(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
並列に設けられたマスター回路とスレーブ回路とを備え、前記マスター回路が出力する電流と、前記スレーブ回路が出力する電流とを加算した電流を電源電流として出力する電源装置であって、
前記マスター回路は、
与えられる電圧に応じて電流を出力する主回路側出力部と、
前記電源装置が出力するべき電源電圧に応じた基準電圧を生成する主回路側基準電源と、
前記基準電圧に応じた制御電圧を前記主回路側出力部に供給し、前記主回路側出力部が出力する電流を制御する主回路側制御部と、
前記主回路側出力部が出力する電流を検出し、当該電流を変換した電圧を前記スレーブ回路に供給する結合部と
を有し、
前記スレーブ回路は、
前記主回路側出力部と略同一の特性を有し、与えられる電圧に応じて電流を出力する従回路側出力部と、
前記従回路側出力部が出力する電圧、または、前記従回路側出力部が出力する電流を変換した電圧を微分する微分回路と、
前記微分回路が出力する電圧と、前記結合部が出力する電圧とを加算して、前記従回路側出力部に供給する加算部と
を有し、
前記従回路側出力部は、前記加算部から供給される電圧に応じた電流を出力するトランスコンダクタンスアンプである電源装置。
【請求項２】
前記主回路側出力部は、前記主回路側制御部から供給される前記制御電圧に応じた電流を出力するトランスコンダクタンスアンプである
請求項１に記載の電源装置。
【請求項３】
前記スレーブ回路は、前記主回路側制御部、および、前記結合部と同一の構成の従回路側制御部、および、従回路側結合部を更に有し、
前記従回路側結合部は、前記従回路側出力部が出力する電流を検出し、当該電流を変換した電圧を前記従回路側制御部に供給し、
前記従回路側制御部は、前記従回路側結合部からの電圧が入力端子に与えられるボルテージフォロワ回路として機能し、
前記微分回路は、前記従回路側制御部が出力する電圧を微分する
請求項２に記載の電源装置。
【請求項４】
前記マスター回路は、
前記主回路側出力部が出力する電圧を前記主回路側制御部にフィードバックするフィードバック部を更に有し、
前記主回路側制御部は、前記フィードバック部から受け取る電圧と、前記基準電圧との差分に応じた前記制御電圧を出力し、
前記スレーブ回路は、前記主回路側制御部、および、前記フィードバック部と同一の構成の従回路側制御部、および、従回路側フィードバック部を更に有し、
前記従回路側フィードバック部は、前記従回路側出力部が出力する電圧を前記従回路側制御部にフィードバックし、
前記従回路側制御部は、前記従回路側結合部からの電圧が入力端子に与えられるボルテージフォロワ回路として機能し、
前記微分回路は、前記従回路側制御部が出力する電圧を微分する
請求項３に記載の電源装置。
【請求項５】
前記スレーブ回路は、前記主回路側基準電源と同一の構成の従回路側基準電源を更に有し、
前記マスター回路および前記スレーブ回路は、
前記主回路側基準電源および前記従回路側基準電源を、前記主回路側制御部および前記従回路側制御部に接続するか否かを切り替える第１スイッチと、
前記主回路側制御部および前記従回路側制御部を、前記主回路側出力部および前記従回路側出力部に接続するか否かを切り替える第２スイッチと
を有し、
前記マスター回路における前記第１スイッチは、前記主回路側基準電源を前記主回路側制御部に接続し、
前記マスター回路における前記第２スイッチは、前記主回路側制御部を前記主回路側出力部に接続し、
前記スレーブ回路における前記第１スイッチは、前記従回路側基準電源を前記従回路側制御部から切り離し、
前記スレーブ回路における前記第２スイッチは、前記従回路側制御部を前記主回路側出力部から切り離す
請求項３または４に記載の電源装置。
【請求項６】
並列に設けられたマスター回路とスレーブ回路とを備え、前記マスター回路が出力する電流と、前記スレーブ回路が出力する電流とを加算した電流を電源電流として出力する電源装置であって、
前記マスター回路及び前記スレーブ回路は、与えられる電圧に応じて電流を出力する出力部を有し、
前記マスター回路は、前記マスター回路及び前記スレーブ回路の前記出力部に、前記電流を制御する制御電圧を供給する制御部を有し、
前記スレーブ回路は、前記スレーブ回路の前記出力部の出力電圧又は出力電流を微分して当該出力部の出力の変動を検出し、当該微分値に応じた電圧を、前記スレーブ回路の前記出力部に供給される前記制御電圧に加算する微分回路を有し、
前記スレーブ回路の前記出力部は、前記微分回路により前記微分値に応じた電圧が加算された前記制御電圧に応じた電流を出力するトランスコンダクタアンプである電源装置。
【請求項７】
デバイスを試験する試験装置であって、
前記デバイスの電源ピンに電源電圧及び電源電流を供給する、請求項１から６のいずれかに記載の電源装置と、
前記デバイスの入出力ピンに所定の試験パターンを印加するロジック部と、
前記デバイスが前記試験パターンに応じて出力する出力パターンに基づいて、前記デバイスの良否を判定する判定部と
を備える試験装置。
【請求項８】
デバイスを試験する試験装置であって、
前記デバイスの電源ピンに所定の電源電圧を印加する、請求項１から６のいずれかに記載の電源装置と、
前記デバイスに供給される電源電流に基づいて、前記デバイスの良否を判定する判定部と
を備える試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電源電圧及び電源電流を生成する電源装置に関する。また、本発明は下記の米国特許出願に関連する。文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の記載の一部とする。
出願番号１０／９１６，０５９    出願日  西暦２００４年８月１０日
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば半導体回路等の電子デバイスの試験として、電子デバイスに所定の電源電圧を印加して、そのときの電源電流を測定する直流試験がある。このような試験を行う場合、試験装置は、電源電圧及び電源電流を生成する回路として、並列に設けられたマスター回路及びスレーブ回路を有する場合がある。マスター回路及びスレーブ回路は同一の構成を有しており、それぞれ電源電圧を生成し、またこれらの回路が生成する電流を合成した電流を電源電流として出力する。【０００３】
マスター回路及びスレーブ回路は、与えられる電圧に応じて電流を出力する出力部と、出力部に与える電圧を調整する制御部とにより構成される。制御部は、与えられる基準電圧と、出力部が出力する電圧をフィードバックした電圧とに基づいて電圧を出力することにより、マスター回路及びスレーブ回路の出力を所定の出力に調整する。【０００４】
またマスター回路及びスレーブ回路は、同一の電流を出力する。つまり、スレーブ回路が１回路の場合、それぞれ電源電流の半分の電流を出力するように制御される。このような構成により、大電流で駆動する電子デバイスの試験を行っている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、マスター回路及びスレーブ回路は、それぞれ独立して制御されるため、マスター回路及びスレーブ回路を構成する素子の特性等にばらつきがある場合、それぞれの回路の出力にばらつきが生じてしまい、電子デバイスに供給する電源電圧及び電源電流を精度よく調整することが困難である。【０００６】
このため本発明は、上述した課題を解決することのできる電源装置を提供することを目的とする。この目的は、請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、並列に設けられたマスター回路とスレーブ回路とを備え、マスター回路が出力する電流と、スレーブ回路が出力する電流とを加算した電流を電源電流として出力する電源装置であって、マスター回路は、与えられる電圧に応じて電流を出力する主回路側出力部と、電源装置が出力するべき電源電圧に応じた基準電圧を生成する主回路側基準電源と、基準電圧に応じた電圧を主回路側出力部に供給し、主回路側出力部が出力する電流を制御する主回路側制御部とを有し、スレーブ回路は、主回路側出力部と略同一の特性を有し、主回路側出力部が出力する電流に基づく電圧を受け取り、当該電圧に応じて電流を出力する従回路側出力部を有する電源装置を提供する。【０００８】
マスター回路は、主回路側出力部が出力する電圧を主回路側制御部にフィードバックするフィードバック部を更に有し、主回路側制御部は、フィードバック部から受け取る電圧と、基準電圧との差分に応じた制御電圧を出力してよい。【０００９】
またマスター回路は、主回路側出力部が出力する電流を検出し、当該電流を変換した電圧を従回路側出力部に供給する結合部を更に有してもよい。スレーブ回路は、従回路側出力部が出力する電圧を微分する微分回路と、微分回路が出力する電圧と、結合部が出力する電圧とを加算して、従回路側出力部に供給する加算部とを更に有してよい。【００１０】
またスレーブ回路は、従回路側出力部が出力する電流を変換した電圧を微分する微分回路と、微分回路が出力する電圧と、結合部が出力する電圧とを加算して、従回路側出力部に供給する加算部とを更に有してもよい。またスレーブ回路は、結合部が出力する電圧を受け取り、当該電圧に応じた電圧を従回路側出力部に供給するボルテージフォロワ回路を更に有してよい。またスレーブ回路は、主回路側出力部が出力する電流と、従回路側出力部が出力する電流との差分に基づいて、従回路側出力部に供給する電圧を生成する従回路側制御部を更に有してよい。【００１１】
電源装置は、主回路側出力部が出力する電流と、従回路側出力部が出力する電流との差分に応じた電圧を出力する結合部を更に備え、スレーブ回路は、結合部が出力する電圧と、従回路側出力部が出力する電圧とを加算する加算部と、主回路側基準電源と略同一の特性を有する従回路側基準電源と、加算部が出力する電圧と、従回路側基準電源が出力する基準電圧との差分に応じて、従回路側出力部に供給する電圧を生成する従回路側制御部とを更に有してよい。【００１２】
本発明の第２の形態においては、並列に設けられたマスター回路とスレーブ回路とを備え、マスター回路が出力する電流と、スレーブ回路が出力する電流とを加算した電流を電源電流として出力する電源装置であって、マスター回路及びスレーブ回路は、与えられる電圧に応じて電流を出力する出力部を有し、マスター回路は、マスター回路及びスレーブ回路の出力部に、電流を制御する制御電圧を供給する制御部を有し、スレーブ回路は、スレーブ回路の出力部の出力電圧又は出力電流を微分して当該出力部の出力の変動を検出し、当該微分値に応じた電圧を、スレーブ回路の出力部に供給される制御電圧に加算する微分回路を有する電源装置を提供する。【００１３】
なお上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションも又発明となりうる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、マスター回路とスレーブ回路の素子ばらつき等による出力のばらつきを低減して、電源装置の出力を精度よく制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を示す図である。
【図２】電源装置２０の構成の一例を示す図である。
【図３】主回路側出力部３２−１が出力する電流を電圧に変換する手段の一例を示す図である。
【図４】電源装置２０の構成の他の例を示す図である。
【図５】電源装置２０の構成の更なる他の例を示す図である。
【図６】電源装置２０の構成の更なる他の例を示す図である。
【図７】電源装置２０の構成の更なる他の例を示す図である。
【図８】電源装置２０の構成の更なる他の例を示す図である。
【符号の説明】
【００１６】
１０・・・ロジック部、１２・・・判定部、２０・・・電源装置、２２・・・マスター回路、スレーブ回路、２４・・・基準電源、２６・・・制御部、２８・・・スイッチ、２９・・・フィードバック部、３０・・・スイッチ、３１・・・加算部、３２・・・出力部、３４・・・結合部、３６・・・出力抵抗、３８・・・差動増幅器、４０・・・加算部、４２・・・スイッチ、４４・・・微分回路、４６・・・抵抗、４８・・・スイッチ、５０・・・結合部、１００・・・試験装置
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、発明の実施形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。【００１８】
図１は、本発明の実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を示す図である。試験装置１００は、半導体回路等の電子デバイス２００を試験する装置であって、ロジック部１０、電源装置２０、及び判定部１２を備える。【００１９】
ロジック部１０は、電子デバイス２００の機能試験等を行う。例えば、電子デバイス２００の入出力ピンに印加する所定の試験パターンを生成し、電子デバイス２００の動作を試験する。【００２０】
電源装置２０は、電子デバイス２００を駆動させる電源であり、電子デバイス２００の電源ピンに電源電圧及び電源電流を供給する。また判定部１２は、電子デバイス２００の良否を判定する。例えば電子デバイス２００の動作を試験する場合、電子デバイス２００が試験パターンに応じて出力する出力パターンを受け取り、期待値パターンと比較することにより試験を行う。【００２１】
また電子デバイス２００の電流測定試験を行う場合、電源装置２０は電子デバイス２００に所定の電源電圧を印加し、判定部１２は、そのときに電子デバイス２００に供給される電源電流を検出し、異常がないかを判定する。これらのような試験を行う場合、精度よく電源電圧及び電源電流を出力できる電源装置２０を用いることが好ましい。【００２２】
図２は、電源装置２０の構成の一例を示す図である。電源装置２０は並列に設けられたマスター回路２２−１と、スレーブ回路２２−２とを備える。マスター回路２２−１及びスレーブ回路２２−２は略同一の構成を有する回路である。例えば電源装置２０は、後述するマスター回路２２−１と同一の構成を有する回路を並列に複数備えており、当該回路のいずれかをマスター回路２２−１として機能させ、他の当該回路をスレーブ回路２２−２として機能させてよい。【００２３】
マスター回路２２−１及びスレーブ回路２２−２は、それぞれ略同一の電圧及び電流を生成し、電源装置２０は、マスター回路２２−１が出力する電流と、スレーブ回路２２−２が出力する電流とを加算した電流を電源電流として出力する。またマスター回路２２−１及びスレーブ回路２２−２は、それぞれ電子デバイス２００に供給するべき電源電圧と略同一の電圧を出力する。【００２４】
マスター回路２２−１は、主回路側基準電源２４−１、主回路側制御部２６−１、主回路側出力部３２−１、スイッチ２８−１、スイッチ３０−１、フィードバック部２９−１、及び結合部３４−１を有する。【００２５】
主回路側基準電源２４−１は、電源装置２０が出力するべき電源電圧に応じた基準電圧を生成する。主回路側出力部３２−１は、いわゆるトランスコンダクタンスアンプであり、与えられる電圧に応じて電流を出力する。また主回路側制御部２６−１は、いわゆるレギュレーションアンプであって、基準電圧に応じた電圧を主回路側出力部３２−１に供給し、主回路側出力部３２−１が出力する電流を制御する。フィードバック部２９−１は、主回路側出力部３２−１が出力する電圧を、主回路側制御部２６−１にフィードバックする。本例において主回路側制御部２６−１は差動増幅器であって、正入力端子に基準電圧を受け取り、負入力端子に、主回路側出力部３２−１が出力する電圧を、フィードバック部２９−１を介して受け取る。そして主回路側制御部２６−１は、フィードバック部２９−１から受け取る電圧と、基準電圧との差分に応じた制御電圧を出力する。【００２６】
またスイッチ２８−１は、フィードバック部２９−１に電圧をフィードバックさせるか否かを切り替えるスイッチであり、スイッチ３０−１は、主回路側制御部２６−１に主回路側出力部３２−１を制御させるか否かを切り替えるスイッチであって、スイッチ２８−１及びスイッチ３０−１は共に短絡される。このような構成により、マスター回路２２−１の出力は所定の値に制御される。【００２７】
また結合部３４−１は、主回路側出力部３２−１が出力する電流を検出し、当該電流を変換した電圧をスレーブ回路２２−２に供給する。スレーブ回路２２−２は、従回路側基準電源２４−２、従回路側制御部２６−２、従回路側出力部３２−２、スイッチ２８−２、スイッチ３０−２、フィードバック部２９−２、及び結合部３４−２を有する。これらの構成要素は前述した主回路側基準電源２４−１、主回路側制御部２６−１、主回路側出力部３２−１、スイッチ２８−１、スイッチ３０−１、フィードバック部２９−１、及び結合部３４−１と同一の特性を有する。【００２８】
スイッチ２８−２は、フィードバック部２９−２と従回路側制御部２６−２を切り離して従回路側出力部３２−２の出力電圧をフィードバックさせず、スイッチ３０−２は、従回路側制御部２６−２と従回路側出力部３２−２を切り離して従回路側制御部２６−２に従回路側出力部３２−２を制御させない。つまりスイッチ２８−２及びスイッチ３０−２は共に開放される。【００２９】
従回路側出力部３２−２は、主回路側出力部３２−１が出力する電流に基づく電圧を受け取り、当該電圧に応じて電流を出力する。本例においてマスター回路２２−１の結合部３４−１は、主回路側出力部３２−１が出力する電流を変換した電圧を従回路側出力部３２−２に供給する。【００３０】
結合部３４−１はいわゆるバッファであって、当該電圧を従回路側出力部３２−２に供給し、従回路側出力部３２−２に、主回路側出力部３２−１が出力する電流と略同一の電流を出力させる。つまり、主回路側出力部３２−１及び従回路側出力部３２−２は、カレントミラー回路を構成する。そして、主回路側出力部３２−１が出力する電流と、従回路側出力部３２−２が出力する電流とは加算されて電子デバイス２００の電源ピンに供給される。【００３１】
このような構成により、マスター回路２２−１とスレーブ回路２２−２の素子ばらつき等による出力のばらつきを低減して、電源装置２０の出力を精度よく制御することができる。【００３２】
また、電源装置２０が、マスター回路２２−１及びスレーブ回路２２−２と同一の構成を有する回路を複数備えている場合、これらの回路のスイッチ２８及びスイッチ３０を制御することにより、いずれの回路もマスター回路２２−１又はスレーブ回路２２−２として機能させることができる。また、スレーブ回路２２−２として用いられる回路の結合部３４−２は機能しないためその説明を省略する。【００３３】
図３は、主回路側出力部３２−１が出力する電流を電圧に変換する手段の一例を示す図である。当該手段は例えば差動増幅器３８−１であって、主回路側出力部３２−１の出力抵抗３６−１の両端の電位差に応じた電圧を結合部３４−１に出力する。【００３４】
図４は、電源装置２０の構成の他の例を示す図である。本例におけるマスター回路２２−１の結合部３４−１は、主回路側制御部２６−１が出力する制御電圧を、従回路側出力部３２−２に供給する。また、本例におけるマスター回路２２−１は、図２において説明したマスター回路２２−１の構成に加え、主回路側基準電源２４−１と主回路側制御部２６−１とを接続するか否かを切り替えるスイッチ４２−１を更に有する。マスター回路２２−１のスイッチ４２−１は短絡され、主回路側基準電源２４−１と主回路側制御部２６−１とは接続される。マスター回路２２−１の他の構成要素の機能は、図２において説明した構成要素と同一であるため、その記載を省略する。【００３５】
また本例におけるスレーブ回路２２−２は、図２において説明したスレーブ回路２２−２の構成に加え、スイッチ４８、スイッチ４２−２、微分回路４４−２、及び加算部４０−２を更に備える。スレーブ回路２２−２のスイッチ４２−２は開放され、従回路側基準電圧と従回路側制御部２６−２とは切り離される。また従回路側制御部２６−２は差動増幅器である。スイッチ４８は、従回路側制御部２６−２の出力端子と、負入力端子とを接続するか否かを切り替えるスイッチであり、本例においてスイッチ４８は短絡される。これにより、従回路側制御部２６−２は、出力が負入力端子に帰還されるボルテージフォロワ回路として機能する。従回路側制御部２６−２の正入力端子には、従回路側出力部３２−２が出力する電流を変換した電圧が与えられる。【００３６】
微分回路４４−２は、従回路側制御部２６−２の出力端子に設けられ、従回路側出力部３２−２が出力する電圧を微分する。微分回路４４−２は、従回路側制御部２６−２の出力端子に直列に設けられたコンデンサであってよい。【００３７】
加算部４０−２は、微分回路４４−２が出力する電圧と、結合部３４−１が出力する電圧とを加算して、従回路側出力部３２−２に供給する。つまり本例におけるスレーブ回路２２−２は、従回路側出力部３２−２の出力が主回路側出力部３２−１の出力に応じて変動した場合に、従回路側出力部３２−２の出力の追従性を向上させる。従回路側出力部３２−２の出力の微分値を、従回路側出力部３２−２に与えられる電圧に加算することにより、従回路側出力部３２−２の出力の追従性を向上させる。【００３８】
図５は、電源装置２０の構成の更なる他の例を示す図である。本例におけるマスター回路２２−１は、図２において説明したマスター回路２２−１とスイッチ４２−１を有することを除いて同一である。またスイッチ４２−１は図４において説明したスイッチ４２−１と同一である。【００３９】
本例におけるスレーブ回路２２−２は、図２において説明したスレーブ回路２２−２の構成に加え、スイッチ４２−２、微分回路４４−２、加算部４０−２、及び抵抗４６−２を更に備える。また本例における微分回路４４−２は、従回路側出力部３２−２が出力する電流を変換した電圧を微分する。また、スイッチ２８−２は短絡され、従回路側制御部２６−２の負入力端子と、従回路側出力部３２−２の出力端子とを、抵抗４６−２を介して接続する。スレーブ回路２２−２の他の構成要素は、図４において説明したスレーブ回路２２−２と同一である。【００４０】
抵抗４６−２は、従回路側出力部３２−２の出力端子と、フィードバック部２９−２とを接続する。またスレーブ回路２２−２のスイッチ２８−２は短絡され、従回路側出力部３２−２が出力する電圧は、従回路側制御部２６−２の正入力端子にフィードバックされる。【００４１】
従回路側制御部２６−２は、従回路側出力部３２−２が出力する電流に応じた電圧を、抵抗３６−２を介して受け取り、当該電圧に応じた電圧を出力する。微分回路４４−２は、従回路側制御部２６−２が出力する電圧を微分し、加算部４０−２に出力する。即ち、微分回路４４−２は、従回路側出力部３２−２が出力する電流に応じた電圧を微分し、加算部４０−２は、微分回路４４−２が出力する電圧と、結合部３４−１が出力する電圧とを加算して、従回路側出力部３２−２に供給する。【００４２】
図４及び図５におけるスレーブ回路２２−２によれば、従回路側出力部３２−２の出力電圧又は出力電流を微分して当該出力部の出力の変動を検出し、当該微分値に応じた電圧を、従回路側出力部３２−２に供給される制御電圧に加算し、従回路側出力部３２−２の出力の追従性を向上させることができる。【００４３】
図６は、電源装置２０の更なる他の例を示す図である。本例におけるマスター回路２２−１は、図５において説明したマスター回路２２−１と同一であるためその説明を省略する。またスレーブ回路２２−２は、図２において説明したスレーブ回路２２−２の構成に加えスイッチ４２−２を更に有する。スイッチ４２−２は、図５において説明したスイッチ４２−２と同一である。【００４４】
本例においては従回路側制御部２６−２と従回路側出力部３２−２が短絡され、従回路側制御部２６−２は従回路側出力部３２−２を制御する。従回路側制御部２６−２は、主回路側出力部３２−１が出力する電流と、従回路側出力部３２−２が出力する電流との差分に基づいて、従回路側出力部３２−２に供給する電圧を生成する。例えば従回路側制御部２６−２は差動増幅器であって、正入力端子に、主回路側出力部３２−１が出力する電流を変換した電圧を受け取り、負入力端子に、従回路側出力部３２−２が出力する電流を変換した電圧を受け取る。【００４５】
このような構成によっても、マスター回路２２−１とスレーブ回路２２−２の素子ばらつき等による出力のばらつきを低減して、電源装置２０の出力を精度よく制御することができる。【００４６】
図７は、電源装置２０の構成の更なる他の例を示す図である。本例におけるマスター回路２２−１は、図６において説明したマスター回路２２−１と同一であるため、その説明を省略する。【００４７】
また本例における従回路側制御部２６−２は差動増幅器であって、結合部３４−１が出力する電圧を受け取り、当該電圧に応じた電圧を従回路側出力部３２−２に供給するボルテージフォロワ回路として機能する。【００４８】
このような構成によっても、マスター回路２２−１とスレーブ回路２２−２の素子ばらつき等による出力のばらつきを低減して、電源装置２０の出力を精度よく制御することができる。【００４９】
図８は、電源装置２０の構成の更なる他の例を示す図である。本例におけるマスター回路２２−１は、図２において説明したマスター回路２２−１の構成に比べ、結合部３４−１に代えて結合部５０−１を有する。結合部５０−１は、主回路側出力部３２−１が出力する電流と、従回路側出力部３２−２が出力する電流との差分に応じた電圧を出力する。例えば結合部５０−１は差動増幅器であって、正入力端子に、主回路側出力部３２−１が出力する電流を変換した電圧を受け取り、負入力端子に、従回路側出力部３２−２が出力する電流を変換した電圧を受け取る。【００５０】
また本例におけるスレーブ回路２２−２は、図２において説明したスレーブ回路２２−２の構成に加え、加算部３１−２及び抵抗４６−２を更に有する。抵抗４６−２は、従回路側出力部３２−２の出力端子と、フィードバック部２９−２とを接続する。またスレーブ回路２２−２の従回路側出力部３２−２が出力する電圧は、従回路側制御部２６−２の負入力端子に接続された加算部３１−２にフィードバックされる。【００５１】
加算部３１−２は、結合部５０−１が出力する電圧と、従回路側出力部３２−２が出力する電圧とを加算して、従回路側制御部２６−２の負入力端子に入力する。従回路側制御部２６−２は、加算部３１−２が出力する電圧と、従回路側基準電源２４−２が出力する基準電圧との差分に応じて、従回路側出力部３２−２に供給する電圧を生成する。本例において従回路側制御部２６−２は、生成した制御電圧を従回路側出力部３２−２に供給する。【００５２】
このような構成によっても、マスター回路２２−１とスレーブ回路２２−２の素子ばらつき等による出力のばらつきを低減して、電源装置２０の出力を精度よく制御することができる。【００５３】
以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されない。上記実施形態に、多様な変更又は改良を加えることができる。そのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
以上から明らかなように、本発明に係る電源装置によれば、マスター回路とスレーブ回路の素子ばらつき等による出力のばらつきを低減して、電源装置の出力を精度よく制御することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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