(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の被検査体に臨ませて配置され、該被検査体の検査領域からの光束の２倍の変倍を行うレンズと、
前記レンズの後方に配設され、前記レンズの径より長いＣＣＤラインセンサであって、前記ＣＣＤラインセンサの前記レンズの光軸に直角方向の投影長さが、当該レンズ径に略相当する寸法となるように、傾斜配置されたＣＣＤラインセンサと、
前記レンズとライン型撮像素子との間に配置され、前記レンズからライン型撮像素子に至る光束を曲折して前記ライン型撮像素子の長さに合わせるためのプリズムと、
を具備する撮像部を、
前記ＣＣＤラインセンサのライン方向に複数個数列設したことを特徴とする撮像検査装置。
【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】
本発明は、撮像検査装置に関し、詳しくは、液晶（ＬＣＤ）板、プリント基板等の平板状の被検査体の精密検査に用いられる撮像検査装置に関するものである。
【従来の技術】
従来、液晶板、プリント基板等の被検査体の精密検査に用いられる撮像検査装置として、図３に示すものが知られている。
図３に示す撮像検査装置２２は、液晶板のような平板状の被検査体２０の上方に、複数台（５台、１０台等）の撮像部２３を列設して、各撮像部２３により被検査体２０の各撮像領域２１を撮像し、各撮像領域２１の画像を取得して検査を行うものである。
この撮像検査装置２２の撮像部２３は、レンズ２４と、多数のＣＣＤ素子を直線状に列設したＣＣＤラインセンサ２５とを組み合わせて構成され、レンズ２４により撮像領域２１からの光束を２倍に変倍してＣＣＤラインセンサ２５に入射するように構成している。
ＣＣＤラインセンサ２５は、例えば７μｍ／ピクセルの大きさのＣＣＤ素子を７５００個列設したものであり、その全長は略５５ｍｍ程度、また、前記被検査体２０の撮像領域２１は、３．５μｍの分解能を得るため３．５μｍ×７５００個＝２６．５（ｍｍ／台）に設定される。
この結果、この撮像検査装置２２の場合、大寸法の被検査体２０を一度に検査できるという利点は有するものの、各撮像部２３を被検査体２０の各撮像領域２１の上方に配置した場合、図３に示すように、隣り合う撮像部２３による撮像可能な領域（撮像領域２１）の間に、撮像不能領域２６ができてしまい、これにより、被検査体２０の全領域を撮像することができなくなるという不都合が生じる。
図４は、従来の他例を示すものであり、図４に示す撮像検査装置３２は、上述した撮像検査装置２２の各撮像部２３を互いに近付け、図３に示すような撮像不能領域２６が生じないように構成したものである。
しかし、この構成では、隣り合う撮像部２３による撮像領域２１の一部がダブって撮像される干渉状態が生じて被検査体２０に対する精密検査ができなくなるという問題がある。
図５は、従来の更に別の例を示すもので、従来の一台構成の撮像検査装置３２の撮像動作の平面状を示す説明図であり、この場合には、撮像検査装置３２の撮像部２３による撮像領域２１が既述したように２６．５ｍｍと小さいため、図５に点線で示すように、撮像部２３をクランク状に往復走査しなければならず、大寸法の被検査体２０を検査する場合、多くの撮像時間を要するという問題がある。
【発明が解決しようとする課題】
上述したように従来においては、撮像不能領域が生じたり、撮像領域の撮像にダブリが生じたり、多くの撮像時間を要したりという各種の不都合があり、迅速、且つ、高精度に被検査体の撮像検査を行うことが困難であった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、大寸法の被検査体の場合においても、その撮像領域の撮像検査を迅速、且つ、高精度に実行することが可能な撮像検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明に係る撮像検査装置は、平板状の被検査体に臨ませて配置され、該被検査体の検査領域からの光束の２倍の変倍を行うレンズと、前記レンズの後方に配設され、前記レンズの径より長いＣＣＤラインセンサであって、前記ＣＣＤラインセンサの前記レンズの光軸に直角方向の投影長さが、当該レンズ径に略相当する寸法となるように、傾斜配置されたＣＣＤラインセンサと、前記レンズとライン型撮像素子との間に配置されて、前記レンズからライン型撮像素子に至る光束を曲折して前記ライン型撮像素子の長さに合わせるためのプリズムと、を具備する撮像部を、前記ＣＣＤラインセンサのライン方向に複数個数列設したことを特徴とする撮像検査装置。
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は本発明の実施の形態の撮像検査装置を示すものであり、この撮像検査装置１は、例えば液晶板のような平板状の被検査体１０の上方に臨ませて列設配置した複数個（２個、１０個、５０個等）の撮像部２と、この複数個の撮像部２に並設された照明部８とを有している。
前記各撮像部２は、図２に示すように、被検査体１０の検査領域１０ａからの光束の２倍の変倍を行う変倍素子であるレンズ４と、このレンズ４の後方に、レンズ４の径より長いＣＣＤラインセンサであって、このＣＣＤラインセンサの前記レンズ４の光軸に直角方向の投影長さが、このレンズ４のレンズ径に略相当する寸法となるように、傾斜配置されたＣＣＤラインセンサ５と、レンズ４からの光束を、曲折してＣＣＤラインセンサ５の長さに合わせるための光束曲折素子であるプリズム６と、これらレンズ４、ＣＣＤラインセンサ５及びプリズム６を固定保持するケーシング７から構成されている。
前記ＣＣＤラインセンサ５は、例えば７μｍ／ピクセルの大きさのＣＣＤ素子を７５００個列設したものであり、本実施の形態の場合、前記被検査体１０の検査領域１０ａの寸法は、３．５μｍの分解能を得るため、３．５μｍ×７５００個＝２６．５（ｍｍ／台）に設定される。また、前記レンズ４は、前記検査領域１０ａからの光束の２倍の変倍を行って前記プリズム６を介してＣＣＤラインセンサ５に入射するようになっている。
また、前記レンズ４は、前記検査領域１０ａからの光束の２倍の変倍を行って前記プリズム６を介してＣＣＤラインセンサ５に入射するようになっている。
次に、本実施の形態の撮像検査装置１の作用を説明する。
この撮像検査装置１によれば、ＣＣＤラインセンサ５を、レンズ４後方において、前述のごとく傾斜配置するとともに、レンズ４とＣＣＤラインセンサ５との間にプリズム６を配置した構成の撮像部２を、ＣＣＤラインセンサ５のライン方向に複数個数列設したものであるから、図２に示すように、隣り合う各撮像部２を互いに密接状態で列設でき、この結果、各撮像部２が撮像する被検査体１０の検査領域１０ａ間に前述した従来例のような隙間が生じることなく、且つ、撮像する検査領域１０ａにダブリが生じることもなく、これにより、大寸法の被検査体１０の場合においても、その各検査領域１０ａの撮像検査を一回の撮像走査により迅速、且つ、高精度に実行することが可能となる。
また、複数個の撮像部２に並設された照明部８の構成も、上述した撮像部２の構成により簡略化できる。
【発明の効果】
以上詳述した請求項１記載の発明によれば、前述のように構成の撮像部を、ＣＣＤラインセンサのライン方向に複数個数列設したことによって、隣り合う撮像部を互いに密接状態で列設でき、各撮像部により撮像する被検査体の検査領域間に隙間（撮像不能領域）が生じることなく、且つ、撮像する検査領域にダブリが生じることもなく、これにより、大寸法の被検査体の場合においても、その検査領域の撮像検査を迅速、且つ、高精度に実行することが可能な撮像検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態の撮像検査装置の概略平面図である。
【図２】  本発明の実施の形態の撮像検査装置における撮像部の概略断面図である。
【図３】  従来の撮像検査装置の概略正面図である。
【図４】  従来の撮像検査装置の他例の概略正面図である。
【図５】  従来の撮像検査装置の更に別の例の撮像動作を示す説明図である。
【符号の説明】
１    撮像検査装置
２    撮像部
２Ａ  撮像部
３    ＣＣＤラインセンサ
４    レンズ
５    ＣＣＤラインセンサ
５ａ  ＣＣＤラインセンサ
６    プリズム
７    ケーシング
８    照明部
１０    被検査体
１０ａ  検査領域
【図１】
0004236865.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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