(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
側面に２個の開口部を有する第１の収容室と、
側面に１個の開口部を有し、前記第１の収容室内に回転可能に収納された第２の収容室と、
前記第２の収容室内の前記開口部と対向する面に設けられ、外から吸気した空気を濾過して前記第２の収容室内に排出する清浄装置とを備えることを特徴とする搬送車。
【請求項２】
走行時には、前記第２の収容室の前記開口部が第１の収容室の前記開口部と一致しない位置に前記第２の収容室を回転させ、前記清浄装置から排出された空気が前記第２の収容室の前記開口部から前記第１の収容室の前記開口部を通り外に排出されることを特徴とする請求項１記載の搬送車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空気の清浄装置を有する搬送車に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置や半導体の製造工場では製造途中の製品等の移動に自動搬送車が使用される。搬送される荷に塵埃等が付着しないようにするためには、搬送車が使用される工場内のそれぞれの区画のクリーン度を高めることが考えられるが、広い区画のクリーン度を高めるためには設備に膨大な費用が必要となる。そこで、搬送車に荷の収容室を設け、その収容室内のクリーン度を高めることで、クリーン度の低い区画を搬送する際に荷に空気中の塵埃等が付着しないようにすることが考えられている。
【０００３】
例えば、特開平１１−３０１４７５号公報には、荷を収容する収容室とファンフィルタユニットと、シャッタとを備え、走行時にはシャッタを閉じ、荷の移載時には、シャッタを開いて荷を移動させる構造の搬送車が提案されている。この搬送車のシャッタの側面には多数の穴が設けられており、シャッタが閉じた状態では、ファンフィルタユニットにより浄化された空気は収容室内の荷に沿って流れ、シャッタと収容室の間の隙間から外に外に放出される。また、シャッタが開いた状態では、ファインフィルタユニットにより浄化された空気は、シャッタの側面の穴を通り収容室に流入し、さらに収容室の開口部から外に排出される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述した搬送車では、走行時にはファンフィルタユニットで浄化された空気が収容室内に流入するので荷を清浄な状態に保つことができる。
しかしながら、荷移載時にシャッタを開いた状態では、ファンフィルタユニットで浄化された空気はシャッタの側面の穴を通って、収容室内に流入することになるので、収容室内の荷に十分に空気が流通せず、荷が塵埃等により汚染される可能性がある。
【０００５】
本発明の課題は、走行時及び荷の移載時に荷を清浄に保つことのできる搬送車を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の搬送車は、側面に２個の開口部を有する第１の収容室と、側面に１個の開口部を有し、前記第１の収容室内に回転可能に収納された第２の収容室と、前記第２の収容室内の前記開口部と対向する面に設けられ、外から吸気した空気を濾過して前記第２の収容室内に排出する清浄装置とを備える。
【０００７】
この発明によれば、第２の収容室を回転させて、第２の収容室と第１の収容室の開口部を一致させて荷を外に移動させる場合にも、清浄装置で濾過された空気が第２の収容室内に排出されるので、第２の収容室の空気の圧力を外部の空気に対して正圧に保つことができる。これにより、荷移載時に、外の空気中に存在する塵埃等が第２の収容室内に入り、荷が塵埃等に汚染されるのを防止できる。
【０００８】
また、例えば、第２の収容室内に清浄装置を設け、外部から吸入した空気を浄化装置で濾過して開口部に向かって排出することで、荷を移動させる方向に排出された空気が流れるので、荷の移載時に塵埃等が付着する可能性を少なくできる。
【０００９】
上記の発明において、走行時には、第２の収容室の開口部が第１の収容室の開口部と一致しない位置に第２の収容室を回転させ、清浄装置で濾過された空気が第２の収容室内を通り、第２の収容室の開口部と第１の収容室の開口部との隙間を通り外に排出されるように構成しても良い。
【００１０】
このように構成することで、走行時は荷の収容されている第２の収容室から外に向かって空気が排出され、第２の収容室の圧力が外気に対して正圧となるので、塵埃等が第２の収容室の内部に進入しない。
上記の発明において、第１の収容室の側面に２個の開口部を設け、第２の収容室の側面に１つの開口部を設け、第２の収容室の開口部と対向する面に清浄装置を設けるように構成する。
【００１１】
このように構成することで、走行時には第２の収容室の開口部と第１の収容室の開口部が一致しない位置に第２の収容室を回転させることで、第１の収容室の開口部が第２の収容室の側面により塞がれる。そして、浄化装置から第２の収容室に濾過した空気を排出することで第２の収容室内を清浄に保つことができる。さらに、荷移載時には第２の収容室の開口部と第１の収容室の開口部が一致する位置まで第２の収容室を回転させ、浄化装置で濾過した空気を開口部に向かって排出することで、第２の収容室内を正圧にして塵埃等の進入を防止できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施の形態の搬送車１１の外観図である。この実施の形態は、例えば、建物内のクリーンルームの清浄度が場所によって異なり、液晶等の製造プロセスに関係する場所では清浄度を高め、それ以外の場所では清浄度を低くしている場合に、清浄度の低い場所で荷を移載するときに適用される。
【００１３】
クリーンルームの床面には走行用レール１２が支持部材１３により支持された状態で埋設されている。また、走行用レールの中央にはガイドレール（図示せず）が設けられている。
搬送車１１は前後にそれぞれ２個の走行輪１４，１５を有し、搬送車１１の走行方向正面（図１の左側）から見て右側の走行輪１４、１５がモータにより駆動され、左側の走行輪が従動輪となっている。
【００１４】
なお、図１には示していないが、搬送車１１の底面の中央には前後に４個の案内輪が設けられており、２個の案内輪でガイドレールを左右から挟み込むようになっている。また、ガイドレールの下部側面には給電線が配設されており、搬送車１１の受電ユニットが給電線から非接触で電流を受電するようになっている。
【００１５】
搬送車１１の前部及び後部には安全スイッチを内蔵したバンパー１６，１７が設けられており、バンパー１６，１７に衝撃が加わると停止するようになっている。
搬送車１１には、図３に示すように上下（図３の正面から見て）に２個の開口部３１ａを有する第１の収容室３１と、第１の収容室３１の内部に回転可能に取り付けられ、開口部３４ａを有する第２の収容室３４とが設けられている。なお、図３は、荷をカセットステーション３２に移載するために第２の収容室３４を反時計方向に９０°回転させたときの状態を示している。
【００１６】
第１の収容室３１は、走行方向と直交する方向に延出するアウターケース３１ｂが搬送車１１の前後に設けられ、走行方向の左右に開口部３１ａが設けられている。
第２の収容室３４は、略四角形状で第１の収容室内にモータ等により回転可能に取り付けられている。この第２の収容室３４の内部には荷をカセットステーション３２に移載するためのローラコンベア３３が設置され、ローラコンベア３３の先端部と対向する第２の収容室３４の１つの側面に開口部３４ａが設けられ、その開口部３４ａと対向する面、つまりローラコンベア３３の後端部と対向する面にファンフィルタユニット（浄化装置）３５が取り付けられている。さらに、第２の収容室３４のローラコンベア３３の搬送方向と平行な左右の側面は、第１の収容室３１の開口部３１ａを塞ぐシャッタ３４ｂを形成している。
【００１７】
ファンフィルタユニット３５は、図示していないが、外気を吸入するための吸気口と、ファンと、吸入した空気を濾過するためのフィルタと、フィルタで濾過した空気を第２の収容室内に排出する排気口とからなる。
この第２の収容室３４の回転中心３６は、搬送車１１の走行方向と平行な中心線３７から一定距離づらしてある。これは、荷移載時に第２の収容室３４を回転させたときにローラコンベア３３の先端部とカセットステーション３２との隙間を小さくするためである。
【００１８】
第２の収容室３４の下部には、例えば、全体が１８０°回転できるようにモータ等からなる駆動機構が設けられ、走行時には、シャッタ３４ｂが第１の収容室３１の開口部３１ａを塞ぐ位置まで第２の収容室３４が駆動機構により回転され、ファンフィルタユニット３５から排出される濾過された清浄な空気が荷に沿って流れ、シャッタ３４ｂと第１の収容室３１の開口部３１ａの隙間から外に排出される。これにより走行中は、常にファンフィルタユニット３５で濾過された空気が荷の間を通って外部に排出されることになるので、第２の収容室３４の中を外気に対して正圧にして外部の空気中の塵埃等が内部に進入しないようにしている。
【００１９】
荷移載時には、第２の収容室３４の開口部３４ａが第１の収容室３１の開口部３１ａと一致する位置まで第２の収容室３４が駆動機構により回転されるが、ファンフィルタユニット３５により浄化された空気がローラコンベア３３上に載せられた荷に均一にあたり、開口部３１ａ、３４ａから外に排出されるので、荷に塵埃等が付着するのを防止できる。
【００２０】
次に、以上のような構成の搬送車１１の走行時及び荷移載時の気流の流れを図４及び図５を参照して説明する。
図４は、走行時の搬送車１１内部の気流の流れを示す図である。走行時には、第１の収容室１の開口部３１ａを第２の収容室３４のシャッタ３４ｂで塞ぐ位置まで第２の収容室３４が回転する。このとき、ファンフィルタユニット３５により吸入され、フィルタで濾過された空気は、ローラコンベア３３上に載せられている荷に均一にかかる。そして、その空気は第１の収容室３１の後部（図４の右側）のアウターケース３１ｂに当たって、シャッタ３４ｂとアウターケース３１ｂとの隙間を通って外部に排出される。
【００２１】
これにより第２の収容室３４の中の空気の圧力が外部の圧力より高くなるので、清浄度の低い区画を走行しても、空気中に存在する塵埃が第２の収容室３４内に流入するのを防止でき、荷を清浄に保つことができる。
次に、図５は、荷移載時の搬送車１１内部の気流の流れを示す図である。ローラコンベア３３に載っている荷をカセットステーション３２に移動させるときには、第２の収容室３４の開口部３４ａが搬送車１１の右または左側面を向くように第２の収容室３４を回転させる。第２の収容室３４の開口部３４ａが搬送車１１の側面方向を向くと（図５の上方向）、ファンフィルタユニット３５で濾過された空気が図５の上方向に排出され、第１及び第２の収容室３１、３４の開口部３１ａ、３４ａから外に排出される。
【００２２】
従って、第２の収容室３４内に設けたファンフィルタユニット３５により第２の収容室３４の開口部３４ａに向かう気流を生じさせることができるので、搬送車１１の周りの空気の清浄度が低い場合でも、第２の収容室３４の内部に外部の空気中に存在する塵埃等が流入して荷が汚染されるのを防止できる。
【００２３】
上述した実施の形態では、ファンフィルタユニット３５を第２の収容室３４の開口部３４ａと対向する面に設置したが、第２の収容室３４の上面、あるいは側面に取り付け、外部から取り込んだ空気をフィルタで濾過して上面から下面方向に、あるいは側面から図５の上方向に流れるようにしても良い。さらに、ファンフィルタユニット３５は、１個に限らず側面と上面とに複数個設けても良い。
【００２４】
さらに、空気を吸入して濾過する浄化装置は、フィルタを用いたものに限らず、電気集塵装置等を用いたものでも良い。
さらに、ファンフィルタユニット（浄化装置）３５を第２の収容室３４の外に設け、第２の収容室３４内に一定の面積を有する排気部を設け、ファンフィルタユニット３５で濾過した空気をフレキシブルなホース等で排気部から第２の収容室３４に流入させるようにしても良い。この場合、第２の収容室の後部にファンフィルタユニット３５を配置する必要が無くなるので、第２の収容室３５の外形寸法を小さくできる。
【００２５】
また、走行方向の左右に置かれた荷を取り込み、あるいは荷をカセットステーションに移載できるように、第１の収容室３１の左右に開口部３１を設け、かつ第２の収容室３４を１８０°回転できるようにしたが、荷が片側にのみ置かれている場合には、第１の収容室３１の開口部３１ａを１つにして、第２の収容室３４を９０°回転させるようにしても良い。さらに、第１及び第２の収容室の形状は四角に限らず、円筒状、球状等であっても良い。
【００２６】
また、搬送車１１の筐体の内部に第１の収容室３１を設けたが、筐体を第１の収容室３１として利用しても良い。
【００２７】
【発明の効果】
本発明によれば、荷移載時に、外部に存在する塵埃等が荷を収納する第２の収容室内に進入するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】搬送車の外観側面図である。
【図２】外観裏面図である。
【図３】搬送車の内部構造とカセットステーションを示す図である。
【図４】走行時の搬送車内部の気流の流れを示す図である。
【図５】移載時の搬送車内部の気流の流れを示す図である。
【符号の説明】
１１      搬送車
３１      第１の収容室
３１ａ    開口部
３３      ローラコンベア
３４      第２の収容室
３４ａ    開口部
３５      ファンフィルタユニット
【図１】
0004320936.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
0004320936.tif 000005
【図５】
0004320936.tif 000006