(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ａ）１以上の水溶性金化合物；ｂ）チオ硫酸及びチオ硫酸塩からなる群から選択される１以上の金錯化剤；ｃ）式Ｒ‐ＳＯ２‐Ｙの１以上の有機安定剤化合物、ここで、Ｒは（Ｃ１〜Ｃ１８）アルキル、アリール又はヘテロアリールであり、及びＹは水素又は一価のカチオンである；及びｄ）１以上の均一性向上剤を含む無電解金めっき組成物であって、シアン化物イオン及び亜硫酸塩イオンを含まない無電解金めっき組成物。
【請求項２】
該金化合物がチオ硫酸のアルカリ金属金塩化合物である請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
Ｒがフェニル、トリル、キシリル、ナフチル又はビスフェノールＡである請求項１または２に記載の組成物。
【請求項４】
該１以上の有機安定剤化合物が少なくとも２ｇ／Ｌの量で存在する請求項１〜３のいずれかに記載の組成物。
【請求項５】
該１以上の均一性向上剤が蓚酸、アスコルビン酸、クエン酸、リンゴ酸、グリコール酸、マロン酸、乳酸、オキサル酢酸、酒石酸、フタル酸、アジピン酸、コハク酸及びグルタル酸からなる群から選択される請求項１〜４のいずれかに記載の組成物。
【請求項６】
基体と請求項１〜５のいずれか１項に記載の組成物とを接触させる工程を含む、基体上に無電解的に金を析出させる方法。
【請求項７】
金より電気陽性度の少ない金属を含有する基体と請求項１〜５のいずれか１項に記載の組成物とを接触させることを含む、金より電気陽性度の少ない金属上に金を析出させる方法。
【請求項８】
電子装置基体と請求項１〜５のいずれか１項に記載の組成物とを接触させる工程を含む、金層を析出させることを含む電子装置の製造方法。
【請求項９】
該電子装置基体がプリント配線基板、集積回路、リードフレーム、ウェーハ上のパッド及びセラミックパッケージからなる群から選択される請求項８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、一般的に無電解めっきの分野に関する。特に、本発明は、無電解金めっきの分野に関する。
【０００２】
浸漬又は置換めっきは無電解めっき法であるが、当分野では別個の分類が与えられている。浸漬めっきにおいて析出は、めっき液における金属イオンによる基体からの元素金属の置換によるものである。無電解めっきにおける析出は、基本的に溶液からの金属イオンの自動触媒還元により起きる。斯かる無電解めっきは、還元剤の存在を必要とする。
【０００３】
浸漬めっきは外部電流を採用せず、溶液から析出される金属に対する電気化学列における基体金属の位置により駆動される電気化学的置換反応である。めっき浴中の溶解した金属イオンがめっき浴と接触されてより活性な（より貴金属でない）金属により置換されるとき、めっきは生じる。
【０００４】
プリント配線基板の製造において、はんだ付け可能な仕上げは、ソルダーマスクのようなマスクを通して暴露されるパッド及び／又はスルーホールを有するプリント配線基板に適用される。無電解めっきはマスクの表面に金属をも析出し得るが、これは望ましくないので、しばしば斯かるはんだ付け可能な仕上げは無電解めっきとしての浸漬めっきにより施工される。浸漬めっき反応は電気化学的電位の相違により駆動されるので、めっきは暴露された金属領域においてのみ起こるであろう。例えば、米国特許第５，１４３，５４４号（イアントスカ）は、プリント配線板基体上のはんだ付け可能な仕上げとして好適なスズ‐鉛合金を浸漬めっきするための液を開示する。しかしながら、プリント配線基板製造に使用のための鉛に代わるより環境的に許容できる代替物に関する需要が増大している。従って、電子機器部品における鉛及び鉛合金の使用は、不確かな将来に直面している。例えば、米国特許第５，５３６，９０８号（エッチェルス等）を参照することができる。
【０００５】
銀は、より環境に許容可能な鉛の代替物であり、はんだ付け可能な仕上げとしての使用が提案されてきた。上記したように、斯かるはんだ付け可能な仕上げを析出する好ましい方法は、浸漬めっきによる。例えば、米国特許第５，９５５，１４１号（ソウター等）は、プリント配線基板上に銀層を析出させるのに好適なある種の浸漬銀めっき浴を開示している。銀は、浸漬銀析出物の貧弱な接着性及び銀の曇り傾向故に耐曇りコーティングの使用を必要とする等多くの欠点を有する。
【０００６】
金は、その低電気抵抗及び腐蝕性物質による攻撃に対する不活性さのために、長い間、接触表面用金属として電子工業において使用されてきた。斯かる金析出は、典型的には無電解又は浸漬金めっき浴を使用してめっきされている。特に、金は、はんだ付け可能な仕上げを提供するためにニッケル下塗りの上に長い間使用されてきた。斯かる方法は、無電解‐ニッケル‐浸漬‐金又は「ＥＮＩＧ」と称される。
【０００７】
無電解金めっき浴の慣用の一形態は、亜硫酸塩イオンで安定化されたチオ硫酸塩イオンベースのものである。ｐＨ６以下で運転されたとき二酸化硫黄がこれらのｐＨ条件下で浴から遊離されるので、斯かる浴は典型的には不安定である。チオ硫酸塩イオンは酸性溶液中で分解し元素の硫黄及び亜硫酸塩イオンを与えることは、知られている。チオ硫酸ナトリウムの水溶液が約ｐＨ４から５に調整されるとき、その溶液は元素硫黄の生成のために濁るであろう。しかしながら、もし亜硫酸ナトリウムがまた上記溶液に添加されるならば、硫黄元素は生成せず、溶液は安定で、透明であろう。それ故、亜硫酸ナトリウムは先行技術金属めっき液に使用されてきたし、チオ硫酸ナトリウムはその溶液を安定化させるために用いられて来た。しかし、亜硫酸ナトリウムを使用することに付いての問題は、亜硫酸塩イオン自身は穏かな酸性溶液中で安定でなく、その結果二酸化硫黄がゆっくりと形成され、溶液から遊離されることである。溶液がより酸性であればあるほど、二酸化硫黄形成速度は速くなるだろう。これは亜硫酸ナトリウムの高消費及び酸性溶液中でチオ硫酸金属塩錯体の不安定性をもたらす。
【０００８】
米国特許第５，３０２，２７８号（ノーベル等）は、有機スルフィン酸塩によって安定化されるチオ硫酸塩を含有する電気金めっき液を含む、電気金めっき液を開示する。無電解又は浸漬めっき液のいずれもが、この特許では開示されていない。
【０００９】
無電解金めっき浴は、還元剤を含む。典型的な還元剤は、チオ尿素及びアルキルチオ尿素誘導体、アスコルビン酸のようなエノール含有化合物（アンドラセック等の米国特許第４，４８１，０３５号）、及びアルキルボラン及びホウ化水素のようなホウ素含有化合物である。これらの慣用のめっき浴は、ある種の欠点を有している。例えば、還元剤としてチオ尿素を含有する浴は、許容できる析出速度を達成するために約８０から９０℃まで加熱されなければならない。斯かる温度は、幾つかのエレクトロニクスパッケージング材についての使用には高すぎる。また、斯かる温度においては、めっき液は、不安定になり、自然発生的に望ましい基体上にだけ金析出物を生成する代わりに溶液全体に亘り金の微粒子を形成し得る。ホウ素含有化合物が還元剤として使用されるとき、斯かる化合物は速度が温度と共に増加する加水分解反応を最初に起こす。ホウ素含有還元剤の多くは、その濃度調節を極めて難しくする望ましくない副反応において消費される。
【００１０】
国際特許出願第ＷＯ／９９／１８２５４（シール等）は、蓚酸のようなある種の還元剤を含むことができる無電解金めっき用液を開示する。この特許出願は、安定剤としてのスルフィン酸又はスルフィン酸塩を開示してない。
【００１１】
浸漬金めっき浴は、上記還元剤由来の欠点の多くを回避する。しかしながら、斯かる浸漬めっき浴は、典型的には、適当な運転のためには約７０℃以上のような高めっき温度を要求する。斯かる高温は、しばしば幾つかのエレクトロニクスパッケージング材には適用できない。
【００１２】
従って、安定な、慣用のめっき液より低温で作動する無電解金めっきについての必要性が存在する。
【００１３】
一態様において、本発明は、ａ）１以上の水溶性金化合物；ｂ）１以上の金錯化剤；ｃ）式Ｒ‐ＳＯ２‐Ｙの１以上の有機安定剤化合物、ここで、Ｒは（Ｃ１〜Ｃ１８）アルキル、アリール又はヘテロアリールであり、及びＹは水素又は一価のカチオンである；及びｄ）１以上の均一性向上剤（ｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙ  ｅｎｈａｎｃｅｒ）を含む無電解金めっき組成物を提供する。
【００１４】
他の態様においては、本発明は、基体と上記組成物とを接触させる工程を含む基体上に金を無電解析出させる方法を提供する。
【００１５】
本発明は、更に、金より電気陽性度の少ない金属を含有する基体と上記組成物とを接触させることを含む、金より電気陽性度の少ない金属上に金を析出させる方法を提供する。
【００１６】
より更なる態様において、本発明は、電子装置基体と、ａ）１以上の水溶性金化合物；ｂ）１以上の金錯化剤；ｃ）式Ｒ‐ＳＯ２‐Ｙの１以上の有機安定剤化合物、ここで、Ｒは（Ｃ１〜Ｃ１８）アルキル、アリール又はヘテロアリールであり、及びＹは水素又は一価のカチオンである；及びｄ）１以上の均一性向上剤を含む組成物とを、望ましい金層を析出させるに充分な時間の間接触させる工程を含む電子装置を製造する方法を提供する。
【００１７】
本明細書の全体に亘り使用されるように、次の略語は、特別明らかに断りのない限り、次の意味を有する：℃＝摂氏度；°Ｆ＝華氏度；ｇ＝グラム；Ｌ＝リットル；ｍＮ＝ミリニュートン；ｍｍ＝ミリメートル；μｉｎ＝マイクロインチ；及びμｍ＝ミクロン＝マイクロメートル。用語「析出」及び「めっき」は、本明細書を通じて互換的に使用される。「アルキル」は、直鎖、分岐及び環状アルキルを意味する。「ハライド」は、フッ化物、塩化物、臭化物及びヨウ化物を意味する。断りのない限り、２以上の置換基を有する芳香族化合物は、オルソ‐、メタ‐及びパラ置換基を含む。全てのパーセンテージは、断りのない限り、重量による。全ての数的範囲は、両端の数字を含み、斯かる数的範囲が総計で１００％になることを余儀なくされる場合を除いて、如何なる順序でも組み合わせ可能である。
【００１８】
本発明は、ａ）１以上の水溶性金化合物；ｂ）１以上の金錯化剤；ｃ）式Ｒ‐ＳＯ２‐Ｙの１以上の有機安定剤化合物、ここで、Ｒは（Ｃ１〜Ｃ１８）アルキル、アリール又はヘテロアリールであり、及びＹは水素又は一価のカチオンである；及びｄ）１以上の均一性向上剤を含む無電解金めっき組成物を提供する。
【００１９】
本組成物に金（Ｉ）を提供する多岐に亘る水溶性金化合物の如何なるものも、使用され得る。好適な金化合物としては、チオ硫酸三ナトリウム金、チオ硫酸三カリウム金のようなアルカリ金チオ硫酸塩が挙げられるが、これらに限定されない。本金化合物は、チオ硫酸三ナトリウム金が好ましい。本発明において、亜硫酸ナトリウム金及び亜硫酸カリウム金のような亜硫酸のアルカリ金塩、亜硫酸アンモニウム金、、塩化金のような金ハライド、ナトリウム金シアン化物及びカリウム金シアン化物のようなアルカリ金シアン化物、及びアンモニウム金シアン化物のような、多様な水溶性金化合物が採用されうることが評価されるであろう。しかしながら、本組成物は、実質的にシアン化物イオン及び亜硫酸塩イオンを含まないことが好ましい。「実質的に含まない」とは、本組成物が０．０５ｇ／Ｌ未満の斯かるイオンを含有することを意味する。本組成物は、シアン化物イオン及び亜硫酸塩イオンを含まないことが、更に好ましい。
【００２０】
１以上の水溶性金化合物の総量は、典型的には０．１から６０ｇ／Ｌである。好ましくは、金化合物は、０．５から１５ｇ／Ｌ及びより好ましくは０．５から５ｇ／Ｌの量で存在する。斯かる水溶性金化合物は、一般には多様な供給業者から商業的に入手され得るか又は当分野で公知の方法により調製され得る。
【００２１】
多岐に亘る金錯化剤が、本発明において使用され得る。好適な金錯化剤としては、チオ硫酸、チオ硫酸ナトリウム、チオ硫酸カリウム及びチオ硫酸アンモニウムのようなチオ硫酸塩、エチレンジアミン四酢酸及びその塩及びニトリロ三酢酸等が挙げられるが、これらに限定されない。チオ硫酸及びチオ硫酸塩が、好ましい。最も好ましいのは、チオ硫酸ナトリウムである。
【００２２】
チオ硫酸塩イオンが使用されるとき、チオ硫酸のアルカリ塩（例えば、ナトリウム又はカリウム塩）又はチオ硫酸のアンモニウム塩のような如何なる溶液可溶性形態において供給され得るが、チオ硫酸ナトリウム５水塩が最も経済的及び容易に入手可能である。
【００２３】
斯かる１以上の錯化剤は、典型的には０．１から１５０ｇ／Ｌ及び好ましくは１から１００ｇ／Ｌの総量で存在する。錯化剤のより好ましい量は、５から７５ｇ／Ｌ及びいっそうより好ましくは１０から６０ｇ／Ｌである。１以上の錯化剤は、一般に商業的に入手し得るか又は当分野で公知の方法により調製され得る。
【００２４】
本発明に有用な１以上の有機安定剤化合物は、Ｒ‐ＳＯ２‐Ｙの式を有し、ここで、Ｒは（Ｃ１〜Ｃ１８）アルキル、アリール又はヘテロアリールであり、及びＹは水素又は一価のカチオンである。Ｙについての好適な一価のカチオンは、ナトリウム及びカリウムのようなアルカリ金属である。Ｙは水素であることが好ましい。Ｒについての代表的なアルキル基としては、メチル、エチル、ｎ‐プロピル、イソ‐プロピル、ｎ‐ブチル、ｔｅｒｔ‐ブチル、イソ‐ブチル、ｎ‐ペンチル、ネオ‐ペンチル、ヘキシル、オクチル及びデシルが挙げられるが、これらに限定されない。典型的なアリール基は、芳香族環に５から１４の元素を含有するものである。好適なアリール基には、フェニル；トリル及びキシリルのような（Ｃ１〜Ｃ６）アルキルアリール；ナフチル；及びビスフェノールＡが含まれるが、これらに限定されない。好適なヘテロアリール基には、フラニル、ピリジル及びチオフェニル基等が含まれるが、これらに限定されない。Ｒは、アリール基及びより好ましくはフェニルである。
【００２５】
置換（Ｃ１〜Ｃ１８）アルキル、アリール又はヘテロアリールが本発明の範囲内であることは、当業者により認識されるであろう。「置換（Ｃ１〜Ｃ１８）アルキル、アリール又はヘテロアリール」とは、（Ｃ１〜Ｃ１８）アルキル、アリール又はヘテロアリールについての１以上の水素が、１以上の置換基により置き換えられることを意味する。好適な置換基としては、ハロ、ヒドロキシ、（Ｃ１〜Ｃ６）アルコキシ、カルブ（Ｃ１〜Ｃ６）アルコキシ、ニトロ、チオ及び（Ｃ１〜Ｃ６）アルキルチオ等が挙げられるが、これらに限定されない。
【００２６】
一般に、その１以上の有機安定剤化合物は、少なくとも０．５ｇ／Ｌ、好ましくは少なくとも１ｇ／Ｌの量で使用される。本１以上の有機安定剤化合物量の実用的な上限は、その組成物中の斯かる化合物の飽和限界である。好ましくは、１以上の有機安定剤化合物は、２ｇ／Ｌから２５ｇ／Ｌ及びより好ましくは３から１５ｇ／Ｌの量で使用される。有機安定剤化合物の特に好適な量は、３から１０ｇ／Ｌである。斯かる有機安定剤化合物は、一般に商業的に入手され得るか又は当分野で公知の方法で調製され得る。
【００２７】
理論に拘束されるわけではないが、有機安定剤化合物は、特に穏かな酸性条件下でチオ硫酸塩イオンが使用されるとき、無電解金めっき組成物を安定化し、その結果、液は放置により分解せず、チオ硫酸塩イオンの場合に如何なる認識し得る量の二酸化硫黄も遊離しない。
【００２８】
１以上の均一性向上剤が、本組成物に添加される。斯かる均一性向上剤は、典型的には、キレート化を提供できる有機カルボン酸である。理論に拘束されるわけではないが、斯かる均一性向上剤は、さらに穏かな還元剤として作用し得る。これらの均一性向上剤は、斯かる化合物を含有しない組成物により提供される場合よりもより均一な金析出を与えることが見出された。好適な均一性向上剤としては、ジ‐、及びトリ‐カルボン酸化合物のようなポリカルボン酸化合物及びヒドロキシ置換カルボン酸化合物等が、挙げられる。その均一性向上剤は、ジカルボン酸が好ましい。代表的な均一性向上剤としては、蓚酸、アスコルビン酸、クエン酸、リンゴ酸、グリコール酸、マロン酸、乳酸、オキサル酢酸及び酒石酸が挙げられるが、これらに限定されない。他の好適な均一性向上剤には、フタル酸、アジピン酸、コハク酸及びグルタル酸がある。好ましい均一性向上剤は、蓚酸、マロン酸、アスコルビン酸及びクエン酸である。蓚酸は、最も好ましい均一性向上剤である。
【００２９】
一般に、その１以上の均一性向上剤は、０．１から５０ｇ／Ｌ及び好ましくは１から１５ｇ／Ｌの量で使用される。均一性向上剤の特に好適な量は、２から８ｇ／Ｌである。
【００３０】
本発明の特に有用な組成物は、ａ）０．５から１５ｇ／Ｌの１以上のチオ硫酸アルカリ金属金化合物；ｂ）１から１００ｇ／Ｌの、チオ硫酸又はチオ硫酸アルカリ金属塩からなる群から選択される１以上の金錯化剤；ｃ）２ｇ／Ｌから２５ｇ／Ｌの、式Ｒ‐ＳＯ２‐Ｙの１以上の有機安定剤化合物、ここで、Ｒは（Ｃ１〜Ｃ１８）アルキル、アリール又はヘテロアリールであり、及びＹは水素又は一価のカチオンである；及びｄ）１から１５ｇ／Ｌの蓚酸を含む。
【００３１】
本発明は、更にｐＨ調節化合物を含むことができる。如何なるｐＨ調節化合物も使用され得るが、それがその組成物の安定性又は性能に悪影響を与えないことを条件とする。好ましいｐＨ調節剤化合物としては、リン酸二水素カリウム、リン酸水素二カリウム、リン酸三カリウムのようなリン酸塩及びホウ酸塩が、挙げられる。使用される斯かるｐＨ調節化合物の量は、維持される望ましいｐＨ及び選択される具体的にｐＨ調節化合物に依存する。例えば、リン酸二水素カリウムは、典型的には１から５０ｇ／Ｌ、及び好ましくは５から２５ｇ／Ｌの量で使用される。一般に、本組成物は、ｐＨ３から９に維持され、好ましくは４から８及び好ましくは５から７．５のｐＨに維持される。
【００３２】
本組成物は、一般に水を含む。如何なる等級の水も好適であるが、脱イオン水が好ましい。
【００３３】
本発明の金めっき組成物は、界面活性剤のような１以上の他の添加剤を任意に含有できる。アニオン性及び非イオン性界面活性剤が好ましい界面活性剤であるが、アニオン性界面活性剤がより好ましい。好適なアニオン性界面活性剤としては、グリセリドのリン酸エステルをはじめとする脂肪族アルコールのリン酸エステルのようなリン酸エステル及び、好ましくは長鎖脂肪族アルコールのリン酸エステルが挙げられる。好適なアニオン性リン酸エステル界面活性剤は、それぞれローディア及びクロンプトンコーポレーションから入手可能なローダファック（ＲＨＯＤＡＦＡＣ）及びエンホス（ＥＭＰＨＯＳ）の商標の下で販売されるものが挙げられる。斯かる界面活性剤は、典型的には、０．１から２ｇ／Ｌの量で使用される。
【００３４】
本発明の組成物は、任意の順序において上記成分を配合することにより調製され得る。塩化金が使用されるときは、それは金錯化剤、有機安定剤化合物及び均一性向上剤が本組成物に添加された後で本組成物に添加されるのが、好ましい。好ましくは、本組成物のｐＨは、塩化金の添加の間５以上に維持される。例えば、ｐＨは、水酸化カリウムのような水酸化物の添加により維持され得る。
【００３５】
一般に、本発明の金めっき浴は、典型的には２５℃から６５℃に、使用中加熱される。本浴は、好ましくは３０℃から６０℃及びより好ましくは４５℃から６０℃に加熱される。６５℃より高い温度が採用され得るが、本組成物の利点の一つは、慣用の無電解金めっき法よりもより低い温度で金を均一に析出するその能力である。
【００３６】
理論に拘束されることを望むものではないが、本組成物は、ハイブリッド無電解法により金を析出すると信じられる。本組成物を使用して金をめっきするために電流は不必要なので、それを無電解めっき法と称するのは適切である。本組成物は、金箔上に金をめっきすることはできない、従って本発明は自動触媒的でなく、従って、「真」の無電解法であるとは考えられない。しかし、本組成物は、慣用の浸漬法よりも厚い金析出物を提供する。例えば、１時間、本組成物との接触の後でニッケル基体上に１７５μｉｎまでの金が、析出され得る。従って、本発明のプロセスは、「ハイブリッド」めっき法と信じられる。
【００３７】
基体上の望まれる金析出の厚さは、基体が本めっき組成物と接触している時間量を調節することにより調節され得る。本発明の一つの利点は、良好な付着性を有する金析出物を提供することである。
【００３８】
本発明は、多岐に亘る基体、特に金より電気陽性度の少ない金属上に金を析出させるのに、即ち、伝統的な浸漬めっき手段に特に適している。金より電気陽性度の少ない典型的な金属としては、ニッケル、銅、パラジウム及び鉄が、挙げられるが、これらに限定されない。金よりも電気陽性度の少ない１を超える金属が、使用され得る。例えば、ニッケル層上のパラジウム層は、本発明に従い金を析出させるのに好適な基体である。従って、本発明は、更に、金より電気陽性度の少ない金属を含有する基体と上記の組成物とを接触させることを含む、金より電気陽性度の少ない金属上に金を析出させる方法を提供する。
【００３９】
本組成物は、また、「真」の無電解法を使用して基体上に析出する金をめっきするために有用である。真の無電解析出に関しては、慣用の還元剤が、典型的に本組成物に添加される。多岐に亘る慣用の還元剤が、好適に採用され得る。しかしながら、本組成物は、チオ尿素、メチルチオ尿素、ジメチルチオ尿素、エチルチオ尿素及びＮ‐メチルチオ尿素等のようなチオ尿素誘導体、ヒドロキノン及びカテコール等を含有しないのが好ましい。斯かる無電解析出は、金めっきされる基体と上記組成物とを接触させることにより達成される。
【００４０】
本組成物は、プリント配線基板、集積回路及び集積回路パッケージングのような電子装置の製造に特に有用である。例えば、金層を含む電子装置の製造において、金層は、電子装置基体と、ａ）１以上の水溶性金化合物；ｂ）１以上の金錯化剤；ｃ）式Ｒ‐ＳＯ２‐Ｙの１以上の有機安定剤化合物、ここで、Ｒは（Ｃ１〜Ｃ１８）アルキル、アリール又はヘテロアリールであり、及びＹは水素又は一価のカチオンである；及びｄ）１以上の均一性向上剤を含む組成物とを、望ましい金層を析出させるに充分な時間の間接触させる工程を含む電子装置を製造する方法により析出され得る。金より電気陽性度の少ない好適な金属は上記された通りであり、好ましくはニッケル及びニッケル上のパラジウムである。斯かるニッケル及びパラジウム層は、典型的には無電解析出される。特に好適な集積回路パッケージングとしては、リードフレーム、ウェーハ上のパッド及びセラミックパッケージ等が挙げられるが、これらに限定されない。本発明は、また、プリント回路基板又は集積回路上の析出金にはんだ付け可能な金仕上げを施すのに好適である。
【００４１】
次の実施例は、本発明の更なる種々の態様を例示するために意図され、如何なる態様においても本発明の範囲を制限するために意図されるものではない。
【００４２】
実施例１
金めっき液は、熱塩酸及び硝酸の混合物中で金属の金（Ａｕ０） を溶解することにより調製された。金属の金が完全に溶解した後で、液は加熱乾燥された。残存塩は、それから、熱脱イオン水で洗浄され、硝酸塩が最早液中に検出され得なくなるまで加熱され、ＨＡｕＣｌ４を得た。
【００４３】
上で得られたＨＡｕＣｌ４は、Ｎａ２Ｏ３Ｓ２の飽和溶液に、それが溶液に入らなくなるまでゆっくりと添加され、この時点で結果的に乳白色溶液を生じた。
イソプロピルアルコールは、溶液が透明になり白色沈殿が形成し始めるまで添加された。その溶液は、反応の完了のため一晩、放置された。全ての金は、金（ＩＩＩ）から金（Ｉ）に還元されたと仮定された。その溶液は濾過され沈殿はオーブン中で乾燥されＡｕＮａ３Ｏ６Ｓ４を与えた。
【００４４】
実施例２
金めっき浴は、下記に示された表１における成分を配合することにより調製された。
【００４５】
【表１】
0004375702.tif 000002
【００４６】
浴のｐＨは、５．５であった。浴の温度は、１２０°Ｆ（約４９℃）に維持された。多くの基体が、その基体、ニッケル層を含有するＦＲ‐４基体を５分間、浴に浸漬することにより金でめっきされた。浴から除去された後、基体はすすがれ、乾燥され、生じた金析出物は分析され、４から７μｉｎの厚さであった。
【００４７】
実施例３
ウェーハ上のアルミニウムパッドは、商業的に入手可能な無電解ニッケル製品（シップレーカンパニー、米国、マサチューセッツ州、マルボロ、から入手可能なエベロン（ＥＶＥＲＯＮ、商標）ＢＰ無電解ニッケル）を使用してニッケルでめっきされた。１２μｉｎ／分の速度でニッケルを析出するために、標準めっき条件が使用された（１９０°Ｆ）。無電解ニッケルめっきに続き、ニッケルコーティングは、すすがれた。
【００４８】
すすぎの後で、そのニッケル被覆アルミニウム基体は、実施例２の金めっき浴と接触させられた。金は、約２μｉｎ／分の速度でニッケル上に析出した。金めっきの後、基体はめっき浴から取り除かれ、すすがれ、乾燥された。
【００４９】
実施例４
ウェーハパッドが銅であり、無電解ニッケル浴が１８５°Ｆの温度において運転されたことを除き、実施例３の手順が繰り返された。ニッケルは、１０μｉｎ／分の速度で析出した。
【００５０】
実施例５
その量が表２に掲げられたものであることを除き、金めっき浴が、実施例２に従い調製された。
【００５１】
【表２】
0004375702.tif 000003
【００５２】
浴のｐＨは、７であった。浴の温度は、１２０°Ｆ（約４９℃）に維持された。
【００５３】
実施例６
無電解析出ニッケル層を含有するＦＲ‐４の１６個の試料（約１×２インチ）は、実施例５のめっき浴を使用して金でめっきされた。各試料の金析出の厚さは、Ｘ線蛍光（「ＸＲＦ」）分光分析法を使用して測定された。各試料について、二回測定が行われた。大部分の試料は、７〜８μｉｎを有する金析出であり、平均値は７．０６μｉｎであった。
【００５４】
実施例７
無電解析出ニッケル層を含有するＦＲ‐４の一試料（約１×２インチ）は、実施例５のめっき浴と接触させらた。３０分後、試料はめっき浴から除去され、めっき析出物の厚さはＸＲＦ分光分析で７８μｉｎと測定された。
【００５５】
実施例８
無電解析出ニッケル層を含有するＦＲ‐４の一試料（約１×２インチ）は、実施例５のめっき浴と接触させられた。６０分後、試料はめっき浴から除去され、めっき析出物の厚さはＸＲＦ分光分析で１７３μｉｎと測定された。
【００５６】
実施例９
無電解析出ニッケル層を含有するＦＲ‐４の試料（約１×２インチ）及び実施例２に従い析出した金層（７〜９μｉｎ）は、それらの配線接着能について評価された。アルミニウムワイヤ（１ミル）は、Ｋ＆Ｓ型４５２３アルミニウムワイヤボンダー（ｗｉｒｅ  ｂｏｎｄｅｒ）を使用して多数の試料上の金層に超音波により接着された。金ワイヤ（１．３ミル）は、Ｋ＆Ｓ型４５２４金ワイヤボンダーを使用して多数の試料上の金層にサーモソニックにより接着された。アルミニウム及び金ワイヤが接合された両試料の幾つかは、そのまま引っ張られた。幾つかの試料は、引っ張りの前に１時間、１５０℃においてベークされた。幾つかの試料は、最初にベークされ（１時間、１５０℃）、それからアルミニウム又は金ワイヤのいずれかに接着され、それから引っ張られた。ワイヤを破壊するに要する力は、グラム（ｇ）で報告されている。結果は、表３に示される。
【００５７】
【表３】
0004375702.tif 000004
【００５８】
実施例１０
試料が無電解ニッケル層、ニッケル上の無電解パラジウム及びそれからパラジウム上の金を含有したことを除き、実施例９の手順が繰り返された。許容できるアルミニウム及び金ワイヤボンディング結果が、得られた。
【００５９】
実施例１１
無電解析出ニッケル層及び実施例２に従い析出された金層（７〜９μｉｎ）を含有するＦＲ‐４の１０個の試料（約１×２インチ）が、金析出物のはんだ付け可能性について評価された。はんだ付け可能性は、メニスコ（ＭＥＮＩＳＣＯ）ＳＴ‐５０ウエッティングバランス法を使用して評価された。５個の試料が金めっきのまま試験され、他の５個の試料が１５０℃において１６時間ベーキングの後評価された。無鉛はんだが、２４５℃において使用された。使用されたフラックスは、ケスター（ＫＥＳＴＥＲ）４２２‐ＣＸ非クリーン型であった。各試料について、ゼロクロスタイム（秒）及び２秒における湿潤力（ｍＮ／ｍｍ）が測定された。各試料について２回の測定がなされ、その平均が報告された。結果は、表４に示される。
【００６０】
【表４】
0004375702.tif 000005