(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１、第２母基板のダミー領域が第１テーブルの一方に突出するように第１、第２母基板を吸着する工程と、
前記突出させた第１、第２母基板上に第１上部ホイール及び第１下部ホイールにより第１切断予定線を形成する工程であって、前記第１及び第２母基板上に形成される前記第１切断予定線を、前記ダミー領域を除く前記第１母基板が前記ダミー領域を除く前記第２母基板がよりも突出するように形成し、または前記ダミー領域を除く前記第２母基板が前記ダミー領域を除く前記第１母基板がよりも突出するように形成する工程と、
ロボットグリップを使用して前記ダミー領域をつかみ、前記第１切断予定線に沿って前記第１、第２母基板から前記ダミー領域を除去する工程であって、前記ロボットグリップを、前記ダミー領域を除く前記第１母基板が前記ダミー領域を除く前記第２母基板よりも突出している場合には前記第２母基板の方向に、前記ダミー領域を除く前記第２母基板が前記ダミー領域を除く前記第１母基板よりも突出している場合には前記第１母基板の方向に高さ方向に移動させて前記ダミー領域を除去する工程と、
前記ダミー領域が除去された第１、第２母基板を前記第１テーブルと所定距離離隔された第２テーブル間に移動させて、前記第１、第２母基板上に前記第１上部ホイール及び第１下部ホイールにより第２切断予定線を形成する工程と、
前記第１、第２テーブルを移動させて前記第１、第２母基板を切削する工程と、
を包含することを特徴とする液晶表示パネルの切断方法。
【請求項２】
前記第１切断予定線又は第２切断予定線の少なくとも一部分にロールにより圧力を印加する工程がさらに包含されることを特徴とする請求項１記載の液晶表示パネルの切断方法。
【請求項３】
前記第１切断予定線又は第２切断予定線を沿ってロールにより圧力を印加する工程がさらに包含されることを特徴とする請求項１記載の液晶表示パネルの切断方法。
【請求項４】
前記ロールがウレタン材質で形成されたことを特徴とする請求項２又は請求項３記載の液晶表示パネルの切断方法。
【請求項５】
前記第１、第２母基板は、各カラーフィルター基板が形成された第２母基板上に各薄膜トランジスタ基板が形成された第１母基板が積層されたことを特徴とする請求項１記載の液晶表示パネルの切断方法。
【請求項６】
前記第１又は第２テーブルの少なくとも一つが、前記第１、第２基板を吸着するための複数の吸着ホールを具備することを特徴とする請求項１記載の液晶表示パネルの切断方法。
【請求項７】
前記第１又は第２テーブルの少なくとも一つが吸着部を具備することを特徴とする請求項１記載の液晶表示パネルの切断方法。
【請求項８】
第１及び第２母基板のダミー領域が突出するように前記第１及び第２母基板が吸着されるテーブルと、
前記第１及び第２母基板の前記テーブルから突出した領域に前記ダミー領域を規定する第１切断予定線を形成する第１上部ホイール及び第１下部ホイールであって、前記第１及び第２母基板上に形成される第１切断予定線を、前記ダミー領域を除く前記第１母基板が前記ダミー領域を除く前記第２母基板がよりも突出するように形成し、または前記ダミー領域を除く前記第２母基板が前記ダミー領域を除く前記第１母基板がよりも突出するように形成する第１上部ホイール及び第１下部ホイールと、
前記ダミー領域をつかみ、前記第１切断予定線に沿って前記第１及び第２母基板から前記ダミー領域を除去するロボットグリップであって、前記ダミー領域を除く前記第１母基板が前記ダミー領域を除く前記第２母基板よりも突出している場合には前記第２母基板の方向に、前記ダミー領域を除く前記第２母基板が前記ダミー領域を除く前記第１母基板よりも突出している場合には前記第１母基板の方向に高さ方向に移動可能なロボットグリップと
を備えた液晶表示パネルの切断装置。
【請求項９】
前記第１切断予定線の少なくとも一部分に圧力を印加するロールをさらに含む請求項８記載の液晶表示パネルの切断装置。
【請求項１０】
前記第１切断予定線に沿って圧力を印加するロールをさらに含む請求項８記載の液晶表示パネルの切断装置。
【請求項１１】
前記ロールがウレタン材質で形成されたことを特徴とする請求項９又は請求項１０記載の液晶表示パネルの切断装置。
【請求項１２】
前記第１、第２母基板は、各カラーフィルター基板が形成された第２母基板上に各薄膜トランジスタ基板が形成された第１母基板が積層された請求項８記載の液晶表示パネルの切断装置。
【請求項１３】
前記テーブルが前記第１、第２基板を吸着するための複数の吸着ホールを具備する請求項８記載の液晶表示パネルの切断装置。
【請求項１４】
前記テーブルが吸着部を具備する請求項８記載の液晶表示パネルの切断装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネルの切断装置及びその方法に係るもので、詳しくは、大面積ガラス基板上に製作された複数の液晶表示パネルを個別的な液晶表示パネルに切断し得る液晶表示パネルの切断装置及びその方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、液晶表示装置は、マトリックス状に配列された各液晶セルに画像情報によるデータ信号を個別的に供給し、それら液晶セルの光透過率を調節することで、所望の画像を表示し得るようにした表示装置である。
【０００３】
従って、液晶表示装置は、画素単位の各液晶セルがマトリックス状に配列される液晶表示パネルと、前記液晶セルを駆動するドライバ集積回路と、を包含して構成される。
【０００４】
又、前記液晶表示パネルは、相互に対向するカラーフィルター基板及び薄膜トランジスタ・アレイ基板と、それらカラーフィルター基板及び薄膜トランジスタ・アレイ基板の離隔間隔に充填された液晶層と、を包含して構成される。
【０００５】
又、前記液晶表示パネルの薄膜トランジスタ・アレイ基板上には、データドライバ集積回路から供給されるデータ信号を各液晶セルに伝送する複数のデータラインと、ゲートドライバ集積回路から供給される走査信号を各液晶セルに伝送する複数のゲートラインと、が相互に直交し、それらデータラインとゲートラインとの交差部毎に各液晶セルが定義される。
【０００６】
又、前記ゲートドライバ集積回路は、複数のゲートラインに順次走査信号を供給することで、マトリックス状に配列された各液晶セルが一つのラインずつ順次選択されるようにし、該選択された一つのラインの各液晶セルには、データドライバ集積回路からデータ信号が供給される。
【０００７】
又、前記カラーフィルター基板及び薄膜トランジスタ・アレイ基板の対向する内方側面には、夫々共通電極及び画素電極が形成されて前記液晶層に電界を印加する。この時、画素電極は、薄膜トランジスタ・アレイ基板上に液晶セル別に形成される反面、共通電極は、カラーフィルター基板の全面に一体化されて形成される。従って、共通電極に電圧を印加した状態で画素電極に印加される電圧を制御することで、各液晶セルの光透過率を個別的に調節することができる。
【０００８】
このように画素電極に印加される電圧を液晶セル別に制御するために各液晶セルには、スイッチング素子に使われる薄膜トランジスタが形成される。
【０００９】
又、液晶表示装置は、大面積の母基板に複数の薄膜トランジスタ・アレイ基板を形成し、別途の母基板に複数のカラーフィルター基板を形成した後、二つの母基板を合着することで、複数の液晶表示パネルを同時に形成して収率向上を図っているので、単位パネルに切断する工程が要求される。
【００１０】
通常、前記単位パネルの切断は、ガラスに比べて硬度の高いダイアモンド材質のペンで母基板の表面に切断予定線を形成するスクライブ(scribe)工程と、機械的力を加えて切断するブレイク(break)工程により実施される。
【００１１】
以下、このような単位パネルの切断工程について、図面を用いて説明する。
図８は、液晶表示装置の薄膜トランジスタ・アレイ基板とカラーフィルター基板とが対向して合着された単位液晶表示パネルの概略的な平面構造を示した例示図である。
【００１２】
図８に示したように、液晶表示パネル１０は、各液晶セルがマトリックス状に配列される画像表示部１３と、該画像表示部１３の各ゲート配線と接続されるゲートパッド部１４及び各データ配線と接続されるデータパッド部１５と、を包含して構成される。この時、ゲートパッド部１４及びデータパッド部１５は、カラーフィルター基板２と重畳されない薄膜トランジスタ・アレイ基板１の縁領域に形成され、前記ゲートパッド部１４は、ゲートドライバ集積回路から供給される走査信号を画像表示部１３の各ゲート配線に供給し、前記データパッド部１５は、データドライバ集積回路から供給される画像情報を画像表示部１３の各データ配線に供給する。
【００１３】
この時、図面上に詳細に図示しなかったが、画像表示部１３の薄膜トランジスタ・アレイ基板１は、画像情報が印加される各データ配線と走査信号が印加される各ゲート配線とが相互に垂直交差して配置され、該交差部に液晶セルをスイッチングする薄膜トランジスタと、該薄膜トランジスタに接続されて液晶セルを駆動する画素電極と、それら電極及び薄膜トランジスタを保護するために全面に形成された保護膜と、を包含して構成される。
【００１４】
又、前記画像表示部１３のカラーフィルター基板２は、ブラックマトリックスによりセル領域別に分離されて塗布された各カラーフィルターと、前記薄膜トランジスタ・アレイ基板１に形成された画素電極の対向電極の共通透明電極と、を包含して構成される。
【００１５】
上記のように構成された薄膜トランジスタ・アレイ基板１とカラーフィルター基板２とは対向して所定間隔離隔されるようにセル・ギャップが備えられ、画像表示部１３の外郭に形成されたシーリング部(図示されず)により合着され、薄膜トランジスタ・アレイ基板１とカラーフィルター基板２間の離隔された空間に液晶層(図示されず)が形成される。
【００１６】
図９は、上記のように構成された各薄膜トランジスタ・アレイ基板１が形成された第１母基板と各カラーフィルター基板２が形成された第２母基とが合着されて複数の液晶表示パネルを成す断面構造を示した例示図である。
【００１７】
図９に示したように、各単位液晶表示パネルは、各薄膜トランジスタ・アレイ基板１の一方が各カラーフィルター基板２に比べて突出して形成される。これは、前記図８に示したように、各薄膜トランジスタ・アレイ基板１の各カラーフィルター基板２と重畳されない縁にゲートパッド部１４及びデータパッド部１５が形成されるからである。
【００１８】
従って、第２母基板３０上に形成された各カラーフィルター基板２は、第１母基板２０上に形成された各薄膜トランジスタ・アレイ基板１が突出される面積に該当するダミー領域３１だけ離隔して形成される。
【００１９】
又、各単位液晶表示パネルは、第１、第２母基板２０、３０を最大限利用し得るように適切に配置され、モデルによって異なるが、一般に、各単位液晶表示パネルは、ダミー領域３２だけ離隔するように形成される。
【００２０】
前記各薄膜トランジスタ・アレイ基板１が形成された第１母基板２０と各カラーフィルター基板２が形成された第２母基板３０とが合着された後、スクライブ工程及びブレイク工程により液晶表示パネルを個別的に切断するが、この時、第２母基板３０の各カラーフィルター基板２が離隔された領域に形成されたダミー領域３１及び各単位液晶表示パネルを離隔させるダミー領域３２が同時に除去される。
【００２１】
上記のように構成された各単位液晶表示パネルの切断工程においては、先ず、図１０Ａに示したように、対向して合着された第１母基板２０及び第２母基板３０を第１テーブル３３にローディングさせる。
【００２２】
次いで、図１０Ｂに示したように、前記第１テーブル３３を予め設定された距離だけ一方方向に移動させながら、切断ホイール４１により第１母基板２０上に１次切断予定線４２を順次形成する。
【００２３】
次いで、図１０Ｃに示したように、前記第１、第２母基板２０、３０を９０゜回転させた後、第１テーブル３３を予め設定された距離だけ元来の位置に移動させながら、前記切断ホイール４１により第１母基板２０の表面に２次切断予定線４３を順次形成する。
【００２４】
次いで、図１０Ｄに示したように、前記第１、第２母基板２０、３０を反転させた後、第２テーブル３４にローディングさせ、第２テーブル３４を予め設定された距離だけ一方方向に移動させながら、ブレイク棒４４により前記２次切断予定線４３を沿って第２母基板３０を打撃して第１母基板２０上にクラックを伝播させる。
【００２５】
次いで、図１０Ｅに示したように、前記第２、第１母基板３０、２０を９０゜回転させた後、第２テーブル３４を予め設定された距離だけ元来の位置に移動させながら、ブレイク棒４４により前記１次切断予定線４２を沿って第２母基板３０を打撃して第１母基板２０上にクラックを伝播させる。
【００２６】
次いで、図１０Ｆに示したように、前記第２、第１母基板３０、２０を第３テーブル３５にローディングさせ、該第３テーブル３５を予め設定された距離だけ一方方向に移動させながら、切断ホイール４５により第２母基板３０の表面に３次切断予定線４６を順次形成する。
【００２７】
次いで、図１０Ｇに示したように、前記第２、第１母基板３０、２０を９０゜回転させた後、第３テーブル３５を予め設定された距離だけ元来の位置に移動させながら、前記切断ホイール４５により第２母基板３０の表面に４次切断予定線４７を順次形成する。
【００２８】
次いで、図１０Ｈに示したように、前記第２、第１母基板３０、２０を反転させた後、第４テーブル３６にローディングさせ、第４テーブル３６を予め設定された距離だけ一方方向に移動させながら、ブレイク棒４８により前記４次切断予定線４７を沿って第１母基板２０を打撃して第２母基板３０上にクラックを伝播させる。
【００２９】
次いで、図１０Ｉに示したように、前記第１、第２母基板２０、３０を９０゜回転させた後、第４テーブル３６を予め設定された距離だけ元来の位置に移動させながら、ブレイク棒４８により前記３次切断予定線４６を沿って第１母基板２０を打撃して第２母基板３０上にクラックを伝播させる。
【００３０】
次いで、図１０Ｊに示したように、前記１次乃至４次切断予定線４２、４３、４６、４７を沿って第１、第２母基板２０、３０上にクラックが伝播されることにより切削された単位液晶表示パネルを吸着板４９を利用して選択的にアンローディングして後続工程が進行される装備に移送する。
【００３１】
【発明が解決しようとする課題】
然るに、このような従来単位液晶表示パネルの切断装備及びその工程においては、４回の回転及び２回の反転により４回のスクライビング及び４回のブレイキングが遂行されることで、夫々回転部を包含する二つのスクライビング装備及び夫々回転部及び反転部を包含する二つのブレイキング装備が要求されるために、作業現場で多面積を占めて、装備の設置費用及び設置空間が浪費されるという不都合な点があった。
【００３２】
又、スクライビング及びブレイキング工程に多くの時間が必要とされるので生産性が減少するという不都合な点があった。
【００３３】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたもので、スクライビングを遂行するための回転及び反転を最小化し、簡単な操作によりスクライビングされた母基板から単位液晶表示パネルを切断し得る液晶表示パネルの切断装置及びその方法を提供することを目的とする。
【００３４】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するため、本発明に係る液晶表示パネルの切断装置の実施形態においては、第１及び第２母基板のダミー領域が突出するように第１及び第２母基板が吸着されるテーブルと、第１及び第２母基板のテーブルから突出した領域にダミー領域を規定する第１切断予定線を形成する第１上部ホイール及び第１下部ホイールであって、第１及び第２母基板上に形成される第１切断予定線を、ダミー領域を除く第１母基板がダミー領域を除く第２母基板がよりも突出するように形成し、またはダミー領域を除く第２母基板がダミー領域を除く第１母基板がよりも突出するように形成する第１上部ホイール及び第１下部ホイールと、ダミー領域をつかみ、第１切断予定線に沿って第１及び第２母基板からダミー領域を除去するロボットグリップであって、ダミー領域を除く第１母基板がダミー領域を除く第２母基板よりも突出している場合には第２母基板の方向に、ダミー領域を除く第２母基板がダミー領域を除く第１母基板よりも突出している場合には第１母基板の方向に高さ方向に移動可能なロボットグリップとを備える構成とした。
また、参考発明に係る液晶表示パネルの切断装置の実施参考形態においては、所定間隔離隔されて各単位液晶表示パネルが製作された第１、第２母基板を予め決められた距離だけ一方方向に移動させながら、第１、第２ホイールを使用して第１、第２母基板の表面に１次切断予定線を形成し、該１次切断予定線の少なくとも一部分に第１ロールにより圧力を印加して第１、第２母基板を順次切削する第１スクライビング部と、前記切削された第１、第２母基板を９０゜回転させる第１回転部と、該回転された第１、第２母基板を予め決められた距離だけ一方方向に移動させながら、第３、第４ホイールを使用して第１、第２母基板の表面に２次切断予定線を形成し、該２次切断予定線の少なくとも一部分に第２ロールにより圧力を印加して第１、第２母基板を順次切削する第２スクライビング部と、を包含して構成されることを特徴とする。
【００３５】
又、参考発明に係る液晶表示パネルの切断装置の他の実施参考形態においては、各単位液晶表示パネルが製作された第１、第２母基板を予め設定された距離だけ一方方向に移動させながら、第１、第２テーブルの離隔された領域に掛けられるようにローディングして吸着した後、第１、第２ホイールを使用して第１、第２母基板の表面に１次切断予定線を形成し、第１、第２テーブルを相互に離れる方向に移動させて第１、第２母基板を順次切削する第１スクライビング部と、前記切削された第１、第２母基板を９０゜回転させる第１回転部と、該回転された第１、第２母基板を予め設定された距離だけ一方方向に移動させながら、第３、第４テーブルの離隔された領域に掛けられるようにローディングして吸着した後、第３、第４ホイールを使用して第１、第２母基板の表面に２次切断予定線を形成し、第３、第４テーブルを相互に離れる方向に移動させて第１、第２母基板を順次切削する第２スクライビング部と、を包含して構成されることを特徴とする。
【００３６】
また、本発明に係る液晶表示パネルの切断方法の実施形態においては、第１、第２母基板のダミー領域が第１テーブルの一方に突出するように第１、第２母基板を吸着する工程と、突出させた第１、第２母基板上に第１上部ホイール及び第１下部ホイールにより第１切断予定線を形成する工程であって、第１及び第２母基板上に形成される第１切断予定線を、ダミー領域を除く第１母基板がダミー領域を除く第２母基板がよりも突出するように形成し、またはダミー領域を除く第２母基板がダミー領域を除く第１母基板がよりも突出するように形成する工程と、ロボットグリップを使用してダミー領域をつかみ、第１切断予定線に沿って第１、第２母基板からダミー領域を除去する工程であって、ロボットグリップを、ダミー領域を除く第１母基板がダミー領域を除く第２母基板よりも突出している場合には第２母基板の方向に、ダミー領域を除く第２母基板がダミー領域を除く第１母基板よりも突出している場合には第１母基板の方向に高さ方向に移動させてダミー領域を除去する工程と、ダミー領域が除去された第１、第２母基板を第１テーブルと所定距離離隔された第２テーブル間に移動させて、第１、第２母基板上に第１上部ホイール及び第１下部ホイールにより第２切断予定線を形成する工程と、第１、第２テーブルを移動させて第１、第２母基板を切削する工程と、を包含することを特徴とする。
又、参考発明に係る液晶表示パネルの切断方法の実施参考形態においては、所定間隔離隔されて各単位液晶表示パネルが製作された第１、第２母基板を予め決められた距離だけ一方方向に移動させながら、第１、第２母基板の表面に１次切断予定線を形成する第１スクライビング工程と、前記１次切断予定線の少なくとも一部分に第１ロールにより圧力を印加して第１、第２母基板を順次切削する第１切削工程と、該切削された第１、第２母基板を９０゜回転させた後、第１、第２母基板を予め決められた距離だけ一方方向に移動させながら、第１、第２母基板の表面に２次切断予定線を形成する第２スクライビング工程と、前記２次切断予定線の少なくとも一部分に第２ロールにより圧力を印加して第１、第２母基板を順次切削する第２切削工程と、を包含することを特徴とする。
【００３７】
且つ、参考発明に係る液晶表示パネルの切断方法の他の実施参考形態においては、各単位液晶表示パネルが製作された第１、第２母基板を予め設定された距離だけ一方方向に移動させながら、第１、第２テーブルの離隔された領域に掛けられるようにローディングして吸着した後、第１、第２母基板の表面に１次切断予定線を形成する第１スクライビング工程と、前記第１、第２テーブルを相互に離れる方向に移動させて第１、第２母基板を順次切削する第１切削工程と、該切削された第１、第２母基板を９０゜回転させ、第１、第２母基板を予め設定された距離だけ一方方向に移動させながら、第３、第４テーブルの離隔された領域に掛けられるようにローディングして吸着した後、第１、第２母基板の表面に２次切断予定線を形成する第２スクライビング工程と、前記第３、第４テーブルを相互に離れる方向に移動させて第１、第２母基板を切削する第２切削工程と、を包含することを特徴とする。
【００３８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明（上記参考発明を含む、以下同じ）の実施の形態（上記実施参考形態を含む、以下同じ）に対し、図面を用いて説明する。本発明に係る液晶表示パネルの切断装置の第１実施形態においては、図１に示したように、各単位液晶表示パネルが製作された第１、第２母基板をローディングした後、整列させるローディング部１００と、前記第１、第２母基板の表面に第１上部ホイールと第１下部ホイールにより１次切断予定線を形成し、該１次切断予定線の少なくとも一部分に第１ロールにより圧力を印加して第１、第２母基板を順次切削する第１スクライビング部１１０と、前記切削された第１、第２母基板を９０゜回転させる第１回転部１２０と、前記回転された第１、第２母基板の表面に第２上部ホイール及び第２下部ホイールにより２次切断予定線を形成し、該２次切断予定線の少なくとも一部分に第２ロールにより圧力を印加して第１、第２母基板を順次切削する第２スクライビング部１３０と、前記第１、第２スクライビング部１１０、１３０により切削された単位液晶表示パネルをアンローディングして後続工程が進行される装備に移送するアンローディング部１４０と、を包含して構成されている。
【００３９】
又、図２Ａ乃至図２Ｇは、前記図１の各ブロックで実施される順次的工程を詳細に示した例示図であって、これを用いて本発明に係る液晶表示パネルの切断装置及びその方法の第１実施形態に対して詳細に説明すると、次のとおりである。
【００４０】
先ず、図２Ａに示したように、前記ローディング部１００では、各薄膜トランジスタ・アレイ基板と各カラーフィルター基板とが相互に対向するように合着された第１、第２母基板１０３、１０４を第１テーブル１０５にローディングした後、整列マーク１０６により整列させる。
【００４１】
又、前記第１、第２母基板１０３、１０４は、各カラーフィルター基板が形成された第２母基板１０４上に各薄膜トランジスタ・アレイ基板が形成された第１母基板１０３を積層した状態にローディングすることで、反対に積層した場合に比べて第１、第２母基板１０３、１０４の切削過程で薄膜トランジスタ・アレイ基板又はカラーフィルター基板に加えられる衝撃を緩和させることができる。
【００４２】
又、図２Ｂに示したように、前記第１スクライビング部１１０では、第１、第２母基板１０３、１０４を第１テーブル１０５と所定間隔離隔された第２テーブル１１１間に置かれるように予め設定された距離だけ移動させながら、第１、第２テーブル１０５、１１１間の離隔された空間で第１上部ホイール１１２及び第１下部ホイール１１３により第１、第２母基板１０３、１０４の表面に１次切断予定線１１４、１１５を順次形成する。
【００４３】
前記第１母基板１０３に形成された各薄膜トランジスタ・アレイ基板の一方は、第２母基板１０４に形成された各カラーフィルター基板の対応する一方に比べて突出されるように形成される。これは、前記図８及び図９を用いて説明したように、薄膜トランジスタ・アレイ基板の左右方向一方に形成されるゲートパッド部及び上下方向一方に形成されるデータパッド部に起因する。
【００４４】
従って、前記各薄膜トランジスタ・アレイ基板の一方が各カラーフィルター基板の対応する一方に比べて突出した領域では、第１上部ホイール１１２を基準線Ｒ１の一方に所定距離離隔させて第１母基板１０３の表面に１次切断予定線１１４を形成し、第１下部ホイール１１３を基準線Ｒ１から第１上部ホイール１１２と対応される反対方向に所定距離離隔させて第２母基板１０４の表面に１次切断予定線１１５を形成する。
【００４５】
又、前記各薄膜トランジスタ・アレイ基板のゲートパッド部又はデータパッド部が形成されない領域（即ち、各薄膜トランジスタ・アレイ基板が各カラーフィルター基板に比べて突出していない領域）では、第１上部ホイール１１２と第１下部ホイール１１３とを相互に一致するように整列させて第１、第２母基板１０３、１０４の表面に夫々１次切断予定線１１４、１１５を形成する。
【００４６】
又、図２Ｃに示したように、前記第１スクライビング部１１０では、前記１次切断予定線１１４、１１５の一部分に第１ロール１１６により圧力を印加して第１、第２母基板１０３、１０４を順次切削する。
【００４７】
又、前記第１ロール１１６は、第１上部ホイール１１２により形成された１次切断予定線１１４の一部分又は複数の部分に同時に圧力を印加して第１、第２母基板１０３、１０４上に１次切断予定線１１４、１１５を沿ってクラックが伝播されるようにすることができる。
【００４８】
又、前記第１ロール１１６は、第１上部ホイール１１２が第１母基板１０３の表面に１次切断予定線１１４を形成した後、元来の位置に移動する時、第１上部ホイール１１２と連動して１次切断予定線１１４を沿って圧力を印加しながら移動し得るようにすることで、一層效果的に１次切断予定線１１４に圧力を印加することができる。
【００４９】
又、前記第１ロール１１６は、第２母基板１０４の表面に形成された１次切断予定線１１５に単独に適用することもできるし、第１、第２母基板１０３、１０４の表面に形成された１次切断予定線１１４、１１５の全てに適用することもできる。
【００５０】
上記のように、第１ロール１１６は、薄膜トランジスタ・アレイ基板が形成された第１母基板１０３と接触する方式により圧力を印加することで、ガラス基板との滑りが少なく、静電気特性が優秀で、パーティクルの発生量が少ないウレタン材質を適用することが好ましい。
【００５１】
又、図２Ｄに示したように、前記回転部１２０では、切削された第１、第２母基板１０３、１０４を９０゜回転させる。
【００５２】
又、図２Ｅに示したように、前記第２スクライビング部１３０では、回転された第１、第２母基板１０３、１０４を所定間隔離隔された第３、第４テーブル１３１、１３２間に置かれるように予め設定された距離だけ移動させながら、第３、第４テーブル１３１、１３２間の離隔された空間で第２上部ホイール１３３及び第２下部ホイール１３４により第１、第２母基板１０３、１０４の表面に２次切断予定線１３５、１３６を順次形成する。
【００５３】
前記図２Ｂを用いて説明したように、前記第２上部ホイール１３３及び第２下部ホイール１３４は、第１上部ホイール１１２及び第１下部ホイール１１３と同様に、各薄膜トランジスタ・アレイ基板の一方が各カラーフィルター基板の対応する一方に比べて突出した領域では、基準線Ｒ１から相互に対応する反対方向に所定距離離隔されるようにし、前記第１、第２母基板１０３、１０４の表面に２次切断予定線１３５、１３６を形成する一方、各薄膜トランジスタ・アレイ基板が各カラーフィルター基板に比べて突出されない領域では、第２上部ホイール１３３と第２下部ホイール１３４とを相互に一致するように整列させて第１、第２母基板１０３、１０４の表面に２次切断予定線１３５、１３６を形成する。
【００５４】
又、図２Ｆに示したように、前記第２スクライビング部１３０では、前記２次切断予定線１３５、１３６の一部分に第２ロール１３７により圧力を印加して第１、第２母基板１０３、１０４を順次切削する。
【００５５】
前記図２Ｃを用いて説明したように、前記第２ロール１３７は、第１ロール１１６と同様に第２上部ホイール１３３により形成された２次切断予定線１３５の一部分又は複数の部分に同時に圧力を印加し、第１、第２母基板１０３、１０４上に２次切断予定線１３５、１３６を沿ってクラックが伝播されるようにし、第２上部ホイール１３３が第１母基板１０３の表面に２次切断予定線１３５を形成した後、元来の位置に移動する時、第２上部ホイール１３３と連動して２次切断予定線１３５を沿って圧力を印加しながら移動し得るようにすることで、一層效果的に２次切断予定線１３５に圧力を印加することができるし、ガラス基板との摩擦力が小さくて静電気特性が優秀で、パーティクルの発生量が少ないウレタン材質を適用することが好ましい。
【００５６】
又、図２Ｇに示したように、前記アンローディング部１４０では、前記１次、２次切断予定線１１４、１１５、１３５、１３６を沿って順次切削される各単位液晶表示パネルを後続工程が進行される装備に移送する。
【００５７】
前記順次切削された各単位液晶表示パネルは、前記ローディング部１００に移送される時に比べて９０゜回転された状態であるため、図２Ｇに示したように、アンローディング部１４０に第２回転部１５０を内在させて単位液晶表示パネルを９０゜回転させた後、後続工程が進行される装備にアンローディングすることで、後続工程を便利に進行することができる。
【００５８】
又、前記後続工程で薄膜トランジスタ・アレイ基板上にカラーフィルター基板が積層された状態の単位液晶表示パネルを要求する場合は、図２Ｇに示したように、アンローディング部１４０に第１反転部１６０を内在させてアンローディングされる単位液晶表示パネルを反転させた後、後続工程が進行される装備に移送することができる。
【００５９】
上記のように構成される本発明に係る液晶表示パネルの切断装置及びその方法の第１実施形態は、１回の回転及び２回の第１、第２母基板同時スクライビングにより１次、２次切断予定線を形成しながら、１次、２次切断予定線の少なくとも一部分に第１、第２ロールにより圧力を印加する方式により第１、第２母基板を単位液晶表示パネルに切断することができる。
【００６０】
又、前記薄膜トランジスタ・アレイ基板とカラーフィルター基板とが対向して合着された各単位液晶表示パネルは、第１、第２母基板上に所定間隔離隔されるように製作され、各単位液晶パネルが形成されない第１、第２母基板の外郭には、液晶表示装置のモデルによって合着された第１、第２母基板の捩れを防止するためにダミーシールパターンが形成される。
【００６１】
該ダミーシールパターンが形成された第１、第２母基板を切削するために、本発明の第１実施形態を適用する場合には、切削された第１、第２母基が容易に分離されないこともあり得る。
【００６２】
図３は、前記ダミーシールパターンが形成された第１、第２母基板を效果的に切削及び分離し得る本発明に係る液晶表示パネルの切断装置及びその方法の他の実施形態に対するブロック構成を示した例示図であって、図３に示したように、各単位液晶表示パネルが製作された第１、第２母基板を第１テーブルにローディングした後、整列させるローディング部２００と、前記第１、第２母基板を第１テーブルと所定距離離隔された第２テーブル間に掛けられるようにローディングして吸着した後、第１上部ホイール及び第１下部ホイールにより第１、第２母基板の表面に１次切断予定線を形成し、前記第１、第２テーブルを相互に離れる方向に移動させて第１、第２母基板を順次切削する第１スクライビング部２１０と、前記切削された第１、第２母基板を９０゜回転させる第１回転部２２０と、前記回転された第１、第２母基板を所定距離離隔された第３、第４テーブル間に掛けられるようにローディングして吸着した後、第２上部ホイール及び第２下部ホイールにより第１、第２母基板の表面に２次切断予定線を形成し、前記第３、第４テーブルを相互に離れる方向に移動させて第１、第２母基板を順次切削する第２スクライビング部２３０と、前記第１、第２スクライビング部２１０、２３０により切削及び分離された単位液晶パネルをアンローディングして後続工程が進行される装備に移送するアンローディング部２４０と、を包含して構成される。
【００６３】
又、図４Ａ乃至図４Ｇは、前記図３の各ブロックで実施される順次的工程を詳細に示した例示図であって、これを用いて本発明に係る液晶表示パネルの切断装置及びその方法の他の実施形態に対して一層詳細に説明すると、次のとおりである。
【００６４】
先ず、図４Ａに示したように、前記ローディング部２００では、各薄膜トランジスタ・アレイ基板と各カラーフィルター基板とが形成されて相互対向するように合着された第１、第２母基板２０３、２０４を第１テーブル２０５にローディングした後、整列マーク２０６により整列させる。
【００６５】
前記第１、第２母基板２０３、２０４は、各カラーフィルター基板が形成された第２母基板２０４上に各薄膜トランジスタ・アレイ基板が形成された第１母基板２０３を積層した状態にローディングすることで、反対に積層した場合に比べて第１、第２母基板２０３、２０４の切削過程で薄膜トランジスタ・アレイ基板又はカラーフィルター基板に加えられる衝撃を緩和させることができる。
【００６６】
次いで、図４Ｂに示したように、前記第１スクライビング部２１０では、第１、第２母基板２０３、２０４を第１テーブル２０５と所定間隔離隔された第２テーブル２１１間に掛けられるようにローディングして吸着ホール２１２により吸着した後、第１、第２テーブル２０５、２１１間の離隔された空間で第１上部ホイール２１３及び第１下部ホイール２１４により第１、第２母基板２０３、２０４の表面に１次切断予定線２１５、２１６を順次形成する。
【００６７】
又、前記第１母基板２０３に形成された各薄膜トランジスタ・アレイ基板の一方は、第２母基板２０４に形成された各カラーフィルター基板の対応する一方に比べて突出するように形成される。これは、前記図８及び図９を用いて詳細に説明したように、薄膜トランジスタ・アレイ基板の左右方向一方に形成されるゲートパッド部及び上下方向一方に形成されるデータパッド部に起因する。
【００６８】
従って、前記各薄膜トランジスタ・アレイ基板の一方が各カラーフィルター基板の対応する一方に比べて突出した領域では、第１上部ホイール２１３を基準線Ｒ１の一方に所定距離離隔させて第１母基板２０３の表面に１次切断予定線２１５を形成し、第１下部ホイール２１４を基準線Ｒ１から第１上部ホイール２１３と対応する反対方向に所定距離離隔させて第２母基板２０４の表面に１次切断予定線２１６を形成する。
【００６９】
又、前記各薄膜トランジスタ・アレイ基板のゲートパッド部又はデータパッド部が形成されない領域（即ち、各薄膜トランジスタ・アレイ基板が各カラーフィルター基板に比べて突出していない領域）では、第１上部ホイール２１３と第１下部ホイール２１４とを相互に一致するように整列させて第１、第２母基板２０３、２０４の表面に夫々１次切断予定線２１５、２１６を形成する。
【００７０】
次いで、図４Ｃに示したように、前記第１スクライビング部２１０では、第１、第２母基板２０３、２０４が吸着ホール２１２により吸着された第１、第２テーブル２０５、２１１を相互に離れる方向に移動させて１次切断予定線２１５、２１６を沿って第１、第２母基板２０３、２０４を切削及び分離させる。
【００７１】
又、前記吸着ホール２１２は、第１、第２母基板２０３、２０４が置かれる第１、第２テーブル２０５、２１１の表面に所定間隔離隔されて形成されており、第１、第２母基板２０３、２０４が第１、第２テーブル２０５、２１１に吸着されて動かないように空気を吸い込み、分離された第１、第２母基板２０３、２０４を移送する時は、空気を吹き込んで第１、第２テーブル２０５、２１１から第１、第２母基板２０３、２０４を分離させる。
【００７２】
又、前記吸着ホール２１２は、図５の例示図に示したように、第１、第２テーブル３０５、３１１の表面に所定面積を有する吸着部３１２と同様な形態により形成することで、第１、第２母基板２０３、２０４を一層效果的に吸着させることができるし、吸着圧力を高く設定する場合、吸着ホール２１２により第１、第２母基板２０３、２０４から発生するドットを防止することができる。
【００７３】
次いで、図４Ｄに示したように、前記第１回転部２２０では、切削された第１、第２母基板２０３、２０４を９０゜回転させる。
【００７４】
次いで、図４Ｅに示したように、前記第２スクライビング部２３０では、回転された第１、第２母基板２０３、２０４を所定間隔離隔された第３、第４テーブル２３１、２３２間に掛けられるようにローディングして吸着ホール２３３により吸着した後、第３、第４テーブル２３１、２３２間の離隔された空間で第２上部ホイール２３４及び第２下部ホイール２３５により第１、第２母基板２０３、２０４の表面に２次切断予定線２３６、２３７を順次形成する。
【００７５】
前記図４Ｂを用いて説明したように、前記第２上部ホイール２３４及び第２下部ホイール２３５は、第１上部ホイール２１３及び第１下部ホイール２１４と同様に、各薄膜トランジスタ・アレイ基板の一方が各カラーフィルター基板の対応する一方に比べて突出された領域では、基準線Ｒ１から相互対応される反対方向に所定距離離隔されるようにして第１、第２母基板２０３、２０４の表面に２次切断予定線２３６、２３７を形成する一方、各薄膜トランジスタ・アレイ基板が各カラーフィルター基板に比べて突出していない領域では、第２上部ホイール２３４及び第２下部ホイール２３５を相互に一致するように整列させて第１、第２母基板２０３、２０４の表面に２次切断予定線２３６、２３７を形成する。
【００７６】
次いで、図４Ｆに示したように、前記第２スクライビング部２３０では、第１、第２母基板２０３、２０４が吸着ホール２３３により吸着された第３、第４テーブル２３１、２３２を相互に離れる方向に移動させて２次切断予定線２３６、２３７を沿って第１、第２母基板２０３、２０４を切削及び分離させる。
【００７７】
又、前記第３、第４テーブル２３１、２３２の表面に形成された吸着ホール２３３は、前述した第１、第２テーブル２０５、２１１の表面に形成される吸着ホール２１２と同様であって、図５に示したように、所定面積を有する吸着部３１２と同様な形態に形成することができる。
【００７８】
又、図４Ｇに示したように、前記アンローディング部２４０では、前記１次、２次切断予定線２１５、２１６、２３６、２３７を沿って順次切削される単位液晶表示パネルを後続工程が進行される装備に移送する。
【００７９】
前記順次切削された各単位液晶表示パネルは、前記ローディング部２００に移送される時に比べて９０゜回転された状態であるため、図４Ｇに示したように、アンローディング部２４０に第２回転部２５０を内在させて単位液晶表示パネルを９０゜回転させた後、後続工程が進行される装備にアンローディングすることで、後続工程を便利に進行することができる。
【００８０】
又、前記後続工程で薄膜トランジスタ・アレイ基板上にカラーフィルター基板が積層された状態の単位液晶表示パネルを要求する場合、図４Ｇに示したように、アンローディング部２４０に第１反転部２６０を内在させてアンローディングされる単位液晶表示パネルを反転させた後、後続工程が進行される装備に移送することができる。
【００８１】
上記のように構成された本発明に係る液晶表示パネルの切断装置及びその方法の他の実施形態は、１回の回転及び２回の第１、第２母基板同時スクライビングにより１次、２次切断予定線を形成しながら、第１、第２母基板がローディング吸着される第１、第２テーブル又は第３、第４テーブルを相互離れる方向に移動させる方式により第１、第２母基板を単位液晶表示パネルに切断することができる。
【００８２】
又、前記本発明の第１実施形態又は他の実施形態の前記第１、第２母基板から単位液晶表示パネルを切削する第１、第２スクライビング工程は、先ず、第１、第２母基板から各単位液晶表示パネルが形成されないダミー領域を切削して除去する第１切削工程と、前記第１、第２母基板から各単位液晶表示パネルが形成された領域を切削する第２切削工程と、を交代に遂行するべきである。
【００８３】
即ち、前記第１切削工程では、図６Ａに示したように、第１、第２母基板３０１、３０２を所定距離離隔された第１、第２テーブル３０３、３０４間に掛けられるように移動させた後、第１上部ホイール３０５及び第１下部ホイール３０６により第１切断予定線３０７を形成し、本発明の第１実施形態のように、ロールにより第１切断予定線３０７の少なくとも一部分に圧力を印加するか又は、本発明の他の実施形態のように、第１、第２母基板３０１、３０２が吸着された第１、第２テーブル３０３、３０４を相互に離れる方向に移動させて第１、第２母基板３０１、３０２から各単位液晶表示パネルが形成されない一方のダミー領域３０９を切削する。
【００８４】
又、前記第２切削工程では、図６Ｂに示したように、前記第１切削工程により各単位液晶表示パネルが形成されない一方のダミー領域３０９が除去された第１、第２母基板３０１、３０２を第１、第２テーブル３０３、３０４間に掛けられるように一方方向に移動させた後、第１上部ホイール３０５及び第１下部ホイール３０６により第２切断予定線３０８を形成し、本発明の第１実施形態のように、ロールにより第１切断予定線３０７の少なくとも一部分に圧力を印加するか又は、本発明の他の実施形態のように、第１、第２母基板３０１、３０２が吸着された第１、第２テーブル３０３、３０４を相互離れる方向に移動させて第１、第２母基板３０１、３０２から単位液晶表示パネルを切削する。
【００８５】
以後、再び、第１、第２母基板３０１、３０２から各単位液晶表示パネルが形成されないダミー領域３０９を切削する第１切削工程が遂行された後、第１、第２母基板３０１、３０２から単位液晶表示パネルを切削する第２切削工程が反復遂行される。
【００８６】
ところが、前記本発明の第１実施形態が適用される場合は、第１、第２母基板３０１、３０２の捩れを防止するために各単位液晶表示パネルが形成されない外郭にダミーシールパターンが形成されたモデルを適用する時、第１切削工程又は第２切削工程でダミー領域３０９と単位液晶表示パネルとが完全に分離されない現象が発生することがある。
【００８７】
又、前記本発明の他の実施形態が適用される場合は、第２切削工程では、前記単位液晶表示パネルの面積が充分に広いために、第１、第２母基板３０１、３０２を第１、第２テーブル３０３、３０４に吸着して単位液晶表示パネルを切削することができるが、第１切削工程では、前記ダミー領域３０９の面積が狭いために、第１、第２母基板３０１、３０２を第１、第２テーブル３０３、３０４に吸着することができないという問題点がある。
【００８８】
又、図７Ａ乃至図７Ｆは、上記のように構成された本発明の第１実施形態と他の実施形態による問題点を解決するための本発明の又他の実施形態を示した例示図であって、これを用いて本発明に係る液晶表示パネルの切断方法の又他の実施形態に対して詳細に説明すると、次のとおりである。
【００８９】
先ず、図７Ａに示したように、各単位液晶表示パネルが所定間隔離隔されて形成された第１、第２母基板４０２、４０３を第１テーブル４０４にローディングした後、各単位液晶表示パネルが形成されないダミー領域４０５が第１テーブル４０４の一方に突出するように第１、第２母基板４０２、４０３を一方に移動させて吸着する。
【００９０】
次いで、図７Ｂに示したように、前記第１テーブル４０４から突出された第１、第２母基板４０２、４０３の表面に第１上部ホイール４０６及び第１下部ホイール４０７により第１切断予定線４０８を形成する。
【００９１】
次いで、図７Ｃに示したように、前記第１切断予定線４０８が形成された第１、第２母基板４０２、４０３からロボットグリップ４０９により各単位液晶表示パネル４０１が形成されないダミー領域４０５を取り出して除去する。
【００９２】
又、前記ロボットグリップ４０９により第１、第２母基板４０２、４０３からダミー領域４０５を一層容易に取り出すために、前記第１上部ホイール４０６及び第１下部ホイール４０７により第１切断予定線４０８を形成した後、本発明の第１実施形態のように、ロールにより第１切断予定線４０８の少なくとも一部分又は第１切断予定線４０８を沿って圧力を印加してクラックが伝播されるようにすることができる。
【００９３】
又、前記ロボットグリップ４０９は、液晶表示装置のモデルによって液晶表示パネルの大きさが相違になるために、サブモータを利用して幅を制御し得るように製作することが好ましく、又、各カラーフィルター基板が形成された第２母基板４０３上に各薄膜トランジスタ・アレイ基板が形成された第１母基板４０２が積層された場合には、単位液晶表示パネルの薄膜トランジスタ基板がカラーフィルター基板に比べて突出されているために、ロボットグリップ４０９が第１、第２母基板４０２、４０３に比べて低い位置でダミー領域４０５を握ることができるようにし、反対の場合には、第１、第２母基板４０２、４０３に比べて高い位置でダミー領域４０５を握ることができるようにして単位液晶表示パネルに加えられる衝撃を未然に防止するべきである。このために、ロボットグリップ４０９は、サブモータを利用して高さを制御し得るように製作することが好ましい。
【００９４】
次いで、図７Ｄに示したように、前記ダミー領域４０５が除去された第１、第２母基板４０２、４０３を第１テーブル４０４と所定距離離隔された第２テーブル４１０間に掛けられるように一方に移動させて吸着する。
【００９５】
次いで、図７Ｅに示したように、前記第１、第２テーブル４０４、４１０間の離隔された空間で、第１上部ホイール４０６及び第１下部ホイール４０７により第１、第２母基板４０２、４０３の表面に第２切断予定線４１１を形成する。
【００９６】
次いで、図７Ｆに示したように、前記第１、第２テーブル４０４、４１０を相互に離れる方向に移動させて第２切断予定線４１１を沿って第１、第２母基板４０２、４０３から単位液晶表示パネルを切削及び分離させる。
【００９７】
前記第１、第２テーブル４０４、４１０を相互に離れる方向に移動させて第１、第２母基板４０２、４０３から単位液晶表示パネルを一層容易に切削及び分離させるために、前記第１上部ホイール４０６及び第１下部ホイール４０７により第２切断予定線４１１を形成した後、本発明の第１実施形態のように、ロールにより第２切断予定線４１１の少なくとも一部分又は第２切断予定線４１１を沿って圧力を印加してクラックが伝播されるようにすることができる。
【００９８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る液晶表示パネルの切断装置及びその方法の第１実施形態においては、１回の回転及び２回の第１、第２母基板同時スクライビングにより１次、２次切断予定線を形成しながら、１次、２次切断予定線の少なくとも一部分に第１、第２ロールにより圧力を印加する方式により第１、第２母基板を単位液晶表示パネルに切断し得ることで、従来に比べてスクライビングに所要される時間が最小化され、第１、第２母基板を反転させるための反転部及びクラック伝播のための別途のブレイキング部が不必要であるために、スクライビング、ブレイキング及び反転に所要される時間が短縮されて生産性を向上し得るという効果があって、又、装備の設置費用及び設置空間が浪費される問題点を防止し得るという効果がある。
【００９９】
又、本発明に係る液晶表示パネルの切断装置及びその方法の他の実施形態においては、１回の回転及び２回の第１、第２母基板同時スクライビングにより１次、２次切断予定線を形成しながら、第１、第２母基がローディング吸着される第１、第２テーブル又は第３、第４テーブルを相互に離れる方向に移動させる方式により第１、第２母基板を単位液晶表示パネルに切断し得るという効果がある。
【０１００】
従って、本発明の第１実施形態に比べて一層效果的に単位液晶表示パネルの切削を実施することができるし、特に、第１、第２母基板の捩れを防止するためのダミーシールパターンが形成された場合、本発明の第１実施形態で単位液晶表示パネルの切削が行われないという問題点を解決し得るという効果がある。
【０１０１】
且つ、本発明に係る液晶表示パネルの切断装置及びその方法の又他の実施形態においては、前記第１、第２母基板の捩れを防止するために各単位液晶表示パネルが形成されない外郭にダミーシールパターンが形成される場合、単位液晶表示パネルの切削を本発明の第１実施形態に比べて效果的に実施することができるし、第１、第２母基板上に各単位液晶表示パネルが形成されないダミー領域の面積が狭いことで、本発明の他の実施形態で第１第２母基板の吸着が不可能であるという問題点を解決し得るという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る液晶表示パネルの切断装置の第１実施形態のブロック構成を示した例示図である。
【図２Ａ】図１の各ブロックで実施される順次的工程を示した例示図である。
【図２Ｂ】図１の各ブロックで実施される順次的工程を示した例示図である。
【図２Ｃ】図１の各ブロックで実施される順次的工程を示した例示図である。
【図２Ｄ】図１の各ブロックで実施される順次的工程を示した例示図である。
【図２Ｅ】図１の各ブロックで実施される順次的工程を示した例示図である。
【図２Ｆ】図１の各ブロックで実施される順次的工程を示した例示図である。
【図２Ｇ】図１の各ブロックで実施される順次的工程を示した例示図である。
【図３】本発明に係る液晶表示パネルの切断装置の他の実施形態に対するブロック構成を示した例示図である。
【図４Ａ】図３の各ブロックで実施される順次的工程を示した例示図である。
【図４Ｂ】図３の各ブロックで実施される順次的工程を示した例示図である。
【図４Ｃ】図３の各ブロックで実施される順次的工程を示した例示図である。
【図４Ｄ】図３の各ブロックで実施される順次的工程を示した例示図である。
【図４Ｅ】図３の各ブロックで実施される順次的工程を示した例示図である。
【図４Ｆ】図３の各ブロックで実施される順次的工程を示した例示図である。
【図４Ｇ】図３の各ブロックで実施される順次的工程を示した例示図である。
【図５】図４Ａ乃至図４Ｇに図示された第１乃至第４テーブルの表面に形成された吸着ホールの他の例を示した例示図である。
【図６Ａ】本発明の又他の実施形態が適用される第１スクライビング工程を一層詳細に示した例示図である。
【図６Ｂ】本発明の又他の実施形態が適用される第２スクライビング工程を一層詳細に示した例示図である。
【図７Ａ】本発明に係る順次的工程の又他の実施形態を詳細に示した例示図である。
【図７Ｂ】本発明に係る順次的工程の又他の実施形態を詳細に示した例示図である。
【図７Ｃ】本発明に係る順次的工程の又他の実施形態を詳細に示した例示図である。
【図７Ｄ】本発明に係る順次的工程の又他の実施形態を詳細に示した例示図である。
【図７Ｅ】本発明に係る順次的工程の又他の実施形態を詳細に示した例示図である。
【図７Ｆ】本発明に係る順次的工程の又他の実施形態を詳細に示した例示図である。
【図８】液晶表示装置の薄膜トランジスタ・アレイ基板とカラーフィルター基板とが対向して合着された単位液晶表示パネルの概略的平面構造を示した例示図である。
【図９】図８の各薄膜トランジスタ・アレイ基板が形成された第１母基板と各カラーフィルター基板が形成された第２母基板とが合着されて複数の液晶表示パネルを成す断面構造を示した例示図である。
【図１０Ａ】従来単位液晶表示パネルの切断工程を順次示した例示図である。
【図１０Ｂ】従来単位液晶表示パネルの切断工程を順次示した例示図である。
【図１０Ｃ】従来単位液晶表示パネルの切断工程を順次示した例示図である。
【図１０Ｄ】従来単位液晶表示パネルの切断工程を順次示した例示図である。
【図１０Ｅ】従来単位液晶表示パネルの切断工程を順次示した例示図である。
【図１０Ｆ】従来単位液晶表示パネルの切断工程を順次示した例示図である。
【図１０Ｇ】従来単位液晶表示パネルの切断工程を順次示した例示図である。
【図１０Ｈ】従来単位液晶表示パネルの切断工程を順次示した例示図である。
【図１０Ｉ】従来単位液晶表示パネルの切断工程を順次示した例示図である。
【図１０Ｊ】従来単位液晶表示パネルの切断工程を順次示した例示図である。
【符号の説明】
１００：ローディング部
１１０：第１スクライビング部
１２０：第１回転部
１３０：第２スクライビング部
１４０：アンローディング部
１５０：第２回転部
１６０：第１反転部
２００：ローディング部
２１０：第１スクライビング部
２２０：第１回転部
２３０：第２スクライビング部
２４０：アンローディング部
【図１】
0004084164.tif 000002
【図２Ａ】
0004084164.tif 000003
【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図２Ｄ】
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【図２Ｅ】
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【図２Ｆ】
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【図２Ｇ】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図４Ｅ】
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【図４Ｆ】
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【図４Ｇ】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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【図７Ｅ】
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【図７Ｆ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１０Ｃ】
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【図１０Ｄ】
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【図１０Ｅ】
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【図１０Ｆ】
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【図１０Ｇ】
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【図１０Ｈ】
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【図１０Ｉ】
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【図１０Ｊ】
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