(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子に加えられている回転の回転角速度を検出するための振動型ジャイロスコープであって、
圧電単結晶からなる振動子を含み、
前記振動子は、回転中心となる重心を含む連結部、該連結部の周縁部から、四方に向かって放射状に２つの駆動振動系と検出振動系とが突出していると共に各振動系は互いに分離されており、前記駆動振動系は更に第１、第２の駆動振動系を備えてこれらが重心を中心として互いに対称であり、前記検出振動系は更に第１、第２の検出振動系を備えてこれらが重心を中心として互いに対称である構造を含み、
前記振動子に駆動振動モードを励振するための駆動振動片が、前記２つの駆動振動系を含んで構成されており、
前記振動子にコリオリ力によって生じた検出振動モードを検出するための、前記駆動振動片と分離された検出振動片が、前記２つの検出振動系を含んで構成されており、
さらに、前記駆動振動片のＱ値を調節するための金属膜、および前記検出振動片に設けられている、前記金属膜に起因して前記検出振動片に生ずる不要振動モードを低減する為の高分子材料製の振動減衰材を備えていることを特徴とする、振動型ジャイロスコープ。
【請求項２】
前記振動減衰材が、前記検出振動モードにおける前記振動子中での最大振幅に対する各点の相対比率が０．１以上の領域内に設けられていることを特徴とする、請求項１記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項３】
前記振動子が所定平面内に延びており、前記振動子がこの所定平面方向の一対の主面と、前記所定平面に垂直な側面とを有しており、前記駆動振動モードおよび前記検出振動モードが前記所定平面内の振動モードであり、前記不要振動モードが前記所定平面に対して直交する方向の振動モードを含むことを特徴とする、請求項１または２記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項４】
前記検出振動片の一対の前記主面上にそれぞれ前記振動減衰材が付着していることを特徴とする、請求項３記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項５】
前記検出振動片の前記側面上に前記振動減衰材が付着していることを特徴とする、請求項３または４記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項６】
前記検出振動片に凹部または貫通孔が形成されており、この凹部または貫通孔の内壁面上に前記振動減衰材が付着していることを特徴とする、請求項３−５のいずれか一つの請求項に記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項７】
前記振動子が前記所定平面内にａ軸を有する単結晶であることを特徴とする、請求項３−６のいずれか一つの請求項に記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項８】
前記駆動振動モードにおいて前記駆動振動片がその付け根を中心として屈曲振動し、前記検出振動モードにおいて前記検出振動片がその付け根を中心として屈曲振動することを特徴とする、請求項３−７のいずれか一つの請求項に記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項９】
前記駆動振動片の側面上に前記金属膜が形成されていることを特徴とする、請求項３−８のいずれか一つの請求項に記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項１０】
前記駆動振動片に凹部または貫通孔が形成されており、この凹部または貫通孔の内壁面上に前記金属膜が付着していることを特徴とする、請求項３−９のいずれか一つの請求項に記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項１１】
前記駆動振動片の幅と前記検出振動片の幅との差の前記駆動振動片の幅に対する百分率比が２０％以上であることを特徴とする、請求項１−１０のいずれか一つの請求項に記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項１２】
前記振動減衰材が、−４０℃−＋８５℃の温度範囲における動的粘弾性の変化率が３倍以内である粘弾性体からなることを特徴とする、請求項１−１１のいずれか一つの請求項に記載の振動型ジャイロスコープ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動子に加えられている回転の回転角速度を検出するための振動型ジャイロスコープに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本出願人は、特開平１１−２５７９６８号公報において、振動型ジャイロスコープの圧電性材料製の振動子の各駆動振動片および検出振動片のＱ値を幅広く制御できるようにするために、電極膜とを別に金属膜等からなるＱ値調節部を形成することを提案した。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この振動型ジャイロスコープを実用化するのに際しては、未だ次の問題があることを発見した。即ち、これまで振動型ジャイロスコープが利用されてきた各種分野では、精密な観測機器であることから、周囲環境の温度変化が少ないことが多く、このため測定値に対する温度ドリフトの影響は少なかった。しかし、例えば車体制御システムにおいては、振動型ジャイロスコープおよびその振動子は、幅広い環境温度、即ち高温と低温とにさらされる。このような使用温度範囲は、−４０℃〜＋８５℃の範囲にわたっている。
【０００４】
本発明者は、前記振動子それ自体の有する温度特性をできる限り除去したが、振動子をパッケージ内に収容した後、−４０℃〜＋８５℃の温度範囲でジャイロ出力を測定したところ、未だ変動が見られた。具体的には、本発明者が、振動子が回転していないときのジャイロ出力の温度変化を測定したところ、特定温度領域において、振動子が回転していないときのジャイロ出力が著しく変動することがあった（０点温度ドリフト）。
【０００５】
本発明の課題は、振動子に加えられている回転の回転角速度を検出するための振動型ジャイロスコープであって、振動子に駆動振動モードを励振するための駆動振動片、振動子にコリオリ力によって生じた検出振動モードを検出するための検出振動片、および駆動振動片に設けられている、この駆動振動片のＱ値を調節するための金属膜を備えている振動型ジャイロスコープにおいて、−４０℃〜＋８５℃の温度範囲における非回転時の振動型ジャイロスコープの出力の変動（０点温度ドリフト）を低減することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、振動子に加えられている回転の回転角速度を検出するための振動型ジャイロスコープであって、
圧電単結晶からなる振動子を含み、前記振動子は、回転中心となる重心を含む連結部、該連結部の周縁部から、四方に向かって放射状に２つの駆動振動系と検出振動系とが突出していると共に各振動系は互いに分離されており、前記駆動振動系は更に第１、第２の駆動振動系を備えてこれらが重心を中心として互いに対称であり、前記検出振動系は更に第１、第２の検出振動系を備えてこれらが重心を中心として互いに対称である構造を含み、前記振動子に駆動振動モードを励振するための駆動振動片が、前記２つの駆動振動系を含んで構成されており、前記振動子にコリオリ力によって生じた検出振動モードを検出するための、前記駆動振動片と分離された検出振動片が、前記２つの検出振動系を含んで構成されており、さらに、前記駆動振動片のＱ値を調節するための金属膜、および前記検出振動片に設けられている、前記金属膜に起因して前記検出振動片に生ずる不要振動モードを低減する為の高分子材料製の振動減衰材を備えていることを特徴とする。
【０００７】
本発明者は、前述した−４０℃〜＋８５℃の温度範囲における非回転時の振動型ジャイロスコープの出力の変動（０点温度ドリフト）の発生原因を追求し、次の原因を突き止めた。
（１）駆動振動片上の金属膜の非対称性
（２）検出振動片中の不要な突起の生成
【０００８】
以下、これらの原因について説明する。図１は、本発明者が検討した振動子の一つを概略的に示す平面図である。振動子１それ自体の詳細な説明は後述する。ここで、各駆動振動片４Ａ−４Ｄには、それぞれ駆動電極１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃとは別に、駆動振動片の振動のＱ値を調節するための金属膜２０Ａが形成されている。なぜなら、振動子１においては、図面において右側の駆動振動系２Ａにおける駆動振動の状態と、左側の駆動振動系２Ｂにおける駆動振動の状態とを同じにする必要がある。しかし、実際の振動子の製造プロセスにおいては、右側と左側との各振動系２Ａ、２Ｂには若干の非対称性が発生する。このため、金属膜２０Ａを余分に設けておき、振動子の作成後にレーザー光等によって各金属膜２０Ａを削除する加工を行うことで、各駆動振動片の振動のＱ値を調節している。
【０００９】
しかし、こうした金属膜２０Ａは、前述した目的からして振動子１の両面に設ける必要はないので、振動子の片方の主面１０上にのみ設けていた。ところが、これによって、図１の面（所定平面）を中心として見たときに、各駆動振動片の質量が、主面１０側が大きくなり、反対側の主面（裏面）側では若干小さくなるはずである。このため、各駆動振動片にＹ軸方向に矢印Ａのような駆動振動を励振したときに、Ｚ軸方向（所定平面に垂直な方向）へと向かう振動成分を僅かに生じさせる。つまり、この不要振動は、（１）駆動振動片上の金属膜の非対称性によって生ずるものである。
【００１０】
しかし、本発明者は、こうした不要振動は０点温度ドリフトには寄与しないものと想定していた。なぜなら、図１に示す振動子１における検出振動Ｂは、やはりＹ軸方向の振動、つまり所定平面内の振動である。従って、かりに前述のような不要振動が存在したとしても、そのようなＺ軸方向（所定平面に垂直な方向）の振動成分は、検出信号には影響を与えないはずであった。
【００１１】
ところが、後述するように、高分子材料製の振動減衰材を検出振動片１６に設けることによって、実際に０点温度ドリフトが著しく減少することを発見した。これは、前記の不要振動が実際に０点温度ドリフトに寄与していたことを示すものと考えられる。この理由は以下のように推定される。
【００１２】
図８、図１０は、それぞれ図１の振動子１を別々の方向から見た斜視図である。図８において円で囲んだ部分、つまり検出振動片１６の連結部６への付け根の近辺には、図９に示すような突起２４が発生していることがあった。こうした突起２４は、特に結晶軸ａ軸の矢印の方向に向いた側面には発生せず、ａ軸の矢印とは反対の方向に向いた側面２３に発生する傾向があった。また、図１０において円で囲んだ部分、つまり検出振動片１６の側面には、図１０に示すような突起３０が発生していることがあった。こうした突起３０は、検出振動片の特に結晶軸ａ軸の矢印の方向に向いた側面１１に生成していた。
【００１３】
つまり、各突起２４、３０の形態は、図１における＋Ｘ方向と−Ｘ方向とで非対称であった。この結果、各検出振動片１６にＺ軸方向の不要振動モードが発生したときに、各突起２４、３０に起因する歪みがＸ−Ｙ面内（所定平面内）に生成するものと思われる。そして、こうした歪みの大きさが、温度変化に応じてかなり変動するものと推定される。
【００１４】
駆動振動片とは、駆動電極等の駆動手段が設けられている振動片を言う。検出振動片とは、検出電極等の検出手段が設けられている振動片を言う。この態様において好ましくは、検出振動片は、駆動振動モードでは実質的に振動しない。駆動振動モードにおいては、検出振動片における振幅は、最大振幅の０．０１以下であることが好ましい。
【００１５】
好ましくは、振動子が所定平面内に延びており、振動子が所定平面方向の一対の主面と、所定平面に垂直な側面とを有しており、駆動振動モードおよび検出振動モードが所定平面内の振動モードであり、不要振動モードが所定平面に対して交差する方向の、好ましくは直交する方向の振動モードである。こうした振動形態の振動子一般に、本発明は特に好適である。
【００１６】
好ましくは、検出振動片の一対の主面上に振動減衰材が付着しており、これによって不要振動モードを抑制する。
【００１７】
また、好ましくは、検出振動片の側面上に振動減衰材を付着させることができる。この場合には、振動減衰材が所定平面に対して垂直な方向に伸びるので、所定平面に対して垂直な方向の不要振動モードを特に効果的に抑制できる。
【００１８】
好ましくは、検出振動片に凹部または貫通孔が形成されており、この凹部または貫通孔の内壁面上に振動減衰材が付着している。この場合にも、振動減衰材が所定平面に対して垂直な方向に伸びるので、所定平面に対して垂直な方向の不要振動モードを特に効果的に抑制できる。
【００１９】
振動子は、エリンバー等の恒弾性合金から構成することができ、この場合には振動子上に多結晶圧電素子を設ける。しかし、特に好ましくは、振動子が圧電性単結晶からなり、振動子に、駆動振動を励起するための駆動電極と、検出振動を検出するための検出電極とを設ける。圧電性単結晶は、通常極めて低い粘性しか有していないので、本発明による高分子材料製の振動減衰材の効果が特に大きい。圧電性単結晶には、水晶、ＬｉＴａＯ３  単結晶、ＬｉＮｂＯ３  単結晶などがある。
【００２０】
振動子が所定平面内にａ軸を有する単結晶である場合には、０点温度ドリフトが特に起こりやすく、本発明が有用である。
【００２１】
好ましくは、駆動振動片の側面上に金属膜を形成することができる。これによって、駆動振動片における金属膜の質量のアンバランスが生じにくくなり、金属膜に起因する駆動振動片のＺ軸方向の不要振動モードが一層発生しにくくなる。これと同様の理由から、駆動振動片に凹部または貫通孔を形成し、凹部または貫通孔の内壁面上に振動減衰材を付着させることができる。
【００２２】
振動減衰材の材質は、−４０℃−＋８５℃の温度範囲における動的粘弾性の変化率が３倍以内であることが望ましい。こうした粘弾性体としては、シリコーン樹脂の他、エチレンプロピレンゴム、ブチルゴム、ウレタンゴムなどの合成ゴム、テフロン、四フッ化エチレン樹脂などのフッ素樹脂、塩化ビニール、ナイロン、ポリエチレンなどがある。また、粘弾性体の動的弾性率は１０２  −１０１０Ｐａが好ましく、動的損失は１０１  −１０８  Ｐａが好ましい。振動減衰材の厚さは、動的粘弾性の大きさに大凡反比例して調整する。
【００２３】
振動減衰材の形成方法は限定されない。例えば、未硬化の液状原料を、振動子上に塗布、ポッティング、スプレー塗布することで、塗布膜を形成できる。例えば、脱アルコール型、脱アセトン型、脱オキシム型、脱酢酸型、付加反応型などの種々のシリコーン接着剤を、ディスペンサーによって振動子上にポッティングし、付着させることができる。液状原料を振動子上に塗布またはポッティングする場合には、液状原料の粘性を１００Ｐａ・ｓ以下とすることによって、液状原料の付着面積を容易に広くでき、かつ塗布膜の厚さを均一にできる。また、高分子材料からなるシートや平板状成形体を振動子に接着、粘着することができる。
【００２４】
好ましくは、振動減衰材が、検出振動モードにおける振動子中での最大振幅に対する各点の相対比率が０．１以上の領域内に設けられており、これによって前記不要振動モードを特に効果的に抑制できる。この観点からは、振動減衰材が、検出振動モードにおける振動子中での最大振幅に対する各点の相対比率が０．３以上の領域内に設けられていることが一層好ましい。
【００２５】
検出振動片上に振動減衰材を形成する際には、振動減衰材の形成位置にずれが生じやすい。また、たとえ振動減衰材を検出振動片上の所定箇所に正確に形成できたものと仮定しても、その形成箇所における振幅の振動子中での最大振幅に対する相対比率は、実際の振動子の形成時のバラツキに応じて変化するものと思われる。このため、各振動子において、振動減衰材による不要振動モードおよび検出振動モードの減衰の度合いが変動してくる可能性がある。この問題を解決するためには、検出振動片の長さに対する振動減衰材の長さの百分率比を５％以上とすることが有効である。このように振動減衰材を長くすることによって、振動減衰材の形成位置のずれに起因する検出振動モードの減衰への影響を、各検出振動片ごとにほぼ均一化することができる。
【００２６】
ただし、検出振動片の長さに対する振動減衰材の長さの百分率比が７０％を超えると、検出振動モードの固有共振周波数が低下し過ぎるので、７０％以下とすることが好ましく、５０％以下とすることが更に好ましい。
【００２７】
金属膜を製造する方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、電解メッキ法、無電解メッキ法等の公知の方法を採用できる。
【００２８】
また、駆動振動片の幅と検出振動片の幅との差を大きくすることによって、Ｚ軸方向への検出振動片の固有共振周波数と駆動振動片の固有共振周波数との差を大きくし、不要振動モードが駆動振動片から検出振動片へと伝搬する際の効率を低減できる。この観点からは、駆動振動片の幅と検出振動片の幅との差の駆動振動片の幅に対する百分率比を２０％以上とすることが好ましい。
【００２９】
ただし、これだけでは所定平面内（Ｘ−Ｙ平面内）における検出振動片の振動の固有共振周波数も、駆動振動片の固有共振周波数に対して大きく変化する。このため、検出振動片の長さを駆動振動片の長さに対して変化させることによって、両者の幅の差による平面内振動の固有共振周波数の差を相殺することが好ましい。
【００３０】
好適な実施形態においては、駆動振動系が、基部の周縁部から延びる細長い支持部と、この支持部から支持部に対して交差する方向に延びる少なくとも一片の駆動振動片とを備えており、駆動振動片がその連結部への付け根を中心として所定面内で屈曲振動し、振動子が所定面内で回転したときに支持部がその基部への付け根を中心として所定面内で屈曲振動する。
【００３１】
更に好ましくは、検出振動系が、連結部から延びる細長い検出振動片を備えており、この検出振動片が、振動子が所定面内で回転したときに検出振動片の基部への付け根を中心として所定面内で屈曲振動する。
【００３２】
この実施形態において特に好ましくは、振動子が所定面内で回転したときに、駆動振動系の支持部および検出振動片が、その基部への付け根を中心として所定面内で屈曲振動すると共に、支持部の振動の位相と検出振動片の振動の位相（重心ＧＯを中心として回転方向に見たとき）とが、互いに逆である。
【００３３】
好ましくは、各駆動振動系が、重心ＧＯを中心として回転対称の位置にある。例えば、図１においては、駆動振動系２Ａと２Ｂとは、１８０°離れているので、駆動振動系２Ａを１８０°回転させる操作を行うと、駆動振動系２Ｂの位置にくる。この回転対称は、２回対称、３回対称、４回対称であることが好ましい。
【００３４】
特に好適な実施形態においては、連結部が所定面内において、振動子の重心に対して回転対称の形状を有している。このように対称性の高い連結部を使用することによって、振動子に対して外部振動が加わったときの不正規な振動の発生を一層抑制できる。この「回転対称」は、前述したような意味である。基部の位置は、３−６回対称であることが好ましく、４回対称であることが一層好ましい。
【００３５】
図１−図７を参照しつつ、本発明を更に詳細に説明する。
図１は、圧電単結晶製の振動子１を備えた振動型ジャイロスコープを、概略的に示す平面図である。連結部６は、振動子の重心ＧＯを中心として４回対称の正方形をしている。連結部６の周縁部６ａから、四方に向かって放射状に二つの駆動振動系２Ａ、２Ｂと検出振動系３Ａ、３Ｂとが突出しており、各振動系は互いに分離されている。駆動振動系２Ａと２Ｂとは、重心ＧＯを中心として２回対称であり、検出振動系３Ａと３Ｂとは、重心ＧＯを中心として２回対称である。振動子はＸ−Ｙ平面内に延びており、Ｚ軸を中心としてωのように回転する。
【００３６】
駆動振動系２Ａ、２Ｂは、連結部６の周縁部６ａから突出する支持部５Ａ、５Ｂと、支持部５Ａ、５Ｂの先端５ｂ側から支持部に直交する方向に延びる駆動振動片４Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄを備えている。各振動片４Ａ−４Ｄには、それぞれ駆動電極１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ、１３Ｄが設けられている。各検出振動系３Ａ、３Ｂは、細長い周方向検出振動片１６からなり、各振動片１６には検出電極１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄが設けられている。
【００３７】
図１および図２（ａ）、（ｂ）に示すように、各駆動振動片４Ａ−４Ｄの先端領域において、振動子の一方の主面１０上および他方の主面１５上に、それぞれ金属膜２０Ａ、２０Ｂが形成されている。金属膜２０Ａと２０Ｂとの質量はほぼ同等とする。なお、本例では、金属膜２０Ａ、２０Ｂが、二層の下地層２０ａ、２０ｂと、この上に設けられている金属メッキ膜２０ｃとを備えている。この下地層の材質としては、金とクロムの多層膜、金とチタンの多層膜が好ましく、金属メッキ膜の材質としては、金が特に好ましい。各金属膜２０Ａ、２０Ｂはそれぞれ駆動電極１３Ａ、１３Ｄの先端につながっている。
【００３８】
また、図３に示すように、駆動振動片の先端側に貫通孔２１を形成し、貫通孔２１の内壁面２１ａにそれぞれ振動減衰材２０Ｅ、２０Ｆを形成できる。また、本例では各側面２５上にもそれぞれ金属膜２０Ｃ、２０Ｄを形成した。このように金属膜を駆動振動片の側面上、貫通孔の内壁面上に形成すると、駆動振動片における金属膜の質量のアンバランスが生じない。
【００３９】
図４（ａ）においては、検出振動片１６の先端領域の主面１０、１５上に、それぞれ振動減衰材１８Ａが形成されている。図４（ｂ）においては、検出振動片１６の先端領域の各側面１１、１２上に振動減衰材１８Ｂが形成されている。図４（ｃ）においては、検出振動片の各主面１０、１５上および各側面１１、１２上にそれぞれ振動減衰材１８Ａ、１８Ｂが形成されている。
【００４０】
また、図５に示すように、検出振動片の先端側に貫通孔２２を形成し、貫通孔２２の内壁面２２ａにそれぞれ振動減衰材１８Ｄを形成できる。また、本例では検出振動片１６の各側面１１、１２上にもそれぞれ振動減衰材１８Ｃが形成されている。このように振動減衰材を検出振動片の側面上、貫通孔の内壁面上に形成すると、検出振動片における不要振動モードが一層効果的に抑制される。
【００４１】
図６には、検出振動モードにおける振動子の各点の振幅の最大振幅に対する相対比率を示し、図７には、検出振動モードにおける検出振動片の各点の振幅の最大振幅に対する相対比率を示す。このデータは、有限要素法による固有モード解析によって得られたものである。振動子の材質は水晶である。
【００４２】
図６および図７において、それぞれ色の異なる領域は、各別に異なる最大振動振幅点との比率の領域を示す。寒色に彩色された領域は振幅が小さく、暖色に彩色された領域は振幅が大きい。特に検出振動片においては、付け根は振幅が小さく、最大振幅の１／１０未満であるが、先端に近づくのに従って振幅が大きくなっている。本発明において特に好ましくは、検出振動片のうち、各点の振幅の最大振幅に対する比率が１／１０以上の領域（つまり濃い青色に彩色されている領域以外の領域）に、振動減衰材を形成する。
【００４３】
【実施例】
（比較例）
図１、図２に示す振動型ジャイロスコープを作製した。ただし、振動減衰材は設けなかった。また、図２において、金属膜２０Ａを駆動振動片の一方の主面１０上だけに設け、他方の主面１５上には設けなかった。
【００４４】
厚さ０．３ｍｍの水晶のＺ板のウエハーに、スパッタ法によって、所定位置に、厚さ２００オングストロームのクロム膜と、厚さ５０００オングストロームの金膜とを形成した。ウエハーの両面にレジストをコーティングした。
【００４５】
下地層２０ａは、スパッタリング法によって設けた厚さ２００オングストロームのクロム膜とし、下地層２０ｂは、スパッタリング法によって設けた厚さ５０００オングストロームの金膜とした。次いで、厚さ５μｍのレジスト膜をコーティングし、このレジスト膜をフォトリソグラフィー法によってパターニングし、電解メッキ法によって金メッキ膜２０ｃを形成した。
【００４６】
このウエハーを、ヨウ素とヨウ化カリウムとの水溶液に浸漬し、余分な金膜をエッチングによって除去し、更に硝酸セリウムアンモニウムと過塩素酸との水溶液にウエハーを浸漬し、余分なクロム膜をエッチングして除去した。温度８０℃の重フッ化アンモニウムに２０時間ウエハーを浸漬し、ウエハーをエッチングし、振動子の外形を形成した。メタルマスクを使用して、厚さ２０００オングストロームのアルミニウム膜を電極膜として形成した。
【００４７】
得られた振動子の連結部６の寸法は６．０ｍｍ×６．０ｍｍであり、各検出振動片１６の寸法は、幅１．０ｍｍ×長さ６．０ｍｍであり、駆動振動片の寸法は、幅１．０ｍｍ×長さ６．０ｍｍであった。金属膜２０Ａは、駆動振動片の先端から５．６０−５．９５ｍｍの位置に設けた。
【００４８】
振動子の中央部に０．７５ｍｍ×０．７５ｍｍの正方形の支持孔７を形成し、この孔に直径０．６ｍｍの金属ピンを通し、金属ピンに対して振動子をシリコーン樹脂接着剤によって接着した。
【００４９】
そして、こうして得られた振動型ジャイロスコープを回転テーブルに取り付け、静止時について、ロックインアンプを用いて、検出電極から取り出した信号のうち駆動信号と同期する成分のみの強度（０点信号）を測定した。そして、−４０℃−＋８５℃における０点信号の変位（０点温度ドリフト）を測定したところ、２°／ｓであった。
【００５０】
（実施例）
比較例と同様にして振動型ジャイロスコープを製造した。ただし、図２に示すように、駆動振動片の一方の主面１０上および他方の主面１５上にそれぞれ金属膜２０Ａ、２０Ｂを形成した。また、図４（ａ）に示すように、検出振動片１６の一方の主面１０上および他方の主面１５上に振動減衰材１８Ａを形成した。振動減衰材の位置は、検出振動片１６の先端面１６ｂから０．５−１．０ｍｍの位置であった。この際には、ディスペンサーを用いて、シリコーン樹脂接着剤（一液性脱アルコール型シリコーン樹脂、室温硬化型、動的弾性率５×１０６  Ｐａ、動的損失５×１０５  Ｐａ）をポッティングし、室温で硬化させた。
【００５１】
こうして得られた振動型ジャイロスコープについて、−４０℃−＋８５℃における０点信号の変位（０点温度ドリフト）を測定したところ、０．５°／ｓであった。
【００５２】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、−４０℃−＋８５℃の温度範囲における非回転時の振動型ジャイロスコープの出力の変動（０点温度ドリフト）を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した振動型ジャイロスコープを概略的に示す正面図である。
【図２】（ａ）は、駆動振動片４Ａ−４Ｄを一方の主面側から見た図であり、（ｂ）は、駆動振動片を側面側から見た図である。
【図３】駆動振動片に貫通孔２１を形成し、貫通孔の内壁面２１ａ上および側面２５上に金属膜２０Ｃ−２０Ｆを形成した状態を示す斜視図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ、検出振動片およびその上に形成された振動減衰材を示す図である。
【図５】検出振動片に貫通孔２２を形成し、貫通孔の内壁面２２ａ上および側面１１、１２上に振動減衰材１８Ｃ、１８Ｄを形成した状態を示す斜視図である。
【図６】検出振動モードにおける、振動子の各点の振幅の最大振幅に対する比率を示す図である。
【図７】検出振動モードにおける、検出振動片の各点の振幅の最大振幅に対する比率を示す図である。
【図８】振動子１の斜視図である。
【図９】検出振動片の付け根領域の側面に生成する突起２４を示す斜視図である。
【図１０】振動子１を図８とは別の方向から見た斜視図である。
【図１１】検出振動片の側面に細長く生成する突起３０を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  振動子        ２Ａ、２Ｂ  駆動振動系        ３Ａ、３Ｂ検出振動系        ４Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄ  駆動振動片        ５Ａ、５Ｂ支持部        ６  連結部        １０  振動子の一方の主面        １１、１２  検出振動片の側面        １３Ａ、１３Ｂ  駆動電極        １４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄ  検出電極        １５  他方の主面        １６  検出振動片        １８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄ  振動減衰材        ２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ、２０Ｅ、２０Ｆ  金属膜        ２１  駆動振動片に形成された貫通孔        ２１  貫通孔２１の底壁面        ２２  検出振動片に形成された貫通孔        ２２ａ  貫通孔２２の内壁面        ２５  駆動振動片の側面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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