(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料ガスをＮＯ２−ＮＯコンバータを介して供給しうる試料ガス導入流路を、オゾンガス導入流路とオゾンを分解するオゾンキラーを有する排気ガス用流路が接続された測定部の反応槽に接続し、前記反応槽内での試料ガスとオゾンの化学反応によって生じる化学発光強度を測定部の光検出器で測定する化学発光式窒素酸化物濃度計であって、前記オゾンキラー通過後の排気ガスを前記試料ガス導入流路のコンバータに導く流路と、前記反応槽での排気ガスとオゾンとの化学反応で生じる化学発光強度の測定出力に基づいて前記コンバータ触媒の劣化度を判断する制御手段とを備えてなる化学発光式窒素酸化物濃度計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ボイラーの煙道排ガスや自動車排気ガス等に含まれる窒素酸化物の濃度を一酸化窒素（ＮＯ）とオゾン（Ｏ３）の反応による化学発光を利用して測定する化学発光式窒素酸化物濃度計に関する。
【０００２】
【従来の技術】
工場の焼却炉における燃焼や自動車のエンジン内における燃焼などにより生じる人体に有害な窒素酸化物（ＮＯX）が問題となっているが、大気や排気ガス中の窒素酸化物濃度を測定する装置の一つに、化学発光法による化学発光式窒素酸化物濃度計（以下、ＮＯX計と称する）がある。
これは、試料ガス（大気または排気ガス等から採取したサンプルガス）とオゾン（Ｏ３）とを測定装置内の反応槽内で接触させ、試料ガス中のＮＯとＯ３とが化学反応を起こし二酸化窒素（ＮＯ２）となる際に発生する化学発光強度を光検出器で検出することにより、試料ガス中のＮＯの濃度を測定するものである。
【０００３】
また、環境大気中に含まれる窒素酸化物は主にＮＯ２とＮＯであるが、ＮＯ２はＯ３との化学発光反応がないので、このままでは化学発光法では測定できない。そこで、ＮＯX計では、ＮＯ２濃度を測定できるように、測定部の反応槽内に試料ガスを導入する試料ガス導入流路に触媒が設けられたコンバータを介在させ、ＮＯ２とＮＯが共存する環境大気中の試料ガスをコンバータを通して試料ガス中のＮＯ２をＮＯに還元変換して、化学発光法で測定している。ここで、コンバータを通して得られた測定値は、ＮＯ２とＮＯの合わせたＮＯX（＝ＮＯ＋ＮＯ２）量のために、コンバータを通さないときのＮＯ濃度を差し引いてＮＯ２濃度を求める。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ＮＯX計では、装置測定部の反応槽内に試料ガスを供給する試料ガス導入流路に触媒が設けられたコンバータが介在していることから、次の問題がある。
【０００５】
すなわち、コンバータの触媒は、経時的に劣化し、触媒による還元能力、すなわち、ＮＯ２−ＮＯ変換効率が低下するため、測定誤差が大きくなって測定値の信頼の点で問題があった。
したがって、測定精度を維持・確保するために、コンバータ内の触媒、ないし、カートリッジタイプでは触媒を収納するコンバータ反応管を測定回数や期間に応じて、適宜、コンバータ内の触媒の新しいものとの詰替えやコンバータ反応管の交換が必要となるが、触媒の劣化度は測定する試料ガスによっても異なり（例えば、ガスタービンの排ガスなどはＮＯXに対するＮＯ２の比率が高いので、触媒の劣化が激しい）、触媒の詰替えやコンバータ反応管の交換の時期を適切に判断することが困難である。そのため、しばしば、劣化した触媒の使用による測定で測定誤差が生じるという問題があった。
なお、コンバータ内の触媒の新しいものとの詰替えと触媒を収容したカートリッジタイプでのコンバータ反応管の交換の両者を総称して、以下、触媒の交換という。
【０００６】
劣化した触媒の使用による測定を避けるためには、安全を見越して定期的な触媒の交換を早めに行えばよいが、このような、安全を見越しての早めの触媒の交換は、触媒の使用環境により劣化速度が異なることへの配慮がなされておらず、触媒が未だ測定精度を保証できるに足る還元能力を有しているにも関わらず、高価な触媒を廃棄することになることから有効な資源を無駄にし、測定装置のランニングコストを高めることになると共に、交換作業を頻繁に行う必要があり、その作業が面倒で時間を要し、測定効率の低下をきたすことになる。
【０００７】
また、コンバータの劣化度を判定して触媒の交換の時期を適切に見極めるために、試料ガスに代えてＮＯ２濃度既知の標準ガスを試料ガス導入流路に供給し、このＮＯ２標準ガスをコンバータを通してＮＯに還元変換して、Ｏ３の供給されている測定部の反応槽に供給し、化学反応で生じる化学発光強度を測定し、標準ガスのＮＯ２濃度（正確には変換されたＮＯ濃度）を測定し、コンバータ触媒の交換直後に測定されたＮＯ２濃度既知の標準ガスのＮＯ２濃度値と比較することで、触媒の劣化度を測定し、触媒の交換時期を的確に判定することが可能となる。
【０００８】
しかしながら、このためには、ＮＯ２既知の標準ガス供給源（通常、ＮＯ２ガスボンベ）が必要となるため、コストと手間がかかることから、標準ガスによるコンバータ触媒の劣化度の判定、ないし、自動による劣化度の確認は、一般に行われていないのが実情である。
【０００９】
本発明は、上記に鑑み、コンバータ触媒の劣化度の判定、ないし、確認に標準ガスを使用することなく、コンバータ触媒の劣化度を判定できてコンバータ触媒の交換時期を簡便かつ的確（適切）に判断でき、また、ルーチンでの交換時期の自動判定の可能な化学発光式窒素酸化物濃度計を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明の化学発光式窒素酸化物濃度計では、反応槽での化学反応後のオゾンキラー（オゾン分解器）を通過してＯ３が分解された排気ガスを、試料ガス導入流路に介在するコンバータを通過させて測定部の反応槽に導き、反応槽内でのオゾンガスとの化学反応によって生じる化学発光強度に基いて触媒の劣化度を判定することが特徴となっている。
【００１１】
具体的には、試料ガスとオゾンガスとを測定部の反応槽に導入し、化学反応による化学発光強度を測定部の光検出器で測定するＮＯX計であって、オゾンキラーを通った排気ガスを試料ガス導入流路のコンバータに導く流路と、反応槽でのコンバータを通過した排気ガスとオゾンガスとの化学反応で生じた化学発光強度を測定部で測定し、その測定値に基づいてコンバータ触媒の劣化度を判定する制御手段とを備えていることを特徴としている。
この種のＮＯX計では、測定部の反応槽には、オゾンキラー（オゾン分解器）を備えた排気ガス用流路が接続されており、このオゾンキラーで排気ガス中の未反応の余剰Ｏ３を分解した後、排気ガスを大気中に放出するように構成されている。
【００１２】
本発明は、オゾンキラーで分解された排気ガス中にＮＯ２が含まれている事実に着目し、この排気ガス中のＮＯ２を標準ガスとしてコンバータ触媒の劣化度を判定できないかとの新規な発想に基づくものである。
すなわち、ＮＯX計では、無声放電式等のオゾン発生器へ大気（空気）を導入し、大気中の酸素（Ｏ２）をＯ３に変換しているが、この際に、オゾン発生器では、大気中のＮ２がＯ３により酸化されてＯ３と共にＮＯ２も発生している。
このように、ＮＯX計では、大気中のＯ２をオゾン発生器でＯ３に変換するので、オゾン発生器でＯ３３と共に発生するＮＯ２の濃度は、主に該発生器に供給される大気の流量、および、水分量に依存する。しかし、大気の流量変化による影響は、フローセンサで測定された流量から補正でき、また、水分量は電子クーラーで一定に保たれるため、ＮＯ２の濃度は、数十ｐｐｍ程度と略一定であることが実験で確認できた。
【００１３】
このような観点から、上記のように、化学反応後の反応槽の排気ガス中のＮＯ２濃度（実際には、排気ガス中のＮＯ２がコンバータでＮＯに変換されることからＮＯ濃度であるが、以下、便宜上、適宜、ＮＯ２濃度と称する）を化学発光法で測定することで、コンバータ触媒の劣化の程度（劣化度）が測定、判定でき、それでもってコンバータ触媒の交換時期が分かる。
すなわち、反応槽の化学発光強度から排気ガス中のＮＯ２濃度が測定部で測定され、制御手段は、この測定値とコンバータ触媒が劣化していない正常時の所定値とを比較し、例えば、測定値が所定値を下回った際には、コンバータ触媒の還元効率が、所定の測定精度が得られない程度に劣化しているので、コンバータ触媒の交換の指示を行う。
【００１４】
この制御手段のコンバータ触媒の交換の指示は、表示部に触媒の交換を要する旨の表示、ないし、報知部より警報（アラーム）等としてなされ、これにより、現在測定に用いている触媒の還元効率が正確な分析（測定）に供し得ない程度に劣化をきたしており、触媒として用をなさず、新しいコンバータ触媒と交換する時期であることを、操作者は察知できる。
【００１５】
なお、反応槽からの排気ガス中のＮＯの化学発光強度の測定値と比較される所定値は、新しいコンバータ触媒に交換直後に、そのコンバータ触媒を用いて測定されたオゾンキラーでオゾン分解された反応槽の排気ガス中のＮＯ２（ＮＯ）の化学発光強度値、ないし、その化学発光強度から演算処理で求められたＮＯ２（ＮＯ）濃度値と、コンバータ触媒の劣化度の判定モードにおけるコンバータ触媒による排気ガス中のＮＯ２の化学発光強度値、ないし、その値から演算処理で求められたのＮＯ２（ＮＯ）濃度値との差（ないし、比）、または、分析（測定）精度に支障のない限度に劣化したコンバータ触媒による排気ガス中のＮＯの化学発光強度、ないし、その化学発光強度から演算処理で求められた排気ガス中の２（ＮＯ）濃度で、予め実験、測定等で求められたものである。
【００１６】
また、オゾン発生器で発生するＮＯ２の濃度は、該発生器に導入される大気ガスの流量、水分量、周囲温度等に依存するが、これは、ＮＯX計に内蔵されているフローセンサ（流量計）、大気を除湿し一定の水分量に保つ電子クーラーの温度センサやＮＯX計に内蔵された温度センサの値から、オゾン発生器で発生するＮＯ２濃度（測定）値の補正は可能である。
したがって、ＮＯ２濃度既知の標準ガス（ボンベ）を使用することなく、コンバータ触媒の劣化度を判定でき、それの交換時期を的確に判断でき、還元効率の劣化したコンバータ触媒を用いての測定を未然に防止できる。
【００１７】
さらに、コンバータ触媒を、それの還元効率が測定精度が保証できる限度に劣化する迄使用できるので、コンバータ触媒を定期的に交換する場合であっても、交換回数を低減できると共に、資源の有効使用が図れる。
さらに、オゾンキラー通過後の反応槽の排気ガスをコンバータに導く流路に電磁弁等を設け、この電磁弁をＣＰＵなどで制御することで、コンバータ触媒の劣化度のルーチンによる定期的な自動判定が可能となる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に示す実施例に沿って説明する。
図１は、この発明の一実施例のＮＯX計の構成を示す概略構成図である。
図１に示すＮＯX計１は、３方電磁弁ＳＶ１、電子クーラーとフィルタ等でなる前処理部２１、ポンプＰ１、３方電磁弁ＳＶ２、ＮＯ２−ＮＯコンバータ２２、流量計２３が試料ガスの流れ方向に順次配列された試料ガス導入流路２、電子クーラー３１、ポンプＰ２、流量計３２、無声放電式等のオゾン発生器３３が空気の流れ方向に順次配列されたオゾンガス導入路３、加熱分解式等のオゾンキラー（オゾン分解器）４１を備えた排気ガス用流路４をそれぞれ備え、各流路２、３、４は、光電検出器５１とでＮＯX測定部５を構成する反応槽５２に接続されている。
【００１９】
また、３方電磁弁ＳＶ１には標準ガス導入路６が接続されており、この流路６に校正用のゼロガスとスパンガス供給源（通常ボンベ）につながるゼロガス導入路７とスパンガス導入路８とが電磁弁ＳＶ３、ＳＶ４を介してそれぞれ接続されており、さらに、３方電磁弁ＳＶ２には、ＮＯX（＝ＮＯ２＋ＮＯ）測定時に試料ガスをコンバータ２２を通さずに反応槽５２に導入するためのバイパス路２４が接続されている。これらの構成は、各構成部品の配列順序の差こそあれ、本質的に従来のこの種のＮＯX計と変われるところはない。
【００２０】
９は、本発明で新たに設けられた排気ガス用流路４のオゾンキラー４１を通過した反応槽５２内の排気ガスを試料ガス導入流路２のコンバータ２２に導く帰還流路で、図の実施例では、３方電磁弁ＳＶ１に接続する標準ガス導入路６に電磁弁ＳＶ５を介して接続されている。
【００２１】
測定部５の光電検出器５１の出力は、ＣＰＵを主体とする演算処理／制御部１０に接続されており、演算処理／制御部１０は、光電検出器５１で検出された化学発光強度を示す出力信号を処理してＮＯX、または、ＮＯ濃度を求めたり、電磁弁ＳＶ５、ＳＶ１〜ＳＶ４、ポンプＰ１、Ｐ２の動作を制御したり、また、試料ガス導入流路２に介在するコンバータ２２内の触媒の還元効率（能力）の劣化度を判定（測定）するモードでは、触媒の還元効率が測定精度が保証できない（分析に供し得ない）程度に劣化している場合にコンバータ２２の触媒の交換を要すること、すなわち、触媒の交換時期であることを示す出力信号を発する。なお、演算処理／制御部１０には、それの出力信号で作動する不図示の表示部、報知部、レコーダやキーボード等が接続されている。
【００２２】
次に、上記構成のＮＯX計により、通常の測定モードで、試料ガス中のＮＯX濃度、および、ＮＯ濃度を測定する場合について説明する。
先ず、ＮＯXの測定では、演算制御／制御部１０の制御のもとに、３方電磁弁ＳＶ１は試料ガスを前処理部２１に導入する側に、３方電磁弁ＳＶ２は試料ガスをコンバータ２２に導入する側（バイパス路２４を閉じる側）に切換えられ、また、電磁弁ＳＶ５、ＳＶ３、ＳＶ４は閉じられる。
この状態でポンプＰ１、Ｐ２が演算制御／制御部１０の制御のもとに駆動されると、試料ガス流路２に導入され前処理部２１で除塵・除湿された試料ガスは、コンバータ２２で含有されるＮＯ２成分がＮＯに変換されて流量計２３で一定の流量とされて測定部５の反応槽５２へ導入される。
【００２３】
一方、オゾンガス導入流量３に導入され電子クーラー３１で除湿処理に供された外部の空気は、流量計３２で一定の流量とされてオゾン発生器３３へ移送され、そこで無声放電によりＯ３ガスを発生し、このＯ３ガスが測定部５の反応槽５２へ導入される。
測定部５の反応槽５２へ導入された試料ガスとＯ３ガスが混合され、その結果、試料ガス中のＮＯ成分とＯ３とが反応し化学発光を生じ、その強度が光電検出器５１で測定される。この化学発光の信号強度は、試料ガス成分中のＮＯ濃度に比例するため、測定された化学発光強度が演算処理／制御部１０で演算処理されて試料ガス中のＮＯX濃度が定量され、演算処理／制御部１０に接続する不図示の表示部に表示される。
【００２４】
また、ＮＯの測定は、演算制御／制御部１０の制御のもとに、電磁バルブＳＶ５、ＳＶ１、ＳＶ３、ＳＶ４はＮＯXの測定と同じで、３方電磁弁ＳＶ２がバイパス路２４側に切換えられ、試料ガスはコンバータ２２を通らずに流量計２３を経て、オゾンガス導入流路３よりＯ３ガスが導入されている測定部５の反応槽５２へ導入され、化学発光を生じ、その強度が光電検出器５１で測定される。測定された化学発光強度が演算処理／制御部１０で演算処理されて試料ガス中のＮＯ濃度が定量され、演算処理／制御部１０に接続する不図示の表示部に表示される。
なお、コンバータ２２を通った試料ガス中のＮＯ濃度、すなわち、ＮＯX（＝ＮＯ２＋ＮＯ）濃度からコンバータ２２を通らない試料ガス中のＮＯ濃度を差引くことでＮＯ２濃度が算出される。
【００２５】
さらに、校正モードでは、電磁弁ＳＶ５を閉じた状態で３方電磁弁ＳＶ１を標準ガス流路６側に切換え、電磁弁ＳＶ３を開いてゼロガス導入路７よりゼロガスを反応槽５２に供給することでゼロ校正を、また、電磁弁ＳＶ４を開いてスパンガス導路８よりスパンガスを反応槽５２に供給することでスパン校正を行う。
このような通常のＮＯX濃度、ＮＯ濃度の測定、ならびに、ゼロ／スパン校正動作は、従来のＮＯX計と変わるところはない。
【００２６】
続いて、本発明の特徴である試料ガス導入流路２に介在するコンバータ２２の触媒の還元効率（還元能力）の劣化度の判定モードについて説明する。
なお、判定モードは、測定値が不適切と思われる場合や触媒の劣化度を判定、または、確認したい場合に測定モード、校正モードに割り込んで随時に行って、また、測定の前後、あるいは、校正後にルーチンで自動で定期的に行うようにしてもよい。
触媒の劣化を判定したい場合には、演算処理／制御部１０に接続する不図示のキーボード、または、不図示のモード切り換えスイッチ等で、触媒の劣化度の判定モードに切り換える。
【００２７】
これにより演算処理／制御部１０の制御のもとに、３方電磁弁ＳＶ１は帰還流路９に接続する標準ガス流路６側に、３方電磁弁ＳＶ２は試料ガスをコンバータ２２に導入する側（バイパス路２４を閉じる側）に切換えられ、ポンプＰ１、Ｐ２が駆動される。
まず、電磁弁ＳＶ４、ＳＶ５が閉の状態でＳＶ３が開きゼロガス（Ｎ２）が導入され、試料ガス導入路２、排気ガス用流路４に残っていた試料ガスを完全に排気する。つぎに、ＳＶ３が閉じてゼロガス導入を停止した後、ＳＶ５が開く。
これにより、測定部５の反応槽５２からの未反応の余剰Ｏ３を含む排気ガスは、排気ガス用流路４に介在するオゾンキラー４１でＯ３が加熱分解され、オゾン発生器３３でＯ３ガスと共に発生したＮＯ２ガスが、前処理部２１を経て、コンバータ２２に導入されて排気ガス中のＮＯ２成分がＮＯに変換されて流量計２３で一定の流量とされて測定部５の反応槽５２へ導入される。
【００２８】
反応槽３３に導入された排気ガス中のＮＯ２（ＮＯ）成分は、同槽５２にオゾン発生器３３を備えたオゾンガス導入流路３から導入されているＯ３と反応し化学発光を生じ、その強度が光電検出器５１で測定され、測定された化学発光強度が演算処理／制御部１０で演算処理されて試料ガス中のＮＯ２（ＮＯ）濃度が定量され、指示が安定した時点の測定値Ｄが演算処理／制御部１０のメモリに記憶される。
【００２９】
測定された排気ガスのＮＯ２（ＮＯ）濃度Ｄは、演算処理／制御部１０に予め記憶されている所定値のしきい値Ｋ（例えば、コンバータ触媒の交換直後に測定されたオゾンキラー４１でオゾン分解された反応槽５２の排気ガス中のＮＯ濃度値と、判定モードにおける排気ガス中のＮＯ２（ＮＯ）濃度値との差、ないし、比）と比較し、しきい値Ｋを上回っている場合（Ｄ＞Ｋ）には、コンバータ２２の触媒の劣化が小さいと判断し、何も表示、ないし、警報が発せられず、これにより、触媒の還元効率が測定精度が確保できない程に劣化していないことが確認でき、触媒を新しいものと詰替え交換することなく、引き続き試料ガスのＮＯX／ＮＯを測定できることが認識できる。この場合、通常の測定モードへ自動的に移行するようにしてもよい。
【００３０】
一方、しきい値Ｋを下回っている際（Ｄ＜Ｋ）には触媒の劣化が大と判断し、演算処理／制御部１０は不図示の表示部に信号を送り、「触媒の交換要」、「効率低下」、「測定精度不良」などのメッセーイジを表示したり、報知部が作動して警報（アラーム）を発する。
【００３１】
なお、所定値は、例えば、コンバータの触媒を新しい触媒に詰替えた（新しい触媒に交換）直後に測定されたオゾンキラーでオゾン分解された反応槽の排気ガス中のＮＯ２（ＮＯ）の化学発光強度値、ないし、化学発光強度から演算処理で求められたＮＯ濃度値と、判定モードにおける排気ガス中のＮＯの化学発光強度値、ないし、化学発光強度から演算処理で求められたＮＯ２濃度値との差や比、または、分析（測定）精度に支障のない限度まで触媒の還元能力が劣化したときの排気ガス中のＮＯ２の化学発光強度、ないし、その化学発光強度に対応する排気ガス中のＮＯ２（ＮＯ）濃度で、予め実験や測定等で求めたもので、演算処理／制御部１０のメモリに予め記憶されている。
また、所定値は、所定の一定値ではなく、測定精度に影響のない許容誤差範囲をも含むものである。
【００３２】
これにより、操作者は、触媒の還元効率が、測定（分析）に支障を来たす程度まで劣化しており、触媒の交換時期に来ていることが判定、ないし、確認でき、触媒を新しい触媒と詰替え交換する。
【００３３】
このように、測定モード途中の任意の時点で、かつ簡便に触媒の交換の要否を判定することができ、信頼性の高いＮＯXの定量を長期間継続して行うことが可能となる。
特に、ＮＯXに対するＮＯ２の比率が高く、コンバータの劣化が激しいガスタービンの排気ガスなどの測定に有効である。
また、触媒の劣化をＮＯ２濃度既知の標準ガス（ボンベ）を使用することなく簡便・的確に判定できることから、効率の低下した触媒を用いての測定（分析）を未然に防止できると共に、測定精度を確保できる限度に還元効率が劣化する迄触媒を交換することなく使用できるので、触媒を定期的に交換する場合であっても、触媒の交換回数を低減できると共に、資源の有効使用が図れる。
【００３４】
なお、実施例では、試料ガス導入流路に介在するコンバータ内の劣化した触媒を新しい触媒に詰替えるようにしたが、コンバータがカートリッジタイプである場合は、コンバータ反応管を取替えることになる。
また、実施例では、キーボードやスイッチの操作で随時、触媒の劣化度を判定する判定モードに切換えるようにしたが、測定モードの前後、または、校正後に定期的に判定モードに切換えて自動判定することも可能である。
【００３５】
さらに、オゾンガス導入流路に介在するオゾン発生器でＯ３と共に発生するＮＯ２の濃度は、オゾン発生器に導入される大気（空気）の流量、水分量、周囲温度等に依存するので、オゾン発生器に導入される空気の流量、除湿に用いる電子クーラーの温度、周囲温度等を検出し、それらの検出値でＮＯ２測定（濃度）値（実際にはＮＯ測定値）を補正するようにすれば、触媒の劣化度をより正確に判定することが可能となる。この際、オゾン発生器に導入される空気の流量、電子クーラーの温度、周囲温度等の検出には、この種のＮＯＸ計が内蔵しているフローセンサや温度センサを用いればよい。
【００３６】
【発明の効果】
本発明の化学発光式窒素酸化物濃度計によれば、試料ガス中のＮＯ２をＮＯに変換する試料ガス導入流路に介在するコンバータ触媒の交換の要否を簡便に判断できる。したがって、長期間の信頼性の高い測定を行う上でその有用性は極めて大なるものである。
【００３７】
また、コンバータ触媒の交換の要否を判定できることから、効率の低下した触媒を用いての測定を未然に防止できると共に、測定精度を確保できる限度に還元効率が低下する限度迄触媒を交換することなく使用できるので、触媒を定期的に交換する場合であっても、触媒の交換回数を低減できると共に、資源の有効使用が図れる。
【００３８】
さらに、コンバータ触媒の交換要否の判定にＮＯ２濃度既知の標準ガス（ボンベ）を必要としないので、ランニングコストの低減が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例のＮＯＸ計を示す構成説明図である。
【符号の説明】
１：ＮＯX計
２：試料ガス導入流路
２１…前処理部                  ２２…ＮＯ２−ＮＯコンバータ
２３…流量計                    ２４…バイパス路
３：オゾンガス導入流路
３１…電子クーラー              ３２…流量計
３３…オゾン発生器
４：排気ガス用流路
４１…オゾンキラー
５：ＮＯX測定部
５１…光電検出器                ５２…反応槽
６：標準ガス導入路                          ７：ゼロガス導入路
８：スパンガス導路                          ９：帰還流路
１０：演算処理／制御部            ＳＶ１、ＳＶ２：３方電磁弁
Ｐ１、Ｐ２：ポンプ              ＳＶ５、ＳＶ３、ＳＶ４：電磁弁
【図１】
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