(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の間隔を存して少なくとも一対の放電電極が配置された電極基板と、前記少なくとも一対の放電電極を覆うように前記電極基板上に設けられた誘電体とを備えて成り、原料ガスを供給すると共に、前記電極基板の少なくとも一対の放電電極間に高電圧を印加してオゾン化ガスを生成させるオゾン発生装置において、
前記同一の電極基板上に、外周側から中心部に向かう第１の電源供給バス、および当該第１の電源供給バスと対をなす前記中心部より放射状に広がる第２の電源供給バスを設け、
前記第１および第２の各々の電源供給バスから分岐される少なくとも一対の放電電極を有することを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項２】
前記請求項１に記載のオゾン発生装置において、
前記同一の電源供給バスから分岐される各々の放電電極を少なくとも２分割し、かつこれを対向する分割した電極と組み合わせて一組の放電電極を形成し、これを単位として、高圧電極と低圧電極とを交互に配置するようにしたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項３】
前記請求項１または請求項２に記載のオゾン発生装置において、
前記同一の電源供給バスから分岐される少なくとも一対の放電電極を直線状に配置するようにしたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項４】
前記請求項１または請求項２に記載のオゾン発生装置において、
前記同一の電源供給バスから分岐される少なくとも一対の放電電極を円弧状に配置するようにしたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項５】
前記請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のオゾン発生装置において、
前記電源供給バス、および当該電源供給バスから分岐される放電電極を、スクリーン印刷またはエッチングの手法により電極を形成するようにしたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項６】
前記請求項１または請求項２に記載のオゾン発生装置において、
前記電極基板としては、そのほぼ中央部にオゾン化ガスの回収用の穴があいている電極基板を用いるようにしたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項７】
前記請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のオゾン発生装置において、
前記電極基板を、複数のサブ電極基板から構成するようにしたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項８】
前記請求項７に記載のオゾン発生装置において、
前記各々のサブ電極基板のうち隣接するサブ電極基板同士を互いに離隔して配置し、かつ当該離隔領域に間隔片を配置するようにしたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項９】
前記請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のオゾン発生装置において、
前記接地側の電源供給バスを、接地電位を有する金属製容器あるいは構造材に直接接続するようにしたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項１０】
前記請求項１、請求項２、請求項７のいずれか１項に記載のオゾン発生装置において、
前記電極基板は、その外周部側が接地電位となるように接続して電源供給を行なうようにしたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項１１】
前記請求項１に記載のオゾン発生装置において、
前記電極基板の形状は、ほぼ円形であるようにしたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項１２】
前記請求項１に記載のオゾン発生装置において、
前記電極基板の形状は、正方形であるようにしたことを特徴とするオゾン発生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば浄水処理、パルプ漂白、排ガス処理、産業排水処理、脱臭、医療器具の殺菌、半導体産業でのドライアッシング等のオゾン処理を行なうことを目的としたオゾン発生装置に係り、特にオゾンの発生効率の向上、信頼性の向上、ならびに小型化かつ大容量化を図れるようにしたオゾン発生装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、(ａ)上下水道の殺菌、脱臭および脱色、(ｂ)パルプ漂白、(ｃ)排ガスや工業廃水の脱臭および脱色、(ｄ)医療器具の殺菌、(ｅ)半導体産業でのドライアッシング等のオゾン処理を行なうことを目的として、オゾンが用いられている。
【０００３】
このようなオゾンを発生させるためには、一般に、放電によってオゾンを発生させるオゾン発生装置が用いられている。
【０００４】
特に、近年では、水源の汚濁に伴なう富栄養化に基づく水問題や、難分解性物質の混入等が懸念されており、水道水汚染に象徴される微量レベルの有機物に対処しなければならないケ−スが増加し、またオゾンを用いた高度な処理が求められるようになってきている。
【０００５】
ところで、上述したような用途を目的として用いられるオゾン発生装置としては、従来から、対向電極間での無声放電によりオゾンを発生させる方式のものの他に、沿面電極間での沿面放電によりオゾンを発生させる方式のものが知られている。
【０００６】
特に、近年においては、放電ギャップの管理の容易さ、およびオゾン発生性能の向上等の観点から、沿面放電方式のオゾン発生装置が用いられることが多くなってきている。
【０００７】
図１０は、この種の従来の沿面電極間で沿面放電させる方式のオゾン発生装置の要部構成例を示す概念図である。
【０００８】
図１０に示すように、沿面放電方式のオゾン発生装置では、電極基板６０の一方の面に、線状の串型電極６１，６２が、例えばスクリ−ン印刷等の手法により一定間隔で配置されている。
【０００９】
また、串型電極６１，６２は、誘電体によって被覆がなされている。
【００１０】
ここで、原料ガスが供給されて、串型電極６１，６２間に高電圧が印加されると、誘電体表面に沿面放電が生じて、オゾン化ガス６６が発生するようになっている。
【００１１】
以上のような沿面放電方式のオゾン発生装置では、放電ギャップの管理を精度良く行なうことができ、オゾン発生性能を向上させることができるという利点を維持した上で、放電電極である串型電極６１，６２、および電極基板６０等の破損を防止すると共に、オゾンの高濃度化、およびオゾンの発生効率の向上を図ることができる。
【００１２】
また、電極６１，６２が直接放電に曝されないため、電極６１，６２の損耗を防止することができ、高信頼性かつオゾン発生性能に優れたオゾン発生装置を得ることができるという利点を有している。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、以上のようなオゾン発生装置において、さらなるオゾンの発生効率の向上、ならびに電極の信頼性の向上を図るためには、電極構造をさらに最適化することが要求される。
【００１４】
本発明の目的は、電極構造を最適化して、さらなるオゾンの発生効率の向上ならびに放電電極の信頼性の向上を図ることができ、しかも複数の電極基板を容易に積層化することができるという従来の利点をそのまま生かすことが可能な小型でかつ大容量のオゾン発生装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１に対応する発明では、所定の間隔を存して少なくとも一対の放電電極が配置された電極基板と、前記少なくとも一対の放電電極を覆うように前記電極基板上に設けられた誘電体とを備えて成り、原料ガスを供給すると共に、前記電極基板の少なくとも一対の放電電極間に高電圧を印加してオゾン化ガスを生成させるオゾン発生装置において、前記同一の電極基板上に、外周側から中心部に向かう第１の電源供給バス、および当該第１の電源供給バスと対をなす前記中心部より放射状に広がる第２の電源供給バスを設け、前記第１および第２の各々の電源供給バスから分岐される少なくとも一対の放電電極を有するものとしている。
【００１６】
従って、請求項１に対応する発明のオゾン発生装置においては、電極基板上に、中心部から放射状に伸びる電源供給バスを設け、これから枝分かれする一対の放電電極を構成することにより、高圧電極の導入部が極小化されるため、絶縁信頼性を高めることができる。
また、一対の放電電極を覆うように電極基板上に誘電体を設けることにより、放電電極が直接放電に曝されることを防止することができるため、放電電極の劣化を防止することができる。
さらに、電極基板の一方の面に一対の放電電極および誘電体を設けることにより、電極基板の他方の面にはこれと密着した状態で冷却体を容易に設けることができるため、放電領域のガス温度を下げて、オゾンの発生効率を向上させることができる。
さらにまた、電極基板上には電源供給のための新たな配線を省略することができ、信頼性が向上すると共に、電極全体を小型化できるため、結果としてオゾン発生装置全体を小型化することができる。
【００１７】
また、請求項２に対応する発明では、上記請求項１に対応する発明のオゾン発生装置において、同一の電源供給バスから分岐される各々の放電電極を少なくとも２分割し、かつこれを対向する分割した電極と組み合わせて一組の放電電極を形成し、これを単位として、高圧電極と低圧電極とを交互に配置するようにしている。
【００１８】
従って、請求項２に対応する発明のオゾン発生装置においては、同一電位を有する放電電極を少なくとも２分割することにより、放電電極と誘電体との密着性を向上させることができるため、放電電極全体の絶縁ならびに機械的信頼性を高めることができる。
また同時に、放電によって生じるイオンの拡散・移動等の物理的特性から定まる等価的な放電距離を考慮した電極構成とすることにより、オゾンの単位面積当りのオゾン発生量を高めることができる。
【００１９】
さらに、請求項３に対応する発明では、上記請求項１または請求項２に対応する発明のオゾン発生装置において、同一の電源供給バスから分岐される少なくとも一対の放電電極を直線状に配置するようにしている。
【００２０】
従って、請求項３に対応する発明のオゾン発生装置においては、放電電極を直線状に配置することにより、電極基板の面積に対する利用率を高めることができる。
【００２１】
一方、請求項４に対応する発明では、上記請求項１または請求項２に対応する発明のオゾン発生装置において、同一の電源供給バスから分岐される少なくとも一対の放電電極を円弧状に配置するようにしている。
【００２２】
従って、請求項４に対応する発明のオゾン発生装置においては、放電電極を円弧状に配置することにより、電極基板の面積に対する利用率を高めることができる。
【００２３】
また、請求項５に対応する発明では、上記請求項１乃至請求項４のいずれか１項に対応する発明のオゾン発生装置において、電源供給バス、および当該電源供給バスから分岐される放電電極を、スクリ−ン印刷またはエッチングの手法により電極を形成するようにしている。
【００２４】
従って、請求項５に対応する発明のオゾン発生装置においては、電源供給バス、および当該電源供給バスから分岐される放電電極を、スクリ−ン印刷またはエッチングの手法により電極を形成することにより、電源供給バスならびに放電電極をミクロンオーダで精度良く放電電極を形成できるため、高濃度のオゾン発生装置を得ることができる。
【００２５】
さらに、請求項６に対応する発明では、上記請求項１または請求項２に対応する発明のオゾン発生装置において、電極基板としては、そのほぼ中央部にオゾン化ガスの回収用の穴があいている電極基板を用いるようにしている。
【００２６】
従って、請求項６に対応する発明のオゾン発生装置においては、電極基板のほぼ中央部にオゾン化ガスの回収用の穴を設けることにより、効率良くガス回収を行なうことができる。
【００２７】
一方、請求項７に対応する発明では、上記請求項１乃至請求項４のいずれか１項に対応する発明のオゾン発生装置において、電極基板を、複数のサブ電極基板から構成するようにしている。
【００２８】
従って、請求項７に対応する発明のオゾン発生装置においては、電極基板を複数のサブ電極基板から構成することにより、電極基板を容易に大面積化することができるため、大容量のオゾン発生装置を得ることができる。
【００２９】
また、請求項８に対応する発明では、上記請求項７に対応する発明のオゾン発生装置において、各々のサブ電極基板のうち隣接するサブ電極基板同士を互いに離隔して配置し、かつ当該離隔領域に間隔片を配置するようにしている。
【００３０】
従って、請求項８に対応する発明のオゾン発生装置においては、電極基板を構成する各サブ電極基板間の離間領域に間隔片を配置することにより、各サブ電極基板間の空間を塞いで無駄なガス流路空間を減らすことができるため、オゾンの発生効率の向上を図ることができる。
【００３１】
さらに、請求項９に対応する発明では、上記請求項１乃至請求項４のいずれか１項に対応する発明のオゾン発生装置において、接地側の電源供給バスを、接地電位を有する金属製容器あるいは構造材に直接接続するようにしている。
【００３２】
従って、請求項９に対応する発明のオゾン発生装置においては、接地側の電源供給バスを、接地電位を有する金属製容器あるいは構造材に直接接続することにより、配線を不要とすることができる。
【００３３】
さらにまた、請求項１０に対応する発明では、上記請求項１、請求項２、請求項７のいずれか１項に対応する発明のオゾン発生装置において、電極基板としては、その外周部側が接地電位となるように接続して電源供給を行なうようにしている。
【００３４】
従って、請求項１０に対応する発明のオゾン発生装置においては、電極基板の外周部側が接地電位となるように接続して電源供給を行なうことにより、取り付け部の絶縁の問題をあらかじめ避けることができる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００３６】
（第１の実施の形態）
図１は、本実施の形態によるオゾン発生装置の構成例を示す概要図である。
【００３７】
すなわち、本実施の形態によるオゾン発生装置は、図１に示すように、ほぼ円板形状をしたガラス基板等からなる電極基板１を備え、この電極基板１の一方の面には、少なくとも一対の電源供給バス２，３を中心部から放射状に配置している。
【００３８】
ここで、電源供給バス２は、電極基板１の円周側から中心部に向かって形成し、中心部に向かう途中で途切れている。
【００３９】
また、放電電極３は、電極基板１の円周部から中心部に向かって、および円周部に電源供給バス２を避けて円弧状に形成している。
【００４０】
さらに、各々の電源供給バス２ならびに３からは、これらより枝分れした少なくとも１組以上の放電電極２ａならびに３ａを形成している。
【００４１】
なお、図１において、放電電極２ａ，３ａは、少なくとも１組以上の対をなしているが、ここでは図面が煩雑になるのを避けるため、代表例として１組のみについて示している。
【００４２】
図２は、本実施の形態によるオゾン発生装置における電極の半径方向の断面構成例を示す模式図である。
【００４３】
図２において、電極基板１の上部には、放電電極２ａ，２ｂならびに電源供給バスを形成しており、これらを覆うように誘電体４を形成している。
【００４４】
また、電極基板１は、放電が生じない他方の面が冷却体７に接するようにしている。
【００４５】
次に、以上のように構成した本実施の形態によるオゾン発生装置の作用について説明する。
【００４６】
図１および図２において、原料ガス９を供給し、電源供給バス２と電源供給バス３との間に高電圧を印加すると、放電電極２ａならびに放電電極３ａに電圧が印加されて、誘電体４の沿面で放電１５が生じる。
【００４７】
この放電１５により、原料ガス９中の酸素がオゾンに変化し、オゾン化ガス１０として排出される。
【００４８】
この場合、電源供給バス２に高電圧を印加し、電源供給バス３を接地電位とすることにより、電源導入部を円周側とすることができるため、電源供給に対する絶縁設計が容易になる。
【００４９】
また、電極基板１上には、電源供給のための新たな配線を省略することができ、信頼性が向上すると共に、電極全体を小型化できるため、結果としてオゾン発生装置全体を小型化することができる。
【００５０】
さらに、電源導入部を除いて、電極の円周方向を接地電位とすることができるため、構造物に対する絶縁設計を容易とすることができると共に、安全面からも好ましい。
【００５１】
一方、電源供給バス２，３ならびに放電電極２ａ，３ａあるいは２ｂ，３ｂを、誘電体４によってコ−ティングしていることにより、直接放電に曝されることを防止することができるため、これら電極の劣化を防止することができる。
【００５２】
また、電極基板１の一方の面に、電源供給バス２，３、ならびに放電電極２ａ，３ａあるいは２ｂ，３ｂ、および誘電体４を設けていることにより、電極基板１の他方の面には、これと密着した状態で、冷却体７を容易に設けることができるため、放電領域のガス温度を下げて、オゾンの発生効率を向上させることができる。
【００５３】
また、電極基板１の一方の面に、中心部から放射状に伸びる電源供給バス２，３を設けると共に、この電源供給バス２，３から枝分かれした放電電極２ａ，３ａを設けていることにより、放電電極の沿面全体で放電を発生させることができるため、電極基板１を放電電極として有効に利用することができる。
【００５４】
この場合、さらに例えば図３に示すように、電極パタ−ンを同心円弧の集合体とすることにより、電極面を有効に利用することができる。
【００５５】
特に、電極基板１がほぼ円形である場合には、極めて有効な形状である。
【００５６】
この場合、電源供給バス２に高電圧を印加し、また電源供給バス３を接地電位とすることにより、この場合にも前述したような利点を生かすことができる（変形例）。
【００５７】
上述したように、本実施の形態では、電極構造を最適化して、放電ギャップの管理を精度良く行なうことができるという沿面放電方式の特性をそのまま維持した上で、さらなるオゾンの発生効率の向上を図ることができるオゾン発生装置を得ることが可能となる。
【００５８】
さらに、本実施の形態では、電源導入部を最小化できるため、電極基板１等の電気的な損傷を未然に防止することができ、信頼性の向上を図ることが可能となる。
【００５９】
すなわち、電極基板１の有効利用により、オゾンの高濃度化、およびオゾンの発生効率の向上を図ることが可能となる。
【００６０】
（第２の実施の形態）
図４は、本実施の形態によるオゾン発生装置における半径方向の断面構成例を示す模式図であり、前記実施の形態と同一要素には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【００６１】
すなわち、本実施の形態によるオゾン発生装置は、図４に示すように、前記図１乃至図３における同一の電源供給バス２，３から分岐される各々の放電電極を少なくとも２分割して放電電極２ｃ，３ｃ，２ｄ，３ｄとし、さらにこれを対向する分割した電極２ｃ，３ｃ，２ｄ，３ｄと組み合わせて、一組の放電電極を形成し、これを単位として、高圧電極と低圧電極とを交互に配置する構成としている。
【００６２】
ここで、特に本実施の形態では、同一の電源供給バス２，３から分岐される少なくとも一対の放電電極２ｃ，３ｃ，２ｄ，３ｄを、例えば図５に電極パターン図を示すように直線状に、あるいは図６に電極パターン図を示すように円弧状に、配置するようにしている。
【００６３】
次に、以上のように構成した本実施の形態によるオゾン発生装置においては、電極への電源供給は、分割された同一電位を有する電源供給バス２，３によってなされるが、電源供給バス２，３から分岐される放電電極２ｃ，３ｃ，２ｄ，３ｄの線幅は、放電１５が二方向に分割されるため、電極を分割する前の半分にすることができる。
【００６４】
また、同一電位を有する放電電極２ｃ，３ｃ，２ｄ，３ｄ間の距離を調整することにより、放電によって発生したイオンの拡散移動等の放電特性に対する最もオゾン発生効率の良いギャップ長を選択することができる。
【００６５】
これによって、放電１５を沿面全体に無駄無く発生させることが可能となり、より少ない面積で極めて効率よくかつ放電電極の面積利用率を高めた放電電極を形成することができる。
【００６６】
この結果として、より一層小型のオゾン発生装置を得ることができる。
【００６７】
さらに、同一電位を有する放電電極２ｃ，３ｃ，２ｄ，３ｄを少なくとも２分割していることにより、誘電体４を構成する場合に、電極２ｃ，３ｃ，２ｄ，３ｄと誘電体４との密着性を高めることができ、より信頼性の高い誘電体４被覆(コ−ティング)を実施して、放電電極全体の絶縁ならびに機械的信頼性を高めることができる。
【００６８】
また同時に、放電によって生じるイオンの拡散・移動等の物理的特性から定まる等価的な放電距離を考慮した電極構成とすることにより、オゾンの単位面積当りのオゾン発生量を高めることができる。
【００６９】
上述したように、本実施の形態では、より一層の小型化を図ることができ、放電電極全体の絶縁ならびに機械的信頼性を高めることができるオゾン発生装置を得ることが可能となる。
【００７０】
（第３の実施の形態）
すなわち、本実施の形態によるオゾン発生装置は、前記実施の形態のオゾン発生装置における、電源供給バス２，３、および当該電源供給バス２，３から分岐される放電電極２ａ，３ａ，２ｂ，３ｂを、スクリ−ン印刷またはエッチングの手法により電極を形成する構成としている。
【００７１】
次に、以上のように構成した本実施の形態によるオゾン発生装置においては、電源供給バス２，３、および当該電源供給バス２，３から分岐される放電電極２ａ，３ａ，２ｂ，３ｂを、スクリ−ン印刷またはエッチングの手法により電極を形成していることにより、例えば電極基板１としてガラス基板を用いて、この上に電源供給バス２，３ならびに放電電極２ａ，３ａ，２ｂ，３ｂをミクロンオーダで精度良く放電電極を形成できるため、高濃度のオゾン発生装置を得ることができる。
【００７２】
また、以上の図においては、電源供給バス２，３から分岐する放電電極２ａ，３ａ，２ｂ，３ｂの線幅が粗く描かれているが、本実施の形態では、放電電極の線幅は各種の寸法とすることができ、例えばミクロンオ−ダレベルで形成することができる。
【００７３】
この結果、小型でかつ大容量のオゾン発生装置を得ることができる。
【００７４】
上述したように、本実施の形態では、高濃度のオゾン発生させることができる小型でかつ大容量のオゾン発生装置を得ることが可能となる。
【００７５】
（第４の実施の形態）
すなわち、本実施の形態によるオゾン発生装置は、前記実施の形態のオゾン発生装置における、電極基板１ならびに冷却体７のほぼ中心部に、オゾン化ガスの回収用の穴４０を設ける構成としている。
【００７６】
また、電極基板１の他方の面（電源供給バス２，３から分岐する放電電極２ａ，３ａ，２ｂ，３ｂが配置された側と反対側の面）には、電極基板１と接触した状態で冷却体７を設けており、電極基板１とほぼ同じ位置に穴をあけて、これらを一体とした放電ユニット３１を構成している。
【００７７】
次に、以上のように構成した本実施の形態によるオゾン発生装置においては、電極基板１ならびに冷却体７のほぼ中心部に、オゾン化ガスの回収用の穴４０を設けていることにより、効率良くガス回収を行なうことができる。
【００７８】
すなわち、放電電極２ａ，３ａ，２ｂ，３ｂの周辺部から原料ガス９を導入すると共に、発生したオゾン化ガス１０の回収を、中心部に設けた穴４０から集中して行なうことができる。
【００７９】
また、この穴４０の先にパイプを接続するようにすることにより、原料ガス９の供給およびオゾン化ガス１０の排出を効率的に行なうことができる。
【００８０】
さらに、冷却体７の表裏両面に電極基板１を配置した放電ユニット３１を用いてオゾン発生装置を構成していることにより、複数の放電ユニット(電極基板)３１を容易に積層化することができるため、小型でかつ大容量のオゾン発生装置を得ることができる。
【００８１】
上述したように、本実施の形態では、効率良くガス回収を行なうことができる小型でかつ大容量のオゾン発生装置を得ることが可能となる。
【００８２】
（第５の実施の形態）
すなわち、本実施の形態によるオゾン発生装置は、前記実施の形態のオゾン発生装置における電極基板１を、複数のサブ電極基板２０から構成している。
【００８３】
図７は、本実施の形態によるオゾン発生装置におけるサブ電極２０の電極パタ−ンの一例を示す概要図である。
【００８４】
図７に示すように、サブ電極基板２０は、円形を１／４分割した扇形の形状としており、そのほぼ中心部を軸として左右対象な形をした放電電極構成としている。
【００８５】
図８はサブ電極基板２１の電極パタ−ンの他の例を示す概念図、図９は電極基板１が正方形である場合を想定した三角形の形状を有するサブ電極基板２２の電極パタ−ンの他の例を示す概念図である。
【００８６】
次に、以上のように構成した本実施の形態によるオゾン発生装置においては、電極基板１を、複数のサブ電極基板２０から構成していることにより、放電電極が全面に配置されて、電極基板１を容易に大面積化することができるため、大容量のオゾン発生装置を得ることができる。
【００８７】
また、サブ電極基板２０を扇形の形状とし、そのほぼ中心部を軸として左右対象な形をした放電電極構成としていることにより、中央部を電源供給バスとして高電圧を印加し、周辺部を接地電極とすることで、周辺部を接地電位にできると共に、高圧側は電源供給バスヘの電源導入部に限定されるため、絶縁設計が容易となる。
【００８８】
（変形例）
本変形例によるオゾン発生装置は、本実施の形態のオゾン発生装置における、各々のサブ電極基板２０（２１，２２）のうち、隣接するサブ電極基板２０（２１，２２）同士を互いに離隔して配置し、かつ当該離隔領域に間隔片を配置する構成としている。
【００８９】
以上のように構成した本変形例によるオゾン発生装置においては、電極基板１を構成する各サブ電極基板２０（２１，２２）のうち、隣接するサブ電極基板２０（２１，２２）同士を互いに離間して配置し、その離間領域に間隔片を配置していることにより、各サブ電極基板２０（２１，２２）間の空間を塞いで無駄なガス流路空間を減らすことができるため、オゾンの発生効率の向上を図ることができる。
【００９０】
また、電極基板１を機械的に支持することができると共に、大型の電極を構成することができる。
【００９１】
さらに、この場合、半径方向の周辺部に沿っては電位が接地電位であるため、絶縁上の問題が発生しないという利点を得ることもできる。
【００９２】
なお、本実施の形態において、分割電極の分割数は、周方向に対して整数倍の数値を用いることにより、電極構成が容易となる。
【００９３】
すなわち、実際には、２分割から６分割の範囲で行なうことにより、分割電極を用いて、大型の放電電極を容易に構成することが可能となる。
【００９４】
さらに、分割電極に対しても、前記第２の実施の形態を適用することが可能である。
【００９５】
また、放電電極を、前記と同様に冷却体７と一体に構成して、放電ユニット３１を構成することにより、複数の放電ユニット３１を積層化することができるため、小型でかつ大容量のオゾン発生装置を得ることができる。
【００９６】
上述したように、本実施の形態では、冷却体７上に電極基板１として複数のサブ電極基板２０（２１，２２）を配置するようにしているので、電極基板１を容易に大面積化することができるため、大容量のオゾン発生装置を得ることが可能となる。
【００９７】
また、図８および図９において、各電極基板１を構成する各サブ電極基板２１，２２を同一の大きさとすることにより、部品の共通化を図ることが可能となり、コストの削減を図ることが可能となる。
【００９８】
（第６の実施の形態）
すなわち、本実施の形態によるオゾン発生装置は、前記実施の形態のオゾン発生装置における、接地側の電源供給バスを、接地電位を有する金属製容器である冷却体７あるいは周辺構造材に、図示しないねじ等を用いて直接接続する構成としている。
【００９９】
次に、以上のように構成した本実施の形態によるオゾン発生装置においては、接地電位を有する冷却体７あるいは周辺構造物に、放電電極３を直接接地していることにより、配線を不要とすることができる。
【０１００】
また、この場合、電極基板１の外周部側が接地電位となるように接続して電源供給を行なうことにより、取り付け部の絶縁の問題をあらかじめ避けることができる。
【０１０１】
（変形例）
本実施の形態は、前記と同様に、電極基板１を複数のサブ電極基板を用いて構成した場合についても、同様に適用することができる。
【０１０２】
これら複数のサブ電極基板は、前述したように、隣接するサブ電極基板の周辺部を接地電位とすることにより、絶縁の問題を考慮することなく、構造物に直接取り付けることが可能となる。
【０１０３】
（その他の実施の形態）
尚、本発明は、上記各実施の形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で、種々に変形して実施することが可能である。
また、各実施の形態は可能な限り適宜組合わせて実施してもよく、その場合には組合わせた作用効果を得ることができる。
さらに、上記各実施の形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組合わせにより、種々の発明を抽出することができる。
例えば、実施の形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題（の少なくとも一つ）が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果（の少なくとも一つ）が得られる場合には、この構成要件が削除された構成を発明として抽出することができる。
【０１０４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のオゾン発生装置によれば、電極構造を最適化して、放電ギャップの管理を精度良く行なうことができるという沿面放電方式の特性をそのまま維持した上で、さらなるオゾンの発生効率の向上を図ることが可能となる。
【０１０５】
また、本発明のオゾン発生装置によれば、電源導入部を最小化できるため、電極基板等の電気的損傷を未然に防止することができ、信頼性の向上を図ることが可能となる。
【０１０６】
すなわち、電極基板の有効利用により、オゾンの高濃度化、およびオゾンの発生効率の向上を図ることができる。
【０１０７】
さらに、本発明のオゾン発生装置によれば、複数の電極基板を容易に積層化することができるという従来の利点をそのまま生かすことができ、小型化かつ大容量化を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるオゾン発生装置の第１の実施の形態を示す概要図。
【図２】同第１の実施の形態のオゾン発生装置における電極の半径方向の断面構成例を示す模式図。
【図３】本発明によるオゾン発生装置の第１の実施の形態の変形例を示す概要図。
【図４】本発明によるオゾン発生装置の第２の実施の形態を示す概要図。
【図５】同第２の実施の形態のオゾン発生装置における電極パタ−ンの一例を示す概念図。
【図６】同第２の実施の形態のオゾン発生装置における電極パタ−ンの変形例を示す概念図。
【図７】本発明によるオゾン発生装置の第５の実施の形態を示す概要図。
【図８】同第５の実施の形態のオゾン発生装置における電極パタ−ンの変形例を示す概念図。
【図９】同第５の実施の形態のオゾン発生装置における電極パタ−ンの変形例を示す概念図。
【図１０】従来の沿面放電方式のオゾン発生装置の要部構成例を示す概念図。
【符号の説明】
１…電極基板
２，３…電源供給バス
２ａ，２ｂ…放電電極
３ａ，３ｂ…放電電極
２ｃ，２ｄ…放電電極
３ｃ，３ｄ…放電電極
４…誘電体
７…冷却体
９…原料ガス
１０…オゾン化ガス
１５…放電
２０，２１，２２…サブ電極基板
３１…放電ユニット
４０…穴
６０…電極基板
６１，６２…串型電極。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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