(57)【要約】  本発明に係る化学薬品容器保護カバー組立体は、前記内部容器の一部を取り囲む第１カバー部材；前記内部容器の他の一部を取り囲む第２カバー部材；前記第１カバー部材と前記第２カバー部材とを連結する結束部材を含み、前記結束部材は、前記第１カバー部材及び前記第２カバー部材のうちいずれかに形成され、他のいずれかに結合される結束体を含む。本発明である化学薬品容器保護カバー組立体は、化学物質を収容するガラス瓶の外部を２段以上の分離可能な保護部材で構成することにより、作業者によるハンドリングまたは移動時に衝撃によって前記ガラス瓶の割れが発生しても、その溶液の外部への漏れを最小化して周辺への悪影響を防止する。
2017523946.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造工程に用いる高純度の化学物質が収容される内部容器の保護のためのカバー組立体であって、
前記内部容器の一部を取り囲む第１カバー部材；
前記内部容器の他の一部を取り囲む第２カバー部材；
前記第１カバー部材と前記第２カバー部材とを連結する結束部材を含み、
前記結束部材は、前記第１カバー部材及び前記第２カバー部材のうちいずれかに形成され、他のいずれかに結合される結束体を含むものである、カバー組立体。
【請求項２】
前記第１カバー部材及び前記第２カバー部材のうちいずれかから脱着可能な取手をさらに含む、請求項１に記載のカバー組立体。
【請求項３】
前記取手は、アイスクリームコーンの封の開け方で脱着可能なものである、請求項２に記載のカバー組立体。
【請求項４】
前記第１カバー部材及び前記第２カバー部材のうちいずれかに一体に結合された移動用取手をさらに含み、
前記移動用取手が偶数個備えられる場合、
前記偶数個の移動用取手は、二つずつ互いに対向して配置されるものである、請求項１に記載のカバー組立体。
【請求項５】
前記結束部材は、前記第１カバー部材及び第２カバー部材の間に配置される密封材をさらに含むものである、請求項１に記載のカバー組立体。
【請求項６】
前記結束体は、前記第１カバー部材の下端から段差が付けられる形で突き出され、
前記第２カバー部材の上端には、前記段差が付けられる形で突き出された結束体が引っ掛かって締結される段差部が形成されるものである、請求項１に記載のカバー組立体。
【請求項７】
前記結束体は、前記第１カバー部材から前記第２カバー部材に向かう方向に突き出された突起状であり、
前記第２カバー部材の上端には、前記結束体と上下方向に互いに交番して配置されるように、前記結束体に向かう方向に突き出して形成される補助結束体が形成されるものである、請求項１に記載のカバー組立体。
【請求項８】
前記結束部材は、延長部をさらに含み、
前記延長部は、
前記結束体と前記第１カバー部材との間及び前記補助結束体と前記第２カバー部材との間に形成されるものである、請求項７に記載のカバー組立体。
【請求項９】
前記第１カバー部材は、その下端が前記第２カバー部材の上端の外周面を覆って配置され、
前記結束体は、前記第１カバー部材の下端の内周面から鋸歯状に突き出して形成され、
前記第２カバー部材の上端の外周面には、それから突き出される鋸歯状の補助結束体が形成されるものである、請求項１に記載のカバー組立体。
【請求項１０】
前記第１カバー部材は、その下端が前記第２カバー部材の上端の外周面を覆って配置され、
前記結束体は、前記第１カバー部材の下端の内周面にネジ山状に形成され、
前記第２カバー部材の上端の外周面には、前記結束体と噛み合うネジ山状に補助結束体が形成され、
前記第１カバー部材と前記第２カバー部材との相対的回転による前記第１結束体と前記補助結束体とのネジ結合により、前記第１カバー部材と前記第２カバー部材とが結合されるものである、請求項１に記載のカバー組立体。
【請求項１１】
前記第１カバー部材の下面には、複数個の鋸歯が前記第１カバー部材の回転方向と反対する方向に斜めに形成され、前記第２カバー部材の前記複数個の鋸歯と接触される部分には、前記鋸歯と噛み合う噛み合い部が前記第２カバー部材の回転方向と反対する方向に斜めに形成されるものである、請求項１０に記載のカバー組立体。
【請求項１２】
前記第１カバー部材及び前記第２カバー部材のそれぞれは、ポリエチレン（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ：ＰＥ）、ポリプロピレン（ｐｏｌｙｐｒｏｐｙｌｅｎｅ：ＰＰ）、ポリスチレン（ｐｏｌｙｓｔｙｒｅｎｅ：ＰＳ）、ポリ塩化ビニリデン（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｉｄｅｎｅｃｈｌｏｒｉｄｅ：ＰＶＤＣ）、ポリエチレンテレフタレート（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ：ＰＥＴ）、ポリメチルメタクリレート（Ｐｏｌｙｍｅｔｈｙｌｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ、ＰＭＭＡ）、フェノール樹脂（ｐｈｅｎｏｌｆｏｒｍａｌｄｅｈｙｄｅ：ＰＦ）、メラミン樹脂（ｍｅｌａｍｉｎｅｆｏｒｍａｌｄｅｈｙｄｅ：ＭＦ）、尿素樹脂（ｕｒｅａｆｏｒｍａｌｄｅｈｙｄｅ：ＵＦ）、ポリアセタール（ｐｏｌｙａｃｅｔａｌ、ｐｏｌｙｏｘｙｍｅｔｈｙｌｅｎｅ（ＰＯＭ）、ｐｏｌｙｆｏｒｍａｌｄｅｈｙｄｅ）、アクリル（Ａｃｒｙｌ）樹脂、ポリアミド／ナイロン（ｐｏｌｙａｍｉｄｅ／ＮｙｌｏｎＰＡ／Ｎｙｌｏｎ）、ポリメチルペンテン（ｐｏｌｙｍｅｔｈｙｌｐｅｎｔｅｎｅ  ＰＭＰ）、ポリカーボネート（ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎａｔｅ  ＰＣ）、ポリビニルアルコール（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌａｌｃｏｈｏｌ  ＰＶＡ）、ポリブテン（ｐｏｌｙｖｕｔｅｎｅ−１：ＰＢ−１）、ブタジエン趣旨（ｂｕｔａｄｉｅｎｒｅｓｉｎｓ  ＢＤＲ）、アクリロニトリルブタジエンスチレン（ａｃｒｙｌｏｎｉｔｒｉｌｅ−ｂｕｔａｄｉｅｎｅｅ  ｓｔｙｒｅｎｅ  ＡＢＳ）、アクリロニトリルスチレン（ａｃｒｙｌｏｎｉｔｒｉｌｅ  ｓｔｙｒｅｎｅ  ＡＳ）、ポリメタクリルスチレン（ｐｏｌｙｍｅｔｈａｃｒｙｌｓｔｙｒｅｎｅ  ＭＳ）、ポリブチレンテレフタレート（ｐｏｌｙｂｕｔｙｌｅｎｅｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ  ＰＢＴ）、ポリアリルスルホン（ｐｏｌｙａｒｙｌｓｕｌｆｏｎ  ＰＡＳＦ）、ポリアリレート（ｐｏｌｙａｒｙｌａｔｅ  ＰＡＲ）、ヒドロキシブチルポリエステル（ｈｙｄｒｏｘｙｂｕｔｙｌ  ｐｏｌｙｅｓｔｅｒ  ＨＢＰ）、ポリアクリロニトリル（ｐｏｌｙａｃｒｙｌｏｎｉｔｒｉｌｅ  ＰＡＮ）、フッ素樹脂（ｆｌｕｏｒｏ  ｒｅｓｉｎｓ  ＦＲ）（ＰＶＤＦ、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＰＦＡ、ＥＴＦＥ、Ｔｅｆｌｏｎ、ＥＣＴＦＥ、ＰＣＴＦＥ）、ポリフェニレンエーテル（ｐｏｌｙｐｈｅｎｙｌｅｎｅｅｔｈｅｒ  ＰＰＥ）、イオノマー（Ｉｏｎｏｍｅｒ）樹脂、纎維強化プラスチック（Ｆｉｂｅｒ  Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ  Ｐｌａｓｔｉｃｓ、ＦＲＰ）、エチレン酢酸ビニル（ｅｔｈｙｌｅｎｅｖｉｎｙｌａｃｅｔａｔｅ  ＥＶＡ）、メチルメタクリレート−アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン（ｍｅｔｈｙｌｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ−ａｃｒｙｌｏｎｉｔｒｉｌｅ−ｂｕｔａｄｉｅｎｅ−ｓｔｙｒｅｎｅ：ＭＡＢＳ）、ポリエチレンナフタレート（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅｎａｐｈｔｈａｌａｔｅ  ＰＥＮ）、シリコーン（ｓｉｌｉｃｏｎｅ）樹脂、エポキシ（ｅｐｏｘｙ）樹脂、ポリエーテルイミド（ｐｏｌｙｅｔｈｅｒｉｍｉｄｅ）、ポリフェニレンスルフィド（ｐｏｌｙｐｈｅｎｙｌｅｎｅ  ｓｕｌｆｉｄｅ  ＰＰＳ）、ポリエテルスルホン（ｐｏｌｙｅｔｈｅｒｓｕｌｆｏｎｅ  ＰＥＳ）、ポリシクロヘキサン−１、４−ジメチレンテレフタレート（ｐｏｌｙ（ｃｙｃ���ｏｈｅｘａｎｅ−１、４−ｄｉｍｅｔｈｙｌｅｎｅｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）ＰＣＴ）、エチレンビニルアルコール（ｅｔｈｙｌｅｎｅｖｉｎｙｌａｌｃｏｈｏｌ  ＥＶＯＨ）、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ  ＰＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ｐｏｌｙｅｔｈｅｒｅｔｈｅｒｋｅｔｏｎｅ  ＰＥＥＫ）、ポリラクチド（ｐｏｌｙｌａｃｔｉｄｅ、ｐｏｌｙｌａｃｔｉｃ  ａｃｉｄ  ＰＬＡ）、ポリブチレンスクシナート−アジペート（ｐｏｌｙｂｕｔｙｌｅｎｅｓｕｃｃｉｎａｔｅ−ｃｏ−ａｄｉｐａｔｅ  ＰＢＳＡ）、エコゼン（Ｅｃｏｚｅｎ）及びＴＰＥ（Ｔｈｅｒｍｏ  Ｐｌａｓｔｉｃ  Ｅｌａｓｔｏｍｅｒ）のうちいずれかを含む材質からなるものである、請求項１に記載のカバー組立体。
【請求項１３】
前記第１カバー部材及び前記第２カバー部材の上側に配置され、前記内部容器の上部を取り囲む第３カバー部材をさらに含み、
前記第３カバー部材は、前記内部容器の注入口部分を取り囲むキャップ、及び、前記キャップを前記第１カバー部材及び前記第２カバー部材のうちいずれかに連結する連結部を含むものである、請求項１に記載のカバー組立体。
【請求項１４】
前記第１カバー部材及び前記第２カバー部材のそれぞれの内面には、複数個の緩衝突起が形成され、
前記緩衝突起は、前記内部容器と前記第１カバー部材との間、及び、前記内部容器と前記第２カバー部材との間に形成される微細な隙間による前記内部容器の震動を防止するものである、請求項１に記載のカバー組立体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、化学薬品容器保護カバー組立体に関し、より詳しくは、半導体工程で用いられる化学薬品容器保護カバー組立体に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、半導体製造工程に用いられる化学物質は、その純度が非常に重要であり、常に高純度を維持しなければならない。よって、高純度を維持するに最も安全であると認められるガラス瓶の使用が最も多くなる。
【０００３】
それによる問題は、前記ガラス瓶に収容される有毒性の化学物質がガラス瓶の割れ現象により外部に漏れてしまい、直接的ないしは間接的に人、装置、施設及び半導体製造品などに汚染を引き起こすことにあり、ガラス瓶の特性上、人の肌などに直接害を与え、傷をつけてしまう可能性が非常に高い。
【０００４】
実際に、半導体製造の工場では、このようなガラス瓶の締結及び除去のための移動が非常に頻繁にあるが、このような場合、割れ現象が度々発生して問題となっており、マスコミなどによって大きく報じられている。
【０００５】
上記のように、最近は、環境及び安全への関心が高まっており、このように化学物質を含んだガラス瓶の割れ現象による毒性物質の漏れが発生する場合は、優先して作業者に対する人体的被害及び半導体会社の対外イメージの向上に悪影響を及ぼすことになるので、これに対する対備策の準備に非常に積極的に対応しなければならないという現実的必要性がある。
【０００６】
一方、最近は、ガラス瓶をプラスチック材質に変更することで、従来のガラス瓶の場合の不都合を改善しようとしているが、プラスチック材質容器の場合は、溶出による化学溶液の純度維持が完全なものではないため、ガラス瓶の使用は相当の期間持続すると予想される。
【０００７】
化学物質溶液が収容されたガラス容器の移動時に、ガラスが破損して発生し得る化学溶液の漏れを防止する内容を記載している従来の文献としては、米国登録特許第６,８１７,４８５号（２００４.１１.１６）が参照できるが、前記文献では、保護圧力容器に取り囲まれた内部容器から高純度の化学物質は排出する方法を開示する。
【０００８】
前記文献では、化学物質が収容される内部容器を外部から取り囲む別途の保護圧力容器を備えた二重の構造を提供する状態で、前記内部容器の内側に配置される液体排出パイプを介して高純度の化学物質を安定して排出する方案を開示しているが、保護圧力容器内に収容された内部容器を露出できるようにする保護圧力容器の分離方案については如何なる構造も開示していない、及び、内部容器が破損する場合、保護圧力容器の化学物質の漏れ防止方案については、別途の方案を開示していないという問題点がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記従来の問題点を解消しようとするもので、化学物質を収容するガラス瓶の外面を２段以上の分離した部材で結合して構成することにより、作業者によるハンドリング、または、移動時の衝撃によりガラス瓶の割れが発生しても、ガラス瓶に収容された化学物質の外部への漏れを最小化し、周辺への悪影響を防止する容器保護のための化学薬品容器保護カバー組立体を提供することが目的である。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記のような目的を達成するための本発明に係るカバー組立体は、半導体製造工程に用いる高純度の化学物質が収容される内部容器の保護のためのカバー組立体であって、前記内部容器の一部を取り囲む第１カバー部材；前記内部容器の他の一部を取り囲む第２カバー部材；前記第１カバー部材と前記第２カバー部材とを連結する結束部材を含み、前記結束部材は、前記第１カバー部材及び前記第２カバー部材のうちいずれかに形成され、他のいずれかに結合される結束体を含む。
【００１１】
また、本発明に係るカバー組立体において、前記第１カバー部材及び前記第２カバー部材のうちいずれかから脱着可能な取手をさらに含む。
【００１２】
また、本発明に係るカバー組立体において、前記取手は、アイスクリームコーンの封の開け方で脱着できる。
【００１３】
また、本発明に係るカバー組立体において、前記第１カバー部材及び前記第２カバー部材のうちいずれかに一体に結合された移動用取手をさらに含む。
【００１４】
また、本発明に係るカバー組立体において、前記移動用取手が偶数個備えられる場合、前記偶数個の移動用取手は、二つずつ互いに対向して配置される。
【００１５】
また、本発明に係るカバー組立体において、前記結束部材は、前記第１カバー部材及び第２カバー部材の間に配置される密封材をさらに含む。
【００１６】
また、本発明に係るカバー組立体において、前記結束体は、前記第１カバー部材の下端から段差が付けられる形で突き出され、前記第２カバー部材の上端には、前記段差が付けられる形で突き出された結束体が引っ掛かって締結される段差部が形成される。
【００１７】
また、本発明に係るカバー組立体において、前記結束体は、前記第１カバー部材から前記第２カバー部材に向かう方向に突き出された突起状であり、前記第２カバー部材の上端には、前記結束体と上下方向に互いに交番して配置されるように、前記結束体に向かう方向に突き出して形成される補助結束体が形成される。
【００１８】
また、本発明に係るカバー組立体において、前記結束部材は、延長部をさらに含み、前記延長部は、前記結束体と前記第１カバー部材との間及び前記補助結束体と前記第２カバー部材との間に形成される。
【００１９】
また、本発明に係るカバー組立体において、前記第１カバー部材は、その下端が前記第２カバー部材の上端の外周面を覆って配置され、前記結束体は、前記第１カバー部材の下端の内周面から鋸歯状に突き出して形成され、前記第２カバー部材の上端の外周面には、それから突き出される鋸歯状の補助結束体が形成される。
【００２０】
また、本発明に係るカバー組立体において、前記第１カバー部材は、その下端が前記第２カバー部材の上端の外周面を覆って配置され、前記結束体は、前記第１カバー部材の下端の内周面にネジ山状に形成され、前記第２カバー部材の上端の外周面には、前記結束体と噛み合うネジ山状に補助結束体が形成され、前記第１カバー部材と前記第２カバー部材との相対的回転による前記第１結束体と前記補助結束体とのネジ結合により、前記第１カバー部材と前記第２カバー部材とが結合される。
【００２１】
また、本発明に係るカバー組立体において、前記第１カバー部材の下面には、複数個の鋸歯が前記第１カバー部材の回転方向と反対される方向に斜めに形成され、前記第２カバー部材の前記複数個の鋸歯と接触される部分には、前記鋸歯と噛み合う噛み合い部が前記第２カバー部材の回転方向と反対する方向に斜めに形成される。
【００２２】
また、本発明に係るカバー組立体において、前記第１カバー部材及び前記第２カバー部材のそれぞれは、ポリエチレン（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ：ＰＥ）、ポリプロピレン（ｐｏｌｙｐｒｏｐｙｌｅｎｅ：ＰＰ）、ポリスチレン（ｐｏｌｙｓｔｙｒｅｎｅ：ＰＳ）、ポリ塩化ビニリデン（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｉｄｅｎｅｃｈｌｏｒｉｄｅ：ＰＶＤＣ）、ポリエチレンテレフタレート（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ：ＰＥＴ）、ポリメチルメタクリレート（Ｐｏｌｙｍｅｔｈｙｌｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ、ＰＭＭＡ）、フェノール樹脂（ｐｈｅｎｏｌｆｏｒｍａｌｄｅｈｙｄｅ：ＰＦ）、メラミン樹脂（ｍｅｌａｍｉｎｅｆｏｒｍａｌｄｅｈｙｄｅ：ＭＦ）、尿素樹脂（ｕｒｅａｆｏｒｍａｌｄｅｈｙｄｅ：ＵＦ）、ポリアセタール（ｐｏｌｙａｃｅｔａｌ、ｐｏｌｙｏｘｙｍｅｔｈｙｌｅｎｅ（ＰＯＭ）、ｐｏｌｙｆｏｒｍａｌｄｅｈｙｄｅ）、アクリル（Ａｃｒｙｌ）樹脂、ポリアミド／ナイロン（ｐｏｌｙａｍｉｄｅ／Ｎｙｌｏｎ  ＰＡ／Ｎｙｌｏｎ）、ポリメチルペンテン（ｐｏｌｙｍｅｔｈｙｌｐｅｎｔｅｎｅ  ＰＭＰ）、ポリカーボネート（ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎａｔｅ  ＰＣ）、ポリビニルアルコール（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌａｌｃｏｈｏｌ  ＰＶＡ）、ポリブテン（ｐｏｌｙｖｕｔｅｎｅ−１：ＰＢ−１）、ブタジエン趣旨（ｂｕｔａｄｉｅｎｒｅｓｉｎｓ  ＢＤＲ）、アクリロニトリルブタジエンスチレン（ａｃｒｙｌｏｎｉｔｒｉｌｅ−ｂｕｔａｄｉｅｎｅｅ  ｓｔｙｒｅｎｅ  ＡＢＳ）、アクリロニトリルスチレン（ａｃｒｙｌｏｎｉｔｒｉｌｅ  ｓｔｙｒｅｎｅ  ＡＳ）、ポリメタクリルスチレン（ｐｏｌｙｍｅｔｈａｃｒｙｌｓｔｙｒｅｎｅ  ＭＳ）、ポリブチレンテレフタレート（ｐｏｌｙｂｕｔｙｌｅｎｅｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ  ＰＢＴ）、ポリアリルスルホン（ｐｏｌｙａｒｙｌｓｕｌｆｏｎ  ＰＡＳＦ）、ポリアリレート（ｐｏｌｙａｒｙｌａｔｅ  ＰＡＲ）、ヒドロキシブチルポリエステル（ｈｙｄｒｏｘｙｂｕｔｙｌ  ｐｏｌｙｅｓｔｅｒ  ＨＢＰ）、ポリアクリロニトリル（ｐｏｌｙａｃｒｙｌｏｎｉｔｒｉｌｅ  ＰＡＮ）、フッ素樹脂（ｆｌｕｏｒｏ  ｒｅｓｉｎｓ  ＦＲ）（ＰＶＤＦ、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＰＦＡ、ＥＴＦＥ、Ｔｅｆｌｏｎ、ＥＣＴＦＥ、ＰＣＴＦＥ）、ポリフェニレンエーテル（ｐｏｌｙｐｈｅｎｙｌｅｎｅｅｔｈｅｒ  ＰＰＥ）、イオノマー（Ｉｏｎｏｍｅｒ）樹脂、纎維強化プラスチック（Ｆｉｂｅｒ  Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ  Ｐｌａｓｔｉｃｓ、ＦＲＰ）、エチレン酢酸ビニル（ｅｔｈｙｌｅｎｅｖｉｎｙｌａｃｅｔａｔｅ  ＥＶＡ）、メチルメタクリレート−アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン（ｍｅｔｈｙｌｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ−ａｃｒｙｌｏｎｉｔｒｉｌｅ−ｂｕｔａｄｉｅｎｅ−ｓｔｙｒｅｎｅ：ＭＡＢＳ）、ポリエチレンナフタレート（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅｎａｐｈｔｈａｌａｔｅ  ＰＥＮ）、シリコーン（ｓｉｌｉｃｏｎｅ）樹脂、エポキシ（ｅｐｏｘｙ）樹脂、ポリエーテルイミド（ｐｏｌｙｅｔｈｅｒｉｍｉｄｅ）、ポリフェニレンスルフィド（ｐｏｌｙｐｈｅｎｙｌｅｎｅ  ｓｕｌｆｉｄｅ  ＰＰＳ）、ポリエテルスルホン （ｐｏｌｙｅｔｈｅｒｓｕｌｆｏｎｅ  ＰＥＳ）、ポリシクロヘキサン−１、４−���メチレンテレフタレート（ｐｏｌｙ（ｃｙｃｌｏｈｅｘａｎｅ−１、４−ｄｉｍｅｔｈｙｌｅｎｅｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）ＰＣＴ）、エチレンビニルアルコール（ｅｔｈｙｌｅｎｅｖｉｎｙｌａｌｃｏｈｏｌ  ＥＶＯＨ）、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ  ＰＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ｐｏｌｙｅｔｈｅｒｅｔｈｅｒｋｅｔｏｎｅ  ＰＥＥＫ）、ポリラクチド（ｐｏｌｙｌａｃｔｉｄｅ、ｐｏｌｙｌａｃｔｉｃ ａｃｉｄ ＰＬＡ）、ポリブチレンスクシナート−アジペート（ｐｏｌｙｂｕｔｙｌｅｎｅｓｕｃｃｉｎａｔｅ−ｃｏ−ａｄｉｐａｔｅ  ＰＢＳＡ）、エコゼン（Ｅｃｏｚｅｎ）及びＴＰＥ（Ｔｈｅｒｍｏ  Ｐｌａｓｔｉｃ  Ｅｌａｓｔｏｍｅｒ）のうちいずれかを含む材質からなる。
【００２３】
また、本発明に係るカバー組立体において、前記第１カバー部材及び前記第２カバー部材の上側に配置され、前記内部容器の上部を取り囲む第３カバー部材をさらに含み、前記第３カバー部材は、前記内部容器の注入口部分を取り囲むキャップ、及び、前記キャップを前記第１カバー部材及び前記第２カバー部材のうちいずれかに連結する連結部を含む。
【００２４】
また、本発明に係るカバー組立体において、前記第１カバー部材及び前記第２カバー部材のそれぞれの内面には、複数個の緩衝突起が形成され、前記緩衝突起は、前記内部容器と前記第１カバー部材との間、及び、前記内部容器と前記第２カバー部材との間に形成される微細な隙間による前記内部容器の震動を防止することができる。
【発明の効果】
【００２５】
上述のような本発明である化学薬品容器保護カバー組立体は、化学物質を収容するガラス瓶の外部を２段以上に分離して結合可能な保護部材で構成することにより、作業者によるハンドリングまたは移動時の衝撃によって前記ガラス瓶の割れが発生しても、その溶液の外部への漏れを最小化して周辺への悪影響を防止する。
【００２６】
本発明は、半導体製造に用いる感光剤（Ｐｈｏｔｏ  Ｒｅｓｉｓｔ）、ＤＳＡ（Ｄｉｒｅｃｔｅｄ  Ｓｅｌｆ  Ａｓｓｅｍｂｌｙ）、ＲＥＬＡＣＳ（Ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ  Ｅｎｈａｎｃｅｍｅｎｔ  ｏｆ  Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ  ｂｙ  Ａｓｓｉｓｔ  ｏｆ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｓｈｒｉｎｋ）、ＳＡＦＩＥＲ（Ｓｈｒｉｎｋ  Ａｓｓｉｓｔ  Ｆｉｌｍ  ｆｏｒ  Ｅｎｈａｎｃｅｄ  Ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ）、ＢＡＲＣ（Ｂｏｔｔｏｍ  Ａｎｔｉ  Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ  Ｃｏａｔｉｎｇ）、ＴＡＲＣ（Ｔｏｐ  Ａｎｔｉ  Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ  Ｃｏａｔｉｎｇ）、Ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ  Ｔｏｐ  Ｃｏａｔｉｎｇ  物質、ＳＯＤ（Ｓｐｉｎ  Ｏｎ  Ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ）、Ｓｐｉｎ  Ｏｎ  Ｈａｒｄ−ｍａｓｋ（Ｓｐｉｎ  Ｏｎ  Ｃａｒｂｏｎ、Ｓｐｉｎ  Ｏｎ  Ｍｅｔａｌ）、ＭＦＨＭ（Ｍｕｌｔｉ  Ｆｕｎｃｔｉｏｎ  Ｈａｒｄ  Ｍａｓｋ）、ＨＭＤＳ、Ｔｈｉｎｎｅｒ（Ｓｏｌｖｅｎｔ）、Ｄｅｖｅｌｏｐｅｒ、Ｓｕｒｆａｃｔａｎｔ、Ｓｌｕｒｒｙなどの高純度化学溶液の入ったガラス瓶が破損した時、これの漏れを防止する。
【００２７】
また、加工できる透明或いは不透明の天然または合成樹脂物質を分離した２段以上の保護部材で結合可能に構成することにより、ガラス瓶の外部を取り囲んで化学物質の漏れを最小化するか、完全に防止できる方案を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１ａ】本発明の一実施例による容器保護のためのカバー組立体の断面図である。
【図１ｂ】脱着可能な取手を説明するための概念断面図である。
【図１ｃ】二つの取手を有する本発明の一実施例による容器保護のためのカバー組立体の断面図である。
【図２】図１のカバー組立体において上部カバー部材が除去された状態の図面である。
【図３】本発明の第１実施例によるカバー組立体の締結構造図面である。
【図４】本発明の第２実施例によるカバー組立体の締結構造図面である。
【図５】本発明の第３実施例によるカバー組立体の締結構造図面である。
【図６】本発明の第４実施例によるカバー組立体の締結構造図面である。
【図７】本発明の第５実施例によるカバー組立体の締結構造図面である。
【図８】本発明の第６実施例によるカバー組立体の締結構造図面である。
【図９】本発明の第７実施例によるカバー組立体の締結構造図面である。
【図１０】本発明の第８実施例によるカバー組立体の締結構造図面である。
【図１１】本発明の他の実施例による容器保護のためのカバー組立体の断面図である。
【図１２】図１１のカバー組立体を構成する上部カバー部材、下部カバー部材、覆い部材が分離した状態を示す図面である。
【図１３】覆い部材の構成を示す図面である。
【図１４】本発明の第９実施例によるカバー組立体の締結構造図面である。
【図１５】本発明の第１０実施例によるカバー組立体の締結構造図面である。
【図１６】本発明のまた他の実施例による容器保護のためのカバー組立体の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、添付の図面を参照して本発明の実施例をさらに詳しく説明する。しかしながら、本発明は、以下で開示される実施例に限定されるのではなく、互いに異なる様々な形態で具現されることができ、単に、本実施例は、本発明の開示が完全になるようにし、通常の知識を持った者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものである。図面上において同一符号は同一要素を指称する。
【００３０】
本発明では、従来技術の問題を解決するために、化学薬品容器保護カバー組立体の様々な実施例を提供する。図１ａ及び図１ｃは、本発明の一実施例による化学薬品容器保護カバー組立体の断面図であり、図１ｂは、脱着可能な取手を説明するための概念断面図であり、図２は、図１のカバー組立体において、第１カバー部材が除去された状態の図面である。図３〜図１０は、本発明の様々な実施例によるカバー組立体の締結構造を図示する。
【００３１】
先ず、本発明の一実施例による化学薬品容器保護カバー組立体（以下、「本組立体」）を説明する。
【００３２】
図１ａに示すように、本カバー組立体１０は、化学物質が収容される内部容器１の一部を取り囲む第１カバー部材１１、内部容器１の他の一部を取り囲む第２カバー部材１５、及び、第１カバー部材１１と第２カバー部材１５とを取り囲む結束部材２０を含む。
【００３３】
本実施例では、化学薬品容器保護カバー組立体が第１カバー部材１１及び第２カバー部材１５で、即ち、２段に分離して結合されることを開示しているが、場合によって、３段以上に分離して結合配置されることも充分可能である。
【００３４】
一体に成形された本カバー組立体１０を内部容器１上に嵌め込む過程で本カバー組立体１０と内部容器１との間に存在する空気層によって密着ができない場合を防止するために、第１カバー部材１１または第２カバー部材１５上に別途の空気排出溝（空気路）が形成されても良い。
【００３５】
また、本カバー組立体の第１カバー部材１００と第２カバー部材２００との内面には、複数個の緩衝突起１５０、２５０が形成され得る。緩衝突起１５０、２５０は、化学薬品容器とカバー組立体との間に形成され得る微細な隙間による容器の動きを防止する機能をする。また、化学薬品容器とカバー組立体との間に加えられる衝撃を緩和する機能をする。
【００３６】
また、本発明は、カバー組立体１０を基準にして第１カバー部材１１及び第２カバー部材１５が前後方に配置される構造であり得る。
【００３７】
第１カバー部材１１及び第２カバー部材１５のそれぞれは、内部容器１の破損時に化学物質の漏れを防止する機能を担うためのものであり、耐化学性に優れてかつ一定以上の剛性を有さなければならない。
【００３８】
第１カバー部材１１及び第２カバー部材１５の材料として用いることができる材質を並べると、次の通りである。
【００３９】
エコゼン（Ｅｃｏｚｅｎ）、ＴＰＥ（Ｔｈｅｒｍｏ  Ｐｌａｓｔｉｃ  Ｅｌａｓｔｏｍｅｒ）、塩化ビニル樹脂（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｃｈｌｏｒｉｄｅ：ＰＶＣ）、ポリエチレン（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ：ＰＥ）、ポリプロピレン（ｐｏｌｙｐｒｏｐｙｌｅｎｅ：ＰＰ）、ポリスチレン（ｐｏｌｙｓｔｙｒｅｎｅ：ＰＳ）、ポリ塩化ビニリデン（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｉｄｅｎｅｃｈｌｏｒｉｄｅ：ＰＶＤＣ）、ポリエチレンテレフタレート（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ：ＰＥＴ）、ポリメチルメタクリレート（Ｐｏｌｙｍｅｔｈｙｌｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ、ＰＭＭＡ）、フェノール樹脂（ｐｈｅｎｏｌｆｏｒｍａｌｄｅｈｙｄｅ：ＰＦ）、メラミン樹脂（ｍｅｌａｍｉｎｅｆｏｒｍａｌｄｅｈｙｄｅ：ＭＦ）、尿素樹脂（ｕｒｅａｆｏｒｍａｌｄｅｈｙｄｅ：ＵＦ）、ポリアセタール（ｐｏｌｙａｃｅｔａｌ、ｐｏｌｙｏｘｙｍｅｔｈｙｌｅｎｅ（ＰＯＭ）、ｐｏｌｙｆｏｒｍａｌｄｅｈｙｄｅ）、アクリル（Ａｃｒｙｌ）樹脂、ポリアミド／ナイロン（ｐｏｌｙａｍｉｄｅ／ＮｙｌｏｎＰＡ／Ｎｙｌｏｎ）、ポリメチルペンテン（ｐｏｌｙｍｅｔｈｙｌｐｅｎｔｅｎｅ  ＰＭＰ）、ポリカーボネート（ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎａｔｅ  ＰＣ）、ポリビニルアルコール（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌａｌｃｏｈｏｌ  ＰＶＡ）、ポリウレタン（ｐｏｌｙｕｒｅｔｈａｎｅ  ＰＵ）、ポリブテン（ｐｏｌｙｖｕｔｅｎｅ−１：ＰＢ−１）、ブタジエン趣旨（ｂｕｔａｄｉｅｎｒｅｓｉｎｓ  ＢＤＲ）、アクリロニトリルブタジエンスチレン（ａｃｒｙｌｏｎｉｔｒｉｌｅ−ｂｕｔａｄｉｅｎｅｅ  ｓｔｙｒｅｎｅ  ＡＢＳ）、アクリロニトリルスチレン（ａｃｒｙｌｏｎｉｔｒｉｌｅ  ｓｔｙｒｅｎｅ  ＡＳ）、ポリメタクリルスチレン（ｐｏｌｙｍｅｔｈａｃｒｙｌｓｔｙｒｅｎｅ  ＭＳ）、ポリブチレンテレフタレート（ｐｏｌｙｂｕｔｙｌｅｎｅｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ  ＰＢＴ）、ポリアリルスルホン（ｐｏｌｙａｒｙｌｓｕｌｆｏｎ  ＰＡＳＦ）、ポリアリレート（ｐｏｌｙａｒｙｌａｔｅ  ＰＡＲ）、ヒドロキシブチルポリエステル（ｈｙｄｒｏｘｙｂｕｔｙｌ  ｐｏｌｙｅｓｔｅｒ  ＨＢＰ）、ポリアクリロニトリル（ｐｏｌｙａｃｒｙｌｏｎｉｔｒｉｌｅ  ＰＡＮ）、フッ素樹脂（ｆｌｕｏｒｏ  ｒｅｓｉｎｓ  ＦＲ）（ＰＶＤＦ、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＰＦＡ、ＥＴＦＥ、Ｔｅｆｌｏｎ、ＥＣＴＦＥ、ＰＣＴＦＥ）、ポリフェニレンエーテル（ｐｏｌｙｐｈｅｎｙｌｅｎｅｅｔｈｅｒＰＰＥ）、イオノマー（Ｉｏｎｏｍｅｒ）樹脂、纎維強化プラスチック（Ｆｉｂｅｒ  Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ  Ｐｌａｓｔｉｃｓ、ＦＲＰ）、エチレン酢酸ビニル（ｅｔｈｙｌｅｎｅｖｉｎｙｌａｃｅｔａｔｅ  ＥＶＡ）、メチルメタクリレート−アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン（ｍｅｔｈｙｌｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ−ａｃｒｙｌｏｎｉｔｒｉｌｅ−ｂｕｔａｄｉｅｎｅ−ｓｔｙｒｅｎｅ：ＭＡＢＳ）、ポリエチレンナフタレート（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅｎａｐｈｔｈａｌａｔｅ  ＰＥＮ）、シリコーン（ｓｉｌｉｃｏｎｅ）樹脂、エポキシ（ｅｐｏｘｙ）樹脂、ポリエーテルイミド（ｐｏｌｙｅｔｈｅｒｉｍｉｄｅ）、ポリフェニレンスルフィド（ｐｏｌｙｐｈｅｎｙｌｅｎｅ  ｓｕｌｆｉｄｅ  ＰＰ��）、ポリエテルスルホン （ｐｏｌｙｅｔｈｅｒｓｕｌｆｏｎｅ  ＰＥＳ）、ポリシクロヘキサン−１、４−ジメチレンテレフタレート（ｐｏｌｙ（ｃｙｃｌｏｈｅｘａｎｅ−１、４−ｄｉｍｅｔｈｙｌｅｎｅｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）ＰＣＴ）、エチレンビニルアルコール（ｅｔｈｙｌｅｎｅｖｉｎｙｌａｌｃｏｈｏｌ  ＥＶＯＨ）、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ  ＰＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ｐｏｌｙｅｔｈｅｒｅｔｈｅｒｋｅｔｏｎｅ  ＰＥＥＫ）、ポリラクチド（ｐｏｌｙｌａｃｔｉｄｅ、ｐｏｌｙｌａｃｔｉｃ  ａｃｉｄ  ＰＬＡ）、ポリブチレンスクシナート −アジペート（ｐｏｌｙｂｕｔｙｌｅｎｅｓｕｃｃｉｎａｔｅ−ｃｏ−ａｄｉｐａｔｅ  ＰＢＳＡ）、セロハンゴム製、紙製または加工紙製、金属製、金属管、木材類、ガラス、陶磁器、ほうろう、澱粉製（Ｓｔａｒｃｈ）である。
【００４０】
本カバー組立体によれば、上記に並べた材料のうちいずれか一つ以上を組み合わせて第１カバー部材１１及び第２カバー部材１５を製造することができる。
【００４１】
図１ａを参照すると、第１カバー部材１１は、第２カバー部材１５上に位置することができる。
【００４２】
図２は、第１カバー部材１１及び第２カバー部材１５のうち第１カバー部材１１が内部容器１の表面から除去された状態を図示する。
【００４３】
即ち、内部容器１上に化学物質が注入された以後に、本カバー組立体１０によって内部容器１は密封され、このような状態で半導体生産ラインのような需要先に移送される。
【００４４】
また、本カバー組立体１０は、第１カバー部材１１及び第２カバー部材１５のうちいずれかに形成される取手８０を含む。
【００４５】
移送が完了した後に、内部容器１の使用のために作業者は、第１カバー部材１１上に一体或いは個別に結合された取手８０を利用して第１カバー部材１１を第２カバー部材１５から引き離す。
【００４６】
特に、取手８０は、第１カバー部材１１及び第２カバー部材１５のうちいずれかに脱着可能に形成され得る。これは、取手８０が第１カバー部材１１に個別に結合された場合である。
【００４７】
取手８０は、アイスクリームコーンの封が開けられる方式で第１カバー部材１１から脱着できる。例示として、図１ｂを参照すれば、第１カバー部材１１には取手８０の末端が挿入される孔を含む。このとき、孔の内周面には、所定の破断溝８８が形成される。これにより、孔は、その内周面と取手８０の末端とが摩擦接触できるマイナス公差を有し、その入口がその内部よりも小さい幅で形成される。このような構造により、作業者がアイスクリームコーンの封を開けるのと類似した方法で取手８０を第１カバー部材１１から脱着することができる。このような取手は、一つ以上備えられ得る。参考として、図１ａには、このような取手８０が一つ備えられたことが示されている。
【００４８】
また、図１ｃを参照すると、本発明では、内部容器１の外面に本カバー組立体１０が結合された後、組立てが完了した容器１の移動のために、別途の移動用取手８９が付着される。移動用取手８９は、複数個が備えられ得る。特に、移動用取手８９は、偶数個備えられ得る。このような場合、偶数個の移動用取手８９は、二つずつ互いに対向して配置される。例示として、図１ｂに示すように、移動用取手８９は、二つが備えられ得るが、このような場合、二つの移動用取手８９は、互いに対向して配置される。
【００４９】
次に、図３〜図１０を参照して、本カバー組立体１０をなす第１カバー部材１１及び第２カバー部材１５を結合させる結束部材の様々な実施例を説明する。
【００５０】
図３に示すように、結束部材の第１実施例は、第１カバー部材１１の内側に形成された締結溝上に第２カバー部材１５の内側から突き出された結束体２０が結合される構造である。
【００５１】
図４に示すように、結束部材の第２実施例３０は、第１カバー部材１１の内側から突き出された結束体３１が第２カバー部材１５の内側に形成された締結溝に結合される構造である。ここで、結束部材３０は、第１カバー部材１１の下端及び第２カバー部材１５の間に配置される別途の密封材３３を含む。
【００５２】
一方、図５に示された結束部材の第３実施例４０は、別途の密封材３３なしに第１カバー部材１１の内側から突き出された結束体４１が第２カバー部材１５の内側に形成された締結溝に結合される構造であり、ここで、第１カバー部材１１の下端４３は、第２カバー部材１５上に直接結合される。
【００５３】
図６に示すように、結束部材の第４実施例５０は、第１カバー部材１１の内側から突き出された結束体５１が第２カバー部材１５上に形成された締結溝上に結合される構造である。結束体５１は、その上端または下端の一部領域が突き出された構造であり得るが、前記突き出された部分が前記締結溝に別途に形成された引っ掛かり点（ｌｏｃｋｉｎｇ  ｐｏｉｎｔ）に対応することができる。ここで、結束部材５０は、第１カバー部材１１の下端及び第２カバー部材１５の間に配置される別途の密封材５３を含む。密封材５３は、第２カバー部材１５の上端に形成された溝上に安着される構造であり得る。
【００５４】
図７に示すように、結束部材の第５実施例６０は、第１カバー部材１１の下端から段差が付けられる形で突き出された結束体が、第２カバー部材１５上に形成された段差部の下端上に結合される構造である。
【００５５】
図８に示すように、結束部材の第６実施例７０は、結束体７１が第１カバー部材１１の内側から第２カバー部材１５に向かって突き出して形成される。このとき、第２カバー部材１５の上端には、結束体７１と上下方向に互いに交番して配置されるように結束体７１に向かう方向に突き出される補助結束体７３が形成される。
【００５６】
図８に示すように、第１結束体７１及び補助結束体７３は、上下方向に互いに交互に配置される構造であり得る。このとき、結束部材は、延長部を含み得る。延長部は、第１結束体７１を第１カバー部材１１に連結し、第２結束体７３を第２カバー部材１５に連結することができる。このような構造により、第１結束体７１と補助結束体７３との結合された状態を維持する。
【００５７】
また、図９に示すように、結束部材の第７実施例において、第１カバー部材１１は、その下端が第２カバー部材１５の上端の外周面を覆って配置される。このとき、結束体８１は、第１カバー部材１１の下端の内周面から突き出して形成される鋸歯状に形成される。また、第２カバー部材１５の上端の外周面には、補助結束体８３が鋸歯状に突き出して形成される。第１結束体８１と補助結束体８３との噛み合いによって第１カバー部材１１と第２カバー部材１５とが結合される。
【００５８】
また、図１０の（ａ）に示すように、結束部材の第８実施例において、第１カバー部材１１は、その下端が第２カバー部材１５の上端の外周面を覆って配置される場合、結束体は、第１カバー部材１１の下端の内周面に形成され、ネジ山状である。このとき、第２カバー部材１５には、補助結束体が形成され得る。補助結束体９３は、第２カバー部材１５の上端の外周面に形成され、結束体と噛み合うネジ山状である。結束体と補助結束体９３とのネジ結合によって第１カバー部材１１と第２カバー部材１５とが結合される。
【００５９】
結束体と補助結束体９３とのネジ結合のために、第１カバー部材１１と第２カバー部材１５とは互いに対して相対的に回転することができる。相対的回転とは、止められた状態の第２カバー部材１５に対して第１カバー部材１１が回転するか、止められた状態の第１カバー部材１１に対して第２カバー部材１５が回転すること、または、他の例として、第１カバー部材１１と第２カバー部材１５とが互いに逆方向に回転することを意味する。
【００６０】
また、図１０の（ｂ）に示すように、第８実施例において、第１カバー部材１１の下面には、複数個の鋸歯１１１が第１カバー部材１１の回転方向と反対する方向に斜めに形成され、第２カバー部材１５の複数個の鋸歯１１１と接触される部分には、鋸歯１１１と噛み合う噛み合い部が第２カバー部材１５の回転方向と反対する方向に斜めに形成される。これにより、第１カバー部材１１と第２カバー部材１５との締結が緊密になり、一定以上の外力が加えられない限り、第１カバー部材１１と第２カバー部材１５とのネジ結合が解除されることが防止されることができる。
【００６１】
また、本カバー組立体は、第１カバー部材１１及び第２カバー部材１５の上側に配置され、内部容器１の上部を取り囲む第３カバー部材を含み得る。
【００６２】
第３カバー部材は、内部容器１の注入口部分を取り囲むキャップ、及び、キャップを第１カバー部材１１及び第２カバー部材１５のうちいずれかに連結する連結部を含み得る。このような第３カバー部材については、以下の本発明の他の実施例による化学薬品容器保護カバー組立体で詳しく後述する。
【００６３】
参考として、本発明の一実施例と他の実施例のそれぞれの構成は、互いに交差して適用できることは自明である。
【００６４】
図１１及び図１２に示すように、本発明の他の実施例による化学薬品容器保護カバー組立体は、化学物質が収容される内部容器１の外面を取り囲む形態で配置され、具体的には、第１カバー部材１００、第２カバー部材２００、前記第１カバー部材１００と第２カバー部材２００とが連結される領域に形成される結束部材３００、及び、第１カバー部材１００の上側に配置される第３カバー部材４００を含む。
【００６５】
前記第１カバー部材１００と第２カバー部材２００とは、一例として、断面内径が１６８.２ｍｍ〜１７１.５ｍｍであり、その内部に化学薬品容器が密着収容され、第１カバー部材１００と第２カバー部材２００との厚さは０.１ｍｍ〜１６.０ｍｍである。
【００６６】
第１カバー部材１００は、化学薬品容器の上部を取り囲む部位であって、第２カバー部材２００と第３カバー部材４００との間に連結され、化学薬品容器を保護する。第１カバー部材１００の外被上部には、取手（不図示）が形成されることができ、前記取手は、互いに対称する位置に二つ以上形成されることができる。
【００６７】
第２カバー部材２００は、化学薬品容器の下部を取り囲む部位であって、化学薬品容器の底面を完全に密閉させ、前記容器の中段部まで延長されて第１カバー部材１００と結束部材３００とによって密封される構造である。第２カバー部材２００には、容器の水位をチェックするための透明表示窓（不図示）が高さ方向に形成されることができる。
【００６８】
第１カバー部材１００と第２カバー部材２００とは、断面内径が１６８.２ｍｍ〜１７１．５ｍｍであり、互いに一致する内径を有するように形成されることができる。第１カバー部材１００と第２カバー部材２００とが連結される結束部材３００は、化学薬品容器の各部位のうち容器断面の外径が最も大きい部分で形成されることが可能になる。これは、第１カバー部材１００と第２カバー部材２００との断面内径が１６８.２ｍｍ未満の場合には、半導体工程で用いられる化学薬品容器の規格である１ガロンの容器に符合しなくなり、化学薬品容器が挿入されることができず、１７１.５ｍｍを超える場合は、化学薬品容器は容易に挿入されることができるが、化学薬品容器がカバー組立体の内部で搖れるようになり、破損の危険が常在するようになるという問題点に起因する。
【００６９】
仮に、半導体工程ラインに搭載するとき、カバー組立体を再度分離するようになれば、カバー組立体を化学薬品容器から引き離すのに時間がかかり、引き離す途中に化学薬品容器が破損され得る。
【００７０】
第１カバー部材１００、第２カバー部材２００、結束部材３００及び第３カバー部材４００は、プラスチック材質であっても良く、好ましくは、上述のカバー部材の材料群から選択されたいずれかを含む。上記のような材質は、化学薬品容器の破損が発生しても、容器に格納されている化学薬品によって溶解され難い材質であり、半導体工程で用いられる化学薬品と溶解度の差異が比較的大きいプラスチックである。
【００７１】
第１カバー部材１００と第２カバー部材２００との厚さは、上述のように０.１ｍｍ〜１６.０ｍｍであり得るが、これは、第１カバー部材１００と第２カバー部材２００との厚さが０.１ｍｍ未満の場合は、化学薬品容器の破損によって生じるガラス破片により化学薬品が液漏れすることがあり、１６.０ｍｍを超える厚さの場合は、カバー組立体を分離しなくては、半導体工程ラインに化学薬品容器を搭載することができないという点に起因し得る。
【００７２】
結束部材３００は、第１カバー部材１００と下部カバー２０とが連結される領域である。結束部材３００は、第１カバー部材１００の下側端部に円弧に沿って形成される第１結束手段と、下部カバーの上側端部に円弧に沿って形成される第２結束手段とを含む。
【００７３】
図１２を参照すると、第３カバー部材４００は、第１カバー部材１００の上側に連結され、化学薬品容器の上部を密閉させる。第３カバー部材４００は、化学薬品容器の上部を取り囲むキャップ４１０と、キャップ４１０を第１カバー部材１００及び第２カバー部材２００のうちいずれかと連結させる連結部４２０とを含む。例示として、連結部４２０は、キャップ４１０を第１カバー部材１００と連結させることができる。キャップ４１０は、内部容器１の注入口部分を取り囲むことができる。
【００７４】
図１３に示すように、第３カバー部材４００は、キャップ４１０と連結部４２０とを含んでおり、連結部４２０は、周回方向に破断させられた切断溝４２３が形成された開放用リング４２２と、開放用リング４２２の一端に結合される突出部４２４とを含む。また、連結部４２０には、結束突起４２５が形成されており、第１カバー部材１００の上側端部に形成されている締結溝１２５と結合して固定されることができ、逆に、連結部４２０に締結溝が形成され、第１カバー部材１００に結束突起が形成されることもできる。
【００７５】
連結部４２０に形成された突出部４２４は、指で把持した状態で突出部４２４に力を加えるようになると、周回方向に形成されている切断溝４２３によって開放用リング４２２が脱落されながら、第１カバー部材１００と第３カバー部材４００とが引き離される。
【００７６】
第３カバー部材４００は、保護している化学薬品容器の蓋部分にキャップ４１０が密着されていて液漏れの危険が少なく、使用時には、化学薬品の吐出のために迅速に除去されなければならない部分であって、連結部４２０を第３カバー部材４００に形成することで、容易に第１カバー部材１００から引き離すことができる。
【００７７】
また、連結部４２０には、連結部リード４２６が形成されており、第１カバー部材１００の上側端部を密閉収容できる構造に形成されることができ、連結部リード４２６によって第３カバー部材４００と第１カバー部材１００とが連結された状態で容器方向に陷沒されるか引き離され難いようにし、模様を維持させる。
【００７８】
結束部材３００は、本発明の一実施例で開示された具現例の他に以下のように具現されることもできる。
【００７９】
結束部材３００は、第１カバー部材１００の下側端部に形成される第１結束手段と第２カバー部材２００の上側端部に形成される第２結束手段とが結合される構造に形成され、第１結束手段と第２結束手段のうちいずれかは突き出された結束突起３２０であり、他のいずれかは、結束突起３２０と結合される段差部３１０であり得る。また、段差部３１０と結束突起３２０との間にオーリング３３０をさらに含むことができる。
【００８０】
図１４に示すように、結束部材３００は、段差状の結束体３１０、及び、補助結束体３２０を含む。しかしながら、本発明の権利範囲が必ずしもこれに制限されるのではない。
【００８１】
段差状の結束体３１０は、外側に突き出された突状をなしており、補助結束体３２０は、断面が斜線状を有するようにして、第１カバー部材１００と第２カバー部材２００との結合は容易でありながら、分離されないように構成されることができる。
【００８２】
図１５に示すように、他の実施例による結束部材３００’は、第１カバー部材１００の下側端部に形成される結束体と第２カバー部材２００の上側端部に形成される補助結束体とを含んでいる。
【００８３】
結束体は、補助結束体３２０を収容する収容部３１０’と結束リード３３０’とを含んでおり、突起と溝とが形成されている。
【００８４】
また、補助結束体は、第２カバー部材２００の上側端部に形成され、第１結束手段と同様に突起と溝とが形成されており、収容部３１０’と結束リード３３０’とによって形成されている溝に挿入される挿入結束体３２０’を含む。
【００８５】
即ち、結束体と補助結束体とは、収容結束体３１０’と挿入結束体３２０’に互いに対応して形成されている突起と溝とによって結合され、結束リード３３０’によって第１カバー部材１００が容器方向に押し付けられることを防止することができる。
【００８６】
一方、図１６に示すように、本カバー組立体の第１カバー部材１００と第２カバー部材２００との内面には、複数個の緩衝突起１５０、２５０が形成されることができる。緩衝突起１５０、２５０は、化学薬品容器とカバー組立体との間に形成され得る微細な隙間による容器の動きを防止する機能をする。また、化学薬品容器とカバー組立体との間に加えられる衝撃を緩和する機能をする。
【００８７】
キャップ４１０の上側内面には、化学薬品容器の栓と接触して栓に加えられる衝撃を緩和する緩衝部材４５０が付着し得る。
【００８８】
結局、緩衝突起１５０、２５０と緩衝部材４５０とは、カバー組立体内で化学薬品容器の上下左右の動きを制裁し、化学薬品容器とカバー組立体との間の加えられ得る衝撃を防止するか緩和することができる。
【００８９】
上記で説明したカバー組立体と容器との結合方法を図１１〜図１２を通じてみると、化学薬品容器１を第２カバー部材２００に挿入する。第２カバー部材２００が挿入されている状態で第１カバー部材１００を化学薬品容器１の上部で接近させ、第２カバー部材２００に形成されている第２結束手段と第１カバー部材１００に形成されている第１結束手段とが密閉固定できるように、第１カバー部材１００の挿入方向に力を加える。第１カバー部材１００の上部に連結される第３カバー部材４００は予め連結されていても良い。
【００９０】
第１カバー部材１００と第２カバー部材２００との間の結束部材３００が密閉固定されれば、結束部材３００の外面に沿って密封テープ（不図示）を巻いて再び密閉させることができる。このような密封テープは、半導体工場で許容される全てのテープの種類を含む。つまり、半導体工場で許容される全てのテープが密封テープとして適用され得る。
【００９１】
上述のような本発明は、化学物質を収容するガラス瓶の外部を２段以上に結合可能な保護部材で構成することにより、作業者によるハンドリングまたは移動時に衝撃によって前記ガラス瓶の割れが発生しても、その溶液の外部への漏れを最小化して周辺への悪影響を防止する。
【００９２】
以上で本発明の好ましい実施例を説明したが、本発明は、様々な変化と変更及び均等物を用いることができる。本発明は、前記実施例を適宜変形して同様に応用できることが明確である。従って、上記内容は、下記特許登録の請求の範囲の限界によって決められる本発明の範囲を限定するのではない。
【００９３】
一方、本発明の詳細な説明では、具体的な実施例について説明したが、本発明の範囲から離脱しない限度内で様々な変形が可能であることは、当該分野で通常の知識を持った者において自明である。
【図１ａ】
2017523946.tif 000003
【図１ｂ】
2017523946.tif 000004
【図１ｃ】
2017523946.tif 000005
【図２】
2017523946.tif 000006
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2017523946.tif 000010
【図７】
2017523946.tif 000011
【図８】
2017523946.tif 000012
【図９】
2017523946.tif 000013
【図１０（ａ）】
2017523946.tif 000014
【図１０（ｂ）】
2017523946.tif 000015
【図１１】
2017523946.tif 000016
【図１２】
2017523946.tif 000017
【図１３】
2017523946.tif 000018
【図１４】
2017523946.tif 000019
【図１５】
2017523946.tif 000020
【図１６】
2017523946.tif 000021
【国際調査報告】
2017523946.tif 000022
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