(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォトマスクブランクスもしくはフォトマスクを複数枚収納したプラスチック容器を、緩衝部材を用いて収納する運搬用箱において、
前記緩衝部材が第１の部材（１００）、第２の部材（２００）及び第３の部材（３００）からなり、
（ａ）前記第１の部材（１００）は、それぞれ折線を介して順に連設された内側板（１１）、仕切り板（１）、内側板（１２）、底板（２）、外側板（１３）、上板（３）及び外側板（１４）と、前記上板（３）の左右に折線を介して連設された外側板（１５）及び外側板（１６）を折り曲げて組み立てられたものであり、
内側板（１１）と仕切り板（１）との間の折線（４１）、仕切り板（１）と内側板（１２）との間の折線（４２）、内側板（１２）と底板（２）との間の折線（４３）、底板（２）と外側板（１３）との間の折線（４４）、外側板（１３）と上板（３）との間の折線（４５）、上板（３）外側板（１４）との間の折線（４６）が折り曲げられて筒状の２重箱が形成されていると共に、上板（３）と外側板（１５）との間の折線（４７）及び上板（３）と外側板（１６）との間の折線（４８）を折り曲げて前記筒状部分の側面に重ねられており、
前記内側板（１２）には、開口部（３５）が設けられ、かつ、外側板（１４）には挿入片（２１）が設けられて、この挿入片（２１）が前記開口部（３５）に差し込まれており、
前記上板（３）には、切り込みにより、突出片を有するフラップ（６１）、フラップ（６２）、フラップ（６３）及びフラップ（６４）が設けられ、かつ、これら各フラップ（６１）（６２）（６３）（６４）は突出片を有しており、他方、仕切り板（１）には開口部（３１）、開口部（３２）、開口部（３３）、開口部（３４）が形成されており、各フラップ（６１）（６２）（６３）（６４）は、その根元の折線（４９）（５１）（５２）（５３）からそれぞれ折り曲げられて、その突出片がそれぞれ前記開口部（３１）（３２）（３３）（３４）に差し込まれており、
前記底板（２）には切り込み（９１）が設けられており、
（ｂ）前記第２の部材（２００）は、前記第１の部材の上板と同一サイズの板状のシートからなり、前記収納開口部と同一位置で、同一サイズの開口部（２０１）を備えており、
（ｃ）前記第３の部材（３００）は前記第１の部材（１００）と同様の構造であり、
（ｄ）外箱に、前記第１の部材（１００）、第２の部材（２００）、第３の部材（３００）がこの順で収納されており、かつ、第３の部材（３００）は前記第１の部材（１００）を１８０度回転して、上下を逆にした状態で収納されており、これら各部材で構成される開口部にプラスチック容器４００が収納されている、
ことを特徴とする運搬用箱。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板、フォトマスクブランクス、半導体集積回路の製造用のレチクル及びフォトマスク等を収納したプラスチック容器を収納するための収納用緩衝部材及び運搬用箱に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体素子、ＩＣ、ＬＳＩ等の半導体チップの製造において半導体ウェハに微細パターンを転写する際に使用されるレチクルあるいはフォトマスクは、透明ガラス基板の表面に遮光層、レジストを順次積層した後に、レジスト、遮光層を所定の形状にパターン化し、レジストを剥離することにより作成される。ここで、透明ガラス基板の表面に遮光層、レジストを順次積層した状態の基板を一般にフォトマスクブランクスと称している。
これらガラス基板、フォトマスクブランクス、レチクル及びフォトマスク等を運搬する際には、その複数枚をプラスチック容器に収めた後、プラスチック容器を段ボール等より成る外箱に収納し、外箱ごと運搬することが一般的に行なわれている。
【０００３】
ところが、運搬の途上で外箱を誤って落下したり、あるいは外箱を車輌に積載する際に取り扱いが粗雑であったりすると、その衝撃で外箱が破損し、さらに中のプラスチック容器やガラス基板、フォトマスクブランクス、レチクル及びフォトマスク等まで破損するという事故が発生する。
【０００４】
上記の問題に対する対策として、図７に示すような緩衝部材を使用した梱包形態が採用されている。すなわち、ガラス基板、フォトマスクブランクス、レチクル及びフォトマスク等を収納したプラスチック容器４００を外箱６００中に収納する際外箱６００とプラスチック容器４００との間に込め物部材６０１（段ボール製）及び発泡スチロール、スポンジ、エアーキャップ等の緩衝部材７０１を配置することによって、外部からの衝撃がプラスチック容器やガラス基板、フォトマスクブランクス、レチクル及びフォトマスク等にまで及ばないようにすることが従来より行われている。
【０００５】
しかるに、段ボール等からなる込め物部材６０１に加えて、他の材料からなる緩衝部材７０１を用いることは、梱包資材にかかる費用を増大させることになるので、運搬コストを高くする要因になってしまう。また、発泡スチロール、スポンジ、エアーキャップ等のプラスチック材料は廃棄する際に種々の制約があり、多量に発生する場合は廃棄上の問題がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の問題点に鑑み考案されたもので、梱包資材にかかる費用を増大させることなく、耐衝撃性に優れた収納用緩衝部材及び運搬用箱を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明において上記課題を達成するために、まず請求項１においては、フォトマスクブランクス及びフォトマスク等を複数枚収納したプラスチック容器を緩衝部材を用いて運搬用箱に収納する際に、前記緩衝部材が第１の部材１００、第２の部材２００及び第３の部材３００からなることを特徴とする収納用緩衝部材としたものである。
【０００８】
また、請求項２においては、前記第１の部材１００は、内側板１１、仕切り板１、内側板１２、底板２、外側板１３、上板３、外側板１４、外側板１５及び外側板１６からなり、仕切り板１には開口部３１、開口部３２、開口部３３、開口部３４及び突出板８１が、内側板１２には開口部３５が、底板２には切り込み９１が、上板３には突出片を有するフラップ６１、フラップ６２、フラップ６３及びフラップ６４が、外側板１４には挿入片２１がそれぞれ形成されており、内側板１１の折線４１から折線４２、折線４３、折線４４、折線４５、折線４６、折線４７及び折線４８まで順次直角に折り曲げて、挿入片２１を折線５４にて折り曲げて内側板１２の開口部３５に差し込んで２重箱を形成してなる請求項１に記載の収納用緩衝部材としたものである。
【０００９】
さらにまた、請求項３においては、前記上板３の突出片を有するフラップ６１、フラップ６２、フラップ６３及びフラップ６４を折線４９、折線５１、折線５２及び折線５３にて直角に折り曲げ、フラップ６１、フラップ６２、フラップ６３及びフラップ６４の突出片を仕切り板１の開口部３１、開口部３２、開口部３３及び開口部３４にそれぞれ差し込んで、収納開口部７１を形成したことを特徴とする請求項２に記載の収納用緩衝部材としたものである。
【００１０】
さらにまた、請求項４においては、前記第２の部材２００は、前記第１の部材の上板と同一サイズの板状のシートからなり、前記収納開口部と同一位置で、同一サイズの開口部２０１を備えていることを特徴とする収納用緩衝部材としたものである。
【００１１】
さらにまた、請求項５においては、前記第３の部材３００は、前記第１の部材１００を１８０度回転して、上下を逆にしたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の収納用緩衝部材としたものである。
【００１２】
さらにまた、請求項６においては、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の収納用緩衝部材を用いて、外箱５００に第１の部材１００、第２の部材２００、プラスチック容器４００及び第３の部材３００を順次収納したことを特徴とする運搬用箱としたものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１は本発明に係る収納用緩衝部材（第１の部材及び第３の部材）の一実施例の構成を示す斜視図を、図２は本発明に係る収納用緩衝部材（第１の部材及び第３の部材）の組立前の平面展開図を、図３は図１の斜視図をＡ−Ａ線で切断した構成縦断面図を、図４は図１の斜視図をＢ−Ｂ線で切断した構成縦断面図を、図５は本発明に係る収納用緩衝部材（第２の部材）の一実施例を示す斜視図を、図６は本発明に係る収納用緩衝部材（第１の部材、第２の部材及び第３の部材）を用いてプラスチック容器を外箱に収納した運搬用箱の一実施例を示す断面図を、それぞれ示す。
【００１４】
本発明の収納用緩衝部材は第１の部材１００、第２の部材２００及び第３の部材３００からなり、第１の部材１００及び第３の部材３００は一枚のシートから折り曲げ加工を繰り返して２重箱を形成し、上板１の所定位置にプラスチック容器４００を収納する収納用開口部７１を設けたものである。第１の部材１００は収納用開口部７１を上に向けたもので、第３の部材３００は収納用開口部７１を下に向けたものであり、収納用開口部７１が互いに相対する状態で使用される。第２の部材２００は第１の部材１００及び第３の部材３００の上板とほぼ同一の寸法であり、第１の部材１００及び第３の部材３００の収納用開口部７１と同位置で、同一サイズの開口部２０１を設けたものである。
【００１５】
ガラス基板、フォトマスクブランクス、レチクル及びフォトマスク等を収納したプラスチック容器４００は図６に示すように、外箱５００に、まず第１の部材１００と第２の部材２００を重ねて置き、第１の部材１００の収納用開口部７１及び第２の部材２００の開口部２０１にプラスチック容器４００をはめ込むようにして押し込み、プラスチック容器４００の上部に第１の部材１００の上下を逆にした第３の部材３００の収納用開口部７１をはめ込み、外箱５００の蓋部を折り込んで、運搬用箱とする。
このようにガラス基板、フォトマスクブランクス、レチクル及びフォトマスク等を収納したプラスチック容器４００を本発明の収納用緩衝部材で外箱５００に収納して運搬用箱にすることにより、梱包資材にかかる費用を増大させることなく、耐衝撃性に優れた緩衝部材及び運搬箱が得られる。
【００１６】
以下収納用緩衝部材（第１の部材、第２の部材及び第３の部材）及び運搬用箱について図面を用いて詳細に説明する。
第１の部材１００及び第３の部材３００は段ボール等の厚紙からなるシートを仕切り板１、底板２及び上板３と折線、切り込み、開口部を入れて所定の形状に打ち抜き等で加工し、図２に示すような平面展開図の形状を得る。
仕切り板１には開口部３１〜開口部３４と３辺に切り込みの入った突出板８１を、内側板１２には開口部３５を形成する。この突出板８１は仕切り板１と上板３の間隔を保持する役目を有する。
底板２には切り込み９１を形成し、第３の部材として使用するときに、第３の部材のセット、取り出しをこの切り込み９１を使って行い、取り扱いを容易にしたものである。
上板３には突出片を有するフラップ６１〜フラップ６４が形成されており、折線４９〜折線５３にてフラップ６１〜フラップ６４を直角に折り曲げて突出片を開口部３１〜開口部３４にそれぞれ押し込むことにより、収納用開口部７１が形成されると同時に上板３と仕切り板１の間隔がこのフラップで維持されるようになる。さらに、このフラップはプラスチック容器４００の横ずれの力に対する緩衝材としての働きも有する。ここでは、収納用開口部７１は２個設けた場合について示したが、プラスチック容器及び運搬用箱のサイズによって、適宜設定できるものである。
外側板１４には挿入片２１を形成し、２重箱を形成した後挿入片２１を開口部３５に押し込むことにより、外側板１４が固定され、箱形状が維持される。
【００１７】
上記所定の形状加工された段ボールシートを内側板１１の折線４１から折線４２、折線４３、折線４４、折線４５、折線４６及び折線５４まで順次直角に折り曲げて、挿入片２１を折線（５４）にて折り曲げて内側板１２の開口部３５に差し込んで２重箱を形成し、最後に折線４６及び折線４８にて外側板１５及び外側板１６を折り曲げて、本発明の緩衝部材（第１の部材及び第３の部材）を得る（図１、図３及び図４参照）。
【００１８】
第２の部材２００は段ボール等の厚紙からなり、外形サイズは第１の部材及び第３の部材の外形サイズと同じくしてあり、第１の部材１００及び第３の部材３００の収納用開口部７１と同一サイズの開口部２０１を、同位置に設けたものである（図５参照）。第２の部材２００は第１の部材１００及び第３の部材３００の収納用開口部７１にプラスチック容器４００を収納する際プラスチック容器４００の側面にある重ね合わせ部の突起４０１でプラスチック容器４００を支える構造にしているため、局部的に力が加わるため機械的に補強するためのものである。詳しくは、プラスチック容器４００は第１の部材１００の収納用開口部７１にはめ込むように入れられるが、プラスチック容器４００の底部は第１の部材１００の仕切り板１には接触しないで、緩衝性を持たせる構造になっている。
【００１９】
ガラス基板、フォトマスクブランクス、レチクル及びフォトマスク等を収納したプラスチック容器４００は上記緩衝部材（第１の部材、第２の部材及び第３の部材）にて外箱５００に収納されて運搬用箱を得る（図６参照）。
具体的には、まず、外箱５００の底に第１の部材１００を置き、重ねるように第２の部材２００を置く。次に、ガラス基板、フォトマスクブランクス、レチクル及びフォトマスク等を収納したプラスチック容器４００を第１の部材１００の収納用開口部７１及び第２の部材２００の開口部２０１にはめ込む用にして、プラスチック容器４００の突起４０１が第２の部材２００にぶつかるまで押し込む。ここで、プラスチック容器４００の底部は第１の部材１００の仕切り板１にぶつからないようになっている。次に、第３の部材３００の切り込み９１を掴んで第３の部材３００の収納用開口部７１をプラスチック容器４００の上部にはめ込み、プラスチック容器４００の上部が第３の部材３００の仕切り板１にぶつかるまで押し込む。最後に、外箱５００の蓋部を折り込んで、テープ貼り等で蓋部を固定し、運搬用箱を得る。ここで、第３の部材３００の上板３はプラスチック容器４００の押さえ片４０２にぶつからないようにしてある。
【００２０】
外箱５００は段ボール等の厚紙からなり、外形サイズは内寸で緩衝部材（第１の部材、第２の部材及び第３の部材）がきちっと収まるように、高さはプラスチック容器を４００を収納した時の高さに合わせる。さらに、プラスチック容器は上下二つの容器からなり、重ね合わせて、弾性を有する押さえ片４０２で固定されている。
【００２１】
上記のように、プラスチック容器４００を本発明の緩衝部材（第１の部材、第２の部材及び第３の部材）で外箱５００に収納し、運搬用箱にした場合プラスチック容器４００、緩衝部材（１００、２００及び３００）及び外箱５００との間に遊びがなく、きっちりと収納されるため、外箱５００の機械的強度も保持され、プラスチック容器４００に対する緩衝部材（１００、２００及び３００）の緩衝効果（クッション効果）も優れたものになる。
【００２２】
【発明の効果】
本発明の収納用緩衝部材及びそれを用いた運搬用箱は下記のような効果を有する。
本発明の収納用緩衝部材は仕切り板で仕切られた２重箱構造になっており、且つ上板にプラスチック容器を収納する収納用開口部を設け、プラスチック容器を収納用開口部にはめ込んで収納した際プラスチック容器の底が緩衝部材の底板に触れないようになっているため、上下方向の緩衝効果（クッション効果）を仕切り板と第２の部材で持たせるようになっており、プラスチック容器への横方向の力は仕切り板と上板との間に設けられたフラップで吸収することができ、プラスチック容器に収納されたガラス基板、フォトマスクブランクス、レチクル及びフォトマスク等を外部衝撃から保護することができる。
本発明の緩衝部材及び運搬用箱は既存の段ボール等の紙部材が使用でき、繰り返し使用ができるので、梱包資材に要する費用を安価にすることができ、環境に優しい緩衝部材及び運搬用箱を提供でき、優れた実用上の効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る緩衝部材（第１の部材及び第３の部材）の一実施例の構成を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る緩衝部材（第１の部材及び第３の部材）の組立前の平面展開図である。
【図３】図１の斜視図をＡ−Ａ線で切断した構成縦断面図である。
【図４】図１の斜視図をＢ−Ｂ線で切断した構成縦断面図である。
【図５】本発明に係る緩衝部材（第２の部材）の一実施例の構成を示す斜視図である。
【図６】本発明に係る緩衝部材（第１の部材、第２の部材及び第３の部材）を用いてプラスチック容器を外箱に収納した運搬用箱の一実施例の構成を示す断面図である。
【図７】従来の緩衝部材を使用した運搬用箱の梱包形態を示す構成断面図である。
【符号の説明】
１……仕切り板
２……底板
３……上板
１１、１２……内側板
１３、１４、１５、１６……外側板
２１……挿入片
３１、３２、３３、３４、３５……開口部
４１、４２、４３、４４、４５、４６、４７、４８、４９、５１、５２、５３、５４……折線
６１、６２、６３、６４……フラップ
７１……収納用開口部
８１……突出板
１００……第１の部材
２００……第２の部材
２０１……開口部
３００……第３の部材
４００……プラスチック容器
４０１……突起
４０２……押さえ片
５００……外箱
６００……外箱
６０１……込め物部材
７０１……緩衝部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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