(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のバスラインのうち４本で構成されたグループ毎のバスラインの一端に絶縁膜を介してそれぞれ交差して形成された２本の第１のリペア配線と、前記第１のリペア配線の各々の両端に１本ずつ絶縁膜を介して交差して形成された第２のリペア配線と、前記バスラインの他端に絶縁膜を介してそれぞれ交差して形成された２本の第３のリペア配線と、前記第３のリペア配線の両端に絶縁膜を介して交差して形成された４本の第４のリペア配線とを備え、前記第４のリペア配線は全ての前記第３のリペア配線と交差して形成された液晶表示装置用基板の断線欠陥が生じた断線バスラインを欠陥修復装置を用いて修復する欠陥修復方法において、
前記欠陥修復装置は、少なくとも、制御部と、該制御部に接続されている記憶部と、レーザ発振器とを有し、
前記記憶部には、前記グループにおける、前記バスラインの一端と前記第１のリペア配線のいずれかとの組合せと、前記いずれかの第１のリペア配線とその両端で交差する前記第２のリペア配線のいずれかとの組合せと、前記バスラインの他端と前記第３のリペア配線のいずれかとの組合せと、前記いずれかの第３のリペア配線とその両端で交差するいずれかの前記第４のリペア配線の２つの交差点のうちのいずれかとの組合せとからなる接続組合せがそれぞれ異なるパターン番号１乃至４の４つのパターンが規定された接続組合せ決定用テーブルが格納されており、
前記制御部が、前記断線バスラインの位置情報に基づいて、前記断線バスラインの一つを抽出する第１の工程と、
前記制御部が、前記接続組合せ決定用テーブルを参照して、前記抽出された断線バスライン用のパターンをパターン番号順に決定する第２の工程と、
前記制御部が、他の断線バスラインがあるかどうかを判断し、他の断線バスラインがあれば第４の工程に進み、他の断線バスラインがなければ第５の工程に進む第３の工程と、
前記制御部が、前記他の断線バスラインについて前記第１乃至第３の工程を行い、前記他の断線バスライン用のパターンを順に次の番号のパターンに決定する第４の工程と、
前記制御部が、各グループ内の断線バスラインの数をカウントし、グループ内の断線バスラインの数が３であれば、一方の前記第１のリペア配線を切断する第１のカッティングポイントと、一方の前記第３のリペア配線を切断する第２のカッティングポイントとを決定し、グループ内の断線バスラインの数が４であれば、両方の前記第１のリペア配線を切断する第３のカッティングポイントと、両方の前記第３のリペア配線を切断する第４のカッティングポイントとを決定する第５の工程と、
前記レーザ発振器で、前記断線バスラインのそれぞれに対し、決定されたパターン番号に基づいて特定される接続位置にレーザ光を照射して配線を接続し、前記カッティングポイントに基づいて特定される切断位置にレーザ光を照射して配線を切断する第６の工程と
を有することを特徴とする欠陥修復方法。
【請求項２】
複数のバスラインのうち４本で構成されたグループ毎のバスラインの一端に絶縁膜を介してそれぞれ交差して形成された２本の第１のリペア配線と、前記第１のリペア配線の各々の両端に１本ずつ絶縁膜を介して交差して形成された第２のリペア配線と、前記バスラインの他端に絶縁膜を介してそれぞれ交差して形成された２本の第３のリペア配線と、前記第３のリペア配線の両端に絶縁膜を介して交差して形成された４本の第４のリペア配線とを備え、前記第４のリペア配線は全ての前記第３のリペア配線と交差して形成された液晶表示装置用基板の断線欠陥が生じた断線バスラインを修復する欠陥修復装置において、
前記断線バスラインの位置情報が入力される入力部と、
前記グループにおける、前記バスラインの一端と前記第１のリペア配線のいずれかとの組合せと、前記いずれかの第１のリペア配線とその両端で交差する前記第２のリペア配線のいずれかとの組合せと、前記バスラインの他端と前記第３のリペア配線のいずれかとの組合せと、前記いずれかの第３のリペア配線とその両端で交差するいずれかの前記第４のリペア配線の２つの交差点のうちのいずれかとの組合せとからなる接続組合せがそれぞれ異なるパターン番号１乃至４の４つのパターンが規定された接続組合せ決定用テーブルが格納された記憶部と、
前記断線バスラインの位置情報に基づいて前記断線バスラインの一つを抽出し、前記接続組合せ決定用テーブルを参照して前記抽出された断線バスライン用のパターンをパターン番号順に決定し、他の断線バスラインがあれば同様にして前記他の断線バスライン用のパターンを順に次の番号のパターンに決定し、前記グループ内の前記断線バスラインの数が３であれば、当該グループ内の２本の前記第１のリペア配線の一方を切断する第１のカッティングポイントと、２本の前記第３のリペア配線の一方を切断する第２のカッティングポイントとを決定し、前記グループ内の前記断線バスラインの数が４であれば、両方の前記第１のリペア配線を切断する第３のカッティングポイントと、両方の前記第３のリペア配線を切断する第４のカッティングポイントとを決定する制御部と、
前記断線バスラインのそれぞれに対し、決定されたパターン番号に基づいて特定される接続位置に前記液晶表示装置用基板を移動させてレーザ光を照射して配線を接続し、前記カッティングポイントに基づいて特定される切断位置にレーザ光を照射して配線を切断するレーザ光照射部と
を有することを特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修復装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報機器等の表示装置に用いられる液晶表示装置用基板の欠陥修復方法及びそれに用いられる欠陥修復装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、画素毎にスイッチング素子を備えたアクティブマトリクス型液晶表示装置が広く使用されている。一般的なアクティブマトリクス型液晶表示装置は、２枚の透明基板と、両基板間に封止された液晶とを有している。一方の透明基板は、相互に対向する面（対向面）に、共通電極、カラーフィルタ（ＣＦ）及び配向膜等が形成されたＣＦ基板である。他方の透明基板は、スイッチング素子として用いられる薄膜トランジスタ（ＴＦＴ；Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）、画素電極及び配向膜等が対向面に形成されたＴＦＴ基板である。ＴＦＴ基板には、複数のゲートバスラインと、絶縁膜（ゲート絶縁膜）を介してゲートバスラインに交差する複数のドレインバスラインとが設けられている。なお、各バスラインの交差位置近傍には、ドレイン電極がドレインバスラインに接続されるＴＦＴが形成されている。ＴＦＴのソース電極は、各画素領域に配置される画素電極に接続される。両基板の対向面と反対側の面には、各々偏光板が貼り付けられている。
【０００３】
ところで、液晶表示装置において製造コストの低減は重要な課題である。製造コスト低減には、まず製造歩留まりの向上が強く望まれる。液晶表示装置の製造歩留まりを低下させる原因の一つに、ＴＦＴ基板上に形成されたバスラインなどの配線パターンに生じる断線欠陥がある。従来から、ＴＦＴ基板にはリペア配線が設けられている。バスラインに断線欠陥が発生した場合には、リペア配線を使用して断線欠陥が修復される。これにより液晶表示装置の表示不良を救済し、製造歩留まりを向上させている。
【０００４】
図５は、従来のＴＦＴ基板の構成を示している。図５に示すように、ＴＦＴ基板２上には、図中左右方向に延びる複数のゲートバスライン１０（図５では４本示している）が形成されている。不図示の絶縁膜を介してゲートバスライン１０に交差して、図中上下方向に延びる複数のドレインバスライン１２（図５では１２本示している）が形成されている。ゲートバスライン１０は破線内の表示領域Ａの外側の額縁領域Ｂまで延びており、一端に配置された複数の外部接続端子１６にそれぞれ接続されている。同様にドレインバスライン１２は額縁領域Ｂまで延びており、一端に配置された複数の外部接続端子１４にそれぞれ接続されている。
【０００５】
ドレインバスライン１２は、所定本数毎にグループ分けされている。ドレインバスライン１２の一端側（外部接続端子１４側）の額縁領域Ｂには、ゲートバスライン１０と同一層で形成されたリペア配線１８が配置されている。リペア配線１８は、各グループ毎のドレインバスライン１２に絶縁膜を介して交差している。なお、本明細書中で「交差」とは、配線同士の少なくとも一部に、基板面に垂直方向に見て互いに重なっている重なり領域が形成されていることをいう。リペア配線１８の一端は、外部接続端子２０に接続されている。また、ドレインバスライン１２の他端側の額縁領域Ｂには、ゲートバスライン１０と同一層で形成されたリペア配線２２がドレインバスライン１２のグループ毎に配置されている。リペア配線２２は、各グループ毎のドレインバスライン１２に絶縁膜を介して交差している。リペア配線２２の一端は外部接続端子２４に接続されている。
【０００６】
このような構成を有するＴＦＴ基板２において、断線が生じた断線欠陥部２６を有する断線ドレインバスライン１２’を修復する方法について説明する。断線ドレインバスライン１２’とリペア配線１８’とが絶縁膜を介して交差する交差位置（クロスポイント）と、断線ドレインバスライン１２’とリペア配線２２’とが絶縁膜を介して交差する交差位置とにレーザ光を照射して、断線ドレインバスライン１２’と２本のリペア配線１８’、２２’とを電気的に接続する。リペア配線１８’に接続された外部接続端子２０’と、リペア配線２２’に接続された外部接続端子２４’とは、不図示の周辺回路を介して接続される。これにより、断線ドレインバスライン１２’全体に階調信号が供給されるようになり、断線欠陥による液晶表示装置の表示不良が防止される。
【０００７】
しかしながら、近年の狭額縁化の要求により額縁領域Ｂに形成できるリペア配線１８、２２の本数には設計上の制限がある。このため、上記の従来のＴＦＴ基板２では、１本のリペア配線１８、２２に交差するドレインバスライン１２の本数が多くなり、リペア配線１８、２２とドレインバスライン１２との交差位置で生じる付加容量が大きくなってしまう。これにより、信号の遅延及び信号波形の鈍りが生じてしまう。また、上記の構成では、グループ内では１本のドレインバスライン１２しか修復することができない。
【０００８】
上記の問題を解決するために、図６に示すようなリペア配線構成を有するＴＦＴ基板２がある。図６に示すように、ＴＦＴ基板２上には、複数のゲートバスライン１０と、ゲートバスライン１０に絶縁膜を介して交差する複数のドレインバスライン１２とが配置されている。ゲートバスライン１０は額縁領域Ｂまで延びており、外部接続端子１６に接続されている。同様に、ドレインバスライン１２は額縁領域Ｂまで延びており、外部接続端子１４に接続されている。ドレインバスライン１２は、所定本数毎にｋ個（図６では３個）のグループにグループ分けされている。
【０００９】
ドレインバスライン１２の一端側（外部接続端子１４側）の額縁領域Ｂには、ゲートバスライン１０と同一層で形成されたｎ本（例えば２本）の第１のリペア配線３２ａ、３２ｂがグループ毎に配置されている。２本の第１のリペア配線３２ａ、３２ｂは、グループ毎のドレインバスライン１２に絶縁膜を介して交差している。第１のリペア配線３２ａ、３２ｂの両端には、ドレインバスライン１２と同一層で形成されたｍ本（本例では２×ｎ本（＝４本））の第２のリペア配線３４ａ〜３４ｄがグループ毎に配置されている。第１のリペア配線３２ａの一端は、第２のリペア配線３４ａの一端に絶縁膜を介して交差している。第１のリペア配線３２ａの他端は、第２のリペア配線３４ｄの一端に絶縁膜を介して交差している。第１のリペア配線３２ｂの一端は、第２のリペア配線３４ｂの一端に絶縁膜を介して交差している。第１のリペア配線３２ｂの他端は、第２のリペア配線３４ｃの一端に絶縁膜を介して交差している。第２のリペア配線３４ａ〜３４ｄの他端は、外部接続端子３６ａ〜３６ｄにそれぞれ接続されている。
【００１０】
また、ドレインバスライン１２の他端側の額縁領域Ｂには、ゲートバスライン１０と同一層で形成されたｎ本（２本）の第３のリペア配線３３ａ、３３ｂがグループ毎に配置されている。第３のリペア配線３３ａ、３３ｂは、グループ毎のドレインバスライン１２に絶縁膜を介して交差している。第３のリペア配線３３ａ、３３ｂは、基板面に垂直方向に見て「コ」の字状に形成されている。第３のリペア配線３３ａ、３３ｂの両端は、ドレインバスライン１２と同一層で形成された２×ｎ本（４本）の第４のリペア配線３５ａ〜３５ｄに絶縁膜を介して交差している。第４のリペア配線３５ａ〜３５ｄの一端は、外部接続端子３７ａ〜３７ｄにそれぞれ接続されている。
【００１１】
上記の構成では、グループ毎のドレインバスライン１２の本数を減少させることにより、第１のリペア配線３３ａ、３３ｂと交差するドレインバスライン１２の本数が減少し、付加容量も減少する。
【００１２】
このような構成を有するＴＦＴ基板２において、断線が生じた断線欠陥部２６を有する断線ドレインバスライン１２’を修復する方法について説明する。この場合、以下のような（１）〜（４）の４通りの欠陥修復方法が存在する。
【００１３】
（１）断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３２ａとが絶縁膜を介して交差する第１の交差位置ｗ１にレーザ光を照射して、断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３２ａとを電気的に接続する。リペア配線３２ａとリペア配線３４ａとが絶縁膜を介して交差する第２の交差位置ｘ１にレーザ光を照射して、リペア配線３２ａとリペア配線３４ａとを電気的に接続する。断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３３ａとが絶縁膜を介して交差する第３の交差位置ｙ１にレーザ光を照射して、断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３３ａとを電気的に接続する。リペア配線３３ａとリペア配線３５ａとが絶縁膜を介して交差する第４の交差位置ｚ１にレーザ光を照射して、リペア配線３３ａとリペア配線３５ａとを電気的に接続する。この場合、第１乃至第４の交差位置ｗ１、ｘ１、ｙ１、ｚ１がそれぞれ第１乃至第４の接続位置になる。リペア配線３４ａに接続された外部接続端子３６ａと、リペア配線３５ａに接続された外部接続端子３７ａとは、不図示の周辺回路を介して接続される。これにより、断線ドレインバスライン１２’全体に階調信号が供給されるようになり、断線欠陥による液晶表示装置の表示不良が防止される。
【００１４】
（２）断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３２ｂとが絶縁膜を介して交差する第１の交差位置ｗ２にレーザ光を照射して、断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３２ｂとを電気的に接続する。リペア配線３２ｂとリペア配線３４ｂとが絶縁膜を介して交差する第２の交差位置ｘ２にレーザ光を照射して、リペア配線３２ｂとリペア配線３４ｂとを電気的に接続する。断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３３ｂとが絶縁膜を介して交差する第３の交差位置ｙ２にレーザ光を照射して、断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３３ｂとを電気的に接続する。リペア配線３３ｂとリペア配線３５ｂとが絶縁膜を介して交差する第４の交差位置ｚ２にレーザ光を照射して、リペア配線３３ｂとリペア配線３５ｂとを電気的に接続する。この場合、第１乃至第４の交差位置ｗ２、ｘ２、ｙ２、ｚ２がそれぞれ第１乃至第４の接続位置になる。リペア配線３４ｂに接続された外部接続端子３６ｂと、リペア配線３５ｂに接続された外部接続端子３７ｂとは、不図示の周辺回路を介して接続される。これにより、断線ドレインバスライン１２’全体に階調信号が供給されるようになり、断線欠陥による液晶表示装置の表示不良が防止される。
【００１５】
（３）断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３２ｂとが絶縁膜を介して交差する第１の交差位置ｗ２にレーザ光を照射して、断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３２ｂとを電気的に接続する。リペア配線３２ｂとリペア配線３４ｃとが絶縁膜を介して交差する第２の交差位置ｘ３にレーザ光を照射して、リペア配線３２ｂとリペア配線３４ｃとを電気的に接続する。断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３３ｂとが絶縁膜を介して交差する第３の交差位置ｙ２にレーザ光を照射して、断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３３ｂとを電気的に接続する。リペア配線３３ｂとリペア配線３５ｃとが絶縁膜を介して交差する第４の交差位置ｚ３にレーザ光を照射して、リペア配線３３ｂとリペア配線３５ｃとを電気的に接続する。この場合、第１乃至第４の交差位置ｗ２、ｘ３、ｙ２、ｚ３がそれぞれ第１乃至第４の接続位置になる。リペア配線３４ｃに接続された外部接続端子３６ｃと、リペア配線３５ｃに接続された外部接続端子３７ｃとは、不図示の周辺回路を介して接続される。これにより、断線ドレインバスライン１２’全体に階調信号が供給されるようになり、断線欠陥による液晶表示装置の表示不良が防止される。
【００１６】
（４）断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３２ａとが絶縁膜を介して交差する第１の交差位置ｗ１にレーザ光を照射して、断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３２ａとを電気的に接続する。リペア配線３２ａとリペア配線３４ｄとが絶縁膜を介して交差する第２の交差位置ｘ４にレーザ光を照射して、リペア配線３２ａとリペア配線３４ｄとを電気的に接続する。断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３３ａとが絶縁膜を介して交差する第３の交差位置ｙ１にレーザ光を照射して、断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３３ａとを電気的に接続する。リペア配線３３ａとリペア配線３５ｄとが絶縁膜を介して交差する第４の交差位置ｚ４にレーザ光を照射して、リペア配線３３ａとリペア配線３５ｄとを電気的に接続する。この場合、第１乃至第４の交差位置ｗ１、ｘ４、ｙ１、ｚ４がそれぞれ第１乃至第４の接続位置になる。リペア配線３４ｄに接続された外部接続端子３６ｄと、リペア配線３５ｄに接続された外部接続端子３７ｄとは、不図示の周辺回路を介して接続される。これにより、断線ドレインバスライン１２’全体に階調信号が供給されるようになり、断線欠陥による液晶表示装置の表示不良が防止される。
【００１７】
以上のような４通りの欠陥修復方法を組み合わせて用い、さらに適切な切断位置（カッティングポイント）でリペア配線３２ａ、３２ｂ、３３ａ、３３ｂを切断することにより、互いに同一グループ内であっても４本の断線ドレインバスライン１２’を修復できる。
【００１８】
また、付加容量を低減する方法の１つとして、不用なリペア配線を切除する方法がある。上記の欠陥修復方法（４）の場合、リペア配線３２ａの交差位置ｗ１より交差位置ｘ１側と、リペア配線３３ａの交差位置ｙ１より交差位置ｚ１側とを切断位置として、リペア配線３２ａ、３３ａをレーザ光により切断する。これにより、リペア配線３２ａ、３３ａとドレインバスライン１２との交差部の個数を減少させることができ、付加容量を低減することができる。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
上記構成のＴＦＴ基板２では、断線ドレインバスライン１２’を修復する際に、レーザ光を照射する交差位置を適切に選択する必要がある。また、リペア配線３２ａ、３２ｂ、３３ａ、３３ｂをレーザ光により切断する際に、切断位置を適切に選択する必要がある。しかし、これらの選択は作業者の判断により行われるため、選択ミスが生じてしまうおそれがある。選択ミスによりレーザ光の照射位置を誤ってしまいＴＦＴ基板２の修復が不可能になると、製造歩留まりが低下してしまうという問題が生じる。
【００２０】
本発明の目的は、バスラインの断線欠陥の修復作業を容易にすることにより、作業工数の低減及び作業負担の軽減を実現し、それに伴い製造歩留まりが向上して製造コストが低減される液晶表示装置用基板の欠陥修復方法及びそれに用いられる欠陥修復装置を提供することにある。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、複数のバスラインのうち所定本数で構成されたグループ毎のバスラインに絶縁膜を介してそれぞれ交差して形成されたｎ本の第１のリペア配線と、前記第１のリペア配線に絶縁膜を介して交差して形成されたｍ本の第２のリペア配線とを備えた液晶表示装置用基板の断線欠陥が生じた断線バスラインを修復する欠陥修復方法において、前記断線バスラインの位置情報に基づいて、前記断線バスラインと前記第１のリペア配線とを接続する第１の接続位置と、前記第１のリペア配線と前記第２のリペア配線とを接続する第２の接続位置とからなる接続組合せを決定することを特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修復方法によって達成される。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態による液晶表示装置用基板の欠陥修復方法及びそれに用いられる欠陥修復装置について図１乃至図４を用いて説明する。図１は、液晶表示装置用基板の欠陥修復装置の概略構成を示すブロック図である。欠陥修復装置は、ＴＦＴ基板２にレーザ光を照射するレーザ光照射部を有している。レーザ光照射部は、所定の照射波長のレーザ光を発振するレーザ発振器６２を有している。レーザ光の照射方向には、レーザパワー調整用フィルタ６４と、レーザ光のスポット形状を調整する加工形状変更用スリット６６と、対物レンズ６８とがこの順に配置されている。
【００２３】
また、レーザ光照射部は、ＴＦＴ基板２が載置され、基板面方向に移動可能なステージ６０を有している。ステージ６０には、ＴＦＴ基板２の概略の位置決めを行う突当て７２が取り付けられている。ステージ６０の上方には、ＴＦＴ基板２の位置補正用マークを読み取るための位置補正用マーク読取りカメラ７０が配置されている。また、図示していないが、ステージ６０の上方には、作業者がＴＦＴ基板２の状態を観察するための基板観察用カメラが配置されている。
【００２４】
また、欠陥修復装置は、作業者が所定の情報を入力する入力部５２を有している。入力部５２は、キーボード、マウス、ステージ移動用コントローラ、及びレーザ発振スイッチ等で構成されている。入力部５２は、制御部５０に接続されている。制御部５０には、表示部５６が接続されている。表示部５６はＣＲＴ等の表示装置で構成され、所定の情報を表示するようになっている。
【００２５】
制御部５０には、記憶部５４が接続されている。記憶部５４には、ステージ６０の絶対位置と、ＴＦＴ基板２の位置補正用マークの位置とから、ステージ６０の絶対位置に対するＴＦＴ基板２の相対位置を算出するプログラムが格納されている。また記憶部５４には、ＴＦＴ基板２上に配置されたゲートバスライン１０とドレインバスライン１２とで形成されたマトリクスにおいて、各ゲートバスライン１０及び各ドレインバスライン１２にそれぞれ付されたバスライン番号で記述されたマトリクス上の座標をステージ６０上の絶対座標に変換するプログラムが格納されている。さらに記憶部５４には、後述する接続組合せ決定用テーブルや、切断組合せ決定用テーブル等が格納されている。
【００２６】
また、記憶部５４には、任意のドレインバスライン１２に対して交差位置及び切断位置を特定する位置データ（計算式を含む）が格納されている。さらに、ドレインバスライン番号と交差位置及び切断位置とに基づいて必要なリペア配線を特定できるプログラムや、ドレインバスライン番号とリペア配線の情報とに基づいて交差位置及び切断位置とを特定できるプログラムが格納されている。
【００２７】
次に、本実施の形態による液晶表示装置用基板の欠陥修復方法について図２乃至図４を用い、さらに図６を参照しつつ説明する。本実施の形態による欠陥修復方法の前提として、欠陥検査工程において、ＴＦＴ基板２にはいくつかの断線ドレインバスライン１２’が検出されているものとする。まず、ステージ６０上にＴＦＴ基板２を載置する。ＴＦＴ基板２の２辺を突当て７２に接触させることにより、ほぼ所定の位置に載置できる。次に、ＴＦＴ基板２上に配置された複数の位置補正用マークを位置補正用マーク読取りカメラ７０で読み込む。このとき、ステージ６０の移動軸と、ＴＦＴ基板２上のゲートバスライン１０及びドレインバスライン１２の延伸方向とが平行になるように、ステージ６０の絶対位置と、読み取った位置補正用マーク位置とを利用して、ステージ６０に対するＴＦＴ基板２の相対位置を補正する。
【００２８】
次に、例えば作業者は、前工程で取得された断線欠陥部２６の位置情報のうちドレインバスライン座標（ドレインバスライン番号）情報を入力部５２から入力する。ドレインバスライン番号は、例えば図６の左端のドレインバスライン１２から順に付されており、例えば１から３８４０までである。制御部５０は、入力されたドレインバスライン番号を記憶部５４に一時的に格納する。断線欠陥部２６の位置情報は、欠陥検査工程で用いられた欠陥検査装置から直接入力されるようにしてもよい。
【００２９】
次に制御部５０は、ドレインバスライン番号を記憶部５４から読み出し、断線ドレインバスライン１２’の本数Ｌ１を算出する。次に制御部５０は、断線ドレインバスライン１２’の本数Ｌ１と、第４のリペア配線３５ａ〜３５ｄ（又は各グループ内での第２のリペア配線３４ａ〜３４ｄ）の本数ｍ（本例ではｍ＝４）とを比較し、Ｌ１＞ｍであれば、欠陥修復不可である旨を表示部５６に出力する。次に制御部５０は、各断線ドレインバスライン１２’毎の接続組合せを以下のように決定する。ここで、接続組合せは、断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３２ａ、３２ｂのいずれかとの接続位置と、リペア配線３２ａ、３２ｂのいずれかとリペア配線３４ａ〜３４ｄのいずれか１つとの接続位置と、断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３３ａ、３３ｂのいずれかとの接続位置と、リペア配線３３ａ、３３ｂのいずれかとリペア配線３５ａ〜３５ｄのいずれか１つとの接続位置との組合せにより構成される。
【００３０】
図２は、本実施の形態による液晶表示装置用基板の欠陥修復方法を示すフローチャートである。図３は、記憶部５４に格納されている接続組合せ決定用テーブルの一例を示している。図３に示すように、接続組合せ決定用テーブルでは、接続組合せのパターン番号が特定されると、欠陥修復に使用するリペア配線の組合せ及び接続位置が一意に決定されるようになっている。例えば接続組合せがパターン１であれば、リペア配線３２ａ、３４ａ、３３ａ、３５ａを接続位置ｗ１、ｘ１、ｙ１、ｚ１で接続させて断線欠陥が修復されるようになる。断線ドレインバスライン１２’が特定されれば、各接続位置ｗ１、ｘ１、ｙ１、ｚ１の座標が決定される。
【００３１】
図２に示すように、まず制御部５０は、断線ドレインバスライン１２’のうち、ドレインバスライン番号の最も小さい断線ドレインバスライン１２’を抽出する（ステップＳ１）。次に制御部５０は、抽出された断線ドレインバスライン１２’の接続組合せを図３に示すパターン１に決定する（ステップＳ２）。次に、他の断線ドレインバスライン１２’があれば（ステップＳ３）、ステップＳ１に戻り、パターン２〜４をこの順に決定する。他の断線ドレインバスライン１２’がなければステップＳ４に進む。これにより、全ての断線ドレインバスライン１２’の接続組合せが決定される。
【００３２】
次に制御部５０は、ｋ個に分割された各グループの断線ドレインバスライン１２’の本数Ｌ２（Ｌ２（１）〜Ｌ２（ｋ））を順に算出する（ステップＳ５）。制御部５０は、断線ドレインバスライン１２’のグループ内の本数Ｌ２を第１のリペア配線ｎ（本例ではｎ＝２）と比較し（ステップＳ６）、Ｌ２≦ｎであればステップ８に進む。Ｌ２＞ｎであればステップＳ７に進み、グループ毎に切断組合せを決定する。切断組合せは、第１のリペア配線３２ａ、３２ｂ及び第３のリペア配線３３ａ、３３ｂを切断する切断位置の組合せにより構成される。
【００３３】
図４は、記憶部５４に格納されている切断組合せ決定用テーブルの一例を示している。図４に示すように、切断組合せ決定用テーブルでは、断線ドレインバスライン１２’のグループ内の本数Ｌ２に基づき、切断の必要なリペア配線が特定されるようになっている（図４のテーブル内ではリペア配線の符号を示している）。例えばＬ２＝３であれば、第１のリペア配線３２ｂ及び第３のリペア配線３３ｂの切断が必要になる。第１のリペア配線３２ｂを切断する第１の切断位置は、３本の断線ドレインバスライン１２’のうち、バスライン番号の小さい方から２番目及び３番目の断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３２ｂとの交差位置の間の略中間位置になる。第３のリペア配線３３ｂを切断する第２の切断位置は、同様にバスライン番号の小さい方から２番目及び３番目の断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３３ｂとの交差位置の間の略中間位置になる。上記の略中間位置が他のドレインバスライン１２とリペア配線３２ｂ、３３ｂとの交差位置である場合には、例えば当該略中間位置から所定距離だけ上記の２番目の断線ドレインバスライン１２’側に移動させた位置を切断位置にする。また例えばＬ２＝４であれば、第１のリペア配線３２ａ、３２ｂ及び第３のリペア配線３３ａ、３３ｂの切断が必要になる。
【００３４】
次に制御部５０は、他のグループについても同様に切断組合せを決定する（ステップＳ８）。ｋ個のグループの切断組合せを決定したらステップＳ９に進む。これにより、全ての断線ドレインバスライン１２’の切断組合せが決定される。
【００３５】
次に制御部５０は、決定された接続組合せ及び切断組合せに基づいて、それぞれの接続位置及び切断位置からステージ６０上の絶対座標に変換する。次に制御部５０は、所定の絶対座標情報を出力してステージ６０を移動させ、レーザ光の照射位置を相対的にＴＦＴ基板２上の所定の位置に移動させる。例えば、断線ドレインバスライン１２’を修復するために必要な接続位置が４つある場合、制御部５０はステージ６０を移動させてレーザ光の照射位置を第１の接続位置に移動させ、停止させる。なお、作業者が、ＴＦＴ基板２の断線欠陥部２６を基板観察用カメラで観察しながら、ステージ移動用コントローラを用いてステージ６０を移動させ、レーザ光の照射位置を第１の接続位置に配置させてもよい。ステージ６０が停止すると、制御部５０はレーザ光照射信号をレーザ発振器６２に出力し、レーザ光を第１の接続位置に照射させる。次に制御部５０は、ステージ６０を移動させてレーザ光の照射位置を第２の接続位置に移動させ、停止させる。次に制御部５０は、レーザ光照射信号をレーザ発振器６２に出力し、レーザ光を第２の接続位置に照射させる。その後同様に、制御部５０はレーザ光の照射位置を第３及び第４の接続位置に順次移動させ、レーザ光を照射させる。
【００３６】
以下のように、作業者がレーザ発振スイッチ等を用いてレーザ発振器６２にレーザ光を照射させるようにしてもよい。作業者は、キーボード等を用いてレーザ光のスポット形状の情報を入力する。制御部５０は、入力されたレーザ光のスポット形状の情報に基づいて、加工形状変更用スリット６６を動作させる。次に作業者は、キーボード等を用いてレーザ光の照射強度を入力する。制御部５０は、入力されたレーザ光の照射強度の情報に基づき、レーザパワー調整用フィルタ６４を動作させる。次に作業者は、レーザ発振信号をレーザ発振スイッチを用いて入力する。レーザ発振信号を入力した制御部５０は、レーザ発振器６２に所定の信号を出力しレーザ光を照射させる。次に、作業者が例えばキーボードの所定のキーを入力することにより、制御部５０はステージ６０を移動させてレーザ光の照射位置を次の接続位置に移動させ、停止させる。その後同様に、作業者の所定のキー入力等に基づき、制御部５０はレーザ光の照射位置を所定の接続位置に順次移動させ、レーザ光を照射させる。
【００３７】
以上の工程を経て、ＴＦＴ基板２上の断線ドレインバスライン１２’が修復される。なお、付加容量を低減するために、不用なリペア配線を切除する工程を加えてもよい。
【００３８】
本実施の形態によれば、制御部５０により接続位置及び切断位置が選択されるため、作業者の判断を必要としない。このため、作業者による選択ミスが生じることがない。その結果、ＴＦＴ基板２を容易かつ確実に修復できるようになる。
【００３９】
本発明は、上記実施の形態に限らず種々の変形が可能である。
例えば、上記実施の形態では、ドレインバスライン番号に基づいて接続組合せ及び切断組合せが決定されているが、本発明はこれに限らず、優先的に使用するリペア配線等の情報に基づいて接続組合せ及び切断組合せを決定してもよい。
【００４０】
また、上記実施の形態では、ドレインバスライン番号の小さい断線ドレインバスライン１２’から昇順に接続組合せが決定されているが、本発明はこれに限らず、ドレインバスライン番号の大きい断線ドレインバスライン１２’から降順に接続組合せを決定してもよい。
【００４１】
以上説明した実施の形態による液晶表示装置用基板の欠陥修復方法及びそれに用いられる欠陥修復装置は、以下のようにまとめられる。
（付記１）
複数のバスラインのうち所定本数で構成されたグループ毎のバスラインに絶縁膜を介してそれぞれ交差して形成されたｎ本の第１のリペア配線と、前記第１のリペア配線に絶縁膜を介して交差して形成されたｍ本の第２のリペア配線とを備えた液晶表示装置用基板の断線欠陥が生じた断線バスラインを修復する欠陥修復方法において、
前記断線バスラインの位置情報に基づいて、前記断線バスラインと前記第１のリペア配線とを接続する第１の接続位置と、前記第１のリペア配線と前記第２のリペア配線とを接続する第２の接続位置とからなる接続組合せを決定すること
を特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修復方法。
【００４２】
（付記２）
付記１記載の液晶表示装置用基板の欠陥修復方法において、
前記位置情報に基づいて、前記第１のリペア配線を切断する第１の切断位置からなる切断組合せを前記グループ毎にさらに決定すること
を特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修復方法。
【００４３】
（付記３）
複数のバスラインのうち所定本数で構成されたグループ毎のバスラインの一端に絶縁膜を介してそれぞれ交差して形成されたｎ本の第１のリペア配線と、前記第１のリペア配線に絶縁膜を介して交差して形成されたｍ本の第２のリペア配線と、前記バスラインの他端に絶縁膜を介してそれぞれ交差して形成されたｎ本の第３のリペア配線と、前記第３のリペア配線に絶縁膜を介して交差して形成されたｍ本の第４のリペア配線とを備えた液晶表示装置用基板の断線欠陥が生じた断線バスラインを修復する欠陥修復方法において、
前記断線バスラインの位置情報に基づいて、前記断線バスラインの一端と前記第１のリペア配線とを接続する第１の接続位置と、前記第１のリペア配線と前記第２のリペア配線とを接続する第２の接続位置と、前記断線バスラインの他端と前記第３のリペア配線とを接続する第３の接続位置と、前記第３のリペア配線と前記第４のリペア配線とを接続する第４の接続位置とからなる接続組合せを決定すること
を特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修復方法。
【００４４】
（付記４）
付記３記載の液晶表示装置用基板の欠陥修復方法において、
前記位置情報に基づいて、前記第１のリペア配線を切断する第１の切断位置と、前記第３のリペア配線を切断する第２の切断位置とからなる切断組合せを前記グループ毎にさらに決定すること
を特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修復方法。
【００４５】
（付記５）
付記２又は４に記載の液晶表示装置用基板の欠陥修復方法において、
前記切断組合せは、前記断線バスラインの本数が前記グループ内でｎ本より多いときに決定されること
を特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修復方法。
【００４６】
（付記６）
付記１乃至５のいずれか１項に記載の液晶表示装置用基板の欠陥修復方法において、
前記位置情報は、前記バスライン毎に付与されたバスライン番号であること
を特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修復方法。
【００４７】
（付記７）
付記６記載の液晶表示装置用基板の欠陥修復方法において、
前記接続組合せは、前記バスライン番号順に決定されること
を特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修復方法。
【００４８】
（付記８）
複数のバスラインに絶縁膜を介して交差して形成された第１のリペア配線と、複数の前記第１のリペア配線に絶縁膜を介して交差して形成された第２のリペア配線とを備えた液晶表示装置用基板の断線欠陥が生じた断線バスラインを修復する欠陥修復装置において、
前記断線バスラインの位置情報が入力される入力部と、
前記位置情報に基づいて、前記断線バスラインと前記第１のリペア配線とを接続する第１の接続位置と、前記第１のリペア配線と前記第２のリペア配線とを接続する第２の接続位置とからなる接続組合せを前記断線バスライン毎に決定する制御部と、
前記接続組合せに基づいて前記液晶表示装置用基板を移動させ、所定位置にレーザ光を照射するレーザ光照射部と
を有することを特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修復装置。
【００４９】
（付記９）
複数のバスラインの一端に絶縁膜を介して交差して形成された第１のリペア配線と、前記第１のリペア配線に絶縁膜を介して交差して形成された第２のリペア配線と、前記バスラインの他端に絶縁膜を介して交差して形成された第３のリペア配線と、前記第３のリペア配線に絶縁膜を介して交差して形成された第４のリペア配線とを備えた液晶表示装置用基板の断線欠陥が生じた断線バスラインを修復する欠陥修復装置において、
前記断線バスラインの位置情報が入力される入力部と、
前記位置情報に基づいて、前記断線バスラインの一端と前記第１のリペア配線とを接続する第１の接続位置と、前記第１のリペア配線と前記第２のリペア配線とを接続する第２の接続位置と、前記断線バスラインの他端と前記第３のリペア配線とを接続する第３の接続位置と、前記第３のリペア配線と前記第４のリペア配線とを接続する第４の接続位置とからなる接続組合せを前記断線バスライン毎に決定する制御部と、
前記接続組合せに基づいて前記液晶表示装置用基板を移動させ、所定位置にレーザ光を照射するレーザ光照射部と
を有することを特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修復装置。
【００５０】
（付記１０）
付記８又は９に記載の液晶表示装置用基板の欠陥修復装置において、
前記接続組合せを決定するための接続組合せ決定用テーブルが格納された記憶部をさらに有していること
を特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修復装置。
【００５１】
【発明の効果】
以上の通り、本発明によれば、バスラインの断線欠陥の修復作業を容易にすることにより、作業工数の低減及び作業負担の軽減を実現し、それに伴い製造歩留まりが向上して製造コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態による液晶表示装置用基板の欠陥修復装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施の形態による液晶表示装置用基板の欠陥修復方法を示すフローチャートである。
【図３】本発明の一実施の形態による液晶表示装置用基板の欠陥修復方法に用いる接続組合せ決定用テーブルを示す図である。
【図４】本発明の一実施の形態による液晶表示装置用基板の欠陥修復方法に用いる切断組合せ決定用テーブルを示す図である。
【図５】従来の液晶表示装置用基板の概略構成を示す図である。
【図６】従来の他の液晶表示装置用基板の概略構成を示す図である。
【符号の説明】
２  ＴＦＴ基板
１０  ゲートバスライン
１２  ドレインバスライン
１２’  断線ドレインバスライン
１４、１６、２０、２４、３６ａ〜３６ｄ、３７ａ〜３７ｄ  外部接続端子
１８、２２、３２ａ、３２ｂ、３３ａ、３３ｂ、３４ａ〜３４ｄ、３５ａ〜３５ｄ  リペア配線
２６  断線欠陥部
５０  制御部
５２  入力部
５４  記憶部
５６  表示部
６０  ステージ
６２  レーザ発振器
６４  レーザパワー調整用フィルタ
６６  加工形状変更用スリット
６８  対物レンズ
７０  位置補正用マーク読取りカメラ
７２  突当て
Ａ  表示領域
Ｂ  額縁領域
ｗ１、ｗ２、ｘ１〜ｘ４、ｙ１、ｙ２、ｚ１〜ｚ４  接続位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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