(57)【要約】  自動化ワークピース処理装置は、処理位置でワークピースを処理するように構成される処理モジュールを含む処理セクションと、多段シャトルを含む搬送モジュールであって、多段シャトルは複数の動作自由度を有する第１のシャトルステージと、第１のステージから独立した複数の動作自由度を有する第２のシャトルステージとを有する搬送モジュールと、第１および第２のシャトルステージの少なくとも一方に接続されるエンドエフェクタとを含み、エンドエフェクタは、ワークピースを保持し、処理モジュール内および処理モジュール外へワークピースを搬送するように構成され、またエンドエフェクタは、処理位置でワークピースを配置するために、処理モジュール外部のワークピース保持ステーションから処理モジュール内部の処理位置まで延びる、第１および第２のステージの複数の動作自由度の組み合わせにより定められる動作範囲を有するので、処理モジュールの処理ステージを定める搬送モジュールと、自動化装着および搬送セクションであって、ワークピースが自動化装着および搬送セクション内に装着されるロードポートモジュールを含み、搬送モジュールに連通可能に接続されている自動化装着および搬送セクションとを含む。
2017500722.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理位置でワークピースを処理するように構成される処理モジュールを含む処理セクションと、
多段シャトルを含む搬送モジュールと、
ワークピースが自動化装着および搬送セクション内に装着されるロードポートモジュールを含む自動化装着および搬送セクションとを備えた自動化ワークピース処理装置であって、
前記多段シャトルは、
複数の動作自由度を有する第１のシャトルステージと、
前記第１のステージから独立した複数の動作自由度を有する第２のシャトルステージと、
前記第１および第２のシャトルステージの少なくとも一方に接続されるエンドエフェクタであって、前記エンドエフェクタは、前記ワークピースを保持し、前記処理モジュール内および前記処理モジュール外へ前記ワークピースを搬送するように構成され、前記エンドエフェクタは、第１および第２のステージの複数の動作自由度の組み合わせにより定められる動作範囲を有し、前記処理位置に前記ワークピースを配置するために、前記処理モジュール外部のワークピース保持ステーションから前記処理モジュール内部の前記処理位置まで延び、前記処理モジュールの処理ステージを定める、エンドエフェクタと
を有し、
前記自動化装着および搬送セクションが、前記搬送モジュールに連通可能に接続されている、
自動化ワークピース処理装置。
【請求項２】
前記第１および第２のシャトルステージのそれぞれの少なくとも１つの移動自由度は、共通の方向を共有する請求項１記載の自動化ワークピース処理装置。
【請求項３】
前記第１のシャトルステージの少なくとも１つの移動自由度および前記第２のシャトルステージの少なくとも１つの移動自由度は、前記エンドエフェクタによるワークピースの捕捉をもたらすために、共通の方向に沿った異なる動作をするように構成される請求項２記載の自動化ワークピース処理装置。
【請求項４】
前記自動化ワークピース処理装置は、前記多段シャトルから分離した異なる第２の搬送シャトルをさらに含み、前記第２の搬送シャトルは、前記自動化装着および搬送セクションの装着ステーションと前記搬送モジュールとの間でワークピースを搬送するように構成されている請求項１記載の自動化ワークピース処理装置。
【請求項５】
前記自動化ワークピース処理装置は、前記多段シャトルおよび前記第２の搬送シャトルとは異なる第３の搬送シャトルをさらに含み、前記第３の搬送シャトルは、前記第２の搬送シャトルと前記多段シャトルとの間でワークピースを搬送するように構成されている請求項４記載の自動化ワークピース処理装置。
【請求項６】
前記第１および第２のシャトルステージの少なくとも一方は、傾動軸の移動自由度を含む請求項１記載の自動化ワークピース処理装置。
【請求項７】
前記多段シャトルは、真空環境における動作のために構成される請求項１記載の自動化ワークピース処理装置。
【請求項８】
前記多段シャトルは、大気環境における動作のために構成される請求項１記載の自動化ワークピース処理装置。
【請求項９】
前記多段シャトルの動作分解能は０．５ミクロンである請求項１記載の自動化ワークピース処理装置。
【請求項１０】
前記エンドエフェクタは、前記ワークピースを撮像するように構成される一体型の撮像センサを含む請求項１記載の自動化ワークピース処理装置。
【請求項１１】
電子顕微鏡用の自動化装着装置であって、前記自動化装着装置は、
前記電子顕微鏡のポートに取り外し可能に連結するよう構成されるフレームと、
多段シャトルを含み、前記フレームに接続される搬送モジュールと、
前記フレームに接続され、前記搬送モジュールに連通可能に接続されている自動化装着および搬送セクションとを備え、
前記多段シャトルは、
複数の動作自由度を有する第１のシャトルステージと、
前記第１のステージから独立した複数の動作自由度を有する第２のシャトルステージと、
前記第１および第２のシャトルステージの少なくとも一方に接続されるエンドエフェクタであって、前記エンドエフェクタは、前記ワークピースを保持し、前記ポートを通して前記電子顕微鏡内および前記電子顕微鏡外へ前記ワークピースを搬送するように構成され、前記エンドエフェクタは、第１および第２のステージの複数の動作自由度の組み合わせにより定められる動作範囲を有し、前記処理位置に前記ワークピースを配置するために、前記電子顕微鏡外部のワークピース保持ステーションから前記電子顕微鏡内部の処理位置まで延び、前記処理モジュールの処理ステージを定める、エンドエフェクタと
を有し、
前記自動化装着および搬送セクションが、ワークピースが前記自動化装着および搬送セクション内に装着されるときに通るロードポートモジュールを含む、
自動化装着装置。
【請求項１２】
前記第１および第２のシャトルステージのそれぞれの少なくとも１つの移動自由度は、共通の方向を共有する請求項１１記載の自動化装着装置。
【請求項１３】
前記第１のシャトルステージの少なくとも１つの移動自由度および前記第２のシャトルステージの少なくとも１つの移動自由度は、前記エンドエフェクタによるワークピースの捕捉をもたらすために、共通の方向に沿った異なる動作をするように構成される請求項１２記載の自動化装着装置。
【請求項１４】
前記自動化装着装置は、前記多段シャトルから分離した異なる第２の搬送シャトルを含み、前記第２の搬送シャトルは、前記自動化装着および搬送セクションの装着ステーションと前記搬送モジュールとの間でワークピースを搬送するように構成されている請求項１１記載の自動化装着装置。
【請求項１５】
前記第２の搬送シャトルは、１つまたは複数のカセットを保持するように構成されるマガジンを搬送するよう構成され、前記カセットは１つまたは複数のワークピースを保持するように構成される請求項１４記載の自動化装着装置。
【請求項１６】
前記多段シャトルおよび前記第２の搬送シャトルとは異なる第３の搬送シャトルをさらに備え、前記第３の搬送シャトルは、前記第２の搬送シャトルと前記多段シャトルとの間でワークピースを搬送するように構成されている請求項１４記載の自動化装着装置。
【請求項１７】
前記第１および第２のシャトルステージの少なくとも一方は、傾動軸の移動自由度を含む請求項１１記載の自動化装着装置。
【請求項１８】
自動化ワークピース処理装置であって、
処理モジュール内の処理位置でのワークピースの処理のために構成される処理モジュールと、
少なくとも１つのワークピース保持位置を有し、開口を通して搬送モジュールから前記処理モジュールへの前記ワークピースの搬送を可能にする開口により、前記処理モジュールに接続されている搬送モジュールと、
ワークピースをステージ上に安定して保持するように配置され、配置ステージが、処理の間処理モジュールの処理位置で前記ワークピースを保持するように構成されるワークピースグリッパを備える、ワークピース配置ステージと、
前記ワークピース配置ステージに動作可能に接続され、前記配置ステージが、前記処理位置に前記ワークピースを配置し、前記開口を通して、前記処理位置および前記搬送モジュールの前記少なくとも１つのワークピース保持位置へ、および前記処理位置および前記搬送モジュールの前記少なくとも１つのワークピース保持位置から、前記ワークピースを搬送する少なくとも３動作自由度を有するように、前記ワークピース配置ステージを作動させるように構成される駆動セクションと
を備え、
前記少なくとも１つのワークピース保持位置は、行および列に配置されるワークピース保持位置の少なくとも二次元アレイであり、前記駆動セクションは、前記処理位置で前記３動作自由度をもたらし、配置動作および搬送のために少なくとも２つの共通の駆動軸を有するアクチュエータを用いてアレイの各ワークピース保持位置へのワークピースの搬送をもたらす自動化ワークピース処理装置。
【請求項１９】
前記駆動セクションは、前記アレイの各ワークピース保持位置にアクセスするために、前記ワークピース配置ステージを作動させる請求項１８記載の自動化ワークピース処理装置。
【請求項２０】
前記搬送モジュールの前記少なくとも１つのワークピース保持位置において、ワークピースのアレイを装着および離脱するように構成される装着装置をさらに備える請求項１８記載の自動化ワークピース処理装置。
【請求項２１】
前記駆動セクションは装着装置に接続され、ワークピースのアレイを装着および離脱するために前記装着装置を作動させる請求項１８記載の自動化ワークピース処理装置。
【請求項２２】
前記駆動セクションは、前記ワークピースを前記少なくとも１つのワークピース保持位置に装着し、前記少なくとも１つのワークピース保持位置においてアレイの各位置で前記ワークピースにアクセスし、前記ワークピースを前記処理モジュールに搬送し、６以下の駆動軸を用いて前記処理位置での３動作自由度を提供する動作範囲をもたらす請求項１８記載の自動化ワークピース処理装置。
【請求項２３】
前記ワークピースグリッパは、駆動セクションアクチュエータにより作動されるアクティブなグリッパであり、前記処理位置で前記３動作自由度の少なくとも１つをもたらす少なくとも１つの駆動軸は、前記グリッパの作動のために共有される請求項１８記載の自動化ワークピース処理装置。
【請求項２４】
電子顕微鏡の自動化試料保持ステージであって、
密閉され、内部に密閉された雰囲気を保持するように構成される部分を少なくとも有するケーシングと、
試料を係合および保持するエンドエフェクタおよび前記ケーシングから前記エフェクタを支持する支持部材を有し、少なくとも一部が前記ケーシングの密閉された部分内に配置される、前記ケーシングに接続される試料ホルダと、
電子顕微鏡走査チャンバ内に位置付けられる前記試料ホルダのエフェクタにより、密閉された部分が前記電子顕微鏡走査チャンバと連通するように、前記ケーシングを前記電子顕微鏡走査チャンバに連結させるために構成される、前記ケーシングに接続される連結部と、
前記密閉された部分の外部に位置付けられ、前記エフェクタに連結される作動モータを含み、前記ケーシングに接続され、前記ケーシングに従属する駆動セクションであって、前記作動モータは前記電子顕微鏡走査チャンバにおいて前記エフェクタを移動させる駆動セクションと
を備える電子顕微鏡の自動化試料保持ステージ。
【請求項２５】
前記作動モータは、前記エフェクタにより保持される前記試料の電子顕微鏡撮像の間、前記電子顕微鏡走査チャンバにおいて前記エフェクタを移動させる請求項２４記載の電子顕微鏡の自動化試料保持ステージ。
【請求項２６】
前記作動モータは、前記電子顕微鏡の試料配置ステージの少なくとも１自由度をもたらす請求項２４記載の電子顕微鏡の自動化試料保持ステージ。
【請求項２７】
前記試料ホルダは、前記電子顕微鏡の前記試料配置ステージと比較して高速なステージであり、前記高速なステージの作動は、前記電子顕微鏡による高スループットの走査と整合性があり、またその走査を可能にする請求項２４記載の電子顕微鏡の自動化試料保持ステージ。
【請求項２８】
前記高スループットの走査は、２画像／秒よりも速い撮像速度を有する請求項２７記載の電子顕微鏡の自動化試料保持ステージ。
【請求項２９】
撮像フレーム速度が２画像／秒を超える電子顕微鏡走査と整合性のある作動モータによって作動されると、前記エフェクタの整定をもたらす試料ホルダの高速な整定システムをさらに備える請求項２４記載の電子顕微鏡の自動化試料保持ステージ。
【請求項３０】
前記支持部材は、上に置かれる少なくとも１つの振動抑制要素を有する請求項２４記載の電子顕微鏡の自動化試料保持ステージ。
【請求項３１】
少なくとも１つのワークピース処理ユニットと、
ワークピースホルダと、
内部にデータ構造を有するメモリを含む制御装置と
を備えた自動化ワークピース処理システムであって、
前記ワークピースホルダが、
内部にワークピースのバッチを取り外し可能に保持するように構成され、各ワークピースは、ワークピース識別マークを示し、前記ワークピース識別マークは、それぞれのワークピース上に保持されるサンプルの物理的な表示であり、
少なくとも１つの自動化ワークピース処理ユニットと相互作用するように構成され、
前記制御装置が、
前記ワークピース識別マークを用いて、前記少なくとも１つの自動化ワークピース処理ユニットを通した、所定のバッチワークピース処理順序のワークピースのバッチにおける各ワークピースのバッチ処理の追跡をもたらす、
自動化ワークピース処理システム。
【請求項３２】
前記ワークピース識別マークは、それぞれの前記ワークピース上に保持される前記サンプルの少なくとも１つの所定の特徴を具体化し、前記データ構造はそれぞれの前記ワークピース上に保持される前記サンプルの少なくとも１つの所定の特徴を含む請求項３１記載の自動化ワークピース処理システム。
【請求項３３】
前記少なくとも１つの所定の特徴は、
前記サンプル分析前の前記サンプルの処理に関するデータ、および
サンプル分析の結果に関するデータ
の少なくとも１つまたは複数を含む請求項３２記載の自動化ワークピース処理システム。
【請求項３４】
前記ワークピースホルダは、前記それぞれのワークピース上に保持されるサンプルの順序を備え、前記順序は前記ワークピース識別マークに基づく請求項３１記載の自動化ワークピース処理システム。
【請求項３５】
前記ワークピース処理ユニットは、
電子顕微鏡、および
ワークピースホルダの保管場所
の１つまたは複数を備える請求項３１記載の自動化ワークピース処理システム。
【請求項３６】
前記ワークピースホルダは、前記少なくとも１つのワークピース処理ユニット内への挿入のために構成される請求項３１記載の自動化ワークピース処理システム。
【請求項３７】
前記ワークピースホルダは、１つまたは複数のワークピース保持カセットを取り外し可能に保持するように構成されるフレームを備え、各ワークピース保持カセットは、ワークピース保持位置のグリッドを含む請求項３１記載の自動化ワークピース処理システム。
【請求項３８】
各ワークピース保持カセットは、前記ワークピース保持位置の前記ワークピース上に保持されるサンプルの順序を含み、サンプルの前記順序は、前記ワークピース識別マークに基づく請求項３７記載の自動化ワークピース処理システム。
【請求項３９】
各ワークピース保持カセットは、上にカセット識別マークを含み、前記データ構造は、前記カセット識別マークを、それぞれのワークピース保持カセットに保持される前記ワークピースの前記ワークピース識別マークと相関させる請求項３７記載の自動化ワークピース処理システム。
【請求項４０】
２つ以上のワークピース保持カセットは、前記ワークピース保持位置の前記ワークピース上に保持されるサンプルの順序を含み、前記順序は、前記ワークピース識別マークおよび前記カセット識別マークに基づく請求項３９記載の自動化ワークピース処理システム。
【請求項４１】
各ワークピース保持位置は、ワークピース保持機構を含む請求項３７記載の自動化ワークピース処理システム。
【請求項４２】
各ワークピース保持位置は、それぞれのワークピース保持位置へ、およびそれぞれのワークピース保持位置から、ワークピースが自動または手動で移送されるように構成される請求項３７記載の自動化ワークピース処理システム。
【請求項４３】
各ワークピース保持位置は、それぞれの試料保持位置へ、およびそれぞれの試料保持位置から、ワークピース保持カセットが自動または手動で移送されるように構成される請求項３７記載の自動化ワークピース処理システム。
【請求項４４】
各ワークピース保持カセットはカバーを含み、前記カバーは、
前記カバーを前記フレームに取り外し可能に固定し、
それぞれのワークピース保持カセットを前記フレーム内に取り外し可能に固定する
ように構成される保持機構を含む請求項３７記載の自動化ワークピース処理システム。
【請求項４５】
電子顕微鏡のサンプルグリッド用のバッチホルダであって、前記バッチホルダは、
フレームと、
前記フレームに置かれ、それぞれが中に少なくとも１つのグリッドを保持するように構成されている、グリッド保持受容部のアレイと、
前記フレームに接続され、前記バッチホルダに対応する固有の所定の特徴を実体化する読み取り可能なデータ記憶媒体と
を備え、前記データ記憶媒体は、前記バッチホルダの前記グリッド保持受容部のアレイに保持されるグリッドアレイの、別の所定の特徴を表す電子顕微鏡のサンプルグリッド用のバッチホルダ。
【請求項４６】
前記別の所定の特徴は、固有であり、前記バッチホルダの所定の特徴とは異なる請求項４５記載の電子顕微鏡のサンプルグリッド用のバッチホルダ。
【請求項４７】
前記別の所定の特徴は、前記グリッドアレイ上の試料の所定の順序に関連付けられる請求項４５記載の電子顕微鏡のサンプルグリッド用のバッチホルダ。
【請求項４８】
前記所定の順序は、前記バッチホルダへの前記グリッドアレイの各グリッドの装着と同時に自動的に定められる請求項４７記載の電子顕微鏡のサンプルグリッド用のバッチホルダ。
【請求項４９】
前記所定の順序は、前記ホルダの前記グリッド保持受容部のアレイ内の、前記グリッドアレイの所定の配置に対応する請求項４７記載の電子顕微鏡のサンプルグリッド用のバッチホルダ。
【請求項５０】
前記別の所定の特徴は、前記ホルダの前記グリッド保持受容部のアレイでの、前記グリッドアレイの所定の配置に対応する請求項４５記載の電子顕微鏡のサンプルグリッド用のバッチホルダ。
【請求項５１】
前記別の所定の特徴は、前記グリッドアレイのグリッド試料が作製された原料物質構成を表す請求項４５記載の電子顕微鏡のサンプルグリッド用のバッチホルダ。
【請求項５２】
前記所定の特徴は、前記ホルダ、および前記ホルダの前記グリッド保持受容部のアレイにおける前記グリッドアレイを、前記原料物質構成に関連付けるホルダ識別データである請求項５１記載の電子顕微鏡のサンプルグリッド用のバッチホルダ。
【請求項５３】
前記別の所定の特徴は、前記グリッド保持受容部のアレイの各グリッド、および前記グリッド上に置かれる試料に関するグリッド識別データである請求項４５記載の電子顕微鏡のサンプルグリッド用のバッチホルダ。
【請求項５４】
請求項４５記載のバッチホルダ用の自動化ホルダ順序付けステーションであって、前記自動化ホルダ順序付けステーションは、
前記バッチホルダを保持するように構成されるホルダ配置ステーションと、
搬送部上にグリッドを保持するように配置されるエンドエフェクタ、および、前記バッチホルダのグリッド保持受容部に前記グリッドを搬送および配置するために配置される駆動セクションを有するグリッド搬送部と、
前記ホルダ配置ステーションにおいて前記ホルダの前記データ記憶媒体を読み取るように配置される読み取り器と、
前記グリッド搬送部および前記読み取り器に連通可能に接続され、前記読み取り器により読み取られた前記データ記憶媒体のデータから、前記バッチホルダの所定の特徴を登録し、前記バッチホルダの前記グリッド保持受容部のアレイに装着される前記グリッドアレイの前記別の所定の特徴を定めるグリッドに関するデータを登録するように構成されるプロセッサと
を備える自動化ホルダ順序付けステーション。
【請求項５５】
ワークピースのバッチ処理のための方法であって、前記方法は、
それぞれのワークピース上に保持される前記試料の一部の物理的な表示である、ワークピース識別マークを実体化するワークピースのバッチの各ワークピース上に少なくとも１つの試料の少なくとも一部を配置することと、
前記ワークピース識別マークに基づき、自動化ワークピース処理ユニットを通して、所定のバッチワークピース処理順序でワークピースのバッチにおける各ワークピースの処理を、制御装置のメモリに設けられたデータ構造を用いて追跡することと
を含む方法。
【請求項５６】
前記少なくとも１つのワークピース処理ユニットは、
ワークピース保管ユニット、および
電子顕微鏡
の１つまたは複数を備える請求項５５記載の方法。
【請求項５７】
各ワークピースの処理は、
ワークピースの前記バッチの、各ワークピース上に前記少なくとも１つのサンプルの一部を配置すること、
少なくとも１つのワークピース保持カセットへ、前記サンプルのバッチにおける各ワークピースを配置すること、
少なくとも１つのカセット保持マガジンへ、前記少なくとも１つのワークピース保持カセットを配置すること、
前記少なくとも１つのワークピース処理ユニットの自動化装着および配置システムへ、前記少なくとも１つのカセット保持マガジンを配置すること、
１つまたは複数のワークピースを、前記少なくとも１つのワークピース処理ユニットを通して循環させることにより、前記少なくとも１つのワークピース処理ユニットを通したワークピースのバッチにおける１つまたは複数のワークピースを処理すること、
前記少なくとも１つのワークピース処理ユニットの前記自動化装着および配置システムから、前記少なくとも１つのカセット保持マガジンを取り外すこと、
前記少なくとも１つのカセット保持マガジンから、前記少なくとも１つのワークピース保持カセットを取り外すこと、および
前記少なくとも１つのサンプルのそれぞれの部分をその上に保持するワークピースを保管すること
の１つまたは複数を含む請求項５５記載の方法。
【請求項５８】
前記ワークピース識別マークは、それぞれのワークピース上に保持される前記サンプルの少なくとも１つの所定の特徴を実体化し、前記データ構造は、それぞれのワークピース上に保持される前記サンプルの少なくとも１つの所定の特徴を含む請求項５５記載の方法。
【請求項５９】
前記少なくとも１つの所定の特徴は、
前記少なくとも１つのサンプルの一部の分析前の、前記少なくとも１つのサンプルの一部の処理に関するデータ、および
サンプル分析の結果に関するデータ
の１つまたは複数を含む請求項５８記載の方法。
【請求項６０】
各ワークピース上に置かれた前記少なくとも１つのサンプルの一部を、前記ワークピース識別マークに基づく順序でワークピースのバッチに配置することをさらに含む請求項５５記載の方法。
【請求項６１】
各ワークピース上に置かれた前記少なくとも１つのサンプルの一部を、前記ワークピース識別マークに基づく順序で、少なくとも１つのワークピース保持カセット内のワークピースのバッチに配置することをさらに含む請求項５５記載の方法。
【請求項６２】
各ワークピース保持カセットは、上にカセット識別マークを含み、前記方法はさらに、前記データ構造を用いて、前記カセット識別マークを、それぞれのワークピース保持カセットに保持される前記ワークピースの前記ワークピース識別マークに相関させることを含む請求項６１記載の方法。
【請求項６３】
フレームと、
前記フレームに配置されるワークピース保持ポケットの二次元アレイと、
前記フレーム上に置かれる運動学的操作機構と
を備えるワークピースホルダであって、前記運動学的操作機構は、自動化ワークピースホルダのエンドエフェクタに係合するように構成され、前記ワークピース保持ポケットのそれぞれに対して所定の位置を有するワークピースホルダ。
【請求項６４】
前記フレームは、前記ワークピース保持ポケットの二次元アレイにより、各ワークピース保持ポケットの位置を識別するマークを実体化する請求項６３記載のワークピースホルダ。
【請求項６５】
電子顕微鏡用の自動化ホルダ順序付けシステムであって、前記自動化ホルダ順序付けシステムは、
フレームと、
前記フレームに置かれ、それぞれが中に少なくとも１つのグリッドを保持するように構成されているグリッド保持受容部のアレイと、
前記フレームに接続され、前記バッチホルダに対応する固有の所定の特徴を具体化する読み取り可能なデータ記憶媒体であって、前記バッチホルダの前記グリッド保持受容部のアレイに保持されるグリッドアレイの別の所定の特徴を表すデータ記憶媒体と
を含むバッチホルダと、
前記バッチホルダを保持するように構成されるホルダ配置ステーションと、
搬送部上にグリッドを保持するように配置されるエンドエフェクタ、および、前記バッチホルダのグリッド保持受容部に前記グリッドを搬送および配置するように配置される駆動セクション有するグリッド搬送部と、
前記ホルダ配置ステーションのホルダの前記データ記憶媒体を読み取るように配置される読み取り器と、
前記グリッド搬送部および前記読み取り器に連通可能に接続され、前記読み取り器により読み取られた前記データ記憶媒体のデータから前記バッチホルダの前記所定の特徴を登録し、前記バッチホルダの前記グリッド保持受容部のアレイに装着される前記グリッドアレイの前記別の所定の特徴を定めるデータに関連付けられるグリッドを登録するように構成されるプロセッサと
を備える電子顕微鏡用の自動化ホルダ順序付けシステム。
【請求項６６】
電子顕微鏡の試料サンプルホルダであって、
第１の表面および反対側の第２の表面を備え、前記第１の表面は、前記サンプルホルダにより保持される試料保持フィルム用の座面および支持面を画定する、薄いシート状のベース部材を備え、
前記ベース部材は、前記サンプルホルダにより保持される前記保持フィルムを露出する、前記第２の表面を通る開口と、把持装置に係合するように配置された、少なくとも前記第１の表面の部分上で画定される把持係合域とを含み、
前記第１および第２の表面の少なくとも一方は、その上に形成され、前記サンプルホルダの少なくとも１つの所定の特徴を定めるデータを実体化するパターンで配置される機械が読み取り可能な構成を有する電子顕微鏡の試料サンプルホルダ。
【請求項６７】
前記ベース部材の薄いシートは、ベリリウム銅合金である請求項６６記載の電子顕微鏡の試料サンプルホルダ。
【請求項６８】
前記ベース部材の薄いシートは、サブミリメータ幅のシートを有する請求項６６記載の電子顕微鏡の試料サンプルホルダ。
【請求項６９】
前記構造体は、前記構造体が置かれる前記少なくとも１つの第１または第２の表面の基準面に対する三次元のトポグラフィを定め、前記構造体は、前記構造体が置かれる前記少なくとも１つの第１または第２の表面と一体形成される請求項６６記載の電子顕微鏡の試料サンプルホルダ。
【請求項７０】
前記構造体は、前記電子顕微鏡の試料サンプルホルダ上に置かれる、登録された試料サンプルの受託番号を実体化する請求項６６記載の電子顕微鏡の試料サンプルホルダ。
【請求項７１】
前記受託番号は、複数の電子顕微鏡の試料サンプルホルダの順序を定める請求項７０記載の電子顕微鏡の試料サンプルホルダ。
【請求項７２】
前記少なくとも１つの所定の特徴は、エラー補正特徴を備える、前記サンプルおよび／またはサンプルホルダの固有の識別マークである請求項６６記載の電子顕微鏡の試料サンプルホルダ。
【請求項７３】
前記構造体は、前記少なくとも第１または第２の表面の両面に対称に配置され、座面にある前記電子顕微鏡の試料サンプルホルダに重複した読み取り場所を提供する請求項６６記載の電子顕微鏡の試料サンプルホルダ。
【請求項７４】
前記構造体は、試料位置をホルダ位置に関連付ける少なくとも１つの基準をさらに定める請求項６６記載の電子顕微鏡の試料サンプルホルダ。
【請求項７５】
前記少なくとも１つの基準は、それぞれが前記ホルダに対する前記試料の相対的な位置および自動化グリッパに対する前記ホルダの相対的な位置の１つまたは複数を独立して識別する、２つ以上の固有な基準を備え、前記２つ以上の固有な基準は、位置および配向の基準として機能する請求項７４記載の電子顕微鏡の試料サンプルホルダ。
【請求項７６】
前記構造体は、所定の光学的応答をもたらす再帰反射性質を定める請求項６６記載の電子顕微鏡の試料サンプルホルダ。
【請求項７７】
前記構造体は、少なくとも１０文字の英数字の英数字マークを定める請求項６６記載の電子顕微鏡の試料サンプルホルダ。
【請求項７８】
前記開口はメッシュである請求項６６記載の電子顕微鏡の試料サンプルホルダ。
【請求項７９】
前記電子顕微鏡の試料ホルダは、ケミカルミーリング、レーザ微細加工、スタンピングの１つまたは複数により形成される請求項６６記載の試料ホルダ。
【請求項８０】
堅固な周縁部材を形成し、前記堅固な周縁部材に囲まれる中央の開口を有するフレームと、
それぞれが異なるカテゴリの試料サンプルに関連付けられ、他の薄膜の所定のサンプル保持特徴とは異なる所定のサンプル保持特徴を有する複数の交換可能な薄膜であって、各薄膜は前記中央の開口に広がりサンプルホルダを形成するために前記フレームに連結するように構成されている複数の交換可能な薄膜と
を備える電子顕微鏡の試料サンプルホルダであって、前記異なる所定のサンプル保持特徴はそれぞれ、前記交換可能な薄膜に関連付けられる試料サンプルのカテゴリの特徴に基づき構成される電子顕微鏡の試料サンプルホルダ。
【請求項８１】
電子顕微鏡試料用のバッチ試料グリッドであって、前記バッチ試料グリッドは、
フレームと、
前記フレームに配置され、中に試料を保持するように構成される保持受容部と、
前記フレームに接続され、前記バッチ試料グリッドに対応する固有の所定の特徴を実体化する読み取り可能なデータ記憶媒体と
を備え、前記読み取り可能なデータ記憶媒体は、バッチホルダ試料グリッド内の前記バッチホルダ試料グリッドを識別する固有の識別子を実体化する電子顕微鏡用のバッチ試料グリッド。
【請求項８２】
前記データ記憶媒体は、前記バッチ試料グリッドの前記保持受容部に保持される試料の別の所定の特徴を表す請求項８１記載の電子顕微鏡用のバッチ試料グリッド。
【請求項８３】
前記別の所定の特徴は、固有であり、前記バッチ試料グリッドの前記所定の特徴とは異なる請求項８２記載の電子顕微鏡用のバッチ試料グリッド。
【請求項８４】
前記別の所定の特徴は、少なくとも１つの試料グリッドカセットのグリッドアレイ内に位置付けられるバッチ試料グリッドの、バッチ上に保持される試料の所定の順序に関連付けられる請求項８２記載の電子顕微鏡用のバッチ試料グリッド。
【請求項８５】
前記所定の順序は、前記試料グリッド上への各試料の装着と同時に、前記バッチ試料グリッドに自動的に関連付けられる請求項８４記載の電子顕微鏡用のバッチ試料グリッド。
【請求項８６】
前記所定の順序は、前記少なくとも１つの試料グリッドカセットの、前記グリッドアレイの所定の配置に対応する請求項８４記載の電子顕微鏡用のバッチ試料グリッド。
【請求項８７】
前記別の所定の特徴は、少なくとも１つの試料グリッドカセットの、グリッドアレイにおけるバッチ試料グリッドのバッチの所定の配置に対応する請求項８２記載の電子顕微鏡用のバッチ試料グリッド。
【請求項８８】
前記別の所定の特徴は、試料グリッドのバッチ上に置かれるグリッド試料が作製される原料物質構成を表す請求項８２記載の電子顕微鏡用のバッチ試料グリッド。
【請求項８９】
前記所定の特徴は、試料グリッドカセットおよび前記試料グリッドカセットの試料グリッドのバッチを前記原料物質構成に関連付ける試料グリッド識別データである請求項８８記載の電子顕微鏡用のバッチ試料グリッド。
【請求項９０】
前記別の所定の特徴は、前記少なくとも１つの試料グリッドカセットにおける試料グリッドのバッチの各バッチ試料、および前記試料グリッド上に置かれる試料を関連付ける試料グリッド識別データである請求項８２記載の電子顕微鏡用のバッチ試料グリッド。
【請求項９１】
電子顕微鏡試料をグリッドにバッチ保持するための方法であって、
グリッドフレームに置かれる試料保持受容部を有し、中に少なくとも１つの試料を保持するように構成されるグリッドフレームを設けることと、
前記グリッドフレームに接続され、前記グリッドフレームに対応する固有の所定のグリッドフレーム特徴を実体化する読み取り可能なデータ記憶媒体を設けることと
を含み、前記データ記憶媒体は、前記グリッドフレームの前記試料保持受容部に保持される試料の所定の試料特徴を表す方法。
【請求項９２】
電子顕微鏡用の自動化グリッド順序付けシステムであって、前記自動化グリッド順序付けシステムは、
複数のグリッドと、
グリッド搬送部および読み取り器に連通可能に接続されるプロセッサと
を備え、
前記グリッドのそれぞれが
グリッド上の試料保持受容部と、
前記グリッドのフレームに接続され、前記グリッドに対応する固有の所定の特徴を実体化する読み取り可能なグリッドデータ記憶媒体と
を有し、前記グリッドの前記試料保持受容部に保持される試料の別の所定の特徴を表し、
前記プロセッサが、
前記読み取り器により読み取られた前記グリッドデータ記憶媒体のデータから、前記グリッドの前記所定の特徴を登録し、
バッチホルダのグリッド保持受容部のアレイに装着される前記グリッドの前記別の所定の特徴を定めるグリッドに関するデータを登録する
ように構成される
自動化グリッド順序付けシステム。
【請求項９３】
バッチホルダを保持するように構成されるバッチホルダ配置ステーションと、
搬送部上にグリッドを保持するように配置されるエンドエフェクタ、および、前記バッチホルダのグリッド保持受容部にグリッドを搬送および配置される駆動セクションを有するグリッド搬送部と、
前記グリッド搬送部により保持される前記グリッドの前記グリッドデータ記憶媒体を読み取るように配置される読み取り器と
をさらに含む請求項９２記載の自動化グリッド順序付けシステム。
【請求項９４】
前記バッチホルダは、
フレームと、
前記フレームに配置され、それぞれが中に前記複数のグリッドの少なくとも１つのグリッドを保持するように構成されるグリッド保持受容部のアレイと、
前記フレームに接続され、前記バッチホルダに対応する固有の所定の特徴を実体化する読み取り可能なバッチホルダデータ記憶媒体と
を含み、
前記バッチホルダデータ記憶媒体は、前記バッチホルダのグリッド保持受容部のアレイに保持されるグリッドアレイの別の所定の特徴を表し、
前記ホルダ配置ステーションに前記バッチホルダの前記バッチホルダデータ記憶媒体を読み取るために、前記読み取り器がさらに配置され、
前記プロセッサは、前記読み取り器により読み取られた前記バッチホルダデータ記憶媒体のデータから、前記バッチホルダデータの前記所定の特徴を登録するようにさらに構成される、電子顕微鏡用の請求項９３記載の自動化グリッド順序付けシステム。
【請求項９５】
電子顕微鏡用のバッチ試料グリッドであって、前記バッチ試料グリッドは、
フレームと、
前記フレーム上に置かれ、上に試料を保持するように構成されている試料受容部と、
前記フレームに接続され、前記バッチ試料グリッドに対応する固有の所定の特徴を実体化する読み取り可能なデータ記憶媒体と
を備え、前記読み取り可能なデータ記憶媒体は、バッチホルダ試料グリッドのバッチ内の、前記バッチホルダ試料グリッドを識別する固有の識別子を実体化する電子顕微鏡用のバッチ試料グリッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
［関連出願の相互参照］
本願は、２０１３年１１月１１日に出願された米国仮特許出願第６１／９０２，４７０号明細書の非仮特許出願であり、この出願の利益を主張し、開示内容はその全体を参照することによって本明細書に含まれる。
【背景技術】
【０００２】
１．分野
例示的な実施形態は、大まかには自動化ワークピース処理システムに関し、より詳細には、自動化処理システムのための自動装着システムに関する。
【０００３】
２．関連する開発の簡単な説明
一般に、自動化ワークピース処理システムは、ワークピース搬送部と処理モジュールとを含む。ワークピース搬送部は、一般に、ワークピースが処理のためにワークピースホルダ上に配置される処理モジュールへ、および処理モジュールから、ワークピースを搬送するために用いられている。ワークピースの処理中、搬送部は処理モジュールから取り外され、処理モジュールは一般には密閉される。
【０００４】
処理モジュールのワークピースホルダのいくつかは、処理のためにワークピースを配置するように構成される可動ステージを含む。これらの可動ステージ、ならびにワークピースを処理モジュールに運ぶ搬送部は、処理中にワークピースの望ましくない振動モードが存在しないよう、ワークピースの残りの動作を弱まらせるように、一般にはワークピースの移動の間に整定時間を要する。
【発明の概要】
【０００５】
ワークピースを処理モジュールに運び、ワークピースの処理中にワークピースを処理モジュール内に配置することができるワークピース搬送部を含む、自動化搬送および配置システムを有することが有利である。
【０００６】
一般に、従来のワークピースはサンプル／試料を保持するように構成されている。従来のワークピースは、番号などの単純な識別マーキングを有するが、これらの単純な識別マーキングは範囲が限定され、固有の識別子となる保証はない。このように、従来のワークピースにより保持される多数のサンプルを追跡することは、ひいき目に見ても困難である。
【０００７】
一般にワークピースはワークピースホルダに保管される。これらのワークピースホルダは一般にはワークピースの保持容量が小さく、また最大の超低温ワークピース処理システムを除いて、ワークピース処理システム内に自動的に装着される機能は提供しない。
【０００８】
固有に識別可能で、手動または自動で操作され得るワークピースを有することが有利である。ワークピースにより保持されるサンプルのバッチ処理ならびにサンプルの追跡を可能にするワークピース処理システムへの、手動および／または自動の装着が可能な高容量のワークピース保持システムを有することが有利である。
【０００９】
また、従来の、電子光線撮像／走査ワークステーションなどのワークピース処理システムは、構造体（複数の試料／サンプルに分割される）の処理中に、その構造体の経過を自動的に追跡する能力を有さない。
【００１０】
分析されている構造体に関して、処理中に複数の試料を全体として追跡および分析できることが有利である。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
開示される実施形態の上述の態様および他の特徴は、添付の図面と関連して以下の記載において説明される。
【００１２】
【図１Ａ】図１Ａ−１と図１Ａ−２との配置関係を示す図である。
【図１Ａ−１】開示される実施形態の態様による自動試料／サンプル装着システムの概略図である。
【図１Ａ−２】開示される実施形態の態様による自動試料／サンプル装着システムの概略図である。
【図１Ｂ】開示される実施形態の態様による図１Ａの自動試料装着システムの部分概略図である。
【図１Ｃ】開示される実施形態の態様による図１Ａの自動試料装着システムの部分概略図である。
【図１Ｄ】開示される実施形態の態様による図１Ａの自動試料装着システムの部分概略図である。
【図１Ｅ】開示される実施形態の態様による図１Ａ〜１Ｄおよび図１Ｈの自動試料／サンプル装着システムを含む、自動化電子光線顕微鏡の部分概略図である。
【図１Ｆ】開示される実施形態の態様による図１Ａ〜１Ｄおよび図１Ｈの自動試料／サンプル装着システムを含む、自動化電子光線顕微鏡の部分概略図である。
【図１Ｇ】開示される実施形態の態様による図１Ａ〜１Ｄおよび図１Ｈの自動試料／サンプル装着システムを含む、自動化電子光線顕微鏡の部分概略図である。
【図１Ｈ】開示される実施形態の態様による図１Ａの自動試料装着システムの部分概略図である。
【図２Ａ】開示される実施形態の態様による試料配置システムの部分およびその一部の概略図である。
【図２Ｂ】開示される実施形態の態様による試料配置システムの部分およびその一部の概略図である。
【図２Ｃ】開示される実施形態の態様による試料配置システムの部分およびその一部の概略図である。
【図２Ｄ】開示される実施形態の態様による試料配置システムの部分およびその一部の概略図である。
【図２Ｅ】開示される実施形態の態様による試料配置システムの部分およびその一部の概略図である。
【図２Ｆ】開示される実施形態の態様による試料配置システムの部分およびその一部の概略図である。
【図２Ｇ】開示される実施形態の態様による試料配置システムの部分およびその一部の概略図である。
【図２Ｈ】開示される実施形態の態様による試料配置システムの部分およびその一部の概略図である。
【図２Ｉ】開示される実施形態の態様による試料配置システムの部分およびその一部の概略図である。
【図２Ｊ】開示される実施形態の態様による試料配置システムの部分およびその一部の概略図である。
【図２Ｋ】開示される実施形態の態様による試料配置システムの部分およびその一部の概略図である。
【図２Ｌ】開示される実施形態の態様による試料配置システムの部分およびその一部の概略図である。
【図３Ａ】開示される実施形態の態様による試料配置システムおよびその一部の概略図である。
【図３Ｂ】開示される実施形態の態様による試料配置システムおよびその一部の概略図である。
【図３Ｃ】開示される実施形態の態様による試料配置システムおよびその一部の概略図である。
【図３Ｄ】開示される実施形態の態様による試料配置システムおよびその一部の概略図である。
【図３Ｅ】開示される実施形態の態様による試料配置システムおよびその一部の概略図である。
【図４Ａ】開示される実施形態の態様によるワークピースの概略図である。
【図４Ｂ】開示される実施形態の態様によるワークピースの概略図である。
【図４Ｃ】開示される実施形態の態様によるワークピースの概略図である。
【図４Ｄ】開示される実施形態の態様によるワークピースの概略図である。
【図４Ｅ】開示される実施形態の態様によるワークピースの概略図である。
【図４Ｆ】開示される実施形態の態様によるフロー図である。
【図４Ｇ】開示される実施形態の態様によるワークピースの概略図である。
【図４Ｈ】開示される実施形態の態様によるワークピースの概略図である。
【図４Ｉ】開示される実施形態の態様によるワークピースの概略図である。
【図４Ｊ】開示される実施形態の態様によるワークピースの概略図である。
【図５Ａ】開示される実施形態の態様による試料カセットの概略図である。
【図５Ｂ】開示される実施形態の態様による試料カセットの概略図である。
【図５Ｃ】開示される実施形態の態様による試料カセットの概略図である。
【図５Ｄ】開示される実施形態の態様による試料カセットの概略図である。
【図５Ｅ】開示される実施形態の態様による試料カセットの概略図である。
【図５Ｆ】開示される実施形態の態様による試料カセットの概略図である。
【図５Ｇ】開示される実施形態の態様による試料カセットの概略図である。
【図５Ｈ】開示される実施形態の態様による、図２Ａ〜２Ｌの試料配置システムおよび図５Ａ〜５Ｇ、５Ｉおよび５Ｊの試料カセットの部分概略図である。
【図５Ｉ】開示される実施形態の態様による試料カセットの概略図である。
【図５Ｊ】開示される実施形態の態様による試料カセットの概略図である。
【図６Ａ】開示される実施形態の態様によるカセットマガジンの概略図である。
【図６Ｂ】開示される実施形態の態様によるカセットマガジンの概略図である。
【図６Ｃ】開示される実施形態の態様によるカセットマガジンの概略図である。
【図６Ｄ】開示される実施形態の態様によるカセットマガジンの概略図である。
【図６Ｅ】開示される実施形態の態様によるカセットマガジンの概略図である。
【図６Ｆ】開示される実施形態の態様によるカセットマガジンの概略図である。
【図７Ａ】開示される実施形態の態様による図１Ａの自動試料装着システムの動作を示す概略図である。
【図７Ｂ】開示される実施形態の態様による図１Ａの自動試料装着システムの動作を示す概略図である。
【図７Ｃ】開示される実施形態の態様による図１Ａの自動試料装着システムの動作を示す概略図である。
【図７Ｄ】開示される実施形態の態様による図１Ａの自動試料装着システムの動作を示す概略図である。
【図７Ｅ】開示される実施形態の態様による図１Ａの自動試料装着システムの動作を示す概略図である。
【図７Ｆ】開示される実施形態の態様による図１Ａの自動試料装着システムの動作を示す概略図である。
【図８】開示される実施形態の態様による図１Ａ〜１Ｄの自動試料装着システムの動作フロー図である。
【図９】開示される実施形態の態様による処理システムの処理の一部の概略図である。
【図１０】開示される実施形態の態様による図１Ａ〜１Ｄの自動試料装着システムの動作フロー図である。
【図１１】開示される実施形態の態様による処理システムの概略図である。
【図１１Ａ】開示される実施形態の態様による処理システムの概略図である。
【図１１Ｂ】開示される実施形態の態様による処理システムの部分概略図である。
【図１１Ｃ】開示される実施形態の態様による処理システムの部分概略図である。
【図１２】開示される実施形態の態様による図１Ａの自動試料装着システムの動作フロー図である。
【図１３】開示される実施形態の態様によるフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１は、開示される実施形態の態様による自動化搬送および配置システム１００の概略図である。開示される実施形態の態様は、図面に関連して説明されるが、開示される実施形態の態様は、多くの形態で具体化され得ることが理解されるべきである。加えて、任意の適切なサイズ、形状、または種類の、構成要素または材料が使用され得る。また、Ｘ、ＹおよびＺ軸が参照されているが、これらの軸への参照は例示的であり、別の態様において軸は、任意の適切な方向識別子を有することに留意する。
【００１４】
また、開示される実施形態の態様は、本明細書においては透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）に関して記載されるが、開示される実施形態の態様は、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）、デュアル光線集束イオン光線顕微鏡（ＤＢ−ＦＩＢ）、走査透過型顕微鏡（ＳＴＥＭ）、他の任意の適切な電子光線走査／撮像装置、または、ワークピースの処理の間、ワークピースがステージまたはエンドエフェクタ（本明細書に記載）のワークピースホルダ上に支持される処理モジュールＰＭを有する任意の適切なワークピース処理装置に適用され得ることが理解されるべきである。例えば、開示される実施形態の態様は、測定／検査または他の処理の間、ワークピースが開示される実施形態のエンドエフェクタによって保持される任意の適切な測定装置に用いられる。以下に記載するように、一態様において、ステージは自動搬送および配置システム１００のワークピース配置ユニット１０４のエンドエフェクタ１０１であるが、別の態様においてステージは、処理モジュールＰＭの既存の配置ステージＰＳである。
【００１５】
一態様において、ＴＥＭに関して、自動化搬送および配置システム１００は、一回の交換（例えば、試料の装着）において約５００〜約１０００の試料（本明細書においてはサンプルともいう）の装着および保管をもたらすが、ＴＥＭや他の適切なワークピース処理装置（上述のものなど）に関連付けられる他の態様においては、より多いまたはより少ないワークピースが装着および保管される。一態様において、自動化搬送および配置システム１００は、例えば、撮像の間、試料ホルダまたはグリッドをＴＥＭ内で配置するＴＥＭにおいて用いられる、従来の配置「ステージ」ＰＳに取って代わる。別の態様において、自動化搬送および配置システム１００は、例えば、任意の適切な測定装置または他の処理装置の、任意の適切な装着システムに取って代わる。一態様において、自動化搬送および配置システム１００は、撮像または検査中の、ワークピースの完全で高解像度の、高速、高安定の位置制御も提供する。以下に記載するように、開示される実施形態の態様にしたがって、グリッド操作および保管動作、ならびにＴＥＭカラムへの試料の配置は、一態様においては、制御された８自由度を用いてもたらされ、別の態様においては、制御された９自由度を用いてもたらされる。
【００１６】
また以下に記載するように、自動化搬送および配置システム１００は、例えば、ワークピースを操作システムに結合させるキャリアまたはアダプタを用いて、または用いずに、グリッド（または他の適切な試料ホルダ）などの任意の適切なワークピース４００を実質的に直接操作するように構成されるエンドエフェクタ１０１を有する搬送および配置ユニット１４０を含む。一態様においてエンドエフェクタ１０１のグリッパは、一態様においては８つの制御された自由度の２以上、別の態様においては制御された９自由度の連係動作を通して操作され、これらは組み合わせられると、ワークピースに対してエンドエフェクタの位置を一定に維持したままグリッパを開閉するように作用し、またエンドエフェクタ１０１の複数の独立した自由度の動作をもたらす。別の態様において、エンドエフェクタのグリッパは、グリッパを駆動する専用の駆動部を用いるなど、任意の適切な方法で操作される。一態様において、エンドエフェクタ１０１は、電子顕微鏡システムの対物レンズチャンバ（後述）内などの高真空環境において、または非真空や低真空環境などの他の任意の適切な環境において、ワークピースを操作するように構成される。エンドエフェクタ１０１は、任意の適切なワークピース保持カセット１０２からの抜き取りの間、個別のワークピースを把持するように構成され、また、ワークピースの回転による位置合わせのためのプリアライナステージ１０３への、およびプリアライナ１０３からの、ワークピースの設置および除去のためにも構成される。一態様において、エンドエフェクタ１０１（およびエンドエフェクタがその一部であるワークピース配置ユニットまたは多段シャトル１０４）は、グリッドに取り付けられた試料を支持するための精密かつ堅固なインターフェースを提供するように構成され、これは、撮像中にワークピースの望ましくない振動モードを実質的に導くことなく、約１００ｍｓ未満で、高速な位置の移動（例えば、約８〜約２４ミクロンまたは他の任意の適切な距離）および迅速な整定（例えば、約５ナノメータ未満まで）を可能にする。別の態様において、エンドエフェクタ１０１（およびエンドエフェクタがその一部であるワークピース配置ユニット１０４）は、撮像中にワークピースの望ましくない振動モードを実質的に導くことなく、約２５ｍｓ〜約３５ｍｓ未満で、高速な位置の移動（例えば、約８〜約２４ミクロンまたは他の任意の適切な距離）および迅速な整定（例えば、約４ナノメータ未満まで）を実施するように構成され得る。エンドエフェクタ１０１は、単一のワークピース保持グリッパを有するものとして示されているが、別の態様においてエンドエフェクタは、例えば、隣り合う配置や他の任意の適切な配置で、複数のワークピースを保持するように構成されることに留意する。後述するように、自動化搬送および配置システム１００は、これに限定されないが薄片のトモグラフィーを含む、処理モジュール内でのサンプルの任意の適切な処理をもたらすために、複数の自由度（一態様においては少なくとも３自由度）を有する駆動セクションを含む。一態様において、本明細書に記載されるように、自動搬送および配置システム１００の駆動セクションの複数の自由度は、互いに対して傾斜される少なくとも２つの軸周りでの、少なくとも１つの線形の軸交差および回転を含む。一態様において、本明細書に記載される自動化搬送および配置システム１００の駆動セクションは、エンドエフェクタ１０１を用いたワークピースの自動の取り出しをもたらすように構成される。一態様において、自動化搬送および配置システム１００の駆動セクションは、ミクロンレベルの分解能（例えば、一態様においては約０．５ミクロン、別の態様においては約０．５ミクロンより大きいか、または小さい）でエンドエフェクタの動作をもたらし、別の、例えばトモグラフィー検査位置へと、約１００ｍｓ未満で再び配置することをもたらす。
【００１７】
以下に記載されるように、一態様においてワークピースの操作（例えば、取り出しおよび配置）は、視覚システムを利用して、または、エンドエフェクタ１０１内に実質的に直接一体化され、および／または、ワークピースが本明細書に記載するように撮像される他の適切な場所ではエンドエフェクタから外される、１つまたは複数のカメラまたは光学検出器および／または照射ユニットを含む、他の適切な光学および／または無線周波数読み取り器を利用して行われる。一体型の視覚システムまたは他の適切な光学および／または無線周波数読み取り器は、ワークピース操作動作の実質的に継続した監視を提供し、自動化搬送および配置システム１００に接続される任意の適切な制御装置１９９の任意の適切なメモリ１９９Ｍに保管される任意の適切な画像分析アルゴリズムを通して、各動作の閉ループ制御を許可する。一態様において、制御装置１９９は、自動化搬送および配置システム１００から遠隔に位置付けられるが、別の態様において制御装置は、自動化搬送および配置システムに一体化される。制御装置１９９は、本明細書に記載される方法で自動化搬送および配置システムを制御するように適切に構成されることに留意する。一態様において、制御装置１９９は、検査室または本明細書に記載するような他の設備内の試料サンプルの場所を追跡するために、検査室情報管理システムＬＩＭＳに任意の適切な方法で接続されるか、または一体化される。視覚システムは、ワークピースの操作動作中にワークピースの位置合わせをもたらすために、ワークピースの基準（またはグリッドの他の適切な特徴部）の検出を提供する。別の態様において、視覚システムは、ワークピースの識別、追跡、および／または、エンドエフェクタの制御された従動動作をもたらすために提供される。
【００１８】
一態様において、ワークピースまたはグリッド４００は、カセット１０２などのバッチホルダに保持され、カセット１０２は、以下に記載されるように自動化搬送および配置システム１００内への挿入のために構成される１つまたは複数のマガジン１０５などのバッチホルダに保持される。マガジン１０５およびその中のカセット１０２は、カセット１０２（および１つまたは複数のワークピース／試料、例えば、中に位置付けられるワークピース／試料のバッチ）の自動の装着および取り外しを提供するために構成される。例えば、マガジン１０５およびカセット１０２は、自動化搬送および配置システム１００内および自動化搬送および配置システム１００外部の自動化操作システムにより、マガジン１０５およびカセット１０２の実質的に直接的な操作（例えば、１つの単位として、または個別）を可能にする運動学的機構を含む。一態様において、マガジン１０５およびカセット１０２は、真空環境での使用のために構成されるが、別の態様においてマガジン１０５およびカセット１０２は、非真空環境での使用のために構成される。一態様において、カセット１０２およびマガジン１０５は、超低温環境または任意の適切な温度を有する他の任意の適切な環境での使用のために構成される。
【００１９】
依然として図１Ａを参照し、さらに図１Ｂ〜１Ｄを参照すると、自動化搬送および配置システム１００は、フレーム１４０Ｆと、フレーム１４０Ｆに接続される搬送および配置ユニット１４０と、搬送および配置ユニット１４０に連通可能に連結される空気圧モジュール１３０（フレームに接続され得る）と、搬送および配置ユニット１４０に連通可能に連結される真空モジュール１７２（フレームに接続され得る）とを含む。一態様において、空気圧モジュール１３０は、例えば、搬送および配置ユニット１４０のバルブおよびクロージャ、および／または、本明細書に記載される真空モジュール１７２を動作させるために、空気源１３０Ｓと、任意の適切なバルブＶ１Ｇ、Ｖ２Ｇ、Ｖ３Ｔ、Ｖ４Ｒ、Ｖ５Ｒ、Ｖ６とを含む。真空モジュール１７２は、例えば、ＴＥＭまたは他の適切な処理モジュールＰＭと連動するために、任意の適切な真空圧で搬送および配置ユニット１４０の内部チャンバをポンプし、維持する、任意の適切な真空ポンプＰ１Ｒ、Ｐ２Ｔ、Ｐ３ＩおよびゲージＧ１Ｒ、Ｇ２Ｈ、Ｇ３Ｈ、Ｇ４Ｈを含む。一態様において、真空モジュール１７２は、例えば真空ポンプを、互いから、および／または搬送および配置ユニット１４０のチャンバから選択的に隔離するために、任意の適切なバルブＶ３Ｔ、Ｖ４Ｒ、Ｖ５Ｒ、Ｖ６、Ｖ７Ｔ、Ｖ８Ｖ、Ｖ９Ｖを含む。
【００２０】
一態様においてフレーム１４０Ｆは、搬送および配置ユニット１４０の少なくとも一部を形成するか、または少なくとも一部と一体である（例えば、一体ユニットの構成）。別の態様において、搬送および配置ユニット１４０は、任意の適切な方法でフレーム１４０Ｆに接続される。一態様において搬送および配置ユニット１４０は、密閉可能なチャンバ１２０Ｃを有する自動化装着および搬送セクションまたはロードロック１２０と、密閉可能な搬送チャンバ１２５Ｃを有する搬送モジュールまたはセクション１２５とを含む。チャンバ１２０Ｃは、閉鎖可能な開口またはポート１２０Ｐを通してチャンバ１２５Ｃに選択的に連通可能に接続される。一態様において、搬送および配置ユニット１４０は、チャンバ１２０Ｃの雰囲気を、チャンバ１２５Ｃの雰囲気から密閉あるいは隔離するためにポート１２０Ｐを選択的に密閉するように構成される任意の適切なゲートバルブＶ２Ｇを含む。ロードロック１２０は、ロードロック１２０の装着開口を密閉するように構成される任意の適切なドア１２０Ｄを含む。図面においては、単一のドア１２０Ｄが、チャンバ１２０Ｃの側面に位置付けられるものとして図示されているが、別の態様において、単一のドア１２０Ｄはチャンバ１２５Ｃの上面に位置付けられ（図１Ｄを参照、例えば、チャンバにおけるマガジン１０５の頭上での装着のために、ドアの自動化された開閉を可能にするため）、さらに別の態様においては、２つ以上のドア（例えば、上面および側面上、図１Ｈを参照）がチャンバ１２５へのアクセスを提供することが理解されるべきである。一態様においてドアは、ロードロック１２０にヒンジ接続されているが、別の態様においてドアは、チャンバ１２０Ｃへのアクセスを可能にするために、ロードロック１２０Ｄから取り外し可能である。一態様においてドア１２０Ｄは、手動の閉鎖部を有し、別の態様においてドア１２０Ｄは、自動化された閉鎖部を有する。別の態様においてチャンバ１２０Ｃは、チャンバ１２５Ｃ内の雰囲気が、例えば、カセットがチャンバ１２５Ｃに導入されるときおよびチャンバ１２５Ｃから除去されるときに、処理雰囲気と大気圧との間で循環されるように、ドアを含んでいない場合もある。装着開口は、１つまたは２つ以上のワークピースの、チャンバ１２０Ｃへの進入、およびチャンバ１２０Ｃからの退出を可能にするように構成される。一態様において、以下にさらに記載されるように、ワークピースは、カセット１０２、すなわちマガジン１０５により保持されるＴＥＭグリッドである。一態様においてロードロックは、ポジショナーユニット１２０ＭＳＰを含む自動化搬送シャトル１２０ＭＳを含む。ポジショナーユニット１２０ＭＳＰは、チャンバ１２０Ｃ内での搬送シャトル１２０ＭＳの動作を可能にするために任意の適切なモータおよび／またはガイドを含み、真空また大気圧環境の１つまたは複数での動作のために構成される。ポジショナーユニット１２０ＭＳＰは、少なくともＹ軸に沿って搬送シャトル１２０ＭＳを移動させるために、任意の適切な駆動部またはモータＡ１Ｌを含む。一態様においてモータＡ１Ｌは、約５μｍという配置分解能で搬送シャトル１２０ＭＳを配置するために、ねじ駆動部を駆動す���ＤＣステッパモータである。別の態様においてモータは、ピエゾモータ、ブラシレスモータまたはブラシモータなど、任意の適切な配置分解能を有する任意の適切なモータである。搬送シャトル１２０ＭＳは、１つまたは複数のマガジン１０５を保持し、マガジンをＸおよびＹ方向の１つまたは複数に搬送するか、あるいは移動させる（例えば、ポジショナーユニット１２０ＭＳＰを介して）ように構成されるので、所定のカセット１０２は、以下に記載されるようにチャンバ１２５Ｃ内への搬送のためにポート１２０Ｐと位置合わせされる。搬送シャトル１２０ＭＳは、マガジン１０５を搬送シャトル１２０ＭＳに対して配置するために、マガジン１０５の対応する運動学的機構（後述）と嵌合する任意の適切な運動学的機構を含む。理解され得るように、一態様において、運動学的機構は、マガジン１０５が１つの所定の向きでのみ搬送シャトル１２０ＭＳ上に配置され得るようにも構成される。別の態様において、搬送シャトル１２０ＭＳは、任意の適切な向きの数および任意の適切な方法でマガジン１０５を搬送シャトル１２０ＭＳ上に配置するために、任意の適切な機構を含む。一態様において、マガジン１０５およびロードロック１２０は、手動のオペレータによる、ロードロック１２０へのマガジン１０５の挿入およびロードロック１２０からのマガジン１０５の除去のために構成されるが、別の態様において、マガジン１０５およびロードロック１２０は、自動の、ロードロック１２０へのマガジン１０５の挿入およびロードロック１２０からのマガジン１０５の除去のために構成される。
【００２１】
一態様において、搬送モジュール１２５は、処理モジュールＰＭのインターフェースまたはポート１８０Ｐなどの、対応するインターフェースへ、および対応するインターフェースから、搬送および配置ユニット１４０を連結および非連結するように構成される処理モジュールインターフェース１２５Ｉを含むので、装着ユニットは、１つの単位として、処理モジュールＰＭへ導入でき、または処理モジュールＰＭから除去できる。処理モジュールインターフェース１２５Ｉは、チャンバ１２５Ｃを処理モジュールＰＭの内部と連通可能に接続する、閉鎖可能な開口またはポート１２５Ｐを含む。搬送および配置ユニット１４０は、処理モジュールＰＭの内部雰囲気からチャンバ１２５Ｃの雰囲気を密閉あるいは隔離するために、ポート１２５Ｐを選択的に密閉するように構成される任意の適切なゲートバルブＶ１Ｇを含む。
【００２２】
一態様において、搬送モジュール１２５は、チャンバ１２５Ｃに連通可能に接続されるカセットシャトルチャンバ１２６Ｃを含む。カセットシャトルチャンバ１２６Ｃは、ワークピースシャトルポジショナー１２６Ｐによって任意の適切な軸に沿って駆動されるワークピースまたはカセットシャトル１２６を含む。ワークピースシャトルポジショナー１２６Ｐは、少なくともＺ軸に沿ったカセットシャトルグリッパ１２６Ｇの動作を可能にするために、任意の適切な駆動部またはモータＡ２Ｌおよび／またはガイドを含む。一態様において、モータＡ２Ｌは、配置分解能が約１μｍ未満の超音波ピエゾモータであるが、別の態様において、モータＡ２Ｌは、ステッパモータ、ブラシレスモータ、ブラシモータなど、任意の適切な配置分解能を有する任意の適切なモータである。カセットシャトルグリッパ１２６Ｇは、任意の適切な駆動部Ａ９Ｒにより（例えば、２状態アクチュエータまたは開放／閉鎖アクチュエータなどにより）任意の適切な方法で開閉される。一態様において、ワークピースシャトル１２６は、チャンバ１２０Ｃに位置付けられるマガジン１０５からカセット１０２を取り出し／除去し、マガジン１０５にカセット１０２を配置／挿入するために、ワークピースシャトル１２６に取り付けられるカセットグリッパ１２６Ｇをある位置（例えば、ポート１２０Ｐを通る）に移動させる（ワークピースシャトルポジショナー１２６Ｐを介して）ように構成される線形ステージである。ワークピースシャトル１２６は、ワークピース配置ユニット１０４のエンドエフェクタ１０１が、カセット１０２から、および／または、カセット１０２へ、ワークピースを除去および／または、挿入できるように、少なくともＺ軸に沿って、所定の取り出し／設置位置またはワークピース保持ステーション１７６へ、カセットグリッパ１２６Ｇにより保持されるカセット１０２を移動させるようにも構成される。一態様において、ワークピースシャトル１２６は、ワークピース配置ユニット１０４が、カセット１０２をマガジン１０５に戻すことなく処理するためにワークピースを処理モジュールＰＭに搬送するため、少なくともＹ軸に沿って移動できるように、カセットグリッパ１２６Ｇにより保持されるカセット１０２を、所定の緩衝位置（以下に記載する）に移動させるようにも構成される。
【００２３】
一態様において、ワークピースのプリアライナステージ１０３は、処理モジュールＰＭでのワークピースの処理の前後にワークピースを位置合わせするために、カセットシャトル１２６に取り付けられる（例えば、プリアライナステージおよびカセットシャトル１２６は、単一の部材として少なくともＺ軸に沿って移動する）。別の態様において、プリアライナステージ１０３は、カセットシャトル１２６から独立してフレーム１４０Ｆに取り付けられるので、プリアライナステージは、Ｚ軸に沿って静止しているか、またはＺ軸に沿ってカセットシャトル１２６からは独立して可動である。プリアライナステージ１０３は、Ｚ軸周りでのワークピースの回転をもたらすように構成される任意の適切な駆動部Ａ８Ｒを含む。一態様において、駆動部Ａ８Ｒは、ブラシレスＤＣモータ、８００：１ギヤボックス（または任意の適切な駆動比率を有する他の任意の適切なギヤボックス）および約０．０３度の分解能を提供するエンコーダを含む。別の態様において、駆動部Ａ８Ｒは、任意の適切なギヤボックスと、任意の適切な分解能度を提供するエンコーダとを有する任意の適切なモータである。動作においては、後述のように、ワークピース配置ユニット１０４は、カセット１０２からワークピース４００を取り出し（例示のみを目的として、図１Ａおよび４Ａを参照）、ワークピースの配向のために、ワークピースをプリアライナステージ１０３の回転チャックへ搬送する。
【００２４】
理解され得るように、例えば、図１Ｂおよび１Ｃに図示される、開示される実施形態の態様は、ワークピース４００を処理モジュールＰＭのカラム内へ自動的に搬送するため、および、例えば、電子光線の前にワークピース４００を配置してワークピース４００に取り付けられる試料サンプルの画像を取得するため、従来のＴＥＭ、ＳＥＭ、ＤＢ−ＦＩＢ、ＳＴＥＭや他の適切な電子光線走査／撮像装置などの処理モジュールに接続されているか、あるいは連結されている自動化搬送および配置システム１００を用いて示されている。別の態様においては、処理モジュールＰＭおよび自動化搬送および配置システム１００を含む専用の処理システム１００Ａが提供される。専用の処理システム１００Ａは、自動化された電子光線顕微鏡／処理モジュールＰＭにより、自動化搬送および配置システム１００の自動化された搬送および配置機能（本明細書に記載）の統合を改良する。一態様において、専用の処理システム１００Ａは、必要な顕微鏡部品（例えば、後述の補助システムＡＵＸおよび電源など）、電子光学素子、カメラ／撮像装置および任意の適切な分析ソフトウェア（例えば、試料の処理を追跡および分析するためなど）のみを含む。一態様において、専用のシステムは、電子光線顕微鏡／処理モジュールおよび自動化搬送および配置システムの機能が共通のシステム内に統合された、自動化された低コストの撮像／分析システムを提供するために、例えば、従来の電子光線顕微鏡／処理モジュールに含まれる１つまたは複数の手動で動作される特徴を失っている。
【００２５】
次に図１Ｅ〜１Ｈを参照すると、専用の処理システム１００Ａは、処理モジュールＰＭ、自動化搬送および配置システム（ＡＴＰＳ）１００、電子光線補助システムＡＵＸ、ＡＴＰＳ補助システムＡＵＸ２、振動制御プラットフォームＶＢＣ、および電子光線高電圧電源ＨＶを含む。処理モジュールＰＭは、一態様においてはＴＥＭとして構成されるが、別の態様において処理モジュールは、ＳＥＭ、ＤＢ−ＦＩＢ、ＳＴＥＭまたは他の任意の適切な電子光線顕微鏡／走査／撮像装置として構成される。例示のみを目的として、処理モジュールＰＭは、処理モジュールフレームＰＭＦに接続されるカラムまたはハウジングＰＭＣを含み、その一部が対物レンズチャンバ８ＣＨを画定する。一態様において、自動化搬送および配置システム１００の搬送および配置ユニット１４０は、例えば、電子顕微鏡システムの対物レンズチャンバ８ＣＨと一体のケーシング１４０Ｆを有し、一体型のケーシングは、対物レンズチャンバ８ＣＨと共通の雰囲気を有する搬送チャンバ１２５Ｃを形成する。カラムＰＭＣは一般に、光学軸ＯＡに沿って配置される任意の適切な電子源１（例えば、電圧源ＨＶを有する）、引出電極２、第１の電極３および少なくとも第２の電極４などの、電子光学素子を含む。引出電極２は、電子源１の下流に位置付けられ、電子源１から電子を引き出すように構成される。第１の電極３は、電源位置に焦点を合わせるように構成され、少なくとも１つの第２の電極４は、電子源１からくる電子を加速するために設けられる（理解され得るように、少なくとも１つの第２の電極４は、電子光線ＥＢの調整可能なエネルギーを可能にする）。
【００２６】
光学軸ＯＡの残りの長さには、多段コンデンサＣＯＮＤが設けられ、これは３つの磁気レンズ（例えば、第１の磁気レンズ５、第２の磁気レンズ６および第３の磁気レンズ７）を含み、これらに対して対物絞り１０を備える磁気レンズの形態の対物レンズ８が配置される。上述のように、対物レンズ８および対物絞り１０は、対物レンズチャンバ８ＣＨを形成するカラムＰＭＣの部分に配置される。理解され得るように、対物レンズチャンバ８ＣＨは、本明細書においては専用の処理システム１００Ａに関して記載されているが、ＴＥＭ、ＳＥＭ、ＤＢ−ＦＩＢおよびＳＴＥＭなどの他の適切な電子顕微鏡システムも、対物レンズが位置付けられ試料が撮像のために配置される電子顕微鏡カラムの領域によって画定される対物レンズチャンバを含むことが理解されるべきである。調べられる試料サンプルが位置付けられる（本明細書に記載するように）対象面９は、対物レンズ８上に設けられるか、対物レンズ８に隣接して設けられる。補正装置１６は、対物レンズ８の下流に設けられ、例えば対物レンズ８の球面収差を補正するように構成される。一態様において補正装置１６は、対物レンズ８の後側焦点面を撮像し、対象面９の実中間像１４を生成するように構成される第１のトランスファーレンズ１１（一態様においては磁気レンズ）を含む。第１の補正システム１２（一態様においては多極子）は、第１のトランスファーレンズ１１により生成される中間像１４の面に設けられる。第２の補正システム１３（一態様においては多極子）および第２のトランスファーレンズ１３は、第１の補正システム１２の下流で接続される。第２のトランスファーレンズ１５は、レンズを含むプロジェクタシステム１８、１９の入力画像面１７で、対象面９の中間像１４を撮像する。プロジェクタシステム１８、１９は対象面９に置かれ、プロジェクタシステム１８、１９の入力画像面１７で撮像されるサンプルの画像を（例えば、撮像システムＰＩＳの）検出器２０上に生成する。ここでも、上述の処理モジュールＰＭの構成が例示のみを目的としており、別の態様において処理モジュールは、ＴＥＭ、ＳＥＭ、ＤＢ−ＦＩＢまたは他の任意の適切な電子光線走査／撮像装置を形成する任意の適切な構成要素を含むことに留意する。
【００２７】
カラムＰＭＣは、一態様においては、１つまたは複数のインターフェースポート１８０Ｐを含む。一態様において、１つまたは複数のインターフェースポート１８０Ｐは、撮像／分析のために任意の適切な方法でカラムＰＭＣ内に試料サンプルを挿入するための、モータ付きの絞りを含む。
【００２８】
自動化搬送および配置システム１００は、本明細書に記載されるように、処理モジュールフレームに連結されるか、処理モジュールフレームと一体形成されるフレーム１４０Ｆを含むので、ワークピース配置ユニット１０４は、例えば対象面９の対物レンズチャンバ８ＣＨ内、および電子光線ＥＢ（図１Ｇに図示）内にワークピース４００を配置するために、カラムに対して位置付けられ、ワークピース４００は、本明細書に記載されるように、トモグラフィー検査または他の任意の適切な撮像工程などのための試料の撮像中、ワークピース配置ユニット４００のエンドエフェクタ１０１上に保持される。一態様において、ワークピース配置ユニットは、カラムＰＭＣのポート１８０Ｐを通って延伸する。一態様において、自動化搬送および配置システム１００は、例えば、本明細書に記載するような真空モジュール１７２、空気圧モジュール１３０および制御装置１９９を含む補助システムＡＵＸ２を含む。一態様において、処理モジュールＰＭおよび自動化搬送および配置システム１００は、任意の適切な振動制御プラットフォームＶＢＣ上に取り付けられるか、あるいは支持される。一態様において、振動制御プラットフォームＶＢＣは、システム１００Ａ内に生じるあらゆる振動を取り消すように構成される任意の適切なアクチュエータを含むアクティブな振動制御プラットフォームであるが、別の態様において振動制御プラットフォームＶＢＣは、任意の適切な方法でシステム１００Ａ内の振動を取り消すように構成されるパッシブな振動制御プラットフォームである。
【００２９】
システム１００Ａは、一態様においては、処理モジュールＰＭ用の補助システムＡＵＸおよび電源ＨＶも含む。一態様において、補助システムＡＵＸは、処理モジュール用の真空システム、冷却システムおよび制御システム（一態様においては制御部１９９と接続されるか、または一体化される）を含む。電源ＨＶは、例えば高圧電源など、任意の適切な電源である。理解され得るように、本明細書に記載される専用の処理システム１００Ａの構成は例示的で例示のみを目的としており、別の態様において専用の処理システム１００Ａは、本明細書に記載されるようなサンプルを撮像および追跡するために、任意の適切な構成を有する。
【００３０】
また図２Ａ、２Ｂおよび２Ｇを参照すると、搬送モジュール１２５は、カセット１０２からワークピースを取り出し／設置し、ワークピースを処理モジュールＰＭに搬送し、処理モジュールＰＭ内での処理の間ワークピースを支持するように構成される。ワークピース配置ユニット１０４は、少なくともＸ、Ｙ軸に沿って、およびピッチ軸ＰＸ周りで、エンドエフェクタ１０１を移動させるように構成される複数の移動自由度を有する第１のシャトルステージ１０４Ｓ１（全体の配置ステージ）を含む。またワークピース配置ユニット１０４は、第１のステージによって運ばれるが分離しており、第１のステージとはその動作において異なる第２のシャトルステージ１０４Ｓ２（細かい配置ステージ）を含む。第２のシャトルステージ１０４Ｓ２は、少なくともＹ軸に沿って、および傾動軸ＴＸ（例えば、第１の傾動軸）周りでエンドエフェクタ１０１を移動させるように構成される、第１のシャトルステージ１０４Ｓ１からは独立した、複数の移動自由度を含む。第１および第２のシャトルステージ１０４Ｓ１、１０４Ｓ２の複合動作は、ワークピースを処理位置１７７に設置するために、処理モジュールＰＭの外側のワークピース保持ステーション（例えば、上述のような、カセット１０２の所定の取り出し／設置位置１７６）から、処理モジュールＰＭ内の処理位置１７７まで延びる動作範囲をエンドエフェクタ１０１にもたらすので、エンドエフェクタ１０１は、処理モジュールＰＭの処理ステージを定める。
【００３１】
第１のシャトルステージ１０４Ｓ１は、Ｙ軸駆動部またはモータＡ３Ｌ、Ｘ軸駆動部またはモータＡ４Ｌおよびピッチ軸ＰＸ駆動部またはモータＡ５Ｌを含む。第１のシャトルステージ１０４Ｓ１は、フレーム１４０Ｆに取り付けられているものとして記載および図示されているが、別の態様において第１のシャトルステージ１０４Ｓ１は、処理モジュールＰＭの対応する機構と嵌合する、分離した異なる機械的ドッキングまたはロッキングインターフェースにより構成される。一態様において、駆動部Ａ３Ｌ、Ａ４Ｌ、Ａ５Ｌのそれぞれ（ならびに本明細書に記載される他の駆動部）はそれぞれ、例えば、光学エンコーダ、レーザ干渉エンコーダ、容量または誘導エンコーダ、または他の任意の適切なエンコーダまたはそれらの組み合わせなど、任意の適切なエンコーダ２４８、２４６、２４７を含むことに留意する。一態様において、本明細書に記載されるエンコーダは、ピコメーターの位置分解能を有するが、別の態様においてエンコーダは、エンコーダが位置データを提供する軸のそれぞれの駆動モータの配置分解能に相応し得る任意の適切な位置分解能を有する。さらに別の態様において、本明細書に記載されるエンコーダは、それぞれの駆動モータの位置分解能よりも大きいか、または小さい配置分解能を有する。別の態様において本明細書に記載される駆動部は、駆動部の、任意の適切な一体型の位置検知能力を用いる。一態様においては、真空環境における駆動部の動作を可能にするために、駆動部Ａ３Ｌ、Ａ４ＬおよびＡ５Ｌの任意の適切な部分は、モータなどの部品を隔離するためにチャンバ１２５Ｃの雰囲気から密閉されることに留意する。別の態様において、駆動部Ａ３Ｌ、Ａ４ＬおよびＡ５Ｌは、任意の適切な方法で真空環境において動作するように構成されるが、さらに別の態様において、駆動部は、大気環境において動作するように構成される。Ｙ軸（または長手方向の）駆動部Ａ３Ｌは、Ｙ軸に沿ってエンドエフェクタ１０１を移動させるために、任意の適切なモータと、任意の適切な機械的および／または固体状の電磁（および／または永久磁石）ガイド２９０を有する線形ステージとを含む。一態様において、モータは、配置分解能が１μｍ未満の超音波ピエゾモータであるが、別の態様において、モータは、ステッパモータ、ブラシレスモータ、ブラシモータなど、任意の適切な配置分解能を有する任意の適切なモータである。駆動部Ａ３Ｌは、カセット１０２からワークピースを取り出すため、およびカセット１０２にワークピースを配置するため、ならびにＹ軸に沿ってワークピースを任意の適切な所望の距離だけ搬送するために、カセット１０２（例えば、カセットシャトル１２６のカセットグリッパ１２６Ｇにより保持される）に向かっておよびそこから離してエンドエフェクタを移動させるように構成される。また駆動部Ａ３Ｌは、エンドエフェクタ１０１により保持されるワークピースの処理のために、処理モジュールＰＭ内にエンドエフェクタ１０１を移動させるように構成される。
【００３２】
Ｘ軸（または横方向の）駆動部Ａ４Ｌは、Ｘ軸に沿ってエンドエフェクタ１０１を移動させるために、任意の適切なモータと、任意の適切な機械的および／または固体状の電磁（および／または永久磁石）ガイド２９０を有する線形ステージとを含む。一態様においてモータは、ピコメーター範囲の配置分解能を備えるステッピングピエゾモータであるが、別の態様においてモータは、ステッパモータ、ブラシレスモータ、ブラシモータなど、任意の適切な配置分解能を有する任意の適切なモータである。駆動部Ａ４ＬおよびＡ５Ｌは積み重ねられている（例えば、一方の駆動部は他方の駆動部に取り付けられる）ものとして図示されているが、別の態様において第１のシャトルステージ１０４Ｓ１のＸおよびＹ駆動部は、ＸおよびＹ軸の１つまたは複数に沿う動作が可能な磁性的に牽引されるプラテンなど、任意の適切な構成を有する複合された２次元駆動部である。駆動部Ａ４Ｌは、チャンバ１２５ＣにおいてＸ軸に沿ってエンドエフェクタを横方向に移動させるように構成されるので、カセット１０２（例えば、カセットシャトル１２６のカセットグリッパ１２６Ｇにより保持される）内の全てのカラム、ならびにプリアライナステージ１０３は、ワークピースの取り出しおよび配置動作のためにエンドエフェクタ１０１によりアクセスされる。一態様において、駆動部Ａ４Ｌは、ワークピースの処理中にワークピースのＸ方向への動作ももたらすために、処理モジュールＰＭ内のエンドエフェクタ（およびその上に位置付けられるワークピース）をＸ方向に移動させるようにも構成される。
【００３３】
ピッチ軸ＰＸ駆動部Ａ５Ｌは、ピッチ軸ＰＸ周りで第２のシャトルステージ１０４Ｓ２を枢動させるために、任意の適切なモータを含む。例えば、第２のシャトルステージ１０４Ｓ２は、第２のシャトルステージがピッチ軸ＰＸ周りで回転可能または枢動可能であるように、第１のシャトルステージ１０４Ｓ１に任意の適切な方法で枢動可能に取り付けられ得る。駆動部Ａ５Ｌは、第１のシャトルステージ１０４Ｓ１および第２のシャトルステージの任意の適切な部分（例えば、第２のシャトルステージのハウジング１０４Ｈ）の両方に、任意の適切な方法で連結され、これにより駆動部Ａ５Ｌは、ピッチ軸ＰＸ周りで第２のシャトルステージ１０４Ｓ２を枢動できる。一態様において、第１のシャトルステージ１０４Ｓ１に取り付けられるなど、任意の適切な場所に任意の適切なダンパーＰＸＤが設けられ、これはハウジング１０４Ｈに対して、横方向の支持および緩衝を与えるように構成される。一態様において、ダンパーＰＸＤは、柱２６８と、ハウジング１０４Ｈ（およびエンドエフェクタ１０１）の横方向の移動に係合し、抑制するように構成される任意の適切な弾性素子２６９とを含む。ピッチ軸周りでの第２のシャトルステージ１０４Ｓ２の枢動による移動は、エンドエフェクタ１０１の、矢印２５０の方向への移動を引き起こす。ピッチ軸ＰＸ周りでの、エンドエフェクタ１０１の矢印２５０の方向への移動は、Ｚ軸に沿ってワークピースを移動させるのに役立ち、例えば所定の処理位置（例えば、ＴＥＭ光線のユーセントリックな位置）でのワークピースの配置に用いられる移動を概算する。一態様において、駆動部Ａ５Ｌは、カセット１０２および／またはプリアライナステージ１０３からのワークピースの取り出し、およびカセット１０２および／またはプリアライナステージ１０３へのワークピースの配置中の、小さな（例えば、±約３ｍｍ）Ｚ軸動作のためにも利用される。一態様において、駆動部Ａ５Ｌは、ピコメーターの配置分解能を備えるステッピングピエゾモータであるが、別の態様においてモータは、ステッパモータ、ブラシレスモータ、ブラシモータなど、任意の適切な配置分解能を有する任意の適切なモータである。別の態様において、ワークピース配置ユニット１０４は、Ｚ軸に沿って第１または第２のシャトルステージ１０４Ｓ１、１０４Ｓ２の１つまたは２つ以上（またはワークピース配置ユニット１０４の他の任意の適切な部分）を移動させるように構成されるＺ軸駆動部を設けられるので、ワークピース配置ユニット１０４は、例えば、９移動自由度を有する。
【００３４】
第２のシャトルステージ１０４Ｓ２は、ハウジング１０４Ｈを有するアセンブリを含む。一態様においてハウジング１０４Ｈは、例えば駆動モータ（および他の任意の適切な構成要素）の動作環境をチャンバ１２５Ｃ内の環境（例えば、真空環境）から隔離するために、密閉されたハウジングである。図面に示されるハウジング１０４Ｈの形状は、単に例示的であり、別の態様においてハウジングは、任意の適切な形状を有する。ハウジング１０４Ｈは、エンドエフェクタの振動を抑制し、整定時間を減少させる質量および剛性をもたらすように構成される。一態様において、ハウジング１０４Ｈは、Ｙ軸に沿ってエンドエフェクタを移動させるように構成されるＹ軸駆動部Ａ６Ｌ（例えば、「速軸」）、および傾動軸ＴＸ周りでエンドエフェクタを回転させるように構成される傾動軸駆動部Ａ７Ｒを収容する。別の態様において、Ｙ軸駆動部Ａ６Ｌは、Ｙ軸に沿ったエンドエフェクタの移動が駆動部Ａ３Ｌによりもたらされるように省かれてもよい。Ｙ軸（または長手方向の）駆動部位Ａ６Ｌは、Ｙ軸に沿ってエンドエフェクタ１０１を移動させるために、任意の適切なモータと、任意の適切な機械的および／または固体状の電磁（および／または永久磁石）ガイドを有する線形ステージとを含む。一態様においてモータは、ピコメーターの配置分解能を備えるステッピングピエゾモータであるが、別の態様においてモータは、ステッパモータ、ブラシレスモータ、ブラシモータなど、任意の適切な配置分解能を有する任意の適切なモータである。駆動部Ａ６Ｌは、駆動部Ａ３Ｌが処理モジュールＰＭ内にエンドエフェクタを配置（例えば、全体の配置）した後の、処理モジュール内のＹ軸に沿ったエンドエフェクタ（およびその上に保持されるワークピース）の精密性（例えば、細かな配置）および高速な移動をもたらすように構成される。処理モジュールＰＭ内にワークピースを配置することにより、ＴＥＭ撮像中などに、画像の「列」（例えば、Ｙ軸に沿う異なる地点で取得されたワークピースの一連の画像）を取得するために、ワークピースを渡るときに、最大のスループットを提供する。この態様において、８〜２４ミクロンの微小な移動は、駆動部Ａ６Ｌによって１００ｍｓ未満に完了され、「完了」とは、ワークピースの動作が約２５〜約３５ｍｓで約４ｎｍ未満に整定されることとして規定される。本明細書に開示される実施形態の態様は、２画像／秒よりも速い撮像速度を有する高スループットの走査をもたらす。
【００３５】
傾動軸駆動部Ａ７Ｒは、エンドエフェクタ１０１に複数の移動自由度を与えるために、任意の適切な方法で駆動部Ａ６Ｌに連結される。一態様において傾動軸駆動部Ａ７Ｒは、線形軸受け２６５などの任意の適切な軸受けに取り付けられ、これはエンドエフェクタが駆動部Ａ６Ｌにより配置されると、駆動部Ａ７Ｒがエンドエフェクタ１０１と共にＹ軸に沿って移動させる。一態様において、接続部材２６０（後述）の軸方向の遊びを実質的に排除するために、任意の適切な予荷重されたスラスト軸受けアセンブリ２６７が設けられる。別の態様において、予荷重されたスラスト軸受けは省かれる。理解され得るように、Ａ６Ｌ駆動部の位置フィードバックを提供するために、任意の適切な線形エンコーダ２４５が、Ａ７Ｒ駆動部に取り付けられるか、Ａ７Ｒ駆動部と一体形成される。別の態様において、線形エンコーダ２４５（および／または駆動部Ａ７Ｒ用の回転エンコーダ）は、１つまたは複数のスケールがエンドエフェクタと駆動部Ａ７Ｒとの間の任意の地点で接続部材上に置かれるように、接続部材２６０に組み込まれる。理解され得るように、エンコーダ２４５は、アブソリュートおよび／またはインクリメンタルエンコーダスケールを含む。一態様において、アブソリュートエンコーダは、軸受け３１０と駆動部Ａ７Ｒとの間で接続部材２６０上に配置される一方で、インクリメンタルエンコーダは、軸受け３１０とエンドエフェクタとの間に配置される。さらに別の態様においては、アブソリュートエンコーダおよびインクリメンタルエンコーダの両方が、軸受け３１０とエンドエフェクタとの間、または軸受け３１０と駆動部Ａ７Ｒとの間に配置される。さらに別の態様においては、アブソリュートエンコーダおよびインクリメンタルエンコーダ（またはその一部）の一方が駆動部Ａ７Ｒのハウジング上にあり、他方が接続部材２６０上に配置される。一態様において線形エンコーダ２４５は、例えば、光学エンコーダ、レーザ干渉エンコーダ、容量または誘導エンコーダ、または他の任意の適切なエンコーダである（一態様において、駆動部Ａ１Ｌ、Ａ２Ｌ、Ａ３Ｌ、Ａ４Ｌ、Ａ５Ｌ、Ａ６Ｌ、Ａ７Ｒ、Ａ８Ｒはそれぞれ、エンコーダ２４５と実質的に同様のエンコーダを含むことに留意する）。別の態様において、Ｙ軸駆動部Ａ６Ｌは、傾動軸駆動部Ａ７Ｒに取り付けられ、エンドエフェクタが駆動部Ａ７Ｒにより駆動されると駆動部Ａ６Ｌがエンドエフェクタ１０１と回転することを可能にするために、任意の適切な軸受けに取り付けられる。上述のように、傾動軸駆動部Ａ７Ｒは、ワークピースの操作中、任意の適切な時点でエンドエフェクタ１０１およびその上に保持されるワークピースを傾動軸ＴＸ周りに回転させるように構成される。例えば、駆動部Ａ７Ｒは、例えばＴＥＭ光線のユーセントリックな地点を位置付けるため、およびワークピースの画像が異なる角度のそれぞれで取得されるようにワークピースが異なる角度に傾斜されるトモグラフィー用途のために、ワークピースが処理モジュールＰＭ内にある間、エンドエフェクタ１０１およびその上に保持されるワークピースを回転させる。一態様において、Ａ７Ｒ駆動部は、傾動軸ＴＸに沿った位置フィードバックを提供するために、任意の適切なエンコーダ（上述のものなど）も含むことに留意する。駆動部Ａ６Ｌは、ピエゾモータ、ステッパモータ、ブラシレスモータ、ブラシモータなどの、任意の適切なモータを含む。
【００３６】
エンドエフェクタ１０１は、図３Ａ〜３Ｄに関して後述されるように、１つまたは複数の適切な軸受け（軸受け３９０を参照）および／または１つまたは複数のダンパー（ダンパー３２０、３２１を参照）などを用いて、任意の適切な方法でハウジング１０４Ｈ内に支持される接続部材または従動部材２６０によるなど、任意の適切な方法で駆動部Ａ６Ｌ、Ａ７Ｒの１つまたは複数に連結される。一態様において、接続部材は、所定の長さＹ１および質量を増大させて（例えば、接続部材と駆動部Ａ６Ｌとの間の駆動部Ａ７Ｒの配置を介して）構成され、ハウジング１０４Ｈは、接続部材２６０が本明細書に記載される時間内に整定するためのエンドエフェクタ１０１の移動を可能にしつつ１つまたは複数の軸受け３９０により支持される（例えば、実質的にダンパーなしに）ように、所定の剛性をもたらすように構成される。別の態様においては、エンドエフェクタ１０１単独の移動、または接続部材２６０の構成、ハウジング１０４Ｈおよび／または軸受け３９０の構成とエンドエフェクタ１０１との複合移動を整定するために、１つまたは複数のダンパー（図示せず）がハウジング１０４Ｈ内に配置される。
【００３７】
次に図２Ｃ〜２Ｆを参照すると、エンドエフェクタ１０１は、任意の適切な構成を有する本体２００を含む。一態様において本体２００は、取り付け部分２３０と取り付け部分２３０から延伸するワークピースインターフェース部分２３１とを有する一体（例えば、一片単位）の部材である。取り付け部分２３０は、本体の凹部２００Ｒ内への接続部材２６０の挿入および任意の適切な化学的または機械的締結具（これは開口２００Ａを通過し得る）を用いた接続部材２６０への本体の固定などにより、任意の適切な方法で接続部材２６０に取り付けられるか、あるいは接続部材２６０と連動するように構成される。別の態様において、エンドエフェクタ１０１および接続部材２６０は、エンドエフェクタが任意の適切な運動学的位置合わせ機構との「スナップ形式の」インターフェースを有するように構成されるので、エンドエフェクタ１０１は、実質的にツールを用いずに接続部材２６０に導入され、および／または、接続部材２６０から取り外され（例えば、ツールなしでの導入）、これはエンドエフェクタの迅速な交換をもたらす。ワークピースインターフェース部分２３１は、ワークピース検出部材２８０とワークピースインターフェース部材２３２とを含む。本体２００は、スロット２５０の一方の側面において略平らな表面２５０ＦＳを有し、スロットの他方の側面において分岐表面を有するスロット２５０を含み、分岐表面は、以下にさらに記載される軸受け２１０を形成する。エンドエフェクタ１０１は、グリッパ屈曲部１０１ＧＦとグリッパワークピース支持表面１０１ＧＳとを有するグリッパ１０１Ｇを含む。一態様において、グリッパワークピース支持表面１０１ＧＳは、ワークピースインターフェース部材２３２と一体形成される。一態様において、グリッパワークピース支持表面１０１ＧＳは、グリッパワークピース支持表面１０１ＧＳに隣接して配置される１つまたは複数の一体型のワークピースバンパー２１１を含む。バンパー２１１は、例えば、ワークピースの側端と連動し、ワークピース支持表面１０１ＧＳとグリッパ屈曲部１０１ＧＦのグリッパトング１０１ＧＴに対してワークピースを配置する（例えば、ワークピースの側端とバンパー２１１との間の実質的な接触を通して）ために任意の適切な形状を有する。一態様においてワークピースインターフェース部材２３２は、ワークピースがグリッパ１０１Ｇにより把持されていないときにグリッパトング１０１ＧＴが係止するワークピース支持表面１０１ＧＳの片側に凹部も含むので、屈曲部の弛緩状態は、グリッパ１０１Ｇにより保持されるワークピースのポジティブなグリッパ係合をもたらすために、ワークピース支持表面１０１ＧＳの下に配置される。一態様において、グリッパ屈曲部１０１ＧＦは、基部１０１ＧＦＢ、基部１０１ＧＦＢの一方の面から離れるように延伸する１つまたは複数の屈曲部のツメ１０１ＧＦＴ、および屈曲部のツメ１０１ＧＦＴの延伸方向と略反対側の方向で基部１０１ＧＦＢの別の面から延伸する１つまたは複数のグリッパトング１０１ＧＴを含む。屈曲部のツメ１０１ＧＦＴは、グリッパ屈曲部１０１ＧＦを本体２００に固定するため、およびグリッパ屈曲部をスロット２５０の略平らな表面に向かって付勢するために、スロット２５０内に延伸するように構成される。１つまたは複数のグリッパトング１０１ＧＴは、ワークピース支持表面１０１ＧＳと並んで延伸するように構成される。ワークピースインターフェース部材２３２は、レバー部材またはスパー（spar）２０１が通って延伸する開口２３５を含む。レバー部材２０１は、レバー部材２０１が開口２０１を通って本体２００の外周面を越えて延伸するように、グリッパ屈曲部１０１ＧＦの基部１０１ＧＦＢに連結される。グリッパ屈曲部１０１ＧＦは、グリッパを開閉するために、スロットの略平らな表面２５０ＦＳと軸受け２１０との間で可動であることに留意する。
【００３８】
駆動部Ａ６Ｌおよび駆動部Ａ３Ｌは、以下に記載するようにエンドエフェクタ１０１のグリッパ１０１Ｇを作動させるために、Ｙ軸に沿った反対方向への同時動作のために構成される。駆動部Ａ６ＬおよびＡ３Ｌの反対方向への移動は、エンドエフェクタ１０１と第２のシャトルステージ１０４Ｓ２との間の相対的な移動を引き起こす（例えば、エンドエフェクタ１０１を所定の位置に維持したまま）ので、エンドエフェクタ１０１のレバー部材またはスパー２０１は、ハウジング１０４Ｈの一部に接触する。レバー部材２０１とハウジング１０４Ｈとの間の接触は、レバー部材２０１の移動をもたらすので、レバー部材２０１は、グリッパ撓み部１０１ＧＦが矢印２２０の方向でグリッパワークピース支持表面１０１ＧＳから離してグリッパトング１０１ＧＴを移動させるために撓み、ワークピースの取り出しまたは設置のためにグリッパを開放するように、レバー部材２０１が連結されるグリッパ撓み部１０１ＧＦを、エンドエフェクタ１０１の支持部２１０に係合させる。グリッパは、グリッパを閉鎖するかあるいはワークピースを把持するために、レバー部材２０１がハウジング１０４Ｈから離れるように移動させられ、グリッパ撓み部１０１ＧＦの付勢力がグリッパワークピース支持表面１０１ＧＳに向かう矢印２２０の方向におけるグリッパトング１０１ＧＴの移動を引き起こすように、実質的に反対の方法で閉鎖される。
【００３９】
ワークピース検出部材２８０は、ワークピースの操作前、操作後、および／または操作中に、ワークピースを検出あるいは撮像するために、ワークピースグリッパ１０１Ｇに隣接して本体２００に機械的に取り付けられる。ワークピース検出部材２８０と本体２００との間の機械的な取り付けは、静的な取り付け（例えば、ワークピース検出部材２８０は本体２００に対して固定される）またはワークピース検出部材２８０の、例えば本体２００またはハウジング１０４Ｈの任意の他の適切な部分内への後退をもたらす、動的な取り付け（例えば、ワークピース検出部材２８０と本体との間の、相対移動、自動化またはモータによる移動、または手動動作が可能である）である。一態様において、ワークピース検出部材２８０は、エンドエフェクタが処理モジュールＰＭ内に入る前に後退されるが、別の態様においてワークピース検出部材２８０は、任意の適切な時点で後退される。また図２Ｈおよび２Ｉを参照すると、一態様においてワークピース検出部材２８０（後退位置に示す）は、レール１７００と係合するガイド部材１７０１、１７０２を含むので、ワークピース検出部材２８０は、展開位置と後退位置との間で矢印１７１０の方向に可動である。別の態様において、ワークピース検出部材２８０（展開位置に示す）は、枢動軸１７０３を含むので、ワークピース検出部材２８０は、展開位置と後退位置との間で矢印１７１１の方向に枢動する。理解され得るように、ワークピース配置ユニット１０４は、後退位置と展開位置との間で、任意の適切な方法で矢印１７１０、１７１１の方向にワークピース検出部材２８０を移動させるために、任意の適切なアクチュエータ１７２０、１７２１を含む。
【００４０】
一態様において、ワークピース検出部材２８０は、任意の適切なセンサ２８１、任意の適切なレンズ２８２、任意の適切なレンズ取付け具２８３、および、センサ２８１がグリッパ１０１Ｇ上あるいはグリッパ１０１Ｇの近くで保持されるワークピースを検出あるいは撮像できるように、任意の適切な角度を有するミラー２８４（ミラー面２８４Ｍを備える透明なプリズム）を含む。一態様において、ミラー２８４は、より小型な構成を得るためにワークピース検出部材２８０の光路を折り返すように構成されるが、別の態様においてワークピース検出部材２８０は鏡を含まなくてもよい。一態様において、ワークピース検出部材２８０は、センサ２８１によるワークピースの検出を可能にするために、任意の適切な単一または複数の波長の光を提供するための、１つまたは複数の適切な照射部材２８５も含む。フレキシブル回路２８６は、センサ２８１を任意の適切な制御装置（制御装置１９９や、制御装置１９９に接続され、ハウジング１０４Ｈ上など、任意の適切な場所に配置されるワークピース検出部材制御装置２８０Ｃなどの任意の中間制御装置など）に連結するので、センサ２８１は制御装置に信号（例えば、エッジ検出、バーコード読み取り、基準検出、連続した画像が平行の軸により２つの異なる位置から取得される疑似ステレオ位置など）を送り、制御装置は信号に関して任意の適切な画像分析を行うように構成される。
【００４１】
別の態様において、ワークピース検出部材２８０は、グリッパ１０１Ｇおよびグリッパに保持されるかグリッパに隣接する任意のワークピースが見られる視野を提供しつつ、上述のような静的な取り付けまたは動的な取り付けで、ハウジング１０４Ｈ（またはチャンバ１２５Ｃ内および／またはワークピース配置ユニット１０４上の他の任意の適切な場所）に取り付けられる。ワークピース検出部材２８０をハウジングに取り付けると、エンドエフェクタからフレキシブル回路２８６を取り除き、これはエンドエフェクタの移動整定時間を減少させることに留意する。ワークピース検出部材２８０（ハウジングまたはエンドエフェクタに取り付けられる）は、ワークピース配置ユニット１０４と共に一体アセンブリとして移動することに留意する。
【００４２】
一態様においてセンサ２８１は、カメラまたは他の光学検出器であるが、別の態様においては、電磁スペクトルの広い範囲にわたって高性能の並行データストリームを提供するために、単一の装置、２Ｄおよび３Ｄアレイ（ラインスキャン、ＣＣＤなど）などの複数の検出器が組み込まれる。図面においては１つのセンサ２８１のみ（例えば、単眼視）が示されているが、別の態様において、エンドエフェクタ１０１は、１つまたは複数のセンサ２８１を有するか、および／または、１つまたは複数のセンサが上述の方法と同様にエンドエフェクタから離れて取り付けられる。例えば、エンドエフェクタは、（例えば、ワークピースに対するグリッパの、または、ワークピース保持ステーションまたは処理位置に対するグリッパにより保持されるワークピースの）真のステレオ位置を可能にする双眼視またはステレオ視能を、共通の焦点であるが異なる光学軸を用いて提供する、２つのセンサを有する。双眼視は自動の特徴認識（ワークピースの空間的位置、バーコード、基準など）およびエンドエフェクタ／ワークピースの配置に有益であり、分離した画像が三次元機能（例えば、眼鏡やヘッドセットを用いる）によりスクリーン上でユーザによって見られ得る、バーチャルリアリティモードを可能にする。複数のセンサ２８１は、ステレオ顕微鏡画像と同様の画像を生成するために用いられる。一態様において、レンズ２８２およびレンズ取り付け具２８３は、モータ付きのフォーカスおよびズーム制御を含む。理解され得るように、ワークピース検出部材２８０は、ワークピースの有無の検出、ワークピースの識別、ワークピース保持位置でのワークピースに対するグリッパ１０１Ｇの位置合わせ、グリッパに保持されるワークピースの、ワークピース保持位置または処理位置に対する配置、プリアラインメントステージ１０３を用いるワークピースの位置合わせのためのワークピースの撮像、または、ワークピース、グリッパおよび／または任意の適切なワークピース保持位置についての、他の任意の適切な識別および／または位置に関する情報の１つまたは複数を提供するように構成される（制御装置１９９での適切な画像処理と共に）。
【００４３】
理解され得るように、一態様において、視覚システムは、ワークピース４００の取り出しおよび配置場所または自動化搬送および配置システム１００内の他の任意の適切な場所を見るために、エンドエフェクタおよび／またはハウジングから離れて取り付けられる１つまたは複数のセンサＣＡＭ１〜ＣＡＭ５を含む。一態様において、離れたエンドエフェクタセンサＣＡＭ１〜ＣＡＭ５は、エンドエフェクタ１０１がセンサ２８１を含まないか、エンドエフェクタ１０１上のセンサ２８１が用いられない場合に用いられるが、別の態様において離れたエンドエフェクタセンサＣＡＭ１〜ＣＡＭ５は、エンドエフェクタのセンサ２８１と連動して用いられる。上述のように、一態様において、視覚システム（エンドエフェクタから離れて取り付けられるか、および／または、エンドエフェクタ上に取り付けられる１つまたは複数のセンサを含む）から得られた情報は、データベースＤＳ（一態様においては検査室情報管理システムＬＩＭＳの一部）を通したワークピースおよびその上の試料の追跡を可能にする。例えば、一態様において、１つまたは複数のセンサＣＡＭ１は、例えばカセットシャトル１２６による、マガジン１０５への、およびマガジン１０５からのカセット１０２の移送を撮像するために、任意の適切な方法でフレーム１４０Ｆに取り付けられる。別の態様において、１つまたは複数のセンサＣＡＭ２は、所定の取り出し／配置位置またはワークピース保持ステーション１７６に位置付けられるカセット１０２への、およびカセット１０２からの、エンドエフェクタ１０１（上述のワークピース検出部材２８０に加えて、または代えて）によるワークピース４００の移送を撮像するためにフレームに取り付けられる。さらに別の態様において、１つまたは複数のセンサＣＡＭ３は、プリアライナステージ１０３への、およびプリアライナステージ１０３からの、ワークピースの取り出しおよび配置を見るために、任意の適切な場所でフレーム１４０Ｆに取り付けられる。一態様において１つまたは複数のセンサＣＡＭ３は、プリアライナステージ１０３とＺ方向に移動するために、プリアライナステージ１０３および／またはカセットシャトルに取り付けられるが、別の態様において１つまたは複数のセンサＣＡＭ３は、フレーム１４０Ｆに対して静止している。一態様において、１つまたは複数のセンサＣＡＭ４は、ロードロック１２０内に配置されるマガジン１０５および／またはカセット１０２を撮像するために、ロードロック１２０内に取り付けられる。一態様において、１つまたは複数のセンサＣＡＭ５は、ワークピース４００を、例えば処理モジュールの電子光線と位置合わせするために、処理モジュールＰＭ内に取り付けられる。理解され得るように、一態様において、カメラＣＡＭ２などの共通のカメラは、例えば、カセット１０２およびプリアライナステージ１０３など、複数の場所からのワークピースの取り出しおよび配置を見るように配置および構成される。別の態様においては、共通のカメラが、カセットシャトル１２６によるカセットの把持、ワークピース保持ステーション１７６での、カセット１２０への、およびカセット１２０からのワークピース４００の移送、および、プリアライナステージ１０３への、およびプリアライナステージ１０３からのワークピース４００の移送を見るように配置および構成される。１つまたは複数のセンサＣＡＭ１、ＣＡＭ２、ＣＡＭ３、ＣＡＭ４は、上述のセンサ２８１と実質的に同様であり、一態様において、１つまたは複数のセンサＣＡＭ１、ＣＡＭ２、ＣＡＭ３、ＣＡＭ４は、単眼視カメラであるが、別の態様において１つまたは複数のセンサＣＡＭ１、ＣＡＭ２、ＣＡＭ３、ＣＡＭ４は、ステレオカメラである。本明細書に記載のステレオカメラは、各レンズのフィルムフレームに対して分離した画像センサを備える２つ以上のレンズを含むので、三次元の画像（例えば、ステレオ撮影）を捉えるためにカメラにヒトの両眼視力を刺激させることに留意する。一態様において、制御装置１９９は、ステレオカメラからの１つまたは複数の三次元画像に基づき、本明細書に記載のグリッパ（エンドエフェクタ１０１およびカセットシャトル１２６のグリッパなど）と、それぞれの保持領域（例えば、マガジン１０５、カセット１０２、プリアライナ１０３または他の任意の適切なワークピースまたはカセット保持領域）へ、およびそれぞれの保持領域から、ワークピース４００および／またはカセット１０２を取り出し、また配置するときに把持されるワークピース４００またはカセット１０２との間の範囲または距離を決定するように構成される。別の態様において、本明細書に記載のグリッパとそれにより把持されるワークピース４００またはカセット１０２との間の範囲または距離は、任意の適切な方法で決定される。
【００４４】
図２Ｊ〜２Ｌを参照すると、ワークピース配置ユニット１０４およびエンドエフェクタ１０１は、エンドエフェクタが軸ＴＸ（図２Ａ）周りで回転し、エンドエフェクタ１０１の少なくとも一部が軸ＴＸ２（図２Ｊ、例えば、第２の傾動軸）周りで回転するように構成される。この態様においてエンドエフェクタ１０１は、注記する以外は上述のものと実質的に同様である。例えば、本体２００は、ベース部分２００Ｍと傾動部分２００Ｔとに分けられ、ベース部分２００Ｍは、接続部材２６０が傾動軸駆動部Ａ７Ｒにより回転されるとエンドエフェクタ１０１が接続部材と一緒に回転するように、接続部材２６０と係合するように構成される。傾動部分２００Ｔは、軸受け１２００などの任意の適切な軸受けによりベース部分２００Ｍに可動に取り付けられるので、傾動部分２００Ｔは、ワークピース４００がエンドエフェクタにより保持されるときのワークピース４００の回転中心ＣＲと一致する、軸ＴＸ２周りで回転する。一態様において軸受け１２００は、ベース部分２００Ｍとモノリス単位で一体形成されるが、別の態様において軸受け１２００およびベース部分２００Ｍは、任意の適切な方法で結合される。軸受け１２００は、内輪１２０１Ｃと少なくとも１つの外輪１２０１Ａ、１２０１Ｂとを含み、内輪１２０１Ｃと外輪１２０１Ａ、１２０１Ｂのそれぞれとの間には、任意の適切な玉軸受け１２０２（ケージ１２０２Ｃ内に保持される）が配置される。玉軸受け１２０２は、セラミックなど任意の適切な材料で構成される。理解され得るように、軸受け１２００の内輪１２０１Ｃおよび外輪１２０１Ａ、１２０１Ｂは、ゴニオメーターの移動をもたらす適切な弧状の構成を有し、傾動部分２００Ｔは、軸ＴＸ２周りで、例えば、軸ＴＸに対して±１０°など、任意の適切な距離だけ矢印１２１０の方向に移動する。別の態様において傾動部分は、±１０°よりも多い量または少ない量だけ、矢印１２１０の方向に可動である。
【００４５】
図２Ｋおよび２Ｌに見られるように、外輪１２０１Ａ、１２０１Ｂの少なくとも１つは、ベース部分２００Ｍおよび接続部材２６０の１つまたは複数の中に少なくとも部分的に配置される少なくとも１つのギヤ１２０４を係合するように構成されるギヤラック１２０３を含む。一態様においては、単一の外輪１２０１Ａ、１２０１Ｂのギヤラック１２０３に係合するために単一のギヤ１２０４が設けられる。一態様においてギヤ１２０４は、傾動軸駆動部Ａ１５Ｒを係合するために少なくとも部分的に接続部材２６０を通って延伸する駆動シャフト１２０５に取り付けられるか、あるいは連結される、ピニオンギヤなどの任意の適切なギヤである。傾動軸駆動部Ａ１５Ｒは、駆動シャフト１２０５を駆動させるためにハウジング１０４Ｈ内の任意の適切な場所に配置される。一態様において、傾動軸駆動部Ａ１５Ｒおよび駆動シャフト１２０５の構成は、傾動軸駆動部Ａ７Ｒおよび接続部材２６０の構成と実質的に同様であり、傾動軸駆動部Ａ１５Ｒは軸ＴＸ周りで駆動シャフト１２０５を回転させる。理解され得るように、駆動シャフト１２０５はエンドエフェクタの整定時間を減少させるために、任意の適切なダンパー（接続部材２６０に関して記載したものと実質的に同様）を含む。理解され得るように、ギヤ１２０４は、駆動シャフト１２０５と一緒に回転するように駆動シャフト１２０５に連結される。ベース部分２００Ｍは、ギヤ１２０５が回転されるとエンドエフェクタ１０１（およびそれにより保持されるワークピース４００）の傾動部分２００Ｔが軸ＴＸ２周り（例えば、ワークピース４００の回転中ＣＲ）で矢印１２１０の方向に回転するように、ギヤ１２０５およびギヤラック１２０３が互いに係合するときに通る開口２００ＭＡＰを含む。
【００４６】
次に図１Ｂおよび３Ａ〜３Ｅを参照すると、開示される実施形態の態様によるワークピース配置ユニット３０４が提供され、ワークピース配置ユニット３０４は、例えば、ＴＥＭ内にワークピースを配置するための実質的に全ての必要な自由度を提供するＴＥＭ（または、他の態様においては、ＳＥＭ、ＤＢ−ＦＩＢ、ＳＴＥＭまたは他の適切な電子光線顕微鏡装置）の、例えば、駆動／配置ステージまたは他の任意の適切なユニット１８１と連動するように構成される。ＴＥＭの配置ステージ１８１の適切な例は、ＦＥＩ製のＣｏｍｐｕＳｔａｇｅ（商標）である。この態様においてワークピース配置ユニット３０４は、配置ステージ１８１によりもたらされる移動速度および整定時間と比較して、長手軸に沿う（例えば、ここで示す例においてはＹ軸に沿う）ワークピース配置ユニットの移動速度を増加させ、整定時間を減少させるために、Ｙ軸に沿ってエンドエフェクタを移動させるように構成される軸駆動部Ａ６Ｌ（例えば、「速軸」）を含む。上述のように、駆動部Ａ６Ｌを用いて処理モジュールＰＭ内にワークピースを配置することにより、ＴＥＭ撮像中などに、画像の「列」（例えば、Ｙ軸に沿う異なる地点で取得されたワークピースの一連の画像）を取得するために、ワークピースを渡るときに、最大のスループットを提供する。
【００４７】
一態様において、配置ユニット３０４は、ハウジングまたはフレーム３００、ハウジング３００から延びる管状部材３１０、管状部材を通って延びる接続部材３６０、線形駆動部Ａ６Ｌ（上述）および駆動部エンコーダ３３０を含む。管状部材３１０は円筒状の管として図示されているが、別の態様において管状部材は、ＴＥＭまたは他の適切な処理モジュールＰＭの嵌合開口内に挿入されるように構成される任意の適切な形状を有する。一態様において、管状部材３１０は、一片構成を有するが、別の態様において管状部材３１０は、締り嵌め、機械的締結具または化学的締結具などを通して、任意の適切な方法で互いに対して連結されるベース部材３１０Ｂと延伸部材３１０Ｂとを含む（図３Ｄ参照）。ハウジング３００は、駆動部Ａ６Ｌおよびエンコーダ３３０（読み取りヘッド３３０Ｈと、例えば、エンコーダ２４５と実質的に同様に１つがアブソリュートで１つがインクリメンタルなど、１つまたは複数のテープスケール３３０ＴＳを有するテープスケールユニット３３０Ｓとを含む）が取り付けられるチャンバ３００Ｃを形成する。ハウジングおよび／または管状部材は、ＴＥＭの光線に対してエンドエフェクタを位置付けるために、配置ステージ１８１と連動する１つまたは複数の機構を含む。例えば、配置ステージ１８１は、管状部材３１０が挿入されるときに通る開口１８１Ｐを含む。また配置ステージ１８１は凹部１８１Ｔを含み、ハウジングは凹部１８１Ｔに係合するように構成される位置付け部材３００Ｔを含む。一態様において、管状部材３６０は、開口１８１Ｐ内の対応する軸受け面と係合するように構成される先端軸受け面３６０ＴＢも含む。管状部材はまた、開口１８１Ｐ内の対応するショルダと係合するショルダ３６０ＴＳを、管状部材３６０に沿う任意の適切な位置で含む。管状部材３６０、先端軸受け面３６０ＴＢ、ショルダ３６０ＴＳおよび配置部材３００Ｔの１つまたは複数は、ＴＥＭの光線のＸ、Ｙ、Ｚ軸およびピッチ軸にエンドエフェクタを配向するために、配置ステージ１８１に対してエンドエフェクタを配置する。
【００４８】
この態様において駆動部Ａ６Ｌは、テープスケールユニット３３０Ｓを通して接続部材３６０に連結される。例えば、テープスケールユニット３３０Ｓは、任意の適切な線形ガイド部材３３０Ｇを通してハウジング３００に取り付けられるので、１つまたは複数のテープスケール３３０ＴＳは、Ｙ軸に沿って線形に可動である。テープスケールユニット３３０Ｓは、テープスケールユニット３３０Ｓの両側にＹ軸に沿って配置される連結部３０１Ａ、３０１Ｂを含み、駆動部Ａ６Ｌは一方の連結部３０１Ｂに連結され、接続部材３６０は他方の連結部３０１Ａに連結される。接続部材３６０は、連結部３０１Ａから管状部材３１０を通って延びるので、エンドエフェクタ３０１は、ハウジング３００に対して管状部材３１０の遠位端ＤＥに隣接して配置されるか、遠位端ＤＥを通り過ぎて延びる（管状部材は、ハウジングに対して管状部材の近位端でハウジングに連結される）。接続部材３６０は、例えば、任意の適切な軸受けおよび／またはダンパーを用いるなど、任意の適切な方法で管状部材３１０内に支持される。一態様において管状部材３１０は、それぞれのダンパー３２０、３２１を導入あるいは使用可能にするために、１つまたは複数のダンパーアクセスポート３７０Ａ〜３７０Ｄ、３７１Ａ〜３７１Ｄを含む。ダンパーアクセスポートは、例えば、管状部材３１０の内部を外部環境から隔離するために、それぞれのダンパーアクセスポート３７０Ａ〜３７０Ｄ、３７１Ａ〜３７１Ｄを密閉するように構成される被覆部３７２、３７３を含む。一態様においてダンパー３２０、３２１は、任意の適切なエラストマー（または他の任意の適切な材料）で構成され、接続部材３６０が部材３１０内で線形に移動すること、および／または、接続部材が管状部材３１０内でスピンまたは傾動する（例えば、図２Ａに示す傾動軸ＴＸ周りで）ことを可能にするよう構成される。例えば、ダンパー３７２、３７３は、ボール形状か、または他の任意の適切な形状および／または構成を有する。ダンパー３７２、３７３は、整定時間を減少させるために接続部材３６０および／またはエンドエフェクタ３０１の振動を抑制するよう、管状部材３１０の長さに沿う任意の適切な位置に配置される。例えば、ダンパーは、エンドエフェクタ／接続部材の移動中に駆動部Ａ６Ｌにより誘発される接続部材３６０の振動を減少するか実質的に取り除く。一態様においてダンパーは、エンドエフェクタの８〜２４ミクロンの移動に対して提供され、実質的に全ての振動が５０ｍｓ未満に約４ｎｍ〜約５ｎｍ未満まで抑制または整定され、別の態様においては、約２５ｍｓ〜約３５ｍｓ未満に約４ｎｍ〜約５ｎｍ未満まで整定される。別の態様においてダンパーは、任意の適切な長さの移動および任意の適切な整定時間のために提供される。接続部材３６０も、軸受け３９０によって管状部材３１０の遠位端ＤＥに隣接して管状部材３１０内に支持される。軸受け３９０は、接続部材およびエンドエフェクタを移動させるときの軸方向の摩擦を最小限にしつつ、管状部材３１０内の接続部材３６０に堅固な横方向の支持をもたらすように構成される。軸受け３９０は、接続部材３６０を周方向に取り囲む軸受けスリーブ３９０Ｓを含む。スリーブは、玉軸受けなどの任意の適切な転がり素子３９０ＲＥを、互いから所定の距離Ｙ２をあけて配置する１つまたは複数のセパレータまたはケージ３９０Ｒを形成する。距離Ｙ２は、接続部材３６０に剛性を与え、および／または、整定時間を減少させるために接続部材３６０および／またはエンドエフェクタ３０１の振動を抑制する、任意の適切な距離である。セパレータ３９０Ｒは、図３Ｂに見られるように、接続部材３６０の周方向周りに転がり素子３９０ＲＥを周方向に配置するように構成される。また、軸受け３９０の内輪および外輪は、転がり素子３９０ＲＥが接続部材３６０および管状部材３１０の内壁に実質的に直接接触するように、接続部材３６０（例えば、内輪）および部材３１０の内側表面（例えば、外輪）により形成されることに留意する。一態様において、転がり素子３９０ＲＥと接続部材３６０／管状部材３１０との間には、小さな締り嵌め（例えば、一態様においては約２ミクロン、別の態様においては２ミクロンよりも大きいか、または小さい）が存在する。転がり素子３９０ＲＥは、例えば、セラミック、金属、複合材料などの任意の適切な材料から構成される。
【００４９】
一態様においては、駆動部Ａ６Ｌおよびハウジング３００のチャンバ３００Ｃを、エンドエフェクタが位置付けられる環境から密閉あるいは隔離するために（例えば、配置ユニットのワーク保持領域を処理モジュール外部の大気圧から隔離するために）、管状部材３１０内に任意の適切なシールが位置付けられる。例えば、チャンバ３００Ｃを密閉あるいは隔離するために、管状部材３１０内の任意の適切な場所に任意の適切なベローズシール３７６が設けられるので、ポンプされる量（例えば、真空または別の所定の環境に露出される管状部材内のカラム）は最小限にされる。一態様においてベローズシール３７６は、ダンパー３７２、３７３の間に長手方向に（例えば、接続部材の長手軸に沿って）位置付けられる。別の態様において、管状部材３１０は、上述のように一緒に連結される個別の片から形成され、ベローズシール３７６は、片の結合体または連結部に位置付けられるか隣接して位置付けられる（例えば、ベローズシール３７６の容易な装着を可能にするために、ベース部材３１０Ｂが延伸部材３１０Ｅに連結される場所に隣接する）。
【００５０】
エンドエフェクタ３０１は、例えば、エンドエフェクタ１０１に関して上述したものと実質的に同様の方法で、接続部材３６０に連結される。この態様においてエンドエフェクタ３０１は、手動で作動されるエンドエフェクタであるが、別の態様においてエンドエフェクタは、上述のものと実質的に同様である。この態様において、エンドエフェクタは、接続部材３６０を係合するように構成される本体３０１Ｂ（例えば、上述の方法と実質的に同様の方法で）と、本体から延びるワークピース保持位置３０１Ｈと、クランプ部材３０１Ｃとを含む。クランプ部材３０１Ｃは、ばねクランプ（例えば、閉鎖位置に付勢される）または手動で開閉される他の任意の適切なクランプである。別の態様においてクランプ部材は、ワークピース４００を把持するために任意の適切な方法で開閉される。別の態様において、上述のワークピース検出部材２８０は、上述の方法と実質的に同様の方法で、エンドエフェクタ３０１に取り付けられる。
【００５１】
次に図４Ａ〜４Ｅおよび図４Ｇ〜４Ｊを参照すると、ワークピース４００、４００Ａ、４００Ａ１、４００Ａ２、４００Ａ３、４００Ａ４が示される。ワークピース４００、４００Ａ、４００Ａ１、４００Ａ２、４００Ａ３、４００Ａ４は、任意の適切なワークピースであり、例示のみを目的として、ＴＥＭグリッドの試料ホルダとして示される。一態様において、ワークピース４００、４００Ａは、円盤構成を有するが、別の態様においてワークピースは、半月形状（リフトアウトワークピース／グリッドの形態を有するワークピース４００Ａ１、４００Ａ２、４００Ａ３、４００Ａ４を参照）などの他の任意の適切な形状を有する。一態様において、ワークピース４００、４００Ａ１、４００Ａ２、４００Ａ３、４００Ａ４は、単一の一体構成を有する（例えば、モノリス部材として形成される）が、別の態様においてワークピース４００Ａは、以下により詳細に記載されるように、ベース部材ＢＭＡに取り付けられるか、あるいは連結される交換可能または選択可能の薄膜またはウェブ４５０Ａ〜４５０Ｈを有する。一態様において、本明細書に記載されるワークピース４００、４００Ａ、４００Ａ１〜４００Ａ４は、ケミカルミーリング、レーザ微細加工、スタンピングの１つまたは複数、または他の任意の適切な方法により形成される。一態様において、ワークピース４００は、第１の表面４００Ｔと反対の第２の表面４００Ｂとを備える薄いシート状のベース部材ＢＭを含み、第１の表面は、ワークピース４００により保持される試料保持フィルム用の座面および支持面を画定する。一態様において、ベース部材ＢＭは、ベリリウム銅合金から構成されるが、別の態様においてベース部材は、任意の適切な材料から構成される。さらに別の態様において、ベース部材ＢＭは、サブミリメータ幅のシートであるが、別の態様においてベース部材ＢＭは、任意の適切な厚さを有する。
【００５２】
ベース部材ＢＭは、サンプル／試料ホルダにより保持される保持フィルムを露出する第２の表面４００Ｂを通る開口またはスロット４０１（以下にさらに詳細に記載）を含み、また、少なくとも第１の表面４００Ｔの部分上に画定され、エンドエフェクタ１０１、３０１のグリッパの係合を受容するように配置されるグリップ係合域ＧＺを含む。一態様において、グリッパ用の、ベース部材ＢＭのグリップ係合域ＧＺは、ベース部材ＢＭの周縁に隣接するか周縁にある、３６０度の径方向領域である。一態様において、グリップ係合域ＧＺは、ワークピース４００の、中央の薄くされた部分ＴＰ（グリップ域により囲まれている）よりも広く、ワークピースはモノリスの一体部材である。本明細書に記載されるものと実質的に同様の方法で、ワークピースの中央の薄くされた部分ＴＰは、試料サンプルを支持するために中に形成される、任意の適切なサイズ、形状などを有する任意の適切な数の開口を含む。別の態様において、ベース部材ＢＭは、ワークピース４００が手動、自動または他の任意の方法で把持されるような把持表面を提供するために、例えば、第２の表面４００Ｂ（例えば、表面４００Ｔの反対）上に凹部４００Ｒを含む。以下にさらに詳細に記載されるように、第１または第２の表面４００Ｔ、４００Ｂの少なくとも一方は、それぞれのワークピース上に保持される試料またはサンプルの物理的な表示であるデータを表すパターンで配置される、上に形成される機械が読み取り可能な構造を含み、試料またはサンプルの物理的な表示は、一態様においては、以下にさらに詳細に記載するようにサンプルホルダの少なくとも１つの所定の特徴を定める。また後述されるように、所定の特徴は、エラー補正特徴を備える、サンプルおよび／またはサンプルホルダの固有の識別マークであってもよい。
【００５３】
上述のように、ワークピース４００は、試料が保持されるスロット４０１を含む。一態様においてスロット４０１は、任意の適切な所定の長さＬと、任意の適切な幅Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３とを有する（３つの幅が図示されているが、別の態様においてワークピース４００は、任意の適切な幅および／または長さを有するスロット、または任意の適切な幾何学的形状を有する開口を設けられ得る）。この態様においてスロットは、１つまたは複数の試料を保持するために、任意の適切な網の目形状または他の適切な形状を含む。さらに別の態様において、ワークピースはスロットを含んでいなくてもよい。一態様においてスロット４０１Ｃの角は、例えば、長方形の試料サンプルに対してより撮像可能な面積を与えるために、丸みを帯びている。
【００５４】
一態様において、上述のように、ワークピース４００は、構造体が置かれる少なくとも１つの第１または第２の表面４００Ｔ、４００Ｂの基準面に対する三次元のトポグラフィを定める１つまたは複数の構造体または識別マーク（例えば、読み取り可能なデータ記憶媒体）を含み、構造体は、構造体が置かれる少なくとも１つの第１または第２の表面４００Ｔ、４００Ｂと一体形成される。一態様において、構造体は、少なくとも１つの第１または第２の表面４００Ｔ、４００Ｂ上に対称に配置され、重複した読み取り場所を提供する一方で、別の態様において、構造体は、互いに対して、および／または、第１または第２の表面４００Ｔ、４００Ｂに対して、任意の適切な配置を有する。一態様において、構造体は、任意の適切な場所に、任意の適切な方法でワークピース４００の第１の表面４００Ｔ（例えば、試料はこの表面から見られる）上に形成され得る、二次元のデータ行列バーコード４０２Ａ、４０２Ｂなどの識別子である。一態様において、バーコード４０２Ａ、４０２Ｂは、スロット４０１の反対側の表面上に刻まれるか、または微細加工される。一態様において、各バーコードは、バーコードの全長に沿って（例えば、１−Ｄバーコード用）またはバーコードの少なくとも片側に沿って（例えば、２−Ｄバーコード用）少なくとも１４のセルを含む一次元または二次元のバーコードであり得る。別の態様においては、バーコードの全長に沿って１４よりも少ないか、または多いセルが設けられる。例えば、一態様においてバーコードは、例えば検査室情報管理システムＬＩＭＳまたは他の任意の適切なデータベースまたは追跡システムにおいて、本明細書に記載するように試料を固有に識別するために、エラー補正を用いて、３．６×１０15の、固有の１０文字の英数字の連続番号（一態様においては、受託番号付けと実質的に同様の方法で用いられるか、および／または、到達の番号付けを表すために用いられ、到達の番号付けは、例えば、到達の番号付けが試料サンプルを保持するワークピース４００の順序を定めるように、データ構造ＤＳ）をコード化するための機能を有する１４×１４のデータ行列であり得る。別の態様においてバーコード４０２Ａ、４０２Ｂは、任意の適切なサイズを有し、任意の適切な連続番号、または、一態様においては６〜７文字など、１０文字よりも多いか少ない文字を有する英数字の連続番号などの、他の情報を提供するように構成される。一態様において、バーコード４０２Ａ、４０２Ｂは、例えば、カセット１０２および／またはマガジン１０５上の他の識別子と連動して用いられ、これはどのマガジンおよび／またはカセットにサンプルが位置付けられているかを識別するためである。１つのバーコードが見えなかったり損傷していたりする場合に冗長性をもたらし、バーコードが多くの視野角から読み取られることを可能にするために、複数のバーコード４０２Ａ、４０２Ｂが設けられる。構造体も、オペレータが識別子４０３を手動で読み取り、ワークピース４００上に位置付けられる試料を識別することを可能にする（例えば、バーコード読み取り器を用いずに）ため、第１または第２の表面４００Ｔ、４００Ｂ上のヒトが読み取り可能な識別子４０３を定める。一態様において、識別子４０３は、１０文字の英数字の連続番号（例えば、バーコードの連続番号に合致するか、あるいは対応する）であり得る。一態様において、識別子４０２Ａ、４０２Ｂ、４０３は、例えば、本明細書に記載されるカセット１０２およびマガジン１０５の識別子とは異なる固有のものである。一態様において、識別子４０２Ａ、４０２Ｂ、４０３は、ワークピース４００のアレイにおける所定の試料順序（例えば、以下に記載）に関連付けられるか、カセット１０２のポケット５００におけるワークピース４００のアレイの所定の配置に対応する（以下に詳細に記載）か、ワークピース４００上の試料が作製された原料物質構成を表す（以下に詳細に記載）か、および／または、カセット１０２のポケット５００におけるワークピース４００のアレイ、およびワークピース４００上に配置される試料に、各ワークピースに関連するワークピース４００識別データを備える。一態様において、ワークピース識別子４０２Ａ、４０２Ｂおよび４０３は、ＲＦＩＤチップ、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）送信機、または、例えば自動化搬送および配置システム１００内、および／または、ワークピース処理システムまたは設備１００ＰＳの任意の適切な部分内に置かれる、任意の適切なスキャナＳＣＲによって読み取られるように構成される他の適切な無線識別子などの、アクティブまたはパッシブな電子チップの形態である（以下により詳細に記載、図１１および１１Ａを参照）。
【００５５】
一態様において、構造体は、試料位置をエンドエフェクタのグリッパまたはホルダ位置に関連付ける１つまたは複数の機械が読み取り可能な基準４０４Ａ〜４０４Ｄを定める。一態様において、少なくとも１つの基準４０４Ａ〜４０４Ｄは、それぞれが試料のホルダに対する相対位置を独立して識別する、２つ以上の固有の基準を含む。また基準４０４Ａ〜４０４Ｄは、エッチング、彫刻または微細加工など、任意の適切な方法で第１の表面４００Ｔ上に設けられる。これらの基準４０４Ａ〜４０４Ｄは、ワークピースに取り付けられる試料と、ワークピースの物理的境界との間（例えば、スロット４０１の縁および／またはワークピースの周縁）に、絶対的な物理的基準を提供する。一態様において、ワークピース検出部材２８０（例えば制御装置１９９によって行われる、任意の適切な画像処理に伴う）は、ワークピースを取り出すため、ワークピースを配置するためにエンドエフェクタ１０１により保持されるワークピースをワークピース保持ステーションと位置合わせするため、プリアライナステージ１０３上での位置合わせ中にワークピースを回転させるため、ワークピースをＴＥＭの光線と位置合わせするため、および／または、他の任意の適切な目的のために、基準４０４Ａ〜４０４Ｄを読み取りか、あるいは検出するように構成される。理解され得るように、バーコードおよび基準は、実質的に補助のない試料装着、配置、検査、品質管理のための、ワークピースの自動化された高スループットの機械に基づく認識および操作、ならびに、高スループットおよび制御環境の用途のための操作をもたらす。
【００５６】
一態様において構造体は、第１および／または第２の表面４００Ｔ、４００Ｂに適合された光学的性質を提供する。例えば、一態様において構造体は、所定の光学的応答をもたらす再帰反射性質を定める。一態様においては、任意の適切な数（例えば、数百、あるいは数千）の小さく調整された「コーナーキューブ」および／または「キャッツアイ」再帰反射性質が、マクロレベルでの最適な光学的応答（コントラスト、場合によっては波長フィルタリング）を提供するために、ワークピース４００の表面内にエッチング、彫刻あるいは微細加工される。
【００５７】
また理解され得るように、スロット４０１は、エンドエフェクタ１０１、３０１のグリッパが試料に接触したり試料を妨げたりしないように、グリップ域ＧＺおよび／または凹部４００Ｒから離れて適切に配置される。一態様において、ワークピース４００は、ワークピース４００のグリップ域ＧＺに凹部を含まない場合もあることに留意する。スロット４０１は、図４Ｃおよび４Ｄに示すように、凹部４００Ｒ／グリップ域ＧＺに対して任意の適切な向きを有することに留意する。
【００５８】
一態様において、図４Ｅを参照すると、上述のようなワークピース４００Ａは、自動で（本明細書に記載するように）操作される、自在かつ標準化されたグリッドまたはワークピース構造を提供する一方で、多数の撮像および処理モジュールＰＭで調べられる試料に必要な薄膜の選択において適応性を提供するように、ベース部材ＢＭＡと、複数の交換可能または選択可能な薄膜またはウェブ４５０Ａ〜４５０Ｈ（例えば、グリッド箔）とを含む。ベース部材ＢＭＡは、上述のベース部材ＢＭと実質的に同様であるが、この態様においてベース部材ＢＭＡは、堅固な周縁部材ＢＭＡＰにより囲まれる中心の開口ＡＰを有する実質的に堅固な周縁部材ＢＭＡＰとして提供され、これを形成する（図４Ｆ、ブロック４７３）。一例として、ベース部材ＢＭＡは環状を有するものとして図示されているが、別の態様において、ベース部材ＢＭＡは任意の適切な幾何学的形状を有することが理解されるべきである。ベース部材ＢＭＡおよび薄膜４５０Ａ〜４５０Ｈは、薄膜４５０Ａ〜４５０Ｈのそれぞれが挿入可能であり、例えば、機械的に結合されるかおよび／または化学的に結合されるなど、任意の適切な方法でベース部材ＢＭＡに結合されるか、あるいは連結される（図４Ｆ、ブロック４７５）。一態様において、薄膜４５０Ａ〜４５０Ｈは、それぞれのベース部材ＢＭＡ内に挿入され、薄膜４５０Ａ〜４５０Ｈ上に圧縮応力を径方向に生じる締り嵌めによってベース部材ＢＭＡ内に固定される。一態様において、締り嵌めは、薄膜４５０Ａ〜４５０Ｈをベース部材上に適合させる収縮により形成され、逆の場合も同様である。別の態様において、ベース部材および薄膜は一ユニット（例えば、モノリス部材）として形成される。一態様においてベース部材ＢＭＡは、以下に記載するものと実質的に同様のリフトアウトワークピース／グリッドを保持するように構成され、リフトアウトワークピース／グリッドは、薄膜４５０Ａ〜４５０Ｈに関して本明細書に記載したものと実質的に同様の方法で、ベース部材ＢＭＡに配置される。
【００５９】
一態様において、薄膜４５０Ａ〜４５０Ｈは、ベース部材ＢＭＡおよび／または開口ＡＰの形状に実質的に一致するように成型される（例えば、ベース部材が環状である場合、薄膜は、薄膜がベース部材ＢＭＡの開口ＡＰに広がるように、円形などを有する）。一態様において、薄膜４５０Ａ〜４５０Ｈは、ベリリウム銅合金またはセラミックから構成されるが、別の態様において薄膜４５０Ａ〜４５０Ｈは、任意の適切な材料から構成される。さらに別の態様において、薄膜４５０Ａ〜４５０Ｈは、サブミリメータ幅のシートであるが、別の態様において薄膜４５０Ａ〜４５０Ｈおよび／またはベース部材ＢＭは、任意の適切な厚さを有する。理解され得るように、薄膜４５０Ａ〜４５０Ｈはそれぞれ、他の薄膜４５０Ａ〜４５０Ｈそれぞれの所定のサンプル保持機構とは別の、異なる所定のサンプル保持機構を有する。例えば、一態様において、所定のサンプル保持機構は、薄膜４５０Ａ〜４５０Ｈに取り付けられる試料サンプル、および／または、試料サンプルに対して行われる撮像処理（例えば、試料サンプルの撮像特徴）に基づく。図４Ｅに見られるように、所定のサンプル保持機構は、一態様においては、それぞれの薄膜４５０Ａ〜４５０Ｈに形成される１つまたは複数の開口である。例えば、薄膜４５０Ａ、４５０Ｆは、単一の開口４０１（スロットグリッドを形成するためのスロット開口）、４０１ＰＥ（ホールグリッドを形成するための円形開口）を含んでいるが、薄膜４５０Ｂ〜４５０Ｅは、開口のアレイを有する。説明を目的として、薄膜４５０Ｂは平行なメッシュグリッドを形成する開口４０１ＰＡを含み、薄膜４５０Ｃは六角形またはハニカムグリッドを形成する開口４０１ＰＢを含み、薄膜４５０Ｄは溝付き／メッシュグリッドを形成する開口４０１ＰＣを含み、薄膜４５０Ｅは正方形のメッシュグリッドを形成する開口４０１ＰＤを含む。理解され得るように、別の態様において、薄膜４５０Ａ〜４５０Ｅの開口は、試料サンプルを保持および撮像するための任意の適切なグリッドパターンを形成するために、任意の適切な形状を有する。一態様において、薄膜は、例えば、Ｐｉｏｌｏｆｏｒｍ（登録商標）、Ｆｏｒｍｖａｒ（登録商標）、Ｐａｒｌｏｄｉｏｎ（登録商標）、および／または、Ｌｕｘｅｌ  ＬＵＸｆｉｌｍ（登録商標）などの支持フィルムを含む。一態様において、本明細書に記載されるワークピース（４００、４００Ａ（および薄膜）、４００Ａ１〜４００Ａ４）は、カーボンなど、有利な電気的または熱的特性を有する任意の適切な被覆により被覆されるが、別の態様において、本明細書に記載されるワークピースは被覆されない。一態様において、薄膜４５０Ｇなどの薄膜は、例えば、本明細書に記載される自動化搬送および配置システム１００（例えば、ワークピース４００が処理され得るように処理モジュールＰＭに対してエンドエフェクタ１０１を配置する）の位置合わせまたは設定をもたらすように構成される１つまたは複数の参照基準４０１ＰＦを含む参照／較正グリッドを形成する。別の態様において、薄膜４５０Ｈは、試料サンプルが配置される隙間のない平らな表面（例えば、開口を有さない）。
【００６０】
次に図４Ｇ〜４Ｊを参照すると、ワークピース４００Ａ１、４００Ａ２、４００Ａ３、４００Ａ４は、上述のワークピース４００と実質的に同様であり、上述のワークピース４００の特徴を全て含む。この態様において、ワークピース４００Ａ１、４００Ａ２、４００Ａ３、４００Ａ４の、それぞれの薄いシート状のベース部材ＢＭＡ１、ＢＭＡ２、ＢＭＡ３、ＢＭＡ４は、半月形状を有するリフトアウトワークピース／グリッドの形態である。この態様において、各ワークピース４００Ａ１、４００Ａ２、４００Ａ３、４００Ａ４は、１つまたは複数のサンプル受容部ＢＳを含み、例えば、半導体の薄板などの試料サンプルや他の適切なサンプルは、ワークピース４００Ａ１、４００Ａ２、４００Ａ３、４００Ａ４と一体のユニットを形成するために、結合表面に実質的に直接堅固に結合または取り付けられる（任意の適切な方法で）。
【００６１】
図５Ａ〜５Ｉを参照すると、開示される実施形態の態様によるカセット１０２が図示されている。この態様においてカセット１０２は、長方形形状のカセットフレーム１０２Ｆを有するものとして図示されているが、別の態様においてカセット１０２／カセットフレーム１０２Ｆは、他の任意の適切な形状および／または構成を有する。カセットフレーム１０２Ｆは、ポケットがカセット１０２の第１の面１０２Ｔからアクセス可能であるようにグリッドに配置される、１つまたは複数のワークピース４００保持ステーションまたはポケット５００を含む。この態様においてグリッドは、６４個の個別のワークピース４００を保持するために、８×８列のポケット５００を含むが、別の態様においてグリッドは、例えば、１２８個の個別のワークピースを保持するための８×１６列など、任意の適切な数の列および行を有する。一態様において、カセットは、オペレータおよび／または機械が各ポケット５００の位置を識別できるように、第１の面１０２Ｔ（または他の任意の適切な場所）に列および行の識別子（例えば、英数字、バーコードなど）も含む。例えば、列は、連続する一連の番号１〜８によって識別され、行は、連続する一連の文字Ａ〜Ｈによって識別される（逆の場合も同様）が、別の態様においては、任意の適切な識別子が用いられ得る。カセット１０２は、カセットを識別するための、任意の適切な機械が読み取り可能なおよび／またはヒトが読み取り可能なマークも含む。例えば、カセットは、横辺ＳＬ１、ＳＬ２および縦辺ＳＬ３、ＳＬ４を定めるために、縦軸ＬＡ１および横軸ＬＡ２を有する。一態様において、第１の面１０２Ｔ（そこからワークピースがアクセスされる）は、任意の適切な数のバーコード５０１Ａおよびヒトが読み取り可能なマーク５０２Ａ（連続番号など）などの、読み取り可能なデータ記憶媒体を含み、これは一態様においては、ワークピース４００に関して上述したものと実質的に同様である。理解され得るように、一態様においては、長手方向の表面や縦辺ＳＬ４などの他の表面も、カセット１０２が例えばマガジン１０５内に位置付けられている間、カセット１０２が識別されるか識別可能であるように、同様のバーコード５０２Ｂおよびヒトが読み取り可能なマーク５０２Ｂを含む。理解され得るように、バーコード５０１Ａおよびヒトが読み取り可能なマーク５０２Ａは、カセットおよびカセット上に保持されるワークピース４００のアレイを、原料物質構成（原料物質構成は、本明細書にさらに詳細に記載される、例えば、図９参照）に関連付ける、カセット識別データを含む。一態様において、カセット識別子５０１Ａ、５０２Ａは、ＲＦＩＤチップ、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）送信機、または、例えば自動化搬送および配置システム１００内、および／または、ワークピース処理システムまたは設備１００ＰＳの任意の適切な部分内に置かれる、任意の適切なスキャナＳＣＲによって読み取られるように構成される他の適切な無線識別子などの、アクティブまたはパッシブな電子チップの形態である（以下により詳細に記載、図１１および１１Ａを参照）。
【００６２】
理解され得るように、図９を参照すると、一態様において、ワークピース４００〜４００ｎは、所定の順序でカセット１０２ＡＡのそれぞれのポケット５００内に配置されるか、あるいは置かれ、この順序は、例えば、ポケット５００のアレイにおけるワークピース４００のアレイの所定の配置、ワークピース上のサンプル１０７０Ｓ１〜１０７０Ｓｎが取られた試料／構造体１０７０の構造体ＳＴＲ、または他の任意の適切な基準の、１つまたは複数に対応する。一態様において、ワークピースの所定の順序（ゆえに、ワークピース上に位置付けられる試料の所定の順序）は、本明細書に記載されるように、カセット１２０へのワークピースのアレイの各ワークピースの装着と同時に定められる。図９に見られるように、構造体または試料１０７０は、サンプル１０７０Ａ〜１０７０ｎに分割され、これらのサンプル１０７０Ａ〜１０７０ｎは、それぞれのワークピース４００Ａ〜４００ｎ上に配置される。これらのワークピース４００Ａ〜４００ｎは、例えば、試料１０７０の構造を表す所定の順序で１つまたは複数のカセット１０２ＡＡに配置される。また理解され得るように、一態様において、サンプル１０７０Ｓ１〜１０７０Ｓｎまたはワークピース４００Ａ〜４００ｎ（例えば、サンプルのバッチ）の所定の順序は、１つまたは複数のカセット１０２がマガジン１０５ＡＡ内に保持されている場合などは、２つ以上のカセット１０２ＡＡ〜１０２ＣＣにわたり、処理されるべきサンプル１０７０Ｓ１〜１０７０Ｓ２またはワークピース４００Ａ〜４００ｎのバッチは、マガジン１０５ＡＡ内にカセット１０２ＡＡ〜１０２ＣＣの１つまたは複数を含む（例えば、マガジン１０５ＡＡは１つまたは複数のバッチを保持し、バッチは、ワークピース識別マークおよびカセット識別マークの１つまたは複数により識別され、例えば、共通の構造または試料に該当する）。別の態様において、サンプル１０７０Ｓ１〜１０７０Ｓｎの順序を含むサンプルのバッチは、複数のマガジン１０５ＡＡ〜１０５ＢＢにわたる。一態様において、バッチ（例えば、バッチに含まれるワークピース／サンプル、および／または、カセット）は、ワークピース識別マークおよび／またはカセット識別マークによってデータ構造ＤＳ（以下にさらに詳細に記載）に定められる（例えば、ワークピース／サンプルが属するバッチは、それぞれのワークピース／サンプルの識別マークに含まれる）。一態様において、データ構造は、制御装置１９９（例えば、検査室情報管理システムＬＩＭＳに含むための）のメモリ１９９Ｍ内にあるか、メモリ１９９Ｍ内で具現化され、例えば、ＸＭＬデータベース、リレーショナルデータベース、オブジェクトリレーショナルデータベース、または、本明細書に記載されるような情報を記憶するのに適切な他の任意のデータベースまたはデータ構造として実装される。
【００６３】
一態様において、カセット１０２のポケット５００は、テーパー面またはガイド部材５００Ｔにより構成される。一態様において面５００Ｔは、ワークピース４００を保持スロット５００Ｓ内に導く。別の態様において、テーパー面またはガイド部材５００Ｔは、ワークピース４００を把持するために保持場所内へのグリッパのアクセスを可能にし（図５Ｉ参照）、ワークピース検出部材２８０によってスロット５００Ｓ内のワークピースを見ることを可能にするように構成される。理解され得るように、一態様において、図５Ｄおよび５Ｊも参照すると、ポケット５００は、ポケット５００の保持スロット５００Ｓおよび／または面５００Ｔの１つまたは複数と分離し離れているか、または一体である、任意の適切なワークピース保持機構または構造５００Ｒを含む。ワークピース保持機構５００Ｒは、ワークピースが、例えば加速、重力または衝撃によりそれぞれのポケット５００から落下することを実質的に防ぐ一方で、エンドエフェクタ１０１、３０１によるポケット５００からの取り出しおよびポケット５００への挿入は可能にする（例えば、保持機構５００Ｒは妨害しない）ように構成され得る。ワークピース保持機構５００Ｒの例としては、これらに限定されないが、グリップテープ、感圧接着剤、シート接着剤、供給される液体接着剤（保持機構を形成するために乾燥または硬化する）、弾性部材、静電保持部材、クリップ、静摩擦生成表面（例えば、カセット表面などのベース部材上に形成される、被覆剤またはアップリケ／テープ、表面パターン）、上に摩擦／静摩擦グリッドが形成される滑りにくい表面、または他の任意の適切な保持部材が挙げられる。理解され得るように、保持機構５００Ｒは、ワークピース４００上に残る部分が全くないようにワークピース４００をそれぞれのポケット５００から取り出すために、エンドエフェクタ１０１または手動で操作されるピンセットがポケット５００内に挿入されることを可能にしつつ、任意の方向における、例えば数Ｇまでの負荷でポケット５００にワークピース４００を保持する。また理解され得るように、ワークピース保持機構５００Ｒは、ワークピース４００がポケット５００内に配置されている間、ワークピース４００の回転の位置／向きを維持するように構成される。例えば、ワークピースが所定の回転方向でポケット内に挿入されると（任意の適切なアライナ（一態様においては、処理モジュールＰＭおよび／または自動化搬送および配置システム１００の外部にある）により位置合わせされた後などに）、この回転方向は、処理モジュールＰＭおよび／または自動化搬送および配置システム１００内で維持されるので、プリアライナ１０３を用いたワークピース４００の位置合わせは省略でき、処理モジュールＰＭにおけるスループットを増加させる。別の態様において、ワークピース４００がプリアライナ１０３により位置合わせされる場合、この回転方向は、カセット１０２内でのワークピースの搬送中、ワークピース保持機構５００Ｒによってポケット５００内で維持される。一態様において、ワークピース保持機構５００Ｒは、高真空に適合しており、ここで高真空とは、例えば、１０-5トール以下である。理解され得るように、カセ���ト１０２は、ポケット５００（およびその中のワークピース）とエンドエフェクタ１０１のグリッパとの間の相対的な配置（例えば、位置合わせ）を可能にするために、カセット１０２の１つまたは複数の表面上に任意の適切な運動学的配置機構を含み得る。例えば、第１の表面または面１０２Ｔは、１つまたは複数の運動学的凹部５１０（または他の適切な機構）を含み、第２表面または面１０２Ｂは、マガジン１０５からおよびマガジン１０５へのカセット１０２の自動化された取り出しおよび配置のために、カセットシャトル１２６（図１Ｄ）のグリッパ１２６Ｇとインターフェースをとる凹部５１１（例えば、縦辺ＳＬ３、ＳＬ４の１つまたは複数に配置するか、それらに隣接する）を含む。一態様において、カセット１０２は、マガジン１０５からおよびマガジン１０５へのカセット１０２の手動の取り外しおよび挿入を可能にするために、例えば、横辺ＳＬ１、ＳＬ２上にも凹部５１５を含む。別の態様においては、カセット１０２の任意の適切な場所に把持機構５１５、５１０、５１１が位置付けられる。一態様において、カセット１０２の横辺ＳＬ１、ＳＬ２は、以下に記載されるように、マガジン１０５とインターフェースをとるように任意の適切な方法で構成されるので、カセットは、所定の向きでマガジン１０５内に挿入される。一態様において、横辺ＳＬ１、ＳＬ２は、マガジン１０５のテーパー表面６００Ｔを係合するためにテーパー状にされる（図６Ａ〜６Ｅ）ので、カセットは、単一の向きでのみマガジン１０５内に挿入され得る。別の態様において、カセット１０２は、カバー５９０（後述）を係合し、カバー５９０は、カバーおよびカセットの両方が、所定の向きでのマガジン内へのカセット／カバーアセンブリの挿入をもたらす入れ子状の「ポカヨケ（poka-yoke）」または位置決定機構を有するように、マガジンを係合する。一態様において、凹部５２０は、カセット１０２の第２の面１０２Ｂ上に位置付けられ、ＲＦＩＤチップなどの任意の適切な無線識別、または他の無線識別、トランスポンダまたはテレメトリユニットを含む。別の態様において、無線識別は、任意の適切な方法で、任意の適切な場所でカセットに取り付けられる。
【００６４】
図５Ｈおよび５Ｇも参照すると、カセット１０２は、一態様においては、例えばカセット１０２の搬送および／または保管中に、ポケット５００内部にワークピース４００を固定あるいは保持するための、取り外し可能なカバー５９０を含む。カバー５９０は、縦辺５９２、５９３および横辺５９４、５９５を画定するように、縦軸ＬＡ３および横軸ＬＡ４を有する。カバー５９０の少なくとも一方の縦辺５９３は、カバー５９０がカセット１０２の上部をスライドできるように開放している。例えば、カバーの辺５９３は、図５Ｇに見られるように、カセット１０２の縦辺ＳＬ３からカセットの縦辺ＳＬ４に向けてカバー５９０を移動させることにより、カセット１０２の上部をスライドされるので、カバー５９０の保持表面５９１は、ワークピースをそのそれぞれのポケット５００に保持するために、カセット１０２の第１の面１０２Ｔに隣接して配置され、また第１の面１０２Ｔに広がる。理解され得るように、カバーの横辺５９４、５９５は、カセット１０２の横辺ＳＬ１、ＳＬ２の周りに延びるか、包み込む（例えば、マガジン内のカセットを配向するために横面ＳＬ１、ＳＬ２の角度にしたがう）ので、延伸部材５９４Ｍ１、５９４Ｍ２、５９５Ｍ１、５９５Ｍ２は、カバー５９０がカセット１０２から分離することを実質的に防ぐために、第２の表面１０２Ｂの部分を越えて延びる。少なくとも１つの延伸部材５９４Ｍ１、５９４Ｍ２、５９５Ｍ１、５９５Ｍ２は、カセット１０２とカバー５９０との間の相対的な長手方向の動作を実質的に防ぐために、カセットの第２の面１０２Ｂに配置される突出部分５３７と係合するように構成される弾性部材ＳＰＲ１、ＳＰＲ２を含むので、カセット１０２はカバー５９０内に保持される。弾性部材ＳＰＲ１、ＳＰＲ２の保持力は、本明細書に記載されるように、カセットシャトル１２６がカバー５９０、すなわちマガジン１０５からカセット１０２を除去および挿入することを可能にしつつ、カセットをカバー内に保持するような保持力である。本明細書に記載されるように、カバー５９０は、カセット１０２およびカバー５９０アセンブリをマガジン１０５内に保持し、またカセットシャトル１２６がマガジン１０５からカセット１０２を取り外すときには、カバー５９０をマガジン１０５内に保持するために、縦辺５９２の一方にロック部材５９７も含む。
【００６５】
図６Ａ〜６Ｆを参照すると、開示される実施形態の態様によるマガジン１０５が示されている。マガジン１０５は、１つまたは複数のカセット１０２と一緒に、本明細書に記載されるようにカセット１０２のポケット５００へおよびポケット５００からのワークピース４００の手動の移送または自動化された移送のために構成される、ワークピース４００の保管システムを形成する。マガジン１０５は、１つのマガジンに１０２４個のワークピースというワークピース保持機能を可能にするために、例えば８個のカセットなど、少なくとも１つのカセット１０２を保管するように構成され、この場合カセットは、８×１６列のポケットを含む。別の態様においてマガジンは、８個よりも多いかまたは少ないカセットを保持し、カセットと組み合わせた任意の適切なワークピース保持機能を有する。マガジン１０５は、一体アセンブリとしてカセット１０２を含み支持するフレーム６０１を含む。一態様において、フレームは、ドアまたはカバーにより密閉されるように構成され、キャビティの任意の適切な環境（例えば、真空環境、大気環境など）での保管のためにカセットが挿入されるキャビティを形成する。フレーム６０１は、搬送シャトル１２０ＭＳに対してマガジンを位置付けるため、および、任意の適切な自動化マガジン搬送部を用いた、例えばチャンバ１２０Ｃ内へのマガジンの自動装着のために、上述のような搬送シャトル１２０ＭＳの対応する運動学的機構とインターフェースをとる任意の適切な運動学的機構６１０〜６１２（および／または、運動学的機構６１０〜６１２と既知の関係で配置される自動化された操作機構ＡＦ）を含む。一態様において、運動学的機構は、ピンおよび凹部であるが、別の態様において運動学的機構は、任意の適切な位置付け機構である。一態様において、運動学的機構６１０〜６１２は、マガジン１０５が、搬送シャトル１２０ＭＳ上に装着されるときには単一の所定の向きのみを有するようにも構成される。一態様において、フレーム６０１は、マガジン１０５の手動または自動の識別のために、任意の適切な識別マーク（例えば、バーコードであるか／バーコードと実質的に同様の読み取り可能なデータ記憶媒体、ヒトが読み取り可能なマーク、ＲＦＩＤ、上述のトランスポンダおよびテレメトリ装置）を含む。一態様において、識別マーク６２０は、マガジンおよびその中に配置される１つまたは複数のカセット上に保持されるワークピース４００のアレイを、原料物質構成（原料物質構成は、本明細書にさらに詳細に記載される、例えば、図９参照）に関連付ける、マガジン識別データを含む。一態様において、マガジン識別子６２０は、ＲＦＩＤチップ、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）送信機、または、例えば自動化搬送および配置システム１００内、および／または、ワークピース処理システムまたは設備１００ＰＳの任意の適切な部分内に置かれる、任意の適切なスキャナＳＣＲによって読み取られるように構成される他の適切な無線識別子などの、アクティブまたはパッシブな電子チップの形態である（以下により詳細に記載、図１１および１１Ａを参照）。
【００６６】
上述のように、マガジン１０５は、１つまたは複数のカセット保持ステーション６００を含む。各カセット保持ステーション６００は、カセットおよびカバーアセンブリの断面に適合する側面６００Ｔを含むので、カセットおよびカバーアセンブリは、単一の所定の向きでのみマガジン１０５内に挿入され得る。また上述のように、各カセット１０２のカバー５９０は、マガジン１０５内にカバー５９０（およびカセット１０２）を保持するためにマガジン１０５の対応するロック機構と係合するロック部材５９７を含む。例示のみを目的として、フレーム６０１は、保持またはラッチプレート６０４が挿入されるトラック６７０を形成する。トラック６７０は、フレーム６０１上に配置されるので、カバーの縦辺５９２は、カバーおよびカセットアセンブリがそれぞれのカセット保持ステーション６００内に挿入されるときには、トラックに隣接して配置される。トラック６７０は、１つまたは複数の支持面６０１ＬＳおよび対向する保持部材６７１を含む。１つまたは複数の支持面６０１ＬＳおよびそれぞれの保持部材６７１は離間されているので、保持プレート６０４は、１つまたは複数の支持面６０１ＬＳとそれぞれの保持部材６７１との間に挿入され得る。保持プレート６０４は、トラック６７０への保持プレートの挿入およびトラック６７０からの保持プレートの除去のために、保持プレート６０４のスライド操作を可能にするよう構成されるハンドル６０４Ｈを含む。また保持プレート６０４は、保持プレート６０４がトラック６７０内に挿入されると、カバー５９０のロック部材５９７と係合するロック部材６０４Ｌを含む。例えば、保持プレート６０４は、１つまたは複数の支持面６０１ＬＳとそれぞれの保持部材６７１との間で、トラック６７０内へと矢印６９９の方向にスライドあるいは挿入される。保持プレート６０４のロック部材６０１Ｌは、挿入方向６９９に向く一方で、カバー５９０のロック部材５９７は、挿入方向６９９とは反対方向に向くので、保持プレート６０４がトラック内に完全に挿入される（以下に記載）と、ロック部材５９７は実質的に同時に対向するロック部材６０１Ｌと係合する。
【００６７】
一態様において、保持プレート６０４は、１つまたは複数の弾性部材６８０を含み、フレーム６０１は１つまたは複数の戻り止め６８１およびカム部材６８２を含む。弾性部材６８０は、矢印６９９の方向に移動するとき（例えば、トラックへの保持プレートの挿入中）はカム部材６８２と係合するように構成されるので、弾性部材６８０は、弾性部材６８０が戻り止め６８１に係合されているときに保持プレート６０４を閉鎖状態に維持する（例えば、カバーは保持プレートによってしっかりと保持される）ために、戻り止め６８１と係合するようカム６８２を通過する。弾性部材は支持面６０１ＬＳに向かって付勢されるので、弾性部材６８０は戻り止め６８１と係合して、実質的にトラック６７０からの保持プレート６０４の取り外しを防ぐ。保持プレート６０４は、トラック６７０から保持プレート６０４を取り外すため、および／または、フレームマガジン１０５からのカバー５９０の離脱のために、弾性部材６８０を戻り止め６８１およびカム部材６８２を越えて上昇させ、戻り止め６８１およびカム部材６８２の上部での弾性部材６８０の通路を可能にするための、離脱ツール（図示せず）が挿入されるスロットまたはチャネル６８３を含む。一態様において、フレーム６０１は別の戻り止め６８１’およびカム部材６８２’も含み、保持プレート６０４は、例えば弾性部材６８０および戻り止め６８１が非係合であるときに、保持プレート６０４が１つのカセットピッチＰよりも多く移動することを実質的に防ぐように構成される別の弾性部材６８０’も含む。理解され得るように、保持プレート６０４は、保持プレート６０４を取り外し、保持プレート６０４がトラック６７０から完全に取り外されるように、弾性部材６８０’を戻り止め６８１’およびカム部材６８２’を越えて上昇させ、戻り止め６８１’およびカム部材６８２’の上部での弾性部材６８０’の通路を可能にするための、スロットまたはチャネル６８３と同様の、離脱ツール（図示せず）が挿入され得るスロットまたはチャネル６８３’を含む。
【００６８】
カバー５９０、カセット１０２およびマガジン１０５は、任意の適切な材料から構成される。一態様において、カバー５９０、カセット１０２およびマガジン１０５は、真空環境での使用のために、真空環境に適合した材料から構成される。別の態様において、カバー５９０、カセット１０２およびマガジン１０５は、任意の適切な環境での使用のために構成される。
【００６９】
一態様において、上述の、ワークピース４００の１つまたは複数の適切な構造体または識別マークは、それぞれのワークピース４００上に保持されるサンプルの物理的な表示である。例えば、適切な構造体または識別マークの１つまたは複数は、一態様においては任意の適切な制御装置１９９（以下にさらに記載）のメモリ１９９Ｍにあるデータ構造ＤＳ（図１Ａ、以下にさらに記載）に関連付けられる固有の識別子である。
【００７０】
次に図１Ａおよび７Ａ〜７Ｆを参照すると、開示される実施形態の態様にしたがって、自動化搬送および配置システム１００の例示的な動作が説明される。チャンバ１２５Ｃは、処理モジュールＰＭの圧力と実質的に等しい圧力までポンプされ、１つまたは複数のカセット１０２を保持するマガジン１０５は、ロードロック１２０の密閉可能なチャンバ１２０Ｃ内に挿入される（図８、ブロック８００）。例えば、ドア１２０Ｄは開放され、マガジン１０５は、手動または任意の適切な搬送の自動化など、任意の適切な方法で搬送シャトル１２０ＭＳ上に運動学的に配置される。ドア１２０Ｄは、密閉可能なチャンバ１２０Ｃを密閉あるいは隔離するために閉鎖される。ロードロックは、チャンバ１２５Ｃ内の圧力と適合するか実質的に等しくなるようにポンプされ、搬送シャトル１２０ＭＳは、バルブＶ２Ｇの上部で所定のカセット１０２Ａを位置合わせするために移動させられる（図８、ブロック８０５）。バルブＶ２Ｇは開放されているので、チャンバ１２０Ｃの内部はチャンバ１２５Ｃの内部と通じている（図８、ブロック８１０）。カセットシャトル１２６は、所定のカセット１０２Ａを運動学的に係合するために、矢印７００の方向に移動する（図８、ブロック８１５）。所定のワークピースがワークピース配置ユニット１０４の動作範囲内で位置付けられるように、マガジン１０５（およびそのそれぞれのカバー５９０）からカセット１０２Ａを取り出すために、カセットシャトル１２６は矢印７０１の方向に移動する（図８、ブロック８２０）。理解され得るように、一態様において、ワークピース配置ユニット１０４に対するカセット１０２Ａ（およびその中のワークピース）の配置は、マガジンシャトル１２０ＭＳ上に保持されるマガジン１０５の１つまたは複数のカセット１０２上に保持されるワークピースのバッチの、所定のバッチワークピース処理順序（データ構造ＤＳにより、またはデータ構造ＤＳにおいて定められる、図１Ａ参照）に対応する。バルブＶ２Ｇは閉鎖される（図８、ブロック８２５）。
【００７１】
ワークピース配置ユニット１０４は、カセット１０２からワークピース４００を取り出すようにエンドエフェクタ１０１を配置するため、方向７０３、７０４、７０５（例えば、Ｘ方向、Ｙ方向および傾動方向）の１つまたは複数に移動し（図８、ブロック８３０）、カセット１０２からワークピースを取り出す（図８、ブロック８３５）。カセットシャトル１２６は、カセットを緩衝位置に移動させるために矢印７０１の方向にさらに移動し（図８、ブロック８４０）、ワークピース配置ユニット１０４は、ワークピースを所定の向きに位置合わせするため、プリアライナステージ１０３上にワークピース４００を配置するよう方向７０２、７０４、７０５の１つまたは複数に移動する（図８、ブロック８４５）。理解され得るように、一態様において、プリアライナステージ１０３から得られる、ワークピース４００の位置合わせについてのデータは、データ構造ＤＳに含めるために任意の適切な方法で制御装置１９９に伝えられる。一態様において、プリアライナステージ１０３は、例えばプリアライナステージがカセットシャトル１２６から独立してフレーム１４０Ｆに可動に取り付けられると、矢印７０１の方向に後退される（図８、ブロック８５０）。プリアライナステージ１０３がカセットシャトル１２６に取り付けられる（すなわち、プリアライナステージおよびカセットシャトルはユニットとして移動する）別の態様においては、カセットシャトルはワークピースの位置合わせの後に後退される。さらに別の態様において、プリアライナステージ１０３はＺ軸に沿って静止しており、後退されなくてもよい（例えば、プリアライナステージは、ワークピース配置ユニット１０４が処理モジュールＰＭにアクセスすることを可能にするよう配置される）。バルブＶ１Ｇは、ポート１２５Ｐを通した処理モジュールＰＭへのアクセスを可能にするために開放される（図８、ブロック８５５）。
【００７２】
処理のために処理モジュールＰＭ内にワークピース４００を配置し（図６、ブロック８６０）、一態様においては、ワークピース４００はエンドエフェクタ１０１により保持されており、また別の態様においては、処理モジュールＰＭの配置ステージＰＳ上にワークピース４００を配置するため、ワークピース配置ユニット１０４は、方向７０３、７０４、７０５（例えば、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向および傾動方向であり、傾動方向は、開示内容全体が参照により本明細書に組み込まれる、２０１４年１１月１１日に出願された代理人整理番号が１２１０Ｐ０１５００７−ＵＳ（ＰＡＲ）の「Workpiece Transport and Positioning Apparatus」と題された米国特許出願に記載の、第１の傾動軸ＴＸおよび第２の傾動軸ＴＸ２を含む）の１つまたは複数に移動する。例えば、ワークピース４００が配置ステージＰＳ上で処理され、配置ステージＰＳにより配置される（例えば、処理中に）場合、ワークピース配置ユニット１０４は、配置ステージＰＳ上にワークピース４００を置くので、配置ステージＰＳが処理のためにワークピースを処理モジュールＰＭ内に配置する。一態様において、ワークピースの処理命令は、例えば処理モジュール内でのワークピースの移動（一態様においては、ワークピースが位置付けられるエンドエフェクタの移動を通した移動、また別の態様においては、ワークピースが位置付けられる配置ステージＰＳの移動を通した移動）を含む、処理モジュールＰＭによるワークピース４００の処理、および処理モジュールＰＭによるワークピース４００の処理をもたらすために、データ構造ＤＳから制御装置１９９により処理モジュール（および／または、処理モジュールのオペレータ）に伝えられる。理解され得るように、自動化搬送および配置システム１００、特にワークピース配置ユニット１０４は、対物レンズチャンバ８ＣＨ（上述）と共通の大気を共有する、対物レンズチャンバの外部のワークピース／試料取り出し位置を有し、自動化搬送および配置システム１００の駆動セクションは、取り出し位置（例えば、ワークピース保持ステーション１７６）から、例えば、トモグラフィー検査位置（例えば、処理位置１７７）へのエンドエフェクタの移動をもたらし、独立した複数自由度により、試料のトモグラフィー検査の配置を一度の移動でもたらす。
【００７３】
一態様において、ワークピース４００の処理中に得られた処理データは、データ構造ＤＳに含むために、処理モジュールＰＭによって制御装置に伝えられる。ワークピース配置ユニット１０４は、処理モジュールＰＭから後退し、バルブＶ１Ｇは閉鎖される（図７Ｆ）。カセットシャトル１２６は、カセット１０２を配置するために矢印７０１Ａの方向に移動するので、ワークピース配置ユニット１０４は、ワークピースが取り出されたカセット１０２内のポケット５００にワークピース４００を戻す（図８、ブロック８６５）。理解され得るように、一態様においては、カセット１０２がマガジン１０５に戻される前に、カセット１０２により保持される追加のワークピースが、例えば上述の所定のバッチワークピース処理順序で処理される。バルブＶ２Ｇは開放され、カセットシャトル１２６はカセット１０２をマガジン１０５に戻し、バルブＶ２Ｇは閉鎖され、搬送シャトル１２０ＭＳはチャンバ１２０Ｃからのマガジンの取り外しのために、所定の位置へと移動する（図８、ブロック８７０）。別の態様において、搬送シャトル１２０ＭＳは、別のワークピース（または複数のワークピース、例えば、異なるカセットにより保持されるワークピースのバッチ）の処理のため、および／または、２つ以上のカセット１０２に画定されるワークピースのバッチの処理を継続するため、異なるカセット１０２をバルブＶ２Ｇと位置合わせする。
【００７４】
図９を参照すると、上述のように、制御装置１９９は、１つまたは複数のワークピース上に位置付けられる試料の追跡および分析をもたらすデータ構造ＤＳを含む。上述のように、制御装置１９９は、１つまたは複数のワークピース上に位置付けられる試料の追跡および分析をもたらすデータ構造ＤＳを含む。一態様において、制御装置１９９は、データ構造ＤＳを生成および維持するように構成されるニューラルネットワークおよび／またはステートマシンを含むが、別の態様において制御装置は、データ構造ＤＳを生成および維持するように構成される任意の適切な処理／プロセッサを含む。一態様において、ニューラルネットワークおよび／またはステートマシンは、本明細書に記載されるように、データ構造ＤＳ内の情報に基づいて、自動化搬送および配置システム１００の動作および処理フロー（例えば、どのワークピースがどの順番でどの処理モジュールに運ばれるかなど、自動化搬送部のルーティング、処理のスケジューリング、および／または、ワークピースの処理順序の制御、など）を制御するように構成される。データ構造は、本明細書に記載されるように、サンプルがワークピース上に置かれた時点からサンプルの最終的な分析結果を得るまで、ワークピース４００が、例えば検査室または他の設備（本明細書に記載）のどこにあるかについてのデータ、ならびに、サンプルに行われる処理についてのデータを含む。一態様において制御装置１９９は、ユーザが、分析結果、または検査室または他の設備内のサンプルの場所を含むデータ構造ＤＳ内の他の任意のデータを見ることができるように構成されるユーザインターフェースＵＩを含む。
【００７５】
一態様においてデータ構造ＤＳは、自動化搬送および配置システム１００、処理モジュールＰＭ、またはワークピース／試料を保管、搬送および／または分析するように構成される他の任意の適切な検査室装置を通して処理される、ワークピース／試料のバッチに関する情報を含む。理解され得るように、生物学的構造体、金属構造体、半導体構造体など、任意の適切な構造体または試料１０７０（例えば、原料物質）は、任意の適切な方法でサンプルへと分割され、各サンプルは、任意の適切な方法でそれぞれのワークピース４００に取り付けられる。各サンプルはワークピース４００と関連付けられ（例えば、試料はワークピースに取り付けられる）、各ワークピースはカセット１０２と関連付けられ、各カセットはマガジン１０５と関連付けられ、ワークピース４００の各処理ステップでデータ構造ＤＳが更新されるので、データ構造ＤＳは、サンプルの１つまたは複数の所定の特性／物理的属性をワークピース４００の固有の識別子に関連付ける。理解され得るように、データ構造ＤＳは、共通の構造体１０７０から取られた試料をそれぞれに対しても関連付けるので、個別のサンプル（ワークピースに関連付けられる）は全体として追跡および分析され、その結果、構造体１０７０の特性の自動判定は、構造体１０７０全体に対してなされる（以下にさらに詳細に記載）。理解され得るように、視覚システム（本明細書に記載のセンサを含む）は、処理全体にわたってワークピース４００、カセット１０２およびマガジン１０５を識別するので、処理ステップおよび他の集められた情報は、本明細書に記載されるように、データ構造ＤＳ（および検査室情報管理システムＬＩＭＳ）において、対応するワークピース４００（およびその上の試料）に関連付けられる。
【００７６】
また図１を参照すると、理解され得るように、ワークピース処理システムまたは設備１００ＰＳにわたるワークピース４００（およびその上の試料サンプル）の移動は、上述の自動化搬送および配置システム１００の、駆動軸（例えば、駆動部またはモータ）Ａ１Ｌ、Ａ２Ｌ、Ａ３Ｌ、Ａ４Ｌ、Ａ５Ｌ、Ａ６Ｌ、Ａ７Ｒ、Ａ８Ｒ、Ａ１５Ｒなど、１つまたは複数の搬送部の１つまたは複数の駆動軸によってもたらされる。駆動軸Ａ１Ｌ、Ａ２Ｌ、Ａ３Ｌ、Ａ４Ｌ、Ａ５Ｌ、Ａ６Ｌ、Ａ７Ｒ、Ａ８Ｒ、Ａ１５Ｒはそれぞれ、データ構造ＤＳおよび／または検査室情報管理システムＬＩＭＳ（一態様においてはデータ構造ＤＳを含む）におけるワークピースの状態（例えば、位置状態、処理状態、ワークピースのバッチ内の順序の状態、向きの状態など）を更新するために、ワークピース４００（およびその上の試料サンプル）の位置に関するデータを制御装置１９９に与える。例えば、マガジン１０５は、任意の適切な方法（自動化搬送または手動）でロードロック１２０内に置かれ、スキャナＣＡＭ４などの任意の適切なスキャナは、マガジン１０５の識別マークを読み取り（図１０、ブロック２０００）、ロードロック１２０内に位置付けられている間のマガジン１０５内に配置されるワークピース４００の状態を更新するために、制御装置１９９に適切な信号を送る（図１０、ブロック２００５）。マガジン１０５内のカセット１０２を、例えばポート１２０Ｐと位置合わせするために、駆動軸Ａ１Ｌはマガジン１０５を移動させる（図１０、ブロック２０１０）。一態様において、駆動軸Ａ１Ｌは、所定のカセット１０２がポート１２０Ｐと位置合わせされたことを示す適切なエンコーダまたは他の位置データを制御装置１９９に送り、制御装置１９９は、例えば、密閉可能なチャンバ１２５Ｃ内に装着されるために配置されている、所定のカセット１０２のワークピース４００の状態を更新する（例えば、データ構造ＤＳにおいて）（図１０、ブロック２０１５）。一態様において、スキャナＣＡＭ１などの任意の適切なスキャナはカセットの識別マークを読み取り、カセット内のワークピースの状態を更新するために制御装置１９９に適切な識別データを送る。理解され得るように、一態様において、データ構造ＤＳの更新をもたらすために、駆動軸Ａ１Ｌ、Ａ２Ｌ、Ａ３Ｌ、Ａ４Ｌ、Ａ５Ｌ、Ａ６Ｌ、Ａ７Ｒ、Ａ８Ｒ、Ａ１５Ｒによって制御装置１９９に送られたデータ（および／または、センサＣＡＭ１〜ＣＡＭ５によって送られたデータ）は、任意の適切な方法で検査室情報管理システムＬＩＭＳにも入力される（例えば、制御装置およびデータ構造は、一態様においては検査室情報管理システムＬＩＭＳ内に組み込まれているか、有線または無線接続などを通した任意の適切な方法で検査室情報管理システムＬＩＭＳに接続される）。
【００７７】
駆動軸Ａ２Ｌは、ポート１２０Ｐを通してマガジン１０５から所定のカセット１０２を取り出し／配置するために、カセットシャトル１２６を移動させる（図１０、ブロック２０２０）。駆動軸Ａ２Ｌ（およびカセットシャトルのグリッパの駆動軸）は、制御装置１９９に適切なエンコーダまたは他の位置データを送り（例えば、データ構造ＤＳにおいてワークピースの状態を更新するため）、これは所定のカセット１０２（およびその中に位置付けられるワークピース）がカセットシャトル１２６によって把持され、所定の位置でＺ方向に配置されることを示すので、１つまたは複数のワークピース４００はカセット１０２から取り外され得る（図１０、ブロック２０２５）。一態様において、エンドエフェクタ１０１上のセンサＣＡＭ２および／またはセンサ２８１などの１つまたは複数のセンサは、カセット１０２および／またはワークピース４００の位置を確認し、および／または、識別をもたらし（例えば、１つまたは複数のワークピースの処理を追跡するため）、および／または、以下に記載されるように、エンドエフェクタの自動の配置およびエンドエフェクタによるワークピースの自動の捕捉をもたらす。駆動軸Ａ３Ｌ、Ａ４Ｌ、Ａ５Ｌ、Ａ６Ｌ、Ａ７Ｒ、Ａ１５Ｒの１つまたは複数は、カセット１０２からのワークピース４００の取り出し／配置のために、エンドエフェクタ１０１の移動をもたらす（図１０、ブロック２０３０）。上述の方法と実質的に同様の方法で、エンドエフェクタ１０１は、駆動軸Ａ３Ｌ、Ａ４Ｌ、Ａ５Ｌ、Ａ６Ｌ、Ａ７Ｒの１つまたは複数により制御装置１９９に任意の適切なエンコーダまたは他の位置データが送られる（例えば、データ構造ＤＳを更新するため）ように、カセット１０２のポケット５００から所定のワークピースを取り出し／配置するように配置され、これは、所定のワークピース４００がカセットから取り出され、またはカセットに置かれたことを示し、また所定のワークピース４００の、例えばＸ、ＹおよびＺ方向の１つまたは複数における位置を示す（図１０、ブロック２０３５）。上述のように、一態様において、エンドエフェクタ２８１および／または離れたエンドエフェクタセンサＣＡＭ２は、少なくとも、カセット１０２に対する所定のワークピース４００の取り出し／配置を確認する。一態様において、センサ２８１またはセンサＣＡＭ２は、データ構造ＤＳにおいてワークピースに関する処理情報を更新するために、ワークピースが取り出されていることを識別する。一態様において、制御装置１９９は、ワークピース４００（およびその上の試料）の電子顕微データを、ワークピース４００の識別マークに関連付ける。一態様において、各ワークピース４００の識別マークは、処理モジュールＰＭによりもたらされる、試料の、所定のグリッド／ワークピースのバッチ走査順序に関連付けられ、ワークピースは、カセット１０２においてワークピースのアレイで配置されている。一態様において、所定のグリッド／ワークピースのバッチ走査順序は、自動化搬送および配置システム１００への、カセット１０２の装着（例えば、ワークピース処理の順序）および／またはマガジン１０５の装着（例えば、カセット処理の順序および各カセットのワークピース処理の順序）により自動的に決定される。一態様において、ワークピース４００の識別マークは、ワークピースのバッチ上の試料が作製された原料物質構成を示す（図９参照）。
【００７８】
一態様において、エンドエフェクタ１０１上のセンサ２８１および／または離れたエンドエフェクタセンサＣＡＭ１〜ＣＡＭ５は、エンドエフェクタ１０１と所定の標的（例えば、把持されるべきワークピース４００、カセット１０２のポケット５００および／またはプリアライナステージ１０３などの、ワークピース保持位置、処理モジュールＰＭ内のエンドエフェクタ１０１／ワークピースの位置など）との間の相対的な位置データを制御装置１９９に与える。制御装置１９９は、エンドエフェクタ１０１と標的との間の相対的な位置決定を行うなどして、相対的な配置データに基づくエンドエフェクタ１０１（例えば、本明細書に記載のような）の移動を導くように構成されるので、エンドエフェクタは、例えばエンドエフェクタ１０１によるワークピース４００の自動の捕捉／解放、および／または、エンドエフェクタ１０１による所定の位置へのワークピース４００の自動の配置をもたらすために、自動的に移動／配置される（例えば、エンドエフェクタと標的との間の相対的な位置を変更する）。理解され得るように、相対的な位置データは、一態様においては、データ構造ＤＳにおけるワークピース４００の状態（例えば、処理および／または位置の状態）の変更をもたらす。例えば、センサ２８１、ＣＡＭ１〜ＣＡＭ５の１つまたは複数は、所定のワークピース４００を保持するカセット１０２のポケット５００だけでなく、エンドエフェクタ１０１も見る。制御装置１９９は、ワークピース４００および／またはポケット５００とエンドエフェクタとの間の相対的な位置に関して決定し、その相対的な位置に基づいて、制御装置１９９は、カセット１０２から所定のワークピースを取り出すため／カセット１０２に所定のワークピースを配置するため、エンドエフェクタの移動をもたらすように、駆動軸Ａ３Ｌ、Ａ４Ｌ、Ａ５Ｌ、Ａ６Ｌ、Ａ７Ｒ、Ａ１５Ｒに適切な制御命令を送る。理解され得るように、一態様において、エンドエフェクタとワークピース、ワークピース保持位置または処理位置との間の相対的な位置決定は、本明細書に記載されるようなエンドエフェクタの移動をもたらす一方で、別の態様においてエンドエフェクタの移動は、駆動軸のエンコーダデータを通すなど、任意の適切な方法でもたらされる。
【００７９】
カセット１０２から所定のワークピース４００が取り外されると、上述のように、ワークピースは、一態様においては上述の方法と実質的に同様の方法で、エンドエフェクタ１０１によりプリアライナステージ１３０上に置かれる（図１０、ブロック２０４０）。ここで駆動軸Ａ３Ｌ、Ａ４Ｌ、Ａ５Ｌ、Ａ６Ｌ、Ａ７Ｒ、Ａ１５Ｒは、所定のワークピースがプリアライナステージ１０３上に置かれたことを示す適切なエンコーダまたは他の位置データを制御装置１９９に送るので、ワークピースの状態はデータ構造ＤＳにおいて更新される（図１０、ブロック２０４５）。プリアライナの駆動軸Ａ８Ｒは、ワークピースの位置合わせをもたらし（図１０、ブロック２０５０）、所定のワークピースが所定の処理方向に向けられたことを示す適切なエンコーダまたは他の位置データを制御装置１９９に送り、ワークピース４００の状態はデータ構造ＤＳにおいて更新される（図１０、ブロック２０５５）。理解され得るように、センサ２８１および／またはＣＡＭ１〜ＣＡＭ５などの視覚システムは、一態様においては、ワークピース４００の位置を確認し（および／または識別し）、および／または、データ構造ＤＳにおけるワークピースの状態を更新するために、制御装置に位置データ（駆動軸データに替えて、またはそれに加えて）を提供する。制御装置１９９は、プリアライナステージからのワークピース４００の取り出しをもたらすように駆動軸Ａ３Ｌ、Ａ４Ｌ、Ａ５Ｌ、Ａ６Ｌ、Ａ７Ｒ、Ａ１５Ｒに命令し（図１０、ブロック２０６０）、ワークピースの状態は、駆動軸および／または視覚システムによって提供されるデータに基づき更新される（図１０、ブロック２０６５）。
【００８０】
制御装置１９９はカセットシャトル１２６の駆動軸Ａ２Ｌに、カセット１０２をＺ方向に移動させるよう命令するので、ワークピース配置ユニット１０４は処理モジュールＰＭへのアクセスを有する。制御装置１９９は、ポート１２５Ｐの開放を命令し、処理モジュールＰＭ内へのエンドエフェクタ１０１の自動の配置をもたらすように駆動軸Ａ３Ｌ、Ａ４Ｌ、Ａ５Ｌ、Ａ６Ｌ、Ａ７Ｒ、Ａ１５Ｒに命令するので、エンドエフェクタ上に保持されるワークピースは、処理モジュールＰＭ内の所定の処理位置に配置される（図１０、ブロック２０７０）。上述の方法と実質的に同様の方法で、駆動軸Ａ３Ｌ、Ａ４Ｌ、Ａ５Ｌ、Ａ６Ｌ、Ａ７Ｒ、Ａ１５Ｒおよび／または視覚システム（センサ２８１および／またはＣＡＭ１〜ＣＡＭ５など）は、所定のワークピース４００が処理モジュールＰＭ内の所定の位置に位置付けられていることを示す適切なエンコーダまたは他の位置データを制御装置１９９に送るので、ワークピースの状態はデータ構造ＤＳにおいて更新される（図１０、ブロック２０７５）。
【００８１】
一態様において、ワークピース配置ユニット１０４による処理モジュール内へのワークピース４００の移動は、上述の方法と実質的に同様の方法で相対的な位置データによって自動的にもたらされるか、および／または、駆動軸Ａ３Ｌ、Ａ４Ｌ、Ａ５Ｌ、Ａ６Ｌ、Ａ７Ｒ、Ａ１５Ｒから制御装置１９９に受け取られたデータによって自動的にもたらされる。理解され得るように、ワークピースは、ワークピース上の試料サンプルの撮像をもたらすために任意の適切な方法で処理中に処理モジュール内で移動させられ（図１０、ブロック２０８０）、ワークピースの状態は、その移動に基づきデータ構造ＤＳ内で更新される（図１０、ブロック２０８５）。一態様において、ワークピースの状態（例えば、位置および撮像の状態）は、処理の間、実質的に継続して更新される。一態様において、センサ２８１および／またはセンサＣＡＭ５は、データ構造ＤＳにおいてワークピース４００の状態を更新するために、処理チャンバにおけるワークピース４００の位置を確認（および／または識別）する。処理後、所定のワークピースは、カセット１０２に戻るように移送されるので、カセット内の他のワークピースが処理される（図１０、ブロック２０９０）。カセットはマガジンに戻され、マガジンはロードポート１２０から取り外される。理解され得るように、ワークピースの処理の各ステップ（自動化搬送および配置システム１００からの、ワークピース４００、カセット１０２およびマガジン１０５の取り外し、ならびにそれに続く、それぞれのカセットからのワークピースの保管または取り外しを含む）で、データ構造ＤＳにおいてワークピースの１つまたは複数の状態が本明細書に記載の方法で更新される。
【００８２】
一態様において、データ構造ＤＳは、例えば、共通の構造体１０７０に関するサンプルバッチの順序に関連付けられる一連のデータ点（上述の試料分析中に得られた処理／分析データから形成される）を提供する。制御装置１９９は、一態様においては、各試料のデータ点を分析し、サンプルバッチの順序に関連付けられる構造体１０７０の分析に関する全体の結果の結論を提供することによって、構造体１０７０の特性（例えば、化学的構造、物理的構造、生物学的組織の状態または健康状態、構造体の構造的一体性）の自動の決定を提供する。理解され得るように、サンプルの生成およびそれぞれのワークピース４００上へのサンプルの配置から、構造体（サンプルからなる）に関する全体的な結果の結論までの、データ構造ＤＳによる構造体１０７０のサンプルの追跡は、構造体１０７０の各サンプルの自動化分析の間、全体の構造体１０７０の一体性を維持する。
【００８３】
図１Ｄ、１Ｅ、１Ｈ、６Ａ〜６Ｅ、１１および１１Ａ〜１１Ｃを参照すると、一態様において、自動化搬送および配置システム１００は、ワークピース処理システム１００ＰＳの一部であるか、ワークピース処理システム１００ＰＳに一体化される。ワークピース処理システムは、一態様においては、例えば、床７４および天井／屋根（図示せず）により互いに対して接続される壁７３Ａ、７３Ｂ、７３Ｃ、７３Ｄを有する任意の適切な設備または容器７３内に位置付けられる。任意の適切な理由による容器７３内へのオペレータのアクセスを可能にするために、ハウジング７３用のアクセスドアＡＤが設けられる。ワークピース処理システムまたは設備１００ＰＳは、例示のみを目的として、１つまたは複数のサンプル調製モジュール１０００、１つまたは複数のワークピースシーケンサモジュール１０９９、１つまたは複数の自動化マガジン装着装置１００２、１つまたは複数の自動化搬送および配置システム１００（およびそれぞれの処理モジュールＰＭ）、１つまたは複数の保管モジュール１０６９および１つまたは複数の自動化搬送部１００１を含み、これらは全て、一態様においては任意の適切な方法で（例えば、有線または無線接続などを通して）制御装置１９９に接続される。一態様において、１つまたは複数の自動化搬送部１００１は、１つまたは複数のワークピースシーケンサモジュール１０９９へ／から、ワークピース４００および／またはカセット１０２を装着／除去し、１つまたは複数の自動化マガジン装着装置１００２へ、カセットおよび／またはマガジン１０５を装着／除去し、１つまたは複数の自動化搬送および配置システム１００へ／から、マガジン１０５を装着／除去する、前部装着の自動化を形成する。一態様において、設備７３、サンプル調製モジュール１０００、ワークピースシーケンサモジュール１０９９、自動化マガジン装着装置１００２、自動化搬送および配置システム１００（およびそれぞれの処理モジュールＰＭ）、保管モジュール１０６９および自動化搬送部１００１の１つまたは複数は、ワークピース上に保持されるサンプル試料を所定の温度に維持するために、任意の適切な温度制御部を含む。一態様において、試料サンプルは、例えば、極低温に維持されるが、別の態様において試料サンプルは、設備７３、サンプル調製モジュール１０００、ワークピースシーケンサモジュール１０９９、自動化マガジン装着装置１００２、自動化搬送および配置システム１００（およびそれぞれの処理モジュールＰＭ）、保管モジュール１０６９および自動化搬送部１００１の１つまたは複数によって、任意の適切な温度に維持される。理解され得るように、マガジン１０５およびカセット１２０も、一態様においては、試料サンプルを所定の温度に維持するように任意の適切な方法で構成される。例えば、カセット１０２およびマガジン１０５は、一態様においては、試料サンプルの温度を維持するためにヒートシンクとして構成される。別の態様において、マガジン１０５および／またはカセット１０２は、試料サンプル（例えば、ワークピース上）が位置付けられる密閉され、冷却された環境を含む。
【００８４】
１つまたは複数の自動化搬送部１００１は、共通のトラック１００１Ｔのセットに沿って移動するように構成されるマガジン搬送ユニット１００１Ａと、カセット搬送ユニット１００１Ｂとを含む。別の態様においては、カセット搬送ユニット１００１Ｂ用のトラックのセットとは分離し異なる、マガジン搬送ユニット１００１Ａ用のトラックのセットが存在する。一態様において、マガジン搬送ユニット１００１Ａは、マガジン１０５の自動化操作機構ＡＦ（図４Ａ〜４Ｅを参照）を把持し、自動化マガジン装着装置１００２、自動化搬送および配置システム１００および保管モジュール１０６９の間で、（中に位置付けられるカセット１０２を有するか、または有さない）マガジン１０５を搬送するための、任意の適切なグリッパ１００１ＡＧを含み、マガジンの運動学的機構６１０〜６１２は、自動化搬送および配置システム１００および保管モジュール１０６９においてマガジン１０５を位置付ける。一態様において、自動化搬送および配置システム１００の自動化搬送シャトル１２０ＭＳは、例えば、自動化搬送シャトル１２０ＭＳをチャンバ１２５Ｃの上面に配置されるドア１２０Ｄと位置合わせする、頭上の搬送インターフェース位置を有する。上述のように、自動化搬送シャトルは、自動化搬送シャトル１２０ＭＳに対してマガジン１０５を運動学的に位置付けるために、マガジン１０５の運動学的機構６１０〜６１２とインターフェースをとる運動学的機構ＫＦＦ（図１Ｄ）を含む。また上述のように、マガジンは、運動学的機構６１０〜６１２と既知の関係にある自動化操作機構ＡＦを含む。自動化操作機構ＡＦは、例えば、マガジン搬送ユニット１００１Ａのグリッパ１００１ＡＧとインターフェースをとるように構成される。マガジン搬送ユニット１００１Ａは、所定の自動化搬送および配置システム１００にマガジン１０５を搬送し、マガジン１０５を、チャンバ１２５Ｃの上面のドア１２０Ｄと位置合わせするので、マガジン搬送ユニット１００１Ａによってマガジン１０５がドア１２０Ｄを通して降下されると、マガジンの運動学的機構６１０〜６１２は、搬送シャトル１２０ＭＳの運動学的機構ＫＦＦと実質的に位置合わせされる。
【００８５】
カセット搬送ユニット１００１Ｂは、カセット１０２の自動化操作／運動学的機構５１０、５１１を把持し（例えば、図３Ａ〜３Ｆ参照）、ワークピースシーケンサモジュール１０９９と自動化マガジン装着装置１００２との間でカセット１０２を搬送するための、任意の適切なグリッパ１００１ＢＧを含み、カセット１０２の運動学的機構５１０は、ワークピースシーケンサモジュール１０９９および自動化マガジン装着装置１００２にカセット１０２を位置付けるために、カセットの側面などの基準面に対して配置される。一態様において、共通の自動化搬送ユニットは、ワークピース処理システム１００ＰＳの任意の適切な場所間で、マガジン１０５およびカセット１０２の一方を搬送するために、マガジン１０５の自動化操作機構ＡＦと、カセット１０２のカセット自動化操作／運動学的機構５１０、５１１との両方を把持するように構成される。一態様において、１つまたは複数の自動化搬送部１００１は、サンプル調製モジュール１０００とワークピースシーケンサモジュール１０９９との間でワークピースを搬送するために、任意の適切な搬送部を含む。一態様において、自動化搬送部１００１は、頭上での材料操作システム（例えば、ガントリーシステム）であるが、別の態様において自動化搬送部１００１の１つまたは複数は、コンベヤまたは他の任意の適切な機械化された搬送部である。理解され得るように、カセット１０２およびマガジン１０５の搬送部は、手動でも行われ得る。
【００８６】
サンプル調製モジュール１０００は、構造体または試料１０７０からサンプル１０７０Ｓ１〜１０７０Ｓｎ（概して１０７０Ｓ）を調製し、そのサンプルをワークピース４００Ａ〜４００ｎ（概して４００）上に置くように構成される任意の適切なモジュールである。サンプル調製モジュール１０００はそれぞれ、例えば、特定のサンプル１０７０Ｓが取り付けられるワークピース４００や、本明細書に記載のデータ構造ＤＳの母集団をもたらす他の任意の適切な情報を識別する、適切な識別信号を、制御装置１９９に送るように構成される任意の適切な視覚システム１０００Ｖ（一態様においては、本明細書に記載される視覚システム１０８０Ｖと同様）を含むことに留意する。別の態様において、試料／ワークピースの関係は、任意の適切な方法で、取得され、データ構造ＤＳに含むために制御装置１９９に送られる。
【００８７】
ワークピースシーケンサモジュール１０９９は任意の適切な方法で１つまたは複数のサンプル調製モジュール１０００に接続されるので、ワークピース４００上に置かれるサンプル１０７０Ｓは、その間で移送される。ワークピースシーケンサモジュール１０９９は、例示としてのみ図１１Ａに示されているが、ワークピースシーケンサモジュール１０９９は、任意の適切なサンプル調製モジュール１０００から１つまたは複数のカセット１０２に、上にサンプル１０７０Ｓを備えるワークピース４００を移送するために、任意の適切な構造、機構および／または構成部品を含み、ワークピース４００は、上述のような所定の順序（図９参照）でカセット１０２に配置されるので、この所定の順序は、試料／構造体１０７０の構造を表すことが理解されるべきである。例示のみを目的として、ワークピースシーケンサモジュール１０９９は、フレーム１０９９Ｆと、フレームに取り付けられるカセットホルダ１０９８と、フレーム１０９９Ｆに取り付けられる自動化ワークピース搬送部１０９０とを含む。カセットホルダ１０９８は、任意の適切な方法で１つまたは複数のカセット１０２を保持するように構成されるので、自動化搬送部１００１（カセット搬送ユニット１００１Ｂなど）は、カセットホルダ１０９８と、例えば自動化マガジン装着装置１００２との間で、１つまたは複数のカセット１０２を移送する。一態様において、カセット１０２は任意の適切な方法でカセットホルダ１０９８に運動学的に位置付けられる（例えば、ワークピース保持ポケット５００を位置付けるために、カセットの少なくとも１つの面が基準座面を示し、基準座面は、カセット１０２の自動化操作／運動学的機構５１０、５１１と既知の関係にある）ので、カセットのワークピース保持ポケット５００はそれぞれ、例えば自動化ワークピース搬送部１０９０に対して既知の位置に位置付けられる。
【００８８】
一態様において、自動化ワークピース搬送部１０９０は、サンプル調製モジュール１０００とカセット１０２との間でワークピースを取り出し配置するために、少なくとも３自由度（例えば、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸に沿って）を含むが、別の態様において自動化ワークピース搬送部１０９０は、３自由度より多いか、または少ない自由度を含む。例えば、自動化ワークピース搬送部１０９０は、少なくともＸ、ＹおよびＺ方向への移動のためにワークピースホルダ１００４が取り付けられる、Ｙ軸ステージ１０１０、Ｘ軸ステージ１０１１およびＺ軸ステージ１０１２を含む。一態様において、自動化ワークピース搬送部１０９０は、ワークピースホルダ１００４が回転し、複数の平行および／または垂直な平面における任意の適切なワークピース保持ステーション（例えば、サンプル調製モジュール１０００、他のカセットホルダなど）からワークピースを取り出し／配置することを可能にする１つまたは複数の回転軸ＲＡ１、ＲＡ２を含む。ワークピースホルダ１００４は、一態様においては上述のエンドエフェクタ１０１と実質的に同様の、ワークピース４００を把持および保持するように構成される任意の適切なエンドエフェクタ１００４Ｅを含む。一態様において、エンドエフェクタ１００４Ｅは、複数のワークピースを保持するエンドエフェクタである。例えば、図１１Ｂおよび１１Ｃを参照すると、エンドエフェクタ１０４Ｅ１、１０４Ｅ２はそれぞれ、２つのワークピース４００を、積み重なって上下に、または共通の平面において隣り合って、保持するように構成される。理解され得るように、エンドエフェクタ１０４Ｅ１、１０４Ｅ２は、他の態様においては、任意の適切な数のワークピースを、互いに対する任意の適切な空間的配置で保持するように構成される。また理解され得るように、エンドエフェクタ１０４Ｅ１、１０４Ｅ２上のワークピース間の間隔は、カセット１０２または他の任意の適切なワークピース保持位置から／への、実質的に同時のワークピースの取り出し／配置を可能にするために、カセット１０２のポケット５００の間隔と実質的に同一である。
【００８９】
一態様において、ワークピースシーケンサモジュール１０９９は、自動化ワークピース搬送部を用いたワークピース４００の操作および／またはワークピース４００およびその上に保持されるサンプル１０７０Ｓの識別（例えば、後述のデータ構造ＤＳに対して）をもたらすために、ワークピース４００（例えば、図２Ａ参照）の１つまたは複数の位置付け機構（基準４０４Ａ〜４０４Ｄなど）および固有の識別子（バーコード４０２Ａ、４０２Ｂ、および／または、識別子４０３など）を撮像あるいは検出するための、１つまたは複数のセンサ１０８０を含む任意の適切な視覚システム１０８０Ｖ（例えば、一態様において視覚システムは、他の適切な光学的および／または無線周波数読み取り器を含む）を含む。一態様において、１つまたは複数のセンサ１０８０は、基準４０４Ａ〜４０４Ｄ、バーコード４０２Ａ、４０２Ｂおよび／または識別子４０３を、読み取りまたは認識するように構成されるＣＣＤカメラまたは他の撮像装置である。１つまたは複数のセンサ１０８０は、例えば、自動化ワークピース搬送部１００４、カセット１０２および／またはサンプル調製モジュール１０００に対して任意の適切な位置に配置されるので、例えば自動化ワークピース搬送部１００４のエンドエフェクタ１００４Ｅにより保持されるワークピース４００を見ると、視覚システム１０８０Ｖから制御装置１０９９へ、適切な識別信号が送られる。
【００９０】
上述のように、自動化搬送部１００１は、カセットホルダ１０９８と自動化マガジン装着装置１００２との間でカセット１０２を搬送するように構成される。理解され得るように、自動化搬送部１００１は、自動化搬送および配置システム１００にカセット１０２（マガジン１０５内に位置付けられている）を搬送するようにも構成される。
【００９１】
一態様において、データ構造ＤＳは、ワークピース４００の固有の識別子に、記述子、例えば、ワークピース４００上に位置付けられるサンプル１０７０Ｓの識別、試料／サンプルの種類の１つまたは複数（例えば、試料／サンプルが何か）、サンプルのサイズ、ワークピースおよび／またはワークピースホルダ／グリッパに対するサンプルの位置／向き、サンプルのバッチにおけるサンプル順序（例えば、構造体１０７０が分析のために複数のサンプルに分割されている場合など）、サンプルのバッチにおけるサンプルの場所、試料／サンプルの源（例えば、試料がどこから、誰から、および／または何から得られたか）、ワークピースのバッチにおけるワークピースに対する、所定のバッチワークピース処理順序、試料を処理するための指示、共通の試料からのサンプル群の、全体としての分析、サンプルの最終目的地、または試料／サンプルの、他の任意の適切な特性／物理的属性を関連付けるデータフィールドを含む。理解され得るように、ワークピース４００およびその上のサンプル１０７０Ｓが処理されるにつれて（例えば、ワークピース上への試料サンプルの取り付けから、試料の最終的な分析および／または保管まで）、ワークピースに関する処理ステップの１つまたは複数およびイベントログを含む処理ヒストリが、そのサンプルに関するデータ構造ＤＳに保管され、それぞれのワークピース４００に対するそれぞれの固有の識別子に関連付けられる。
【００９２】
また図１を参照すると、上述のように、制御装置１９９は、データ構造ＤＳを用いて、ワークピース／サンプルのバッチ（一態様においては連続番号）における各ワークピース４００（およびその上のサンプル１０７０Ｓ）を追跡するように構成される。一例として、一態様においては、構造体または試料１０７０（例えば、原料物質）は、例えばサンプル調製モジュール１０００によって、複数のサンプル１０７０Ｓ１〜１０７０Ｓｎに分割される（図１２、ブロック９００）。ワークピース４００は、例えばサンプル調製モジュール１０００の、自動化ワークピース搬送部１００４Ａによって取り出されるか、あるいは回収される。別の態様において、自動化ワークピース搬送部１００４は、ワークピース４００を取り出し、サンプル調製モジュール１０００に配置する。自動化ワークピース搬送部１００４、１００４Ａは、任意の適切な読み取り器（視覚システム１０００Ｖまたは他の無線周波数読み取り器など）に近接してワークピース４００を配置し、そのワークピースの識別は、制御装置１９９に送られる（図１２、ブロック９０２）。サンプル１０７０Ｓがそれぞれのワークピース４００上に置かれると、ワークピースの状態における変化は、データ構造ＤＳに記録され、サンプル１０７０Ｓとワークピース４００との間の関連付けが形成され、任意の適切な識別データ信号が制御装置１９９に送信されるので、ワークピース４００上に置かれるサンプル１０７０Ｓは、データ構造ＤＳにおける該当するワークピース４００に関連付けられる（図１２、ブロック９０４）。一態様において、識別データ信号は、サンプル調製モジュール１０００の視覚システム１０００Ｖ（または他の適切な読み取り器）によって送信されるが、別の態様においてサンプル１０７０Ｓをワークピース４００に関連付ける識別データ信号は、自動化ワークピース搬送部１００４によるワークピース４００（上にサンプル１０７０Ｓを備える）の搬送中、視覚システム１０８０Ｖ（または他の適切な読み取り器）によって送信される。別の態様においては、サンプル１０７０Ｓとワークピース４００との間の関連付けを形成するため、適切なデータがスキャナＳＣＲによって制御装置１９９に送信されるように、（例えば、視覚システムの）任意の適切なスキャナＳＣＲは、ワークピースのパッシブまたはアクティブな媒体（例えば、ＲＦＩＤチップ、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）送信機など）を読み取る。理解され得るように、ワークピース４００のマークを識別することにより、データ構造ＤＳと共に、サンプル処理全体にわたる順序付けられたサンプルのバッチの各サンプル１０７０Ｓの追跡をもたらし、また、マークの識別に基づく順序でのサンプル１０７０Ｓの配置をもたらし、各サンプル１０７０Ｓに関する処理情報（例えば、ワークピース４００へのサンプルの取り付けから、サンプル分析および／または保管の最終結果まで）はデータ構造ＤＳにおいてそれぞれの識別マークにリンクされる。
【００９３】
一態様において、制御装置１９９は、自動化ワークピース搬送部１００４を制御するので、ワークピース（およびその上のサンプル）は、所定の順序で１つまたは複数のカセット１０２のポケット５００内に置かれ、所定の順序およびデータ構造ＤＳにおいてワークピースに関連付けられるデータは、分析されている構造体１０７０の構造を実体化する。ワークピース４００が１つまたは複数のカセット１２０に置かれる所定の順序は、任意の適切な基準に基づく。例えば、構造体１０７０から連続して取得されたサンプル１０７０Ｓは、例えば、サンプル１０７０Ｓが構造体１０７０から取得された順番に一致する、所定の順番で１つまたは複数のカセット１０２に置かれる。一態様において、１つまたは複数のサンプルバッチは、例えば、サンプル（例えば、共通の構造体１０７０などから取得される）間の関係または他の任意の適切な基準に基づき、制御装置１９９により識別され（図１２、ブロック９０５）、バッチは、制御装置１９９および／またはデータ構造ＤＳにより識別される所定の順番または順序で処理される。別の態様において、ワークピース４００（およびその上のサンプル）は、任意の適切な方法でカセット１０２のポケット５００に置かれる。ワークピース４００（およびその上のサンプル）がカセット１０２にどのように配置されているかにかかわらず、ワークピースのバッチにおける各ワークピース４００が本明細書に記載の方法で１つまたは複数のカセット１０２に装着される（例えば、図３Ｉ参照）と（または装着される前に）、ワークピース４００とワークピース４００が置かれるカセット１０２との間で関連付けが行われ、１つまたは複数のカセット１０２の固有の識別子（例えば、図３Ａのバーコード５０１Ａを参照）は、データ構造ＤＳにおいてそれぞれのワークピース４００の固有の識別子と関連付けられる。例えば、自動化搬送部１００４は、サンプル調製モジュール１０００から視覚システム１０８０Ｖに近接する場所またはワークピースシーケンサモジュールの他の適切な読み取り器に、ワークピース４００（上にサンプル１０７０Ｓを備える）を移動させるので、ワークピース４００（およびその上のサンプル１０７０Ｓ）は、カセット１０２のポケット５００への配置のために識別される（図１２、ブロック９０７）。
【００９４】
一態様において、自動化ワークピース搬送部１００４は、カセット１０２のポケットのアレイにおける所定のカセットポケット５００の場所に、ワークピース４００を置く（図１２、ブロック９０９）。ワークピースの状態は更新されるので、各ワークピース４００がそれぞれのポケット５００の場所と関連付けられ、それぞれのカセットの運動学的特徴に対する各ワークピースの場所が既知となる（図１２、ブロック９１０）。一態様において、制御装置１９９は、データ構造ＤＳにおいてワークピース／カセットの関連付けおよびワークピース／ポケットの関連付けを行い、自動化ワークピース搬送部１００４に、所定のカセット１０２の所定のポケット５００にワークピース４００を置くよう指示するように構成される。別の態様において、視覚システム１０８０Ｖは、制御装置１９９に識別信号を送り、ワークピース４００の固有の識別子、ならびにカセット１０２のカセットおよびポケットの識別子（上述のような）に基づき、ワークピースがどのカセット１０２のどのポケット５００に置かれたかを示す。理解され得るように、制御装置１９９が、ワークピース４００が置かれるべきポケット５００を規定する場合、制御装置は、ワークピースを搬送するために自動化ワークピース搬送部１００４に任意の適切な搬送プロトコルを送り、カセット１０２におけるワークピースの場所は、視覚システム１０８０ＶやスキャナＳＣＲを用いるなど、任意の適切な方法で確認される（図１２、ブロック９１１）。一態様において、カセット１０２へのワークピースの配置が確認されると、ワークピース４００がカセット１０２に適切に配置されたことを示すためにデータ構造においてワークピースの状態が更新される。
【００９５】
カセット１０２は、自動化搬送部１００１（例えば、カセット搬送ユニット１００１Ｂ）によるなど、任意の適切な方法でカセットホルダ１０９８から取り出されるか、あるいは取り外され、カセットは、データ構造におけるワークピース４００の状態を更新するために任意の適切な信号がスキャナＳＣＲから制御装置１９９に送られる（図１２、ブロック９１７）ように、カセットを識別するために任意の適切なスキャナＳＣＲと近接させられる（図１２、ブロック９１５）。一態様において、制御装置１９９は、所定の自動化マガジン装着装置１００２内の所定のカセット１０５（および一態様においては、カセット１０５内の所定の場所）にカセット１０２を搬送するために、自動化搬送部１００１Ｂに信号を送る。一態様においてカセットは、自動化マガジン装着装置１００２でカセット１０２の場所を確認するために自動化マガジン装着装置の任意の適切なスキャナＳＣＲまたは視覚システム１００２Ｖによって搬送され（図１２、ブロック９１８）、カセット１０２は任意の適切な方法でマガジン１０５内に装着される（図１２、ブロック９１９）。例えば、マガジン１０５は自動化マガジン装着装置に運動学的に位置付けられ、カセット搬送ユニット１００１Ｂは、カセット搬送ユニット１００１Ｂにより運ばれるカセット１０２をマガジン１０５のそれぞれの保持スロット内に挿入するように構成され、理解され得るように、マガジン内へのカセット１０２の挿入は、マガジンおよびカセットの運動学的位置付け機構によりもたらされる。理解され得るように、一態様において、カバー５９０はマガジン１０５内にあらかじめ備えられ、カセット１０２はカバー５９０内に挿入されるので、カセット１０２はマガジン１０５において保持される。別の態様においてカバー５９０は、マガジン１０５へのカセット１０２の挿入前に、任意の適切な方法でカセット１０２上に置かれる（逆の場合も同様）。理解され得るように、マガジン１０５は自動化マガジン装着装置内に配置されるので、マガジン１０５の固有の識別子（例えば、図４Ｃの識別マーク６２０を参照）は、任意の適切な読み取り器ＳＣＲによって読み取られ、カセット１０２がマガジン１０５内に置かれると、カセット１０２内のワークピース４００の状態はデータ構造において更新され、マガジン１０５は中に装着されたワークピース４００の固有の識別子と関連付けられる（図１２、ブロック９２０）。このように、データ構造は、少なくとも、どのマガジン１０５にサンプルが位置付けられているか、どのカセット１０２（マガジン１０５内）にサンプルが位置付けられているか、カセット１０２のどのポケット５００にサンプルが位置付けられているか、およびどのワークピース４００にサンプルが位置付けられているか、を示すデータを含む。
【００９６】
一態様において、各自動化マガジン装着装置１００２は、例えば、特定のカセット（すなわち、ワークピース）が位置付けられるマガジン１０５、マガジン１０５内のカセット１０２の位置、またはデータ構造ＤＳの母集団をもたらす他の任意の適切な情報を識別する、適切な識別信号を、制御装置１９９に送るように構成される適切な視覚システム１００２Ｖ（一態様においては、本明細書に記載される視覚システム１０８０Ｖと同様）を含む。別の態様において、マガジン／カセット／ワークピースの関係を示すデータが取得され、データ構造ＤＳに含むために任意の適切な方法で制御装置１９９に送信される。例えば、任意の適切なスキャナＳＣＲは、サンプル１０７０Ｓ、ワークピース、カセットおよびマガジンの間で関連付けを形成するために適切なデータがスキャナＳＣＲによって制御装置１９９に送信されるように、カセットおよびマガジンのパッシブまたはアクティブな媒体（例えば、ＲＦＩＤチップ、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）送信機など）を読み取る。
【００９７】
ワークピースの処理中の場所を更新するために任意の適切なデータが制御装置１９９に送られる（例えば、自動化搬送部１０１または自動化マガジン装着装置１００２のスキャナＳＣＲまたは視覚システム１００２Ｖによって）ように、マガジン１０５は自動化マガジン装着装置１００２から取り出され、移送される（図１２、ブロック９２５）。上述の方法と実質的に同様の方法で、一態様において制御装置１９９は、マガジンが搬送される所定の自動化搬送および配置システムを規定する。マガジン１０５は、自動化搬送および配置システム１００内に装着され、マガジンの場所は、例えば、自動化搬送および配置システム１００の任意の適切なスキャナＳＣＲまたは視覚システムによって確認され（図１２、ブロック９２６）、マガジン（それゆえその中の試料）の処理中の場所などの状態は、データ構造ＤＳにおいて更新および記録される（例えば、処理中の試料サンプルの場所が更新される）（図１２、ブロック９２８）。一態様において、マガジン搬送ユニット１００１Ａは、自動化搬送および配置システム１００上／内にマガジンを搬送および装着するが、別の態様においてマガジン１０５は、任意の適切な方法で自動化搬送および配置システム１００上／内に搬送および装着される。理解され得るように、マガジン、カセットおよびワークピース（すなわちサンプル）の処理中の場所は、一態様においては、マガジン、カセットおよびワークピース（すなわちサンプル）が設備７３（検査室であり得る）、自動化搬送および配置システム１００、処理モジュールＰＭまたは他の任意の適切なワークピース保持位置の周り／中に移動させられると、リアルタイムで更新される。例えば、一態様において、本明細書に記載されるように、サンプル調製モジュール１０００、自動化マガジン装着装置１００２、ワークピースシーケンサモジュール１０９９および自動化搬送および配置システム１００の１つまたは複数は、制御装置１９９と通信しており、マガジン、カセットおよび中に位置付けられるワークピースを識別し、それを、データ構造ＤＳ内のサンプル処理データの実質的にリアルタイムの更新をもたらすために、例えばサンプルについて行われる処理に関する任意の処理データと共に、制御装置１９９に送るように構成される。
【００９８】
少なくとも１つのカセット１０２は、例えばカセットシャトル１２６によってマガジン１０５から取り外され／取り出され、自動化搬送および配置システムの任意の適切なスキャナＳＣＲまたは視覚システムによって搬送されるので、取り外され、または取り出されているカセット１０２が識別され、その場所は制御装置によって確認される（図１２、ブロック９２９）。理解され得るように、一態様において制御装置は、カセット識別子およびそのマガジン１０５内での場所に基づき、どのカセットが取り出されるべきかを特定し、カセット１０２の識別は、特定のカセットが取り出されたことを確認する。別の態様においてカセット１０２は、カセット１０２のワークピースに関する処理／処理順番を特定するために制御装置１９９がカセットの識別を用いるように取り出され、識別される。マガジン１０５から取り外されるカセット１０２の識別は、そのカセット１０２におけるワークピースの状態の変更／更新（例えば、データ構造ＤＳにおける）ももたらし、状態の変更は、ワークピースの場所の変更、ワークピースの処理中の状態についての変更であるか、またはデータ構造における他の任意の適切なデータが更新される（図１２、ブロック９３０）。
【００９９】
自動化搬送および配置システム１００は、マガジン１０５のカセット１０２の１つまたは複数に保持されるワークピースを、例えば所定のバッチワークピース処理順序を通して循環させるために、カセットから１つまたは複数のワークピース４００を取り出し、ワークピースはそれぞれ、自動化搬送および配置システム１００の任意の適切なスキャナまたは視覚システムに近接して搬送されるので、ワークピース４００の場所および識別子が確認される（図１２、ブロック９３２）。ワークピースの場所またはワークピースの処理中のデータの状態は、ワークピースの識別に基づきデータ構造において更新される（図１２、ブロック９３４）。理解され得るように、一態様において、各ワークピースは関連付けられる所定の顕微鏡処理を有し、制御装置１９９は、ワークピースの特定に基づき所定の顕微鏡処理にしたがうワークピース４００の処理をもたらすために、例えば処理モジュールＰＭに処理データを送る。処理モジュールＰＭに送られる各サンプルまたはサンプルについて行われる処理に関連付けられる、処理／分析データ（例えば、システム１００内のワークピースの場所、試料画像、試料の向き、または他の任意の適切な物理的および／または分析データ）は、上述のようにデータ構造ＤＳに記録される（図１２、ブロック９３６）。処理モジュールＰＭにおける処理に続いて、ワークピース上に保持されるサンプルは、ワークピース配置ユニット１０４によってそれぞれのカセット１０２に戻され、それぞれおのカセット１０２は、ワークピースまたはカセットシャトル１２６によってそれぞれのマガジン１０５に戻され、ワークピースの状態は、自動化搬送および配置システム１００の任意の適切なスキャナＳＣＲまたは視覚システムによるワークピースの識別を通して、データ構造ＤＳにおいて更新される。
【０１００】
マガジン１０５は、マガジン搬送ユニット１００１Ａなどにより、任意の適切な方法で自動化搬送および配置システム１００から取り外される。一態様において、マガジン１０５は、マガジン搬送ユニット１００１Ａによって保管場所１０６９に置かれ、保管ユニット１０６９は、保管ユニット１０６９内のマガジン１０５の場所を制御装置１９９に伝えるために、本明細書において上述されたものと同様の、適切な視覚システム１０６９Ｖを含む。別の態様において、マガジンはカセット１０２が取り外されるマガジン装着装置１００２に戻され、カセットは、保管ユニット１０６９内のカセット１０２の場所が、例えば視覚システム１０６９Ｖによって制御装置１９９に伝えられるように、保管ユニット１０６９に置かれる。さらに別の態様において、マガジン１０２は、自動化搬送および配置システム１００に戻され、そこでワークピース４００はカセット１０２から取り外され（および一態様においては、保管場所に置かれ）、自動化搬送および配置システム１００およびカセット１０２からのサンプルの取り外しは、任意の適切な方法（適切なセンサ、光学的読み取り器、ユーザインターフェースなどを通して）で制御装置１９９に伝えられ、サンプルの場所はデータ構造ＤＳにおいて更新される（図１２、ブロック９４０）。
【０１０１】
理解され得るように、ワークピース処理システムまたは設備１００ＰＳ全体にわたるワークピース４００（およびその上の試料サンプル）の移動は、例えば、自動化搬送部１００１、自動化搬送および配置システム１００、ワークピースシーケンサモジュール１０９９、または、例えば、開示内容全体が参照により本明細書に組み込まれる、代理人整理番号が１２１０Ｐ０１５００７−ＵＳの、「Workpiece Transport and Positioning Apparatus」と題され２０１４年１１月１１日に出願された米国特許出願に記載されるような、他の任意の適切なワークピース搬送部の、１つまたは複数の搬送部の１つまたは複数の駆動軸によってもたらされる。駆動軸はそれぞれ、データ構造ＤＳおよび／または検査室情報管理システムＬＩＭＳにおいてワークピースの状態（例えば、位置状態、処理状態、ワークピースのバッチ内の順序の状態、向きの状態など）を更新するために、ワークピース４００（およびその上の試料サンプル）の位置に関するデータを制御装置１９９に与える。
【０１０２】
一態様において、データ構造は、共通の構造体１０７０に関するサンプルバッチの順序に関連付けられる一連の、例えばデータ点（上述のサンプル分析中に得られた処理／分析データから形成される）を提供する。制御装置１９９は、一態様においては、各サンプルのデータ点を分析し、サンプルバッチの順序に関連付けられる構造体１０７０の分析に関する全体の結果の結論を提供することによって、構造体１０７０の特性（例えば、化学的構造、物理的構造、生物学的組織の状態または健康状態、構造体の構造的一体性など）の自動の決定を提供する（図１２、ブロック９４５）。理解され得るように、サンプルの生成およびそれぞれのワークピース４００上へのサンプルの配置から、構造体（サンプルからなる）に関する全体的な結果の結論までの、データ構造ＤＳによる構造体１０７０のサンプルの追跡は、構造体１０７０の各サンプルの自動化分析の間、全体の構造体１０７０の一体性を維持する。
【０１０３】
次に図１３を参照すると、ワークピース４００のバッチ保持は、フレーム１０２Ｆと、フレーム１０２Ｆに受容部（例えば、ポケット５００）を保持するグリッドのアレイを有するカセット１０２を提供することを含み、ポケットはそれぞれ、中に少なくとも１つのワークピース４００を保持するように構成される（図１３、ブロック１９００）。読み取り可能なデータ記憶媒体（上述のような）が提供され、カセットフレーム１０２Ｆに接続され、ここで読み取り可能なデータ記憶媒体は、カセットフレームに対応する固有の所定のカセットフレーム特徴（例えば、上述のカセット識別子など）を実現する（図１３、ブロック１９１０）。上述のように、読み取り可能なデータ記憶媒体は、カセット１０２のポケット５００のアレイに保持されるワークピースの、所定のワークピース特徴を表す。また上述のように、所定のワークピース特徴は、グリッドアレイのグリッド試料が作製された原料物質構成の１つまたは複数、ポケットのアレイにおけるマガジンおよびグリッドアレイを原料物質構成に関連付けるホルダ（例えば、カセット）識別データを表すか、および／または、ワークピース上に置かれる各ワークピースおよび試料を関連付けるワークピース識別データである。
【０１０４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、自動化ワークピース処理装置は、
処理位置でワークピースを処理するように構成される処理モジュールを含む処理セクションと、
多段シャトルを含む搬送モジュールと、
ワークピースが自動化装着および搬送セクション内に装着されるロードポートモジュールを含む自動化装着および搬送セクションとを備え、
多段シャトルは、
複数の動作自由度を有する第１のシャトルステージと、
第１のステージから独立した複数の動作自由度を有する第２のシャトルステージと、
第１および第２のシャトルステージの少なくとも一方に接続されるエンドエフェクタであって、エンドエフェクタは、ワークピースを保持し、処理モジュール内および処理モジュール外へワークピースを搬送するように構成され、エンドエフェクタは、第１および第２のステージの複数の動作自由度の組み合わせにより定められる動作範囲を有し、処理位置でワークピースを配置するために、処理モジュール外部のワークピース保持ステーションから処理モジュール内部の処理位置まで延び、処理モジュールの処理ステージを定める、エンドエフェクタと
を有し、
自動化装着および搬送セクションが、搬送モジュールに連通可能に接続されている、
自動化ワークピース処理装置。
【０１０５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、第１および第２のシャトルステージのそれぞれの少なくとも１つの移動自由度は、共通の方向を共有する。
【０１０６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、第１のシャトルステージの少なくとも１つの移動自由度および第２のシャトルステージの少なくとも１つの移動自由度は、エンドエフェクタによりワークピースの捕捉をもたらすために、共通の方向に沿った異なる動作をするために構成される。
【０１０７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、自動化ワークピース処理装置は、多段シャトルから分離した異なる第２の搬送シャトルをさらに含み、第２の搬送シャトルは、自動化装着および搬送セクションの装着ステーションと搬送モジュールとの間でワークピースを搬送するように構成されている。
【０１０８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、自動化ワークピース処理装置は、多段シャトルおよび第２の搬送シャトルとは異なる第３の搬送シャトルをさらに含み、第３の搬送シャトルは、第２の搬送シャトルと多段シャトルとの間でワークピースを搬送するように構成されている。
【０１０９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、第１および第２のシャトルステージの少なくとも一方は、傾動軸の移動自由度を含む。
【０１１０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、多段シャトルは、真空環境における動作のために構成される。
【０１１１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、多段シャトルは、大気環境における動作のために構成される。
【０１１２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、多段シャトルの動作分解能は０．５ミクロンである。
【０１１３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、エンドエフェクタは、ワークピースを撮像するように構成される一体型の撮像センサを含む。
【０１１４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、自動化ワークピース処理装置は、
処理位置でワークピースを処理するように構成される処理モジュールを含む処理セクションと、
多段シャトルを含む搬送モジュールであって、多段シャトルは複数の動作自由度を有する第１のシャトルステージと、第１のステージから独立した複数の動作自由度を有する第２のシャトルステージとを有する搬送モジュールと、第１および第２のシャトルステージの少なくとも一方に接続されるエンドエフェクタとを含み、エンドエフェクタは、ワークピースを保持し、処理モジュール内および処理モジュール外へワークピースを搬送するように構成され、またエンドエフェクタは、処理位置でワークピースを配置するために、処理モジュール外部のワークピース保持ステーションから処理モジュール内部の処理位置まで延びる、第１および第２のステージの複数の動作自由度の組み合わせにより定められる動作範囲を有するので、処理モジュールの処理ステージを定める搬送モジュールと
を含む。
【０１１５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、自動化ワークピース処理装置は、搬送モジュールに連通可能に接続されるロードロックモジュールをさらに含み、ロードロックモジュールは、搬送モジュールへのワークピースの装着および搬送モジュールからのワークピースの離脱をもたらすように構成されている。
【０１１６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ロードロックモジュールは、搬送モジュールの雰囲気と搬送モジュール外部の雰囲気との間で循環するように構成される密閉可能なチャンバを含む。
【０１１７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、搬送モジュールの雰囲気は、処理モジュールの雰囲気と実質的に同様である。
【０１１８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、自動化ワークピース処理装置は、多段シャトルから分離し異なる第２の搬送シャトルをさらに含み、第２の搬送シャトルは、ロードロックモジュールの装着ステーションと搬送モジュールとの間でワークピースを搬送するように構成されている。
【０１１９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、自動化ワークピース処理装置は、多段シャトルおよび第２の搬送シャトルとは異なる第３の搬送シャトルをさらに含み、第３の搬送シャトルは、第２の搬送シャトルと多段シャトルとの間でワークピースを搬送するように構成されている。
【０１２０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、第１および第２のシャトルステージのそれぞれの少なくとも１つの移動自由度は、共通の方向を共有する。
【０１２１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、第１のシャトルステージの少なくとも１つの移動自由度および第２のシャトルステージの少なくとも１つの移動自由度は、エンドエフェクタによりワークピースの捕捉をもたらすために、共通の方向に沿った差動のために構成される。
【０１２２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、第１および第２のシャトルステージの少なくとも一方は、傾動軸の移動自由度を含む。
【０１２３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、多段シャトルは、真空環境における動作のために構成される。
【０１２４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、多段シャトルは、大気環境における動作のために構成される。
【０１２５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡用の自動化装着装置は、
電子顕微鏡のポートに取り外し可能に連結するよう構成されるフレームと、
多段シャトルを含み、フレームに接続される搬送モジュールと、
フレームに接続され、搬送モジュールに連通可能に接続されている自動化装着および搬送セクションとを備え、
多段シャトルは、
複数の動作自由度を有する第１のシャトルステージと、
第１のステージから独立した複数の動作自由度を有する第２のシャトルステージと、
第１および第２のシャトルステージの少なくとも一方に接続されるエンドエフェクタであって、エンドエフェクタは、ワークピースを保持し、ポートを通して電子顕微鏡内および電子顕微鏡外へワークピースを搬送するように構成され、エンドエフェクタは、第１および第２のステージの複数の動作自由度の組み合わせにより定められる動作範囲を有し、処理位置にワークピースを配置するために、電子顕微鏡外部のワークピース保持ステーションから電子顕微鏡内部の処理位置まで延び、処理モジュールの処理ステージを定める、エンドエフェクタと
を有し、
自動化装着および搬送セクションが、ワークピースが自動化装着および搬送セクション内に装着されるときに通るロードポートモジュールを含む。
【０１２６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、第１および第２のシャトルステージのそれぞれの少なくとも１つの移動自由度は、共通の方向を共有する。
【０１２７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、第１のシャトルステージの少なくとも１つの移動自由度および第２のシャトルステージの少なくとも１つの移動自由度は、エンドエフェクタによりワークピースの捕捉をもたらすために、共通の方向に沿った異なる動作をするように構成される。
【０１２８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、自動化装着装置は、多段シャトルから分離した異なる第２の搬送シャトルを含み、第２の搬送シャトルは、自動化装着および搬送セクションの装着ステーションと搬送モジュールとの間でワークピースを搬送するように構成されている。
【０１２９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、第２の搬送シャトルは、１つまたは複数のカセットを保持するように構成されるマガジンを搬送するよう構成され、カセットは１つまたは複数のワークピースを保持するように構成される。
【０１３０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、自動化搬送装置は、多段シャトルおよび第２の搬送シャトルとは異なる第３の搬送シャトルをさらに含み、第３の搬送シャトルは、第２の搬送シャトルと多段シャトルとの間でワークピースを搬送するように構成されている。
【０１３１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、第１および第２のシャトルステージの少なくとも一方は、傾動軸の移動自由度を含む。
【０１３２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、多段シャトルは、真空環境における動作のために構成される。
【０１３３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、多段シャトルは、大気環境における動作のために構成される。
【０１３４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、多段シャトルの動作分解能は０．５ミクロンである。
【０１３５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、エンドエフェクタは、ワークピースを撮像するように構成される一体型の撮像センサを含む。
【０１３６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ワークピースは試料グリッドを備える。
【０１３７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、自動化ワークピース処理装置は、処理モジュール内の処理位置でのワークピースの処理のために構成される処理モジュールと、
少なくとも１つのワークピース保持位置を有し、開口を通して搬送モジュールから処理モジュールへのワークピースの搬送を可能にする開口により、処理モジュールに接続されている搬送モジュールと、
ワークピースをステージ上に安定して保持するように配置され、配置ステージが、処理の間処理モジュールの処理位置でワークピースを保持するように構成されるワークピースグリッパを備える、ワークピース配置ステージと、
ワークピース配置ステージに動作可能に接続され、配置ステージが、処理位置にワークピースを配置し、開口を通して、処理位置および搬送モジュールの少なくとも１つのワークピース保持位置へ、および処理位置および搬送モジュールの少なくとも１つのワークピース保持位置から、ワークピースを搬送する少なくとも３動作自由度を有するように、ワークピース配置ステージを作動させるように構成される駆動セクションと
を含み、
少なくとも１つのワークピース保持位置は、行および列に配置されるワークピース保持位置の少なくとも二次元アレイであり、駆動セクションは、処理位置で３動作自由度をもたらし、配置動作および搬送のために少なくとも２つの共通の駆動軸を有するアクチュエータを用いてアレイの各ワークピース保持位置へのワークピースの搬送をもたらす。
【０１３８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、各位置は、少なくとも１つのワークピースを保持するように配置される。
【０１３９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、駆動セクションは、アレイの各ワークピース保持位置にアクセスするために、ワークピース配置ステージを作動させる。
【０１４０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、自動化ワークピース処理装置は、搬送モジュールの少なくとも１つのワークピース保持位置において、ワークピースのアレイを装着および離脱するように構成される装着装置を含む。
【０１４１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、駆動セクションは装着装置に接続され、ワークピースのアレイを装着および離脱するために装着装置を作動させる。
【０１４２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、駆動セクションは、ワークピースを少なくとも１つのワークピース保持位置に装着し、少なくとも１つのワークピース保持位置においてアレイの各位置でワークピースにアクセスし、ワークピースを処理モジュールに搬送し、６以下の駆動軸を用いて処理位置での３動作自由度を提供する動作範囲をもたらす。
【０１４３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの駆動軸は、全体および細かい配置作動を有する。
【０１４４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ワークピースグリッパは駆動セクションアクチュエータにより作動されるアクティブなグリッパであり、処理位置で３動作自由度の少なくとも１つをもたらす少なくとも１つの駆動軸は、グリッパの作動のために共有される。
【０１４５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、自動化ワークピース処理装置によりワークピースを処理する方法は、
エンドエフェクタ上に保持されるワークピースを処理モジュール内および処理モジュール外へ搬送することと、
ワークピースが自動化装着および搬送セクション内に装着されるときに通るロードポートを含む自動化装着および搬送セクションを用いて、エンドエフェクタ上にワークピースを自動的に装着することと
を含み、
エンドエフェクタは、複数の動作自由度を有する第１のシャトルステージと、第１のステージから独立した複数の動作自由度を有する第２のシャトルステージとを有する多段シャトルを含む搬送モジュールに接続され、エンドエフェクタは、第１および第２のシャトルステージの少なくとも一方に接続され、またエンドエフェクタは、処理位置でワークピースを配置するために、処理モジュール外部のワークピース保持ステーションから処理モジュール内部の処理位置まで延びる、第１および第２のステージの複数の動作自由度の組み合わせにより定められる動作範囲を有するので、処理モジュールの処理ステージを定め、
自動化装着および搬送セクションは、搬送モジュールに連通可能に接続されている。
【０１４６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、第１および第２のシャトルステージのそれぞれの少なくとも１つの移動自由度は、共通の方向を共有する。
【０１４７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、この方法はさらに、共通の方向に沿う、第１のシャトルステージの少なくとも１つの移動自由度および第２のシャトルステージの少なくとも１つの移動自由度の差動による、エンドエフェクタを用いたワークピースの捕捉をもたらすことを含む。
【０１４８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、この方法はさらに、多段シャトルから分離し異なる第２の搬送シャトルを用いて、自動化装着および搬送セクションの装着ステーションと搬送モジュールとの間でワークピースを搬送することを含む。
【０１４９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、この方法はさらに、多段シャトルおよび第２の搬送シャトルとは異なる第３の搬送シャトルを用いて、第２の搬送シャトルと多段シャトルとの間でワークピースを搬送することを含む。
【０１５０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、この方法はさらに、第１および第２のシャトルステージの少なくとも一方に傾動軸を設けることを含む。
【０１５１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、多段シャトルは、真空環境における動作のために構成される。
【０１５２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、多段シャトルは、大気環境における動作のために構成される。
【０１５３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、多段シャトルの動作分解能は０．５ミクロンである。
【０１５４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、この方法はさらに、エンドエフェクタと一体型の撮像センサを用いて、ワークピースを撮像することを含む。
【０１５５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、自動化ワークピース処理装置のための方法は、
処理ステージが処理の間、処理モジュールの処理位置でワークピースを保持するように、ワークピースグリッパを用いてワークピース配置ステージ上にワークピースを安定して保持することと、
配置ステージが、ワークピースを処理位置に配置し、処理モジュールを搬送モジュールに接続する開口を通して、処理位置および搬送モジュールの少なくとも１つのワークピース保持位置へ、および処理位置および搬送モジュールの少なくとも１つのワークピース保持位置からワークピースを搬送する少なくとも３動作自由度を有するように、ワークピース配置ステージに動作可能に接続される駆動セクションにより、ワークピース配置ステージを作動させることと
を含み、少なくとも１つのワークピース保持位置は、行列に配置されるワークピース保持位置の少なくとも二次元アレイであり、駆動セクションは、処理位置で３動作自由度をもたらし、配置動作および搬送のために少なくとも２つの共通の駆動軸を有するアクチュエータを用いてアレイの各ワークピース保持位置へのワークピースの搬送をもたらす。
【０１５６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、各位置は、少なくとも１つのワークピースを保持するように配置される。
【０１５７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、この方法はさらに、アレイの各ワークピース保持位置にアクセスするために、駆動セクションによりワークピース配置ステージを作動させることを含む。
【０１５８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、この方法はさらに、搬送モジュールの少なくとも１つのワークピース保持位置におけるワークピースのアレイを、装着装置により、装着および離脱することを含む。
【０１５９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、駆動セクションは装着装置に接続され、この方法は、ワークピースのアレイを装着および離脱するために装着装置を作動させることを含む。
【０１６０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、この方法はさらに、
駆動セクションによりワークピースを少なくとも１つのワークピース保持位置に装着し、
少なくとも１つのワークピース保持位置で、アレイの各位置のワークピースにアクセスし、
ワークピースを処理モジュールに搬送し、６以下の駆動軸を用いて処理位置での３動作自由度を提供する動作範囲をもたらす
ことを含む。
【０１６１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの駆動軸は、全体および細かい配置作動を有する。
【０１６２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ワークピースグリッパは駆動セクションアクチュエータにより作動されるアクティブなグリッパであり、この方法はさらに、処理位置で３動作自由度の少なくとも１つをもたらす少なくとも１つの駆動軸を共有することによって、グリッパを作動させることを含む。
【０１６３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡の自動化試料保持ステージは、
密閉され、内部に密閉された雰囲気を保持するように構成される部分を少なくとも有するケーシングと、
試料を係合および保持するエンドエフェクタおよびケーシングからエフェクタを支持する支持部材を有し、少なくとも一部がケーシングの密閉された部分内に配置される、ケーシングに接続される試料ホルダと、
電子顕微鏡走査チャンバ内に位置付けられる試料ホルダのエフェクタにより、密閉された部分が電子顕微鏡走査チャンバと連通するように、ケーシングを電子顕微鏡走査チャンバに連結させるために構成される、ケーシングに接続される連結部と、
密閉された部分の外部に位置付けられ、エフェクタに連結される作動モータを含み、ケーシングに接続され、ケーシングに従属する駆動セクションであって、作動モータは電子顕微鏡走査チャンバにおいてエフェクタを移動させる駆動セクションと
を含む。
【０１６４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、作動モータは、エフェクタにより保持される試料の電子顕微鏡撮像の間、電子顕微鏡走査チャンバにおいてエフェクタを移動させる。
【０１６５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、作動モータは、電子顕微鏡の試料配置ステージの少なくとも１自由度をもたらす。
【０１６６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、作動モータは、試料保持ステージが電子顕微鏡の試料配置ステージの試料配置を補うように、少なくとも１つの軸に沿ってエフェクタを移動させる。
【０１６７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、試料ホルダは、電子顕微鏡の試料配置ステージと比較して高速なステージであり、高速なステージの作動は、電子顕微鏡による高スループットの走査と整合性があり、またその走査を可能にする。
【０１６８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、高スループットの走査は、２画像／秒よりも速い撮像速度を有する。
【０１６９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡の試料保持ステージはさらに、撮像フレーム速度が２画像／秒を超える電子顕微鏡走査と整合性のある作動モータによって作動されると、エフェクタの整定をもたらす試料ホルダの高速な整定システムを含む。
【０１７０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、連結部は、ケーシングを電子顕微鏡走査チャンバの閉鎖可能なポートに接続し、エフェクタは、ポートを通して電子顕微鏡走査チャンバに支持部材によって保持される。
【０１７１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、作動モータは支持部材によりエフェクタに連結され、作動モータおよびエフェクタは、支持部材の実質的に反対側の端部にそれぞれ位置付けられている。
【０１７２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、支持部材は、エフェクタに近接する支持部材の端部でケーシングを係合する。
【０１７３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、エフェクタおよび支持部材の少なくとも一部がケーシングから外に突出する開口を有し、支持部材およびケーシングは、ケーシングの開口に近接する軸受けによって互いに係合する。
【０１７４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡の自動化試料保持ステージはさらに、作動モータの駆動軸と自由度が一致する軸を有し、エフェクタにより、支持部材と支持部材のエフェクタ端部に近接するケーシングとを係合する転がり軸受を含む。
【０１７５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、支持部材は、上に置かれる少なくとも１つの振動抑制要素を有する。
【０１７６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡の自動化試料保持ステージはさらに、支持部材をケーシングに密閉するベローズを含み、ベローズは、作動モータから支持部材のエフェクタ端部を隔離する。
【０１７７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡の自動化試料保持ステージは、
試料サンプルホルダを保持するように構成されるエンドエフェクタと、
試料サンプルホルダを検出し、試料サンプルホルダおよびエンドエフェクタの相対的な位置を決定するように構成される撮像システムと、
エンドエフェクタによる、自動の配置および自動の試料サンプルホルダの捕捉をもたらすエンドエフェクタ駆動部と
を含む。
【０１７８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、自動の配置は、エンドエフェクタおよび試料サンプルホルダの相対的な位置を変更することを含む。
【０１７９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、撮像システムは、エンドエフェクタ上に保持される試料サンプルホルダと、試料サンプルホルダの保持または処理ステーションとの間の相対的な位置を決定するように構成される。
【０１８０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、撮像システムは、試料サンプルホルダの所定の特徴を撮像し、所定の特徴は、試料サンプルホルダおよび試料サンプルホルダ上に保持される試料サンプルを関連付ける。
【０１８１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の特徴は、エラー補正特徴を備える、サンプルおよび／またはサンプルホルダの固有の識別マークである。
【０１８２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡は、
フレームと、
フレームに接続される電子顕微鏡カラムと、
フレームに接続される自動化試料搬送および配置システムと
を含み、フレームは電子顕微鏡カラムの対物レンズチャンバを画定し、自動化搬送および配置システムは、
対物レンズチャンバでのトモグラフィー検査のために試料を保持および配置するように構成される、エンドエフェクタを備える試料支持体と、
支持体に動作可能に接続され、エンドエフェクタの独立した複数の動作自由度をもたらすために配置される複数の駆動軸を有する駆動セクションと
を備え、自動化搬送および配置システムは、対物レンズチャンバの外部にあるが対物レンズチャンバと共通の雰囲気を共有する試料取り出し位置を有し、駆動セクションは、独立した複数自由度の、一度の移動での試料のトモグラフィー検査の配置により、取り出し位置から、トモグラフィー検査位置へのエンドエフェクタの移動をもたらす。
【０１８３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、独立した複数の動作自由度は、少なくとも３自由度を含む。
【０１８４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、独立した複数の動作自由度は、互いに傾斜された少なくとも２つの軸周りでの、少なくとも１つの線形の軸横断および回転を含む。
【０１８５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、駆動セクションは、エンドエフェクタによる試料の自動の取り出しをもたらすように構成される。
【０１８６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、自動化搬送および配置システムは、対物レンズチャンバと一体のケーシングを有し、ケーシングは、対物レンズチャンバと共通の雰囲気を有する搬送部を形成する。
【０１８７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、駆動セクションは、ミクロンレベルの分解能でエンドエフェクタの動作をもたらし、約１００ミリ秒未満で異なるトモグラフィー検査位置への再配置をもたらす。
【０１８８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡は、
試料グリッドを保持するように構成されるエンドエフェクタを有する自動化試料保持ステージと、
試料グリッドを検出し、グリッドに対応する固有の所定の特徴を表すグリッドのフレームに接続される読み取り可能なグリッドデータ記憶媒体であって、グリッドデータ記憶媒体は、グリッドの試料保持受容部に保持される試料の、別の所定の特徴を表すグリッド記憶媒体と、
エンドエフェクタおよび撮像システムに連通可能に接続され、撮像システムにより読み取られるグリッドデータ記憶媒体のデータからグリッドの所定の特徴を登録し、グリッドの別の所定の特徴を定めるグリッドに関するデータを登録するように構成されるプロセッサと
を含む。
【０１８９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡はさらに、制御装置により、エンドエフェクタを用いた自動の配置および自動の試料グリッドの捕捉をもたらすエンドエフェクタ駆動部を含む。
【０１９０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、自動の配置は、エンドエフェクタおよび試料サンプルホルダの相対的な位置を変更することを含む。
【０１９１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、撮像システムは、エンドエフェクタ上に保持される試料グリッドおよび試料グリッドの保持または処理ステーションの相対的な位置を決定するように構成される。
【０１９２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、撮像システムは、試料サンプルホルダの所定の特徴を撮像し、グリッドの別の所定の特徴は、試料グリッドおよび試料グリッド上に保持される試料サンプルを関連付ける。
【０１９３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の特徴は、エラー補正特徴を備える、グリッドの固有の識別マークである。
【０１９４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は固有であり、試料グリッドの所定の特徴とは異なる。
【０１９５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、プロセッサは、試料グリッド上の試料の電子顕微鏡データを所定の特徴と関連付ける。
【０１９６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、電子顕微鏡によりもたらされる、試料の所定のグリッドのバッチ走査順序に関連付けられる。
【０１９７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定のグリッドのバッチ走査順序は、電子顕微鏡の自動化搬送および配置ユニットへの、グリッドのバッチカセットの装着により自動的に決定される。
【０１９８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、試料グリッドのバッチに置かれたグリッド試料が作製された原料物質構成を表す。
【０１９９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、自動化ワークピース処理システムは、
少なくとも１つのワークピース処理ユニットと、
ワークピースホルダと、
内部にデータ構造を有するメモリを含む制御装置と
を備えた自動化ワークピース処理システムであって、
ワークピースホルダが、
内部にワークピースのバッチを取り外し可能に保持するように構成され、各ワークピースは、ワークピース識別マークを示し、ワークピース識別マークは、それぞれのワークピース上に保持されるサンプルの物理的な表示であり、
少なくとも１つの自動化ワークピース処理ユニットと相互作用するように構成され、
制御装置が、
ワークピース識別マークを用いて、少なくとも１つの自動化ワークピース処理ユニットを通した、所定のバッチワークピース処理順序のワークピースのバッチにおける各ワークピースのバッチ処理の追跡をもたらす、
自動化ワークピース処理システム。
【０２００】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ワークピース識別マークは、それぞれのワークピース上に保持されるサンプルの少なくとも１つの所定の特徴を具体化し、データ構造はそれぞれのワークピース上に保持されるサンプルの少なくとも１つの所定の特徴を含む。
【０２０１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの所定の特徴は、
サンプル分析前のサンプルの処理に関するデータ、および
サンプル分析の結果に関するデータ
の少なくとも１つまたは複数を含む。
【０２０２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ワークピースホルダは、それぞれのワークピース上に保持されるサンプルの順序を備え、順序はワークピース識別マークに基づく。
【０２０３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ワークピース処理ユニットは、電子顕微鏡およびワークピースホルダの保管場所の１つまたは複数を備える。
【０２０４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ワークピースホルダは、少なくとも１つのワークピース処理ユニット内への挿入のために構成される。
【０２０５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ワークピースホルダは、１つまたは複数のワークピース保持カセットを取り外し可能に保持するように構成されるフレームを備え、各ワークピース保持カセットは、ワークピース保持位置のグリッドを含む。
【０２０６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、各ワークピース保持カセットは、ワークピース保持位置のワークピース上に保持されるサンプルの順序を含み、このサンプルの順序は、ワークピース識別マークに基づく。
【０２０７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、各ワークピース保持カセットは、上にカセット識別マークを含み、データ構造は、カセット識別マークを、それぞれのワークピース保持カセットに保持されるワークピースのワークピース識別マークと相関させる。
【０２０８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、２つ以上のワークピース保持カセットは、ワークピース保持位置のワークピース上に保持されるサンプルの順序を含み、この順序は、ワークピース識別マークおよびカセット識別マークに基づく。
【０２０９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、各ワークピース保持位置は、ワークピース保持機構を含む。
【０２１０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、各ワークピース保持位置は、それぞれのワークピース保持位置へ、およびそれぞれのワークピース保持位置から、ワークピースが自動または手動で移送されるように構成される。
【０２１１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、各ワークピース保持位置は、それぞれの試料保持位置へ、およびそれぞれの試料保持位置から、ワークピース保持カセットが自動または手動で移送されるように構成される。
【０２１２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、各ワークピース保持カセットはカバーを含み、カバーは、
カバーをフレームに取り外し可能に固定し、
それぞれのワークピース保持カセットをフレーム内に取り外し可能に固定する
ように構成される保持機構を含む。
【０２１３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡のサンプルグリッド用のバッチホルダは、
フレームと、
フレームに置かれ、それぞれが中に少なくとも１つのグリッドを保持するように構成されている、グリッド保持受容部のアレイと、
フレームに接続され、バッチホルダに対応する固有の所定の特徴を実体化する読み取り可能なデータ記憶媒体と
を含み、データ記憶媒体は、バッチホルダのグリッド保持受容部のアレイに保持されるグリッドアレイの、別の所定の特徴を表す。
【０２１４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、固有であり、バッチホルダの所定の特徴とは異なる。
【０２１５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、グリッドアレイ上の試料の所定の順序に関連付けられる。
【０２１６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の順序は、バッチホルダへのグリッドアレイの各グリッドの装着と同時に自動的に定められる。
【０２１７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の順序は、ホルダのグリッド保持受容部のアレイ内の、グリッドアレイの所定の配置に対応する。
【０２１８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、ホルダのグリッド保持受容部のアレイでの、グリッドアレイの所定の配置に対応する。
【０２１９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、グリッドアレイのグリッド試料が作製された原料物質構成を表す。
【０２２０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の特徴は、ホルダ、およびホルダのグリッド保持受容部のアレイにおけるグリッドアレイを、原料物質構成に関連付けるホルダ識別データである。
【０２２１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、グリッド保持受容部のアレイの各グリッド、およびグリッド上に置かれる試料に関するグリッド識別データである。
【０２２２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、上述のバッチホルダ用の自動化ホルダ順序付けステーションは、
バッチホルダを保持するように構成されるホルダ配置ステーションと、
搬送部上にグリッドを保持するように配置されるエンドエフェクタ、および、バッチホルダのグリッド保持受容部にグリッドを搬送および配置するために配置される駆動セクションを有するグリッド搬送部と、
ホルダ配置ステーションにおいてホルダのデータ記憶媒体を読み取るように配置される読み取り器と、
グリッド搬送部および読み取り器に連通可能に接続され、読み取り器により読み取られたデータ記憶媒体のデータから、バッチホルダの所定の特徴を登録し、バッチホルダのグリッド保持受容部のアレイに装着されるグリッドアレイの別の所定の特徴を定めるグリッドに関するデータを登録するように構成されるプロセッサと
を含む。
【０２２３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ワークピースのバッチ処理のための方法は、
それぞれのワークピース上に保持される試料の一部の物理的な表示である、ワークピース識別マークを実体化するワークピースのバッチの各ワークピース上に少なくとも１つの試料の少なくとも一部を配置することと、
ワークピース識別マークに基づき、自動化ワークピース処理ユニットを通して、所定のバッチワークピース処理順序でワークピースのバッチにおける各ワークピースの処理を、制御装置のメモリに設けられたデータ構造を用いて追跡することと
を含む。
【０２２４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのワークピース処理ユニットは、ワークピース保管ユニット、および電子顕微鏡の、１つまたは複数を備える。
【０２２５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、各ワークピースの処理は、
ワークピースのバッチへの、各ワークピース上の少なくとも１つのサンプルの一部を配置すること、
少なくとも１つのワークピース保持カセットへ、サンプルのバッチにおける各ワークピースを配置すること、
少なくとも１つのカセット保持マガジンへ、少なくとも１つのワークピース保持カセットを配置すること、
少なくとも１つのワークピース処理ユニットの自動化装着および配置システムへ、少なくとも１つのカセット保持マガジンを配置すること、
１つまたは複数のワークピースを、少なくとも１つのワークピース処理ユニットを通して循環させることにより、少なくとも１つのワークピース処理ユニットを通したワークピースのバッチにおける１つまたは複数のワークピースを処理すること、
少なくとも１つのワークピース処理ユニットの自動化装着および配置システムから、少なくとも１つのカセット保持マガジンを取り外すこと、
少なくとも１つのカセット保持マガジンから、少なくとも１つのワークピース保持カセットを取り外すこと、および
少なくとも１つのサンプルのそれぞれの部分をその上に保持するワークピースを保管すること
の１つまたは複数を含む。
【０２２６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ワークピース識別マークは、それぞれのワークピース上に保持されるサンプルの少なくとも１つの所定の特徴を実体化し、データ構造は、それぞれのワークピース上に保持されるサンプルの少なくとも１つの所定の特徴を含む。
【０２２７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの所定の特徴は、少なくとも１つのサンプルの一部の分析前の、少なくとも１つのサンプルの一部の処理に関するデータ、およびサンプル分析の結果に関するデータの、１つまたは複数を含む。
【０２２８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、この方法はさらに、各ワークピース上に置かれた少なくとも１つのサンプルの一部を、ワークピース識別マークに基づく順序でワークピースのバッチに配置することを含む。
【０２２９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、この方法はさらに、各ワークピース上に置かれた少なくとも１つのサンプルの一部を、ワークピース識別マークに基づく順序で、少なくとも１つのワークピース保持カセット内のワークピースのバッチに配置することを含む。
【０２３０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、各ワークピース保持カセットは、上にカセット識別マークを含み、この方法はさらに、データ構造を用いて、カセット識別マークを、それぞれのワークピース保持カセットに保持されるワークピースのワークピース識別マークに相関させることを含む。
【０２３１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ワークピース保管システムは、
１つまたは複数のカセット保持機構を含むカセットフレームを有する少なくとも１つのカセットと、
中にカセット保持位置を形成するマガジンフレームを含むマガジンと、
それぞれのカセット内にワークピースを保持するように構成される少なくとも１つのカセットカバーと
を含み、少なくとも１つのカセットカバーは、１つまたは複数のカセット保持機構と係合して、それぞれのカセットをカセットカバー内に保持し、マガジンフレームと係合してそれぞれのカセットをマガジン内に保持するように構成される１つまたは複数のカバー係合機構を含む。
【０２３２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、カセットフレームは、カセットフレームに形成される１つまたは複数のワークピース保持ステーションを含み、１つまたは複数のワークピース保持ステーションは、中にワークピースを保持するように構成される。
【０２３３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのカセットカバーは、それぞれのカセットの、１つまたは複数のワークピース保持ステーションにわたって広がる。
【０２３４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、マガジンは、１つまたは複数のカバー係合機構と選択的に係合するように構成されるカバーロック機構を備え、係合されると、カバーはマガジン内に保持される。
【０２３５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、カバーロック機構は、１つまたは複数のカバー係合機構と係合されると、それぞれのカセットがカバーに対して移動可能であるように構成される。
【０２３６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、カバーロック機構は、カセット保持位置内に位置付けられる各カバーの１つまたは複数のカバー係合機構を、実質的に同時に係合または非係合するように構成される。
【０２３７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、マガジンフレームは、自動化マガジン操作装置を係合するように構成される運動学的連結機構を含む。
【０２３８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、各カセットは、自動化カセット操作装置を係合するように構成される運動学的連結機構を含む。
【０２３９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、各カセットは、カセットにより保持される各ワークピースを識別する、カセット識別マークを実体化する。
【０２４０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、カセット保持位置および少なくとも１つのカセットは、少なくとも１つのカセットが、マガジンに対して単一の所定の向きでそれぞれのカセット保持位置内に置かれるように構成される。
【０２４１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ワークピースホルダは、
フレームと、
フレームに配置されるワークピース保持ポケットの二次元アレイと、
フレーム上に置かれる運動学的操作機構と
を含み、運動学的操作機構は、自動化ワークピースホルダのエンドエフェクタに係合するように構成され、ワークピース保持ポケットのそれぞれに対して所定の位置を有する。
【０２４２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、運動学的操作機構は、ワークピース保持ポケットと自動化ワークピースエンドエフェクタとの間で、相対的な配置をもたらす。
【０２４３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、フレームは、ワークピース保持ポケットの二次元アレイにより、各ワークピース保持ポケットの位置を識別するマークを実体化する。
【０２４４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ワークピースホルダはさらに、フレームの少なくとも一部がカバーフレーム内に適合し、カバーの一部がワークピース保持ポケットの二次元アレイに広がるように成形されているカバーフレームを有するカバーを含む。
【０２４５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、カバーフレームはフレーム保持機構を含み、フレームは、フレームをカバー内に固定するため、フレーム保持機構を係合するように構成される嵌合保持機構を含む。
【０２４６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、フレームは、第１の表面および第１の表面とは反対の第２の表面を含み、運動学的操作機構は第１の表面上に位置付けられ、ワークピースホルダは、運動学的操作機構と対向関係で、第２の表面上に把持機構をさらに備える。
【０２４７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ワークピースホルダはさらに、フレームに取り付けられる無線識別モジュールを含み、無線識別モジュールは、フレームの識別およびワークピース保持ポケットに保持されるワークピースの識別の１つまたは複数を、自動化制御装置に伝達するように構成される。
【０２４８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、フレームは、フレームの１つまたは複数の側面に、陥凹把持表面を含む。
【０２４９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡のサンプルグリッドカセット用のバッチホルダは、
フレームと、
フレームに配置され、それぞれが中にサンプルグリッドカセットを保持するように構成されるカセット保持受容部のアレイと、
フレームに接続され、バッチホルダに対応する固有の所定の特徴を実体化する読み取り可能なデータ記憶媒体と
を含み、データ記憶媒体は、バッチホルダのカセット保持受容部のアレイに保持される少なくとも１つのサンプルグリッドカセットの、別の所定の特徴を表す。
【０２５０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は固有であり、バッチホルダの所定の特徴とは異なる。
【０２５１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、少なくとも１つのサンプルグリッドカセットのグリッドアレイに保持される試料の、所定の順序に関連付けられる。
【０２５２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の順序は、各サンプルグリッドカセットのバッチホルダへの装着と同時に、バッチホルダに自動的に関連付けられる。
【０２５３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の順序は、少なくとも１つのサンプルグリッドカセットの、グリッドアレイの所定の配置に対応する。
【０２５４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、少なくとも１つのサンプルグリッドカセットの、グリッドアレイの所定の配置に対応する。
【０２５５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、少なくとも１つのサンプルグリッドカセットの、グリッドアレイのグリッド試料が作製された原料物質構成を表す。
【０２５６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の特徴は、バッチホルダおよび少なくとも１つのサンプルグリッドカセットのグリッドアレイを、原料物質構成に関連付けるホルダ識別データである。
【０２５７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、少なくとも１つのサンプルグリッドカセットの、グリッドアレイの各グリッド、およびグリッド上に置かれる試料を関連付けるグリッド識別データである。
【０２５８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡のサンプルグリッドをバッチ保持するための方法は、
カセットフレームに配置される、それぞれが中に少なくとも１つのグリッドを保持するように構成されているグリッド保持受容部のアレイを有するカセットフレームを提供することと、
カセットフレームに接続され、カセットフレームに対応する固有の所定のカセットフレーム特徴を実体化する読み取り可能なデータ記憶媒体を提供することと
を含み、データ記憶媒体は、カセットフレームのグリッド保持受容部のアレイに保持されるグリッドアレイの所定のグリッド特徴を表す。
【０２５９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定のグリッド特徴は、グリッド保持受容部のアレイにおける所定の試料の順序に関連付けられる。
【０２６０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、この方法はさらに、グリッド保持受容部のアレイのグリッドのアレイに各グリッドを装着するのと同時に、所定の順序を自動的に決定することを含む。
【０２６１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の順序は、ホルダのグリッド保持受容部のアレイ内のグリッドアレイの所定の配置に対応する。
【０２６２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定のグリッド特徴は、ホルダのグリッド保持受容部のアレイにおけるグリッドアレイの所定の配置に対応する。
【０２６３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定のグリッド特徴は、グリッドアレイのグリッド試料が作製された原料物質構成を表す。
【０２６４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定のカセットフレーム特徴は、カセットフレームおよびカセットフレームのグリッド保持受容部のアレイにおけるグリッドアレイを原料物質構成に関連付けるカセット識別データである。
【０２６５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定のグリッド特徴は、グリッド保持受容部におけるグリッドアレイの各グリッド、およびグリッド上に置かれる試料を関連付けるグリッド識別データである。
【０２６６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、この方法はさらに、マガジンフレームに置かれるカセットフレーム保持受容部のアレイを有し、それぞれが中にカセットフレームを保持するように構成されているマガジンフレームを設けることと、
マガジンフレームに接続され、マガジンフレームに対応する固有の所定のマガジンフレーム特徴を実体化する別の読み取り可能なデータ記憶媒体を設けることと
を含み、別のデータ記憶媒体は、所定のグリッド特徴に関連付けられる。
【０２６７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定のマガジンフレーム特徴は、固有であり、所定のカセットフレーム特徴および所定のグリッド特徴とは異なる。
【０２６８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定のグリッド特徴は、グリッド保持受容部のアレイに保持される試料の所定の順序に関連付けられる。
【０２６９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の順序は、マガジンフレームへの各サンプルカセットフレームの装着と同時に、マガジンフレームに自動的に関連付けられる。
【０２７０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡用の自動化ホルダ順序付けシステムは、
フレームと、
フレームに置かれ、それぞれが中に少なくとも１つのグリッドを保持するように構成されているグリッド保持受容部のアレイと、
フレームに接続され、バッチホルダに対応する固有の所定の特徴を具体化する読み取り可能なデータ記憶媒体であって、バッチホルダのグリッド保持受容部のアレイに保持されるグリッドアレイの別の所定の特徴を表すデータ記憶媒体と
を含むバッチホルダと、
バッチホルダを保持するように構成されるホルダ配置ステーションと、
搬送部上にグリッドを保持するように配置されるエンドエフェクタ、および、バッチホルダのグリッド保持受容部にグリッドを搬送および配置するように配置される駆動セクション有するグリッド搬送部と、
ホルダ配置ステーションのホルダのデータ記憶媒体を読み取るように配置される読み取り器と、
グリッド搬送部および読み取り器に連通可能に接続され、読み取り器により読み取られたデータ記憶媒体のデータからバッチホルダの所定の特徴を登録し、バッチホルダのグリッド保持受容部のアレイに装着されるグリッドアレイの別の所定の特徴を定めるデータに関連付けられるグリッドを登録するように構成されるプロセッサと
を含む。
【０２７１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、固有であり、バッチホルダの所定の特徴とは異なる。
【０２７２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、グリッドアレイ上の試料の所定の順序に関連付けられる。
【０２７３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の順序は、グリッドアレイの各グリッドのバッチホルダへの装着と同時に自動的に定められる。
【０２７４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の順序は、ホルダのグリッド保持受容部のアレイ内のグリッドアレイの所定の配置に対応する。
【０２７５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、ホルダのグリッド保持受容部のアレイにおけるグリッドアレイの所定の配置に対応する。
【０２７６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、グリッドアレイのグリッド試料が作製される原料物質構成を表す。
【０２７７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の特徴は、ホルダおよびホルダのグリッド保持受容部のアレイのグリッドアレイを原料物質構成に関連付けるホルダ識別データである。
【０２７８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、グリッド保持受容部のグリッドアレイの各グリッドと、グリッド上に置かれる試料とを関連付けるグリッド識別データである。
【０２７９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡システムは、
グリッドバッチホルダ用の配置保持位置、および、試料グリッドのバッチをバッチホルダに搬送および装着するように構成される自動化グリッド搬送部を有する少なくとも１つのバッチグリッド処理ステーションと、
電子顕微鏡を用いたバッチ顕微鏡検査用の、バッチホルダのグリッドバッチの各グリッドの自動化搬送のために構成される別の自動化グリッド搬送部を備える少なくとも１つの電子顕微鏡と、
少なくとも１つのバッチグリッド処理ステーションおよび少なくとも１つの電子顕微鏡に連通可能に接続されるプロセッサと
を含み、プロセッサは、バッチホルダへのグリッドバッチの装着と実質的に同時に、グリッドバッチホルダの各グリッドおよびグリッドの初期状態へグリッドバッチホルダを関連付ける所定の特徴を自動的に登録するように構成される。
【０２８０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、プロセッサは、自動化グリッド搬送部からの搬送データに基づき、所定の特徴およびグリッドの初期状態を登録するように構成される。
【０２８１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、プロセッサは、他のグリッド搬送部からの搬送データに基づき、グリッドの初期状態への変更を登録するように構成される。
【０２８２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、プロセッサは、バッチホルダのグリッドバッチの各グリッドの状態を実体化する、ホルダの所定の特徴に対応するデータ構造を形成するように構成される。
【０２８３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡の試料サンプルホルダは、
第１の表面および反対側の第２の表面を備え、第１の表面は、サンプルホルダにより保持される試料保持フィルム用の座面および支持面を画定する、薄いシート状のベース部材ベース部材を備え、
ベース部材は、サンプルホルダにより保持される保持フィルムを露出する、第２の表面を通る開口と、把持装置を係合するように配置された、少なくとも第１の表面の部分上で画定される把持係合域とを含み、
第１および第２の表面の少なくとも一方は、その上に形成され、サンプルホルダの少なくとも１つの所定の特徴を定めるデータを実体化するパターンで配置される機械が読み取り可能な構成を有する。
【０２８４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ベース部材の薄いシートは、ベリリウム銅合金である。
【０２８５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ベース部材の薄いシートは、サブミリメータ幅のシートを有する。
【０２８６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、構造体は、構造体が置かれる少なくとも１つの第１または第２の表面の基準面に対する三次元のトポグラフィを定め、構造体は、構造体が置かれる少なくとも１つの第１または第２の表面と一体形成される。
【０２８７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、構造体は、バーコードの少なくとも一方の面に沿って少なくとも１４のセルを含む、少なくとも二次元データマトリクスのバーコードを定める。
【０２８８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、構造体は、バーコードの全長に沿って少なくとも１４のセルを含む、少なくとも一次元データのバーコードを定める。
【０２８９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、構造体は、電子顕微鏡の試料サンプルホルダ上に置かれる、登録された試料サンプルの受託番号を実体化する。
【０２９０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、受託番号は、複数の電子顕微鏡の試料サンプルホルダの順序を定める。
【０２９１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの所定の特徴は、エラー補正特徴を備える、サンプルおよび／またはサンプルホルダの固有の識別マークである。
【０２９２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、構造体は、少なくとも第１または第２の表面の両面に対称に配置され、座面にある電子顕微鏡の試料サンプルホルダに重複した読み取り場所を提供する。
【０２９３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、構造体は、試料位置をホルダ位置に関連付ける少なくとも１つの基準をさらに定める。
【０２９４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの基準は、それぞれがホルダに対する試料の相対的な位置および自動化グリッパに対するホルダの相対的な位置の１つまたは複数を独立して識別する、２つ以上の固有な基準を備え、２つ以上の固有な基準は、位置および配向の基準として機能する。
【０２９５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、構造体は、所定の光学的応答をもたらす再帰反射性質を定める。
【０２９６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、構造体は、少なくとも１０文字の英数字の英数字マークを定める。
【０２９７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、開口はメッシュである。
【０２９８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡の試料ホルダは、ケミカルミーリング、レーザ微細加工、スタンピングの１つまたは複数により形成される。
【０２９９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡の試料サンプルホルダは、
堅固な周縁部材を形成し、堅固な周縁部材に囲まれる中央の開口を有するフレームと、
それぞれが異なるカテゴリの試料サンプルに関連付けられ、他の薄膜の所定のサンプル保持特徴とは異なる所定のサンプル保持特徴を有する複数の交換可能な薄膜であって、各薄膜は中央の開口に広がりサンプルホルダを形成するためにフレームに連結するように構成されている複数の交換可能な薄膜と
を含み、異なる所定のサンプル保持特徴はそれぞれ、交換可能な薄膜に関連付けられる試料サンプルのカテゴリの特徴に基づき構成される。
【０３００】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、異なる所定のサンプル保持特徴は、それぞれの薄膜に形成される１つまたは複数の開口を備える。
【０３０１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、１つまたは複数の開口は、単一の開口または開口のアレイのいずれかである。
【０３０２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、１つまたは複数の開口は、平行なメッシュグリッド、溝付きの長方形のメッシュグリッド、スロットグリッド、ホールグリッド、六角形／ハニカムグリッド、正方形のメッシュグリッドの１つまたは複数を形成する。
【０３０３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、異なる所定のサンプル保持特徴は、隙間のない平らな表面を備える。
【０３０４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、異なる所定のサンプル保持特徴は、基準または較正グリッドを備える。
【０３０５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、複数の交換可能な薄膜およびフレームは、各交換可能な薄膜が、フレームに挿入および結合され得るように構成される。
【０３０６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、複数の交換可能な薄膜およびフレームは、各交換可能な薄膜が、フレーム内に挿入でき、交換可能な薄膜上に径方向の圧縮応力を生じる締り嵌めによりフレーム内に固定され得るように構成される。
【０３０７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、フレームは、その上に形成され、サンプルホルダおよび薄膜上に置かれる試料サンプルの所定の特徴の１つまたは複数の、少なくとも１つの所定の特徴を定めるデータを実体化するパターンで配置される機械が読み取り可能な構成を有する。
【０３０８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、機械が読み取り可能な構成は、サンプルホルダ上に配置されるサンプルの自動化されたバッチ処理をもたらし、試料サンプルホルダは、試料サンプルホルダのバッチに含まれ、所定のバッチ処理順番で互いに対して配置される。
【０３０９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、機械が読み取り可能な構成は、電子顕微鏡の試料サンプルホルダ上に置かれる、登録された試料サンプルの受託番号を実体化する。
【０３１０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、受託番号は、複数の電子顕微鏡の試料サンプルホルダの順序を定める。
【０３１１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、フレームは、自動化搬送ユニットのエンドエフェクタとなるように構成される自動化操作機構を含む。
【０３１２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、試料サンプルの特徴は、試料サンプルの撮像特徴である。
【０３１３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、方法は、
堅固な周縁部材を形成し、堅固な周縁部材に囲まれる中央の開口を有するフレームを設けることと、
サンプルホルダを形成するために複数の交換可能な薄膜をフレームに連結させることであって、交換可能な薄膜はそれぞれ、他の薄膜の所定のサンプル保持特徴とは異なる所定のサンプル保持特徴を有する、連結させることと
を含み、
異なる所定のサンプル保持特徴は、交換可能な薄膜に取り付けられる試料サンプルの特徴に基づき、各交換可能な薄膜に対して合わせられる。
【０３１４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、この方法はさらに、それぞれの薄膜に１つまたは複数の開口を形成することによって、異なる所定のサンプル保持機構を提供することを含む。
【０３１５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、１つまたは複数の開口は、単一の開口または開口のアレイのいずれかである。
【０３１６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、１つまたは複数の開口は、平行なメッシュグリッド、溝付きの長方形のメッシュグリッド、スロットグリッド、ホールグリッド、六角形／ハニカムグリッド、正方形のメッシュグリッドの１つまたは複数を形成する。
【０３１７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、異なる所定のサンプル保持特徴は、隙間のない平らな表面を備える。
【０３１８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、異なる所定のサンプル保持特徴は、基準または較正グリッドを備える。
【０３１９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、１つの交換可能な薄膜が、フレームに挿入および結合され得る。
【０３２０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、１つの交換可能な薄膜が、フレーム内に挿入でき、交換可能な薄膜上に径方向の圧縮応力を生じる締り嵌めによりフレーム内に固定される。
【０３２１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、この方法はさらに、フレーム上に機械が読み取り可能な構成を設けることを含み、機械が読み取り可能な構成は、サンプルホルダの所定の特徴の１つまたは複数および薄膜上に置かれる試料サンプルの少なくとも１つの所定の特徴を定めるデータを実体化するパターンで配置される。
【０３２２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、この方法はさらに、機械が読み取り可能な構成を用いて、サンプルホルダに配置されるサンプルの自動化されたバッチ処理をもたらすことを含み、試料サンプルホルダは、試料サンプルホルダのバッチに含まれ、所定のバッチ処理順番で互いに対して配置される。
【０３２３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、この方法はさらに、自動化操作機構をフレーム上に設けることを含み、自動化操作機構は、自動化搬送ユニットのエンドエフェクタを係合する。
【０３２４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡試料用のバッチ試料グリッドは、
フレームと、
フレームに配置され、中に試料を保持するように構成される保持受容部と、
フレームに接続され、バッチ試料グリッドに対応する固有の所定の特徴を実体化する読み取り可能なデータ記憶媒体と
を含み、読み取り可能なデータ記憶媒体は、バッチホルダ試料グリッド内のバッチホルダ試料グリッドを識別する固有の識別子を実体化する。
【０３２５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、データ記憶媒体は、バッチ試料グリッドの保持受容部に保持される試料の別の所定の特徴を表す。
【０３２６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、固有であり、バッチ試料グリッドの所定の特徴とは異なる。
【０３２７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、少なくとも１つの試料グリッドカセットのグリッドアレイ内に位置付けられるバッチ試料グリッドの、バッチ上に保持される試料の所定の順序に関連付けられる。
【０３２８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の順序は、試料グリッド上への各試料の装着と同時に、バッチ試料グリッドに自動的に関連付けられる。
【０３２９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の順序は、少なくとも１つの試料グリッドカセットの、グリッドアレイの所定の配置に対応する。
【０３３０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、少なくとも１つの試料グリッドカセットの、グリッドアレイにおけるバッチ試料グリッドのバッチの所定の配置に対応する。
【０３３１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、試料グリッドのバッチ上に置かれるグリッド試料が作製される原料物質構成を表す。
【０３３２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の特徴は、試料グリッドカセットおよび試料グリッドカセットの試料グリッドのバッチを原料物質構成に関連付ける試料グリッド識別データである。
【０３３３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、少なくとも１つの試料グリッドカセットにおける試料グリッドのバッチの各バッチ試料、および試料グリッド上に置かれる試料を関連付ける試料グリッド識別データである。
【０３３４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、グリッドの電子顕微鏡試料をバッチ保持するための方法は、
グリッドフレームに置かれる試料保持受容部を有し、中に少なくとも１つの試料を保持するように構成されるグリッドフレームを設けることと、
グリッドフレームに接続され、グリッドフレームに対応する固有の所定のグリッドフレーム特徴を実体化する読み取り可能なデータ記憶媒体を設けることと
を含み、データ記憶媒体は、グリッドフレームの試料保持受容部に保持される試料の所定の試料特徴を表す。
【０３３５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の試料特徴は、固有であり、所定のグリッドフレーム特徴とは異なる。
【０３３６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の試料特徴は、グリッドのアレイにおける試料の所定の順序に関連付けられる。
【０３３７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、この方法はさらに、グリッド保持受容部のアレイにおけるグリッドのアレイへの各グリッドの装着と同時に、所定の順序を自動的に定めることを含む。
【０３３８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の順序は、グリッドホルダのグリッド保持受容部のアレイ内の、グリッドのアレイの所定の配置に対応する。
【０３３９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の試料特徴は、グリッドホルダのグリッド保持受容部のアレイの、グリッドのアレイの所定の配置に対応する。
【０３４０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の試料特徴は、グリッドアレイの各グリッド上の試料が作製される原料物質構成を表す。
【０３４１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定のグリッドフレーム特徴は、グリッドフレーム、およびグリッドフレームが位置付けられるカセットフレームを、原料物質構成に関連付けるグリッド識別データである。
【０３４２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の試料特徴は、グリッドアレイの各グリッドおよびグリッド上に置かれる試料を関連付ける試料識別データである。
【０３４３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、この方法はさらに、
カセットフレームに置かれ、それぞれが中にグリッドフレームを保持するように構成されるグリッドフレーム保持受容部のアレイを有するカセットフレームを設けることと、
カセットフレームに接続され、カセットフレームに対応する固有の所定のカセットフレーム特徴を実体化するカセットが読み取り可能なデータ記憶媒体を設けることと
を含み、カセットデータ記憶媒体は、所定のグリッドフレーム特徴に関連付けられる。
【０３４４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、この方法はさらに、
マガジンフレームに置かれ、それぞれが中にカセットフレームを保持するように構成されるカセットフレーム保持受容部のアレイを有するマガジンフレームを設けることと、
マガジンフレームに接続され、マガジンフレームに対応する固有の所定のマガジンフレーム特徴を実体化するマガジンが読み取り可能なデータ記憶媒体を設けることと
を含み、マガジンデータ記憶媒体は、所定のグリッド特徴に関連付けられる。
【０３４５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定のマガジンフレーム特徴は、固有であり、所定のカセットフレーム特徴および所定のグリッド特徴とは異なる。
【０３４６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定のグリッド特徴は、グリッド保持受容部のアレイに保持される試料の所定の順序に関連付けられる。
【０３４７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の順序は、マガジンフレームへの各カセットフレームの装着と同時に、マガジンフレームに自動的に関連付けられる。
【０３４８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡用の自動化グリッド順序付けシステムは、
複数のグリッドと、
グリッド搬送部および読み取り器に連通可能に接続されるプロセッサと
を備え、
グリッドのそれぞれが、
グリッド上の試料保持受容部と、
グリッドのフレームに接続され、グリッドに対応する固有の所定の特徴を実体化する読み取り可能なグリッドデータ記憶媒体と
を有し、グリッドの試料保持受容部に保持される試料の別の所定の特徴を表し、
プロセッサが、
読み取り器により読み取られたグリッドデータ記憶媒体のデータから、グリッドの所定の特徴を登録し、
バッチホルダのグリッド保持受容部のアレイに装着されるグリッドの別の所定の特徴を定めるグリッドに関するデータを登録する
ように構成される。
【０３４９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、自動化グリッド順序付けシステムはさらに、
バッチホルダを保持するように構成されるバッチホルダ配置ステーションと、
搬送部上にグリッドを保持するように配置されるエンドエフェクタ、および、バッチホルダのグリッド保持受容部にグリッドを搬送および配置される駆動セクションを有するグリッド搬送部と、
グリッド搬送部により保持されるグリッドのグリッドデータ記憶媒体を読み取るように配置される読み取り器と
を含む。
【０３５０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、バッチホルダは、フレームと、フレームに配置され、それぞれが中に複数のグリッドの少なくとも１つのグリッドを保持するように構成されるグリッド保持受容部のアレイと、フレームに接続され、バッチホルダに対応する固有の所定の特徴を実体化する読み取り可能なバッチホルダデータ記憶媒体とを含み、バッチホルダデータ記憶媒体は、バッチホルダのグリッド保持受容部のアレイに保持されるグリッドアレイの別の所定の特徴を表し、ホルダ配置ステーションにバッチホルダのバッチホルダデータ記憶媒体を読み取るために、読み取り器がさらに配置され、プロセッサは、読み取り器により読み取られたバッチホルダデータ記憶媒体のデータから、バッチホルダデータの所定の特徴を登録するようにさらに構成される。
【０３５１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、グリッドアレイの別の所定の特徴は、固有であり、バッチホルダの所定の特徴とは異なる。
【０３５２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、グリッドアレイの別の所定の特徴は、グリッドアレイ上の試料の所定の順序に関連付けられる。
【０３５３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の順序は、バッチホルダへのグリッドアレイの各グリッドの装着と同時に、自動的に定められる。
【０３５４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の順序は、ホルダのグリッド保持受容部のアレイ内のグリッドアレイの所定の配置に対応する。
【０３５５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、グリッドの別の所定の特徴は、固有であり、バッチホルダの所定の特徴とは異なる。
【０３５６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、グリッドの別の所定の特徴は、グリッドアレイ上の試料の所定の順序に関連付けられる。
【０３５７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の特徴は、バッチホルダへのグリッドアレイの各グリッドの装着と同時に、自動的に定められる。
【０３５８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の順序は、ホルダのグリッド保持受容部のアレイ内のグリッドアレイの所定の配置に対応する。
【０３５９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、グリッドの別の所定の特徴は、ホルダのグリッド保持受容部のアレイのグリッドアレイの所定の配置に対応する。
【０３６０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、グリッドの別の所定の特徴は、グリッドアレイのグリッド試料が作製された原料物質構成を表す。
【０３６１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の特徴は、バッチホルダ、およびバッチホルダのグリッド保持受容部のアレイのグリッドアレイを原料物質構成に関連付けるホルダ識別データである。
【０３６２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、グリッド保持受容部のグリッドアレイの各グリッドおよびグリッド上に置かれる試料を関連付けるグリッド識別データである。
【０３６３】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、電子顕微鏡用のバッチ試料グリッドは、
フレームと、
フレーム上に置かれ、上に試料を保持するように構成されている試料受容部と、
フレームに接続され、バッチ試料グリッドに対応する固有の所定の特徴を実体化する読み取り可能なデータ記憶媒体と
を含み、読み取り可能なデータ記憶媒体は、バッチホルダ試料グリッドのバッチ内の、バッチホルダ試料グリッドを識別する固有の識別子を実体化する。
【０３６４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、データ記憶媒体は、バッチ試料グリッドの試料受容部上に保持される試料の別の所定の特徴を表す。
【０３６５】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、固有であり、バッチ試料グリッドの所定の特徴とは異なる。
【０３６６】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、少なくとも１つの試料グリッドカセットのグリッドアレイ内に位置付けられるバッチ試料グリッドのバッチ上に保持される試料の所定の順序に関連付けられる。
【０３６７】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の順序は、試料グリッド上への各試料の装着と同時に、バッチ試料グリッドに自動的に関連付けられる。
【０３６８】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の順序は、少なくとも１つの試料グリッドカセットのグリッドアレイの所定の配置に対応する。
【０３６９】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、少なくとも１つの試料グリッドカセットのグリッドアレイのバッチ試料グリッドのバッチの所定の配置に対応する。
【０３７０】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、試料グリッドのバッチ上に置かれるグリッド試料が作製される原料物質構成を表す。
【０３７１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、所定の特徴は、試料グリッドカセット、および試料グリッドカセットの試料グリッドのバッチを原料物質構成に関連付ける試料グリッド識別データである。
【０３７２】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別の所定の特徴は、少なくとも１つの試料グリッドカセットの、試料グリッドのバッチの各バッチ試料、および試料グリッド上に置かれる試料を関連付ける試料グリッド識別データである。
【０３７３】
上記記載は、開示される実施形態の態様の例示にすぎないことが理解されるべきである。当業者によって、様々な代替例および修正例が、開示される実施形態の態様から逸脱することなく案出され得る。従って、開示される実施形態の態様は、添付の請求項の範囲に該当する、そのような代替例、修正例、および変形例のすべてを含むことを意図している。さらに、異なる特徴が、それぞれ異なる従属または独立請求項に詳述されるという一事実は、これらの特徴の組み合わせを有利に使用することができないということを意味せず、そのような組み合わせは、本発明の態様の範囲内に留まる。
【図１Ａ】
2017500722.tif 000003
【図１Ａ−１】
2017500722.tif 000004
【図１Ａ−２】
2017500722.tif 000005
【図１Ｂ】
2017500722.tif 000006
【図１Ｃ】
2017500722.tif 000007
【図１Ｄ】
2017500722.tif 000008
【図１Ｅ】
2017500722.tif 000009
【図１Ｆ】
2017500722.tif 000010
【図１Ｇ】
2017500722.tif 000011
【図１Ｈ】
2017500722.tif 000012
【図２Ａ】
2017500722.tif 000013
【図２Ｂ】
2017500722.tif 000014
【図２Ｃ】
2017500722.tif 000015
【図２Ｄ】
2017500722.tif 000016
【図２Ｅ】
2017500722.tif 000017
【図２Ｆ】
2017500722.tif 000018
【図２Ｇ】
2017500722.tif 000019
【図２Ｈ】
2017500722.tif 000020
【図２Ｉ】
2017500722.tif 000021
【図２Ｊ】
2017500722.tif 000022
【図２Ｋ】
2017500722.tif 000023
【図２Ｌ】
2017500722.tif 000024
【図３Ａ−３Ｂ】
2017500722.tif 000025
【図３Ｃ】
2017500722.tif 000026
【図３Ｄ】
2017500722.tif 000027
【図３Ｅ】
2017500722.tif 000028
【図４Ａ】
2017500722.tif 000029
【図４Ｂ】
2017500722.tif 000030
【図４Ｃ】
2017500722.tif 000031
【図４Ｄ】
2017500722.tif 000032
【図４Ｅ】
2017500722.tif 000033
【図４Ｆ】
2017500722.tif 000034
【図４Ｇ】
2017500722.tif 000035
【図４Ｈ】
2017500722.tif 000036
【図４Ｉ】
2017500722.tif 000037
【図４Ｊ】
2017500722.tif 000038
【図５Ａ】
2017500722.tif 000039
【図５Ｂ】
2017500722.tif 000040
【図５Ｃ】
2017500722.tif 000041
【図５Ｄ】
2017500722.tif 000042
【図５Ｅ】
2017500722.tif 000043
【図５Ｆ】
2017500722.tif 000044
【図５Ｇ】
2017500722.tif 000045
【図５Ｈ】
2017500722.tif 000046
【図５Ｉ】
2017500722.tif 000047
【図５Ｊ】
2017500722.tif 000048
【図６Ａ】
2017500722.tif 000049
【図６Ｂ】
2017500722.tif 000050
【図６Ｃ】
2017500722.tif 000051
【図６Ｄ】
2017500722.tif 000052
【図６Ｅ】
2017500722.tif 000053
【図６Ｆ】
2017500722.tif 000054
【図７Ａ】
2017500722.tif 000055
【図７Ｂ】
2017500722.tif 000056
【図７Ｃ】
2017500722.tif 000057
【図７Ｄ】
2017500722.tif 000058
【図７Ｅ】
2017500722.tif 000059
【図７Ｆ】
2017500722.tif 000060
【図８】
2017500722.tif 000061
【図９】
2017500722.tif 000062
【図１０】
2017500722.tif 000063
【図１１】
2017500722.tif 000064
【図１１Ａ】
2017500722.tif 000065
【図１１Ｂ】
2017500722.tif 000066
【図１１Ｃ】
2017500722.tif 000067
【図１２】
2017500722.tif 000068
【図１３】
2017500722.tif 000069
【国際調査報告】
2017500722.tif 000070
2017500722.tif 000071
2017500722.tif 000072