(57)【要約】  ウェブを処理するための方法及びシステムが開示される。ウェブ（４０２）は、第１の表面、第１の表面の裏側の第２の表面を有し、磁性材料を含む。例示的システムは、ウェブの第１の表面が１つ以上の処理工程を経る間、ウェブを支持するように構成される処理床（２０２）を含む。このシステムはまた、ウェブの中心部（４０３）を処理床に向かって引っ張る磁力をウェブに対して及ぼすように、処理床に対して位置付けられる磁石（３００）も含む。このシステムは更に、処理床（２０２）上でウェブを動かすように構成されるコンベアベルト（４０４）を含む。コンベアベルト（４０４）は、第１の接触表面、及び第１の接触表面の裏側の第２の接触表面を有する。第１の接触表面は、ウェブの第２の表面に接触するように構成され、第２の接触表面は、処理床に接触するように構成される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の表面、前記第１の表面の裏側の第２の表面を有し、かつ磁性材料を含むウェブを処理するためのシステムであって、
処理床であって、前記処理床が、前記ウェブの前記第１の表面が１つ以上の処理工程を経る間、前記ウェブを支持するように構成され、前記処理床が、平坦面を有する中心部及び曲面を有する側部を含む、処理床と、
複数の磁石であって、前記複数の磁石が、前記ウェブを前記処理床に向かって引っ張る磁力を前記ウェブに対して及ぼすように、前記処理床に対して位置付けられ、前記磁力が、前記ウェブが前記処理床の前記平坦面及び曲面に対して実質的に適合するように前記ウェブを成形するのに十分である、複数の磁石と、
前記ウェブが、前記処理床の前記平坦面及び曲面に対して実質的に適合するように前記磁力によって成形される間、前記処理床上で前記ウェブを動かすように構成されるコンベアベルトであって、前記コンベアベルトが、第１の接触表面、及び前記第１の接触表面の裏側の第２の接触表面を有し、前記第１の接触表面が、前記ウェブの前記第２の表面に接触するように構成され、前記第２の接触表面が、前記処理床に接触するように構成される、コンベアベルトと、を備える、前記システム。
【請求項２】
前記コンベアベルトの前記第１の接触表面が、前記ウェブが前記コンベアベルトと共に動くように、前記ウェブの前記第２の表面に対してトラクションを適用するように構成され、前記コンベアベルトの第２の接触表面が、前記処理床の前記平坦面上を摺動するように構成される、請求項１に記載の前記システム。
【請求項３】
前記磁石が、前記処理床に埋め込まれる、請求項１または２に記載の前記システム。
【請求項４】
前記処理床の前記曲面が、前記処理床の前記平坦面の両側から上向きに延在する、請求項１〜３のいずれかに記載の前記システム。
【請求項５】
前記ウェブが、前記処理床の前記平坦面及び曲面に対して実質的に適合するように前記磁力によって成形されるとき、トラフ形状を有し、前記トラフ形状が、前記ウェブの前記第１の表面が前記１つ以上の処理工程を経る間、前記ウェブの前記第１の表面上に流体を保持することが可能である、請求項１〜４のいずれかに記載の前記システム。
【請求項６】
前記処理床の上側に位置付けられる流体送達装置であって、前記ウェブが前記トラフ形状を有する間、流体形態の１つ以上の化学物質を前記ウェブの前記第１の表面上に送達するように構成される、流体送達装置を更に備える、請求項５に記載の前記システム。
【請求項７】
前記処理床の上側に位置付けられる流体攪拌装置であって、前記ウェブが前記トラフ形状を有する間、流体形態の前記１つ以上の化学物質を前記ウェブの前記第１の表面上で攪拌するように構成される、流体攪拌装置を更に備える、請求項６に記載の前記システム。
【請求項８】
前記処理床が、異なる温度に加熱される少なくとも２つのセクションを備える、請求項１〜７のいずれかに記載の前記システム。
【請求項９】
前記処理床の前記少なくとも２つのセクション間に配置され、前記２つのセクションを互いから熱的に隔離するように構成される、少なくとも１つの熱仕切りを更に備える、請求項８に記載の前記システム。
【請求項１０】
前記１つ以上の処理工程が、光起電力電池の製作に関する、請求項１〜９のいずれかに記載の前記システム。
【請求項１１】
第１の表面、前記第１の表面の裏側の第２の表面を有し、かつ磁性材料を含むウェブを処理するための方法であって、
前記ウェブの前記第１の表面が１つ以上の処理工程を経る間、処理床を用いて前記ウェブを支持することであって、前記処理床が、平坦面を有する中心部及び曲面を有する側部を含む、支持することと、
前記ウェブを前記処理床に向かって引っ張るように前記処理床に対して位置付けられた複数の磁石を用いて、前記ウェブに対して磁力を印加することであって、前記磁力が、前記ウェブが前記処理床の前記平坦面及び曲面に対して実質的に適合するように前記ウェブを成形するのに十分である、印加することと、
前記ウェブが、前記処理床の前記平坦面及び曲面に対して実質的に適合するように前記磁力によって成形される間、コンベアベルトを用いて前記処理床上で前記ウェブを動かすことであって、前記コンベアベルトが、第１の接触表面、及び前記第１の接触表面の裏側の第２の接触表面を有し、前記第１の接触表面が、前記ウェブの前記第２の表面に接触するように構成され、前記第２の接触表面が、前記処理床に接触するように構成される、動かすことと、を含む、前記方法。
【請求項１２】
前記ウェブが前記処理床上を動く間、流体形態の１つ以上の化学物質を前記ウェブの前記第１の表面上に送達することと、
前記１つ以上の化学物質に接触することなく、送風機のアレイを用いて、流体形態の前記１つ以上の化学物質を前記ウェブの第１の表面上で攪拌することと、を更に含む、請求項１１に記載の前記方法。
【請求項１３】
用いて前記処理床上で前記ウェブを動かすことが、
前記ウェブが前記コンベアベルトと共に動くように、前記ウェブの前記第２の表面に対して、前記コンベアベルトの前記第１の接触表面によるトラクションを適用することであって、前記コンベアベルトの第２の接触表面が、前記処理床の前記平坦面上を摺動するように構成される、適用することを含む、請求項１１または１２に記載の前記方法。
【請求項１４】
前記基材が、ステンレス鋼支持体及び吸収層を備え、前記化学物質流体が、硫化カドミウムの前駆体を含む、請求項１１〜１３のいずれかに記載の前記方法。
【請求項１５】
第１の表面、前記第１の表面の裏側の第２の表面を有し、かつ磁性材料を含むウェブを処理するための装置であって、
前記ウェブを支持するように構成される処理床に埋め込まれる複数の磁石であって、前記処理床が、平坦面を有する中心部と、前記処理床の前記平坦面の両側から上向きに延在する曲面を有する側部とを備え、前記複数の磁石が、前記ウェブを前記処理床に向かって引っ張る磁力を前記ウェブに対して印加して、前記処理床の前記平坦面及び曲面に対して実質的に適合するトラフ形状へと前記ウェブを成形するように構成される、複数の磁石と、
前記ウェブが、前記処理床の前記平坦面及び曲面に対して実質的に適合するように前記磁力によって成形される間、前記処理床上で前記ウェブを動かすように構成されるコンベアベルトであって、前記コンベアベルトが、第１の接触表面、及び前記第１の接触表面の裏側の第２の接触表面を有し、前記第１の接触表面が、前記ウェブの前記第２の表面に接触するように構成され、前記第２の接触表面が、前記処理床に接触するように構成される、コンベアベルトと、を備える、前記装置。
【請求項１６】
前記処理床の上側に位置付けられ、前記ウェブが前記トラフ形状を有する間、流体形態の１つ以上の化学物質を前記ウェブの前記第１の表面上に送達するように構成される流体送達デバイスであって、前記トラフ形状が、前記ウェブの前記第１の表面上に前記１つ以上の化学物質を保持することが可能である、流体送達デバイスを更に備える、請求項１４に記載の前記装置。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
関連出願の相互参照
本出願は、２０１３年１２月２０日に出願された米国仮出願第６１／９１８，７４８号の優先権を主張し、その開示は、ここにその全体が参照により組み込まれる。
【技術分野】
【０００２】
本発明は、ウェブベース化学浴析出法に関する。
【０００３】
実施例において、可撓性基材上の薄膜太陽電池としては、薄金属箔（例えば、ステンレス鋼）上に配置される非晶質シリコン、及び金属性またはポリイミド箔上の銅インジウムガリウム二セレン化物（ＣＩＧＳ）が挙げられる。薄膜テルル化カドミウム（ＣｄＴｅ）太陽電池は、ガラス上で製造されてもよいが、また、可撓性基材上で製造されてもよい。太陽電池の製造は、可撓性基材上における層の析出及び形成を伴い得る。
【発明の概要】
【０００４】
一態様において、本開示は、ウェブを処理するためのシステムについて記載し、このウェブは、第１の表面、第１の表面の裏側の第２の表面を有し、磁性材料を含む。本システムは処理床を含み、この処理床は、ウェブの第１の表面が１つ以上の処理工程を経る間、ウェブを支持するように構成され、処理床は、平坦面を有する中心部及び曲面を有する側部を含む。本システムはまた、複数の磁石も含み、複数の磁石は、ウェブを処理床に向かって引っ張る磁力をウェブに対して及ぼすように、処理床に対して位置付けられ、磁力は、ウェブが処理床の平坦面及び曲面に対して実質的に適合するようにウェブを成形するのに十分である。本システムは更に、ウェブが、処理床の平坦面及び曲面に対して実質的に適合するように磁力によって成形される間、処理床上でウェブを動かすように構成されるコンベアベルトを含む。コンベアベルトは、第１の接触表面、及び第１の接触表面の裏側の第２の接触表面を有し、第１の接触表面は、ウェブの第２の表面に接触するように構成され、第２の接触表面は、処理床に接触するように構成される。
【０００５】
別の態様において、本開示は、ウェブを処理するための方法について記載し、このウェブは、第１の表面、第１の表面の裏側の第２の表面を有し、磁性材料を含む。本方法は、ウェブの第１の表面が１つ以上の処理工程を経る間、処理床を用いてウェブを支持することを含み、処理床は、平坦面を有する中心部及び曲面を有する側部を含む。本方法はまた、ウェブを処理床に向かって引っ張るように処理床に対して位置付けられた複数の磁石を用いて、ウェブに対して磁力を印加することを含み、磁力は、ウェブが処理床の平坦面及び曲面に対して実質的に適合するようにウェブを成形するのに十分である。本方法は更に、ウェブが、処理床の平坦面及び曲面に対して実質的に適合するように磁力によって成形される間、コンベアベルトを用いて処理床上でウェブを動かすことを含む。コンベアベルトは、第１の接触表面、及び第１の接触表面の裏側の第２の接触表面を有し、第１の接触表面は、ウェブの第２の表面に接触するように構成され、第２の接触表面は、処理床に接触するように構成される。
【０００６】
更なる別の態様において、本開示は、ウェブを処理するための装置について記載し、このウェブは、第１の表面、第１の表面の裏側の第２の表面を有し、磁性材料を含む。本装置は、ウェブを支持するように構成される処理床に埋め込まれる複数の磁石を含み、処理床は、平坦面を有する中心部と、処理床の平坦面の両側から上向きに延在する曲面を有する側部とを含み、複数の磁石は、ウェブを処理床に向かって引っ張る磁力をウェブに対して印加して、処理床の平坦面及び曲面に対して実質的に適合するトラフへとウェブを成形するように構成される。本装置はまた、ウェブが、処理床の平坦面及び曲面に対して実質的に適合するように磁力によって成形される間、処理床上でウェブを動かすように構成されるコンベアベルトも含む。コンベアベルトは、第１の接触表面、及び第１の接触表面の裏側の第２の接触表面を有し、第１の接触表面は、ウェブの第２の表面に接触するように構成され、第２の接触表面は、処理床に接触するように構成される。
【０００７】
前述の概要は例証的なものに過ぎず、いかようにも限定的であることを意図しない。上述された例証的態様、実施形態、及び特色に加えて、更なる態様、実施形態、及び特色が、図面及び以下の発明を実施するための形態への参照から明らかとなるであろう。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】例示的実施形態に従う、移動ウェブを成形するための方法を図示するフローチャートである。
【図２Ａ】例示的実施形態に従う、ウェブを処理するためのシステムを図示する。
【図２Ｂ】例示的実施形態に従う、図２Ａに示されるシステムの一部分を図示する。
【図２Ｃ】例示的実施形態に従う、図２Ｂに図示される一部分内の処理床を図示する。
【図３Ａ】例示的実施形態に従う、処理床の側部を図示する。
【図３Ｂ】例示的実施形態に従う、側部に埋め込まれた磁石のアレイを図示する。
【図４】例示的実施形態に従う、処理床の平坦面及び曲面に適合するウェブを図示する。
【図５】例示的実施形態に従う、処理床とウェブとの間に配置されるコンベアベルトを図示する。
【図６】例示的実施形態に従う、ウェブ上の流体混合物から層を形成するための方法を図示するフローチャートである。
【図７】例示的実施形態に従う、流体混合物の第１の流体ストリーム及び流体混合物の第２の流体ストリームをカスケードデバイス上に送出するための流体送達装置を図示する。
【図８Ａ】例示的実施形態に従う、ウェブ上で流体混合物を攪拌するための流れパターンを生成するための流体攪拌装置を図示する。
【図８Ｂ】例示的実施形態に従う、図８Ａに描写される流体攪拌装置の側面図を図示する。
【図９】例示的実施形態に従う、処理床のセクション間に熱的差異を提供するための装置を図示する。
【図１０】例示的実施形態に従う、残留材料及び破片の除去用の流体除去装置を図示する。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下の発明を実施するための形態では、添付の図面を参照して、開示されるシステム及び方法の種々の特色及び機能について記載する。図面中、文脈が別途規定しない限り、類似の記号は類似の構成要素を特定する。本明細書に記載される例証的システム及び方法の実施形態は、限定的であることを意味しない。開示されるシステム及び方法のある特定の態様は、多様な異なる構成で配列及び組み合わせることができ、これらの全てが本明細書において企図されることが、容易に理解され得る。
【００１０】
本明細書で使用する場合、用語「光起電力電池」（本明細書では「太陽電池」とも）は、電磁放射線（もしくは電磁エネルギー）、または電磁放射線の所定の波長もしくは波長分布に対してデバイスが曝露された際、電子（または電気）を生成するように構成される光活性材料（または吸収材）を含むデバイスを指す。太陽電池は、電圧レベルを上昇させ、さもなくば高電流に起因して起こり得る抵抗損失を最小化するため、他の類似の太陽電池と直列に電気的に接続されてもよい。一部の実施例においては、多数の太陽電池を連続的に接続させ、数メートルの長さの太陽モジュールへと統合することができる。
【００１１】
光起電力電池の形成は、薄膜光吸収半導体材料の利用を伴い得る。例示的な光起電力電池は、ステンレス鋼ウェブ基材を含み得る。ステンレス鋼ウェブ基材は、可撓性基材であり得る。ある実施例においては、光起電力デバイスを形成するためのステンレス鋼ウェブ基材の処理は、ステンレス鋼ウェブ基材の裏側にモリブデン（Ｍｏ）層を形成することを含み得る。その後、ステンレス鋼基材の表側で処理が行われ得る。例えば、クロム（Ｃｒ）層が基材に隣接して形成され得、Ｍｏ層がＣｒ層状に形成され得る。電池内で光を電気に変換する吸収層が、次の層であり得る。これは、典型的には、ｐ型層である。好ましい吸収材は、銅インジウムセレン化物、硫化物、または硫化セレン化物（共にＣＩＳ層と呼ばれる）等の銅カルコゲン化物である。銅インジウムガリウムセレン化物（ＣＩＧＳ）が好ましい。吸収材は、ナトリウム（Ｎａ）でドープされてもよい。ｎ型層が、吸収層上に緩衝層として形成され得る。硫化カドミウム（ＣｄＳ）緩衝層が好ましい。本発明の方法は、この緩衝層を形成する際の使用にとって好適である。。更に、追加的な透明導電体層及び他の層が、標準的方法で緩衝層上に形成されてもよい。例えば、好ましい一実施形態において、抵抗性酸化亜鉛（ＺｎＯ）層が、緩衝層上に形成されてもよく、透明導電性酸化物（ＴＣＯ、例えば酸化インジウム錫または酸化アルミニウム亜鉛）層が、酸化亜鉛層上に形成されてもよい。
【００１２】
実施例において、光起電力電池の構成要素層は、複数のロールツーロール析出システムまたは段階を伴い得る。実施例としては、第１段階において、ステンレス鋼ウェブ基材の裏側を、裏側Ｍｏ層でコーティングし、ステンレス鋼基材の表側を背後電極Ｃｒ／Ｍｏ、アルカリ金属フッ化ナトリウム（ＮａＦ）層、及び前駆体ＣＩＧｓ層でコーティングする。第２段階では、ＣＩＧｓ前駆体を完全に反応させて光活性ＣＩＧＳを形成してもよい。第３段階において、ＣｄＳ緩衝層が析出され得る。第４段階において、透明酸化物層（ＺｎＯ／ＴＣＯ）が析出され得る。
【００１３】
これらの段階、システム、または処理工程は、例証のみを目的とする実施例である。より多くのまたはより少ない工程／段階を使用してもよく、異なる材料が所定の光起電力電池を形成するために使用され得る。ウェブベース光起電力吸収層の頂部上に緩衝層を形成すること（例えば、ＣｄＳ層を形成すること）は、ウェブ及びそれに連結する吸収層上に流体混合物を析出することを伴い得る。流体混合物を析出させて均一な緩衝層をウェブ上に形成することは、複数の課題を伴い得る。例えば、緩衝層が形成されている際にウェブは複数の処理段階を越えて動くため、正確な幾何学的制御及び熱的制御を提供することが望ましくあり得る。上述されるように、ウェブ、例えばステンレス鋼可撓性基材は、ロールの形態で受容され得る。このロールは、その上に１つ以上の均一な層を形成できる平坦なウェブを提供するために解かれ得る。最初の課題は、十分に平面的な表面、例えば、約１ｍの幅及び数十メートルの長さにわたって１ミリメートル以内まで平坦な表面をもつウェブを提供することに関与し得る。
【００１４】
別の課題は、ウェブ上に析出されることになる複数の流体を混合することに関与し得る。実施例としては、２つ以上の流体が混合されると仮定すると、流体は離れた場所で混合され、その後ウェブ上への析出のために処理システムに送達され得る。反応性である混合された流体は、処理システムまで、複数のバルブシステム及び導管を介して送達され得る。混合された反応または活性流体は、送達システムの構成要素と相互作用し得、したがって粒子で汚染される場合があり、これらの粒子もまた最終的にウェブ上に析出される。
【００１５】
更なる別の課題は、均一な薄層（例えば、５〜１０ｍｍの深さの流体）をウェブ上に形成するという制約の中、流体を汚染することなく流体をかき混ぜて良好な混合を提供することに関与し得る。その上更なる別の課題は、層の形成時にウェブから過剰な流体及び破片（例えば、流体混合物中で核となっているＣｄＳ粒子）を除去することに関与し得る。
【００１６】
前述の課題に対処可能な方法及びシステムが、本明細書に開示される。本方法及びシステムは、移動ウェブが均一な層を形成するのに十分に平坦でありながら、同時にその層を形成する流体混合物を保持することも可能であるように、移動ウェブを成形することと、汚染を伴わない流体の適正な混合及びかき混ぜを提供することと、残留材料及び破片の除去を提供することとを伴う。本方法及びシステムは、例証のみを目的とする実施例として、光起電力電池の文脈で説明される。本明細書に記載される本方法及びシステムは概して、任意の種類の層を任意の種類のウェブ上に析出させることに関する。
【００１７】
Ｉ．移動ウェブの成形
図１は、例示的実施形態に従う、移動ウェブを成形するための方法１００を図示するフローチャートである。方法１００は、１つ以上のブロック１０２〜１０６によって例証される、１つ以上の作業、機能、または行動を含み得る。ブロックは連続的な順番で図示されているが、これらのブロックは一部の例においては平行して行われてもよく、かつ／または本明細書に記載されているものとは異なる順番で行われてもよい。また、種々のブロックが、より少ないブロックへと組み合わされ、更なるブロックへと分割され、かつ／または所望の実装例に基づき除去されてもよい。
【００１８】
この実施例において、ウェブは、第１の表面（ここで、例えば、化学浴析出法もしくは他の処理によって析出されるＣｄＳ層または異なる材料の形成が起こる）及び第１の表面の裏側の第２の表面を有する。ウェブはまた、ステンレス鋼の磁性形態で構成される基材等の、磁性材料を含む。
【００１９】
ブロック１０２において、方法１００は、ウェブの第１の表面が１つ以上の処理工程を経る間、処理床を用いてウェブを支持することを含み、処理床は、平坦面を有する中心部及び曲面を有する側部を含む。
【００２０】
図２Ａは、例示的実施形態に従う、ウェブを処理するためのシステム２００を図示する。図２Ａは、ウェブのための複数の処理段階を含み得るシステム（または装置）２００を描写する。システム２００は、ウェブ上で化学物質流体混合物浴から層を析出するために構成され得る。したがって、システム２００は、化学浴析出システムまたは装置と呼ばれ得る。図２Ｂは、例示的実施形態に従う、システム２００の一部分を図示する。示されるように、システム２００の一部分は、１つ以上の処理システム２０３の下部に処理床２０２を含む。ロール２０１からのウェブは、システム２００を通って、ウェブが１つ以上の処理システム２０３による処理を受ける間、ウェブが処理床２０２によって支持されるように運搬され得る。
【００２１】
図２Ｃは、例示的実施形態に従う、図２Ｂに図示される一部分内の処理床２０２を詳細に図示する。処理床２０２は、図２Ｃに示されるように、平坦面を有する中心部２０４と、曲面を有する側部２０６Ａ及び２０６Ｂとを含み得る。側部２０６Ａ及び２０６Ｂの曲面は、図２Ｃに示されるように、処理床２０２の中心部２０４の平坦面の両側から上向きに延在する（例えば、上向きに曲がるか角度が付く）ように構成され得る。この様式で、処理床２０２は、トラフ様形状を有するように構成され得る。
【００２２】
図１を再び参照すると、ブロック１０４において、方法１００は、ウェブを処理床に向かって引っ張るように処理床に対して位置付けられた複数の磁石を用いて、ウェブに対して磁力を印加することを含み、磁力は、ウェブが処理床の平坦面及び曲面に対して実質的に適合するようにウェブを成形するのに十分である。図２Ｃに示される処理床２０２は、複数の磁石を含み得る。この複数の磁石は、中心部２０４と、側部２０６Ａ及び２０６Ｂとの両方に近接して、処理床２０２に埋め込まれ得る。
【００２３】
図３Ａは、例示的実施形態に従う、処理床２０２の側部２０６Ｂを図示する。図３Ｂは、例示的実施形態に従う、側部２０６Ｂに埋め込まれた磁石３００のアレイを図示する。類似の磁石のアレイ（図示せず）が、処理床２０２の中心部２０４及び側部２０６Ａにも埋め込まれ得る。
【００２４】
図４は、例示的実施形態に従う、処理床２０２の平坦面及び曲面に適合するウェブ４０２を図示する。上に示されるように、ウェブ４０２は、磁性材料を含み得る。実施例において、ウェブ４０２は、コーティングされた金属またはコーティングされた金属化ポリマーであってもよい。一実施例において、ウェブ４０２は、磁性ステンレス鋼（例えば、グレード４１３ステンレス鋼等のフェライト系及びマルテンサイト系ステンレス鋼）を含み得る。処理床２０２に埋め込まれる磁石のアレイ（例えば、磁石３００のアレイ）は、ウェブ４０２の磁性材料と相互作用するように構成され得る。例えば、磁石のアレイは、ウェブ４０２を処理床２０２に向かって引っ張る磁力をウェブ４０２に対して及ぼすように、処理床２０２に対して位置付けられ得る。磁石は、ウェブ４０２が、処理床２０２の平坦面及び曲面に対して実質的に適合するように、ウェブ４０２を成形する十分な力を及ぼすように構成される。ある実施例においては、磁石３００のアレイ等の磁石のアレイは、移動可能な永久磁石を含み得る。この実施例において、磁石のアレイの場所または位置付けは、磁石のアレイによって生み出される磁力または磁場を調節するように調節され得る。別の実施例においては、磁石のアレイは、電流を介して制御可能である電磁石のアレイであり得る。したがって、電磁石はスイッチを入れたり、または消したりすることができ、生み出される磁場／磁力の強度は調節可能である。
【００２５】
この様式で、ウェブ４０２は、処理床２０２の中心部２０４の平坦面に対して適合する平坦形状を有する中心部４０３と、それぞれ、処理床２０２の側部２０６Ａ及び２０６Ｂの曲面に対して実質的に適合するように上向きに屈曲する側部４０３Ａ及び４０３Ｂとを含むように成形される。したがって、磁石によって及ぼされる力が、処理床４０２のトラフ形状に基づいて、ウェブ４０２をトラフ形状にする。図６の方法６００に関して下に記載されるように、ウェブ４０２のトラフ形状は、流体の保持を促進する（例えば、流体をウェブ４０２の一方の側に保持する）。
【００２６】
一部の実施例において、磁石のアレイ（例えば、磁石３００のアレイ）を有する処理床２０２に加えて、あるいはその代わりに、処理床は、ウェブ４０２の磁性材料と相互作用してウェブ４０２を下向きに引っ張る磁性材料で（完全にまたは部分的に）作製されてもよい。
【００２７】
図１を再び参照すると、ブロック１０６において、方法１００は、ウェブが、処理床の平坦面及び曲面に対して実質的に適合するように磁力によって成形される間、コンベアベルトを用いて処理床上でウェブを動かすことを含む。コンベアベルトは、第１の接触表面、及び第１の接触表面の裏側の第２の接触表面を有する。第１の接触表面は、ウェブの第２の表面に接触するように構成され、第２の接触表面は、処理床に接触するように構成される。図４は、ウェブ４０２と処理床２０２との間に配置され、処理床２０２上でウェブ４０２を動かすように構成されるコンベアベルト４０４を描写する。
【００２８】
図５は、例示的実施形態に従う、処理床２０２とウェブ４０２との間に配置されるコンベアベルト４０４を図示する。コンベアベルト４０４は、第１の接触表面５０２、及び第１の接触表面５０２の裏側の第２の接触表面５０４を有する。ウェブ４０２は、第１の表面５０６Ａ、及び第１の表面の裏側の第２の表面５０６Ｂを有する。ウェブ４０２の第１の表面は上向きであり得、方法６００に関して下に記載されるような幾つかの処理ステップを経得る。ウェブ４０２の第２の表面は、コンベアベルト４０４の第１の接触表面５０２に接触するように構成され得る。第２の接触表面５０４は、図５に示されるように、処理床２０２に接触するように構成される。
【００２９】
実施例において、コンベアベルト４０４の第１の接触表面５０２は、ウェブ４０２の第２の表面５０６Ｂに対してトラクションを適用することでウェブ４０２がコンベアベルト４０４と共に動くように、高い摩擦係数を有するように構成され得る。コンベアベルト４０４の第２の接触表面５０４は、処理床２０２の平坦面上を摺動しそれに対して移動するように、低い摩擦係数（例えば、第１の接触表面５０２の摩擦係数よりも低い）を有し得る。したがって、コンベアベルト４０４が移動／回転するに伴い、ウェブ４０２はコンベアベルト４０４と共に移動する一方で、処理床２０２は静止したままである。図５において、コンベアベルト４０４はある特定の方向に移動（時計回り方向に回転）するように示されるが、他の場合においては、コンベアベルト４０４及びウェブ４０２は反対方向に移動してもよい。
【００３０】
処理床２０２に埋め込まれる磁石のアレイは、コンベアベルト４０４を通してウェブ４０２の磁性材料と相互作用するように構成される。したがって、磁石によって及ぼされる力は、ウェブがコンベアベルト４０４によって動かされている間、ウェブ４０２が上述されるトラフ形状を維持するようにする。第１の接触表面５０２及び第２の接触表面５０４のそれぞれの摩擦係数における差異は、ウェブ４０２と処理床２０２との間には直接接触が存在しないため、ウェブ４０２と磁石のアレイが中に埋め込まれた処理床２０２との間の摩擦を分離する。したがって、ウェブ４０２の動き、速度、及び張力は処理床２０２とは分離され、そのような分離は、ウェブ４０２がコンベアベルト４０４によってシステム２００の複数の段階または処理工程を通って運ばれている際の、ウェブ４０２の破損を防止し得る。コンベアベルト４０４は、ウェブ４０２の第１の表面５０６Ａ上の流体混合物から層を形成するように、ウェブ４０２をシステム２００の複数の段階または処理工程を通して移動させるように構成される。
【００３１】
ＩＩ．流体操作
図６は、例示的実施形態に従う、ウェブ上の流体混合物から層を形成するための方法６００を図示するフローチャートである。方法６００は、１つ以上のブロック６０２〜６０６によって例証される、１つ以上の作業、機能、または行動を含み得る。ブロックは連続的な順番で図示されているが、これらのブロックは一部の例においては平行して行われてもよく、かつ／または本明細書に記載されているものとは異なる順番で行われてもよい。また、種々のブロックが、より少ないブロックへと組み合わされ、更なるブロックへと分割され、かつ／または所望の実装例に基づき除去されてもよい。
【００３２】
ブロック６０２において、方法６００は、流体混合物の第１の流体ストリーム及び流体混合物の第２の流体ストリームをカスケードデバイス上に送出することを含む。カスケードデバイスは、上部レベル、ウェブの上側に位置付けられる下部レベル、上部レベルと下部レベルとの間の複数の段を有し、振動するように構成される。第１の流体ストリーム及び第２の流体ストリームは、カスケードデバイスの上部レベル上に送出され、それにより、（ｉ）第１及び第２の流体は、段を下部レベルまで下り、ウェブ上まで段階的に降下し、かつ（ｉｉ）第１及び第２の流体は、ウェブに到達する前にこの段階的な降下及びカスケードデバイスの振動によって少なくとも部分的に混合される。
【００３３】
実施例において、任意の数の流体を混合して、ウェブ上に層を形成することができる。方法６００は、例証のみを目的とする実施例として、２つの流体の混合物を用いて本明細書に記載される。例証のための実施例として、第１の流体は、硫酸カドミウム（ＣｄＳＯ４）及び水酸化アンモニウム（ＮＨ４ＯＨ）を含む化学溶液であり得、一方で第２の流体は、チオ尿素（ＳＣ（ＮＨ２）２）を含む化学溶液であり得る。この実施例においては、したがって、ウェブ上に析出する結果として生じる層は、硫化カドミウム（ＣｄＳ）を含み得る。代替例として、硫酸カドミウム（ＣｄＳＯ４）の代わりに、硫酸亜鉛（ＺｎＳＯ４）または硫酸インジウム（Ｉｎ２（ＳＯ４）３のいずれかを置き換えることによって、硫化亜鉛または硫化インジウムの層を形成することができる。一実施例において、第１の流体及び第２の流体は、ウェブ表面から離れた混合ステーションにおいて混合され、その後反応準備の整った混合物として分配ノズルまたは任意の他の分配手段へ輸送されて、ウェブの表面上に析出されてもよい。しかしながら、時間の経過と共に、混合物は輸送システムのバルブ、パイプ、構成要素等と相互作用し得、したがって、流体混合物と混ざってウェブ上に析出される破片及び汚染物質を生み出し得る。
【００３４】
別の実施例において、離れたステーションで流体を混合する代わりに、第１の流体ストリーム及び第２の流体ストリームは、ウェブの上側の分配ヘッド（例えば、１つ以上のノズルを含む）へそれぞれ別々に運ばれ、振動するカスケード上へそれぞれ個々に供され、このカスケードが、溶液がカスケードからウェブの表面上に落下する直前に、それらの溶液を混合する。この様式では、破片または汚染物質が、既に反応している流体混合物の、流体輸送システムの構成要素及び伝送路との相互作用から発生することはない。
【００３５】
図７は、例示的実施形態に従う、流体混合物の第１の流体７０２のストリーム及び第２の流体７０４のストリームをカスケードデバイス７０６上に送出する流体送達装置を図示する。流体送達装置は、カスケードデバイス７０６上に第１の流体７０２のストリーム及び第２の流体７０４のストリームを送出するように構成される、図７に示されるノズル７０７等の、化学物質ディスペンサデバイスを含み得る。カスケードデバイス７０６は、上部レベル７０８と、ウェブ４０２の上側に（例えば、ウェブ４０２の第１の表面５０６Ａから所定の距離で）位置付けられる下部レベル７１０とを有し得る。カスケードデバイス７０６はまた、上部レベル７０８と下部レベル７１０との間の複数の段７１２も含み得る。
【００３６】
更に、カスケードデバイス７０６は、振動するように構成され得る。例えば、カスケードデバイス７０６は、横方向、縦方向、鉛直方向、またはそれらの組み合わせで振動するように構成され得る。カスケードデバイス７０６は、所定の頻度で、または所定の頻度及び方向プロファイルに従って経時的に振動するように構成され得る。カスケードデバイス７０６の振動を引き起こすように構成される任意の機構を使用することができる。この機構は、例えば、カスケードデバイス７０６の振動を引き起こすような、電気システム（例えば、電気モーター）、油圧システム、電気機械システム、電気油圧システム等を活用し得る。
【００３７】
この様式で、第１の流体７０２のストリーム及び第２の流体７０４のストリームが、カスケードデバイス７０６の上部レベル７０８上に送出される際、第１の流体７０２及び第２の流体７０４は、段７１２を下部レベル７１０まで下り、ウェブ４０２上まで段階的に降下する。カスケードデバイス７０６が振動する間に、第１の流体７０２及び第２の流体７０４を、段７１２を段階的に降下させることは、ウェブ４０２に到達する前の、流体７０２及び７０４の少なくとも部分的な混合を促進する。一実施例において、第１の流体７０２及び第２の流体７０４は、ウェブ４０２に到達する前に完全に混合され得る。
【００３８】
ウェブ４０２上に送出される第１の流体７０２及び第２の流体７０４の流体混合物７１４は、例えば１〜１０ミリメートルの範囲の所定の厚さまたは深さを有する溶液を形成し得、ウェブ４０２の第１の表面５０６Ａを覆う。任意の流体の深さが、ウェブ４０２、析出される流体、製作される層の種類等に基づいて活用され得る。図４に関して記載されるように、ウェブ４０２は、平坦面を有する中心部４０３と、処理床２０２の形状に対して実質的に適合するように上向きに屈曲する側部４０３Ａ、４０３Ｂとをもつトラフ形状であり得る。ウェブ４０２のトラフ形状は、ウェブ４０２の第１の表面５０６Ａが更なる処理工程を経る間、ウェブ４０２の第１の表面５０６Ａ上に流体混合物７１４を保持することを促進する。
【００３９】
図６を再び参照すると、ブロック６０４において、方法６００は、層が形成されている間、ウェブ上に位置付けられる少なくとも１つの送風機を用いて、いずれの送風機も流体混合物に接触することなく、ウェブ上の流体混合物を攪拌する流れパターンを生成することを含む。ウェブの表面上に送出された流体の混合物からの均一な層の形成を促進するために、ウェブの表面と接触する攪拌（またはかき混ぜ）装置を使用して、溶液の混合を提供してもよい。攪拌装置は、流体混合物の反応の汚染、ウェブの表面の損傷、または任意の破片の生成を伴わずに、溶液の混合を提供するように構成されることが好ましい。
【００４０】
図８Ａは、例示的実施形態に従う、ウェブ４０２上で流体混合物７１４を攪拌するための流れパターンを生成するための流体攪拌装置を図示する。一部の実施例において、システム２００は、ウェブ４０２を支持する処理床２０２を加熱するように構成される、１つ以上の加熱器（図示せず）を含んでもよい。１つ以上の加熱器によって生成される熱は、（例えば、伝導によって）ウェブ４０２及びその上に送出される流体混合物７１４に伝達され得、第１の流体７０２及び第２の流体７０４の反応を促進して層の形成を可能にし得る。反応の結果として、ガスまたは蒸気、及び熱が発生し得る。例えば、第１の流体７０２が硫酸カドミウムを含み、第２の流体７０４がチオ尿素を含んでいる場合、蒸気はアンモニアまたはアンモニア系ガスを含み得る。図８Ａは、ウェブ４０２の第１の表面５０６Ａ上に送出された流体混合物７１４の化学反応によって放出される蒸気及び熱を閉じ込めるように構成される筐体を形成する、ガラスパネル８０２及び密封面８０４を描写する。
【００４１】
更に、図８Ａは、この筐体が、流体混合物７１４から放出される蒸気及び熱を分配するように構成される送風機のアレイ８００を少なくとも部分的に包囲するのを描写している。一部の実施例において、化学反応から放出される蒸気に加えて、システム２００は、流体混合物７１４上において送風機のアレイ８００で均一に分配及び循環されるガス（例えば、不活性ガス）を筐体中に注入するための手段も含み得る。
【００４２】
流体攪拌装置は、送風機のアレイ８００の送風機を、例えば電気モーター８０６等の任意の作動手段によって回転させるように構成され得る。図８Ａにおいて描写されるような電気モーター８０６は、送風機のアレイ８００に対応する滑車８０８のアレイを制御するように構成され、送風機のアレイ８００を所定の方向及び所定の速度で駆動させるように構成される。電気モーター８０６及び滑車８０８の使用は、例証のみを目的とする実施例であり、任意の他の駆動機構を、送風機のアレイ８００を駆動させるために使用することができる。例えば、送風機のアレイ８００の各送風機を、対応する電気モーターによって駆動させることができる。
【００４３】
図８Ｂは、例示的実施形態に従う、図８Ａに描写される流体攪拌装置の側面図を図示する。図８Ｂに描写されるように、送風機のアレイ８００は、流体混合物７１４に物理的に接触またはそれを汚染しない。したがって、流体混合物７１４の攪拌の結果として、破片または汚染物質は何ら生成されない。また、ウェブ４０２の第１の表面５０６Ａは、送風機のアレイ８００とウェブ４０２との間の物理的接触の欠如により、損傷されない。
【００４４】
一実施例において、流体攪拌装置は、送風機のアレイ８００を制御して、所定の時間、所定の速度で所定の方向に回転させるように構成され得る。他の実施例において、流体攪拌装置は、振動性の様式の反復サイクルにわたって、送風機のアレイ８００の回転の速度及び方向を制御するように構成され得る。例えば、所定のサイクルは、送風機のアレイ８００が第１の所定の時間、第１の方向に回転すること、第２の所定の時間、回転を停止すること、及び第３の所定の時間、第１の方向とは反対の第２の方向に回転することを含み得る。一部の実施例において、送風機のアレイ８００の送風機は、全てが同一の方向に同一の速度で回転していなくともよい。例えば、一部の送風機は所定の方向に回転し、一方で他の送風機は反対方向に回転し、一方で他の送風機は回転していなくてもよい。また、実施例においては、個々の送風機が異なる速度で回転してもよい。この様式で、流体攪拌装置は、流体及び化学反応の種類に応じて、流体混合物７１４内で層流及び／または乱流を作り出すように構成され得る。
【００４５】
したがって、１つ以上の加熱器は、送風機のアレイ８００と共に、筐体内の蒸気の移動及び熱分配を制御するように構成され得る。例えば、送風機のアレイ８００の回転は、流体混合物７１４への蒸気圧の適用を引き起こし得、流体混合物７１４における流れパターンまたは波を生成し、流体混合物７１４の攪拌またはかき混ぜを引き起こし得る。送風機のアレイ８００の反復サイクルの制御は、流体混合物７１４における流体の混合を最適化するために使用することができ、流体混合物７１４における所定の温度プロファイルを維持させ得る。流体混合物７１４におけるかき混ぜ及び維持される温度プロファイルは、流体混合物７１４内での反応及びウェブ４０２上での均一な層の形成を促進し得る。
【００４６】
上述されるように、１つ以上の加熱器が、処理床２０２を加熱するために使用されてもよい。一部の実施例において、処理床２０２は、別々のセクションに分けられてもよく、各セクションがそれぞれの温度まで加熱される。例示目的の実施例として、処理床２０２のあるセクションは、カスケードデバイス７０６が配置され、流体混合物７１４がウェブ４０２上に送出される場合、昇温まで加熱され得る。ウェブ４０２が処理床２０２の他のセクションに移動する際、温度は、流体混合物７１４内の化学反応を促進する温度勾配を生み出すために、徐々に上げられてもよい。例えば、次のセクションが、６５℃〜９０℃の温度まで加熱されてもよい。処理床２０２の異なるセクションを、あるセクションから別のセクションへ熱を伝達させることなく、異なる温度まで加熱させるために、熱仕切りを使用して、処理床２０２の個々のセクションを互いから熱的に隔離することができる。
【００４７】
図９は、例示的実施形態に従う、処理床２０２のセクション間に熱的差異を提供するための装置を図示する。図９は、処理床２０２の第１のセクション９０２、及び熱仕切り９０６によって分離された処理床の第２のセクション９０４を描写する。熱仕切り９０６は、セクション９０４から第１のセクション９０２を熱的に隔離し、それによって各セクションが異なる温度に加熱されることを可能にする。そのようなセクション間での熱的隔離は、処理床２０２にわたる温度勾配の生成を可能にし、流体混合物７１４内における化学反応を促進する。
【００４８】
図６を再び参照すると、ブロック６０６において、方法６００は、ウェブ上にすすぎ流体を送出すること、及びすすぎ流体と層の形成後にウェブ上に残っている流体混合物の残存部分とを吸引力によって除去することを含む。ウェブ上での層の形成の間、粒子（例えば、ＣｄＳ粒子）は、流体混合物中で核となっている場合がある。全ての粒子が層の一部となるわけではない。一部の粒子は、形成された層の汚染を防止するために除去されるべき、破片を構成し得る。また、ある実施例において、ウェブ上に送出される流体混合物は、全てが層の形成のために使用されるわけではなく、過剰な流体混合物が、残留材料として層の形成後に残り得る。
【００４９】
図１０は、例示的実施形態に従う、残留材料及び破片の除去用の流体除去装置を図示する。流体除去装置は、すすぎデバイスと吸引デバイスとを含む。図１０は、ウェブ４０２の表面からの残留材料及び破片の除去用に構成される、ノズル１００２（例示的すすぎデバイスとして）と吸着ヘッド１００４（例示的吸引デバイスとして）との組み合わせを描写する。図１０には１つのノズル１００２が描写されているが、複数のノズルを、すすぎ流体または洗浄液を送出するために使用することができる。例えば、洗浄液としては、脱イオン水、界面活性剤、または任意の数の流体もしくは混合物が挙げられ得る。
【００５０】
ノズル１００２は、ウェブ４０２が（コンベアベルト４０４で）移動する際に、ウェブ４０２上にすすぎ流体または洗浄液を送出するように構成され得る。ノズル１００２がウェブ４０２の表面上にすすぎ流体を送出する際、すすぎ流体は、図１０に示されるように、過剰な流体の液位を局所的に上昇させる定常波（またはダム）を形成する。すすぎ流体はまた、ウェブ４０２の第１の表面５０６Ａ及び／または形成された層の表面から過剰な粒子を放たせるかまたは払い落とす。
【００５１】
吸着ヘッド１００４は、ウェブ４０２の上側の所定の高さに吸引力を適用するように構成され得る。ノズル１００２によって送出されたすすぎ流体は、少なくともウェブ４０２の上側の所定の高さまで、過剰な流体の液位を局所的に上昇させ得る。吸着ヘッド１００４によって適用される吸引力は、ウェブ４０２の第１の表面５０６Ａに対して実質的に垂直な方向に、流体を引き上げる。吸着ヘッド１００４によって引き上げられた材料は、真空マニホールド１００６に入り、真空マニホールド１００６を通って、例えば廃棄物収集区画まで輸送される。このように、過剰な流体及び粒子は除去され、残留してウェブ４０２の表面を汚染することはない。
【００５２】
吸着ヘッド１００４がウェブ４０２の表面上に吸引力を適用して過剰な材料を引き上げている間、処理床２０２に埋め込まれた磁石のアレイとウェブ４０２の磁性材料との相互作用による磁力は、ウェブ４０２を処理床２０２に対して下向きに保持及び束縛し、それによって、吸着ヘッド１００４の吸引力が適用される際に、ウェブ４０２が過剰な材料と共に引き上げられることはない。
【００５３】
システム２００は、更なる処理のためのより多くのモジュールまたは装置を含んでもよい。例えば、システム２００は、任意の種類の好適な洗浄溶液で、ウェブ４０２とその上に形成された層とを洗浄するように構成された、洗浄装置を含んでもよい。別の実施例においては、システム２００は、（例えば、エアーナイフまたは任意の他のデバイスで）ウェブ４０２とその上に形成された層とを乾燥させるように構成された、乾燥装置を含んでもよい。更なる別の実施例においては、システム２００は、層の形成後にウェブ４０２の縁部の巻き癖を除去して、ウェブ４０２を実質的に平坦にするように構成される巻き癖除去装置を含んでもよい。その上更なる別の実施例においては、システム２００は、層の形成後にウェブ４０２を再度巻くように構成されるロール装置を含んでもよい。この実施例においては、ウェブ４０２はロール２０１として受容され得、このロール２０１は処理及び層の析出のために解かれ、層の形成後に再度巻かれるため、システム２００はロールツーロールシステムと呼ばれ得る。システム２００は、ウェブ４０２の後処理及び／または前処理のための他のモジュールまたは装置を含んでもよい。
【００５４】
更に、一部の実施例において、システム２００は、システム２００を通ってウェブ４０２が移動する経路に沿って導入され得る、種々のセンサーを含み得る。実施例として、システム２００は、コーティングされたウェブ４０２の厚さを検出するように構成される厚さセンサーを含んでもよい。システム２００はまた、ウェブ４０２上に形成される層における表面欠陥を検出するように構成される光学センサーを含んでもよい。他のセンサーは、コーティングの表面上及び／またはその深さを通じた化学組成を検出するように構成されてもよく、システム２００は、それに応じて、第１の流体７０２及び第２の流体７０４（図７）の送出を制御するように構成され得る。これらのセンサーは例証のみを目的とする実施例であり、他の種類のセンサーをシステム２００において使用することができる。
【００５５】
図１〜１０において説明される本方法及びシステムは、トラフ様形状をもつ移動ウェブの提供、汚染を伴わない流体の適正な混合及びかき混ぜの提供、ならびに流体混合物の再汚染を伴わない残留材料及び破片の除去の提供を促進する。一実施例において、図１〜１０において説明される本方法及びシステムは、移動ウェブ上に析出される流体混合物から、太陽電池の緩衝層（例えば、ＣｄＳ）を形成するために実装され得る。しかしながら、図１〜１０において説明される本方法及びシステムは、化学反応もしくは成膜、または両方の組み合わせ用に、任意の種類の移動ウェブ上に任意の種類の液体層を形成するために使用することができる。
【００５６】
本方法及び／または装置は、ある特定の実装例を参照して記載されてきたが、当業者ならば、本方法及び／または装置の範囲から逸脱することなく、種々の変更を行うことができ、同等物を置換してもよいことを理解するであろう。加えて、特定の状況または材料を適合させるために、本開示の範囲から逸脱することなく、本開示の教示に対して多くの修正を行い得る。したがって、本方法及び／または装置は、開示された特定の実装例に限定されないが、本方法及び／または装置は、添付の特許請求の範囲内に包含される全ての実装例を含むことが意図される。
【図１】
2017503917.tif 000003
【図２Ａ】
2017503917.tif 000004
【図２Ｂ】
2017503917.tif 000005
【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
2017503917.tif 000009
【図５】
2017503917.tif 000010
【図６】
2017503917.tif 000011
【図７】
2017503917.tif 000012
【図８Ａ】
2017503917.tif 000013
【図８Ｂ】
2017503917.tif 000014
【図９】
2017503917.tif 000015
【図１０】
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【手続補正書】
【提出日】平成28年6月21日(2016.6.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の表面、前記第１の表面の裏側の第２の表面を有し、かつ磁性材料を含むウェブを処理するためのシステムであって、
処理床であって、前記処理床が、前記ウェブの前記第１の表面が１つ以上の処理工程を経る間、前記ウェブを支持するように構成され、前記処理床が、平坦面を有する中心部及び曲面を有する側部を含む、処理床と、
複数の磁石であって、前記複数の磁石が、前記ウェブを前記処理床に向かって磁力を前記ウェブに対して及ぼすように、前記処理床に対して位置付けられ、前記磁力が、前記ウェブが前記処理床の前記平坦面及び曲面に対して実質的に適合するように前記ウェブを成形するのに十分である、複数の磁石と、
前記ウェブが、前記処理床の前記平坦面及び曲面に対して実質的に適合するように前記磁力によって成形される間、前記処理床上で前記ウェブを動かすように構成されるコンベアベルトであって、前記コンベアベルトが、第１の接触表面、及び前記第１の接触表面の裏側の第２の接触表面を有し、前記第１の接触表面が、前記ウェブの前記第２の表面に接触するように構成され、前記第２の接触表面が、前記処理床に接触するように構成される、コンベアベルトと、を備える、前記システム。
【請求項２】
前記コンベアベルトの前記第１の接触表面が、前記ウェブが前記コンベアベルトと共に動くように、前記ウェブの前記第２の表面に対してトラクションを適用するように構成され、前記コンベアベルトの第２の接触表面が、前記処理床の前記平坦面上を摺動するように構成される、請求項１に記載の前記システム。
【請求項３】
前記磁石が、前記処理床に埋め込まれる、請求項１または２に記載の前記システム。
【請求項４】
前記ウェブが、前記処理床の前記平坦面及び曲面に対して実質的に適合するように前記磁力によって成形されるとき、トラフ形状を有し、前記トラフ形状が、前記ウェブの前記第１の表面が前記１つ以上の処理工程を経る間、前記ウェブの前記第１の表面上に流体を保持することが可能である、請求項１〜３のいずれかに記載の前記システム。
【請求項５】
前記処理床の上側に位置付けられる流体送達装置であって、前記ウェブが前記トラフ形状を有する間、流体形態の１つ以上の化学物質を前記ウェブの前記第１の表面上に送達するように構成される、流体送達装置を更に備える、請求項４に記載の前記システム。
【請求項６】
前記処理床の上側に位置付けられる流体攪拌装置であって、前記ウェブが前記トラフ形状を有する間、流体形態の前記１つ以上の化学物質を前記ウェブの前記第１の表面上で攪拌するように構成される、流体攪拌装置を更に備える、請求項５に記載の前記システム。
【請求項７】
前記処理床が、異なる温度に加熱される少なくとも２つのセクションを備える、請求項１〜６のいずれかに記載の前記システム。
【請求項８】
第１の表面、前記第１の表面の裏側の第２の表面を有し、かつ磁性材料を含むウェブを処理するための方法であって、
前記ウェブの前記第１の表面が１つ以上の処理工程を経る間、処理床を用いて前記ウェブを支持することであって、前記処理床が、平坦面を有する中心部及び曲面を有する側部を含む、支持することと、
前記ウェブを前記処理床に向かって引っ張るように前記処理床に対して位置付けられた複数の磁石を用いて、前記ウェブに対して磁力を印加することであって、前記磁力が、前記ウェブが前記処理床の前記平坦面及び曲面に対して実質的に適合するように前記ウェブを成形するのに十分である、印加することと、
前記ウェブが、前記処理床の前記平坦面及び曲面に対して実質的に適合するように前記磁力によって成形される間、コンベアベルトを用いて前記処理床上で前記ウェブを動かすことであって、前記コンベアベルトが、第１の接触表面、及び前記第１の接触表面の裏側の第２の接触表面を有し、前記第１の接触表面が、前記ウェブの前記第２の表面に接触するように構成され、前記第２の接触表面が、前記処理床に接触するように構成される、動かすことと、
前記ウェブが前記処理床上を動く間、流体形態の１つ以上の化学物質を前記ウェブの前記第１の表面上に送達することと、
前記１つ以上の化学物質に接触することなく、送風機のアレイを用いて、流体形態の前記１つ以上の化学物質を前記ウェブの第１の表面上で攪拌することと、を含む、前記方法。
【請求項９】
用いて前記処理床上で前記ウェブを動かすことが、
前記ウェブが前記コンベアベルトと共に動くように、前記ウェブの前記第２の表面に対して、前記コンベアベルトの前記第１の接触表面によるトラクション力を適用することであって、前記コンベアベルトの第２の接触表面が、前記処理床の前記平坦面上を摺動するように構成される、適用することを含む、請求項８に記載の前記方法。
【請求項１０】
前記基材が、ステンレス鋼支持体及び吸収層を備え、前記化学物質流体が、硫化カドミウムの前駆体を含む、請求項８または９に記載の前記方法。
【国際調査報告】
2017503917.tif 000017
2017503917.tif 000018
2017503917.tif 000019