(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パラメータ変更画面を起動するグラフィカルユーザーインターフェースを有する製造装置において、複数のオペレーションを行なって起動するパラメータ変更画面を一度のオペレーションで起動するショートカットボタンをカスタマイズする方法であって、
変更されたパラメータのＩＤを第１のファイルに時系列順に保存し、
前記第１のファイルを参照して、第１の回数以上変更されたパラメータのパラメータ変更画面に対してショートカットボタンを作成し、
ショートカットボタンを作成された前記パラメータのＩＤを前記第１のファイルから削除し、
ショートカットを作成されたパラメータのＩＤを第２のファイルに保存し、
前記第２のファイルに保存されたＩＤを有するパラメータのそれぞれに関して、前記第１のファイルにおいて、その最新の変更から他のパラメータの変更が第２の回数以上行われた場合、または、その最新の変更から変更が一定期間以上行われなかった場合、ショートカットボタンを削除し、
ショートカットボタンを削除された前記パラメータのＩＤを前記第２のファイルから削除する、
ことを特徴とする方法。
【請求項２】
パラメータ変更画面を起動するグラフィカルユーザーインターフェースを有し、複数のオペレーションを行なって起動するパラメータ変更画面を一度のオペレーションで起動するショートカットボタンをカスタマイズする機能を有する製造装置であって、  
変更されたパラメータのＩＤを第１のファイルに時系列順に保存し、
前記第１のファイルを参照して、第１の回数以上変更されたパラメータのパラメータ変更画面に対してショートカットボタンを作成し、
ショートカットボタンを作成された前記パラメータのＩＤを前記第１のファイルから削除し、
ショートカットを作成されたパラメータのＩＤを第２のファイルに保存し、
前記第２のファイルに保存されたＩＤを有するパラメータのそれぞれに関して、前記第１のファイルにおいて、その最新の変更から他のパラメータの変更が第２の回数以上行われた場合、または、その最新の変更から変更が一定期間以上行われなかった場合、ショートカットボタンを削除し、
ショートカットボタンを削除された前記パラメータのＩＤを前記第２のファイルから削除する、
ことを特徴とする製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、グラフィカルユーザーインターフェースを有する製造装置におけるショートカットボタンのカスタマイズに関する。
【０００２】
【従来の技術】
パソコン（ＰＣ）やワークステーション（ＷＳ）に搭載されているオペレーティングシステム（ＯＳ）のマンマシンインターフェースは、従来はキャラクター表示端末へのキーボードからのコマンド入力で行なわれていたものから、現在はそのコンピュータで動作中のアプリケーションソフト一つ一つに対応するウィンドウを表示し、マウスやキーボードでウィンドウ上のオブジェクトを選択したり実行したりする操作を基本としたグラフィカルユーザーインターフェース（ＧＵＩ）が主流となっている。近年では、こういったマンマシンインターフェースが各種製造装置などにも取り入れられ、操作性の高いものとなっている。
【０００３】
一般的にこういったインターフェースの場合、オブジェクト（メニュー）が機能別・目的別毎に階層化されており、その階層をたどることで目的の動作を行なう事ができる。
【０００４】
図１はその一例である。この図は半導体製造装置におけるマシンパラメータを変更するときのパラメータ変更画面の階層構造である。図１中の下方の階層にある例えば「露光中のジョブ／レチクルファイルのロード（Load Job/Reticle File in Exposing ）」というパラメータを実行するには、ルートである「トップウィンドウ」から５段階の階層をたどらなければならないが、頻繁に変更するパラメータに対しては、直接変更できるようショートカットボタンを作成することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のようなショートカットボタン機能は、通常、ある特定の行ないたい動作に対して前もってプログラム上でボタンの登録、削除を行なう必要があり、オペレータ毎にショートカットを作成したい機能が異なったり、要らなくなったショートカットボタンの削除をすることが容易ではなかったりと、ショートカットボタンをカスタマイズする事が出来なかった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
第１の発明は、グラフィカルユーザーインターフェースを有する製造装置において、複数のオペレーションを行なって起動するパラメータ変更画面を一度のオペレーションで起動するショートカットボタンをカスタマイズする方法であって、
変更されたパラメータのＩＤを第１のファイルに時系列順に保存し、
前記第１のファイルを参照して、第１の回数以上変更されたパラメータのパラメータ変更画面に対してショートカットボタンを作成し、
ショートカットボタンを作成された前記パラメータのＩＤを前記第１のファイルから削除する、
ことを特徴とする方法である。
【０００７】
また、第２の発明は、グラフィカルユーザーインターフェースを有し、複数のオペレーションを行なって起動するパラメータ変更画面を一度のオペレーションで起動するショートカットボタンをカスタマイズする製造装置であって、
変更されたパラメータのＩＤを第１のファイルに時系列順に保存し、
前記第１のファイルを参照して、第１の回数以上変更されたパラメータのパラメータ変更画面に対してショートカットボタンを作成し、
ショートカットボタンを作成された前記パラメータのＩＤを前記第１のファイルから削除する、
ことを特徴とする製造装置である。
【０００８】
本発明の製造装置は何を製造する装置であっても良いが、例として半導体製造装置が挙げられる。
【０００９】
【実施例】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
実施例１
本実施例では、半導体集積回路の製造に用いられる半導体露光装置を取り上げる。半導体露光装置は図９のような構成になっている。
【００１０】
一方、図１は半導体露光装置におけるパラメータ変更ウィンドウの階層構造である。同図中、露光中にジョブファイルの変更を可能にするかどうかを切り替える、
「露光中のジョブ／レチクルファイルのロード」…（Ｉ）
というパラメータがある。ショートカットボタンを作成していない場合、このパラメータを変更するため機能のＯＮ／ＯＦＦを切り替えるには、トップのウィンドウから「エディットパラメータ」→「ユーザーセットアップパラメータ」→「シーケンス等」 →「露光中のジョブ／レチクルファイルのロード」というオペレーション手順を踏まなければならない。
【００１１】
そこで本実施例では、パラメータ（Ｉ）に５回以上の変更が行なわれた場合、図２（１）のようにメインとなるウィンドウに自動的にショートカットボタンが作成される機能を実現する。
【００１２】
＜パラメータ変更履歴保存処理＞
本発明を実現する為には、まず変更されたパラメータの履歴を保存しなければならない。図３はこのパラメータ変更履歴保存処理の流れを示している。
Ｆ３−Ｓ１では、データベース中のパラメータが変更された時、パラメータＩＤ（パラメータがデータベースにアクセスする際に必要なＩＤ）を取得する。ここでは前記パラメータ（Ｉ）のパラメータＩＤを００２３４とする。
【００１３】
Ｆ３−Ｓ２では、「ログ」というファイルにこの取得したパラメータＩＤを書き込む。こういった操作を他のパラメータについても行ない、図６（１）のような、パラメータＩＤがパラメータ変更の時系列順に保存されたログファイルとなる。次項では、第1のファイルであるこのログファイルを参照して、メインウィンドウを表示する際、ショートカットボタン作成エリアにボタンを作成する。
【００１４】
＜ショートカットボタン作成処理＞
オペレータが半導体露光装置を操作する際に、基本オペレーションを行なうウィンドウ（以後「メインウィンドウ」）にショートカットボタン作成エリアを設け、その領域にショートカットボタンを作成する。この処理はメインウィンドウが作成されるタイミングで行なわれる。
【００１５】
図４はこのショートカットボタン作成処理のフローチャートである。Ｆ４−Ｓ１では、ログファイル（図６（１））から第1の回数以上の変更が行なわれたパラメータを検索し、そのパラメータ変更用のショートカットボタンを作成する。この処理の詳細を図５で説明する。
【００１６】
Ｆ５−Ｓ１では、ログファイルから５つ以上存在するパラメータＩＤを検索する。
Ｆ５−Ｓ２では、ログファイルから見つかった５つ以上存在するパラメータの情報をデータベースから取得する。パラメータの情報とは、ボタンのラベルやパラメータ値といったボタン作成に必要なものである。
Ｆ５−Ｓ３では、Ｆ５−Ｓ２で取得したパラメータ情報をもとに、メインウィンドウ上のショートカットボタン作成エリアに、前記パラメータの値を変更する為のパラメータ変更ボタンを作成する（図２（１））。
【００１７】
Ｆ４−Ｓ１によりショートカットボタンの作成が終了した後、Ｆ４−Ｓ２ではショートカットボタンを作成したパラメータのパラメータＩＤを第1のファイルであるログファイルから削除する。この一連の処理により、ログファイルは図６（２）のようになり、メインウィンドウ上に図２（１）のようなショートカットボタンが作成される。
【００１８】
実施例２
実施例１のような場合、ショートカットボタンは作成されるのみである為、要らなくなったボタンを削除することができない。そこで本実施例では、実施例１のショートカットボタン自動付加処理に加え、パラメータ変更が一定回数（期間）以上行なわれなかったショートカットボタンは自動的に削除する機能を付加した。ショートカットボタンの削除が行なわれるタイミングも、ショートカットボタン作成の場合と同様、メインウィンドウ作成時である。
【００１９】
このショートカットエリア自動更新処理のフローチャートを図７に示す。また、図８に本実施例におけるログファイルと、ショートカットを作成したパラメータのパラメータＩＤ格納ファイル（第２のファイル）を示す。
【００２０】
Ｆ７−Ｓ１では、ログファイルを参照してショートカットボタンを作成する。この処理は実施例１の図５の処理と同様なので説明は省略する。Ｆ７−Ｓ２では、第２のファイルであるショートカットを作成したパラメータのパラメータＩＤ格納ファイル（図８（１））（以後、ショートカットファイル）から一つずつパラメータＩＤを取得する。このファイルから取得したすべてのパラメータＩＤについて、以後の処理（Ｆ７−Ｓ４〜Ｆ７−Ｓ７）が終了した時点でこのショートカットエリア自動更新処理は終了する（Ｆ７−Ｓ３）。いまＦ７−Ｓ２において、ショートカットファイル（１）からパラメータ（Ｉ）のパラメータＩＤ＝００２３４を取得したとする。Ｆ７−Ｓ４では、第1のファイルであるログファイルからパラメータ（Ｉ）の最新時刻の変更を検索して、それ以降、他のパラメータが何回変更されたかをカウントする。図８の場合、ログファイルから得られるカウント数は１０となる。Ｆ７−Ｓ５では、Ｆ７−Ｓ４で得たカウント数が第２の回数である１０個以上かどうか判断し、１０個以上であればショートカットボタンを削除するための処理Ｆ７−Ｓ６へと進む。１０個未満の場合はＦ７−Ｓ２の処理に戻り、再びショートカットファイルからショートカットボタン作成済パラメータのパラメータＩＤを取得する。図８では、パラメータＩＤ＝００２３４のパラメータはカウント数＝１０であったので、次のＦ７−Ｓ６の処理に進む。Ｆ７−Ｓ６では、ショートカットボタン作成エリアに既に作成済のショートカットボタンを削除する。Ｆ７−Ｓ７では、パラメータＩＤ＝００２３４をショートカットファイル（１）から削除する。
【００２１】
以上の処理により、ショートカットファイルは図８（２）のようになり、メインウィンドウは図２（２）のようになる。
【００２２】
【発明の効果】
本発明は、ショートカットボタンの自動的なカスタマイズの点で有利である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  実施例１、２におけるパラメータ変更画面の階層構造である。
【図２】  実施例１、２におけるメインウィンドウの図である。
【図３】  実施例１、２におけるパラメータ変更履歴保存処理のフローチャートである。
【図４】  実施例１、２におけるショートカットボタン作成処理のフローチャートである。
【図５】  図４のショートカットボタン作成処理（Ａ２）の詳細フローチャートである。
【図６】  実施例１におけるパラメータ変更履歴を保存するログファイルである。
【図７】  実施例２におけるショートカットエリア更新処理のフローチャートである。
【図８】  実施例２におけるパラメータ変更履歴を保存するログファイルとショートカット作成済みパラメータのＩＤを保存するショートカットファイルである。
【図９】  実施例１、２における半導体露光装置の構成図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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