(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一次側通路と二次側通路との境に設けられた弁座に当接又は離間する弁部と、弁部の周囲に一体に形成された膜部と、膜部の外周に一体に形成され、ボディに固定される肉厚な縁部とを有するダイアフラムにより、前記弁部を前記弁座に当接又は離間させることにより、前記一次側通路と前記二次側通路との間を閉鎖又は開放するようにしたダイアフラム弁構造において、
前記弁部が前記弁座に当接する閉鎖時に前記膜部を受け止めるための閉鎖時膜受を、前記ボディとは別体に設けたこと、
前記膜部が前記閉鎖時膜受の当接面の全域で受け止められる膜受を有すること、
を特徴とするダイアフラム弁構造。
【請求項２】
請求項１に記載のダイアフラム弁構造において、
前記弁部が前記弁座から離間する開放時に前記膜部を受け止めるための開放時膜受を、前記ボディとは別体に設けたことを特徴とするダイアフラム弁構造。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のダイアフラム弁構造において、
前記閉鎖時膜受及び前記開放時膜受の少なくとも一方の表面に潤滑性を有する処理を施したことを特徴とするダイアフラム弁構造。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の一つに記載のダイアフラム弁構造において、
前記弁座に対する前記弁部の偏心を規制するための偏心規制手段を設けたことを特徴とするダイアフラム弁構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、弁座に対して当接・離間されるダイアフラムを有するダイアフラム弁構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、この種のダイアフラム弁構造では、ダイアフラムが弁座から離間する開放時に、正の流体圧力を受けてダイアフラムが背室側へ脹らむことがある。或いは、ダイアフラムが弁座に当接する閉鎖時に、負の流体圧力を受けてダイアフラムが二次側通路へ引き込まれることがある。一般に、流体圧力が高くなるに連れてダイアフラムの変形が大きくなり、上記の脹らみや引き込まれが多くなることから、単にゴム製のダイアフラムでは、高圧流体の用途に不向きであった。
【０００３】
そこで、ゴム製のダイアフラムに基布を挟み入れてダイアフラムの歪な変形を少なくしたものが考え出された。しかしながら、この種の弁構造では、基布漏れや弁開閉の際にダイアフラムを移動させるのに大きな駆動力が必要となり、ダイアフラム自体も高価になる傾向があった。
【０００４】
これに対し、実開平８−８８４号公報の弁構造では、弁開放時に流体圧力により背室側へ脹らむダイアフラムを圧受皿で受け止めるようにしている。即ち、図１１に例示するように、ダイアフラム３１の歪な変形を抑えるために、その膜部３１ｂの背室側に圧受皿３２を設ける。そして、ダイアフラム３１の開放時には、図１２に示すように、正の流体圧力により背室側へ脹らもうとするダイアフラム３１の膜部３１ｂを圧受皿３２で受け止めるようにしている。この弁構造によれば、開放時の正圧に対して大きな効果が得られる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、前記従来公報のダイアフラム弁構造では、閉鎖時に一次側通路３３と二次側通路３４との間の流体の流れをダイアフラム３１の弁部３１ａで遮断すると、ウォータハンマが生じ、閉鎖時直後には一次側通路３３の圧力が上昇し、二次側通路３４の圧力が降下する。この圧力降下が急激になると、流体に液柱分離が起こる程度の負圧となり、各通路３３，３４を含む配管を破損させる原因にもなる。液柱分離は、二次側通路３４内の流体の慣性力により生じるが、配管の先端が開放され、配管が長いほど生じ易くなるものである。
【０００６】
ダイアフラム３１がゴム製の場合には、二次側通路３４の圧力降下に基づいて発生する負圧により、図１３に示すように、ダイアフラム３１の膜部３１ｂの一部が二次側通路３４に引き込まれて歪に変形することがある。図１４に弁座３５に内包される一次側通路３３の開口と、弁座３５の外周に位置する二次側通路３４の円弧形状をなす開口３４ａを示す。ダイアフラム３１の膜部３１ｂは、この円弧形状をなす開口３４ａに引き込まれ、それに伴ってダイアフラム３１の弁部３１ａが弁座５に対して偏心した状態で歪に変形することになる。
【０００７】
この負圧による歪な変形は、特に、弁座３５に対するダイアフラム３１の偏心が構造的に許容される場合に起こり易いものである。図１１〜１３においては、ダイアフラム３１の弁部３１ａと、圧受皿３２との間の隙間Ｇａにより、ダイアフラム３１の偏心が許容されている。このため、ダイアフラム３１の変形が大きくなり、更に動作上の変形が繰り返されることにより、ダイアフラム３１に応力集中に基づく破損が生じるおそれがあった。又、ダイアフラム３１の動作過程において、圧受皿３２との接触によりダイアフラム３１の膜部３１ｂが磨耗することがあり、その磨耗がダイアフラム３１の応力集中を促すこともあった。
【０００８】
この発明は上記の事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、弁座にダイアフラムが当接する閉鎖時に、二次側通路の圧力降下に基づいて発生する負圧によりダイアフラムが歪に変形することを防ぎ、応力集中によるダイアフラムの破損を抑えることを可能にしたダイアフラム弁構造を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、一次側通路と二次側通路との境に設けられた弁座に当接又は離間する弁部と、弁部の周囲に一体に形成された膜部と、膜部の外周に一体に形成され、ボディに固定される肉厚な縁部とを有するダイアフラムにより、前記弁部を前記弁座に当接又は離間させることにより、前記一次側通路と前記二次側通路との間を閉鎖又は開放するようにしたダイアフラム弁構造において、前記弁部が前記弁座に当接する閉鎖時に前記膜部を受け止めるための閉鎖時膜受を、前記ボディとは別体に設けたことを趣旨としている。
【００１０】
上記の構成によれば、ダイアフラムが弁座に当接する閉鎖時にダイアフラムの膜部が閉鎖時膜受に受け止められることから、二次側通路に圧力降下が起こってもダイアフラムの膜部が二次側通路に引き込まれることがない。
【００１１】
上記の目的を達成するために、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のダイアフラム弁構造において、前記弁部が前記弁座から離間する開放時に前記膜部を受け止めるための開放時膜受を、前記ボディとは別体に設けたことを趣旨としている。
【００１２】
上記の構成によれば、請求項１の発明の作用に加え、ダイアフラムが弁座から離間する開放時にダイアフラムの膜部が開放時膜受に受け止められることから、開放時に正の流体圧力がダイアフラムに加わっても、その膜部が背室側へ脹らむことがない。
【００１３】
上記の目的を達成するために、請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２の発明の構成において、閉鎖時膜受及び開放時膜受の少なくとも一方の表面に潤滑性を有する処理を施したことを趣旨としている。
【００１４】
上記の構成によれば、請求項１又は請求項２の発明の作用に加え、閉鎖時膜受及び開放時膜受の少なくとも一方の表面に潤滑性を有する処理が施されているので、ダイアフラムの膜部が閉鎖時膜受又は開放時膜受に受け止められたときの膜部の磨耗が抑えられる。
【００１５】
上記の目的を達成するために、請求項１乃至請求項３の一つに記載のダイアフラム弁構造において、前記弁座に対する前記弁部の偏心を規制するための偏心規制手段を設けたことを趣旨としている。
【００１６】
上記の構成によれば、請求項１乃至請求項３の一つの発明の作用に加え、弁座に対するダイアフラムの偏心が偏心規制手段により規制されることから、ダイアフラムの膜部が閉鎖時膜受に受け止められる際に、膜部全域が閉鎖時膜受に対して均一に接触することになる。
【００１８】
上記の構成によれば、弁座に対するダイアフラムの偏心が偏心規制手段により規制されることから、二次側通路に圧力降下が起きても、ダイアフラムの偏心方向の変形が抑えられ、その膜部が二次側通路に引き込まれることが最小限に抑えられる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
［第１の実施の形態］
以下、本発明のダイアフラム弁構造を具体化した第１の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００２０】
図１，２に本実施の形態のダイアフラム弁構造の主要部を示す。このダイアフラム弁は、ボディ１及びダイアフラム２を備える。ボディ１は耐薬品性を有する材質（例えば、プラスチック）により形成される。このボディ１に形成された一次側通路３と二次側通路４との境には、弁座５が設けられる。図３には、弁座５に内包される一次側通路３及びその開口３ａと、弁座５の外周に位置する二次側通路４及びその開口４ａを平面的に示す。弁座５の周囲には周溝６が形成されており、二次側通路４の開口４ａはこの周溝６の中に位置して円弧状をなす。そして、弁座５に対してダイアフラム２を当接又は離間させることにより、一次側通路３と二次側通路４との間が閉鎖又は開放されるようになっている。
【００２１】
ゴム製のダイアフラム２は、弁座５に当接可能な弁部２ａと、その弁部２ａの周囲に一体に形成された膜部２ｂと、その膜部２ｂの外周に一体に形成された肉厚な縁部２ｃとを有する。縁部２ｃはボディ１に対して固定される。弁部２ａには上方へ延びる弁棒７が固定される。この弁棒７は、別途の駆動手段（図示しない）により上下動されるものである。この弁棒７が上下動されることにより、ダイアフラム２の弁部２ａが上下動され、弁座５に対して離間又は当接される。
【００２２】
ダイアフラム２の上方には、ダイアフラム２の弁部２ａが弁座５から離間する開放時にダイアフラム２の膜部２ｂを受け止めるための環状をなす開放時膜受８が設けられる。ダイアフラム２の下方には、ダイアフラム２の弁部２ａが弁座５に当接する閉鎖時にダイアフラム２の膜部２ｂを受け止めるための環状をなす閉鎖時膜受９が設けられる。図１，２に示すように、閉鎖時膜受９、ダイアフラム２及び開放時膜受８は、互いに上下に重ねられて押さえ板１０で押さえられることにより、ボディ１に組み付けられる。
図４に拡大して示すように、開放時膜受８は、膜部２ｂとの当接面８ａが湾曲して凹んでおり、閉鎖時膜受９は、膜部２ｂとの当接面９ａが湾曲して膨らんでいる。これら膜受８，９は、ダイアフラム２の磨耗を抑えるための表面の自己潤滑性と、ボディ１と同様の耐薬品性とを有する材質（例えば、プラスチック）により形成される。
【００２３】
上記のように構成した本実施の形態のダイアフラム弁構造によれば、図１に示すように、ダイアフラム２の弁部２ａが弁座５に当接する閉鎖時に、その膜部２ｂが閉鎖時膜受９の当接面９ａの全域で受け止め止められることになる。従って、閉鎖時に、二次側通路４に圧力降下に基づいて負圧が発生しても、膜部２ｂが二次側通路４に引き込まれることがない。このため、引き込まれによりダイアフラム２が歪に変形することを抑えることができる。そして、歪な変形がないことから、ダイアフラム２における応力集中の発生を抑えることができ、応力集中によるダイアフラム２の破損を抑えることができるようになる。この意味で、ダイアフラム弁としての寿命を長くすることができる。
しかも、上記のようにダイアフラム２が、二次側通路４における圧力変動の影響を受け難いことから、二次側通路４及びそれに繋がる配管、接続機器等の制約を少なくすることができるようになる。
【００２４】
一方、この実施の形態のダイアフラム弁構造によれば、図２に示すように、ダイアフラム２が弁座５から離間する開放時に、ダイアフラム２の膜部２ｂが開放時膜受８の当接面８ａの全域で受け止められる。従って、開放時に正の流体圧力がダイアフラム２に加わっても、その膜部２ｂが背室側へ大きく脹らむことがない。このため、流体圧力の作用によりダイアフラム２が異常に脹らむことを抑えることができる。そして、異常な脹らみが起きないことから、ダイアフラム２における応力集中の発生を抑えることができ、応力集中によるダイアフラム２の破損を抑えることができる。この意味でも、ダイアフラム弁としての寿命を長くすることができる。
【００２５】
この実施の形態のダイアフラム弁構造によれば、各膜受８，９の表面に自己潤滑性が付与されていることから、ダイアフラム２の膜部２ｂが各膜受８，９に受け止められたときの膜部２ｂの磨耗が抑えられる。この意味で、応力集中を更に軽減することができ、ダイアフラム２の破損を抑えることができるようになる。
【００２６】
この実施の形態のダイアフラム弁構造によれば、ダイアフラム２の膜部２ｂが各膜受８，９で受け止められることから、ダイアフラム２に加わる流体圧力を各膜受８，９で分担させることができる。このため、各膜受８，９を持たない弁構造に比べ、ダイアフラム弁における使用圧力範囲を拡大することができるようになる。
【００２７】
［第２の実施の形態］
次に、本発明のダイアフラム弁構造を具体化した第２の実施の形態を図面に従って説明する。尚、本実施の形態を含む以下の各実施の形態において、前記第１の実施の形態と同一の構成要素については同一の符号を付して説明を省略し、以下には異なった点を中心に説明する。
【００２８】
この実施の形態では、閉鎖時膜受１１の点で前記第１の実施の形態と構成が異なる。図５に図１に準ずる断面図を、図６に図３に準ずる平面図をそれぞれ示す。図５，６に示すように、この実施の形態のダイアフラム弁構造では、前述した周溝６が弁座５の外周から削除され、その代わりに、周溝６に対応する位置、即ち、弁座５の外周に対して閉鎖時膜受１１がボディ１と一体的に形成される。又、前述した円弧状の開口４ａに対応する位置には、その開口４ａの代わりに小円形状をなす複数の開口４ｂが形成される。
【００２９】
従って、この実施の形態のダイアフラム弁構造によっても、前記第１の実施の形態のそれと同様の作用及び効果を得ることができる。特に、この実施の形態では、閉鎖時膜受１１をボディ１と一体に形成していることから、閉鎖時膜受９を別部材とした第１の実施の形態と比べ、弁構造を構成する部品点数を少なくすることができる。
【００３０】
この実施の形態では、閉鎖時膜受１１上に形成された複数の開口４ｂを通じてダイアフラム２の膜部２ｂに分散的に負圧が若干作用するだけなので、図１３，１４に示す従来のダイアフラム弁構造における円弧状の開口３４に比べ、膜部２ｂに作用する負圧の影響を最小限に抑えることができる。その意味で、膜部２ｂにおける応力集中の発生を抑えることができる。
【００３１】
［第３の実施の形態］
次に、本発明のダイアフラム弁構造を具体化した第３の実施の形態を図面に従って説明する。
【００３２】
この実施の形態では、閉鎖時膜受１２の点で前記各実施の形態と構成が異なる。図７に図１，５に準ずる断面図を、図８に図３，６に準ずる平面図をそれぞれ示す。図７，８に示すように、この実施の形態のダイアフラム弁構造では、前述した閉鎖時膜受９に代わって、環状をなす別の閉鎖時膜受１２が周溝６の全周に対応して設けられる。この膜受１２は、その全周に等間隔をもって配置された複数の小孔１２ａを有する。
【００３３】
従って、この実施の形態のダイアフラム弁構造によっても、前記各実施の形態のそれと同様の作用及び効果を得ることができる。特に、この実施の形態では、第１の実施の形態と同様に弁座５の周囲に周溝６を設けていることから、第２の実施の形態の場合に比べて多い流体流量を確保することができる。又、弁座５の外周全域に各小孔１２ａが配置されることから、第２の実施の形態の複数の開口４ｂに比べ、小孔１２ａの数を増やすことができ、その意味でも相対的に多い流体流量を確保することができる。
【００３４】
この実施の形態では、閉鎖時膜受１２に形成された複数の小孔１２ａを通じてダイアフラム２の膜部２ｂに負圧が分散的に若干作用するだけである。しかも、弁座５の外周全域に対応して各小孔１２ａが分散配置されていることから、膜部２ｂに作用する負圧の影響を膜部２ｂの全体に分散させることができ、その意味で、膜部２ｂにおける応力集中の発生を、前記第２の実施の形態の場合に比べて更に抑えることができる。
【００３５】
［第４の実施の形態］
次に、本発明のダイアフラム弁構造を具体化した第４の実施の形態を図面に従って説明する。
【００３６】
この実施の形態では、図９に示すように、第２の実施の形態と同じ弁構造において、ダイアフラム２の弁部２ａの外周であって、開放時膜受８との間に軸受１３を設けた点で他の実施の形態と異なる。この軸受１３は、弁座５に対するダイアフラム２の偏心を規制するためのものであり、本発明の偏心規制手段に相当するものである。
【００３７】
従って、この実施の形態のダイアフラム弁構造では、開放時膜受８及び閉鎖時膜受９については、前記第２の実施の形態のそれと同様の作用及び効果を得ることができる。
更に、弁座５に対するダイアフラム２の偏心が軸受１３により規制されることから、ダイアフラム２の軸心と弁座５の軸心とが常に一致するようになる。従って、閉鎖時にダイアフラム２の膜部２ｂが閉鎖時膜受９に受け止められる際に、その膜部２ｂの全域が閉鎖時膜受９に対して均一に接触することになる。つまり、膜部２ｂと閉鎖時膜受９との間の磨耗が膜部２ｂの全域で均一化し、かつ軽減されることになる。加えて、各開口４ｂを通じて膜部２ｂに負圧が若干作用したとしても、ダイアフラム２の偏心が規制される分だけ、負圧の作用による膜部２ｂの変形が起こり難くなる。この意味で、二次側通路４で発生する負圧によりダイアフラム２が歪に変形することを抑えることができ、応力集中によるダイアフラム２の破損を抑えることができるようになる。
【００３８】
［第５の実施の形態］
次に、本発明のダイアフラム弁構造を具体化した第５の実施の形態を図面に従って説明する。
【００３９】
この実施の形態では、図１０に示すように、第２の実施の形態とほぼ同じ弁構造において、弁部２ａから一次側通路３へ延びるプッシュロッド１４を設け、そのロッド１４の外周に外方へ突出する複数の突起１４ａを設けた点で他の実施の形態と異なる。この突起１４ａ付きのプッシュロッド１４は、弁座５に対するダイアフラム２の偏心を規制するためのものであり、本発明の偏心規制手段に相当するものである。
【００４０】
従って、この実施の形態のダイアフラム弁構造では、開放時膜受８及び閉鎖時膜受９については、前記第２の実施の形態のそれと同様の作用及び効果を得ることができる。
更に、弁座５に対するダイアフラム２の偏心が突起１４ａ付きのプッシュロッド１４により規制されることから、ダイアフラム２の軸心と弁座５の軸心とが常に一致するようになる。従って、閉鎖時にダイアフラム２の膜部２ｂが閉鎖時膜受９に受け止められる際に、膜部２ｂの全域が閉鎖時膜受９に対して均一に接触することになる。つまり、膜部２ｂと閉鎖時膜受９との間の磨耗を膜部２ｂの全域に均一化させ、かつ軽減することができる。加えて、各開口４ｂを通じて膜部２ｂに負圧が若干作用したとしても、ダイアフラム２の偏心が規制される分だけ、負圧の作用による膜部２ｂの変形が起こり難くなる。この意味で、二次側通路４で発生する負圧によりダイアフラム２が歪に変形することを抑えることができ、応力集中によるダイアフラム２の破損を抑えることができるようになる。
【００４１】
尚、この発明は前記各実施の形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で以下のように実施することもできる。
【００４２】
（１）前記各実施の形態では、開放時膜受８及び閉鎖時膜受９をプラスチックで形成することにより、それらの表面に自己潤滑性を有する処理を施したが、各膜受の表面に自己潤滑性を有する表面処理、例えば、テフロンコーティング等を施してもよい。或いは、表面処理をダイアフラム側に施しても効果がある。又、表面処理として、潤滑剤（グリス等）の塗布、潤滑材（テフロンシート等）の挟入れを行ってもよい。
【００４３】
（２）前記各実施の形態では、開放時膜受８及び閉鎖時膜受９の両方の表面に自己潤滑性を有する処理を施したが、開放時膜受８又は閉鎖時膜受９の一方の表面に上記表面処理を施してもよい。或いは、これらの表面処理を省略してもよい。
【００４４】
（３）前記各実施の形態では、開放時膜受８及び閉鎖時膜受９の両方を設けたが、開放時膜受８を省略して閉鎖時膜受９のみを設けるようにしてもよい。
【００４５】
（４）前記第４又は第５の実施の形態では、前記第２の実施の形態の弁構造、即ち、開放時膜受８及び閉鎖時膜受９を持った弁構造において、軸受１３を設けたり、プッシュロッド１４を設けたりした。
これに対し、開放時膜受及び閉鎖時膜受を持たないダイアフラム弁構造において、軸受又はプッシュロッド等の偏心規制手段を設けるようにしてもよい。この場合には、弁座に対するダイアフラムの偏心が偏心規制手段により規制されることから、二次側通路に圧力降下が起きても、ダイアフラムの偏心方向の変形が抑えられ、その膜部が二次側通路に引き込まれることが最小限に抑えられる。この意味で、弁座にダイアフラムが当接する閉鎖時に、二次側通路の圧力降下に基づいて発生する負圧によりダイアフラムが歪に変形することを抑えることができ、応力集中によるダイアフラムの破損を抑えることができるようになる。
【００４６】
（５）前記第５の実施の形態では、外周に複数の突起１４ａを有するプッシュロッド１４を偏心規制手段として一次側通路３に配置したが、一次側通路に設けられるプッシュロッドの外周に円形の鍔を設け、その鍔に流体の通過を許容する貫通孔を形成するようにしてもよい。
【００４７】
【発明の効果】
請求項１の発明の構成によれば、ダイアフラム弁構造においてダイアフラムが弁座に当接する閉鎖時にダイアフラムの膜部を受け止めるための閉鎖時膜受を設けている。従って、閉鎖時に、二次側通路に圧力降下が起きても、ダイアフラムの膜部が閉鎖時膜受に受け止められ、二次側通路に引き込まれることがない。このため、閉鎖時に二次側通路で発生する負圧によりダイアフラムが歪に変形することを抑えることができ、応力集中によるダイアフラムの破損を抑えることができるという効果を発揮する。
【００４８】
請求項２の発明の構成によれば、請求項１の発明の構成において、ダイアフラムが弁座から離間する開放時にダイアフラムの膜部を受け止めるための開放時膜受を設けている。従って、請求項１の発明の作用及び効果に加え、開放時に、正の流体圧力がダイアフラムに加わっても、その膜部が開放時膜受に受け止められ、背室側へ脹らむことがない。このため、開放時にダイアフラムが歪に変形することを抑えることができ、応力集中によるダイアフラムの破損を抑えることができるという効果を発揮する。
【００４９】
請求項３の発明の構成によれば、請求項１又は請求項２の発明の構成において、閉鎖時膜受及び開放時膜受の少なくとも一方の表面に潤滑性を有する処理を施している。従って、請求項１又は請求項２の発明の作用及び効果に加え、膜部が閉鎖時膜受又は開放時膜受に受け止められたときの膜部の磨耗が潤滑性を有する表面処理によって抑えられる。この意味で、応力集中を更に軽減することができ、ダイアフラム２の破損を抑えることができるという効果を発揮する。
【００５０】
請求項４の発明の構成によれば、請求項１乃至請求項３の一つの発明の構成において、弁座に対するダイアフラムの偏心を規制するための偏心規制手段を設けている。従って、請求項１乃至請求項３の一つの発明の作用及び効果に加え、膜部が閉鎖時膜受に受け止められるときに膜部全域が閉鎖時膜受に対して均一に接触することになる。この意味でも、ダイアフラムの歪な変形をより確実に抑えることができ、応力集中によるダイアフラムの破損をより確実に抑えることができるという効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係り、ダイアフラム弁構造を示す断面図である。
【図２】同じく、ダイアフラム弁構造を示す断面図である。
【図３】同じく、弁座、一次側通路及び二次側通路の開口等を示す平面図である。
【図４】同じく、ダイアフラム弁構造の主要部の一部を拡大して示す断面図である。
【図５】第２の実施の形態に係り、ダイアフラム弁構造を示す断面図である。
【図６】同じく、弁座、一次側通路及び二次側通路の開口等を示す平面図である。
【図７】第３の実施の形態に係り、ダイアフラム弁構造を示す断面図である。
【図８】同じく、弁座、一次側通路及び二次側通路の開口等を示す平面図である。
【図９】第４の実施の形態に係り、ダイアフラム弁構造を示す断面図である。
【図１０】第５の実施の形態に係り、ダイアフラム弁構造を示す断面図である。
【図１１】従来のダイアフラム弁構造を示す断面図である。
【図１２】従来のダイアフラム弁構造を示す断面図である。
【図１３】従来のダイアフラム弁構造を示す断面図である。
【図１４】従来のダイアフラム弁構造を示す平面図である。
【符号の説明】
２    ダイアフラム
２ｂ  膜部
３    一次側通路
４    二次側通路
５    弁座
８    開放時膜受
９    閉鎖時膜受
１１  閉鎖時膜受
１２  閉鎖時膜受
１３  軸受（偏心規制手段）
１４  プッシュロッド（偏心規制手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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