(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複雑な通路や複数の鋳物壁を設けた翼のような超合金翼を鋳造するための、複雑な複合セラミック中子組立品の製造方法であって、
隣接している中子構成要素が有する補完的な一体連結ロケータ機能の突起あるいは柱と嵌合する凹部あるいはカウンタボアを複数の個別的な中子構成要素が有するように形成すること、
中子構成要素を焼成すること、
隣接している中子構成要素が有する一体連結ロケータ機能の突起あるいは柱と凹部あるいはカウンタボアと嵌合させて焼成された中子構成要素を組立てて、中子構成要素の適切な相互関連した位置・間隔決めをする内部ジョイントを形成すること、
中子構成要素を組立品として突起あるいは柱と凹部あるいはカウンタボアとを接合させて形成した前記内部ジョイントにこの内部ジョイントに連通する接着剤入口穴からセラミック接着剤を導入すること、
からなる多数壁セラミック中子組立品の製造方法。
【請求項２】
中子構成要素を接合させた後に前記接着剤入口穴をセラミック材料で充填させる請求項１の多数壁セラミック中子組立品の製造方法。
【請求項３】
前記中子構成要素は射出成形される請求項１の多数壁セラミック中子組立品の製造方法。
【請求項４】
中子構成要素に形成され、且つジョイントに連通する接着剤入口穴に挿入したシリンジを用いて、前記セラミック接着剤を内部ジョイントに導入させる請求項１の多数壁セラミック中子組立品の製造方法。
【請求項５】
前記中子構成要素をアーチ形とするとともに、この中子構成要素が、タービン翼形を鋳造するために翼断面形状となっている請求項１の多数壁セラミック中子組立品の製造方法。
【請求項６】
焼成された中子構成要素が、その一体連結ロケータ機能と内部ジョイントに導入されるセラミック接着剤と共に取付具に組み立てられる請求項１の多数壁セラミック中子組立品の製造方法。
【請求項７】
一体連結ロケータ機能の突起あるいは柱と凹部あるいはカウンタボアとの嵌合によって相互関連して配置されるとともに、
一体連結ロケータ機能の突起あるいは柱と凹部あるいはカウンタボアとの間に形成した内部ジョイントにこの内部ジョイントに連通する接着剤入口穴からセラミック接着剤を導入して接合され、
複雑な通路や複数の鋳物壁を設けた翼のような超合金翼を鋳造するための、複雑な複合セラミック中子組立品を形成する
ことを特徴とする多数壁セラミック中子組立品。
【請求項８】
前記中子構成要素をアーチ形とするとともに、この中子構成要素が、タービン翼形を鋳造するために翼断面形状となっている請求項７の多数壁セラミック中子組立品。
【請求項９】
一体連結ロケータ機能の突起あるいは柱と凹部あるいはカウンタボアとの嵌合によって相互関連して配置されるとともに、
一体連結ロケータ機能の突起あるいは柱と凹部あるいはカウンタボアとの間に形成した内部ジョイントにこの内部ジョイントに連通する接着剤入口穴からセラミック接着剤を導入して接合され、
複雑な通路や複数の鋳物壁を設けた翼のような超合金翼を鋳造するための、複雑な複合セラミック中子組立品を形成した後に、
セラミック鋳型内における前記中子組立品の位置を定めること、
前記中子組立品のまわりの鋳型に溶融状態の金属材料を導入すること、
からなる内部冷却通路の形を定める多数壁を有する翼鋳物の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば空冷効率を向上させる複雑な通路や複数の鋳物壁を設けた翼のような超合金翼を鋳造するための、複雑な複合セラミック中子（ｍｕｌｔｉ−ｐｉｅｃｅ  ｃｅｒａｍｉｃ  ｃｏｒｅ）に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ガスタービンエンジン製造業者の大多数は、多数壁（ｍｕｌｔｉ−ｗａｌｌ）や薄壁（ｔｈｉｎ−ｗａｌｌ）があり、翼内部の冷却効率を改善してより大きなエンジン推力を与えたり十分な耐用年数となるように複雑な空冷用通路（ａｉｒ  ｃｏｏｌｉｎｇ  ｃｈａｎｎｅｌ）を設けた進歩した翼（タービン動翼または羽根）を高く評価している。
【０００３】
このため、米国特許５２９５５３０号明細書および米国特許５５４５００３号明細書には、複雑な空冷通路を設けた、多数壁や薄壁のある進歩したタービン動翼または羽根の設計が記載されている。
米国特許５２９５５３０号明細書において、第１薄壁セラミック中子をワックスまたはプラスチックで被覆し、その被覆された第１セラミック中子上に類似する第２セラミック中子を仮位置決めピンで配置して多数壁を有する中子組立品（ｍｕｌｔｉ−ｗａｌｌ  ｃｏｒｅ  ａｓｓｅｍｂｌｙ）を作成し、セラミック中子に穴をあけ、各々のあけた穴に位置決めロッドを嵌入させ、それから第２セラミック中子をワックスまたはプラスチックで被覆する。
多数壁セラミック中子組立品の構築は必要に応じてこの順序で反覆される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
複合コンロッド等やロッドを取り付ける穴をあけた中子を使用することにより、この中子組み付け手順は全くもって複雑であり、時間を浪費しコストも高い。
加えて、この中子組み付け手順では寸法精度が低下し、中子組立品の繰返し精度が低下し、従ってそのような中子組立品を用いて作られる翼鋳物に損失をもたらすこととなり得る。
【０００５】
本発明の目的は、翼内部の冷却効率を改善する複合空冷通路を備えた、多数壁や薄壁のある進歩したタービン翼形（例えばタービン動翼あるいは羽根の鋳物）の鋳造に用いる多数壁セラミック中子組立品及びその製造方法と内部冷却通路の形を定める多数壁を有する翼鋳物の製造方法を提供することにある。
【０００６】
本発明の他の目的は、多数壁や薄壁のある進歩した動翼形の鋳造に用いる多数壁セラミック中子組立品及びその製造方法と内部冷却通路の形を定める多数壁を有する翼鋳物の製造方法を提供することにあり、これまでの中子組立技法の不利な点を克服する新規の方法で複合中子組立品を形成する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
そこで、この発明は、複雑な通路や複数の鋳物壁を設けた翼のような超合金翼を鋳造するための、複雑な複合セラミック中子組立品の製造方法であって、隣接している中子構成要素が有する補完的な一体連結ロケータ機能の突起あるいは柱と嵌合する凹部あるいはカウンタボアを複数の個別的な中子構成要素が有するように形成すること、中子構成要素を焼成すること、隣接している中子構成要素が有する一体連結ロケータ機能の突起あるいは柱と凹部あるいはカウンタボアと嵌合させて焼成された中子構成要素を組立てて、中子構成要素の適切な相互関連した位置・間隔決めをする内部ジョイントを形成すること、中子構成要素を組立品として突起あるいは柱と凹部あるいはカウンタボアとを接合させて形成した前記内部ジョイントにこの内部ジョイントに連通する接着剤入口穴からセラミック接着剤を導入すること、からなる。
また、一体連結ロケータ機能の突起あるいは柱と凹部あるいはカウンタボアとの嵌合によって相互関連して配置されるとともに、一体連結ロケータ機能の突起あるいは柱と凹部あるいはカウンタボアとの間に形成した内部ジョイントにこの内部ジョイントに連通する接着剤入口穴からセラミック接着剤を導入して接合され、複雑な通路や複数の鋳物壁を設けた翼のような超合金翼を鋳造するための、複雑な複合セラミック中子組立品を形成することを特徴とする。
更に、一体連結ロケータ機能の突起あるいは柱と凹部あるいはカウンタボアとの嵌合によって相互関連して配置されるとともに、一体連結ロケータ機能の突起あるいは柱と凹部あるいはカウンタボアとの間に形成した内部ジョイントにこの内部ジョイントに連通する接着剤入口穴からセラミック接着剤を導入して接合され、複雑な通路や複数の鋳物壁を設けた翼のような超合金翼を鋳造するための、複雑な複合セラミック中子組立品を形成した後に、セラミック鋳型内における前記中子組立品の位置を定めること、前記中子組立品のまわりの鋳型に溶融状態の金属材料を導入すること、からなる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明は、多数壁セラミック中子組立品及びその製造方法と内部冷却通路の形を定める多数壁を有する翼鋳物の製造方法であって、薄壁のある複数の個別的なアーチ形（例えば翼形）の中子構成要素が一体連結ロケータ機能を有するように、マスタ鋳型で形成される。
その個別的な中子構成要素はそれぞれのセラミックセッタ支持具にある状態で予焼される。
予焼された中子構成要素は、隣接している中子構成要素が有する一体連結ロケータ機能を用いて一緒に組立てられる。
【０００９】
そして、組立てられた中子構成要素は、一体連結ロケータ機能間の内部ジョイントに導入するセラミック接着剤を用いて一緒に接着される。
そのように作られた多数壁セラミック中子組立品は薄壁のある間隔を置いた複数のアーチ形の（例えば翼形）中子構成要素とからなり、接着された一体連結ロケータ機能間の内部ジョイントで一緒に結合される。
【００１０】
【実施例】
図１〜６に示すように、本発明は、例示の実施例で示される多数壁や薄壁のある翼形（図示せず。ガスタービンエンジンタービン動翼や羽根が含まれる）を鋳造するための多数壁セラミック中子組立品１０及びその製造方法と内部冷却通路の形を定める多数壁を有する翼鋳物の製造方法を提供する。
タービン動翼や羽根は、例えば周知のニッケルあるいはコバルト基超合金といった溶融状態の超合金を、図５に示すように中に中子組立品１０が配置されるセラミックインベストメントシェル鋳型Ｍに鋳込むことで形成できる。
溶融状態の超合金をセラミック中子組立品１０まわりの周知の鋳型Ｍ内で方向性凝固（ｄｉｒｅｃｔｉｏｎａｌｌｙ  ｓｏｌｉｄｉｆｉｅｄ）させて、セラミック中子組立品１０を中に有した柱状晶（ｃｏｌｕｍｎａｒ  ｇｒａｉｎ）あるいは単結晶の鋳物を作り出すことができる。
あるいは、溶融状態の超合金を鋳型Ｍ内で凝固させて、周知の等軸晶（ｅｑｕｉａｘｅｄ  ｇｒａｉｎ）鋳物を作り出すこともできる。
後述のごとく、化学溶脱あるいは他の適切な技法で中子組立品１０が除去されて、中子構成要素Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３があったところが内部冷気通路となる鋳造翼が形成される。
図１に示すように、本発明例示の中子組立品１０は、薄壁があり予め形成された一体連結ロケータ機能を有する複数の（３つが図示されている）個別的なアーチ形の中子構成要素Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３からなり、その一体連結ロケータ機能は、中子構成要素Ｃ１、Ｃ２にある円筒形（あるいは他の形）の突起あるいは柱１０ａと、中子構成要素Ｃ２、Ｃ３にある補完的な円筒形の凹部あるいはカウンタボア１０ｂとからなる。
一般的に０．００２から０．００４インチ／サイドの隙間（径方向隙間）が示される図１の凹部あるいはカウンタボア１０ｂで突起あるいは柱１０ａが受け止められ、それによって中子組立品１０の内部ジョイントＪの形が定まる。
突起あるいは柱１０ａの端と凹部あるいはカウンタボア１０ｂとの隙間は０．０１５インチから０．０２０インチにわたり、その間に後述のように接着剤を受け入れる空洞１０ｃが形成される。
【００１１】
中子構成要素が所定の相互関係で接合するに効果的な突起あるいは柱１０ａ及び凹部あるいはカウンタボア１０ｂが共に嵌合して弧を描かせ、鋳型Ｍの中子組立品１０のまわりで鋳造される翼に内部壁及び内部冷却空気通路を形成するように、突起あるいは柱１０ａ及び凹部あるいはカウンタボア１０ｂが中子構成要素Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３の相補形パターンに配置される（図５）。
中子構成要素Ｃ１にある突起あるいは柱１０ａの例示パターンが図６に示されている。
【００１２】
その教示が本明細書に含まれる米国特許５２９６３０８号に従って、中子構成要素Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３は、空間Ｓ１、Ｓ２を形成するように、中子の対抗する面に造られた一体バンパＣＢによって間隔をあけて配置される。
超合金が鋳型Ｍの中子組立品１０のまわりに鋳込まれると、最終的に空間Ｓ１、Ｓ２は溶融状態の超合金で充填される。
【００１３】
薄壁のあるアーチ形の個々の中子構成要素Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３はそれぞれのマスタ鋳型（図示せず）で形成され、アーチ形状となり一体連結ロケータ機能の突起あるいは柱１０ａ、凹部あるいはカウンタボア１０ｂが形成される。
空洞１０ｃにそれぞれ連通する接着剤入口穴１０ｄとともに、中子構成要素Ｃ１、Ｃ３が形成される。
例えば各中子構成要素Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３のように構成されたそれぞれのマスタ鋳型にセラミックスラリーが射出される射出成形によって、中子構成要素がアーチ形状となり一体連結ロケータ機能と接着剤入口穴とを有した状態で形成できる。
すなわち、一体連結ロケータ機能の突起あるいは柱１０ａおよび／または凹部あるいはカウンタボア１０ｂおよび接着剤入口穴１０ｄを適切に配置した状態でその中子構成要素を形成するために、それぞれの中子構成要素Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３用にマスタ鋳型が用意される。
米国特許５２９６３０８号明細書には一体機能を有するセラミック中子の射出成形が記載されており、それは本願明細書に引用したものとする。
あるいは、本発明は特定の中子成形技術に限定されないので、注入中子成型法（ｐｏｕｒｅｄ  ｃｏｒｅ  ｍｏｌｄｉｎｇ）やスリップ注型法（ｓｌｉｐ−ｃａｓｔ  ｍｏｌｄｉｎｇ）やその他の技法で中子構成要素を形成してよもい。
【００１４】
ガスタービンエンジン動翼あるいは羽根のような超合金翼を鋳造するために中子組立品１０を形成する場合には、中子構成要素Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３は、当業者に明らかである、凹凸面・翼前縁および翼後縁がある断面輪郭の相補形鋳物翼形となる。
【００１５】
セラミック中子構成要素Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３は、シリカ基、アルミナ基、ジルコン基、ジルコニア基、あるいは当業者に既知の他の適切なセラミック中子材料やその混合物からなることができる。
特定のセラミック中子材料は本発明の一部を形成せず、適切なセラミック中子材料は米国特許５３９４９３２号明細書に記載されているものである。
そのセラミック中子材料は、後述の如くそこに形成される翼鋳物から化学的に溶脱できるものが選ばれる。
【００１６】
欠陥のある中子構成要素を破棄して中子組立品１０の製造に用いられないようにするため、型込めの後更なる処理の前に、個々の生の（未焼成の）中子構成要素を目視検査する。
個々の中子構成要素の外観を検査できるので、中子組立品１０の歩留り率を増加させ中子組立品のコストを減らす点で有利である。
【００１７】
それぞれのマスタ鋳型から除去して検査したあとに、個々の生の中子構成要素は、一組の各セラミックセッタ２０、２１（例示のために一組が図２で示されている）で高温で予焼される。
セラミックセッタ２１が中子構成要素上にある一方、各セラミックセッタ２０には、隣接する中子構成要素（例えば図３の中子構成要素Ｃ１）面を支持するよう構成される上部支持面２０ａが含まれる。
複合中子構成要素がそのセラミック材料に応じた従来の中子焼成パラメータを用いて従来の中子燃焼加熱炉に装填されるように、セラミックセッタ２０の底面は従来の支持具上に配置される。
燃焼加熱炉から除去したあと、隣接している中子構成要素Ｃ１、Ｃ２、Ｃ２、Ｃ３に予め形成された一体連結ロケータ機能の突起あるいは柱１０ａ、凹部あるいはカウンタボア１０ｂを用いて、予焼された中子構成要素Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３を共に組立てる。
その一体連結ロケータ機能は、中子構成要素の相互関連した取付具における適切な位置・間隔決めをなすものである。
中子構成要素は、手作業で又は適切な機械的装置で取付具に組み立てることができる。
【００１８】
組立てられた中子構成要素Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３は、係合して中子構成要素の相互関連した位置を定める型板部材ＴＭを備えた取付具あるいは型板とともに、一体連結ロケータ機能の突起あるいは柱１０ａ、凹部あるいはカウンタボア１０ｂ間の内部ジョイントＪに導入されるセラミック接着剤３０を用いて一緒に接着される。
セラミック接着剤３０は市販のアルミナ基、シリカ基あるいは従来のセラミック中子材料に用いられる他のペーストセラミック接着剤からなる。
そのセラミック接着剤３０は、中子構成要素Ｃ１、Ｃ３に形成される接着剤入口穴１０ｄにシリンジを挿入することで内部ジョイントＪに導入される。
内部ジョイントＪは「カウンタボア中の柱」形状であり、セラミック接着剤３０を受け入れる空洞１０ｃは、各突起あるいは柱１０ａの端と各下部嵌合凹部あるいはカウンタボア１０ｂとの間で形が明確となる。
セラミック接着剤３０は各々の接着剤入口穴１０ｄと関連する空洞１０ｃを充填するために導入される。
【００１９】
多数壁セラミック中子組立品１０を作り出すために組立てられた中子構成要素Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３が取付具あるいは型板にある間に、セラミック接着剤３０がセットされる。
【００２０】
セラミック接着剤３０がセットされた後、可動的な型板部材ＴＭを引っ込めることで中子組立品１０が取付具あるいは型板から除去され、そして接着した中子組立品に更なる処理が施される。
必要ならば手作業によって各々の中子構成要素の外面と同じ平面になるまで、接着剤入口穴１０ｄをセラミック接着剤で充填してよい。
追加してセラミック接着剤３０で、中子構成要素の面が互いに嵌合あるいは入れ子状になっている幅木のところ又はその他の中子外面のところであるジョイント管路を充填させてもよい。
セラミック接着剤３０は中子外面と同じ高さになるよう均等化される。
【００２１】
そのように作られた多数壁セラミック中子組立品１０は、一体連結ロケータ機能の突起あるいは柱１０ａ、凹部あるいはカウンタボア１０ｂによって相互関連して配置されるとともに一体連結ロケータ機能間の内部ジョイントＪにおいてセラミック接着剤３０で一緒に接合する薄壁のある間隔を置いた複数のアーチ形の（翼形）中子構成要素Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３とからなる。
【００２２】
多数壁セラミック中子組立品１０が超合金翼を鋳造するインベストメントシェル鋳型を形成するように、更なる処理がなされる。
特に、消耗型蝋模型やプラスチックや他の材料が空間Ｓ１、Ｓ２や中子組立品１０のまわりに導入され、中子／模型組立品が形成される。
このために一般的には、中子組立品１０は金型模型に配置され、空間Ｓ１、Ｓ２や中子組立品１０のまわりに溶融状態のワックスＷが射出され、要求された多数壁のあるタービン動翼あるいは羽根形状を形成する（図４）。
それから、周知の「ロストワックス」法に従って中子／模型組立品をセラミックスラリーに反覆浸漬し、過剰スラリーを排出し、シェル鋳型が中子／模型組立品に造型され、要求された厚さになるまで粗粒セラミックスタッコを振りかけ、セラミック鋳型材料に配置する。
それから、シェル鋳型が鋳造に耐える強さとなるよう高温で焼成され、中に中子組立品１０を有するシェル鋳型Ｍを残しつつ熱的あるいは化学的溶解技法によって模型が選択的に除去される（図５）。
【００２３】
それから、従来の鋳込み技法を用いて、中に中子組立品１０を有する鋳型Ｍに溶融状態の超合金が導入される。
その溶融状態の超合金が中子組立品１０のまわりの鋳型Ｍで方向性凝固して、柱状晶あるいは単結晶の翼鋳物を形成する。
あるいは溶融状態の超合金が凝固して、等軸晶の翼鋳物を形成する。機械的型ばらし操作で凝固した鋳物から鋳型Ｍを取り外し、周知の化学的溶脱あるいは機械的グリットブラスト技法がなされる。
化学的溶脱あるいは他の従来の中子を取り外す技法で、凝固した翼鋳物から中子組立品１０を選択的に取り外す。
以前、中子構成要素Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３があった空間は翼鋳物の内部冷気通路となり、超合金鋳造物がある空間Ｓ１、Ｓ２は冷却空気通路を分離する翼の内部壁となる。
【００２４】
本発明は、適切なセラミックスラリーを用いて従来の射出成形によって、セラミック中子構成要素を連結ロケータ機能とともに形成できる点、中子構成要素を予め焼くことで寸法の完全性を改善し、組立前に検査できるようにしてセラミック中子組立品の歩留りを改善し、その結果中子組立品のコストを減らす点で有利である。
【００２５】
請求の範囲に記載される本発明の精神と範囲から逸脱することなく、上記本発明の実施例の種々の変更態様や変形形態を作成できることは、当業者にとって明らかである。
【００２６】
【発明の効果】
本発明は、多数壁セラミック中子組立品及びその製造方法と内部冷却通路の形を定める多数壁を有する翼鋳物の製造方法を例示の実施例において提供し、薄壁のある複数の個別的なアーチ形（例えば翼形）の中子構成要素（ｃｏｒｅ  ｅｌｅｍｅｎｔ）が一体連結ロケータ機能（ｉｎｔｅｇｒａｌ  ｉｎｔｅｒｌｏｃｋｉｎｇ  ｌｏｃａｔｉｎｇ  ｆｅａｔｕｒｅ）とセラミック接着剤入口穴（ｃｅｒａｍｉｃ  ａｄｈｅｓｉｖｅ  ｅｎｔｒｙ  ｈｏｌｅ）とを有するように、マスタ鋳型（ｍａｓｔｅｒ  ｄｉｅｓ）で形成される。
その個別的な中子構成要素はそれぞれのセラミックセッタ支持具にある状態で、予焼（ｐｒｅｆｉｒｅ）される。
予焼された中子構成要素は、隣接している中子構成要素が有する中子構成要素同士の相互関連した適切な位置決めをさせる一体連結ロケータ機能を用いて一緒に組立てられる。
そして、組立てられた中子構成要素は、予め形成された接着剤入口穴を通って一体連結ロケータ機能間の内部ジョイントに導入するセラミック接着剤を用いて一緒に接着される。
【００２７】
そのように作られた多数壁セラミック中子組立品は薄壁のある間隔を置いた複数のアーチ形の（例えば翼形）中子構成要素とからなり、その中子構成要素は一体連結ロケータ機能で相互関連した位置に配置され、セラミック接着剤によって連結ロケータ機能間の内部ジョイントで一緒に結合される。
【００２８】
本発明は、適切なセラミックスラリーを用いた従来の射出成形によって、セラミック中子構成要素を連結ロケータ機能とともに形成できる点、中子構成要素を予焼することで寸法の完全性を改善し、組立前に検査できるようにしてセラミック中子組立品の歩留りを改善し、その結果中子組立品のコストを減らす点、中子組立品の高い寸法精度と繰返し精度が得られる点で有利である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明を例示する実施例に従った複合セラミック中子組立品の断面図である。
【図２】  中子焼成用のセラミックセッタ支持具にある個々の中子構成要素の断面図である。
【図３】  内部ジョイントと予め形成された接着剤入口穴とにセラミック接着剤が適用された中子組立品の断面図である。
【図４】  中子構成要素のまわりに形成される蝋模型（ｗａｘ  ｐａｔｔｅｒｎ）が示されている中子組立品の断面図である。
【図５】  蝋模型が除去されたセラミックインベストメント鋳造シェル鋳型にある中子組立品の断面図である。
【図６】  内部面に予め形成された一体連結ロケータ機能の例示パターンを示した個々の中子構成要素の斜視図である。
【符号の説明】
１０  多数壁セラミック中子組立品
Ｍ  鋳型
Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３  中子構成要素
ＣＢ  一体バンパ
Ｓ１、Ｓ２  空間
【図１】
0004369622.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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