(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のウエハ収納ケースに収納された複数のウエハを、押し部材によって平行に移動させ、前記ウエハを一括して第２のウエハ収納ケースに移載するウエハ移載装置において、
前記第１、第２のウエハ収納ケースのウエハ出入口部を互いに対向させて、第１、第２のウエハ収納ケースを載置するウエハ収納ケース載置部を有するベースプレートと、
前記第１のウエハ収納ケースが載置されるベースプレート側端部から第２のウエハ収納ケース方向に向けて摺動可能に設けられ、かつウエハの端縁と当接するウエハ当接部を有するウエハ押し部材と、
前記ウエハ押し部材のウエハ当接部に形成された、水平面と傾斜面からなる複数の溝とを備え、
かつ前記溝の水平面が、当接するウエハの移送面より低位置に形成されていることを特徴とするウエハ移載装置。
【請求項２】
第１または第２のウエハ収納ケースに収納された複数のウエハを、押し部材によって平行に移動させ、前記ウエハを一括して第２または第１のウエハ収納ケースに移載するウエハ移載装置において、
前記第１、第２のウエハ収納ケースのウエハ出入口部を互いに対向させて、第１、第２のウエハ収納ケースを載置するウエハ収納ケース載置部を有するベースプレートと、
前記第１のウエハ収納ケースが載置されるベースプレート側端部から第２のウエハ収納ケース方向に向けて摺動可能に設けられ、かつウエハの端縁と当接するウエハ当接部を有する第１のウエハ押し部材と、
前記第１のウエハ押し部材のウエハ当接部に形成された、水平面と傾斜面からなる複数の溝と、
前記第２のウエハ収納ケースが載置されるベースプレート側端部から第１のウエハ収納ケース方向に向けて摺動可能に設けられ、かつウエハの端縁と当接するウエハ当接部を有する第２のウエハ押し部材と、
前記第２のウエハ押し部材のウエハ当接部に形成された、水平面と傾斜面からなる複数の溝とを備え、
かつ前記第１のウエハ押し部材及び前記第２のウエハ押し部材における溝の水平面が、当接するウエハの移送面より低位置に形成されていることを特徴とするウエハ移載装置。
【請求項３】
ウエハ移載の際のウエハの落下を防止するための受け渡しガイドが、ウエハ収納ケース載置部に配置された第１、第２のウエハ収納ケースのウエハ出入口部の間に配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載されたウエハ移載装置。
【請求項４】
前記受け渡しガイドは、ウエハの移送方向と直交したベースプレートの両側に設けられた支柱と、前記両支柱の上下方向に所定ピッチで相対向するように突設された短円柱状ガイドとからなることを特徴とする請求項３に記載されたウエハ移載装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハ移載装置に関し、例えばウエハの出荷用ケースと工程用ケースのように、機能、形状等を異にする第１、第２のウエハ収納ケース間において、ウエハを移載する際、使用されるウエハ移載装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハの製造処理工程、工程間移送、出荷等において、半導体ウエハは、複数枚を一括して収納できるウエハケース、ウエハラック、ウエハバスケット等のウエハ収納ケースに収納され、取り扱われている。
前記ウエハケース等のウエハ収納ケースの一例を示せば、図６に示すようにウエハ収納ケース７０は、周縁部でウエハ（図示せず）を保持する条溝状のガイド７１ａが所定間隔で多数配設された枠体部７１と、ウエハを出し入れする出入部７２とから構成されている。そして、ウエハが収容されている一のウエハ収納ケースから機能、形状等が異なる他のウエハ収納ケースへの移送操作は、前記したようにウエハの製造工程、工程間移送時、出荷時等において、屡々行われている。このウエハ収納ケース間の移送操作は、ウエハ径が小さかった従来にあっては、バキュームチャック等を用いて１枚ずつ移載するのが一般的であった。
しかしながら、最近においては、ウエハの大口径化傾向に伴い、バキュームチャックによる吸引移載が困難になり、かかる問題を解決するため、また操作能率向上のため、多数のウエハを一度に移載できるウエハ移載装置が提案されている。
【０００３】
例えば、特開平７−２６３５２１号公報には、ウエハが所定のピッチで縦に並行に収納されたウエハ収納ケースを、ウエハ保持具の下方に配置すると共に、ウエハの配列ピッチに合わせて櫛状に形成された上面部を有し、上下に昇降自在に形成されたウエハ搬送具を前記ウエハ収納ケースの下方に配した、いわゆる上下方向移送型のウエハ移載装置が示されている。
このウエハ移載装置にあっては、ウエハ収納ケース底部から該ウエハ搬送具を上昇させてウエハをウエハ保持部の配設位置にまで押し上げ、該保持具に保持させた後、ウエハ搬送具を一旦降下させ、別のケースを前のケースに替えて配置させて後、前記ウエハ搬送具を再度上昇させ、該保持具に保持されたウエハの保持を解除して、前記ウエハ搬送具上に載置し、その後ウエハ搬送具を降下させてウエハを該別のウエハ収納ケースに一括移載するものである。
【０００４】
また、特開平７−２４０４５４号公報には、装置本体のウエハ収納ケース載置台上にウエハ送り側ケースとウエハ受け側ケースをそれぞれウエハ出入口部を互いに対向して配置させると共に、ウエハを載置して移送するウエハ受け板を櫛状に所定間隔をもって重ねたウエハ受け渡しブロックを用いて、ウエハを載置して水平移送により一括移送する、いわゆる水平方向載置移送型のウエハ移載装置が示されている。
【０００５】
更に、特開平２−１４５４６号公報には、上記した水平方向載置移送型のウエハ移載装置と同様に水平方向移送型のウエハ移載装置であって、ウエハ端縁を当接して押すための櫛形部材を前面部に有する可動アームと、該櫛形部材にウエハの配列間隔に対応するように形成され歯部とを備えた、いわゆるウエハ押し様式の水平方向移送型のウエハ移載装置が示されている。
このウエハ移載装置にあっては、ウエハをウエハ受け板等に載置して移送するのではなく、歯部の凹部にウエハの縁端を係合当接させて前記アームを水平移動させ、ウエハのケース間移載を行うものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようなウエハ移載装置の内、いわゆるウエハ押し様式の水平方向移送型のウエハ移載装置にあっては、ウエハ後端縁を押すことによって移送するため、ウエハの重心がウエハ収納ケ−スのガイドの先端部（支持点）を通過すると、ウエハの先端が下がる。そして、この状態でウエハの移送を続けると、ウエハの先端縁が受け側のウエハ収納ケースのガイドに引っ掛かり、移載を不可能にする虞があった。またウエハやウエハ移載装置を損傷させる虞があった。特に、ウエハの直径が、例えば、８インチから１２インチへと大型化するに従い、ウエハの先端が下がる度合いが大きくなり、上記弊害が生じ易かった。
【０００７】
この不都合を解決するために、ウエハの重心がウエハ収納ケ−スのガイドの先端部（支持点）を通過する前に、ウエハの先端縁が受け側のウエハ収納ケースのガイドに載置されるように、送り側のウエハ収納ケースの出入口部と受け側のウエハ収納ケースの出入口部とを近接して配置することが考えられる。
しかしながら、ウエハケース、バスケット、ラック等のウエハ収納ケ−スは、現在のところ形状、寸法に対する統一規格がなく、各メーカー間で、必ずしも充分には形状、寸法が統一されておらず、各種の寸法、形状のものが存在する。そのため、送り側のウエハ収納ケースの出入口部と受け側のウエハ収納ケースの出入口部とを近接して配置することができない場合がある。
【０００８】
また、この不都合を解決するために、両ウエハ収納ケースのガイド間の高さレベルを調整することが考えられるが、そのためには、載置台にウエハ収納ケース間の設置高さを調整する機構を設ける必要がある。
しかしながら、前記調節機構によってウエハ移載装置の構造が複雑となり、高価になるばかりでなく、操作時の調整に熟練を要する煩雑な作業を必要とし、また調整設定に時間を要するという新たな課題が生じ、好ましいものではない。
【０００９】
本発明は、従来のウエハ移載装置の上記技術的課題を解決するためになされたものであり、高価で複雑な特段の調節機構を設けたり、複雑で熟練を要する調整操作を必要としたりすることなく、ウエハの収納ケース間の移載を支障なく確実に達成できるウエハ移載装置を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためになされた本発明にかかるウエハ移載装置は、第１のウエハ収納ケースに収納された複数のウエハを、押し部材によって平行に移動させ、前記ウエハを一括して第２のウエハ収納ケースに移載するウエハ移載装置において、前記第１、第２のウエハ収納ケースのウエハ出入口部を互いに対向させて、第１、第２のウエハ収納ケースを載置するウエハ収納ケース載置部を有するベースプレートと、前記第１のウエハ収納ケースが載置されるベースプレート側端部から第２のウエハ収納ケース方向に向けて摺動可能に設けられ、かつウエハの端縁と当接するウエハ当接部を有するウエハ押し部材と、前記ウエハ押し部材のウエハ当接部に形成された、水平面と傾斜面からなる複数の溝とを備え、かつ前記溝の水平面が、当接するウエハの移送面より低位置に形成されていることを特徴としている。
【００１１】
本発明においては、押し部材のウエハ当接部に、複数の溝が構成されているため、高価で複雑な特段の調節機構を設けたり、複雑で熟練を要する調整操作を必要としたりすることなく、ウエハを送り側ウエハ収納ケースから受け側のウエハ収納ケースに移載を支障なく確実に達成できる。特に、ウエハの先端部が下がることなく、ウエハを確実に送り側ウエハ収納ケースから受け側のウエハ収納ケースに移載することができる。
特に、前記溝の水平面が、当接するウエハの移送面より低位置に形成されていることが望ましい。このように、前記溝の水平面の高さが、当接するウエハより低位置に形成されていることにより、ウエハの後端縁が溝の傾斜面と当接した状態で移送される。その結果、ウエハの先端が下がることによる受け側ケースガイドへの引っ掛り等の支障が回避されウエハのスムーズな移送が達成される。
【００１２】
また、上記目的を達成するためになされた本発明にかかるウエハ移載装置は、第１または第２のウエハ収納ケースに収納された複数のウエハを、押し部材によってほぼ平行に移動させ、前記ウエハを一括して第２または第１のウエハ収納ケースに移載するウエハ移載装置において、前記第１、第２のウエハ収納ケースのウエハ出入口部を互いに対向させて、第１、第２のウエハ収納ケースを載置するウエハ収納ケース載置部を有するベースプレートと、前記第１のウエハ収納ケースが載置されるベースプレート側端部から第２のウエハ収納ケース方向に向けて摺動可能に設けられ、かつウエハの端縁と当接するウエハ当接部を有する第１のウエハ押し部材と、前記第１のウエハ押し部材のウエハ当接部に形成された、水平面と傾斜面からなる複数の溝と、前記第２のウエハ収納ケースが載置されるベースプレート側端部から第１のウエハ収納ケース方向に向けて摺動可能に設けられ、かつウエハの端縁と当接するウエハ当接部を有する第２のウエハ押し部材と、前記第２のウエハ押し部材のウエハ当接部に形成された、水平面と傾斜面からなる複数の溝とを備え、かつ前記第１のウエハ押し部材及び前記第２のウエハ押し部材における溝の水平面が、当接するウエハの移送面より低位置に形成されていることを特徴としている。
【００１３】
このように、前記ウエハ押し部材が、前記ベースプレートの両端部に２基配設され、前記第１、第２のウエハ収納ケースのいずれか一方を送り側ウエハ収納ケースとし他方を受け側ウエハ収納ケースとして、いずれのウエハ収納ケース側からも、他方側のウエハ収納ケースに対して、ウエハの移載が可能に構成されていることが望ましい。
【００１４】
特に、前記溝の水平面が、当接するウエハの移送面より低位置に形成されていることが望ましい。このように、前記溝の水平面の高さが、当接するウエハより低位置に形成されていることにより、ウエハの後端縁が溝の傾斜面と当接した状態で移送される。その結果、ウエハの先端が下がることによる受け側ケースガイドへの引っ掛り等の支障が回避されウエハのスムーズな移送が達成される。
【００１５】
更に、ウエハ移載の際のウエハの落下を防止するための受け渡しガイドが、ウエハ収納ケース載置部に配置された第１、第２のウエハ収納ケースのウエハ出入口部の間に配置されていることが望ましく、また前記受け渡しガイドは、ウエハの移送方向と直交したベースプレートの両側に設けられた支柱と、前記両支柱の上下方向に所定ピッチで相対向するように突設された短円柱状ガイドとからなることが望ましい。このように受け渡しガイドが設けることによって、第１、第２のウエハ収納ケースのウエハ出入口部が離れている場合にも、ウエハのケース間移載をスムーズかつ確実に行うことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づき詳細に説明する。
図１は、本発明にかかる押し様式のウエハ移載装置の一実施形態を示す斜視図である。なお、図１における実施形態にあっては、押し部材がベースプレートの両端部に２基配設された形態のウエハ移載装置を示している。
また、図２（ａ）は上記図１のウエハ移載装置の平面図、図２（ｂ）は図１の側面図、図２（ｃ）は図１の正面図をそれぞれ示している。更に、図３は本発明にかかるウエハ移載装置におけるウエハ押し部材のウエハ当接部の形状を示し、図３（ａ）は正面図、図３（ｂ）は側面図をそれぞれ示している。
更に、図４は本発明にかかるウエハ移載装置を用いてウエハを収納ケース間を移動させる際のウエハ押し部材の動作とウエハの移動状態を模式的に示した斜視図であり、また図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は押し部材に当接した後のウエハの移動状態を経時的に説明するための概略図である。
【００１７】
本発明にかかるウエハ移載装置は、図１、２に示されているように、一方がウエハ７の送り側ウエハ収納ケース５、他方が受け側ウエハ収納ケース６となる２種類のウエハ収納ケースは、ほぼ長方形状のベースプレート３に設けられたウエハ収納ケース載置部５ａ、６ａに、夫々のケース５、６のウエハ出入口部を互いに対向させて配置されている。
また、前記ベースプレート３の端部には、送り側ウエハ収納ケース５の背面側端部に対向したウエハの当接部１１を有するウエハ押し部材１が設けられている。このウエハ押し部材１の下部には押し部ベースプレート２が設けられ、この押し部ベースプレート２は、押し部ベースのガイドプレート８のガイド溝８ａに摺動可能に取り付けられ、前記ベースプレート３の長手方向（受け側ウエハ収納ケース６方向）にスライド移動できるように構成されている。
【００１８】
また、本発明にかかるウエハ移載装置の特徴部分であるウエハ押し部材１のウエハ当接部１１は、図３（ａ）、図３（ｂ）に示すように、下面側が水平面１０ａで上面側が傾斜面１０ｂに形成されたＶ字形状の溝１０が鋸歯状に配設され、かつ前記溝１０の下面側の水平面１０ａが、当接するウエハ７の移送面（ウエハが載置される送り側ウエハ収納ケース５のガイド高さ）より極僅か下方に位置するように形成されている。
【００１９】
また、送り側ウエハ収納ケース５と受け側ウエハ収納ケース６の設置位置の間に、符号４として図示したウエハ落下防止用の受け渡しガイドが配設されている。前記受け渡しガイド４は、ウエハ７の移送方向と直交したベースプレート３の両側に設けられた支柱４ａと、前記両支柱４ａの上下方向に、ウエハ収納ケ−ス５、６のガイドと同等の所定ピッチで相対向するように配列突設された短円柱状ガイド４ｂとから構成されている。
【００２０】
前記受け渡しガイド４（短円柱状ガイド４ｂ）は、送り側ウエハ収納ケース５のガイドから離れたウエハ７を移送するものであり、これにより、ウエハの収納ケース間移載を更にスムーズ且つ確実に達成することができる。
特に、前記受け渡しガイド４は、ウエハ７の重心が送り側ウエハ収納ケース５のガイドから離れる前に、ウエハ７の先端部が短円柱状ガイド４ｂ上に載置されるような位置関係に配置されるのが好ましい。また同様に、受け渡しガイド４は、ウエハ７の先端部が受け側ウエハ収納ケース６のガイドに載置された後に、ウエハ７の重心が短円柱状ガイド４ｂを離れるような位置関係に配置されるのが好ましい。
このような位置関係に受け渡しガイド４（短円柱状ガイド４ｂ）を配置することにより、送り側ウエハ収納ケース５のガイドの高さをウエハ７の移送面として、略水平状態を維持してウエハ７を移送することができる。
【００２１】
なお、前記位置関係に受け渡しガイド４（短円柱状ガイド４ｂ）が配置されていない場合であっても、後に述べるように、押し部材１のウエハ当接部１１の溝１０によって、ウエハ７の先端部を下げることなく、移送することができる。また、上記受け渡しガイド４は、複数個直列に設けても良く、特に、ウエハ収納ケースの形状、その他の理由により、送り側ウエハ収納ケースと受け側ウエハ収納ケースとの配置間隔が離れている場合に有効である。
【００２２】
更に、図１における実施形態にあっては、押し部材がベースプレートの両端部に２基配設されており、受け側ウエハ収納ケース６側の前記ベースプレート３の端部には、受け側ウエハ収納ケース６の背面側端部に対向したウエハの当接部１１’を有するウエハ押し部材１’が設けられている。このウエハ押し部材１’の下部には、ウエハ押し部材１と同様に、押し部ベースプレート２’が設けられ、前記押し部ベースプレート２’は押し部ベースのガイドプレート８’のガイド溝８’ａに摺動可能に取り付けられ、前記ベースプレート３の長手方向にスライド移動できるように構成されている。
なお、ウエハ押し部材１’のウエハ当接部１１’にも、図３（ａ）（正面図）、図３（ｂ）（側面図）に示すように、前記したウエハ押し部材１のウエハ当接部１１と同様に、下面側が水平面で上面側が傾斜面に形成されたＶ字形状の溝１０が鋸歯状に配設され、かつ前記溝１０の下面側の水平面が、当接するウエハの移送高さより極僅か下方に位置するように構成されている。
【００２３】
このように、押し部材がベースプレートの両端部に２基配設されている場合には、受け側ウエハ収納ケース６から送り側ウエハ収納ケース５側へ、送り側ウエハ収納ケース５側から受け側ウエハ収納ケース６へのウエハを移送することができる。
【００２４】
この本発明にかかるウエハ移載装置を用いてウエハを移載するには、図１、図２、図４に示すように、まずウエハの入った送り側ウエハ収納ケース５と受け側ウエハ収納ケース６とをベースプレート３上のウエハ収納ケース載置部５ａ、５ｂにセットする。
次いで、押し部材１を押し部ベースガイドプレート８のガイド溝８ａに沿ってスライドさせながら、送り側ウエハ収納ケース５内に収納されているウエハ７の背面側端縁にウエハ押し部材１のウエハ当接部１１を当接させる。そして、更にウエハ押し部材１をスライドさせて、ウエハ７を送り側ウエハ収納ケース５から受け側ウエハ収納ケース６へと移行させていく。
前記押し部材１は、前記ガイドプレート８のガイド溝８ａに沿って動き、前記ウエハ７は受け渡しガイド４を通過後、受け側ケース６内に移動し、受け側ケース６に収納されて、ウエハのケース間の移載が完了する。
【００２５】
ところで、ウエハのケース間の移送の際、各ウエハ７は、ウエハ押し部材１の進行に伴い、まず図５（ａ）に示すように、送り側ウエハ収納ケース５の両側面に形成されたガイド７１ａ（図６参照）上をスライドする。このとき、ウエハ７の後端縁は溝１０の傾斜面１０ｂと当接している。
そして、ウエハ７の重心が前記ガイド７１ａの先端部を通過すると、ウエハ７の先端部は下がろうとするが、ウエハ７の後端縁は溝１０の傾斜面１０ｂと当接しているため、ウエハ７の先端部は下がることなく、図５（ａ）に示した状態で移送される。なお、ウエハ７の重心が前記ガイド７１ａの先端部を通過する前に、受け渡しガイド４あるいは受け側ウエハ収納ケ−ス６のガイドにウエハ７の先端部が載置されている場合には、前記したように送り側ウエハ収納ケ−ス５のガイド高さを移送面として、略水平状態を維持して移送される。
【００２６】
前記移送につれて、ウエハ７の先端部が受け渡しガイド４の短円柱状ガイド４ｂ上に載置された後、ウエハ７の後端部が前記ガイド７１ａから離れる。このとき、ウエハ７は短円柱状ガイド４ｂによって支持されているため、図５（ｂ）に示すように、ウエハ７の後端縁は溝１０の傾斜面１０ｂを下方向に移動する。その結果、ウエハ７の先端部は水平状態から上がった状態で移送される。そして、最終的に図５（ｃ）に示すように、ウエハ７の後端縁は溝１０の水平面１０ａと傾斜面１０ｂで作られる角部に移動し、その状態で移送される。
【００２７】
即ち、溝１０が当接する各ウエハ７の移送高さより極僅か下位に位置するように構成されているため、図５（ａ）に示すように、まずウエハの後端縁が溝１０ａの傾斜面に当接する。
そして、受け渡しガイド４の短円柱状ガイド４ｂが設けられている場合には、ウエハ押し部材１の移動に伴い、図５（ｂ）に示すように、ウエハの後端縁は溝１０の傾斜面１０ｂを下降するため、ウエハ７は進行方向に対し徐々に上向きに傾斜した状態になされる。そして、図５（ｃ）に示すように、ウエハ７の後端縁が溝１０の下面側の水平面１０ａと上面側の傾斜面１０ｂとによって挟持され、ウエハ７は進行方向に対し上向きに傾斜した状態になされ、移送される。
【００２８】
このように、ウエハが進行方向に対し上向きに傾斜した状態で移送されるため、ウエハの先端縁が受け側のウエハ収納ケ−スガイドに引っ掛かることなく、受け側ウエハ収納ケース開口部の対応するガイド内にスムーズに挿入される。また、受け側ウエハ収納ケースガイドが送り側ウエハ収納ケースガイドよりも高い位置にある場合であっても、受け側ウエハ収納ケース開口部の対応するガイド内にスムーズに挿入することができる。
【００２９】
また、図１の２点鎖線に示すように、押し部材がベースプレートの両端部に２基配設されたウエハ移載装置において、上述の場合の送り側ウエハ収納ケース５を受け側ウエハ収納ケースとし、受け側ウエハ収納ケース６を送り側ウエハ収納ケースとしてウエハを逆方向に移送移載することができる。このとき、上記の押し部材１に替えて反対側の押し部材１’をスライド移動させ、上記と同様の操作でウエハ７を移載する。
【００３０】
なお、ウエハの傾斜の程度は、主としてウエハの直径、加えてウエハ収納ケースガイドのピッチ、その他の要因を勘案して設定される。
一般に、溝１０の下側面の水平面１０ａの高さは、ピッチを１０ｍｍとすると送り側ウエハ収納ケ−スガイドの位置（支点の高さ）から１乃至５ｍｍ、より好ましくは２乃至３ｍｍ低位に設定することが好ましい。
また、ウエハ当接部１１の溝１０における傾斜面１０ｂの傾斜角度は、鋭角であれば必ずしも限定されるものではないが、当接したウエハ端縁の溝１０の角部へのスムーズな移行の観点から、その傾斜角は水平面１０ａに対し３０乃至６０度、より好ましくは略４５度に形成されることが望ましい。
【００３１】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明にかかるウエハ移載装置は、ウエハをケースからケースに移載する際に、特段の熟練作業を必要とせず、一度に複数のウエハを簡単、かつ確実に移載することができ、移載作業の効率を大幅に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるウエハ移載装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１のウエハ移載装置の平面図（図２（ａ））、側面図（図２（ｂ））、正面図（図２（ｃ））である。
【図３】図１のウエハ移載装置におけるウエハ押し部材のウエハ当接部の形状を示した側面図（図３（ａ））、平面図（図３（ｂ））である。
【図４】本発明にかかるウエハ移載装置を用いてウエハをケース間移動させる際のウエハ押し部材の動作とウエハの移動状態を模式的に示した斜視図である。
【図５】押し部材に当接した後のウエハの移動状態を経時的に説明するための概略図である。
【図６】ウエハ収納ケースの形状、構造の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１、１’  押し部材
２、２’  押し部材ベースプレート
３        ベースプレート
４        受け渡しガイド
４ａ      支柱
４ｂ      ガイド
５        送り側ウエハ収納ケース
６        受け側ウエハ収納ケース
７        ウエハ
８、８’  ガイドプレート
１０      溝
１０ａ    水平面
１０ｂ    傾斜面
１１      ウエハ当接部
７０      ウエハ収納ケース
７１ａ    ガイド
【図１】
0004254980.tif 000002
【図２】
0004254980.tif 000003
【図３】
0004254980.tif 000004
【図４】
0004254980.tif 000005
【図５】
0004254980.tif 000006
【図６】
0004254980.tif 000007