(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に複数のシリコン単結晶を形成する方法であって、
基板上に複数のシリコン核生成サイトを形成するステップと、
前記複数のシリコン核生成サイトを覆うように前記基板上に第１のアモルファスシリコン層を形成するステップと、
第１のレーザビームを用いて前記第１のアモルファスシリコン層を溶解するステップと、
前記第１のアモルファスシリコン層を結晶化し、前記複数のシリコン核生成サイトにそれぞれ対応する複数のシリコン単結晶を形成するステップと、
を含み、
前記複数のシリコン核生成サイトを形成するステップは、
前記基板上に第２のアモルファスシリコン層を形成するステップと、
複数の第２のレーザビームの干渉を用いて前記第２のアモルファスシリコン層の複数の部分を溶解するステップと、
前記溶解ステップで溶解された前記第２のアモルファスシリコン層の前記複数の部分を結晶化し、前記複数のシリコン核生成サイトを形成するステップと、
を含むシリコン単結晶の形成方法。
【請求項２】
基板上に複数のシリコン単結晶を形成する方法であって、
基板上に複数のシリコン核生成サイトを形成するステップと、
前記複数のシリコン核生成サイトを完全に覆うように前記基板上に第１のアモルファスシリコン層を形成するステップと、
第１のレーザビームを用いて前記第１のアモルファスシリコン層を溶解するステップと、
前記第１のアモルファスシリコン層を結晶化し、前記複数のシリコン核生成サイトにそれぞれ対応する複数のシリコン単結晶を形成するステップと、
を含み、
前記複数のシリコン核生成サイトを形成するステップは、
前記基板上に核生成層として、金属層を形成するステップと、
前記核生成層を覆うように絶縁層を形成するステップと、
前記絶縁層をパターニング及びエッチングし、前記複数のシリコン核生成サイトとして機能する、前記核生成層の複数の部分を露出するステップと、
を含むことを特徴とするシリコン単結晶の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザを用いた結晶化によって、シリコン単結晶を形成する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ディスプレイやスキャナなどの装置に用いられる高性能の２次元アレイに対する要求が高まるにつれ、高速電子回路をそのような２次元アレイに集積化するための高性能薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）に対する要求も高まる。従来から、ＴＦＴは、粒子サイズの小さい多結晶シリコン薄膜を用いて製造される。ところが、多結晶シリコン薄膜は、電界効果移動度（field  effect  mobilities）が低く、そのために性能に限界があった。
【０００３】
電界効果移動度は、粒界の数により低減する。よって、多結晶シリコン膜が大きい粒子を含んでいれば、単位面積当たりの粒界の数が減り、電界効果移動度が向上する。したがって、結晶粒子サイズの大きい多結晶シリコン薄膜を製造することによって電界効果移動度を高め、より高性能の多結晶シリコンＴＦＴを得るために、数多くの努力がなされている。
【０００４】
これまで、多結晶シリコンの粒子サイズを大きくするために、固体相結晶化（solid  phase  crtstallization）が用いられてきた。固体相結晶化では、アセンブリ全体（すなわち、基板と基板上に堆積された膜）が高温で何時間も加熱されて大きな結晶の成長が促進される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、固体相結晶化には、次のようないくつかの不都合がある。まず第１に、大きな結晶粒子を形成するには非常に時間がかかるため、スループットが小さくなる。第２に、ガラス基板を高熱処理すると、基板のゆがみ（warping）やまがり（bending）などの多くの悪影響を生じる。
【０００６】
粒子が小さいことに加え、従来の方法によって形成された多結晶シリコン膜には、粒子密度が一定でないという問題もある。多結晶シリコンの粒子はランダムに形成されるため、形成される粒子の数、あるいは粒子サイズの分布を制御することができない。実際に、多くの多結晶シリコン膜においては、粒子の大きさが非常にばらついている。このような多結晶シリコン膜では、粒子の大きさ及び密度が基板領域全体で大きくばらついているため、これらの膜に形成されるＴＦＴの性能は、デバイスの位置に大きく左右されることになる。したがって、多結晶シリコンの粒子サイズが平均的には大きくなったとしても、信頼できる電子回路の実現は不可能である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、基板上に複数のシリコン単結晶を形成する方法を提供する。上記方法は、基板上に複数のシリコン核生成サイトを形成するステップを含む。この複数のシリコン核生成サイトを覆うように、第１のアモルファスシリコン層が基板上に形成される。第１のアモルファスシリコン層は、第１のレーザビームによって溶解され、結晶化されて、複数のシリコン単結晶が形成される。各シリコン単結晶は、複数のシリコン核生成サイトのそれぞれから形成される。上記の複数のシリコン核生成サイトを形成するステップは、基板上に第２のアモルファスシリコン層を形成するステップと、複数の第２のレーザビームの干渉を用いて第２のアモルファスシリコン層の複数の部分を溶解するステップと、溶解ステップで溶解された第２のアモルファスシリコン層の複数の部分を結晶化し、複数のシリコン核生成サイトを形成するステップと、を含む。
【０００８】
また、本発明は、基板上に複数のシリコン単結晶を形成する方法であって、基板上に複数のシリコン核生成サイトを形成するステップと、複数のシリコン核生成サイトを完全に覆うように基板上に第１のアモルファスシリコン層を形成するステップと、第１のレーザビームを用いて第１のアモルファスシリコン層を溶解するステップと、第１のアモルファスシリコン層を結晶化し、複数のシリコン核生成サイトにそれぞれ対応する複数のシリコン単結晶を形成するステップと、を含む。上記の複数のシリコン核生成サイトを形成するステップは、基板上に核生成層として、金属層を形成するステップと、核生成層を覆うように絶縁層を形成するステップと、絶縁層をパターニング及びエッチングし、複数のシリコン核生成サイトとして機能する、核生成層の複数の部分を露出するステップと、を含む。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１（Ａ）から図１（Ｄ）には、大きい粒子を有する多結晶シリコン膜を形成する実験的プロセスが示されている。まず、従来の方法によって、多結晶シリコンの島部（アイランド）を生成する。すなわち、図１（Ａ）に示されるように、アモルファスシリコンアイランド２を基板１上に形成する。次に、レーザビーム３によってアモルファスアイランド２を溶解する。シリコンが冷却して結晶化すると、図１（Ｂ）に示されるように、多結晶シリコンアイランド７が形成される。続いて、図１（Ｃ）に示されるように、基板１及び多結晶シリコンアイランド７上にアモルファスシリコン層４を従来の方法で形成する。つぎに、図１（Ｄ）に示されるように、レーザビーム８によってアモルファスシリコン層４を溶解して結晶化する。アモルファスシリコン層４からのシリコン材料が冷却されて結晶化されると、多結晶シリコンアイランド７の周囲に沿って大きなシリコン粒子５及び６が形成される。
【００１２】
大きいシリコン粒子５及び６の成長について、以下に説明する。多結晶シリコンアイランド７の周囲に沿って位置する粒子は、核生成種として働く。アモルファスシリコン層４のシリコンは、溶解して冷却されると、各核生成種から結晶化する。隣り合う核生成種から生成される結晶は多結晶シリコンアイランド７から遠ざかるように放射方向に成長するので、このように拡がる周辺によってより多くのシリコンを結晶化することができる。こうして、隣り合う核生成種から成長する結晶では、それらの界面が互いに干渉しあうまでより多くのシリコンが結晶化される。
【００１３】
しかしながら、多結晶シリコンアイランド７から直接その上方に成長する結晶９の場合は、上述の場合と異なり、この結晶９は小さいままである。小さい結晶１０及び１１は、溶解したシリコンから自然発生的に（spontaneously）に形成される。多数の結晶が形成されるために、互いの結晶界面が干渉しあう結果、結晶が大きくならない。
【００１４】
図２には、上述の方法を用いて形成された多結晶シリコン膜の透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）による顕微鏡写真が示されている。図２の左下角部分が、上記多結晶シリコンアイランド７に対応する多結晶シリコンアイランド部分である。この多結晶シリコンアイランドの周囲に沿って、大きいシリコン粒子５及び６に対応する大きい多結晶シリコン粒子が形成されている。図２では、この大きい多結晶シリコン粒子は、図の右下から中心部を通って左上にかけて形成されている。上記の小さい結晶１０及び１１に対応する小さい粒子は、この大きい粒子の周囲に沿ってその外側に形成されており、図２においては、大きい多結晶シリコン粒子の周囲に沿って図の右側に示されている。上記のプロセスにより、多結晶シリコンアイランドの周囲に大きい結晶粒子が成長することが、このＴＥＭ顕微鏡写真によって確認できる。
【００１５】
図３（Ａ）から図３（Ｅ）に示される本発明の実施形態においては、上記の多結晶シリコンの結晶成長特性を利用してシリコン単結晶が形成される。図３（Ａ）においては、低圧化学的気相成長（ＬＰＣＶＤ）、プラズマ強化化学的気相成長（ＰＥＣＶＤ）、スパッタリング、レーザ蒸着（laser  deposition）、または熱線蒸着（hot  wire  deposition）及びその関連技術などの従来からの方法によって、アモルファスシリコン層１０３が基板１０１上に形成される。アモルファスシリコン層１０３の形成には、水素化されないあるいは水素化されたアモルファスシリコンａ−Ｓｉ：Ｈを用いることができる。図３（Ｂ）に示されるように、アモルファスシリコン層１０３は、レーザビーム１２０によって溶解され、結晶化されて、多結晶シリコン層１０４を形成する。この多結晶シリコン層１０４がパターニング及びエッチングされて、核生成種１０５、１０７及び１０９が形成される。
【００１６】
アモルファスシリコン層１０３は、大きい多結晶シリコン粒子を形成できるように、約１００〜２００オングストロームの厚さである。アモルファスシリコン層１０３が厚すぎると、レーザビーム１２０がアモルファスシリコン層１０３全体を溶解できない場合がある。さらに、アモルファスシリコン層１０３が厚すぎると、大きい多結晶シリコン粒子を形成するのが難しくなる。
【００１７】
逆に、アモルファスシリコン層１０３が薄すぎる場合、大きい多結晶シリコン粒子を生成するために十分なシリコンが存在しないことになる。さらに、レーザビーム１２０はしばしば、薄いアモルファスシリコン層１０３の剥離を引き起こす。これは、薄いアモルファスシリコン層１０３だけを溶解すべくレーザ強度（laser  fluence）を調整するのが難しいために、結果として、多結晶シリコン層１０４の基板１０１からの望ましくない層間剥離が起こるためである。したがって、アモルファスシリコン層１０３の厚さと、レーザビーム１２０のレーザ強度は、良好な結果を得るように整合させる必要がある。
【００１８】
好適な実施形態の場合、約１８０〜２２０ｍＪ／ｃｍ2のレーザ強度を有するエキシマレーザビームをレーザビーム１２０として用いることができる。この範囲のレーザ強度を用いることにより、大きい多結晶シリコン粒子を形成できるとともに、多結晶シリコン層１０４の基板１０１からの剥離を防ぐことができる。
【００１９】
エキシマレーザは大面積をカバーする単一パルスレーザビームを供給するので、単一のレーザパルスによってアモルファスシリコン層１０３を結晶化することができる。ただし、アモルファスシリコン層１０３の表面積がエキシマレーザビームの断面より大きい場合には、アモルファスシリコン層１０３を繰り返しエキシマレーザビームに露出することにより結晶化が可能である。
【００２０】
エキシマレーザはそのビーム断面が大きいので、アモルファスシリコン層１０３の結晶化処理は、例えば、ＣＷレーザによるアモルファスシリコン層１０３の結晶化よりはるかに速い。ＣＷレーザの断面ははるかに小さいので、アモルファスシリコン層１０３を溶解して結晶化するには、その断面の小さいビームを用いて、アモルファスシリコン層１０３を連続的に（serially）スキャンしなければならないが、このような連続スキャンは非常に時間のかかる処理である。
【００２１】
レーザビーム１２０に露出することによりアモルファスシリコン層１０３を多結晶シリコン層１０４に結晶化した後、この多結晶シリコン層１０４をパターニング及びエッチングして、図３（Ｃ）に示す１０５、１０７、１０９などの種コラムを形成する。種コラム１０５、１０７、１０９は、好ましくは１０００オングストローム未満の平均断面幅を有する。利用可能な技術により、約８００〜１０００オングストロームの平均断面幅が好ましい。ここで、種コラムの断面幅は小さいほど好ましい。
【００２２】
種コラム１０５、１０７、１０９は、電子デバイスの製造のために薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を形成したい基板１０１表面上の位置に設けられる。各種コラム１０５、１０７、１０９は、好ましくは、多結晶シリコン層１０４の単一粒子を含む。
【００２３】
種コラム１０５、１０７、１０９の形成後、図３（Ｄ）に示されるように、基板１０１及びこの種コラム１０５、１０７、１０９上にアモルファスシリコン層１１１が従来の方法で形成される。アモルファスシリコン層１１１は８００〜１０００オングストロームの厚さで、水素化されないまたは水素化されたアモルファスシリコン、ａ−Ｓｉ：Ｈを用いて形成することができる。
【００２４】
図３（Ｅ）に示されるように、アモルファスシリコン層１１１は、エキシマレーザビーム１２２を用いて結晶化され、各種コラム１０５、１０７、１０９に対応して、シリコン単結晶１１３、１１５、１１７が形成される。各種コラム１０５、１０７、１０９はシリコン結晶を一つだけ含むので、各種コラム１０５、１０７、１０９からはシリコン単結晶が形成される。各種コラム１０５、１０７、１０９において一つのシリコン単結晶が形成されるので、種コラム１０５、１０７、１０９は核生成サイトと呼ばれる。
【００２５】
レーザビーム１２２の強度の範囲は、約２８０〜４４０ｍＪ／ｃｍ2である。このレーザ強度と、アモルファスシリコン層１１１の厚さは、既に説明したような大きい多結晶シリコン粒子の成長が得られるように調節される。
【００２６】
シリコン単結晶の融点は、アモルファスシリコンの融点よりわずかに高いので、レーザビーム１２２がアモルファスシリコン層１１１のみを溶解すべく調節されている場合には種コラム１０５、１０７、１０９は溶解しない。ただし、レーザビーム１２２の強度がアモルファスシリコン層１１１を溶解するのに必要な流れよりわずかに大きい場合、種コラム１０５、１０７、１０９の最上部分だけが溶解し、残りの溶解しなかった部分が核生成種として機能する。一方、レーザ強度が高すぎる場合には、種コラム１０５、１０７、１０９のすべてが溶解して機能しなくなる。したがって、レーザ強度は、レーザビーム１２２によって種コラムが少なくとも一部は溶解しないように設定しなければならない。種コラム１０５、１０７、１０９の溶解しない部分が核生成種として機能し、ここからシリコン単結晶１１３、１１５、１１７が形成される。
【００２７】
上述のように、大きいシリコン粒子が、多結晶シリコンアイランド７の周囲に形成される。ところが、種コラム１０５、１０７、１０９はそれぞれシリコン単結晶なので、これらの種コラム１０５、１０７、１０９からはシリコンの単結晶が形成される。図３（Ｅ）において、種コラム１０７と１０９は、互いに密接して位置するので、種コラム１０７及び１０９によって形成される単結晶は、これらの結晶粒子の界面が結晶粒界１２１において接触するまで成長する。一方、種コラム１０５と１０７は互いに十分離れた位置にある。したがって、自然発生的に形成された小さい粒子１１９が、種コラム１０５と１０７に対応する結晶の粒界を分離するように形成される。
【００２８】
シリコン単結晶１１３、１１５、１１７の平均断面幅は、約１０μｍ以上で、ＴＦＴ構造に要求される断面幅より大きい。種コラム１０５、１０７、１０９はパターン化され、ちょうどＴＦＴが形成される位置に配置されるので、シリコン単結晶１１３、１１５、１１７もＴＦＴを形成する位置に配置される。したがって、電子デバイスのＴＦＴのそれぞれに対してシリコン単結晶が供給されることとなる。
【００２９】
シリコン単結晶上に形成されるＴＦＴの電界効果移動度は、多結晶シリコンＴＦＴの１００ｃｍ2／Ｖ−ｓに対して、１０００ｃｍ2／Ｖ−ｓ以上と大きいので、シリコン単結晶に形成されるＴＦＴの性能は、従来の多結晶シリコン薄膜に形成されるＴＦＴの性能よりはるかに優れている。このように、各ＴＦＴにシリコン単結晶を形成することにより、上述のプロセスは高性能の単結晶ＴＦＴを形成可能にする。
【００３０】
種コラム１０５、１０７、１０９は、多結晶シリコン層１０４をパターニング及びエッチングすることにより形成されるので、種コラム１０５、１０７、１０９が多結晶シリコン層１０４の粒子を一つ以上含んでいる場合もある。このような複数の粒子を含んだ種コラム１０５、１０７、１０９の数は、多結晶シリコン層１０４の粒子を大きくすることで低減できる。種コラム１０５、１０７、１０９が粒子を一つ以上含む場合、一つの単結晶はその各粒子から結晶化される。このように、種コラム１０５、１０７、１０９が一つ以上の粒子を含むと、多数のシリコン結晶（multiple  silicon  crystals）が生成される。これから形成されるＴＦＴは、この多数シリコン結晶の一つに形成してもよいし、あるいは一つ以上のシリコン結晶にまたがって形成してもよい。結晶粒界の数が少ないことにより、多数の大きいシリコン粒子上に形成されるＴＦＴは、粒子サイズがはるかに小さい従来の多結晶シリコン膜に形成されるＴＦＴに比べ、その性能が大きく向上する。
【００３１】
図４（Ａ）から図４（Ｄ）には、本発明の別の実施形態が示されている。基板２０１の表面上には金属層２０３が形成され、この金属層２０３上に絶縁層２０５が形成される。絶縁層２０５は、窒化シリコン、二酸化珪素などの物質、あるいは同様の材料からなる層の組み合わせを含む。絶縁層２０５がパターニング及びエッチングされることにより金属層２０３を露出し、図４（Ｂ）に示されるように、核生成サイト２１１、２１３、２１５を形成する。つづいて、アモルファスシリコン層２０９を、絶縁層２０５及び核生成サイト２１１、２１３、２１５を覆うように従来の方法で基板上に形成する。
【００３２】
アモルファスシリコン層２０９の厚さは、約８００〜１０００オングストロームの間がよい。絶縁層２０５の厚さは、アモルファスシリコン層２０９が核生成サイト２１１、２１３、２１５を完全に覆うように調節しなければならない。絶縁層２０５の好ましい厚さは、アモルファスシリコン層２０９の厚さの約２分の１である。したがって、アモルファスシリコン層２０９の厚さが約８００〜１０００オングストロームであれば、絶縁層の厚さは約４００〜５００オングストロームがよい。  次に、約２８０〜４４０ｍＪ／ｃｍ2のレーザ強度を有するエキシマレーザビーム２２３によってアモルファスシリコン層２０９を溶解して結晶化することにより、核生成サイト２１１、２１３、２１５に対応するシリコン単結晶を形成する。アモルファスシリコン層２０９の厚さ及びレーザビーム２２３の強度は、上述のように、シリコン単結晶２１７、２１９、２２１の大きさが最大化し、層間剥離が防止できるように調節される。
【００３３】
アモルファスシリコン層２０９がレーザビーム２２３によって溶解すると、核生成サイト２１１、２１３、２１５はシリコン核生成種を形成する。核生成サイト２１１、２１３、２１５の位置にある金属層２０３に接する溶解したシリコン部分は、金属層２０３によって冷却される。金属層２０３の表面上に位置する溶解シリコンの冷却された部分が結晶化して核生成種を形成する。溶解したシリコンの、金属層２０３から離れた部分が冷却すると、核生成サイト２１１、２１３、２１５の核生成種からシリコン結晶が成長し、シリコン単結晶２１７、２１９、２２１が形成される。
【００３４】
核生成サイト２１１、２１３、２１５は、絶縁層２０５の表面上の所望の位置に設定することができる。したがって、図４（Ｄ）においては、核生成サイト２１１、２１３、２１５が互いに隣接しているが、ＴＦＴを形成したい所望の位置にこれらのサイトを配置することができる。核生成サイトが互いに大きく隔てられて配置され、シリコン単結晶の界面が互いに接しない場合には、２つの隣り合うシリコン単結晶の界面間の空間は、図３（Ｅ）に示された多結晶シリコン粒子１１９と同様の小さい多結晶シリコン粒子によって満たされる。シリコン単結晶２１７、２１９、２２１が形成されると、このシリコン単結晶の領域に高性能のＴＦＴを形成することができる。
【００３５】
本発明のさらに別の実施形態を図５（Ａ）から図５（Ｄ）に示す。この実施形態は、第１の絶縁層２０８上に第２の絶縁層２０７が形成されている点を除き、図４（Ａ）から図４（Ｄ）に示した実施形態と同様である。第１の絶縁層２０８は、窒化シリコン層など、シリコンの核生成を促進する層である。本実施形態においては、核生成に関して金属層２０３は必要ない。第２の絶縁層２０７がパターニング及びエッチングされて、図５（Ｂ）に示すように、核生成サイト２３１、２３３、２３５が形成される。第２の絶縁層２０７の表面にアモルファスシリコン層２０９が形成され、図５（Ｃ）に示されるように、核生成サイト２３１、２３３、２３５を覆う。
【００３６】
アモルファスシリコン層２０９は約８００〜１０００オングストロームの厚さがよく、エキシマレーザビーム２２３によって溶解される。核生成サイト２３１、２３３、２３５の内部にある溶解されたシリコンがシリコン単結晶核生成種を形成する。これは、核生成サイト２３１、２３３、２３５がその内部に位置する溶解したシリコン部分を冷却するためである。核生成サイト２３１、２３３、２３５における温度勾配は、絶縁層表面の上方での温度勾配より大きいため、核生成サイト２３１、２３３、２３５内の溶解したシリコンはより高速度で冷却される。溶解したシリコンの他の部分が冷却されると核生成サイト２３１、２３３、２３５に対応する単一結晶核生成種から、シリコン単結晶２４１、２４３、２４５が形成される。
【００３７】
図６（Ａ）から図６（Ｄ）には、図３（Ａ）から図３（Ｅ）に示した実施形態と同様の、本発明の別の実施形態が示される。まず、図６（Ａ）において、アモルファスシリコン層３０３が従来の方法で基板３０１上に形成される。アモルファスシリコン層３０３は、約１００〜２００オングストロームの厚さを有する、水素化されないあるいは水素化されたアモルファスシリコンａ−Ｓｉ：Ｈを用いて形成することができる。
【００３８】
図３（Ｂ）のように単一のエキシマレーザビーム１２０を用いる代わりに、本実施形態では、図６（Ｂ）に示すように、互いに干渉する４つのエキシマレーザビームアレイ４０１〜４０４（図にはビームアレイ４０１と４０３だけを示す）を用いて図７に示されるような核生成種３０５の二次元アレイを形成する。単一のエキシマビームが、半透明鏡を用いて４つのエキシマレーザビームに分光される。これら４つのエキシマレーザビームは、アモルファスシリコン層３０３の同じ部分に集束する。個々のビームそれぞれのエネルギーではアモルファスシリコンを結晶化するのに十分ではないが、４つのエキシマレーザビームすべてによる強めあう干渉（constructive  interference）が、結晶化プロセスに十分なエネルギーを供給する。さらに、強めあう干渉により、４つのレーザビームアレイ４０１〜４０４が生成され、これを用いて核生成種３０５が生成される。
【００３９】
レーザビームによって照射されたアモルファスシリコン層３０３の部分は溶解されて結晶化し、核生成種３０５を形成する。核生成種の高さは、アモルファスシリコン層３０３の厚さと同じである。核生成種の平均幅はエキシマレーザビームを集束するのに用いられる光学系に応じて、約１００〜１０００オングストロームの範囲がよい。
【００４０】
前記各照射部分におけるレーザの強度は、約１８０から２２０ｍＪ／ｃｍ2である。４つのエキシマレーザビームのそれぞれは、各部分を照射するレーザ強度全体の約四分の一の強度を有する。したがって、４つのエキシマレーザビームのそれぞれは、約４５から５５ｍＪ／ｃｍ2の強度を有することになる。核生成種３０５がＴＦＴを形成するために適当な位置及び幅で配置されるように、４つのエキシマレーザアレイ４０１〜４０４を適当な光学系によってさらに偏光させ、核生成種３０５の位置及び幅を調節することができる。
【００４１】
レーザビームアレイの数は、レーザビームアレイを生成するために用いられる光学系によって変えてもよい。ただし、単一のエキシマレーザビームは４つのエキシマレーザビームに分光するのが簡単なので、レーザビームアレイの数は４つが好ましい。２つのビームが用いられる場合には、例えば、核生成ストライプが形成される。また、使用される光学系における制限によりレーザビームアレイが完全に整列していないと、全体の四分の一のレーザ強度しか得られずに、単一のレーザビームアレイではアモルファスシリコン層３０３を溶解できない。
【００４２】
核生成種３０５が形成されると、アモルファスシリコン層３０３及び核生成種３０５上にアモルファスシリコン層３０９が形成される。図６（Ｃ）には、３個の核生成種３０６、３０７、３０８が示されている。アモルファスシリコン層３０９は、約２８０〜４４０ｍＪ／ｃｍ2の強度を有するエキシマレーザビーム２２３によって溶解される。続いて、アモルファスシリコン層３０７が結晶化され、図６（Ｄ）に示されるように、シリコン単結晶３１１、３１３、３１５が形成される。そして、周知のプロセスにより、このシリコン単結晶３１１，３１３、３１５にＴＦＴが形成される。
【００４３】
上記の実施形態においては、まず核生成種を形成し、次にこの核生成種上に形成されたアモルファスシリコン層を結晶化することにより、基板上にシリコン単結晶が供給される。核生成種は、ちょうどＴＦＴを形成したい位置に形成される。このように、本発明は、各ＴＦＴの所望の位置に適切に配置されたシリコン単結晶を形成することにより高性能のＴＦＴを形成する方法を提供する。
【００４４】
特定の実施形態に関連して本発明を説明してきたが、当業者には多くの変更、修正が明らかである。したがって、ここに説明した本発明の好適な実施形態は、例示を意味するものであり、限定を示すものではない。よって、請求項の範囲に記載された発明の範囲から逸脱することなく、様々な変更を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  多結晶シリコンアイランドの周囲に沿って、大きい多結晶シリコン粒子を成長させるプロセスを示す図である。
【図２】  多結晶シリコンアイランドの周囲に沿って形成された大きい多結晶シリコン粒子を示した、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）の顕微鏡写真である。
【図３】  （Ａ）から（Ｅ）は、初めに核生成種を形成することによって粒子サイズの大きい多結晶シリコン膜を形成する方法を示す工程図である。
【図４】  （Ａ）から（Ｄ）は、金属核生成サイトを形成することによって粒子サイズの大きい多結晶シリコン膜を形成するプロセスを示す工程図である。
【図５】  （Ａ）から（Ｄ）は、窒化シリコン核生成サイトを形成することによって粒子サイズの大きい多結晶シリコン膜を形成するプロセスを示す工程図である。
【図６】  （Ａ）から（Ｄ）は、レーザビームアレイの干渉を利用して核生成種を形成することによって粒子サイズの大きい多結晶シリコン膜を形成するプロセスを示す工程図である。
【図７】  図６（Ａ）から（Ｄ）に示したプロセスによって形成された単一結晶種の平面図である。
【符号の説明】
１，１０１，２０１，３０１  基板、２  アモルファスシリコンアイランド、３，８，１２０，１２２，２２３，レーザビーム、４，１０３，１１１，２０９，３０３，３０９  アモルファスシリコン層、１０４  多結晶シリコン層、１０５，１０７，１０９，２１１，２１３，２１５，２３１，２３３，２３５，３０６，３０７，３０８  核生成サイト（種）、１１３，１１５，１１７，２１７，２１９，２２１，２４１，２４３，２４５，３１１，３１３，３１５  シリコン単結晶、４０１，４０３  レーザビームアレイ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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