(57)【要約】  真空吸着装置が開示される。本発明の一側面に係る真空吸着装置は、内部に形成された真空チャンバーによって被着面に真空吸着される吸着部材と、吸着部材と結合して真空チャンバーが形成されるようにする調整部材と、を含み、吸着部材は、調整部材が結合し、調整部材によってその位置が上昇できる第１の硬質部と、第１の硬質部の端部に一端部が連結され、形状変形が可能な変形部と、変形部の他端部に連結されて変形部を支持し、第１の硬質部の外側に位置する第２の硬質部と、を含む。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に形成された真空チャンバーによって被着面に真空吸着される吸着部材と、
前記吸着部材と結合して、前記真空チャンバーが形成されるようにする調整部材と、
を含み、
前記吸着部材は、前記調整部材が結合し、前記調整部材によってその位置が上昇できる第１の硬質部と、前記第１の硬質部の端部に一端部が連結され、形状変形が可能な変形部と、前記変形部の他端部に連結されて前記変形部を支持し、前記第１の硬質部の外側に位置する第２の硬質部と、を含む
真空吸着装置。
【請求項２】
前記第１の硬質部には、調節突起が突出形成されており、
前記調整部材は、前記調節突起とねじ又はピン結合されているか、射出成形によって一体に形成されていることを特徴とする
請求項１に記載の真空吸着装置。
【請求項３】
前記変形部の形状変形が可能なように前記第１の硬質部又は第２の硬質部に比べて厚さが薄く形成されていることを特徴とする
請求項１に記載の真空吸着装置。
【請求項４】
前記第１の硬質部、前記変形部及び前記第２の硬質部は、同じ材料にて射出成形によって一体に形成されていることを特徴とする
請求項１に記載の真空吸着装置。
【請求項５】
前記吸着部材の端部には、パッキングが結合されているか、ゲルが塗布されていることを特徴とする
請求項１に記載の真空吸着装置。
【請求項６】
前記変形部は、回動点によって前記第２の硬質部と結合し、前記第１の硬質部は、前記回動点に比べて低く位置することができることを特徴とする
請求項１に記載の真空吸着装置。
【請求項７】
前記変形部は、前記第１の硬質部と連結され、曲線形状を有することを特徴とする
請求項１に記載の真空吸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空吸着装置に関し、具体的には、構造が簡単な真空吸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空吸着装置は、装置内部で発生する真空によって別の物体に取り付け可能な装置を意味する。このような真空吸着装置は、釘や接着剤などを使用せずに、どの物をガラスやタイルなどに取り付ける用途に主に使用される。
【０００３】
図１から図２は、従来の真空吸着装置を例示する断面図であり、図１は、吸着板１０が被着面（ｓ）に平らに密着された状態を例示し、図２は、吸着板１０が上昇して被着面（ｓ）との間に真空チャンバー（ｃ）が形成された状態を例示する。
【０００４】
図１から図２を参照すると、従来の真空吸着装置は、被着面（ｓ）に密着する軟質の吸着板１０と、吸着板１０の上面の縁部を押し付けながら、中心部では、所定の間隔（Ｇ）を置き、吸着板１０を覆う硬質の押しキャップ２０と、前記吸着板１０の上面の中央に設置されて押しキャップ２０を貫通する引き出し棒３０と、引き出し棒３０にねじ結合して回転によって引き出し棒３０を上に引き上げてくれる絞り口４０と、からなる。
【０００５】
被着面（ｓ）に吸着板１０を密着した後、押しキャップ２０を下向けに加圧しながら絞り口４０を回転させると、絞り口４０とねじ結合された引き出し棒３０が上昇しながら、被着面（ｓ）との間に最低圧状態の真空チャンバー（ｃ）が形成される。このように形成された真空チャンバー（ｃ）の真空吸着力によって、真空吸着装置が被着面（ｓ）に吸着されるものである。
【０００６】
従来の真空吸着装置は、収縮及び弛緩が自由なゴム材により形成された軟質の吸着板１０と、硬質の押しキャップ２０と、引き出し棒３０と、引き出し棒３０にねじ結合する硬質の絞り口４０と、からなる。特に、軟質の吸着板１０と硬質の引き出し棒３０とは、その材質が異なっているので、各々別に製作した後、これらを再び結合する必要があるが、これにより製造コストが上昇し、製造に非常に時間がかかるという問題が発生する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】韓国公開実用新案第２０−２０１０−０００３８６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
それで、本発明は、前述の問題を解決するために導き出されたものであり、その目的とするところは、構成が簡素であり、製造コスト及び時間を減らすことのできる真空吸着装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、以下に述べられる実施例に基づいて更に明確になるだろう。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一側面に係る真空吸着装置は、内部に形成された真空チャンバーによって被着面に真空吸着される吸着部材と、吸着部材と結合して真空チャンバーが形成されるようにする調整部材と、を含み、吸着部材は、調整部材が結合し、調整部材によってその位置が上昇できる第１の硬質部と、第１の硬質部の端部に一端部が連結され、形状変形が可能な変形部と、変形部の他端部に連結されて変形部を支持し、第１の硬質部の外側に位置する第２の硬質部と、を含む。
【００１０】
本発明の一側面に係る真空吸着装置は、以下のような特徴を１つ又はそれ以上備えることができる。例えば、第１の硬質部には、調節突起が突出形成されており、調整部材は、調節突起とねじ又はピン結合されているか、同じ材料にて射出成形などによって一体に形成されていることができる。
【００１１】
変形部は、形状変形が可能なように第１の硬質部又は第２の硬質部に比べて厚さが薄く形成されていることができる。
【００１２】
第１の硬質部、変形部及び第２の硬質部は、同じ材料にて射出成形によって一体に形成されていることができる。
【００１３】
吸着部材の端部には、ゲルが塗布されているか、パッキングが結合されていることができる。
【００１４】
変形部は、回動点によって第２の硬質部と結合し、第１の硬質部は、回動点に比べて低く位置することができる。
【００１５】
変形部は、第１の硬質部と連結され、曲線形状を有することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、構成が単純であり、製造コスト及び時間を減らせる真空吸着装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】従来の真空吸着装置を例示する断面図であり、吸着板が被着面に密着した状態を例示する。
【図２】従来の真空吸着装置を例示する断面図であり、吸着板が被着面から離れている状態を例示する。
【図３】本発明の第１実施例に係る真空吸着装置を例示する斜視図である。
【図４】図３に例示された真空吸着装置の平面図である。
【図５】図３のＡＡ線に係る真空吸着装置の断面図である。
【図６】図５において第１の硬質部が上昇して、真空チャンバーが形成された状態を例示する断面図である。
【図７】本発明の第２実施例に係る真空吸着装置を例示する断面図である。
【図８】本発明の第２実施例に係る真空吸着装置を例示する断面図である。
【図９】本発明の第３実施例に係る真空吸着装置を例示する断面図である。
【図１０】本発明の第３実施例に係る真空吸着装置を例示する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明は、様々な変換を加えることができ、複数の実施例を有することができるので、特定の実施例を図面に例示し、詳細な説明において詳細に説明しようとする。しかしながら、これは、本発明を特定の実施形態について限定しようとするものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれるあらゆる変換、均等物ないし代替物を含むものと理解されるべきである。本発明を説明するに当たり、関連する公知技術に対する具体的な説明が本発明の要旨を曖昧にすると判断される場合、その詳細な説明を省略する。
【００１９】
本出願で使用した用語は、単に特定の実施例を説明するために使用されたものであり、本発明を限定しようとする意図ではない。単数の表現は、文脈上明白に異なる意味でない限り、複数の表現を含む。本出願において、“含む”又は“有する”などの用語は、明細書上に記載されている特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品、又はこれらを組み合わせたものが存在することを指定しようとするだけであり、１つ又はそれ以上の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部品、又はこれらを組み合わせたものの存在又は付加可能性を予め排除するわけではないと理解されるべきである。
【００２０】
第１、第２などの用語は、様々な構成要素を説明するために使用することができるが、前記構成要素らは、前記用語によって限定されてはならない。前記用語は、１つの構成要素を他の構成要素から区別する目的のみで使用される。
【００２１】
以下、添付の図面を参照して、本発明に係る実施形態を詳細に説明することとし、添付の図面を参照して説明するにあたり、図面符号に関係なく、同一又は対応する構成要素は、同じ参照番号を付し、これに対する重複する説明は、省略する。
【００２２】
以下、図３から図６を参照しながら、本発明の第１の実施例に係る真空吸着装置１００について説明する。
【００２３】
図３は、本発明の第１の実施例に係る真空吸着装置１００を例示する斜視図であり、図４は、図３に例示された真空吸着装置１００の平面図である。そして、図５は、図３のＡＡ線に係る真空吸着装置１００の断面図であり、図６は、図５において第１の硬質部１２２が上昇して、真空チャンバー（ｃ）が形成された状態を例示する断面図である。
【００２４】
図３から図６を参照すると、第１の実施例に係る真空吸着装置１００は、内部に形成された真空チャンバー（ｃ）によって被着面（ｓ）に真空吸着される吸着部材１２０と、吸着部材１２０と結合して、真空チャンバー（ｃ）が形成されるようにする調整部材１６０と、を含む。調整部材１６０は、回転によって吸着部材１２０の第１の硬質部１２２を上に引っ張るようになるが、これにより、吸着部材１２０の内部空間が拡大されながら超低圧の真空チャンバー（ｃ）が形成され、吸着部材１２０が被着面（ｓ）に密着される。
【００２５】
このように、第１の実施例に係る真空吸着装置１００は、吸着部材１２０及び調節突起１２４の双方からなるので、簡易な構成であるというメリットを有する。特に、吸着部材１２０は、単一の材質によって一体に形成されるので、製造コスト及び時間を減らせるという効果を図れる。
【００２６】
吸着部材１２０は、その内部の真空チャンバー（ｃ）によって形成される真空吸着力により被着面（ｓ）に真空吸着される。吸着部材１２０は、中央に位置している円形の第１の硬質部１２２と、第１の硬質部１２２の周りに形成されたリング（ring）形状の変形部１３０と、変形部１３０の周りに形成されたリング状の第２の硬質部１４０と、第２の硬質部１４０の下端部に結合されているパッキング１５０と、を含む。
【００２７】
本実施例に係る吸着部材１２０は、円形に例示しているが、吸着部材は、楕円形又は多角形などの形状を有することができる。本発明は、吸着部材１２０の形状によって制限されない。
【００２８】
第１の硬質部１２２、変形部１３０及び第２の硬質部１４０はいずれも、同じ材質により一体に形成されることができる。例えば、吸着部材１２０は、ポリプロピレン樹脂による射出成形によって一体に形成されることができる。但し、第１の硬質部１２２及び第２の硬質部１４０は、変形部１３０に比べて厚さが厚く形成されることができる。例えば、第１の硬質部１２２及び第２の硬質部１４０の厚さは、３mm程度に形成され、同じ材質の変形部１３０は、０.１〜０.７mm程度の厚さを有することができる。
【００２９】
もちろん、第１の硬質部１２２及び第２の硬質部１４０も相対的に薄く形成することができる。特に、第２の硬質部１４０を薄く形成した後、吸着部材１２０の上部に結合されるカバー(図示しない)のような他の部材を用いて、その位置と形態を維持するようにすることもできる。また、第１の硬質部１２２も相対的に薄く形成することができる。
【００３０】
第１の硬質部１２２及び第２の硬質部１４０は、外力によって変形（歪み）が発生し難いという特性を有する。したがって、調整部材１６０が回転しても、第１の硬質部１２２及び第２の硬質部１４０は、その形状がほとんど変形しない。但し、第１の硬質部１２２は、調整部材１６０と結合して、調整部材１６０の回転によって上昇するか、又は、変形部１３０の復元力によって下降する。
【００３１】
第１の硬質部１２２は、吸着部材１２０の中央に位置しており、円盤状を有する。そして、第１の硬質部１２２の周りには、形状変形が可能な変形部１３０が連結されているので、第１の硬質部１２２は、上昇又は下降できるようになる。第１の硬質部１２２は、調整部材１６０の回転によって上昇するが、第１の硬質部１２２の上昇によって吸着部材１２０の内部に真空チャンバー（ｃ）が形成されて真空吸着力が発生する。そして、第１の硬質部１２２は、変形部１３０の復元力によって下降する。
【００３２】
第１の硬質部１２２の中央には、調節突起１２４が形成されている。調節突起１２４は、一定の長さを有し、その周りには、ねじ山１２６が形成されている。調節突起１２４には、調整部材１６０がねじ結合するようになる。調整部材１６０は、その回転によって調節突起１２４の長さ方向に上昇又は下降しながら、第１の硬質部１２２を直接上昇させたり、上に引っ張る力を除去して下降できるようにする。
【００３３】
変形部１３０は、第１の硬質部１２２及び第２の硬質部１４０を連結する役割を担う。変形部１３０は、第１の硬質部１２２及び第２の硬質部１４０と同じ素材により一体に形成されるが、その厚さが薄いため、外力による形状変形が相対的に自由である。したがって、調整部材１６０の回転によって第１の硬質部１２２に上昇又は下降する力が付勢されるが、変形部１３０は、その形状が変形されながら、第１の硬質部１２２が上昇又は下降できるようにする。
【００３４】
変形部１３０は、第１の硬質部１２２及び第２の硬質部１４０を相互連結する直線形状を有するように例示しているが、第１の硬質部１２２及び第２の硬質部１４０の形状及び相対的な位置によって、その形状が様々に変形され得ることは言うまでもない。
【００３５】
変形部１３０と第２の硬質部１４０との連結部分には、回動溝１３２が形成される。回動溝１３２は、変形部１３０と第２の硬質部１４０との連結部分の厚さを薄くするために形成されたものである。回動溝１３２によって、第２の硬質部１４０に対して変形部１３０が自由に回転及び/又は変形できるようになる。
【００３６】
変形部１３０は、直線だけでなく、曲線形状を有することもできる。即ち、変形部１３０は、全体が曲線形状（例えば、v字、u字、s字など）を有するか、又はその一部が曲線形状を有することもできる。
【００３７】
第２の硬質部１４０は、吸着部材１２０の最外郭に形成されたものであり、リング状となっている。第２の硬質部１４０は、第１の硬質部１２２と同様に、外力によってもその形状が変形し難いという特性を有する。したがって、第２の硬質部１４０は、調整部材１６０の回転によって第１の硬質部１２２が上昇する過程で、第１の硬質部１２２及び調整部材１６０を支持する役割を担う。
【００３８】
本実施例に係る吸着部材１２０において、第２の硬質部１４０が斜めに配置されているように例示しているが、第２の硬質部１４０は、垂直に配置してもよい。また、第２の硬質部１４０は、直線形状を有するように例示しているが、曲線など、様々な形状を有することもできることは言うまでもない。
【００３９】
第２の硬質部１４０と変形部材１３０との連結端部に相当する加圧端部１４４は、図５から図６に例示されているように、上向きに突出されて調整部材１６０と接するようになる。第２の硬質部１４０は、外力によってもその形状が変形しないか、ほとんど変形しないため、第１の硬質部１２２の上昇過程で、調整部材１６０は常に加圧端部１４４と接するようになる。
【００４０】
第２の硬質部１４０の下端部には、パッキング挿入溝（図面符号なし）が形成されている。そして、パッキング挿入溝にはパッキング１５０が挿入される。パッキング１５０は、被着面（ｓ）に密着して、吸着部材１２０の内部空間に空気が流入しないようにする。
パッキング１５０は、粘着性のゲル(gel)、ウレタン、シリコン、ゴムや軟質のＰＶＣなどのような材質によって形成することができるが、本発明は、パッキング１５０の材質によって制限されない。そして、パッキング１５０は、粘着性のエラストマーあるいは粘着性のポリウレタンにより形成することができ、これにより、吸着部材１２０と被着面（ｓ）との間の機密性を更に向上して吸着持久力を上げることができる。
【００４１】
パッキング１５０は、第２の硬質部１４０の下端部に様々な方法によって結合することができる。例えば、パッキング１５０は、第２の硬質部１４０の下端部に融着されるか、挿入されることができ、二重射出によって一体に形成されることもできる。
【００４２】
調整部材１６０は、回転によって吸着部材１２０の第１の硬質部１２２を上に引っ張って吸着部材１２０の内部の体積を拡大して、真空チャンバー（ｃ）を形成できるようにする。また、調整部材１６０は、第１の硬質部１２２を位置固定して形成された真空チャンバー（ｃ）を維持して、真空吸着力を維持できるようにする。
【００４３】
調整部材１６０は、矩形のプレート状を有し、その中央に形成された貫通孔(図面符号なし)は、第１の硬質部１２２の調節突起１２４にねじ結合する。したがって、調整部材１６０の回転によって調節突起１２４の長さ方向に沿って上下方向に移動するようになる。
【００４４】
図５から図６に例示されているように、調整部材１６０は、第２の硬質部１４０の加圧端部１４４と接している。したがって、図５の状態で調整部材１６０を一方向に回転させると、調整部材１６０は、上下方向に移動せずに、調節突起１２４が形成された第１の硬質部１２２が上昇するようになる。このように、第１の硬質部１２２が上昇する場合、調整部材１６０は、回転によってその高さが変更されない。
【００４５】
第２の硬質部１４０のパッキング１５０が被着面（ｓ）に密着して吸着部材１２０の内部が密閉された状態で、調整部材１６０の回転によって第１の硬質部１２２が上昇して図６のようになると、真空チャンバー（ｃ）が形成されて真空吸着力が発生することになる。真空吸着装置１００が被着面（ｓ）に密着する。
【００４６】
本実施例に係る真空吸着装置１００は、調整部材１６０と調節突起１２４とが相互にねじ結合し、調整部材１６０の回転によって第１の硬質部１２２が上昇するように例示した。しかし、本発明は、第１の硬質部１２２を昇降するために様々な構造を採択できることは言うまでもない。例えば、テコの原理を用いて、調節突起１２４(この場合、調節突起の周りには、ねじ山１２６が形成されていない)を上昇させるレバー構造を採択することもできる。
【００４７】
そして、調整部材１６０の反対方向の回転によって第１の硬質部１２２が下降すると、真空チャンバー（ｃ）内部の超低圧状態が解除されるようにして、被着面（ｓ）から真空吸着装置１００を容易に取り外せるようにすることもできる。
【００４８】
以下、図５から図６を参照しながら、第１の実施例に係る真空吸着装置１００の使用について説明する。参考として、図５は、第１の硬質部１２２が上昇していない状態を例示し、図６は、調整部材１６０の回転によって第１の硬質部１２２が上昇して真空チャンバー（ｃ）が形成された状態を例示する。
【００４９】
図５を参照すると、第１の硬質部１２２が上昇していない場合、第１の硬質部１２２の下面と接触面（ｓ）との間の間隔は最小のhであり、調整部材１６０の下面と第１の硬質部１２２の上面との間の間隔は最大のaである。もちろん、図５の状態で第１の硬質部１２２の下面は、被着面（ｓ）と接することもできる。
【００５０】
吸着部材１２０を被着面（ｓ）に対して下向きに加圧すると、パッキング１５０によって吸着部材１２０の内部が密閉され、パッキング１５０の摩擦力によって吸着部材１２０が被着面（ｓ）に対して回転できなくなる。この状態で、調整部材１６０を回転させると、調整部材１６０とねじ結合された調節突起１２４が上昇しながら、第１の硬質部１２２を上に引っ張るようになる。これにより、図６に例示されているように、第１の硬質部１２２の下面と接触面（ｓ）との間の間隔は、h'（＞h）となり、調整部材１６０の下面と第１の硬質部１２２の上面との間の間隔は、a'（＜a）となる。
【００５１】
吸着部材１２０の内部空間が密閉された状態で調整部材１６０の回転によって第１の硬質部１２２が上昇すると、吸着部材１２０の内部領域が拡大されて、真空チャンバー（ｃ）が形成される。真空チャンバー（ｃ）によって真空吸着力が発生するようになり、これにより、真空吸着装置１００は、被着面（ｓ）に密着する。そして、調整部材１６０の回転の程度を異にして、真空吸着力を調整することができる。
【００５２】
第１の硬質部１２２が上昇又は下降しても、第２の硬質部１４０は変形しない。したがって、第２の硬質部１４０の端部に相当する加圧端部１４４は、常に一定の高さを有するようになる。調整部材１６０の下面は、加圧端部１４４によって一定の高さを有するように支持され、調整部材１６０の中央に形成された貫通孔（図面符号なし）も調節突起１２４の周りと結合しているので、摩擦力によって調整部材１６０が図６の状態を維持できるようになる。
【００５３】
真空吸着装置１００を被着面（ｓ）から分離するために、調整部材１６０を取り付けた場合とは反対方向に回転させると、第１の硬質部１２２が変形部１３０の復元力によって下降しながら真空チャンバー（ｃ）が解除される。これにより、真空チャンバー（ｃ）による真空吸着能力が削除されて、真空吸着装置１００を被着面（ｓ）から容易に分離できるようになる。
【００５４】
以下、図７と図８を参照しながら、本発明の第２実施例に係る真空吸着装置２００について説明する。
【００５５】
図７と図８は、本発明の第２実施例に係る真空吸着装置２００を各々例示する断面図であり、図７は、第１の硬質部２２２が上昇する前の状態を例示し、図８は、第１の硬質部２２２が上昇している状態を例示する。
【００５６】
図７から図８を参照すると、本実施例に係る真空吸着装置２００は、中央に位置する第１の硬質部２２２と、枠を形成する第２の硬質部２４０と、第１の硬質部２２２及び第２の硬質部２４０を相互連結する変形部２３０と、を備える。そして、第１の硬質部２２２の中央には、調節突起２２４が上向きに突出形成されている。また、第２の硬質部２４０の下部には、パッキング２５０が備えられている。
【００５７】
調節突起２２４には、第１の実施例に係る真空吸着装置１００の調整部材１６０が結合され得る。もちろん、本発明は、第１の硬質部２２２を上昇させる手段によって制限されない。第１の硬質部２２２は、てこの原理によって上昇することができる。
【００５８】
変形部２３０は、第２の硬質部２４０の内側から延びて中央に位置する第１の硬質部２２２の端部と連結される。変形部２３０は、一般にプラスチック射出成形などによって第１の硬質部２２２及び第２の硬質部２４０と一体に形成されることができる。変形部２３０は、素材そのものが伸びるものではなく、外力によってその形状が変形されるものである。但し、変形部２３０は、その形状変形を容易にするために、第１の硬質部２２２及び第２の硬質部２４０に比べて厚さが薄く形成されることができる。
【００５９】
図７を参照すると、変形部２３０は、外力がかかっていない場合に曲線形状を有する。第１の硬質部２２２の下面は、被着面（ｓ）に対して高さhほど離隔されているが、これは、変形部２３０と第２の硬質部２４０との連結地点に相当する回動点２３２に比べて低い位置に相当する。
【００６０】
図７の状態で第１の硬質部２２２が上昇する場合、第１の硬質部２２２及び第２の硬質部２４０は変形せず、変形部２３０は、その形状が変わりながら、第１の硬質部２２２の上昇を可能にする（図８を参照）。変形部２３０の変形によって、第１の硬質部２２２は、被着面（ｓ）に対してh'（＞h）ほど離隔されるが、これにより、被着面（ｓ）との間に真空チャンバー（ｃ）が形成される。
【００６１】
図８の状態で外力が除去される場合、変形部２３０の復元力によって、図７のように元の形状に変形され、第１の硬質部２２２も下降しながら図７の状態になる。
【００６２】
第１の硬質部２２２が上昇する前に、第１の硬質部２２２の下面は、回動点２３２に比べて低く形成されるように例示したが、これは例示ばかりであり、本発明は、第１の硬質部２２２の初期位置によって制限されない。したがって、第１の硬質部は、その上昇の前に回動点２３２に比べて高く配置することもできる。
【００６３】
上昇した第１の硬質部２２２は、回動点２３２に比べてわずかに高く位置するように例示したが、これもまた例示ばかりであり、本発明は、第１の硬質部２２２の上昇位置によって制限されない。したがって、上昇した第１の硬質部は、回動点２３２に比べて低く位置するか、同じ高さを有することもできる。
【００６４】
以下、図９から図１０を参照しながら、本発明の第３実施例に係る真空吸着装置３００について説明する。
【００６５】
図９と図１０は、本発明の第３実施例に係る真空吸着装置３００を各々例示する断面図であり、図９は、第１の硬質部３２２が上昇する前の状態を例示し、図１０は、第１の硬質部３２２が上昇した状態を例示する。
【００６６】
図９から図１０を参照すると、本発明の第３実施例に係る真空吸着装置３００は、第１の硬質部３２２と、変形部３３０と、第２の硬質部３４０と、パッキング３５０と、を備え、これは、第２の実施例に係る真空吸着装置２００の第１の硬質部２２２、変形部２３０、第２の硬質部２４０及びパッキング２５０と同一又は類似しているため、具体的な説明は省略する。但し、本実施例に係る真空吸着装置３００の変形部３３０は、外力がかかっていない場合、直線形状を有するということに特徴がある。
【００６７】
図９を参照すると、外力がかかっていない場合、変形部３３０は変形しない直線形状を有する。この場合、垂直上向きに外力がかかった場合、図１０のように変形部３３０が曲線形状に変形されながら、第１の硬質部３２２の上昇を可能にする。第１の硬質部３２２は、被着面（ｓ）に対して高さhの高さ（h'＞h）に上昇するが、これにより、被着面（ｓ）との間に真空チャンバー（ｃ）が形成される。
【００６８】
前記第２の実施例及び第３の実施例に係る真空吸着装置２００、３００において、第２の硬質部２４０、３４０の下部に装着されるか、取り付けられるパッキング２５０、３５０は、ゴム材又はゲルタイプに塗布されるか、又は二重射出方式にて一本化することができる。また、第２の硬質部２４０、３４０の厚さは、変形部２３０、３３０の厚さと同じか、大きくすることができるが、これに限定されるわけではない。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【国際調査報告】
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