(57)【要約】  本発明は、露光用ＬＥＤ光源装置に関するものであり、複数のＬＥＤ光源ユニットを含む複数のＬＥＤ光源モジュール、複数のＬＥＤ光源モジュールの複数のＬＥＤ光源ユニットに供給される電流の大きさをそれぞれ制御して露光領域に到達する光の強度を決定し、電流の供給及び中断を制御する制御部、制御部の制御に従って複数のＬＥＤ光源モジュールに電流を供給する電源供給部、複数のＬＥＤ光源モジュールのそれぞれの動作状態及び供給電流値を使用者に表示する表示部、及び、複数のＬＥＤ光源モジュールに供給される電流の大きさを制御するように制御部に使用者の外部命令を入力するキー操作部を含む。
2017504842.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のＬＥＤ光源ユニットを含む複数のＬＥＤ光源モジュール；
上記複数のＬＥＤ光源モジュールの上記複数のＬＥＤ光源ユニットに供給される電流の大きさをそれぞれ制御して露光領域に到達する光の強度を決定し、電流の供給及び中断を制御する制御部；
上記制御部の制御に従って上記複数のＬＥＤ光源モジュールに電流を供給する電源供給部；
上記複数のＬＥＤ光源モジュールのそれぞれの動作状態及び供給電流値を使用者に表示する表示部；及び
上記複数のＬＥＤ光源モジュールに供給される電流の大きさを制御するように上記制御部に使用者の外部命令を入力するキー操作部を含むことを特徴とする露光用ＬＥＤ光源装置。
【請求項２】
上記複数のＬＥＤ光源モジュールは、マトリックス形態に配列されたことを特徴とする、請求項１に記載の露光用ＬＥＤ光源装置。
【請求項３】
上記ＬＥＤ光源モジュール内の上記複数のＬＥＤ光源ユニットは、マトリックス形態に配列されたことを特徴とする、請求項１に記載の露光用ＬＥＤ光源装置。
【請求項４】
上記ＬＥＤ光源モジュール内の上記複数のＬＥＤ光源ユニットは、互いに波長が異なる２種類のＬＥＤ光源ユニットからなることを特徴とする、請求項３に記載の露光用ＬＥＤ光源装置。
【請求項５】
上記ＬＥＤ光源モジュール内の上記複数のＬＥＤ光源ユニットは３×３マトリックス形態に配列され、中央部の１個のＬＥＤ光源ユニットは４０５ｎｍの波長を有し、周辺部の８個のＬＥＤ光源ユニットは３６５ｎｍの波長を有することを特徴とする、請求項４に記載の露光用ＬＥＤ光源装置。
【請求項６】
上記１個の４０５ｎｍＬＥＤ光源ユニットのビームが、上記８個の３６５ｎｍＬＥＤ光源ユニットのビームと全て重畳して複合波長になることができるように、上記４０５ｎｍＬＥＤ光源ユニットを上記３６５ｎｍＬＥＤ光源ユニットより大きく構成することを特徴とする、請求項５に記載の露光用ＬＥＤ光源装置。
【請求項７】
上記制御部は、上記ＬＥＤ光源モジュールの互いに波長が異なる２種類のＬＥＤ光源ユニットに対して２セットデュアル制御を行うことを特徴とする、請求項４に記載の露光用ＬＥＤ光源装置。
【請求項８】
上記ＬＥＤ光源ユニットは、
供給電流に応じて強度が制御された光を発生させるＬＥＤ光源；
上記ＬＥＤ光源が配置され、回路パターンが形成されたＬＥＤ基板；
上記ＬＥＤ光源から放射されたビームに対して角補正を行う１次レンズ；
上記１次レンズを経たビームに対して集光収斂を行う２次レンズ；
上記ＬＥＤ光源、上記ＬＥＤ基板、上記１次レンズ及び上記２次レンズに対してハウジングを提供するユニットボディーを含むことを特徴とする、請求項１に記載の露光用ＬＥＤ光源装置。
【請求項９】
上記制御部は、マトリックス形態に配列された上記複数のＬＥＤ光源ユニットの間のビーム重畳部の出力が低下しないように、ＬＥＤの照射面積をＬＥＤの大きさより大きく調節することを特徴とする、請求項３に記載の露光用ＬＥＤ光源装置。
【請求項１０】
複数のＬＥＤ光源ユニットを含む複数のＬＥＤ光源モジュール、上記複数のＬＥＤ光源モジュールの上記複数のＬＥＤ光源ユニットに供給される電流の大きさをそれぞれ制御して露光領域に到達する光の強度を決定し、電流の供給及び中断を制御する制御部、上記制御部の制御に従って上記複数のＬＥＤ光源モジュールに電流を供給する電源供給部、上記複数のＬＥＤ光源モジュールのそれぞれの動作状態及び供給電流値を使用者に表示する表示部、及び、上記複数のＬＥＤ光源モジュールに供給される電流の大きさを制御するように上記制御部に使用者の外部命令を入力するキー操作部を含む露光用ＬＥＤ光源装置、及び；
多数の露光装備にそれぞれ設置される上記露光用ＬＥＤ光源装置を有無線通信網を介して遠隔で統合制御及び管理する中央管理サーバーを含む露光用ＬＥＤ光源装置管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＰＣＢ基板、半導体ウエハ又はディスプレイパネルの露光用光源装置に関するもので、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）を光源とする光源ユニットを多数個含む光源装置、及びこれを効率的に管理することができる管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＰＣＢ基板、半導体ウエハ又はディスプレイパネルの製造工程において、ウエハ及び基板の表面にコーティングされたＰＲ等を選択的に除去する露光作業が行われる。従来は、露光のための光源として超高圧水銀ランプ、ハロゲンランプを使用したが、このようなランプ光源は、寿命問題、高電圧問題、費用問題、環境問題が発生する。よって、最近はＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）を使用して露光装置を構成する技術が開発されている。
【０００３】
韓国公開特許第２０１１−００５８５０１号は、露光用ＬＥＤランプ及びこれを用いた露光装置を開示している。図１は、従来技術による露光用ＬＥＤランプが適用された露光装置を示す。
【０００４】
図１を参考にすると、紫外線光源を用いてガラス基板の願う部分に回路パターンを形成する露光装置は、回路パターンが形成されたＰＣＢ基板にＬＥＤ素子を一定に配列しＬＥＤ素子の発光によって発生する熱を冷却する手段で構成され、露光用光源を発光させる露光用ＬＥＤランプユニット、露光用ＬＥＤランプユニットのＬＥＤ素子を保護する保護ガラス、露光用ＬＥＤランプユニットの点灯によって発生する不安定な紫外線光である露光用光源を均一な光源に変化させるフライアイレンズ（Ｆｌｙｅｙｅ  Ｌｅｎｓ）、フライアイレンズを通って均一に変化した散乱光形態の光源を１次的に平行光形態にする１次コンデンサーレンズ（Ｃｏｎｄｅｎｓｅｒ  Ｌｅｎｓ）、１次コンデンサーレンズによって１次的に平行光形態にされた光源を精密な平行光に集光してガラス基板に照射されるようにする２次コンデンサーレンズ（Ｃｏｎｄｅｎｓｅｒ  Ｌｅｎｓ）、及び、ガラス基板の願う部分にだけ紫外線光が露出するようにするマスクを含んだ構成からなる。
【０００５】
しかし、このような従来技術の露光装置は、単一波長を有するＵＶ  ＬＥＤを用いて露光装置を構成するため、多様な形態のフィルム及びインクが塗布されているＰＣＢ銅板にマスクを介して回路が形状化されることができるように均一にビームを照射するには困難があった。
【０００６】
また、露光用ＬＥＤランプユニットの大きさが初めから決まっているため、多様な大きさの露光対象物に合わせて露光装置の大きさを変化させるのが難しく、多面積露光装置を構成することができないという問題点があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】韓国公開特許第２０１１−００５８５０１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は上記した点を勘案して発明されたものであり、多様な形態及び大きさの露光対象物に対して容易に露光を実施することができる露光用ＬＥＤ光源装置、及び露光用ＬＥＤ光源装置管理システムを提供することにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するための本発明の一形態は、複数のＬＥＤ光源ユニットを含む複数のＬＥＤ光源モジュール、上記複数のＬＥＤ光源モジュールの上記複数のＬＥＤ光源ユニットに供給される電流の大きさをそれぞれ制御して露光領域に到達する光の強度を決定し、電流の供給及び中断を制御する制御部、上記制御部の制御に従って上記複数のＬＥＤ光源モジュールに電流を供給する電源供給部、上記複数のＬＥＤ光源モジュールのそれぞれの動作状態及び供給電流値を使用者に表示する表示部、及び、上記複数のＬＥＤ光源モジュールに供給される電流の大きさを制御するように上記制御部に使用者の外部命令を入力するキー操作部を含む露光用ＬＥＤ光源装置である。
【００１０】
このとき、上記複数のＬＥＤ光源モジュールはマトリックス形態に配列され、上記ＬＥＤ光源モジュール内の上記複数のＬＥＤ光源ユニットは、マトリックス形態に配列されることが望ましい。
【００１１】
また、上記ＬＥＤ光源モジュール内の上記複数のＬＥＤ光源ユニットは、互いに波長が異なる２種類のＬＥＤ光源ユニットからなることができる。このとき、上記ＬＥＤ光源モジュール内の上記複数のＬＥＤ光源ユニットは３×３マトリックス形態に配列され、中央部の１個のＬＥＤ光源ユニットは４０５ｎｍの波長を有し、周辺部の８個のＬＥＤ光源ユニットは３６５ｎｍの波長を有することができる。上記１個の４０５ｎｍＬＥＤ光源ユニットのビームが、上記８個の３６５ｎｍＬＥＤ光源ユニットのビームと全て重畳して複合波長になることができるように、上記４０５ｎｍＬＥＤ光源ユニットを上記３６５ｎｍＬＥＤ光源ユニットより大きく構成することが望ましい。
【００１２】
さらに、上記制御部は、上記ＬＥＤ光源モジュールの互いに波長が異なる２種類のＬＥＤ光源ユニットに対して２セットデュアル制御を行うことが望ましい。また制御部は、マトリックス形態に配列された上記複数のＬＥＤ光源ユニットの間のビーム重畳部の出力が低下しないように、ＬＥＤの照射面積をＬＥＤの大きさより大きく調節することが望ましい。
【００１３】
また、上記ＬＥＤ光源ユニットは、供給電流に応じて強度が制御された光を発生させるＬＥＤ光源、上記ＬＥＤ光源が配置され、回路パターンが形成されたＬＥＤ基板、上記ＬＥＤ光源から放射されたビームに対して角補正を行う１次レンズ、上記１次レンズを経たビームに対して集光収斂を行う２次レンズ、上記ＬＥＤ光源、上記ＬＥＤ基板、上記１次レンズ及び上記２次レンズに対してハウジングを提供するユニットボディーを含むことができる。
【００１４】
上記目的を達成するための本発明の他の形態は、複数のＬＥＤ光源ユニットを含む複数のＬＥＤ光源モジュール、上記複数のＬＥＤ光源モジュールの上記複数のＬＥＤ光源ユニットに供給される電流の大きさをそれぞれ制御して露光領域に到達する光の強度を決定し、電流の供給及び中断を制御する制御部、上記制御部の制御に従って上記複数のＬＥＤ光源モジュールに電流を供給する電源供給部、上記複数のＬＥＤ光源モジュールのそれぞれの動作状態及び供給電流値を使用者に表示する表示部、及び、上記複数のＬＥＤ光源モジュールに供給される電流の大きさを制御するように上記制御部に使用者の外部命令を入力するキー操作部を含む露光用ＬＥＤ光源装置、及び、多数の露光装備にそれぞれ設置される上記露光用ＬＥＤ光源装置を有無線通信網を介して遠隔で統合制御及び管理する中央管理サーバーを含む露光用ＬＥＤ光源装置管理システムである。
【発明の効果】
【００１５】
上記のように、本発明によれば、２種類以上のＬＥＤ光源ユニットをマトリックス形態に配列してＬＥＤ光源モジュールを構成するため、多様なパターンの太さの露光対象物に対して容易に露光を実施することができる効果がある。すなわち、ＬＥＤをアレイ化して強度（Ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ）及び均一度（Ｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙ）の最適化が可能となり、ＬＥＤの数量が１５０ＥＡ以内で露光実面積５１０＊６１０ｍｍ内に光効率が９０％となるようにした。
【００１６】
また、多数のＬＥＤ光源モジュールをアレイ化して露光装置を構成するため、多面積の露光対象物に対して容易に露光を実施することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】従来技術による露光用ＬＥＤランプが適用された露光装置を示した概念図である。
【図２】本発明の望ましい実施例による露光用ＬＥＤ光源装置を説明するブロック図である。
【図３】本発明の一実施例によるＬＥＤ光源モジュールを説明する概念図である。
【図４】図３によるＬＥＤ光源モジュールの３次元設計図である。
【図５】本発明の一実施例による複数のＬＥＤ光源モジュールが配置されたことを説明する概念図である。
【図６】図５によるＬＥＤ光源モジュールの３次元設計図である。
【図７】本発明の一実施例によるＬＥＤ光源ユニットを説明する断面図である。
【図８】図７によるＬＥＤ光源ユニットの３次元設計図である。
【図９】隣接して配列された２個のＬＥＤ光源ユニットでビームが照射されることを説明する図である。
【図１０】制御部として使用されるＭＣＵの一例を説明するためのブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付された図面を参照して本発明による望ましい実施例を詳細に説明することにする。しかし、以下の実施例は、この技術分野で通常的な知識を有する者に本発明が充分に理解されるように提供されるものであり、様々な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲が次に記述される実施例に限定されるものではない。
【００１９】
図２は本発明の望ましい実施例による露光用ＬＥＤ光源装置を説明するブロック図である。図２を参考にすると、本発明の望ましい実施例による露光用ＬＥＤ光源装置１００は、ＬＥＤ光源モジュール１１０、制御部１２０、電源供給部１３０、キー操作部１５０、表示部１４０、通信部１６０、運用端末２００を含む。
【００２０】
図３は本発明の一実施例によるＬＥＤ光源モジュールを説明する概念図で、図４は図３によるＬＥＤ光源モジュールの３次元設計図である。
【００２１】
図３及び図４を参考にすると、ＬＥＤ光源モジュール１１０は、複数のＬＥＤ光源ユニット１１２ａ，１１２ｂを含むが、複数のＬＥＤ光源ユニット１１２ａ，１１２ｂはマトリックス形態に配列される。例えば、図３及び図４に示されたように、ＬＥＤ光源モジュール１１０内の複数のＬＥＤ光源ユニット１１２ａ，１１２ｂは３×３マトリックス形態に配列されるが、Ｘで表示した中央部の１個のＬＥＤ光源ユニット１１２ｂは４０５ｎｍの波長を有し、Ｏで表示した周辺部の８個のＬＥＤ光源ユニット１１２ａは３６５ｎｍの波長を有するもので配列されることができる。このように、ＬＥＤ光源モジュール１１０内の複数のＬＥＤ光源ユニット１１２ａ，１１２ｂは、互いに波長が異なる多種類、例えば２種類のＬＥＤ光源ユニットからなることができる。マトリックス形態の大きさ及び互いに異なるＬＥＤ光源ユニットの配置は、図３及び図４に限定されず、露光対象物の特性に応じて変わることができる。
【００２２】
さらに、図４に示されたように、中央部の１個の４０５ｎｍＬＥＤ光源ユニットのビームが、周辺部の８個の３６５ｎｍＬＥＤ光源ユニットのビームと全て重畳して複合波長になることができるように、４０５ｎｍＬＥＤ光源ユニットを３６５ｎｍＬＥＤ光源ユニットより大きく構成することが望ましい。
【００２３】
このように互いに異なる波長を有する多種類のＬＥＤ光源ユニットを一つのＬＥＤ光源モジュールにマトリックス形態に配置することにより、露光対象物の特性に合わせてＬＥＤ光源の波長を選択することができる。例えば、３６５ｎｍ（ｉ−ｌｉｎｅ）と４０５ｎｍ（ｈ−ｌｉｎｅ）の複合波長ＵＶ（紫外線）領域のＬＥＤビームをフォトマスクに照射してマスク上の回路パターンをコーティングされたＰＣＢ基板に転写することができるようになる。
【００２４】
図５は本発明の一実施例による複数のＬＥＤ光源モジュールが配置されたことを説明する概念図で、図６は図５によるＬＥＤ光源モジュールの３次元設計図である。
【００２５】
図５及び図６に示されたように、複数のＬＥＤ光源モジュール１１０はマトリックス形態に配列される。このように複数のＬＥＤ光源モジュールをマトリックス形態に配列することにより、露光対象物の大きさに合わせて自由に大きさを変形させることができ、多面積を有する露光装置を容易に作ることができる。例えば、図５のように３×３のＬＥＤ光源モジュール１１０を３×３のマトリックス形態に配列すれば、計８１個のＬＥＤ光源ユニットを配置することができる。そして、図６のように、３×３のＬＥＤ光源モジュールを４×４のマトリックス形態に配列すれば、１４４個のＬＥＤ光源ユニットを配置することができる。よって、本発明によるマトリックス配列の露光用ＬＥＤ光源装置によれば、１：１マスクパターン露光方式でＵＶ領域のＬＥＤビームが均一に露光対象物に照射されることが可能となる。
【００２６】
図７は本発明の一実施例によるＬＥＤ光源ユニットを説明する断面図で、図８は図７によるＬＥＤ光源ユニットの３次元設計図である。図７を参考にすると、ＬＥＤ光源ユニット１１２は、ＬＥＤ光源１１４、ＬＥＤ基板１１８、１次レンズ１１５、２次レンズ１１６及び、ユニットボディー１１７を含んでなる。
【００２７】
ＬＥＤ光源１１４は、供給電流に応じて強度が制御された光を発生させるもので、ＬＥＤ基板１１８上に設置される。ＬＥＤ基板１１８は、回路パターンが形成されＬＥＤに電流と電圧を供給する。１次レンズ１１５は、ＬＥＤ光源１１４から放射されたビームに対して角補正を行う。すなわち、図７に示されたように、ＬＥＤ光源の広さより広い面積にビームが照射されることができるようにする。２次レンズ１１６は、１次レンズ１１５を経たビームに対して集光収斂を行う。このようなＬＥＤ光源１１４、ＬＥＤ基板１１８、１次レンズ１１５及び２次レンズ１１６は、ユニットボディー１１７に設置されて一つのＬＥＤ光源ユニット１１２を構成する。
【００２８】
図９は隣接して配列された２個のＬＥＤ光源ユニット１１２からビームが照射されることを説明する図である。図９を参考にすると、個別ＬＥＤの照射面積が１０ｍｍであるとき、個別ＬＥＤの間の部分（１ｍｍ）は出力が低下することがあり得る。よって、ＬＥＤの照射面積を１０ｍｍより若干大きく調節し、重畳部分（すなわち、ＬＥＤのエッジ部位）の出力が低下しないように制御する。例えば、一方のＬＥＤから５０％のビーム、他方のＬＥＤから５０％のビームを受信することにより、ＬＥＤユニットの間の重畳部分は出力が低下せずＬＥＤ内部の出力と同じに制御されてエネルギー密度が均一になる。
再び図２を参考にすると、制御部１２０は、ＬＥＤ光源モジュール１１０のＬＥＤ光源ユニット１１２に供給される電流の大きさをそれぞれ制御して露光領域に到達する光の強度を決定し、電流の供給及び中断を制御する。
【００２９】
ＬＥＤ光源モジュール１１０に互いに波長が異なる２種類のＬＥＤ光源ユニット１１２ａ，１１２ｂが配列された場合、制御部１２０は、ＬＥＤ光源モジュールに対して２セットデュアル制御を行う。すなわち、３６５ｎｍのＬＥＤ光源ユニットに対しては１４．９ｖ及び７００ｍＡを供給するように制御し、４０５ｎｍＬＥＤ光源ユニットに対しては１２〜４８ｖ及び１０００〜１８００ｍＡを供給するように制御することができる。よって、図３に示されたように、ＬＥＤ光源モジュール１１０に２種類９個のＬＥＤ光源ユニット１１２ａ，１１２ｂが配列された場合にも、単にデュアルチャンネルで制御を行うことができる。
【００３０】
また、制御部１２０は、必要時のみＬＥＤ光源ユニットをＯｎして、不要な電力消耗及び性能低下を防止することができる。このような本発明の制御部１２０は、アナログ制御方式の代りにデジタル制御方式によるＭＣＵで具現することができる。このようなＭＣＵは、設備Ｉ／Ｏ制御、光源制御、外部環境制御が可能であり、一つのＭＣＵで３６ＣＨ制御を行うとき、３２ＣＨは３６５ｎｍＬＥＤ光源ユニットを制御し、他の４ＣＨは４０５ｎｍＬＥＤ光源ユニットを制御するものとして動作することができる。図１０は制御部として使用されるＭＣＵの一例を説明するためのブロック図である。
【００３１】
電源供給部１３０は、制御部１２０の制御に従ってＬＥＤ光源モジュール１１０に電圧及び電流を供給する。電源供給部１３０は定電流制御方式でＬＥＤ光源ユニットに安定的な電圧及び電流を供給することができる。
【００３２】
表示部１４０は、ＬＥＤ光源モジュール１１０のそれぞれの動作状態及び供給電流値を使用者に表示する。キー操作部１５０は、ＬＥＤ光源モジュール１１０に供給される電流の大きさを制御するように、制御部１２０に使用者の外部命令を入力する。このような表示部１４０及びキー操作部１５０は、一つのＬＣＤタッチスクリーンで具現されることができる。
【００３３】
本発明の望ましい実施例による露光用ＬＥＤ光源装置は、この露光用ＬＥＤ光源装置１００を個別的に制御、管理及び運用する運用端末２００を含むことができる。運用端末２００は、ＰＣ形態のコンピューター端末又は現場管理者の携帯型モバイル端末がなることができ、通信部１６０を介して露光用ＬＥＤ光源装置１００に有無線連結される。
【００３４】
通信部１６０は、運営端末２００からＬＥＤ光源モジュール１１０の制御命令を受信し、ＬＥＤ光源モジュール１１０の動作に関する各種情報を運営端末２００に伝送するためにＲＳ２３２、ＲＳ４８５ポート等で具現されることができ、伝送された情報及びデータは、運営端末２００に保存及び維持されることができる。この他にも、露光設備と通信する通信部をさらに備えることができる。
【００３５】
本発明による露光用ＬＥＤ光源装置は、有無線ネットワークを介して中央管理サーバーに連結されることができる。中央管理サーバーは、遠隔地から複数台の露光用ＬＥＤ光源装置１００を全体的に制御及び管理することができる。一方、運用端末２００は、選択的に使用されることができ、運用端末２００が使用されない場合には、露光用ＬＥＤ光源装置１００が直接有無線ネットワークを介して中央管理サーバー（３００）に接続される。
【００３６】
図１０は、制御部として使用されるＭＣＵの一例を説明するためのブロック図である。
【００３７】
［未説明符号］
１：ＰＯＲＴＦ  ＤＲＩＶＥＲＳ、２：ＰＯＲＴＡ  ＤＲＩＶＥＲＳ、  ３：ＰＯＲＴＣ  ＤＲＩＶＥＲＳ、４：ＤＡＴＡ  ＲＥＧＩＳＴＥＲ  ＰＯＲＴＦ、５：ＤＡＴＡ  ＤＩＲ．  ＲＥＧ．  ＰＯＲＴＦ、６：ＤＡＴＡ  ＲＥＧＩＳＴＥＲ  ＰＯＲＴＡ、７：ＤＡＴＡ  ＤＩＲ．  ＲＥＧ．  ＰＯＲＴＡ、８：ＤＡＴＡ  ＲＥＧＩＳＴＥＲ  ＰＯＲＴＣ、９：ＤＡＴＡ  ＤＩＲ．  ＲＥＧ．  ＰＯＲＴＣ、  １０：ＡＤＣ、１１：ＪＴＡＧ  ＴＡＰ、１２：ＰＲＯＧＲＡＭ  ＣＯＵＮＴＥＲ、１３：ＳＴＡＣＫ  ＰＯＩＮＴＥＲ、１４：ＯＮ−ＣＨＩＰ  ＤＥＢＵＧ、１５：ＰＲＯＧＲＡＭ  ＦＬＡＳＨ、１６：ＳＲＡＭ、１７：ＢＯＵＮＤＡＲＹ．  ＳＣＡＮ、１８：ＩＮＳＴＲＵＣＴＩＯＮ  ＲＥＧＩＳＴＥＲ、１９：ＧＥＮＥＲＡＬ  ＰＵＲＰＯＳＥ  ＲＥＧＩＳＴＥＲＳ、２０：ＰＲＯＧＲＡＭＭＩＮＧ  ＬＯＧＩＣ、２１：ＩＮＳＴＲＵＣＴＩＯＮ  ＤＥＣＯＤＥＲ、２２：ＡＬＵ、２３：ＳＴＡＴＵＳ  ＲＥＧＩＳＴＥＲ、２４：ＵＳＡＲＴＯ、２５：ＩＮＴＥＲＮＡＬ  ＯＳＣＩＬＬＡＴＯＲ、２６：ＷＡＴＣＨＤＯＧ  ＴＩＭＥＲ、２７：ＭＣＵ  ＣＯＮＴＲＯＬ  ＲＥＧＩＳＴＥＲ、２８：ＴＩＭＥＲ／ＣＯＵＮＴＥＲＳ、２９：ＩＮＴＥＲＲＵＰＴ  ＵＮＩＴ、３０：ＥＥＰＲＯＭ、３１：ＣＡＬＩＢ．  ＯＳＣ、３２：ＯＳＣＩＬＬＡＴＯＲ、３３：ＯＳＣＩＬＬＡＴＯＲ、３４：ＴＩＭＩＮＧ  ＡＮＤ  ＣＯＮＴＲＯＬ、３５：ＳＰＩ、３６：ＵＳＡＲＴ１、３７：ＴＷＯ−ＷＩＲＥ  ＳＥＲＩＡＬ  ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ、３８：ＤＡＴＡ  ＲＥＧＩＳＴＥＲ  ＰＯＲＴＥ、３９：ＤＡＴＡ  ＤＩＲ．  ＲＥＧ．  ＰＯＲＴＥ、４０：ＤＡＴＡ  ＲＥＧＩＳＴＥＲ  ＰＯＲＴＢ、４１：ＤＡＴＡ  ＤＩＲ．  ＲＥＧ．  ＰＯＲＴＢ、４２：ＤＡＴＡ  ＲＥＧＩＳＴＥＲ  ＰＯＲＴＤ、４３：ＤＡＴＡ  ＤＩＲ．  ＲＥＧ．  ＰＯＲＴＤ、４４：ＤＡＴＡ  ＲＥＧ．  ＰＯＲＴＧ、４５：ＤＡＴＡ  ＤＩＲ．  ＲＥＧ．  ＰＯＲＴＧ、４６：ＰＯＲＴＥ  ＤＲＩＶＥＲＳ、４７：ＰＯＲＴＢ  ＤＲＩＶＥＲＳ、４８：ＰＯＲＴＤ  ＤＲＩＶＥＲＳ、４９：ＰＯＲＴＧ  ＤＲＩＶＥＲＳ、５０：ＡＮＡＬＯＧ  ＣＯＭＰＡＲＡＴＯＲ．
【符号の説明】
【００３８】
１００    露光用ＬＥＤ光源装置
１１０    ＬＥＤ光源モジュール
１１２    ＬＥＤ光源ユニット
１１２ａ  ＬＥＤ光源ユニット
１１２ｂ  ＬＥＤ光源ユニット
１１４    ＬＥＤ光源ユニット
１１５    １次レンズ
１１６    ２次レンズ
１１７    ユニットボディー
１１８    ＬＥＤ基板
１２０    制御部
１３０    電源供給部
１４０    表示部
１５０    キー操作部
１６０    通信部
２００    運用端末
【図１】
2017504842.tif 000003
【図３】
2017504842.tif 000004
【図４】
2017504842.tif 000005
【図５】
2017504842.tif 000006
【図６】
2017504842.tif 000007
【図７】
2017504842.tif 000008
【図８】
2017504842.tif 000009
【図９】
2017504842.tif 000010
【図１０】
2017504842.tif 000011
【図２】
2017504842.tif 000012
【国際調査報告】
2017504842.tif 000013
2017504842.tif 000014
2017504842.tif 000015
2017504842.tif 000016