(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端部にウェハまたは液晶基板の被搬送物の受け渡しを行うフォークを保持し、且つ、水平方向に旋回または伸縮し得るロボットアームと、前記ロボットアームの下部に配設されると共に、前記ロボットアームを駆動する駆動モータと前記駆動モータに連結された減速機とよりなるアクチュエータを内部に収納するベース部と、前記ベース部を水平方向に直線移動させるように設けた直動案内装置と、前記ロボットアームおよび前記直動案内装置を駆動制御するロボットコントローラとを備えたクリーンロボットにおいて、
前記ベース部の内部に配置されると共に、前記ベース部の走行方向であるＸ軸と前記Ｘ軸に直角な水平方向のＹ軸と前記Ｘ軸と前記Ｙ軸とに直角なＺ軸の各軸の振動加速度を検出するよう前記各軸それぞれに配置された圧電型の加速度センサと、
前記各軸ごとの加速度センサの信号より４００Ｈｚから１５００Ｈｚの周波数成分の前記振動加速度を出力信号として取り出すバンドパスフィルタと、
前記バンドパスフィルタの出力信号が基準となるしきい値を超えたとき、前記フォークが周囲の物体と干渉したとして干渉検出信号を出力する前記各軸ごとの干渉検出手段と、
前記各軸ごとの干渉検出信号出力回路のうち、少なくとも１つが前記干渉検出信号を出力したときに、最終の干渉検出信号を出力する回路と、
前記最終の干渉検出信号を前記ロボットコントローラのサンプリング時間より長く保持するラッチ回路と、を備え、
前記ロボットコントローラが前記最終の干渉検出信号を検出すると前記アクチュエータの駆動モータ及び前記直動案内装置を停止させるようにしたことを特徴とするクリーンロボット。
【請求項２】
請求項１記載のクリーンロボットを備えたことを特徴とする半導体製造装置。
【請求項３】
請求項１記載のクリーンロボットを備えたことを特徴とする半導体検査装置。
【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンロボットの一部あるいは搬送物が周囲の物体と干渉した場合に、ロボットの減速機が過負荷により破損することなく、ロボットを速やかに停止させることができるクリーンロボットの安全保護装置に関する。
【従来の技術】
【０００２】
従来から、半導体や液晶表示パネルなどの製造工程、検査工程の分野でウェハや液晶基板の搬送装置として用いられるクリーンロボットが知られている。このようなクリーンロボットは、図９のようになっている。
図において、１はクリーン環境等でハンドリング作業を行うクリーンロボット、２はウェハ等の被搬送物の受け渡しを行うフォーク、３はクリーンロボット１に設けた回転軸回りに回転可能なロボットアーム、３Ａは先端部にフォーク２を取り付けた第１ロボットアーム、３Ｂは第１ロボットアーム３Ａの基端部に取り付けた第２ロボットアーム、４および５はロボットアーム３を駆動するアクチュエータ、４Ａは第１の駆動モータ、４Ｂは第１の駆動モータ４Ａと連結された第１の減速機、５Ａは第２の駆動モータ、５Ｂは第２の駆動モータ５Ａと連結された第２の減速機である。６はアクチュエータ４、５を介してロボットアーム３を回動する駆動ドラム、７はアクチュエータ４および５並びに駆動ドラム６を内部に収納するベース部、８はベース部７を直線方向に走行させる直動案内装置、９は直動案内装置８のアクチュエータ、１０はアクチュエータ４、５、９を駆動制御するための指令を出すロボットコントローラである。
このような構成のクリーンロボット１において、ロボットコントローラ１０からアクチュエータ４、５、９に駆動指令を送り、ロボットアーム３を旋回、伸縮などの動作を行わせると共に直動案内装置８による走行動作との組み合わせにより、第１のロボットアーム３Ａ先端に取り付けたフォーク２でウェハの搬送や受け渡しを行う。
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来技術ではオペレータが例えばクリーンロボット動作のティーチング時の操作を誤り、クリーンロボットのフォーク、ロボットアームまたはウェハ等の被搬送物がその周囲に設けた半導体製造装置や検査装置などの物体と干渉することがある。その際、クリーンロボットが周囲の物体と干渉しても、ロボットアームを駆動する駆動モータはさらにロボットアームを動かし続けようとするので、駆動モータとロボットアームとの間に設けた減速機に過負荷がかかり、最悪の場合に減速機が破損するという問題があった。
【０００４】
そこで、本発明はクリーンロボットの一部あるいは被搬送物が周囲の物体と干渉した際にクリーンロボットの動作を安全に停止させることができ、減速機の破損を未然に防ぐことのできるクリーンロボットの安全保護装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、先端部にウェハまたは液晶基板の被搬送物の受け渡しを行うフォークを保持し、且つ、水平方向に旋回または伸縮し得るロボットアームと、前記ロボットアームの下部に配設されると共に、前記ロボットアームを駆動する駆動モータと前記駆動モータに連結された減速機とよりなるアクチュエータを内部に収納するベース部と、前記ベース部を水平方向に直線移動させるように設けた直動案内装置と、前記ロボットアームおよび前記直動案内装置を駆動制御するロボットコントローラとを備えたクリーンロボットにおいて、前記ベース部の内部に配置されると共に、前記ベース部の走行方向であるＸ軸と前記Ｘ軸に直角な水平方向のＹ軸と前記Ｘ軸と前記Ｙ軸とに直角なＺ軸の各軸の振動加速度を検出するよう前記各軸それぞれに配置された圧電型の加速度センサと、前記各軸ごとの加速度センサの信号より４００Ｈｚから１５００Ｈｚの周波数成分の前記振動加速度を出力信号として取り出すバンドパスフィルタと、前記バンドパスフィルタの出力信号が基準となるしきい値を超えたとき、前記フォークが周囲の物体と干渉したとして干渉検出信号を出力する前記各軸ごとの干渉検出手段と、前記各軸ごとの干渉検出信号出力回路のうち、少なくとも１つが前記干渉検出信号を出力したときに、最終の干渉検出信号を出力する回路と、前記最終の干渉検出信号を前記ロボットコントローラのサンプリング時間より長く保持するラッチ回路と、を備え、前記ロボットコントローラが前記最終の干渉検出信号を検出すると前記アクチュエータの駆動モータ及び前記直動案内装置を停止させるようにしたことを特徴とするクリーンロボットとしたものである。
【０００６】
以下、本発明の実施例を図に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の実施例を示す安全保護装置を備えたクリーンロボットであって、（ａ）は安全保護装置のブロック図、（ｂ）は安全保護装置のＸ軸干渉検出手段のブロック図である。図において、従来と同じ構成要素については同じ符号を付してその説明を省略し、異なる構成のみ説明する。本発明が従来と異なる構成は、以下のとおりである。
１１はクリーンロボット１が他の物体と干渉した際に受ける衝撃を互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸方向の振動加速度として検出するようにした加速度センサであって、各軸検出用の加速度センサを同一のセンサ基板に固定したものである。１２は加速度センサ１１に接続されると共に、加速度センサ１１の出力信号から干渉検出信号を処理する信号処理回路、１３は信号処理回路１２の中に設けた干渉検出手段である。１４は直動案内装置８を設置する図示しない床面に平行で、且つ、クリーンロボット１のベース部７の走行方向（Ｘ軸）に加わる衝撃を検出するＸ軸干渉検出手段、１５は床面（図示せず）に平行で且つベース部７の走行方向と直角な方向（Ｙ軸）の衝撃を検出するＹ軸干渉検出手段、１６はＸ軸およびＹ軸と直交するＺ軸方向の衝撃を検出するＺ軸干渉検出手段である。
また、１７は各軸の干渉検出手段より得られた出力信号のうち少なくとも一つがＬＯＷレベルの信号を出力した時、その出力信号を干渉信号に変換する第１のＡＮＤ回路である。１８は第１のAＮＤ回路１７の干渉信号をロボットコントローラ１０のサンプリング時間より長く保持して、干渉検出信号１９がすべてロボットコントローラ１０で検出できるようにしたラッチ回路である。ラッチ回路１８より出力された干渉検出信号１９は、ロボットコントローラ１０に送られ、ロボットコントローラ１０は第1、第2の駆動モータ４Ａ、５Ａ、アクチュエータ９の駆動モータを停止させる指令を発生するようにしてある。
【０００７】
次に、上記に示した各軸センサの干渉検出手段のうち、Ｘ軸干渉検出手段について説明する。２０はＸ軸加速度センサ１１Ａからの加速度信号をインピーダンス変換するバッファアンプ、２１はバッファアンプ２０によりインピーダンス変換された振動加速度の出力信号の周波数帯域を弁別するために設けたハイパスフィルタ２２およびローパスフィルタ２３を組み合わせてなるバンドパスフィルタ、２４はバンドパスフィルタ２１の出力信号Ｓfを増幅する増幅アンプである。２５は基準となる振動加速度の上限値を示す基準信号源、２６は基準となる振動加速度の下限値を示す基準信号源、２７は増幅アンプ２４により増幅した振動加速度の出力信号Ｓaと基準信号源２５の信号Ｓb1を比較して、信号Ｓaが信号Ｓb1より大きい時に干渉を検出したとしてＬＯＷレベルの信号を出力する第１の比較器である。２８は同じく増幅アンプ２４により増幅した振動加速度の出力信号Ｓaと基準信号源２６の信号Ｓb2と比較して、信号Ｓaが信号Ｓb2より小さい時に干渉を検出したとしてＬＯＷレベルの信号を出力する第２の比較器である。２９は第１の比較器２７、第２の比較器２８により得られた信号ＳC1、ＳC2のうち、少なくとも何れかの信号がＬＯＷレベルの信号を出力した時の干渉信号を干渉の有り、無しの信号に変換する第２のＡＮＤ回路である。ここではＸ軸干渉検出手段について説明したが、Ｙ軸、Ｚ軸干渉検出手段についても同様の構成を有するので説明を省略する。
【０００８】
次に、加速度センサの構成について説明する。図２は本実施例で用いた加速度センサであって、（ａ）はセンサ基板に搭載した各軸の加速度センサの斜視図、（ｂ）は加速度センサの構造を示す断面図でである。
図において、１１Ａ、１１Ｂ、１１ＣはそれぞれＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の加速度センサで、矢印はセンサの感度軸方向を示している。加速度センサはフレームＦと両持ち梁Ｂで構成されており、両持ち梁Ｂは表面に電極を有する圧電セラミックス板を２枚貼り合わせたバイモルフ板からなり、両持ち梁Ｂの両端をフレームＦで支持している。このような構成の加速度センサは両持ち梁Ｂに垂直に力が加わり、変形した後にひずみがかかると、圧電セラミックスが分極し２枚の電極上に電荷を発生し、センサの静電容量に相当する電圧が発生する。ここで、センサ出力電圧は、センサ絶縁抵抗と信号処理回路の入力抵抗の影響を受け信号処理回路に伝達される電圧は周波数特性を持つ。この加速度センサは後述するカットオフ周波数より高い周波数領域においては発生電圧が振動の大きさに比例するため、振動が加わると、センサの発生電圧はセンサに接続された信号処理回路に送られ、干渉検出の判定を行うようになっている。
【０００９】
図３は加速度センサの電気的等価回路である。
図において、Ｃｓはセンサの静電容量、Ｒｓはセンサの絶縁抵抗、Ｒｃは処理回路入力抵抗、Ｖｓはセンサ出力電圧である。加速度センサの静電容量Ｃｓ、絶縁抵抗Ｒｓ及びセンサ信号処理回路の入力抵抗Ｒｃにより加速度センサ及びその処理回路は、１次のハイパスフィルタで近似することができ、カットオフ周波数Ｆｃは次式で表すことができる。
Ｆｃ＝（Ｒｓ＋Ｒｃ）／（２＊π＊Ｃｓ＊Ｒｓ＊Ｒｃ）
本発明で用いた加速度センサの場合、静電容量Ｃｓ＝４２０ｐＦ、絶縁抵抗Ｒｓ＝５００ＭΩであるため、ハイパスフィルタのカットオフ周波数Ｆｃは信号処理回路の入力抵抗Ｒｃが１ＭΩのとき３８０Ｈｚ、１０ＭΩの時３８．７Ｈｚ、５０ＭΩのとき８．３Ｈｚとなる。このように１０Ｈｚ近傍の低周波域から加速度センサ信号を処理するためには処理回路の入力抵抗Ｒｃは５０ＭΩ以上に設定しなければならない。そのため図１（ｂ）で示した加速度センサ１１の信号を、入力抵抗５０ＭΩを持つバッファアンプ２０でインピーダンス変換を行うようにしている。
【００１０】
次に、動作を説明する。
シリコンウェハやガラス基板などを保持したクリーンロボット１が、ロボットの周囲にあるウェハカセットやその他の物体と干渉すると、物体から受けた衝撃はロボットのフォーク２からロボットアーム３に伝わった後、ベース部７内に設けたアクチュエータ４、５にまで伝達される。その時、ベース部７内部のアクチュエータ４、５近傍に設けた加速度センサ１１の取付基板が振動するため、この基板の振動は加速度センサ１１で検出される。
その後の干渉検出手段１３の説明を簡単にするため、Ｘ軸について述べると、まず、加速度センサ１１Ａで検出された振動加速度が、バンドパスフィルタ２１を介して増幅アンプ２４により増幅される。続いて、第１の比較器２７、第２の比較器２８において、増幅アンプ２４により増幅された増幅信号Ｓａとそれぞれ上限値となる基準信号源２５の信号Ｓｂ１、下限値となる基準信号源２６の信号Ｓｂ２と比較される。増幅信号Ｓａが上限値となる基準信号Ｓｂ１より大きいか、もしくは下限値となる基準信号Ｓｂ２より小さければ干渉を検出したとしてＬＯＷレベルの信号を出力する。次に、第１の比較器２７、第２の比較器２８から出力された信号のどちらか片方がＬＯＷレベルであるとき、加速度センサ１１Ａが干渉を検出したとして、第２のＡＮＤ回路に入り、干渉の有無を表す干渉検出信号を出力する。ここでは、Ｙ軸およびＺ軸の干渉検出手段もＸ軸と同様の信号処理により動作するので、その説明は省略する。
続いて、上記に述べたＸ軸の干渉検出手段１４同様に、Ｙ軸並びにＺ軸の干渉検出手段１５、１６により干渉検出信号が得られると、干渉検出信号は第１のＡＮＤ回路１７に入り、これらの干渉検出信号のうち少なくとも一つがＬＯＷレベルであれば最終の干渉検出信号１９が出力される。ここで、第１のAＮＤ回路１７の出力はラッチ回路１８により保持される。
ここで、第１のＡＮＤ回路１７の出力波形は、干渉により伝わる衝撃が大きい場合には時間幅の広いパルスとなるが、衝撃が小さい場合には時間幅の狭いパルスとなる。ロボットコントローラ１０のサンプリング時間によっては時間幅の狭いパルスを検出できない可能性がある。例えばサンプリング時間が２ｍｓの場合には２ｍｓ未満のパルスを検出できない場合が生じる。このため、ラッチ回路１８により第１のＡＮＤ回路１７の出力信号をロボットコントローラ１０のサンプリング時間より長く保持して、干渉検出信号をすべてロボットコントローラ１０で検出するため、最終的には、クリーンロボット１はロボットコントローラ１０において干渉検出信号１９を受けると停止することになる。
【００１１】
次に、図４〜図６はクリーンロボットの干渉による、各軸の加速度センサ信号の出力波形の例を説明する。
図４はクリーンロボットが伸縮動作中に干渉を起こしたときの、各軸加速度センサの出力波形、図５は旋回動作中に干渉を起こしたときの、各軸加速度センサの出力波形、図６は走向動作中に干渉を起こしたときの、各軸加速度センサの出力波形を示している。
図４に示すように伸縮動作中に干渉を起こした場合にはＹ軸加速度センサ信号が最も大きい。図５より旋回動作中に干渉を起こした場合にはＸ軸加速度センサ信号が最も大きい。図６に示すように走行動作中に干渉を起こした場合には、干渉による信号はＸ軸加速度センサ信号及びＹ軸加速度センサ信号がＺ軸加速度センサ信号より大きいことがわかる。しかし走行動作中にＸ軸加速度センサ信号およびＹ軸加速度センサ信号には大きなバックグランド信号が現れている。一方、Ｚ軸加速度センサ信号には大きなバックグランド信号が現れておらず、干渉を起こした場合にのみ信号が現れる。
これらの結果より、伸縮動作を行う場合には、Ｙ軸加速度センサで干渉の判定を行うことができ、また、旋回動作を行う場合には、Ｘ軸加速度センサで干渉の判定を行うことができるという効果がある。さらに、走行動作中に干渉を起こす場合にはＺ軸加速度センサで干渉の判定を行うことができるという効果がある。
【００１２】
したがって、クリーンロボットにおいて、ベース部内にロボットが周囲の物体と干渉した際の衝撃を３軸方向の振動加速度として検出する加速度センサを設け、また、各軸の加速度センサの検出信号が基準となるしきい値を越えた場合にパルス信号を出力する干渉検出手段を設けると共に、各軸の干渉検出手段より出力された信号を干渉信号に変換する第１のＡＮＤ回路を設けたので、干渉検出信号をロボットコントローラに送った後、ロボットアームの駆動用モータ、直動案内装置のアクチュエータを安全に停止させることができ、減速機の破損を未然に防ぐことができる。
【００１３】
なお、加速度センサは、クリーンロボットの動作や干渉の条件が制限される場合には必ずしも３軸方向すべて検出するものを用いる必要はなく、干渉検出感度の高い１軸または２軸方向のみを検出するものを用いても構わない。
また、本実施例では圧電セラミックスを用いた加速度センサを使用したが、その他の方式のセンサを用いても構わない。
また、本実施例では、ロボットコントローラのサンプリング速度が十分に速い場合にはラッチ回路を設けなくても良い。
また、バンドパスフィルタの設定は、クリーンロボットが通常動作する時の信号に対して干渉を起こす時の信号の大きさが最大になるようにハイパスフィルタ及びローパスフィルタのカットオフ周波数を決定するものであって、本実施例ではハイパスフィルタのカットオフ周波数を４００Ｈｚ、ローパスフィルタのカットオフ周波数を１．５ｋＨｚに設定している。このカットオフ周波数はロボットの種類、その搬送物及び干渉対象物により異なる値となるため、適宜設定するようにしても構わない。
また、信号処理回路内に設けたＡＮＤ回路に替えて、ＯＲ回路を設けても良く、その際には第１、第２の比較器の入力端子の符号を逆に入れ替えるようにする。
【００１４】
次に、本発明の他の実施例について説明する。
本発明は、上記図１に示した実施例に替えて、加速度センサに通信機能を付加すると共に、干渉検出信号をデジタル処理してロボットコントローラと通信し、干渉発生信号の伝送および干渉検出手段のシステムパラメータの変更を行うようにしても構わない。以下、本発明の他の実施例を図７を用いて説明する。
すなわち、図において、３０はＡ／Ｄ変換器であって、加速度センサ１１により出力されるアナログ信号をデジタル信号に変換するものである。３１はデジタルフィルタであって、図１のバンドパスフィルタに替えたものである。デジタルフィルタ３１は、Ａ／Ｄ変換器３０で変換されたデジタル信号のうち特定の周波数成分のみを取り出すもので、そのフィルタの係数は書き換え可能な図示しない記憶素子ＲＡＭに格納される。また、３２は干渉検出信号処理回路であって、図１における増幅アンプ２４、基準信号源２５および２６、第１の比較器２７、第２の比較器２８、第２のＡＮＤ回路２９を統合したものに相当するものである。
干渉検出信号処理回路３２は、デジタルフィルタ３１の出力信号を常に監視すると共に、出力信号の絶対値の大きさが干渉のしきい値以上になったとき、干渉が発生したと判断して干渉発生信号を出すものであり、しきい値を特定の値に変更することにより干渉検出の感度を任意の大きさに設定することができる。さらに、３３は通信用ＬＳＩであり、干渉検出信号処理回路３２の干渉発生信号を監視して干渉が発生した場合その情報を通信ケーブルによりロボットコントローラ１０に伝送する。
また、通信用ＬＳＩ３３はロボットコントローラ１０から伝送されてきたデジタルフィルタ３１の係数や干渉検出信号処理回路３２のしきい値などのパラメータ値を受信し、デジタルフィルタ３１の係数を格納している記憶素子（図示せず）の値や干渉検出信号処理回路３２のしきい値を格納している図示しない記憶素子の値を伝送されてきた新しいパラメータの値に書き換える。
【００１５】
次に、動作を説明する。
例えば、クリーンロボットが、ウェハカセットやその他の物体と干渉すると、物体から受けた衝撃は、最終的にはベース部内部のアクチュエータ近傍に設けた加速度センサ１１で検出される。加速度センサ１１の信号は、Ａ／Ｄ変換器３０によりデジタル信号に変換され、デジタルフィルタ３１により特定の周波数帯域のみの信号を取り出すことができる。次に、干渉検出信号処理回路３２において、デジタルフィルタ３１の出力信号の絶対値が干渉検出処理回路３２に記憶されているしきい値より大きくなると、干渉が発生したと判定され干渉発生信号が発生される。干渉発生信号が出力されると、通信用ＬＳＩ３３は干渉の発生をロボットコントローラ１０に伝送する。このロボットコントローラ１０の指令により、ロボットが非常停止する。
また、逆にロボットコントローラ１０からフィルタ係数やしきい値などのシステムパラメータの変更が指令されると、ロボットコントローラ１０は通信用ＬＳＩ３３にパラメータの種類とその値を伝送する。このような通信用ＬＳＩ３３は、パラメータの種類を判定しそのパラメータに相当するデジタルフィルタ３１または干渉検出信号処理回路３２の記憶素子（図示せず）の内容を送信されてきた値に書き換える。たとえば、デジタルフィルタ３１の係数を特定の値に変更することにより加速度センサ１１の信号の特定の周波数帯域成分を選択することができる。
【００１６】
したがって、加速度センサに通信機能を付加すると共に、干渉検出信号をデジタル処理してロボットコントローラと通信するようにしたので、干渉発生信号の伝送をこの通信用ＬＳＩを用いて行うことができる。また、干渉検出手段のシステムパラメータの変更を、オペレータがロボットコントローラのティーチボックス等を用いて、予めロボットコントローラに組み込まれたソフトウェアにより行うことができる。
【００１７】
なお、上記のデジタルフィルタ回路３１および干渉検出信号処理回路３２に替えて、これらの機能を代用するものとして、図８に示すように。ソフトウェアで処理するＣＰＵ回路３４により構成しても構わない。これにより、フィルタの次数もロボットを動かしながらＣＰＵのソフトウェアの変更により変更できる。また、バンドパスフィルタを複数個選択する事もソフトウェアの変更で可能となる。また、本実施例では個別のセンサ出力電圧にバンドパスフィルタをかけた信号を比較器に入力する事により干渉検出を行ったが、３つのセンサ出力電圧の２乗和を信号処理するなど検出方式を変更する事もＣＰＵのソフトウェアの変更により容易に行うことができる。
また、上記に示した加速度センサ１１、Ａ／Ｄ変換器３０、およびＣＰＵ回路３４を、駆動モータに接続される図示しないエンコーダ内部に設けると共に、ロボットコントローラとの通信は、エンコーダ通信用ＬＳＩ３５を設けてこれに代用させる構成にしても構わない。また、ＣＰＵ回路３４をエンコーダ制御用のＣＰＵ回路で代用させる構成にしても構わない。信号の伝送および動作は、上記実施例と基本的に同じであり、これにより、干渉検出装置の電源を、エンコーダから得ることができると共に、通信機能もエンコーダの通信機能を利用でき、省スペース化、省配線化を得ることができる。
【発明の効果】
【００１８】
以上、本発明によれば、クリーンロボットのベース部内に設けた加速度センサにより、ロボットが周囲の物体と干渉した時に受ける衝撃を３軸方向の振動加速度として検出すると共に、各軸の加速度センサに接続された干渉検出手段により、センサの検出信号が基準のしきい値を越えた場合にパルス信号を出力し、第１のＡＮＤ回路によって、各軸の干渉検出手段より出力された信号を干渉信号に変換するようにしたので、干渉検出信号をロボットコントローラに送った後、ロボットアームや直動案内装置のアクチュエータの駆動モータを速やかに停止させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施例を示す安全保護装置を備えたクリーンロボットであって、（ａ）は安全保護装置のブロック図、（ｂ）は安全保護装置のＸ軸干渉検出手段を示すブロック図である。
【図２】本実施例で用いた加速度センサであって、（ａ）はセンサ基板に搭載した各軸の加速度センサの斜視図、（ｂ）は加速度センサの構造を示す断面図である。
【図３】加速度センサの電気的等価回路である。
【図４】クリーンロボットが伸縮動作中に干渉を起こしたときの、各軸加速度センサの出力波形である。
【図５】旋回動作中に干渉を起こしたときの、各軸加速度センサの出力波形である。
【図６】走向動作中に干渉を起こしたときの、各軸加速度センサの出力波形である。
【図７】本発明の他の実施例を示す干渉検出手段のブロック図である。
【図８】本発明の他の実施例を示す干渉検出手段のブロック図である。
【図９】従来のクリーンロボットの構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００２０】
１          クリーンロボット
３          ロボットアーム
４、５、９  アクチュエータ
７          ベース部
８          直動案内装置
１０        ロボットコントローラ
１１        加速度センサ
１３        干渉検出手段
１８        ラッチ回路
１９        最終の干渉検出信号
２１        ハンドパスフィルタ
【図１】
0004269129.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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