(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース台と、ベース台に回転自在に装着されたターンテーブルと、該ターンテーブル上に立設された複数の支柱と、各支柱の上端に連結された多角形状の連結フレームと、前記支柱間に着脱自在に固定されるターゲット支持トレイと、該支持トレイに装着されたターゲットとを備えたことを特徴とするターゲット搬送用パレット。
【請求項２】
前記ターンテーブルの回転を停止させるストッパをベース台に設けたことを特徴とする請求項１記載のターゲット搬送用パレット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術の分野】
本発明は、液晶表示用カラーフィルタ等の製造において、スパッタリング装置に付属されるターゲット搬送用パレットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、カラーフィルタの製造工程は、ガラス基板上に真空成膜法を用いてクロムを成膜する工程、フォトレジストを塗布しフォトマスクを配置して露光、現像、クロムエッチング、フォトレジスト剥離を行いストライプ状パターンあるいは格子状パターン等からなるブラック遮光層を形成する工程、ブラック遮光層の上から着色用感材を塗布した後、フォトマスクを配置し露光した後、現像を行い着色パターンを形成し、この着色パターンをＲ、Ｇ、Ｂ３色について繰り返して複数の着色層を形成する工程、これら着色層の上に酸化インジウム錫を成膜し、透明電極層（ＩＴＯ）を形成する工程からなる。前記工程のうちクロムを成膜する工程および透明電極層を形成する工程では、スパッタ法が均一な膜厚で十分な密着性を有する薄膜が比較的低温かつ高速で得られるため広く普及されている。自動化ラインにおいては、複数の搬送キャリヤにガラス基板とメタルマスクを固定し、スパッタリング装置内に搬送しスパッタリングを行っている。
【０００３】
図５は、本発明が適用されるスパッタリング装置を示し、図５（Ａ）は平面図、図５（Ｂ）は断面図である。真空成膜室１の両側壁には、複数のターゲット２が着脱自在に設置されている。ターゲット２は、バッキングプレート２ａにターゲット材２ｂがボンディングされており、ターゲット２の背面には永久磁石３が配設されている。真空成膜室１内には、複数の搬送キャリア４がターゲット２に対向する位置に搬送される。搬送キャリア４の両側面には、ガラス基板５およびメタルマスク６が固定されている。そして、真空成膜室１内を真空ポンプ７により真空とした後に、放電気体供給装置８からアルゴン等を供給し、ターゲット２に所定の電圧を印加すると、プラズマ放電により電離したガスがターゲット材２ｂ表面から原子をはじき飛ばし、対向するガラス基板５側に無機物質を成膜させる。
【０００４】
ガラス基板５への成膜が繰り返され、ターゲット材２ｂが消耗すると、真空成膜室１内の真空を解除した後、ターゲット２を交換する。ターゲット２は、バッキングプレート２ａにターゲット材２ｂがボンディングされ、複数枚のターゲット２がケース内に平置き状態で積層されている。従来は、人力によりターゲット２をケースから取り出し、これを直立状態にして真空成膜室１まで搬送し、交換を行うようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、スパッタリング装置における課題は、ターゲットの交換時間を短縮するとともに、クリーンルーム内における交換作業スペースを縮小し、クリーン化コストを下げることにある。しかしながら、近年、液晶表示用カラーフィルタの大型化に伴うガラス基板の大型化に対応するため、スパッタリング装置も大型化し、必然的に原材料であるターゲットも高さ約２ｍと大型化しかつ重量も約１００ｋｇと増大している。このため、人力によりケースからターゲットを取り出し、これを水平状態から直立状態にすることはもはや不可能であり、仮に、直立機構を備える装置を設置したとしても、クリーンルーム内における交換に伴う作業スペースが増大するとともに、ターゲットの交換時間が増大するという問題を生じている。
【０００６】
本発明は、上記従来の問題を解決するものであって、ターゲットの交換作業を容易にかつ交換時間を短縮させることができるとともに、クリーンルーム内における交換に伴う作業スペースを縮小させることができるターゲット搬送用パレットを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
そのために本発明のターゲット搬送用パレットは、ベース台１１と、ベース台１１に回転自在に装着されたターンテーブル１２と、ターンテーブル１２上に立設された複数の支柱１３と、各支柱１３の上端に連結された多角形状の連結フレーム１４と、前記支柱１３、１３間に着脱自在に固定されるターゲット支持トレイ１６と、該支持トレイ１６に装着されたターゲット２とを備えたことを特徴とする。なお、上記構成に付加した番号は、本発明の理解を容易にするために図面と対比させるものであり、これにより本発明の構成が何ら限定されるものではない。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。図１〜図３は、本発明のターゲット搬送用パレットの１実施形態を示し、図１（Ａ）は正面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。なお、本発明は図５で説明したスパッタリング装置に適用されるものである。
【０００９】
図１（Ａ）において、ターゲット搬送用パレット１０は、ベース台１１と、ベース台１１に回転自在に装着されたターンテーブル１２と、ターンテーブル１２上に立設、固定された６本の支柱１３と、支柱１３の上端に連結された六角形状の連結フレーム１４と、支柱１３の下部に固定されたガイド部材１５とから構成され、支柱１３、１３間にターゲット支持トレイ１６が固定され、支持トレイ１６にターゲット２が装着されている。なお、このターゲット搬送用パレット１０は、ターゲット２を装着できる面が６面あり、そのうち図１（Ａ）の正面図では３面が描かれ、正面だけにターゲット２が装着され、ターゲット２が装着された正面の右側および左側の面にはターゲットが装着されていない。
【００１０】
ターゲット支持トレイ１６は、図１（Ｂ）にも示すように、左右一対のサイドパイプ１７と、サイドパイプ１７間に固定された背面プレート１８とを備え、両サイドパイプ１７には上下２箇所に固定部材１９が固定され、背面プレート１８には受け部材２０が固定されている。ターゲット２は、バッキングプレート２ａとこれにボンディングされたターゲット材２ｂからなり、バッキングプレート２ａ側を受け部材２０に当接させ、ターゲット材２ｂ側を緩衝材２１を介して押さえ板２２で押さえ、押さえ板２２の両側を、ハンドル２３により回動されるネジ２４を固定部材１９内に螺合させることにより、ターゲット２を支持トレイ１６に固定している。
【００１１】
図２（Ａ）は図１（Ｂ）のＣ部の拡大図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。支持トレイ１６の固定部材１９の上部には、固定用プレート１６ｃが設けられ、この固定用プレート１６ｃは、支柱１３に設けられた押ネジ付受金具１３ａに係合され、押ネジ１３ｂにより完全に締結される。そして、図２（Ｂ）に示すように、プレート１６ｃの断面形状がＬ字形状にされているため、締結後は搬送中の振動等により脱落することがない。
【００１２】
図３（Ａ）は、図１（Ａ）の平面図、図３（Ｂ）は図１（Ｂ）の側面図、図３（Ｃ）は図３（Ｂ）の正面図である。図３（Ａ）には、図１で説明したベース台１１、ターンテーブル１２、支柱１３、連結フレーム１４、ガイド部材１５が示され、ベース台１１上には、ターンテーブル１２を回転、停止させるためのストッパ２５が配設されている。本実施形態においては、支柱１３により形成された６角形の面に６つのターゲット支持トレイ１６が着脱自在に取り付けられることになる。
【００１３】
図３（Ｂ）および図３（Ｃ）に示すように、ターゲット支持トレイ１６の上端にはリング１６ａが設けられ、リング１６ａにホイスト（図示せず）のワイヤ２６に取り付けられたフック２７を連結することにより、ホイストの操作により支持トレイ１６をパレット１０に着脱することができる。また、支持トレイ１６の下端には係合ピン１６ｂが設けられ、この係合ピン１６ｂは、ターンテーブル１２に形成された係合穴に係合可能にされ、前述の如く、支持トレイ１６の上部ににはＬ字状の固定プレート１６ｃが設けられ、このＬ字状のプレート１６ｃは、支柱１３に設けられた受金具１３ａに係合され、回動可能な押ネジ１３ｂにより固定可能にされている。
【００１４】
図４は、上記構成からなるターゲット搬送用パレットを用いたターゲットの交換を説明するための図であり、図４（Ａ）は斜視図、図４（Ｂ）は作用を説明するための図である。
【００１５】
真空成膜室１の近傍には、本発明のターゲット搬送用パレット１０が載置され、また、真空成膜室１に跨るようにしてホイスト装置３０が設置されている。ホイスト装置３０は真空成膜室１に沿ってＸ方向に移動可能にされ、また、ホイスト装置３０には、ロッド３１によりＺ方向に上下可能にされるとともに、Ｙ方向に回転可能にされる吊り装置３２が設けられている。さらに吊り装置３２には、水平方向に延びる一対の吊り具３２ａ、３２ｂが設けられている。
【００１６】
ターゲット２を交換する場合には、ホイスト装置３０をパレット１０まで移動させて、新しいターゲット２NEWのトレイ１６を吊り具３２ａにより吊った後、真空成膜室１の所定のターゲット位置まで搬送し、ここで消耗したターゲットOLDを取り外して吊り具３２ｂに吊られたトレイ１６に固定し、次に、吊り装置３２をＹ方向に回転させて、新しいターゲット２NEWを真空成膜室１に取り付ける。交換の終わった消耗ターゲット２OLDは、ホイスト装置３０によりパレット１０に搬送されパレット１０に装着される。次に、パレット１０のターンテーブル１２を回転させストッパ２５により所定の位置で停止させ、上記作業を繰り返す。以上のようにして、ターゲット２を縦置き状態のままで効率よく交換することが可能となる。
【００１７】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく種々の変更が可能である。例えば、上記実施形態に支柱を六角形状に配設しているが、これに限定されるものではなく、多角形状であればよい。
【００１８】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ターゲットの交換作業を容易にかつ交換時間を短縮させることができるとともに、クリーンルーム内における交換に伴う作業スペースを縮小させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のターゲット搬送用パレットの１実施形態を示し、図１（Ａ）は正面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図２】図２（Ａ）は図１（Ｂ）のＣ部の拡大図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図３】図３（Ａ）は、図１（Ａ）の平面図、図３（Ｂ）は図１（Ｂ）の側面図、図３（Ｃ）は図３（Ｂ）の正面図である。
【図４】本発明のターゲット搬送用パレットを用いたターゲットの交換を説明するための図である。
【図５】本発明が適用されるスパッタリング装置を示し、図５（Ａ）は平面図、図５（Ｂ）は断面図である。
【符号の説明】
２…ターゲット
１１…ベース台
１２…ターンテーブル
１３…支柱
１４…連結フレーム
１６…ターゲット支持トレイ
２５…ストッパ
【図１】
0004315357.tif 000002
【図２】
0004315357.tif 000003
【図３】
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【図４】
0004315357.tif 000005
【図５】
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