(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の基板を所定間隔で収納する基板収納カセットの収納位置にそれぞれ対応する位置に配置された所定数の検出器と、前記検出器を、前記基板収納カセットに収納された基板を検出する前進位置と前記基板収納カセットに収納された基板を検出しない後退位置に前進および後退させる移動機構と、前記検出器の前記後退位置での存在を検知する検出物と、前記検出器が前記後退位置にあるときの前記検出器の出力に基づいて前記検出器の動作を確認する制御手段とを設けたことを特徴とする基板検出装置。
【請求項２】
前記検出器は反射型光学センサであり、前記検出物は前記反射型光学センサの投光する光を反射する擬似検出板であることを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板収納カセット内の基板検出を行うための基板検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば液晶用基板の製造工程に使用される液晶用基板にエッチングなどの処理を施す各種処理装置において、複数枚の液晶用基板を収納する基板収納カセットが用いられているが、そのような収納カセット内の基板検出を行うのに、基板が収納される各スロットごとに対応した位置に光学センサを設置した基板検出装置が用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような基板検出装置では、基板検出装置が前進して基板の検出を行うとき以外はセンサの動作状況の確認ができなかった。したがって、センサが故障などで動作できなくなった場合、処理されるべき基板があるにもかかわらずに基板を検出せず、未処理のまま基板が次工程に流れるという問題があった。
【０００４】
本発明は、このような問題を解決し、基板の検出を行わないときでもセンサの動作状況の確認をできるようにした基板検出装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明は、複数枚の基板を所定間隔で収納する基板収納カセットの収納位置にそれぞれ対応する位置に配置された所定数の検出器と、前記検出器を、前記基板収納カセットに収納された基板を検出する前進位置と前記基板収納カセットに収納された基板を検出しない後退位置に前進および後退させる移動機構と、前記検出器の前記後退位置での存在を検知する検出物と、前記検出器が前記後退位置にあるときの前記検出器の出力に基づいて前記検出器の動作を確認する制御手段とを設けたことを特徴とする。
【０００７】
また本発明は、前記検出器は光学センサであり、前記検出物は前記光学センサの投光する光を反射する擬似検出板であることを特徴とする。
【０００８】
このような構成により、基板検出装置が後退した位置に検出器が反応する検出物を設けたことにより、基板検出装置が後退した位置においても常にセンサの動作状況の確認ができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１０】
図１は本発明の実施形態の基板検出装置を示す説明図、図２は基板規正機構６ａの構成を示す斜視図、図３は基板規正機構６ａ，６ｂの配置を示す平面図、図４は基板規正機構６ｂの構成を示す斜視図であり、１は真空処理装置、２は大気ハンドラー、３は大気搬送用アーム、４は収納カセット、５ａ，５ｂは支持台、６ａ，６ｂは基板規正機構、７はカセット規正体、８は基板規正体、９は基板検出装置、１０は検出板取付台を示す。
【００１１】
真空処理装置１の前面には大気ハンドラー２が設置されており、その中央に大気搬送用アーム３が設置されている。また、大気ハンドラー２の両側には被処理体である液晶用基板を複数枚収納できる収納カセット４を支持する支持台５ａ，５ｂが設けられており、支持台５ａ，５ｂ上に基板規正機構６ａ，６ｂが収納カセット４を挟むように設けられている。
【００１２】
基板規正機構６ａ，６ｂには収納カセット４を規正するカセット規正体７と基板の位置を規正する基板規正体８が設けられており、この基板規正体８は基板規正機構６ａ，６ｂ本体に対して収納カセット４に向かって往復移動可能に設けられている。このように構成することにより、基板規正機構６ａ，６ｂ本体を収納カセット４に向かって移動させることによりカセット規正体７，７が収納カセット４の上部に挟むように当接することによって収納カセット４自体のゆがみが規正され、さらに、基板規正体８を収納カセット４に向かって移動させることによって基板の位置規正がより確実なものとなる。
【００１３】
さらに、図３に示すように、基板規正機構６ｂには、基板検出装置９が収納カセット４に向かって往復移動可能に設けられており、さらに検出板取付台１０が固定されている。また、図４に示すように、基板検出装置９はフレーム状に構成されており、この基板検出装置９には、収納カセット４内の基板を収納する各スロットごとに対応した位置に、光学的に基板の存在を検出する反射型センサ１１ａ，１１ｂ，１１ｃが設置されている。また、反射型センサ１１ａ，１１ｂ，１１ｃにそれぞれ対応した位置に前記反射型センサを常時検出状態にし得る新たな検出物として検出板取付台１０には擬似検出板１２ａ，１２ｂ，１２ｃが設けられている。
【００１４】
このように構成することにより、基板規正機構６ａ，６ｂが収納カセット４のゆがみ規正を行った後、基板規正体８が前進して基板の位置規正がなされるとともに、基板規正体８とともに基板検出装置９が収納カセット４に向かって前進して、図５のように収納カセット４内の各々対応するスロットに積載された基板の裏面によって反射型センサ１１ａ，１１ｂ，１１ｃの投光する検出光が反射され、反射型センサ１１ａ，１１ｂ，１１ｃの出力がオンになることによって基板を検知するようになる。なお、対応するスロットに基板がない場合には投光した検出光が返って来ないので、反射型センサ１１ａ，１１ｂ，１１ｃの出力がオフになる。
【００１５】
さらに、基板検出装置９が収納カセット４内の基板の検出を行わない後退した位置においても、基板検出装置９内に擬似検出板１２ａ，１２ｂ，１２ｃが入り込み、反射型センサ１１ａ，１１ｂ，１１ｃの投光する検出光を反射するため、反射型センサ１１ａ，１１ｂ，１１ｃの出力がオンになる。そして各反射型センサ１１ａ，１１ｂ，１１ｃの出力を図示しない制御手段が監視して、基板検出装置９が後退する際にセンサ反射型１１ａ，１１ｂ，１１ｃのいずれかもしくは全部がオンにならなかった場合、擬似検出板があるにもかかわらず検出できないので、センサの出力異常エラーとして出力する。その結果、後退した位置における各センサの動作状況を確認できるようになる。
【００１６】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、従来基板検出装置が前進して収納カセット内の基板を検出する時にのみ確認できた基板検出用センサの動作状況が、基板の位置検出を行わない後退した位置にある時でも確認が可能となる。したがって、センサが故障などで動作できなくなった場合、基板検出装置が前進して基板の検出を行う前に、基板検出装置が後退した位置に設けられた擬似検出板の検出ができなくなりエラーとして出力されるので、処理されるべき基板が未処理のまま次工程に流れるということがなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の基板検出装置を示す説明図
【図２】基板規正機構６ａの構成を示す斜視図
【図３】基板規正機構６ａ，６ｂの配置を示す平面図
【図４】基板規正機構６ｂの構成を示す斜視図
【図５】反射型センサの検出動作の概略を示す説明図
【符号の説明】
１  真空処理装置
２  大気ハンドラー
３  大気搬送用アーム
４  収納カセット
５ａ，５ｂ  支持台
６ａ，６ｂ  基板規正機構
７  カセット規正体
８  基板規正体
９  基板検出装置
１０  検出板取付台
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ  反射型センサ
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ  擬似検出板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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