(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
分析対象試料の電子顕微鏡画像を出力する電子顕微鏡とこの電子顕微鏡を制御するコンピュータとＸ線分析部とこのＸ線分析部を制御する、前記コンピュータとは別のコンピュータとからなり、前記電子顕微鏡によって得られる顕微鏡画像を電子顕微鏡側のコンピュータに、かつ、前記Ｘ線分析部によって得られるＸ線スペクトルをＸ線分析部側のコンピュータにそれぞれ取り込み可能に構成されたＸ線分析装置において、
前記電子顕微鏡側のコンピュータは、前記電子顕微鏡を制御して分析対象試料の特定部分の顕微鏡画像データを得てその得られた顕微鏡画像データをディスプレイに表示させ、表示された顕微鏡画像データ上の位置指定された分析位置に電子ビームを照射させる機能を有し、Ｘ線分析部側のコンピュータは、電子ビームを照射して発生するＸ線を前記Ｘ線分析部により測定し解析してＸ線スペクトルデータを得てその得られたＸ線スペクトルデータをディスプレイに表示する機能を有するとともに、前記両コンピュータ同士は通信手段を介して接続されて一つの記録媒体に対して両コンピュータから自由にアクセス可能に構成されており、前記Ｘ線分析部側のコンピュータに対するＸ線スペクトルデータの保存命令の入力操作で前記電子顕微鏡側のコンピュータに顕微鏡画像データの保存命令を出力して、及び、前記電子顕微鏡側のコンピュータに対する顕微鏡画像データの保存命令の入力操作で前記Ｘ線分析部側のコンピュータにＸ線スペクトルデータの保存命令を出力して、前記顕微鏡画像データ及びＸ線スペクトルデータを前記一つの記録媒体に関連付けて保存可能に構成されていることを特徴とするＸ線分析装置。
【請求項２】
前記両コンピュータは、顕微鏡画像データとＸ線スペクトルデータに、使用者が定める共通の字句を含む名称を付与して関連付けると共に、これらの両データを、前記一つの記録媒体におけるファイル登録のための同じ場所に保存する機能を備えている請求項１に記載のＸ線分析装置。
【請求項３】
前記記録媒体がリムーバブルディスクである請求項１または２に記載のＸ線分析装置。
【請求項４】
分析対象試料の顕微鏡画像を出力する電子顕微鏡とこの電子顕微鏡を制御するコンピュータとＸ線分析部とこのＸ線分析部を制御する、前記コンピュータとは別のコンピュータとからなり、前記電子顕微鏡によって得られる顕微鏡画像を電子顕微鏡側のコンピュータに、かつ、前記Ｘ線分析部によって得られるＸ線スペクトルをＸ線分析部側のコンピュータにそれぞれ取り込み可能に構成されたＸ線分析装置において、
前記電子顕微鏡側のコンピュータが、前記電子顕微鏡を制御して分析対象試料の特定部分の顕微鏡画像データを得てその得られた顕微鏡画像データをディスプレイに表示させる顕微鏡制御プログラムを記憶し、かつ、前記Ｘ線分析部側のコンピュータが、電子ビームを照射して発生するＸ線を前記Ｘ線分析部により測定し解析してＸ線スペクトルデータを得てその得られたＸ線スペクトルデータをディスプレイに表示させるＸ線分析部制御プログラムを記憶しているとともに、前記両コンピュータ同士は通信手段を介して接続されて一つの記録媒体に対して両コンピュータからアクセス可能に構成されており、前記顕微鏡制御プログラムが電子顕微鏡側のコンピュータで実行され、前記Ｘ線分析部制御プログラムがＸ線分析部側のコンピュータで実行されると共に、前記Ｘ線分析部側のコンピュータにＸ線スペクトルデータの保存命令を入力したとき、このＸ線分析部側のコンピュータは、前記Ｘ線分析部制御プログラムによって現状のＸ線スペクトルデータを保存するとともに、前記通信手段を介して電子顕微鏡側のコンピュータに顕微鏡画像データの保存命令を送信して、及び、前記電子顕微鏡側のコンピュータに顕微鏡画像データの保存命令を入力したとき、この電子顕微鏡側のコンピュータは、前記顕微鏡制御プログラムによって現状の顕微鏡画像データを保存するとともに、前記通信手段を介してＸ線分析部側のコンピュータにＸ線スペクトルデータの保存命令を送信して、前記両コンピュータが、Ｘ線スペクトルデータおよび顕微鏡画像データを一つの記録媒体に関連付けて保存させる処理を実行するように構成されていることを特徴とするＸ線分析装置の制御プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項５】
前記制御プログラムには、前記顕微鏡画像データとＸ線スペクトルデータに、使用者が定める共通の字句を含む名称を付与して関連付けると共に、これら両データを、前記一つの記録媒体におけるファイル登録のための同じ場所に保存するプログラムが含まれている請求項４に記載のＸ線分析装置の制御プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項６】
前記一つの記録媒体として顕微鏡制御プログラムとＸ線分析部制御プログラムの両方がアクセス可能なリムーバブルディスクを用いる請求項４または５に記載のＸ線分析装置の制御プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線分析装置およびＸ線分析装置の制御プログラムを記録した記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、走査型電子顕微鏡と、この電子顕微鏡に取り付けられた半導体Ｘ線検出器からの信号を処理するＸ線分析装置を組み合わせたものがある。このようなＸ線分析装置は、数μｍという微小領域の元素分析を行なう装置で、電子顕微鏡による電子顕微鏡画像（以下、単に顕微鏡画像という）を観察すると共に、観察している部分の「定性分析」、「定量分析」、「Ｘ線像による元素分析」などを行なうことができる。このため、Ｘ線分析装置は従来より金属、セラミックス、半導体などの材料の研究に利用されている。また、近年では、製品のトラブル解析など品質管理の分野などにおいても利用されるようになってきている。
【０００３】
図３は従来のＸ線分析装置１０の基本的な構成を示す図である。このＸ線分析装置１０は、分析対象である試料Ｓに電子線Ｅを照射し、試料Ｓによって反射される電子線Ｅ’によって試料の顕微鏡画像を得る電子顕微鏡１１と、電子線Ｅの照射によって試料Ｓから発生するＸ線Ｌｘを測定するＸ線分析部１２と、これら電子顕微鏡１１とＸ線分析部１２のそれぞれに設けられたコンピュータ１３，１４と、これらのコンピュータ１３，１４に接続されてそれぞれ電子顕微鏡１１およびＸ線分析部１２を操作する操作部１５，１６を有している。
【０００４】
また、コンピュータ１３には電子顕微鏡１１から得られた顕微鏡画像（以下、画像データという）を表示するディスプレイ１７と、この画像データを保存する記録媒体１８とを設けており、コンピュータ１４にはＸ線スペクトルなどＸ線分析部１２から得られたデータ（以下、スペクトルデータという）を表示する表示装置１９と、このスペクトルデータを保存する記録媒体２０とを有している。
【０００５】
図４は図３に示した従来のＸ線分析装置１０における電子顕微鏡と、Ｘ線分析装置の動作の流れを示す図である。電子顕微鏡１１側のコンピュータ１３は、まず前記試料Ｓに電子線Ｅを走査しながら照射すると共に、試料Ｓによって反射した電子線Ｅ’を測定するように電子顕微鏡１１を制御する。（ステップＳs1）
【０００６】
次いで、得られた画像データをディスプレイ１７に表示する。（ステップＳs2）このとき、操作者は電子顕微鏡１１側の操作部１５を介して分析するべき位置を指定し、指定された位置に電子ビームＥを照射するように電子顕微鏡１１が制御される。（ステップＳs3）
【０００７】
このとき、Ｘ線分析部１２側のコンピュータ１４は試料Ｓから発生するＸ線Ｌｘを検出して、Ｘ線分析部１２によってＸ線スペクトルデータを測定し解析する。（ステップＳe1）また、操作者は解析されたＸ線スペクトルデータを確認して、Ｘ線分析部１２の操作部１６を介して保存命令を入力することにより、Ｘ線分析部１２によるＸ線スペクトルデータを記録媒体２０に保存する。（ステップＳe2）
【０００８】
また、前記Ｘ線スペクトルデータの保存が終了した後に、操作者がステップＳe4に示すように、電子顕微鏡１１側の操作部１５を介して得られた顕微鏡画像の画像データを記録媒体１８に保存することにより、前記記録媒体２０に保存したＸ線スペクトルデータに対応する顕微鏡画像データを記録媒体１８に保存していた。したがって、操作者は両記録媒体１８，２０に記録されたＸ線スペクトルデータと顕微鏡画像データを比較することにより、試料Ｓの分析をすることができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の構成では、操作者が個々に操作部１５，１６の両方を操作しなければ関連付けられた顕微鏡画像データとＸ線スペクトルデータを保存することができないという欠点があった。そして、電子顕微鏡１１側の操作部１５の操作性と、Ｘ線分析部１２側の操作部１６の操作性が異なる場合には、操作者は両操作部１５，１６を頻繁に操作する必要があり、このときに作業性ミスをまねく原因ともなる。すなわち、従来の構成では、操作者がデータの保存作業に不便さを感じるだけでなく、これがストレスの原因となることも考えられる。
【００１０】
また、一旦保存されたＸ線スペクトルデータと顕微鏡画像データを比較するときも、両記録媒体１８，２０からそれぞれのデータを取出して、操作者側で関連付けを行って管理する必要があった。これは、データ数が多数ある場合には特に煩雑な作業であり、各データに関連性を持たせることが極めて困難であった。データ同士の関連性を明確にする方法としては、関連付けられる各データに付与するファイル名に共通する部分を設ける方法があるが、顕微鏡画像データとＸ線スペクトルデータの保存の段階で同じ名称を繰り返し入力することは操作者にストレスを与えるものとなっていた。
【００１１】
本発明は、上述の事柄を考慮に入れてなされたものであって、その目的とするところは、Ｘ線分析装置において測定した特定部分のＸ線スペクトルデータとそれが試料のどの分析位置で測定したものであるかの顕微鏡画像データとを一括して自動的に、しかも、操作性よく保存し、かつ、それらデータの管理も容易に行うことができるＸ線分析装置およびＸ線分析装置の制御プログラムを記録した記録媒体を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に係る本発明のＸ線分析装置は、分析対象試料の電子顕微鏡画像を出力する電子顕微鏡とこの電子顕微鏡を制御するコンピュータとＸ線分析部とこのＸ線分析部を制御する、前記コンピュータとは別のコンピュータとからなり、前記電子顕微鏡によって得られる顕微鏡画像を電子顕微鏡側のコンピュータに、かつ、前記Ｘ線分析部によって得られるＸ線スペクトルをＸ線分析部側のコンピュータにそれぞれ取り込み可能に構成されたＸ線分析装置において、前記電子顕微鏡側のコンピュータは、前記電子顕微鏡を制御して分析対象試料の特定部分の顕微鏡画像データを得てその得られた顕微鏡画像データをディスプレイに表示させ、表示された顕微鏡画像データ上の位置指定された分析位置に電子ビームを照射させる機能を有し、Ｘ線分析部側のコンピュータは、電子ビームを照射して発生するＸ線を前記Ｘ線分析部により測定し解析してＸ線スペクトルデータを得てその得られたＸ線スペクトルデータをディスプレイに表示する機能を有するとともに、前記両コンピュータ同士は通信手段を介して接続されて一つの記録媒体に対して両コンピュータから自由にアクセス可能に構成されており、前記Ｘ線分析部側のコンピュータに対するＸ線スペクトルデータの保存命令の入力操作で前記電子顕微鏡側のコンピュータに顕微鏡画像データの保存命令を出力して、及び、前記電子顕微鏡側のコンピュータに対する顕微鏡画像データの保存命令の入力操作で前記Ｘ線分析部側のコンピュータにＸ線スペクトルデータの保存命令を出力して、前記顕微鏡画像データ及びＸ線スペクトルデータを前記一つの記録媒体に関連付けて保存可能に構成されていることを特徴としている。
【００１３】
すなわち、電子顕微鏡及びＸ線分析部から得られた顕微鏡画像データと特定部分のＸ線スペクトルデータを一括して保存可能とすることにより、操作者の操作性が向上する。また、両データが一つの記録媒体に保存可能であるので、データの管理を容易に行うことができる。
【００１４】
特に、前記顕微鏡画像データとＸ線スペクトルデータに、使用者が定める共通の字句を含む名称を付与して関連付けると共に、これらの両データを、前記記録媒体におけるファイル登録のための同じ場所に保存する機能を備えている場合（請求項２）には、１回の保存命令の入力操作で同じ部分を測定して得られた顕微鏡画像データとＸ線スペクトルデータの関連性がより明白になり、両データを容易に関連付けて管理することができる。また、両データが同じ場所に保存されるので、管理を一層容易に行える。
【００１５】
なお、共通の字句を含む名称とは、例えば、顕微鏡画像データとＸ線スペクトルデータのそれぞれに、使用者が定める共通の字句のファイルネームに拡張子を変えて付与することが考えられる。また、使用者が定める共通の字句に異なる付加名称を加えたものをファイルネームとして、拡張子を共通にするなど、様々に変形可能である。さらに、一つの顕微鏡画像データに複数のＸ線スペクトルデータが存在する場合にはシリアル番号を付与することも考えられる。
【００１６】
また、前記電子顕微鏡を制御するコンピュータと、前記Ｘ線分析部を制御するコンピュータとが別々に設けられており、両コンピュータ同士を接続することで、前記記録媒体に対して両コンピュータからアクセス可能であると共に、前記Ｘ線分析部側のコンピュータに対するＸ線スペクトルデータの保存命令の入力操作で前記電子顕微鏡側のコンピュータに顕微鏡画像データの保存命令を出力し、又は、前記電子顕微鏡側のコンピュータに対する顕微鏡画像データの保存命令の入力操作で前記Ｘ線分析部側のコンピュータにＸ線スペクトルデータの保存命令を出力して、顕微鏡画像データ及びＸ線スペクトルデータを一つの記録媒体に関連付けて保存することが可能であるから、前記電子顕微鏡を制御するコンピュータと、Ｘ線分析部を制御するコンピュータとが別体であるときも、Ｘ線分析部側のコンピュータを１回入力操作するだけで、顕微鏡画像データとＸ線スペクトルデータを保存することができるので操作性がよい。
【００１７】
なお、前記記録媒体は共有設定しておくことにより、たとえ顕微鏡画像データのように通信に時間がかかるようなデータであっても、Ｘ線分析部側のコンピュータにデータの保存命令を入力するだけで、通信手段を介して接続されたコンピュータ同士で適宜通信して保存することができるので、操作性が悪くなることはない。また、本出願人が平成９年３月２０日に特許出願した特開平１０−２６０１４４号において説明したように、一方のコンピュータで顕微鏡画像データとＸ線スペクトルデータの両方を表示できるようにすることにより、操作性はより向上することは言うまでもない。
【００１８】
また、前記記録媒体がリムーバブルディスクである場合（請求項３）には、保存した顕微鏡画像データやＸ線スペクトルデータをコンピュータから容易に取出して保管することが可能となり、一連のデータを同じリムーバブルディスクに保管するなど管理の方法に自由度を持たせることができる。さらに、保存のための容量に際限がなくなる利点もある。
【００１９】
次に、請求項４に係る本発明のＸ線分析装置の制御プログラムを記録した記録媒体は、分析対象試料の顕微鏡画像を出力する電子顕微鏡とこの電子顕微鏡を制御するコンピュータとＸ線分析部とこのＸ線分析部を制御する、前記コンピュータとは別のコンピュータとからなり、前記電子顕微鏡によって得られる顕微鏡画像を電子顕微鏡側のコンピュータに、かつ、前記Ｘ線分析部によって得られるＸ線スペクトルをＸ線分析部側のコンピュータにそれぞれ取り込み可能に構成されたＸ線分析装置において、前記電子顕微鏡側のコンピュータが、前記電子顕微鏡を制御して分析対象試料の特定部分の顕微鏡画像データを得てその得られた顕微鏡画像データをディスプレイに表示させる顕微鏡制御プログラムを記憶し、かつ、前記Ｘ線分析部側のコンピュータが、電子ビームを照射して発生するＸ線を前記Ｘ線分析部により測定し解析してＸ線スペクトルデータを得てその得られたＸ線スペクトルデータをディスプレイに表示させるＸ線分析部制御プログラムを記憶しているとともに、前記両コンピュータ同士は通信手段を介して接続されて一つの記録媒体に対して両コンピュータからアクセス可能に構成されており、前記顕微鏡制御プログラムが電子顕微鏡側のコンピュータで実行され、前記Ｘ線分析部制御プログラムがＸ線分析部側のコンピュータで実行されると共に、前記Ｘ線分析部側のコンピュータにＸ線スペクトルデータの保存命令を入力したとき、このＸ線分析部側のコンピュータは、前記Ｘ線分析部制御プログラムによって現状のＸ線スペクトルデータを保存するとともに、前記通信手段を介して電子顕微鏡側のコンピュータに顕微鏡画像データの保存命令を送信して、及び、前記電子顕微鏡側のコンピュータに顕微鏡画像データの保存命令を入力したとき、この電子顕微鏡側のコンピュータは、前記顕微鏡制御プログラムによって現状の顕微鏡画像データを保存するとともに、前記通信手段を介してＸ線分析部側のコンピュータにＸ線スペクトルデータの保存命令を送信して、前記両コンピュータが、Ｘ線スペクトルデータおよび顕微鏡画像データを一つの記録媒体に関連付けて保存させる処理を実行するように構成されていることを特徴としている。
【００２０】
また、前記制御プログラムには、前記顕微鏡画像データとＸ線スペクトルデータに、使用者が定める共通の字句を含む名称を付与して関連付けると共に、これら両データを、前記記録媒体におけるファイル登録のための同じ場所に保存するプログラムが含まれていることが好ましい（請求項５）。
【００２１】
【００２２】
そして、前記一つの記録媒体として顕微鏡制御プログラムとＸ線分析部制御プログラムの両方がアクセス可能なリムーバブルディスクを用いることが好ましい（請求項６）。
【００２３】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の第１実施例であるＸ線分析装置１の構成を概略的に示す図であって、このＸ線分析装置１は走査型電子顕微鏡システム（ＳＥＭ）２と、Ｘ線分析システム（ＥＤＸ）３とからなっている。ＳＥＭ２は測定対象である試料Ｓに電子ビームＥを照射し試料Ｓによって反射された電子線Ｅ’を測定する電子顕微鏡４と、この電子顕微鏡４に接続された制御用コンピュータ５とを有している。また、ＥＤＸ３は前記電子顕微鏡４の部分にセンサ６ｓを有するＸ線分析部６と、このＸ線分析部６にＳＣＳＩケーブル７ｓを介して接続された制御用コンピュータ７とを有している。
【００２４】
また、前記コンピュータ５は試料Ｓの顕微鏡画像を表示するディスプレイ５ｄと、ポインティングデバイスの一例であるマウス５ｍと、キーボード５ｋを有している。同様にコンピュータ７はディスプレイ７ｄ、マウス７ｍ（ポインティングデバイスの一例）、キーボード７ｋに加えて、前記ＳＣＳＩケーブル７ｓ上に接続されたリムーバブルディスク７ｒ（例えばＭＯ）のドライブ７ｄ、および、プリンタ７ｐを有している。
【００２５】
そして、両コンピュータ５，７は例えばイーサネット（ＬＡＮ）のケーブルＣで接続されており、互いに通信可能に構成されている。なお、本例の場合は通信手段としてイーサネットを例示しているが、本発明はこれに限られるものではない。すなわち、例えば、シリアル通信（ＲＳ−２３２Ｃ規格に準じたものなど）など他の手段を用いて接続されていてもよいことは言うまでもない。
【００２６】
上記構成のコンピュータ５は電子顕微鏡４を制御するために必要な顕微鏡制御プログラムＰｓを実行し、コンピュータ７はＸ線分析部６を制御するために必要なＸ線分析部制御プログラムＰｅを実行する。本例においては、電子顕微鏡４を制御するコンピュータ５とＸ線分析部６を制御するコンピュータ７が別体であるので、制御プログラムＰｓ，Ｐｅはそれぞれのコンピュータ５，７内のコンピュータ読取可能な記録媒体であるメモリｍに記憶されている。
【００２７】
そして、前記顕微鏡制御プログラムＰｓは顕微鏡画像データの保存命令を受けて現状の画像データを保存可能にプログラムされている。
【００２８】
図２は前記構成のＸ線分析装置１を用いて、各制御プログラムＰｓ，Ｐｅを実行したときの処理の流れを示す図である。以下、図１を参照しながら図２に基づいて、各制御プログラムＰｓ，Ｐｅによる動作を説明する。
【００２９】
まず、ＳＥＭ２側では顕微鏡制御プログラムＰｓによって電子顕微鏡４が制御されて、試料Ｓの特定部分に電子ビームＥを走査しながら照射し、反射する電子ビームＥ’を測定することにより、試料Ｓの電子顕微鏡画像（画像データＤｂ）を得る。（ステップＳ1）
【００３０】
また、ステップＳ1で得られた電子顕微鏡画像データＤｂはディスプレイ５ｄに表示される。（ステップＳ2）
【００３１】
次いで、操作者はＳＥＭ２側コンピュータ５のマウス５ｍやキーボード５ｋ等の操作部を用いて分析位置のポイントＰを位置指定することにより、ＳＥＭ２は電子顕微鏡４を制御して試料Ｓ上の指定箇所に電子ビームＥを照射する。（ステップＳ3）このとき電子ビームＥは試料Ｓによって幾らか吸収されるなどして減衰すると共に、Ｘ線Ｌｘを発生する。
【００３２】
そして、試料Ｓから発生したＸ線Ｌｘをセンサ６ｓが検出することにより、ＥＤＸ３が前記Ｘ線Ｌｘを測定し、これを解析してＸ線スペクトルデータＤｓを得てその得られたＸ線スペクトルデータＤｓをディスプレイ７ｄに表示する。（ステップＳ4）なお、このとき、電子顕微鏡画像データＤｂやＸ線スペクトルデータＤｓをプリンタ７ｐから適宜出力可能である。
【００３３】
次いで、操作者がＥＤＸ３側の入力装置７ｍ，７ｋを用いて、現状の電子顕微鏡画像データＤｂやＸ線スペクトルデータＤｓの保存命令を入力する。このとき、コンピュータ７は、Ｘ線分析部制御プログラムＰｅによって、Ｘ線スペクトルデータＤｓをＭＯ７ｒに保存すると共にＳＥＭ２側のコンピュータ５に電子顕微鏡画像データＤｂの保存命令を出力する。（ステップＳ5）
【００３４】
そして、ＳＥＭ２側のコンピュータ５は、コンピュータ７から出力される電子顕微鏡画像データの保存命令を受けることにより、顕微鏡制御プログラムＰｓによって現状の電子顕微鏡画像データＤｂをＥＤＸ３側のＭＯ７ｒに保存する。（ステップＳ6）
【００３５】
このとき、操作者はＸ線ペクトルデータＤｓおよび電子顕微鏡画像データＤｂを保存するディレクトリ（ファイル登録のための場所）を指定すると共に、両データＤｓ，Ｄｂに共通するファイル名の字句を指定する。
【００３６】
図２に示す例では、操作者はキーボード７ｋから、ファイルネームとして例えば”1999年３月Ｘ日\SAMPLE ”と一度入力するだけで”1999年３月Ｘ日”という名称のディレクトリＤｒ内に二つのデータＤｂ，Ｄｓを保存することができる。すなわち、電子顕微鏡画像データＤｂには”SAMPLE.BMP”という名称、Ｘ線スペクトルデータＤｓには”SAMPLE.SPW”という名称を付与して保存することができる。本例の場合、同一のファイル名（”SAMPLE”）に拡張子（”BMP ”や”SPW ”）を異ならせることにより、データの種別化を容易に行うことができるようにしている。
【００３７】
前記ＭＯ７ｒ内のデータ保存用ディレクトリＤｒは共有宣言されており、このＭＯ７ｒがＳＣＳＩケーブル７ｓによって接続されているコンピュータ７のみならず、このコンピュータ７にケーブルＣを介して接続されているコンピュータ５からも自由にアクセス可能に構成されている。したがって、電子顕微鏡画像データＤｂのような比較的容量が大きなデータを保存する場合にも、データの転送作業をコンピュータ５，７間の適宜の通信により達成できるので、操作者の手を煩わすことなく、両データＤｂ，Ｄｓを一つの記録媒体（ＭＯ）７ｒの同じ場所（ディレクトリ）Ｄｒに保存することができる。
【００３８】
上記構成のＸ線分析装置１およびＸ線分析装置の制御プログラムＰｅ，Ｐｓを用いることにより、操作者はＥＤＸ３側の入力操作部７ｍ、７ｋを操作するだけで、必要な電子顕微鏡画像データＤｂ，Ｘ線スペクトルデータＤｓを一度の操作で指定の位置に保存することができる。特に、ＭＯのようなリムーバブルディスク７ｒを保存のための記録媒体とすることにより、保存した両データＤｓ，Ｄｂの種別や管理が容易になると共に、容量に制限がなくなる利点もある。なお、本発明は両データＤｓ，Ｄｂの記録媒体をリムーバブルディスクに限定するものではないことは言うまでもない。
【００３９】
また、上述の例では、本発明を達成する一例を示すものに過ぎず、上記構成に限定するものではない。すなわち、たとえば、前記両データＤｓ，Ｄｂを保存するＭＯ７ｒがＳＥＭ２側のコンピュータ５に接続されていてもよい。また、操作者がＳＥＭ２側のコンピュータ５から保存命令を入力できるようにしてもよい。この場合、Ｘ線分析部制御プログラムＰｅは、コンピュータ５からの保存命令を受けることにより、コンピュータ７がスペクトルデータＤｓを自動保存するように動作させる機能を有する必要がある。
【００４０】
【００４１】
また、両データＤｓ，Ｄｂに付与する名称は、使用者が定める共通の字句（例えば”sample”など）に異なる付加名称（例えば”-b”や”-p”など）を加えたものをファイルネームとして、拡張子を共通にするなど、様々に変形可能である。さらに、一つの画像データに複数のスペクトルデータが存在する場合にはシリアル番号を付与することも考えられる。
【００４２】
加えて、上述した例では、走査型電子顕微鏡４にエネルギー分散型のＸ線分析部６を組み合わせた例を示しているが、本発明は、顕微鏡の種類を走査型電子顕微鏡に限定するものではない。たとえば、本発明は透過型電子顕微鏡にＸ線分析部６を組み合わせたものであっても実施可能である。
【００４３】
さらに、上述の例に示した効果は、上述した制御プログラムＰｅ，Ｐｓが記録された記録媒体を有するコンピュータ５，７において得られるものであって、本発明はこの記録媒体の種類を限定するものではない。すなわち、上述した例のように制御プログラムＰｅ，Ｐｓは各コンピュータ５，７のメモリｍやハードディスクに予め組み込まれたものだけに限られるものではなく、既存のコンピュータにインストールできるように、上述の制御プログラムＰｅ，ＰｓをＣＤ−ＲＯＭやフロッピーディスクなどのコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して提供してもよいことはいうまでもない。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、電子顕微鏡及びＸ線分析部から得られた顕微鏡画像データと特定部分のＸ線スペクトルデータを一括して保存できるので、操作者の操作性が向上する。また、一つの記録媒体に保存することで、データの管理を容易に行うことができる。Ｘ線スペクトルデータと同じ場所、名前で顕微鏡画像データを保存することにより、データの管理を一層簡単に行うことができる。さらに、データを保存する記録媒体をリムーバブルディスクとした場合には、データを容易に取出して持ち運び、保管するこができると共に、容量に際限がなくなる利点もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のＸ線分析装置の構成を概略的に示すブロック図である。
【図２】  前記Ｘ線分析装置の制御プログラムの動作を説明する説明図である。
【図３】  従来のＸ線分析装置の構成を概略的に示すブロック図である。
【図４】  前記Ｘ線分析装置の動作を説明する説明図である。
【符号の説明】
１…Ｘ線分析装置、４…電子顕微鏡、５，７…コンピュータ、６…Ｘ線分析部、７ｒ…記録媒体、５ｄ，７ｄ…ディスプレイ、Ｃ…通信手段、Ｄｂ…顕微鏡画像データ、Ｄｓ…Ｘ線スペクトルデータ、Ｄｒ…ファイル登録のための場所、Ｓ…分析対象試料。
【図１】
0004246840.tif 000002
【図２】
0004246840.tif 000003
【図３】
0004246840.tif 000004
【図４】
0004246840.tif 000005