(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を載置する荷台を備えるとともに、床上を走行する無人搬送車と、
処理装置と、
前記処理装置に並設され、前記荷台上に載置された物品を前記荷台から前記処理装置内に直接移載する移載手段を備える移載エリアと、
前記移載エリアに隣接し、前記無人搬送車が走行するための走行レーンと、
前記走行レーンを挟んで前記移載エリアの反対側において、前記走行レーンに接するように配置され、前記走行レーンに停止している無人搬送車に対し走行している無人搬送車を回避させるための回避レーンと、を有する無人搬送車システムであって、
前記無人搬送車から前記処理装置内への前記物品の移載は、前記無人搬送車の走行方向に対して前方から行うものであり、前記無人搬送車から前記処理装置内へ前記物品の移載を行うときには、前記無人搬送車は、前記移載エリアの前における、前記走行レーン及び前記回避レーンにおいて、前記無人搬送車の走行方向を前記移載エリアに対して垂直方向に向けるように旋回し、前記走行レーンにおいて停止することを特徴とする無人搬送車システム。
【請求項２】
前記無人搬送車にはレーザー誘導システムが搭載されるとともに、処理装置には反射板が設けられることを特徴とする請求項１に記載の無人搬送車システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、無人搬送車により物品を加工するための処理装置へ搬送する無人搬送車システムの構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、クリーンルーム内で半導体ウエハなどを搬送・移載する無人搬送車の技術は公知となっている。無人搬送車にはレーザー誘導システムが設けられ、クリーンルーム内に配設された反射板により反射されたレーザー光を検知して半導体製造装置や自動倉庫などの移載ステーションの所定位置に停止し、移載ステーションに設置された移載手段で移載ステーションに搬送物を移載し、さらに半導体製造装置側に設けられた移載手段により移載ステーションに載置された搬送物を装置内に移載していた。
これに対し、固定側の装置に移載装置を設ける代わりに、無人搬送車にアーム式の移載装置を搭載することが現在検討されている。このような無人搬送車には、移載装置の他に、複数のウエハを収納可能なバッファカセットや、ウエハの処理装置のように工程内に設置された装置に対してウエハを所定の方向で移載するためのアライナー（姿勢合わせ装置）などが搭載される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記した現在検討中の無人搬送車は、無人搬送車の本体に搭載されたロボットアーム等の移載手段で搬送物を移載するため、特に、移載手段の先端に大重量の搬送物を固定した状態で、移載手段を無人搬送車の側方に伸張すると転倒する可能性がある。この問題を解消するためには、移載アームの部材を補強するとともに無人搬送車の下部に大重量のウェイトを搭載する必要がある。あるいは無人搬送車の荷台を、移載アームではなく動作部としては昇降機構のみを具備した構成とし、移載ステーションには物品の左右端部を支持して中央部は無人搬送車が前方から進入可能に突設された載置台を設け、該載置台よりも上に物品を上昇させて該載置台の下方に無人搬送車を進入させ、次に荷台を下降させて移載ステーションに物品を載置する必要がある。
結果として、上記いずれの方式にしても無人搬送車や無人搬送車に搭載される移載手段そのものが大型化・大重量化してしまう。
特に、これら半導体ウエハや液晶パネルを取り扱う工程は通常クリーンルームであるため、大重量の無人搬送車が走行すると床面が変形・湾曲する可能性がある。これは、クリーンルーム床面は通常グレーチング床であり、床面自体を排気経路として利用するため、排気面積を確保する観点から補強材等は極力少なくすることが望ましいことによる。床面の変形・湾曲はウエハの円滑な搬送作業および移載作業を阻害する要因となり、また搬送物へのダメージも懸念される。
また近年、半導体ウエハの大径化、液晶パネルの大面積化に伴い、搬送物の重量はさらに増大する傾向にあることから、円滑に大重量の搬送物が搬送可能な、軽量の無人搬送車による無人搬送車システムが求められている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００５】
即ち、請求項１においては、物品を載置する荷台を備えるとともに、床上を走行する無人搬送車と、処理装置と、前記処理装置に並設され、前記荷台上に載置された物品を前記荷台から前記処理装置内に直接移載する移載手段を備える移載エリアと、前記移載エリアに隣接し、前記無人搬送車が走行するための走行レーンと、前記走行レーンを挟んで前記移載エリアの反対側において、前記走行レーンに接するように配置され、前記走行レーンに停止している無人搬送車に対し走行している無人搬送車を回避させるための回避レーンと、を有する無人搬送車システムであって、前記無人搬送車から前記処理装置内への前記物品の移載は、前記無人搬送車の走行方向に対して前方から行うものであり、前記無人搬送車から前記処理装置内へ前記物品の移載を行うときには、前記無人搬送車は、前記移載エリアの前における、前記走行レーン及び前記回避レーンにおいて、前記無人搬送車の走行方向を前記移載エリアに対して垂直方向に向けるように旋回し、前記走行レーンにおいて停止するものである。
【０００６】
請求項２においては、前記無人搬送車にはレーザー誘導システムが搭載されるとともに、処理装置には反射板が設けられるものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
次に、発明の実施の形態を説明する。
図１は本実施例の無人搬送車システムの全体構成を示す斜視図、図２は本実施例の無人搬送車の右側面図、図３は搬送物の斜視図、図４は従来の無人搬送車システムの第一実施例の全体構成を示す斜視図、図５は従来の無人搬送車システムの第二実施例の全体構成を示す斜視図である。
【０００９】
本実施例の無人搬送車システムの第一実施例について図１および図２を用いて説明する。なお本実施例においては、液晶パネル製造工程を例として説明するが、他の板状の搬送物（半導体ウエハなど）にも応用可能であって限定されるものではない。
【００１０】
まず図１および図２にて本実施例の無人搬送車２３の説明を行う。なお、以下の説明では図２中の矢印Ａの方向を無人搬送車２３の走行方向（前方）とする。本実施例の無人搬送車２３は、本体２４の上面後端に制御部２５が配設され、該制御部２５より上方にレーザー誘導システム２６が突設される。該レーザー誘導システム２６により無人搬送車２３は工程内各所に配設された反射板を検知し、制御部２５にて、該制御部２５に予め記憶されている走行経路地図と、該検知データとを基に無軌道の床面を走行するようになっている。制御部２５では、走行経路地図と、検知データとから現在位置を認識し、例えば、走行経路地図に沿うように駆動輪のステアリング方向を制御して走行方向を補正するとともに、駆動輪に設けられているエンコーダの値を所定位置毎にリセットして走行距離を修正しながら、走行経路地図に沿って目的位置まで無人搬送車を案内するように制御している。本体２４には走行輪２７・２７・・・が回転自在に支持され、駆動モータ（図示せず）により走行輪２７の一部または全部を駆動する。
無人搬送車２３の本体２４の上面前部には局所クリーン庫２８が搭載され、該局所クリーン庫２８の前面には閉鎖時に外気を遮断可能な蓋２９が設けられるとともに、局所クリーン庫２８の内部には昇降機構などの動作部を持たない荷台３０が設けられる。制御部２４と局所クリーン庫２８の間にはフィルターファンユニット（以下「ＦＦＵ」という）３１が設けられ、蓋２９の閉鎖時に局所クリーン庫２８内の空気をファン（図示せず）でＦＦＵ３１内に吸引し、フィルター（図示せず）を通過させて清浄度を高めたのち局所クリーン庫２８内に戻す。このように構成することにより、局所クリーン庫２８内は高清浄度のミニエンバイロンメントとなる。ＦＦＵ３１の動作は制御部２５により制御されている。
【００１１】
無人搬送車２３により搬送される搬送物９はガラス板１０・１０・・・が収納されたオープンカセット１１であり、図３に示すように、オープンカセット１１の内部側壁よりガラス板１０の端部を支持する複数の棚１２・１２・・・が高さ方向に並ぶように突設され、複数枚のガラス板１０・１０・・・を互いに接触させずに搬送可能な構成としている。また無人搬送車１で搬送する際にはオープンカセット１１の開口部が無人搬送車１の前方に向くようにする。
【００１２】
一方、液晶パネル製造装置や自動倉庫などの処理装置５には移載エリア７が並設され、該移載エリア７は走行レーン３２に隣接している。移載エリア７には無人搬送車１の走行レーン６に沿って略平行に移動可能かつ昇降・回転機構を有するとともに、ガラス板１０を一枚一枚移載する枚葉移載手段１６が設置され、無人搬送車２３の荷台３０上に載置されたオープンカセット１１・１１・・・内のガラス板１０・１０・・・を一枚ずつ取り出し、処理装置５内に移載する。
図１に示すように処理装置５および移載エリア７は密閉容器とすることが可能であり、オープンカセット１１の開口部に面する部位にゲート１７を穿設し、該ゲート１７の開閉扉１８と、該開閉扉１８を操作する開閉機構１９を設け、処理装置５および移載エリア７内の空気を空気清浄装置（図示せず）で所定の清浄度に維持する（すなわち、処理装置５内部および移載エリア７内部をミニエンバイロンメントとする）ことが可能である。
本実施例の無人搬送車システムは、後述する無人搬送車システムの第一実施例および第二実施例と比較すると、床面に設置される装置の構成の観点から見て、従来の無人搬送車システムに必要であった載置エリア８が省略可能となる点が大きく異なる。そして、この載置エリア８が不要となることにより、ミニエンバイロンメント間の移載作業を容易に行うことが可能となる利点を持ち合わせている。
【００１３】
無人搬送車２３は、物品搬送時には搬送物９がその開口部を無人搬送車２３の前方に向けるように（すなわち、蓋２９に対向するように）荷台３０に載置され、蓋２９を閉鎖してＦＦＵ３１を作動させ、局所クリーン庫２８内の空気の清浄度を高い状態で維持しつつ図１中の移載エリア７に並設される走行レーン３２を走行する。
そして、無人搬送車２３は工程内の各所および移載エリア７の走行レーン３２に面する壁面に配設された反射板１３・１３・・・をレーザー誘導システム２６にて検知して現在の走行位置を把握し、移載エリア７と隣接する走行レーン３２および該走行レーン３２を挟んで移載エリア７の反対側に並設される回避レーン３３にて旋回し、走行レーン３２の通常の走行方向に対して略垂直の方向を向く。
続いて無人搬送車２３は前進して、無人搬送車２３の前面に設けられた蓋２９と、移載エリア７側に設けられたゲート１７とを一致・密着させる。局所クリーン庫２８の前面の外縁部２８ａおよびゲート１７の外周部１７ａにはゴムシーリング等が施されている。
このように構成することにより、蓋２９とゲート１７とを一致・密着させているときには、蓋２９および開閉扉１８を開放しても外部の空気が流入せず、局所クリーン庫２８内部、および移載エリア７内部の空気の清浄度が低下しないように構成されている。この他にも局所クリーン庫２８内部、および移載エリア７内部の気圧を外気圧より高くすることにより、または前記ゴムシーリングなどと前記内部気圧上昇を組み合わせることによっても、局所クリーン庫２８内部、および移載エリア７内部の空気の清浄度低下を防止する（すなわち、ミニエンバイロンメント間の移載を行う）ことが可能である。
次に、開閉機構１９により蓋２９および開閉扉１８が開放され、枚葉移載手段１６により、局所クリーン庫２８内部のオープンカセット１１に収納されているガラス板１０・１０・・・が処理装置５に直接移載される。ガラス板１０・１０・・・の移載作業完了後、開閉機構１９により蓋２９および開閉扉１８が再び閉じられ、無人搬送車２３は後退・旋回して走行レーン３２に復帰する。
なお、本実施例では搬送物９であるオープンカセット１１内に収納されたガラス板１０・１０・・・を移載装置１６により一枚づつ処理装置５に移載する構成としたが、搬送物９そのものを処理装置５内に移載してもよく、あるいは搬送物９のオープンカセットに蓋を設け、密閉式の搬送物としてもよい。
また、クリーンルーム内の空気の清浄度と、処理装置５および移載エリア７内の空気の清浄度とが同じでも良い場合は、本実施例の無人搬送車２３に搭載されている局所クリーン庫２８およびＦＦＵ３１を省略しても同様の効果を奏する。
【００１４】
続いて、従来の無人搬送車システムの第一実施例について図４を用いて説明する。
従来の無人搬送車システムの第一実施例における無人搬送車１は、本実施例の無人搬送車２３と異なり、その上面に昇降機構２が設けられており、該昇降機構２の上面が搬送物の荷台２ａになる。無人搬送車１の後端には制御部３が配設され、該制御部３より上方にレーザー誘導システム４が突設される。該レーザー誘導システム４により無人搬送車１は工程内各所に配設された反射板を検知し、該検知データに基づいて制御部３にて走行管理を行っている。
なお、本実施例では、無人搬送車の誘導方式を、施工やレイアウト変更等が容易なレーザー誘導方式としているが、床面に敷設された磁気テープに沿って走行する磁気誘導方式や、床面に敷設された反射テープに沿って走行する光誘導方式でも良い。
【００１５】
一方、液晶パネル製造装置や自動倉庫などの処理装置５には、無人搬送車１の走行レーン６側に移載エリア７が並設される点は本実施例と同様であるが、移載エリア７と走行レーンの間にさらに載置エリア８が並設される点が大きく異なる。
【００１６】
搬送物９を荷台２ａ上に載置した状態で走行レーン６を走行する無人搬送車１は、工程内の各所や移載エリア７の走行レーン６に対向する壁面、および載置エリア８の壁面などに配設された反射板１３・１３・・・をレーザー誘導システム４にて検知して現在の走行位置を把握し、載置エリア８の前方の走行レーン６および該走行レーン６に並設される回避レーン１４内で旋回し、走行レーン６の通常の走行方向に対して略垂直の方向を向いて載置エリア８内に進入する。このとき無人搬送車１の昇降機構２を作動させ、荷台２ａの上に載置された搬送物９の下面がバッファ台１５の上面より高くなる位置まで上昇しておく。バッファ台１５・１５・・・は走行レーン６に隣接し、バッファ台１５・１５・・・の下に無人搬送車１が進入可能である。そして載置エリア８に無人搬送車１が進入したときに、無人搬送車１の左右側方から互いに内向きに張り出した棚形状を有しており、昇降機構２を下降することにより搬送物９の載置が可能である。搬送物９をバッファ台１５上に載置した後、無人搬送車１は後退・旋回して走行レーン６に復帰する。
【００１７】
一方、液晶パネル製造装置や自動倉庫などの処理装置５には移載エリア７が並設され、該移載エリア７は走行レーン６に隣接している。移載エリア７には無人搬送車１の走行レーン６に沿って略平行に移動可能かつ昇降・回転機構を有する枚葉移載手段１６が設置され、バッファ台１５・１５・・・に載置されたオープンカセット１１・１１・・・内のガラス板１０・１０・・・を取り出し、処理装置５内に移載する。
【００１８】
図４に示すように、従来の無人搬送車システムの第一実施例においても、処理装置５および移載エリア７は密閉容器とすることが可能であり、オープンカセット１１の開口部に面する部位にゲート１７を穿設し、該ゲート１７の開閉扉１８と、該開閉扉１８を操作する開閉機構１９を設け、処理装置５および移載エリア７内の空気を空気清浄装置（図示せず）で所定の清浄度に維持する（すなわち、処理装置５内部および移載エリア７内部をミニエンバイロンメントとする）ことが可能である。
しかし、オープンカセット１１内の空気はクリーンルーム内の空気と同じ清浄度であることから、処理装置５および移載エリア７内の空気の清浄度をクリーンルーム内の清浄度より上げても、移載作業を行う際にクリーンルーム内の空気が処理装置５および移載エリア７内に侵入してしまう。
また、仮にオープンカセット１１を前面に蓋を有する密閉式カセットとしても、昇降機構２の昇降により搬送物９を載置エリア８に載置するため、該密閉式カセットの開口部とゲート１７とを密着させ、クリーンルーム内の空気が処理装置５および移載エリア７内に流入しないようにガラス板１０・１０・・・を移載することは困難である。
【００１９】
従来の無人搬送車システムの第二実施例について図５を用いて説明する。
床面に設置される装置の構成については図４に示した第一実施例と略同様の構成である。一方、無人搬送車２０には昇降、および無人搬送車２０の側方への伸張が可能な移載アーム２１を搭載しており、該移載アーム２１の先端には荷台２２が配設されている。
搬送物９を移載アーム２１の先端の荷台２２上に載置した状態で走行レーン６を走行する無人搬送車２０は、工程内の各所や移載エリア７の走行レーン６に対向する壁面、および載置エリア８の壁面などに配設された反射板１３・１３・・・をレーザー誘導システム４にて検知して現在の走行位置を把握し、載置エリア８に面する走行レーン６の所定の位置で停止する。次に無人搬送車２０の移載アーム２１を上昇させて、該移載アーム２１の先端に配設された荷台２２上の搬送物９の下面がバッファ台１５の上面より高くなるようにする。続いて移載アーム２１を伸ばして載置エリア８内のバッファ台１５・１５間に進入させ、その状態で移載アーム２１を下降させることによりバッファ台１５・１５に搬送物９を載置する。また荷台２２に搬送物９を載せた状態で移載アームを無人搬送車２０の側方に伸ばしても転倒しないように、必要な場合は無人搬送車２０にウェイト（図示せず）が搭載される。
なお、移載アーム２１の構造は本実施例に限らず、例えば搬送物９のオープンカセット１１上面にフック等を掛止する機構を設け、クレーン式の移載アームで該搬送物９を吊り下げてバッファ台１５に載置する方式としてもよい。
【００２０】
バッファ台１５・１５・・・は走行レーン６に隣接して複数設けられ、載置エリア８内に移載アーム２１を伸ばしたときに移載アーム２１、荷台２２および搬送物９と干渉しないように、無人搬送車２０が搬送物９を移載するための所定の停止位置から側方視で左右から張り出した棚形状を有している。搬送物９をバッファ台１５上に載置した後、無人搬送車２０は移載アーム２１を載置エリア８外に戻し、周囲と干渉しない姿勢にしてから次の停止位置へ向けて走行開始する。
【００２１】
図４の従来の無人搬送車システムの第一実施例と同様、図５に示すように、従来の無人搬送車システムの第二実施例においても、処理装置５および移載エリア７は密閉容器とすることが可能であり、オープンカセット１１の開口部に面する部位にゲート１７を穿設し、該ゲート１７の開閉扉１８と、該開閉扉１８を操作する開閉機構１９を設け、処理装置５および移載エリア７内の空気を空気清浄装置（図示せず）で所定の清浄度に維持する（すなわち、処理装置５内部および移載エリア７内部をミニエンバイロンメントとする）ことが可能である。
しかし、オープンカセット１１内の空気はクリーンルーム内の空気と同じ清浄度であることから、処理装置５および移載エリア７内の空気の清浄度をクリーンルーム内の清浄度より上げても、移載作業を行う際にクリーンルーム内の空気が処理装置５および移載エリア７内に侵入してしまう。
【００２２】
従って、図１および図２に示す本実施例の無人搬送車システムは、図４および図５に示す従来の無人搬送車システムと比較して、次のような利点がある。
【００２３】
第一に、従来の無人搬送車システムにおいては、無人搬送車１に搭載される昇降機構２により、または無人搬送車２０に搭載される移載アーム２１により、載置エリア８に移載された搬送物９であるオープンカセット１１に収納されたガラス板１０・１０・・・を、枚葉移載手段１６が載置エリア８から処理装置５へ移載していたのに対して、本実施例の無人搬送車システムにおいては、枚葉移載手段１６が搬送物９であるオープンカセット１１に収納されたガラス板１０・１０・・・を、無人搬送車２４の荷台３０から直接処理装置５へ移載するように構成した
その結果、従来の無人搬送車１や無人搬送車２０に搭載されていた昇降機構２、移載アーム２１、および図示せぬウェイトといった大重量の部品を省略し、無人搬送車２３の軽量化を可能とした。このためより大重量の搬送物９を搬送してもクリーンルームの床面が変形・湾曲することがなく、円滑な物品搬送が可能となる。
なお、本実施例の無人搬送車システムでは、板状の搬送物を処理装置５に設けられた枚葉移載手段１６で直接移載するようにしているが、板状以外の重量のある搬送物を、処理装置に配置した移載手段で直接移載するようにしても良い。さらに、本無人搬送車システムは、床の強度のあまり無いクリーンルームに用いられるのが特に好ましいが、クリーンルーム用に限られるものではない。無人搬送車の重量化を防ぐことは、使用する走行モータやその電源となるバッテリーの大型化を防ぐことになり、クリーンルーム以外に用いられる無人搬送車システムにおいても有用である。
【００２４】
第二に、本実施例の無人搬送車システムにおいては、走行スペースとしては全く利用不可能な載置エリア８が不要となった。
その結果、床面に設置できる処理装置５の数を増やすことが可能になるとともに、走行レーン３２のレイアウトの自由度が上がり、工程内のレイアウト変更を行うような場合にも柔軟に対応することが可能である。あるいは、走行レーンを増やして無人搬送車の停滞を減らすことができる。
また、従来の無人搬送車システムの第一実施例のように無人搬送車１が載置エリア８に進入する場合は、図４に示すように、床面設置設備側（より具体的には載置エリア８の壁面）には七枚の反射板１３・１３・・・（図４に図示せぬものも含む）を必要とした。これは無人搬送車１がレーザー誘導システム４により正確な位置把握をするためには、周囲を見回したときに所定の角度ごとに反射板１３が配設されていることが望ましいことによる。本発明の場合は載置エリア８の側壁面がないので、処理装置５側に取り付ける反射板１３は三枚でよく、反射板１３の個数を減らすことが可能である。
この他にも、載置エリア８が本来あったスペースを進入スペースとし、無人搬送車２３がこの進入スペースにて移載作業を行う構成にすれば、無人搬送車２３が旋回する際に、反射板１３が設けられた移載エリア７壁面と無人搬送車２３との距離が大きくとれるので、移載エリア７壁面に設けられた反射板１３の数をさらに減らすことが可能である。
なお、必要な反射板１３の数は装置の大きさなどによって変化するものであり、従来の実施例や本発明の実施例に限定されるものではない。
【００２５】
第三に、従来の無人搬送車１あるいは無人搬送車２０の場合は、無人搬送車自身に昇降機構２や移載アーム２１のような移載手段が設けられているため、無人搬送車の荷台自体をミニエンバイロンメント化し、さらにミニエンバイロンメント化された処理装置５との間で移載を行うのが困難であるのに対して、本発明の無人搬送車２３は、搬送物９をミニエンバイロンメント化した局所クリーン庫２８内に収納した状態で搬送し、さらにミニエンバイロンメント化した移載エリア７および処理装置５との間で搬送物９の移載作業を行うことが容易である。
このことはクリーンルーム全体の空気の清浄度を高めなくとも、無人搬送車２３の局所クリーン庫２８内、移載エリア７および処理装置５内の空気の清浄度を高めておけば搬送物９の汚染を防止可能であることを意味し、クリーンルームに係る設備・維持費用を抑えることができる。特に大面積の半導体ウエハや液晶パネル用のガラス板を取り扱う場合、より高い空気清浄度が求められるため、製造コストへの寄与が大きい。
【００２６】
【発明の効果】
本発明は、以上のように構成したので、以下に示すような効果を奏する。
【００２７】
即ち、請求項１に示す如く、物品を載置する荷台を備えるとともに、床上を走行する無人搬送車と、処理装置と、前記処理装置に並設され、前記荷台上に載置された物品を前記荷台から前記処理装置内に直接移載する移載手段を備える移載エリアと、前記移載エリアに隣接し、前記無人搬送車が走行するための走行レーンと、前記走行レーンを挟んで前記移載エリアの反対側において、前記走行レーンに接するように配置され、前記走行レーンに停止している無人搬送車に対し走行している無人搬送車を回避させるための回避レーンと、を有する無人搬送車システムであって、前記無人搬送車から前記処理装置内への前記物品の移載は、前記無人搬送車の走行方向に対して前方から行うものであり、前記無人搬送車から前記処理装置内へ前記物品の移載を行うときには、前記無人搬送車は、前記移載エリアの前における、前記走行レーン及び前記回避レーンにおいて、前記無人搬送車の走行方向を前記移載エリアに対して垂直方向に向けるように旋回し、前記走行レーンにおいて停止するので、従来、処理装置に設けられていた移載ステーションをなくすとともに、移載ステーションに物品を移載するために無人搬送車に必要であった移載装置や昇降装置、そして移載中の転倒を防止するウェイト等の大重量の装置が不要となる。このため、移載ステーションを設けていたスペースを有効利用することが可能になるとともに、無人搬送車を軽量化することができ、例えば、大重量の物品を搬送してもクリーンルームの床面が変形・湾曲するのを抑えることができる。
また、走行レーンのレイアウトの自由度が上がり、工程内のレイアウト変更を行うような場合にも柔軟に対応することが可能である。
ものである。
【００２８】
請求項２に示す如く、前記無人搬送車にはレーザー誘導システムが搭載されるとともに、処理装置には反射板が設けられるので、複雑な形状の載置エリアに無人搬送車を精度良く進入させるために多数必要であった反射板の数を減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施例の無人搬送車システムの全体構成を示す斜視図。
【図２】本実施例の無人搬送車の右側面図。
【図３】搬送物の斜視図。
【図４】従来の無人搬送車システムの第一実施例の全体構成を示す斜視図。
【図５】従来の無人搬送車システムの第二実施例の全体構成を示す斜視図。
【符号の説明】
４  レーザー誘導システム
５  処理装置
９  搬送物
１３  反射板
１６  移載手段
２３  無人搬送車
３０  荷台
３２  走行レーン
３３  回避レーン
【図１】
0004314780.tif 000002
【図２】
0004314780.tif 000003
【図３】
0004314780.tif 000004
【図４】
0004314780.tif 000005
【図５】
0004314780.tif 000006