(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端に弾性変形可能なスカート部を有し、後端が開閉弁を備えた管路を介して液体供給手段に連結されてなる吸着具を板状物の表面に対向配置し、該液体供給手段から供給される液体を前記吸着具から前記板状物の表面に向けて吐出させつつ前記吸着具を前記板状物の表面に接近当接させて前記スカート部を弾性変形させ、次いで、前記液体の吐出を停止し、前記吸着具を後退させて前記スカート部を弾性復元させ吸着具と板状物とに囲まれた空間を減圧状態にして板状物を吸着保持することを特徴とする板状物の吸着保持方法。
【請求項２】
前記液体として洗浄効果を有する洗浄液を用いることを特徴とする請求項１に記載の板状物の吸着保持方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、板状体を吸着保持する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、板ガラスを吸着保持する方法として、図３に示すように、板ガラスＧの表面に、吸着具１０先端に設けられた弾性材料からなるスカート部１０ｂを押し当てて、スカート部１０ｂと板ガラスＧとの密着によって吸着具１０と板ガラスＧとに囲まれた空間にある空気を、吸着具１０に接続された真空ポンプ（図示省略）で吸引し、この空間を負圧にして板ガラスＧを吸着保持する真空チャックと称されるものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような真空チャックによる板ガラスの吸着保持方法では、吸着具１０のスカート部１０ｂが板ガラスＧの表面に押し当てられる際に、スカート部１０ｂが拡径して板ガラスＧの表面上を摺動し、この時、摩擦によって板ガラスＧの表面に擦傷がつくという問題がある。また、吸着具１０と板ガラスＧとに囲まれた空間にある空気が真空吸引されるために、板ガラスＧの表面が乾燥状態となり、板ガラスＧの表面に付着していた埃や汚れがこびり付いて剥離し難くなるという問題もある。さらに、板ガラスＧを吸着する際に、埃や汚れが板ガラスＧの表面から剥離すると、これらが空気とともに真空ポンプによって吸引されるために吸着具１０から真空ポンプに至るパイプ１１が詰まってしまうといった問題がある。
【０００４】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、板状物の表面を傷つけることなく板状物を吸着して保持することができ、併せて板状物の表面に付着している埃や汚れを洗浄して除去することができる板状物の吸着保持方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の板状物の吸着保持方法は、先端に弾性変形可能なスカート部を有し、後端が開閉弁を備えた管路を介して液体供給手段に連結されてなる吸着具を板状物の表面に対向配置し、液体供給手段から供給される液体を吸着具から板状物の表面に向けて吐出させつつ吸着具を板状物の表面に接近当接させてスカート部を弾性変形させ、次いで、液体の吐出を停止し、吸着具を後退させスカート部を弾性復元させて吸着具と板状物とに囲まれた空間を減圧状態にして板状物を吸着保持することを特徴とする。
【０００６】
本発明の板状物の吸着保持方法は、吸着具と板状物との当接により吸着具と板状物とに囲まれた空間に液体を閉じ込め、板状物の表面に密着しているスカート部の弾性変形を利用してこの空間に減圧状態を生じせしめて吸着具による板状物の吸着保持を実現するものである。また、本発明の板状物の吸着保持方法は、板状物の表面に向けて吐出された液体の潤滑作用によってスカート部と板状物との摩擦を回避して板状物の損傷を防止するものであり、さらに、吸着に先立って板状物の表面に向けて吐出される液体で板状物の表面にある埃や汚れを押し流して除去するものである。
【０００７】
また、本発明の板状物の吸着保持方法は、液体として洗浄効果を有する洗浄液を用いることを特徴とする。
【０００８】
本発明の板状物の吸着保持方法は、板状物の表面に吐出する液体として洗浄効果を有する洗浄液を用い、吸着に先立って板状物の表面に付着した埃や汚れをより強力に洗浄除去するものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の板状物の吸着保持方法の一例を図面を参照して説明する。
【００１０】
図１は、本発明に係る板ガラスの吸着保持方法の説明図で、１は吸着具を、２はステンレス製の導液パイプを、３は電気信号により開閉が可能な開閉弁を、４は板ガラスの表面に吐出するアルカリ性または酸性のイオン水を、Ｇは平坦な表面を有する板ガラスをそれぞれ示している。
【００１１】
本発明に使用する板状物の吸着保持装置の吸着具１は、金属製の基体の上端に開口孔１ａを、下端に合成ゴムや合成樹脂等、硬度が低く弾性力を有する材料からなる直径約５０ｍｍのスカート部１ｂを具備し、開口孔１ａは導液パイプ２を介して液体送給手段（図示省略）に連結されており、吸着具１は、導液パイプ２と一体に取り付けられ昇降手段（図示省略）により上下移動可能に構成されている。導液パイプ２には、電気信号によって開閉作動し、液体供給手段から吸着具１へイオン水４を送給あるいは停止させる開閉弁３が設けられている。
【００１２】
次に、図２により、本発明の板ガラスの吸着保持の工程を説明する。
【００１３】
まず、吸着具１をスカート部１ｂを下向きにして、差渡しがスカート部１ｂの直径より大きく、水平に載置された板ガラスＧの上方に配置し、図２（Ａ）に示すように、導液パイプ２に設けられた開閉弁３を開いて、イオン水４を液体送給手段から吸着具１の上端の開口孔１ａを介して吸着具１に加圧供給し、板ガラスＧの表面に吐出させながら昇降手段を作動させて吸着具１を下降させ板ガラスＧの表面に接近させる。このとき、吸着具１から吐出されたイオン水４が板ガラスＧ表面の中心部から周辺に向かって勢いよく流れて板ガラスＧの表面に付着している埃や汚れを押し流す。
【００１４】
さらに、図２（Ｂ）に示すように、吸着具１が板ガラスＧの表面に当接した後に吸着具１を下降させてスカート部１ｂを板ガラスＧの表面に押しつける。このとき、スカート部１ｂは弾性変形により拡径して板ガラスＧの表面を摺動するが、イオン水４がスカート部１ｂと板ガラスＧの表面との間に介在して潤滑作用を発揮するため板ガラスＧの表面が傷つくことはない。
【００１５】
この状態で、図２（Ｃ）に示すように、吸着具１の下降を停止し、導液パイプ２の開閉弁３を閉じてイオン水４の供給を停止すると、スカート部１ｂは板ガラスＧの表面に密着し、その後に吸着具１を上昇させると、スカート部１ｂが弾性復元して収縮し、吸着具１と板ガラスＧとに囲まれた空間に減圧状態が生じて板ガラスＧは吸着具１に吸着保持される。
【００１６】
板ガラスＧの吸着保持を解くときは、開閉弁３を開いて液体供給手段からイオン水４の供給を再開するとイオン水４の圧力作用で吸着具１の吸着力が失われて板ガラスＧを吸着具１から離脱させることができる。
【００１７】
上記一連の工程において、イオン水４は、板ガラスＧの表面上を流動するか、吸着具１と板ガラスＧとに囲まれた空間に止まるかのいずれかの状態にあり、この状態で、イオン水４はスカート部１ｂと板ガラスＧの表面の間に介在して潤滑作用を及ぼしスカート部１ｂと板ガラスＧとの摩擦を緩和する。また、イオン水４は板ガラスＧの表面を濡らしているため、板ガラスＧの表面に埃や汚れがこびり付くことはない。さらに、イオン水４は液体供給手段に向かって逆流することがないため、板ガラスＧの表面から剥離した埃や汚れが導液パイプ２を詰まらせる事態も生じない。
【００１８】
上記実施例において洗浄液としてイオン水を用いたが、アルコール等、洗浄効果を有する液体であれば使用可能である。
【００１９】
上記実施例では吸着具を単数使用した場合を示したが、これに限らず、複数の吸着具を使用することにより大面積の板状物の吸着保持に対応することも可能である。
【００２０】
【発明の効果】
本発明によれば、吸着具と板状物とに囲まれた空間に液体を閉じ込め、吸着具に設けたスカート部の弾性変形を利用してこの空間に減圧状態を発生させることができるため、簡単な構造によって板状物の吸着保持が可能であり、しかも、板状物の吸着に際して、板状物の表面に向けて吐出された液体が潤滑作用を及ぼすため、スカート部による板状物の表面の擦傷を防止することができ、また、板状物の表面に向けて吐出される液体で板状物の表面にある埃や汚れを押し流して除去することができる。
【００２１】
さらに、本発明によれば、板状物の表面に吐出する液体として洗浄効果を有する洗浄液を用いたので、板状物の表面に付着した埃や汚れをより強力に洗浄除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る板ガラスの吸着保持方法の説明図である。
【図２】本発明による板ガラスの吸着保持の工程を示す説明図で、（Ａ）乃至（Ｃ）は各プロセスである。
【図３】従来の板ガラスの吸着保持方法の説明図
【符号の説明】
１  吸着具
２  導液パイプ
３  開閉弁
４  イオン水
Ｇ  板ガラス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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