(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送路と、
この搬送路を移動して搬送物を搬送する搬送体と、
この搬送体を制御する搬送体制御部と、
所定期間毎に、前記搬送体と前記搬送物に関係するデータを記憶するシステム状況記憶部と、
前記データを参照して、任意の時点での前記搬送物の搬送に要する前記搬送体の最適数を決定し、この最適数と前記任意の時点で前記搬送路に在る搬送体の数との差を算出する最適搬送体数決定部と、
前記最適搬送体数決定部の前記算出結果を参照し、前記搬送路への前記搬送体の投入、または前記搬送路からの前記搬送体の撤去を前記搬送体制御部に指示する搬送体投入・撤去決定部と、
前記システム状況記憶部に記憶されたデータから、任意の時点で前記搬送路に在る搬送体の数と同一で、かつ前記任意の時点で搬送待ちの状態にある搬送物の数に最も近い値を示すデータを選択し、このデータに示される実績搬送回数を予想搬送量として算出する予想搬送量算出部と、
前記搬送物の搬送回数に対して、必要な搬送体の数を記憶する必要台数データ記憶部とを備え、
前記最適搬送体数決定部は、前記必要台数データ記憶部から、前記予想搬送量算出部より算出された前記予想搬送量と一致する数の搬送回数を選択して、この搬送回数に対応する搬送体の数を搬送体の最適数とし、且つこの最適数と前記任意の時点での前記搬送体の数との差を算出し、前記搬送体投入・撤去決定部は、前記算出結果を参照して、前記搬送路への搬送体の投入または前記搬送路からの前記搬送体の撤去を前記搬送体制御部へ指示することを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
搬送路と、
この搬送路を移動して搬送物を搬送する搬送体と、
この搬送体を制御する搬送体制御部と、
所定期間毎に、前記搬送体と前記搬送物に関係するデータを記憶するシステム状況記憶部と、
任意の時点において、前記搬送物の搬送に要する前記搬送体の最適数を決定し、この最適数と、前記任意の時点に前記搬送路に在る前記搬送体の数の差を算出する最適搬送体数決定部と、
前記最適搬送体数決定部の算出結果を参照し、前記搬送路への前記搬送体の投入、または前記搬送路からの前記搬送体の撤去を前記搬送体制御部に指示する搬送体投入・撤去決定部とを備え、
前記最適搬送体数決定部は、前記システム状況記憶部に記憶されるデータから、前記任意の時点で搬送待ちの状態に在る前記搬送物の数に最も近い待ち搬送物数を示し、且つ前記搬送物の平均搬送工期が最も短いデータを選択し、このデータの搬送体の数を、前記任意の時点で前記搬送物の搬送に要する前記搬送体の最適数として決定することを特徴とする搬送システム。
【請求項３】
前記搬送システムは、さらに、前記搬送路において搬送待ちの状態に在る搬送物数の変動傾向を記憶する待ち搬送物数変動記憶部を備え、
前記搬送体投入・撤去決定部は、前記待ち搬送数変動記憶部に記憶された前記搬送物数の変動傾向を参照して、前記搬送路への前記搬送体の投入または前記搬送路からの前記搬送体の撤去を、前記搬送体制御部に指示することを特徴とする請求項１または２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記搬送体投入・撤去決定部は、前記待ち搬送物数変動記憶部に記憶された前記搬送物数の変動傾向を参照し、前記搬送路への前記搬送体の投入が必要な場合で、且つ前記搬送路で待ち状態にある搬送物の数が、一定もしくは増加傾向にあるときに、前記搬送路への前記搬送体の投入を決定することを特徴とする請求項３に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記搬送体投入・撤去決定部は、前記待ち搬送物数変動記憶部に記憶された前記搬送物数の変動傾向を参照し、前記搬送路からの前記搬送体の撤去が必要な場合で、且つ前記搬送路で待ち状態にある搬送物の数が、一定もしくは減少傾向にあるときに、前記搬送路からの前記搬送体の撤去を決定することを特徴とする請求項３に記載の搬送システム。
【請求項６】
搬送路と、この搬送路を移動して搬送物を搬送する搬送体と、この搬送体を制御する搬送体制御部とを有する搬送システムにおいて、
所定期間毎に、前記搬送体と前記搬送物に関係するデータを、前記搬送システムの実績データとして記憶する過程と、
前記実績データから、任意の時点に前記搬送路に在る前記搬送体の数と同一で、且つ、前記搬送路で、前記任意の時点に搬送待ちの状態に在る搬送物の数と最も近い値を有するデータを選択する過程と、
この選択されたデータの有する実績搬送回数を、前記任意の時点での前記搬送物の予想搬送量として算出する過程と、
前記予想搬送量に要する搬送体の数を、前記任意の時点で、前記搬送物の搬送に要する前記搬送体の最適数として決定し、前記搬送体の最適数と前記任意の時点で前記搬送路に在る搬送体の数との差を算出する過程と、
前記搬送体の最適数と、前記任意の時点で前記搬送路に在る搬送体の数との差を参照し、前記搬送路へ搬送体を投入するか、または前記搬送路から前記搬送体を撤去するかを前記搬送体制御部に指示する過程とを有することを特徴とする搬送システムの制御方法。
【請求項７】
搬送路と、この搬送路を移動して搬送物を搬送する搬送体と、この搬送体を制御する搬送体制御部とを有する搬送システムにおいて、
所定期間毎に、前記搬送体と前記搬送物に関係するデータを、前記搬送システムの実績データとして記憶する過程と、
前記実績データから、前記搬送路で、任意の時点に搬送待ちの状態に在る前記搬送物の数と最も近い値を有し、且つ前記搬送物の平均搬送工期が最も短いデータを選択し、このデータの有する搬送体の数を、前記任意の時点で、前記搬送物の搬送に要する前記搬送体の最適数として決定する過程と、
前記搬送体の最適数と前記任意の時点で前記搬送路に在る前記搬送体の数との差を算出する過程と、
前記搬送体の最適数と、前記任意の時点で前記搬送路に在る前記搬送体の数との差を参照し、前記搬送路へ前記搬送体を投入するか、または前記搬送路から前記搬送体を撤去するかを前記搬送体制御部に指示する過程を有することを特徴とする搬送システムの制御方法。
【請求項８】
前記搬送路へ前記搬送体を投入するか、または前記搬送路から前記搬送体を撤去するかは、前記搬送路において搬送待ちの状態に在る前記搬送物数の変動傾向を参照して決定することを特徴とする請求項６または７に記載の搬送システムの制御方法。
【請求項９】
前記搬送路への前記搬送体の投入は、前記搬送路において搬送待ちの状態に在る前記搬送物数の変動傾向を参照し、前記搬送路への搬送体の投入が必要な場合で、且つ前記搬送路で搬送待ちの状態にある搬送物の数が、一定もしくは増加傾向にあるときに、決定されることを特徴とする請求項８に記載の搬送システムの制御方法。
【請求項１０】
前記搬送路からの前記搬送体の撤去は、前記搬送路において搬送待ちの状態に在る前記搬送物数の変動傾向を参照し、前記搬送路からの前記搬送体の撤去が必要な場合で、且つ前記搬送路で搬送待ちの状態にある搬送物の数が、一定もしくは減少傾向にあるときに、決定されることを特徴とする請求項８に記載の搬送システムの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、生産ライン等で使用される搬送システムに関するもので、特に生産ラインの状況に応じた搬送体の投入および撤去に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
以下、従来の技術を、半導体ウエハの搬送システムを一例として説明する。
【０００３】
図６に示すように、従来の半導体ウエハの搬送システム３００では、複数の搬送作業ポイント３０１を結ぶメイン搬送路３０２と、このメイン搬送路３０２に接続する搬送路として、待機用送路３０３から走行路が構成され、搬送されたウエハを処理する各処理装置３０４は、メイン搬送路３０２の周囲に沿って、複数の搬送作業ポイント３０１と対応する位置に設置されている。この搬送システム３００では、半導体ウエハ（以下ウエハと称する）は収納容器（＝ポッド）等に収納された搬送物３０５として、メイン搬送路３０２において搬送される。搬送物３０５は、搬送車制御装置３０６によって制御される搬送車３０７に積載され、メイン搬送路３０２において搬送される。また、待機用搬送路３０３には、予備搬送車３０８が準備され、搬送車制御装置３０６の搬送指令を受けて、適宜、搬送車３０７の数を補うべくメイン搬送路３０２に投入される。
【０００４】
従来の搬送システム３００では、図６に示すように、設計段階での搬送量に対して、数倍程度の余裕を見積もり、メイン搬送路３０２に搬送車（＝搬送車３０７、予備搬送車３０８）を投入している。このために、メイン搬送路３０２には、ウエハの搬送作業、または回送作業等に必要か否かに関わらず投入され、実際の搬送物（＝ウエハを収納した収納容器）の搬送量に対して、必要以上に、搬送車（＝搬送車３０７、予備搬送車３０８）が多数存在することになる。
【０００５】
このような搬送システムでは、図７に示すように、搬送車制御装置３０６から発せられた搬送指令は、実際にウエハを搬送するか否かに関わらず、搬送車３０７及び予備搬送車３０８に割り付けられている。このため、待機用送路３０３を設けていても、一時的に搬送指令が多量に発生した場合には、投入される搬送車（＝搬送車３０７、予備搬送車３０８）の数は増加するばかりで、メイン搬送路３０２では搬送車（＝搬送車３０７、予備搬送車３０８）同士の干渉がさらに増加する。また、一度メイン搬送路３０２へ投入された搬送車（＝搬送車３０７、予備搬送車３０８）は、充電または保守等の作業が行われない限り、メイン搬送路３０２から撤去されることもない。
【０００６】
このような状況で、搬送車制御装置３０６から搬送指令が発せられた場合、搬送を行う搬送車３０７は、搬送を行わない予備搬送車３０８に、搬送作業及び回送作業の動作を妨げられることになる。従って、搬送物（＝ウエハを収納した収納容器）の搬送工期、引いては半導体装置の生産工期の遅れに繋がるという問題が発生する。また、必要のない予備搬送車３０８をメイン搬送路３０２で稼働させることにより、搬送システム３００を稼働させるための動力（＝電力）も多量に必要となり、また、不必要なときに予備搬送車３０８を動作させることで、予備搬送車３０８として稼働する搬送車の車輪やモータ等は余計に費やされ、最終的に各搬送車の使用寿命が短くなり、経済的コスト上の問題が発生する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように、従来の搬送システムでは、搬送物（例：ウエハを収納した収納容器）の搬送量と、この搬送物を搬送する上で必要となる搬送車の数を管理することなしに、搬送システムを稼働させている。従って、その分、搬送車同士の干渉頻度が増加するため、各搬送車が搬送作業または回送作業に余計な時間を費やし、搬送車全体での搬送物の搬送工期の増加、引いては、半導体装置等の生産工期の遅れに繋がるという問題がある。
【０００８】
従って、本発明の目的は、搬送システムにおいて、搬送物の搬送量と、この搬送物を搬送する上で必要となる搬送車の数を管理し、従来よりも、搬送車全体での搬送工期を短縮化して、効率化されるように制御することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、生産ライン等で使用される搬送システムに関し、搬送物の搬送状況に応じて搬送体の投入および撤去を行う、搬送システム及び搬送システムの制御方法を提供するものである。
【００１１】
また、本発明は、搬送路と、この搬送路を移動して搬送物を搬送する搬送体と、
この搬送体を制御する搬送体制御部と、所定期間毎に、前記搬送体と前記搬送物に関係するデータを記憶するシステム状況記憶部と、前記データを参照して、任意の時点での前記搬送物の搬送に要する前記搬送体の最適数を決定し、この最適数と前記任意の時点で前記搬送路に在る搬送体の数との差を算出する最適搬送体数決定部と、前記最適搬送体数決定部の前記算出結果を参照し、前記搬送路への前記搬送体の投入、または前記搬送路からの前記搬送体の撤去を前記搬送体制御部に指示する搬送体投入・撤去決定部と、前記システム状況記憶部に記憶されたデータから、任意の時点で前記搬送路に在る搬送体の数と同一で、かつ前記任意の時点で搬送待ちの状態にある搬送物の数に最も近い値を示すデータを選択し、このデータに示される実績搬送回数を予想搬送量として算出する予想搬送量算出部と、前記搬送物の搬送回数に対して、必要な搬送体の数を記憶する必要台数データ記憶部とを備え、前記最適搬送体数決定部は、前記必要台数データ記憶部から、前記予想搬送量算出部より算出された前記予想搬送量と一致する数の搬送回数を選択して、この搬送回数に対応する搬送体の数を搬送体の最適数とし、且つこの最適数と前記任意の時点での前記搬送体の数との差を算出し、前記搬送体投入・撤去決定部は、前記算出結果を参照して、前記搬送路への搬送体の投入または前記搬送路からの前記搬送体の撤去を前記搬送体制御部へ指示することを特徴とする搬送システムを提供することができる。
【００１２】
また、本発明は、搬送路と、この搬送路を移動して搬送物を搬送する搬送体と、
この搬送体を制御する搬送体制御部と、所定期間毎に、前記搬送体と前記搬送物に関係するデータを記憶するシステム状況記憶部と、任意の時点において、前記搬送物の搬送に要する前記搬送体の最適数を決定し、この最適数と、前記任意の時点に前記搬送路に在る前記搬送体の数の差を算出する最適搬送体数決定部と、前記最適搬送体数決定部の算出結果を参照し、前記搬送路への前記搬送体の投入、または前記搬送路からの前記搬送体の撤去を前記搬送体制御部に指示する搬送体投入・撤去決定部とを備え、前記最適搬送体数決定部は、前記システム状況記憶部に記憶されるデータから、前記任意の時点で搬送待ちの状態に在る前記搬送物の数に最も近い待ち搬送物数を示し、且つ前記搬送物の平均搬送工期が最も短いデータを選択し、このデータの搬送体の数を、前記任意の時点で前記搬送物の搬送に要する前記搬送体の最適数として決定することを特徴とする搬送システムを提供することができる。
【００１４】
また、本発明は、搬送路と、この搬送路を移動して搬送物を搬送する搬送体と、この搬送体を制御する搬送体制御部とを有する搬送システムにおいて、所定期間毎に、前記搬送体と前記搬送物に関係するデータを、前記搬送システムの実績データとして記憶する過程と、前記実績データから、任意の時点に前記搬送路に在る前記搬送体の数と同一で、且つ、前記搬送路で、前記任意の時点に搬送待ちの状態に在る搬送物の数と最も近い値を有するデータを選択する過程と、この選択されたデータの有する実績搬送回数を、前記任意の時点での前記搬送物の予想搬送量として算出する過程と、前記予想搬送量に要する搬送体の数を、前記任意の時点で、前記搬送物の搬送に要する前記搬送体の最適数として決定し、前記搬送体の最適数と前記任意の時点で前記搬送路に在る搬送体の数との差を算出する過程と、前記搬送体の最適数と、前記任意の時点で前記搬送路に在る搬送体の数との差を参照し、前記搬送路へ搬送体を投入するか、または前記搬送路から前記搬送体を撤去するかを前記搬送体制御部に指示する過程とを有することを特徴とする搬送システムの制御方法を提供することができる。
【００１５】
また、本発明は、搬送路と、この搬送路を移動して搬送物を搬送する搬送体と、この搬送体を制御する搬送体制御部とを有する搬送システムにおいて、所定期間毎に、前記搬送体と前記搬送物に関係するデータを、前記搬送システムの実績データとして記憶する過程と、前記実績データから、前記搬送路で、任意の時点に搬送待ちの状態に在る前記搬送物の数と最も近い値を有し、且つ前記搬送物の平均搬送工期が最も短いデータを選択し、このデータの有する搬送体の数を、前記任意の時点で、前記搬送物の搬送に要する前記搬送体の最適数として決定する過程と、前記搬送体の最適数と前記任意の時点で前記搬送路に在る前記搬送体の数との差を算出する過程と、前記搬送体の最適数と、前記任意の時点で前記搬送路に在る前記搬送体の数との差を参照し、前記搬送路へ前記搬送体を投入するか、または前記搬送路から前記搬送体を撤去するかを前記搬送体制御部に指示する過程を有することを特徴とする搬送システムの制御方法を提供することができる。
【００１６】
本発明は、搬送システム内の搬送状況に応じて、搬送体の搬送路への投入または搬送路からの撤去を行い、搬送車等、搬送路に在る搬送体の数を調整する。従って、必要数分の搬送体だけを用いて搬送物の搬送を行うことができ、搬送体同士の干渉頻度を低減させ、搬送工期を短縮化することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。
（第１の実施の形態）
半導体装置を製造する過程では、半導体ウエハ等の基板を処理する各処理装置間で、搬送車等の搬送体を用いてウエハの搬送を頻繁に行う。本実施の形態では、このような半導体ウエハの搬送を一例として、搬送システム及び搬送システムの制御方法について図１乃至図４を用いて説明する。
【００１８】
図１に示すように、半導体ウエハの搬送システム１００は、複数の搬送作業ポイント１０１を連結するメイン搬送路１０２と、このメイン搬送路１０２に接続された待機用搬送路１０３とから構成される走行路を有する。
【００１９】
処理装置１０４は、または搬送物保管装置が、搬送作業ポイント１０１に対向し、尚且つメイン搬送路１０２の外周に沿った所定の位置に配置されている。また、ウエハは、各処理装置１０４（または搬送物保管装置）に投入すべく、搬送物１０５の内部に保持された状態でメイン搬送路１０２を搬送される。搬送物１０５には、ウエハをロット毎（１ロットはウエハ２４枚程度）内部に保持し、収納できる、所謂、ウエハ搬送用のポッド等を使用することができる。
【００２０】
尚、本実施の形態では、図１に示すように、メイン搬送路１０２にループ形状の搬送路を使用するが、格子状の搬送路等も使用することが可能であり、形状は特に限定されないものとする。
【００２１】
図１に示すように、メイン搬送路１０２では、搬送車制御装置１０６から発せられた指令内容に基づいて搬送車１０７が走行し、また、待機用走路１０３では、予備搬送車１０８が準備される。
【００２２】
搬送車１０７は、搬送車制御装置１０６からの搬送指令に基づいて、搬送物１０５の搬送に関係する作業を行う。例えば、搬送車１０７は、ウエハを内部に保持した搬送物１０５を積載し、各処理装置１０４（または搬送物保管装置）へ搬送する作業（＝搬送作業）を行う。また、搬送車１０７は、処理装置１０４（または搬送物保管装置）において搬送物１０５を受け取るべく、搬送物１０５を積載せずにメイン搬送路１０２を走行する作業（＝回送作業）を行う場合もある。一方、予備搬送車１０８は、搬送車１０７の数に不足が生じた場合、搬送車制御装置１０６の搬送指令に基づいて、適宜、待機用搬送路１０３からメイン搬送路１０２に投入される。
【００２３】
本実施の形態では、図１に示すように、搬送車制御装置１０６には、システム状況記憶装置１０９、最適搬送車数決定部１１０、及び搬送車投入・撤去決定部１１１が設けられている。また、搬送車制御装置１０６には、予想搬送量算出装置１１２、必要台数データ記憶装置１１３、及び待ち搬送物数変動記憶装置１１４が接続されている。
【００２４】
尚、最適搬送車数決定部１１０は、最適搬送車数を決定するプログラム、また、搬送車投入・撤去決定部１１１は、メイン搬送路１０２への予備搬送車１０８の投入、またはメイン搬送路１０２からの予備搬送車１０８の撤去を決定するプログラムを有するものとする。
【００２５】
図２（ａ）に示すように、システム状況記憶装置１０９は、搬送システム１００の搬送状況を示す各種情報（データ）をシステム状況データとして記憶させる。このシステム状況データは、所定期間毎に、搬送システム１００に存在する搬送車（搬送車１０７、予備搬送車１０８）の（台）数、搬送システム１００で実際に搬送された搬送物１０５の実績搬送数、搬送システム１００で搬送待ちの状態にある搬送物１０５の数、及び平均搬送工期（単位：sec）等を主要な情報（データ）として、ホストコンピュータ（特に図示せず）から抽出し、システム状況記憶装置１０９に随時記憶させ、過去の実績データとして蓄積している。また、このシステム状況データは、例えば、１時間単位、または１日単位というように、任意の期間単位を選択して随時記憶させることができる。本実施の形態では、図２（ａ）に示すように、１日単位でデータを記憶させている。
【００２６】
また、図２（ｂ）に示すように、必要台数データ記憶装置１１３は、シミュレーションの結果やユーザの希望する搬送車（台）数に基づいて作成した、「搬送回数−必要搬送車（台）数」の関係を表すデータを記憶する。搬送車１０７の必要（台）数のデータは、あらかじめユーザが設定していても良いし、シミュレーションを行って得られた結果に随時更新し、記憶させるようにしても良い。
【００２７】
以下に、図３を参照し、ウエハを内部に保持し、積載する搬送物の予想搬送量に基づいて、最適搬送車数決定部１１０が、最適搬送車（台）数を決定する手順を説明する。
【００２８】
まず、最適搬送車数決定部１１０は、現状、即ち、現在（＝任意に選択される時点）の搬送システム１００の状況を表す情報として、搬送待ちの状態にある搬送物１０５の数と、搬送車（搬送車１０７、予備搬送車１０８）の（台）数をホストコンピュータに問い合わせる（＝ステップ１）。
【００２９】
次に、予想搬送量算出装置１１２は、これら現在の状況を表すデータと比較し、システム状況記憶装置１０９に記憶された過去のシステム状況データの中から同一の搬送車（台）数で、尚且つ最も近い数の待ち搬送物数を示すシステム状況データを検索する（＝ステップ２）。
【００３０】
次に、予想搬送量算出装置１１２は、検索されたシステム状況データに示される実績搬送回数を現在の搬送物１０５の予想搬送量として算出する（＝ステップ３）。この場合、同一の搬送車（台）数で、尚且つ待ち搬送物数においても合致するデータが１つである場合は、予想搬送量として１つの算出結果を選択するが、待ち搬送物数に合致するデータが複数ある場合は、例えば、１００〜１２０（回／ｈｒ（＝単位時間毎の搬送回数））というように算出結果に範囲をもたせて、これを予想搬送量とする。
【００３１】
次に、最適搬送車数決定部１０９は、この予想搬送量に対し、必要台数データ記憶装置１１３の必要台数データと比較して最適搬送車（台）数を決定する（＝ステップ４）。必要台数データ記憶装置１１３は、図２（ｂ）に示すように、シミュレーションの結果やユーザの希望する搬送車（台）数に基づいて作成した、「搬送回数−必要搬送車（台）数」の関係を表すデータを記憶している。従って、このデータから、予想搬送量の値と合致する搬送回数を検索し、対応する必要搬送車（台）数を最適搬送車（台）数として決定する。
【００３２】
次に、最適搬送車数決定部１０９は、最適搬送車（台）数とメイン搬送路１０２にある現在の搬送車（搬送車１０７、予備搬送車１０８）の（台）数との差を算出する（＝ステップ５）。
【００３３】
次に、待ち搬送数物変動記憶装置１１４は、搬送システム１００に在り、搬送待ちの状態にある搬送物数の変動傾向を待ち搬送物数の変動データとして記憶し、待ち搬送物数の変動が増加傾向にあるのか、減少傾向にあるのか、或いは、横這い（＝略一定）傾向にあるのかを、搬送車投入・撤去決定部１１１に伝達する。（＝ステップ６）
次に、搬送車投入・撤去決定部１１１は、メイン搬送路１０２への予備搬送車１０８の投入または撤去の要否を決定する（＝ステップ７）。
【００３４】
先ず、搬送車投入・撤去決定部１１１が、メイン搬送路１０２への予備搬送車１０８の投入を決定するまでの手順（＝ステップ７−１）を説明する。
【００３５】
例えば、「最適搬送車（台）数＝現在の搬送車（搬送車１０７、予備搬送車１０８、以降省略）の（台）数」である場合は、現在の搬送車数で搬送が可能であり、「メイン搬送路１０２への予備搬送車１０８の投入を行わない」と決定する。また「最適搬送車（台）数＞現在の搬送車（台）数」である場合は、待ち搬送物数の変動傾向を考慮する。即ち、予備の搬送車１０８の投入が必要な場合でも、待ち搬送物数が減少傾向にある場合は、「メイン搬送路１０２への予備搬送車１０８の投入を行わない」と決定し、待ち搬送物数の変動が増加傾向、或いは横這い（＝略一定）の状態にある場合は、「メイン搬送路１０２へ予備搬送車１０８を投入する」と決定する。
【００３６】
このように、待ち搬送物数の変動傾向を考慮すると、搬送システム１００の状況とリンクして、精度良く、予備搬送車１０８の投入が可能となり、更に、搬送車同士の干渉頻度を低減させ、搬送工期の短縮化が可能となる。
【００３７】
尚、待ち搬送物数変動記憶装置１１４が備えられていない場合、搬送車投入・撤去決定部１１０は、待ち搬送物数の変動傾向は考慮せず、現在の搬送車（台）数で搬送が不可能な場合に、必要（台）数分の予備搬送車１０８の投入を決定する。
【００３８】
次に、搬送車投入・撤去決定部１１１がメイン搬送路１０２からの予備搬送車１０８の撤去を決定するまでの手順（ステップ７−２）を説明する。
【００３９】
「最適搬送車（台）数＝現在の搬送車（搬送車１０７、予備搬送車１０８、以降省略）の（台）数」である場合は、現在の搬送車の（台）数が必要であり、「メイン搬送路１０２への予備搬送車１０８の投入または撤去を行わない」と決定する。また、「最適搬送車（台）数＜現在の搬送車（台）数」である場合は、待ち搬送物数の変動傾向を考慮する。即ち、待ち搬送物数が増加傾向にある場合は、「メイン搬送路１０２からの予備搬送車１０８の撤去を行わない」と決定し、待ち搬送物数の変動が減少傾向、或いは横這い（＝略一定）の状態にある場合は、「メイン搬送路１０２から予備搬送車１０８を撤去する」と決定する。
【００４０】
このように、待ち搬送物数の変動傾向を考慮すると、搬送システム１００の搬送状況とリンクして、精度良く、予備搬送車１０８の撤去が可能となり、更に、搬送車同士の干渉頻度を低減させ、搬送工期の短縮化が可能となる。
【００４１】
尚、待ち搬送物数変動記憶装置１１３が備えられていない場合、搬送車投入・撤去決定部１１１は、待ち搬送物数の変動傾向を考慮せず、現状よりも少ない搬送車の（台）数で搬送が可能な場合に、不要（台）数分の予備搬送車１０８の撤去を決定する。
【００４２】
次に、搬送車投入・撤去決定部１１１の決定結果に基づき、搬送車制御装置１０６は、予備搬送車１０８に投入または撤去に関する搬送指令を割り付け、予備搬送車１０８は「メイン搬送路１０２への移動」または「待機用走路１０３への移動」を開始する（＝ステップ８）。
【００４３】
従来の搬送システムでは、設計段階での搬送量に対して数倍程度の余裕を見積もり、予備搬送車を含め、メイン搬送路に搬送車を投入している。また、搬送車に搬送指令を割り付る場合、搬送指令の発生と同時に、不要な予備搬送車にも無条件に搬送指令が割り付けられる。従って、メイン搬送路では搬送車の数が増加し、搬送及び回送の作業を行う搬送車は、不要で、搬送指令を持たない予備搬送車によって進路を妨げられ、搬送工期は増加し、引いては、生産工期が遅れることになる。
【００４４】
本実施の形態では、過去のシステム状況を表すデータのうち、現在（＝任意に選択された時点）の待ち搬送物数に最も近い値を示すデータの実績搬送数を予想搬送量と決定し、これを必要搬送車（台）数データと比較して、メイン搬送路１０２への予備搬送車１０８の投入、またはメイン搬送路１０２からの予備搬送車１０８の撤去を決定する。これにより、メイン搬送路１０２に在る搬送車の数を調整し、搬送車同士の干渉頻度を低減させ、搬送工期を短縮化することが可能となる。また、不要な予備搬送車１０８を稼働させないことにより、従来よりも、搬送システムの稼働に要する消費電力を抑制し、搬送車の使用寿命を伸ばすことが可能となる。
【００４５】
また、本実施の形態では、前述の如く、待ち搬送物数の変動傾向を考慮して、メイン搬送路１０２への予備搬送車１０８の投入、またはメイン搬送路１０２からの予備搬送車１０８の撤去を決定する。これにより、搬送システム１００内の搬送状況とリンクして、メイン搬送路１０２に在る搬送車（搬送車１０７、予備搬送車１０８）の数を調整することが可能となり、更なる搬送車同士の干渉頻度の低減、引いては、搬送工期の短縮化が可能となる。
（第２の実施の形態）
本実施の形態では、（第１の実施の形態）と同様に、半導体ウエハの搬送を一例とし、搬送システム及び搬送システムの制御方法について、図４及び図５を用いて説明する。
【００４６】
図４に示すように、半導体ウエハの搬送システム２００は、複数の搬送作業ポイント２０１を結ぶメイン搬送路２０２と、このメイン搬送路２０２に接続された待機用搬送路２０３とから構成される走行路を有する。
【００４７】
処理装置２０４（または搬送物保管装置）は、搬送作業ポイント２０１に対向し、尚且つメイン搬送路２０２の外周に沿った所定の位置に配置されている。また、ウエハは、処理装置２０４（または搬送物保管装置）に投入すべく、搬送物２０５の内部に保持された状態でメイン搬送路２０２を搬送される。搬送物２０５には、ウエハをロット毎（１ロットはウエハ２４枚程度） 収納できる、所謂、ウエハ搬送用のポッド等を使用することができる。
【００４８】
尚、本実施の形態では、図４に示すように、メイン搬送路２０２にループ形状の搬送路を使用するが、格子状の搬送路等も使用することが可能であり、形状は特に限定されないものとする。
【００４９】
図４に示すように、メイン搬送路２０２では、搬送車制御装置２０６から発せられた指令内容に基づいて搬送車２０７が走行し、また、待機用送路２０３では、予備搬送車２０８が準備される。
【００５０】
搬送車２０７は、搬送車制御装置２０６からの搬送指令に基づいて、搬送物２０５の搬送に関係する作業を行う。例えば、搬送車２０７は、ウエハを内部に保持した搬送物２０５を積載し、処理装置２０４（または搬送物保管装置）へ搬送する作業（＝搬送作業）を行う。また、搬送車２０７は、処理装置２０４において搬送物２０５を受け取るべく、搬送物２０５を積載せずにメイン搬送路２０２を走行する作業（＝回送作業）を行う場合もある。一方、予備搬送車２０８は、搬送車２０７の（台）数に不足が生じた場合、搬送車制御装置２０６の搬送指令に基づいて、適宜、待機用搬送路２０３からメイン搬送路２０２に投入される。
【００５１】
図４に示すように、搬送車制御装置２０６には、システム状況記憶装置２０９、最適搬送車数決定部２１０、及び搬送車投入・撤去決定部２１１とが設けられている。また、搬送車制御装置２０６には、待ち搬送物数変動記憶装置２１２が接続されている。
【００５２】
システム状況記憶装置２０９、搬送車投入・撤去決定部２１１、及び待ち搬送物数変動記憶装置２１２は、（第１の実施の形態）のシステム状況記憶装置１０９、最適搬送車数決定部１１０、及び搬送車投入・撤去決定部１１１の各々と同じ構造を有し、且つ搬送システム２００に同様に作用するものである。
【００５３】
システム状況記憶装置２０９は、図２（ａ）に示すように、搬送システム２００の搬送稼働状況を示す各種情報（データ）をシステム状況データとして記憶させる。このシステム状況データは、所定期間毎に、搬送システム２００に存在する搬送車（搬送車２０７、予備搬送車２０８）の（台）数、搬送システム２００で実際に搬送された搬送物２０５の実績搬送数、搬送システム２００で搬送待ちの状態にある待ち搬送物２０５の数、及び平均搬送工期（単位：sec）等を主要な情報（データ）として、ホストコンピュータ（特に図示せず）から抽出し、システム状況記憶装置２０９に随時記憶させ、実績データとして蓄積している。このシステム状況データは、例えば、１時間単位、または１日単位というように、任意の期間単位を選択して随時記憶させることができる。本実施の形態では、図２（ａ）に示すように、１日単位でデータを記憶させている。
【００５４】
以下に、図５を参照し、ウエハ等を内部に保持し、収納する搬送物の平均搬送工期を参照して、最適搬送車数決定部２１０が最適搬送車（台）数を決定する手順を説明する。
【００５５】
尚、平均搬送工期は、所定期間（例：１時間、１日、または１ヶ月）内に搬送が完了した搬送物を対象として、搬送に要した時間（＝搬送工期）を合計し、これを平均化したものである。この場合、搬送に要した時間には、搬送車に搬送指令を割り付けて投入する時間、搬送車が搬送物を搬送する作業に要した時間、搬送体が（搬送物を積載せずに）回送作業をする時間等が含まれることになる。
【００５６】
先ず、最適搬送車数決定部２１０は、現状、即ち、現在（＝任意に選択された時点）の搬送システム２００の状況を表す情報として、搬送待ちの状態にある搬送物２０５の数をホストコンピュータに問い合わせる（＝ステップ１）。
【００５７】
次に、最適搬送車数決定部２１０は、この現在（＝任意に選択された時点）の状況を表すデータと比較し、システム状況記憶装置２０９に記憶された過去のシステム状況データの中から、現在の待ち搬送物数に最も近く、尚且つ平均搬送工期が最短の値を示すシステム状況データを検索する（＝ステップ２）。
【００５８】
次に、最適搬送車数決定部２１０は、検索されたデータに示される搬送車（台）数を最適（台）数として決定する（＝ステップ３）。
【００５９】
次に、メイン搬送路２０２にある現在の搬送車（搬送車２０７、予備搬送車２０８）の（台）数との差を算出する（＝ステップ４）。
【００６０】
次に、待ち搬送数物変動記憶装置２１２は、搬送システム２００で搬送待ちの状態にある、待ち搬送物数の変動傾向を、待ち搬送物数変動データとして記憶し、待ち搬送物数の変動が増加傾向にあるのか、減少傾向にあるのか、或いは、横這い（＝略一定）の状態にあるのかを、搬送車投入・撤去決定部２１１に伝達する。（＝ステップ５）
次に、搬送車投入・撤去決定部２１１は、メイン搬送路２０２への予備搬送車２０８の投入または撤去の要否を決定する（＝ステップ６）。
【００６１】
ここでは、（第１の実施の形態）と同様に、搬送システム２００で搬送待ちの状態にある、待ち搬送物数の変動傾向を考慮し、予備搬送車２０８の投入及び撤去の要否を決定する。即ち、搬送車投入・撤去決定部２１１は、待ち搬送物数の変動傾向を考慮して、最適搬送車数が、現在メイン搬送路２０２に在る搬送車（搬送車２０７、予備搬送車２０８）の（台）数よりも多い場合に、メイン搬送路２０２への予備搬送車２０８の投入を決定し、また、最適搬送車数が、現在メイン搬送路２０２に在る搬送車（搬送車２０７、予備搬送車２０８）の（台）数よりも少ない場合に、メイン搬送路２０２からの予備搬送車２０８の撤去を決定する。
【００６２】
以下に、予備搬送車２０８の投入及び撤去を決定する手順を図５に示す。
【００６３】
先ず、搬送車投入・撤去決定部２１１が、メイン搬送路２０２への予備搬送車２０８の投入を決定するまでの手順（＝ステップ６−１）を説明する。
【００６４】
例えば、「最適搬送車（台）数＝現在の搬送車（搬送車２０７、予備搬送車２０８、以降省略）の（台）数」である場合は、現在の搬送車数で搬送が可能であり、「メイン搬送路２０２への予備搬送車２０８の投入を行わない」と決定する。  また「最適搬送車（台）数＞現在の搬送車（台）数」である場合は、待ち搬送物数の変動傾向を考慮する。即ち、予備搬送車２０８の投入が必要な場合でも、待ち搬送物数が減少傾向にある場合は、「メイン搬送路２０２への予備搬送車２０８の投入を行わない」と決定し、待ち搬送物数の変動が増加傾向、或いは横這い（＝略一定）状態にある場合は、「メイン搬送路２０２へ予備搬送車２０８を投入する」と決定する。
【００６５】
このように、待ち搬送物数の変動傾向を考慮すると、精度良く、搬送システム２００の状況とリンクした予備搬送車２０８の投入が可能となり、更に、搬送車同士の干渉頻度を低減させ、搬送工期の短縮化が可能となる。
【００６６】
尚、待ち搬送物数変動記憶装置２１２が備えられていない場合、搬送車投入・撤去決定部２１０は、待ち搬送物数の変動傾向は考慮せず、現在の搬送車（台）数で搬送が不可能な場合に、必要（台）数分の予備搬送車２０８の投入を決定する。
【００６７】
次に、搬送車投入・撤去決定部２１１がメイン搬送路２０２から予備搬送車２０８の撤去を決定するまでの手順（ステップ６−２）を説明する。
【００６８】
例えば、「最適搬送車（台）数＝現在の搬送車（搬送車２０７、予備搬送車２０８、以降省略）の（台）数」である場合は、現在の搬送車の（台）数が必要であり、「メイン搬送路２０２からの予備搬送車２０８の撤去を行わない」と決定する。また、「最適搬送車（台）数＜現在の搬送車（台）数」である場合は、待ち搬送物数の変動傾向を考慮する。即ち、待ち搬送物数が増加傾向にある場合は、「メイン搬送路２０２からの予備搬送車２０８の撤去を行わない」と決定し、待ち搬送物数の変動が減少傾向、或いは横這いの状態（＝略一定の状態）にある場合は、「メイン搬送路２０２からの予備搬送車２０８を撤去する」と決定する。
【００６９】
このように、待ち搬送物数の変動傾向を考慮すると、精度良く、搬送システム２００の状況とリンクした予備搬送車２０８の撤去が可能となり、更に、搬送車同士の干渉頻度を低減させ、搬送工期の短縮化が可能となる。
【００７０】
尚、待ち搬送物数変動記憶装置２１２が備えられていない場合、搬送車投入・撤去決定部２１１は、待ち搬送物数の変動傾向を考慮せず、現在よりも少ない搬送車の（台）数で搬送が可能な場合に、不要（台）数分の予備搬送車２０８の撤去を決定する。
【００７１】
次に、搬送車投入・撤去決定部２１１の決定結果に基づき、搬送車制御装置２０６は、投入または撤去される予備搬送車２０８に搬送指令を割り付け、予備搬送車２０８は「メイン搬送路２０２への移動」または「待機用送路２０３への移動」を開始する（＝ステップ７）。
【００７２】
従来の搬送システムでは、設計段階での搬送量に対して数倍程度の余裕を見積もり、予備搬送車を含め、メイン搬送路に搬送車を投入している。また、搬送車に搬送指令を割り付る場合、搬送指令の発生と同時に、不要な予備搬送車にも無条件に搬送指令が割り付けられる。従って、メイン搬送路では搬送車の数が増加し、搬送及び回送の作業を行う搬送車は、不要で、搬送指令を持たない予備搬送車によって進路を妨げられ、搬送工期が増加し、引いては、生産工期が遅れることになる。
【００７３】
本実施の形態では、過去のシステム状況を表すデータのうち、現在（＝任意に選択される時点）の待ち搬送物数に最も近い値を示し、尚且つ、その中で平均搬送工期が最も短い値を示すデータの搬送車数を最適搬送車数と決定し、この最適搬送車数とメイン搬送路２０２への予備搬送車２０８の投入、またはメイン搬送路２０２からの予備搬送車２０８の撤去を決定する。これにより、メイン搬送路２０２に在る搬送車の数を調整し、搬送車同士の干渉頻度を低減させ、搬送工期の短縮化が可能となる。また、不要な予備搬送車２０８を稼働させないことにより、従来よりも、搬送システムの稼働に要する消費電力を抑制し、搬送車の使用寿命を伸ばすことが可能となる。
【００７４】
また、本実施の形態では、前述の如く、待ち搬送物数の変動傾向を考慮して、メイン搬送路２０２への予備搬送車２０８の投入、またはメイン搬送路２０２からの予備搬送車２０８の撤去を決定する。これにより、搬送システム２００内の搬送状況とリンクして、メイン搬送路１０２に在る搬送車（搬送車２０７、予備搬送車２０８）の数を調整することが可能となり、更なる搬送車同士の干渉頻度の低減、引いては、搬送工期の短縮化が可能となる。
【００７５】
【発明の効果】
本発明によって、搬送システム内の搬送状況に応じて、搬送路への投入または搬送路からの撤去を行い、搬送車等、搬送路に在る搬送体の数を調整することが可能となる。従って、必要数分の搬送体だけを用いて搬送物の搬送を行うことができ、搬送体同士の干渉頻度を低減させ、搬送工期を短縮化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に関係する搬送システムの全体図。
【図２】本発明の第１及び第２の実施の形態に関係する、搬送システムの稼働状況を表すデータ。
【図３】本発明の第１の実施の形態に関係する、予備搬送車の投入・撤去を決定する手順を表すフローチャート。
【図４】本発明の第２の実施の形態に関係する、搬送システムの全体図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に関係する、予備搬送車の投入・撤去を決定する手順を表すフローチャート。
【図６】従来の搬送システムの全体図。
【図７】従来の搬送システムに関係するフローチャート。
【符号の説明】
１００、２００、３００・・・搬送システム
１０１、２０１、３０１・・・搬送作業ポイント
１０２、２０２、３０２・・・メイン搬送路
１０３、２０３、３０３・・・待機用搬送路
１０４、２０４、３０４・・・処理装置
１０５、２０５、３０５・・・搬送物
１０６、２０６、３０６・・・搬送車制御装置
１０７、２０７、３０７・・・搬送車
１０８、２０８、３０８・・・予備搬送車
１０９、２０９・・・システム状況記憶装置、
１１０、２１０・・・最適搬送車数決定部
１１１、２１１・・・搬送車投入・撤去決定部、
１１２・・・予想搬送量算出装置
１１３・・・必要台数データ記憶装置
１１４、２１２・・・待ち搬送物数変動記憶装置
【図１】
0004052624.tif 000002
【図２】
0004052624.tif 000003
【図３】
0004052624.tif 000004
【図４】
0004052624.tif 000005
【図５】
0004052624.tif 000006
【図６】
0004052624.tif 000007
【図７】
0004052624.tif 000008