(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子を基板上の所定の位置にボンディングするための発光素子のボンディング装置であって、
前記発光素子の発光方向から保持する保持部が個別または一体的に設けられた光透過性支持部材と、
ボンディング前に、前記保持部により保持されている前記発光素子を発光させる発光手段と、
前記光透過性支持部材を通して前記発光素子の発光状態を撮像する撮像手段と、
前記撮像された発光状態に基づいて前記発光素子の発光中心位置を認識する画像処理手段とを備え、
前記光透過性支持部材との間に吸引室を形成して配置される光透過性カバー部材を備えるとともに、前記吸引室を介して前記保持部に連通する負圧発生源を有し、
前記保持部は導電性筒状体であり、前記導電性筒状体の端部には、前記光透過性支持部材に設けられた貫通孔に挿入されて前記吸引室内に突出する接合部が形成されるとともに、前記接合部の端部と前記光透過性支持部材の前記吸引室側の面とが接着剤で固着されることを特徴とする発光素子のボンディング装置。
【請求項２】
請求項１記載のボンディング装置において、
前記導電性筒状体は、前記光透過性支持部材から離間する方向に向かって縮径するテーパ形状に設定されることを特徴とする発光素子のボンディング装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載のボンディング装置において、
前記光透過性支持部材の前記吸引室側の面には、前記発光手段を構成する光透過性導電膜が形成されるとともに、前記導電性筒状体の前記接合部が前記光透過性導電膜に導電性接着剤を介して固着されることを特徴とする発光素子のボンディング装置。
【請求項４】
請求項１又は２記載のボンディング装置において、前記導電性筒状体の前記接合部には、前記発光手段を構成する導電部材が接続されることを特徴とする発光素子のボンディング装置。
【請求項５】
発光素子を基板上の所定の位置にボンディングするための発光素子のボンディング装置であって、
前記発光素子の発光方向から保持する保持部が個別または一体的に設けられた光透過性支持部材と、
ボンディング前に、前記保持部により保持されている前記発光素子を発光させる発光手段と、
前記光透過性支持部材を通して前記発光素子の発光状態を撮像する撮像手段と、
前記撮像された発光状態に基づいて前記発光素子の発光中心位置を認識する画像処理手段とを備え、
前記光透過性支持部材との間に吸引室を形成して配置される光透過性カバー部材を備えるとともに、前記吸引室を介して前記保持部に連通する負圧発生源を有し、
前記保持部は、前記光透過性支持部材の前記吸引室側とは反対側の面に設けられた前記発光手段を構成する光透過性導電膜により構成されることを特徴とする発光素子のボンディング装置。
【請求項６】
発光素子を基板上の所定の位置にボンディングするための発光素子のボンディング装置であって、
前記発光素子の発光方向から保持する保持部が個別または一体的に設けられた光透過性支持部材と、
ボンディング前に、前記保持部により保持されている前記発光素子を発光させる発光手段と、
前記光透過性支持部材を通して前記発光素子の発光状態を撮像する撮像手段と、
前記撮像された発光状態に基づいて前記発光素子の発光中心位置を認識する画像処理手段とを備え、
前記光透過性支持部材は、前記撮像手段と同軸的に配置された可動筒体に装着されるとともに、前記可動筒体を回転させる回転手段と、前記可動筒体を前記撮像手段に対して進退させる移動手段とを備え、
前記可動筒体は、空気軸受を介して回転可能に支持されることを特徴とする発光素子のボンディング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、発光素子を基板上の所定の位置にボンディングするための発光素子のボンディング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般的に、画像の読み取り用や出力（記録）用の光源として、ＬＤまたはＬＥＤ等を複数個配列させた発光素子アレイが採用されている。例えば、図１９に示すように、ＬＥＤアレイ１は、基板２上に複数のＬＥＤチップ（発光素子）３を一方向に向かって等間隔に配列して構成されている。なお、ＬＥＤチップ３は、銀ペーストを介して基板２上にボンディングされており、各ＬＥＤチップ３から金ワイヤ４が導出されている。
【０００３】
この種のＬＥＤアレイ１では、各ＬＥＤチップ３の発光中心間距離が等間隔になるように、各ＬＥＤチップ３を基板２上に高精度にアライメントする必要がある。このため、ＬＥＤチップ３の発光中心を、発光方向である鉛直方向から認識することが望まれているが、このＬＥＤチップ３は、例えば、０．３ｍｍ×０．３ｍｍの寸法に設定された微小チップであり、前記ＬＥＤチップ３をコレットで吸着する際にこのコレットにより該ＬＥＤチップ３全体が殆ど隠されてしまう。従って、コレットでＬＥＤチップ３を吸着した状態では、このＬＥＤチップ３の発光中心を確認することはできず、前記ＬＥＤチップ３の外形形状の確認さえも極めて困難であるという問題が指摘されている。
【０００４】
しかも、ＬＥＤチップ３が微小チップであるために、アライメントマークの付与が極めて困難となり、通常のアライメント合わせによるボンディング処理を施すことができない。さらにまた、ＬＥＤチップ３を外形基準でボンディングしようとする場合、前記ＬＥＤチップ３の発光中心と外形形状の中心とに位置ずれが存在している。これにより、ＬＥＤチップ３を外形基準で精密に位置決めしたとしても、各ＬＥＤチップ３毎の発光中心のばらつきに対応することはできない。
【０００５】
そこで、例えば、特開平７−４３１１２号公報に開示されている発光素子の発光点検出方法および位置決め装置が知られている。この従来技術では、半導体素子レーザチップが吸着ノズルに吸着されて位置決め位置に搬送されると、電流の供給により前記半導体レーザチップが発光し、前記半導体レーザチップの発光部に対向して配置されているＣＣＤカメラが該半導体レーザチップの光を受光する。その映像が制御部に入力され、この制御部によりＣＣＤカメラの映像に基づいて半導体レーザチップの位置と向きとが検出され、吸着ノズルが制御されて前記半導体レーザチップの姿勢が修正されることになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の従来技術では、発光素子として半導体レーザチップが用いられており、発光エリアが複雑な形状を有するＬＥＤチップに適応させることができない。しかも、半導体レーザチップでは、チップ吸着面と発光面とが異なっており、前記半導体レーザチップを吸着した状態では、発光状態を容易に検出することができる一方、ＬＥＤチップの場合には、チップ吸着面と発光面の方向が同一であり、前記ＬＥＤチップの発光中心を検出することは極めて困難となってしまう。さらに、ＬＥＤチップにプローブを当てて発光させる際に、このプローブにより発光部が遮られてしまい、発光中心の検出が困難であるという問題が指摘されている。
【０００７】
本発明はこの種の問題を解決するものであり、発光素子の発光中心を確実に検出し、前記発光素子を基板上に高精度かつ容易に位置決めすることが可能な発光素子のボンディング装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る発光素子のボンディング装置では、ボンディング前に、光透過性支持部材に設けられた保持部により発光素子の発光方向から保持された状態で、この発光素子の発光部が発光され、前記光透過性支持部材を通して前記発光素子の発光状態が撮像される。次いで、撮像された発光状態に基づいて、発光素子の発光中心位置が認識され、前記発光素子が基板上のボンディング位置に位置決めされてボンディング処理がなされる。
【０００９】
これにより、発光素子毎に発光中心位置を正確に認識することができ、この発光中心のばらつきや外形形状のばらつきに影響されることがなく、前記発光素子の発光中心を基板上の所望の位置に対して高精度に位置決めすることが可能になる。従って、各発光素子の発光中心間距離が等間隔かつ高精度に位置決めされるため、高品質な発光素子アレイを効率的に製造することが可能になる。
【００１０】
しかも、保持部で発光素子を保持した状態で、透過性支持部材を通して前記発光素子の発光中心位置を認識するため、前記保持部により該発光素子を着脱する際の位置ずれを阻止するとともに、前記発光素子を基板上の所望の位置に迅速かつ高精度に位置決めすることができる。
【００１１】
また、光透過性支持部材と光透過性カバー部材との間に吸引室が形成され、この吸引室を介して保持部が負圧発生源に連通している。従って、保持部により発光素子を確実に吸着保持した状態で、光透過性支持部材および光透過性カバー部材を通してこの発光素子の発光状態を容易に撮像することが可能になる。
【００１２】
さらに、保持部が導電性筒状体であり、この導電性筒状体の端部には、光透過性支持部材に設けられた貫通孔に挿入されて吸引室内に突出する接合部が形成されている。そして、接合部の端部と光透過性支持部材の吸引室側の面とが接着剤により固着されている。その際、導電性筒状体は、光透過性支持部材から離間する方向に向かって縮径するテーパ形状に設定されているため、この導電性筒状体に邪魔されることがなく、前記発光素子の発光状態を確実に撮像することができる。
【００１３】
また、光透過性支持部材の吸引室側の面に光透過性導電膜が形成され、この光透過性導電膜と導電性筒状体の接合部とが導電性接着剤を介して固着されている。従って、従来のプローブを用いる必要がなく、導電性筒状体が一方の電極に接続されて発光素子を容易に発光させることができるとともに、前記発光素子の発光中心位置を高精度に認識することが可能になる。
【００１４】
しかも、光透過性導電膜が光透過性支持部材の吸引室側の面に設けられているため、導電性筒状体をこの光透過性支持部材の他方の面に密着させることができ、前記導電性筒状体の位置ずれを確実に阻止することが可能になる。
【００１５】
また、導電性筒状体の接合部には、導電部材、例えば、導電ワイヤが接続されることにより、構成の簡素化が図られる。さらにまた、保持部が光透過性支持部材の吸引室側とは反対側の面に設けられた光透過性導電膜により構成されている。従って、個別の保持部を用いる必要がなく、構成を容易に簡素化することができる。
【００１６】
また、光透過性支持部材が可動筒体に装着されるとともに、この可動筒体は、撮像手段に対して進退可能でありかつ回転自在である。このため、光透過性支持部材に設けられた保持部に吸着されている発光素子の回転方向の位置決め等が容易かつ確実に遂行される。しかも、可動筒体が空気軸受を介して支持されているため、この可動筒体に装着されている光透過性支持部材の回転および進退動作が極めて円滑に遂行可能になる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る発光素子のボンディング方法を実施するためのボンディング装置１０の概略斜視説明図である。
【００１８】
ボンディング装置１０は、ＬＥＤチップ１２がウエハ状に配置されるチップ配置台１４と、前記ＬＥＤチップ１２を吸着保持するコレットユニット１６と、前記コレットユニット１６に吸着保持されている前記ＬＥＤチップ１２の発光部を発光させるための発光台１８と、前記ＬＥＤチップ１２の発光状態を撮像する撮像手段２０と、前記ＬＥＤチップ１２を基板２２上にボンディングするためのボンディング台２４とを備える。
【００１９】
ボンディング装置１０を構成する定盤３２の上面３４には、移動機構３６が設けられる。移動機構３６は、第１モータ３８を介して直交座標系のＹ軸方向に移動可能な第１移動ステージ４０と、第２モータ４２を介して前記第１移動ステージ４０に対し直交座標系のＸ軸方向に移動可能な第２移動ステージ４４とを備える。
【００２０】
第１移動ステージ４０は、Ｙ軸方向に延在して配置される一対のガイドレール４６ａ、４６ｂと、前記ガイドレール４６ａ、４６ｂ間に配置されてＹ軸方向に延在するボールねじ４８とを備え、このボールねじ４８の一端側に第１モータ３８の出力軸が連結される。ボールねじ４８には、Ｙ軸可動テーブル５０に設けられた図示しないナット部材が螺合しており、このＹ軸可動テーブル５０がガイドレール４６ａ、４６ｂに支持されている。
【００２１】
Ｙ軸可動テーブル５０は、Ｘ軸方向に長尺に構成されており、このＹ軸可動テーブル５０上には、第２移動ステージ４４を構成する一対のガイドレール５２ａ、５２ｂと、このガイドレール５２ａ、５２ｂ間に配置されるボールねじ５４とがＸ軸方向に延在して配置される。ボールねじ５４の一端に第２モータ４２の出力軸が連結されるとともに、このボールねじ５４がＸ軸可動テーブル５６に設けられた図示しないナット部材に螺合している。
【００２２】
Ｘ軸可動テーブル５６の上面５８には、チップ配置台１４、発光台１８およびボンディング台２４が矢印Ｘ方向に配列して設けられるとともに、前記発光台１８は、図示しない直流電源のプラス端子（正極）に接続されている。
【００２３】
定盤３２の一端側にコラム６０が立設され、このコラム６０には、コレットユニット１６をＺ軸方向に進退可能な第３移動ステージ６２が設けられる。第３移動ステージ６２には、コラム６０の垂直面に固定されたフレーム６４が設けられ、このフレーム６４の上端側に第３モータ６６が固着され、この第３モータ６６の出力軸に連結されたボールねじ６８が、Ｚ軸方向に延在して昇降台７０に係合する。
【００２４】
昇降台７０には、コレットユニット１６を構成するケーシング７２が固着される。図２に示すように、ケーシング７２の上部には、撮像手段２０を構成するＣＣＤカメラ７４が装着され、このＣＣＤカメラ７４のＺ軸方向に延在する光軸上には、拡大光学系７６が同軸的に配置されている。ケーシング７２の下部側には、空気軸受７８を介して導電性可動筒体８０が装着される。可動筒体８０の上端部には、径方向外方に膨出して歯車部８２が形成されるとともに、この歯車部８２には、θ軸可動手段８４とＺ軸可動手段８６とが係合する。
【００２５】
θ軸可動手段８４は、ケーシング７２内に形成された仕切壁部８８の下部に固着される第４モータ９０を備え、この第４モータ９０の回転駆動軸９２に歯車９４が軸着され、この歯車９４が可動筒体８０の歯車部８２に噛合する。Ｚ軸可動手段８６は、仕切壁部８８の上部に固着される第５モータ９６を備え、この第５モータ９６の図示しない回転駆動軸にボールねじ９８が連結される。ボールねじ９８は、仕切壁部８８からケーシング７２の下端までＺ軸方向に延在しており、その途上に螺合する昇降部材１００が可動筒体８０の歯車部８２の一端下部を支持している。
【００２６】
可動筒体８０の下端部には、ガラスや合成樹脂等の光透過性支持円板（支持部材）１０２が固着されるとともに、この支持円板１０２には、保持部である導電性筒状体１０４が固着される。可動筒体８０には、支持円板１０２から所定の間隔だけ離間して光透過性カバー部材１０６が設けられ、前記支持円板１０２と前記カバー部材１０６との間に吸引室１０８が形成される。この吸引室１０８は、可動筒体８０の側部に形成された孔部１１０を介して図示しない負圧発生源に連通している。
【００２７】
図３および図４に示すように、支持円板１０２の中央部には、貫通孔１１２が形成されており、この支持円板１０２の吸引室１０８側の面１０２ａには、光透過性導電膜１１４が形成される。導電膜１１４は、その厚さが、例えば、１μｍに設定されており、面１０２ａの外周端部を周回する大径部１１４ａと、貫通孔１１２を周回する小径部１１４ｂと、前記大径部１１４ａおよび前記小径部１１４ｂを連結する直線部１１４ｃとを有している。
【００２８】
図３および図５に示すように、筒状体１０４は、支持円板１０２の貫通孔１１２に挿入されて面１０２ａ側に所定の長さだけ突出する接合部１１６を有し、この接合部１１６が前記面１０２ａに導電性接着剤、例えば、銀ペースト１１７を介して接着される。接合部１１６の端部には、支持円板１０２の面１０２ａとは反対側の面１０２ｂに接触し、この面１０２ｂから離間する方向に向かって縮径するテーパ部１１８が一体的に設けられている。筒状体１０４の中央部には、細孔１２０が形成されている。
【００２９】
例えば、細孔１２０の直径は０．１ｍｍに設定され、筒状体１０４は、面１０２ｂに接する最大直径が１．５５ｍｍに、その最小直径が０．１４ｍｍに、長さが４ｍｍに設定されている。これは、ＬＥＤチップ１２が０．３ｍｍ×０．３ｍｍの寸法で、その上電極（後述する）の直径が０．１７ｍｍであるのに対応して設定されている。支持円板１０２に設けられている導電膜１１４は、可動筒体８０を介して図示しない直流電源のマイナス端子（負極）に接続されている。
【００３０】
図１に示すように、定盤３２上には、撮像手段２０により撮像された画像が入力され、画像処理を行ってＬＥＤチップ１２の発光中心位置を認識するための画像処理部（画像処理手段）１３０が配置されている。
【００３１】
このように構成されるボンディング装置１０の動作について、図６および図７に示すフローチャートに基づいて以下に説明する。
【００３２】
先ず、図１に示すように、チップ載置台１４上には、複数個のＬＥＤチップ１２がウエハ状に配置されるとともに、ボンディング台２４上には、銀ペーストが塗られた基板２２が載置されている。この基板２２は、Ｘ軸方向のエッジを図示しないステーション基準面に合わせて位置決めされており、ボンディング台２４に設けられている図示しない吸着孔から吸引されることにより、前記ボンディング台２４上に吸着保持されている。また、発光台１８は、図示しない直流電源のプラス端子に接続されている。
【００３３】
そこで、移動機構３６が駆動され、チップ配置台１４が撮像手段２０のカメラセンタ（コレットセンタ）に対応する位置、すなわち、チップ取り出し位置に配置される（ステップＳ１）。移動機構３６では、第１モータ３８が駆動されることにより、ボールねじ４８の回転作用下にＹ軸可動テーブル５０がＹ軸方向に移動するとともに、第２モータ４２の駆動作用下にボールねじ５４が回転されることによって、Ｘ軸可動テーブル６６がＸ軸方向に移動する。従って、第１および第２モータ３８、４２が駆動制御されることにより、チップ配置台１４の所定の位置に配置されているＬＥＤチップ１２がチップ取り出し位置に対応して配置される。
【００３４】
次いで、撮像手段２０を構成するＣＣＤカメラ７４を介してチップ配置台１４上の所定のＬＥＤチップ１２が撮像される（ステップＳ２）。ＣＣＤカメラ７４で撮像されたＬＥＤチップ１２の画像信号は、画像処理部１３０に送られて画像処理が施される。具体的には、図８に示すように、ＬＥＤチップ１２の上電極１４０の上電極中心Ｏ１が認識されて、カメラセンタＯに対する前記上電極中心Ｏ１のずれ量、すなわち、該ＬＥＤチップ１２の補正量（△Ｘおよび△Ｙ）が演算される（ステップＳ３）。
【００３５】
この画像信号から得られた補正量が、予め設定されている基準値と比較され（ステップＳ４）、この補正量が前記基準値よりも大きいと判断されると、ステップＳ５に進んで補正量に対応する移動補正が行われる。具体的には、第１モータ３８を介して補正量△Ｙの移動が行われ、第２モータ４２を介して補正量△Ｘの移動が行われる。
【００３６】
一方、ステップＳ４で補正量が基準値以下であると判断されると、ステップＳ６に進んでコレットユニット１６によるＬＥＤチップ１２の吸着保持が行われる。すなわち、図２に示すように、ケーシング７２内に装着されているＺ軸可動手段８６を構成する第５モータ９６が駆動され、ボールねじ９８が回転されると、このボールねじ９８に螺合している昇降部材１００が下降する。この昇降部材１００上には、可動筒体８０の歯車部８２が支持されており、前記昇降部材１００と一体的に前記可動筒体８０が下降し、筒状体１０４の先端がＬＥＤチップ１２に当接する。
【００３７】
この状態で、図示しない負圧発生源の作用下に、吸引室１０８を介して筒状体１０４内が吸引されると、ＬＥＤチップ１２が前記筒状体１０４の先端に吸着される。そこで、図９に示すように、第３モータ６６の作用下に、ボールねじ６８が回転し、昇降台７０と一体的にコレットユニット１６が上昇し、筒状体１０４に吸着されているＬＥＤチップ１２がチップ配置台１４から上方に取り出される。
【００３８】
次に、撮像手段２０を構成するＣＣＤカメラ７４によりコレットユニット１６に吸着保持されているＬＥＤチップ１２が撮像される（ステップＳ７）。ＬＥＤチップ１２の撮影画像は、画像処理部１３０で画像処理され、このＬＥＤチップ１２の外形エッジが認識されて補正量Δθが演算される（ステップＳ８）。この補正量Δθが予め設定されている基準値と比較され（ステップＳ９）、前記補正量Δθが前記基準値よりも大きいと判断されると、ステップＳ１０に進んで、補正量Δθに対応してθ軸可動手段８４が駆動される。
【００３９】
図２に示すように、θ軸可動手段８４では、第４モータ９０が駆動されて回転駆動軸９２と一体的に歯車９４が回転すると、この歯車９４に噛合する歯車部８２を介して可動筒体８０が所定の方向に、補正量Δθに対応する角度だけ回転する。ＬＥＤチップ１２のθ補正が終了した後、移動機構３６の駆動作用下に、Ｘ軸可動テーブル５６がＸ軸方向に移動し、発光台１８が撮像手段２０のカメラセンタに対応して配置される（ステップＳ１１）。
【００４０】
次に、第３モータ６６の作用下に昇降台７０を介してコレットユニット１６が下降し、このコレットユニット１６の先端部に吸着保持されているＬＥＤチップ１２の下電極が発光台１８上に接触する（ステップＳ１２および図１０参照）。
【００４１】
ここで、図１１に示すように、発光台１８が図示しない直流電源のプラス端子に接続されるとともに、可動筒体８０がマイナス端子に接続される。そして、ＬＥＤチップ１２に電流を流すことにより、前記ＬＥＤチップ１２が発光する（ステップＳ１３）。ＬＥＤチップ１２が発光した状態で、撮像手段２０を構成するＣＣＤカメラ７４がカバー部材１０６および支持円板１０２を通して前記ＬＥＤチップ１２の発光状態を撮像する（ステップＳ１４）。ＬＥＤチップ１２の発光状態は、ＣＣＤカメラ７４から画像処理部１３０に画像信号として送られ、このＬＥＤチップ１２の発光中心位置が認識される（ステップＳ１５）。
【００４２】
すなわち、図１２に示すように、画像処理部１３０に取り込まれた発光画像１５０において、エッジ検出ウインドウ１５２により各辺２つ以上のエッジを検出し、検出されたそれぞれのエッジから発光画像１５０の四辺１５０ａ〜１５０ｄが求められる。次いで、図１３に示すように、ラインの各交点（発光画像１５０の頂点）１５４ａ〜１５４ｄが求められ、前記交点１５４ａ〜１５４ｄの対角線１５６ａ、１５６ｂの交点、すなわち、発光中心Ｏ２が得られる。その後、図１４に示すように、カメラセンタＯに対する発光中心Ｏ２のずれ量に基づく補正量（ΔＸおよびΔＹ）が演算される（ステップＳ１６）。
【００４３】
そこで、ＬＥＤチップ１２の発光が停止され、第３モータ６６の作用下に昇降台７０と一体的にコレットユニット１６が上昇する（ステップＳ１７）。さらに、ステップＳ１８に進み、移動機構３６の駆動作用下にボンディング台２４に吸着保持されている基板２２上の所定のボンディング位置が撮像手段２０のカメラセンタＯに対応して配置される。その際、ステップＳ１６において演算された補正量（ΔＸおよびΔＹ）が、予め設定されている基準値よりも大きいと判断されると（ステップＳ１９中、ＮＯ）、ステップＳ２０に進んで、前記基板２２上のボンディング位置をカメラセンタＯに対して位置補正する。
【００４４】
次に、第３モータ６６が駆動され、コレットユニット１６が下降し、このコレットユニット１６に吸着保持されているＬＥＤチップ１２が基板２２上のボンディング位置に配置され（ステップＳ２１）、このＬＥＤチップ１２が前記基板２２上にボンディングされる（ステップＳ２２および図１５参照）。
【００４５】
チップ配置台１４上に配置されている他のＬＥＤチップ１２に対して、上記と同様に、ステップＳ６以降の工程を行うことにより、基板２２上の新たなボンディング位置に、順次、前記ＬＥＤチップ１２がボンディングされる。これにより、基板２２上には、各ＬＥＤチップ１２が互いの発光中心位置間のピッチが一定になるように位置合わせがなされた状態でボンディングされることになる。基板２２上に所定数のＬＥＤチップ１２がボンディングされた後、この基板２２がボンディング台２４から取り出され、別工程において、例えば、電気オーブンを用いて銀ペーストを加熱硬化させる。
【００４６】
この場合、第１の実施形態では、ガラスやプラスチック等の光透過性の支持円板１０２に光透過性の導電膜１１４が設けられ、この導電膜１１４を介して導電性筒状体１０４が図示しない直流電源のマイナス端子に接続されるとともに、発光台１８がプラス端子に接続されている。
【００４７】
従って、筒状体１０４によりＬＥＤチップ１２を吸着保持した状態でこのＬＥＤチップ１２を発光させる際、支持円板１０２およびカバー部材１０６を通して撮像手段２０を構成するＣＣＤカメラ７４により前記ＬＥＤチップ１２の発光状態を確実に撮像することができる。これにより、コレットユニット１６を構成する筒状体１０４によりＬＥＤチップ１２を吸着した状態で、このＬＥＤチップ１２の発光中心位置を正確に認識することが可能になり、各ＬＥＤチップ１２の発光中心位置が等間隔となるように、基板２２上に高精度にボンディングすることができるという効果が得られる。
【００４８】
しかも、筒状体１０４によりチップ配置台１４から取り出されたＬＥＤチップ１２は、この筒状体１０４に吸着保持された状態で発光台１８および基板２２上に移送されている。このため、筒状体１０４によりＬＥＤチップ１２を着脱する際に位置ずれ等が発生することを可及的に阻止するとともに、極めて簡単な工程および構成で、前記ＬＥＤチップ１２のボンディング作業が迅速かつ効率的に遂行されるという利点がある。
【００４９】
また、筒状体１０４は、図５に示すように、支持円板１０２の面１０２ｂから離間する方向に向かって縮径するテーパ部１１８を備えており、ＬＥＤチップ１２の上電極１４０の直径が０．１７ｍｍであるのに対して、このテーパ部１１８の先端直径が０．１４ｍｍに設定されている。従って、ＣＣＤカメラ７４により拡大光学系７６を介してＬＥＤチップ１２の発光状態を撮像する際に、この筒状体１０４が邪魔となることがなく、前記ＬＥＤチップ１２の発光状態を確実に認識することが可能になる。
【００５０】
さらにまた、支持円板１０２が組み込まれた可動筒体８０は、図２に示すように、空気軸受７８に支持された状態でθ軸可動手段８４およびＺ軸可動手段８６を介して回転および昇降自在である。これにより、可動筒体８０の回転動作および昇降動作は、空気軸受７８の作用下に円滑かつ高精度に行われることになる。
【００５１】
しかも、筒状体１０４の接合部１１６が、支持円板１０２の貫通孔１１２を通って面１０２側に突出しており、この接合部１１６と前記面１０２ａとが導電膜１１４の小径部１１４ｂを覆って銀ペースト１１７等の導電性接着剤を介して接着されている（図５参照）。このため、接合部１１６の長さ方向の寸法を高精度に設定する必要がなく、さらに、筒状体１０４を支持円板１０２の面１０２ｂに密着させるだけで、前記筒状体１０４と前記支持円板１０２との位置決めが容易かつ確実に遂行される。
【００５２】
図１６は、本発明の第２の実施形態に係るボンディング装置を構成するコレットユニット１８０の一部縦断面説明図である。なお、第１の実施形態に係るボンディング装置１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００５３】
このコレットユニット１８０は光透過性支持円板（支持部材）１８２を備え、この支持円板１８２の中央部には、例えば、直径が０．１ｍｍの貫通孔１８４が形成されている。支持円板１８２の吸引室１０８側の面１８２ａとは反対側の面１８２ｂに光透過性導電膜１８６が形成されている。図１７に示すように、導電膜１８６は貫通孔１８４を囲繞して半径方向に延在しており、その厚さが、例えば、１００μｍに設定されるとともに、可動筒体８０に装着された際にこの可動筒体８０と電気的に接続可能である。導電膜１８６は、貫通孔１８４を囲繞する部分にＬＥＤチップ１２を直接吸着保持するための保持部１８８を備えている。
【００５４】
このように構成される第２の実施形態では、支持円板１８２が下降してこの支持円板１８２の面１８２ｂに一体的に設けられた導電膜１８６の保持部１８８がＬＥＤチップ１２の上面に直接接触する。そして、貫通孔１８４を介してＬＥＤチップ１２を吸着保持した状態で、導電膜１８６および発光台１８に接続された図示しない直流電源の作用下に、前記ＬＥＤチップ１２が発光される。
【００５５】
従って、第２の実施形態では、保持部１８８によりＬＥＤチップ１２を吸着保持した状態で、このＬＥＤチップ１２の発光中心位置を確実に認識するとともに、位置補正を行って基板２２上に迅速かつ高精度にボンディングすることができる等、第１の実施形態と同様の効果が得られる。
【００５６】
図１８は、本発明の第３の実施形態に係るボンディング装置を構成するコレットユニット２００の一部縦断面説明図である。なお、第１の実施形態に係るボンディング装置１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００５７】
このコレットユニット２００では、光透過性支持円板（支持部材）２０２に光透過性導電膜を設けることがなく、この支持円板２０２に固着された筒状体２０４の接合部２０５に導電部材、例えば、導電ワイヤ２０６の一端が接続されるとともに、この導電ワイヤ２０６の他端が可動筒体８０に電気的に接続されている。このように、第３の実施形態では、支持円板２０２に導電膜を設けていないため、設備費を安価に抑えることができるという効果が得られる。
【００５８】
なお、第１乃至第３の実施形態では、ＬＥＤチップ１２を基板２２上にボンディングする場合について説明したが、このＬＥＤチップ１２に限定されるものではなく、ＳＬＤ等の発光中心位置を精度よく位置決めする微小チップおよびモノリシックアレイ全てのボンディングに適用可能である。
【００５９】
【発明の効果】
本発明に係る発光素子のボンディング装置では、光透過性支持部材に設けられた保持部により発光素子の発光方向から保持した状態で、この発光素子を発光させて前記光透過性支持部材を通して該発光素子の発光状態を撮像し、前記発光素子の発光中心位置を認識している。このため、発光素子を保持した状態で、この発光素子の発光状態を観察して正確に検出することができ、前記発光素子の発光中心位置を、基板上のボンディング位置に対し高精度に位置決めボンディングすることができる。これにより、高精度な発光素子アレイを効率的に得ることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る発光素子のボンディング方法を実施するためのボンディング装置の概略斜視説明図である。
【図２】前記ボンディング装置を構成するコレットユニットの縦断面説明図である。
【図３】前記コレットユニットに組み込まれる支持円板および筒状体の斜視説明図である。
【図４】前記支持円板の平面説明図である。
【図５】前記支持円板と前記筒状体の一部縦断面説明図である。
【図６】前記ボンディング方法を説明するフローチャートの前段部分を示す図である。
【図７】前記フローチャートの後段部分を示す図である。
【図８】ＣＣＤカメラによるＬＥＤチップの撮影画像の説明図である。
【図９】前記ボンディング装置を構成するチップ配置台から前記ＬＥＤチップを取り出す際の正面説明図である。
【図１０】前記ＬＥＤチップを発光台上に載置する際の正面説明図である。
【図１１】前記ＬＥＤチップを吸着保持した前記コレットユニットの一部縦断面説明図である。
【図１２】前記ＬＥＤチップの発光状態を撮像して画像処理を行う際の説明図である。
【図１３】前記画像処理の説明図である。
【図１４】前記ＬＥＤチップの発光中心とカメラセンタとの位置ずれ状態の説明図である。
【図１５】前記ＬＥＤチップを基板上にボンディングする際の正面説明図である。
【図１６】本発明の第２の実施形態に係るボンディング装置を構成するコレットユニットの一部縦断面説明図である。
【図１７】前記コレットユニットを構成する支持円板の平面説明図である。
【図１８】本発明の第３の実施形態に係るボンディング装置を構成するコレットユニットの一部縦断面説明図である。
【図１９】通常のＬＥＤアレイの斜視説明図である。
【符号の説明】
１０…ボンディング装置            １２…ＬＥＤチップ
１４…チップ配置台
１６、１８０、２００…コレットユニット
１８…発光台                      ２０…撮像手段
２２…基板                        ２４…ボンディング台
３６…移動機構                    ４０、４４、６２…移動ステージ
７２…ケーシング                  ７４…ＣＣＤカメラ
７８…空気軸受                    ８０…可動筒体
８２…歯車部                      ８４…θ軸可動手段
８６…Ｚ軸可動手段                １０２…支持円板
１０４、２０４…筒状体            １０６…カバー部材
１０８…吸引室                    １１４、１８６…導電膜
１１６、２０５…接合部            １１８…テーパ部
１２０…細孔                      １３０…画像処理部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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