(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁磁性材から成形され、回転する第１のシャフトの軸線方向所定位置に取り付けられる第１のロータ、
固定部材に固定され、コア本体と、交流電流が流され、前記絶縁磁性材と協働して磁気回路を形成する励磁コイルとを有する固定コア及び
前記第１のロータに隣接し、前記第１のシャフトに対して相対回転する第２のシャフトに取り付けられ、前記第１のロータと前記固定コアとの間に配置される第２のロータを備え、
前記第１及び第２のシャフトの相対回転角度を検出する相対回転角度検出装置において、
前記第１のロータは、周方向に沿って所定間隔で金属遮蔽層が設けられ、前記第２のロータは、前記金属遮蔽層に対応する間隔で遮蔽歯が形成されていることを特徴とする相対回転角度検出装置。
【請求項２】
前記絶縁磁性材及び前記コア本体が、熱可塑性樹脂と軟質磁性材とを混合した絶縁性素材で形成されている、請求項１の相対回転角度検出装置。
【請求項３】
前記軟質磁性材の含有量が１０体積％以上、７０体積％以下である、請求項２の相対回転角度検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、相対回転角度検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
交流電流が流されたコイルの周囲に、円周方向に均一に分布する固定磁性部材と、円周方向に所定間隔で磁気遮蔽部が形成された可動磁性部材とを所定のギャップを介して配置する。そして、このように各部材を配置することで、前記ギャップを含めて磁気回路を形成し、前記ギャップを大きくしたり小さくさせたりして変化させると、前記ギャップの周方向に空間的な分布が不均一な交流磁界が形成されることが知られている。
【０００３】
そこで、図１０に示すように、コイルを有する固定磁性部材１と、外周に凹凸を有する磁性材ロータ２との間に複数の遮蔽歯３ａを有する金属ロータ３を所定のギャップをおいて配置し、例えば、自動車のステアリングシャフトに作用するトルク検出に用いる相対回転角度検出装置が知られている。この検出装置は、複数の遮蔽歯３ａが周方向に等間隔に配置され、両ロータ２，３の相対回転によって遮蔽歯３ａが、分布が不均一な前記交流磁界を横切ると、遮蔽歯３ａ内には渦電流が生ずる。この渦電流は、両ロータ２，３間の相対回転角度によって変動する。従って、この検出装置は、これらの部材内に誘導される渦電流の変動によって生ずる前記コイルのインピーダンス変化を測定することで、両ロータ２，３の相対回転角度、即ち、相対回転する２つの部材間における相対回転角度を検出する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記した分布が不均一な交流磁界を利用した相対回転角度検出装置は、前記ギャップ内の周方向における磁束密度の変動を示す図１１に示すように、磁束密度の変動ΔＢと、生じた磁界分布における強弱の境界領域Δθという２つのパラメータによって特性が左右される。即ち、相対回転角度検出装置は、磁束密度の変動ΔＢが大きい程、回転角度の検出感度が高く、磁界分布の境界領域Δθが小さい程、検出出力のリニア性が良い。
【０００５】
しかし、相対回転角度検出装置は、前記ギャップの大きさによって前記交流磁界の不均一な分布の程度を大きくするには、以下のような問題がある。
周知のように、磁気回路において、前記ギャップの大きさによる実効比透磁率の変動はリニアな特性から外れている。即ち、磁気回路においては、ギャップが小さい程、実効比透磁率の変動が大きい。上記のようにギャップ間に金属ロータ３を配置するので、ロータの製造精度及び回転精度を考慮すると、通常、相対回転角度検出装置は、図１０に示すように、ギャップＧ1を１ｍｍ以上に設定することが望ましい。但し、相対回転角度検出装置は、適正な検出感度を得るためには数ｍｍ程度のギャップ変動量が必要である。即ち、相対回転角度検出装置は、磁性材ロータ２の凹凸に伴うギャップ変動量ΔＧ（＝Ｇ2−Ｇ1）が、数ｍｍとなるような大きさにする必要がある。
【０００６】
一方、図１０に示す相対回転角度検出装置は、磁性材ロータ２の厚さを周方向に沿って複数の遮蔽歯３ａに対応させて周期的に変化させている。このため、前記検出装置は、固定磁性部材１と磁性材ロータ２との間に周方向に形成されるギャップが階段状であることから、磁束が高透磁率のコア材から低透磁率の空気中に流れ込む場合、コア材の角部に集中する特性がある。このため、角部に集中する磁束のために、前記検出装置では、磁界分布の境界領域Δθが大きくなり、検出出力のリニアな特性に悪影響を与える。
【０００７】
本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、小型で、検出出力がリニアな特性を有し、検出感度の高い相対回転角度検出装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明においては上記目的を達成するため、絶縁磁性材から成形され、回転する第１のシャフトの軸線方向所定位置に取り付けられる第１のロータ、固定部材に固定され、コア本体と、交流電流が流され、前記絶縁磁性材と協働して磁気回路を形成する励磁コイルとを有する固定コア及び前記第１のロータに隣接し、前記第１のシャフトに対して相対回転する第２のシャフトに取り付けられ、前記第１のロータと前記固定コアとの間に配置される第２のロータを備え、前記第１及び第２のシャフトの相対回転角度を検出する相対回転角度検出装置において、前記第１のロータは、周方向に沿って所定間隔で金属遮蔽層が設けられ、前記第２のロータは、前記金属遮蔽層に対応する間隔で遮蔽歯が形成されている構成としたのである。
【０００９】
好ましくは、前記絶縁磁性材及び前記コア本体を、熱可塑性樹脂と軟質磁性材とを混合した絶縁性素材で形成し、前記軟質磁性材の含有量を１０体積％以上、７０体積％以下とする。
【００１０】
【作用】
第１及び第２のロータが、相対回転すると、第２のロータの遮蔽歯を横切る磁界の平均磁束密度が変動する。これにより、第１のロータは、金属遮蔽層に生ずる渦電流の大きさが変動する。励磁コイルと接続された信号処理回路は、前記渦電流に起因した励磁コイルのインピーダンスの変動を測定することによって両ロータの相対回転角度を測定する。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の相対回転角度検出装置に係る一実施形態を図１乃至図９に基づいて詳細に説明する。
相対回転角度検出装置（以下、「検出装置」という）１０は、図１に示すように、第１ロータ１１、固定コア１２及び第２ロータ１３を備え、相対回転する第１シャフトＳF1と第２シャフトＳF2（図２参照）の相対回転角度を検出する。検出装置１０は、例えば、変換ジョイント（トーションバー）によって回転トルクを主動シャフトから従動シャフトへ伝達することで自動車のハンドルシャフトの回転トルクを検出する場合等に用いられ、両シャフトＳF1，ＳF2の相対回転角度は±８°の範囲内で変化する。
【００１２】
第１ロータ１１は、円筒状に成形され、図２に示すように、回転する第１シャフトＳF1の軸線方向所定位置に取り付けられる。第１ロータ１１は、図１に示すように、円筒軸１１ａの上部に半径方向外方へ延出するフランジ１１ｂが合成樹脂によって一体に形成され、円筒軸１１ａの外周に絶縁磁性部材１１ｃが取り付けられると共に、絶縁磁性部材１１ｃの表面に周方向に沿って所定間隔、例えば、中心角６０°間隔で金属遮蔽層となる複数の銅箔１１ｄが貼付されている。
【００１３】
但し、銅箔１１ｄは、絶縁磁性部材１１ｃの表面ではなく、内部に設けても良い。また、金属遮蔽層は、導電体であれば銅箔１１ｄの他、例えば、アルミニウム，銀，鉄等の素材を使用することができる。更に、金属遮蔽層は、理論上、中心角を小さくして配置間隔を小さくする程、前記遮蔽層あるいは遮蔽歯の数が多くなり、検出装置の部材内に誘導されるトータル渦電流の変化量（遮蔽層あるいは遮蔽歯の数に比例する）が大きくなって、相対回転角度の検出感度が高くなるが、測定できる角度範囲が小さくなる。本実施形態の検出装置１０は、前記のように複数の銅箔１１ｄを中心角６０°間隔で配置したので、測定可能な最大角度範囲は約３０°である。
【００１４】
ここで、電磁工学では、金属遮蔽層に必要な厚さｔ(ｍｍ)の目安として次式が広く使われている。
ｔ≧１／（ωκμ）1/2
但し、ωは信号の角周波数、κは金属遮蔽層の電気伝導率、μは真空の透磁率、である。
【００１５】
従って、上記式によれば、例えば、銅箔１１ｄで遮蔽層を製作する場合、１００ＫＨｚの磁界をほぼ遮蔽するのに必要な厚さは、約0.１５８ｍｍ以上である。実用上、銅箔１１ｄの厚さをｔ＝0.２ｍｍにした場合、１００ＫＨｚの交流磁界に対し、銅箔１１ｄが生ずる磁気抵抗は、後述する第１ロータ１１と固定コア１２との半径方向のギャップＧによる磁気抵抗より十分に大きくなる。即ち、銅箔１１ｄの遮蔽効果により、検出装置１０は、小型であっても、不均一な分布の程度が大きい交流磁界を形成することができる。
【００１６】
固定コア１２は、第１ロータ１１と半径方向にギャップＧ（図４参照）をおいてハンドルシャフト近傍に位置する固定部材（図示せず）に固定され、図４に示すように、絶縁磁性材からなるコア本体１２ａと、第１ロータ１１と協働して磁気回路ＰMG（図４参照）を形成する励磁コイル１２ｂとを有している。磁気回路ＰMGの磁束は図示のように集中して形成されるため、図４に示すように、第１ロータ１１の軸方向の高さを第２ロータ１３の軸方向の高さよりも高くすると、第１ロータ１１と第２ロータ１３とが軸方向に位置ずれするようなことがあっても、センサの出力の変動を抑えることができ好ましい。励磁コイル１２ｂは、外部へ延出させた電線１２ｃ（図１参照）によって図示しない信号処理回路と接続され、この信号処理回路から交流電流が流されている。
【００１７】
第２ロータ１３は、図１に示すように、リング状の本体１３ａに遮蔽歯となる複数の金属歯１３ｂをリング状に均等に配置して、各金属歯１３ｂはそれぞれ各銅箔１１ｄに対応する間隔を持つ。第２ロータ１３は、例えば、銅，銅合金，アルミニウム，アルミニウム合金，鉄，鉄合金よりなり、図１に示すように、複数の金属歯１３ｂは銅箔１１ｄ同様リング状に均等に配置され、各銅箔１１ｄに対応して設けられている。第２ロータ１３は、次のように構成することもできる。即ち、絶縁材で製作された筒状の表面あるいは内部に一定の厚さの遮蔽層（例えば0.２ｍｍの銅箔，或いはアルミニウム，銀，鉄等の素材のもの）を銅箔１１ｄと同数を銅箔１１ｄに対応させてリング状に均等に配置する。第２ロータ１３は、第１ロータ１１に隣接し、第１シャフトＳF1に対して相対回転する第２シャフトＳF2（図２参照）に取り付けられ、複数の金属歯１３ｂは、図２に示すように、第１ロータ１１と固定コア１２との間に配置される。
【００１８】
以上のように構成される検出装置１０は、第１ロータ１１を第１シャフトＳF1に、第２ロータ１３を第２シャフトＳF2に、それぞれ取り付けるとともに、固定コア１２を前記固定部材に固定して組み立てられる。
そして、組み立てられた検出装置１０においては、励磁コイル１２ｂを流れる交流電流による磁束が、図４に示す磁気回路ＰMGに沿って流れる。これにより、第１ロータ１１の複数の銅箔１１ｄを交流磁界が横切るため、銅箔１１ｄ内に渦電流が誘起される。このとき、渦電流によって誘起される交流磁界の方向は、励磁コイル１２ｂを流れる交流電流による交流磁界の方向と逆になる。結果として、遮蔽層が存在する上記ギャップ部分の空間にコイルの交流励磁電流による磁束と上記渦電流による磁束の方向は逆となるため、トータル磁束密度がが小さくなり、反対に遮蔽層が存在しない上記ギャップ部分の空間にコイルの交流励磁電流による磁束の方向は同じとなるため、トータル磁束密度が大きくなる。
【００１９】
このため、検出装置１０においては、第１ロータ１１と固定コア１２との間に形成されるギャップＧ内に、図３に示すように、銅箔１１ｄが存在し、磁束密度が小さい領域Ａspと、銅箔１１ｄが存在せず、磁束密度が大きい領域Ａdeが周方向に交互に形成される。この結果、検出装置１０は、第１ロータ１１と固定コア１２との間のギャップＧ内に、間隔が中心角を６０°とする不均一な磁界が周方向に形成される。ここで、図３は、第１ロータ１１の円筒軸１１ａを図示せずに省略している。
【００２０】
従って、第１ロータ１１が第１シャフトＳF1と共に第２ロータ１３に対して相対回転すると、前記不均一な磁界も第１ロータ１１と共に周方向に沿って回転する。このため、ギャップＧ内では、中心角６０°間隔で周方向に形成された金属歯１３ｂがこの不均一な磁界を横切り、その際第１ロータ１１と第２ロータ１３との相対回転によって金属歯１３ｂが磁束密度が小さい領域Ａspに位置する面積と、磁束密度が大きい領域Ａdeに位置する面積の割合が変化し、横切るトータル磁束の量は変化するので、金属歯１３ｂに生ずる渦電流の大きさが変化する。
【００２１】
従って、検出装置１０においては、金属歯１３ｂに生ずる渦電流の大きさが異なり、励磁コイル１２ｂのインピーダンスは、第１ロータ１１と第２ロータ１３との相対回転角度によって変動する。そこで、検出装置１０は、励磁コイル１２ｂと接続された信号処理回路において公知の方法で前記インピーダンスを測定すれば、第１ロータ１１と第２ロータ１３との相対回転角度を簡単に検出することができる。
【００２２】
ここで、本発明の検出装置１０は、固定コア１２に対して第１ロータ１１がギャップＧを置いて回転する構造のため、構成部材間のギャップの大きさが、製造コストに直接影響する。即ち、検出装置１０は、ギャップＧを数μｍ程度に設定することは非常に困難で、このようなギャップとするには、構成部品の製作精度、構成部品間の組立精度が厳しく要求される。特に、本発明の検出装置１０は、自動車のハンドルシャフトにおける回転トルクの検出に用いる場合、自動車の走行に伴う振動等を考慮して、ギャップＧをｍｍオーダーに設定することが理想である。
【００２３】
このとき、前記した磁気回路ＰMGの実効透磁率は、絶縁磁性部材１１ｃやコア本体１２ａの比透磁率とギャップＧの大きさによって決まる。特に、磁気回路ＰMGの長さとギャップＧの大きさとの比が、磁性材の比透磁率と同じオーダーである場合、磁気回路ＰMGの実効透磁率は殆どギャップＧの大きさによって左右されるので、磁性材の比透磁率の影響は非常に小さくなる。例えば、磁気回路ＰMGの長さが１００ｍｍに対して、ギャップＧが約数ｍｍの場合のように、磁気回路ＰMGの長さとギャップＧとの比が、軟質磁性材の比透磁率に比べて非常に小さい場合、実効透磁率は殆どギャップＧの大きさによって決まる。
【００２４】
即ち、検出装置１０は、絶縁磁性部材１１ｃやコア本体１２ａの比透磁率がいくら大きくても、磁気回路ＰMGの実効透磁率は、ほぼギャップＧの大きさによって決まってしまう。
従って、絶縁磁性部材１１ｃやコア本体１２ａは、ナイロン，ポリプロピレン（ＰＰ），ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ），ＡＢＳ樹脂等の電気絶縁性を有する熱可塑性合成樹脂に、Ｎｉ−ＺｎやＭｎ−Ｚｎ系のフェライトからなる軟質磁性材粉を、軟質磁性材の含有量が１０〜７０体積％で混合したものから成形する。
【００２５】
これにより、本発明の検出装置１０は、磁気回路ＰMGの実効透磁率がフェライトを用いた従来の軟質磁性材に比べてやや小さくなるが、耐振動性が向上し、製造が容易でコストダウンが図られ、大量生産に向いている等、得られるメリットが大きい。
また、励磁コイル１２ｂのインピーダンスに影響を与える渦電流は、絶縁材でもある前記コア材内からは発生せず、金属遮蔽層、即ち、銅箔１１ｄのみから生ずるため、検出装置１０は、検出感度や検出出力のより一層リニアな特性が得られる。
【００２６】
次に、本発明の検出装置に係る第２の実施形態を図５及び図６に基づいて説明する。
検出装置１５は、図５に示すように、第１ロータ１６、固定コア１７及び第２ロータ１８を備え、これらは第１の実施形態と同じ素材で構成され、第１の実施形態と同様にして第１シャフトＳF1等に取り付けられる。
【００２７】
第１ロータ１６は、絶縁磁性材からなる円筒体１６ａの表面の周方向半分に銅箔１６ｂが貼付されている。
固定コア１７は、第１の実施形態の固定コア１２と同様に、絶縁磁性材からなるコア本体１７ａと励磁コイル（図示せず）とを有している。
第２ロータ１８は、図６に示すように、円筒を周方向に半分切り欠いて半周分の遮蔽歯１８ａが周方向に形成され、下部に半径方向内方へ突出させて形成したフランジ１８ｂの中央には、図示しない第２シャフトに取り付ける取付開口１８ｃが形成されている。
【００２８】
検出装置１５は、上記のように構成することによって、前記励磁コイルに交流電流を流すと、第１ロータ１６と固定コア１７との間に形成されるギャップ内に、図５に示すように、銅箔１６ｂが存在し、磁束密度が小さい領域Ａspと、銅箔１６ｂが存在せず、磁束密度が大きい領域Ａdeが周方向に半々に形成される。この結果、検出装置１５は、第１ロータ１６と固定コア１７との間の前記ギャップ内に、中心角を１８０°とする不均一な磁界が周方向に形成され、１８０°の回転角度が検出できるが、例えば、絶対位置センサーを利用する等して、ロータの０°の絶対位置検出をすれば、３６０°、即ち、１回転までの回転角度を検出することができる。
【００２９】
次いで、本発明の検出装置に係る第３の実施形態を図７に基づいて説明する。検出装置２０は、第１ロータ２１、固定コア２２及び第２ロータ２３を備え、相対回転する第１シャフトＳF1と第２シャフトＳF2の相対回転角度を検出する。第１ロータ２１は、絶縁磁性材からなり、円板２１ａ上に複数の所定の中心角をを持つ扇形状の銅箔が所定の間隔で貼付されている。第１ロータ２１は、図示のように、第１シャフトＳF1に取り付けられる。
【００３０】
固定コア２２は、第１ロータ２１と第１シャフトＳF1の軸方向にギャップＧをおいてハンドルシャフト近傍に位置する固定部材（図示せず）に固定され、図示のように、絶縁磁性材からなるコア本体２２ａと、第１ロータ２１と協働して磁気回路ＰMGを形成する励磁コイル２２ｂとを有している。
第２ロータ２３は、例えば、銅，銅合金，アルミニウム，アルミニウム合金，鉄，鉄合金，銀等の金属円板から所定の中心角の扇形を複数切り欠いて第１ロータ２１の複数の本体２１ａに対応する複数の遮蔽歯２３ａが放射状に形成されている。また、次のように構成してもよい。即ち、絶縁性を持つプラスチック等からなる円板上に、前記扇形状の銅箔に対応して該扇形状の銅箔と同数の所定の中心角を持つ扇形の金属箔が所定の間隔で貼付されている。第２ロータ２３は、第１ロータ２１に隣接し、第１シャフトＳF1に対して相対回転する第２シャフトＳF2に取り付けられ、複数の遮蔽歯２３ａは、図示のように、第１ロータ２１と固定コア２２との間に配置される。
【００３１】
従って、本実施形態の検出装置２０は、第１ロータ２１と固定コア２２との間のギャップＧ内に、周方向に不均一な磁界が形成され、この不均一な磁界を第２ロータ２３の複数の遮蔽歯２３ａが横切ることによって渦電流が生ずる。検出装置２０は、この渦電流の変化に伴う、励磁コイル２２ｂのインピーダンスを、第１の実施形態と同様にして測定することで、第１ロータ２１と第２ロータ２３との相対回転角度を簡単に検出することができる。
【００３２】
また、本発明の検出装置は、第１ロータ２１、固定コア２２及び第２ロータ２３を第１シャフトＳF1の軸方向に重ねた構成であるので、半径方向における大きさを低減する場合に有効である。
ここで、上記各実施形態においては、第１ロータ１１，１６，２１を第１シャフトＳF1に、第２ロータ１３，１８，２３を第２シャフトＳF2に、それぞれ取り付けた。しかし、本発明の検出装置は、第１のロータと固定コアとの間に第２のロータが配置されていれば、第１ロータ１１，１６，２１を第２シャフトＳF2に、第２ロータ１３，１８，２３を第１シャフトＳF1に、それぞれ取り付けてもよいことは言うまでもない。
【００３３】
以上説明した本発明の検出装置は、例えば、次のように構成することで、自動車のハンドルシャフトの回転トルクを検出するトルクセンサと回転角度を検出する舵角センサを備えたセンサユニットとして応用することができる。
即ち、図８に示すセンサユニット２５は、トルク検出コア２６、舵角検出コア２７、磁性材ロータ２８及び金属ロータ２９を備え、トルク検出コア２６と舵角検出コア２７とが上下方向（ハンドルシャフトの軸方向）に重ねられている。
【００３４】
トルク検出コア２６及び舵角検出コア２７は、それぞれ絶縁磁性材からなるコア本体２６ａ，２７ａと、磁性材ロータ２８と協働して磁気回路を形成する励磁コイル２６ｂ，２７ｂとを有している。そして、トルク検出コア２６は固定金具３１に、舵角検出コア２７は固定金具３２に、それぞれ固定され、両コア２６，２７間には金属スペーサ３３が配置されている。ここで、固定金具３１，３２は、自動車内のハンドルシャフト近傍に配置されている。
【００３５】
磁性材ロータ２８は、円筒状に成形され、中心軸方向中央には周方向にスリット２８ａが形成されている。
金属ロータ２９は、磁性材ロータ２８よりも直径の小さい本体２９ａの上部から半径方向外方へフランジ２９ｂが延出し、フランジ２９ｂ先端に上下両方向へ延出し、磁性材ロータ２８とトルク検出コア２６あるいは舵角検出コア２７との間に配置される遮蔽歯２９ｃが複数形成されている。
【００３６】
一方、図９に示すセンサユニット３５は、トルク検出コア３６、舵角検出コア３７、磁性材ロータ３８及び金属ロータ３９を備え、トルク検出コア３６と舵角検出コア３７とが半径方向に同心円状に配置されている。
トルク検出コア３６及び舵角検出コア３７は、それぞれ絶縁磁性材からなるコア本体３６ａ，３７ａと、磁性材ロータ３８と協働して磁気回路を形成する励磁コイル３６ｂ，３７ｂとを有している。トルク検出コア３６は、磁性材ロータ３８との間に所定のギャップが形成され、舵角検出コア３７は、コア本体３７ａに金属ロータ３９の後述する遮蔽歯３９ｃを配置する溝３７ｃが周方向に形成されている。そして、トルク検出コア３６及び舵角検出コア３７は、金属製の遮蔽ケース４１に収容される。
【００３７】
磁性材ロータ３８は、円筒状に成形されている。
金属ロータ３９は、本体３９ａから半径方向外方へフランジ３９ｂが延出し、フランジ３９ｂから下方へ延出し、磁性材ロータ３８とトルク検出コア３６あるいは舵角検出コア３７との間に配置される遮蔽歯３９ｃが複数周方向に形成されている。
【００３８】
従って、センサユニット２５あるいはセンサユニット３５を、設置スペースに応じて適宜選択することにより、自動車のハンドルシャフトの回転トルクと回転角度とを同時に検出することができる。
尚、上記各実施形態は、自動車のハンドルシャフトに関連した相対回転角度の検出について説明した。しかし、本発明の相対回転角度検出装置は、例えば、互いに連結され、相対回転する２本ロボットアームの相対回転角度を検出する用途にも使用可能である。
【００３９】
【発明の効果】
請求項１乃至３の発明によれば、小型で、検出出力がリニアな特性を有し、検出感度の高い相対回転角度検出装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の相対回転角度検出装置の第１の実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１の相対回転角度検出装置を第１及び第２のシャフトに取り付けた状態を示す断面図である。
【図３】組み立てた相対回転角度検出装置の平面図である。
【図４】図２の相対回転角度検出装置の右半側を拡大して概略構成を示す断面図である。
【図５】本発明の相対回転角度検出装置の第２の実施形態を示す平面図である。
【図６】図５の検出装置で用いる第２のロータの斜視図である。
【図７】本発明の相対回転角度検出装置の第３の実施形態を示す図２に対応する断面図である。
【図８】本発明の相対回転角度検出装置の第１の応用例を示すもので、センサユニットを直径に沿って切断した断面図である。
【図９】本発明の相対回転角度検出装置の第２の応用例を示すもので、センサユニットを直径に沿って切断した断面図である。
【図１０】従来の相対回転角度検出装置の平面図である。
【図１１】従来の相対回転角度検出装置に形成されるギャップの周方向における磁束密度の変動ΔＢと、生じた磁界分布における強弱の境界領域Δθを示す磁束密度の変動特性図である。
【符号の説明】
１０                  検出装置
１１                  第１ロータ
１１ｃ                絶縁磁性部材
１１ｄ                銅箔（金属遮蔽層）
１２                  固定コア
１２ａ                コア本体
１２ｂ                励磁コイル
１３                  第２ロータ
１３ｂ                金属歯（遮蔽歯）
１５                  検出装置
１６                  第１ロータ
１６ｂ                銅箔（金属遮蔽層）
１７                  固定コア
１７ａ                コア本体
１８                  第２ロータ
１８ａ                遮蔽歯
２０                  検出装置
２１                  第１ロータ
２１ａ                本体
２１ｂ                銅箔（金属遮蔽層）
２２                  固定コア
２２ａ                コア本体
２２ｂ                励磁コイル
２３                  第２ロータ
２３ａ                遮蔽歯
Ｇ                    ギャップ
ＳF1                  第１シャフト
ＳF2                  第２シャフト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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