(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上にフォトレジストを用いてレジストパターンを形成する工程と、形成されたレジストパターン上にエッチング保護層形成用組成物を塗付する工程と、前記エッチング保護層形成用組成物とレジストとの界面に、水を含む現像液に不溶なエッチング保護層を形成する工程と、前記エッチング保護層形成用組成物のエッチング保護層以外の不要部分を前記水を含む現像液にて除去する工程と、前記エッチング保護層を有するレジストパターンをマスクとして基板のエッチング処理を行う工程とを備え、前記エッチング保護層形成用組成物が、アクリル酸、メタクリル酸、ビニルアセタール、ビニルアルコール、エチレンイミン、ビニルアミン、アリルアミン、メタクリルアミン及びビニルメチルエーテルからなる群から選ばれた少なくとも一種の単量体と、スチレン誘導体、多環芳香族系ビニル化合物及びＮ−ビニルカルバゾール、１−ビニルイミダゾール、４−または２−ビニルピリジン、Ｎ−ビニルラクタム或いはこれらの化合物のビニル基がイソプロペニル基とされたものから選ばれた複素環系ビニル化合物からなる群から選ばれた少なくとも一種の単量体との共重合体からなる水溶性或いは水分散性の樹脂の少なくとも一種、架橋剤及び溶剤としての水及び／又は水溶性有機溶剤を含有することを特徴とする基板のエッチング方法。
【請求項２】
前記エッチング保護層が、レジストパターンとエッチング保護層形成用組成物の加熱により形成されることを特徴とする請求項１記載の基板のエッチング方法。
【請求項３】
前記エッチング保護層は、レジスト表面近傍に含まれる酸によりエッチング保護層形成用組成物を架橋させることによって形成されることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板のエッチング方法。
【請求項４】
前記水を含む現像液が、水からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板のエッチング方法。
【請求項５】
前記水を含む現像液が、水とアルコールとの混合物からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板のエッチング方法。
【請求項６】
アクリル酸、メタクリル酸、ビニルアセタール、ビニルアルコール、エチレンイミン、ビニルアミン、アリルアミン、メタクリルアミン及びビニルメチルエーテルからなる群から選ばれた少なくとも一種の単量体と、スチレン誘導体、多環芳香族系ビニル化合物及びＮ−ビニルカルバゾール、１−ビニルイミダゾール、４−または２−ビニルピリジン、Ｎ−ビニルラクタム或いはこれらの化合物のビニル基がイソプロペニル基とされたものから選ばれた複素環系ビニル化合物からなる群から選ばれた少なくとも一種の単量体との共重合体からなる水溶性或いは水分散性の樹脂の少なくとも一種、架橋剤及び溶剤としての水及び／又は水溶性有機溶剤を含有することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載の基板のエッチング方法に用いられるエッチング保護層形成用組成物。
【請求項７】
前記水溶性或いは水分散性の樹脂が、アクリル酸、メタクリル酸、ビニルアセタール、ビニルアルコール、エチレンイミン、ビニルアミン、アリルアミン、メタクリルアミン及びビニルメチルエーテルからなる群から選ばれた少なくとも一種の単量体と、スチレン誘導体、多環芳香族系ビニル化合物及びＮ−ビニルカルバゾール、１−ビニルイミダゾール、４−または２−ビニルピリジン、Ｎ−ビニルラクタム或いはこれらの化合物のビニル基がイソプロペニル基とされたものから選ばれた複素環系ビニル化合物からなる群から選ばれた少なくとも一種の単量体との共重合体からなる水溶性或いは水分散性の樹脂の少なくとも一種とオキサゾリン基含有水溶性樹脂、水溶性メラミン樹脂、水溶性尿素樹脂及びアルキッド樹脂からなる群から選ばれた少なくとも一種との混合物からなることを特徴とする請求項６記載のエッチング保護層形成用組成物。
【請求項８】
前記水溶性架橋剤が、メラミン誘導体、尿素誘導体、ベンゾグアナミン及びグリコールウリルからなる群から選ばれた少なくとも一種であることを特徴とする請求項６又は７に記載のエッチング保護層形成用組成物。
【請求項９】
前記水溶性有機溶剤が、炭素数１〜４の脂肪族アルコール、プロピレングリコールモノエチルエーテル、乳酸エステル、酢酸エチル及びＮ−メチルピロリドンからなる群から選ばれた少なくとも一種であることを特徴とする請求項６〜８のいずれか一項に記載のエッチング保護層形成用組成物。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エッチング耐性が向上された、レジストからなるエッチングマスクを用いて基板をエッチングする方法及びこれに用いるエッチング保護層形成用組成物に関する。さらに詳細には、半導体素子の製造、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネルの液晶表示素子の作成、サーマルヘッドなどの回路基板の製造等において用いられるエッチングマスクのエッチング耐性を向上する方法及びこのエッチング耐性の向上したエッチングマスクを用いて基板のエッチング処理を行う方法並びにレジストパターンのエッチング耐性を向上させるために用いられるエッチング保護層形成用組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＳＩなどの半導体集積回路や、ＬＣＤパネルの液晶表示素子の作成、サーマルヘッドなどの回路基板の製造等を始めとする幅広い分野において、微細素子を形成するため或いは微細加工を行うために、従来からフォトリソグラフィー法が利用されている。フォトリソグラフィー法においては、レジストパターンを形成するためにポジ型又はネガ型のフォトレジストが用いられており、ポジ型のフォトレジストとして、アルカリ可溶性樹脂と感光性物質としてのキノンジアジド化合物を含有する感光性樹脂組成物が広く知られている。この組成物は、例えば「ノボラック樹脂／キノンジアジド化合物」として、特公昭５４−２３５７０号公報（米国特許第３，６６６，４７３号明細書）をはじめとする多数の特許公告或いは特許公開公報、その他の技術文献において、種々の組成のものが開示されている。このようなフォトレジストは、シリコン基板やアルミニウム、モリブデン、クロムなどの金属膜基板、またＩＴＯなどの金属酸化膜基板上にスピンコート法、ロールコート法、ランドコート法、流延塗布法、浸漬塗布法などの公知方法で塗布されて薄膜形成がなされた後、露光光源として紫外線などの放射線を用い、マスクパターンを介して回路パターン等の照射が行われる。そして露光後現像がおこなわれて、レジストパターンが形成される。さらにこのレジストパターンをマスクとして基板をエッチングすることにより、微細加工を施すことができる。このエッチングの際、マスクとして機能するレジストパターンには十分なエッチング耐性が要求される。
【０００３】
一方、近年、半導体デバイスなどの高集積化に伴い、製造プロセスに要求される配線幅及び分離幅の微細化がより一層要求されるようになり、これに対応すべく、露光装置については、高微細化に有効な短波長光源を用いるプロセス、すなわちＫｒＦエキシマレーザー（２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザー（１９３ｎｍ）等の遠紫外線や更にはＸ線、電子線を露光光源として用いる方法が提案され、一部実用化されつつある。これら、光源の短波長化に伴って、前記フォトレジストの組成も使用波長域に吸収が無い材料、すなわち、例えばＫｒＦ光源ではパラヒドロキシスチレンをベースにした化学増幅型レジストが主流となりつつある。このようなポリマーは一般的に、前記ノボラック樹脂に比べエッチング耐性が劣り、エッチング条件、特にレジスト膜層と被エッチング層とのエッチング選択比、即ち各層のエッチング速度の最適化（レジストは遅く、被エッチング層は速く）を要する上、エッチング後の転写形状の劣化などの問題点を有する。更には、微細化を実現するため、前記化学増幅型レジストを塗付・露光する際にレジスト膜厚を薄くする手法が用いられるようになり、よりエッチング工程を難しいものにしている。また、ＡｒＦエキシマレーザー光源を用いる場合、その波長にて透明な材料として脂環族化合物を導入したアクリル系ポリマー材料などが提案されている。これら材料は更にエッチング耐性が低いとされ、半導体デバイス製造が困難であった。
【０００４】
他方、従来公知のパターン形成装置を用いることによりレジストパターンを実効的に微細化する方法が鋭意研究され、例えば特開平１０−７３９２７号公報などには、従来の感光性樹脂組成物を用い、従来法によりパターン形成を行った後、形成されたレジストパターン上に被覆層を施し、レジストの加熱及び／又は露光により、レジスト中に生成された酸或いはレジスト中に存在する酸を前記被覆層へ拡散させ、この拡散された酸により被覆層を架橋、硬化させ、その後未架橋の被覆層を除去することによりレジストパターンを太らせ、結果としてレジストパターン間の幅を狭くし、レジストパターンの分離サイズあるいはホール開口サイズを縮小してレジストパターンの微細化を図り、実効的に解像限界以下の微細レジストパターンを形成する方法が記載されているが、レジストのエッチング耐性を向上させることについての言及はない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記のような状況に鑑み、従来法により形成されたフォトレジストパターンのエッチング耐性を向上させ、エッチング耐性の向上したレジストパターンをエッチングマスクとして用いて基板のエッチングを行う方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、鋭意研究、検討を行った結果、フォトレジストパターン上に、エッチング耐性を有する保護層（エッチング保護層）を更に形成することにより上記目的を達成することができることを見出し、本発明を成したものである。
【０００７】
即ち、本発明は、基板上にフォトレジストを用いてレジストパターンを形成する工程と、形成されたレジストパターン上にエッチング保護層形成用組成物を塗付する工程と、前記エッチング保護層形成用組成物とフォトレジストとの界面に、水を含む現像液に不溶なエッチング保護層を形成する工程と、前記エッチング保護層形成用組成物のエッチング保護層以外の不要部分を前記水を含む現像液にて除去する工程と、前記エッチング保護層を有するレジストパターンをマスクとして基板のエッチング処理を行う工程を備えたことを特徴とする基板のエッチング方法に関する。
【０００８】
また、本発明は、水可溶性或いは水分散性の樹脂、架橋剤及び溶剤としての水及び／又は水溶性有機溶剤を含有することを特徴とする上記エッチング方法において用いられるエッチング保護層形成用組成物に関する。
【０００９】
以下、本発明を更に詳細に説明する。
本発明のエッチング方法においては、まず基板上にフォトレジスト膜からなるレジストパターンが形成される。このレジストパターンを形成する方法及びこの方法で用いられるフォトレジスト並びに現像剤などの材料は、基板上にフォトレジストからなるレジストパターンを形成することができるものであれば、いずれのものでもよい。例えば、これらフォトレジストとしては、ノボラック樹脂などのアルカリ可溶性樹脂とナフトキノンジアジド感光剤からなるもの或いは化学増幅型レジストなど、従来からレジストパターンを形成するために用いられているポジ型又はネガ型のフォトレジストが代表的なものとして挙げられる。前記化学増幅型フォトレジストにおいてポジ型のものとしては、例えばポリヒドロキシスチレンをｔ−ブトキシカルボニル基で保護したポリマーと光酸発生剤との組み合わせからなるもの（Ｈ．Ｉｔｏ，Ｃ．Ｇ．Ｗｉｌｌｓｏｎ：Ｐｏｌｙｍ．Ｅｎｇ．Ｓｃｉ．，２３，１０１２（１９８３）参照）をはじめとして多数のものが知られている。また、ネガ型の化学増幅型フォトレジストとしては、アルカリ可溶性樹脂、架橋剤としてのヘキサメトキシメラミン及び光酸発生剤からなるもの（例えば、Ｗ．Ｅ．Ｆｅｅｌｙ，Ｊ．Ｃ．Ｉｍｈｏｆ，Ｃ．Ｍ．Ｓｔｅｉｎ，Ｔ．Ａ．Ｆｉｓｈｅｒ，Ｍ．Ｗ．ｌｅｇｅｎｚａ：Ｐｏｌｙｍ．Ｅｎｇ．Ｓｃｉ．，２６，１１０１（１９８６）参照）などが挙げられる。これらの内、ポジ型の化学増幅型フォトレジストは通常ネガ型のものに比べエッチング耐性が劣るため、本発明の方法において好ましくエッチング耐性を向上させることができる。また、フォトレジストの膜厚は、現像後得られたレジストパターンが、エッチング工程でのエッチングに好適に対応できるよう、通常０．３〜１．０μｍ程度とされる。
【００１０】
基板上にフォトレジスト膜からなるレジストパターンを形成するには、必要に応じ表面にシリコンの酸化膜を有するシリコン基板やアルミニウム、モリブデン、クロムなどの金属膜基板、またＩＴＯなどの金属酸化膜基板、更に回路パターン或いは半導体素子などが形成された基板上に、まずフォトレジストをスピンコート法、ロールコート法、ランドコート法、流延塗布法、浸漬塗布法などの公知方法により塗布してフォトレジスト薄膜を形成した後、必要に応じプリベーク（例えば、ベーク温度：７０〜１４０℃で１分程度）し、レジスト膜にレチクルなどの露光用マスクを介して回路パターンなどの照射を行う。露光に用いられる光源としては、フォトレジストが感光性を示すものであればいずれのものでも良い。露光光源としては、例えばｇ線、ｉ線などの紫外線、ＫｒＦエキシマレーザー或いはＡｒＦエキシマレーザー光などの遠紫外線、Ｘ線、電子線などが挙げられる。露光されたレジスト膜は、必要に応じポストエクスポージャーベイク（ＰＥＢ）された後（例えば、ベーク温度：５０〜１４０℃）、現像され、必要であれば現像後ベークが行われ（例えば、ベーク温度：６０〜１２０℃）、レジストパターンが形成される。このとき用いられる現像剤としては、使用されたフォトレジストを現像することができるものであればいずれのものでもよく、例えばフォトレジストとして、アルカリ可溶性樹脂とナフトキノンジアジド感光剤からなるもの、或いは化学増幅型レジストなどが用いられる場合、通常アルカリ水溶液からなる現像液が用いられる。更に、現像方法としては、パドル現像など従来フォトレジストを現像するために用いられている方法のいずれもが採用され得る。
【００１１】
こうして形成されたレジストパターンを有する基板に、エッチング保護層形成用組成物が塗布される。塗布法としては、従来フォトレジストを塗布する際に用いられている方法、例えばスピンコート法、スプレー法、浸漬法、ローラーコート法などのいずれの方法であっても良い。前記エッチング保護層形成用組成物とレジストとの界面に水を含む現像液に不溶なエッチング保護層を形成するには、例えばレジストパターンとエッチング保護層形成用組成物とを加熱する。これによりレジストパターンに隣接するエッチング保護層形成膜中に架橋層などが形成され、エッチング保護層が形成される。このエッチング保護層の形成は、例えば加熱によるフォトレジストからエッチング保護層形成膜への酸の拡散によりエッチング保護層形成用組成物を架橋・硬化することによっても良い。
【００１２】
本発明において用いられるエッチング保護層形成用組成物は、水可溶性或いは水分散性の樹脂、架橋剤及び水及び／又は水可溶性有機溶剤を少なくとも含むものであって、レジストパターン上に塗布された場合レジストパターンを溶解しないものが用いられる。これらエッチング保護層形成用組成物を構成する前記水可溶性或いは水分散性の樹脂としては、水可溶性或いは水分散性の樹脂であれば公知のものが利用可能であり、その例として単量体単位としてアクリル酸、メタクリル酸、ビニルアセタール、ビニルアルコール、エチレンイミン、エチレンオキシド、スチレン、ヒドロキシスチレンなどのスチレン誘導体、多環芳香族系ビニル化合物、複素環系ビニル化合物、無水マレイン酸、ビニルアミン、アリルアミン、ビニルメチルエーテル、エチレングリコールからなる群から選ばれた少なくとも一種の単量体から形成された単一重合体又は共重合体、水溶性ノボラック樹脂、オキサゾリン基含有水溶性樹脂、水溶性メラミン樹脂、水溶性尿素樹脂、アルキッド樹脂、スルホンアミドなどが挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、また二種以上を組合わせて用いてもよい。
【００１３】
本発明においては、耐エッチング性を向上させる観点から、エッチング保護層形成用組成物に用いられる水可溶性或いは水分散性の樹脂として、芳香族環或いは複素環を有する単量体を一成分とする樹脂を用いることが好ましい。このような好ましい樹脂の例として、アクリル酸、メタクリル酸、ビニルアセタール、ビニルアルコール、エチレンイミン、ビニルアミン、アリルアミン、メタクリルアミン及びビニルメチルエーテルからなる群から選ばれた少なくとも一種の単量体と芳香族環或いは複素環を有する単量体であるスチレン誘導体、多環芳香族系ビニル化合物及び複素環系ビニル化合物から選ばれた少なくとも一種の単量体との共重合体からなる水溶性或いは水分散性の樹脂が挙げられる。前記スチレン誘導体としては、例えばヒドロキシスチレン、４−メチルスチレン、４−エチルスチレン、ｐ−イソプロピルスチレン、４−ブチルスチレン、４−ヘキシルスチレン、４−メトキシスチレン、４−エトキシスチレン、４−プロポキシスチレン、４−ブトキシスチレン、４−ブトキシメチルスチレン、４−ブトキシカルボニルスチレン、２，５−ジメチルスチレン、２，４，５−トリメチルスチレン、４−フェニルスチレン、４−フルオロスチレン、２，５−ジフルオロスチレン、２，４−ジフルオロスチレン、ｏ−クロルスチレン、４−アセチルスチレン、４−ベンゾイルスチレン、４−ブロモスチレン、アミノスチレン、ビニル安息香酸、ビニル安息香酸エステル類などが挙げられる。また、スチレン誘導体には、α−メチルスチレン及びその誘導体も含まれる。一方、多環芳香族系ビニル化合物について代表的なものを挙げれば、例えばビニルナフタレン、ビニルアルキルナフタレン、ビニルアントラセン、ビニルアルキルアントラセン、ビニルフェナンスレン、ビニルテトラセン、ビニルピレン、或いはこれらの化合物のビニル基がイソプロペニル基とされたものなどが挙げられる。更に、複素環系ビニル化合物としては、Ｎ−ビニルカルバゾール、１−ビニルイミダゾール、４−または２−ビニルピリジン、１−ビニル−２−ピロリドン、Ｎ−ビニルラクタム或いはこれらの化合物のビニル基がイソプロペニル基とされたものが挙げられる。これら水溶性或いは水分散性の樹脂は単独で用いられても、また二種以上混合して用いられてもよい。更に、これらの樹脂の少なくとも一種とオキサゾリン基含有水溶性樹脂、水溶性メラミン樹脂、水溶性尿素樹脂、アルキッド樹脂、スルホンアミドからなる群から選ばれた少なくとも一種との混合物も好ましいものとして挙げられる。これら芳香族環或いは複素環を含有する樹脂はエッチング耐性向上に必要な剛直性を有すると共に樹脂は水溶性あるいは水分散性とされているから上記目的に供しても水又は水溶性有機溶剤による現像が可能である。
【００１４】
また、水可溶性或いは水分散性の樹脂の分子量は、重量平均分子量で１，０００〜１０，０００が好ましく、２，０００〜５，０００がより好ましい。分子量が、１，０００以下では、塗布性が劣り均質な塗布膜が得られ難くなると共に塗布膜の経時安定性が低下し、一方分子量が１０，０００を越えると、塗布時に糸引き現象が起こったり、レジスト表面への広がりが悪く、少量の滴下量で均一な塗布膜を得ることができなくなる。
【００１５】
本発明のエッチング保護層形成用組成物で用いられる架橋剤としては、メラミン系、グアナミン系及び尿素系低分子誘導体のほかに、アルコキシアルキル化メラミン樹脂、アルコキシアルキル化ベンゾグアナミン樹脂、アルコキシアルキル化尿素樹脂などのアルコキシアルキル化アミノ樹脂を挙げることができる。これらアルコキシアルキル化アミノ樹脂の具体例としては、メトキシメチル化メラミン樹脂、エトキシメチル化メラミン樹脂、プロポキシメチル化メラミン樹脂、ブトキシメチル化メラミン樹脂、エトキシメチル化ベンゾグアナミン樹脂、メトキシメチル化尿素樹脂、エトキシメチル化尿素樹脂、プロポキシメチル化尿素樹脂、ブトキシメチル化尿素樹脂などが挙げられる。また、メラミン系、グアナミン系及び尿素系低分子誘導体としては、メトキシメチル化メラミン、エトキシメチル化メラミン、プロポキシメチル化メラミン、ブトキシメチル化メラミン、ヘキサメチロールメラミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メチル化ベンゾグアナミン、モノメチロール尿素、ジメチロール尿素、アルコキシメチレン尿素、Ｎ−アルコキシメチレン尿素、エチレン尿素、エチレン尿素カルボン酸等が挙げられる。これら架橋剤は、単独で又は二種以上混合して使用することができ、その配合量は水可溶性或いは水分散性の樹脂１００重量部当たり、１〜７０重量部、好ましくは１０〜５０重量部である。
【００１６】
本発明のエッチング保護層形成用組成物には、その塗付性を向上させるために界面活性剤を添加しても良く、その例としては、アセチレンアルコール、アセチレングリコール、アセチレンアルコールのポリエトキシレート、アセチレングリコールのポリエトキシレートなどが挙げられる。前記アセチレンアルコール或いはアセチレングリコールとしては、例えば３−メチル−１−ブチン−３−オール、３−メチル−１−ペンチン−３−オール、３，６−ジメチル−４−オクチン−３，６−ジオール、２，４，７，９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオール、３，５−ジメチル−１−ヘキシン−３−オール、２，５−ジメチル−３−ヘキシン−２，５−ジオール、２，５−ジメチル−２，５−ヘキサンジオールなどが挙げられる。これら界面活性剤は、単独で又は二種以上混合して使用することができ、その配合量は本発明のエッチング保護層形成用組成物に対し、５０〜２０００ｐｐｍ、好ましくは１００〜１０００ｐｐｍである。
【００１７】
本発明のエッチング保護層形成用組成物を溶解ないし分散させるための水は、水であれば特に制限はなく、蒸留、イオン交換処理、フィルター処理、各種吸着処理等により有機不純物、金属イオンを除去したものが好ましい。
【００１８】
更に、エッチング保護層形成用組成物の塗布性等の向上を目的として、水に可溶な有機溶媒を水と共に用いることも可能である。水に可溶な有機溶媒としては、水に対して０．１重量％以上溶解する溶媒であれば特に制限はなく、例えばメチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール等のアルコール類、アセトン、メチルエチルケトン、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン等のケトン類、酢酸メチル、酢酸エチル等のエステル類、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のエチレングリコールモノアルキルエーテル類、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル等のプロピレングリコールモノアルキルエーテル類、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、乳酸メチル、乳酸エチル等の乳酸エステル類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン等のアミド類、γ−ブチロラクトン等のラクトン類等をあげることができ、好ましいものとしては、メチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール等の低級アルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、乳酸エチル、Ｎ−メチルピロリドンを挙げることができる。これら溶剤は、単独で又は二種以上を混合して使用することができる。また、有機溶剤が未架橋のエッチング保護層形成材料のみを溶解し、レジストパターンを溶解しないものである場合には、エッチング保護層形成用組成物の溶剤として有機溶剤のみを用いることもできる。
【００１９】
レジストパターンと前記エッチング保護層形成用組成物の界面にエッチング保護層を形成するため、レジストパターン上にエッチング保護層形成用組成物を塗布した後、加熱が行われる。これにより、例えばレジストパターンからエッチング保護層形成用組成物に酸が拡散し、この酸の作用により架橋剤が活性化され、レジストパターンに隣接するエッチング保護層形成用組成物の架橋・硬化が起り、水を含む現像液に不溶性で、耐エッチング性に優れたエッチング保護層が形成される。レジストパターン中の酸は、例えばレジストパターンの加熱及び／又は露光によりレジストパターン中に生成されても良く、或いはレジストパターンを酸溶液などで処理することにより含有させたものでも良く、任意の手段でレジストパターン中に酸が存在するようにされれば良い。次いで、架橋されていないエッチング保護層形成用組成物が現像液により現像・除去され、レジストパターン上にエッチング保護層を有するエッチングマスクが形成される。
【００２０】
エッチング保護層形成用組成物を現像するために用いる現像液としては、前記未架橋のエッチング保護層形成用組成物を溶解除去するために十分な溶解性を有する一方で、架橋された保護層は溶解除去することができないものであればどのようなものであってもよい。このような現像液としては、例えば、水又は水にエタノール、イソプロパノールなどのアルコール、トリエチルアミンなどの有機アミン及びテトラメチルアンモニウム塩などの有機アミン塩を混合したものが挙げられ、水及び水とアルコールとの混合物が好ましい。現像液に用いられる水は、水であれば特に制限はなく、蒸留、イオン交換処理、フィルター処理、各種吸着処理等により有機不純物、金属イオン、塩素イオンを除去したものが好ましい。また、現像液は、上記と同様の不純物除去処理を行い、液中にはクォーターミクロンサイズ以上の固形物が存在しないものが望ましい。
【００２１】
また、本発明において、エッチング保護層形成用組成物の現像は、フォトレジストの現像方法と同様な方法を用い、現像装置も従来フォトレジストの現像の際に用いられている現像装置を用いて行うことができる。通常、パドル現像やシャワー現像といった方法で、ソフトインパクトノズルなどの現像ノズルを用いて現像処理を行い、現像後純水にてリンス処理する方法がとられる。ここで、リンスは、純水にエタノール、イソプロパノールなどのアルコール、トリエチルアミンなどの有機アミン及びテトラメチルアンモニウム塩などの有機アミン塩などを加えてリンス液とし、これを用いて行っても良い。更に、現像或いはリンス処理後に、レジストマスク中の水分を除去するため、ベーク処理を行っても良い。
【００２２】
このようにして形成されたレジストパターンをマスクとしてエッチングが行われる。エッチング方法としては、ドライエッチング法とウエットエッチング法があるが、微細パターンの形成においては、通常ドライエッチング法が用いられる。ドライエッチングにおいては、反応性ガスプラズマなどを用いてエッチングが行われるため、レジストマスクに多大の負荷が掛るが、本発明の方法においては、耐エッチング性の保護層がレジストマスク上に設けられているため、レジストマスクの膜減りが少なく、しかも良好なパターンの転写が行われ、良好な微細加工を施すことができる。
【００２３】
【実施例】
以下に本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明の態様がこれらの実施例にのみ限定されるものではない。
【００２４】
参考例１
（レジストパターンの形成）
クラリアントジャパン社製ポジ型フォトレジスト  ＡＺ  ７９００（ｉ線レジスト）（なお、「ＡＺ」は登録商標である。）を、リソテックジャパン社製スピンコーター、ＬＡＲＣ  ＵＬＴＩＭＡ−１０００にて、ＨＭＤＳ処理した１μｍの酸化膜付き６インチシリコンウェハ−に塗布し、１００℃、６０秒間ホットプレ−トにてプリベ−クを行い、１μｍのレジスト膜が得られるように調製した。膜厚は、大日本スクリ−ン社製膜厚測定装置（ラムダエ−ス）にて測定した。次いで、ｉ線（３６５ｎｍ）の露光波長を有するステッパー（ニコン社製、ＮＳＲ  １７５５ｉＢ、ＮＡ＝０．５４）を用いて、０．３μｍ幅のラインアンドスペースのレチクルを介して露光量を段階的に変化させて露光し、ホットプレートにて１００℃、９０秒間の加熱処理をおこなった。これをクラリアントジャパン社製アルカリ現像液、ＡＺ  ３００ＭＩＦデベロッパー（２．３８重量％水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液）で２３℃の条件下で１分間パドル現像して、ポジ型パタ−ンを得た。
【００２５】
（エッチング保護層形成用組成物Ａの調整）
以下の割合で各成分を混合し、十分に攪拌、溶解した後、０．２μｍのフィルターで濾過し、エッチング保護層形成用組成物Ａを調整した。
【００２６】
0004237430.tif 000002
【００２７】
（エッチング保護層の形成）
上記で得られたポジ型ラインアンドスペースパターン上に、エッチング保護層形成用組成物Ａをリソテックジャパン社製スピンコーター（ＬＴ−１０００）にて塗布し、８５℃、７０秒間ホットプレートにてベークを行い、約０．１μｍのエッチング保護層形成用組成物膜が得られるように調整した。更に１１０℃、９０秒間ホットプレートにてベークを行い、エッチング保護層形成用組成物のパターン隣接部における架橋反応を進行させた後、純水を用い、２３℃の条件下で１分間現像処理を行なって、未架橋部を剥離し、ラインアンドスペースパターン上にエッチング保護層形成用組成物の架橋不溶化層を得た。更に、１１０℃、１２０秒間ホットプレートにて乾燥のためにベーク処理を行った。
【００２８】
（エッチング耐性の評価）
上記で得られた、エッチング保護層付きのパターンをＵＬＶＡＣ社製エッチャー（ＮＥ−５０００Ｎ）にて下記の条件でエッチング処理し、エッチング処理後のエッチングマスクの膜減り量（μｍ）〔（レジスト膜厚初期値）−（エッチング後残膜厚）〕及び基板の酸化膜のエッチング処理後の断面形状によりエッチングマスクのエッチング耐性の評価を行った。結果を表１に示す。
【００２９】
エッチング条件
Ｒｆパワー        ：１０００Ｗ（ＩＳＭ）／３００Ｗ（Ｂｉａｓ）
ガスフロー        ：ＣＨＦ3／Ａｒ＝４０／８０ｓｃｃｍ
プレッシャー      ：０．７Ｐａ
バックヘリウム温度：−１０℃
エッチング時間    ：２００ｓｅｃ
【００３０】
参考例２
下記の組成からなるポジ型フォトレジスト（ＫｒＦレジスト）を、東京エレクトロン社製スピンコーター（マーク８）にて、ＨＭＤＳ処理した１μｍの酸化膜付き６インチシリコンウェハ−に塗布し、９０℃、６０秒間ホットプレ−トにてプリベ−クを行い、０．７μｍのレジスト膜が得られるように調製した。膜厚は大日本スクリ−ン社製膜厚測定装置（ラムダエ−ス）にて測定した。次いで、波長２４８ｎｍの露光波長を有するステッパー（キャノン社製、ＦＰＡ３０００ＥＸ５、ＮＡ＝０．６３）を用いて、０．３μｍ幅のラインアンドスペースのパターンを有するレチクルを介して露光量を段階的に変化させて露光し、ホットプレートにて１１０℃、９０秒間の加熱処理をおこなった。これをクラリアントジャパン社製アルカリ現像液（ＡＺ  ３００ＭＩＦデベロッパー、２．３８重量％水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液）で２３℃の条件下で１分間パドル現像してポジ型パタ−ンを得た。
【００３１】
ポジ型フォトレジスト
４−ヒドロキシスチレンと４−ｔ−ブチルオキシカル
ボニルスチレンとの共重合体                            １２．５７重量部
トリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルフォ
ネート                                                    ０．４重量部
テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド              ０．０３重量部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート            ８７重量部
【００３２】
得られたポジ型ラインアンドスペースパターン上に、参考例１と同様にしてエッチング保護層形成用組成物Ａの薄膜を形成した後、参考例１と同様にしてエッチング保護層を形成し、次いで参考例１と同様にしてエッチング処理し、レジストマスクのエッチング耐性の評価を行った。結果を表１に示す。
【００３３】
実施例１
エッチング保護層形成用組成物Ａに代えて、以下のように調整して得られたエッチング保護層形成用組成物Ｂを用いることを除き参考例１と同様にして、エッチング保護層を有するエッチングマスクを形成した。このエッチングマスクを有する基板を参考例１と同様にしてエッチング処理し、エッチングマスクのエッチング耐性の評価を行った。結果を表１に示す。
【００３４】
（エッチング保護層形成用組成物Ｂの調整）
以下の割合で各成分を混合し、十分に攪拌、溶解した後、０．２μｍのフィルターで濾過し、エッチング保護層形成用組成物Ｂを調整した。
【００３５】
0004237430.tif 000003
【００３６】
実施例２
エッチング保護層形成用組成物Ａに代えて上記エッチング保護層形成用組成物Ｂを用いることを除き、参考例２と同様にして、エッチング保護層を有するエッチングマスクを形成した。このエッチングマスクを有する基板を参考例２と同様にしてエッチング処理し、エッチングマスクのエッチング耐性の評価を行った。結果を表１に示す。
【００３７】
実施例３
エッチング保護層形成用組成物Ａに代えて、以下のように調整して得られたエッチング保護層形成用組成物Ｃを用いることを除き参考例１と同様にして、エッチング保護層を有するエッチングマスクを形成した。このエッチングマスクを有する基板を参考例１と同様にしてエッチング処理し、エッチングマスクのエッチング耐性の評価を行った。結果を表１に示す。
【００３８】
（エッチング保護層形成用組成物Ｃの調整）
以下の割合で各成分を混合し、十分に攪拌、溶解した後、０．２μｍのフィルターで濾過し、エッチング保護層形成用組成物Ｃを調整した。
【００３９】
0004237430.tif 000004
【００４０】
実施例４
エッチング保護層形成用組成物Ａに代えて上記エッチング保護層形成用組成物Ｃを用いることを除き、参考例２と同様にして、エッチング保護層を有するエッチングマスクを形成した。このエッチングマスクを有する基板を参考例２と同様にしてエッチング処理し、エッチングマスクのエッチング耐性の評価を行った。結果を表１に示す。
【００４１】
比較例１
参考例１に記載された、エッチング保護層なしのレジストパターンを有する基板を参考例１と同様にエッチング処理し、エッチングマスクのエッチング耐性の評価を行った。結果を表１に示す。
【００４２】
比較例２
参考例２に記載された、エッチング保護層なしのレジストパターンを有する基板を参考例２と同様にエッチング処理し、エッチングマスクのエッチング耐性の評価を行った。結果を表１に示す。
【００４３】
【表１】
0004237430.tif 000005
【００４４】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明においては、従来の方法で形成されたレジストパターンにエッチング保護層形成用組成物を用いてエッチング保護層を形成することによりエッチングマスクのエッチング耐性を向上させることができ、これによりエッチング条件を厳しくしてより短時間で良好なパターンを基板に転写することができる。このため本発明においては、半導体集積回路等を歩留まりよく、かつ短時間で製造することができる。