(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体の流通路を開閉するバルブを駆動して開閉度を調整するパルスモータと、前記パルスモータと連動し、前記パルスモータの回転角を対応したパルス数を検出するロータリ・エンコーダと、前記パルスモータを駆動するパルス数と前記ロータリ・エンコーダから供給される検出パルス数とに基づいて前記バルブ開閉度を制御する制御装置とを備え、前記バルブを通過する液体の流量を制御するバルブ制御装置であって、
前記制御装置は、前記バルブを閉方向に駆動する任意数Ｎｉのパルスを前記パルスモータに供給し、前記パルスモータが前記任意数Ｎｉのパルスに対応した前記検出パルスが前記ロータリ・エンコーダより得られなかった場合を前記バルブが前記流通路の閉止位置にある脱調状態として検出した後に、更に前記バルブを閉方向に駆動する所定数Ｎ１のパルスを前記パルスモータに供給して前記バルブを更に絞り込み、続いて前記バルブを開方向に駆動する規定数Ｎ２（Ｎ２＜Ｎ１）のパルスを前記パルスモータに供給して得られた位置を前記バルブの閉止位置の原点として検索する原点検索手段を備えたことを特徴とするバルブ制御装置。
【請求項２】
前記原点検索手段は、前記パルスモータに前記バルブを閉方向に駆動する前記任意数Ｎｉのパルスを前記パルスモータに供給して、前記パルスモータが前記任意数Ｎｉのパルスに対応した前記検出パルスが前記ロータリ・エンコーダより得られなかった場合を前記バルブが前記流通路の閉止位置にある脱調状態として検出する脱調検出手段と、前記バルブを閉方向に駆動する任意数のパルスの発生、前記バルブが前記流通路の閉止位置にある脱調状態を検出した後更に前記バルブを閉方向に駆動して絞り込む所定数Ｎ１のパルスの発生、そして、前記バルブを開方向に駆動する規定数Ｎ２のパルスの発生、の順序でパルスモータに供給すべく指定するシーケンス手段と、を備えたことを特徴とする請求項１記載のバルブ制御装置。
【請求項３】
前記制御装置は、装置の電源投入時に、前記原点検索手段を起動する起動手段を備えたことを特徴とする請求項１記載のバルブ制御装置。
【請求項４】
前記制御装置は、前記パルスモータを駆動するパルス数に対して、前記ロータリ・エンコーダから供給される検出パルス数が許容範囲を超えた場合に前記バルブの開閉度の異常を検出する異常検出手段を備え、前記異常検出手段からの異常信号に基づいて前記起動手段を動作させることを特徴とする請求項３記載のバルブ制御装置。
【請求項５】
前記ロータリ・エンコーダは、前記パルスモータが前記バルブを閉方向に駆動する前記任意数Ｎｉのパルスに対して逓倍の前記検出パルスを発生するとともに、前記パルスモータが、前記任意数Ｎｉのパルスに対応した前記検出パルスが前記ロータリ・エンコーダより得られなかった場合を前記バルブが前記流通路の閉止位置にある脱調状態になったものとして、検出パルスを発生しないことを特徴とする請求項１記載のバルブ制御装置。
【請求項６】
液体の流通路を開閉するバルブを駆動して開閉度を調整するパルスモータと、前記パルスモータと連動し、前記パルスモータの回転角を対応したパルス数を検出するロータリ・エンコーダと、前記パルスモータを駆動するパルス数と前記ロータリ・エンコーダから供給される検出パルス数とに基づいて前記バルブ開閉度を制御する制御装置とを備え、前記バルブを通過する液体の流量を制御するバルブ制御装置の原点検索方法であって、
前記バルブを前記パルスモータから供給される任意数Ｎｉのパルスにて閉駆動するステップＳ１と、
前記ロータリ・エンコーダにより前記パルスモータに供給された前記任意数Ｎｉのパルスに対応した検出パルスを得られなかった場合を前記バルブが前記流通路の閉止位置にある脱調状態として検出するステップＳ２と、
前記脱調状態を検出した後、更に前記パルスモータに前記バルブを閉方向に駆動する所定数Ｎ１のパルスを供給して前記バルブを閉方向に駆動して該バルブを絞り込むステップＳ３と、
続いて前記バルブを開方向に駆動する規定数Ｎ２（Ｎ２＜Ｎ１）のパルスを前記パルスモータに供給して得られた位置を前記バルブの閉止位置の原点として検索するステップＳ４と、
を備えたことを特徴とするバルブ制御装置の原点検索方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体製品、医薬品などの液体の流量を制御するバルブ制御装置に係り、特にバルブ開度の基準となる閉止位置の原点を検索して設定するバルブ制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のバルブ制御装置は、円筒形のシリンダ、シリンダ内に揺動可能に配置されたベーン体を備えたアクチュエータと、アクチュエータと連動し、ベーン体の位置を検知する光学的なロータリ・エンコーダと、制御装置から構成される。（「特許文献１」（バルブ閉止検出装置）参照）
【０００３】
このように構成されたバルブ閉止検出装置は、初期状態の開始時点で、オペレータが表示モニタの表示によりアクチュエータの状態が適正であることを確認し、アクチュエータに圧縮空気を供給してベーン体を停止するまで閉端位置側に揺動させる。
【０００４】
制御装置は、ロータリ・エンコーダから入力されるビット数が変動している場合には、ベーン体が揺動中であると判断し、ベーン体が一定時間変動しない場合には、ベーン体が停止したものと判断してロータリ・エンコーダの出力ビット数をベーン体（バルブに対応）の閉止位置として、メモリに記憶する。
【０００５】
初期設定後に、通常のバルブ開閉操作を実行するが、バルブ操作毎にベーン体（バルブに対応）の閉止位置が変動してロータリ・エンコーダの出力ビット数が変化しても、変化した出力ビット数が閉止位置として更新される。
【０００６】
このように、従来のバルブ制御装置は、ガス容器のバルブの開閉操作前におけるベーン体の停止位置に基づいて閉止位置データを作成し、バルブの閉止状態を高精度に検出するものであり、開閉操作毎に閉止位置データを更新可能なので、信頼性をより高めることができるものである。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１０−７８１９９号公報（図１、図２）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来のバルブ制御装置は、装置導入の際、オペレータがバルブの閉止位置を初期設定しなければならず、煩わしいケースがあり、使い勝手に劣る課題がある。
【０００９】
この発明はこのような課題を解決するためになされたもので、その目的はバルブの閉止位置の原点検索を定期的に、かつ自動的に実行可能な利便性の高いバルブ制御装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するためこの発明に係るバルブ制御装置は、液体の流通路を開閉するバルブを駆動して開閉度を調整するパルスモータと、パルスモータと連動し、パルスモータの回転角を対応したパルス数で検出するロータリ・エンコーダと、パルスモータを駆動するパルス数とロータリ・エンコーダから供給される検出パルス数とに基づいてバルブ開閉度を制御する制御装置とを備え、バルブを通過する液体の流量を制御するバルブ制御装置であって、制御装置は、バルブを閉方向に駆動する任意数Ｎｉのパルスをパルスモータに供給し、パルスモータが任意数Ｎｉのパルスに対応した検出パルスがロータリ・エンコーダより得られなかった場合をバルブが流通路の閉止位置にある脱調状態として検出した後に、更にバルブを閉方向に駆動する所定数Ｎ１のパルスをパルスモータに供給してバルブを更に絞り込み、続いてバルブを開方向に駆動する規定数Ｎ２（Ｎ２＜Ｎ１）のパルスをパルスモータに供給して得られた位置をバルブの閉止位置の原点として検索する原点検索手段を備えたことを特徴とする。
【００１１】
この発明に係るバルブ制御装置の制御装置は、バルブを閉方向に駆動するパルスをパルスモータに供給し、パルスモータの脱調を検出した後に、更にバルブを閉方向に駆動する所定のパルスをパルスモータに供給し、続いてバルブを開方向に駆動する規定のパルスをパルスモータに供給してバルブの閉止位置の原点を検索する原点検索手段を備えたので、バルブの閉止位置に自由度を持たせて原点を設定することにより、経時変化などでバルブに磨耗が生じても原点を設定することができ、利便性の向上を図ることができる。
【００１２】
また、この発明に係る原点検索手段は、パルスモータにバルブを閉方向に駆動する任意数Ｎｉのパルスをパルスモータに供給して、パルスモータが任意数Ｎｉのパルスに対応した検出パルスがロータリ・エンコーダより得られなかった場合をバルブが流通路の閉止位置にある脱調状態として検出する脱調検出手段と、バルブを閉方向に駆動する任意数のパルスの発生、バルブが流通路の閉止位置にある脱調状態を検出した後更にバルブを閉方向に駆動して絞り込む所定数Ｎ１のパルスの発生、そして、バルブを開方向に駆動する規定数Ｎ２のパルスの発生、の順序でパルスモータに供給すべく指定するシーケンス手段とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
この発明に係る原点検索手段は、パルスモータの脱調を検出する脱調検出手段と、脱調検出、所定のパルス発生、規定のパルス発生の順序を指定するシーケンス手段とを備えたので、自動的にバルブの閉止位置の原点を設定することができる。
【００１４】
さらに、この発明に係る制御装置は、装置の電源投入時に、原点検索手段を起動する起動手段を備えたことを特徴とする。
【００１５】
この発明に係る制御装置は、装置の電源投入時に、原点検索手段を起動する起動手段を備えたので、定期的に、かつ自動的にバルブの閉止位置の原点を設定することができ、使い勝手の良さをアピールすることができる。
【００１６】
また、この発明に係る制御装置は、パルスモータを駆動するパルス数に対して、ロータリ・エンコーダから供給される検出パルス数が許容範囲を超えた場合にバルブの開閉度の異常を検出する異常検出手段を備え、異常検出手段からの異常信号に基づいて起動手段を動作させることを特徴とする。
【００１７】
この発明に係る制御装置は、バルブの開閉度の異常を検出する異常検出手段を備え、異常検出手段からの異常信号に基づいて起動手段を動作するので、何らかの原因でバルブの開閉度に異常が発生した場合には、自動的にバルブの閉止位置の原点を確実に設定することができ、閉止位置の原点設定の信頼性を向上させることができる。
【００１８】
さらに、この発明に係るロータリ・エンコーダは、パルスモータがバルブを閉方向に駆動する任意数Ｎｉのパルスに対して逓倍の検出パルスを発生するとともに、パルスモータが、任意数Ｎｉのパルスに対応した検出パルスがロータリ・エンコーダより得られなかった場合を前記バルブが流通路の閉止位置にある脱調状態になったものとして、検出パルスを発生しないことを特徴とする。
【００１９】
この発明に係るロータリ・エンコーダは、パルスモータを駆動するパルスの逓倍の検出パルスを発生するとともに、パルスモータが脱調した場合には、検出パルスを発生しないので、バルブの任意開度から閉じ始めても閉止位置を確実に検出することができる。
【００２０】
また、この発明に係るバルブ制御装置の原点検索方法は、液体の流通路を開閉するバルブを駆動して開閉度を調整するパルスモータと、パルスモータと連動し、パルスモータの回転角を対応したパルス数を検出するロータリ・エンコーダと、パルスモータを駆動するパルス数とロータリ・エンコーダから供給される検出パルス数とに基づいてバルブ開閉度を制御する制御装置とを備え、バルブを通過する液体の流量を制御するバルブ制御装置の原点検索方法であって、バルブをパルスモータから供給される任意数Ｎｉのパルスにて閉駆動するステップＳ１と、ロータリ・エンコーダによりパルスモータに供給された任意数Ｎｉのパルスに対応した検出パルスを得られなかった場合をバルブが流通路の閉止位置にある脱調状態として検出するステップＳ２と、脱調状態を検出した後、更にパルスモータにバルブを閉方向に駆動する所定数Ｎ１のパルスを供給してバルブを閉方向に駆動してバルブを絞り込むステップＳ３と、続いてバルブを開方向に駆動する規定数Ｎ２（Ｎ２＜Ｎ１）のパルスをパルスモータに供給して得られた位置をバルブの閉止位置の原点として検索するステップＳ４とを備えたことを特徴とする。
【００２１】
この発明に係るバルブ制御装置の原点検索方法は、バルブを閉駆動するステップＳ１と、パルスモータの脱調を検出して停止するステップＳ２と、所定パルスでパルスモータを閉方向に駆動して停止するステップＳ３と、規定パルスでパルスモータを開方向に駆動して停止するステップＳ４とを備えたので、バルブの閉止位置に自由度を持たせて原点を設定するができ、利便性の向上を実現することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。なお、本発明は半導体製品、医薬品などの液体の流量を高精度に制御するバルブの閉止位置の原点（基準）検索を定期的に、かつ自動的に実行するものである。
【００２３】
図１はこの発明に係るバルブ制御装置の一実施の形態要部ブロック構成図である。図１において、バルブ制御装置１は、制御装置２と、ロータリ・エンコーダ４と、ステッピングモータ５と、回転／直線運動変換機構６と、バルブ７と、流通路８と、操作キー９を備える。
【００２４】
制御装置２は、バルブ７を閉方向Ｄに駆動する駆動パルスＰDをパルスモータを構成するステッピングモータ５に供給し、ステッピングモータ５の脱調を検出した後に、更にバルブ７を閉方向Ｄに駆動する所定の駆動パルスＰDをステッピングモータ５に供給し、続いてバルブ７を開方向Ｕに駆動する規定の駆動パルスＰDをステッピングモータ５に供給してバルブ７の閉止位置の原点（Ｏ）を検索する原点検索手段３を備える。
【００２５】
また、制御装置２は、ステッピングモータ５を時計方向または反時計方向に駆動する駆動パルスＰDを供給する。
【００２６】
さらに、制御装置２はロータリ・エンコーダ４から供給される検出パルスＰOに基づいて駆動パルスＰDとの一致、不一致を監視し、駆動パルスＰDによってステッピングモータ５が正確に回転するか否かを管理する。
【００２７】
ロータリ・エンコーダ４は、ステッピングモータ５の回転動に連動し、ステッピングモータ５の回転角に対応した検出パルスＰOを光学的に検出し、検出パルスＰOを制御装置２に提供する。
【００２８】
また、ロータリ・エンコーダ４は、駆動パルスＰDの逓倍（例えば、２倍）の検出パルスＰOを発生するとともに、ステッピングモータ５（パルスモータ）が脱調して回転が停止した場合には、検出パルスＰOを発生しない。
【００２９】
なお、ステッピングモータ５の脱調とは、制御装置２から駆動パルスＰDをステッピングモータ５に供給しているにも拘わらず、ステッピングモータ５が回転しないか、回転しても指定通りの回転をしない現象であり、一般的にステッピングモータ５の軸にロータリ・エンコーダ４を取り付け、ロータリ・エンコーダ４からの検出パルスＰOを制御装置２にフィードバックした時に、駆動パルスＰDに対応した検出パルスＰOが得られなかった場合、脱調と判断する。
【００３０】
このように、この発明に係るロータリ・エンコーダ４は、パルスモータ５を駆動するパルス（駆動パルスＰD）の逓倍の検出パルスＰOを発生するとともに、パルスモータ５が脱調した場合には、検出パルスＰOを発生しないので、バルブ７の任意開度から閉じ始めても閉止位置を確実に検出することができる。
【００３１】
回転／直線運動変換機構６は、例えばラック＆ピニオン機構を備え、ステッピングモータ５の回転運動をバルブ７の直線運動に変換してバルブ７を開方向Ｕまたは閉方向Ｄに移動させ、流通路８内のバルブ７の開度ＫOを調整し、流通路８内をＸ方向または−Ｘ方向に流れる半導体製品、医薬品などの液体の流量を制御する。
【００３２】
制御装置２、ステッピングモータ５およびロータリ・エンコーダ４は、フィードバックループを形成するので、駆動パルスＰDと検出パルスＰOを監視することにより、駆動パルスＰDに対応するバルブ７の開度ＫOを高精度にコントロールすることができ、流通路８内を流通する液体の流量を正確に管理する。
【００３３】
パーソナルコンピュータＰＣおよび操作キー９は、制御装置２に各種データを設定するため、それぞれ設定データＤS、キー情報ＪKを出力する。ＰＬＣ（プログラムロジックコントローラ）は、バルブ制御装置１の流れを制御し、各種データ、動作順序、タイミング等を制御装置２に設定する。
【００３４】
このように、この発明に係るバルブ制御装置１の制御装置２は、バルブ７を閉方向に駆動するパルスをパルスモータ（ステッピングモータ５）に供給し、パルスモータ５の脱調を検出した後に、更にバルブ７を閉方向に駆動する所定のパルスをパルスモータ５に供給し、続いてバルブ７を開方向に駆動する規定のパルスをパルスモータ５に供給してバルブ７の閉止位置の原点を検索する原点検索手段３を備えたので、バルブ７の閉止位置に自由度を持たせて原点を設定することにより、経時変化などでバルブに磨耗が生じても原点を設定することができ、利便性の向上を図ることができる。
【００３５】
図２はこの発明に係る制御装置の一実施の形態要部ブロック構成図である。図２において、制御装置２は、マイクロプロセッサを基本に構成し、原点検索手段３、制御手段１０、記憶手段１１、パルス発生手段１２、起動手段１３、異常検出手段１４を備える。なお、制御装置２の各構成要件は、データバスＢＵを介して相互に接続する。
【００３６】
制御手段１０は、原点検索手段３、記憶手段１１、パルス発生手段１２、起動手段１３および異常検出手段１４の全ての動作を制御し、電源投入時のパワーオンリセット時、装置の異常状態を異常検出手段１４が検出時、または装置全体の流れを制御するＰＬＣ（プログラムロジックコントローラ）から信号を受けた場合、起動手段１３を動作させて原点検索手段３を駆動する。
【００３７】
起動手段１３は、装置の電源投入時に、制御手段１０がパワーオンリセット信号を認識して起動指令が供給されると、起動信号を原点検索手段３に供給し、原点検索手段３の原点検索動作を起動する。
【００３８】
また、起動手段１３は、異常検出手段１４がバルブ７の開閉度の異常検出時に、制御手段１０が異常信号を認識して起動指令が供給されると、起動信号を原点検索手段３に供給し、原点検索手段３の原点検索動作を起動する。
【００３９】
異常検出手段１４は、パルス発生手段１２が出力する駆動パルスＰDと原点検索手段３が受信する検出パルスＰOとを比較し、検出パルスＰOが駆動パルスＰDの許容範囲を超えた場合には異常と判定し、異常信号を出力する。
【００４０】
記憶手段１１は、ＲＯＭ等の固定メモリ、ＲＡＭ等の書替え可能なメモリで構成し、予めパーソナルコンピュータＰＣや操作キー９から設定されたプログラミングや各種データを記憶する。
【００４１】
また、記憶手段１１は、バルブ７の閉止位置の原点検索の際に、パルス発生手段１２から出力する任意数Ｎｉのパルス、所定数Ｎ１のパルスおよび規定数Ｎ２のパルスの数値Ｎｉ、Ｎ１およびＮ２を記憶し、原点検索手段３のシーケンス手段（１８）からの指令により、順番に数値Ｎｉ、Ｎ１およびＮ２をパルス発生手段１２に供給し、パルス発生手段１２から原点検索のための駆動パルスＰDを発生させる。
【００４２】
このように、この発明に係る制御装置２は、装置１の電源投入時に、原点検索手段３を起動する起動手段１３を備えたので、定期的に、かつ自動的にバルブ７の閉止位置の原点を設定することができ、使い勝手の良さをアピールすることができる。
【００４３】
また、この発明に係る制御装置２は、バルブ７の開閉度の異常を検出する異常検出手段１４を備え、異常検出手段１４からの異常信号に基づいて起動手段１３を動作するので、何らかの原因でバルブ７の開閉度に異常が発生した場合には、自動的にバルブ７の閉止位置の原点を確実に設定することができ、閉止位置の原点設定の信頼性を向上させることができる。
【００４４】
図３はこの発明に係る原点検索手段の一実施の形態要部ブロック構成図である。図３において、原点検索手段３は、比較手段１５、判定手段１６、脱調検出手段１７、シーケンス手段１８、タイマ手段１９を備え、各構成要件はデータバスＢＵで接続し、図２に示す起動手段１３から装置の電源投入時や異常検出時に起動信号を供給された場合、バルブ７の閉止位置の原点検索動作を実行する。なお、各構成要件の動作は、図２に示す制御手段１０によって制御される。
【００４５】
比較手段１５は、パルス発生手段１２から出力される任意数Ｎｉのパルス（駆動パルスＰD）とロータリ・エンコーダ４から戻る検出パルスＰOとを比較する。
【００４６】
判定手段１６は、比較手段１５が比較した任意数Ｎｉのパルス（駆動パルスＰD）と検出パルスＰOから、駆動パルスＰD−検出パルスＰO＞ΔＰ（例えば、３）の場合を判定し、判定信号を脱調検出手段１７に提供する。
【００４７】
脱調検出手段１７は、判定手段１６から判定信号が供給されると、ステッピングモータ５に脱調が発生したことを検出し、検出信号をシーケンス手段１８に提供する。
【００４８】
シーケンス手段１８は、順序機能を備え、図２に示す起動手段１３から起動信号が供給されると、バルブ７の閉止位置の原点検索のために、任意数Ｎｉのパルス（駆動パルスＰD）の発生をパルス発生手段１２に指令する。
【００４９】
また、シーケンス手段１８は、脱調検出手段１７から脱調の検出信号が提供されると、所定数Ｎ１のパルス（駆動パルスＰD）の発生をパルス発生手段１２に指令する。
【００５０】
さらに、シーケンス手段１８は、所定数Ｎ１のパルス（駆動パルスＰD）の発生の指令後、規定数Ｎ２のパルス（駆動パルスＰD）の発生をパルス発生手段１２に指令する。
【００５１】
タイマ手段１９は、脱調検出→所定数Ｎ１のパルス発生→規定数Ｎ２のパルス発生と続くシーケンス手段１８の指令順序の時間間隔を設定する。
【００５２】
このように、この発明に係る原点検索手段３は、パルスモータ（ステッピングモータ５）の脱調を検出する脱調検出手段１７と、脱調検出、所定のパルス発生、規定のパルス発生の順序を指定するシーケンス手段１８とを備えたので、自動的にバルブの閉止位置の原点を設定することができる。
【００５３】
次に、バルブ７の閉止位置の原点検索動作について説明する。図４はこの発明に係るバルブ制御装置のバルブ位置の実施の形態イメージ図である。（ａ）図にバルブ全開、（ｂ）図にバルブ任意開度ＫO、（ｃ）図にバルブ原点Ｏの位置関係を示す。
【００５４】
本発明のバルブ制御装置１は、半導体製品、医薬品などの液体の流量を扱うもので、化学的影響の少ないテフロン（登録商標）がバルブ７やパイプ（流通路８）に用いられているが、テフロン（登録商標）は機械的な摩耗の影響を受け易いので、バルブ７を流通路８の底面に押し付けて閉止位置の原点Ｏとし、この原点Ｏを基準としてバルブ７の開度ＫOを調節することによって半導体製品、医薬品などの液体の流量を制御することになるが、経時変化の影響を受けて原点Ｏも変化することになる。
【００５５】
バルブ７の閉止位置の原点Ｏを定期的、かつ自動的に設定するため、バルブ７の原点検索を実行する。図５はこの発明に係るバルブ原点検索の実施の形態動作説明図である。バルブ原点検索は、バルブ制御装置１の電源投入時、バルブ７の開閉度に異常が発生した場合、またはパーソナルコンピュータＰＣや操作キー９から必要に応じて指令を入力した場合に実行する。
【００５６】
図５において、原点検索は、Ｘ0で原点検索を開始し、バルブ７の閉方向に任意数Ｎｉのパルス（駆動パルスＰD）でバルブ７を閉じてＸ1でステッピングモータ５の脱調を検出した時点でパルスを停止する。脱調を発生した時点では、バルブ７が流通路８の閉止位置にある。
【００５７】
続いて、Ｘ2からＸ3で、更にバルブ７の閉方向に所定数Ｎ１のパルス（駆動パルスＰD）を発生し、バルブ７を絞り込む。
【００５８】
最後に、Ｘ4からＸ5で、バルブ７の開方向に規定数Ｎ２（Ｎ２＜Ｎ１）のパルス（駆動パルスＰD）を発生し、閉止位置の原点Ｏとする。
【００５９】
バルブ７の閉止位置の原点検索を、脱調検出→閉方向に所定数Ｎ１のパルス（駆動パルスＰD）で駆動→開方向に規定数Ｎ２のパルス（駆動パルスＰD）で駆動を踏襲することにより、バルブ７および流通路８に経時変化によって摩耗が生じても定期的、かつ自動的にバルブ７の原点を設定することができる。
【００６０】
原点設定後のバルブ７の開閉動作について説明する。図６はこの発明に係るバルブ開閉の実施の形態動作説明図である。図６において、一旦、バルブ７の原点検索を実行した後には、バルブ７の開方向にパルスＮP（駆動パルスＰD）で駆動し、その時のバルブ開度ＫOとする。
【００６１】
バルブ７を原点まで閉じるには、バルブ７の閉方向にパルスＮP（駆動パルスＰD）で駆動すればよい。
【００６２】
続いて、バルブ制御装置の原点検索方法について説明する。図７はこの発明に係るバルブ制御装置の原点検索方法の実施の形態基本動作フロー図である。なお、動作フローは、図３を参照して説明する。
【００６３】
図７において、ステップＳ１では、バルブを閉駆動する。
【００６４】
ステップＳ２では、パルスモータの脱調を検出して停止する。
【００６５】
ステップＳ３では、所定パルスでパルスモータを閉方向に駆動して停止する。
【００６６】
ステップＳ４では、規定パルスでパルスモータを開方向に駆動して停止する。なお、ステップＳ１〜ステップＳ４は、原点検索手段３のシーケンス手段１８が順序を持って実行する。
【００６７】
このように、この発明に係るバルブ制御装置の原点検索方法は、バルブを閉駆動するステップＳ１と、パルスモータの脱調を検出して停止するステップＳ２と、所定パルスでパルスモータを閉方向に駆動して停止するステップＳ３と、規定パルスでパルスモータを開方向に駆動して停止するステップＳ４とを備えたので、バルブの閉止位置に自由度を持たせて原点を設定するができ、利便性の向上を実現することができる。
【００６８】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明に係るバルブ制御装置の制御装置は、バルブを閉方向に駆動するパルスをパルスモータに供給し、パルスモータの脱調を検出した後に、更にバルブを閉方向に駆動する所定のパルスをパルスモータに供給し、続いてバルブを開方向に駆動する規定のパルスをパルスモータに供給してバルブの閉止位置の原点を検索する原点検索手段を備えたので、バルブの閉止位置に自由度を持たせて原点を設定することにより、経時変化などでバルブに磨耗が生じても原点を設定することができ、利便性の向上を図ることができる。
【００６９】
また、この発明に係る原点検索手段は、パルスモータの脱調を検出する脱調検出手段と、脱調検出、所定のパルス発生、規定のパルス発生の順序を指定するシーケンス手段とを備えたので、自動的にバルブの閉止位置の原点を設定することができる。
【００７０】
さらに、この発明に係る制御装置は、装置の電源投入時に、原点検索手段を起動する起動手段を備えたので、定期的に、かつ自動的にバルブの閉止位置の原点を設定することができ、使い勝手の良さをアピールすることができる。
【００７１】
また、この発明に係る制御装置は、バルブの開閉度の異常を検出する異常検出手段を備え、異常検出手段からの異常信号に基づいて起動手段を動作するので、何らかの原因でバルブの開閉度に異常が発生した場合には、自動的にバルブの閉止位置の原点を確実に設定することができ、閉止位置の原点設定の信頼性を向上させることができる。
【００７２】
さらに、この発明に係るロータリ・エンコーダは、パルスモータを駆動するパルスの逓倍の検出パルスを発生するとともに、パルスモータが脱調した場合には、検出パルスを発生しないので、バルブの任意開度から閉じ始めても閉止位置を確実に検出することができる。
【００７３】
また、この発明に係るバルブ制御装置の原点検索方法は、バルブを閉駆動するステップＳ１と、パルスモータの脱調を検出して停止するステップＳ２と、所定パルスでパルスモータを閉方向に駆動して停止するステップＳ３と、規定パルスでパルスモータを開方向に駆動して停止するステップＳ４とを備えたので、バルブの閉止位置に自由度を持たせて原点を設定するができ、利便性の向上を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係るバルブ制御装置の一実施の形態要部ブロック構成図
【図２】この発明に係る制御装置の一実施の形態要部ブロック構成図
【図３】この発明に係る原点検索手段の一実施の形態要部ブロック構成図
【図４】この発明に係るバルブ制御装置のバルブ位置の実施の形態イメージ図
【図５】この発明に係るバルブ原点検索の実施の形態動作説明図
【図６】この発明に係るバルブ開閉の実施の形態動作説明図
【図７】この発明に係るバルブ制御装置の原点検索方法の実施の形態基本動作フロー図
【符号の説明】
１  バルブ制御装置
２  制御装置
３  原点検索手段
４  ロータリ・エンコーダ
５  ステッピングモータ
６  回転／直線運動変換機構
７  バルブ
８  流通路
９  操作キー
１０  制御手段
１１  記憶手段
１２  パルス発生手段
１３  起動手段
１４  異常検出手段
１５  比較手段
１６  判定手段
１７  脱調検出手段
１８  シーケンス手段
１９  タイマ手段
ＰＣ  パーソナルコンピュータ
ＰD  駆動パルス
ＰO  検出パルス
ＫO  バルブ開度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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