(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と、第１基板に接着剤を介して積層された第２基板とを有する積層体の製造装置において、
回転テーブルと、
回転テーブル上に設けられ第１基板を載置する定盤と、
回転テーブルに設けられ、第２基板を保持する保持ピンとを備え、
保持ピンは第２基板に当接する突出部を有し、垂直断面が略Ｌ字状をなすことを特徴とする積層体の製造装置。
【請求項２】
保持ピンの突出部は水平断面が外方へ向って末広状となっていることを特徴とする請求項１記載の積層体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学フィルム等を貼り合わせた基板に、接着剤を介して薄いガラスを貼り合わせてなる積層体の製造装置に係り、とりわけ基板を保持する保持ピンの汚れを防止することができる積層体の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品や光学部品において、種々の機能を付与した基板の表面に薄板ガラスを被覆して形成された積層体が知られている。
【０００３】
従来、これら基板を薄板で被覆した積層体を製造するには、例えば、基板と薄板とを接着剤を介して重ねた後、平面性の高い一対の加圧板で挟み、接着剤層の厚みが所定の厚みになるまで加圧し、その後、接着剤を硬化させている。しかし、この方法では、重ねた基板と薄板との間からはみ出して接着剤が基板や薄板の接着とは関係のない加圧板側面に回り込むため、加圧に使用する平面性の高い加圧板を再利用するのに支障を生じている。また接着剤層の厚みの制御の精度が不十分であり、各部分の加圧を一定圧に保つことも難しい。さらに、基板と薄板が一対の加圧板により加圧されているため、基板および薄板と、一対の加圧板との密着度が高まって剥離も容易ではない等の不利がある。
【０００４】
そこで、基板をスピンナー（回転テーブル）の真空チャック上に装着し、液状の接着剤を滴下し、その上に薄いガラスを重ねてエアーにより加圧して接着剤を全面に行き渡らせ、その後、スピンナーを回転させて余剰の接着剤を飛散させて、両者を密着させ、真空チャックより取り外す方法が考えられている（特開昭５５−６８０４０号公報）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、スピンナーを回転させて接着剤を飛散させ、基板と薄板ガラスとを積層して積層体を製造する方法が開発されている。この場合、スピンナーに配置された基板と薄板ガラスは、スピンナーに設けられた保持ピンにより保持される。
【０００６】
しかしながらスピンナーの回転中に接着剤が保持ピンの外面に付着し、保持ピンに付着した接着剤が次回製造される積層体の外面に移り積層体を汚してしまうことがある。
【０００７】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、接着剤が保持ピンに付着することを抑制することができる積層体の製造装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、第１基板と、第１基板に接着剤を介して積層された第２基板とを有する積層体の製造装置において、回転テーブルと、回転テーブル上に設けられ第１基板を載置する定盤と、回転テーブルに設けられ、第２基板を保持する保持ピンとを備え、保持ピンは第２基板に当接する突出部を有し、垂直断面が略Ｌ字状をなすことを特徴とする積層体の製造装置である。
【０００９】
本発明によれば、保持ピンはその突出部において第２基板とのみ当接するよう垂直断面が略Ｌ字状をなしているので、回転テーブルの回転中に保持ピン外面に接着剤が付着することを防止できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００１１】
図１乃至図６は、本発明による積層体の製造装置を示す図である。まず、図４により積層体の製造装置により製造される積層体について説明する。
【００１２】
積層体１０は、薄板ガラス（第１基板）３と、薄板ガラス３上に設けられた接着剤４と、接着剤４上に順次設けられたホログラム層８および基板ガラス（第２基板）５とを備えている。
【００１３】
このような層構成からなる積層体１０は、積層体の製造装置により製造される。この製造装置は、スピンナー（回転テーブル）１と、回転テーブル１上に設けられ積層体１０のうち基板ガラス５と当接し、この基板ガラス５を保持する保持ピン６とを備えている。
【００１４】
また回転テーブル１上には平面性を有する定盤２が載置されており、さらに回転テーブル１には定盤２を真空吸引するためのエアチャック１ａが設けられている。
【００１５】
また保持ピン６は突出部６ａを有するよう垂直断面が略Ｌ字状に形成されている。この突出部６ａは基板ガラス５とのみ当接し、積層体１０の他の層とは当接しないようになっている。
【００１６】
また保持ピン６の突出部６ａは外方へ向って末広状の水平断面を有しており、この末広状水平断面により保持ピン６外面に接着剤４が付着しにくくなっている。
【００１７】
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００１８】
まず、図１に示すように、アルミニウム製等の回転テーブル１上に定盤２をエアチャック１ａにより固定する。定盤２の固定は、機械的に行なってもよい。
【００１９】
定盤２の表側の面、即ち、エアチャック１ａで固定した面とは反対側の面は、平面性を高めた平坦面である事が望ましく、フラットネス（平担度）が０．５μｍ以下のもので、材質は例えば、石英ガラスのものを使用する。このように平面性を高めると、後述する薄板ガラス３の密着工程（図２参照）で、定盤２と薄板ガラス３が隙間無しに接するので、エアチャック１ａにより真空吸引を続けるような操作を伴うこと無く、密着が保たれる。すなわち、定盤２の平面性により、貼り合わせ後の積層体１０の表面の平面性を容易に形成することができ、かつ、密着により薄板ガラス３を定盤２に固定することができる。このとき、薄板ガラス３が定盤２以外に何も接触することがないため、回転テーブル１の回転時に薄板ガラス３へ余計な応力がかからず、安定した回転が得られる。
【００２０】
定盤２の大きさは非塗布体である薄板ガラス３の大きさに匹敵するものである。ただし、定盤２は、図２に示すように、被塗布体である薄板ガラス３よりもひとまわり小さい方が、滴下された接着剤４が、回転テーブル１の回転により振り切られて飛び散り、定盤２側に回り込み定盤に付着する煩雑さが生じない。逆に定盤２があまり小さいと、被塗布体である薄板ガラス３を密着させる能力が減るとともに、定盤２からはみ出した部分の薄板ガラス３を規制するものがなくなってしまい、平面性が低下する。
【００２１】
定盤２の大きさは、薄板ガラス３の６０〜９０％程度が好ましい。また、定盤２はエアチャック１ａ等の固定手段によりたわむことがないよう、十分厚い方がよい。
【００２２】
一例として、６５ｍｍ×６５ｍｍ、厚み１００μｍの薄板ガラス３を置くための定盤２は、５３ｍｍ×５３ｍｍ、厚み６ｍｍとなっており、また、基板ガラス５の大きさは、６５ｍｍ×６５ｍｍ、厚み１．１ｍｍである。
【００２３】
次に図２に示すように、固定された定盤２の上に薄板ガラス３を置いて密着させる。密着のために、薄板ガラス３上から加圧することが望ましく、（１）重量のあるものを置く、（２）プレス手段を用いてプレスする、または（３）エアブロウを適用する等の手段を行なう。このうち、非接触で圧力をかける事ができる（３）のエアブロウによるのが望ましい。
【００２４】
あるいは、定盤２と薄板ガラス３との間に、異物を排除したキシレン等の溶剤や純水等の液体を塗布して、容易に密着面を形成することもでき、このような液体の適用とエアブロウを併用してもよい。液体を使用した際には、貼り合わせが終了した後に乾燥や洗浄を行なって、液体を除去する必要がある。
【００２５】
定盤２と薄板ガラス３との密着により、定盤２の表面は高度の平面性が保たれているために、ここに密着した薄板ガラス３は、薄板ガラス３自身の厚みムラや多少のたわみがあっても、定盤２により矯正され、薄板ガラス３の下面、即ち、定盤２に接している面が、定盤２の持つ平面性を持つようになる。
【００２６】
次に図３に示すように、薄板ガラス３の表面に、液状の接着剤４を滴下し、その上に貼り合わせるべきホログラム層８と基板ガラス５を載置する。
【００２７】
液状の接着剤４をディスペンサー等を使用して滴下する際、貼り合わせに十分かつ過剰でない量になるよう、吐出条件を設定しておき、気泡が混入しないよう注意して行なう。基板ガラス５の重量、接着剤４の吐出量にもよるが、基板ガラス５の自重により接着剤４が多少広がって、図３に示すような状態になる。この場合、基板ガラス５は、保持ピン６の突出部６ａにより４箇所で保持される。
【００２８】
続いて、図４に示すように回転テーブル１を高速回転させると、接着剤４が薄板ガラス３と基板ガラス５との間の周囲まで行き渡り、それに伴って接着剤４の厚みが減少し、あまった接着剤４が周囲よりはみ出す。この余剰の接着剤４は遠心力により振り切られる。
【００２９】
このとき、接着剤４の粘度、経過時間に対する回転数（＝回転数／分）、および回転時間を調整する事により、接着剤４の厚みの制御を行なうことができる。
【００３０】
以上の工程により、薄板ガラス３と、ホログラム層８および基板ガラス５が接着剤４により積層され、このようにして積層体１０が得られる。
【００３１】
接着剤４の種類によっては、その後、回転を停止させるか、あるいは所定の時間だけ高速回転させた後に、回転数を落として低回転数で回転させる。この間、接着剤４が熱硬化性のものであれば、ヒーターまたは温風等で加熱する。また接着剤４が電離放射線硬化性のものであれば、電離放射線（例えば、電子線や紫外線）を照射して、接着剤を硬化させる。この後の工程で、基板ガラス５と、ホログラム層８と、薄板ガラス３が一体になった積層体１０を定盤２から剥がす必要がある。このため、接着剤４としては電離放射線硬化性のものを使用し、電離放射線照射により十分硬化させておく事が望ましい。
【００３２】
回転テーブル１の回転中、積層体１０を構成する基板ガラス５は保持ピン６により保持されるので、基板ガラス５のずれを防止することができる。また回転テーブル１の回転中、接着剤４の余剰分が遠心力により飛散するが、保持ピン６は突出部６ａにおいて基板ガラス５とのみ当接するようになっており、更に突出部６ａの水平断面が外方に向って末広状となっているので、接着剤４が保持ピン６に付着することを抑制することができる。このように保持ピン６外面に接着剤４が付着することを防止できるので、次回以降に製造される積層体１０の外面が接着剤４により汚れることはない。
【００３３】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、回転テーブルの回転中に飛散する接着剤が保持ピンに付着することを防止できる。このため、次回以降に製造される積層体に保持ピンから接着剤が付着し、これにより積層体を汚すことはない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による積層体製造装置において、回転テーブルに定盤を固定した状態を示す断面図。
【図２】定盤に薄板ガラスを密着させた状態を示す断面図。
【図３】薄板ガラス上に接着剤を滴下し、基板ガラスとホログラム層を重ねた状態を示す断面図。
【図４】回転テーブルを回転して得られた積層体を示す断面図。
【図５】本発明による積層体の製造装置を示す斜視図。
【図６】本発明による積層体の製造装置を示す平面図。
【符号の説明】
１  回転テーブル
２  定盤
３  薄板ガラス
４  接着剤
５  基板ガラス
６  保持ピン
６ａ  突出部
８  ホログラム層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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