(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造プロセスのウエハ乾燥工程において、水素ラジカルを含有する不活性ガスであり、温度が２００℃以上３５０℃以下である該ガスにより乾燥を行うことを特徴とする乾燥方法。
【請求項２】
前記ガスの不活性ガスおよび水素中には水分および酸素が１ｐｐｂ以下であることを特徴とする請求項１項に記載の乾燥方法。
【請求項３】
前記ウエハ乾燥工程は、被乾燥資料であるウエハと前記ガスのガス出口が３０ｍｍ以下の距離を保ちながら乾燥することを特徴とする請求項１又は２項に記載の乾燥方法。
【請求項４】
前記ウエハ乾燥工程は、フッ酸にオゾンを加えた洗浄液により洗浄したウエハを乾燥する工程であることを特徴とする請求項１乃至３項のいずれかに記載の乾燥方法。
【請求項５】
請求項１乃至４項のいずれかに記載の前記ウエハ乾燥方法を有する半導体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造プロセスの乾燥方法に係り、より詳細には気体中に発生させた水素ラジカルを使用しウエハの乾燥を行う方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造プロセスのウェットプロセスにおいて、最終工程にはそれ以前のプロセスでウエハ上に付着した水分を除去する工程が行われている。乾燥プロセスには、スピンドライ乾燥、ＩＰＡ（２−プロパノール）蒸気乾燥、マランゴニードライ乾燥などの手法があるがいずれも水分を除去する効果のみであった。
【０００３】
シリコン基板のウエット洗浄工程においてフッ酸を含有した洗浄液での洗浄後の基板表面は最表面のシリコン原子は水素原子と結びつき、最表面が水素原子で終端した構造を取っている。この水素終端したシリコン表面は、化学的に非常に安定な表面といわれている。しかし、全てのシリコン原子が水素原子と結合しているわけではなく、中にはシリコン原子がそのまま表面に現れている未結合状態やフッ素原子が結合したシリコン原子も存在が確認されている。このようなシリコン原子は、化学的に非常に不安定であり酸化を受けやすいサイトとなっている。
【０００４】
シリコン基板のウエット洗浄工程においてフッ酸を含有した洗浄液での洗浄後の基板は表面に酸化膜のない状態である。しかし、この状態の基板は各種パーティクルの付着を引き起こしやすい。そのため、フッ酸にオゾンを添加した洗浄液が開発されているが、従来のフッ酸のみの洗浄工程に比べ水素終端量が弱いことがわかっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、半導体の乾燥工程において、水分を乾燥するとともにシリコン原子の水素終端化を助長する乾燥方法の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の乾燥方法は、半導体製造プロセスのウエハ乾燥工程において、水素ラジカルを含有する不活性ガスであり、温度が２００℃以上３５０℃以下である該ガスにより乾燥を行うことを特徴とする。
水素ラジカルを含むガスを乾燥に使用することにより、酸化膜のないシリコン表面から水分子を脱離させ、同時に水素終端化を促進する。
また、請求項２の発明は、前記ガスの不活性ガスおよび水素中には水分および酸素が１ｐｐｂ以下であることを特徴とする。
請求項３の発明は、前記ウエハ乾燥工程は、被乾燥資料であるウエハと前記ガスのガス出口が３０ｍｍ以下の距離を保ちながら乾燥することを特徴とする。
請求項４の発明は、前記ウエハ乾燥工程は、フッ酸にオゾンを加えた洗浄液により洗浄したウエハを乾燥する工程であることを特徴とする。
請求項５の発明は、請求項１乃至４項のいずれかに記載の前記ウエハ乾燥方法を有する半導体の製造方法である。
【０００７】
【作用】
本発明においては、まず不活性ガス中に水素を添加し、加熱した金属触媒を使用することによって水素ラジカルを発生させ、乾燥後の水素終端化を促進させることが可能となる。ここで使用する触媒は、ラジカル発生のための触媒効果があれば使用が可能である。例としてニッケル、プラチナ等があげられるが、触媒能としてより好ましいのはプラチナの方である。
【０００８】
金属触媒として使用する場合の形状は、出来るだけ表面積の大きい形状が好ましい。例えば、チューブ状のものより、フィルター状のものを使用し金属触媒と水素の有効接触面積を大きくした方がよい。
【０００９】
ガスは、ウエハに吹き付ける近傍まで昇温しておく必要がある。また、ウエハを乾燥させる位置はガスが金属触媒をでて出来るだけ近い位置においた方がよい。これは、ウエハに照射するラジカルの寿命が短いためである。特に、ガス出口から３０ｍｍ離してしまうと、効果はほとんどない。
【００１０】
ウエハに吹き付けるガスの温度は、１５０℃以上より効果が見られるが、より好ましくは、２００℃以上３５０℃以下である。特に、高温部ではラジカルの効果による水素終端化より水素終端が破壊され、酸化膜形成の方に反応が進む。
【００１１】
水素濃度は、０．０５％より効果があることがわかった。また、水素濃度の上限は、水素の爆発限界４．１％以下である事が望ましい。
【００１２】
ここで使用する不活性ガスおよび水素中には、出来るだけ水分および酸素がないこと、特に１ｐｐｂ以下であることが好ましい。
【００１３】
【実施例】
以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明がこれら実施例に限定されることがないことは言うまでもない。
【００１４】
（実施例１）
抵抗率３〜７Ω／ｃｍを有するｎ型（１００）シリコン基板を９７％硫酸と３０％過酸化水素を体積比４：１に混合した薬液で１０分間洗浄を行い、流量１Ｌ／分の超純水でリンスを行った後、０．５ｗｔ％フッ酸にて１分間処理し、再び流量１Ｌ／分の超純水でリンスを行った。
【００１５】
リンス後、ガス流量１０Ｌ／分の窒素乾燥および金属触媒としてニッケルフィルター（有効ろ過面積１３．５ｃｍ2）を使用した水素ラジカル乾燥（ガス組成比：水素：窒素＝０．１％：９９．９％）を２０秒間行った。
【００１６】
この基板を直ちに、大きさ５０ｍｍ×２０ｍｍ（厚さ２ｍｍ）断面の角度が６０度の平行四辺形型ゲルマニウムクリスタルをプリズムとして、フーリエ変換赤外分光装置の多重反射法によりＳｉ−Ｈピークを観察した。その結果を表１、表２に示す。
【００１７】
【表１】
0004375584.tif 000002
【００１８】
【表２】
0004375584.tif 000003
【００１９】
（実施例２）
抵抗率３〜７Ω／ｃｍを有するｎ型（１００）シリコン基板を９７％硫酸と３０％過酸化水素を体積比４：１に混合した薬液で１０分間洗浄を行い、流量１Ｌ／分の超純水でリンスを行った後、０．５ｗｔ％フッ酸にて１分間処理し、再び流量１Ｌ／分の超純水でリンスを行った。
【００２０】
リンス後、ガス流量１０Ｌ／分、金属触媒としてニッケルフィルター（有効ろ過面積１３．５ｃｍ2）の水素ラジカル乾燥をガス組成比を変化させ３００℃で２０秒間行った。
【００２１】
この基板を直ちに、大きさ５０ｍｍ×２０ｍｍ（厚さ２ｍｍ）断面の角度が６０度の平行四辺形型ゲルマニウムクリスタルをプリズムとして、フーリエ変換赤外分光装置の多重反射法によりＳｉ−Ｈピークを観察した。その結果を表３に示す。
【００２２】
【表３】
0004375584.tif 000004
【００２３】
（実施例３）
抵抗率３〜７Ω／ｃｍを有するｎ型（１００）シリコン基板を９７％硫酸と３０％過酸化水素を体積比４：１に混合した薬液で１０分間洗浄を行い、流量１Ｌ／分の超純水でリンスを行った後、５ｐｐｍオゾン、０．５ｗｔ％フッ酸混合溶液にて１分間処理し、再び流量１Ｌ／分の超純水でリンスを行った。
【００２４】
リンス後、ガス流量１０Ｌ／分、金属触媒としてニッケルフィルター（有効ろ過面積１３．５ｃｍ2）の水素ラジカル乾燥（ガス組成比：水素：窒素＝０．１％：９９．９％）を３００℃で２０秒間行った。
【００２５】
この基板を直ちに、大きさ５０ｍｍ×２０ｍｍ（厚さ２ｍｍ）断面の角度が６０度の平行四辺形型ゲルマニウムクリスタルをプリズムとして、フーリエ変換赤外分光装置の多重反射法によりＳｉ−Ｈピークを観察した。その結果を表４に示す。
【００２６】
【表４】
0004375584.tif 000005
【００２７】
【発明の効果】
本発明によれば以下の効果が得られる。
従来の乾燥工程に加えて、乾燥後のシリコン表面を化学的に安定化する機能を付与することができる。