(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを有し、薄膜形成技術により形成されたマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記複数のノズルと複数の圧力室を形成するヘッド基板と、
前記複数の圧力室の各々を覆う振動板と、
前記振動板上に、前記圧力室に対応して設けられた複数の圧電素子と、
前記圧電素子上に、前記圧電素子に対応して設けられた複数の個別電極とを有し、
前記振動板は共通電極層と剛体層とからなり、
最小量のインクが形成する記録ドットの位置が、単一の前記圧電素子を駆動した時の駆動波形の立ち上がり時間の鈍りと、前記ヘッドの全ての前記圧電素子を駆動した時の駆動波形の立ち上がり時間の鈍りとの時間差により半ドット以下のずれとなるように、前記共通電極層の抵抗値の範囲を設定し、
前記共通電極層の厚さが、前記抵抗値の範囲により規定される厚さのうち最小値であることを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。
【請求項２】
複数のノズルを有し、薄膜形成技術により形成されたマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記複数のノズルと複数の圧力室を形成するヘッド基板と、
前記複数の圧力室の各々を覆う振動板と、
前記振動板上に、前記圧力室に対応して設けられた複数の圧電素子と、
前記圧電素子上に、前記圧電素子に対応して設けられた複数の個別電極とを有し、
前記振動板は共通電極層と剛体層とからなり、
単一の前記圧電素子を駆動した時の駆動波形の立ち上がり時間の鈍りと、前記ヘッドの全ての前記圧電素子を駆動した時の駆動波形の立ち上がり時間の鈍りとの時間差が５０ｎｓ以下であるように、前記共通電極層の抵抗値の範囲を設定し、前記共通電極層の厚さが、前記抵抗値の範囲により規定される厚さのうち最小値であることを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。
【請求項３】
請求項１または２に記載のマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記駆動波形の立ち上がりの鈍りが、前記駆動波形が理想波形に対し、６７パーセントに立ち上がる時間であることを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。
【請求項４】
請求項１に記載のマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記共通電極層の厚さが、０．１μｍであることを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。
【請求項５】
複数のノズルを有するマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記複数のノズルと複数の圧力室を形成するヘッド基板と、
共通電極層と剛体層とからなり、前記複数の圧力室の各々を覆う振動板と、
前記振動板上に、前記圧力室に対応して設けられた複数の圧電素子と、
前記圧電素子上に、前記圧電素子に対応して設けられた複数の個別電極とを有し、
前記共通電極層のアース接点を、前記複数の圧電素子に対応する前記複数の個別電極が並ぶ方向に沿って、当該圧電素子列の両端とその中間部の位置を含む３点以上の接点で構成したことを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載のマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記共通電極層のアース接点を前記ヘッドから露出するための複数のコンタクト部を設けたことを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。
【請求項７】
複数のノズルを有し、薄膜形成技術により形成されたマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記複数のノズルと複数の圧力室を形成するヘッド基板と、
前記複数の圧力室の各々を覆う振動板と、
前記振動板上に、前記圧力室に対応して設けられた複数の圧電素子と、
前記圧電素子上に、前記圧電素子に対応して設けられた複数の個別電極とを有し、
前記振動板は共通電極層と剛体層とからなり、
前記共通電極層上に、前記圧電素子の列方向に平行な位置に、前記圧力室上の前記共通電極層の厚さよりも厚く構成されたグランドラインを設けたことを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。
【請求項８】
請求項７に記載のマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記グランドラインは、前記共通電極層の厚さを部分的に厚くしたことにより構成されることを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。
【請求項９】
請求項７に記載のマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記共通電極層のアース接点を複数の接点で構成したことを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。
【請求項１０】
請求項９に記載のマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記共通電極層のアース接点を前記ヘッドから露出するための複数のコンタクト部を設けたことを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。
【請求項１１】
請求項１０に記載のマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、
前記グランドライン上に、前記複数のコンタクト部を設けたことを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術の分野】
本発明は、複数のノズルを有するマルチノズルインクジェットヘッドに関し、特に、薄膜圧電体と多層構造の振動板を組み合わせたマルチノズルインクジェットヘッドに関する。
【０００２】
【背景技術】
インクジェットヘッドは、ノズル，インク室，インク供給系，インクタンク，トランスジューサを備え、トランスジューサで発生した変位・圧力をインク室に伝達することによって、ノズルからインク粒子を噴射させ、紙等の記録媒体上に文字や画像を記録する。
【０００３】
一般に良く知られている方式は、トランスジューサとしてインク室の外壁に片面全体が接着された薄板状の圧電素子を用いる。この圧電素子にパルス状の電圧を加え、圧電素子とインク室外壁からなる複合板を撓ませ、撓みによって生じた変位・圧力をインク室の外壁を介してインク室内に伝達するものである。
【０００４】
この圧電素子を用いた従来のインクジェットヘッドの斜視断面図を図３７に示す。図３７に示すように、ヘッドは、圧電体９０と、該圧電体９０上に形成した個別電極９１と、ノズル９２が設けられたノズル板９３と、ノズル板９３と共にノズル９２に各々対応するインク室９４を形成する金属または樹脂からなるインク室壁９５と、振動板９６で構成されている。
【０００５】
インク室９４に対してノズル９２および振動板９６が各々対応してあり、インク室９４の周辺に、対応する振動板９６の周辺は強固に接続され、圧電体９０がそれぞれ対応する振動板９６を図中点線にて示す様に変形させる。
【０００６】
個々の該圧電体９０への電圧印加は、振動板９６を共通電極として、アースに接地し、印字装置本体からの電気信号を、該個別電極９１に図示しないプリント基板を介して個別に印加される。
【０００７】
この個々の圧電体のヘッド上への形成は、該インク室９４に対応する位置に、板状の圧電体を貼り付けるか、又は、複数の該インク室にまたがる圧電体を該インク室に対応する位置に接着し、後に削るなどして個々に分割する方法が主流であった。これらのヘッド形成では、薄い圧電体（＜５０μｍ）を形成する場合には、接着剤の厚さばらつきが特性のばらつきとなり、ヘッドの駆動特性が低下するばかりでなく、接着ができない（接着時に割れる）といった問題があった。
【０００８】
この方法に対し、基板上に圧電体からなるアクチュエータ部分を形成し、圧力室を形成した後インク噴射に寄与する部分の基板を除去することで、薄膜圧電体のヘッドを形成することが提案されている。
【０００９】
上記に示した様な薄膜圧電体を用いたバイモルフ型のインクジェットヘッドでは、薄膜でも圧電素子の特性を向上でき、特に、高密度マルチノズルヘッドの実現が可能である。この薄膜ヘッドでは、更に、アクチュエータの性能を最大限に引き出すものとして、振動板の最適化（厚さ・硬さ・電気特性）を行う必要がある。
【００１０】
一方、従来から振動板の最適化のため、振動板を、電極と、振動板との多層構成にしたものが提案されている（例えば、日本国特開平７−８１０７０号公報等）。しかしながら、従来の多層構成の提案では、電極の機能の改良であり、薄膜圧電素子の振動板としての最適化を考慮していない。
【００１１】
即ち、多層振動板を薄膜圧電素子に適用するには、圧電素子の薄膜化に伴って、振動板（電極も含む）も薄くする必要がある。この場合に、圧電素子の薄膜化で、圧電素子の駆動力・発生力が小さくなり、これで圧力室に体積変化・発生圧力を最大限に引き出すには、素子の伸縮を抑制する振動板の特性（機械的）を最適化させる必要がある。それとは別に、電極としての最適化を考慮し、機械的・電気的の両者を満足するような最適化を図る必要がある。従来の提案では、この両者を機能分離し、電気的なものは電極層として、機械的なものは剛性層とした多層構造の振動板であるが、振動板の薄膜化を考慮していないため、薄膜圧電素子の最適な振動板の実現が困難である。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、薄膜圧電素子の小さい駆動力を有効にインク噴射に結びつけるための振動板を備えたマルチノズルインクジェットヘッドを提供するにある。本発明の他の目的は、振動板を薄くしても、薄膜圧電素子の駆動力を有効に利用するためのマルチノズルインクジェットヘッドを提供するにある。
【００１３】
本発明の更に他の目的は、振動板を薄くしても、駆動波形の鈍りを防止するためのマルチノズルインクジェットヘッドを提供するにある。
【００１４】
本発明の更に他の目的は、振動板を薄くしても、駆動素子数によらず、インク噴射の遅れを防止するためのマルチノズルインクジェットヘッドを提供するにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
この目的の達成のため、本発明のマルチノズルインクジェットヘッドの一態様は、複数のノズルを有し、薄膜形成技術により形成されたマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、前記複数のノズルと複数の圧力室を形成するヘッド基板と、前記複数の圧力室の各々を覆う振動板と、前記振動板上に、前記圧力室に対応して設けられた複数の圧電素子と、前記圧電素子上に、前記圧電素子に対応して設けられた複数の個別電極とを有し、前記振動板は共通電極層と剛体層とからなり、最小量のインクが形成する記録ドットの位置が、単一の前記圧電素子を駆動した時の駆動波形の立ち上がり時間の鈍りと、前記ヘッドの全ての前記圧電素子を駆動した時の駆動波形の立ち上がり時間の鈍りとの時間差により半ドット以下のずれとなるように、前記共通電極層の抵抗値の範囲を設定し、前記共通電極層の厚さが、前記抵抗値の範囲により規定される厚さのうち最小値であることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の他の態様のマルチノズルインクジェットヘッドは、複数のノズルを有し、薄膜形成技術により形成されたマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、前記複数のノズルと複数の圧力室を形成するヘッド基板と、前記複数の圧力室の各々を覆う振動板と、前記振動板上に、前記圧力室に対応して設けられた複数の圧電素子と、前記圧電素子上に、前記圧電素子に対応して設けられた複数の個別電極とを有し、前記振動板は共通電極層と剛体層とからなり、単一の前記圧電素子を駆動した時の駆動波形の立ち上がり時間の鈍りと、前記ヘッドの全ての前記圧電素子を駆動した時の駆動波形の立ち上がり時間の鈍りとの時間差が５０ｎｓ以下であるように、前記共通電極層の抵抗値の範囲を設定し、前記共通電極層の厚さが、前記抵抗値の範囲により規定される厚さのうち最小値であることを特徴とする。
【００１７】
本発明の対象とする薄膜圧電体では、振動板が厚いと、薄膜圧電体の歪が生じない。従って、振動板を薄くする必要があるが、単に、振動板を薄くすると、所望の機械的特性（変位特性）が得られない。そこで、本発明の基本的思想は、電極層と剛性層とに分離された多層振動板を用い、且つ共通電極としての電極層は出来るだけ薄い構成にして、機械的特性の最適化を剛性層の材料選択（ヤング率等）・厚さで調整するようにした。
【００１８】
第２に、単に、電極層を薄くすると、マルチノズルヘッドでは、次の問題が生じる。即ち、高精細化・高画質化に伴うインク滴の微細化や着弾位置の正確さがより求められるようになったため、クロストーク（機械的・電気的）によって発生する単ピン（単一ノズル）駆動時と全ピン（全ノズル）駆動時でのドットの大きさや位置ずれが問題となる。例えば、微細なドット形成では、インク滴は１．５ｐｌの場合には、記録紙（インクジェット専用紙）上のドットは約１２μｍ程度であり、５ｐｌの場合には、約３０μｍ程度となる。ドット径を小さくして高精細化を行う場合には、必然的に印字時間短縮のために高速駆動（飛翔粒子化の高周波数化）に移行する。駆動周波数が高くなると、ヘッドの移動速度も必然的に早くなるために、電気的な遅れ（駆動波形鈍り）が起こると、吐出時間の遅れと飛翔速度の低下が発生し、記録紙上のドット位置ずれが発生する。例えば、ノズルと記録紙との間が非常に狭く飛翔速度の遅れがあまり影響しないとした場合、前述の１．５ｐｌでの印字で、インク飛翔周波数が４０ｋＨｚとすると、駆動波形の遅れが５０ｎｓ程度で１ドットずれることになる。５ｐｌの場合では半ドット分のずれとなる。
【００１９】
従って、現在の最小飛翔流量のヘッドを仕様（最小流量５ｐｌ・粒子化周波数２０ｋＨｚ）とするマルチノズルヘッドでは、前記飛翔ドットのずれの説明のプリンタとはヘッドのキャリッジ速度は異なる（４０ｋＨｚ→２０ｋＨｚでキャリッジ速度は遅くなる）が、波形の立ち上がりの遅れによるドット位置ずれは同様に起こる為、共通電極としての金属層は出来るだけ薄い構成にしても、その厚みは、上記の電気的な影響による位置ずれを最小とする必要が生じる。本発明のこの態様では、電極層の厚さは、用いる金属の体積抵抗率等を考慮し、単ピン駆動時と全ピン駆動時とで、最小ドットの位置ずれが半ドット以下（例えば電気的な遅れが、５０ｎｓ以下）となる様な厚さを選択したものである。当然、ヘッドの仕様（最小飛翔インク量・飛翔速度等）が前記ヘッドと異なれば、入力波形の立ち上がりの遅れにおける許容値は異なる。例えば、前記の１．５ｐｌ・４０ｋＨｚのヘッドでは、２５ｎｓ以下である事が求められ、５ｐｌより多いインク滴飛翔のヘッドでは５０ｎｓ以上の遅れでも問題無い印字結果が得られる。
【００２０】
これにより、十分な機械的特性を付与しつつ、マルチノズルヘッドに要求されるドットのずれを最小にできる。即ち、薄膜圧電体を用いたヘッドの高精細化、高速化が可能となる。
【００２１】
また、本発明のこの態様のマルチノズルインクジェットヘッドでは、前記駆動波形の立ち上がりの鈍りが、前記駆動波形が理想波形に対し、６７パーセントに立ち上がる時間である構成とすることが、好ましい。このような構成とすることにより、良好な印字結果を得ることができる。
【００２２】
更に、本発明のこの態様のマルチノズルインクジェットヘッドでは、前記共通電極層の厚さが、０．１μｍである構成とすることが、好ましい。このような構成とすることにより、電極層の形成も容易となる。
【００２３】
本発明の他の態様のマルチノズルインクジェットヘッドは、複数のノズルを有するマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、前記複数のノズルと複数の圧力室を形成するヘッド基板と、共通電極層と剛体層とからなり、前記複数の圧力室の各々を覆う振動板と、前記振動板上に、前記圧力室に対応して設けられた複数の圧電素子と、前記圧電素子上に、前記圧電素子に対応して設けられた複数の個別電極とを有し、前記共通電極層のアース接点を、前記複数の圧電素子に対応する前記複数の個別電極が並ぶ方向に沿って、当該圧電素子列の両端とその中間部の位置を含む３点以上の接点で構成したことを特徴とする。
【００２４】
本発明のこの態様では、全ピン駆動と単ピン駆動での波形の遅れは、アース接点にぶら下がる圧電体素子の数で決まり、静電容量の増加が波形を鈍らせる主要因のため、これを分散させる方法として、アース接点を従来の圧電体列の左右２点から３点以上の多点化して、波形の鈍りを抑えるものである。
【００２５】
また、本発明のこの態様では、前記共通電極層のアース接点を前記ヘッドから露出するための複数のコンタクト部を設けることにより、容易にアース接点を複数にできる。
【００２６】
本発明の更に他の態様のマルチノズルインクジェットヘッドは、複数のノズルを有し、薄膜形成技術により形成されたマルチノズルインクジェットヘッドにおいて、前記複数のノズルと複数の圧力室を形成するヘッド基板と、前記複数の圧力室の各々を覆う振動板と、前記振動板上に、前記圧力室に対応して設けられた複数の圧電素子と、前記圧電素子上に、前記圧電素子に対応して設けられた複数の個別電極とを有し、前記振動板は共通電極層と剛体層とからなり、前記共通電極層上に、前記圧電素子の列方向に平行な位置に、前記圧力室上の前記共通電極層の厚さよりも厚く構成されたグランドラインを設けたことを特徴とする。
【００２７】
この態様では、更に多点化構造が進んだものとして、圧電体列に平行な位置で且つ振動板の金属層に密着（一体化）した導電体（低抵抗）の線（グランドライン）を形成することで、圧電体列の両端にあるアース接点からの距離を、単ピン・全ピンで略同じ様に見なせるまでにする。
【００２８】
また、本発明のこの態様のマルチノズルインクジェットヘッドでは、前記グランドラインは、前記共通電極層の厚さを部分的に厚くしたことにより構成される。
【００２９】
また、本発明のこの態様のマルチノズルインクジェットヘッドでは、前記共通電極層のアース接点を複数の接点で構成することにより、駆動数による静電容量の変化を抑圧できる。即ち、形成するグランドラインの加工上の負担軽減のために、外部からのアース接点数を多点化し、グランドラインの厚さ・幅を小さくすることとしたものである。厚さはプロセス時間の短縮化（量産性の向上）に寄与し、幅の縮小化は部品取り数（コストの低減）に大きく寄与する。
【００３０】
更に、本発明のこの態様のマルチノズルインクジェットヘッドでは、前記共通電極層のアース接点を前記ヘッドから露出するための複数のコンタクト部を設けた。
【００３１】
更に、本発明のこの態様のマルチノズルインクジェットヘッドでは、前記グランドライン上に、前記複数のコンタクト部を設けた。
【００３２】
本発明の他の目的、態様は、以下の発明の最良の形態の説明、図面の記載より、明らかとなる。
【００３３】
【発明を実施するための最良の形態】
図１は、本発明のマルチノズルインクジェットヘッド（以下、ヘッドという）が用いられるインクジェット記録装置の側面図である。図１中、１は記録媒体であり、インクジェット記録装置によって印字等の処理が施される。２はインクジェットヘッドであり、記録媒体１にインクを噴射する。３はインクタンクであり、インクジェットヘッドにインクを供給する。４はキャリッジであり、インクジェットヘッド２とインクタンク３を搭載している。
【００３４】
５は送りローラ、６はピンチローラであり、記録媒体１を挟持してインクジェットヘッド２へと搬送する。７は排出ローラ、８はピンチローラであり、記録媒体１を挟持して排出方向へと搬送する。９はスタッカであり、排出された記録媒体１を収納する。１０はプラテンであり、記録媒体１を押さえる。
【００３５】
このインクジェットヘッド２は、電圧を印加して圧電素子を伸縮させることにより生じた圧力によってインクを噴射することにより、媒体に印字等の処理を行っている。
【００３６】
［第１の実施の形態］
図２は、本発明の第１実施の形態のインクジェットヘッド２の断面斜視図であり、まず、図２を用いてインクジェットヘッド２の構成について説明する。インクジェットヘッド２は、大略すると基板２０，振動板２３，本体部４２，ノズル板３８，及びインク吐出エネルギー発生部（以下、エネルギー発生部という）等により構成されている。
【００３７】
本体部４２は、後述するようにドライフィルムを積層した構造を有しており、その内部に複数の圧力室２９（インク室）と、インクの供給路となるインク通路３３とが形成されている。また、この圧力室２９の図中上部は開放部とされると共に、下面にはインク導通路４１が形成されている。
【００３８】
また、本体部４２の図中下面には、ノズル板３８が配設されると共に、上面には振動板２３が配設されている。ノズル板３８は例えばステンレスによりなり、インク導通路４１と対向する位置にノズル３９が形成されている。
【００３９】
また、振動板２３は、例えば、クロム（Ｃｒ）又はＮｉからなる電極層２３−１と、ＴｉＮ、ＳｉＣ等の剛性層２３−２との積層構造を有する板状材である。その上部には基板２０及びエネルギー発生部が配設されている。基板２０は、例えば酸化マグネシウム（ＭｇＯ）により形成されており、その中央位置には開口部２４が形成されている。エネルギー発生部は、この開口部２４により露出された振動板２３上に形成されている。
【００４０】
エネルギー発生部は、前記した振動板２３（共通電極２３−１），個別電極２６及び圧電体２７により構成されている。このエネルギー発生部は、本体部４２に複数形成されている圧力室２９の形成位置と対応する位置に形成されている。
【００４１】
個別電極２６は、例えば白金（Ｐｔ）よりなり、圧電体２７の上面に形成されている。また、圧電体２７は圧電気を生じる結晶体であり、本実施例では各圧力室２９の形成位置にそれぞれ独立して形成された構成となっている（即ち、隣接するエネルギー発生部は連続していない）。
【００４２】
上記構成とされたインクジェットヘッド２において、共通電極２３−１と個別電極２６との間に電圧印加をすると、圧電体２７は圧電気現象により歪みを発生する。このように圧電体２７には歪みが発生するが、剛体である振動板２３はそのままの状態を保とうとするため、例えば、電圧印加によって圧電体２７が縮む方向に歪んだ場合には、振動板２３側を凸とする変形が起こる。該振動板２３は圧力室２９の周囲で固定されているため、振動板２３が図中破線で示すような変形し、即ち圧力室２９に向け凸となる形状に変形する。
【００４３】
よって、圧電体２７の歪みに伴う振動板２３の変形により、圧力室２９内のインクは加圧され、インク導通路４１及びノズル３９を介して外部に吐出され、これにより記録媒体に印刷が行なわれる構成となっている。
【００４４】
上記構成において、本実施例に係るインクジェットヘッド２は、振動板２３及びエネルギー発生部（個別電極２６，圧電体２７）を薄膜形成技術を用いて形成したことを特徴としている（詳細な製造方法については、後述する）。
【００４５】
このように、振動板２３及びエネルギー発生部を薄膜形成技術を用いて形成することにより、５０μｍ以下の薄くかつ微細化されたエネルギー発生部を高精度にかつ高信頼性をもって形成することができる。よって、インクジェットヘッド２の低消費電力化を図ることができると共に、高解像度の印刷を可能とすることができる。
【００４６】
また、本実施例では各エネルギー発生部が圧力室２９に対応する位置で分割された構成としている。即ち、各エネルギー発生部は、隣接するエネルギー発生部に拘束されることなく変位することができる。よって、インク吐出に必要とされる印加電圧を低くすることができ、これによってもインクジェットヘッド２の低消費電力化を図ることができる。
【００４７】
この５０μｍ以下の厚みの薄膜圧電体２７では、振動板２３が厚いと、薄膜圧電体２７の歪が生じないため、振動板２３を薄くする必要がある。しかし、単に、振動板を薄くすると、所望の機械的特性（変位特性）が得られない。そこで、電極層２３−１と剛性層２３−２に分離された多層振動板を用い、且つ共通電極としての電極層２３−１は出来るだけ薄い構成にして、機械的特性の最適化を剛性層２３−２の材料選択（ヤング率等）・厚さで調整するようにした。
【００４８】
次に、単に、電極層２３−１を薄くすると、マルチノズルヘッドでは、単ピン駆動と全ピン駆動とで、ドット着弾位置のずれが生じる。即ち、高精細化・高画質化に伴うインク滴の微細化や着弾位置の正確さがより求められるようになったため、クロストーク（機械的・電気的）によって発生する単ピン（単一ノズル）駆動時と全ピン（全ノズル）駆動時でのドットの大きさや位置ずれが問題となる。例えば、微細なドット形成では、インク滴は１．５ｐｌの場合には、記録紙（インクジェット専用紙）上のドットは約１２μｍ程度であり、５ｐｌの場合には、約３０μｍ程度となる。ドット径を小さくして高精細化を行う場合には、必然的に印字時間短縮のために高速駆動（飛翔粒子化の高周波数化）に移行する。駆動周波数が高くなると、ヘッドの移動速度も必然的に早くなるために、電気的な遅れ（駆動波形鈍り）が起こると、吐出時間の遅れと飛翔速度の低下が発生し、記録紙上のドット位置ずれが発生する。例えば、前述の１．５ｐｌでの印字では、インク飛翔周波数が４０ｋＨｚとすると（インクの飛翔速度に変化が無いとした場合で）、駆動波形の遅れが５０ｎｓ程度で１ドットずれることになる。５ｐｌの場合では半ドット分のずれとなる。
【００４９】
従って、マルチノズルヘッドでは、電気的な遅れが許容できる範囲まで、共通電極としての金属層２３−１は出来るだけ薄い構成にする工夫が必要となる。本発明のこの態様では、電極層の厚さは、用いる金属の体積抵抗率等を考慮し、単ピン駆動時と全ピン駆動時との差で、電気的な遅れによって、記録紙上のドットずれが５ｐｌで半ドット以下となる様な厚さを選択したものである。
【００５０】
以下、図３及び図４により、前記電気的な遅れを説明する。図３は、圧電体列と、グランド接点２３−３との位置関係図である。前述のように、振動板２３の電極層２３−１は、各圧電素子２７の共通の電極であり、図２及び図３に示すように、ヘッド２からそのグランド接点２３−３が露出している。図３に示すように、外部回路との接続のための接続ケーブル（ＦＰＣ）５０のパターンは、個々の圧電素子２７の個別電極２６に個別に駆動信号を与え、共通電極２３−１は、グランド接点２３−３をアースに落すように、接続する。
【００５１】
このグランド接点２３−３から各圧電素子２７までの距離は、各圧電素子２７の位置により異なり、図３のように、ｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４となる。一方、圧電素子２７は、電気的容量成分Ｐｃ１〜Ｐｃｎであり、共通電極２３−１は、抵抗成分Ｐｒ１〜Ｐｒｎを持つため、グランド接点２３−３（Ｇ）と各個別電極２６との間は、抵抗とコンデンサからなる積分回路が挿入されていることになる。このため、単一のピン（ノズル）の駆動では、図４の右側に示すように、選択された個別電極２６とグランドＧ間に、単一の積分回路が形成されるから、積分動作による駆動波形の遅れは、各ピンで共通であり、しかも小さい。しかし、複数のピン（ノズル）の駆動では、図４の左側に示すように、グランド接点２３−３から遠いピンは、グランド接点２３−３との間の距離の抵抗を介して、グランド接点２３−３に接続される。例えば、ピンＰ３は、抵抗Ｐｒ３′、Ｐｒ２′，Ｐｒ１′を介しグランドに接地される。従って、グランド接点から遠いピンほど、抵抗の増加分、積分定数が大きくなる。
【００５２】
図５に示すように、この積分要素により、矩形の理想波形に対し、印加される駆動波形は立ち上がりが鈍る。この立ち上がりの鈍りの特性は、積分定数により変化し、前述のように、複数ピンを駆動した場合には、グランド接点２３−３から遠いピンほど、立ち上がり時間が遅くなり、これにより、前述のインク噴出時間とインク飛翔速度の相違が生じる。
【００５３】
この影響により、グランド接点に最も遠いピンを単一駆動した時の立ち上がりの遅れと、グランド接点に接続された全てのピンを駆動した時の前述の最も遠いピンの立ち上がりの遅れの差は、最大となる。この差が、前述のような状態のヘッド（プリンタ）とすると、５０ｎｓ以上であると、同一ノズルでありながら、ヘッドの駆動ピン数により、ドット位置が半ドット以上ずれることになる。積分回路では、立ち上がり時間は、図５に示すように、理想波形の６７パーセントの電圧に到達する時間ＣＲで定義される。
【００５４】
従って、時間ＣＲが、目的とする仕様での最小粒子が形成するドット径のずれが半ドット以下となるように、積分回路を設計する必要がある。前述のマルチノズルヘッドでは、圧電素子２７の容量は、素子の材料等により、変えられないため、抵抗、即ち、共通電極２３−１の厚み、材料で調整する必要がある。
【００５５】
前述の機能分離した振動板では、共通電極２３−１が薄いほど望ましい。しかし、通常、金属層が薄いほど、抵抗値が高くなるため、単に薄くすると、前述の５０ｎｓの条件を満足できない。このため、前述の５０ｎｓ以下の条件を満足し、且つできるだけ薄い電極層の検討を行った。これにより、剛性層２３−２で十分な機械的特性を付与しつつ、マルチノズルヘッドに要求されるドットのずれを１ドット以内に抑えることができる。即ち、薄膜圧電体を用いたヘッドの高精細化、高速化が可能となる。
【００５６】
次に、本発明のこの形態の実施例を説明する。
【００５７】
［実施例１］
図６は、１５０ｄｐｉマルチノズルで最小粒子量１．５ｐｌで駆動周波数が２０ｋＨｚとしたヘッド仕様における各要素のサイズ、材料等を規定したものである。このヘッドでの許容波形遅れは５０ｎｓである。即ち、図２のヘッドにおいて、圧力室２９の幅を、１００μｍ，長さを、７００μｍ，ピエゾ（圧電素子）２７の厚みを、１μｍ，幅を、７０μｍとしたノズルピッチが、１７０μｍの高密度ヘッドである。ピエゾの静電容量を、２０８．１５２ｐＦとし、共通電極層２３−１としてＣｒ（抵抗率 １．２７μΩ・ｍ）を用いたものである。ノズル数は、６４ピンであり、ノズル列の両端に、グランド接点２３−３を設けている。印加電圧は、２０Ｖであり、電極層２３−１の厚みを変え、駆動波形の立ち上がり時間ＣＲを計算した。
【００５８】
尚、前面の電極層２３−１から圧電体列の両端で外部にアースを引き出す方法を採っている。図７は、各電極層の厚みでの、抵抗値、１ピン駆動時の立ち上がり時間１−ＣＲ，全ピン駆動時の波形立ち上がり時間ａｌｌ−ＣＲの計算結果であり、図８は、この結果をグラフにしたものである。この結果、電極層２３−１の厚さとして０．３μｍ程度あれば電気的に問題ないことを示しており、多層の振動板構造を検討する場合には金属層の厚さを０．３μｍと固定して、使用する剛性層の特性にあった最適な厚さを採用すれば良い。尚、１−ＣＲは、１桁以上小さく、ゼロとみなしてよいため、ａｌｌ−ＣＲが、５０ｎｓ以下の厚みを選択している。
【００５９】
［実施例２］
図６の構成の１５０ｄｐｉヘッドにおいて、電極層２３−１としてＮｉ（抵抗率０．７２４μΩ・ｍ）を用いたものである。図９は、Ｎｉの厚み０．１〜０．３５での抵抗値と、１ピン駆動時の波形立ち上がり時間１−ＣＲ，全ピン駆動時の波形立ち上がり時間ａｌｌ−ＣＲの計算結果であり、図１０は、この結果をグラフにしたものである。この結果、Ｎｉ電極層では、Ｃｒの場合よりも抵抗率が小さいために、電極層の厚さとして０．１８μｍ程度あれば電気的に問題ないことになる。
【００６０】
続いて、上記構成とされたインクジェットヘッド２の製造方法について図１１〜図１３を用いて説明する。
【００６１】
インクジェット記録ヘッド２を製造するには、先ず、図１１（Ａ）に示されるように、基板２０を用意する。本実施例では、基板２０として厚さが０．３ｍｍの酸化マグネシウム（ＭｇＯ）単結晶体を用いている。
【００６２】
この基板２０上には、薄膜形成技術であるスパッタリング法を用い、個別電極層２６（以下、単に電極層という），圧電体層２７を順次形成する。具体的には、先ず図１１（Ｂ）に示すように、基板２０上に電極層２６を形成し、続いて図１１（Ｃ）に示すように電極層２６上に圧電体層２７を形成する。尚、本実施例では、電極層２６の材質として白金（Ｐｔ）を用いている。
【００６３】
この後、上記積層体を後に形成する圧力室に対応する位置に分割するためのミリングパターンをドライフィルムレジスト（以下、ＤＦ−１と記す）５０にて形成する。図１１（Ｄ）はＤＦ−１パターン５０を形成した状態を示しており、前記電極層２６と圧電体層２７の残す部分にＤＦ−１パターン５０を形成している。本実施例では、ＤＦ−１としてＦｌ−２１５（東京応化製；アルカリタイプレジスト、１５μｍ厚）を用い、２．５ｋｇｆ／ｃｍ・１ｍ／ｓ・１１５℃でラミネートした後、ガラスマスクで１２０ｍＪの露光を行ない、６０℃・１０ｍｉｎの予備加熱、室温までの冷却を行なった後、１ｗｔ．％のＮａ２ＣＯ３溶液での現像を行ないパターン形成した。
【００６４】
この基板を、銅ホルダーに熱伝導性の良好なグリス（ＡＰＩＥＺＯＮ Ｌ Ｇｒｅａｓｅ）にて固着し、照射角度１５°でＡｒガスのみを用いて７００Ｖでミリングを行なった。その結果、図１１（Ｅ）のような形状となり、ミリング部分の深さ方向のテーパ角は、面に対して８５°以上の垂直性となった。
【００６５】
この後、図１２（Ｆ）に示すようにＤＦ−１ ５０を除去し、振動板２３を平坦に形成するためと、ミリング部分での上部電極（電極層２６）と共通電極である振動板との絶縁を行なうために、絶縁性を有する平坦化層５２をミリング部分に形成する（図１２（Ｇ））。
【００６６】
その後、図１２（Ｈ）に示すように積層型の振動板２３をスパッタにて成膜を行なうことで、アクチュエータ部が形成できる。振動板２３の形成方法としては、本実施例でノズルピッチ１５０ｄｐｉ（圧力室幅１００μｍ、長さ７００μｍ、圧電体幅７０μｍ、長さ９００μｍで６４素子／１列）ヘッドの構成とすると、電極層２３−１としてのＣｒを全面に０．３μｍ形成し、その上に更に剛性層２３−２としてＴｉＮ（６００ＧＰａ）を０．２μｍ形成して振動板２３を構成した。
【００６７】
上記のように、薄膜形成技術を用いた各層２３〜２７の形成処理が終了すると、続いて図１２（Ｉ）に示すように、各層２３〜２７の各圧電体に対応する位置に圧力室開口部を形成する。本実施例では、溶剤型のドライフィルムレジスト（以下、ＤＦ−２と記す）４２ａを用いて形成した。用いたＤＦ−２はＰＲ−１００シリーズ（東京応化製）で、２．５ｋｇｆ／ｃｍ・１ｍ／ｓ・３５℃でラミネートした後、ガラスマスクを用いて、（図示しない）上記記載のミリング時の圧電体２７（電極層２６も）パターン内のアライメントマークを用いてアライメント及び１８０ｍＪの露光を行ない、６０℃・１０ｍｉｎの予備加熱、室温までの冷却を行なった後、Ｃ−３，Ｆ−５（東京応化製）溶液での現像を行ない圧力室パターン２９を形成した。
【００６８】
一方、圧力室２９を有した本体部４２ｂ及びノズル板３８は、上記した工程と別工程を実施することにより形成される。圧力室２９を有した本体部４２ｂは、ノズル板３８（図示しないアライメントマーク付）にドライフィルム（東京応化製溶剤型ドライフィルムＰＲシリーズ）をラミネート・露光を必要回数だけ現像することにより形成される（ノズル板配設工程）。
【００６９】
具体的な本体部４２ｂの形成方法は、次の通りである。即ち、ノズル板３８（厚さ２０μｍ）上に、ノズル３９（２０μｍ径、ストレート穴）まで圧力室２９からのインクを誘導し且つインクの流れを一方向に揃えるためのインク導通路４１（６０μｍ径；深さ６０μｍ）のパターンを、ノズル板３８のアライメントマークを用いて露光し、続いて圧力室２９（幅１００μｍ，長さ１７００μｍ，厚さ６０μｍ）を、インク通路４１と同様に、ノズル板３８のアライメントマークを用いて露光し、その後１０分の自然放置（室温）と加熱硬化（６０℃，１０分）を行い、溶剤現像によりドライフィルムの不要部分を除去する。
【００７０】
上記のように形成されたノズル板３８が設けられた本体部４２ｂは、図１３（Ｊ）に示すように、アクチュエータ部を有するもう一方の本体部４２ａ（図１２（Ｉ））に接合される（接合固定）。この際、圧力室２９の部分で本体部４２ａ・４２ｂが精度よく対向するよう接合処理される。接合は、圧電体部のアライメントマークとノズル板に形成したアライメントマークを用い、荷重１５ｋｇｆ／ｃｍ２で８０℃・１時間の予備加熱後、本接合を１５０℃・１４時間行い、自然冷却して行なう。続いて、アクチュエータが振動できるように、駆動部の基板除去を行なう。ノズル板３８が下側になるよう基板２０を上下反転すると共に、この基板２０の略中央部分をエッチングにより除去することにより開口部２４を形成する（除去工程）。
【００７１】
この開口部２４の形成位置は、少なくともエネルギー発生部（図２参照）により振動板２３が変形する変形領域と対応するよう選定されている。このように基板２０を除去して開口部２４を形成することにより、図１３（Ｋ）に示すように、電極層２６は、開口部２４を介し、基板２０から露出した構成となる。
【００７２】
上記のように、本実施例によれば、基板２０上にスパッタリング法等の薄膜形成技術を用いて電極層２６，圧電体層２７，振動板２３を順次形成しエネルギー発生部を形成するため、従来に比べて薄いエネルギー発生部を高精度（上部電極と同じ形状）にかつ高信頼性をもって形成することができる。
【００７３】
また、各層２３〜２７の間には接着材等の他の接合部材は介在しないため、高い平坦性を有したエネルギー発生部を形成することが可能となり、従来のように接着材が圧電体の変位を吸収するようなこともない。よって、低消費電力化及び印刷の高解像度化を図りうるインクジェット記録ヘッド２を実現することができる。また、ミリングによって形成されたフェンスを、角度を変えるだけで同じミリング装置で除去できることから量産時に有効である。この様に平坦化を行ない、さらに平坦化材でミリング部分を埋めることで振動板２３が平坦化でき、圧電体２７と振動板２３との密着性が良好となり、ばらつきの無い効率良い駆動を行いうるインクジェット記録ヘッド２を実現することができる。
【００７４】
また、上記した除去工程においては、基板２０の所定領域を除去して開口部２４を形成することにより基板２０からエネルギー発生部を露出させるため、従来のように圧電体等が単に露出した構成（図３７参照）に比べ、エネルギー発生部の保護を行なうことができる。よって、エネルギー発生部が薄型化されても損傷するようなことはなく、インクジェット記録ヘッド２の信頼性を向上させることができる。
【００７５】
［第２の実施の形態］
図１４は、本発明の第２の実施の形態のマルチノズルヘッドの外観図であり、図２で示したものと同一のものは、同一の記号で示してある。図１４では、図２に示した前面の電極層２３−１から圧電体列の両端で外部にアースを引き出す方法に対して、多点（３点以上）で引き出す構成にしたものである。即ち、３つの共通電極コンタクト部（グランド）２３−３を設けた。
【００７６】
これによれば、図３で示したように、グランドから最も遠いピンまでの距離が短くなり、それだけ、抵抗値も低くなる。従って、より薄い電極層の適用が可能である。次に、本発明のこの形態の実施例を説明する。
【００７７】
［実施例３］
図１５は、図６のサイズの１５０ｄｐｉマルチノズルにおいて、共通電極層２３−１としてＣｒ（抵抗率 １．２７μΩ・ｍ）を用いた、ノズル数、６４ピンでの、電極層の各厚みでの、抵抗値、１ピン駆動時の立ち上がり時間１−ＣＲ，全ピン駆動時の波形立ち上がり時間ａｌｌ−ＣＲの計算結果であり、図１６は、この結果をグラフにしたものである。この結果、３点で接地しているため、図７の場合よりも、外部からの接点で受け持つ素子数が少なくなり、これによって必要な金属厚さが更に薄く出来る。本検討では２接点が０．３μｍであるのに対して、０．１３μｍと非常に薄い構成が選択できる。
【００７８】
［実施例４］
図１４の構成の１５０ｄｐｉヘッドにおいて、電極層２３−１としてＮｉ（抵抗率 ０．７２４μΩ・ｍ）を用いたものである。図１７は、Ｎｉの厚み０．０２〜０．１２での抵抗値と、１ピン駆動時の波形立ち上がり時間１−ＣＲ，全ピン駆動時の波形立ち上がり時間ａｌｌ−ＣＲの計算結果であり、図１８は、この結果をグラフにしたものである。この結果、多点（３点）で引き出す構造では、外部からの接点で受け持つ素子数が少なくなり、これによって必要な金属厚さが更に薄く出来る。本検討ではＮｉ金属層が２接点で０．１８μｍであるのに対して、０．０７μｍと非常に薄い構成が選択できる。
【００７９】
［第３の実施の形態］
図１９は、本発明の第３の実施の形態のマルチノズルヘッドの斜視図であり、図２０は、その説明図である。図１９において、図２で示したものと同一のものは、同一の記号で示してある。この実施の形態では、第１の実施の形態において、圧電体２７の列方向に平行な位置に、グランドライン（低抵抗層）２３−４を形成したものである。
【００８０】
図２０に示すように、グランド接点２３−３に接続するグランドライン２３−４と、各圧電素子２７との距離（抵抗値）ｒＧ１〜ｒＧｎは等しくなる。即ち、低抵抗のグランドライン２３−４を設けることにより、図２０に示すように、複数ピンの駆動時の等価回路は、グランドライン２３−４に対し、並列の積分回路となる。各ピンの抵抗値は、グランドライン２３−４の抵抗ｒｇ１〜ｒｇｎが付加されるだけである。
【００８１】
このため、全ピン駆動時の各ピンの駆動遅れをより少なくでき、逆に、電極層２３−１をより薄くできる。以下、グランドライン２３−４の構成を、図２１のヘッドの製造方法とともに説明する。
【００８２】
図２１は、図１２（Ｈ）の振動板形成工程のみを示しており、その他の工程は、図１１乃至図１３と同一である。図２１（Ｌ）に示すように、厚さ０．１μｍのＣｒ電極層２３−１の形成後、グランドライン形成工程を行った。用いた電極材料はＣｒであり、また、圧電体列とグランドライン２３−４との間隔は２００μｍとした。工程は，図２１（Ｌ）に示すように、Ｃｒ電極層２３−１上に、ＤＦ（レジスト層）５３をラミネートし、グランドライン形成部分５３−１が開口するようなパターンを有するマスクを用いてアライメント、露光を行った後、現像する。この後、図２１（Ｍ）に示すように、電極層（Ｃｒ）２３−１の形成と同じスパッタにて、電極材（Ｃｒ）５４を１．６μｍ積層した。この後、レジスト層５３を溶解すると、図２１（Ｎ）に示すように、電極材５４は、グランドライン２３−４のみ残る。その後、図２１（Ｏ）に示すように、更に、振動板の剛性層２３−２としてのＴｉＮを０．５μｍ形成する。
【００８３】
第１の実施の形態に比べて、電極層２３−１が薄くできるため、剛性層２３−２の厚みが、２倍以上となるため、積層振動板全体としての剛性が高くなり、且つ振動板全体が薄くなって撓み易くなった。
【００８４】
後工程の樹脂圧力室形成の図１２（Ｉ）の工程において、上記グランドライン２３−４の段差部分は、この樹脂層４２ａで容易に吸収でき、更に後工程の接合面は平坦化が可能で、問題は発生しない。又、グランドライン２３−４は、圧力室２９以外の領域に設けられるため、厚くしても、振動板の性能に影響しない。このため、厚い金属層により、抵抗値の小さいグランドラインを形成できる。
【００８５】
この構造は、図１４に示した多点（表中では３点）で引き出す方法に対し、更に良好な特性が得られる構造であり、圧電体列に並行な位置で金属層２３−１に電気的に密着しているアースライン（グランドライン）２３−４を構造体としているもので、外部へのアース引出しは圧電体列の両端である。
【００８６】
以下、次に、本発明のこの形態の実施例を説明する。
【００８７】
［実施例５］
図２２は、図６のサイズの１５０ｄｐｉマルチノズルにおいて、共通電極層２３−１としてＣｒ（抵抗率 １．２７μΩ・ｍ）を用いた、ノズル数、１２８ピンでの、電極層の各厚みでの、抵抗値、１ピン駆動時の立ち上がり時間１−ＣＲ，全ピン駆動時の波形立ち上がり時間ａｌｌ−ＣＲの計算結果であり、図２３は、この結果をグラフにしたものである。この結果、グランドライン（幅；６００μｍ、厚さ；１．６μｍ）を圧電体列に２００μｍ離した並行な位置とした場合では、圧力室上の金属層２３−１が０．０６μｍ程度あれば良いことが判り、前記の構成よりも非常に薄い構成が選択できる。
【００８８】
［実施例６］
図２２の構成の１５０ｄｐｉヘッドにおいて、電極層２３−１としてＮｉ（抵抗率 ０．７２４μΩ・ｍ）を用いたものである。図２４は、Ｎｉの厚み０．００２〜０．２での抵抗値と、１ピン駆動時の波形立ち上がり時間１−ＣＲ，全ピン駆動時の波形立ち上がり時間ａｌｌ−ＣＲの計算結果であり、図２５は、この結果をグラフにしたものである。Ｎｉを用いた場合には、グランドライン（幅；６００μｍ、厚さ；１．０μｍ）２３−４を圧電体列に２００μｍ離した並行な位置とした場合、本結果では、圧力室上の金属層２３−１が０．０１μｍ程度あれば良いことが判り、前記の構成よりも非常に薄い構成が選択できる。
【００８９】
［実施例７］
図２６に示すように、図１９の構成において、ノズルピッチが３００ｄｐｉと高密度ヘッドでの例であり、圧力室幅が５０μｍで圧電体幅を４５μｍとしたものである。金属としてＣｒを用いた場合の検討で、図２７は、Ｃｒの厚み０．００１〜０．２での抵抗値と、１ピン駆動時の波形立ち上がり時間１−ＣＲ，全ピン駆動時の波形立ち上がり時間ａｌｌ−ＣＲの計算結果と、この結果のグラフである。
【００９０】
この結果から、圧力室上の金属層２３−１の厚さを０．１μｍ程度とすると、グランドラインは幅が２００μｍ、厚さが１．１μｍあれば電気特性上問題が無い。
【００９１】
［第４の実施の形態］
図２８は、本発明の第４の実施の形態のヘッドの外観図であり、図１４及び図１９で示したものと同一のものは、同一の記号で示してある。図２８に示すように、図１９のグランドライン２３−４の構造において、図１４に示した外部に引き出すアース接点２３−３を多点化するヘッドである。これにより、グランドライン２３−４をより細く（省スペース化）・より薄く（対量産化）することができる。以下、次に、本発明のこの形態の実施例を説明する。
【００９２】
［実施例８］
図２９は、図２８の構造で、図６のサイズの１５０ｄｐｉマルチノズルにおいて、共通電極層２３−１及びグランドラインとしてＣｒ（抵抗率 １．２７μΩ・ｍ）を用いた、ノズル数、１２８ピンでの、電極層の各厚みでの、抵抗値、１ピン駆動時の立ち上がり時間１−ＣＲ，全ピン駆動時の波形立ち上がり時間ａｌｌ−ＣＲの計算結果であり、図３０は、この結果をグラフにしたものである。
【００９３】
この結果、グランドライン（幅；６００μｍ、厚さ；１．０μｍ）２３−４を圧電体列に２００μｍ離した並行な位置とした場合では、圧力室上の金属層２３−１が０．００３μｍ程度あれば良いことが判り、前記の構成よりも非常に薄い構成が選択できる。しかし、０．００３μｍとはÅの寸法で現実的ではない。実際には金属膜の均一性等を考慮すると最低厚さは０．１μｍ程度であり、これを下限とすると、グランドラインは幅が２１０μｍ、厚さが０．５μｍあれば電気特性上問題が無い。
【００９４】
［実施例９］
図３１は、図２９の構造で、共通電極層２３−１及びグランドラインとしてＮｉを用いた、ノズル数、１２８ピンでの、電極層の各厚みでの、抵抗値、１ピン駆動時の立ち上がり時間１−ＣＲ，全ピン駆動時の波形立ち上がり時間ａｌｌ−ＣＲの計算結果であり、図３２は、この結果をグラフにしたものである。
【００９５】
グランドライン（幅；６００μｍ、厚さ；１．０μｍ）２３−４を圧電体列に２００μｍ離した並行な位置とした場合、本結果では、圧力室上の金属層が０．００２μｍ程度あれば良いことが判り、前記の構成よりも非常に薄い構成が選択できる。しかし、この場合も現実的ではない為に、最低厚さを０．１μｍ程度とすると、グランドラインは幅が１２０μｍ、厚さが０．５μｍあれば電気特性上問題が無い。
【００９６】
［実施例１０］
図３３は、図２９の構造で、３００ｄｐｉのヘッドの適用例を示している。共通電極層２３−１及びグランドラインとしてＣｒを用いた、ノズル数、１２８ピンでの、電極層の各厚みでの、抵抗値、１ピン駆動時の立ち上がり時間１−ＣＲ，全ピン駆動時の波形立ち上がり時間ａｌｌ−ＣＲの計算結果であり、図３４は、この結果をグラフにしたものである。
【００９７】
この結果から、圧力室上の金属層２３−１の厚さを０．１μｍ程度とすると、グランドラインは幅が１００μｍ、厚さが１．０μｍあれば電気特性上問題が無い。
【００９８】
次に、薄い電極層２３−１による剛性層２３−２の最適選択を説明する。図３５及び図３６は、Ｃｒ電極層２３−１を、０．１μｍとした時の剛性層（ＴｉＮ：ヤング率６００ＧＰａ）の厚さに対する飛翔インク量とヘルムホルツ周波数の関係を示している。
【００９９】
図３５、図３６に示すように、剛性層２３−２を厚くすると、振動板が硬くなり、ばね性が向上し、駆動時の周波数は高くなる。しかし、振動板が硬くなるため、定電圧駆動（５．５Ｖ）では、振動板が撓みにくくなり、振動板の変形量が減少する。即ち、圧力室内の体積変化量が減少するため、図３５に示すように、飛翔インク量が少なくなる。
【０１００】
これにより、要求されるインク飛翔量と駆動周波数にあった剛性層の厚みを選択できる。又、図中の点線は、Ｃｒ電極層を１μｍとしたときの特性を示しており、振動板が硬いため、インク飛翔が困難となる。
【０１０１】
以上、本発明を実施の形態により説明したが、本発明の趣旨の範囲内において、種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【０１０２】
産業上の利用可能性 多層で形成される振動板における電極としての金属層を電気的に問題無い状態で出来るだけ薄くすることで、剛性層の形成の選択幅を広げる事が可能となる。圧電体列に並行な位置で低抵抗部（グランドライン）を形成することで、前記金属層を更に薄くすることが可能となる。
【０１０３】
グランドラインからの外部取り出しを多点化することで、グランドラインが微細化できる。グランドラインの構成で単ピン飛翔の場合と多ピン飛翔の場合での電気的なロスが低減でき、印字品質が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のインクジェットヘッドが適用されるインクジェット記録装置の側面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態のインクジェットヘッドの断面斜視図である。
【図３】図２のヘッドの説明図である。
【図４】図３の等価回路図である。
【図５】駆動波形の鈍りを説明する図である。
【図６】図２のヘッドの実施例として、１５０ｄｐｉ、１２８ピンのヘッドに適用した場合の説明図である。
【図７】図６のヘッドの立ち上がり特性図である。
【図８】図６のヘッドの厚みと立ち上がり時間の関係図である。
【図９】図２のヘッドの他の実施例の立ち上がり特性図である。
【図１０】図９の他の実施例のヘッドの厚みと立ち上がり時間の関係図である。
【図１１】図２のヘッドの製造工程説明図（その１）である。
【図１２】図２のヘッドの製造工程説明図（その２）である。
【図１３】図２のヘッドの製造工程説明図（その３）である。
【図１４】本発明の第２の実施の形態のインクジェットヘッドの断面斜視図である。
【図１５】図１４のヘッドの実施例の立ち上がり特性図である。
【図１６】図１５の実施例のヘッドの厚みと立ち上がり時間の関係図である。
【図１７】図１４のヘッドの他の実施例の立ち上がり特性図である。
【図１８】図１７の他の実施例のヘッドの厚みと立ち上がり時間の関係図である。
【図１９】本発明の第３の実施の形態のインクジェットヘッドの断面斜視図である。
【図２０】図１９のヘッドの等価回路図である。
【図２１】図１９のヘッドの製造工程説明図である。
【図２２】図１９のヘッドの実施例の立ち上がり特性図である。
【図２３】図１９の実施例のヘッドの厚みと立ち上がり時間の関係図である。
【図２４】図１９のヘッドの他の実施例の立ち上がり特性図である。
【図２５】図１９の他の実施例のヘッドの厚みと立ち上がり時間の関係図である。
【図２６】図１９のヘッドの更に他の実施例の立ち上がり特性図である。
【図２７】図１９の更に他の実施例のヘッドの厚みと立ち上がり時間の関係図である。
【図２８】本発明の第４の実施の形態のインクジェットヘッドの断面斜視図である。
【図２９】図２８のヘッドの実施例の立ち上がり特性図である。
【図３０】図２９の実施例のヘッドの厚みと立ち上がり時間の関係図である。
【図３１】図２８のヘッドの他の実施例の立ち上がり特性図である。
【図３２】図３１の他の実施例のヘッドの厚みと立ち上がり時間の関係図である。
【図３３】図２９の更に他の実施例のヘッドの厚みと立ち上がり時間の関係図である。
【図３４】図２８のヘッドの振動板の立ち上がり特性図である。
【図３５】図２８のヘッドの振動板のインク飛翔量特性図である。
【図３６】図３５におけるヘルムホルツ周波数を示した図である。
【図３７】従来のマルチノズルインクジェットヘッドの構成図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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