(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転角速度を所定温度範囲内で検出するための振動型ジャイロスコープであって、
基部の周縁部から、四方に向かって放射状に、二つの駆動振動系と検出振動系とが突出しており、各振動系は互いに分離され、駆動振動系は、基部の周縁部から突出する支持部と、支持部の先端側から支持部に直交する方向に延びる屈曲振動片を備える振動子、この振動子を支持する支持部材、およびこの支持部材と前記振動子との間に介在し、この振動子を前記支持部材へと接着する接着剤部と備えており、振動子に駆動振動を与えたときに前記回転角速度に応じて前記振動子に励起される検出振動から前記回転角速度を求めるように構成されており、前記接着剤部を形成する接着剤のｔａｎδ（ここで、貯蔵弾性率（Ｇ’）と損失弾性率（Ｇ’’）の比、Ｇ’’／Ｇ’を損失正接（損失係数）ｔａｎδとする）が前記所定温度範囲内において０．１以下であり、前記接着剤の比重が１．１以下であり、前記振動子が、前記振動子の重心の近傍領域内で支持されていることを特徴とする、振動型ジャイロスコープ。
【請求項２】
前記接着剤がシリコーンゴムであることを特徴とする、請求項１記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項３】
前記振動子のうち前記検出振動の振幅が最も小さい領域で前記振動子が支持されていることを特徴とする、請求項１または２記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項４】
前記振動子が圧電性単結晶からなることを特徴とする、請求項１−３のいずれか一つの請求項に記載の振動型ジャイロスコープ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動型ジャイロスコープに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
回転系内の回転角速度を検出するための角速度センサとして、圧電体を用いた振動型ジャイロスコープが、航空機や船舶、宇宙衛星などの位置の確認用として利用されてきた。最近では、民生用の分野としてカーナビゲーションや、ＶＴＲやスチルカメラの手振れの検出などに使用されている。
【０００３】
このような圧電振動型ジャイロスコープは、振動している物体に角速度が加わると、その振動と直角方向にコリオリ力が生じることを利用している。そして、その原理は力学的モデルで解析される（例えば、「弾性波素子技術ハンドブック」、オーム社、第４９１〜４９７頁）。そして、圧電型振動ジャイロスコープとしては、これまでに種々のものが提案されている。例えば、スペリー音叉型ジャイロスコープ、ワトソン音叉型ジャイロスコープ、正三角柱型音片ジャイロスコープ、円筒型音片ジャイロスコープ等が知られている。
【０００４】
最近、自動車の車体回転速度フィードバック式の車両制御方法に用いる回転速度センサーに、振動型ジャイロスコープを使用することが検討されている。こうしたシステムにおいては、操舵輪の方向自身は、ハンドルの回転角度によって検出する。これと同時に、実際に車体が回転している回転速度を振動ジャイロスコープによって検出する。そして、操舵輪の方向と実際の車体の回転速度を比較して差を求め、この差に基づいて車輪トルク、操舵角に補正を加えることによって、安定した車体制御を実現する。
【０００５】
一方、こうした振動子は、振動型ジャイロスコープの所定の容器内に収容し、固定基板などの固定部材に対して固定することによって、車体へと取り付け可能とする必要がある。この場合には、通常、振動子を基板に対して接着し、固定している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、車体制御システムにおいては、振動型ジャイロスコープおよびその振動子は、幅広い環境温度、即ち高温と低温とにさらされる。このような使用温度範囲は、通常は−４０℃−＋８０℃の範囲にわたっており、一層厳しい仕様では更に広い温度範囲にわたる場合もある。特に、振動子を圧電性単結晶によって形成した場合には、圧電性単結晶の有する温度特性の影響がある。本発明者は、こうした振動子それ自体の有する温度特性をできる限り除去したが、振動子を基板に接着し、−４０℃−＋８０℃の温度範囲で、検出振動の共振尖鋭度（Ｑ値）を測定すると、やはりＱ値に大きな変動が見得られた。即ち、室温の近傍ではほぼ一定のＱ値を示していた場合であっても、環境温度が高温側あるいは低温側へと大きく変動すると、Ｑ値も大きく変動することがあった。
【０００７】
本発明の課題は、振動子を支持部材へと接着した場合に、振動型ジャイロスコープの環境温度が変化した場合にも、振動子の検出振動のＱ値の変動を抑制し、振動型ジャイロスコープの温度特性を減少させることである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、回転角速度を所定温度範囲内で検出するための振動型ジャイロスコープであって、基部の周縁部から、四方に向かって放射状に、二つの駆動振動系と検出振動系とが突出しており、各振動系は互いに分離され、駆動振動系は、基部の周縁部から突出する支持部と、支持部の先端側から支持部に直交する方向に延びる屈曲振動片を備える振動子、この振動子を支持する支持部材、およびこの支持部材と前記振動子との間に介在し、この振動子を前記支持部材へと接着する接着剤部と備えており、振動子に駆動振動を与えたときに前記回転角速度に応じて前記振動子に励起される検出振動から前記回転角速度を求めるように構成されており、前記接着剤部を形成する接着剤のｔａｎδ（ここで、貯蔵弾性率（Ｇ’）と損失弾性率（Ｇ’’）の比、Ｇ’’／Ｇ’を損失正接（損失係数）ｔａｎδとする）が前記所定温度範囲内において０．１以下であり、前記接着剤の比重が１．１以下であり、前記振動子が、前記振動子の重心の近傍領域内で支持されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明者は、前記の環境温度変化に伴う振動子の検出振動のＱ値の変動の原因を探索していたが、その過程で、接着剤のｔａｎδを、目的とする使用温度範囲において０．１以下とすることによって、使用温度範囲の全体においてＱ値を大きくでき、かつその変動を最小限とできることを見いだし、本発明に到達した。
【００１０】
接着剤のｔａｎδは、使用温度範囲（通常−４０℃−＋８０℃、特に好ましくは−４０℃−＋８５℃）の全体においてＱ値を大きくでき、かつその変動を小さくするという観点から、０．０３以下が更に好ましい。また、ｔａｎδの下限は特になく、０．００であってもよい。
【００１１】
使用温度範囲内における接着剤のｔａｎδの最大値と最小値との差は、０．０３以下であることが好ましい。
【００１２】
また、振動子の検出振動のＱ値を更に一定にするという観点から、接着剤の比重は１．１以下とすることが必要である。このように接着剤の比重を１．０に近づけるためには、接着剤中の充填材（フィラー）の含有量を７重量％以下とすることが好ましい。
【００１３】
接着剤の種類は限定されず、シリコーンＲＴＶゴム、シリコーンゲル、シリコーン樹脂、エチレンプロピレンゴム、ブチルゴム、ウレタンゴムなどの合成ゴム、テフロン、四フッ化エチレン樹脂などのフッ素樹脂、塩化ビニール、ナイロン、ポリエチレンなどがある。
【００１４】
接着剤の動的弾性率は１０2 −１０10Ｐａが好ましく、動的損失は１０1 −１０8 Ｐａが好ましい。接着剤の厚さは、動的粘弾性の大きさにほぼ反比例するように調整できる。
【００１５】
接着剤は、振動型ジャイロスコープの使用温度範囲において、動的粘弾性変化の小さい粘弾性体であることが好ましく、使用温度範囲における動的粘弾性の変化率が３倍以内であることが望ましい。
【００１６】
接着剤部の形成方法は限定されない。例えば、未硬化の液状原料を、接着箇所に塗布、ポッティング、スプレー塗布することで、塗布膜を形成できる。例えば、脱アルコール型、脱アセトン型、脱オキシム型、脱酢酸型、付加反応型などの種々のシリコーン接着剤を、ディスペンサーによって接着箇所にポッティングし、付着させることができる。液状原料を接着箇所に塗布またはポッティングする場合には、液状原料の粘性を１００Ｐａ・ｓ以下とすることによって、液状原料の付着面積を容易に広くでき、かつ塗布膜の厚さを均一にできる。また、高分子材料からなるシートや平板状成形体を、接着箇所に接着、粘着することができる。
【００１７】
接着剤の固化方法は限定されず、２液混合による付加反応型接着剤、加熱による付加反応型接着剤、脱アルコール型接着剤を例示できる。
【００１８】
支持部材と振動子との間に介在する接着剤部の厚さは、振動子を確実に固定するという観点からは０．０５ｍｍ以上とすることが好ましく、０．１ｍｍ以上とすることが更に好ましい。支持部材と振動子との間に介在する接着剤部の厚さは、使用温度範囲の全体にわたって振動子のＱ値の変化を一層少なくし、また検出振動の感度を向上させるという観点から、１ｍｍ以下とすることが好ましく、０．４ｍｍ以下とすることが更に好ましい。
【００１９】
振動子のうち駆動振動の振幅が最も小さい領域で振動子を支持することが好ましい。これによって、検出振動片における検出振動の共振尖鋭度（Ｑ値）が向上し、感度を上昇させえる。
【００２１】
有限要素法による固有モード解析によって、振動子における検出振動または駆動振動の振幅の、振動子における検出振動または駆動振動の最大振幅に対する比率を算出し、振動子の各点における前記比率の分布から、検出振動または駆動振動が最も小さい領域を検出できる。
【００２２】
検出振動または駆動振動の最も小さい領域とは、他に一層小さい領域が見当たらないような一つまたは複数の領域を示す。好ましくは、検出振動時または駆動振動時の振動振幅が、振動子における最大振動振幅点の１０００分の２以下であり、特に好ましくは１０００分の１以下である。
【００２３】
特に好適な態様においては、駆動振動と検出振動とが振動子の面内振動である。
【００２４】
本発明においては、振動子が、振動子の重心（振動子が振動していないときの重心）ＧＯの近傍領域内で支持されている。これによって、振動子の外部から加わる振動や加速度による振動子の歪みが振動状態に及ぼす影響を、軽減することができる。
【００２５】
駆動振動の振幅は、検出振動の振幅よりもはるかに大きいので、駆動振動から検出振動への影響を小さくすることが重要である。このため、好適な態様においては、振動子が、振動子の駆動振動の重心ＧＤの近傍領域内で支持されている。これによって、駆動振動による検出振動への影響を最小限とすることができる。
【００２６】
「振動子が、振動子の重心ＧＯまたは駆動振動の重心ＧＤの近傍領域内で支持されている」とは、実質的に重心ＧＯ、ＧＤ上で支持されていてもよいが、重心ＧＯ、ＧＤから直径１ｍｍの円内で支持されている場合を含む。
【００２７】
振動子の表面と支持部材の表面との間に接着剤層を介在させ、この接着剤層によって振動子を接着できる。しかし、振動子に支持孔を形成し、この支持孔の中に支持部材の固定部を挿入し、支持孔の内壁面と固定部との間に接着剤層を介在させ、これによって振動子を支持できる。また、前記の両方を同時に行うこともできる。
【００２８】
支持部材の固定部の形状は限定されないが、突起または棒状であることことが好ましい。支持孔は、いわゆる盲孔でも良いが、貫通孔であることが最も好ましい。支持孔が盲孔である場合には、盲孔が振動子の厚さの１／２以上の深さを有することが好ましい。これは、振動子の内部の方が、検出振動が最も小さい領域が、振動子の表面よりも広いからである。
【００２９】
好適な態様においては、振動子に複数の支持孔を設け、複数の支持孔で前述のように振動子を支持する。これによって、振動子に対して外部振動が加わったときに、この外部振動による擾乱の影響を著しく低減できる。
【００３０】
この態様においては、振動子の重心から見て点対称の位置にある複数の支持孔で、振動子を支持することが好ましい。これによって、外部振動による擾乱の影響が一層減衰する。
【００３１】
また、振動子のうち検出振動が最も小さい領域を囲むように複数の支持孔を設けることができる。この場合には、振動子の重心から見て点対称の位置にある複数の支持孔で、振動子を支持することが特に好ましい。
【００３２】
振動子の材質としては、恒弾性金属の他、圧電セラミックスや圧電性単結晶を用いることが好ましく、その中でも水晶、ＬｉＴａＯ3 単結晶、ＬｉＮｂＯ3 単結晶などの圧電性単結晶を用いることがさらに好ましい。これは、単結晶自体の高いＱ値を、効果的に適用できるためである。
【００３３】
また、本発明は、下記のタイプの横置き型の振動型ジャイロスコープに対して、特に好適に適用できる。
【００３４】
この振動子は、所定の回転軸を中心として回転させるための振動子であって、この振動子が少なくとも複数の振動系を備えており、これら複数の振動系が回転軸に対して交差する所定面内に延びるように形成されており、振動系が、振動系の振動の重心が振動子の重心から見て所定面内で径方向に振動する径方向振動成分を含む第一の振動系と、振動系の振動の重心が振動子の重心から見て所定面内で周方向に振動する周方向振動成分を含む第二の振動系とを備えている。
【００３５】
なお、周方向に振動する振動成分とは、重心ＧＯから見て所定面内で円周方向に振動する振動成分のことを指している。径方向に振動する成分とは、重心ＧＯからみて所定面内で円の直径方向に振動する振動成分のことを指しており、つまり、重心ＧＯに対して遠ざかる方向と近づく方向とに対して交互に振動する成分のことを言う。
【００３６】
前記した第一の振動系と第二の振動系とは、すべて何らかの形で連結され、所定面内に延びる振動子を形成している。こうした振動子を、回転軸Ｚを中心として矢印ωのように回転させることで、回転角速度の検出を行える。
【００３７】
図１は、この態様に係る圧電単結晶製の振動子１を備えた振動型ジャイロスコープを、概略的に示す平面図である。基部８は、振動子の重心ＧＯを中心として、４回対称の正方形をしている。基部８の周縁部８ａから、四方に向かって放射状に、二つの駆動振動系９Ａ、９Ｂ（本例では第一の振動系）と検出振動系１０Ａ、１０Ｂ（本例では第二の振動系）とが突出しており、各振動系は互いに分離されている。駆動振動系９Ａと９Ｂとは、重心ＧＯを中心として２回対称であり、検出振動系１０Ａと１０Ｂとは、重心ＧＯを中心として２回対称である。
【００３８】
駆動振動系９Ａ、９Ｂは、基部８の周縁部８ａから突出する支持部２Ａ、２Ｂと、支持部２Ａ、２Ｂの先端２ｂ側から支持部に直交する方向に延びる屈曲振動片３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄを備えている。各屈曲振動片には、それぞれ駆動電極４Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄが設けられている。検出振動系１０Ａ、１０Ｂは、細長い周方向屈曲振動片からなり、各屈曲振動片には検出電極５Ａ、５Ｂが設けられている。
【００３９】
本発明者は、図１の振動子について、駆動振動および検出振動モードが振動子の全体に及ぼす影響を調べるため、有限要素法による固有モード解析を実施した。そして、振動子を水晶によって作製し、振動子の各点の振動の振幅を、最大振動振幅点に対する比率の分布として求めた。
【００４０】
図２には、振動子の各点の駆動振動モード（図１における矢印Ａの方向）における最大振動時の振幅の相対比率を示し、図３には、振動子の各点の検出振動モード（図１における矢印Ｂの方向）における最大振動時の振幅の相対比率を示している。図２の駆動モードにおいては、各屈曲振動片が、支持部２Ａ、２Ｂの先端部分２ｂ付近を中心として屈曲振動している。図３の検出モードにおいては、支持部２Ａ、２Ｂが、固定部２ａを中心として周方向に屈曲振動し、これに対応して、検出振動系の屈曲振動片１０Ａ、１０Ｂが屈曲振動している。
【００４１】
図２および図３において、それぞれ色の異なる領域は、各別に異なる最大振動振幅点との比率の領域を示す。橙色の部分が、振幅が最小の領域となる。
【００４２】
図２によると、各支持部２Ａ、２Ｂの基部８に対する固定部２ａの近辺では、各駆動振動系の振動に伴って引っ張り応力が加わり、変形が見られる。しかし、この変形の影響は、各駆動振動系９Ａと９Ｂとが２回対称の位置に配置されていることから、基部内において互いに相殺し合う。このため、基部の中心付近、そして駆動振動系に挟まれた検出振動系１０Ａ、１０Ｂにおいては、駆動振動による影響が見られなくなっている。
【００４３】
図３によると、各駆動振動系９Ａと９Ｂとから基部に加わる影響が相殺し合っている。しかも、各検出振動系１０Ａ、１０Ｂから基部に加わる影響も、各検出振動系が２回対称の位置に配置されていることから、基部内において互いに相殺し合う。この結果、基部の中心付近６Ａ（図１および図３参照）においては、検出振動による影響が見られなくなっている。
【００４４】
本例においては、図１−図３におけるように、駆動振動が最も小さい領域内に、振動子の重心ＧＯが位置している。また、検出振動が最も小さい領域内に、振動子の重心ＧＯが位置しており、重複領域内に、支持孔７Ａを設ける。
【００４５】
検出振動の振幅が最小の領域６Ａ内において、本発明に従って振動子１を支持し、固定し、および／または、支持孔７Ａにおいて振動子１を支持し、固定する。
【００４６】
図４は、他の実施形態に係る振動子１１を概略的に示す平面図である。駆動振動系９Ａ、９Ｂ、検出振動系１０Ａ、１０Ｂおよびこれらの動作については、図１に示したものと同様である。この基部１３の検出振動系側の２片の周縁１３ａから枠部１２Ａ、１２Ｂが延びており、各枠部の中に各検出振動系が包囲されている。各枠部は、それぞれ、各検出振動系と平行に延びる接続部分１２ａと、振動子の支持、固定を必要に応じて行うための支持枠１２ｂとを備えている。枠部１２Ａ、１２Ｂの中で、駆動振動時および検出振動時の振幅が最小の領域を支持、固定する。
【００４７】
こうした形態の振動子では、その駆動振動においては、各支持部２Ａ、２Ｂの基部１３に対する固定部２ａの近辺では、各駆動振動系の振動に伴って引っ張り応力が加わり、変形が見られる。この影響は、枠部の接続部分１２ａにおいても若干見られる。しかし、これらの影響は相殺し合うために、基部の中心付近、駆動振動系の各屈曲振動片および枠部の支持枠１２ｂにおいては、駆動振動による影響が見られなくなっている。
【００４８】
この振動子の検出振動においては、各駆動振動系、各検出振動系から基部１３に加わる影響は互いに相殺し合い、この結果、基部１３の中心付近６Ａにおいては、検出振動による影響が見られなくなっている。また、本例においては、駆動振動時の振動子の微小変位部分内に、振動子の重心ＧＯと駆動振動系の全体の重心ＧＤとが位置している。また、検出振動時の振動子の微小変位部分６Ａ内に、振動子の重心ＧＯと駆動振動系の全体の重心ＧＤとが位置している。
【００４９】
検出振動の振幅が最小の領域６Ａ内において、本発明に従って振動子１１を支持し、固定し、および／または、支持孔７Ａ（図示せず）において振動子１１を支持し、固定する。また、支持枠１２ｂ内の領域６Ｂも振幅が最小となるので、この領域６Ｂ内において、本発明に従って振動子１１を支持し、固定できる。また、領域６Ｂ内に、図示しない支持孔を形成し、この支持孔において振動子１１を支持し、固定できる。
【００５０】
振動子の固定は、例えば図５、図６に示すようにして行う。支持台２２の上には、スペーサー２８、制御部２９および支持部材２３が載置されている。スペーサー２８の上に振動子３０が載置されており、振動子３０の支持孔２７に、支持部材２３の突起２３ａが挿入されている。支持孔２７の内壁面と突起２３ａとの隙間は、接着剤２０によって充填されている。制御部２９の上には所定のワイヤー２６が接続されており、ワイヤー２６が振動子３０上の所定の電極パターンに接続されている。また、固定台２４から固定治具２５が突出しており、固定治具２５によって振動子３０がスペーサー上の所定箇所に機械的に固定されている。
【００５１】
振動子に支持孔を設けた場合の具体的支持形態を中心として、図７を参照しつつ更に述べる。
【００５２】
図７（ａ）においては、支持部材の突起３１を支持孔２７の下方に配置し、振動子の表面と突起３１とを、接着剤層２０を介して接合する。図７（ｂ）においては、振動子の支持孔２７を挟むように、振動子の上下に突起３１Ａ、３１Ｂを設置し、支持孔２７の中に接着剤２０を充填し、かつ振動子３０と突起３１Ａおよび突起３１Ｂとの間に接着剤２０を充填する。
【００５３】
また、図７（ｃ）に示すように、支持部材３２の突起３２ａを支持孔２７中に挿入し、挿通し、支持部材３２の端面と振動子３０との間、および突起３２ａと支持孔２７の内壁面との間に、接着剤層２０を形成する。また、図７（ｄ）においては、図７（ｂ）と同様に、突起３２の方にピン３２ａを設け、他方の突起３３の方に孔３３ａを設け、突起３２と３３とを、振動子３０の支持孔２７を挟むように上下に配置し、ピン３２ａを支持孔２７に挿入し、貫通させ、更に突起３３の孔３３ａに挿入する。そして、突起３２および３３の各端面と振動子３０との間、および支持部材３２ａと支持孔２７の内壁面との間に、接着剤２０を充填する。
【００５４】
接着剤部を設ける際には、一液型または二液型の接着剤を所定箇所に塗布、印刷等の方法によって充填し、硬化させる。また、図７（ａ）に示すような平坦な接着剤層を形成する場合には、予め接着剤層の成形用の型の中に、一液型または二液型などの液状の接着剤を充填することによって平板形状の接着剤層を形成し、この接着剤層を、振動子と支持部材との間に挟み、この状態で接着剤層を更に硬化させることができる。この場合には、図７（ａ）において、支持品２７はなくともよい。こうした成形方法を採用することによって、接着剤層の厚さおよび平面的形状を一定に保持することができる。振動子の検出振動の振幅は一般に微小であり、振動子に対して直接に接触する接着剤層の形状および物性によって大きく影響を受ける。従って、振動型ジャイロスコープの各製品ごとの特性の変動を最小限にするためには、接着剤層の硬化後の材質だけでなく、接着剤層の寸法を一定にすることが、振動型ジャイロスコープの製品の歩留りを向上させる上で重要である。この観点から見て、前記の成形方法はきわめて有益である。
【００５５】
振動子と支持部材との間にほぼ一定厚さの接着剤層を介在させる場合には、振動子の固定強度を向上させ、振動型ジャイロスコープに対して外部から加わる外乱の影響を最小限とするという観点からは、接着剤層の面積を２ｍｍ2 以上とすることが好ましい。検出振動のＱ値を大きくするという観点からは、接着剤層の面積を１０ｍｍ2 以下とすることが好ましい。
【００５６】
以下、具体的な実験結果について述べる。
【００５７】
図１に示す振動型ジャイロスコープを作製した。具体的には、厚さ０．３ｍｍの水晶のＺ板のウエハーに、スパッタ法によって、所定位置に、厚さ２００オングストロームのクロム膜と、厚さ５０００オングストロームの金膜とを形成した。ウエハーの両面にレジストをコーティングした。
【００５８】
このウエハーを、ヨウ素とヨウ化カリウムとの水溶液に浸漬し、余分な金膜をエッチングによって除去し、更に硝酸セリウムアンモニウムと過塩素酸との水溶液にウエハーを浸漬し、余分なクロム膜をエッチングして除去した。温度８０℃の重フッ化アンモニウムに２０時間ウエハーを浸漬し、ウエハーをエッチングし、振動子の外形を形成した。メタルマスクを使用して、厚さ２０００オングストロームのアルミニウム膜を電極膜として形成した。
【００５９】
得られた振動子の基部８の寸法は６．０ｍｍ×６．０ｍｍであり、各検出振動片１０Ａ、１０Ｂの寸法は、幅１．０ｍｍ×長さ６．０ｍｍであった。検出電極５Ａ、５Ｂの寸法は、幅０．６ｍｍ×長さ２．８ｍｍであり、検出振動片１０Ａ、１０Ｂの付け根から１．２−４．０ｍｍの位置に形成されていた。
【００６０】
図７（ｃ）に示すように、振動子１の中央部に０．７５ｍｍ×０．７５ｍｍの正方形の支持孔７Ａ（図７では２７）を形成し、金属製の支持部材（突起）３２の先端の直径０．６ｍｍの金属ピン３２ａを支持孔７Ａに通し、金属ピン３２ａに対して振動子１を接着した。この際には、表１に示す各接着剤を使用した。
【００６１】
【表１】
0004364349.tif 000002
【００６２】
各接着剤の−４０℃−＋８０℃におけるｔａｎδの最大値、ｔａｎδの最小値、および動的弾性率の最大値と最小値との比率を、表２に示す。また、各振動型ジャイロスコープについて、駆動電極間および検出電極間の各々について、インピーダンスアナライザを用いて、電気インピーダンスの周波数変化を測定し、共振先鋭度（Ｑ値）を見積もり、表２に示す。
【００６３】
【表２】
0004364349.tif 000003
【００６４】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、振動子を支持部材へと接着した場合に、振動型ジャイロスコープの環境温度が大きく変化した場合にも、振動子の検出振動のＱ値の変動を抑制し、振動型ジャイロスコープの温度特性を減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を特に好適に適用できる振動子１の動作を説明するための、概略的正面図である。
【図２】図１の振動子の駆動振動モードについて、有限要素法による固有モード解析の結果の一例を示す図である。
【図３】図１の振動子の検出振動モードについて、有限要素法による固有モード解析の結果の一例を示す図である。
【図４】本発明を適用できる他の振動子１１の動作を説明するための、概略的正面図である。
【図５】振動子の支持および固定装置の一例を概略的に示す断面図である。
【図６】図５の支持および固定装置を示す斜視図である。
【図７】（ａ）−（ｄ）は、接着剤２０を使用して振動子を支持手段に接合し、支持する態様を示す要部断面図である。
【符号の説明】
１、１１、３０  振動子，３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ  駆動振動片，４Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄ  駆動電極，５Ａ、５Ｂ  検出電極，６Ａ  駆動振動の振幅および検出振動の振幅が最小の領域，７Ａ、２７  支持孔，９Ａ、９Ｂ駆動振動系，１０Ａ、１０Ｂ  検出振動系，２０  接着剤部，２３、３１、３１Ａ、３１Ｂ、３２、３３  支持部材，Ａ  駆動振動，Ｂ  検出振動
【図１】
0004364349.tif 000004
【図２】
0004364349.tif 000005
【図３】
0004364349.tif 000006
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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