(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空処理室に連絡する容積移送式のドライ真空ポンプと、このドライ真空ポンプの吐出側に接続され前記ドライ真空ポンプから大気側へのガスの流れのみを許容する逆止弁と、前記ドライ真空ポンプの吐出側に前記逆止弁に対して並列的に配置され前記ドライ真空ポンプの運転中その吐出側を排気する補助ポンプとを備えた真空排気装置の運転方法であって、
前記ドライ真空ポンプの運転開始時は、前記ドライ真空ポンプの吐出ガスを、前記逆止弁を介して大気へ解放するとともに前記補助ポンプを第１の回転数で駆動することで排気し、
前記ドライ真空ポンプの吸入圧及び／又は吐出圧が第１の設定値にまで低下したときは、前記ドライ真空ポンプの吐出ガスを、前記補助ポンプを前記第１の回転数よりも低い第２の回転数で駆動することで排気し、
前記ドライ真空ポンプの吸入圧及び／又は吐出圧が前記第１の設定値よりも低い第２の設定値にまで低下したときは、前記ドライ真空ポンプと前記補助ポンプとの間を連絡する流路を遮断するとともに、前記補助ポンプの駆動を停止させる真空排気装置の運転方法。
【請求項２】
真空処理室に連絡する容積移送式のドライ真空ポンプと、このドライ真空ポンプの吐出側に接続され前記ドライ真空ポンプから大気側へのガスの流れのみを許容する逆止弁と、前記ドライ真空ポンプの吐出側に前記逆止弁に対して並列的に配置され前記ドライ真空ポンプの運転中その吐出側を排気する補助ポンプとを備えた真空排気装置の運転方法であって、
前記ドライ真空ポンプの運転開始時は、前記ドライ真空ポンプの吐出ガスを、前記逆止弁を介して大気へ解放するとともに前記補助ポンプを第１の回転数で駆動することで排気し、
前記ドライ真空ポンプの駆動電流又は消費電力が第１の設定値にまで低下したときは、前記ドライ真空ポンプの吐出ガスを、前記補助ポンプを前記第１の回転数よりも低い第２の回転数で駆動することで排気し、
前記ドライ真空ポンプの駆動電流又は消費電力が前記第１の設定値よりも低い第２の設定値にまで低下したときは、前記ドライ真空ポンプと前記補助ポンプとの間を連絡する流路を遮断するとともに、前記補助ポンプの駆動を停止させる真空排気装置の運転方法。
【請求項３】
真空処理室に連絡する容積移送式のドライ真空ポンプと、このドライ真空ポンプの吐出側に接続され前記ドライ真空ポンプから大気側へのガスの流れのみを許容する逆止弁と、前記ドライ真空ポンプの吐出側に前記逆止弁に対して並列的に配置され前記ドライ真空ポンプの運転中その吐出側を排気する補助ポンプとを備えた真空排気装置の運転方法であって、
前記ドライ真空ポンプの運転開始時は、前記ドライ真空ポンプの吐出ガスを、前記逆止弁を介して大気へ解放するとともに前記補助ポンプを第１の回転数で駆動することで排気し、
前記ドライ真空ポンプの温度又は前記ドライ真空ポンプの排気ガス温度が第１の設定値にまで低下したときは、前記ドライ真空ポンプの吐出ガスを、前記補助ポンプを前記第１の回転数よりも低い第２の回転数で駆動することで排気し、
前記ドライ真空ポンプの温度又は前記ドライ真空ポンプの排気ガス温度が前記第１の設定値よりも低い第２の設定値にまで低下したときは、前記ドライ真空ポンプと前記補助ポンプとの間を連絡する流路を遮断するとともに、前記補助ポンプの駆動を停止させる真空排気装置の運転方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の真空排気装置の運転方法であって、
前記ドライ真空ポンプが並列的に複数台配置されるとともに、前記複数のドライ真空ポンプの各々の吐出側を前記補助ポンプで共通に排気する真空排気装置の運転方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体製造工程に用いられるドライ真空ポンプの省電力化を図った真空排気装置の運転方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造装置用の真空排気装置としては油回転真空ポンプが用いられていたが、近年、作動油を使用しないクリーンなドライ真空ポンプが利用されている。ここでいうドライ真空ポンプとは、大気圧からの真空排気が可能であり、吸入室にシール油（作動油）を有しない機械的真空ポンプ（以下、同じ。）であって、容積移動型のルーツ型、クロー型、スクリュー型が多く使用されている。これらのポンプはいずれも２軸構造で、一対のロータは互いに僅かの隙間を保って反対方向に回転することで真空排気を行うもので、接触部分をもたないことから寿命が長く、製造装置から流入するガス中に含まれる固形成分も排気でき、腐食性ガスに対しても耐食性を容易に持たせることができる。
【０００３】
しかし、ドライ真空ポンプは、油回転真空ポンプに比べて消費電力が大きいという問題を有している。特に、環境上の問題からエネルギー消費を抑える必要が生じたことと、半導体製造のコストダウンが要求されることから、ドライ真空ポンプの消費電力を５０％以下に抑制したいとの要望が生じている。
【０００４】
例えば、ルーツ型ドライ真空ポンプは、回転軸に沿って複数のロータを備えた回転体を相隣接して設け、相対向したロータが互いに僅かの隙間を保って逆方向に回転してガスの吸入、排気を行うもので、３段から６段のポンプ室から構成され、各段のポンプ室で順次ポンプ作用を行うものである。このポンプでは、ロータの回転により排気ガスを前段部から後段部へと移送するが、ロータ最終段においてガス移送空間が吐出側空間と連通した瞬間に、吐出側気体がポンプ内に逆流して上記ガス移送空間内の排気ガスを圧縮する。したがって、吸入口側を真空に保つためには、圧縮行程で逆流ガスを押し戻してやる必要があり、大気圧からの逆流を受け止めるロータ最終段では、ガスを押し戻すためにポンプ全体の所要動力の約７０％から８０％程度が費やされている。
【０００５】
そこで、特開平６−１２９３８４号公報には、図９に示すように真空処理室１を真空排気するドライ真空ポンプ２の後段に、ドライ真空ポンプ２側から大気側へのガスの流れのみを許容する逆止弁４を設けるとともに、ドライ真空ポンプ２よりも排気容量の小さい補助ポンプ３を上記逆止弁４をバイパスするようにドライ真空ポンプ２の吐出側に設けることによって、ドライ真空ポンプ２の吐出側を大気圧以下に排気しポンプ最終段に逆流するガスの押し戻し仕事を低減する技術が開示されている。
【０００６】
この技術によれば、従来では大気圧とされていたドライ真空ポンプ２の吐出側が補助ポンプ３によって大気圧以下の所定の真空度に排気、維持されるために、ドライ真空ポンプ２への逆流ガスが大幅に低減され、よって、逆流ガスの押し戻しに必要とされる動力を確実に低減することが可能となるので、ドライ真空ポンプ２の駆動電力の大幅な削減つまり省エネルギー（以下、省エネともいう。）化を図ることが可能となる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従来の補助ポンプ３はドライ真空ポンプ２と連動して定常回転数で連続運転しているために、補助ポンプ３の運転時は常に定常回転時の電力を必要とする。したがって、真空処理室１における真空処理（成膜処理）の待機時や、外部信号によりドライ真空ポンプ２の回転数を制御する場合でも補助ポンプ３は常に定常回転で運転されるため、ドライ真空ポンプ２の吐出圧が十分に下がった状態であるにもかかわらず、補助ポンプ３には定常回転時の電力が必要である。つまり、従来の真空排気装置では、ドライ真空ポンプ２の消費電力の低減分が補助ポンプ３の消費電力で減殺されてしまい、真空排気装置全体としての省エネ効率が悪いという問題を有している。
【０００８】
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、補助ポンプの低消費電力化を図ることによって装置全体の効率の良い省エネ化を図ることができる真空排気装置の運転方法を提供することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決するに当たり、本発明の真空排気装置の運転方法は、真空処理室に連絡する容積移送式のドライ真空ポンプと、このドライ真空ポンプの吐出側に接続され前記ドライ真空ポンプから大気側へのガスの流れのみを許容する逆止弁と、前記ドライ真空ポンプの吐出側に前記逆止弁に対して並列的に配置され前記ドライ真空ポンプの運転中その吐出側を排気する補助ポンプとを備えた真空排気装置の運転方法であって、前記ドライ真空ポンプの運転開始時は、前記ドライ真空ポンプの吐出ガスを、前記逆止弁を介して大気へ解放するとともに前記補助ポンプを第１の回転数で駆動することで排気し、前記ドライ真空ポンプの吸入圧及び／又は吐出圧が第１の設定値にまで低下したときは、前記ドライ真空ポンプの吐出ガスを、前記補助ポンプを前記第１の回転数よりも低い第２の回転数で駆動することで排気し、前記ドライ真空ポンプの吸入圧及び／又は吐出圧が前記第１の設定値よりも低い第２の設定値にまで低下したときは、前記ドライ真空ポンプと前記補助ポンプとの間を連絡する流路を遮断するとともに、前記補助ポンプの駆動を停止させる。
【００１０】
補助ポンプの運転制御を行う上で基準となるパラメータは、上述のドライ真空ポンプの吸入圧や吐出圧といった圧力データに限られず、ほかにドライ真空ポンプの駆動電流または消費電力、更にはドライ真空ポンプの温度またはドライ真空ポンプの排気ガス温度に基づいて、補助ポンプの運転状態を制御することも可能である。これらのパラメータは、ドライ真空ポンプの最終段における逆流ガスの押し戻し仕事量に関係する物理量だからである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の各実施の形態について図面を参照して説明する。本実施の形態では、スパッタリングや蒸着など、排気ガス中にポンプ内で析出堆積する成分を含まないプロセス（ライトプロセス）における真空処理室用の真空排気装置を例に挙げて説明する。
【００１２】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態による真空排気装置の概略配管構成を示している。真空処理室１０は、排気配管１１を介してドライ真空ポンプ２０の吸入口２３に連絡している。ドライ真空ポンプ２０の吐出口２４には大気と連絡する吐出配管２５が接続され、この吐出配管２５には上流側からサイレンサ２６、第１バルブ３１ａ及び逆止弁２８が順に設けられている。逆止弁２８は、ドライ真空ポンプ２０側から大気側へのガスの流れを許容しその反対の流れを禁止する機能を有している。また、ドライ真空ポンプ２の吐出側を排気する補助ポンプ３０が、逆止弁２８をバイパスするバイパス配管２７に配置されている。
【００１３】
なお、排気配管１１には、真空処理室１０とドライ真空ポンプ２０との間を連通／遮断するメインバルブが図示せずとも配置されている。また、ドライ真空ポンプ２の上流側にルーツ型ポンプやターボ分子ポンプ等の高真空排気用ポンプが接続されていてもよい。
【００１４】
さて、本実施の形態におけるドライ真空ポンプ２０は、容積移送式のルーツ型ドライ真空ポンプで構成されるが、勿論これに限られず、クロー型やスクリュー型といった他の容積移送式あるいは容積移動型のドライ真空ポンプを用いることも可能である。
【００１５】
ドライ真空ポンプ２０は公知の構成を有し、ハウジング２１内に一対の回転軸ＲＡ（ここでは一方側のみ図示。）が相隣接して収容され、各回転軸ＲＡにはその軸方向に沿って６段のロータＲ１〜Ｒ６が設けられている。各段におけるロータＲ１〜Ｒ６間には互いに僅かな隙間が形成され、ＤＣブラシレスモータ２２により図示しないタイミングギヤを介して各回転軸ＲＡを互いに逆方向へ同期回転させることによって、吸入口２３から吸入したガスを前段側のロータＲ１から後段側のロータＲ６へ順次移送し、吐出口２４から吐出配管２５へガスを送り出すようになっている。これにより、真空処理室１０が所定の真空度にまで真空排気される。
【００１６】
一方、補助ポンプ３０は、ダイアフラムポンプ、ベーンポンプ、ピストンポンプ、スクロールポンプ、ネジ溝ポンプ、多段ルーツポンプ等の容積移送型ポンプであって、ドライ真空ポンプ２０とは独立した駆動源を有し、回転数により排気能力を調整することができるポンプであればよい。補助ポンプ３０の運転状態は、制御装置３３によって制御される。
【００１７】
制御装置３３は、ドライ真空ポンプ２０の吐出口２４から排出されるガスの圧力を検出する圧力センサ（圧力検出手段）３５の出力に基づいて補助ポンプ３０の回転数を制御する本発明の制御手段として構成される。本実施の形態では、圧力センサ３５として半導体トランスジューサ式の圧力センサが用いられている。また、補助ポンプ３０の駆動源としては起動電力の低いＤＣブラシレスモータが採用され、制御装置３３は当該モータに供給する駆動電圧を調整することによって回転数制御を行う一方、当該モータのＯＮ／ＯＦＦ制御によって補助ポンプ３０の運転／停止操作が可能なように構成されている。
【００１８】
なお、ＤＣモータの制御方法は上記のような電圧制御に限らず、例えばＰＷＭ制御なども採用可能である。また、補助モータ３０の駆動源はＤＣモータに限らず、ＡＣモータも適用可能である。この場合の回転数制御方法としては、インバータ制御が代表的である。
【００１９】
また、制御装置３３は、逆止弁２８の上流側に配置される吐出配管２５上の第１バルブ３１ａと、補助ポンプ３０の上流側に配置されるバイパス配管２７上の第２バルブ３１ｂの開閉制御を行うように構成されている。第１、第２バルブ３１ａ，３１ｂはともに圧空式、電磁式、電動式などの全開／全閉の２位置弁であって、本発明に係る流路切替手段を構成する。
【００２０】
次に、以上のように構成される本発明の第１の実施の形態の作用について説明する。図２は、本実施の形態の作用の結果得られるドライ真空ポンプ２０の吸入側圧力および吐出側圧力、ならびに真空排気装置全体の有効電力（消費電力）のタイムチャートの一例と、このときの補助ポンプ３０の運転状態との関係を示している。
【００２１】
真空処理室１０は、ドライ真空ポンプ２０によって大気圧から所定の真空度にまで粗引き排気される。真空処理室１０の圧力は図２Ａに示すように低下する。このとき、第１，第２バルブ３１ａ，３１ｂはともに開弁状態となっている。これにより、ドライ真空ポンプ２０の吐出ガスは逆止弁２８を開弁して大気へ解放されるとともに補助ポンプ３０の排気作用によって減圧される（図２Ｂ）。更に、ドライ真空ポンプ２０の消費電力は、排気動作開始直後は最終段におけるガスの圧縮仕事によって多少上昇するものの、補助ポンプ３０による排気作用によって直ぐに低下するため、装置全体としての消費電力は減少する（図２Ｃ）。
【００２２】
ドライ真空ポンプ２０の吐出側圧力が大気圧以下にまで低下されたことが圧力センサ３５によって検出されると、制御装置３３は第１バルブ３１ａを閉弁し、以後、ドライ真空ポンプ２０の吐出ガスは、第２バルブ３１ｂおよび補助ポンプ３０を介して排出される。これにより、逆止弁２８を介しての大気側からのガスの逆流が確実に防止される。
【００２３】
補助ポンプ３０は運転開始から定常回転数で連続運転されるが、ドライ真空ポンプ２０の吐出側圧力が設定値Ｐ１（例えば１００Ｐａ）にまで低下すると、制御装置３３は、補助ポンプ３０の駆動回転数を予め設定された、定常回転数よりも低い回転数（以下、制御回転数という。）に変更し、補助ポンプ３０の排気速度を低下させる。変更後の回転数（排気速度）は適宜設定可能であるが、圧力Ｐ１以下においてドライ真空ポンプ２０の排気特性に影響を与えず、かつドライ真空ポンプ２０の消費電力が悪化しない程度の排気速度が最低限必要とされる。これにより、補助ポンプ３０の消費電力を低減でき、真空排気装置全体の省エネ化を図ることができる。
【００２４】
ドライ真空ポンプ２０の吐出側圧力が更に低下しこれが設定値Ｐ２（例えば１Ｐａ）に到達すると、制御装置３３は、補助ポンプ３０の運転を停止させるとともに、第２バルブ３１ｂを閉弁する。補助ポンプ３０の停止中は補助ポンプ３０に費やされる消費電力はゼロであるので、真空排気装置全体としての消費電力は瞬間的に大きく低下する（図２Ｃ）。これにより、装置全体の消費電力を短時間ではあるが最小とすることができる。
【００２５】
また、第２バルブ３１ｂの閉弁制御によって、補助ポンプ３０を介しての吐出配管２５へのガスの逆流を防止することができる。特にこの制御は、ルーツ型やスクリュー型（ネジ溝型）等の構造的に吐出弁をもたない真空ポンプが補助ポンプ３０として用いられている場合に必須のものとなり、一方、ベーン型やダイアフラム型等の構造的に吐出弁をもつ真空ポンプが補助ポンプ３０として用いられている場合には、上記逆流防止の確実化を図ることができる。
【００２６】
補助ポンプ３０の停止中、ドライ真空ポンプ２０の内部の放出ガスやバラストガス（Ｎ2 ）により、ドライ真空ポンプ２０の吐出側圧力は徐々に上昇し、これに伴う逆流ガスの押し戻し仕事が増大して装置全体としての消費電力が僅かながらも増大し始める（図２Ｂ，Ｃ）。そして、ドライ真空ポンプ２０の吐出側圧力が設定値Ｐ１にまで上昇すると、制御装置３３は第２バルブ３１ｂを開弁するとともに補助ポンプ３０の運転を再開させ、ドライ真空ポンプ２０の吐出側を排気する。このときの補助ポンプ３０の駆動回転数は、上記制御回転数とされる。
【００２７】
以後、上記の動作を繰り返すことによって、ドライ真空ポンプ２０の吸入側を所定の真空度（例えば１Ｐａ）に維持する。したがって、本実施の形態によれば、補助ポンプ３０の運転状態として、定常回転数よりも低い制御回転数で運転される時間と運転が停止される時間とができるので、従来よりも補助ポンプ３０の低消費電力化を図ることができ、もって、真空排気装置全体の更なる省エネ化を図れる。
【００２８】
（第２の実施の形態）
図３は、本発明の第２の実施の形態を示している。なお、図において上述の第１の実施の形態と対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略するものとする。
【００２９】
本実施の形態では、第１の実施の形態で説明した圧力センサ３５を設ける代わりに、ドライ真空ポンプ２０のモータ２２への入力電流（駆動電流）または消費電力を検出するセンサ３６を設けており、その出力を制御装置３３に供給するようにしている。また、図示せずとも補助ポンプ３０にも当該補助ポンプ３０の駆動電流または消費電力を検出するセンサを設けており、その出力を制御装置３３に供給するようにしている。本実施の形態における制御装置３３は、これらセンサの出力に基づいて検出される真空排気装置全体の消費電力（有効電力）に基づいて、補助ポンプ３０の運転状態を制御するようにしている。
【００３０】
図４を参照して、定常回転数で運転する補助ポンプ３０の作用によりドライ真空ポンプ２０の吐出側圧力が低下することによって真空排気装置全体としての消費電力が低下するのは上述の第１の実施の形態と同様である。そして、制御装置３３は、当該消費電力が設定値Ｗ１まで低下したときに補助ポンプ３０を上記制御回転数にまで低下させ、補助ポンプ３０の消費電力を低減する。一方、装置全体の消費電力が設定値Ｗ２（＜Ｗ１）にまで低下すると、今度は補助ポンプ３０の運転を停止させると同時に第２バルブ３１ｂを閉弁する。これにより、装置全体の消費電力は大きく低下して省エネ化が図られる。補助ポンプ３０の停止によりドライ真空ポンプ２０の吐出側圧力が徐々に上昇し、装置全体の消費電力が設定値Ｗ１にまで増大すると、制御装置３３は第２バルブ３１ｂを開弁するとともに補助ポンプ３０の運転を再開する。このときの補助ポンプ３０の駆動回転数は上記制御回転数とされる。なお、これに限らず、定常回転数で補助ポンプ３０を再起動させるようにしてもよい。
【００３１】
以後、上記の動作を繰り返すことによって、ドライ真空ポンプ２０の吸入側を所定の真空度（例えば１Ｐａ）に維持する。したがって、本実施の形態によれば、補助ポンプ３０の運転状態として、定常回転数よりも低い制御回転数で運転される時間と運転が停止される時間とができるので、従来よりも補助ポンプ３０の低消費電力化を図ることができ、もって、真空排気装置全体の更なる省エネ化を図れる。
【００３２】
なお、上述の補助ポンプ３０の制御方法では、真空排気装置全体の消費電力が設定値Ｗ１に到達した際に定常回転数よりも低い制御回転数で駆動させ、設定値Ｗ２に到達して初めて補助ポンプ３０の駆動を停止させるようにしたが、これに限らず、上記制御回転数による駆動モードを省略して、設定値Ｗ１にまで消費電力が低下した時点で補助ポンプ３０の駆動を停止させるようにしてもよい。
【００３３】
（第３の実施の形態）
図５は、本発明の第３の実施の形態を示している。なお、図において上述の第１の実施の形態と対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略するものとする。
【００３４】
すなわち、本実施の形態においては、ドライ真空ポンプ２０の吸入側圧力を検出する圧力センサ３４を設け、このセンサ３４の出力に基づいて制御装置３３により補助ポンプ３０の運転状態を制御するようにしている。なお、図において圧力センサ３４は、ドライ真空ポンプ２０の吸入口２３に設けられているが、真空処理室１０内に設けられてもよい。圧力センサとしては、ピラニ真空計や隔膜式真空計などを用いることができる。
【００３５】
本実施の形態では、真空処理室１０にて所定の処理が行われているか否かで補助ポンプ３０の運転状態を制御するようにしており、例えば真空処理室にプロセスガスが導入されて所定の成膜処理がなされているときには、当該プロセスガスの導入圧を圧力センサ３４によって検出し補助ポンプ３０を運転させる。この場合、プロセスガスの導入圧に応じて補助ポンプ３０の回転数を調整するようにしてもよい。一方、真空処理室１０が所定の真空度であり、かつプロセスガスが導入されていない場合（スタンバイ状態）は、補助ポンプ３０の運転を停止させるようにしている。本実施の形態によっても、補助ポンプ３０の消費電力が削減されることによって、真空排気装置の駆動電力の省エネ化を図ることができる。
【００３６】
（第４の実施の形態）
図６は、本発明の第４の実施の形態を示している。なお、図において上述の第１の実施の形態と対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略するものとする。
【００３７】
すなわち、本実施の形態においては、ドライ真空ポンプ２０のハウジング温度を検出する温度センサ３７を設け、このセンサ３７の出力に基づいて制御装置３３により補助ポンプ３０の運転状態を制御するようにしている。これは、ドライ真空ポンプ２０の吐出側における逆流ガスの押し戻し仕事に対応して発生する熱（圧縮熱）を検出して、ポンプ２０の吐出側圧力を読み取る構成例であり、検出値が所定以下の場合には補助ポンプ３０の運転を停止させ、あるいは回転数を低下させて、補助ポンプ３０の省エネ化を図るようにしている。
【００３８】
なお、ハウジング２１の表面温度を検出する代わりに、吐出配管２５内の吐出ガス温度を検出するようにしてもよい。温度センサ３７としては、例えば熱電対を使用することができる。なお、本実施の形態においては、外気温度やドライ真空ポンプ２０のもつ熱容量（あるいは吐出配管２５の熱容量）などの影響で、検出感度あるいは応答性に難がある点に留意する必要がある。
【００３９】
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【００４０】
例えば以上の各実施の形態では、本発明に係る流路切替手段を第１，第２バルブ３１ａ，３１ｂの２つの開閉弁で構成したが、これに代えて、例えば図７に示すような三方弁３２で構成することも可能である。なお、逆止弁２８のシール性および圧力変動（脈動）に対する追従性に問題がなければ、第１バルブ３１ａを省略することも可能である。
【００４１】
また、以上の各実施の形態では、補助ポンプ３０の運転状態を制御する上で基準とするパラメータに、ドライ真空ポンプ２０の吸入側または吐出側の圧力、ドライ真空ポンプ２０の駆動電流あるいは消費電力、更にはドライ真空ポンプ２０またはその吐出ガスの温度の何れかを採用したが、これらを組み合わせて、例えばドライ真空ポンプ２０の吸入側および吐出側の圧力の２値を参照して、両者の論理積または論理和をとることによって補助ポンプ３０の運転状態をとるようにしてもよい。
【００４２】
更に、以上の実施の形態では、補助ポンプ３０を単一のドライ真空ポンプ２０の吐出側に接続する構成について説明したが、例えば図８に示すように、複数台（図では３台）並列的に配置されたドライ真空ポンプ２０Ａ〜２０Ｃの吐出側を一台の補助ポンプ３０で排気する構成も、本発明は適用可能である。図示する例は、ドライ真空ポンプ２０Ａ〜２０Ｃ各々に対して逆止弁２８Ａ〜２８Ｃを設けるとともに補助ポンプ３０との間に開閉弁４０Ａ〜４０Ｃを設けている。各ドライ真空ポンプ２０Ａ〜２０Ｃの動作台数によって補助ポンプ３０の吸入ガス量が変化するので、例えばドライ真空ポンプ２０Ａ〜２０Ｃの吐出側に設けた圧力センサ３５の出力に基づいて、制御装置３３によりドライ真空ポンプ２０Ａ〜２０Ｃの動作台数およびその吐出圧に対応した補助ポンプ３０の回転数を調整し、補助ポンプ３０の運転の省エネ化を図ることも可能である。
【００４３】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の真空排気装置の運転方法によれば、ドライ真空ポンプの排気状態に応じて後段側の補助ポンプの運転を制御するようにしているので、補助ポンプの不必要な消費電力を削減でき、真空排気装置全体の省エネ化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態による真空排気装置の配管構成図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態による真空排気装置の作用の一例を示す図であり、Ａはドライ真空ポンプの吸入側圧力、Ｂはドライ真空ポンプの吐出側圧力、Ｃは真空排気装置全体の消費電力、そしてＤは補助ポンプの運転状態をそれぞれ示している。
【図３】本発明の第２の実施の形態による真空排気装置の配管構成図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態による真空排気装置の作用の一例を示す図であり、Ａはドライ真空ポンプの吸入側圧力、Ｂはドライ真空ポンプの吐出側圧力、Ｃは真空排気装置全体の消費電力、そしてＤは補助ポンプの運転状態をそれぞれ示している。
【図５】本発明の第３の実施の形態による真空排気装置の配管構成図である。
【図６】本発明の第４の実施の形態による真空排気装置の配管構成図である。
【図７】本発明における流路切替手段の構成の変形例を示す要部の配管構成図である。
【図８】本発明の真空排気装置の構成の変形例を示す要部の配管構成図である。
【図９】従来の真空排気装置の配管構成図である。
【符号の説明】
１０  真空処理室
２０  ドライ真空ポンプ
２８  逆止弁
３０  補助ポンプ
３１ａ  第１バルブ（流路切替手段）
３１ｂ  第２バルブ（流路切替手段）
３２  三方弁（流路切替手段）
３３  制御装置（制御手段）
３４，３５  圧力センサ（圧力検出手段）
３６  電流センサ（センサ手段）
３７  温度センサ（温度検出手段）
【図１】
0004365059.tif 000002
【図２】
0004365059.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0004365059.tif 000009
【図９】
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