(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
高湿分空気領域からワークをコンベア搬入する経路に低湿分空気の供給を受けてワークの作業領域を低湿分状態に保持する作業チャンバを設置するとともに、これをワーク搬入路に沿って延長することにより搬入チャンバを形成し、前記ワーク搬入路に向けた低湿分空気の吹出口を前記搬入チャンバに設置し、および／または前記ワーク搬入路における高湿分空気の吸込口を前記搬入チャンバに設置して、搬入ワークの後方に随伴する高湿分空気を低湿分空気に置換可能としたことを特徴とするドライチャンバ。
【請求項２】
前記吹出口は、前記ワーク搬入路の搬入方向上流側に向けて低湿分空気を吹き出すように設置され、前記吸込口は、前記ワーク搬入路の搬入方向上流側に向かって高湿分空気を吸い込むように設置されていることを特徴とする請求項１に記載のドライチャンバ。
【請求項３】
前記吹出口の吹き出し方向と前記吸込口の吸い込み方向とが向かい合って設置されていることを特徴とする請求項１または２に記載のドライチャンバ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はドライチャンバに関するものであり、特にリチウムイオン電池の製造時に電解液の注入工程で使用されるドライチャンバに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
パソコン、携帯電話または電気自動車等のバッテリとして、リチウムイオン電池が使用されている。リチウムイオン電池の製造は、▲１▼塗布材料の混合、▲２▼電極への塗布、▲３▼電極裁断、▲４▼電極捲回、▲５▼容器詰め、▲６▼電解液注入（以下、注液と略す）、▲７▼かしめ、および▲８▼梱包の各工程を経て行う。このうち▲６▼電解液注入工程では、電解液が水分と反応しやすいため、低湿分環境下において注液作業を行う必要がある。
【０００３】
図４に電解液注入工程の説明図を示す。電解液注入作業は、ドライルーム９の内部に設置された、ドライチャンバ１０８の内部で行う。一方ドライルーム９の外部には低露点用除湿器２が設置されている。低露点用除湿器２は、取り入れた外気を、露点温度（以下、ＤＰと略す）−６０℃（水分濃度１０ｐｐｍ）程度にまで除湿する。これを供給配管１８によりドライチャンバ１０８に供給して、ドライチャンバ１０８内をＤＰ−６０℃程度の低湿分状態とする。一方同じ低湿分空気を、供給配管１９によりドライルーム９にも供給するが、ドライルーム９内では作業員の発汗などのため、ＤＰ−３０℃程度の比較的高湿分状態となる。
【０００４】
図５に従来技術に係るドライチャンバの説明図を示す。ドライチャンバ８は、作業チャンバ１０８ａ並びに搬入チャンバ１０８ｂおよび搬出チャンバ１０８ｃで構成される。中央の作業チャンバ１０８ａには、注液ノズル１２が設置され注液作業領域７が形成されている。その上方には、上述した低湿分空気の供給配管１８が設置されている。また作業チャンバの下方には、リチウムイオン電池の容器（以下、電池容器と呼ぶ）１４を搬送するコンベア１３が設置されている。その電池容器１４の搬入路を取り囲むように搬入チャンバ１０８ｂが設置され、搬出路を取り囲むように搬出チャンバ１０８ｃが設置されている。そしてコンベア１３により、矢印１０のようにドライルーム９側からドライチャンバ１０８の内部に電池容器１４を搬入し、注液作業領域７において注液作業を行う。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
電池容器１４が空気中を移動する際に、電池容器の表面を流れる空気は容器後方ではく離し、容器後方に発生する渦１５は容器に随伴して移動する。高湿分状態にあるドライルーム９から電池容器１４を搬入する場合には、高湿分空気で形成された渦１５が随伴することになる。さらに低湿分状態にあるドライチャンバ１０８の内部に電池容器１４が搬入されても、電池容器の表面を流れる低湿分空気は容器後方ではく離するため、渦１５を形成する高湿分空気は低湿分空気によって置換されにくい。従って、低湿分状態に保持すべき注液作業領域７に、高湿分空気が持ち込まれてしまうという問題がある。
【０００６】
その対策として、作業チャンバ１０８ａおよびドライルーム９に供給する低湿分空気量を増加させていたが、多くの運転コストがかかるという問題があった。また別の対策として、搬入チャンバ１０８ｂの長さを延長する方法が考えられるが、渦１５を形成する高湿分空気を低湿分空気に完全に置換するには、搬入チャンバ１０８ｂを相当程度長くする必要がある。従って、製造コストが高くなるという問題がある。
【０００７】
本発明は上記問題点に着目し、ワークの搬入に伴って外部の高湿分空気が作業領域まで持ち込まれることのないドライチャンバを、低コストにより提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に係るドライチャンバは、高湿分空気領域からワークをコンベア搬入する経路に低湿分空気の供給を受けてワークの作業領域を低湿分状態に保持する作業チャンバを設置するとともに、前記ワーク搬入路に向けた低湿分空気の吹出口を前記搬入チャンバに設置し、および／または前記ワーク搬入路における高湿分空気の吸込口を前記搬入チャンバに設置して、搬入ワークの後方に随伴する高湿分空気を低湿分空気に置換可能とした構成とした。
【０００９】
なお前記吹出口は、前記ワーク搬入路の搬入方向上流側に向けて低湿分空気を吹き出すように設置され、前記吸込口は、前記ワーク搬入路の搬入方向上流側に向かって高湿分空気を吸い込むように設置されている構成とするのが望ましい。また、前記吹出口の吹き出し方向と前記吸込口の吸い込み方向とが向かい合って設置されている構成とするのが望ましい。
【００１０】
【作用】
ワーク搬入路に向けた低湿分空気の吹出口を搬入チャンバに設置する構成としたので、ワークの後方に随伴する高湿分空気の渦は、搬入チャンバに設置した吹出口の前を通過する際に、吹き出された低湿分空気によって置換される。なお作業チャンバに供給された低湿分空気は、搬入チャンバを通って外部に至る気流を形成するので、置換された高湿分空気はその気流によって外部に運ばれ、作業領域に流入することはない。従って、ワークの搬入に伴って外部の高湿分空気が作業領域まで持ち込まれることがない。また、ワーク搬入路における高湿分空気の吸込口を搬入チャンバに設置する構成としたので、ワークの後方に随伴する高湿分空気の渦は、搬入チャンバに設置した吸込口の前を通過する際に吸い込まれ、周囲の低湿分空気によって置換される。なお吸い込まれた高湿分空気は、搬入チャンバの外部に排出される。従って、ワークの搬入に伴って外部の高湿分空気が作業領域まで持ち込まれることがない。さらに上記構成とすれば、ワークの搬入に伴って外部の高湿分空気が作業領域まで持ち込まれることがないドライチャンバを、搬入チャンバの長さを延長することなく、低コストで提供することができる。
【００１１】
なお吹出口は、ワーク搬入路の搬入方向上流側に向けて低湿分空気を吹き出すように設置され、また吸込口は、ワーク搬入路の搬入方向上流側に向かって高湿分空気を吸い込むように設置されている構成としたので、作業領域からドライルーム側に至る低湿分空気の気流を阻害することなく、ワークの後方に随伴する高湿分空気の渦を低湿分空気に置換することができる。従って、ワークの搬入に伴って外部の高湿分空気が作業領域まで持ち込まれることがない。
【００１２】
また、吹出口の吹き出し方向と吸込口の吸い込み方向とが向かい合って設置されている構成としたので、吹き出された低湿分空気によって置換された高湿分空気は、直ちに吸込口から搬入チャンバの外部へ排出される。従って、ワークの搬入に伴って外部の高湿分空気が作業領域まで持ち込まれることがない。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態につき、図面を参照して詳細に説明する。なお以下に記載するのは本発明の実施形態の一態様にすぎず、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００１４】
最初に、第１実施形態について説明する。図１に第１実施形態に係るドライチャンバの斜視図を示す。第１実施形態に係るドライチャンバ８は、リチウムイオン電池の容器（以下、電池容器と呼ぶ）１４に対する注液作業領域７を低湿分状態に保持する作業チャンバ８ａを設置するとともに、これを電池容器１４の搬入路に沿って延長することにより搬入チャンバ８ｂを形成し、電池容器１４の搬入路に向けた低湿分空気の吹出口２２を搬入チャンバ８ｂに設置し、および電池容器１４の搬入路における高湿分空気の吸込口２７を搬入チャンバ８ｂに設置したものである。
【００１５】
第１実施形態に係るドライチャンバ８は、従来技術と同様に、図４に示すドライルーム９の内部に設置する。一方、ドライルーム９の外部には低露点用除湿器２を設置し、ＤＰ−６０℃程度にまで除湿された低湿分空気を、供給配管１８によりドライチャンバ８に供給可能とするとともに、供給配管１９によりドライルーム９にも供給可能とする。
【００１６】
第１実施形態に係るドライチャンバ８は、作業チャンバ８ａ並びに搬入チャンバ８ｂおよび搬出路チャンバ８ｃにより構成される。まず、リチウムイオン電池の注液作業領域７を低湿分状態に保持する作業チャンバ８ａを設置する。図１では、電池容器１４に電解液を注入する注液ノズル１２が設置され、注液作業領域７が形成されている。この注液作業領域７を取り囲むように、作業チャンバ８ａを設置する。作業チャンバ８ａの上方には、上述した低湿分空気の供給配管１８を接続し、低湿分空気の供給が受けられるようにする。一方、作業チャンバ８ａの下方には、作業領域に対し電池容器１４を搬入および搬出するコンベア１３を設置する。そして作業チャンバ８ａを延長することにより、電池容器１４の搬入路に沿って搬入チャンバ８ｂを形成するとともに、電池容器１４の搬出路に沿って搬出路チャンバ８ｃを形成する。
【００１７】
その搬入チャンバ８ｂに、低湿分空気の吹出口２２を設置する。吹出口２２の高さは、電池容器１４の高さと同等に形成する。これにより、電池容器１４に随伴する高湿分空気の渦１５の大部分を、低湿分空気に置換することができる。吹出口２２に対する低湿分空気の供給は、作業チャンバ８ｂに対する低湿分空気の供給配管１８を分岐した、供給配管１８ａにより行う。なお、ドライルーム９に対する供給配管１９を分岐して行うこともできる。
【００１８】
吹出口２２は、電池容器１４の搬入路に向けて低湿分空気を吹き出すように設置する。具体的には、搬入される電池容器１４の後方に向けて、低湿分空気を吹き出すことが可能となる位置および方向に設置する。なお、注液作業のため各電池容器１４が一時停止を繰り返しながら搬送される場合には、予め搬入チャンバ８ｂ内における各電池容器１４の一時停止場所を確認しておく。そしてその場合の吹出口２２の設置位置は、図１に示すように、上記一時停止場所の後方であって、搬入チャンバ８ｂの側面上の位置とする。また、その場合の吹出口２２の設置方向は、電池容器の搬入方向１０と直交する方向とする。これにより、一時停止した電池容器１４の後方に向けて低湿分空気を吹き出すことが可能となり、低湿分空気による置換確率が向上する。なお吹出口２２は、搬入チャンバ８ｂの側面に限られず、その上面に設置してもよい。一方、電池容器１４が一時停止することなく搬送される場合には、吹出口２２の設置位置は、搬入チャンバ８ｂにおける任意の位置とすることができる。なお吹出口２２の設置方向は、上記と同様に電池容器の搬入方向１０と直交する方向とする。
【００１９】
一方、高湿分空気の吸込口２７を搬入チャンバ８ｂに設置する。吸込口２７の高さは、電池容器１４の高さと同等に形成する。これにより、電池容器１４に随伴する高湿分空気の渦１５の大部分を、低湿分空気に置換することができる。高湿分空気の吸引は、図示しないポンプ等を吸込口２７に接続して行う。なお、吸い込んだ高湿分空気はそのままドライルーム９内に放出するから、ポンプに代えて小型の排気ファンを設置することもできる。従って、図２に示すような排気ファン２８ａを備えた吸込口２８を設置することにより、吸込口の製造コストおよび運転コストをともに削減することができる。
【００２０】
吸込口２７は、電池容器１４の搬入路における高湿分空気を吸い込むように設置する。具体的には、搬入される電池容器１４の後方に随伴する高湿分空気を吸い込むことが可能となる位置および方向に設置する。電池容器１４が一時停止を繰り返しながら搬送される場合には、吸込口２７の設置位置は、搬入チャンバ８ｂにおける電池容器の一時停止場所の後方であって、搬入チャンバの側面上の位置とする。また、その場合の吸込口２７の設置方向は、電池容器の搬入方向１０と直交する方向とする。これにより、一時停止した電池容器１４に対して、その後方に随伴する高湿分空気を吸い込むことが可能となり、高湿分空気の回収確率が向上する。なお吸込口２７は、搬入チャンバ８ｂの側面に限られず、その上面に設置してもよい。一方、電池容器１４が一時停止することなく搬送される場合には、吸込口２７の設置位置は、搬入チャンバ８ｂにおける任意の位置とすることができる。なお吸込口２７の設置方向は、上記と同様に電池容器の搬入方向１０と直交する方向とする。
【００２１】
上記のように構成した第１実施形態に係るドライチャンバは、以下の方法に従って使用する。
まず低露点用除湿器２を運転し、取り入れた外気をＤＰ−６０℃程度にまで除湿する。次にその低湿分空気を、作業チャンバ８ａ、吹出口２２およびドライルーム９に供給する。同時にドライルーム９内部の高湿分空気を、排出配管２０によって低露点用除湿器２に戻す。これにより、作業チャンバ８ａの内部はＤＰ−６０℃程度となるのに対し、ドライルーム９内では作業員の発汗などのため、ＤＰ−３０℃程度の比較的高湿分状態となる。次に、作業チャンバ８ａの内部がＤＰ−６０℃程度の低湿分状態になったことを確認したら、コンベア１３を運転して電池容器１４の供給を開始する。電池容器１４は一定間隔でコンベア１３に載置し、注液作業領域７に搬入する。
【００２２】
ところで、電池容器１４が空気中を移動する際に、電池容器の表面を流れる空気は容器後方ではく離し、容器後方に発生する渦１５は容器に随伴して移動する。高湿分状態にあるドライルーム９から電池容器１４を搬入する場合には、高湿分空気で形成された渦１５が随伴することになる。この高湿分空気の渦１５が、搬入チャンバに設置した吹出口２２の前を通過する際に、吹き出された低湿分空気によって電池容器１４から引き離され、その低湿分空気によって置換される。なお作業チャンバ８ａに供給された低湿分空気は、搬入チャンバ８ｂを通ってドライルーム９側に至る気流を形成するので、置換された高湿分空気はその気流によってドライルーム９側に運ばれる。一方、この渦１５が搬入チャンバ８ｂに設置した吸込口２７の前を通過する際に、電池容器１４から引き離されて吸い込まれ、周囲の低湿分空気によって置換される。なお吸い込んだ高湿分空気は、ドライルーム９内に放出する。
【００２３】
なお、吹出口２２と吸込口２７とは相対して設置するのが好ましい。この場合、吹き出された低湿分空気によって置換された高湿分空気は、直ちに吸込口２７に吸い込まれてドライルーム９内に放出される。従って、ワークの搬入に伴って外部の高湿分空気が作業領域まで持ち込まれることがない。
【００２４】
上記のように構成した第１実施形態に係るドライチャンバを、上記の方法に従って使用することにより、電池容器の搬入に伴って外部の高湿分空気が注液作業領域まで持ち込まれることのないドライチャンバを、低コストにより提供することができる。この点、高湿分状態にあるドライルームから電池容器を搬入する場合に、電池容器の後方には高湿分空気の渦が随伴する。そして低湿分状態にあるドライチャンバ内に電池容器が搬入されても、電池容器の表面を流れる低湿分空気は容器後方ではく離するため、渦を形成する高湿分空気は低湿分空気によって置換されにくい。従って従来技術では、低湿分状態に保持すべき注液作業領域内に高湿分空気が持ち込まれることになる。そのため、作業チャンバおよびドライルームに供給する低湿分空気量を増加させて対応していたが、多くの運転コストがかかっていた。またドライチャンバの搬入部を延長して対応すれば、渦を形成する高湿分空気を完全に置換するには搬入部を相当程度長くする必要があり、製造コストが高くなる。
【００２５】
しかし、第１実施形態に係るドライチャンバは、低湿分空気の供給を受けて電池容器の注液作業領域を低湿分状態に保持する作業チャンバを設置するとともに、これを電池容器の搬入路に沿って延長することにより搬入チャンバを形成し、電池容器の搬入路に向けた低湿分空気の吹出口を搬入チャンバに設置し、および電池容器の搬入路における高湿分空気の吸込口を搬入チャンバに設置して、搬入電池容器の後方に随伴する高湿分空気を低湿分空気に置換可能とした構成とした。電池容器に随伴する高湿分空気の渦は、搬入チャンバに設置した吹出口の前を通過する際に、吹き出された低湿分空気によって置換される。従って、電池容器の搬入に伴って外部の高湿分空気が注液作業領域まで持ち込まれることがない。また、電池容器に随伴する高湿分空気の渦は、搬入チャンバに設置した吸込口の前を通過する際に吸い込まれ、周囲の低湿分容器によって置換される。従って、電池容器の搬入に伴って外部の高湿分空気が注液作業領域まで持ち込まれることがない。
【００２６】
また上記構成とすることにより、作業チャンバおよびドライルームに供給する低湿分空気量を増加させる必要がなくなり、低露点用除湿器の運転コストを低減することができる。なおこれに付随して、ドライルーム内の露点温度を低く設定することができる。さらに上記構成とすることにより、搬入チャンバを延長する必要もなくなり、製造コストの増加を回避することができる。
【００２７】
なお第１実施形態では、吹出口および吸込口の両方を設置する場合について述べたが、いずれか一方でもよい。その場合でも、電池容器の搬入に伴って外部の高湿分空気が作業領域まで持ち込まれることがない。また、吹出口および吸込口のいずれか一方のみを設置するので、ドライチャンバの製造コストを削減することができる。
【００２８】
次に、第２実施形態について説明する。図３（１）に第２実施形態に係るドライチャンバの平面図を示す。第１実施形態と第２実施形態との相違点は、電池容器１４の搬入路の搬入方向上流側に向けて低湿分空気を吹き出すように吹出口３２，３３を設置した点、および電池容器１４の搬入路の搬入方向上流側に向かって高湿分空気を吸い込むように吸込口３７，３８を設置した点である。なお、第１実施形態と同じ構成となる部分については、説明を省略する。
【００２９】
搬入チャンバ８ｂに、低湿分空気の吹出口３２，３３を設置する。各吹出口３２，３３は、電池容器１４の搬入方向１０の上流側に向けて低湿分空気を吹き出すように設置する。具体的には、搬入される電池容器１４の後方に向けて、それより前方から低湿分空気を吹き出すことが可能となる位置および方向に設置する。なお、注液作業のため各電池容器１４が一時停止を繰り返しながら搬送される場合には、予め搬入チャンバ８ｂ内における各電池容器１４の一時停止場所を確認しておく。そしてその場合の吹出口３２の設置位置は、図３（１）に示すように、上記一時停止場所の直後より前方であって、搬入チャンバ８ｂの側面上の位置とする。なおその反対側の側面上には吹出口３３を設置する。また、その場合の吹出口３２，３３の設置方向は、電池容器１４の上記一時停止場所の後方に向けた方向とする。これにより、一時停止した電池容器１４の後方に向けてそれより前方から低湿分空気を吹き出すことが可能となり、低湿分空気による置換確率が向上する。一方、電池容器１４が一時停止することなく搬送される場合には、吹出口３２，３３の設置位置は、搬入チャンバ８ｂにおける任意の位置とすることができる。なお吹出口３２，３３の設置方向は、電池容器１４の搬入方向上流側に向けた方向とする。
【００３０】
一方、高湿分空気の吸込口３７，３８を搬入チャンバ８ｂに設置する。吸込口３７，３８は、電池容器１４の搬入方向１０の上流側に向かって高湿分空気を吸い込むように設置する。具体的には、電池容器１４の後方に随伴する高湿分空気を、それより後方の位置から吸い込むことが可能となる位置および方向に設置する。電池容器１４が一時停止を繰り返しながら搬送される場合には、吸込口３７の設置位置は、搬入チャンバ８ｂにおける上記一時停止場所の直後より後方であって、搬入チャンバ８ｂの側面上の位置とする。なおその反対側の側面上には吸込口３８を設置する。また、その場合の吸込口３７，３８の設置方向は、電池容器１４の上記一時停止場所の後方に向けた方向とする。これにより、一時停止した電池容器１４に対して、その後方に随伴する高湿分空気を吸い込むことが可能となり、高湿分空気の回収確率が向上する。一方、電池容器１４が一時停止することなく搬送される場合には、吸込口３７，３８の設置位置は、搬入チャンバ８ｂにおける任意の位置とすることができる。なお吸込口３７，３８の設置方向は、電池容器１４の搬入方向下流側に向けた方向とする。
【００３１】
上記のように、第２実施形態に係るドライチャンバは、電池容器１４の搬入路の搬入方向上流側に向けて低湿分空気を吹き出すように吹出口を設置したので、作業領域側からドライルーム側に向かって低湿分空気を吹き出すことになる。また、電池容器１４の搬入路の搬入方向上流側に向かって高湿分空気を吸い込むように吸込口を設置したので、作業領域側からドライルーム側に向かって高湿分空気を吸い込むことになる。いずれの場合も、作業領域からドライルーム側に至る低湿分空気の気流を阻害することなく、電池容器の後方に随伴する高湿分空気の渦を低湿分空気に置換することができる。従って、電池容器の搬入に伴って外部の高湿分空気が作業領域まで持ち込まれることがない。
【００３２】
また、吹出口および吸込口をそれぞれ複数個設置したので、電池容器の後方に随伴する高湿分空気の渦を、確実に低湿分空気に置換することができる。従って、電池容器の搬入に伴って外部の高湿分空気が作業領域まで持ち込まれることがない。
【００３３】
なお第１実施形態と同様に、吹出口３２，３３と吸込口３７，３８とはそれぞれ相対して設置するのが好ましい。この場合、吹き出された低湿分空気によって置換された高湿分空気は、直ちに吸込口に吸い込まれてドライルーム内に放出される。従って、電池容器の搬入に伴って外部の高湿分空気が作業領域まで持ち込まれることがない。
【００３４】
なお第２実施形態では、吹出口および吸込口の両方を設置する場合について述べたが、いずれか一方でもよい。図３（２）に吹出口４２，４３のみを設置した場合の平面図を示す。また、複数の吹出口または吸込口を設置する場合でも、全て同じ方向に向けて設置する必要はない。図３（３）に複数の吹出口をそれぞれ異なる方向に向けて設置した場合の平面図を示す。図３（３）は、注液作業のため各電池容器が一時停止を繰り返しながら搬送される場合であって、搬入チャンバ８ｂ内で各電池容器が一時停止する場所１４ａ，１４ｂに対して、それぞれ吹出口５２，５３を設置したものである。図３（２）（３）のいずれの場合も、電池容器の搬入に伴って外部の高湿分空気が作業領域まで持ち込まれることがない。また、吹出口および吸込口のいずれか一方のみを設置するので、ドライチャンバの製造コストを削減することができる。
【００３５】
【発明の効果】
高湿分空気領域からワークをコンベア搬入する経路に低湿分空気の供給を受けてワークの作業領域を低湿分状態に保持する作業チャンバを設置するとともに、前記ワーク搬入路に向けた低湿分空気の吹出口を前記搬入チャンバに設置し、および／または前記ワーク搬入路における高湿分空気の吸込口を前記搬入チャンバに設置して、搬入ワークの後方に随伴する高湿分空気を低湿分空気に置換可能とした構成としたので、ワークの搬入に伴って外部の高湿分空気が作業領域まで持ち込まれることのないドライチャンバを、低コストにより提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態に係るドライチャンバの斜視図である。
【図２】排気ファンを備えた吸込口の斜視図である。
【図３】（１）は第２実施形態に係るドライチャンバの平面図であり、（２）は吹出口のみを設置した場合の平面図であり、（３）は複数の吹出口をそれぞれ異なる方向に向けて設置した場合の平面図である。
【図４】電解液注入工程の説明図である。
【図５】従来技術に係るドライチャンバの説明図である。
【符号の説明】
２………低露点用除湿器、７………注液作業領域、８………ドライチャンバ、
８ａ………作業チャンバ、８ｂ………搬入チャンバ、８ｃ………搬出チャンバ、
９………ドライルーム、１０………搬入方向、１２………注液ノズル、
１３………コンベア、１４，１４ａ，１４ｂ………リチウムイオン電池容器、
１５………渦、１８，１８ａ，１９………低湿分空気の供給配管、
２０………高湿分空気の排出配管、２２………吹出口、２７………吸込口、
２８………吸込口、２８ａ………排気ファン、３２，３３………吹出口、
３７，３８………吸込口、４２，４３，５２，５３………吹出口、
１０８………ドライチャンバ、１０８ａ………作業チャンバ、
１０８ｂ………搬入チャンバ、１０８ｃ………搬出チャンバ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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