(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
工程群Ｐｉ （ｉ＝１，２・・・ｍ）を含み、前記工程群に製品を流すことにより、装置群Ｅｊ （ｊ＝１，２・・・ｎ）を使って前記製品に対して必要な加工を行なう生産ラインの生産管理方法であって、
一の工程Ｐｉ と次の工程Ｐｉ＋１ との間に、前記工程Ｐｉ における装置の停止の結果として前記工程Ｐｉ＋１ において不足することになる製品の個数に対応する安全仕掛かり数を、
装置Ｅｊ の工程Ｐｉ に対する処理能力をＴｉｊ，装置Ｅｊ の、工程Ｐｉ に対する使用比率をＲｉｊとして、工程Ｐｉ の処理能力ＴＲｉを
【数１】
0004347944.tif 000039
により求め、
工程Ｐｉ の基準処理能力をＴｉ として、工程Ｐｉ の装置台数ＣＥＰｉ を
【数２】
0004347944.tif 000040
により求め、
生産計画上、工程Ｐｉ において１日当たり必要な処理数をＮｉ 、Ｕｄ を他責稼働率として、工程Ｐｉ の必要装置台数ＣＥＮｉ を
【数３】
0004347944.tif 000041
により求め、
装置Ｅｊ がＯｆｊ日停止した場合に前記次工程で不足する製品個数を
【数４】
0004347944.tif 000042
により求め、前記Ｓｉｊのうちの最大のものＳｉ （Ｓｉ ＝Ｍａｘ（Ｓｉｊ，ｊ＝１，２・・・ｎ）に従って確保し、
さらに、前記工程Ｐｉ の直前に、前記Ｓｉ に対応する数の空き棚を確保することを特徴とする生産管理方法。
【請求項２】
前記空き棚の数は、前記工程Ｐｉ の歩留まりをＢｉ として、１００Ｓｉ ／Ｂｉ に従って決定されることを特徴とする請求項１記載の生産管理方法。
【請求項３】
前記装置の使用比率Ｒｊｉは、前記工程Ｐｉ において要求される処理能力ＴＲｉを満たす範囲内において、前記安全仕掛かり数Ｓｉ が最小化するように決定されることを特徴とする請求項１または２記載の生産管理方法。
【請求項４】
前記停止期間Ｏｆｊは、SEMI E10-96 スタンダードに規定された計画オフライン時間と計画外オフライン時間のうち、長い方とすることを特徴とする請求項１または２記載の生産管理方法。
【請求項５】
前記停止期間Ｏｆｊは、計画外オフライン時間の平均値ＭＴＵＯと、平均計画外ダウンタイム間隔ＭＴＵＤと、生産計画上での生産量の管理期間Ｐ日とから、ｋをSEMI E10-96 スタンダードに規定された平均故障間隔の信頼性の下限値として、
Ｏｆｊ（日）＝ＭＴＵＯ・ｌｎ｛Ｐ／（ｋ・ＭＴＵＤ）｝
により求められることを特徴とする請求項１または２記載の生産管理方法。
【請求項６】
前記各工程Ｐｉ において、装置Ｅｊ の使用について前記工程Ｐｉ で処理される製品の種類による制限が課せられる場合に、前記工程群Ｐｉ （ｉ＝１，２・・・ｍ）のかわりに前記工程群を製品の種類別に細分割した工程品種群Ｐｉ （ｉ＝１，２・・・ｚ）を定義し、前記工程品種群Ｐｉ に含まれる工程品種の各々について、前記安全仕掛かりと基本仕掛かりとを計算する工程を含むことを特徴とする請求項１記載の生産管理方法。
【請求項７】
工程Ｐｉ を前記装置群Ｅｊ （ｊ＝１，２・・・ｎ）が処理し、次工程Ｐｉ＋１ を装置群Ｅｋ （ｋ＝１，２・・・ｍ）が処理する生産ラインにおける生産管理方法であって、前記工程Ｐｉ と前記工程Ｐｉ＋１ との間に安全仕掛かりを設定できない場合に、仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ と仮想装置Ｅｊｋとを定義し、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ に対して安全仕掛かり数を、
仮想装置Ｅｊ，ｋ の前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ に対する処理能力をＴｊｋ，仮想装置Ｅｊｋの、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ に対する使用比率をＲｊ，ｋ として、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ の処理能力ＴＲｉ，ｉ＋１を
【数５】
0004347944.tif 000043
により求め、
前記仮想工程Ｐｉ＋１ の基準処理能力をＴｉ，ｉ＋１ として、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ の装置台数ＣＥＰｉ，ｉ＋１ を
【数６】
0004347944.tif 000044
により求め、
生産計画上、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ において１日当たり必要な処理数をＮｉ，ｉ＋１ 、Ｕｄ を他責稼働率として、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ の必要装置台数ＣＥＮｉ，ｉ＋１ を
【数７】
0004347944.tif 000045
により求め、
装置Ｅｊ がＯｆ 日停止した場合に前記次工程で不足する製品個数Ｓｊ０を
【数８】
0004347944.tif 000046
により求め、
装置Ｅｋ がＯｆ 日停止した場合に前記次工程で不足する製品個数Ｓ０ｋを
【数９】
0004347944.tif 000047
により求め、前記Ｓｊ０とＳｏｋのうちの最大のものＳｉ，ｉ＋１ （Ｓｉ，ｉ＋１ ＝Ｍａｘ（Ｓｊｏ，Ｓｏｋ））に従って確保し、
さらに、前記工程Ｐｉ の直前に、前記Ｓｉ，ｉ＋１ に対応する数の空き棚を確保することを特徴とする生産管理方法。
【請求項８】
工程群Ｐｉ （ｉ＝１，２・・・ｍ）を含み、前記工程群に製品を流すことにより、装置群Ｅｊ （ｊ＝１，２・・・ｎ）を使って前記製品に対して必要な加工を行なう生産ラインにおいて、一の工程Ｐｉ と次の工程Ｐｉ＋１ との間に、前記工程Ｐｉ における装置の停止の結果として前記工程Ｐｉ＋１ において不足することになる製品の個数に対応する安全仕掛かり数を確保する、生産ラインにおける安全仕掛かり数の確保方法であって、
装置Ｅｊ の工程Ｐｉ に対する処理能力をＴｉｊ，装置Ｅｊ の、工程Ｐｉ に対する使用比率をＲｉｊとして、工程Ｐｉ の処理能力ＴＲｉを
【数１１】
0004347944.tif 000048
により求め、
工程Ｐｉ の基準処理能力をＴｉ として、工程Ｐｉ の装置台数ＣＥＰｉ を
【数１２】
0004347944.tif 000049
により求め、
生産計画上、工程Ｐｉ において１日当たり必要な処理数をＮｉ 、Ｕｄ を他責稼働率として、工程Ｐｉ の必要装置台数ＣＥＮｉ を
【数１３】
0004347944.tif 000050
により求め、
装置Ｅｊ がＯｆｊ日停止した場合に前記次工程で不足する製品個数を
【数１４】
0004347944.tif 000051
により求め、前記Ｓｉｊのうちの最大のものＳｉ （Ｓｉ ＝Ｍａｘ（Ｓｉｊ，ｊ＝１，２・・・ｎ）に従って確保することを特徴とする、生産ラインにおける安全仕掛かり数の確保方法。
【請求項９】
工程Ｐｉ を前記装置群Ｅｊ （ｊ＝１，２・・・ｎ）が処理し、次工程Ｐｉ＋１ を装置群Ｅｋ （ｋ＝１，２・・・ｍ）が処理する生産ラインにおいて、前記工程Ｐｉ と前記工程Ｐｉ＋１ との間に安全仕掛かりを設定できない場合に、仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ と仮想装置Ｅｊｋとを定義し、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ に対して安全仕掛かり数を確保する、生産ラインにおける安全仕掛かり数の確保方法であって、
仮想装置Ｅｊ，ｋ の前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ に対する処理能力をＴｊｋ，仮想装置Ｅｊｋの、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ に対する使用比率をＲｊ，ｋ として、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ の処理能力ＴＲｉ，ｉ＋１を
【数１５】
0004347944.tif 000052
により求め、
前記仮想工程Ｐｉ＋１ の基準処理能力をＴｉ，ｉ＋１ として、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ の装置台数ＣＥＰｉ，ｉ＋１ を
【数１６】
0004347944.tif 000053
により求め、
生産計画上、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ において１日当たり必要な処理数をＮｉ，ｉ＋１ 、Ｕｄ を他責稼働率として、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ の必要装置台数ＣＥＮｉ，ｉ＋１ を
【数１７】
0004347944.tif 000054
により求め、
装置Ｅｊ がＯｆ 日停止した場合に前記次工程で不足する製品個数Ｓｊ０を
【数１８】
0004347944.tif 000055
により求め、
装置Ｅｋ がＯｆ 日停止した場合に前記次工程で不足する製品個数Ｓ０ｋを
【数１９】
0004347944.tif 000056
により求め、
前記安全仕掛かり数を、前記Ｓｊ０とＳｏｋのうちの最大のものＳｉ，ｉ＋１ （Ｓｉ，ｉ＋１ ＝Ｍａｘ（Ｓｊｏ，Ｓｏｋ））に従って確保することを特徴とする、生産ラインにおける安全仕掛かり数の確保方法。
【請求項１０】
工程群Ｐｉ （ｉ＝１，２・・・ｍ）を含み、前記工程群に製品を流すことにより、装置群Ｅｊ （ｊ＝１，２・・・ｎ）を使って前記製品に対して必要な加工を行なう生産ラインであって、
一の工程Ｐｉ と次の工程Ｐｉ＋１ との間に、前記工程Ｐｉ における装置の停止の結果として前記工程Ｐｉ＋１ において不足することになる製品の個数に対応した安全仕掛かり数に等しい空き棚を備え、
前記一の工程Ｐｉ の直前にも、前記安全仕掛かり数に等しい空き棚を備え、
装置Ｅｊ の工程Ｐｉ に対する処理能力をＴｉｊ，装置Ｅｊ の、工程Ｐｉ に対する使用比率をＲｉｊとして、工程Ｐｉ の処理能力ＴＲｉを
【数２１】
0004347944.tif 000057
により求め、
工程Ｐｉ の基準処理能力をＴｉ として、工程Ｐｉ の装置台数ＣＥＰｉ を
【数２２】
0004347944.tif 000058
により求め、
生産計画上、工程Ｐｉ において１日当たり必要な処理数をＮｉ 、Ｕｄ を他責稼働率として、工程Ｐｉ の必要装置台数ＣＥＮｉ を
【数２３】
0004347944.tif 000059
により求め、
装置Ｅｊ がＯｆｊ日停止した場合に前記次工程で不足する製品個数を
【数２４】
0004347944.tif 000060
により求め、
前記安全仕掛かり数が、前記Ｓｉｊのうちの最大のものＳｉ （Ｓｉ ＝Ｍａｘ（Ｓｉｊ，ｊ＝１，２・・・ｎ）となるように設定されていることを特徴とする生産ライン。
【請求項１１】
工程Ｐｉ を前記装置群Ｅｊ （ｊ＝１，２・・・ｎ）が処理し、次工程Ｐｉ＋１ を装置群Ｅｋ （ｋ＝１，２・・・ｍ）が処理し、その際前記工程Ｐｉ と前記工程Ｐｉ＋１ との間に安全仕掛かりを設定できない生産ラインであって、
前記工程Ｐｉ＋１ と次の工程Ｐｉ＋２ との間に、前記工程Ｐｉ における装置の停止の結果として前記工程Ｐｉ＋１ において不足することになる製品の個数に対応した安全仕掛かり数に等しい空き棚を備え、
前記一の工程Ｐｉ の直前にも、前記安全仕掛かり数に等しい空き棚を備え、
前記安全仕掛かり数は、
仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ と仮想装置Ｅｊｋとを定義し、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ に対して、
仮想装置Ｅｊ，ｋ の前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ に対する処理能力をＴｊｋ，仮想装置Ｅｊｋの、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ に対する使用比率をＲｊ，ｋ として、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ の処理能力ＴＲｉ，ｉ＋１を
【数２５】
0004347944.tif 000061
により求め、
前記仮想工程Ｐｉ＋１ の基準処理能力をＴｉ，ｉ＋１ として、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ の装置台数ＣＥＰｉ，ｉ＋１ を
【数２６】
0004347944.tif 000062
により求め、
生産計画上、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ において１日当たり必要な処理数をＮｉ，ｉ＋１ 、Ｕｄ を他責稼働率として、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ の必要装置台数ＣＥＮｉ，ｉ＋１ を
【数２７】
0004347944.tif 000063
により求め、
装置Ｅｊ がＯｆ 日停止した場合に前記次工程で不足する製品個数Ｓｊ０を
【数２８】
0004347944.tif 000064
により求め、
装置Ｅｋ がＯｆ 日停止した場合に前記次工程で不足する製品個数Ｓ０ｋを
【数２９】
0004347944.tif 000065
により求め、前記Ｓｊ０とＳｏｋのうちの最大のものＳｉ，ｉ＋１ （Ｓｉ，ｉ＋１ ＝Ｍａｘ（Ｓｊｏ，Ｓｏｋ））に従って決定されていることを特徴とする生産ライン。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶ガラス基板、ＰＤＰ基板、あるいは半導体ウェハの生産ラインにおける生産管理方法に関する。また、本発明は、かかる液晶ガラス基板、ＰＤＰ基板、あるいは半導体ウェハの生産ラインの設計方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、半導体装置の生産ラインでは、あらかじめ自工程の目標仕掛かり数を定めておき、これと自工程の現状仕掛かり数との間のずれ量を計算して、多すぎる場合には前工程の処理を停止させ、少ない場合は前工程の処理を予約するすることにより、工程の仕掛かり数の平準化を図る方法が、特開平７−７４２２６号公報に提案されている。
【０００３】
また各工程において、必要処理枚数に対する仕掛かり数を、過去の仕掛かり数と処理数のデータから回帰直線または近似曲線から求める方法も提案されている。
さらに、装置の停止時には全ラインを止めて装置を修復することを前提とし、安全のための仕掛かりは持たない生産管理方法が、Nikkei Microdevices 1998年3 月号、pp104-107 に記載されている。
【０００４】
また、従来より、半導体装置の生産ラインを設計・構成する際に、各ベイのストッカーに設ける保管棚の数を、生産計画から決まる、各ストッカーのカセット（ロット）をベイ間搬送する際の入庫総数（「ｆｒｏｍ」）と、前記ベイ間搬送への出庫総数（「ｔｏ」）との和を目安として決める方法が知られている。前記目安は、その工場で必要とする回転率（各ベイの総仕掛かり数／そのベイで１日に処理するロットの総数）により、１日分の総数とする場合もあれば、半日分の総数とする場合もある。いずれにしても、各ストッカーの「ｆｒｏｍ」と「ｔｏ」の総数の比率に従って、ストッカーの棚数が決まる。
【０００５】
一方、ベイ毎にストッカーを置くことをせず、装置の近傍に仕掛かりを分散保管する方法も提案されている（Nikkei Microdevices 前出）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記特開平７−７４２２６号公報に記載の方法では、順調に生産を行なっており、各工程に予定通りの仕掛かりが確保されている生産ラインにおいて、ある工程のある装置が障害により長時間停止してしまった場合、前記障害が生じた工程では仕掛かりは全く減少しなくなり、一方その上流側工程で引き続き処理が行なわれると、前記障害工程において仕掛かりが前記目標仕掛かり数を超えて増大してしまう。このような場合には、前記上流側工程を全て停止させる必要がある。また、下流側の全行程も、仕掛かりがゼロになってしまい、停止してしまう。またこのような構成の生産管理を行なっている場合には、障害装置が復旧した場合、全工程において処理装置の稼働率を通常より増大させる必要があるが、仮にその中に必要な稼働率を達成できない工程が含まれると、生産の遅れは決して回復することができない。
【０００７】
一方、必要処理枚数に対する仕掛かり数を、過去の仕掛かり数と処理数のデータから回帰直線または近似曲線から求める方法では、長時間の処理装置の停止が発生した場合には、停止の影響が全生産ラインに及んでしまうのが避けられない。前記必要処理枚数に対する仕掛かり数は、せいぜいその工程の装置の処理中仕掛かりと、処理待ち仕掛かり、さらに処理待ちポジションへの搬送待ち仕掛かりの合計程度であり、装置が停止した場合、実際の仕掛かり数はこのように設定された仕掛かり数を容易に超過してしまう。
【０００８】
また、生産ライン中の一の工程が停止した場合に全ラインを停止させる生産管理方法では、全ラインが装置の停止時間を全て加算した時間だけ停止することになり、各々の装置の停止頻度と停止時間がよほど改善されないと、生産ラインのスループットは向上しない。
特に超大型の液晶基板を生産する生産ラインや３００ｍｍ径を超える半導体ウェハを生産する生産ラインでは投資金額も莫大であり、各工程に多数の予備装置を設けるのは困難である。このため、１台の装置の停止が一つの工程の処理を完全に停止させたり、生産ライン全体の能力を半減させたりすることが多い。また、このような超大型液晶基板等の生産ラインでは装置が大規模になり、故障や定期点検の際の作業量も多くなり、一度停止すると復旧まで非常に長い時間を要する場合が多い。
【０００９】
このように、超大型液晶基板等の生産ラインでは、装置や工程の稼働率の確保が困難で、装置の長時間にわたる停止が納期が製造費用に深刻な影響を与えることになる。
そこで、本発明は上記の課題を解決した、新規で有用な生産管理方法および生産ラインの設計方法を提供することを概括的課題とする。
【００１０】
本発明のより具体的な課題は、複数の工程よりなる生産ラインにおいて、ある工程の装置に発生した障害の影響を他の工程に及ぼさない生産管理方法を提供することにある。
本発明の他の課題は、生産ラインを設計する際に、前記生産ライン中のある装置において仕掛かり品を保持するために使われるストッカーの棚数を、前記装置の可動実績から計算した安全仕掛かり数に基づいて決定する生産ラインの設計方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の課題を、
請求項１に記載したように、
工程群Ｐｉ （ｉ＝１，２・・・ｍ）を含み、前記工程群に製品を流すことにより、装置群Ｅｊ （ｊ＝１，２・・・ｎ）を使って前記製品に対して必要な加工を行なう生産ラインの生産管理方法であって、
一の工程Ｐｉ と次の工程Ｐｉ＋１ との間に、前記工程Ｐｉ における装置の停止の結果として前記工程Ｐｉ＋１ において不足することになる製品の個数に対応する安全仕掛かり数を、
装置Ｅｊ の工程Ｐｉ に対する処理能力をＴｉｊ，装置Ｅｊ の、工程Ｐｉ に対する使用比率をＲｉｊとして、工程Ｐｉ の処理能力ＴＲｉを
【００１２】
【数３０】
0004347944.tif 000002
【００１３】
により求め、
工程Ｐi の基準処理能力をＴi として、工程Ｐi の装置台数ＣEPi を
【００１４】
【数３１】
0004347944.tif 000003
【００１５】
により求め、
生産計画上、工程Ｐi において１日当たり必要な処理数をＮi 、Ｕd を他責稼働率として、工程Ｐi の必要装置台数ＣENi を
【００１６】
【数３２】
0004347944.tif 000004
【００１７】
により求め、
装置Ｅj がＯfj日停止した場合に前記次工程で不足する製品個数を
【００１８】
【数３３】
0004347944.tif 000005
【００１９】
により求め、前記Ｓｉｊのうちの最大のものＳｉ （Ｓｉ ＝Ｍａｘ（Ｓｉｊ，ｊ＝１，２・・・ｎ）に従って確保し、
さらに、前記工程Ｐｉ の直前に、前記Ｓｉ に対応する数の空き棚を確保することを特徴とする生産管理方法により、または
請求項２に記載したように、
前記空き棚の数は、前記工程Ｐｉ の歩留まりをＢｉ として、１００Ｓｉ ／Ｂｉ に従って決定されることを特徴とする請求項１記載の生産管理方法により、または
請求項３に記載したように、
前記装置の使用比率Ｒｊｉは、前記工程Ｐｉ において要求される処理能力ＴＲｉを満たす範囲内において、前記安全仕掛かり数Ｓｉ が最小化するように決定されることを特徴とする請求項１または２記載の生産管理方法により、または
請求項４に記載したように、
前記停止期間Ｏｆｊは、SEMI E10-96
スタンダードに規定された計画オフライン時間と計画外オフライン時間のうち、長い方とすることを特徴とする請求項１または２記載の生産管理方法により、または
請求項５に記載したように、
前記停止期間Ｏｆｊは、計画外オフライン時間の平均値ＭＴＵＯと、平均計画外ダウンタイム間隔ＭＴＵＤと、生産計画上での生産量の管理期間Ｐ日とから、ｋをSEMI E10-96 スタンダードに規定された平均故障間隔の信頼性の下限値として、
Ｏｆｊ（日）＝ＭＴＵＯ・ｌｎ｛Ｐ／（ｋ・ＭＴＵＤ）｝
により求められることを特徴とする請求項１または２記載の生産管理方法により、または
請求項６に記載したように、
前記各工程Ｐｉ において、装置Ｅｊ の使用について前記工程Ｐｉ で処理される製品の種類による制限が課せられる場合に、前記工程群Ｐｉ （ｉ＝１，２・・・ｍ）のかわりに前記工程群を製品の種類別に細分割した工程品種群Ｐｉ （ｉ＝１，２・・・ｚ）を定義し、前記工程品種群Ｐｉ に含まれる工程品種の各々について、前記安全仕掛かりと基本仕掛かりとを計算する工程を含むことを特徴とする請求項１記載の生産管理方法により、 または
請求項７に記載したように、
工程Ｐｉ を前記装置群Ｅｊ （ｊ＝１，２・・・ｎ）が処理し、次工程Ｐｉ＋１ を装置群Ｅｋ （ｋ＝１，２・・・ｍ）が処理する生産ラインにおける生産管理方法であって、前記工程Ｐｉ と前記工程Ｐｉ＋１ との間に安全仕掛かりを設定できない場合に、仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ と仮想装置Ｅｊｋとを定義し、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ に対して安全仕掛かり数を、
仮想装置Ｅｊ，ｋ の前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ に対する処理能力をＴｊｋ，仮想装置Ｅｊｋの、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ に対する使用比率をＲｊ，ｋ として、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ の処理能力ＴＲｉ，ｉ＋１を
【００２０】
【数３４】
0004347944.tif 000006
【００２１】
により求め、
前記仮想工程Ｐi+1 の基準処理能力をＴi,i+1 として、前記仮想工程Ｐi,i+1 の装置台数ＣEPi,i+1 を
【００２２】
【数３５】
0004347944.tif 000007
【００２３】
により求め、
生産計画上、前記仮想工程Ｐi,i+1 において１日当たり必要な処理数をＮi,i+1 、Ｕd を他責稼働率として、前記仮想工程Ｐi,i+1 の必要装置台数ＣENi,i+1 を
【００２４】
【数３６】
0004347944.tif 000008
【００２５】
により求め、
装置Ｅj がＯf 日停止した場合に前記次工程で不足する製品個数Ｓj0を
【００２６】
【数３７】
0004347944.tif 000009
【００２７】
により求め、
装置Ｅk がＯf 日停止した場合に前記次工程で不足する製品個数Ｓ0kを
【００２８】
【数３８】
0004347944.tif 000010
【００２９】
により求め、前記Ｓｊ０とＳｏｋのうちの最大のものＳｉ，ｉ＋１ （Ｓｉ，ｉ＋１ ＝Ｍａｘ（Ｓｊｏ，Ｓｏｋ））に従って確保し、
さらに、前記工程Ｐｉ の直前に、前記Ｓｉ，ｉ＋１ に対応する数の空き棚を確保することを特徴とする生産管理方法により、または
または
請求項８に記載したように、
【００３１】
工程群Ｐｉ （ｉ＝１，２・・・ｍ）を含み、前記工程群に製品を流すことにより、装置群Ｅｊ （ｊ＝１，２・・・ｎ）を使って前記製品に対して必要な加工を行なう生産ラインにおいて、一の工程Ｐｉ と次の工程Ｐｉ＋１ との間に、前記工程Ｐｉ における装置の停止の結果として前記工程Ｐｉ＋１ において不足することになる製品の個数に対応する安全仕掛かり数を確保する、生産ラインにおける安全仕掛かり数の確保方法であって、
装置Ｅｊ の工程Ｐｉ に対する処理能力をＴｉｊ，装置Ｅｊ の、工程Ｐｉ に対する使用比率をＲｉｊとして、工程Ｐｉ の処理能力ＴＲｉを
【００３２】
【数４０】
0004347944.tif 000011
【００３３】
により求め、
工程Ｐi の基準処理能力をＴi として、工程Ｐi の装置台数ＣEPi を
【００３４】
【数４１】
0004347944.tif 000012
【００３５】
により求め、
生産計画上、工程Ｐi において１日当たり必要な処理数をＮi 、Ｕd を他責稼働率として、工程Ｐi の必要装置台数ＣENi を
【００３６】
【数４２】
0004347944.tif 000013
【００３７】
により求め、
装置Ｅj がＯfj日停止した場合に前記次工程で不足する製品個数を
【００３８】
【数４３】
0004347944.tif 000014
【００３９】
により求め、前記Ｓｉｊのうちの最大のものＳｉ （Ｓｉ ＝Ｍａｘ（Ｓｉｊ，ｊ＝１，２・・・ｎ）に従って確保することを特徴とする生産ラインにおける安全仕掛かり数の確保方法により、または
請求項９に記載したように、
工程Ｐｉ を前記装置群Ｅｊ （ｊ＝１，２・・・ｎ）が処理し、次工程Ｐｉ＋１ を装置群Ｅｋ （ｋ＝１，２・・・ｍ）が処理する生産ラインにおいて、前記工程Ｐｉ と前記工程Ｐｉ＋１ との間に安全仕掛かりを設定できない場合に、仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ と仮想装置Ｅｊｋとを定義し、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ に対して安全仕掛かり数を確保する、生産ラインにおける安全仕掛かり数の確保方法であって、
仮想装置Ｅｊ，ｋ の前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ に対する処理能力をＴｊｋ，仮想装置Ｅｊｋの、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ に対する使用比率をＲｊ，ｋ として、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ の処理能力ＴＲｉ，ｉ＋１を
【００４０】
【数４４】
0004347944.tif 000015
【００４１】
により求め、
前記仮想工程Ｐi+1 の基準処理能力をＴi,i+1 として、前記仮想工程Ｐi,i+1 の装置台数ＣEPi,i+1 を
【００４２】
【数４５】
0004347944.tif 000016
【００４３】
により求め、
生産計画上、前記仮想工程Ｐi,i+1 において１日当たり必要な処理数をＮi,i+1 、Ｕd を他責稼働率として、前記仮想工程Ｐi,i+1 の必要装置台数ＣENi,i+1 を
【００４４】
【数４６】
0004347944.tif 000017
【００４５】
により求め、
装置Ｅj がＯf 日停止した場合に前記次工程で不足する製品個数Ｓj0を
【００４６】
【数４７】
0004347944.tif 000018
【００４７】
により求め、
装置Ｅk がＯf 日停止した場合に前記次工程で不足する製品個数Ｓ0kを
【００４８】
【数４８】
0004347944.tif 000019
【００４９】
により求め、
前記安全仕掛かり数を、前記Ｓｊ０とＳｏｋのうちの最大のものＳｉ，ｉ＋１ （Ｓｉ，ｉ＋１ ＝Ｍａｘ（Ｓｊｏ，Ｓｏｋ））に従って確保することを特徴とする生産ラインにおける安全仕掛かり数の確保方法により、または
【００５１】
請求項１０に記載したように、
工程群Ｐｉ （ｉ＝１，２・・・ｍ）を含み、前記工程群に製品を流すことにより、装置群Ｅｊ （ｊ＝１，２・・・ｎ）を使って前記製品に対して必要な加工を行なう生産ラインであって、
一の工程Ｐｉ と次の工程Ｐｉ＋１ との間に、前記工程Ｐｉ における装置の停止の結果として前記工程Ｐｉ＋１ において不足することになる製品の個数に対応した安全仕掛かり数に等しい空き棚を備え、
前記一の工程Ｐｉ の直前にも、前記安全仕掛かり数に等しい空き棚を備え、
前記安全仕掛かり数は、
装置Ｅｊ の工程Ｐｉ に対する処理能力をＴｉｊ，装置Ｅｊ の、工程Ｐｉ に対する使用比率をＲｉｊとして、工程Ｐｉ の処理能力ＴＲｉを
【００５２】
【数５０】
0004347944.tif 000020
【００５３】
により求め、
工程Ｐi の基準処理能力をＴi として、工程Ｐi の装置台数ＣEPi を
【００５４】
【数５１】
0004347944.tif 000021
【００５５】
により求め、
生産計画上、工程Ｐi において１日当たり必要な処理数をＮi 、Ｕd を他責稼働率として、工程Ｐi の必要装置台数ＣENi を
【００５６】
【数５２】
0004347944.tif 000022
【００５７】
により求め、
装置Ｅj がＯfj日停止した場合に前記次工程で不足する製品個数を
【００５８】
【数５３】
0004347944.tif 000023
【００５９】
により求め、
前記安全仕掛かり数が、前記Ｓｉｊのうちの最大のものＳｉ （Ｓｉ ＝Ｍａｘ（Ｓｉｊ，ｊ＝１，２・・・ｎ）となるように設定されていることを特徴とする生産ラインにより、または
請求項１１に記載したように、
工程Ｐｉ を前記装置群Ｅｊ （ｊ＝１，２・・・ｎ）が処理し、次工程Ｐｉ＋１ を装置群Ｅｋ （ｋ＝１，２・・・ｍ）が処理し、その際前記工程Ｐｉ と前記工程Ｐｉ＋１ との間に安全仕掛かりを設定できない生産ラインであって、
前記工程Ｐｉ＋１ と次の工程Ｐｉ＋２ との間に、前記工程Ｐｉ における装置の停止の結果として前記工程Ｐｉ＋１ において不足することになる製品の個数に対応した安全仕掛かり数に等しい空き棚を備え、
前記一の工程Ｐｉ の直前にも、前記安全仕掛かり数に等しい空き棚を備え、
前記安全仕掛かり数は、
仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ と仮想装置Ｅｊｋとを定義し、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ に対して、
仮想装置Ｅｊ，ｋ の前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ に対する処理能力をＴｊｋ，仮想装置Ｅｊｋの、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ に対する使用比率をＲｊ，ｋ として、前記仮想工程Ｐｉ，ｉ＋１ の処理能力ＴＲｉ，ｉ＋１を
【００６０】
【数５４】
0004347944.tif 000024
【００６１】
により求め、
前記仮想工程Ｐi+1 の基準処理能力をＴi,i+1 として、前記仮想工程Ｐi,i+1 の装置台数ＣEPi,i+1 を
【００６２】
【数５５】
0004347944.tif 000025
【００６３】
により求め、
生産計画上、前記仮想工程Ｐi,i+1 において１日当たり必要な処理数をＮi,i+1 、Ｕd を他責稼働率として、前記仮想工程Ｐi,i+1 の必要装置台数ＣENi,i+1 を
【００６４】
【数５６】
0004347944.tif 000026
【００６５】
により求め、
装置Ｅj がＯf 日停止した場合に前記次工程で不足する製品個数Ｓj0を
【００６６】
【数５７】
0004347944.tif 000027
【００６７】
により求め、
装置Ｅk がＯf 日停止した場合に前記次工程で不足する製品個数Ｓ0kを
【００６８】
【数５８】
0004347944.tif 000028
【００６９】
により求め、前記Ｓｊ０とＳｏｋのうちの最大のものＳｉ，ｉ＋１ （Ｓｉ，ｉ＋１ ＝Ｍａｘ（Ｓｊｏ，Ｓｏｋ））に従って決定されていることを特徴とする生産ラインにより、解決する。
［作用］
本発明では、工程の直後に、その工程の装置の長時間にわたる停止の影響を他工程に及ぼさないための安全仕掛かり数に相当する仕掛かりを確保し、直前にはこれとほぼ同数の空き棚を確保しておく。そして、長時間停止が発生した場合には、直後仕掛かりが次工程で処理されて減少すると共に、直前にこれとほぼ同数の投入待ちの仕掛かりが溜まる。直後仕掛かりと直前仕掛かりの和が、平常時も装置長時間停止時にもおおよそ一定となるように生産ラインを管理することで、装置の長時間にわたる停止が他工程に影響するのが回避される。これに対し、従来は直前の仕掛かりのみを考慮していたため、装置が長時間にわたり停止した場合には、仕掛かりが増大してしまい、生産ラインが停止してしまう。これに対し、本発明では直前仕掛かりと直後仕掛かりの和について、計画数と実績数とを比較することで管理を行なうため、ラインを止める必要がなくなり、装置停止の影響を、装置停止が生じた工程のみにより吸収することが可能になる。
【００７０】
また、本発明は、装置の稼動実績データから安全仕掛かり数を計算する方法を提供する。この方法は、安全仕掛かり数を仕掛かり数と処理数の推移から近似的に求める方法に比べて、計画仕掛かり数を明確に定義することが可能である。本発明では、前記安全仕掛かり数を計算することにより、必要なストッカーの棚数を決定する。こうすることで、必要なところに必要な棚数が容易され、生産ライン中のある工程におけるある装置の停止が他の工程に及ぶのが回避され、生産ラインのスループットが向上する。しかも、本発明では無駄な棚が設けられることがなく、ストッカーのコストも最小化される。
【００７１】
【発明の実施の形態】
［第１実施例］
以下、本発明を液晶表示装置を構成するＴＦＴ基板の製造に適用した場合について、図１を参照しながら説明する。
図１を参照するに、ＴＦＴ基板の製造ラインは工程Ｐ1 〜Ｐ9 を含み、装置Ｅ1 〜Ｅ4 が工程Ｐ2 ，Ｐ5 ，Ｐ8 を処理している。このうち、前記工程Ｐ2 は装置Ｅ1 とＥ2 が処理し、一方工程Ｐ5 では装置Ｅ1 〜Ｅ4 の全てが使われている。図１中、工程Ｐ1 ，Ｐ4 ，Ｐ7 は成膜工程に対応し、工程Ｐ2 ，Ｐ5 およびＰ8 はフォト工程、またＰ3 ，Ｐ6 ，Ｐ9 がエッチング工程に対応する。工程Ｐ1 〜Ｐ9 まで順に処理を進めることにより、ＴＦＴ基板の処理がなされる。
【００７２】
本実施例では各工程の負荷率を求め、これを等しくするように各装置の使用比率を決めることにより、各工程の処理能力を定める。さらに、適正な計画仕掛かり数（安全仕掛かりと基本仕掛かり）を決めることにより、製造ラインの能力を最大化する。
最初に、各工程の処理能力ＴRiを、工程Ｐi に対する装置Ｅj の使用比率をＲijとし、装置Ｅj の処理能力をＴijとして、以下のように求める。
【００７３】
ＴR2＝Ｒ21・Ｔ21・Ｒ22・Ｔ22
ＴR5＝Ｒ51・Ｔ51・Ｒ52・Ｔ52・Ｒ53・Ｔ53・Ｒ54・Ｔ54
ＴR8＝Ｒ83・Ｔ83・Ｒ81・Ｔ81
さらに、各工程Ｐi の負荷率をＬi ，他責稼働率をＵｄとして、必要な基板処理枚数Ｎi を、
Ｎi ［枚／日］＝［工程Ｐi での生産計画上必要処理枚数］／［月の操業日数］で定義すると、各工程の負荷率Ｌi は次式で計算できる。
【００７４】
Ｌ2 ＝Ｎ2 ／［ＴR2×Ｕd2／１００］
Ｌ5 ＝Ｎ5 ／［ＴR5×Ｕd5／１００］
Ｌ8 ＝Ｎ8 ／［ＴR8×Ｕd8／１００］
ここで、Ｌ2 ＝Ｌ5 ＝Ｌ8 となるように、換言すると各工程の負荷率が平準化するように装置Ｅijの使用比率Ｒ21，Ｒ22，Ｒ51，Ｒ52，Ｒ53，Ｒ54，Ｒ83，Ｒ81を定める。これにより、製造ラインのスループットを最大化する最適な装置の使用比率が求められる。
【００７５】
ここで、工程Ｐi の基準処理能力Ｔi ［枚／日］を、
Ｔi ＝Ｍａｘ（Ｔij，ｊ＝１，・・・ｍ）とし、
工程Ｐi の装置台数ＣEPi を
【００７６】
【数５９】
0004347944.tif 000029
【００７７】
で定義し、さらに工程Ｐi の必要装置台数を、
ＣENi ＝Ｎi ・（Ｔi ・Ｕd ／１００）  ［台］
で定義する。
すると、装置Ｅijが期間Ｏfj［日］停止した場合に次工程で不足する基板数Ｓij、換言すると前工程で溜まる基板数Ｓijは、
【００７８】
【数６０】
0004347944.tif 000030
【００７９】
で計算できる。ただし、期間Ｏfjは生産計画上、生産量の管理期間（通常１ヵ月程度）内で予想される最長の装置停止時間である。
このようにして求まったｊ＝１，２・・・ｎの各装置に対する基板数Ｓijのうち、最も数量の大きいものＳi 、すなわちＳi ＝Ｍａｘ（Ｓij，ｊ＝１，２・・・ｎ）を、工程Ｐi の安全仕掛かり数とする。
【００８０】
そして、前記工程Ｐi の直後に、前記安全仕掛かり数Ｓi あるいはこれに最も近いロット編成基板数の総和を表す整数に対応した仕掛かりを確保するように、前記製造ラインを管理する。また、前記工程Ｐi の直前に、前記工程Ｐi の歩留まりをＢi として、Ｓi ／Ｂi ×１００に対応した、あるいはこれに最も近いロット編成基板数の総和を表す整数に対応した空き棚を確保する。
【００８１】
かかる製造ラインの管理の結果、前記工程Ｐi における装置の停止の影響が他の工程に及ぶのが回避され、製造スループットが最大化される。
［第２実施例］
次に、仕掛りが溜まり易い制約工程であるＰs 工程とＰn 工程を例として、安全仕掛り数、装置停止時と回復後の仕掛り数の管理方法を、本発明の第２実施例として説明する。
【００８２】
Ｐs 工程とＰn 工程の間は、工程間で時間制約が厳しいため、インライン的取り扱いが必要であるものとする。Ｐs 工程と、Ｐn 工程の各装置の処理能力を表１に示す。
【００８３】
【表１】
0004347944.tif 000031
【００８４】
まず、最長計画外オフライン時間を計算する。その際、ＭＴＢＦは信頼度９０％の係数により補正し、
Ｏｆ（Ｅ01、計画外）＝2701n [1440 ×30／（14118 ×0.634)］＝425[min]
Ｏｆ（Ｅ02、計画外）＝1801n [1440 ×30／（9792×0.675)］＝338[min]
Ｏｆ（Ｅ10、計画外）＝6901n [1440 ×30／(25260×0.539)］＝797[min]を得る。
【００８５】
このうち、表１の最長計画はオフライン時間と比較して長い方を、各装置の最長停止時間とする。
Ｐs 工程はＥ10１台で、Ｐn 工程はＥ01とＥ02の２台で処理を行う。Ｐs 工程の処理終了からＰn 工程の装置にロードする迄のプロセス的な猶予時間を４０［ｍｉｎ] 以内とすると、両工程間に安全仕掛りを置くことはできない。したがって、Ｅ01とＥ02はＥ10と連続した仮想の装置として能力を計算する必要がある。
【００８６】
装置Ｅ10と装置Ｅ01を連続した仮想の装置をＥ11、そのスループットをＴ11［枚／日］、故障率をＦ11とする。装置Ｅ10と装置Ｅ02を連続した仮想の装置をＥ12、そのスループットをＴ12［枚／日］、故障率をＦ12で表わす。連続稼動時のＥ10のスループットがＥ01とＥ02のスループットの和より大きいので、連続稼動時のＥ11、Ｅ12のタクトは、Ｅ01とＥ02のタクトに等しくなる。装置Ｅ11の非故障率（１−Ｆ11）は、各装置（Ｅ10とＥ01）の非故障率の積（１−Ｆ10）・（１−Ｆ01）で与えられる。また付帯作業時間は各装置の付帯作業時間を加えたものから、同時に行う付帯作業時間を差引いたものになると考えて、Ｔ11、Ｔ12は次式で計算することができる（付帯作業は独立に行うと仮定する）。
【００８７】
0004347944.tif 000032
工程についても工程Ｐs と工程Ｐn を連続した仮想の工程Ｐsnを考える。この工程に対する仮想装置Ｅ11とＥ12の使用比率Ｒ11とＲ12はいずれも１である。仮想工程Ｐsnの処理能力をＴR,sn  、装置台数をＣEP,sn 、必用装置台数をＣEN,sn 、負荷率をＬsnとする。
【００８８】
0004347944.tif 000033
工程Ｐsnの装置台数ＣEP,sn は、基準処理能力をＴsnとすると、
0004347944.tif 000034
月当りの必用処理数を27000 ［枚／日］、月の操業日数を３０日、工程他責稼動率Ｕｄを９０％とすると、仮想の工程Ｐsnで１日当り必用な処理枚数Ｎsnは900 ［枚／日］となり、
0004347944.tif 000035
装置Ｅ10、Ｅ01、Ｅ02の各装置停止時について仮想工程Ｐsnに対して安全仕掛りを試算する。実際には、Ｐn 工程の直後に安全仕掛り数Ｓs に相当する仕掛りを置き、Ｐs とＰn の両工程に対する安全仕掛りと考える
［Ｅ10停止時］安全仕掛りＳ10は
0004347944.tif 000036
以上の結果により、Ｅ02の停止は影響しないがＥ01とＥ10の停止の影響が同程度であり、安全仕掛りは５２３［枚］、約２６［ロット］必要であることがわかる。すなわちＰn 工程直後に２６［ロット］の仕掛りが、またＰs 工程直前に２６棚の空き棚が必要である。
［第３実施例］
次に基本仕掛り計算の一実施例を実施例１の仮想工程Ｐsnについて示す。表２に計算のため、各装置の基礎データを示す。
【００８９】
また表３に仮想装置Ｅ11、Ｅ12と仮想工程Ｐsnの基本仕掛りの計算結果を示す。
【００９０】
【表２】
0004347944.tif 000037
【００９１】
【表３】
0004347944.tif 000038
【００９２】
仮想装置については、２台の連続した装置のうち入口側装置Ｅ10の処理待ち仕掛りＳW,10、搬送待ち仕掛りＳT,10を、仮想装置Ｅ11（Ｅ12）のＳW,11（ＳW,12）、ＳT,11（ＳT,12）とする。出口側装置Ｅ01（Ｅ02）の搬出待ち仕掛りＳF,01（ＳF,02）を、仮想装置Ｅ11（Ｅ12）のＳF,11（ＳF,12）とする。また、入口側装置Ｅ10の処理中仕掛りＳP,10、搬出待ち仕掛りＳF,10と出口側装置Ｅ01（Ｅ02）の処理待ち仕掛りＳW,01（ＳW,02）、処理中仕掛りＳP,01（ＳP,02）を加えたものを仮想装置のＳP,11（ＳP,12）とした。
【００９３】
仮想工程Ｐsnについては、仮想装置Ｅ11、Ｅ12の入口側装置Ｅ10が共通であるため、Ｅ11、Ｅ12の各仕掛り数（処理中、処理待ち、搬出待ち、搬送待ち）の和から、Ｅ11とＥ12で共通の仕掛り数を引いたものをＰsnの各仕掛り数（処理中、処理待ち、搬出待ち、搬送待ち）とした。
Ｐsnの必要稼動率Ｕsnは、工程他責稼動率９０％として、
Ｕsn＝90・ＣEN,sn ／ＣEP,sn ＝90・1.079/1219=79.66    ［％］（４）
全体としての非故障率（１−Ｆsn）は、仮想装置Ｅ11とＥ12の非故障率の平均を取る。
【００９４】
（１−Ｆsn）＝（0.981 ×0.973+0.982 ×0.973)/2=0.955
したがって、仮想工程Ｐsnの基本仕掛りＳK,snは次式で計算できる。
ＳK,sn＝0.7966×(7+1+2+1) ×0.955=11×0.7608=8.4［ロット］  （５）
［第４実施例］
次に工程の基本日程を安全仕掛りと基本仕掛りから計算する一実施例を実施例２、３の場合について示す。Ｐs 工程とＰn 工程を合せた仮想工程の仕掛りは、基本仕掛りが８．４［ロット］、安全仕掛りが２６［ロット］であることがわかる。１日当り必要な処理ロット数は、９００［枚／日］を２０［枚／ロット］で割って、４５［ロット／日］であるから、基準日程Ｋsnは次式で計算できる。
【００９５】
Ｋsn＝8.4/45+26/45=0.1867+0.5778=0.7644 ［日］
Ｐs 工程とＰn 工程に前記の安全仕掛りを置き、基準日程０．７６４４［日］で日程管理を行うことにより、装置の長時間停止の影響が他工程に及ぶのを防止できる。
［第５実施例］
次に安全仕掛りと基本仕掛りを基に実際の後工程引きでの日程管理を行う方法について、本発明の第５実施例として、図２を参照しながら説明する。
【００９６】
図２は、Ｐsn工程前後の計画仕掛りを示す。Ｐsn工程の基本仕掛りＳK,snは、搬送待ち、処理待ち、処理中、搬出待ちの各仕掛りの和ＳT,sn＋ＳW,sn＋ＳP,sn＋ＳF,snに等しい。Ｐsn工程の基準日程は、この基本仕掛りに対応する日程と、安全仕掛りに対応する日程の和で与えられる。各ロットのステータスが、（…→［前工程基本仕掛り］）→［前工程安全仕掛り］→［Ｐsn工程基本仕掛り］→［Ｐsn工程安全仕掛り］→［後工程基本仕掛り］→［後工程安全仕掛り］→…）と順次移ることにより工程が進捗する。
【００９７】
図３に現状の工程管理システム上で実際に監視（収集）できる実績仕掛りを示す。収集できる実績仕掛りは、工程管理システム上の各工程（オペレーション）の処理中仕掛りと、処理待ち仕掛りである。これらの処理中・処理待ち仕掛りから、図２の基本仕掛り・安全仕掛りに対応する実績仕掛りを計算できる。
Ｐsn工程の基本仕掛り数ＳK,snに対応する実績仕掛り、ＳZ,snは、｛Ｐs 工程処理中仕掛りＳZ,s11 ）＋（Ｐn 工程処理待ち仕掛りＳZ,n+0 ）＋（Ｐn 工程処理中仕掛りＳZ,n+1 ）＋１｝で計算できる。ＳZ,snが基本仕掛り数ＳK,snと一致するように日程管理を行う。１を足すのは、実績値ＳZ,snにＰsn工程の搬送待ち仕掛りＳT,snが含まれないためである。ＳZ,snを工程Ｐsnの処理中仕掛りと呼ぶ。
【００９８】
Ｐsn工程の安全仕掛り数Ｓsnに対応する仕掛り、ＳZ,sna は、｛（前工程処理待ち仕掛りＳZ,as0 ）−１｝で計算できる。ＳZ,sna を工程Ｐsnの直後仕掛りと呼ぶ。
Ｐs 工程の前工程Ｐsrの安全仕掛りＳsrに対応する実績仕掛り、ＳZ,sra は、｛（Ｐs 工程処理待ち仕掛りＳZ,s10 ）−１｝である。ＳZ,sra を工程Ｐsrの直後仕掛りと呼ぶ。
【００９９】
（Ｓsn−ＳZ,sna ）≧２０になったら（Ｐsn工程の直後仕掛りＳZ,sna に、安全仕掛りＳsnに対して、１［ロット］分の空きができたら）、Ｐsn工程の処理中仕掛りＳZ,snから１［ロット］を進めて、Ｐsn工程の直後仕掛りＳZ,sna に入れる。
同様に（ＳK,sn−ＳZ,sn）≧２０になったら（Ｐsn工程の処理中仕掛りＳZ,snに、基本仕掛りＳK,snに対して、１［ロット］以上の空きができたら）Ｐsr工程の直後仕掛りＳZ,sra から１［ロット］をＰsn（スライトエッチ）工程に進めて、Ｐsn工程の処理中仕掛りＳZ,snに入れる。
【０１００】
一般に工程Ｐi の安全仕掛り（計画）Ｓi と工程Ｐi の直後仕掛り（実績）ＳZ,ia、工程Ｐi の基本仕掛り（計画）ＳK,i と処理中仕掛り（実績）ＳZ,i を順次比較して、実績仕掛りに計画仕掛りに対する１［ロット］分の空きがてきたことを確認して、ロットのステータスを［Ｐi-1 ］工程の直後仕掛り→Ｐi 工程の処理中仕掛り、Ｐi 工程の処理中仕掛り→Ｐi 工程の直後仕掛りというように順次移して進捗させていく。これにより後工程引きでのロット進捗が可能となる。
［第６実施例］
次に、Ｐsn工程を例として、装置で長時間停止が実際に生じた場合の日程管理方法を説明する。Ｅ10装置で８００［ｍｉｎ］の故障停止が発生したと仮定する。
【０１０１】
図４にＰsn工程前後の計画仕掛り（安全仕掛りと基本仕掛り）と空き棚を示す。空き棚は装置の長時間停止時に工程直前に溜まるロットを収納するためのもので、安全仕掛り数をロットの基本編成の数２０で割ったものに等しい。また、図５に、装置長時間停止時のＰsn工程前後の実績仕掛りの様子を示す。
Ｅ10装置停止中は、Ｐsn工程の処理が停止する。Ｐsn工程以外の工程は計画通り処理を行う。Ｐsn工程の後工程の処理中仕掛りＳZ,asに基本仕掛りＳK,asに対する空きができる毎に、Ｐsn工程の直後仕掛りＳZ,sna のロットのステータスがＳZ,asに移る。
【０１０２】
一方、Ｐsnの工程の処理中仕掛りＳZ,snのうち搬送待ちと処理待ちの２［ロット］は、装置停止中はステータスが変らない。残りの処理中と搬出待ちの９ロットのステータスはＰsn工程の直後仕掛りＳZ,sna に順次移る。したがって、Ｐsn工程の処理中仕掛りＳZ,snは２［ロット］となる。これ以降は処理中仕掛りＳZ,snから直後仕掛りＳZ,sna への補充ができないため、ＳZ,sna が減少していく。
【０１０３】
Ｐsn工程の直前には、安全仕掛り数に等しい空き棚が用意されている。装置長時間停止中は、この空き棚に、前工程Ｐsrの直後仕掛りＳZ,sna からロットを移す。空き棚に収納される仕掛りを、Ｐsn工程の直前仕掛りと呼び、ＳZ,snb で表わす。
Ｐsn工程の直後仕掛りＳZ,snb がＰsn工程の安全仕掛り数Ｓsnに等しくなるまで、ＳZ,sra からＳZ,snb にロットのステータスを移していく。移すタイミングは、Ｐsn工程の後工程の処理中仕掛りＳZ,asに基本仕掛りＳK,asに対する空きができるタイミングで、Ｐsn工程の直後仕掛りＳZ,sna のロットのステータスをＳZ,asに移すのと、同じタイミングで移せば良い。これによって、Ｐsn工程停止の影響を受けずにライン全体としては後工程引きで生産を続けることができる。
【０１０４】
ただし、ＳZ,snb ≧Ｓsnとなったら（直前仕掛りの数が安全仕掛り数を越えたら）、ライン全体を止める。実際にはＳsnを予測される最長停止時間に合せて設定しているので、ライン全体の停止は原則として起こらない筈である。
８００［ｍｉｎ］後にＥ10装置が復旧する迄に、Ｐsn工程の直後仕掛りと処理中仕掛りの和、〔ＳZ,sna ＋ＳZ,sn〕は５００［枚］、２５［ロット］分減少する。実際には直後仕掛りＳZ,sna が１６［ロット］減少して１０［ロット］になり、Ｐsn工程の処理中仕掛りＳZ,snが９［ロット］減少して２［ロット］になっている。そして、Ｐsn工程の直前仕掛りＳZ,snb が０［ロット］から２５［ロット］に増加している。
［第７実施例］
先の長時間装置停止復旧後に減少した仕掛を安全仕掛り数まで回復させる方法についての実施例を示す。実施例６でＶ6 、Ｅ10装置復旧後は、Ｐsn工程の稼動率を平常より高くして、必要な仕掛り数を回復する必要がある。即ち、Ｐsn工程の直前仕掛りＳZ,snb の２５［ロット］のステータスを、処理中仕掛りＳZ,snを経て、直後仕掛りＳZ,sna に移せば良い。当然、ライン全体の稼動を維持するのに必要な９００［枚／日］を処理した余力を向けることになる。
【０１０５】
ここでは、Ｐsn工程の稼動率を１００％に上げた場合の回復時間を計算する。Ｐsn工程の必要稼動率は、（４）式より８０％であり、振り向けることができる余力は２０％である。回復すべき仕掛り数は５００［枚］、Ｐsn工程の基準処理能力は（１）式よりＴsn＝９２７［枚／日］、装置台数は（２）式よりＣEP,sn ＝1.219 ［台］であるから、
Ｋ＝500/｛1.219 ・927(1-80/100) ｝＝2.21          ［日］（６）
したがって、約２．２［日］でＰsn工程の直後仕掛りＳZ,sna の数を、安全仕掛り数５２３［枚］迄回復させることができる。
【０１０６】
以上、本発明を好ましい実施例について説明したが、本発明は上記の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載の要旨内において様々な変形・変更が可能である。
【０１０７】
【発明の効果】
請求項１〜２１記載の本発明の特徴によれば、工程の直後に、その工程の装置の長時間にわたる停止の影響を他工程に及ぼさないための安全仕掛かり数に相当する仕掛かりを確保し、直前にはこれとほぼ同数の空き棚を確保しておく。こうしておくことにより、長時間にわたる装置の停止が発生した場合には、直後仕掛かりが次工程で処理されて減少すると共に、直前にこれとほぼ同数の投入待ちの仕掛かりが溜まる。その際、直後仕掛かりと直前仕掛かりの和が、平常時も装置長時間停止時にもおおよそ一定となるように生産ラインを管理することで、装置の長時間にわたる停止が他工程に影響するのが回避される。すなわち、本発明では直前仕掛かりと直後仕掛かりの和について、計画数と実績数とを比較することで管理を行なうため、ラインを止める必要がなくなり、装置停止の影響を、装置停止が生じた工程のみにより吸収することが可能になる。
【０１０８】
また、本発明は、装置の稼動実績データから安全仕掛かり数を計算する方法を提供する。この方法は、安全仕掛かり数を仕掛かり数と処理数の推移から近似的に求める方法に比べて、計画仕掛かり数を明確に定義することが可能である。本発明では、前記安全仕掛かり数を計算することにより、必要なストッカーの棚数を決定する。こうすることで、必要なところに必要な棚数が容易され、生産ライン中のある工程におけるある装置の停止が他の工程に及ぶのが回避され、生産ラインのスループットが向上する。しかも、本発明では無駄な棚が設けられることがなく、ストッカーのコストも最小化される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例による生産管理方法を説明する図である。
【図２】本発明の第５実施例による生産管理方法を説明する図（その１）である。
【図３】本発明の第５実施例による生産管理方法を説明する図（その２）である。
【図４】本発明の第６実施例による生産管理方法を説明する図（その１）である。
【図５】本発明の第６実施例による生産管理方法を説明する図（その２）である。
【符号の説明】
Ｐ1 〜Ｐ8   工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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