(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１軸と、該第１軸の回転によって回転する偏心体と、該偏心体を介して第１軸に対して偏心回転可能な状態で組込まれた外歯歯車と、該外歯歯車が内接噛合する内歯歯車と、前記外歯歯車に該外歯歯車の自転成分のみを伝達する手段を介して連結された第２軸と、を備えた内接噛合遊星歯車構造の、前記自転成分のみを伝達する手段を構成するために円柱状の内ピンと共に用いられる円筒状の内ローラにおいて、
前記円筒の内周壁及び外周壁の縦断面を、該内周壁及び外周壁の軸方向中央部の内外径が、両端部の内外径より大径の樽形に形成した
ことを特徴とする内接噛合遊星歯車構造の内ローラ。
【請求項２】
第１軸と、該第１軸の回転によって回転する偏心体と、該偏心体を介して第１軸に対して偏心回転可能な状態で組込まれた外歯歯車と、該外歯歯車が内接噛合する内歯歯車と、前記外歯歯車に該外歯歯車の自転成分のみを伝達する手段を介して連結された第２軸と、を備えた内接噛合遊星歯車構造の、前記自転成分のみを伝達する手段を構成するために円柱状の内ピンと共に用いられる円筒状の内ローラの製造方法において、
円柱状の内ローラ素材の中央部を軸方向にくり抜き切削して、円筒状の内ローラ素材を形成する手順と、
該円筒状の内ローラ素材の内外周壁のうち、少なくとも内周壁をバニシング加工する手順と、
該バニシング加工した内ローラ素材を熱処理することにより、該内ローラ素材全体を軸方向中央部が膨らんだ樽形に変形させる樽形形成手順と、を含む
ことを特徴とする内接噛合遊星歯車構造の内ローラの製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の内接噛合遊星歯車構造の内ローラの製造方法において、
前記バニシング加工する手順におけるバニシング加工が、前記円筒状に形成された内ローラ素材の外周を、その軸方向中央位置で半径方向円周側への所定の押圧力が発生するようにチャッキングした状態で実行され、且つ、
前記樽形形成手順における熱処理が、前記チャッキングを解放した状態で実行される
ことを特徴とする内接噛合遊星歯車構造の内ローラの製造方法。
【請求項４】
第１軸と、該第１軸の回転によって回転する偏心体と、該偏心体を介して第１軸に対して偏心回転可能な状態で組込まれた外歯歯車と、該外歯歯車が内接噛合する内歯歯車と、前記外歯歯車に該外歯歯車の自転成分のみを伝達する手段を介して連結された第２軸と、を備えた内接噛合遊星歯車構造の、前記内歯歯車の内歯を構成するために用いられる円筒状の外ローラにおいて、
前記円筒の内周壁及び外周壁の縦断面を、該内周壁及び外周壁の軸方向中央部の内外径が、両端部の内外径より大径の樽形に形成した
ことを特徴とする内接噛合遊星歯車構造の外ローラ。
【請求項５】
第１軸と、該第１軸の回転によって回転する偏心体と、該偏心体を介して第１軸に対して偏心回転可能な状態で組込まれた外歯歯車と、該外歯歯車が内接噛合する内歯歯車と、前記外歯歯車に該外歯歯車の自転成分のみを伝達する手段を介して連結された第２軸と、を備えた内接噛合遊星歯車構造の、前記内歯歯車の内歯を構成するために用いられる円筒状の外ローラの製造方法において、
円柱状の外ローラ素材の中央部を軸方向にくり抜き切削して、円筒状の外ローラ素材を形成する手順と、
該円筒状の外ローラ素材の内外周壁のうち、少なくとも内周壁をバニシング加工する手順と、
該バニシング加工した外ローラ素材を熱処理することにより、該外ローラ素材全体を軸方向中央部が膨らんだ樽形に変形させる樽形形成手順と、を含む
ことを特徴とする内接噛合遊星歯車構造の外ローラの製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載の内接噛合遊星歯車構造の外ローラの製造方法において、
前記バニシング加工する手順におけるバニシング加工が、前記円筒状に形成された外ローラ素材の外周を、その軸方向中央位置で半径方向円周側への所定の押圧力が発生するようにチャッキングした状態で実行され、且つ、
前記樽形形成手順における熱処理が、前記チャッキングを解放した状態で実行される
ことを特徴とする内接噛合遊星歯車構造の外ローラの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、内接噛合遊星歯車構造の内ローラあるいは外ローラ、及びこれらの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、第１軸と、該第１軸の回転によって回転する偏心体と、該偏心体を介して第１軸に対して偏心回転可能な状態で組込まれた外歯歯車と、該外歯歯車が内接噛合する内歯歯車と、前記外歯歯車に該外歯歯車の自転成分のみを伝達する手段を介して連結された第２軸と、を備えた内接噛合遊星歯車構造が広く知られている。
【０００３】
この構造の従来例を図６及び図７に示す。この従来例は、前記第１軸を入力軸、第２軸を出力軸とすると共に、内歯歯車を固定することによって上記構造を「減速機」に適用したものである。
【０００４】
入力軸１には所定位相差（この例では１８０°）をもって偏心体３ａ、３ｂが嵌合されている。なお、偏心体３ａと３ｂは一体化されている。それぞれの偏心体３ａ、３ｂには軸受４ａ、４ｂを介して２枚の外歯歯車５ａ、５ｂが取付けられている。この外歯歯車５ａ、５ｂには内ローラ孔６が複数個設けられ、内ピン７及び内ローラ８が挿入されている。
【０００５】
内ピン７を内ローラ８で被覆するようにしたのは、動作時の滑りを分散（内ピン７及び外歯歯車５ａ、５ｂの滑りを、内ピン７と内ローラ８の滑り及び内ローラ８と外歯歯車５ａ、５ｂの滑りに分散）させるためである。
【０００６】
前記外歯歯車５ａ、５ｂを貫通する内ピン７は、出力軸２のフランジ部に固着又は嵌入されている。
【０００７】
外歯歯車を２枚（複列）にしているのは、主に伝達容量の増大、強度の維持、回転バランスの保持を図るためである。
【０００８】
前記外歯歯車５ａ、５ｂの外周には、トロコイド歯形や円弧歯形等の外歯９が設けられている。この外歯９はケーシング１２に固定された内歯歯車１０と内接噛合している。
【０００９】
内歯歯車１０の内歯は具体的には外ピン１１によって構成されている。外ピン１１は外ピン孔１３に遊嵌され、回転し易く保持されている。なお、例えば図８に示されるように、この外ピン１１は、ときに外ローラ１４で被覆される。これにより、動作時の滑りを分散（図６で外ピン１１と外ピン孔１３とで滑らせていたのを、図８で示されるように外ピン１１Ａと外ローラ１４の滑り及び外ピン１１Ａと外ピン孔１３の滑りとに分散）させることができる。
【００１０】
この減速機の作用を簡単に説明する。入力軸１が１回転すると偏心体３ａ、３ｂが１回転する。偏心体３ａ、３ｂが１回転すると、外歯歯車５ａ、５ｂも入力軸１の周りで揺動・回転を行おうとする。しかしながら、内歯歯車１０によってその自転が拘束されるため、外歯歯車５ａ、５ｂは、この内歯歯車１０に内接しながらほとんど揺動のみを行うことになる。
【００１１】
今、例えば外歯歯車５ａ、５ｂの歯数をＮ、内歯歯車１０の歯数をＮ＋１とした場合、その歯数差は１である。そのため、入力軸１の１回転毎に外歯歯車５ａ、５ｂはケーシング１２に固定された内歯歯車１０に対して１歯分だけずれる（自転する）ことになる。これは、入力軸１の回転が外歯歯車の−１／Ｎの回転に減速されたことを意味する。なお、マイナスの符号は逆回転を意味している。
【００１２】
この外歯歯車５ａ、５ｂの回転は、内ローラ孔６及び内ローラ８の隙間によってその揺動成分が吸収され、自転成分のみが内ローラ８内の内ピン７を介して出力軸２へと伝達される。この結果、結局減速比−Ｎの減速が達成される。
【００１３】
従って、この内接噛合遊星歯車構造の減速機と例えばモータとを組合わせることにより、僅か１段の減速機構で大きな減速比のギヤドモータを得ることができる。
【００１４】
なお、この従来例では、当該内接噛合遊星歯車構造の内歯歯車を固定し、第１軸を入力軸、第２軸を出力軸としていたが、第２軸を固定し、第１軸を入力軸、内歯歯車を出力軸とすることによっても減速機を構成可能である。更に、これらの入出力を逆転させることにより増速機を構成することも可能である。
【００１５】
又、この従来例では第１軸の外周に直接偏心体を組込んでいたが、第１軸を平歯車を介して、「３本の第１軸」に分散し、この分散した第１軸にそれぞれ偏心体を組込み、該偏心体を介して外歯歯車を揺動回転させるタイプのものも公知である。本発明は、このようなタイプの内接噛合遊星歯車構造であっても全く問題なく適用し得る。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図９に誇張して示すように、内ピン７の外周と内ローラ８の内周の間には、隙間δ1 が設けられている。又、図１０に誇張して示すように、外ピン１１Ａの外周と外ローラ１４の内周の間には隙間δ2 が設けられている。この隙間δ1 、δ2 は、２つの部材間に潤滑油膜を確保すると共に、互いに接触する部材同士が円滑に滑ることができるようにするためのものである。
【００１７】
ところが、このような隙間δ1 、δ2 を設けると、内ピン７と内ローラ８、あるいは外ピン１１Ａと外ローラ１４の間にがたが生じ、ひいては歯車伝達機構全体にがたが生じるという問題が発生する。そのため一方側の回転から他方側の回転に移るときに駆動側の回転が直ちに被駆動側の回転となって現われないという欠点があった。このような応答の遅れを以下「角度バックラッシュ」と呼ぶことにする。
【００１８】
この角度バックラッシュは当該内接噛合遊星歯車構造が例えば産業用ロボットの関節駆動用減速機のようなサーボモータ付きの制御機構として使用された場合には、その制御精度を低下させるものとなる。内接噛合遊星歯車構造において角度バックラッシュが発生する原因は種々考えられるが、このような角度バックラッシュを無くす工夫として、従来例えば外歯歯車、内歯歯車等を正転用と逆転用とに２分割したり、あるいは正転用や逆転用に役割分担させたりする等種々の構造が知られている（特開昭５９−１０６７４４号、特開昭５９−１１３３４０号、特開昭５９−１１５７４３号、特開昭５９−２０８３６６号等）。
【００１９】
又、出願人は、これまでに（外ローラを有しないタイプの内接噛合遊星歯車構造において）外ピンと外ピン孔に関する隙間を極小にする方法として、特願昭６０−８６５７１号（特公平５−８６５０６）を提案したりしている。
【００２０】
しかしながら、上記いずれの公知例のものでも、これまでに角度バックラッシュを低減するために内ピンと内ローラとの間の隙間δ1 や外ピンと外ローラの間の隙間δ2 に着目したものはなく、ここで発生する角度バックラシュについては何ら対策がとられていないというのが実情であった。
【００２１】
この理由は、▲１▼内ピンと内ローラ、あるいは外ピンと外ローラの間は、所定の潤滑油を常に確保しておく必要がある；▲２▼たとえ加工誤差や組付け誤差、あるいは動力伝達時の各部材の変形により、内ピンと内ローラ、あるいは外ピンと外ローラとの軸芯がずれるような状態が発生しても、２つの部材を円滑に滑らせる必要がある；という事情から、この隙間δ1 、δ2 は無くすことができない構成（必須の構成）であると考えられていたためである。
【００２２】
なお、２つの摺動部材の良好な摺動を隙間を設けることなく確保する方法として、例えばホワイトメタルやフッ素樹脂のように低摩擦で馴染み性の良い素材を用いることも考えられる。しかしながら、内接噛合遊星歯車構造の内ローラや外ローラには、一般に入力軸のトルクを数倍から１００倍以上にまで増幅した大きなトルクがかかるため、耐久性の観点から高硬度、高強度の材料（例えば高炭素クロム軸受鋼鋼材（ＪＩＳ  Ｇ４８０５のＳＵＪ２又は相当品）を焼入れ焼戻しするか、機械構造用合金鋼（ＪＩＳ  Ｇ４１０３、ＪＩＳ  Ｇ４１０４、ＪＩＳＧ４１０５）を浸炭焼入れ焼戻しして、ＨＲＣ５８−６４程度の表面硬さとした材料）を用いなければならず、この方法は多くの場合採用することはできない。
【００２３】
なお、内ローラの内周（あるいは内ピンの外周）に周溝を設けると共に、この周溝にオイルを確保する構成も考えられるが、この方法は内ローラの加工コスト上昇をまねくのみならず、高硬度、高強度材料に応力集中を生じる鋭利な切欠きを設ける事から著しい強度の低下となり、この種の内接噛合遊星歯車構造の内ローラや外ローラの構成としては好ましくない。
【００２４】
更に、これに関連し、高硬度、高強度の材料を高精度に加工する必要があることから、内ローラや外ローラの内外径は「研削」によって加工しなければならず、特に内径を研削によって加工する場合、（研削はあくまで材料の結晶粒を剪断する加工であるため）仕上げ粗さには限界（経済的には２〜３μ）があり、この粗さで油膜を維持するためにはある程度の大きさの隙間δ1 、δ2 の存在が必須であるという事情もあった。
【００２５】
しかして、このような理由により、従来内ピンと内ローラの隙間δ1 、あるいは外ピンと外ローラの隙間δ2 は必須のものと考えられ、従ってこれに起因する角度バックラッシュの発生は不可避的なものと考えられていたものである。
【００２６】
本発明は、このような従来の問題に鑑みてなされたものであって、従来（当然に）できるだけ真円筒に近づけた加工をする必要があると考えられていた内ローラ、あるいは外ローラの形状を発想を変えて見直し、新たな不都合を何ら発生させることなく角度バックラッシュを従来より大きく低減することができるとともに過負荷に強く、大荷重を伝達することのできる内接噛合遊星歯車構造の内ローラ、あるいは外ローラ、を提供することを目的とする。
【００２７】
又、この内ローラ、あるいは外ローラを実際に製造するのに最適な方法を提供することを目的とする。
【００２８】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、第１軸と、該第１軸の回転によって回転する偏心体と、該偏心体を介して第１軸に対して偏心回転可能な状態で組込まれた外歯歯車と、該外歯歯車が内接噛合する内歯歯車と、前記外歯歯車に該外歯歯車の自転成分のみを伝達する手段を介して連結された第２軸と、を備えた内接噛合遊星歯車構造の、前記自転成分のみを伝達する手段を構成するために円柱状の内ピンと共に用いられる円筒状の内ローラにおいて、前記円筒の内周壁及び外周壁の縦断面を、該内周壁及び外周壁の軸方向中央部の内外径が、両端部の内外径より大径の樽形に形成したことにより上記課題を解決したものである。
【００２９】
請求項２に記載の発明は、第１軸と、該第１軸の回転によって回転する偏心体と、該偏心体を介して第１軸に対して偏心回転可能な状態で組込まれた外歯歯車と、該外歯歯車が内接噛合する内歯歯車と、前記外歯歯車に該外歯歯車の自転成分のみを伝達する手段を介して連結された第２軸と、を備えた内接噛合遊星歯車構造の、前記自転成分のみを伝達する手段を構成するために円柱状の内ピンと共に用いられる円筒状の内ローラの製造方法において、円柱状の内ローラ素材の中央部を軸方向にくり抜き切削して、円筒状の内ローラ素材を形成する手順と、該円筒状の内ローラ素材の内外周壁のうち、少なくとも内周壁をバニシング加工する手順と、該バニシング加工した内ローラ素材を熱処理することにより、該内ローラ素材全体を軸方向中央部が膨らんだ樽形に変形させる樽形形成手順と、を含むことにより、上記課題を解決したものである。
【００３０】
請求項３に記載の発明は、請求項２において、バニッシング加工時に加工歪をより積極的に加えることにより、加工による熱処理前の残留歪と、熱処理による残留歪とにより円筒形の内周壁及び外周壁の縦断面形状をより明瞭な樽形形状に成形することにより上記課題を解決したものである。
【００３１】
請求項１、２及び３は内接噛合遊星歯車構造の内ローラに着目したものであり、全く同様の構成を外ローラに適用したのが請求項４、５及び６である。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００３３】
本発明は、内接噛合遊星歯車構造の内ローラ、あるいは外ローラの内外周縦断面の形状に特徴があり、内接噛合遊星歯車構造自体の構成については、従来の構成と特に変わるところはない。従って、該内接噛合遊星歯車構造自体の構成については、既に詳述済みであるため、説明を省略する。
【００３４】
本発明に係る内ローラあるいは外ローラの縦断面は、その内周壁及び外周壁が従来のように真直ではなく、該内周壁及び外周壁の軸方向中央部の内外径が両端部の内外径より大径の樽形形状となっており、内ピンあるいは外ピンを挿入したときに、ここにオイル又はグリースの潤滑油を保持できるようにすると共に、動力伝達に伴う荷重によって内ピンあるいは外ピンが撓んだときにも、外歯歯車の噛合で片あたりや、エッジロードが生じないようにしている。
【００３５】
図１は、本発明に係る内ローラ３０の縦断面図である。ここでは樽形形状が誇張して描かれている。
【００３６】
図２は、本発明の実施形態に係る前記内ローラ３０の内周壁の形状、及び粗さを粗さ計で測定した実計測グラフである。ここでは、目的の測定のために径方向Ｙと軸方向Ｘの縮尺が同一ではなく、径方向Ｙの倍率が軸方向Ｘの２００倍にセットされている。
【００３７】
なお、図２のライン３２Ｌは、図１の下半分の実体側の内周壁３２に相当している。即ち、該ライン３２Ｌを境にして、下側の部分が実体側、上側が中空孔側である。
【００３８】
図１、図２に見られるように、この実施形態に係る内ローラ３０は、その円筒の内周壁３２の縦断面が真直ではなく、軸方向中央部の内径ｄ１が両端部の内径ｄ２より大径（ｄ１＞ｄ２）で、貫通孔３１の中央部Ｐ１が凸（実体側から見れば凹）の樽形形状をしている。この実施形態に係る内ローラ３０の大きさは、その軸方向長Ｌ１が２５ｍｍ、両端部Ｐ２での内径ｄ２が１２ｍｍ、肉厚ｔが２．５ｍｍであり、この場合に、中央部Ｐ１と両端部Ｐ２での内径の差（ｄ１−ｄ２）は片側で約５〜６μとされている。
【００３９】
中央部Ｐ１での内周壁の凸部（実体側から見れば凹部）３２Ｒ１と両端部Ｐ２での凹部（実体側から見れば凸部）３２Ｒ２は滑らかに連続し、更にこの凹部３２Ｒ２と両端面３２Ｒ３も滑らかに連続している。
【００４０】
更に、内ローラ３０の円筒の外周壁３３の縦断面も真直ではなく、軸方向中央部の外径Ｄ１が両端部の外径Ｄ２より大径（Ｄ１＞Ｄ２）で、貫通孔３１の中央部Ｐ１が凸の樽形形状をしている。
【００４１】
図３は、この実施形態に係る内ローラ３０を内ピン７に組み付けた状態を示す概念図である。なお、図３も見易さを優先したため、径方向Ｙと軸方向Ｘの縮尺は同一ではない。
【００４２】
内ピン７の外周７Ａは内ローラ３０の内周壁３２の（実体側の）凸部３２Ｒ２、３２Ｒ２に軽く接触しており、内周壁３２の中央部Ｐ１の（実体側の）凹部３２Ｒ１との隙間Ｈ１、即ち（ｄ１−ｄ２）／２は、（樽形形状により）前述したように５〜６μ前後となる。なお、この隙間Ｈ１は内ローラ３０の大きさにはあまり影響を受けず、絶対値で２〜１０μ程度までが許容範囲となる。
【００４３】
それは、この隙間Ｈ１があまりに小さいと当該隙間本来の機能が発揮されず、又、あまり大きすぎると内ローラ３０と内ピン７との間にラジアル方向の（大きな）力が作用した場合でも、（実体側から見た）２つの凸部３２Ｒ２、３２Ｒ２での弧が小さくなり、この２点でしかトルク伝達がなされないため、内ピン７が（いかなるときも）この部分でのみ内ローラ３０と接触するようになって耐摩耗性上好ましくないためである。
【００４４】
内ローラ３０の内周壁３２をこのような形状とすることにより、図３の隙間Ｈ１が潤滑油を確保する空間として機能する。又、内ピン７は内ローラ３０の内周壁３２の２つの凸部３２Ｒ２、３２Ｒ２において、該内ローラ３０と接触しているため、内ローラ３０と内ピン７の軸心Ｏ１は特に大きな力がかからない限りずれることはなく、基本的に「がた」は発生しない。そのため、従来のように、隙間δ１に起因する角度バックラッシュが発生することもない。
【００４５】
一方、外周３３については、両端部の外径Ｄ２が中央部のそれＤ１より小径になっているため、外歯歯車５ａ、５ｂの内ローラ孔６ａ、６ｂとの間に隙間σ1、σ2が確保される。これにより、内接噛合遊星歯車構造に過大な荷重が作用したときの外歯歯車後５ａ、５ｂの内ローラ６ａ、６ｂと内ローラ３０のエッジ当たりが防止される。
【００４６】
更に、万一加工誤差あるいは組付け誤差等があっても、あるいは動力伝達時に各部材が弾性変形しても、更には、予期せぬ大きな外的荷重が加わって内ピン７が撓むようになっても、隙間Ｈには潤滑油が確保されているため、円滑な滑りを維持することができる。
【００４７】
従って、このような構造の内ローラ（あるいは外ローラ）を採用することにより、多量の潤滑油を確保しながら、即ち耐久性を低下させることなく、内ローラ（外ローラ）と内ピン（外ピン）の同軸性を確実に維持することによって、角度バックラッシュを低減できる。又、更に、加工誤差や動作時の弾性変形、あるいは外的荷重に対する弾性変形等が発生しても良好な滑り特性を確保することができるため、動力損失を格段に減少させることができる。
【００４８】
なお、この実施形態に係る内ローラ３０を後述する製造方法によって製造した場合には、内周壁３２の表面がバニシング加工によって鏡面化していることと相まって、潤滑油膜が薄くなっても焼き付きを生じ難く、実機での実験によれば、その動力伝達能力が約３倍程度に大幅に向上すると共に、動作時の騒音も低減することが確認されている。
【００４９】
次に、具体的にこのような形状の内ローラ（あるいは外ローラ）を製造する方法について説明する。
【００５０】
上述したような内周壁が樽形の内ローラは、従来と同様な製造工程において、その内周壁の切削を例えば超高精度のＮＣ（Nunerical Control ）工作機械等で行うという手法も考えられる。しかしながら、高硬度、高強度の素材を高精度に切削可能なＮＣ工作機械は、該機械自体が非常に高コストである上に、内ローラ１本１本にかかる加工時間が長くなってしまうため、実用的にはコスト上成立し得ない。
【００５１】
そこで、発明者等は、いわゆるバニシング加工と熱処理とを組合せ、この加工歪みと熱処理歪みとを積極的に利用する製造方法を創案した。
【００５２】
図４（Ａ）〜（Ｄ）にその製造方法を示す。なお、図４の各部は見易さを優先させたため、変形を誇張して描いており、径方向Ｙと軸方向Ｘの縮尺は同一ではない。以下順に説明する。
【００５３】
図４（Ａ）
先ず、内ローラ素材３０Ａの丸棒段階にて外周を精密旋盤にて加工し、その後ローラバニシングツール５１にてこの加工された外周をバニシング加工する。ここでのバニシング加工は、これ自体公知のものであり、外周を（押しつぶすようにして塑性変形させて）圧延する加工である。
【００５４】
図４（Ｂ）
続いて、熱処理前の（材料が軟らかい）状態で、円柱状の内ローラ素材３０Ａの中央部を軸方向Ｘにくり抜き切削して、円筒状の内ローラ素材３０Ｂを形成し、該内ローラ素材３０Ｂの内周を中間仕上げする。  ここでは、内周は、精密旋盤による旋削によって加工されるものとする。この加工は、材料組織の剪断による加工である。
【００５５】
なお、図４（Ａ）の加工に代えて、図４（Ｂ）の中間仕上げまでを冷間鍛造による塑性加工で製作した後に外周を仕上げるのも量産加工においては有効である。
【００５６】
図４（Ｃ）
次に、外周壁３３の軸方向全長をチャッキング装置５０によってチャッキングして、内周壁３２をローラバニシングツール５２によるバニシング加工して、内ローラ素材３０Ｃを得る。ここでのバニシング加工も、これ自体は公知のものであり、図４（Ｂ）で組織の剪断によって加工された内周壁３２を（押し潰すようにして）圧延する加工である。このため、旋削や研削よりも細かい粗さ（鏡面）を得ることができる。
【００５７】
図４（Ｄ）
このようにして内周壁３２をバニシング加工した後に、熱処理を施した後の微小な曲がり具合を誇張して描いたのが図４（Ｄ）である。
【００５８】
ここでの熱処理は、内ローラ素材３０Ｃの材料を高炭素クロム軸受鋼鋼材（ＪＩＳ  Ｇ４８０５のＳＵＪ２又はその相当品）としたときは、公知の焼入れ、焼戻しにより全体を硬化させる工程が好ましい。
【００５９】
又、内ローラ素材３０Ｃの材料を機械構造用合金鋼（ＪＩＳ  Ｇ４１０３、ＪＩＳ  Ｇ４１０４、ＪＩＳ  Ｇ４１０５等のいわゆる浸炭鋼）としたときは、いわゆる浸炭焼入れ、焼戻しにより表面硬化させるのが好ましい。
【００６０】
いずれの場合も、焼入れ時において、軸方向両端部はその放熱面積が大きいため、速く冷却されることから、中央部より大きく収縮し、その状態で固まるため、図４（Ｄ）に図示したような曲がり形状が得られる。図４（Ｄ）において、ｌo は外周において曲がっている長さ、δo は外径の相対的な縮み量、ｌi 、δi は内径側の曲がっている長さ及び縮み量をそれぞれ示している。
【００６１】
即ち、図から明らかなように、この内ローラ素材３０Ｄは、外周側がその両端部ｌo においてδo だけその径が小さく、内周側はその軸方向両端部ｌi においてδi だけ中央部より両端部の径が小さい、いわゆる樽形形状を呈することになる。
【００６２】
このように、この実施形態では、熱処理によって生じてしまう変形（熱歪み）を積極的に利用し、これにより内周壁の樽形形状を形成するようにしたのが大きな特徴である。
【００６３】
次に、図５を用いて、この樽形形状を更に積極的に（より大きく）形成する方法を示す。
【００６４】
この方法は、バニシング加工を実施する際に、先の実施形態ではチャッキングを軸方向全長に亘って行っていたが、ここでは該チャッキングを両端部において意識的に外すようにしたものである。この結果、バニシング加工時にローラバニシングツール５２によって内周側から加工圧がかかった際に、内ローラ素材３０Ｅの両端部が図の破線で示すように外周側に膨張する現象が発生し、ここでの加工（圧延）が軽度になり、内周壁３２がこの部分のみ拡大されないという状態を作り出すことができる。
【００６５】
この結果、チャッキング装置５０′を解放すると、図５の（Ｂ）に示されるように、未だ熱処理を行わない段階で、既に両端部ｌB においてδB だけ両端部の径が小さい樽形形状を得ることができるようになる。従って、これに前述した熱処理工程を施すことにより、先の実施形態より一層樽形形状を明瞭化させることができるようになる。
【００６６】
実際には、個々の内ローラの大きさや付加されるトルクを考慮し、実際に形成される隙間Ｈ１（図３）が２〜１０μ（好ましくは５〜６μ）、即ちクラウニング量δoが５〜１５μ（好ましくは７〜８μ）となるようにチャッキングや熱処理の仕方を確定すればよい。
【００６７】
なお、樽形の程度をより大きくするためには、上述した実施例の他、放熱の段階で中央部のみが意図的に遅く放熱されるような（両端部が意図的に速く放熱されるような）放熱環境、例えば放熱時に両端部付近のみ冷却油の流れを良くする等の環境を形成するようにしてもよい。
【００６８】
これらの方法により、例えば内ローラの内径ｄ２が６ｍｍ〜６０ｍｍの範囲にあるときは、内ローラの外径（ｄ２＋２ｔ）がその約１．３倍から１．７倍（即ちｔ／ｄ２が１／３〜１／６程度）の範囲にあれば、要求される軸方向長Ｌ１（内径ｄ２の約１．５倍〜４倍程度が要求される）において意図した程度の樽形形状を十分に形成できることが発明者等の試験により確認されている。但し、理想的には、外径（ｄ２＋２ｔ）が内径ｄ２の１．５倍前後（１．４〜１．６倍）程度に収まっていると（特に更なる熱処理等を施すことなく）良好な隙間Ｈ１とクラウニング量δoが確保される。
【００６９】
なお、いずれの場合でも、外周面については必ずしもバニシング加工に依らずともよい。又、内外周とも最終的にはバレル研削加工にて研削加工仕上げするようにしても良い。
【００７０】
このようにして製造された内ローラは、内周壁の軸方向中央部において内ピンとの間に隙間Ｈ１が生じるため、ここが潤滑油の保持部となる。又、内外周壁は従来の研削加工に比べ、バニシング加工により格段に鏡面化されているため、焼付きが生じ難くなり、両端部においてほぼ常に接触した状態（内ピンと内ローラとの隙間をほぼ０）にすることができ、角度バックラッシュの原因を取り除くことができるようになる。又、内周壁が鏡面化されることと相まって、常に形成される油膜によって動力伝達効率を高く維持でき、加えて、外周壁も樽形になっていることから、外歯歯車とのエッジ当たりがなくなり、結果としてより大きな荷重伝達（３倍程度）が可能となる。
【００７１】
なお、上述した実施形態では、内ローラを例にとってその構成及び製造方法を説明していたが、本発明は外ローラに対しても全く同様に適用できるのは言うまでもない。
【００７２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る内ローラ（外ローラ）、あるいは本発明に係る方法によって製造された内ローラ（外ローラ）は、その内周壁の樽形形状の隙間において十分に潤滑油を確保することができ、従って内ピン（外ピン）をほとんどがたを生じることなく、内ローラ（外ローラ）と同軸に保持することができるようになる。
【００７３】
又、外周壁も樽形になっていることから、外歯歯車とのエッジ当たりがなくなり、結果としてより大きな荷重伝達が可能となる。
【００７４】
従って、潤滑油の確保（耐久性の維持）と、動力伝達効率や伝達能力の向上、騒音の低減を図ることができると共に、角度バックラッシュの低減を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る内接噛合遊星歯車構造に適用される内ローラの縦断面図
【図２】図１における内ローラの下半分における内周壁の形状を実測したグラフ
【図３】図１の内ローラに内ピンを組み付けた状態を示す縦断面図
【図４】図１に係る内ローラを製造する方法を説明した工程図
【図５】図４に係る製造工程の変形例を示す部分工程図
【図６】従来の内接噛合遊星歯車構造の構成を説明するための一部破断の正面図
【図７】図４のVII −VII 線に沿う断面図
【図８】外ローラを有する内接噛合遊星歯車構造の構成を説明するための部分拡大断面図
【図９】従来の内ローラと内ピンの関係を説明するための横断面図
【図１０】従来の外ローラと外ピンの関係を説明するための横断面図
【符号の説明】
１…入力軸
３ａ、３ｂ…偏心体
５ａ、５ｂ…外歯歯車
６ａ、６ｂ…内ローラ孔
７…内ピン
８、３０…内ローラ
１０…内歯歯車
１１…外ピン
１３…外ピン孔
１４…外ローラ
３２…内周壁
３３…外周壁
５１、５２…ローラバニシングツール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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