(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下の金型のうち、黒鉛粉末７０〜９０質量％と高分子化合物３０〜１０質量％との混合物を下金型内に供給し、前記下金型温度を一定とし前記上下金型を開いた状態で前記上下金型の間に加熱装置を挿入した後、前記加熱装置を加熱することで前記高分子化合物を溶融し、前記加熱装置を抜いた後前記金型を閉じて固化させることにより、前記混合物を所定の形状に成形すること
を特徴とする燃料電池用セパレータの製造方法。
【請求項２】
前記加熱装置は、高周波加熱装置であって、前記混合物の加熱を、高周波を照射し前記混合物中の黒鉛粉末を誘導加熱することにより行うことを特徴とする請求項１に記載の燃料電池用セパレータの製造方法。
【請求項３】
前記加熱装置は、マイクロ波加熱装置であって、前記混合物の加熱を、マイクロ波を照射し前記混合物中の高分子化合物を誘電加熱にすることにより行うことを特徴とする請求項１に記載の燃料電池用セパレータの製造方法。
【請求項４】
前記加熱装置は、赤外線加熱装置であって、前記混合物の加熱を、赤外線により行うことを特徴とする請求項１に記載の燃料電池用セパレータの製造方法。
【請求項５】
上下の金型のうち、黒鉛粉末７０〜９０質量％と高分子化合物３０〜１０質量％との混合物を下金型内に供給し、前記上下金型を閉じた状態で前記混合物自体を超音波振動子により加熱し、前記混合物を冷却して所定の形状に成形すること
を特徴とする燃料電池用セパレータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、黒鉛粉末と高分子化合物の混合物からなる成形品の製造方法及び製造装置に関するものであり、特に固体高分子型燃料電池に使用されるセパレータの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
燃料電池用セパレータは気体不透過性に優れ、高い導電性を有し、かつ耐食性、強度にも優れることが要求される。従来より、燃料電池のセパレータとして、黒鉛焼結体に樹脂を含浸させて得られる不浸透黒鉛を材料として製造したものや、黒鉛粉末と樹脂を混合、成形した黒鉛／樹脂成形品等が用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前者は２０００℃以上の高温熱処理を必要とし、更に高温熱処理時の収縮のため、切削加工が必要となるため、製造にコストがかかる。また、後者は、高い導電性を得るために黒鉛粉末の配合比を高くしているため、材料の流れ性が悪く、成形精度が悪いという問題点がある。更に、高分子化合物として熱可塑性樹脂を用いた場合は、金型の温度を混合物の供給温度から熱可塑性樹脂の融点以上の温度に上げて圧縮し、その後、金型の温度を熱可塑性樹脂の融点以下の温度に下げてセパレータを取り出すため、成形時間が長いという問題点がある。
【０００４】
本発明は、上記課題を解決するものであり、黒鉛粉末の配合比が高く、流れ性が悪い黒鉛／樹脂コンパウンドにおいて、成形時間が短く、成形精度の良い燃料電池用セパレータの製造方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の請求項１に記載の燃料電池用セパレータの製造方法は、上下の金型のうち、黒鉛粉末７０〜９０質量％と高分子化合物３０〜１０質量％との混合物を下金型内に供給し、前記下金型温度を一定とし前記上下金型を開いた状態で前記上下金型の間に加熱装置を挿入した後、前記加熱装置を加熱することで前記高分子化合物を溶融し、前記加熱装置を抜いた後前記金型を閉じて固化させることにより、前記混合物を所定の形状に成形することを特徴とする。
【０００７】
また、本発明の請求項２に記載の燃料電池用セパレータの製造方法は、請求項１に記載の構成において、前記加熱装置は、高周波加熱装置であって、前記混合物の加熱を、高周波を照射し前記混合物中の黒鉛粉末を誘導加熱することにより行うことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の請求項３に記載の燃料電池用セパレータの製造方法は、請求項１に記載の構成において、前記加熱装置は、マイクロ波加熱装置であって、前記混合物の加熱を、マイクロ波を照射し前記混合物中の高分子化合物を誘電加熱にすることにより行うことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の請求項４に記載の燃料電池用セパレータの製造方法は、請求項１に記載の構成において、前記加熱装置は、赤外線加熱装置であって、前記混合物の加熱を、赤外線により行うことを特徴とする。
【００１０】
上記各構成により、本発明においては金型を一定温度とし、混合物のみを加熱して、この混合物中の熱可塑性樹脂の融点以上の温度に昇温し、圧縮成形するため、混合物自体の昇温、冷却の時間が短くなり、成形時間を短縮することができる。
【００１３】
また、本発明の請求項５に記載の燃料電池用セパレータの製造方法は、上下の金型のうち、黒鉛粉末７０〜９０質量％と高分子化合物３０〜１０質量％との混合物を下金型内に供給し、前記上下金型を閉じた状態で前記混合物自体を超音波振動子により加熱し、前記混合物を冷却して所定の形状に成形することを特徴とする。
【００１６】
上記各構成において、金型を閉じた状態で混合物を加熱するため、成形精度の良いセパレータを得ることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態について述べる。
【００１８】
（実施の形態１）
本発明の第１の実施形態は、黒鉛粉末と高分子化合物との混合物を金型に供給し、この混合物を加熱して高分子化合物を溶融、固化させることにより、所定の形状に成形するもので、これにより成形時間を短縮することができるものである。
【００１９】
黒鉛粉末と高分子化合物の混合物において、黒鉛粉末は人造黒鉛、天然黒鉛のいずれかを用いることができる。黒鉛粉末の粒径は特に規定されるものではないが、高導電性を得るために平均粒径１０μｍ〜２００μｍ、好ましくは３０μｍ〜１００μｍのものを用いることができる。高分子化合物としては、耐熱性、耐薬品性の点から、ＰＰＳ、ＰＰＥ、ＰＢＴなどの熱可塑性樹脂を用いることができる。
【００２０】
黒鉛粉末と高分子化合物の配合比は導電性の点から、黒鉛粉末７０〜９０質量％、高分子化合物３０〜１０質量％のものを用いることができる。黒鉛粉末が７０質量％より少ない場合、セパレータの体積固有抵抗が大きくなり、電池性能が悪くなる。また、黒鉛粉末が９０ｗｔ％より多い場合、セパレータの強度が弱くなる。
【００２１】
金型の形態として、上型と下型からなり、その両方あるいは片方にガス流路パターンが形成されている。金型の材質として、金属、セラミックス、グラファイト等を使用することができる。特に、金型強度、耐摩耗性の点から、金属を用いることが好ましい。
【００２２】
高分子化合物として熱可塑性樹脂を用いた場合の成形条件に関して、時間経過に対する金型の温度、又は混合物の温度の変化を表す図１を用いて説明する。図１において、１は従来の製造方法における金型の温度変化を表す曲線、２は従来の製造方法における混合物の温度変化を表す曲線、３は本実施形態における金型の温度変化を表す線、４は本実施形態における混合物の温度変化を表す曲線、５は熱可塑性樹脂の融点温度を示す。
【００２３】
図１に示すように、本実施形態では金型を一定温度とし、混合物のみを加熱してこの混合物中の熱可塑性樹脂の融点以上の温度に昇温し、圧縮成形するため、混合物自体の昇温、冷却の時間が短くなり、成形時間を短縮することができる。
【００２４】
（実施の形態２）
本発明の第２の実施形態は、第１の実施形態同様、黒鉛粉末と高分子化合物との混合物を金型に供給し、ここでは特に金型６を開いた状態で前記混合物自体を加熱し、金型を閉じて所定の形状に成形するもので、これにより、混合物自体を容易に昇温することができる。
【００２５】
図２を用いて本実施形態の燃料電池用セパレータの製造方法について説明する。図２（ａ）に示すように、金型６を開いた状態で混合物７を金型６内に供給する。その後、図２（ｂ）に示すようにスキージ８で混合物７を平坦化した後、図２（ｃ）に示すように加熱装置９を上型と下型の間で、混合物７の上方に進入せしめる。混合物７が所定の温度に加熱された後、図２（ｄ）に示すように加熱装置９を抜き、金型６を閉じて所定の圧力で成形する。所定の圧力を保持した状態で冷却、固化した後、金型６を開き、成形品を取り出す。このように、金型６を開いた状態で混合物７を加熱するため、容易に混合物７を昇温させることができる。
【００２６】
（実施の形態３）
本発明の第３の実施形態は、第２の実施形態同様、黒鉛粉末と高分子化合物との混合物を金型に供給し、金型を開いた状態で、ここでは高周波により前記混合物中の黒鉛粉末を誘導加熱した後、金型を閉じて所定の形状に成形するもので、これにより、混合物を短時間で加熱することができるため、成形時間が短くなる。更に、黒鉛粉末を加熱するため、この作用、効果は高分子化合物の種類によらない。
【００２７】
図３は高周波加熱装置を用いた混合物の成形装置を示すものである。図３において、１０は高周波加熱装置としての多巻コイルで、このコイル１０からの高周波により、黒鉛粉末に渦電流が流れ、その抵抗損失によって発熱する。照射する高周波の周波数としては、例えば、１ｋＨｚ〜３００ＭＨｚの周波数を用いることができる。黒鉛粉末と高分子化合物の混合物７を金型６に供給し、コイル１０からの高周波を混合物７に照射して、混合物７中の黒鉛粉末を誘導加熱することにより、高分子化合物を溶融し、その後、金型６を閉じて成形する。高周波は、混合物７中の黒鉛粉末自体を誘導加熱するため、高分子化合物の種類によらず、混合物７を加熱することができる。
【００２８】
（実施の形態４）
本発明の第４の実施形態は、第３の実施形態同様、黒鉛粉末と高分子化合物との混合物を金型に供給し、金型を開いた状態で、ここではマイクロ波により前記混合物中の高分子化合物を誘電加熱した後、金型を閉じて所定の形状に成形するもので、これにより、効率的に短時間に均一に高分子化合物を溶融することができる。
【００２９】
図４はマイクロ波加熱装置２０を用いた混合物の成形装置を示すものである。マイクロ波発振器１４から照射されたマイクロ波は導波管１１を通って混合物７に照射される。導波管１１の途中には反射電力を計測するパワーモニター１２と反射電力を吸収させるアイソレータ１３が付属しており、大出力のマイクロ波でも安定して高効率な照射を得ることができる。マイクロ波の照射により、高分子化合物が誘電加熱されるため、短時間に均一に高分子化合物を溶融することができ、成形時間を短くできる。
【００３０】
マイクロ波としては、例えば、３００ＭＨｚ〜３０ＧＨｚの周波数のマイクロ波を用いることができる。黒鉛粉末と高分子化合物の混合物７を金型６内に供給し、マイクロ波を混合物７に照射して、高分子化合物を誘電加熱し、高分子化合物が溶融した後、金型６を閉じて成形する。マイクロ波により、高分子化合物自体が誘電加熱されるため、上記高周波による誘導加熱方式と比較してより短時間に均一に高分子化合物を溶融することができる。ただし、高分子化合物の種類により、マイクロ波で加熱されにくいものもあり、その場合は上記第３の実施形態における高周波による誘導加熱方式が有効である。
【００３１】
（実施の形態５）
本発明の第５の実施形態は、第３、第４の実施形態同様、黒鉛粉末と高分子化合物との混合物を金型に供給し、金型を開いた状態で、ここでは赤外線により前記混合物自体を加熱した後、金型を閉じて所定の形状に成形するもので、これにより、混合物を均一に加熱することができ、成形精度のよいセパレータを得ることができる。
【００３２】
図５は赤外線加熱装置を用いた混合物の成形装置を示すものである。図５において、１５は赤外線加熱装置としての赤外線照射装置で、混合物７中の黒鉛粉末と高分子化合物を同時に加熱することができる。赤外線の照射には、遠赤外線ヒーター、赤外線ランプ等を用いることができる。黒鉛粉末と高分子化合物の混合物７を金型６内に供給し、赤外線を照射して高分子化合物が溶融した後、金型６を閉じて成形する。赤外線を用いることにより、上記第３、第４の実施形態における高周波やマイクロ波による加熱方式と比較して、加熱時間は長くなるが、黒鉛粉末と高分子化合物を同時に加熱することができるため、流動性の悪いサンプルでもより精度良く、成形することが可能となる。
【００３３】
（実施の形態６）
本発明の第６の実施形態は、上記第１乃至第５の実施形態同様、黒鉛粉末と高分子化合物との混合物を金型に供給し、ここでは金型を閉じた状態で前記混合物自体を加熱して所定の形状に成形するもので、これにより、成形精度の良いセパレータを得ることができる。図６を用いて本実施形態の燃料電池用セパレータの製造方法について説明する。
【００３４】
図６（ａ）に示すように金型６を開いた状態で混合物７を金型に供給する。その後、図６（ｂ）に示すようにスキージ８で混合物７を平坦化した後、図６（ｃ）に示すように金型６を閉じて、所定の圧力をかけながら混合物７を所定の温度にまで加熱する。図６（ｄ）に示すように所定の圧力を保持した状態で冷却、固化した後、金型６を開き、成形品を取り出す。このように、金型６を閉じた状態で混合物を加熱するため、成形精度の良いセパレータを得ることができる。
【００３５】
（実施の形態７）
本発明の第７の実施形態は、上記第６の実施形態同様、黒鉛粉末と高分子化合物との混合物７を金型に供給した後、金型を閉じた状態とし、本実施形態では混合物７に通電することにより混合物７自体を加熱して所定の形状に成形するものである。図７は通電加熱による混合物の成形装置を示すものである。金型６の側面に通電するための端子１７を設け、通電装置１６から混合物７に通電する。
【００３６】
金型６はセラミックス等の絶縁材料を用いるか、あるいは金型表面に絶縁材料を形成する。混合物７に通電する場合、通電する電力量は作製するセパレータの大きさ、通電時間、成形温度、混合物７の抵抗率によって決定する。金型６には、両面にセパレータのガス流路形状に対応した図示しない溝形状のガス流路パターンが設けられており、混合物７の上面から下面に通電すると、前記ガス流路パターンのため均一に混合物７に電流が流れず、加熱ムラをおこしやすい。
【００３７】
そこで、混合物７への通電は、混合物７の面方向に電流が流れるように金型６に電極部１７を設置する。この通電加熱方式によれば、金型６を閉じて圧力を加えながら混合物７を加熱、溶融できるため、金型６を開いた状態で混合物７を加熱、溶融する方式と比較して、成形精度の良いセパレータを得ることができる。更に、従来の金型からの熱伝導で混合物を加熱する方式と比較して、成形時間を短縮することが可能となる。
【００３８】
（実施の形態８）
本発明の第８の実施形態は、上記第６、第７の実施形態同様、黒鉛粉末と高分子化合物との混合物を固体状態で金型に供給した後、金型を閉じた状態とし、金型を通じて混合物に超音波振動を付与し、混合物自体を加熱して所定の形状に成形するものである。図８は超音波振動を用いた成形装置を示すものである。超音波振動子１８から超音波を照射し、Ｌ−Ｌ変換体１９で方向を変換し、混合物７に振動エネルギーを与える。超音波振動を用いる場合、その振動周波数は１ｋＨｚ〜１００ｋＨｚが好ましく、振幅としては大きい方がその効果を十分発揮しやすいが、超音波振動子１８の能力、金型６の疲労度に合わせて設定する。超音波振動は、金型６のキャビティの形成位置と共振の腹部とを一致させるようにする。また、共振の節部を金型保持部と一致させるようにすることにより、金型保持部での振動を少なくすることができる。
【００３９】
超音波振動は、少なくとも黒鉛粉末と高分子化合物の混合物７を金型に供給し、金型６を閉じた時点から開くまでの時間、金型６全体に付与することが必要である。その際、金型６自体の温度も高分子化合物にあわせてコントロールすることが望ましい。超音波を与えることにより、混合物７自体が振動し、流動性が向上するため、成形精度が向上するとともに、混合物７の摩擦熱により混合物７を昇温させるため、加熱、冷却にかかる時間が短くなり、成形時間を短縮することができる。
【００４０】
【実施例】
以下に本発明の実施例について述べる。
【００４１】
（実施例１）
平均粒径５０μｍの人造黒鉛粉末（エスイーシー製ＳＧＢグレード）とＰＰＳ樹脂粉末（東レ製トレリナ粉末）を人造黒鉛粉末８０質量％、ＰＰＳ樹脂粉末２０質量％の割合で混合し、図９（ａ）に示すように混合物７を金型６内に粉末状態で供給した。金型６の温度は１５０℃で一定に保っている。次に、図９（ｂ）に示すようにスキージ８で混合物７を平坦化し、図９（ｃ）に示すように金型を開いた状態で、コイル１０からなる高周波発振装置２１（富士電波工機製）を進入せしめ、混合物７の上部から周波数４０ＭＨｚの高周波を照射した。混合物７の温度が３５０℃に達したとき、図９（ｄ）に示すように高周波発振装置２１を抜き、金型６を閉じて４００ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力で加圧した。３０秒後、金型６を開き成形品を取り出した。得られた成形体を用いた場合の電池特性は、従来のセパレータと同等の特性を示した。
【００４２】
（実施例２）
平均粒径５０μｍの人造黒鉛粉末（エスイーシー製ＳＧＢグレード）とＰＰＳ樹脂粉末（東レ製トレリナ粉末）を人造黒鉛粉末８０質量％、ＰＰＳ樹脂粉末２０質量％の割合で混合し、図１０（ａ）に示すように混合物７を金型６内に粉末状態で供給した。金型６の温度は１５０℃で一定に保っている。次に、図１０（ｂ）に示すようにスキージ８で混合物７を平坦化し、図１０（ｃ）に示すように金型６を開いた状態で、マイクロ波発信器１４（マグネトロン）を備えたマイクロ波加熱装置２０を挿入し、混合物７の上部から周波数２４５０ＭＨｚのマイクロ波を照射した。混合物７の温度が３５０℃に達したとき、図１０（ｄ）に示すようにマイクロ波加熱装置２０を抜き、金型６を閉じて４００ｋｇ／ｃｍ2の圧力で加圧した。３０秒後、金型６を開き成形品を取り出した。得られた成形体を用いた場合の電池特性は、従来のセパレータと同等の特性を示した。
【００４３】
（実施例３）
平均粒径５０μｍの人造黒鉛粉末（エスイーシー製ＳＧＢグレード）とＰＰＳ樹脂粉末（東レ製トレリナ粉末）を人造黒鉛粉末８０質量％、ＰＰＳ樹脂粉末２０質量％の割合で混合し、図１１（ａ）に示すように混合物７を金型６内に粉末状態で供給した。金型温度は１５０℃で一定に保っている。次に、図１１（ｂ）に示すようにスキージ８で混合物７を平坦化し、図１１（ｃ）に示すように金型６を開いた状態で、遠赤外線ランプを備えた赤外線照射装置１５を進入せしめ、混合物７の上部から加熱した。混合物７の温度が３５０℃に達したとき、図１１（ｄ）に示すように赤外線照射装置１５を抜き、金型６を閉じて４００ｋｇ／ｃｍ2の圧力で加圧した。３０秒後、金型６を開き成形品を取り出した。得られた成形体を用いた場合の電池特性は、従来のセパレータと同等の特性を示した。
【００４４】
（実施例４）
平均粒径５０μｍの人造黒鉛粉末（エスイーシー製ＳＧＢグレード）とＰＰＳ樹脂粉末（東レ製トレリナ粉末）を人造黒鉛粉末８０質量％、ＰＰＳ樹脂粉末２０質量％の割合で混合し、図１２（ａ）に示すように混合物７を金型６に粉末状態で供給した。金型温度は１５０℃で一定に保っている。次に、図１２（ｂ）に示すようにスキージ８で混合物７を平坦化し、図１２（ｃ）に示すように金型６を閉じて４００ｋｇ／ｃｍ2の圧力で加圧しながら、金型６に設けた電極１７を通して通電装置１６で混合物７に通電した後、図１２（ｄ）に示すように通電を止めて同じ圧力で６０秒保持した。得られた成形体を用いた場合の電池特性は、従来のセパレータと同等の特性を示した。
【００４５】
（実施例５）
平均粒径５０μｍの人造黒鉛粉末（エスイーシー製ＳＧＢグレード）とＰＰＳ樹脂粉末（東レ製トレリナ粉末）を人造黒鉛粉末８０質量％、ＰＰＳ樹脂粉末２０質量％の割合で混合し、図１３（ａ）に示すように混合物７を金型６内に粉末状態で供給した。次に、図１３（ｂ）に示すようにスキージ８で混合物７を平坦化し、その時の金型温度は２００℃であった。図１３（ｃ）に示すように金型６を閉じて４００ｋｇ／ｃｍ2の圧力で加圧しながら、金型６を２８０℃まで昇温するとともに、金型６を通して超音波振動子１８（精電舎電子工業製）から１９ｋＨｚの超音波をＬ−Ｌ変換体１９を通して５０秒間付与した。その後、超音波を止めて同じ圧力で６０秒保持しながら、金型６を２００℃まで冷却した。得られた成形体を用いた場合の電池特性は、従来のセパレータと同等の特性を示した。
【００４６】
【発明の効果】
本発明によれば、黒鉛粉末の配合比が高く、流れ性が悪い黒鉛／樹脂コンパウンドを用いて、成形時間が短く、成形精度の良い燃料電池用セパレータの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態における金型及び混合物の温度変化を示す図
【図２】（ａ）本発明の第２の実施形態における金型内への混合物供給状態を示す図
（ｂ）本図（ａ）に示す金型内の混合物を平坦化した状態を示す図
（ｃ）加熱装置を進入させた状態を示す図
（ｄ）金型を閉じて成形する状態を示す図
【図３】本発明の第３の実施形態における高周波加熱装置を用いた成形装置の概略図
【図４】本発明の第４の実施形態におけるマイクロ波加熱装置を用いた成形装置の概略図
【図５】本発明の第５の実施形態における赤外線加熱装置を用いた成形装置の概略図
【図６】（ａ）本発明の第６の実施形態における金型内への混合物供給状態を示す図
（ｂ）本図（ａ）に示す金型内の混合物を平坦化した状態を示す図
（ｃ）金型を閉じる状態を示す図
（ｄ）金型を閉じて圧力を維持する状態を示す図
【図７】本発明の第７の実施形態における通電加熱による成形装置の概略図
【図８】本発明の第８の実施形態における超音波振動を用いた成形装置の概略図
【図９】（ａ）本発明の実施例１における金型内への混合物供給状態を示す図
（ｂ）本図（ａ）に示す金型内の混合物を平坦化した状態を示す図
（ｃ）高周波発信装置を進入させ混合物に高周波を照射する状態を示す図
（ｄ）金型を閉じて加圧し、成形する状態を示す図
【図１０】（ａ）本発明の実施例２における金型内への混合物供給状態を示す図
（ｂ）本図（ａ）に示す金型内の混合物を平坦化した状態を示す図
（ｃ）マイクロ波加熱装置を進入させ混合物にマイクロ波を照射する状態を示す図
（ｄ）金型を閉じて加圧し、成形する状態を示す図
【図１１】（ａ）本発明の実施例３における金型内への混合物供給状態を示す図
（ｂ）本図（ａ）に示す金型内の混合物を平坦化した状態を示す図
（ｃ）赤外線照射装置を進入させ混合物を加熱する状態を示す図
（ｄ）金型を閉じて加圧し、成形する状態を示す図
【図１２】（ａ）本発明の実施例４における金型内への混合物供給状態を示す図
（ｂ）本図（ａ）に示す金型内の混合物を平坦化した状態を示す図
（ｃ）金型内の混合物に通電する状態を示す図
（ｄ）金型を閉じて圧力を維持する状態を示す図
【図１３】（ａ）本発明の実施例５における金型内への混合物供給状態を示す図
（ｂ）本図（ａ）に示す金型内の混合物を平坦化した状態を示す図
（ｃ）金型を閉じて超音波振動を付与する状態を示す図
【符号の説明】
１  従来の成形における金型の温度変化を表す曲線
２  従来の成形における混合物の温度変化を表す曲線
３  本発明の実施形態１における金型の温度変化を表す線
４  本発明の実施形態１における混合物の温度変化を表す曲線
５  熱可塑性樹脂の融点
６  金型
７  混合物
９  加熱装置
１０  コイル（高周波加熱装置）
１５  赤外線照射装置
１６  通電装置
１８  超音波振動子
２０  マイクロ波加熱装置
２１  高周波発信装置
【図１】
0004269553.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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