(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スペクトロメーターにおけるＡＴＲ測定のための分光測定用付属装置であって、前記スペクトロメーターは、その中に当該付属装置を装着位置付けし得る試料ステーションを有し、前記付属装置は、ＡＴＲ結晶を受容するためのマウント取付部と、分析放射の入射ビームを前記ＡＴＲ結晶へ向けるための第１の光学エレメントと、前記結晶から出射する放射のビームを出力側に向けるための第２の光学エレメントとを有し、前記の第１の光学的エレメントのうち少なくとも１つ及び第２光学的エレメントのうち少なくとも１つが旋回、枢転可能であり、また、前記の旋回、枢転可能なエレメントの旋回、枢転運動を生じさせるように作動可能な手段を有し、それにより、分析放射ビームが使用される所定の結晶に適当な角度で又は実施されるべき測定に適当な角度で前記結晶に入射せしめられるように構成されており、
前記付属装置はさらに電気的コネクタを有し、該電気的コネクタは、当該の付属装置が試料ステーション中に装着位置付けされるとスペクトロメーター上のコネクタとコンタクト接触接続せしめられ、前記結晶はデータ蓄積媒体ないし蓄積媒質を組み込んだ取付プレート上に取り付けられており、該データ蓄積媒体ないし蓄積媒質の中に、結晶を指示するデータが記憶蓄積されており、当該の配置構成は、次のようになされている、即ち、当該の付属装置が試料ステーション内に装着位置付けられるとスペクトロメーターのプロセッサが前記の蓄積記憶されたデータを読取でき、作動信号を送出して旋回、枢転可能ミラーを、結晶に適当な位置へ調節せしめるように構成されていることを特徴とするスペクトロメーターにおけるＡＴＲ測定のための分光測定用付属装置。
【請求項２】
前記の第１光学的エレメントは、当該の付属装置のハウジング上に旋回、枢転可能に取り付けられた第１プレートに取り付けられた第１のミラーを有し、前記の第２光学的エレメントは、当該の付属装置のハウジング上に旋回、枢転可能に取り付けられた第２のプレート上に取り付けられた第２の旋回、枢転可能ミラーを有していることを特徴とする請求項１記載の付属装置。
【請求項３】
前記の旋回、枢転的運動を生じさせる手段は、前記プレート間に少なくとも部分的に配置された、そして、前記プレートにコンタクト接触するように配置された回転可能なカム部材を有していることを特徴とする請求項２記載の付属装置。
【請求項４】
前記カム部材は異なる半径の角度的に間隔をおかれた複数部分を有し、それにより、前記カム部材は、前記プレートをして、当該のカム部材のどの部分が前記プレートにコンタクト接触しているかに応じて異なる配向をとらせるように構成されていることを特徴とする請求項３記載の付属装置。
【請求項５】
前記カム部材は、モータにより、回転可能であることを特徴とする請求項３又は４記載の付属装置。
【請求項６】
モータはステップモータであることを特徴とする請求項５記載の付属装置。
【請求項７】
第１ミラーは、トロイダルミラーであり、第２ミラーは、平面鏡であることを特徴とする請求項２から６までのうちいずれか１項記載の付属装置。
【請求項８】
前記第１の光学的エレメントも亦固定した平面鏡及び固定したトロイダル／楕円面鏡ミラーを有し、前記第２の光学的エレメントも固定したトロイダル／楕円面鏡ミラー及び固定した平面鏡を有することを特徴とする請求項１から７までのうち１項記載の付属装置。
【請求項９】
前記ハウジング上に取り付けられたアームを有し、前記アームは、前記水晶又はこれに隣接して装着位置付けられた試料に連結可能な押圧手段を有していて、前記の水晶又は試料に押圧力を加えて、水晶と被検試料との間のコンタクト接触、密着性を維持するように構成されていることを特徴とする請求項２から７までのうち１項記載の付属装置。
【請求項１０】
押圧力測定手段は、前記アームに関連付けて設けられていることを特徴とする請求項９記載の付属装置。
【請求項１１】
押圧力測定手段は、ストレインゲージを有することを特徴とする請求項１０記載の付属装置。
【請求項１２】
ストレインゲージは、加えられた押圧力に関連するデータを前記プロセッサへ伝送させ得べく前記スペクトロメーターのプロセッサに電気的に接続可能であることを特徴とする請求項１１記載の付属装置。
【請求項１３】
センシングされた押圧力を表示するためのディスプレイ手段を有し、それにより、オペレータをして精確に、加えられる押圧力をセットさせ得るように構成されていることを特徴とする請求項１２記載の付属装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スペクトロメーターにおけるＡＴＲ測定のための分光測定用付属装置に関する。特に本発明は、そこにて、分析放射の多重反射の起こる水晶を用いて水平形減衰全反射法  ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ  ａｔｔｅｎｕａｔｅｄ  ｔｏｔａｌ  ｒｅｆｌｅｃｔａｎｃｅ（ＨＡＴＲ）の測定を実施し得る付属装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＦＴ−ＩＲ赤外分光法のようなスペクトロスコピー分光測定法の分野では、反射の乏しい試料を分析する際に所謂ａｔｔｅｎｕａｔｅｄ  ｔｏｔａｌ  ｒｅｆｌｅｃｔａｎｃｅ  減衰全反射法（ＡＴＲ）の技術を使用することが知られている。この技術手段は、スペクトロメーター中に付属装置をマウント取り付け部に係わるものであり、前記付属装置は、内部全反射又は減衰全反射を利用する水晶を包含する。試料は、分析すべき水晶とのコンタクト接触状態、密着性を以て位置付け装着される。そして、試料と水晶との間のコンタクト接触、密着性は、通常、固体試料の場合試料へ、又は水晶への押圧力への印加により維持される。
【０００３】
或１つの公知のタイプの水晶は、全体的に台形状の細長い水晶であり、この水晶は、一般に水平形減衰全反射法測定として知られている技術を実施するために使用される。斯様な水晶を使用する場合、分析放射は、それの傾いた端面のうちの一方を通して水晶に入射し、それの他方の傾斜面を介して水晶を出射する前に水晶の長さに沿って多重内部反射を受ける。このような水晶を、固体及び液体の分析を実施するために使用できる。被検試料は、水晶の平面のうちの１つと密にコンタクト接触、密着して装着位置付けられ、そして、分析放射は、わずかに当該放射が水晶の長さに沿って多重反射を受けるので、水晶とのコンタクト接触のポイントにてわすかに試料に潜り込む、ないし試料側にわずかにしみ出て侵入する。水晶から出射する放射を分析することにより被検試料のスペクトルを生じさせることが可能である。
【０００４】
分析放射の潜り込み、侵入深度ないし滲出深度を変化させるため水晶の端面上への放射の入射の角度を変えることも公知であり、そしてまた、実施される特定の分析に応じて異なるディメンション、大きさの水晶を使用することも公知である。水晶の交換、又は入射角の変更が必要な場合、通常適正な角度で分析放射が水晶に入射するのを確保するため配置構成の光学系を変更ないし変化させることが必要である。従来は、このことは手動で実施されており、相当煩瑣面倒な操作となっている。さらに、調節操作は、正確に反復可能でなく、このことは測定の精確性、精度に影響を及ぼすものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
さらに水晶と被検試料との間の適当なコンタクトないし密着性を確保するため、水晶又は試料に力を加える信頼性のある一貫性のある手法を実現することは困難であった。
【０００６】
本発明は、水平形減衰全反射法  ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ  ａｔｔｅｎｕａｔｅｄ  ｔｏｔａｌ  ｒｅｆｌｅｃｔａｎｃｅ（ＨＡＴＲ）の測定を実施するための付属装置に係わり、当該の測定では、水晶の変更ないし変化が必要な時は光学的エレメントは自動的に調節され得る。
【０００７】
さらに、本発明は水晶と被検試料とのコンタクト接触接続ないし密着状態を維持するよう水晶又は試料に信頼性を以て再現可能な力を加え得る配置構成を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記課題は、本発明によれば次のようにして解決される、即ち、スペクトロメーターにおけるＡＴＲ測定のための分光測定用付属装置であって、前記スペクトロメーターは、その中に当該付属装置を装着位置付けし得る試料ステーションを有し、前記付属装置は、ＡＴＲ結晶を受容するためのマウント取付部と、分析放射の入射ビームを前記ＡＩＲ結晶へ向けるための第１の光学エレメントと、前記結晶から出射する放射のビームを出口側、出力側に向けるための第２の光学エレメントとを有し、前記の第１の光学的エレメントのうち少なくとも１つの及び第２光学的エレメントのうち少なくとも１つが旋回、枢転可能でり、また、前記の旋回、枢転可能なエレメントの、等しい及び逆の旋回、枢転運動を生じさせるように作動可能な手段を有し、それにより、分析放射ビームが使用される所定の結晶に適当な角度で又は実施されるべき測定に適用な角度で前記結晶に入射せしめられるように構成されているのである。
【０００９】
本発明の実施形態によれば、前記の第１光学的エレメントは、当該の付属装置のハウジング上に旋回、枢転可能に取り付けられた第１プレートに取り付けられた第１のミラーを有し、前記の第２光学的エレメントは、当該の付属装置のハウジング上に旋回、枢転可能に取り付けられた第２の旋回、枢転可能ミラーを有しているのである。旋回、枢転的旋回手段は、前記プレート間に少なくとも部分的に配置された、そして、前記プレートにコンタクト接触ないし密着するように配置された回転可能なカム部材を有していることが可能である。本発明の更なる実施形態によれば、カム部材は異なる半径の角度的に間隔をおかれた複数部分を有し、それにより、前記カム部材は、前記プレートをして、当該のカム部材のどの部分が前記プレートにコンタクト接触しているかに応じて異なる配向をとらせ得るように構成されているのである。前記カム部材は、モータにより、回転可能であることが可能である。モータはステップモータであってもよいのである。第１ミラーは、トロイダルミラーであり、第２ミラーは、平面鏡であってもよい。
【００１０】
更に、本発明の更なる実施形態によれば、電気的コネクタを有し、該電気的コネクタは、当該の付属装置が試料ステーション中に装着位置付けされるとスペクトロメーター上のコネクタとコンタクト接触接続せしめられ、そして結晶はその中にデータ蓄積媒体ないし蓄積媒質を有し、該データ蓄積媒体ないし蓄積媒質の中に、結晶を指示するデータが記憶蓄積されており、当該の配置構成は、次のように成されている、即ち、当該の付属装置が試料ステーション内に装着位置付けられるとスペクトロメーターのプロセッサが前記の蓄積記憶されたデータを読取でき、作動信号を送出して旋回、枢転可能ミラーを、結晶に適当な位置へ調節せしめるように構成されているのである。
【００１１】
更に、本発明の更なる実施形態によれば、前記第１の光学的エレメントも亦固定して平面鏡及び固定したトロイダル／楕円面鏡ミラーを有し、前記第２の光学的エレメントも固定したトロイダル／楕円面鏡ミラー及び固定した平面鏡を有するのである。
【００１２】
なおまた、本発明の更なる実施形態によれば、付属装置は、前記ハウジング上に取り付けられたアームを有し、前記アームは、前記水晶又はこれに隣接して装着位置付けられた試料に連結可能な手段を有していて、前記の水晶又は試料に押圧力を加えて、水晶と被検試料との間のコンタクトを維持するように構成されているのである。押圧力測定手段は、前記アームに関連付けて設けられていることが可能である。押圧力測定手段は、ストレインゲージを有することが可能である。また、本発明の更なる実施形態によれば、ストレインゲージは、加えられた押圧力に関連するデータを前記プロセッサへ伝送させ得べく前記プロセッサに電気的に接続可能であるように構成されているのである。
【００１３】
本発明の更なる実施形態によれば、センシングされた押圧力を表示するためのディスプレイ手段を有し、それにより、オペレータをして精確に、加えられた押圧力をセットさせ得るように構成されているのである。
【００１４】
【実施例】
次に図を参照して実施例について本発明を説明する。
【００１５】
それに本発明の付属装置を使用できるスペクトロメーターは、当該スペクトロメーターの作動要素を収容するハウジング１０を有する。それらの作動要素は、赤外放射源、赤外放射を検出し得る検出器及び検出器から受け取った信号を処理するためのデータ処理手段を有し、被検試料に関する出力スペクトルデータを生じさせるものである。亦、スペクトロメーターは、所属のパーソナルコンピュータｐｃ（図示せず）を有していてもよく、該パーソナルコンピュータｐｃは、ユーザインターフェースを有し、出力データを受け取り得、そのデータの処理を実施してスペクトル情報を生じさせるものである。ハウジング１０は、前方に突出するアーム１１，１２を有し、該アームは試料間の境界を定める、ないし、当該の試料間を画するものである。
【００１６】
各アーム１１，１２の内側壁は、それを通して分析放射が通過できるウインドウ１５を有する。以下説明すべき本発明の付属装置が試料ステーション１４内に装着位置付けであり、その結果アームないしリム１１におけるウインドウ１５を介して放射される分析放射は、付属装置へ達し、或パス経路に沿って付属装置におけるＨＡＴＲ結晶に向けられ、そしてスペクトロメーターの対向するアームないしリムにおける他のウインドウを通して受け取られ、そこで検出器により受光される。
【００１７】
図１に示すスペクトロメーターは電気コネクタを有し、電気コネクタは、付属装置とスペクトロメーターのプロセッサとの間で電気信号を伝送させ得るため試料ステーション内に装着位置付けられた付属装置に接続され得る。当該の動作が機能する手法は、本発明の核心でなく、ヨーロッパ出願Ｎｏ，９８３００７４５.１に一層より詳細に記載されている。
【００１８】
図２に関して言及すると、ＨＡＴＲ測定を実施するための付属装置は、以下説明すべき複数の光学的エレメントを収容するハウジング２０を有する。ハウジングの各直立側壁は、アパーチャ２１，２２を有し、該アパーチャ２１，２２は、付属装置が試料ステーション１４内におかれると、スペクトロメーターの放射源からの放射が付属装置内に入射通過するのを許容し、アパーチャ２２は、放射がスペクトロメーターの検出器の方に向かって付属装置から出射することを許容する。
【００１９】
図３は、付属装置のハウジング内に装着位置付けられた主要な光学的エレメントを示す。光学的エレメントは、入り口側、入力側光学的エレメントを有し、該入り口側、入力側光学的エレメントは、トロイダル凹面ミラー２５―該ミラーは、付属装置ハウジングの後壁に対して相対的に旋回、枢転可能に取り付けられているーと、固定平面鏡２６と、トロイダル／固定楕円面鏡ミラー２８とを有する。光学的エレメントは亦、出口側、出力側光学的エレメントを有し、該出口側、出力側光学的エレメントは、固定トロイダル／固定楕円面鏡ミラー３０と、固定平面鏡３１及び平面鏡３２を有し、該平面鏡３２は、ハウジング２０の後壁に対して相対的に旋回、枢転可能に取り付けられている。
【００２０】
固定トロイダル／楕円面鏡ミラー２８及び３０は、それぞれだぼ・ドエルにより付属装置ハウジングの後壁に装着位置付けられ、ねじ３３により留められている。そのような、ミラーは、図８にも斜視図で示されている。２つの固定平面鏡２６，３１は接合剤によりブロック３６の対向する斜面に留められている（図６も参照）。ブロック３６はだぼ、ドエルにより付属装置ハウジングの後面にて位置定めされた、ねじにより留められている。
【００２１】
トロイダルミラー２５及び平面鏡３２は、それぞれ接合剤によりそれぞれのブロック４０，４１の斜面（図５及び図７も参照）に留められている。各ブロック４０，４１は、全体的に正方形のプレート４２，４３に留められている。２つのプレート板４２，４３は、それぞれ付属装置のハウジングの後壁に対して相対的に旋回、枢転可能に取り付けられ、当該の取付手法、要領はプレート４２に関連して説明される。プレート４３に関連して同様の説明が該当する。プレート４２は、３角形の頂点に位置する３つのボール４４，４５，４６を用いて付属装置ハウジングの後壁３８に対して間隔をおいて並行的な位置関係を以て取り付けられる。図４―ａ、図４―ｂに示されているように、各ボールの部分がハウジング壁３８の内表面にて形成された円錐状切欠部４７，４８内に位置する。２つのボール４５，４６は、プレート４２の後表面に形成されたそれぞれの円形切欠部５０，５１内に位置する。ボール４４は、プレート４２の底部―左側コーナに形成された通り切欠部５５の内方円錐状部分内に位置する。ボール４４は、その周りにプレート４２が旋回、枢転し得る旋回、枢転ポイントを成す。全体的にプレートの中央に、細長いアパーチャ５６が形成されており、この細長いアパーチャ５６を通って、ねじ５８が延びており、このねじ５８は、付属装置ハウジング（図４―ｃ）の後壁に形成されたねじ山付きアパーチャ５９に係合している。ねじは、スリーブ６０の孔を通って延びており、スリーブ６０は、ワッシャ６３とＰＴＦＥワッシャ６４―これはアパーチャ（５６）の周りを延びているーとの間に延びている圧縮ばね６２によりバイアスされている。プレート４２に対する当該の留め付け、締結固定ないし留め付けのための配置構成は、プレートがポイント４４を中心として旋回、枢転することを可能にし、そして、ボール４４〜４６に対してのプレートの取付配置構成は、次のことを保証する、即ち、プレートが旋回、枢転したとき付属装置ハウジングの後表面に並行な面内を滑らかに移動することを保証する。
【００２２】
プレート４３は、全体的に類似の要領で取り付けられている。尤も、配置構成は、全体的にプレート４２の配置構成のミラーイメージ、鏡像であり、その結果プレート４２，４３は、逆方向に旋回、枢転することができる。各プレート４２，４３は、上方に延びている部材を有し、この上方に延びている部材間に延長ばね６６が延びており、この延長ばね６６は、２つのプレートの低い内方コーナ部分を分け合ってカム部材７０とコンタクトした状態にあるように維持する作用をする。カム部材７０は、ステップモータ（図示せず）に連結されたシャフト上に取り付けられている。カム部材７０は、実質的に、相異なる半径―これは半径Ｒ１，Ｒ３，Ｒ３で示されているーのうちの角方向で間隔をおかれた部分を有する。ステップモータを用いてのカム部材の回転により、カムの周囲の相異なる部分が２つのプレート４２，４３の内方エッジ部分とコンタクトせしめられ、それにより、それらのプレートは異なった配向に旋回、枢転される。その結果各ミラーの配向は、プレートが回転されるに従い調節される、２５，３２。
【００２３】
ＨＡＴＲ水晶７５は、ミラー２６，３１の配置されるブロック３６上方に取り付けられている。水晶は、固体試料を分析すべき場合にプレート上に取り付けられるか、又は液体を分析すべき場合にトラフ内に取り付けられる。分析されるべき試料は水晶の上面に装着位置付けられる。水晶取付組立体は、水晶を指示するデータが蓄積記憶されているデータ蓄積記憶媒体ないし媒質を包含する。
【００２４】
動作中付属装置は、図１に示すスペクトロメーターの試料ステーション１４内に取り付けられている。付属装置ハウジング上の電気的コネクタは、スペクトロメーターハウジング上の対応するコネクタとコンタクトし、付属装置及びスペクトロメーターのプロセッサにおけるデータ蓄積記憶媒体ないし媒質間の電気的交信を可能にする。このことにより、スペクトロメーターのプロセッサは、付属装置に関連するデータ、例えば固定ミラー２６，３１上方の頂部プレート上に取り付けられた水晶に関連するデータを読出すことが可能になり、そして、適当な信号をステップモータに供給して、所定のポジションへのカム７０の回転を生じさせる。この所定のポジションでは、プレート４２，４３は次のように配向される、即ち、ミラー２５，２６，２８により反射された放射７８が適正な入射角度でＨＡＴＲ水晶に入射するように配向される。水晶マウント取り付け部ないし取付組立体上に水晶が存在しない場合モータは、カムをデータ通りのポジションへ駆動する。一旦ミラーがそのようにセットされると、スペクトル測定は、当業者に明らかな手法で分析放射を付属装置内に入射通過させ、そしてＨＡＴＲ水晶７５を通して通過させることにより実施される。水晶の交換ないし変更ないし変化が行われると、水晶マウント取付プレートの蓄積記憶媒体ないし媒質からの信号はプロセッサへ供給され、そして、プロセッサは、その水晶に適当なポジションへのカム７０の回転を生じさせるよう指令信号をステップモータに送出する。図３に示す配置構成では、ミラー２５，２６，３１及び３２は、ビームステアリング操作手段として作用する。ミラー２８，３０は、それぞれフォーカス及びデフォーカシング手段として作用する。ミラー２８は、水晶７５の内方端面７６上へ近似的な楕円フォーカスを生じさせる働きをする。θとして示されている角度は、カム７０が回転された時、ミラー２５，３２の傾斜を変化するように変化する。
【００２５】
明らかなように反射表面は、使用される放射に対して適当な被覆コーティングを有するとよい。これは赤外放射に対してアルミニウムであり得る。
【００２６】
斯くて明らかになるところでは、本発明の配置構成は、ＨＡＴＲ水晶内への放射の適正な入射角度を与える位置ポジションへミラーを調節するための自動的技術を創出する。使用された特定の技術により、ミラーの旋回、枢転が反復可能及び同期化手法で実施されることが確保される。記載されている特定の例ではステップモータは、半径可変のホイールを、ＨＡＴＲ水晶への３つの異なる入射角度に相応する３つのポジションのうちの１つへ回転させる。相異なる半径の各々は、ほぼ２０°の角度にまで延びており、その結果モータのステップ精度は重要なファクタではない。さらに、各半径は幾１００ステップに亘って一定に保持され、その結果測定の反復可能性は極めて良好である。
【００２７】
被検試料が固体試料である場合、水晶とのコンタクト接触、密着性を維持するため試料に力を加えるのが通常である。図１０は、精確に反復可能な力を生じさせるための配置構成を示す。
【００２８】
この配置構成は、シリンダ状の取付エレメント８２と一体構成されたアーム８０を有する。取付組立体は、通し孔８４を有し、この通し孔８４の下方部材は、シャフト８５の上方端部を受容する。シャフトはそれの上端にてテフロン（ｔｅｆｌｏｎ）ワッシャ８６を有し、該テフロン（ｔｅｆｌｏｎ）ワッシャ８６は、肩状部に当接している。シャフト８５は、付属装置ハウジングに留められた２つの水平エレメント８９により支持されている。上記の配置構成は、アーム８０が、シャフト８５の軸線を中心として水平平面内で旋回することを可能にする。
【００２９】
アームは、それの自由端につまみねじ調節機構９０を有し、該つまみねじ調節機構をロードシュー荷重部片９１の垂直方向位置を調節するために使用できる。斯くてロードシュー荷重部片を降下させて水晶７５上の試料とコンタクト接触ないし密着させ得る。
【００３０】
アームには、ストレインゲージ９３が接合されている。
【００３１】
ストレインゲージは、電気的配線体９４及び電気的コネクタ９５により電気的にスペクトロメーターのプロセッサに接続されている。使用中固体試料が結晶７５上におかれると、アーム８０はロードシュー荷重部片９１が試料上方にくるように装着位置付けられる。つまみねじ機構９０は、当該ロードシュー荷重部片を降下させて試料とコンタクトするように作動される。ストレインゲージは、アームの曲がりに応答し、そしてストレインゲージは９３からの電気信号が、計器プロセッサへフィードバックされ、該計器プロセッサは、試料に加えられる力を計算する。この力は、所属のＰＣのディスプレイユニット上にディスプレイされる。斯くて、オペレータは、精確に、測定の準備のできた試料に加えられる力をセットでき、そして、このことは、精確に反復可能な手法で行い得る。
【００３２】
【発明の効果】
本発明によれば、水晶と被検試料とのコンタクトを維持するよう水晶又は試料に信頼性を以て再現可能な力を加え得る配置構成を実現することができるという効果が奏される。更に、本発明は、水晶と被検試料との間の適当なコンタクトないし密着性を確保するため、水晶又は試料に力を加える信頼性のある一貫性のある手法を実現する上での従来技術の困難性を克服でき、而して、水平形減衰全反射法  ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ  ａｔｔｅｎｕａｔｅｄ  ｔｏｔａｌ  ｒｅｆｌｅｃｔａｎｃｅ  （ＨＡＴＲ）の測定を実施するための付属装置における当該の測定では、水晶の変更ないし変化が必要な時は光学的エレメントは自動的に調節することができるという効果が奏される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるスペクトロメーターにおけるＡＴＲ測定のための分光測定用付属装置の略示図。
【図２】付属装置の斜視略図。
【図３】付属装置の主要なエレメントを示す正面図。
【図４】図３の矢印４ａ，４ｂの方向に見て示す断面図。
【図５】トロイダルミラーのマウント取り付け部ないし配置組立体の略示図。
【図６】固定平面鏡のマウント取り付け部ないし配置組立体の略示図。
【図７】平面鏡のマウント取り付け部ないし配置組立体の略示図。
【図８】トロイダル／楕円面鏡ミラーのうちの１つを示す斜視図。
【図９】旋回、枢転可能プレートのうちの１つの前面から見た斜視図及び断面図。
【図１０】固体試料に力を加えるための配置構成の側面図。
【符号の説明】
１０  ハウジング
１１  アーム、リム
１２  アーム、リム
１４  試料ステーション
１５  ウインドウ
２０  ハウジング
２１  アパーチャ
２２  アパーチャ
２５  トロイダルミラー
２６  平面鏡
２８  トロイダル／楕円面鏡ミラー
３０  トロイダル／楕円面鏡ミラー
３１  固定平面鏡
３２  平面鏡
３４  だぼ、ドエル
３８  ハウジング壁
４０  ブロック
４１  ブロック
４２  プレート
４３  プレート
４４  ボール
４５  ボール
４６  ボール
４７  切欠部
４８  切欠部
５０  切欠部
５１  切欠部
５６  アパーチャ
５８  ねじ
５９  ねじ
６０  スリーブ
６２  圧縮ばね
６３  ワッシャ
６４  ワッシャ
７０  カム
７５  ＨＡＴＲ結晶
【図１】
0004270648.tif 000002
【図２】
0004270648.tif 000003
【図３】
0004270648.tif 000004
【図４】
0004270648.tif 000005
【図５】
0004270648.tif 000006
【図６】
0004270648.tif 000007
【図７】
0004270648.tif 000008
【図８】
0004270648.tif 000009
【図９】
0004270648.tif 000010
【図１０】
0004270648.tif 000011