(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物に光を照射すると共に、ライン状に配列された複数の撮像素子を有する撮像手段を前記測定対象物に対し前記撮像素子の配列方向に相対移動させながら前記測定対象物を撮像し、
前記撮像により得られた画像データを複数保存した後、
前記保存した複数の画像データそれぞれから、前記測定対象物の特定同一箇所の画像データを抽出し、該抽出された画像データにおける前記配列方向の照度分布から照度のばらつきを求めること
を特徴とする照明むら測定方法。
【請求項２】
測定対象物は、撮像素子の配列方向における撮像手段の大きさより小さい被測定部を有すること
を特徴とする請求項１記載の照明むら測定方法。
【請求項３】
ライン状に等ピッチに配列された隣り合う撮像素子の中心間の距離毎に測定対象物を撮像し、
前記撮像により得られるデータを少なくとも前記撮像素子の個数だけ保存すること
を特徴とする請求項１または２記載の照明むら測定方法。
【請求項４】
照明装置と、
ライン状に配列された撮像素子を有し、且つ前記照明装置に固定された撮像手段と、
前記撮像手段を前記撮像素子の配列方向に移動させる移動手段と、
測定対象物に前記照明装置から光を照射すると共に、前記測定対象物と前記撮像手段を相対移動させながら前記測定対象物を前記撮像手段で複数撮像させる制御部と、
前記撮像手段の撮像により得られる複数の画像データそれぞれから、前記測定対象物の特定同一箇所の画像データを抽出し、該抽出された画像データにおける前記配列方向の照度分布から照度のばらつきを求める処理手段と
を備えることを特徴とする照明むら測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、プリント回路基板の回路パターン形状の良否やプラズマディスプレイパネルなどに形成されている透明電極の幅の良否や欠けの発生の有無などを、ラインセンサカメラで撮像した画像データに基づく認識処理によって検査する画像認識検査システムにおける照明装置の照明むら測定方法および照明むら測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年では、プリント回路基板の軽薄短小化に伴う回路パターンの高密度化が一層促進されており、それに応じて回路パターンの形状を自動的に検査する方法の開発も盛んに行われている。そのための一つの検査方法を具現化した画像認識検査システムでは、照明装置からプリント回路基板の回路パターンに照明光を照射しながら、その回路パターンを認識カメラで撮像し、その撮像した画像データの画像認識処理に基づいて回路パターンの形状やスルーホールの形成位置および孔径などの良否を検査するようになっている。このような画像認識検査システムでは、照明装置からの照明光によって照射面全体を均一な照度になるよう照射する必要がある。
【０００３】
何故ならば、例えば、スルーホールの画像認識検査では、回路基板に対しその一面側から光照射して、スルーホールを透過してくる光を他面側に設置した認識カメラで撮像しているが、照明光による照度にばらつきが存在すると、その照明光の明暗に応じて撮像した画像データにおけるスルーホールの径が相違してしまい、良品のスルーホールを不良と誤判定してしまうからである。一方、回路パターンの画像認識検査では、照明光の回路パターンからの反射光を入力画像として認識カメラに取り込むが、照度の低い箇所では画像データの輝度も低くなることから、回路パターンに正確に対応した画像データにならず、やはり良品であるにも拘わらず不良品と誤判定する不都合が生じてしまう。
【０００４】
そこで、従来では、照明装置の照明光に照明むらが存在するか否かの測定を定期的に行っており、撮像対象からの透過光を入力画像とする透過照明系では、照明装置と認識カメラとの間に撮像対象を置かない状態で照明光の光を入力画像として直接取り込んでいる。
【０００５】
一方、照明装置の照明光の撮像対象からの反射光を入力画像として取り込む反射照明系では、照明むらの測定に際して、照明光を認識カメラに入力画像として直接取り込むことができないため、照明光をテストパターンに照射してその反射光を入力画像として取り込んで、照明むらの測定を行っている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような照明むらの測定方法では、テストパターンの全面が正確に均一な反射率を有していることが前提条件となるが、そのようなテストパターンを得ることは極めて難しく、テストパターンに反射率のばらつきが存在すると、その反射率のばらつきが画像データの画素に輝度のばらつきとなって表れる。そのため、画素の輝度の明暗は、テストパターンの反射率のばらつき或いは照明光の明暗のばらつきの何れに起因するものであるかの判別ができないので、照明むらを正確に測定することができない問題がある。
【０００７】
また、従来では、照明むらの測定結果に基づいて照明装置の光源の取り替えなどを行いながら照明むらを無くすように調整しており、定期的に煩雑な調整作業を必要とする問題もある。
【０００８】
そこで、本発明は、上記従来の問題点を解消するためになされたもので、撮像対象からの反射光を入力画像としてラインセンサカメラに取り込む反射照明系を有する画像認識検査システムにおける照明装置の照明むらを正確に測定することのできる照明むら測定方法および照明むら測定装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、測定対象物に光を照射すると共に、ライン状に配列された複数の撮像素子を有する撮像手段を前記測定対象物に対し前記撮像素子の配列方向に相対移動させながら前記測定対象物を撮像し、前記撮像により得られた画像データを複数保存した後、前記保存した複数の画像データそれぞれから、前記測定対象物の特定同一箇所の画像データを抽出し、該抽出された画像データにおける前記配列方向の照度分布から照度のばらつきを求めることを特徴としている。
【００１０】
この照明むら測定方法は、測定対象に対し、撮像素子の配列方向に向けて相対移動させながら、測定対象の反射面を撮像した画像データを蓄積して、その画像データにおける反射面の特定同一箇所を撮像した画像データのみを抽出することができ、測定対象における特定の箇所、すなわち同一の反射率の箇所から反射し、前記相対移動に伴って照明装置の照度分布によって刻々と変化する反射光を撮像した画像データのみを抽出して、その画像データの輝度から照明装置の前記相対移動方向の照度分布を求めることができるので、測定対象全面における反射率のばらつきによる悪影響を完全に除外して、照明装置の照明むらを正確に測定することが可能となる。
【００１１】
上記発明において、測定対象として、一部分に反射率が他の部分と相違した測定領域部を有するテストパターンを用い、各撮像素子の蓄積した画像データのうちの前記測定領域部を撮像した画像データを抽出して、その抽出した画像データを前記各撮像素子毎に区分した各画素の輝度の平均値をそれぞれ算出するようにすることが好ましい。
【００１２】
このように、測定対象として、一部分に反射率が他の部分と相違した測定領域部を有するテストパターン、例えば、黒地に白地のストライプ状の測定領域を有するテストパターンを用いることにより、蓄積した画像データにおける各撮像素子にそれぞれ対応する各画素のうちの輝度の高いものから順に一定数だけ抽出すれば、その抽出した各画素による画像データは、前記測定領域部を撮像したものとなる。これにより、蓄積した画像データからテストパターンの特定同一箇所を撮像した画像データを容易、且つ正確に抽出することができる。
【００１３】
上記発明において、各撮像素子の蓄積した画像データのうちの反射面の特定同一箇所を撮像した画像データの抽出を、ラインセンサカメラの測定対象に対する相対移動速度と前記ラインセンサカメラの画像取り込み周期とに基づく演算によって行うようにするのが好ましい。
【００１４】
これにより、測定対象の特定同一箇所を演算により簡単に求めることができる。
【００１５】
また、本発明を応用して、ラインセンサカメラと一体的位置関係にある照明装置の照明光の被検査物からの反射光を入力画像としてラインセンサカメラの各撮像素子に取り込み、その画像データの認識処理に基づいて被検査物の形状などの良否を検査する画像認識検査方法であって、上述の照明むら測定方法によって得られた照度分布データを記憶手段に記憶し、前記ラインセンサカメラを被検査物に対し、前記撮像素子の配列方向に直交する方向に相対移動させながら、前記各撮像素子で前記被検査物を撮像し、その撮像により得られた画像データを、前記記憶手段から読み出した照度分布データによって補正し、その補正した画像データによって被検査物の検査を行うように構成することができる。
【００１６】
この画像認識検査方法では、ラインセンサカメラで撮像して得られた画像データの各画素の輝度を照度分布データに基づき補正し、この補正された画像データは、照明装置に照明むらが存在している場合であってもその悪影響を除かれたものとなる。この画像データに基づき被検査物を検査するので、その検査を極めて正確に行うことができる。
【００１７】
上記被検査物を、基板上に透明導電膜を用いて形成された透明電極とすることができる。
【００１８】
これにより、照明むらを予め測定した測定結果の照度分布データに基づいて画像データの輝度を補正するので、照明装置に照明むらが存在しても、その悪影響を除去した検査を行うことができる。そのため、従来において画像認識処理による検査が困難であった透明電極のパターン幅や欠けの検査に適用して、画像認識により正確な検査結果を得られる顕著な効果を奏する。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。図１は本発明の第１の実施の形態に係る照明むら測定方法を具現化した照明むら測定装置を備えた画像認識検査システムを示す要部の斜視図である。同図において、検査テーブル１は、検査対象のプリント回路基板（図示せず）または照明むら測定用のテストパターン２を所定の取付位置に保持する。この検査テーブル１の上方位置には、サーボモータ４により回転されるボールねじ７とガイドシャフト８とが互いに平行にＸ方向に水平配設されており、ボールねじ７に螺合するキャリア部材３は、ガイドシャフト８に摺動しながら所定の定速度でＸ方向に移動される。
【００２０】
上記キャリア部材３にはラインセンサカメラ９および照明装置１０が所定の関係位置に組み合わせて取り付けられている。ラインセンサカメラ９は、ＣＣＤ（図示せず）を１列に配列してなる一次元の撮像装置であり、また角度変更用モータ１８を備え、鉛直線まわりに９０°回転できるように構成されている。照明むら測定時には、ラインセンサカメラ９はＣＣＤの配列方向がＸ方向と一致する向きで、且つ検査テーブル１にセットされる測定対象、すなわちテストパターン２を撮像できる位置に配置される。他方、画像認識検査時には、ラインセンサカメラ９は９０°回転させられて、ＣＣＤの配列方向がＹ方向と一致する向きで、且つ検査テーブル１にセットされる被検査物、すなわちプリント回路基板を撮像できる位置に配置される。照明装置１０は、発光ダイオードなどの光源１１の配列方向がＸ方向と一致する向きで、光源１１からの照明光が被検査物で反射したのちにラインセンサカメラ９に入射しやすいように位置決めされている。
【００２１】
図２は上記画像認識検査システムを示すブロック構成図である。同図において、図１と同一のものには同一の符号を付してある。検査テーブル１には被検査物であるプリント回路基板１２がセットされており、このプリント回路基板１２には照明装置１０から照明光Ｌ１が照射され、プリント回路基板１２からの反射光Ｌ２が入力画像としてラインセンサカメラ９のＣＣＤ１３に取り込まれる。
【００２２】
制御部１４は、予め設定された制御プログラムにしたがってシステム全体を制御するもので、モータ駆動回路１７を介して図１に示したサーボモータ４を回転制御するとともに、角度変更用モータ１８に指令して、ラインセンサカメラ９の角度を所定の角度にセットする。また、制御部１４は、検査テーブル１にテストパターン２がセットされているときに、ラインセンサカメラ９から取り込んだ画像データを照明むら測定系１９に対し出力するとともに、検査テーブル１にプリント回路基板１２などの被検査物がセットされているときに、ラインセンサカメラ９から取り込んだ画像データを画像認識検査系２０に対し出力するよう制御する。
【００２３】
照明むら測定系１９は、制御部１４から入力したテストパターン２の画像データを一時的に記憶する画像データ記憶手段２１と、この画像データ記憶手段２１の画像データにおける各ＣＣＤ毎に対応する各画素のうちの輝度の高い所定数の画素をそれぞれ抽出する画素抽出手段２２と、その抽出された各画素の各々の輝度の平均値を各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈ毎に算出する輝度平均値演算手段２３と、算出された輝度の平均値に基づいて照明装置１０の照度分布を判定する照度分布判定手段２４と、この照度分布判定手段２４の判定結果である照度分布データを記憶する照度分布データ記憶手段２７とを備えて構成されている。
【００２４】
一方、画像認識検査系２０は、制御部１４から入力した被検査物のプリント回路基板１２の画像データを一時的に記憶する画像データ記憶手段２８と、この画像データ記憶手段２８に記憶された画像データの各画素の輝度を照度分布データ記憶手段２７に記憶された照度分布データに基づき補正する画像補正手段２９と、この画像補正手段２９のうちの指定された一定領域の画像データを抽出して検査対象の回路パターンの形状などを計測する画像処理手段３０と、この画像処理手段３０の画像計測処理による計測結果を予め設定された判定基準値と比較して被検査物の形状などの良否を判定する判定処理手段３１とを備えて構成されている。
【００２５】
つぎに、上記画像認識検査システムにおける照明装置１０の照明むらの測定について、図３の説明図を参照しながら説明する。図３（ａ）はテストパターン２の一列を示し、横平行線は黒地部分２ａを示し、その黒地部分２ａ内に反射率の高い白地でストライプ状に形成された測定領域部２ｂを有している。本発明の照明むら測定方法に用いるテストパターン２としては、黒地部分２ａおよび測定領域部２ｂが何れも均一な反射率を有している必要がない。但し、黒地部分２ａ中には所定以上の幅を有する測定領域部２ｂが少なくとも一つ有している必要があり、その測定領域部２ｂは、検査テーブル１にセットしたときにラインセンサカメラ９のＣＣＤ１３の配列方向に対し直交方向になるよう設けるのが好ましい。
【００２６】
上記テストパターン２は、測定領域部２ｂの方向がラインセンサカメラ９におけるＣＣＤ１３の配列方向つまり移動方向（図１におけるＸ方向）に直交する配置で検査テーブル１にセットする。なお、この実施の形態では幅の大きな測定領域部２ｂを使用する場合について説明する。そして、照明装置１０からテストパターン２に照明光Ｌ１を照射しながらラインセンサカメラ９でテストパターン２を撮像し、その撮像状態を保持しながら図１のサーボモータ４を回転駆動させてラインセンサカメラ９をＣＣＤ１３の配列方向に移動させていく。これにより、Ｙ方向における或る所定位置でのＸ方向の照度分布データを求められる。なおＹ方向位置を順次変えることにより、二次元的な照度分布データを求めることができる。
【００２７】
いま、ラインセンサカメラ９のＣＣＤ１３は、図３（ａ）に矢印で示すように、テストパターン２における測定領域部２ｂの中間部分を直交方向に横切りながら移動しつつ撮像するものとする。また、ラインセンサカメラ９は、この実施の形態において８個のＣＣＤ１３ａ〜１３ｈが一列に配置されているものとし、一番目のＣＣＤ１３ａが測定領域部２ｂに対向する状態を初期位置として、図の左方に向けて移動させるものとする。
【００２８】
ラインセンサカメラ９は、各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈに蓄積する撮像による電荷を所定周期で取り込む。図３（ａ）に示すＳ１〜Ｓ８は、各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈの蓄積電荷をそれぞれ取り込むタイミングにおけるラインセンサカメラ９の移動位置を示している。ラインセンサカメラ９がＳ１位置からＳ８位置まで移動すると、図３（ｂ）に示すような画像データ３２が得られる。このように、ラインセンサカメラ９をその撮像素子としてのＣＣＤ１３ａ〜１３ｈの配列方向つまりＸ方向に移動させることにより、テストパターン２に対し直線移動させながらも図３（ｂ）に示すような二次元の画像データ３２を得る。
【００２９】
制御部１４は、ラインセンサカメラ９から取り込んだ図３（ｂ）に示す画像データ３２を、画像データ記憶手段２１に対し出力して一時記憶させる。画素抽出手段２２は、各画像データにおける各ＣＣＤ毎の各々の画素のうちの輝度が高いものから順に所定数ずつの画素を画像データ記憶手段２１から抽出して読み出す。画像データ３２における図３（ｂ）の縦方向の破線で区分した部分は、それぞれ各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈの撮像による画素であり、これら各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈ毎の画素のうちの輝度が高い所定数の画素は、この実施の形態において測定領域部２ｂを撮像した画素となる。したがって、各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈ毎に抽出される所定数の各画素は、何れも測定領域部２ｂにおける特定同一箇所を撮像したものである。
【００３０】
続いて、輝度平均値演算手段２３は、上述の抽出された各画素に対しＣＣＤ１３ａ〜１３ｈ毎にその輝度の平均値を算出する。すなわち、図３（ｂ）における矢印で示す各範囲内の画素における各々の輝度の平均値を算出する。さらに、照度分布判定手段２４は、各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈ毎に算出された輝度の平均値に基づいて、照明装置１０における各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈの配列方向の照度分布を判定し、その判定結果である照度分布データを照度分布データ記憶手段２７に記憶する。
【００３１】
この照明むらの測定方法では、ラインセンサカメラ９をこれのＣＣＤ１３ａ〜１３ｈの配列方向に向けて移動させながらテストパターン２を撮像し、その撮像した画像データにおける画素のうちの各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈ毎に輝度の高い所定数の画素を抽出するので、ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈ毎に抽出される画素は、テストパターン２における特定同一箇所を撮像したもの、つまり同一の反射率を有する箇所を撮像したものである。したがって、テストパターン２に反射率のばらつきがあっても、各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈでテストパターン２の特定同一箇所を撮像することによって、テストパターン２の反射率のばらつきによる悪影響を完全に除外して、照明装置１０の各光源１１の光度のばらつき等に起因する照明むらを正確に測定することができる。
【００３２】
なお、上記説明では、制御部１４がサーボモータ４を回転制御してラインセンサカメラ９および照明装置１０を移動させる場合について説明したが、ラインセンサカメラ９および照明装置１０を固定して、検査テーブル１をＸ方向に移動させるようにしても、上述と同様の照明むらの測定を行うことができるとともに、ラインセンサカメラ９の移動時の振動に伴う画像データへの悪影響を除外できるので、好ましい。
【００３３】
また、上記実施の形態の画像認識検査システムは、照明むら測定系１９を一体に備えているので、例えば、毎日の稼動前に１回の割合で照明むらの測定を行って、その測定結果の照度分布データが前日と異なる場合には、その照度分布データを照度分布データ記憶手段２７に更新して記憶するようにする。これにより、照度分布データは、常にその時点での照明装置１０の状態を正確に示すものとなる。この照明むらの測定後に、被検査物の画像認識検査を行う。つぎに、被検査物の画像認識検査方法について説明する。
【００３４】
オペレータは、図示しない入力装置の操作により、照明むら測定を設定して上述の照明むらの測定を行ったのちに、入力装置により画像認識検査を設定し、検査テーブル１からテストパターン２を取り出したのちに、検査テーブル１に被検査物の例えばプリント回路基板１２を順次セットするよう設定する。制御部１４は、角度変更用モータ１８を駆動させて、ラインセンサカメラ９の方向を、ＣＣＤの配列方向がＹ方向に一致するようにセットし、次いでサーボモータ４を駆動させて、ラインセンサカメラ９および照明装置１０をＸ方向に定速度で移動させる。これにより、ラインセンサカメラ９は各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈでプリント回路基板１２を撮像した画像データを制御部１４に対し出力する。制御部１４は、その画像データが蓄積されて得られる二次元の画像データを画像認識検査系２０の画像データ記憶手段２８に一時記憶させる。
【００３５】
つぎに、制御部１４は照度分布データ記憶手段２７に対し照度分布データを画像補正手段２９に対し送出するよう指令する。画像補正手段２９は、画像データ記憶手段２８から読み出した画像データの各輝度を照度分布データに基づき補正する。続いて、画像処理手段３０は、補正された画像データのうちの指定された一定領域の画像データを抽出して画像補正手段２９から読み出し、その画像データにおける回路パターンの幅や長さなどを計測する画像処理を行う。さらに、判定処理手段３１は、画像処理手段３０の画像計測による画像処理結果を予め設定された判定基準値と対照比較して、回路パターンの良否の判定を行う。この画像認識結果は、ラインセンサカメラ９で撮像した画像データの各画素の輝度を照明装置１０の照度分布データに基づき補正した画像データに変換して、その回路パターンの形状に正確に対応した画像データに基づき認識処理するので、極めて正確な検査を行うことができる。
【００３６】
つぎに、本発明の第２の実施の形態に係る照明むら測定方法について説明する。この実施の形態が第１の実施の形態と相違する点は、図示していないが、図２における画素抽出手段２２に代えて、画像変換手段を設けた構成のみである。画像変換手段は、サーボモータ４の回転を検出するエンコーダ３３からの入力データから算出したラインセンサカメラ９の移動速度ｖと、予め設定された画像取り込み周期Ｔおよび分解能ａとに基づき、画像データ記憶手段２１に一時記憶されている画像データ３２の座標Ｄ１（ｘ，ｙ）を、次の（１）式に基づく演算を行うことにより、図４に示すような画像データ３４に変換する。すなわち、変換された画像データ３４の座標をＤ２（ｘ，ｙ）とすると、
Ｄ２（ｘ，ｙ）≒Ｄ１〔ｘ，ｙ＋（ａ×ｘ）／（ｖ×Ｔ）〕…（１）
の近似式の演算を行う。このように変換された画像データ３４は、図４に示すように、テストパターン２の特定同一箇所を各ＣＣＤ１３ａ〜１３ｈでそれぞれ撮像した画素がＣＣＤ１３ａ〜１３ｈの配列方向に対応してそれぞれ一列に並ぶように変換されたものとなる。したがって、テストパターン２における測定領域部２ｂの同一箇所を撮像した各画素は横一列に並べられるので、この後に行う画素の輝度の平均値を算出するための演算を簡素化できる。
【００３７】
図５（ａ）は、透明導電膜（ＩＴＯ膜）によって一定幅の精密なパターンに形成された透明電極３７を示し、このような透明電極３７はプラズマディスプレイ、液晶ディスプレイまたはエレクトロルミネンスディスプレイなどに用いられている。この透明電極３７は、フォトエッチング法によって形成された後に、幅や欠けの検査が行われているが、この検査には画像認識が採用されていない。その理由は、透明電極３７の反射率が極めて低いことから、照明光を照射した時に明暗の高いコントラストを得られないので、光量の低い箇所における画像データの部分を全て欠陥として認識してしまうためである。
【００３８】
これに対し、上記実施の形態の画像認識検査システムでは、照明むら測定系１９によって照明装置１０の照度分布を予め測定して、図５（ｂ）示す透明電極３７の画像データ３９を、上記測定結果の照度分布データに対応する輝度となるような画像データに変換して、その画像データを画像認識するので、照明装置１０に照明むらが存在しても、その悪影響が除去された画像データを得ることができる。そのため、上記画像認識検査システムは、透明電極３７のパターン幅や欠けの検査に適用して、画像認識により正確な検査結果を得られる顕著な効果を奏する。
【００３９】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、測定対象の反射面の全体に反射率のばらつきがあっても、その反射面における特定同一箇所を撮像した画像データのみを抽出して、その画像データにおける輝度から照明装置の照度分布を求めることができ、反射面の反射率のばらつきによる悪影響を除外して、照明装置の照明むらを正確に測定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る照明むら測定方法を具現化した照明むら測定装置を備えた画像認識検査システムを示す一部の斜視図。
【図２】同上画像認識検査システムを示すブロック構成図。
【図３】（ａ）は同上照明むら測定方法におけるテストパターンを示す平面図、（ｂ）はテストパターンを同上照明むら測定方法による撮像手段により得られた画像データを示す図。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る照明むら測定方法における画像変換工程により得られた画像データを示す図。
【図５】（ａ）は本発明の画像認識検査システムの検査対象とすることができる透明電極を示す断面図、（ｂ）は透明電極を撮像して得られた画像データを示す図。
【符号の説明】
２  テストパターン（測定対象）
２ｂ  測定領域部
９  ラインセンサカメラ
１０  照明装置
１１  光源
１２  プリント回路基板（被検査物）
１３、１３ａ〜１３ｈ  ＣＣＤ（撮像素子）
【図１】
0004246319.tif 000002
【図２】
0004246319.tif 000003
【図３】
0004246319.tif 000004
【図４】
0004246319.tif 000005
【図５】
0004246319.tif 000006