(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハ移載装置の内壁面に、ガイドレールが略水平に取付けられていて、前記ガイドレールに装着され、略水平方向に往復直線移動可能なウェハ移載ロボットを着脱するための台車であって、
下面にキャスタが取付けられた支持台部と、該支持台部に立設された起立部とから成り、
ウェハ移載装置のガイドレール上をスライドさせて取り外したウェハ移載ロボットを保持させるべく、前記起立部に、前記ガイドレールと接続可能にして設けられたレールを備えていることを特徴とするウェハ移載ロボット着脱用台車。
【請求項２】
前記レールの上下方向の取付位置を調整するための調整手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のウェハ移載ロボット着脱用台車。
【請求項３】
前記着脱用台車を構成するベースプレートに対して着脱可能に取付けられ、ウェハ移載装置におけるガイドレールと、着脱用台車におけるレールとの隙間を埋めるための接続レールを備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載のウェハ移載ロボット着脱用台車。
【請求項４】
前記ウェハ移載ロボットは、電源が切断された状態でブレーキが作動する構成であり、該ウェハ移載ロボットのブレーキを解除させるための補助電源が設けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のウェハ移載ロボット着脱用台車。
【請求項５】
前記ガイドレール、前記レール、及び前記接続レールは、それぞれ相上下して略水平に取付けられた一対のレールから成ることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のウェハ移載ロボット着脱用台車。
【請求項６】
前記ウェハ移載ロボットは、リニアモータにより駆動されることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のウェハ移載ロボット着脱用台車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェハ移載装置の内壁面に略水平に取付けられたガイドレールに装着され、略水平方向に往復直線移動するウェハ移載ロボットを着脱するための台車に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図７及び図８に示されるように、ウェハ移載装置Ｄは、ロードポート装置Ｌに載置されたウェハキャリアＣ内のウェハ（図示せず）を１枚ずつ取り出し、ウェハ処理部Ｅに移載させるための装置である。各ウェハは、チャンバ１の内部に配設されたウェハ移載ロボットＲによって移載される。そして、ウェハ移載装置Ｄにおけるロードポート装置Ｌ側のチャンバ１の内側に配設された本体側ベースプレート２に、一対の本体側ガイドレール３が相上下して略水平に取付けられていて、該一対の本体側ガイドレール３に支持されたウェハ移載ロボットＲが、リニアモータＭによって往復直線移動する構成のウェハ移載装置Ｄが、特願平11-210017 号に示されている。
【０００３】
ウェハ移載装置Ｄを構成するウェハ移載ロボットＲに故障が発生した場合、或いは、定期点検等の際、該ウェハ移載ロボットＲをウェハ移載装置Ｄから取り外す必要がある。このウェハ移載ロボットＲは、重量物であるため、作業者による手作業だけで、的確な取り外し作業を行うことは困難である。
【０００４】
図７に示されるように、ウェハ移載装置Ｄの両側に近接して壁面Ｗが設けられていたり、別の装置が設置されていたりする場合がある。このような場合、ウェハ移載装置Ｄと壁面Ｗとの間が狭く（６０ｃｍ程度）、作業者による手作業だけで的確な作業を行うことは、更に困難である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記した不具合に鑑み、ウェハ移載ロボットを、ウェハ移載装置から簡単に着脱することができるようにするための着脱用台車を提供することを課題としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明は、ウェハ移載装置の内壁面に、ガイドレールが略水平に取付けられていて、前記ガイドレールに装着され、略水平方向に往復直線移動可能なウェハ移載ロボットを着脱するための台車であって、下面にキャスタが取付けられた支持台部と、該支持台部に立設された起立部とから成り、ウェハ移載装置のガイドレール上をスライドさせて取り外したウェハ移載ロボットを保持させるべく、前記起立部に、前記ガイドレールと接続可能にして設けられたレールを備えていることを特徴としている。
【０００７】
本発明に係る着脱用台車を、ウェハ移載装置の一方側の側面部に近接して配置させる。そして、ウェハ移載装置のガイドレールと、着脱用台車のレールとを接続させる。ウェハ移載装置内に配置されているウェハ移載ロボットをそのままスライドさせて、ウェハ移載装置のガイドレール上から着脱用台車の起立部に設けられているレール上に移動させる。前記ウェハ移載ロボットはウェハ移載装置から取り外され、着脱用台車のレールに支持される。作業者は、重量物であるウェハ移載ロボットをガイドレールに沿ってスライドさせるだけで済むため、作業が簡単である。また、着脱用台車のレール上に移動されたウェハ移載ロボットは起立状態で支持されるため、安定状態で保持される。
【０００８】
前記レールの上下方向の取付位置を調整するための調整手段が設けられている場合、ウェハ移載装置のガイドレールと着脱用台車のレールとの接続位置を微調整することができる。このため、作業者は、重量物であるウェハ移載ロボットをスムーズに移動させることができる。
【０００９】
ウェハ移載装置と、該装置の側面部に近接して配置された着脱用台車との間に隙間が生じる場合、着脱用台車を構成するベースプレートに前記隙間を埋めるための接続レールが取付けられ、該接続レールを介してウェハ移載ロボットが、着脱用台車のレール上に移動される。この接続レールは、前記ベースプレートに対して着脱可能であるため、前記着脱用台車の走行路が狭い場合であっても支障はない。
【００１０】
前記ウェハ移載ロボットが、停電等の給電停止状態でブレーキが作動する構成であって、着脱用台車に前記ブレーキを解除するための補助電源が設けられている場合、ウェハ移載装置内のウェハ移載ロボットをスライドさせる際に、前記補助電源によってウェハ移載ロボットのブレーキを解除させることができる。このため、その場でウェハ移載ロボットのブレーキを解除させることができ、作業の効率化が図られる。また、ウェハ移載ロボットが着脱用台車のレール上に支持されたときに、該ウェハ移載ロボットにブレーキを作動させることによって、より安定状態で保持させることができ、着脱用台車の走行中にウェハ移載ロボットがスライドして落下するおそれがない。
【００１１】
前記ガイドレール、前記レール、及び前記接続レールが、それぞれ相上下して略水平に取付けられた一対のレールから成る場合、ウェハ移載ロボットは、前記一対のレールによって、常に上下の部分が支持されるため、安定状態でスライドされる。
【００１２】
前記ウェハ移載ロボットが、リニアモータにより駆動される場合、各レールの構成をコンパクトなものにすることができる。更に、ウェハ移載ロボットを着脱させる際に、そのままスライドさせるだけで済むため、作業が簡単である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明する。図１は本発明に係る着脱用台車Ａの斜視図、図２は同じく正面図、図３は同じく側面図、図４は同じく一部を破断した背面図、図５は同じく平面図である。図１ないし図５に示されるように、本発明に係るウェハ移載ロボット着脱用台車Ａ（以下、「着脱用台車Ａ」と記載する）を構成するＬ字状の台車フレームＦは、支持台部４と、該支持台部４の前端部に立設された起立部５とから成る。そして、前記支持台部４の底面部の四隅には、それぞれキャスタ６が取付けられていると共に、前記起立部５の上面には操作ハンドル７が取付けられている。前記支持台部４には、後述する接続レールＳを収納するための収納部４ａが設けられている。本実施例の着脱用台車Ａの幅は、ウェハ移載装置Ｄと壁面Ｗの間を走行できるように設けられている（図７参照）。また、本実施例の着脱用台車Ａの高さは、ウェハ移載装置Ｄに取付けられたオリエンタ１０よりも低い（図８参照）。
【００１４】
図１ないし図３に示されるように、前記起立部５の正面側には、着脱側ベースプレート８が昇降装置Ｂ（後述）によって昇降可能にして取付けられている。この着脱側ベースプレート８の正面側には、一対の着脱側レール９が相上下して水平に取付けられている。一対の着脱側レール９どうしの上下方向の間隔は、ウェハ移載装置Ｄの本体側ベースプレート２に取付けられた一対の本体側ガイドレール３どうしの上下方向の間隔と同一である。また、着脱側ベースプレート８の背面側で長手方向の両端部には、接続レールＳを取付けるための各取付板１１が、前記着脱側ベースプレート８の両端部に張り出した状態で固着されている。各取付板１１には、接続レールＳを取付けるための雌ねじ１１ａが、２箇所に設けられている。前記着脱側ベースプレート８の下端部には、ブレーキ板１２が取付けられている。
【００１５】
次に、昇降装置Ｂについて説明する。この昇降装置Ｂは、着脱側ベースプレート８を僅かに昇降させることによって、該着脱側ベースプレート８に取付けられた一対の着脱側レール９における高さ方向の位置を微調整するためのものである。図４及び図５に示されるように、台車フレームＦの起立部５の内側には、左右方向（台車フレームＦの幅方向）に沿ってねじ棒１３が回転可能にして取付けられている。このねじ棒１３の両端部には、該ねじ棒１３を回転させるための昇降ハンドル１４を回り止め状態で嵌着させるための各嵌着部１３ａが設けられていて、各嵌着部１３ａは、台車フレームＦの起立部５から外側に突出されている。前記ねじ棒１３の軸方向のほぼ中央部には、昇降ブロック１５が螺合されている。そして、台車フレームＦの起立部５の内側で、前記昇降ブロック１５の直下には、ガイドブロック１６が固着されていて、前記昇降ブロック１５の底面部は、前記ガイドブロック１６の上面部にほぼ接している。昇降ハンドル１４によってねじ棒１３が回転されるのに伴い、昇降ブロック１５がガイドブロック１６にガイドされて、左右方向に移動される。昇降ブロック１５の底面部が、ガイドブロック１６の上面に接しながら移動されるため、該昇降ブロック１５が、ねじ棒１３に連れ回りされることはない。
【００１６】
前記昇降ブロック１５の上面は傾斜面１５ａとなっていて、該傾斜面１５ａに対応する傾斜面１７ａを有する連結ブロック１７が、前記傾斜面１５ａに接した状態で取付けられている。この連結ブロック１７は、台車フレームＦの起立部５の手前側に設けられた窓部５ａを介して、起立部５の手前側に僅かに突出されている。前記起立部５の正面側の上部には、２本のガイドロッド１８が、台車フレームＦの左右方向に所定の間隔をおいて、上下方向に沿って取付けられている。各ガイドロッド１８の上下端部は、起立部５の手前側に固着されたロッド支持部材１９によって保持されている。そして、図５に示されるように、前記連結ブロック１７は、台車フレームＦの起立部５の手前側に配設された昇降ベース２１と連結されている。該昇降ベース２１における左右方向の両端部には、上記した２本のガイドロッド１８が挿通されている。このため、該昇降ベース２１は、２本のガイドロッド１８にガイドされて昇降可能である。昇降ベース２１の手前側には、前述した着脱側ベースプレート８が固着されている。
【００１７】
図４に示されるように、昇降装置Ｂを構成するねじ棒１３におけるいずれかの嵌着部１３ａに昇降ハンドル１４を取付け、所定方向に回転させる。前記ねじ棒１３が回転するのに伴い、昇降ブロック１５が左右方向に沿って移動される。該昇降ブロック１５の上面には傾斜面１５ａが形成されていて、該傾斜面１５ａに対応する傾斜面１７ａを有する連結ブロック１７が接触状態で取付けられている。上記したように、この連結ブロック１７は、２本のガイドロッド１６にガイドされて昇降可能な昇降ベース２１に固着されている。このため、前記昇降ブロック１５が左右方向に移動されるのに伴い、連結ブロック１７を介して昇降ベース２１が僅かに昇降される。昇降ベース２１の手前側には、着脱側ベースプレート８が固着されていて、この着脱側ベースプレート８は昇降ベース２１と一体となって昇降される。この結果、着脱側ベースプレート８に取付けられた一対の着脱側レール９の高さ方向の位置が微調整可能である。
【００１８】
次に、図６を参照しながら、接続レールＳについて説明する。図７及び図８に示されるように、ウェハ移載装置Ｄのチャンバ１内に配設された一対の本体側ガイドレール３は、チャンバ１の端部にまで配設されていないため、一対の本体側ガイドレール３と、着脱用台車Ａの一対の着脱側レール９との間に隙間が生じる場合がある。このような場合、ウェハ移載装置Ｄ内のウェハ移載ロボットＲをスライドさせて、着脱用台車Ａの一対の着脱側レール９上に移動させることは極めて困難である。このため、ウェハ移載装置Ｄにおける一対の本体側ガイドレール３と、着脱用台車Ａにおける一対の着脱側レール９との間の隙間を埋めるべく、両者の間に接続レールＳが取付けられる。
【００１９】
図１、図５及び図６に示されるように、本実施例の接続レールＳは、補助ベースプレート２２の前面に、一対の補助レール２３が固着された形態である。一対の補助レール２３どうしの間隔は、ウェハ移載装置Ｄ内における一対の本体側ガイドレール３どうしの間隔と同一である。一対の補助レール２３における一方側の端部２３ａは、前記補助ベースプレート２２から大きく張り出している。また、前記補助ベースプレート２２には、着脱用台車Ａの各取付板１１に設けられた雌ねじ１１ａに対応するねじ孔２２ａが設けられている。なお、図６において、２４は、接続レールＳを把持するための把手である。
【００２０】
この接続レールＳは、次のようにして、着脱用台車Ａにおけるいずれかの取付板１１に取付けられる。図７及び図８に示されるように、着脱用台車Ａがウェハ移載装置Ｄの側面部に近接して配置されると、ウェハ移載装置Ｄの側の取付板１１に、接続レールＳが取付けられる。即ち、一対の着脱側レール９の接続端部９ａと、一対の補助レール２３の他方側の接続端部２３ｂとがほぼ一直線状に接続された状態で、補助ベースプレート２２の各ねじ孔２２ａと取付板１１の雌ねじ１１ａとが合致され、両者が固定ボルト（図示せず）によって固着される。そして、昇降装置Ｂによって着脱側ベースプレート８の高さ方向の位置が微調整され、一対の補助レール２３の一方側（補助ベースプレート２２から大きく張り出している側）の接続端部２３ａが、一対の本体側ガイドレール３の接続端部３ａとほぼ同一の高さに配置される。このようにして、ウェハ移載装置Ｄの一対の本体側ガイドレール３と着脱用台車Ａの一対の着脱側レール９が、接続レールＳを介してほぼ一直線状に連結される。この接続レールＳは、通常の場合、台車フレームＦの支持台部４に設けられた収納部４ａに収納されている。このため、着脱用台車Ａが狭い通路を走行する場合でも、障害となることはない。
【００２１】
本発明に係る着脱用台車Ａの作用について説明する。図７に示されるように、ウェハ移載装置Ｄのチャンバ１と壁面Ｗとの間を、前記壁面Ｗに沿って着脱用台車Ａを走行させる。そして、チャンバ１の一方側の側面部の近傍に配置させる。着脱用台車Ａの走行中、接続レールＳは台車フレームＦの支持台部４に設けられた収納部４ａに収納されているため、着脱用台車Ａの走行に支障が生ずることはない。また、図８に示されるように、着脱用台車Ａの高さは、オリエンタ１０よりも低いため、着脱用台車Ａとオリエンタ１０とが干渉することはない。
【００２２】
着脱用台車Ａが、ウェハ移載装置Ｄのチャンバ１の側面部に近接して配置されたら、各キャスタ６をロックさせて着脱用台車Ａを静止させる。そして、図８に示されるように、接続レールＳを、着脱用台車Ａにおけるチャンバ１と相対向する側の取付板１１に固着させる。このとき、一対の着脱側レール９の接続端部９ａと、相対向する一対の補助レール２３の他方側の接続端部２３ｂとが、ほぼ一直線状になるようにして固着させる。続いて、一対の補助レール２３の一方側（補助ベースプレート２２から大きく張り出している側）の接続端部２３ａと、一対の本体側ガイドレール３の接続端部３ａとを接続させる。このとき、一対の本体側ガイドレール３と一対の補助レール２３との高さがずれている場合、昇降ハンドル１４を所定方向に回転させて着脱側ベースプレート８を昇降させて、両者の高さ方向の位置を合致させる。一対の補助レール２３において補助ベースプレート２２から張り出した部分を、固定ボルト（図示せず）によって、本体側ベースプレート２に固着させる。このようにして、接続レールＳは、本体側ベースプレート２と着脱側ベースプレート８との両方によって支持されるため、重量物であるウェハ移載ロボットＲを的確に走行させることができる。
【００２３】
本実施例の着脱用台車Ａには、２４Ｖ電源（図示せず）が設置されている。該電源に接続された電源ケーブル２５を引き出し、ウェハ移載ロボットＲに電源を供給する。図７に示されるように、この電源ケーブル２５は、通常の場合、台車フレームＦの支持台部４に設けられた収納部４ａに収納されている。すると、ウェハ移載ロボットＲのブレーキ２６（図３参照）が解除されるため、該ウェハ移載ロボットＲを人手によって走行させることができる。図９に示されるように、前記ウェハ移載ロボットＲを、一対の本体側ガイドレール３上から一対の補助レール２３を介して一対の着脱側レール９上に移動させ、電源の供給を停止させる。ウェハ移載ロボットＲは、一対の着脱側レール９上に起立状態で保持される。そして、電源の供給を遮断すると、この状態でウェハ移載ロボットＲのブレーキ２６が作動する。この結果、ウェハ移載ロボットＲは、着脱用台車Ａの一対の着脱側レール９上に安定状態で保持される。続いて、接続レールＳを取り外し、台車フレームＦの支持台部４の収納部４ａに収納させる。そして、図１０に示されるように、ウェハ移載ロボットＲを保持した着脱用台車Ａを後退させる。ウェハ移載ロボットＲを、ウェハ移載装置Ｄの一対の本体側ガイドレール３に取付ける場合、上記と逆の手順で作業を行う。
【００２４】
本明細書では、ウェハ移載装置Ｄと着脱用台車Ａとの隙間を埋めるため、接続レールＳが着脱可能にして取付けられる構成の場合について説明した。しかし、前記接続レールＳを使用しない構成であっても構わない。例えば、一対の着脱側レール９が取付けられた着脱側ベースプレート８を、ウェハ移載装置Ｄの側にスライドさせて、直接一対の本体側ガイドレール３と一対の着脱側レール９とを接続させても構わない。
【００２５】
本実施例では、本体側ガイドレール３、着脱側レール９及び補助レール２３が相上下して略水平に取付けられた一対のレールから成る場合について説明した。この場合、ウェハ移載ロボットＲは、常に上下の部分が各レール３，９，２３に寄って支持されるため、安定状態でスライドされるという利点がある。しかし、上記した各レールが１本であっても構わない。
【００２６】
また、本実施例では、リニアモータＭによってウェハ移載ロボットをスライドさせる場合について説明した。この場合、本体側ガイドレール３の構成がコンパクトになり、ウェハ移載ロボットＲを着脱する際に、そのままスライドさせるだけで済むという利点がある。このため、作業が簡単である。しかし、それ以外のモータを使用し、例えばラックとピニオンによってスライドさせる構成であっても構わない。
【００２７】
【発明の効果】
本発明に係るウェハ移載ロボット着脱用台車は、ウェハ移載装置の内壁面に取付けられガイドレールに装着されたウェハ移載ロボットを着脱するための台車であって、台車を構成する起立部に、前記ウェハ移載ロボットを保持させるために、前記ガイドレールと接続可能にして設けられたレールを備えている。このため、作業者は、重量物であるウェハ移載ロボットを前記ガイドレールに沿ってスライドさせるだけで済むため、作業が簡単である。また、着脱用台車のレール上に移動されたウェハ移載ロボットは起立状態で支持されるため、安定状態で保持される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る着脱用台車Ａの斜視図である。
【図２】同じく正面図である。
【図３】同じく側面図である。
【図４】同じく一部を破断した背面図である。
【図５】同じく平面図である。
【図６】接続レールＳの斜視図である。
【図７】本発明に係る着脱用台車Ａを、ウェハ移載装置Ｄの側面部に配置させる状態の作用説明図である。
【図８】同様の状態の正面図である。
【図９】接続レールＳを介してスライドさせたウェハ移載ロボットＲを、台車フレームＦの一対の着脱側レール９上に設置させた状態の作用説明図である。
【図１０】ウェハ移載ロボットＲが設置された着脱用台車Ａを後退させる状態の作用説明図である。
【符号の説明】
Ａ：着脱用台車
Ｂ：昇降装置（調整手段）
Ｄ：ウェハ移載装置
Ｍ：リニアモータ
Ｒ：ウェハ移載ロボット
Ｓ：接続レール
Ｗ：壁面
３：本体側ガイドレール（ガイドレール）
４：支持台部
５：起立部
６：キャスタ
８：着脱側ベースプレート
９：着脱側レール（レール）
２２：補助ベースプレート
２５：電源ケーブル（補助電源）
２６：ブレーキ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0004298136.tif 000009
【図９】
0004298136.tif 000010
【図１０】
0004298136.tif 000011