(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動発生部及び振動受け部の一方に連結される第１の取付部材と、振動発生部及び振動受け部の他方に連結される第２の取付部材と、これら取付部材間を連結するように取付部材間に配設されて弾性変形によりこれら取付部材を相対変位させる弾性体と、弾性体を隔壁の一部として拡縮可能とされ且つ液体が充填される液室と、液室の内壁との間にそれぞれ隙間を有しつつ配置され且つ、弾性体の変形に伴って相互に異なる変位量でそれぞれ液室内で移動して減衰力を生じさせる複数の減衰部材とを有し、
複数の減衰部材が、何れかの取付部材に連結されて液室内に配置される大変位減衰板及び、弾性体に支持されて液室内に配置される小変位減衰板により構成されることを特徴とする防振装置。
【請求項２】
小変位減衰板が、液室内に複数枚配置されたことを特徴とする請求項１記載の防振装置。
【請求項３】
振動発生部及び振動受け部の一方に連結される筒状の外筒と、外筒の内側に位置し且つ振動発生部及び振動受け部の他方に連結される内筒と、内筒と外筒とを連結するように内筒と外筒との間に配設されて弾性変形により内筒と外筒とを相対変位させる弾性体と、弾性体を隔壁の一部として拡縮可能とされ且つ液体が充填される液室と、液室の内壁との間にそれぞれ隙間を有しつつ配置され且つ、弾性体の変形に伴って相互に異なる変位量でそれぞれ液室内で移動して減衰力を発生させる複数の減衰部材とを有し、
複数の減衰部材が、内筒に連結されて液室内に配置される大変位減衰板及び、弾性体に支持されて液室内に配置される小変位減衰板により構成されることを特徴とする防振装置。
【請求項４】
小変位減衰板が、液室内に複数枚配置されたことを特徴とする請求項３記載の防振装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動発生部からの振動や衝撃などを吸収する防振装置に関し、例えば一般産業用の機械、装置等の広範囲なものに適用可能であって、振動及び衝撃などの入力を減衰及び緩衝するのに好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、外筒内にゴム等で形成された弾性体を介して内筒が取り付けられると共に液室を内蔵し、振動発生部或いは振動受け部側にこの内筒が連結されるような構造の防振装置が知られている。このような防振装置では、エンジン等からの振動により軸方向に沿った相対変位が内外筒間に生じるようになっている。
【０００３】
例えば、この種の防振装置の一例として、図６に示されるようなものが知られており、この図に基づき従来技術を説明する。
この図に示すように、この防振装置１１０は、内筒１１２と外筒１１４とをゴム材などの弾性体１１６で連結し、この弾性体１１６にて振動発生部の重量を支持する構造となっている。
【０００４】
つまり、内筒１１２の上端部に螺合されたボルト１２２により、振動発生部に内筒１１２が連結されると共に、外筒１１４が振動受け部側に連結されて固定される形となっている。
また、蓋材１１８及び弾性体１１６で区画された外筒１１４内の空間で、液体が充填される液室１２０を形成し、内筒１１２に固定される減衰板１２４が、この液室１２０を二分するように配置されている。
【０００５】
従って、矢印Ｐ方向に沿った振動が入力がされると、内筒１１２は外筒１１４に対して相対運動を起こす。この結果として、内筒１１２に固定されている減衰板１２４も外筒１１４に対して相対運動を起こすのに伴って、減衰板１２４の外周と液室１２０の内壁との間の隙間であるオリフィス部Ｓを液体が流動して、減衰力が発生する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
すなわち、このような防振装置１１０では、オリフィス部Ｓを液体が通過する事で減衰力が発生するが、液体の流動抵抗の大きさ及び流動する液体の共振現象の大きさによって、減衰力は変化する。そして、この減衰力の大きさを左右するオリフィス部Ｓの寸法が、減衰板１２４の外径と外筒１１４の内径との間の寸法関係で決まり、また、内筒１１２に減衰板１２４が直結される構造であるので減衰板１２４が内筒１１２と一体的に移動することから、この減衰板１２４の移動量が内筒１１２へ入力される振動の振幅の大きさで決まる。
【０００７】
以上より、液室に充填される液体が流動抵抗の小さい低粘度の流体（例えばエチレングリコール等）の場合には、減衰効果の大部分が液体の流動に伴う共振現象により生ずる為、オリフィス部の寸法が決定されて振動の入力によって通過する液体の量が決まると、狭い振動の周波数及び振幅の範囲のみで減衰効果の得られ、これ以外の周波数及び振幅の範囲では充分に振動を低減できなかった。
例えばエチレングリコール等を液体として使用した場合、ある特定の周波数と振幅の時に大きな振動の減衰効果が得られるピークを持った形の防振特性となり、自動車用エンジンマウント等で多用されている。
【０００８】
一方、液室に充填される液体が流動抵抗の大きい高粘度の流体（例えばシリコンオイル等）の場合には、液体の流動抵抗も付加される為、減衰力のピークは若干幅の広いものとなる。この為、入力される振動の周波数が比較的限定できずに広範囲な周波数で減衰効果を得たいような機械などに多用されてきたが、それでもピークの前後では、振動の減衰効果がピーク時の半分程度まで低下し、充分に振動を低減できなかった。
【０００９】
本発明は上記事実を考慮し、幅広い周波数域で一定量以上の減衰効果を得られる防振装置を提供することが目的である。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の防振装置は、振動発生部及び振動受け部の一方に連結される第１の取付部材と、振動発生部及び振動受け部の他方に連結される第２の取付部材と、これら取付部材間を連結するように取付部材間に配設されて弾性変形によりこれら取付部材を相対変位させる弾性体と、弾性体を隔壁の一部として拡縮可能とされ且つ液体が充填される液室と、液室の内壁との間にそれぞれ隙間を有しつつ配置され且つ、弾性体の変形に伴って相互に異なる変位量でそれぞれ液室内で移動して減衰力を生じさせる複数の減衰部材と、を有し、複数の減衰部材が、何れかの取付部材に連結されて液室内に配置される大変位減衰板及び、弾性体に支持されて液室内に配置される小変位減衰板により構成されることを特徴とする。
【００１１】
請求項１に係る防振装置の作用を以下に説明する。
第１の取付部材と第２の取付部材との間を連結する弾性体が隔壁の一部とされる液室に液体が充填され、また、液室の内壁との間にそれぞれ隙間を有した複数の減衰部材が配置されて、これら複数の減衰部材が、弾性体の変形に伴って相互に異なる変位量でそれぞれ液室内で移動可能となっている。
【００１２】
従って、振動発生部が振動を発生させた場合、第１の取付部材或いは第２の取付部材の何れか一方を介して振動が弾性体に伝達され、これら取付部材間の相対的な移動に伴う弾性体の変形により振動が吸収されて、他方の取付部材に連結された振動受け部側に振動が伝達され難くなる。
さらに、これら取付部材間の相対的な移動に伴って、複数の減衰部材が相互に異なる変位量でそれぞれ液室内において移動して液室の内壁と複数の減衰部材との間の個々の隙間で液体が流動し、液体流動により生じる共振現象及び粘性抵抗に基づく減衰作用で減衰力を発生させて、防振効果を向上することができる。
【００１３】
この結果、複数の減衰部材が、相互に異なる変位量でそれぞれ液室内において移動して、個々の減衰部材と液室の内壁との間にそれぞれ有る隙間に相互に異なる量の液体が流動するので、振動の周波数或いは振幅に依存してピークが生じる減衰特性が改良され、振動の周波数或いは振幅に依存しない幅広い周波数域で一定量以上の減衰効果が得られる。
【００１４】
請求項１に係る防振装置の作用を以下に説明する。従来の防振装置のように、一つの減衰部材が何れかの取付部材に連結されて液室内に配置されたものと異なり、弾性体に支持されて液室内に配置される小変位減衰板をも有することで、幅広い周波数域で一定量以上の減衰効果が得られるようになった。
【００１５】
請求項２に係る防振装置の作用を以下に説明する。本請求項も請求項１と同様の構成を有して同様な作用を奏する。但し本請求項では、小変位減衰板が液室内に複数枚配置されている。従って、減衰部材が少なくとも一つの大変位減衰板と二つ以上の小変位減衰板の計３つ以上の部材で構成されるので、より幅広い周波数域で減衰効果を得ることが可能になった。
【００１６】
請求項３に記載の防振装置は、振動発生部及び振動受け部の一方に連結される筒状の外筒と、外筒の内側に位置し且つ振動発生部及び振動受け部の他方に連結される内筒と、内筒と外筒とを連結するように内筒と外筒との間に配設されて弾性変形により内筒と外筒とを相対変位させる弾性体と、弾性体を隔壁の一部として拡縮可能とされ且つ液体が充填される液室と、液室の内壁との間にそれぞれ隙間を有しつつ配置され且つ、弾性体の変形に伴って相互に異なる変位量でそれぞれ液室内で移動して減衰力を発生させる複数の減衰部材とを有し、複数の減衰部材が、内筒に連結されて液室内に配置される大変位減衰板及び、弾性体に支持されて液室内に配置される小変位減衰板により構成されることを特徴とする。
【００１７】
請求項３に係る防振装置の作用を以下に説明する。請求項１とほぼ同様な構成を有するが、第１の取付部材の替わりに振動発生部及び振動受け部の一方に筒状の外筒が連結され、この外筒の内側に位置する内筒が第２の取付部材の替わりに振動発生部及び振動受け部の他方に連結されている。また、これら内筒と外筒とを連結するように内筒と外筒との間に弾性体が配設され、この弾性体が弾性変形して内筒と外筒とを相対変位させる。
【００１８】
従って、振動発生部が振動を発生させた場合、外筒或いは内筒の何れか一方を介して振動が弾性体に伝達されて請求項１と同様に作用し、内外筒間の相対的な移動に伴って、複数の減衰部材が相互に異なる変位量でそれぞれ液室内において移動する。
【００１９】
この結果、請求項１と同様に、個々の減衰部材と液室の内壁との間にそれぞれ有る隙間に相互に異なる量の液体が流動して、振動の周波数或いは振幅に依存してピークが生じる減衰特性が改良され、振動の周波数或いは振幅に依存しない幅広い周波数域で一定量以上の減衰効果が得られる。
【００２０】
請求項４に係る防振装置の作用を以下に説明する。請求項４は請求項２と同様の構成を有しているので、請求項２と同様に作用する。
【００２１】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施の形態に係る防振装置を図１から図３に示し、これらの図に基づき本実施の形態を説明する。
図１から図３に示すように、本実施の形態の防振装置１０は、車両等の車体のフレーム側へ連結される第１の取付部材である外筒金具１２を備えている。この外筒金具１２は下端部を封止する底面１２Ｂを有した円筒状とされ、この外筒金具１２の上部側には、外周側に正方形状に広がるフランジ部１２Ａが設けられている。
【００２２】
さらに、このフランジ部１２Ａの上側には、同様に正方形状の外形を有した取付けフランジ１４がフランジ部１２Ａにかしめられて連結された状態で、配置されており、この取付けフランジ１４の中心部は下側に屈曲されて外筒金具１２の内周側に位置している。
また、フランジ部１２Ａ及び取付けフランジ１４の四隅には、外筒金具１２を車体へ取り付けて連結するための図示しない取付ボルトが挿通されるボルト孔１６が、それぞれ形成されている。
【００２３】
一方、外筒金具１２の内側の中心部には、ストレート状に形成された第２の取付部材である内筒金具２０が配置され、円板状に金属で形成された大変位減衰板である第１減衰板３２がボルト２６により内筒金具２０の下端部にねじ止められて、内筒金具２０に連結されている。この内筒金具２０の上端側は外筒金具１２から上方へ突出し、内筒金具２０の上部に上方に延びる植込みボルト２８が、この内筒金具２０の上端側にねじ止められている。
【００２４】
そして、振動発生部にこの植込みボルト２８の上部側がねじ止められて、振動発生部に内筒金具２０が連結されることになり、この防振装置１０がエンジンである振動発生部を支持するようになっている。
【００２５】
他方、内筒金具２０と外筒金具１２との間には、ゴム製であってリング状に形成された弾性体２２がこれらを連結するように配設されていて、弾性体２２の外周側が外筒金具１２の内周面に加硫接着されており、弾性体２２の内周側が内筒金具２０の外周面に加硫接着されている。
この為、弾性体２２が弾性変形することで内筒金具２０と外筒金具１２とが相対変位することになる。さらに、前述の取付けフランジ１４の中心部は弾性体２２内に埋め込まれて、防振装置１０の強度を向上している。
【００２６】
ここで、これら弾性体２２の下面及び外筒金具１２の内周面で囲まれて形成される空間が液室２４とされ、シリコンオイルやエチレングリコール等の液体がこの液室２４内に充填されている。尚、充填される液体は完全な流体のみでなく、場合によっては何％かの空気を含むようなものであっても良い。
また、取付けフランジ１４の内周面と内筒金具２０の外周面との間の弾性体２２の部分には、それぞれ円板状に金属で形成された第２減衰板３４及び第３減衰板３６が、内筒金具２０と同軸状の位置であって弾性体２２を三等分する形に配置されるように、加硫接着されつつ支持されている。従ってこれら二枚の減衰板３４、３６が本発明の小変位減衰板とされる。
【００２７】
そして、第１減衰板３２及び二枚の減衰板３４、３６の下端部３４Ａ、３６Ａの相互間が、ほぼ同一のピッチとなるように、二枚の減衰板３４、３６の下端部３４Ａ、３６Ａは、それぞれ外周側にフランジ状に屈曲されて液室２４内に配置されている。
また、これら減衰板３４、３６の下端部３４Ａ、３６Ａの外周端と外筒金具１２の内周面との間の隙間であるオリフィス部Ｓ２、Ｓ３は、第１減衰板３２の外周端と外筒金具１２の内周面との間の隙間であるオリフィス部Ｓ１とほぼ同一の大きさとなっている。
【００２８】
この為、第１減衰板３２と減衰板３４、３６の下端部３４Ａ、３６Ａが液室２４内に配置されることになり、振動の入力に伴って図１において上下方向である矢印Ｐ方向に内筒金具２０が移動すると、第１減衰板３２及び減衰板３４、３６の下端部３４Ａ、３６Ａが液室２４内で矢印Ｐ方向に移動するようになっている。この際、これら減衰板３２、３４、３６が相互に異なる変位量でそれぞれ液室２４内で移動して、外筒金具１２の内周面により形成される液室２４の内壁と第１減衰板３２及び減衰板３４、３６の外周端との間のオリフィス部Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３内を、液体が流動することになる。
【００２９】
次に、本実施の形態に係る防振装置１０の作用を説明する。
上記より、外筒金具１２と内筒金具２０との間を連結する弾性体２２が隔壁の一部とされる液室２４に液体が充填され、また、液室２４の内壁との間にそれぞれ隙間であるオリフィス部Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３を有した第１減衰板３２及び減衰板３４、３６が配置されて、これら複数の減衰板３２、３４、３６が、弾性体２２の変形に伴って相互に異なる変位量でそれぞれ液室２４内で移動して液体の流動で減衰力を発生させる。つまり、本実施の形態では、内筒金具２０に連結されて液室２４内に配置される第１減衰板３２及び、弾性体２２に支持されて液室２４内に配置される第２減衰板３４と第３減衰板３６により、本発明の複数の減衰部材が構成されている。
【００３０】
以上より、振動発生部側で振動が発生された場合、内筒金具２０を介して振動が弾性体２２に伝達され、これら内筒金具２０と外筒金具１２との間の相対的な移動に伴う弾性体２２の変形により振動が吸収されて、内筒金具２０に連結された振動受け部側に振動が伝達され難くなる。
【００３１】
さらに、これら内筒金具２０と外筒金具１２との間の相対的な移動に伴って、複数の減衰板３２、３４、３６が相互に異なる変位量でそれぞれ液室２４内において移動することで、液室２４の内壁と第１減衰板３２及び減衰板３４、３６の外周端との間のオリフィス部Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３を液体が流動し、この液体流動により生じる共振現象及び粘性抵抗に基づく減衰作用で減衰力を発生させて、防振効果を向上することができる。
【００３２】
この結果、複数の減衰板３２、３４、３６が、相互に異なる変位量でそれぞれ液室２４内において移動して、相互に異なる量の液体がオリフィス部Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３をそれぞれ流動するので、振動の周波数或いは振幅に依存してピークが生じる減衰特性が改良され、振動の周波数或いは振幅に依存しない幅広い周波数域で一定量以上の減衰効果が得られるようになる。
【００３３】
つまり、従来の防振装置のように、一つの減衰板が内筒金具に連結されて液室内に配置されたものと異なって、弾性体２２に支持されて液室２４内に配置される二枚の減衰板３４、３６をも有することで、上記のような減衰効果が得られるようになった。
【００３４】
具体的には、振動の入力に対する基本的な弾性体２２の変形量及び第１減衰板３２の変位量は従来の防振装置と同一となり、仮に振動が入力されて内筒金具２０が図１の矢印Ｐ方向に１０ｍｍ変位した場合、内筒金具２０に連結されている第１減衰板３２も１０ｍｍ変位し、その効果で減衰力のピークの周波数が決定される。
さらに、本実施の形態では、二枚の減衰板３４、３６が弾性体２２を三等分する形で配置されており、仮に三等分された弾性体２２のばね定数もこれに対応するように設定された場合、内筒金具２０の１０ｍｍの変位に対して、第２減衰板３４の変位量は約６．７ｍｍとなり、第３減衰板３６の変位量は約３．３ｍｍとなる。
【００３５】
従って、一枚の第１減衰板３２及び二枚の減衰板３４、３６の変位量それぞれから、減衰力のピークは三山できる事になり、この三山のピークが加え合わされた結果として、図４に示す従来の防振装置の特性曲線Ｂよりもフラットな特性曲線Ａの減衰特性が、本実施の形態の防振装置１０では得られる。
【００３６】
他方、減衰板の枚数を変更する他に、本実施の形態では、弾性体２２に支持される減衰板３４、３６の弾性体２２内における配置の位置関係を変更することにより、各減衰板３４、３６の変位量を内筒金具２０の変位に対して何れのように設定するかを調整できる。この為、単にフラットな減衰特性とするだけでなく、何れの周波数又は何れの大きさの振幅において減衰を最も大きくするかも、自由に設定することが出来る。
【００３７】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る防振装置を図５に示し、この図に基づき本実施の形態を説明する。
弾性体２２を剪断方向に変形させる状態で使用する第１の実施の形態と異なり、図５に示す本実施の形態に係る防振装置４０は、圧縮方向に変形させる状態で使用するものである。
【００３８】
つまり、この防振装置４０の外枠となる円筒状の外筒金具４２の下端部には、外筒金具４２の下側を封止する下側ブラケット４４が取り付けられており、外筒金具４２を車輪側へ取り付けて連結するための図示しない取付ボルトが挿通されるボルト孔４４Ａが、この下側ブラケット４４に形成されている。
【００３９】
外筒金具４２の内側には軸状の内筒金具４６が位置しており、ボルト孔４８Ａを有した上側ブラケット４８が、この内筒金具４６の上端部にねじ止められて取り付けられている。そして、内筒金具４６を車体側へ取り付けて連結するための図示しない取付ボルトが、このボルト孔４８Ａに挿通されることになる。
さらに、内筒金具４６の下端部には、円板状に金属で形成された大変位減衰板である第１減衰板６２がボルト６０によりねじ止められて、内筒金具４６に連結されている。
【００４０】
一方、上側ブラケット４８の下部には、円環状に形成されたリング板５２が位置しており、このリング板５２と第１減衰板６２との間には、ゴム製であって円筒状に形成された弾性体５０が、リング板５２の下面に加硫接着されると共に第１減衰板６２の上面に加硫接着されることで、これらを連結しつつ配設されている。
そして、弾性体５０の軸方向中程には、金属製でリング状に形成された支持金具５４が配置されており、弾性体５０が支持金具５４にも加硫接着されている。この為、弾性体５０の弾性変形により、支持金具５４がリング板５２及び第１減衰板６２に対して相対変位することになる。
【００４１】
また、この支持金具５４に外筒金具４２の上端部が係止されることで、外筒金具４２の上端側が封止されて、外筒金具４２と弾性体５０との間の空間により液体が充填される液室５６が形成されており、リング板５２に係止されたカバー５８が支持金具５４及び外筒金具４２の外側を覆っている。
さらに、この弾性体５０の軸方向に沿って等間隔でリング状の板材が配置されており、支持金具５４と第１減衰板６２との間に等間隔で位置して液室５６内に配置される複数のリング状の板材が、それぞれ小変位減衰板である第２減衰板６４とされている。この液室５６の内壁と第１減衰板６２及び第２減衰板６４との間にそれぞれ隙間であるオリフィス部Ｓが設けられている。
【００４２】
以上より、本実施の形態に係る防振装置４０では、外筒金具４２が振動発生部である車輪と連結される第１の取付部材とされ、内筒金具４６が振動受け部である車体と連結される第２の取付部材とされている。
【００４３】
次に、本実施の形態に係る防振装置４０の作用を説明する。
本実施の形態では、上側ブラケット４８と下側ブラケット４４との間に圧縮力が加わった場合、支持金具５４の上側の弾性体５０の部分が圧縮されると共に支持金具５４の下側の弾性体５０の部分が引っ張られる形となるものの、第１の実施の形態と同様に振動を低減する構造となっている。
【００４４】
つまり、外筒金具４２と内筒金具４６との間を連結する弾性体５０が隔壁の一部とされる液室５６に液体が充填され、また、液室５６の内壁との間にそれぞれ隙間であるオリフィス部Ｓを有した第１減衰板６２及び複数の第２減衰板６４が配置されて、これら減衰板６２、６４が、弾性体５０の変形に伴って相互に異なる変位量でそれぞれ液室５６内で移動して液体の流動で減衰力を発生させる。
【００４５】
従って、第１の実施の形態と同様に作用して、複数の減衰板６２、６４が、相互に異なる変位量でそれぞれ液室５６内において移動して、相互に異なる量の液体がオリフィス部Ｓをそれぞれ流動するので、振動の周波数或いは振幅に依存してピークが生じる減衰特性が改良され、振動の周波数或いは振幅に依存しない幅広い周波数域で一定量以上の減衰効果が得られるようになる。
【００４６】
尚、上記実施の形態において、振動発生部側に内筒金具２０或いは外筒金具４２を連結し、振動受け部側に外筒金具１２或いは内筒金具４６を連結するような構成としたが、この逆の構成としても良い。また、上記実施の形態の説明において、振動を減衰して低減するようにしたが、振動の中でも突発的に存在する大きな振幅である衝撃を本発明は緩衝することもできる。
さらに、上記実施の形態における複数のオリフィス部の大きさは相互に同一であっても良く、また適切な減衰特性を得る為に複数のオリフィス部の大きさを相互に異ならせても良い。
【００４７】
他方、第１の実施の形態において、小変位減衰板を二枚としたが三枚以上の複数であっても良い。また、第１の実施の形態において、車両等の車体に搭載されるエンジンの防振を目的とし、第２の実施の形態において、車輪と車体との間の防振を目的としたが、本発明の防振装置は例えば車両以外の他の建設機械、農業機械等の用途にも用いられることはいうまでもない。また、外筒金具１２、４２、内筒金具２０、４６等を樹脂にすることにより軽量化も図ることができる。
【００４８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の防振装置は上記構成としたので、幅広い周波数域で一定量以上の減衰効果を得られるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る防振装置の断面図であって、図２の１−１矢視線断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る防振装置の平面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る防振装置の斜視図である。
【図４】加振周波数とロスファクターとの関係を表すグラフを示す図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係る防振装置の断面図である。
【図６】従来技術の防振装置の断面図である。
【符号の説明】
１０    防振装置
１２    外筒金具（第１の取付部材）
２０    内筒金具（第２の取付部材）
２２    弾性体
２４    液室
３２    第１減衰板
３４    第２減衰板
３６    第３減衰板
４０    防振装置
４２    外筒金具（第１の取付部材）
４６    内筒金具（第２の取付部材）
５０    弾性体
５６    液室
６２    第１減衰板
６４    第２減衰板
【図１】
0004365004.tif 000002
【図２】
0004365004.tif 000003
【図３】
0004365004.tif 000004
【図４】
0004365004.tif 000005
【図５】
0004365004.tif 000006
【図６】
0004365004.tif 000007