(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光性ドライフィルム原反から供給され、保護フィルムを剥がし、且つ帯状にした感光性ドライフィルムレジストを、連続的に基材にラミネートするラミネート作業工程において、感光性ドライフィルム原反を旧反から新反へ切り換える際に、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを、基材上で繋ぐ接続方法であって、旧反から新反への切り換えの際、旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部に、その長さ方向に所定幅だけ、レジストが感光するＵＶ光を所定量だけ照射した後、旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部のキャリアフィルム上に、新反の感光性ドライフィルムレジストの先頭部を、所定の長さ分だけ、そのレジスト側を重ね合わせるようにして、ヒートラミネータを介して、新反および旧反の感光性ドライフィルムレジストを基材に圧着して、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを基材上で接続することを特徴とする感光性ドライフィルムレジストの接続方法。
【請求項２】
請求項１において、基材がフープ状の金属薄板であることを特徴とする感光性ドライフィルムレジストの接続方法。
【請求項３】
請求項２における基材が、シヤドウマスク用ないしリードフレーム加工用の金属薄板であることを特徴とする感光性ドライフィルムレジストの接続方法。
【請求項４】
請求項１において、基材は、ベース基材の少なくとも一面に金属層を形成しているものであることを特徴とする感光性ドライフィルムレジストの接続方法。
【請求項５】
請求項４における基材が、プリント配線用基板用の基材であることを特徴とする感光性ドライフィルムレジストの接続方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，感光性ドライフィルム原反から供給され、保護フィルムを剥がし、且つ帯状にした感光性ドライフィルムレジストを、連続的に基材にラミネートするラミネート作業工程において、感光性ドライフィルム原反を、旧反から新反への切り換えの際に、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを、基材上で繋ぐ接続方法に関する。
特に、シヤドウマスク加工用の金属薄板やリードフレーム加工用の金属薄板や、プリント配線用基板用の基材へ、感光性ドライフィルムレジストを連続的にラミネートする際の、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストの接続方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、感光性ドライフィルムレジスト（ＤＦＲとも言う、尚、ＤＦＲは、Ｄｒｙ  Ｆｉｌｍ  Ｒｅｓｉｓｔの略である）は、プリント配線板に代表されるように、ケミカルエッチングによる金属の微細加工に用いられてきた。
図４（ａ）にその断面を示すように、感光性ドライフィルムレジストは、ベースとなるベースフィルム（キャリアフィルムとも言う）４１１の一面に感光性レジスト４１２を配設したもので、通常、図４（ａ）（ロ）に示すように、ベースとなるベースフィルム４１１と、保護フィルム４１３の中間に、感光性レジスト４１２が挟まれる構造になっている。
以下、ここでは、図４（ａ）（イ）に示す状態を、保護フィルムを付けていない状態の感光性ドライフィルムレジスト４１０、図４（ａ）（ロ）に示すものを保護フィルムを付けた状態の感光性ドライフィルムレジスト４１０Ａと言い、更に、両者を単に、感光性ドライフィルムレジストとも言う。
一般には、保護フィルムを付けた状態での感光性ドライフィルムレジスト４１０Ａが、ロール状になって支給、ないし製造保管され、ラミネートを行う際に、ロール状になった保護フィルムを付けた状態での感光性ドライフィルムレジスト４１０Ａから保護フィルムを剥がし、保護フィルムを付けていない状態の感光性ドライフィルムレジスト４１０とし、これを、感光性レジスト４１２が基材側となるようにして、基材へラミネートするものである。尚、このロール状のものを原反ロールとも言う。
保護フィルムを付けていない状態の感光性ドライフィルムレジスト４１０の基材４３０へのラミネートは、図４（ｂ）に示すように、保護フィルム４１３を剥離した後、ヒートロール４２１と貼り合わせ用ニップロール４２５を有するラミネータ等で、ヒートロール４２１による加熱と、ニップ圧によって、基材４３０に密着させて行われており、ラミネート後、ベースフィルム４１１を剥離して、基材４３０上にレジスト４１２のみ設けて製版処理等を行っていた。
【０００３】
ところで、ＤＦＲを使用する例で、特願平９−１６３４６９号のように、連続した金属薄板にエッチング加工を行う加工工程において、原反ロールの切り替えの際、基材上に、切り替えによるレジストの切れ目が発生しないようにして、連続した状態のレジスト被膜を得る方法が知られている。
基材上のレジストに切れ目が有ると、エッチング加工後に基材切れが発生することがある為、これを防止して、原反ロールの切り替えを行う方法である。
この方法は、図３（ａ）に示すように、原反ロールの切り替えの際、旧原反（単に旧反とも言う）３２０のベースフィルム（図４の４１１に相当）上に新原反（単に新反ともう言う）３２５のレジスト（図４の４１２に相当）側を、図３（ｂ）に示すように、所定の幅で重ね合わせて、接続し、ヒートラミネータ３４０、３４５により順次、基材３１０にラミネートするもので、旧反の末部と新反の先端部との繋ぎ部においては、旧反から滲み出たレジストにより、レジストの切れ目が発生しないようにしている。
尚、図３（ｂ）は図３（ａ）のＡ０部における旧反の末部と新反の先端部とを拡大して示した図である。
また、図３（ｃ）、図３（ｄ）は、それぞれ、旧反の末部と新反の先端部との繋ぎ部分が、ヒートラミネータ３４５により圧着される前、後を示した断面図である。
しかし、この方法の場合、ＤＦＲの種類（性質）、膜厚等の違いによっては、前述の旧反の末部と新反の先端部との繋ぎ部分の箇所は、ベースフィルム３２０Ｂ、３２５Ｂを剥離した後、図３（ｅ）に示すように、旧反から滲み出たレジスト３２２に切れ目が発生することがあり、この対応が求められていた。
【０００４】
このような、金属薄板からなる基材（図５の５３０に相当）の両面への感光性ドライフィルムレジスト（図５の５１０に相当）のラミネートは、従来、図５に示すような装置構成の中で、行なわれていた。
ここで、図５に示す装置構成に基づいて、基材５３０への感光性ドライフィルムレジスト５１０のラミネート方法を簡単に説明しておく。
保護フィルムを付けた状態の感光性ドライフィルムレジストのロール（原反ロール）５００から、保護フィルムを付けていない状態の感光性ドライフィルムレジスト５１０は矢印の方向に引出され、シート状にされた状態（図５のＰ１点での状態）で、基材５３０の一面にラミネートロール（ヒートロールとも言う）５２１、５２２によりラミネートされるが、これと同時に、保護フィルムを付けた状態の感光性ドライフィルムレジストのロール（原反ロール）５００Ａからも、保護フィルムを付けていない状態の感光性ドライフィルムレジスト５１０が矢印の方向に引出され、シート状にされた状態（図５のＰ２点での状態）で、基材５３０の他の一面にラミネートロール（ヒートロールとも言う）５２１、５２２によりラミネートされる。この結果、基材５３０の両面に感光性ドライフィルムレジスト５１０がラミネートされる。
尚、図５における巻取りロール５２６は、ロール５２７を介して、保護フィルムのみを巻き取るものである。
上記、図５に示す装置構成におけるラミネート法は、基材５３０の両面に感光性フィルムレジスト５１０をラミネートするものであるが、基材の片面のみにラミネートする場合には、片面のみを同じようにしてラミネートしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このため、ＤＦＲをレジストとして用い、連続した金属薄板からなる基材にエッチング加工を施す加工工程においては、原反ロールの切り替えの際、ＤＦＲの種類、詳しくは、ＤＦＲのレジストの流動性の違いによらず、基材上に、切り替えによるレジストの切れ目が発生しないようにして、連続した状態のレジスト被膜を得る方法が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、ＤＦＲをレジストとして用い、連続した金属薄板からなる基材にエッチング加工を施す加工工程において、原反ロールの切り替えの際、ＤＦＲの種類（性質）によらず、基材上に、切り替えによるレジストの切れ目が発生しないようにして、連続した状態のレジスト被膜を得ることができる方法を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の感光性ドライフィルムレジストの接続方法は、感光性ドライフィルム原反から供給され、保護フィルムを剥がし、且つ帯状にした感光性ドライフィルムレジストを、連続的に基材にラミネートするラミネート作業工程において、感光性ドライフィルム原反を旧反から新反へ切り換える際に、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを、基材上で繋ぐ接続方法であって、旧反から新反への切り換えの際、旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部に、その長さ方向に所定幅だけ、レジストが感光するＵＶ光を所定量だけ照射した後、旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部のキャリアフィルム上に、新反の感光性ドライフィルムレジストの先頭部を、所定の長さ分だけ、そのレジスト側を重ね合わせるようにして、ヒートラミネータを介して、新反および旧反の感光性ドライフィルムレジストを基材に圧着して、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを基材上で接続することを特徴とするものである。
尚、本発明においては、感光性ドライフィルムレジストのレジストが、ＵＶ光に感光性を有する光硬化型のレジストで、且つ、ＵＶ光で感光するレジストであることを前提としている。
また、照射するＵＶ光の照射量は、レジストの種類（性質）、厚さ等により、ヒートラミネータを介して、新反および旧反の感光性ドライフィルムレジストを基材に圧着（ラミネート）した後に、接続部にてレジストの切れ目が発生しないように、適当に制御して行う。
また、ＵＶ光を照射する旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部の所定幅としては１ｍｍ以上の長さが必要である。
また、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを基材上で繋ぐ、接続部箇所を、場合によっては、２回以上、ヒートラミネータを介して、基材へ圧着しても良い。
そして、上記において、基材がフープ状の金属薄板であることを特徴とするものであり、基材が、シヤドウマスク用ないしリードフレーム加工用の金属薄板であることを特徴とするものである。
あるいはまた、上記において、基材は、ベース基材の少なくとも一面に金属層を形成しているものであることを特徴とするものであり、基材が、プリント配線用基板用の基材であることを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】
本発明の感光性ドライフィルムレジストの接続方法は、このような構成にすることにより、連続した金属薄板からなる基材にエッチング加工を施す加工工程において、原反ロールの切り替えの際、ＤＦＲの種類（性質）によらず、基材上に、切り替えによるレジストの切れ目が発生しないようにして、連続した状態のレジスト被膜を得ることができる方法の提供を可能とした。
具体的には、旧反から新反への切り換えの際、旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部に、その長さ方向に所定幅だけ、レジストが感光するＵＶ光を所定量だけ照射した後、旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部のキャリアフィルム上に、新反の感光性ドライフィルムレジストの先頭部を、所定の長さ分だけ、そのレジスト側を重ね合わせるようにして、ヒートラミネータを介して、新反および旧反の感光性ドライフィルムレジストを基材に圧着して、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを基材上で接続することにより、これを達成している。
詳しくは、旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部に、レジストが感光するＵＶ光を照射することにより、ヒートラミネータによる基板への圧着時に、ＵＶ光が照射された部分のレジストの流動性を制御するもので、適当にレジストの流動性を制御することにより、接続部において、レジストの切れ目を無くすものである。
シヤドウマスク加工用ないしリードフレーム加工用の金属薄板である、フープ状の金属薄板の場合には、エッチング後の基材切れの発生を防止でき、連続して作業ができるため、特に、有効である。
勿論、その他、ベース基材の少なくとも一面に金属層を形成しているもの、例えば、配線基板用の基材に対しても、接続部の品質の面から有効である。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の感光性ドライフィルムレジストの接続方法の実施の形態の１例を説明する。
本例は、シヤドウマスク加工用ないしリードフレーム加工用の金属薄板である、フープ状の金属薄板（エッチング加工用基材）の両面に、感光性ドライフィルム原反から供給され、保護フィルムを剥がし、且つ帯状にした感光性ドライフィルムレジストを、連続的にラミネートするラミネート作業工程において、感光性ドライフィルム原反を旧反から新反への切り換える際に、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを、基材上で繋ぐ接続方法で、接続部箇所において、感光性ドライフィルムレジストのベースフィルム（キャリアフィルム）を剥離後に、レジストの切れ目が発生することを防止する接続方法である。
図１（ａ）、図１（ｂ）は、それぞれ、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを繋いだ接続部箇所のラミネート前、後の、基材の一面側の状態を示した断面図で、図１（ｃ）は、接続部箇所のラミネート後、ベースフィルムを剥離した状態を示した基材の一面側の断面図で、図２は本例を実施するためのラミネート部を示した斜視図である。
図１〜図２中、１１０は基材、１２０は旧反の（保護フィルムを剥がした状態の）感光性ドライフィルムレジスト、１２０Ａはレジスト、１２０Ｂはベースフィルム（キャリアフィルム）、１２１はＵＶ照射部、１２２は滲み出しレジスト、１２５は新反の（保護フィルムを剥がした状態の）感光性ドライフィルムレジスト、１２５Ａはレジスト、１２５Ｂはベースフィルム（キャリアフィルム）、１４０、１４５はヒートラミネータである。
【０００９】
以下、本例を図１、図２に基づいて説明する。
先ず、旧反の末部に、その長さ方向（進行方向）に所定幅だけ、レジストが感光するＵＶ光を、所定量だけ照射したＵＶ照射部（図１（ａ）に示す１２１に相当）を設けておく。
ＵＶ照射部に照射する所定量は、使用する感光性ドライフィルムレジスト毎に、予めテストにより決めておく。
レジストの種類（性質）、厚さ等により、適当に制御して行う。
次いで、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１２０の末部のベースフィルム（キャリアフィルム）１２０Ｂ上に、新反の感光性ドライフィルムレジスト１２５の先頭部を、所定の長さ分だけ、そのレジスト１２５Ａ側を重ね合わせるようにして、ヒートラミネータ１４０を介して、新反および旧反の感光性ドライフィルムレジスト１２０、１２５を基材１１０に圧着し（図１（ａ））、更に、ヒートラミネータ１４５を介して、新反および旧反の感光性ドライフィルムレジスト１２０、１２５を基材１１０に圧着する。（図１（ｂ））
ヒートラミネータ１４０を介して、基材１１０に圧着された、新反および旧反の感光性ドライフィルムレジスト１２０、１２５の接続部箇所は、ヒートラミネータ１４５にて、更に、圧着される直前には、図１（ａ）に示すように、なっており、この状態で、更に、ヒートラミネータ１４５にて圧着され、確実に基材１１０へ圧着される。
ヒートラミネータ１４０、１４５には、所定の圧、熱をかけ、所定の圧、熱のもとでラミネートを行う。
ヒートラミネータ１４５にて圧着された後、ベースフィルム（キャリアフィルム）１２０Ｂ、１２５Ｂを剥離した後、接続部箇所は、図１（ｃ）に示すようにレジストの切れ目を発生させずに、ほぼ均一の厚さにレジスト１２０Ａ、１２５Ａ、１２２が基材１１０上に形成される。
接続部箇所を含め、ラミネートされたレジスト部は、露光、ベースフィルム（キャリアフィルム）剥離、現像処理、乾燥、ベーキング処理へと進み、更に基材１１０のエッチング加工へと進むが、接続部箇所全体を露光し、現像された後においても、接続部箇所では、レジストの切れ目を発生させずに、ほぼ均一の厚さにレジスト１２０Ａ、１２５Ａ、１２２が基材１１０上に形成される。
このため、エッチング加工により、基材切れを発生することが無い。
【００１０】
接続箇所のラミネートを終えた後、新反のラミネートは、通常、１つのヒートラミネータ１４５のみで行うが、このまま、図２示す状態で、二つのヒートラミネータ１４０、１４５を用いても良い。
また、本例では、接続部箇所におけるラミネートを、図２に示すように、ヒートラミネータ１４０、１４５の２個で行っているが、場合によっては、３個以上で行っても良い。
【００１１】
感光性ドライフィルムレジスト１２０、１２５としては、市販の光硬化型のものが適用できる。
また、基材１１０として、リードフレーム形成には、銅材、銅合金、４２合金（４２％ニッケル−鉄合金）等の金属薄板が挙げられる。
尚、本例とは異なり、リードフレーム以外のエッチング加工品の製造を目的として、感光性ドライフィルムレジストを用いる場合には、基材としては、鉄、各種鉄合金が適用できる。
【００１２】
【実施例】
（実施例１）
実施例１は、図１に示す感光性ドライフィルムレジストの接続方法を行ったもので、感光性ドライフィルムレジストを帯び状（フープ状）の連続する金属薄板からなる基材の両面にラミネートして、リードフレームをエッチング加工する製造工程における、感光性ドライフィルムレジストの旧反、新反の切り替えに適用した。
基材１１０として、厚さ０．１５ｍｍ、幅４５０ｍｍの銅板材を用い、感光性ドライフィルムレジスト１２０、１２５としては、汎用の光硬化型のもので、レジストの膜厚１５μｍ、ベースフィルム（キャリアフィルム）厚さ１５μｍ、保護フィルムの厚さ３０μｍ、幅４４０ｍｍのものを用いた。
旧反１２０の末部へのＵＶ照射は、超高圧水銀灯で露光量１０ｍｍＪで行い、照射幅５ｍｍとした。
ドライフィルムレジストの旧反と新反とを繋ぐ、接続部箇所のラミネートは、ヒートラミネータ１４０、１４５の、ラミネートロールの温度を１０５°Ｃ、ラミネート線圧を３ｋｇ／ｃｍ2 で行った。
ラミネート後、ベースフィルム（キャリアフィルム）１２０Ｂ、１２５Ｂを剥離したが、接続部箇所にはレジストの切れ目はなく、外見上、レジスト１２０Ａ、滲み出しレジスト１２２（１２０Ａ）、レジスト１２５Ａともほぼ同じ厚さであった。
【００１３】
この後、感光性ドライフィルムレジストメーカの推奨条件にて、接続部箇所を含み、露光、現像、乾燥、ベーキング処理等を行った後（これを製版処理後とも言う）、接続部箇所には、レジストの切れ目は見られなく、外見上、レジスト１２０Ａ、滲み出しレジスト１２２（１２０Ａ）、レジスト１２５Ａともほぼ同じ厚さであった。
次いで、エッチング加工したが、接続部箇所において、基材切れは発生しなかった。
【００１４】
（実施例２）
実施例２は、実施例１において、ＵＶ照射を、超高圧水銀灯で露光量２０ｍｍＪ、照射幅５ｍｍとしたものであり、他は実施例１と同じで、処理等の説明は省略するが、結果は実施例１と同様、接続部箇所を含み、製版処理後、接続部箇所にはレジストの切れ目はなく、外見上、レジスト１２０Ａ、滲み出しレジスト１２２（１２０Ａ）、レジスト１２５Ａともほぼ同じ厚さであった。
エッチング加工後も、接続部箇所において、基材切れは発生しなかった。
【００１５】
（比較例１）
比較例１は、実施例１において、旧反の末部へのＵＶ照射を行なわないもので、他は実施例１と同じで、処理等の説明は省略する。
製版処理後の接続部箇所にはレジストの切れ目が見られ、エッチング加工処理において、基材切れが発生した。
【００１６】
（比較例２）
比較例２は、実施例１において、ＵＶ照射を、超高圧水銀灯で露光量３０ｍｍＪ、照射幅５ｍｍとしたものであり、他は実施例１と同じで、処理等の説明は省略する。
製版処理後の接続部箇所にはレジストの切れ目が見られ、エッチング加工処理において、基材切れが発生した。
【００１７】
（比較例３）
比較例３は、実施例１において、ＵＶ照射を、超高圧水銀灯で露光量４０ｍｍＪ、照射幅５ｍｍとしたものであり、他は実施例１と同じで、処理等の説明は省略する。
製版処理後の接続部箇所にはレジストの切れ目が見られ、エッチング加工処理において、基材切れが発生した。
【００１８】
上記のように、感光性ドライフィルムレジスト旧反の末部に、適当な露光量（実施例１、実施例２の露光量）でＵＶ照射を行うことで、製版処理後に、接続部箇所において、レジストの切れ目を発生させないことが分かる。
また、過剰にＵＶ照射を行う（比較例２、比較例３の場合）ことで、製版処理後に、接続部箇所にはレジストの切れ目が見られ、エッチング加工処理において、基材切れが発生することが分かった。
比較例２、比較例３の場合、過剰のＵＶ照射により、レジストの流動性が必要以上に損なわれてしまったため、このようになったと思われる。
【００１９】
尚、製版処理後に、接続部箇所において、レジストの切れ目が発生したが、レジストの切れ目の長さが、基材の幅方向の長さで、所定値以上ある場合には、基材切れを起こすとされている。
比較例１〜３においては、接続部箇所におけるレジストの切れ目の上記長さが、感光性ドライフィルムレジストの幅に対して、ほぼその２０％を越えるものであった。
【００２０】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、ＤＦＲをレジストとして用い、連続した金属薄板からなる基材にエッチング加工を施す加工工程において、原反ロールの切り替えの際、ＤＦＲの種類（性質）によらず、基材上に、切り替えによるレジストの切れ目が発生しないようにして、連続した状態のレジスト被膜を得ることができる方法の提供を可能とした。
特に、連続生産を必要とするリードフレーム加工等に用いられた場合には、品質面、生産効率の面で有効である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（ａ）、図１（ｂ）は、それぞれ、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを繋いだ接続部箇所のラミネート前、後の、基材の一面側の状態を示した断面図で、図１（ｃ）は、接続部箇所のラミネート後、ベースフィルムを剥離した状態を示した基材の一面側の断面図である。
【図２】実施の形態の感光性ドライフィルムレジストの接続方法を実施するためのラミネート部を示した斜視図
【図３】従来の感光性ドライフィルムレジストの接続方法と、感光性ドライフィルムレジストの接続部箇所のレジスト切れを説明するための図
【図４】感光性ドライフィルムレジストとその使用方法を説明するための図
【図５】感光性ドライフィルムレジストの基材へのラミネート方法を説明するための装置構成等の図
【符号の説明】
１１０                  基材
１２０                  旧反の（保護フィルムを剥がした状態の）感光性ドライフィルムレジスト
１２０Ａ                レジスト
１２０Ｂ                ベースフィルム（キャリアフィルム）
１２１                  ＵＶ照射部
１２２                  滲み出しレジスト
１２５                  新反の（保護フィルムを剥がした状態の）感光性ドライフィルムレジスト
１２５Ａ                レジスト
１２５Ｂ                ベースフィルム（キャリアフィルム）
１４０、１４５          ヒートラミネータ
４１０                （保護フィルムを付けていない状態の）感光性ドライフイフィルムレジスト
４１０Ａ              （保護フィルムを付けた状態の）感光性ドライフィルムレジストのロール（原反ロールとも言う）
４１１                  ベースフィルム（キャリアフィルムとも言う）
４１２                  感光性レジスト
４１３                  保護フィルム
４２１                  ヒートロール
４２５                  ニップロール
４３０                  基材
４８０                  巻取りロール
５００、５００Ａ        感光性ドライフィルムレジストのロール
５１０                  感光性ドライフィルムレジスト
５２０                  ラミネータ
５２１、５２２          ヒートロール（ラミネートロールとも言う）
５２６、５２６Ａ        巻取りロール
５２７、５２７Ａ        ロール
５２８、５２８Ａ        ロール
５３０                  基材
５４０                  プレヒータ（ロール）
【図１】
0004334675.tif 000002
【図２】
0004334675.tif 000003
【図３】
0004334675.tif 000004
【図４】
0004334675.tif 000005
【図５】
0004334675.tif 000006