(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁層（１０４）と、該絶縁層（１０４）の第１の表面上に配置された透明な導電性液体を含む小滴（１０２）と、該絶縁層（１０４）により該小滴（１０２）から絶縁された複数の電極（１０６）とを含む調整可能な液状マイクロレンズ（１００）から成る装置であって、
該複数の電極（１０６）は、該小滴（１０２）と該複数の電極（１０６）の間にそれぞれの電位を生成するように選択的にバイアスされるように配置されており、
該電極は、該小滴（１０２）と該第１の表面の間の接触角が、該電極を選択的にバイアスすることにより該第１の表面にそって再配置され、これにより該マイクロレンズ（１００）の焦点距離およびその焦点スポットの横方向位置が調整されるように構成されている、ことを特徴とする装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置において、
該調整可能なマイクロレンズが、さらに該複数の電極に対して該小滴をバイアスするための小滴電極（１０８）を含む装置。
【請求項３】
請求項２に記載の装置において、
該小滴電極が該絶縁層の該第１の表面と対向する第２の表面にそって配置された導電性の透明な基板（１１０）を含み、該絶縁層が、該絶縁層を貫通する開口（１１８）を画成し、これにより該小滴が該開口を少なくとも部分的に占有し、該小滴電極と電気的導通状態にある装置。
【請求項４】
請求項２に記載の装置において、該小滴電極が該絶縁層の該第１の表面にとりつけられ、該小滴に接触する導電性電極（１１６）と、
該絶縁層の該第１の表面と対向する第２の表面にそって配置された導電性の透明な基板（１１０）であって、該導電性電極（１１６）が該導電性の透明基板に該小滴を結合するようになっている導電性の透明な基板（１１０）と、を含む装置。
【請求項５】
請求項１に記載の装置において、
該小滴が、該小滴に溶けない液体により実質的に包囲され、該液体が該小滴の蒸発を防ぐようになっている装置。
【請求項６】
請求項１に記載の装置において、さらに
光学信号を提供する送信器（２０４）と、該光学信号を受信する受信器（２０２）と、を含み
該調整可能な液状マイクロレンズが、該光学信号を、該送信器（２０４）から該受信器（２０２）に対して指向するよう配置され、
これにより、該マイクロレンズの焦点距離および焦点スポットの横方向位置が、該電極（１０６）をバイアスすることにより該光学信号を該送信器（２０４）から受信器（２０２）に対して指向させるよう調整されるようになっている装置。
【請求項７】
光学信号を第１の位置からレンズ（１００）の方に指向させるステップ、および該光学信号を再指向させるよう該レンズを調整するステップを含む、光学信号を送信する方法において、
該レンズは、絶縁層（１０４）の第１の表面上に配置された透明な誘電性液体の小滴（１０２）を含む液状マイクロレンズ（１００）を含み、および
該調整するステップは該絶縁層（１０４）により該小滴（１０２）から絶縁された複数の電極（１０８）を選択的にバイアスすることにより該液状マイクロレンズ（１００）を調整して、該小滴（１０２）と該複数の電極（１０６）の各々の間にそれぞれの電位を生成するようにするステップを含み、該電極は、該小滴（１０２）と該第１の表面の間の接触角が可変であり、および該小滴が該電極（１０６）を選択的にバイアスすることにより該第１の表面にそって位置づけられるように構成されている、ことを特徴とする方法。
【請求項８】
請求項７に記載の方法において、
該選択的にバイアスをするステップが、該複数の電極（１０６）を選択的にバイアスして該小滴（１０２）と該第１の表面の間の該接触角を可変にするステップを含み、
これにより、該液状マイクロレンズ（１００）が調整されるようになっている方法。
【請求項９】
請求項７に記載の方法において、
該選択的にバイアスをするステップが、該複数の電極（１０６）を選択的にバイアスして、該第１の表面にそって該小滴（１０２）を再配置するステップを含み、
これにより、該液状マイクロレンズ（１００）の焦点スポットの横方向位置が調整されるようになっている方法。
【請求項１０】
請求項７に記載の方法において、該選択的にバイアスするステップが、
該複数の電極（１０６）を選択的にバイアスして、該小滴（１０２）と該第１の表面の間の接触角を変化させ、これにより該調整可能な液状マイクロレンズ（１００）の焦点距離を調整するステップと、
該複数の電極（１０６）を選択的にバイアスして、該小滴（１０２）を該第１の表面にそって再配置し、これにより該液状マイクロレンズ（１００）の焦点スポットの横方向位置を調整するようにするステップと、を含む方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロレンズに関し、特に液状マイクロレンズに関する。
【０００２】
【従来の技術】
多くの調整可能なマイクロレンズは、屈折率を静電気で制御できる傾斜屈折率（gradient index，ＧＲＩＮ）レンズかあるいは形状を機械的に制御できるフレキシブルなポリマー製レンズのいずれかである。両方の技術とも固有の制約があり、現在の調整可能なマイクロレンズの性能に対し厳しい制約が課される。
【０００３】
調整可能な傾斜屈折率レンズは、多くの電子光学材料で見られるような小さな電子光学係数に関連する固有の限界を有する。その結果、光学パスの変調量が小さくなり、そのため肉厚のレンズあるいは非常に高い電圧を必要とする。さらに多くの電子光学材料は、マイクロレンズの特性に対し偏光依存性を引き起こすような強い復屈折特性を示す。
【０００４】
機械的に調整可能なフレキシブルなレンズは、傾斜屈折率レンズよりも調整範囲が広い。しかし、それらは、マイクロポンプのような外部駆動デバイスを必要とする。このようなデバイスの微細組立は、重要な問題があり、特にそれは調整可能なマイクロレンズの二次元の配列を必要とするような場合に過酷である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
調整可能なマイクロレンズを生成する他の技術、例えば自己組立型モノレイヤ（self assembled monolayers，ＳＡＭ）を介して制御されるような液状マイクロレンズを使用することが試みられている。これらの試みは、米国特許第６，０１４，２５９（Wohlstadter, ２０００年１月１１日発行）に開示されている。しかし自己組立型モノレイヤを利用したマイクロレンズはいくつかの問題がある。例えば、材料の選択および調整電圧が切られた後、マイクロレンズが元の形状に戻ることができなくなるような強いヒステリシス特性がある。さらにまた、上記のマイクロレンズのいずれもレンズの位置の調整と焦点長さの調整の両方が不可能である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の調整可能な液状マイクロレンズは請求項１に記載した特徴を有する。即ち、絶縁層と、前記絶縁層の第１表面上に配置された透明な導電性液体からなる小滴と、前記絶縁層により、前記小滴から絶縁された複数の電極とからなり、前記複数の電極は、前記小滴と前記各複数の電極との間に電圧を形成するよう選択的にバイアスされるよう配置され、前記小滴と前記第１表面との間の接触角が変動し、前記小滴は前記第１表面に沿って再配置されることを特徴とする調整可能な液状マイクロレンズ。本明細書において、透明とは、可視光か否かを問わず特定の光周波数において透明であることを意味する。
【０００７】
本発明の調整可能な液状マイクロレンズにより、レンズの位置の調整および焦点長さの調節が可能となる。さらにまた本発明の調整可能な液状マイクロレンズは、材料の選択範囲が大幅に広くなる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の調整可能な液状マイクロレンズの説明をするために、液状マイクロレンズと、電子濡れ性現象（electricwetting phenomena）について最初にまず説明する。
【０００９】
図１Ａにおいて、液状マイクロレンズ１０が示されている。液状マイクロレンズ１０は、透明液体の例えば小滴１２を有し、その直径は、数ミクロンから数ミリメートルである。小滴１２は、透明基板１４の上に配置されている。透明基板１４は、通常疎水性あるいは疎水性のコーティング層を含む。液体と基板とは、選択された範囲の波長を有する光波に対し透明である必要がある。光波１６が液状マイクロレンズ１０を通過して、小滴１２と透明基板１４との間の接触面から焦点距離ｆの焦点面内の焦点１８に集光する。
【００１０】
小滴１２と透明基板１４との間の接触角「θ」は、界面張力「Ｙ」（通常メートルあたりミリニュートン（ｍＮ／ｍ）で測定される）により決定される。本明細書においては、ＹＳ−Ｖは透明基板１４と透明基板１４を包囲する空気、ガスまたは他の流体との間の界面張力である。ＹＬ−Ｖは、小滴１２と小滴１２を包囲する空気、ガスまたは他の液体との間の界面張力であり、ＹＳ−Ｌは、透明基板１４と小滴１２との間の界面張力である。角度θは、次式で決定される。
【数１】
0004351420.tif 000002
小滴１２の湾曲表面のメートルで表した半径「Ｒ」は、角度θと式（２）に従った小滴の体積（単位ｍ３で決定される）は以下のとうりである。
【数２】
0004351420.tif 000003
単位ｍで表した焦点長さは、半径ｒと屈折率「ｎ」の関数である。ｎＬｉｑｕｉｄは、小滴１２の屈折率であり、ｎＶａｐｏｒは、小滴１２を包囲する空気、ガスまたは他の流体の屈折率である。焦点長さｆは式（３）で決定される。
【数３】
0004351420.tif 000004
基板の屈折率は重要ではないが、その理由は光波に対して入力面と出力面が平行しているからである。液状マイクロレンズ１０の焦点長さは、接触角θの関数である。
【００１１】
図１Ｂは、導電性流体（透明であるか否かは問わない）の小滴２２と、誘電率εｒと厚さ「ｄ」を有する誘電体製絶縁層２４との間の接触角θを可逆的に変えるよう用いることができる電子濡れ性の現象を示す。金属製電極２６が誘電体製絶縁層２４の下に配置され、誘電体製絶縁層２４により小滴２２から絶縁されている。小滴２２は、例えば小水滴であり、誘電体製絶縁層２４はTeflon（登録商標）／Parylene表面である。
【００１２】
小滴２２と金属製電極２６との間に電圧差が存在しない場合には、小滴２２は、小滴２２の体積（volume）と接触角θ１により規定される形状を維持する。ここで、接触角θ１は、界面張力（により決定される。点線２８は、小滴２２が電圧が金属製電極２６と小滴２２との間に加えられたときに、金属製電極２６に対しその中心から誘電体製絶縁層２４に亘って等しく拡散する状態を示している。電圧は、数ボルトから数百ボルトの範囲である。具体的に説明すると、金属製電極２６と小滴２２との間に極性を問わない電圧が加えられると、接触角θは接触角θ１からθ２に減少する。θ１とθ２の間の差により決定される拡散量は、電圧Ｖの関数である。接触角θ２は式（４）で決定される。
【数４】
0004351420.tif 000005
cosθ（Ｖ＝０）は、電圧が小滴２２と金属製電極２６との間にかかっていないときの誘電体製絶縁層２４と小滴２２との間の接触角である。ＹＬ−Ｖは、上記の小滴の界面張力であり、εｒは絶縁層の誘電率であり、ε０は８．８５×１０−１２Ｆ／ｍ−真空の透磁率である。
【００１３】
図２Ａ，２Ｂは焦点長さと位置の両方を変化させることのできる調整可能な液状マイクロレンズを示す。具体的には図２Ａにおいては、調整可能な液状マイクロレンズ１００は、透明な誘電体製絶縁層１０４の第１表面上に配置された透明な導電性流体からなる小滴１０２を有する。誘電体製絶縁層１０４は、例えば高度にフッ化処理した炭化水素（highly fluorinated hydrocarbon）のようなフッ化処理したポリマーでポリイミドでコーティングされている。いずれの場合にも、誘電体製絶縁層１０４は、所定の値の接触角と接触角ヒステリシスがあり、印加電圧に対し適切な高い誘電体破壊強度を有する。マイクロレンズ１００は、小滴１０２から誘電体製絶縁層１０４により絶縁された複数の電極１０６ａ−１０６ｄを有する。マイクロレンズ１００はまた電極１０６と誘電体製絶縁層１０４を支持する透明な支持基板１１０を含む。電極１０６と透明支持基板１１０は、例えばそれぞれ金製あるいはガラス製である。
【００１４】
図２Ｂは、電極１０６ａ−１０６ｄの代表的な構成を示す上面図である。４個の電極１０６ａ−１０６ｄの構成が示されているが、他の個数の電極１０６、パターンあるいはそれらの組合せは、マイクロレンズ１００を調整するために所望の制御レベルに応じて用いることができる。各電極１０６ａ−１０６ｄは、それぞれ電圧源Ｖ１−Ｖ４と小滴１０２に結合され、小滴１０２は、電極１０６に対し最初は中心にある小滴電極１０８に接続されこの小滴電極１０８が電圧Ｖ０に接続されている。
【００１５】
小滴１０２と電極１０６の間に電圧差がない（即ち、Ｖ１＝Ｖ２＝Ｖ３＝Ｖ４＝Ｖ０のとき）には、小滴１０２は電極１０６に対し中心に存在し、電極１０６と第Ｉ象限から第ＩＶ象限に対し中心に存在するときには、小滴１０２は上記の式（１）−（３）に従って接触角θと小滴１０２の体積で決定される形態（形状）をとる。図２Ｃは、小滴１０２の最初の位置を点線で示す。小滴１０２の位置とマイクロレンズ１００の焦点長さは、小滴１０２と電極１０６の間に電圧を選択的に加えることにより調整可能である。等しい電圧が全ての４個の電圧に加えられたときには、即ち、Ｖ１＝Ｖ２＝Ｖ３＝Ｖ４でかつ、これら電圧がＶ0に等しくないときには小滴１０２は、図２Ｄの点線で示すように第Ｉ，第ＩＩ，第ＩＩＩ，第ＩＶの間に等しく拡散する（即ち、Ｘ軸とＹ軸に沿って）。要するに、小滴１０２と誘電体製絶縁層１０４との間の接触角θは減少する。そうする間マイクロレンズ１００の焦点距離は、最初の接触角θ（即ち、Ｖ１＝Ｖ２＝Ｖ３＝Ｖ４＝Ｖ０のとき）におけるマイクロレンズの焦点距離から増加する。
【００１６】
図２Ｅは、小滴１０２に対し電極１０６を選択的にバイアスをかけることにより、誘電体製絶縁層１０４の第１表面上の小滴１０２の最初の位置に対し、Ｘ軸とＹ軸に沿って小滴１０２の横方向の位置の変化を示す。例えば、Ｖ１とＶ３とＶ０を等しくし、Ｖ２をＶ４より大きくすることにより、小滴１０２は、電極１０６ｂのより高い電圧の方向に引かれて第ＩＩ象限の方向に移動する。小滴１０２の横方向の位置を調整することにより焦点面にあるマイクロレンズの焦点の横方向の位置もまた調整できる。
【００１７】
上記の例から明らかなように、電極１０６ａ，ｂ，ｃ，ｄを小滴の電極（かくして小滴１０２）に対し様々な組合せで選択的にバイアスをかけることにより、接触角θを調整し、これによりマイクロレンズ１００の焦点長さを調整できる。同様に、電極１０６を様々な組合せで選択的にバイアスをかけて、小滴１０２をマイクロレンズ１００への最初の位置に対し動かし、これによりマイクロレンズの焦点の横方向の位置を調整できる。そのためこのマイクロレンズにより三次元の方向で焦点、即ち、焦点長さにより決定される焦点の位置と、マイクロレンズの第１表面に平行な焦点面内の焦点の横方向の位置と、マイクロレンズから離れた焦点方向の長さの調整が可能となる。
【００１８】
図３Ａにおいて、小滴１０２を電圧Ｖ０、例えば接地電圧あるいは他の一定電圧レベルに結合する方法を示す。マイクロレンズ１００Ａは、透明支持基板１１０ａを含み、この透明支持基板１１０ａは導電性ガラス、例えばインジウムスズ酸化ガラス（indium tin oxide glass）を含む。導電性ガラスは、電圧Ｖ0に結合され、電極１１６は透明支持基板１１０ａを小滴１０２に結合する。電極１１６と透明支持基板１１０ａは、一体として小滴電極と見なすことができる。図３Ａは、誘電体製絶縁層１０４が、ポリイミド製誘電体層１１４と疎水性コーティング層１１２を含む状態を示している。疎水性コーティング層１１２は、大きな接触角θを提供する。コーティング層１１２ａの一例は、高度にフッ化処理したポリマー、例えばテフロン（登録商標）あるいはテフロンに類似の化学構造を有する他の材料である。表面エネルギの低い材料、例えばシリコン含有ポリマーあるいはモルキュールあるいは分子も用いることができる。本発明の一実施例においては、誘電体製絶縁層１０４ａは、ポリイミド製誘電体層１１４の上に配置されたテフロン（登録商標）製フィルムである疎水性コーティング層１１２を有する。
【００１９】
図３Ｂに示すマイクロレンズ１００Ｂの他の実施例においては、電極１１６は、小滴１０２が誘電体製絶縁層１０４の第１表面に沿って位置を変えたときに、電極１１６が小滴１０２と接触を維持するような領域、あるいは複数の領域内の誘電体製絶縁層１０４の第１表面上に配置された、あるいはそこに蒸着された金製電極である。電極１１６は、小滴１０２が位置を変えたときに小滴１０２と接触を維持するよう配置されているが、小滴１０２は誘電体製絶縁層１０４の第１表面上に配置されている。マイクロレンズ１００Ｂは、透明支持基板１１０ａを含むが、この透明支持基板１１０ａは必ずしも導電性である必要はなく、例えば誘電体製絶縁層１０４と電極１０６を機械的に支持する層として機能する非導電性ガラスでもよい。このような場合、電極１１６は電圧Ｖ０に直接結合される。別の方法として、透明支持基板１１０ａは、電圧Ｖ0に結合される導電性ガラス製基板でもよい。この場合、電極１１６は透明支持基板１１０ａに結合される。図３Ｂに示すように、電極１０６ａ−１０６ｄとそれぞれのリード線１１８ａ−１１８ｄがそれぞれ電圧Ｖ１−Ｖ４に結合される。誘電体製絶縁層１０４は図３Ｂには示されていないが、これは図面を見やすくするためで誘電体製絶縁層１０４は小滴１０２と電極１１６を電極１０６ａ−１０６ｄから絶縁している。
【００２０】
図３Ｃは、電極１１６を必要としない調整可能な液状マイクロレンズ１００Ｃの実施例を示し、これにより電極１１６からマイクロレンズとの干渉を減らしている。マイクロレンズ１００Ｃは、誘電体製絶縁層１０４ｂの第１表面上に配置された小滴１０２を有する。マイクロレンズ１００Ｃは、透明な導電性の透明支持基板１１０ａを有し、この透明支持基板１１０ａは、誘電体製絶縁層１０４ｂの第１表面の反対側の第２表面に沿って配置された小滴電極として機能する。マイクロレンズ１００Ｃは、マイクロレンズ１００Ｃの断面において、誘電体製絶縁層１０４ｂは、誘電体製絶縁層１０４ｂに規定される開口１１８を有する。小滴１０２は、開口１１８の少なくとも一部を占有し、これにより小滴１０２を小滴電極、即ち透明支持基板１１０ａと電気的に導通状態にする。透明支持基板１１０ａは、電圧Ｖ0に結合される。この実施例において、誘電体製絶縁層１０４ｂは開口が十分広く、その結果開口を通して貫通する光が特定のアプリケーションに対して十分である限り、必ずしも透明である必要はない。
【００２１】
液状小滴は所望の波長に対し透明ないかなる液体および本質的に導電性あるいは様々な添加物を用いることにより導電性となるようないかなる液体でもよい。一般的な例としては、さまざまな塩の水溶液である。電極は、透明か不透明かを問わない、導電性材料、例えば金、アルミ、インジウムスズ酸化物ガラスである。絶縁層は、誘電体あるいは誘電体の組で十分高い誘電強度と所望の接触角および接触角ヒステリシスを提供するものである。絶縁層は透明か不透明かを問わない。絶縁層の例としては、固体ポリマー、例えばポリイミド、パリレンがある。支持基板は、所定の波長に対し透明な基板、例えばガラスあるいは固体ポリマーである。印加される電圧は、選択された材料、マイクロレンズのレイアウト、接触角の所望の変化に依存し、式（１）−（４）により決定される。一般的な電圧は０ボルトから２００ボルトの間であるが、使用可能な電圧はこの範囲に限定されるものではない。
【００２２】
本発明の一実施例においては、マイクロレンズの液状小滴は、小滴と混合することのない液体により包囲される。この包囲する流体がマイクロレンズの小滴が蒸発するのを阻止するのに役立つ。小滴が水ベースの場合には様々な油あるいは分子量の高いアルコール（例えば、ペンタノール、オクタノール等）が用いられる。
【００２３】
図３Ｃのマイクロレンズ１００Ｃをテストした。このマイクロレンズは、０．０１水溶性ＫＮＯ３溶液を２０μｌを含む小滴１０２を含む。誘電体製絶縁層１０４ｂは、初期の接触角が１０９°の高度にフッ化処理したポリマー製の非常に薄い（０．０２μｍ）層でコーティングした３μｍ厚さのポリイミド製の層を含む。４個の金製の電極１０６が図２Ｂ，図３Ｃに示すよう配列した。マイクロレンズは、ＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）ガラス製のプレートを図３Ｃに示す透明な導電性の支持基板１１０ａとして有する。０Ｖから約１５０Ｖの間の動作電圧が印加された。
【００２４】
６〜８ｍｍの間の範囲内のマイクロレンズの焦点長さの可逆性の調整ができることが示された。同時に絶縁層の表面に沿ったあらゆる横方向において、約３ｍｍの範囲内でマイクロレンズの位置の調整が可能であることが示された。かくして得られた結果は、マイクロレンズの限界を示すものではなく調整可能な液状マイクロレンズは、焦点距離長さと焦点位置の両方を変えるよう製造できることが示されたものである。
【００２５】
上記に示したように、本発明のマイクロレンズは、小滴と電極１０６との間の電圧差がない場合、所望の接触角θと所望の接触角ヒシテリシスを有するよう設計可能である。上記の式により示されたように、適宜の材料、寸法、体積（volumes）を選択することによりこれは達成可能である。そのため、マイクロレンズは、小滴の湾曲度と位置の制御の両方の設計の自由度が得られ、これによりマイクロレンズの調整可能な幅と、焦点長さと焦点位置と開口数の選択可能な幅が広がることになる。
【００２６】
本発明のマイクロレンズは、様々な光学電子アプリケーションで用いることができる。例えば、本発明のマイクロレンズを用いてレーザのような光信号送信機２０４と光検出器のような光信号受信機２０２との間の光学結合を達成することができる。これを図４に示す。図４は、光信号送信機２０４からの光学信号が放射され、焦点面２０６の後方に集光する。マイクロレンズ１００の焦点面２０６内の焦点２０８の横方向の位置とレンズの焦点距離は、複数の焦点面２０６に選択的にバイアスをかけることにより上記に示したように達成されて、これにより光学結合を達成する。バイアス用の電極は光信号受信機２０２で最も高いパワーが検出されるまで、即ち光信号送信機２０４と光信号受信機２０２との間の最適の光学結合が達成されるまで選択的にバイアスがかけられる。現在の所、光学電子パッケージ、即ち例えばレーザーと／または光検出器のような光学電子構成部品を組み込んだ装置は、最適の結合が達成するよう構成要素の部品を物理的に動かすことにより校正される。このプロセスは、時間がかかり極めて高価である。本発明の少なくとも１個のマイクロレンズを装置に組み込むことにより、最適の結合を達成するために構成部品を物理的に整合させる必要性はなくなる。本発明のマイクロレンズの焦点の横方向の位置と焦点長さは、送信機から固定した受信機に光学信号を再方向づけするよう調整される。
【００２７】
図５に示した他のアプリケーションにおいては、本発明のマイクロレンズ１００または複数のマイクロレンズ１００を用いて光学電子部品、例えばプリント回路基板５００上のボールグリッドアレイ５１２で表面搭載された光検出器５０６を埋設された平面状導波路５０４と結合する。平面状導波路５０４のコア５０２を介して光が矢印の方向に伝播する。この光は、ミラーエッジ５０８でプリント回路基板５００の上表面５１０の方向に反射される。本発明のマイクロレンズ１００は、プリント回路基板５００の上表面５１０の上に搭載され、コア５０２内の光を図に示した光検出器５０６の方向に向ける。調整可能な液状マイクロレンズ１００の電極は、選択的にバイアスされてマイクロレンズ１００の焦点長さと横方向の焦点位置を調整して、マイクロレンズ１００が平面状導波路５０４からの光を光検出器５０６に最適に伝播するようにする。マイクロレンズの形状は、適宜の電圧をかけることにより保持される。
【００２８】
本発明は上記の実施例を例に説明したが、それに限定されるものではない。特許請求の範囲は、本発明の範囲から逸脱することなく、本発明の他の変形例も含むよう解釈すべきである。尚、特許請求の範囲に記載した参照番号は、発明の容易なる理解のためで、権利範囲を限定的に解釈するよう用いるべきものではない。
【図面の簡単な説明】
【図１】Ａ  液状マイクロレンズを通過する光波を表す図
Ｂ  電子濡れ性現象を表す図
【図２】Ａ  本発明の調整可能な液状マイクロレンズを表す図
Ｂ  本発明の調整可能な液状マイクロレンズの電極パターンを表す図
Ｃ−Ｅ  Ｂに示した電極に選択されたバイヤスをかけることにより本発明の調整可能な液状マイクロレンズの反応を表す図
【図３】本発明による調整可能な液状マイクロレンズの一実施例を表す図
【図４】本発明の調整可能な液状マイクロレンズを組み込んだ光学システムを表す図
【図５】本発明の調整可能な液状マイクロレンズと平面状導波路を含む装置を表す図
【符号の説明】
θ  接触角
１０  液状マイクロレンズ
１２，２２，１０２  小滴
１４  透明基板
１６  光波
１８  焦点
２４，１０４  誘電体製絶縁層
２６  金属製電極
１００  調整可能な液状マイクロレンズ
１０６，１１６  電極
１０８  小滴電極
１１０  透明支持基板
１１２  疎水性コーティング層
１１４  ポリイミド製誘電体層
１１８  開口
１１８ａ−ｄ  リード線
２０２  光信号受信機
２０４  光信号送信機
２０６  焦点面
２０８  焦点
５００  プリント回路基板
５０２  コア
５０４  平面状導波路
５０６  光検出器
５０８  ミラーエッジ
５１０  上表面
５１２  ボールグリッドアレイ
【図１】
0004351420.tif 000006
【図２】
0004351420.tif 000007
【図３】
0004351420.tif 000008
【図４】
0004351420.tif 000009
【図５】
0004351420.tif 000010