(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工機のワーク送入側又は送出側に、薄板状物を上下から挟んだ状態で回転して該薄板状物を移送させる上下一対のローラーと、前記薄板状物を少なくとも下面から両縁を包み込んで前記ローラーに案内する幅ガイド部材とを一体的に備え、
前記ローラーは、その両方又は一方の外周面に粗面加工が施され、且つ前記薄板状物の加工エリア以外の箇所を挟むべく配置され、
前記幅ガイド部材は、前記薄板状物を案内導入するように曲面状に形成された案内板と、該案内板に連続すると共に、前記薄板状物の下面を案内すべく該薄板状物の幅寸法より広い平面状に形成された台板と、該台板の両縁各々の端面に、該台板と略垂直に固定された側板と、該側板に両端面を固定させて、前記薄板状物を通過可能なクリアランスを形成した状態で前記台板と平行に設けられた上板とからなることを特徴とする薄板状物の送り装置。
【請求項２】
加工機のワーク送入側又は送出側に、複数列状のスプロケット孔を長手方向に有するテープ状物を上下から挟んだ状態で回転して該テープ状物を移送させる上下一対のローラーと、前記薄板状物を少なくとも下面から両縁を包み込んで前記ローラーに案内する幅ガイド部材とを一体的に備え、
前記ローラーは、その両方又は一方の外周面に粗面加工が施され、且つ前記テープ状物のスプロケット孔近傍を上下から挟むべく配置され、
前記幅ガイド部材は、前記薄板状物を案内導入するように曲面状に形成された案内板と、該案内板に連続すると共に、前記薄板状物の下面を案内すべく該薄板状物の幅寸法より広い平面状に形成された台板と、該台板の両縁各々の端面に、該台板と略垂直に固定された側板と、該側板に両端面を固定させて、前記薄板状物を通過可能なクリアランスを形成した状態で前記台板と平行に設けられた上板とからなることを特徴とする薄板状物の送り装置。
【請求項３】
前記台板は、中央部に穿設された手送り孔を有することを特徴とする請求項１又は２に記載された薄板状物の送り装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置におけるフレキシブル基板等を構成するテープやセラミックスグリーンシート等の薄板状物を、穿孔機や切断機等の加工機に送入したり加工機から送出したりする薄板状物の送り装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の装置には、薄板状物の略幅寸法の長さを有するゴム製ローラーを上下一対に設け、これらローラーが薄板状物を挟んだ状態で駆動源によって回転して該薄板状物を移送させるように構成したものがある。
【０００３】
しかしながら、従来の送り装置では、薄板状物の面にローラーを係合させるものでなく、ローラー外周のゴム面と薄板状物の面との摩擦にのみ頼って薄板状物を送っているためスリップを生じやすい。
そのため、上下のローラー間を狭めてローラー面と薄板状物との接触圧を高めると、薄板状物の面に印刷等による凹凸がある場合、この凹凸によってローラー面と薄板状物の面との接触圧がローラー長手方向において均一でなくなる。従って、薄板状物が蛇行したり変形したりする等の問題を生ずる。
また、この送り装置では、製品となる加工エリアにローラが接触するため、ローラが加工エリア内を傷つけたり変形させたりする場合もある。そこで、加工エリア以外の箇所のみにローラーを接触させるようにすることが提案されるが、ローラーと薄板状物との接触面積が少なくなるため、上記スリップの問題をなおさら著しくしてしまう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記従来事情に鑑みてなされたものであり、その目的とする処は、薄板状物の品質を損なうことがない上で、その薄板状物をスリップさせずに均一に移送し、また移送中の薄板状物の蛇行を防止する薄板状物の送り装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明の技術的手段として、本発明は、加工機のワーク送入側又は送出側に、薄板状物を上下から挟んだ状態で回転して該薄板状物を移送させる上下一対のローラーと、前記薄板状物を少なくとも下面から両縁を包み込んで前記ローラーに案内する幅ガイド部材とを一体的に備え、前記ローラーは、その両方又は一方の外周面に粗面加工が施され、且つ前記薄板状物の加工エリア以外の箇所を挟むべく配置され、前記幅ガイド部材は、前記薄板状物を案内導入するように曲面状に形成された案内板と、該案内板に連続すると共に、前記薄板状物の下面を案内すべく該薄板状物の幅寸法より広い平板状に形成された台板と、該台板の両縁各々の端面に、該台板と略垂直に固定された側板と、該側板に両端面を固定されて、前記薄板状物を通過可能なクリアランスを形成した状態で前記台板と平行に設けられた上板とからなることを特徴とする。また、前記台板は、中央部に穿設された手送り孔を有することを特徴とする。ここで、薄板状物とは、フレキシブル基板等を構成するテープ状物やセラミックスグリーンシート等を含むものである。また、駆動源は、上下一対のローラーの一方又は両方を回転させるように設けられており、一方のローラーのみを回転させるように構成する場合、他方のローラーは、回動自在に設けられて、薄板状物を挟んで前記一方のローラーと同期回転するようにすればよい。また、双方のローラー共回転させるように構成する場合には、ベルトやギヤ等の伝動手段により双方のローラーが同期するように構成すればよい。また、粗面加工とは、例えば、ローラーの外周面に、チェック目、又は平目、あや目等のローレット目を形成したり、凹凸状の表面処理を施したりすることである。また、薄板状物の加工エリア以外の箇所とは、例えば、薄板状物が加工機により所定の穿孔パターンで穿孔されるテープ状物であった場合、そのテープ状物において穿孔される穿孔エリア以外の箇所、即ち、テープ状物の両縁等であり、また、テープ状物が二列の穿孔エリアを確保できる多丁取りテープであった場合には、両縁と二列の穿孔エリアの略中央部等である。また、薄板状物がスプロケット孔を有する一般的なテープ状物の場合、加工機のワーク送入側又は送出側に、複数列状のスプロケット孔を長手方向に有するテープ状物を上下から挟んだ状態で回転して該テープ状物を移送させる上下一対のローラーを備え、前記ローラーは、その両方又は一方の外周面に粗面加工が施され、且つ前記テープ状物のスプロケット孔近傍を上下から挟むべく配置されることで、前記テープ状物をスリップさせることなく均一に送ることができる。ここで、テープ状物とは、両縁のそれぞれに沿って多数のスプロケット孔を有するものや、二列の加工エリアを確保すべく幅方向の略中央にもスプロケット孔を有する多丁取りテープ等を含む。更に、前述の薄板状物の送り装置において、上記テープ状物を少なくとも下面から両縁を包み込んで案内する幅ガイド部材を、上記上下一対のローラーと一体的に備えることで、テープ状物を安定的に直進させて更に均一に送ることができる。
【０００６】
上記技術的手段によれば、本発明は、下記の作用を奏する。上下一対のローラーが駆動源によって回転すると、薄板状物は加工エリア以外の箇所をローラーに挟まれた状態でローラー軸と略直交する方向に送られる。この際、上下一対のローラーの両方又は一方には、その外周面に粗面加工が施されているため、ローラーと薄板状物との摩擦力が向上する。よって、薄板状物は、スリップすることがない上、幅ガイド部材によって下面から両縁を包み込まれて案内されることで、蛇行したり、撓んだりすることもなく均一に送られる。また、上下一対のローラーが駆動源によって回転すると、テープ状物は加工エリア以外の箇所であるスプロケット孔近傍をローラーに挟まれた状態でローラー軸と略直交する方向に送られる。この際、ローラー両方又は一方には、その外周面に粗面加工が施されているため、ローラーとテープ状物との摩擦力が向上し、テープ状物はスリップすることなく均一に送られる。更に、テープ状物は、幅ガイド部材によって下面から両縁を包み込まれて案内されることで、蛇行したり撓んだりすることもなく、より均一に送られる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１乃至４は、本発明に係る実施の形態である薄板状物の送り装置１０を示している。
【０００８】
この送り装置１０は、薄板状物１００に所定の穿孔パターンの穿孔を施す穿孔装置Ａにおいて複数の穿孔機３１からなるパンチユニット３０に薄板状物１００が送入されるワーク送入側の上流に設けられ、薄板状物１００を挿通して案内する幅ガイド部材１３と、薄板状物１００をパンチユニット３０側に移送させるように構成された上下一対の送りローラー１２及び押圧ローラー１１と、薄板状物１００に帯電した静電気を除去する静電気除去装置２０等を備える（図１参照）。
【０００９】
尚、上記穿孔装置Ａの場合、送り対象物である薄板状物１００は、フレキシブル基板等を構成するテープ状物であるが、送り装置１０を搭載する加工機が切削機であった場合等、その加工機の形態によってはセラミックスグリーンシート等の矩形薄板状物も送り対象となる。
また、図２において、薄板状物１００は、両縁各々に多数のスプロケット孔１０１を有するテープ状物を図示しているが、スプロケット孔１０１のないテープ状物でも構わない。
【００１０】
上記幅ガイド部材１３は、薄板状物１００を案内導入するように曲面状に形成された案内板１３ｄと、この案内板１３ｄに連続すると共に、薄板状物１００の下面を案内すべく薄板状物１００の幅寸法より若干広い平板状に形成された台板１３ａと、この台板１３ａの両縁各々の端面に、台板１３ａと略垂直に固定された側板１３ｂ，１３ｂと、同様にして側板１３ｂ，１３ｂに両端面を固定されて、薄板状物１００を通過可能な適度なクリアランスを形成した状態で台板１３ａと略平行に設けられた上板１３ｃとからなる（図２参照）。
【００１１】
台板１３ａは、両縁側の各々において送りローラー１２に対応する位置に、送りローラー１２の外周部を回動自在に貫挿可能な矩形孔１７を形成してある。
また、同様にして、上板１３ｃは、両縁側の各々において押圧ローラー１１に対応する位置に、押圧ローラー１１の外周部を回動自在に貫挿可能な矩形孔１６を形成してある。
従って、幅ガイド部材１３に挿通される薄板状物１００は、矩形孔１６に外周部を貫挿させた送りローラー１２と、矩形孔１７に外周部を貫挿させた押圧ローラー１１とによって挟まれる。
【００１２】
そして、この幅ガイド部材１３は、上記台板１３ａと側板１３ｂ，１３ｂと上板１３ｃとにより、薄板状物１００における下面から両縁を包み込み、更に上面も覆うことで、薄板状物１００を、その長手方向に安定的に直進させると共に撓みも防止しながら案内する。
尚、符号１５は、台板１３ａの略中央部に穿設された長孔状の手送り孔１５であり、薄板状物１００を幅ガイド部材１３内に初期セットする際に指で薄板状物１００を手送りするために設けてある。
【００１３】
送りローラー１２及び押圧ローラー１１は、薄板状物１００を上下から挟んだ状態で回転して該薄板状物１００を移送させる上下一対のローラーであり、薄板状物１００の両縁側に設けられたスプロケット孔１０１，１０１の各々について、その近傍を上下から挟んだ状態で回転するように設けられている。
【００１４】
送りローラー１２は、円柱状を呈する金属製のロール部１２ａの外周面に粗面部１２ｂを形成してなる。そして、これら双方の送りローラー１２，１２は、一端を図示しない駆動源に連結されると共に、両側板１３ｂ，１３ｂ間に回転自在に取り付けられた軸１２ｃに、それぞれが固定されている。
【００１５】
粗面部１２ｂは、図４（イ）乃至（ロ）に示すように、送りローラー１２の外周面に、凹凸状の表面処理を施したり、あるいはチェック目，平目，あや目等のローレット目を形成したものであり、薄板状物１００を送る際に、その摩擦力を向上するように作用する。
そして、この粗面部１２ｂは、ロール部１２ａの外周面より若干突出し、薄板状物１００における縁近傍の加工エリア１０２以外の箇所、即ちスプロケット孔１０１の近傍に接触するように、その幅寸法を設定することで、加工エリア１０２を傷つけることがないように形成されている。
【００１６】
押圧ローラー１１は、送りローラー１２よりもやや小径の円柱状を呈する金属製のロール部１１ａの外周面に、上記した送りローラー１２の粗面部１２ｂと同様の粗面部１１ｂを形成してなる。
そして、この押圧ローラー１１は、後述する押圧機構１４に回動自在に軸着されている。
【００１７】
押圧機構１４は、Ｌ字型部材１４ａと、軸１４ｂと、圧縮バネ１４ｃとからなり、両側板１３ｂ，１３ｂの各々に設けられる。
Ｌ字型部材１４ａは、幅ガイド部材１３の上板１３ｃに略平行状に配置される一片部１４ａ’と、先端を上方に向け且つ前記一片部１４ａ’に略直角な他片部１４ａ”とから一体に形成される側面視略Ｌ字型を呈し、一片部１４ａ’の先端側に押圧ローラー１１を回動自在に軸着する。
軸１４ｂは、上記一片部１４ａ’における中途箇所に設けられて、Ｌ字型部材１４ａを側板１３ｂに回動自在に軸着する。
圧縮バネ１４ｃは、上記一片部１４ａ’の後端側と上板１３ｃとの間に設けられ、一片部１４ａ’の後端側を上方に付勢する。
【００１８】
従って、この押圧機構１４は、圧縮バネ１４ｃの付勢により一片部１４ａ’の先端側が下方に周運動するため、押圧ローラー１１が薄板状物１００を押圧する。尚、両側板１３ｂ，１３ｂの各々に設けられた双方の押圧機構１４，１４は、双方の他片部１４ａ”，１４ａ”同士をそれらの先端側で連結棒１４ｄによって連結されることで、連動して回動するように構成してある。
【００１９】
静電気除去装置２０は、幅ガイド部材１３の上方側と下方側のそれぞれに、薄板状物１００の幅方向に略平行に配置されたイオン放出管２１，２１と、これらイオン放出管２１，２１に略平行させて複数穿設されると共に、台板１３ａ及び上板１３ｃの双方を貫通するように、これら台板１３ａ及び上板１３ｃの各々に設けられた貫通孔２２とを備える。
そして、この静電気除去装置２０は、イオン放出管２１，２１から放射されたイオンを上下から台板１３ａ及び上板１３ｃそれぞれの貫通孔２２に通過させ、そのイオンと薄板状物１００に帯電した静電気とを中和させる。
【００２０】
尚、上記構成の送り装置１０の上流側上方には、送り位置検知手段５０が設けられ、この送り位置検知手段５０が薄板状物１００の送り量を検出し、その検出信号に応じて、送り装置１０は薄板状物１００を定量送りするように制御されている。
送り位置検知手段５０は、ＣＣＤカメラ，又は位置検出センサー等であり、薄板状物１００のスプロケット孔１０１等の目印を検出し、送り装置１０を制御する制御部（図示せず）にその検出信号を出力する。
【００２１】
また、図中に示す符号１００ａは、テープ状の薄板状物１００が巻かれたロール原反１００ａであり、符号１１０は、その薄板状物１００を送り装置１０へ繰り出す繰り出し機構１１０である。そして、符号１２０は、薄板状物１００を巻き取る巻取り機構、符号１２１は、薄板状物１００を巻取り機構１２０に送るスプロケットホイール、符号７０は、穿孔の基準座標となる基準孔や基準マークを撮像するカメラユニット７０、符号４０は、カメラユニット７０及びパンチユニット３０をＸＹ方向に制御動するＸＹ移動機構４０である。
【００２２】
また、符号８０及び９０は、それぞれ固定クランプと可動クランプであり、固定クランプ８０は、薄板状物１００を上下からクランプするように構成したクランパー８２を、機台１上に固定された台座８１上に設けてなり、可動クランプ９０は、前記固定クランプ８０同様に薄板状物１００を上下からクランプするクランパー９２を、機台１上に固定される台座９１上にＸ軸方向へ制御動可能に取り付けてなる。そして、これら両クランプ８０，９０は、薄板状物１００を長手方向に引っ張って弛みを除去する。
【００２３】
而して、送り装置１０は、穿孔装置Ａに搭載されて下記の作用効果を奏する。
薄板状物１００は、幅ガイド部材１３における台板１３ａ、両側板１３ｂ，１３ｂ、上板１３ｃに囲まれた空間に挿通され、送りローラー１２と押圧ローラー１１の間に挟まれて、上面を押圧ローラー１１に押圧された状態で装着される。
送り装置１０は、駆動源によって送りローラー１２を回転すると、薄板状物１００をパンチユニット３０に送る。この際、送りローラー１２及び押圧ローラー１１は、それぞれ粗面部１１ｂ外周を薄板状物１００に接触させるため、その凹凸による摩擦力によりスリップすることなく薄板状物１００を送る。しかも、薄板状物１００における粗面部１１ｂが接触する箇所は、スプロケット孔１０１近傍であるため、加工エリア１０２が傷つくことはない。また、薄板状物１００は、幅ガイド部材１３によって下面から両縁、更に上面を包み込まれて案内されるので、蛇行したり、撓んだりすることもなく均一に送られる。
【００２４】
尚、図示例の送り装置１０では、上下一対の送りローラー１２及び押圧ローラー１１を、薄板状物１００における両スプロケット孔１０１，１０１の各々の近傍に配置するように二箇所設けたが、薄板状物１００が二列の加工エリア１０２を確保する多丁取りテープである場合には、その幅方向中央に沿って設けられたスプロッケット孔の近傍にも上下一対の送りローラー１２及び押圧ローラー１１を設けることが好ましく、それによって、幅広な多丁取りテープであっても、スリップすることなく均一に送ることができる。
【００２５】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成されているので、以下に記載されるような効果を奏する。一つには、ローラー外周面の粗面加工により、ローラーと薄板状物との摩擦力が向上するため、ローラーと薄板状物との接触面積が加工エリア以外の少ない範囲であっても、その薄板状物をスリップさせることなく均一に送ることができる。この際、ローラーは、薄板状物の加工エリア以外の箇所を挟んで回転するので、薄板状物の加工エリアを傷つけたり変形したりすることがない。しかも、薄板状物は、その搬送中、幅ガイド部材に案内されているため、蛇行したり、撓んだりすることもない。よって、薄板状物の品質を損なうことがない上で、その薄板状物をスリップさせず、蛇行させることもなく均一に送れる薄板状物の送り装置を提供することができる。また、一つには、従来から用いられているスプロケット孔付きのテープ状物を、その品質を損なうことなく、最小限の接触面積でスリップさせずに均一に送ることができる。更に、テープ状物は、幅ガイド部材に案内されるため、蛇行したり、撓んだりすることなく、より均一に送られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る薄板状物の送り装置の一例を搭載した穿孔装置を示す正面図である。
【図２】  本発明に係る薄板状物の送り装置の一例を示す斜視図である。
【図３】  同薄板状物の送り装置を示す縦断面図である。
【図４】  同薄板状物の送り装置のローラーを示す斜視図であり、（イ）は外周面に凹凸状の表面処理を施した一例、（ロ）は外周面にチェック目を形成した一例、（ハ）は外周面にあや目を形成した一例を示す。
【符号の説明】
１０：送り装置                １１：押圧ローラー
１１ａ：ロール部              １１ｂ：粗面部
１２：送りローラー            １２ａ：ロール部
１２ｂ：粗面部                １３：幅ガイド部材
１３ａ：台板                  １３ｂ：側板
１３ｃ：上板                  １３ｄ：案内板
１４：押圧機構                ２０：静電気除去装置
１００：薄板状物              １０１：スプロケット孔
１０２：加工エリア            Ａ：穿孔装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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