(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井部に配設したレールに懸吊されて走行するようにした無人搬送車において、無人搬送車に、搬送物を搬入、搬出するための開閉シャッタを配設した開口部を備えた搬送物搭載チャンバを形成するとともに、該搬送物搭載チャンバに搬送物の移載を行う移載装置及びクリーンエアを供給するクリーンエア供給装置を下方に空間を設けて設置し、クリーンエア供給装置から供給されたエアを搬送物搭載チャンバの下面に形成した排気口から外部に放出するようにし、該搬送物搭載チャンバを、無人搬送車の走行装置に対して昇降させるテレスコープ式の昇降装置に配設し、無人搬送車の走行時に、縮小させたテレスコープ式の昇降装置を、無人搬送車の走行装置の車輪及び車輪の駆動モータを覆うカバー内に収容するようにしたことを特徴とする無人搬送車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造設備、液晶基板製造設備等のクリーンな設備において、半導体ウエハや液晶基板を収納したカセット等の搬送物（本明細書において、単に、「搬送物」という。）の搬送を行うための無人搬送車に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造設備や液晶基板製造設備において、半導体ウエハや液晶基板を収納したカセットを、各種製造装置間で搬送するために、無人搬送車が用いられている。
ところで、従来の無人搬送車は、床面に敷設したレール上を走行するようにされているため、無人搬送車が走行する際に発塵が起こりやすく、このため、発塵を抑制し、室内を所定のクリーン度に維待するために、ヘパフィルタを備えたクリーンエア供給装置等からなる空調設備を設置し、室内にダウンフローが生じるようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来の無人搬送車は、床面に敷設したレール上を走行するようにされているため、無人搬送車が走行する際に発塵が起こりやすく、これを防止するためには、高性能のヘパフィルタを備えたクリーンエア供給装置等を備えた空調設備が必要となり、設備の構築コストが上昇するという問題があるとともに、上記の対策を講じても、レール上を走行する搬送車が床面に形成した排気口を塞ぐため、室内のダウンフローの流れに乱れが生じやすく、発塵を抑制することが技術的に困難を伴うという問題があった。
また、これに加えて、床面に敷設したレールが、製造装置の搬入、搬出等の作業の障害となり、さらに、使用可能な有効床面積が小さくなり、建屋の建設コストが上昇するという問題があった。
【０００４】
本発明は、上記従来の無人搬送車の有する問題点を解決し、無人搬送車が走行する際に、室内のダウンフローの流れに乱れを生じさせず、発塵を抑制することができるとともに、搬送物を、所定のクリーン度を維待しながら、各種製造装置間で搬送することができる無人搬送車を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の無人搬送車は、天井部に配設したレールに懸吊されて走行するようにした無人搬送車において、無人搬送車に、搬送物を搬入、搬出するための開閉シャッタを配設した開口部を備えた搬送物搭載チャンバを形成するとともに、該搬送物搭載チャンバに搬送物の移載を行う移載装置及びクリーンエアを供給するクリーンエア供給装置を下方に空間を設けて設置し、クリーンエア供給装置から供給されたエアを搬送物搭載チャンバの下面に形成した排気口から外部に放出するようにし、該搬送物搭載チャンバを、無人搬送車の走行装置に対して昇降させるテレスコープ式の昇降装置に配設し、無人搬送車の走行時に、縮小させたテレスコープ式の昇降装置を、無人搬送車の走行装置の車輪及び車輪の駆動モータを覆うカバー内に収容するようにしたことを特徴とする。
【０００６】
この無人搬送車は、搬送物を搬入、搬出するための開閉シャッタを配設した開口部を備えた搬送物搭載チャンバを形成するとともに、該搬送物搭載チャンバに搬送物の移載を行う移載装置及びクリーンエアを供給するクリーンエア供給装置を下方に空間を設けて設置し、クリーンエア供給装置から供給されたエアを搬送物搭載チャンバの下面に形成した排気口から外部に放出するようにしているため、無人搬送車が走行する際に、搬送車が床面に形成した排気口を塞ぐことがないため、室内のダウンフローの流れに乱れが生じず、発塵を抑制することができるとともに、搬送物搭載チャンバ内を所定のクリーン度に維待することができ、搬送物を、各種製造装置間で塵埃が付着することなく搬送することができる。
また、無人搬送車を天井部に配設したレールに懸吊されて走行するようにしているため、床面のレール等の障害物をなくすことができ、製造装置の搬入、搬出等の作業を円滑に行うことができるとともに、使用可能な有効床面積を大きく取ることができる。
また、搬送物搭載チャンバ内に搬送物移載装置を設置することにより、搬送物移載装置に塵埃が付着することを防止でき、搬送物の搬送経路のクリーン度を向上することができる。
【０００７】
また、搬送物搭載チャンバを、無人搬送車の走行装置に対して昇降させるテレスコープ式の昇降装置に配設し、無人搬送車の走行時に、縮小させたテレスコープ式の昇降装置を、無人搬送車の走行装置の車輪及び車輪の駆動モータを覆うカバー内に収容するようにすることにより、無人搬送車が走行する際の発塵を一層抑制することができるとともに、無人走行車の走行経路の下方の空間を有効に利用することができ、さらに、搬送物搭載チャンバと各種製造装置との間で搬送物を移載する際に、搬送物搭載チャンバを昇降させて搬送物の受渡を行うことができ、搬送物移載装置の構造を簡略化することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の無人搬送車の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【０００９】
図１〜図５に、本発明の無人搬送車の第１実施例を示す。
この無人搬送車１は、図５に示すように、その平面形状を略台形に形成するとともに、室内に形成した搬送ゾーンＲ１の天井３０に、搬送物１１の搬送経路に沿って配設したＩ形レール３２に懸吊されて走行するように、車輪３及び車輪３の駆動モータ４からなる走行装置２を設けるようにする。
このように、レール３２を天井３０に設置することにより、無人搬送車１が走行する際に、搬送車１が、後述の床面３５に形成した排気口３４を塞ぐことがないため、室内のダウンフローの流れに乱れが生じず、発塵を抑制することができるとともに、床面３５にはレール等の障害物がないため、製造装置の搬入、搬出等の作業を円滑に行うことができるとともに、使用可能な有効床面積を大きく取ることができる。
【００１０】
無人搬送車１には、給電装置としての集電コイル１６を設け、レール３２に沿って配設した給電線３３に高周波の電流を流すことにより、誘導電流によって、非接触で給電を受けるようにする。
これにより、給電装置からの発塵をなくすことができ、搬送物１１の搬送経路のクリーン度を向上することができる。
【００１１】
また、無人搬送車１には、走行装置２に、昇降装置１７を介して、搬送物搭載チャンバ１２を形成する。
搬送物搭載チャンバ１２を、無人搬送車１の走行装置２に対して昇降させることにより、搬送物搭載チャンバ１２と製造装置２０との間で搬送物１１を移載する際に、搬送物搭載チャンバ１２を昇降させて搬送物１１の受渡を行うようにする昇降装置１７には、本実施例に示すようなテレスコープ式の昇降装置を好適に用いることができる。
【００１２】
この昇降装置１７の下部に設けられる搬送物搭載チャンバ１２は、無人搬送車１の略台形の平行面のうち長辺側に、搬送物１１を搬入、搬出するための開閉シャッタ１４を配設した開口部を形成するようにする。
これにより、無人搬送車１が走行する際の発塵を抑制することができるとともに、無人搬送車１の走行による製造装置２０の開口部２１に対する影響を軽減することができる。
また、この搬送物搭載チャンバ１２は、搬送物１１の移載を行う移載装置１０及びヘパフィルタを備えたクリーンエア供給装置１３を設置し、クリーンエア供給装置１３からチャンバ内１８に供給されたエアを搬送物搭載チャンバ１２の下面に形成した排気口１５から搬送ゾーンＲ１に放出するように構成している。
この場合、搬送物搭載チャンバ１２のチャンバ内１８の圧力を、搬送ゾーンＲ１の圧力よりも高圧に維持し、搬送ゾーンＲ１の空気が、搬送物搭載チャンバ１２のチャンバ内１８に直接流入しないようにする。
これにより、搬送物搭載チャンバ１２のチャンバ内１８を所定のクリーン度に維待することができ、搬送物１１を、各種製造装置２０間で塵埃が付着することなく搬送することができる。
【００１３】
無人搬送車１の搬送物搭載チャンバ１２と製造装置２０との間で搬送物１１を移載する移載装置１０は、本実施例においては、基台１０ａ上に、任意の駆動機構により、略水平方向に伸縮されるテレスコープ式の複数のフォーク１０ｂ，１０ｃを配設するとともに、先端のフォーク１０ｃに搬送物１１を載置するように構成したものを用いたが、後述のように、移載装置１０には、各種の方式のものを使用することができる。
そして、この移載装置１０は、移載装置１０の高さと製造装置の移載部２３の高さとが一致するように移載装置１０を昇降させる昇降機構５を備えている。
昇降機構５は、昇降用モータ６、昇降ユニット７、ボールスクリュ８からなり、ボールスクリュ８に螺合した移載装置１０の基台１０ａを、昇降用モータ６を駆動することにより、昇降ユニット７及びボールスクリュ８を介して昇降させるもので、この昇降機構５は、好ましくは、チャンバ内１８と隔壁１８ａを隔てて配設するようにする。
なお、移載装置１０の高さの調節は、この昇降機構５のほか、上記の走行装置２と搬送物搭載チャンバ１２の間に配設した昇降装置１７によっても行うことができ、この場合、大きな調整を昇降装置１７により、微調整を昇降機構５により行う等、両者を必要に応じて使い分けることができ、また、いずれか一方を省略することもできる。
【００１４】
レール３２を配設した搬送ゾーンＲ１の側方には、製造装置２０を設置する製造ゾーンＲ２を形成するとともに、この製造装置２０には、無人搬送車１の搬送物搭載チャンバ１２と製造装置２０との間で搬送物１１を、所要のクリーン度を維持しながら移載するための開口部２１を形成した移載部２３が設けられる。
この移載部２３の上部には、製造装置２０のクリーン度を高レベルに維持するためのヘパフィルタを備えたクリーンエア供給装置２２を配設するとともに、移載部２３には、排気口２４を形成し、クリーンエア供給装置２２より排気口２４に向けてダウンフローが生じるように構成する。
この場合、製造装置２０を配置する製造ゾーンＲ２の圧力を、搬送ゾーンＲ１の圧力よりも高圧に維持し、搬送ゾーンＲ１の空気が、製造ゾーンＲ２に流入しないようにする。
【００１５】
このように、室内は、無人搬送車１が走行する搬送ゾーンＲ１と、製造装置２０を設置する製造ゾーンＲ２とに分けるようにするが、搬送ゾーンＲ１側にも、所定のクリーン度を維持するためのヘパフィルタを備えたクリーンエア供給装置３１を配設するとともに、床面２５には、排気口３４を形成し、クリーンエア供給装置３１より排気口２４に向けてダウンフローが生じるように構成する。
この場合、搬送ゾーンＲ１のクリーン度は、製造ゾーンＲ２や搬送物搭載チャンバ１２のチャンバ内１８のクリーン度よりも低レベルに設定することが可能で、これにより、クリーンエア供給装置３１、すなわち、天井設備の構築コスト及び稼働コストを低廉にすることができるものとなる。
なお、クリーンエア供給装置１３，２２，３１には、設置箇所に応じた所定のクリーン度を維持することができる、ファン及びヘパフィルタを備えた任意の構造のものを使用することができる。
【００１６】
次に、この無人搬送車１の動作について説明する。
図１に示すように、無人搬送車１の搬送物搭載チャンバ１２のチャンバ内１８に搭載した搬送物１１を、製造装置２０の移載部２３へ移載する場合、昇降装置１７を操作することにより、搬送物搭載チャンバ１２の移載装置１０の高さと製造装置２０の移載部２３の高さを略一致させて無人搬送車１を所定位置に停止させる。
【００１７】
そして、図２に示すように、制御装置の指令に基づき、開閉シャッタ１４を操作して、搬送物搭載チャンバ１２の開口部を開放し、移載装置１０により搬送物１１をチャンバ内１８から製造装置２０の移載部２３へ移載する。
この場合、必要に応じて、移載装置１０の高さの微調節を昇降機構５により行うようにする。
【００１８】
また、無人搬送車１を走行させる場合、図３に示すように、制御装置の指令に基づき、昇降装置１７を縮小するように操作することにより、搬送物搭載チャンバ１２を上昇させるとともに、縮小させた昇降装置１７を、無人搬送車１の走行装置２の車輪３及び車輪３の駆動モータ４を覆うカバー２Ａ内に収容することができ、これにより、無人搬送車１が走行する際の発塵を抑制することができるとともに、無人走行車１の走行経路の下方の空間を有効に利用することができる。
【００１９】
そして、無人搬送車１を走行させる場合、搬送物搭載チャンバ１２の開口部は、開閉シャッタ１４により閉鎖するとともに、クリーンエア供給装置１３からチャンバ内１８にクリーンエアを供給することにより、搬送物搭載チャンバ１２のチャンバ内１８の圧力を、搬送ゾーンＲ１の圧力よりも高圧に維持し、搬送ゾーンＲ１の空気が、搬送物搭載チャンバ１２のチャンバ内１８に直接流入しないようにするとともに、クリーンエア供給装置１３からチャンバ内１８に供給されたエアを搬送物搭載チャンバ１２の下面に形成した排気口１５から搬送ゾーンＲ１に放出して、搬送物搭載チャンバ１２のチャンバ内１８を所定のクリーン度に維待するようにする。
【００２０】
図６に、本発明の無人搬送車の第２実施例を示す。
この無人搬送車１は、移載装置１０の高さと製造装置の移載部２３の高さとが略一致するように移載装置１０を昇降させる昇降機構４０を、昇降用モータ４１にて駆動されるカム４２と、このカム４２に当接してカム４２の回転に対応して上下動するカムフォロア４３と、リニアガイド４４と、カムフォロア４３に固定した昇降体４５とにより構成し、昇降体４５に移載装置１０の基台１０ａを固定したものである。そして、昇降体４５に固定した移載装置１０の基台１０ａを、昇降用モータ４１を駆動することにより、カム４２、カムフォロア４３及び昇降体４５を介して昇降させるもので、この昇降機構４０は、好ましくは、チャンバ内１８と隔壁を隔てて配設するようにする。
なお、本実施例の無人搬送車のその他の構成及び作用は、上記第１実施例の無人搬送車と同様である。
【００２１】
図７に、本発明の無人搬送車の第３実施例を示す。
この無人搬送車１は、移載装置５０を、移載用モータ５１と、この移載用モータ５１に取り付けられて揺動するた偏芯リンクアーム５２と、この偏芯リンクアーム５２に取り付けた複数本のリンクアーム５３，５４，５５，５６とから構成し、移載用モータ５１を駆動することにより、偏芯リンクアーム５２を介して複数本のリンクアーム５３，５４，５５，５６を屈伸、揺動させて、移載装置５０の先端に載置した搬送物１１を、無人搬送車１の搬送物搭載チャンバ１２と製造装置２０の移載部２３との間で移載するようにしたものである（特願平９ー９８４２５号参照）。
なお、本実施例の無人搬送車のその他の構成及び作用は、上記第１実施例の無人搬送車と同様である。
【００２２】
【発明の効果】
本発明の無人搬送車によれば、搬送物を搬入、搬出するための開閉シャッタを配設した開口部を備えた搬送物搭載チャンバを形成するとともに、該搬送物搭載チャンバに搬送物の移載を行う移載装置及びクリーンエアを供給するクリーンエア供給装置を下方に空間を設けて設置し、クリーンエア供給装置から供給されたエアを搬送物搭載チャンバの下面に形成した排気口から外部に放出するようにしているため、無人搬送車が走行する際に、搬送車が床面に形成した排気口を塞ぐことがないため、室内のダウンフローの流れに乱れが生じず、発塵を抑制することができるとともに、搬送物搭載チャンバ内を所定のクリーン度に維待することができ、搬送物を、各種製造装置間で塵埃が付着することなく搬送することができる。
また、無人搬送車を天井部に配設したレールに懸吊されて走行するようにしているため、床面のレール等の障害物をなくすことができ、製造装置の搬入、搬出等の作業を円滑に行うことができるとともに、使用可能な有効床面積を大きく取ることができ、建屋の建設コストを低廉にすることができる。
また、搬送物搭載チャンバ内に搬送物移載装置を設置することにより、搬送物移載装置に塵埃が付着することを防止でき、搬送物の搬送経路のクリーン度を向上することができる。
【００２３】
また、搬送物搭載チャンバを、無人搬送車の走行装置に対して昇降させるテレスコープ式の昇降装置に配設し、無人搬送車の走行時に、縮小させたテレスコープ式の昇降装置を、無人搬送車の走行装置の車輪及び車輪の駆動モータを覆うカバー内に収容するようにすることにより、無人搬送車が走行する際の発塵を一層抑制することができるとともに、無人走行車の走行経路の下方の空間を有効に利用することができ、さらに、搬送物搭載チャンバと各種製造装置との間で搬送物を移載する際に、搬送物搭載チャンバを昇降させて搬送物の受渡を行うことができ、搬送物移載装置の構造を簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の無人搬送車の第１実施例を示し、搬送物を搭載した搬送物搭載チャンバを降下させた状態を示す断面図である。
【図２】  同搬送物を製造装置へ移載した状態を示す断面図である。
【図３】  同搬送物を搭載した搬送物搭載チャンバを上昇させた状態を示す断面図である。
【図４】  同図１の状態の正面図である。
【図５】  同平面図である。
【図６】  本発明の無人搬送車の第２実施例を示し、搬送物を搭載した搬送物搭載チャンバを降下させた状態を示す断面図である。
【図７】  本発明の無人搬送車の第３実施例を示し、搬送物を搭載した搬送物搭載チャンバを降下させた状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１    無人搬送車
２    走行装置
３    車輪
４    駆動モータ
５    昇降機構
１０  移載装置
１１  搬送物
１２  搬送物搭載チャンバ
１３  クリーンエア供給装置
１４  開閉シャッタ
１５  排気口
１６  集電コイル
１７  昇降装置
１８  チャンバ内
２０  製造装置
２１  開口部
２２  クリーンエア供給装置
２３  移載部
２４  排気口
３０  天井
３１  クリーンエア供給装置
３２  レール
３３  給電線
３４  排気口
３５  床面
４０  昇降装置
５０  移載装置
【図１】
0004341786.tif 000002
【図２】
0004341786.tif 000003
【図３】
0004341786.tif 000004
【図４】
0004341786.tif 000005
【図５】
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【図６】
0004341786.tif 000007
【図７】
0004341786.tif 000008