(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリッジに取り付けられるベース部と、
剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、
該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備え、
間隔を置いて配置されモジュール化された状態でディスクに対し組み付けるとき、前記剛体部間に、その幅方向縁部から治具を差し込んで該剛体部間の間隔を保持し、前記ヘッド部をディスクに対向させるディスクドライブ用サスペンションにおいて、
前記剛体部の前記治具を差し込む幅方向縁部に、前記剛体部の板厚よりも薄い部分を一体に形成して折り曲げることにより、又は前記剛体部のエッジ部を除
去することにより、前記差込時に前記治具をガイドして該治具の摩耗を抑制するためのガイド面を形成したことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。
【請求項２】
請求項１記載のディスクドライブ用サスペンションであって、
前記剛体部の板厚よりも薄い部分は、エッチング加工により形成したことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。
【請求項３】
請求項１又は２記載のディスクドライブ用サスペンションであって、
前記剛体部の板厚よりも薄い部分の折曲部外表面は、前記剛体部のフレキシャ側表面に突出していることを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。
【請求項４】
請求項１記載のディスクドライブ用サスペンションであって、
前記エッジ部の除去は、プレス加工により行うことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。
【請求項５】
請求項１記載のディスクドライブ用サスペンションであって、
前記剛体部は、金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造であり、
前記剛体部の板厚よりも薄い部分を、前記金属プレートにより形成したことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。
【請求項６】
請求項１又は２若しくは５記載のディスクドライブ用サスペンションであって、
前記剛体部の板厚よりも薄い部分の折り曲げ高さは、前記剛体部の板厚以下であることを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えばパーソナルコンピュータ等の情報処理装置に内蔵されるディスクドライブ用サスペンションと、その製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
回転する磁気ディスクあるいは光磁気ディスク等に情報を記録し再生するためのハードディスクドライブ（ＨＤＤ）は、軸を中心に旋回可能なキャリッジを有している。このキャリッジは、ポジショニング用モータによって、前記軸を中心に旋回駆動される構造となっている。
【０００３】
例えば米国特許（ＵＳＰ）第４，１６７，７６５号明細書に記載されているように、前記キャリッジは、キャリッジアームと、該キャリッジアームの先端部に設けたディスクドライブ用サスペンション（以下、単に「サスペンション」と称する）と、該サスペンションに取付けたスライダを含むヘッド部などとを備えている。そして、ディスクが高速回転することによってスライダがディスクから僅かに浮上するとともに、ディスクとスライダとの間にエアベアリングが形成されるようになっている。
【０００４】
図１５は従来のサスペンションを有するハードディスクドライブの一部断面図を示している。この図１５のように、ハードディスクドライブ１０１は、軸１０３を中心に旋回可能なキャリッジ１０５を有している。このキャリッジ１０５は、ボイスコイルモータなどのポジショニング用モータ１０７によって、軸１０３を中心に旋回駆動される。前記キャリッジ１０５は、複数のキャリッジアーム１０９（図１５では４個）と、各キャリッジアーム１０９の先端部に取り付けられたサスペンション１１１と、各サスペンション１１１の先端部に設けられたヘッド部１１３などを備えている。
【０００５】
前記キャリッジ１０５が前記軸１０３を中心に旋回することによって、前記ヘッド部１１３がディスク１１５の所望トラックまで移動する。前記ヘッド部１１３は、前記ディスク１１５のトラックと対向可能な位置に設けられたスライダ１１７と、該スライダ１１７に保持されたトランスジューサ（図示せず）などを含んでいる。
【０００６】
前記ディスク１１５が高速回転したとき、該ディスク１１５と前記スライダ１１７との間に空気が入り込むことによって、前記スライダ１１７は、ディスク１１５から僅かに浮上すると共に、ディスク１１５及びスライダ１１７間にエアベアリングが形成される。
【０００７】
前記サスペンション１１１は、図１６、図１７のように精密な薄板ばねからなるロードビーム（load beam）１１９と、該ロードビーム１１９にレーザ溶接等によって固定された極薄い板ばねからなるフレキシャ（flexure）１２１と、前記ロードビーム１１９の基部にレーザ溶接等によって固定されたベースプレート１２３などからなっている。前記ベースプレート１２３は、前記キャリッジアーム１０９のサスペンション取付面に固定される。
【０００８】
ところで、前記ハードディスクドライブでは、記録すべき情報の高密度化とディスクの高速回転化が進む傾向にある。このため、トラック幅が狭くなるにも係わらず、風乱等の外乱による振動、たとえばバタフライモードの振動などが高い周波数まで及び、ヘッド部をトラック中心に正確に維持することが極めて困難となっている。
【０００９】
従って、アクチュエータからスライダまでの構造部材であるキャリッジアームとサスペンションとの各種共振モードの振幅コントロールとその共振周波数の高周波数化、及び風乱対策は最も重要な課題となっている。すなわち前記サスペンションは、前記ディスクの高密度化、高速化に伴って、さらに高剛性で且つばね定数が低いことが要求されている。
【００１０】
このため、図１７に示すようにロードビーム１１９の長さＬ１にわたる剛体部１１９ａに要求される性能（高剛性）と、同長さＬ２のばね部１１９ｂに要求される性能（低ばね定数）とを同時に満足するため、前記ばね部１１９ｂの板厚を薄くすると共に、この板厚に制約を受けてしまう剛体部１１９ａの剛性を高くするため、前記剛体部１１９ａの両側縁を折曲げることによって箱曲部１２５を形成していた。
【００１１】
この箱曲部１２５はサスペンション１１１の組み付けに際し、別の機能を奏することができる。
【００１２】
前記サスペンション１１１を組み付けるに際しては、治具として図１８のようなコム１２７が用いられている。このコム１２７は先端に例えば２本の差し込み部１２９，１３１を備えている。この２本の差し込み部１２９，１３１は、前記サスペンション１１１をモジュール化した際の本数に対応しており、例えば図１９のようにサスペンション１１１が４本モジュール化されている場合について用いられている。
【００１３】
そして、前記コム１２７の差し込み部１２９，１３１は、サスペンション１１１間に図１９のようにそれぞれ差し込まれ、図１５で示すスライダ１１７相互の間隔を保持してディスク１１５に対し横方向から組み付けられ、スライダ１１７がディスク１１５に対向するように組み付けられる。この組み付け後、コム１２７はサスペンション１１１間から引き抜かれることになる。こうしてモジュール化したサスペンション１１１をディスク１１５に対し円滑に組み付けることができる。
【００１４】
前記のようなサスペンション１１１間に対するコム１２７の差し込みに際し、図１７のような箱曲部１２５によって形成される湾曲面１２５ａをガイド面として利用することにより、差し込み部１２９，１３１の摩耗を抑制することができる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記のように箱曲部１２５を設けると、ディスクが高回転したときに箱曲部１２５によって風の流れが妨げられて風乱の影響を受け易く、ロードビーム１１９がばたつく恐れがある。
【００１６】
これに対し、本願出願人が既に提案したサスペンション（特願平１１−２６３７０号）では、剛体部１１９ａの高剛性とばね部１１９ｂの低ばね定数とを同時に満足するために、ばね部１１９ｂを別体のばね部材で形成し、剛体部１１９ａの板厚をばね部１１９ｂとは別個のものとして剛性向上を図ることができるようにしたものがある。このようなものでは、剛体部に、剛性向上のための箱曲部を設ける必要がなく、ディスクが高回転したときに箱曲部によって風の流れが妨げられることもなく、風乱の影響を受けにくく、ロードビームがばたつくこともないという利点がある。
【００１７】
しかしながら、剛体部に箱曲部を設けないために、図２０のように剛体部１１９ａの幅方向縁部にエッジ１３３が立ち、前記のように組付のためにコム１２７の差し込み部１２９等をサスペンション間に差し込むとき、差し込み部１２９等の先端部等がエッジ１３３によって擦られ、その摩耗カスが多く発生してディスク１１５上に飛散するなど悪影響を及ぼす恐れがある。また、コム１２７の差し込み部１２９等が早期に摩耗し、耐久性が損なわれるという問題がある。
【００１８】
本発明は、剛性向上のための箱曲部を必要としない場合でも、コム差し込み時の摩耗を抑制することのできるディスクドライブ用サスペンションの提供を課題とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、キャリッジに取り付けられるベース部と、剛体部及びばね部からなり前記ばね部が前記ベース部に支持されると共に前記剛体部先端の情報記録、読取用のヘッド部に負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに取り付けられて前記ヘッド部が設けられたフレキシャとを備え、間隔を置いて配置されモジュール化された状態でディスクに対し組み付けるとき、前記剛体部間に、その幅方向縁部から治具を差し込んで該剛体部間の間隔を保持し、前記ヘッド部をディスクに対向させるディスクドライブ用サスペンションにおいて、前記剛体部の前記治具を差し込む幅方向縁部に、前記剛体部の板厚よりも薄い部分を一体に形成して折り曲げることにより、又は前記剛体部のエッジ部を除去することにより、前記差込時に前記治具をガイドして該治具の摩耗を抑制するためのガイド面を形成したことを特徴とする。
【００２０】
請求項２の発明は、請求項１記載のディスクドライブ用サスペンションであって、前記剛体部の板厚よりも薄い部分は、エッチング加工により形成したことを特徴とする。
【００２１】
請求項３の発明は、請求項１又は２記載のディスクドライブ用サスペンションであって、前記剛体部の板厚よりも薄い部分の折曲部外表面は、前記剛体部のフレキシャ側表面に突出していることを特徴とする。
【００２２】
請求項４の発明は、請求項１記載のディスクドライブ用サスペンションであって、前記エッジ部の除去は、プレス加工により行うことを特徴とする。
【００２３】
請求項５の発明は、請求項１記載のディスクドライブ用サスペンションであって、前記剛体部は、金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造であり、前記剛体部の板厚よりも薄い部分を、前記金属プレートにより形成したことを特徴とする。
【００２４】
請求項６の発明では、請求項１又は２若しくは５記載のディスクドライブ用サスペンションであって、前記剛体部の板厚よりも薄い部分の折り曲げ高さは、前記剛体部の板厚以下であることを特徴とする。
【００２５】
【発明の効果】
請求項１の発明では、間隔をおいて配置されモジュール化された状態でサスペンションを組み付けるとき、剛体部間に、その幅方向縁部から治具を差し込んで、該剛体部間の間隔を保持し、剛体部先端のヘッド部をディスク上に容易に対向させることができる。
【００２６】
前記剛体部の前記治具を差し込む幅方向縁部にガイド面を形成したため、前記剛体部の幅方向縁部から治具を差し込むとき、治具がガイド面にガイドされながら差し込まれることになり、治具の摩耗を大幅に抑制することができる。従って、摩耗カスの発生が抑制され、摩耗カスによる悪影響を抑制することができる。
【００２７】
また、治具の摩耗を抑制することができるため、治具の耐久性を大幅に向上させることができる。さらに、ガイド面は前記剛体部の板厚よりも薄い部分を一体に形成して折り曲げることにより、又は前記剛体部のエッジ部を除去することにより形成したため、ガイド面を容易に形成することができる。
【００２８】
請求項２の発明では、請求項１の発明の効果に加え、前記剛体部の板厚よりも薄い部分は、エッチング加工により形成したため、剛体部の板厚よりも薄い部分を容易かつ精度よく形成することができ、折り曲げによってガイド面をより容易に形成することができる。このため、ガイド面形成用の装置の良好状態を長く維持することもできる。
【００２９】
請求項３の発明では、請求項１又は２の発明の効果に加え、前記剛体部の板厚よりも薄い部分の折曲部外表面は、前記剛体部のフレキシャ側表面に突出しているため、治具の差し込み時に該治具が折曲部外表面に乗り上げて剛体部表面との間に間隔を保持することができ、フレキシャの導体部の保護を行うことができる。
【００３０】
請求項４の発明では、請求項１の発明の効果に加え、前記エッジ部の除去はプレス加工により行うため、エッジ部の除去を容易かつ正確に行うことができ、ガイド面を容易に形成することができる。また、剛体部の幅方向縁部に突出するものがないため、ディスク回転により起こる風の妨げになるものがなく、風の影響をより受け難くなり、サスペンション振動をより抑制することができる。
【００３１】
請求項５の発明では、請求項１の発明の効果に加え、前記剛体部は金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造であり、前記剛体部の板厚よりも薄い部分を前記金属プレートにより形成したため、ガイド面の形成をより容易に行うことができる。また、剛体部は金属プレート間に樹脂層を介在させた少なくとも３層構造であるため、軽量化を図りながら剛性向上を図ることができる。
【００３２】
請求項６の発明では、請求項１又は２若しくは５の発明の効果に加え、前記剛体部の板厚よりも薄い部分の折り曲げ高さは、前記剛体部の板厚以下であるため、折り曲げた前記部分がディスク回転により起こる風の妨げになり難く、風の影響によるサスペンション振動をより抑制することができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
図１は本発明の第１実施形態に係るサスペンション１の平面図である。本実施形態においてサスペンション１は、ロードビーム３と、ベース部５と、フレキシャ７とを備えている。
【００３４】
前記ロードビーム３は、剛体部９とばね部１１とを備えている。前記剛体部９は、例えばステンレス鋼で形成され、その厚みは比較的厚く、例えば０．１ｍｍに設定されている。
【００３５】
前記ばね部１１は、前記剛体部９とは別体に形成されたもので、例えばばね性のある薄いステンレス鋼圧延板からなり、前記剛体部９よりもそのばね定数が低く、精度の高い低ばね定数を有している。このばね部１１の板厚は例えば、ｔ＝０．０４０ｍｍ程度に設定されている。このばね部１１は、その一端部が前記剛体部９の後端部９ｃにレーザ溶接などによって固着されている。前記ばね部１１の他端部には、補強プレート１３が一体に設けられている。
【００３６】
前記ベース部５は、ベースプレート１５を有している。このベースプレート１５は前記補強プレート１３に重ね合わされ、レーザ溶接などによって相互に固着されている。従って、ベースプレート１５が補強プレート１３により補強されてベース部５が構成されている。
【００３７】
前記フレキシャ７は、ばね性を有する薄いステンレス鋼圧延板などの金属基板の表面に、電気絶縁層を介して導電路１７が形成され、レーザ溶接などによって剛体部９に固着されている。前記導電路１７の一端は、ヘッド部１９の端子２１に導通接続され、他端はベース部５側において端子２３に導通接続されている。前記ヘッド部１９には、スライダ２５が装着されている。
【００３８】
かかるサスペンション１の前記剛体部９の幅方向両縁部９ａには、ガイド面２７が設けられている。このガイド面２７は、治具としてのコムの差し込み部を差し込む位置に設けられ、本実施形態においてばね部１１の前方側において範囲Ｓに設けられている。なお、前記ガイド面２７を幅方向両縁部９ａに設けることにより、剛体部９の左右バランスを維持しやすいが、剛体部９のコムを差し込む一方側にのみ設けることも可能である。
【００３９】
図２，図３は、前記ガイド面２７の部分を拡大して示した要部斜視図であり、図２はフレキシャ７側から見た斜視図、図３は反フレキシャ７側から見た斜視図である。この図２，図３のように、前記ガイド面２７は、剛体部９の幅方向縁部９ａに沿って設けられている。
【００４０】
前記ガイド面２７の断面は図４のようになっている。すなわち本実施形態においては、剛体部９の幅方向縁部９ａに剛体部９の板厚よりも薄い部分２９を折り曲げることによってガイド面２７を形成している。このガイド面２７は、傾斜面２７ａと、該傾斜面２７ａ及び剛体部９の表面９ｂを滑らかに連繋する湾曲面２７ｂとからなっている。
【００４１】
前記傾斜面２７ａの前記剛体部９の表面９ｂに対する傾斜角はθ＝４０°程度に設定されている。前記傾斜面２７ａの延長線と、前記剛体部９の表面９ｂの延長線の交点３１と、部分２９の先端３３との距離は、Ｈ＝０．０５ｍｍ程度に設定されている。但し、これら傾斜角θ及び幅Ｈは、任意に設定することができる。前記部分２９の表面９ｂからの折り曲げ高さは、剛体部９の板厚以下となっている。但し、前記部分２９の表面９ｂからの折り曲げ高さを、剛体部９の板厚以上に設定することもできる。
【００４２】
図５は、前記ガイド面２７の製造方法を示しており、（ａ）は部分２９の形成工程、（ｂ）はガイド面２７の完成工程を示している。まず、図５（ａ）の工程で、剛体部９の幅方向縁部９ａにおいてエッチングにより凹部３５を形成し、剛体部９の板厚よりも薄い部分２９を形成する。次に、（ｂ）の工程でプレス加工によって部分２９を滑らかに折り曲げる。この折り曲げにより、縁部９ａにガイド面２７が形成される。このようにエッチング及びプレスを用いることによって、ガイド面２７を容易かつ正確に形成することができる。また、プレス加工も小さな力で行うことができ、装置の良好状態を長く維持することができる。
【００４３】
そして、前記ガイド面２７を有するサスペンション１を複数組み合わせてモジュール化し、ディスクドライブに組み付けるに際しては、図１９の場合と同様にしてコムの差し込み部が剛体部９間に差し込まれることになる。このときコムの差し込み部先端は、まず図４で示す傾斜面２７ａに当接し、さらに押し込められることによって剛体部９相互間の間隔を拡げつつ傾斜面２７ａから湾曲面２７ｂを経て、剛体部９の表面９ｂに移行することになる。このためコムの差し込み部が剛体部９のエッジによって摩耗されるようなことがなく、コムの摩耗を無くすか、大幅に抑制することができる。
【００４４】
そして、かかる状態において、図１５と同様に組み付けられ、ヘッド部１９のスライダ２５がディスク上に対向することになる。この場合コムの摩耗カスが無いか、大幅に抑制された状態で取り付けられるため、摩耗カスによるディスクドライブへの悪影響を抑制することができる。しかも、コムの摩耗を抑制することができるため、コムの耐久性を大幅に向上することができる。
【００４５】
さらに、剛体部９が厚く高剛性であっても、幅方向縁部９ａに剛体部９の板厚よりも薄い部分２９を設けることによってガイド面２７を形成するため、ガイド面２７を極めて容易に形成することができる。
【００４６】
しかも、剛体部９の高剛性を維持することができると共に、別体のばね部１１の低ばね定数を達成することができる。また、ロードビーム３を構成する剛体部９の材質や板厚が、ばね部１１に制約を受けることがなくなり、それぞれの要求に応じた適正材質及び板厚の選択が可能となり、サスペンション１に要求される性能を十分に満足することができる。
【００４７】
前記剛体部９は高剛性を維持することができるため、基本的には剛性を向上させるための箱曲部を設ける必要がなく、また部分２９の折り曲げ高さが剛体部９の板厚以下に設定されているため、剛体部９の空気抵抗を減少させることができる。このためディスク高回転時の風乱の影響が減少し、サスペンションフラッタ（風によるサスペンションのばたつき）の発生を抑制することができる。
（第２実施形態）
図６，図７は、本発明の第２実施形態を示している。本実施形態においては、剛体部９の幅方向縁部９ａに剛体部９のエッジ部を除去することによって、ガイド面２７Ａを形成したものである。このガイド面２７Ａの剛体部９の表面９ｂに対する傾斜角は、θ１＝４０°程度に設定されている。前記ガイド面２７Ａの幅は、Ｈ１＝０．０５ｍｍ程度に設定されている。但し、傾斜角θ１、幅Ｈ１の設定は、他の値を選択することもできる。
【００４８】
図７は、前記ガイド面２７Ａの形成方法を示し、（ａ）はエッジ部除去前の工程、（ｂ）はガイド面完成工程を示している。まず、図７（ａ）の工程で、剛体部９のエッジ部３７にプレス加工を行い、エッジ部３７を除去し、図７（ｂ）の工程のようにガイド面２７Ａを形成する。
【００４９】
このように、本実施形態においても、ガイド面２７Ａにより第１実施形態とほぼ同様な効果を奏することができる。また、本実施形態では、前記ガイド面２７Ａをエッジ部３７の除去によって行うため、曲げ加工を不要とし、ガイド面２７Ａの形成をより容易に行うことができる。さらに、ガイド面２７Ａは、折曲部を設けることなく形成することができ、風の影響をより受け難く、サスペンション１の振動をより確実に防止することができる。ガイド面２７Ａは、プレス加工により形成するため、剛体部９の片側にのみ設ける場合でも、重量バランスをとることができる。
【００５０】
尚、エッジ部３７の除去は、エッチング加工を用いることもできる。前記ガイド面２７Ａは、湾曲面にして表面９ｂとの連繋をより滑らかに行わせることも可能である。
（第３実施形態）
図８は本発明の第３実施形態に係り、（ａ）は剛体部の板厚よりも薄い部分の形成工程、（ｂ）はガイド面の完成工程の要部断面図を示している。本実施形態においては、図８（ａ）の工程で剛体部９の幅方向縁部９ａにエッチングによって凹部３５Ｂが形成され、剛体部９の板厚よりも薄い部分２９Ｂが形成される。
【００５１】
次いで図８（ｂ）の工程で、部分２９Ｂがプレス加工によって折り曲げられ、斜面２７Ｂａと曲面２７Ｂｂを有するガイド面２７Ｂが形成される。この部分２９Ｂの表面９ｂに対する折り曲げ高さは、第１実施形態の部分２９と同様に設定されている。また、本実施形態では、部分２９Ｂの折曲部２９Ｂａ外表面（湾曲外側の表面）である曲面２７Ｂｂが剛体部９の表面９ｂ側へ突出するように形成されている。本実施形態において、曲面２７Ｂｂの表面９ｂに対する突出量は、フレキシャ７と同等かそれ以上に設定されている。ただし、曲面２７Ｂｂの表面９ｂに対する突出量は任意に選択することもできる。
【００５２】
従って、本実施形態においても、第１実施形態とほぼ同様な作用効果を奏することができる。一方、本実施形態においては、曲面２７Ｂｂが表面９ｂ側に突出しているため、コムの差し込み時に差し込み部が曲面２７Ｂｂに乗り上げて剛体部９の表面９ｂとの間に間隔を保持することができ、フレキシャ７の導体部の保護を行うことができる。特に、本実施形態のように、曲面２７Ｂｂの表面９ｂに対する突出量が、フレキシャ７と同等かそれ以上に設定されている場合には、フレキシャ７の導体部の保護をより確実に行うことができる。
（第４実施形態）
図９は本発明の第４実施形態に係るサスペンション１Ｃの斜視図を示している。尚、第１実施形態と対応する構成部分には同符号を付して説明する。
【００５３】
このサスペンション１Ｃでは、サスペンション１Ｃのロードビーム３Ｃが剛体部９Ｃと矩形枠状のばね部材１１Ｃとから構成されている。また、ベース部５Ｃは、ベースプレート１５Ｃのみからなっている。前記ばね部材１１Ｃは、その一端１１Ｃａが前記剛体部９Ｃの端部９Ｃａに重ね合わされ、レーザ溶接などによって固着されている。前記ばね部材１１Ｃの他端１１Ｃｂは、前記ベースプレート１５Ｃの前端に重ね合わされ、レーザ溶接などによって固着されている。前記ばね部材１１Ｃには、開口１１Ｃｃが設けられ、両側部１１Ｃｄ，１１Ｃｅが低ばね定数のばね部として機能している。
【００５４】
かかるサスペンション１Ｃの剛体部９Ｃには、コムの差し込み部を差し込む位置でガイド面２７が設けられている。尚、ガイド面２７は、幅方向の重量バランスのため剛体部９Ｃの幅方向両縁部に設けられているが、コムの差し込み側にのみ設ける構成にすることもできる。また、前記ガイド面２７に代えて、第２，第３実施形態のガイド面２７Ａ，２７Ｂの何れをも適用することができる。
【００５５】
従って、本実施形態においても、第１，第２，第３実施形態とほぼ同様な作用効果を奏することができる。
【００５６】
（第５実施形態）
図１０は、本発明の第５実施形態にかかるサスペンション１Ｄの斜視図を示している。尚、図９と対応する構成部分には同符号を付して説明する。
【００５７】
本実施形態においては、図９の実施形態に対しベースプレート１５Ｄが長く形成されたもので、ベースプレート１５Ｄはキャリッジのキャリッジアームを兼ねる構成となっている。
【００５８】
従って、本実施形態においても、ガイド面２７を有することによって、図９とほぼ同様な作用効果を奏することができる。また、ガイド面２７に代えて、第２，第３実施形態のガイド面２７Ａ，２７Ｂの何れをも適用することができる。
（第６実施形態）
図１１，図１２は、本発明の第６実施形態を示し、図１１はロードビームの斜視図、図１２は図１１のＳＢ−ＳＢ矢視断面図である。
【００５９】
図１１はロードビーム３Ｅのみを示し、フレキシャ等は省略している。このロードビーム３Ｅは、剛体部９Ｅとばね部１１Ｅとを備えている。前記剛体部９Ｅは、先端部９Ｅａ側が基端部９Ｅｂに対して漸次幅狭となるほぼ三角形状に形成されている。この剛体部９Ｅの厚さは、例えばｔ＝１００μｍ程度に設定されている。
【００６０】
前記剛体部９Ｅは、図１２をも参照すると、金属プレート３７ａ，３７ｂ間に樹脂層３７ｃを介在させ、接着剤などで相互に固定された３層構造となっている。前記金属プレート３７ａ，３７ｂは、ステンレス鋼（ＳＵＳ）などによって形成され、一方の金属プレート３７ａの厚みは、ｔ＝３８μｍなどに設定され、他方の金属プレート３７ｂの厚みはｔ＝２０μｍなどに設定されている。
【００６１】
前記樹脂層３７ｃは、ポリイミド（ＰＩ）、エポキシなどの樹脂プレートで形成され、その厚みはｔ＝４２μｍなどに設定されている。これら金属プレート３７ａ，３７ｂ、樹脂層３７ｃの厚みの合計が１００μｍに設定されている。但し、この厚みの設定は一例であって、剛体部９Ｅの剛性の選択により、全体的な厚み及び各プレートの厚みは他の厚みに設定することも可能である。
【００６２】
前記剛体部９Ｅには、曲げ部３９が設けられている。この曲げ部３９は、前記金属プレート３７ｂに一体に形成されたもので、この曲げ部３９は剛体部９Ｅの板厚よりも薄い部分となっている。この曲げ部３９は、曲げ部３９に対応した大きさの３層部分を剛体部の幅方向に突出形成し、この部分の３層の内、例えば金属プレート３７ａ、樹脂層３７ｃをエッチングで除去することにより、曲げ部に対応した形状の舌片を剛体部９Ｅの幅方向に突出形成し、次いでこの舌片をプレス加工により折り曲げることで形成することができる。
【００６３】
前記曲げ部３９の折り曲げ形成によって、剛体部９Ｅには湾曲面で構成されたガイド面２７Ｅが形成されている。このガイド面２７Ｅは、幅方向の重量バランスのため剛体部９Ｅの幅方向両縁部に設けられているが、コムの差し込み側にのみ設ける構成にすることもできる。
【００６４】
前記曲げ部３９の高さは、本実施形態において、剛体部９Ｅの表面９Ｅｂと同等の高さに設定されているが、これよりも低く設定することも可能である。即ち、前記曲げ部３９の折り曲げ高さは、剛体部９Ｅの板厚以下に設定される。前記曲げ部３９の高さは、剛体部９Ｅの板厚よりも高く設定することもできる。
【００６５】
前記剛体部９Ｅの先端部９Ｅａは、金属プレート３７ｂのみの１層となっており、ディンプル４１が設けられている。この先端部９Ｅａは、例えばエッチングなどによって金属プレート３７ａ、樹脂層３７ｃが除去されたものである。
【００６６】
前記ばね部１１Ｅは、一方の金属プレート３７ａと一体のプレートにより剛体部９Ｅの端部に形成され、剛体部９Ｅよりも少ない１層で形成されている。このばね部１１Ｅは、本実施形態において例えばステンレス鋼で形成され、その厚みはｔ＝３８μｍに設定されている。このばね部１１Ｅには、開口１１Ｅａが設け等れ、両端部１１Ｅｃ，１１Ｅｄが低ばね定数のばね部分として機能している。
【００６７】
前記ばね部１１Ｅの反剛体部側端部には、ベース部を補強する補強金属プレート４３ａが一体に設けられている。この補強金属プレート４３ａは、本実施形態において例えばステンレス鋼で形成され、その厚みはｔ＝３８μｍに設定されている。この補強金属プレート４３ａに他の補強金属プレート４３ｂを樹脂層４３ｃを介在させて合わせ、接着剤などで相互に固定することにより３層構造の補強部４５が設けられている。
【００６８】
この補強部４５における補強金属プレート４３ａ，４３ｂ、樹脂層４３ｃの関係は、前記剛体部９Ｅにおける金属プレート３７ａ，３７ｂ、樹脂層３７ｃと同一に設定されている。従って、金属プレート４３ｂはステンレス鋼で形成され、その厚みはｔ＝２０μｍに設定されている。また、前記樹脂層４３ｃは、ポリイミド、エポキシなどの樹脂プレートで形成され、その厚みはｔ＝４２μｍに設定されている。
【００６９】
前記補強部４５に、ベースプレートが合わせられてレーザ溶接などにより固着され、該ベースプレートを介しキャリッジのキャリッジアームに取り付けられる構成となっている。
【００７０】
そして、本実施形態においても、ガイド面２７Ｅの存在によって、上記各実施形態とほぼ同様な作用効果を奏することができる。また、曲げ部３９の高さは、剛体部９Ｅの表面９Ｅｂと同等の高さに設定されているため、ディスク高回転時の風の影響を受け難く、振動を抑制することができる。
【００７１】
また、本実施形態においては、曲げ部３９を金属プレート３７ｂのみに形成しているため、ディンプル４１と共にその塑性加工を極めて容易に行うことができる。
【００７２】
さらに、本実施形態のサスペンションでは、剛体部３Ｅが樹脂層を介在した３層構造で、剛体部の剛性を大幅に向上させることができる。また、樹脂層３７Ｃを介在させているため、ダンパ効果を得ることができる。ばね部１１Ｅは、１枚のプレートで形成されているため、低ばね定数を容易に達成することができる。従って、共振周波数の高周波数化、ダンパ効果などによって、サスペンションフラッタの発生をより確実に抑制することができる。
【００７３】
また、補強部４５を樹脂層４３ｃを挟んだ３層構造とすることによって剛性を向上し、キャリッジへの取付けを確実に行わせることができる。しかも、ロードビーム３Ｅが樹脂層３７ｃ，４３ｃを介在させた３層構造となっているため、全体として大幅な軽量化を図ることができる。
【００７４】
なお、ガイド面２７Ｅは、曲げ部３９を斜めに設定することで、傾斜面及び湾曲面で構成することもできる。前記ばね部１１Ｅは、図１３のように金属プレート３７ｂ側と一体に形成することもできる。この場合は、金属プレート３７ｂ側の板厚がばね部１１Ｅの板厚に合わせられたものとなる。
【００７５】
また、上記実施形態で、ばね部１１Ｅを樹脂層と金属プレートとの２層、或いは金属プレート間に樹脂層を介在した少なくとも３層構造とし、剛体部９Ｅ或いは剛体部９Ｅ及び補強部４５を、樹脂層、金属プレートを重ねてばね部１１Ｅよりもさらに多層に設定することもできる。
（第７実施形態）
図１４は本発明の第７実施形態に係るサスペンションのロードビーム３Ｆを示している。尚、図１１の第６実施形態と対応する構成部分には同符号を付して説明する。
【００７６】
本実施形態においては、ばね部１１Ｆも金属のプレート４７ａ，４７ｂ間に樹脂層４７ｃを介在した３層構造としたものである。プレート４７ａは、金属プレート３７ａ、補強金属プレート４３ａと同一の厚みで一体に形成され、プレート４７ｂは金属プレート３７ｂ、補強金属プレート４３ｂと同一の厚みで一体にされている。また、樹脂層４７ｃは、各樹脂層３７ｃ，４３ｃと同一の厚みで一体に形成されている。
【００７７】
従って、本実施形態においても前記第６実施形態とほぼ同様な作用効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係るサスペンションのフレキシャ側から見た平面図である。
【図２】第１実施形態に係り、ガイド面周辺部のフレキシャ側から見た拡大斜視図である。
【図３】第１実施形態に係り、ガイド面周辺部の反フレキシャ側から見た斜視図である。
【図４】第１実施形態に係り、ガイド面周辺部の拡大断面図である。
【図５】第１実施形態に係り、（ａ）は剛体部の板厚よりも薄い部分の形成工程、（ｂ）はガイド面の完成工程の断面図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係り、剛体部の幅方向縁部の断面図である。
【図７】第２実施形態に係り、（ａ）はエッジ部を有する剛体部の幅方向縁部の断面図、（ｂ）はガイド面を形成した剛体部の幅方向縁部の断面図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係り、（ａ）は剛体部の板厚よりも薄い部分の形成工程の断面図、（ｂ）はガイド面の完成工程の断面図である。
【図９】本発明の第４実施形態に係るサスペンションの斜視図である。
【図１０】本発明の第５実施形態に係るサスペンションの斜視図である。
【図１１】本発明の第６実施形態に係るロードビームの斜視図である。
【図１２】図１１のＳＢ−ＳＢ矢視断面図である。
【図１３】第６実施形態の変形例の実施形態に係るロードビームの斜視図である。
【図１４】本発明の第７実施形態に係るサスペンションのロードビームの斜視図である。
【図１５】従来例に係り、サスペンションを組み付けたハードディスクドライブの一部断面図である。
【図１６】従来例に係るサスペンションのフレキシャ側から見た平面図である。
【図１７】従来例に係り、（ａ）はロードビームの斜視図、（ｂ）は（ａ）のＳＡ−ＳＡ矢視断面図である。
【図１８】コムの要部を示す斜視図である。
【図１９】コムをサスペンションモジュールに差し込んだ状態の斜視図である。
【図２０】コムの差し込み部と剛体部との関係を示す断面図である。
【符号の説明】
１，１Ｃ，１Ｄ  サスペンション
３，３Ｃ，３Ｅ，３Ｆ  ロードビーム
５，５Ｃ  ベース部
７  フレキシャ
９，９Ｃ，９Ｅ  剛体部
１１，１１Ｃ，１１Ｅ，１１Ｆ  ばね部
１９  ヘッド部
２５  スライダ
２７，２７Ａ，２７Ｂ，２７Ｅ  ガイド面
２７Ｂｂ  曲面（折曲部外表面）
２９，２９Ｂ  剛体部の板厚よりも薄い部分
２９Ｂａ  折曲部
３９  曲げ部（剛体部の板厚よりも薄い部分）
３７  エッジ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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