(57)【要約】  Ｘ線管９用のターゲット１／フィラメント５であって、ターゲット基体１０／フィラメント保持具と、該ターゲット基体１０／フィラメント保持体に取り付けられたターゲット素子１１／フィラメント素子とを備えており、ターゲット基体１０／フィラメント保持体上には、識別素子８，１４，１５が取り付けられており、該識別素子８，１４，１５は、Ｘ線管９上の捕捉素子１３，１６，１８と連携して識別されることができ、該識別素子８，１４，１５は、ターゲット１／フィラメント５の特性に対する一義的な関連付けを有している、ターゲット１／フィラメント５。特定のターゲット１及び／又は特定のフィラメント５を識別する方法であって、Ｘ線管９に取り付けられた捕捉素子１３，１６，１８が、ターゲット基体１０及び／又はフィラメント保持具に取り付けられた識別素子８，１４，１５を識別し、ターゲット１及び／又はフィラメント５が、データベースを用いて、識別素子８，１４，１５に対して一義的に関連付けられる、方法。Ｘ線管９に設置された特定のターゲット１及び／又は特定のフィラメント５の特性を自動的に設定する方法であって、上記方法を実施した後に、各識別素子８，１４，１５又はターゲット１及び／若しくはフィラメント５用のデータベースに格納された特性は、各特性のための複数の設定デバイスに移送され、これらの特性が、これら複数の設定デバイスを介して設定される、方法。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線管（９）用のターゲット（１）であって、ターゲット基体（１０）と、該ターゲット基体（１０）に取り付けられたターゲット素子（１１）とを備えており、前記ターゲット基体（１０）上には、識別素子（８，１４，１５）が取り付けられており、該識別素子（８，１４，１５）は、Ｘ線管（９）上の捕捉素子（１３，１６，１８）と連携して識別されることができ、該識別素子（８，１４，１５）は、前記ターゲット（１）の特性に対する一義的な関連付けを有している、ターゲット（１）。
【請求項２】
Ｘ線管（９）用のフィラメント（５）であって、フィラメント保持具と、該フィラメント保持具に取り付けられたフィラメント素子とを備えており、前記フィラメント保持具上には、識別素子が取り付けられており、該識別素子は、Ｘ線管（９）上の捕捉素子と連携して識別されることができ、該識別素子は、前記フィラメント（５）の特性に対する一義的な関連付けを有している、フィラメント（５）。
【請求項３】
前記識別素子（８，１４，１５）が電気的識別素子（８）、光学的識別素子（１４）又は機械的識別素子（１５）である、請求項１又は２に記載のターゲット（１）又はフィラメント（５）。
【請求項４】
前記電気的識別素子（８）が、電子部品（８）、特にＲＦＩＤチップであり、及び／又は、前記光学的識別素子（１４）が、バーコード（１４）若しくはＱＲコードであり、及び／又は、前記機械的識別素子（１５）が、複数の穿孔（１５）、複数の鋸歯若しくは複数の陥凹である、請求項３に記載のターゲット（１）又はフィラメント（５）。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のターゲット（１）及び／又はフィラメント（５）と、前記ターゲット（１）及び／又はフィラメント（５）の前記識別素子（８，１４，１５）と連携する捕捉素子（１３，１６，１８）とを備えたＸ線管（９）。
【請求項６】
前記捕捉素子（１３，１６，１８）が、電子走査デバイス、光学カメラ、機械的システム又はセンサシステムである、請求項５に記載のＸ線管（９）。
【請求項７】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の特定のターゲット（１）及び／又は特定のフィラメント（５）を識別する方法であって、前記Ｘ線管（９）に取り付けられた前記捕捉素子（１３，１６，１８）が、前記ターゲット基体（１０）及び／又は前記フィラメント保持具に取り付けられた前記識別素子（８，１４，１５）を識別し、前記ターゲット（１）及び／又は前記フィラメント（５）が、データベースを用いて、前記識別素子（８，１４，１５）に対して一義的に関連付けられる、方法。
【請求項８】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の特定のターゲット（１）及び／又は特定のフィラメント（５）を識別する方法であって、前記特定のターゲット（１）及び／又は前記特定のフィラメント（５）が、前記Ｘ線管（９）に取り付けられたホールプローブを用いて、前記ターゲット（１）及び／又は前記フィラメント（５）の検出された磁界値に基づいて、データベースに格納された前記ターゲット（１）及び／又は前記フィラメント（５）のデータを用いて、一義的に識別される、方法。
【請求項９】
請求項１，３又は４に記載の特定のターゲット（１）を識別する方法であって、前記ターゲット（１）の電気的挙動、特に前記ターゲット（１）の導電率が、抵抗の測定によって測定される、方法。
【請求項１０】
請求項１，３又は４に記載の特定のターゲット（１）を識別する方法であって、前記ターゲット素子（１１）の前記電子ビーム領域を前記ターゲット素子（１１）の外表面に至るまで拡大することにより、前記ターゲットの一義的な関連付けを前記ターゲットに特有の焦点変化に基づいて行う、方法。
【請求項１１】
請求項１，３又は４に記載の特定のターゲット（１）を識別する方法であって、前記Ｘ線管（９）が始動させられる際に、まずは常に同じ既定の操作モードが起動させられ、このとき同じ制御パラメータによってそれぞれのターゲット（１）が異なるＸ線を放射し、その結果として生じた前記Ｘ線が評価される、方法。
【請求項１２】
Ｘ線管（９）に設置された請求項１〜４のいずれか１項に記載のターゲット（１）及び／又はフィラメント（５）の前記特性を自動的に設定する方法であって、請求項７〜１１のいずれか１項に記載の方法を実施した後に、各前記識別素子（８，１４，１５）又は前記ターゲット（１）及び／若しくは前記フィラメント（５）用の前記データベースに格納された前記特性が、それぞれの特性のための複数の前記設定デバイスに移送され、これら複数の前記特性が、これら複数の前記設定デバイスを介して設定される、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線管用のターゲット及び／又はフィラメント、そのようなターゲット及び／又はそのようなフィラメントを有するＸ線管、そのようなターゲット及び／又はそのようなフィラメントの識別方法、並びに、そのようなターゲット及び／又はそのようなフィラメントの特性設定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線源は、技術水準によると、大まかに２つのグループ、すなわち密閉管と開放管とに分類されることが知られている。
【０００３】
密閉管は、そのパラメータ及び特性に関しては製造の時より固定されている。すなわち、製造の間に真空が生成され、製造後に管の実装を改変することは不可能である。
【０００４】
開放管では、状況が異なる。管の真空は動作の際にのみ生成され、（管を開放する）必要があれば、管の真空は再び解放され得る。これにより、開放管は、いくつかの重要な利点を有している。第１に、欠陥部を交換することができ、より重要なこととして、部品を交換することによって管の特性を変更することができる。
【０００５】
正確に言うと、高解像度Ｘ線管の分野では、例えば、適用事例に応じて焦点サイズ又はパワー出力を変化させることが必要となり得る。このことは、適切なターゲットを使用することにより行われ得る。
【０００６】
したがって、オペレータには、種々のターゲットからその適用／検査作業に適切なターゲットを選択する自由がある。
【０００７】
これらのターゲットのそれぞれには、管制御システムにおいて、ターゲットを備えたＸ線管の最適かつ安全な操作を保証する適切なパラメータ設定（以下、特性と称する）が存在する。パラメータ設定を間違えると、必然的に検査不良が起こり、ターゲットが壊れる結果にもつながる。
【０００８】
現在は、オペレータが適切な管制御システムにおいて必要なパラメータをターゲットに選択及び設定する必要がある。このようなシステムにおける人手の干渉は、Ｘ線管の設置状況が原因となってターゲットの識別が不可能となることから生じる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
Ｘ線管は、透過管ヘッド（この場合、電子ビームはターゲットに垂直に衝突し、Ｘ線はターゲットにより放出される）として形成されるか、反射管ヘッド（この場合、電子ビームはターゲットに所定の角度で衝突し、Ｘ線は対応する出射角で同一表面から出ていく）として形成される。
【００１０】
以降の説明及び観測は、透過管ヘッドを例に挙げて説明する。しかしながら、それらは反射管ヘッドに対しても同様に転用可能であり、したがって、全ての開放管に対して適用可能である。原理的には、この点については密閉管も違いはなく、結果的に、当業者にとって自明であるように、実施形態は密閉管に対しても本質的に転用可能である。
【００１１】
最も重要な目的は、起こり得る操作ミスを排除し、それにより操作の安全性を大幅に向上させると共に、Ｘ線管の運用寿命を得ることにある。その結果、このようなＸ線管が使用されている機械において、プロセスの安全性が高められることにより、さらなる副次的な目的が達成される。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的は、請求項１の特徴を備えたターゲットにより達成される。識別素子に基づく捕捉素子との連携による解決手段が得られ、これにより、特に開放管の場合には、ターゲットを変更する際に、対応するターゲットを自動的に確認できるようになる。したがって、接続された制御システムは、関連する特性をそれらに関連する操作パラメータと共に提供する位置に置かれる。得られた情報は、接続された制御システム又はＰＣにて評価され得ると共に、必要なパラメータ設定及びそれによって可能な設定がアクティブ化及び提供され得る。これにより、オペレータによる操作ミスが排除される。そのうえ、予測的な操作ガイダンスを確立する基礎が作成される。このとき、面倒かつミスを起こしやすいオペレータの干渉なしに、ターゲットに典型的な操作パラメータもまた操作データとして記録することができ、それによって監視を行うこともできる。
【００１３】
上記目的は、請求項２の特徴を備えたフィラメントによっても達成される。請求項１のターゲットに関して前述したことは、該フィラメントに対しても同様に適用される。
【００１４】
本発明の有利な発展形態は、上記識別素子が電気的識別素子、光学的識別素子又は機械的識別素子であることを提供する。
【００１５】
本発明のさらに有利な発展形態は、上記電気的識別素子が、電子部品、特にＲＦＩＤチップであり、及び／又は、上記光学的識別素子が、バーコード若しくはＱＲコードであり、及び／又は、上記機械的識別素子が、複数の穿孔、複数の鋸歯若しくは複数の陥凹を含むことを提供する。
【００１６】
上記目的は、請求項５の特徴を備えたＸ線管によっても達成される。該目的は、ターゲット及び／又はフィラメントの識別素子が捕捉素子と連携することにより行われる。
【００１７】
本発明の有利な発展形態は、上記捕捉素子が、電子走査デバイス、光学カメラ、機械的システム又はセンサシステムであることを提供する。ターゲット又はフィラメントの識別に加えて、ターゲット／フィラメントのシリアルナンバーの記録もまた行われ得る。その結果、一義的な関連付けが行われ、ターゲット／フィラメントの運用寿命すなわち操作時間の記録を、ターゲット又はフィラメントが取り換えられたとしても、オペレータの干渉なしで行うことが可能になる。このことは、オペレータが検査作業を開始しようとした際に、その実施時間が、ターゲットの残りの寿命よりもかなり長くなるという点で特に有用である。
【００１８】
上記目的は、請求項７の特徴を備えた方法によっても達成される。ターゲット基体上の識別素子と捕捉素子との連携によって、識別素子の識別された特徴をデータベースを介して比較した後に、ターゲット又はフィラメントが一義的に識別される。その結果、上で既に述べた利点が達成される。
【００１９】
あるいは、上記目的は、請求項８の特徴を備えた方法によっても達成される。この場合、上述の解決手段とは異なり、ターゲット上に識別素子は必要ない。その代わりに、ターゲット／フィラメントの特性は、ターゲット及び／又はフィラメント固有の磁性より、ホールプローブを用いて決定される。
【００２０】
あるいは、上記目的は、請求項９の特徴を備えた方法によっても達成される。この場合もまた、前段落において述べたように、ターゲット上に識別素子は必要ない。この場合には、電子ビーム領域の拡大（ターゲットの識別のみに用いられる「焦点ぼかし」）の際に生じる特性放射が、識別に用いられる。
【００２１】
あるいは、上記目的は、請求項１０の特徴を備えた方法によっても達成される。この場合もまた、前段落において述べたように、ターゲット上に識別素子は必要ない。この場合には、ターゲットの電気的挙動に基づく電気的測定プロセスにより識別が行われる。特に、ターゲットの導電率を測定することにより、いかなる場合でも常に存在するターゲットの電流の測定を単に拡張することにより識別が行われる。
【００２２】
あるいは、上記目的は、請求項１１の特徴を備えた方法によっても達成される。この場合もまた、ターゲット上に識別素子は必要ない。この場合には、Ｘ線管が始動させられる際に、まずは常に同じ既定の操作モードが起動させられ、このとき同じ制御パラメータを用いてそれぞれのターゲットが異なるＸ線を放射し、その結果として生じたＸ線を評価することによって識別が行われる。そのため、ターゲットの識別は、追加の素子を用いることなく、ほんの短い検査時間において達成される。
【００２３】
あるいは、上記目的は、請求項１２の特徴を備えた方法によっても達成される。この場合、ターゲット／フィラメントが識別されるだけでなく、さらに該特定のターゲット／フィラメントに必要な特性が設定される。
【００２４】
本発明のさらなる利点及び詳細は、図面に表される実施形態の例を参照して説明される。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】既知のＸ線管を示す概略図。
【図２】電気的識別素子を備えた本発明に係るターゲットの図。
【図３】設置された状態の、図２のターゲット。
【図４】抵抗測定を用いた本発明に係る方法を示す概略図。
【図５】バーコードを備えた本発明に係るターゲットであって、回転しているターゲットを示す図。
【図６】設置されてない状態の、バーコードを備えたターゲットであって、静止しているターゲットを示す図。
【図６ａ】設置された状態の、図６のターゲットを示す図。
【図７】設置されてない状態の、機械的識別素子を備えた本発明に係るターゲットを示す図。
【図７ａ】設置された状態の、図７のターゲットを示す図。
【図８】従来のターゲットと、「焦点ぼかし」を用いて識別を実施するためのターゲットとを示す概略図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
ターゲットの識別には問題がある。図１を参照して、Ｘ線管９の構造を概略的に説明する。ターゲット１は、Ｘ線管９のヘッドにおける、大部分が固体鉄からなる露出位置に位置している。この設置位置は、その高い操作温度、高い放射線量及び焦点コイルの磁界によって区別される。Ｘ線ビームを調整及び制御するためには、ターゲット１に衝突する電子ビーム６を測定する必要があり、より正確には、ターゲット素子１１，１１ａ，１１ｂに衝突する電子ビーム６を測定する必要がある。このことは、ターゲット電流測定デバイス３により実現される。この測定は、１〜３０００μＡの領域において高い測定精度を必要とする。この測定のために、ターゲット素子１１，１１ａ，１１ｂがＸ線管９とは電気絶縁体２を介して電気的に絶縁されるように、ターゲット素子１１，１１ａ，１１ｂを設置する必要がある。また、透過管ヘッドでは、ターゲット１は、Ｘ線管９の真空７の末端を同時に形成している。また、ターゲット１は、所定の使用期間の後に、ターゲット素子１１，１１ａ，１１ｂの放射線発生物質（例えば、タングステン）が「消費された」すなわち燃焼した際に、動かされ得る必要がある。このためには、電子ビーム６がターゲット素子１１，１１ａ，１１ｂの消費されていない位置に衝突するように、ターゲット１が回転させられる。ターゲット１の交換もまた、検査作業の要求に従って素早いターゲットの変更を保証できるように、非常にシンプルであるべきである。ターゲット１に衝突する前に電子ビーム６（及び電子ビーム６を集束させている磁力レンズ４）が影響を受けることを防ぐため、外部磁界を避ける必要がある。この種の開放型Ｘ線管９は、微細な細部に関すると共に、Ｘ線画像において高い倍率を必要とする検査作業に広く用いられている。このことを実現するために、試験対象物は、ターゲット１のすぐ前に配置する必要がある。さらなるターゲット識別を構築するためには、いかなる部品も「検査スペース」内に延出していないこともまた重要である。
【００２７】
以下の解決手段は、Ｘ線管９上のターゲット１を識別するのに有用である。ここで使用される技術／技法は、以下の２つのグループに分けられる。
【００２８】
・接触：ターゲット１と識別機器との間で接触が生じる。
【００２９】
・非接触：機械的接触なしに評価を実施可能な方法（例えば、光学スキャン、無線スキャン（ＲＦＩＤ）、磁界、静電容量式）が用いられる。
【００３０】
種々の方法が用いられる。
【００３１】
電気的スキャンについて、図２及び３を参照して説明する。ここでは、２つの解決手段が提示される。例えば、電子部品８がターゲット１に取り付けられ、ターゲット１はスキャンデバイスである捕捉モジュール１８を用いて評価される。電子部品８としては、例えば、抵抗又は複雑な電気回路が用いられる。設置されていない状態では、これらは電圧を持たない。ターゲット１を設置することによって、電子部品８を、例えばプラグ又は摺動接点を用いて、電気的捕捉素子１８に接続する。電気的捕捉素子１８は、電子部品８に電圧を供給し、それにより生じる信号を評価する。電気的捕捉素子１８は、評価された信号をより上位の制御システムに伝送し、その後、該制御システムは、ターゲット1に関連するパラメータを設定する。
【００３２】
図２及び３に係る方法の他に、電気的識別では、ターゲット１は、製品が異なることにより、電気的挙動（例えば、導電率の測定による）に関しても異なっていてもよく、それによって識別が可能になる。これについて、図４を参照して説明する。
【００３３】
この原理は、ターゲット１の材料組成が設計に応じて異なっており、該組成が電気的測定方法（例えば、ターゲット抵抗測定装置１２を用いた、適切な測定電圧を用いた抵抗測定）により検出され得ることによる。このことを実現するために、既に設置されたターゲット電流測定装置３が延長され得る。図４に見られるように、図１から知られた接続は、ターゲット電流測定のために、ターゲット抵抗測定装置１２にまで延長されている。
【００３４】
電気的識別の他に、光学的識別もまた光学スキャンを用いて実施することができる。該光学的識別について、図５、６及び６ａを参照して説明する。
【００３５】
ここでは、ターゲット１のターゲット基体１０に光学マーカーが付与され、光学マーカーは追加の評価ユニットにより検出される。例示の実施形態に示されるように、それぞれの場合において、バーコード形態の光学的識別素子１４が含まれる。ここでは、バーコードの複雑なクエリや、他にもＱＲコードによる複雑なクエリを実施することが可能であり、該クエリはターゲット１のシリアルナンバーを含むこともできる。図５では、回転しているターゲット１が示されており、そこではバーコードの全体がターゲット１の回転中心の周囲に同心円上に配されている。
【００３６】
図６及び６ａでは、静止されたターゲット１が示され、該ターゲット１の光学的識別素子（バーコード１４）は、比較対照となる図２及び３の実施形態の例のように、ターゲット基体１０の上端に配されている。図６ａに示されるターゲット１の設置状態では、バーコード１４は、Ｘ線管９に取り付けられた光学的捕捉素子１３の反対側に位置している。光学的捕捉素子１３としては、典型的なバーコードスキャナ、カメラや、明暗の差異を検出するシンプルな光センサもまた使用され得る。それによって、光学的捕捉素子１３は、バーコード１４に由来する信号を評価し得る。光学的捕捉素子１３は、評価された信号をより上位の制御システムに伝送し、その後、該制御システムは、ターゲット１に関連するパラメータを設定する。
【００３７】
電気的識別又は光学的識別の他に、機械的識別もまた、例えば図７及び７ａに示される手段を用いて実施され得る。以下の例は、取り得る解決手段を示しており、ここでは、ターゲット基体１０上の機械的識別素子１５としての複数の有意な穿孔が、機械的システム／センサシステムの組み合わせにより照会される。このことは、例えば、機械的捕捉素子１６が長手方向に変位させられ得る複数のピンを有しており、該ピンは、ターゲット基体１０の上端の穿孔１５内に突っ込むことができ、それによって穿孔１５がそれぞれのピンに関連する位置に存在しているか否かが記録されることにより、行うことができる。機械的捕捉素子１６は、評価された信号をより上位の制御システムに伝送し、その後、該制御システムは、ターゲット１に関連するパラメータを設定する。
【００３８】
例えば図４にも（電気的識別として）示されるような、ターゲット基体１０上の識別素子を用いないその他のターゲット識別を、図８を参照して説明する。ここでは、ターゲット１より生じる特性放射線を識別に用いる。種々の方法が考えられる。
【００３９】
この解決手段では、撮像チェーンにおけるターゲット１の特性放射線の特質を評価することができるようになる。２つの解決手段がある。
【００４０】
・ターゲット１は変化しないままである（図８の左部を参照）：Ｘ線管９は、評価のために規定された操作モードにおいて操作され、これにより生じた画像が評価される。各ターゲット１は、操作値である電圧［ｋＶ］及び電流［Ａ］の設定に応じて、特性放射線を生成する。該放射線は、Ｘ線システムに設置された撮像チェーン（評価ユニットを含む検出器）により評価され得る。このことを実現するために、ある管タイプの全てのターゲット１が操作され得る操作モードが規定される。Ｘ線管９が始動する度に、まず該操作モードが起動させられ、続いて生じた放射線が評価される。この方法の原理は、同じ制御パラメータによって、各ターゲット１が異なる放射線を照射するというものである。
【００４１】
・ターゲット１は改変される（図８の右部を参照）：ここでは、ターゲット１は、標的の「焦点ぼかし」すなわち電子ビーム領域を広げることによって外表面にもまた衝突させられ、そこで放射線が生成されるといった方法により改変される。これにより明確に認識され得る焦点の変化は、ターゲット１に特有であり、評価され得る。図示の場合（右半分。左半分は従来のターゲット１を示す）では、円形の中央ターゲット素子１１ａに加えて、支持材料１７により離間させられた環状ターゲット素子１１ｂが存在している。これに続いて撮像があり、該撮像は、焦点を合わせられた電子ビーム６を用いて比較される。すなわち、該撮像は、均一なグレースケール値を含有する画像を提供する。焦点をぼかされた電子ビーム６の場合では、本実施例にて環構造が確認される。環状以外の環状ターゲット素子１１ｂの形状も考えられる。
【００４２】
本発明に係る磁気評価は、図を参照して示すことはしない。どのように磁気評価を行うかについては、簡単に説明するにとどめる：ホールプローブをＸ線管９に取り付け、結果として異なるターゲット１より生じた磁界の変化を評価する。
【００４３】
本発明によれば、複数のターゲットもまた用いることができ、このとき、異なるターゲット１１，１１ａ，１１ｂ（ビーム発生器、例えば、タングステンなど）又はターゲット１１，１１ａ，１１ｂの異なる層厚が、支持材料１７に付与される。このとき、自動位置決めによって、異なる複数のターゲット領域が電子ビーム６において位置決めされる。
【００４４】
上述の解決手段は、フィラメント５にまで拡大して適用することができる。ターゲット１と同様に、フィラメント５もまた、画像品質にとって重要であり、様々な形態で存在する。上述のターゲット識別の機能原理はここでもまた適用されるが、明らかに困難な環境で（完全に真空７内において）実現されることとなる。それでも、類似の使用は可能である。
【００４５】
ターゲット識別のために作製された評価電子装置及び制御システム環境は、追加の操作データまたはＸ線管９の挙動を記録するために、比較的容易に拡張することができる。これは、例えば、追加で取り付けられた歪みゲージ、一般的な温度データ又は磁界の解析を介した、温度上昇時のＸ線管９の屈曲を含む。
【００４６】
このようなターゲット識別は、密閉型Ｘ線管９においても有用であり、上記実施形態は、これらにも広く適用され得る。この場合、ターゲット１を交換することはできないが、該Ｘ線管９に特有のパラメータもまた、ターゲット識別システムによって提供される。この識別は、該タイプに限定されることができ、又は、シリアルナンバーを備えた個別のターゲット１に関わるものであることもできる。
【符号の説明】
【００４７】
１      ターゲット
２      電気絶縁体
３      ターゲット電流測定デバイス
４      磁力レンズ
５      フィラメント
６      電子ビーム
７      真空
８      電気的識別素子、電子部品
９      Ｘ線管
１０    ターゲット基体
１１    ターゲット素子
１１ａ  中央ターゲット素子
１１ｂ  環状ターゲット素子
１２    ターゲット抵抗測定装置
１３    光学的捕捉素子
１４    光学的識別素子、バーコード
１５    機械的識別素子、穿孔
１６    機械的捕捉素子
１７    支持材料
１８    電気的捕捉素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図６ａ】
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【図７】
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【図７ａ】
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【図８】
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【国際調査報告】
2017502447.tif 000013
2017502447.tif 000014
2017502447.tif 000015
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