(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも相対向する一対の支持板を有し前部を開口部とし内部をワークの収納空間としたケージと、該一対の支持板のそれぞれの内面中央下部に両端部が固着されて該支持板間に架設された固定主ロッドと、該一対の支持板のそれぞれの内面後端中央部に両端部が固着されて該支持板間に架設された固定副ロッドと、該一対の支持板のそれぞれの内面前端中央部に両端部が上下方向に摺動自在かつ固定可能とされて該支持板間に架設された可動ロッドと、該一対の支持板の後上端部に両端部が固着されて該支持板内に架設されたガイド板と、該ガイド板に摺動自在でかつ固定可能に取付けられたスライド部材と、該スライド部材に前端方向に向かって突設された抑え部材とを有し、該可動ロッドを下部開放位置に回動させた状態でその前部開口部からワークを該収納空間に収納し、収納後は該可動ロッドを上部支持位置に回動固定することにより該ワークを安全に保持しかつ該抑え部材によって該ワークの側面を抑えることによって収納中の該ワークの妄動を防止することができるようにしたことを特徴とするワーク保持具。
【請求項２】
前記一対の支持板のそれぞれの内面中央部にアーム部材の基端部を回動可能に軸支し、該アーム部材の先端部近傍に前記可動ロッドの両端部を固着し、該アーム部材の先端部に係止部を設け、該支持板の内面前端中央部の該係止部に対応する位置に被係止部を設け、該被係止部に該係止部を係止させることによって該アーム部材及び該可動ロッドが前記固定副ロッドと対応する位置に固定され、一方該被係止部から該係止部を外すことによって該アーム部材及び該可動ロッドが回動可能となるようにしたことを特徴とする請求項１記載のワーク保持具。
【請求項３】
少なくとも相対向する一対の支持板を有し前部を開口部とし内部をワークの収納空間としたケージと、該一対の支持板のそれぞれの内面中央下部に両端部が固着されて該支持板間に架設された固定主ロッドと、該一対の支持板のそれぞれの内面後端中央部に両端部が固着されて該支持板間に架設された固定副ロッドと、該一対の支持板のそれぞれの内面前端中央部に両端部が上下方向に摺動自在かつ固定可能とされて該支持板間に架設された可動ロッドとを有し、該可動ロッドを下部開放位置に回動させた状態でその前部開口部からワークを該収納空間に収納し、収納後は該可動ロッドを上部支持位置に回動固定することにより該ワークを安全に保持することができるようにしたワーク保持具を用いるワイヤーソー装置におけるワークの取付け方法であって、可動ロッドを下部開放位置に回動させた状態でケージ内にワークプレート付インゴットをセットし、次いで該可動ロッドを上部支持位置に回動固定し、該インゴットを収納支持したケージをワイヤーソー装置のワークプレートセット位置に移動し、該インゴットのワークプレートを該ワークプレートセット位置に固着し、その後該ケージの可動ロッドを下部開放位置に回動させ、ついで該ケージを該ワークプレートセット位置から引き離すことによって該ケージからインゴットを離脱させるようにしたことを特徴とするインゴットの取付け方法。
【請求項４】
少なくとも相対向する一対の支持板を有し前部を開口部とし内部をワークの収納空間としたケージと、該一対の支持板のそれぞれの内面中央下部に両端部が固着されて該支持板間に架設された固定主ロッドと、該一対の支持板のそれぞれの内面後端中央部に両端部が固着されて該支持板間に架設された固定副ロッドと、該一対の支持板のそれぞれの内面前端中央部に両端部が上下方向に摺動自在かつ固定可能とされて該支持板間に架設された可動ロッドとを有し、該可動ロッドを下部開放位置に回動させた状態でその前部開口部からワークを該収納空間に収納し、収納後は該可動ロッドを上部支持位置に回動固定することにより該ワークを安全に保持することができるようにしたワーク保持具を用いるワイヤーソー装置におけるアズカットウェーハの取外し方法であって、インゴットがウェーハに切断されたアズカットウェーハを可動ロッドを下部開放位置に回動させた状態のケージ内に収納し、次いで該可動ロッドを上部支持位置に回動固定してアズカットウェーハをケージ内に収納支持し、ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置にセットされているアズカットウェーハをワイヤーソー装置から取外し、該アズカットウェーハを収納支持したケージを移動させてワークプレートセット位置からアズカットウェーハを離脱させるようにしたことを特徴とするアズカットウェーハの取外し方法。
【請求項５】
少なくとも相対向する一対の支持板を有し前部を開口部とし内部をワークの収納空間としたケージと、該一対の支持板のそれぞれの内面中央下部に両端部が固着されて該支持板間に架設された固定主ロッドと、該一対の支持板のそれぞれの内面後端中央部に両端部が固着されて該支持板間に架設された固定副ロッドと、該一対の支持板のそれぞれの内面前端中央部に両端部が上下方向に摺動自在かつ固定可能とされて該支持板間に架設された可動ロッドとを有し、該可動ロッドを下部開放位置に回動させた状態でその前部開口部からワークを該収納空間に収納し、収納後は該可動ロッドを上部支持位置に回動固定することにより該ワークを安全に保持することができるようにしたワーク保持具を用いるワイヤーソー装置におけるワークの取扱い及び切断方法であって、可動ロッドを下部開放位置に回動させた状態でケージ内にワークプレート付インゴットをセットし、次いで該可動ロッドを上部支持位置に回動固定し、該インゴットを収納支持したケージをワイヤーソー装置のワークプレートセット位置に移動し、該インゴットのワークプレートを該ワークプレートセット位置に固着し、その後該ケージの可動ロッドを下部開放位置に回動させ、ついで該ケージを該ワークプレートセット位置から引き離すことによって該ケージからインゴットを離脱させ、該ワークプレートセット位置に固着されたインゴットをワイヤーソー装置によって切断し、次いでアズカットウェーハを可動ロッドを下部開放位置に回動させた状態のケージ内に収納し、該可動ロッドを上部支持位置に回動固定してアズカットウェーハをケージ内に収納支持し、ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置にセットされているアズカットウェーハをワイヤーソー装置から取外し、該アズカットウェーハを収納支持したケージを移動させてワークプレートセット位置からアズカットウェーハを離脱させ、次に該ケージに収納支持されたウェーハを次工程へ搬送するようにしたことを特徴とするワークの取扱い及び切断方法。
【請求項６】
少なくとも相対向する一対の支持板を有し前部を開口部とし内部をワークの収納空間としたケージと、該一対の支持板のそれぞれの内面中央下部に両端部が固着されて該支持板間に架設された固定主ロッドと、該一対の支持板のそれぞれの内面後端中央部に両端部が固着されて該支持板間に架設された固定副ロッドと、該一対の支持板のそれぞれの内面前端中央部に両端部が上下方向に摺動自在かつ固定可能とされて該支持板間に架設された可動ロッドとを有し、該可動ロッドを下部開放位置に回動させた状態でその前部開口部からワークを該収納空間に収納し、収納後は該可動ロッドを上部支持位置に回動固定することにより該ワークを安全に保持することができるようにしたワーク保持具を用いるワイヤーソー装置におけるインゴットの取付け方法であって、
（ａ）可動ロッドを下部開放位置に回動した状態のケージをリフターのホルダー部上面の手前側に載置するステップ、
（ｂ）該ケージ内にワークプレート付インゴットをセットするステップ、
（ｃ）該可動ロッドを上部支持位置に回動固定するステップ、
（ｄ）ワイヤーソー装置の開口部からホルダー部を挿入しホルダー部の先端部が該ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置に達するように該リフターを走行させるステップ、
（ｅ）該ホルダー部上面のケージをホルダー部先端方向のワイヤーソー装置のワークプレートセット位置まで移動させるステップ、
（ｆ）ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置に該インゴットのワークプレートを固着するステップ、
（ｇ）ケージの可動ロッドを下部開放位置に回動させるステップ、
（ｈ）ケージを手前方向に移動させワイヤーソー装置に固着されたインゴットをケージから離脱させるステップ、
からなることを特徴とするインゴットの取付け方法。
【請求項７】
少なくとも相対向する一対の支持板を有し前部を開口部とし内部をワークの収納空間としたケージと、該一対の支持板のそれぞれの内面中央下部に両端部が固着されて該支持板間に架設された固定主ロッドと、該一対の支持板のそれぞれの内面後端中央部に両端部が固着されて該支持板間に架設された固定副ロッドと、該一対の支持板のそれぞれの内面前端中央部に両端部が上下方向に摺動自在かつ固定可能とされて該支持板間に架設された可動ロッドとを有し、該可動ロッドを下部開放位置に回動させた状態でその前部開口部からワークを該収納空間に収納し、収納後は該可動ロッドを上部支持位置に回動固定することにより該ワークを安全に保持することができるようにしたワーク保持具を用いるワイヤーソー装置におけるアズカットウェーハの取外し方法であって、
（ａ）可動ロッドを下部開放位置に回動した状態のケージをホルダー部上面の手前側に載置するステップ、
（ｂ）ワイヤーソー装置の開口部からリフターのホルダー部を挿入し、ホルダー部の先端部を該ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置に到達させるステップ、
（ｃ）該ホルダー部上面のケージをホルダー部先端方向のワイヤーソー装置のワークプレートセット位置まで移動させ該ワークプレートセット位置にセットされたインゴットがウェーハに切断されたアズカットウェーハをケージ内に収納するステップ、
（ｄ）可動ロッドを上部支持位置に回動固定しアズカットウェーハをケージ内に収納支持するステップ、
（ｅ）ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置にセットされているアズカットウェーハをワイヤーソー装置から取外すステップ、
（ｆ）取外されたアズカットウェーハを収納支持したケージをホルダー部上面の手前側に移動させるステップ、
（ｇ）該ホルダー部を該ワイヤーソー装置の開口部から抜きとるステップ、
からなることを特徴とするアズカットウェーハの取外し方法。
【請求項８】
少なくとも相対向する一対の支持板を有し前部を開口部とし内部をワークの収納空間としたケージと、該一対の支持板のそれぞれの内面中央下部に両端部が固着されて該支持板間に架設された固定主ロッドと、該一対の支持板のそれぞれの内面後端中央部に両端部が固着されて該支持板間に架設された固定副ロッドと、該一対の支持板のそれぞれの内面前端中央部に両端部が上下方向に摺動自在かつ固定可能とされて該支持板間に架設された可動ロッドとを有し、該可動ロッドを下部開放位置に回動させた状態でその前部開口部からワークを該収納空間に収納し、収納後は該可動ロッドを上部支持位置に回動固定することにより該ワークを安全に保持することができるようにしたワーク保持具を用いるワイヤーソー装置におけるワークの取扱い及び切断方法であって、
（ａ）可動ロッドを下部開放位置に回動した状態のケージをリフターのホルダー部上面の手前側に載置するステップ、
（ｂ）該ケージ内にワークプレート付インゴットをセットするステップ、
（ｃ）該可動ロッドを上部支持位置に回動固定するステップ、
（ｄ）ワイヤーソー装置の開口部からホルダー部を挿入しホルダー部の先端部が該ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置に達するように該リフターを走行させるステップ、
（ｅ）該ホルダー部上面のケージをホルダー部先端方向のワイヤーソー装置のワークプレートセット位置まで移動させるステップ、
（ｆ）ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置に該インゴットのワークプレートを固着するステップ、
（ｇ）ケージの可動ロッドを下部開放位置に回動させるステップ、
（ｈ）ケージを手前方向に移動させワイヤーソー装置に固着されたインゴットをケージから離脱させるステップ、
（ｉ）該ワークプレートセット位置に固着されたインゴットをワイヤーソー装置によって切断するステップ、
（ｊ）可動ロッドを下部開放位置に回動した状態のケージをホルダー部上面の手前側に載置するステップ、
（ｋ）ワイヤーソー装置の開口部からリフターのホルダー部を挿入し、ホルダー部の先端部を該ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置に到達させるステップ、
（ｌ）該ホルダー部上面のケージをホルダー部先端方向のワイヤーソー装置のワークプレートセット位置まで移動させ該ワークプレートセット位置にセットされているアズカットウェーハをケージ内に収納するステップ、
（ｍ）可動ロッドを上部支持位置に回動固定しアズカットウェーハをケージ内に収納支持するステップ、
（ｎ）ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置にセットされているアズカットウェーハをワイヤーソー装置から取外すステップ、
（ｏ）取外されたアズカットウェーハを収納支持したケージをホルダー部上面の手前側に移動させるステップ、
（ｐ）該ホルダー部を該ワイヤーソー装置の開口部から抜きとり、該ホルダー部の上面に載置されたケージに収納支持されたアズカットウェーハを次工程へ搬送するステップ、からなることを特徴とするワークの取扱い及び切断方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワーク、例えば半導体シリコンインゴットの保持具及びワークの取扱い方法に関し、特に半導体シリコンインゴットをスライスしてアズカットウェーハとし、これを搬送するにあたり、搬送中のアズカットウェーハの破損を防止することができるようにしたワーク保持具及びワークの取扱い方法に関する。
【０００２】
【関連技術】
一般に、半導体シリコン単結晶インゴットからウェーハを製造するにあたっては、インゴットをワイヤーソー装置で切断し、切断されたウェーハ（アズカットウェーハ）をワイヤーソー装置から取り出し、次工程へ搬送する作業が行われている。この作業としては、図５に示すごとく、アズカットウェーハＷをワイヤーソー装置から取り出し、それを専用ケージ１０２に収納し、その専用ケージ１０２及びアズカットウェーハＷを台車１０４を用いて搬送する方法が用いられている。
【０００３】
このアズカットウェーハＷのワイヤーソー装置からの取出し及び専用ケージ１０２への収納はいずれも手作業で行われている。また、台車１０４は、車輪１０１，１０１上に設置された基台１０３及び該基台１０３の基端部に立設されたハンドル１０５からなる構造のもので、作業者がハンドル１０５によって押して移動させるものである。
【０００４】
該専用ケージ１０２は、相対向する側壁１０６間に３本のささえ棒１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃを横架せしめた構造を有している。該ささえ棒１０８ａ〜１０８ｃは、図示したごとく、逆２等辺３角形の各頂点に位置するように配置され、アズカットウェーハＷを３点支持によって収納支持することができるようになっている。
【０００５】
該３本のささえ棒１０８ａ〜１０８ｃはいずれも不動とされているために、アズカットウェーハＷ等のワークは常に上方から収納されかつ上方へ取出されることが必要である。図５において、１１０は当て板及び１１２はワークプレートである。
【０００６】
一方、近年は半導体単結晶シリコンインゴットの長尺化、大口径化は益々顕著となり、一個のインゴットの重量も増加の一途をたどっている。そのため、手作業によるインゴットの取扱いは全体的に困難となっている。特に、ワイヤーソー装置によって切断されたアズカットウェーハは脆い薄板状となっており、軽い衝撃であっても簡単に割れてしまうものである。このように、アズカットウェーハは重量増加による取扱いの困難性に加え、割れ易いために、ワイヤーソー装置からの取外し及び専用ケージへの収納作業の際に破損してしまう事故が多発しているのが現状である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述した従来技術の問題点に鑑みなされたもので、長尺大口径で重量のあるインゴットのワイヤーソー装置への取付け作業及びその取外し作業を簡単に行うことができ、特にアズカットウェーハの取扱い及び搬送中の破損を大幅に減少させることができるようにしたワーク保持具及びワークの取扱い方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明のワーク保持具は、少なくとも相対向する一対の支持板を有し前部を開口部とし内部をワークの収納空間としたケージと、該一対の支持板のそれぞれの内面中央下部に両端部が固着されて該支持板間に架設された固定主ロッドと、該一対の支持板のそれぞれの内面後端中央部に両端部が固着されて該支持板間に架設された固定副ロッドと、該一対の支持板のそれぞれの内面前端中央部に両端部が上下方向に摺動自在かつ固定可能とされて該支持板間に架設された可動ロッドと、該一対の支持板の後上端部に両端部が固着されて該支持板内に架設されたガイド板と、該ガイド板に摺動自在でかつ固定可能に取付けられたスライド部材と、該スライド部材に前端方向に向かって突設された抑え部材とを有し、該可動ロッドを下部開放位置に回動させた状態でその前部開口部からワークを該収納空間に収納し、収納後は該可動ロッドを上部支持位置に回動固定することにより該ワークを安全に保持しかつ該抑え部材によって該ワークの側面を抑えることによって収納中の該ワークの妄動を防止することができるようにしたことを特徴とする。
本発明のワーク保持具の基本的構造は、少なくとも相対向する一対の支持板を有し前部を開口部とし内部をワークの収納空間としたケージと、該一対の支持板のそれぞれの内面中央下部に両端部が固着されて該支持板間に架設された固定主ロッドと、該一対の支持板のそれぞれの内面後端中央部に両端部が固着されて該支持板間に架設された固定副ロッドと、該一対の支持板のそれぞれの内面前端中央部に両端部が上下方向に摺動自在かつ固定可能とされて該支持板間に架設された可動ロッドとを有し、該可動ロッドを下部開放位置に回動させた状態でその前部開口部からワークを該収納空間に収納し、収納後は該可動ロッドを上部支持位置に回動固定することにより該ワークを安全に保持することができるようにしたことである。
【０００９】
本発明のワーク保持具によれば、半導体単結晶シリコンインゴット及びこのインゴットをワイヤーソー装置で切断しワークプレートに接着された状態のウェーハ（アズカットウェーハ）等が好適に保持されるが、特に後者の場合にはウェーハの破損を大幅に軽減させることができる利点がある。
【００１０】
前記一対の支持板のそれぞれの内面中央部にアーム部材の基端部を回動可能に軸支し、該アーム部材の先端部近傍に前記可動ロッドの両端部を固着し、該アーム部材の先端部に係止部を設け、該支持板の内面前端中央部の該係止部に対応する位置に被係止部を設け、該被係止部に該係止部を係止させることによって該アーム部材及び該可動ロッドが前記固定副ロッドと対応する位置に固定され、一方該被係止部から該係止部を外すことによって該アーム部材及び該可動ロッドが回動可能となるようにするのが好適である。
【００１１】
本発明のインゴットの取付け方法の第１の態様は、上記したワーク保持具の基本的構造を用いるワイヤーソー装置におけるワークの取付け方法であって、可動ロッドを下部開放位置に回動させた状態でケージ内にワークプレート付インゴットをセットし、次いで該可動ロッドを上部支持位置に回動固定し、該インゴットを収納支持したケージをワイヤーソー装置のワークプレートセット位置に移動し、該インゴットのワークプレートを該ワークプレートセット位置に固着し、その後該ケージの可動ロッドを下部開放位置に回動させ、ついで該ケージを該ワークプレートセット位置から引き離すことによって該ケージからインゴットを離脱させるようにしたことを特徴とする。
【００１２】
本発明のアズカットウェーハの取外し方法の第１の態様は、上記したワーク保持具の基本的構造を用いるワイヤーソー装置におけるアズカットウェーハの取外し方法であって、インゴットがウェーハに切断されたアズカットウェーハを可動ロッドを下部開放位置に回動させた状態のケージ内に収納し、次いで該可動ロッドを上部支持位置に回動固定してアズカットウェーハをケージ内に収納支持し、ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置にセットされているアズカットウェーハをワイヤーソー装置から取外し、該アズカットウェーハを収納支持したケージを移動させてワークプレートセット位置からアズカットウェーハを離脱させるようにしたことを特徴とする。
【００１３】
本発明のワーク取扱い及び切断方法の第１の態様は、上記したワーク保持具の基本的構造を用いるワイヤーソー装置におけるワークの取扱い及び切断方法であって、可動ロッドを下部開放位置に回動させた状態でケージ内にワークプレート付インゴットをセットし、次いで該可動ロッドを上部支持位置に回動固定し、該インゴットを収納支持したケージをワイヤーソー装置のワークプレートセット位置に移動し、該インゴットのワークプレートを該ワークプレートセット位置に固着し、その後該ケージの可動ロッドを下部開放位置に回動させ、ついで該ケージを該ワークプレートセット位置から引き離すことによって該ケージからインゴットを離脱させ、該ワークプレートセット位置に固着されたインゴットをワイヤーソー装置によって切断し、次いでアズカットウェーハを可動ロッドを下部開放位置に回動させた状態のケージ内に収納し、該可動ロッドを上部支持位置に回動固定してアズカットウェーハをケージ内に収納支持し、ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置にセットされているアズカットウェーハをワイヤーソー装置から取外し、該アズカットウェーハを収納支持したケージを移動させてワークプレートセット位置からアズカットウェーハを離脱させ、次に該ケージに収納支持されたウェーハを次工程へ搬送するようにしたことを特徴とする。
【００１４】
本発明のインゴットの取付け方法の第２の態様は、上記したワーク保持具の基本的構造を用いるワイヤーソー装置におけるインゴットの取付け方法であって、
（ａ）可動ロッドを下部開放位置に回動した状態のケージをリフターのホルダー部上面の手前側に載置するステップ、
（ｂ）該ケージ内にワークプレート付インゴットをセットするステップ、
（ｃ）該可動ロッドを上部支持位置に回動固定するステップ、
（ｄ）ワイヤーソー装置の開口部からホルダー部を挿入しホルダー部の先端部が該ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置に達するように該リフターを走行させるステップ、
（ｅ）該ホルダー部上面のケージをホルダー部先端方向のワイヤーソー装置のワークプレートセット位置まで移動させるステップ、
（ｆ）ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置に該インゴットのワークプレートを固着するステップ、
（ｇ）ケージの可動ロッドを下部開放位置に回動させるステップ、
（ｈ）ケージを手前方向に移動させ固着されたインゴットをケージから離脱させるステップ、
からなることを特徴とする。
【００１５】
本発明のアズカットウェーハの取外し方法の第２の態様は、上記したワーク保持具の基本的構造を用いるワイヤーソー装置におけるアズカットウェーハの取外し方法であって、
（ａ）可動ロッドを下部開放位置に回動した状態のケージをホルダー部上面の手前側に載置するステップ、
（ｂ）ワイヤーソー装置の開口部からリフターのホルダー部を挿入し、ホルダー部の先端部を該ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置に到達させるステップ、
（ｃ）該ホルダー部上面のケージをホルダー部先端方向のワイヤーソー装置のワークプレートセット位置まで移動させ該ワークプレートセット位置にセットされたインゴットがウェーハに切断されたアズカットウェーハをケージ内に収納するステップ、
（ｄ）可動ロッドを上部支持位置に回動固定しアズカットウェーハをケージ内に収納支持するステップ、
（ｅ）ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置にセットされているアズカットウェーハをワイヤーソー装置から取外すステップ、
（ｆ）取外されたアズカットウェーハを収納支持したケージをホルダー部上面の手前側に移動させるステップ、
（ｇ）該ホルダー部を該ワイヤーソー装置の開口部から抜きとるステップ、
からなることを特徴とする。
【００１６】
本発明のワークの取扱い及び切断方法の第２の態様は、上記したワーク保持具の基本的構造を用いるワイヤーソー装置におけるワークの取扱い及び切断方法であって、
（ａ）可動ロッドを下部開放位置に回動した状態のケージをリフターのホルダー部上面の手前側に載置するステップ、
（ｂ）該ケージ内にワークプレート付インゴットをセットするステップ、
（ｃ）該可動ロッドを上部支持位置に回動固定するステップ、
（ｄ）ワイヤーソー装置の開口部からホルダー部を挿入しホルダー部の先端部が該ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置に達するように該リフターを走行させるステップ、
（ｅ）該ホルダー部上面のケージをホルダー部先端方向のワイヤーソー装置のワークプレートセット位置まで移動させるステップ、
（ｆ）ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置に該インゴットのワークプレートを固着するステップ、
（ｇ）ケージの可動ロッドを下部開放位置に回動させるステップ、
（ｈ）ケージを手前方向に移動させ固着されたインゴットをケージから離脱させるステップ、
（ｉ）該ワークプレートセット位置に固着されたインゴットをワイヤーソー装置によって切断するステップ、
（ｊ）  可動ロッドを下部開放位置に回動した状態のケージをホルダー部上面の手前側に載置するステップ、
（ｋ）ワイヤーソー装置の開口部からリフターのホルダー部を挿入し、ホルダー部の先端部を該ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置に到達させるステップ、
（ｌ）該ホルダー部上面のケージをホルダー部先端方向のワイヤーソー装置のワークプレートセット位置まで移動させ該ワークプレートセット位置にセットされているアズカットウェーハをケージ内に収納するステップ、
（ｍ）可動ロッドを上部支持位置に回動固定しアズカットウェーハをケージ内に収納支持するステップ、
（ｎ）ワイヤーソー装置のワークプレートセット位置にセットされているアズカットウェーハをワイヤーソー装置から取外すステップ、
（ｏ）取外されたアズカットウェーハを収納支持したケージをホルダー部上面の手前側に移動させるステップ、
（ｐ）該ホルダー部を該ワイヤーソー装置の開口部から抜きとり、該ホルダー部の上面に載置されたケージに収納支持されたアズカットウェーハを次工程へ搬送するステップ、
からなることを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面中図１〜図４に基づいて説明する。
【００１８】
図１は本発明のワーク保持具を示す斜視図、図２は本発明のワーク保持具のアーム部材の止め機構を示す断面説明図、図３は本発明のワーク保持具によるワークのワイヤーソー装置への取付け及び取外しを行う場合の配置を示す一部断面概略側面説明図及び図４は本発明のワーク保持具をホルダー部上面に載置したリフターがワイヤーソー装置の外部に位置する場合を示す一部断面概略側面説明図である。
【００１９】
図１において、符号１２は本発明に係るワーク保持具である。該ワーク保持具１２は、相対向する一対の支持板１４，１４を有し前部を開口部１６とし内部をワークＷの収納空間１８としたケージ２０を備えている。
【００２０】
２２は固定主ロッドで、その両端部は該一対の支持板１４，１４のそれぞれの内面中央下部に固着されている。２４は固定副ロッドで、その両端部は該一対の支持板１４，１４の内面後端中央部に固着されている。
【００２１】
該一対の支持板１４，１４のそれぞれの内面中央部には、アーム部材２６の基端部が回動可能に軸２７に軸支されている。該アーム部材２６の先端部近傍には可動ロッド２８の両端部が固着されている。
【００２２】
該アーム部材２６の先端部には係止部が設けられ、図示例では、止めネジ３０が螺動自在に取りつけられている。該支持板１４の内面前端中央部には、該係止部、例えば止めネジ３０に対応する位置に被係止部、図示例ではネジ孔３２が設けられている（図２）。
【００２３】
該係止部、例えば止めネジ３０を該被係止部、例えばネジ孔３２に係止させ、例えばネジ込むことによって該アーム部材２６及び該可動ロッド２８が前記固定副ロッドと対応する位置に固定される。一方、該被係止部、例えばネジ孔３２から該係止部、例えば止めネジ３０を外すことによって該アーム部材２６及び該可動ロッド２８が回動可能となる。
【００２４】
つまり、該可動ロッド２８は該一対の支持板１４，１４のそれぞれの内面前端中央部に両端部が上下方向に摺動自在かつ固定可能とされて該支持板１４，１４間に横架された状態となっている。
【００２５】
したがって、該可動ロッド２８を下部開放位置に回動させておけば、ケージ２０の前部開口部１６からワークＷを該収納空間１８に収納することができる。ワークＷの収納後は該可動ロッド２８を上部支持位置に回動し、該止めネジ３０をネジ孔３２にネジ込むことによって固定すれば、該ワークＷを完全に保持することができる。
【００２６】
図１において、３４ａ，３４ｂは該一対の支持板１４，１４の前下端部及び後下端部に両端部が固着されて該支持板１４，１４間に横架されたスペーサ部材である。
【００２７】
また、３６は該一対の支持板１４，１４の後上端部に両端部が固着されて該支持板１４，１４内に架設されたガイド板である。該ガイド板３６にはスライド部材３８が摺動自在でかつ固定可能に取りつけられている。３７は該スライド部材３８に螺動自在に取りつけられた止めネジで、該止めネジ３７を締め付けることによって、該スライド部材３８を該ガイド板３６の所望位置に固定することができる。該スライド部材３８には抑え部材４０，４０が前端方向に向って突設されている。該抑え部材４０，４０はケージ２０の収納空間１８に収納されたワークＷの側面を抑えることによって収納中のワークＷの妄動を防止する役目を果す。
【００２８】
続いて、上記したワーク保持具１２を用いてインゴットＷをワイヤーソー装置４２に取りつけ、ワイヤーソー装置４２によるインゴットＷのウェーハへの切断後、切断されたウェーハ（アズカットウェーハ）Ｗをワーク保持具１２を用いてワイヤーソー装置４２から取り外す作業について図３及び図４を参照して説明する。
【００２９】
まず、ワーク保持具１２を用いてワイヤーソー装置４２にインゴットＷを取りつける作業は次の（ａ）〜（ｈ）の手順で行われる。
（ａ）可動ロッド２８を下部開放位置（図３の実線）に回動した状態のケージ２０をリフター４４のホルダー部４６上面の手前側に載置するステップ、
（ｂ）該ケージ２０内にワークプレート１１２付インゴットＷをセットするステップ（この場合、該可動ロッド２８は固定主ロッド２２に近接して位置しており、インゴットＷをそのまま固定主ロッド２２上に載置すると該ケージ２０から転落する危険性がある。そのため、インゴットＷを不図示の吊持手段によって吊持した状態で該ケージ２０内にセットし位置せしめ、次のステップの３点支持が行われた後に吊持状態を解消するのが安全性の面から好適である。）、
（ｃ）該可動ロッド２８を上部支持位置（図３の仮想線）に回動固定するステップ（該可動ロッド２８の上部支持位置は図３に示されるように固定副ロッド２４と対応する位置にある。そのため、該可動ロッド２８は、上部支持位置では、固定主ロッド２２及び固定副ロッド２４と協働して該インゴットＷを３点支持によって支持する。）、
（ｄ）ワイヤーソー装置４２の開口部４８からホルダー部４６を挿入しホルダー部４６の先端部が該ワイヤーソー装置４２のワークプレートセット部材５０位置に達するように該リフター４４を走行させるステップ、
（ｅ）該ホルダー部４６上面のケージ２０をホルダー部４６先端方向のワイヤーソー装置４２のワークプレートセット部材５０位置まで移動させるステップ、
（ｆ）ワイヤーソー装置４２のワークプレートセット部材５０位置に該インゴットＷのワークプレート１１２を固着するステップ、
（ｇ）ケージ２０の可動ロッド２８を下部開放位置に回動させるステップ、
（ｈ）ケージ２０を手前方向に移動させワイヤーソー装置４２に固着されたインゴットＷをケージ２０から離脱させるステップ。
【００３０】
上記した（ａ）〜（ｈ）の手順は、リフター４４を用いる場合についての説明であるが、搬送手段としてはリフター４４以外のものも用いることができるもので、インゴットＷの取付け方法は次のように構成することができる。
【００３１】
上記可動ロッド２８を下部開放位置に回動させた状態でケージ２０内にワークプレート１１２付インゴットＷをセットし（このとき、該可動ロッド２８は、固定主ロッド２２に近接して位置しており、インゴットＷをそのまま固定主ロッド２２上に載置すると該ケージ２０から転落する危険性がある。そのため、インゴットＷを不図示の吊持手段によって吊持した状態で該ケージ２０内にセットし位置せしめ、次のステップの３点支持が行われた後に吊持状態を解消するのが安全性の面から好適である。）、次いで該可動ロッド２８を上部支持位置に回動固定し（このとき、該可動ロッド２８は、固定主ロッド２２及び固定副ロッド２４と協働して３点支持によって該インゴットＷを支持する。）、該インゴットＷを収納支持したケージ２０をワイヤーソー装置４２のワークプレートセット部材５０位置に移動し、該インゴットＷのワークプレート１１２を該ワークプレートセット部材５０位置に固着し、その後該ケージ２０の可動ロッド２８を下部開放位置に回動させ、ついで該ケージ２０を該ワークプレートセット部材５０位置から引き離すことによって該ケージ２０からインゴットＷを離脱させる。
【００３２】
図３及び図４において、６６はネジであり、上記ワークプレート１１２をワークプレートセット部材５０にネジ止めする作用を行う。
【００３３】
このワイヤーソー装置４２に固着されたインゴットＷはワイヤーソー装置４２によってウェーハに切断される。即ち、
（ｉ）該ワークプレートセット部材５０位置に固着されたインゴットＷをワイヤーソー装置４２によって切断するステップ、が行われる。
【００３４】
続いて、切断されたウェーハ（アズカットウェーハ）はワイヤーソー装置４２から取外されて、次工程に搬送されるが、その作業は次の（ｊ）〜（ｐ）の手順によって行われる。
【００３５】
（ｊ）可動ロッド２８を下部開放位置に回動した状態のケージ２０をホルダー部４６上面の手前側に載置するステップ、
（ｋ）ワイヤーソー装置４２の開口部４８からリフター４４のホルダー部４６を挿入し、ホルダー部４６の先端部を該ワイヤーソー装置４２のワークプレートセット部材５０位置に到達させるステップ、
（ｌ）該ホルダー部４６上面のケージ２０をホルダー部４６先端方向のワイヤーソー装置４２のワークプレートセット部材５０位置まで移動させ該ワークプレートセット部材５０位置にセットされているアズカットウェーハＷをケージ２０内に収納するステップ、
（ｍ）可動ロッド２８を上部支持位置に回動固定しアズカットウェーハＷをケージ２０内に収納支持するステップ（このとき、該可動ロッド２８は、固定主ロッド２２及び固定副ロッド２４と協働して完全な３点支持によって該アズカットウェーハＷを支持する。）、
（ｎ）ワイヤーソー装置４２のワークプレートセット部材５０位置にセットされているアズカットウェーハＷをワイヤーソー装置４２から取外すステップ、
（ｏ）取外されたアズカットウェーハＷを収納支持したケージ２０をホルダー部４６上面の手前側に移動させるステップ、
（ｐ）該ホルダー部４６を該ワイヤーソー装置４２の開口部４８から抜きとり、該ホルダー部４６の上面に載置されたケージに収納支持されたアズカットウェーハＷを次工程へ搬送するステップ。
【００３６】
上記した（ｊ）〜（ｐ）の手順は、リフター４４を用いる場合についての説明であるが、アズカットウェーハＷの取外しについてもリフター４４以外のものを用いることができるもので、アズカットウェーハＷの取外し方法は次のように構成することができる。
【００３７】
アズカットウェーハＷを可動ロッド２８を下部開放位置に回動させた状態のケージ２０内に収納し、次いで該可動ロッド２８を上部支持位置に回動固定してアズカットウェーハＷをケージ２０内に収納支持し（このとき、該可動ロッド２８は、固定主ロッド２２及び固定副ロッド２４と協働して完全な３点支持によって該アズカットウェーハＷを支持する。）、ワイヤーソー装置４２のワークプレートセット部材５０位置にセットされているアズカットウェーハＷをワイヤーソー装置から取外し、該アズカットウェーハＷを収納支持したケージ２０を移動させてワークプレートセット部材５０位置からアズカットウェーハＷを離脱させる。前記したネジ６６を緩めることによってワークプレート１１２とワークプレートセット部材５０との結合は解消される。
【００３８】
図３及び図４において、５２はワイヤーソー装置本体４２ａ及びワークプレートセット部材５０等のワイヤーソー装置４２を構成する部材を収容する筺体で、その前面には開口部４８が開穿されている。ワイヤーソー装置本体４２ａは従来公知の構成、即ち複数個（図示例で３個）のメインローラ５４ａ，５４ｂ，５４ｃ及び該メインローラ５４ａ〜５４ｃに巻回されたワイヤー５６を有している。
【００３９】
本発明方法において、必要に応じて使用されるリフター４４も公知の構造であり、車輪５８，５８上に設置された基台６０と、該基台６０の基端部に立設された基端部材６２と、該基端部材６２から前方に突出しかつ上下動自在とされたホルダー部４６とから構成されている。６４は該基端部材６２に取りつけられかつ該ホルダー部４６の上下動を行わせるハンドル部材である。
【００４０】
上述した本発明方法においては、ウェーハ保持具１２を用いてインゴットやアズカットウェーハ等のワークＷを取り扱う場合に側方からワークＷの出し入れを行うことができるので、リフター４４等の機械的手段を用いてワークＷの取扱いを行うことができる。それ故、従来に比べて手作業の量を大幅に軽減することができ、したがって、近年の長尺化、大口径化した重量のあるインゴットの取扱いに対しても充分に対処できるものである。また、ウェーハ保持具への上方からの手作業によるワークＷの出し入れ作業がなくなるのでアズカットウェーハの取扱い及び搬送中の破損を大幅に減少させることができる。
【００４１】
【発明の効果】
以上述べたごとく、本発明によれば、長尺大口径で重量のあるインゴットのワイヤーソー装置への取付け作業及びその取外し作業を簡単に行うことができ、特にアズカットウェーハの取扱い及び搬送中の破損を大幅に減少させることができるという効果が達成される。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のワーク保持具を示す斜視図である。
【図２】  本発明のワーク保持具のアーム部材の止め機構を示す断面説明図である。
【図３】  本発明のワーク保持具によるワークのワイヤーソー装置への取付け及び取外しを行う場合の配置を示す一部断面概略側面説明図である。
【図４】  本発明のワーク保持具をホルダー部上面に載置したリフターがワイヤーソー装置の外部に位置する場合を示す一部断面概略側面説明図である。
【図５】  従来のアズカットウェーハの搬送手順を示す側面的概略説明図である。
【符号の説明】
１２：ワーク保持具、１４：支持板、１６：開口部、１８：収納空間、２０：ケージ、２２：固定主ロッド、２４：固定副ロッド、２６：アーム部材、２７：軸、２８：可動ロッド、３０，３７：止めネジ、３２：ネジ孔、３４ａ，３４ｂ：スペーサ部材、３６：ガイド板、３８：スライド部材、４０，４０：抑え部材、４２：ワイヤーソー装置、４２ａ：ワイヤーソー装置本体、４４：リフター、４６：ホルダー部、４８：開口部、５０：ワークプレートセット部材、５２：筺体、５４ａ，５４ｂ，５４ｃ：メインローラ、５６：ワイヤー、５８：車輪、６０：基台、６２：基端部材、６４：ハンドル部材、６６：ネジ、１１２：ワークプレート、Ｗ：ワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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