(57)【要約】感熱アクチュエータは、温度上昇に応じて第１の温度における第１の形状から第２の温度における第２の形状へと形状を変化させるように熱的に刺激される形状記憶材料層を用いる。この形状記憶材料層に層スタックが関連付けられ、これにより第１の温度で第１の形状を取ることができる。このように、層スタックを用いて、形状記憶材料を冷却後にその元の形状に戻す。
2017534790.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータ部材を有するアクチュエータデバイスであって、前記アクチュエータ部材が前記アクチュエータデバイスの少なくとも第１の作動状態及び前記第１の状態とは異なる前記アクチュエータデバイスの第２の状態を規定し、前記アクチュエータ部材が、
加熱及び冷却された際にバイメタル板のように動作するための、異なる熱膨張係数を有する互いに取り付けられた第１の層及び第２の層を備える層スタックと、
前記層スタックの前記層の一方又は別個の層を備えると共に、１つ以上の形状記憶材料を備えるか又は１つ以上の形状記憶材料から成る形状記憶材料層であって、前記形状記憶材料層は、第１の温度における第１の形状から前記第１の温度よりも高い第２の温度における第２の形状へと形状を変化し、前記第１の形状が前記第１の作動状態に関連付けられ、前記第２の形状が前記第２の作動状態に関連付けられている、前記形状記憶材料層と、
を備え、前記層スタックが、いかなる形状記憶材料層も除いた前記層スタックの前記層の熱収縮によって、前記第２の温度から前記第１の温度への温度変化の際に、前記形状記憶材料層を前記第２の形状から前記第１の形状へ少なくとも部分的に戻す、アクチュエータデバイス。
【請求項２】
前記第１の温度が前記少なくとも１つの形状記憶材料のうちの少なくとも１つの形状記憶材料の相変化温度未満であり、前記第２の温度が前記少なくとも１つの形状記憶材料のうちの前記少なくとも１つの形状記憶材料の前記相変化温度よりも高い、請求項１に記載のアクチュエータデバイス。
【請求項３】
前記第２の層が前記形状記憶材料層を含むか又は前記形状記憶材料層から成る、請求項１又は２に記載のアクチュエータデバイス。
【請求項４】
前記形状記憶材料層が前記第１の層及び前記第２の層とは異なる層である、請求項１又は２に記載のアクチュエータデバイス。
【請求項５】
前記形状記憶材料層が前記第２の層にのみ直接取り付けられ、前記第１の層には直接取り付けられていない、請求項４に記載のアクチュエータデバイス。
【請求項６】
前記形状記憶材料層が前記第１の層と前記第２の層との間に挟まれている、請求項４に記載のアクチュエータデバイス。
【請求項７】
前記第１の形状及び／又は前記第２の形状が前記層スタックの積層方向に曲がった形状であり、更に、
前記第１の形状が前記第２の形状よりも低度に曲がった形状であり、前記第１の層が前記第２の形状の外側にあり、前記第１の層が前記第２の層よりも高い熱膨張係数を有するか、又は、
前記第１の形状が前記第２の形状よりも大きく曲がった形状であり、前記第１の層が前記第１の形状記憶材料層の内側にあり、前記第１の層が前記第２の層よりも高い熱膨張係数を有する、請求項４乃至６のいずれか一項に記載のアクチュエータデバイス。
【請求項８】
少なくとも前記形状記憶材料層を加熱するためのヒータデバイス、及び／又は少なくとも前記形状記憶材料層を冷却するための冷却デバイスを更に備える、請求項１乃至７のいずれか一項に記載のアクチュエータデバイス。
【請求項９】
前記第１の形状及び前記第２の形状が各々、ばね膨張度が異なるコイルばね形状を備える、請求項１乃至６及び８のいずれか一項に記載のアクチュエータデバイス。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか一項に記載のアクチュエータデバイスを備える装置であって、前記装置の少なくとも一部が前記アクチュエータデバイスによって制御される、装置。
【請求項１１】
前記装置が前記アクチュエータデバイスを含む回路を備え、前記アクチュエータデバイスがスイッチとして動作する、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記装置が照明デバイスである、請求項１０又は１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記装置がモータの一部であるか又はモータであり、前記アクチュエータデバイスが、動作の際に前記モータによって用いられる流体を制御するためのバルブの一部である、請求項１０に記載の装置。
【請求項１４】
温度又は熱の変化に基づいて、電気、液体、又は気体の流れを制御するための、請求項１乃至９のいずれか一項に記載のアクチュエータデバイスの使用。
【請求項１５】
少なくとも１つの形状記憶材料を備えるか又は少なくとも１つの形状記憶材料から成る形状記憶材料層を設けることと、
加熱及び冷却された際にバイメタル板のように動作するための、異なる熱膨張係数を有する互いに取り付けられた第１の層及び第２の層を備える層スタックを設けることと、
少なくとも前記形状記憶材料層の温度を第１の温度から前記第１の温度よりも高い第２の温度へ変化させ、これによって前記形状記憶材料層の形状を第１の形状から第２の形状へ変化させることであって、前記第１の形状が作動デバイスの第１の作動状態に関連付けられ、前記第２の形状が前記作動デバイスの第２の作動状態に関連付けられている、ことと、
少なくとも前記層スタックの温度を前記第２の温度から前記第１の温度へ変化させることで、前記層スタックが、いかなる形状記憶材料層も除いた前記層スタックの前記層の熱収縮によって、前記形状記憶材料層を前記第２の形状から前記第１の形状へ少なくとも部分的に戻すことと、
を備える、作動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、温度に依存したアクチュエータ応答を与えるためのアクチュエータデバイスに関する。本発明は更に、このアクチュエータデバイスの製造及び使用に関する。
【背景技術】
【０００２】
サイズが低減されてはいるが、大きなストロークを誘導すると共に大きな力を与えることができるアクチュエータからメリットが得られる多くの用途がある。
【０００３】
モータは、大きなストローク及び力を発生させるためのアクチュエータとして最も広く用いられている。多くの小型化用途のためには、小さいモータでさえも、かなり大きく、重く、ノイズがあり、費用が過大である。
【０００４】
形状記憶材料（ＳＭＭ：ｓｈａｐｅｄ  ｍｅｍｏｒｙ  ｍａｔｅｒｉａｌ）、特に形状記憶合金（ＳＭＡ：ｓｈａｐｅｄ  ｍｅｍｏｒｙ  ａｌｌｏｙ）は、固有の相変化温度を超えて加熱された場合に、大きな力及びストロークを与えることができる。材料の寸法が小さい場合であっても、与えられる力及びストロークは、これらの寸法に対して極めて大きくかつ高精度であり、これは極めて長期間にわたって、多数のスイッチング動作の後も継続する。
【０００５】
このため、温度に依存した作動信号を与えるためにＳＭＭを用いることが研究されている。例えば米国特許第６７６４１６６号は、ＳＭＡを用いて、インクジェット印刷デバイス用の排出ノズルの一部を形成することを開示している。温度上昇及び相変化による形状変化の後、作動が再開可能となる前に材料は元の形状に戻されなければならない。米国特許第６７６４１６６号では、ノズルは丸まった状態にプレストレスが与えられ、ノズルを加熱するとノズル板はまっすぐになる。冷却後、プレストレスによって板は丸まった状態に戻る。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
プレストレスを与える必要があることは欠点であるが、これは、温度が低下した場合、相は変化して元の相に戻るが形状は戻らないことの結果である。このため、温度が低下した後、アクチュエータが再び使用可能となる前に、外部作動を開始してＳＭＭの形状変化を逆転させなければならない。
【０００７】
本発明は、活性化デバイスの熱又は温度感度に依存して活性化が起こり、この形状活性化が可逆的である、改良されたアクチュエータデバイスを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は独立項によって定義される。従属項は有利な実施形態を提供する。
【０００９】
本発明によれば、アクチュエータデバイス、このデバイスの使用、このデバイスにより部分的に制御される装置、及び作動方法が提供される。
【００１０】
本発明は、加熱されるとバイメタル板（ｂｉｍｅｔａｌｌｉｃ  ｓｔｒｉｐ）のように動作するための熱膨張係数が異なる互いに取り付けられた少なくとも２つの層を備える層スタック（ｌａｙｅｒ  ｓｔａｃｋ）と、形状記憶材料を有する層と、を組み合わせる。形状記憶材料を有する層は、層スタックの層のうち１つ又は別個の層とすればよい。アクチュエータデバイスの熱感度は、一方では、アクチュエータの形状記憶材料（複数の材料）の形状変化応答から生じる。他方では、熱感度は、バイメタル板構成として機能する層構造から生じる。
【００１１】
本発明のコンテキスト内では、層スタックは、温度変化を機械的変位に変換することができる構造である。バイメタル板は、そのような構造の一例である。バイメタル板は、加熱されると異なる率で膨張する異なる金属の２枚の板から成る。実際には、そのような板は通常、スチール及び銅、又は場合によってはスチール及び真鍮のような金属を含むか又はそのような金属から成るが、本発明の層スタックはこれらの金属に限定されず、ポリマー等の有機材料も含むことができる。形状記憶材料が有機材料（ポリマー）である場合、層スタック材料も好ましくは有機材料（ポリマー）である。形状記憶材料が金属及び／又は金属合金である場合、層スタック材料も好ましくは金属及び／又は金属合金である。
【００１２】
これらの層は、好ましくはリベット留め、ろう付け、溶接、又は接着によって、全体的に又は長さに沿って局所的に接合される。しかしながら、そのような接合がより長い距離にわたって延出することで、これらの板が間に他の層又は機械的接続を有することも可能である。このように、層スタックは形状記憶材料の形状に追従し、形状変化は最大の効果で元に戻ることができる。例えば電気的に誘発されるジュール加熱によってスタックの特定の層のみの加熱を可能とするため、そのような中間の層は断熱層とすることができる。異なる膨張によって、平坦な板は加熱されると一方向に曲がり、最初の温度未満に冷却されると反対方向に曲がる。高い方の熱膨張係数を有する金属は、板が加熱された場合にカーブの外側にあり、冷却された場合に内側にある。
【００１３】
好ましくは、層スタックの層及び形状記憶材料層は、それらの長さ及び幅の全体にわたって完全に接合されて、アクチュエータデバイスのためのコンパクトで強固なアクチュエータ部材を与える。それによる層スタックの形状追従特性は、達成できる最良のものである。
【００１４】
形状記憶材料層が転移温度を超えて第２の形状に転移する場合に与えられる力は、層スタックによる抵抗力を上回っている。しかしながら、冷却されて転移温度未満の温度に戻る場合、層スタックは、形状記憶材料層が第１の形状に戻るのに充分な力を与えることができる。
【００１５】
この構成は、逆方向の形状変化のための外部アクチュエータの必要性が部分的に又は完全になくなった一体型センサ及びアクチュエータを提供する。これにより、仕事を行う能力を有する小型アクチュエータとして形状変化材料を用いることに、非常に多くの適用範囲がもたらされる。
【００１６】
本発明のこの構成では、構造が第１の形状である場合に内部応力が低いので、層スタックにおける大きな応力が回避される。
【００１７】
形状記憶材料層は１つ以上の形状記憶材料を有することができるが、好ましくは１つの形状記憶材料を有する。この層では、そのような材料を埋め込むか、又は他の材料の近くに配置すればよい。好ましくは、この層は１つ又は複数の形状記憶材料から成る。後者の場合、形状は完全にそれらの形状記憶材料によって決定することができる。好ましくは、形状記憶材料は金属又は金属合金である。好ましくは、層スタック材料は金属又は金属合金である。本発明の詳細な説明で、他の材料及び更に具体的な材料について記載する。
【００１８】
第１の温度は好ましくは形状記憶材料の相変化温度未満であり、第２の温度は形状記憶材料の相変化温度よりも高い。このようにして、形状記憶材料の相変化から充分な利点を得ることができる。
【００１９】
層スタックは、その２つの層のうち１つとして形状記憶材料層を含み得る。従って、形状記憶材料層の熱膨張係数は、層スタックの第１の層の熱膨張係数とは異なる。このため、アクチュエータは全体でわずか２層を有し得る。
【００２０】
好適な構成において、アクチュエータデバイスは、それぞれ第１及び第２の熱膨張係数の第１及び第２の層間に挟まれた形状記憶材料層を含み得る。従ってこの場合、アクチュエータは少なくとも３つの層を有する。ある実施形態において、形状記憶層の熱膨張係数は、第１の層及び第２の層の各熱膨張係数と等しいか、又はそれらの間である。
【００２１】
これによって提供される形状記憶材料は、両側に金属層を有し、著しく異なる熱膨張係数（ＣＴＥ）を有する材料の間のサンドイッチ構造を形成する。一方側にＣＴＥが相対的に高い材料があり、他方側にＣＴＥが相対的に低い材料がある（「相対的に」とは、互いに対してという意味である）。これにより、同一の力を達成しようとする場合、２層スタックのアクチュエータデバイスと比べて、これらの層を比較的薄く維持することができる。これは、デバイスにおけるアクチュエータ部材の疲労の軽減、従って寿命（作動サイクル数）の点で有利である。
【００２２】
上記の例では、適切な形状記憶材料と共に、高ＣＴＥ及び低ＣＴＥの材料タイプ及び材料寸法を適正に組み合わせることで、バイメタル板構成を用いて相変化温度未満に冷却した後に形状記憶材料の形状を逆転させることにより、形状を戻すことができる。材料の熱膨張は文献データベースから都合よく取得及び使用されて、設計制約と組み合わせて実行可能な実施形態を提供することができる。
【００２３】
代替案において、形状記憶材料層は第１の層及び第２の層とは異なる層であり、第２の層にのみ直接取り付けられ、第１の層には直接取り付けられていない。この実施形態では、事実上、形状記憶材料層の一方側にバイメタル板層スタックがある。
【００２４】
使用可能である様々な形状変化がある。１つの有用な形状変化のタイプは、形状記憶材料層に曲げを生成すること又は軽減することに基づくものである。従って、そのような代替案では、第１の形状及び／又は第２の形状は層スタックの積層方向で曲がった形状であり、更に、第１の形状が第２の形状よりも低度に曲がった形状であり、第１の層が第２の形状の外側にあり、第１の層が第２の層よりも高い熱膨張係数を有するか、又は、第１の形状が第２の形状よりも大きく曲がった形状であり、第１の層が第１の形状記憶材料層の内側にあり、第１の層が第２の層よりも高い熱膨張係数を有する。
【００２５】
換言すると、バイメタル板構成は冷却されると形状をまっすぐにし、形状記憶材料は加熱されると曲げを生成する。冷却されると曲がった形状となる反対の構成も可能である。
【００２６】
双方の場合において、バイメタル板効果の力が、第１の温度から第２の温度になる際の形状記憶材料誘発の形状変化で生じる力に加わると共に、戻り温度変化に最大の支援を与えるように、材料は熱膨張係数に基づいて位置付けられている。
【００２７】
別の例において、第１及び第２の形状は、ばね膨張度が異なるばね形状を含む。
【００２８】
アクチュエータデバイスは、少なくとも形状記憶材料層を加熱するためのヒータデバイス、及び／又は少なくとも形状記憶材料層を冷却するための冷却デバイスを備えることができる。これは、使用環境が温度の変化を生じない場合に加熱制御を提供するために必要となり得る。また、アクチュエータ状態変化を高速化するため、加熱及び冷却を支援してもよい。加熱は、ジュール加熱要素又はデバイスとすればよい。冷却は、液体流又は他の一般的に知られている冷却デバイスもしくは冷却原理によるものとすればよい。
【００２９】
特にデバイスを用いて装置又は用途を部分的に制御する場合、アクチュエータは様々な用途に使用でき、様々な装置の一部とすることができる。
【００３０】
従って、装置はアクチュエータデバイスを含む回路を備え、アクチュエータデバイスはスイッチとして動作し得る。これは電気回路及び電気スイッチであり得るが、スイッチとしてバルブを有するパイプ回路とすることも可能である。
【００３１】
装置は、形状記憶材料が第２の形状を有する場合に電気カットアウトスイッチを動作させる、本発明のアクチュエータを用いた安全カットアウト回路とすることができる。これを照明ユニットで用いて、過熱の際に安全カットアウトを提供することができる。
【００３２】
装置は、作動デバイスの作動状態に基づいて異なる物理構成を採用する構成コントローラを有するものとすることができる。これを用いて、温度に応じてデバイスの外観を美的に変化させることができる。そのような用途／装置は、例えば照明デバイス、又は他の装飾用の家庭もしくは職場向けのデバイスを含む。
【００３３】
別の態様では、複数のデバイスの動作又は構成を循環させるための循環回路が、本発明のアクチュエータセットを使用する。これにより、それらのデバイスは、限界温度に達するまで順番に動作することができるか、又は順番に異なる物理構成を採用することができる。
【００３４】
従って、装置は、複数の照明要素及び上述のようなデバイス循環回路を備えた照明ユニットとすることができる。各照明要素はデバイス循環回路の複数のデバイスの１つを含む。これを用いて、デバイスの寿命を伸ばすこと、又は経時的にデバイスの異なる物理構成を提供することが可能となる。これは、多数の照明要素を有する照明ユニットにおいても使用することができる。
【００３５】
装置は、モータの一部とするか又はモータとすることができ、アクチュエータデバイスは、動作の際にモータによって用いられる流体を制御するためのバルブの一部である。モータは、例えば燃焼モータ（ピストン又はタービン又はジェット）、及び電気モータのいずれか１つとすることができる。流体を制御するためのバルブの一部としてのアクチュエータデバイスは、潤滑用の油流制御のため、及び／又は燃料制御のため、及び／又は冷却液制御のためのものであり得る。流体制御は、貯蔵槽からモータ内の使用ポイントまでとすることができ、該当する使用ポイントは、例えば燃焼室、潤滑ポイントもしくは潤滑エリア、又は蒸発ポイントである。
【００３６】
これは、動作、保守、及び／又は整備の必要性を低減するための、自動的な給油、燃料供給、又は冷却を提供する。
【００３７】
別の態様では、本発明は感熱性の作動方法も提供する。
【００３８】
この方法において、第１の温度は好ましくは形状記憶材料の相変化温度未満であり、第２の温度は形状記憶材料の相変化温度よりも高い。
【００３９】
好ましくは、層スタックは常に第２の温度未満の温度に維持される。層スタックは、形状記憶材料層が加熱されるとこの層の形状変化に追従し、この層の冷却が開始すると、層スタックによって充分な戻り力が加えられる。また、アクチュエータ全体を高速化させるため、層スタックは冷却する必要がない。
【００４０】
この方法において、相変化材料層の温度を変化させることは、層スタックの温度を変化させることを含む。ここで層スタックは、相変化材料層の形状変化に基づく形状変化ステップに力を与えることに役立ち得る。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
これより、添付の概略図を参照して本発明の例について詳細に説明する。
【００４２】
【図１】形状記憶材料の温度−相関係を示す。
【図２】形状記憶材料の温度−応力−歪み関係を示す。
【図３】本発明に従ったアクチュエータの第１の例を示す。
【図４】本発明に従ったアクチュエータの第２の例を示す。
【図５】本発明に従ったアクチュエータの第３の例を示す。
【図６】本発明に従ったアクチュエータを用いる装置を示す。
【図７】本発明に従ったアクチュエータを用いる装置を示す。
【発明を実施するための形態】
【００４３】
本発明が提供するアクチュエータデバイスは、感熱性であると共に、少なくとも第１の作動ステップ又は状態及び第２の作動ステップ又は状態を有することができる。アクチュエータデバイスは、熱的に刺激された場合に温度上昇に応答して第１の温度における第１の形状から第２の温度における第２の形状へと形状を変化させることができる形状記憶材料（ＳＭＭ）を利用する。これにより、アクチュエータに第１の作動ステップを実行させて第２の作動状態を達成する。アクチュエータデバイスは、バイメタル板構成と同様に動作することができる層構造を利用する。すなわちこれは、加熱されると曲がり、冷却されると曲がって戻ることができる。このため層構造は、熱膨張係数（ＣＴＥ）が異なる少なくとも２つの層を有する。層構造は、形状記憶材料を有する層を含むか、又はＳＭＭ材料を有する層に結合することで、第２の温度から第１の温度への冷却時に、層スタックのうち形状記憶層を除く層の熱収縮によって、層構造の第１の形状へ（少なくとも部分的に）戻る形状変化にＳＭＭを有する層が追従するようになっている。このように層構造を用いて、アクチュエータの形状記憶材料層を冷却後にその元の形状に戻す。これによりアクチュエータは、第２の作動ステップを実行して第１の作動状態に戻すことができ、再び第１の作動ステップを実行する準備ができる。
【００４４】
形状記憶材料（ＳＭＭ）、特に形状記憶合金（ＳＭＡ）は良く知られている。形状記憶合金の２つの主なタイプは、銅−アルミニウム−ニッケルと、ニチノールとして知られるニッケル−チタニウム（ＮｉＴｉ）である。ニチノールは、例えばワイヤ、ロッド、及びバーの形態で、又は薄膜として入手可能である。しかしながらＳＭＡは、亜鉛、銅、金、及び鉄を合金にすることで生成することもできる。
【００４５】
ＳＭＭは、２つの異なる相で存在し、３つの異なる結晶構造（すなわち双晶マルテンサイト、非双晶マルテンサイト（ｄｅｔｗｉｎｎｅｄ  ｍａｒｔｅｎｓｉｔｅ）、及びオーステナイト）を有することができる。
【００４６】
鉄ベース及び銅ベースのＳＭＡ、例えばＦｅ−Ｍｎ−Ｓｉ、Ｃｕ−Ｚｎ−Ａｌ、及びＣｕ−Ａｌ−Ｎｉは市販されており、ニチノールよりも安価であるが、ニチノールベースのＳＭＡは、その安定性、実用性、及び優れた熱−機械性能のため、ほとんどの用途において、より好ましい。
【００４７】
ニチノールは、電気的特性及び機械的特性が極めて良好であり、疲労寿命が長く、耐腐食性が高い。これはアクチュエータとして、マルテンサイト相で約６〜７％の歪み回復、オーステナイト相で約１４〜１５％、多数のサイクルでの高い回復応力が可能である。この材料は２つの相で大きく異なる弾性率を有するために、相変態の際に大きな仕事量を与えることができる。
【００４８】
また、ニチノールは、ニッケルを外部から遮蔽する酸化チタン表面層を形成して、医療用ステント又は他のインプラント等の生体適合性デバイスを形成することができる。
【００４９】
直径が０．５ｍｍのニチノールワイヤは、６ｋｇの重量を持ち上げることができる。また、ニチノールは抵抗性を有し、このためジュール加熱により電気的に作動させることができる。ワイヤに電流を直接流すと、相変態を起こすのに充分な熱を発生することができる。
【００５０】
ほとんどの場合、ＳＭＡの転移温度は、材料の変態点が室温よりも充分に高いように選択される。意図的に加熱することによってのみ、ＳＭＡは作動することができる。本質的に、ニチノールは、アクチュエータ、センサ、及びヒータとして、全て一つの材料で使用可能である。
【００５１】
しかしながら、形状記憶合金はあらゆる用途に適しているわけではない。特定のアクチュエータに要求される力、変位、温度条件、及びサイクルレートを考慮する必要がある。ニチノールの利点は、用途のサイズが小さくなるといっそう明白となる。大型の機構では、ソレノイド、モータ、及び電磁石の方が適切であり得る。しかしながら、そのようなアクチュエータを使用できない用途では、形状記憶合金は優れた代替案となる。
【００５２】
ニチノール合金は、加熱されるとマルテンサイト状態からオーステナイト状態に変化し、冷却されると元に戻る。
【００５３】
図１は、加熱中及び冷却中のマルテンサイト部分を加熱の関数として示す。加熱中、Ａｓ及びＡｆは、マルテンサイトからオーステナイトへの変態が開始及び終了する温度である。温度Ａｓは相転移温度である。冷却中、Ｍｓ及びＭｆは、マルテンサイトへの転移が開始及び完了する温度である。
【００５４】
加熱転移と冷却転移との間の差によって、プロセスで機械的エネルギの一部が失われるヒステリシスが生じる。曲線の形状は、合金化及び加工硬化のような形状記憶合金の材料特性に依存する。
【００５５】
マルテンサイト相からオーステナイト相への転移は、時間には依存せず、温度及び応力のみに依存する。形状記憶合金が低温状態である場合（Ａｓ未満）、金属は曲げるか又は伸ばすことができ、転移温度を超えて加熱されるまでその状態を保持する。加熱されると、形状は元の形状に変化する。金属が再び冷却されると、相は変化するが形状は変化せず、従って、再び変形されるまで高温の形状（すなわち元の形状）を維持する。
【００５６】
この一方向効果のため、高温から冷却されても肉眼で見える形状変化は生じない。低温形状を再現するには変形が必要である。ニチノールの転移温度Ａｓは、合金のタイプ及び組成によって決定され、−１５０℃から２００℃まで変動し得る。一般には、−２０℃から１２０℃の範囲内の転移温度が用いられる。このため、転移温度は特定の用途に合わせて調整することができる。
【００５７】
また、冷間加工又は硬化に基づく、マルテンサイト相で高い応力を示す２方向形状記憶効果を有する材料もある。しかしながら、応力が経時的に解放されるので、この効果は繰り返し温度サイクルが可能でない。本発明は、特に一方向形状記憶材料に関する。
【００５８】
上述のように、相転移は応力及び温度に依存する。図２は、形状記憶効果の応力−歪み−温度関数を示す概略図である。応力はσで示し、歪みはεで示す。
【００５９】
材料は、特定の形状を記憶するようにアニーリングされる。材料は、応力を加えることにより、経路１０に沿ってその低温形状に変形される。これは非双晶化領域（ｄｅｔｗｉｎｎｉｎｇ  ｒｅｇｉｏｎ）である。応力−歪み曲線の傾きには急激な上昇があり、この後は材料を更に変形させることが著しく困難になる。いったん経路１２で示すように応力が緩和された後は、転移温度を超えて加熱されるまで材料には大きな歪みが残る。これは、材料をオーステナイト相にするための加熱経路１４である。次いで、材料は冷却されて経路１６に沿って双晶マルテンサイト相に戻ることができ、このポイントでは材料の歪みは緩和されている（が形状は元に戻っていない）。
【００６０】
ＳＭＭの高温相の弾性率（Ｅ率）は、低温相のＥ率よりも著しく高い。
【００６１】
加熱中にこの相変化に付随する形状変化は、第１の力Ｆ１を与えることができる。温度が相変化温度未満に低下した後、従って層が低温相に変化した後、ＳＭＭを元の形態に再整形する（ｒｅｓｈａｐｅ）ために必要な力Ｆ２は、より小さい（図２の経路１０）。
【００６２】
必要な再整形の力は、例えばばね又は別のＳＭＭ材料を用いて手動で与えることができる。
【００６３】
本発明は、形状記憶材料に関連付けられるか又は結合された熱膨張係数の異なる少なくとも２つの層を有する層構造の使用に基づいている。これは本質的にバイメタル板構成として機能し、これによって層は低い方の温度第１の形状を取る。
【００６４】
アクチュエータは、形状記憶材料部と少なくとも１つの追加層とを備えている。この追加層は、例えば金属層又は金属合金層を含むか又はそれから成ることができる。層スタックは銅及びスチールから生成することができる。
【００６５】
例えば形状記憶合金として、以下の合金、すなわちＣｕ−Ａｌ−Ｎｉ、Ｎｉ−Ｔｉを選択することができる。しかしながら、他のものも使用可能であり、これらには、Ａｇ−Ｃｄ４４／４９ａｔ．％Ｃｄ、Ａｕ−Ｃｄ４６．５／５０ａｔ．％Ｃｄ、Ｃｕ−Ａｌ−Ｎｉ１４／１４．５ｗｔ．％Ａｌ及び３／４．５ｗｔ．％Ｎｉ、Ｃｕ−Ｓｎ約１５ａｔ．％Ｓｎ、Ｃｕ−Ｚｎ３８．５／４１．５ｗｔ．％Ｚｎ、Ｃｕ−Ｚｎ−Ｘ（Ｘ＝Ｓｉ、Ａｌ、Ｓｎ）、Ｆｅ−Ｐｔ約２５ａｔ．％Ｐｔ、Ｍｎ−Ｃｕ５／３５ａｔ．％Ｃｕ、Ｚｎ−Ｃｕ−Ａｕ−Ｆｅ、Ｆｅ−Ｍｎ−Ｓｉ、Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ａｌ［２１］、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｇａ、Ｎｉ−Ｆｅ−Ｇａ、混合比率可変のＴｉ−Ｐｄ、Ｎｉ−Ｔｉ−Ｎｂ、及びＮｉ−Ｍｎ−Ｇａが含まれる。本来知られているように、合金中の金属の比を用いて相転移温度のような特性を調整することができる。当業者は、これらの合金をどのように及びどこで変更すれば必要な相変化温度が得られるか知っているはずである。ＮｉＴｉ（ニチノール）は、その安定性、実用性、及び優れた熱−機械性能のため、ほとんどの用途において、より好ましい。
【００６６】
従って、１つの銅層、スチール層、又はニッケル層を、形状記憶材料の１つ以上を含むか又はそれから成る層と組み合わせることができる。組み合わせの選択は、１つには熱膨張係数の差の増大に基づいて、他にはこれらの層の相互の接着性の向上に基づいて行うことができる。
【００６７】
１つだけの追加層により、形状記憶材料とこの層が一緒にバイメタル板の機能性を実現する。しかしながら、２つの追加層を設けてもよい。
【００６８】
アクチュエータの異なる部分間の力は大きく異なり、従ってそれらの界面には大きな力が存在する。このため、コンポーネントは強力な接続により、好ましくはエアギャップなしで全表面にわたって接続されるが、異なる部分は固有の材料特性を保持するようになっている。これらの接続は、従来のバイメタル板における２つの金属間の接続と類似のものとすることができる。
【００６９】
最も単純な事例では、高いＣＴＥを有する金属層のような単一の層がある。この金属層及び形状記憶材料層はバイメタル板構成として機能する。
【００７０】
別の例では、形状記憶材料層は、それぞれ第１及び第２の熱膨張係数を有する第１及び第２の層間に挟まれている。これらは、共にバイメタル板構成を形成する金属層とすることができる。
【００７１】
図３に、形状記憶材料層と組み合わせた金属層を用いる最も単純な構造の例を示す。
【００７２】
第１のマルテンサイト形状は平面状であり、第２のオーステナイト形状は曲げを含む。
【００７３】
このため、ＳＭＭ層３０の高温形状は曲げを含む。ＳＭＭ層３０よりもＣＴＥが高い金属層３２は、曲げの外側に配されている。
【００７４】
高温では、金属層は膨張しようとするが、相変化温度に達する前にＳＭＭによって妨害される。しかしながら、異なるＣＴＥにより生じる曲げの力は、ＳＭＭ層に逆らうのでなくその曲げを促進するような方向である。
【００７５】
ＳＭＭがその大きい力（力Ｆ１を与える大きいＥ率）のため形状を変化させると、高ＣＴＥ材料はこの形状変化に追従する。
【００７６】
後に温度が相変化温度未満に低下すると、ＳＭＭは低温相に変化し、その著しく低いＥ率のため、これを元の形状に戻すための力（力Ｆ２）は劇的に低下している。
【００７７】
低温のため、高ＣＴＥの金属層は収縮する。低温ＳＭＭ相の形状を変化させるために必要な力は著しく小さいので、高ＣＴＥの金属層３２は２層構造を再整形するのに適切な力を与える。
【００７８】
金属層はＣＴＥが高いので、２相の間で膨張の変化が顕著であり、これはアクチュエータを第１の形状に駆動するのに充分である。
【００７９】
ＳＭＭの超弾性特性のため、多数回の曲げ動作により疲労は起こらない。しかしながら、これはバイメタルでは異なる。このため、バイメタルの厚さをできる限り薄く維持することが必要である。
【００８０】
この理由から、好ましくは２つのバイメタル層が用いられる。これらの層はＣＴＥに著しい差がなければならない。結果として得られる構造を図４に示す。
【００８１】
この場合も、第１のマルテンサイト形状は平面状であり、第２のオーステナイト形状は曲げを含む。
【００８２】
高ＣＴＥの金属層３４はＳＭＭの外側の曲げに固定され、低ＣＴＥの金属層３６は内側の曲げに固定されている。
【００８３】
一例として、金属層は、ＣＴＥが２８．９×１０−６［Ｋ−１］の鉛と、ＣＴＥが５．７×１０−６［Ｋ−１］のジルコニウムとを含み得る。金属層は、厚さを０．２から１ｍｍの範囲内、例えば０．５ｍｍとすることができる。形状記憶材料層はより厚く、例えば２から１０ｍｍ、例えば４ｍｍとすることができる。ニチノール形状記憶材料層は、上記の２つの間のＣＴＥを有し、例えばマルテンサイト相で６．６×１０−６［Ｋ−１］、オーステナイト相で１１×１０−６［Ｋ−１］である。これらの値は選択した組成に応じて変動する。
【００８４】
アクチュエータは、例えば長さが５〜１５ｃｍのバーの形状を取ることができる。
【００８５】
相変化温度未満では、層は直線形状である。相変化温度を超えると、ＳＭＭ３０のために曲げが形成される。相変化温度未満に冷却した後、バイメタル層３４及び３６における力は、層セットを直線形状に形態変化させるのに充分な大きさである。
【００８６】
２つのバイメタル層はこの場合も、ＳＭＭ層に逆らうのでなく、これによって生じる曲げを促進する。
【００８７】
双方の例で、金属層及びＳＭＭは、室温においてＣＴＥの差がアクチュエータを平坦な構成にする傾向があるように選択される。これは、大きな移動ストロークの達成を促進する。
【００８８】
この代わりに、低温状態が曲げ状態を含んでもよく、高温記憶形状が平坦な状態を含むか、又はより曲がった状態を含んでもよい。
【００８９】
別の例を図５に示す。この例では、ＳＭＭ及びこれに接続された単一又は複数の金属層はコイルばねの形状である。コイルのバイメタル板設計を用いて、ばねは温度上昇と共に膨張（又は収縮）し、温度低下の後に形態変化して元に戻る。
【００９０】
３層構造が図示されている。コイルばねは細長い軸５０を有する。上述の３層構造は、軸方向に沿って積層された層３６、３０、３４を有するので、対向側の膨張の差によってばねの膨張又は収縮を発生させることができる。
【００９１】
同じ手法を他のばね設計に適用してもよい。
【００９２】
上述のように、既知の手法で材料特性を選択することによって転移温度をある範囲内で選ぶことができる。温度は、検出対象の所望の温度に応じて選択される。検出される臨界温度Ｔ１があり得る。しかしながら、アクチュエータがこの温度で応答することは必須ではない。アクチュエータはより低い温度Ｔ２に応答してもよく、コンポーネントが所望のスイッチング温度に達した時にアクチュエータが応答するよう適切な熱勾配を確立するように、コンポーネントとアクチュエータとの間の媒体の熱特性を選択することができる。これは、適切な寸法のエアギャップ又は別の断熱媒体とすればよい。
【００９３】
本発明は概して、温度に応答する小型アクチュエータに適用することができる。いくつかの例を以下で検討する。
【００９４】
第１の例のセットは、アクチュエータを用いた安全カットアウト回路を提供する。これは、形状記憶材料が第２の形状を有する場合に電気カットアウトスイッチを動作させる。
【００９５】
これを用いて、内部のランプ（複数のランプ）の温度に応じて照明器具を制御することができる。ランプの温度は、相変化温度を超えるまで形状記憶材料（ＳＭＭ）を加熱し、従ってＳＭＭは形状を変化させる。これによりランプ（複数のランプ）はオン及びオフに切り換わるように制御され、２つの可能な状態の各々においてランプ動作は安定する。例えば、バイメタル板のみと比較した本発明のアクチュエータの利点は、バイメタル板では大きな力を与えられないことである。大きな力を与えることができる大型バイメタル板は極めて重く、疲労が重大な問題となる。
【００９６】
オンオフ制御は、２成分の安全カットアウトを実施するものと考えることができる。しかしながら、アクチュエータの位置に応じて出力信号を変動させる類似の安全カットアウトも可能である。これにより、異なるアクチュエータの位置が異なる制御命令を生成することができる。
【００９７】
例えばＳＭＭは、使用中に熱源から離れる方へ偏向するように位置決めすることができる。ランプがオンになると、ＳＭＭは加熱され、相変化のためにランプから離れる方へ曲がる。この動きにより、ランプからの距離は、再び相変化温度未満に冷却されるのに充分な大きさとなるので、ＳＭＭは曲がって戻る。ランプはなお同じ量の熱を発生しているので、ＳＭＭは再び加熱され、再び離れる方へ曲がる等となる。
【００９８】
このような照明中、アクチュエータは振動する。これを用いてランプ形状の物理的な変化を与え、「生きているような照明器具（ｌｉｖｉｎｇ  ｌｕｍｉｎａｉｒｅ）」と呼ばれる設計効果を生成することができる。この目的のため、照明器具本体の異なる部分を相対的に可動とするか、又は光出力を処理する光学コンポーネントに対して光源の位置を可動とすることができる。この相対的な物理的な動きは、コンポーネントの動きを制御するため充分な力を与えることができるアクチュエータによって制御できる。
【００９９】
光源に関連付けられた単一のアクチュエータによって、例えば波状照明効果を生成し得る。しかしながら、１つの照明器具に多数のアクチュエータを設け、互いに組み合わせて、例えば照明器具コンポーネントを引いたり押したりすることも可能である。これにより、例えばイソギンチャクの動きに似た、いっそうダイナミックな効果を生成することができる。
【０１００】
第２の例のセットは、複数のデバイスの動作を循環させるためアクチュエータセットを利用する。これは、複数の照明要素を備えた照明ユニットで用いることができる。
【０１０１】
例えば、ランプＡがオンに切り換えられてアクチュエータを加熱する。アクチュエータは、別のランプＢ（又は多数の別のランプ）をオンにするスイッチを動かして制御する。ランプＢは、このランプＢがオンになると加熱される別のアクチュエータを有する。このアクチュエータは、別のランプをオンにすることができるがランプＡをオフにすることができるスイッチを制御する。次いで、ランプＡに近いアクチュエータは冷却され、元の位置に戻る。このサイクルの後の時点で、ランプＡは再びオンに切り換えられ、ルーチンは再び開始することができる。
【０１０２】
この手法を用いて、個々のランプの動作を循環させることにより、それらのランプの過熱を回避できる。いずれの特定の時点でも１つ以上のランプがオンであり得る。あるいはこの手法は、複雑な制御回路の必要なく、きらきら光るランプセットのような照明効果を与えるための単純な機構を提供することができる。
【０１０３】
また、自己洗浄式の屋外照明器具においても可能な用途がある。ＬＥＤは最長で３０年の寿命を有するので、屋外照明器具表面（例えば道路よりも高い位置にぶら下がっている）の自動洗浄を行うことへの関心は増している。これは、例えば汚れ／藻類等をはじく自己洗浄表面の使用によって達成できるが、この技術はまだ実用化されていない。この代わりに、ランプの温度に応じて洗浄プロセスを開始させることができる。この検知は、例えば雨を検出するセンサと組み合わせて始動させることで、水（及び石鹸）が存在する場合にのみ拭き取り動作を実行するようにしてもよい。
【０１０４】
拭き取り動作の開始時に充分な雨水が存在するように、雨の検出は照明器具の上に水が溜まったことに基づいて実行できる。
【０１０５】
別の例は、油を消費するモータの自動保守のためのものである。この場合、モータ回路は、油潤滑モータ、油貯蔵槽、及び貯蔵槽からモータに油を供給するためのバルブを含む。アクチュエータは、モータ温度に応じてモータへの油の供給を制御するため用いることができる。
【０１０６】
失速等の問題を回避するため、モータの動作中に油を追加する機構がある。これにより、アクチュエータが油注入バルブを開く高温に応答して、油の追加を行うことができる。充分な油が追加されると、温度は低下し、アクチュエータはバルブを再び閉じる。このように、アクチュエータは検出器であり（温度が高くなり過ぎた時を検出する）、問題を解決するのもアクチュエータである（温度が高くなり過ぎたのを検出したら油注入バルブを開く）。また、アクチュエータは安全検出器であり（温度が再び充分に低くなったことを検出する）、充分な油が追加されたら、同じアクチュエータを用いて油注入バルブを閉じる。これにより、電気を必要とすることなく動作する１つのデバイスを用いて全ての機能が可能となる。
【０１０７】
別の例は、アクチュエータを用いて、安全が極めて重要である（ｓａｆｅｔｙ−ｃｒｉｔｉｃａ）コンポーネントの温度に応じて、自動車、電車、ローラコースター等の緊急ブレーキを動作させ得るものである。これは、余分なコンポーネントの必要なく実施可能である。
【０１０８】
図６は、アクチュエータを用いたシステムを概略形態で示す。
【０１０９】
このシステムが備えるコンポーネント６０は、これ（又はこれの一部）が臨界温度を超えた場合に保護又は他の操作を行う必要がある。あるいは、温度に応じた操作は、美的な又は他の制御の理由のためであってもよい。
【０１１０】
この例において、コンポーネントの部分６１は、アクチュエータ６２の制御のもとで機械的に移動可能である。
【０１１１】
コンポーネント６０は、上記の例における油潤滑モータ又は照明器具とすることができる。しかしながら、これは温度制御に基づく任意のコンポーネントとすればよい。コンポーネントの部分６１は、上記の油潤滑モータの例では油制御バルブであり、又は上記の照明器具の例では光ビーム処理コンポーネント、光源、もしくは筐体コンポーネントであり得る。例えば、光源とビーム処理コンポーネントとの間の相対的な位置を調節することによって、光出力効果を変化させることができる。
【０１１２】
また、アクチュエータは、検知されているコンポーネントの独立した温度に応答するのではなく、加熱されるように制御され得る加熱要素を含んでもよい。
【０１１３】
図１の構成で用いられる移動は完全に機械的とすることができ、それに応じてアクチュエータはこの移動を制御する充分な力を与えることができる。アクチュエータの物理的形状に基づいて機械的な動作が実行される場合、大きな力を与えることができる形状変化材料の能力により、アクチュエータは特に興味深いものとなる。従って、そのような制御にバイメタルデバイスのみを使用することは可能でない場合がある。
【０１１４】
しかしながら、この代わりに又はこれに加えて、アクチュエータは電気的制御を与えることができる。
【０１１５】
例えば、アクチュエータ６２を用いて電気回路内の電気スイッチを制御することができる。例えば、コントローラ６４を任意選択的に用いて、１つ以上のスイッチ６５の設定に基づく適切な操作を行えばよい。上記の照明器具の例では、これは、ランプをオフにすること、又はランプ出力を低下させることで電力消費を低減することであり得る。
【０１１６】
全ての例において、行われた操作によりアクチュエータに温度変化が生じるので、後の時点でアクチュエータ６２は低温設定に戻る。例えば、アクチュエータが熱源から遠ざかるか、又はコンポーネント６０が発生する熱が少なくなる（コンポーネント６０がオフになったかもしくは低出力パワーに設定されたか、又は過熱を防ぐため他の補正操作が行われたからである）。
【０１１７】
上述のように、システムは、多数のコンポーネントの動作の自動循環を実施するため、多くのコンポーネント６０及び関連付けられたアクチュエータ６２を含み得る。
【０１１８】
図６は閉ループシステムを示し、コンポーネントの温度はこのコンポーネントを制御するために検知され使用される。しかしながら上述のように、システムは、制御されるコンポーネントの温度とは無関係に、（例えばニチノール層に電流を流すことにより）単に駆動されて加熱すると共にデバイスの制御を行う開ループシステムとしてもよい。このため、温度検知機能の使用は任意選択的であり、アクチュエータは制御デバイスとしてのみ機能することができる。
【０１１９】
図７は、本発明のアクチュエータデバイス７６を含むバルブ７０を閉構成で示すと共に、アクチュエータデバイス７７を有する同一のバルブを７１として閉構成で示す。プランジャ７４は、構成７０においてパイプ７２内の流れを塞ぐが、構成７１においてプランジャ７５がパイプ７２を塞いでいない場合に流れを可能とする。
【０１２０】
上記の例では、金属を用いてバイメタル板構成を形成すると共に、金属又は金属合金（ニチノール等）形状記憶層が用いられる。
【０１２１】
有機形状記憶材料及びプラスチック形状記憶材料も利用可能である。一般に、それらが与え得る力は小さくなるが、そのような材料を使用できる小さい力を必要とする用途があり得る。むろん、将来は、より大きい力を与えることができる有機形状記憶材料が存在する可能性がある。
【０１２２】
熱膨張係数が異なる少なくとも２つの層を有する層構造は、典型的に金属層を用いて実施することができる。しかしながら、この機能性はＣＴＥの差にのみ基づいており、非金属層を用いて適切な相対ＣＴＥ値を与えてもよい。更に、電気的に活性化されると伸長する電気活性ポリマー（「ＥＡＰ：Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ａｃｔｉｖｅ  Ｐｏｌｙｍｅｒ」）も存在している。曲げられるが伸縮できない材料にＥＡＰを取り付けると、構成は刺激された場合にはバイメタル構成のように曲がり、電気が除去された場合には再び伸びる。ＥＡＰの制御を温度に依存させることによって、効果的に、伸縮できない材料（ＣＴＥがゼロに近い）のＣＴＥとは異なるＥＡＰのＣＴＥを実施する。従って、この場合の層構造は、単に温度に応答する受動デバイスでなく、能動的に制御されるデバイスであり得る。温度依存制御回路を用いてＥＡＰの駆動を制御する。
【０１２３】
ＥＡＰの活性化は、低温における所望の形状に形状記憶材料を戻すのに充分な持続時間だけ継続することができる。
【０１２４】
特許請求する本発明を実施する際に、図面、開示、添付の特許請求の範囲を検討することから、開示する実施形態の他の変形を当業者によって理解し実施することができる。特許請求の範囲において、「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」という言葉は他の要素又はステップを除外せず、不定冠詞「ａ」又は「ａｎ」は複数を除外しない。互いに異なる従属項に特定の尺度（ｍｅａｓｕｒｅｓ）が記載されているという事実だけで、これらの尺度を組み合わせて有利に使用することが不可能であると示されるわけではない。特許請求の範囲におけるいかなる参照記号も範囲を限定するものとして解釈されない。
【０１２５】
簡潔に述べると、感熱アクチュエータは、温度上昇に応じて第１の温度における第１の形状から第２の温度における第２の形状へと形状を変化させるように熱的に刺激される形状記憶材料層を用いる。この形状記憶材料層に層スタックが関連付けられ、これは第１の温度で第１の形状を取ることができる。このように、層スタックを用いて、形状記憶材料を冷却後にその元の形状に戻す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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