(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータ(2)により駆動されるピニオン(17)にギヤ(14)を噛合させ、前記ギヤ(14)に接続された従動体(12)を回動させるようにした回動装置において、前記ギヤ(14)の回動を圧縮ばね(20,21)を介して前記従動体(12)に伝達させ、前記従動体(12)がストッパ(30)に当接した状態下で前記圧縮ばね(20,21)を圧縮させる方向へ前記モータ(2)により駆動されるピニオン(17)を介して前記ギヤ(14)を回動させることにより、前記各圧縮ばね(20,21)の復元力が前記ギヤ(14)を逆方向に回動させようとする作用を発生し、前記ピニオン(17)とギヤ(14)間のバックラッシを除去することを特徴とするバックラッシキャンセル方法。
【請求項２】
前記従動体(12)としてテーブルを用いることを特徴とする請求項１記載のバックラッシキャンセル方法及び装置。
【請求項３】
モータ(2)により駆動されるピニオン(17)にギヤ(14)を噛合させ、前記ギヤ(14)に接続された従動体(12)を回動させるようにした回動装置において、前記ギヤ(14)に形成された複数の第１保持開口(22)と、前記第１保持開口(22)に対応して前記従動体(12)に形成された第２保持開口(23)と、前記各保持開口(22,23)に跨る状態で保持された圧縮ばね(20,21)と、前記従動体(12)の回動を所定位置で停止させるためのストッパ(30)とを備え、前記従動体(12)を前記ストッパ(30)に当接させた後に前記モータ(2)により駆動されるピニオン(17)を介して前記ギヤ(14)を回動方向に付勢させて前記圧縮ばね(20,21)を圧縮させることにより、前記各圧縮ばね(20,21)の復元力が前記ギヤ(14)を逆方向に回動させようとする作用を発生し、前記ギヤ(14)とピニオン(17)間のバックラッシを除去する構成としたことを特徴とするバックラッシキャンセル装置。
【請求項４】
前記従動体(12)はテーブルよりなり、前記ギヤ(14)は扇形をなすと共に、前記ストッパ(30)は前記モータ(2)が設けられた本体(1)に設けられていることを特徴とする請求項３記載のバックラッシキャンセル装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、バックラッシキャンセル方法及び装置に関し、特に、圧縮ばねによってギヤと従動体とを接続することにより、従動体がストッパに当接後も圧縮ばねが圧縮する方向にギヤを付勢してギヤとピニオン間のバックラッシを除去するための新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、用いられていたこの種の回動装置におけるバックラッシキャンセル方法としては、引張りばねによって従動体を一方向に常に付勢しておくことにより、バックラッシを除去するようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来のバックラッシキャンセル方法は、以上のように構成されていたため、次のような課題が存在していた。
すなわち、引張りばねで常時従動体を引張る構成であるため、この引張りばねが邪魔となり、全体形状が大型化することになっていた。
【０００４】
本発明は、以上のような課題を解決するためになされたもので、特に、圧縮ばねによってギヤと従動体とを接続することにより、従動体がストッパに当接後も圧縮ばねが圧縮する方向にギヤを付勢してギヤとピニオンの間のバックラッシを除去するようにしたバックラッシキャンセル方法及び装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明によるバックラッシキャンセル方法は、モータにより駆動されるピニオンにギヤを噛合させ、前記ギヤに接続された従動体を回動させるようにした回動装置において、前記ギヤの回動を圧縮ばねを介して前記従動体に伝達させ、前記従動体がストッパに当接した状態下で前記圧縮ばねを圧縮させる方向へ前記モータにより駆動されるピニオンを介して前記ギヤを回動させることにより、前記各圧縮ばねの復元力が前記ギヤを逆方向に回動させようとする作用を発生し、前記ピニオンとギヤ間のバックラッシを除去する方法であり、また、前記従動体としてテーブルを用いる方法であり、さらに、モータにより駆動されるピニオンにギヤを噛合させ、前記ギヤに接続された従動体を回動させるようにした回動装置において、前記ギヤに形成された複数の第１保持開口と、前記第１保持開口に対応して前記従動体に形成された第２保持開口と、前記各保持開口に跨る状態で保持された圧縮ばねと、前記従動体の回動を所定位置で停止させるためのストッパとを備え、前記従動体を前記ストッパに当接させた後に前記モータにより駆動されるピニオンを介して前記ギヤを回動方向に付勢させて前記圧縮ばねを圧縮させることにより、前記各圧縮ばねの復元力が前記ギヤを逆方向に回動させようとする作用を発生し、前記ギヤとピニオン間のバックラッシを除去する構成であり、さらに、前記従動体はテーブルよりなり、前記ギヤは扇形をなすと共に、前記ストッパは前記モータが設けられた本体に設けられている構成である。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、図面と共に本発明によるバックラッシキャンセル方法及び装置の好適な実施の形態について説明する。
図１から図４において符号１で示されるものはサーボモータよりなるモータ２が設けられた本体であり、この本体１上には支持部材３が固定配置されている。
【０００７】
前記支持部材３の上部には、一対の第１、第２軸受１０、１０ａを有する固定軸１１が設けられており、この固定軸１１の両端の前記一対の軸受１０には、テーブルからなる従動体１２が正逆方向に回動自在に設けられている。
【０００８】
前記従動体１２は、テーブルに限らず他の部材でも可であるが、本形態におけるテーブルは、半導体に印字を行うために半導体を収容する図示しないパレットを固定具１３で固定し、このテーブルを往復傾動（正逆方向）させることにより、パレット内の各半導体を整列させるように構成されている。
【０００９】
前記固定軸１１の一端には、前記第２軸受１０ａに隣接して第３軸受１０ｂが設けられ、この第３軸受１０ｂには全体形状がほぼ扇形をなす有限角で構成されたギヤ１４が回動自在に設けられている。前記ギヤ１４は本体１上に設けられサーボモータ等からなるモータ２の出力軸１６に設けられたピニオン１７に噛合し、ピニオン１７の回動によってギヤ１４が回動するように構成されている。
【００１０】
前記従動体１２とギヤ１４との間には複数の圧縮ばね２０、２１が設けられ、各圧縮ばね２０、２１を介してギヤ１４の動作が従動体１２に伝達されるように構成されている。すなわち、前記各圧縮ばね２０、２１は、ギヤ１４に前記固定軸１１を挟む状態で形成された一対の第１保持開口２２と、前記各第１保持開口２２に対応して前記従動体１２の下部１２ａに形成された一対の第２保持開口２３との間に跨る状態（図３に示す）で設けられており、前記支持部材３の上部には、前記従動体１２を所定角度（例えば水平状態）で位置決めして停止させるためのストッパ３０が設けられている。
【００１１】
次に、動作について述べる。まず、図４の状態は、従動体１２が水平に位置し、ギヤ１４とピニオン１７間のバックラッシは除去されていない状態である。
図５はギヤ１４を左方へ回動させて、従動体１２を３０度傾斜させ、バックラッシは除去されていない状態であり、この従動体１２を半導体製造用として用いる場合は、この傾斜状態を数回繰り返して図示しないホッパー上の半導体を整列させている。
【００１２】
図２は、従動体１２が水平状態とされた後、ストッパ３０に従動体１２が当接した後も継続してモータ２を駆動して、ギヤ１４を圧縮ばね２０、２１が圧縮する方向へ回動させると、各圧縮ばね２０、２１の復元力がギヤ１４を逆方向に回動させようとする作用を発生するため、ギヤ１４とピニオン１７間のバックラッシが完全に除去される。なお、従動体１２はテーブルの場合について述べたが、テーブル以外の物にも適用可である。
【００１３】
【発明の効果】
本発明によるバックラッシキャンセル方法及び装置は、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。
すなわち、ギヤと従動体とを圧縮ばねで接続し、圧縮ばねを介して従動体を回動するように構成しているため、従動体をストッパに当接させた後も継続して同じ方向すなわち圧縮ばねが圧縮する方向にギヤを回動することにより、ギヤとピニオン間のバックラッシを除去することができる。そのため、サーボ系の剛性を上げることができ、制御の精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明によるバックラッシキャンセル装置を示す断面図である。
【図２】  図１のバックラッシキャンセル時の横断面図である。
【図３】  図２の要部を示す断面図である。
【図４】  図２のバックラッシ非キャンセル時を示す断面図である。
【図５】  図２の３０度傾斜時を示す断面図である。
【符号の説明】
１    本体
２    モータ
１２    従動体
１４    ギヤ
１７    ピニオン
２０、２１    圧縮ばね
２２    第１保持開口
２３    第２保持開口
３０    ストッパ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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