(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
行列状に配置され、光の入射により電荷を発生する複数の画素と、
前記複数の画素に対応して設けられ、対応する画素で発生した前記電荷の転送を制御する複数の読出しゲート部と、
前記行列の列毎に設けられ、前記複数の読出しゲート部から転送された前記電荷を蓄積し、又は、転送する複数の副走査電荷転送部と、
前記複数の副走査電荷転送部の前記列方向の終端部に設けられ、前記複数の副走査電荷転送部の対応する副走査電荷転送部の前記電荷の転送を制御する複数の転送スイッチ部と、
前記複数の転送スイッチ部に隣接して設けられ、前記複数の転送スイッチ部から転送された前記電荷を蓄積し、又は、転送する主走査電荷転送部と、
前記複数の副走査電荷転送部の前記終端部に設けられ、前記複数の副走査電荷転送部の対応する副走査電荷転送部の前記電荷を排出する複数のリセット部と、
を具備し、
前記複数のリセット部の各々は、対応する前記副走査電荷転送部の前記電荷が前記主走査電荷転送部へ転送された後、対応する前記副走査電荷転送部へ前記読み出しゲート部を介して新たな電荷が読み出される直前までの間に、対応する前記副走査電荷転送部に残存する電荷を排出し、
前記複数の副走査電荷転送部の各々は、
前記列毎の前記複数の読出しゲート部に対応して設けられ、前記電荷を蓄積し、又は転送する複数の第１副電荷転送部と、
前記複数の第１副電荷転送部の隣り合う２つの間に一個づつ設置され、一方の前記第１副電荷転送部から転送された前記電荷を蓄積し、他方の前記第１副電荷転送部へ転送する一つ又は複数の第２副電荷転送部と
を具備し、
前記第１副電荷転送部と前記第２副電荷転送部とは、２相駆動により前記電荷を転送し、
前記主走査電荷転送部は、
前記複数の転送スイッチ部に対応して設けられ、前記電荷を蓄積し、又は転送する複数の第１主電荷転送部と、
前記複数の第１主電荷転送部の隣り合う２つの間に１個づつ設置され、一方の前記第１主電荷転送部から転送された前記電荷を蓄積し、他方の前記第１主電荷転送部へ転送する複数の第２主電荷転送部と
を具備し、
前記第２主電荷転送部と前記第１主電荷転送部とは、２相駆動により前記電荷を転送し、
前記第１副電荷転送部及び前記第２副電荷転送部は、それぞれ前記第２主電荷転送部及び前記第１主電荷転送部と共通の電荷転送信号に基づいて、前記電荷を転送する
カラーイメージセンサ。
【請求項２】
前記複数の第１副電荷転送部の内の前記終端部の前記第１副電荷転送部は、他の前記第１副電荷転送部に比較して、サイズが大きい、
請求項１に記載のカラーイメージセンサ。
【請求項３】
前記複数のリセット部は、リセットゲートとリセットドレインとを備え、前記リセットドレインは電源に接続されている、
請求項１に記載のカラーイメージセンサ。
【請求項４】
前記列毎の前記終端部の前記第１副電荷転送部は、前記列の他の前記第１副電荷転送部に比較して、蓄積可能な電荷の量が多い、
請求項２に記載のカラーイメージセンサ。
【請求項５】
前記列毎の前記終端部の前記第１副電荷転送部は、前記列毎の前記複数の画素が発生する最大の電荷を蓄積可能である、
請求項２又は４に記載のカラーイメージセンサ。
【請求項６】
前記複数の転送スイッチ部により、前記複数の副走査電荷転送部の中から、前記電荷を転送される前記副走査電荷転送部を選択する、
請求項１乃至５のいずれか一項に記載のカラーイメージセンサ。
【請求項７】
前記複数の読出しゲート部の各々により、対応する前記画素で発生する前記電荷の蓄積時間を制御する、
請求項１乃至６のいずれか一項に記載のカラーイメージセンサ。
【請求項８】
前記副走査電荷転送部は、前記電荷を蓄積する第１ウェルを有し、
前記主走査電荷転送部は、前記電荷を蓄積する第２ウェルを有し、
前記第１ウェルと前記第２ウェルとは一体である、
請求項１乃至７のいずれか一項に記載のカラーイメージセンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラーイメージセンサ及びカラーイメージセンサの駆動方法に関し、特にカラー画像を電気信号に変換するカラーイメージセンサ及びカラーイメージセンサの駆動方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一次元の電荷転送素子を有する電荷転送装置を用いて、２次元のカラー印刷画像を読み込むためには、以下のようして行う。まず、白色光を印刷画像に当て、その反射光（又は透過光）を赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各色に分ける。次に、それらの光を一次元の電荷転送素子の受光部で受光し、光量に応じた電荷に変換する。続いて、その電荷を電荷転送部で転送し、電荷転送部の終端に設けられた電荷−電圧変換器により電気信号に変換する。そして、その電気信号をメモリに記憶する。しかる後、電荷転送素子を印刷画像に対して相対的にスキャンする。そして、同様に、印刷画像からの白色光の反射光による電気信号を順次メモリに記憶して行き、一画像分の電気信号を得る。その後、それらの電気信号の内、同一箇所から得られたＲ、Ｇ、Ｂの電気信号を、情報処理装置により合成する。そして、全ての箇所について、合成を行うことにより、カラー印刷画像を再現する。
その場合、一次元の電荷転送素子では、１種類の色（例示：Ｒ）用の一次元の受光部に対して、１つの電荷転送部が対応している。従って、通常Ｒ、Ｇ、Ｂの３種類の色に対応して、３つの電荷転送部を設けている。
【０００３】
上記のように画像を電気信号に変換する場合、一次元の電荷転送素子の受光部（画素）の列と、他の一次元の電荷転送素子の受光部（画素）の列との間隔（以下、「ライン間隔」という）が小さいほど、高い解像度で印刷画像を再現することが出来る。また、ライン間隔が小さいほどメモリの量を少なくすることが出来る。ライン間隔を小さく出来る技術が望まれている。
【０００４】
また、受光部（画素）の密度が高くなり、解像度が高くなるほど、電荷転送素子において発生する熱雑音（熱電子）の影響が大きくなる。すなわち、画素の密度が高くなると、１画素あたり受光量が減少するため、発生する電子の量が少なくなる。そのため、相対的に熱電子（熱雑音）の割合が高くなる。熱電子（熱雑音）の影響を防止することが可能な技術が求められている。
【０００５】
更に、受光部（画素）が高密度であっても、ユーザーの使用状況によっては、再現する画像が低密度でも良い場合がある。例えば、最初に仮に粗く印刷画像を読み取り（読み取り速度優先）、画像を確認後、次に正式に高精細に印刷画像を読み取る場合等である。受光部（画素）が高密度に配置されていても、読み取り画像の密度を変更することが可能な技術が望まれている。
【０００６】
関連する技術として、特開平１１−３１７５１４号公報には、電荷転送装置の技術が開示されている。この技術の電荷転送装置は、第１の画素列、第２の画素列及び第３の画素列をそれぞれ有する３つの一次元電荷転送素子により構成されている。その電荷転送装置において、第１の画素列と第２の画素列が隣接し、第２の画素列と第３の画素列が隣接して配置される。そして、第２の画素列において発生した信号電荷を読み出すための複数の第１の読み出し電極が第３の画素列を構成する各画素の間にそれぞれ設けられていることを特徴とする。
この技術では、３つの電荷転送部の内の１つを省略している。そして、３つの画素列の外側に、残り２つの電荷転送部を配置している。そのため、ライン間隔を小さくすることが出来る。また、第１の画素列から第３の画素列まで、ライン間隔を等間隔にすることが出来る。従って、高い解像度で印刷画像を再現することが出来、メモリの量を少なくすることが出来る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の目的は、素子中に蓄積した熱電子のような不要な電荷を排出することが可能なカラーイメージセンサ及びカラーイメージセンサの駆動方法を提供することである。
【０００８】
また、本発明の他の目的は、画素が高密度に配置されていても、読み取り画像の密度（解像度）を変更することが可能なカラーイメージセンサ及びカラーイメージセンサの駆動方法を提供することである。
【０００９】
本発明の更に他の目的は、主走査電荷転送素子が複数である場合の、主走査電荷転送素子間の同期を取る必要のないカラーイメージセンサ及びカラーイメージセンサの駆動方法を提供することである。
【００１０】
また、本発明の別の目的は、制御用のクロック（電圧パルス）の種類を抑制しながら、上記目的を達成可能なカラーイメージセンサ及びカラーイメージセンサの駆動方法を提供することである。
【００１１】
本発明の更に別の目的は、Ｒ−Ｇ、Ｇ−Ｂ、ＲＧＢのデータを合成した電気信号の取り出し等の各種信号処理が可能なカラーイメージセンサ及びカラーイメージセンサの駆動方法を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
以下に、［発明の実施の形態］で使用される番号・符号を用いて、課題を解決するための手段を説明する。これらの番号・符号は、［特許請求の範囲］の記載と［発明の実施の形態］との対応関係を明らかにするために括弧付きで付加されたものである。ただし、それらの番号・符号を、［特許請求の範囲］に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。
【００１３】
従って、上記課題を解決するために、本発明のカラーイメージセンサは、複数の画素（１−１〜１−３）と、複数の読出しゲート部（２−１〜２−３）と、複数の副走査電荷転送部（２４）と、複数の転送スイッチ部（１８）と、主走査電荷転送部（２５）とを具備する。
複数の画素（１−１〜１−３）は、行列状に配置され、光の入射により電荷を発生する。複数の読出しゲート部（２−１〜２−３）は、複数の画素（１−１〜１−３）に対応して設けられ、対応する画素（１−１〜１−３）で発生したその電荷の転送を制御する。複数の副走査電荷転送部（２４）は、その行列の列毎に設けられ、複数の読出しゲート部（２−１〜２−３）から転送されたその電荷を蓄積し、又は、転送する。複数の転送スイッチ部（１８）は、複数の副走査電荷転送部（２４）のその列方向の終端部に設けられ、複数の副走査電荷転送部（２４）の対応する副走査電荷転送部（２４）のその電荷の転送を制御する。主走査電荷転送部（２５）は、複数の転送スイッチ部（１８）に隣接して設けられ、複数の転送スイッチ部（１８）から転送されたその電荷を蓄積し、又は、転送する。
【００１４】
また、本発明のカラーイメージセンサは、複数の副走査電荷転送部（２４）のその終端部に設けられ、複数の副走査電荷転送部（２４）の対応する副走査電荷転送部（２４）のその電荷を排出する複数のリセット部（１７及び２０）を更に具備する。
【００１５】
また、本発明のカラーイメージセンサは、複数の副走査電荷転送部（２４）の各々が、複数の第１副電荷転送部（６−０〜６−２）と、一つ又は複数の第２副電荷転送部（５−１〜５−２）とを具備する。
複数の第１副電荷転送部（６−０〜６−２）は、その列毎の複数の読出しゲート部（２−１〜２−３）に対応して設けられ、その電荷を蓄積し、又は転送する。一つ又は複数の第２副電荷転送部（５−１〜５−２）は、複数の第１副電荷転送部（６−０〜６−２）の隣り合う２つの間に一個づつ設置され、一方の第１副電荷転送部（６−０〜６−１）から転送されたその電荷を蓄積し、他方の第１副電荷転送部（６−１〜６−２）へ転送する。
そして、複数の第１副電荷転送部（６−０〜６−２）の内のその終端部の第１副電荷転送部（６−２）は、他の第１副電荷転送部（６−０〜６−１）に比較して、サイズが大きい。
【００１６】
また、本発明のカラーイメージセンサは、複数の副走査電荷転送部（２４）の各々が、複数の第１副電荷転送部（６−０〜６−２）と、一つ又は複数の第２副電荷転送部（５−１〜５−２）とを具備する。
複数の第１副電荷転送部（６−０〜６−２）は、その列毎の複数の読出しゲート部（２−１〜２−３）に対応して設けられ、その電荷を蓄積し、又は転送する。一つ又は複数の第２副電荷転送部（５−１〜５−２）は、複数の第１副電荷転送部（６−０〜６−２）の隣り合う２つの間に一個づつ設置され、一方の第１副電荷転送部（６−０〜６−１）から転送されたその電荷を蓄積し、他方の第１副電荷転送部（６−１〜６−２）へ転送する。
そして、第１副電荷転送部（６−０〜６−２）と第２副電荷転送部（５−１〜５−２）とは、２相駆動によりその電荷を転送する。
【００１７】
更に、本発明のカラーイメージセンサは、複数のリセット部（１７及び２０）の各々が、対応する副走査電荷転送部（２４）のその電荷が主走査電荷転送部（２５）へ転送された後、対応する副走査電荷転送部（２４）へその電荷が読み出される直前までの間に、その電荷を排出する。
【００１８】
更に、本発明のカラーイメージセンサは、複数のリセット部（１７及び２０）が、リセットゲート（１７）とリセットドレイン（２０）とを備え、リセットドレイン（２０）は電源に接続されている。
【００１９】
更に、本発明のカラーイメージセンサは、その列毎のその終端部の第１副電荷転送部（６−２）が、その列の他の第１副電荷転送部（６−０〜６−１）に比較して、蓄積可能な電荷の量が多い。
【００２０】
更に、本発明のカラーイメージセンサは、その列毎のその終端部の第１副電荷転送部（６−２）が、その列毎の複数の画素（１−１〜１−３）が発生する最大の電荷を蓄積可能である。
【００２１】
更に、本発明のカラーイメージセンサは、主走査電荷転送部（２５）が、複数の第１主電荷転送部（８）と、複数の第２主電荷転送部（７）とを具備する。
複数の第１主電荷転送部（８）は、複数の転送スイッチ部（１８）に対応して設けられ、その電荷を蓄積し、又は転送する。複数の第２主電荷転送部（７）は、複数の第１主電荷転送部（８）の隣り合う２つの間に１個づつ設置され、一方の第１主電荷転送部（８）から転送されたその電荷を蓄積し、他方の第１主電荷転送部（８）へ転送する。
そして、第２主電荷転送部（７）と第１主電荷転送部（８）とは、２相駆動によりその電荷を転送する。第１副電荷転送部（６−０〜６−２）及び第２副電荷転送部（５−１〜５−２）は、それぞれ第２主電荷転送部（７）及び第１主電荷転送部（８）と共通の電荷転送信号（φ１及びφ２）に基づいて、その電荷を転送する。
【００２２】
更に、本発明のカラーイメージセンサは、複数の転送スイッチ部（１８）により、複数の副走査電荷転送部（２４）の中から、その電荷を転送される副走査電荷転送部（２４）を選択する。
【００２３】
更に、本発明のカラーイメージセンサは、複数の読出しゲート部（２−１〜２−３）の各々により、対応する画素（１−１〜１−３）で発生するその電荷の蓄積時間（Ｔ１）を制御する。
【００２４】
更に、本発明のカラーイメージセンサは、副走査電荷転送部（２４）は、その電荷を蓄積する第１ウェル（１３）を有する。主走査電荷転送部（２５）は、その電荷を蓄積する第２ウェル（１３）を有する。
そして、第１ウェル（１３）と第２ウェル（１３）とは一体である。
【００２５】
上記課題を解決するための、本発明のカラーイメージセンサの駆動方法は、（ａ）行列状に設けられた複数の画素（１−１〜１−３）が、光の入射により発生する電荷を蓄積するステップと、（ｂ）その行列の列毎に設けられた複数の副走査電荷転送部（２４）が、その列の複数の画素（１−１〜１−３）から転送されるその電荷を、蓄積するステップと、（ｃ）主走査電荷転送部（２５）が、複数の副走査電荷転送部（２４）から転送されるその電荷を、その光に関する信号に変換するステップとを具備する。
【００２６】
また、本発明のカラーイメージセンサの駆動方法は、（ｂ）ステップが、（ｄ）複数の副走査電荷転送部（２４）の各々が、複数の画素（１−１〜１−３）の各々に対応した第１転送信号（φＳＨ）に基づいて、その列の画素（１−１〜１−３）から転送されるその電荷を受け取るステップを具備する。
そして、複数の画素（１−１〜１−３）の各々でのその電荷の蓄積時間（Ｔ１）は、第１転送信号（φＳＨ）の周期により制御される。
【００２７】
また、本発明のカラーイメージセンサの駆動方法は、（ｃ）ステップが、（ｅ）主走査電荷転送部（２５）が、複数の副走査電荷転送部（２４）の各々に対応した第２転送信号（φＴＲ）に基づいて、複数の副走査電荷転送部（２４）から転送されるその電荷を受け取るステップを具備する。
そして、複数の副走査電荷転送部（２４）の内、その電荷を転送される副走査電荷転送部（２４）は、第２転送信号（φＴＲ）により選択される。
【００２８】
上記課題を解決するための本発明に関するプログラムは、（ａ）行列の列毎に設けられた複数の副走査電荷転送部（２４）が、その行列状に設けられた複数の画素（１−１〜１−３）において光の入射により発生し蓄積された電荷を蓄積するステップと、（ｂ）主走査電荷転送部（２５）が、複数の副走査電荷転送部（２４）の各々に対応した転送信号（φＴＲ）に基づいて、複数の副走査電荷転送部（２４）から転送されるその電荷を受け取るステップと、（ｃ）主走査電荷転送部（２４）が、複数の副走査電荷転送部（２４）から転送されるその電荷を、その光に関する信号に変換するステップとを具備する方法をコンピュータに実行させる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明であるカラーイメージセンサの実施の形態に関して、添付図面を参照して説明する。
なお、各実施の形態において同一又は相当部分には同一の符号を付して説明する。
【００３０】
（実施例１）
本発明であるカラーイメージセンサの第１の実施の形態の構成について、図１を参照して説明する。
図１は、本発明であるカラーイメージセンサの第１の実施の形態における構成を示す平面図である。
カラーイメージセンサは、第１行の画素１−１〜第３行の画素１−３、画素１−１に対応する読出しゲートφＳＨ２−１〜画素１−３に対応する読出しゲートφＳＨ２−３、副走査電荷転送部２４、主走査電荷転送部２５、リセットゲートφＲ１７、リセットドレイン２０及び転送スイッチφＴＲ１８を備える。
本実施例のカラーイメージセンサは、Ｐ型基板上に形成されている。ただし、Ｎ型基板上にＰ型ウェルを形成して実施することも可能である。
【００３１】
ここで、本明細書中の図面において、各ゲート（電極）に至る配線、配線接続部のスルーホール、断面図中のカラーフィルタの構成は、省略している。また、図１、図８、図１０において、遮光に用いるアルミ等の金属膜２２（後述）は、省略している。
【００３２】
次に、各構成について説明する。
画素１−１は、互いに等間隔で、主走査電荷転送部２５に対して平行な方向に配列されている。これらの複数の画素の並びを第１行とする。同様に、第２行の画素１−２は第１行の画素１−１よりも主走査電荷転送部２５に近い側において、互いに等間隔で、主走査電荷転送部２５に対して平行な方向に配設されている。第３行の画素１−３は、第２行の画素１−２よりも主走査電荷転送部２５に近い側において、互いに等間隔で、主走査電荷転送部２５に対して平行に配設されている。
すなわち、画素は、行列状に配列されている。
図１では、第１行〜第３行において４つの画素１−１〜１−３が配列（３行４列の行列状に配列）されている様子を示しているが、この数に限定されるものではない。
【００３３】
各画素１−１〜１−３は、三原色のいずれかのカラーフィルターを介して光を受けて電子（電荷）を発生する。そして、それを蓄積する。各画素１−１〜１−３は、フォトダイオードに例示される。本実施例（図１）では、各行毎に同じ色になるように三原色のカラーフィルターを各画素１−１〜１−３上に載せたカラーイメージセンサを示している。
【００３４】
読出しゲート部としての読出しゲートφＳＨ２−１は、対応する第１行の画素１−１と副走査電荷転送部２４とに隣接して配置されている。同様に、読出しゲートφＳＨ２−２は画素１−２と副走査電荷転送部２４とに隣接し、読出しゲートφＳＨ２−３は画素１−３と副走査電荷転送部２４とに隣接して、それぞれ配置されている。
【００３５】
読出しゲートφＳＨ２−１〜２−３は、対応する画素１−１〜１−３に蓄積された電荷を、第１転送信号としての電圧パルスφＳＨに基づいて、副走査電荷転送部２４（後述）へ選択的に転送する。電圧パルスφＳＨは、各行毎に異なる。また、各素子毎に異なるように設定しても良い。
【００３６】
図１では、読出しゲートφＳＨ２−１〜２−３は、画素１−１〜１−３の主走査電荷転送部２５（後述）側に隣接して配置されている。ただし、副走査電荷転送部２４の側に隣接して配置されていても良い。その場合、各列（第１列〜第３列）同士の間隔が短縮され、画素密度を高くすることが出来る。
【００３７】
副走査電荷転送部２４は、読出しゲートφＳＨ２−１〜２−３と転送スイッチφＴＲ（後述）とに隣接して配置されている。主走査電荷転送部２５に対して垂直な方向（行列の列方向）であって、画素１−１〜画素１−３の各々の近傍へ延びている。主走査電荷転送部２５に垂直な方向の一列に並んだ画素１−１〜１−３の一つずつの組に対して、一つの副走査電荷転送部２４が対応する。
【００３８】
副走査電荷転送部２４は、画素１−１〜画素１−３の各々から読出しゲートφＳＨ２−１〜２−３を介して転送された電荷を、電荷転送信号としての電圧パルスφ１及び電圧パルスφ２に基づいて、副走査電荷転送部２４の長手方向の主走査電荷転送部２５側へ向けて転送する。そして、副走査電荷転送部２４の主走査電荷転送部２５側の終端部において、その電荷を蓄積する。
副走査電荷転送部２４は、第２副電荷転送部としての副走査電荷転送素子５−１〜５−２、及び第１副電荷転送部としての副走査電荷転送素子６−０〜６−２を有する。
【００３９】
副走査電荷転送素子５−１〜５−２は、電圧パルスφ２により制御される。第２層ポリシリコン電極４を有する部分と、第１層ポリシリコン電極３を有する部分とを備える。
【００４０】
副走査電荷転送素子５−１は、副走査電荷転送素子６−０の電荷を転送され、蓄積し、副走査電荷転送素子６−１へ転送する。同様に、副走査電荷転送素子５−２は、副走査電荷転送素子６−１の電荷を転送され、蓄積し、副走査電荷転送素子６−２へ転送する。
【００４１】
同様に、副走査電荷転送素子６−０〜６−２は、電圧パルスφ１により制御される。第２層ポリシリコン電極４を有する部分と、第１層ポリシリコン電極３を有する部分とを備える（ただし、６−０は、第２層ポリシリコン電極４を有する部分を有していない）。
なお、副走査電荷転送素子６−２の第１ポリシリコン電極３を有する部分を副走査終端素子２１ともいう。この副走査終端素子２１は、その第１層ポリシリコン電極３下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３が、画素１−１〜１−３から転送される電荷全てを蓄積することが出来るように十分に大きく形成される。
【００４２】
副走査電荷転送素子６−０は、画素１−１の電荷を転送され、蓄積し、副走査電荷転送素子５−１へ転送する。副走査電荷転送素子６−１は、画素１−２及び副走査電荷転送素子５−１の電荷を転送され、蓄積し、副走査電荷転送素子５−２へ転送する。副走査電荷転送素子６−２は、画素１−３及び副走査電荷転送素子５−２の電荷を転送され、蓄積し、主走査電荷転送部２５へ転送する。
【００４３】
副走査電荷転送部２４においては、各素子が、読出しゲートφＳＨ２−１に隣接する副走査電荷転送素子６−０／副走査電荷転送素子５−１／読出しゲートφＳＨ２−２に隣接する副走査電荷転送素子６−１／副走査電荷転送素子５−２／読出しゲートφＳＨ２−３に隣接する副走査電荷転送素子６−２の順に配置されている。そして、副走査電荷転送素子６−２は、転送スイッチφＴＲ１８（後述）に隣接して配置されている。
そして、副走査電荷転送部２４は、電圧パルスφ１及びφ２による２相駆動方式により、電荷を副走査終端素子２１へ転送している。
【００４４】
転送スイッチ部としての転送スイッチφＴＲ１８は、副走査電荷転送部２４の副走査電荷転送素子６−２と主走査電荷転送部２５とに隣接して配置されている。
転送スイッチφＴＲ１８は、第２転送信号としての電圧パルスφＴＲに基づいて、副走査電荷転送部２４の副走査電荷転送素子６−２から主走査電荷転送部２５へ電荷を選択的に転送する。
【００４５】
主走査電荷転送部２５は、複数の副走査電荷転送部２４の長手方向に対して垂直な方向へ延びる。すなわち、主走査電荷転送部２５の長手方向に対して垂直な方向より、転送スイッチφＴＲ１８を介して複数の副走査電荷転送部２４からの電荷の転送を受ける。
【００４６】
副走査電荷転送部２４により転送された電荷を、電圧パルスφ１及び電圧パルスφ２に基づいて、主走査方向（主走査電荷転送部２５の長手方向）に走査して電荷−電圧変換を行う。主走査電荷転送部２５は、電荷転送を行う第２主電荷転送部としての主走査電荷転送素子７及び第１主電荷転送部としての主走査電荷転送素子８と、転送された電荷について電荷−電圧変換を行う電荷検出部（図示せず）を有する。
主走査電荷転送素子７と主走査電荷転送素子８とは交互に配設されている。そして、電荷検出部は、その終端部に接続されている。
【００４７】
主走査電荷転送素子７は、電圧パルスφ１により制御される。第２層ポリシリコン電極４を有する部分と、第１層ポリシリコン電極３を有する部分とを備える。
主走査電荷転送素子７は、一方の側の主走査電荷転送素子８の電荷を転送され、蓄積し、他方の側の主走査電荷転送素子８へ転送する。
【００４８】
各主走査電荷転送素子８は、転送スイッチφＴＲ１８に隣接している。電圧パルスφ２により制御される。第２層ポリシリコン電極４を有する部分と、第１層ポリシリコン電極３を有する部分とを備える。
主走査電荷転送素子８は、一方の側の主走査電荷転送素子７の電荷を転送され、蓄積し、他方の側の主走査電荷転送素子７へ転送する。また、副走査電荷転送部２４の電荷を転送され、蓄積し、他方の側の主走査電荷転送素子７へ転送する。
すなわち、主走査電荷転送部２５は、電圧パルスφ１及びφ２による２相駆動方式により、電荷を電荷検出部へ転送している。
【００４９】
リセット部の一構成としてのリセットゲートφＲ１７は、副走査電荷転送部２４の終端部（副走査電荷転送素子６−２ｂ）とリセットドレイン２０とに隣接し配置されている。
リセットゲートφＲ１７は、副走査電荷転送部２４の副走査電荷終端素子２１（副走査電荷転送素子６−２ｂ）に蓄積された不要な電荷（熱電子、主走査電荷転送部２５への電子の読出し後に残った電子など）を、電圧パルスφＲ１７に基づいて、リセットドレイン２０へ選択的に排出する。
【００５０】
リセット部の一構成としてのリセットドレイン２０は、リセットゲートφＲ１７経由で排出された不要な電荷を外部へ排出する。リセットドレイン２０は、１２Ｖの電源と配線を通して接続されている。
【００５１】
電荷検出部（図示せず）は、主走査電荷転送部２５の終端部に接続されている。転送された電荷を電圧信号のような電気信号に変換して出力する。そのような電荷変換部としては、従来知られた手段（例示：フローティングディフュージョン検出器、フローティングゲート検出器）を用いることが出来る。
【００５２】
次に、図２（ａ）を参照して、図１におけるＸ−Ｘ’断面について説明する（図２（ｂ）（ｃ）については後述する）。図２（ａ）は、図１におけるＸ−Ｘ’断面、すなわち、画素１−１から副走査電荷転送素子６−０への断面の構造を示す図である。ただし、画素１−２又は１−３から副走査電荷転送素子６−１又は６−２への断面は、この図２（ａ）と同様である。
画素１−１、読出しゲートφＳＨ２−１、副走査電荷転送素子６−０を備え、その周辺をＰ＋型拡散層１４が囲んでいる。表面は、パッシベーション膜としての機能を有する全素子を覆う酸化膜１０’、及び、画素１−１上部以外の酸化膜１０’表面に形成された遮光膜２２に覆われている。
【００５３】
画素１−１は、読出しゲートφＳＨ２−１と隣接している。Ｐ型拡散層１１及びＮ型拡散層１２をＰ型基板９中に備える。
Ｎ型拡散層１２は、Ｐ型基板９の表面において、Ｐ型基板９の深さ方向に所定の深さ（膜厚）、Ｐ型基板９の表面と平行な方向に所定の面積で設けられている。
Ｐ型拡散層１１は、Ｐ型基板９の表面において、Ｎ型拡散層１２の表面を覆うように、Ｐ型基板９の深さ方向にＮ型拡散層１２よりも薄い膜厚で、Ｐ型基板９の表面と平行な方向にＮ型拡散層１２と同じかやや大きい面積で設けられている。
最表面（Ｐ型拡散層１１の表面）は、ゲート酸化膜としての機能を有する薄膜の酸化膜１０に覆われている。
【００５４】
画素１−１は、断面構造としてＰ−Ｎ−Ｐ型の構造を持つ。そして、Ｐ型拡散層１１とＮ型拡散層１２とは、入射した光の量に応じた電子（電荷）を発生するフォトダイオードを形成している。発生した電子はＮ型拡散層１２に蓄積される。
【００５５】
読出しゲートφＳＨ２−１は、Ｐ型基板９上の酸化膜１０及び第２層ポリシリコン電極４を備える。
読出しゲートφＳＨ２−１の第２層ポリシリコン電極４は、Ｐ型基板９上を覆う酸化膜１０上に形成され、ゲート電極として機能する。その一端部は、画素１−１のＰ型拡散層１１端部上の酸化膜１０まで延びている。他端部は、副走査電荷転送素子６−０端部まで延び、第２層ポリシリコン電極４と第１層ポリシリコン電極３とを絶縁する酸化膜１０’’を介して、副走査電荷転送素子６−０の第１層ポリシリコン電極３の一部を覆っている。
【００５６】
読出しゲートφＳＨ２−１は、その第２層ポリシリコン電極４に入力される電圧パルスφＳＨに基づいて、画素１−１の電荷の転送を制御する。すなわち、電圧パルスφＳＨがＯＮの場合、読出しゲートφＳＨ２−１でのＰ型基板９のポテンシャルが高くなり、画素１−１の電荷が、副走査電荷転送素子６−０のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３（後述）へ移動可能となる。
【００５７】
副走査電荷転送素子６−０は、第１層ポリシリコン電極３、酸化膜１０及びＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３を有する。
副走査電荷転送素子６−０のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３は、Ｐ型基板９の表面において、Ｐ型基板９の深さ方向に所定の深さ（膜厚）、Ｐ型基板９の表面と平行な方向に所定の面積で設けられている。
副走査電荷転送素子６−０の第１層ポリシリコン電極３は、ゲート電極の機能を有し、酸化膜１０の表面において、所定の膜厚で、ＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３の表面を覆うように形成される。その一部は、酸化膜１０’’を介して読出しゲートφＳＨ２−１の第２層ポリシリコン電極４に覆われている。
【００５８】
副走査電荷転送素子６−０は、その第１層ポリシリコン電極３に入力される電圧パルスφ１に基づいて、そのＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３のポテンシャルを制御する。すなわち、電圧パルスφ１がＯＮの場合、ＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３のポテンシャルが高くなり、画素１−１で発生した電荷を、読出しゲートφＳＨ２−１を介して、そのＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３において受取り可能となる。
【００５９】
なお、本実施例におけるＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３は、同一のプロセス（条件）で形成される。特に、各副走査電荷転送素子５、６のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３（第１ウェル）は、それぞれ同一のプロセス（条件）で、一度に一体に形成される。
【００６０】
また、本実施例では、第２層ポリシリコン電極４を用いて、画素１−１から副走査電荷転送素子６−０への読出し制御を行っているが、第１層ポリシリコン電極３と第２層ポリシリコン電極４とを全て入れ替えた方法で本発明を実施する事も可能である。
【００６１】
次に、図３（ａ）を参照して、図１におけるＹ−Ｙ’断面について説明する（図３（ｂ）〜（ｄ）については後述する）。図３（ａ）は、図１におけるＹ−Ｙ’断面、すなわち、副走査電荷転送部２４−４から主走査電荷転送部２５への断面の構造を示す図である。
副走査電荷転送素子６−０、副走査電荷転送素子５−１、副走査電荷転送素子６−１、副走査電荷転送素子５−２、副走査電荷転送素子６−２、転送スイッチφＴＲ１８、主走査電荷転送素子８がこの順で並び、隣接して配設されている。表面は、パッシベーション膜としての機能を有する全素子を覆う酸化膜１０’、及び、酸化膜１０’表面に形成された遮光膜２２に覆われている。
【００６２】
副走査電荷転送素子６−０の構成は、図２における説明の通りである。
ただし、副走査電荷転送素子６−０の第１層ポリシリコン電極３は、更に、副走査方向（副走査電荷部２４の長手方向）において、副走査電荷転送素子５−１側の一端部が、酸化膜１０’’を介して副走査電荷転送素子５−１の第２層ポリシリコン電極４に覆われている。
【００６３】
副走査電荷転送素子６−０は、画素１−１から転送された電荷をそのＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３において蓄積する。そして、電圧パルスφ１がＯＦＦの場合、ＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３のポテンシャルが低くなり、蓄積した電荷を、副走査電荷転送素子５−１へ転送可能となる。
【００６４】
副走査電荷転送素子５−１（、２）は、副走査電荷転送素子６−０（、１）から転送された電荷を副走査電荷転送素子５−１（、２）のＮ−型ウェル１５（後述）を介して第１層ポリシリコン電極３下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３で受け取り、蓄積する。そして、副走査電荷転送素子６−１（、２）へ転送する。
【００６５】
ここで、副走査電荷転送素子５−１（、２）は、第２層ポリシリコン電極４下では、Ｎ−型ウェル１５とＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３と酸化膜１０とを有する。
第２層ポリシリコン電極４下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３は、副走査電荷転送素子６−０のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３と同様である。ただし、その表面がＮ−型ウェル１５で覆われている。
第２層ポリシリコン電極４下のＮ−型ウェル１５は、Ｐ型基板９の表面において、そのＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３の表面を覆うように、Ｐ型基板９の深さ方向にそのＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３よりも薄い膜厚で、Ｐ型基板９の表面と平行な方向にそのＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３と同じかやや大きい面積で設けられている。
第２層ポリシリコン電極４は、酸化膜１０上に形成され、ゲート電極の機能を有する。その一端部は、酸化膜１０’’を介して副走査電荷転送素子６−０（、１）の第１層ポリシリコン電極３の一端部を覆い、他端部は、酸化膜１０’’を介して副走査電荷転送素子５−１（、２）の第１層ポリシリコン電極３の一端部を覆う。
【００６６】
本実施例中のＮ−型ウェル１５は、第１層ポリシリコン電極３の電極をマスクとして、Ｐ型半導体物質（例えばボロン）を注入する事により、ＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３よりもポテンシャルが浅くなるようにコントロールされている。そして、Ｎ−型ウェル１５は、同一のプロセス（条件）で、一度に形成される。
【００６７】
副走査電荷転送素子５−１（、２）は、第１層ポリシリコン電極３下では、ＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３と酸化膜１０とを有する。
第１層ポリシリコン電極３下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３は、副走査電荷転送素子６−０と同様である。
第１層ポリシリコン電極３は、酸化膜１０上に形成され、ゲート電極の機能を有する。その一端部は、酸化膜１０’’を介して副走査電荷転送素子５−１（、２）の第２層ポリシリコン電極４が覆い、他端部は、酸化膜１０’’を介して副走査電荷転送素子６−１（、２）の第２層ポリシリコン電極４が覆っている。
【００６８】
副走査電荷転送素子５−１（、２）は、その第２層ポリシリコン電極４及び第１層ポリシリコン電極３に入力される電圧パルスφ２に基づいて、副走査電荷転送素子６−０（、１）の電荷の転送を制御する。すなわち、電圧パルスφ２がＯＮの場合、副走査電荷転送素子５−１（、２）でのＮ−型ウェル１５及びＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３のポテンシャルが高くなる。そのため、副走査電荷転送素子６−０（、１）の電荷が、副走査電荷転送素子５−１（、２）のＮ−型ウェル１５のポテンシャル壁を越えて、第１層ポリシリコン電極３下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３へ移動可能となる。
【００６９】
副走査電荷転送素子６−１（、２）は、副走査電荷転送素子５−１（、２）から転送された電荷を副走査電荷転送素子６−１（、２）のＮ−型ウェル１５を介して第１層ポリシリコン電極３下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３で受け取り、蓄積する。そして、その電荷を副走査電荷転送素子６−１（、主走査電荷転送部２５）へ転送する。
【００７０】
ここで、副走査電荷転送素子６−１（、２）は、第２層ポリシリコン電極４下では、Ｎ−型ウェル１５とＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３と酸化膜１０とを有する。
第２層ポリシリコン電極４下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３、及び、Ｎ−型ウェル１５は、副走査電荷転送素子５−１と同様である。
第２層ポリシリコン電極４は、副走査電荷転送素子５−１と同様である。ただし、その一端部は、酸化膜１０’’を介して副走査電荷転送素子５−１（、２）の第１層ポリシリコン電極３の一端部を覆い、他端部は、酸化膜１０’’を介して副走査電荷転送素子６−１（、２）の第１層ポリシリコン電極３の一端部を覆う。
【００７１】
副走査電荷転送素子６−１（、２）は、第１層ポリシリコン電極３下では、ＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３と酸化膜１０とを有する。
第１層ポリシリコン電極３下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３は、副走査電荷転送素子６−０と同様である。
第１層ポリシリコン電極３は、副走査電荷転送素子６−０と同様である。ただし、その一端部は、酸化膜１０’’を介して副走査電荷転送素子６−１（、２）の第２層ポリシリコン電極４が覆い、他端部は、酸化膜１０’’を介して副走査電荷転送素子５−２（、転送スイッチφＴＲ１８）の第２層ポリシリコン電極４が覆っている。
【００７２】
副走査電荷転送素子６−１（、２）は、その第２層ポリシリコン電極４及び第１層ポリシリコン電極３に入力される電圧パルスφ１に基づいて、副走査電荷転送素子５−１（、２）の電荷の転送を制御する。すなわち、電圧パルスφ１がＯＮの場合、副走査電荷転送素子６−１（、２）でのＮ−型ウェル１５及びＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３のポテンシャルが高くなる。そのため、副走査電荷転送素子５−１（、２）の電荷が、副走査電荷転送素子６−１（、２）のＮ−型ウェル１５のポンテンシャル壁を超えて、第１層ポリシリコン電極３下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３へ移動可能となる。
【００７３】
また、副走査電荷転送素子６−１（、２）は、副走査電荷転送素子６−０と同様に、その第１層ポリシリコン電極３に入力される電圧パルスφ１に基づいて、そのＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３のポテンシャルを制御する。すなわち、電圧パルスφ１がＯＮの場合、ＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３のポテンシャルが高くなり、画素１−２（、１−３）で発生した電荷を、読出しゲートφＳＨ２−２（、３）を介して、そのＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３において受取り可能となる。
そして、副走査電荷転送素子６−１（、２）は、画素１−２（、１−３）から転送された電荷をそのＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３において蓄積する。電圧パルスφ１がＯＦＦの場合、ＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３のポテンシャルが低くなり、蓄積した電荷を、副走査電荷転送素子５−２（、主走査電荷転送素子８）へ転送可能となる。
【００７４】
転送スイッチφＴＲ１８は、副走査電荷転送素子５−１（、２）の第２層ポリシリコン電極４を有する部分と同様の構造を有する。ただし、転送スイッチφＴＲ１８の第２層ポリシリコン電極４の一端部は副走査電荷転送素子６−２の第１層ポリシリコン電極３に、他端部は主走査電荷転送部２５の主走査電荷転送素子８の主走査電荷転送素子８の第１層ポリシリコン電極３に、それぞれ酸化膜１０’’を介して接続している。
【００７５】
転送スイッチφＴＲ１８は、その第２層ポリシリコン電極４に入力される電圧パルスφＴＲに基づいて、副走査電荷転送素子６−２の電荷の転送を制御する。すなわち、電圧パルスφＴＲがＯＮの場合、転送スイッチφＴＲ１８でのＮ−型ウェル１５のポテンシャルが高くなり、副走査電荷転送素子６−２の電荷が、主走査電荷転送素子８のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３へ移動可能となる。
【００７６】
走査電荷転送部２５の主走査電荷転送素子８の主走査電荷転送素子８は、副走査電荷転送素子５−１（、２）の第１層ポリシリコン電極３を有する部分と同様の構造を有する。ただし、主走査電荷転送素子８の第１層ポリシリコン電極３の一端部は転送スイッチφＴＲ１８の第２層ポリシリコン電極４に、酸化膜１０’’を介して接続している。
【００７７】
主走査電荷転送素子８は、その第１層ポリシリコン電極３に入力される電圧パルスφ２に基づいて、そのＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３のポテンシャルを制御する。すなわち、電圧パルスφ２がＯＮの場合、ＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３のポテンシャルが高くなり、副走査電荷転送素子６−２で蓄積した電荷を、転送スイッチφＴＲ１８を介して、そのＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３において受取り可能となる。
【００７８】
次に、図４（ａ）を参照して、図１におけるＵ−Ｕ’断面について説明する（図４（ｂ）（ｃ）については後述する）。図４（ａ）は、図１におけるＵ−Ｕ’断面、すなわち、主走査電荷転送部２５の断面の構造を示す図である。
主走査電荷転送素子７、及び、主走査電荷転送素子８を備える（ただし、図中、主走査電荷転送部２５のうち、いくつかの主走査電荷転送素子７及び主走査電荷転送素子８を省略している）。
本実施例におけるＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３は、同一のプロセス（条件）で形成される。特に、各主走査電荷転送素子７、８の各々のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３（第２ウェル）は、それぞれ同一のプロセス（条件）で、一度に一体に形成される。副走査電荷転送素子５、６のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３と一体に形成されていても良い。その場合には、工程を減らすことが出来る。
表面は、パッシベーション膜としての機能を有する全素子を覆う酸化膜１０’’、及び、酸化膜１０’表面に形成された遮光膜２２に覆われている。
【００７９】
主走査電荷転送素子７は、副走査電荷転送素子５−１（、２）と同様の構造を有する。
ただし、主走査電荷転送素子７の第１層ポリシリコン電極３の一端部は、酸化膜１０’’を介して主走査電荷転送素子７の第２層ポリシリコン電極４が覆い、他端部は、酸化膜１０’’を介して主走査電荷転送素子８の第２層ポリシリコン電極４が覆う。また、第２層ポリシリコン電極４の一端部は、酸化膜１０’’を介して主走査電荷転送素子７の第１層ポリシリコン電極３の一端部を覆い、他端部は、酸化膜１０’’を介して主走査電荷転送素子８の第１層ポリシリコン電極３の一端部を覆う。
【００８０】
主走査電荷転送素子７は、その第２層ポリシリコン電極４及び第１層ポリシリコン電極３に入力される電圧パルスφ１に基づいて、主走査電荷転送素子８の電荷の転送を制御する。すなわち、電圧パルスφ１がＯＮの場合、主走査電荷転送素子７でのＮ−型ウェル１５及びＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３のポテンシャルが高くなる。そのため、主走査電荷転送素子８の電荷が、主走査電荷転送素子７のＮ−型ウェル１５の壁を越えて、ＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３へ移動可能となる。また、電圧パルスφ１がＯＦＦの場合、ＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３のポテンシャルが低くなり、蓄積した電荷を、主走査電荷転送素子８へ転送可能となる。
【００８１】
主走査電荷転送素子８は、副走査電荷転送素子６−１（、２）と同様の構造を有する。
ただし、主走査電荷転送素子８の第１層ポリシリコン電極３の一端部は、酸化膜１０’’を介して主走査電荷転送素子８の第２層ポリシリコン電極４が覆い、他端部は、酸化膜１０’’を介して主走査電荷転送素子７の第２層ポリシリコン電極４が覆う。また、第２層ポリシリコン電極４の一端部は、酸化膜１０’’を介して主走査電荷転送素子８の第１層ポリシリコン電極３の一端部を覆い、他端部は、酸化膜１０’’を介して主走査電荷転送素子７の第１層ポリシリコン電極３の一端部を覆う。
【００８２】
主走査電荷転送素子８は、その第２層ポリシリコン電極４及び第１層ポリシリコン電極３に入力される電圧パルスφ２に基づいて、主走査電荷転送素子７の電荷の転送を制御する。すなわち、電圧パルスφ２がＯＮの場合、主走査電荷転送素子８でのＮ−型ウェル１５及びＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３のポテンシャルが高くなる。そのため、主走査電荷転送素子７の電荷が、主走査電荷転送素子８のＮ−型ウェル１５の壁を越えて、ＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３へ移動可能となる。また、電圧パルスφ２がＯＦＦの場合、ＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３のポテンシャルが低くなり、蓄積した電荷を、主走査電荷転送素子７へ転送可能となる。
【００８３】
次に、図５（ａ）を参照して、図１におけるＷ−Ｗ’断面について説明する（図５（ｂ）（ｃ）については後述する）。図５（ａ）は、図１におけるＷ−Ｗ’断面、すなわち、副走査終端素子２１（副走査電荷転送素子６−２の第１層ポリシリコン電極３のある部分）からリセットドレイン２０への断面の構造を示す図である。
副走査終端素子２１とリセットゲートφＲ１７とリセットドレイン２０とを備える。
表面は、パッシベーション膜としての機能を有する全素子を覆う酸化膜１０’’、及び、酸化膜１０’表面に形成された遮光膜２２に覆われている。
【００８４】
副走査終端素子２１は、副走査電荷転送素子６−２の第１層ポリシリコン電極３のある部分であり、既述の通りである。
【００８５】
リセットゲートφＲ１７は、副走査電荷転送素子６−１（、２）の第２層ポリシリコン電極４のある部分と同様の構造を有する。ただし、リセットゲートφＲ１７の第２層ポリシリコン電極４の一端部は副走査終端素子２１の第１層ポリシリコン電極３の一端部を覆い、他端部は、酸化膜１０’’を介してリセットドレイン２０へ延びる。また、副走査終端素子２１とリセットゲートφＲ１７のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３同士は互いに接合している（一体である）。
【００８６】
リセットゲートφＲ１７は、その第２層ポリシリコン電極４に入力される電圧パルスφＲに基づいて、副走査終端素子２１の電荷の転送を制御する。すなわち、電圧パルスφＲがＯＮの場合、リセットゲートφＲ１７でのＮ−型ウェル１５のポテンシャルが高くなり、副走査終端素子２１（副走査電荷転送素子６−２）に蓄積された電荷が、リセットドレイン２０へ移動可能となる。
【００８７】
リセットドレイン２０は、Ｎ＋型拡散層を含む。
Ｎ＋型拡散層は、Ｐ型基板９の表面において、Ｐ型基板９の深さ方向に所定の深さ（膜厚）、Ｐ型基板９の表面と平行な方向に所定の面積で設けられている。リセットゲートφＲ１７（Ｎ−型ウェル１５及びＮ型拡散層１２）に接続している。リセットドレイン２０の表面は、酸化膜１０及び酸化膜１０’に覆われている。
リセットドレイン２０は、転送された電荷を接続された電源へ送出する。
【００８８】
次に、図６（ａ）を参照して、図１におけるＺ−Ｚ’断面について説明する。
図６（ａ）は、図１におけるＺ−Ｚ’断面、すなわち、画素１−１から読出しゲートφＳＨ２−２への断面の構造を示す図である。ただし、画素１−２から読出しゲートφＳＨ２−３への断面も、この図６（ａ）と同様である。
画素１−１、読出しゲートφＳＨ２−１、画素１−２、読出しゲートφＳＨ２−２、を備える。
【００８９】
画素１−１及び読出しゲートφＳＨ２−１は、既述の通りである。画素１−２及び読出しゲートφＳＨ２−２は、それぞれ画素１−１及び読出しゲートφＳＨ２−１と同様である。
画素１−２と読出しゲートφＳＨ２−１との間（電荷転送素子として使用していない部分）には、Ｐ＋型拡散層１４が設けられ、両者を分離するためのチャネルストッパの役割を果たしている。
【００９０】
次に、本発明であるカラーイメージセンサの第１の実施の形態の動作（カラーイメージセンサの駆動方法方法）について、図１〜図５、図７を参照して説明する。ここでは、上記に説明したカラーイメージセンサを用いて、２次元のカラー印刷画像を読み込む場合を例にして説明する。
【００９１】
ここで、図７（ａ）〜（ｅ）は、各電圧パルスのタイミングチャートの一例を示す図である。図７（ａ）は、電圧パルスφ１、図７（ｂ）は、電圧パルスφ２、図７（ｃ）は、電圧パルスφＳＨ、図７（ｄ）は、電圧パルスφＴＲ、図７（ｅ）は、電圧パルスφＲである。ただし、本発明が、このタイミングチャートに制限されるものではない。
【００９２】
電圧パルスφ１及び電圧パルスφ２（電荷転送信号）は、副走査方向及び主走査方向に電荷を転送するために、副走査電荷転送部２４の各副走査電荷転送素子５、６及び主走査電荷転送部２５の各主走査電荷転送素子７、８へ与えられる。
電圧パルスφＳＨ（第１転送信号）は、画素１−１〜１−３の電荷を副走査電荷転送部２４へ選択的に読み出すために、読出しゲートφＳＨ２−１〜２−３へ与えられる。
電圧パルスφＴＲ（第２転送信号）は、副走査電荷転送部２４から主走査電荷転送部２５へ電荷を選択的に読み出すために、転送スイッチφＴＲ１８へ与えられる。
電圧パルスφＲは、副走査電荷転送部２４の終端部に蓄積された不要電荷を選択的に排出するために、リセットゲートφＲ１７へ与えられる。
【００９３】
図２（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ時間Ｔ１、Ｔ２（図７参照）、における図２（ａ）の各位置でのポテンシャルの大きさ及び電荷の蓄積及び移動について示している。
図３（ｂ）〜（ｄ）は、それぞれ時間Ｔ３〜Ｔ５（図７参照）における図３（ａ）の各位置でのポテンシャルの大きさ及び電荷の蓄積及び移動について示している。
図４（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ時間Ｔ６、Ｔ７（図７参照）における図４（ａ）の各位置でのポテンシャルの大きさ及び電荷の蓄積及び移動について示している。
図５（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ時間Ｔ８、Ｔ９（図７参照）における図５（ａ）の各位置でのポテンシャルの大きさ及び電荷の蓄積及び移動について示している。
それぞれ、縦軸は、ポテンシャルの大きさ、横軸は、各図（ａ）における位置を示す。
【００９４】
次に、カラーイメージセンサの動作について説明する。
なお、ここでは、画素１−１の電荷の流れを例に示して、動作を説明するが、画素１−２〜１−３についても同様に考えることが出来る。
（１）ステップＳ０１
白色光を印刷画像に当てた際の反射光（ｈν）が、画素１−１へ入射する。画素１−１は、光の入射に伴い電子（電荷）を発生する。
図７（ｃ）及び図２（ｂ）を参照すると、Ｔ１の期間は、電圧パルスφＳＨがＯＦＦの期間（以下、蓄積時間ともいう）である。この期間では、画素１−１で発生する電子（電荷）の量は、入射する光の量に比例して多くなる。発生する電子（電荷）は、画素１−１のＮ型拡散層１２で一時的に蓄積される。その電荷は、図２（ｂ）中、電荷Ｑ１で示している。
【００９５】
（２）ステップＳ０２
図７（ｃ）及び図２（ｃ）を参照すると、Ｔ２の前後の期間は、電圧パルスφＳＨがＯＮの期間（以下、読出し時間ともいう）である。この期間では、画素１−１に蓄積された入射光量と蓄積時間の積に比例した電子（電荷）は、副走査電荷転送素子６−０下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３へ転送され、そこで蓄積される。
図２（ｃ）は、読出しゲートφＳＨ２−１下のＰ型基板９のポテンシャルが上がり、電荷Ｑ１’（＝Ｑ１）が電荷Ｑ２へ転送（矢印）される様子を示している。その際、副走査電荷転送素子６−０下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３では、電圧パルスφ１のＯＮ（図７（ａ））によりポンテンシャルが上昇し、Ｑ１が移動し易くしなっている。
なお、電圧パルスφＳＨは、フォトダイオード等が飽和しない範囲の時間でＯＮするようなタイミングに設定されている。
【００９６】
（３）ステップＳ０３
図７（ａ）（ｂ）及び図３（ｂ）〜（ｄ）を参照すると、Ｔ３の時点は、電圧パルスφ１にはＧＮＤ、電圧パルスφ２には一般に５Ｖの電圧を加えた状態である。Ｔ４’の時点で副走査電荷転送素子６−１（φ１：電圧パルスφ１で制御される、以下同じ）下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３にあった電荷Ｑ２’（＝Ｑ２）は、Ｔ３の時点で、ポテンシャルの一番高い所である副走査電荷転送素子５−２（φ２：電圧パルスφ２で制御される、以下同じ）下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３に転送される。そして、電荷Ｑ３として、そこに溜まる。
図３（ｂ）は、副走査電荷転送素子５−２（φ２）下のＮ−型ウェル１５のポテンシャルが下がり、電荷Ｑ２’が副走査電荷転送素子５−２（φ２）下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３へ転送（矢印）され電荷Ｑ３となる様子を示している。
【００９７】
（４）ステップＳ０４
次に、Ｔ４の時点では、電圧パルスφ１には５Ｖ、電圧パルスφ２にはＧＮＤを加える。Ｔ３の時点で副走査電荷転送素子５−２（φ２）下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３に溜まった電荷Ｑ３’（＝Ｑ３）は、Ｔ４の時点で、ポテンシャルの一番高い所である副走査電荷転送素子６−２（φ１）下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３に転送される。そして、電荷Ｑ４として、そこに溜まる。
図３（ｃ）は、副走査電荷転送素子６−２（φ１）のＮ−型ウェル１５のポテンシャルが上がり、電荷Ｑ３’が副走査電荷転送素子６−２（φ１）下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３へ転送（矢印）され電荷Ｑ４となる様子を示している。
このように、電荷は、Ｔ３、Ｔ４を繰り返す事により副走査終端素子２１（副走査電荷転送素子６−２（φ１））下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３へ転送される。最終電極下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３へ転送された後、Ｔ３、Ｔ４を繰り返したとしても、転送スイッチφＴＲ１８の電圧パルスφＴＲ（又は、リセットスイッチφＲ１７の電圧パルスφＲ）がＧＮＤである限り、電荷は他には転送されず、そこに留まる。
【００９８】
（５）ステップＳ０５
図７（ａ）（ｂ）（ｄ）及び図３（ｄ）を参照すると、Ｔ５の時点では、転送スイッチφＴＲ１８の電圧パルスφＴＲを５Ｖとし、電圧パルスφ２を５Ｖ、電圧パルスφ１をＧＮＤとする。Ｔ４の時点で副走査電荷転送素子６−２（φ１）下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３に溜まった電荷Ｑ４’（＝Ｑ４）は、Ｔ５の時点で、主走査電荷転送素子８（φ２）下へ転送される。そして、電荷Ｑ５として、そこに溜まる。
図３（ｄ）は、転送スイッチφＴＲ１８下のＮ−型ウェル１５のポテンシャルが上がり、電荷Ｑ４’が主走査電荷転送素子８（φ２）下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３にへ転送（矢印）され電荷Ｑ５となる様子を示している。
【００９９】
（６）ステップＳ０６
図７（ａ）（ｂ）及び図４（ｂ）〜（ｃ）を参照すると、Ｔ６の時点は、図３（ｄ）のＴ５の時点を示している。ただし、図３におけるＱ５を、図４では、Ｑ６として説明する。
Ｔ７の時点において、電圧パルスφ２をＧＮＤ、電圧パルスφ１を５Ｖとする。Ｔ６の時点で主走査電荷転送素子８（φ２）下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３へ転送された電子（電荷）Ｑ６（＝Ｑ５）は、Ｔ７の時点で、主走査電荷転送素子７（φ１）下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３へ転送される。そして、電荷Ｑ７として、そこに溜まる。
図４（ｃ）は、主走査電荷転送素子７下のＮ−型ウェル１５のポテンシャルが上がり、電荷Ｑ６が主走査電荷転送素子７（φ１）下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３にへ転送（矢印）され電荷Ｑ７となる様子を示している。
Ｔ７に続いて、Ｔ６’の時点において、電圧パルスφ２を５Ｖ、電圧パルスφ１をＧＮＤとする。Ｔ７の時点で主走査電荷転送素子７（φ１）下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３へ転送された電子（電荷）Ｑ７は、Ｔ６’の時点で、主走査電荷転送素子８（φ２）下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３へ転送される。その様子は、ステップＳ０５の状態を示す図４（ｂ）と同様である。
Ｔ６’、Ｔ７を繰り返す事により、電荷は主走査方向に転送される。転送された電荷は、本発明の図中には示していないが、電荷検出部において電荷―電圧変換された後、電気信号として使用される。
【０１００】
（７）ステップＳ０７
図７（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｅ）及び図５（ｂ）〜（ｃ）を参照すると、Ｔ８時点で、副走査終端素子２１＝副走査電荷転送素子６−２（φ１）下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３に転送された電荷Ｑ８は、次の電圧パルスφＳＨの周期には不要である。そのため、副走査終端素子２１をＧＮＤにし、Ｔ９で電圧パルスφＲを５Ｖとする。そうすると、電荷Ｑ８は、Ｔ９の時点で、リセットドレイン２０に電荷Ｑ９として排出される。そして、電荷Ｑ９は、電源を介して排出される。
図５（ｃ）は、リセットゲートφＲ１７のポテンシャルが上がり、電荷Ｑ８’（＝Ｑ８）がリセットドレイン２０へ転送（矢印）され電荷Ｑ９となる様子を示している。
このように、副走査終端素子２１＝副走査電荷転送素子６−２に転送された電荷が不要な場合は、図５に示したリセットゲートφＲ１７をＯＮにすることにより、その電荷をリセットドレイン２０へ排出する事ができる。
【０１０１】
上記（１）〜（７）のプロセスにより、画素１−１〜１−３で発生した電荷の１周期（φＳＨ）分の収集を実行することが出来る。
【０１０２】
本実施例では、画素１−１〜１−３の各行（第１行〜第３行）毎に、異なった配色を用いている。ただし、画素１−１〜１−３上の色フィルタの配列を行毎に統一する必要は無く、色フィルタの配列については、任意の方法を選択する事が可能である。
その例を示したのが、図１０である。
図１０は、本発明のカラーイメージセンサの実施の形態における他の構成を示す平面図である。電圧パルスφＳＨを、読み出したい画素の読出しゲートφＳＨへ与えることにより、各画素１−１〜１−３から色別に選択的に電荷を読み出すことが出来る。
画素１−１〜１−３の配色を各行内で異なるようにしている他は、既述の通りなので、その説明を省略する。
【０１０３】
また、本実施例では、画素１−１〜１−３の３行（第１行〜第３行）の配列についてのみ記載しているが、４行以上の場合でも同様にして実施可能である。例えば、４行目を追加し、その行を白黒の画素とすることも可能である。白黒を追加することにより、白黒画像読み込み時のＳ／Ｎ比を改善することが出来る。
【０１０４】
本発明により、副走査電荷転送部２４のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３内に発生する熱電子（熱雑音）や、画素１−１等で生成したが主走査電荷転送部２５中に転送されなかった電子など、副走査終端素子２１（副走査電荷転送素子６−２）中に蓄積した不要な電荷を、リセットゲートφＲ１７及びリセットドレイン２０の機能により、排出することが可能となる。すなわち、不要な電荷による読み取り誤差の発生を防止することが出来る。
【０１０５】
また、電荷の読み出しを行う副走査電荷転送部２４を、各転送スイッチφＴＲ１８のＯＮ／ＯＦＦで、全副走査電荷転送部２４の中から選択することにより、電荷の読み取りを行う画素の数を制御することが出来る。すなわち、読み取りの解像度を自在に制御することが出来る。例えば、解像度を下げた場合、高速処理を実行することが出来る。
同様に、電荷の読み取りを行う画素の数を、各読出しゲートφＳＨ２−１〜２−３のＯＮ／ＯＦＦで、各行の全画素１−１〜１−３の中から選択することにより、読み取りの解像度を自在に制御することが出来る。
【０１０６】
また、リセットゲートφＲ、読出しゲートφＳＨ、転送スイッチφＴＲの周期を制御することにより、電荷の蓄積時間を制御することが出来る。すなわち、読み取り速度の制御を行うことが出来る。また、読み取る電荷の量（電圧信号の信号量に対応）の大きさを自在に制御することが出来るので、カラーイメージセンサの感度の制御を行なうことが出来る。
【０１０７】
また、主走査電荷転送部２５を一つにすることが出来るので、主走査電荷転送部２５が複数ある場合に必要な電荷の読み取りのタイミングに関する処理が不要となり、読み取り精度が向上する。
【０１０８】
副走査電荷転送素子５、６のクロック（電圧パルスφ１、φ２）は、主走査電荷転送素子７、８のクロック（電圧パルスφ１、φ２）と共通である。すなわち、制御用のクロック（電圧パルス）の種類を増やすことなく、副走査電荷転送部を付加することが出来る。
【０１０９】
また、リセットゲートφＲ、読出しゲートφＳＨ、転送スイッチφＴＲのタイミングを適正に制御することにより、Ｒ−Ｇ、Ｇ−Ｂ、ＲＧＢのデータを合成した電気信号の取り出しが可能となる。
【０１１０】
（実施例２）
本発明であるカラーイメージセンサの第２の実施の形態の構成について、図８を参照して説明する。
図８は、本発明であるカラーイメージセンサの第２の実施の形態における構成を示す平面図である。
カラーイメージセンサは、第１行の画素１−１〜第３行の画素１−３、画素１−１に対応する読出しゲートφＳＨ２−１〜画素１−３に対応する読出しゲートφＳＨ２−３、副走査電荷転送部としての蓄積ゲート１９、主走査電荷転送部２５、リセットゲートφＲ１７、リセットドレイン２０及び転送スイッチφＴＲ１８を備える。本実施例のカラーイメージセンサは、Ｐ型基板上に形成されている。
【０１１１】
実施例１が複数の副走査電荷転送素子を有する副走査電荷転送部２４を用いているのに対して、本実施例は、その代わりに１枚の蓄積ゲート１９を用いている点が実施例１と異なる。
１枚の蓄積ゲートにすることにより、複数の副走査電荷転送素子への電圧パルスφ１及び電圧パルスφ２用の配線（複数）を一つにすることが出来る。また、ＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３の領域が減る（後述）ので、熱電子の発生（熱雑音）を低減することが可能である。
また、電位関係が画素から主走査電荷転送素子に向かって順次高くなるように設定すれば、蓄積ゲートは１枚以上の複数枚で構成する事も可能である。
【０１１２】
蓄積ゲート１９は、主走査線電荷転送部２５に垂直な方向の電荷転送を行い、一時的に電荷を蓄積し、電荷を主走査電荷転送部２５へ出力する。蓄積ゲート１９の転送スイッチφＴＲの接続された近傍の蓄積ゲート終端部１９’に電荷が蓄積される。
転送スイッチφＴＲ１８経由で主走査電荷転送部２５に接続している。
【０１１３】
その他の構成は、実施例１と同様であるのでその説明を省略する。
【０１１４】
次に、図９（ａ）を参照して、図８におけるＹ−Ｙ’断面について説明する（図９（ｂ）については、後述する）。
図９（ａ）は、図８におけるＹ−Ｙ’断面、すなわち、蓄積ゲート１９から主走査電荷転送部２５への断面の構造を示す図である。
蓄積ゲート１９、主走査電荷転送素子８、転送スイッチφＴＲ１８を有する。表面は、パッシベーション膜としての機能を有する全素子を覆う酸化膜１０’、及び、酸化膜１０’表面に形成された遮光膜２２に覆われている。
【０１１５】
蓄積ゲート１９は、読出しゲートφＳＨ２−１〜２−３と接続する。そして、読出しゲートφＳＨ２−１〜２−３から画素１−１〜１−３で発生した電荷を受け取り、主走査電荷転送部２５へ転送する。酸化膜１０、第１層ポリシリコン電極３とＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３とを有する。
ＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３は、Ｐ型基板９の表面において、Ｐ型基板９の深さ方向に所定の深さ（膜厚）、Ｐ型基板９の表面と平行な方向に所定の面積で設けられている。ただし、主走査電荷転送部２５近傍から読出しゲートφＳＨ２−３の近傍までであり、その部分は、蓄積ゲート終端部１９’である。
第１層ポリシリコン電極３は、Ｐ型基板９上を覆う酸化膜１０の表面において、所定の膜厚で、ＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３の表面を覆い、かつ、主走査電荷転送部２５に対して垂直に、主走査電荷転送部２５から離れる方向へ延びるように形成されている。画素１−１、１−２及び１−３の成す行と平行に配置されている。その一端部は、酸化膜１０’’を介して転送スイッチφＴＲ１８の第２層ポリシリコン電極４が覆っている。
【０１１６】
その他の構成は、実施例１と同様であるので、その説明を省略する。
【０１１７】
次に、本発明であるカラーイメージセンサの第２の実施の形態の動作（カラーイメージセンサの駆動方法）について説明する。
なお、ここでは、画素１−１〜１−３の電荷の流れを例に示して、動作を説明する。
【０１１８】
図９（ｂ）は、時間Ｔ２（図７参照）における図９（ａ）の各位置でのポテンシャルの大きさ及び電荷の蓄積及び移動について示している。縦軸は、ポテンシャルの大きさ、横軸は、図９（ａ）における位置を示す。
【０１１９】
実施例２の動作では、図９（ｂ）に示すように、画素１−１〜１−３から読み出された電荷は、直ぐに転送スイッチφＴＲ１８近くの蓄積ゲート１９下のＣＣＤ−Ｎ型ウェル１３に溜まる。すなわち、実施例１のステップＳ０３の図３（ｂ）及びステップＳ０４の図３（ｃ）が、図９（ｂ）に対応する。
その際、Ｔ２において、電圧パルスφＳＨがＯＮとなり読出しゲートφＳＨ２−１〜２−３のポテンシャルが高くなり、画素１−１〜１−３に蓄積された電荷が移動可能となる。かつ、電圧パルスφ１（本実施例では、蓄積ゲート１９の第１層ポリシリコン電極３には、出圧パルスφ１のみが印加される）がＯＮとなり蓄積ゲート１９のポテンシャルが高くなり、蓄積ゲート１９が電荷の受け入れの可能な状態になる。そして、電荷が蓄積ゲートへ転送される。
【０１２０】
蓄積ゲート１９に溜まった電荷について、実施例１のステップＳ０５の図３（ｃ）のように転送スイッチφＴＲ１８に電圧パルスφＴＲを加えることにより選択的に主走査電荷転送部２５へ転送することが出来る。
又は、溜まった電荷について、実施例１のステップＳ０７の図５（ｃ）のようにリセットゲートφＲ１７に電圧パルスφＲを加えることにより選択的にリセット（リセットドレイン２０へ排出）することが出来る。
その他の動作は第１の実施例と同様であるのでその説明を省略する。
【０１２１】
本実施例においても、実施例１と同様の効果を得ることが出来る。
また、副走査電荷転送部（＝蓄積ゲート）の構造が簡単となり、製造歩留まりを向上できる。また、副走査電荷転送部（＝蓄積ゲート）のクロック（電圧パルス）を一つに減少することが出来る。
【０１２２】
【発明の効果】
本発明により、素子中に蓄積した不要な電荷を排出でき、読み取り画像の密度（解像度）の制御を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明であるカラーイメージセンサの第１の実施の形態における構成を示す平面図である。
【図２】（ａ）図１のＸ−Ｘ’断面を示す図である。
（ｂ）時間Ｔ１における各部のホ゜テンシャル分布図である。
（ｃ）時間Ｔ２における各部のホ゜テンシャル分布図である。
【図３】（ａ）図１のＹ−Ｙ’断面を示す図である。
（ｂ）時間Ｔ３における各部のホ゜テンシャル分布図である。
（ｃ）時間Ｔ４における各部のホ゜テンシャル分布図である。
（ｄ）時間Ｔ５における各部のホ゜テンシャル分布図である。
【図４】（ａ）図１のＵ−Ｕ’断面を示す図である。
（ｂ）時間Ｔ６における各部のホ゜テンシャル分布図である。
（ｃ）時間Ｔ７における各部のホ゜テンシャル分布図である。
【図５】（ａ）図１のＷ−Ｗ’断面を示す図である。
（ｂ）時間Ｔ８における各部のホ゜テンシャル分布図である。
（ｃ）時間Ｔ９における各部のホ゜テンシャル分布図である。
【図６】図１のＺ−Ｚ’断面を示す図である。
【図７】（ａ）〜（ｅ）各電圧パルスのタイミングチャートの一例を示す図である。
【図８】本発明であるカラーイメージセンサの第２の実施の形態における構成を示す平面図である。
【図９】（ａ）図８のＹ−Ｙ’断面を示す図である。
（ｂ）動作時における各部のホ゜テンシャル分布図である。
【図１０】本発明であるカラーイメージセンサの第１の実施の形態における他の構成を示す平面図である。
【符号の説明】
１−１〜１−３    フォトダイオード
２−１〜２−３    読出しゲート
３    第１層ポリシリコン電極
４    第２層ポリシリコン電極
５−１〜５−２    副走査電荷転送素子
６−１〜６−２    副走査電荷転送素子
７    主走査電荷転送素子
８    主走査電荷転送素子
９    Ｐ型基板
１０（’、’’）    酸化膜
１１    Ｐ型拡散層
１２    Ｎ型拡散層
１３    ＣＣＤ−Ｎ型ウェル
１４    Ｐ＋型拡散層
１５    Ｎ−型ウェル
１６    Ｎ＋型拡散層
１７    リセットゲートφＲ
１８    転送スイッチφＴＲ
１９    蓄積ゲート
１９’    蓄積ゲート終端部
２０    リセットドレイン
２１    副走査終端素子
【図１】
0004236864.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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