(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
エゼクタ型の真空ポンプであって、負圧を発生するように圧縮空気によって操作されるように設計され、前記真空ポンプは、回転対称エゼクタ本体（４）と、フィルタ（１５）と、マフラー（１１）とを有し、前記フィルタ（１５）は、内蔵型であり、チューブ形状のフィルタ（１５）は、前記エゼクタ本体の実質的に全長にわたり同心的に延びるように前記エゼクタ本体に支持され、前記マフラー（１１）は、前記エゼクタ本体の外周放出端部を収容するようになされ、前記マフラーは前記エゼクタ本体の前記フィルタを軸方向に固定することを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
フィルタ本体（１６）が多孔質材料から作成され、剛性で孔付のフレーム（１７）により緊密包囲されて内蔵ユニットを形成することを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
フレーム（１２）が開孔部と長手方向および横方向補強部（１９、２０）とを備えた孔付シリンダ壁を有し、フレームの各端部が取付位置でエゼクタ本体の周囲にフィルタを同心的に支持するようにカラー形状の肩部（２１）を有することを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
フィルタ本体（１６）がセラミック材料から作成されることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
フィルタ及びマフラーのアセンブリであって、回転対称エゼクタ本体を備えてなるエゼクタ型の真空ポンプに支持されるように構成され、負圧を発生するために圧縮空気によって操作されるように設計され、前記フィルタ及びマフラーのアセンブリは、前記フィルタ（１５）が、内蔵型であり、チューブ形状のフィルタ（１５）が、前記エゼクタ本体の実質的に全長にわたり同心的に延びるように前記エゼクタ本体に支持され、前記マフラー（１１）が、前記エゼクタ本体の外周放出端部を収容するようになされ、前記マフラーが前記エゼクタ本体の前記フィルタを軸方向に固定することを特徴とするアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（技術分野）
本発明は、本発明によるダストフィルタおよびマフラーと協働するように設計された請求項１のプリアンブルに規定される真空ポンプに関するものであり、以下にさらに説明するものである。
【０００２】
より詳細には、本発明は、軸方向に延びてハウジング壁部を介して開口する真空チャンバによって包囲されるよう収容された回転対称エゼクタ本体を備えるエゼクタ型真空ポンプに関するものである。ダストフィルタは、フィルタ本体とフレームとが共にエゼクタ本体の実質的に全長にわたって延びる内蔵型回転対称ユニットを形成するように、エゼクタ本体の周りを同心的に延び、フレームに外周支持されるチューブ形状で多孔質のフィルタ本体を有する。回転対称体からなるマフラーは、真空チャンバの口部に封止着座されるような形状の内側端部を有する。マフラーの内側部分は、エゼクタ本体のノズル端部を収容し包囲するように寸法付けられると共にマフラーの口部に向かって傾斜する。マフラーは真空チャンバの口部に挿入されてダストフィルタと係合し、真空チャンバ内でフィルタを軸方向に固定する。
【０００３】
（発明の目的）
本発明の目的は複雑でない構造の真空ポンプを提供することにあり、単純化された構造手段によって真空または負圧が工程を行なうことが望ましいシステムまたはアセンブリに組み込むことができる真空ポンプを提供することにある。
【０００４】
特に本発明の真空ポンプは、たとえばダストフィルタまたはエゼクタを清浄するとき、メンテナンス時の組立と解体を容易にするという目的を満たすように設計されている。工業的にまたはその他の汚染環境において、業務の中断がしばしば技術的かつ経済的な問題になると考えられている。
【０００５】
本発明の目的は、請求項１の特徴部分に規定された真空ポンプにより満たされる。請求項２のフィルタおよび請求項５のマフラーは本発明の別個の要素であり、その共通する特徴は、多段階形状をとり得る回転対称エゼクタ本体に構造的に適合することである。
【０００６】
（発明の概要）
手短に言うと、本発明は、軸方向に整列し直列に接続される１個または数個のノズルを有する回転対称エゼクタ本体と、エゼクタ本体に収容された弁部材を示唆する。エゼクタはハウジング内に形成されると共にハウジング壁にて軸方向に開口する真空チャンバに収容される。真空チャンバは、負圧により操作されるシステムに接続され、圧縮空気供給部は、それ自体公知であるエゼクタ作用により真空チャンバに負圧を発生させるためにエゼクタに接続される。
【０００７】
真空チャンバとエゼクタに供給する圧縮空気の供給入口とを有する別個の取付自在なユニットがここに記載する真空ポンプハウジングを形成してもよい。代案として、ハウジングは負圧により操作されるシステムアセンブリの構造材料に形成された真空チャンバであってもよい。エゼクタ本体の回転対称形状が、構造材料に真空チャンバを円形断面のチャンバが得られるように穿孔および内側ミリングによって形成することを可能にする。
【０００８】
真空チャンバはハウジングまたは構造材料の壁部に開放する。真空チャンバの口部は円形断面のマフラー本体を収容し、このマフラー本体が真空チャンバの壁部とエゼクタ本体のノズル端部との間の環状空間を占める。
【０００９】
ダストフィルタはマフラーの内方向に軸方向固定される。フィルタは、エゼクタ本体の周囲を同心的に延び、フィルタの先端部がマフラーの内側端部に当接するようにエゼクタ本体の周囲を実質的に全長にわたって延びる。ダストフィルタは多孔質材料のチューブ形状フィルタ本体である。図示した具体例において、フィルタ本体は孔付シリンダ壁を有するフレームにより外周包囲される。組み立てられるとフィルタおよびフレームはマフラーが真空チャンバの口部から外される際にエゼクタ本体に手動で取り付けおよび脱着できる回転対称の内蔵ユニットを形成する。
【００１０】
以下、添付図面を参照して本発明をさらに説明する。
【００１１】
（詳細な説明）
本発明によれば真空ポンプ１は、ハウジング２に、より明確にはハウジングに形成された真空チャンバ３に配置されたエゼクタポンプ４を備える。前記エゼクタポンプ４は回転対称な本体を有し、直列に内部に配置された１個または数個のノズルとエゼクタ本体の円周上壁部に収容された弁手段５とを備える。エゼクタ本体は、好ましくはこのエゼクタ本体に一体形成された弁座を有する多段階エゼクタであり、エゼクタは真空チャンバの内側端部または底部６を介して圧縮空気入口７と流体連通する。エゼクタは圧縮空気により操作されて、周囲の真空チャンバ３に負圧を発生する。真空チャンバは、負圧により操作されるシステムアセンブリ（図示せず）と接続部８を介して連通する。
【００１２】
真空チャンバの断面形状は本発明に必須ではないが、少なくとも真空チャンバがハウジング壁部１０を通って軸方向に開口する口部９の領域では円形であることが好ましい。真空チャンバ３は圧力により操作されるアセンブリに取り付けうる別のハウジング２に形成することができ、代案としては、エゼクタ本体の長さに適合する深さを持った盲穴部の形状にてアセンブリの材料に一体形成されてもよい。
【００１３】
マフラー１１は真空チャンバの口部に収容される。たとえばＯリング１２が口部領域においてマフラーを真空チャンバに封止する。マフラー１１は回転対称部分を有し、内側端部１３により真空チャンバ中へ伸びる。内側端部１３は前端すなわちエゼクタ本部４のノズルを包囲するように形成され、そこから空気がマフラーを通って放出される。エゼクタポンプの外方向へ、マフラーの内部部分は図４に見られるようにマフラー口部の方向に裁頭円錐形状に傾斜する。
【００１４】
多孔質かつ消音材料で形成された内側部分は、耐性材料で形成されたマフラーケーシングに装着される別個の挿入部１４により形成される。当業者は、発生する負圧により真空チャンバの口部にマフラーを保持するためにどのようにマフラーを形成し寸法付けるかを了解するであろう。代案として、ネジ山または他の固定部を用いてマフラーを所定位置に保持することもできる。
【００１５】
真空チャンバ３において、エゼクタ本体４はエゼクタ本体の周りを同心状に延在すると共に図２にも見られるようにエゼクタ本体の実質的に全長にわたって延びるダストフィルタ１５により外周包囲される。ダストフィルタ１５は多孔質材料で作成されたチューブ形状のフィルタ本体１６からなり、円筒フレーム１７により外部支持され得る。取付けられた位置において、フレームおよびフィルタ本体は真空チャンバの底部６から真空チャンバの口部に位置するマフラー１１の内側端部まで延びる内蔵型回転対称ユニットを形成する。
【００１６】
代案として、フィルタ本体自体が内蔵型で、エゼクタ本体の実質的に全長にわたり延在させるべくエゼクタ本体に支持されるたとえば焼結セラミック材料、合成材料などのセラミック材料あるいは焼結金属体として形成することもできる。
【００１７】
フレーム１７は、たとえばプラスチックまたはナイロン材料などの合成材料で形成することが好ましい。円筒壁部にはフレームがパーフォレーションまたは開孔部領域１８とともに、パーフォレーションまたは開孔部を持たない長手方向および横方向の補強部１９、２０を有するよう形成される。カラー形状の肩部２１がフレームの端部に形成され、取付位置にてそれぞれ真空チャンバの底部６およびマフラー１１の内側端部に当接するように適合される。
【００１８】
フレームおよびフィルタは、代わりに一体形成することもできる。そのような実施例は、円筒フィルタ本体に成形プロセスにてフレームを一体化させることにより達成することができる。
【００１９】
以上、本発明を実施例により説明したが、本発明の発明的教示を逸脱することなく種々の改変が可能である。本発明の主要な特徴は、エゼクタ本体の実質的に全長にわたって同心的に延びる円筒フィルタ本体である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は、破線で示されたエゼクタ本体とマフラーとダストフィルタとが装着された本発明による真空ポンプのハウジングの図式的縦断面図である。
【図２】  図２は、ダストフィルタと連携されたフレームの略図である。
【図３】  図３は、ダストフィルタのフィルタ本体を示す略図である。
【図４】  図４は、図１のマフラーを示す縦断面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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