(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端がアクチュエータ基部に連結された第１のアームと一端が該アクチュエータ基部に連結された第２のアームとから少なくとも形成され、かつ前記第１のアームが平坦な先端面を有する第１の突出部を有し、前記第２のアームが前記第１の突出部の前記先端面とほぼ反対方向を向いておりかつ該先端面とほぼ平行かつ平坦な先端面を有する第２の突出部を有するようにほぼＵ形状の構造を有するアクチュエータ素子に取り付けられるようにスライダ素子を適応させ、
前記第１の突出部を相対的に回転不可能となるように受け入れる第１の凹部を具備する第１の面と、前記スライダ素子に関して該第１の面とは反対側の面であり、前記第２の突出部を相対的に回転不可能となるように受け入れる第２の凹部を具備する第２の面とを有するように前記スライダ素子を適応させ、
前記第１の突出部を前記第１の凹部内において前記先端面との間に充填された接着剤により前記第１の面に接着し、
前記第２の突出部を前記第２の凹部内において前記先端面との間に充填された接着剤により前記第２の面に接着することを特徴とするアクチュエータ素子をスライダ素子に取り付ける方法。
【請求項２】
前記アクチュエータ素子がマイクロアクチュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップスライダであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記マイクロアクチュエータが圧電マイクロアクチュエータであることを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記接着剤がエポキシであることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
前記第１の凹部に対する前記第１の突出部の形状及び前記第２の凹部に対する前記第２の突出部の形状が、前記エポキシの硬化工程における前記スライダの回転運動を阻止するものであることを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記スライダ素子がほぼボックス形状であり、該スライダ素子が、前記第１及び第２の凹部と共に、スライダ材料による矩形の表面形状を有する大きなバーを該大きなバーの長さ方向と垂直方向に切断して前記大きなバーの前記長さ方向とは垂直な長さ方向を有する矩形の表面形状を有する小さなバーを形成し、該小さなバーの第１の面に沿って規定された縦方向深さだけ切削することにより前記第１の凹部を形成し、該小さなバーの前記第１の面とほぼ平行な第２の面に沿って前記規定された縦方向深さだけ切削することにより前記第２の凹部を形成し、前記小さなバーを該小さなバーの長さ方向と垂直方向に切断することによって形成されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項７】
一端がアクチュエータ基部に連結された第１のアームと一端が該アクチュエータ基部に連結されかつ前記第１のアームにほぼ平行な第２のアームとから少なくとも形成されたほぼＵ形状の構造を有するアクチュエータ素子に取り付けられるべくスライダ素子を適応させ、
前記第１のアームが平坦な先端面を有する第１の突出部を有しており、前記第２のアームが前記第１の突出部の前記先端面とほぼ反対方向を向いておりかつ該先端面とほぼ平行かつ平坦な先端面を有する第２の突出部を有し、浮上面側に縁部を残して設けられた第１の段を具備する第１の面と、前記スライダ素子に関して該第１の面とは反対側の面であり、浮上面側に縁部を残して設けられた第２の段を具備する第２の面とを有し、前記第１の段が前記第１の突出部を相対的に回転不可能となるように受け入れかつ前記第２の段が前記第２の突出部を相対的に回転不可能となるように受け入れるべく前記スライダ素子を適応させ、
前記第１の突出部を前記第１の段の位置において前記先端面との間に充填された接着剤により前記第１の面に接着し、
前記第２の突出部を前記第２の段の位置において前記先端面との間に充填された接着剤により前記第２の面に接着することを特徴とするアクチュエータ素子をスライダ素子に取り付ける方法。
【請求項８】
前記アクチュエータ素子がマイクロアクチュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップスライダであることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記マイクロアクチュエータが圧電マイクロアクチュエータであることを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記接着剤がエポキシであることを特徴とする請求項７から９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
前記第１の段が前記第１のアームを受け入れ、前記第２の段が前記第２のアームを受け入れることにより、前記エポキシの硬化工程における前記スライダの回転運動を阻止することを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記スライダ素子が、前記第１及び第２の面とほぼ垂直な面であり、浮上面側に縁部を残して設けられた第３の段を具備する第３の面を有していることを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記第３の段が、スライダ重量を低減するためのものであることを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記スライダ素子がほぼボックス形状であり、該スライダ素子が、前記第１及び第２の段と共に、第１の切削幅を有する工具によりスライダ材料による矩形の表面形状を有するバーを該バーのある位置において長さ方向と垂直方向に切削して規定された深さの溝を形成し、前記第１の切削幅より小さい切削幅を有する工具により前記バーを前記位置において前記長さ方向と垂直方向に切断することによって形成されることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項１５】
前記スライダ素子がほぼボックス形状であり、該スライダ素子が、前記第１、第２及び第３の段と共に、第１の切削幅を有する工具によりスライダ材料による矩形の表面形状を有するバーを該バーの長さ方向と平行方向にある深さだけ切削し、第２の切削幅を有する工具により該バーを該バーのある位置において長さ方向と垂直方向に切削してある深さの溝を形成し、前記第２の切削幅より小さい第３の切削幅を有する工具により前記バーを前記位置において前記長さ方向と垂直方向に切断することによって形成されることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】
一端がアクチュエータ基部に連結された第１のアームと一端が該アクチュエータ基部に連結された第２のアームとから少なくとも形成され、かつ前記第１のアームが平坦な先端面を有する第１の突出部を有し、前記第２のアームが前記第１の突出部の前記先端面とほぼ反対方向を向いておりかつ該先端面とほぼ平行かつ平坦な先端面を有する第２の突出部を有するようにほぼＵ形状の構造を有するアクチュエータ素子に取り付けられるようにスライダ素子を適応させ、
前記第１の突出部の前記先端面に部分的に当接するようにかつ該先端面と共に部分的窪みを提供する第１の凹部を備えた第１の面と、前記第２の突出部の前記先端面に部分的に当接するようにかつ該先端面と共に部分的窪みを提供する第２の凹部を備えた第２の面とを有するように前記スライダ素子を適応させ、
前記第１の突出部を前記部分的窪み内に充填された接着剤により前記第１の面に接着し、
前記第２の突出部を前記部分的窪み内に充填された接着剤により前記第２の面に接着することを特徴とするアクチュエータ素子をスライダ素子に取り付ける方法。
【請求項１７】
前記アクチュエータ素子がマイクロアクチュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップスライダであることを特徴とする請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記マイクロアクチュエータが圧電マイクロアクチュエータであることを特徴とする請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記接着剤がエポキシであることを特徴とする請求項１６から１８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２０】
前記第１のスライダ接着面が前記第１のアーム接着面に部分的に当接されて前記部分的窪みを提供し、前記第２のスライダ接着面が前記第２のアーム接着面に部分的に当接されて前記部分的窪みを提供することによって、エポキシのオーバーフローを阻止することを特徴とする請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
前記スライダが、ほぼボックス形状であり、第１の切削幅を有する工具により矩形面形状のバーを該バーのある位置において長さ方向と垂直に規定された深さまで切削して規定された長さのスリットを該バーに形成し、前記第１の切削幅より小さい切削幅を有する工具により前記バーを前記位置において前記長さ方向と垂直に切断することによって形成されることを特徴とする請求項１６から２０のいずれか１項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ハードディスク駆動装置に関する。より特定的には、本発明は、ハードディスクマイクロアクチュエータをスライダ装置へ取り付けるシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ハードディスク駆動装置の記録密度を向上するために、種々の方法が用いられている。図１は、磁気ハードディスクから読出しを行うと共に磁気ハードディスクへ書込みを行うように構成された典型的な駆動アームを表している。
【０００３】
磁気ハードディスク１００に対する駆動アーム１０４の位置は、通常、ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）１０２を用いて制御される。ＶＣＭ１０２のみによる記録ヘッド１０８の位置決め（動的動作）には誤差が本質的に存在するため、最近では、特許文献１に記載されているように記録ヘッド１０８の精密位置決めにはマイクロアクチュエータ１１０が用いられる。ＶＣＭ１０２は粗い位置決めに用いられ、マイクロアクチュエータ１１０はより小さなスケールでその位置決めを補正し、駆動アーム１０４を伴うＶＣＭ１０２の誤差を補償する。これにより、より狭い記録トラック幅が実現可能となり、ハードディスク駆動装置のトラックパーインチ（ＴＰＩ）値を増大させることが、即ちトラック密度を増大させることができる。
【０００４】
図２は、従来用いられていたマイクロアクチュエータを説明する図である。磁気ディスク１００（図１参照）の表面上で所定の浮上量を維持するために、通常は、スライダ２０２（図示しない読出し／書込み磁気ヘッドを含む）が用いられる。マイクロアクチュエータは、スライダ２０２の動きを駆動アーム１０４（図１参照）の動きから独立させることができるスライダ抑制機構２０８に支持部材２０６を接続する可撓性ビーム２０４を有しているかもしれない。駆動アーム１０４（図１参照）に対するスライダ／ヘッド２０２の向き／位置の微小調整を行うために、電磁アセンブリ又は電磁／強磁性アセンブリ（図示なし）が用いられるかもしれない。
【０００５】
【特許文献１】
米国特許第６，１９８，６０６号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
マイクロアクチュエータへのスライダアセンブリの取り付けは、取り付けのための寸法が非常に小さいことから、困難及び／又は高コストとなる。接着も非常に正確でなければならない。
【０００７】
従って、本発明の目的は、スライダ接着処理の正確性及び均一性を向上させることができる、スライダ装置へハードディスクマイクロアクチュエータを取り付ける方法及び装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、一端がアクチュエータ基部に連結された第１のアームと一端が該アクチュエータ基部に連結された第２のアームとから少なくとも形成されたほぼＵ形状の構造を有するアクチュエータ素子に取り付けられるべく適合されたスライダ素子を備えており、前記第１のアームが平坦な先端面を有する第１の突出部を有しており、前記第２のアームが前記第１の突出部の前記先端面とほぼ反対方向を向いておりかつ該先端面とほぼ平行かつ平坦な先端面を有する第２の突出部を有しており、前記スライダ素子が、前記第１の突出部を相対的に回転不可能となるように受け入れる第１の凹部を具備する第１の面と、前記スライダ素子に関して該第１の面とは反対側の面であり、前記第２の突出部を相対的に回転不可能となるように受け入れる第２の凹部を具備する第２の面とを有しており、前記第１の突出部が前記第１の凹部内において前記先端面との間に充填された接着剤により前記第１の面に接着され、前記第２の突出部が前記第２の凹部内において前記先端面との間に充填された接着剤により前記第２の面に接着されるように構成されているアクチュエータ素子をスライダ素子に取り付けるシステムが提供される。
【０００９】
前記アクチュエータ素子がマイクロアクチュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップスライダであることが好ましい。
【００１０】
前記マイクロアクチュエータが圧電マイクロアクチュエータであることが好ましい。
【００１１】
前記接着剤がエポキシであることが好ましい。
【００１２】
前記第１の凹部に対する前記第１の突出部の形状及び前記第２の凹部に対する前記第２の突出部の形状が、前記エポキシの硬化工程における前記スライダの回転運動を阻止するものであることが好ましい。
【００１３】
本発明によれば、一端がアクチュエータ基部に連結された第１のアームと一端が該アクチュエータ基部に連結されかつ前記第１のアームにほぼ平行な第２のアームとから少なくとも形成されたほぼＵ形状の構造を有するアクチュエータ素子に取り付けられるべく適合されたスライダ素子を備えており、前記第１のアームが平坦な先端面を有する第１の突出部を有しており、前記第２のアームが前記第１の突出部の前記先端面とほぼ反対方向を向いておりかつ該先端面とほぼ平行かつ平坦な先端面を有する第２の突出部を有しており、前記スライダ素子が、浮上面側に縁部を残して設けられた第１の段を具備する第１の面と、前記スライダ素子に関して該第１の面とは反対側の面であり、浮上面側に縁部を残して設けられた第２の段を具備する第２の面とを有しており、前記第１の段が前記第１の突出部を相対的に回転不可能となるように受け入れ、前記第２の段が前記第２の突出部を相対的に回転不可能となるように受け入れるように構成されており、前記第１の突出部が前記第１の段の位置において前記先端面との間に充填された接着剤により前記第１の面に接着され、前記第２の突出部が前記第２の段の位置において前記先端面との間に充填された接着剤により前記第２の面に接着されるように構成されているアクチュエータ素子をスライダ素子に取り付けるシステムが提供される。
【００１４】
前記アクチュエータ素子がマイクロアクチュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップスライダであることが好ましい。
【００１５】
前記マイクロアクチュエータが圧電マイクロアクチュエータであることが好ましい。
【００１６】
前記接着剤がエポキシであることが好ましい。
【００１７】
前記第１の段の前記第１のアームの受け入れ及び前記第２の段の前記第２のアームの受け入れが、前記エポキシの硬化工程における前記スライダの回転運動を阻止するものであることが好ましい。
【００１８】
前記スライダ素子が、前記第１及び第２の面とほぼ垂直な面であり、浮上面側に縁部を残して設けられた第３の段を具備する第３の面を有していることが好ましい。
【００１９】
前記第３の段が、スライダ重量を低減するためのものであることが好ましい。
【００２０】
本発明によれば、一端がアクチュエータ基部に連結された第１のアームと一端が該アクチュエータ基部に連結された第２のアームとから少なくとも形成されたほぼＵ形状の構造を有するアクチュエータ素子に取り付けられるべく適合されたスライダ素子を備えており、前記第１のアームが平坦な先端面を有する第１の突出部を有しており、前記第２のアームが前記第１の突出部の前記先端面とほぼ反対方向を向いておりかつ該先端面とほぼ平行かつ平坦な先端面を有する第２の突出部を有しており、前記スライダ素子が、前記第１の突出部の前記先端面に部分的に当接するようにかつ該先端面と共に部分的窪みを提供する第１の凹部を備えた第１の面と、前記第２の突出部の前記先端面に部分的に当接するようにかつ該先端面と共に部分的窪みを提供する第２の凹部を備えた第２の面とを有しており、前記第１の突出部が前記部分的窪み内に充填された接着剤により前記第１の面に接着され、前記第２の突出部が前記部分的窪み内に充填された接着剤により前記第２の面に接着されるように構成されているアクチュエータ素子をスライダ素子に取り付けるシステムが提供される。
【００２１】
前記アクチュエータ素子がマイクロアクチュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップスライダであることが好ましい。
【００２２】
前記マイクロアクチュエータが圧電マイクロアクチュエータであることが好ましい。
【００２３】
前記接着剤がエポキシであることが好ましい。
【００２４】
前記第１のスライダ接着面が前記第１のアーム接着面に部分的に当接されて前記部分的窪みを提供し、前記第２のスライダ接着面が前記第２のアーム接着面に部分的に当接されて前記部分的窪みを提供することによって、エポキシのオーバーフローを阻止することが好ましい。
【００２５】
本発明によれば、一端がアクチュエータ基部に連結された第１のアームと一端が該アクチュエータ基部に連結された第２のアームとから少なくとも形成され、かつ前記第１のアームが平坦な先端面を有する第１の突出部を有し、前記第２のアームが前記第１の突出部の前記先端面とほぼ反対方向を向いておりかつ該先端面とほぼ平行かつ平坦な先端面を有する第２の突出部を有するようにほぼＵ形状の構造を有するアクチュエータ素子に取り付けられるようにスライダ素子を適応させ、前記第１の突出部を相対的に回転不可能となるように受け入れる第１の凹部を具備する第１の面と、前記スライダ素子に関して該第１の面とは反対側の面であり、前記第２の突出部を相対的に回転不可能となるように受け入れる第２の凹部を具備する第２の面とを有するように前記スライダ素子を適応させ、前記第１の突出部を前記第１の凹部内において前記先端面との間に充填された接着剤により前記第１の面に接着し、前記第２の突出部を前記第２の凹部内において前記先端面との間に充填された接着剤により前記第２の面に接着するアクチュエータ素子をスライダ素子に取り付ける方法が提供される。
【００２６】
前記アクチュエータ素子がマイクロアクチュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップスライダであることが好ましい。
【００２７】
前記マイクロアクチュエータが圧電マイクロアクチュエータであることが好ましい。
【００２８】
前記接着剤がエポキシであることが好ましい。
【００２９】
前記第１の凹部に対する前記第１の突出部の形状及び前記第２の凹部に対する前記第２の突出部の形状が、前記エポキシの硬化工程における前記スライダの回転運動を阻止するものであることが好ましい。
【００３０】
前記スライダ素子がほぼボックス形状であり、該スライダ素子が、前記第１及び第２の凹部と共に、スライダ材料による矩形の表面形状を有する大きなバーを該大きなバーの長さ方向と垂直方向に切断して前記大きなバーの前記長さ方向とは垂直な長さ方向を有する矩形の表面形状を有する小さなバーを形成し、該小さなバーの第１の面に沿って規定された縦方向深さだけ切削することにより前記第１の凹部を形成し、該小さなバーの前記第１の面とほぼ平行な第２の面に沿って前記規定された縦方向深さだけ切削することにより前記第２の凹部を形成し、前記小さなバーを該小さなバーの長さ方向と垂直方向に切断することによって形成されることが好ましい。
【００３１】
本発明によれば、一端がアクチュエータ基部に連結された第１のアームと一端が該アクチュエータ基部に連結されかつ前記第１のアームにほぼ平行な第２のアームとから少なくとも形成されたほぼＵ形状の構造を有するアクチュエータ素子に取り付けられるべくスライダ素子を適応させ、前記第１のアームが平坦な先端面を有する第１の突出部を有しており、前記第２のアームが前記第１の突出部の前記先端面とほぼ反対方向を向いておりかつ該先端面とほぼ平行かつ平坦な先端面を有する第２の突出部を有し、浮上面側に縁部を残して設けられた第１の段を具備する第１の面と、前記スライダ素子に関して該第１の面とは反対側の面であり、浮上面側に縁部を残して設けられた第２の段を具備する第２の面とを有し、前記第１の段が前記第１の突出部を相対的に回転不可能となるように受け入れかつ前記第２の段が前記第２の突出部を相対的に回転不可能となるように受け入れるべく前記スライダ素子を適応させ、前記第１の突出部を前記第１の段の位置において前記先端面との間に充填された接着剤により前記第１の面に接着し、前記第２の突出部を前記第２の段の位置において前記先端面との間に充填された接着剤により前記第２の面に接着するアクチュエータ素子をスライダ素子に取り付ける方法が提供される。
【００３２】
前記アクチュエータ素子がマイクロアクチュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップスライダであることが好ましい。
【００３３】
前記マイクロアクチュエータが圧電マイクロアクチュエータであることが好ましい。
【００３４】
前記接着剤がエポキシであることが好ましい。
【００３５】
前記第１の段が前記第１のアームを受け入れ、前記第２の段が前記第２のアームを受け入れることにより、前記エポキシの硬化工程における前記スライダの回転運動を阻止することが好ましい。
【００３６】
前記スライダ素子が、前記第１及び第２の面とほぼ垂直な面であり、浮上面側に縁部を残して設けられた第３の段を具備する第３の面を有していることが好ましい。
【００３７】
前記第３の段が、スライダ重量を低減するためのものであることが好ましい。
【００３８】
前記スライダ素子がほぼボックス形状であり、該スライダ素子が、前記第１及び第２の段と共に、第１の切削幅を有する工具によりスライダ材料による矩形の表面形状を有するバーを該バーのある位置において長さ方向と垂直方向に切削して規定された深さの溝を形成し、前記第１の切削幅より小さい切削幅を有する工具により前記バーを前記位置において前記長さ方向と垂直方向に切断することによって形成されることが好ましい。
【００３９】
前記スライダ素子がほぼボックス形状であり、該スライダ素子が、前記第１、第２及び第３の段と共に、第１の切削幅を有する工具によりスライダ材料による矩形の表面形状を有するバーを該バーの長さ方向と平行方向にある深さだけ切削し、第２の切削幅を有する工具により該バーを該バーのある位置において長さ方向と垂直方向に切削してある深さの溝を形成し、前記第２の切削幅より小さい第３の切削幅を有する工具により前記バーを前記位置において前記長さ方向と垂直方向に切断することによって形成されることが好ましい。
【００４０】
本発明によれば、一端がアクチュエータ基部に連結された第１のアームと一端が該アクチュエータ基部に連結された第２のアームとから少なくとも形成され、かつ前記第１のアームが平坦な先端面を有する第１の突出部を有し、前記第２のアームが前記第１の突出部の前記先端面とほぼ反対方向を向いておりかつ該先端面とほぼ平行かつ平坦な先端面を有する第２の突出部を有するようにほぼＵ形状の構造を有するアクチュエータ素子に取り付けられるようにスライダ素子を適応させ、前記第１の突出部の前記先端面に部分的に当接するようにかつ該先端面と共に部分的窪みを提供する第１の凹部を備えた第１の面と、前記第２の突出部の前記先端面に部分的に当接するようにかつ該先端面と共に部分的窪みを提供する第２の凹部を備えた第２の面とを有するように前記スライダ素子を適応させ、前記第１の突出部を前記部分的窪み内に充填された接着剤により前記第１の面に接着し、前記第２の突出部を前記部分的窪み内に充填された接着剤により前記第２の面に接着するアクチュエータ素子をスライダ素子に取り付ける方法が提供される。
【００４１】
前記アクチュエータ素子がマイクロアクチュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップスライダであることが好ましい。
【００４２】
前記マイクロアクチュエータが圧電マイクロアクチュエータであることが好ましい。
【００４３】
前記接着剤がエポキシであることが好ましい。
【００４４】
前記第１のスライダ接着面が前記第１のアーム接着面に部分的に当接されて前記部分的窪みを提供し、前記第２のスライダ接着面が前記第２のアーム接着面に部分的に当接されて前記部分的窪みを提供することによって、エポキシのオーバーフローを阻止することが好ましい。
【００４５】
前記スライダが、ほぼボックス形状であり、第１の切削幅を有する工具により矩形面形状のバーを該バーのある位置において長さ方向と垂直に規定された深さまで切削して規定された長さのスリットを該バーに形成し、前記第１の切削幅より小さい切削幅を有する工具により前記バーを前記位置において前記長さ方向と垂直に切断することによって形成されることが好ましい。
【００４６】
【発明の実施の形態】
図３は、本発明によるＵ形状マイクロアクチュエータを備えたハードディスク駆動装置のヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）を示す図である。
【００４７】
１つの実施形態において、スライダ３０２は、２つの個所３０４において、Ｕ形状マイクロアクチュエータ３０６に接着されている。さらに、１つの実施形態では、Ｕ形状マイクロアクチュエータは、ジルコニア支持フレーム（アクチュエータ基部）３０６の各側に圧電ＰＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛）ビーム（アーム）３０８を有している。
【００４８】
図４は、本発明によるＵ形状マイクロアクチュエータを備えたスライダを詳細に示す分解図である。
【００４９】
ＰＺＴ材料は異方性構造を有しており、これにより正負イオン間の電荷分離が電気的双極動作を行う。分極された圧電体間に電位が印加されると、ワイス（Ｗｅｉｓｓ）領域は電圧に比例してその配向を増大させ、その結果、ＰＺＴ材料の構造的な変形（即ち、部分的な膨張／収縮）を発生させる。ＰＺＴ構造４０２が（そろった状態で）曲がると、ＰＺＴ構造４０２に接着されているジルコニアアーム４０４も曲がり、これによりマイクロアクチュエータ４０８に関するスライダ４０６の位置が調整される（磁気ヘッドの精密な位置調整のため）。
【００５０】
図５は、エポキシなどの接着剤によりスライダをＵ形状マイクロアクチュエータに接着する工程において生じる２つの異なる問題点を説明するための図である。
【００５１】
Ｕ形状マイクロアクチュエータ５０２は、エポキシによって２つの個所５０６でスライダ装置５０４に接着される。
【００５２】
図５（Ａ）は、接着工程中のエポキシのオーバーフローを含む１つの問題点を説明している。エポキシは硬化する間にその一部５０８がスライダ表面にオーバーフローする可能性がある。スライダ装置の寸法が非常に小さいことから、正確な量のエポキシ（又は他の接着剤）を均一に供給することが難しい。余分なエポキシが供給されると、それは５０８に示すようにスライダ表面にオーバーフローするかもしれない。このオーバーフローはスライダ５０４の浮上量に影響を与える。即ち、浮上量が高くなり過ぎて所望のトラックから外れる磁気的干渉や、浮上量が低くなり過ぎてディスク表面が損傷することを起し得る。
【００５３】
図５（Ｂ）は、エポキシが所望の接着部５０６を越えて、位置５１０へオーバーフローする問題点を表している。この位置５１０にエポキシがオーバーフローすることによって、マイクロアクチュエータ５０２に対するスライダ５０４の動きが制限されるか又は（マイクロアクチュエータ５０２に対する）スライダ５０４の動きがアシメトリ（非対称）となってしまう。
【００５４】
図６は、エポキシなどの接着剤を用いる場合に生じる２つの他の問題点を説明するための図である。
【００５５】
図６（Ａ）に示すように、エポキシが硬化する間にスライダ６０２はマイクロアクチュエータ６０４に対してシフトし、マイクロアクチュエータ６０４に関するスライダ６０２の部分的なアシメトリが生じる。これは、動作中に、スライダ６０２のマイクロアクチュエータ６０４に対する動き範囲を制限するなどの問題を引き起こす。同様に、図６（Ｂ）に示すように、エポキシが硬化する間にスライダ６０２はマイクロアクチュエータ６０４に対してシフトし、マイクロアクチュエータ６０４に関するスライダ６０２の回転が生じる。これによって生じるスライダ６０２の向きの変化は、スライダ６０２の浮上量及び浮上制御に悪影響を与える。さらに、これは、スライダ６０２の動作中にスライダがサスペンションに接触してしまうことを招くかもしれない。
【００５６】
図７は、図６で説明したスライダアシメトリの問題点及びスライダ回転の問題点を解消するための、本発明による改善された構造を説明するための図である。
【００５７】
図７（Ａ）に示す第１の構造は、回転の問題点及びアシメトリの問題点を解消する。本発明の１つの実施形態において、マイクロアクチュエータ７０４の各アーム７０８上の突出部７０８を受ける凹領域７０２がスライダ７０６の互いに反対側となる側面に設けられている。これにより、マイクロアクチュエータに対するＺ−Ｘ平面内又はＺ−Ｙ平面内におけるスライダの回転動作を阻止することができる。
【００５８】
図７（Ｂ）に示す第２の構造は、回転の問題点を解消する。本発明の１つの実施形態において、マイクロアクチュエータ７１４のアームにオーバーラップする縁部（ｌｉｐ）７１２を残して段（ステップ）７１０がスライダ７０５の互いに反対側となる側面に設けられている（サイドステップスライダ）。これにより、マイクロアクチュエータに対するＺ−Ｙ平面内におけるスライダの回転動作を阻止することができる。
【００５９】
図８は、スライダ回転の問題点及びエポキシなどの接着剤によりスライダ接着を行う際のオーバーフローの問題点を解消するための、本発明による改善されたさらなる構造を説明するための図である。
【００６０】
図８（Ａ）に示す第３の構造は、第２の構造と同じ方法で（図７（Ｂ）参照）回転の問題点を解消する。さらに、１つの実施形態においては、サイドステップスライダ８０４の前端部に追加の段（ステップ）８０２が設けられており、これによってスライダ８０４の重量が軽減し慣性力が低減するので、精度及び応答性を改善することができる。
【００６１】
図８（Ｂ）に示す第４の構造は、図５に示しかつ既に説明したエポキシオーバーフローの問題点を解消する。前述したように、スライダ８０６及びマイクロアクチュエータ８０８の寸法が非常に小さいことから、正確な量のエポキシ（又は他の接着剤）を均一に供給することは難しい。余分なエポキシが供給されると、それは硬化中にスライダの表面にオーバーフローする（図５参照）。本発明の１つの実施形態において、Ｚ方向の深さが減少された凹領域８１０がスライダ８０６の互いに反対側となる側面に設けられている。これにより、スライダ８０６とマイクロアクチュエータ８０８との間に、両者がアセンブルされた際、部分的な窪み８１０が構成される。この部分的な窪み８１０は、エポキシがスライダ表面８０６に押し出されることを防ぐ。マイクロアクチュエータ８０８の各アームの突出部８１２は、部分的な窪み８１０がＺ方向に減少された深さを有するので、この部分的な窪み８１０内に入ることができない。しかも、この部分的な窪み８１０がエポキシの溜まるより大きな空間を提供するので、接着力を強化することができる。
【００６２】
図９は、本発明による第１の構造の製造工程を説明する図である。１つの実施形態において、スライダ材料によるローバー９０４を切断するために切削砥石車（切削ホイール）９０２が用いられる。バー９０４はその軸方向（長さ方向）と垂直な方向に切断される（９０６参照）。１つの実施形態において、この処理が繰り返され（９０８参照）、個々のサブバーが接着剤によって再連結される（９１０参照）。１つの実施形態においては、再連結されたバー９１８の一方の側面に浅い溝９１３が縦方向に切削形成され、次いで、再連結されたバー９１８の他方の側面９１５にも同様の浅い溝が切削形成される（９１２参照）。次いで、再連結されたバー９１８から複数のサブバーに分離するによって個々のスライダ９１６を形成する。各スライダ９１６は、Ｕ形状のマイクロアクチュエータ（図示なし）と連結される各側面に適切な凹領域９１７を有している（９１４参照）。
【００６３】
図１０は、本発明による第２の構造の製造工程を説明する図である。１つの実施形態において、スライダ材料によるローバー１００４に溝１００６を切削形成するために切削ホイール１００２が用いられる（１００８参照）。バー１００４はその軸方向（長さ方向）と垂直な方向に規定された深さだけ切削され、これにより上述の溝１００６が形成される。１つの実施形態において、溝間が所定長だけ離れるようにこの処理が繰り返される（１０１０参照）。１つの実施形態においては、次いで、厚さがより薄い切削ホイール１０１８によってバー１００４が完全に切断され、各分離されたユニットにステップ１０２０が形成される（１０１２参照）。この処理が繰り返され（１０１４参照）、ステップ１０２４が各側面に形成された個々のサイドステップスライダ１０２２が得られる（１０１６参照）。
【００６４】
図１１は、本発明による第３の構造の製造工程を説明する図である。１つの実施形態において、スライダ材料によるローバー１１０４に規定された深さのステップ１１３２を切削形成するために切削ホイール１１３０が用いられる（１１０７参照）。次いで、第２の構造の製造工程と同様に、バー１１０４に溝１１０６を切削形成するために切削ホイール１１０２が用いられる（１１０８参照）。溝間が所定長だけ離れるようにこの処理が繰り返される（１１１０参照）。１つの実施形態においては、次いで、厚さがより薄い切削ホイール１１１８によってバー１１０４が完全に切断され、各分離されたユニットにステップ１１２０が形成される（１１１２参照）。この処理が繰り返され、ステップが２つの側面（サイドステップ）及び前端部にそれぞれ形成された個々のスライダ１１２２が得られる（１１１４参照）。
【００６５】
図１２は、本発明による第４の構造の製造工程を説明する図である。１つの実施形態において、スライダ材料によるローバー１２０４に半径が減少していくスリット１２０６を切削形成するために丸いエッジを備えた切削ホイール１２０２が用いられる（１２０８参照）。バー１２０４はその軸方向（長さ方向）と垂直な方向に規定された深さかつ規定された距離だけ切削され、これにより上述のスリット１２０６が形成される。１つの実施形態において、スリット間が所定長だけ離れるようにこの処理が繰り返される（１２１０参照）。１つの実施形態においては、次いで、厚さがより薄い切削ホイール１２１８によってバー１２０４が完全に切断され、各分離されたユニットに深さが減少していく凹領域（平面）１２２０が形成される（１２１２参照）。この処理が繰り返され（１２１４参照）、凹領域１２２４が各側面に形成された個々のスライダ１２２２が得られる（１２１６参照）。
【００６６】
以上述べたいくつかの実施形態は全て本発明を例示的に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】磁気ハードディスクから読出しを行うと共に磁気ハードディスクへ書込みを行うように構成された従来の駆動アームを説明する図である。
【図２】従来用いられていたマイクロアクチュエータを説明する図である。
【図３】本発明によるＵ形状マイクロアクチュエータを備えたハードディスク駆動装置のヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）を示す図である。
【図４】本発明によるＵ形状マイクロアクチュエータを備えたスライダを詳細に示す分解図である。
【図５】エポキシなどの接着剤によりスライダをＵ形状マイクロアクチュエータに接着する工程において生じる２つの異なる問題点を説明するための図である。
【図６】エポキシなどの接着剤を用いる場合に生じる２つの他の問題点を説明するための図である。
【図７】スライダアシメトリの問題点及びスライダ回転の問題点を解消するための、本発明による改善された構造を説明するための図である。
【図８】スライダ回転の問題点及び接着剤オーバーフローの問題点を解消するための、本発明による改善された構造を説明するための図である。
【図９】本発明による第１の構造の製造工程を説明する図である。
【図１０】本発明による第２の構造の製造工程を説明する図である。
【図１１】本発明による第３の構造の製造工程を説明する図である。
【図１２】本発明による第４の構造の製造工程を説明する図である。
【符号の説明】
１００  磁気ハードディスク
１０２  ＶＣＭ
１０４  駆動アーム
１０８  記録ヘッド
１１０  マイクロアクチュエータ
２０２、３０２、４０６、５０４、６０２、７０５、７０６、８０４、８０６、９１６、１０２２、１１２２、１２２２  スライダ
２０４  可撓性ビーム
２０６  支持部材
２０８  スライダ抑制機構
３０４、５０６  個所
３０６、４０８、５０２、６０４、７０４、７１４、８０８  Ｕ形状マイクロアクチュエータ
３０８  圧電ＰＺＴビーム
４０２  ＰＺＴ構造
４０４  ジルコニアアーム
５０６  接着部
５０８  スライダ表面のオーバーフロー
５１０  位置
７０２、８１０、９１７、１２２０  凹領域
７０８、８１２  突出部
７１０、１０２０、１１２０、１１３２  ステップ
７１２  縁部
８０２  追加のステップ
９０２、１００２、１０１８、１１０２、１１３０、１２０４  切削ホイール
９０４、１００４、１１０４、１２０４  ローバー
９１３  浅い溝
９１５  側面
９１８  再連結されたバー
１００６、１１０６  溝
１１１８、１２１８  厚さがより薄い切削ホイール
１２０６  スリット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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