(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を含んで構成されたアクチュエータを準備する工程と、熱膨張係数が前記ＰＺＴと異なり且つノズル孔を加工する前のノズルプレートと熱膨張係数が前記ＰＺＴと同じか又は同等で且つ前記ノズルプレートに形成されるノズル孔に対応する位置に開口径がノズル孔より大きい開口部が設けられた支持部材とを加熱接着して複合部材とする工程と、前記複合部材の前記ノズルプレートにノズル孔を形成する工程と、前記ノズル孔を形成した前記複合部材を、熱硬化型接着剤を用いて、ノズルプレート側が前記アクチュエータと接するようにして、前記アクチュエータに加熱接着する工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記開口部の形状が、矩形形状であることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記開口部の形状が、前記アクチュエータに形成されたチャネル溝に対応した形状であることを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記開口部の形状が、前記アクチュエータに形成された２以上の複数のチャネル溝毎に１個の開口部が形成された梯子状であることを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記開口部の形状が、前記アクチュエータの全チャネル溝を含む外枠状であることを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記ノズルプレート側よりレーザー加工により前記ノズル孔を形成することを特徴とする請求項１〜５の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記支持部材の厚さが、０．２ｍｍ以上１．０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記複合部材と前記アクチュエータを加熱接着後、前記支持部材を除去する工程を有することを特徴とする請求項１〜７の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記複合部材と前記アクチュエータを加熱接着する際の位置合わせが突き当てによる位置合わせであることを特徴とする請求項１〜８の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１０】
突き当て部材に、接着面に熱硬化型接着剤を塗布した前記アクチュエータの２面を突き当て保持した後、前記複合部材を吸着手段で吸引保持しながら前記アクチュエータの上に移動し、接着面に接触させた後、前記突き当て部材に突き当てて位置合わせすることを特徴とする請求項９記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記突き当て部材には、接着時にはみ出した熱硬化型接着剤を収容するニゲ部が設けられていることを特徴とする請求項１０記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記ノズル孔を形成する工程を常温で行う事を特徴とする請求項１〜１１の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記インクジェットヘッドにおいて前記アクチュエータに形成されたチャネル溝の幅方向の中心位置に対する前記ノズル孔の中心位置の前記幅方向の位置ズレ量が、前記チャネル溝の幅をＷとしたとき、Ｗ／２以下であることを特徴とする請求項１〜１２の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記位置ズレ量が、前記ノズル孔のアクチュエータ側の開口径をｄとしたとき、（Ｗ／２−ｄ／４）以下であることを特徴とする請求項１３記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１５】
前記位置ズレ量が、（Ｗ−ｄ）／２以下であることを特徴とする請求項１４記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１６】
前記支持部材がセラミックスから構成されることを特徴とする請求項１〜１５の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１７】
前記支持部材がＰＺＴから構成されることを特徴とする請求項１〜１６の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１８】
前記ノズルプレートが樹脂から構成されることを特徴とする請求項１〜１７の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１９】
前記ノズルプレートがポリイミドから構成されることを特徴とする請求項１８記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２０】
前記ノズル孔は、アクチュエータ側開口が支持部材側開口に比べて大径になるように形成されていることを特徴とする請求項１〜１９の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はインクジェットヘッドの製造方法に関するものであり、特にノズルプレートとアクチュエータ本体との接着時の加熱による伸びの相対的なズレを防止したインクジェットヘッドの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、インクジェットヘッドの製造方法として、ノズルプレートをアクチュエータに貼り付けた後に、ノズルプレート外側（前面）からレーザーで孔を空ける方法が提案され、実施されてきている。一方、インク射出特性（インク射出方向、射出量、射出後の空気の吸い込みによる射出不良、ノズルプレート外面の汚れ、濡れ等）の観点からは、ノズル孔の形状として、インク室から外に向かって縮まるテーパ構造となっていることが好ましいことが知られている。ノズルプレート外側（前面）から孔を空ける方法では、上記のノズル孔形状とするためには複雑な工程が必要であり、精度や生産性の観点で問題があった。
【０００３】
一方、ノズルプレートをアクチュエータに貼り付けた後に、アクチュエータのインク室側（後面）からレーザーで孔を空ける方法が提案されている。しかしながら、インクジェットヘッドのアクチュエータのタイプによっては後面が開放されていないものに関しては実施が不可能であり、又後面が開放されたものであっても、アクチュエータの奥行きが大きいと、レーザ光をチャネル溝の隔壁が妨害するという問題があった。そこで、特許登録第２６３３９４３号では、チャネル溝の斜め上からの照射でノズル孔を形成する技術が開示されている（特許文献１参照）。しかしながら、この方法では斜め上方からの照射となり、傾きを持つ（ノズルプレートに鉛直に出来ない）ノズルとなるため、適正なインク射出特性を得るためには加工上の制約が非常に厳しいものであった。
【０００４】
一方、ノズルプレートに予めノズル孔加工を施し、その後アクチュエータに接着剤で接着する方法が知られている。
【０００５】
ノズルプレートの材料としては、加工性、耐久性等の観点からポリイミド等の樹脂系素材が用いられてきている。このようなポリイミド等の樹脂系素材にあらかじめノズル孔を開け、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等からなるアクチュエータに、生産性が良好な熱硬化型の接着剤を使用して加熱接着するインクジェットヘッドの製造方法が知られている。しかしながらこの方法では、接着剤を硬化させる為に接着剤を高温にする必要があり、それに伴いノズルプレート及びアクチュエータも同様の温度環境下におかれる事になる。この時、熱膨張の大きいノズルプレートと熱膨張が小さいアクチュエータとの熱膨張係数の違いから、それぞれの伸び量が異なり、アクチュエータのチャネル溝の位置とノズル孔位置がずれた状態で接着される事になる。このズレは、接着後に温度が常温に低下した後は、接着剤により強固に保持されていることから、ズレは解消される事はなく、結果としてノズル孔の位置ずれが生じてしまうという問題があった。
【０００６】
【特許文献１】
特許第２６３３９４３号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
即ち、本発明の目的は、ノズルプレートに予め好ましい形状のノズル孔を形成した後、そのノズル孔を形成されたノズルプレートを熱硬化型接着剤を用いてアクチュエータに接着するにあたり、アクチュエータのチャネル溝とノズル孔の位置ずれを低減する接着方法及びインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、本発明の以下のような構成により解決することができる。
【０００９】
１．ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を含んで構成されたアクチュエータを準備する工程と、熱膨張係数が前記ＰＺＴと異なり且つノズル孔を加工する前のノズルプレートと熱膨張係数が前記ＰＺＴと同じか又は同等で且つ前記ノズルプレートに形成されるノズル孔に対応する位置に開口径がノズル孔より大きい開口部が設けられた支持部材とを加熱接着して複合部材とする工程と、前記複合部材の前記ノズルプレートにノズル孔を形成する工程と、前記ノズル孔を形成した前記複合部材を、熱硬化型接着剤を用いて、ノズルプレート側が前記アクチュエータと接するようにして、前記アクチュエータに加熱接着する工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
２．前記開口部の形状が、矩形形状であることを特徴とする前記１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
３．前記開口部の形状が、前記アクチュエータに形成されたチャネル溝に対応した形状であることを特徴とする前記２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
４．前記開口部の形状が、前記アクチュエータに形成された２以上の複数のチャネル溝毎に１個の開口部が形成された梯子状であることを特徴とする前記２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
５．前記開口部の形状が、前記アクチュエータの全チャネル溝を含む外枠状であることを特徴とする前記２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
６．前記ノズルプレート側よりレーザー加工により前記ノズル孔を形成することを特徴とする前記１〜５の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
７．前記支持部材の厚さが、０．２ｍｍ以上１．０ｍｍ以下であることを特徴とする前記１〜６の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
８．前記複合部材と前記アクチュエータを加熱接着後、前記支持部材を除去する工程を有することを特徴とする前記１〜７の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
９．前記複合部材と前記アクチュエータを加熱接着する際の位置合わせが突き当てによる位置合わせであることを特徴とする前記１〜８の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
１０．突き当て部材に、接着面に熱硬化型接着剤を塗布した前記アクチュエータの２面を突き当て保持した後、前記複合部材を吸着手段で吸引保持しながら前記アクチュエータの上に移動し、接着面に接触させた後、前記突き当て部材に突き当てて位置合わせすることを特徴とする前記９記載のインクジェットヘッドの製造方法。
１１．前記突き当て部材には、接着時にはみ出した熱硬化型接着剤を収容するニゲ部が設けられていることを特徴とする前記１０記載のインクジェットヘッドの製造方法。
１２．前記ノズル孔を形成する工程を常温で行う事を特徴とする前記１〜１１の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
１３．前記インクジェットヘッドにおいて前記アクチュエータに形成されたチャネル溝の幅方向の中心位置に対する前記ノズル孔の中心位置の前記幅方向の位置ズレ量が、前記チャネル溝の幅をＷとしたとき、Ｗ／２以下であることを特徴とする前記１〜１２の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
１４．前記位置ズレ量が、前記ノズル孔のアクチュエータ側の開口径をｄとしたとき、（Ｗ／２−ｄ／４）以下であることを特徴とする前記１３記載のインクジェットヘッドの製造方法。
１５．前記位置ズレ量が、（Ｗ−ｄ）／２以下であることを特徴とする前記１４記載のインクジェットヘッドの製造方法。
１６．前記支持部材がセラミックスから構成されることを特徴とする前記１〜１５の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
１７．前記支持部材がＰＺＴから構成されることを特徴とする前記１〜１６の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
１８．前記ノズルプレートが樹脂から構成されることを特徴とする前記１〜１７の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
１９．前記ノズルプレートがポリイミドから構成されることを特徴とする前記１８記載のインクジェットヘッドの製造方法。
２０．前記ノズル孔は、アクチュエータ側開口が支持部材側開口に比べて大径になるように形成されていることを特徴とする前記１〜１９の何れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【００３５】
特に本発明では、熱膨張係数の低いＰＺＴ等からなるアクチュエータに、熱膨張係数の異なる材質のノズルプレートを、熱硬化型の接着剤で接着する場合、先ずノズル孔を穿孔していないノズルプレートを、熱膨張係数がＰＺＴと同じか又は同等の支持部材に予め加熱接着して複合部材とした後、常温でノズルプレートにノズル孔を形成し、該ノズル孔の形成された複合部材をアクチュエータに加熱接着することにより、複合部材とアクチュエータの熱膨張係数が近似していることから、アクチュエータのチャネル溝に対するノズル孔の位置ずれが生じることを低減した接着が可能となる。また、ノズル孔の形状としてインク室側が広く、外側に向かって小さいテーパを有するノズル孔となる方向で接着をすることが容易となるものである。
【００３６】
尚、ノズルプレートと支持部材を接着した複合部材は、その後ノズルプレートにノズル孔を形成するが、ノズル孔を形成するためのエネルギーをできるだけ少なくするためには、支持部材には予めノズル孔に対応した開口部を有する形状とすることが好ましい。
【００３７】
本発明においては支持部材にノズルプレートを貼った複合材料としたときの熱膨張係数が、アクチュエータとほぼ等しいことが必要であるが、複合部材の熱膨張係数が、前記式１を満足することが好ましく、更には前記式２、特には式３を満足することが好ましい。
【００３８】
ここで、式１は本発明における延びの許容範囲を表すものであって、ピッチＰ、ノズル数ｎ、チャネル幅Ｗ、インク室側のノズル径ｄとしたとき、固定点からｎ番目のノズルの位置の位置ズレが、本発明においてはチャネル溝の半分までずれても性能上の問題が無いことを見出したものであり、更にはチャネル溝のエッジに対してインク室側のノズル径ｄの１／４まで塞がれるまでが好ましいことを見出したものであり、特には式３による、チャネル溝のエッジにノズル孔の端部が接するところまでが好ましいことを見出したものである。
【００３９】
複合部材がアクチュエータと同等の熱膨張係数を有するために、アクチュエータとして用いている部材が十分の強度を有することから、支持部材としてアクチュエータと同じ部材を選択することが好ましい。また、支持部材がアクチュエータのチャネル溝に対応した開口部を有する形状とするためには、アクチュエータとして形成された部材を断裁することにより支持部材とすることが最も容易であり、好ましい方法である。支持部材の厚さとしては、支持部材の強度、及び、レーザ光によりノズルプレートにノズル孔を形成するための加工性の点から、０．２ｍｍ以上１．０ｍｍ以下であることが好ましい。
【００４０】
支持部材の他の例としては、薄板やシート状のもの、或いは塗布して形成したものであっても良い。薄板やシート状のものとしては、金属板、ガラス、セラミックスシート、合成樹脂、それらに種々の充填剤を加えた複合材料等であっても良い。塗布形のものとしては、熱硬化型樹脂や紫外線硬化型樹脂とカーボンフィラメントやパラ系アラミド繊維（例えば、東レ・デュポン（株）製ＫＥＶＬＡＲ）等のフィラーを加えて形成した樹脂被膜であっても良く、このような樹脂被膜は、ノズルプレート上に塗布により形成することで複合部材を構成することができる。
【００４１】
熱硬化型接着剤としては、種々のものが市販されており、容易に入手することができ、特に限定されないが、例えば、ＥＰＯＸＹ  ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ  ＩＮＣ．製のエポテック３５３ＮＤ等が好ましく用いられる。
【００４２】
ノズル孔の穿孔方法としては、レーザー加工、プレス加工ともに本主旨に対して実施可能であるが、生産性の観点で、レーザー加工、特にエキシマレーザーによる加工が好ましい。ノズル孔の穿孔方向としては、支持部材側からでも、ノズルプレート側からでも良いが、ノズル形状がノズル出口側（インクジェットヘッドのインク吐出口側）に向けて小さくなるテーパ形状とすることが良好なインクジェットノズルとして好ましく、穿孔する側を接着面とすることによりノズル出口に向けて小さくなるテーパ形状とすることができる。本発明においては、複合部材の支持部材側からレーザー加工にて穿孔し、支持部材側をアクチュエータとの接着面とする事が、生産性、加工精度の観点から、更には各種形状を得ることが可能となり、好ましい。
【００４３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態を図をもって説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００４４】
図１は、本発明のインクジェットヘッドの製造方法の具体例を示す工程図である。ポリイミドからなるノズルプレート１（熱膨張係数  ２０ｐｐｍ）の表面に撥水膜７を形成した後、アクチュエータのチャネルに対応する開口部を有するＰＺＴ（熱膨張係数  ６ｐｐｍ）からなる支持部材２を熱硬化型接着剤エポテック３５３ＮＤ（ＥＰＯＸＹ  ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ  ＩＮＣ．製）を用いて、１００℃で５分間保持して接着した後、放冷して複合部材３を得た。
【００４５】
得られた複合部材３の支持部材側よりレーザ光によりノズル孔６を形成し、ノズル孔の形状を支持部材側が広く、外側に向かって小さいテーパを有するノズル孔とした（拡大図参照）。
【００４６】
ノズル孔の形成された複合部材の支持部材側を接着面として、ＰＺＴからなるチャネル溝が形成されたアクチュエータ４に、前記熱硬化型接着剤を塗布し、１００℃、５分間の加熱接着を行い、インクジェットヘッド１０を得た。
【００４７】
図４は、全てのノズル孔を含む面で切断したときの、インクジェットヘッドの断面図であり、シェアモード型のインクジェットヘッドの構造の一部分を模式的に示している。
【００４８】
図４中、（ａ）は複合部材３とアクチュエータ４との熱膨張係数が全く一致したときのインクジェットヘッド１０の接着状態を表し、（ｂ）はアクチュエータの熱膨張係数に較べ複合部材の熱膨張係数が大きく、ズレが生じたときのインクジェットヘッドの接着状態を表す。（ｃ）はノズル孔部分の拡大断面図である。
【００４９】
Ｐは隣り合うノズル孔の中心間の距離を示すピッチを表し、ｎはノズル数を表し、Ｌは全長で両端のノズル孔中心間の距離を表し、Ｐ×（ｎ−１）である。ｄはノズル孔のインク室側の直径であり、Ｗはチャネル溝の幅を表す。チャネル溝は２種類あり、８はインクが充填されノズル孔に対応するインク室となる溝であり、９はインクが充填されない溝でダミーとなる溝である。
【００５０】
ここで作製したインクジェットヘッドの各値は以下の通りであった。
〈実施例１〉
Ｐ（ピッチ）：０．１４１ｍｍ、ｎ（ノズル数）：２５６個、Ｌ（全長）＝Ｐ×（ｎ−１）＝３５．９５５ｍｍ、ΔＴ：７５℃、Ｗ（チャネル幅）：０．０４ｍｍ、ｄ（インク室側のノズル径）：０．０３６ｍｍ
得られた複合部材３の熱膨張係数（αｆ）は７．２５ｐｐｍであった。
【００５１】
アクチュエータの（ＰＺＴ）の熱膨張係数（αａ）は７ｐｐｍであり、前記式１に当てはめて計算すると、
αｆ＝７．２５（ｐｐｍ）＜（Ｗ／２）／（Ｌ×ΔＴ）＋αａ＝１４．４（ｐｐｍ）
前記式２に当てはめて計算すると、
αｆ＝７．２５（ｐｐｍ）＜〔（Ｗ−ｄ）／２＋ｄ／４〕／（Ｌ×ΔＴ）＋αａ＝１１（ｐｐｍ）
前記式３に当てはめて計算すると、
αｆ＝７．２５（ｐｐｍ）＜〔（Ｗ−ｄ）／２〕／（Ｌ×ΔＴ）＋αａ＝７．７（ｐｐｍ）
となり、式１、２、３の何れをも満足し、同様に式４、５、６の何れをも満足していることが分かる。
【００５２】
放冷後のアクチュエータのチャネル溝とノズルプレートのノズル孔とは許容範囲内に一致していた。
【００５３】
〈実施例２〉
Ｗ（チャネル幅）：０．０８ｍｍ、支持部材の厚さ：０．３ｍｍ
実施例２のインクジェットヘッドの他の各値は、実施例１と同様である。
【００５４】
この実施例２の場合も、式１〜６の何れをも満足しているものであり、放冷後のアクチュエータのチャネル溝とノズルプレートのノズル孔とは許容範囲内に一致していた。
【００５５】
図２は支持部材としてＰＺＴを用いた、本発明のインクジェットヘッドの製造方法の他の具体例を示す工程図である。上記図１の工程との違いは、レーザ光によるノズル孔の加工をノズルプレート側から行った後、アクチュエータとの接着をノズルプレート側から接着してインクジェットヘッドを製造する方法である。この方法により形成されたインクジェットヘッド１０はそのまま用いてもよいが、更に、その後支持部材２を除去する工程を有してもよい。
【００５６】
図２で示された製造方法の場合は、支持部材の開口部の形状としては、種々の形状のものを選択することが可能である。
【００５７】
図３は支持部材の開口部の形状を示す図である。複合部材の支持部材側がアクチュエータと接着するタイプの場合は、アクチュエータのチャネル溝に近似した形状とすることが好ましく、図３（ａ）は、同図（ｇ）のように形成されたアクチュエータの一部を断裁して、アクチュエータと全く同一の形状としたものである。また、同図（ｂ）は、開口部がアクチュエータの各チャネル溝毎に対応しているが形状が円形の開口部を有する支持部材を示す。
【００５８】
図２の工程で形成する複合部材のノズルプレート側をアクチュエータと接着するタイプの場合は、支持部材の形状を必ずしもアクチュエータのチャネル溝に近似した形状とする必要がなく、同図（ｃ）〜（ｆ）に示すように、複数のチャネル溝に対応して１個の開口部を形成するタイプのものでも良く、例えば梯子状（ｃ）のものであっても、全てのチャネル溝を含む１個の開口部とする外枠状のもの（ｄ），（ｅ）や、上下二段となったもの（ｆ）であっても良い。
【００５９】
アクチュエータと複合部材の位置合わせは、突き当て部材への各々の２面の突き当てによる位置合わせで行った。
【００６０】
図５は、複合部材とアクチュエータを加熱接着する際の位置合わせが突き当て方式による位置合わせ方法を示す。
【００６１】
図５に示すように、Ｌ字型の突き当て部材に、接着面に熱硬化型接着剤を塗布したアクチュエータの２面を突き当て保持する。次にノズル孔を穿孔した複合部材３を吸着ハンド２２で吸引保持しながらアクチュエータの上に移動し、接着面に接触させた後、プッシャー２３により突き当て部材２１に突き当てて位置合わせをする。その後、加熱して接着剤を固化させ、アクチュエータに複合部材を固定する。また、圧着時の熱硬化型接着剤のはみ出しによる突き当て部材との異常接着を防止するために、突き当て部材にはニゲ２４を設けておくことが好ましい。
【００６２】
従来のインクジェットヘッドの製造方法における、アクチュエータとノズル孔が穿孔されたノズルプレートとの接着は、アクチュエータを固定し、接着面に熱硬化型接着剤を塗布し、フィルム状のノズルプレートを吸引装置を用いて吸引保持しながら移動し、上部から顕微鏡で覗きながら、ノズル孔とアクチュエータのチャネルの位置合わせをした後、固定してノズルプレートの接着を行っており、作業者の熟練を必要とし、機械装置も複雑で、不良率も高いものであった。
【００６３】
本発明の複合部材を用いるインクジェットヘッドの製造方法とすることにより、突き当て方式による位置合わせが可能となり、作業が容易となり、作業者の熟練を必要とせず、不良の発生も大きく低減することができた。
【００６４】
また、本発明の複合部材をアクチュエータに接着する場合の固定端を末端のノズル孔として説明してきたが、インクジェットヘッドのほぼ中央部を固定位置とすることにより、更に２倍の全長を有するインクジェットヘッドを精度良く製造することが可能となる。
【００６５】
【発明の効果】
ノズル孔を形成する前のノズルプレートに支持部材を加熱接着して複合部材とした後、ノズルプレートにノズル孔を形成し、次いでアクチュエータに加熱接着することにより、ノズルプレートをアクチュエータに加熱接着する際、支持部材が設けられたノズルプレートのハンドリングが極めて容易になる上、アクチュエータとノズルプレートの位置合わせが容易となり、また、好ましいテーパ形状のノズル孔を容易に形成することができるようになった。更に、複合部材の熱膨張係数を式１〜式６のいずれかを満足させることにより、アクチュエータのチャネルとノズルプレートのノズル孔との位置ずれを許容範囲とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の具体例を示す工程図である。
【図２】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の他の具体例を示す工程図である。
【図３】支持部材の開口部の形状を示す図である。
【図４】インクジェットヘッドの断面図である。
【図５】複合部材とアクチュエータを加熱接着する際の位置合わせが突き当てによる位置合わせを示す図である。
【符号の説明】
１  ノズルプレート
２  支持部材
３  複合部材
４  アクチュエータ
５  支持部材の開口部
６  ノズル孔
７  撥水膜
８  インク室となる溝
９  ダミーとなる溝
１０  インクジェットヘッド
【図１】
0004269721.tif 000002
【図２】
0004269721.tif 000003
【図３】
0004269721.tif 000004
【図４】
0004269721.tif 000005
【図５】
0004269721.tif 000006