(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プレートに配置された液滴吐出ヘッドを密閉するためのキャッピング治具であって、
前記液滴吐出ヘッドに形成されてなる吐出ノズルを密閉するためのヘッドキャップと、
前記ヘッドキャップを保持するベース板と、
前記ベース板と前記プレートの間隔を調整するための調整手段とを有し、
前記調整手段に形成されてなる磁石により、前記プレートに保持されることを特徴とするキャッピング治具。
【請求項２】
請求項１に記載のキャッピング治具であって、
前記プレートから前記ベース板を離脱させる離脱レバーを設けたことを特徴とするキャッピング治具。
【請求項３】
請求項１または２に記載のキャッピング治具であって、
前記プレートと前記ベース板をクランプし連結保持する連結保持手段を設けたことを特徴とするキャッピング治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドのキャッピング治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、機能液を使って基板上に所望のパターンを形成する装置として、機能液を液滴にして吐出するインクジェット装置、すなわち液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、ステージに載置される基板と機能液を液滴にして吐出する液滴吐出ヘッドとを２次元的に相対移動させながら、液滴吐出ヘッドから吐出される機能液の液滴を基板上の任意の箇所に配置することによりパターンを形成する。
【０００３】
近年では、複数の液滴吐出ヘッドを１つのキャリッジに搭載し、さらに、このキャリッジを複数設けている液滴吐出装置が知られている。このような液滴吐出装置は、大画面カラーフィルタの製造などに用いられ、複数のキャリッジから同時に液滴を吐出することで、その描画速度を向上させている。
【０００４】
ところで、液滴吐出ヘッドは、別設のタンクなどから機能液が供給されるとともに、供給された機能液をその内部に設けたインク室（キャビティ）に一時的に貯留する。そして、ステージと相対向するように設けたノズルプレートに多数形成されたノズル孔からインク室に貯留した機能液を液滴にして吐出する。
【０００５】
ここで、液滴吐出ヘッドが待機しているとき、インク室に貯留した機能液は、乾燥してしまうことがある。機能液が乾燥すると、増粘して吐出量が変化するだけでなく、固化してしまいノズル孔の目詰まりや吐出時の飛行曲がりなどを起こしてしまう虞があった。
【０００６】
そこで、このインク室の機能液の乾燥を防止する方法として、液滴吐出ヘッドのノズルプレートにキャップと呼ばれる密閉部材を自動的に当接させて密閉し、機能液の乾燥を防止する提案がなされている（例えば、特許文献１）。さらに、キャップに吸引手段を接続して、インク室の機能液を強制的に吐出させる提案もなされている（例えば、特許文献２）。
【特許文献１】特開平５−４２６７６号公報
【特許文献２】特開平６―３３６０１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、これらの方法を上述した液滴吐出装置に適用すると、例えば、各液滴吐出ヘッドを密閉するキャップやキャップを自動で昇降させる昇降手段、キャップを介してインク室の機能液を吸引する吸引手段などを設ける必要がある。そして、これらを備えた自動キャッピング装置は大規模なものとなってしまい、液滴吐出装置の低コスト化の実現を困難にしていた。しかも、家庭用プリンタなどの液滴吐出装置とは異なり、上述した液滴吐出装置は、長期間停止することが少なく、自動キャッピング装置を使用する機会は非常に限られていた。
【０００８】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、液滴吐出ヘッド内の機能液の乾燥を抑制するとともに、手動で容易に着脱可能な液滴吐出装置のキャッピング治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のキャッピング治具は、プレートに配置された液滴吐出ヘッドを密閉するためのキャッピング治具であって、前記液滴吐出ヘッドに形成されてなる吐出ノズルを密閉するためのヘッドキャップと、前記ヘッドキャップを保持するベース板と、前記ベース板と前
記プレートの間隔を調整するための調整手段とを有し、前記調整手段に形成されてなる磁石により、前記プレートに保持される。
【００１０】
本発明のキャッピング治具によれば、プレートとベース板の間隔を調整する調整手段を設けたことによって、キャッピング治具を取付けたときの各ヘッドキャップとベース板の間隔を調整することができる。また、調整手段に形成されてなる磁石によって、例えばプレートを磁性材で形成することによって、キャッピング治具をプレートに容易に密着保持させることができる。
このキャッピング治具は、前記プレートから前記ベース板を離脱させる離脱レバーを設けることが好ましい。
このキャッピング治具によれば、離脱レバーを設けたことによって、調整手段の磁石をプレートから容易に離脱させることができる。その結果、キャッピング治具をキャリッジから容易に取り外すことができる。
【００１１】
このキャッピング治具は、前記プレートと前記ベース板をクランプし連結保持する連結保持手段を設けることが好ましい。
このキャッピング治具によれば、プレートとベース板をクランプし連結保持する連結保持手段を設けたことによって、手動でキャッピング治具をキャリッジに着脱することができる。従って、例えば、キャッピング治具を昇降させる自動昇降装置を備えた大規模なキャッピング装置を設ける必要がないので、液滴吐出装置の製造コストを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
（第１実施形態）
以下、本発明を実施したパターン形成装置の一実施形態を図面に従って説明する。
図１は、ブラックマトリクスが形成されたガラス基板に赤、緑、青のカラーフィルタを形成するためのパターン形成装置としての液滴吐出装置１の概略構成を示している。図１に示すように、液滴吐出装置１は、床面に主走査方向（Ｘ軸方向）に延在した基台２が設置され、その上面に２ａに一対のＸ軸ガイドレール１１が主走査方向（Ｘ軸方向）に敷設され、その一対のＸ軸ガイドレール１１にはＸ軸移動プレート１２が載置されている。Ｘ軸移動プレート１２は、Ｘ軸ガイドレール１１に沿って主走査方向に移動可能に搭載されている。一対のＸ軸ガイドレール１１には、Ｘ軸リニアモータＭ１が備えられ、Ｘ軸リニアモータＭ１は、一対のＸ軸ガイドレール１１に載置されたＸ軸移動プレート１２を、エアスライダ（図示省略）を介してＸ軸方向に往復移動させる。
【００１９】
尚、図１において、主走査方向をＸ軸方向、主走査方向（Ｘ軸方向）に直交する副走査方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向（上下方向）をＺ軸方向、Ｚ軸方向回りの回動方向をθ方向と表記する。
【００２０】
Ｘ軸移動プレート１２の上面には、基板ステージ１４が設けられている。基板ステージ１４は、真空吸着テーブルであって、その上面にガラス基板よりなるカラーフィルタ基板（ＣＦ基板という）Ｗを吸着固定し、同ＣＦ基板Ｗを搬送する。基板ステージ１４は、Ｘ軸移動プレート１２と基板ステージ１４との間に設けた破線で示すステージ回動機構１６によって、Ｘ軸移動プレート１２に対してθ方向に回動可能に支持固定されている。
【００２１】
従って、基板ステージ１４（ＣＦ基板Ｗ）は、Ｘ軸移動プレート１２とともにＸ軸方向（主走査方向）に移動する。また、基板ステージ１４（ＣＦ基板Ｗ）は、Ｘ軸移動プレート１２の平面（ＸＹ平面（水平面））に対して平行にθ方向に回動する。
【００２２】
前記Ｘ軸ガイドレール１１の上方向をＹ軸方向に跨ぐように、一対のＹ軸ガイドレール１８が配設されている。一対のＹ軸ガイドレール１８の一端の支柱１９ａは、基台２の上面２ａ一側に立設され、他端の支柱１９ｂは基台２から離間した床に立設されている。一対のＹ軸ガイドレール１８は、Ｘ軸方向に予め定めた間隔をおいて平行に配設されている。尚、本実施形態では、Ｙ軸方向に平行に延びた一対のＹ軸ガイドレール１８において、基台２の上方位置を作業領域、基台２から離間した位置を待機領域としている。
【００２３】
一対のＹ軸ガイドレール１８の間に、複数（本実施形態では、６個）のキャリッジプレート２１が差し渡されるように配置されている。そして、各キャリッジプレート２１は、Ｙ軸ガイドレール１８に沿って副走査方向（Ｙ軸方向）に移動可能に載置されている。一対のＹ軸ガイドレール１８には、Ｙ軸リニアモータＭ２を備え、Ｙ軸リニアモータＭ２は、一対のＹ軸ガイドレール１８に載置された各キャリッジプレート２１をそれぞれエアスライダ（図示省略）を介してＹ軸方向に往復移動させる。つまり、各キャリッジプレート
２１は、Ｙ軸ガイドレール１８上の作業領域と待機領域との間を往復移動するようになっている。
【００２４】
因みに、液滴吐出装置１を休止させているときは、各キャリッジプレート２１は待機領域に案内されて、次の液滴吐出装置１の稼働まで待機領域で待機するようになっている。
各キャリッジプレート２１の上面には、機能液供給ユニット２２とヘッド用電装ユニット２３とが載置されている。機能液供給ユニット２２は、機能液Ｆ（図４（ｂ）参照）を所定量貯蔵して、各液滴吐出ヘッド４０（図４（ａ），（ｂ）参照）に機能液Ｆを供給するための供給回路装置である。ヘッド用電装ユニット２３は、各液滴吐出ヘッド４０を駆動するための電気信号を供給するための電気回路装置である。
【００２５】
また、ここでいう機能液Ｆとは、ＣＦ基板Ｗに形成されたブラックマトリクスの枠内に配置される赤、緑、青のフィルタ用インクである。機能液Ｆは、ＣＦ基板Ｗに形成されたブラックマトリクスの枠内に配置された後に乾燥されると、赤、緑、青のフィルタとなる。
【００２６】
図２に示すように、各キャリッジプレート２１の下面の中央位置には、吊下機構２５が設けられ、その吊下機構２５の下端部にキャリッジ３０が取着されている。
吊下機構２５は、吊下基板２６と、吊下回動枠２７と、吊下支持枠２８とを有している。吊下基板２６は、キャリッジプレート２１の下面中央位置に連結固定され、その下端部に吊下回動枠２７を連結している。吊下回動枠２７は、その下端部に吊下支持枠２８をθ方向に回動可能に連結支持している。吊下回動枠２７には、θ軸回動モータ（図示省略）を有し、θ軸回動モータは吊下支持枠２８を吊下基板２６（キャリッジプレート２１）に対してθ方向に回動させるようになっている。吊下支持枠２８には、キャリッジ３０が支持固定され、吊下機構２５に垂設されたキャリッジ３０をθ方向に回動させる。
【００２７】
キャリッジ３０は、略直方体形状のキャリッジ枠３１を有している。キャリッジ枠３１には、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれの両側面に開口部が設けられており（Ｘ軸方向の各開口部については図８参照）、キャリッジ枠３１の内側に対して、周囲の空気が流出入できるようになっている。また、キャリッジ３０の略直方体形状のキャリッジ枠３１の下端部には、ユニットプレート３４が図示しないネジ等により固設されている。ユニットプレート３４には、液滴吐出ヘッド４０が着脱可能に、かつ、精度よく位置決め固定されて取り付けられている。本実施形態では、図３に示すように、Ｘ軸方向に沿って並設された３個の液滴吐出ヘッド４０が、Ｙ軸方向と平行に２列、すなわち合計６個の液滴吐出ヘッド４０が取り付けられている。尚、キャリッジ枠３１の内側は、配管や配線などが配設されているが、表示すると煩雑になるため図示を省略している。
（液滴吐出ヘッド４０）
次に、ユニットプレート３４に取着した液滴吐出ヘッド４０について図４を参照して説明する。図４（ａ）は、液滴吐出ヘッドを基板ステージ１４側から見た外観斜視図である。この液滴吐出ヘッド４０は、２つの接続針４２を有する液体導入部４１と、液体導入部４１の側方に連なるヘッド基板４３と、液体導入部４１に連なるポンプ部４４と、ポンプ部４４に連なるノズルプレート４５とを備えている。
【００２８】
液体導入部４１の接続針４２には、機能液供給ユニット２２に接続された配管接続部材５０（図２参照）が接続されている。ヘッド基板４３には、一対のヘッドコネクタ４３Ａが実装されており、当該ヘッドコネクタ４３Ａを介して、ヘッド用電装ユニット２３に接続された図示しないフレキシブルフラットケーブルが接続される。
【００２９】
一方、ポンプ部４４とノズルプレート４５とにより、方形のヘッド本体４０Ａが構成されている。
ノズルプレート４５のノズル形成面４５ａには、液滴Ｆｂを吐出する吐出ノズル４６からなる２本のノズル列４７が形成されている。２本のノズル列４７は相互に平行に列設されており、各ノズル列４７は、等ピッチで並設された１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル４６で構成されている。すなわち、ヘッド本体４０Ａのノズル形成面４５ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列４７が対称に配設されている。
【００３０】
図４（ｂ）は、液滴吐出ヘッド４０のポンプ部４４の内部を示し、各吐出ノズル４６の上側にそれぞれキャビティ５２、振動板５３及び圧電素子ＰＺを有している。各キャビティ５２は、それぞれ配管接続部材５０を介して機能液供給ユニット２２に接続され、同機能液供給ユニット２２からの機能液Ｆ（フィルタ用インク）を収容し、そのフィルタ用インクを吐出ノズル４６に供給する。振動板５３は、各キャビティ５２に対向する領域をＺ方向に振動することによって、該キャビティ５２の容積を拡大及び縮小させて、これに伴って吐出ノズル４６のメニスカスを振動させる。各圧電素子ＰＺは、それぞれ所定の駆動波形信号を受けるとき、Ｚ方向に収縮して伸張することによって、振動板５３の各領域をＺ方向に振動させる。各キャビティ５２は、それぞれの振動板５３がＺ方向に振動するとき、収容するフィルタ用インクの一部を所定重量の液滴Ｆｂにして吐出ノズル４６から吐出させる。
【００３１】
ポンプ部４４の基部側、すなわちヘッド本体４０Ａの基部側は、液体導入部４１を受けるべく方形フランジ状にフランジ部４８が形成されている。このフランジ部４８は、抜け止めの役目を果たすとともに、ヘッド止めネジ（図示せず）でユニットプレート３４と連結固定される連結部の役目を果たす。フランジ部４８には、液滴吐出ヘッド４０をユニットプレート３４に固定する小ネジ用のネジ孔（雌ネジ）４９が一対形成されている。つまり、液滴吐出ヘッド４０は、ユニットプレート３４の所定の位置に形成された貫通穴（図示せず）に、ヘッド本体４０Ａを貫挿させて、ユニットプレート３４を貫挿してネジ孔４９と螺合するヘッド止めネジ（図示せず）によってユニットプレート３４に固定される。
【００３２】
図２〜図４に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、図１に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸と同一である。すなわち、ユニットプレート３４が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、液滴吐出ヘッド４０に形成されたノズル列４７（図４参照）は、Ｙ軸方向に延在する構成になっている。
（キャッピング治具６０）
次に、液滴吐出装置１が休止して全てのキャリッジ３０（キャリッジプレート２１）が待機領域で、稼働されるまで待機しているとき、その待機している間に、各キャリッジ３０の各液滴吐出ヘッド４０の乾燥を防ぐためのキャッピング治具６０について説明する。
【００３３】
図５に示すように、キャッピング治具６０は、各キャリッジ３０に対してそれぞれ取着される。
キャッピング治具６０は、ベース板６１を有し、そのベース板６１はキャリッジ３０に固着された複数の液滴吐出ヘッド４０を取着したユニットプレート３４に対して所定の間隔で保持されている。
【００３４】
図６は、キャッピング治具６０を上方から見た全体斜視図を示し、そのベース板６１の上面６１ａであってその四隅には、位置決め部材としての第１〜第４位置決めガイド板６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄが固着されている。また、ベース板６１の上面６１ａであってＸ軸方向の一側辺の中央位置には、第５位置決めガイド板６２ｅが固着されている。
【００３５】
そして、第１位置決めガイド板６２ａがユニットプレート３４の第１側面Ｓ１（図３参照、以下同様）、第２位置決めガイド板６２ｂがユニットプレート３４の第２側面Ｓ２、第３位置決めガイド板６２ｃがユニットプレート３４の第３側面Ｓ３、第４位置決めガイ
ド板６２ｄがユニットプレート３４の第４側面Ｓ４、及び、第５位置決めガイド板６２ｅがユニットプレート３４の第５側面Ｓ５に、それぞれ当接する。これによって、ベース板６１のユニットプレート３４のＸ軸方向及びＹ軸方向に対する位置決めが行われる。
【００３６】
また、ベース板６１の上面６１ａであってＸ軸方向の両側辺には、位置決め部材としての位置決めガイドピン６３がそれぞれ固着されている。
そして、位置決めガイドピン６３がユニットプレート３４に設けた一対のピン孔（図示せず）と嵌合する。これによって、ベース板６１のユニットプレート３４のＸ軸方向及びＹ軸方向に対する位置決めが精密に行われる。
【００３７】
さらに、ベース板６１の上面６１ａであってＸ軸方向の両側辺には、それぞれ一対の高さ調整部材６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄがそれぞれ固着されている。高さ調整部材６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄは、当接部としての調整ネジ６５を有し、その調整ネジ６５の頭部が、ユニットプレート３４に当接することによって、ベース板６１のユニットプレート３４のＺ軸方向に対する位置決めが精密に行われる。
【００３８】
調整ネジ６５の頭部は、磁石で構成されていて、ベース板６１を、ユニットプレート３４に位置決め調整しながら保持する際に、調整ネジ６５の頭部が、磁力によりユニットプレート３４に密着保持される。
【００３９】
そして、ベース板６１の上面６１ａであってＸ軸方向の他側辺には、調整ネジ６５の頭部の磁力でユニットプレート３４に密着保持されているベース板６１をユニットプレート３４から外すための離脱レバー６６が設けられている。
【００４０】
さらにまた、ベース板６１の上面６１ａであってＸ軸方向の両側辺には、連結保持手段としての第１及び第２クランプ装置７７ａ，７７ｂがそれぞれ固着されている。
そして、第１クランプ装置７７ａはユニットプレート３４の第６側面Ｓ６（図３参照、以下同様）、第２クランプ装置７７ｂはユニットプレート３４の第７側面Ｓ７をクランプし、ベース板６１がユニットプレート３４から離脱しないように連結するようになっている（図５参照、第２クランプ装置７７ｂは図示せず）。
【００４１】
従って、ベース板６１は、ユニットプレート３４の下側に装着するとき、第１〜第５位置決めガイド板６２ａ〜６２ｅ及び位置決めガイドピン６３にてガイドされてＸ軸方向及びＹ軸方向が位置決めされるとともに、高さ調整部材６４ａ〜６４ｄにてＺ軸方向に対して位置決めされて、調整ネジ６５の磁力によってユニットプレート３４に連結保持される。そして、ベース板６１は、第１及び第２クランプ装置７７ａ，７７ｂにて、ユニットプレート３４に強固に連結保持される。
【００４２】
ベース板６１は、図６に示すように、ユニットプレート３４に設けた各液滴吐出ヘッド４０に対応した数のヘッドキャップ６８（本実施形態では６個）が各液滴吐出ヘッド４０とそれぞれ相対向するように配置されている。
【００４３】
各ヘッドキャップ６８は、図７に示すように、ベース板６１に上面６１ａに形成した凹部６１ｂにキャップ本体６９が配設されている。キャップ本体６９のＹ軸方向の両側には貫通孔６９ａが形成され、その貫通孔６９ａにはベース板６１の下面６１ｃから貫挿されたガイド軸７０が貫通している。ガイド軸７０の先端には抜け止め部材７１が取着され、前記キャップ本体６９が、ガイド軸７０に沿って移動可能にかつガイド軸７０から抜け落ちないようになっている。
【００４４】
キャップ本体６９とベース板６１の間のガイド軸７０には、弾性部材としてのコイルバ
ネＳＰが配設されている。従って、キャップ本体６９（ヘッドキャップ６８）は、コイルバネＳＰによって、ベース板６１に対して離間する位置（抜け止め部材７１と係合する位置）に弾圧保持されている。そして、キャップ本体６９（ヘッドキャップ６８）を、コイルバネＳＰの弾性力に抗して押圧すると、キャップ本体６９（ヘッドキャップ６８）はベース板６１に向かって移動するようになっている。
【００４５】
キャップ本体６９には、液滴吐出ヘッド４０の全吐出ノズル４６を内包した状態でノズル形成面４５ａに密着する環状のシール部材７３を備えている。そして、キャップ本体６９とシール部材７３とによって、上面が開口しているキャップ室７２が形成されている。
【００４６】
従って、ベース板６１をユニットプレート３４に連結保持した時、ベース板６１に設けた各ヘッドキャップ６８は、対応するユニットプレート３４に設けた液滴吐出ヘッド４０に対して、環状のシール部材７３が全吐出ノズル４６を内包した状態でノズル形成面４５ａに密着するようになっている。その結果、ユニットプレート３４に設けた各液滴吐出ヘッド４０は、外気に晒されて機能液Ｆが乾燥されることによる目詰まりといった不具合は解消される。
【００４７】
このとき、ユニットプレート３４に設けた各液滴吐出ヘッド４０について、Ｚ軸方向に取付け誤差がそれぞれ生じていても、各ヘッドキャップ６８は、ガイド軸７０及びコイルバネＳＰによって、Ｚ軸方向に移動可能に弾圧保持されているので、対応する液滴吐出ヘッド４０に対して確実に密着する。
【００４８】
上記実施形態によれば以下のような効果を得ることができる。
（１）上記実施形態によれば、キャッピング治具６０の各ヘッドキャップ６８は、ガイド軸７０に沿って移動可能にするとともに、コイルバネＳＰによってベース板６１から離間方向へ弾性保持した。従って、各キャリッジ３０に取り付けた各液滴吐出ヘッド４０のユニットプレート３４からの高さに誤差があったとしても、コイルバネＳＰの弾性力によって確実にシール部材７３をノズル形成面４５ａに密着させることができる。すなわち、キャリッジ３０の各液滴吐出ヘッド４０を確実に密閉することができる。その結果、各液滴吐出ヘッド４０内の機能液Ｆの乾燥を抑制することができる。
【００４９】
（２）上記実施形態によれば、キャッピング治具６０をキャリッジ３０に取り付ける際に、ユニットプレート３４に対してキャッピング治具６０の位置を調整する第１〜第５位置決めガイド板６２ａ〜６２ｅと位置決めガイドピン６３とを設けた。従って、キャッピング治具６０（ヘッドキャップ６８）をユニットプレート３４（液滴吐出ヘッド４０）に対して位置調整し、各液滴吐出ヘッド４０にヘッドキャップ６８を確実に密着させることができる。その結果、各液滴吐出ヘッド４０を確実に密閉することができる。
【００５０】
（３）上記実施形態によれば、キャッピング治具６０のベース板６１には、ユニットプレート３４とベース板６１との間隔を調整する高さ調整部材６４ａ〜６４ｄを設けた。また、高さ調整部材６４ａ〜６４ｄの調整ネジ６５の頭部を磁石とした。従って、ユニットプレート３４とベース板６１との間隔を高さ調整部材６４ａ〜６４ｄで調整することによって、ヘッドキャップ６８の各液滴吐出ヘッド４０に対する密着力を高めることができる。その結果、より確実に各液滴吐出ヘッド４０を密閉することができる。
【００５１】
また、高さ調整部材６４ａ〜６４ｄの調整ネジ６５の頭部（磁石）をユニットプレート３４に当接させることによって、キャッピング治具６０をユニットプレート３４に容易に密着保持することができる。そして、その状態から第１及び第２クランプ装置７７ａ，７７ｂを操作することによって、キャッピング治具６０をキャリッジ３０に容易に取り付けることができる。
【００５２】
（４）上記実施形態によれば、高さ調整部材６４ａ〜６４ｄの調整ネジ６５の頭部（磁石）によって、キャッピング治具６０をユニットプレート３４に密着保持しているとき、高さ調整部材６４ａ〜６４ｄの調整ネジ６５の頭部（磁石）をユニットプレート３４から離脱させる離脱レバー６６を設けた。
【００５３】
従って、高さ調整部材６４ａ〜６４ｄの調整ネジ６５の頭部（磁石）とユニットプレート３４とが当接しているとき、離脱レバー６６を操作することによって、キャッピング治具６０をユニットプレート３４から容易に取り外すことができる。
【００５４】
（５）上記実施形態によれば、キャッピング治具６０をキャリッジ３０に対して連結固定する第１及び第２クランプ装置７７ａ，７７ｂを設けた。従って、キャッピング治具６０をキャリッジ３０に、手動で容易に連結固定することができる。その結果、例えば昇降手段などを備えた大規模なキャッピング装置を設けることなく、各液滴吐出ヘッド４０を密閉して機能液Ｆの乾燥を抑制できるので、液滴吐出装置１のコストを低減することができる。
（第２実施形態）
次に本発明の第２実施形態について図８及び図９に従って説明する。
【００５５】
図８に示すように、本実施形態のキャッピング治具８０は、キャリッジプレート２１（吊下支持枠２８）から取り外した状態のキャリッジ３０を輸送する際に、そのキャリッジ３０に取着され各液滴吐出ヘッド４０の乾燥を防ぐためのキャッピング治具である。尚、第１実施形態と構成が同じところは符号を同じにしてその説明は省略する。
【００５６】
図９に示すように、キャッピング治具８０は、ベース板８１を有し、そのベース板８１はキャリッジ３０に固着され、複数の液滴吐出ヘッド４０を取着したユニットプレート３４に対して所定の間隔で保持されている。ベース板８１の外形は、ユニットプレート３４の外形と少し大きい相似形に形成されている。
【００５７】
そのベース板８１の上面８１ａであってその四隅には、２本を一組とする位置決め部材としての第１〜第４位置決めガイド８２ａ，８２ｂ，８２ｃ，８２ｄが固着されている。
そして、第１〜第４位置決めガイド８２ａ，８２ｂ，８２ｃ，８２ｄは、ユニットプレート３４の各四隅をそれぞれ挟持することによって、ベース板８１のユニットプレート３４のＸ軸方向及びＹ軸方向に対する位置決めが行われる。
【００５８】
さらに、ベース板８１の上面８１ａであってＸ軸方向の両側辺には、それぞれ高さ調整部材８４ａ，８４ｂ，８４ｃ，８４ｄ，８４ｅ，８４ｆがそれぞれ固着されている。高さ調整部材８４ａ〜８４ｆは当接部としての調整ネジ８５を有し、その調整ネジ８５の頭部が、ユニットプレート３４に当接することによって、ベース板８１のユニットプレート３４のＺ軸方向に対する位置決めが精密に行われる。
【００５９】
調整ネジ８５の頭部は、磁石で構成されていて、ベース板８１を、ユニットプレート３４に位置決め調整しながら保持する際に、調整ネジ８５の頭部が、磁力によりユニットプレート３４に密着保持される。
【００６０】
さらにまた、ベース板８１の上面８１ａであってＸ軸方向の両側辺には、連結保持手段としての第１及び第２クランプ装置８７ａ，８７ｂがそれぞれ固着されている。そして、第１及び第２クランプ装置８７ａ，８７ｂは、図８に示すように、キャリッジ枠３１のＸ軸方向の側面の下辺３２をそれぞれクランプし、ベース板８１がキャリッジ３０（ユニットプレート３４）から離脱しないように連結するようになっている。
【００６１】
従って、ベース板８１は、ユニットプレート３４の下側に装着するとき、第１〜第４位置決めガイド８２ａ，８２ｂ，８２ｃ，８２ｄにてＸ軸方向及びＹ軸方向が位置決めされるとともに、高さ調整部材８４ａ〜８４ｆにてＺ軸方向に対する位置決めされて、調整ネジ８５の磁力によってユニットプレート３４に連結保持される。そして、ベース板８１は、第１及び第２クランプ装置８７ａ，８７ｂにて、ユニットプレート３４に強固に連結保持される。
【００６２】
そして、ベース板８１は、図９に示すように、第１実施形態と同様な構成のヘッドキャップ６８が設けられている。
従って、ベース板８１をユニットプレート３４に連結保持した時、ベース板８１に設けた各ヘッドキャップ６８は、対応するユニットプレート３４に設けた液滴吐出ヘッド４０に対して、環状のシール部材７３が全吐出ノズル４６を内包した状態でノズル形成面４５ａに密着するようになっている。その結果、ユニットプレート３４に設けた各液滴吐出ヘッド４０は、外気に晒されて機能液Ｆが乾燥されることによる目詰まりといった不具合は解消される。
【００６３】
このとき、ユニットプレート３４に設けた各液滴吐出ヘッド４０について、Ｚ軸方向に取付け誤差がそれぞれ生じていても、各ヘッドキャップ６８は、ガイド軸７０及びコイルバネＳＰによって、Ｚ軸方向に移動可能に弾圧保持されているので、対応する液滴吐出ヘッド４０に対して確実に密着する。
【００６４】
さらにまた、ベース板８１の上面８１ａであってＸ軸方向の両側辺には、Ｌ字状に屈曲形成された固定部材としてのチューブ固定板８８がそれぞれ固着されている。チューブ固定板８８は、図８に示すように、キャッピング治具８０がキャリッジ３０に連結保持されたとき、前記機能液供給ユニット２２から各液滴吐出ヘッド４０に機能液Ｆを供給するための配管接続部材５０（図２参照）を束ねて固定するようになっている。
【００６５】
上記実施形態によれば、第１実施形態の（１）〜（５）の効果に加えて、以下のような効果を得ることができる。
（６）上記実施形態によれば、キャッピング治具８０には、配管接続部材５０を束ねて固定するチューブ固定板８８を設けたことによって、キャリッジ３０を搬送するときに配管接続部材５０を固定することができる。従って、キャリッジ３０の搬送を容易に行うことができる。
【００６６】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記第１及び第２実施形態では、第１及び第２クランプ装置７７ａ，７７ｂ及び第１及び第２クランプ装置８７ａ，８７ｂを用いてキャッピング治具６０，８０をキャリッジ３０に連結保持した。これに限らず、例えば、キャッピング治具６０，８０をキャリッジ３０に対してねじ等を用いて連結保持させるようにしてもよい。
【００６７】
・上記第１及び第２実施形態では、弾性部材は、コイルバネＳＰとした。これに限らず、たとえば、板バネなどを用いてもよい。
・上記第１及び第２実施形態では、液滴吐出ヘッド４０を６個搭載したキャリッジ３０に具体化した。これに限らず、キャリッジに搭載される液滴吐出ヘッドの配置及び数は適宜変更してもよい。
【００６８】
・上記第１及び第２実施形態では、フィルタ用インクを液滴にして吐出させてＣＦ基板にカラーフィルタを形成する液滴吐出装置に具体化した。これに限定されるものではなく、金属配線を形成する液滴吐出装置、絶縁層を形成する液滴吐出装置、液晶層や配向膜を
形成する液滴吐出装置、有機ＥＬ表示装置の発光層を形成する液滴吐出装置等に応用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図。
【図２】キャリッジプレートとキャリッジの関係を表す平面図。
【図３】液滴吐出ヘッドを搭載したユニットプレートをノズルプレート側から見たときの概略構成を示す斜視図。
【図４】（ａ）液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た斜視図、（ｂ）液滴吐出ヘッドの要部断面図。
【図５】第１実施形態において、キャッピング治具をキャリッジに取り付けたときの斜視図。
【図６】第１実施形態におけるキャッピング治具の斜視図。
【図７】ヘッドキャップとベース板との関係を示す関係図。
【図８】第２実施形態において、キャッピング治具をキャリッジに取り付けたときの斜視図。
【図９】第２実施形態におけるキャッピング治具の斜視図。
【符号の説明】
【００７０】
Ｆ…機能液、Ｆｂ…液滴、Ｗ…ＣＦ基板、Ｍ１…Ｘ軸リニアモータ、Ｍ２…Ｙ軸リニアモータ、ＰＺ…圧電素子、Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５，Ｓ６，Ｓ７…側面、ＳＰ…コイルバネ、１…液滴吐出装置、２…基台、２ａ…上面、１１…Ｘ軸ガイドレール、１２…Ｘ軸移動プレート、１４…基板ステージ、１６…ステージ回動機構、１８…Ｙ軸ガイドレール、１９ａ…支柱、１９ｂ…支柱、２１…キャリッジプレート、２２…機能液供給ユニット、２３…ヘッド用電装ユニット、２５…吊下機構、２６…吊下基板、２７…吊下回動枠、２８…吊下支持枠、３０…キャリッジ、３１…キャリッジ枠、３２…下辺、３４…ユニットプレート、４０…液滴吐出ヘッド、４０Ａ…ヘッド本体、４１…液体導入部、４２…接続針、４３…ヘッド基板、４３Ａ…ヘッドコネクタ、４４…ポンプ部、４５…ノズルプレート、４５ａ…ノズル形成面、４６…吐出ノズル、４７…ノズル列、４８…フランジ部、４９…ネジ孔、５０…配管接続部材、５２…キャビティ、５３…振動板、６０…キャッピング治具、６１…ベース板、６１ａ…上面、６１ｂ…凹部、６1ｃ…下面、６２ａ，
６２ｂ，６２ｃ，６２ｄ，６２ｅ…位置決めガイド板、６３…位置決めガイドピン、６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ…高さ調整部材、６５…調整ネジ、６６…離脱レバー、６８…ヘッドキャップ、６９…キャップ本体、６９ａ…貫通孔、７０…ガイド軸、７１…抜け止め部材、７２…キャップ室、７３…シール部材、７７ａ，７７ｂ…クランプ装置、８０…キャッピング治具、８１…ベース板、８１ａ…上面、８２ａ，８２ｂ，８２ｃ，８２ｄ…位置決めガイド、８４ａ，８４ｂ，８４ｃ，８４ｄ，８４ｅ，８４ｆ…高さ調整部材、８５…調整ネジ、８７ａ，８７ｂ…クランプ装置、８８…チューブ固定板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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