(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に放熱板を介して半導体素子を載置する載置部を有する基体と、該基体上面に前記放熱板を囲繞するように取着され、かつ側部に貫通孔または切欠部から成る取付部を有する、Ｃｕ−Ｗ合金，Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金，Ｆｅ−Ｎｉ合金またはＣｕから成る枠体と、前記取付部に嵌着される入出力端子とから成る半導体素子収納用パッケージにおいて、前記放熱板は、厚さ方向に配向した炭素繊維を炭素で結合した一方向性複合材料から成り、かつ上面および下面に前記放熱板側からＦｅ−Ｃｒ合金層とＣｕ層とが順に積層された金属層が被着されており、前記基体はＣｕから成るとともに厚さが０．５〜３ｍｍであることを特徴とする半導体素子収納用パッケージ。
【請求項２】
前記放熱板と前記金属層との界面および前記金属層内の各層は、拡散接合により接合されていることを特徴とする請求項１記載の半導体素子収納用パッケージ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロ波通信分野およびミリ波通信分野等で用いられ、高周波帯域で作動するガリウム砒素（ＧａＡｓ）等の化合物半導体等から成る各種半導体素子を収納するための半導体素子収納用パッケージに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のマイクロ波通信分野またはミリ波通信分野等で用いられ、高周波帯域で作動する各種半導体素子を収納するための半導体素子収納用パッケージ（以下、半導体パッケージという）を図５に示す。同図において、２１，２４はそれぞれ金属材料から成り容器本体を構成する基体と側壁用の枠体、２５はセラミックスから成り基体２１上に接合され高周波信号を入出力する入出力端子、２６は蓋体、２８は半導体素子を示す。これら基体２１、枠体２４、入出力端子２５、蓋体２６とで、半導体素子２８を半導体パッケージ内部に収納する。
【０００３】
また、このような半導体パッケージは、一般に半導体素子２８が載置される載置部２１ａを有する基体２１と、基体２１上面の外周部に載置部２１ａを囲繞するように接合される枠体２４および接合面に金属層が設けられた入出力端子２５とが、銀ロウ等のロウ材で接合される。さらに、蓋体２６と枠体２４上面とが、蓋体２６と枠体２４上面にそれぞれ設けられた金属層を介して金（Ａｕ）−錫（Ｓｎ）合金半田等の低融点ロウ材で接合される。
【０００４】
基体２１は、銅（Ｃｕ）−タングステン（Ｗ）合金等の比較的高い熱伝導性を有する金属材料から成り、半導体素子２８作動時に発する熱を伝達し放散するための放熱板として機能するとともに、半導体素子２８を支持する支持部材として機能する。
【０００５】
また、枠体２４は、基体２１に熱膨張係数が近似する鉄（Ｆｅ）−ニッケル（Ｎｉ）−コバルト（Ｃｏ）合金等の金属材料から成るとともに、入出力端子２５を嵌着するための貫通孔または切欠部から成る取付部２４ａが形成されており、入出力端子２５の上面および下面にそれぞれ設けられた金属層を介して銀ロウ等のロウ材で接合される。
【０００６】
また、この入出力端子２５は、基体２１，枠体２４に熱膨張係数が近似するアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）セラミックス等のセラミックスから成るとともに、半導体パッケージの内外を導出するようにモリブデン（Ｍｏ）−マンガン（Ｍｎ）等から成る金属ペーストを焼結したメタライズ層２５ａが被着されている。
【０００７】
また、このメタライズ層２５ａには、外部電気回路との高周波信号の入出力を行なうために、導電性を有する鉄（Ｆｅ）−ニッケル（Ｎｉ）−コバルト（Ｃｏ）合金等の金属材料から成るリード端子２７が銀ロウ等のロウ材で接合されるとともに、半導体素子２８と電気的に接続するためのボンディングワイヤ２９が接合される。
【０００８】
なお、この半導体素子２８は、載置部２１ａに錫（Ｓｎ）−鉛（Ｐｂ）半田等の低融点半田を介して接合され、半導体素子２８の作動時に発する熱がこの低融点半田を介して基体２１に伝熱される。
【０００９】
しかる後、枠体２４の上面に、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金等の金属材料またはアルミナセラミックス等のセラミックスから成る蓋体２６により、金（Ａｕ）−錫（Ｓｎ）合金半田等の低融点ロウ材で接合することによって、半導体パッケージ内部に半導体素子２８を気密に収容しその作動性を良好なものとする。
【００１０】
このように、基体２１、枠体２４、入出力端子２５、蓋体２６とで、半導体素子２８を半導体パッケージ内部に収容するとともに、ボンディングワイヤ２９とリード端子２７と外部電気回路とを電気的に接続することによって、半導体素子２８が高周波信号によって作動する半導体装置となる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年、半導体素子２８は高密度化、高集積化が急激に進み、そのため半導体素子２８の作動時に発する熱量が従来に比し極めて大きなものとなっている。従って、半導体素子２８を従来の半導体パッケージに収納して半導体装置となした場合、半導体素子２８の作動時に発する熱を放散するＣｕ−Ｗ合金等から成る基体２１の熱伝導率が２００Ｗ／ｍＫ程度と比較的高くても、近年の半導体素子２８が発する多量の熱を十分に吸収し伝熱させ放散することができない。その結果、半導体素子２８は、発熱によって高温となり熱破壊を起こしたり、熱による特性劣化を引き起こし誤作動が生じる等の問題点を有していた。
【００１２】
上記問題点を解決する手段として、図３および図４に示すように、放熱板１２として、この上面から下面にかけて熱伝導率が３００Ｗ／ｍＫ以上である部材、即ち厚さ方向に配向した炭素繊維を炭素で結合した一方向性複合材料１２ａの上下両面に、各５０μm以下の厚さを有するＦｅ−Ｃｒ合金層１２ｂ−１，Ｃｕ層１２ｂ−２，Ｆｅ−Ｎｉ層またはＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ層１２ｂ−３の３層構造を有する金属層１２ｂを拡散接合したものを用い、さらにこの放熱板１２側部の気孔を塞ぎ耐外圧性を強化するため、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金またはＦｅ−Ｎｉ合金から成る枠状の基体１１の穴部（開口）１１ｂに、放熱板１２を銀ロウ等のロウ材で挿着させた構成のものを、本出願人は提案した（特願平１０−３２７２１６号）。
【００１３】
しかしながら、図３のものでは、基体１１がＦｅ，Ｎｉ等の強磁性体を主成分とするため、インダクタンス（Ｌ）成分が非常に高い。そのため、リード端子１７を伝送する高周波信号によって、基体１１にインダクタンス成分が発生することとなり、高周波信号の伝送特性が損なわれ、その結果、半導体素子１８が誤作動を起こすという問題点を有していた。
【００１４】
また、半導体素子１８の作動時に発する熱が、アルミニウム（Ａｌ）等から成るヒートシンク，実装基板等に効率良く伝わるように、放熱板１２下面をヒートシンク，実装基板等に密着させるとともに、半導体パッケージをヒートシンク，実装基板等に信頼性良く固定させるように、基体１１の外周周縁部に形成されたネジ穴（図示せず）に非常に高いトルク（例えば１９．６Ｎｍ〜２９．４Ｎｍ）をかけてネジで締め付けていた。
【００１５】
このとき放熱板１２には、ネジ止めされる部位から挿着部のロウ材を介して大きな機械的応力が伝わる。そのため、伝わってきた大きな機械的応力によってヒートシンク，実装基板等に非常に強く押し付けられる放熱板１２は、金属層１２ｂを介しているとはいえ、この金属層１２ｂは非常に薄いため、下面の金属層１２ｂおよび脆性を有する一方向性複合材料１２ａが破損し、ヒートシンク，実装基板等に密着されない部位が生ずる。その結果、半導体素子１８が作動時に発する熱をヒートシンク，実装基板等に効率良く伝えることができず、高温となった半導体素子１８が特性劣化によって誤作動を起こすという問題点を有していた。
【００１６】
従って、本発明は上記問題点に鑑み完成されたもので、その目的は、高周波信号の伝送特性が損なわれず、また半導体素子が作動時に発する熱をヒートシンク，実装基板等に効率良く伝熱し得るようにすることにより、半導体素子を長期間にわたり正常かつ安定に作動させ得る半導体パッケージを提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体パッケージは、上面に放熱板を介して半導体素子を載置する載置部を有する基体と、該基体上面に前記放熱板を囲繞するように取着され、かつ側部に貫通孔または切欠部から成る取付部を有する、Ｃｕ−Ｗ合金，Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金，Ｆｅ−Ｎｉ合金またはＣｕから成る枠体と、前記取付部に嵌着される入出力端子とから成る半導体素子収納用パッケージにおいて、前記放熱板は、厚さ方向に配向した炭素繊維を炭素で結合した一方向性複合材料から成り、かつ上面および下面に前記放熱板側からＦｅ−Ｃｒ合金層とＣｕ層とが順に積層された金属層が被着されており、前記基体はＣｕから成るとともに厚さが０．５〜３ｍｍであることを特徴とする。
【００１８】
また本発明において、好ましくは、前記放熱板と前記金属層との界面および前記金属層内の各層は、拡散接合により接合されていることを特徴とする。
【００１９】
本発明は、上記の構成により、上面に半導体素子が載置される放熱板がその上面から下面にかけて熱伝導率が３００Ｗ／ｍＫ以上であるものとなり、さらに、剛性に優れる金属材料で、かつ、この放熱板の下部に熱伝導率が約４００Ｗ／ｍＫを有する銅（Ｃｕ）板から成る基体を取着したことから、ネジ止めによる基体の破損を有効に防止できるとともに、半導体素子が作動時に発する熱を基体下部のヒートシンク，実装基板等に効率良く伝えることができる。また、インダクタンス成分を、従来のＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金またはＦｅ−Ｎｉ合金から成る枠状の基体の場合と比較して、約１／１５に抑えることができるため、熱による特性劣化や、高周波伝送特性が損なわれることによる半導体素子の誤作動を有効に防止できる。
【００２０】
また、本発明は、放熱板の一方向性複合材料の上下面に２層構造を有する金属層を被着することによって、Ｃｕから成る基体の熱膨張係数に近似させることができる。そのため、放熱板と基体とをロウ材で接合しても、それらの間に熱歪み等の熱応力はほとんど発生しない。その結果、放熱板と基体との間には、ネジ止めを行なった際に発生する機械的応力が僅かに作用するが、熱応力がほとんど無いため、それらの間で剥がれ易くなったり、それらの間に介在するロウ材にクラック等が発生し易くなることがない。即ち、放熱板と基体との間に発生する応力は、わずかな機械的応力のみであるため、接合を非常に強固なものとできる。
【００２１】
一方、この放熱板の弾性率は、幅方向（横方向）で約３０ＧＰａ以下、厚さ方向でその１／１００以下と非常に低いため、ネジ止めを行なうことによって放熱板と半導体素子との間に作用する機械的応力を十分に吸収緩和することができるとともに、放熱板上面に熱膨張係数の異なる半導体素子を載置固定しても、それらの間に発生する熱応力を十分に吸収緩和できる。即ち、放熱板が応力緩衝材として機能するため、機械的応力や熱応力を十分に吸収緩和でき、その結果、放熱板と半導体素子との接合を強固なものとできる。
【００２２】
さらに、本発明は、Ｃｕから成る基体の厚さを０．５〜３ｍｍとしたことから、基体がネジ止めの際のトルクによって破損するのを有効に防止できるとともに、ネジ止め後の基体の平坦度が損なわれることがない。さらには、基体の上面に熱膨張係数の異なる枠体や入出力端子を接合した際に発生する熱応力に応じて、基体が適度に変形することにより、その熱応力を十分に吸収緩和する所謂応力緩衝材として機能する。また、半導体パッケージの低背化といった市場要求に対しても十分に対応できる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
本発明の半導体パッケージについて以下に詳細に説明する。図１は本発明の半導体パッケージの一実施形態を示す断面図であり、図２は図１の放熱板の部分拡大断面図である。これらの図において、１は放熱板、２は基体、３は枠体、４は入出力端子、５は蓋体、６は半導体素子である。これら放熱板１、基体２、枠体３、入出力端子４および蓋体５とで、半導体素子６が作動時に発する熱を吸収し放散するとともに、半導体素子６を内部に収容するための容器が構成される。
【００２４】
本発明において、放熱板１は、半導体素子６を支持する支持部材として機能するとともに、半導体素子６を載置固定した際に発生する熱応力を緩和する応力緩衝材として機能する。さらに、半導体素子６が作動時に発する熱を吸収し基体２に伝える伝熱機能をも有しており、図２に示すように、放熱板１は上面側から下面側にかけての熱伝導率が３００Ｗ／ｍＫ以上である部材、即ち厚さ方向に配向した炭素繊維を炭素で結合した一方向性複合材料１ａから成り、その放熱板１の上下両面に、Ｆｅ−Ｃｒ合金層１ｂ−１、Ｃｕ層１ｂ−２の２層構造を有する金属層１ｂを、拡散接合によって積層させ被着させたものである。このとき、放熱板１と金属層１ｂとの界面および金属層１ｂ内の各層が、拡散接合によって接合される。
【００２５】
この一方向性複合材料１ａは、例えば一方向に配向した炭素繊維の束を、固体のピッチあるいはコークス等の微粉末に分散させたフェノール樹脂等の熱硬化性樹脂の溶液中に含浸させ、次にこれを乾燥させて一方向に炭素繊維が配向している複数枚のシートを形成するとともに、各々のシートを炭素繊維の方向が同一となるようにして複数枚積層する。次に、積層された複数枚のシートに所定の圧力を加えるとともに加熱して熱硬化性樹脂部分を硬化させ、最後にこれを不活性雰囲気中高温で焼成し、フェノール樹脂とピッチあるいはコークスの微粉末を炭化させる（炭素を形成する）とともに、この炭素で各々の炭素繊維を結合させることによって製作される。
【００２６】
また、この放熱板１の一方向性複合材料１ａの上下両面には、Ｆｅ−Ｃｒ合金層１ｂ−１、Ｃｕ層１ｂ−２の２層構造を有する金属層１ｂが拡散接合によって積層され被着されており、それぞれの厚さを調整することによって、特に幅方向（横方向）の熱膨張係数を調整できる。
【００２７】
なお、放熱板１の厚さ方向（縦方向）の熱膨張係数は、金属層１ｂの厚さが一方向性複合材料１ａの厚さに比し非常に薄く、また、一方向性複合材料１ａの厚さ方向の弾性率は、その幅方向の弾性率に比し１／１００以下と非常に低いため、一方向性複合材料１ａの厚さ方向の熱膨張係数にほとんど近似し、約７×１０-6／℃となる。
【００２８】
このようなことから、この放熱板１の幅方向の熱膨張係数を基体２の熱膨張係数に近似させ、それぞれを銀ロウ等のロウ材でロウ付けした際に発生する熱応力を非常に小さくし、接合を強固なものとするためには、Ｆｅ−Ｃｒ合金層１ｂ−１、Ｃｕ層１ｂ−２のそれぞれの厚さ、特に一方向性複合材料１ａの熱膨張係数、弾性率のような特性の影響を直接的に受けにくい放熱板１の表層側のＣｕ層１ｂ−２の厚さを調整するのが良い。
【００２９】
従って、放熱板１の熱膨張係数を、約１８×１０-6／℃のＣｕから成る基体２に近似させるためには、Ｃｕ層１ｂ−２の厚さを、Ｆｅ−Ｃｒ合金層１ｂ−１の厚さよりも十分に厚くするのが良い。具体的には、Ｃｕ層１ｂ−２の厚さを２０〜５０μm程度、Ｆｅ−Ｃｒ合金層１ｂ−１の厚さを５〜２０μm程度とするのが好ましい。各層について、上記の厚さの範囲を外れると、各層形成用の箔の熱膨張差による熱歪が大きくなり、密着性が損なわれる傾向にある。また、Ｆｅ−Ｃｒ合金層１ｂ−１の厚さが５μm未満の場合、箔の厚さのばらつきが大きくなり、拡散接合する際に接合性が劣化し易くなる。
【００３０】
なお、金属層１ｂは一方向性複合材料１ａの上下両面に拡散接合させることによって被着されており、具体的には、一方向性複合材料１ａの上下両面にそれぞれの厚さが５０μm以下でかつ基体の熱膨張係数に近似させるように厚さ調整された、Ｆｅ−Ｃｒ合金層１ｂ−１用のＦｅ−Ｃｒ合金箔，Ｃｕ層１ｂ−２用のＣｕ箔を、順次載置して積層させる。次に、これを真空ホットプレスで５ＭＰａの圧力をかけつつ１２００℃の温度で１時間加熱することによって、拡散接合させる。
【００３１】
また、Ｆｅ−Ｃｒ合金層１ｂ−１は、金属層１ｂを一方向性複合材料１ａに強固に接合させる密着層であり、Ｃｕ層１ｂ−２は、Ｆｅ−Ｃｒ合金層１ｂ−１に強固に接合されるとともに、基体２の熱膨張係数に近似させる熱膨張係数調整層である。
【００３２】
なお、Ｃｕ層１ｂ−２は、その熱伝導性に優れた特性から、半導体素子６が発する熱を効率良く基体２上面に伝熱させる機能を有するとともに、基体２上面に強磁性体であるＮｉメッキを介することなく銀ロウ等のロウ材で強固に接合させることができる。そのため、高周波信号の伝送の際に発生するインダクタンス（Ｌ）成分を非常に低く抑えることができ、その結果、半導体素子６の作動性を良好なものとできる。
【００３３】
基体２は、熱伝導率が約４００Ｗ／ｍＫと非常に高い熱伝導性を有するとともに、磁化率が小さい反磁性体であるためインダクタンス成分が非常に小さい銅から成ることから、放熱板１から伝わった熱を十分に吸収し放散でき、また、高周波信号の伝送によるインダクタンス成分の発生を抑止できる。その結果、半導体素子６の作動性を非常に良好なものとできる。
【００３４】
また、この基体２は、その弾性率が非常に低く軟質であることから、基体２の外周周縁部に設けられたネジ穴（図示せず）に非常に高いトルクをかけて、ヒートシンク，実装基板等にネジ止めにより締め付けても、基体２が適度に変形することによって、ネジ止めされる部位から放熱板１へ伝わる機械的応力を非常に小さくする所謂緩衝材、および放熱板１の破損を有効に防止する所謂保護板として機能する。そのため、放熱板１と基体２との間に剥がれ等が発生したり放熱板１が破損することがない。その結果、半導体素子６が作動時に発する熱をヒートシンク，実装基板等に効率良く伝えることができ、半導体素子６の作動性を非常に良好なものとできる。
【００３５】
なお、基体２の厚さは０．５ｍｍ〜３ｍｍであり、０．５ｍｍ未満の場合、基体２は、ネジ止めの際のトルクによって潰される等の破損に至るおそれがあるとともに、ネジ止め後の基体２の平坦度が損なわれるおそれもある。一方、３ｍｍを超える場合については後述する。
【００３６】
また、この基体２は、その上面に放熱板１を囲繞するように、枠体３が銀ロウ等のロウ材を介して取着され、また入出力端子４が、この枠体３の側部に設けられた貫通孔または切欠部から成る取付部３’に嵌着されて基体２上面に取着される。
【００３７】
枠体３は、Ｃｕ−Ｗ合金，Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金，Ｆｅ−Ｎｉ合金またはＣｕの金属材料から成り、入出力端子４に熱膨張係数が近似したものを用いることによって、ロウ付け後の熱応力を小さいものとし、また、半導体パッケージ内外に高周波信号を入出力させた際に発生する電磁場を遮蔽する所謂電磁遮蔽板（シールド板）として機能する。
【００３８】
この枠体３は、そのインゴットに圧延加工や打ち抜き加工等の従来周知の金属加工を施すことによって所定の枠状の形状に製作される。また、その表面に耐蝕性に優れかつロウ材との濡れ性に優れる金属、具体的には厚さ０．５〜９μmのＮｉ層をメッキ法により被着させておくと、入出力端子４の上面との銀ロウ等のロウ材による接合をより強固なものとできる。
【００３９】
なお、枠体３の上面即ち蓋体５に接合される面は、Ａｕ−Ｓｎ合金半田等の低融点ロウ材で接合されるため、その低融点ロウ材との濡れ性に優れる接合面としておく必要があることから、上述のＮｉ層の表面にさらに厚さ０．５〜９μmのＡｕ層を被着させておくと良い。
【００４０】
この枠体３の取付部３’に嵌着される入出力端子４は、枠体３に熱膨張係数が近似するアルミナセラミックス等から成るセラミックスから成り、Ｍｏ−Ｍｎ等から成る金属ペーストを焼結したメタライズ層とその表面に被着したＮｉメッキ層とを介して、銀ロウ等のロウ材で接合される。
【００４１】
なお、これら枠体３，入出力端子４と、その熱膨張係数が相違する基体２とは、それらを接合した際に熱応力が発生するが、基体２の弾性率が非常に低く軟質であることから、それらが接合される基体２の部位はその熱応力を吸収緩和するために適度に変形することによって、それらの接合を損なわせることはない。即ち、枠体３、入出力端子４が接合される基体２の部位は若干湾曲する等の変形を起こすことによって、接合を損なわせることのない所謂緩衝材として機能する。
【００４２】
なお、このように枠体３，入出力端子４が接合される基体２の部位は若干の変形を起こすが、放熱板１が接合される基体２の部位は、それらの熱膨張係数が近似することから常に平坦であり、従って、ヒートシンク，実装基板に対して完全に密着されているため良好な熱伝導性を可能とする。
【００４３】
また、基体２の厚さは０．５ｍｍ〜３ｍｍであり、３ｍｍを超える場合、枠体３，入出力端子４を接合した際に発生する熱応力に対して、その厚さが厚いことから変形できにくくなり十分に吸収緩和できない。さらには、半導体パッケージの低背化といった市場要求に対しても十分に対応できなくなる傾向にある。
【００４４】
また、入出力端子４には、半導体パッケージ内外を電気的に導通するように、Ｍｏ−Ｍｎ等から成る金属ペーストを焼結したメタライズ層４’が被着されており、この入出力端子４上面にも枠体３との接合用のメタライズ層とその表面に被着されたＮｉメッキ層とが形成されている。
【００４５】
このメタライズ層４’の表面には、耐蝕性に優れかつロウ材との濡れ性に優れる金属、具体的には厚さ０．５〜９μmのＮｉ層をメッキ法により被着させておくと、リード端子７との銀ロウ等のロウ材による接合を可能とし、また、このＮｉ層の表面にさらに厚さ０．５〜９μmのＡｕ層をメッキ法により被着させることによって、半導体素子６と電気的に接続させるためのボンディングワイヤ８を接合できる。
【００４６】
このリード端子７は、外部電気回路との高周波信号の入出力を行なうために導電性を有するＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金等の金属材料から成り、その金属材料のインゴットに圧延加工法や打ち抜き加工法等、従来周知の金属加工法を施すことによって所定の形状に形成される。
【００４７】
また、枠体３の上面には、好ましくは熱膨張係数の整合の点でＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金等の金属材料から成り、またはアルミナセラミックス等のセラミックスから成る蓋体５が、Ａｕ−Ｓｎ合金半田等の低融点ロウ材を介して接合される。
【００４８】
かくして、半導体素子６は、半導体パッケージ内部に気密に封止され、また半導体装置となされた後に作動時に発する熱が効率良くヒートシンク，実装基板等に伝わるとともに、高周波伝送特性が良好であるため、誤作動等の問題を全く発生させない。
【００４９】
このように、本発明の半導体パッケージは、上面に放熱板１を介して半導体素子６を載置する載置部２’を有する基体２と、基体２上面に放熱板１を囲繞するように取着され、かつ側部に貫通孔または切欠部から成る取付部３’を有する枠体３と、取付部３’に嵌着される入出力端子４とから成る半導体素子収納用パッケージにおいて、放熱板１は、厚さ方向に配向した炭素繊維を炭素で結合した一方向性複合材料１ａから成り、かつ上面および下面に放熱板１側から鉄−クロム合金層１ｂ−１と銅層１ｂ−２とが順に積層された金属層１ｂが被着されており、基体２は銅から成るとともに厚さが０．５〜３ｍｍである。なお、図１において、１’は放熱板１上面における半導体素子６の載置部である。
【００５０】
これにより、上面に半導体素子６が載置される放熱板１が、その上面から下面にかけて熱伝導率が３００Ｗ／ｍＫ以上であるものとなり、さらに、放熱板１の下部に剛性に優れる金属材料でありかつ熱伝導率が約４００Ｗ／ｍＫである銅（Ｃｕ）から成る基体２を取着したことから、この基体２がネジ止めによる破損を有効に防止する。また、半導体素子６が作動時に発する熱を、基体２の下部にネジ止めされるヒートシンク，実装基板等に効率良く伝えることができ、また、インダクタンス成分を、従来のＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金，Ｆｅ−Ｎｉ合金等から成る枠状の基体の約１／１５に抑えることができるため、熱による特性劣化や、高周波伝送特性が損なわれることによる半導体素子６の誤作動を有効に防止できる。
【００５１】
また、本発明は、放熱板１の一方向性複合材料１ａの上下面に２層構造の金属層１ｂを被着することによって、Ｃｕから成る基体２の熱膨張係数に近似させることができる。そのため、放熱板１と基体２とをロウ材で接合しても熱応力はほとんど発生しない。その結果、放熱板１と基体２との間には、ネジ止めを行なった際に発生する機械的応力がわずかに作用するが、熱応力がほとんど無いため、それらの間が剥がれ易くなったり、それらの間に介在するロウ材にクラックが発生し易くなることがない。即ち、放熱板１と基体２との間に発生する応力は、わずかな機械的応力のみであるため、接合を非常に強固なものとできる。
【００５２】
一方、この放熱板１の弾性率は、幅方向で約３０ＧＰａ以下、厚さ方向でその１／１００以下と非常に低いため、ネジ止めにより放熱板１と半導体素子６との間に作用する機械的応力を十分に吸収緩和することができるとともに、放熱板１上面に熱膨張係数の異なる半導体素子６を載置固定しても、それらの間に発生する熱応力を十分に吸収緩和できる。即ち、放熱板１が応力緩衝材として機能するため、機械的応力や熱応力を十分に吸収緩和でき、その結果、放熱板１と半導体素子６との接合を強固なものとできる。
【００５３】
さらに、本発明は、Ｃｕから成る基体２の厚さを０．５〜３ｍｍとしたことから、基体２がネジ止めの際のトルクによって破損するのを有効に防止できるとともに、ネジ止め後の基体２の平坦度が損なわれることがない。さらには、この基体２の上面に熱膨張係数の異なる枠体３や入出力端子４を接合した際に発生する熱応力に応じて、基体２が適度に変形することによって、その熱応力を十分に吸収緩和する所謂応力緩衝材として機能する。また、半導体パッケージの低背化といった市場要求に対しても十分に対応できる。
【００５４】
また、放熱板１の載置部１’を有する上面の大きさは、半導体素子６の下面に対して、面積比で５０％以上であるのがよく、５０％未満では、熱放散効果が従来のＣｕ−Ｗ合金から成るものを半導体素子６の下面に１００％程度の面積比で形成した場合と同等以下となる。
【００５５】
かくして、本発明の半導体パッケージは、放熱板１の載置部１’上に、半導体素子６をＳｎ−Ｐｂ半田等の低融点半田を介して載置固定するとともに、半導体素子６の各電極をボンディングワイヤ８を介してメタライズ層４’に接続させ、しかる後、枠体３の上面に蓋体５をＡｕ−Ｓｎ合金半田等の低融点ロウ材を介して接合させ、放熱板１、基体２、枠体３、入出力端子４および蓋体５とから成る容器内部に半導体素子６を収納することによって、製品としての半導体装置となる。
【００５６】
なお、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を行なうことは何等支障ない。
【００５７】
例えば、一方向性複合材料１ａの側面、即ち炭素繊維が露出している面を、磁化率の小さな反磁性体でありかつ熱伝導性の高いＣｕメッキ層で被覆することによって、半導体素子６が作動時に発する熱を一方向性複合材料１ａの側面即ちＣｕメッキ層からも基体２へ伝熱できる。また、このＣｕメッキ層は磁化率の小さな反磁性体であることから、高周波伝送特性が損なわれることはない。
【００５８】
【発明の効果】
本発明は、放熱板は、厚さ方向に配向した炭素繊維を炭素で結合した一方向性複合材料から成り、かつ上面および下面に放熱板側からＦｅ−Ｃｒ合金層とＣｕ層とが順に積層された金属層が積層されており、基体はＣｕから成るとともに厚さが０．５〜３ｍｍであることにより、半導体素子６は、半導体パッケージ内部に気密に封止され、また半導体装置となされた後に作動時に発する熱が効率良くヒートシンク，実装基板等に伝わるとともに、高周波伝送特性が良好であるため、誤作動等の問題を全く発生させない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の半導体パッケージの一実施形態を示す断面図である。
【図２】図１の放熱板の部分拡大断面図である。
【図３】従来の半導体パッケージの断面図である。
【図４】図３の放熱板の部分拡大断面図である。
【図５】従来の半導体パッケージの断面図である。
【符号の説明】
１：放熱板
１ａ：一方向性複合材料
１ｂ：金属層
１’：載置部
２：基体
２’：載置部
３：枠体
３’：取付部
４：入出力端子
４’：メタライズ層
６：半導体素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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