(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料情報を含んだ試料からの光を集光する集光部と、
前記集光部で集光された光を試料像として結像させる結像レンズと、
前記結像レンズによって結像された試料像の各ポイント別に光強度を測定する検出部と、
を備えた光学顕微装置において、
前記試料情報を含む光から特定波長域の光のみを透過させるフィルタと、
前記フィルタを観察光軸に対して傾斜させることによって透過可能な特定波長域を変化させるフィルタ傾斜機構と、
前記フィルタの異なる傾斜角において
前記フィルタの異なる傾斜角において前記検出部で検出した測定結果を記憶する記憶部と、
前記検出部は、前記結像レンズによって結像された試料像を微小な多角形領域で分解区分し、区分された微小領域ごとに光強度を測定すると共に、微小領域の位置座標（Ｘ，Ｙ）とフィルタ傾斜θから測定位置（ｘ，ｙ）と波長λを割り出し、前記記憶部に出力しており、
前記記憶部に記憶された測定結果から試料の解析画像を構成する画像処理部と、
前記画像処理部の出力を表示する表示手段を備えたことを特徴とする光学顕微装置。
【請求項２】
請求項１記載の光学顕微装置において、
前記フィルタが干渉フィルタであるとき、
前記測定位置（ｘ，ｙ）と前記対物レンズの中心Ｏを結ぶ直線の平面ｘ−ｚ、平面ｙ−ｚ上への正射影が、観察光軸であるｚ軸となす角をそれぞれｉ、ｊとすると、試料と前記対物レンズの間の焦点距離ｆ、試料像と結像レンズの間の焦点距離Ｆ、前記微小領域の位置座標（Ｘ，Ｙ）を用いてｉ、ｊを表すと以下のようになり、
【数３】
0004237300.tif 000008
【数４】
0004237300.tif 000009
フィルタの厚さをｄ、波長の次数をＡとすると、前記ｉ、ｊとフィルタの傾斜θと干渉フィルタの屈折率をＮ（ｎはＮと同一である）を用いて、以下の数式により波長λＩが割り出され、
【数１】
0004237300.tif 000010
前記微小領域の位置座標（Ｘ，Ｙ）と、前記焦点距離ｆと前記焦点距離Ｆを用いて、以下の数式により前記測定位置（ｘ，ｙ）を割り出すことを特徴とする光学顕微装置。
【数５】
0004237300.tif 000011
【数６】
0004237300.tif 000012
【請求項３】
請求項１記載の光学顕微装置において、
前記フィルタがファブリペロー干渉フィルタであるとき、
前記測定位置（ｘ，ｙ）と前記対物レンズの中心Ｏを結ぶ直線の平面ｘ−ｚ、平面ｙ−ｚ上への正射影が、観察光軸であるｚ軸となす角をそれぞれｉ、ｊとすると、試料と前記対物レンズの間の焦点距離ｆ、試料像と結像レンズの間の焦点距離Ｆ、前記微小領域の位置座標（Ｘ，Ｙ）を用いてｉ、ｊを表すと以下のようになり、
【数３】
0004237300.tif 000013
【数４】
0004237300.tif 000014
前記ｉ、ｊとフィルタの傾斜θを用いて、以下の数式により波長λＦ．Ｐ．が割り出され、
【数２】
0004237300.tif 000015
前記微小領域の位置座標（Ｘ，Ｙ）と前記焦点距離ｆと前記焦点距離Ｆを用いて、以下の数式により前記測定位置（ｘ，ｙ）を割り出すことを特徴とする光学顕微装置。
【数５】
0004237300.tif 000016
【数６】
0004237300.tif 000017
【請求項４】
請求項１乃至３記載の光学顕微装置において、前記画像処理部が特定波長の解析画像を構成する際には、前記微小領域ごとに観測された測定結果を記憶部から読み出し、それぞれの微小領域の位置座標に基づいて決定された表示手段への表示位置に、それぞれの微小領域での特定波長計算結果を表示することで試料像の特定波長画像を合成することを特徴とする光学顕微装置。
【請求項５】
請求項１乃至４いずれか記載の装置において、特定波長域の光のみを透過させるフィルタとして干渉フィルタを用いることを特徴とする光学顕微装置。
【請求項６】
請求項１乃至５いずれか記載の装置において、特定波長域の光のみを透過させるフィルタとしてファブリペロー干渉フィルタと、前記ファブリペロー干渉フィルタを透過する波長ｍλ（ｍ：整数）の光の内、ｍ＝ｎ〜ｎ＋１（ｎ：整数）の光を透過させるバンドパスフィルタを用いることを特徴とする光学顕微装置。
【請求項７】
請求項６記載の装置において、用いられるバンドパスフィルタはｎの値の異なるフィルタが複数枚用意されており、任意のｎ値のフィルタに適宜入れ替え可能な構成を有することを特徴とする光学顕微装置。
【請求項８】
請求項１乃至７いずれか記載の装置において、試料像の各ポイント別に測定光の波長と光強度を測定する前記測定光検出部として高感度ＣＣＤ検出器を使用することを特徴とする光学顕微装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は試料からの光を測定することで詳しく試料を解析し得る光学顕微装置、特に波長−光強度を測定する測定機構の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光学顕微鏡や分光光度計などの光学顕微装置は、被測定物からの光を測定し解析することで被測定物の情報を得ることができる現代の一般的な解析機器である。このような機器で被測定物を解析する際には、被測定物からどの波長の光がどの程度の強度で放射されているのかを測定し得ることが重要である。
【０００３】
しかし被測定物から単一の波長の光だけが放射されている場合は非常に稀であり、通常は複数の波長の光が同時に放たれている。そこで被測定物から放射される光の波長−強度を測定する際はフィルタを使用することで単一波長の光を残してカットし、その強度を測定する方法が採られている。このため通常は、フィルタ複数枚を入れ替え可能な状態で備える装置が用いられている。
【０００４】
前述のような光学顕微装置の測定機構の概要図を図１に示す。
同図に示す測定機構２は試料４から放射される光を集光する対物レンズ６と試料像を結像させる結像レンズ８と特定波長の光のみを透過させるフィルタ１０を備える。そして試料４の観察像１２は、対物レンズ６、結像レンズ８を介してフィルタ１０を通過する。このようにして得られた試料４の観察像１２は、特定波長画像となっているはずである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、フィルタ１０は、入射してくる光の入射角度によって透過し得る波長が変わってしまうという欠点を有する。この問題は入射角度の違いによってフィルタの光路差が変わってしまうことなど、入射した光に対して影響を与える条件が変わってしまうことを要因とする。前記構成の測定機構２では、試料４の非常に狭範囲な部位、すなわち試料４のうち、フィルタ１０に垂直な光軸（観察光軸）Ｘ０上の部位での特定波長画像は適正に得ることができるものの、試料４の比較的広範囲な部位の特定波長画像を得ようとする場合、例えば図１に示すように試料４の右端から放射される光（破線で示したもの）の光軸Ｘ１及び試料４の左端から放射される光（二点破線で示したもの）の光軸Ｘ２は、フィルタ１０に垂直な光軸（観察光軸）Ｘ０に対しそれぞれθ１、θ２傾いてしまうため、試料４の観察像１２は光軸Ｘ０から離れるほど少しづつ波長がずれて行き特定波長画像を適正に得ることができないものであった。
【０００６】
このため特定の単一波長画像であるとして観察像を解析すると波長のズレのために誤差が生じてしまうという問題があった。
これらの問題を解決するために本発明者らは、フィルタに入射する角度の違いによって透過波長が変化してしまうという問題から、その特長を生かしてフィルタの角度を変化させることによって透過波長を操作することに思い至りなされたものである。
【０００７】
本発明は前記課題に鑑みなされたものであり、フィルタに入射する角度の違いが存在しても、単一波長画像を観察し得る装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明にかかる光学顕微装置は、試料情報を含んだ試料からの光を集光する集光部と、前記集光部で集光された光を試料像として結像させる結像レンズと、前記結像レンズによって結像された試料像の各ポイント別に光強度を測定する検出部と、を備えた光学顕微装置において、前記試料情報を含む光から特定波長域の光のみを透過させるフィルタと、前記フィルタを観察光軸に対して傾斜させることによって透過可能な特定波長域を変化させるフィルタ傾斜機構と、前記フィルタの異なる傾斜角において前記検出部で検出した測定結果を記憶する記憶部と、前記記憶部に記憶された測定結果から試料の解析画像を構成する画像処理部と、前記画像処理部の出力を表示する表示手段を備えたことを特徴とする
【０００９】
また本発明において、前記検出部は、前記結像レンズによって結像された試料像を微小な多角形領域で分解区分し、区分された微小領域ごとに光強度を測定すると共に、測定位置とフィルタ傾斜から微小領域の位置座標と波長を割り出し、記憶部に出力することが好適である。
また本発明において、前記画像処理部が特定波長の解析画像を構成する際には、前記微小領域ごとに観測された測定結果を記憶部から読み出し、それぞれの微小領域の位置座標に基づいて決定された表示手段への表示位置に、それぞれの微小領域での特定波長計算結果を表示することで試料像の特定波長画像を合成することが好適である。
【００１０】
また本発明において、特定波長域の光のみを透過させるフィルタとして干渉フィルタを用いることが好適である。
また本発明において、特定波長域の光のみを透過させるフィルタとしてファブリペロー干渉フィルタと、前記ファブリペロー干渉フィルタを透過する波長ｍλ（ｍ：整数）の光の内、ｍ＝ｎ〜ｎ＋１（ｎ：整数）の光を透過させるバンドパスフィルタを用いることが好適である。
【００１１】
また本発明において、用いられるバンドパスフィルタはｎの値の異なるフィルタが複数枚用意されており、任意のｎ値のフィルタに適宜入れ替え可能な構成を有することが好適である。
また本発明において、試料像の各ポイント別に測定光の波長と光強度を測定する前記測定光検出部として高感度ＣＣＤ検出器を使用することが好適である。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明にかかる光学顕微装置は、試料の比較的広範囲な部位の観察像の特定波長画像を得るものに採用することができる。
例えば顕微ラマン分光法を用いたＳｉデバイスのストレス評価などがその例として挙げられる。Ｓｉデバイスのストレス評価の精度は、非常に狭い波長幅のラマンピーク特定波長画像をいかに正確に得るかにかかっているため、比較的広範囲な部位の観察像で特定波長画像を得る必要がある。このような場合に本発明の光学顕微装置を用いることが好適である。
【００１３】
以下、図面に基づき本発明の好適な一実施形態について説明する。
図２は本発明の一実施形態にかかる光学顕微装置をラマン分光装置に適用した際の概略構成が示されている。なお、本実施形態において試料としてＳｉデバイスの比較的広範囲な部位を想定し、その観察像の特定波長画像を得る場合について説明する。
同図に示す光学顕微装置であるラマン分光装置１４は、レーザ部１６と、顕微試料室１８と、差分散型トリプル分光器２０と、ＣＣＤ検出器２２を備える。
図３に図２に示すラマン分光装置１４のイメージ測定系を示す。
【００１４】
同図に示すように試料情報を含んだ試料２４からの光を集光する測定光集光部である対物レンズ２６と、前記測定光集光部で集光された光を試料像として結像させる結像レンズ２８と、前記結像レンズによって結像された試料像の各ポイント別に測定光の光強度を測定する測定光検出部であるＣＣＤ検出器３０と、前記測定光から特定波長域の光のみを透過させるフィルタとして干渉フィルタ３２と、前記フィルタを測定光の観察光軸に対して傾斜させることによって透過可能な特定波長域を変化させるフィルタ傾斜機構３３と、前記フィルタの異なる傾斜角において前記測定光検出部で検出した測定結果を記憶し、記憶された測定結果から試料の解析画像を構成する記憶部兼画像処理部３４と、前記画像処理部の出力を表示する表示手段３６を備える。
【００１５】
レーザ部１６から出射されたレーザ光は、ビーム拡大機構部３８によりビーム径が拡大され、半透鏡４０、対物レンズ２６を介して試料２４上の広範囲な部位に照射される。この観察像は対物レンズ２６、半透鏡４０、ラマン光導入切替部４２、干渉フィルタ３２、結像レンズ２８、マスキング４４、リレーレンズ部４６及び切替部４８を介してＣＣＤ検出器３０により撮影される。
ＣＣＤ検出器３０により撮影された画像は、画像処理装置３４により後述する画像処理がなされ、表示手段３６上で目視観察が可能となる。
なお、本実施形態において前記干渉フィルタは、レーリー光除去用のスーパーノッチフィルタ（図示省略）を備える。
【００１６】
本発明において特徴的なことは、フィルタを傾けることによって波長操作を行うことであり、試料像の各ポイントごとに波長を計算し、光強度を測定、記憶し、同一波長の画像を再構成して表示し得ることである。
【００１７】
図４はフィルターの角度と透過波長との関係を示すために本発明の測定機構を簡略的に示した模式図である。なお図３と対応するものには符号１００を付して説明を省略する。
同図において、試料１２４から放射された光は対物レンズ１２６を経て、結像レンズ１２８によって検知面上に試料像を結像されており、対物レンズ１２６と結像レンズ１２８の間にはフィルタ１３２が回転可能に備えられている。そして試料１２４には試料上の位置を示す座標軸ｘ−ｙ−ｚが、さらに観察面上にも試料像上の位置を示す座標軸Ｘ−Ｙ−Ｚが図に示すようにそれぞれ張られている。
【００１８】
試料上の位置（ｘ，ｙ）の点から放射される光を測定する際に、点（ｘ，ｙ）と対物レンズの中心Ｏを結ぶ直線の平面ｘ−ｚ、及び平面ｙ−ｚ上への正射影が、ｚ軸（観察光軸）となす角をそれぞれｉ、ｊであり、フィルタがθだけ傾いていたとすると、フィルタの傾きと透過波長には以下のような関係にある。
使用しているフィルタが干渉フィルタであるとき透過波長λＩは次の数１で表される。
【数１】
0004237300.tif 000002
ここでＮは干渉フィルタの屈折率である。
また使用しているフィルタがファブリペロー干渉フィルタであるとき、エア・スペースにおいてはＮ＝１であるから透過波長λＦ．Ｐ．は次の数２で表される。
【００１９】
【数２】
0004237300.tif 000003
なお本実施形態において、フィルタは図４に示すように観察光軸に対して垂直なｘ−ｙ平面に平行な状態からｙ軸と平行な軸を回転軸として回転するようになっている。
【００２０】
この数式のように表されるフィルタの傾斜角と透過波長の関係から波長操作を行い得ることを見出し、実験の結果この式と良く一致する結果が得られることが確かめられた。故にフィルタの角度を操作することによってその角度に対応した透過波長範囲の光を観測することが確かめられたのである。
しかしフィルタを傾けることで透過波長の操作を行うことはできるが、単一波長画像を得ることはできない。このため本発明は試料像の各ポイント別に、測定光の光強度を測定して行き、その位置で観測される光の波長を計算して行くのである。
【００２１】
試料から放射される光は対物レンズ１２６によって集光され、結像レンズ１２８によって試料像が観察面上に結像されている。この試料像をポイント別に測定する機構として本実施形態では、微小領域に分解し、その領域ごとに波長−強度を測定するために、画素単位で測定して行くのである。つまり観察面上の座標（Ｘ，Ｙ）での画素で強度Ｉを測定し、その位置で測定される光の波長λを計算し、記憶部に｛（Ｘ，Ｙ），（λＸ，Ｙ，ＩＸ，Ｙ）｝という４次元データとして記憶していくことで、ある波長における単一波長画像を画素単位で再構成し、観察することができるのである。
【００２２】
また観察光軸と入射光のなす角ｉ、ｊには次のような関係がある。
【数３】
0004237300.tif 000004
【数４】
0004237300.tif 000005
ここでｆは試料と対物レンズ１２６の間の焦点距離、Ｆは試料像と結像レンズ１２８の間の焦点距離である。数３、４から、
【００２３】
【数５】
0004237300.tif 000006
【数６】
0004237300.tif 000007
が成り立ち、測定されたデータ群｛（Ｘ，Ｙ），（λＸ，Ｙ，ＩＸ，Ｙ）｝を試料の座標（ｘ，ｙ）に関するデータ群に変換することが可能である。
【００２４】
なお、本発明でいう「観察面上に試料像が結像されている」ということは目視可能な状態にあることを必要としない。試料上の各位置（ｘ，ｙ）が試料像上の各位置（Ｘ，Ｙ）と１：１に対応している状態をいう。なぜならば本発明は可視領域でない紫外、赤外などの光を扱う装置においても適用可能であるからである。
また本実施形態においては画素単位で測定を行ったが本発明はこれに限られるものではなく、微小領域ごとに測定するものであればよい。もちろん分解能の向上を考慮すると、微小領域が小さければ小さいほどよい。
【００２５】
【実施例】
第一実施形態
図３に示された測定機構によって、実際に測定を行った。以下、図３を参照して操作手順を追いながら本発明の作用について説明する。
レーザ部１６から出射されたレーザ光は、ビーム拡大機構部３８によりビーム径が拡大され、半透鏡４０、対物レンズ２６を介して試料２４上の広範囲な部位に照射されることは前述の通りである。レーザ光を照射された試料２４からは試料の情報を含んだ光が放射される。その試料の情報を含んだ光は対物レンズ２６で集光される。集光した光には様々な波長の光が含まれており、干渉フィルタ３２を傾斜させることによって透過する光の波長操作を行う。
【００２６】
フィルタ３２を傾斜させる角度、及び何度と何度で測定を行えば測定すべき波長域全域が全視野（すべての位置（Ｘ，Ｙ））で測定できるかは、前述した式によって計算できる。測定に際しては前記数１によってフィルタ３２の傾斜角θ１、θ２、θ３、θ４、θ５、…で測定すればよいことをあらかじめ計算してある。
【００２７】
まず観察光軸に対してフィルタが垂直な状態である傾斜角θ１＝０度で測定を行った。結像レンズ２８によってＣＣＤ検出器３０上の観察面に結像された試料像を各ピクセルごとに波長−強度を測定して行き、測定結果は各ピクセルごとに前述したように｛（Ｘ，Ｙ），（λＸ，Ｙ，ＩＸ，Ｙ）｝の４次元データとして記憶部兼画像処理部３４に記憶される。
【００２８】
このとき観察された画像を図５に示す。同図に示すようにフィルタを透過しているにも関わらず得られた画像は単一波長画像ではないことがわかる。このため各ピクセルごとに測定し、結果を記憶しているのである。
【００２９】
続いてフィルタをθ２＝３度に傾斜させ、測定を行った。このとき観察された画像を図６に示す。同図に示すように図５と比較して明らかに観測される光の波長や分布状態が異なることがわかる。これはフィルタを傾斜させることで透過波長が操作し得ることを示している。
【００３０】
このようにしてあらかじめ計算されたフィルタの傾斜角θ３、θ４、θ５、…と測定して行き、測定すべき波長域全域が全視野（すべての位置（Ｘ，Ｙ））で測定されるまで測定を行う。
測定すべき波長域全域が全視野（すべての位置（Ｘ，Ｙ））で測定されたら、試料像の観察面上での位置座標（Ｘ，Ｙ）で書かれた測定データを、試料の位置座標（ｘ，ｙ）に変換し、（ｘ，ｙ）に対する各波長ごとの強度値を並べ換える。
【００３１】
試料座標に変換されたデータ群は、画像処理部３４によって解析者が指定した波長の単一波長画像として表示手段３６に表示される。図７は波長５３０ｎｍにおける試料表面での強度変化を示した３次元グラフである。このように得られる画像は単一波長画像であるから正確な解析を行うことができる。
【００３２】
ここで画像処理部のソフト的な改良によってあるｘの値に対するｙ軸方向の波長と強度変化を示す３次元画面やあるポイント（ｘ，ｙ）における波長−強度の変化を示した２次元グラフなどを表示できるようにしても良い。
【００３３】
第二実施形態
図８には本発明の第二の実施形態として図３の測定機構においてフィルタとしてファブリペロー干渉フィルタとバンドパスフィルタとして干渉フィルタを用いた測定機構の概要図が示されている。なお図３と対応するものには符号２００を付して説明を省略する。
【００３４】
ファブリペロー干渉フィルタは、高い分離能を有するが、波長ｍλ（ｍは整数）の光を透過させる性質を持つ。そこでファブリペロー干渉フィルタを使用する際には、透過する光の波長をさらにバンドパスフィルタによって操作するのである。このため測定して行く手順は前述の第一実施形態と同じであるが、透過波長操作において多少異なる。
【００３５】
レーザ部２１６から出射されたレーザ光は、ビーム拡大機構部２３８によりビーム径が拡大され、半透鏡２４０、対物レンズ２２６を介して試料２２４上の広範囲な部位に照射され、レーザ光を照射された試料２２４からは試料の情報を含んだ光が放射される。その試料の情報を含んだ光は対物レンズ２２６で集光される。集光した光には様々な波長の光が含まれており、ファブリペロー干渉フィルタ２５０及びバンドパスフィルタ２５２を傾斜させることによって透過する光の波長操作を行うのである。
【００３６】
ファブリペロー干渉フィルタ２５０及びバンドパスフィルタ２５２を傾斜させる角度、及び何度と何度で測定を行えば測定すべき波長域全域が全視野（すべての位置（Ｘ，Ｙ））で測定できるかは、前述した式数２によってファブリペロー干渉フィルタ２５０の傾斜角ψ１、ψ２、ψ３、ψ４、ψ５、…でおよび数１によってバンドパスフィルタ２５２の傾斜角θ１、θ２、θ３、θ４、θ５、…で測定すればよいことをあらかじめ計算してある。
【００３７】
第一実施形態との相違はバンドパスフィルタがファブリペロー干渉フィルタを透過する波長ｍλ（ｍ：整数）の光の内、ｍ＝ｎ〜ｎ＋１（ｎ：整数）の光を透過させるバンドパスフィルタを、ｎの値の異なるフィルタが複数枚用意されており、任意のｎ値のフィルタに適宜入れ替え可能となっていることである。
【００３８】
まず観察光軸に対してフィルタが垂直な状態であるファブリペロー干渉フィルタ２５０の傾斜角ψ１＝０度、バンドパスフィルタの傾斜角θ１＝０度でｎ＝１のバンドパスフィルタを用いて測定を行った。結像レンズ２８によってＣＣＤ検出器３０上の観察面に結像された試料像を各ピクセルごとに波長−強度を測定して行き、測定結果は各ピクセルごとに前述したように｛（Ｘ，Ｙ），（λＸ，Ｙ，ＩＸ，Ｙ）｝の４次元データとして記憶部兼画像処理部３４に記憶される。
【００３９】
続いてψ１、θ１は動かさずにそのままにしておきバンドパスフィルタをｎ＝１のものからｎ＝２のものに入れ換えて測定を行う。そしてｎ＝２で測定を終了したらｎ＝３のバンドパスフィルタに入れ換えて測定を行うというように、備えられたバンドパスフィルタをｎ＝１〜ｋ（ｋは任意の整数）まで入れ換えて順次測定して行く。
【００４０】
一通りバンドパスフィルタを入れ換えて測定を行った後、ファブリペロー干渉フィルタ２５０の傾斜角ψ１＝０度からψ２＝３度に傾斜させた。このときバンドパスフィルタ２５２も必要があればθ１からθ２に角度を変える。
【００４１】
必要があればというのはファブリペロー干渉フィルタの透過させる光の波長と透過量の関係における半値幅ΔλＦが、バンドパスフィルタが透過させる光の波長と透過量の関係における半値幅ΔλＩに比べて十分小さく、ΔλＩ＞＞ΔλＦとなっているときはバンドパスフィルタの角度は変える必要がないからである。
【００４２】
このような手順で測定を進めて行き、測定すべき波長域全域が全視野（すべての位置（Ｘ，Ｙ））で測定されたら、試料像の観察面上での位置座標（Ｘ，Ｙ）で書かれた測定されたデータを、試料の位置座標（ｘ，ｙ）に変換し、（ｘ，ｙ）に対する各波長ごとの強度値を並べ換える。
試料座標に変換されたデータ群は、画像処理部２３４によって解析者が指定した波長の単一波長画像として表示手段２３６に表示される。
図９に本発明の実施形態にある装置を作動させた際の動作の流れを示したブロック図が示されている。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明による光学顕微装置によれば、フィルタを傾斜させることにより、透過波長の操作が可能なのでコストを抑えることができるうえ、ポイント別に波長−強度を測定するので正確な単一波長画像を解析することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、光学顕微装置の測定機構の概要図である。
【図２】図２は本発明の一実施形態にかかる光学顕微装置をラマン分光装置に適用した際の概略構成を示した図である。
【図３】図３は、図２に示すラマン分光装置１４のイメージ測定系である。
【図４】図４は、本発明の測定機構を簡略的に示した模式図である。
【図５】図５は、フィルタの傾斜角θ１＝０度で測定を行った際に観察された観察画像である。
【図６】図６は、フィルタの傾斜角θ２＝３度で測定を行った際に観察された観察画像である。
【図７】図７は波長５３０ｎｍにおける試料表面での強度変化を示した３次元グラフである。
【図８】図８はファブリペロー干渉フィルタとバンドパスフィルタとして干渉フィルタを用いた測定機構の概要図である。
【図９】図９は本発明の装置を作動させた際の動作の流れを示したブロック図である。
【符号の説明】
【符号の説明】
２  測定機構（光学顕微装置）
４  試料
６  対物レンズ（集光部）
８  結像レンズ
１０  フィルタ
１２  観察像
１４  ラマン分光装置
１６  レーザ部
１８  顕微試料室
２０  差分散型トリプル分光器
２２  ＣＣＤ検出器
２４  試料
２６  対物レンズ
２８  結像レンズ
３０  ＣＣＤ検出器
３２  干渉フィルタ
３３  フィルタ傾斜機構
３４  記憶部兼画像処理部
３６  表示手段
３８  ビーム拡大機構部
４０  半透鏡
４２  ラマン光導入切替部
４４  マスキング
４６  リレーレンズ部
４８  切替部
【図１】
0004237300.tif 000018
【図２】
0004237300.tif 000019
【図３】
0004237300.tif 000020
【図４】
0004237300.tif 000021
【図５】
0004237300.tif 000022
【図６】
0004237300.tif 000023
【図７】
0004237300.tif 000024
【図８】
0004237300.tif 000025
【図９】
0004237300.tif 000026