(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被固定物をその本体ケースの部分で支持台に着脱自在に固定する着脱式固定装置であって、
前端部にストッパ板が折り曲げ形成され左右両側の二辺に脚板が折り曲げ形成されるとともに前記本体ケースの取付面に設けられる第１着脱板と、
前記支持台側の第１板材とこれに接合される第２板材とを有し前記支持台に設けられる第２着脱板と、
それぞれの前記脚板の前端側に相互に対向させて内側に突出して前記脚板に一体となった部分を折り曲げることにより形成される前端側の係合片と、
それぞれの前記脚板の後端側に相互に対向させて内側に突出して前記脚板に一体となった部分を折り曲げることにより形成される後端側の係合片と、
前記第２着脱板の前記第２板材にそれぞれ幅方向外方に向けて突出して設けられ、それぞれの前記係合片が前記二辺に沿う方向に摺動接触する案内面との間で前記係合片を挟む前端側と後端側の固定爪と、
前記第２着脱板の前端部に設けられ前記ストッパ板に接触する位置決め板と、
前記ストッパ板と前記位置決め板とを締結する締結具とを有することを特徴とする着脱式固定装置。
【請求項２】
被固定物をその本体ケースの部分で支持台に着脱自在に固定する着脱式固定装置であって、
前端部にストッパ板が折り曲げ形成され左右両側の二辺に脚板が折り曲げ形成されるとともに前記本体ケースの取付面に設けられる第１着脱板と、
前記支持台側の第１板材とこれに接合される第２板材とを有し前記支持台に設けられる第２着脱板と、
それぞれの前記脚板の前端側に相互に対向させて内側に突出して前記脚板に一体となった部分を折り曲げることにより形成される前端側の係合片と、
それぞれの前記脚板の後端側に相互に対向させて内側に突出して前記脚板に一体となった部分を折り曲げることにより形成される後端側の係合片と、
前記第２着脱板の前記第２板材にそれぞれ幅方向外方に向けて突出して設けられ、それぞれの前記係合片が前記二辺に沿う方向に摺動接触する案内面との間で前記係合片を挟む前端側と後端側の固定爪と、
前記第２着脱板の前端部に設けられ前記ストッパ板に接触する位置決め板と、
前記第１着脱板の前記前端部に対向して前記位置決め板の先端を折り曲げて設けられた締結板とを有し、
前記本体ケースに前記第１着脱板の前記前端部がせり出されるときには前記締結板に締結される締結具により前記第１着脱板と前記第２着脱板とを固定し、前記本体ケースに前記第１着脱板の前記前端部をせり出させないときには前記位置決め板に締結される締結具により前記第１着脱板と前記第２着脱板とを固定することを特徴とする着脱式固定装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の着脱式固定装置において、前記被固定物は薬液を吐出するポンプ部とポンプ駆動部とを有する薬液供給ポンプであることを特徴とする着脱式固定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は薬液供給ポンプなどを被固定物として、これを支持台に対して着脱自在に固定するようにした着脱式固定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハ製造技術、液晶基板製造技術、磁気ディスク製造技術および多層配線基板製造技術などの種々の技術分野における製造プロセスにあっては、フォトレジスト液、スピニオンガラス液、ポリイミド樹脂液、純水、現像液、エッチング液、洗浄液および有機溶剤などの化学薬品が使用されている。
【０００３】
たとえば、半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を塗布する場合には、半導体ウエハを水平面内において回転させた状態のもとで、半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を塗布ノズルから滴下するようにしている。このようなフォトレジスト液の滴下のために使用される薬液供給ポンプは、１つのステージに複数台配置されることになり、それぞれの薬液供給ポンプからは相互に異なった処理液やフオトレジスト液を供給するようにしている。
【０００４】
それぞれの薬液供給ポンプは定期的にメンテナンスのために取り外され、点検作業やポンプを構成する部品を交換する必要があるときには部品交換作業が行われることになる。したがって、薬液供給ポンプは所定の支持台に対して着脱自在つまり取外し自在に固定する必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来では、それぞれの薬液供給ポンプの本体ケースの前後両面あるいは左右両面から突出するブラケット部が設けられた取付板を板材を折り曲げて形成してそれを本体ケースに取り付け、ブラケット部に形成された取付孔を利用してボルトなどのねじ部材により支持台に薬液供給ポンプを締結するようにしている。
【０００６】
しかしながら、このような固定方式では、１個所の支持台に多数の薬液供給ポンプを設置する場合には、薬液供給ポンプの前後両側あるいは左右両側に取付板のブラケット部が外方に向けて突出することになるだけでなく、隣り合う他の薬液供給ポンプとの間に、作業者がドライバなどの工具を用いてねじ部材の止め付け作業を行うために手を入り込ませるスペースを確保する必要があるので、薬液供給ポンプの相互間に十分な間隔を確保しなければならない。このため、支持台の限られたスペースに多数台の薬液供給ポンプを設置することができない。
【０００７】
しかも、薬液供給ポンプを取り外す際には、ねじ部材の取付と取外しのためのねじ回し作業は、薬液供給ポンプの前面側および後面側、あるいは左右両側について行わなければならず、狭いスペースの中で行わなければならないことから、その作業には時間がかかるという問題点がある。このことは、壁面に近づけて一台の薬液供給ポンプを設置する場合にも同様である。
【０００８】
本発明の目的は、限られたスペースに複数台の本体ケースを集中して高密度で配置し得るようにすることにある。
【０００９】
本体の他の目的は、本体ケースの支持台に対する着脱作業を本体ケースの前面側などの一面側のみから行い得るようにして、本体ケースの着脱を短時間で行い得るようにすることにある。
【００１０】
本発明の他の目的は、本体ケースを支持台に対して配置する際のずらし移動によって本体ケースを支持台に固定し得るようにし、本体ケースの一面側からの締結作業によって本体ケースを支持台に締結し得るようにすることにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の着脱式固定装置は、被固定物をその本体ケースの部分で支持台に着脱自在に固定する着脱式固定装置であって、前端部にストッパ板が折り曲げ形成され左右両側の二辺に脚板が折り曲げ形成されるとともに前記本体ケースの取付面に設けられる第１着脱板と、前記支持台側の第１板材とこれに接合される第２板材とを有し前記支持台に設けられる第２着脱板と、それぞれの前記脚板の前端側に相互に対向させて内側に突出して前記脚板に一体となった部分を折り曲げることにより形成される前端側の係合片と、それぞれの前記脚板の後端側に相互に対向させて内側に突出して前記脚板に一体となった部分を折り曲げることにより形成される後端側の係合片と、前記第２着脱板の前記第２板材にそれぞれ幅方向外方に向けて突出して設けられ、それぞれの前記係合片が前記二辺に沿う方向に摺動接触する案内面との間で前記係合片を挟む前端側と後端側の固定爪と、前記第２着脱板の前端部に設けられ前記ストッパ板に接触する位置決め板と、前記ストッパ板と前記位置決め板とを締結する締結具とを有することを特徴とする。
【００１２】
本発明の着脱式固定装置は、被固定物をその本体ケースの部分で支持台に着脱自在に固定する着脱式固定装置であって、前端部にストッパ板が折り曲げ形成され左右両側の二辺に脚板が折り曲げ形成されるとともに前記本体ケースの取付面に設けられる第１着脱板と、前記支持台側の第１板材とこれに接合される第２板材とを有し前記支持台に設けられる第２着脱板と、それぞれの前記脚板の前端側に相互に対向させて内側に突出して前記脚板に一体となった部分を折り曲げることにより形成される前端側の係合片と、それぞれの前記脚板の後端側に相互に対向させて内側に突出して前記脚板に一体となった部分を折り曲げることにより形成される後端側の係合片と、前記第２着脱板の前記第２板材にそれぞれ幅方向外方に向けて突出して設けられ、それぞれの前記係合片が前記二辺に沿う方向に摺動接触する案内面との間で前記係合片を挟む前端側と後端側の固定爪と、前記第２着脱板の前端部に設けられ前記ストッパ板に接触する位置決め板と、前記第１着脱板の前記前端部に対向して前記位置決め板の先端を折り曲げて設けられた締結板とを有し、前記本体ケースに前記第１着脱板の前記前端部がせり出されるときには前記締結板に締結される締結具により前記第１着脱板と前記第２着脱板とを固定し、前記本体ケースに前記第１着脱板の前記前端部をせり出させないときには前記位置決め板に締結される締結具により前記第１着脱板と前記第２着脱板とを固定することを特徴とする。
【００１３】
本発明の着脱式固定装置にあっては、前記被固定物は薬液を吐出するポンプ部とポンプ駆動部とを有する薬液供給ポンプである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１６】
図１は本発明の一実施の形態である着脱式固定装置を用いて支持台の水平面に８つの薬液供給ポンプを固定した状態を示す斜視図であり、図２は図１に示された８つの薬液供給ポンプのいずれか１つの内部構造を示す断面図であり、図３は図１および図２に示された着脱式固定装置を示す拡大分解斜視図である。
【００１７】
図１に示すように、支持台１１の水平面には８つの薬液供給ポンプ１２が着脱式固定装置１３によってそれぞれ固定されるようになっており、それぞれの薬液供給ポンプ１２は全体的に直方体形状となり、前後両面壁と左右両側壁とを構成する本体ケース１４を有している。図示する場合には、薬液供給ポンプ１２が支持台１１に対して４つずつ２列となって配置されるとともに、４つずつが背中合わせとなって配置されている。
【００１８】
図２に示すように、本体ケース１４の取付面側となる底面には第１着脱板１５が取り付けられ、第１着脱板１５は本体ケース１４の一部となっており、薬液供給ポンプ１２を構成する部材が本体ケース１４の中に組み込まれている。薬液供給ポンプ１２は、ポンプ部１６とポンプ駆動部１７とを有し、ポンプ部１６は弾性材料により形成された径方向に弾性拡張収縮自在の可撓性チューブ１８と、この外側に配置されるとともに弾性材料により形成された軸方向に弾性変形自在のベローズ１９とを備えている。
【００１９】
可撓性チューブ１８の一端部には入口側アダプタ２１が取り付けられ、他端部には出口側アダプタ２２が取り付けられており、両方のアダプタ２１，２２の間における可撓性チューブ１８内は拡張収縮するポンプ室２３となっている。
【００２０】
ベローズ１９は軸方向中央部の作動筒部２４と小型ベローズ部２５と大型ベローズ部２６とを有し、両方のベローズ部２５，２６は作動筒部２４に対して一体となっている。ベローズ１９の両端部には、固定筒部２７，２８が一体となって設けられ、大型ベローズ部２６側の固定筒部２７は入口側アダプタ２１に固定され、小型ベローズ部２５側の固定筒部２８は出口側アダプタ２２に固定されている。
【００２１】
可撓性チューブ１８は供給される薬液がフォトレジスト液であることから、薬液と反応しないように、フッ素樹脂であるテトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）により形成されており、ベローズ１９、両方のアダプタ２１，２２も同様の樹脂材料により形成されている。
【００２２】
可撓性チューブ１８とこの外側に配置されたベローズ１９との間の空間は駆動室２９となっており、この駆動室２９内には液体などの非圧縮性媒体が充填されている。したがって、ベローズ１９をその中央部分の作動筒部２４で軸方向に弾性変形すると、ベローズ１９は全長を変化させることなく、小型ベローズ部２５と大型ベローズ部２６の内側の容積が変化することになる。これにより、非圧縮性媒体を介して可撓性チューブ１８が径方向に拡張収縮して可撓性チューブ１８内のポンプ室２３はポンプ動作することになる。
【００２３】
このポンプ動作によって、入口側アダプタ２１に接続された流入側ホース３１から流入したレジスト液は、出口側アダプタ２２に接続された流出側ホース３２から吐出される。入口側アダプタ２１には可撓性チューブ１８内にレジスト液を流入させ、逆方向の流れを阻止する逆止弁３３が設けられ、出口側アダプタ２２には可撓性チューブ１８からレジスト液を流出させ、逆方向の流れを阻止する逆止弁３４が設けられている。
【００２４】
ポンプ駆動部１７内には、作動筒部２４に取り付けられた往復動部材３５を駆動するための図示しない駆動装置が組み込まれており、この駆動装置としてはモータにより駆動されるボールねじや流体圧により駆動されるシリンダを用いることができる。
【００２５】
このような構造の薬液供給ポンプ１２をその本体ケース１４の部分で支持台１１に固定するための着脱式固定装置は、図３に示すように、本体ケース１４の底面に取り付けられた第１着脱板１５と、支持台１１に取り付けられる第２着脱板４１とを有している。
【００２６】
第１着脱板１５は、図示するようにほぼ四辺形となっており、その左右両側の２辺には、脚板４２，４３が設けられており、それぞれの脚板４２，４３は、第１着脱板１５の両側部分を外方に向けて本体ケース１４の底面に対して直角に折り曲げることにより形成されている。
【００２７】
それぞれの脚板４２，４３の前端側には、相互に対向させて内側に突出する係合片４４ａ，４４ｂが設けられ、後端側にも相互に対向させて内側に突出する係合片４５ａ，４５ｂが設けられている。このように、それぞれの脚板４２，４３には、前後方向に所定の間隔を隔てて２つずつ係合片が設けられており、これらの係合片は、脚板４２，４３に一体となった部分を折り曲げることにより形成されている。
【００２８】
第１着脱板１５の前端部にはストッパ板４６が設けられており、このストッパ板４６は第１着脱板１５の前端部の一部を折り曲げることにより形成されている。このように、第１着脱板１５は板材を用いて、図３に示すように脚板４２，４３やストッパ板４６を有する形状にプレス加工により形成することができる。
【００２９】
第２着脱板４１は支持台１１側の第１板材５１とこれにスポット溶接などにより接合される第２板材５２とを有し、この第１板材５１の両側部は、脚板４２，４３をそれぞれの係合片４４ａ，４４ｂ，４５ａ，４５ｂの部分で案内する摺動面５３となっている。
【００３０】
第２板材５２の前端部の両側には、係合片４４ａ，４４ｂに係合して第１板材５１と係合片４４ａ，４４ｂとにより挟み付けた状態となる固定爪５４ａ，５４ｂが幅方向外方に向けて突出して設けられ、第２板材５２の後端部の両側には、固定爪５４ａ，５４ｂと同様に、係合片４５ａ，４５ｂに係合する固定爪５５ａ，５５ｂが設けられ、それぞれの固定爪は摺動面５３に対向し、摺動面５３との間には係合片の厚みに対応した隙間が設けられている。
【００３１】
第２板材５２の前端部には位置決め板５６が設けられており、この位置決め板５６は第２板材５２の前端部を本体ケース１４側に向けて直角に折り曲げることにより形成されている。さらに、位置決め板５６の先端には、これに対して直角方向に折り曲げられて第１着脱板１５に対向する締結板５７が設けられている。位置決め板５６にはねじ孔５８が形成され、締結板５７にはねじ孔５９が形成されている。
【００３２】
したがって、図３において矢印で示すように、それぞれの係合片４４ａ〜４５ｂを固定爪５４ａ〜５５ｂの前方に位置させて係合片を摺動面５３に接触させた後、薬液供給ポンプ１２を脚板４２，４３に沿う方向にずらし移動させると、それぞれの係合片は固定爪と摺動面との間に入り込み、係合片は固定爪に係合、つまり引っ掛かった状態となる。係合片が固定爪と摺動面との間に容易に入り込むように、それぞれの固定爪５４ａ〜５５ｂの前端部側には、摺動面５３から離れる方向に折り曲げられた案内部６０が形成されている。
【００３３】
薬液供給ポンプ１２のずらし移動は、第１着脱板１５の前端部に設けられたストッパ板４６が第２着脱板４１の位置決め板５６に接触することにより規制され、薬液供給ポンプ１２の装着位置がこれらの接触により設定される。
【００３４】
第２着脱板４１としては、第１板材５１の前端部に位置決め板５６と締結板５７とを設け、それぞれ固定爪を構成する４つの部材を第１板材５１に溶接して形成するようにしても良い。
【００３５】
ストッパ板４６と位置決め板５６とを締結するために、ストッパ板４６にはねじ孔５８に対応させて締結具６１が設けられている。この締結具６１はファスナーとも言われ、図４（Ａ）に示すように、ストッパ板４６に固定される固定スリーブ６２を有し、この固定スリーブ６２の外側には円筒形状のつまみ部６３が固定スリーブ６２に対して軸方向に移動自在に装着され、このつまみ部６３にはねじ部材６４がかしめ付けられている。つまみ部６３内には圧縮コイルばね６５が組み込まれ、つまみ部６３とねじ部材６４は固定スリーブ６２に対して軸方向に移動自在となっている。
【００３６】
したがって、ストッパ板４６と位置決め板５６とが接近した状態で、つまみ部６３をねじ部材６４とともに押し付けてこれを回転させると、ねじ部材６４がねじ孔５８にねじ結合されてストッパ板４６と位置決め板５６とがねじ結合され、薬液供給ポンプ１２は支持台１１に締結されることになる。ねじを緩めても、固定スリーブ６２がストッパ板４６に固定されているので、薬液供給ポンプ１２の運搬時などにおいても、締結具６１が紛失することを防止できる。なお、締結具６１の数は１つでも良く、２つ以上設けるようにしても良い。
【００３７】
図４（Ｂ）は締結具６１の変形例を示す図であり、この締結具６１は樹脂などからなる止めリング６６により常にストッパ板４６に取り付けられた状態となるねじ部材により形成されており、ねじ部材を位置決め板５６のねじ孔５８にねじ結合する際にはねじ部材を押し付けることになる。ねじを緩めてもねじ部材は止めリング６６によってストッパ板４６から外れることが防止される。ただし、締結具６１としては、ストッパ板４６から取り外すことができるボルトなどのねじ部材を用いるようにしても良い。
【００３８】
図５は他のタイプの薬液供給ポンプを示す図であり、この薬液供給ポンプ１２は入口側アダプタ２１と出口側アダプタ２２とがポンプ部１６の前面から突出して設けられており、８つの薬液供給ポンプ１２はそれぞれ着脱式固定装置１３によって水平な支持台１１の上に着脱自在に固定されるようになっている。この場合には薬液供給ポンプ１２の前面とほぼ同じ面に第１着脱板１５のストッパ板４６が配置されている。この場合の第１着脱板１５および第２着脱板４１は、前後方向の長さ寸法が相違することを除き、図３に示す場合と同様の構造となっている。
【００３９】
図６は本発明の他の実施の形態である着脱式固定装置を用いて、垂直に立てかけられた支持台１１の両面に複数台ずつ薬液供給ポンプ１２を固定した状態を示す斜視図であり、図７は図６に示した着脱式固定装置を示す拡大分解斜視図である。
【００４０】
図６に示すように、複数の薬液供給ポンプ１２は垂直方向に配置された支持台１１にそれぞれの後面壁の部分で固定されるようになっている。
【００４１】
それぞれの薬液供給ポンプ１２の後面壁には第１着脱板１５が設けられており、第１着脱板１５は、図７に示すように、薬液供給ポンプ１２の本体ケース１４の上面から上方にせり出しており、このせり出し部１５ａには、締結板５７に形成されたねじ孔５９にねじ結合される締結具６１が設けられている。したがって、締結具６１のねじ部材６４を締結板５７に形成されたねじ孔５９にねじ結合させることにより、それぞれの薬液供給ポンプ１２をそれぞれの後側壁の部分を取付面としてその部分で支持台１１に固定することができる。
【００４２】
図７に示すタイプの着脱式固定装置１３は、水平の支持台１１に対して薬液供給ポンプを固定する場合にも使用することができる。その場合には、薬液供給ポンプ１２の前面壁からせり出し部１５ａがせり出すことになる。
【００４３】
第２着脱板４１は締結板５７を有しているので、図３と図７に示すいずれの着脱式固定装置１３としても使用することができる。ただし、図３に示すようにせり出し部を有していない場合には締結板５７は使用されていないので、締結板５７を有していない第２着脱板４１を使用するようにしても良い。
【００４４】
図８は薬液供給ポンプ１２をコーナー部に設置するために本発明の着脱式固定装置を使用した場合を示す図であり、後面側に障害物や壁面があっても、壁面に接近させて予め支持台の上に第２着脱板４１を取り付けることができるので、薬液供給ポンプ１２を前面側から後方にずらし移動と、その後の締結具６１の締結作業を薬液供給ポンプの前面側から行うことができることになり、このような設置場所に対しても着脱作業を迅速に行うことができる。また、薬液供給ポンプ１２に他の機器が隣接して配置される場合にも、それに接近させて薬液供給ポンプ１２を固定することができる。
【００４５】
このように、本発明の着脱式固定装置は、複数の薬液供給ポンプを取り付ける場合や、１つの薬液供給ポンプを取り付ける場合にも適用することができ、図１、図５および図６に示すように、２列に配置する場合のみならず、１列に配置する場合にも適用することができる。
【００４６】
図９は本発明の他の実施の形態である着脱式固定装置を示す拡大分解斜視図であり、この場合には、第１着脱板１５の両辺には外方に向けて突出させて係合片４４ａ，４４ｂ，４５ａ，４５ｂが設けられ、第２着脱板４１には固定爪５４ａ，５４ｂ，５５ａ，５５ｂが内方に向けて折り曲げられて形成されている。この場合にも、位置決め板５６に連ねて締結板５７を設けるようにすれば、図７に示す場合と同様に使用することができる。
【００４７】
図１０は比較例としての着脱式固定装置を用いて薬液供給ポンプ１２を支持台１１に固定した場合を示す斜視図であり、この場合には薬液供給ポンプ１２の前後両面から突出するブラケット部７１を有する取付板７２を用いて薬液供給ポンプ１２を固定するようにしている。このような取付板７２を用いた場合には、ブラケット部７１がそれぞれの薬液供給ポンプの前後両側に突出するので、隣り合う他の薬液供給ポンプとの間に作業者がドライバなどの工具を用いてねじ部材の止め付け作業を行うために手を入り込ませるスペースを確保する必要があり、さらに、薬液供給ポンプを取り外す際には、ねじ部材の取付と取外しのためのねじ回し作業は、薬液供給ポンプの前面側および後面側について行わなければならず、狭いスペースの中で行わなければならないことから、その作業には時間がかかることになる。これに対して、本発明の着脱式固定装置にあっては、限られたスペースに多数の薬液供給ポンプを設置することができるとともに、その取り付けおよび取り外し操作を迅速に行うことができる。
【００４８】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００４９】
たとえば、図示する実施の形態にあっては、第１着脱板１５が本体ケース１４の一部を構成しているが、底壁を有する本体ケース１４に第１着脱板１５をねじ部材などを用いて取り付けるようにしても良い。また、第１着脱板１５を支持台１１側に予め取り付けるようにし、本体ケース１４に第２着脱板４１を取り付けるようにしても良い。図示する実施の形態にあっては、薬液供給ポンプ１２をその本体ケース１４の部分で支持台１１に固定するために本発明を適用しているが、薬液供給ポンプに限られず、着脱自在とされる物であれば、どのような物でも良い。
【００５０】
【発明の効果】
本発明によれば、薬液供給ポンプなどの被固定物を支持台に固定する際に、支持台に設けられた着脱板に対して一面方向から滑り込ませることにより本体ケースを支持台に固定することができる。本体ケースを支持台に締結するための締結作業は、締結具を一面方向から操作することにより行うことができる。したがって、多数の本体ケースを集中して支持台の上に配置することができるとともに、その作業を短時間に行うことができ、支持台に固定された状態の本体ケースを取り外す際にも、その作業を短時間で行うことができる。単一あるいは数台の本体ケースを壁に接近させたり、他の機器に接近させて配置する場合や取り外す場合にも、同様に、その作業を短時間で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である着脱式固定装置を用いて支持台に複数の薬液供給ポンプを固定した状態を示す斜視図である。
【図２】図１に示された複数の薬液供給ポンプのいずれか１つの内部構造を示す断面図である。
【図３】図１および図２に示された着脱式固定装置を示す拡大分解斜視図である。
【図４】（Ａ）は図３におけるＡ−Ａ線に沿う拡大断面図であり、（Ｂ）は締結具の変形例を示す断面図である。
【図５】他のタイプの薬液供給ポンプを支持台に固定した状態を示す斜視図である。
【図６】本発明の他の実施の形態である着脱式固定装置によって垂直の支持台に複数の薬液供給ポンプを固定した状態を示す斜視図である。
【図７】図６に示された着脱式固定装置を示す拡大分解斜視図である。
【図８】図５に示したタイプの薬液供給ポンプをコーナー部に配置した状態を示す平面図である。
【図９】本発明の他の実施の形態である着脱装置を示す拡大分解斜視図である。
【図１０】比較例である着脱式固定装置を用いて薬液供給ポンプを支持台に固定した状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１１        支持台
１２        薬液供給ポンプ
１３        着脱式固定装置
１４        本体ケース
１５        第１着脱板
１５ａ      せり出し部
１６        ポンプ部
１７        ポンプ駆動部
２１        入口側アダプタ
２２        出口側アダプタ
３１        流入側ホース
３２        流出側ホース
４１        第２着脱板
４２，４３  脚板
４４ａ，４４ｂ  係合片
４５ａ，４５ｂ  係合片
４６        ストッパ板
５３        摺動面
５４ａ，５４ｂ  固定爪
５５ａ，５５ｂ  固定爪
５６        位置決め板
５７        締結板
６１        締結具
【図１】
0004230065.tif 000002
【図２】
0004230065.tif 000003
【図３】
0004230065.tif 000004
【図４】
0004230065.tif 000005
【図５】
0004230065.tif 000006
【図６】
0004230065.tif 000007
【図７】
0004230065.tif 000008
【図８】
0004230065.tif 000009
【図９】
0004230065.tif 000010
【図１０】
0004230065.tif 000011