(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム片面に導電体パターンからなる電磁遮断素子をもうけ、そのフィルムの両面にガスバリアー性を持たせたフィルムを貼り付けることを特徴とする水貼り用電磁波シールド性を有するフィルム。
【請求項２】
フィルム両面に導電体パターンからなる電磁遮断素子をもうけ、そのフィルムの両面にガスバリアー性を持たせたフィルムを貼り付けることを特徴とする水貼り用電磁波シールド性を有するフィルム。
【請求項３】
フィルム片面に導電体パターンからなる電磁遮断素子をもうけ、そのフィルムの両面にガスバリアー性のある層を積層することを特徴とする水貼り用電磁波シールド性を有するフィルム。
【請求項４】
フィルム両面に導電体パターンからなる電磁遮断素子をもうけ、そのフィルムの両面にガスバリアー性のある層を積層することを特徴とする水貼り用電磁波シールド性を有するフィルム。
【請求項５】
請求項１又は請求項２に記載の水貼り用電磁波シールド性を有するフィルムにおいて、バリアー性をもたせたフィルムとして、フィルム上に珪素化合物層を形成した物を用いることを特徴とする水貼り用電磁波シールド性を有するフィルム。
【請求項６】
請求項１又は請求項２に記載の水貼り用電磁波シールド性を有するフィルムにおいて、バリアー性をもたせたフィルムとして、フィルム上にアルミニウム化合物層を形成した物を用いることを特徴とする水貼り用電磁波シールド性を有するフィルム。
【請求項７】
請求項３又は請求項４に記載の水貼り用電磁波シールド性を有するフィルムにおいてバリアー層の主成分が無機化合物であることを特徴とする水貼り用電磁波シールド性を有するフィルム。
【請求項８】
バリアー層の主成分が珪素化合物であることを特徴とする請求項３、請求項４又は請求項５に記載された水貼り用電磁波シールド性を有するフィルム。
【請求項９】
バリアー層の主成分がアルミニウム化合物であることを特徴とする請求項３、請求項４又は請求項５に記載された水貼り用電磁波シールド性を有するフィルム。
【請求項１０】
バリアー層に炭素分を含むことを特徴とする請求項５又は請求項８に記載された水貼り用電磁波シールド性を有するフィルム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、建物の窓や、自動車や列車等の乗り物の窓に貼るフィルムで、電磁シールド性能を持つ物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、事業所内ＰＨＳや無線ＬＡＮの利用が広がりを見せるなか、情報の漏洩防止や外部からの侵入電波による誤動作やノイズの防止といった点から、オフィス内での電波環境を整えることが不可欠になっており、そのような電波環境の整備用部材としてすでに種々のタイプの物が提案されている
【０００３】
電波環境の整備用部材の一つに電磁波シールド材がある。通常用いられる電磁波シールド材としては金属箔があるがこれでは窓等の可視光の透明性が必要な部位に用いることが出来ない。
【０００４】
可視光の透明性をもたせるために金属薄膜を薄く形成する方法もあるが、これについても十分な電磁波シールド性と可視光の透明性を両立させるのは難しい。十分な電磁波シールド性を保ったまま、可視光の透明性をあげるために金属メッシュを用いた物や、特開昭６３−３８５１５に記されているような金属層（銀）を酸化物層で狭持し、可視光の透明性を向上させた物がある。
【０００５】
また、透明なフィルム上にＩＴＯや酸化チタン等の透明導電膜を蒸着した物もある（特開昭６３−１４１３９９）
【０００６】
しかし、これらの電磁波シールド材では遮蔽する電磁波の周波数を選択できないためにビルの内外を通じて使用される携帯電話やラジオ等の電波という公衆の重要情報まで遮断してしまう。また、これら金属膜や透明導電膜を用いた電磁波シールド材の場合、窓枠や柱など他の導電性部材と接触を保つ必要があり、実用上施工が非常に困難かつ煩雑となる。
【０００７】
このためにフィルム上にパターン化した線状アンテナを定期的に配列させ、特定の周波数における電磁波のみを遮断する物が開発されている。（特開平１０−１２６０９０）このタイプの電磁波シールド材では、枠の金属サッシ等に接触させる必要もないことから、実用上施工が非常に容易となる。
【０００８】
しかし、線状アンテナに金属を用いた場合、基材として使用する通常のフィルムだけでは透過してきた酸素や水蒸気によりアンテナの劣化が進み長期の使用に耐えることは難しい。
【０００９】
さらに、通常はアンテナを配列してある面に粘着加工をし、窓に貼り付ける際には水貼りと呼ばれる方法を用いることが多いが、この際、窓にフィルムのすべりをよくするために吹き付ける中性洗剤を５％程度混合させた水による影響も無視できない。
【００１０】
本発明の目的は特定周波数の電磁波のみを遮断し、金属サッシなど周囲の導電材に接触させる必要が無く施工性に優れ、かつ、線状アンテナの劣化を抑えられ、フィルムとしての耐候性を向上させることができ、水貼り時の中性洗剤水溶液、粘着層やガラスから浸透する成分の影響も押さえることができる水貼り用電磁波シールドフィルムを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記目的を達成するために電磁波シールド性を有するフィルムにガスバリアー性を付与することを要旨とするものである。
【００１２】
本発明の電磁波シールド性を有するフィルムは線状アンテナと大気と接する表面の間にガスバリアー性をもつ層を設けることにより、大気中の水蒸気や酸素の浸透による線状アンテナの劣化をが抑えられ、フイルムとしての耐候性を向上させるものである。
【００１３】
また、線状アンテナとガラス面の間にガスバリアー性をもつ層を設けることにより、水貼り時の中性洗剤水溶液、粘着層やガラスから浸透する成分の影響も押さえることが出来る。
【００１４】
この際使用するガスバリアー性を持たせたフィルム（以下、ガスバリアーフィルムとする）としては酸素透過量１０ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ以下、水蒸気透過量１０ｇ／ｍ2 ／ｄａｙ以下であることが必要であり、望ましくは酸素透過量５ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ以下、水蒸気透過量５ｇ／ｍ2 ／ｄａｙ以下である。
【００１５】
ガスバリアー層においても、電磁波シールドフィルムとしたときに酸素透過量５ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ以下、水蒸気透過量５ｇ／ｍ2 ／ｄａｙ以下であることが必要であり、望ましくは酸素透過量１ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ以下、水蒸気透過量１ｇ／ｍ2 ／ｄａｙ以下である。
【００１６】
ガスバリアーフィルムとしては有機高分子フィルム、有機高分子フィルム上に無機物、有機物、無機有機混合物もしくはその２種以上を塗工したもの、無機物、有機物、無機有機混合物もしくはその両方を真空蒸着、スパッタ、ＣＶＤ等により成膜したもの、及びそれぞれを組み合わせた物があげられる。
【００１７】
例えば、ＰＥＴフィルム上に酸化アルミを真空蒸着した物、ＰＥＴフィルム上に酸化珪素を真空蒸着した物、ＰＥＴフィルム上に酸化珪素を主成分とするバリアー層をＣＶＤ法により成膜したものなどがある。
【００１８】
ガスバリアー層としては無機物、有機物、無機有機混合物もしくはその２種以上を塗工したもの、無機物、有機物もしくはその両方を真空蒸着、スパッタ、ＣＶＤ等により成膜したもの、及びそれぞれを組み合わせた物があげられる。例えば、酸化アルミを真空蒸着した物、酸化珪素を真空蒸着した物、酸化珪素を主成分とする物質をＣＶＤ法により成膜したものなどがある。
【００１９】
ガスバリアーフィルム及びガスバリアー層として酸化珪素を主成分とする物質をＣＶＤ法により成膜する場合にはバリアー層中に炭素分を含ませることによりバリアー層の柔軟性が向上することが知られている。（特願平１０−１８６３９３）柔軟性の向上により、曲げや折りにたいする耐久性が上昇しているため、窓に貼りつける際の取り扱いが容易となる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施形態を詳細に説明する。アンテナ素子が無い面にガスバリアー性を有するプラスチックを基材とするフィルムを設けた場合の電磁波シールド性を有するフィルムの一実施形態における断面図を図１に、アンテナ素子が無い面にガスバリアー層を設けた場合の電磁波シールド性を有するフィルムの一実施形態における断面図を図２に示す。
【００２１】
図１の場合は、ガラス１の上に粘着層２と金属パターン層３を介して基材４が形成され、更に二層のガスバリアー層５が設けられている。他方、図２の場合は、ガスバリアー層５が一層である事が図１と違う。
【００２２】
このように実施した場合には表面から浸透しようとする酸素や水蒸気を遮断し、線状アンテナが劣化することを押さえられる。
【００２３】
両面にガスバリアー性を有するプラスチックを基材とするフィルムを設けた場合の電磁波シールド性を有するフィルムの一実施形態における断面図を図３に、両面にガスバリアー層を設けた場合の電磁波シールド性を有するフィルムの１一実施形態における断面図を図４に示す。
【００２４】
図３の場合は、ガラス１の上に粘着層２と金属パターン層３と二層のガスバリアー層５を介して基材４が形成され、更に二層のガスバリアー層５が設けられている。他方、図４の場合は、ガスバリアー層５が一層である事が図３と違う。
【００２５】
このように実施した場合には表面から浸透しようとする酸素や水蒸気を遮断するだけでなく水貼り時の水や中性洗剤、粘着層やガラスから浸透してくる成分も遮断し、線状アンテナが劣化することを押さえられる。
【実施例】
【００２６】
未処理の電磁波シールド性を有するフィルムとガスバリアーフィルムを貼り合わせた電磁波シールド性を有するフィルムの耐候性の変化を表１に示す。この際に貼り付け時の水の影響を防ぐためにガラスと電磁波シールド性を有するフィルムはラミネーターを用いて乾式で貼り合わせをおこなった。
【００２７】
耐候性試験として室温４０度、湿度９０％の恒温恒湿試験器に１２００時間保存し、保存前と保存後の１．９ＧＨｚにおける電磁波遮蔽性能をネットワークアナライザー（ヒューレッドパッカード社製ＨＰ８７５３Ｅ）を用いて、自由空間法により測定し評価を行った。
【００２８】
（実施例１）
電磁波シールド性を有するフィルムは２５μｍのＰＥＴフィルム上に６μｍのアルミ箔を貼り合わせ、フォトレジストを感光させパターンを形成した後に、エッチングにより不要な部位を取り除くことにより作製した。
【００２９】
張り合わせるガスバリアーフィルムとして、１２μｍのＰＥＴフィルム上に３００Åの酸化アルミを真空蒸着した物を使用した（酸素透過量４．２ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ、水蒸気透過量４．７ｇ／ｍ2 ／ｄａｙ）。
【００３０】
ガスバリアーフィルムはアンテナ素子が無い面にラミネートした。アンテナ素子を設けた面には粘着加工を施し、電磁波シールド性を有するフィルムを厚さ６ｍｍのソーダライムガラスに貼り付けた。
【００３１】
（実施例２）
電磁波シールド性を有するフィルムは２５μｍのＰＥＴフィルム上に６μｍのアルミ箔を貼り合わせ、フォトレジストを感光させパターンを形成した後に、エッチングにより不要な部位を取り除くことにより作製した。
【００３２】
張り合わせるガスバリアーフィルムとして、１２μｍのＰＥＴフィルム上に２００Åの酸化珪素混合膜を、有機珪素化合物と酸素を原料として用いる、ＣＶＤ法により成膜した物を使用した（酸素透過量０．７ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ、水蒸気透過量１．１ｇ／ｍ2 ／ｄａｙ）。
【００３３】
ガスバリアーフィルムはアンテナ素子が無い面にラミネートした。アンテナ素子を設けた面には粘着加工を施し、電磁波シールド性を有するフィルムを厚さ６ｍｍのソーダライムガラスに貼り付けた。
【００３４】
（実施例３）
電磁波シールド性を有するフィルムは２５μｍのＰＥＴフィルム上に６μｍのアルミ箔を貼り合わせ、フォトレジストを感光させパターンを形成した後に、エッチングにより不要な部位を取り除くことにより作製した。
【００３５】
ガスバリアー層としてアンテナ素子が無い面に２００Åの酸化珪素混合膜（３％炭素分混合）を、有機珪素化合物と酸素を原料として用いる、ＣＶＤ法により成膜した。
【００３６】
アンテナ素子を設けた面には粘着加工を施し、電磁波シールド性を有するフィルムを厚さ６ｍｍのソーダライムガラスに貼り付けた。
【００３７】
（実施例４）
電磁波シールド性を有するフィルムは２５μｍのＰＥＴフィルム上に６μｍのアルミ箔を貼り合わせ、フォトレジストを感光させパターンを形成した後に、エッチングにより不要な部位を取り除くことにより作製した。
【００３８】
張り合わせるガスバリアーフィルムとして、１２μｍのＰＥＴフィルム上に３００Åの酸化アルミを真空蒸着した物を使用した（酸素透過量４．２ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ、水蒸気透過量４．７ｇ／ｍ2 ／ｄａｙ）。ガスバリアーフィルムはアンテナ素子を設けた面にラミネートした。アンテナ素子が無い面には粘着加工を施し、電磁波シールド性を有するフィルムを厚さ６ｍｍのソーダライムガラスに貼り付けた。
【００３９】
（比較例１）
電磁波シールド性を有するフィルムは２５μｍのＰＥＴフィルム上に６μｍのアルミ箔を貼り合わせ、フォトレジストを感光させパターンを形成した後に、エッチングにより不要な部位を取り除くことにより作製した。
【００４０】
ガスバリアーフィルムを張り合わせずに、アンテナ素子を設けた面に粘着加工を施し、電磁波シールドフィルムを厚さ６ｍｍのソーダライムガラスに貼り付けた。
【００４１】
（比較例２）
電磁波シールド性を有するフィルムは２５μｍのＰＥＴフィルム上に６μｍのアルミ箔を貼り合わせ、フォトレジストを感光させパターンを形成した後に、エッチングにより不要な部位を取り除くことにより作製した。
【００４２】
張り合わせるガスバリアーフィルムとして、１２μｍのＰＥＴフィルム上に１００Åの酸化アルミを真空蒸着した物を使用した（酸素透過量１５．５ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ、水蒸気透過量１６．８ｇ／ｍ2 ／ｄａｙ）。ガスバリアーフィルムはアンテナ素子が無い面にラミネートした。アンテナ素子を設けた面には粘着加工を施し、電磁波シールド性を有するフィルムを厚さ６ｍｍのソーダライムガラスに貼り付けた。
【００４３】
ガスバリアーフィルムを電磁波シールド性を有するフィルムと粘着層の間に挿入した物と挿入しない物との耐候性の変化を表２に示す。耐候性試験として室温４０度、湿度９０％の恒温恒湿試験器に１２００時間保存し、保存前と保存後の１．９ＧＨｚにおける電磁波遮蔽性能をネットワークアナライザー（ヒューレッドパッカード社製ＨＰ８７５３Ｅ）を用いて、自由空間法により測定し評価を行った。
【００４４】
（実施例５）
電磁波シールドフィルムは２５μｍのＰＥＴフィルム上に６μｍのアルミ箔を貼り合わせ、フォトレジストを感光させパターンを形成した後に、エッチングにより不要な部位を取り除くことにより作製した。
【００４５】
張り合わせるガスバリアーフィルムとして、１２μｍのＰＥＴフィルム上に３００Åの酸化アルミを真空蒸着した物を使用した（酸素透過量４．２ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ、水蒸気透過量４．７ｇ／ｍ2 ／ｄａｙ）。ガスバリアーフィルムは電磁波シールド性を有するフィルム両面にラミネートした。
【００４６】
アンテナ素子を設けた面のバリアーフィルム上に粘着加工を施し、電磁波シールド性を有するフィルムを厚さ６ｍｍのソーダライムガラスに５％中性洗剤混合水溶液を用いた水貼りにより貼り付けた。
【００４７】
（実施例６）
電磁波シールドフィルムは２５μｍのＰＥＴフィルム上に６μｍのアルミ箔を貼り合わせ、フォトレジストを感光させパターンを形成した後に、エッチングにより不要な部位を取り除くことにより作製した。張り合わせるガスバリアーフィルムとして、１２μｍのＰＥＴフィルム上に３００Åの酸化アルミを真空蒸着した物を使用した（酸素透過量４．２ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ、水蒸気透過量４．７ｇ／ｍ2 ／ｄａｙ）。
【００４８】
ガスバリアーフィルムは電磁波シールド性を有するフィルムのアンテナ素子を設けた面にラミネートした。また、ガスバリアー層としてアンテナ素子が無い面に２００Åの酸化珪素混合膜（３％炭素分混合）を、有機珪素化合物と酸素を原料として用いる、ＣＶＤ法により成膜した。アンテナ素子を設けた面のバリアーフィルム上に粘着加工を施し、電磁波シールド性を有するフィルムを厚さ６ｍｍのソーダライムガラスに５％中性洗剤混合水溶液を用いた水貼りにより貼り付けた。
【００４９】
（比較例３）
電磁波シールドフィルムは２５μｍのＰＥＴフィルム上に６μｍのアルミ箔を貼り合わせ、フォトレジストを感光させパターンを形成した後に、エッチングにより不要な部位を取り除くことにより作製した。
【００５０】
張り合わせるガスバリアーフィルムとして、１２μｍのＰＥＴフィルム上に３００Åの酸化アルミを真空蒸着した物を使用した（酸素透過量４．２ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ、水蒸気透過量４．７ｇ／ｍ2 ／ｄａｙ）。
【００５１】
ガスバリアーフィルムはアンテナ素子が無い面にのみラミネートした。アンテナ素子を設けた面には粘着加工を施し、電磁波シールド性を有するフィルムを厚さ６ｍｍのソーダライムガラスに水貼り法（５％中性洗剤混合溶液を使用）により貼り付けた。
【００５２】
ＣＶＤバリアーフィルムを用いた際におけるバリアー層である酸化珪素混合物中における炭素分の有無による電磁波シールド性を有するフィルムの耐柔軟性の変化を表３に示す。この際に貼り付け時の水の影響を防ぐためにガラスと電磁波シールド性を有するフィルムはラミネーターを用いて乾式で貼り合わせをおこなった。
【００５３】
耐候性試験として室温４０度、湿度９０％の恒温恒湿試験器に１２００時間保存し、保存前と保存後の１．９ＧＨｚにおける電磁波遮蔽性能をネットワークアナライザー（ヒューレッドパッカード社製ＨＰ８７５３Ｅ）を用いて、自由空間法により測定し評価を行った。
【００５４】
（実施例７）
電磁波シールド性を有するフィルムは２５μｍのＰＥＴフィルム上に６μｍのアルミ箔を貼り合わせ、フォトレジストを感光させパターンを形成した後に、エッチングにより不要な部位を取り除くことにより作製した。
【００５５】
張り合わせるガスバリアーフィルムとして、１２μｍのＰＥＴフィルム上に２００Åの酸化珪素混合膜を、有機珪素化合物と酸素を原料として用いる、ＣＶＤ法により成膜した物を使用した（酸素透過量０．７ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ、水蒸気透過量１．１ｇ／ｍ2 ／ｄａｙ）。
【００５６】
ガスバリアーフィルムはアンテナ素子が無い面にラミネートした。アンテナ素子を設けた面には粘着加工を施し、電磁波シールド性を有するフィルムを厚さ６ｍｍのソーダライムガラスに貼り付けた。電磁波シールド性を有するフィルムは柔軟性を調べるために５％引っ張りによりのばした後にガラス上に貼り合わせた。
【００５７】
（比較例４）
電磁波シールド性を有するフィルムは２５μｍのＰＥＴフィルム上に６μｍのアルミ箔を貼り合わせ、フォトレジストを感光させパターンを形成した後に、エッチングにより不要な部位を取り除くことにより作製した。
【００５８】
張り合わせるガスバリアーフィルムとして、１２μｍのＰＥＴフィルム上に２００Åの酸化珪素膜（炭素分混合なし）を、シランと酸素を原料として用いる、ＣＶＤ法により成膜した物を使用した（酸素透過量０．６ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ、水蒸気透過量１．３ｇ／ｍ2 ／ｄａｙ）。ガスバリアーフィルムはアンテナ素子が無い面にラミネートした。
【００５９】
アンテナ素子を設けた面には粘着加工を施し、電磁波シールド性を有するフィルムを厚さ６ｍｍのソーダライムガラスに貼り付けた。電磁波シールド性を有するフィルムは柔軟性を調べるために５％引っ張りによりのばした後にガラス上に貼り合わせた。
【００６０】
【表１】
0004389322.tif 000002
【００６１】
ガスバリアー性の高いフィルムをラミネートした実施例１及び実施例２、実施例３、また、ガスバリアー層を直接もうけた実施例４においてはシールド性能の低下を５ｄＢ以内に押さえることが可能であったが、ガスバリアーフィルムをラミネートしなかった比較例１においては２７ｄＢ、ガスバリアー性の低いフィルムをラミネートした比較例２については７ｄＢというシールド性能の低下が見られ、ガスバリアー性が必要であることを確認した。
【００６２】
【表２】
0004389322.tif 000003
【００６３】
粘着層とアンテナ素子の間にガスバリアーフィルムを設けることにより、ガラスに貼り付ける際に使用する水や中性洗剤の影響を押さえることが出来ることを確認した。
【００６４】
【表３】
0004389322.tif 000004
【００６５】
ガスバリアー層に柔軟性を持たせることにより、引っ張りに対して耐候性が低下しないことを確認した。
【００６６】
【発明の効果】
以上の詳述したように、本発明によれば小さな線状アンテナを定期的に配列させていることから、特定周波数の電磁波のみを遮蔽し、施工性に優れ、ガスバリアーフィルム又はガスバリアー層を用いることにより耐候性に優れた電磁波シールド性を有するフィルムを得ることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す断面図。
【図２】本発明の別の一実施例を示す断面図。
【図３】本発明の更に別の一実施例を示す断面図。
【図４】本発明のまた別の一実施例を示す断面図。
【符号の説明】
１  ガラス
２  粘着層
３  金属パターン
４  基体
５  ガスバリアー層
【図１】
0004389322.tif 000005
【図２】
0004389322.tif 000006
【図３】
0004389322.tif 000007
【図４】
0004389322.tif 000008