(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を有するハウジングと、
上記ハウジングの内部に設けられ、上記ハウジングの開口を開閉する弁体と、
一端には上記弁体に着脱可能に結合された結合部が設けられる一方、他端が上記ハウジングの壁面を貫通する貫通孔を介してハウジングの外部へ延出して設けられた駆動部材と、
上記駆動部材の他端に設けられたシリンダとを備え、
上記シリンダが上記駆動部材を伸縮駆動することにより、上記弁体を、上記シリンダによる上記駆動部材の伸縮駆動方向である上記ハウジングの開口周りの壁面に略平行な方向に沿って、開弁位置及び閉弁位置の間を移動させるように構成されたゲート弁であって、
上記弁体が上記シリンダによって移動された上記閉弁位置にあるときに、上記弁体に着脱可能に結合されている上記結合部が上記ハウジングの開口よりも内側に位置する一方、上記弁体が上記シリンダによって移動された上記開弁位置にあるときに、上記結合部が上記ハウジングの開口よりも外側に位置するように構成されていることを特徴とするゲート弁。
【請求項２】
請求項１のゲート弁において、
ハウジングの貫通孔の内周面と駆動部材の外周面との間をシールするシール部材を備えることを特徴とするゲート弁。
【請求項３】
請求項１又は２のゲート弁において、
弁体及び駆動部材は結合部で締結手段により結合されていることを特徴とするゲート弁。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１つのゲート弁において、
弁体は、駆動部材に結合されて開弁位置及び閉弁位置の間を移動可能な弁板支持体と、
上記弁板支持体に接離可能に支持され、弁板支持体の閉弁位置で該弁板支持体に対し接離してハウジングの開口を開閉する弁板とから構成されていることを特徴とするゲート弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ゲート弁に関し、特に、ハウジング外部からの駆動力によりハウジング内部の弁体を開閉駆動するようになされたゲート弁に関する技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、例えば実開昭６４―７７０号公報等に開示されるように、隣接する１対の真空容器に連通する弁箱内に弁板支持体を、その背面に軸支したガイドローラで案内しながら昇降可能に配置し、この弁板支持体の一方の真空容器側の側面に、弁箱と一方の真空容器との間の連通部を開閉する弁板を平行リンク機構を介して接離可能に支持し、弁箱内の下部に、弁板支持体の下降時に弁板に当接して弁板を支持体に対し閉じ方向に相対移動させる弁板ストッパを設け、弁箱上壁外面に、該上壁を上下方向に気密状に貫通するピストンロッドを有するシリンダを取り付けて、そのピストンロッドの下端部を弁箱内の弁板支持体に連結し、シリンダの伸縮作動により弁板支持体を弁箱内で昇降移動させて弁板を開閉させ、シリンダの収縮作動により弁板支持体を上昇させたときには、その弁板支持体と共に弁板を上昇させて弁箱の真空容器との連通部を開き、両真空容器同士を連通させる一方、シリンダの伸長動作により弁板支持体を下降させたときには、その途中で、弁板支持体と共に下降する弁板を弁板ストッパに当接させて平行リンク機構により弁板支持体から離隔させ、この離隔により弁板を弁箱と真空容器との連通部の周りに押し付けて両真空容器同士の連通を遮断するようにした真空ゲート弁は知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような真空ゲート弁では、弁箱の上部壁面に貫通孔が形成されており、この貫通孔の内周面にＯリング等のシール部材を介在させた状態でピストンロッドが嵌挿されている。そして、ゲート弁を開閉させるためにピストンロッドの昇降が長期間に亘り繰り返されるとシール部材が摩耗するために、弁箱内部の気密性が低くなって真空容器内の圧力が上昇してしまう。このため、定期的にピストンロッドを貫通孔から取り外して、この貫通孔の内周面に設けられたシール部材を交換するメンテナンスが必要であった。
【０００４】
そして、上記従来のものでは、ピストンロッドを貫通孔から取り外すために、弁箱を分解した後、その分解された弁箱からピストンロッドを弁板及び弁板支持体とともに取り出すことが行われている。
【０００５】
しかし、上記弁箱は複数の部材が多数のボルトにより締結されて組み立てられているので、その分解に手間がかかり、上記シール部材の交換作業に要する労力が極めて大きいという問題がある。
【０００６】
また、シリンダ及びピストンを取り外してメンテナンスする場合にも、同様に弁箱を分解しなければならず、同様の問題が生じる。
【０００７】
本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたものであり、その主たる目的とするところは、弁箱内部の弁体に結合されかつ弁箱外部へ延出される駆動部材により弁体を駆動するようになされたゲート弁について、その装置構造に改良を加えることで、ゲート弁を容易にメンテナンスできるようにすることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１の発明では、開口を有するハウジングと、上記ハウジングの内部に設けられ、上記ハウジングの開口を開閉する弁体と、一端には上記弁体に着脱可能に結合された結合部が設けられる一方、他端が上記ハウジングの壁面を貫通する貫通孔を介してハウジングの外部へ延出して設けられた駆動部材と、上記駆動部材の他端に設けられたシリンダとを備え、上記シリンダが上記駆動部材を伸縮駆動することにより、上記弁体を、上記シリンダによる上記駆動部材の伸縮駆動方向である上記ハウジングの開口周りの壁面に略平行な方向に沿って、開弁位置及び閉弁位置の間を移動させるように構成されたゲート弁であって、上記弁体が上記シリンダによって移動された上記閉弁位置にあるときに、上記弁体に着脱可能に結合されている上記結合部が上記ハウジングの開口よりも内側に位置する一方、上記弁体が上記シリンダによって移動された上記開弁位置にあるときに、上記結合部が上記ハウジングの開口よりも外側に位置するように構成されていることを特徴とする。
【０００９】
上記の構成により、閉弁時に弁体と駆動部材との結合部がハウジングの開口からハウジング外部に露出するので、開口からその結合部における弁体と駆動部材との着脱作業を容易に行うことができる。従って、駆動部材を弁体から取り外すためにハウジングを分解する必要がないので、貫通孔部分のメンテナンスに要する労力を大幅に低減させることができる。
【００１０】
請求項２の発明では、請求項１のゲート弁において、ハウジングの貫通孔の内周面と駆動部材の外周面との間をシールするシール部材を備える。このことにより、シール部材を容易に交換することができるものとなる。
【００１１】
請求項３の発明では、請求項１又は２のゲート弁において、弁体及び駆動部材は結合部で締結手段により結合されている。このことにより、弁体及び駆動部材の好ましい結合手段を具体的に得ることができる。
【００１２】
請求項４の発明では、請求項１〜３のいずれか１つのゲート弁において、弁体は、駆動部材に結合されて開弁位置及び閉弁位置の間を移動可能な弁板支持体と、上記弁板支持体に接離可能に支持され、弁板支持体の閉弁位置で該弁板支持体に対し接離してハウジングの開口を開閉する弁板とから構成されていることを特徴とする。このことにより、望ましい弁体の構成を具体化することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１及び図２は本発明の実施形態を示し、１は前側に位置する第１真空容器、２は第１真空容器１の後側に隣接する第２真空容器であって、各真空容器１，２はそれぞれ互いに対向配置された略矩形状の開口３，４を有する。
【００１４】
そして、両真空容器１，２間には両真空容器１，２の内部空間（真空空間）同士を連通又は連通遮断するための真空装置としての真空ゲート弁５が配設されている。この真空ゲート弁５は、両真空容器１，２間に気密状に挟まれた薄厚矩形状のハウジングとしての弁箱６を備え、この弁箱６の前壁（図２で左側壁）の下部には上記第１真空容器１の開口３に対応する前側連通口７が、また後壁（図２で右側壁）の下部には第２真空容器２の開口４に対応する後側連通口８がそれぞれ開口されており、この連通口７，８を介して弁箱６内の真空空間が各真空容器１，２と連通している（以降、図２において左右方向を前後方向、また同図において紙面に垂直な方向を左右方向とする）。
【００１５】
図１及び図２に示すように、上記弁箱６内の上部には、アクチュエータとしてのエアシリンダ３１が配設されている。すなわち、弁箱６の上壁面６ａに固定支持されたシリンダ台１９に載置された状態でボルト等により締結固定されている。このエアシリンダ３１は、シリンダボディから下方に突出して直線運動をする駆動部材としての円筒状のピストンロッド３１ａを有している。
【００１６】
一方、図８にも示すように、弁箱６はその上部に一体的に設けられた案内支持部５１を有しており、この案内支持部５１及び上壁面６ａが弁箱６の上部壁面を構成している。すなわち、弁箱６の上壁面６ａにおける上記エアシリンダ３１に対向する位置には、エアシリンダ３１のピストンロッド３１ａと略同じ径を有する開口６ｃが貫通形成されている。そして、この上壁面６ａの開口６ｃの周囲には、開口６ｃに連続しかつ開口６ｃと略同じ径のガイド孔５３ｂを有する略円筒状の案内支持部５１がボルト等により締結固定されている。換言すれば、弁箱６の上部壁面には、上壁面６ａの開口６ｃと案内支持部５１のガイド孔５３ｂとからなる貫通孔が貫通形成されている。そして、ピストンロッド３１ａは、その貫通孔に嵌挿されて気密状態で上下方向に案内されるようになされている。
【００１７】
詳しくは、案内支持部５１は、この弁箱６の上壁面６ａにおける開口６ｃの周囲にＯリング５３ａを介してボルト等により締結固定されて上記ガイド孔５３ｂを有する略円筒状の摺接部５３と、この摺接部５３の上に固着されてガイド孔５３ｂと略同じ径の孔を有するリング状の閉塞部５４とからなる。さらに、摺接部５３のガイド孔５３ｂの内周面には周方向に延びる凹溝５７が形成されており、この凹溝５７の上下側には、凹溝５７と略平行に並ぶようにしてシール部材としてのＯリング５６，５６がそれぞれ設けられている。そして、摺接部５３には凹溝５７の底部から径方向外側に延びて外部に連通する注入孔５８が形成されており、この注入孔５８から凹溝５７へグリース等の潤滑剤を充填してボルト等により閉塞するようになされている。また、このガイド孔５３ｂの下側部分には、粉塵等の弁箱６内部への侵入を防止するためのダストシール５５が配設されている。これらＯリング５３ａ，５６及びダストシール５５は、例えばバイトン等からなる。このようにして、Ｏリング５６，５６は弁箱６の貫通孔の内周面と、ピストンロッド３１ａの外周面との間をシールするようになされている。
【００１８】
そして、図９（ａ）及び（ｂ）に示すように、水平面たる底面部１１ｂとこの底面部１１ｂから垂直に下方へ延びる突出部１１ａとを有するクレビス１１は、ピストンロッド３１ａの下端部とピン１０によりピン結合されて鉛直面内で揺動可能に軸支されている。そして、このクレビス１１の突出部１１ａに、上記弁箱６下部の連通口７，８よりも若干大きくかつ弁箱６内の後側（第２真空容器２側）にオフセット配置した弁板支持体１５が結合されている。具体的には、弁板支持体１５の前面上部に、前方及び上方に開口する切り欠き部が形成されており、この切り欠き部にクレビス１１の突出部１１ａがはめ込まれた状態で、この突出部１１ａと弁板支持体１５とが３本の六角ボルト６０，６０，…により締結されている。換言すれば、本実施形態では、弁板支持体１５及びピストンロッド３１ａがその下端部のクレビス１１で締結手段としての六角ボルト６０，６０，…により結合されている。
【００１９】
このようにして、エアシリンダ３１の伸縮作動によりピストンロッド３１ａを昇降させて、弁板支持体１５及び後述の弁板３４とから構成される弁体を昇降させる。言い換えれば、一端が弁体に着脱可能に結合される一方、他端が弁箱６の貫通孔を介して弁箱６の外部へ延出されて設けられたピストンロッド３１ａが弁体を駆動するようになされている。そして、ピストンロッド３１ａの駆動によって、弁箱６の内部に設けられた弁体は、弁箱６の連通口７，８と略平行な方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間を移動することにより弁箱６の連通口７，８を開閉するようになされている。
【００２０】
すなわち、エアシリンダ３１を収縮作動させたときには、弁板支持体１５及び弁板３４を上昇させ、ゲート弁５を開弁状態とする一方、エアシリンダ３１を伸長作動させたときには、弁板支持体１５及び弁板３４を下降させ、ゲート弁５を閉弁状態とする。
【００２１】
そして、上記弁板支持体１５を弁箱６内で昇降案内する複数種類の案内用ローラ２２，２４，２６が設けられている。すなわち、図５に示すように、弁板支持体１５の左右側部にはそれぞれ水平左右方向の軸心を持ったローラ軸２１，２１が突出して取付固定され、この各ローラ軸２１には、弁箱６の前後壁内面間の間隔よりも若干小さい外径を有しかつ弁箱６の連通孔７，８の左右両側の前後壁内面上を転動する前後ガイドローラ２２が回転可能に支持されている。
【００２２】
また、図１及び図４〜図７に示す如く、上記弁板支持体１５の第２真空容器２側（図２で右側）である後側面の上下端部にはそれぞれ切り欠き部５０，５０，…が、例えば６つずつ設けられている。この上端部の切り欠き部５０，５０は、上及び後方向に開口する一方、下端部の切り欠き部５０，５０は、下及び後方向に開口している。そして、これら切り欠き部５０，５０，…には、それぞれ水平左右方向に延びるローラ軸２３，２３，…が上下に略対応して左右方向に並んだ状態で取付固定され、この各ローラ軸２３には弁箱６の後壁内面上を転動可能な後側ガイドローラ２４が支持されている。
【００２３】
さらに、図４及び図５に示す如く、弁板支持体１５の左右側部の上下端部にはそれぞれ水平前後方向の軸心を持つローラ軸２５，２５，…（一方のみを示す）が取付固定され、この各ローラ軸２５に弁箱６の左右側壁内面上を転動するサイドローラ２６が回転可能に支持されている。そして、これらガイドローラ２２，２４及びサイドローラ２６により弁板支持体１５が弁箱６内で前後方向及び左右方向に殆ど位置ずれすることなく昇降するようになっている。
【００２４】
このようにして、弁板支持体１５は、弁箱６内でガイド機構としての前後ガイドローラ２２、後側ガイドローラ２４、及びサイドローラ２６により案内されて、第１及び第２真空容器１，２の各開口と略平行な方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間を移動可能とされている。
【００２５】
上記弁板支持体１５の前側面（図２で左側面）には弁板支持体１５と略同じ大きさ（弁箱６下部の前側連通口７よりも若干大）の弁板３４が対なるリンクを有する平行リンク機構４４，４４，…を介して接離可能に支持されている。この弁板３４は、弁板支持体１５の閉弁位置で弁板支持体１５に対し接離して、第１真空容器１の開口３つまり弁箱６の前側連通口７を開閉して第１及び第２真空容器１，２同士を連通又は連通遮断させるものである。そして、その弁板３４の前側面外周部には、例えばバイトン等からなるリング状のシール部材３５が取付固定されており、弁板３４が第１真空容器１の開口３を閉じたときに、弁板３４と、その開口３周りの壁部、つまり、連通口７周りの弁箱６の前壁内面との間で圧縮されて弁板３４及び壁部間をシールするようになされている。
【００２６】
上記平行リンク機構４４，４４，…は、弁板３４及び弁板支持体１５の間に設けられて上記弁板支持体１５の閉弁位置で弁板３４及び弁板支持体１５が互いに接離するように支持しており、この弁板３４及び弁板支持体１５が接触することによって真空ゲート弁５が開弁する一方、離隔することによって閉弁するように構成されている。
【００２７】
すなわち、図３，図６及び図７にも示すように、弁板支持体１５には、弁板支持体１５を前後方向に貫通する複数の開口部１６，１６，…がそれぞれ略左右方向に並んだ状態で形成されている。そして、この各開口部１６内に円筒状のリンク軸４７が弁板支持体１５の移動方向と直交する水平左右方向が軸心方向となるように配設されており、リンク４５の後端部（弁板支持体１５側の端部）が、このリンク軸４７の軸心回りに揺動可能に軸支されている。
【００２８】
また、弁板３４の後側面には上記弁板支持体１５の各開口部１６に略対応して凹部３６が形成されている。そして、この各凹部３６内に円筒状のリンク軸４６が水平左右方向が軸心方向となるように配設されており、上記各リンク４５の前端部（弁板３４側の端部）がこのリンク軸４６の軸心周りに揺動可能に軸支されている。そして、上記上下に対応する１対のリンク４５，４５で平行リンク機構４４，４４，…が構成されており、この平行リンク機構４４，４４，…を介して弁板３４が弁板支持体１５の前側面（第１の真空容器１側の側面）に接離可能に支持されている。
【００２９】
また、図４，図６及び図７に示すように、上記弁板３４の前側面における左右側部下端にはそれぞれ水平左右方向に延びるローラ軸３８，３８が取付固定され、この各ローラ軸３８にはストッパローラとしての弁板前ローラ３９が回転可能に支承されている。また、弁箱６の前壁内面における左右側部の下端には、弁板３４が弁箱６の前側連通口７を閉じた閉弁状態にあるときの上記各弁板前ローラ３９に対応して有底の凹部６ｂが形成されており、弁板３４が前側連通口７を開いた状態では、弁板前ローラ３９は前側連通口７の左右両側の前壁内面上を転動するが、閉じた状態では、弁板前ローラ３９が弁箱６の凹部６ｂ内にその底面から浮いた状態で落ち込むようになっている。
【００３０】
そして、上記弁箱６内の下部には上記各弁板前ローラ３９の真下位置にそれぞれ当接部材４０，４０が左右方向に並んだ状態で取り付けられている。この各当接部材４０はブロック状のもので、弁板支持体１５が下降端位置近傍まで下降したときに弁板３４詳しくは弁板前ローラ３９に当接して弁板３４の下降移動を停止させ、その後の弁板支持体１５の下降移動に伴い、弁板３４を平行リンク機構４４，４４，…によって弁板支持体１５から離隔する前方向つまり閉じ方向に相対移動させるように案内する。尚、この弁板前ローラ３９に代え、各当接部材４０に、弁板３４に当接して転動するストッパローラを軸支するようにしてもよい。
【００３１】
また、図５及び図６にも示すように、弁板支持体１５の閉弁位置を調節してシール部材３５の圧縮量を調整する調整手段１３を備えている。具体的には、弁箱６内側底部に、ブロック状の支持部材１２が固着して設けられており、この支持部材１２の上面に複数の板材を弁板支持体１５の移動方向に積層して一体化される積層部材としての調整手段１３が載置されている。さらに、この調整手段１３の上面に弁板支持体１５の閉弁位置でこの弁板支持体１５に当接するストッパ１４が設けられていて、調整手段１３を介して支持部材１２にボルト１０により締結固定されている。つまり、調整手段１３は、ストッパ１４に固定されている。また、支持部材１２、調整手段１３及びストッパ１４は、それぞれ例えばステンレス鋼等からなる。このようにして、調整手段１３は、支持部材１２とストッパ１４との間に挟まれる板材の枚数を変更することにより、弁板支持体１５のストッパ１４との当接位置を変更するようになされている。
【００３２】
そして、本発明の特徴として、本実施形態に係る真空ゲート弁５は、弁体が閉弁位置にあるときに、弁体及びピストンロッド３１ａの結合部６１が弁箱６の連通口８よりも内側に位置するようになされている。
【００３３】
すなわち、図１及び図２にも示すように、真空ゲート弁５の閉弁時に、弁板支持体１５と、ピストンロッド３１ａの下端部のクレビス１１とが六角ボルト６０，６０，…により結合されてなる結合部６１が、弁箱６の後側の開口である連通口８の内側に位置しており、締結手段としての六角ボルト６０，６０，…が弁箱６外部に露出するようになされている。
【００３４】
次に、上記実施形態の作動について説明する。図１で実線、図２及び図６に示す閉弁状態にある真空ゲート弁５を開くときには、シリンダ３１の収縮作動によりピストンロッド３１ａを上昇移動させる。このことで、ピストンロッド３１ａ下端にクレビス１１を介して連結されている弁板支持体１５がガイドローラ２２，２４により前後方向に、またサイドローラ２６により左右方向にそれぞれ移動規制されて案内されながら弁箱６内を上昇する。この弁板支持体１５の上昇により、弁箱６と第１真空容器１との間の連通部つまり前側連通口７を気密状に閉じていた弁板３４が平行リンク機構４４，４４，…により引き上げられて、その前側連通口７が開かれる。
【００３５】
そして、上記シリンダ３１の収縮ストロークエンド近傍で、図１及び図７で仮想線に示すように弁板支持体１５により弁板３４が下端部を弁箱６の連通口７，８の上端位置に略一致させるように移動して、両真空容器１，２の内部空間同士が弁箱６内を介して連通状態となる。
【００３６】
これに対し、上記開弁状態から逆にゲート弁５を閉じるときには、シリンダ３１の伸長作動によりピストンロッド３１ａを下降させる。このことで、弁板支持体１５が、ガイドローラ２２，２４及びサイドローラ２６により移動規制されて案内されながら弁板３４と共に弁箱６内を下降する。そして、弁板支持体１５の下降端位置近傍で弁板３４下端の上記各弁板前ローラ３９が当接部材４０に当接すると、弁板３４のそれ以上の下降移動が停止され、弁板支持体１５のさらなる下降移動により弁板３４が今度は平行リンク機構４４，４４，…における各リンク４５の立上がり動作により弁板支持体１５から離隔するように前側に移動案内される。
【００３７】
図１で実線及び図２に示すように、弁板支持体１５の下端部がストッパ１４の上面近傍に達すると、弁板に設けられているシール部材３５が、弁箱６と第１真空容器１との間の連通部つまり弁箱６の前側連通口７の周りの壁面に接触する。そして、ガイドローラ２２，２４により後側面を移動規制されている弁板支持体１５がさらに下降することにより、弁板３４は弁板支持体１５によりリンク４５，４５，…を介して前側に押される。そして、シール部材３５の圧縮量が増大される。
【００３８】
そして、弁板支持体１５の下端部がストッパ１４の上面に当接して弁板支持体１５が閉弁位置に達することによりこの弁板支持体１５の下降が止まって、シール部材３５に所定の圧縮量を付与した状態で、両真空容器１，２の内部空間同士の連通が弁板３４によって気密シール状態で遮断される。
【００３９】
そのとき、真空ゲート弁５の閉弁時に弁板支持体１５とピストンロッド３１ａ下端部のクレビス１１との結合部６１が弁箱６の連通口８から弁箱６の外部へ露出しているので、連通口８の第２真空容器２側から結合部６１へ六角レンチを直接的に差し入れて結合部６１の六角ボルト６０，６０，…を締結又は取り外すことができる。従って、その結合部６１における弁板支持体１５とピストンロッド３１ａ下端部のクレビス１１との着脱作業を容易に行うことができる。
【００４０】
すなわち、ピストンロッド３１ａを弁板支持体１５から取り外すために弁箱６を分解する必要がないので、弁箱６の貫通孔部分のメンテナンスに要する労力を大幅に低減させることができる。
【００４１】
そして、例えば、貫通孔に設けられているＯリング５６，５６が摩耗する前に、容易にＯリング５６，５６を交換することができ、第１及び第２真空容器１，２内の圧力上昇を防止して真空度を高く維持することができる。
【００４２】
また、エアシリンダ３１に不具合が生じた場合には、結合部６１からピストンロッド３１ａとともに取り外して、容易に交換・修理等のメンテナンスを行うことができる。
【００４３】
尚、本実施形態では、真空ゲート弁について説明したが、本発明はこれに限らず、その他のゲート弁について適用することができる。また、軸方向に移動するピストンロッド３１ａが駆動部材である場合について説明したが、駆動部材はピストンロッド３１ａに限らずその他のものであってもよい。例えば、所定の軸心まわりに揺動するアーム等を駆動部材としてもよい。
【００４４】
そして、本実施形態では、ピストンロッド３１ａにより駆動する弁体を弁板３４及び弁板支持体１５から構成するようにしたが、本発明はこれに限るものではない。つまり、弁体をその他の構成としてもよく、例えば、１枚の板状のものからなるようにしてもよい。
【００４５】
また、本実施形態では、弁板支持体１５とピストンロッド３１ａとをピストンロッド３１ａ下端部のクレビス１１で六角ボルト６０，６０，…により締結するようにしたが、その他の結合手段により着脱可能に結合させるようにしてもよい。
【００４６】
そして、弁板３４に設けられているシール部材３５の圧縮量を調整するための調整手段１３を弁箱６内部に配設するようにしたが、本発明は何等これに限定されるものではなく、このような調整手段１３を特に設けないようにしてもよい。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明によると、シリンダが駆動部材を伸縮駆動することにより、弁体を、シリンダによる駆動部材の伸縮駆動方向であるハウジングの開口周りの壁面に略平行な方向に沿って、開弁位置及び閉弁位置の間を移動させるように構成されたゲート弁について、弁体がシリンダによって移動された閉弁位置にあるときに、弁体に着脱可能に結合されている結合部がハウジングの開口よりも内側に位置する一方、弁体がシリンダによって移動された開弁位置にあるときに、結合部がハウジングの開口よりも外側に位置するように構成することにより、閉弁時にハウジングの開口から結合部における弁体と駆動部材との着脱作業を容易に行うことができ、貫通孔部分のメンテナンスに要する労力を大幅に低減させることができる。
【００４８】
請求項２の発明によると、ハウジングの貫通孔の内周面と駆動部材の外周面との間をシールするシール部材を備えることにより、シール部材を容易に交換できるものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  閉弁状態の真空ゲート弁の概観を示す正面図である。
【図２】  閉弁状態の真空ゲート弁の概観を示す側面図である。
【図３】  図５におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図４】  図５におけるＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図５】  閉弁状態の真空ゲート弁の要部を示す一部断面図である。
【図６】  閉弁状態の真空ゲート弁の要部を拡大して示す断面図である。
【図７】  開弁状態の真空ゲート弁の要部を拡大して示す図１相当図である。
【図８】  弁箱の上部壁面を示す断面図である。
【図９】  クレビスと弁板支持体との結合部を示す一部断面図である。
【符号の説明】
５  真空ゲート弁（ゲート弁）
６  弁箱（ハウジング）
６ａ  上壁面
６ｃ  開口（貫通孔）
７，８  連通口（開口）
１５  弁板支持体（弁体）
３１ａ  ピストンロッド（駆動部材）
３４  弁板（弁体）
５３ｂ  ガイド孔（貫通孔）
５６  シール部材
６０  六角ボルト（締結手段）
６１  結合部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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