(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定信号源より所定の測定電圧が印加されている試料（被測定回路素子）の端子間電圧および同試料に流れている電流を検出する測定信号検出回路と、同測定信号検出回路により検出された電圧および電流を所定のサンプリング間隔でディジタルに変換するＡ／Ｄ変換器と、そのディジタル変換された電圧データと電流データとから上記試料の回路定数を演算する制御手段と、その演算に必要なデータや演算結果などを記憶するメモリとを含み、上記電圧データおよび上記電流データとその基本波データとを積和演算する同期整流により、上記検出電圧波形と上記検出電流波形の０度成分と９０度成分をそれぞれ抽出する回路素子測定器の位相誤差補正方法において、
少なくとも位相角が既知（θＳＴ）である基準試料を測定し、上記制御手段によりその位相角の実測値（θＭ）を求める第１ステップと、
上記既知の位相角（θＳＴ）と上記実測値（θＭ）との差（θＳＴ−θＭ）＝θｒｅｆを求める第２ステップと、
上記検出電圧波形の同期整流用として、基本波であるｓｉｎθ波形およびｃｏｓθ波形から上記サンプリング間隔と同一の間隔にて１周期分のデータを抽出して第１データテーブルを作成する第３ステップと、
上記検出電流波形の同期整流用として、基本波であるｓｉｎθ波形およびｃｏｓθ波形の各位相を上記位相差θｒｅｆ分ずらせてｓｉｎ（θ−θｒｅｆ）、ｃｏｓ（θ−θｒｅｆ）とした波形から上記サンプリング間隔と同一の間隔にてその１周期分のデータを抽出して第２データテーブルを作成する第４ステップとをあらかじめ実行し、しかる後、実際の被測定試料について測定して、その電圧データおよび電流データを得、
上記第１データテーブルからｓｉｎθ波形およびｃｏｓθ波形の各基本波データを読み出してそれぞれ上記電圧データと積和演算して同電圧データの０度成分と９０度成分を抽出するとともに、上記第２データテーブルからｓｉｎ（θ−θｒｅｆ）およびｃｏｓ（θ−θｒｅｆ）の各基本波データを読み出してそれぞれ上記電流データと積和演算して同電流データの０度成分と９０度成分を抽出することを特徴とする回路素子測定器の位相誤差補正方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は回路素子測定器の位相誤差補正方法に関し、さらに詳しく言えば、同期整流により電圧波形および電流波形の０度成分と９０度成分を抽出する際の位相誤差補正方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電圧電流計法によりディジタル的に検出波形を処理する回路素子測定器（例えば、ディジタルＬＣＲメータ）においては、被測定物に測定電圧を印加した状態で、その被測定物の端子間に現れる電圧とそれに流れる電流を検出回路で検出するとともに、Ａ／Ｄ変換器でディジタル処理した後、ＣＰＵなどの制御手段により各種の回路定数を求めるようにしている。
【０００３】
ところで、検出回路にはフィルタなどが設けられているため、電圧・電流を検出する際に、検出回路の特性によっては電圧・電流の位相情報にその回路（機器）固有の誤差が生ずる場合がある。この位相誤差は演算結果に影響をおよぼすため、補正する必要がある。この誤差を補正する方法としては、おおよそ次の方法が知られている。
【０００４】
その一つはソフトウェアで補正する方法である（第１従来例）。この方法においては、まず、インピーダンスＺ０と位相角θ０が既知である基準試料を測定し、位相角についてその実測値θ１を求める。そして、既知の位相角θ０と実測値θ１との差θ２（＝θ０−θ１）を算出し、メモリに記憶させておく。
【０００５】
次に、未知の試料を測定する場合には、その位相角の実測値θを求めた後、メモリから上記位相差θ２を読み出して実測値θに加算する。これにより、検出回路による固有の誤差を測定値から除去することができる。
【０００６】
別の方法としては、ハード的に補正する方法がある（第２従来例）。この方法においては、検出回路に例えばトリマコンデンサからなる調整回路を設け、実際の検出波形をオシロスコープで観察するなどして位相情報を確認しながら、手動でトリマコンデンサを調整して位相誤差を排除する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ソフトウェアで補正する第１従来例の場合には、位相角が既知の試料を使用することにより、比較的簡単に位相角に関する誤差を求めることができる。しかしながら、各種の回路定数を求めるにあたっては、必ずＣＰＵにて位相角の補正演算を行なってその誤差成分を取り除いた上で、回路定数を求めなければならないため、ＣＰＵの処理時間が余分にかかるという課題があった。
【０００８】
これに対して、調整回路を用いる第２従来例によれば、ソフト的処理が不要であるため、ＣＰＵを使用しない装置にも適用可能であるが、この場合には、振動などの外的要因によってトリマなどが不用意に動き、調整がずれてしまうおそれがあるので好ましくない。また、手動調整であるため信頼性の面でも課題がある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的は、電圧・電流の検出波形に同期整流処理を施して、その０度成分および９０度成分を得るにあたって、ＣＰＵに余計な負担をかけることなく、検出回路などの機器固有の特性に基づく位相誤差を補正することができるようにした回路素子測定器の位相誤差補正方法を提供することにある。
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明は、測定信号源より所定の測定電圧が印加されている試料（被測定回路素子）の端子間電圧および同試料に流れている電流を検出する測定信号検出回路と、同測定信号検出回路により検出された電圧および電流を所定のサンプリング間隔でディジタルに変換するＡ／Ｄ変換器と、そのディジタル変換された電圧データと電流データとから上記試料の回路定数を演算する制御手段と、その演算に必要なデータや演算結果などを記憶するメモリとを含み、上記電圧データおよび上記電流データとその基本波データとを積和演算する同期整流により、上記検出電圧波形と上記検出電流波形の０度成分と９０度成分をそれぞれ抽出する回路素子測定器の位相誤差補正方法において、少なくとも位相角が既知（θＳＴ）である基準試料を測定し、上記制御手段によりその位相角の実測値（θＭ）を求める第１ステップと、上記既知の位相角（θＳＴ）と上記実測値（θＭ）との差（θＳＴ−θＭ）＝θｒｅｆを求める第２ステップと、上記検出電圧波形の同期整流用として、基本波であるｓｉｎθ波形およびｃｏｓθ波形から上記サンプリング間隔と同一の間隔にて１周期分のデータを抽出して第１データテーブルを作成する第３ステップと、上記検出電流波形の同期整流用として、基本波であるｓｉｎθ波形およびｃｏｓθ波形の各位相を上記位相差θｒｅｆ分ずらせてｓｉｎ（θ−θｒｅｆ）、ｃｏｓ（θ−θｒｅｆ）とした波形から上記サンプリング間隔と同一の間隔にてその１周期分のデータを抽出して第２データテーブルを作成する第４ステップとをあらかじめ実行し、しかる後、実際の被測定試料について測定して、その電圧データおよび電流データを得、上記第１データテーブルからｓｉｎθ波形およびｃｏｓθ波形の各基本波データを読み出してそれぞれ上記電圧データと積和演算して同電圧データの０度成分と９０度成分を抽出するとともに、上記第２データテーブルからｓｉｎ（θ−θｒｅｆ）およびｃｏｓ（θ−θｒｅｆ）の各基本波データを読み出してそれぞれ上記電流データと積和演算して同電流データの０度成分と９０度成分を抽出することを特徴としている。
【００１１】
本発明によれば、上記第１従来例のように位相を演算で求めてから補正する方法に比べて、あらかじめ基本波の位相を調整しておくだけでよく、実際の測定段階での演算手順にはなんら変更を要しないため、ＣＰＵでの演算時間のロスがない。すなわち、本発明によれば、位相誤差を同期整流処理時に補正することができる。また、上記第２従来例のように外来振動などによって、補正データが変化することもない。
【００１２】
【発明の実施の形態】
次に、本発明を図面に示されている実施例により具体的に説明する。
【００１３】
図１に模式的に示されているように、この実施例としての回路素子測定器は、主たる構成として、測定信号検出回路１、Ａ／Ｄ変換器２、演算処理手段としてのＣＰＵ（ｃｅｎｔｒａｌ  ｐｒｏｃｃｅｓｉｎｇ  ｕｎｉｔ）３およびその演算に必要なデータや演算結果などを記憶するメモリ４を備えている。
【００１４】
測定信号検出回路１は、図示されていない測定信号源より所定の測定電圧が印加されている同じく図示されていない試料（被測定回路素子）の端子間電圧および同試料に流れている電流を検出する。
【００１５】
Ａ／Ｄ変換器２は、同測定信号検出回路１により検出された電圧および電流を所定のサンプリング間隔でディジタルに変換する。また、ＣＰＵ３は、Ａ／Ｄ変換された電圧データと電流データとから上記試料の回路定数を演算する。
【００１６】
図２には、測定信号検出回路１で試料から検出された電圧波形Ｖｖと電流波形Ｖｉとが示されている。なお、この実施例では電流波形Ｖｉは電圧波形Ｖｖよりも位相が３０度遅れているものとして示されている。
【００１７】
また、図２にはＡ／Ｄ変換器２により、１周期あたりｎポイント、この実施例では１２ポイントの等間隔でサンプリングされた電圧波形Ｖｖと電流波形Ｖｉのデータポイントが、それぞれＶｖ（０）〜Ｖｖ（１１）、Ｖｉ（０）〜Ｖｉ（１１）として示されている。
【００１８】
図３には、同期整流に用いられる基本波としてのｓｉｎ波形Ｓとｃｏｓ波形Ｃとが示されている。この基本波と試料から検出された検出波形とを積和演算することにより、検出波形の０度成分と９０度成分が抽出されるが、本発明では、その基本波の位相情報を操作することにより、測定信号検出回路１などで生ずる検出波形の位相誤差を補正するもので、以下にその手順を説明する。
【００１９】
まず、位相が既知（真値）θＳＴである基準試料を測定し、その実測値θＭを求める。そして、その実測値θＭと真値θＳＴとから、位相誤差θＲＥＦ（＝θＳＴ−θＭ）を算出する。
【００２０】
次に、電圧波形Ｖｖを同期整流するための基本波の第１データテーブルと、電流波形Ｖｉを同期整流するための基本波の第２データテーブルを作成する。なお、これらのデータテーブルはメモリ４内に用意される。
【００２１】
第１データテーブルには、図３に示されているｓｉｎ波形Ｓ（ｓｉｎθ）とｃｏｓ波形Ｃ（ｃｏｓθ）をそのまま、それぞれ１周期あたり１２ポイントの等間隔でサンプリングした基本波データＳａ（０）〜Ｓａ（１１），Ｃａ（０）〜Ｃａ（１１）を書き込む。
【００２２】
これに対し、第２データテーブルを作成するにあたっては、上記ｓｉｎ波形Ｓとｃｏｓ波形Ｃの位相をθＲＥＦだけずらして、ｓｉｎ（θ−θＲＥＦ），ｃｏｓ（θ−θＲＥＦ）とする。そして、これについてそれぞれ１周期あたり１２ポイントの等間隔でサンプリングした基本波データＳｂ（０）〜Ｓｂ（１１），Ｃｂ（０）〜Ｃｂ（１１）を第２データテーブルに書き込む。
【００２３】
このようにして第１および第２データテーブルを用意した後、未知の試料（被測定物）について実際の測定が行なわれるのであるが、その試料から検出された電圧波形Ｖｖについては、第１データテーブルから基本波データＳａ（０）〜Ｓａ（１１），Ｃａ（０）〜Ｃａ（１１）を読み出して同期整流する。すなわち、ＣＰＵ３において次式（１）（２）の積和演算が実行され、電圧波形Ｖｖの０度成分Ｖｖｓと９０度成分Ｖｖｃとが求められる。
【００２４】
【数１】
0004225651.tif 000002
【数２】
0004225651.tif 000003
【００２５】
次に、電流波形Ｖｉについては、第２データテーブルから位相がθＲＥＦだけずらされた基本波データＳｂ（０）〜Ｓｂ（１１），Ｃｂ（０）〜Ｃｂ（１１）を読み出して同期整流する。すなわち、ＣＰＵ３において次式（３）（４）の積和演算が実行され、電流波形Ｖｉの０度成分Ｖｉｓと９０度成分Ｖｉｃとが求められる。
【００２６】
【数３】
0004225651.tif 000004
【数４】
0004225651.tif 000005
なお、上記の各式（１）〜（４）においてｎは１２である。
【００２７】
このように、同期整流するにあたって、電流波形Ｖｉに位相誤差θＲＥＦ分だけ位相をずらした基本波を掛けることにより、同期整流処理内でその位相誤差を補正することができる。
【００２８】
なお、電圧波形Ｖｖおよび電流波形Ｖｉの各成分Ｖｖｓ，Ｖｖｃ，ＶｉｓおよびＶｉｃより所定の計算式にしたがって抵抗Ｒｘ，リアクタンスＸｘ，コンダクタンスＧｘ，サセプタンスＢｘが求められ、さらに、これらからインピーダンス｜Ｚ｜，キャパシタンスＣ，インダクタンスＬ，抵抗Ｒなどの回路定数が求められる。
【００２９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、位相が既知の基準試料を測定して検出回路などで生ずる位相誤差θＲＥＦを求め、検出波形を同期整流する際、電流波形にはその位相誤差θＲＥＦ分だけ位相をずらした基本波を掛けるようにしたことにより、位相誤差を同期整流処理時に補正することができる。
【００３０】
すなわち、上記第１従来例のように位相を演算で求めてから補正する方法に比べて、あらかじめ基本波の位相を調整しておくだけでよく、実際の測定段階での演算手順にはなんら変更を要しないため、ＣＰＵでの演算時間のロスがない。また、上記第２従来例のように外来振動などによって、補正データが変化することもない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の位相誤差補正方法が適用される回路素子測定器の概略的なブロック図。
【図２】検出波形の一例を示した波形図。
【図３】基本波を示した波形図。
【符号の説明】
１  測定信号検出回路
２  Ａ／Ｄ変換器
３  演算処理手段（ＣＰＵ）
４  メモリ
【図１】
0004225651.tif 000006
【図２】
0004225651.tif 000007
【図３】
0004225651.tif 000008