(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面処理槽の上部開口部には、一方側に設けたエア供給口から他方側に設けた吸気口に向けて生じる気流によって、処理液から発生するミストを捕集するためのエアカーテン装置を設けるとともに、そのエアカーテン装置の吸気口に続く排気ケーシングには、その前段に、排気中のミストを除去するため水を噴霧しケーシング内を霧状水滴で充満させるスプレーノズルを配置し、かつミストを吸収し降下した霧状水滴を貯留する底部を備えた第１ミスト除去部を設け、その後段には、前記第１ミスト除去部で除去されなかったミストを分離、除去するミストセパレータであって、羽根車とそれを回転するモータからなり、この羽根車が第１ミスト除去部から排気を吸引し、排気中のミストを羽根車が捕集し、さらに遠心力により内壁面に衝突させて捕集し、その壁面に沿って流下させて貯留する貯留部を備えるとともに、ミストを分離、除去した排気を前記エア供給口に供給して、エアカーテンの気流を形成し、かつ循環利用するようにした第２ミスト除去部を設けたことを特徴とする表面処理槽の排気浄化装置。
【請求項２】
前記第１ミスト除去部の前記貯留底部に集められたミスト含有水をスプレーノズルに供給して循環利用するとともに、前記第２ミスト除去部の前記貯留部に集められた液状ミストを前記表面処理槽に返送するようにした請求項１に記載の表面処理槽の排気浄化装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、めっき処理システムのめっき槽などに設けられる表面処理槽の排気浄化装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、めっき処理システムのめっき槽や薬品処理槽は、電極反応や加温により、めっき液などから各種浴成分を含んだミストが蒸気などとともに発生するので、それらが機器周辺に飛散しないよう防護設備が配置されている。例えば、大型のフードを処理槽の上方に配設し、そこからダクトでミスト除去装置に導いてミストを除去した後、浄化された空気を屋外に排出している。
【０００３】
このようなミスト除去装置や排気用のファン装置を設置するためのスペースを表面処置装置の近辺に準備する必要があり、既設の表面処置装置では、特別に設置用のスペースを増設する必要があった。
また、排気を導くために大口径のダクトを、表面処置装置とミスト除去装置との間、あるいは排気用のファン装置の前後、屋外までの間などに設置する必要があって、設備費が高額になる他、工場内の空間を占拠する不具合があった。
さらには、従来のミスト除去装置は頻繁に洗浄する必要があったが、その洗浄水は廃液として廃水浄化処理する必要があり、廃水浄化処理施設の負荷になるという問題もあった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、処理槽の発生ミストの飛散を防止し、捕集ミストを外部に放出することなく、集中浄化装置を小型化するとともに、排気や廃水の排出を極限まで抑制できる表面処理槽の排気浄化装置を提供する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の問題は、表面処理槽の上部開口部には、一方側に設けたエア供給口から他方側に設けた吸気口に向けて生じる気流によって、処理液から発生するミストを捕集するためのエアカーテン装置を設けるとともに、そのエアカーテン装置の吸気口に続く排気ケーシングには、その前段に、排気中のミストを除去するため水を噴霧しケーシング内を霧状水滴で充満させるスプレーノズルを配置し、かつミストを吸収し降下した霧状水滴を貯留する底部を備えた第１ミスト除去部を設け、その後段には、前記第１ミスト除去部で除去されなかったミストを分離、除去するミストセパレータであって、羽根車とそれを回転するモータからなり、この羽根車が第１ミスト除去部から排気を吸引し、排気中のミストを羽根車が捕集し、さらに遠心力により内壁面に衝突させて捕集し、その壁面に沿って流下させて貯留する貯留部を備えるとともに、ミストを分離、除去した排気を前記エア供給口に供給して、エアカーテンの気流を形成し、かつ循環利用するようにした第２ミスト除去部を設けたことを特徴とする本発明の表面処理槽の排気浄化装置によって解決できる。
【０００６】
また、本発明は、前記第１ミスト除去部の前記貯留底部に集められたミスト含有水をスプレーノズルに供給して循環利用するとともに、前記第２ミスト除去部の前記貯留部に集められた液状ミストを前記表面処理槽に返送するようにした形態の表面処理槽の排気浄化装置として具体化できる。
【０００７】
本発明によれば、発生ミストはエアカーテン装置の気流に捕集されるので、有害なミストが表面処理槽の近辺の空間などに飛散するのを防止できる。さらに、排気中のミストは、２段階に設けられた第１と第２のミスト除去部によって除去されるので、集中浄化設備を小型化でき、省スペース化が図れる。
さらに、スプレーを用いる第１ミスト除去部では、ミストの他に有害ガスを除去できる。また、排気をエアカーテン装置用の供給エアに利用できるので、ダクトやファン装置など排気施設が小型化できるほか、分離、除去した液状ミストをその処理槽に還流させて利用できるので、排水処理施設の負荷を軽くできる利点がある。
【０００８】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の表面処理槽の排気浄化装置に係る実施形態について、図１を参照しながら説明する。
本発明の特徴とするところは、図１において、先ず、表面処理槽１の上方に向けた開口部１１には、その一方側に設けたエア供給口２１から他方側に設けた吸気口２２に向けて、処理液１２の表面に沿って流れる気流２３を生じさせ、処理液１２から発生するミストを捕集するエアカーテン装置を設けた点にある。
さらに、そのエアカーテン装置の吸気口２２に続く排気ケーシング３には、その前段に、排気中のミストを除去するため水を噴霧するスプレーノズル４１を配置した第１ミスト除去部４を設け、その後段には、ミストを分離、除去するミストセパレータ５１を配置した第２ミスト除去部５を設けた点にある。
【０００９】
そして、この第２ミスト除去部５に設けたミストセパレータ５１として、後述するようにファン装置のような送風機能を備えているから、前記エアカーテン用の気流２３を得るのに、別途専用のファン装置を排気ダクトに配設する必要がない。
【００１０】
また、第１ミスト除去部４では、１個ないし２個以上のスプレーノズル４１から水を噴霧し、霧状の小径水滴（１００μｍ程度）をケーシング内に充満させれば、吸気口２２から流入する排気中のミストがその霧状の小径水滴に接触して吸収される。そして、ミストを吸収した水滴の大部分はケーシング内を降下して、底部４２に貯留される。
【００１１】
さらに、第１ミスト除去部４においてミストの大部分が除去された排気は、少量の前記小径水滴を伴って、上方に連続して配設された第２ミスト除去部５に流入する。この第２ミスト除去部５には、ミストを分離、除去するためのミストセパレータ５１が設けられている。
【００１２】
図１に例示したこの実施形態で用いられているミストセパレータ５１は、羽根車５１ａとそれを高速回転させるモータ５１ｂからなり、この羽根車５１ａが第１ミスト除去部４から排気を積極的に吸引し、上方の排気ダクト３１に送出するファン機能を備えたものである。そして、排気中のミストのような浮遊物を、回転する羽根車５１ａの側面に衝突させて捕集し、それをさらに回転の遠心力によって羽根車５１ａの外周に設けられた壁面衝突させることで排気からミストを分離、除去するものであり、図１の装置では、第２ミスト除去部５の内壁に衝突させ、さらに内壁を伝って流下させ下部の貯留部５２に分離できるように構成されている。
【００１３】
以上説明した本発明の実施形態によれば、めっき槽などから発生した有害なミストはエアカーテン装置の気流に捕集されるので、表面処理槽の近辺の空間や床に飛散することを防止できる。さらに、捕集された排気中のミストを、２段に段積みした構造に設けられた第１と第２のミスト除去部によって効率よく除去するようにしたので、浄化設備自体を小型化でき、省スペース化が図れるようになった。
【００１４】
さらに、図１の実施形態において、前記第１ミスト除去部４の底部４２に集められミスト含有水を配管４３およびポンプ（図示せず）によってスプレーノズル４に供給して、スプレー水として循環利用できるように構成するのが好ましい。なお、前記第１ミスト除去部４の底部４２に集められたミスト含有水は、含有薬品の濃度自体は低いので、スプレー用水として何ら問題なく利用できるから、従来の洗浄水のように直ちに廃水として排出する必要はなく、放出量を抑制できるので、工場の廃水処理装置の負荷に殆ど影響を与えないという利点が得られる。
【００１５】
さらに、図１の実施形態において、前記第２ミスト除去部５においてミストを分離、除去した排気を前記エアカーテン装置のエア供給口２１に供給して吹き出させ、吸気口２２から吸引させ、循環利用するように構成するのが好ましい。この場合、第２ミスト除去部５から送出される排気を導くための排気ダクト３１は、その先端で外部へ向かうダクト３２とエア供給口２１に導かれるダクト３３とに分岐して構成するのが好ましい。そして、ダクト３２、３３には各々の通過するエア量を調節可能とするダンパ３２ａ、３３ａを設けるのが適当である。
かくして、排気は循環利用されるので、外部への排出量をごく少なく抑えることが可能となり、そのため工場内に設置する排気ダクト、排気ファン装置の小型化、排気ガスの終末処理装置の省略ができ、工事費の削減、あるいは省スペース化が図れる。
【００１６】
さらに、図１の実施形態において、前記第２ミスト除去部５の下部の貯留部５２に分離され集められた液状ミストを配管５３を通じて前記表面処理槽１または水洗槽に返送するように構成するのが好ましく、かくして、返送される液状ミストは発生源である処理液１２とその成分を共通にするので、処理液１２の補充液として用いられるうえ、従来のように廃水として排出する必要がなくなり、そのため工場の廃水処理装置の負荷にならないという利点が得られる。
【００１７】
【発明の効果】
本発明の表面処理槽の排気浄化装置は以上に説明したように構成されているので、処理槽の発生ミストを捕集して外部に放出することなく、発生ミストの飛散を防止できる浄化装置を小型化できるから、設備費を低減しスペース効率を向上できる。その実施形態によれば、排気や廃水自体の放出量を極限まで抑制できるので、作業環境の改善や環境対策のメンテナンスを容易にするという優れた効果がある。よって本発明は従来の問題点を解消した表面処理槽の排気浄化装置として、その工業的価値は極めて大なるものがある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を図解した要部縦断面図。
【符号の説明】
１  表面処理槽、１１  上部開口部、１２  処理液、２１  エア供給口、２２  吸気口、２３  気流、３  排気ケーシング、３１  排気ダクト、４  第１ミスト除去部、４１  スプレーノズル、４２  底部、５  第２ミスト除去部、５１  ミストセパレータ、５１ａ  羽根車、５１ｂ  モータ、５２  貯留部。
【図１】
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