(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータ本体に設けたモータの回転運動を直線運動に変換し、モータ回転時に作動部材をその長手方向に直線的に移動させる電動アクチュエータにおいて、
アクチュエータ本体には作動部材の直線移動方向と平行に延びるガイド部材を設け、作動部材とガイド部材とを一体移動可能に連結し、ガイド部材のみにピストンを設け、そのピストンをアクチュエータ本体内に設けたシリンダ室に収容し、前記ピストンによって区画される一方のシリンダ室に流体を給排しつつ他方のシリンダ室に流体を給排することによってガイド部材に推力を発生し得るように構成し、
前記作動部材とガイド部材との連結部位とそれに対向するアクチュエータ本体の面の少なくとも一方には第１の規制部材を設け、その規制部材が他方に当接することにより前記連結部位の移動を所定位置で規制するようにするとともに、前記ガイド部材には、同ガイド部材の移動を所定位置で規制する第２の規制部材を設けた電動アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載の電動アクチュエータにおいて、第１及び第２の規制部材は緩衝用の弾性部を備えている電動アクチュエータ。
【請求項３】
アクチュエータ本体に設けたモータの回転運動を直線運動に変換し、モータ回転時に作動部材をその長手方向に直線的に移動させる電動アクチュエータにおいて、
アクチュエータ本体には作動部材の直線移動方向と平行に延びるガイド部材を設け、作動部材とガイド部材とを一体移動可能に連結し、ガイド部材のみにピストンを設け、そのピストンをアクチュエータ本体内に設けたシリンダ室に収容し、前記ピストンによって区画される一方のシリンダ室に流体を給排しつつ他方のシリンダ室に流体を給排することによってガイド部材に推力を発生し得るように構成し、
前記アクチュエータ本体には作動部材の直線移動方向と平行に延びるガイド部材を設け、作動部材とガイド部材とを一体移動可能に連結し、ガイド部材には磁気発生手段を設けた電動アクチュエータ。
【請求項４】
請求項３記載の電動アクチュエータにおいて、アクチュエータ本体には前記磁気発生手段の磁気を検出することによりガイド部材の位置を検出する位置検出手段を設けた電動アクチュエータ。
【請求項５】
アクチュエータ本体に設けたモータの回転運動を直線運動に変換し、モータ回転時に作動部材をその長手方向に直線的に移動させる電動アクチュエータにおいて、
アクチュエータ本体には作動部材の直線移動方向と平行に延びるガイド部材を設け、作動部材とガイド部材とを一体移動可能に連結し、ガイド部材のみにピストンを設け、そのピストンをアクチュエータ本体内に設けたシリンダ室に収容し、前記ピストンによって区画される一方のシリンダ室に流体を給排しつつ他方のシリンダ室に流体を給排することによってガイド部材に推力を発生し得るように構成し、
アクチュエータ本体には作動部材の直線移動方向と平行に延びるガイド部材を設け、作動部材とガイド部材とを一体移動可能に連結し、アクチュエータ本体にはガイド部材に係脱される保持機構を設け、その保持機構はガイド部材との係合時にガイド部材を所定位置に保持する一方、離脱時にガイド部材の移動を許容する電動アクチュエータ。
【請求項６】
請求項５記載の電動アクチュエータにおいて、ガイド部材にはその長手方向の一部に凹所を設け、保持機構はその凹所に向けて接近離間される係合部材を備えたものである電動アクチュエータ。
【請求項７】
請求項５又は請求項６記載の電動アクチュエータにおいて、保持機構は、ガイド部材のアクチュエータ本体からの突出位置又は没入位置の少なくとも一方のストロークエンド位置にてその位置を保持するものである電動アクチュエータ。
【請求項８】
請求項１〜４のいずれか１項記載の電動アクチュエータにおいて、前記ガイド部材を筒状に形成し、該ガイド部材内部に流体流通路又は配線挿通路の少なくともいずれか一方を形成した電動アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電動アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、回転運動を直線運動に変換する装置として各種の電動アクチュエータが知られている。
【０００３】
このような電動アクチュエータを構成するアクチュエータ本体は、一般的には筒状を呈している。同アクチュエータ本体の一端開口部には、モータが取り付けられている。モータの出力軸はアクチュエータ本体の貫通孔内に配置されている。モータの出力軸と送りねじ部とは、カップリングによって一体回転可能に連結されている。アクチュエータ本体の貫通孔内には、同じく筒状をした作動部材が出没可能に収容されている。作動部材の前端部には被搬送物であるワークが取り付け可能になっている。作動部材の後端部開口には送りナット部が固着されている。この送りナット部には送りねじ部が螺合されており、これらの２つの部材によって回転運動を直線運動に変換する動力伝達機構が構成されている。アクチュエータ本体の内周面には、アクチュエータ本体の軸線方向に沿って延びる回り止め用の長溝が形成されている。作動部材の後端部外周面には同じく回り止め用の係合突起が突設されており、その係合突起は長溝に対して摺動可能に配置されている。なお、これと同種の技術としては、例えば特公昭５１−２４６６３号公報に開示されたもの等がある。
【０００４】
上記の従来技術においてモータを回転駆動させた場合、動力伝達機構の作用によって、作動部材が直線的に移動するようになっている。また、作動部材が移動する際には、係合突起が長溝に係合することにより、作動部材の回り止めが図られるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来技術の回り止め機構は、係合突起と長溝とを組み合わせた簡易なものであるため、作動部材の回転を確実に防止することができなかった。従って、ワークが回転しやすくなる結果、高精度な搬送が難しくなるという問題があった。また、作動部材が最前進位置にあるときに生じる偏荷重を受ける能力が不十分であったため、高精度搬送には適さないという問題があった。
【０００６】
そこで、作動部材とは別に同作動部材と平行に延びるガイド部材を備えたガイド機構を設けることにより、作動部材の回り止め機能を確固たるものとするとともに偏荷重にも耐え得るようにすることが考えられる。
【０００７】
しかし、単に作動部材の回り止め等だけのためにガイド機構を別途設けるものでは、ガイド部材周囲のスペースに無駄が生じ、スペースの有効利用やコンパクト化の観点では満足のいかないものとなる。又、電動アクチュエータに各種機能を付与すべく作動部材に各種機構を組込むことは構造の複雑化を招く。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、作動部材と平行に延びるガイド部材を設けた場合に、そのガイド部材側のスペースを有効利用しつつ各種機能を付加することができる電動アクチュエータを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明では、アクチュエータ本体に設けたモータの回転運動を直線運動に変換し、モータ回転時に作動部材をその長手方向に直線的に移動させる電動アクチュエータにおいて、アクチュエータ本体には作動部材の直線移動方向と平行に延びるガイド部材を設け、作動部材とガイド部材とを一体移動可能に連結し、ガイド部材のみにピストンを設け、そのピストンをアクチュエータ本体内に設けたシリンダ室に収容し、前記ピストンによって区画される一方のシリンダ室に流体を給排しつつ他方のシリンダ室に流体を給排することによってガイド部材に推力を発生し得るように構成し、前記作動部材とガイド部材との連結部位とそれに対向するアクチュエータ本体の面の少なくとも一方には第１の規制部材を設け、その規制部材が他方に当接することにより前記連結部位の移動を所定位置で規制するようにするとともに、前記ガイド部材には、同ガイド部材の移動を所定位置で規制する第２の規制部材を設けた。
【００１０】
上記手段により、モータが回転すると、作動部材がガイド部材と一体となって直線的に移動される。ガイド部材の存在により作動部材の回り止めが図られるとともに偏荷重に対しても強くなる。ここで、ガイド部材側は同ガイド部材側のスペースを有効利用すべく各種機能の一つとしてシリンダ構造を採用していることから、モータ自体が小型で推力の小さいものであっても、ガイド部材側の補助的な推力を加えて、全体として充分な推力を得ることができる。その結果、大型のモータを使用する必要がなくなる。
【００１２】
また、作動部材及びガイド部材の連結部位とそれに対向するアクチュエータ本体の面の少なくとも一方には、それらの間のスペースを有効利用すべく各種機能の一つとして第１の規制部材を設けていることから、この第１の規制部材によって作動部材のストロークエンドをモータの制御に頼らずに決定付けることが可能となる。さらに、ガイド部材には同ガイド部材側のスペースを有効利用すべく各種機能の一つとして第２の規制部材を設けていることから、この第２の規制部材によって作動部材のストロークエンドをモータの制御に頼らずに決定付けることが可能となる。
【００１３】
請求項２に記載の発明では、請求項１記載の電動アクチュエータにおいて、第１及び第２の規制部材は緩衝用の弾性部を備えていることとした。
上記手段により、作動部材のストロークエンドにおける規制部材の衝突時に、弾性部の緩衝作用によって、電動アクチュエータの各部に加わる衝撃が低減される。
【００１６】
請求項３に記載の発明では、アクチュエータ本体に設けたモータの回転運動を直線運動に変換し、モータ回転時に作動部材をその長手方向に直線的に移動させる電動アクチュエータにおいて、アクチュエータ本体には作動部材の直線移動方向と平行に延びるガイド部材を設け、作動部材とガイド部材とを一体移動可能に連結し、ガイド部材のみにピストンを設け、そのピストンをアクチュエータ本体内に設けたシリンダ室に収容し、前記ピストンによって区画される一方のシリンダ室に流体を給排しつつ他方のシリンダ室に流体を給排することによってガイド部材に推力を発生し得るように構成し、前記アクチュエータ本体には作動部材の直線移動方向と平行に延びるガイド部材を設け、作動部材とガイド部材とを一体移動可能に連結し、ガイド部材には磁気発生手段を設けた。
【００１７】
上記手段により、ガイド部材には同ガイド部材側のスペースを有効利用すべく各種機能の一つとして磁気発生手段を設けていることから、この磁気発生手段からの磁気を検出することでガイド部材の位置が検出され、これにより作動部材の位置も間接的に検出し得ることとなる。
【００１８】
請求項４に記載の発明では、請求項３記載の電動アクチュエータにおいて、アクチュエータ本体には前記磁気発生手段の磁気を検出することによりガイド部材の位置を検出する位置検出手段を設けた。
【００１９】
上記手段により、位置検出手段からの検出信号に基づいてガイド部材の位置、更には作動部材の位置を検出することができる。
請求項５に記載の発明では、アクチュエータ本体に設けたモータの回転運動を直線運動に変換し、モータ回転時に作動部材をその長手方向に直線的に移動させる電動アクチュエータにおいて、アクチュエータ本体には作動部材の直線移動方向と平行に延びるガイド部材を設け、作動部材とガイド部材とを一体移動可能に連結し、ガイド部材のみにピストンを設け、そのピストンをアクチュエータ本体内に設けたシリンダ室に収容し、前記ピストンによって区画される一方のシリンダ室に流体を給排しつつ他方のシリンダ室に流体を給排することによってガイド部材に推力を発生し得るように構成し、アクチュエータ本体には作動部材の直線移動方向と平行に延びるガイド部材を設け、作動部材とガイド部材とを一体移動可能に連結し、アクチュエータ本体にはガイド部材に係脱される保持機構を設け、その保持機構はガイド部材との係合時にガイド部材を所定位置に保持する一方、離脱時にガイド部材の移動を許容するようにした。
【００２０】
上記手段により、モータが回転すると、作動部材がガイド部材と一体となって直線的に移動される。ガイド部材の存在により作動部材の回り止めが図られるとともに偏荷重に対しても強くなる。ここで、アクチュエータ本体のガイド部材側には同ガイド部材側のスペースを有効利用すべく各種機能の一つとして保持機構を設けていることから、この保持機構によってガイド部材を所定位置に保持させることが可能となる。
【００２１】
請求項６に記載の発明では、請求項５記載の電動アクチュエータにおいて、ガイド部材にはその長手方向の一部に凹所を設け、保持機構はその凹所に向けて接近離間される係合部材を備えたものとした。
【００２２】
上記手段により、保持機構に設けられた係合部材がガイド部材に設けられた凹所に係脱されるものであることから、係合時におけるガイド部材の所定位置での保持を確固たるものとし得る。
【００２３】
請求項７に記載の発明では、請求項５又は請求項６記載の電動アクチュエータにおいて、保持機構は、ガイド部材のアクチュエータ本体からの突出位置又は没入位置の少なくとも一方のストロークエンド位置にてその位置を保持するものとした。
【００２４】
上記手段により、保持機構によって突出位置又は没入位置のストロークエンド位置にガイド部材、即ち作動部材が保持される。これにより、作動部材及びガイド部材の移動方向が上下方向となるようにして使用する場合に保持機構を、落下防止機構として使用することが可能となる。
【００２５】
請求項８に記載の発明では、請求項１〜４のいずれか１項記載の電動アクチュエータにおいて、前記ガイド部材を筒状に形成し、該ガイド部材内部に流体流通路又は配線挿通路の少なくともいずれか一方を形成した。
【００２６】
上記手段により、モータが回転すると、作動部材がガイド部材と一体となって直線的に移動される。ガイド部材の存在により作動部材の回り止めが図られるとともに偏荷重に対しても強くなる。ここで、ガイド部材側のスペースを有効利用すべく各種機能の一つとしてガイド部材を筒状に形成してガイド部材内部を流体流通路又は配線挿通路の少なくとも一方を設けた。これにより、ガイド部材内部を流通する流体又は電源・信号などを、作動部材及びガイド部材の連結部位側との間でやりとりすることが可能となる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
［第１の実施の形態］
以下、電動アクチュエータの第１の実施の形態を図１に基づいて説明する。
【００２８】
電動アクチュエータ１を構成するアクチュエータ本体２は、略直方体形を呈するブロック状の単体であり、例えばアルミ押出し成形により一体形成されている。アクチュエータ本体２には、その長手方向に貫通するようにかつ互いに平行に延びる第１貫通孔３及び第２貫通孔４がそれぞれ形成されている。これら両貫通孔３，４は同一の内径となるように形成されている。
【００２９】
第１貫通孔３の後端開口に対応してアクチュエータ本体２の後端面には、駆動源たるモータとしてのステッピングモータ５が固定されている。ステッピングモータ５により第１貫通孔３の後端開口が閉塞されている。ステッピングモータ５の出力軸６は第１貫通孔３内に突出されている。
【００３０】
送りねじ部７は第１貫通孔３の長手方向に延びるように長尺状に形成され、同第１貫通孔３内に収容されている。送りねじ部７の形成材料としては、ステンレス等のような硬質の金属が使用されている。出力軸６の先端側と送りねじ部７の後端側とは、連結手段としてのカップリング８により連結されている。出力軸６の中心軸線と送りねじ部７の中心軸線とは同一直線上に配置され、両者はカップリング８を介して一体回転される。送りねじ部７の長手方向外周面のほぼ全域にはねじ山９が形成されている。
【００３１】
直線送り部としての送りナット部１０は第１貫通孔３内に収容されている。送りナット部１０はその外径が第１貫通孔３の内径よりも小さく形成されている。送りナット部１０にはねじ山９と等ピッチのねじ孔１１が形成され、送りねじ部７に螺合されている。なお、前記送りねじ部７及び送りナット部１０により変換手段が構成されている。
【００３２】
作動部材１２は第１貫通孔３の長手方向に延びるように長尺状に形成され、同第１貫通孔３内に収容されている。作動部材１２の先端側はアクチュエータ本体２の先端面から突出されている。作動部材１２はステンレス等の硬質の金属材料により形成されている。作動部材１２には長手方向に延びる収容穴１３が形成され、その収容穴１３は作動部材１２の後端面において開口されている。収容穴１３には送りねじ部７の先端側が挿入されている。作動部材１２の後端には収容穴１３の開口を閉塞するように送りナット部１０が固定され、送りナット部１０と作動部材１２とは一体的に構成されている。
【００３３】
アクチュエータ本体２には第１貫通孔３の先端側に対応する位置に筒状のカバー１４が固定されている。このカバー１４の固定は、第１貫通孔３の先端側を大径３ａとして当該第１貫通孔３の途中に段差部３ｂを形成し、アクチュエータ本体２の先端面側からその段差部３ｂまでカバー１４を挿入した後、Ｃリング等の係合部材をアクチュエータ本体２に装着し、段差部３ｂとＣリング等でカバー１４を挟持することにより行われている。作動部材１２はカバー１４に挿通されている。カバー１４には軸受部材としてのボール軸受１５が設けられ、ボール軸受１５により作動部材１２の外周面が高精度に支持されている。
【００３４】
ガイド部材としてのガイドロッド１６は第２貫通孔４の長手方向に延びるように長尺状に形成され、同第２貫通孔４内に収容されている。ガイドロッド１６の先端側はアクチュエータ本体２の先端面から突出されている。ガイドロッド１６はステンレス等の硬質の金属材料により形成されている。ガイドロッド１６の外径は作動部材１２の外形と一致するように形成されている。
【００３５】
アクチュエータ本体２には第２貫通孔４の先端側に対応する位置に筒状のロッド側カバー１７が固定されている。このロッド側カバー１７の固定は、カバー１４と同様の方法により行われている。即ち、第２貫通孔４の先端側を大径４ａとして当該第１貫通孔４の途中に段差部４ｂを形成し、アクチュエータ本体２の先端面側からその段差部４ｂまでロッド側カバー１７を挿入した後、Ｃリング等の係合部材をアクチュエータ本体２に装着し、段差部４ｂとＣリング等でロッド側カバー１７を挟持することにより行われている。ガイドロッド１６はロッド側カバー１７に挿通されている。ロッド側カバー１７には軸受部材としてのボール軸受１８が設けられ、ボール軸受１８によりガイドロッド１６の外周面が高精度に支持されている。ロッド側カバー１７はシールに係る構造がないことを除き基本的にはカバー１４と同一構成及び同一の大きさであり、両ボール軸受１５，１８は全く同一のものが使用されている。
【００３６】
作動部材１２の先端及びガイドロッド１６の先端には当板１９が固定されている。その固定は例えばボルト２０の締付けによりなされている。従って、ガイドロッド１６が当板１９を介して作動部材１２に連結されていることから、ガイドロッド１６は作動部材１２の回り止め手段として機能する。作動部材１２と送りナット部１０とは一体的に構成されていることから、同じくガイドロッド１６は送りナット部１０の回り止め手段として機能する。従って、送りねじ部７が回転すると、その回転方向に応じて送りナット部１０は送りねじ部７の長手方向に沿って進退される。同時に作動部材１２も長手方向に進退される。併せて、当板１９及びガイドロッド１６が同一方向に進退される。
【００３７】
アクチュエータ本体２には第２貫通孔４の基端側を閉塞するようにヘッド側カバー２１が固定されている。第２貫通孔４内においてロッド側カバー１７とヘッド側カバー２１との間には規制部材としてのピストン２２が収容されている。ピストン２２にはガイドロッド１６の基端が固定されている。
【００３８】
ロッド側カバー１７の外周面、ヘッド側カバー２１の外周面及びピストン２２の外周面には、それぞれアクチュエータ本体２との間でシールを行うシールリング２３が装着されている。ロッド側カバー１７の内周面には、ガイドロッド１６との間でシールを行うロッドパッキン２４が装着されている。従って、第２貫通孔４内におけるロッド側カバー１７とヘッド側カバー２１との間は気密に保持された密閉領域、即ちシリンダ室となっており、そのシリンダ室はピストン２２によりロッド側シリンダ室２５とヘッド側シリンダ室２６とに区画されている。
【００３９】
アクチュエータ本体２の第２貫通孔４に近接した側面には、ロッド側シリンダ室２５に連通される第１ポート２７及びヘッド側シリンダ室２６に連通される第２ポート２８が並設されている。
【００４０】
ピストン２２の先端面には弾性部としてのゴム製のクッションリング２９が装着されている。クッションリング２９は作動部材１２及びガイドロッド１６が最前端位置に配置されたときにその停止位置を決定付けるとともに衝撃を緩和するために設けられたものであり、最前端位置でのストッパとして機能するとともに緩衝部材としても機能する。
【００４１】
当板１９の後端面のうち作動部材１２とガイドロッド１６との間には弾性部としてのクッションゴム１９ａが装着されている。アクチュエータ本体２の先端面にはそのクッションゴム１９ａと対向するように規制部材としてのストッパボルト３０が装着されている。ストッパボルト３０は作動部材１２及びガイドロッド１６が最後端位置に配置されたときにクッションゴム１９ａと当接されてその停止位置を決定付けるために設けられたものであり、最後端位置でのストッパとして機能する。ストッパボルト３０はその突出量を調整可能であり、その調節により最終端位置を適宜調節することができる。
【００４２】
ピストン２２の外周面には磁気発生手段としての永久磁石３１が装着されている。永久磁石３１はアクチュエータ本体２に装着された位置検出手段としての図示しない位置検出装置によりピストン２２位置を検出するために設けられたものである。なお、位置検出装置は作動部材１２及びガイドロッド１６が最前端位置に配置された状態と最後端位置に配置された状態とをそれぞれ検出し得るように、長手方向に離間して２つ設置されている。
【００４３】
アクチュエータ本体２には第１貫通孔３と第２貫通孔４との間の複数箇所に取付孔３２が貫通するように形成されている。本実施形態では取付孔３２は互いに離間して２箇所に形成されている。取付孔３２はボルト等が挿入され、アクチュエータ本体２を所定位置に固定する際に利用し得るように設けられたものである。
【００４４】
次に、以上のように構成された電動アクチュエータ１の動作を説明する。
ステッピングモータ５への通電を行う前の初期状態においては、図１に示すようにストッパボルト３０がアクチュエータ本体２の先端面に当接している。このとき、作動部材１２、ガイドロッド１６及び当板１９は最後端位置、即ち原点位置にあるものとする。
【００４５】
通電を開始することによりステッピングモータ５を一方向に駆動すると、出力軸６及びそれに連結された送りねじ部７が一方向（正方向）に一体的に回転される。送りねじ部７と螺合関係にある送りナット部１０は、ガイドロッド１６による回り止め機能によって回り止めがなされていることから、送りねじ部７の長手方向に沿って前進する。それに伴って送りナット部１０と一体的に設けられた作動部材１２、当板１９及びガイドロッド１６が一体となって前進する。
【００４６】
そして、作動部材１２が最前端位置にまで到達すると、クッションリング２９がロッド側カバー１７の後端面に当接する。その結果、作動部材１２等のそれ以上の前進が規制されるとともに、停止時の衝撃が緩和される。この最前端位置に到達したことは、位置検出装置が永久磁石３１の磁気を検出することにより行われる。
【００４７】
その後、ステッピングモータ５を他方向（逆方向）に駆動すると、出力軸６及びそれに連結された送りねじ部７がこれまでとは反対となる逆方向に一体的に回転される。このとき、送りナット部１０、作動部材１２、当板１９及びガイドロッド１６が一体となって後進する。
【００４８】
そして、作動部材１２が最後端位置にまで到達すると、ストッパボルト３０の頭部がクッションゴム１９ａに当接する。その結果、作動部材１２等のそれ以上の後進が規制されるとともに、停止時の衝撃が緩和される。この最後端位置に到達したことは、位置検出装置が永久磁石３１の磁気を検出することにより行われる。
【００４９】
ここで、第１ポート２７及び第２ポート２８はそれぞれ流体を給排する給排ポートとして利用し得る。その利用形態としては、ステッピングモータ５への通電を行って作動部材１２、当板１９及びガイドロッド１６を前進させる際、第２ポート２８に流体を供給するとともに第１ポート２７から流体を排出する。一方、ステッピングモータ５への通電を行って作動部材１２、当板１９及びガイドロッド１６を後進させる際、第１ポート２７に流体を供給するとともに第２ポート２８から流体を排出する。これにより、ステッピングモータ５の回転力に加え、ピストン２２に進行方向への推力が補助的に付加された状態で作動部材１２等が進退される。
【００５０】
なお、この補助的な推力が不要な場合には、第１ポート２７及び第２ポート２８を大気に開放させておけばロッド側シリンダ室２５及びヘッド側シリンダ室２６が圧力室として機能することがなくなり、作動部材１２の前後進の妨げになることはない。
【００５１】
従って、第１の実施の形態によれば以下のような効果を得ることができる。
（１）ガイドロッド１６側がシリンダ構造をなすことにより、ステッピングモータ５自体が小型で推力の小さなものであっても、ガイドロッド１６側で発生する補助的な推力を加えて、全体として充分な推力を得ることができる。その結果、大型のステッピングモータ５を使用する必要がなくなる。しかも、シリンダ構造をガイドロッド１６側に設けたことで、ガイドロッド１６側のスペースを有効利用することができる。
【００５２】
（２）ピストン２２に永久磁石３１を設け、アクチュエータ本体２に位置検出装置を設けたため、位置検出装置からの検出信号によって作動部材１２の移動位置を検出することができる。この位置検出は非接触で行われるため、作動部材１２の動作に悪影響を及ぼすことがない。しかも、永久磁石３１等の位置検出構造をガイドロッド１６側に設けたことで、ガイドロッド１６側のスペースを有効利用することができる。
【００５３】
（３）作動部材１２の最前進端位置と最後進端位置とを決定付けるピストン２２やストッパボルト３０等を設けたため、作動部材１２の最前進端位置と最後進端位置とをステッピングモータ５の制御に頼らずに決定付けることができる。しかも、これらピストン２２やストッパボルト３０等の規制部材を、ガイドロッド１６側のスペースや、当板１９とアクチュエータ本体２との間のスペースを利用して設置したので、それらのスペースを有効利用することができる。
【００５４】
（４）作動部材１２の最前進端位置と最後進端位置において、それぞれクッションゴム２９，１９ａによって緩衝作用が得られるため、電動アクチュエータ１を構成する各部材へ加わる衝撃を低減することができる。
【００５５】
（５）作動部材１２の回り止めはガイドロッド１６によって行われ、作動部材１２及びガイドロッド１６はいずれもボール軸受１５，１８によって支持されている。その結果、作動部材１２の高精度な回り止めが実現されるとともに、その直線移動も高精度なものとなる。
【００５６】
（６）作動部材１２はガイドロッド１６と連結されることで自身の回り止めが達成されているため、作動部材１２に一体に設けられた送りナット部１０も回り止めが図られている。その結果、ステッピングモータ５の回転に伴って送りねじ部７が回転すると送りナット部１０は回転することなく直線的に移動され、これにより作動部材１２が直線的に移動される。従って、変換手段を送りねじ部７と送りナット部１０により構成したことでその構成が簡略化し得るばかりか、送りナット部１０の回り止めもガイドロッド１６の存在によって達成されるため送りナット部１０専用の回り止め機構が不要となって更なる構成の簡略化を図ることができる。
【００５７】
（７）送りねじ部７の先端部が作動部材１２に形成された収容穴１３に収容されることから、作動部材１２が送りねじ部７の保護材として機能し、送りねじ部７に塵埃が付着することが極力防止される。その結果、塵埃の付着による動作不良を防止し得る。又、送りねじ部７の先端部が作動部材１２に形成された収容穴１３に収容されることで電動アクチュエータ１の全長が短くなるという利点もある。
【００５８】
（８）ステッピングモータ５の出力軸６の中心軸線と送りねじ部７の中心軸線とを同一直線上に配置したことにより、カップリング８のみで出力軸６から送りねじ部７に回転伝達を行い得るため、前記両中心軸線が同一直線上にない場合と比べて構成の簡略化及び小型化を達成し得る。
【００５９】
（９）作動部材１２とガイドロッド１６との連結を、両者の先端部を同一の当板１９に連結することにより行ったため、同当板１９にワーク等を取付けることが可能となる。
【００６０】
（１０）作動部材１２及びガイドロッド１６を軸受するために、特に高精度な軸受部材であるボール軸受１５，１８を採用したため、作動部材１２の回り止め及び直線運動の高精度化を一層促進し得る結果となる。
【００６１】
（１１）作動部材１２の外周面及びガイドロッド１６の外周面の外径を同一としてボール軸受１５，１８を共通のものとしたため、部品の共通化によるコスト低減を図ることができる。
【００６２】
（１２）アクチュエータ本体２を単体により構成したため、アクチュエータ本体２を作動部材１２側とガイドロッド１６側とで２分して構成するようなものと比べ、アクチュエータ本体２の構造の簡略化に結び付くばかりか、作動部材１２とガイドロッド１６との位置関係を確固たるものとすることができ、作動部材１２の高精度な移動にも寄与する。
【００６３】
［第２の実施の形態］
以下、電動アクチュエータの第２の実施の形態を図２に基づいて説明する。なお、第１の実施の形態と共通する構成については同一番号を付して詳細な説明を省略し、第１の実施の形態との相違部分のみ説明する。
【００６４】
第２の実施の形態では保持機構４１が設けられている。保持機構４１のハウジング４２は、アクチュエータ本体２のガイドロッド１６側の側面に固定されている。そのハウジング４２に対応するアクチュエータ本体２には、ロッド側シリンダ室２５とアクチュエータ本体２の外部、即ちハウジング４２内とを連通する孔４３が形成されている。孔４３は第２貫通孔４と交差（直交）する方向に延びており、その孔４３内には係合部材４４が配設されている。
【００６５】
係合部材４４は、アクチュエータ本体２の孔４３に対応する内周面に摺接されるシールリング４５を備えたピストン部４６と、そのピストン部４６からガイドロッド１６側に突出するとともにピストン部４６よりも小径のロッド部４７とを備えている。従って、ロッド部４７はピストン部４６とともにガイドロッド１６の軸線と直交する方向へ移動可能である。ハウジング４２内にはピストン部４６を常時ガイドロッド１６側へ付勢する付勢手段としてのコイルバネ４８が収容されている。
【００６６】
ガイドロッド１６のピストン２２よりも先端側には凹所としての環状溝４９が形成されている。この環状溝４９の溝幅は係合部材４４のロッド部４７の径とほぼ同一か又はそれより若干大きく形成されている。この環状溝４９の位置は、ガイドロッド１６が突出位置、即ち最前端位置に到達した時点でロッド部４７と対応する位置に形成されている。
【００６７】
以上の構成により、図２の状態からガイドロッド１６が前進し、最前端位置に到達すると、ロッド部４７の先端位置に環状溝４９が配置される。すると、コイルバネ４８の付勢力によってロッド部４７が環状溝４９内に進入する。これにより、ロッド部４７が環状溝４９に係合してガイドロッド１６が最前端位置に保持される。この状態では、ステッピングモータ５の保持力が弱くとも、ガイドロッド１６を確実に最前端位置に保持することができる。
【００６８】
一方、ガイドロッド１６を最前端位置から後進させる場合には、第１ポート２７に流体を供給すればよい。即ち、第１ポート２７に供給される流体はロッド側シリンダ室２５へ供給され、ピストン部４６に作用する。その結果、流体圧によってピストン部４６がコイルバネ４８の付勢力に抗してガイドロッド１６から離間する側へ移動され、ロッド部４７と環状溝４９との係合状態が解除される。その解除状態においてステッピングモータ５を駆動することにより、ガイドロッド１６が後進される。
【００６９】
以上のような第２の実施の形態においては、第１の実施の形態における（１）〜（１２）の効果に加え、次の効果が得られる。
（１３）アクチュエータ本体２のガイドロッド１６側には同ガイドロッド１６側のスペースを有効利用すべく各種機能の一つとして保持機構４１を設けた。この保持機構４１によってガイドロッド１６を所定位置に保持させることが可能となる。
【００７０】
（１４）保持機構４１に設けられた係合部材４４のロッド部４７がガイドロッド１６に設けられた環状溝４９に係脱されるものであることから、係合時におけるガイドロッド１６の所定位置での保持を確固たるものとし得る。
【００７１】
（１５）保持機構４１はガイドロッド１６の最前端位置で保持するものであるため、図２に示すように当板１９を上側として使用する場合の落下防止機構として機能させることができる。
【００７２】
（１６）ロッド部４７と環状溝４９との係合解除は流体圧によって行われるため、ガイドロッド１６にピストン２２を装着したシリンダ構造に好適である。
［第３の実施の形態］
以下、電動アクチュエータの第３の実施の形態を図３に基づいて説明する。なお、第２の実施の形態と共通する構成については同一番号を付して詳細な説明を省略する。
【００７３】
この第３の実施の形態は、第２の実施の形態における保持機構４１の構成をそのまま利用して、その取付位置のみを後端側（図３における上側）へ移動させている。又、ガイドロッド１６の反ピストン２２側には、ガイドロッド１６と同軸上に延びる突部５１が形成されている。突部５１には第２の実施の形態と同様の環状溝４９が形成されている。突部５１の自由端側にはテーパ面５２が形成されている。
【００７４】
又、ヘッド側カバー２１には第２貫通孔４に嵌合される筒部５３が形成され、その筒部５３には孔４３に対応して孔４３よりも小径かつロッド部４７よりも大径の挿通孔５４が形成されている。そして、挿通孔５４を介してロッド部４７がヘッド側シリンダ室２６側に突出されている。この実施の形態では、環状溝４９の位置は、ガイドロッド１６が没入位置、即ち最後端位置に到達した時点でロッド部４７と対応する位置に形成されている。
【００７５】
以上の構成により、ガイドロッド１６が最前端位置に配置された状態では、コイルバネ４８の付勢力によりロッド部４７がヘッド側シリンダ室２６側へ突出されている。但し、ピストン部４６が筒部５３に干渉してそれ以上の突出は規制されている。
【００７６】
この状態においてガイドロッド１６が後進すると、まずロッド部４７がテーパ面５２に案内されながらコイルバネ４８の付勢力に抗して退避される。更にガイドロッド１６が後退して最後端位置に到達すると、ロッド部４７の先端位置に環状溝４９が配置される。すると、コイルバネ４８の付勢力によってロッド部４７が環状溝４９内に進入する。これにより、ロッド部４７が環状溝４９に係合してガイドロッド１６が最後端位置に保持される。この状態では、ステッピングモータ５の保持力が弱くとも、ガイドロッド１６を確実に最後端位置に保持することができる。
【００７７】
一方、ガイドロッド１６を前記した最後端位置から前進させる場合には、第２ポート２８に流体を供給すればよい。即ち、第２ポート２８に供給される流体はヘッド側シリンダ室２６へ供給され、ピストン部４６に作用する。その結果、流体圧によってピストン部４６がコイルバネ４８の付勢力に抗してガイドロッド１６から離間する側へ移動され、ロッド部４７と環状溝４９との係合状態が解除される。その解除状態においてステッピングモータ５を駆動することにより、ガイドロッド１６が前進される。
【００７８】
以上のような第３の実施の形態においては、第１の実施の形態における（１）〜（１２）の効果に加え、次の効果が得られる。
（１７）アクチュエータ本体２のガイドロッド１６側には同ガイドロッド１６側のスペースを有効利用すべく各種機能の一つとして保持機構４１を設けた。この保持機構４１によってガイドロッド１６を所定位置に保持させることが可能となる。
【００７９】
（１８）保持機構４１に設けられた係合部材４４のロッド部４７が、ガイドロッド１６と一体であってガイドロッド１６の一部ともいえる突部５１に設けられた環状溝４９に係脱されるものであることから、係合時におけるガイドロッド１６の所定位置での保持を確固たるものとし得る。
【００８０】
（１９）保持機構４１はガイドロッド１６の最後端位置で保持するものであるため、図３に示すように当板１９を下側として使用する場合の落下防止機構として機能させることができる。
【００８１】
（２０）ロッド部４７と環状溝４９との係合解除は流体圧によって行われるため、ガイドロッド１６にピストン２２を装着したシリンダ構造に好適である。
［第４の実施の形態］
以下、電動アクチュエータの第４の実施の形態を図４に基づいて説明する。なお、第３の実施の形態と共通する構成については同一番号を付して詳細な説明を省略する。
【００８２】
この第４の実施の形態は、第３の実施の形態における保持機構４１に代えて別の保持機構６１を設けたものである。保持機構６１のハウジング６２は、アクチュエータ本体２のガイドロッド１６側の側面に固定されている。このハウジング６２には電磁吸着部としてのソレノイド６３が備えられている。係合部材としてのプランジャ６４は付勢手段としてのコイルバネ６５の付勢力によって常時突出側へ付勢されている。プランジャ６４の先端側は環状溝４９に係脱される小径のロッド部６６となっている。なお、ハウジング６２とアクチュエータ本体２との間にはシールリング６７が配設されている。
以上の構成により、ガイドロッド１６が最前端位置に配置された状態では、コイルバネ６５の付勢力によりプランジャ６４のロッド部６６がヘッド側シリンダ室２６側へ突出されている。但し、プランジャ６４が筒部５３に干渉してそれ以上の突出は規制されている。
【００８３】
この状態においてガイドロッド１６が後進すると、まずロッド部６６がテーパ面５２に案内されながらコイルバネ６５の付勢力に抗して退避される。更にガイドロッド１６が後退して最後端位置に到達すると、ロッド部６６の先端位置に環状溝４９が配置される。すると、コイルバネ６５の付勢力によってロッド部６６が環状溝４９内に進入する。これにより、ロッド部６６が環状溝４９に係合してガイドロッド１６が最後端位置に保持される。この状態では、ステッピングモータ５の保持力が弱くとも、ガイドロッド１６を確実に最後端位置に保持することができる。
【００８４】
一方、ガイドロッド１６を前記した最後端位置から前進させる場合には、ソレノイド６３を励磁すればよい。即ち、ソレノイド６３を励磁することによりプランジャ６４が引きつけられ、同プランジャ６４がコイルバネ６５の付勢力に抗してガイドロッド１６から離間する側へ移動され、ロッド部６６と環状溝４９との係合状態が解除される。その解除状態においてステッピングモータ５を駆動することにより、ガイドロッド１６が前進される。
【００８５】
以上のような第４の実施の形態においては、第１の実施の形態における（１）〜（１２）の効果に加え、次の効果が得られる。
（２１）アクチュエータ本体２のガイドロッド１６側には同ガイドロッド１６側のスペースを有効利用すべく各種機能の一つとして保持機構６１を設けた。この保持機構６１によってガイドロッド１６を所定位置に保持させることが可能となる。
【００８６】
（２２）保持機構６１に設けられたプランジャ６４のロッド部６６が、ガイドロッド１６と一体であってガイドロッド１６の一部ともいえる突部５１に設けられた環状溝４９に係脱されるものであることから、係合時におけるガイドロッド１６の所定位置での保持を確固たるものとし得る。
【００８７】
（２３）保持機構６１はガイドロッド１６の最後端位置で保持するものであるため、図４に示すように当板１９を下側として使用する場合の落下防止機構として機能させることができる。
【００８８】
（２４）ロッド部４７と環状溝４９との係合解除は、ソレノイド６３への励磁によって行われるため、特にステッピングモータ５とともにソレノイド６３を集中制御する場合に好適である。
【００８９】
［第５の実施の形態］
以下、電動アクチュエータの第５の実施の形態を図５に基づいて説明する。なお、第１の実施の形態と共通する構成については同一番号を付して詳細な説明を省略する。
【００９０】
この第５の実施の形態は、第１の実施の形態におけるガイドロッド１６に代えて別のガイドロッド７１を設けたものである。このガイドロッド７１はヘッド側カバー２１を貫通するように形成されている。ヘッド側カバー２１にはガイドロッド７１の外周面をシールするシールリング７２が装着されている。
【００９１】
又、ガイドロッド７１は筒状に形成され、ガイドロッド７１の内部にはその長手方向に貫通する流体流通路７３が形成されている。更に、当板１９上には流体圧駆動のチャック装置７４が装着されている。チャック装置７４は流体圧に基づいて一対のチャック爪７５が開閉される公知の構造をなし、その駆動源たる流体は流体流通路７３を介して供給されるようになっている。なお、ガイドロッド７１の後端側には流体給排用の図示しない配管が接続される。
【００９２】
以上の構成により、ガイドロッド７１の位置にかかわらず、チャック装置７４には流体流通路７３を介して常に流体を給排し得る状態とすることができる。従って、ガイドロッド７１の適宜位置において一対のチャック爪７５を開閉して所定のワークを把持する等の作業を行い得る。
【００９３】
以上のような第５の実施の形態においては、第１の実施の形態における（１）〜（１２）の効果に加え、次の効果が得られる。
（２５）流体流通路７３を介して当板１９側に流体を供給したり、流体を排出することができる。その結果、別途配管を設ける場合のように配管が輻輳したり作動部材１２の動作の邪魔になったりすることがなく、作動部材１２を円滑に動作させつつ装置全体をコンパクト化し得る。又、流体流通路７３をガイドロッド７１に形成したことで、ガイドロッド７１側のスペースを有効利用することができる。
【００９４】
［他の実施の形態］
以上説明した各実施の形態の他に次のような実施の形態もある。
・作動部材１２及びガイドロッド１６，７１はステンレスに限らず、鋼材等の他の金属材料やセラミックス材料などを用いてもよい。
【００９５】
・ボール軸受１５，１８以外の樹脂製ブッシュ等の軸受部材を用いてもよい。但し、ボール軸受１５，１８を用いた方が作動部材１２及びガイドロッド１６，７１の高精度な直線運動が達成される。勿論、２つのボール軸受１５，１８のうち一方のみを他の軸受部材として構成するようにしてもよい。
【００９６】
・ガイドロッド１６とボール軸受１８との組み合わせに代えて、ガイドブロックとガイドレールとの組み合わせを用いてもよい。この場合、作動部材１２側のボール軸受１５を省略することができる。
【００９７】
・作動部材１２やガイドロッド１６，７１の外周面を断面円形にすることは必須ではなく、断面三角形等の他の形状でもよいし、スプライン構造としてもよい。
【００９８】
・変換手段を、ねじ山９が形成された送りねじ部７と、ねじ孔１１が形成された送りナット部１０とから構成し、機械的なねじ結合を行うようにしたが、送りねじ部７を磁気ねじとし、送りナット部１０に代えてその磁気ねじに磁気結合されて直線運動を行い得る直線送り部を設けてもよい。
【００９９】
・第２乃至第４の各実施の形態では、最前端位置又は最後端位置でガイドロッド１６を保持するようにしたが、いずれの位置でもガイドロッド１６を保持し得るように保持機構４１，６１を２つ設置してもよい。勿論、それらの中間位置でガイドロッド１６を保持するようにしてもよい。
【０１００】
・第５の実施の形態では、ガイドロッド７１の長手方向に流体流通路７３を形成したが、この通路７３を配線挿通路として用いてもよい。この場合、当板１９に電気機器を設置し、その電気機器に電源を供給したり電気機器と外部制御装置の間で信号のやりとりを行うことが可能となる。又、ガイドロッド７１に配管機能と配線機能との両方を付与してもよい。
【０１０１】
・第５の実施の形態等において、当板１９に搭載される機器はチャック装置７４に限らず、ロボットアーム、真空チャック等の他の機器でもよい。
以上説明した各実施の形態により把握される請求項以外の手段及びその効果を以下に列挙する。
【０１０２】
（１）アクチュエータ本体には作動部材及びガイド部材に対応して軸受部材をそれぞれ設け、両軸受部材により作動部材及びガイド部材を長手方向へ摺動可能に支持した。この手段によれば、作動部材の高精度な回り止めが実現されるとともにその直線移動も高精度なものとなる。
【０１０３】
（２）モータの回転運動を直線運動に変換する変換手段は、モータと一体回転するとともに長尺状に形成された送りねじ部と、自身の回転が阻止された状態では送りねじ部の回転に伴って直線的に移動される直線送り部とを備え、送りねじ部をモータの出力軸に一体回転可能に連結するとともに、直線送り部を作動部材に一体に設けた。この手段によれば、変換手段を送りねじ部と直線送り部により構成したことでその構成が簡略化し得るばかりか、直線送り部の回り止めもガイド部材の存在によって達成されるため直線送り部専用の回り止め機構が不要となって更なる構成の簡略化が図られる。
【０１０４】
（３）上記手段（２）において、作動部材の内部には自身の長手方向に沿って延びる収容穴を形成し、その収容穴の開口部には直線送り部を一体的に取付け、前記送りねじ部を前記直線送り部に螺合した状態で、前記収容穴に送りねじ部の先端部を収容した。この手段によれば、送りねじ部の先端部が作動部材に形成された収容穴に収容されることから、作動部材が送りねじ部の保護材として機能し、送りねじ部に塵埃が付着することが極力防止される。その結果、塵埃の付着による動作不良を防止し得る。又、送りねじ部の先端部が作動部材に形成された収容穴に収容されることで電動アクチュエータの全長が短くなる。
【０１０５】
（４）上記手段（２）又は（３）において、モータの出力軸の中心軸線と前記送りねじ部の中心軸線とを同一直線上に配置し、前記出力軸の先端部と送りねじ部の基端部とをカップリングにより連結した。この手段によれば、モータの出力軸の中心軸線と送りねじ部の中心軸線とを同一直線上に配置していてカップリングのみで出力軸から送りねじ部に回転伝達を行い得るため、前記両中心軸線が同一直線上にない場合と比べて構成の簡略化及び小型化を達成し得る。
【０１０６】
（５）作動部材とガイド部材との連結を、両者の先端部を同一の当板に連結することにより行った。この手段によれば、作動部材とガイド部材とを当板で連結することにより、同当板にワーク等を取付けることが可能となる。
【０１０７】
（６）作動部材の外周面及びガイド部材の外周面をそれぞれの断面形状が円形となるように構成し、両軸受部材をそれぞれボール軸受により構成した。この手段によれば、軸受部材の中でも特に高精度な軸受部材であるボール軸受を採用したため、作動部材の回り止め及び直線運動の高精度化を一層促進し得る。
【０１０８】
（７）上記手段（６）において、作動部材の外周面及びガイド部材の外周面の外径を同一とし、ボール軸受として共通のものを使用した。この手段によれば、作動部材とガイド部材とをそれぞれ軸受するボール軸受として共通のものが使用できるため、部品の共通化によるコスト低減を図り得る。
【０１０９】
（８）アクチュエータ本体を単体により構成した。この手段によれば、アクチュエータ本体を作動部材側とガイド部材側とで２分して構成するようなものと比べ、アクチュエータ本体の構造の簡略化に結び付くばかりか、作動部材とガイド部材との位置関係を確固たるものとすることができ、作動部材の高精度な移動にも寄与する。
【０１１０】
（９）保持機構は係合部材を凹所へ接近する側へ付勢する付勢手段を備え、その付勢手段によって係合部材が凹所側へ付勢されるとともに、保持機構は係合部材に作用する流体圧によって係合部材が付勢手段の付勢力に抗して凹所から離間する側へ移動されるようにした。この手段によれば、保持機構を比較的簡易に構成し得るとともに、流体圧に応じて係合関係を解除し得るため、特にガイド部材をシリンダ構造とした場合に好適である。
【０１１１】
（１０）保持機構は係合部材を凹所へ接近する側へ付勢する付勢手段を備え、その付勢手段によって係合部材が凹所側へ付勢されるとともに、保持機構は電磁吸着部を備え、電磁吸着部を励磁することにより係合部材を付勢手段の付勢力に抗して凹所から離間する側へ移動させるようにした。この手段によれば、保持機構を比較的簡易に構成し得るとともに、電磁吸着部の励磁によって係合関係を解除し得るため、特にモータとともに電磁吸着部を集中制御する場合に好適である。
【０１１２】
【発明の効果】
以上詳述したように、請求項１乃至請求項８に記載の各発明によれば、モータの回転によって、作動部材とガイド部材とを一体となって直線的に移動させることができ、ガイド部材の存在により作動部材の回り止めが図られるとともに偏荷重に対しても強くなる効果がある。又、別途ガイド部材を設けているにもかかわらず、同ガイド部材を設けたことにより生ずるスペースを有効利用して各種機能を付加しているので、全体のコンパクト化を図りつつ部品が一箇所に集中することによる組立作業性の低下等を防止することができる。また、ガイド部材側にシリンダ構造に基づく補助的推力を発生させることができるため、モータが小型のものや低出力のものであっても全体として充分な推力を得ることができる。
【０１１３】
特に、請求項１に記載の発明では、規制部材によって作動部材のストロークエンドをモータの制御に頼らずに決定付けることが可能となる。又、請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明の効果に加えてストロークエンドでの電動アクチュエータの各部に加わる衝撃を低減することができる。
【０１１５】
請求項３に記載の発明では、ガイド部材側に設けた磁気発生手段の磁気を検出することによりガイド部材の位置、即ち作動部材の位置を検出することができる。又、請求項４に記載の発明では、請求項３に記載の発明の効果を位置検出手段を設けることで達成することができ、しかもその位置検出手段として既存の流体圧シリンダ用位置検出装置を流用することができる利点もある。
【０１１６】
請求項５に記載の発明では、ガイド部材側に設けた保持機構によってガイド部材を所定の位置に保持することが可能となり、モータ自体の保持力が充分でない場合であってもガイド部材及び作動部材が不用意に移動してしまう事態を防止し得る。又、請求項６に記載の発明では、請求項５に記載の発明におけるガイド部材保持効果を一層確固たるものとし得る。更に、請求項７に記載の発明では、請求項５又は請求項６に記載の発明の効果に加え、作動部材及びガイド部材の移動方向が上下方向となるようにして使用する場合に、保持機構を落下防止機構として機能させることができる。
【０１１７】
請求項８に記載の発明では、ガイド部材を筒状に形成してガイド部材内部を流体流通路又は配線挿通路としたことにより、ガイド部材内部を流通する流体又は電源・信号などを、作動部材及びガイド部材の連結部位側との間でやりとりすることが可能となる。例えば、その連結部位に流体圧機器を設置した場合にはその流体圧機器に流体を供給することができ、連結部位に電気機器を設置した場合にはその電気機器に電源を供給したり電気機器との間で信号のやりとりを行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】電動アクチュエータの第１の実施の形態を示す断面図。
【図２】電動アクチュエータの第２の実施の形態を示す断面図。
【図３】電動アクチュエータの第３の実施の形態を示す断面図。
【図４】電動アクチュエータの第４の実施の形態を示す断面図。
【図５】電動アクチュエータの第５の実施の形態を示す断面図。
【符号の説明】
１…電動アクチュエータ、２…アクチュエータ本体、５…モータとしてのステッピングモータ、１２…作動部材、１６，７１…ガイド部材としてのガイドロッド、１９…連結部位としての当板、１９ａ，２９…弾性部としてのクッションゴム、２２…規制部材としてのピストン、２５…シリンダ室を構成するロッド側シリンダ室、２６…シリンダ室を構成するヘッド側シリンダ室、３０…規制部材としてのストッパボルト、３１…磁気発生手段としての永久磁石、４１，６１…保持機構、４４…係合部材、４９…凹所としての環状溝、６４…係合部材としてのプランジャ、７３…流体流通路。
【図１】
0004365902.tif 000002
【図２】
0004365902.tif 000003
【図３】
0004365902.tif 000004
【図４】
0004365902.tif 000005
【図５】
0004365902.tif 000006