(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターニングされた基板の欠陥部を修正フィルムを用いて修正するフィルム転写修正装置であって、
光軸を垂直方向に向けて配置された対物レンズ、
前記対物レンズの下方に配置された透明加圧板、
前記透明加圧板の下方に配置され、前記基板を搭載して水平方向に移動し、前記欠陥部を前記対物レンズの光軸が通る位置に位置決めするテーブル、および
前記対物レンズの光軸を介して前記基板の表面の画像を撮像する撮像手段を備え、
前記テーブルの移動は、前記撮像手段によって撮像された前記基板の表面の画像に基づいて行なわれ、
さらに、前記対物レンズの光軸を介して前記欠陥部に第１のレーザ光を照射し、前記欠陥部を除去して所定形状の白欠陥部を生成する第１のレーザ光源、
前記基板と前記透明加圧板との間に前記修正フィルムを供給するフィルム供給手段、
前記透明加圧板を下降させて前記修正フィルムを前記基板に押圧し、前記修正フィルムの修正層を前記白欠陥部に密着させる駆動手段、および
前記対物レンズの光軸を介して前記修正層に第２のレーザ光を照射し、前記所定形状の前記修正層を加熱して前記白欠陥部に転写させる第２のレーザ光源を備え、
前記第１のレーザ光源は、その光軸が前記対物レンズの光軸と一致するように配置され、
前記第２のレーザ光源は、その光軸が前記第１のレーザ光源の光軸と直交するように配置され、
前記撮像手段は、前記第１および第２のレーザ光源の下方に配置されるとともに、その光軸が前記対物レンズの光軸と直交するように配置され、
さらに、前記第１および第２のレーザ光源の光軸の交差部に設けられ、前記第１および第２のレーザ光を前記対物レンズの光軸に導く第１のハーフミラー、
前記第１のレーザ光源の光軸と前記撮像手段の光軸との交差部に設けられ、前記第１および第２のレーザ光を前記対物レンズの光軸に導くとともに、前記基板の表面の画像を前記撮像手段に導くための第２のハーフミラー、および
前記第１および第２のハーフミラーの間において前記対物レンズの光軸に設けられ、前記所定形状のレーザスポットを前記欠陥部および前記修正層に投影するためのスリットを備え、
前記駆動手段は、前記透明加圧板を前記対物レンズの光軸の方向に移動可能に保持するＺ軸スライドを含み、前記テーブルによる位置決めが行なわれる場合は、前記透明加圧板を前記対物レンズ側に引き込むことを特徴とする、フィルム転写修正装置。
【請求項２】
前記パターニングされた基板は液晶カラーフィルタであることを特徴とする、請求項１に記載のフィルム転写修正装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明はフィルム転写修正装置に関し、特に、液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造工程で発生するカラーフィルタの白抜きや黒欠陥や異物などの欠陥を修正するようなフィルム転写修正装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶ディスプレイ用カラーフィルタなどの製造工程において、歩留りを上げるための欠陥修正作業があり、その１つの方法としてフィルム転写法がある。
【０００３】
図３は修正フィルムの一例を示す断面図である。図３において、修正フィルム２０は、カバーフィルム２０ａと着色層２０ｂと中間層２０ｃと補助層２０ｄとベースフィルム２０ｅとからなっている。着色層２０ｂは加熱すると軟化する性質を持ち、かつ紫外線に感光する性質を性質を有している。
【０００４】
図４は図３に示した修正フィルムを用いて欠陥を修正する方法を説明するための図である。まず、図４（ａ）の中心部の黒い部分が欠陥であり、この欠陥がある着色層は図４（ｂ）に示すように１画素単位でレーザ光により除去される。そして、図４（ｃ）に示すように除去された画素部分より大きな範囲に修正用フィルムが転写された後、欠陥部裏面、または、欠陥部のみ表面から紫外線が露光されてから現像が行なわれ、図４（ｄ）に示すように修正後の基板が得られる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述の欠陥修正方法の１つであるフィルム転写法には、現像プロセスを必要とするため、コスト高になるという欠点があった。
【０００６】
それゆえに、この発明の主たる目的は、現像が不要なフィルム転写修正装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この発明に係るフィルム転写修正装置は、パターニングされた基板の欠陥部を修正フィルムを用いて修正するフィルム転写修正装置であって、その光軸を垂直方向に向けて配置された対物レンズと、対物レンズの下方に配置された透明加圧板と、透明加圧板の下方に配置され、基板を搭載して水平方向に移動し、欠陥部を対物レンズの光軸が通る位置に位置決めするテーブルと、対物レンズの光軸を介して基板の表面の画像を撮像する撮像手段とを備えたものである。テーブルの移動は、撮像手段によって撮像された基板の表面の画像に基づいて行なわれる。このフィルム転写修正装置は、さらに、対物レンズの光軸を介して欠陥部に第１のレーザ光を照射し、欠陥部を除去して所定形状の白欠陥部を生成する第１のレーザ光源と、基板と透明加圧板との間に修正フィルムを供給するフィルム供給手段と、透明加圧板を下降させて修正フィルムを基板に押圧し、修正フィルムの修正層を白欠陥部に密着させる駆動手段と、対物レンズの光軸を介して修正層に第２のレーザ光を照射し、所定形状の修正層を加熱して白欠陥部に転写させる第２のレーザ光源を備えて構成される。
【００１０】
ここで、第１のレーザ光源は、その光軸が対物レンズの光軸と一致するように配置され、第２のレーザ光源は、その光軸が第１のレーザ光源の光軸と直交するように配置され、撮像手段は、第１および第２のレーザ光源の下方に配置されるとともに、その光軸が対物レンズの光軸と直交するように配置される。このフィルム転写修正装置は、さらに、第１および第２のレーザ光源の光軸の交差部に設けられ、第１および第２のレーザ光を対物レンズの光軸に導く第１のハーフミラーと、第１のレーザ光源の光軸と撮像手段の光軸との交差部に設けられ、第１および第２のレーザ光を対物レンズの光軸に導くとともに、基板の表面の画像を撮像手段に導くための第２のハーフミラーと、第１および第２のハーフミラーの間において対物レンズの光軸に設けられ、所定形状のレーザスポットを欠陥部および修正層に投影するためのスリットを備える。また、駆動手段は、透明加圧板を対物レンズの光軸の方向に移動可能に保持するＺ軸スライドを含み、テーブルによる位置決めが行なわれる場合は、透明加圧板を対物レンズ側に引き込む。
【００１２】
また好ましくは、パターニングされた基板は液晶カラーフィルタである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１はこの発明の一実施形態のフィルム転写修正装置の外観図である。図１において、ワーク１はＸＹテーブル２上に載置されており、ワーク１と垂直方向には加工用の光学系が設けられている。光学系の１つの対物レンズ４の下方には、フィルム供給手段としてのリールから修正用フィルム３が供給され、この修正用フィルム３をワーク１に押し当てるための透明加圧板５がＺ軸スライド６上に取付けられている。位置決め時は、透明加圧板５が対物レンズ４側に引込まれるように構成されている。
【００１４】
対物レンズ４の上方にはハーフミラー１２と結像レンズ８とスリット１１とハーフミラー１３とが配列されている。ハーフミラー１２は、対物レンズ４を通過したワーク１の表面画像をＣＣＤ素子７に導く。レーザ光源９は欠陥パターンを除去するために設けられており、欠陥パターンを除去しやすいようにＹＡＧ第２高調波（λ＝５３２ｎｍ），第３高調波などの紫外域あるいはそれに近い可視領域のごとく波長の短いレーザ光が用いられる。このレーザ光源９からのレーザ光はハーフミラー１３，スリット１１，結像レンズ８およびハーフミラー１２を通過し、対物レンズ４よりワーク１上にスリット１１の形状を反転縮小したレーザスポットとして投影され、欠陥パターンがレーザ光により除去される。
【００１５】
レーザ光源１０は熱転写用として設けられており、ＹＬＦレーザの高周波（数ｋＨｚ）パルス発振回路やレーザダイオードまたは半導体レーザなどの赤外域あるいはそれに近い可視領域のごとく熱しやすい波長のレーザ光が用いられる。このレーザ光源１０からのレーザ光はハーフミラー１３で９０°曲げられスリット１１，結像レンズ８，ハーフミラー１２および対物レンズ４を介してスリット１１の反転縮小形状のスポットがフィルム３に投影される。
【００１６】
図２はこの発明の一実施形態での修正動作を説明するための図であり、特に（ａ）は位置決め，（ｂ）は欠陥除去，（ｃ）は微細パターン転写の３動作を示す図である。
【００１７】
次に、図１および図２を参照して、この発明の一実施形態における欠陥パターンの修正方法について具体的に説明する。
【００１８】
図２（ａ）に示すように、位置決め時には、修正用フィルム３が加圧板５とワーク１の間から離されかつ加圧板５が対物レンズ４側に引込まれている。そして、加圧板５を介して対物レンズ４およびハーフミラー１２を用いてＣＣＤ素子７にワーク１の表面画像が取込まれる。ＣＣＤ素子７の出力は図示しないＴＶモニタに与えられ、ＴＶモニタを見ながらＸＹテーブル２を移動させてパターンの欠陥位置の位置決めが行なわれる。
【００１９】
欠陥パターンへの位置決めが完了すると、図２（ｂ）に示す欠陥除去作業に移る。レーザ光源９からのレーザ光がハーフミラー１３，スリット１１，結像レンズ８，対物レンズ４を介してワーク１の上にスリット１１の形状を反転縮小したレーザスポットが投影され、レーザ光により欠陥パターンが除去される。
【００２０】
その後、図２（ｃ）に示す微細パターンの転写動作が行なわれる。すなわち、修正用フィルム３がワーク１と加圧板５との間に挿入され、続いてＺ軸スライド６が下方に駆動されて加圧板５によって修正用フィルム３がワーク１に押し付けられて密着する。そして、レーザ光１０からのレーザ光がハーフミラー１３，スリット１１，結像レンズ８，ハーフミラー１２および対物レンズ４を介して修正用フィルム３に照射され、修正用フィルム３が加熱されて軟化し、ワーク１に熱圧着される。このとき、修正用フィルム３およびワーク１の表面はほぼ対物レンズの焦点上にあるため、スリット１１の反転縮小形状のスポットが修正用フィルム３に投影され、スポット部分が加熱され、スポット形状のフィルムの微小部分がワーク１に加熱圧着されて欠陥が修正される。
【００２１】
上述のごとく、この発明の一実施形態によれば、加熱にレーザを用いることで、位置決め光学系，欠陥除去加工レーザ，熱転写用レーザを同一対物レンズ４の光軸上に配置することができ、安定した加工精度を期待できる。しかも、フィルム転写法は、インク塗布などの修正法に比べ、修正箇所の均質性が高く、完全なドライプロセスとなり、修正工程を簡略できる。
【００２２】
なお、上述の実施形態では、液晶カラーフィルタの修正にこの発明を適用するようにしたが、この他にマスクの修正や電極の修正などにも適用することができる。
【００２３】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、フィルムをパターニングされた基板に密着させ、レーザによる修正パターン形状をフィルムに照射してパターニングされた基板に転写することにより欠陥を修正するようにしたので、完全なドライプロセスとなり、修正工程を簡略できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に一実施形態のフィルム転写修正装置の構成を示す図である。
【図２】この発明の一実施形態におけるフィルム転写方法を説明するための図である。
【図３】修正フィルムの一例を示す断面図である。
【図４】図３に示した修正フィルムを用いて欠陥を修正する方法を説明するための図である。
【符号の説明】
１  ワーク
２  ＸＹテーブル
３  修正用フィルム
４  対物レンズ
５  透明加圧板
６  Ｚ軸スライド
７  ＣＣＤ素子
８  結像レンズ
９，１０  レーザ光源
１１  スリット
１２，１３  ハーフミラー
【図１】
0004322972.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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