(57)【要約】  本発明は操作ボックス及びそのグローブの交換方法を提供し、該操作ボックスは、ボックス体（１０１）、グローブ（１０２）、第１シール部材（１０３）、第２シール部材（１０４）及び閉塞板（１０５）を含み、ボックス体（１０１）はチャンバー（１０１１）を有し、ボックス体（１０１）の側壁には操作窓（１０１２）が設けられ、第１シール部材（１０３）は、グローブのグローブポート縁部（１０２２）及び側壁を封止することに用いられ、第２シール部材（１０４）は、ボックス体（１０１）の側壁の内面に設置され、閉塞板（１０５）は、チャンバー内に設置され、閉塞板（１０５）と第２シール部材（１０４）は共に操作窓（１０１２）を密閉する。
2017523921.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
操作ボックスであって、
チャンバーを有し、少なくとも１つの操作窓が側壁に設置されるボックス体と、
グローブ本体と、グローブポート縁部とを含む少なくとも１つのグローブと、
前記操作窓に設置されるとともに前記ボックス体の前記側壁の外面に位置し、前記側壁との間に前記グローブのグローブポート縁部が設置され、前記グローブポート縁部と前記側壁とを封止するための少なくとも１つの第１シール部材と、
前記操作窓に設置されるとともに前記ボックス体の前記側壁の内面に位置する少なくとも１つの第２シール部材と、
前記チャンバー内に設置され、前記第２シール部材と共に前記操作窓を密閉するための少なくとも１つの閉塞板と、を含み、
前記第１シール部材は、第１貫通孔を有し、
前記第１貫通孔の前記第１シール部材上の位置は、前記操作窓に対応し、
前記第２シール部材は、第２貫通孔を有し、
前記第２貫通孔の前記第２シール部材上の位置は、前記操作窓に対応し、
前記閉塞板は、前記第２貫通孔を閉塞し、
前記側壁の外面に前記第１シール部材を固定し、前記側壁の外面に対する前記第１シール部材の固定を解除するための固定部材をさらに含むことを特徴とする操作ボックス。
【請求項２】
前記閉塞板は、
メインプレートと、
前記メインプレート上に設置され、前記第２シール部材に互いに係止されることで前記メインプレートを前記シール部材に密着させる係止部材と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の操作ボックス。
【請求項３】
前記メインプレートまたは前記第２シール部材には、シール材が設置され、
前記係止部材には、第１係止部が設置され、
前記第２シール部材には、第２係止部が設置され、
前記第１係止部の前記係止部材上の位置は、前記第２係止部の前記第２シール部材上の位置に対応し、
前記第１係止部及び前記第２係止部は互いに係止されるとともに、前記メインプレート及び前記第２シール部材を前記シール材に押圧させることで前記チャンバーを密閉することを特徴とする請求項２に記載の操作ボックス。
【請求項４】
操作ボックスであって、
チャンバーを有し、少なくとも１つの操作窓が側壁に設置されるボックス体と、
グローブ本体と、グローブポート縁部とを含む少なくとも１つのグローブと、
前記操作窓に設置されるとともに前記ボックス体の前記側壁の外面に位置し、前記側壁との間に前記グローブのグローブポート縁部が設置され、前記グローブポート縁部と前記側壁とを封止するための少なくとも１つの第１シール部材と、
前記操作窓に設置されるとともに前記ボックス体の前記側壁の内面に位置する少なくとも１つの第２シール部材と、
前記チャンバー内に設置され、前記第２シール部材と共に前記操作窓を密閉するための少なくとも１つの閉塞板と、を含むことを特徴とする操作ボックス。
【請求項５】
前記第１シール部材は、第１貫通孔を有し、
前記第１貫通孔の前記第１シール部材上の位置は、前記操作窓に対応し、
前記第２シール部材は、第２貫通孔を有し、
前記第２貫通孔の前記第２シール部材上の位置は、前記操作窓に対応し、
前記閉塞板は、前記第２貫通孔を閉塞することを特徴とする請求項４に記載の操作ボックス。
【請求項６】
前記側壁の外面に前記第１シール部材を固定し、前記側壁の外面に対する前記第１シール部材の固定を解除する固定部材をさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の操作ボックス。
【請求項７】
前記固定部材は、ねじであり、
前記ねじは、締められることで前記側壁の前記外面に前記第１シール部材を固定し、緩められることで前記側壁に対する前記第１シール部材の固定を解除することを特徴とする請求項６に記載の操作ボックス。
【請求項８】
前記固定部材は、第１バネ式留具であり、
前記第１バネ式留具の一端は、前記側壁の前記外面に固定され、その他端は、第１係止歯を有し、
前記第１バネ式留具は、前記係止歯により、前記第１シール部材に係止されることで前記側壁の前記外面に前記第１シール部材を固定し、前記第１シール部材との係止状態を解除することで前記側壁の前記外面に対する前記第１シール部材の固定を解除することを特徴とする請求項６に記載の操作ボックス。
【請求項９】
前記閉塞板は、
メインプレートと、
前記メインプレート上に設置され、前記第２シール部材に互いに係止されることで前記メインプレートを前記シール部材に密着させる係止部材と、を含むことを特徴とすることを特徴とする請求項４に記載の操作ボックス。
【請求項１０】
前記メインプレートまたは前記第２シール部材には、シール材が設置され、
前記係止部材には、第１係止部が設置され、
前記第２シール部材には、第２係止部が設置され、
前記第１係止部の前記係止部材上の位置は、前記第２係止部の前記第２シール部材上の位置に対応し、
前記第１係止部及び前記第２係止部は互いに係止されるとともに、前記メインプレート及び前記第２シール部材を前記シール材に押圧させることで前記チャンバーを密閉することを特徴とする請求項９に記載の操作ボックス。
【請求項１１】
前記係止部材は、サブプレートであり、
前記第１係止部は、ロック爪であり、前記第２係止部は、ロック溝であり、
前記ロック爪は、前記ロック溝内に嵌め込まれ、
前記第２シール部材の第２面には、前記ロック爪に対応する嵌め込み口が設置され、
前記嵌め込み口は、前記ロック溝まで貫通し、
前記ロック爪は、前記嵌め込み口から前記ロック溝内に嵌め込まれ、
前記ロック溝は、前記ロック爪を収容し、
前記係止部材は、前記ロック溝内に嵌め込まれた後に第１方向または前記第１方向とは逆方向に所定の角度回転することで、前記ロック爪と前記ロック溝とを互いにロックさせ、
前記係止部材は、前記第１方向または前記第１方向とは逆方向に所定の角度回転することで、前記ロック爪と前記ロック溝とのロックを解除することを特徴とする請求項１０に記載の操作ボックス。
【請求項１２】
前記第１係止部は、第２バネ式留具／第２バネ式留具の凹溝であり、
前記第２係止部は、前記第２バネ式留具の凹溝／前記第２バネ式留具であり、
前記閉塞板及び前記第２シール部材は、前記第２バネ式留具と前記第２バネ式留具の凹溝との嵌合により前記操作窓を密閉し、
前記閉塞板の前記第２バネ式留具または前記第２バネ式留具の凹溝と、前記第２シール部材の前記第２バネ式留具の凹溝または前記第２バネ式留具との嵌合を解除することで、前記閉塞板と前記第２シール部材とを離脱させて前記操作窓の密閉を解除することを特徴とする請求項１０に記載の操作ボックス。
【請求項１３】
前記メインプレートまたは前記第２シール部材には、前記シール材を収容、固定するための凹溝が設置されることを特徴とする請求項１０に記載の操作ボックス。
【請求項１４】
前記閉塞板は、前記サブプレート上に設置される把持部材をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の操作ボックス。
【請求項１５】
前記閉塞板は、前記メインプレート及び前記係止部材を連結するための連結部材をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の操作ボックス。
【請求項１６】
請求項４に記載の操作ボックスのグローブの交換方法であって、
前記閉塞板及び前記第２シール部材により前記操作窓を密閉するステップと、
前記側壁の外面に対する前記第１シール部材の固定を解除することで、前記側壁から前記グローブを取り外すステップと、
他のグローブのグローブポート縁部を前記側壁の前記外面に設置するステップと、
前記第１シール部材を前記側壁の前記外面に固定することで、前記他のグローブのグローブポート縁部及び前記側壁を封止するステップと、
前記閉塞板及び前記第２シール部材による前記操作窓の密閉を解除するステップと、を含むことを特徴とする操作ボックスのグローブの交換方法。
【請求項１７】
前記閉塞板及び前記第２シール部材により前記操作窓を密閉するステップは、
前記チャンバー内に位置する前記閉塞板を前記グローブ本体により前記操作窓に移動させるステップと、
前記係止部材が前記操作窓に向けられる前記閉塞板で前記第２シール部材を閉塞するステップと、
前記係止部材の第１係止部と前記第２シール部材の第２係止部とを互いに係止することで、メインプレートと前記第２シール部材とを前記シール材に押圧させて前記チャンバーを密閉するステップと、を含むことを特徴とする請求項１６に記載の操作ボックスのグローブの交換方法。
【請求項１８】
前記係止部材の第１係止部及び前記第２シール部材の第２係止部を互いに係止するステップの後、且つ前記側壁の外面に対する前記第１シール部材の固定を解除するステップの前に、
前記グローブ本体を前記操作窓から取り出すステップをさらに含むことを特徴とする請求項１７に記載の操作ボックスのグローブの交換方法。
【請求項１９】
前記閉塞板及び前記第２シール部材による前記操作窓の密閉を解除するステップは、
前記他のグローブのグローブ本体により前記係止部材の第１係止部と前記第２シール部材の第２係止部との係止を解除するステップと、
前記他のグローブのグローブ本体により前記閉塞板を前記チャンバー内に配置するステップと、を含むことを特徴とする請求項１６に記載の操作ボックスのグローブの交換方法。
【請求項２０】
前記第１シール部材を前記側壁の前記外面に固定するステップの後、且つ前記他のグローブのグローブ本体により前記係止部材の第１係止部と前記第２シール部材の第２係止部との係止を解除するステップの前に、
前記他のグローブのグローブ本体を前記操作窓に移動させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項１９に記載の操作ボックスのグローブの交換方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示パネルの製造装置に関し、特に、操作ボックス及びそのグローブの交換方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のＯＬＥＤ（Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ，有機発光ダイオード）では、表示パネルの製造工程の一部を操作ボックス内で行う必要がある。なお、この操作ボックス内のガス雰囲気を破壊しないようにするため、操作ボックスを密閉状態に維持しなければならない。
【０００３】
また、操作ボックスには、上記工程の実施に必要なグローブがさらに設置されている。
【０００４】
しかしながら、グローブは、ある程度の期間の使用により損傷したり経年劣化したりするため、交換が必要となる。
【０００５】
従来技術において、操作ボックスのグローブの交換方法としては、グローブを操作ボックスから取り外して交換し、新しいグローブを操作ボックスに取り付けた後、操作ボックスを再密閉し、操作ボックス内のガス雰囲気が製造工程の要求を満たすように操作ボックス内のガスを置換する方法が一般的である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記方法では、グローブを交換した後、製造に適する状態に操作ボックス内のガス雰囲気を復帰させる工程が必要とされる。このような工程には、多くの費用のほか、６時間以上、さらに８時間以上の時間が必要となる。
したがって、上記問題を解決するために、新たな技術的手段が求められている。
【０００７】
本発明の目的は、グローブを交換する過程において操作ボックスのチャンバーを密閉状態に維持することができ、チャンバー内のガス雰囲気を破壊することなく、コストや時間を削減可能な操作ボックス及びそのグローブの交換方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の一実施形態に係る操作ボックスは、ボックス体と、少なくとも１つのグローブと、少なくとも１つの第１シール部材と、少なくとも１つの第２シール部材と、少なくとも１つの閉塞板と、を含む。前記ボックス体は、チャンバーを有し、少なくとも１つの操作窓が側壁に設置される。前記グローブは、グローブ本体と、グローブポート縁部とを含む。前記第１シール部材は、前記操作窓に設置されるとともに前記ボックス体の前記側壁の外面に位置し、前記側壁との間に前記グローブのグローブポート縁部が設置され、前記グローブポート縁部と前記側壁とを封止する。前記第２シール部材は、前記操作窓に設置されるとともに前記ボックス体の前記側壁の内面に位置する。前記閉塞板は、前記チャンバー内に設置され、前記第２シール部材と共に前記操作窓を密閉する。前記第１シール部材は、第１貫通孔を有する。前記第１貫通孔の前記第１シール部材上の位置は、前記操作窓に対応する。前記第２シール部材は、第２貫通孔を有する。前記第２貫通孔の前記第２シール部材上の位置は、前記操作窓に対応する。前記閉塞板は、前記第２貫通孔を閉塞する。前記操作ボックスは、前記側壁の外面に前記第１シール部材を固定し、前記側壁の外面に対する前記第１シール部材の固定を解除するための固定部材をさらに含む。
【０００９】
上記操作ボックスでは、前記閉塞板は、メインプレートと、前記メインプレート上に設置され、前記第２シール部材に互いに係止されることで前記メインプレートを前記シール部材に密着させる係止部材と、を含む。
【００１０】
上記操作ボックスでは、前記メインプレートまたは前記第２シール部材には、シール材が設置される。前記係止部材には、第１係止部が設置される。前記第２シール部材には、第２係止部が設置される。前記第１係止部の前記係止部材上の位置は、前記第２係止部の前記第２シール部材上の位置に対応する。前記第１係止部及び前記第２係止部は互いに係止されるとともに、前記メインプレート及び前記第２シール部材を前記シール材に押圧させることで前記チャンバーを密閉する。
【００１１】
本発明の他の実施形態に係る操作ボックスは、ボックス体と、少なくとも１つのグローブと、少なくとも１つの第１シール部材と、少なくとも１つの第２シール部材と、少なくとも１つの閉塞板と、を含む。前記ボックス体は、チャンバーを有し、少なくとも１つの操作窓が側壁に設置される。前記グローブは、グローブ本体と、グローブポート縁部とを含む。前記第１シール部材は、前記操作窓に設置されるとともに前記ボックス体の前記側壁の外面に位置し、前記側壁との間に前記グローブのグローブポート縁部が設置され、前記グローブポート縁部と前記側壁とを封止する。前記第２シール部材は、前記操作窓に設置されるとともに前記ボックス体の前記側壁の内面に位置する。前記閉塞板は、前記チャンバー内に設置され、前記第２シール部材と共に前記操作窓を密閉する。
【００１２】
上記操作ボックスでは、前記第１シール部材は、第１貫通孔を有する。前記第１貫通孔の前記第１シール部材上の位置は、前記操作窓に対応する。前記第２シール部材は、第２貫通孔を有する。前記第２貫通孔の前記第２シール部材上の位置は、前記操作窓に対応する。前記閉塞板は、前記第２貫通孔を閉塞する。
【００１３】
上記操作ボックスは、前記側壁の外面に前記第１シール部材を固定し、前記側壁の外面に対する前記第１シール部材の固定を解除する固定部材をさらに含む。
【００１４】
上記操作ボックスでは、前記固定部材は、ねじである。前記ねじは、締められることで前記側壁の前記外面に前記第１シール部材を固定し、緩められることで前記側壁に対する前記第１シール部材の固定を解除する。
【００１５】
上記操作ボックスでは、前記固定部材は、第１バネ式留具である。前記第１バネ式留具の一端は、前記側壁の前記外面に固定され、その他端は、第１係止歯を有する。前記第１バネ式留具は、前記係止歯により、前記第１シール部材に係止されることで前記側壁の前記外面に前記第１シール部材を固定し、前記第１シール部材との係止状態を解除することで前記側壁に対する前記第１シール部材の固定を解除する。
【００１６】
上記操作ボックスでは、前記閉塞板は、メインプレートと、前記メインプレート上に設置され、前記第２シール部材に互いに係止されることで前記メインプレートを前記シール部材に密着させる係止部材と、を含む。
【００１７】
上記操作ボックスでは、前記メインプレートまたは前記第２シール部材には、シール材が設置される。前記係止部材には、第１係止部が設置される。前記第２シール部材には、第２係止部が設置される。前記第１係止部の前記係止部材上の位置は、前記第２係止部の前記第２シール部材上の位置に対応する。前記第１係止部及び前記第２係止部は互いに係止されるとともに、前記メインプレート及び前記第２シール部材を前記シール材に押圧させることで前記チャンバーを密閉する。
【００１８】
上記操作ボックスでは、前記係止部材は、サブプレートである。前記第１係止部は、ロック爪であり、前記第２係止部は、ロック溝である。前記ロック爪は、前記ロック溝内に嵌め込まれる。前記第２シール部材の前記第２面には、前記ロック爪に対応する嵌め込み口が設置される。前記嵌め込み口は、前記ロック溝まで貫通する。前記ロック爪は、前記嵌め込み口から前記ロック溝内に嵌め込まれ、前記ロック溝は、前記ロック爪を収容する。前記係止部材は、前記ロック溝内に嵌め込まれた後に第１方向または前記第１方向とは逆方向に所定の角度回転することで、前記ロック爪と前記ロック溝とを互いにロックさせる。前記係止部材は、前記第１方向または前記第１方向とは逆方向に所定の角度回転することで、前記ロック爪と前記ロック溝とのロックを解除する。
【００１９】
上記操作ボックスでは、前記第１係止部は、第２バネ式留具／第２バネ式留具の凹溝である。前記第２係止部は、前記第２バネ式留具の凹溝／前記第２バネ式留具である。前記閉塞板及び前記第２シール部材は、前記第２バネ式留具と前記第２バネ式留具の凹溝との嵌合により前記操作窓を密閉する。前記閉塞板の前記第２バネ式留具または前記第２バネ式留具の凹溝と、前記第２シール部材の前記第２バネ式留具の凹溝または前記第２バネ式留具との嵌合を解除することで、前記閉塞板と前記第２シール部材とを離脱させて前記操作窓の密閉を解除する。
【００２０】
上記操作ボックスでは、前記メインプレートまたは前記第２シール部材には、前記シール材を収容、固定するための凹溝が設置される。
【００２１】
上記操作ボックスでは、前記閉塞板は、前記サブプレート上に設置される把持部材をさらに含む。
【００２２】
上記操作ボックスでは、前記閉塞板は、前記メインプレート及び前記係止部材を連結するための連結部材をさらに含む。
【００２３】
本発明の別の実施形態に係る操作ボックスのグローブの交換方法は、前記閉塞板及び前記第２シール部材により前記操作窓を密閉するステップと、前記側壁の外面に対する前記第１シール部材の固定を解除することで、前記側壁から前記グローブを取り外すステップと、他のグローブのグローブポート縁部を前記側壁の前記外面に設置するステップと、前記第１シール部材を前記側壁の前記外面に固定することで、前記他のグローブのグローブポート縁部及び前記側壁を封止するステップと、前記閉塞板及び前記第２シール部材による前記操作窓の密閉を解除するステップと、を含む。
【００２４】
上記操作ボックスのグローブの交換方法では、前記閉塞板及び前記第２シール部材により前記操作窓を密閉するステップは、前記チャンバー内に位置する前記閉塞板を前記グローブ本体により前記操作窓に移動させるステップと、前記係止部材が前記操作窓に向けられる前記閉塞板で前記第２シール部材を閉塞するステップと、前記係止部材の第１係止部と前記第２シール部材の第２係止部とを互いに係止することで、前記メインプレートと前記第２シール部材とを前記シール材に押圧させて前記チャンバーを密閉するステップと、を含む。
【００２５】
上記操作ボックスのグローブの交換方法では、前記係止部材の第１係止部及び前記第２シール部材の第２係止部を互いに係止するステップの後、且つ前記側壁の外面に対する前記第１シール部材の固定を解除するステップの前に、前記グローブ本体を前記操作窓から取り出すステップをさらに含む。
【００２６】
上記操作ボックスのグローブの交換方法では、前記閉塞板及び前記第２シール部材による前記操作窓の密閉を解除するステップは、前記他のグローブのグローブ本体により前記係止部材の第１係止部と前記第２シール部材の第２係止部との係止を解除するステップと、前記他のグローブのグローブ本体により前記閉塞板を前記チャンバー内に配置するステップと、を含む。
【００２７】
上記操作ボックスのグローブの交換方法では、前記第１シール部材を前記側壁の前記外面に固定するステップの後、且つ前記他のグローブのグローブ本体により前記係止部材の第１係止部と前記第２シール部材の第２係止部との係止を解除するステップの前に、前記他のグローブのグローブ本体を前記操作窓に移動させるステップをさらに含む。
【００２８】
従来技術と比べて、本発明はグローブを交換する過程中における操作ボックスのチャンバーを密閉状態に維持することができ、チャンバー内のガス（例えば、窒素（Ｎ２））雰囲気を破壊することなく、コストや時間を削減することができる。
【００２９】
本発明の実施形態における技術内容をより明確に説明するために、以下に実施形態の説明に必要な添付図面を簡潔に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係る操作ボックスの第１実施形態を示す図である。
【図２】図１に示す閉塞板と第２シール部材との組み合わせ状態を示す斜視図である。
【図３】図２に示す閉塞板と第２シール部材との組み合わせ状態を示す分解図である。
【図４】図２に示す係止部材と第２シール部材とを互いに係止した状態を示す図である。
【図５】図２に示す係止部材と第２シール部材とを互いに係止した状態を示す図である。
【図６】本発明に係る操作ボックスのグローブの交換方法の第１実施形態を示すフローチャートである。
【図７】図６の、閉塞板及び第２シール部材によって操作窓を密閉するステップを示すフローチャートである。
【図８】図６の、閉塞板及び第２シール部材による操作窓の密閉を解除するステップを示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
下記各実施形態については、添付の図面を参照しながら説明し、本発明が実施できる特定の実施例を例示する。
【００３２】
本発明における「実施形態」という用語は、実施例、表示例または例示したものを意味している。また、本発明の明細書及び特許請求の範囲における「一」という用語は、他に特に指定された場合及び前後の文脈から明らかに単数形だと分かる場合以外、一般的に「１つまたは複数」を意味している。
【００３３】
図１は、本発明に係る操作ボックスの第１実施形態を示す図である。図２は、図１に示す閉塞板１０５と第２シール部材１０４との組み合わせ状態を示す斜視図である。図３は、図２に示す閉塞板１０５と第２シール部材１０４との組み合わせ状態を示す分解図である。
【００３４】
図１〜図３に示すように、本実施形態に係る操作ボックスは、ボックス体１０１、グローブ１０２、第１シール部材１０３、第２シール部材１０４及び閉塞板１０５を含む。
【００３５】
ボックス体１０１は、チャンバー１０１１を有する。ボックス体１０１の側壁には、少なくとも１つの操作窓１０１２が設置される。例えば、ボックス体１０１の側壁には、２つの操作窓１０１２が設置される。グローブ１０２は、グローブ本体１０２１及びグローブポート縁部１０２２を含む。ユーザ（操作者）は、グローブ１０２を介してチャンバー１０１１内で操作を行う。また、グローブ１０２により、操作窓１０１２が密閉される。詳細には、グローブ１０２の内部には、１つの半密閉空間を有する。この半密閉空間の開口は、グローブ１０２のグローブポートに位置する。グローブ１０２のグローブポートは、操作窓１０１２の位置に対応する。すなわち、操作窓１０１２は、グローブポートの対応する範囲内に設置される。操作窓１０１２は、半密閉空間によって覆われる。
【００３６】
第１シール部材１０３は、操作窓１０１２に設置されるとともにボックス体１０１の側壁の外面に位置する。第１シール部材１０３は、操作窓１０１２を囲むように設置される。詳細には、第１シール部材１０３は、第１貫通孔１０３１を有する。第１貫通孔１０３１の第１シール部材１０３上の位置は、操作窓１０１２に対応する。グローブ１０２のグローブポート縁部１０２２は、第１シール部材１０３と側壁との間に設置される。第１シール部材１０３は、グローブポート縁部１０２２と側壁とを封止する。詳細には、第１シール部材１０３は、グローブポート縁部１０２２を側壁に押し付けることで、グローブ１０２のグローブ本体１０２１で操作窓１０１２を密閉する。さらに、第１シール部材１０３は、グローブポート縁部１０２２と側壁との封止を解除することも可能である。詳細には、第１シール部材１０３は側壁から離脱すると、グローブポート縁部１０２２と側壁との封止を解除するようになる。
【００３７】
第２シール部材１０４は、操作窓１０１２に設置されるとともにボックス体１０１の側壁の内面に位置する。第２シール部材１０４は、操作窓１０１２を囲むように設置される。詳細には、第２シール部材１０４は、第２貫通孔１０４１を有する。第２貫通孔１０４１の第２シール部材１０４上の位置は、操作窓１０１２に対応する。第２シール部材１０４は、側壁の内面に密着する第１面１０４２と、閉塞板１０５／シール材１０５４に接触する第２面とを有する。
【００３８】
閉塞板１０５は、チャンバー１０１１内に設置され、第２貫通孔１０４１を閉塞する。特に、閉塞板１０５は、グローブ１０２の交換が必要な場合に第２貫通孔１０４１を閉塞するとともに、グローブ１０２の交換が完成した場合に第２貫通孔１０４１の閉塞を解除する。閉塞板１０５は、第２シール部材１０４と共に操作窓１０１２を密閉する。グローブ１０２の交換が必要とされる前、またはグローブ１０２の交換が完成した後、閉塞板１０５はチャンバー１０１１内に吊り下げられてもよいし、チャンバー１０１１の底部または他の場所に配置されてもよいし、可動連結部材を介してチャンバー１０１１の内壁に連結されてもよい。なお、可動連結部材は、マニピュレーターやヒンジなどであってもよい。
【００３９】
本実施形態では、操作ボックスは、固定部材１０６をさらに含む。固定部材１０６は、側壁の外面に第１シール部材１０３を固定したり、側壁の外面に対する第１シール部材１０３の固定を解除したりする。詳細には、固定部材１０６は、ねじであってもよい。この場合には、ねじを締めることで側壁の外面に第１シール部材１０３を固定し、ねじを緩めることで側壁の外面に対する第１シール部材１０３の固定を解除する。また、固定部材１０６は、第１バネ式留具であってもよい。第１バネ式留具の一端は、側壁の外面に固定され、第１バネ式留具の他端は、第１係止歯を有するようになる。第１バネ式留具は、係止歯により、第１シール部材１０３に係止されることで側壁の外面に第１シール部材１０３を固定したり、第１シール部材１０３との係止状態を解除することで側壁に対する第１シール部材１０３の固定を解除したりする。
【００４０】
本実施形態では、閉塞板１０５は、メインプレート１０５１及び係止部材１０５２を含む。係止部材１０５２は、メインプレート１０５１上に設置される。また、係止部材１０５２は、第２シール部材１０４に互いに係止されることで、メインプレート１０５１をシール部材と密着させる。メインプレート１０５１は、第２シール部材１０４に接触するとともに、第２シール部材１０４の第２貫通孔１０４１に被せられる。
本実施形態では、閉塞板１０５は、メインプレート１０５１と係止部材１０５２とを連結するための連結部材１０５３をさらに含む。連結部材１０５３は、ばねまたは連結ロッドである。
【００４１】
本実施形態では、メインプレート１０５１または第２シール部材１０４には、シール材１０５４が設置される。すなわち、メインプレート１０５１が第２シール部材１０４に接触する状態（メインプレート１０５１が第２シール部材１０４に被せられる状態）において、シール材１０５４は、メインプレート１０５１と第２シール部材１０４との間に位置するようになる。シール材１０５４は、環状に設置される。詳細には、シール材１０５４は、ストリップゴムを含むシールリングである。
【００４２】
係止部材１０５２には、第１係止部が設置される。第２シール部材１０４には、第２係止部が設置される。第１係止部の係止部材１０５２上の位置は、第２係止部の第２シール部材１０４上の位置に対応する。第１係止部及び第２係止部は互いに係止されるとともに、メインプレート１０５１と第２シール部材１０４とをシール材１０５４に押圧させることでチャンバー１０１１を密閉する。
【００４３】
図４及び図５は、いずれも図２に示す係止部材１０５２と第２シール部材１０４とを互いに係止した状態を示す図である。
【００４４】
係止部材１０５２は、サブプレートである。第１係止部は、ロック爪１０５２１であり、第２係止部は、ロック溝１０４３である。ロック爪１０５２１は、ロック溝１０４３内に嵌め込まれる。なお、第２シール部材１０４の第２面には、ロック爪１０５２１に対応する嵌め込み口が設置される。嵌め込み口は、ロック溝１０４３まで貫通し、すなわち、ロック溝１０４３に連結される。ロック爪１０５２１は、嵌め込み口からロック溝１０４３内に嵌め込まれる。ロック溝１０４３は、ロック爪１０５２１を収容する。係止部材１０５２（サブプレート／ロック爪１０５２１）は、ロック溝１０４３内に嵌め込まれた後に第１方向５０１または第１方向５０１とは逆方向に所定の角度回転することで、図５に示すように、ロック爪１０５２１とロック溝１０４３とを互いにロックさせる。すなわち、閉塞板１０５（係止部材１０５２）及び第２シール部材１０４は、ロック爪１０５２１とロック溝１０４３との嵌合により操作窓１０１２を密閉する。また、第１係止部が第２バネ式留具であるとともに第２係止部が第２バネ式留具の凹溝であるように配置してもよいし、第１係止部が第２バネ式留具の凹溝であるとともに第２係止部が第２バネ式留具であるように配置してもよい。この場合、閉塞板１０５及び第２シール部材１０４は、第２バネ式留具と第２バネ式留具の凹溝との嵌合により操作窓１０１２を密閉する。
【００４５】
係止部材１０５２（サブプレート／ロック爪１０５２１）は、第１方向５０１または第１方向５０１とは逆方向に所定の角度回転することで、ロック爪１０５２１とロック溝１０４３とのロックを解除する。すなわち、閉塞板１０５（係止部材１０５２）及び第２シール部材１０４は、ロック爪１０５２１とロック溝１０４３との嵌合を解除することで、操作窓１０１２の密閉を解除する。
【００４６】
また、閉塞板１０５（係止部材１０５２）の第２バネ式留具／第２バネ式留具の凹溝と、第２シール部材１０４の第２バネ式留具の凹溝／第２バネ式留具との嵌合を解除することにより、閉塞板１０５と第２シール部材１０４とを離脱させて操作窓１０１２の密閉を解除する。
【００４７】
本実施形態では、メインプレート１０５１または第２シール部材１０４には、シール材１０５４（シールリング）を収容且つ固定するための凹溝１０５１１が設置される。
【００４８】
本実施形態では、閉塞板１０５は、係止部材１０５２に設置される把持部材１０５２２をさらに含む。詳細には、把持部材１０５２２は、サブプレート上に設置される。なお、把持部材１０５２２は、ハンドルや把手などであってもよい。
【００４９】
上記技術的手段により、グローブ１０２を交換する過程において、チャンバー１０１１を密閉状態に維持することができ、チャンバー１０１１内のガス（例えば、窒素（Ｎ２））雰囲気を破壊することなく、コストや時間を削減することができる（チャンバー１０１１を開放した後、製造に適する状態にチャンバー１０１１内のガス雰囲気を復帰させるためには、多くの費用のほか、６時間以上、さらに８時間以上の時間が必要となる）。
【００５０】
図６は、本発明に係る操作ボックスのグローブ交換方法の第１実施形態を示すフローチャートである。本実施形態に係る操作ボックスのグローブの交換方法は、本発明に係る操作ボックスを対象として実施する方法であり、以下通りのステップを含む。
【００５１】
ステップ６０１では、閉塞板１０５及び第２シール部材１０４により操作窓１０１２を密閉する。
【００５２】
ステップ６０２では、側壁の外面に対する第１シール部材１０３の固定を解除することで、側壁からグローブ１０２を取り外す。詳細には、固定部材１０６により側壁に対する第１シール部材１０３の固定を解除する。例えば、ねじを緩めて側壁から取り外すことで、側壁に対する第１シール部材１０３の固定を解除したり、第１バネ式留具と第１バネ式留具の凹溝との嵌合状態を解除することで、側壁に対する第１シール部材１０３の固定を解除したりする。
【００５３】
ステップ６０３では、他のグローブのグローブポート縁部を側壁の外面に設置する。
【００５４】
ステップ６０４では、第１シール部材１０３を側壁の外面に固定することで、他のグローブのグローブポート縁部及び側壁を封止する。詳細には、第１シール部材１０３は、固定部材１０６によって側壁に固定される。例えば、ねじを締めて側壁に固定することで第１シール部材１０３を側壁に固定させたり、第１バネ式留具と第１バネ式留具の凹溝とを嵌合することで第１シール部材１０３を側壁に固定させたりする。
【００５５】
ステップ６０５では、閉塞板１０５及び第２シール部材１０４による操作窓１０１２の密閉を解除する。
【００５６】
本発明に係る操作ボックスのグローブの交換方法の第２実施形態は、上記第１実施形態と類似するが、閉塞板１０５及び第２シール部材１０４により操作窓１０１２を密閉するステップ（すなわち、ステップ６０１）が以下通りのステップを含むことで相違する。
【００５７】
ステップ７０１では、グローブ本体１０２１により閉塞板１０５を操作窓１０１２に移動させる。なお、閉塞板１０５は、チャンバー１０１１内に位置する。詳細には、グローブ本体１０２１により把持部材１０５２２を把持し、把持部材１０５２２により閉塞板１０５を引っ張って操作窓１０１２に移動させる。
【００５８】
ステップ７０２では、閉塞板１０５で第２シール部材１０４を閉塞する。なお、閉塞板１０５の係止部材１０５２は、操作窓１０１２に向けられるように配置される。詳細には、グローブ本体１０２１により把持部材１０５２２を把持し、把持部材１０５２２により係止部材１０５２を引っ張ることで、閉塞板１０５のメインプレート１０５１を操作窓１０１２に移動させて第２貫通孔１０４１を閉塞する。
【００５９】
ステップ７０３では、係止部材１０５２の第１係止部と第２シール部材１０４の第２係止部とを互いに係止することで、メインプレート１０５１と第２シール部材１０４とをシール材１０５４に押圧させてチャンバー１０１１を密閉する。詳細には、係止部材１０５２の第１係止部と第２シール部材１０４の第２係止部とをグローブ本体１０２１により互いに係止することで、メインプレート１０５１と第２シール部材１０４とをシール材１０５４に押圧させる。その結果、メインプレート１０５１及び第２シール部材１０４により操作窓１０１２（チャンバー１０１１）を密閉する。
【００６０】
なお、係止部材１０５２の第１係止部と第２シール部材１０４の第２係止部とを互いに係止するステップは、係止部材１０５２におけるロック爪１０５２１を第２シール部材１０４の第２面の嵌め込み口から第２シール部材１０４のロック溝１０４３内に嵌め込み、第１方向５０１または第１方向５０１とは逆方向に係止部材１０５２（サブプレート）を所定の角度回転させることで、図５に示すように、ロック爪１０５２１とロック溝１０４３とを互いにロックさせるステップ、または、閉塞板１０５（係止部材１０５２）の第２バネ式留具／第２バネ式留具の凹溝と第２シール部材１０４の第２バネ式留具の凹溝／第２バネ式留具とにより、閉塞板１０５と第２シール部材１０４とを嵌合するステップを含む。
【００６１】
ステップ７０４では、グローブ本体１０２１を操作窓１０１２から取り出す。
【００６２】
さらに、本実施形態に係る操作ボックスのグローブの交換方法は、ステップ７０１の後且つステップ７０２の前に、閉塞板１０５を第２シール部材１０４に位置合わせするステップをさらに含む。詳細には、閉塞板１０５の係止部材１０５２の第１係止部を第２シール部材１０４の第２係止部に位置合わせする。
【００６３】
本発明に係る操作ボックスのグローブの交換方法の第３実施形態は、上記第１実施形態または第２実施形態と類似するが、閉塞板１０５及び第２シール部材１０４による操作窓１０１２の密閉を解除するステップ（すなわち、ステップ６０５）が以下通りのステップを含むことで相違する。
【００６４】
ステップ８０１では、他のグローブのグローブ本体を操作窓１０１２内に移動させる。
【００６５】
ステップ８０２では、他のグローブのグローブ本体により係止部材１０５２の第１係止部と第２シール部材１０４の第２係止部との係止を解除する。詳細には、他のグローブのグローブ本体より把持部材１０５２２を把持し、係止部材１０５２（サブプレート）を第１方向５０１または第１方向５０１とは逆方向に所定の角度回転させることで、ロック爪１０５２１とロック溝１０４３とのロックを解除し、係止部材１０５２（サブプレート）を押すことで嵌め込み口から取り外す。または、閉塞板１０５（係止部材１０５２）の第２バネ式留具／第２バネ式留具の凹溝と第２シール部材１０４の第２バネ式留具の凹溝／第２バネ式留具との嵌合を解除することで、閉塞板１０５と第２シール部材１０４とを離脱させる。
【００６６】
ステップ８０３では、他のグローブのグローブ本体により閉塞板１０５をチャンバー１０１１内に配置する。
【００６７】
上記技術的手段により、グローブ１０２を交換する過程において、チャンバー１０１１を密閉状態に維持することができ、チャンバー１０１１内のガス（例えば、窒素（Ｎ２））雰囲気を破壊することなく、コストや時間を削減することができる（チャンバー１０１１を開放した後、製造に適する状態にチャンバー１０１１内のガス雰囲気を復帰させるためには、多くの費用のほか、６時間以上、さらに８時間以上の時間が必要となる）。
【００６８】
上記１つ以上の実施形態を例示して本発明を具体的に説明したが、当業者は本明細書や図面を読み理解した時点で均等な代替例及び変形例を想到するであろうことは自明である。本発明の保護範囲は、このような代替例及び変形例を含み、特許請求の範囲のみによって限定される。特に、上記構成要素が果たすさまざまな機能に関して、このような構成要素を説明するために使用されている用語は、他に特に指定がない限り、たとえ所望の構成要素が、本明細書に開示された本発明の代表的な実施形態の機能を果たす構成要素と構造的には均等でなくても、上記所望の構成要素の指定された機能（例えば、機能的に均等である）を果たす任意の構成要素に対応することが、意図されている。さらに、本発明の具体的な特徴は複数の実施形態うちの１つのみと関連付けて開示されているかもしれないが、このような特徴を、所望される通りに、所与または特定の応用例にとって有利になるように、１つ以上のその他の特徴と組み合わせてもよい。しかも、本発明の具体的な実施形態または特許請求の範囲において記載された「含む」、「有する」、「含有」またはその変形例という用語は、「包含」という用語と類似する態様を含む。
【００６９】
以上より、本発明の好適な実施形態を前述の通り開示したが、これらは決して本発明を限定するものではない。当業者であれば、本発明の精神及び範囲を含む各種の変動や潤色は、本発明の保護を求める範囲内に属するものであることを理解されたい。したがって、本発明の保護範囲は特許請求の範囲の保護範囲に従う。
【図１】
2017523921.tif 000003
【図２】
2017523921.tif 000004
【図３】
2017523921.tif 000005
【図４】
2017523921.tif 000006
【図５】
2017523921.tif 000007
【図６】
2017523921.tif 000008
【図７】
2017523921.tif 000009
【図８】
2017523921.tif 000010
【国際調査報告】
2017523921.tif 000011
2017523921.tif 000012
2017523921.tif 000013
2017523921.tif 000014
2017523921.tif 000015
2017523921.tif 000016