を３つの引出配線に纏めることができるので、配線数を減らすことができる。
また、一方の基板に第１の引出配線が配置され、他方の基板に第２，第３の引出配線が配置されるので、平行に並んだ複数のプローブ配線を３つのグループにまとめ、しかも各グループの配線を相互に接触させることなくプローブ部の外部に引き出すことができる。
さらに、一対の基板を重ねる際に各開口部が相互に重ね合わせることで、複数のプローブ配線と第２及び第３の引出配線とを各々接続するため、スルーホール等を設ける必要がなく、配線構造を簡素化することができる。
更にまた、前記第２、第３の引出配線が相互にかみ合う形で配置されるので、各引出配線を相互に接触させることなくプローブ部の外部に引き出すことができる。
【００１８】
また、本発明の電子部品検査装置の配線構造は、先に記載の電子部品検査装置の配線構造であり、前記の接続配線が前記一方及び前記他方の開口部を介して前記複数のプローブ配線に接続されることを特徴とする。
係る電子部品検査装置の配線構造によれば、各開口部を介して接続配線をプローブ配線に接続するので、スルーホール等を設ける必要がなく、配線構造を簡素化することができる。
【００１９】
次に本発明の電子部品検査装置は、先に記載の配線構造を具備してなることを特徴とする。
係る電子部品検査装置によれば、上記の配線構造を備えているので、複数のプローブ配線を３つの引出配線に纏めることができ、配線数を減して検査装置の配線構造を簡素化し、検査の準備時間を短縮するとともに、検査の精度を高めることができる。
【００２０】
また本発明の電子部品検査装置においては、前記電子部品が液晶表示パネルであることが好ましい。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態の電子部品検査装置及びその配線構造を図面を参照して説明する。尚、本実施形態においては、電子部品検査装置として液晶表示パネルの検査装置を例にして説明する。
図１に、本発明の液晶表示パネルの検査装置の構成を説明するための斜視図を示し、図２に、本発明の実施形態である液晶表示パネルの検査装置の配線構造を説明するため模式図を示す。
【００２２】
図１に示すように、本実施形態の液晶表示パネルの検査装置１は、液晶表示パネル１０の端子部１０ｃに接続される多数のプローブ端子を有するプローブ部２と、プローブ部２にケーブル５を介して接続されるコントローラ６から構成されている。
プローブ部２は、多数のプローブ端子が備えられたプローブ基板（一方の基板）３と、プローブ基板３の一面３ａの一部に重ね合わされた配線基板（他方の基板）４とから構成されている。配線基板４にはコネクタ４ａが備えられており、このコネクタ４ａにケーブル５が接続されている。
【００２３】
コントローラ６は、検査信号を発振するもので、液晶駆動波形形成回路と、液晶駆動波形形成回路の出力側に設けられ、液晶駆動波形形成回路から出力された駆動波形をコモン信号及びセグメント信号に分けて検査信号として出力する信号切換回路と、信号切換回路に切換信号を送るショート検出回路と、ショート検出回路並びに液晶駆動波形形成回路を制御するＣＰＵとを具備して構成されている。
ＣＰＵの指令によって液晶駆動波形形成回路から駆動波形が出力し、この駆動波形を信号切換回路によりコモン信号及びセグメント信号に分けて検査信号として発振する。このような構成により、従来のコントローラに制御用ＩＣの構成を加えたものとすることができる。
【００２４】
液晶表示パネル１０は、第１基板１０ａに第２基板１０ｂが重ね合わされて構成され、各基板１０ａ、１０ｂの間には図示略の液晶層が封入されている。第１基板１０ａの液晶層側には図示略の複数のセグメント電極が形成され、また第２基板１０ｂの液晶層側には図示略の複数のコモン電極が形成されており、これらセグメント電極とコモン電極とが液晶層を挟んで相互に直交するように配置されている。また、セグメント電極は、カラーフィルタに対応して赤、緑、青の順に繰り返し連続配置されている。
【００２５】
また、第１基板１０ａには端子部１０ｃ、１０ｃが形成されている。この端子部１０ｃ、１０ｃには、セグメント電極及びコモン電極の端子が引出されて配列されている。
【００２６】
図２には、液晶表示パネル１０に、６つのプローブ部２を接続した状態の配線模式図を示す。液晶表示パネル１０の両側（端子部１０ｃ、１０ｃ）には、ＣＯＭ１〜ＣＯＭ８８及びＣＯＭ’１〜ＣＯＭ’８８で表される合計１７６個のコモン端子（端子）と、ＳＥＧ-Ｒ１〜ＳＥＧ-Ｂ１２８及びＳＥＧ-Ｒ’１〜ＳＥＧ-Ｂ’１２８で表される合計７６８個のセグメント端子（端子）とが設けられている。尚、コモン端子は、液晶表示パネル１０のコモン電極に各々接続され、セグメント端子（端子）はセグメント電極に各々接続されている。
また、ＳＥＧ-Ｒ１〜ＳＥＧ-Ｒ１２８はカラーフィルタの赤色に対応するセグメント電極の端子であり、ＳＥＧ-Ｇ１〜ＳＥＧ-Ｒ１２８は緑色に対応するセグメント電極の端子であり、ＳＥＧ-Ｂ１〜ＳＥＧ-Ｂ１２８は青色に対応するセグメント電極の端子である。そして図２に示すようにこれらセグメント端子は、ＳＥＧ-Ｒ１、ＳＥＧ-Ｇ１、〜ＳＥＧ-Ｂ１２…の順に連続配列されている。
【００２７】
ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４４にはプローブ部２ａが取り付けられ、ＣＯＭ４５〜ＣＯＭ９０にはプローブ部２ｂが取り付けられ、ＳＥＧ-Ｒ１〜ＳＥＧ-Ｂ１２８にはプローブ部２ｃが取り付けられている。
また、ＣＯＭ’１〜ＣＯＭ’４４にはプローブ部２ｄが取り付けられ、ＣＯＭ’４５〜ＣＯＭ’９０にはプローブ部２ｅが取り付けられ、ＳＥＧ-Ｒ’１〜ＳＥＧ-Ｂ’１２８にはプローブ部２ｆが取り付けられている。
【００２８】
プローブ部２ａには、コモン端子ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４４に各々接続する図示略の多数のプローブ端子が備えられるとともに、各プローブ端子を介してコモン端子ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４４に接続されるプローブ配線１０１ｃ〜１４４ｃが設けられている。そして、奇数番目のプローブ配線１０１ｃ、１０３ｃ…、１４３ｃが１本の引出配線２０１ａに纏められ、偶数番目のプローブ配線１０２ｃ、１０４ｃ…、１４４ｃが別の引出配線２０２ａに纏められている。
【００２９】
同様に、プローブ部２ｂには、コモン端子ＣＯＭ４５〜ＣＯＭ８８に各々接続する図示略の多数のプローブ端子が備えられるとともに、各プローブ端子を介してコモン端子ＣＯＭ４５〜ＣＯＭ８８に接続されるプローブ配線１４５ｃ〜１８８ｃが設けられている。そして、奇数番目のプローブ配線１４５ｃ、１４７ｃ…、１８７ｃが１本の引出配線２０３ａに纏められ、偶数番目のプローブ配線１４６ｃ、１４８ｃ…、１８８ｃが別の引出配線２０４ａに纏められている。
【００３０】
更に、プローブ部２ｃには、セグメント端子ＳＥＧ-Ｒ１〜ＳＥＧ-Ｂ１２８に各々接続する図示略の多数のプローブ端子が備えられるとともに、各プローブ端子を介してセグメント端子ＳＥＧ-Ｒ１〜ＳＥＧ-Ｂ１２８に接続されるプローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂが設けられている。そして、赤色に対応するプローブ配線１０１ｒ〜２２８ｒが１本の引出配線２０５ａに纏められ、緑色に対応するプローブ配線１０１ｇ〜２２８ｇが１本の引出配線２０６ａに纏められ、青色に対応するプローブ配線１０１ｂ〜２２８ｂが１本の引出配線２０７ａに纏められている。
【００３１】
このように、コモン電極ＣＯＭ１〜ＣＯＭ８８は、プローブ部２ａ、２ｂ内で最終的に４本の引出配線２０１ａ〜２０４ａに纏められ、セグメント電極ＳＥＧ-Ｒ１〜ＳＥＧ-Ｂ１２８は、プローブ部２ｃ内で最終的に３本の引出配線２０５ａ〜２０７ａに纏められられる。
従って、プローブ部２からコントローラまでの配線数は、コモン電極用のプローブ部２ａ、２ｂの場合にプローブ部１つ当たり２本、セグメント電極用のプローブ部２ｃの場合にプローブ部１つ当たり３本となる。
以上、液晶表示パネル１０の片側に位置するプローブ部２ａ〜２ｃの配線構造を模式的について説明したが、液晶表示パネル１０のもう片方に位置するプローブ部２ｄ〜２ｆの配線構造についても上記とほぼ同じ構成である。
【００３２】
次に図３〜図６により、プローブ部２の詳細な構造を説明する。尚、ここではプローブ部２の一例として、セグメント端子に接続されるプローブ部２ｃを例にして説明する。
図３には液晶表示パネルの検査装置の配線構造の要部であるプローブ部の拡大断面図を示し、図４には液晶表示パネルの検査装置の配線構造の要部であるプローブ部の分解斜視図を示し、図５にはプローブ部を構成するプローブ基板の要部であって配線基板との接続部分の拡大平面図を示し、図６にはプローブ部を構成する配線基板の要部であってプローブ基板との接続部分をフレキシブル基板４１側から見た拡大平面図を示す。
【００３３】
図１及び図３に示すように、セグメント電極に接続されるプローブ部２ｃは、プローブ基板（一方の基板）２ａと配線基板（他方の基板）２ｃとから構成されている。
プローブ基板３は、フレキシブル基板３１と、このフレキシブル基板３１上に形成されたプローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂと、第１の引出配線２０５ａと、フレキシブル基板３１及びプローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂを覆う絶縁層３２とから構成されている。絶縁層３２には開口部３２ａが設けられており、この開口部３２ａによって、プローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂの一部が絶縁層３２により被覆されない状態になっている。
【００３４】
次に配線基板４は、フレキシブル基板４１と、このフレキシブル基板４１上に形成された引出配線２０５ａ〜２０７ａと、第２，第３の引出配線２０６ａ、２０７ａと、フレキシブル基板４１及びプローブ配線２０５ａ〜２０７ａを覆う絶縁層４２とから構成されている。絶縁層４２には開口部４２ａが設けられており、この開口部４２ａによって、各引出配線２０６ａ、２０７ａの一部が絶縁層４２により被覆されない状態になっている。
【００３５】
そして、プローブ基板３の絶縁層３２側に対して、配線基板４が絶縁層４２をプローブ基板３側に向けて重ね合わされている。この時、プローブ基板３の絶縁層３２の開口部３２ａと、配線基板４の絶縁層４２の開口部４２ａとが重ね合わされる。
そして、開口部３２ａ及び開口部４２ａには異方性導電樹脂２１が充填されており、この異方性導電樹脂２１を介してプローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂと第２，第３の引出配線２０６ａ〜２０７ａとが電気的に接続される。
また、異方性導電樹脂２１を設けず、プローブ基板３の開口部３１ａに配線基板４の開口部４１ａを押し当てても良く、この場合はプローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂと第２，第３の引出配線２０５ａ〜２０７ａとが直接的に接触して電気的に接続される。
【００３６】
次に、プローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂと第１〜第３の引出配線２０５ａ〜２０７ａの詳細な構造を図４〜図６により説明する。
プローブ基板３においては、図４及び図５に示すように、フレキシブル基板３１上にプローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂが相互に平行になって櫛歯状に連続的に配列されている。また、プローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂ上には絶縁層３２が形成されている。
ここで、プローブ配線１０１ｒ〜２２８ｒは、プローブ端子を介して赤色のセグメント電極に接続される配線であり、プローブ配線１０１ｇ〜２２８ｇは、プローブ端子を介して緑色のセグメント電極に接続される配線であり、プローブ配線１０１ｂ〜２２８ｂは、プローブ端子を介して青色のセグメント電極に接続される配線である。そして、各プローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂが、赤、緑、青の順に配列されている。即ち、各色のプローブ配線が２つおきに配置されている。
【００３７】
赤色用のプローブ配線１０１ｒ〜２２８ｒは、フレキシブル基板３１の端面３１ａ側まで延長して形成されており、このため他の色のプローブ配線よりも長く形成されている。そして、フレキシブル基板３１上には、各プローブ配線１０１ｒ〜２２８ｒを連結する渡り配線２０５ｂ（第１の引出配線２０５ａ）が端面３１ａに沿って形成されている。また、この渡り配線２０５ｂの端部２０５ｃが絶縁層３１の開口部３２ａから露出するようになっている。
このように、赤色用のプローブ配線１０１ｒ〜２２８ｒを他の色のプローブ配線１０１ｇ〜２２８ｂよりも長く形成し、更に渡り配線２０５ｂを端面３１ａに沿って形成するので、渡り配線２０５ｂが他のプローブ配線１０１ｇ〜２２８ｂと接触することがない。
【００３８】
次に緑色用のプローブ配線１０１ｇ〜２２８ｇは、赤色用のプローブ配線１０１ｒ〜２２８ｒの隣に位置してほぼ平行に形成されており、各プローブ配線の端部１０１ｇ1〜２２８ｇ1が開口部３２ａから露出するようになっている。
また、青色用のプローブ配線１０１ｂ〜２２８ｂは、赤色及び緑色用のプローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂの間に位置してこれらのプローブ配線に対してほぼ平行に形成されており、各プローブ配線の端部１０１ｂ1〜２２８ｂ1が開口部３２ａから露出するようになっている。
【００３９】
次に、配線基板４においては、図４及び図６に示すように、フレキシブル基板４１上に第２、第３の引出配線２０６ａ、２０７ａが形成されている。また、フレキシブル基板４１上には第１の引出配線２０５ａの一部が形成されている。更に、各引出配線２０５ａ、２０６ａ、２０７ａ上には絶縁層４２が形成されている。
【００４０】
配線基板４側の第１の引出配線２０５ａは、その一端部２０５ａ1が絶縁層４２の開口部４２ａから露出するとともに、他端部２０５ａ2がフレキシブル基板４１を貫通する図示略のスルーホールを介してコネクタ４ａに接続されている。また、この引出配線２０５ａの一端部２０５ａ1は、プローブ基板３と配線基板４とを重ね合わされた際にプローブ配線側の渡り配線２０５ｂ（第１の引出配線２０５ａ）の端部２０５ｃと重なるように、渡り配線１０５ｂの端部２０５ｃに対応する位置に形成されている。
【００４１】
次に、第２，第３の引出配線２０６ａ及び２０７ａは、それぞれ、櫛歯状に配置された複数の接続配線と各接続配線を連結する渡り配線とから構成され、各引出配線２０６ａ、２０７ａが絶縁層４２の開口部４２ａを基準にして相互にかみ合うように形成されている。
【００４２】
即ち、第２の引出配線２０６ａは、複数の接続配線２０６ａ1〜２０６ａ228と、各接続配線２０６ａ1〜２０６ａ228をフレキシブル基板４１の一端面４１ｂ側（一端側）で相互に連結する渡り配線２０６ｂとから構成されている。
接続配線２０６ａ１〜２０６ａ228は絶縁層４２の開口部４２ａから露出するとともに、フレキシブル基板４１の一端面４１ｂ側に向けて延びており、各接続配線２０６ａ1〜２０６ａ228が相互に間隔を空けて平行に配置されている。また、渡り配線２０６ｂは一端面４１ｂに沿って形成されるとともに、その一端２０６ｂ1がフレキシブル基板４１を貫通する図示略のスルーホールを介してコネクタ４ａに接続されている。
更に接続配線２０６ａ1〜２０６ａ228は、プローブ基板３と配線基板４とを重ね合わされた際に緑色用のプローブ配線の端部１０１ｇ1〜２２８ｇ1と重なるように、プローブ配線の端部１０１ｇ1〜２２８ｇ1に対応する位置に形成されている。
【００４３】
また、第３の引出配線２０７ａは、複数の接続配線２０７ａ1〜２０７ａ228と、各接続配線２０７ａ1〜２０７ａ228をフレキシブル基板４１の他端面４１ｃ側（他端側）で相互に連結する渡り配線２０７ｂとから構成されている。
接続配線２０７ａ１〜２０７ａ228は絶縁層４２の開口部４２ａから露出するとともに、フレキシブル基板４１の他端面４１ｃ側に向けて延びており、各接続配線２０７ａ1〜２０７ａ228が相互に間隔を空けて平行に配置されている。また、渡り配線２０７ｂは他端面４１ｃに沿って形成されるとともに、その一端２０７ｂ1がフレキシブル基板４１を貫通する図示略のスルーホールを介してコネクタ４ａに接続されている。
更に接続配線２０７ａ1〜２０７ａ228は、プローブ基板３と配線基板４とを重ね合わされた際に青色用のプローブ配線の端部１０１ｂ1〜２２８ｂ1と重なるように、プローブ配線の端部１０１ｂ1〜２２８ｂ1に対応する位置に形成されている。
【００４４】
このように、第２，第３の引出配線２０６ａ、２０７ａを構成する渡り配線２０６ｂ、２０７ｂが、開口部４２ａを基準として基板４１の一端面４１ｂ及び他端面４１ｃに沿って配置されているので、引出配線２０６ａ、２０７ａ同士が相互に接触することがない。
【００４５】
また、プローブ基板３と配線基板４とを重ね合わされた際に、配線基板４側の第１の引出配線２０５ａが、プローブ基板３側の赤色用の渡り配線２０５ｂ（第１の引出配線２０５ａ）に接続されるので、全ての赤色用のプローブ配線１０１ｒ〜２２８ｒがこの第１の引出配線２０５ａによって一つに纏められる。
同様に、プローブ基板３と配線基板４とを重ね合わされた際に、接続配線２０６ａ1〜２０６ａ228が、プローブ基板３側のプローブ配線１０１ｇ〜２２８ｇに接続されるので、緑色用のプローブ配線１０１ｇ〜２２８ｇがこの第２の引出配線２０６ａによって一つに纏められる。
更に同様に、プローブ基板３と配線基板４とを重ね合わされた際に、接続配線２０７ａ1〜２０７ａ228が、プローブ基板３側のプローブ配線１０１ｂ〜２２８ｂに接続されるので、青色用のプローブ配線１０１ｂ〜２２８ｂがこの第３の引出配線２０７ａによって一つに纏められる。
【００４６】
また、プローブ基板３側の赤色、緑色、青色用の各プローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂは、絶縁層３２、４２によって引出配線２０６ａから絶縁されるので、各プローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂと引出配線２０６ａとが短絡するおそれがない。
同様に、プローブ基板３側の赤色用の渡り配線２０５ｂは、絶縁層３２、４２によって引出配線２０７ａから絶縁されるので、渡り配線２０５ｂが引出配線２０７ａと短絡するおそれがない。
【００４７】
以上説明したように、上記の配線構造によれば、プローブ基板及び配線基板上に形成した配線パターンを重ね合わせるだけで、３つのグループの複数本のプローブ配線をそれぞれ１本に纏めることができる。
また、上記の液晶表示パネルの検査装置によれば、プローブ部とコントローラとの間の配線数を大幅に減らすことができるので、検査の準備に手間取ったり、検査結果の確認が遅れるおそれがない。
【００４８】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば本実施形態では電子部品として液晶表示パネルを例にして説明したが、本発明の適用範囲はこれに留まらず、例えば半導体素子を樹脂で封止してなるＩＣチップの検査にも好適に用いることができる。
【００４９】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明の電子部品検査装置の配線構造によれば、複数のプローブ配線を３つの引出配線に纏めることができるので、配線数を減らすことができる。
また、一方の基板に第１の引出配線が配置され、他方の基板に第２，第３の引出配線が配置されるので、平行に並んだ複数のプローブ配線を３つのグループにまとめ、しかも各グループの配線を相互に接触させることなくプローブ部の外部に引き出すことができる。
【００５０】
また、本発明の電子部品検査装置の配線構造によれば、一対の基板を重ねる際に各開口部が相互に重ね合わせることで、複数のプローブ配線と第２及び第３の引出配線とを各々接続するため、スルーホール等を設ける必要がなく、配線構造を簡素化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施形態である液晶表示パネルの検査装置の構成を説明するための斜視図。
【図２】   本発明の実施形態である液晶表示パネルの検査装置の配線構造を説明するため模式図。
【図３】   本発明の実施形態である液晶表示パネルの検査装置の配線構造の要部の断面図。
【図４】 本発明の実施形態である液晶表示パネルの検査装置の配線構造の要部の分解斜視図。
【図５】   本発明の実施形態である液晶表示パネルの検査装置のプローブ基板の要部を示す拡大平面図。
【図６】   本発明の実施形態である液晶表示パネルの検査装置の配線基板の要部を示す拡大平面図。
【図７】   従来の液晶表示パネルの検査装置の構成を説明するための模式図。
【符号の説明】
１  液晶表示パネルの検査装置（電子部品検査装置）
２、２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ、２ｆ  プローブ部
３  プローブ基板（一方の基板）
４  配線基板（他方の基板）
１０  液晶表示パネル（電子部品）
３２  一方の絶縁層
３２ａ  開口部
４１ｂ  一端面（基板の一端側）
４１ｃ  他端面（基板の他端側）
４２  他方の絶縁層
４２ａ  開口部
１０１ｒ〜２２８ｒ  プローブ配線
１０１ｇ〜２２８ｇ  プローブ配線
１０１ｂ〜２２８ｂ  プローブ配線
２０５ａ  第１の引出配線
２０６ａ  第２の引出配線
２０６ａ1〜２０６ａ228  接続配線
２０６ｂ  渡り配線
２０７ａ  第３の引出配線
２０７ａ1〜２０７ａ228  接続配線
２０７ｂ  渡り配線
ＣＯＭ１〜ＣＯＭ８８  コモン端子（端子）
ＣＯＭ’１〜ＣＯＭ’８８  コモン端子（端子）
ＳＥＧ-Ｒ１〜ＳＥＧ-Ｂ１２８  セグメント端子（端子）
ＳＥＧ-Ｒ’１〜ＳＥＧ-Ｂ’１２８  セグメント端子（端子）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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