(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子に加えられている回転の回転角速度を検出するための振動型ジャイロスコープであって、
圧電性材料からなる振動子を含み、
前記振動子が少なくとも複数の振動系を備えており、これら複数の振動系が回転軸に対して交差する所定平面内に延びるように形成されており、当該振動系が、振動系の振動の重心が振動子の重心から見て所定平面内で径方向に振動する径方向振動成分を含む第一の振動系と、振動系の振動の重心が振動子の重心から見て所定平面内で周方向に振動する周方向振動成分を含む第二の振動系とを有し、
前記第一の振動系と前記第二の振動系との一方が、振動子に電気的に駆動振動を励起するための駆動振動片、他方が、前記振動子の回転に伴うコリオリ力によって生じた検出振動を検出するための、前記駆動振動片と分離された検出振動片とされており、
さらに前記検出振動片に付着している、前記振動子外部から印加された外部振動に対する振動感度を低減する為の高分子材料製の振動減衰材を備えていることを特徴とする、振動型ジャイロスコープ。
【請求項２】
前記振動減衰材が前記駆動振動片には付着していないことを特徴とする、請求項１記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項３】
前記振動減衰材が、前記振動子の全表面のうち、振動子に電気的に振動を励起したときに前記振動子に生ずる駆動振動モードにおける前記振動子の最大振幅に対する各点の振幅の比率が０．１以上である領域には付着していないことを特徴とする、請求項１または２記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項４】
前記振動子が所定平面内に延びており、前記振動子がこの所定平面方向の一対の主面と、前記所定平面に垂直な側面とを有しており、前記振動子の前記主面および／または側面上に前記振動減衰材が付着していることを特徴とする、請求項１−３のいずれか一つの請求項に記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項５】
前記検出振動片の前記主面の中心軸上であって、振動子の回転に伴うコリオリ力によって振動子に生ずる検出振動モードにおいて前記中心軸の曲率が最大の点を、前記振動減衰材が被覆していることを特徴とする、請求項４記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項６】
前記検出振動片の前記主面の中心軸上であって、振動子の回転に伴うコリオリ力によって振動子に生ずる検出振動モードにおいて応力が最大となる点を、前記振動減衰材が被覆していることを特徴とする、請求項４記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項７】
前記振動子が圧電性単結晶からなり、前記振動子に、前記駆動振動を励起するための駆動電極と、前記検出振動を検出するための検出電極とが設けられていることを特徴とする、請求項１−６のいずれか一つの請求項に記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項８】
前記検出電極の少なくとも前記検出振動片の付け根側の端部上に前記振動減衰材が付着していることを特徴とする、請求項７記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項９】
前記振動減衰材が、−４０℃−＋８５℃の温度範囲における動的粘弾性の変化率が３倍以内である粘弾性体からなることを特徴とする、請求項１−８のいずれか一つの請求項に記載の振動型ジャイロスコープ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動子に加えられている回転の回転角速度を検出するための振動型ジャイロスコープ、およびその製造法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
最近、振動型ジャイロスコープを自動車に搭載し、自動車の車体の方向の制御に使用することが検討されている。こうした用途においては、振動型ジャイロスコープを収容したハウジングを、自動車の車体シャーシに取り付けたときに、シャーシから振動子へと外部振動が伝わり、誤動作やノイズの原因となる。このため、自動車のシャーシから振動子へと伝わる振動によって生ずるノイズを、最小限にする必要がある。
【０００３】
特開平９−２６９２２８号公報においては、音叉型振動子を使用したジャイロにおいて、外部振動によるクロストークノイズを抑制する方法が開示されている。この（０００２）欄によれば、音叉型振動子のベースの長さを適切に調節することによって、振動ノイズの低減を図っている。また、J. Yukawa et al.''Angular Rate Sensor for Dynamic Chassis Control'', Sensors and Ac tuators 980269 第49頁、1998年においては、金属振動子を多結晶圧電素子で駆動するタイプの振動型ジャイロスコープにおいて、振動子のビートに起因して発生する振動ノイズを、駆動周波数と検出モード周波数との周波数差、即ち離調をローパスフィルターによるカットオフ周波数以上、例えば６００Ｈｚまで大きくすることによって抑えている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者は、振動子に対する外部振動の影響を抑制するための研究を行っていた。ところが、この過程で、自動車のシャーシ等から、離調相当周波数の外部振動が振動子に対して加わったときに、振動子から比較的に大きなノイズが発生することを見いだした。そして、例えば自動車のシャーシ等から振動子へと加わる振動は、通常は幅広い周波数領域の振動を含んでいるので、離調相当周波数の外部振動によるノイズを抑制する必要がある。
【０００５】
本発明の課題は、振動子に加えられている回転の回転角速度を検出するための振動型ジャイロスコープにおいて、離調相当周波数の外部振動が振動子に対して外部から加わったときに、振動子からのノイズを抑制できるようにすることである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の態様は、振動子に加えられている回転の回転角速度を検出するための振動型ジャイロスコープであって、圧電性材料からなる振動子を含み、前記振動子が少なくとも複数の振動系を備えており、これら複数の振動系が回転軸に対して交差する所定平面内に延びるように形成されており、当該振動系が、振動系の振動の重心が振動子の重心から見て所定平面内で径方向に振動する径方向振動成分を含む第一の振動系と、振動系の振動の重心が振動子の重心から見て所定平面内で周方向に振動する周方向振動成分を含む第二の振動系とを有し、前記第一の振動系と前記第二の振動系との一方が、振動子に電気的に駆動振動を励起するための駆動振動片、他方が、前記振動子の回転に伴うコリオリ力によって生じた検出振動を検出するための、前記駆動振動片と分離された検出振動片とされており、さらに前記検出振動片に付着している、前記振動子外部から印加された外部振動に対する振動感度を低減する為の高分子材料製の振動減衰材を備えていることを特徴とする。好ましくは、振動減衰材が前記駆動振動片には付着していない。
【０００９】
駆動振動片とは、駆動電極等の駆動手段が設けられている振動片を言う。検出振動片とは、検出電極等の検出手段が設けられている振動片を言う。この態様において好ましくは、検出振動片は、駆動振動モードでは実質的に振動しない。駆動振動モードにおいては、検出振動片における振幅は、最大振幅の０．０１以下であることが好ましい。
【００１０】
また、本発明は、振動子の検出振動モードについて、有限要素法による固有モード解析によって振動子の各点における応力の振動子における最大応力に対する比率を算出した後、この応力が極大になる領域内で振動子の表面に、前記振動子外部から印加された外部振動に対する振動感度を低減する為の高分子材料製の振動減衰材を付着させ、振動型ジャイロスコープを製造する。
【００１１】
本発明者は、検出アームに、高分子材料を含む振動減衰材を付着させることによって、離調相当周波数の外部振動が振動子へと加わったときに、振動ノイズを大きく減少させ得ることを見いだし、本発明に到達した。
【００１２】
この場合においては、検出振動片の全表面のうち、一対の主面のうちの一方の主面、他方の主面、または側面のいずれかに振動減衰材を付着させることができ、あるいは一方の主面と他方の主面、または、一方の主面または他方の主面と側面とに対して、振動減衰材を付着させることができる。また、検出振動片が細長い形状をしている場合（特に長さが幅の３倍以上の場合）には、検出振動片の長さを１としたときに、検出振動片の根元ないし付け根から０．５以下の長さの領域内に、振動減衰材を付着させることが好ましい。検出振動片の先端付近に振動減衰材を付着すると、ジャイロスコープの温度ドリフトが大きくなる悪影響があり、好ましくない。
【００１３】
なお、前記した「Sensors and Actuators 」誌の論文においては、離調をローパスフィルターのカットオフ周波数よりも十分高くすることによって 、離調に起因して振動型ジャイロスコープから検出される振動ノイズを低減する ことを試みている。しかし、本論文では離調相当周波数の外部振動によって振動 子が発生する振動ノイズを改善するものではなく、また、離調を大きくして振動 ノイズをローパスフィルターでカットする方法では、ジャイロの感度が著しく低 下し、Ｓ／Ｎ比が低下する欠点がある。
【００１４】
また、振動子の全表面のうち、少なくとも検出振動モードにおける応力が極大になる領域に、高分子材料製の振動減衰材を付着させることが好ましい。これは、検出振動モードにおける振動子の応力が最大になる領域も含んでいるが、必ずしも応力が最大になる領域でなくともよい。ただし、検出振動モードにおける振動子の最大応力を１．０としたきに、振動減衰材が付着している領域における最小応力は０．０１以上であることが好ましく、最大応力は０．７以上、更には０．８以上であることが好ましい。
【００１５】
このように、振動子の表面のうち、検出振動モードにおける応力が大きい部位に振動減衰材を付着させることによって、離調相当周波数の外部振動による振動ノイズの抑制効果が最も大きくなる。また、応力の大きな領域全体にわたって振動減衰材を広く付着させると、振動減衰材の作製時のバラツキの影響が少なくなる。
【００１６】
特に好ましくは、振動減衰材が、振動子の全表面のうち、駆動振動モードにおける振動子の最大応力に対する各点の各応力の比率が０．１以下である領域に付着している。駆動振動モードにおける応力が大きな領域に振動減衰材を付着させると、振動子の駆動インピーダンスが高くなり、振動子の駆動に必要な駆動電圧が大きくなり、ジャイロスコープ全体の消費電力が大きくなる。
【００１７】
好ましくは、振動減衰材が、振動子の全表面のうち、駆動振動モードにおける振動子の最大振幅に対する各点の各振幅の比率が０．１以上である領域には付着していない。駆動振動モードにおける振幅が大きな領域に振動減衰材を付着させると、振動子の駆動インピーダンスが高くなり、振動子の駆動に必要な駆動電圧が大きくなり、ジャイロスコープ全体の消費電力が大きくなるばかりでなく、振動減衰材の粘弾性特性の温度変化の影響が顕著になり、ジャイロスコープの温度ドリフトが大きくなる。この悪影響は、特に、振動子が水晶などの圧電性単結晶からなる場合に顕著である。
【００１８】
検出振動モードにおいて、振動子が所定平面内で振動し、振動子が平板状をなしている場合には、検出振動モードにおける最大応力を有する部位が、振動子の検出振動片の側面に位置することが多い。この場合には、検出振動片の側面上に振動減衰材を設けることが好ましい。しかし、側面上の最大応力部位において、検出振動片の一対の主面の一方または双方上に振動減衰材を設け，側面上には振動減衰材を設けない場合にも、本発明の効果は得られる。また、検出振動片の検出電極上に振動減衰材を設けることが好ましい。
【００１９】
特に好適な実施形態では、検出振動片内のみに振動減衰材を設け、振動子の他の部分には振動減衰材を設けないようにできる。
【００２０】
振動子は、エリンバー等の恒弾性合金から構成することができ、この場合には振動子上に多結晶圧電素子を設ける。しかし、特に好ましくは、振動子が圧電性単結晶からなり、振動子に、駆動振動を励起するための駆動電極と、検出振動を検出するための検出電極とを設ける。圧電性単結晶は、通常極めて低い粘性しか有していないので、本発明による高分子材料製の振動減衰材の効果が特に大きい。圧電性単結晶には、水晶、ＬｉＴａＯ３  単結晶、ＬｉＮｂＯ３  単結 晶などがある。
【００２１】
振動減衰材の材質は、振動型ジャイロスコープの使用温度範囲、即ち−４０℃−＋８５℃の温度範囲において動的粘弾性変化の小さい粘弾性体であることが好ましい。具体的には、−４０℃−＋８５℃の温度範囲における動的粘弾性の変化率が３倍以内であることが望ましい。こうした粘弾性体としては、シリコーン樹脂の他、エチレンプロピレンゴム、ブチルゴム、ウレタンゴムなどの合成ゴム、テフロン、四フッ化エチレン樹脂などのフッ素樹脂、塩化ビニール、ナイロン、ポリエチレンなどがある。また、粘弾性体の動的弾性率は１０２  −１０１０Ｐａが好ましく、動的損失は１０１  −１０８  Ｐａが好ましい。振動減衰材の 厚さは、動的粘弾性の大きさに大凡反比例して調整する。
【００２２】
振動減衰材の形成方法は限定されない。例えば、未硬化の液状原料を、振動子上に塗布、ポッティング、スプレー塗布することで、塗布膜を形成できる。例えば、脱アルコール型、脱アセトン型、脱オキシム型、脱酢酸型、付加反応型などの種々のシリコーン接着剤を、ディスペンサーによって振動子上にポッティングし、付着させることができる。液状原料を振動子上に塗布またはポッティングする場合には、液状原料の粘性を１００Ｐａ・ｓ以下とすることによって、液状原料の付着面積を容易に広くでき、かつ塗布膜の厚さを均一にできる。また、高分子材料からなるシートや平板状成形体を振動子に接着、粘着することができる。
【００２３】
振動型ジャイロスコープ内では、振動子に接触する各部材は、振動子の重心ＧＯに対して対称となるように配置することが好ましい。例えば、振動子の各電極と電気回路とを接続するための引き出し線を、振動子の重心ＧＯに対して対称に配置することが好ましい。
【００２４】
振動子をカンパッケージなどの基材に対して固定するための支持部材は、振動子よりも弾性率の小さな材料、例えば高分子材料からなる緩衝部材を介して振動子に接触していることが好ましい。この場合、振動子は、緩衝部材の変形によって、支持部材を中心としたねじれ振動モードやたわみ振動モードを有する。これらの各振動モードの各固有振動数が２００Ｈｚ〜２ｋＨｚとなるように、緩衝部材の弾性率、寸法、形状を調整する。
【００２５】
本発明は、下記のタイプの横置き型の振動型ジャイロスコープに対して、特に好適に適用できる。この振動子は、所定の回転軸を中心として回転させるための振動子であって、この振動子が少なくとも複数の振動系を備えており、これら複数の振動系が回転軸に対して交差する所定面内に延びるように形成されており、振動系が、振動系の振動の重心が振動子の重心から見て所定面内で径方向に振動する径方向振動成分を含む第一の振動系と、振動系の振動の重心が振動子の重心から見て所定面内で周方向に振動する周方向振動成分を含む第二の振動系とを備えている。
【００２６】
なお、周方向に振動する振動成分とは、重心ＧＯから見て所定面内で円周方向に振動する振動成分のことを指している。径方向に振動する成分とは、重心ＧＯからみて所定面内で円の直径方向に振動する振動成分のことを指しており、つまり、重心ＧＯに対して遠ざかる方向と近づく方向とに対して交互に振動する成分のことを言う。
【００２７】
前記した第一の振動系と第二の振動系とは、すべて何らかの形で連結され、所定面内に延びる振動子を形成している。こうした振動子を、回転軸Ｚを中心として矢印ωのように回転させることで、回転角速度の検出を行える。
【００２８】
また、好適な実施形態においては、駆動振動系が、基部の周縁部から延びる細長い支持部と、この支持部から支持部に対して交差する方向に延びる少なくとも一片の駆動振動片とを備えており、駆動振動片がその連結部への付け根を中心として所定面内で屈曲振動し、振動子が所定面内で回転したときに支持部がその基部への付け根を中心として所定面内で屈曲振動する。
【００２９】
更に好ましくは、検出振動系が、周縁部から延びる細長い検出振動片を備えており、この検出振動片が、振動子が所定面内で回転したときに検出振動片の基部への付け根を中心として所定面内で屈曲振動する。
【００３０】
この実施形態において特に好ましくは、振動子が所定面内で回転したときに、駆動振動系の支持部および検出振動片が、その基部への付け根を中心として所定面内で屈曲振動すると共に、支持部の振動の位相と検出振動片の振動の位相（重心ＧＯを中心として回転方向に見たとき）とが、互いに逆である。
【００３１】
好ましくは、各駆動振動系が、重心ＧＯを中心として回転対称の位置にある。例えば、図１においては、駆動振動系２Ａと２Ｂとは、１８０°離れているので、駆動振動系２Ａを１８０°回転させる操作を行うと、駆動振動系２Ｂの位置にくる。この回転対称は、２回対称、３回対称、４回対称であることが好ましい。
【００３２】
本発明において好ましくは、振動子の変位が主として所定面内で生ずる。こうした場合に、前記ノイズが特に問題となり易い。
【００３３】
特に好適な実施形態においては、基部が所定面内において、振動子の重心に対して回転対称の形状を有している。このように対称性の高い基部を使用することによって、振動子に対して外部振動が加わったときの不正規な振動の発生を一層抑制できる。この「回転対称」は、前述したような意味である。基部の位置は、３−６回対称であることが好ましく、４回対称であることが一層好ましい。
【００３４】
図１は、この態様に係る圧電単結晶製の振動子１を備えた振動型ジャイロスコープを、概略的に示す平面図である。基部６は、振動子の重心ＧＯを中心として、４回対称の正方形をしている。基部６の周縁部６ａから、四方に向かって放射状に、二つの駆動振動系２Ａ、２Ｂ（本例では第一の振動系）と検出振動系３Ａ、３Ｂ（本例では第二の振動系）とが突出しており、各振動系は互いに分離されている。駆動振動系２Ａと２Ｂとは、重心ＧＯを中心として２回対称であり、検出振動系３Ａと３Ｂとは、重心ＧＯを中心として２回対称である。振動子はＸ−Ｙ平面内に延びており、Ｚ軸を中心としてωのように回転する。
【００３５】
駆動振動系２Ａ、２Ｂは、基部６の周縁部６ａから突出する支持５Ａ、５Ｂと、支持部５Ａ、５Ｂの先端５ｂ側から支持部に直交する方向に延びる屈曲振動片４Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄを備えている。各屈曲振動片４Ａ−４Ｄには、それぞれ駆動電極１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ、１３Ｄが設けられている。各検出振動系３Ａ、３Ｂは、細長い周方向屈曲振動片１６からなり、各屈曲振動片１６には検出電極１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄが設けられている。
【００３６】
図１および図２（ａ）に示すように、各屈曲振動片１６の基部領域１６ａにおいて、振動子の一方の主面１０上に、振動減衰材１７Ａが付着している。また、図２（ｂ）に示すように、各屈曲振動片１６の基部領域１６ａにおいて、振動子の一方の主面１０上および他方の主面１５上に、それぞれ振動減衰材１７Ａ、１７Ｄを付着させることができる。また、図２（ｃ）に示すように、各屈曲振動片１６の基部領域１６ａにおいて、振動子の一方の主面１０上、他方の主面１５および一対の側面１１、１２上に、それぞれ、振動減衰材１７Ａ、１７Ｄ、１７Ｂを付着させることができる。
【００３７】
こうした検出振動片の付け根領域は、通常は、検出振動モードにおいて、振動子の応力が極大の領域になる。本例について、振動子の各点の振動振幅及び応力を算出した結果について述べる。
【００３８】
本発明者は、図１の振動子について、駆動振動モードおよび検出振動モードに於ける振動子の振動分布を調べるため、有限要素法による固有モード解析を実施した。そして、振動子を水晶によって作製し、振動子の各点の振動の振幅を、最大振動振幅点に対する比率の分布として求めた。
【００３９】
図４には、振動子の各点の駆動振動モードにおける最大振動時の振幅の相対比率を示し、図５には、振動子の各点の検出振動モードにおける最大振動時の振幅の相対比率を示している。図４の駆動モードにおいては、各屈曲振動片が、支持部５Ａ、５Ｂの先端部分５ｂ付近を中心として矢印Ａのように屈曲振動している。図５の検出モードにおいては、支持部５Ａ、５Ｂが、固定部５ａを中心として周方向に屈曲振動し、これに対応して、検出振動系の屈曲振動片１６が矢印Ｂのように屈曲振動している。
【００４０】
図４および図５において、それぞれ色の異なる領域は、各別に異なる最大振動振幅点との比率の領域を示す。橙色の部分が、振幅が最小の領域となる。
【００４１】
図４によると、各支持部５Ａ、５Ｂの基部６に対する固定部５ａの近辺では、各駆動振動系の振動に伴って引っ張り応力が加わり、変形が見られる。しかし、この変形の影響は、各駆動振動系２Ａと２Ｂとが２回対称の位置に配置されていることから、基部内において互いに相殺し合う。このため、基部の中心付近、そして駆動振動系に挟まれた検出振動系３Ａ、３Ｂにおいては、駆動振動による影響が見られなくなっている。
【００４２】
図５によると、各駆動振動系２Ａと２Ｂとから基部に加わる影響が相殺し合っている。しかも、各検出振動系３Ａ、３Ｂから基部に加わる影響も、各検出振動系が２回対称の位置に配置されていることから、基部内において互いに相殺し合う。この結果、基部の中心付近８（図１および図５参照）においては、検出振動による影響が見られなくなっている。
【００４３】
また、検出振動片の上、好ましくはその主面上および／または側面上に検出電極が設けられている場合には、その検出電極の少なくとも一部の上に振動減衰材を設けることが好ましく、検出電極の少なくとも検出振動片付け根側の端部に設けることが好ましい。なぜなら、検出振動片の振動を効率よく信号に変換するために、検出電極の付け根側の端部は、通常、検出振動片中で最も歪みまたは応力が大きい領域であるため、離調相当周波数の外部振動が振動子へと加わったときの振動ノイズの抑制に対する振動減衰材の効果が大きいからである。
【００４４】
この際、振動減衰材を、検出電極の検出振動片付け根側の端部と、検出振動片の検出信号が設けられていない表面上との双方を被覆するように設けることが、特に好ましい。
【００４５】
好ましくは、検出振動の振幅が最小の領域８内において、振動子１を支持し、固定する。または支持孔７を形成する。
【００４６】
また、本例においては、図１、図４におけるように、駆動振動が最も小さい領域内に、振動子の重心ＧＯが位置している。また、検出振動が最も小さい領域内に、振動子の重心ＧＯが位置している。
【００４７】
上記の有限要素法による固有モード解析によって、図３に示す応力分布が得られる。ただし、図３においては、各点における応力の最大応力に対する比率を、色分けして示している。最大応力を１．０とし、応力０と応力１．０との間を九等分してある。この場合には、例えば図６（ａ）に示すように、主面１０上では、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄのように、応力が層状に分布している。ただし、Ａは、応力比率が１−６／９であり、Ｂは、応力比率が６／９−５／９であり、Ｃは５／９−３／９であり、Ｄは３／９−２／９である。
【００４８】
この場合には、図６（ｂ）に示すように、振動片の側面１１、１２上に、応力分布の特に大きな領域Ａ−Ｃが、主面上におけるよりも大きな面積で出している。
【００４９】
以上の例では、図６（ａ）に示すように、一方の主面１０（また他方の主面１５）の付け根領域に振動減衰材を設けることができ、また図６（ｂ）に示すように、側面１１上または１２上に振動減衰材を設けることができる。
【００５０】
次に振動子の具体的な支持方法について例示する。
【００５１】
図７（ａ）においては、支持部材の突起２１を支持孔２２の下方に配置し、振動子の主面と突起２１とを、緩衝部材２５を介して接合する。図７（ ｂ）においては、振動子の支持孔２２を挟むように、振動子の上下に突起２１Ａ 、２１Ｂを設置し、支持孔２２の中と、振動子２０と突起２１Ａおよび突起２１ Ｂとの間に、高分子材料２５を充填し、緩衝部材を形成する。また、図７（ｃ）に示すように、支持部材２３の突起２３ａを支持孔２２中に挿入し、挿通し、支持部材２３の端面と振動子２０との間、および突起２３ａと支持孔２２の内周面との間に、緩衝部材２５を形成する。また、図７（ｄ）においては、突起２３の方にピン２３ａを設け、他方の突起２４の方に孔２４ａを設け、突起２３と２４とを、振動子２０の支持孔２２を挟むように上下に配置し、ピン２３ａを支持孔２４に挿入し、貫通させ、更に孔２３ａに挿入する。そして、突起２３および２４の各端面と振動子２０との間、および突起２３ａと支持孔２２の内壁面との間に、高分子材料２５を充填する。
【００５２】
【実施例】
（実施例１、比較例１）
図１に示す振動型ジャイロスコープを作製した。具体的には、厚さ０．３ｍｍの水晶のＺ板のウエハーに、スパッタ法によって、所定位置に、厚さ２００オン グストロームのクロム膜と、厚さ５０００オングストロームの金膜とを形成した 。ウエハーの両面にレジストをコーティングした。
【００５３】
このウエハーを、ヨウ素とヨウ化カリウムとの水溶液に浸漬し、余分な金膜をエッチングによって除去し、更に硝酸セリウムアンモニウムと過塩素酸との水溶液にウエハーを浸漬し、余分なクロム膜をエッチングして除去した。温度８０℃の重フッ化アンモニウムに２０時間ウエハーを浸漬し、ウエハーをエッチングし、振動子の外形を形成した。メタルマスクを使用して、厚さ２０００オングストロームのアルミニウム膜を電極膜として形成した。
【００５４】
得られた振動子の基部６の寸法は６．０ｍｍ×６．０ｍｍであり、各検出振動片１６の寸法は、幅１．０ｍｍ×長さ６．０ｍｍであった。検出電極 １４Ａ−１４Ｄの寸法は、幅０．６ｍｍ×長さ２．８ｍｍであり、検出振動片１ ６の付け根から１．２−４．０ｍｍの位置に形成されていた。
【００５５】
実施例１においては、振動子の２本の検出振動片の各付け根領域の一方の主面１０上に、それぞれ図１に示すように、振動減衰材１７Ａを形成した 。この際には、ディスペンサーを用いて、シリコーン樹脂接着剤（一液性脱アル コール型シリコーン樹脂、室温硬化型、動的弾性率５×１０６  Ｐａ、動的損失５ ×１０５  Ｐａ）をポッティングし、室温で硬化させた。振動減衰材１７Ａは、検 出振動片の付け根から０．５−１．９ｍｍの位置に形成されていた。図７（ｃ） に示すように、振動子の中央部に０．７５ｍｍ×０．７５ｍｍの正方形の支持孔 を形成し、この振動型ジャイロスコープ孔に直径０．６ｍｍの金属ピンを通し、 金属ピンに対して振動子をシリコーン樹脂接着剤によって接着した。
【００５６】
また、実施例１において、振動減衰材を設けないこととし、比較例１の振動型ジャイロスコープを得た。
【００５７】
各振動型ジャイロスコープについて、振動子の電気インピーダンス特性を測定した。即ち、駆動電極間および検出電極間の各々について、インピーダンスアナライザを用いて、電気インピーダンスの周波数変化を測定し、共振周波数と共振先鋭度Ｑ値とを見積もった。また、各振動型ジャイロスコープについて、ジャイロセンサー特性と振動ノイズ特性を測定した。ジャイロセンサー特性は、振動型ジャイロスコープを回転テーブルに取り付け、回転時および静止時について、ロックインアンプを用いて、検出電極から取り出した信号のうち、駆動 信号と同期する成分のみの強度を測定し、測定によって得られた回転時の角速度 当たりの信号強度（＝ジャイロ感度）と静止時の信号強度（＝０点信号）との比 率から、Ｓ／Ｎ比を算出した。振動ノイズ特性は、振動型ジャイロスコープを加 振機に取り付け、１００−３００Ｈｚの周波数で加振した場合について、ロック インアンプを用いて信号強度を測定し、加振加速度当たりの信号強度（＝振動感 度）のピーク周波数とピーク値を求めた。これらの結果を表１に示す。
【００５８】
【表１】
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【００５９】
また、図８には、実施例１における振動感度と加振周波数との関係を示し、図９には、比較例１における振動感度と加振周波数との関係を示す。実施例１では、比較例１と比較して、Ｓ／Ｎ比が低下することなく、振動ノイズが１／６以下にまで著しく減少していた。
【００６０】
また、本発明において、検出振動片の一方または双方の主面上に振動減衰材を設ける場合には、少なくとも、検出振動片の主面の中心軸上であって、検出振動モードにおいて中心軸の応力が最大の点を被覆するように、振動減衰 材を設けることが好ましい。
【００６１】
実施例１の振動子を例にとって、本発明のこの態様を説明する。図３においては、検出振動モードにおける検出振動片の中心軸上の応力の最大応力 に対する比率は、いずれも０−１／９未満となっており、このために中心軸上に おいて応力が最大の点ないし領域は明らかではない。しかし、図１０に示すよう に、検出振動片の各点における応力の最大応力に対する比率を、０／２０から８ ／２０まで１／２０単位に分けて表示すると、検出振動片の主面上における応力 が最大の点が明らかになる。
【００６２】
即ち、図１０を分かりやすくするために図１１の線図に書き直す。ここで、検出振動片１６の主面１０の中心軸は、振動子の検出モードにおいては 、図１１の３０に示すように若干湾曲し、振動する。ただし、Ｆは応力の最大値 に対する比率が４／２０−２０／２０の領域であり、Ｇは、この比率が３／２０ −４／２０の領域であり、Ｈは、この比率が２／２０−３／２０の領域であり、 Ｉは、この比率が１／２０から２／２０の領域である。図１１から分かるように 、主面１６の中心軸３０は、主として領域Ｉに属しているが、検出振動片の付け 根近くの領域３１においては、より応力の大きい領域Ｈに属している。この領域 ３１の少なくとも一部を覆うように、好ましくは領域３１の全体を覆うように、 振動減衰材を設けることが好ましい。
【００６３】
更に詳しく検討すると、実施例１においては、図１２のグラフに示すように、応力が最大の点３５は、検出振動片の根元から約１．７ｍｍの位置に 存在していたので、この点３５を被覆するように振動減衰材を設けることが好ま しい。
【００６４】
また、本発明において、検出振動片の一方または双方の主面上に振動減衰材を設ける場合には、少なくとも、検出振動モードにおいて曲率が最大と なる点を被覆するように、振動減衰材を設けることが好ましい。図１０、図１１ のような結果から、主面の中心軸上において中心軸の曲率が最大の点は、容易に 算出できる。
【００６５】
（実施例２および比較例２）
実施例１、比較例１と同様にして、それぞれ実施例２、比較例２の各振動型ジャイロスコープを製造した。ただし、実施例２、比較例２においては、振動子に 支持孔がなく、振動子の中央部に、直径４ｍｍの円柱形状の金属ピンの端面を、 直径３．５ｍｍ、厚さ０．４ｍｍのシリコーン樹脂接着剤層を介して接着した。 各振動型ジャイロスコープについての測定結果を表２に示す。
【００６６】
【表２】
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【００６７】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、振動子に加えられている回転の回転角速度を検出するための振動型ジャイロスコープにおいて 、離調相当周波数の外部振動が振動子に対して外部から加わったときに、振動子 からのノイズを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係る振動型ジャイロスコープを模式的に示す平面図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ、検出振動片と振動減衰材との位置関係を例示する正面図である。
【図３】図１の振動子の検出振動モードにおける応力分布を示す図である。
【図４】図１の振動子の駆動振動モードにおける各点の振幅の最大振幅に対する比率を示す分布図である。
【図５】図１の振動子の検出振動モードにおける各点の振幅の最大振幅に対する比率を示す分布図である。
【図６】（ａ）は、検出振動片の主面における各部分の応力分布と振動減衰材との位置関係を示す正面図であり、（ｂ）は、検出振動片の側面における各部分の 応力分布と振動減衰材との位置関係を示す正面図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、それぞれ、振動子の支持形態の一例を示す断面図である。
【図８】実施例１における、加振周波数と振動感度との関係を示すグラフである。
【図９】比較例１における、加振周波数と振動感度との関係を示すグラフである。
【図１０】図１の振動子の検出振動モードにおける、検出振動片の応力分布を示す図である。
【図１１】図１０の応力分布を概略的に示す線図である。
【図１２】実施例１の振動子の検出振動モードにおいて、主面の中心軸の各点の検出振動片の根元からの距離と、その点における応力の最大応力に対する比率と の関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１  振動子      ２Ａ、２Ｂ  駆動振動系      ３Ａ、３Ｂ  検出振動系      ４Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄ  駆動振動片      ６  基部      ７支持孔      １０  振動子の一方の主面      １１、１２  振動子の側面  １３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ  駆動電極      １４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄ  検 出電極      １６  検出振動片      １７Ａ、１７Ｂ、１７Ｄ  振動減衰材     ３０  検出振動片の主面の中心軸      ３１  振動子の検出振動モードにお いて、中心軸上の応力が最大の領域        ３５  振動子の検出振動モードにお いて、中心軸上の応力が最大の点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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