(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント回路（３）によって担持される集積回路（２）のテスト用プローブ（１）であり、該テスト用プローブが、無線周波振動の信号発生器（５）と、アンテナ（９）と、該アンテナを信号発生器に接続するための給電回路（８）と、テスト対象の集積回路の周辺に位置する接続体（４）の正面に該アンテナを配置するための手段とを具備することで、この無線周波の信号を前記接続体に放射（Ｅ，Ｂ）するようになっているテスト用プローブであって、
前記アンテナが、ホーン型カバーエレメント（１１）と該ホーン型カバーエレメントの内側に空間を保って配設された円錐状の中心盾状体エレメント（１０）とを備えた導波路を具備し、前記ホーン型カバーエレメントが、テスト対象の集積回路のケース表面のスパン（１４）よりも大きな開口面（１３）を有し、前記中心盾状体エレメントが、その端部の部位でのセクションがテスト対象の集積回路のケース表面より小さなフレア部（１６）を有し、前記ホーン型カバーエレメントをプリント回路に対して配置し、前記中心盾状体エレメントをホーン型カバーエレメントの内部において、各構成部品の上方に配置するような手段が用意されていることを特徴とする、集積回路のテスト用プローブ。
【請求項２】
前記ホーン型カバーエレメントおよび前記中心盾状体エレメントが、導電性の表面によって形成されることを特徴とする、請求項１に記載の集積回路のテスト用プローブ。
【請求項３】
前記給電回路（８）が同軸ケーブルを備え、該同軸ケーブルの中心導体（１７）が、前記中心盾状体エレメントに接続され、該同軸ケーブルの編組体（１８）が前記ホーン型カバーエレメントに接続されることを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の集積回路のテスト用プローブ。
【請求項４】
前記ホーン型カバーエレメントが二つのハーフシェル形部品で作られ、該ハーフシェル形部品がそれぞれ互いに、前記ホーン型カバーエレメントの回転軸（２２）を通過する面に対して対称的であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一つに記載の集積回路のテスト用プローブ。
【請求項５】
前記ホーン型カバーエレメントのハーフシェル形部品のそれぞれがメタライズ加工の半円形開口部（３１）を具備することで、給電回路の同軸ケーブルの外部導電体である編組体（１８）を受容するようになっていることを特徴とする、請求項４に記載の集積回路のテスト用プローブ。
【請求項６】
周波数調整（６）および電力調整（７）ができる無線周波の信号発生器（５）と、カップラ（３４）を備えた給電回路であって該カップラが給電回路によって伝送された信号の一部と集積回路の部位で反射した信号の一部の分岐無線周波電力（３５、３６）を採取するカップラを備えた給電回路と、有効に吸収された無線周波電力を測定するための測定装置（３７）とを具備することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一つに記載の集積回路のテスト用プローブ。
【請求項７】
各構成部品を担持するプリント回路の反対側に、前記ホーン型カバーエレメントに対して対称的に配置される第二ホーン型カバーエレメント（１９）を具備することを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一つに記載の集積回路のテスト用プローブ。
【請求項８】
前記ホーン型カバーエレメントが、ゴム製の取り外し可能な絶縁性ジョイント（３８）を下方縁に備えた金属性の網目状のスカート部を具備することを特徴とする、請求項１〜７のいずれか一つに記載の集積回路のテスト用プローブ。
【請求項９】
前記ホーン型カバーエレメントが、プリント回路のチップレイアウトと接触していること、又は、テスト対象の集積回路の近くの各構成部品に押し当てられていることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか一つに記載の集積回路のテスト用プローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は集積回路のテスト用プローブを対象とし、該テスト用プローブは、特に、集積回路の電磁波環境両立性の特性評価に対して用いられるものである。
【背景技術】
【０００２】
現状で知られている集積回路の各構成部品の電磁波イミュニティという特性評価に関する技術は、大きく二つのグループに分けられる。すなわち、直接注入式と呼ばれる技術と、放射注入式と呼ばれる技術である。
【０００３】
直接注入式技術は、それ自体、大きく二つのタイプに分けられる。ＤＰＩ技術（Ｄｉｒｅｃｔ  Ｐｏｗｅｒ  Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ、電流の直接注入）とＢＣＩ技術（Ｂｕｌｋ  Ｃｕｒｒｅｎｔ  Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ、電流の大量注入）である。ＤＰＩ技術は、各構成部品に対して各固有のプリント回路を創りだすことからなるのだが、該プリント回路には電磁波寄生信号が注入される可能性が加えられ得る。したがって、注入される電磁波信号があるときには、各構成部品が非常に擾乱されることが観察される。ＢＣＩ技術は、各構成部品または複数の各構成部品を担持するカードの作動信号を搬送するケーブルを変成器に挿入することからなる。この変成器は、無線周波電力をこのケーブルの導線に注入し、このことによって、一つまたは複数の各構成部品に擾乱があるかないかということを検証することを目的とするものである。
【０００４】
ＤＰＩ技術は、局所的な注入によって、集積回路の作動の感受性を詳細に特性評価するという利点を有している。該技術の欠点は、該技術では各構成部品の複数の入力に同時に注入することが容易には行うことができないことである。逆に、ＢＣＩ技術では各構成部品のすべての入り口に同時に介入することができる。しかし、ＢＣＩ技術は、まさに変成器の体積という理由のために最短の結線を用いようとするので、該技術では高い周波数に上げることができず、実質的に５００ＭＨｚを超えることができない。
【０００５】
放射注入式技術は共鳴セルＴＥＭ（Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ  Ｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｍｏｄｅ、横電磁界モード）、またはＧＴＥＭ（ギガヘルツＴＥＭ）、あるいは撹拌モードでのセルＭＳＣ（Ｍｏｄｅ  Ｓｔｉｒｒｅｄ  Ｃｈａｍｂｅｒ、撹拌共振空洞モード）を用いることで、各構成部品を担持するプリント回路タイプの電子カードを励起するようになっているものである。あるいは、これらのセルは、テスト対象の各構成部品を担持する各固有のカードを励起することで、電磁界下での該各構成部品の感受性を検証するようになっている。いずれの場合にも、各構成部品の感受性を特性評価するために、これらの技術は特定のカードを製造することを必要とし、各構成部品に対して電磁界源から相対的に離れているために、強力な無線周波電力源を必要とする。さらに、各構成部品によって実際に受信される擾乱無線周波電力の方を制御することは容易ではなく、好ましくもない。
この技術分野では、例えば下記の文献が知られている。国際公開第００／７２０３０号パンフレットには、ＷＨＩＴＥ氏他により発明された、集積回路のワイヤレステスト用装置が記載されている。また、米国特許出願公開第２００２／００４７７２２号明細書には、ＣＯＯＫ氏他により発明された、半導体ウェーハ用の無接触プローブが記載されている。
【特許文献１】国際公開第００／７２０３０号パンフレット
【特許文献２】米国特許出願公開第２００２／００４７７２２号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、したがって、超高周波における集積回路の感受性を、その集積回路をプリント回路に組み込んだ状態で特性評価することを可能にすることを目的とする。本発明は、その原理として、各構成部品が実際に呈するような、各構成部品を中心とする小さな特定のゾーンでの擾乱電磁界を導く構造を有している。したがって、このような各構成部品は、自身のケースにおいて単独でテストすることができ、また、該各構成部品が実際に用いられることになっている電子回路カード（テスト用固有のカードではない）に取り付けることさえできる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の擾乱電磁界を導く構造は、実施例においては、同軸ケーブルの延長部分に取り付けられた全体的に円錐形の構造を有し、全体として重ねられた二つのホーン型部品または二つの漏斗型部品を伴うものであり、実際の例では二つの円錐型部品である。二つのホーン型部品の内側の一つの閉じられた（または中実の）金属製の中心導体は、アンテナを形成すると同時に、ケーブルから発せられる電磁界の伝播に対する中心盾状体エレメントを形成する。二つのホーン型部品の外側のエレメントであるホーン型カバーエレメントは、好ましくは金属製であり、前記中心盾状体エレメントをカバーするものであって、予め選択された進行ゾーンを伝播する電磁界をカバーするとともにこの電磁界を導く。予め選択される進行ゾーンとは、各構成部品の周辺ゾーンである。つまり、この各構成部品の連結接続部が通常位置づけられるゾーンである。この周辺ゾーンは、二つのホーン型部品の間にある冠状部分に対応している。
【０００８】
この電磁界を導く構造は同軸ケーブルから発せられるエネルギーを受容し、該エネルギーを放射状に近くの各構成部品に向けて、電磁界を方向付ける。電界および磁界は中心盾状体エレメントの周囲に生じ、電界については、各構成部品を担持するチップレイアウトの方向においてホーン型カバーエレメントの端部の間でも生じる。これら電界および磁界は、テスト対象の各集積回路のピンまたはハンダ付けトラックおよびハンダ付けのボール状部分（ＢＧＡケースの場合における結合形成部分）と結合するように進行してくる。また、ホーン型カバーエレメントをプリント回路の両面に配置することもできる。電磁界の展開については、場合によってテスト対象の各集積回路の周囲に、電磁界の展開への弱い抵抗構成を必要とするだけである。好ましくは、この電磁界の展開への抵抗構成は、テスト対象の各集積回路のグランドに接続されたグランドトラックで製作される。この電磁界の展開への抵抗構成は、ホーン型カバーエレメントのコールドポイントと接触する周辺ゾーンに対応する。この電磁界の展開への抵抗構成は、各集積回路を含むプリント回路の最終的な作動ネットワークの中に容易に含めることができる。こうしてこの技術によって、各集積回路と切り離すことができない近くの要素との結合を考慮に入れつつ、実際の動作環境における各集積回路の感受性を評価することが可能になる。これらの切り離しできない要素とは、デカップリング要素であることもあり、あるいは、配線トラック、ケースなどである。また、下端部が絶縁されているホーン型カバーの形を用いることもできる。この形によって、このホーン型カバーエレメントをテスト対象の各集積回路の周辺における近くの各集積回路に押しつけることが可能になる。このとき、導電性のフレキシブルなスカート部を設けることができ、その場合には、その導電性のフレキシブルなスカート部が、これらの各構成部品（デカップリングコンデンサ、クォーツなど）に押し当たるように移動してきて、放射すべきゾーンに電磁界を閉じ込め続けるが、これにより電磁界の展開への抵抗を伴うグランドの各固有のルーティングを製造することは必要としない。
【０００９】
伝送される無線周波電力の総量は、ホーン型カバーエレメントと中心盾状体エレメントとで構成される鐘状体空間への給電ケーブルと接続されたカップラを介して測定される。この測定技術の利点は、テスト用固有の電子回路のプリント回路を創りだす必要などないということと、集積回路の実際の作動条件を考慮に入れることができるということである。この構成による電磁界は、確かにいくつもの方向に偏向されているが、各集積回路のマイクロ周波による擾乱、特に検出時のさまざまな様相に基づく擾乱は、一つの入力から他の入力への注入に関する位相の関係を考慮に入れない。その擾乱はむしろ、結合した電磁界の振幅のみを考慮するものである。
【００１０】
ホーン型カバーエレメントと中心盾状体エレメントとで構成される鐘状体空間の形状は、さまざまであってよく、プリント回路のさまざまな構成および設置の構成に合わせて適合化することができる。
【００１１】
したがって、本発明が対象とするものは、プリント回路によって担持される集積回路のテスト用プローブであり、該テスト用プローブが、無線周波振動の信号発生器と、アンテナと、該アンテナを信号発生器に接続するための給電回路と、テスト対象の集積回路の周辺に位置する接続体の正面に該アンテナを配置するための手段とを具備することで、この無線周波の信号を前記接続体に放射するようになっているテスト用プローブであって、前記アンテナが、ホーン型カバーエレメントと該ホーン型カバーエレメントの内側に空間を保って配設された円錐状の中心盾状体エレメントとを備えた導波路を具備し、前記ホーン型カバーエレメントが、テスト対象の集積回路のケース表面のスパンよりも大きな開口面を有し、前記中心盾状体エレメントが、その端部の部位でのセクションがテスト対象の集積回路のケース表面より小さなフレア部を有し、前記ホーン型カバーエレメントをプリント回路に対して配置し、前記中心盾状体エレメントを前記ホーン型カバーエレメントの内部において、各構成部品の上方に配置するような手段が用意されていることを特徴とする、集積回路のテスト用プローブである。
【００１２】
特に、中心盾状体エレメントがホーン型カバーエレメントの容積における上方部分で留まることができるようになっていることで、さまざまな偏向電磁界を発生させる、あるいは、ホーン型カバーエレメントの体積中の空洞効果を利用するようになっている。二つのホーン型部品については、また、必ずしも円錐形ではなく、平行六面体の形状でもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明は、以下の説明を読み、また該説明に付属する図面を検討することでよりよく理解されるものである。これら各図面は、例示としてのみ示されるものであり、本発明をまったく限定するものではない。各図面は、以下のものを示している。
−図１は、本発明に係るテスト用プローブのアンテナの概略図である。
−図２は、本発明に係るテスト用プローブの使用装置である。
−図３、図４および図６は、本発明のテスト用プローブの必須要素の製作に関する各詳細を表している。
【００１４】
図１および図２は、本発明による集積回路２のテスト用プローブ１を示している。図１は、図２の特定の詳細部の図である。集積回路２は、図ではプリント回路３によって担持されている。たとえば、集積回路２は、接続体４によってプリント回路３に接続されており、該接続体によって該集積回路は当然、給電される。プリント回路３は、好ましくは本物のプリント回路であり、実際の使用において各集積回路２を担持するようになっているもの、とりわけ機器の中に挿入すべき電子回路のカードであり、該機器の中では、この集積回路が有用である。必要な場合には、プリント回路３はテスト用回路であってよい。しかし、これは必ずしも本発明では必要ではない。この場合には特に、本発明によって集積回路２を実際の使用条件においてテストすることが可能になる。
【００１５】
テスト用プローブ１は、無線周波の信号発生器５を具備している。好ましくは、信号発生器５は放射された無線周波信号の周波数調整回路６、ならびに、信号発生器５によって生成された無線周波信号の振幅調整回路７を具備している。信号発生器５は、給電回路８によってアンテナ９に接続されている。アンテナ９は、本発明の必須部分を形成するものである。アンテナ９の詳細は、図１に示されている。アンテナ９は、テスト対象の集積回路２の正面に配置されている。アンテナ９は、とりわけ、接続体４の正面に配置される。既知の方法によってアンテナ９が、接続体４の上、ならびに集積回路２およびプリント回路３の各構成部品の中で無線周波の電磁信号を放射させることで、集積回路２の作動を擾乱しようとし、擾乱に対する該集積回路の抵抗力を測定するようになっている。
【００１６】
本発明によると、アンテナ９は導波路を具備しており、この導波路は電界Ｅおよびマイクロ周波の磁界Ｂを放射することができるようになっている。図１では、電界Ｅは実効部分において、アンテナ９の中心盾状体エレメント１０からこのアンテナ９のホーン型カバーエレメント１１の方向、ならびに、中心盾状体エレメント１０からプリント回路３の方向に向かうものとして示されている。マイクロ周波の磁界Ｂは導波路すべてで伝播し、とりわけ接続体４の部位では、これらの接続体に直交する方向に向けられている。このように形成された導波路が集積回路２において、近くの場に電界および磁界を伝播させることを示すこともできる。したがって、これらの電磁界の方向はまったく安定したものではない。磁界Ｂの方向は変動しており、その結果、時間が経過するにつれて、磁界Ｂは所期の擾乱効果を接続体４に与えるようになっている。
【００１７】
本発明の思想は、中心盾状体エレメント１０とともに導波路を形成することで、接続体４が位置するスペース１２だけがマイクロ波の電磁界によって励起されるようにすることにある。スペース１２はホーン型カバーエレメント１１の内部において、このホーン型カバーエレメント１１と中心盾状体エレメント１０の間に位置するスペースである。このため、ホーン型カバーエレメント１１は、テスト対象の集積回路２とその接続体のスパン１４よりも大きな開口面１３を有している。可能である限り、ホーン型カバーエレメント１１が集積回路２の周辺にあり、プリント回路３に製作されたグランド回路１５と接触しにくるように用意することができる。しかし、この配置は不可欠なものではなく、ホーン型カバーエレメント１１が接続体４よりも大きな面積を有して、該接続体に触れないようにするだけで十分である。
【００１８】
その代わりに、中心盾状体エレメント１０は、フレア部１６を有しており、該フレア部の各集積回路２の上にある、その端部の部位におけるセクションは、テスト対象の集積回路２のケース表面のスパン１４より小さい。
【００１９】
ホーン型カバーエレメントがプリント回路３に押しつけられるのと同じように、中心盾状体エレメント１０はホーン型カバーエレメントの内部において、各構成部品の上に配置される。ホーン型カバーエレメント１１と中心盾状体エレメント１０とは給電回路８に接続されている。実施例では、この給電回路８は、同軸ケーブルであって、中心導体１７とこれに同軸の、一般的には編組体１８である、外側のグランド導電体とを具備している。中心盾状体エレメント１０は同軸ケーブルの中心導体１７に接続されており、ホーン型カバーエレメント１１は同軸ケーブルの編組体１８に接続されている。
【００２０】
このように働きかけることで、スペース１２、とりわけ接続体４が位置するスペースに電磁界の広がりが閉じ込められる。必要であれば、ホーン型カバーエレメント１１は、第二ホーン型カバーエレメント１９によって補完することもでき、該第二ホーン型カバーエレメントは第一のものとは対称的な形状であり、プリント回路３の反対側に配置される。こうすることで、あらゆる場合において、集積回路２を備えたプリント回路３は、放射電磁界に対する負荷に変換される。放射電磁界は、中心盾状体エレメント１０とホーン型カバーエレメント１１の間以外のスペースで生じることがないので、接続体４の部位では、該放射電磁界は、中心盾状体エレメント１０が存在しておらず、電界が上記スペース内で自由に生起することができるようなことが存在しない場合よりも大幅に、一層強く擾乱を引き起こす（このことは本発明の対象としている目的である）ものとなる。
【００２１】
ホーン型カバーエレメント１１をプリント回路３に押しつけるのと同時に、中心盾状体エレメント１０を集積回路２の各構成部品に押しつけるために、中心盾状体エレメントがその頂点に穴を有し、該穴を通って弾性的に、平行移動できる自由度をもって同軸ケーブルの中心導体１７が突き抜けていることで、プリント回路３の上にある集積回路２の各構成部品の上面のさまざまな高さを考慮に入れるようにすることができる。実際には、テストの間には、同軸ケーブル（中心導体１７−編組体１８）を測定の間、結果に達するまでプリント回路の上方に手で保持するだけで十分となる。別の方法としては、操作用および保持用の補助的構造が考えられる。
【００２２】
当然、ホーン型カバーエレメント１１および中心盾状体エレメント１０は、好ましくは導電性の面で形成される。しかしながら、それらの一方、あるいは両方を、空気に対する非常に異なった誘電率をした材料で製作することで、好ましい導波路の様相が効果的に生じるようにすることが可能となる。
【００２３】
図４で取り上げているのは、中心盾状体エレメント１０であって、これは、金属板で形成されており、また、金属面によって基部が閉じられ、側面板を伴ってのびている円錐形である。この例では、中心盾状体エレメント１０は円形のフレア部を有しており、該フレア部の直径は、およそ１２．３ｍｍである。中心盾状体エレメント１０は、また、その頂点に内壁をメタライズ加工された穴２０も具備していることで、該穴に同軸ケーブルの中心導体を挿入し、この軸を該穴にハンダ付けできるようになっている。変形例によっては、中心盾状体エレメント１０は、中実の金属製材料で形成される。もし、その中心盾状体エレメントが、金属板製であれば、穴２０は金属製の栓によって内側の端部で塞ぐことも、また塞がないこともできる。
【００２４】
中心盾状体エレメント１０が好ましくは単一部品で製作されるばかりではなく、ホーン型カバーエレメント１１は、好ましくは、図３に示された二つのハーフシェル形部品で形成される。実施例では、これら二つのハーフシェル形部品は、モールドまたはプレスによって製造される。ハーフシェル形部品のそれぞれは半円錐形の形状をしたマントル２１を具備し、このマントルは回転軸２２の中心におかれている。マントル２１はその基部においてスカート部２３と一体化され、そのスカート部の形状は回転軸２２を中心とする円筒形である。マントル２１の上に肉厚カラー部２４が載っており、その肉厚カラー部の外部形状は円筒形であり、内部形状は回転軸２２を中心とする円錐形である。
【００２５】
図５は、図３に示されたハーフシェル形部品それぞれの断面を示している。ハーフシェル形部品は肉厚カラー部２４の部位でプレーティング面２５および２６を呈している。実施例では、プレーティング面２５が穿孔２７によって穴を開けられているのに対し、プレーティング面２６は貫通していないネジ穴２８によってネジ穴を開けられている。しかし、このネジ穴は貫通していてもよい。穿孔２７は、カラー部の円筒形内壁２９をもとにして穿孔２７よりも大きな中ぐり穴３０を具備している。この中ぐり穴３０によって、穿孔２７をスライドし、プレーティング面２５および２６に対して押しつけられている他方のハーフシェル形部品のネジ穴２８にネジ留めされるようになるビスの頭部を維持することが可能になっている。肉厚カラー部２４は、その頂点に、半ボール形の半円形開口部３１も具備している。半円形開口部３１は、テスト用プローブに給電するのに役立つ同軸ケーブルの編組体１８を締め付けるようになっている。
【００２６】
ハーフシェル形部品を用いることによって、中心盾状体エレメントの同一のサイズに対して、異なったサイズと形状をしたホーン型カバーエレメントを、場合によっては、テスト対象の集積回路が占める寸法と広さに応じて適合化することが可能になっている。
【００２７】
ここまでに示された形状が円錐形であるだけでなく、形状をフレア部と適合化させることも可能であるが、該フレア部の基底セクションは、テスト対象の集積回路の形状に応じて、円形であるだけでなく、場合によっては長方形、正方形などとなり得るものである。図３および図４で与えられている各数値の表示については、テスト対象の集積回路のサイズに合わせて適合化することができるのは、もちろんのことである。ハーフシェル形部品は、それぞれの側面が回転軸２２を通過する面によって形成される。ハーフシェル形部品は、この面に対して対称をなしている。半円形開口部３１がメタライズ加工を施されていることで、編組体１８との良好な接触が確保されるようになっている。
【００２８】
図６は、変形例で、スカート部２３は変形可能形状で導電性の、金属製の編組で製作されている。この金属製の編組体は、金属製のマントル２１に接続されており、電磁界を導く。グランドの電磁界の展開への抵抗構成がテスト対象の集積回路を担持するプリント回路に製作されていなければ、網目状のスカート部２３の下方縁は絶縁性のジョイント３８を備えており、このジョイントは、たとえばゴム製であり、たとえば取り外し可能である。ジョイント３８の輪郭はＵ字の形状をしている。Ｕ字の分岐間の距離は、スカート部基部の弾性によってジョイント３８を維持するために十分な狭さとなっており、そのスカート部基部にそのジョイントは、かみ合っている。
【００２９】
本発明のテスト用プローブの作動は、以下のとおりである。図１では、信号発生器５およびアンテナ９によって、電磁波信号は、操作・制御回路３２によって作動させられている集積回路２の作動を擾乱しにくるように導かれる。この操作・制御回路は、たとえば、米国特許第６，４００，１６４号明細書に記載されているタイプの回路である。操作・制御回路３２は、また、集積回路２に擾乱の電磁波が印加されている際の、集積回路２の応答障害を測定することができる。カウンタ３３は、この擾乱時に集積回路２で生じている機能停止の回数を数えることに供されるものである。
【００３０】
給電回路８は、また、好ましくは、分岐無線周波電力３５および３６の二つの出力を備えた、３ｄＢのカップラ３４を具備している。分岐無線周波電力３５によって、アンテナ９によって接続体４に印加される入射無線周波電力Ｐｉの実効性を測定することが可能になっている。分岐無線周波電力３６によって、集積回路２によって形成される負荷が特性インピーダンス整合の欠如の事実から、反射無線周波電力Ｐｒを測定することができるようになっている。このように働きかけ、入射無線周波電力から反射無線周波電力を差し引くことで、測定装置３７において、テスト時の接続体４および集積回路２によって吸収される擾乱無線周波電力の実効性を測定することが可能になる。とりわけ、測定装置３７によって、第二ホーン型カバーエレメント１９を、プリント回路３の反対側にある第一のホーン型カバーエレメント１１と対称的に配置するかどうかという機会を判断することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明に係るテスト用プローブのアンテナの概略図
【図２】本発明に係るテスト用プローブの適用装置
【図３】本発明の構成要素のホーン型カバーエレメントの一例の詳細図
【図４】本発明の構成要素の中心盾状体エレメントの一例の詳細図
【図５】本発明の構成要素のハーフシェル型部品の断面図
【図６】本発明の構成要素のホーン型カバーエレメントの一実施例
【符号の説明】
【００３２】
１    テスト用プローブ
２    集積回路
３    プリント回路
４    接続体
５    信号発生器
６    周波数調整回路
７    振幅調整回路
８    給電回路
９    アンテナ
１０    中心盾状体エレメント
１１    ホーン型カバーエレメント
１２    スペース
１３    開口面
１４    スパン
１５    グランド回路
１６    フレア部
１７    中心導体
１８    編組体
１９    第二ホーン型カバーエレメント
２０    穴
２１    マントル
２２    回転軸
２３    スカート部
２４    肉厚カラー部
２５    プレーティング面
２６    プレーティング面
２７    穿孔
２８    ねじ穴
２９    円筒形内壁
３０    中ぐり穴
３１    半円形開口部
３２    操作・制御回路
３３    カウンタ
３４    カップラ
３５    分岐無線周波電力
３６    分岐無線周波電力
３７    測定装置
３８    絶縁性ジョイント
【図１】
0004344402.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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