(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に溝を設けるとともに、いずれか一方あるいは両方を対向方向に可動自在とした一対の塗布ローラー間に、基板を挿入し、前記一対の塗布ローラーに供給される塗料を、前記一対の塗布ローラーを介して、前記基板の表面に塗布しつつ塗膜を形成する塗膜形成方法において、
前記塗布ローラーの背面側にドクターバーを、左右両側面にスキージーバーを設けて、前記塗布ローラーの背面部に塗料供給部を形成して塗料を送給し、液面測定手段により塗料供給部内の塗料の液面あるいは液面の上限および下限を測定して塗料の供給量を調整し、
旋回可能な搬入用ロボットハンドにより前記一対の塗布ローラーの上方に基板を垂直配置に搬入し、
一対の塗布ローラー間に配置する上下動可能な受け渡し用ロボットハンドにより、垂直に搬入された基板の両側を前記一対の塗布ローラー間で把持し、
前記一対の塗布ローラーの上方に上下動及び旋回可能に架設した搬出用ロボットハンドにより、前記受け渡し用ロボットハンドにより把持される基板を、該受け渡し用ロボットハンドの上昇動作に連動して受け取り、一対の塗布ローラーの塗料塗布動作に連動して上昇した後、旋回して受け取った基板を搬出することを特徴とする基板の塗膜形成方法。
【請求項２】
表面に溝を設けた一対の塗布ローラー間に基板を挿入すると共に前記塗布ローラーに供給される塗料を、前記塗布ローラーを介して、前記基板の表面に塗布する基板の塗膜形成装置において、
前記一対の塗布ローラーの塗料の供給は、前記塗布ローラーの背面側にドクターバーを、左右両側面にスキージーバーを設けて、前記塗布ローラーの背面部に塗料供給部を形成するとともに、該塗料供給部に塗料を送給し得るように構成し、かつ当該塗料供給部内の塗料の液面あるいは液面の上限および下限を測定する液面測定手段を備え、
前記一対の塗布ローラーのうちのいずれか一方の塗布ローラーあるいは両方の塗布ローラーを対向方向に可動自在に構成するとともに、
前記一対の塗布ローラーの上方に基板を垂直配置に搬入する旋回可能な搬入用ロボットハンドと、
垂直に搬入された基板の両側を前記一対の塗布ローラー間で把持し一対の塗布ローラー間に配置する上下動可能な受け渡し用ロボットハンドと、
前記一対の塗布ローラーの上方に上下動及び旋回可能に架設され、前記受け渡し用ロボットハンドにより把持される基板を、該受け渡し用ロボットハンドの上昇動作に連動して受け取り一対の塗布ローラーの塗料塗布動作に連動して上昇した後、旋回して受け取った基板を搬出する搬出用ロボットハンドと、
を有することを特徴とする基板の塗膜形成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はプリント配線基板等の基板に塗膜を形成する塗膜形成方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のプリント配線板の製造工程に要求されるフォトレジスト等の薄膜層の形成に当たっては、特公平５−４４３４１号公報記載の基板にラミネートフィルムを熱圧着する薄膜張付装置による方法あるいはこれに換えてシルク印刷版を用いて、塗料をシルク印刷する塗膜形成方法が知られている。
【０００３】
しかるに、前記の方法による基板の薄膜形成に当たっては、以下のような欠点を有するものである。
【０００４】
第１に、基板の片面または両面に形成しようとする薄膜層について、予めラミネートフィルムを用意しなければならず、逆に、予め用意されたラミネートフィルムによって、形成せんとする薄膜層に制約を受ける（限定を受ける）欠点を有するものである。
【０００５】
第２に、前記の必要性と制約により、形成しようとする薄膜層の種類（例えば、フォトレジスト、その他のレジスト、あるいはレジスト以外の薄膜層など）並びに要求される膜厚の種類、幅員の種類等に対応毎のラミネートフィルムが要求され、ラミネートフィルムの製造費が嵩み、コスト高となる欠点を有する。
【０００６】
第３に、前記ラミネートフィルム自体のコスト高に加えて、前記した構成から成る薄膜張付装置が要求され、同装置が構成上複雑で、高価（例えば、シルク印刷による塗膜形成装置に比較して高価）で、作業も煩雑となり、作業性に乏しいなどの欠点を有する。
【０００７】
第４に、前記薄膜張付装置による薄膜層の形成にあっては、基板自体が薄い、フレキシブル基板の場合には、シワが発生したり、する欠点を有し、不向きである。
【０００８】
第５に、前記薄膜張付装置による薄膜層以外の形成方法となるシルク印刷による形成方法にあっては、ラミネートフィルムが不要となる利点に換わって、シルク印刷版の作成が要求されると共に塗膜の厚みのコントロールが困難であり、しかも、両面に対する形成ができず、作業性の低下につながる等の欠点を有するものである。
【０００９】
そこで、出願人は、これら従来の欠点を解決する基板の塗膜形成方法及び装置を特願平８−１０８１５２号（特開平９−２９０１９１号公報）にて出願したところである。
【００１０】
即ち、前記特開平９−２９０１９１号公報に記載される基板の塗膜形成方法は、図９に示される如く、基板１を搬送コンベヤー２と補助コンベヤー６を介して垂直状態に保持した後、一対の塗布ロール、Ａ，Ｂ間に挿入するとともに塗布ロールＡ，Ｂにドクターバー５３ａ，５３ｂを介して供給される塗料５２を、前記基板１の両面に塗布することにより、基板１の両面に塗膜を形成するものである。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかるに、前記特開平９−２９０１９１号公報記載の装置による場合には、一対の塗布ロールＡ，Ｂにドクターバー５３ａ，５３ｂを介して、塗料５２を供給しつつ、基板１の両面に塗料５２を塗布するものであり、基板１に塗布する塗膜厚は、塗布ロールＡ，Ｂの表面に対するドクターバー５３ａ，５３ｂの当接間隔の調整により遂行するものである。
【００１２】
即ち、塗布ロールＡ，Ｂの表面に対する塗料５２の供給量を多くして、塗膜厚を厚くする場合には、ドクターバー５３ａ，５３ｂと塗布ロールＡ，Ｂ間の当接間隔を広くし、逆に塗膜厚を薄くする場合には、ドクターバー５３ａ，５３ｂと塗布ロールＡ，Ｂ間の間隔を狭くすることにより遂行する。
【００１３】
しかるに、塗料５２の粘度により、ドクターバー５３ａ，５３ｂと塗布ロールＡ，Ｂ間の間隔によっては、必要な塗膜厚を得るに必要量の塗料５２を塗布ロールＡ，Ｂの表面に適確に供給するのが困難である。
【００１４】
また、塗料５２の粘度に加えて、塗布ロールＡ，Ｂの表面における塗料５２の保持力に限度が存在し、特に、塗布ロールＡ，Ｂの表面の面粗度により、大きく左右されることが判明した。
【００１５】
さらに、塗布ロールＡ，Ｂの長さ方向間における塗料５２の供給量（塗布ロールＡ，Ｂの長さ方向間における塗料５２の保持力）のバラツキにより、基板１の長さ方向あるいは幅方向の塗膜厚にバラツキを生ずることも判明した。
【００１６】
因って、本発明は、特開平９−２９０１９１号公報記載の基板の塗膜形成方法及び装置における簡易かつ安価な基板の塗膜形成方法及び装置の利点を有効に利用し得ると共に同方法及び装置における前記欠点を解消し、基板に対する塗膜厚を的確に調整し得ると共に基板の長さ方向及び幅方向における塗膜厚のバラツキがなく、さらには、基板の搬入、搬出も自動化できる基板の塗膜形成方法及び装置の提供を目的とするものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明の請求項１発明の方法は、表面に溝を設けるとともに、いずれか一方あるいは両方を対向方向に可動自在とした一対の塗布ローラー間に、基板を挿入し、前記一対の塗布ローラーに供給される塗料を、前記一対の塗布ローラーを介して、前記基板の表面に塗布しつつ塗膜を形成する塗膜形成方法において、前記塗布ローラーの背面側にドクターバーを、左右両側面にスキージーバーを設けて、前記塗布ローラーの背面部に塗料供給部を形成して塗料を送給し、液面測定手段により塗料供給部内の塗料の液面あるいは液面の上限および下限を測定して塗料の供給量を調整し、旋回可能な搬入用ロボットハンドにより前記一対の塗布ローラーの上方に基板を垂直配置に搬入し、一対の塗布ローラー間に配置する上下動可能な受け渡し用ロボットハンドにより、垂直に搬入された基板の両側を前記一対の塗布ローラー間で把持し、前記一対の塗布ローラーの上方に上下動及び旋回可能に架設した搬出用ロボットハンドにより、前記受け渡し用ロボットハンドにより把持される基板を、該受け渡し用ロボットハンドの上昇動作に連動して受け取り、一対の塗布ローラーの塗料塗布動作に連動して上昇した後、旋回して受け取った基板を搬出することを特徴とする。
【００１８】
又、本発明の請求項２の発明は、表面に溝を設けた一対の塗布ローラー間に基板を挿入すると共に前記塗布ローラーに供給される塗料を、前記塗布ローラーを介して、前記基板の表面に塗布する基板の塗膜形成装置において、前記一対の塗布ローラーの塗料の供給は、前記塗布ローラーの背面側にドクターバーを、左右両側面にスキージーバーを設けて、前記塗布ローラーの背面部に塗料供給部を形成するとともに、該塗料供給部に塗料を送給し得るように構成し、かつ当該塗料供給部内の塗料の液面あるいは液面の上限および下限を測定する液面測定手段を備え、前記一対の塗布ローラーのうちのいずれか一方の塗布ローラーあるいは両方の塗布ローラーを対向方向に可動自在に構成するとともに、前記一対の塗布ローラーの上方に基板を垂直配置に搬入する旋回可能な搬入用ロボットハンドと、垂直に搬入された基板の両側を前記一対の塗布ローラー間で把持し一対の塗布ローラー間に配置する上下動可能な受け渡し用ロボットハンドと、前記一対の塗布ローラーの上方に上下動及び旋回可能に架設され、前記受け渡し用ロボットハンドにより把持される基板を、該受け渡し用ロボットハンドの上昇動作に連動して受け取り一対の塗布ローラーの塗料塗布動作に連動して上昇した後、旋回して受け取った基板を搬出する搬出用ロボットハンドと、を有することを特徴とする。
【００１９】
【作用】
本発明の請求項１発明の方法によれば、塗布ローラーの溝内に塗料を供給しつつ基板の表面に塗料を塗布するものであるから、塗布ローラーの溝により、基板に対する塗膜厚の調整を、塗料の粘度に左右されることなく適確に調整できると共に基板の長さ方向及び幅方向における塗膜厚のバラツキを防止しつつ塗膜を形成することができる。
【００２０】
本発明の請求項２の発明によれば、請求項１発明と同様、塗布ローラーの溝内に塗料を供給しつつ基板の表面に塗料を塗布するものであるから、塗布ローラーの溝により、基板に対する塗膜厚の調整を、塗料の粘度に左右されることなく適確に調整できると共に基板の長さ方向及び幅方向における塗膜厚のバラツキを防止しつつ塗膜を形成することができ、さらには、搬入用ロボットハンド、受け渡し用ロボットハンド及び搬出用ロボットハンドの動作で、基板の搬入、搬出も自動化できる基板の塗膜形成装置を提供できる。
【００２１】
（実施の形態）
以下本発明の実施の形態を図面とともに説明する。
【００２２】
（実施の形態１）
図１〜図５は本発明の実施の形態１を示す基板の塗膜形成装置の構成図である。そして、図１は基板の塗膜形成装置の一対の塗布ローラーの構成図（図２の移動装置を省略して示すものである）、図２は、図１の塗布ローラーの移動装置の構成図（図１の塗布ローラーを省略して示してある）、図３は、塗布ローラーの溝の拡大断面図、図４は、基板の塗料の塗布行程を示す説明図、図５は、塗料塗布後の基板の部分拡大断面図である。
【００２３】
本発明の実施の形態１における基板の塗膜形成装置の基本的な構成は、前述した特開平９−２９０１９１号と同一である。
【００２４】
すなわち、一対の塗布ローラーＡ，Ｂは、塗布ローラーＢに対して、塗布ローラーＡを対向方向に進退動自在（開閉自在）に架設するとともに一対の塗布ローラーＡ，Ｂにはその表面にドクターバー５３ａ，５３ｂを介して塗料５２を供給し得るように構成し、かつ一対の塗布ローラーＡ，Ｂ間に基板１を挿入しつつ基板１の表面に塗料５２を塗布するとともにこれを搬出する基板１の挿入手段を備えるものである。
【００２５】
よって、係る基本的な構成の具体的な実施の形態を以下に説明する。一対の塗布ローラーＡ，Ｂは、図１に示すとおり、回転軸１０，１１により回転自在に軸支されるとともに回転軸１０，１１はそれぞれの連結ギア１０ａ，１１ａと駆動モーター１２の駆動軸１２ａにベルト１４を介して連結される連結軸１３のウォームギヤ１３ａ，１３ｂとにより、駆動モーター１２に連結されている。
【００２６】
因って、駆動モーター１２を駆動することにより塗布ローラーＡ，Ｂを、相互の従動方向に回転し、挿入される基板１を巻き込みつつ回転し得るように構成されている。
【００２７】
又、前記一対の塗布ローラーＡ，Ｂの背面部には、塗料５２の供給部５０ａ，５０ｂが装備されている。
【００２８】
塗料供給部５０ａ，５０ｂは、塗布ローラーＡ，Ｂの背面にドクターバー５３ａ，５３ｂを、その先端部を当接して設けるとともに塗布ローラーＡ，Ｂの左右両側にはスキージーバー５４ａ，５４ｂ（図１中には図示しない）をその側縁を当接して設けることにより、両塗布ローラーＡ，Ｂの背部に塗料５２の供給槽５５ａ，５５ｂを形成する。尚、ドクターバー５３ａ，５３ｂとスキジーバー５４ａ、５４ｂは共に塗布ローラーＡ、Ｂの回転を阻止しない圧接力により当接する。
【００２９】
そして、前記供給槽５５ａ，５５ｂには、塗料タンク５６より給送管５７の給送ノズル５８ａ，５８ｂを介して、塗料タンク５６内の塗料５２を供給し得るように構成されている。
【００３０】
尚、５９は前記給送部の塗料タンク５６内の塗料５２を空気圧にて給送管５７に圧送する圧力調整弁、６０ａ，６０ｂは給送ノズル５８ａ，５８ｂの開閉弁である。
【００３１】
又、前記塗料タンク５６の給送管５７を介して、給送ノズル５８ａ，５８ｂより前記供給槽５５ａ，５５ｂ内に供給される塗料５２の量は、その液面を測定する液面センサー６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂにより、制御し得るように構成されている。
【００３２】
すなわち、前記両供給槽５５ａ，５５ｂのドクターバー５３ａ，５３ｂには、前記液面センサー６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂを取り付け、一方の液面センサー６１ａ，６２ａにて液面の下限、他方の液面センサー６１ｂ，６２ｂにて液面の上限をそれぞれ測定することにより同センサー６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂの検出信号を、前記塗料５２の給送部の給送ノズル５８ａ，５８ｂの開閉弁６０ａ，６０ｂに送信しつつ同弁６０ａ，６０ｂを開閉して塗料５２の供給を制御する。
【００３３】
尚、前記液面センサー６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂは、光センサー等の液面を測定し得るセンサーにて形成される。
【００３４】
前記塗料供給部５０ａ，５０ｂは、前記塗料５２の供給槽５５ａ，５５ｂ、当該供給槽５５ａ，５５ｂ内に塗料を供給する塗料５２の給送部、そして、前記供給槽５５ａ，５５ｂ内の塗料５２の量を制御する液面測定手段とから構成されている。
【００３５】
よって、以上の塗料供給部５０ａ，５０ｂにより、前記一対の塗布ローラーＡ，Ｂに対して、基板１の塗膜形成に必要な塗料５２を供給し得るように構成されている。
【００３６】
次に、前記一対の塗布ローラーＡ，Ｂの対向方向間における可動手段について説明する。
【００３７】
図２に示す通り、図１に示される一対の塗布ローラーＡ，Ｂは、これの架台７０ａ，７０ｂに対して回転自在に架設支持される。
【００３８】
図２に示す架台７０ａ，７０ｂの軸受け部７１ａ，７１ｂ（具体的構成は省略してある）に対して、図１に示される一対の塗布ローラーＡ，Ｂはそれぞれの回転軸１０，１１の両端部に設けたベアリング部（図示しない）を装着して支持する。
【００３９】
又、両塗布ローラーＡ，Ｂは、架台７０ａ，７０ｂに対して、着脱自在に装着支持するものである。
【００４０】
しかして、前記架台７０ａは、他方の架台７０ｂとの対向方向に、左右一対の可動部７２ａ，７２ｂにより進退動し得るように構成されている。
【００４１】
前記架台７０ａの可動部７２ａ，７２ｂは、図示しない基台に対して回転自在に支持される支持軸（リードスクリュー）７３ａ，７３ｂに架台７０ａの左右両側の軸受部７４ａ，７４ｂ（左側の軸受け部７５ａ，７５ｂのうち、図２には一方の軸受け部７５ａのみを図示するが、他方の軸受け部７５ｂは、前記軸受け部７４ｂとの対向位置に設けられている）を連結するとともに架台７０ａの左右両側に固設される駒７６ａ，７６ｂ（左側の駒７６ｂは図示されていない）を、支持軸７３ａ，７３ｂに連結している。
【００４２】
又、支持軸７３ａ，７３ｂは図示しない基台に設けられた駆動モーター（サーボモーター）７７ａ，７７ｂとカップリング部７８ａ，７８ｂを介して連結されている。
【００４３】
よって、駆動モーター７７ａ，７７ｂを駆動することにより、支持軸（リードスクリュー）７３ａ，７３ｂが正転あるいは逆転され、架台７０ａは駒７６ａ，７６ｂの螺進にしたがって他方の塗布ローラーＢとの対向方向に前進あるいは後退する。
【００４４】
尚、塗布ローラーＢの架台７０ｂは、図示しない基台上に前記架台７０ａに対して、対向方向に移動自在に架設されている。（例えば図示しない基台上に敷設される移動レール上に移動自在に架設されている）
【００４５】
すなわち、図２に示す如く、架台７０ｂには軸受け部８０ａ，８０ｂを介して、図１の塗布ローラーＢを回転かつ着脱自在に取り付けることができるように構成されるとともに、架台７５ｂは左右両側の連結部８１ａ，８１ｂを図示しない基台上に取り付けた左右両側ロードセル８２ａ，８２ｂに連結し、当該ロードセル８２ａ，８２ｂを駆動することにより、架台７５ｂを前記架台７５ａとの対向方向に移動（微動）調整し得るように構成されている。
【００４６】
更に、前記架台７５ａの前進および後退動は、架台７５ａの下側に、その原点位置を測定するスイッチ７９ａ，７９ｂを取り付けるとともに図示しない基台上に、前記左右両側の支持軸（リードスクリュー）７３ａ，７３ｂとの軸受け部７４ａ，７４ｂ，７５ａ，７５ｂとのリミットスイッチ７９ｃ，７９ｄ，７９ｅ，７９ｆを取り付け、架台７５ａの後退端と前進端をそれぞれ測定し得るように構成されている。
【００４７】
以上の架台７５ａ，７５ｂの移動手段の構成により、両架台７５ａ，７５ｂに回転自在に乗載支持された一対の塗布ローラーＡ，Ｂを移動自在に、図示しない基台上に支持することができ、かつ、前記スイッチ７９ａ，７９ｂにより、架台７５ａの原点位置を測定するとともに、この検出信号をもとにサーボモーター７７ａ，７７ｂを同期しつつ駆動することにより、塗布ローラーＡを他方の塗布ローラーＢに対する対向方向に、必要量を前進動あるいは後退動することができる。
【００４８】
その際の前進端はリミットスイッチ７９ｃ，７９ｅ、後退端はリミットスイッチ７９ｄ，７９ｆによって検出制御される。
【００４９】
又、この一方の塗布ローラーＡに対する他方の塗布ローラーＢの調整は、前記した左右両側ロードセル８２ａ８２ｂの同期する駆動により実施される。
【００５０】
次に、前述してきた一対の塗布ローラーＡ，Ｂ間に基板１を挿入及び搬出する手段については、出願人の出願に係る特開平９−２９０１９１号公報記載の方法によることも可能であるが、更に図４のロボットハンドを使用することにより実施する場合を以下に説明する。
【００５１】
まず、図示しない基板１の搬送手段を介して、前述の一対の塗布ローラーＡ，Ｂの搬入位置に基板１を搬入する。
【００５２】
そして、この搬入位置の基板１の両側に基板１の検出スイッチ（例えば投光および受光の光センサー）９０を配設して、基板１の搬入位置への搬入を検出するとともにこの基板１の搬入に先立って、搬入用ロボットハンド９１を基板１の搬入位置における先端部に位置しこれを受け取ることができるようにセットして待期せしめることにより、前記搬入位置への基板１の搬入の検出信号によってロボットハンド９１のチャック爪９１ａ，９１ｂを閉じて、基板１の先端部を把持する。
【００５３】
しかる後、前記ロボットハンド９１を９０度上方に旋回しつつ上昇せしめ、一対の塗布ローラーＡ，Ｂとの当接軸心線上に基板１を垂直に搬入する。
【００５４】
前記搬入用ロボットハンド９１の搬入操作に関連して、塗布ローラーＡをサーボモーター７７ａ，７７ｂを駆動して後退端子で移動し、前記搬入用ロボットハンド９１による垂直状態の基板１を、塗布ローラーＡ，Ｂの下側に退避している受け渡し用ロボットハンド９２を上昇せしめて、同ハンド９２のチャック爪９２ａ，９２ｂにより基板１の左右両側を把持後、前記搬入用ロボットハンド９１のチャック爪９１ａ，９１ｂを開放して、前記基板１の受け渡しを完了する。
【００５５】
更に、その受け渡し後、搬入用ロボットハンド９１は、前記基板１の搬入位置に、９０度扇回しつつ復帰し、同搬入位置に搬入されてくる、次順の基板１の搬入に備える。
【００５６】
又、受け渡し用ロボットハンド９２に把持される基板１は、同ハンド９２の上昇により上側に架設される搬出用ロボットハンド９３に受け渡される。即ち、搬出用ロボットハンド９３の爪９３ａ，９３ｂにより基板１が把持された時点にて、受け渡し用ロボットハンド９２は下降し、図示の位置まで、退避する。
【００５７】
かかる受け渡し用ロボットハンド９２の下降に関連して、前記搬出用ロボットハンド９３に支持される基盤１を塗布ローラーＡ，Ｂの挿入軸心線に沿って下降せしめつつ塗布ローラーＡ，Ｂ間に挿入するとともに前記サーボモーター７７ａ，７７ｂを駆動して、後退端に位置する塗布ローラーＡを塗布ローラーＢ方向に前進せしめ、同塗布ローラーＡを塗布ローラーＢに対して、後記押し込み量（塗布圧力）に従って当接して、塗布状態にセットする。
【００５８】
又、これに関連して、後記ほかの塗布条件、例えばドクターバー５３ａ，５３ｂの塗布ローラーＡ，Ｂに対する圧接圧力を、後記条件にセットしつつ、両塗布ローラーＡ，Ｂを駆動モーター１２にて回転することにより、基板１の両面に塗料５２を塗布することができる。
【００５９】
さらに、両塗布ローラーＡ，Ｂの回転により、基板１は、同ローラーＡ，Ｂの回転に伴って上昇されるので、その上昇に同期せしめて搬出用ロボットハンド９３を上昇せしめる。
【００６０】
しかる後に、同搬出用ロボットハンド９３が上昇端の搬出位置に至ると、これを検出スイッチ（図示しない）により検出し、同検出信号にて搬出用ロボットハンド９３を図４に示す如く、水平方向に１８０度回転後、前進して搬出用ハンガー９４（乾燥機用吊り下げハンガー）に受け渡す。９４ａ，９４ｂは、同ハンガー９４のチャック爪である。
【００６１】
尚、基板１に対する塗料５２の塗布を前記１回にて完了する場合に加えて、再度、塗布を続行する場合には、前記一回の塗布完了後の搬出用ロボットハンド９３の上昇端への上昇後、再度、サーボモーター７７ａ，７７ｂを逆転駆動して塗布ローラーＡを後退端まで後退後、塗布ローラーＡ，Ｂ間に、搬出用ロボットハンド９３を下降して基板１を挿入するとともに前記操作を繰り返すことにより２回目の塗料５２の塗布を行うことができる。
【００６２】
尚、前述してきた、基板１の塗布ロールＡ，Ｂへの挿入及び搬出方法については、図４に示す搬入、搬出用ロボットハンド９１，９３と受け渡し用ロボットハンド９２による場合に限定されず、他の、例えば、特開平９−２９０１９１号公報に記載される挿入及び搬出方法によって実施することも可能である。
【００６３】
しかも、前記図４に示す搬入、搬出用ロボットハンド９１，９３を受け渡し用ロボットハンド９２による操作方法についても前述してきた手順に従うことなく、必要に応じて手順を変更しつつ実施することも可能である。
【００６４】
前述してきた基板１の塗膜形成装置において、本発明における前記一対の塗布ロールＡ，Ｂの表面には、特に、図３に示す如くロールの長さ方向間に所要のピッチにて溝１００を設けることにより構成したことを特徴とするものである。
【００６５】
而して、前記塗布ロールＡ，Ｂの表面に刻設する溝１００については、塗料５２の供給部より、両塗布ロールＡ，Ｂに供給される塗料５２の、同ロールＡ，Ｂ表面に保持される保持量を制御することができる。
【００６６】
又、塗布ロールＡ，Ｂの長さ方向間における塗料５２の保持量のバラツキを除去して、均一化し、基板１に対する塗膜厚のバラツキを除去するとともに塗膜厚の正確な制御を可能とする。
【００６７】
以下には、一対の塗布ロールＡ，Ｂに於ける溝１００の条件と、その他の条件を下記に示す条件にて、実施した場合の基板１に対する塗膜のデーターを、図５とともに具体的に説明する。
【００６８】
塗布ロールＡ，Ｂの溝１００の条件溝深さ ４９０μｍ溝ピッチ １０００μｍ溝断面積２．４０＋０５（μｍの積を指数にて表したもの）ローラー面長さ ５５ｍｍ尚、塗布ローラーの本体（軸心部）は、ステンレス等の金属にて形成するが、塗料の塗布部１１０（図３参照）は、合成ゴム等の弾性部材により形成する。又、塗料の種類により、例えば、エッチングレジスト用にはＥＰＴ（合成ゴム）、ソルダレジスト用にはＮＢＲ（合成ゴム）等を使用して形成するものである。
【００６９】
塗布条件塗料種類 太陽インクＰＳＲ４０００ＡＵＳ５塗料粘度 ４０ＰＳロールスピード ４Ｍ／ｍｉｎドクターバー圧（左） １．０ｋｇｆ／ｃｍ２ドクターバー圧（右） １．０ｋｇｆ／ｃｍ２塗布圧力（押し込み量） ０．４３ｍｍ（１回目）
塗布圧力（押し込み量） ０．６８ｍｍ（２回目）
【００７０】
尚、基板１の板厚０．４５ｍｍの条件が前記条件により、実施したもので、板厚０．２ｍｍの場合には、塗布圧力：０．５８ｍｍ（１回目）、塗布圧力：０．８３ｍｍ（２回目）にて実施した。
【００７１】
測定結果
【００７２】
【表１】
0004311816.tif 000002
【００７３】
【表２】
0004311816.tif 000003
【００７４】
尚、図５における基板１のポイントＡ，Ｃはスルーホール表面へこみ量、ポイントＢ，Ｄは表面塗膜、ポイントＥ，Ｆはスルーホールエッジ部塗膜で、表１，２の単位はμｍである。
【００７５】
又、０．２ｍｍおよび０．４５ｍｍの基板１のエッチング後の基板１に前記塗料５２として太陽インクＰＳＲ４０００ＡＵＳ５をポストキュア後、クロスカット（図５の断面図）を行い、係る図 の基板１の断面における塗膜、スルーホール内の塗膜の状態を測定したものである（表１，２）。
【００７６】
よって、以上の結果から、基板１の板厚０．２ｍｍおよび０．４５ｍｍの場合、φ０．１５〜φ０．４０のスルーホールの塗料による穴埋めは１００％可能であるとともにスルーホールラウンドエッジ部の被覆も、全てのエッジ部で１０μｍ以上の塗膜の形成が可能であることも判明した。又、マイクロバブルの発生もなかった。
【００７７】
（実施の形態２）
図６は一対の塗布ローラーＡ，Ｂの表面に刻設する溝１０１の形状などの条件を、実施の形態１と異なる条件にて構成した場合を示すもので、特に、基板１にスルーホールの存在しない基板あるいは、エッジングレジスト用の塗膜を形成する場合に適用する塗布ロールの溝としての実施の形態を示すものである。
【００７８】
しかして、図６における塗布ロールＡ，Ｂの溝１０１の溝深さは、４４４．３μｍ溝ピッチ７００．０μｍ、溝断面積１．５６Ｅ＋０５、ロール面長４９５ｍｍ、外径寸法１１０．００ｍｍ、山幅２０．０μｍ、溝角度７０．０の条件により構成したものである。塗布部１１１の材料については、実施の形態１の塗布ローラーと同じである。
【００７９】
尚、前述してきた、実施の形態１，２における構成については各説明に示した構成に限定されず、本発明の目的を達成するため、必要な設計変更による実施の形態による構成により実施することができる。例えば、一対の塗布ローラーＡ，Ｂの溝１００，１０１とは別の条件の溝を具備する塗布ローラーを別個に複数用意しておき必要に応じて一対の塗布ローラーを交換することにより、目的に対応する塗膜形成装置を構成するとともに塗膜形成を実施することができる。
【００８０】
【発明の効果】
以上、本発明によれば、基板に要求される塗膜の形成を簡易かつ安価に遂行することができるとともに塗膜厚の正確な制御を行うことができ、基板の長さ方向あるいは幅方向における塗膜厚のバラツキを除去し、均一な塗膜を形成し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】基板の塗膜形成装置の一対の塗布ローラーの構成図（図２の移動装置を省略して示すものである）。
【図２】図１の塗布ローラーの移動装置の構成図（図１の塗布ローラーを省略して示してある）。
【図３】塗布ローラーの溝の拡大断面図。
【図４】基板の塗料の塗布工程を示す説明図。
【図５】塗料塗布後の基板の部分拡大断面図。
【図６】実施の形態２の溝の拡大断面図。
【図７】従来の塗膜形成装置の構成図である。
【符号の説明】
１ 基板
Ａ，Ｂ 塗布ローラー
１０，１１ 回転軸
１０ａ，１１ａ 連結ギア
１２ａ，１２ｂ ウォームギア
１２ 駆動モーター
１３ 駆動軸
５０ａ，５０ｂ 塗料供給部
５２ 塗料
５３ａ，５３ｂ ドクターバー
５４ａ，５４ｂ スキージーバー
５５ａ，５５ｂ 供給槽
５６ 塗料タンク
５７ 給送管
５８ａ，５８ｂ 給送ノズル
５９ 圧力調整弁
６０ａ，６０ｂ 開閉弁
６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂ 液面センサー
７０ａ，７０ｂ 架台
７１ａ，７１ｂ 軸受け部
７２ａ，７２ｂ 可動部
７３ａ，７３ｂ リードスクリュー
７４ａ，７４ｂ，７５ａ，７５ｂ 軸受け部
７６ａ，７６ｂ 駒
７７ａ，７７ｂ サーボモーター
７８ａ，７８ｂ カップリング部
７９ａ，７９ｂ スイッチ
７９ｃ〜７９ｆ リミットスイッチ
８０ａ，８０ｂ 軸受部
８１ａ，８１ｂ 連結部
８２ａ，８２ｂ ロードセル
９０ 検出スイッチ
９１ 搬入用ロボットハンド
９１ａ，９１ｂ チャック爪
９２ 受け渡し用ロボットハンド
９２ａ，９２ｂ チャック爪
９３ 搬出用ロボットハンド
９３ａ，９３ｂ チャック爪
９４ 搬出用ハンガー
１００，１０１ 溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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