(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉛直方向に配置され、その下端部側に吸着ノズルが設けられているスプラインシャフトと、前記スプラインシャフトを上下動させるためのＺ軸駆動手段と、前記スプラインシャフトを回動自在に支持すると共に上下方向に係合し、且つ、前記Ｚ軸駆動手段の動力を変換機構を介して前記スプラインシャフトの上下動として伝達するＺ軸動力伝達部材と、前記スプラインシャフトを回動させるためのθ軸駆動手段と、前記スプラインシャフトを軸長方向滑動自在に支持すると共に回転方向に係合し、且つ、前記θ軸駆動手段の動力を前記スプラインシャフトに伝達するθ軸動力伝達部材と、前記スプラインシャフトの回動角度を検出するθ軸エンコーダと、前記スプラインシャフト、Ｚ軸駆動手段、θ軸駆動手段、θ軸エンコーダを支持するための鉛直方向のブラケットと、を有してなる部品搭載ヘッドにおいて、
前記Ｚ軸駆動手段は、前記スプラインシャフトと平行に配置された送りねじ軸及びこの送りねじ軸を駆動するＺ軸モータを含んでなり、
前記Ｚ軸動力伝達部材は、前記送りねじ軸と螺合すると共に、前記スプラインシャフトの上端部と上下方向に係合し、且つ、これを回転自在に支持する構成とされ
前記ブラケットの下端近傍に一体的に設けられ、前記スプラインシャフトを回動自在、且つ、軸長方向滑動自在に支持する第１リブと、
前記第１リブ上方近傍に前記ブラケットと一体的に設けられ、前記スプラインシャフトに近接して前記Ｚ軸モータを下側面によって支持する第２リブと、
前記第２リブ上方近傍で前記ブラケットと一体的に設けられ、前記スプラインシャフトを回動自在、且つ、軸長方向滑動自在に支持する第３リブと、
前記Ｚ軸モータの出力軸の上端と前記送りねじ軸の下端とを連結するＺ軸カップリングと、
を有し、
前記θ軸エンコーダは、中空状であって、前記スプラインシャフトが貫通した状態で、前記第１リブに配設されたことを特徴とする部品搭載ヘッド。
【請求項２】
請求項１において、
前記θ軸駆動手段は、前記第３リブに回転自在に支持されたスプラインナットと、このスプラインナットの上端に同軸状に接合されたθ軸プーリと、前記第３リブの下側に支持されたθ軸モータと、このθ軸モータの出力軸に取付けられたθ軸モータプーリと、このθ軸モータプーリと前記θ軸プーリとに装架されたベルトとを有してなることを特徴とする部品搭載ヘッド。
【請求項３】
請求項１において、前記θ軸駆動手段はθ軸モータとされ、このθ軸モータと前記θ軸エンコーダとが一体とされて、前記スプラインシャフトが貫通する中空状のθ軸モータエンコーダとされ、このθ軸モータエンコーダが、前記第１リブに配置されたことを特徴とする部品搭載ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＩＣ等の電子部品を搬送し、その部品の姿勢を回動修正した後に電子基板上に搭載する部品搭載装置において、吸着した電子部品を上下動及び回動させる部品搭載ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
部品搭載装置１００は、例えば図９に示すように、Ｘ軸レール１０２と、Ｙ軸レール１０４とを備えたＸ−Ｙロボット装置１０６と、前記Ｘ軸レール１０２に移動自在に支持されるヘッド保持用のテーブル１０８と、前記テーブル１０８に支持される部品搭載ヘッド１１０と、電子部品１１２（図示省略）を供給する部品フィーダ１１４と、電子基板１１６等を搬送するワーク搬送装置１１８と、を備えている。
【０００３】
ＩＣ等の電子部品は、前記部品フィーダ１１４により供給される。前記部品搭載ヘッド１１０は、Ｘ−Ｙロボット１０６により前記電子部品上に移動させられるとともに、吸着ノズルにより電子部品を吸着保持する。その後、前記部品搭載ヘッド１１０はＸ−Ｙロボット装置１０６により、電子基板１１６上へ移動させられる。なお、電子基板１１６はワーク搬送装置１１８により所定位置へ搬送させられている。
【０００４】
前記電子基板１１６上へ到着した部品搭載ヘッド１１０は、保持している電子部品の姿勢を回動修正した後、電子基板１１６上の所望の位置へ電子部品を搭載する。
【０００５】
従って、前記部品搭載ヘッド１１０は、前記吸着ノズルを上昇、下降及び回動させる動作を必要とする。
【０００６】
従来の前記部品搭載ヘッド２００の構成の一例を、図１０を参照して説明する。
【０００７】
前記部品搭載ヘッド２００は、前記Ｘ軸レール１０２に設けられているヘッド保持用テーブル１０８により、その背面から固定支持される鉛直方向のブラケット２０２を備えている。前記ブラケット２０２は、その下端近傍において鉛直方向のレールガイド２０４を介して上下移動自在に係合する側面形状が逆Ｌ字型の摺動リブ２０６と、前記ブラケット２０２の中間位置近傍において一体的に設けられるθリブ２１０と、その上方近傍において一体的に設けられるＺリブ２１２と、前記ブラケット２０２上端において一体的に設けられる上端リブ２１６とを備えている。
【０００８】
前記ブラケット２０２と平行して備えられるスプラインシャフト２２２は、その下端において、吸着ノズル２１８を下側に備える吸着筒２２０の上端内壁と同軸的に連結させられている。一方、前記スプラインシャフト２２２の上端側には、点線で示されるように、円筒状カップリング２２４の内部に収容される状態で回動及び上下移動自在に係合させられている。
【０００９】
前記吸着筒２２０は、その上端の外周面において前記摺動リブ２０６により回動自在、且つ、上下方向に係合されている。又、前記円筒状カップリング２２４は、その下部近傍外周面において前記Ｚリブ２１２により回動自在に支持されている。更に、前記円筒状カップリング２２４の下端は、スプラインシャフト２２２と上下移動自在、且つ、回動方向に係合させられているスプラインナット２２６の上側面と連結されており、一方、前記円筒状カップリング２２４の上端は、前記上端リブ２１６に配設されるθ軸エンコーダ２１４の入力軸と連結させられている。
【００１０】
前記スプラインナット２２６の下側面は、内部にスプラインシャフト２２２が貫通する円筒状のθ軸プーリ２２８と同軸的に連結させられる。出力軸を鉛直上方向とした状態で、θリブ２１０の下側面に固定されるθ軸モータ２０８の、前記出力軸に連結されるθ軸モータプーリ２３０は、θ軸ベルト２３２を介して前記θ軸プーリ２２８と係合する。
【００１１】
出力軸を鉛直下方向とした状態で、Ｚリブ２１２の上面側に固定されるＺ軸モータ２３４の、前記出力軸には、Ｚ軸カップリング２３６を介して同軸的にボールネジシャフト２３８が連結させられており、前記ボールネジシャフト２３８は、前記摺動リブ２０６に備えられるボールネジナット２４０と螺合させられている。
【００１２】
スプラインシャフト２２２及び円筒状カップリング２２４は、前記θ軸モータ２０８により回動させられる。その結果、前記スプラインシャフト２２２の下端に連結される吸着筒２２０と、前記吸着筒２２０の下端で支持される吸着ノズル２１８も一体となって回動する。前記θ軸エンコーダ２１４は、円筒状カップリング２２４等を介して前記吸着ノズル２１８の回動角度を検出する。
【００１３】
摺動リブ２０６は、Ｚ軸モータ２３４により、Ｚ軸カップリング２３６、ボールネジシャフト２３８及びボールネジナット２４０を介して上下方向へ摺動させられる。その結果、スプラインシャフト２２２、吸着筒２２０及び吸着ノズル２１８も一体となって、その回動を妨げられることなく、上下方向に移動する。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の部品搭載ヘッド２００は、スプラインシャフト２２２の吸着ノズル２１８側を、前記摺動リブ２０６で支持する構造であるため、吸着ノズル２１８のぶれが生じることがある。又、前記ガイドレール２０４はコストがかかる上に、その重量が増大する。その結果、Ｚ軸モータ２３４が吸着筒２２０（含む、スプラインシャフト２２２）のみならず、摺動リブ２０６、この摺動リブを支持するレールガイド２０４のテーブル部をも駆動しなければならず、従ってＺ軸モータ２３４の負担が増大し、容量の大きなものを用いなければならず、更なるコスト上昇、重量増大につながる。
【００１５】
非常に高い部品の搭載精度が要求される部品搭載位置においては、そのダンピングが所望の程度まで収まるまでに長い待機時間を必要とするため、部品搭載装置１００の作業効率が低下する。
【００１６】
Ｚ軸モータ２３４やθ軸エンコーダ２１４が部品搭載ヘッド２００の上部側に配設されるため、部品搭載ヘッド２００の重心が高くなり、上部の倒れ込みによるモーメントによって、吸着ノズル２１８のぶれが生じ易い。
【００１７】
又、θ軸モータ２０８がブラケット２０２に対し水平方向に離れた位置に配設されている結果、Ｘ軸レール１０２によるＸ軸方向移動終了直後にθ軸モータ２０８がＸ軸方向にゆすらされることも、前記待機時間を増加させる要因となる。
【００１８】
更に、部品搭載ヘッド２００の加減速時において、この部品搭載ヘッド２００がＸ軸レール１０２に対して与えるモーメントが大きくなり、従って前記テーブル１０８等に高い剛性が要求されると共に、ＸＹロボット装置１０６の駆動源の大型化等も必要となる。これにより、ＸＹロボット装置１０６の高コスト化、重量増加等の問題が生じる。
【００１９】
又、θエンコーダ２１４と吸着ノズル２１８までの距離が大きく、従って、吸着筒２２０やスプラインシャフト２２２、θ軸カップリング２２４等のねじれが、このθエンコーダ２１４が検出する吸着ノズル２１８の回転位相の精度を悪化させる。
【００２０】
従って、本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、吸着ノズルの高精度の位置決めが可能となる部品搭載ヘッドを提供することを目的とする。
【００２１】
本発明は、鉛直方向に配置され、その下端部側に吸着ノズルが設けられているスプラインシャフトと、前記スプラインシャフトを上下動させるためのＺ軸駆動手段と、前記スプラインシャフトを回動自在に支持すると共に上下方向に係合し、且つ、前記Ｚ軸駆動手段の動力を変換機構を介して前記スプラインシャフトの上下動として伝達するＺ軸動力伝達部材と、前記スプラインシャフトを回動させるためのθ軸駆動手段と、前記スプラインシャフトを軸長方向滑動自在に支持すると共に回転方向に係合し、且つ、前記θ軸駆動手段の動力を前記スプラインシャフトに伝達するθ軸動力伝達部材と、前記スプラインシャフトの回動角度を検出するθ軸エンコーダと、前記スプラインシャフト、Ｚ軸駆動手段、θ軸駆動手段、θ軸エンコーダを支持するための鉛直方向のブラケットと、を有してなる部品搭載ヘッドにおいて、前記Ｚ軸駆動手段は、前記スプラインシャフトと平行に配置された送りねじ軸及びこの送りねじ軸を駆動するＺ軸モータを含んでなり、前記Ｚ軸動力伝達部材は、前記送りねじ軸と螺合すると共に、前記スプラインシャフトの上端部と上下方向に係合し、且つ、これを回転自在に支持する構成とされ前記ブラケットの下端近傍に一体的に設けられ、前記スプラインシャフトを回動自在、且つ、軸長方向滑動自在に支持する第１リブと、前記第１リブ上方近傍に前記ブラケットと一体的に設けられ、前記スプラインシャフトに近接して前記Ｚ軸モータを下側面によって支持する第２リブと、前記第２リブ上方近傍で前記ブラケットと一体的に設けられ、前記スプラインシャフトを回動自在、且つ、軸長方向滑動自在に支持する第３リブと、前記Ｚ軸モータの出力軸の上端と前記送りねじ軸の下端とを連結するＺ軸カップリングと、を有し、前記θ軸エンコーダは、中空状であって、前記スプラインシャフトが貫通した状態で、前記第１リブに配設されることにより、前記課題を解決したものである。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明に係る部品搭載ヘッドの実施の形態の例を、図面を参照して詳細に説明する。
【００２３】
本発明の実施の形態の第１例に係る部品搭載ヘッド１０は、図１に示されるように、鉛直方向Ｚに配置され、その下端部に吸着ノズル１２が同軸的に設けられているスプラインシャフト１４を備えている。なお、部品保持装置は前記吸着ノズル１２に限定されず、部品把持機構等のあらゆるものが用いられる。
【００２４】
前記スプラインシャフト１４は、鉛直方向のブラケット２６の下端に一体的に設けられる第１リブ２８と、中間近傍に一体的に設けられる第３リブ３２とで、それぞれスプラインナット２２Ａ、２２Ｂを介して軸長方向滑動自在、且つ回動自在に支持されている。なお、前記スプラインシャフト１４は、軸長手方向に異形部が形成された断面異形状であり、前記スプラインナット２２Ａ、２２Ｂは前記スプラインシャフト１４に対して嵌合させられることで回動方向θに係合されている。
【００２５】
前記第１リブ２８の上方近傍に、Ｚ軸モータ１６を下側面によって支持する第２リブ３０がブラケット２６に一体的に設けられている。又、前記第２リブ３０は、スプラインシャフト１４の貫通孔３０ＡとＺ軸モータ１６の出力軸１６Ａの貫通孔３０Ｂとを有している。
【００２６】
前記出力軸１６Ａは、鉛直方向に配置される送りねじ軸３６の下端と、Ｚ軸カップリング３４を介して連結させられており、前記送りねじ軸３６の上端は、ブラケット２６の上端に一体的に設けられる上端リブ４６によって、回動自在に支持されている。前記送りねじ軸３６は、短辺側が凸円弧となる略長方形板状のＺ軸動力伝達部材１８に備えられたボールネジナット４４と螺合しており、一方、前記送りねじ軸３６と平行して配置されるスプラインシャフト１４の上端部は、前記Ｚ軸動力伝達部材１８により回動自在に支持されると共に、上下方向に係合されている。なお、前記Ｚ軸動力伝達部材１８は、上記形状に限定されるものではないが、軽量化の観点から、できるだけコンパクトなものが好ましい。
【００２７】
第３リブ３２により回動自在に支持される前記スプラインナット２２Ｂの上端面は、θ軸プーリ３８が同軸状に接合されており、又、前記θ軸プーリ３８は、θ軸モータ２０の出力軸２０Ａに連結されるθ軸モータプーリ４０と、双方のプーリに装架されるベルト４２を介して係合される。なお、前記第３リブ３２は、前記出力軸２０Ａと送りねじ軸３６の貫通孔３２Ａ、３２Ｂを有しており、前記θ軸モータ２０は、前記第３リブ３２の下側面において支持される。
【００２８】
第３リブ下端側には、その内部にスプラインシャフト１４が貫通する中空状のθ軸エンコーダ２４が配設されており、その入力軸は、前記スプラインナット２２Ｂの下側面と接合され、スプラインシャフト１４の回動角度を検出するようにされている。
【００２９】
前記スプラインシャフト１４は、Ｚ軸モータ１６により、変換機構である送りねじ軸３６及びボールネジナット４４と、Ｚ軸動力伝達部材１８とを介して、上下方向に移動させられる。又、θ軸モータ２０により、θ軸モータプーリ４０、ベルト４２、θ軸プーリ３８、及びスプラインナット２２Ｂを介して、回動させられる。
【００３０】
スプラインシャフト１４は、その下端部近傍において、ブラケット２６に一体的に設けられた第１リブ２８により直接支持される構造であるため、その下端に設けられる吸着ノズル１２のぶれが小さく抑えられる。又、Ｚ軸モータ１６及びθ軸エンコーダ２４が低位置に配設させられるため、部品搭載ヘッド１０の重心を低くすることができる。
【００３１】
又、スプラインシャフト１４は、ブラケット２６に一体的に設けられた第１リブ２８及び第３リブ３２により直接支持されることから、Ｚ軸動力伝達部材１８を前記ブラケット２６に対して自由にすることができ、レールガイドの省略化及びＺ軸動力伝達部材１８のコンパクト化が図られる。その結果、これらを上下動させるＺ軸モータ１６の負担が軽減され、容量の小さいＺ軸モータ１６を用いることができ、部品搭載ヘッド１０の軽量化につながる。
【００３２】
なお、前記スプラインシャフト１４は、断面が異形状なものであれば良く、角柱、六角柱等あらゆるものを用いることが可能である。
【００３３】
前記θ軸エンコーダ２４の設置位置は、前記第３リブに限定されるものでないが、第１リブ第２リブ及び第３リブのいずれかに配設することが望ましい。従って、図２に示される、本発明の実施の形態の第２例に係る部品搭載ヘッド１０Ａの如く、第１リブ２８上側面に設置してもよい。このようにすると、部品搭載ヘッド１０Ａの更なる低重心化が図られ好都合である。なお、該部品搭載ヘッド１０Ａの他の構成等については、図１に示す前記実施の形態の第１例に係る部品搭載ヘッド１０とほぼ同様であるので、同一又は同様部分に図１におけるものと同一符号を付することで説明は省略する。
【００３４】
次に、本発明の実施の形態の第３例について説明する。
【００３５】
第３例に係る部品搭載ヘッド１０Ｂは、図３に示されるように、θ軸エンコーダとθ軸モータが一体化された、中空状のθ軸モータエンコーダ４８が第３リブ３２の下側面に配設されている構造である。
【００３６】
前記θ軸モータエンコーダ４８は、その入力軸がスプラインナット２２Ｂの下側面と接合されており、前記スプラインナット２２Ｂを介してスプラインシャフト１４を直接回動させると共に、その回動角度を検出する。
【００３７】
当該構造とすることで、水平方向の重心位置がブラケット側に集中し、又、第３リブ３２のコンパクト化によって軽量化された部品搭載ヘッド１０Ｂを得ることができる。
【００３８】
又、中空状のθ軸モータ及びθ軸エンコーダの設置位置は、前記第３リブ３２に限定されるものではなく、第２リブ３０に配設することが好ましい。更に、望ましくは図４に示される実施の形態の第４例に係る部品搭載ヘッド１０Ｃの如く、前記θ軸モータエンコーダ４８を第１リブ上側面に配設してもよく、部品搭載ヘッド１０Ｃの更なる低重心化が図られる。
【００３９】
なお、部品搭載ヘッド１０Ｂ、１０Ｃ共に、他の構成等については、図１に示す前記実施の形態の第１例に係る部品搭載ヘッド１０とほぼ同様であるので、同一又は同様部分に図１におけるものと同一符号を付することで説明は省略する。
【００４０】
次に本発明の実施の形態の第５例について説明する。
【００４１】
第５例に係る部品搭載ヘッド１０Ｄは、図５に示されるように、Ｚ軸モータ１６及びθ軸モータ２０が第２リブ３０に並列して配設されているとともに、前記第２リブ３０が、スプラインナット２２Ｂを介して、スプラインシャフト１４を回動自在、且つ、軸長手方向滑動自在に支持する構造である。
【００４２】
上記構造によると、リブの数が１つ減少することによるブラケット２６の軽量化、ひいては部品搭載ヘッド１０Ｄの軽量化が図られる。又、θ軸モータ２０の配設位置が下へ移動することによって、部品搭載ヘッド１０Ｄの重心位置が更に下げられることになる。又、図６に示す、実施の形態の第６例に係る部品搭載ヘッド１０Ｅのごとく、第２リブ３０に、前記中空状のθ軸モータエンコーダ４８を配設する構造とすることも望ましい。当該構造によると、部品搭載ヘッド１０Ｅの水平方向の重心位置がブラケット２６側に集中し、且つ、第２リブ３０のコンパクト化による軽量化が図られる。従って、特に図示しないが、上記θ軸モータエンコーダ４８を第１リブ２８に配設することも好ましい。なお、他の構成等については、図１に示す前記実施の形態の第１例に係る部品搭載ヘッド１０とほぼ同様であるので、同一又は同様部分に図１におけるものと同一符号を付することで説明は省略する。
【００４３】
次に、本発明の実施の形態の第７例に係る部品搭載ヘッド１０Ｆについて説明する。
【００４４】
前記部品搭載ヘッド１０Ｆは、図７に示されるように、Ｚ軸モータ１６の回動動力を上下方向動力に変換する変換機構として、プーリとベルトが備えられている。詳細には、上端リブ４６において、上側プーリ６０が、その回動軸が水平方向となるよう回動自在に配設されており、又、第２リブ３０には、前記上側プーリ６０に対応するように下側プーリ６２が配設されている。前記上側プーリ６０と下側プーリ６２には、Ｚ軸ベルト６４が装架されており、その一部において、クランプ部品６６により、Ｚ軸動力伝達部材１８と連結される。前記下側プーリ６２は、Ｚ軸モータ２０によって、かさ歯車６８、７０を介して回動駆動され、その結果、前記スプラインシャフト１４が上下動するようにされている。なお、他の構成等については、図３に示す前記実施の形態の第３例に係る部品搭載ヘッド１０Ｂとほぼ同様であるので、同一又は同様部分に図３におけるものと同一符号を付することで説明は省略する。
【００４５】
次に、本発明の実施の形態の第８例に係る部品搭載ヘッド１０Ｇについて説明する。
【００４６】
前記部品搭載ヘッド１０Ｇは、図８に示されるように、Ｚ軸モータ１６の回動動力を上下方向動力に変換する変換機構として、ラックとピニオンが備えられている。詳細には、スプラインシャフト１４の中央部近傍にＺ軸動力伝達部材１８と同一形状の補助部材１８Ａが回動自在に設けられている。ラック８０は、その両端部において、前記Ｚ軸動力伝達部材１８と補助部材１８Ａにより固定支持され、鉛直方向に配設される。前記ラック８０と係合するピニオン８２は、第３リブ３２によって回動自在に支持されている。前記ラック８０の鋸歯状面反対側に接するサポートロール８８も第３リブ３２に設けられており、前記ピニオン８２とサポートロール８８でラック８０を挟持する構造とすることで、前記係合状態を維持するようにされている。
【００４７】
前記ピニオン８２は、その端面に同軸的にかさ歯車８４Ａを備えており、それと噛み合う水平方向のかさ歯車８４Ｂは、同軸的に連結されるＺ軸シャフト８６とＺ軸カップリング３４を介してＺ軸モータ１６の出力軸１６Ａに連結させられる為、Ｚ軸モータ１６により回動駆動させられる。その結果、前記ラック８０とピニオン８２を介して、スプラインシャフト１４が上下方向に移動させられる。なお、前記部品搭載ヘッド１０Ｇの他の構成等については、図４に示す前記実施の形態の第４例に係る部品搭載ヘッド１０Ｃとほぼ同様であるので、同一又は同様部分に図４におけるものと同一符号を付することで説明は省略する。
【００４８】
本発明に係る部品搭載ヘッドに備えられる前記動力変換機構は、前記実施の形態の例に限定されるものではなく、その他のあらゆる変換手段を用いることができる。
【００４９】
又、前記実施の形態の第６例及び第７例の部品搭載ヘッド１０Ｅ、１０Ｆは、前記動力変換機構の一例を示したものであり、その他のθ軸モータ、θ軸エンコーダの配置はこれらに限定されるものでなく、実施の形態の第１例〜第５例等に示されるあらゆる配置をとることが可能である。
【００５０】
更に、本発明に係る部品搭載ヘッドは、ブラケットの下端近傍一体的に設けられた第１リブによりスプラインシャフトを支持することで軸ぶれを防止し、なおかつ、前記第１リブ上方近傍の第２リブにＺ軸モータを配設して重心を低く抑えることを特徴としている。従って、θ軸モータ、θ軸エンコーダの配置、ブラケットの構造等は、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【００５１】
【発明の効果】
本発明によれば、部品搭載ヘッドの低重心化により、部品搭載ヘッドが加速度を受ける際のモーメントの軽減による吸着ノズル変位の軽減や、部品搭載ヘッドが停止する際のダンピングの減少が図られ、又、高速・高精度での部品搭載作業が可能となる、低コストな部品搭載ヘッドを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の第１例に係る部品搭載ヘッドを示す斜視図
【図２】本発明の実施の形態の第２例に係る部品搭載ヘッドを示す斜視図
【図３】本発明の実施の形態の第３例に係る部品搭載ヘッドを示す斜視図
【図４】本発明の実施の形態の第４例に係る部品搭載ヘッドを示す斜視図
【図５】本発明の実施の形態の第５例に係る部品搭載ヘッドを示す斜視図
【図６】本発明の実施の形態の第６例に係る部品搭載ヘッドを示す斜視図
【図７】本発明の実施の形態の第７例に係る部品搭載ヘッドを示す斜視図
【図８】本発明の実施の形態の第８例に係る部品搭載ヘッドを示す斜視図
【図９】従来の部品搭載装置を示す斜視図
【図１０】従来の部品搭載ヘッドを示す斜視図
【符号の説明】
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、１０Ｅ、１０Ｆ、１０Ｇ…部品搭載ヘッド
１６…Ｚ軸モータ
１８…Ｚ軸動力伝達部材
２０…θ軸モータ
２４…θ軸エンコーダ
２６…ブラケット
２８…第１リブ
３０…第２リブ
３２…第３リブ
【図１】
0004230602.tif 000002
【図２】
0004230602.tif 000003
【図３】
0004230602.tif 000004
【図４】
0004230602.tif 000005
【図５】
0004230602.tif 000006
【図６】
0004230602.tif 000007
【図７】
0004230602.tif 000008
【図８】
0004230602.tif 000009
【図９】
0004230602.tif 000010
【図１０】
0004230602.tif 000011