(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック粉末とバインダーと分散媒液との混合組成物からなり、多数の貫通孔が隔壁を隔てて長手方向に並設された柱状のセラミック成形体の乾燥方法であって、前記セラミック成形体を下治具と上治具とからなる乾燥用治具を用いて上下から包囲し、マイクロ波により乾燥するマイクロ波乾燥工程と、前記マイクロ波により乾燥した成形体を、さらに、圧力印加手段を備えた上治具と下治具とからなる乾燥用治具を用い、セラミック成形体を上下から密着状態で包囲し、かつ、前記セラミック成形体に圧力を加えながら熱風により乾燥する熱風乾燥工程とからなることを特徴とするセラミック成形体の乾燥方法。
【請求項２】
前記マイクロ波による乾燥により、前記セラミック成形体中の水分の５０〜６５％まで、蒸発、除去する請求項１に記載のセラミック成形体の乾燥方法。
【請求項３】
印加する圧力は、０．４〜０．６ＭＰａである請求項１又は２に記載のセラミック成形体の乾燥方法。
【請求項４】
前記熱風の温度が５０〜１２０℃である請求項１〜３のいずれか１に記載のセラミック成形体の乾燥方法。
【請求項５】
前記熱風の風速が５〜４０ｍ／秒である請求項１〜４のいずれか１に記載のセラミック成形体の乾燥方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１に記載の乾燥方法で乾燥させたセラミック成形体を、焼成する工程を含むことを特徴とする多孔質セラミック部材の製造方法。
【請求項７】
前記焼成する工程の前に、前記セラミック成形体を脱脂する工程を含む請求項６に記載の多孔質セラミック部材の製造方法。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の製造方法で製造した多孔質セラミック部材を複数個結束させることを特徴とするセラミックフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミック粉末及びバインダー等を含み、多数の貫通孔が長手方向に並設された柱状のセラミック成形体の乾燥方法、上記乾燥方法で乾燥させたセラミック成形体を用いる多孔質セラミック部材の製造方法、及び、上記製造方法で得た多孔質セラミック部材を用いるセラミックフィルタの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
バス、トラック等の車両や建設機械等の内燃機関から排出される排気ガス中に含有されるパティキュレートが環境や人体に害を及ぼすことが最近問題となっている。
この排気ガスを多孔質セラミックを通過させることにより、排気ガス中のパティキュレートを捕集して排気ガスを浄化するセラミックフィルタが種々提案されている。
【０００３】
セラミックフィルタは、通常、図６に示すような多孔質セラミック部材３０が複数個結束されてセラミックフィルタ４０を構成している。また、この多孔質セラミック部材３０は、図７に示すように、長手方向に多数の貫通孔３１が並設され、貫通孔３１同士を隔てる隔壁３３がフィルタとして機能するようになっている。
【０００４】
すなわち、多孔質セラミック部材３０に形成された貫通孔３１は、図７（ｂ）に示すように、排気ガスの入り口側又は出口側の端部のいずれかが充填材３２により目封じされ、一の貫通孔３１に流入した排気ガスは、必ず貫通孔３１を隔てる隔壁３３を通過した後、他の貫通孔３１から流出するようになっており、排気ガスがこの隔壁３３を通過する際、パティキュレートが隔壁３３部分で捕捉され、排気ガスが浄化される。
【０００５】
従来、このような多孔質セラミック部材３０を製造する際には、まず、セラミック粉末とバインダーと分散媒液とを混合して成形体製造用の混合組成物を調製した後、この混合組成物の押出成形等を行うことにより、セラミック成形体を作製していた。
【０００６】
そして、次に、得られたセラミック成形体を乾燥装置に入れ、このセラミック成形体にマイクロ波を照射することによる加熱を行い、セラミック成形体中の分散媒液等を飛散、蒸発させ、一定の強度を有し、容易に取り扱うことができる図８（ａ）に示すセラミック成形体の乾燥体２００を製造していた。
この乾燥工程の後、脱脂工程及び焼成工程を経て、多孔質セラミック部材３０が製造される。
【０００７】
しかし、このような従来のセラミック成形体の乾燥方法においては、セラミック成形体を完全に乾燥させることは容易ではなかった。
すなわち、マイクロ波を照射することにより、ある程度分散媒液（水分）が除去されると、マイクロ波は、炭化珪素等のセラミック粉末に吸収されるようになり、そのため、成形体内部のセラミック粉末の温度が急激に上昇して、水分が完全に除去される前にバインダー分解され始めてしまい、これによりクラック等が発生しやすくなるという問題があった。
【０００８】
また、従来から最も一般的に行われている方法として、熱風による乾燥方法がある。
しかしながら、熱風のみで迅速にセラミック成形体を乾燥させようとすると、乾燥過程において、成形体の表面に近い部分と成形体の内部とで、水分量に大きな差が発生しやすく、そのため、図８（ｂ）、（ｃ）に示すように、成形体に大きな反りが発生したり、クラックが発生してしまう。
【０００９】
また、このような反りやクラックが発生しないように、ゆっくりと乾燥させようとすると、セラミック成形体を完全に乾燥させるためには、極めて長時間乾燥を行う必要があるため、効率的に乾燥を行うことはできなかった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、これらの問題を解決するためになされたもので、セラミック成形体の乾燥工程におけるバインダーの分解を防止し、また、乾燥工程におけるセラミック成形体内の水分の不均一な蒸発による反り等の変形を発生させず、全体を均一に、かつ、迅速に乾燥させることができるセラミック成形体の乾燥方法、上記乾燥方法で乾燥させたセラミック成形体を用いる多孔質セラミック部材の製造方法、及び、上記製造方法で得た多孔質セラミック部材を用いるセラミックフィルタの製造方法を提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明のセラミック成形体の乾燥方法は、セラミック粉末とバインダーと分散媒液との混合組成物からなり、多数の貫通孔が隔壁を隔てて長手方向に並設された柱状のセラミック成形体の乾燥方法であって、上記セラミック成形体を下治具と上治具とからなる乾燥用治具を用いて上下から包囲し、マイクロ波により乾燥するマイクロ波乾燥工程と、上記マイクロ波により乾燥した成形体を、さらに、圧力印加手段を備えた上治具と下治具とからなる乾燥用治具を用い、セラミック成形体を上下から密着状態で包囲し、かつ、上記セラミック成形体に圧力を加えながら熱風により乾燥する熱風乾燥工程とからなることを特徴とする。
また、本発明の多孔質セラミック部材の製造方法は、本発明のセラミック成形体の乾燥方法で乾燥させたセラミック成形体を、焼成する工程を含むことを特徴とする。
また、本発明のセラミックフィルタの製造方法は、本発明の多孔質セラミック部材の製造方法で製造した多孔質セラミック部材を複数個結束させることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のセラミック成形体の乾燥方法、多孔質セラミック部材の製造方法及びセラミックフィルタの製造方法の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。本発明のセラミック成形体の乾燥方法は、セラミック粉末とバインダーと分散媒液との混合組成物からなり、多数の貫通孔が隔壁を隔てて長手方向に並設された柱状のセラミック成形体の乾燥方法であって、上記セラミック成形体を下治具と上治具とからなる乾燥用治具を用いて上下から包囲し、マイクロ波により乾燥するマイクロ波乾燥工程と、上記マイクロ波により乾燥した成形体を、さらに、圧力印加手段を備えた上治具と下治具とからなる乾燥用治具を用い、セラミック成形体を上下から密着状態で包囲し、かつ、上記セラミック成形体に圧力を加えながら熱風により乾燥する熱風乾燥工程とからなることを特徴とする。
【００１３】
本発明で乾燥の対象となるセラミック成形体は、セラミック粉末とバインダーと分散媒液との混合組成物からなるものである。
【００１４】
上記セラミック粉末としては特に限定されず、例えば、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウム、窒化硼素、窒化チタン、炭化チタン等の非酸化物系セラミックの粉末；アルミナ、コージェライト、ムライト、シリカ、ジルコニア、チタニア等の酸化物系セラミックの粉末等を挙げることができる。
【００１５】
これらセラミック粉末の粒径も特に限定されるものではないが、後の焼成過程で収縮が少ないものが好ましく、例えば、０．３〜５０μｍ程度の平均粒子径を有する粉末１００重量部と０．１〜１．０μｍ程度の平均粒子径を有する粉末５〜６５重量部とを組み合わせたものが好ましい。
【００１６】
上記バインダーとしては特に限定されず、例えば、メチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ポリエチレングリコール、フェノール樹脂、エポキシ樹脂等を挙げることができる。
上記バインダーの配合量は、通常、セラミック粉末１００重量部に対して、１〜１０重量部程度が好ましい。
【００１７】
上記分散媒液としては特に限定されず、例えば、ベンゼン等の有機溶媒；メタノール等のアルコール、水等を挙げることができる。上記分散媒液は、混合組成物の粘度が一定範囲内となるように、適量配合される。
これらセラミック粉末とバインダーと分散媒液等とは、アトライター等で混合された後、ニーダー等で充分に混練され、押し出し成形法等により、所定の形状に成形される。
【００１８】
本発明のセラミック成形体の乾燥方法は、セラミック成形体をマイクロ波により乾燥するマイクロ波乾燥工程と、上記マイクロ波により乾燥した成形体を、さらに熱風により乾燥する熱風乾燥工程とからなることを特徴とする。
【００１９】
図１は、マイクロ波乾燥工程で用いるマイクロ波乾燥装置の一例を模式的に示した断面図である。
【００２０】
本発明では、図１に示すように、まず、上記工程で作製されたセラミック成形体１２を、マイクロ波発生装置１１とマイクロ波攪拌用スターラー１４とを備えたマイクロ波乾燥装置１０内の成形体通路１５に搬入する。
【００２１】
このマイクロ波乾燥装置１０内では、照射するマイクロ波をマイクロ波攪拌用スターラー１４で攪拌することにより、セラミック成形体１２に均一にマイクロ波を照射して、分散媒液等を加熱することにより乾燥を行う。
【００２２】
乾燥を行う際の、マイクロ波のパワー等の条件は、対象となるセラミック成形体１２の形状や貫通孔の大きさに依存するために、一概には規定できないが、例えば、セラミック成形体１２の大きさが３３ｍｍ×３３ｍｍ×３００ｍｍで、貫通孔２１の数が３１個／ｃｍ2 、隔壁２２の厚さが０．３５ｍｍの場合、マイクロ波のパワーは、０．５〜４ｋＷ程度が好ましい。なお、セラミック成形体１２の形状や大きさが異なっても、乾燥の条件は、上記した条件から大きく外れることはない。
【００２３】
このとき、図２に示すような、セラミック成形体１２を上下から密着状態で包囲することができるように構成されたガラスエポキシ製の下治具１７と上治具１６とからなる乾燥用治具を用い、この下治具１７上にセラミック成形体１２を側面が傾斜した状態で載置し、その上から上治具１６を載置してセラミック成形体に両者を密着させてもよい。
【００２４】
また、図示はしないが、セラミック成形体１２と上治具１６又は下治具１７との間に、水分の吸収が可能な弾性部材を介装していてもよい。このような弾性部材を介装することで、蒸発した水分が該弾性部材に吸収され、セラミック成形体１２の乾燥効率が良好なものとなる。
上記弾性部材としては、プラスチック製又はゴム製の多孔質弾性部材が好ましく、シリコンスポンジがより好ましい。
【００２５】
このような乾燥用治具を用いることにより、セラミック成形体１２の側面（表面）からの水分の蒸発をコントロールすることができるようになり、セラミック成形体１２の表面と内部との水分量の不均一に起因する反り等の変形やセル切れ（貫通孔を隔てる隔壁にクラックが発生すること）等を防止することができる。
【００２６】
上記したマイクロ波による乾燥により、セラミック成形体中の全体の水分の６５±１５％程度まで、蒸発、除去することができる。
上記水分量よりもさらに多くの水分をマイクロ波により蒸発、除去しようとすると、マイクロ波がセラミック粉末に吸収されるようになり、セラミック成形体内のセラミック粉末の温度が急激に上昇して脱脂が始まってしまうため、好ましくない。
【００２７】
図３は、熱風乾燥工程で用いる熱風乾燥装置の一例を模式的に示した断面図である。上記マイクロ波乾燥工程の後、図３に示したように、熱風発生装置２２及び送風機２１を備えた熱風乾燥装置２０にセラミック成形体を搬入し、熱風による乾燥を行う。
この際、セラミック成形体１２の水分をなるべく均一に蒸発させるため、図３に示したように、熱風発生装置２２により発生した熱風が送風機２１により、側壁２４ａ、２４ｂを早い速度で通過するように、熱風発生装置２２及び送風機２１を配置し、かつ、この熱風が貫通孔１３のなかをスムーズに通過するような方向（すなわち、貫通孔１３の方向が熱風の方向と平行になる向き）にセラミック成形体１２を並べて乾燥させる。
【００２８】
また、図３に示したように、一定時間毎に、左右から交互に熱風２３を送ることにより、均一に乾燥を行うことができる。
このときの熱風２３の温度は、５０〜１２０℃が好ましく、熱風２３の風速は、５〜４０ｍ／秒が好ましい。
【００２９】
熱風２３の温度が５０℃未満では、セラミック成形体１２の乾燥速度が遅くなって効率的に乾燥を行うことができず、一方、熱風２３の温度が１２０℃を超えると、セラミック成形体１２が急激に乾燥するため、不均一に乾燥し、クラック等が生じやすくなる。
また熱風２３の風速が５ｍ／秒未満であると、乾燥速度が遅くなり、セラミック成形体１２に乾燥ムラが発生し、一方、熱風２３の速度が４０ｍ／秒を超えると、表面の乾燥が進みすぎ、また、風速が速すぎるためセラミック成形体１２が移動しやすくなり好ましくない。
【００３０】
また、本発明のセラミック成形体の乾燥方法では、上記熱風乾燥工程において、圧力印加手段を備えた上治具と下治具とからなる乾燥用治具を用い、セラミック成形体１２を上下から密着状態で包囲し、かつ、セラミック成形体１２に所定の圧力を加えながら、セラミック成形体１２を乾燥させることが好ましい。
【００３１】
熱風乾燥の全過程において、セラミック成形体１２内部の水分含有量を完全に均一にすることは難しいので、この水分の不均一等に起因して、セラミック成形体１２に反り等が発生する場合がある。このため、本発明ではセラミック成形体１２の側面を周囲全体に一定の圧力を印加することにより、反り等が発生するのを防止するのである。
【００３２】
図４は、上記乾燥用治具の一例を模式的に示した斜視図である。
図４に示した通り、この熱風乾燥用治具５０は、上治具５１に、圧力印加手段が設けられているほかは、上記マイクロ波乾燥工程で説明した上治具１６と下治具１７とを備えた乾燥用治具とほぼ同様の構成からなり、その材質も同じものを挙げることができる。
【００３３】
上記圧力印加手段としては特に限定されないが、例えば、図５に示したような、内部にバネ５４を有する押圧用バネ部材５３を挙げることができる。
【００３４】
図５は、押圧用バネ部材５３を模式的に示した斜視図である。
この押圧用バネ部材５３は、主に、バネ５４、固定部材５５及び押圧部材５６から構成されている。
固定部材５５及び押圧部材５６の材質としては特に限定されず、例えば、ＳＵＳ等の金属材料、窒化アルミニウム等のセラミック材料等を挙げることができ、また、強度が充分であれば樹脂等も使用することができる。
【００３５】
固定部材５５は、その両端部が上側に屈曲しており、その対向する屈曲部分には、支持棒５７を挿通することができるように貫通孔が形成されている。また、この固定部材５５には、ネジ穴が形成され、図４に示すように、上治具５１の板状体５１０にネジ止めされ、固定される。
【００３６】
押圧部材５６は、くの字形状に形成され、固定部材５５の屈曲部の内側に当接した２枚の側板５９と、これら２枚の側板５９を支持、固定する背板５６０と、側板５９の下部に取り付けられた押圧棒５８とから構成されている。また、側板５９には貫通孔が形成され、該貫通孔に支持棒５７が挿通されている。
【００３７】
一方、バネ５４は、その内部に支持棒５７が挿通され、この支持棒５７により軸支されている。そして、バネ５４の両端部は、真っ直ぐに引き延ばされ、押圧部材５６の背板５６０に当接し、また、バネ５４の中央部分も引き出されて逆Ｕ字型（逆Ｖ字型）に形成され、この部分が固定部材５５の底板に当接している。押圧用バネ部材５３は、このように構成されることにより、押圧用バネ部材５３を構成する押圧部材５６が矢印の方向に付勢される。
なお、バネ５４の材料としては特に限定されず、所定の反発力を有するものを適宜選択して使用することができる。
【００３８】
従って、図４に示すように、これら複数の押圧用バネ部材５３を備えた上治具５１と、下治具５２とを嵌合させると、押圧部材５６の一端部に取り付けられた押圧棒５８は、下治具５２の板状体５２０を押圧し、その結果、これら上治具５１と下治具５２とにより、内部に載置されたセラミック成形体の側面全体に、所定の圧力が印加される。
【００３９】
このセラミック成形体に印加される圧力は、０．４〜０．６ＭＰａであることが好ましい。０．４ＭＰａ未満であると、熱風乾燥工程において、セラミック成形体に反りやセル切れが発生してしまうことがある。一方、０．６ＭＰａを超えると、セラミック成形体のセルが変形してしまったり、破損が生じることがある。
【００４０】
なお、このような構造の熱風乾燥用治具５０は、マイクロ波乾燥工程を経た、ある程度の強度を有するセラミック成形体について使用する。熱風乾燥用治具５０は、圧力を加えながら乾燥をするため、成形されたばかりのセラミック成形体では、強度が足りず、容易にセルの変形、破損が発生してしまうからである。
【００４１】
バネ５４等を用いずにセラミック成形体に圧力を印加する方法としては、例えば、両端部にフックが取り付けられた紐状の弾性体を、図２に示したような形状の乾燥用治具（上治具１６と下治具１７）の周囲に、上記フックを用いて巻き付け、該乾燥用治具を締めつけ、圧力を印加する方法等を挙げることができる。
【００４２】
また、例えば、上治具１６と下治具１７とを構成する２枚の板状体部分に、電磁石を埋め込んでおき、上下の電磁石同士が引っ張りあうように設定することで、圧力を印加してもよい。
【００４３】
このような構成からなる熱風乾燥用治具は、共に、マイクロ波による乾燥工程においては、フックを外しておいたり、電圧を印加せずにおき、次の熱風乾燥工程において、フックを引っ掛けたり、電圧を印加することにより、セラミック成形体に圧力を印加することができる。従って、マイクロ波による乾燥工程と熱風による乾燥工程とを同一の乾燥用治具を用いて行うことができ、生産効率が向上する。
【００４４】
なお、本発明のセラミック成形体の乾燥方法で用いる乾燥装置は、通常、マイクロコンピュータを内蔵する自動制御装置が組み込まれており、マイクロ波パワー、熱風の温度、熱風の風速等の設定は勿論のこと、セラミック成形体がマイクロ波乾燥装置や熱風乾燥装置に搬入されると、例えば、赤外センサ等により自動的にセラミック成形体を検知し、マイクロ波を発生させ、マイクロ波攪拌用スターラーを駆動し、熱風発生装置や送風機等を作動させるように構成されている。
【００４５】
本発明のセラミック成形体の乾燥方法によれば、マイクロ波による乾燥と熱風による乾燥とを組み合わせることにより、マイクロ波により初期の乾燥を迅速かつ効率的に行うことができ、ある程度乾燥され、マイクロ波による加熱が効果的でなくなった後、熱風により乾燥を行うので、従来の場合と比べて、より迅速に、かつ、乾燥体に反り等を発生させることなく、均一に乾燥することができる。
【００４６】
また、熱風による乾燥の際、圧力印加手段を備えた乾燥用治具を用いることにより、セラミック成形体の反りやセル切れ等の発生をほぼ完全に防止することができる。
なお、本発明の乾燥方法で乾燥させたセラミック成形体を、焼成する工程を含む多孔質セラミック部材の製造方法もまた本発明の一つである。また、本発明の多孔質セラミック部材の製造方法では、上記焼成する工程の前に、上記セラミック成形体を脱脂する工程を含んでいてもよい。
さらに、上記製造方法で製造した多孔質セラミック部材を複数個結束させるセラミックフィルタの製造方法もまた本発明の一つである。
【００４７】
【実施例】
以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。
【００４８】
参考例１
平均粒子径１０μｍのα型炭化珪素粉末７０重量部、平均粒子径０．７μｍのβ型炭化珪素粉末３０重量部、メチルセルロース５重量部、分散剤４重量部、水２０重量部を配合して均一に混合することにより、原料の混合組成物を調製した。
【００４９】
この混合組成物を押出成形機に充填し、押出速度２ｃｍ／分にて図２に示すような形状のハニカム成形体１２を作製した。このハニカム成形体１２は、その大きさが３０ｍｍ×３０ｍｍ×３００ｍｍで、貫通孔２１の数が３１個／ｃｍ2 、隔壁２２の厚さが０．３５ｍｍであった。
【００５０】
次に、図２に示すように、下治具１７にセラミック成形体２０を載置した後、上治具１６をセラミック成形体１２の上に載せ、この状態で図１に示したマイクロ波乾燥装置１０に搬入し、マイクロ波のパワーを３ｋＷに設定して１分間セラミック成形体１２の乾燥を行った後、このセラミック成形体１２の水分量を測定したところ、最初の水分量の６５％が蒸発、除去されていた。
【００５１】
次に、図３に示した熱風乾燥装置に、マイクロ波による乾燥が終了したセラミック成形体１２（マイクロ波乾燥体）を搬入し、熱風の温度１００℃、熱風の風速３５ｍ／秒の条件で乾燥を行ったところ、１１分でほぼ完全に水分を蒸発させ、乾燥させることができた。
このように、マイクロ波による乾燥と熱風による乾燥を組み合わせることにより、１２分と極めて短い時間でセラミック成形体の乾燥工程を終了することができた。
【００５２】
実施例２
参考例１と同様にしてセラミック成形体１２をマイクロ波で乾燥した後、このマイクロ波乾燥体を、図４に示した熱風乾燥用治具５０の下治具５２に載置し、上治具５１をマイクロ波乾燥体の上に載せ、押圧用バネ部材５３を用いて、圧力０．５ＭＰａで固定した。そして、この状態で図３に示した熱風乾燥装置に搬入し、熱風の温度１００℃、熱風の風速３５ｍ／秒の条件で乾燥を行ったところ、１１分でほぼ完全に水分を蒸発させ、乾燥させることができ、また、セラミック成形体１２の乾燥体に反り、セル切れ等は一切発生しなかった。
【００５３】
比較例１
参考例１と同様にしてセラミック成形体１２を作製した後、図１に示したマイクロ波乾燥装置１０を用い、セラミック成形体１２の乾燥を約６分間行った。その結果、４分を過ぎた後、水分を約２０％程度含んだ状態でセラミック成形体１２中のバインダーが分解し始め、これによりクラックが発生し、セラミック成形体を完全に乾燥させることができなかった。
【００５４】
比較例２
参考例１と同様にしてセラミック成形体１２を作製した後、マイクロ波による乾燥を行うことなく、図３に示した熱風乾燥装置２０を用い、熱風の温度１００℃、熱風の風速３５ｍ／秒の条件でセラミック成形体の乾燥を行ったところ、１時間乾燥を行うことにより、やっとほぼ完全に水分を蒸発させ、乾燥させることができた。
【００５５】
【発明の効果】
本発明のセラミック成形体の乾燥方法は、上述の通りであるので、セラミック成形体の乾燥工程におけるバインダーの分解を防止し、また、乾燥工程におけるセラミック成形体に反り等の変形を発生させず、全体を均一に、かつ、迅速に乾燥させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のセラミック成形体の乾燥方法において用いられるマイクロ波乾燥装置を模式的に示す断面図である。
【図２】本発明のセラミック成形体の乾燥方法において用いられるマイクロ波乾燥用治具及びセラミック成形体を模式的に示す斜視図である。
【図３】本発明のセラミック成形体の乾燥方法において用いられる熱風乾燥装置を模式的に示す断面図である。
【図４】本発明のセラミック成形体の乾燥方法において用いられる熱風乾燥用治具を模式的に示す斜視図である。
【図５】図４に示した熱風乾燥用治具を構成する、押圧用バネ部材を模式的に示す斜視図である。
【図６】セラミックフィルタを模式的に示す斜視図である。
【図７】（ａ）は、セラミックフィルタを構成する多孔質セラミック部材を模式的に示す斜視図であり、（ｂ）は、その長手方向に平行な縦断面図である。
【図８】（ａ）〜（ｃ）は、種々の条件で乾燥した後のセラミック成形体を模式的に示した斜視図である。
【符号の説明】
１０  マイクロ波乾燥装置
１１  マイクロ波発生装置
１２  セラミック成形体
１３  マイクロ波
１４  マイクロ波攪拌用スターラー
１５  成形体通路
１６、５１  上治具
１７、５２  下治具
２０  熱風乾燥装置
２１  送風機
２２  熱風発生装置
２３  熱風
２４ａ、２４ｂ  側壁
３０  多孔質セラミック部材
３１  貫通孔
３２  充填材
３３  隔壁
４０  セラミックフィルタ
５０  熱風乾燥用治具
５３  押圧用バネ部材
５４  バネ
５５  固定部材
５６  押圧部材
５７  支持棒
５８  押圧棒
５９  側板
５１０、５２０  板状体
５６０  背板
５９０  屈曲部
【図１】
0004371553.tif 000002
【図２】
0004371553.tif 000003
【図３】
0004371553.tif 000004
【図４】
0004371553.tif 000005
【図５】
0004371553.tif 000006
【図６】
0004371553.tif 000007
【図７】
0004371553.tif 000008
【図８】
0004371553.tif 000009