(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム内に水平方向に並設された直線平行部の両端にＵターン部が設けられて環状に形成された軌道と、該軌道に沿って走行する搬送台車本体と、該搬送台車本体の上または下に配されたワーク保持部とを備えたクリーンルーム内軌道式搬送装置において、
前記ワーク保持部の水平方向における中心位置を、前記搬送台車本体の中心位置よりも、前記軌道の内側にオフセットして設けたことを特徴とするクリーンルーム内軌道式搬送装置。
【請求項２】
前記搬送台車本体と前記ワーク保持部とが、一体的に連結されており、
前記ワーク保持部を、水平方向にオフセットして設けたことを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム内軌道式搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体デバイス等を製造するクリーンルーム内において、工程間搬送や工程内搬送を行うクリーンルーム内軌道式搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイス等を製造するクリーンルーム内においては、ウェーハキャリア等のワークを工程間で搬送するため、あるいは工程内で搬送するために、軌道式搬送装置が用いられている。この場合、クリーンルームの建設費や運転費が非常に高いことから、工程間搬送装置の設置される中央通路や工程内搬送装置の設置されるベイについても、可能な限りの幅狭化の要請が強い。つまり、クリーンルーム内部の装置は床面積が小さいことが重要となる。
【０００３】
図３はこの種の軌道式搬送装置の従来例を示している。
図３（ａ）において、１はループ軌道であり、水平面内に並ぶ２本の直線平行部１Ａと、両端の所定曲率のＵターン部１Ｂとからなる。２は搬送台車で、軌道１に沿って無人で走行する。図３（ｂ）に示すように、搬送台車２は、軌道１を走行する搬送台車本体３と、その上部に配された荷台（ワーク保持部）４とからなり、荷台４の上には、多数のウェーハを収容したウェーハキャリアＭＡが搭載される。搬送台車本体３には、軌道１に荷重を預けるための走行車輪５と、軌道１からガイド作用を受けるためのガイドローラ６とが設けられている。また、搬送台車本体３の下部には、軌道１に沿って配された磁石８との間で走行力を発生するリニアモータ１次側７が設けられている。
【０００４】
従来の搬送装置では、図３（ｂ）に示すように、搬送台車本体３の幅方向の中心位置Ｃ１と、荷台４の中心位置Ｃ２とを一致させて設けてあり、例えば、軌道１の幅（例２００ｍｍ）よりも大きい荷台４の幅ＷＡを３００ｍｍ、Ｕターン部１Ｂの曲率半径Ｒを７００ｍｍとした場合、軌道中心を基準にして左右に均等な寸法Ｗ１（＝ＷＡ／２＝１５０ｍｍ）だけ荷台４が張り出すので、軌道１を含めた搬送装置の全体幅Ｌ１が、
Ｌ１＝２Ｒ＋２Ｗ１＝１７００ｍｍ
となっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、半導体デバイスを安価に製造するため、最近では、ウェーハの大きさが２００ｍｍから３００ｍｍへと大口径化し、そのため、荷台の幅として従来の３００ｍｍのものから４００ｍｍのものを扱う工場を作る必要が出てきた。
【０００６】
図３（ａ）の２Ｂで示すものは、従来方式で荷台の幅だけをＷＢ（４００ｍｍ）に拡大した搬送台車である。この場合は、荷台の中心位置Ｃ１と搬送台車本体の中心位置Ｃ２が一致しているので、軌道中心を基準にして左右に均等な寸法Ｗ２（２００ｍｍ）だけ荷台が張り出すことになり、軌道１を含めた搬送装置の全体幅Ｌ２が、
Ｌ２＝２Ｒ＋２Ｗ２＝１８００ｍｍ
と、従来より増大してしまうことになる。３００ｍｍウェーハの時代には、より清浄度の高いクリーンルームが必要となり、クリーンルームにかかるコストが高くなる。よって、ますます通路幅を狭くする要求が出てくる。従って、従来方式のままに荷台の幅をＷＡからＷＢに拡大した場合、６００ｍｍ単位のグレーチング床の幅３枚分である、現状よく用いられるスペースである通路幅１８００ｍｍには、全然余裕がとれないので、導入できず、グレーチング幅４枚分である２４００ｍｍが必要となるという問題があった。
【０００７】
なお、軌道１のＵターン部１Ｂの曲率半径Ｒを小さくして、搬送装置の全体幅Ｌ２の縮小を図ることも考えられるが、Ｕターン部１Ｂの曲率半径Ｒは、搬送台車本体３の寸法（特に長さ）と軌道１の幅などとの関係から、寸法縮小に限界がある。例えば、搬送台車本体３は、左右のガイドローラ６を軌道１の内側部に転動させながら走行するが、軌道１の曲率半径Ｒが小さくなると、軌道１の内側部と搬送台車本体３とが干渉するおそれが出てくる。また、軌道１に磁石８を設置し、搬送台車本体３にリニアモータ一次側７を設置して駆動する場合、軌道１の曲率半径Ｒが小さいと、リニアモータ一次側７が磁石８からはみ出すおそれが出てくる。そのような理由のため、軌道１の曲率半径Ｒは、現状より大幅に小さくできないという前提があった。
【０００８】
本発明は、上記事情を考慮し、ワーク保持部（荷台）の幅を拡大した場合でも搬送装置の全体幅の増大を抑えることができ、それにより、現状の幅のスペースに設置可能な軌道式搬送装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、クリーンルーム内に水平方向に並設された直線平行部の両端にＵターン部が設けられて環状に形成された軌道と、該軌道に沿って走行する搬送台車本体と、該搬送台車本体の上または下に配されたワーク保持部とを備えたクリーンルーム内軌道式搬送装置において、前記ワーク保持部の水平方向における中心位置を、前記搬送台車本体の中心位置よりも、前記軌道の内側にオフセットして設けたことを特徴とする。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１において、前記搬送台車本体と前記ワーク保持部とが、一体的に連結されており、前記ワーク保持部を、水平方向にオフセットして設けたことを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、本発明の実施形態の搬送装置では、搬送台車２０の荷台２４の幅ＷＢを、大口径ウェーハを収容したウェーハキャリアＭＢに合わせて４００ｍｍに拡大している。そして、その荷台２４の幅方向中心位置Ｃ２を、搬送台車本体３の中心位置Ｃ１より、軌道１の内側にオフセットしている。オフセット量Ｓは、荷台２４の幅の増大分（４００ｍｍ−３００ｍｍ＝１００ｍｍ）の半分（５０ｍｍ）としている。これにより、軌道中心を基準にした場合、軌道中心より外側の寸法Ｗ２１が従来と変わらず１５０ｍｍ、内側の寸法Ｗ２２が２５０ｍｍとなり、軌道１を含めた搬送装置の全体幅Ｌ１が１７００ｍｍに収まる。よって、荷台２４の幅を広げた場合でも、現状のスペース（通路幅１８００ｍｍに、従来と同様の余裕を持って設置することができる。その他の構成は、図３の従来例と同じであるから説明を省略する。
【００１２】
なお、上記実施形態では、搬送台車本体３の上にワーク保持部である荷台２４が配された搬送装置を例示したが、吊り下げの搬送装置にも本発明は適用することができる。
【００１３】
図２（ａ）は、吊り下げ式の搬送装置に本発明を適用した例を示す正面図、図２（ｂ）は、比較のために従来の搬送装置を示す正面図である。図２（ａ）の本発明の実施形態の搬送装置では、軌道１１の下側に搬送台車本体３１が車輪３２により吊り下げられ、軌道１１に沿って走行できるようにされており、搬送台車本体３１の下側に、ワイヤ巻き取り機構３５を含んだワーク保持部４４が配されている。ワーク保持部４４は、吊りワイヤ３６で吊り保持されたハンド部３７を有し、ハンド部３７で大口径ウェーハを収容したウェーハキャリアＭＢを保持するようになっている。
【００１４】
特に、この搬送装置では、ワーク保持部４４の幅が、図２（ｂ）の従来のものよりも大きくされ、その中心位置Ｃ２が、搬送台車本体３１の中心位置Ｃ１からオフセットして配置しており、ワーク保持部４４の幅が増大しているにも拘わらず、軌道中心から左側の寸法Ｗ４が従来と等しくなるように設定されている。従って、ワーク保持部４４の幅の増大にも拘わらず、現状のスペースに導入することができる。
【００１５】
なお、以上では、ワーク保持部の幅を拡大する場合の対策について述べたが、ワーク保持部の幅を従来と変えずに、ワーク保持部の中心位置だけ搬送台車本体の中心位置からオフセットしてもよい。例えば、３００ｍｍ幅の荷台を外側に１００ｍｍ、内側に２００ｍｍと振り分けて配置し、従来より荷台の中心位置を５０ｍｍだけ軌道の内側にオフセットした場合は、搬送装置の全体幅Ｌ１を１６００ｍｍにできる。よって、設置スペースの縮小が可能となる。
【００１６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ワーク保持部の幅を拡大した場合でも搬送装置の全体幅の増大を抑えることができ、現状の幅のスペースに無理なく搬送装置を設置することができる。また、ワーク保持部の幅を変えない場合は、搬送装置の全体幅を縮小することができ、クリーンルーム内での占有スペースを減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施形態を示す図で、（ａ）は全体の概略構成を示す平面図、（ｂ）は（ａ）図のＩｂ−Ｉｂ矢視図である。
【図２】  本発明の他の実施形態の説明図で、（ａ）は本発明の実施形態における搬送台車の正面図、（ｂ）はそれと比較するために示す従来の搬送台車の正面図である。
【図３】  従来の軌道式搬送装置を示す図で、（ａ）は全体の概略構成を示す平面図、（ｂ）は（ａ）図のＩｂ−Ｉｂ矢視図である。
【符号の説明】
１，１１  ループ軌道
１Ａ  直線平行部
１Ｂ  Ｕターン部
３  搬送台車本体
２０  搬送台車
２４  荷台（ワーク保持部）
４４  ワーク保持部
Ｃ１  搬送台車本体の中心位置
Ｃ２  荷台の中心位置
【図１】
0004264986.tif 000002
【図２】
0004264986.tif 000003
【図３】
0004264986.tif 000004