(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
立てたガラス板面に透明導電膜のマスクパターンを成膜する際に使用する立設型基板保持体であって、
横方向に向けた時の前記ガラス板が該ガラス板を立てたときの上下方向で移動可能な大きさを持つ基板挿入孔の底面に該基板挿入孔より小さい角形開口窓が形成された枠形の基板ホルダと、平面視サイズが前記ガラス板と同じで前記底面と接するように前記基板挿入孔に挿入される強磁性板からなるマスクと、前記マスクの背面側に位置させる前記ガラス板を介して前記基板挿入孔に挿入される永久磁石板からなるマスクホルダと、該マスクホルダを前記マスク側に押圧する付勢手段、とを少なくとも含んでなり、
前記基板ホルダの前記基板挿入孔が、四隅には開口面から前記底面に達する円形の逃げが形成されていると共に該底面が加工された平坦面に形成され、且つ少なくとも前記マスクと前記ガラス板とを幅方向で位置決めする位置決め手段を備えていることを特徴とする立設型基板保持体。
【請求項２】
請求項１記載の立設型基板保持体における位置決め手段が、前記基板挿入孔の幅方向両側壁の下側壁面近傍の対向位置に頂点間の隔たりが前記ガラス板とマスクの幅に対応するように形成された緩斜面付の突起で構成されていることを特徴とする立設型基板保持体。
【請求項３】
ガラス板の片面に画素に対応するカラーフィルタを形成する工程と、該カラーフィルタの形成面が露出するように前記ガラス板を横方向に向けた立設型基板保持体に挿入する工程と、該立設型基板保持体を立てた状態で前記カラーフィルタ形成面に垂直方向からのスパッタリング技術で透明導電膜を形成する工程を含んでなり、
前記立設型基板保持体に、請求項１記載の立設型基板保持体を用いることを特徴とする液晶カラーフィルタ基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶表示板の液晶カラーフィルタ製造工程におけるＩＴＯ膜成膜工程で使用する立設型基板保持体の構成に係わり、特に該立設型基板保持体の構成部材であるマスクのガラス基板に対する位置ずれをなくして液晶カラーフィルタひいては液晶表示板としての生産性向上を図った立設型基板保持体及び液晶カラーフィルタ基板の製造方法に関する。
【０００２】
液晶表示板における液晶カラーフィルタの製造工程では、片面にＲＧＢ３色の画素に対応したカラーフィルタが形成されているガラス基板の該画素形成面上にＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜からなる透明導電膜を形成している。
【０００３】
そしてこの場合の上記ＩＴＯ膜成膜工程では上述した如くカラーフィルタ形成面を持つガラス板をマスクやマスクホルダと共に保持する立設型基板保持体を用いて上記ＩＴＯ膜をカラーフィルタ形成面上に形成するが、該マスクと上記ガラス板との間に相対的な位置ずれが発生して液晶カラーフィルタとしての歩留りが低下し易くなることからその対応が強く求められている。
【０００４】
【従来の技術】
技術的背景を説明する図としての図６は液晶カラーフィルタの製造工程を説明する概略図であり、図７はＩＴＯ膜形成手段を装置と共に説明する図である。
【０００５】
また図８は図７の立設型基板保持体をガラス板を含めた構成で説明する図、図９は図８における基板ホルダを説明する図、図１０は図８におけるマスクを説明する図、図１１は図８におけるマスクホルダを説明する図、図１２は図８におけるキャップを説明する図、図１３は図８におけるフックを説明する図、図１４はガラス板を含めた立設型基板保持体の組立方法を示す図、図１５は図１４の立設型基板保持体の図７のＩＴＯ膜形成装置への装着時の状態を問題点を含めて説明する図である。
【０００６】
液晶カラーフィルタの製造工程を説明する図６の（イ）で、１″は液晶表示板のセル内に配する所定厚さのガラス板であり、先ず該ガラス板１″上に通常のパターニング技術でブラック・マトリックス（遮光膜）１ａを形成することで（ロ）に示す状態にする。
【０００７】
次いで、例えばＲ（red)に着色されたポリイミド樹脂からなるレジスト１ｂを塗布して（ハ）の状態にした後、その表面にポジレジスト１ｃを積層して（ニ）の状態にする。
【０００８】
その後、その上方に配置したフォトマスク１ｄを介して露光工程（ホ）を施してから通常の現像工程を経るが、上記フォトマスク１ｄには上記ブラック・マトリックス１ａ間のＲ（red)画素対応領域にのみ窓１ｄ′が設けられているので、結果的に上記のＲ（red)画素対応領域にのみＲ（red)の画素１ｅが形成されて（ヘ）で示す状態にすることができる。
【０００９】
更に上記（ハ）〜（ヘ）の工程をＧ（green)，Ｂ（blue) の順に繰り返すことで、光３原色の画素ドット１ｅ，１ｆ，１ｇが片面に配列されたガラス板１′を（ト）で示すように得ることができる。
【００１０】
そして最後に上記ガラス板１′の画素ドット形成面の全面に上述したＩＴＯ膜からなる透明導電膜１ｈを（チ）に示す如く形成して所要のガラス基板１を（リ）で示すように実現している。
【００１１】
一方本発明に係わるＩＴＯ膜形成手段を装置と共に説明する図７で、紙面厚さ方向に長い真空チャンバ１１の幅方向両側の壁面近傍には壁面に沿った直流電極１１ａが設けられ、その対向する内側面には例えばインジュームと錫の合金等からなるスパッタ・ターゲット１１ｂが配設されている。
【００１２】
一方上記チャンバ１１のほぼ中心線上には加熱用ヒータ１１ｃが該チャンバに沿って設けられていると共に該加熱用ヒータ１１ｃを上側から覆うような位置に基板電極兼用のサセプタ１１ｄがチャンバに沿った方向に移動可能に装着されている。
【００１３】
そしてサセプタ１１ｄの両側側壁の上記スパッタ・ターゲット１１ｂと対向するそれぞれの領域は、図６の（ト）で説明したガラス板１′をそのカラーフィルタ形成面がスパッタ・ターゲット側を向くように立てた状態で保持し得る立設型基板保持体２が装着されるようになっている。
【００１４】
そして例えば、真空度０．００５ Torr 程度, 温度約１６０°Ｃ，の状態で所定流量のアルゴン（Ar) ガスと酸素ガスを流した上記チャンバ内で、上記ガラス板１′が装着されたサセプタ１１ｄを紙面厚さ方向に所定速度で移動させながら上記電極間に例えば１．３８ＫＷ位のスパッタ電力を印加するスパッタリング処理で、複数の上記ガラス板１′に前記ＩＴＯ膜からなる所要のＩＴＯ膜１ｈを連続して形成することができる。
【００１５】
図８は上記ガラス板１′を含めた上記立設型基板保持体を側断面図（ａ）と正面図（ｂ）および構成図（ｃ）で示したものである。
【００１６】
図で立設型基板保持体２は、基板ホルダ２１と、該基板ホルダに嵌め込まれるマスク２２と、その背面側に位置される前記ガラス板１′の更に背面側に嵌め込まれるマスクホルダ２３と、上記基板ホルダ２１の背面側を覆うキャップ２４と、該キャップと上記マスクホルダ間に配されて該マスクホルダと上記ガラス板１′とを上記マスク側に押圧するコイルバネ２５、および上記基板ホルダとキャップとを一端化させるためのフック２６とを少なくとも含んで構成されている。
【００１７】
そして基板ホルダを説明する図９で、（ａ）は平面図、（ｂ）は矢印▲１▼での断面図、（ｃ）は矢印▲２▼での断面図、（ｄ）は一部断面視した側面図、（ｅ）は底面図である。
【００１８】
図で平面視が枠形の樹脂材からなる基板ホルダ２１は、その中央部に位置する開口部が前記マスクやガラス板１′を多少の余裕を持って挿入し得る大きさの基板挿入孔２１ａと該マスクやガラス板１′より小さい所要サイズの角形開口窓２１ｂとが同心の段差状になっているものであり、基板挿入孔の深さ“ａ1 ”は図８におけるマスク２２とマスクホルダ２３とガラス板１′のそれぞれの厚さの和を越えるように設定されている。
【００１９】
そして周壁外面の対称的な複数箇所（図では８箇所）には、該基板ホルダの厚さ方向に所定の幅“ａ2 ”と深さ“ａ3 ”の溝２１ｃが形成され、且つ該溝２１ｃの上記角形開口窓側は該溝底面から内側への斜面で凹む鉤部２１ｄになっている。
【００２０】
また上記基板挿入孔２１ａと角形開口窓２１ｂ間の段差形成面すなわち基板挿入孔の底面２１ｅの領域は、基板ホルダとして再利用させるための再生処理としてのブラスト処理によって拡大した円内図（ｆ）に示す如く凹凸をもった粗面に形成されている。
【００２１】
なお上記の凹凸をもった粗面は、図７によるスパッタリング処理で基板ホルダの表面にも付着するＩＴＯ膜が爾後のガラス板１′用の立設型基板保持体への構成に邪魔することから、使用済立設型基板保持体の上記ＩＴＯ膜を例えば機械的なサンドブラスト手段等で除去する際に生ずるものである。
【００２２】
また図１０で例えばニッケル（NI) 等の強磁性板材からなる上記マスク２２は、その外形が前記ガラス板１′の外形サイズにほぼ等しくなるように設定され、且つその一部の該ガラス板１′のＩＴＯ膜形成域と対応する領域に所要サイズの開口窓２２ａが設けられているものである。
【００２３】
更に図１１で磁石板材からなる上記マスクホルダ２３は、その外形が前記ガラス板１′の外形サイズにほぼ等しくなるように設定されているものである。
【００２４】
一方上記キャップを説明する図１２で、（ａ）は平面図、（ｂ）は矢印▲１▼での断面図、（ｃ）は一部断面視した側面図、（ｄ）は底面図である。
【００２５】
図で平面視外形が前記基板ホルダ２１と同じ大きさの樹脂板材からなるキャップ２４は、その下面（図では底面）の該基板ホルダの基板挿入孔２１ａと対応する位置に該基板挿入孔との嵌合で相互に位置決めできる凸の段差面２４ａが形成されていると共に、該凸の段差面のほぼ中央域には該段差面を越えない大きさの凹の丸穴２４ｂが設けられているものである。
【００２６】
そしてその周面の前記基板ホルダの溝２１ｃと対応するそれぞれの位置に、該溝と同じ大きさの溝２４ｃが上面側に前記鉤部２１ｄと等しい鉤部２４ｄを具えて形成されている。
【００２７】
またフックを示す図１３で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図である。
【００２８】
図で例えば燐青銅の如きばね板材を先端が内側を向くコ字形に折り曲げ成形して形成されるフック２６は、その幅“ｂ1 ”が上記溝２１ｃに対応して形成されていると共に両端の折り曲げ部根本間の隔たり“ｂ2 ”が上記基板ホルダ２１とキャップ２４を組み合わせたときの各鉤部間の隔たりに合致し、且つそれぞれの折り曲げ部からの先端域２６ａが前記鉤部２１ｄや２４ｄに合致するように形成されているものである。
【００２９】
更に図８で示したコイルスプリング２５は、例えばばね線材を上記キャップ２４における丸穴２４ｂに入り得る巻径で巻回したものである。
【００３０】
そこで図１４に示す如く、先ず前述した基板ホルダ２１を基板挿入孔２１ａが上方を向くように図示されない基盤上に位置決めして載置する。
【００３１】
その後、例えば図示されないロボットで吸着把持させた上記マスク２２を、矢印▲１▼の如く基板ホルダ２１の基板挿入孔２１ａにハンドリング挿入させる。
【００３２】
次いで、上記ロボットで吸着把持させた図６の（ト）で示す前記ガラス板１′を矢印▲２▼の如く基板ホルダ２１の基板挿入孔２１ａにハンドリング挿入させると、該ガラス板１′をマスク２２の上に位置合わせして載置することがてきる。
【００３３】
更に、上記ロボットで吸着把持させた上記マスクホルダ２３を矢印▲３▼の如く上記基板挿入孔２１ａにハンドリング挿入させると、該マスクホルダもガラス板１′の上に位置合わせして載置することがてきる。
【００３４】
その後、上記コイルバネ２５を矢印▲４▼の如くマスクホルダ上る載置した後上記ロボットで吸着把持させた上記キャップ２４を矢印▲５▼の如く上記基板ホルダ２１上に位置決めして載置し、更に上記フック２６を矢印▲６▼のようにそれぞれの溝部２１ｃ，２４ｃに挿入してそれぞれの先端域２４ａを鉤部２１ｄ，２４ｄに噛み合わせることで、ガラス板１′を含めて横方向に向けた状態にある立設型基板保持体２を図示されない基盤上に構成することができる。
【００３５】
なお、上述したマスク２２とガラス板１′とマスクホルダ２３を図示されないロボットで予め積み重ねると、マスクホルダによるマスクの吸着力で該マスクとガラス板とマスクホルダを一体化させることができるので、この一体化された状態のマスクとガラス板とマスクホルダを上記ロボットで一括して上記基板ホルダ２１の基板挿入孔２１ａに載置することもできる。
【００３６】
そこでかかる構成になる立設型基板保持体２を図７で説明したＩＴＯ膜形成装置におけるサセプタ１１ｄの両側壁に立てた状態で前述した如くＩＴＯ膜を形成することで所要の液晶カラーフィルタ１を容易に得ることができる。
【００３７】
【発明が解決しようとする課題】
図１５で、（ａ）は横方向に向けた状態の基板保持体２を示しまた（ｂ）と（ｃ）はサセプタの両側壁に装着した状態を、また（ｄ）は問題点を示す図である。
【００３８】
図で、（ａ）ではマスク２２とガラス基板１′とマスクホルダ２３とがいずれもロボットによるハンドリング把持で基板ホルダ２１の基板挿入孔２１ａに挿入されることから、ほぼ正しく積まれた状態で挿入されている。
【００３９】
尚この状態で、マスク２２は基板ホルダ２１の底面２１ｅとガラス板１′に挟まれた状態にあり、またガラス板１′はマスク２２とマスクホルダ２３に挟まれた状態にあり、更にマスクホルダ２３もガラス板１′とコイルバネ２５に挟まれた状態にあるが、いずれもそれぞれの周囲に僅かな隙間Ｃを具えている。
【００４０】
そこで各立設型基板保持体２を上記サセプタ１１ｄに装着するために立たせると、少なくとも平坦なマスク２２とマスクホルダ２３に挟まれたガラス板１′は上記隙間Ｃだけその自重で滑落するが、マスク２２はその片面が凹凸を持つ基板ホルダ２１の基板挿入孔底面２１ｅに接しまたマスクホルダ２３はその片面がコイルバネに接していることから自重による滑落が円滑にならず、（ｂ）や（ｃ）に示す如くガラス板１′だけがマスク２２やマスクホルダ２３に対して滑り落ちる。
【００４１】
このことはマスクの中心部を拡大視した円内図（ｄ）に示す如く、マスク２２の中心位置Ｐ1 に対してガラス板１′の中心位置Ｐ2 が下側にずれると共に左右方向にもずれ得ることを意味する。
【００４２】
従って、マスクの中心とガラス板１′の中心とがずれた状態で前述したようにＩＴＯ膜が形成されるので所望のパターンが得られない場合が生じ、結果的に爾後のモジュール工程での対向基板との貼り合わせ誤差が大きくなって液晶表示板としての生産に支障を来すことがあると言う問題点があった。
【００４３】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、立てたガラス板面に透明導電膜のマスクパターンを成膜する際に使用する立設型基板保持体であって、横方向に向けた時の前記ガラス板が該ガラス板を立てたときの上下方向で移動可能な大きさを持つ基板挿入孔の底面に該基板挿入孔より小さい角形開口窓が形成された枠形の基板ホルダと、平面視サイズが前記ガラス板と同じで前記底面と接するように前記基板挿入孔に挿入される強磁性板からなるマスクと、前記マスクの背面側に位置させる前記ガラス板を介して前記基板挿入孔に挿入される永久磁石板からなるマスクホルダと、該マスクホルダを前記マスク側に押圧する付勢手段、とを少なくとも含んでなり、前記基板ホルダの前記基板挿入孔が、四隅には開口面から前記底面に達する円形の逃げが形成されていると共に該底面が加工された平坦面に形成され、且つ少なくとも前記マスクと前記ガラス板とを幅方向で位置決めする位置決め手段を備えている立設型基板保持体によって解決される。
【００４４】
上記マスクが基板ホルダに対して円滑に移動し得るように基板ホルダのマスクとの接触面を平坦にすると、該マスクをガラス板と共にずらすことができる。
【００４５】
また上記基板ネルダの上記基板挿入孔にマスクやガラス板の左右方向位置決め手段を設けるとマスクとガラス板間の左右方向すなわち幅方向のずれもなくすことができる。
【００４６】
そこで本発明では、基板ホルダのマスクとの接触面すなわち基板挿入孔底面を機械加工で平坦化させると共に、基板挿入孔を縦方向に僅かに長くした上で該基板挿入孔の幅方向両側の下側近傍にマスクやガラス板を位置決めする緩やかな凸部を設けて立設型基板保持体を構成するようにしている。
【００４７】
このことは、前述したロボットによるマスク・ガラス板・マスクホルダ等の基板挿入孔への挿入位置を縦方向上側に設定することで、立設型基板保持体を立てた時点での上記マスク・ガラス板・マスクホルダ等のずり落ちで少なくともマスクとガラス板間の位置ずれが上下左右でなくせることを意味する。
【００４８】
従って、液晶カラーフィルタとして所望のパターンが得られることから爾後のモジュール工程での対向基板との貼り合わせ誤差をなくすことができて液晶表示板としての生産性向上を実現することができる。
【００４９】
【発明の実施の形態】
図１は本発明になる立設型基板保持体の全体構成を示す図であり、図２は図１における基板ホルダを説明する図、図３は図１におけるキャップを説明する図、図４はガラス板を含めた立設型基板保持体の組立方法を示す図、図５は本発明の立設型基板保持体のＩＴＯ膜形成装置への装着時の作用と効果を説明する図である。
【００５０】
なお図では、いずれも従来のマスク２２とガラス板１′とマスクホルダ２３を使用した場合を例としているので、図８と同じ対象部材や部位には同一の記号を付して表わすと共に重複する説明についてはそれを省略する。
【００５１】
上記ガラス板１′を含めた本発明になる立設型基板保持体を説明する図１で、（ａ）は側断面図、（ｂ）は正面図（ｃ）は構成図である。
【００５２】
図で立設型基板保持体３は、基板ホルダ３１と、該基板ホルダに嵌め込まれるマスク２２と、前記ガラス板１′の更に背面側に嵌め込まれるマスクホルダ２３と、上記基板ホルダ３１の背面側を覆うキャップ３２と、前記コイルバネ２５および前記フック２６とを少なくとも含んで構成されている。
【００５３】
そしてこの場合の基板ホルダを説明する図２で、（ａ）は平面図、（ｂ）は矢印▲１▼での断面図、（ｃ）は矢印▲２▼での断面図、（ｄ）は一部断面視した側面図、（ｅ）は底面図である。
【００５４】
図で平面視が枠形の樹脂材からなる基板ホルダ３１は、前記基板ホルダ２１における外形の平面視縦（紙面上下）方向の長さを紙面上側に僅かな所定長さ（例えば数ｍｍ程度）だけ延伸させると同時に、前記基板ホルダ２１における前記基板挿入孔２１ａを平面視縦（紙面上下）方向の長さを紙面上側に上記所定長さだけ延伸させた基板挿入孔３１ａに変えたものである。
【００５５】
そして、前記マスク２２やガラス板１′等を横方向に向けた状態にある上記基板ホルダ３１の上記基板挿入孔３１ａの上記延伸域を含む縦方向上側に挿入した後に該基板ホルダ３１を起こして立てると、該マスクやガラス板１′等がそれぞれの自重で上記所定長さだけずり落ちて前記角形開口窓２１ｂと対応する位置で止まるようになっている。
【００５６】
また上記基板ホルダ３１は、上記基板挿入孔３１ａの四隅に底面３１ｂに達する円形状の逃げ３１ｃが設けられているとと共に、該基板挿入孔３１ａの幅方向両側側壁の平面視紙面下側すなわち立てたときの下側壁面３１′の近傍には上側を緩傾斜３１ｄ′とする突起３１ｄがその対面する頂点間の間隔“ｂ”が上記マスク２２やガラス板１′の幅に対応するように設けられている。
【００５７】
従って、上記基板挿入孔３１ａの少なくとも上記底面３１ｂが通常のマニュアルによる鑢仕上げ加工技術や機械加工技術等によって平坦な鏡面状に容易に仕上げられると共に、上述したように自重でずり落ちるマスク２２やガラス板１′等が幅方向で位置決めできるようになっている。
【００５８】
そして上記基板ホルダ３１の周辺には、前記基板ホルダ２１と同様に複数の前記溝２１ｃがその角形開口窓２１ｂ側の端部に鉤部２１ｄを具えて形成されている。
【００５９】
一方上記キャップを説明する図３で、（ａ）は平面図、（ｂ）は矢印での断面図、（ｃ）は一部断面視した側面図、（ｄ）は底面図である。
【００６０】
図で平面視外形が前記基板ホルダ３１と同じ大きさの樹脂板材からなるキャップ３２は、その下面（図では底面）の上記基板ホルダ３１の基板挿入孔３１ａと対応する位置に該基板挿入孔との嵌合で相互に位置決めできる凸の段差面３２ａが形成されていると共に、前記キャップ２４における丸穴２４ｂと同じ位置に同様の丸穴２４ｂが形成され、更に周辺の上記基板ホルダ３１における溝２１ｄと対応するそれぞれの位置に前記キャップ２４同様の溝２４ｃと鉤部２４ｄが形成されている。
【００６１】
そこで図４に示す如く、上記底面３１ｂが平坦化されている上記基板ホルダ３１をその基板挿入孔３１ａが上方を向くように図示されない基盤上に位置決めして載置した後、図示されないロボットで吸着把持させた前記マスク２２を矢印▲１▼の如く該基板ホルダ３１の基板挿入孔３１ａにハンドリング挿入させるが、このときの挿入位置は該基板ホルダ３１を抽出して平面視した図（ａ）に示す斜線域Ａの如く基板挿入孔３１ａの上記延伸域Ｂを含む上側に設定する。
【００６２】
次いで上記ロボットで吸着把持させた前記ガラス板１′を矢印▲２▼の如く基板ホルダ３１の基板挿入孔３１ａにハンドリング挿入させ更に該ロボットで前記マスクホルダ２３を矢印▲３▼の如く挿入させると、上記ガラス板１′と該マスクホルダとを共に上記マスク２２の上に位置ずれなく載置することがてきる。
【００６３】
その後、前記コイルバネ２５を矢印▲４▼の如くマスクホルダ上に載置し更に上記ロボットで吸着把持させた上記キャップ３２を矢印▲５▼の如く上記基板ホルダ３１上に載置し、前記フック２６を矢印▲６▼のようにそれぞれの溝部２１ｃ，２４ｃに挿入してその先端域２６ａをそれぞれの鉤部２１ｄ，２４ｄに噛み合わせることで、ガラス板１′を含めて横方向に向けた状態にある立設型基板保持体３を基盤上に構成することができる。
【００６４】
なお、上記マスク２２とガラス板１′とマスクホルダ２３を該マスクホルダの吸着力で一体化させた状態でロボットで一括して上記基板ホルダ２１の基板挿入孔２１ａに載置できることは前述した通りである。
【００６５】
かかる構成になる立設型基板保持体３を図７で説明したＩＴＯ膜形成装置に立てて装着するときの状態を説明する図５で、（ａ）は横方向に向けた時の側断面図、（ｂ）は立設時の側断面図、（ｃ）はその正面図である。
【００６６】
図の（ａ）で、立設型基板保持体３の基板ホルダ３１内に位置する上記マスク２２とガラス板１′とマスクネルダ２３は上述した如く基板挿入孔３１ａの上記延伸域Ｂ側（図では右側）へのロボットによる挿入で相互間の位置ずれなく積み重ねられている。
【００６７】
そこで、該立設型基板保持体３を上記延伸域Ｂが上側になるように立てるとガラス板１′がその自重でずり落ちるが、平坦化された上記底面３１ｂと接して重力方向への滑りがよくなった上記マスク２２も該ガラス板１′と一緒にずり落ちることから、結果的に少なくとも該ガラス板１′とマスク２２とが共に基板挿入孔３１ａの下側壁面３１′と接した位置で止まり（ｂ）に示す状態となる。
【００６８】
そして一緒にずり落ちるこの場合の上記マスク２２とガラス板１′は、基板挿入孔３１ａへの上記ロボットによる挿入が例えば当該領域を抽出して拡大視した図（ｄ）に示す如く、両者が幅方向中央部のｐ1 ′に挿入されたときはそのまま一緒にずり落ちてｐ1 の正規位置で停止することから該マスク２２とガラス板１′とが基板挿入孔３１ａの上記角形開口窓２１ｂに対してずれることがない。
【００６９】
また、例えばｐ2 ′やｐ3 ′の如く幅方向片側に寄せて挿入された場合でも上記両者のずり落ちの途中でその方向が修正されて上記ｐ1 の正規位置で停止させることから該マスク２２とガラス板１′とが基板挿入孔３１ａの上記角形開口窓２１ｂに対してずれることがない。
【００７０】
従って、マスク２２とガラス板１′間の位置ずればかりでなく該マスクとガラス板それぞれの上記角形開口窓２１ｂに対する位置ずれも同時になくせることからＩＴＯ膜としての所望パターンが得られ、液晶カラーフィルタひいては液晶表示板としての生産性向上を実現することができる。
【００７１】
【発明の効果】
上述の如く本発明により、立設型基板保持体の構成部材であるマスクのガラス基板に対する位置ずれをなくして液晶カラーフィルタとしての生産性向上を図った立設型基板保持体とそれを用いた液晶カラーフィルタ基板の製造方法を提供することができる。
【００７２】
なお本発明の説明では、液晶表示板における液晶カラーフィルタのＩＴＯ膜製造工程に適用させる立設型基板保持体の場合を例としているが、立てた状態の基板表面に所要の処理を施す工程で使用される如何なる立設型基板保持体にも本願発明が適用できることは明らかである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明になる立設型基板保持体の全体構成を示す図。
【図２】  図１における基板ホルダを説明する図。
【図３】  図１におけるキャップを説明する図。
【図４】  ガラス板を含めた立設型基板保持体の組立方法を示す図。
【図５】  本発明の立設型基板保持体のＩＴＯ膜形成装置への装着時の作用と効果を説明する図。
【図６】  液晶カラーフィルタの製造工程を説明する概略図。
【図７】  ＩＴＯ膜形成手段を装置と共に説明する図。
【図８】  図７の立設型基板保持体をガラス板を含めた構成で説明する図。
【図９】  図８における基板ホルダを説明する図。
【図１０】  図８におけるマスクを説明する図。
【図１１】  図８におけるマスクホルダを説明する図。
【図１２】  図８におけるキャップを説明する図。
【図１３】  図８におけるフックを説明する図。
【図１４】  ガラス板を含めた立設型基板保持体の組立方法を示す図。
【図１５】  図１４の立設型基板保持体のＩＴＯ膜形成装置への装着時の状態を問題点を含めて説明する図。
【符号の説明】
１′    ガラス板
３      基板保持体
２１ｂ  角型開口窓
２１ｃ  溝
２１ｄ  鉤部
２２    マスク
２３    マスクホルダ
２４ｂ  丸穴
２４ｃ  溝
２４ｄ  鉤部
２５    コイルばね
２６    フック
２６ａ  先端域
３１    基板ホルダ
３１′  下側壁面
３１ａ  基板挿入孔
３１ｂ  底面
３１ｃ  逃げ
３１ｄ  突起
３１ｄ′緩斜面
３２    キャップ
３２ａ  凸の段差面
【図１】
0004374148.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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