(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一体型からなる真空チャンバと、
前記真空チャンバ内の上側空間と下側空間とに各々対向して設けられた、第２基板を固定する上部ステージ及び第１基板を固定する下部ステージと、
前記真空チャンバの内部に設けられ、各基板の搬入／搬出方向に沿って移動し、前記第２基板の底面を受け止める基板受け止め手段と
を備えて構成されている液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項２】
基板受け止め手段は、
第２基板の底面を受け止めるリフティング部と、
前記リフティング部を各基板の搬入／搬出方向に沿って移動させる移動部と
を備えて構成されていることを特徴とする請求項１記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項３】
リフティング部は、
第２基板の幅方向に沿って長く形成され、前記第２基板の底面と接触するリフトバーと、
一端は前記リフトバーに垂直結合され、他端は前記移動部に結合して前記リフトバーを支持する支持体と
が備えられていることを特徴とする請求項２記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項４】
リフトバーの上面には多数の突起が形成されることを特徴とする請求項３記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項５】
一つのリフトバーには一つ又は２つの支持体が結合されることを特徴とする請求項３記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項６】
リフティング部は２つ以上であり、各リフティング部は第２基板のダミー領域を受け止められるように位置することを特徴とする請求項２記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項７】
支持体には
前記支持体を上向き移動させる駆動部が備えられることを特徴とする請求項３記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項８】
駆動部は、
空気圧や流体圧を用いて支持体を上向き移動させるシリンダー又は、回転力を用いて前記支持体を上下移動させるモータの中少なくとも何れか一つから構成することを特徴とする請求項７記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項９】
移動部は、
真空チャンバ内の何れか一方のステージの長辺側の隣接部位に沿って長く設置された螺旋軸と、
前記螺旋軸に軸結合された駆動モータと
を備えて構成されていることを特徴とする請求項２記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項１０】
螺旋軸の螺旋方向は、
前記螺旋軸の中央部位を基準に両側が互いに逆方向に向かうように形成されることを特徴とする請求項９記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項１１】
リフティング部は、
螺旋軸の両側の先端部にそれぞれ設けられることを特徴とする請求項１０記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項１２】
螺旋軸は、
何れか一方のステージの両側にそれぞれ一つずつ設けられることを特徴とする請求項９記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項１３】
螺旋軸は、
何れか一方のステージの両側にそれぞれ２つずつ設けられることを特徴とする請求項９記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項１４】
各螺旋軸のうち、前記ステージに最も隣接した位置に設けられる２つの螺旋軸は、その螺旋方向が前記螺旋軸の中央部位を基準に両側が互いに逆方向に向かうように形成され、
前記ステージの外側に設けられる２つの螺旋軸はその螺旋方向が同一方向に向かうように形成されることを特徴とする請求項１３記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項１５】
ステージに最も隣接した位置に設けられた２つの螺旋軸の両先端には２つのリフティング部をそれぞれ結合し、
ステージの外側に設けられた２つの螺旋軸の何れか一方の先端には一つのリフティング部を結合して構成することを特徴とする請求項１４記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項１６】
各螺旋軸のうち、前記ステージに最も隣接した位置に設けられる２つの螺旋軸はその螺旋方向が同一方向に向かうように形成され、
前記ステージの外側に設けられる２つの螺旋軸は、その螺旋方向が前記螺旋軸の中央部位を基準に両側が互いに逆方向に向かうように形成されることを特徴とする請求項１３記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項１７】
ステージに最も隣接した位置に設けられた２つの螺旋軸の何れか一方の先端には一つのリフティング部をそれぞれ結合し、
ステージの外側に設けられた２つの螺旋軸の両先端には２つのリフティング部を結合して構成することを特徴とする請求項１６記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項１８】
各螺旋軸の螺旋方向は、その螺旋軸の中央部位を基準に両側が互いに逆方向に向かうように形成され、
ステージに最も隣接した位置に設けられた２つの螺旋軸の両先端及び、前記ステージの外側に設けられた２つの螺旋軸の両先端にはそれぞれ２つずつ総４つのリフティング部を結合して構成することを特徴とする請求項１３記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項１９】
螺旋軸は、
何れか一方のステージの両側にそれぞれ２つ以上が設けられることを特徴とする請求項１０記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項２０】
移動部は、
真空チャンバ内の何れか一方のステージの長辺側の隣接部位に沿って長く設けられた移動軸と、
前記移動軸に結合されるリフティング部に直結して、前記リフティング部が前記移動軸に沿って移動するように駆動する駆動手段と
を備えて構成されていることを特徴とする請求項２記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項２１】
移動軸はガイドレールから形成され、
駆動手段はリニアモータ或いは、流体圧又は空気シリンダーの中何れか一つから構成されることを特徴とする請求項２０記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項２２】
移動軸はラック、ギア又はチェーンから構成され、駆動手段はピニオン、ギア又は、スプロケットホイールが軸結合されたモータから構成されることを特徴とする請求項２０記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項２３】
リフティング部は少なくとも２つ以上が備えられることを特徴とする請求項２０記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項２４】
リフティング部は、
第２基板の幅に比べ短く形成され、前記第２基板の底面と接触するリフトバーと、
一端は前記リフトバーに垂直結合され、他端は前記移動部に結合して前記リフトバーを支持する支持体と
が備えられていることを特徴とする請求項１記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項２５】
２つのリフティング部の間には、上向き移動及び左右回転を選択的に行いつつその上面が第２基板の中央部のダミー領域を受け止める別途の基板受け止め手段が更に備えられていることを特徴とする請求項６記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項２６】
別途の基板受け止め手段は、
基板と接触する受け止めバーと、その受け止めバーと結合された連結軸と、前記連結軸を上下移動及び左右回転させるために駆動力を提供する駆動手段と
を備えていることを特徴とする請求項２５記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項２７】
基板受け止め手段は、
真空チャンバ内の上、下面の中少なくとも一方に設けられることを特徴とする請求項１記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項２８】
一体型からなる真空チャンバと、
前記真空チャンバ内の上側空間と下側空間とに各々対向して設けられた、第２基板を固定する上部ステージ及び第１基板を固定する下部ステージと、
何れか一方のステージの側面の隣接部位に設けられ、各基板の搬入／搬出方向とは垂直であり、かつ前記下部ステージの表面に平行な方向に沿って移動し、前記第２基板の底面を受け止める基板受け止め手段と
を備えて構成されている液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項２９】
基板受け止め手段は、
第２基板の底面を受け止めるリフティング部と、
前記リフティング部を各基板の搬入／搬出方向とは垂直な方向に沿って移動させる移動部と
を備えて構成されることを特徴とする請求項２８記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項３０】
リフティング部は、
第２基板の幅方向に向かって長く形成され、前記第２基板の底面と接触するリフトバーと、
一端は前記リフトバーに垂直結合され、他端は前記移動部に結合して前記リフトバーを支持する支持体と
から構成されていることを特徴とする請求項２９記載の液晶表示素子用真空貼り合わせ装置。
【請求項３１】
第２基板を一体型真空チャンバ内に備えられた上部ステージに固定する段階と、
第１基板を一体型真空チャンバ内に備えられた下部ステージに固定する段階と、
一体型真空チャンバ内に備えられた基板受け止め手段で第２基板の底面を受け止めるように、前記基板受け止め手段を各基板の搬入／搬出方向に沿って移動させる段階と
を含むことを特徴とする液晶表示素子製造用真空貼り合わせ方法。
【請求項３２】
基板受け止め手段は、
第２基板の底面を受け止めるリフティング部と、
前記リフティング部を各基板の搬入／搬出方向に沿って移動させる移動部と
が備えられていることを特徴とする請求項３１記載の液晶表示素子製造用真空貼り合わせ方法。
【請求項３３】
基板受け止め手段は真空チャンバ内の上部側又は下部側空間の中何れか一カ所に位置することを特徴とする請求項３１記載の液晶表示素子製造用真空貼り合わせ方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶表示素子の製造装備に係り、特に大面積の液晶表示素子の製造に有利な液晶滴下方式を適用した液晶表示素子の製造装備に関する。
【０００２】
【従来の技術】
情報化社会の発展に伴い、表示装置に対する要求も多様な形態に増加しており、これに応じて、最近はＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｄｅｖｉｃｅ）、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）、ＥＬＤ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ Ｄｉｓｐｌａｙ）、ＶＦＤ（Ｖａｃｕｕｍ Ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ Ｄｉｓｐｌａｙ）など様々な平板表示装置が研究され、その一部は既に各種装備で表示装置として活用されている。
【０００３】
その中、現在は優秀な画質、軽薄型、低消費電力などの長所のため、移動型画像表示装置の用途としてＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ Ｒａｙ Ｔｕｂｅ）を代替してＬＣＤが最も多く使われており、ノートパソコンのモニタのような移動型の用途の他にも、放送信号を受信してディスプレイするテレビジョン及びコンピュータのモニタなどで多様に開発されている。
【０００４】
このように、液晶表示素子は様々な分野で画面表示装置としての役割を果たすため多様な技術的な発展が進められてきているにも拘わらず、画面表示装置として画像の品質を高めるような作業に当たっては上記長所と背馳している面が多かった。
従って、液晶表示素子が一般的な画面表示装置として多様な部分に使用されるためには、軽薄型、低消費電力の特徴を維持しながらも、高精細、高輝度、大面積など、高品位の画像をどれほど実現できるかが重要な問題にされている。
【０００５】
上記のような液晶表示素子の製造方法としては、一方の基板上に注入口が形成されるように密封剤（シール剤）を塗布して、真空中で基板を接合した後、密封剤の注入口を介して液晶を注入するような通常的な液晶注入方式と、特開２０００−２８４２９５号及び特開２００１−００５４０５号公報で提案されたように、注入口を設置しないように密封剤を遮断したパターンで形成したある一つの基板に液晶を滴下し、その後、他の一基板を前記ある一つの基板上に配置して、真空中で上下の基板を近接させ且つ接合するような液晶滴下方式に大きく分けることができる。
【０００６】
この際、前記した各々の方式の中、液晶滴下方式は液晶注入方式に比べて多数の工程（例えば、液晶注入口の形成、液晶の注入、液晶注入口の密封などのための各々の工程）を省略して行うことにより、前記追加工程に伴う各々の装備が更に不要であるという長所を有する。
このため、最近は前記液晶滴下方式を用いるための各種装備の研究が行われている。
【０００７】
図１及び図２はかかる従来の液晶滴下方式を適用した基板の組み立て装置を示す。
即ち、従来の基板組み立て装置は外形をなすフレーム１０と、ステージ部２１，２２と、密封剤吐出部（図示せず）及び液晶滴下部３０と、チャンバ部３１，３２と、チャンバ移動手段と、ステージ移動手段とから構成されている。
【０００８】
この際、前記ステージ部は上部ステージ２１と下部ステージ２２とで構成され、密封剤吐出部及び液晶滴下部３０は前記フレームの貼り合わせ工程が行われる位置の側部に装着され、前記チャンバ部は上部チャンバユニット３１と下部チャンバユニット３２とで各々合体が可能であるように構成される。
【０００９】
これと共に、前記チャンバ移動手段は下部チャンバユニット３２を前記貼り合わせ工程が行われる位置或いは、密封剤の吐出及び液晶の滴下が行われる位置に選択的に移動させ得るように駆動する駆動モータ４０で構成され、前記ステージ移動手段は前記上部ステージを選択的に上部或いは下部に移動させ得るように駆動する駆動モータ５０で構成されている。
【００１０】
そして、上部ステージ２１に固定される基板５２の両対角位置で前記チャンバ部の内部の真空時に前記基板を臨時に受け止める役割を果たす受け止め手段が設けられる。
この際、前記受け止め手段は上部チャンバユニット３１の外側から前記上部チャンバユニット３１の内側に貫通した状態として回転自在に装着された回転軸６１と、その回転軸の一端の前記上部チャンバユニット３１の外側に固定され、前記回転軸６１を選択的に回転させるように駆動する回転アクチュエータ６３及び前記回転軸を選択的に昇降させる昇降アクチュエータ６４と、前記回転軸の他端に一体化され、選択的に基板のエッジ部を受け止める受止爪６２とから構成されている。
【００１１】
以下、上記した従来の基板組み立て装置を用いた液晶表示素子の製造過程をその工程順序に基づいてより詳細に説明する。
【００１２】
まず、上部ステージ２１には何れか一つの基板（以下、第２基板）５２がローディングされた状態に固定され、下部ステージ２２には他の一基板（以下、第１基板）５１がローディングされた状態に固定される。
この状態で前記下部ステージ２２を有する下部チャンバユニット３２はチャンバ移動手段４０によって、図１に示すように、密封剤の塗布及び液晶滴下のための工程位置上に移動される。
【００１３】
そして、前記状態で密封剤吐出部及び液晶滴下部３０による第１基板５１への密封剤の塗布及び液晶滴下が完了すると、再び前記チャンバ移動手段４０によって、図２に示すように、基板間の貼り合わせのための工程位置上に移動する。
【００１４】
以後、チャンバ移動手段４０による各チャンバユニット３１，３２間の合体が行われて各ステージ２１，２２が位置した空間が密閉され、受け止め手段を構成する昇降アクチュエータ６４が駆動しつつ回転軸６１を下向きに（上部ステージの下側に）移動させると共に、回転アクチュエータ６３が駆動しつつ前記回転軸６１を回転させ、受止爪６２を上部ステージ２１に固定された第２基板５２の両角部に位置させる。
【００１５】
この状態でステージ移動手段５０は上部ステージ２１を下向きに移動させると共に、前記受け止め手段を構成する受止爪６２が位置した高さまで近接させた後、第２基板５２を固定していた吸着力を解除して、図３のように、前記第２基板を前記受け止め手段の各受止爪６２に載せる。
【００１６】
これは、チャンバ部の内部が真空状態をなす場合、第２基板５２を固定させるために与えている上部ステージ２１の真空吸着力に比べて前記チャンバ部の内部の真空度が増加することで前記第２基板５２の落下に伴う破損が発生し得るので、チャンバ部の内部が完全に真空状態となる前臨時に前記第２基板５２を保持できるようにするためである。
【００１７】
これと共に、図示しない別途の真空手段を用いてチャンバ部の内部を完全に真空状態にし、前記チャンバ部の内部が完全な真空状態になると、上部ステージ２１に静電力を印加して前記第２基板５２を固定すると共に、受け止め手段の回転アクチュエータ６３及び昇降アクチュエータ６４を駆動して、受止爪６２及び回転軸６１を元位置（貼り合わせ工程に干渉を与えない位置）に復帰させる。
【００１８】
そして、前記した真空状態でステージ移動手段５０によって上部ステージ２１が下向きに移動することで、前記上部ステージ２１に固定された第２基板５２を下部ステージ２２に固定された第１基板５１に密着させると共に、継続的に加圧して各基板間の貼り合わせを行うことによって液晶表示素子の製造が完了する。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の如き基板の組立装置は次のような問題があった。
【００２０】
第一に、真空チャンバ内部の真空化過程において前記真空力によって第２基板が上部ステージから落ち、破損することを防止するための受け止め手段が存在するものの、この受け止め手段を構成する受止爪の形状が前記第２基板の両角部の先端部分のみを受け止め得るように形成されているため、前記第２基板の中間部が垂れ下がることがある。
特に、液晶表示素子の大型化を考慮する時、上述した従来の受け止め手段の構成を大型化した液晶表示素子の製造装備に適用する場合、大型化した基板の面積に比べてその厚さが極めて薄いため、前記した基板の垂れ下がりの程度が更に増加することで基板変形に伴う問題点が発生し得ることから、事実上その適用が不可能であって改善が必要とされている。
【００２１】
第二に、従来の受け止め手段を構成する受止爪のサイズが第２基板の全体的なサイズに比べて極めて小さいため、前記第２基板との接触面積が相対的に小さくならざるを得ない。このため、受け止め手段を構成する回転アクチュエータの動作不良によって回転軸の正確な回転が行われない場合、受止爪と第２基板との接触面積が前記第２基板を受け止め得るほど十分ではなくて、前記第２基板が落ちるおそれがあった。
特に、大型液晶表示素子の製造のための基板貼り合わせ装置に前記した構成が適用される場合、第２基板の全体面積に比べて受止爪の接触面積が相対的に更に小さいため、その問題点は更に深刻である。
【００２２】
第三に、従来の基板組立装置は、受け止め手段の数が基板の全体的なサイズに比べて少なく備えられるので、大型基板を用いた液晶表示素子の製造工程に効果的に対応し難いという不具合がある。
【００２３】
第四に、基板モデルの変更に従い、基板の各セルが形成された領域ではない他の部分、即ち、破断して除去されるダミー領域が変化するが、これに効果的に対応し難いという不具合がある。
【００２４】
第五に、下部チャンバユニットと上部チャンバユニットとの合体時に密閉が正確に行われない場合、そのリーク部を介した空気の流入によって各基板の損傷及び貼り合わせ不良を発する。
そのため、前記した真空状態での空気リーク防止のための方策が更に必要とされたと共に、更なる精密工程が要求されるという不具合があった。
【００２５】
そこで、本発明は諸事情に鑑み創出されたもので、その目的は、液晶表示素子の真空貼り合わせのための工程時に、真空チャンバ内部が真空状態になることにより作業途中で上部ステージに固定された基板が下部に落ちることを防止できるよう臨時に受け止める手段を受け止め対象基板の特定部位の垂れ下がりを防止できるように構成し、全体的な基板の受け止め形状が安定的なものになるようにし、他の装備動作に対して干渉を行わないように構成した液晶表示素子用真空貼り合わせ装置の基板受け止め手段を提供することにある。
【００２６】
特に、本発明は液晶表示素子の大型化を考慮して、大型液晶表示素子の製造工程にも適した構造の基板受け止め手段を提供することにその目的がある。
【００２７】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するための本発明の一形態によれば、基板間の貼り合わせ工程が行われる真空チャンバと、第２基板を固定する上部ステージ及び第１基板を固定する下部ステージと、前記真空チャンバの内部に設けられ、各基板の搬入／搬出方向に沿って移動し、前記第２基板の底面を受け止める基板受け止め手段とを備えて構成されていることを特徴とする。
【００２８】
また、上記目的を達成するための本発明の他の形態によれば、基板間の貼り合わせ工程が行われる真空チャンバと、第２基板を固定する上部ステージ及び第１基板を固定する下部ステージと、何れか一方のステージの側面の隣接部位に設けられ、各基板の搬入／搬出方向とは垂直な方向に沿って移動し、前記第２基板の底面を受け止める基板受け止め手段とを備えて構成されていることを特徴とする。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい各実施形態を添付の図４〜図２３を参照してより詳細に説明する。
【００３０】
まず、図４〜図６は本発明の第１実施形態による液晶表示素子の真空貼り合わせ装置に対する構成を概略的に示している。即ち、本発明の真空貼り合わせ装置は大きく真空チャンバ１１０と、上部ステージ１２１及び下部ステージ１２２と、ステージ移動装置と、真空装置２００と、ローダー部３００とで構成され、更に基板受け止め手段を含むことが提示されている。
【００３１】
前記真空チャンバ１１０はその内部が選択的に真空状態或いは大気圧状態をなしつつ、各基板間の貼り合わせ作業が行われる。この際、前記真空チャンバ１１０の一端には空気吸入力が伝達される空気排出管１１２が連結される。
【００３２】
上部ステージ１２１及び下部ステージ１２２は前記真空チャンバ１１０内の上側空間と下側空間とに各々対向して設けられる。そして、前記各ステージは前記真空チャンバ１１０の内部に搬入された各基板５１０，５２０を真空或いは、静電吸着して固定すると共に、その固定した各基板間の貼り合わせを行うため選択的に移動される。
この際、前記上部ステージ１２１は、その底面に多数の静電力を提供して基板の固定が可能であるように、少なくとも一つ以上の静電チャック（ＥＳＣ：Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｓｔａｔｉｃ Ｃｈｕｃｋ）１２１ａが装着されている。
【００３３】
これと共に、前記上部ステージ１２１の底面には、真空力を伝達され且つ基板を吸着固定する少なくとも一つ以上の真空ホール１２１ｂが更に形成されている。
前記真空ホール１２１ｂは前記上部ステージ１２１の底面に装着された各静電チャック１２１ａの縁部に沿って多数個が配置され、この各々の真空ホール１２１ｂは、上部ステージ１２１に連結された真空ポンプ１２３により発生した真空力を伝達され得るように、単一或いは多数の管路１２１ｃを介して互いに連通するように形成する。
【００３４】
また、前記下部ステージ１２２の上面にも前記した上部ステージ１２１の底面形状と同様に、少なくとも一つ以上の静電チャック１２２ａを装着すると共に、その静電チャック１２２ａの縁部に沿って少なくとも一つ以上の真空ホール（図示せず）を形成する。
【００３５】
しかしながら、前記下部ステージ１２２の上面に装着する静電チャック１２２ａ及び真空ホールは必ず前記上部ステージ１２１の構成と同一の形状に実現できるものと限定されるのではなく、通常、作業対象基板の全般的な形状又は各液晶塗布領域などを考慮して配設することがより好ましい。
【００３６】
そして、前記ステージ移動装置は、上部ステージ１２１に連結され、上下移動する移動軸１３１と、下部ステージ１２２に連結され且つ左右回転する回転軸１３２と、真空チャンバ１１０の内側又は外側で前記各ステージ１２１，１２２と軸結合され前記した各々の軸を選択的に駆動する駆動モータ１３３，１３４とを備えている。
【００３７】
この際、前記ステージ移動装置は、単に前記上部ステージ１２１を上下のみに移動させるか、下部ステージ１２２を左右のみに回転させるよう構成したものに限定されるのではなく、前記上部ステージ１２１が左右に回転したり、前記下部ステージ１２２が上下に移動するように構成することもできる。
この場合、前記上部ステージ１２１には別途の回転軸（図示せず）を更に設置してその回転が可能であるようにし、前記下部ステージ１２２には別途の移動軸（図示せず）を更に設置してその上下移動が可能であるようにする。
【００３８】
そして、前記真空装置２００は、前記真空チャンバ１１０の内部が選択的に真空状態を成し得るように吸入力を伝達する役割を果たし、通常の空気吸入力を発生させるために駆動する吸入ポンプから構成し、この真空装置２００が備えられた空間は真空チャンバ１１０の空気排出管１１２と連通するように形成する。
【００３９】
そして、前記ローダー部３００は真空貼り合わせ装置とは別途の装置として前記真空チャンバ１１０の外側に備えられ、２つのアームを有する。
その一方のアーム（以下、第１アーム）３１０は液晶が滴下した第１基板５１０を真空チャンバ内に搬送する役割を果たす。そして、他方のアーム（以下、第２アーム）３２０は、液晶が滴下されておらず典型的にはシール材が塗布された第２基板５２０を真空チャンバ１１０内に搬送する役割を果たす。
【００４０】
仮に、何れか一方の基板に液晶が滴下すると共にシール剤が塗布されると、この基板を第１アーム３１０が搬送するようにし、他方の基板は第２アーム３２０が搬送するように設定する。
また、前記したローダー部３００はそれぞれの基板５１０，５１０が前記各アーム３１０，３２０に載せられた状態として真空チャンバ１１０の内部に搬送される前の大気状態で前記第１アーム３１０が第２アーム３２０に比べ上側に位置するように構成されている。
【００４１】
前記第１アーム３１０に載せられる第１基板５１０が第２基板５２０の上側に位置する理由は、前記第１基板５１０の上面に液晶が滴下された状態であるからである。
即ち、前記第２アーム３２０が第１アーム３１０に比べて上側に位置する場合、前記第２アーム３２０の動きによって発生し得る異物質が前記第１アーム３１０に載せられている第１基板５１０の液晶に落下して損傷を起こすおそれがあるので、前記第１アーム３１０を第２アーム３２０の上側に位置させることが好ましい。
【００４２】
そして、前記基板受け止め手段は前記真空チャンバ１１０内で各基板の搬入／搬出方向に沿って移動しつつ選択的に上部ステージ１２１に固定された基板５２０を受け止める役割を果たし、大きくリフティング部と移動部とから構成される。
【００４３】
前記リフティング部はリフトバー４１１と、支持台４１２とを備えている。
この際、前記リフトバー４１１は第２基板５２０の幅方向に向かって長く形成され、上部ステージ１２１に固定される第２基板５２０の底面をその幅方向に受け止める役割を果たす。
【００４４】
前記リフトバー４１１は、図７ａに示すように、単純なバーの形状を有して第２基板５２０と面接触を行いつつ前記第２基板を受け止めるように構成できる。
しかしながら、前記リフトバー４１１の上面に前記第２基板５２０の底面と接触する少なくとも一つ以上の突起４１１ａを突出させ、前記各突起４１１ａが前記第２基板５２０と点接触を行いつつ前記第２基板５２０を受け止めるように構成することもできる。
この際、前記突起４１１ａは図７ｂ、或いは図７ｃに示すような形状で形成することもできる。
【００４５】
また、前記支持台４１２はその一端が前記リフトバー４１１の一端に結合され、その他端が移動部に結合されて前記リフトバー４１１を支持できるようにする。
【００４６】
そして、前記リフティング部は少なくとも２つ以上備えることで、それぞれが第２基板５２０の各部位を同時に受け止めるようにする。これにより、前記第２基板５２０の垂れ下がりが最大限防止される。
特に、前記各リフティング部は、第２基板５２０の各部位のうちダミー領域が位置する部位をそれぞれ選択的に受け止められるようにして、セル形成部位との接触に従う損傷防止や第２基板５２０の撓みを最大限防止する。
【００４７】
そして、前記移動部は螺旋軸４１３と駆動モータ４１４とを備えており、リフティング部を水平移動させるように動作する。
前記移動部を螺旋軸４１３と駆動モータ４１４とで構成する場合、図４〜図６のように、螺旋軸４１３は真空チャンバ１１０内に下部ステージ１２２の長辺側に沿って長く設置し、駆動モータ４１４は前記螺旋軸４１３に軸結合する。
この際、前記螺旋軸４１３の螺旋方向はその中央を基準に両側が互いに逆方向に向かうように形成する。即ち、前記螺旋軸４１３の一側は右ネジで形成し、他側は左ネジで形成する。
【００４８】
これと共に、リフティング部は前記螺旋軸４１３の両側の先端部にそれぞれ対応して設置し、駆動モータ４１４の駆動が行われる場合、前記螺旋軸４１３の中央側に移動されるようにする。
特に、前記螺旋軸４１３は上から見る時、下部ステージ１２２の長辺側の両側部にそれぞれ備え、支持台４１２はその一端を前記各螺旋軸４１３にネジ結合して前記螺旋軸４１３に沿って移動可能であるようにする。
この際、前記支持台４１２の他端はリフトバー４１１の両端にそれぞれ結合する。
【００４９】
また、２つの支持台４１２が一つのリフトバー４１１を支持できるようにする場合、前記リフトバー４１１がある一側に垂れ下がるような問題が防止できるので、本発明の実施形態では一つのリフティング部が２つの支持台４１２と一つのリフトバー４１１とで構成されることを提示している。
【００５０】
また、各螺旋軸４１３に駆動モータ４１４をそれぞれ連結することができ、何れか一つの螺旋軸４１３のみに駆動モータ４１４を連結することもできる。
この際、前記駆動モータ４１４が連結されない螺旋軸４１３は螺旋を形成しなくても構わない。
【００５１】
また、前記した構成においてリフティング部は、その動作が行われない場合、下部ステージ１２２の上面に比べて低く位置するようにする。
これのために、前記支持台４１２を上下移動させる駆動手段４１５を更に備えて構成する。この際、前記駆動手段４１５は空気圧や油圧を用いて支持台４１２を上下移動させ得る油・空圧シリンダーや、回転移動力を用いて支持台４１２を上下移動させ得るステップモータの中少なくとも何れか一つから構成する。
この場合、支持台４１２の形状は前記各駆動手段４１５によって一部が変わることがある。
【００５２】
未説明符号４１６は螺旋軸４１３の一端、即ち、駆動モータ４１４に結合された側の反対側の垂れ下がり及び振動を防止できるように備えられる固定部である。
【００５３】
以下、上述したような構成を有する本発明の液晶表示素子の貼り合わせ装置を用いた基板間の貼り合わせ過程を概略的に説明する。
【００５４】
まず、ローダー部３００は各アーム３１０，３２０を制御して下部ステージ１２２に搬入する第１基板５１０と、上部ステージ１２１に搬入する第２基板５２０とをそれぞれ担持させる。
この状態で前記ローダー部３００は第２アーム３２０を制御して、真空チャンバ１１０の流出口１１１を介して第２基板５２０を真空チャンバ１１０内の上部ステージ１２１に搬入させる。
【００５５】
この場合、上部ステージ１２１に連結された真空ポンプ１２３がその動作を行いつつ前記上部ステージ１２１に形成された各真空ホール１２１ｂに真空力を伝達する。従って、第２アーム３２０により搬入された第２基板５２０は前記上部ステージ１２１に真空吸着される。
仮に、前記した過程において下部ステージに他の基板（例えば、貼り合わせ基板）が存在すれば、前記第２基板５２０を搬入していた第２アーム３２０が前記下部ステージ１２２に安着されていた貼り合わせ基板を搬出する。
【００５６】
そして、前記過程が完了して、第２アーム３２０が真空チャンバ１１０の外部に抜け出ると、ローダー部３００は第１アーム３１０を制御して第１基板５１０を前記真空チャンバ１１０内の下側空間に設けられた下部ステージ１２２に搬入させる。
【００５７】
その後、下部ステージ１２２に連結された真空ポンプ（図示せず）が動作しながら前記下部ステージ１２２に形成された各真空ホール（図示せず）に真空力を伝達する。
従って、第１アーム３１０により搬入された第１基板５１０は前記下部ステージ１２２に真空吸着される。
そして、前記した第１アーム３１０が真空チャンバ１１０の外部に抜け出ると、各基板５１０，５２０のローディング過程が完了する。
【００５８】
前記した過程でシール剤が塗布された第２基板５２０を液晶が滴下された第１基板５１０より先に搬入させる理由は、前記第２基板５２０の搬入過程で発生し得るパーティクルなどが前記第１基板５１０の液晶が滴下された領域に落ちることを防止するためである。
【００５９】
そして、かかる過程を通じた各基板５１０，５２０のローディングが完了すると、前記真空チャンバ１１０の流出口１１１が閉鎖され、真空チャンバ１１０の内部は密閉状態になる。その後、真空装置２００が駆動して空気吸入力を発生させる。この際、前記真空チャンバ１１０の空気排出管１１２に備えられた開閉バルブ１１２ａが前記空気排出管１１２を開放して、前記真空装置２００から発生した空気吸入力を前記真空チャンバ１１０の内部に伝達する。従って、前記真空チャンバ１１０の内部は次第に真空される。
【００６０】
そして、駆動手段４１５の駆動によって各支持台４１２が上向き移動する。
これと共に、移動部を構成する一対の駆動モータ４１４が動作しつつ一対の螺旋軸４１３をそれぞれ回転させる。
これに、前記各螺旋軸４１３の両端にそれぞれ結合されていた一対のリフティング部は、前記各螺旋軸４１３の形成方向に対応して前記各螺旋軸４１３の中央部位に向かって移動する。
【００６１】
即ち、各リフティング部を構成する一対の支持台４１２が前記螺旋軸４１３の回転による水平移動力を与えられ、前記螺旋軸４１３の中央部位に向かって移動することでリフトバー４１１を移動させる。
この際、前記各リフティング部が設定の距離だけ移動すると、各駆動モータ４１４の駆動が中断され、前記リフティング部が停止される。
【００６２】
前記各リフティング部の位置制御は、各駆動モータ４１４の駆動時間又は駆動量などを制御することで可能である。
好ましくは前記各リフティング部の停止位置が第２基板５２０のダミー領域が位置した部位の下側であれば良い。
【００６３】
前記過程が完了すると、真空ポンプ１２３の動作が中断され、第２基板５２０を固定していた真空力の遮断が行われる。
従って、前記上部ステージ１２１に吸着されていた第２基板５２０は落下して、その底部に位置していた各リフトバー４１１の上面に載せられる。
この際、前記第２基板５２０を各リフトバー４１１の上面に載せる過程は、上部ステージ１２１を下向け移動させ、第２基板５２０と各リフトバー４１１とを接触させた後、上部ステージ１２１の各真空ホール１２１ｂを介して伝達していた真空力を解除するように設定することもできる。
この場合、第２基板５２０の落下による各リフトバー４１１との衝撃から発生し得る損傷を未然に防止できる。
【００６４】
その後、一定時間の間真空装置２００を駆動させ、真空チャンバ１１０の内部を完全に真空させると、前記真空装置２００の駆動が中断されると共に、空気排出管１１２の開閉バルブ１１２ａが動作して前記空気排出管１１２を閉鎖させる。
そして、上部ステージ１２１及び下部ステージ１２２の各静電チャック１２１ａ，１２２ａに電源が印加され、各基板５２０，５１０が前記各ステージ１２１，１２２に静電吸着される。
【００６５】
前記過程が完了すると、各基板受け止め手段は上述した各過程の逆順に動作しながら前記基板受け止め手段を構成する各リフトバー４１１及び各支持台４１２をそれぞれ元位置に復帰させる。
その後、ステージ移動装置はそれぞれのステージ１２１，１２２を選択的に移動させながら（例えば、上部ステージを下向き移動することで）各ステージ１２１，１２２に静電吸着された各基板５２０，５１０間の貼り合わせを行う。
【００６６】
上述した各過程において基板受け止め手段の駆動時期は必ず真空チャンバ１１０の内部の真空化途中に行うべきものではない。即ち、各基板５１０，５２０の搬入が完了した後、真空チャンバ１１０の内部を真空化させる直前に行うこともできる。
【００６７】
一方、図８及び図９は基板受け止め手段の第２実施形態を示す。
即ち、本発明の第２実施形態による基板受け止め手段は螺旋軸を２対以上に備え、３つ或いは４つのリフティング部が選択的に移動され得るようにする。
これは、前記リフティング部の数が基板のモデルや大きさによって変わることがあるから、それの対応が容易となり得るようにするためである。
【００６８】
例えば、図８に示すように３つのリフティング部が使用される場合、下部ステージ１２２に最も隣接した位置に設けられる一対の螺旋軸（以下、第１螺旋軸）４２１はその螺旋方向が中央軸を基準に両側が互いに逆方向に向かうように形成する。
即ち、第１螺旋軸４２１の一側は右ネジで形成し、他側は左ネジで形成する。
【００６９】
これと共に、何れか一つのリフティング部（以下、第１リフティング部）４２２及び他のリフティング部（以下、第２リフティング部）４２３は前記第１螺旋軸４２１の両側の先端部にそれぞれ対応して設置する。
そして、第１螺旋軸４２１に比べて外側部位に設けられる一対の螺旋軸（以下、第２螺旋軸）４２４はその螺旋方向が全体的に同一方向に向かうように形成する。
【００７０】
これと共に、また他のリフティング部（以下、第３リフティング部）４２５は前記第２螺旋軸４２４の何れか一側の先端部に設ける。この際、前記各螺旋軸４２１，４２４はそれぞれ駆動モータ４２６が軸結合される。
従って、各駆動モータ４２６の駆動が行われて各螺旋軸４２１，４２４が回転すると、第１リフティング部４２２及び第２リフティング部４２３は第１螺旋軸４２１の中央側にそれぞれ移動し、第３リフティング部４２５は第２螺旋軸４２４の中央側に移動しつつ既セッティングされた位置に停止される。
【００７１】
勿論、前記した構成において第１螺旋軸４２１はその螺旋方向が同一方向に向かうように形成し、第２螺旋軸４２４はその螺旋方向が前記第２螺旋軸４２４の中央部位を基準に両側が互いに逆方向に向かうように形成することもできる。
この場合、第１リフティング部４２２及び第２リフティング部４２３は前記第２螺旋軸４２４の両先端に設けられ、第３リフティング部４２５は前記第１螺旋軸４２１の何れか一先端に設けられる。
【００７２】
仮に、図９に示すように、基板のモデルが異なって４つのリフティング部を必要とする場合、第２螺旋軸４２４の形状を第１螺旋軸４２１と同様に形成し、第３リフティング部４２５及び別途のリフティング部（以下、第４リフティング部）４２７は第２螺旋軸４２４の両側の先端部にそれぞれ対応して設置する。
従って、各駆動モータ４２６の駆動が行われて各螺旋軸４２１，４２４が回転すると、第１リフティング部４２２及び第２リフティング部４２３は第１螺旋軸４２１の中央側にそれぞれ移動し、第３リフティング部４２５及び第４リフティング部４２７は第２螺旋軸４２４の中央側にそれぞれ移動しながら既セッティングされた位置に停止される。
【００７３】
一方、図１０及び図１１は基板受け止め手段の第３実施形態を示す。
即ち、本発明の第３実施形態による基板受け止め手段は、移動部が多数のリフティング部をそれぞれ選択的に制御して移動できるようにした構成が提示されている。これのために、前記移動部は移動軸４３１と前記移動軸４３１に結合されるリフティング部とに直結され、前記リフティング部が前記移動軸４３１に沿って移動するように駆動する駆動手段４３２を備えて構成され、各リフティング部４３３を水平移動させるように動作する。
【００７４】
特に、前記移動軸４３１は通常のガイドレールで形成し、駆動手段４３２はリニアモータで構成する。
この際、前記駆動手段は各リフティング部４３３と移動軸４３１との連結部位に結合して、前記各リフティング部４３３が移動軸４３１に沿って移動するように構成する。
【００７５】
そして、各リフティング部４３３は前記移動軸４３１の何れか一側の先端に全て位置させ得る。勿論、前記各リフティング部４３３を前記移動軸４３１の両先端にそれぞれ位置させることもできる。
前記したように、各リフティング部４３３が互いに異なる制御によってそれぞれ移動するように構成すれば、図１２及び図１３のように、リフティング部４３３を３つ以上備えることが可能である。これにより、第２基板５２０の全般的な部位を更に安定的に受け止めることができる。
【００７６】
勿論、図示していないが、前記移動軸はラック或いは、ギアやチェーンなどで形成し、駆動手段はピニオン、ギア或いは、スプロケットフィールなどが軸結合されたモータから構成することもできる。
また、前記移動軸はレールで形成し、駆動手段は油・空圧シリンダーで構成することもできる。
【００７７】
一方、図１４〜図１７は基板受け止め手段の第４実施形態を示す。
前記本発明の第４実施形態による基板受け止め手段はリフティング部４４１を構成する一つのリフトバー４４２が一つの支持台４４３のみによって支持され得るようにすることを提示している。
即ち、前記リフトバー４４２はその長方向の中央側が両端に分離された状態として互いに対向するように形成される。
【００７８】
これは、各駆動手段４４４間の動作エラーが発生した場合、各移動軸４４５に連結されるそれぞれの支持台４４３が互いにずれることによって動作不良が発生し得るからである。
即ち、各移動軸４４５に連結されるそれぞれの支持台４４３が個別的に制御されるようにすることで、各駆動手段４４４間の動作誤差に伴う動作不良を防止できるようにしたものである。
【００７９】
そして、前記した構成で移動部を構成する移動軸４４５及び駆動手段４４４は、本発明の第１実施形態及び第２実施形態で提示した螺旋軸及び駆動モータから構成できるが、図１６及び図１７の場合には、本発明の第３実施形態で提示した移動部から構成することがより好ましい。
【００８０】
特に、図１５及び図１７に示すように、真空チャンバ１１０の内部を上から見た時、各リフトバー４４２は互いに交差した状態に位置させることで、第２基板５２０をより安定的に受け止めるように設定することもできる。
【００８１】
一方、図１８及び図１９は基板受け止め手段の第５実施形態を示す。
即ち、本発明の第５実施形態による基板受け止め手段は下部ステージ１２２の一側面の隣接部位に互いに対向した状態で２つずつそれぞれ構成することが提示されている。
この場合、何れか一方の基板受け止め手段（以下、第１基板受け止め手段）４５１は真空チャンバ内の各部位のうち流出口１１１が形成された部位に設置し、他方の基板受け止め手段（以下、第２基板受け止め手段）４５２は前記第１基板受け止め手段４５１の位置と対向する側に位置するように構成される。
【００８２】
前記のような第５実施形態は、各螺旋軸４５１ａ、４５１ｂ、４５２ａ、４５２ｂの螺旋が何れか一方向のみに向かうように形成すれば良く、前記各螺旋軸４５１ａ、４５１ｂ、４５２ａ、４５２ｂはそれぞれの駆動モータ４５１ｃ、４５１ｄ、４５２ｃ、４５２ｄによって制御を受けるように構成されることで、より精密な移動が可能であるような長所を有する。
【００８３】
一方、前記のような第５実施形態は第２基板５２０の中央側のダミー領域を受け止めるような構成の追加が困難である。
これに、本発明の第６実施形態では、図２０及び図２１のように、各基板受け止め手段４５１，４５２の間に選択的な上向き移動及び左右回転を行いつつ第２基板５２０の中央側を受け止める別途の基板受け止め手段（以下、回転式基板受け止め手段）４５３を更に備えることを提示している。
【００８４】
この際、前記回転式基板受け止め手段４５３は第２基板５２０と接触する受け止めバー４５３ａと、その受け止めバーと結合された連結軸４５３ｂと、前記連結軸を上下移動及び左右回転させるために駆動力を提供する駆動手段４５３ｃとを備えて構成され、前記した駆動手段は油・空圧シリンダー或いは、モータのうち少なくとも何れか一つから構成する。
即ち、前記した回転式基板受け止め手段４５３は他の基板受け止め手段４５１，４５２の移動時に上向き移動及び左右回転を行いつつ第２基板５２０の中央側のダミー領域の下部に受け止めバー４５３ａが位置するように駆動する。
【００８５】
また、本発明による基板受け止め手段は、必ず基板の搬入／搬出方向に沿って移動しつつ第２基板５２０の底面をその幅方向に受け止めるように構成できることに限定されるものではない。
例えば、基板受け止め手段を図２２の本発明による第７実施形態のように、第２基板５２０の搬入／搬出方向とは垂直な方向に沿って移動しつつ、第２基板５２０の底面、特に、前記第２基板５２０のダミー領域が形成された部位をその長方向に受け止めるように構成することもできる。
【００８６】
この場合、前記基板受け止め手段のリフトバー４７１は第２基板５２０の長方向に向かって長く形成され、一つ或いは２つの支持台４７２が前記一つのリフトバー４７１を支持するように構成する。
【００８７】
また、本発明による基板受け止め手段の移動部は必ず真空チャンバ１１０内の下部のみに設置すべきものとは限らない。
例えば、図２３の本発明による第８実施形態のように、真空チャンバ１１０内の上部に移動部を設置することもできる。
即ち、本発明による第１実施形態乃至第７実施形態における各移動部を真空チャンバ１１０内の上部に設置することもできる。
【００８８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の液晶表素子用真空貼り合わせ装置の基板受け止め手段による構成によって次のような効果が得られる。
【００８９】
第一に、真空チャンバ内部の真空化過程のうち、上部ステージに固定される第２基板の支持を行う基板受け止め手段を前記第２基板の各セルが形成された領域には如何なる影響を与えることなく、各ダミー領域と面接触を行いながら基板の中央部及び縁部をそれぞれ受け止め得るようにして、前記第２基板の特定の部位が下部に垂れ下がるような問題点を防止できる。
特に、大型化しつつある液晶表示素子の製造工程に使用される真空貼り合わせ装置に本発明の構成を適用する場合、基板の垂れ下がり防止が円滑に行えるので、前記基板の垂れ下がりに伴う不良率を最大限防止することができる。
【００９０】
第二に、本発明による各基板受け止め手段を用いて基板を受け止める場合、前記基板を落とせず安定的に受け止めることができ、基板の破損を未然に防止することができる。
【００９１】
特に、大型化しつつある液晶表示素子の製造工程に適用する場合、従来の技術に比べて基板破損に伴う不良率を最大限防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の液晶表示素子の製造装備の中、基板組立装置を概略的に示す構成図
【図２】従来の液晶表示素子の製造装備の中、基板組立装置を概略的に示す構成図
【図３】従来の基板組立装置の受け止め手段の動作状態を概略的に示す要部斜視図
【図４】本発明の第１実施形態による基板受け止め手段が適用された真空貼り合わせ装置の内部構造を概略的に示す構成図
【図５】図４のＩ−Ｉ線断面図
【図６】本発明の第１実施形態による基板受け止め手段が基板を受け止める状態を概略的に示す斜視図
【図７ａ】基板とリフトバーとの接触状態を概略的に示す要部断面図
【図７ｂ】基板とリフトバーとの接触状態を概略的に示す要部断面図
【図７ｃ】基板とリフトバーとの接触状態を概略的に示す要部断面図
【図８】本発明の第２実施形態による基板受け止め手段が適用された真空貼り合わせ装置の内部構造を概略的に示す構成図
【図９】図８の他の形態を概略的に示す構成図
【図１０】本発明の第３実施形態による基板受け止め手段が適用された真空貼り合わせ装置の内部構造を概略的に示す構成図
【図１１】図１０のＩＩ−ＩＩ線断面図
【図１２】本発明の第３実施形態の他の形態を概略的に示す構成図
【図１３】図１２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図
【図１４】本発明の第４実施形態による基板受け止め手段が適用された真空貼り合わせ装置の内部構造を概略的に示す平面図
【図１５】本発明の第４実施形態による基板受け止め手段が適用された真空貼り合わせ装置の内部構造を概略的に示す平面図
【図１６】本発明の第４実施形態による基板受け止め手段が適用された真空貼り合わせ装置の内部構造を概略的に示す平面図
【図１７】本発明の第４実施形態による基板受け止め手段が適用された真空貼り合わせ装置の内部構造を概略的に示す平面図
【図１８】本発明の第５実施形態による基板受け止め手段が適用された真空貼り合わせ装置の内部構造を概略的に示す構成図
【図１９】図１８のＩＶ−ＩＶ線断面図
【図２０】本発明の第６実施形態による基板受け止め手段が適用された真空貼り合わせ装置の内部構造を概略的に示す構成図
【図２１】図２０のＶ−Ｖ線断面図
【図２２】本発明の第７実施形態による基板受け止め手段が適用された真空貼り合わせ装置の内部構造を概略的に示す構成図
【図２３】本発明の第８実施形態による基板受け止め手段が適用された真空貼り合わせ装置の内部構造を概略的に示す構成図
【符号の説明】
１１０：真空チャンバ
１２１：上部ステージ
１２２：下部ステージ
３００：ローダー部
４１１，４４２，４７１：リフトバー
４１２，４７２：支持台
４１３：螺旋軸
４１４：駆動モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７ａ】
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【図７ｂ】
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【図７ｃ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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