(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークをインデックスマッチング液を介して載置する黒色載置面を有するワーク載置台と、
ワーク載置台の上方に設けられ、ワークに対して光りを照射してワークからの反射光によりワーク表面の平坦度を検出する干渉計とを備え、
ワーク載置台の載置面に複数の放出孔を設け、この放出孔に、インデックスマッチング液を供給する液体供給装置を接続したことを特徴とするワーク表面検査装置。
【請求項２】
液体供給装置は、インデックスマッチング液を供給するポンプを有することを特徴とする請求項１記載のワーク表面検査装置。
【請求項３】
ワーク載置台の載置面周縁に液体収納溝が設けられ、この液体収納溝はポンプの入側にフィルタを介して接続されていることを特徴とする請求項２記載のワーク表面検査装置。
【請求項４】
ワーク載置台上に、ワークの水平方向移動を規制するストッパを設けたことを特徴とする請求項１記載のワーク表面検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はガラス基板等のワークの表面検査を行うためのワーク表面検査装置に係り、とりわけワークの表面を精度良く検査することができるワーク表面検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来よりワーク表面検査方法として、図３に示すような検査方法が知られている。すなわち、高い平坦性を有する載置台５に溶液を介して検査すべきワーク２を載せ、ワーク２の検査面を上にしてレーザー干渉計４等により表面検査を行う。この場合、溶液としては、インデックスマッチング液３が用いられ、このインデックスマッチング液３は、ワーク２と同一屈折率あるいは極めて近い屈折率を有している。レーザー干渉計４からの光は、ワーク２の検査面のみで反射し、この反射光がレーザー干渉計４へ入射してワーク２の表面形状が検査される。他方、ワーク２内へ進入した光は、ワーク２底面からインデックスマッチング液３を通って載置台５側へ透過され、吸収される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上述した検査方法では、ワーク２と載置台５との間に介在する溶液の量が、ワーク２の歪みへ影響し、ワーク２が大きくなればなるほどさらにその傾向は強まる。
【０００４】
即ち、溶液３の量が少ないほど、ワーク２は下方の載置台５との密着力が高まって歪み、下の載置台５の平坦度の影響が大きくなってしまう。そこで、溶液３の量を充分多くし、ワーク２をフローティング状態とした場合、載置台５の影響が少なくなる。しかしながら、時間の経過に伴ってワーク２と載置台５との溶液３の量が減少し、これに伴って密着力が変化し、ワーク２が載置台５の平坦度の影響を受けて歪んでしまい、精度良くワーク２の表面検査をすることができない。
【０００５】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、時間の影響を受けることなく、常時ワークの表面を精度良く検査することができるワーク表面検査装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ワークをインデックスマッチング液を介して載置する黒色載置面を有するワーク載置台と、ワーク載置台の上方に設けられ、ワークに対して光りを照射してワークからの反射光によりワーク表面の平坦度を検出する干渉計とを備え、ワーク載置台の載置面に複数の放出孔を設け、この放出孔に、インデックスマッチング液を供給する液体供給装置を接続したことを特徴とするワーク表面検査装置である。
【０００７】
本発明によれば、液体供給装置によりインデックスマッチング液を放出孔に供給し、さらにインデックスマッチング液を放出孔から載置面上に放出する。載置面上のワークは、放出孔からのインデックスマッチング液により載置面から浮上する。この間干渉計からの光がワークに照射され、ワークからの反射光に基づいて干渉計によりワークの表面の平坦度が検査される。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【０００９】
図１および図２は、本発明によるワーク表面検査装置の一実施の形態を示す図である。
【００１０】
図１および図２に示すように、ワーク表面検査装置１０は四角形状のガラス製ワーク２を載置する載置面５ａを有するワーク載置台５と、ワーク載置台５の上方に設けられ、ワーク２に対して光を照射しワーク２からの反射光を検出してワーク２の表面の平坦度を検査する、例えばフィゾー干渉計などのレーザー干渉計４とを備えている。
【００１１】
このうち、ワーク載置台５の載置面５ａは、四角形状を有するとともに黒色を有し、光を吸収するようになっている。また、ワーク載置台５の載置面５ａには、載置面５ａ全域に渡って複数の放出孔６が設けられている。さらに放出孔６には、フィルタ１１およびポンプ１２からなり、インデックスマッチング液３を供給する液体供給装置が接続されている。
【００１２】
すなわちワーク載置台５の載置面５ａ周縁には、液体収納溝８が設けられ、この液体収納溝８にはフィルタ１１とポンプ１２が配管１３を介して接続されている。そしてこの配管１３はワーク載置台５の放出孔６へ接続され、配管１３を流れるインデックスマッチング液３が放出孔６から放出されるようになっている。
【００１３】
また載置面５ａには、ワーク２の水平方向の移動を規制する４本のストッパ７が設けられている。
【００１４】
次に、各構成部分の材料および形状について述べる。図１および図２において、ワーク載置台５はアルミニウムとなっており、ワーク載置台５のうち少なくとも載置面５ａは黒色アルマイト処理され、これにより黒色となっている。また、載置面５ａの放出孔６は３mmピッチで配設され、各々０．５mmの直径を有している。
【００１５】
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。検査すべきワーク２として、ワーク（１７３７硝子：コーニング社製、１５０×１５０mm、厚み１mm、屈折率１．５２）を用いる。またワーク２表面の平坦度検査を行うため、半導体レーザーを有するレーザー干渉計（フィゾー干渉光）４を用いる。ワーク２の平坦度検査にあたっては、ワーク２の歪みがなく自然な状態で計測できることが望ましい。
【００１６】
本発明によればワーク２の歪みが極めて少なく、より自然に近い状態でワーク２の表面検査が可能となり、従来のように載置台５の平坦度に影響されることはない。
【００１７】
すなわち、まずワーク２をアルミ製の黒アルマイト処理したワーク載置台５の載置面５ａ上に載せる。載置面５ａには直径０．５mmの放出孔６が３mmピッチでほぼ全域に形成されている。次にポンプ１２を作動すると、配管１３から透明なインデックスマッチング液３（キシレン：屈折率１．５０）が載置面５ａの放出孔６へ送られ、この放出孔６からインデックスマッチング液３が染み出すように載置面５ａ上に放出される。
【００１８】
この場合、ワーク２は載置面５ａから浮上し、ワーク２と載置面５ａとの密着力が失われる。ワーク２が浮上すると、ワーク２の裏面の凹凸は、インデックスマッチング液３の層によって吸収され、ワーク２の特定な部分に力がかからなくなる。
【００１９】
ところで放出孔６の径が大きく、放出孔６の数が少ないと個々の放出孔６から放出する放出量が多くなり、個々の放出孔６からの放出量のバラツキが問題となる。従って、放出孔６の径はできる限り小さく、かつ放出孔６の数は多い方が望ましい。
【００２０】
また、浮上したワーク２はストッパ７により水平方向への移動が防止される。
ワーク載置台５の載置面５ａ上へ放出されたインデックスマッチング液３は、その後液体収納溝８から配管１３を経てフィルタ１１へ送られる。インデックスマッチング液３はポンプ１２入側のフィルタ１１で浄化された後、ポンプ１２へ送られる。
【００２１】
この間、レーザー干渉計４からレーザー光がワーク２の表面に向かって照射され、ワーク２の表面からの反射光がレーザー干渉計４へ入射する。このようにしてレーザー干渉計４によりワーク２の表面の平坦度を検査することができる。
【００２２】
またワーク２を通過したレーザー光は、ワーク２と略同一の屈折率を有するインデックスマッチング液３を通って載置面５ａ側へ入射する。この場合、載置面５ａは黒色アルマイト処理されているので、レーザー光は載置面５ａ上で反射することはなく、載置面５ａにより吸収される。
【００２３】
このため、レーザー干渉計４には、ワーク２の表面における反射光のみが入射するので、ワーク２の表面の平坦度を精度良く検査することができる。また、ワーク２は載置面５ａの放出孔６から放出されるインデックスマッチング液により常時載置面５ａから浮上した状態に保たれるので、表面検査中にワーク２が載置面５ａに密着することはない。このため常時載置面５ａの平坦度の影響を受けることなく、ワーク２の表面検査を精度良く行うことができる。
【００２４】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、載置面上に放出孔から放出されたインデックスマッチング液によりワークが載置面上で常時浮上する。このため、時間が経過してもワークが載置面に密着することはなく、載置面の平坦度の影響を受けることなくワーク表面の平坦度を常時、精度良く測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるワーク表面検査装置の一実施の形態を示す概略図。
【図２】ワーク表面検査装置の側面図。
【図３】従来のワーク表面検査装置を示す図。
【符号の説明】
２  ワーク
３  インデックスマッチング液
４  レーザー干渉計
５  ワーク載置台
５ａ  載置面
６  放出孔
７  ストッパ
８  液体収納溝
１０  ワーク表面検査装置
１１  フィルタ
１２  ポンプ
【図１】
0004222709.tif 000002
【図２】
0004222709.tif 000003
【図３】
0004222709.tif 000004