(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
波長λ1が６３０ｎｍから６７０ｎｍまでの範囲にある光および波長λ2が７７０ｎｍから８１０ｎｍまでの範囲にある光を出射する光源と、光源からの出射光を光記録媒体上に集光するための対物レンズと、光記録媒体により反射された戻り光を検出する光検出器とを備えた光ヘッド装置において、
光源と対物レンズとの間の光路中に開口制御素子が設置されていて、開口制御素子の光軸を含む中心部領域は波長λ1および波長λ2の光を回折せずに透過し、中心部領域を囲む周辺部領域には波長λ1の光を回折せずに透過し波長λ2の光を回折する下記の回折格子が形成されていることを特徴とする光ヘッド装置。
回折格子：透光性基板の表面に形成された周期的な凹凸部に、凹凸部を構成する部材とは異なる屈折率を有する充填部材が充填されており、波長λ1に対する凹部と凸部との間の光路差が波長λ1の２倍であり、かつ、波長λ1に対する凹凸部を構成する部材と充填部材との屈折率の差Δｎ1と、波長λ2に対する凹凸部を構成する部材と充填部材との屈折率の差Δｎ2との間に、０．７＜（λ1×Δｎ2）／（λ2×Δｎ1）＜０．８の関係が成立している回折格子。
【請求項２】
前記凹凸部を構成する部材が有機物であり、前記充填部材が光硬化型の接着材である請求項１記載の光ヘッド装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ヘッド装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＣＤやＤＶＤなどの光ディスク、および光磁気ディスクなどの光記録媒体（以下、これらをまとめて「光ディスク」とよぶ）の情報の記録および／または再生を行う光ヘッド装置が各種用いられている。規格・構成の異なるＣＤおよびＤＶＤ両系の光ディスクの情報の記録、再生などを行うため、ＣＤ・ＤＶＤ互換光ヘッド装置が注目されている。
【０００３】
ＣＤ系光ディスクの情報の記録および／または再生を行う場合、対物レンズの開口数は０．４５から０．５５までであるのに対し、ＤＶＤ系光ディスクの場合、開口数は０．６０から０．６５までである。したがって、同一の対物レンズを用いてＣＤおよびＤＶＤ両系の光ディスクの情報の記録および／または再生を行う場合、光ディスクの種類に応じて開口数を切り替えることが必要になる。光ディスクの情報の記録および／または再生にはＣＤおよびＤＶＤ両系それぞれ異なる波長の光が使用されるので、この波長の違いを利用して開口数を切り替える開口制御素子がいくつか提案されている。
【０００４】
これら提案のなかで、周期的な凹凸部を有する回折格子の、凹部と凸部との間の光路差が、波長λ1の光に対しては波長の整数倍になり、これと異なる波長λ2の光に対しては波長の整数倍とならないように設定するものがある。この設定により、波長λ1の光に対しては回折格子として作用せず、波長λ2の光に対しては回折格子として作用する、波長選択性回折格子を作成できる。
【０００５】
この波長選択性回折格子を、透光性基板などの周辺部領域に形成することにより、光ディスク用の開口制御素子とできる。ここで、周辺部領域とは、この領域が囲む中心部領域のみを透過して対物レンズの開口数に応じて集光された光が、適切に光ディスクの所定の面である情報記録面に焦点を結ぶことができるように、入射光の大きさ（径）を制限できる領域である。
【０００６】
具体的には、波長λ2が７７０ｎｍから８１０ｎｍまでの範囲（以下、７９０ｎｍ帯という）にある光を出射する半導体レーザによりＣＤ系光ディスクの情報の記録および／または再生を行い、さらに波長λ1が６３０ｎｍから６７０ｎｍまでの範囲（以下、６５０ｎｍ帯という）にある光を出射する半導体レーザによりＤＶＤ系光ディスクの記録および／または再生を行うとする。このＣＤ・ＤＶＤ互換光ヘッド装置用の開口制御素子として使用する場合、回折格子の凹部と凸部との間の光路差が、波長λ1の光に対して波長の２倍または３倍であることがよい。
【０００７】
従来の開口制御素子は、合成石英ガラス基板にドライエッチング処理を施し、図３（ａ）に断面図、図３（ｂ）に平面図が示されているように、従来の開口制御素子１０の周辺部領域Ｒ2に波長選択性回折格子を形成することで工業的に生産されている。波長λ1および波長λ2のいずれの光も中心部領域Ｒ1では反射、回折されることなく透過する。図３において、周辺部領域Ｒ2の回折格子パターンは、光軸を回転対称軸として２回の回転対称性を有しない２領域に分割されている。分割されている理由は、往路と復路とでともに回折された光が０次回折光と同じ光路を進むことを防ぐためである。
【０００８】
従来の開口制御素子１０が搭載された光ヘッド装置においては、図４（ａ）に示すように、ＤＶＤ系光ディスク用の半導体レーザ２Ａから出射された６５０ｎｍ帯の光は、波長合成プリズム３を透過し、ビームスプリッタ４を透過して、コリメートレンズ５により平行光とされた後、開口制御素子１０に入射する。開口制御素子の周辺部領域に入射した６５０ｎｍ帯の光は波長選択性回折格子により回折されることなく直進透過し、中心部領域を透過した光とともに、対物レンズ６により光ディスク７上に集光された後、反射される。この反射光はビームスプリッタ４を介して光検出器８の受光面に導かれ、光ディスク上の情報が電気信号に変換される。
【０００９】
一方、ＣＤ系光ディスク用の半導体レーザ２Ｂから出射された７９０ｎｍ帯の光は、図４（ｂ）に示すように、波長合成プリズム３により反射されて、コリメートレンズ５により平行光とされた後、開口制御素子１０に入射する。開口制御素子１０の周辺部領域に入射した７９０ｎｍ帯の光は、その大部分が回折され、ＣＤ系光ディスクの信号読み取りのための光スポット形成には寄与せず、中心部領域を透過した光のみが、対物レンズ６により光ディスク７上に集光された後、反射される。このため、同一の対物レンズ６を用いた場合でも、ＣＤおよびＤＶＤ両系の光ディスクに対し、それぞれ規定された開口数で情報の記録および／または再生を行うことができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、開口制御素子の材料として合成石英ガラスを使用して、波長６５０ｎｍの光に対する光路差を波長６５０ｎｍの３倍とした場合、製造誤差により発生する回折格子の深さのバラツキにより開口制御素子の分光特性（透過率）変動が大きく、歩留りよく分光特性の良好な開口制御素子を得ることが困難であった。また、光路長を波長６５０ｎｍの２倍とした場合、歩留りは向上するものの、波長７９０ｎｍの半導体レーザ光の透過率が周辺部領域において２５％以上となり、周辺部領域を回折されることなく通過した半導体レーザ光が迷光となって、ＣＤ系光ディスクに対するＳＮ特性の良好な光ヘッド装置を歩留りよく得ることが困難であった。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、波長λ1が６３０ｎｍから６７０ｎｍまでの範囲にある光および波長λ2が７７０ｎｍから８１０ｎｍまでの範囲に、ある光を出射する光源と、光源からの出射光を光記録媒体上に集光するための対物レンズと、光記録媒体により反射された戻り光を検出する光検出器とを備えた光ヘッド装置において、光源と対物レンズとの間の光路中に開口制御素子が設置されていて、開口制御素子の光軸を含む中心部領域は波長λ1および波長λ2の光を回折せずに透過し、中心部領域を囲む周辺部領域には波長λ1の光を回折せずに透過し波長λ2の光を回折する下記の回折格子が形成されていることを特徴とする光ヘッド装置を提供する。
回折格子：透光性基板の表面に形成された周期的な凹凸部に、凹凸部を構成する部材とは異なる屈折率を有する充填部材が充填されており、波長λ1に対する凹部と凸部との間の光路差が波長λ1の２倍であり、かつ、波長λ1に対する凹凸部を構成する部材と充填部材との屈折率の差Δｎ1と、波長λ2に対する凹凸部を構成する部材と充填部材との屈折率の差Δｎ2との間に、０．７＜（λ1×Δｎ2）／（λ2×Δｎ1）＜０．８の関係が成立している回折格子。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の光ヘッド装置は、波長λ1が６５０ｎｍ帯にある光および波長λ2が７９０ｎｍ帯にある光を出射する光源と、光源からの出射光を光記録媒体上に集光するための対物レンズと、光記録媒体により反射された戻り光を検出する光検出器とを備える。この光ヘッド装置は、従来の技術の項で記載した光記録媒体である光ディスクの情報の記録および／または再生を行う。
この光ヘッド装置を構成する光源と対物レンズとの間の光路中に、開口制御素子が設置されているが、この開口制御素子は種々の位置に設置できる。
【００１３】
図２は、本発明の光ヘッド装置の構成の１例を示す図であり（（ａ）は波長λ1の光が、（ｂ）は波長λ2の光が進行する様子を示す）、開口制御素子１の構造が従来のものと異なるだけで光ヘッド装置の構成は基本的には変わらない。したがって、図４と同じ符号の要素は同じ要素を表わし、半導体レーザ２Ａ、２Ｂからの出射光の進行の様子も開口制御素子１の部分を除いて同じである。開口制御素子１は、対物レンズ６とコリメートレンズ５との間、コリメートレンズ５とビームスプリッタ４との間などに設置できる。コリメートレンズ５を透過した光は平行光、すなわち平面波となり位相が揃っているため、開口制御素子１の周辺部領域の設計が容易となる。したがって対物レンズ６とコリメートレンズ５との間に開口制御素子１を設置することが好ましい。
【００１４】
開口制御素子は、この素子の光軸を含む中心部領域には波長λ1および波長λ2の光を回折せずに透過し、中心部領域を囲む周辺部領域には波長λ1の光を回折せずに透過し波長λ2の光を回折する下記の回折格子が形成されている。
すなわち、回折格子は透光性基板の表面に形成された周期的な凹凸部に、凹凸部を構成する部材とは異なる屈折率を有する充填部材が充填されており、波長λ1に対する凹部と凸部との間の光路差が波長λ1の２倍となる回折格子である。さらに、波長λ1に対する凹凸部を構成する部材と充填部材との屈折率の差Δｎ1と波長λ2に対する凹凸部を構成する部材と充填部材との屈折率の差Δｎ2とλ1とλ2との間に、０．７＜（λ1×Δｎ2）／（λ2×Δｎ1）＜０．８の関係が成立している回折格子である。
【００１５】
本発明に係る開口制御素子について、さらに詳しく説明する。開口制御素子には、例えば、波長λ1が６５０ｎｍの光および波長λ2が７９０ｎｍの光とが入射する。６５０ｎｍの光はＤＶＤ系光ディスク用のものであり、７９０ｎｍの光はＣＤ系光ディスク用のものである。図１に示す本発明に係る開口制御素子の１例は、透光性基板１１上の２領域に分割された周辺部領域Ｒ2に形成されている凹凸部に、凹凸部を構成する部材１２とは屈折率の異なる充填部材１３が充填されており、さらに充填部材１３側に透光性基板１４を積層した構成となっている。上記２つの光学材料、すなわち凹凸部を構成する部材１２と充填部材１３との屈折率の差を、波長λ1に対してΔｎ1、波長λ2に対しΔｎ2とすると、上記のように、０．７＜（λ1×Δｎ2）／（λ2×Δｎ1）＜０．８の関係を満たしている。
【００１６】
波長λ1の光に対する光路差Ｒ1が波長λ1の２倍であると、波長λ2の光に対する光路差Ｒ2は波長λ2の１．４倍から１．６倍までの間の値となる。すなわち、条件Ｒ1／λ1＝２より、（λ1×Δｎ2）／（λ2×Δｎ1）＝（λ1×Ｒ2）／（λ2×Ｒ1）＝Ｒ2／（λ2×２）となる。したがって、上記の不等式は、１．４＜Ｒ2／λ2＜１．６となる。
【００１７】
発明が解決しようとする課題の項で記載したとおり、Ｒ1／λ1＝３であると、製造誤差により発生する回折格子の格子深さ（凹凸部の段差）バラツキに起因する開口制御素子の分光特性（透過率）変動が大きく、歩留りよく特性の良好な開口制御素子を得ることが困難である。Ｒ1／λ2≧４でも同様である。Ｒ1／λ2＝１であると、現実に存在する光学材料の屈折率差の大きさ、波長λ1、波長λ2の大きさを考慮すると、波長λ2の光に対する透過率が５０％以上となり、開口制御素子としての機能が充分でない。これに対し、Ｒ1／λ2＝２であると、歩留りがよく、さらに、波長λ2の光に対する透過率は１０％以下であり、波長λ2の光に対する開口制御素子として充分機能する。
【００１８】
一般に波長λの光が、断面形状が周期的な凹凸状であり光路差Ｒの回折格子を透過するときの透過率Ｔは、Ｔ＝［１＋ｃｏｓ（２π×Ｒ／λ）］／２と表わされる。いま、波長λ1の光に対して、Ｒ1／λ1＝２であるからｃｏｓ（２π×Ｒ／λ）＝ｃｏｓ（２π×２）＝ｃｏｓ（４π）＝１となり、したがって波長λ1の光に対する透過率Ｔ1は、Ｔ1＝［１＋１］／２＝１、すなわち透過率は理論上１００％となる。実際には、吸収などがあり、多少透過率が落ちる。
【００１９】
一方、波長λ2の光に対する透過率Ｔ2が理論上０％、すなわち回折効率が１００％となる条件は、ｃｏｓ（２π×Ｒ／λ）＝−１のとき、すなわちＲ2／λ2が１／２、３／２、５／２・・・のときである。Ｒ1／λ1＝２であり、現実に存在する光学材料の屈折率差の大きさ、波長λ1、波長λ2の大きさを考慮すると、これら分数のなかでＲ2／λ2＝３／２が適切である。この値は１．４＜Ｒ2／λ2＝３／２＜１．６の関係式を満たす。Ｒ2／λ2＝１．４および１．６のときの透過率Ｔ2は、上記のＴを与える式からいずれも１０％となる。上記のとおりＲ2／λ2＝１．５のとき透過率Ｔ2が０％となり、また、１．４または１．６に近づくにつれて透過率Ｔ2が１０％に近づく。
【００２０】
すなわち、Ｒ1／λ1＝２であり、かつ不等式０．７＜（λ1×Δｎ2）／（λ2×Δｎ1）＜０．８が成立していると、波長λ1の光が開口制御素子の周辺部領域（回折格子が形成された領域）を透過するときの透過率Ｔ1が９０％以上（理論的には１００％）となるとともに、波長λ2の光が開口制御素子の周辺部領域を透過するときの透過率Ｔ2が１０％以下になる。また、回折格子の格子深さの製造誤差による透過率変化も小さくなる。
【００２１】
波長λ2の光の透過率Ｔ2を１０％以下にする、すなわち９０％以上の光を回折させるので、波長λ2の光のほとんどが開口制限を受ける開口制限素子が実現する。この開口制限素子を光ヘッド装置に設置することにより、波長λ2の光に起因する信号ノイズを低減でき、安定した信号の記録および／または再生特性を有する光ヘッド装置が実現する。
【００２２】
また、Ｒ1／λ1＝２であり、かつ（λ1×Δｎ2）／（λ2×Δｎ1）＝０．７５であると、開口制限素子の周辺部領域において透過率Ｔ1が理論的には１００％となり、透過率Ｔ2が理論的には０％（すなわち１００％の光を回折）となり、極めて好ましい。
【００２３】
２種類の光学材料の組み合わせとしては、上記不等式の関係を満たせば、有機物、無機物のいずれを用いてもよく、また充填部材は空気であってもよい。
回折格子（凹凸部）を形成する材料としては、無機物であるＳｉＯ2、ＴｉＯ2などがあり、また有機物であるポリイミド系の材料などがある。ポリイミド系の材料は硬質で高い耐久性を有し、かつ無機物の材料と比べ加工性にも優れ、生産性を上げることができる。さらに近年、感光性を有するポリイミド系の材料が生産されており、フォトリソグラフィ法による、凹凸形状の直接形成を行うことができる。したがって、凹凸部を形成する材料として、有機物の材料を用いることが好ましい。
【００２４】
充填部材としては、熱硬化型、光硬化型のいずれの接着材でも採用できる。光硬化型のアクリル系、ポリエステル系、エポキシ系などの接着材は、硬化時に溶媒揮発がなく、ガラス基板を積層した状態で硬化させることができる。また、あらかじめ平坦研磨処理を施したガラス基板を、光硬化型の接着材で固定すると溶媒揮発がなく、また高い平坦性を有するため、波面収差の小さい素子が得られる。したがって、充填部材として、光硬化型の接着材を用いることが好ましい。
また、透光性基板として、ガラス基板、ポリカーボネートなどのプラスチック系基板が挙げられる。
【００２５】
このような開口制御素子の作成法として、例えば透光性基板上に基板とは異なる光学材料を所定の厚さにコートした後、エッチングにより断面形状が周期的な凹凸状の格子を周辺部領域に形成し、充填部材である別の光学材料により凹凸部を充填してもよい。また、透光性基板そのものの表面を直接エッチングにより周期的な凹凸状に加工した後、充填部材で凹凸部を充填してもよい。さらに、周期的な凹凸部を形成した金型を用いてプラスチック系の透光性基板をプレス加工し、その後凹凸部を充填部材で充填してもよい。
【００２６】
【実施例】
「例１」
まず、開口制御素子について図１を用いて説明する。屈折率が波長λ1＝６５０ｎｍの光に対して１．７２８、波長λ2＝７９０ｎｍの光に対して１．７１２であるポリイミド樹脂を、スピンコート法により、透光性基板１１（図１（ａ））となる、直径１２．７ｃｍ、厚さ０．５２５ｍｍの円形のガラス基板上に均一に塗布し、１００℃で１０分間保持した後、３００℃の窒素雰囲気中で２時間保持した。作製した膜の膜さは５．６μｍであった。
【００２７】
作製した膜の上に、厚さ６０ｎｍのＳｉＯ2の膜をスパッタ法により作製し、その上にフォトレジストをスピンコート法により塗布した。次にフォトマスクをフォトレジスト上に配置して紫外線露光後、ドライエッチングを行った。このようにして、格子ピッチ３０μｍ、格子深さ５．６μｍの周期的な矩形型凹凸状の格子が直径２．１ｍｍの円の周辺部領域に形成された、縦３ｍｍ×横３ｍｍの素子を、円形のガラス基板上に７００個形成した。このときの周辺部領域の回折格子のパターンは、図１（ｂ）に示すように、２領域に別れている。
【００２８】
次に重合後の屈折率が波長６５０ｎｍの光に対して１．４９８、波長７９０ｎｍの光に対して１．４９６である紫外線硬化型接着材（充填部材１３）を凹凸部に充填し、さらに透光性基板１４となる円形のガラス基板をこの接着材上に積層した後、紫外線を照射し紫外線硬化型接着材を重合させた。その後、上下の円形のガラス基板をダイシングカッタにより縦３ｍｍ×横３ｍｍの多数の小片に切断し透光性基板１１、１４に挟まれた開口制御素子とした。
【００２９】
このとき、回折格子の格子深さに基づく波長６５０ｎｍの光に対する光路差は１．２９μｍ（１２９０ｎｍ）となり、波長のほぼ２倍となっている。また、（λ1×Δｎ2）／（λ2×Δｎ1）＝０．７７であり、回折格子の格子深さに基づく波長７９０ｎｍの光に対する光路差は１．２２μｍ（１２２０ｎｍ）となり、波長の１．５４倍となっている。
【００３０】
このようにして作製した開口制御素子の周辺部領域に波長７９０ｎｍの半導体レーザ光を入射したところ、０次回折光の透過率が５％で＋１次回折光および−１次回折光の回折効率がいずれも３７％であった。また、波長６５０ｎｍの半導体レーザ光を入射したところ、０次回折光の透過率が９２％であり、＋１次回折光および−１次回折光の回折効率はいずれも０．５％以下であった。また、直径２．１ｍｍ（開口数＝０．４５に相当）の円内である中心部領域の透過率は、２種の波長の光に対していずれも９５％以上であった。
【００３１】
上記において得られた開口制御素子を、図２（ａ）、（ｂ）に示すように光ヘッド装置のコリメートレンズ５と対物レンズ６との間の光路中に配置した。この開口制御素子を用いたため、ＣＤ系およびＤＶＤ系いずれの光ディスクに対しても、半導体レーザからの出射光をそれぞれの波長の光に対して規定された開口数で、光ディスク上に集光できた。その結果、ＣＤ系およびＤＶＤ系いずれの光ディスクに対しても、ＳＮ特性がよく、装置の歩留りを向上させることができ、さらに安定して情報の記録および再生を行う光ヘッド装置が実現した。
【００３２】
「参考例」
まず、開口制御素子について説明する。屈折率が波長λ1＝６５０ｎｍの光に対して１．４５７、波長λ2＝７９０ｎｍの光に対して１．４５４であり、直径１２．７ｃｍである円形の合成石英ガラス基板上にフォトレジストをスピンコート法により塗布した。このフォトレジスト上にフォトマスクを配置して紫外線露光後、ドライエッチングを行った。このようにして、格子ピッチ３０μｍ、格子深さ２．９μｍの矩形型凹凸状格子が直径２．１ｍｍの円の周辺部領域に形成された、縦３ｍｍ×横３ｍｍの素子を円形の合成石英ガラス基板上に７００個形成した。その後ダイシングカッタにより縦３ｍｍ×横３ｍｍの多数の小片に円形の合成石英ガラス基板を切断し、開口制御素子とした。周辺部領域の回折格子のパターンは、図１（ｂ）に示すように、２領域に別れている。
【００３３】
このとき、回折格子の格子深さに基づく波長６５０ｎｍの光に対する光路差は１．３３μｍ（１３３０ｎｍ）となり、波長のほぼ２倍となっている。
この開口制御素子の凹凸状の回折格子表面は、図１（ａ）とは異なり、空気（屈折率１．０）と接しており、（λ1×Δｎ2）／（λ2×Δｎ1）＝０．８２であり、回折格子の格子深さに基づく波長７９０ｎｍの光に対する光路差は１．３０μｍ（１３００ｎｍ）となり、波長の１．６４倍となっている。
【００３４】
このようにして作製した開口制御素子に波長７９０ｎｍの半導体レーザ光を入射したところ、周辺部領域において０次回折光の透過率が２８％で＋１次回折光および−１次回折光の回折効率がいずれも２９％であった。また、波長６５０ｎｍの半導体レーザ光を入射したところ、周辺部領域において０次回折光の透過率が９２％であり、＋１次回折光および−１次回折光の回折効率はいずれも０．５％以下であった。また、直径２．１ｍｍ（開口数＝０．４５に相当）の円内である中心部領域の透過率は、２種の波長の光に対して９５％以上であった。
【００３５】
波長６５０ｎｍの光に対する光路差が、波長のほぼ２倍であるため、開口制御素子の周辺部領域において０次回折光の透過率は高いが、（λ1×Δｎ2）／（λ2×Δｎ1）が０．８２であり０．８を超えているため、波長７９０ｎｍの光に対する回折効率が例１と比べて大幅に低かった。
【００３６】
このように作製した開口制御素子を、例１と同様に、図２（ａ）、（ｂ）に示すように光ヘッド装置のコリメートレンズ５と対物レンズ６との間の光路中に配置した。この光ヘッド装置は、例１とは異なりＣＤ系の光ディスクに対するＳＮ特性が低下しており、ＣＤ系光ディスクに対しても、ＤＶＤ系光ディスクに対しても、安定して情報の記録および再生を行うことができなかった。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の光ヘッド装置において用いられる開口制御素子を歩留りよく生産できるため、この開口制御素子を用いた光ヘッド装置も歩留りよく生産できる。さらに、本発明において用いられる開口制御素子は、その周辺領域において、使用される２種の波長の光の一方（λ1）を高い効率で透過し、他方（λ2）を高い効率で回折するので、優れた開口制御素子となっており、ＣＤ系光ディスクに対するＳＮ特性の優れた光ヘッド装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る開口制御素子の１例を示す図で、（ａ）断面図、（ｂ）平面図。
【図２】本発明の光ヘッド装置の１例を示す図で、（ａ）波長λ1の出射光が進行する様子を示す側面図、（ｂ）波長λ2の出射光が進行する様子を示す側面図。
【図３】従来の開口制御素子の１例を示す図で、（ａ）断面図、（ｂ）平面図。
【図４】従来の開口制御素子を用いた光ヘッド装置の１例を示す図で、（ａ）波長λ1の出射光が進行する様子を示す側面図、（ｂ）波長λ2の出射光が進行する様子を示す側面図。
【符号の説明】
１、１０：開口制御素子
２Ａ、２Ｂ：半導体レーザ
３：波長合成プリズム
４：ビームスプリッタ
５：コリメートレンズ
７：対物レンズ
８Ａ、８Ｂ：光ディスク（光記録媒体）
９：光検出器
１１、１４：透光性基板
１２：回折格子（凹凸部を構成する部材）
１３：充填部材
【図１】
0004366862.tif 000002
【図２】
0004366862.tif 000003
【図３】
0004366862.tif 000004
【図４】
0004366862.tif 000005