(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロータリソレノイドに往復回動し得るよう設けられたカムプレートに取り付けられたカムローラと、前記ロータリソレノイドから所定の間隔を置いて設けた軸と一体的に回動し得ると共に前記軸の径方向へ延在するカム溝を有し且つ該カム溝内に前記カムローラが当該カム溝に沿い移動し得るよう嵌入されたカムアームと、前記軸及びカムアームと一体的に回動し得るようにしたミラーホルダに前記軸を挟んで前記ロータリソレノイドと対向するよう設けられた反射ミラーと、所定の範囲を回動した反射ミラー及び、前記カムプレート、ミラーホルダ、カムアームといった回動体を停止させる際に、反射ミラー及び回動体のイナーシャにより生じる衝撃を吸収し得るよう緩衝装置を備え、
該緩衝装置は、バネ収納筒内を軸線方向へ挿通されて一端にカムプレートに固設したストッパと当接する当接部材が設けられ他端にバネ収納筒の軸線方向外側端部に当接可能なナットが設けられたロッドと、該ロッドを巻装するようバネ収納筒内に収納され且つ一端は、前記当接部材のロッド側側面に当接し、他端は、バネ収納筒の軸線方向内側端部に当接するコイルバネとを備え、
前記反射ミラーが開閉した場合には光路が切り替えられるよう構成したことを特徴とするシャッタ装置。
【請求項２】
ロータリソレノイドが設けられたブラケット側に、所定の範囲を回動した反射ミラーの位置決めをするためのストッパを設けた請求項１に記載のシャッタ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はレーザ発振器等において、レーザ光の光路を高速で切り替え得るようにしたシャッタ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
レーザ発振器からレーザ加工装置までのレーザ光伝播経路の中途部には、レーザ加工装置へ伝播されるレーザ光の光路を必要に応じて切り替えるためにシャッタ装置が設けられており、従来のシャッタ装置の一例としては、例えば、図１３〜図１５に示す如きものがある。
【０００３】
斯かるシャッタ装置は、図示してない枠体に固設し得るようにした水平状のベースプレート１ａを備えると共に、ベースプレート１ａの後方端面側には垂直状のスタンドプレート１ｂが立設されて、全体としてＬ形状のブラケット１が形成されている。而して、スタンドプレート１ｂの前面には、軸２ａが水平方向へ向いたロータリソレノイド２が装着されており、軸２ａに固設した支持板３には、垂直面と平行に延在するようにしたミラーホルダ４が、垂直面に対し往復回動し得るよう取り付けられている。
【０００４】
ロータリソレノイド２の軸２ａはロータリソレノイド２がオンになって励磁されることにより一方向へ回動し、ロータリソレノイド２がオフになって励磁を解除されることにより、バネの弾撥力によって、励磁された場合とは逆の方向へ回動し得るようになっている。
【０００５】
ミラーホルダ４の上端部には、ミラーホルダ４を基準としてロータリソレノイド２を設けた側とは反対側に位置するよう、ミラー押え６を介して反射ミラー５が取り付けられており、レーザ光７を遮断するよう光路が切り替えられた場合には、反射ミラー５は図１３の実線で示すように最上方に位置し得るようになっている。
【０００６】
ミラーホルダ４の下端には、ロータリソレノイド２から離反する方向へ向けて突出する水平枠板８が固設されており、水平枠板８の先端側上面には、ミラーホルダ４と平行に小ブラケット９が立設されている。又、ブラケット１におけるロータリソレノイド２の径方向一端側には、平面視でミラーホルダ４に対し交差する方向へ向けて延在する垂直状のブラケット１０が固設されており、ブラケット１０の上端にミラーホルダ４の面に対し平行となるよう設けた案内孔１０ａには、ミラーホルダ４の面に沿い延在するよう案内ロッド１１が挿通されている。
【０００７】
案内ロッド１１の小ブラケット９側先端外周に螺設したねじ部には、平面視で二股状のヨーク１２が螺合されており、ヨーク１２の先端は水平ピン１３を介して小ブラケット９に連結されている。又、案内ロッド１１のヨーク１２とは反対側の端部近傍には、ブラケット１０に対向した側が開口し、ブラケット１０から離反した側に側板１４ａが設けられた円筒状の案内体１４が外嵌されており、案内ロッド１１の、案内体１４よりもミラーホルダ４から離反した側の外周に螺設したねじ部には、案内体１４の案内ロッド１１軸方向の位置決めを行い得るようにしたナット１５が螺合され得るようになっている。
【０００８】
案内ロッド１１のヨーク１２とは反対側の外周には、ブラケット１０と案内体１４における側板１４ａとの間に位置するようコイルバネ１６が巻装されており、案内ロッド１１のヨーク１２側の外周には、ブラケット１０と案内ロッド１１の外周ねじ部に螺合したナット１７との間に位置するよう、緩衝用のＯリング１８が外嵌されている。
【０００９】
スタンドプレート１ｂのロータリソレノイド２を配置したと同一の側には、マイクロスイッチ１９が取り付けられており、マイクロスイッチ１９は、反射ミラー５がレーザ光７を遮断するよう、図１３の実線位置に切り替わった際に、レバー１９ａを介して、水平枠板８の下面に固設したストライカ２０により作動させられるようになっている。
【００１０】
レーザ光７がレーザ加工装置へ伝播されている場合には、ロータリソレノイド２は励磁されている。このためミラーホルダ４は、ロータリソレノイド２に内臓されているバネ及び案内ロッド１１に巻装されているコイルバネ１６の弾撥力に打勝って、図１３の実線位置から反時計方向へ仮想線で示す位置に傾斜角度が４５゜になるよう回動しており、従って、反射ミラー５も図１３の反時計方向へ仮想線で示す位置に回動し、シャッタ装置は開の状態にある。その結果、図１５に示すようにレーザ発振器から発進されて伝播されてきたレーザ光７は、反射ミラー５で反射されることなくシャッタ装置を矢印イで示す方向へ直進し、他の反射ミラーで反射して伝播方向を変更されたうえ下流側にあるレーザ加工装置へと伝播される。
【００１１】
レーザ光７をレーザ加工装置へ伝播しないよう光路を切り替えるために、ロータリソレノイド２をオフにしてその励磁を解除すると、ロータリソレノイド２に内臓されているバネ及びコイルバネ１６の弾撥力が、軸２ａ及び支持板３を介してミラーホルダ４を図１３の仮想線の位置から実線位置へと時計方向へ回動させる。このため反射ミラー５も図１３の仮想線の位置から実線位置へと回動し、シャッタ装置はレーザ光７を遮断するよう閉の状態に切り替わる。
【００１２】
従ってレーザ発振器から発振されたレーザ光７は、シャッタ装置の反射ミラー５で反射され、図１５に示す如く９０゜光路の向きを変えて矢印ロ方向へ進み、図示してないレーザ光吸収装置において熱として吸収される。
【００１３】
ミラーホルダ４延いてはシャッタ装置の反射ミラー５が図１３の反時計方向へ回動して、ミラーホルダ４が略垂直状態になる際には、コイルバネ１６及び緩衝用のＯリング１８は緩衝材として働き、反射ミラー５を備えたミラーホルダ４が停止する際のイナーシャによる衝撃を吸収する。又、ミラーホルダ４が所定の位置まで回動したか否かは、ストライカ２０及びレバー１９ａを介してマイクロスイッチ１９により検知される。
【００１４】
閉止しているシャツタ装置を開く場合には、ロータリソレノイド２をオンにして励磁する。このため、軸２ａ及び支持板３は、ロータリソレノイド２に内臓されたバネの抗力や案内ロッド１１に巻装されたコイルバネ１６の抗力に打勝って回転し、その結果反射ミラー５を装備したブラケットは４は、図１３の反時計方向へ実線位置から仮想線位置へと回動し、反射ミラー５は開いた状態となる。このため、レーザ光７の光路は再び切り替えられて、シャッタ装置へ伝播されたレーザ光７は矢印イ方向へ直進するようになる。
【００１５】
シャッタ装置の開閉のためミラーホルダ４が回動する際には、案内ロッド１１はコイルバネ１６を伸縮させつつ案内体１４と共に軸心方向へ移動することになる。
【００１６】
尚、反射ミラー５がレーザ光７を反射する方向へミラーホルダ４が回動してシャッタ装置を閉止する際のバネ力トルクをＴ１、ロータリソレノイド２の励磁によるトルクをＴ２とすると、シャッタ装置が開となるようミラーホルダ４が上方から下方ヘ向けて反時計方向へ回動する際のトルクは（Ｔ２−Ｔ１）となる。而して、シャッタ装置においては、バネ力トルクＴ１、ロータリソレノイド２の励磁によるトルクＴ２は、駆動トルクが動レベルであるように、シャッタ装置における反射ミラー５の切り替えに要求される切り替え時間との兼ね合いにより選定される。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
上述のシャッタ装置においては、ロータリソレノイド２のオン−オフにより、レーザ光７の光路を高速で切り替えることができる。然しながら、従来のシャッタ装置においては、以下に述べるような問題点がある。すなわち、光学的な性能を向上させた高品質のレーザ光７を得るため、近年、レーザ発振器での集光時のレーザ光７のウエストを細くする傾向にあり、このため、光学的要求により、レーザ発振器での内部光の有効口径は拡大する方向にある。
【００１８】
従って、シャッタ装置における反射ミラー５もその口径が増加する傾向にあり、又、反射ミラー５の口径の増加と同時に、ミラーホルダ４に装備された反射ミラー５を円滑に開閉し得るよう空間に実際に配置するためには、ロータリソレノイド２における軸２ａや支持板３の回転中心Ｏ１と反射ミラー５の中心Ｏ２との間の間隔Ｌも大きくせざるを得ない状況にある。従ってこれらのことが、相乗的に作用して被駆動源であるミラーホルダ４や反射ミラー５のイナーシャを増大させる原因となっており、イナーシャの増大はミラーホルダ４や反射ミラー５の開閉時間の増加につながるため、駆動源であるロータリソレノイド２の駆動トルクをアップすることが必要となる。
【００１９】
更に、ロータリソレノイド２の駆動トルクをアップすると、ミラーホルダ４や反射ミラー５は高速で切り替えることが可能となるが、運動エネルギの増加により、切り替え動作完了時のミラーホルダ４や反射ミラー５の緩衝が困難となる。而して、切り替え動作完了時のミラーホルダ４や反射ミラー５の緩衝を効果的に行おうとすると、ダンパ等の緩衝装置のストロークを大きくすれば良いが、ストロークを大きくすると切り替え完了前から回動しているミラーホルダ４や反射ミラー５の減速が必要となり、実質的に切り替え時間の遅延を生来する。
【００２０】
更に又、緩衝を効果的に行うことができないと、跳ね返りによりミラーホルダ４や反射ミラー５にチャタリングが発生し、これも実質的な切り替え時間の増加につながる。
【００２１】
本発明は、斯かる実情に鑑み、反射ミラーの口径が増大したような場合でも、反射ミラーに衝撃やチャタリングを与えることなく迅速且つ正確にしかも短時間でブラットに装備された反射ミラーの切り替えを行い得るようにしたシャッタ装置を提供することを目的としてなしたものである。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
本発明のシャッタ装置は、ロータリソレノイドに往復回動し得るよう設けられたカムプレートに取り付けられたカムローラと、前記ロータリソレノイドから所定の間隔を置いて設けた軸と一体的に回動し得ると共に前記軸の径方向へ延在するカム溝を有し且つ該カム溝内に前記カムローラが当該カム溝に沿い移動し得るよう嵌入されたカムアームと、前記軸及びカムアームと一体的に回動し得るようにしたミラーホルダに前記軸を挟んで前記ロータリソレノイドと対向するよう設けられた反射ミラーと、所定の範囲を回動した反射ミラー及び、前記カムプレート、ミラーホルダ、カムアームといった回動体を停止させる際に、反射ミラー及び回動体のイナーシャにより生じる衝撃を吸収し得るよう緩衝装置を備え、
該緩衝装置は、バネ収納筒内を軸線方向へ挿通されて一端にカムプレートに固設したストッパと当接する当接部材が設けられ他端にバネ収納筒の軸線方向外側端部に当接可能なナットが設けられたロッドと、該ロッドを巻装するようバネ収納筒内に収納され且つ一端は、前記当接部材のロッド側側面に当接し、他端は、バネ収納筒の軸線方向内側端部に当接するコイルバネとを備え、
前記反射ミラーが開閉した場合には光路が切り替えられるよう構成したものである。
【００２４】
又、本発明のシャッタ装置は、ロータリソレノイドが設けられたブラケット側に、所定の範囲を回動した反射ミラーの位置決めをするためのストッパを設けたものである。
【００２５】
本発明においては、ロータリソレノイドによりカムローラを介してカムアームが回動させられ、カムアームが回動することにより、ミラーホルダを介して反射ミラーは閉止状態或いは開状態に切り替えられる。反射ミラーが切り替えられて停止する際に反射ミラー等のイナーシャにより生じる衝撃は、緩衝装置により吸収され、又、切り替わった反射ミラーはストッパにより位置決めされる。
【００２６】
反射ミラーが開の位置にある場合は、レーザ光は反射ミラーで反射することなくシャッタ装置を直進するが、反射ミラーが開の状態から光路が切り替えられて閉止位置にある場合には、レーザ光は反射ミラーで遮断されて反射される。
【００２７】
本発明においては、反射ミラーに衝撃やチャタリングを与えることなく迅速且つ正確にしかも短時間でミラーホルダに装備された反射ミラーの切り替えを行うことができる
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図示例と共に説明する。
【００２９】
図１〜図１２は本発明を実施する形態の一例である。
【００３０】
本例のシャッタ装置は、図示してない枠体に固設し得るようにした水平状で平面視が矩形状のベースプレート３１ａを備えると共に、ベースプレート３１ａの中央部には平面視で対角線方向へ延在する垂直状のスタンドプレート３１ｂが立設されて、全体としてＬ形状のブラケット３１が形成されている。而して、スタンドプレート３１ｂの下面に形成したロータリソレノイド取付孔３１ｃ（図５参照）には、軸３２ａが水平方向へ向いたロータリソレノイド３２が嵌入されて装着されており、軸３２ａ及び軸３２ａに固設した支持板３３には、垂直面と平行に延在するようにしたカムプレート３４が、垂直面に対し往復回動し得るよう取り付けられている。
【００３１】
ロータリソレノイド３２の軸３２ａはロータリソレノイド３２がオンになって励磁されることにより一方向へ回動し、ロータリソレノイド３２がオフになって励磁を解除されることにより、バネの弾撥力により、励磁された場合とは逆の方向へ回動し得るようになっている。
【００３２】
又、カムプレート３４は正面視で円板状に形成されていると共に、外周部上方側の１箇所には径方向外方へ突出するようアーム３４ａが一体形成されており、アーム３４ａの先端部には、軸３２ａと平行な軸３５を介してカムローラ３６が回転自在に取り付けられている。
【００３３】
ブラケット３１のスタンドプレート３１ｂ上部には、軸受ハウジング３７が固設されていると共に、軸受ハウジング３７及びスタンドプレート３１ｂに穿設した中空孔には、複数の軸受３８が嵌入されており、軸受３８には軸心が軸３２ａ等と平行な軸３９が回転可能に嵌合されている。
【００３４】
軸３９は軸３２ａと同一方向へ突出していると共に軸３９の先端部には、当該軸３９と共に一体的に往復回動し得るようにしたミラーホルダ４０が、ロータリソレノイド３２よりも上方に位置するよう取り付けられている。ミラーホルダ４０の軸３９から離反した側の先端部には、ミラー押え４１によりミラーホルダ４０に固定し得るようにした反射ミラー４２が装着されており、ミラー押え４１はレーザ光入射側に配置されて、シャッタ装置が閉状態の際にレーザ光４３を反射ミラー４２で反射し得るよう、反射ミラー４２よりも僅かに径の小さい切除部を備えている。
【００３５】
軸３９及びミラーホルダ４０には、軸３９及びミラーホルダ４０と共に一体的に往復回動し得るようにしたカムアーム４４が取り付けられていると共に、カムアーム４４には、幅方向中心が軸３９の回転中心Ｏ３を通って軸３９の径方向外方下方ヘ向けて延在するカム溝４４ａが形成され、カム溝４４ａにはカムローラ３６が回転可能に嵌入されている。
【００３６】
スタンドプレート３１ｂの下部には、ロータリソレノイド３２における軸３２ａの回転中心Ｏ４よりも若干下方に位置すると共にロータリソレノイド３２の略径方向外方両側に位置するよう、左右で一対となる緩衝装置４６が配置されている。而して、緩衝装置４６は、ミラーホルダ４０及びミラーホルダ４０に装備されている反射ミラー４２並びにミラーホルダ４０に接続されているカムアーム４４が、ロータリソレノイド３２により回動するカムプレート３４を介し一体で開方向或いは閉方向へ９０゜の範囲で切り替わる際に、反射ミラー４２、ミラーホルダ４０、カムアーム４４、カムプレート３４のイナーシャによる衝撃を吸収するためのものである。
【００３７】
図６、７に示すように、緩衝装置４６はブラケット４５に直接固設された円筒状のバネ収納筒４７を備えており、円筒状のバネ収納筒４７は、図８、９、１０に示すように左右で軸３２ａを挟み逆ハの字状に配置されている。
【００３８】
各バネ収納筒４７には、バネ収納筒４７の軸心方向へ往復移動可能にロッド４８がバネ収納筒４７を軸心方向へ貫通するよう収納されていると共に、ロッド４８の下端となる軸３２ａ中心側端部には、ロータリソレノイド３２を介してカムプレート３４が所定角度回動した際に、カムプレート３４に固設したストッパ４９が当接するよう当接部材５０が固設されており、ロッド４８の上端とロータリソレノイド３２径方向外方端部には、ナット５１が螺合されている。
【００３９】
バネ収納筒４７には、ロッド４８に巻装されるようコイルバネ５２が収納されており、カムプレート３４に固設したストッパ４９を介して当接部材５０に付与された衝撃力はコイルバネ５２により吸収し得るようになっている。又、コイルバネ５２の弾撥力はナット５１のロッド４８軸心方向位置を変えることにより調整し得るようになっている。
【００４０】
ベースプレート３１ａ上に設置したブラケット５３には、緩衝装置４６と同様、ロータリソレノイド３２の径方向左右で一対となるよう、作動レバー５４ａを備えたマイクロスイッチ５４が配置されており、マイクロスイッチ５４は反射ミラー４２が開閉動作のため所定角度回動した際に、カムアーム４４の下端に取り付けたストライカ５５により作動レバー５４ａを介して作動することにより、反射ミラー４２等が開閉何れかの位置に切り替わったことを検知し得るようになっている。
【００４１】
ミラーホルダ４０の上端には、反射ミラー４２の径方向両側に位置するよう当接部材５６が取り付けられていると共に、一方の当接部材５６は反射ミラー４２がレーザ光４３を反射させるよう切り替わった際に、スタンドプレート３１ｂの上方に取り付けたストッパ５７に当接し得るようになっており、他方の当接部材５６は反射ミラー４２がレーザ光４３を通すよう切り替わった際に、スタンドプレート３１ｂの高さ方向中間部側方に取り付けたストッパ５８に当接し得るようになっている。
【００４２】
次に、本発明の実施の形態の作動について説明する。
【００４３】
レーザ光４３がレーザ加工装置へ伝播されている場合には、ロータリソレノイド３２は励磁されている。このためロータリソレノイド３２の駆動トルクにより、カムプレート３４は回動し、図９に示す如く、カムプレート３４のアーム３４ａに設けたカムローラ３６は、軸３９及び３２ａの回転中心Ｏ３、Ｏ４を通る垂直状態の直線Ｌ１を基準として左側に位置している。従って、カムアーム４４はカムローラ３６により、図９に示す如く、軸３９の回転中心Ｏ３を基準として左斜め下方へ向いた位置に回動し停止している。
【００４４】
このため、軸３９及びカムアーム４４と共に一体的に回動したミラーホルダ４０は、水平状態になって反射ミラー４２は最も下方位置である軸３９の横方向位置にあり、当接部材５６のうち他方の当接部材５６はストッパ５８に当接している。その結果、反射ミラー４２はミラーホルダ４０を介しレーザ光４３を反射しないようその位置決めが行なわれており、反射ミラー４２の中心Ｏ５及び軸３９の回転中心Ｏ３並びに軸３２ａの回転中心Ｏ４を結んで形成される直線はＬ形状となっている。従って、この場合シャッタ装置は開状態になっており、その結果、図３に示すようにレーザ発振器から発進されて伝播されてきたレーザ光４３は、反射ミラー４２で反射されることなくシャッタ装置を矢印イで示す方向へ直進し、他の反射ミラーで反射して伝播方向を変更されたうえ下流側にあるレーザ加工装置へと伝播される。
【００４５】
レーザ光４３の光路を変更してレーザ光４３がレーザ加工装置へ伝播されないようにするために、ロータリソレノイド３２をオフにして励磁を解除すると、ロータリソレノイド３２に内臓されているバネの弾撥力が軸３２ａ及び支持板３３を介してカムプレート３４を図９の実線位置から時計方向へ回動させる。このため、カムプレート３４のアーム３４ａに設けられているカムローラ３６は、カムアーム４４を軸３９と共に反時計方向へ回動させ、カムアーム４４の回動に従いミラーホルダ４０に装備されている反射ミラー４２はミラーホルダ４０と共に図９の実線位置から反時計方向へ回動させられる。
【００４６】
この際、軸３９の回転中心Ｏ３と反射ミラー４２の中心Ｏ５を結ぶ直線Ｌ２が図９に示す如く水平状態から図１０に示す如く４５゜になるまでは、カムプレート３４及びカムアーム４４の回動に従い、カムローラ３６はカム溝４４ａ内を転動しつつ、軸３９の回転中心Ｏ３側へ近接し、４５゜を越えると、カムローラ３６はカム溝４４ａ内を転動しつつ、軸３９の回転中心Ｏ３から離反する側へ移動する。
【００４７】
このため、図１２に示す如くロータリソレノイド３２の軸３２ａが回動を開始した直後は、軸３２ａの回転角に比べて反射ミラー４２の回転角は小さく、従って、反射ミラー４２の角速度はロータリソレノイド３２の軸３２ａの角速度に比較して小さく、低速度で回動を開始する。而して、軸３２ａの回転角が大きくなるに従い、軸３２ａの単位回転角当たりの反射ミラー４２の回転角、すなわち反射ミラー４２の角速度は軸３２ａの回転角が４５゜になるまでは徐々に大きくなり、回転開始の直後よりも回転速度が速くなる。又、軸３２ａの回転角が４５゜を越えると、軸３２ａの単位回転角当たりの反射ミラー４２の回転角、すなわち反射ミラー４２の角速度は徐々に小さくなる。
【００４８】
而して、図９の状態から図１０の状態を経て、カムプレート３４が時計方向へ９０゜の範囲を回動すると、上述の如くカムアーム４４及びミラーホルダ４０は、直線Ｌ２が図９の水平状態から図１１に示す如く垂直状態になるまで反時計方向へ９０゜回動し、カムプレート３４に取り付けられているストッパ４９は直線Ｌ２が垂直になる直前で、図１、１１において軸３２ａの右側に設けられている緩衝装置４６の当接部材５０に当接する。このため、緩衝装置４６のコイルバネ５２が撓んでストッパ４９を介し緩衝装置４６に与えられるカムプレート３４のイナーシャによる衝撃、延いては、カムアーム４４及びミラーホルダ４０並びに反射ミラー４２のイナーシャによる衝撃も緩衝装置４６に吸収される。
【００４９】
又、ミラーホルダ４０に取り付けられている当接部材５６のうち図１に示す反射ミラー４２の中心Ｏ５よりも左側にある他方の当接部材５６は、ストッパ５７に当接してミラーホルダ４０延いては反射ミラー４２の位置決めが行われるが、図１２に示す如くロータリソレノイド３２の軸３２ａが９０゜回動して停止する直前は、軸３２ａの回転角に比べて反射ミラー４２の回転角は小さく、従って、反射ミラー４２の角速度はロータリソレノイド３２の軸３２ａの角速度に比較して小さく、低速度となる。このため、ミラーホルダ４０はストッパ５７に対して、衝撃を受けることなくソフトに当接し位置決めされる。
【００５０】
ミラーホルダ４０延いては反射ミラー４２が所定の角度（９０゜）回転して反射ミラー４２が軸３９の上方に位置したか否か、すなわちシャッタ装置が閉止したか否かは、図１に示すマイクロスイッチ５４のうちロータリソレノイド３２の軸３２ａよりも右側にあるマイクロスイッチ５４により検知される。
【００５１】
反射ミラー４２が所定の状態に切り替わることにより、レーザ発振器から発振されたレーザ光４３は、シャッタ装置の反射ミラー４２で反射され、図３に示す如く光路の向きを９０゜変えて矢印ロ方向へ進み、図示してないレーザ光吸収装置において熱として吸収される。
【００５２】
レーザ光４３をレーザ加工装置へ伝播するためにシャッタ装置を開く場合には、ロータリソレノイド３２を励磁する。このため、ロータリソレノイド３２の軸３２ａはシャッタ装置が閉止する場合とは逆の方向、すなわち図１においてシャッタ装置が閉止している状態から反時計方向へ９０゜回動し、このため、カムアーム４４及びミラーホルダ４０は軸３９と共に時計方向へ９０゜回動してミラーホルダ４０は垂直状態から水平状態に切り替わり、その結果、反射ミラー４２は軸３９の上方位置から横方向へ回動し、再び開いた状態となって光路が切り替えられる。
【００５３】
この際ロータリソレノイド３２の軸３２ａが回動を開始した直後及び停止する直前においては、軸３２ａの角速度に比べて反射ミラー４２の角速度は小さく、カムプレート３４のイナーシャによる衝撃、延いては、カムアーム４４及びミラーホルダ４０並びに反射ミラー４２のイナーシャによる衝撃は緩衝装置４６によって吸収される。
【００５４】
このため、ミラーホルダ４０及びカムアーム４４が図１の実線位置から仮想線の位置に向けて回動し、反射ミラー４２の中心Ｏ５を基準として右側にある当接部材５６がストッパ５８に当接する際には、ミラーホルダ４０はストッパ５７に対して、衝撃を受けることなくソフトに当接し位置決めされる。
【００５５】
ミラーホルダ４０延いては反射ミラー４２が所定の角度（９０゜）回転して反射ミラー４２が軸３９の横方向に位置したか否か、すなわちシャッタ装置が開いたか否かは、図１に示すマイクロスイッチ５４のうち左側にあるマイクロスイッチ５４により検知される。
【００５６】
本発明の実施の形態によれば、反射ミラー４２の口径が増大したような場合でも、反射ミラー４２に衝撃やチャタリングを与えることなく迅速且つ正確にしかも短時間でミラーホルダ４０に装備された反射ミラーの切り替えを行うことができる。
【００５７】
尚、本発明のシャッタ装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【００５８】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明の請求項１、２に記載のシャッタ装置によれば、反射ミラーに衝撃やチャタリングを与えることなく迅速且つ正確にしかも短時間でミラーホルダに装備された反射ミラーの切り替えを行うことができる、という優れた効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のシャッタ装置の実施の形態の一例を示す正面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ方向矢視図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ方向矢視図である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ方向矢視図である。
【図５】図１のＶ−Ｖ方向矢視図である。
【図６】本発明のシャッタ装置に適用する緩衝装置の断面図で、作動をしていない状態を示す断面図である。
【図７】本発明のシャッタ装置に適用する緩衝装置の断面図で、作動をしている状態を示す断面図である。
【図８】本発明のシャッタ装置に適用するマイクロスイッチの外形図でストライカにより作動している状態を示す外形図である。
【図９】本発明のシャッタ装置において、反射ミラーが下方へ回動しシャッタ装置が開いている状態を示す正面図である。
【図１０】本発明のシャッタ装置において、反射ミラーが図９の状態から閉止する際の中間位置にある状態を示す正面図である。
【図１１】本発明のシャッタ装置において、反射ミラーが上方へ回動しシャッタ装置が閉止している状態を示す正面図である。
【図１２】本発明のシャッタ装置のロータリソレノイドにおける軸の回転角と反射ミラーの回転角との関係を示すグラフである。
【図１３】従来のシャッタ装置の一例を示す正面図である。
【図１４】図１３のＸＩＶ−ＸＩＶ方向矢視図である。
【図１５】図１３のＸＶ−ＸＶ方向矢視図である。
【符号の説明】
３１ ブラケット
３２      ロータリソレノイド
３４      カムプレート（回動体）
３６      カムローラ
３９      軸（回動体）
４０      ミラーホルダ（回動体）
４２      反射ミラー
４３      レーザ光
４４      カムアーム（回動体）
４４ａ    カム溝
４６      緩衝装置
４７ バネ収納筒
４８ ロッド
４９ ストッパ
５０ 当接部材
５１ ナット
５２ コイルバネ
５７      ストッパ
５８      ストッパ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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