(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の薄膜層を形成して半導体装置を生成する薄膜生成装置へ、この半導体装置の生成における前記薄膜層の成長順及び成長条件のデータを示す成長プログラムを生成／供給する薄膜成長フロー生成システムにおいて、
前記薄膜層を順次成長させる複数の成長ステップからなる成長フローを生成するフロー生成手段と、
表示画面を、少なくとも成長フロー表示領域，第１の成長条件表示領域及び第２の成長条件表示領域に分割し、前記成長フローを成長フロー表示領域に表示させ、この成長フローにおける一の成長ステップの条件を第１の成長条件表示領域に表示させ、前記一の成長ステップと比較する前記成長フローにおける他の成長ステップの条件を第２の成長条件表示領域に表示する画像表示手段と、
前記第１の成長条件表示領域に示される成長条件の項目に従い、前記一の成長ステップの成長条件のデータが入力される入力手段と、
前記入力手段により入力された成長条件を成長プログラムとして、前記薄膜生成装置へ出力する出力手段と
を具備することを特徴とする薄膜成長フロー生成システム。
【請求項２】
前記第１の成長条件表示領域と前記第２の成長条件表示領域とにおける表示位置のスクロールが同期しており、この第１の成長条件表示領域及びこの第２の成長条件表示領域のいずれか一方の表示位置をスクロールすることにより、他方の表示位置も上下及び左右へ同一に移動することを特徴とする請求項１に記載の薄膜成長フロー生成システム。
【請求項３】
前記成長条件の項目が全ての成長ステップを通じて同一項目で構成されており、前記画像表示手段が、この項目を、項目毎の使用状態の違い，前または後の成長ステップにおいて対応する項目毎の使用状態の違い，及び対応する項目毎の数値の違いにより、これらの違いに応じて予め決められた所定の色で表示することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の薄膜成長フロー生成システム。
【請求項４】
前記表示手段が、前記第１の成長条件表示領域において、入力対象となっている成長条件の前記数値表示部の表示色を、入力対象とされていない他の成長条件の数値表示部の表示色と異なる色に変更し、前記第２の成長条件表示領域における成長条件の数値表示部の表示色を、前記第１の成長条件表示領域における同一の成長条件の前記数値表示部の表示色と、同一の色に制御することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の薄膜成長フロー生成システム。
【請求項５】
前記表示手段が、前記第１の成長条件表示領域及び前記第２の成長条件表示領域において、双方の対応する成長条件における数値表示部の数値が等しい場合、対応する成長条件の項目の文字表示部の表示色を同一の色により表示し、双方の対応する成長条件における数値表示部の数値が異なる場合、この第１の成長条件表領域の対応する成長条件の項目の文字表示部の表示色を異なった色に変更して表示することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の薄膜成長フロー生成システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、薄膜形成装置において、半導体装置を形成する複数の薄膜層の成長ステップからなる薄膜成長フローを生成する薄膜成長フロー生成システムに係わるものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、通信技術分野，記憶媒体の書込／読出技術の分野等の発展に従い、電界効果トランジスタ，レーザダイオード（ＬＤ）及び発光ダイオード（ＬＥＤ）が多用されてきている。
また、時計や電卓のにおいて、消耗による電池の交換が不要となるため、太陽電池が多く用いられるようになってきている。
そして、電界効果トランジスタ，ＬＤ，ＬＥＤ及び太陽電池は、半導体層や絶縁層を順次積み重ねて積層して形成するため、同様の薄膜製造装置を用いて製造する。
このため、各使用分野に対応する電界効果トランジスタ，ＬＤ，ＬＥＤ及び太陽電池を開発・製造する必要があり、これらのデバイス毎に、そのデバイスを構成する薄膜層の基板上における成長ステップを示し、各成長ステップにおける薄膜層の成長条件を含んだプロセスフローを用意しなければならない。
【０００３】
従来、これらのプロセスフローは、操作者が直接に半導体デバイス（電解効果トランジスタ，太陽電池）や、ＬＤ，ＬＥＤなどを形成する薄膜製造装置（ＭＯＣＶＤ：有機金属化学気相成長，ＭＢＥ：分子線エピタキシ成長などの薄膜成長法に基づく装置）のコントローラの成長条件入力プログラムを用いて、入力処理されている。すなわち、異なる半導体デバイスや、ＬＤ，ＬＥＤなどを作成する場合は、新たに、操作者がこの半導体デバイスや、ＬＤ，ＬＥＤなどに対応したプロセスフローをコントローラへ随時入力する。
以下の説明は、上記デバイスにおいて、代表としてＬＥＤを用いて説明する。
このとき、ＬＥＤのみの製造を考えたとしても、ＬＥＤ毎の発光特性などにより、順次積み重ねて積層する半導体層や絶縁層の生成条件，積層される各層の数が異なり、プロセスに対応した各成長ステップの成長条件を含んだプロセスフロー（成長プログラム）を用意する必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、コントローラには、成長プログラムを構成する成長ステップ毎に、薄膜製造装置における原料供給量，原料供給のバルブ操作，成長温度，基板の回転処理，成長時間などをコントロールする成長条件を入力する必要がある。ここで、ＬＥＤの成長プログラムは、薄膜層の成長前における基板アニール、及び薄膜層の成長が終了した後に行うアニールなどのステップを含めると、ステップ数が例えば５０以上になることがある。
【０００５】
また、大型の薄膜製造装置においては、成長ステップごとに１００種類の成長条件の設定項目があり、１回の成長で５０００以上の成長条件の設定を、各ステップ毎の表示に従い間違いなく行う必要がある。
しかし、従来の薄膜製造装置の成長条件入力プログラムは、表示装置に成長プログラムを構成する各ステップ毎に表示される、この成長ステップの成長条件の複数の設定項目において、必要な設定項目に数値などの多くの複雑な成長条件を入力する。
【０００６】
このため、ＬＥＤのプロセスフローが成長ステップを積み上げて構成されているので、従来の薄膜製造装置の成長条件入力プログラムには、成長プログラムの入力処理が非常に複雑であり、成長条件が表示装置にステップ毎に表示されることにより、各成長ステップにおいて行われる薄膜成長に対する処理の目的と、各成長ステップ毎に前後の成長ステップとの成長条件の違いとを認識することが、困難であるという欠点がある。
【０００７】
従って、従来の薄膜製造装置の成長条件入力プログラムには、各成長ステップにおける薄膜成長に対する処理の目的が認識できず、かつ、前後の成長ステップとの成長条件の設定項目の比較が行えないため、表示装置上において現在入力している成長ステップが、プロセスフローのいずれの成長ステップで有るかの確認が困難となり、成長条件の入力に時間がかかるという問題がある。
【０００８】
また、従来の薄膜製造装置の成長条件入力プログラムには、各成長ステップにおける薄膜成長に対する処理の目的が認識できず、かつ、前後の成長ステップとの成長条件の設定項目の比較が行えないため、表示装置上において入力された条件が正しいか否かのチェックに時間がかかり、かつ成長条件の入力ミスを見落とすことが多くなるという問題がある。
【０００９】
本発明は、このような背景の下になされたもので、半導体装置の形成に必要な成長プログラムデータ（成長プログラムのデータ）を生成し、薄膜製造装置に完成したこの成長プログラムデータを供給することで、成長条件の入力及び入力された成長条件の確認が迅速に行え、成長条件の入力ミスを無くすことが可能な薄膜成長フロー生成システムを供給することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、複数の薄膜層を形成して半導体装置を生成する薄膜生成装置へ、この半導体装置の生成における前記薄膜層の成長順及び成長条件のデータを示す成長プログラムデータを生成／供給する薄膜成長フロー生成システムにおいて、  前記薄膜層を順次成長させる複数の成長ステップからなる成長フローを生成するフロー生成手段と、表示画面を、少なくとも成長フロー表示領域，第１の成長条件表示領域及び第２の成長条件表示領域に分割し、前記成長フローを成長フロー表示領域に表示させ、この成長フローにおける一の成長ステップの条件を第１の成長条件表示領域に表示させ、前記一の成長ステップと比較する前記成長フローにおける他の成長ステップの条件を第２の成長条件表示領域に表示する画像表示手段と、前記第１の成長条件表示領域に示される成長条件の項目に従い、前記一の成長ステップの成長条件のデータが入力される入力手段と、前記入力手段により入力された成長条件を成長プログラムデータとして、前記薄膜生成装置へ出力する出力手段とを具備することを特徴とする。
【００１１】
請求項２記載の発明は、請求項１に記載の薄膜成長フロー生成システムにおいて、前記第１の成長条件表示領域と前記第２の成長条件表示領域とにおける表示位置のスクロールが同期しており、この第１の成長条件表示領域及びこの第２の成長条件表示領域のいずれか一方の表示位置をスクロールすることにより、他方の表示位置も上下及び左右へ同一に移動することを特徴とする。
【００１２】
請求項３記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の薄膜成長フロー生成システムにおいて、前記成長条件の項目が全ての成長ステップを通じて同一項目で構成されており、前記画像表示手段が、この項目を、項目毎の使用状態の違い，前または後の比較対象の成長ステップにおいて対応する項目毎の使用状態の違い，及び対応する項目毎の数値の違いにより、これらの違いに応じて予め決められた所定の色で表示することを特徴とする。
【００１３】
請求項４記載の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の薄膜成長フロー生成システムにおいて、前記表示手段が、前記第１の成長条件表示領域において、入力対象となっている成長条件の前記数値表示部の表示色を、入力対象とされていない他の成長条件の数値表示部の表示色と異なる色に変更し、前記第２の成長条件表示領域における成長条件の数値表示部の表示色を、前記第１の成長条件表示領域における同一の成長条件の前記数値表示部の表示色と、同一の色に制御することを特徴とする。
【００１４】
請求項５記載の発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の薄膜成長フロー生成システムにおいて、前記表示手段が、前記第１の成長条件表示領域及び前記第２の成長条件表示領域において、双方の対応する成長条件における数値表示部の数値が等しい場合、対応する成長条件の項目の文字表示部の表示色を同一の色により表示し、双方の対応する成長条件における数値表示部の数値が異なる場合、この第１の成長条件表示領域の対応する成長条件の項目の文字表示部の表示色を異なった色により表示することを特徴とする。
【００１５】
本発明は、請求項１に記載の薄膜成長フロー生成システムにおいて、画像表示手段が、少なくとも前記成長フロー表示領域，前記第１の成長条件表示領域及び前記第２の成長条件表示領域を、前記表示画面にウィンドウ画面として表示することを特徴とする。
【００１６】
本発明は、請求項１に記載の薄膜成長フロー生成システムにおいて、前記第１の成長条件表示領域及び前記第２の成長条件表示領域において、それぞれの成長条件の項目が成長条件の種類を示す文字表示部と、成長条件における設定状態または数値を示す数値表示部として表示されていることを特徴とする。
【００１７】
本発明は、複数の薄膜層を形成して半導体装置を生成する薄膜生成装置へ、この半導体装置の生成における前記薄膜層の成長順及び成長条件のデータを示す成長プログラムデータを生成／供給する薄膜成長フロー生成方法において、フロー生成手段が前記薄膜層を順次成長させる複数の成長ステップからなる成長フローを生成する第１の過程と、画像表示手段が、表示画面を、少なくとも成長フロー表示領域，第１の成長条件表示領域及び第２の成長条件表示領域に分割し、前記成長フローを成長フロー表示領域に表示させ、この成長フローにおける一の成長ステップの条件を第１の成長条件表示領域に表示させ、前記一の成長ステップと比較する前記成長フローにおける他の成長ステップの条件を第２の成長条件表示領域に表示させる第２の過程と、前記第１の成長条件表示領域に示される成長条件の項目に従い、入力手段により、前記一の成長ステップの成長条件のデータが入力される第３の過程と、前記入力手段により入力された成長条件を成長プログラムデータとして、出力手段により前記薄膜生成装置へ出力される第４の過程とを有することを特徴とする。
【００１８】
本発明は、上記薄膜成長フロー生成方法において、画像表示手段が、少なくとも前記成長フロー表示領域，前記第１の成長条件表示領域及び前記第２の成長条件表示領域を、前記表示画面にウィンドウ画面として表示することを特徴とする。
【００１９】
本発明は、上記薄膜成長フロー生成方法において、前記第１の成長条件表示領域と前記第２の成長条件表示領域とにおける表示位置のスクロールが同期しており、この第１の成長条件表示領域及びこの第２の成長条件表示領域のいずれか一方の表示位置をスクロールすることにより、他方の表示位置も上下及び左右へ同一に移動することを特徴とする。
【００２０】
本発明は、請求項１記載の薄膜成長フロー生成装置を用いて、複数の薄膜層を形成して半導体装置を生成する薄膜生成装置へ、この半導体装置の生成における前記薄膜層の成長順及び成長条件のデータを示す成長プログラムデータを生成／供給する薄膜成長フロー生成プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、前記薄膜成長フロー生成プログラムは、フロー生成手段が前記薄膜層を順次成長させる複数の成長ステップからなる成長フローを生成する処理と、画像表示手段が、表示画面を、少なくとも成長フロー表示領域，第１の成長条件表示領域及び第２の成長条件表示領域に分割し、前記成長フローを成長フロー表示領域に表示させ、この成長フローにおける一の成長ステップの条件を第１の成長条件表示領域に表示させ、前記一の成長ステップと比較する前記成長フローにおける他の成長ステップの条件を第２の成長条件表示領域に表示する処理と、前記第１の成長条件表示領域に示される成長条件の項目に従い、入力手段により、前記一の成長ステップの成長条件のデータを入力する処理と、前記入力手段により入力された成長条件を成長プログラムデータとして、出力手段により前記薄膜生成装置へ出力する処理とをコンピュータに行わせることを特徴とする。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図１は本発明の一実施形態によるの構成を示すブロック図である。この図において、１はコンピュータであり、ＣＰＵ，メモリ，記憶部などから構成されている。この記憶部には、コンピュータ１を動作させる基本的なＯＳ（オペレーションしステム）のプログラムが記憶されている。
以下の処理は、コンピュータ１が、記憶部に記憶されている上記ＯＳに基づき、同様に記憶部に記憶されているプログラム（成長条件入力プログラム）に従い実行する。
【００２２】
２はＣＲＴであり、３は外部記憶部であり、成長プログラムを生成するプログラム（成長条件入力プログラム）及びすでに生成された半導体装置の成長プログラムが記憶されている。４はキーボードであり、押されたキーに対応する文字データをコンピュータ１へ出力する。５はマウス等のポインティングデバイスであり、ＣＲＴ・２の表示画面上のカーソルで指示された表示画面の位置データをコンピュータ１へ出力する。
【００２３】
６はＭＯＣＶＤ装置（薄膜製造装置）であり、コンピュータ１から成長プログラムのデータが入力され、この成長プログラムのステップに従い、薄膜層を順次成長させて、窒化物半導体多層膜等の半導体多層膜を有する半導体装置を形成する。以下の説明では、この窒化物半導体多層膜を有する半導体装置の製造を例にとり説明する。
【００２４】
ここで、図３を用いて、ＭＯＣＶＤ装置の概略を説明する。図３は、ＭＯＣＶＤ装置の一例である窒化物用ＭＯＣＶＤ装置の構成を示すブロック図である。この図において、Ｂ１〜Ｂ３３は電磁バルブであり、制御部ＣＴからの制御信号により、開閉動作が行われる。ＭＳ１〜ＭＳ１８はマフローコントローラであり、制御部ＣＴからの制御信号により、流れるガスの流量を制御する。制御部ＣＴはＣＰＵ，メモリ及び記憶部等から構成され、コンピュータ１から入力される成長プログラムデータをメモリへ格納し、記憶部に記憶された動作プログラムに基づき動作し、メモリに記憶されている成長プログラムの各ステップのデータに応じて、ＭＯＣＶＤリアクタＭＲに供給されるガスの種類及び流量等を調節（制御）して、半導体装置（加工処理の無い半導体多層膜を含む）の生成を行う。
【００２５】
電磁バルブＢ１〜電磁バルブＢ４は、一端が窒素供給ラインＬＮに接続されており、他端が各々マスフローコントローラＭＳ１，マスフローコントローラＭＳ２，マスフローコントローラＭＳ３，マスフローコントローラＭＳ４の一端に接続されている。マスフローコントローラＭＳ１の他端は、アンモニア（ＮＨ3）供給ラインＬＮＨへ接続されている。マスフローコントローラＭＳ２の他端は、アンモニアベントラインＬＮＨＢへ接続されている。マスフローコントローラＭＳ３の他端は、ＭＯ（有機金属）ベントラインＬＯＢへ接続されている。マスフローコントローラＭＳ４の他端は、ＭＯ供給ラインＬＯへ接続されている。
【００２６】
電磁バルブＢ２８の一端はアンモニア供給ラインＬＮＨへ接続され、電磁バルブＢ２９の一端はアンモニアベントラインＬＮＨＢへ接続されている。また、電磁バルブＢ２８の他端及び電磁バルブＢ２９の他端はマスフローコントローラＭＳ１７を介して、電磁バルブＢ３０の一端へ接続されており、電磁バルブＢ３０の他端はアンモニアラインＬＮＳへ接続されている。電磁バルブＢ３０がオープン状態のとき、マスフローコントローラＭＳ１７は、予め設定された流量のアンモニアを流出させる。このとき、電磁バルブＢ２８がオープンであり、電磁バルブＢ２９がクローズであれば、マスフローコントローラＭＳ１７の流出するアンモニアは、アンモニア供給ラインＬＮＨへ供給される。一方、電磁バルブＢ２８がクローズであり、電磁バルブＢ２９がオープンであれば、マスフローコントローラＭＳ１７の流出するアンモニアは、アンモニアベントラインＬＮＨＢへ供給される。
【００２７】
同様に、電磁バルブＢ３１の一端はアンモニア供給ラインＬＮＨへ接続され、電磁バルブＢ３２の一端はアンモニアベントラインＬＮＨＢへ接続されている。また、電磁バルブＢ３１の他端及び電磁バルブＢ３２の他端はマスフローコントローラＭＳ１８を介して、電磁バルブＢ３３の一端へ接続されており、電磁バルブＢ３３の他端はシランラインＬＳＳへ接続されている。電磁バルブＢ３３がオープン状態のとき、マスフローコントローラＭＳ１８は、予め設定された流量のシランを流出させる。このとき、電磁バルブＢ３１がオープンであり、電磁バルブ３２がクローズであれば、マスフローコントローラＭＳ１８の流出するシランは、アンモニア供給ラインＬＮＨへ供給される。一方、電磁バルブＢ３１がクローズであり、電磁バルブＢ３２がオープンであれば、マスフローコントローラＭＳ１８の流出するアンモニアは、アンモニアベントラインＬＮＨＢへ供給される。
【００２８】
容器Ｖ１は、図示しないヒータにより所定の温度に有機金属、例えばＴＭＡ（トリメチル・アルミニウム）を加熱し、水素（Ｈ2）によりバブリングして（Ｈ2がＴＭＡを供給するキャリアガスとなり）供給する。バブリングに使用する水素は、水素供給ラインＬＨから電磁バルブＢ７，マスフローコントローラＭＳ９，電磁バルブＢ９を介して、容器Ｖ１へ供給される。そして、バブリングされたＴＭＡは、電磁バルブＢ１１から流出される。このとき、電磁バルブＢ１２がオープンであり、電磁バルブＢ１３がクローズである場合、容器Ｖ１から供給されるＴＭＡは、ＭＯ供給ラインＬＯへ流入する。同時に、マスフローコントローラＭＳ８から供給される所定の流量の水素もＭＯ供給ラインＬＯへ流入する。
【００２９】
一方、電磁バルブＢ１２がクローズであり、電磁バルブＢ１３がオープンである場合、容器Ｖ１から供給されるＴＭＡは、ＭＯベントラインＬＯＢへ流入する。また、電磁バルブＢ９及び電磁バルブＢ１１がクローズであり、電磁バルブＢ１０がオープンのとき、水素は容器Ｖ１をバイパスすることになる。
一方、電磁バルブＢ８は、オープンされているとき、窒素供給ラインＬＮから窒素を、マスフローコントローラＭＳ８及びマスフローコントローラＭＳ９へ流出させる。
ここで、電磁バルブＢ７及び電磁バルブＢ８は、同時にオープン状態となることがなく、双方ともクローズ状態であるか、いずれか一方のみがオープン状態となる。
【００３０】
容器Ｖ２は、図示しないヒータにより所定の温度に有機金属、例えばＴＭＧ（トリメチル・ガリウム）を加熱し、水素（Ｈ2）によりバブリングして（Ｈ2がＴＭＧを供給するキャリアガスとなり）供給する。バブリングに使用する水素は、水素供給ラインＬＨから電磁バルブＢ１４，マスフローコントローラＭＳ１１，電磁バルブＢ１６を介して、容器Ｖ２へ供給される。そして、バブリングされたＴＭＧは、電磁バルブＢ１８から流出される。このとき、電磁バルブＢ１９がオープンであり、電磁バルブＢ２０がクローズである場合、容器Ｖ２から供給されるＴＭＧは、ＭＯ供給ラインＬＯへ流入する。同時に、マスフローコントローラＭＳ１０から供給される所定の流量の水素もＭＯ供給ラインＬＯへ流入する。
【００３１】
一方、電磁バルブＢ１９がクローズであり、電磁バルブＢ２０がオープンである場合、容器Ｖ２から供給されるＴＭＧは、ＭＯベントラインＬＯＢへ流入する。また、電磁バルブＢ１６及び電磁バルブＢ１８がクローズであり、電磁バルブＢ１７がオープンのとき、水素は容器Ｖ２をバイパスすることになる。電磁バルブＢ１５は、オープンされているとき、窒素供給ラインＬＮから窒素を、マスフローコントローラＭＳ１０及びマスフローコントローラＭＳ１１へ流出させる。図３には、容器Ｖ１及び容器Ｖ２しか示していないが、他にＴＭＩ（トリメチル・インジウム），Ｃp2Ｍg（ビスシクロペンタジエニル・マグネシウム）のバブリングのための容器が、容器Ｖ１及び容器Ｖ２と同様な構成で設けられている。
【００３２】
電磁バルブＢ１が制御部ＣＴにより、オープンされているとき、マスフローコントローラＭＳ１は、予め設定された流量の窒素をアンモニア供給ラインＬＮＨへ供給する。このアンモニア供給ラインＬＮＨへ供給された窒素は、電磁バルブＢ２８から供給されるアンモニア、及び電磁バルブＢ３１から供給されるシランを、ＭＯＣＶＤリアクタＭＲへ供給するためのキャリアガスとして用いられる。
【００３３】
同様に、電磁バルブＢ２〜電磁バルブＢ４が制御部ＣＴにより、オープンされているとき、マスフローコントローラＭＳ２〜マスフローコントローラＭＳ４は、各々に予め設定された流量の窒素を、それぞれアンモニアベントラインＬＮＨＢ，ＭＯベントラインＬＯＢ，ＭＯ供給ラインＬＯへ供給する。このアンモニアベントラインＬＮＨＢへ供給された窒素は、電磁バルブＢ２９から供給されるアンモニア、及び電磁バルブＢ３２から供給されるシランを、除害装置に搬送するキャリアガスとして用いられる。
【００３４】
電磁バルブＢ５（III-line CAR Ｈ2）が制御部ＣＴにより、オープンされているとき、マスフローコントローラＭＳ５は、予め設定された流量の水素をＭＯ供給ラインＬＯへ供給する。このＭＯ供給ラインＬＯへ供給された水素は、電磁バルブＢ１２から供給されるバブリングされたＴＭＡ、及び電磁バルブＢ１９から供給されるＴＭＧを、また図示しないが同様にバブリングされたＴＭＩ及びＣｐ2ＭｇをＭＯＣＶＤリアクタＭＲへ供給するキャリアガスとして用いられる。
【００３５】
さらに、電磁バルブＢ６が制御部ＣＴにより、オープンされているとき、マスフローコントローラＭＳ６は、予め設定された流量の水素をＭＯ供給ラインＬＯへ供給する。マスフローコントローラＭＳ６は、マスフローコントローラＭＳ５に比べて、小流量の水素を供給する。このＭＯ供給ラインＬＯへ供給された水素は、電磁バルブＢ１２から供給されるバブリングされたＴＭＡ、及び電磁バルブＢ１９から供給されるＴＭＧを、また図示しないが同様にバブリングされたＴＭＩ及びＣｐ2ＭｇをＭＯＣＶＤリアクタＭＲへ搬送（供給）するためのキャリアガスとして用いられる。
【００３６】
また、アンモニアベントラインＬＮＨＢに供給された窒素と同様に、ＭＯベントラインＬＯＢへ供給された窒素は、電磁バルブＢ１３から供給されるＴＭＡ、及び電磁バルブＢ２０から供給されるＴＭＧ、加えて、図示されない電磁バルブから供給されるＴＭＩ及びＣＰ2Ｍｇを、除害装置に搬送するキャリアガスとして用いられる。
【００３７】
電磁バルブＢ２１が制御部ＣＴからの制御信号により、オープンされている場合、マスフローコントローラＭＳ１２が電磁バルブ２１を介して、窒素供給ラインＬＮから流入する窒素を、所定の流量でラインＬ1へ供給する。同様に、電磁バルブＢ２２が制御部ＣＴからの制御信号により、オープンされている場合、マスフローコントローラＭＳ１３が電磁バルブ２２を介して、窒素供給ラインＬＮから流入する窒素を、所定の流量でラインＬ2へ供給する。また、電磁バルブＢ２３〜電磁バルブＢ２５が制御部ＣＴからの制御信号により、オープンされている場合、各々対応するマスフローコントローラＭＳ１４，マスフローコントローラＭＳ１５，マスフローコントローラＭＳ１６が設定されている所定の量で、窒素供給ラインＬＮから流入する窒素を、各々ラインＬ3，ラインＬ4，ラインＬ5へ供給する。
【００３８】
次に、図４は、ＭＯＣＶＤリアクタＭＲの構造を示す横断面図である。ＭＯＣＶＤリアクタＭＲは、気密性外部容器ＭＢと、その内部に設置された原料ガスの流れるフローライナーＲＤ、回転及び加熱機構（ヒータＨ）を有するサセプターＳＰより成る。
【００３９】
気密性外部容器ＭＢには、基板Ｓが固定されたサセプタＳＰを回転させる、サセプタＳＰに接続された軸ＪＫが設けられている。
上述の図３において説明したラインＬＴ1〜ラインＬＴ5は、ＭＯＣＶＤリアクタＭＲの、図示しない所定の場所に窒素の供給を行う。
【００４０】
また、薄膜成長時に、基板Ｓの温度調節を行うため、サセプタＳＰには加熱用のヒータＨが設けられており、このヒータＨはカバーＣにより固定及び保護されている。このヒータＨは、メインヒータとリアヒータとの２つのヒータ部分で構成されており、別々にオン／オフ制御が可能な構成となっている。
【００４１】
ここで、図２を用いて、図１の外部記憶部３に記憶される薄膜成長フローを生成するプログラム（以下、薄膜成長フロー生成プログラム）の動作の説明を行う。図２は薄膜成長フロー生成プログラムの動作を示すフローチャートである。
ステップＳ１において、コンピュータ１上で動作しているＯＳ（オペレーションシステム）により薄膜成長フロー生成プログラムが起動される。
【００４２】
次に、ステップＳ２において、コンピュータ１は、薄膜成長フロー生成プログラムに従い、ＣＲＴ・２の表示画面上に図５に示す画像（ウィンドウ画面）を表示する。この図５に示す画像が薄膜成長フロー生成プログラムのメインメニューである。操作者は、この「Ｍａｉｎ Ｍｅｎｕ（メインメニュー）」を参照して、膜構造を入力した後、この膜構造に対応したプロセスフロー（薄膜成長フロー）を作成するか、すでにある膜構造のファイルを読み込み、薄膜成長フローを作成するか、それとも薄膜成長フロー生成プログラムを終了させるかの判断を行う。
【００４３】
このとき、操作者が成長プログラムの作成を終了し、薄膜成長フロー生成プログラムを終了させる場合、左上のボタンＢＴ１にマウス５のカーソルを移動させ、マウス５のボタンをクリックし、表示されるツールバーの「終了」をクリックすることで薄膜成長フロー生成プログラムは終了する。
一方、ステップＳ２において、操作者が薄膜成長フロー生成プログラムを継続しようとして、ボタンＢＴ１をクリックしない場合、コンピュータ１は、ステップＳ３へ処理を進める。
【００４４】
次に、ステップＳ３において、操作者はコンピュータ１のキーボード４またはマウス５により、成長させる窒化物半導体多層膜を有する半導体装置の各層の薄膜の構造を入力した後、各薄膜の成長のプロセスフローの条件を入力して、上記半導体装置の成長フローのステップを完成させるか、または、すでに外部記憶部３に記憶されている膜構造の成長プログラムのファイルを利用して、各薄膜の成長のプロセスフローの条件の変更をして  成長フローのステップを完成させるかの何れかの操作を行うかの選択を行う。このとき、操作者が膜構造の入力をした後、各薄膜の成長のプロセスフローの条件を入力して、上記半導体装置の成長フローのステップを完成させる選択をした場合、操作者は、処理をステップＳ４へ進める。
【００４５】
次に、ステップＳ４において、操作者は、「Ｍａｉｎ Ｍｅｎｕ」のボタンＢＴ２（「膜構造入力→成長プログラム作成」）にマウス５のカーソルを移動させ、マウス５のボタンをクリックする。これにより、コンピュータ１は、ボタンＢＴ２が選択されたことを検出し、膜構造の入力プログラムを起動させる。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ５へ進める
【００４６】
次に、ステップＳ５において、コンピュータ１は、図６に示す膜構造のプロセスのステップを作成する入力画面の画像をＣＲＴ・２の画像表面上に表示させる。そして、操作者は、この画面上において、膜構造の各ステップにおけるプロセスの成長条件のデータ入力の処理を行う。この処理については、後に詳述する。半導体装置の膜構造の各薄膜のステップの入力が終了すると、操作者は処理をステップＳ６へ進める。
【００４７】
次に、ステップＳ６において、コンピュータ１は成長条件入力プログラムを起動し、図８に示すＣＲＴ・２に成長条件設定画面を表示する。これにより、操作者は、ステップＳ５で作成した膜構造の各成長ステップ毎に、図８に示すＣＲＴ・２の成長条件設定画面（条件設定画面）において、プロセスの成長条件の設定を行う。（ステップＳ６における膜構造の各成長ステップ毎のプロセスの成長条件のデータの設定処理については後に詳述する。）
そして、操作者は、膜構造の各成長ステップ毎にプロセスの成長条件の設定が終了すると、処理をステップＳ７へ進める。
【００４８】
次に、ステップＳ７において、操作者は、コンピュータ１内部の記憶部のテンポラリファイル、すなわち、新しく作成した成長プログラムに対して、キーボード４により、ファイル名を付け、外部記憶部３へ記憶させる。そして、操作者がコンピュータ１に成長条件入力プログラムの終了コマンドを入力し、コンピュータ１は成長条件入力プログラムの処理を終了させる。これにより、コンピュータ１は、処理をステップＳ２へ進める。
【００４９】
一方、ステップＳ３において、操作者がすでにある他の半導体装置の膜構造の成長プログラムデータを用いて、目的とする半導体装置の成長プログラムデータを完成させる選択をした場合、この他の半導体装置の膜構造のプロセスフローにおける各薄膜のプロセスの成長条件のデータを変更する必要があるため、操作者は、処理をステップＳ８へ進める。
【００５０】
次に、ステップＳ８において、操作者は、「Ｍａｉｎ Ｍｅｎｕ」のボタンＢＴ３（「すでにあるファイルを読み込んで成長プログラムを作成」が表示されている）にマウス５のカーソルを移動させ、マウス５のボタンをクリックする。これにより、コンピュータ１は、ボタンＢＴ３が選択されたことを検出し、成長条件入力プログラムを起動させる。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ９へ進める。
【００５１】
次に、ステップＳ９において、コンピュータ１は、図８に示す条件設定画面の画像をＣＲＴ・２の画像表面上に表示させる。そして、操作者は、すでにある成長プログラムのファイルの読み込み処理を行う。
【００５２】
次に、ステップＳ１０において、そして、操作者は、この表示された条件設定画面上において、すでにある成長プログラムの各データの変更処理（ステップＳ１０における膜構造の各成長ステップ毎の成長条件の変更処理については後に詳述する。）を行う。そして、半導体装置の膜構造の各薄膜の成長条件の変更処理が終了すると、操作者は処理をステップＳ１１へ進める。
【００５３】
次に、ステップＳ１１において、操作者は、キーボード４により、成長条件の変更処理した成長プログラムに、新たなファイル名を付けて、外部記憶部３へ記憶させる。そして、操作者は、コンピュータ１に成長条件入力プログラムを終了させる。これにより、コンピュータ１は、処理をステップＳ２へ進める。
【００５４】
次に、図６の表示画面（ウィンドウ画面）を用いて、膜構造の入力画面の説明及び上記ステップＳ５の説明を行う。画面構成は、機能・目的などにより複数のFrame（フレーム）に分割されている。ここで、表示されている入力画面は、例えば、成長ステップフレームＧ１，ステップ名称選択スイッチフレームＧ２，フレームＧ４（Frame２），フレームＧ５（Frame８），及びフレームＧ６（Frame３）で構成されている。成長ステップフレームＧ１は、膜構造を形成するために必要な、各薄膜の成長に必要なプロセスのステップのフローが表示されている。これらのステップは、各項目の入力毎に表示される。図６においては、「No.1」〜「No.26」のステップが表示されている。
【００５５】
これらのステップは、
「  No.1 スタンバイ
No.2 昇温（１１００℃）
No.3 アニール
No.4 降温（４５０℃）
No.5 温度保持
No.6 温度保持、moバブリング開始
No.7 温度保持、アンモニア供給
No.8 下層膜成長
No.9 昇温（１０００℃）
No.10 温度保持  １０００℃
No.11 温度保持１０００℃  アンモニア供給
No.12 ＧaＮ成長
No.13 降温（７００℃）
No.14 温度保持
No.15 ＩnＧaＮ（Ａ）Loop No.1 start 3 times
No.16 ＩnＧaＮ（Ｂ）Loop No.1 end
No.17 昇温（１０００℃）
No.18 Ｍg_ＡlＧaＮ（Ａ）
No.19 Ｍg_ＧaＮ（Ａ）
No.20 Ｍg_ＡlＧaＮ（Ａ）Loop No.2 start 2 times
No.21 Ｍg_ＧaＮ（Ａ）Loop No.2 end
No.22 Ｍg_ＧaＮ（Ｃ）
No.23 降温（５００℃）
No.24 温度保持
No.25 降温（２０℃）//end of program
No.26」
の画像データが各々表示されている。
【００５６】
ステップ名称選択スイッチフレームＧ２は、薄膜を形成するステップのプロセスの名称の一覧のボタンＧ２1〜ボタンＧ２39と、ステップの名称（プロセス名）を編集するためのフレームＧ３から構成されている。プロセスの名称の一覧の領域において、ボタンＧ２1には「昇温（９００℃）」、ボタンＧ２2には「昇温（１０００℃）」、ボタンＧ２3には「昇温（１１００℃）」、ボタンＧ２4には「サーマルクリーニング」、ボタンＧ２5には「下層膜」、ボタンＧ２6には「温度保持」、ボタンＧ２7には「ＧaＮ（Ａ）」、ボタンＧ２8には「Ｓi_ＧaＮ（Ａ）」、ボタンＧ２9には「Ｍg_ＧaＮ（Ａ）」、ボタンＧ２10には「ＡlＧaＮ（Ａ）」、ボタンＧ２11には「Ｓi_ＡlＧaＮ（Ａ）」、ボタンＧ２12には「Ｍg_ＡlＧaＮ（Ａ）」、ボタンＧ２13には「ＩnＧaＮ（Ａ）」、ボタンＧ２14には「Ｓi_ＩnＧaＮ（Ａ）」、ボタンＧ２15には「Ｍg_ＩnＧaＮ（Ａ）」、ボタンＧ２16には「降温（４００℃）」、ボタンＧ２17には「降温（５００℃）」、ボタンＧ２18には「降温（７００℃）」、ボタンＧ２19には「降温（０℃）」、ボタンＧ２20には「降温（７５０℃）」、ボタンＧ２21には「降温（４５０℃）」、ボタンＧ２22には「ＧaＮ（Ｂ）」、ボタンＧ２23には「Ｓi_ＧaＮ（Ｂ）」、ボタンＧ２24には「Ｍg_ＧaＮ（Ｂ）」、ボタンＧ２25には「ＡlＧaＮ（Ｂ）」、ボタンＧ２26には「Ｓi_ＡlＧaＮ（Ｂ）」、ボタンＧ２27には「Ｍg_ＡlＧaＮ（Ｂ）」、ボタンＧ２28には「ＩnＧaＮ（Ｂ）」、ボタンＧ２29には「Ｓi_ＩnＧaＮ（Ｂ）」、ボタンＧ２30には「Ｍg_ＩnＧaＮ（Ｂ）」、ボタンＧ２31には「ＧaＮ（Ｃ）」、ボタンＧ２32には「Ｓi_ＧaＮ（Ｃ）」、ボタンＧ２33には「Ｍg_ＧaＮ（Ｃ）」、ボタンＧ２34には「ＡlＧaＮ（Ｃ）」、ボタンＧ２35には「Ｓi_ＡlＧaＮ（Ｃ）」、ボタンＧ２36には「Ｍg_ＡlＧaＮ（Ｃ）」、ボタンＧ２37には「ＩnＧaＮ（Ｃ）」、ボタンＧ２38には「Ｓi_ＩnＧaＮ（Ｃ）」、ボタンＧ２39には「Ｍg_ＩnＧaＮ（Ｃ）」が各々示されている。
【００５７】
また、フレームＧ３は、「ステップ名称編集フレーム」であり、名称を変更したい、あるいは修正したいボタン、すなわちボタンＧ２1〜ボタンＧ２39の何れかに、マウス５のカーソルを移動させ、クリックするとそのボタンの表示色が変更される。そして、フレームＧ３にある「編集開始」の表示のあるボタンに、マウス５のカーソルを移動させてクリックすると、ボタンＧ２1〜ボタンＧ２39から上記において、選択されたボタンのボタンに表示された名称が表示され、キーボード４により文字入力することで名称を変更することが出来る。
【００５８】
フレームＧ４は、さらにフレームＧ１０（Frame４），フレームＧ１１（Frame１１）及びフレームＧ１２（Frame６）に分割されている。フレームＧ１０は、主に、成長ステップフレームＧ１に示されている薄膜成長のプロセスのステップの、編集操作に用いられる機能のボタン、ボタンＧ１０1，ボタンＧ１０2，ボタンＧ１０3，ボタンＧ１０4が設けられている。すなわち、ボタンＧ１０1は、「前のステップ（Ｂ）」が表示されており、マウス５のカーソルを移動させてクリック（またはキーボード４のリターンキーを押す）する。これにより、成長ステップフレームＧ１において、例えば、入力対象ステップを示すマーク（図６のステップ「No.２４」に示す、黒地に白抜き文字：反転表示）がステップ「No.１０」にあったとすると、このマークがステップ「No.１０」からステップ「No.９」へ移動する。このとき、ステップ「No.１０」の編集内容は、コンピュータ１のメモリへ書き込まれる。
【００５９】
例えば、半導体装置の各薄膜の層の成長手順を示す成長フローのステップの入力作業において、ステップ「No.１」の編集が終了した後、操作者がステップ「No.２」の編集を行うとする。このとき、操作者はマウス５により、ステップ「No.２」の編集を行うため、ボタンＧ１０2をクリックする。
これにより、コンピュータ１は、フレームＧ５（Frame8）に「ステップ  Ｎｏ．２」を表示し、表示部Ｇ５1には、プロセスの種類の入力が行われていないので、何も表示させない。そして、ステップ「No.２」を「昇温（１１００℃）」のプロセスとする場合、操作者がマウス５のカーソルを、ステップ名称選択スイッチフレームＧ２におけるボタンＧ２3へ移動させてクリックすると、コンピュータ１は、成長ステップフレームＧ１のステップ「No.２」の右横に「昇温（１１００℃）」の文字を表示すると共に、フレームＧ５1に「昇温（１１００℃）」の文字を表示する。
【００６０】
このとき、操作者は、表示部Ｇ５1において、「昇温（１１００℃）」の文字表示の後ろに、キーボード４により続けて文字を入力する事が出来る。例えば、ステップ「No.６」における「、ｍｏバブリング開始」の文字は、ボタンＧ２6をクリックすることにより入力された「温度保持」の文字の後に、キーボード４から入力された文字である。そして、操作者がボタンＧ１０1へマウス５のカーソルを移動させてクリックすると、コンピュータ１は、ステップ「No.２」の編集におけるプロセスのデータを確定し、このプロセスのデータを「昇温（１１００℃）」のプロセスのデータとして、内部のメモリへ書き込む。また、コンピュータ１は、入力（編集）対象のステップをステップ「No.2」からステップ「No.1」へ移動させ、マーク（反転表示）をステップ「No.２」からステップ「No.1」へ移動させる。
【００６１】
次に、ボタンＧ１０2は、「次のステップ（Ｎ）」が表示されており、マウス５のカーソルを移動させてクリックする。これにより、成長ステップフレームＧ１において、例えば、入力対象ステップを示すマーク（反転表示）がステップ「No.１０」にあったとすると、ステップ「No.１０」の編集内容が確定され、コンピュータ１は、編集されたステップ「No.１０」のステップのプロセスのデータを、内部のメモリへ書き込む。そして、コンピュータ１は、編集対象のステップをステップ「No.１０」からステップ「No.１１」へ移動させ、フレームＧ５に「ステップ  Ｎｏ．３」の文字を表示させ、マーク（反転表示）をステップ「No.１０」からステップ「No.１１」へ移動させる。
【００６２】
そして、ステップ「No.３」を「アニール」のプロセスとする場合、この「アニールのプロセス」がステップ名称選択スイッチフレームＧ２に無いため、操作者が表示部Ｇ５1に「アニール」の文字をキーボード４により記入して、「アニール」プロセスのステップを作成し、キーボード４のリターンキーを押すことにより、コンピュータ１は、成長ステップフレームＧ１のステップ「No.３」の右横に「アニール」の文字を表示する。
【００６３】
そして、操作者がボタンＧ１０2へマウス５のカーソルを移動させてクリックすると、コンピュータ１は、ステップ「No.３」の編集内容のプロセスを確定して、ステップ「No.３」に対応させて、「アニール」のステップのプロセスのデータを内部のメモリへ書き込む。次に、コンピュータ１は、編集対象のステップをステップ「No.３」からステップ「No.４」へ移動させる。そして、コンピュータ１は、フレームＧ５に「ステップ  Ｎｏ．４」の文字を表示させ、入力対象ステップのマーク（反転表示）をステップ「No.３」からステップ「No.４」へ移動させる。
【００６４】
次に、ボタンＧ１０3は、「ステップ追加（Ａ）」が表示されており、マウス５のカーソルを移動させてクリック（またはキーボード４のリターンキーを押す）する。これにより、成長ステップフレームＧ１において、例えば、入力対象ステップを示すマーク（反転表示）がステップ「No.１０」にあったとすると、ステップ「No.１０」がステップ「No.１１」に繰り上がり、以降のステップの番号が１つずつ繰り上がり、新たにステップ「No.１０」が以前のステップ「No.９」とステップ「N0.１０」との間に挿入されたこととなる。そして入力対象ステップを示すマークが新たに挿入されたステップ「No.１０」へ移動する。
【００６５】
また、ボタンＧ１０4は、「ステップ削除（Ｄ）」が表示されており、マウス５のカーソルを移動させてクリック（またはキーボード４のリターンキーを押す）する。これにより、入力対象ステップを示すマーク（反転表示）がステップ「No.１０」にあったとすると、ステップ「No.１０」のステップが削除され、ステップ「No.１１」がステップ「No.１０」に繰り下がり、以降のステップの番号が１つずつ繰り下がり、以前のステップ「No.９」とステップ「N0.１１」との間にあったステップ「No.１０」が削除されたこととなる。そして入力対象ステップを示すマークが新たなステップ「No.１０」へ移動する。
【００６６】
次に、フレームＧ１１は、「ループ開始」の文字が記述された択一的選択ボタンＧ１１1と，「ループ終了」の文字が記述された択一的選択ボタンＧ１１2，「ループ取り消し」の文字が記述された択一的選択ボタンＧ１１3で構成されている。マウス５のカーソルを移動させて、択一的選択ボタンＧ１１1〜択一的選択ボタンＧ１１3のいずれかをクリックすると、コンピュータ１は、択一的選択ボタンが押された事を検出し、各々白い円状の枠内部に黒丸が表示されて選択された事を示す。
【００６７】
ここで、ループを構成する場合、例えば、ステップ「No.１５」に、ボタンＧ２13をクリックして、ステップ「No.１５」を入力対象ステップとしてマーク（反転表示）し、「ＩnＧaＮ（Ａ）」のプロセスをステップ「No.１５」に対応させる。これにより、コンピュータ１は、成長ステップフレームＧ１において、ステップ「No.１５」の右横に「ＩnＧaＮ（Ａ）」の文字を表示させる。そして、択一的選択ボタンＧ１１1を選択すると、コンピュータ１は「ループ開始」が要求されたことを検出し、フレームＧ４上にデータ入力部Ｇ１３を表示し、何回繰り返すかの数値の入力を要求する。そして、操作者は、キーボード４からの数値の入力、またはデータ入力部Ｇ１３に設けられたテンキーをマウス５にクリックして、ステップの繰り返し回数の数値の入力により、上記「ＩnＧaＮ（Ａ）」の右横に「Ｌｏｏｐ Ｎｏ．１ ｓｔａｒｔ ３ ｔｉｍｅｓ」の文字が記入される。
【００６８】
「Ｌｏｏｐ Ｎｏ．１ ｓｔａｒｔ ３ ｔｉｍｅｓ」は、番号「１」のループのスタートのステップであり、この番号１のループは、ループ内に書かれたステップのプロセスを３回繰り返すことを意味している。そして、上述したボタンＧ101またはボタンＧ１０2の何れかをクリックする事により、ステップ「No.１５」の「ＩnＧaＮ（Ａ）Ｌｏｏｐ Ｎｏ．１ ｓｔａｒｔ ３ ｔｉｍｅｓ」として入力されたプロセスが確定する。
【００６９】
このとき、操作者がボタンＧ１０1をクリックしたとすると、コンピュータ１は、ステップ「No.１５」を確定し、ステップ「No.１６」をマーク（反転表示）する。そして、上述したように、ボタンＧ２28がクリックされることにより、「ＩnＧaＮ（Ｂ）」のプロセスをステップ「No.１６」に対応させる。これにより、コンピュータ１は、成長ステップフレームＧ１において、ステップ「No.１６」の右横に「ＩnＧaＮ（Ｂ）」の文字を表示させる。そして、択一的選択ボタンＧ１１2を選択すると、コンピュータ１は「ループ終了」が要求されたことを検出する。
次に、コンピュータ１は、成長ステップフレームＧ１において、どのループの番号に対応する終了なのかを検索し、「Ｌｏｏｐ Ｎｏ．１ ｓｔａｒｔ」に対応するループ番号の数値として「Ｌｏｏｐ Ｎｏ．１」を検出する。
【００７０】
これにより、コンピュータ１は、成長ステップフレームＧ１において、上記「ＩnＧaＮ（Ｂ）」の右横に「Ｌｏｏｐ Ｎｏ．１ ｅｎｄ」の文字を表示する。すなわち、コンピュータ１がループの終了とするループの番号が、直前に開始されたループの番号に対応する番号以外を入力させないようになっている。
また、ここで、択一的選択ボタンＧ１１2が押されたとき、コンピュータ１がフレームＧ４上にループ終了可能なループ番号を検索して、この検索結果としてループ終了可能なループ番号を表示し、操作者がマウス５により表示されたループ番号の中から対応するループ番号をクリックして選択させる方式とすることもできる。
【００７１】
この「Ｌｏｏｐ Ｎｏ．１ ｅｎｄ」は、番号「１」のループのエンドのステップであることを示している。そして、上述したボタンＧ１０1またはボタンＧ１０2の何れかをクリックする事により、ステップ「No.１６」の「ＩnＧaＮ（Ｂ）Ｌｏｏｐ Ｎｏ．１ ｅｎｄ」として入力されたプロセスが確定する。これにより、番号「１」のループは、ステップ「No.１５」とステップ「No.１６」との間で繰り返される。すなわち、ＩnＧaＮ（Ａ）の成長の後に、ＩnＧaＮ（Ｂ）の成長を行う処理を３回繰り返し、ＭＱＷ等の形成を行う。
【００７２】
また、ループを取り消す場合、例えば、ステップ「No.１６」を入力対象ステップとしてマーク（反転表示）し、ボタンＧ１１3をクリックした後、ボタンＧ１０1またはボタンＧ１０2の何れかをクリックする。これにより、コンピュータ１は、ステップ「No.１６」のループ番号「１」のループの終了（「Ｌｏｏｐ Ｎｏ．１ ｅｎｄ」）の設定解除の要求を検出し、ループ番号「１」のループ終了の設定を解除し、ステップ「No.１６」の「ＩnＧaＮ（Ｂ）Ｌｏｏｐ Ｎｏ．１ ｅｎｄ」として入力されたプロセスが、「ＩnＧaＮ（Ｂ）」となり、ステップ「No.１６」に対応する新たなプロセスとして確定される。
【００７３】
このとき、例えば、
0004260319.tif 000002
のプロセスのステップを作成し、次の「No.18 」を「降温（２０℃）」に対応させ、この「No.18 降温（２０℃）」がマーク（反転表示）された状態で、「プログラム終了」の文字が記述された択一的選択ボタンＧ１２1をクリックしたとする。これにより、コンピュータ１は、ループ番号「１」のループが終了していない状態で成長フローの編集の終了が行われたため、膜構造の入力プログラムを終了させて、成長条件入力プログラムを起動させようとすると、「ループＥＮＤが足りません」等の警告が表示され、成長条件入力プログラムの起動が行えないようになっている。
【００７４】
次に、フレームＧ１２は、「プログラム終了」の文字が記述された択一的選択ボタンＧ１２1と，「プログラムプ終了取り消し」の文字が記述された択一的選択ボタンＧ１２とで構成されている。マウス５のカーソルを移動させて、択一的選択ボタンＧ１２1または択一的選択ボタンＧ１２2のいずれかをクリックすると、コンピュータ１は、択一的選択ボタンが押された事を検出し、各々白い円状の枠内部に黒丸が表示されて選択された事を示す。
【００７５】
操作者は、プロセスのステップを終了させようとする場合、マウス５によりカーソルをステップ「Ｎｏ.２５」へ移動させ、クリックする。これにより、コンピュータ１は、ステップ「Ｎｏ.２５」が入力対象ステップと指定されたことを検出し、マーク（反転表示）をステップ「Ｎｏ.２５」へ移動させる。そして、操作者は、マウス５によりカーソルを択一的選択ボタンＧ１２1へ移動させ、クリックする。これにより、コンピュータ１は、「プログラム終了」の択一的選択ボタンが押されたことを検出し、白い円状の枠内部に黒丸を表示させる。
【００７６】
そして、操作者は、マウス５により、ボタンＧ１０1またはボタンＧ１０2の何れかにカーソルを移動させて、クリックする。これにより、コンピュータ１は、プログラムの終了が確定したことを検出し、ステップ「No.２５」の「降温（２０℃）」の文字の右横に「／／ｅｎｄ ｏｆ  ｐｒｏｇｕｒａｍ」のプログラムの終了を示す文字列を表示する。また、この文字列は、膜構造のプロセスのステップにおいて、プロセスの終了ステップを検出するのに用いられる。
【００７７】
次に、フレームＧ６は、「次の設定画面へ（Ｅ）」の文字が記述されたボタンＧ６1と，「メニュー画面に戻る（Ｒ）」の文字が記述されたボタンＧ６2とで構成されている。操作者がマウス５のカーソルを移動させて、ボタンＧ６1またはボタンＧ６2のいずれかをクリックすると、コンピュータ１は、ボタンが押された事を検出し、各々のボタンに対応した処理を行う。
【００７８】
すなわち、操作者は、入力の終了した膜構造の各々のステップのプロセスに対して、ガスの流量や電磁バルブのオン／オフなどの条件を入力するために、条件入力プログラムを起動する場合、マウス５のカーソルをボタンＧ６1へ移動させてクリックする。これにより、コンピュータ１は、膜構造の入力プログラムを終了し、同時に、この膜構造のプロセスのステップのファイルを外部記憶部３の膜構造のファイル格納領域へ書き込む。そして、コンピュータ１は、条件入力プログラムを起動し、外部記憶部３（図１参照）の膜構造のファイル格納領域から読み出す。
【００７９】
一方、操作者は、入力の終了した膜構造のプロセスのステップのファイルを消去して、膜構造の入力プログラムを終了させて、メインメニューへ戻る場合、マウス５のカーソルをボタンＧ６2へ移動させてクリックする。これにより、コンピュータ１は、膜構造の入力プログラムを終了し、メインメニューへ戻る制御が行われたことを検出する。そして、コンピュータ１は、この膜構造のプロセスのステップのファイルを消去し、膜構造の入力プログラムを終了し、メインメニューの画面をＣＲＴ・２へ表示させる。
【００８０】
次に、図２に示すフローチャートのステップＳ６について、図７を参照して説明する。図７は、成長条件入力プログラムの処理例の流れを示すフローチャートである。そして、図２のフローチャートのステップＳ５において、膜構造の入力プログラムが終了されると、条件入力プログラムがコンピュータ１により起動される。
【００８１】
ステップＳ２０において、コンピュータ１は、例えば、膜構造のプロセスのステップが記載された成長フローのファイルを、外部記憶部３（図１参照）の膜構造のファイル格納領域またはコンピュータ１本体のボードに実装されているメモリなどから読み出す。
ここで、コンピュータ１が、成長条件入力プログラムの実行時に、外部記憶部３の格納領域から成長フローのファイルのデータを読み出さずに、コンピュータ１のメモリ上にある、膜構造の入力プログラムにより生成された成長フローのデータを、直接使用する構成とすることも可能である（すなわち、成長フローのデータを膜構造の入力プログラムと成長条件入力プログラムとで共有して使用する）。
【００８２】
このとき、コンピュータ１は、膜構造の入力プログラムと成長条件入力プログラムとにおいて、メモリ上の膜構造のステップの項目のデータを共通の変数データとして共有することになる。その他の編集などの動作は、同様である。
また、ステップＳ８において、膜構造の各ステップのプロセスの条件が設定されている成長プログラムのファイルを、外部記憶部３（図１参照）の成長プログラムのファイル格納領域から読み出す方法については、後に述べる。そして、コンピュータ１は、膜構造のプロセスのステップが記載されたファイル（成長フロー）を読み出した後、処理をステップＳ２１へ進める。
【００８３】
次に、ステップＳ２１において、コンピュータ１は、図８に示すデータ入力画面（ウィンドウ画面）をＣＲＴ・２の表示画面に表示する。表示されたデータ入力画面の左側の領域は、「条件入力」と記述された条件入力フレームＧ２０，「ファイル操作」と記述されたファイル操作フレームＧ２１，「編集操作」と記述された編集操作フレームＧ２２，「ステップ操作」と記述されたステップ操作フレームＧ２３，「成長条件入力終了」と記述されたボタンＧ２４，「成長ステップの流れ」と記述された成長ステップの流れフレームＧ２５により構成されている。また、表示されたデータ入力画面の右の領域には、コンピュータ１により、条件設定を行う成長ステップのデータ入力フレームＧ２６が下部に表示され、下部のデータ入力フレームＧ２６に表示される成長ステップの各項目の設定データと比較する成長ステップ各区項目の設定データが示される比較フレームＧ２７が上部に表示される。
【００８４】
ここで、図８に示す「条件入力」と記述された条件入力フレームＧ２０，「ファイル操作」と記述されたファイル操作フレームＧ２１，「編集操作」と記述された編集操作フレームＧ２２，「ステップ操作」と記述されたステップ操作フレームＧ２３，「成長条件入力終了」と記述されたボタンＧ２４，「成長ステップの流れ」と記述された成長ステップの流れフレームＧ２５は、各々、図９に示すように複数のボタン及び文字表示部から構成されている。また、流れフレームＧ２５には、コンピュータ１により、膜構造のプロセスのステップの記載された成長フローの各ステップが、ステップ順に表示されている。
【００８５】
条件入力フレームＧ２０は、文字表示部Ｇ２０1，文字表示部Ｇ２０2，文字表示部２０3，文字表示部Ｇ２０4，「ｒｕｎ」と記述されたチェックボタンＧ２０5，「ｓｕｐｐｌｙ」と記述されたチェックボタンＧ２０6，「ｖａｌｖｅ ｏｐｅｎ」と記述されたチェックボタンＧ２０7，「ｓｌｏｐｅ」と記述されたチェックボタンＧ２０8，「Ｈ2→Ｎ2」と記述されたチェックボタンＧ２０9，「Ｍｏｌｉｎｅ ａｌｌ Ｎ2」と記述されたチェックボタンＧ２０10，「ｗａｉｔ ｏｎ」と記述されたチェックボタンＧ２０11，「ｈｏｌｄ ｏｎ」と記述されたチェックボタンＧ２０12，「ｒｏｔａｔｉｏｎ ｏｎ」と記述されたチェックボタンＧ２０13，「ｈｅａｔｅｒ ｏｎ」と記述されたチェックボタンＧ２０14とから構成されている。
【００８６】
ファイル操作フレームＧ２１は、「読み込み」と記述されたボタンＧ２１1と、「書き込み」と記述されたボタンＧ２１2とで構成されている。編集操作フレームＧ２２には、「編集」と記述されたボタンＧ２２1が設けられている。ステップ操作フレームＧ２３は、「確定＆＜＜」と記述されたボタンＧ２３1，「確定＆＞＞」と記述されたボタンＧ２３2，「挿入」と記述されたボタンＧ２３3，「削除」と記述されたボタンＧ２３4，「コピー」と記述されたボタンＧ２３5から構成されている。
【００８７】
次に、図１０を用いて、図８におけるデータ入力フレームの構成を説明する。図８におけるデータ入力フレームＧ２６は、図１０に示すように文字表示部Ｇ２６1，文字表示部Ｇ２６2と以下に示す成長条件の各項目毎にデータ入力部とその上部に位置するデータ表示部とで構成されている。データ入力部Ｇ２６3は、成長条件の項目の「メインヒータ温度」と記述された表示部（データ表示部）の下部にあり、メインヒータの設定温度を示し、温度ヒータＨ（図４参照）におけるメインヒータの温度を、キーボード４からのキー入力により設定する。データ入力部Ｇ２６4は、成長条件の項目の「リアヒータ温度」と記述された表示部の下部にあり、リアヒータの設定温度を示し、ヒータＨ（図４参照）におけるリアヒータの温度を、キーボード４からのキー入力により設定する。
【００８８】
データ入力部Ｇ２６5は、成長条件の項目の「ステップ時間」と記述された表示部の下部にあり、ステップ時間を示し、膜構造の各ステップにおける所定のプロセスが行われる時間を、キーボード４からのキー入力により設定する。
データ表示部Ｇ２６6は、成長条件の項目の「ｗａｉｔ」と記述された表示部の下部にあり、ｗａｉｔ状態を示し、温度を上昇させたり降下させた場合に、ステップ時間内で所定の温度に到達しなかった場合に到達するまで、次のプロセスのステップへの移行を待つか否かの設定状態を示す。ここで、データ表示部Ｇ２６6に表示された文字が「ｏｎ」の場合には到達するまで待ち、「ｏｆｆ」の場合にはステップ時間となると次のプロセスのステップへ移行する。
【００８９】
データ表示部Ｇ２６7は、成長条件の項目の「ｈｏｌｄ」と記述された表示部の下部にあり、ｈｏｌｄ状態を示し、プロセスの設定された処理時間、すなわちプロセスの開始からステップ時間に到達したとき、すぐに次のプロセスのステップへ移行するか、そのままステップを保持するかの設定状態が表示される。ここで、データ表示部Ｇ２６7が「ｏｎ」の場合にはステップ時間に到達後に状態保持を行い、「ｏｆｆ」の場合にはステップ時間となると次のプロセスのステップへ移行する。
【００９０】
また、「ｈｏｉｄ」が「ｏｎ」状態となっている場合、停止しているステップから次のステップへ移行するためには、制御部ＣＴに設けられている、図示しない所定のスイッチを押す必要がある。この制御部ＣＴに設けられている所定のスイッチを押すことにより、制御部ＣＴは、成長プログラムにおいて停止されているステップから次のステップへとプロセスの処理を進める。
【００９１】
データ表示部Ｇ２６8は、成長条件の項目の「Ｒｏｔａｔｉｏｎ」と記述された表示部の下部にあり、サセプタＳＰ（図４参照）の回転状態を示し、サセプタＳＰを回転させるか、または、回転させないかの状態が表示される。ここで、データ表示部Ｇ２６8が「ｏｎ」の場合にはサセプタＳＰを回転させ、「ｏｆｆ」の場合にはサセプタＳＰを回転させない停止状態とする。
データ表示部Ｇ２６9は、「ヒータ電源」と記述された表示部の下部にあり、ヒータＨ（図４参照）に対して駆動用の電流を流すか、または電流を流さないかの状態が表示される。ここで、データ表示部Ｇ２６9が「ｏｎ」の場合にはヒータＨに駆動電流を供給して加熱処理を可能とし、「ｏｆｆ」の場合にはヒータＨへ駆動電流を供給しない状態とする。
【００９２】
データ入力部Ｇ２６10は、成長条件の項目の「ｔｏｐ ｆｌｏｗ Ｎ2」と記述された表示部の下部にあり、トップフローに用いるＮ2の流量を示し、マスフローコントローラＭＳ１２（図３参照）へ指示する、ラインＬ１（図３参照）へ流すＮ2の流量の数値を、キーボード４からのキー入力により設定する。
データ表示部Ｇ２６11は、「ｔｏｐ ｆｌｏｗ Ｎ2」と記述された表示部の下部にあり、ラインＬ１へ流すＮ2の流量を、供給開始から設定された流量値とする通常状態か、ステップ時間の経過に比例し、「既設定値」から増加させ、ステップ時間の終了時点で設定された流量値とするスロープ状態であるかが表示される。
【００９３】
ここで、データ表示部Ｇ２６11に、「Ｓ」が示されている（例えば、同時に背景色を赤色にし、ビジュアルに確認しやすくしても良い、通常、背景色は灰色）場合には、流量の増加がスロープ状態にあることを示し、何も表示されていない場合には通常状態であることを示す。また、このデータ表示部Ｇ２６11をマウス５により選択しダブルクリックすることで、条件入力フレーム２０における択一的選択ボタンを使用せずに、スロープ状態と非スロープ状態とを切り換えることが出来る。
【００９４】
データ表示部Ｇ２６12は、成長条件の項目の「ｔｏｐ ｆｌｏｗ Ｎ2」と記述された表示部の下部にあり、窒素供給ラインＬＮ（図３参照）からラインＬ１（図３参照）へ、Ｎ2を供給させる電磁バルブＢ２１（図３参照）のオン／オフの制御状態を示す。
ここで、データ表示部Ｇ２６12に「Ｏ」が示されている（例えば、同時に背景色を赤色にし、ビジュアルに確認しやすくしても良い、通常、背景色は灰色）場合には、電磁バルブＢ２１がオープン状態であり、窒素供給ラインＬＮからラインＬ１へ、マスフローコントローラＭＳ１２を介して、Ｎ2が供給されている事を示し、データ表示部Ｇ２６12に何も示されていない場合には、電磁バルブＢ２１がクローズ状態となっており、窒素供給ラインＬＮからラインＬ１へ、Ｎ2が供給されていない状態を示す。また、このデータ表示部Ｇ２６12をマウス５により選択しダブルクリックすることで、条件入力フレーム２０における択一的選択ボタンを使用せずに、オープン状態とクローズ状態とを切り換えることが出来る。
【００９５】
データ入力部Ｇ２６13は、成長条件の項目の「ＮＨ3（アンモニア）」と記述された表示部の下部にあり、半導体装置の膜構造における薄膜の原料としてのＮＨ3の流量の数値を示し、マスフローコントローラＭＳ１７（図３参照）へ指示する、アンモニア供給ラインＬＮＨ（図３参照）へ流すＮＨ3の流量の数値を、キーボード４からのキー入力により設定する。
【００９６】
データ表示部Ｇ２６14は、成長条件の項目の「ＮＨ3」と記述された表示部の下部にあり、アンモニア供給ラインＬＮＨへ流すＮＨ3の流量を、供給開始から設定された流量値とする通常状態か、ステップ時間の経過に比例し、「既設定値」から増加させ、ステップ時間の終了時点で設定された流量値とするスロープ状態であるかが表示される。
ここで、データ表示部Ｇ２６14に、「Ｓ」が示されている場合には流量の増加がスロープ状態にあることを示し、何も表示されていない場合には通常状態であることを示す。
【００９７】
データ表示部Ｇ２６15は、成長条件の項目の「ＮＨ3」と記述された表示部の下部にあり、アンモニア供給ラインＬＮＳ（図３参照）からマスフローコントローラＭＳ１７（図３参照）へ、ＮＨ3を供給させる電磁バルブＢ３０，電磁バルブＢ２８及び電磁バルブＢ２９のオン／オフの制御状態を示す。
ここで、データ表示部Ｇ２６15に「Ｏ」が示されている場合には、電磁バルブＢ３０と、電磁バルブＢ２８または電磁バルブＢ２９とがオープン状態であり、アンモニア供給ラインＬＮＳからマスフローコントローラＭＳ１７へ、ＮＨ3が供給されている事を示し、データ表示部Ｇ２６15に何も示されていない場合には、電磁バルブＢ３０，電磁バルブＢ２８及び電磁バルブＢ２９がクローズ状態であり、アンモニア供給ラインＬＮＳからマスフローコントローラＭＳ１７へ、ＮＨ3が供給されていない状態を示す。
【００９８】
データ入力部Ｇ２６16は、成長条件の項目の「Ｖ−ｌｉｎｅ ｃａｒ Ｎ2」と記述された表示部の下部にあり、半導体装置の膜構造における薄膜の原料として、ＮＨ3を供給するときのキャリアガスとしてのＮ2の流量の数値を示し、マスフローコントローラＭＳ１（図３参照）へ指示する、アンモニア供給ラインＬＮＨ（図３参照）へ流すＮ2の流量の数値を、キーボード４からのキー入力により設定する。
【００９９】
データ表示部Ｇ２６17は、「Ｖ−ｌｉｎｅ ｃａｒ Ｎ2」と記述された表示部の下部にあり、アンモニア供給ラインＬＮＨへ流すＮ2の流量を、供給開始から設定された流量値とする通常状態か、ステップ時間の経過に比例し、「既設定値」から増加させ、ステップ時間の終了時点で設定された流量値とするスロープ状態であるかが表示される。
ここで、データ表示部Ｇ２６17に、「Ｓ」が示されている場合には流量の増加がスロープ状態にあることを示し、何も表示されていない場合には通常状態であることを示す。
【０１００】
データ表示部Ｇ２６18は、成長条件の項目の「Ｖ−ｌｉｎｅ ｃａｒ Ｎ2」と記述された表示部の下部にあり、窒素供給ラインＬＮ（図３参照）からアンモニア供給ラインＬＮＳ（図３参照）へ、マスフローコントローラＭＳ１（図３参照）を介して、Ｎ2を供給させる電磁バルブＢ１のオン／オフの制御状態を示す。
ここで、データ表示部Ｇ２６18に「Ｏ」が示されている場合には、電磁バルブＢ１がオープン状態であり、窒素供給ラインＬＮからアンモニア供給ラインＬＮＨ（図３参照）へ、Ｎ2が供給されている事を示し、データ表示部Ｇ２６18に何も示されていない場合には、電磁バルブＢ１がクローズ状態であり、窒素供給ラインＬＮＨへ、Ｎ2が供給されていない状態を示す。
【０１０１】
データ入力部Ｇ２６19は、成長条件の項目の「III−ｌｉｎｅ ｃａｒ Ｎ2」と記述された表示部の下部にあり、半導体装置の膜構造における薄膜の原料としてのＭＯに対するキャリアガスの流量の数値を示し、マスフローコントローラＭＳ４（図３参照）へ指示する、ＭＯ供給ラインＬＯ（図３参照）へ流すＮ2の流量の数値を、キーボード４からのキー入力により設定する。
【０１０２】
データ表示部Ｇ２６20は、成長条件の項目の「III−ｌｉｎｅ ｃａｒ Ｎ2」と記述された表示部の下部にあり、ＭＯ供給ラインＬＯへ流すＮ2の流量を、供給開始から設定された流量値とする通常状態か、ステップ時間の経過に比例し、「既設定値」から増加させ、ステップ時間の終了時点で設定された流量値とするスロープ状態であるかが表示される。
ここで、データ表示部Ｇ２６20に、「Ｓ」が示されている場合には流量の増加がスロープ状態にあることを示し、何も表示されていない場合には通常状態であることを示す。
【０１０３】
データ表示部Ｇ２６21は、成長条件の項目の「III−ｌｉｎｅ ｃａｒ Ｎ2」と記述された表示部の下部にあり、窒素供給ラインＬＮからＭＯ供給ラインＬＯへ、マスフローコントローラＭＳ４（図３参照）を介し、Ｎ2を供給させる電磁バルブＢ４のオン／オフの制御状態を示す。
ここで、データ表示部Ｇ２６21に「Ｏ」が示されている場合には、電磁バルブＢ４（図３参照）がオープン状態であり、窒素供給ラインＬＮからＭＯ供給ラインＬＯへ、Ｎ2が供給されている事を示し、データ表示部Ｇ２６21に何も示されていない場合には、電磁バルブＢ４がクローズ状態であり、窒素供給ラインＬＮからＭＯ供給ラインＬＯへ、Ｎ2が供給されていない状態を示す。
【０１０４】
データ入力部Ｇ２６22は、成長条件の項目の「III−ｌｉｎｅ ｃａｒ Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、半導体装置の膜構造における薄膜の原料としてのＭＯに対するキャリアガスの流量の数値を示し、マスフローコントローラＭＳ５（図３参照）へ指示する、ＭＯ供給ラインＬＯへ流すＨ2の流量の数値を、キーボード４からのキー入力により設定する。
【０１０５】
データ表示部Ｇ２６23は、成長条件の項目の「III−ｌｉｎｅ ｃａｒ Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、ＭＯ供給ラインＬＯへ流すＨ2の流量を、供給開始から設定された流量値とする通常状態か、ステップ時間の経過に比例し、「既設定値」から増加させ、ステップ時間の終了時点で設定された流量値とするスロープ状態であるかが表示される。
ここで、データ表示部Ｇ２６23に、「Ｓ」が示されている場合には流量の増加がスロープ状態にあることを示し、何も表示されていない場合には通常状態であることを示す。
【０１０６】
データ表示部Ｇ２６24は、成長条件の項目の「III−ｌｉｎｅ ｃａｒ Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、水素供給ラインＬＨからＭＯ供給ラインＬＯへ、マスフローコントローラＭＳ５（図３参照）を介し、Ｈ2を供給させる電磁バルブＢ５（図３参照）のオープン／クローズの制御状態を示す。
ここで、データ表示部Ｇ２６24に「Ｏ」が示されている場合には、電磁バルブＢ５がオープン状態であり、水素供給ラインＬＨからＭＯ供給ラインＬＯへ、Ｈ2が供給されている事を示し、データ表示部Ｇ２６24に何も示されていない場合には、電磁バルブＢ５がクローズ状態であり、水素供給ラインＬＨからＭＯ供給ラインＬＯへ、Ｈ2が供給されていない状態を示す。
【０１０７】
データ入力部Ｇ２６25は、成長条件の項目の「ＴＭＡ ｂａｂ Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、半導体装置の膜構造における薄膜の原料としてのＴＭＡを、容器Ｖ１（図３参照）からバブリングして供給するためのバブリング用のガスの流量の数値を示し、マスフローコントローラＭＳ９（図３参照）へ指示する、バブリング用として容器Ｖ１へ流すＨ2の流量の数値を、キーボード４からのキー入力により設定する。
【０１０８】
データ表示部Ｇ２６26は、成長条件の項目の「ＴＭＡ ｂａｂ Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、水素供給ラインＬＨから容器Ｖ１へ、マスフローコントローラＭＳ８（図３参照）を介し、Ｈ2を供給させる電磁バルブＢ７，電磁バルブＢ１２及び電磁バルブＢ１３のオープン／クローズの制御状態を示す。
ここで、データ表示部Ｇ２６26に「Ｏ」が示されている場合には、電磁バルブＢ７と、電磁バルブＢ１２または電磁バルブＢ１３とがオープン状態であり、水素供給ラインＬＨからマスフローコントローラＭＳ９（図３参照）へ、Ｈ2が供給されている事を示し、データ表示部Ｇ２６26に何も示されていない場合には、電磁バルブＢ７，電磁バルブＢ１２及び電磁バルブＢ１３がクローズ状態であり、水素供給ラインＬＨから容器Ｖ１へ、Ｈ2が供給されていない状態を示す。
【０１０９】
データ入力部Ｇ２６27は、成長条件の項目の「ＴＭＡ ｄｉｌ Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、半導体装置の膜構造における薄膜の原料として、容器Ｖ１からバブリングにより供給されるＴＭＡを、希釈するためのＨ2の流量の数値を示し、マスフローコントローラＭＳ８へ指示する、容器Ｖ１から供給されるＴＭＡの希釈ガスとして流すＨ2の流量の数値を、キーボード４からのキー入力により設定する。
【０１１０】
データ入力部Ｇ２６28は、成長条件の項目の「ＴＭＩ ｂａｂ Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、半導体装置の膜構造における薄膜の原料としてのＴＭＩを、図示しないＴＭＩの蓄積された容器からバブリングして供給するためのバブリング用のガスの流量の数値を示し、図示しないマスフローコントローラへ指示する、バブリング用として上記容器へ流すＨ2の流量の数値を、キーボード４からのキー入力により設定する。ここで、ＴＭＩのＭＯ供給ラインＬＯへ対する供給系は、上述したＴＭＡの供給系と同様な構成をしている。
【０１１１】
データ表示部Ｇ２６29は、成長条件の項目の「ＴＭＩ ｂａｂ Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、水素供給ラインＬＨから図示しないＴＭＩの蓄積された容器へ、マスフローコントローラを介し、Ｈ2を供給させる図示しない電磁バルブのオープン／クローズの制御状態を示す。
ここで、データ表示部Ｇ２６29に「Ｏ」が示されている場合には、上記電磁バルブがオープン状態であり、水素供給ラインＬＨから、ＴＭＩが蓄積された容器への流量を制御するマスフローコントローラへ、Ｈ2が供給されている事を示し、データ表示部Ｇ２６29に何も示されていない場合には、電磁バルブがクローズ状態であり、水素供給ラインＬＨからＴＭＩの蓄積された容器へ、Ｈ2が供給されていない状態を示す。
【０１１２】
データ入力部Ｇ２６30は、成長条件の項目の「ＴＭＩ ｄｉｌ Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、半導体装置の膜構造における薄膜の原料として、ＴＭＩの蓄積された容器からバブリングにより供給されるＴＭＩを、希釈するためのＨ2の流量の数値を示し、希釈するためのＨ2の流量の制御を行うマスフローコントローラへ指示する、ＴＭＩの蓄積された容器から供給されるＴＭＩの希釈ガスとして流すＨ2の流量の数値を、キーボード４からのキー入力により設定する。
【０１１３】
データ入力部Ｇ２６31は、成長条件の項目の「ＴＭＧ１ ｂａｂ Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、半導体装置の膜構造における薄膜の原料としてのＴＭＧを、容器Ｖ２（図３参照）からバブリングして供給するためのバブリング用のガスの流量の数値を示し、マスフローコントローラＭＳ１１（図３参照）へ指示する、バブリング用として容器Ｖ２へ流すＨ2の流量の数値を、キーボード４からのキー入力により設定する。
【０１１４】
データ表示部Ｇ２６32は、成長条件の項目の「ＴＭＧ１ ｂａｂ Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、水素供給ラインＬＨから容器Ｖ２へ、マスフローコントローラＭＳ１１を介し、Ｈ2を供給させる電磁バルブＢ１４，電磁バルブＢ１９及び電磁バルブＢ２０のオープン／クローズの制御状態を示す。
ここで、データ表示部Ｇ２６32に「Ｏ」が示されている場合には、電磁バルブＢ１４と、電磁バルブＢ１９または電磁バルブＢ２０とがオープン状態であり、水素供給ラインＬＨからマスフローコントローラＭＳ１１へ、Ｈ2が供給されている事を示し、データ表示部Ｇ２６32に何も示されていない場合には、電磁バルブＢ１４，電磁バルブＢ１９及び電磁バルブＢ２０がクローズ状態であり、水素供給ラインＬＨから容器Ｖ２へ、Ｈ2が供給されていない状態を示す。
【０１１５】
データ入力部Ｇ２６33は、成長条件の項目の「ＴＭＧ１ ｄｉｌ Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、半導体装置の膜構造における薄膜の原料として、容器Ｖ２からバブリングにより供給されるＴＭＧを、希釈するためのＨ2の流量の数値を示し、マスフローコントローラＭＳ１０（図３参照）へ指示する、容器Ｖ２から供給されるＴＭＧの希釈ガスとして流すＨ2の流量の数値を、キーボード４からのキー入力により設定する。
【０１１６】
データ入力部Ｇ２６34は、成長条件の項目の「ＴＭＧ２ ｂａｂ Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、半導体装置の膜構造における薄膜の原料としてのＴＭＧを、図示しないＴＭＧの蓄積された容器からバブリングして供給するためのバブリング用のガスの流量の数値を示し、図示しないマスフローコントローラへ指示する、バブリング用として上記容器へ流すＨ2の流量の数値を、キーボード４からのキー入力により設定する。ここで、ＴＭＧ（ＴＭＧ２）のＭＯ供給ラインＬＯへ対する供給系は、上述したＴＭＧ（ＴＭＧ１）の供給系と同様な構成をしている。
【０１１７】
データ表示部Ｇ２６35は、成長条件の項目の「ＴＭＧ２ ｂａｂ Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、水素供給ラインＬＨから図示しないＴＭＧの蓄積された容器へ、マスフローコントローラを介し、Ｈ2を供給させる図示しない電磁バルブのオープン／クローズの制御状態を示す。
ここで、データ表示部Ｇ２６35に「Ｏ」が示されている場合には、上記電磁バルブがオープン状態であり、水素供給ラインＬＨから、ＴＭＧが蓄積された容器への流量を制御するマスフローコントローラへ、Ｈ2が供給されている事を示し、データ表示部Ｇ２６35に何も示されていない場合には、電磁バルブがクローズ状態であり、水素供給ラインＬＨからＴＭＧの蓄積された容器へ、Ｈ2が供給されていない状態を示す。
【０１１８】
データ入力部Ｇ２６36は、成長条件の項目の「ＴＭＧ２ ｄｉｌ Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、半導体装置の膜構造における薄膜の原料として、ＴＭＧの蓄積された容器からバブリングにより供給されるＴＭＧを、希釈するためのＨ2の流量の数値を示し、希釈するためのＨ2の流量の制御を行うマスフローコントローラへ指示する、ＴＭＧの蓄積された容器から供給されるＴＭＧの希釈ガスとして流すＨ2の流量の数値を、キーボード４からのキー入力により設定する。
【０１１９】
データ入力部Ｇ２６37は、成長条件の項目の「Ｃｐ2Ｍｇ ｂａｂ Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、半導体装置の膜構造における薄膜の不純物原料のＣｐ2Ｍｇを、図示しないＣｐ2Ｍｇの蓄積された容器からバブリングして供給するためのバブリング用のガスの流量の数値を示し、図示しないマスフローコントローラへ指示する、バブリング用として上記容器へ流すＨ2の流量の数値を、キーボード４からのキー入力により設定する。ここで、Ｃｐ2ＭｇのＭＯ供給ラインＬＯ（図３参照）へ対する供給系は、上述したＴＭＡの供給系と同様な構成をしている。
【０１２０】
データ表示部Ｇ２６38は、成長条件の項目の「Ｃｐ2Ｍｇ ｂａｂ Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、水素供給ラインＬＨ（図３参照）から図示しないＣｐ2Ｍｇの蓄積された容器へ、マスフローコントローラを介し、Ｈ2を供給させる図示しない電磁バルブのオープン／クローズの制御状態を示す。
ここで、データ表示部Ｇ２６38に「Ｏ」が示されている場合には、上記電磁バルブがオープン状態であり、水素供給ラインＬＨから、Ｃｐ2Ｍｇが蓄積された容器への流量を制御するマスフローコントローラへ、Ｈ2が供給されている事を示し、データ表示部Ｇ２６38に何も示されていない場合には、電磁バルブがクローズ状態であり、水素供給ラインＬＨからＣｐ2Ｍｇの蓄積された容器へ、Ｈ2が供給されていない状態を示す。
【０１２１】
データ入力部Ｇ２６39は、成長条件の項目の「Ｃｐ2Ｍｇ ｄｉｌ Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、半導体装置の膜構造における薄膜の不純物原料として、Ｃｐ2Ｍｇの蓄積された容器からバブリングにより供給されるＣｐ2Ｍｇを、希釈するためのＨ2の流量の数値を示し、希釈するためのＨ2の流量の制御を行うマスフローコントローラへ指示する、Ｃｐ2Ｍｇの蓄積された容器から供給されるＣｐ2Ｍｇの希釈ガスとして流すＨ2の流量の数値を、キーボード４からのキー入力により設定する。
【０１２２】
データ入力部Ｇ２６40は、成長条件の項目の「ＳｉＨ4（シラン）」と記述された表示部の下部にあり、半導体装置の膜構造における薄膜の不純物原料の水素希釈ＳｉＨ4の流量の数値を示し、マスフローコントローラＭＳ１８（図３参照）へ指示する、アンモニア供給ラインＬＮＨ（図３参照）へ流す水素希釈ＳｉＨ4の流量の数値を、キーボード４からのキー入力により設定する。
【０１２３】
データ表示部Ｇ２６41は、成長条件の項目の「ＳｉＨ4」と記述された表示部の下部にあり、シラン供給ラインＬＳＳ（図３参照）からマスフローコントローラＭＳ１８（図３参照）へ、ＳｉＨ4を供給させる電磁バルブＢ３３，電磁バルブＢ３１及び電磁バルブＢ３２のオープン／クローズの制御状態を示す。
【０１２４】
ここで、データ表示部Ｇ２６41に「Ｏ」が示されている場合には、電磁バルブＢ３３と、電磁バルブＢ３１または電磁バルブＢ３２とがオープン状態であり、シラン供給ラインＬＳＳからマスフローコントローラＭＳ１８へ、ＳｉＨ4が供給されている事を示し、データ表示部Ｇ２６41に何も示されていない場合には、電磁バルブＢ３３，電磁バルブＢ３１及び電磁バルブＢ３２がクローズ状態であり、シラン供給ラインＬＳＳからマスフローコントローラＭＳ１８へ、ＳｉＨ4が供給されていない状態を示す。
【０１２５】
データ入力部Ｇ２６42は、成長条件の項目の「小流量Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、半導体装置の膜構造における薄膜の原料としてのＭＯに対するキャリアガスの流量の数値を示し、マスフローコントローラＭＳ６（図３参照）へ指示する、ＭＯ供給ラインＬＯへ流すＨ2の流量の数値を、キーボード４からのキー入力により設定する。
【０１２６】
データ表示部Ｇ２６43は、成長条件の項目の「小流量Ｈ2」と記述された表示部の下部にあり、水素供給ラインＬＨからＭＯ供給ラインＬＯへ、マスフローコントローラＭＳ６を介して、小流量のＨ2を供給させる電磁バルブＢ６のオン／オフの制御状態を示す。
ここで、データ表示部Ｇ２６43に「Ｏ」が示されている場合には、電磁バルブＢ６がオープン状態であり、水素供給ラインＬＨからＭＯ供給ラインＬＯへ、Ｈ2が供給されている事を示し、データ表示部Ｇ２６43に何も示されていない場合には、電磁バルブＢ６がクローズ状態であり、水素供給ラインＬＨからＭＯ供給ラインＬＯへ、Ｈ2が供給されていない状態を示す。
また、データ表示部Ｇ２６44及びデータ表示部Ｇ２６45は、ダミーのデータ表示部である。
【０１２７】
次に、ステップＳ２２において、図１０に示す様に、データ入力フレームＧ２６にステップ「No.１」の「スタンバイ」プロセスに対応する条件入力画面を表示する。このとき、図９に示す成長ステップの流れフレームＧ２５には、膜構造のファイル格納領域から読み出された膜構造のプロセスのステップが表示される。また、ステップ「No.１」より前のプロセスのステップが存在しないため、図８における比較フレームＧ２７には、プロセスのステップは表示されない。
【０１２８】
また、コンピュータ１は、成長ステップの流れフレームＧ２５における膜構造のプロセスを示すステップにおいて、ステップ「No.１」の「スタンバイ」プロセスが、成長条件のデータの入力対象であることを示すマーク、すなわち「１．スタンバイ」の文字を背景を黒で白抜き文字で表示させている。
さらに、コンピュータ１により、文字表示部Ｇ２６1には「ステップ  No.１」が表示され、文字表示部Ｇ２６2には、ステップ「No.１」のプロセスの名称の「スタンバイ」の文字が表示される。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ２３へ進める。
【０１２９】
次に、ステップＳ２３において、コンピュータ１は、「ステップ操作コマンド入力」，「成長条件選択項目の制御条件入力」，「成長条件選択項目のデータ入力」，「ファイル操作コマンドの入力」，「成長条件データ入力項目の選択」，「編集操作コマンドの入力」の何れかの処理が、操作者により選択（ボタンなどが押されることにより選択）されるのを検出するまで、画面表示を行うのみである（イベントドリブンまたはイベント駆動）。すなわち、コンピュータ１は、何れかのイベントが発生するのを待つ、イベント待ち状態となる。
【０１３０】
次に、図１，図９，図１０及び図１１を参照して、ステップ「No.１」の「スタンバイ」プロセスから、順次ステップの成長条件のデータ入力の説明を行う。図１１は、成長条件のデータ入力の動作を説明するフローチャートである。
操作者は、ヒータＨにおけるメインヒータとリアヒータとの温度は、「０℃」のままであり、プロセスのステップ時間（処理を行う時間）を「６０sec」とする。そして、操作者は、ＣＲＴ・２の表示画面に表示されている図１０に示す画面において、プロセスのステップ時間の入力を行う場合、マウス５によりカーソルを「ステップ時間」またはデータ入力部Ｇ２６5へ移動させ、クリックすることにより、ステップ時間のデータ入力が可能となる。
【０１３１】
ステップＳ３０において、コンピュータ１は、文字表示領域Ｇ２６1へステップを示す「ステップ No.１」の文字を表示し、文字表示領域Ｇ２６2へステップのプロセスを示す「スタンバイ」の文字を表示し、文字表示部Ｇ２０2へ、ステップ時間の設定範囲を示す表示、例えば、「設定範囲 ０−９９９.９ｓｅｃ」を表示し、ステップ時間の設定可能な時間が示される。
【０１３２】
また、コンピュータ１は、データ入力部Ｇ２６5に対応した「ステップ時間」の文字表示領域の背景色を、例えば灰色から黄色へ変更し、「ステップ時間」のプロセスの成長条件のデータが入力対象となったことを示す。そして、操作者がキーボード４から入力する数値をデータ入力部（条件入力内フレームボックス）Ｇ２６5に表示するとともに、確認レジスタへ書き込む。
そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ３１へ進める。このとき、操作者は、例えば、キーボード４により、「６０ｓｅｃ」のつもりで、間違えて「６０００ｓｅｃ」の数値を書き込むとする。
【０１３３】
次に、ステップＳ３１において、コンピュータ１は、確認レジスタに書き込まれた数値と、予め設定されている設定範囲「０−９９９.９ｓｅｃ」との比較を行う。
次に、ステップＳ３２において、コンピュータ１は、データ入力部Ｇ２６5に入力された数値が「６０００ｓｅｃ」であり、設定範囲「０−９９９.９ｓｅｃ」を超えており、入力ミスであることを確認し、処理をステップＳ３３へ進める。
【０１３４】
次に、ステップＳ３３において、コンピュータ１は、比較フレームＧ２７等のステップ時間のデータ入力を行うデータ入力部Ｇ２６5に重ならない領域に、「入力値が設定範囲を超えたので、設定値の最大値（９９９.９ｓｅｃ）に変更します」のエラー表示（エラーメッセージ）を、ＣＲＴ・２の表示画面に表示されている図８のウィンドウ画面上へ出力する。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ３４へ進める。
【０１３５】
次に、ステップＳ３４において、コンピュータ１は、操作者が上述のエラー表示に設けられている「確認」のボタンをマウス５によりクリックすることで、エラー表示を消去し、データ入力部Ｇ２６5の「６０００ｓｅｃ」の文字表示を、「９９９.９ｓｅｃ」へ変更すると共に、テンポラリファイルのステップ「No.１」のステップ時間のデータ領域に「９９９.９ｓｅｃ」を書き込む。そして、操作者が、ステップ時間を正しい値の「６０ｓｅｃ」を新たにデータ入力部Ｇ２６5へ、キーボード４により書き込む。これにより、コンピュータ１は、処理をステップＳ３１へ進める。
【０１３６】
次に、ステップＳ３１において、コンピュータ１は、確認レジスタに書き込まれた数値と、設定範囲「０−９９９.９ｓｅｃ」との比較を行う。
次に、ステップＳ３２において、コンピュータ１は、データ入力部Ｇ２６5に入力された数値が「６０ｓｅｃ」であり、設定範囲「０−９９９.９ｓｅｃ」を超えておらず、範囲内の数値である事を検出し、処理をステップＳ３５へ進める。
【０１３７】
次に、ステップＳ３５において、コンピュータ１は、範囲内の数値なのでエラー表示を出力せず、確認レジスタに記憶されている「６０ｓｅｃ」の数値を、テンポラリファイルのステップ「No.１」のステップ時間のデータ領域に書き込む。そして、このとき、エラー表示が表示されたままか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、エラー表示が無いときには図７のフローチャートへ処理を戻し、エラー表示が存在しているときにはステップＳ３６へ処理を進める。
【０１３８】
次に、ステップＳ３６において、コンピュータ１は、ＣＲＴ・２の表示画面に表示されているウィンドウ画面に、重なって表示されているエラー表示を消去し、処理を図７のステップＳ２３へ処理を戻す。
【０１３９】
次に、ステップＳ３１及びステップＳ３２で行われている最大入力値オーバーのチェックを図１２を参照して、詳細に説明にする。図１２は、最大入力値オーバーのチェックの動作を説明するフローチャートである。上述した図１１のフローチャートの説明で用いた数値を用いて説明する。
ステップＳ３００において、コンピュータ１は、操作者がキーボード４から入力した数値の文字列データ「６０００」を、バッファに格納し、処理をステップＳ３０１へ進める。
【０１４０】
次に、ステップＳ３０１において、コンピュータ１は、バッファに記憶されている文字列データ「６０００」を、数値データ（例えば、１６進のビット形式）「６０００」に変換して、この数値データ「６０００」を確認レジスタへ書き込む。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ３０２へ進める。
【０１４１】
次に、ステップＳ３０２において、コンピュータ１は、数値データ「６０００」と、予め設定されているステップ時間の設定範囲における最大の数値データ「９９９.９」との比較を行う。このとき、コンピュータ１は、入力された数値データ「６０００」がステップ時間の設定範囲における最大の数値データ「９９９.９」より大きい事を検出し、処理をステップＳ３０３へ進める。
【０１４２】
次に、ステップＳ３０３において、コンピュータ１は、比較フレームＧ２７等のステップ時間のデータ入力を行うデータ入力部Ｇ２６5に重ならない領域に、「入力値が設定範囲を超えたので、設定値の最大値（９９９.９ｓｅｃ）に変更します」のエラー表示を、ＣＲＴ・２の表示画面に表示されている図８のウィンドウ画面上へ出力する。同時に、コンピュータ１は、マウス５等による、他のデータ入力部への、移動を禁止する。
【０１４３】
そして、図１１のフローチャートにおいて、操作者がエラー表示に設けられている「確認」のボタンをマウス５によりクリックすると、コンピュータ１はエラー表示を消去し、データ入力部Ｇ２６5の「６０００ｓｅｃ」の文字表示を、「９９９.９ｓｅｃ」へ変更すると共に、テンポラリファイルのステップ「No.１」のステップ時間のデータ領域に「９９９.９ｓｅｃ」を書き込む。そして、操作者が、ステップ時間を正しい値の「６０ｓｅｃ」を新たにデータ入力部Ｇ２６5へ、キーボード４により書き込む。これにより、コンピュータ１は、図１２のフローチャートのステップ３００へ処理を進める。
【０１４４】
ステップＳ３００において、コンピュータ１は、操作者がキーボード４から入力した数値の文字列データ「６０」を、バッファに格納し、処理をステップＳ３０１へ進める。
【０１４５】
次に、ステップＳ３０１において、コンピュータ１は、バッファに記憶されている文字列データ「６０」を、数値データ（例えば、１６進のビット形式）「６０」に変換して、この数値データ「６０」を確認レジスタへ書き込む。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ３０２へ進める。
【０１４６】
次に、ステップＳ３０２において、コンピュータ１は、数値データ「６０」と、予め設定されているステップ時間の設定範囲における最大の数値データ「９９９.９」との比較を行う。このとき、コンピュータ１は、入力された数値データ「６０」がステップ時間の設定範囲における最大の数値データ「９９９.９」より小さい事を検出し、処理をステップＳ３０４へ進める。
【０１４７】
次に、ステップＳ３０４において、コンピュータ１は、範囲内の数値なのでエラー表示を出力せず、確認レジスタに記憶されている「６０ｓｅｃ」の数値を、テンポラリファイルのステップ「No.１」のステップ時間のデータ領域に書き込む。そして、このとき、エラー表示が表示されたままか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、エラー表示が無いときにはステップＳ３０６へ処理を進め、エラー表示が存在しているときにはステップＳ３０５へ処理を進める。
【０１４８】
次に、ステップＳ３０５において、コンピュータ１は、エラー表示を消去し、他のデータ入力部への移動を可能とする。すなわち、マウス５により、データ入力フレームＧ２６において他のデータ入力部をクリックすることにより、フォーカスを移動することが可能となる。ここで、フォーカスとは、データ入力対象のデータ入力部の選択操作のことを示している。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ３０６へ進める。
【０１４９】
次に、ステップＳ３０６において、コンピュータ１は、処理を図７のフローチャートのステップＳ２３へ戻し、全てのコマンド選択可能状態及びデータ入力部へのテキストデータ（文字列データ）を入力可能な状態とする。
上述した図７，図１１，図１２のフローチャートの処理により、図１０に示した全てのデータ入力部において、キーボード４から入力されたテキストデータの入力時に、数値データへの変換処理、及び最大値のチェックは行われる。
【０１５０】
また、図１０に示す「ｗａｉｔ」の表示部Ｇ２６6の設定状態の変更を以下に示す。操作者が「ｗａｉｔ」の文字表示領域またはデータ入力部へマウス５によりカーソルを移動してクリックすると、コンピュータ１は、図１１のステップＳ３０の処理において、「ｗａｉｔ」の文字表示領域の背景色を、例えば灰色から黄色へ変更し、「ｗａｉｔ」のプロセスの成長条件のデータが入力対象となったことを示す。
【０１５１】
そして、操作者が図９のチェックボタンＧ２０11へマウス５によりカーソルを移動して、クリックすることにより、コンピュータ１は、「ｗａｉｔ」の設定状態を「ｏｆｆ」状態から「ｏｎ」状態へ変更することが出来る。
また、チェックボタンＧ２０11をクリックせずに、「ｗａｉｔ」の文字表示領域の表示部Ｇ２６6またはデータ入力部をマウス５によりダブルクリックすることにより、「ｗａｉｔ」の設定状態を「ｏｆｆ」状態から「ｏｎ」状態へ、また「ｏｎ」状態から「ｏｆｆ」状態へ変更することが出来る。以下、説明して行く条件入力フレームＧ２０における他の設定状態の変更も、上述の「ｗａｉｔ」の場合と同様に、各々対応するチェックボタンまたは表示部もしくはデータ入力部により行う。
【０１５２】
すなわち、コンピュータ１は、チェックボタンＧ２０11がクリック（表示部Ｇ２６6またはデータ入力部がダブルクリック）された事を検出し、白い円状の枠内部に黒丸が表示させて選択された事を示すと同時に、「ｗａｉｔ」の状態を、テンポラリファイルの対応する領域に書き込む。このチェックボタンＧ２０11は、スイッチとなっており、もう一度、チェックボタンＧ２０11を押すと、白い円状の枠内部の黒丸を消去させて選択されていない状態に戻る。
例えば、テンポラリファイルの「ｗａｉｔ」の状態を記憶するレジスタの値が「１」であるとき、「ｏｎ」状態であり、レジスタの値が「０」であるとき「ｏｆｆ」状態とする。
【０１５３】
同様に、図１０に示す「ｈｏｌｄ」の表示部Ｇ２６7の設定状態の変更を以下に示す。操作者が「ｈｏｌｄ」の文字表示領域へマウス５によりカーソルを移動してクリックすると、コンピュータ１は、図１１のステップＳ３０の処理において、「ｈｏｌｄ」の文字表示領域の背景色を、例えば灰色から黄色へ変更し、「ｈｏｌｄ」のプロセスの成長条件のデータが入力対象となったことを示す。
そして、操作者が図９のチェックボタンＧ２０12へマウス５によりカーソルを移動して、クリックすることにより、コンピュータ１は、「ｈｏｌｄ」の設定状態を「ｏｆｆ」状態から「ｏｎ」状態へ変更することが出来る。
【０１５４】
すなわち、コンピュータ１は、チェックボタンＧ２０12がクリックされた事を検出し、白い円状の枠内部に黒丸が表示させて選択された事を示すと同時に、「ｈｏｌｄ」の状態を、テンポラリファイルの対応する領域に書き込む。このチェックボタンＧ２０12は、スイッチとなっており、もう一度、チェックボタンＧ２０12を押すと、白い円状の枠内部の黒丸を消去させて選択されていない状態に戻る。
例えば、テンポラリファイルの「ｈｏｌｄ」の状態を記憶するレジスタの値が「１」であるとき、「ｏｎ」状態であり、レジスタの値が「０」であるとき「ｏｆｆ」状態とする。
【０１５５】
また、図１０に示す「Ｒｏｔａｔｉｏｎ」の表示部Ｇ２６8の設定状態の変更を以下に示す。操作者が「Ｒｏｔａｔｉｏｎ」の文字表示領域へマウス５によりカーソルを移動してクリックすると、コンピュータ１は、図１１のステップＳ３０の処理において、「Ｒｏｔａｔｉｏｎ」の文字表示領域の背景色を、例えば灰色から黄色へ変更し、「Ｒｏｔａｔｉｏｎ」のプロセスの成長条件のデータが入力対象となったことを示す。
そして、操作者が図９のチェックボタンＧ２０13へマウス５によりカーソルを移動して、クリックすることにより、コンピュータ１は、「Ｒｏｔａｔｉｏｎ」の設定状態を「ｏｆｆ」状態から「ｏｎ」状態へ変更することが出来る。
【０１５６】
すなわち、コンピュータ１は、チェックボタンＧ２０13がクリックされた事を検出し、白い円状の枠内部に黒丸が表示させて選択された事を示すと同時に、「Ｒｏｔａｔｉｏｎ」の状態を、テンポラリファイルの対応する領域に書き込む。このチェックボタンＧ２０13は、スイッチとなっており、もう一度、チェックボタンＧ２０13を押すと、白い円状の枠内部の黒丸を消去させて選択されていない状態に戻る。
例えば、テンポラリファイルの「Ｒｏｔａｔｉｏｎ」の状態を記憶するレジスタの値が「１」であるとき、「ｏｎ」状態であり、レジスタの値が「０」であるとき「ｏｆｆ」状態とする。
【０１５７】
さらに、図１０に示す「ヒーター電源」の表示部Ｇ２６9の設定状態の変更を以下に示す。操作者が「ヒーター電源」の文字表示領域へマウス５によりカーソルを移動してクリックすると、コンピュータ１は、図１１のステップＳ３０の処理において、「ヒーター電源」の文字表示領域の背景色を、例えば灰色から黄色へ変更し、「ヒーター電源」のプロセスの成長条件のデータが入力対象となったことを示す。
そして、操作者が図９のチェックボタンＧ２０14へマウス５によりカーソルを移動して、クリックすることにより、コンピュータ１は、「ヒーター電源」の設定状態を「ｏｆｆ」状態から「ｏｎ」状態へ変更することが出来る。
【０１５８】
すなわち、コンピュータ１は、チェックボタンＧ２０14がクリックされた事を検出し、白い円状の枠内部に黒丸が表示させて選択された事を示すと同時に、「ヒーター電源」の状態を、テンポラリファイルの対応する領域に書き込む。このチェックボタンＧ２０14は、スイッチとなっており、もう一度、チェックボタンＧ２０14を押すと、白い円状の枠内部の黒丸を消去させて選択されていない状態に戻る。
例えば、テンポラリファイルの「ヒーター電源」の状態を記憶するレジスタの値が「１」であるとき、「ｏｎ」状態であり、レジスタの値が「０」であるとき「ｏｆｆ」状態とする。
【０１５９】
上述したデータ表示部Ｇ２６6〜データ表示部Ｇ２６9の設定状態の変更は、図１１のフローチャートに従って行われるが、数値データの入力がされない。このため、コンピュータ１は、ステップＳ３０において、条件入力内フレームボックスであるデータ表示部Ｇ２６6〜データ表示部Ｇ２６9各々の表示の書き換えと、テンポラリファイルの対応する領域に書き込む処理とを行い図７のフローチャートのステップＳ２３へ戻るため、図１１のフローチャートを用いた説明は省略する。
【０１６０】
次に、操作者がマウス５によりカーソルをデータ入力部Ｇ２６10へ移動させてクリックすることにより、データの入力対象を「ｔｏｐ ｆｌｏｗ Ｎ2」の流量値の設定とする。これにより、操作者のキーボードから入力したテキストデータ「２ＳＬＭ」に基づき、コンピュータ１は、図７及び図１１のフローチャートに従い、上述したようにＮ2の流量として「２ＳＬＭ（Ｓｔａｎｄａｒｄ ｌｉｔｅｒ／ｍｉｎ）」を設定する。この説明は、上述した図７及び図１１のフローチャートに従った入力なので、説明を省略する。
【０１６１】
また、操作者がマウス５によりカーソルを「ｔｏｐ ｆｌｏｗ Ｎ2」の文字表示領域へ移動させてクリックすることにより、データの入力対象を「ｔｏｐ ｆｌｏｗ Ｎ2」の項目とする。このとき、コンピュータ１は図１１のステップＳ３０において、「ｔｏｐ ｆｌｏｗ Ｎ2」の文字表示領域の色を灰色から黄色に変更する。
そして、操作者が図９のチェックボタンＧ２０8へマウス５によりカーソルを移動して、クリックすることにより、コンピュータ１は、「ｓｌｏｐｅ」の設定状態をスロープ有りの状態から、スロープ無しの状態へ変更することが出来る。このとき、コンピュータ１は、スロープ有りの状態に変更された場合、データ表示部Ｇ２６11の背景色を、例えば、灰色から橙色へ変更し、「Ｓ」の文字を表示させる。
【０１６２】
すなわち、コンピュータ１は、チェックボタンＧ２０8がクリックされた事を検出し、白い円状の枠内部に黒丸が表示させて選択された事を示すと同時に、「ｔｏｐ ｆｌｏｗ Ｎ2」のスロープの有無の状態を、テンポラリファイルの対応する領域に書き込む。このチェックボタンＧ２０8は、スイッチとなっており、もう一度、チェックボタンＧ２０8を押すと、白い円状の枠内部の黒丸を消去させて選択されていない状態に戻る。
例えば、テンポラリファイルの「ｔｏｐ ｆｌｏｗ Ｎ2」の状態を記憶するレジスタの値が「１」であるとき、スロープ有りの状態であり、レジスタの値が「０」であるときスロープ無しの状態とする。
【０１６３】
また、他のデータ表示部Ｇ２６14，データ表示部Ｇ２６17，データ表示部Ｇ２６20，データ表示部Ｇ２６23，データ表示部Ｇ２６49におけるスロープの有無に対する状態変更の処理についても同様である。
さらに、データ表示部Ｇ２６11，データ表示部Ｇ２６14，データ表示部Ｇ２６17，データ表示部Ｇ２６20，データ表示部Ｇ２６23，データ表示部Ｇ２６49のスロープの有無の状態の設定変更は、コンピュータ１により、図１１のフローチャートに従って行われるが、数値データの入力がされない。このため、コンピュータ１は、ステップＳ３０において、条件入力内フレームボックスであるデータ表示部の背景色の変更と表示の書き換え（「Ｓ」を記入するか、しないか）と、テンポラリファイルの対応する領域に書き込む処理とを行い図７のフローチャートのステップＳ２３へ戻るため、図１１のフローチャートを用いた説明は省略する。
【０１６４】
次に、ステップ「No.１」の「スタンバイ」プロセスにおいて、「ｔｏｐ ｆｌｏｗ Ｎ2」を成長条件のデータの入力対象としたまま、操作者が図９のチェックボタンＧ２０7へマウス５によりカーソルを移動して、クリックすることにより、コンピュータ１は、「ｔｏｐ ｆｌｏｗ Ｎ2」の「ｖａｌｖｅ ｏｐｅｎ」の設定状態を、すなわち、電磁バルブＢ２１（図３参照）のオン／オフの状態を変更することが出来る。このとき、コンピュータ１は、電磁バルブＢ２１がオン状態に変更された場合、データ表示部Ｇ２６15の背景色を、例えば、灰色から橙色へ変更し、「Ｏ」の文字を表示させる。
【０１６５】
すなわち、コンピュータ１は、チェックボタンＧ２０7がクリックされた事を検出し、白い円状の枠内部に黒丸が表示させて選択された事を示すと同時に、「ｔｏｐ ｆｌｏｗ Ｎ2」における電磁バルブＢ２１のオン／オフ状態を、テンポラリファイルの対応する領域に書き込む。このチェックボタンＧ２０7は、スイッチとなっており、もう一度、チェックボタンＧ２０7を押すと、白い円状の枠内部の黒丸を消去させて選択されていない状態に戻る。
例えば、テンポラリファイルの「ｔｏｐ ｆｌｏｗ Ｎ2」における電磁バルブＢ２１のオン／オフ状態を記憶するレジスタの値が「１」であるとき、電磁バルブＢ２１がオンの状態であり、レジスタの値が「０」であるとき電磁バルブＢ２１がオフの状態とする。
【０１６６】
また、他のデータ表示部Ｇ２６14，データ表示部Ｇ２６17，データ表示部Ｇ２６20，データ表示部Ｇ２６23，データ表示部Ｇ２６49におけるスロープの有無に対する状態変更の処理についても同様である。
さらに、データ表示部Ｇ２６11，データ表示部Ｇ２６14，データ表示部Ｇ２６17，データ表示部Ｇ２６20，データ表示部Ｇ２６23，データ表示部Ｇ２６49のスロープの有無の状態の設定変更は、コンピュータ１により、図１１のフローチャートに従って行われるが、数値データの入力がされない。このため、コンピュータ１は、ステップＳ３０において、条件入力内フレームボックスであるデータ表示部の背景色の変更と、表示の書き換え（「Ｓ」を記入するか、しないか）と、テンポラリファイルの対応する領域に書き込む処理とを行い図７のフローチャートのステップＳ２３へ戻るため、図１１のフローチャートを用いた説明は省略する。
【０１６７】
次に、操作者がマウス５によりカーソルを「ＴＭＡ ｂａｂ Ｈ2」の文字表示領域へ移動させてクリックすることにより、データの入力対象を「ＴＭＡ ｂａｂ Ｈ2」の項目とする。このとき、コンピュータ１は図１１のステップＳ３０において、「ＴＭＡ ｂａｂ Ｈ2」の文字表示領域の色を灰色から黄色に変更する。 そして、操作者が図９のチェックボタンＧ２０6へマウス５によりカーソルを移動して、クリックすることにより、コンピュータ１は、「ｓｕｐｐｌｙ」の設定状態、すなわちバブリングの有無の状態を変更することが出来る。このとき、コンピュータ１は、バブリングの有りの状態に変更された場合、データ入力部Ｇ２６25の「１００ｓｃｃｍ（ｓｔａｎｄａｒｄ ｃｃ／ｍｉｎ）」の文字の色を、例えば、黒色から青色へ変更する。
【０１６８】
すなわち、コンピュータ１は、チェックボタンＧ２０6がクリックされた事を検出し、白い円状の枠内部に黒丸が表示させて選択された事を示すと同時に、「ＴＭＡ ｂａｂ Ｈ2」のバブリングの有無の状態を、テンポラリファイルの対応する領域に書き込む。このチェックボタンＧ２０6は、スイッチとなっており、もう一度、チェックボタンＧ２０6を押すと、白い円状の枠内部の黒丸を消去させて選択されていない状態に戻る。
例えば、テンポラリファイルの「ＴＭＡ ｂａｂ Ｈ2」の「ｓｕｐｐｌｙ」の状態を記憶するレジスタの値が「１」であるとき、バブリング有りの状態であり、レジスタの値が「０」であるときバブリング無しの状態とする。
【０１６９】
ここで、バブリング有りの状態とは、電磁バルブＢ９及び電磁バルブＢ１１がオープンであり、電磁バルブＢ１０がクローズである状態を示している。すなわち、電磁バルブＢ９から供給されたＨ2が容器Ｖ１に蓄積されているＴＭＡをバブリングし、電磁バルブＢ１８からＨ2をキャリアガスとしてＴＭＡを供給する。
一方、バブリング無しの状態とは、電磁バルブＢ９及び電磁バルブＢ１１がクローズであり、電磁バルブＢ１０がオープンである状態を示している。すなわち、供給されるＨ2は、電磁バルブＢ１０により容器Ｖ１をバイパスし、容器Ｖ１に蓄積されているＴＭＡをバブリングする事はない。
【０１７０】
また、他のデータ入力部Ｇ２６28，データ入力部Ｇ２６31，データ入力部Ｇ２６34，データ入力部Ｇ２６37におけるバブリングの有無に対する状態変更の処理についても同様である。
さらに、データ入力領域Ｇ２６25，データ入力領域Ｇ２６28，データ入力部Ｇ２６31，データ入力部Ｇ２６34，データ入力部Ｇ２６37のバブリングの有無の状態の設定変更は、コンピュータ１により、図１１のフローチャートに従って行われるが、数値データの入力がされない。このため、コンピュータ１は、ステップＳ３０において、条件入力内フレームボックスであるデータ表示部の背景色の変更と、テンポラリファイルの対応する領域に書き込む処理とを行い図７のフローチャートのステップＳ２３へ戻るため、図１１のフローチャートを用いた説明を省略する。
【０１７１】
次に、ステップ「No.１」の「スタンバイ」プロセスにおいて、「ＴＭＡ ｂａｂ Ｈ2」を成長条件のデータの入力対象としたまま、操作者が図９のチェックボタンＧ２０5へマウス５によりカーソルを移動して、クリックすることにより、コンピュータ１は、「ＴＭＡ ｂａｂ Ｈ2」の「ｒｕｎ」の設定状態を、すなわち、電磁バルブＢ１２及び電磁バルブＢ１３（図３参照）のオープン／クローズの状態を変更することが出来る。このとき、コンピュータ１は、「ｒｕｎ」がオープンの状態（電磁バルブＢ１２がオープンであり、電磁バルブＢ１３がクローズであるとき）と設定されると、データ入力部Ｇ２６25の背景色を、例えば、灰色から赤色へ変更する。また、コンピュータ１は、「ｒｕｎ」がクローズの状態（電磁バルブＢ１２がクローズであり、電磁バルブＢ１３がオープンであるとき）と設定されると、データ表示部Ｇ２６25の背景色を、赤色から灰色へ変更する。
【０１７２】
すなわち、コンピュータ１は、チェックボタンＧ２０5がクリックされた事を検出し、白い円状の枠内部に黒丸が表示させて選択された事を示すと同時に、「ＴＭＡ ｂａｂ Ｈ2」における電磁バルブＢ１２及び電磁バルブＢ１３のオープン／クローズ状態、すなわち「ｒｕｎ」の状態を、テンポラリファイルの対応する領域に書き込む。このチェックボタンＧ２０5は、スイッチとなっており、もう一度、チェックボタンＧ２０5を押すと、白い円状の枠内部の黒丸を消去させて選択されていない状態に戻る。
例えば、テンポラリファイルの「ＴＭＡ ｂａｂ Ｈ2」における「ｒｕｎ」の状態を記憶するレジスタの値が「１」であるとき、「ｒｕｎ」がオープンの状態であり、レジスタの値が「０」であるとき「ｒｕｎ」がクローズの状態とする。
【０１７３】
また、他のデータ入力部Ｇ２６13，データ入力部Ｇ２６28，データ入力部Ｇ２６31，データ入力部Ｇ２６34，データ入力部Ｇ２６37，データ入力部Ｇ２６40におけるスロープの有無に対する状態変更の処理についても同様である。
さらに、データ入力部Ｇ２６13，データ入力部Ｇ２６25，データ入力部Ｇ２６28，データ入力部Ｇ２６31，データ入力部Ｇ２６34，データ入力部Ｇ２６37，データ入力部Ｇ２６40のスロープの有無の状態の設定変更は、コンピュータ１により、図１１のフローチャートに従って行われるが、数値データの入力がされない。このため、コンピュータ１は、ステップＳ３０において、条件入力内フレームボックスであるデータ入力部の背景色の変更と、テンポラリファイルの対応する領域に書き込む処理とを行い図７のフローチャートのステップＳ２３へ戻るため、図１１のフローチャートを用いた説明は省略する。
【０１７４】
次に、ステップ操作について説明する。操作者が、上述した様に成長条件のデータの入力を行い、ステップ「No.１」の「スタンバイ」プロセスにおける成長条件のデータ入力が終了したとする。このとき、コンピュータ１は、図７のフローチャートのステップＳ２３において、イベントの発生に対して待ち状態にある。  そして、操作者は、次のステップ「No.２」の「昇温１１００℃」プロセスのデータ入力を行おうとして、ステップ操作フレームＧ２３の「確定＆＞＞」が表示されたボタンＧ２３2へ、マウス５によりカーソルを移動し、クリックする。
【０１７５】
これにより、コンピュータ１は、ボタンＧ２３2がクリックされたことにより、イベントの発生を検知し、図１３のフローチャートに従った処理を開始する。図１３は、膜構造のプロセスのステップにおいて、次のステップへの移動の動作を説明するフローチャートである。
ステップＳ４０において、コンピュータ１は、ステップ「No.１」の「スタンバイ」プロセスにおいて、操作者の設定したステップ時間、例えば、「６０ｓｅｃ」が、「ｖａｌｖｅ ｏｐｅｎ」，「ｒｕｎ」及び「ｓｕｐｐｌｙ」の設定状態に基づく、ＭＯＣＶＤ装置における各電磁バルブの、予め設定されている開閉時間（例えば、２ｓｅｃ）や切換時間（例えば、３ｓｅｃ）などとの比較を行う。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ４１へ進める。この比較処理の詳細については、後に詳述する。
【０１７６】
次に、ステップＳ４１において、コンピュータ１は、ステップＳ４０における比較の結果を入力し、この結果が、操作者の設定したステップ時間より、予め設定されている開閉時間や切換時間などの数値が小さい値であり、入力ミスがないとの判定である場合、処理をステップＳ４２へ進める。
【０１７７】
次に、ステップＳ４２において、コンピュータ１は、エラー表示を行うか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、入力ミスがないため、エラー表示を行わずに、処理をステップＳ４３へ進める。
【０１７８】
次に、ステップＳ４３において、コンピュータ１は、ＣＲＴ・２の表示画面に表示されている図８のウィンドウにおけるデータ入力フレームＧ２６に、図１４に示すデータ入力画面を表示し、図８のウィンドウにおける比較フレームＧ２７に、図１５に示す比較表示画面を表示する。
図１４に示すデータ入力画面は、ステップ「No.２」の「昇温１１００℃」プロセスのデータ入力を行う画面で、図１０で説明した画面と構成が同様であり、文字表示部Ｇ２６1に「ステップ NO.２」の文字が表示され、文字表示部Ｇ２６2にステップのプロセスを示す「昇温１１００℃」の文字が表示され、この画面がステップ「No.２」の「昇温１１００℃」の入力画面であることを示している点が異なる。図８における比較フレームＧ２７は、図１０の構成と同様に、以下に示す成長条件の各項目毎にデータ入力部とその上部に位置するデータ表示部とで構成されている。
【０１７９】
また、図１５に示す比較表示画面は、ステップ「No.１」の「スタンバイ」プロセスにおける各成長条件が図１０と同様の項目として、かつ同様の順に表示されている。
すなわち、コンピュータ１により、図１０の「メインヒーター温度」のデータ入力部Ｇ２６3の表示データ「０℃」が、図１５の「メインヒーター温度」のデータ表示部Ｇ２７3に表示される。同様に、図１０のデータ入力部Ｇ２６4の「リアーター温度」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７4に表示される。
【０１８０】
図１０のデータ入力部Ｇ２６5の「ステップ時間」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７5に表示される。図１０のデータ入力部Ｇ２６6の「ｗａｉｔ」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７6に表示される。図１０のデータ入力部Ｇ２６6の「ｗａｉｔ」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７6に表示される。図１０のデータ入力部Ｇ２６7の「ｈｏｌｄ」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７7に表示される。図１０のデータ入力部Ｇ２６8の「ｒｏｔａｔｉｏｎ」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７8に表示される。
【０１８１】
図１０のデータ入力部Ｇ２６9の「ヒーター電源」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７9に表示される。図１０のデータ入力部Ｇ２６10の「ｔｏｐ ｆｌｏｗ Ｎ2」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７10に表示される。図１０のデータ入力部Ｇ２６13の「ＮＨ3」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７13に表示される。図１０のデータ入力部Ｇ２６16の「Ｖ−ｌｉｎｅ ｃａｒＮ2」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７16に表示される。図１０のデータ入力部Ｇ２６19の「III−ｌｉｎｅ ｃａｒＮ2」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７19に表示される。
【０１８２】
図１０のデータ入力部Ｇ２６22の「III−ｌｉｎｅ ｃａｒＮ2」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７22に表示される。図１０のデータ入力部Ｇ２６25の「ＴＭＡ ｂａｂＨ2」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７25に表示される。図１０のデータ入力部Ｇ２６27の「ＴＭＡ ｄｉｌＨ2」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７27に表示される。図１０のデータ入力部Ｇ２６28の「ＴＭＩ ｂａｂＨ2」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７28に表示される。図１０のデータ入力部Ｇ２６30の「ＴＭＩ ｄｉｌＨ2」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７30に表示される。
【０１８３】
図１０のデータ入力部Ｇ２６31の「ＴＭＧ１ ｂａｂＨ2」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７31に表示される。図１０のデータ入力部Ｇ２６33の「ＴＭＧ１ ｄｉｌＨ2」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７33に表示される。図１０のデータ入力部Ｇ２６34の「ＴＭＧ２ ｂａｂＨ2」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７34に表示される。図１０のデータ入力部Ｇ２６36の「ＴＭＧ２ ｄｉｌＨ2」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７36に表示される。図１０のデータ入力部Ｇ２６37の「Ｃｐ2Ｍｇ ｂａｂＨ2」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７37に表示される。
【０１８４】
図１０のデータ入力部Ｇ２６39の「Ｃｐ2Ｍｇ ｄｉｌＨ2」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７39に表示される。図１０のデータ入力部Ｇ２６40の「ＳｉＨ4」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７40に表示される。図１０のデータ入力部Ｇ２６42の「小流量Ｈ2」の表示データが図１５のデータ表示部Ｇ２７42に表示される。
【０１８５】
上述の様に、コンピュータ１は、図１０のデータ入力部において入力された成長条件のデータを、図１５のデータ表示部に表示する。すなわち、コンピュータ１は、図１０の成長条件の項目のデータを、図１５の成長条件の項目の対応したデータ表示部に全て表示する。このとき、コンピュータ１は、比較フレームＧ２７の成長条件の各項目のデータ表示部の背景を灰色で表示する。
また、当然の事ながら、コンピュータ１は、バルブの開閉状態を示す、各項目の背景の表示色（例えば、灰色）も同様に表示する。
【０１８６】
また、表示垂直移動バーＧ２７60を、マウス５によりカーソルを移動して、マウスのボタンを押しドラッグ状態で、上下に移動させると、比較フレームＧ２７内の表示画面に表示されている表示は、この上下移動（スクロール）操作に対応して、上下に移動する。このとき、図１４（図１０）に示すデータ入力フレームＧ２６内の表示画面に表示されている表示も、表示垂直移動バーＧ２７60の動きに対応して、移動する。すなわち、比較フレームＧ２７内の表示画面に表示されている表示と、データ入力フレームＧ２６内の表示画面に表示されている表示とは、表示垂直移動バーＧ２７60の上下移動に同期して移動する。また、上記と同様のスクロール操作を、表示垂直移動バーＧ２７60の両端にそれぞれ設けられているボタン「▲」（上へ移動）とボタン「▼」（下へ移動）とをクリックすることでも行うことが可能である。
【０１８７】
同様に、表示垂直移動バーＧ２６60（図１０，図１４）を、マウス５によりカーソルを移動して、マウスのボタンを押しドラッグ状態で、上下に移動させると、データ入力フレームＧ２６内の表示画面に表示されている表示は、この上下移動（スクロール）操作に対応して、上下に移動する。このとき、図１５に示す比較フレームＧ２７内の表示画面に表示されている表示も、表示垂直移動バーＧ２６60の動きに対応して、移動する。すなわち、比較フレームＧ２７内の表示画面に表示されている表示と、データ入力フレームＧ２６内の表示画面に表示されている表示とは、表示垂直移動バーＧ２６60の上下移動に同期して移動する。また、上記と同様のスクロール操作を、表示垂直移動バーＧ２６60の両端にそれぞれ設けられているボタン「▲」（上へ移動）とボタン「▼」（下へ移動）とをクリックすることでも行うことが可能である。
【０１８８】
同様に、図１４に示す表示垂直移動バーＧ２６60を、マウス５によりカーソルを移動して、マウスのボタンを押しドラッグ状態で、上下に移動させると、データ入力フレームＧ２６内の表示画面に表示されている表示は、この上下移動に対応して、上下に移動する。このとき、図１５に示す比較フレームＧ２７内の表示画面に表示されている表示も、表示垂直移動バーＧ２６60の動きに対応して、移動する。すなわち、比較フレームＧ２７内の表示画面に表示されている表示データ入力フレームＧ２６内の表示画面に表示されている表示とは、表示垂直移動バーＧ２６60の上下移動に同期して移動する。
【０１８９】
また、図示しないが、データ入力フレームＧ２６及び比較フレームＧ２７に、それぞれ表示横移動バーを設けて、上述したように、データ入力フレームＧ２６及び比較フレームＧ２７の何れの表示横移動バーをマウス５でドラッグして、左右に移動させると、比較フレームＧ２７内の表示画面に表示されている表示データ入力フレームＧ２６内の表示画面に表示されている表示とは、表示横移動バーの左右に平行移動させると、この移動に同期して移動する。
【０１９０】
このように、図１０において入力されたステップ「No.１」の「スタンバイ」プロセスの成長条件のデータが、図１４のステップ「No.２」の「昇温１１００℃」プロセスの成長条件のデータと比較するために、図１５に示す比較フレームＧ２７に表示される。
これにより、操作者は、ステップ「No.２」の「昇温１１００℃」プロセスの成長条件のデータを入力するとき、ステップ「No.１」の「スタンバイ」プロセスの成長条件のデータと数値の比較を行いながら入力できる。このため、数値の入力において、入力する数値の連続的な変化の経過を確認しながら入力でき、いきなり、数値を大きく取り違えて入力してしまう入力ミスを防止することが可能である。
【０１９１】
また、一実施形態による成長フロー生成システムによれば、データ入力フレームＧ２６に表示されているステップの各項目と、比較フレームＧ２７に表示されているステップの対応する項目との設定データが異なる場合、コンピュータ１が、データ入力フレームＧ２６に表示されているステップにおいて、比較フレームＧ２７に表示されているステップのデータと異なるデータとなっている項目の表示枠の背景色を変えるため、操作者がステップの各項目毎に、比較フレームＧ２７における成長条件のデータデータと入力フレームＧ２６における入力データとのビジュアルな比較（及び確認）が行え、操作者のデータの入力ミスを防止する効果がある。このとき、コンピュータ１は、データ入力フレームＧ２６における成長条件の項目の表示枠の背景色を変更する。
【０１９２】
図１５の比較フレームＧ２７のボタンＧ２７62及びボタンＧ２７63は、比較するステップを自由に変更するための処理を行う。すなわち、操作者が「《」の表示されているボタンＧ２７62へ、マウス５によりカーソルを移動させ、クリックする事により、コンピュータ１は１つ前のステップの成長条件のデータを表示させる。また、操作者が「》」の表示されているボタンＧ２７63へ、マウス５によりカーソルを移動させ、クリックする事により、コンピュータ１は１つ後のステップの成長条件のデータを表示させる。
【０１９３】
通常は、比較フレームＧ２７には、データ入力フレームＧ２６に表示されているステップの一つ前のステップの成長条件のデータが表示されている。
そして、コンピュータ１は、上述した図１４に示すデータ入力フレームＧ２６，及び図１５に示す比較フレームＧ２７を、図８のウィンドウのそれぞれの位置に表示した後、処理をステップＳ４４へ進める。
【０１９４】
次に、ステップＳ４４において、コンピュータ１は、図８の示すウィンドウにおいて、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の項目の数値とを順次比較し、比較結果として同一である場合、処理をステップＳ４５へ進める。
【０１９５】
次に、ステップＳ４５において、コンピュータ１は、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の数値とを比較した、データ入力フレームＧ２６及び比較フレームＧ２７の対応する成長条件の項目の名称の表示部、例えば、データ入力フレームＧ２６に表示されているステップの「ｗａｉｔ」の文字が表示されている表示部の背景色を灰色とする。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ４６へ進める。
【０１９６】
次に、ステップＳ４６において、コンピュータ１は、図８の示すウィンドウにおいて、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の各項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の各項目の数値との比較が全て終了したか否かの判定を行う。
このとき、コンピュータ１は、全ての成長条件の項目において、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の各項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の各項目の数値との比較が終了したと判定した場合、処理を図７のフローチャートのステップＳ２３へ戻す。
【０１９７】
一方、ステップＳ４６において、コンピュータ１は、全ての成長条件の項目において、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の項目の数値との比較が終了していないと判定した場合、処理をステップＳ４４へ戻す。
【０１９８】
また、ステップＳ４４において、コンピュータ１は、図８の示すウィンドウにおいて、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の項目の数値とを順次比較し、比較結果として、数値が異なっている場合、処理をステップＳ４７へ進める。
【０１９９】
次に、ステップＳ４７において、コンピュータ１は、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の数値とを比較した、データ入力フレームＧ２６及び比較フレームＧ２７の対応する成長条件の項目の名称の表示部、例えば、データ入力フレームＧ２６の「メインヒーター温度」の文字が表示されている表示部（表示枠）の背景色を、灰色から、例えば青色へ変更する。
【０２００】
この結果、一実施形態による成長フロー生成システムによれば、データ入力フレームＧ２６および比較フレームＧ２７における成長条件のデータが異なる場合、コンピュータ１が、対応する成長条件のデータが異なっている、データ入力フレームＧ２６の対応する成長条件の項目の表示枠の背景色を変えるため、データ入力フレームＧ２６の成長条件に対してのデータ入力における、操作者の入力ミスを防止する効果がある。このとき、コンピュータ１は、データ入力フレームＧ２６および比較フレームＧ２７の対応する成長条件のデータが異なっていることを、ビジュアル的に操作者に対して確認させる（表示する）ため、データ入力フレームＧ２６に表示されているステップの成長条件の項目の表示枠の背景色を変更する。
そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ４６へ進める。
【０２０１】
また、ステップＳ４２において、コンピュータ１は、前回検出された入力ミスを修正してステップＳ４０，ステップＳ４１を通過してきたとき、前回に表示されたエラー表示の画面からの消去を行う。
【０２０２】
さらに、ステップＳ４１において、コンピュータ１は、ステップＳ４０における比較の結果を入力し、この結果が、操作者の設定したステップ時間より、予め設定されている開閉時間や切換時間などの数値が大きい値であり、入力ミスがあるとの判定である場合、処理をステップＳ４９へ進める。例えば、ＭＯＣＶＤ装置における各電磁バルブの、予め設定されている開閉時間（例えば、２ｓｅｃ）や切換時間（例えば、３ｓｅｃ）である時、操作者がステップ時間として「１ｓｅｃ」のデータを入力していた場合を想定。
【０２０３】
次に、ステップＳ４９において、コンピュータ１は、ステップ時間を、各電磁バルブの予め設定されている開閉時間や切換時間を設定しているため、例えば「ステップ時間を３ｓｅｃ以上に設定して下さい」の文字表示を、図１０の文字表示領域Ｇ２６2の右横などの他の表示に重ならない領域に表示する。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ５０へ進める。
【０２０４】
次に、ステップＳ５０において、コンピュータ１は、成長条件の項目である「ステップ時間」の入力データの入力ミスを、操作者へ入力し直させるため、処理を図７のフローチャートにおけるステップＳ２３へ戻す。
以上説明したように、ステップ操作領域Ｇ２３のボタンＧ２３2がマウス５によりクリックされた時、コンピュータ１は、データ入力されたプロセスのステップの「ステップ時間」の設定が、成長条件の電磁バルブなどの開閉及び切換に必要な時間（「ステップ時間」の最小値）よりも小さい場合、エラー表示を表示し、入力ミスを訂正する。
【０２０５】
そして、コンピュータ１は、入力ミスが訂正されて、「ステップ時間」の数値が上記最小値よりも大きいと判定した場合、データ入力フレームＧ２６に表示されていたステップ「No.１」の「スタンバイ」プロセスのステップを、比較フレームＧ２７へ移動させ、次のプロセスのステップ「No.２」の「昇温１１００℃」プロセスの成長条件のデータをデータ入力フレームＧ２６に表示させる。同時に、コンピュータ１は、成長ステップの流れフレームＧ２５において、成長条件のデータ入力の対象ステップを示す、ステップ「No.１」の「スタンバイ」プロセスの反転表示を解除し、ステップ「No.２」の「昇温１１００℃」プロセスの表示を反転表示とする。
【０２０６】
次に、図１３のステップＳ４０〜ステップＳ４２，ステップＳ４９及びステップＳ５０における処理を、図１６を用いて詳細に説明する。図１６は、図１３に示すフローチャートで行われる最小値入力チェックの動作を説明するフローチャートである。
ステップＳ４０１において、操作者が、例えばステップ「N0.１」の「スタンバイ」プロセスの成長条件の各項目のデータを入力後に、この成長条件のデータを確定する入力確定ボタン、すなわち、ボタンＧ２３1またはボタンＧ２３2のいずれかを、マウス５によりクリックする。そして、コンピュータ１は、上記入力確定ボタンが押されたことを検出し、処理をステップＳ４０２へ進める。
【０２０７】
次に、ステップＳ４０２において、コンピュータ１は、ＭＯ供給ラインＬＯにＭＯを供給する容器、例えば容器Ｖ１や容器Ｖ２からＭＯを供給するために、Ｈ2を供給させる電磁バルブの切換を指示する「ｓｕｐｐｌｙ」の設定が、直前のプロセスのステップから変更されているか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、「ｓｕｐｐｌｙ」の設定が直前のプロセスのステップから、変更されていることを検出した場合、処理をステップＳ４０３へ進める。
【０２０８】
次に、ステップＳ４０３において、コンピュータ１は、ステップ「N0.１」の「スタンバイ」プロセスの設定されたステップ時間が「３ｓｅｃ」より小さいか否かの判定を行う。そして、コンピュータ１は、ステップ時間が「３ｓｅｃ」より小さいと判定した場合、処理をステップＳ４０４へ進める。
【０２０９】
次に、ステップＳ４０４において、コンピュータ１は、図１０のデータ入力フレームＧ２６における文字表示部Ｇ２６2の右横の空き領域に、「ステップ時間を３秒以上にして下さい」の文字をエラー表示として表示する。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ４０５へ進める。
【０２１０】
次に、ステップＳ４０５において、コンピュータ１は、図１０のデータ入力フレームＧ２６におけるデータ入力部Ｇ２６5上部の「ステップ時間」が表示されている文字表示領域の背景色を、灰色または青色から黄色へ変更する。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ４０６へ進める。
【０２１１】
次に、ステップＳ４０６において、コンピュータ１は、成長条件のデータ入力対象の項目を「ステップ時間」とし、処理をステップＳ４０７へ進める。
次に、ステップＳ４０７において、コンピュータ１は、操作者がキーボード４から入力した数値のテキストデータを、数値データへ変更してバッファに書き込む。
そして、コンピュータ１は、ステップＳ４０２へ処理を戻し、上記バッファの「ステップ時間」の数値と、予め設定された「ｓｕｐｐｌｙ」の設定時間との比較を行う。
【０２１２】
また、ステップＳ４０２において、コンピュータ１は、「ｓｕｐｐｌｙ」の設定が直前のプロセスのステップから、変更されていないことを検出した場合、処理をステップＳ４０８へ進める。
【０２１３】
次に、ステップＳ４０８において、コンピュータ１は、ＭＯ供給ラインＬＯにＭＯを供給する以外の原料ガス、例えばＮＨ3，ＳｉＨ4等のガスを供給するための電磁バルブの切換を指示する「ｓｕｐｐｌｙ」の設定が、直前のプロセスのステップから変更されているか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、「ｓｕｐｐｌｙ」の設定が直前のプロセスのステップから、変更されていることを検出した場合、処理をステップＳ４０９へ進める。
【０２１４】
次に、ステップＳ４０９において、コンピュータ１は、ステップ「N0.１」の「スタンバイ」プロセスの設定されたステップ時間が「２ｓｅｃ」より小さいか否かの判定を行う。そして、コンピュータ１は、ステップ時間が「２ｓｅｃ」より小さいと判定した場合、処理をステップＳ４１０へ進める。
【０２１５】
次に、ステップＳ４１０において、コンピュータ１は、図１０のデータ入力フレームＧ２６における文字表示部Ｇ２６2の右横の空き領域に、「ステップ時間を２秒以上にして下さい」の文字をエラー表示として表示する。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ４０５へ進める。
【０２１６】
また、ステップＳ４０８において、コンピュータ１は、「ｓｕｐｐｌｙ」の設定が直前のプロセスのステップから、変更されていないことを検出した場合、処理をステップＳ４１１へ進める。
【０２１７】
次に、ステップＳ４１１において、コンピュータ１は、ステップ「N0.１」の「スタンバイ」プロセスの設定されたステップ時間が「０.１ｓｅｃ」より小さいか否かの判定を行う。そして、コンピュータ１は、ステップ時間が「０.１ｓｅｃ」より小さいと判定した場合、処理をステップＳ４１２へ進める。
【０２１８】
次に、ステップＳ４１２において、コンピュータ１は、図１０のデータ入力フレームＧ２６における文字表示部Ｇ２６2の右横の空き領域に、「ステップ時間を０.１秒以上にして下さい」の文字をエラー表示として表示する。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ４０５へ進める。
【０２１９】
また、コンピュータ１は、上述したステップＳ４０３において、ステップ時間が「３ｓｅｃ」より大きいと判定した場合、及び、上述したステップＳ４０９において、ステップ時間が「２ｓｅｃ」より大きいと判定した場合、並びに、上述したステップＳ４１１において、ステップ時間が「０.１ｓｅｃ」より大きいと判定した場合、処理をステップＳ４１３へ進める。
【０２２０】
次に、ステップＳ４１３において、コンピュータ１は、前回検出された入力ミスをステップＳ４０７で修正して、再度フローチャートに従い処理されてきた場合に、前回に表示されたエラー表示が図１０のデータ入力フレームＧ２６上に表示されているか否かの判定を行う。そして、コンピュータ１は、エラー表示がデータ入力フレームＧ２６上に表示されていることを検出した場合、処理をステップＳ４１４へ進める。
【０２２１】
次に、ステップＳ４１４において、コンピュータ１は、データ入力フレームＧ２６上に表示されているエラー表示を消去し、処理を図１３のフローチャートのステップＳ４３（ステップＳ６３，ステップＳ８３）へ進める。
また、ステップＳ４１３において、コンピュータ１は、エラー表示がデータ入力フレームＧ２６上に表示されていないことを検出した場合、処理を図１３のフローチャートのステップＳ４３（ステップＳ６３，ステップＳ８３）へ進める。
【０２２２】
次に、上述の様に、膜構造の各プロセスのステップの成長条件のデータを順次入力し、図１７に示すステップ「No.６」の「温度保持 ＭＯバブリング開始」プロセスの成長条件のデータを入力を行っているとき、操作者が図８の比較フレームＧ２７に表示されている図１８に示すステップ「No.５」の「温度保持」プロセスの成長条件のデータを変更しようとする。このとき、操作者は、ステップ「No.６」の「温度保持 ＭＯバブリング開始」プロセスの成長条件のデータの入力が終了した時点（また終了はしないが入力に一区切り付いた時点など）で、マウス５のカーソルを図９のステップ操作フレームＧ２３における、「確定＆＜＜」の文字が表示されたボタンＧ２３1へ移動させ、クリックする。
【０２２３】
これにより、コンピュータ１は、ボタンＧ２３1がクリックされたことにより、イベントの発生を検知し、図１９のフローチャートに従った処理を開始する。図１９は、膜構造のプロセスのステップにおいて、前のステップへの移動の動作を説明するフローチャートである。
【０２２４】
ステップＳ６０において、コンピュータ１は、ステップ「No.６」の「温度保持 ＭＯバブリング開始」プロセスにおいて、操作者の設定したステップ時間、例えば、「１０ｓｅｃ」が、「ｖａｌｖｅ ｏｐｅｎ」，「ｒｕｎ」及び「ｓｕｐｐｌｙ」の設定状態に基づく、ＭＯＣＶＤ装置における各電磁バルブの、予め設定されている開閉時間（例えば、２ｓｅｃ）や切換時間（例えば、３ｓｅｃ）などとの比較を行う。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ６１へ進める。
【０２２５】
次に、ステップＳ６１において、コンピュータ１は、ステップＳ６０における比較の結果を入力し、この結果が、操作者の設定したステップ時間より、予め設定されている開閉時間や切換時間などの数値が小さい値であり、入力した成長条件のデータに入力ミスがないと判定した場合、処理をステップＳ６２へ進める。
【０２２６】
次に、ステップＳ６２において、コンピュータ１は、エラー表示を行うか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、入力ミスがないため、エラー表示を行わずに、処理をステップＳ６３へ進める。
【０２２７】
次に、ステップＳ６３において、コンピュータ１は、ＣＲＴ・２の表示画面に表示されている図８のウィンドウにおけるデータ入力フレームＧ２６に、図２０に示すデータ入力画面を表示し、図８のウィンドウにおける比較フレームＧ２７に、図２１に示す比較表示画面を表示する。図２０に示すデータ入力画面は、ステップ「No.５」の「温度保持」プロセスのデータ入力を行う画面で、図１０で説明した画面と構成が同様であり、文字表示部Ｇ２６1に「ステップ NO.５」の文字が表示され、文字表示部Ｇ２６2にステップのプロセスを示す「温度保持」の文字が表示され、この画面がステップ「No.５」の「温度保持」の入力画面であることを示している点が異なる。
【０２２８】
また、図２１に示す比較表示画面は、表示されている項目の成長条件のデータが入力されている、ステップ「No.４」の「降温４５０℃」プロセスの成長条件が示されている。すなわち、コンピュータ１により、図１８の「メインヒーター温度」のデータ表示部Ｇ２７3の表示データ「４５０℃」が、図２０の「メインヒーター温度」のデータ入力部Ｇ２６3に表示される。同様に、図１８のデータ表示部Ｇ２７4の「リアーター温度」の表示データが図２０のデータ入力部Ｇ２６4に表示され、以下順次、図１８のデータ表示部において比較のため表示された成長条件のデータが、図２０のデータ入力部及びデータ表示部に表示される。すなわち、図１８の成長条件の項目のデータが、図２０の成長条件の項目の対応したデータ入力部及びデータ表示部に全て表示される。
このとき、コンピュータ１は、比較フレームＧ２７の成長条件の各項目のデータ表示部の背景を灰色で表示する。
また、当然の事ながら、コンピュータ１は、バルブの開閉状態を示す、各項目の背景の表示色（例えば、灰色）も同様に表示する。
【０２２９】
このように、図１８において、比較のため表示されたステップ「No.５」の「温度保持」プロセスの成長条件のデータが、ステップ「No.５」の「温度保持」プロセスの成長条件のデータを入力するため、図２０に示すデータ入力フレームＧ２６に表示される。このとき、比較フレームＧ２７には、図２１に示すステップ「No.４」の「降温４５０℃」プロセスの成長条件のデータが表示されている。
これにより、操作者は、ステップ「No.５」の「温度保持」プロセスの成長条件のデータを入力するとき、ステップ「No.４」の「降温４５０℃」プロセスの成長条件のデータと数値の比較を行いながら入力できる。このため、数値の入力において、入力する数値の連続的な変化の経過を確認しながら入力でき、いきなり、数値を大きく取り違えて入力してしまう入力ミスを防止することが可能である。
【０２３０】
通常は、比較フレームＧ２７には、データ入力フレームＧ２６に表示されているステップの一つ前のステップの成長条件のデータが表示されている。
そして、コンピュータ１は、上述した図２０に示すデータ入力フレームＧ２６，及び図２１に示す比較フレームＧ２７を、図８のウィンドウのそれぞれの位置に表示した後、処理をステップＳ６４へ進める。
【０２３１】
次に、ステップＳ６４において、コンピュータ１は、図８の示すウィンドウにおいて、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の項目の数値とを順次比較し、比較結果として同一である場合、処理をステップＳ６５へ進める。
【０２３２】
次に、ステップＳ６５において、コンピュータ１は、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の数値とを比較した、データ入力フレームＧ２６及び比較フレームＧ２７の対応する成長条件の項目の名称の表示部、例えばデータ入力フレームＧ２６に表示されているステップの「ｗａｉｔ」の文字が表示されている表示部の背景色を灰色とする。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ６６へ進める。
【０２３３】
次に、ステップＳ６６において、コンピュータ１は、図８の示すウィンドウにおいて、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の各項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の各項目の数値との比較が全て終了したか否かの判定を行う。
このとき、コンピュータ１は、全ての成長条件の項目において、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の各項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の各項目の数値との比較が終了したと判定した場合、処理を図７のフローチャートのステップＳ２３へ戻す。
【０２３４】
一方、ステップＳ６６において、コンピュータ１は、全ての成長条件の項目において、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の項目の数値との比較が終了していないと判定した場合、処理をステップＳ６４へ戻す。
【０２３５】
また、ステップＳ６４において、コンピュータ１は、図８の示すウィンドウにおいて、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の項目の数値とを順次比較し、比較結果として、数値が異なっている場合、処理をステップＳ６７へ進める。
【０２３６】
次に、ステップＳ６７において、コンピュータ１は、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の数値とを比較した、データ入力フレームＧ２６及び比較フレームＧ２７の対応する成長条件の項目の名称の表示部、例えばデータ入力フレームＧ２６に表示されているステップの「ステップ時間」の文字が表示されている表示部の背景色を青色とする。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ６６へ進める。
【０２３７】
また、ステップＳ６２において、コンピュータ１は、前回検出された入力ミスを修正してステップＳ６０，ステップＳ６１を通過してきたとき、前回に表示されたエラー表示の画面からの消去を行う。
【０２３８】
さらに、ステップＳ６１において、コンピュータ１は、ステップＳ６０における比較の結果を入力し、この結果が、操作者の設定したステップ時間より、予め設定されている開閉時間や切換時間などの数値が大きい値であり、入力ミスがあるとの判定である場合、処理をステップＳ６９へ進める。例えば、ＭＯＣＶＤ装置における各電磁バルブの、予め設定されている開閉時間（例えば、２ｓｅｃ）や切換時間（例えば、３ｓｅｃ）である時、操作者がステップ時間として「１ｓｅｃ」のデータを入力していた場合を想定。
【０２３９】
次に、ステップＳ６９において、コンピュータ１は、ステップ時間を、各電磁バルブの予め設定されている開閉時間や切換時間を設定しているため、例えば「ステップ時間を３ｓｅｃ以上に設定して下さい」の文字表示を、図１７の文字表示領域Ｇ２６2の右横などの他の表示に重ならない領域に表示する。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ７０へ進める。
【０２４０】
次に、ステップＳ７０において、コンピュータ１は、成長条件の項目である「ステップ時間」の入力データの入力ミスを、操作者へ入力し直させるため、処理を図７のフローチャートにおけるステップＳ２３へ戻す。
以上説明したように、ステップ操作領域Ｇ２３のボタンＧ２３1がマウス５によりクリックされた時、コンピュータ１は、データ入力されたプロセスのステップの「ステップ時間」せ設定が、成長条件の電磁バルブなどの開閉及び切換に必要な時間（「ステップ時間」の最小値）よりも小さい場合、エラー表示を表示し、入力ミスを訂正する。
【０２４１】
そして、コンピュータ１は、入力ミスが訂正されて、「ステップ時間」の数値が上記最小値よりも大きいと判定した場合、比較フレームＧ２７に表示されていたプロセスのステップを、データ入力フレームＧ２６へ移動させ、データ入力フレームＧ２６に表示されたプロセスより１つ前のステップの成長条件のデータを比較フレームＧ２７に表示させる。同時に、コンピュータ１は、成長ステップの流れフレームＧ２５において、成長条件のデータ入力の対象ステップを示す、ステップ「No.６」の「温度保持 バブリング」プロセスの反転表示を解除し、ステップ「No.５」の「温度保持」プロセスの表示を反転表示とする。
【０２４２】
また、図１９のフローチャートのステップＳ６０〜ステップＳ６２，ステップＳ６９及びステップＳ７０における処理は、図１３のフローチャートにおけるステップＳ４０〜ステップＳ４２，ステップＳ４９及びステップＳ５０と同様に図１６のフローチャートで詳細に説明される。図１６のフローチャートについては説明してあるので、再度の説明を省略する。
【０２４３】
次に、上述の様に、膜構造の各プロセスのステップの成長条件のデータを順次入力し、図１７に示すステップ「No.６」の「温度保持 ＭＯバブリング開始」プロセスの成長条件のデータを入力を行っているとき、操作者がステップ「No.２」の「昇温１１００℃」プロセスの成長条件のデータを変更しようとする。このとき、操作者は、ステップ「No.６」の「温度保持 ＭＯバブリング開始」プロセスの成長条件のデータの入力が終了した時点（またはデータの入力は終了しないが、データ入力が一区切り付いた時点等）で、成長ステップの流れフレームＧ２５の「２．昇温１１００℃」の文字列表示へに、マウス５のカーソルを移動させ、クリックする。
【０２４４】
これにより、コンピュータ１は、成長ステップの流れフレームＧ２５の「２．昇温１１００℃」の文字列表示がクリックされたことにより、イベントの発生を検知し、図２２のフローチャートに従った処理を開始する。図２２は、膜構造のプロセスのステップにおいて、マウスクリックによる他のステップへの移動の動作を説明するフローチャートである。
ステップＳ８０において、コンピュータ１は、ステップ「No.６」の「温度保持 ＭＯバブリング開始」プロセスにおいて、操作者の設定したステップ時間、例えば、「１０ｓｅｃ」が、「ｖａｌｖｅ ｏｐｅｎ」，「ｒｕｎ」及び「ｓｕｐｐｌｙ」の設定状態に基づく、ＭＯＣＶＤ装置における各電磁バルブの、予め設定されている開閉時間（例えば、２ｓｅｃ）や切換時間（例えば、３ｓｅｃ）などとの比較を行う。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ８１へ進める。
【０２４５】
次に、ステップＳ８１において、コンピュータ１は、ステップＳ８０における比較の結果を入力し、この結果が、操作者の設定したステップ時間より、予め設定されている開閉時間や切換時間などの数値が小さい値であり、入力ミスがないとの判定である場合、処理をステップＳ８２へ進める。
【０２４６】
次に、ステップＳ８２において、コンピュータ１は、エラー表示を行うか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、入力ミスがないため、エラー表示を行わずに、処理をステップＳ８３へ進める。
【０２４７】
次に、ステップＳ８３において、コンピュータ１は、マウス５によりクリックされた「２．昇温１１００℃」の文字列表示から、ステップの番号として「２」を抽出し、処理をステップＳ８４へ進める。
【０２４８】
次に、ステップＳ８４において、コンピュータ１は、操作者がステップ「No.２」の「昇温１１００℃」プロセスの成長条件を変更することを検出し、ＣＲＴ・２の表示画面に表示されている図８のウィンドウにおけるデータ入力フレームＧ２６に、図１４に示すデータ入力画面を表示し、図８のウィンドウにおける比較フレームＧ２７に、図１５に示す比較表示画面を表示する。図１４に示すデータ入力画面は、ステップ「No.２」の「昇温１１００℃」プロセスのデータ入力を行う画面で、図１０で説明した画面と構成が同様であり、文字表示部Ｇ２６1に「ステップ NO.２」の文字が表示され、文字表示部Ｇ２６2にステップのプロセスを示す「昇温１１００℃」の文字が表示され、この画面がステップ「No.２」の「昇温１１００℃」のデータ入力画面であることを示している点が異なる。
【０２４９】
また、図１５に示す比較表示画面は、表示されている項目の成長条件のデータが入力されている、ステップ「No.１」の「スタンバイ」プロセスの成長条件が示
すなわち、コンピュータ１は、図１０の成長条件の項目のデータを、図１５の成長条件の項目の対応したデータ表示部に全て表示する。このとき、コンピュータ１は、比較フレームＧ２７の成長条件の各項目のデータ表示部の背景を灰色で表示する。
また、当然の事ながら、コンピュータ１は、バルブの開閉状態を示す、各項目の背景の表示色（例えば、灰色）も同様に表示する。
されている。
これにより、操作者は、ステップ「No.２」の「昇温１１００℃」プロセスの成長条件のデータを入力するとき、ステップ「No.１」の「スタンバイ」プロセスの成長条件のデータと数値の比較を行いながら入力できる。このため、数値の入力において、入力する数値の連続的な変化の経過を確認しながら入力でき、いきなり、数値を大きく取り違えて入力してしまう入力ミスを防止することが可能である。
【０２５０】
そして、コンピュータ１は、上述した図１４に示すデータ入力フレームＧ２６，及び図１５に示す比較フレームＧ２７を図８のウィンドウのそれぞれの位置に表示した後、処理をステップＳ８５へ進める。
【０２５１】
次に、ステップＳ８５において、コンピュータ１は、図８の示すウィンドウにおいて、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の項目の数値とを順次比較し、比較結果として同一である場合、処理をステップＳ８６へ進める。
【０２５２】
次に、ステップＳ８６において、コンピュータ１は、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の数値とを比較した、データ入力フレームＧ２６及び比較フレームＧ２７の対応する成長条件の項目の名称の表示部、例えば、データ入力フレームＧ２６に表示されているステップの「ｗａｉｔ」の文字が表示されている表示部の背景色を灰色とする。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ８７へ進める。
【０２５３】
次に、ステップＳ８７において、コンピュータ１は、図８の示すウィンドウにおいて、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の各項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の各項目の数値との比較が全て終了したか否かの判定を行う。
このとき、コンピュータ１は、全ての成長条件の項目において、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の各項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の各項目の数値との比較が終了したと判定した場合、処理を図７のフローチャートのステップＳ２３へ戻す。
【０２５４】
一方、ステップＳ８７において、コンピュータ１は、全ての成長条件の項目において、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の項目の数値との比較が終了していないと判定した場合、処理をステップＳ８５へ戻す。
【０２５５】
また、ステップＳ８５において、コンピュータ１は、図８の示すウィンドウにおいて、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の項目の数値とを順次比較し、比較結果として、数値が異なっている場合、処理をステップＳ８８へ進める。
【０２５６】
次に、ステップＳ８８において、コンピュータ１は、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の数値とを比較した、データ入力フレームＧ２６及び比較フレームＧ２７の対応する成長条件の項目の名称の表示部、例えば、データ入力フレームＧ２６に表示されているステップの「ステップ時間」の文字が表示されている表示部の背景色を青色とする。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ８７へ進める。
【０２５７】
また、ステップＳ８２において、コンピュータ１は、前回検出された入力ミスを修正してステップＳ８０，ステップＳ８１を通過してきたとき、前回に表示されたエラー表示の画面からの消去を行う。
【０２５８】
さらに、ステップＳ８１において、コンピュータ１は、ステップＳ８０における比較の結果を入力し、この結果が、操作者の設定したステップ時間より、予め設定されている開閉時間や切換時間などの数値が大きい値であり、入力ミスがあるとの判定である場合、処理をステップＳ９０へ進める。例えば、ＭＯＣＶＤ装置における各電磁バルブの、予め設定されている開閉時間（例えば、２ｓｅｃ）や切換時間（例えば、３ｓｅｃ）である時、操作者がステップ時間として「１ｓｅｃ」のデータを入力していた場合を想定。
【０２５９】
次に、ステップＳ９０において、コンピュータ１は、ステップ時間を、各電磁バルブの予め設定されている開閉時間や切換時間を設定しているため、例えば「ステップ時間を３ｓｅｃ以上に設定して下さい」の文字表示を、図２０の文字表示領域Ｇ２６2の右横などの他の表示に重ならない領域に表示する。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ９１へ進める。
【０２６０】
次に、ステップＳ９１において、コンピュータ１は、成長条件の項目である「ステップ時間」の入力データの入力ミスを、操作者へ入力し直させるため、処理を図７のフローチャートにおけるステップＳ２３へ戻す。
以上説明したように、図９の成長ステップの流れフレームＧ２５における、成長条件を入力するプロセスのステップの文字列の表示が、マウス５によりクリックされた時、コンピュータ１は、データ入力されたプロセスのステップの「ステップ時間」の設定が、成長条件の電磁バルブなどの開閉及び切換に必要な時間（「ステップ時間」の最小値）よりも小さい場合、エラー表示を表示し、入力ミスを訂正する。
【０２６１】
そして、コンピュータ１は、入力ミスが訂正されて、「ステップ時間」の数値が、上記最小値よりも大きいと判定した場合、マウス５によりクリックされた文字列の表示から抽出されたステップの番号のプロセスのステップを、データ入力フレームＧ２６へ表示し、データ入力フレームＧ２６に表示されたプロセスより１つ前のステップの成長条件のデータを比較フレームＧ２７に表示させる。同時に、コンピュータ１は、成長ステップの流れフレームＧ２５において、成長条件のデータ入力の対象ステップを示す、ステップ「No.６」の「温度保持 ＭＯバブリング」プロセスの反転表示を解除し、ステップ「No.２」の「昇温１１００℃」プロセスの表示を反転表示とする。
【０２６２】
また、図２２のフローチャートのステップＳ８０〜ステップＳ８２，ステップＳ９０及びステップＳ９１における処理は、図１３のフローチャートにおけるステップＳ４０〜ステップＳ４２，ステップＳ４９及びステップＳ５０と同様に図１６のフローチャートで詳細に説明される。図１６のフローチャートについては説明してあるので、再度の説明を省略する。
【０２６３】
次に、上述の様に、膜構造の各プロセスのステップの成長条件のデータを順次入力し、図１７に示すステップ「No.６」の「温度保持 ＭＯバブリング開始」プロセスの成長条件のデータを入力を行っているとき、操作者が、比較フレームＧ２７に現在表示されているステップ「No.５」の「温度保持」プロセスに代えて、ステップ「No.４」の「降温４５０℃」プロセスの成長条件のデータを比較に用いようとする。このとき、操作者は、図１８の比較フレームＧ２７における、「《」が記述されているボタンＧ２７60へ、マウス５のカーソルを移動させ、クリックする。
【０２６４】
これにより、コンピュータ１は、図１８の比較フレームＧ２７におけるボタンＧ２７60がクリックされたことにより、イベントの発生を検知し、図２３のフローチャートに従った処理を開始する。図２３は、比較フレームＧ２７に表示する参照画面としての比較フレームＧ２７に表示するステップの移動の操作を説明するフローチャートである。
ステップＳ７２において、コンピュータ１は、比較フレームＧ２７におけるボタンＧ２７60がクリックされたことから、ステップ「No.５」の一つ前のステップ、すなわちステップ「No.４」の「降温４５０℃」プロセスを、図８の比較フレームＧ２７に表示することを検出する。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ７３へ進める。
【０２６５】
次に、ステップＳ７３において、コンピュータ１は、図８に示すウィンドウにおける、データ入力フレームＧ２６の表示を図１７に示すデータ入力画面のままとし、比較フレームＧ２７の表示を、図１８に示すステップ「No.５」から図２１に示すステップ「No.４」に変更して表示する。
図２１に示す比較表示画面は、表示されている項目の成長条件のデータが入力されている、ステップ「No.４」の「降温４５０℃」プロセスの成長条件が示されている。
すなわち、コンピュータ１は、図１８の成長条件の項目のデータを、図２１の成長条件の項目の対応したデータ表示部に全て表示する。このとき、コンピュータ１は、比較フレームＧ２７の成長条件の各項目のデータ表示部の背景を灰色で表示する。
また、当然の事ながら、コンピュータ１は、バルブの開閉状態を示す、各項目の背景の表示色（例えば、灰色）も同様に表示する。
【０２６６】
これにより、操作者は、ステップ「No.６」の「温度保持  ＭＯバブリング開始」プロセスの成長条件のデータを入力するとき、ステップ「No.４」の「降温４５０℃」プロセスの成長条件のデータと数値の比較を行いながら入力できる。このため、数値の入力において、入力する数値の連続的な変化の経過を確認しながら入力でき、いきなり、数値を大きく取り違えて入力してしまう入力ミスを防止することが可能である。
【０２６７】
そして、コンピュータ１は、上述した様に図８のウィンドウにおいて、図１７に示すデータ入力画面をデータ入力フレームＧ２６へ、図２１に示す比較表示画面を比較フレームＧ２７へ、それぞれの位置に表示した後、処理をステップＳ７４へ進める。
【０２６８】
次に、ステップＳ７４において、コンピュータ１は、図８の示すウィンドウにおいて、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の項目の数値とを順次比較し、比較結果として同一である場合、処理をステップＳ７５へ進める。
【０２６９】
次に、ステップＳ７５において、コンピュータ１は、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の数値とを比較した、データ入力フレームＧ２６及び比較フレームＧ２７の対応する成長条件の項目の名称の表示部、例えば、データ入力フレームＧ２６に表示されているステップの「ｗａｉｔ」の文字が表示されている表示部の背景色を灰色とする。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ７６へ進める。
【０２７０】
次に、ステップＳ７６において、コンピュータ１は、図８の示すウィンドウにおいて、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の各項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の各項目の数値との比較が全て終了したか否かの判定を行う。
このとき、コンピュータ１は、全ての成長条件の項目において、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の各項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の各項目の数値との比較が終了したと判定した場合、処理を図７のフローチャートのステップＳ２３へ戻す。
【０２７１】
一方、ステップＳ７６において、コンピュータ１は、全ての成長条件の項目において、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の項目の数値との比較が終了していないと判定した場合、処理をステップＳ７４へ戻す。
【０２７２】
また、ステップＳ７４において、コンピュータ１は、図８の示すウィンドウにおいて、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の項目の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の項目の数値とを順次比較し、比較結果として、数値が異なっている場合、処理をステップＳ７７へ進める。
【０２７３】
次に、ステップＳ７７において、コンピュータ１は、データ入力フレームＧ２６に表示されている成長条件の数値と、比較フレームＧ２７に表示されている成長条件の数値とを比較した、データ入力フレームＧ２６及び比較フレームＧ２７の対応する成長条件の項目の名称の表示部、例えば、データ入力フレームＧ２６に表示されているステップの「ステップ時間」の文字が表示されている表示部の背景色を青色とする。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ７６へ進める。
【０２７４】
また、図９において、操作者が、例えば、ステップ「No.１」とステップ「No.２」との間に、ステップを挿入しようとしたとき、マウス５によりステップ「No.２」をクリックし、「２．昇温１１００℃」を反転表示（マーク）させる。そして、操作者がマウス５によりカーソルをステップ操作フレームＧ２３の「挿入」と記述されたボタンＧ２３3へ移動させ、クリックすることで、コンピュータ１は、ステップ「No.１」とステップ「No.２」との間に、新しいステップ「No.２」を生成し、以前のステップ「No.２」をステップ「No.３」とステップの番号を繰り下げ、以降のステップ番号を同様に繰り下げる処理を行う。
【０２７５】
さらに、図９において、操作者は、例えば、ステップ「No.２」を削除しようとした場合、マウス５によりステップ「No.２」をクリックし、「２．昇温１１００℃」を反転表示（マーク）させる。そして、操作者がマウス５によりカーソルをステップ操作フレームＧ２３の「削除」と記述されたボタンＧ２３4へ移動させ、クリックすることで、コンピュータ１は、ステップ「No.２」を削除し、以前のステップ「No.３」をステップ「No.２」とステップの番号を繰り上げ、以降のステップ番号を同様に繰り上げる処理を行う。
【０２７６】
加えて、操作者が、例えば、比較フレームＧ２７に表示されているステップ「No.１」の成長条件のデータを、データ入力フレームＧ２６のステップ「No.４」の対応する成長条件の項目へコピーしようとしたとき、操作者が比較フレーム２７へステップ「N0.１」を表示させ、成長ステップの流れＧ２５のステップ「No.４」をマウス５によりクリックし、「４．降温４５０℃」を反転表示（マーク）させる。
そして、操作者がマウス５によりカーソルをステップ操作フレームＧ２３の「コピー」と記述されたボタンＧ２３5へ移動させ、クリックすることで、コンピュータ１は、ステップ「No.１」のプロセスの各成長条件の項目のデータを、ステップ「No.４」の対応するプロセスの成長条件の項目へ各々コピーする。
【０２７７】
次に、編集操作フレームＧ２２における、「編集」と記述されたボタンＧ２２1へ、マウス５によりカーソルを移動させクリックした場合の編集操作の説明を行う。
このとき、コンピュータ１は、図９の編集操作フレーム２２のボタンＧ２２1がクリックされたことにより、イベントの発生を検知し、図２４のフローチャートに従った処理を開始する。図９の成長ステップの流れフレームＧ２５における、膜構造のプロセスのステップ編集操作の動作を説明するフローチャートである。
【０２７８】
ステップＳ１００において、コンピュータ１は、図２５に示す編集項目選択画面図Ｇ３０を表示する。
図２５に示す編集項目選択画面図Ｇ３０には、「戻る」の文字が記述されたボタンＧ３０1，フレームＧ３０2（Ｆｒａｍｅ１６）に設けられた「ＭＯ容器条件設定」の文字が記述されたボタンＧ３０3，ステップ名称編集フレームＧ３０4に設けられた名称変更用のデータ入力部Ｇ３０5，ループ編集フレームＧ３０6に設けられた、「挿入」の文字が記述されたボタンＧ３０7、「削除」の文字が記述されたボタンＧ３０8、「回数変更」の文字が記述されたボタンＧ３０9，フレームＧ３０10（Ｆｒａｍｅ１７）に設けられた「単項目全ステップ表示」の文字が表示されたボタン，お助け計算フレームＧ３０12に設けられたデータ入力部Ｇ３０13、「計算」の文字が表示されたボタンＧ３０14、データ入力部Ｇ３０15，ステップコピーフレームＧ３０16に設けられた、「画面表示」の文字が記述されたボタンＧ３０17、「挿入コピー」の文字が記述されたボタンＧ３０18、「上書きコピー」の文字が記述されたボタンＧ３０19，単項目コピーフレームＧ３０20に設けられた、「全ての条件」が近傍に記述された択一的選択ボタンＧ３０21、「画面表示」の文字が記述されたボタンＧ３０22、「上書きコピー」の文字が記述されたボタンＧ３０23，ＭＯ計算フレームＧ３０24に設けられた、「μｍｏｌ／ｍｉｎ→ｓｃｃｍ」の文字が近傍に記述された択一的選択ボタンＧ３０25、「ｓｃｃｍ→μｍｏｌ／ｍｉｎ」の文字が近傍に記述された択一的選択ボタンＧ３０26、データ入力部Ｇ３０27、「入力」の文字が記述されたボタンＧ３０28、データ入力部Ｇ３０29、「計算」の文字が記述されたボタンＧ３０30、データ入力部Ｇ３０31、「▼」の文字が表示されたボタンＧ３０32が選択項目として存在する。
【０２７９】
そして、コンピュータ１は、上述した図２５の編集項目選択画面を図８のウィンドウ上に表示し、処理をステップＳ１０１以降へ進める。このステップＳ１０１において、ステップＳ１０２〜ステップＳ１０８は、実際の処理として、図２５の編集項目選択画面の対応するボタンを押すことにより、コンピュータ１により実行される。すなわち、ステップＳ１０２〜ステップＳ１０８は、各ボタンに対応したイベントドリブンとなっており、マウス５によりクリックされたステップがイベントとして選択され、イベントに対応した処理が、コンピュータ１により実行される。
【０２８０】
上述したように、一実施形態において、ステップＳ１０２〜ステップＳ１０８は、イベントドリブンにより、ボタン等がクリックされることにより、対応した処理としてコンピュータ１により起動される。
以下、ステップＳ１０２〜ステップＳ１０８の処理の起動を、分かり易いように、図２４のフローチャートを用いて、図２５の編集項目選択画面における各ボタンに対応したステップの動作について説明する。ここで、図２４は、イベントドリブンを示すフローチャートとはなっていないが、全体の動作を分かり易くするための形式として使用するものであり、実際の一実施形態において、ステップＳ１０２〜ステップＳ１０８は、後に説明（図３１または図３２のフローチャートの説明）するイベントドリブンにより動作するものである。
【０２８１】
次に、ステップＳ１０１において、操作者が必要な編集項目を図２５の編集項目設定画面Ｇ３０から選択する。例えば、操作者は、ボタンＧ３０17を選択することにより、ボタンＧ３０18またはボタンＧ３０19がアクティブとなり、マウス５のカーソルを移動させて、何れかをクリックする。これにより、コンピュータ１は、編集項目設定画面Ｇ３０における、要求ステップコピーフレームＧ３０16内のボタンがクリックされたことを検出して、処理をステップＳ１０２へ進める。
【０２８２】
次に、ステップＳ１０２において、コンピュータ１は、編集項目においてステップコピーが選択されたか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、要求ステップコピーフレームＧ３０16内のボタンがクリックされたことから、ステップコピーフレームＧ３０16の項目が選択された事を検出し、図２６に示すステップコピーのフローチャートへ進める。
【０２８３】
また、ステップＳ１０１において、操作者がボタンＧ３０22を選択することにより、択一的選択ボタンＧ３０21またはボタンＧ３０23がアクティブとなり、マウス５のカーソルを移動させて、何れかをクリックする。これにより、コンピュータ１は、編集項目設定画面Ｇ３０の単項目コピーフレームＧ３０20内のボタンのいずれかが選択されたことを検出して、処理をステップＳ１０２へ進める。
【０２８４】
そして、ステップＳ１０２において、コンピュータ１は、編集項目においてステップコピーが選択されたか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、単項目コピーフレームＧ３０20内のボタンＧ３０22がクリックされたことから、ステップコピーフレームＧ３０16の項目が選択されていない事を検出し、処理をステップＳ１０３へ進める。
【０２８５】
次に、ステップＳ１０３において、コンピュータ１は、編集項目において単項目コピーが選択されたか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、単項目コピーフレームＧ３０20内のボタンＧ３０22がクリックされたことから、ステップコピーフレームＧ３０20の項目が選択されてる事を検出し、処理を図２７に示す単項目コピーのフローチャートへ進める。
【０２８６】
また、ステップＳ１０１において、操作者がボタンＧ３０7またはボタンＧ３０8もしくはボタンＧ３０9へ、マウス５のカーソルを移動させて、クリックする。これにより、コンピュータ１は、編集項目設定画面Ｇ３０のループ編集フレームＧ３０6内のボタンのいずれかが選択されたことを検出して、処理をステップＳ１０２へ進める。
【０２８７】
次に、ステップＳ１０２において、コンピュータ１は、クリックされたボタンがステップコピーフレームＧ３０16内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０３へ進める。
次に、ステップＳ１０３において、コンピュータ１は、クリックされたボタンが単項目コピーフレームＧ３０20内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０４へ進める。
【０２８８】
次に、ステップＳ１０４において、コンピュータ１は、編集項目においてループ編集が選択されたか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、ループ編集フレームＧ３０6内のボタンがクリックされたことから、ループ編集フレームＧ３０6の項目が選択されてる事を検出し、処理を図２８に示すループ編集のフローチャートへ進める。
【０２８９】
また、ステップＳ１０１において、操作者がボタンＧ３０3へ、マウス５のカーソルを移動させて、クリックする。これにより、コンピュータ１は、編集項目設定画面Ｇ３０のいずれかが選択されたことを検出して、処理をステップＳ１０２へ進める。
【０２９０】
次に、ステップＳ１０２において、コンピュータ１は、クリックされたボタンがステップコピーフレームＧ３０16内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０３へ進める。
次に、ステップＳ１０３において、コンピュータ１は、クリックされたボタンが単項目コピーフレームＧ３０20内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０４へ進める。
次に、ステップＳ１０４において、コンピュータ１は、クリックされたボタンが単項目コピーフレームＧ３０6内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０５へ進める。
【０２９１】
次に、ステップＳ１０５において、コンピュータ１は、編集項目においてＭＯ容器条件設定が選択されたか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、フレームＧ３０2内のボタンがクリックされたことから、フレームＧ３０2の項目が選択されてる事を検出し、処理を図２９に示すＭＯ容器条件入力のフローチャートへ進める。
【０２９２】
また、ステップＳ１０１において、操作者がボタンＧ３０11へ、マウス５のカーソルを移動させて、クリックする。これにより、コンピュータ１は、編集項目設定画面Ｇ３０のいずれかが選択されたことを検出して、処理をステップＳ１０２へ進める。
【０２９３】
次に、ステップＳ１０２において、コンピュータ１は、クリックされたボタンがステップコピーフレームＧ３０16内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０３へ進める。
次に、ステップＳ１０３において、コンピュータ１は、クリックされたボタンが単項目コピーフレームＧ３０20内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０４へ進める。
【０２９４】
次に、ステップＳ１０４において、コンピュータ１は、クリックされたボタンが単項目コピーフレームＧ３０6内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０５へ進める。
次に、ステップＳ１０５において、コンピュータ１は、クリックされたボタンがＭＯ容器条件設定フレームＧ３０2内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０６へ進める。
【０２９５】
次に、ステップＳ１０６において、コンピュータ１は、編集項目において単項目全ステップ表示が選択されたか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、フレームＧ３０10内のボタンがクリックされたことから、フレームＧ３０10の項目が選択されてる事を検出し、処理を図３０に示す単項目データ表示のフローチャートへ進める。
【０２９６】
また、ステップＳ１０１において、操作者がボタンＧ３０14またはボタンＧ３０22へ、マウス５のカーソルを移動させて、クリックする。これにより、コンピュータ１は、編集項目設定画面Ｇ３０のいずれかが選択されたことを検出して、処理をステップＳ１０２へ進める。
【０２９７】
次に、ステップＳ１０２において、コンピュータ１は、クリックされたボタンがステップコピーフレームＧ３０16内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０３へ進める。
次に、ステップＳ１０３において、コンピュータ１は、クリックされたボタンが単項目コピーフレームＧ３０20内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０４へ進める。
【０２９８】
次に、ステップＳ１０４において、コンピュータ１は、クリックされたボタンが単項目コピーフレームＧ３０6内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０５へ進める。
次に、ステップＳ１０５において、コンピュータ１は、クリックされたボタンがＭＯ容器条件設定フレームＧ３０2内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０６へ進める。
次に、ステップＳ１０６において、コンピュータ１は、クリックされたボタンがフレームＧ３０10内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０７へ進める。
【０２９９】
次に、ステップＳ１０７において、コンピュータ１は、編集項目においてお助け計算が選択されたか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、フレームＧ３０12内のボタンがクリックされたことから、フレームＧ３０12の項目が選択されてる事を検出し、処理を図３１に示すお助け計算のフローチャートへ進める。
【０３００】
また、ステップＳ１０１において、操作者が択一的選択ボタンＧ３０25，択一的選択ボタンＧ３０26，ボタンＧ３０28，ボタンＧ３０30のいずれかへ、マウス５のカーソルを移動させて、クリックする。これにより、コンピュータ１は、編集項目設定画面Ｇ３０のいずれかが選択されたことを検出して、処理をステップＳ１０２へ進める。
【０３０１】
次に、ステップＳ１０２において、コンピュータ１は、クリックされたボタンがステップコピーフレームＧ３０16内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０３へ進める。
次に、ステップＳ１０３において、コンピュータ１は、クリックされたボタンが単項目コピーフレームＧ３０20内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０４へ進める。
次に、ステップＳ１０４において、コンピュータ１は、クリックされたボタンが単項目コピーフレームＧ３０6内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０５へ進める。
【０３０２】
次に、ステップＳ１０５において、コンピュータ１は、クリックされたボタンがＭＯ容器条件設定フレームＧ３０2内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０６へ進める。
次に、ステップＳ１０６において、コンピュータ１は、クリックされたボタンがフレームＧ３０10内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０７へ進める。
次に、ステップＳ１０７において、コンピュータ１は、クリックされたボタンがお助け計算フレームＧ３０12内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０８へ進める。
【０３０３】
次に、ステップＳ１０８において、コンピュータ１は、編集項目においてＭＯ計算が選択されたか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、ＭＯ計算フレームＧ３０24内のボタンがクリックされたことから、ＭＯ計算フレームＧ３０24の項目が選択されてる事を検出し、処理を図３２に示すＭＯ計算のフローチャートへ進める。
【０３０４】
また、ステップＳ１０１において、操作者がボタンＧ３０1へ、マウス５のカーソルを移動させて、クリックする。これにより、コンピュータ１は、編集項目設定画面Ｇ３０のいずれかが選択されたことを検出して、処理をステップＳ１０２へ進める。
【０３０５】
次に、ステップＳ１０２において、コンピュータ１は、クリックされたボタンがステップコピーフレームＧ３０16内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０３へ進める。
次に、ステップＳ１０３において、コンピュータ１は、クリックされたボタンが単項目コピーフレームＧ３０20内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０４へ進める。
次に、ステップＳ１０４において、コンピュータ１は、クリックされたボタンが単項目コピーフレームＧ３０6内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０５へ進める。
【０３０６】
次に、ステップＳ１０５において、コンピュータ１は、クリックされたボタンがＭＯ容器条件設定フレームＧ３０2内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０６へ進める。
次に、ステップＳ１０６において、コンピュータ１は、クリックされたボタンがフレームＧ３０10内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０７へ進める。
次に、ステップＳ１０７において、コンピュータ１は、クリックされたボタンがお助け計算フレームＧ３０12内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０８へ進める。
【０３０７】
次に、ステップＳ１０８において、コンピュータ１は、クリックされたボタンがＭＯ計算フレームＧ３０24内のボタンでないことを検出し、処理をステップＳ１０９へ進める。
次に、ステップＳ１０９において、コンピュータ１は、編集項目においてボタンＧ３０1が選択されたことが検出され、処理を図７のフローチャートのステップＳ２３へ進める。
【０３０８】
また、図９の成長ステップの流れフレームＧ２５において、操作者がプロセスのステップを選択、例えばステップ「No.４」の「降温４５０℃」プロセスへ、マウス５によりカーソルを移動してクリックし、「４．降温４５０℃」の文字が反転表示（マーク）され、データ入力の対象とする。そして、操作者が図２５の編集項目選択画面Ｇ３０のデータ入力部Ｇ３０5へ、「降温５００℃」とキーボード４からテキストデータを入力すると、コンピュータ１は、成長ステップの流れフレームＧ２５の反転表示された「４．降温４５０℃」を「降温５００℃」へ変更して表示する。以下、図２６〜図３２のフローチャートの動作について説明する。
【０３０９】
次に、図２６に示すステップコピーの動作を説明する。
ステップＳ２００において、コンピュータ１は、ボタンＧ３０17がクリックされたことを検出することにより、図３３に示すように、成長ステップの流れフレームＧ２５に、コピー範囲表示画面Ｇ２５3を表示する。このコピー範囲表示画面Ｇ２５3に表示されるプロセスのステップは、成長ステップの流れフレームＧ２５に表示されているプロセスのステップと同一である。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ２０１へ進める。
【０３１０】
次に、ステップＳ２０１において、操作者は図３３のコピー範囲表示画面Ｇ２５3において、コピーするステップの範囲をマウス５によりドラッグして選択する。これにより、コンピュータ１は、コピーするステップの範囲を検出し、選択されたプロセスのステップを全て反転表示する。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ２０２へ進める。
【０３１１】
次に、ステップＳ２０２において、操作者は、図３３の成長ステップの流れフレームＧ２５の膜構造のプロセスのステップにおいて、マウス５のカーソルをコピーする先のプロセスのステップへ移動させ、クリックすることにより、コピー先を選択する。これにより、コンピュータ１は、コピー先の基準となるプロセスのステップを検出する。そして、コンピュータは、処理をステップＳ２０３へ進める。
【０３１２】
次に、ステップＳ２０３において、操作者は、図２５の編集項目選択画面Ｇ３０における、挿入コピーを要求するボタンＧ３０18、または上書きコピーを要求するボタンＧ３０19の何れか一方へ、マウス５によりカーソルを移動して、クリックする。これにより、コンピュータ１は、操作者がボタンＧ３０18またはボタンＧ３０19の何れか選択した事を検出し、処理をステップＳ２０４へ進める。
【０３１３】
次に、ステップＳ２０４において、コンピュータ１は、操作者がボタンＧ３０18またはボタンＧ３０19の何れを選択したのかの検出を行う。このとき、コンピュータ１は、ボタンＧ３０19が選択されたことを検出すると、処理をステップＳ２０５へ進める。
【０３１４】
次に、ステップＳ２０５において、コンピュータ１は、ステップＳ２０２で検出した基準となるステップから、ステップＳ２０１で選択されたステップ（コピー元範囲）の数だけ、図３３の成長ステップの流れフレームＧ２５におけるステップに対して上書きを行う。このとき、コンピュータ１は、コピー元範囲の各々のステップの成長条件の全ての項目のデータを、対応する上書きされるステップの成長条件の項目にコピーする。また、コンピュータ１は、コピー元範囲の各ステップのプロセスの名称もコピーする。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ２０６へ進める。成長条件の項目は、温度，流量，「ｒｕｎ」，「ｓｕｐｐｌｙ」，「Ｒｏｔａｔｉｏｎ」などの、データ入力フレームＧ２６に表示される設定の全てを含む。
【０３１５】
次に、ステップＳ２０６において、コンピュータ１は、図３３において、成長ステップの流れフレームＧ２５に重ねて表示させたコピー範囲表示画面Ｇ２５3を消去し、処理を図７のフローチャートのステップＳ２３へ戻す。
一方、ステップＳ２０４において、コンピュータ１は、ボタンＧ３０18が選択されたことを検出すると、処理をステップＳ２０７へ進める。
【０３１６】
次に、ステップＳ２０７において、コンピュータ１は、ステップＳ２０２で検出した基準となるステップと、その下のステップとの間に、ステップＳ２０１で選択したコピー元範囲のステップを挿入する。そして、コンピュータ１は、基準となるステップの下のステップのステップ番号を、コピー元範囲のステップの数だけ繰り下げ、以降のステップ番号を同様に繰り下げる処理を行う。また、コンピュータ１は、挿入されたプロセスのステップの項目の全てに対して、コピー元範囲の各々のステップの成長条件の全ての項目のデータを上書きする。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ２０６へ進める。
【０３１７】
次に、図２７に示す単項目コピーの動作を説明する。
ステップＳ２１０において、コンピュータ１は、ボタンＧ３０22がクリックされたことを検出することにより、図３４に示すように、成長ステップの流れフレームＧ２５に、コピー範囲表示画面Ｇ２５2を表示する。このコピー範囲表示画面Ｇ２５2に表示されるプロセスのステップと、成長ステップの流れフレームＧ２５に表示されているプロセスのステップとは対応しており、同一のステップフローを示している。
【０３１８】
（このコピー範囲表示画面Ｇ２５2に表示される成長条件の項目は、成長ステップの流れフレームＧ２５に表示されているプロセスの各ステップに対応した成長条件の項目である。各ステップの複数の成長条件の項目から単一の成長条件の項目（単項目）を選択する場合、マウス５のカーソルをデータ入力フレームＧ２６において、コピー範囲表示画面Ｇ２５2に表示したい成長条件の項目を、マウス５のカーソルを対応するデータ入力部，データ表示部へ移動させ、クリックする必要がある。）
そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ２１１へ進める。
【０３１９】
次に、ステップＳ２１１において、操作者は、データ入力フレームＧ２６において、コピーしたい成長条件の項目を、マウス５のカーソルを対応するデータ入力部，データ表示部へ移動させ、クリックすることにより選択する。これにより、データ入力フレームＧ２６において選択された成長条件の項目が、コピー範囲表示画面Ｇ２５2に、成長ステップの流れフレームＧ２５に表示されているプロセスの各ステップに対応して表示される。
また、このとき、操作者が択一的選択ボタンＧ３０21をマウス５によりクリックすると、コンピュータ１は、択一的選択ボタンＧ３０21が選択されたことを検出し、択一的選択ボタンＧ３０21の白抜きの内部に「チェック」マークを表示し、データ入力フレームＧ２６における成長条件の全ての項目を選択したこととする。
【０３２０】
そして、操作者は、図３４のコピー範囲表示画面Ｇ２５2において、コピーするステップの範囲をマウス５によりドラッグして選択する。これにより、コンピュータ１は、コピーするステップの範囲を検出し、選択されたプロセスのステップを全て反転表示する。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ２１２へ進める。
【０３２１】
次に、ステップＳ２１２において、操作者は、図３４の成長ステップの流れフレームＧ２５の膜構造のプロセスのステップにおいて、マウス５のカーソルをコピーする先のプロセスのステップへ移動させ、クリックすることにより、コピー先を選択する。これにより、コンピュータ１は、コピー先の基準となるプロセスのステップを検出する。そして、コンピュータは、処理をステップＳ２１３へ進める。
【０３２２】
次に、ステップＳ２１３において、コンピュータ１は、ステップＳ２１２で検出した基準となるステップから、ステップＳ２１１で選択されたステップ（コピー元範囲）の数だけ、図３４の成長ステップの流れフレームＧ２５におけるステップに対して上書きを行う。このとき、コンピュータ１は、コピー元範囲の各々のステップの選択された成長条件の項目のデータを、対応する上書きされるステップの成長条件の項目にコピーする。このとき、コンピュータ１は、コピー元範囲の各ステップのプロセスの名称もコピーする。
【０３２３】
また、上述の処理において、操作者が択一的選択ボタンＧ３０21を選択しない場合、コンピュータ１は、データ入力フレームＧ２６において操作者が選択した、コピー範囲表示画面Ｇ２５2に表示されているプロセスの成長条件の項目のみのデータを、コピー先のステップの対応する成長条件の項目に対してコピー（上書き）する。
そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ２１４へ進める。
【０３２４】
次に、ステップＳ２１４において、コンピュータ１は、図３４において、成長ステップの流れフレームＧ２５に重ねて表示させたコピー範囲表示画面Ｇ２５2を消去し、処理を図７のフローチャートのステップＳ２３へ戻す。
【０３２５】
次に、図２８に示すループ編集の動作を説明する。
ステップＳ２２０において、コンピュータ１は、図２５に示すループ編集フレームＧ３０6に設けられたボタンにおいて、「挿入」と記述されたボタンＧ３０7がマウス５によりクリックされたか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、ボタンＧ３０7がクリックされたことを検出すると、処理をステップＳ２２１へ進める。
【０３２６】
次に、ステップＳ２２１において、コンピュータ１は、図８に示すウィンドウの比較フレームＧ２７上に、図３５に示すループ挿入フレームＧ４０を表示する。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ２２２へ進める。
【０３２７】
次に、ステップＳ２２２において、操作者は、図３６に示す成長ステップの流れフレームＧ２５のプロセスのステップにおいて、ループを開始するステップ番号を、例えばステップ「No.１５」とするため、図３５の「開始ステップ番号」と示されたデータ入力部Ｇ４０1へ、キーボード４から「１５」を入力する。これにより、コンピュータ１は、ループが開始されるステップ番号がステップ「No.１５」であることを検出する。
【０３２８】
そして、操作者は、図３６に示す成長ステップの流れフレームＧ２５のプロセスのステップにおいて、ループを終了するステップ番号を、例えばステップ「No.１６」とするため、「終了ステップ番号」と示されたデータ入力部Ｇ４０2へ、キーボード４から「１６」を入力する。これにより、コンピュータ１は、ループが終了するステップ番号がステップ「No.１６」であることを検出する。
【０３２９】
このとき、例えば、
「15. ＩnＧaＮ（Ａ）Loop No.1 start 3 times
16. ＩnＧaＮ（Ｂ）
17. Ｍg_ＡlＧaＮ（Ａ）Loop No.１ end」
のループを形成した後に、
「16. ＩnＧaＮ（Ｂ）Loop No.2 start 2 times」
がループの終了ステップとなるようなループを挿入しようとすると、ループ番号「Ｎｏ．２」のループが終了する前に、ループ番号「Ｎｏ．１」が終了しているため、ループとして成り立たなくなる。このため、コンピュータ１は、ループ挿入フレームＧ４０の近傍に、「終了ステップ番号の入力が正しくありません。再入力して下さい。」の文字が表示部Ｇ４１に表示される。
【０３３０】
次に、操作者は、上述したループの繰り返しの回数を３回とするため、「回数」と示されたデータ入力部Ｇ４０3へ、キーボード４から「３」を入力する。これにより、コンピュータ１は、ループの繰り返し回数が、「３回」であることを検出する。
【０３３１】
そして、コンピュータ１は、操作者が「確定」と記述されたボタンＧ４０5をクリックすることにより、開始ステップ番号，終了ステップ番号，回数の各データに基づき、ステップ「No.１５」の「ＩｎＧａＮ（Ａ）」プロセスの表示領域へ、「１５．ＩｎＧａＮ（Ａ） Ｌｏｏｐ Ｎｏ．１ Ｓｔａｒｔ ３ ｔｉｍｅｓ」の文字を表示する。同時に、コンピュータ１は、ステップ「No.１６」の「ＩｎＧａＮ（Ｂ）」プロセスの表示領域へ、「１６．ＩｎＧａＮ（Ｂ） Ｌｏｏｐ Ｎｏ．１ Ｅｎｄ」の文字を表示する。
【０３３２】
この記述は、ステップ「No.１５」〜ステップ「No.１６」でループを構成し、このループ番号を「Ｎｏ．１」として、このループを３回繰り返す処理を行うことを示している。上述した処理が終了した後、コンピュータ１は、処理を図７のフローチャートのステップＳ２３へ戻す。
しかしながら、操作者が「戻る」と記述されたボタンＧ４０4をマウス５によりクリックすると、コンピュータ１は、ループ挿入の処理が中止されたことを検出し、図２５に示めす編集項目選択画面Ｇ３０に表示を戻し、処理も戻す。
【０３３３】
一方、ステップＳ２２０において、コンピュータ１は、図２５に示すループ編集フレームＧ３０6に設けられたボタンにおいて、ボタンＧ３０7がマウス５によりクリックされたか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、ボタンＧ３０7がクリックされていないことを検出すると、処理をステップＳ２２３へ進める。
【０３３４】
また、ステップＳ２２３において、コンピュータ１は、図２５に示すループ編集フレームＧ３０6に設けられたボタンにおいて、「削除」と記述されたボタンＧ３０8がマウス５によりクリックされたか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、ボタンＧ３０8がクリックされたことを検出すると、処理をステップＳ２２４へ進める。
【０３３５】
次に、ステップＳ２２４において、コンピュータ１は、図８に示すウィンドウの比較フレームＧ２７上に、図示しないループ削除制御のフレームを表示させる。このループ削除制御のフレームには、Ｌｏｏｐ番号を記入するデータ入力部と、Ｌｏｏｐ番号の確定を行う確定ボタンが設けられている。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ２２５へ進める。
【０３３６】
次に、ステップＳ２２５において、操作者は、図３６に示す成長ステップの流れフレームＧ２５のプロセスのステップにおいて、終了するループのループ番号を上記Ｌｏｏｐ番号を記入するデータ入力部へキーボード４により記入する。例えば、図３６の成長ステップの流れフレームＧ２５において、ループ番号「Ｎｏ．２」のループの解除を行うとすると、操作者は、上記Ｌｏｏｐ番号を記入するデータ入力部へ「２」をキーボード４により入力する。そして、操作者は、上記確定ボタンをマウス５によりクリックする。
【０３３７】
これにより、コンピュータ１は、上記確定ボタンがクリックされたことを検出し、上記Ｌｏｏｐ番号を記入するデータ入力部のデータを読み込み、ループ番号「Ｎｏ．２」のループの解除を行う。このとき、コンピュータ１は、図３６の成長ステップの流れフレームの
「20. Ｍg_ＡlＧaＮ（Ｂ）Loop No.２ Start ３ times
21. Ｍg_ＡlＧaＮ（Ａ）Loop No.２ end」
の記述を
「20. Ｍg_ＡlＧaＮ（Ｂ）
21. Ｍg_ＡlＧaＮ（Ａ）」
の記述へ変更して表示する。
そして、コンピュータ１は、ループ削除制御のフレームを消去し、処理を図７のフローチャートのステップＳ２３へ戻す。
【０３３８】
一方、ステップＳ２２０において、コンピュータ１は、図２５に示すループ編集フレームＧ３０6に設けられたボタンにおいて、ボタンＧ３０7がマウス５によりクリックされたか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、ボタンＧ３０7がクリックされていないことを検出すると、処理をステップＳ２２３へ進める。
【０３３９】
また、ステップＳ２２３において、コンピュータ１は、図２５に示すループ編集フレームＧ３０6に設けられたボタンにおいて、「削除」と記述されたボタンＧ３０8がマウス５によりクリックされたか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、ボタンＧ３０8がクリックされていないことを検出すると、処理をステップＳ２２６へ進める。
【０３４０】
また、ステップＳ２２６において、コンピュータ１は、図２５に示すループ編集フレームＧ３０6に設けられたボタンにおいて、「回数変更」と記述されたボタンＧ３０9がマウス５によりクリックされたか否かの判定を行う。このとき、コンピュータ１は、ボタンＧ３０9がクリックされたことを検出すると、処理をステップＳ２２７へ進める。
【０３４１】
次に、ステップＳ２２７において、コンピュータ１は、図８に示すウィンドウの比較フレームＧ２７上に、図３７に示すループ回数変更フレームＧ４５を、図８に示す比較フレームＧ２７上に表示する。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ２２８へ進める。
【０３４２】
次に、ステップＳ２２８において、操作者は、ループの繰り返し回数を、変更したいループの番号を、「ループ番号」と記述されているデータ入力部Ｇ４５1へ書き込む。例えば、図３６の成長ステップの流れフレームＧ２５における、ステップ「No.２０」のプロセスのループの繰り返し回数を、「５回」から「３回」へ変更する場合、操作者は、「回数」と記述されているデータ入力部Ｇ４５2へ、マウス５のカーソルを移動させクリックして、入力対象とした後、データ入力部Ｇ４５2へ「３」をキーボード４により書き込む。
【０３４３】
そして、操作者は、マウス５によりカーソルを、「確定」と記述されたボタンＧ４５4へ移動させ、クリックする。
これにより、コンピュータ１は、操作者が変更のデータを確定したことを検出し、データ入力部Ｇ４５1に記載されているループ番号「２」に対応したステップ「No.２０」の「Ｍｇ_ＡｌＧａＮ（Ｂ）」プロセスから開始されるループ番号「Ｎｏ．２」のループの繰り返し回数を「３回」とする。そして、
【０３４４】
そして、コンピュータ１は、図３６の示す成長ステップの流れフレームＧ２５に記載されている
「20. Ｍg_ＡlＧaＮ（Ｂ）Loop No.２ Start ５ times」
を、
「20. Ｍg_ＡlＧaＮ（Ｂ）Loop No.２ Start ３ times」
へ変更して表示する。
次に、コンピュータ１は、図３７に示す比較フレームＧ２７に表示されているループ回数変更フレームＧ４５を消去し、処理を図７のフローチャートのステップＳ２３へ戻す。
【０３４５】
また、ステップＳ２２８において、操作者が、ループの繰り返し回数を、変更したいループの番号を、「ループ番号」と記述されているデータ入力部Ｇ４５1へ書き込む。このとき、入力されたループ番号が図３６に示す成長ステップの流れフレームＧ２５に示された膜構造のプロセスのステップに無いとすると、コンピュータ１は、フレームＧ４６へ「ループ番号の入力が正しくありません。再入力してください。」の文字を表示する。これにより、操作者は、正しいループ番号をデータ入力部Ｇ４５1へ、キーボード４により入力する。
【０３４６】
次に、図２９に示すＭＯ容器条件入力の動作を説明する。
ステップＳ２３０において、コンピュータ１は、図２５に示す編集項目選択画面Ｇ３０における、「ＭＯ容器条件設定」と記述されたボタンＧ３０3がクリックされたことを検出し、図２５の編集項目選択画面Ｇ３０を消去し、図３８に示す様に比較フレームＧ２７上に、ＭＯ容器条件設定フレームＧ５０を表示する。このＭＯ容器条件設定フレーム５０には、図３で示した容器Ｖ１，容器Ｖ２などのバブリングにより、供給されるＴＭＡ，ＴＭＩ，ＴＭＧ１，ＴＭＧ２，ＣＰ2Ｍｇ等のＭＯの蓄積されている容器温度及び容器圧力の設定値を入力するデータ入力部が設けられている。
【０３４７】
すなわち、ＭＯ容器条件設定フレーム５０において、「ＴＭＡ」と記述された表示部Ｇ５０1の右横に容器温度の設定値を入力するデータ入力部Ｇ５０6及び容器圧力の設定値を入力させるデータ入力部Ｇ５０11が設けられ、「ＴＭＩ」と記述された表示部Ｇ５０2の右横に容器温度の設定値を入力するデータ入力部Ｇ５０7及び容器圧力の設定値を入力させるデータ入力部Ｇ５０12が設けられ、「ＴＭＧ１」と記述された表示部Ｇ５０3の右横に容器温度の設定値を入力するデータ入力部Ｇ５０8及び容器圧力の設定値を入力させるデータ入力部Ｇ５０13が設けられ、「ＴＭＧ２」と記述された表示部Ｇ５０4の右横に容器温度の設定値を入力するデータ入力部Ｇ５０9及び容器圧力の設定値を入力させるデータ入力部Ｇ５０14が設けられ、「Ｃｐ2Ｍｇ」と記述された表示部Ｇ５０5の右横に容器温度の設定値を入力するデータ入力部Ｇ５０10及び容器圧力の設定値を入力させるデータ入力部Ｇ５０15が設けられている。
そして、処理がステップＳ２３１へ進められる。
【０３４８】
次に、ステップＳ２３１において、操作者は、設定温度及び容器圧力を変更したい容器に対応したデータ入力部へ、マウス５のカーソルを移動させてクリックすることにより、データ入力対象としたデータ入力部に、例えば、データ入力部Ｇ５０7をデータ入力対象とし、キーボード４から新たな設定温度を書き込む。そして、必要な各データ入力部における設定値の変更が終了したとき、処理はステップＳ２３２へ進められる。
【０３４９】
次に、ステップＳ２３２において、操作者は、ＭＯ容器条件設定フレームＧ５０に設けられた「確定」と記述されたボタンＧ５０17へ、マウス５によりカーソルを移動させてクリックする。これにより、コンピュータ１は、操作者のＭＯ容器の条件の設定値の入力終了の指示を検出し、処理をステップＳ２３３へ進める。
【０３５０】
次に、ステップＳ２３３において、コンピュータ１は、テンポラリファイルのＭＯ容器の設定値を記憶する領域へ、新たにデータ入力部Ｇ５０6〜データ入力部Ｇ５０15に入力された設定値を、上書きする（古い設定値と新しい設定値とを入れ替える）。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ２３４へ進める。このとき、新たに上記入力部へ新たに設定値を入れることでステップＳ２３１〜ステップＳ２３３の間を繰り返して操作する事ができる。
【０３５１】
次に、ステップＳ２３４において、操作者は、ＭＯ容器条件の設定を終了し、上記ＭＯ容器条件設定フレームＧ５０に設けられた「戻る」と記述されたボタンＧ５０16へ、マウス５によりカーソルを移動してクリックする。これにより、コンピュータ１は、比較フレームＧ２７上に表示されたＭＯ容器条件設定フレームＧ５０を消去し、処理を図７に示すフローチャートのステップＳ２３へ戻す。
【０３５２】
次に、図３０に示す単項目データ表示の動作を説明する。
ステップＳ２４０において、コンピュータ１は、図２５に示す編集項目選択画面Ｇ３０における、「単項目全ステップ表示」と記述されたボタンＧ３０11がクリックされたことを検出する。これにより、コンピュータ１は、図示しないが、図３６の成長ステップの流れフレームＧ２５上に、各プロセスのステップに対応して成長条件のデータが表示される項目データ表示画面を表示する。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ２４１へ進める。
【０３５３】
次に、ステップＳ２４１において、コンピュータ１は、図１７のデータ入力フレームＧ２６に示す「メインヒーター温度」，……，「ＴＭＩ ｄｉｌＨ2」……，「小流量Ｈ2」等の成長条件の項目において、すでに選択されて上記項目データ表示画面への表示対象となっている成長条件の項目を、この項目データ表示画面へ表示させ、処理をステップＳ２４２へ進める。
【０３５４】
次に、ステップＳ２４２において、操作者は、例えば、図１７のデータ入力フレームＧ２６において、上記項目データ表示画面にどの成長条件の項目のデータを表示させるかを選択する。すなわち、操作者は、図１７のデータ入力フレームＧ２６に示す「メインヒーター温度」，……，「ＴＭＩ ｄｉｌＨ2」……，「小流量Ｈ2」等の成長条件の項目において、温度，ガスの流量，バルブの設定状態などの成長条件のデータの中で、表示したい成長条件の項目へマウス５のカーソルを移動させてクリックする。
【０３５５】
これにより、コンピュータ１は、クリックされた成長条件の項目を、上記項目データ表示画面に表示する表示対象の成長条件の項目として検出し、処理をステップＳ２４１へ戻す。
【０３５６】
また、ステップＳ２４１において、操作者は、項目データ表示画面における成長条件のデータの確認を終了するため、図２５に示す編集項目選択画面Ｇ３０における「戻る」と記述されたボタンへ、マウス５によりカーソルを移動させてクリックする。これにより、コンピュータ１は、操作者が項目データ表示画面への全ステップにおける成長条件の各項目のデータの表示の操作の終了を検出し、処理をステップＳ２４３へ進める。
【０３５７】
次に、ステップＳ２４３において、コンピュータ１は、図３６に示す成長ステップの流れフレームＧ２５上に表示された上記項目データ表示画面を消去し、処理を図７に示すフローチャートのステップＳ２３へ戻す。
【０３５８】
次に、図３１に示すお助け計算の動作を説明する。
お助け計算のフローにおいて、ボタンＧ３０14，ボタンＧ３０32及びボタンＧ３０1が各々押されることにより、各ボタンに対応する所定の処理が実行される（イベントドリブン処理となっている）。操作者がボタンＧ３０32をマウス５によりクリックした場合、ステップＳ２５１の処理が起動される。
【０３５９】
ステップＳ２５１において、コンピュータ１は、図２５に示す編集項目選択画面Ｇ３０における、ボタンＧ３０32がクリックされたことを検出する。これにより、コンピュータ１は、図３９に示すように編集項目選択画面Ｇ３０上に、計算項目の選択テーブルＧ５５を重ねて表示する。この選択テーブルＧ５５には、計算項目として、例えば、「ＴＭＩ／ＭＯ」，「ＴＭＡ／ＭＯ」，「Ｃｐ2Ｍｇ」，「ＳｉＨ4」，「ガス流速」，「平均ガス流速」，「ＮＨ3使用量」，「ＴＭＧ使用量」等が表示される。そして、操作者は、計算項目テーブルＧ５５において、行いたい計算の項目へ、カーソルを移動させてクリックすることにより、計算項目を選択する。
これにより、コンピュータ１は、処理をステップＳ２５２へ進める。
【０３６０】
次に、ステップＳ２５２において、コンピュータ１は、選択された計算項目をデータ表示部Ｇ３０13へ表示し、例えば「ＴＭＩ／ＭＯ」を表示し、計算項目テーブルＧ５５を消去する。
そして、コンピュータ１は、次に何らかのイベントが発生するまで、イベント待ち状態（アイドル状態）に遷移する。
【０３６１】
次に、操作者が選択した項目の計算を行わせるため、図２５に示す編集項目選択画面Ｇ３０の「計算」と記述されたボタンＧ３０14へ、マウス５によりカーソルを移動し、クリックする。これにより、コンピュータ１は、ステップＳ２５３の処理を開始する。すなわち、コンピュータ１は、操作者からの計算指示を検出し、選択された計算項目、例えば「ＴＭＩ／ＭＯ」の計算項目の計算を行う。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ２５４へ進める。
【０３６２】
次に、ステップＳ２５４において、コンピュータ１は、「ＴＭＩ／ＭＯ」の計算項目の計算結果を、図２５に示す編集項目選択画面Ｇ３０のデータ表示部Ｇ３０5へ表示する。そして、コンピュータ１は、次に何らかのイベントが発生するまで、イベント待ち状態（アイドル状態）に遷移する。
【０３６３】
また、操作者がお助け計算の処理を終了させ、図２５に示す編集項目選択画面Ｇ３０を消去させるため、この編集項目選択画面Ｇ３０のボタンＧ３０1へ、マウス５によりカーソルを移動させ、クリックする。これにより、コンピュータ１は、ステップＳ２５５の処理を開始する。すなわち、コンピュータ１は、操作者のお助け計算の処理を終了させる指示を検出し、図２５に示す比較フレームＧ２７上に、表示された編集項目選択画面Ｇ３０を消去し、処理を図７に示すフローチャートのステップＳ２３へ戻す。
【０３６４】
ここで、上述したお助け計算の計算方法について説明する。
ＭＯＣＶＤ装置における薄膜の成長では、ガスの流速（ＭＯ等の原料ガスの供給速度），Ｖ／III（Ｖ族原料ガス、例えばアンモニアと、III族原料ガス、有機金属原料との供給比率），Ｈ2分圧，III族原料の分圧，ドーピングガス（ＳｉＨ4等）と有機金属（ＴＭＧ＋ＴＭＡ）の比率（ＳｉＨ4／ＭＯ）、ある有機金属の全有機金属に対する比率（ＴＭＩ／ＭＯ等）が重要である。このため、Ｍ，ＮＨ3，ＳｉＨ4等の原料のガスの流量の、成長条件の各項目のデータを入力するときに、計算を行い、前記各データを入力することにより、薄膜の物理特性や電気特性を精度高く制御することが出来る。
【０３６５】
計算方法について、簡単に説明する。
コンピュータ１は、基本となる各ＭＯ（ＴＭＧ，ＴＭＡ，ＴＭＩ，Ｃｐ2Ｍｇ）の供給量を以下の式に基づいて計算する。
TMA供給量[μ mol/min]＝TMA蒸気圧×BG／(MO容器圧力×22400×106)
TMI供給量[μ mol/min]＝TMI蒸気圧×BG／(MO容器圧力×22400×106)
TMG供給量[μ mol/min]＝TMG蒸気圧×BG／(MO容器圧力×22400×106)
Cp2Mg供給量[μ mol/min]＝Cp2Mg蒸気圧×BG／(MO容器圧力×22400×106)
ここで、BGは、バブリングガス、すなわちＭＯが蓄積された容器に供給され、ＭＯをバブリングして供給するＨ2の流量[sccm]を示している。また、「22400×106」は、本一実施形態の容器（容器Ｖ１，Ｖ２）の形状に起因した係数であり、容器の変更により、変化する係数である。
ＭＯ容器圧力の単位は、[Pa]であり、[μ mol］は１０-6molである。
【０３６６】
また、上記式で用いる各ＭＯの蒸気圧は、例えば以下の式で求められる。
TMA蒸気圧[Pa]＝１０(8.224-2135/T)×１３３．３３２
TMI蒸気圧[Pa]＝１０(10.52-3014/T)×１３３．３３２
TMG蒸気圧[Pa]＝１０(8.07-1703/T)×１３３．３３２
Cp2Mg蒸気圧[Pa]＝１０(25.14-2.18Xlog(T)/log(2.718)-4198/T)×１３３．３３２
これらの蒸気圧は、温度により変化し、Ｔは容器の絶対温度であり、図２５の編集項目選択画面Ｇ３０のＭＯ容器条件設定のボタンＧ３０3をマウス５によりクリックし、表示されるＭＯ容器条件設定フレームＧ５０において、ＭＯ容器圧力と共に設定される。
【０３６７】
III族原料供給量（MO供給量）[μ mol/min]＝
TMA供給量＋TMI供給量＋TMG供給量＋TMG供給量
Ｖ族原料供給量[mol/min]＝Ｖ族ガス（アンモニア）流量／22400
ここで、Ｖ族ガス流量の単位は[sccm]である。
Ｖ／III＝（Ｖ族原料供給量／III族原料供給量）×１０6
ここで、Ｖ／IIIは、Ｖ族原料供給量とIII族原料供給量との供給比率である。
【０３６８】
また、
TMA／MO＝TMA供給量／MO供給量
TMI／MO＝TMI供給量／MO供給量
TMG／MO＝TMG供給量／MO供給量
Cp2Mg／MO＝Cp2Mg供給量／MO供給量
【０３６９】
さらに、
MO Partial Pressure＝{（リアクタに供給されているMO原料供給量[μ mol/min]×22400）／リアクタに供給されている総ガス流量[sccm]}／１０6
NH3 Partial Pressure＝リアクタに供給されているNH3流量[sccm]／リアクタに供給されている総ガス流量[sccm]
H2 Partial Pressure＝リアクタに供給されているH2流量[sccm]／リアクタに供給されている総ガス流量[sccm]
ここで、Partial Pressure（分圧）の計算に用いられる総ガス流量の単位は[sccm]である。ここで、リアクタは、ＭＯＣＶＤリアクタＭＲを示している。
【０３７０】
また、
平均ガス流速[cm/sec]＝（リアクタに供給されている総ガス流量（１分間単位）／フローチャンネル断面積）／６０
ここで、フローチャンネル断面積の単位は[cm2]であり、リアクタに供給されている総ガス流量の単位は[sccm]である。
【０３７１】
次に、図３２に示すＭＯ計算の動作を説明する。
このＭＯ計算のフローにおいて、図２５のＭＯ計算フレームＧ３０24におけるボタンＧ３０25，ボタンＧ３０26，ボタンＧ３０33，ボタンＧ３０28，ボタンＧ３０30およびボタンＧ３０1がクリックされることにより、各ボタンに対応した所定の処理が実行される（イベントドリブン処理となっている）。
【０３７２】
操作者がボタンＧ３０25をマウス５によりクリックした場合、ステップＳ２６０の処理が起動され、コンピュータ１はステップＳ２６０の処理を開始する。
ステップＳ２６０において、コンピュータ１は、図２５に示す編集項目選択画面Ｇ３０における、択一的選択ボタンＧ３０25または択一的選択ボタンＧ３０26の何れかがクリックされたことを検出する。これにより、コンピュータ１は、操作者が「μmol/min⇒sccm」の計算処理を選択したのか、「sccm⇒μmol/min」の計算処理を選択したのかのいずれかであるかの検出を行う。
【０３７３】
ここで、「μmol/min⇒sccm」の択一的選択ボタンＧ３０25がクリックされた場合、データ表示部Ｇ３０27に表示されたＭＯ供給量を、供給するために必要なバブリングに使用するガス量を求める。
また、ここで、「sccm⇒μmol/min」の択一的選択ボタンＧ３０26がクリックされた場合、データ表示部Ｇ３０27に表示されたバブリングのガス量によって、供給されるＭＯ供給量が求められる。
このとき、コンピュータ１は、選択された択一的選択ボタンの白抜きの円の中に黒丸を表示する。そして、コンピュータ１は、次に何らかのイベントが発生するまで、イベント待ち状態（アイドル状態）に遷移する。
【０３７４】
また、操作者がお助け計算の処理を終了させ、図２５に示す編集項目選択画面Ｇ３０を消去させるため、この編集項目選択画面３０のボタンＧ３０1をマウス５によりクリックする。これにより、コンピュータ１は、図２５に示す編集項目選択画面Ｇ３０における処理を終了する操作者の指示を検出し、処理をステップＳ２７１へ進める。
そして、ステップＳ２７１において、コンピュータ１は、図２５に示す比較フレームＧ２７上に表示された編集項目選択画面Ｇ３０を消去し、処理を図７に示すフローチャートのステップＳ２３へ戻す。
【０３７５】
また、操作者が計算対象の有機金属原料を選択するため、マウス５によりカーソルを移動させ、ボタンＧ３０33をクリックすることで、コンピュータ１は対応するステップＳ２６１の処理を起動する（イベントドリブン）。
そして、ステップＳ２６１において、コンピュータ１は、図２５に示す編集項目選択画面Ｇ３０における、ボタンＧ３０33がクリックされたことを検出する。そして、コンピュータ１は、図示しない原料ガスの選択テーブルを選択項目選択画面図Ｇ３０上に表示する。
【０３７６】
この図示しない選択テーブルには、計算対象としての原料ガスとして、例えば、「ＴＭＩ」，「ＴＭＡ」，「Ｃｐ2Ｍｇ」等が表示されている。そして、操作者は、この選択テーブルから計算したい原料ガスの名称へ、マウス５のカーソルを移送させクリックする事により選択する。これにより、コンピュータ１は、上記選択テーブルにおいて選択された原料ガスをデータ表示部Ｇ３０27へ表示する。
そして、コンピュータ１は、次に何らかのイベントが発生するまで、イベント待ち状態（アイドル状態）に遷移する。
【０３７７】
また、操作者が計算に必要な数値を入力させるため、データ入力部Ｇ３０29へ、マウス５のカーソルを移動させる。
これにより、コンピュータ１は、マウス５による、データ入力部Ｇ３０29へのカーソルの移動に対応するステップＳ２６２の処理を起動する。
そして、ステップＳ２６２において、コンピュータ１は、データ入力部Ｇ３０29へ、ＣＲＴ・２の表示画面上のカーソルを移動させる。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ２６３へ進める。
【０３７８】
次に、ステップＳ２６３において、コンピュータ１は、カーソルをデータ入力部Ｇ３０29へ移動させた後、データ入力部Ｇ３０29に記述されている文字データを消去する。そして、コンピュータ１は、次に何らかのイベントが発生するまで、イベント待ち状態（アイドル状態）に遷移する。
このとき、操作者がデータ入力部Ｇ３０29にキーボード４により数値を入力し始めると、コンピュータ１は起動し、ステップＳ２６４の処理を開始する。
【０３７９】
すなわち、コンピュータ１は、キーボード４から入力される数値のデータをデータ入力部Ｇ３０29へ表示させる。そして、例えば操作者がキーボード４のリターンキー、または「入力」と記述されているボタンＧ３０28をマウス５によりクリックすることにより、コンピュータ１は、データ入力部Ｇ３０29へ表示されている数値のデータを確定し、メモリの所定の領域に書き込む。
このとき、コンピュータ１は、ステップＳ２６０において択一的選択ボタンＧ３０25がクリックされている場合、「μmol／min」の単位を示す文字を、データ入力部Ｇ３０29におけるキーボード４から入力された数値データの後ろに表示させる。
【０３８０】
一方、コンピュータ１は、ステップＳ２６０において択一的選択ボタンＧ３０26がクリックされている場合、「sccm」の単位を示す文字を、データ入力部Ｇ３０29におけるキーボード４から入力された数値データの後ろに表示させる。
【０３８１】
また、このとき、操作者がボタンＧ３０1をマウス５によりクリックする事により、コンピュータ１は、操作者が図２５に示す編集項目選択画面Ｇ３０における処理を終了する操作者の指示を検出し、処理をステップＳ２６５へ進める（イベントドリブン）。
そして、ステップＳ２６５において、コンピュータ１は、図２５に示す比較フレームＧ２７上に表示された編集項目選択画面Ｇ３０を消去し、処理を図７に示すフローチャートのステップＳ２３へ戻す。
【０３８２】
そして、操作者がボタンＧ３０1をクリックせずに、計算を実行させるため、図２５に示す編集項目選択画面Ｇ３０の「計算」と書かれたボタンＧ３０30を、マウス５によりカーソルを移動させてクリックする。
これにより、コンピュータ１は、このボタンＧ３０30に対応した処理、すなわちステップＳ２６８へ処理を進める。
【０３８３】
次に、ステップＳ２６８において、コンピュータ１は、操作者が計算に必要な情報を全て入力し計算を開始する指示を入力したことを、マウス５によりボタンＧ３０30がクリックされたことから検出し、計算の処理を実行する。
【０３８４】
そして、コンピュータ１は、ステップＳ２６０において選択された計算の項目に基づき、例えば、「μmol/min⇒sccm」の計算処理を選択した場合、データ入力部Ｇ３０29へ入力したＭＯ供給量[μmol/min]を供給するために必要な、バブリングするガス量[sccm]を算出する。また、コンピュータ１は、ステップＳ２６０において選択された計算の項目に基づき、例えば、「sccm⇒μmol/min」の計算処理を選択した場合、バブリングするガス量[sccm]から供給されるＭＯ供給量[μmol/min]を算出し、算出結果をデータ表示部Ｇ３０31へ、算出した単位を示す文字を数値の後ろへ付け表示する。そして、コンピュータ１は、次に何らかのイベントが発生するまで、イベント待ち状態（アイドル状態）に遷移する。
【０３８５】
このとき、操作者がボタンＧ３０1をマウス５によりクリックする事により、コンピュータ１は、操作者が図２５に示す編集項目選択画面Ｇ３０における処理を終了する操作者の指示を検出し、処理をステップＳ２７１へ進める。
そして、ステップＳ２７１において、コンピュータ１は、図２５に示す比較フレームＧ２７上に表示された編集項目選択画面Ｇ３０を消去し、処理を図７に示すフローチャートのステップＳ２３へ戻す。
【０３８６】
上述したＭＯ供給量とバブリングするガス量は、コンピュータ１により以下の式により求められる。
ＭＯ供給量[μmol/min]＝(ＭＯ蒸気圧×バブリングガス量[sccm]／Ｍ０容器圧力)／22400×106
ＭＯ蒸気圧は、すでに述べた式により求められるものである。
ＭＯ容器圧力は、バブリングされるＭＯが蓄えられている容器（容器Ｖ１，容器Ｖ２などの）の容器圧力である。
【０３８７】
次に、成長プログラムのファイルの読み出しに関するファイル操作の動作について説明する。
操作者が、以前に入力し、外部記憶装置３へ記憶させている成長プログラムを読み込もうとした場合、図９に示すファイル操作フレームＧ２１における、「読み込み」と記述されたボタンへ、マウス５によりカーソルを移動させクリックする。これにより、コンピュータ１は、ファイルの読み出しのイベントが発生したことを検出し、図４０に示すフローチャートに従った処理を開始する。
【０３８８】
ステップＳ２８０において、コンピュータ１は、図９の条件入力フレームＧ２０上に、図示しないファイル名入力画面を表示し、処理をステップＳ２８１へ進める。
【０３８９】
次に、ステップＳ２８１において、操作者は、上記した図示しないファイル名入力画面に、読み出したい成長プログラムのファイル名を、キーボード４から入力する。そして、処理はステップＳ２８２へ進められる。
【０３９０】
次に、ステップＳ２８２において、操作者は、読み出したい成長プログラムのファイル名の入力を確認し、間違いないことを確認すると、ファイル名入力画面に設けられている確認ボタンへ、マウス５によりカーソルを移動しクリックする。これにより、コンピュータ１は、操作者がファイル名入力画面に入力したファイルを読み出す指示を検出し、処理をステップＳ２８３へ進める。
【０３９１】
次に、ステップＳ２８３において、コンピュータ１は、操作者がファイル名入力画面に入力した、読み出したいファイル名を、外部記憶部３により検索し、検索された成長プログラムのファイルを、外部記憶部３から内部の記憶部のテンポラリファイルの領域へ読み込む。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ２８４へ進める。
【０３９２】
次に、ステップＳ２８４において、コンピュータ１は、内部の記憶部に読み込まれた成長プログラムのファイルの、成長条件のデータを対応する項目に表示する。これ以降の画面表示は、すでに説明した図８に示すデータ入力フレームＧ２６及び比較フレームＧ２７の画面表示と同様である。そして、コンピュータ１は、図９の条件入力フレームＧ２０上に表示したファイル名入力画面を消去し、処理を図７に示すフローチャートのステップＳ２３へ戻す。
【０３９３】
また、ステップＳ２８１において、操作者が上記ファイル名入力画面に設けられた「戻る」と記述されたボタンへ、マウス５によりカーソルを移動させクリックする事により、コンピュータ１は、操作者が図４０に示すファイル読み込みの処理を終了する操作者の指示を検出し、処理をステップＳ２８５へ進める。
そして、ステップＳ２８５において、コンピュータ１は、図９に示す条件入力フレームＧ２０上に表示されたファイル名入力画面を消去し、処理を図７に示すフローチャートのステップＳ２３へ戻す。
【０３９４】
次に、成長プログラムのファイルの書き込みに関するファイル操作の動作について説明する。
操作者が、膜構造のステップ毎のプロセスの各項目へ、成長条件のデータを途中で終了し、この成長プログラムのファイルを外部記憶装置３へ、書き込みを行おうとした場合、図９に示すファイル操作フレームＧ２１における、「書き込み」と記述されたボタンへ、マウス５によりカーソルを移動させクリックする。これにより、コンピュータ１は、ファイルの書き込みのイベントが発生したことを検出し、図４１に示すフローチャートに従った処理を開始する。
【０３９５】
ステップＳ２９０において、コンピュータ１は、図９の条件入力フレームＧ２０上に、図示しないファイル名入力画面を表示し、処理をステップＳ２９１へ進める。
【０３９６】
次に、ステップＳ２９１において、操作者は、上記した図示しないファイル名入力画面に、完成させた成長プログラムを、外部記憶装置３へ書き込むためのファイル名を、キーボード４から入力する。そして、処理はステップＳ２９２へ進められる。
【０３９７】
次に、ステップＳ２９２において、操作者は、成長プログラムに書き込みで付けるファイル名の入力を確認し、間違いないことを確認すると、ファイル名入力画面に設けられている確認ボタンへ、マウス５によりカーソルを移動しクリックする。これにより、コンピュータ１は、ファイル名入力画面に入力したファイル名で、内部の記憶部のテンポラリファイルの領域に記憶されているテンポラリファイルを、外部記憶部３へ書き込む、操作者の指示を検出し、処理をステップＳ２９３へ進める。
【０３９８】
次に、ステップＳ２９３において、コンピュータ１は、操作者がファイル名入力画面に入力した、テンポラリファイルとしての成長プログラムに付けるファイル名により、この成長プログラムを外部記憶部３へ書き込む。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ２９４へ進める。
【０３９９】
次に、ステップＳ２９４において、コンピュータ１は、は、図９の条件入力フレームＧ２０上に表示したファイル名入力画面を消去し、処理を図７に示すフローチャートのステップＳ２３へ戻す。このとき、テンポラリファイルとしての成長プログラムは、内部記憶部に記憶された状態なので、すでに説明した図８に示すデータ入力フレームＧ２６及び比較フレームＧ２７の画面表示と同様に、テンポラリファイルとしての成長プログラムの各ステップ毎の項目に、成長データが表示されている。
【０４００】
また、ステップＳ２９１において、操作者が上記ファイル名入力画面に設けられた「戻る」と記述されたボタンへ、マウス５によりカーソルを移動させクリックする事により、コンピュータ１は、操作者が図４０に示すファイル書き込みの処理を終了する操作者の指示を検出し、処理をステップＳ２９５へ進める。
そして、ステップＳ２９５において、コンピュータ１は、図９に示す条件入力フレームＧ２０上に表示されたファイル名入力画面を消去し、処理を図７に示すフローチャートのステップＳ２３へ戻す。
【０４０１】
次に、成長条件入力終了（ファイル保存）の処理について説明する。
操作者が、膜構造のステップ毎のプロセスの各項目へ、成長条件のデータの入力を終了し、この成長プログラムのファイルを外部記憶装置３へ、書き込みを行おうとした場合、図９に示す「成長条件入力終了」と記述されたボタンＧ２４へ、マウス５によりカーソルを移動させクリックする。これにより、コンピュータ１は、成長条件入力終了のイベントが発生したことを検出し、図４２に示すフローチャートに従った処理を開始する。
【０４０２】
ステップＳ３５０において、成長ステップの流れフレームＧ２５に記載されている、膜構造の各ステップにおけるループの構成のチェックを行う。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ３５１へ進める。
次に、ステップＳ３５１において、コンピュータ１は、成長ステップの流れフレームＧ２５に記載されている、膜構造の各ステップにおけるループの構成に問題が無いと判定した場合、処理をステップＳ３５２へ進める。
【０４０３】
次に、ステップＳ３５２において、図９の条件入力フレームＧ２０上に、図示しない、「ファイルを保存して終了しますか」の文字が記述された終了のメッセージを表示する。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ３５３へ進める。
【０４０４】
次に、ステップＳ３５３において、コンピュータ１は、上記終了のメッセージに「ＹＥＳ」と記述されたボタン，及び「ＮＯ」と記述されたボタンを付けて、終了のメッセージを表示している。このとき、操作者が「ＹＥＳ」と記述されたボタンへ、マウス５によりカーソルを移動させクリックすると、コンピュータ１は、操作者のファイルを保存して終了する指示を検出し、処理をステップＳ３５４へ進める。
【０４０５】
次に、ステップＳ３５４において、コンピュータ１は、図９の条件入力フレームＧ２０上に、図示しないファイル名入力画面を表示し、処理をステップＳ３５５へ進める。
【０４０６】
次に、ステップＳ３５５において、操作者は、上記した図示しないファイル名入力画面に、完成させた成長プログラムを、外部記憶装置３へ書き込むためのファイル名を、キーボード４から入力する。そして、処理はステップＳ３５６へ進められる。
【０４０７】
次に、ステップＳ３５６において、操作者は、成長プログラムに書き込みで付けるファイル名の入力を確認し、間違いないことを確認すると、ファイル名入力画面に設けられている確認ボタンへ、マウス５によりカーソルを移動しクリックする。これにより、コンピュータ１は、ファイル名入力画面に入力したファイル名で、内部の記憶部のテンポラリファイルの領域に記憶されているテンポラリファイルを、外部記憶部３へ書き込む、操作者の指示を検出し、処理をステップＳ３５７へ進める。
【０４０８】
次に、ステップＳ３５７において、コンピュータ１は、操作者がファイル名入力画面に入力した、テンポラリファイルとしての成長プログラムに付けるファイル名により、この成長プログラムを外部記憶部３へ書き込む。そして、コンピュータ１は、処理を図２のステップＳ２へ戻し、ＣＲＴ・２の表示画面に図５に示めすメニュー画面を表示する。
【０４０９】
また、ステップＳ３５５において、操作者が上記ファイル名入力画面に設けられた「戻る」と記述されたボタンへ、マウス５によりカーソルを移動させクリックする事により、コンピュータ１は、操作者が図４２に示すファイル書き込みの処理を終了する操作者の指示を検出し、処理をステップＳ３５８へ進める。
そして、ステップＳ３５８において、コンピュータ１は、図９に示す条件入力フレームＧ２０上に表示されたファイル名入力画面を消去し、処理を図７に示すフローチャートのステップＳ２３へ戻す。
【０４１０】
また、ステップＳ３５３において、コンピュータ１は、操作者が「ＮＯ」と記述されたボタンへ、マウス５によりカーソルを移動させクリックすると、コンピュータ１は、操作者のファイルを保存せずに終了する指示を検出する。これにより、コンピュータ１は、処理を図２のステップＳ２へ戻し、ＣＲＴ・２の表示画面に図５に示めすメニュー画面を表示する。
【０４１１】
さらに、ステップＳ３５１において、コンピュータ１は、成長ステップの流れフレームＧ２５に記載されている、膜構造の各ステップにおけるループの構成に問題があると判定した場合、処理をステップＳ３７へ進める。
このとき、例えば、成長ステップの流れフレームＧ２５において
「No.15 ＩnＧaＮ（Ａ）Loop No.1 start 3 times
No.16 ＩnＧaＮ（Ｂ）Loop No.2 start 2 times」
の後に、
「No.17 Ｍg_ＡlＧaＮ（Ａ）Loop No.１ end」
のプロセスのステップが作成されていると、ループ番号「２」のループが終了してない状態で、ループ番号「１」の終了を行わせるようなループのたすき掛け状態が起こっている場合などに、成長条件入力プログラムを終了させようとするとエラーが検出される。
【０４１２】
次に、ステップＳ３５７において、コンピュータ１は、図９の条件入力フレームＧ２０上に、「ループＥＮＤが足りません」等の警告が表示し、成長条件入力プログラムの終了を行わない。
そして、コンピュータ１は、ループの繰り返し条件の入力をし直させるため、処理を、図７に示すフローチャートのステップＳ２３へ戻す。上記エラー表示は、ループの繰り返しのエラーが無くなり、正常に外部記憶部３へ成長プログラムが書き込まれるときに消去される。
【０４１３】
また、図２のステップＳ３において、操作者がすでにある膜構造を用いて、成長プログラム各薄膜の成長のプロセスフローの条件を変更し、成長プログラムとして、上記半導体装置の成長フローのステップを完成させる選択をした場合、操作者は、処理をステップＳ８へ進め、ステップＳ８において、操作者は、「Ｍａｉｎ Ｍｅｎｕ」のボタンＢＴ３（「すでにあるファイルを読み込んで成長プログラムを作成」）にマウス５のカーソルを移動させ、マウス５のボタンをクリックする。これにより、コンピュータ１は、ボタンＢＴ３が選択されたことを検出し、成長条件入力プログラムを起動させる。そして、コンピュータ１は、処理をステップＳ９へ進める。
【０４１４】
そして、ステップＳ１０における成長条件の設定値変更の処理は、上述してきた、膜構造のステップのフローから生成して行うステップＳ６における成長条件の入力と全く同様な処理により行うことが出来る。同様に、生成された成長プログラムを外部記憶部３に記憶させる処理のステップ７もステップＳ１１も同様である。
操作者は、上述の様に生成した成長プログラムを、コンピュータ１からＭＯＣＶＤ装置へ、テキストファイル形式で出力する。そして、ＭＯＣＶＤ装置は、このテキストファイル形式の成長プログラムを、ＭＯＣＶＤ装置で使用している言語様式の動作ファイルへ翻訳し、この動作ファイルに従い、半導体装置等の膜構造を生成する。
【０４１５】
本発明によれば、半導体装置の形成に必要なプロセスフローの各ステップの成長条件のデータが記載された成長プログラムを生成し、薄膜製造装置に完成したこの成長プログラムをＭＯＣＶＤ装置へ供給するため、ＭＯＣＶＤ装置における面倒で、操作しにくい成長条件のデータ入力を行う必要がないため、成長条件のデータ入力及び入力された成長条件のデータの確認が迅速に行え、成長条件のデータの入力ミスを無くすことができ、効率の良い成長プログラムの生成が行うことが可能となる。
【０４１６】
また、本発明によれば、各ステップにおける、データの入力対象の成長条件の項目，バルブの開閉状態などの状態を、各成長条件の項目の表示部分等の背景色を変えて表示させるため、データの入力対象の項目，バルブの開閉状態等の条件のデータにより、成長条件の設定状態をビジュアルに確認する事が出来るため、入力データの入力間違い、あるいは成長条件のデータを入力する項目の間違いのような、成長条件の入力ミスを無くすことが可能となる。
さらに、本発明によれば、データ入力フレームと比較フレームとにより、成長条件の各項目の、前後のステップにおけるデータを確認出来、膜構造のプロセスのステップの流れを確認しながら成長条件のデータを入力できるため、前後のプロセス関係を把握することによりデータ入力における数値または条件のミスを防止することが可能となる。
【０４１７】
以上、本発明の一実施形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等があっても本発明に含まれる。
例えば、ＭＯＣＶＤだけでなくＭＢＥ等のコントローラで成長制御される薄膜製造装置においても利用することが可能である。
【０４１８】
また、図２に示す各ステップを実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより図形表示処理を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フロッピーディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可般媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。
【０４１９】
さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであっても良い。
【０４２０】
【発明の効果】
本発明によれば、複数の薄膜層を形成して半導体装置を生成する薄膜生成装置へ、この半導体装置の生成における前記薄膜層の成長順及び成長条件のデータを示す成長プログラムを生成／供給する薄膜成長フロー生成を行う場合、薄膜成長フロー生成システムにより、フロー生成手段が前記薄膜層を順次成長させる複数の成長ステップからなる成長フローを生成し、その後、表示画面を、少なくとも成長フロー表示領域，第１の成長条件表示領域及び第２の成長条件表示領域に分割し、前記成長フローを成長フロー表示領域に表示させ、この成長フローにおける一の成長ステップの条件を第１の成長条件表示領域に表示させ、前記一の成長ステップと比較する前記成長フローにおける他の成長ステップの条件を第２の成長条件表示領域に表示させた状態で、前記第１の成長条件表示領域に示される成長条件の項目に従い、入力手段により、前記一の成長ステップの成長条件のデータを入力し、前記入力手段により入力された成長条件を成長プログラムとして、出力手段により前記薄膜生成装置へ出力するため、半導体装置の形成に必要なプロセスフローの成長条件が定められた成長プログラムを生成し、薄膜製造装置に完成したこの成長プログラムを前記薄膜生成装置へ供給するので、この薄膜生成装置における面倒で、操作しにくい成長条件のデータ入力を行う必要がなく、成長条件のデータの入力、及び入力された成長条件データの確認が迅速に行え、成長条件の入力ミス無くすことが可能となり、かつ第１の成長条件表示領域（データ入力フレーム）と比較フレーム（第２の成長条件表示領域）とにより、成長条件の各項目のデータを確認出来、膜構造のプロセスのステップの流れを確認しながら成長条件のデータを入力できるため、前後のプロセス関係を把握することによりデータ入力における数値または条件のミスを防止することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態による薄膜成長フロー生成システムの構成例を示すブロック図である。
【図２】  図１に示す薄膜成長フロー生成システムの動作例を示すフローチャートである。
【図３】  図１に示すＭＯＣＶＤ装置６の構成例を示すブロック図である。
【図４】  図１に示すＭＯＣＶＤリアクタＭＲの構成を示す断面図である。
【図５】  図１に示すＣＲＴ・２の表示画面に表示されるメニュー画面を示す図である。
【図６】  図１に示すＣＲＴ・２の表示画面に表示される、膜構造のプロセスのステップを作成する入力画面を示す図である。
【図７】  図２のフローチャートのステップＳ６の詳細な動作を示したフローチャートである。
【図８】  図２のフローチャートのステップＳ６で、ＣＲＴ・２に表示される成長条件設定画面である。
【図９】  図８における条件入力フレームＧ２０，ファイル操作フレームＧ２１，編集操作フレームＧ２２，ステップ操作フレームＧ２３，成長ステップの流れフレームＧ２５の詳細な図である。
【図１０】  図８におけるデータ入力フレームＧ２６の詳細な図である。
【図１１】  図１０のデータ入力フレームＧ２６における成長条件のデータ入力の動作を説明するフローチャートである。
【図１２】  図１１のフローチャートで行われる最大入力値オーバーのチェックの動作を説明するフローチャートである。
【図１３】  膜構造のプロセスのステップにおいて、次のステップへの移動の動作を説明するフローチャートである。
【図１４】  膜構造におけるプロセスのステップが、ステップ「No.１」からステップ「No.２」へ移動した後のデータ入力フレームＧ２６を示す図である。
【図１５】  図８における比較フレームＧ２７の詳細な図である。
【図１６】  図１３に示すフローチャートで行われる最小値入力チェックの動作を説明するフローチャートである。
【図１７】  プロセスのステップ「No.６」のデータ入力フレームＧ２６の詳細な図である。
【図１８】  プロセスのステップ「No.５」の比較フレームＧ２７の詳細な図である。
【図１９】  膜構造のプロセスのステップにおいて、前のステップへの移動の動作を説明するフローチャートである。
【図２０】  プロセスのステップ「No.５」のデータ入力フレームＧ２６の詳細な図である。
【図２１】  プロセスのステップ「No.４」の比較フレームＧ２７の詳細な図である。
【図２２】  膜構造のプロセスのステップにおいて、マウスクリックによる他のステップへの移動の動作を説明するフローチャートである。
【図２３】  比較フレームＧ２７に表示する参照画面としての比較フレームＧ２７に表示するステップの移動の操作を説明するフローチャートである。
【図２４】  図９の成長ステップの流れフレームＧ２５における、膜構造のプロセスのステップ編集操作の動作を説明するフローチャートである。
【図２５】  編集項目選択画面Ｇ３０の詳細図である。
【図２６】  図２４のフローチャートにおけるステップコピーの動作を説明するフローチャートである。
【図２７】  図２４のフローチャートにおける単項目コピーの動作を説明するフローチャートである。
【図２８】  図２４のフローチャートにおけるループ編集要求の動作を説明するフローチャートである。
【図２９】  図２４のフローチャートにおけるＭＯ容器条件入力の動作を説明するフローチャートである。
【図３０】  図２４のフローチャートにおける単項目データ表示の動作を説明するフローチャートである。
【図３１】  図２４のフローチャートにおけるお助け計算の動作を説明するフローチャートである。
【図３２】  図２４のフローチャートにおけるＭＯ計算の動作を説明するフローチャートである。
【図３３】  成長ステップの流れフレームＧ２５上に表示されるコピー範囲表示画面Ｇ２５3を示す図である。
【図３４】  成長ステップの流れフレームＧ２５上に表示されるコピー範囲表示画面Ｇ２５2を示す図である。
【図３５】  比較フレーム２７上に表示されるループ挿入フレームＧ４０を示す図である。
【図３６】  図８における条件入力フレームＧ２０，ファイル操作フレームＧ２１，編集操作フレームＧ２２，ステップ操作フレームＧ２３，成長ステップの流れフレームＧ２５の詳細な図である。。
【図３７】  比較フレーム２７上に表示されるループ回数変更フレームＧ４５を示す図である。
【図３８】  比較フレーム２７上に表示されるＭＯ容器条件設定フレームＧ５０を示す図である。
【図３９】  比較フレーム２７上に表示される計算項目の選択テーブルＧ５５を示す図である。
【図４０】  作成途中の成長プログラムのファイルを、外部記憶装置３へ転送する動作を示すフローチャートである。
【図４１】  外部記憶装置３に格納されている成長プログラムのファイルの読み出し動作を示すフローチャートである。
【図４２】  作成完了した成長プログラムのファイルを、外部記憶装置３へ転送する動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１  コンピュータ
２  ＣＲＴ
３  外部記憶措置
４  キーボード
５  マウス
６  ＭＯＣＶＤ装置
ＭＲ  ＭＯＣＶＤリアクタ
ＣＴ  制御部
ＭＳ１，…，ＭＳ１８  マスフローコントローラ
Ｂ１，…，Ｂ３２  電磁バルブ
Ｖ１、Ｖ２  容器
Ｇ２５  成長ステップの流れフレーム
Ｇ２６  データ入力フレーム
Ｇ２７  比較フレーム
Ｇ３０  編集項目選択画面
【図１】
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【図２】
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【図３】
0004260319.tif 000005
【図４】
0004260319.tif 000006
【図５】
0004260319.tif 000007
【図６】
0004260319.tif 000008
【図７】
0004260319.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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