(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下地となる配線基板もしくは他の実装構造の上に積層形成する半導体素子の実装構造において、
前記下地の接続電極部に電気的に接続した状態で固定される半導体素子と、
この半導体素子の少なくとも側面周囲を包囲するように絶縁体で充填するように形成された素子用絶縁層と、
この素子用絶縁層中を貫通した状態に形成され前記下地側とその反対の面側との間を電気的に導通させる層間接続電極と、
前記素子用絶縁層の上部に積層形成された配線用絶縁層と、
この配線用絶縁層中を貫通して前記素子絶縁層側の前記層間接続電極とその反対の面側とに電気的に導通可能な配線電極とを備えたことを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項２】
上下に配置される下地としての配線基板もしくは他の実装構造の間に形成される半導体素子の実装構造において、
前記下地の接続電極部に電気的に接続した状態で固定される半導体素子と、
この半導体素子の側面周囲を包囲するように絶縁体で充填するように形成された素子用絶縁層と、
この素子用絶縁層中を貫通した状態に形成され前記下地側とその反対の面側との間を電気的に導通させる層間接続電極と、
前記素子用絶縁層の上部に積層形成された配線用絶縁層と、
この配線用絶縁層中を貫通して前記素子絶縁層側の前記層間接続電極とその反対の面側とに電気的に導通可能な配線電極とを備えたことを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項３】
請求項１または２に記載の半導体素子の実装構造において、
前記配線用絶縁層は、熱硬化性樹脂により形成されていることを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、
前記素子用絶縁層は、熱硬化性樹脂により形成されていることを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、
前記半導体素子は、ベアチップを用いると共に前記下地に対してフリップチップ実装されていることを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項６】
請求項５に記載の半導体素子の実装構造において、
前記ベアチップは、バンプ電極を介して前記下地に電気的に接続されていることを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、
前記半導体素子は、異方導電ペーストにより前記下地に実装されていることを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載の半導体素子の実装構造において、
前記素子用絶縁層は、前記下地と反対側の面を研削面もしくは研磨面として仕上げられ、前記半導体素子および前記層間接続電極とが共に平坦な状態となるように形成されていることを特徴とする半導体素子の実装構造。
【請求項９】
下地としての配線基板もしくは他の実装構造の上に半導体素子を電気的に接続するようにして固定する素子実装工程と、
前記下地の上に層間接続電極を形成する層間接続電極形成工程と、
前記層間接続電極および前記半導体素子を覆う状態に絶縁体を配置形成する素子用絶縁層形成工程と、
前記絶縁層形成工程により形成された絶縁体の層の前記下地と反対側の面を研削処理してその研削面に前記層間接続電極を露出させた状態として素子用絶縁層を形成する研削工程と、
前記素子用絶縁層の上に配線用電極を形成する配線用電極形成工程と、
前記配線用電極の一部を残した状態で他の部分を覆うようにして絶縁体を充填して配線用絶縁層を形成する配線用絶縁層形成工程とを有することを特徴とする半導体素子の実装構造の製造方法。
【請求項１０】
下地としての配線基板もしくは他の実装構造の上に層間接続電極を形成する層間接続電極形成工程と、
前記下地の上に半導体素子を電気的に接続するようにして固定する素子実装工程と、
前記層間接続電極および前記半導体素子を覆う状態に絶縁体を配置形成する素子用絶縁層形成工程と、
前記絶縁層形成工程により形成された絶縁体の層の前記下地と反対側の面を研削処理してその研削面に前記層間接続電極を露出させた状態として素子用絶縁層を形成する研削工程と、
前記素子用絶縁層の上に配線用電極を形成する配線用電極形成工程と、
前記配線用電極の一部を残した状態で他の部分を覆うようにして絶縁体を充填して配線用絶縁層を形成する配線用絶縁層形成工程とを有することを特徴とする半導体素子の実装構造の製造方法。
【請求項１１】
請求項９または１０に記載の半導体素子の実装構造の製造方法において、
前記配線用絶縁層形成工程は、
前記絶縁体としての熱硬化性樹脂を前記配線用電極の上から塗布する樹脂塗布工程と、
塗布された樹脂面を平板により押しつぶして前記配線用電極の一部が露出する状態に処理する押圧処理工程と、
熱硬化処理を行なって硬化させる熱処理工程と、
前記平板を除去する平板除去工程とを有することを特徴とする半導体素子の実装構造の製造方法。
【請求項１２】
請求項９または１０に記載の半導体素子の実装構造の製造方法において、
前記配線用絶縁層の上部に設ける層を配線基板とし、
前記配線用絶縁層形成工程は、
前記絶縁体としての熱硬化性樹脂を前記配線用電極の上から塗布する樹脂塗布工程と、
塗布された樹脂面を前記配線基板により押しつぶして前記配線用電極の一部が露出する状態に処理する押圧処理工程と、
熱硬化処理を行なって硬化させる熱処理工程とを有することを特徴とする半導体素子の実装構造の製造方法。
【請求項１３】
請求項９または１０に記載の半導体素子の実装構造の製造方法において、
前記配線用絶縁層の上部に設ける層を他の半導体素子の実装構造とし、
前記配線用絶縁層形成工程は、
前記絶縁体としての熱硬化性樹脂を前記配線用電極の上から塗布する樹脂塗布工程と、
塗布された樹脂面に前記他の半導体素子の実装構造における素子用絶縁層の面を対向させて押しつぶして前記配線用電極の一部が露出する状態に処理する押圧処理工程と、
熱硬化処理を行なって硬化させる熱処理工程とを有することを特徴とする半導体素子の実装構造の製造方法。
【請求項１４】
請求項９ないし１３のいずれかに記載の半導体素子の実装構造の製造方法において、
前記研削工程は、前記半導体素子も同時に研削しながら前記素子用絶縁層を形成することを特徴とする半導体素子の実装構造の製造方法。
【請求項１５】
請求項９ないし１４のいずれかに記載の半導体素子の実装構造の製造方法において、
前記素子実装工程で前記半導体素子を前記下地の上に電気的に接続するバンプ電極を設ける構成とし、
前記素子実装工程よりも前に前記下地の上に前記バンプ電極を形成するバンプ電極形成工程を実施することを特徴とする半導体素子の実装構造の製造方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載の半導体素子の実装構造の製造方法において、
前記バンプ形成工程は、前記層間接続電極形成工程の実施時に前記バンプ電極を同時に形成することを特徴とする半導体素子の実装構造の製造方法。
【請求項１７】
請求項９ないし１６のいずれかに記載の半導体素子の実装構造の製造方法において、
前記層間接続電極形成工程では、前記層間接続電極をその形成面から上方に向けて錐状もしくは錐台状に形成することを特徴とする半導体素子の実装構造の製造方法。
【請求項１８】
請求項９ないし１６のいずれかに記載の半導体素子の実装構造の製造方法において、
前記層間接続電極形成工程では、前記下地の上に金属超微粒子を堆積させる方法により前記層間接続電極を形成することを特徴とする半導体素子の実装構造の製造方法。
【請求項１９】
請求項９ないし１５のいずれかに記載の半導体素子の実装構造の製造方法において、
前記層間接続電極形成工程では、前記下地の上にスタッドバンプを複数個積層形成することにより前記層間接続電極を形成することを特徴とする半導体素子の実装構造の製造方法。
【請求項２０】
請求項９ないし１５のいずれかに記載の半導体素子の実装構造の製造方法において、
前記層間接続電極形成工程では、前記下地の上に金属ワイヤをワイヤボンディング法により立設するようにして前記層間接続電極を形成することを特徴とする半導体素子の実装構造の製造方法。
【請求項２１】
請求項１５または１６に記載の半導体素子の実装構造の製造方法において、
前記バンプ電極形成工程では、前記バンプ電極をその形成面から上方に向けて錐状もしくは錐台状に形成することを特徴とする半導体素子の実装構造の製造方法。
【請求項２２】
請求項１５または１６に記載の半導体素子の実装構造の製造方法において、
前記バンプ電極形成工程では、前記バンプ電極を金属微粒子を堆積させる方法で形成していることを特徴とする半導体素子の実装構造の製造方法。
【請求項２３】
請求項１５または１６に記載の半導体素子の実装構造の製造方法において、
前記バンプ電極形成工程では、前記バンプ電極の形成をスタッドバンプを前記下地の表面に形成する方法で設けていることを特徴とする半導体素子の実装構造の製造方法。
【請求項２４】
請求項１５または１６に記載の半導体素子の実装構造の製造方法において、
前記バンプ電極形成工程では、前記バンプ電極の形成を導電性ペーストを印刷することにより形成することを特徴とする半導体素子の実装構造の製造方法。
【請求項２５】
請求項１１に記載の半導体素子の実装構造の製造方法において、
前記素子用絶縁層形成工程では、前記素子用絶縁層として前記熱硬化性樹脂を用いる構成とし、熱硬化処理をその熱硬化性樹脂のガラス転移温度よりも低い温度で行なうことを特徴とする半導体素子の実装構造の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、下地となる配線基板もしくは他の実装構造体の上に積層形成する半導体素子の実装構造および半導体素子の実装構造の製造方法に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】
近年、電子回路は、搭載部品の小型化や接続電極の狭ピッチ化と使用する配線基板の高密度化により小型化が進んできており、ベアチップを用いたフリップチップ実装と高密度集積配線基板を用いることで回路の実装サイズは、ほぼ搭載部品自体の占有面積（フットプリント面積）と同等の面積となるまでになってきている。したがって、これ以上の小型化を図るためには、回路構成部品（ベアチップ）を縦方向に積層した三次元的な積層実装構造を採用する必要がある。
【０００３】
この場合、ベアチップを用いた実装方式では、例えば、次の文献に系統的にまとめられている。
『"A Review of 3-D Packaging Technology" IEEE Transactions on components,packaging,and manufacturing technology-part B,vol.21,No.1,Feb.1998 』
【０００４】
これには、例えば図１１（ａ），（ｂ）に示すような構成のものが開示されている。これらは、半導体素子としてのベアチップを直接積層して形成するタイプのものである。同図（ａ）のものは、複数のベアチップ１のそれぞれに、表裏面を貫通する電極として貫通電極２を形成しておき、これらのベアチップ１を積層することにより貫通電極２を上下のベアチップ１との間でも電気的に接続するようにしたものである。これにより、貫通電極２を通じて互いに電気的に接続された状態で複数のベアチップ１を積層した構成としたものである。また、同図（ｂ）に示すものでは、ベアチップ１の側面に端面電極３を設けてベアチップ１を直接積層した状態で端面電極３により互いに電気的に接続された状態となるようにして形成したものである。
【０００５】
一方、図１２に示すものは、ベアチップ１を直接積層するのではなく、中継基板４を介して積層するようにしたものである。すなわち、ベアチップ１をそれぞれ中継基板４にフリップチップ実装したものを積層する場合に、各層の中継基板４に形成した配線パターン５間を電気的に接続すると共に層間距離を所定の間隔に保持させるスペーサとしての機能を兼ね備えた柱状の層間接続電極６により接続した状態で積層することにより構成したものである。
【０００６】
上述のような積層型回路モジュールを形成する場合に、それらのシステムを構成する回路の多くは、複数のＩＣやＬＳＩを含む構成とされることが一般的であり、その結果、搭載する半導体チップは異種、異形のものが採用される場合が一般的な構成となる。したがって、このような積層型回路モジュールを安価に提供するためには、特殊な半導体チップではなく、その積層回路型モジュールの仕様を満たす範囲内でできるだけ既存のＩＣやＬＳＩを用いることや、複雑な実装プロセスを使用しないということが製造工程上で要求される。
【０００７】
また、既存のＩＣやＬＳＩの各半導体チップに形成されている電極パッドは、ワイヤボンディングにより接続するものに対応して形成されているものが多く、前述したような表裏面を貫通する特殊な電極２や端面電極３などは必ずしも形成されているわけではない。しかも、そのような半導体チップは、必ずしもウエハ状態で入手できるとは限らないため、チップ状態で供給される場合にはそのような特殊な電極２や端面電極３を形成するなどの追加工程を実施すること自体が非情に困難な場合が発生してくる。
【０００８】
以上の点から、このような従来の技術の範囲では、積層型回路モジュールを小型化しようとする場合に発生する不具合もしくは技術的課題として次のような点があげられる。
第１に、積層したチップ間の電気的接続を、チップに貫通電極を形成したり端面電極を設けて行なうので、チップ外形や電極レイアウトが同一なものにしか対応できなくなる不具合がある。
【０００９】
第２に、チップにそのような貫通電極や端面電極を設ける構成自体が特殊な製造工程を必要とするものとなり、チップの製造工程が複雑化してしまう不具合がある。
第３に、実装プロセスにおいては、例えば貫通電極を形成するなどウエハレベルでの処理が必要となるため、チップ状態で供給される場合には対応することができなくなる不具合がある。
【００１０】
一方、中継基板４となる回路基板にベアチップ１を実装し、その中継基板４を積層していく方法では、異種・異形のベアチップへの適応が可能であるが、この場合には次のような問題が生ずる。
第１に、中継基板４を用いる必要があるから、積層構造を形成する場合にその中継基板４の板厚分だけ全体の高さ寸法が大きくなり、実装可能な積層の層数に制約が生ずる。
【００１１】
第２に、ベアチップのフリップチップ実装を適用する場合（ワイヤーボンディングを用いると実装サイズが大きくなる）、フリップチップ実装に対応した高価な高密度配線基板が中継基板として必要になり、コストが上昇してしまう。
第３に、フリップチップ実装構造を採用するために、ベアチップにバンプ電極を設けておく必要があり、前述と同様の技術的課題が発生する。
【００１２】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、半導体素子にバンプ電極の形成や層間貫通電極形成などの特殊な加工工程を付加することなく、異種・異形のチップを複数実装することができ、しかも複数積層して回路モジュールを形成する場合でも中継基板などを用いないで厚さ寸法を極力薄くすることができ、積層効率を高めることができるようにした半導体素子の実装構造および半導体素子の実装構造の製造方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明によれば、下地となる配線基板あるいは他の実装構造の上に電気的に接続した半導体素子および層間接続電極を含んだ状態に素子用絶縁層が形成されている構成としているので、その上部に直接上部配線基板を積層する構成としたり、あるいは同じような構成の実装構造を積層することができ、その場合でも、全体の高さ寸法を必要最小限にすることができる。そして、半導体素子を下地となる配線基板の接続電極部に電気的に接続する構成であるから半導体素子自体に特殊な加工を施す必要もなく、設計自由度の高い実装構造を得ることができるようになる。また、素子用絶縁層に層間接続電極を埋め込んた状態に形成しているので、この上に直接他の半導体素子を実装することができ、中継基板を必要としない構成で積層型の構成とすることができる。
【００１４】
そして、素子用絶縁層の上部に配線電極が内部に形成された配線用絶縁層を積層した構成としているので、配線用絶縁層の上部に設ける配線基板あるいは他の実装構造などの配線パターンの位置と素子用絶縁層中に形成している層間接続電極の位置とにずれがある場合でも、配線用絶縁層を介在させることで簡単に接続することができるようになる。この配線用絶縁層は、配線電極を含む程度の厚さ寸法で形成できるので、配線基板などの中継基板を設ける必要がなく、厚さ寸法を薄くした状態に形成することができる。
【００１５】
また、素子用絶縁層の表面に半導体素子の裏面側が露出する場合でも配線用絶縁層によりこれを覆うようにすることができ、上部に配置される配線基板や他の実装構造に対して電気的な絶縁状態を保持することができる。さらには、上部に配設する他の実装構造に使用する半導体素子の実装に際して自由度の高い配線パターンを提供することもできる。
【００１７】
請求項２の発明によれば、上下に配置される下地となる配線基板あるいは他の実装構造のうちの一方に、その接続電極部に電気的に接続した半導体素子および層間接続電極を含んだ状態に素子用絶縁層が形成されると共に、配線電極を含んだ状態で配線用絶縁層が形成された構成としているので、その上部に直接他方の配線基板あるいは実装構造を積層する構成とすることができる。これによって、上下に配線基板を設ける場合には、その配線基板の全面に渡って他の素子を実装することが可能であり、素子用絶縁層内に実装している半導体装置の占有面積に制約を受けることなく広い範囲に高密度で実装する面積を得ることができるようになる。
【００１８】
また、この構成によって配線用絶縁層の上部に設ける配線基板の配線パターンの位置と素子用絶縁層中に形成している層間接続電極の位置とにずれがある場合でも、配線用絶縁層を介在させることで簡単に接続することができるようになる。この配線用絶縁層は、配線電極を含む程度の厚さ寸法で形成できるので、配線基板などの中継基板を設ける必要がなく、厚さ寸法を薄くした状態に形成することができる。さらに、素子用絶縁層の表面に半導体素子の裏面側が露出する場合でも配線用絶縁層によりこれを覆うようにすることができ、上部に配置される配線基板に対して電気的な絶縁状態を保持することができる。
【００１９】
請求項３の発明によれば、請求項１または２の発明において、配線用絶縁層を熱硬化性樹脂により形成しているので、配線電極を埋め込み加工する場合に作業性が良くなると共に、熱硬化処理をした後に研削などの処理をする際に加工性が向上する。
【００２０】
請求項４の発明によれば、請求項１ないし３の発明において、素子用絶縁層を熱硬化性樹脂により形成しているので、半導体素子および層間接続電極を埋め込み加工する場合に作業性が良くなると共に、熱硬化処理をした後に研削などの処理をする際に加工性が向上し、しかも、半導体素子の耐湿性を向上することができるなどの特性を得ることができる。
【００２１】
請求項５の発明によれば、請求項１ないし４の発明において、半導体素子をベアチップとしてフリップチップ実装する構成としているので、狭い面積でコンパクトに実装でき、しかも、絶縁体で周囲を取り囲むようにするので、ベアチップの動作の信頼性の向上を図ることもできる。
【００２２】
請求項６の発明によれば、請求項５の発明において、ベアチップをバンプ電極を介して下地に電気的に接続するので、ベアチップ側あるいは下地の接続電極部側のいずれかにあらかじめバンプ電極を形成しておくことにより実装することができる。この場合、ベアチップ側にバンプ電極を形成する後工程を付加することが難しい場合でも、下地側にバンプ電極を形成することで対応することができるので、製造工程が困難になることはない。
【００２５】
請求項９の発明によれば、素子実装工程にて下地としての配線基板もしくは他の実装構造の上に半導体素子を電気的に接続して固定し、層間接続電極形成工程にて下地の上に層間接続電極を形成し、素子用絶縁層形成工程にて層間接続電極および半導体素子を覆う状態に絶縁体を配置形成し、この後、研削工程にて絶縁体の下地と反対側の面を研削処理してその研削面に層間接続電極を露出させた状態として素子用絶縁層を形成するので、下地に固定する半導体素子のサイズや種類などに制約を受けることなく実装でき、しかも素子用絶縁層に半導体素子を埋め込むようにして形成しているので、この上部に配線基板もしくは他の実装構造を直接設けることができ、全体の厚さ寸法を半導体素子の厚さ寸法程度に抑制して実装効率を高めることができる。また、素子実装工程の後に層間接続電極形成工程を実施するので、下地への半導体素子の実装の際に、下地に層間接続電極がない状態で行なえるので、作業性が高いという利点がある。
また、配線用電極形成工程にて素子用絶縁層の上に配線用電極を形成し、配線用絶縁層形成工程にて配線用電極の一部を残した状態で他の部分を覆うようにして絶縁体を充填して配線用絶縁層を形成するので、素子用絶縁層と上部に設ける層とを確実に絶縁した状態で配線用電極を設けることができ、半導体素子を同時に研削している場合にもその面が配線用絶縁層により覆うことができる。また、配線用電極を設けることで、層間接続用電極では配置できない半導体素子の上部側への配線を行なうことができるので、上部側に配設する配線基板あるいは他の実装構造との接続の自由度を高めて設計性や実装性を高めることができるようになる。
【００２６】
請求項１０の発明によれば、上述の請求項９の発明の製造工程に対して、層間接続電極形成工程を素子実装工程に先だって実施するようにしているので、例えば、半導体素子を実装する際に必要となるバンプ電極などを下地側に形成する場合には層間接続電極の形成と同時あるいは続いて実施することができ、また、半導体素子を実装した状態で層間接続電極の形成が困難となる場合などにおいては、このようにすることで確実に製造することができるようになる。
また、配線用電極形成工程にて素子用絶縁層の上に配線用電極を形成し、配線用絶縁層形成工程にて配線用電極の一部を残した状態で他の部分を覆うようにして絶縁体を充填して配線用絶縁層を形成するので、素子用絶縁層と上部に設ける層とを確実に絶縁した状態で配線用電極を設けることができ、半導体素子を同時に研削している場合にもその面が配線用絶縁層により覆うことができる。また、配線用電極を設けることで、層間接続用電極では配置できない半導体素子の上部側への配線を行なうことができるので、上部側に配設する配線基板あるいは他の実装構造との接続の自由度を高めて設計性や実装性を高めることができるようになる。
【００２９】
請求項１１の発明によれば、上記した請求項９または１０の発明において、配線用絶縁層形成工程を、絶縁体としての熱硬化性樹脂を配線用電極の上から塗布する樹脂塗布工程、塗布された樹脂面を平板により押しつぶして配線用電極の一部が露出する状態に処理する押圧処理工程、熱硬化処理を行なって樹脂を硬化させる熱処理工程、および平板を除去する平板除去工程を順次実施することにより行なうようにしたので、素子用絶縁層の形成の工程のように熱硬化処理を行なってから研削などの処理により配線用電極の一部を露出させる方法と異なり、工程を簡略化して迅速且つ安価に実施することができるようになる。
【００３０】
請求項１２の発明によれば、請求項９または１０の発明において、配線用絶縁層の上部に設ける層が配線基板である場合に、配線用絶縁層形成工程を、絶縁体としての熱硬化性樹脂を配線用電極の上から塗布する樹脂塗布工程、塗布された樹脂面を配線基板により押しつぶして配線用電極の一部が露出する状態に処理する押圧処理工程、および熱硬化処理を行なって硬化させる熱処理工程により行なうので、配線基板を平板としてそのまま押圧処理工程から熱処理工程に移行すれば実装構造を形成でき、製造工程をより簡略化することができる。
【００３１】
請求項１３の発明によれば、請求項９または１０の発明において、配線用絶縁層の上部に設ける層が他の半導体素子の実装構造である場合に、配線用絶縁層形成工程を、絶縁体としての熱硬化性樹脂を前記配線用電極の上から塗布する樹脂塗布工程、塗布された樹脂面に他の半導体素子の実装構造における素子用絶縁層の面を対向させて押しつぶして配線用電極の一部が露出する状態に処理する押圧処理工程、および熱硬化処理を行なって硬化させる熱処理工程により行なうので、例えば、同様にして下地上に形成した２つの半導体素子の実装構造の上面同士を配線用絶縁層により接続することができ、配線用絶縁層形成工程を１回少なくして形成することができると共に、その配線用絶縁層を中心として両側に対称的な配置とすることにより、応力による半導体素子への歪みを緩和することができるようになる。
また、請求項１４の発明によれば、請求項９ないし１３の発明において、研削工程を、半導体素子も同時に研削しながら素子用絶縁層を形成するようにしているので、半導体素子としての実装時の厚さ寸法が完成時の厚さ寸法よりも厚い状態で割れや欠けなどの発生を防止しながら取り扱い易い状態で実装作業を行なうことができ、この後絶縁層が周囲に充填された状態で研削により必要な厚さ寸法まで調整することができ、薄く研削する際に割れや欠けの発生を極力防止することができるようになる。
【００３２】
請求項１５の発明によれば、請求項９ないし１３の発明において、素子実装工程で半導体素子を下地の上に電気的に接続するときにバンプ電極が必要となる場合には、バンプ電極形成工程を素子実装工程よりも前に実施して下地の上にバンプ電極を形成するので、バンプ電極が形成されていない半導体素子を実装する場合に下地に形成したバンプ電極を介してフリップチップ実装をすることができるようになり、半導体素子側へのバンプ電極形成の加工工程が不要となり、例えばチップ状態で供給されるものであってもそのまま使用することができ、実装する半導体素子に制約が少なくなり設計の自由度を高めることができると共に、作業性を高めることができるようになる。
【００３３】
請求項１６の発明によれば、上記請求項１５の発明において、バンプ形成工程を、層間接続電極形成工程の実施時にバンプ電極を同時に形成するので、工程数を増やすことなく安価で且つ迅速にバンプ電極の形成を行なうことができるようになる。
【００３４】
請求項１７の発明によれば、請求項９ないし１６の発明において、層間接続電極形成工程では、層間接続電極をその形成面から上方に向けて錐状もしくは錐台状に形成するので、断面が例えば円形状や四角形状をなす形状の層間接続電極とした場合に、円錐状、円錐台状あるいは角錐状、角錐台状として形成することになり、高さ寸法が底面の幅寸法に比べて大きくなる場合でも倒れにくく座屈しにくい安定した状態に形成することができ、素子用樹脂層の形成工程において変形を防止して精度良く上面側に露出させる構成とすることができる。
【００３５】
請求項１８の発明によれば、請求項９ないし１６の発明において、層間接続電極形成工程では、下地の上に金属超微粒子を堆積させる方法により前記層間接続電極を形成するので、めっきなどのウェットな処理を用いないでドライな状態で層間接続電極を形成することができ、半導体素子を実装した状態でも半導体素子に悪影響を及ぼすことなく実施できる。このような金属超微粒子を堆積させる方法としては、例えば、真空冶金株式会社により開発されたＪＰＳ（Jet Printing System ；超微粒子による乾式直接描画法）がある。
【００３６】
また、層間接続電極の形成方法としては、請求項１９の発明のように、下地の上にスタッドバンプを複数個積層形成する方法や、請求項２０の発明のように、下地の上に金属ワイヤをボンディングにより立設する方法などがある。そして、配線用電極についても、同様の方法にて形成することができる。
【００３７】
請求項２１の発明によれば、請求項１５または１６の発明において、バンプ電極形成工程では、バンプ電極を形成面から上方に向けて錐状もしくは錐台状に形成しているので、請求項１７の発明と同様の効果を得ることができる。
【００３８】
また、バンプ電極の形成についても、請求項２２の発明のように、金属微粒子を堆積させる方法で形成したり、請求項２３の発明のように、スタッドバンプを下地の表面に形成する方法で設けたり、あるいは請求項２４の発明のように、導電性ペーストを印刷することにより設けることができる。
【００３９】
請求項２５の発明によれば、請求項１１の発明において、素子用絶縁層形成工程では、素子用絶縁層として熱硬化性樹脂を用いる場合に、熱硬化処理をその熱硬化性樹脂のガラス転移温度よりも低い温度で行なうので、熱硬化性樹脂が軟化して変形するのを抑制した状態で熱硬化処理を行なえ、内部に埋め込み実装している半導体素子の実装状態に悪影響を及ぼすのを防止しながら素子用絶縁層を形成することができる。
【００４０】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施形態として、上下に配線基板を用いてその間に半導体素子の実装構造を１階層分形成して回路モジュールを構成した場合について図１ないし図４を参照しながら説明する。なお、この構成では、各配線基板の表面には他のＩＣやディスクリート素子などの面実装部品が実装されるようになっている。
【００４１】
本実施形態における半導体素子の実装構造としての回路モジュール１１は、図２（ｃ）に示す模式的な断面図のように構成されている。すなわち、回路モジュール１１は、上下に配置する配線基板として多層配線基板１２，１３を用い、これらの多層配線基板１２，１３の間に本発明の基本構成であるところの半導体素子の実装構造（以下、単に実装構造と称する）１４が形成された構成である。以下、この構成について詳述すると共に、その製造方法について説明する。
【００４２】
２枚の多層配線基板１２，１３は、例えば、厚さ寸法がそれぞれ０．６〜０．８ｍｍ程度で、内部には複数層の導体層が所定の配線パターンに形成され、表裏に露出している配線パターン１２ａ，１３ａに接続されている。この実装構造１４は、素子用絶縁層としての第１層の樹脂層１５と配線用絶縁層としての第２層の樹脂層１６との２層構造となっている。
【００４３】
第１層の樹脂層１５は、下地である多層配線基板１２に形成されており、これには、ＩＣやＬＳＩなどの集積回路が作りこまれた半導体素子としてのベアチップ１７および層間接続電極１８が埋め込み形成されている。また、第２層の樹脂層１６には、その表裏に貫通するように配線電極２１が埋め込み形成されている。第１層の樹脂層１５の厚さ寸法は、例えば１００μｍ程度に形成さてており、第２層の樹脂層１６の厚さ寸法は例えば５０μｍ程度に形成されている。
【００４４】
この第１層の樹脂層１５において、ベアチップ１７は多層配線基板１２にフリップチップ実装されている。ベアチップ１７の固定は、多層配線基板１２側に形成したバンプ電極１９を介して電気的に接続されると共に、異方導電ペースト２０を用いて固定している。また、層間接続電極１８は、第１層の樹脂層１５の表裏を貫通するように形成されており、多層配線基板１２と１３との間の電気的接続を行うように設けられている。
【００４５】
なお、後述するように、第１層の樹脂層１５の上面は、研削によりベアチップ１７と層間接続電極１８とが露出するようにして所定厚さ寸法まで除去された結果、平坦な面として形成されている。したがって、ベアチップ１７の裏面の半導体部分が露出した状態となっている。
【００４６】
次に、第２層の樹脂層１６において、配線電極２１は、第２層の樹脂層１６の表裏を貫通するように形成されており、第１層の樹脂層１５の表面に露出している層間接続電極１８と上部に配置される多層配線基板１３との間を電気的に接続するように配設されている。
【００４７】
上述のように構成された回路モジュール１１は、実装構造１５を２枚の多層配線基板１２，１３で挟んだ状態の構造に形成され、その厚さ寸法は、例えば１．５ｍｍ前後として得ることができる。そして、この回路モジュール１１には、その下面側１１ａおよび上面側１１ｂのそれぞれに、内部の実装構造１５には実装することができない他のＩＣやディスクリート素子などの面実装部品が実装される。
【００４８】
上述のように構成しているので、ベアチップ１７が実装されている部分が回路モジュール１１の表面に露出しない構成とすることができ、ディスクリート部品を実装する面積を回路モジュール１１の基板面全面を利用して行えるようになり、全体の実装効率を高めることができると共に、設計の自由度を高めることができるようになる。
【００４９】
次に、上記した回路モジュール１１の製造方法について、図３の工程フロー図および図１、図２の各工程における断面構造図ならびに図４を参照しながら説明する。図３に示す工程フロー図では、半導体素子の実装構造１４の概略的な製造工程について示している。
【００５０】
なお、回路モジュール１１の製造においては、例えば複数個を一度に製造することができるように、多層配線基板１２，１３が複数個分（例えば６個分）の回路モジュール１１の大きさに形成されており、出来上がったものをダイシングなどの方法で切り離して最終的に回路モジュール１１として得る。
【００５１】
以下の説明では、図３の工程フロー図にしたがって、１個分の回路モジュール１１の製造工程を次の７つの工程に分けて述べる。（１）下地準備工程Ｓ１、  （２）層間接続電極形成工程Ｓ２、（３）チップ実装工程Ｓ３、（４）第１層の樹脂層形成工程Ｓ４、（５）研削工程Ｓ５、（６）配線電極形成工程Ｓ６、（７）第２層の樹脂層形成工程Ｓ７である。
【００５２】
（１）下地準備工程Ｓ１
まず回路モジュール１１を形成するための下地として用いる多層配線基板１２、１３を準備する。多層配線基板１２は、片面をベアチップ１７をフリップチップ実装するのに対応した配線パターンにレイアウトし、その裏面（下面側）には、入出力電極パッドやディスクリート部品実装用パッドなどを配した配線パターンにレイアウトし、内部の配線用導体パターン層を介して接続する。同様に、多層配線基板１３についてもその表裏に必要な配線パターンを形成すると共に、内部の配線用導体パターン層を介して接続する。
【００５３】
（２）層間接続電極形成工程Ｓ２
次に、多層配線基板１２上に層間接続電極１８およびバンプ電極１９を形成する。これらの電極１８および１９は、ここでは後述するＪＰＳ法（Jet Printing System ；金属超微粒子を用いてパターンを直猫する方法）で、多層配線基板１２の上面にＡｕ（金）を電極材料として形成する。
【００５４】
ここで、形成する層間接続電極１８の高さ寸法は、例えば１００μｍ以上で２００μｍ以下の範囲程度に設定し、バンプ電極１９の高さ寸法は、例えば２０μｍから１００μｍの範囲程度に設定している。また、形成する層間接続電極１８およびバンプ電極１９はいずれも円錐状もしくは円錐台状となるように堆積させる条件を調整して形成している。
【００５５】
次に、ＪＰＳ法について、図４を参照して簡単に説明する。図はＪＰＳ法による金属超微粒子の直接描画をする装置の概略的構成を示している。装置の構成は成膜室３１と超微粒子生成室３２とに分けられており、それらの間に金属超微粒子を搬送する搬送管３３が連結されている。
【００５６】
成膜室３１および超微粒子生成室３２には排気用の配管３４が接続されており、内部を減圧するためのロータリーポンプ（ＲＰ）３５およびメカニカル・ブースター・ポンプ（ＭＢＰ）３６が接続されている。この場合、成膜室３１は、例えば内部を１３．３Ｐａ（０．１ｔｏｒｒ）程度まで減圧して電極形成を行うようになっている。また、超微粒子生成室３２は、例えば内部を２気圧程度まで加圧した状態に保持して金属超微粒子を生成する。このため、超微粒子生成室３２は、Ｈｅなどの不活性ガスを充填して加圧するようにガス供給用の配管３７が接続されている（Ｈｅガス流量は、例えば１分あたり４０リットルである）。
【００５７】
さて、成膜室３１には、電極形成の試料を載置するためのＸＹステージ３８が配設されており、電極形成時に面内をＸＹ方向に移動可能であり、また軸方向  （Ｚ方向）にも移動可能に構成され、内部にはヒータを備えていて所定の基板温度に設定することができる。このＸＹステージ３８には、搬送管３３の先端のノズル３３ａが例えば４００μｍ程度の距離で対向するように配置されている。ノズル３３ａの径は例えば１００μｍ程度である。
【００５８】
超微粒子生成室３２においては、電極材料であるＡｕを溶融するためのルツボ３９が加熱装置３９ａにより１５００〜１６００℃の範囲（例えば、１５５０℃）で加熱可能に設けられている。ここで加熱されて蒸発したＡｕは搬送管３１を通じて減圧された成膜室３１側に流入して、減圧されることで超微粒子となってノズル３３ａから圧力差により噴出し、ＸＹステージ３８に載置された試料の表面に付着して堆積する。
【００５９】
なお、ノズル３３ａは、図示しないヒータにより例えば３００℃程度に加熱されている。この装置においては、上記構成および条件を採用することにより、例えば、描画速度３〜１０ｍｍ／秒で堆積速度は１０μｍ／秒程度である。また、ＸＹステージ３８の位置決め精度は±２μｍ程度である。上述のＪＰＳ法による層間接続電極１８およびバンプ電極１９の形成は、すべてドライプロセスとして実施できるので、前処理や後処理などの工程が全体として簡単にすることができる。
【００６０】
（３）チップ実装工程Ｓ３
次に、図１（ｂ）に示すように、ベアチップ１７を多層配線基板１２に実装する。ここで、バンプ電極１９はＡｕ（金）であるからはんだリフロー処理はできなので、フリップチップ実装するには、例えば異方性導電ペースト２０を用いて行う。多層配線基板１２のベアチップ１７を実装する部分に異方導伝ペースト２０を塗布して載置する。この状態で１個のバンプ電極１９あたり数百〜千数百ｍＮ（ミリニュートン）の力を加えながら加熱して、異方導電ペースト２０を熱硬化させる。硬化温度は、例えば１２０℃〜１４０℃としている。
【００６１】
なお、ベアチップ１７の厚さ寸法は、例えば１５ｃｍ径のウエハなどのものでは３００μｍ〜６００μｍ程度の厚さであり、チップ状態で供給される場合に、薄くとも３００μｍ程度であるのが一般的である。また、ウエハ状態での厚さが比較的厚いものでも、チップに切断する前に研削して薄くする場合もある。
【００６２】
（４）第１層の樹脂層形成工程Ｓ４
次に、図１（ｃ）に示すように、フリップチップ実装したベアチップ１７と層間接続電極１８とを熱硬化性樹脂４０で埋め込んで第１層の樹脂層１５を形成する。層間接続電極１８が形成されている面に、エポキシ系の熱硬化性樹脂４０を塗布し、例えば、１２０〜１４０℃の範囲の熱処理温度で熱硬化させる。この場合、塗布作業は、エポキシ系熱硬化性樹脂４０がベアチップ１７や層間接続電極１８を完全に覆うようにして行う。
【００６３】
エポキシ系熱硬化性樹脂４０の選択は、一連の製造工程中の加圧・加熱などの処理に対して十分な耐性を持つものを基準とする。なお、この実施形態においては、エポキシ系熱硬化性樹脂４０として、ガラス転移温度が１４０℃以上の材料を用いており、ガラス転移温度以下の温度で熱硬化処理を行っている。
【００６４】
これにより、エポキシ系熱硬化性樹脂４０が熱硬化する際に、軟化して塑性変形したり、ベアチップ１７に予想外の応力を与えるのを防止できる。また、熱硬化処理の処理時間は、処理温度に依存するが、例えば数分から２０分程度の範囲で設定する。この熱処理温度と熱処理時間との関係は、温度を高く設定することで短時間にできるが、ベアチップ１７に与える応力も大きくなることが予想されるため、それらのことを考慮した上で、適切な温度と時間に設定することが必要となる。
【００６５】
（５）研削工程Ｓ５
次に、図１（ｄ）に示すように、ベアチップ１７と層間接続電極１８を埋め込んだ樹脂層４０を研削して第１層の樹脂層１５を形成する。ここでは、研削機械を用いて樹脂層４０を表面から研削してゆき、ベアチップ１７と層間接続電極１８が露出した後、ベアチップ１７の厚みが１００μｍ程度になるまで研削する。このとき同時に層間接続電極１８も研削しており、初期的に形成した高さ寸法に比べて低い高さとなる。
【００６６】
研削後の樹脂層４０表面には、ベアチップ１７の背面と層間接続電極１８が露出した状態となる。これにより、樹脂層４０の表裏面を貫通する層間接続電極１８を形成できると共に、ベアチップ１７を埋め込んだ第１層の樹脂層１５を形成できる。なお、ベアチップ１７の厚さ寸法が薄いもの（例えば１００μｍ程度の厚さ寸法）として実装工程Ｓ４で実装している場合には、層間接続電極１８のみを露出させた状態となることもある。
【００６７】
（６）配線電極形成工程Ｓ６
次に、図２（ａ）に示すように、第１層の樹脂層１５の表面に配線用電極２１を形成する。ここでは、研削した第１層の樹脂層１５の層間接続電極１８の露出部分に配線電極２１として多層配線基板１３と接続するための柱状電極２１ａと引き回し配線２１ｂを前述同様のＪＰＳ法で形成する。
【００６８】
配線電極２１の高さ寸法は、柱状部分のアスペクト比が１以下となるように設定することが望ましい。これは、後工程で配線電極２１部分を加圧する際に、倒れたり座屈するのを防止するためである。なお、この実施形態においては、高さ寸法を４０〜６０μｍ範囲で設定している。
【００６９】
（７）第２層の樹脂層形成工程Ｓ７
続いて、図２（ｂ）に示すように、配線電極２１を埋め込んで第２層の樹脂層１６を形成する。研削した第１層の樹脂層１５の表面上の配線電極２１を覆うようにエポキシ系熱硬化性樹脂４１を塗布し、他方の多層配線基板１３で挟むようにして配線電極２１を押しつぶす。
【００７０】
多層配線基板１３には、配線電極２１にあたる部分にあらかじめ接続用の電極パッドが形成されているので、押しつぶしの処理を進めると配線電極２１と電気的に接触するようになる。ここで、配線電極２１に加える力は、配線電極の１個の柱状電極２１ａあたり１Ｎ（ニュートン）程度とした。
【００７１】
この際、研削した第１層の樹脂層１５表面と多層配線基板１３の間に、熱硬化性樹脂４１が十分に回りこんで隅々まで充填されるようにする。この状態で、加熱しエポキシ系熱硬化性樹脂４１を硬化させる。硬化温度は、１２０〜１４０℃程度とする。なお、加圧・加熱の処理は、フリップチップボンダーを用いて同時に行っている。
【００７２】
これにより、第２層の樹脂層１６は、多層配線基板１３と密着した状態で、且つ電気的に接続された状態として形成され、図２（ｃ）に示すような構成の回路モジュール１１を得ることができる。なお、上述の製造工程では、フリップチップボンダーを用いているので、多層配線基板１３を樹脂層４１の面に載置する際に、平行性、加圧機能および加熱機能を兼ね備えていることから処理工程を簡単且つ迅速に行うことができる。
【００７３】
以上の工程Ｓ１〜Ｓ７を経ることにより、２枚の多層配線基板１２，１３に、ベアチップ１７が埋め込まれた第１層の樹脂層１５と配線電極２１が埋め込まれた第２層の樹脂層１６が積層形成され、各樹脂層１５，１６の間および多層配線基板１２，１３の間は、層間接続電極１８および配線電極の柱状電極２１ａで接続された構造として得ることができる。
【００７４】
この後、前述のように、ダイシング工程などを経て１個ずつの回路モジュール１１に分割し、最後に多層配線基板１２，１３上に他の半導体素子やディスクリート部品等の面実装部品を実装配置して回路モジュール１１が完成する。
【００７５】
このような第１の実施形態によれば、上述のようにして回路モジュール１１を構成するとともに製造するので、全体構成として薄くコンパクトに形成でき、しかも、基板表面に半導体素子の実装部分がなくなるのでディスクリート部品の実装面積を最大にとることができ、実装密度の高い回路モジュール１１を得ることができる。
【００７６】
また、電極形成にＪＰＳ法を用いるので、電極形成をドライ処理で簡単且つ迅速に寸法精度の良い電極形成をすることができる。また、第１層の樹脂層１５に層間接続電極１８を設けて接続するようにしているので、層間接続のためにビアの形成や埋込などの工程が不要となりプロセスを簡素化することができる。
【００７７】
さらに、第２層の樹脂層１６を設けて配線電極２１を配設するので配線の自由度を高めて最適な配線を行うことができる。第１層の樹脂層１５の形成過程でベアチップ１７を同時に研削することができ、所望の厚さ寸法にできる。このとき、ベアチップ１７はエポキシ系熱硬化性樹脂４０に埋め込まれた状態であるから、チップの欠けや割れが発生するのを防止できる。そして、全体を樹脂層で埋め込む構成とするので、強度の点で優れる。
【００７８】
さらに、ベアチップボンダーを用いて多層配線基板１３を実装構造１４に押圧、加熱する第２層の樹脂層形成工程Ｓ７を実施するので、平坦性を精度良く出しながら押しつぶしおよび加熱処理を迅速且つ簡単に行える。
【００７９】
（第２の実施形態）
図５ないし図７は、本発明の第２の実施形態を示すもので、第１の実施形態と異なるところは、実装構造体１４を２階層分形成した構成としてさらに実装密度を向上させた積層型回路モジュール５１に適用したところである。
【００８０】
図７（ｃ）は、積層型回路モジュール５１の断面構成を示すもので、第１の実施形態における回路モジュール１１の構成で、実装構造１４と上部側の多層配線基板１３との間に新たに半導体素子の実装構造５２を形成した構成である。この実装構造５２は、実装構造１４とほぼ同等の構造を有しており、素子用絶縁層としての第１層の樹脂層５３および配線用絶縁層としての第２層の樹脂層５４が積層された構成である。
【００８１】
第１層の樹脂層５３には、実装構造１４の上面に形成された層間接続用電極５５および配線パターン５６で接続されたバンプ電極５７が埋め込まれていると共に、バンプ電極５７に異方性導電ペースト５８で固定された半導体素子としてのベアチップ５９が埋め込み形成されている。第２層の樹脂層５５には、配線電極６０が埋め込み形成されている。層間接続電極５５および配線電極６０は共に樹脂層５３および５５を貫通するように形成されており、層間の電気的な接続をしている。
【００８２】
そして、この上側に積層されている実装構造５２の上面つまり、第２層の樹脂層５４の上に多層配線基板１３が対向するようにして固定配置され、その配線パターンは配線電極６０と電気的に接続され、２階層分の実装構造が積層された積層型回路モジュール５１が形成されている。
【００８３】
次に、この積層型回路モジュール５１の製造方法について簡単に説明する。なお、この第２の実施形態における製造工程では、基本的には第１の実施形態の製造工程と同じことを繰り返すことにより実装構造５２を形成している。
【００８４】
（１）配線電極形成工程Ｓ６
すなわち、図５（ａ）において、第１の実施形態と同様にベアチップ１７と層間接続電極１８を埋め込んだ第１層の樹脂層１５を多層配線基板１２上に形成する。更に、第１の樹脂層１５の上に配線電極２１として柱状電極２１ａと配線パターン２１ｂを形成する（第１の実施形態の図２（ａ）に相当）。
【００８５】
（２）第２層の樹脂層形成工程Ｓ７
この後、以下の工程を実施することにより実装構造５２を形成する。まず、配線用絶縁層である第２層の樹脂層１６を形成すべく、配線電極２１が形成された面を覆うようにエポキシ系熱硬化性樹脂４１を塗布する。次に、離型材６１ａを塗布した平板ガラス６１を用意する。平板ガラス６１は、平面度、平行度が優れたものが望ましい。加圧時の変形をさける為、１ｍｍ程度の板厚を用いている。また離型材６１ａは、シリコン系の高耐熱のものを使用している。これは例えば鋳造で用いる離型材のようなものを用いる。
【００８６】
この平板ガラス６１で、図５（ｃ）に示すように、エポキシ系熱硬化性樹脂４１で覆われた配線電極２１を押しつぶす。配線電極２１に加える力は、１個の柱状電極２１ａあたり１Ｎ程度とした。この際、研削した第１層の樹脂層１５の表面と平板ガラス６１の間に、熱硬化性樹脂４１が充填されるようにする。この状態で、加熱しエポキシ系熱硬化性樹脂４１を硬化させ、第２の樹脂層１６を形成する。このときの熱硬化温度は、１２０〜１４０℃程度とする。
【００８７】
第２層の樹脂層１６が硬化した後、同図（ｄ）に示すように、平板ガラス６１を剥離する。剥離後の樹脂層１６の表面には、配線電極２１の柱状電極２１ａが露出する。なお、回路レイアウト上、更に配線電極の積層が必要な場合には、図示はしないが、この樹脂層の上に層間接続用柱状電極と配線を形成し、上記手法で樹脂層で埋め込みを行うことで必要な配線電極のパターンを形成することができる。
【００８８】
（３）層間接続電極形成工程Ｓ２
次に、実装構造５２を形成すべく、図６（ａ）に示すように、層間接続電極５５、配線パターン５６およびバンプ電極５７の形成を行う。これは、前述と同様にしてＪＰＳ法を用いてＡｕ（金）を所定形状に堆積形成し、所定寸法の円錐状をなす層間接続電極５５およびバンプ電極５７と配線パターン５６を形成する。なお、この場合には、実装構造１４の場合と異なり、多層配線基板１２に形成しているような配線パターン５６も同時に形成する。
【００８９】
（４）チップ実装工程Ｓ３
次に、図６（ｂ）に示すように、ベアチップ５９を実装する。前述と同様にして、ベアチップ５９をフェイスダウンでバンプ電極５７と対向させた状態として異方性導電ペースト５８により接着し、熱硬化処理をして固定する。
【００９０】
（５）第１層の樹脂層形成工程Ｓ４
さらに、実施例１でベアチップの埋め込みを行ったのと同様の方法で、同図  （ｃ）に示すように、ベアチップ５９をエポキシ系熱硬化樹脂６２で埋め込み、前述と同様の熱処理条件にて熱硬化処理を行う。
【００９１】
（６）研削工程Ｓ５
続いて、図７（ａ）に示すように、熱硬化された樹脂層６２をベアチップ５９および層間接続電極５５と共に研削し、層間接続電極５５を樹脂層６２の表面に露出させた状態とする。これにより、ベアチップ５９および層間接続電極５５が埋め込まれた第１層の樹脂層５３が形成される。
【００９２】
（７）配線電極形成工程Ｓ６，第２層の樹脂層形成工程Ｓ７
この後、前述同様にして配線電極形成工程Ｓ６を実施して、同図（ｂ）に示すように、配線電極６０をＪＰＳ法により形成する。さらに、この上からエポキシ系熱硬化性樹脂を塗布して多層配線基板１３により押しつぶしをしながら熱処理を行って熱硬化させ、第２層の樹脂層５４を形成する。
【００９３】
以上により、実装構造１４および５２の２階層分積層した構造の基板を形成することができる。この後、前述同様にして、ディスクリート部品が多層配線基板１２，１３の表裏面に面実装され、積層型回路モジュール５１として形成することができる。
【００９４】
このような、第２の実施形態によれば、２階層分の半導体素子の実装構造１４および５２を積層形成することで、中継基板などを用いないで厚さ寸法を薄くして多層に形成することができ、実装効率を高めたものとすることができる。
【００９５】
なお、上記の実施形態では、実装構造１４，５２の２階層分として積層型回路モジュール５１を構成したが、さらに多層に実装構造を形成して積層型回路モジュールを構成することもできる。この場合には、上述した工程を繰り返し実施することで実装構造を積層形成することができる。
【００９６】
（第３の実施形態）
図８は、本発明の第３の実施形態を示すもので、第２の実施形態と異なるところは、多層配線基板１２，１３のそれぞれに実装構造１４，５２を積層形成し、これらの上面側を対向するようにして接続固定し４層の実装構造を設ける構成の積層型回路モジュール６３を形成したところである。
【００９７】
同図（ｂ）はその断面構成を示すもので、積層型回路モジュール６３は、第２の実施形態において図７（ａ）で示した構造のものを、多層配線基板１２および１３のそれぞれに形成し、これらの第１の樹脂層５３を対向させた状態でそれらの間に第２層の樹脂層５４を共通の層として介在させるように接合した構成である。
【００９８】
この場合、多層配線基板１２，１３に形成する実装構造１４，５２などの積層階層数を増やし、トータルの層厚が厚くなっていくと、積層した樹脂層の内部応力によって多層配線基板１２，１３に反りが生じることがある。この内部応力は、主に熱硬化性樹脂が硬化する際の体積収縮と、多層配線基板と熱硬化性樹脂との熱膨張係数の差に起因して発生する。
【００９９】
この様に、多層配線基板１２，１３に反りが発生する場合には、積層工程を実施する際のアライメント作業が困難になる。この実施形態においては、そのような多数の実装構造を形成する場合の反りを防止しながら行えるようにしており、以下簡単にその構造と製造方法について説明する。
【０１００】
第２の実施形態と同様の手法で多層配線基板１２，１３のそれぞれに、ベアチップ１７，５９と層間接続電極がそれぞれ埋め込み形成された実装構造１４および第１層の樹脂層５３が形成された状態（図７（ａ）の構成に相当）のものを形成する。
【０１０１】
このとき、各多層配線基板１２，１３に形成した実装構造１４，５２の全体の厚さ寸法をほぼ等しく設定しておくことが望ましい。そして、上側の多層配線基板１３側の第１層の樹脂層５３の表面に、層間接続電極５５が露出した状態とされている（図８（ａ）参照）。また、下側の多層配線基板１２の第１層の樹脂層５３の上には、層間接続電極５５の上に、必要に応じて引き回し配線電極６０が形成される（同図（ｂ）参照）。この配線電極６０は、同じくＪＰＳ法で形成する。
【０１０２】
次に多層配線基板１２，１３を相互の電気的接続がとれるよう、層間接続電極５５と引き回し配線電極６０とが適切な位置にくるようにアライメントし、エポキシ系熱硬化性樹脂６４を介して張り合わせすると共に、熱硬化処理を行うことで積層回路モジュール６３を形成する。基板同士を張り合わせる際には、電極１個あたり１Ｎ程度の荷重を加えて配線電極６０を押しつぶし、この後エポキシ系熱硬化性樹脂６４を熱硬化させる。
【０１０３】
この様に、各配線基板に配線基板の反りが発生しない範囲内で複数の実装構造を積層形成した後、積層構造を形成した面同士を張り合わせることで、積層階層数が多い積層回路モジュールに関しても多層配線基板に反りを生じさせることなく形成することができる。
【０１０４】
（第４の実施形態）
図９は、本発明の第４の実施形態を示すもので、上記各実施形態と異なるところは、層間接続電極１８に変えて層間接続電極６５を形成する場合の形成方法である。第１ないし第３の実施形態においては、層間接続電極１８などはＪＰＳ法を用いて形成する場合について説明した。
【０１０５】
ここでは、図９（ａ）に示した、バンプ電極１９が形成された多層配線基板１２上に、ベアチップ１７をフリップチップ実装し、この後、ワイヤボンディングの技術を利用して金属ワイヤを垂直に形成して層間接続電極６５を形成する。
【０１０６】
これにより、バンプ電極１９と同時に形成する必要がないので、フリップチップ実装時には層間接続電極６５が形成されていない状態で行え、作業性が向上するようになる。なお、このように層間接続電極６５の形成を行うことで作業工程の自由度を高めることができるが、前述同様に、フリップチップ実装工程の前に層間接続電極６５を形成することもできる。
【０１０７】
このような第４の実施形態によれば、層間接続電極６５の形成を既存の設備を用いて簡単に行なえると共に、バンプ電極の形成とは別の工程で実施できるので、製造工程の自由度を高めることができると共に、フリップチップ実装の作業性の向上を図るようにすることもできる。
【０１０８】
（第５の実施形態）
図１０は本発明の第５の実施形態を示すもので、第４の実施形態と異なるところは、同じく層間接続電極１８に代えて設ける層間接続電極６６の形成方法である。この層間接続電極６６は、ボールボンダーを用いたスタッドバンプ６６ａを例えば３個積層して形成した例である。
【０１０９】
この第５の実施形態によっても第４の実施形態と同様の作用効果を得ることができると共に、既存の設備を用いて簡単且つ安価に形成することができるようになる。
【０１１０】
本発明は、上記実施形態にのみ限定されるものではなく、次のように変形また拡張できる。
層間接続電極、配線電極やバンプ電極は、Ａｕ（金）の代わりにＣｕ（銅）やＡｌ（アルミニウム）など他の金属を用いることもできる。
【０１１１】
第２層の樹脂層を形成する際に、平板などによる押しつぶし処理を行なう代わりに、熱硬化処理を行なった樹脂層を研削することにより第２層の樹脂層１６を形成しても良い。
【０１１２】
第１層の樹脂層１５と第２層の樹脂層１６とは、同じ樹脂を用いてもよいし、異なる種類の樹脂を用いても良い。それらの選択は、応力の関係や親和性あるいは電気的特性などの様々な観点から最適なものを用いることができる。
【０１１３】
また、図示していないがフリップチップ用のバンプ電極も、スタッドバンプや導電ペーストを印刷法を用いて円錐状に形成した電極で代用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す処理工程に対応した模式的断面図（その１）
【図２】処理工程に対応した模式的断面図（その２）
【図３】工程フロー図
【図４】電極形成用装置の原理説明図
【図５】本発明の第２の実施形態を示す処理工程に対応した模式的断面図（その１）
【図６】処理工程に対応した模式的断面図（その２）
【図７】処理工程に対応した模式的断面図（その３）
【図８】本発明の第３の実施形態を示す処理工程に対応した模式的断面図
【図９】本発明の第４の実施形態を示す処理工程に対応した模式的断面図
【図１０】本発明の第５の実施形態を示す処理工程に対応した模式的断面図
【図１１】従来例を示す模式的断面図
【図１２】異なる従来例を示す模式的断面図
【符号の説明】
１１は回路モジュール、１２は多層配線基板（下地、配線基板）、１３は多層配線基板（配線基板）、１４，５２は半導体素子の実装構造、１５，５３は第１層の樹脂層（素子用絶縁層）、１６，５４は第２層の樹脂層（配線用絶縁層）、１７，５９はベアチップ（半導体素子）、１８，５５，６５，６６は層間接続電極、１９，５７はバンプ電極、２０，５８は異方性導電ペースト、２１，６０は配線電極、３１は成膜室、３２は超微粒子生成室、３３は搬送管、３３ａはノズル、３８はＸＹステージ、３９はるつぼ、４０，４１，６２，６４はエポキシ系熱硬化性樹脂、５１，６３は積層回路モジュール、６１はガラス板、６１ａは離型材である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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