(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクシートの下面に重装された基板に対し、当該マスクシート上に供給されたペーストを拡張することによりスクリーン印刷を施すスキージを備えたスクリーン印刷装置において、上下所定範囲にわたり昇降可能な昇降子と、この昇降子を上下に昇降させる昇降駆動手段と、前記昇降子と前記スキージとの間に設けられて前記スキージのマスクシートへの着地荷重を弾性的に付与する付勢部材と、前記スキージがマスクシートから浮揚する所定の第１ストローク範囲でスキージを直接昇降駆動できるように前記昇降子と前記スキージとを連結する連結手段とを備え、昇降駆動手段による昇降子駆動範囲のうちの前記第１ストローク範囲よりも下方の第２ストローク範囲では昇降子の高さ位置に応じた着地荷重でスキージをマスクシート上に着地可能としたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記昇降駆動手段は、鉛直線沿いに配置されて前記昇降子を螺合させているボールねじと、前記昇降子を昇降するために定位置にて前記ボールねじを双方向に回転駆動可能なモータとを有していることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
前記スキージをマスクシートから引き離す方向に付勢するキャンセル用付勢部材を備えていることを特徴とする請求項１または２記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
前記スキージを担持するスキージホルダを設け、前記付勢部材と前記キャンセル用付勢部材とを、それぞれスキージホルダを挟んで配置された圧縮コイルばねで構成していることを特徴とする請求項３記載のスクリーン印刷装置。
【請求項５】
前記スキージをマスクシートの上に固定するロック手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載のスクリーン印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はクリーム半田等のペーストを基板に対してスクリーン印刷するスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、印刷ステージの上にセットした基板をスクリーン印刷用のスクリーンマスクのマスクシートに重装し、マスクシート上に供給したクリーム半田、導電ペースト、あるいは抵抗ペースト等のペーストをスキージにより拡張させることにより、マスクシートに形成された開口部を介して基板の所定位置にペーストを印刷（塗布）するようにしたスクリーン印刷装置は一般に知られている。
【０００３】
このような装置において、スキージは、ペーストを拡張する際にマスクシート上を摺動するが、そのときのスキージのマスクシートへの着地荷重（着地荷重のうち、印刷時における荷重を特に「印圧」という）を最適に制御しなければならない。印圧が強すぎればペーストが開口部からにじみ出てしまい、弱すぎれば塗布不足が生じるからである。
【０００４】
そこで、従来からスキージの印圧を最適制御するための提案がなされてきた。
【０００５】
従来、スキージの印圧はエアシリンダによって付与されており、その荷重の大きさは電空レギュレータによって制御されていた。しかし、その場合には、即応性が低いため、近年要請されている超低印圧制御を行うことができない。そこで、複数の付勢部材を組合せてマスクシートにスキージを着地させ、前記付勢部材の長さを変更して付勢部材の合力で決定されるスキージの印圧を調整できる機構も提案されている（特開平１１‐０１０８３１号公報参照）。
【０００６】
その構成では、スキージを担持するスキージホルダと、このスキージホルダに対し、弾性部材を介して連結される昇降子とを設け、昇降子にボールねじによる昇降駆動機構を設けてスキージを昇降可能に構成するとともに、スキージホルダと昇降子との間に弾性荷重コントロール手段を設けている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記構成では、スキージを昇降するための駆動機構（モータ）が、昇降子と一体的に昇降するように構成されていたので、機構全体が大掛かりになるという不具合があった。また、昇降子は、専ら弾性部材を介して連結されているに過ぎなかったので、スキージを上昇させる際の機敏性に欠けるという問題もあった。
【０００８】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、印圧の高精度調整が可能であり、しかも、スキージの昇降動作等を簡素で迅速に行うことのできるスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法を提供することを課題としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、マスクシートの下面に重装された基板に対し、当該マスクシート上に供給されたペーストを拡張することによりスクリーン印刷を施すスキージを備えたスクリーン印刷装置において、上下所定範囲にわたり昇降可能な昇降子と、この昇降子を上下に昇降させる昇降駆動手段と、前記昇降子と前記スキージとの間に設けられて前記スキージのマスクシートへの着地荷重を弾性的に付与する付勢部材と、前記スキージがマスクシートから浮揚する所定の第１ストローク範囲でスキージを直接昇降駆動できるように前記昇降子と前記スキージとを連結する連結手段とを備え、昇降駆動手段による昇降子駆動範囲のうちの前記第１ストローク範囲よりも下方の第２ストローク範囲では昇降子の高さ位置に応じた着地荷重でスキージをマスクシート上に着地可能としたことを特徴とするスクリーン印刷装置である。
【００１０】
この発明では、昇降子を上下に昇降させる昇降駆動手段を採用しているので、至って簡素な構成でスキージの昇降駆動を行うことができる。しかも、スキージがマスクシートから浮揚する所定の第１ストローク範囲でスキージを直接昇降駆動できるように前記昇降子と前記スキージとを連結する連結手段を設けているので、スキージを前記第１ストローク範囲で昇降させる場合には、スキージを昇降子と一体的に連結した状態で昇降駆動することができる結果、スキージの昇降動作を迅速且つ確実に行うことができる。また、前記第１ストローク範囲よりも下方の第２ストローク範囲では昇降子の高さ位置に応じた着地荷重でスキージをマスクシート上に着地可能としているので、この第２ストロークの範囲で昇降子の高さ位置を調整するだけで付勢部材の付勢力を調整することか可能になる。
【００１１】
特に、前記昇降駆動手段は、鉛直線沿いに配置されて前記昇降子を螺合させているボールねじと、前記昇降子を昇降するために定位置にて前記ボールねじを双方向に回転駆動可能なモータとを有していること（請求項２）が好ましい。
【００１２】
このようにすると、モータが定位置にてボールねじを回転駆動させることにより、ボールねじに螺合する昇降子が昇降するので、モータ自身が昇降する構造に比べ、昇降子を比較的小さな力で昇降させることができる結果、小型のモータを採用することができ、昇降子自身の小型化を図ることも可能になる。
【００１３】
また、前記スキージをマスクシートから引き離す方向に付勢するキャンセル用付勢部材を備えていること（請求項３）が好ましい。
【００１４】
このようにすると、付勢部材による付勢力（あるいはスキージの自重）をキャンセル用付勢部材でキャンセルし、より低い領域で印圧調整を行うことができる。
【００１５】
さらに、前記スキージを担持するスキージホルダを設け、前記付勢部材と前記キャンセル用付勢部材とを、それぞれスキージホルダを挟んで配置された圧縮コイルばねで構成していること（請求項４）が好ましい。
【００１６】
このようにすると、スキージホルダの昇降範囲にコイルばねを配設することができるので、比較的コンパクトなレイアウトを構成することが可能になる。
【００１９】
いずれの発明においても、前記スキージをマスクシートの上に固定するロック手段を備えていること（請求項５）が好ましい。
【００２０】
このようにすると、スキージは、ロック手段によってマスクシートに接したままの状態で固定される。したがって、例えば、基板をマスクシートから剥離する剥離工程において、予めロック手段を作動させてスキージを上記所定の状態で固定することにより、基板をマスクシートから剥離するときに、マスクシートのたわみや振動を抑制することが可能になる。また、スキージとマスクシートとの間に残っているペーストによる影響をこの剥離工程で受けることもなくなり、スキージをマスクシートから引き離す際にマスクシートが浮き上がって、基板の仕上りに悪影響を及ぼすこともない。
【００２３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００２４】
図１は本発明の要部を示す分解斜視図であり、図２は図１のスクリーン印刷装置の側面略図を示している。まず図２を参照して、スクリーン印刷装置１の基台２には、プリント基板Ｗを搬入及び搬出するための搬入用コンベヤー２ａ及び搬出用コンベヤー２ｂが、詳しくは後述する印刷ステージ３を挟んで両側（図２の左右方向。この実施形態において「Ｘ軸方向」）に配置されている。印刷ステージ３の上方には、周知の装置と同様にプリント基板Ｗに重装されるスクリーンマスク５０のマスクシート５１を張設するためのシート保持ユニット５３と、保持されたマスクシート５１の上方に配置されたスキージユニット６０（図１参照）とを備えており、後述するように、印刷ステージ３によってマスクシート５１に重装されたプリント基板Ｗに対し、スキージユニット６０の一対のスキージ６１、６２によってスクリーン印刷を施すようにしている。
【００２５】
上記印刷ステージ３は、基台２の定位置に据え付けられた固定テーブル４と、この固定テーブル４に対し、一対のレール５及びボールねじユニット１５を介して、図１の左右方向（この実施形態において「Ｙ軸方向」）に相対変位可能なＹ軸テーブル６と、Ｙ軸テーブル６に対し、一対のレール７及びボールねじユニット１７を介してＸ軸方向に相対変位可能なＸ軸テーブル８と、このＸ軸テーブル８に設けられた回転ユニット９を介して鉛直線（この実施形態において「Ｚ軸方向」）周りに回動可能なＲ軸テーブル１０と、このＲ軸テーブル１０に対し、ボールねじユニット１１を介して相対的に昇降可能な昇降テーブル１２とを含んでいる。この昇降テーブル１２にはクランプユニット２０が取り付けられている。なお上記ボールねじユニット１１、１５、１７並びに回転ユニット９は、それぞれサーボモータで駆動される。
【００２６】
クランプユニット２０は、一対のクランプ片２４ａ、２４ｂを有している。各クランプ片２４ａ、２４ｂは、Ｘ軸方向に延びる略板状の部材であり、図示しないベルト駆動機構によって一方を可動側とし、固定側の他方と協働して前記搬入用コンベヤー２ａから搬入されたプリント基板Ｗを挟み込むクランプ２４を構成している。
【００２７】
各クランプ片２４ａ、２４ｂの間にはピンユニット２５が設けられている。図示は省略しているが、ピンユニット２５は、各クランプ片２４ａ、２４ｂとは相対的に上下に昇降可能に構成されている。これにより、搬入用コンベヤー２ａから各クランプ片２４ａ、２４ｂの間にプリント基板Ｗが搬入されると、その下面をピンユニット２５のピン２５ａで受けて、プリント基板Ｗを仮置きし、図示しない押圧手段と協働してプリント基板Ｗを仮保持し、クランプ２４に受け渡すことができるように構成されている。
【００２８】
そして、クランプ２４にプリント基板Ｗが受け渡されると、印刷ステージ３の昇降テーブル１２が上昇し、前記スクリーンマスク５０のマスクシート５１下面にプリント基板Ｗが重装される。重装されたプリント基板Ｗには、次に説明するスキージユニット６０によって、クリーム半田等のペーストが塗布されることになる。
【００２９】
スキージユニット６０は、基台２の上方に位置し、Ｘ軸方向に横架された水平フレーム２ｃに取り付けられている。この水平フレーム２ｃは、一対のレールによってＹ軸方向に移動可能に構成されており、図示しないボールねじ機構によってＹ方向に往復移動されるようになっている。これにより、スキージ６１、６２をスクリーンマスク５０上で往復移動させることができるようになっている。
【００３０】
図１を参照して、スキージユニット６０は、前記スキージ６１、６２を担持するスキージホルダ６３と、このスキージホルダ６３を介してスキージ６１、６２を昇降させる昇降ユニット６４（昇降駆動手段）とを有しており、昇降ユニット６４の本体フレーム６５は、前記水平フレーム２ｃ（図２参照）に固定されている。
【００３１】
図３はスキージユニット６０の要部を模式的に示した断面略図であり、（Ａ）はスキージをマスクシート５１へ降下させている状態、（Ｂ）はスキージをマスクシート５１から上昇させている状態をそれぞれ示している。
【００３２】
前記スキージ６１、６２は、搬出用コンベヤー２ｂに向かってマスクシート５１と鋭角をなすように傾き角度が設定された往動時用スキージ６１と、搬入用コンベヤー２ａに向かって鋭角をなすように傾き角度が設定された復動時用スキージ６２と対をなしてＹ軸方向に対向しているものである。これらスキージ６１、６２は、比較的硬質のウレタン、あるいは特殊金属で形成されている。
【００３３】
各スキージ６１、６２は、それぞれスキージホルダ６３に固定されたエアシリンダ６１ａ、６２ａのロッド先端（下端）に取り付けられており、これらエアシリンダ６１ａ、６２ａの作動によりスキージホルダ６３に対して個別に昇降可能に支持されている。各エアシリンダ６１ａ、６２ａは、下死点まで伸張したときにスキージ６１、６２をマスクシート５１上に着地させることができるようにそのストロークが設定されている。また、これらエアシリンダ６１ａ、６２ｂのストロークを調整可能にすれば、後述する圧縮ばね７１やキャンセル用圧縮ばね８９、９０の付勢力を調整する調整手段を構成することも可能になる。図１において、６１ｅ、６２ｅは、各エアシリンダ６１ａ、６２ａ毎に二つ一組にして対をなすガイドロッドである。
【００３４】
他方、上記昇降ユニット６４は、スキージホルダ６３全体を昇降させることにより、スキージ６１、６２の着地荷重を調整するためのものであり、印刷時にはスキージ６１、６２の印圧調整に寄与するものである。この昇降ユニット６４のフレーム６５には、サーボモータ６６、サーボモータ６６に連結されたタイミングベルト６７、タイミングベルト６７を介して回転駆動されるボールねじ６８、このボールねじ６８に連結されている昇降子６９を含んでいる。サーボモータ６６、ボールねじ６８は、いずれも軸心が鉛直に沿っており、このサーボモータ６６がボールねじ６８を回転駆動することにより、昇降子６９が上下動するようになっている。
【００３５】
図示の昇降子６９には、スプリングホルダ７０が固定されている。このスプリングホルダ７０は、スキージホルダ６３を押し下げる方向に付勢する圧縮ばね７１の上端部を保持するためのものである。他方、スキージホルダ６３の背面には、圧縮ばね７１の下端部を保持するスプリングホルダ７２が固定されており、組付け時に両ホルダ７０、７２間で圧縮ばね７１を介装することにより、昇降子６９の昇降駆動力が弾性的にスキージホルダ６３を介してスキージ６１、６２に伝達されるようになっている。なお、図示の実施形態では、スキージホルダ６３の背面に受圧板６３ａ（連結手段）が突設されている。受圧板６３ａは、鉛直方向において、前記スプリングホルダ７２の上方に臨んでいる。そして、図３（Ａ）に示すように、昇降子６９が上昇して一定のばね加圧ストロークＳＴ１を経て切換え位置Ｐを過ぎたスキージ上下ストロークＳＴ２の範囲内においては、スプリングホルダ７０が受圧板６３ａの下面に当接して、スキージホルダ６３を介してスキージ６１、６２を直接昇降させるように構成されている。また、図示の実施形態において、前記昇降子６９は、レール６９ａによって上下にガイドされているとともに、このガイドレール６９ａの上端部に設けられたストッパ６９ｂによって昇降子６９の上限が規定されている（図１参照）。
【００３６】
前記ボールねじ６８の両側には一対のガイドレール８３、８４が鉛直方向に沿って平行に設けられ、各ガイドレール８３、８４のスライダ８３ａ、８４ａがスキージホルダ６３の背面に固定されることにより、上記昇降子６９の動力を滑らかにスキージホルダ６３に伝達できるようになっている。さらに各ガイドレール８３、８４の両外側には、フレーム６５の下端部に配置された一対のスプリングシート８５、８６が突設されている。各スプリングシート８５、８６は、スキージホルダ６３の両側部に固定された一対のスプリングホルダ８７、８８との間に介装されるキャンセル用圧縮ばね８９、９０の下端部を支持するためのものであり、前記キャンセル用圧縮ばね８９、９０によって、スキージホルダ６３は、上方に付勢され、スキージホルダ６３及びこれに組み付けられた部材の重量による荷重がキャンセルされる。この結果、スキージホルダ６３は、ほぼ前記圧縮ばね７１の付勢力によって弾性的にスキージ６１、６２をマスクシート５１上に着地させることになる。
【００３７】
図３に示すように、このスキージ６１、６２の着地荷重を検出するために、各エアシリンダ６１ａ、６２ａのロッド６１ｂ、６２ｂにはロードセル６１ｃ、６２ｃ（荷重検出手段）が取り付けられており、スキージ６１、６２がマスクシート５１に着地したときの荷重（あるいは印圧）を個別に検出することができるようになっている。
【００３８】
図４はサーボモータ６６を制御するための制御構成を示すブロック図である。
【００３９】
図示の通り、サーボモータ６６を制御する制御部８０には、着地荷重設定値を記憶するためのメモリ８１が設けられており、制御部８０の作業領域に入力されたロードセル６１ｃ、６２ｃの入力値と前記着地荷重設定値とが比較可能になっている。
そして、作業中のスキージ６１（６２）に関し、着地荷重（ロードセルの入力値）が着地荷重設定値に比べて大きい場合には前記昇降子６９を上昇させて着地荷重を下げるように、高い場合には前記昇降子６９を降下させて着地荷重を上げるように、それぞれ設定されている。メモリ８１に記憶される設定値は、印刷されるプリント基板Ｗの種類に応じて複数の印圧が記憶されている。
【００４０】
さらにスキージユニット６０には、印刷後の剥離工程でスキージ６１、６２を固定するために、ロック手段としてのロックユニット１００が設けられている。このロックユニット１００は、スキージホルダ６３の背面に固定されたブラケット１０１に立設される昇降ロッド１０２と、この昇降ロッド１０２をロック可能なエア式ブレーキ１０３とを有しており、スキージホルダ６３が弾性的に昇降ユニット６４に連結されているストローク範囲でスキージホルダ６３を介してスキージ６１、６２を固定することにより、スキージ６１、６２の位置を一定に維持することができるようになっている。
【００４１】
図５は図１の実施形態に係るスクリーン印刷装置１の印刷過程を示す図である。
【００４２】
まず、図２及び図５を参照して、以上の構成では、従来の構成と同様に、搬入用コンベヤー２ａからプリント基板Ｗが搬入されると、このプリント基板Ｗが印刷ステージ３のクランプ２４によってクランプされる。次いで印刷ステージ３は、マスクシート５１の下方にプリント基板Ｗを搬送し、印刷ステージ３の昇降テーブル１２を上昇させて、プリント基板Ｗをマスクシート５１の下面に重装する（図５（Ａ）参照）。
【００４３】
プリント基板Ｗがマスクシート５１に重装されると、図外のペースト供給ノズル等によりマスクシート５１上に所定量のペーストが供給されるとともに、スキージユニット６０の昇降ユニット６４がスキージホルダ６３を降下させ、Ｘ軸方向に沿って往復移動させられる。このとき往動用のエアシリンダ６１ａと復動用のエアシリンダ６２ａがスキージホルダ６３の往復動作に対応して択一的に伸張し、スキージ６１、６２をマスクシート５１上に着地させて摺動させることにより、マスクシート５１上のペーストが拡張され、印刷動作が行われる（図５（Ｂ）参照）。
【００４４】
図６は本発明の実施形態に係るフローチャートである。
【００４５】
同図に示すように、ステップＳ１において、制御部８０は印刷時におけるスキージ６１（または６２）の荷重設定値を読み込み、ステップＳ２において、対応するスキージ６１（６２）のロードセル６１ｃ（６２ｃ）から着地荷重（印圧）を読み取る。そして、上記設定値とロードセル６１ｃ（６２ｃ）の値とが比較され、両者が一致した場合には、そのまま印刷が継続され、スキージ６１（６２）は、印刷が終了するまで（ステップＳ４）マスクシート５１上を摺動する。他方、設定値とロードセル６１ｃ（６２ｃ）の値とが不一致の場合には、ステップＳ５ないしステップＳ７において、加圧または減圧の調整がサーボモータ６６の制御により行われ、ステップＳ２に戻って適正な印圧を得るまで上記ステップが繰り返される。
【００４６】
この印刷時のスキージ６１、６２の印圧は、プリント基板Ｗの種類に応じて設定された荷重で行われる。図示の実施の形態では、キャンセル用圧縮ばね８９、９０によってスキージホルダ６３等の重量による荷重がキャンセルされるので、超低印圧制御にも対応が可能になっている。
【００４７】
この印刷工程が終了すると、再び印刷ステージ３の昇降テーブル１２（図１参照）を降下することにより、マスクシート５１からプリント基板Ｗを剥離する剥離工程が行われる。
【００４８】
この剥離工程では、スキージ６１、６２が上記ロックユニット１００によってロックされる。
【００４９】
そして、スキージホルダ６３がロックされると、印刷ステージ３の昇降テーブル１２が降下され、プリント基板Ｗが剥離される。このとき、圧縮ばね７１による荷重はロックユニット１００で受け止められてマスクシート５１に対する着地荷重は０となり、着地荷重でマスクシート５１がたわむことがない。また、マスクシート５１に付着しているペーストの粘性により、マスクシート５１はプリント基板Ｗに追従して下方にたわむことがあるが、その反力は、当該マスクシート５１に僅かな荷重で接しているスキージ６１によって弾性的に吸収され、マスクシート５１の振動が可及的に抑制される。この結果、プリント基板Ｗに塗布されたペーストの印刷特性が劣化することなく、良好なプリント面を得ることが可能になる。
【００５０】
以上説明したように、上述した実施形態では、印刷中は押圧手段としての圧縮ばね７１、昇降子６９によりスキージ６１、６２を適当な着地荷重（印圧）でマスクシート５１に押し付けた状態とし、印刷後はロック手段としてのロックユニット１００によりスキージ６１、６２を所定の状態で固定することにより、プリント基板Ｗをマスクシート５１から剥離させる際にマスクシート５１のたわみや振動を防止することができる。
【００５１】
特に、前記昇降ユニット６４とスキージホルダ６３との間に介装され、スキージ６１、６２をマスクシート５１に付勢する付勢部材としての圧縮ばね７１と、圧縮ばね７１の付勢力を調整することにより、スキージ６１、６２の着地荷重を調整する調整部材（サーボモータ６６等）とを備えている場合には、スキージ６１、６２は、圧縮ばね７１によって弾性的にマスクシート５１に付勢されることになるとともに、圧縮ばね７１の付勢力は、調整部材によって調整されるので、所定のばね荷重でマスクシート５１を付勢することができるとともに、プリント基板Ｗに凹凸があった場合等に反力の受動を弾性的に吸収することができる。
【００５２】
また、キャンセル用付勢部材としてのばね８９、９０を備えているので、スキージホルダ６３及びこれに取り付けられたスキージ６１、６２等の自重をキャンセル用圧縮ばね８９、９０でキャンセルし、より低い領域で着地荷重調整を行うことができる結果、所望の着地荷重を得ることが可能になり、超低印圧制御や前記剥離工程での着地荷重の制御を精緻に行うことができるという利点がある。
【００５３】
さらに、前記スキージホルダ６３と昇降ユニット６４とに連結部材（スプリングホルダ７０、受圧板６３ａ）をそれぞれ設けて、昇降ユニット６４による昇降駆動力を所定のストロークでスキージホルダ６３に直接伝達するようにしているので、迅速且つ再現性の高い特性でスキージ６１、６２を駆動することができるという利点がある。
【００５４】
上述した実施形態は本発明の好ましい具体例を例示したものに過ぎず、本発明は上述した実施形態に限定されない。
【００５５】
例えば、上述したばね７１、８９、９０の代りにエアークッションシリンダ等を用いることも可能である。
【００５６】
その他、本発明の特許請求の範囲内で種々の変更が可能であることはいうまでもない。
【００５７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、印圧の高精度調整が可能であり、しかも、スキージの昇降動作等を簡素で迅速に行うことができるという顕著な効果を奏する。
【００５８】
特に、前記スキージをマスクシートに付勢する付勢部材と、付勢部材の付勢力を調整し得る昇降子及び昇降駆動手段を備えることにより、印刷中に所定のばね荷重でスキージをマスクシートに押圧することができるとともに、マスクシートに伝達された力を弾性的に吸収することができる。
【００５９】
さらに、前記昇降駆動手段により所定の第１ストローク範囲ではスキージを直接昇降させるようになっているため、迅速且つ再現性の高い特性でスキージを昇降させることができるという利点がある。
【００６０】
また、キャンセル用付勢部材を備えている場合には、スキージ等の重量をキャンセル用付勢部材でキャンセルし、より低い領域で印圧調整を行うことができるので、所望の着地荷重を得ることが可能になり、超低印圧制御や前記剥離工程での着地荷重の制御を精緻に行うことができるという利点がある。
【００６１】
また、印刷中は押圧手段によりスキージを適当な着地荷重（印圧）でマスクシートに押し付けた状態とし、印刷後はロック手段によりスキージを所定の状態で固定することにより、基板をマスクシートから剥離させる際にマスクシートのたわみや振動を防止することができる。
【００６２】
さらに、フィードバック制御によってスキージの印圧を調整している場合には、印刷調整を精度よく行うことが可能になるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の要部を示す分解斜視図ある。
【図２】図１のスクリーン印刷装置の側面略図である。
【図３】スキージユニットの要部を模式的に示した断面略図であり、（Ａ）はスキージをマスクシートへ降下させている状態、（Ｂ）はスキージをマスクシートから上昇させている状態をそれぞれ示している。
【図４】サーボモータを制御するための制御構成を示すブロック図である。
【図５】図１の実施形態に係るスクリーン印刷装置の印刷過程を示す図である。
【図６】図１の実施形態に係るスクリーン印刷装置のロック時の手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１              スクリーン印刷装置
３              印刷ステージ
５１            マスクシート
６０            スキージユニット
６１ｃ、６２ｃ  ロードセル
６１、６２      復動時用スキージ
６３            スキージホルダ
６４            昇降ユニット
６６            サーボモータ
６９            昇降子（調整部材）
７１            圧縮ばね（付勢部材）
８９、９０      キャンセル用圧縮ばね
１００          ブレーキユニット（ロック手段）
１０３          エアー式ブレーキ
Ｗ              プリント基板
【図１】
0004246328.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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