(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を収容したケースを次工程にある複数の処理ラインのそれぞれに搬送する搬送手段と、前記ケースを選別するための選別手段と、前記選別手段の出力信号に基づいて前記搬送手段の駆動を制御する制御手段とを備え、前記ケースを所望の処理ラインに向けて搬送するように選別を行なう選別装置であって、
前記選別手段は、発光素子および受光素子をもつ反射型の光センサと、前記発光素子から出射された光を前記受光素子に向けて反射し得ると共に前記ケースに対して着脱自在に取付けられた光反射部材とを有し、
前記光反射部材は、略直交する２つの平面により形成された光反射板と、前記光反射板の非反射面側において所定間隔をおいて配置された非反射板と、前記光反射板と非反射板とを接続する接続部材とからなることを特徴とする選別装置。
【請求項２】
前記非反射板は、前記光反射板と相似形状をなし、前記接続部材は、前記光反射板の２つの平面が交差する稜線の略中間領域において前記稜線に直交する方向に伸長するように形成されていることを特徴とする請求項１記載の選別装置。
【請求項３】
前記選別手段が、上下方向において、下側に配置された第１選別手段と、上側に配置された第２選別手段とからなり、前記第１選別手段は、発光素子および受光素子をもつ反射型の第１光センサと、この発光素子から出射された光を受光素子に向けて反射し得ると共に前記ケースに対して着脱自在に取付けられた背丈の低い光反射部材とにより構成され、前記第２選別手段は、発光素子および受光素子をもつ反射型の第２光センサと、この発光素子から出射された光を受光素子に向けて反射し得ると共に前記ケースに対して着脱自在に取付けられた背丈の高い光反射部材とにより構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の選別装置。
【請求項４】
被処理体を収容したケースを次工程にある複数の処理ラインのそれぞれに搬送する搬送手段と、前記ケースを選別するための選別手段と、前記選別手段の出力信号に基づいて前記搬送手段の駆動を制御する制御手段とを備え、前記ケースを所望の処理ラインに向けて搬送するように選別を行なう選別装置であって、
前記選別手段は、発光素子および受光素子をもつ透過型の光センサと、前記光センサの光を遮断し得ると共に前記ケースに対して着脱自在に取付けられた光遮断部材とを有し、
前記光遮断部材は、略直交する２つの平面により形成された光遮断板と、前記光遮断板の非遮断面側において所定間隔をおいて配置された非遮断板と、前記光遮断板と非遮断板とを接続する接続部材とからなることを特徴とする選別装置。
【請求項５】
前記非遮断板は、前記光遮断板と相似形状をなし、前記接続部材は、前記光遮断板の２つの平面が交差する稜線の略中間領域において前記稜線に直交する方向に伸長するように形成されていることを特徴とする請求項４記載の選別装置。
【請求項６】
前記選別手段が、上下方向において、下側に配置された第１選別手段と、上側に配置された第２選別手段とからなり、前記第１選別手段は、発光素子およびこの発光素子と直線上に並ぶように配置された受光素子をもつ透過型の第１光センサと、この発光素子から受光素子に向けて出射された光を遮断し得ると共に前記ケースに対して着脱自在に取付けられた背丈の低い光反射部材とにより構成され、前記第２選別手段は、発光素子およびこの発光素子と直線上に並ぶように配置された受光素子をもつ透過型の第２光センサと、この発光素子から受光素子に向けて出射された光を遮断し得ると共に前記ケースに対して着脱自在に取付けられた背丈の高い光反射部材とにより構成されていることを特徴とする請求項４または５に記載の選別装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ケースに収納された被処理体をケースごと選別して、後続の処理ラインに選択的に搬送する際に用いられる選別装置に関し、特に、ガラス基板にＳｉＯ2 膜、ＩＴＯ膜（透明導電膜）等を形成する複数の成膜ラインに対して、ガラス基板を収容したケースを選択的に搬送する際の選別に用いられる選別装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電卓、時計、タイマー等の表示部、あるいは、デジタルカメラ等の液晶表示部又はコンピュータに接続された入力用のタッチパネル等として用いられるＩＴＯガラス基板の製造に際しては、洗浄装置、選別装置、搬送装置、成膜装置等により構成される製造ラインが用いられている。
【０００３】
この製造ラインにおいては、先ず原料であるガラス基板を受け入れた後、梱包を解いて抜き取り検査を行ない、それぞれのサイズに合ったカセットにガラス基板を立てた状態で詰める。そして、このガラス基板を詰めたカセットを洗浄装置に送り、ガラス基板の洗浄を行なう。この洗浄工程では、カセットごと洗浄槽に漬けて超音波によりガラス基板の表面に付着した汚れを落とし、水道水、純水等でリンスし、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）で置換し、最後にＩＰＡの蒸気で乾燥させる。
【０００４】
この洗浄工程が終了すると、選別装置により、ガラス基板のサイズに応じてカセットの搬送先を選別し、複数の成膜ラインからなる成膜装置へ送り出す。この選別工程では、高さセンサを用いて、カセットに詰められたガラス基板が高さセンサを横切るか否かにより選別している。すなわち、大きいガラス基板を収容するカセットと、小さいガラス基板を収容するカセットとを選別して、対応する成膜ラインに向けて搬送するものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来の製造ラインにおける選別装置では、カセットに収容されたガラス基板の高さ寸法により選別していたため、大きいガラス基板を収容するカセットと小さいガラス基板を収容するカセットとは、常に異なる成膜ラインに振り分けられることになる。したがって、それぞれの成膜ラインの稼働状況に応じて、一方の成膜ラインに向けて、大きいガラス基板を収容するカセットと小さいガラス基板を収容するカセットとの両方を搬送することができない。
【０００６】
また、ガラス基板の寸法が近似している場合は、高さセンサによる検出方法では誤検出を招く場合がある。この誤検出により、本来の成膜ラインと違う成膜ラインに向けて搬送されると、作業者がこの誤搬送されたカセットを運んで所望の成膜ラインに持ち込まなければならず、手間が掛かるのは勿論のこと、作業者が運ぶ際に、ガラス基板に埃等が付着する虞がある。
【０００７】
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて成されたものであり、その目的とするところは、ガラス基板等の被処理体を収容したケースを、次工程の複数の処理ラインのいずれかに向けて選別して搬送する際に、作業者の判断により予め所望の処理ラインを選択し、その処理ラインに向けてケースすなわち被処理体を確実に選別でき、誤検出等を防止できる選別装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記の目的を達成するべく鋭意検討を重ねた結果、以下の如き構成をなす発明を見出すに至った。
すなわち、本発明の選別装置は、被処理体を収容したケースを次工程にある複数の処理ラインのそれぞれに搬送する搬送手段と、ケースを選別するための選別手段と、この選別手段の出力信号に基づいて搬送手段の駆動を制御する制御手段とを備え、ケースを所望の処理ラインに向けて搬送するように選別を行なう選別装置であって、上記選別手段は、発光素子及び受光素子をもつ反射型の光センサと、この発光素子から出射された光を受光素子に向けて反射し得ると共にケースに対して着脱自在に取付けられた光反射部材と、を有することを特徴としている。
この構成によれば、作業者が光反射部材を取付けたケースは、所定の位置に達した時に光センサの発光素子から出射された光を反射して受光素子に送る。すると、この光センサから出力信号が発せられ、制御手段がこの信号を受信する。そして、制御手段がこの受信信号に基づいた制御信号を搬送手段に送って搬送手段の駆動を制御し、このケースを所定の処理ラインに向けて搬送する。
【０００９】
上記構成において、光反射部材は、略直交する２つの平面により形成された光反射板と、この光反射板の非反射面側において所定間隔をおいて配置された非反射板と、光反射板と非反射板とを接続する接続部材とからなる、構成を採用することができる。
この構成によれば、被処理体を収容したケースが略直方体の輪郭をなし、４隅部すなわちコーナ部に直交するフレームあるいは側壁を有するような場合に、このコーナ部のフレームあるいは側壁を、光反射板と非反射板との間に挟み込むようにして、光反射部材がケースに取付けられる。これにより、光反射部材は取付け後の位置ずれが防止される。
【００１０】
また、上記構成において、非反射板は光反射板と相似形状をなし、接続部材は光反射板の２つの平面が交差する稜線の略中間領域において稜線に直交する方向に伸長するように形成された構成を採用することができる。
この構成によれば、被処理体を収容したケースが略直方体の輪郭をなし、４隅部すなわちコーナ部に直交するフレームあるいは側壁を有するような場合に、このコーナ部のフレームあるいは側壁を、光反射板と非反射板との間に挟み込むようにして、光反射部材がケースに取付けられる。これにより、光反射部材は取付け後の位置ずれが防止される。また、光反射板は略直交する２つの平面により形成され、かつ、接続部材が略中間部に配置されていることから、光反射部材を上下逆さまにして取り付けることも可能である。
【００１１】
また、本発明の選別装置は、被処理体を収容したケースを次工程にある複数の処理ラインのそれぞれに搬送する搬送手段と、ケースを選別するための選別手段と、この選別手段の出力信号に基づいて搬送手段の駆動を制御する制御手段とを備え、ケースを所望の処理ラインに向けて搬送するように選別を行なう選別装置であって、上記選別手段は、発光素子及び受光素子をもつ透過型の光センサと、この光センサの光を遮断し得ると共にケースに対して着脱自在に取付けられた光遮断部材と、を有することを特徴としている。
この構成によれば、作業者が光遮断部材を取付けたケースは、所定の位置に達した時に光センサの光を遮る。すると、この光センサから出力信号が発せられ、制御手段がこの信号を受信する。そして、制御手段がこの受信信号に基づいた制御信号を搬送手段に送って搬送手段の駆動を制御し、このケースを所定の処理ラインに向けて搬送する。
【００１２】
上記構成において、光遮断部材は、略直交する２つの平面により形成された光遮断板と、この光遮断板の非遮断面側において所定間隔をおいて配置された非遮断板と、光遮断板と非遮断板とを接続する接続部材とからなる、構成を採用することができる。
この構成によれば、被処理体を収容したケースが略直方体の輪郭をなし、４隅部すなわちコーナ部に直交するフレームあるいは側壁を有するような場合に、このコーナ部のフレームあるいは側壁を、光遮断板と非遮断板との間に挟み込むようにして、光遮断部材がケースに取付けられる。これにより、光遮断部材は取付け後の位置ずれが防止される。
【００１３】
また、上記構成において、非遮断板は光遮断板と相似形状をなし、接続部材は光遮断板の２つの平面が交差する稜線の略中間領域において稜線に直交する方向に伸長するように形成された構成を採用することができる。
この構成によれば、被処理体を収容したケースが略直方体の輪郭をなし、４隅部すなわちコーナ部に直交するフレームあるいは側壁を有するような場合に、このコーナ部のフレームあるいは側壁を、光遮断板と非遮断板との間に挟み込むようにして、光遮断部材がケースに取付けられる。これにより、光遮断部材は取付け後の位置ずれが防止される。また、光遮断板は略直交する２つの平面により形成され、かつ、接続部材が略中間部に配置されていることから、光遮断部材を上下逆さまにして取り付けることも可能である。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、添付図面に基づき説明する。
図１は本発明に係る選別装置により選別される被処理体としてのガラス基板を収容するカセットを示す斜視図であり、図２はガラス基板を収容したカセットを入れる洗浄カゴを示す斜視図であり、図３は本発明に係る選別装置の構成図であり、図４は光反射部材及び光遮断部材を示す斜視図であり、図５は光反射部材及び光遮断部材を洗浄カゴに取り付けた状態を示す斜視図であり、図６は選別装置の動作を説明するための図である。
【００１５】
この選別装置は、電卓、時計、タイマー、デジタルカメラ等の液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、面発熱体、コンピュータに接続された入力用のタッチパネル等として用いられるＩＴＯガラス基板を製造する製造ラインにおいて適用されるものである。
【００１６】
この選別装置を備えた製造ラインにおいては、先ず原料であるガラス基板を受け入れた後、梱包を解いて抜き取り検査を行ない、それぞれのサイズに合ったカセットにガラス基板を立てた状態で詰める。そして、このガラス基板を詰めたカセットを洗浄カゴに入れて洗浄装置に送り、ガラス基板の洗浄を行なう。この洗浄工程では、カセット及び洗浄カゴごと洗浄槽に漬けて、超音波によりガラス基板の表面に付着した汚れを落とし、水道水、純水等でリンスし、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）で置換し、最後にＩＰＡの蒸気で乾燥させる。
【００１７】
この洗浄工程が終了すると、選別装置３０により、ガラス基板のサイズあるいは次工程の処理状況に応じてカセットの搬送先を選別し、搬送手段４０を経由して、複数の成膜ラインからなる成膜装置のそれぞれの成膜ラインに向けて選択的に送り出す。
【００１８】
ところで、洗浄工程の前に、被処理体としてのガラス基板を収容するケースとしてのカセット１００は、図１に示すように、全体が略直方体あるいは長方体の輪郭をなし、相対向するように配置された樹脂材料からなる２つの支持板１０１と、この両支持板１０１を連結する４本のフレーム１０２とにより構成されている。この支持板１０１には、ガラス基板Ｗを立てた状態で所定間隔をあけて配列させるための複数の支持溝１０１ａが形成されている。
【００１９】
また、洗浄工程の際に用いるケースとしての洗浄カゴ１１０は、ガラス基板Ｗを収容したカセット１００を入れるものであり、図２に示すように、上側においてカセット１００の出し入れを行なうための開口部を画定する上側フレーム１１１と、カセット１００を支持する底部を画定する下側フレーム１１２と、これらの上側フレーム１１１と下側フレーム１１２とを連結する縦フレーム１１３とにより構成されている。尚、これら上側フレーム１１１、下側フレーム１１２、及び縦フレーム１１３は、円筒状のステンレス製パイプにより形成されている。
【００２０】
上記選別装置３０は、図３に示すように、被処理体であるガラス基板Ｗを収容したケースすなわち洗浄カゴ１１０を次工程にある複数の処理ラインすなわち成膜ラインのそれぞれに向けて搬送する搬送手段としてのベルトコンベア４０と、洗浄カゴ１１０を選別するための選別手段１３０と、この選別手段１３０の出力信号に基づいてベルトコンベア４０の駆動を制御する制御手段としてのマイクロコンピュータ等からなる制御部１６０等を備えている。
【００２１】
ここで、選別手段１３０は、上下方向において、下側に配置された第１選別手段１３０ａと、上側に配置された第２選別手段１３０ｂとからなる。そして、第１選別手段１３０ａは、発光素子１４１ａ及び受光素子１４２ａをもつ反射型の第１光センサ１４０ａと、この発光素子１４１ａから出射された光を受光素子１４２ａに向けて反射し得ると共に洗浄カゴ１１０に対して着脱自在に取付けられた背丈の低い光反射部材１５０ａとにより構成されている。また、第２選別手段１３０ｂは、発光素子１４１ｂ及び受光素子１４２ｂをもつ反射型の第２光センサ１４０ｂと、この発光素子１４１ｂから出射された光を受光素子１４２ｂに向けて反射し得ると共に洗浄カゴ１１０に対して着脱自在に取付けられた背丈の高い光反射部材１５０ｂとにより構成されている。
【００２２】
この光反射部材１５０（１５０ａ，１５０ｂ）は、光を効率良く反射する材料により形成されており、図４に示すように、略直交する２つの平面１５１ａ，１５１ｂにより形成された光反射板１５１と、この光反射板１５１の非反射面１５１ｃ側において所定間隔をおいて配置された非反射板１５２と、光反射板１５１と非反射板１５２とを接続する接続部材１５３とにより構成されている。
ここで、非反射板１５２は、光反射板１５１と相似形状をなすように形成されており、接続部材１５３は、光反射板１５１の２つの平面１５１ａ，１５１ｂが交差する稜線Ｌの略中間領域において稜線Ｌに直交する方向に伸長するように形成されている。
また、背丈の低い光反射部材１５０ａと背丈の高い光反射部材１５０ｂとは、上記光反射板１５１の稜線Ｌ方向における長さを異ならせて形成されている。
【００２３】
上記のような構成をなす光反射部材１５０は、図５に示すように、洗浄カゴ１１０の上側の４隅部（コーナ部）のうち一つのコーナ部に装着される。すなわち、コーナ部の直交する２つの上側フレーム１１１及び縦フレーム１１３を、光反射板１５１と非反射板１５２との間に挟み込むようにして、光反射部材１５０を上方から外嵌し、略中間部に配置された接続部材１５３の下端面を上側フレーム１１１の上面に当接させる。これにより、光反射部材１５０は、洗浄カゴ１１０に対して確実に固定され、又、直交する２つの面１５１ａ，１５１ｂをもつような断面Ｌ字形状に形成されていることから、取付け後の位置ずれを確実に防止することができる。
【００２４】
上記ベルトコンベア４０は、選別手段１３０により選別する洗浄カゴ１１０を載置して搬送するメインベルトコンベア４０ａと、選別手段１３０により選別されたそれぞれの洗浄カゴ１１０を、第１の成膜ラインに向けて搬送する第１ベルトコンベア４０ｂと、第２の成膜ラインに向けて搬送する第２ベルトコンベア４０ｃと、第３の成膜ラインに向けて搬送する第３ベルトコンベア４０ｄと、により構成されている。
【００２５】
次に、上記選別装置３０の動作を説明する。
前工程としての洗浄工程が終了した後、作業者が背丈の低い光反射部材１５０ａを洗浄カゴ１１０に取り付けた場合、この洗浄カゴ１１０がメインベルトコンベア４０ａにより搬送されて所定の位置に達すると、図６に示すように、第１光センサ１４０ａの発光素子１４１ａから出射された光が、この光反射部材１５０ａにより受光素子１４２ａに向けて反射される。すると、第１光センサ１４０ａから制御部１６０に信号が送られ、この信号に基づいて制御部１６０から第１ベルトコンベア４０ｂに制御信号が送られる。これにより、上記洗浄カゴ１１０は、第１ベルトコンベア４０ｂを介して第１の成膜ラインに向けて搬送されることになる。
【００２６】
また、前工程としての洗浄工程が終了した後、作業者が背丈の高い光反射部材１５０ｂを洗浄カゴ１１０に取り付けた場合、この洗浄カゴ１１０がメインベルトコンベア４０ａにより搬送されて所定の位置に達すると、図６に示すように、第１光センサ１４０ａの発光素子１４１ａから出射された光が、この光反射部材１５０ｂにより受光素子１４２ａに向けて反射され，又、第２光センサ１４０ｂの発光素子１４１ｂから出射された光が、この光反射部材１５０ｂにより受光素子１４２ｂに向けて反射される。すると、第１光センサ１４０ａ及び第２光センサ１４０ｂから制御部１６０に信号が送られ、この信号に基づいて制御部１６０から第２ベルトコンベア４０ｃに制御信号が送られる。これにより、上記洗浄カゴ１１０は、第２ベルトコンベア４０ｃを介して第２の成膜ラインに向けて搬送されることになる。
【００２７】
さらに、前工程としての洗浄工程が終了した後、作業者が光反射部材１５０（１５０ａ，１５０ｂ）を洗浄カゴ１１０に取り付けなかった場合、この洗浄カゴ１１０がメインベルトコンベア４０ａにより搬送されて所定の位置に達しても、第１光センサ１４０ａ及び第２光センサ１４０ｂの発光素子１４１ａ，１４１ｂから出射された光のいずれも、対応する受光素子１４２ａ，１４２ｂに向けて反射されない。このとき、制御部１６０は、第１光センサ１４０ａ及び第２光センサ１４０ｂのいずれからも信号が送られなかったことを判断する。そして、この判断に基づき、制御部１６０から第３ベルトコンベア４０ｄに制御信号が送られる。これにより、上記洗浄カゴ１１０は、第３ベルトコンベア４０ｄを介して第３の成膜ラインに向けて搬送されることになる。
【００２８】
以上のように、背丈の異なる２つの光反射部材１５０（１５０ａ，１５０ｂ）のどちらかを取り付ける場合と、何も取り付けない場合との３パターンにより、作業者の判断に応じて、ガラス基板を入れた洗浄カゴ１１０を、それぞれの成膜ラインに選択的に選別し搬送することができる。
これにより、従来のような誤選別を防止でき、成膜ラインの稼働状況に応じて適宜搬送先を決定することができ、生産効率を向上させることができる。
【００２９】
尚、上記実施形態においては、３つの成膜ラインに向けて洗浄カゴ１１０を選別する構成を示したが、これに限定されるものではなく、例えば、２つの成膜ラインに向けて振り分ける場合は、一つの光反射部材１５０を取り付ける場合と取り付けない場合との２パターンにより選別するようにしてもよい。また、光反射部材１５０を取り付ける場所は、洗浄カゴ１１０に限るものではなく、カセット１００に対して取り付けるようにしてもよい。
【００３０】
図７は、本発明に係る選別装置の他の実施形態を示すものである。尚、この実施形態では、光センサとして透過型の光センサを用い、前述の実施形態で用いた光反射部材に代えて光遮断部材を用いるものであり、その他は前述の実施形態と同様である。したがって、前述実施形態と同様の構成については説明を省略する。
【００３１】
この実施形態に係る選別装置２３０は、図７に示すように、被処理体であるガラス基板Ｗを収容したケースすなわち洗浄カゴ１１０を次工程にある複数の処理ラインすなわち成膜ラインのそれぞれに向けて搬送する搬送手段としてのベルトコンベア４０と、洗浄カゴ１１０を選別するための選別手段３３０と、この選別手段３３０の出力信号に基づいてベルトコンベア４０の駆動を制御する制御手段としてのマイクロコンピュータ等からなる制御部３６０と等を備えている。
【００３２】
ここで、選別手段３３０は、上下方向において、下側に配置された第１選別手段３３０ａと、上側に配置された第２選別手段３３０ｂとからなる。そして、第１選別手段３３０ａは、発光素子３４１ａ及びこの発光素子３４１ａと直線上に並ぶように配置された受光素子３４２ａをもつ透過型の第１光センサ３４０ａと、この発光素子３４１ａから受光素子３４２ａに向けて出射された光を遮断し得ると共に洗浄カゴ１１０に対して着脱自在に取付けられた背丈の低い光遮断部材３５０ａとにより構成されている。また、第２選別手段３３０ｂは、発光素子３４１ｂ及びこの発光素子３４１ｂと直線上に並ぶように配置された受光素子３４２ｂをもつ透過型の第２光センサ３４０ｂと、この発光素子３４１ｂから受光素子３４２ｂに向けて出射された光を遮断し得ると共に洗浄カゴ１１０に対して着脱自在に取付けられた背丈の高い光反射部材３５０ｂとにより構成されている。
【００３３】
この光反射部材３５０（３５０ａ，３５０ｂ）は、光を効率良く遮断する材料により形成されており、基本的な構成は前述光反射部材１５０と同様であり、図４に示すように、略直交する２つの平面３５１ａ，３５１ｂにより形成された光遮断板３５１と、この光遮断板３５１の非遮断面３５１ｃ側において所定間隔をおいて配置された非遮断板３５２と、光遮断板３５１と非遮断板３５２とを接続する接続部材３５３とにより構成されている。
ここで、非遮断板３５２は、光遮断板３５１と相似形状をなすように形成されており、接続部材３５３は、光遮断板３５１の２つの平面３５１ａ，３５１ｂが交差する稜線Ｌの略中間領域において稜線Ｌに直交する方向に伸長するように形成されている。
また、背丈の低い光遮断部材３５０ａと背丈の高い光遮断部材３５０ｂとは、上記光遮断板３５１の稜線Ｌ方向における長さを異ならせて形成されている。
【００３４】
次に、上記選別装置２３０の動作を説明する。
前工程としての洗浄工程が終了した後、作業者が背丈の低い光遮断部材３５０ａを洗浄カゴ１１０に取り付けた場合、この洗浄カゴ１１０がメインベルトコンベア４０ａにより搬送されて所定の位置に達すると、図８に示すように、第１光センサ３４０ａの発光素子３４１ａから出射された光が、この光遮断部材３５０ａにより遮られて、受光素子３４２ａに届かなくなる。すると、第１光センサ３４０ａから制御部３６０に信号が送られ、この信号に基づいて制御部３６０から第１ベルトコンベア４０ｂに制御信号が送られる。これにより、上記洗浄カゴ１１０は、第１ベルトコンベア４０ｂを介して第１の成膜ラインに向けて搬送されることになる。
【００３５】
また、前工程としての洗浄工程が終了した後、作業者が背丈の高い光反射部材３５０ｂを洗浄カゴ１１０に取り付けた場合、この洗浄カゴ１１０がメインベルトコンベア４０ａにより搬送されて所定の位置に達すると、図８に示すように、第１光センサ３４０ａの発光素子３４１ａから出射された光が、この光遮断部材３５０ｂにより遮られて、受光素子３４２ａに届かなくなり、又、第２光センサ３４０ｂの発光素子３４１ｂから出射された光が、この光遮断部材３５０ｂにより遮られて、受光素子３４２ｂに届かなくなる。すると、第１光センサ３４０ａ及び第２光センサ３４０ｂから制御部３６０に信号が送られ、この信号に基づいて制御部３６０から第２ベルトコンベア４０ｃに制御信号が送られる。これにより、上記洗浄カゴ１１０は、第２ベルトコンベア４０ｃを介して第２の成膜ラインに向けて搬送されることになる。
【００３６】
さらに、前工程としての洗浄工程が終了した後、作業者が光遮断部材３５０（３５０ａ，３５０ｂ）を洗浄カゴ１１０に取り付けなかった場合、この洗浄カゴ１１０がメインベルトコンベア４０ａにより搬送されて所定の位置に達しても、第１光センサ３４０ａ及び第２光センサ３４０ｂの発光素子３４１ａ，３４１ｂから出射された光のいずれもが、遮られることなく対応する受光素子３４２ａ，３４２ｂにより受光される。このとき、制御部３６０は、第１光センサ３４０ａ及び第２光センサ３４０ｂのいずれからも信号が送られなかったことを判断する。そして、この判断に基づき、制御部３６０から第３ベルトコンベア４０ｄに制御信号が送られる。これにより、上記洗浄カゴ１１０は、第３ベルトコンベア４０ｄを介して第３の成膜ラインに向けて搬送されることになる。
【００３７】
以上のように、背丈のことなる２つの光遮断部材３５０（３５０ａ，３５０ｂ）のどちらかを取り付ける場合と、何も取り付けない場合との３パターンにより、作業者の判断に応じて、ガラス基板を入れた洗浄カゴ１１０を、それぞれの成膜ラインに選択的に選別し搬送することができる。
これにより、従来のような誤選別を防止でき、成膜ラインの稼働状況に応じて適宜搬送先を決定することができ、生産効率を向上させることができる。
【００３８】
尚、上記実施形態においては、３つの成膜ラインに向けて洗浄カゴ１１０を選別する構成を示したが、これに限定されるものではなく、例えば、２つの成膜ラインに向けて振り分ける場合は、一つの光遮断部材３５０を取り付ける場合と取り付けない場合との２パターンにより選別するようにしてもよい。また、光遮断部材３５０を取り付ける場所は、洗浄カゴ１１０に限るものではなく、カセット１００に対して取り付けるようにしてもよい。
【００３９】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の選別装置によれば、被処理体を収容するケースに対して着脱自在に設けられた光反射部材あるいは光遮断部材を採用したことにより、作業者の判断に基づいて適宜次工程の送り先を予め選択し、所望の送り先に向けて被処理体が搬送されるように、確実に選別することができる。
また、作業者の判断に基づいて次工程の処理ラインを選択できるため、処理ラインの稼働状況に応じて適宜送り先を決定でき、生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ガラス基板を収容するためのカセットを示す斜視図である。
【図２】ガラス基板を収容したカセットを入れる洗浄カゴを示す斜視図である。
【図３】選別装置の一実施形態を示す構成図である。
【図４】選別装置の一部をなす光反射部材及び光遮断部材を示す斜視図である。
【図５】光反射部材及び光遮断部材を洗浄カゴに取り付けた状態を示す斜視図である。
【図６】選別装置の動作を説明するための図である。
【図７】選別装置の他の実施形態を示す構成図である。
【図８】選別装置の動作を説明するための図である。
【符号の説明】
３０・・・選別装置
４０・・・ベルトコンベア（搬送手段）
４０ａ・・・メインベルトコンベア
４０ｂ・・・第１ベルトコンベア
４０ｃ・・・第２ベルトコンベア
４０ｄ・・・第３ベルトコンベア
１００・・・カセット
１１０・・・洗浄カゴ
１３０・・・選別手段
１４０・・・反射型の光センサ
１５０・・・光反射部材
１５１・・・光反射板
１５２・・・非反射板
１５３・・・接続部材
１６０・・・制御部（制御手段）
３３０・・・選別手段
３４０・・・透過型の光センサ
３５０・・・光反射部材
３５１・・・光反射板
３５２・・・非反射板
３５３・・・接続部材
３６０・・・制御部（制御手段）
【図１】
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【図２】
0004327946.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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