(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ上に設けられた複数のダイを、ウエハの中心からの距離に応じて、Ｎ（Ｎは２以上の整数）グループに分類するグループ分類部と、
前記グループ分類部がＮ分類したグループ順に、各グループに属するダイを、前記ウエハの中心を回転の軸とした一の回転方向に向かって１周以内で順番に選択して、当該選択順にウエハ上の前記複数のダイを全て指定する経路を決定する経路決定部と、
前記経路決定部が決定した経路を示す情報を出力する出力部とを備えた経路決定装置。
【請求項２】
前記ウエハ上に設けられた複数のダイについて、それぞれの位置を示す情報である位置情報を取得する位置情報取得部と、
前記複数のダイが配置されている位置と、前記ウエハの中心との間の距離を示す情報であるダイ距離情報を算出するダイ距離算出部と、を備え、
前記グループ分類部は、前記複数のダイを、前記距離算出部が算出したダイ距離情報が示す値の大きさに応じて、Ｎグループに分類する請求項１記載の経路決定装置。
【請求項３】
前記グループ分類部は、各グループに含まれるダイ数が同じとなるように前記複数のダイを分類する請求項２記載の経路決定装置。
【請求項４】
前記ウエハ上に設けられた複数のダイについて、それぞれの位置を示す情報である位置情報を取得する位置情報取得部と、
前記経路決定部が決定した経路についての距離を算出する距離算出部とを更に備え、
前記グループ分類部は、前記Ｎの値を変化させて前記ダイをＮグループに分類し、
前記経路決定部は、前記Ｎの値の変化に応じて、前記経路を決定し、
前記距離算出部は、前記経路決定部が前記Ｎの値の変化に応じて決定した経路毎に、距離を算出し、
前記経路決定部が決定した経路のうちの、前記距離算出部が算出した距離が最も小さくなる場合の経路を選択する経路選択部を更に備え、
前記出力部は、前記経路選択部が選択した経路を示す情報を出力する請求項１記載の経路決定装置。
【請求項５】
前記ウエハ上の領域を、ウエハの中心からの距離によって等間隔にＮ（Ｎは２以上の整数）領域に分割する領域分割部をさらに備え、
前記グループ分類部は、前記複数のダイを、各ダイが位置するＮ分割された領域に応じてＮグループに分類する請求項１記載の経路決定装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５いずれか記載の経路決定装置を備え、当該経路決定装置の出力部が出力する経路を示す情報が示す経路に沿った順番に、前記複数のダイの検査を行う検査装置。
【請求項７】
請求項１から請求項５いずれか記載の経路決定装置を備え、当該経路決定装置の出力部が出力する経路を示す情報が示す経路に沿った順番に、前記複数のダイにマーキングを行うマーキング装置。
【請求項８】
グループ分類部と、経路決定部と、出力部とにより処理される経路決定方法であって、
前記グループ分類部が、ウエハ上に設けられた複数のダイを、ウエハの中心からの距離に応じて、Ｎ（Ｎは２以上の整数）グループに分類するグループ分類ステップと、
前記経路決定部が、前記グループ分類ステップでＮ分類したグループ順に、各グループに属するダイを、前記ウエハの中心を回転の軸とした一の回転方向に向かって１周以内で順番に選択して、当該選択順にウエハ上の前記複数のダイを全て指定する経路を決定する経路決定ステップと、
前記出力部が、前記経路決定ステップで決定した経路を示す情報を出力する出力ステップとを備えた経路決定方法。
【請求項９】
コンピュータを、
ウエハ上に設けられた複数のダイを、ウエハの中心からの距離に応じて、Ｎ（Ｎは２以上の整数）グループに分類するグループ分類部と、
前記グループ分類部がＮ分類したグループ順に、各グループに属するダイを、前記ウエハの中心を回転の軸とした一の回転方向に向かって１周以内で順番に選択して、当該選択順にウエハ上の前記複数のダイを全て指定する経路を決定する経路決定部と、
前記経路決定部が決定した経路を示す情報を出力する出力部として機能させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ上に生成されたダイをテストする際の経路等を決定するための経路決定装置等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ウエハプローバ等を用いて実施されるウエハ上に生成されたダイに対する様々なテストは、複数回行われる場合があり、２回目以降のテストでは、ウエハ上にランダムに存在する測定対象ダイに対して、各ダイ毎にウエハを載置したステージを駆動することで、ウエハプローバ等を、ウエハ上の複数のダイ間を相対的に移動させることでテストを実施する。
【０００３】
また、不良ダイに対しては、マーキングのため、インク打点が行われることが多く、このインク打点も、同様にウエハ上にランダムに存在する打点対象となるダイに対して、ダイ毎にウエハを載置したステージを駆動することにより、インク打点用のヘッド等を、ウエハ上の複数のダイ間を相対的に移動させることで行われる。
【０００４】
なお、不良チップのマーキングを高速化を図る方法として、不良品と判定された不良チップの半導体ウエハ上における分布状態を調べ、隣接する不良チップ同士を不良ブロックとしてまとめるクラスタ化処理を行った後、不良ブロック間をランダムスキャンして、不良マークの印字を行っていく方法が知られていた。（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００５−２４４１４２号公報（第１頁、第１図等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来は、測定対象となるダイやインク打点の対象となるダイの検索は、ウエハ表面において設定された直交するｘ軸方向とｙ軸方向とにおいてジグザグに行われることが多かったため、測定対象となるダイ等の分布によっては、ステージやウエハプローバ等の総駆動距離等に無駄が多く、処理時間が長くなり、スループットが低下するという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の経路決定装置は、ウエハ上に設けられた複数のダイを、ウエハの中心からの距離に応じて、Ｎ（Ｎは２以上の整数）グループに分類するグループ分類部と、前記グループ分類部がＮ分類したグループ順に、各グループに属するダイを、前記ウエハの中心を回転の軸とした一の回転方向に向かって１周以内で順番に選択して、当該選択順にウエハ上の前記複数のダイを全て指定する経路を決定する経路決定部と、前記経路決定部が決定した経路を示す情報を出力する出力部とを備えたものである。
【０００７】
かかる構成により、ウエハ上の複数のダイ間を相対的に移動する総移動距離を短くして、スループットの向上を図ることができる。
【０００８】
また、本発明の経路決定装置は、前記経路決定装置において、前記ウエハ上の領域を、ウエハの中心からの距離によって等間隔にＮ（Ｎは２以上の整数）領域に分割する領域分割部をさらに備え、前記グループ分類部は、前記複数のダイを、各ダイが位置するＮ分割された領域に応じてＮグループに分類するものである。
【０００９】
かかる構成により、ウエハ上の複数のダイ間を相対的に移動する総移動距離を短くして、スループットの向上を図ることができる。
【００１０】
また、本発明の経路決定装置は、前記経路決定装置において、前記ウエハ上に設けられた複数のダイについて、それぞれの位置を示す情報である位置情報を取得する位置情報取得部と、前記複数のダイが配置されている位置と、前記ウエハの中心との間の距離を示す情報であるダイ距離情報を算出するダイ距離算出部と、を備え、前記グループ分類部は、前記複数のダイを、前記距離算出部が算出したダイ距離情報が示す値の大きさに応じて、Ｎグループに分類するものである。
【００１１】
かかる構成により、ウエハ上の複数のダイ間を相対的に移動する総移動距離を短くして、スループットの向上を図ることができる。
【００１２】
また、本発明の経路決定装置は、前記経路決定装置において、前記グループ分類部は、各グループに含まれるダイ数が同じとなるように前記複数のダイを分類する経路決定装置である。
【００１３】
かかる構成により、ウエハ上の複数のダイ間を相対的に移動する総移動距離を短くして、スループットの向上を図ることができる。
【００１４】
また、本発明の経路決定装置は、前記経路決定装置において、前記ウエハ上に設けられた複数のダイについて、それぞれの位置を示す情報である位置情報を取得する位置情報取得部と、前記経路決定部が決定した経路についての距離を算出する距離算出部とを更に備え、前記グループ分類部は、前記Ｎの値を変化させて前記ダイをＮグループに分類し、前記経路決定部は、前記Ｎの値の変化に応じて、前記経路を決定し、前記距離算出部は、前記経路決定部が前記Ｎの値の変化に応じて決定した経路毎に、距離を算出し、前記経路決定部が決定した経路のうちの、前記距離算出部が算出した距離が最も小さくなる場合の経路を選択する経路選択部を更に備え、前記出力部は、前記経路選択部が選択した経路を示す情報を出力するものである。
【００１５】
かかる構成により、ウエハ上の複数のダイ間を相対的に移動する総移動距離がより短くなる、最適な経路を選択することができ、スループットの向上を図ることができる。
【００１６】
また、本発明の検査装置は、前記経路決定装置を備え、当該経路決定装置の出力部が出力する経路を示す情報が示す経路に沿った順番に、前記複数のダイの検査を行うものである。
【００１７】
かかる構成により、ウエハ上の複数のダイ間を相対的に移動する総移動距離を短くして、検査時のスループットの向上を図ることができる。
【００１８】
また、本発明のマーキング装置は、前記経路決定装置を備え、当該経路決定装置の出力部が出力する経路を示す情報が示す経路に沿った順番に、前記複数のダイにマーキングを行うものである。
【００１９】
かかる構成により、ウエハ上の複数のダイ間を相対的に移動する総移動距離を短くして、マーキング時のスループットの向上を図ることができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明による経路決定装置によれば、ウエハ上の複数のダイ間を相対的に移動する総移動距離を短くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、経路決定装置等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。
【００２２】
（実施の形態１）
図１は、本実施の形態における経路決定装置のブロック図である。
【００２３】
経路決定装置１は、領域分割部１０１、位置情報取得部１０２、ダイ距離算出部１０３、グループ分類部１０４、経路決定部１０５、出力部１０６を具備する。
【００２４】
領域分割部１０１は、ウエハ上の領域を、ウエハの中心からの距離に応じて、例えば距離別に、Ｎ（Ｎは２以上の整数）分割して得られる総数がＮの領域（以下、Ｎ領域と称す）に分割する。好ましくは、ウエハ中心を中心とした１以上の同心円でウエハ上の領域をＮ分割する。ただし、領域分割部１０１は、ウエハ上の領域を、中心をウエハの中心と同じとした多角形やだ円でＮ分割してもよい。Ｎの値はユーザ等により予め指定されていてもよいし、動的に指定されてもよい。なお、ここでは例として、領域分割部１０１が、ウエハ上のＮ分割した領域をそれぞれ定義する情報を取得することを、ウエハ上の領域を分割することと考える。具体的には、領域分割部１０１は、ウエハの半径を示す情報等から、Ｎの値に応じて、ウエハ上の領域をＮ分割した各領域を指定する情報を構成する。ここでの、Ｎ分割した領域を指定する情報とは、ウエハ上の各ダイが、Ｎ分割された各領域に存在するかを判別するために利用できる情報であれば、どのような情報であっても良い。例えば、Ｎ領域が同心円を用いて分割された領域である場合、分割された各領域の、最もウエハ中心側の部分と最もウエハの外側の部分との、ウエハ中心からの距離を指定する情報である。あるいは、結果的に同じ情報が算出可能であれば、各領域の最もウエハ中心側に位置する部分のウエハ中心からの距離と、ウエハの半径方向における、各領域の最もウエハ中心側に位置する部分と最もウエハの外側に位置する部分との距離との組み合わせ等であっても良い。ウエハ中心を中心とした、各分割された領域を指定する情報が示す最もウエハ中心側の部分の距離を半径とした円と、最もウエハの外側の部分の距離を半径とした円により挟まれた帯状の領域が分割された各領域となる。ただし、最もウエハ中心側の領域は、ウエハ中心側の部分の距離が０である帯状の領域、すなわち円形状の領域となる。領域分割部１０１は、ウエハの中心からの距離によって等間隔にＮ（Ｎは２以上の整数）領域に、ウエハ上の領域を分割してもよい。なお、ここで述べるウエハとは、半導体製造プロセス等に用いられる半導体ウエハ等である。ダイとは、ウエハの電子回路等が実装されている部分を指す。半導体チップが構成される領域等と考えても良い。ここでは、説明のため、ウエハが円形である場合について説明するが、ウエハの形状は問わない。例えば、一部に、位置あわせ等のための切り欠き等が入っていても良い。複数のダイは、どのように識別されても良く、例えば、各ダイに識別情報等を与えておき、この識別情報により複数のダイを識別しても良い。領域分割部１０１は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。領域分割部１０１の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００２５】
位置情報取得部１０２は、ウエハ上に設けられた複数のダイについて、それぞれの位置を示す情報である位置情報を取得する。位置を示す情報とは、各ダイが載置されている位置を示す座標、例えばダイの中心やコーナー等の座標の情報である。通常、ウエハ上に素子等を製造する装置等においては、予めウエハ上に製造する全てのダイの位置を示す情報が設計情報等としてメモリ等に指定されていることが多い。このため、このような予めウエハに対するウエハ上の全てのダイが設けられている位置を示す情報を図示しないメモリ等に格納しておき、必要なダイについての位置を示す情報を、この図示しないメモリ等から位置情報取得部１０２が適宜読み出してもよい。この格納されているダイの位置情報は、ウエハ上における各ダイのサイズや配置等に基づいてユーザ等により作成されたものであってもよい。また、パターンマッチング等を用いた画像処理により、ウエハ上を撮影した画像から、ウエハ上の各ダイの輪郭を検出して、ダイの座標を示す情報等を取得してもよい。特に、ウエハ上のダイの一部を、例えばランダムに選択する場合、位置情報取得部１０２は、この選択したダイの位置情報だけを、各ダイを識別する情報等とともに取得する。なお、各ダイの位置情報を、各ダイの識別情報として用いても良い。位置情報取得部１０２は、上記のウエハ上の全てのダイのうちの、ユーザや試験装置等により指定された複数のダイ、あるいはランダムに指定された複数のダイについての位置情報を取得する。位置情報取得部１０２は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。位置情報取得部１０２の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００２６】
ダイ距離算出部１０３は、複数のダイが配置されている位置と、ウエハの中心との間の距離を示す情報であるダイ距離情報を算出する。具体的には、位置情報取得部１０２が取得したウエハ上の複数のダイの位置情報、例えば座標の情報と、ウエハの中心の座標の情報とから、ウエハ中心と各ダイとの距離を算出する。算出結果は、例えば図示しないメモリ等に蓄積される。ダイ距離算出部１０３は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。ダイ距離算出部１０３の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。なお、ウエハ上に作製される全てのダイとウエハ中心との距離を示す情報が、予め設計情報等として記憶媒体等に蓄積されており、そのうちの必要な１以上のダイについての、距離の情報を記憶媒体等から読み出すことが可能であれば、ダイとウエハ中心との距離を算出する必要がないため、このダイ距離算出部１０３や位置情報取得部１０２等は省略可能である。
【００２７】
グループ分類部１０４は、ウエハ上に設けられた複数のダイを、ウエハの中心からの距離に応じて、Ｎ（Ｎは２以上の整数）グループに分割する。「距離に応じて分割する」とは、例えば、距離の昇順（長い順）や降順（短い順）等によって、距離の大きさに応じて、グループに分割することであり、結果として、各ダイの距離に応じて、距離別に、複数のダイを複数のグループに分割することであればよい。例えば、グループ分類部１０４は、複数のダイがそれぞれ配置されている位置のウエハ中心からの距離を示す情報を、ダイ距離算出部１０３等から取得し、各ダイの距離を、各グループに属するダイの条件である距離範囲を指定する、上限値や下限値等の閾値と比較して、各ダイをＮグループのいずれか一つのグループに分別していくことで、複数のダイをＮグループに分割する。この閾値として、上述した領域分割部１０１が構成したＮ分割された各領域を指定する情報を用いることが好ましい。すなわち、各ダイがＮ分割された領域のうち、どの領域内に位置するかによって、各ダイを領域に対応したグループにグループ分けすることが好ましい。また、ウエハ上の領域を同心円等を用いて複数の領域に分割し、各ダイが、どの領域に配置されているかを、画像処理等を用いて分割された各領域毎に検出して、配置されている領域に応じて、複数のダイをグループ分けしても良い。また、予め、Ｎの値に応じてユーザ等により用意された、ウエハ上のどのダイが、同心円によりＮ分割された複数の領域のうちのどの領域に位置するかを指定する情報を、メモリ等に格納しておき、Ｎの値に応じて、どのダイがどのグループに属するかを示す情報をメモリ等から読み出して取得してもよい。この場合、領域分割部１０１や、位置情報取得部１０２、ダイ距離算出部１０３は省略可能である。グループ分類部１０４は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。グループ分類部１０４の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００２８】
経路決定部１０５は、グループ分類部１０４がＮ分割したグループ順に、各グループに属するダイを、ウエハの中心を回転の軸とした一の回転方向に向かって１周以内で順番に選択して、当該選択順にウエハ上の複数のダイを全て指定する経路を決定する。具体的には、まず、一のグループにおいて、全てのダイを指定した時点で、当該グループに隣接するグループにおけるダイの指定を行う。経路決定部１０５は、一の回転方向に向かって、後戻りしないようにダイの選択を行う。このとき、直前に選択したダイとの距離が最も近いダイを優先的に選択するようにしても良い。また、例えば、各グループ内においては、選択を開始時に選択したダイ、あるいは直前に選択したダイとウエハの中心とを結んだ直線と、同じグループ内の他のダイとウエハの中心とを結んだ直線とがなす角度θを算出し、この角度θが小さい順にダイを優先的に選択していくようにしてもよい。この時、角度θが同じである複数のダイについては、ウエハの中心との距離が短いものを優先的に選択する。また、一のグループに含まれる全てのダイの選択が終了した場合、経路決定部１０５は、例えば、隣接するグループの、直前に選択されたダイから最短距離にあるダイを選択する。経路決定部１０５は、例えば、選択順に各ダイに順位をつけ、全てのグループについての選択が終了した場合に、選択したダイを、選択順に、例えば順位に従って、距離が最短となるようにつなぐ経路を決定する。通常は、ダイ同士を直線でつなぐ経路を決定する。経路決定部１０５は、ウエハにおける最も外側のグループ、すなわち、中心からの距離が最も長いダイにより構成されるグループから、ダイを検索していき、グループ内のダイを全て検索し終わった時点で、隣接する内側のグループについて、同様の処理を繰り返していくことが、経路を短くする上で好ましい。あるいは、最も内側グループ、すなわち、中心からの距離が最も近いダイにより構成されるグループから、ダイを検索していき、グループ内のダイを全て検索し終わった時点で、隣接する外側のグループについて、同様の処理を繰り返していくことが好ましい。経路決定部１０５が決定する経路は、複数のダイを指定する順番で示されても良いし、ウエハ上の、選択された複数のダイが位置する位置の情報、例えば座標と、その座標が指定される順番等の情報であってもよい。また、経路決定部１０５が選択した複数のダイ上を選択順に通過するパス、例えばベジェ曲線のパスを示す情報であっても良い。また、ダイを検査したり、ダイにマーキング等を行う装置やウエハを載置するステージの移動経路を指定する情報であっても良い。経路決定部１０５は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。経路決定部１０５の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００２９】
出力部１０６は、経路決定部１０５が決定した経路を示す情報を出力する。経路を示す情報とは、ウエハ上の検査等の対象となる複数のダイ全体を指定する経路である。ここでは、経路を示す情報を経路情報と呼ぶ。ただし、必要に応じて、上述した領域別の経路を出力しても良い。この経路を示す情報は、指定するダイの順番を示す情報、例えば各ダイを識別するための識別情報と、各ダイを指定する順番を示す情報との組み合わせでも良い。また、経路を示す情報は、ダイの識別情報の列や、位置情報の列でもよい。指定するダイの順番を示す情報、例えば各ダイを識別するための識別情報と、各ダイを指定する順番を示す情報との組み合わせでも良い。また、各ダイのウエハ上における位置を示す情報、例えば座標を示す情報と、その座標を指定する順番を示した情報との組み合わせでもよい。ここで述べる座標は、通常はウエハ表面上の位置を示すための、直交するｘ軸とｙ軸とにより表される直交座標であり、絶対的な座標系であっても、ウエハやステージ等に対する相対的な座標であっても良い。ただし、ウエハ中心を中心とした極座標であってもよい。ここで述べる出力とは、ディスプレイへの表示、プリンタへの印字、外部の装置への送信や出力、記録媒体等への蓄積、他の処理モジュールへの情報の引き渡し等を含む概念である。例えば、この経路情報を、図示しないステージを駆動させる装置に出力することにより、ステージを駆動させる装置が、この経路を示す情報を用いて、ウエハを載置したステージを駆動させる。あるいは、この出力部１０６が出力する経路情報が示す経路に沿って、ダイを検査する装置や、ダイにマーキングを行う装置のプローブヘッドや、印刷ヘッド等が動作することで、検査やマーキングの処理が行われる。出力部１０６は、ディスプレイ等の出力デバイスを含むと考えても含まないと考えても良い。出力部１０６は、出力デバイスのドライバーソフトまたは、出力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現され得る。
【００３０】
次に、経路決定装置１の動作について図２のフローチャートを用いて説明する。
【００３１】
（ステップＳ２０１）領域分割部１０１は、領域の分割数であるＮを、例えば図示しない受付部等から受け付けたか否かを判断する。なお、Ｎの値が予め図示しないメモリ等に格納されていて、この格納されているＮの値を読み出しても良い。Ｎを受け付けた場合、ステップＳ２０２へ進み、受け付けていない場合、ステップＳ２０１に戻る。
【００３２】
（ステップＳ２０２）領域分割部１０１は、ステップＳ２０１において受け付けたＮの値に応じて、ウエハ表面をＮ分割して得られるＮ個のリング状の領域を定義する情報を構成する。ここでは、例として、各領域間の境界を定義する情報を構成する。例えば、Ｎ分割した領域を外側から順番に第一領域〜第Ｎ領域とすると、第Ｋ領域（ただし、Ｋは１〜Ｎ−１）と第（Ｋ＋１）領域との境界は、ウエハ中心からの距離がＲ×（Ｎ−Ｋ）÷Ｎである円周上の位置となる。ただし、Ｒはウエハの半径とする。
【００３３】
（ステップＳ２０３）位置情報取得部１０２は、ウエハ上の複数のダイ、例えば、検査やマーキングの処理対象となるダイの位置情報をそれぞれ取得する。例えば、ウエハ上の全てのダイの位置情報が予め格納されているようにして、指定された複数のダイについての位置情報、例えば座標情報を、選択的に読み出す。
【００３４】
（ステップＳ２０４）ダイ距離算出部１０３は、ウエハ上の複数のダイのそれぞれについて、ウエハ中心からの距離を算出する。例えば、ウエハ上の中心の位置情報、例えば座標情報を取得し、この取得した位置情報と、ステップＳ２０３において取得したウエハ上の複数のダイの位置情報、例えば座標情報とから、各ダイのウエハ中心からの距離を算出する。なお、予め、複数のダイについて算出された、ウエハ中心からの距離を示す情報が、メモリ等に蓄積されている場合、各ダイについて距離を示す情報を読み出せばよいので、ダイ距離算出部１０３は、省略可能である。
【００３５】
（ステップＳ２０５）グループ分類部１０４は、ステップＳ２０２で領域分割部１０１が構成したＮ分割した領域を定義する情報と、ステップＳ２０４で算出した各ダイの距離とを用いて、各ダイを、各ダイが配置されている領域別に、言い換えれば領域ごとにＮのグループに分類する。複数のダイをＮグループに分ける処理の詳細な例については後述する。なお、ここでは、第Ｋ領域（１≦Ｋ≦Ｎ、Ｋは整数）に位置するダイのグループを第Ｋグループとする。
【００３６】
（ステップＳ２０６）経路決定部２０５は、カウンターｓに１を代入する。
【００３７】
（ステップＳ２０７）経路決定部２０５は、第ｓグループに属するダイの一つを始点に設定する。例えば、ウエハ中心からの距離が最も遠いダイの位置を始点に設定する。ただし、どのように始点となるダイを設定しても良い。例えば、ウエハ中心からの距離が最も近いダイの位置を始点に設定しても良い。
【００３８】
（ステップＳ２０８）経路決定部２０５は、ウエハの中心を回転の軸とした場合における、ステップＳ２０７等で始点に設定したダイに対する、第ｓグループに属する各ダイの一の回転方向における角度（回転角）を取得する。すなわち各ダイとウエハ中心とを結ぶ直線が、始点に設定したダイとウエハ中心とを結ぶ直線に対してなす角度を取得する。
【００３９】
（ステップＳ２０９）経路決定部２０５は、第ｓグループの各ダイを、始点となるダイに対する角度の小さい順に、順位を決定する。ここでは、例として、角度の小さいものの順位を高くしているが、逆でも良い。
【００４０】
（ステップＳ２１０）経路決定部２０５は、角度が同じダイがあるか否かを判断する。同じダイがある場合、ステップＳ２１１に進み、ない場合、ステップＳ２１２に進む。
【００４１】
（ステップＳ２１１）経路決定部２０５は、角度が同じダイについては、ウエハ中心との距離が長いものの順位を高くする。ただし、距離が短いものの順位を高くするようにしても良い。
【００４２】
（ステップＳ２１２）経路決定部２０５は、始点となるダイから順に、各ダイの順位にしたがって、各ダイの位置上を通過するような経路を決定する。この経路は、ここでは例として、各ダイを並べられた順番に直線で結んだ経路であるとする。なお、直前に既に経路が一部決定されている場合、その続きとして経路を設定する。なお、経路情報として、ダイを通過する順位を用いる場合、この処理は省略してもよい。
【００４３】
（ステップＳ２１３）経路決定部２０５は、カウンターｓを１インクリメントする。
【００４４】
（ステップＳ２１４）経路決定部２０５は、ｓ＞Ｎであるか否かを判定する。ｓ＞Ｎであれば、ステップＳ２１５に進み、ｓ＞Ｎでなければ、ステップＳ２１６に進む。
【００４５】
（ステップＳ２１５）出力部１０６は、経路決定部２０５が決定した経路を示す経路情報を出力する。そして処理を終了する。
【００４６】
（ステップＳ２１６）前回の経路の終点を、次の第ｓグループのダイについての経路を決定するための、始点となるダイに設定する。そして、ステップＳ２０８に戻る。
【００４７】
次に、図３のフローチャートを用いて、グループ分類部１０４が、複数のダイをＮグループに分ける処理の詳細な例について説明する。この処理は、上述したステップＳ２０５に相当する処理である。
【００４８】
（ステップＳ３０１）グループ分類部１０４は、カウンターｍに１を代入する。
【００４９】
（ステップＳ３０２）グループ分類部１０４は、カウンターＫに１を代入する。
【００５０】
（ステップＳ３０３）グループ分類部１０４は、経路を決定する対象となる複数のダイのうちの、ｍ番目のダイの、ウエハ中心からの距離が、Ｒ×（Ｎ−Ｋ）÷Ｋ以上であるか否かを判断する。ｍ番目のダイはどのように決定しても良い。以上である場合、ステップＳ３０４に進み、以上でない場合、ステップＳ３０７に進む。
【００５１】
（ステップＳ３０４）グループ分類部１０４は、ｍ番目のダイを、Ｋ番目のグループに分類する。ここでは、例えば、ｍ番目のダイを、Ｋ番目のグループに分類されることを示す情報と対応付けてメモリ等の記録媒体に蓄積する。
【００５２】
（ステップＳ３０５）グループ分類部１０４は、カウンターｍを１インクリメントする。
【００５３】
（ステップＳ３０６）グループ分類部１０４は、経路を決定する対象となる複数のダイの中に、ｍ番目のダイがあるか否かを判断する。ｍ番目のダイがある場合、ステップＳ３０２に戻り、ｍ番目のダイがない場合、上位関数にリターンする。
【００５４】
（ステップＳ３０７）グループ分類部１０４は、カウンターＫを１インクリメントする。
【００５５】
（ステップＳ３０８）グループ分類部１０４は、ＫがＮ以上であるか否かを判断する。Ｎ以上である場合、ステップＳ３０９に進み、Ｎ以上出ない場合、ステップＳ３０３に戻る。
【００５６】
（ステップＳ３０９）グループ分類部１０４は、ｍ番目のダイをＮ番目のグループに分類する。
【００５７】
以下、本実施の形態における経路決定装置１の具体的な動作について説明する。
【００５８】
図４は、ウエハ１０の表面と、ウエハ１０表面に設けられるダイとの関係を示す模式図である。ここでは、説明を簡単にするためにダイが正方形であるとする。そして、各ダイは、ウエハ１０上に、ｘｙ軸座標系に沿ってマトリクス状に設けられており、座標（０，０）を基準点として、ｘ軸方向の配列順番と、ｙ軸方向の配列順番との組み合わせにより指定されるものとする。ここでは、例としてウエハの中心を座標（０，０）とする。また、このｘ軸方向の配列順番と、ｙ軸方向の配列順番とを、ここでは各ダイの座標と考える。例えば、ｘ軸方向に４個目であってｙ軸方向に５個目のダイは、座標（４，５）のダイ、となる。なおウエハの半径Ｒは、ここでは、「９」であるとする。単位はダイの個数である。
【００５９】
ここで、図４における斜線で示した複数のダイ１１が、経路を決定するための対象となるダイ（以下対象ダイと称す）として、ダイの座標を用いてユーザや、ダイを検査するそ検査装置等により指定されたとする。例えば、座標（１，１）のダイ１１ａや、座標（−２，−４）のダイ１１ｂが対象ダイとして指定されたとする。
【００６０】
図５は、ユーザ等により指定された対象ダイを管理する対象ダイ管理表である。対象ダイ管理表は、対象ダイを管理する情報である「対象ダイＩＤ」と、対象ダイを指定する情報である「ダイ指定情報」とを属性として有する。「ダイ指定情報」は、対象ダイを指定するための情報、例えば識別情報であり、ここでは対象ダイを指定する際に用いられたダイの座標情報である。なお、「対象ダイＩＤ」は、ここでは、対象ダイが指定された順番に付加された情報であり、どのように付加しても良く、例えば、ランダムに付加しても良い。なお、ここでは、便宜上、座標（Ｘ，Ｙ）の対象ダイを、ダイ（Ｘ，Ｙ）とする。
【００６１】
また、ここでは、ウエハ１０上の領域を分割するＮの値として、「３」がユーザにより入力されたとする。この値は初期設定値として、予めメモリ等に格納されていても良い。
【００６２】
経路決定装置１の領域分割部１０１は、Ｎ＝３の値を受け付けると、ウエハ１０表面をＮ＝３分割して得られる３個のリング状の領域を定義する情報を構成する。ここでは、３つの領域の幅が等しくなるようにウエハ上の領域を分割する。ウエハ１０の半径は「９」であるため、外側の第一領域と、第一領域に内接する第二領域との境界を定義する情報、ここでは境界を定義する値として、９×（３−１）÷３＝６を算出する。すなわち、第一領域と、第一領域に内接する第二領域との境界は、半径が「６」の円となる。また、第二領域と、第二領域に内接する、最もウエハ中心側の領域である第三領域との境界を定義する値として、半径が、９×（３−２）÷３＝３を算出する。すなわち、第二領域と、第二領域に内接する第三領域との境界は、半径が「３」の円となる。また、３分割した各領域の幅は、「３」となる。この境界を定義する値は、図示しないメモリ等に一時記憶しておく。
【００６３】
次に、位置情報取得部１０２は、対象ダイの位置情報を取得する。ここでは、対象ダイを指定する情報が、各対象ダイの座標を示す情報であるため、その座標の情報を取得する。
【００６４】
次に、ダイ距離算出部１０３は、各対象ダイとウエハ中心との距離を算出し、算出した距離を示す情報を、メモリ等に一時記憶する。ここでは、ウエハ１０の中心が（０，０）であるため、ダイ（Ｘ，Ｙ）の距離は、（Ｘ２＋Ｙ２）の平方根として算出するものとする。なお、ダイが正方形でない場合、そのアスペクト比に応じて、距離の計算式の係数等を変形してもよい。
【００６５】
図６は、対象ダイとダイ距離算出部１０３が算出した距離とを管理する距離管理表を示す図である。距離管理表は、「対象ダイＩＤ」と、「座標」と、「距離」という属性とを有している。「対象ダイＩＤ」は、図５の「対象ダイＩＤ」と同じ管理情報である。「座標」は、対象ダイの座標情報であり、ここでは、図５に示した「ダイ指定情報」と同じ情報である。「距離」は、「座標」の属性値を用いて、ダイ距離算出部１０３が算出した距離である
【００６６】
次に、グループ分類部１０４は、各対象ダイについて、第一領域から第三領域のうちのどの領域に位置するかを判断して、各対象ダイを３つのグループに分類していく。ここでは具体的に、まず、「対象ダイＩＤ」に応じて、図６に示した距離管理表から、各対象ダイの「距離」属性値を読み出す。そして、この「距離」属性値と、上述した第一領域と第二領域との境界を定義する値とを比較して、この境界を定義する値以上であるか否かを判断する。そして、この第一領域と第二領域との境界を定義する値以上である場合、その対象ダイを第一のグループに分類し、対象ダイの「対象ダイＩＤ」を、第一のグループであることを示す情報と対応付けて図示しないメモリ等に蓄積する。また、第一領域と第二領域との境界を定義する値以上でない場合には、対象ダイの「距離」属性値と、上述した第二領域と第三領域との境界を定義する値とを比較して、この境界を定義する値以上であるか否かを判断する。この第二領域と第三領域との境界を定義する値以上である場合、その対象ダイを第二のグループに分類し、対象ダイの「対象ダイＩＤ」を、第二のグループであることを示す情報と対応付けて図示しないメモリ等に蓄積する。また、第二領域と第三領域との境界を定義する値以上でない場合には、その対象ダイを第三のグループに分類し、対象ダイの「対象ダイＩＤ」を、第三のグループであることを示す情報と対応付けて図示しないメモリ等に蓄積する。
【００６７】
図７は、グループ分類部１０４による各対象ダイの分類結果を管理する分類管理表である。分類管理表は、「対象ダイＩＤ」と、「グループ」とを属性として有する。「対象ダイＩＤ」は、図５および図６の「対象ダイＩＤ」と同じ管理情報である。「グループ」は、各対象ダイが属するグループを示す情報、ここではグループ名である。
【００６８】
次に、経路決定部１０５は、ウエハ１０の最も外側に位置する第一領域に配置されたダイの属するグループである第一グループに属するダイの一つを始点に設定する。ここでは例として、図６に示した距離管理表を参照して、図７の分類管理表において、「グループ」属性が、「第一グループ」である対象ダイのうちの、ウエハ中心からの距離が最も遠いダイのうちの、「対象ダイＩＤ」の番号が小さいダイを始点に設定する。ここでは、ダイ（−１，９）が始点に設定される。
【００６９】
次に、このダイ（−１，９）に対する、第一グループに属する各ダイの、ウエハの中心を回転の軸とした場合における一の回転方向についての角度を算出する。角度は、各対象ダイの座標を用いて算出する。一の回転方向は、ここでは時計回りとする。
【００７０】
そして、経路決定部１０５は、角度が小さい順に、第一グループに属する各対象ダイの順位を決定する。また、同じ角度の対象ダイがあった場合、図６の距離管理表を用いて、「距離」属性値が大きいものの配列する順位を高くする。例えば、ここでは、対象ダイＩＤが「００３」であるダイ（３，６）と、対象ダイＩＤが「００４」であるダイ（４，６）の角度が同じであるため、「距離」属性が大きい対象ダイＩＤが「００４」であるダイ（４，６）の順位を、対象ダイＩＤが「００３」であるダイ（３，６）の一つ上の順位に設定する。
【００７１】
図８は、第一グループに属する各対象ダイの順位を管理する順位管理表である。順位管理表は、「対象ダイＩＤ」と「順位」という属性を有している。「対象ダイＩＤ」は、図５および図６の「対象ダイＩＤ」と同じ管理情報である。「順位」は、経路決定部１０５が決定した順位である。なお、ここでは、始点となるダイ（−１，９）の順位を「１」としている。
【００７２】
つぎに、経路決定部１０５は、図８の順位管理表が示す順位の順番、ここでは順位の小さいものから順番に、第一グループに属する対象ダイを指定するための経路情報を構成する。例えば、経路決定部１０５は、第一グループに属する全ての対象ダイ上を通過する経路のパスを示す情報を、経路情報として構成する。なお、ここで決定される経路は、第一領域の一周以内で、第一グループの全ての対象ダイ上を通過する経路となる。なお、この経路情報として、ダイを通過する順番、言い換えればダイを検査する検査装置やダイに対してインク打点等によりマーキングを行うマーキング装置等が処理する順番を示す情報を用いる場合、上記の順位管理表が示す「順位」の属性値をそのまま経路情報として用いればよいので、経路情報を構成する処理は省略しても良い。例えば、検査装置やマーキング装置が、各ダイを処理する順番を指定すれば、その順番に沿って、最短距離でダイに移動して処理を行うものである場合、経路情報は、第一グループ内の各ダイに対する処理を行う順番を示す情報であればよいので、上記の順位管理表が示す「順位」の情報が、経路情報として利用できる。
【００７３】
次に、第二グループ、第三グループに属する対象ダイについても、順次、上記と同様に経路情報を決定する。なお、第二グループについて経路情報を決定する場合には、第一グループにおいて、経路の最後となった対象ダイを、経路の始点となる対象ダイとして用いるようにする。同様、第三グループについて経路情報を決定する場合には、第二グループにおいて、経路の最後となった対象ダイを、経路の始点となる対象ダイとして用いるようにする。第二グループ、第三グループに属する対象ダイについて決定した経路が、第一グループについて決定した経路の続きの経路となる。これにより、ウエハ１０上の全ての対象ダイを通過する経路情報を決定することができる。
【００７４】
図９は、経路決定部１０５が決定した経路９０を示す図である。なお、境界９１は、第一領域と第二領域との間の境界を示し、境界９２は、第二領域と第三領域との間の境界を示す。
【００７５】
出力部１０６は、経路決定部１０５が決定した経路情報を、検査装置やマーキング装置等（図示せず）に出力する。検査装置やマーキング装置は、この経路情報が示す経路に沿って、ウエハに対して移動して、ウエハ１０上の各対象ダイについて処理を行うこととなる。
【００７６】
例えば、図４のように対象ダイが配置されている場合、図１０に示すように、従来のように対象ダイをジグザグに通過する経路１０００を決定すると、全ての対象ダイを通過した場合のｘ軸方向の移動距離の合計は１１５、ｙ軸方向の移動距離の合計は１６となり、ｘ軸方向とｙ軸方向の移動距離の合計は１３１となる。
【００７７】
これに対し、上記具体例に示した図９に示すような経路で、全ての対象ダイを通過した場合のｘ軸方向の移動距離の合計は４４、ｙ軸方向の移動距離の合計は５０となり、ｘ軸方向とｙ軸方向の移動距離の合計は９４となる。これにより、移動距離が短くなっていることが分かる。
【００７８】
以上、本実施の形態によれば、ウエハ上に設けられた複数のダイを、ウエハの中心からの距離に応じて、Ｎグループに分割し、Ｎ分割したグループ順に、各グループに属するダイを、ウエハの中心を回転の軸とした一の回転方向に向かって１周以内で順番に選択して、当該選択順にウエハ上の複数のダイを全て指定する経路を決定するようにしたことにより、ウエハに設けられた複数のダイ上を、より短い距離で移動可能な経路を示す情報を得ることができる。これにより、検査やマーキング等の時間を短縮することができる。
【００７９】
なお、ここでは、Ｎの値に応じて等間隔にウエハ上の領域を分割するようにしたが、Ｎの値毎に予め設定された間隔を、Ｎの値に応じて読み出して、この間隔によりウエハ上の領域をＮ分割するようにしても良い。例えば、Ｎが４の場合、ウエハの外側から、幅の比率が４：３：３：２となるようにウエハ上の領域をリング状に分割しても良い。
【００８０】
また、Ｎの値に応じて、複数の対象ダイを、中心からの距離別、例えば距離が遠い順、あるいは距離が近い順に、Ｎ等分、あるいはほぼＮ等分に分類することで、対象ダイをＮグループに分類するようにしても良い。
【００８１】
また、上記具体例においては、経路決定部１０５が、ウエハの外周側に位置するダイのグループから順番に、経路を決定していくようにしたが、ウエハの中心側に位置するグループから順番に、経路を決定していくようにしてもよい。
【００８２】
（実施の形態２）
本実施の形態にかかる経路決定装置は、上記実施の形態において説明した経路決定装置において、Ｎの値を動的に変化させるようにして、Ｎの値毎に複数のダイをＮグループに分けて、上記実施の形態と同様に経路を決定し、このＮの値を変えた場合にそれぞれ得られた経路を、経路全体の距離について比較し、経路全体の距離が最も小さくなる経路を示す情報を選択的に出力するようにしたものである。
【００８３】
図１１は、本実施の形態にかかる経路決定装置のブロック図であり、経路決定装置２は、領域分割部２０１、位置情報取得部１０２、ダイ距離算出部１０３、グループ分類部２０４、経路決定部２０５、出力部２０６、距離算出部２０７、経路選択部２０８を具備する。
【００８４】
位置情報取得部１０２およびダイ距離算出部１０３については、上記実施の形態１において説明した位置情報取得部１０２およびダイ距離算出部１０３と同様の構成を有しているための、ここでは説明を省略する。
【００８５】
領域分割部２０１は、上記実施の形態１において説明した領域分割部において、Ｎの値を変化させて、変化させる毎に、ウエハ上をＮ領域に分割するものである。Ｎの値は、予め指定されている範囲内で変化させても良い。この変化の範囲は、ユーザ等から受け付けても良いし、予め指定されていても良い。また、Ｎの値を順次変化させて後述する処理等により得られる経路の距離の一つが、極小値であると判断できるまでの範囲で、Ｎの値を変化させても良い。例えばＮの値を変化させた場合の経路の距離が、増加した時点で、Ｎの値を変化させることを終了しても良い。また、Ｎの値の変化の度合い等も、ユーザ等から受け付けても良いし、予め指定されていてもよい。Ｎの値を変化させることを除けば、上記実施の形態１において説明した領域分割部と同様の構成を有しているため、説明は省略する。
【００８６】
グループ分類部２０４は、上記実施の形態１において説明したグループ分類部において、Ｎの値を変化させて、変化させる毎に、複数のダイをＮグループに分類するものであり、Ｎの値を変化させることを除けば、上記実施の形態１において説明したグループ分類部２０４と同様の構成を有しているため、説明は省略する。
【００８７】
経路決定部２０５は、上記実施の形態１において説明したグループ分類部において、Ｎの値の変化に応じて、Ｎグループに分類されたダイについて、経路を決定するものであり、Ｎの値を変化させることを除けば、上記実施の形態１において説明した経路決定部と同様の構成を有しているため、説明は省略する。
【００８８】
距離算出部２０７は経路決定部２０５が決定した経路、ここでは特に、経路決定部２０５のＮの値を変化させた場合毎に決定した経路についての距離を算出する。経路についての距離とは、例えば、経路の距離である。複数のダイ間を経路決定部２０５が決定した経路に沿って移動する際の距離の合計である。ここでの距離は、ダイ間に設定される経路の実際の長さあっても良いし、ｘ軸方向およびｙ軸方向に移動する検査装置やマーキング装置が、ダイ上を経路に沿って相対的に移動する場合の、ｘ軸方向の総移動距離とｙ軸方向の総移動距離との合計等であっても良い。距離算出部２０７は、例えば、経路情報が、対象ダイ上を通過する順番の情報である場合等には、経路決定部２０５が決定した経路情報と、位置情報取得部１０２が取得した座標情報等の位置情報を用いて、経路の距離を算出する。距離算出部２０７は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。距離算出部２０７の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００８９】
経路選択部２０８は、経路決定部２０５が、Ｎの値が変化する毎に決定した経路を、距離算出部２０７が算出した距離について比較し、距離算出部２０７が算出した距離が最も小さくなる場合の経路を選択する。経路選択部２０８は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。経路選択部２０８は、の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００９０】
出力部２０６は、経路選択部２０８が選択した経路を示す情報である経路情報を出力することを除けば、上記実施の形態１の出力部２０６と同様であるので、説明は省略する。
【００９１】
次に、本実施の形態にかかる経路決定装置２の動作について、図１２のフローチャートを用いて説明する。なお、図において、図２のフローチャートと同一符号は同一又は相当する部分を示すものとする。
【００９２】
（ステップＳ１２０１）領域分割部２０１は、Ｎを変化させる上限値Ｕを受け付けたか否かを判断する。この情報はユーザから受けつけても良いし、メモリ等から読み出しても良い。受け付けた場合、ステップＳ１２０２に進み、受け付けていない場合、ステップＳ１２０１に戻る。なお、ここでは、例として上限値Ｕを受け付けるものとしたが、Ｎを変化させる範囲を指定する情報、例えば上限値と下限値等を受け付けたか否かを判断してもよい。なお、ここでは、Ｎの値は、１からＵの間で一ずつ変化させる変数であるとする。
【００９３】
（ステップＳ１２０２）領域分割部２０１は、Ｎの値に上限値Ｕを代入する。
【００９４】
（ステップＳ１２０３）距離算出部２０７は、経路決定部２０５が決定した経路の距離を算出する。
【００９５】
（ステップＳ１２０４）距離算出部２０７が算出した距離と、経路決定部２０５が決定した経路を示す経路情報とを対応付けて図示しないメモリ等に蓄積する。
【００９６】
（ステップＳ１２０５）領域分割部２０１は、Ｎの値を１減算する。
【００９７】
（ステップＳ１２０６）領域分割部２０１は、Ｎの値が０以下であるか否かを判断する。０以下であれば、ステップＳ１２０７に進み、０以下でなければ、ステップＳ２０２に戻る。
【００９８】
（ステップＳ１２０７）経路選択部２０８は、ステップＳ１２０４で蓄積した経路の距離同士を、比較して、距離が最も短くなる経路を示す経路情報を選択する。
【００９９】
（ステップＳ１２０８）出力部２０６は、ステップＳ１２０７で選択した経路情報を出力する。そして処理を終了する。
【０１００】
次に具体例について説明する。ここでは、Ｎの上限値として「３」が予め、メモリ等に蓄積されており、この上限値を、経路決定装置２が、図示しない受付部等を介して経路を決定する処理の実行指示を受けた場合に、領域分割部２０１が読み出すものとする。
【０１０１】
経路決定装置２は、まず、Ｎの値を「３」に設定して経路を決定する。経路を決定する処理は上記実施の形態１と同様に行われる。これにより決定される経路は、図９と同様となる。そして経路を決定後、その経路についての距離を算出する。ここでは、ダイ上を経路に沿って相対的に移動する場合の、ｘ軸方向の総移動距離とｙ軸方向の総移動距離との合計を算出する。ここでは、上記具体例と同様に、距離は、「９２」となる。そして、この算出した距離を、この経路を示す経路情報と対応付けて図示しないメモリ等に蓄積する。なお、この経路情報の名称は、第一経路とする。
【０１０２】
さらに、Ｎの値を「２」、および「１」に変化させて同様の処理を行う。
【０１０３】
図１３は、Ｎの値を「２」に変化させた場合の経路１３０を示す図である。この場合のｘ軸方向の総移動距離は「４１」、ｙ軸方向の総移動距離は「４９」であり、経路の距離は「９０」となる。
【０１０４】
図１４は、Ｎの値を「１」に変化させた場合の経路１４０を示す図である。この場合のｘ軸方向の総移動距離は「５８」、ｙ軸方向の総移動距離は「５０」であり、経路の距離は「１０８」となる。
【０１０５】
図１５は、Ｎの値を変化させた場合の経路情報と、その距離との関係を管理する距離管理表である。距離管理表は、「Ｎ」、「経路情報」、「距離」の属性を有している。「Ｎ」はＮの値を示す。「経路情報」は、Ｎの値に応じて決定された経路を示す経路情報である。「距離」は、距離算出部２０７が算出した距離である。
【０１０６】
経路選択部２０８は、距離管理表の中から、「距離」の値が最も小さいレコードの「経路情報」である「第二経路」を選択する。
【０１０７】
そして、経路選択部２０８が選択した経路情報である「第二経路」を、出力部２０６が検査装置等に出力する。
【０１０８】
以上、本実施の形態によれば、グループ分けの数を示す値であるＮの値を変化させて、Ｎの値毎に経路を決定し、決定した各経路についての距離を算出し、この距離が最も小さくなる経路を選択し、この選択した経路を示す経路情報を出力するようにしたことにより、ウエハ上における複数のダイの分布状態等に応じて、移動距離が最も短くなる最適な経路を示す情報を得ることができる。
【０１０９】
なお、本実施の形態においても、複数のダイをＮグループに分類する際には、上記実施の形態において説明したように、複数の対象ダイを、中心からの距離別、例えば距離が遠い順、あるいは距離が近い順に、Ｎ等分、あるいはほぼＮ等分に分類することで、対象ダイをＮグループに分類するようにしても良い。
【０１１０】
以下、上記実施の形態１の経路決定装置を、検査装置に適用する具体例についてのブロック図を図１６に示す。
【０１１１】
図において、検査装置５は、経路決定装置１および検査部５０１を具備する。なお、検査装置５は、ウエハ等が載置されるステージと、当該ステージを駆動させる駆動装置とをさらに備えていても良い。なお、ステージを駆動させる装置等については公知技術であるので説明は省略する。
【０１１２】
経路決定装置１の構成については、上述した経路決定装置１と同様であるので説明は省略する。
【０１１３】
検査部５０１は、ウエハ上に設けられた複数のダイ、ここでは特に検査対象となる複数のダイのそれぞれについて、経路決定装置１が決定し、出力部１０６が出力した経路を示す情報が示す経路に沿った順番に、検査を行う。検査部５０１は、例えば、ウエハが載置されたステージを駆動させる装置（図示せず）に指示を出すことで、ステージを経路決定装置１が決定した経路に応じて移動させることで、ウエハ上のダイを、経路決定装置１が決定した経路に沿って検査する。ただし、検査用のプローブヘッド等を経路に沿って移動させても良い。検査部５０１は、例えば、プローブヘッド等を備えており、このヘッドを、各ダイの電極パッド等に押し当てて、信号等を印加することで、ダイの検査を行う。検査部５０１が行う検査の内容は問わない。また、検査部５０１が行う検査は、必ずしも、プローブヘッドを用いた検査に限るものではなく、一般的にダイに行われる検査であればどのような検査を行っても良い。検査部５０１は、検査部５０１は、通常、検査用のヘッド等の検査のためのハードウェア（専用回路）等を備えているが、備えていなくても良い。検査部５０１は、また、検査を行う際の制御のための、ＭＰＵやメモリを備えていても良い。
【０１１４】
なお、検査装置５は、上記実施の形態１の経路決定装置１の代わりに、上記実施の形態２の経路決定装置２を備えていても良い。
【０１１５】
以下、上記実施の形態１の経路決定装置を、マーキング装置に適用する具体例についてのブロック図を図１７に示す。
【０１１６】
図において、マーキング装置６は、経路決定装置１およびマーキング部６０１を具備する。なお、マーキング装置６は、ウエハ等が載置されるステージと、当該ステージを駆動させる駆動装置とをさらに備えていても良い。なお、ステージを駆動させる装置等については公知技術であるので説明は省略する。
【０１１７】
経路決定装置１の構成については、上述した経路決定装置１と同様であるので説明は省略する。
【０１１８】
マーキング部６０１は、ウエハ上に設けられた複数のダイ、ここでは特にマーキング対象となる複数のダイのそれぞれについて、経路決定装置１が決定し、出力部１０６が出力した経路を示す情報が示す経路に沿った順番に、マーキングを行う。マーキングとは、例えば、所定の文字や印等を、インク等を用いてダイ上に印刷したり、半導体レーザ等を用いて刻印したりすることである。マーキング部６０１は、例えば、ウエハが載置されたステージを駆動させる装置（図示せず）に指示を出すことで、ステージを経路決定装置１が決定した経路に応じて移動させることで、経路決定装置１が決定した経路に沿ってウエハ上の複数のダイにマーキングを行う。ただし、マーキング用のヘッド等を経路に沿って移動させても良い。マーキング部６０１は、例えば、印刷ヘッドや半導体レーザを用いた刻印用のヘッド等を備えており、これらのヘッドからダイ上にインクを吐出したり、レーザ光を出力して刻印を行うことで、ダイにマーキングを行う。マーキング部６０１が行うマーキング内容等は問わない。また、マーキング部６が行う検査は、必ずしも、印刷ヘッドや半導体レーザを用いたマーキングに限るものではなく、一般的にダイに行われるマーキングであればどのようなマーキングを行っても良い。マーキング部６０１は、通常、マーキング用のヘッド等のマーキングのためのハードウェア（専用回路）等を備えていても良いし、備えていなくても良い。また、マーキング部６０１は、マーキング時の制御のための、ＭＰＵやメモリ等を備えていても良い。
【０１１９】
なお、マーキング部６０１は、上記実施の形態１の経路決定装置１の代わりに、上記実施の形態２の経路決定装置２を備えていても良い。
【０１２０】
なお、本実施の形態における処理は、ソフトウェアで実現しても良い。そして、このソフトウェアをソフトウェアダウンロード等により配布しても良い。また、このソフトウェアをＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体に記録して流布しても良い。なお、このことは、本明細書における他の実施の形態においても該当する。なお、本実施の形態における情報処理装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。
【０１２１】
つまり、このプログラムは、コンピュータを、ウエハ上に設けられた複数のダイを、ウエハの中心からの距離に応じて、Ｎ（Ｎは２以上の整数）グループに分類するグループ分類部と、前記グループ分類部がＮ分類したグループ順に、各グループに属するダイを、前記ウエハの中心を回転の軸とした一の回転方向に向かって１周以内で順番に選択して、当該選択順にウエハ上の前記複数のダイを全て指定する経路を決定する経路決定部と、前記経路決定部が決定した経路を示す情報を出力する出力部として機能させるためのプログラムである。
【０１２２】
また、上記各実施の形態において、各処理（各機能）は、単一の装置（システム）によって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置によって分散処理されることによって実現されてもよい。
【０１２３】
なお、上記プログラムにおいて、上記プログラムが実現する機能には、ハードウェアでしか実現できない機能は含まれない。例えば、情報を取得する取得部や、情報を出力する出力部などにおけるモデムやインターフェースカードなどのハードウェアでしか実現できない機能は、上記プログラムが実現する機能には含まれない。
【０１２４】
また、上記プログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。
【０１２５】
図１８は、上記プログラムを実行して、上記実施の形態によるデータ表示装置を実現するコンピュータの外観の一例を示す模式図である。上記実施の形態は、コンピュータハードウェア及びその上で実行されるコンピュータプログラムによって実現される。
【０１２６】
図１８において、コンピュータシステム１１００は、ＣＤ−ＲＯＭ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｋ  Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）ドライブ１１０５、ＦＤ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｄｉｓｋ）ドライブ１１０６を含むコンピュータ１１０１と、キーボード１１０２と、マウス１１０３と、モニタ１１０４とを備える。
【０１２７】
図１９は、コンピュータシステムを示す図である。図１９において、コンピュータ１１０１は、ＣＤ−ＲＯＭドライブ１１０５、ＦＤドライブ１１０６に加えて、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）１１１１と、ブートアッププログラム等のプログラムを記憶するためのＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）１１１２と、ＣＰＵ１１１１に接続され、アプリケーションプログラムの命令を一時的に記憶すると共に、一時記憶空間を提供するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）１１１３と、アプリケーションプログラム、システムプログラム、及びデータを記憶するハードディスク１１１４と、ＣＰＵ１１１１、ＲＯＭ１１１２等を相互に接続するバス１１１５とを備える。なお、コンピュータ１１０１は、ＬＡＮへの接続を提供する図示しないネットワークカードを含んでいてもよい。
【０１２８】
コンピュータシステム１１００に、上記実施の形態によるデータ表示装置の機能を実行させるプログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ１１２１、またはＦＤ１１２２に記憶されて、ＣＤ−ＲＯＭドライブ１１０５、またはＦＤドライブ１１０６に挿入され、ハードディスク１１１４に転送されてもよい。これに代えて、そのプログラムは、図示しないネットワークを介してコンピュータ１１０１に送信され、ハードディスク１１１４に記憶されてもよい。プログラムは実行の際にＲＡＭ１１１３にロードされる。なお、プログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ１１２１やＦＤ１１２２、またはネットワークから直接、ロードされてもよい。
【０１２９】
プログラムは、コンピュータ１１０１に、上記実施の形態によるデータ表示装置の機能を実行させるオペレーティングシステム（ＯＳ）、またはサードパーティプログラム等を必ずしも含んでいなくてもよい。プログラムは、制御された態様で適切な機能（モジュール）を呼び出し、所望の結果が得られるようにする命令の部分のみを含んでいてもよい。コンピュータシステム１１００がどのように動作するのかについては周知であり、詳細な説明は省略する。
【０１３０】
本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【０１３１】
以上のように、本発明にかかる経路決定装置等は、ウエハ表面に設けられた複数のダイ上を相対的に移動する際に利用される経路を決定する装置として有用であり、特に、移動距離が短くなる経路を決定する装置等として適している。
【図面の簡単な説明】
【０１３２】
【図１】実施の形態１における経路決定装置のブロック図
【図２】同経路決定装置の動作について説明するフローチャート
【図３】同経路決定装置の動作について説明するフローチャート
【図４】同経路決定装置の具体例を説明するための模式図
【図５】同経路決定装置の対象ダイ管理表を示す図
【図６】同経路決定装置の距離管理表を示す図
【図７】同経路決定装置の分類管理表を示す図
【図８】同経路決定装置の順位管理表を示す図
【図９】同経路決定装置が決定した経路を示す図
【図１０】従来の処理により決定された経路例を示す図
【図１１】実施の形態２における経路決定装置のブロック図
【図１２】同経路決定装置の動作について説明するフローチャート
【図１３】同経路決定装置が決定した経路を示す図
【図１４】同経路決定装置が決定した経路を示す図
【図１５】同経路決定装置の距離管理表
【図１６】同経路決定装置を備えた検査装置のブロック図
【図１７】同経路決定装置を備えたマーキング装置のブロック図
【図１８】同実施の形態におけるコンピュータシステムの外観一例を示す模式図
【図１９】同実施の形態におけるコンピュータシステムの構成の一例を示す図
【符号の説明】
【０１３３】
１、２  経路決定装置
１０  ウエハ
１１、１１ａ、１１ｂ  ダイ
１０１、２０１  領域分割部
１０２  位置情報取得部
１０３  ダイ距離算出部
１０４、２０４  グループ分類部
１０５、２０５  経路決定部
１０６、２０６  出力部
２０７  距離算出部
２０８  経路選択部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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