(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端にＶ字状の切り欠きを有する４角形状であり、Ｖ字状の切り欠きの両側とハンド中間部両側に吸盤を有し、Ｖ字状の切り欠きの先端に起立して基板の先端を把持する先端フックとこの先端フックに対峙してハンド後端に設けられた後端フックとを有するハンドをロボットアームに取り付けて行なうガラス基板のハンドリング方法において、
傾斜して置かれたガラス基板に平行に斜め上方からハンドを挿入し、
ガラス基板の下端をハンドの先端フックを起立して把持し、
次いで、ハンドの吸盤によるガラス基板の吸着を開始するとともに、ハンドをガラス基板に寄せ、
その後、後端フックでガラス基板の上端を把持し、ガラス基板を把持したハンドを抜き出す、ことを特徴とするガラス基板のハンドリング方法。
【請求項２】
先端にＶ字状の切り欠きを有する４角形状であり、Ｖ字状の切り欠きの両側とハンド中間部両側に吸盤を有し、Ｖ字状の切り欠きの先端に起立して基板の先端を把持する先端フックとこの先端フックに対峙してハンド後端に設けられた後端フックとを有するハンドをロボットアームに取り付けて行なうガラス基板のハンドリング方法において、
傾斜して置かれたガラス基板の横方向から基板に平行にハンドを挿入し、
ガラス基板の一端をハンドの先端フックを起立して把持し、
次いで、ハンドの吸盤によるガラス基板の吸着を開始し、ハンドをガラス基板に寄せ、
その後、後端フックでガラス基板の他端を把持し、ガラス基板を把持したハンドを抜き出す、ことを特徴とするガラス基板のハンドリング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、傾斜して置かれたガラス基板をロボットアームに接続されたハンドでハンドリングするガラス基板のハンドリング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＰＤＰ（プラズマ・ディスプレイ・パネル）用ガラス基板はクリーンルーム内で、カセットから取り出され、試験台等に移送される。図１０は複数のガラス基板を収納したカセットの斜視図である。このカセットａは、基板ｂの両端を水平に支持するようになっていて、上下方向に一定間隔でガラス基板を収納するようになっている。
【０００３】
図１１は基板移載用ロボットの平面図である。カセットａから基板ｂを取り出すのに、基板移載用ロボットｃが使われている。基板移載用ロボットｃは２本のアームｄを有し先端に薄いハンドｅを接続しており、このハンドｅをカセットａの基板ｂの間に水平に挿入し、基板ｂの下面を支持し、上方に持ち上げてカセットａを取り出している。このように水平に取り出して水平に試験台等に乗せていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
基板の寸法が大きくなると、たわみが大きくなり水平を維持して移載するのが難しくなる。またカセットを水平にしておくと専有面積が大きくなり、クリーンルームを大きくする必要があり、コスト的に不利となる。このためカセットを斜めにしたり立てることが検討されている。出願人は特願平１０−１７８２１６号でカセットを立てた状態または斜めにした状態でカセットからの取り出しができるようにするハンドを開示している。しかしそのハンドによる基板のハンドリング方法については十分記載していない。
【０００５】
本発明は上述の問題点に鑑みてなされたもので、傾斜したカセット内のガラス基板をハンドでハンドリングする方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１の発明は、先端にＶ字状の切り欠きを有する４角形状であり、Ｖ字状の切り欠きの両側とハンド中間部両側に吸盤を有し、Ｖ字状の切り欠きの先端に起立して基板の先端を把持する先端フックとこの先端フックに対峙してハンド後端に設けられた後端フックとを有するハンドをロボットアームに取り付けて行なうガラス基板のハンドリング方法において、傾斜して置かれたガラス基板に平行に斜め上方からハンドを挿入し、ガラス基板の下端をハンドの先端フックを起立して把持し、次いで、ハンドの吸盤によるガラス基板の吸着を開始するとともに、ハンドをガラス基板に寄せ、その後、後端フックでガラス基板の上端を把持し、ガラス基板を把持したハンドを抜き出す。
【０００７】
ハンドをガラス基板に上方から平行に挿入することによりガラス基板とハンドを重ねて並べる。この状態でハンドの先端フックを起立してガラス基板の下端を押さえる。次にハンドの吸盤によりガラス基板を吸引して引き寄せ、ハンドの後端フックでガラス基板の上端を押さえる。これによりガラス基板はハンドと一体となる。この状態でハンドを抜き出すことにより、斜めに置かれたガラス基板をハンドで取り出すことができる。その後斜めの状態でハンドを移送し、試験台等の所で水平にすることにより、ガラス基板にたわみの発生する期間を少くすることができる。
【０００８】
請求項２の発明では、先端にＶ字状の切り欠きを有する４角形状であり、Ｖ字状の切り欠きの両側とハンド中間部両側に吸盤を有し、Ｖ字状の切り欠きの先端に起立して基板の先端を把持する先端フックとこの先端フックに対峙してハンド後端に設けられた後端フックとを有するハンドをロボットアームに取り付けて行なうガラス基板のハンドリング方法において、傾斜して置かれたガラス基板の横方向から基板に平行にハンドを挿入し、ガラス基板の一端をハンドの先端フックを起立して把持し、次いで、ハンドの吸盤によるガラス基板の吸着を開始し、ハンドをガラス基板に寄せ、その後、後端フックでガラス基板の他端を把持し、ガラス基板を把持したハンドを抜き出す。
【０００９】
ハンドを傾斜して置かれたガラス基板の横方向から基板に沿って平行に挿入することによりガラス基板とハンドを重ねて並べる。この状態でハンドの先端フックを起立してガラス基板の一端を押さえる。次にハンドの吸盤によりガラス基板を吸引して引き寄せ、ハンドの後端フックでガラス基板の他端を押さえる。これによりガラス基板はハンドと一体となる。この状態でハンドを横方向に抜き出すことにより、斜めに置かれたガラス基板をハンドで取り出すことができる。その後斜めの状態でハンドを移送し、試験台等の所で水平にすることにより、ガラス基板にたわみの発生する期間を少くすることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は実施の形態の基板搬送用のハンドを接続した基板移載用ロボットの側面図である。図２はハンドの平面図である。図１において、１はガラス基板１４を把持して移送する基板搬送用ロボット９に使用する基板搬送用のハンドである。２はハンド１の後端に設けた接続部で、ロボット９の２本の関節アーム９ａ，９ｂの先端に設けられた自由角度手首９ｃの先端に接続されている。１０は移動可能なカセット受入れ台で図７で示したカセット１１を載置するカセット受け１０ａを有し、カセット受け１０ａをシリンダ１０ｂにより斜め、水平、垂直に傾動可能に設けている。１２は移動可能な基板検査台でカセット１１から基板移載用ロボット９のハンド１によって取り出され、把持され搬送されたガラス基板１４を載置するようになっている。本実施形態ではカセット１１を斜めに設定し、カセット１１からガラス基板を抜き出す場合を説明する。
【００１１】
図２において、ハンド１は略四角形で先端にＶ字状の切り欠きを有し、この切り欠きの先端には起伏可能な先端フック５が設けられ、後端には先端フック５と対峙する位置に後端フック６が設けられている。ハンド１の後端は接続部２によりロボット９の自由角度手首９ｃの先端に接続される。ハンド１の中央部の両側には計４個の吸盤４が設けられガラス基板１４を吸引するようになっている。吸引は吸盤４で空気を吸引することにより行われる。
【００１２】
かかる装置において、第１実施形態として図１に実線で示すようにカセット１１を斜めに配置し、カセット１１の斜め上方からガラス基板１４を取り出す方法を説明する。図３はカセットの斜め上方からガラス基板を取り出すハンドリング方法を示す図である。図３ではカセット１１は省略して記載されている。
【００１３】
先ず、Ａに示すようにカセット１１内のガラス基板１４に平行に斜め上方からハンド１を挿入する。ハンド１の先端の先端フック５がガラス基板１４の下端まできたとき、Ｂに示すように先端フック５を起立させ、ガラス基板１４の下部を押さえる。次にＣに示すように吸盤４によるガラス基板１４の吸着を開始する。これと共にＤに示すようにハンド１の方もガラス基板１４に寄せてゆく。このようにして接近した状態で吸盤４を更に作動させ、Ｅに示すように両者１、１４を確実に吸着させる。次にＦに示すように後端フック６でガラス基板１４の上端を押さえ、ガラス基板１４とハンド１とを一体化する。かかる動作により、カセット１１よりガラス基板１４を抜き出す準備ができたので、Ｇに示すようにガラス基板１４と一体になったハンド１をカセット１１から抜き出す。この斜めの状態で移送も行なうことができる。
【００１４】
次に第２実施形態として、カセット１１を斜めにし、横方向からガラス基板１４を取り出す方法を説明する。図４はガラス基板取り出し口１１ａを横方向にし斜めに配置されたカセット１１を示す。カセット１１内にはガラス基板１４が間隔をおいて、カセット１１と平行に斜めに積み重ねられている。ハンド１はロボット９の自由角度手首９ｃによりカセット１１内のガラス基板１４と平行になり、カセット１１内に挿入され、ガラス基板１４を把持し、抜き出される。図５、図６は斜めに配置されたカセットの横方向からガラス基板１４を抜き出すハンドリング方法を示す図である。
【００１５】
図５において、先ずＡに示すように、ハンド１をカセット１１内のガラス基板１４に平行になるように傾斜させ、カセット１１内に挿入する。ハンド先端の先端フック５がガラス基板１４を通過した後、Ｂに示すように先端フック５を起立してガラス基板１４の先端フック側の端を押さえる。Ｃは吸盤４による吸着を開始しハンド１をガラス基板１４に寄せ確実に吸着する状況を示す。
【００１６】
図６において、更に一体化するためＤに示すように後端フック６でガラス基板１４の後端フック側の端を押さえる。これによりガラス基板１４とハンド１を確実に一体化する。次にＥに示すようにハンド１をカセット１１に平行に斜め上方に持ち上げ引き出し易いようにし、Ｆに示すようにハンド１をカセット１１と平行に横方向へ引き出す。この斜めの状態でハンド１によりガラス基板１４を移送することができる。
【００１７】
しかし、このように基板を斜めの姿勢で搬送するコンベアや保管するカセットからガラス基板を斜め上方に取り出す場合と横方向に取り出す場合、 ガラス基板とコンベアやカセットの下面を支える基板受けをガラス端面がコジリ、 発塵, 割れが発生することがある。このような問題を解決する方法を以下に説明する。
【００１８】
図７は支持材１５に下面受け１６で下部を支持されたガラス基板１４とハンド１の挿入状態を示す。図８は上述した斜め上方に取り出す方法で、Ａはハンド１の挿入, Ｂはハンド１の先端フック５を立てた状態、Ｃは先端フック５で受けて斜めに取り出す動作を示し、ＢからＣに移るときにガラス端面のコジリ等が発生する。図９はこれを解決する方法で、Ａはハンド１の挿入, Ｂはハンド１をガラス基板１４に吸着した状態、Ｃは上方に取り出す動作を示す。これによりコジリ等の発生を防止できる。
【００１９】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明は、斜めに置かれたカセットよりガラス基板を、斜め上方に取り出す方法および横方向に取り出す方法を示したものであり、この方法によりガラス基板を傾斜姿勢でカセットから取り出し移送することができるので、ガラス基板のたわみを少なくし、クリーンルームの占有面積をを少くすることができる。また, ガラス基板のコジリ等の発生は吸着のみでガラス基板を支えることにより防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態の基板搬送用のハンドを接続した基板移載用ロボットの側面図である。
【図２】ハンドの平面図である。
【図３】第１実施形態のガラス基板ハンドリングの手順を示す図である。
【図４】第２実施形態のガラス基板取り出し口を横方向にし斜めに配置されたカセットを示す図である。
【図５】第２実施形態のガラス基板ハンドリングの手順を示す図である。
【図６】第２実施形態のガラス基板ハンドリングの手順を示す図である。
【図７】支持材に斜めに置かれたガラス基板とハンドの挿入を示す図である。
【図８】先端フックでガラス基板を支持して移送する手順を示す図である。
【図９】ハンドにガラス基板を吸着して移送する手順を示す図である。
【図１０】カセットの構成を示す図である。
【図１１】カセットからガラス基板を水平にして取り出す方法の説明図である。
【符号の説明】
１  ハンド
２  接続部
４  吸盤
５  先端フック
６  後端フック
９  基板移載用ロボット
１０  カセット受入架台
１１  カセット
１２  基板検査台
１４  ガラス基板
１５  支持材
１６  下面受け
【図１】
0004375510.tif 000002
【図２】
0004375510.tif 000003
【図３】
0004375510.tif 000004
【図４】
0004375510.tif 000005
【図５】
0004375510.tif 000006
【図６】
0004375510.tif 000007
【図７】
0004375510.tif 000008
【図８】
0004375510.tif 000009
【図９】
0004375510.tif 000010
【図１０】
0004375510.tif 000011
【図１１】
0004375510.tif 000012