(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板にフィルムを貼着するためのラミネータであって、前記基板に前記フィルムを貼着するためのラミネートロールと、前記フィルムが前記基板の表面に貼着される直前まで前記フィルムを案内・保持するため、前記ラミネートロールに近接して配置され、前記フィルムとの接触面に負圧が印加されることが可能なフィルム吸着用穴を有するフィルム保持部材とを備え、前記フィルム吸着用穴が、前記ラミネートロールの近傍において、他の領域よりも密となるように配置されていることを特徴とするラミネータ。
【請求項２】
前記フィルム吸着用穴が、前記ラミネータに設けられるカッタバックアップの近傍の領域においても密となるように配置されていることを特徴とする、請求項１に記載のラミネータ。
【請求項３】
前記フィルム吸着用穴が、前記ラミネートロールに近づくにつれて徐々に密となるように配置されていることを特徴とする、請求項１に記載のラミネータ。
【請求項４】
前記フィルム吸着用穴が、前記ラミネートロールに近い部分で密となるように配置され、他の部分で疎となるように配置されていることを特徴とする、請求項１に記載のラミネータ。
【請求項５】
基板にフィルムを貼着するためのラミネータであって、前記基板に前記フィルムを貼着するためのラミネートロールと、前記フィルムが前記基板の表面に貼着される直前まで前記フィルムを案内・保持するため、前記ラミネートロールに近接して配置され、前記フィルムとの接触面に負圧が印加されることが可能なフィルム吸着用穴を有するフィルム保持部材とを備え、前記フィルム吸着用穴の個々の開口面積が、前記ラミネートロールの近傍において、他の領域よりも大となるように設けられていることを特徴とするラミネータ。
【請求項６】
前記フィルム吸着用穴の個々の開口面積が、前記ラミネートロールに近づくにつれて徐々に大きくなることを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載のラミネータ。
【請求項７】
前記フィルム吸着用穴の個々の開口面積が、前記ラミネートロールに近い部分が大きく、他の部分が小さいことを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載のラミネータ。
【請求項８】
基板にフィルムを貼着するためのラミネータであって、前記基板に前記フィルムを貼着するためのラミネートロールと、前記フィルムが前記基板の表面に貼着される直前まで前記フィルムを案内・保持するため、前記ラミネートロールに近接して配置され、前記フィルムとの接触面に負圧が印加されることが可能な複数のフィルム吸着用穴を有するフィルム保持部材とを備え、該フィルム保持部材の前記接触面には、前記基板の送り方向に対して交差する方向に延びる溝が、前記ラミネートロールの近傍における前記フィルム吸着用穴を含むように設けられることを特徴とする、ラミネータ。
【請求項９】
基板にフィルムを貼着するためのラミネータであって、前記基板に前記フィルムを貼着するためのラミネートロールと、前記フィルムが前記基板の表面に貼着される直前まで前記フィルムを案内・保持するため、前記ラミネートロールに近接して配置され、前記フィルムとの接触面に負圧が印加されることが可能な複数のフィルム吸着用穴を有するフィルム保持部材とを備え、該フィルム保持部材の前記接触面には、前記基板の送り方向に対して交差する方向に延びる溝が、前記ラミネートロールの近傍における前記フィルム吸着用穴間に設けられることを特徴とする、ラミネータ。
【請求項１０】
基板にフィルムを貼着するためのラミネータであって、前記基板に前記フィルムを貼着するためのラミネートロールと、前記フィルムが前記基板の表面に貼着される直前まで前記フィルムを案内・保持するため、前記ラミネートロールに近接して配置され、前記フィルムとの接触面に負圧が印加されることが可能な複数のフィルム吸着用穴を有するフィルム保持部材とを備え、前記ラミネートロールの近傍における前記フィルム吸着用穴が、互いに同軸に設けられる第１吸着用穴および前記第１吸着用穴よりも穴径の大きい第２吸着用穴を含み、前記第２吸着用穴は、前記フィルムとの接触面側に設けられる、ラミネータ。
【請求項１１】
前記フィルム保持部材が、前記ラミネートロールの挙動にともなって前記ラミネートロールから離反するための離反手段を備える、請求項１〜１０のいずれかに記載のラミネータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ラミネータに関し、より特定的には、基板にフィルムをラミネートするため、ラミネートロールに接近して設けられたフィルム保持部材の構造の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
基板に一対のラミネートロール（圧着ロール）を用いて、例えば感光性レジストフィルム（以下、単にフィルムと称する。）を連続的にラミネート（貼着）していくオートカット方式を採用したラミネータとしては、特開昭６０ー８５９２７号公報に開示されるものが一般的である。
【０００３】
この特開昭６０ー８５９２７号公報に開示されるラミネータの構成、および動作の概略について、図１３〜図１５を参照して説明する。なお、この公報に開示されるラミネータの構成は、基板の両面にフィルムをラミネートすることが可能であるが、基板の上面側および下面側の構造は、基本的には同一であるため、ここでの説明は、基板の上面側にフィルムをラミネートする場合について説明する。
【０００４】
（ラミネータの主要構成）
以下、図１３〜図１５を参照して、ラミネータの主要構成について説明する。オートカット方式を採用するラミネータは、一対のラミネートロール（圧着ロール）２，２と、フィルム保持部材５と、仮付部材１，１と、フィルムカッタ３（図１４、図１５に図示）と、カッタバックアップ４とを、その主要な構成要素としている。また、上方には、フィルム６がフィルムロールの形態で配置されている（図示省略）。
【０００５】
なお、ここでフィルム６は、ドライフォトレジストフィルム（ＤＲＦ）を意味する。また、このドライフォトレジストフィルム（ＤＲＦ）は、フィルムロールに巻かれた状態においては、ベースフィルム、フォトレジストフィルムおよびカバーフィルムの３層構造からなり、以下に示す基板７へのラミネート動作時には、カバーフィルムのみが剥がされフォトレジストフィルム面が基板７に貼着されるものとする。
【０００６】
仮付部材１，１、カッタバックアップ４、およびフィルム保持部材５には、負圧供給装置（図示省略）が接続されており、仮付部材１，１、カッタバックアップ４、およびフィルム保持部材５のフィルム６との接触面には、負圧を印加することが可能なフィルム吸着用穴１０が設けられている。このフィルム吸着用穴１０に、負圧供給装置を用いて負圧を適宜印加することにより、フィルム６を必要に応じて吸着・保持する。
【０００７】
フィルムカッタ３は、回転丸刃を有しており、カッタバックアップ４の幅方向に回転丸刃を回転させながら移動し、フィルム６を切断する。
【０００８】
（ラミネータの動作）
以下、図１３〜図１５を参照して、ラミネータによる基板７へのフィルム６のラミネート動作について説明する。
【０００９】
なお、基板７は、プリント配線基板、フラットディスプレイ等に用いられるガラス基板に用いられるものとする。
【００１０】
まず、図１３を参照して、フィルムロールから引き出されたフィルム６の前端部が、負圧を印加された仮付部材１によって、吸着保持されながら基板７の前端部へ接近させられる。その後、フィルム６の前端部が仮付部材１によって基板７の前端部に一定時間押し付けられる。これにより、基板７の前端部へのフィルム６の前端部の仮付が完了する。このフィルム６の基板７への仮付は、たとえば熱、圧力等を用いた技術が採用される。
【００１１】
次に、図１４を参照して、フィルム６の基板７への仮付終了後、仮付部材１によるフィルム６の吸着保持を停止し、カッタバックアップ４およびフィルムカッタ３とともに基板７から遠ざかる位置に移動する。この動作と同時に、フィルム６の前端部が仮付された基板７は、たとえばロールコンベアのような搬送装置によって、一対のラミネートロール２の方向（図中Ｙ方向）へ搬送され、ラミネートロール２，２の間に導かれる。
【００１２】
その後、基板７はラミネートロール２の回転にともない、Ｙ方向に送られ、フィルム６が基板７の前端部から順次、基板７にラミネートされる。この時、仮付部材１およびフィルム保持部材５は、フィルム６をラミネートロール２へ導くように、フィルム６と接触しながら案内する。
【００１３】
次に、図１５を参照して、一定量のフィルム６が基板７にラミネートされた後、仮付部材１、フィルムカッタ３、およびカッタバックアップ４は、フィルム６の移動速度と等しい速度でフィルム６と同一方向に移動する。この間に、フィルムカッタ３がカッタバックアップ４の幅方向に回転しながら移動し、フィルムカッタ３の回転刃によって、フィルム６を切断する。これにより、フィルム６の後端部は、フィルム６送り方向に対して直角方向に切断され、所定の長さのフィルムシート６Ａとされる。
【００１４】
フィルムシート６Ａの後端部は、フィルム吸着用穴１０に負圧が印加されたフィルム保持部材５に吸着・保持されながらラミネートロール２に案内され、基板７にラミネートされる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、上記構成および動作原理を有するラミネータにおいては、フィルム保持部材５のフィルムシート６Ａの後端部の吸着・保持は、ラミネータの性能を評価する上で重要である。
【００１６】
フィルム６の切断前は、フィルム保持部材５への負圧印加による吸着・保持以外にも、フィルムロールによる引張力、あるいは仮付部材１への負圧印加による吸着・保持などによって、十分な引張力がフィルム６に与えられながら、フィルム６の基板７へのラミネートが実現される。つまり、フィルム６はラミネートロール２へ案内される前に基板７に触れることなく、安定した状態で基板７へラミネートされる。
【００１７】
しかし、フィルム６の切断後は、フィルム保持部材５による吸着・保持だけでフィルムシート６Ａの後端部に引張力が与えられるのみである。この引張力は、フィルム保持部材５のフィルム接触面に設けられた複数のフィルム吸着用穴１０に負圧を印加することによって発生させている。
【００１８】
したがって、フィルム吸着用穴１０に十分な負圧が印加されない状態が生じた場合、フィルムシート６Ａに付与される引張力が不足し、フィルムシート６Ａの後端部はラミネートロール２に導かれる前に基板７に接触して、シワ、気泡が発生し、安定したフィルム６の基板７へのラミネートが実現できないことになる。
【００１９】
図１６および図１７に、フィルム保持部材５の断面図および正面展開図を示す。フィルム保持部材５は、フィルム６に接する接触面５ａに、フィルム６の送り方向に対して平行な方向（以下、Ｙ方向と称する。）のピッチＰ４、および直角方向（以下、Ｘ方向と称する。）のピッチＰ３が、それぞれ等間隔で配置された複数のフィルム吸着用穴１０を有している。これらのフィルム吸着用穴１０は、負圧供給装置に接続されており、負圧が印加できる構成となっている。
【００２０】
フィルムカッタ３によって切断が完了した直後のフィルムシート６Ａの後端部は、フィルム保持部材５のフィルム吸着用穴１０のほとんどによって吸着・保持されている。このため、フィルム保持部材５のフィルム吸着用穴１０に印加される負圧は十分な圧力を保つため、フィルムシート６Ａには十分な引張力が与えられる。その結果、この状態においては、ラミネートロール２へ案内される前に、フィルムシート６Ａが基板７に接触することなく、安定した状態で、フィルムシート６Ａが基板７にラミネートされる。
【００２１】
しかし、図１７に示す状態のように、ラミネート作業が進み、フィルムシート６Ａの後端部がラミネートロール２側に向かって送られるにしたがって、フィルム保持部材５のフィルム吸着用穴１０のうち、フィルムシート６Ａに覆われずに開放されるフィルム吸着用穴１０の数が徐々に増える。そのため、フィルム保持部材５に印加される負圧の圧力が減少し、フィルムシート６Ａに十分な引張力を与えることができなくなる。
【００２２】
その結果、フィルムシート６Ａが、ラミネートロール２へ案内される前に、フィルムシート６Ａが基板７に接触し、シワや気泡が発生して、ラミネート完了まで安定した状態で、フィルムシート６Ａを基板７にラミネートすることができない。
【００２３】
また、フィルムシート６Ａがフィルム保持部材５を離れた後は、フィルムシート６Ａを保持するものがないため、フィルムシート６Ａがラミネートロール２へ案内される前に基板７に接触させないためには、ラミネートロール２によるフィルムシート６Ａの基板７への加圧部とフィルム保持部材５との距離はできるだけ短い方が好ましい。
【００２４】
しかし、ラミネートロール２は通常、圧着動作のために基板７の厚さ方向に移動可能なように設けられている。したがって、基板７が存在しない場合に、前記のような構造にすると、ラミネートロール２が下降した場合、ラミネートロール２がフィルム保持部材５に干渉するおそれがある。
【００２５】
そのため、あらかじめラミネートロール２がフィルム保持部材５に干渉しない位置に、フィルム保持部材５を設ける必要があり、フィルム保持部材５をラミネートロール２に近接した位置に配置することができない。
【００２６】
したがって、この発明の一つ目的は、フィルムシートの後端部のラミネート作業においても、安定した状態でラミネート作業を行なうことのできる、ラミネータを提供することにある。
【００２７】
また、この発明の他の目的は、安定した状態でラミネート作業を行なうため、フィルム貼着時に、フィルム保持部材をラミネートロールに近接した位置に配置することのできるラミネータを提供することにある。
【００２８】
【課題を解決するための手段】
本発明に基づいたラミネータの１つの局面においては、基板にフィルムを貼着するためのラミネータであって、上記基板に上記フィルムを貼着するためのラミネートロールと、上記フィルムが上記基板の表面に貼着される直前まで上記フィルムを案内・保持するため、上記ラミネートロールに近接して配置され、上記フィルムとの接触面に負圧が印加されることが可能なフィルム吸着用穴を有するフィルム保持部材とを備え、上記フィルム吸着用穴が、上記ラミネートロールの近傍において、他の領域よりも密となるように配置されている。
【００２９】
上記構成よりなるラミネータにおいては、フィルムとフィルム保持部材の接触面との接触面積が小さくなっても、開放されるフィルム吸着用穴の数は少ないため、フィルム保持部材に印加される負圧圧力の減少を抑えることができ、かつ、フィルム保持部分には、十分なフィルム吸着用穴を有することが可能になる。
【００３０】
その結果、フィルムの後端部のラミネート作業においても、フィルム保持部材により、フィルムに一定以上の引張力が維持され、安定した状態でラミネート作業を行なうことが可能になる。
【００３１】
上記発明をより好ましい状態で実現するために、以下に示す構成が採用される。
【００３２】
たとえば、上記フィルム吸着用穴が、上記ラミネータに設けられるカッタバックアップの近傍の領域においても密となるように配置されている。
【００３３】
たとえば、上記フィルム吸着用穴が、上記ラミネートロールに近づくにつれて徐々に密となるように配置される。また、上記フィルム吸着用穴が、上記ラミネートロールに近い部分で密となるように配置され、他の部分で疎となるように配置される。
【００３４】
また、本発明に基づいたラミネータの他の局面においては、基板にフィルムを貼着するためのラミネータであって、上記基板に上記フィルムを貼着するためのラミネートロールと、上記フィルムが上記基板の表面に貼着される直前まで上記フィルムを案内・保持するため、上記ラミネートロールに近接して配置され、上記フィルムとの接触面に負圧が印加されることが可能なフィルム吸着用穴を有するフィルム保持部材とを備え、上記フィルム吸着用穴の個々の開口面積が、上記ラミネートロールの近傍において、他の領域よりも大となるように設けられている。
【００３５】
上記構成よりなるラミネータにおいては、フィルムとフィルム保持部材の接触面との接触面積が小さくなっても、開放されるフィルム吸着用穴の開口面積が少ないため、フィルム保持部材に印加される負圧圧力の減少を抑えることができ、かつ、フィルム保持部分には、十分なフィルム吸着用穴の開口面積を有することが可能になる。
【００３６】
その結果、フィルムの後端部のラミネート作業においても、フィルム保持部材により、フィルムに一定以上の引張力が維持され、安定した状態でラミネート作業を行なうことが可能になる。
【００３７】
上記発明をより好ましい状態で実現するために、以下に示す構成が採用される。たとえば、上記フィルム吸着用穴の個々の開口面積が、上記ラミネートロールに近づくにつれて徐々に大きくなる。また、上記フィルム吸着用穴の個々の開口面積が、上記ラミネートロールに近い部分が大きく、他の部分が小さく設けられる。
【００３８】
また、本発明に基づいたラミネータのさらに他の局面においては、基板にフィルムを貼着するためのラミネータであって、上記基板に上記フィルムを貼着するためのラミネートロールと、上記フィルムが上記基板の表面に貼着される直前まで上記フィルムを案内・保持するため、上記ラミネートロールに近接して配置され、上記フィルムとの接触面に負圧が印加されることが可能なフィルム吸着用穴または溝を有するフィルム保持部材とを備え、上記フィルムとの上記接触面には、上記基板の送り方向に対して交差する方向に延びる溝が設けられる。
【００３９】
上記構成よりなるラミネータにおいては、フィルムに対して物理的な抵抗力が増大する。その結果、フィルムのラミネート作業において、同一負圧圧力および同一吸着用穴配置であっても、高い引張力が付与され、安定した状態でラミネート作業を行なうことが可能になる。
【００４０】
上記発明をより好ましい状態で実現するために、上記溝は、上記フィルム吸着用穴を含むように設けられる。
【００４１】
また、本発明に基づいたラミネータのさらに他の局面においては、基板にフィルムを貼着するためのラミネータであって、上記基板に上記フィルムを貼着するためのラミネートロールと、上記フィルムが上記基板の表面に貼着される直前まで上記フィルムを案内・保持するため、上記ラミネートロールに近接して配置され、上記フィルムとの接触面に負圧が印加されることが可能であり、上記基板の送り方向に対して交差する方向に延びる溝状の開口部を有するフィルム保持部材とを備えている。
【００４２】
上記構成よりなるラミネータにおいては、フィルムの後端部におけるフィルム保持部材の接触面との接触面積が小さくなっても、基板の送り方向に対して交差する方向に延びる溝状の開口部を有することにより、この領域においてフィルム吸着用のための開口面積を大きくすることができ、フィルムの後端部のラミネート作業において、同一負圧圧力の場合でも、高い引張力が維持され、安定した状態でラミネート作業を行なうことが可能になる。
【００４３】
また、本発明に基づいたラミネータのさらに他の局面においては、基板にフィルムを貼着するためのラミネータであって、基板に上記フィルムを貼着するためのラミネートロールと、上記フィルムが上記基板の表面に貼着される直前まで上記フィルムを案内・保持するため、上記ラミネートロールに近接して配置され、上記フィルムとの接触面に負圧が印加されることが可能であり、同軸に設けられる第１吸着用穴と上記第１吸着用穴よりも穴径の大きい第２吸着用穴を含み、上記第２吸着用穴は、上記フィルムとの接触面側に設けられるフィルム吸着用穴を有するフィルム保持部材とを備えている。
【００４４】
上記構成よりなるラミネータにおいては、フィルム吸着用穴の実質的な開口面積が大きくなる。その結果、フィルムのラミネート作業において、同一負圧圧力の場合でも、高い引張力が維持され、安定した状態でラミネート作業を行なうことが可能になる。
【００４５】
また、本発明に基づいたラミネータのさらに他の局面においては、基板にフィルムを貼着するためのラミネータであって、上記基板に上記フィルムを貼着するためのラミネートロールと、上記フィルムが上記基板の表面に貼着される直前まで上記フィルムを案内・保持するため、上記ラミネートロールに近接して配置され、上記フィルムとの接触面に負圧が印加されることが可能なフィルム吸着用穴または溝が設けられるとともに、上記ラミネートロールの挙動にともなって、上記ラミネートロールから離反するための離反手段が設けられるフィルム保持部材とを備えている。
【００４６】
上記構成よりなるラミネータにおいては、従来のフィルム保持部材が固定された構造のラミネータに比べて、基板にフィルムを貼着する際に、ラミネートロールに近接する位置にフィルム保持部材を配置することが可能になるため、よりラミネートロール位置の近傍までフィルムを吸着・保持することができるので、ラミネート完了まで安定した状態で、フィルムを基板にラミネートすることが可能になる。
【００４７】
【発明の実施の形態】
以下、この発明に基づいた各実施の形態におけるラミネータについて、図を参照しながら説明する。なお、本発明に基づく実施の形態におけるラミネータの特徴点は、フィルム保持部材５にあるため、他の主要な構成要素である、ラミネートロール（圧着ロール）２，２、一対の仮付部材１，１、フィルムカッタ３およびカッタバックアップ４については、従来と同様であるため説明を省略する。また、従来の構造と同一部分については、同一の参照符号を付すものとする。
【００４８】
（実施の形態１）
実施の形態１におけるラミネータについて、図１および図２を参照して説明する。なお、図１は本実施の形態におけるラミネータのフィルム保持部材５近傍の横断面図であり、図２は本実施の形態におけるラミネータのフィルム保持部材５の正面展開図である。
【００４９】
本実施の形態におけるラミネータのフィルム保持部材５は、フィルムシート６Ａと接触する接触面５ａに、従来と同様に負圧が印加される複数のフィルム吸着用穴１０が設けられている。
【００５０】
ここで、このフィルム吸着用穴１０の配置は、図２に示すように、Ｙ方向のピッチＰ２およびＸ方向のピッチＰ１がラミネートロール２に向かって、順次密となるように設けられている。
【００５１】
これにより、フィルムシート６Ａとフィルム保持部材５の接触面との接触面積が小さくなっても、開放されるフィルム吸着用穴１０の数は少ないため、フィルム保持部材５に印加される負圧圧力の減少を抑えることができ、かつ、フィルム保持部分には、十分なフィルム吸着用穴１０を有することが可能になる。
【００５２】
その結果、フィルムシート６Ａの後端部のラミネート作業においても、フィルム保持部材５により、フィルムシート６Ａに一定以上の引張力が維持され、安定した状態でラミネート作業を行なうことが可能になる。
【００５３】
なお、フィルム吸着用穴１０の配置は、Ｙ方向のピッチＰ２またはＸ方向のピッチＰ１のいずれか一方が、ラミネートロール２に向かって、順次密となるように設けられることでも同様の作用・効果を得ることが可能である。
【００５４】
（実施の形態２）
次に、実施の形態２におけるラミネータについて、図３を参照して説明する。なお、図３は本実施の形態におけるラミネータのフィルム保持部材５の正面展開図である。
【００５５】
この実施の形態におけるラミネータのフィルム保持部材５に設けられるフィルム吸着用穴１０の配置は、Ｙ方向のピッチＰ２およびＸ方向のピッチＰ１が、ラミネートロール２に最も接近した穴列を含む隣接した少なくとも一列以上が密となるように設けられている
この配置によっても、実施の形態１の場合と同様に、フィルムシート６Ａとフィルム保持部材５の接触面との接触面積が小さくなっても、開放されるフィルム吸着用穴１０の数は少ないため、フィルム保持部材５に印加される負圧圧力の減少を抑えることができ、かつ、フィルム保持部分には、十分なフィルム吸着用穴１０を有することが可能になる。
【００５６】
その結果、フィルムシート６Ａの後端部のラミネート作業においても、フィルム保持部材５により、フィルムシート６Ａに一定以上の引張力が維持され、安定した状態でラミネート作業を行なうことが可能になる。
【００５７】
なお、フィルム吸着用穴１０の配置は、Ｙ方向のピッチＰ２またはＸ方向のピッチＰ１のいずれか一方が、ラミネートロール２に最も接近した穴列を含む隣接した少なくとも一列以上が密となるように設けられることでも同様の作用・効果を得ることが可能である。
【００５８】
（実施の形態３）
次に、実施の形態３におけるラミネータについて、図４を参照して説明する。なお、図４は本実施の形態におけるラミネータのフィルム保持部材５の横断面図である。
【００５９】
この実施の形態におけるラミネータのフィルム保持部材５に設けられるフィルム吸着用穴１０は、その開口面積がラミネートロール２に向かって順次大となるように設けられている。
【００６０】
これにより、フィルムシート６Ａとフィルム保持部材５の接触面との接触面積が小さくなっても、開放されるフィルム吸着用穴１０の開口面積が少ないため、フィルム保持部材５に印加される負圧圧力の減少を抑えることができ、かつ、フィルム保持部分には、十分なフィルム吸着用穴１０の開口面積を有することが可能になる。
【００６１】
その結果、フィルムシート６Ａの後端部のラミネート作業においても、フィルム保持部材５により、フィルムシート６Ａに一定以上の引張力が維持され、安定した状態でラミネート作業を行なうことが可能になる。
【００６２】
（実施の形態４）
次に、実施の形態４におけるラミネータについて、図５を参照して説明する。なお、図５は本実施の形態におけるラミネータのフィルム保持部材５の横断面図である。
【００６３】
この実施の形態におけるラミネータのフィルム保持部材５に設けられるフィルム吸着用穴１０は、その断面積がラミネートロール２に最も接近した少なくとも一列以上が、他のフィルム吸着用穴１０よりも大きな断面積を有するフィルム吸着用穴１０が設けられている。
【００６４】
この構成を採用することによっても、実施の形態３の場合と同様に、フィルムシート６Ａとフィルム保持部材５の接触面との接触面積が小さくなっても、開放されるフィルム吸着用穴１０の開口面積は少ないため、フィルム保持部材５に印加される負圧圧力の減少を抑えることができ、かつ、フィルム保持部分には、十分なフィルム吸着用穴１０の開口面積を有することが可能になる。
【００６５】
その結果、フィルムシート６Ａの後端部のラミネート作業においても、フィルム保持部材５により、フィルムシート６Ａに一定以上の引張力が維持され、安定した状態でラミネート作業を行なうことが可能になる。
【００６６】
なお、ラミネートロール２に最も接近した一列に限らず、複数列設けるようにしても構わない。
【００６７】
（実施の形態５）
次に、実施の形態５におけるラミネータについて、図６を参照して説明する。なお、図６は本実施の形態におけるラミネータのフィルム保持部材５の横断面図である。
【００６８】
この実施の形態におけるラミネータのフィルム保持部材５の接触面５ａには、ラミネートロール２の最接近部分近傍に、Ｘ方向に延びるガイド１１を設けることにより、負圧が印加されうる一本以上の溝１０ａが設けられている。
【００６９】
このように溝１０ａを設けることによっても、フィルムシート６Ａの後端部におけるフィルム保持部材５の接触面５ａとの接触面積が小さくなっても、この領域においてフィルム吸着用のための開口面積を大きくすることができる。
【００７０】
その結果、フィルムシート６Ａのラミネート作業において、同一負圧圧力の場合でも、高い引張力が維持され、安定した状態でラミネート作業を行なうことが可能になる。
【００７１】
なお、溝１０ａは一列に限らず、複数列設けるようにしても構わない。また、図６に示す構造においてはガイド１１を設けるようにしたが、接触面５ａに直接溝１０ａを設けるようにしても構わない。
【００７２】
（実施の形態６）
次に、実施の形態６におけるラミネータについて、図７を参照して説明する。なお、図７は本実施の形態におけるラミネータのフィルム保持部材５の横断面図である。
【００７３】
この実施の形態におけるラミネータのフィルム保持部材５の接触面５ａには、Ｘ方向に延び、かつ、フィルム吸着用穴１０を含むように溝１２が設けられている。
【００７４】
このように溝１２を設けることによって、フィルム吸着用穴１０の実質的な開口面積を大きくすることができるとともに、フィルムシート６Ａへの物理的な抵抗力の増大が図られ、同一負圧圧力の場合でも、高い引張力が維持され、安定した状態でラミネート作業を行なうことが可能になる。
【００７５】
その結果、フィルムのラミネート作業において、フィルム保持部材により、フィルムに一定以上の引張力が維持され、安定した状態でラミネート作業を行なうことが可能になる。
【００７６】
なお、溝１２に代わり、フィルム吸着用穴１０を、図８（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、同軸に設けられる第１吸着用穴１０と第１吸着用穴１０よりも穴径の大きい第２吸着用穴１２ａとし、第２吸着用穴１２ａをフィルムシート６Ａとの接触面側に設けるようにすることで、フィルム吸着用穴１０の実質的なフィルム吸着用の開口面積を大きくすることができる。なお、図８（ｂ），（ｃ）は、図８（ａ）中ＸーＸ’線矢視断面図である。
【００７７】
また、フィルムシート６Ａに対して物理的な抵抗力を増大させる目的のためであれば、図９に示すように、フィルム吸着用穴１０の間に溝１３を設けるようにしても構わない。
【００７８】
また、上記各実施の形態に開示したフィルム保持部材５の構造を、適宜組合せて実現することも可能である。
【００７９】
（実施の形態７）
次に、実施の形態７におけるラミネータについて、図１０および図１１を参照して説明する。なお、図１０および図１１は本実施の形態におけるラミネータのフィルム保持部材５およびラミネートロール２の側面図である。
【００８０】
この実施の形態におけるラミネータのフィルム保持部材５およびラミネートロール２には、ラミネートロール２の挙動にともなって、フィルム保持部材５がラミネートロール２から離反するように回転運動を与えるための離反装置が備えられている。
【００８１】
離反装置として、フィルム保持部材５は、保持部材回転中心５０を中心に回動可能に取付けられている。また、フィルム保持部材５には、Ｌ字形状のアーム５１が固定されており、アーム５１にはローラ５２が取付けられている。
【００８２】
ラミネートロール２は、ロール回転中心２０を中心に回動可能にロール保持部材２１に取付けられている。また、ロール保持部材２１の下端部には、ローラ５２に当接するための当接面２１ａが設けられている。
【００８３】
上記構成からなる離反装置を備えるラミネータにおいて、基板７へのフィルム６のラミネート時には、図１０に示すように、フィルム保持部材５の正規位置においては、当接面２１ａとローラ５２との間には、隙間（Ｓ）が設けられるように設定されている。
【００８４】
また、基板７が存在しない時には、図１１に示すように、上側のラミネートロール２と下側のラミネートロール２とが当接する。このとき、当接面２１ａがローラ５２に当接しながら、ローラ５２を下方へ移動させる。これにより、フィルム保持部材５は、保持部材回転中心５０を中心に反時計方向に回動する。その結果、フィルム保持部材５はラミネートロール２から離反し、フィルム保持部材５とラミネートロール２との干渉が回避される。
【００８５】
このように、本実施の形態においては、従来のフィルム保持部材が固定された構造のラミネータに比べて、基板にフィルムを貼着する際に、ラミネートロールに近接する位置にフィルム保持部材を配置することが可能になるため、フィルムと基板との間にシワや気泡を発生させないで、ラミネート完了まで安定した状態で、フィルムを基板にラミネートすることが可能になる
（他の実施の形態）
上述した各実施の形態にいては、基板にフィルムを貼着する際に、フィルムと基板との間にシワや気泡を発生させない観点から、ラミネートロール近傍におけるフィルム吸着用穴等の配置形状について述べたが、フィルム保持部材によるフィルム保持の観点に立てば、カッタバックアップ近傍におけるフィルム吸着用穴等の配置形状も重要になる。
【００８６】
具体的には、図１２に示すように、フィルムシート６Ａをカッタ３（図１４参照）で切断した場合、カッタ３の走行方向（フィルムシート６Ａの幅方向）にフィルムを移動させる力が働く。このため、フィルム保持部材５は、カッタバックアップ近傍においてフィルムシート６Ａを確実に保持する必要がある。
【００８７】
そこで、図１２に示すように、フィルム吸着用穴１０がカッタバックアップ４（図１参照）の近傍においても密となるように配置することが好ましい。これにより、フィルム保持部材５によりフィルムシート６Ａが確実に保持され、フィルムシート６Ａをずらすことなく切断することができる。
【００８８】
なお、上記各実施の形態に開示したフィルムは、感光性レジストフィルムに限定されるものではなく、その他の同等の性質を有するフィルム状部材を使用することが可能である。
【００８９】
したがって、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられる。よって、本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示される。
【００９０】
【発明の効果】
本発明に基づいたラミネータの１つの局面によれば、フィルムとフィルム保持部材の接触面との接触面積が小さくなっても、開放されるフィルム吸着用穴の数は少なく、フィルム保持部材に印加される負圧圧力の減少を抑え、かつ、フィルム保持部分には、十分なフィルム吸着用穴を有することが可能になる。その結果、フィルムの後端部のラミネート作業においても、フィルム保持部材により、フィルムに一定以上の引張力が維持され、安定した状態でラミネート作業を行なうことが可能になる。
【００９１】
また、本発明に基づいたラミネータの他の局面によれば、フィルムに対して物理的な抵抗力、または、実質的な吸着面積が増大する。その結果、フィルムの後端部のラミネート作業において、同一負圧圧力および同一吸着用穴配置であっても、高い引張力が付与され、安定した状態でラミネート作業を行なうことが可能になる。
【００９２】
また、本発明に基づいたラミネータのさらに他の局面によれば、フィルムの後端部におけるフィルム保持部材の接触面との接触面積が小さくなっても、基板の送り方向に対して交差する方向に延びる負圧を印加できる溝状の開口部を有することにより、この領域においてフィルム吸着用のための開口面積を大きくすることができ、フィルムの後端部のラミネート作業において、同一負圧圧力の場合でも、高い引張力が維持され、安定した状態でラミネート作業を行なうことが可能になる。
【００９３】
また、本発明に基づいたラミネータのさらに他の局面によれば、従来のフィルム保持部材が固定された構造のラミネータに比べて、基板にフィルムを貼着する際に、ラミネートロールに近接する位置にフィルム保持部材を配置することが可能になるため、フィルムと基板との間にシワや気泡を発生させないで、ラミネート完了まで安定した状態で、フィルムを基板にラミネートすることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  実施の形態１におけるラミネータのフィルム保持部材５近傍の横断面図である。
【図２】  実施の形態１におけるラミネータのフィルム保持部材５の正面展開図である。
【図３】  実施の形態２におけるラミネータのフィルム保持部材５の正面展開図である。
【図４】  実施の形態３におけるラミネータのフィルム保持部材５の横断面図である。
【図５】  実施の形態４におけるラミネータのフィルム保持部材５の横断面図である。
【図６】  実施の形態５におけるラミネータのフィルム保持部材５の横断面図である。
【図７】  実施の形態６におけるラミネータのフィルム保持部材５の横断面図である。
【図８】  実施の形態６におけるラミネータのフィルム保持部材５に設けられるのフィルム吸着用穴の形状を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）および（ｃ）は（ａ）中ＸーＸ’線矢視断面図である。
【図９】  実施の形態６におけるラミネータのフィルム保持部材５の他の形態の横断面図である。
【図１０】  実施の形態７におけるラミネータのフィルム保持部材５の構造を示す第１の側面図である。
【図１１】  実施の形態７におけるラミネータのフィルム保持部材５の構造を示す第２の側面図である。
【図１２】  他の実施の形態におけるフィルム保持部材５の構造を示す（ａ）正面展開図および（ｂ）横断面図である。
【図１３】  従来の技術におけるラミネータの概略構成および動作原理を説明するための第１側面図である。
【図１４】  従来の技術におけるラミネータの概略構成および動作原理を説明するための第２側面図である。
【図１５】  従来の技術におけるラミネータの概略構成および動作原理を説明するための第３側面図である。
【図１６】  従来の技術におけるラミネータの問題点を説明するための横断面図である。
【図１７】  従来の技術におけるラミネータの問題点を説明するための正面展開図である。
【符号の説明】
１  仮付部材、２  ラミネートロール（圧着ロール）、３  フィルムカッタ、４  カッタバックアップ、５  フィルム保持部材、６  フィルム、７  基板、１０  フィルム吸着用穴、１０ａ，１２  溝、２０  ロール回転中心、２１  ロール保持部材、２１ａ  当接面、５０  保持部材回転中心、５１  アーム、５２  ローラ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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