【手続補正書】
【提出日】平成20年4月14日(2008.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光束を用いて被照射面を照明する照明光学系であって、
前記光源からの光束を変換し、前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面において所定の光束形状を形成する光束形状変換手段と、
前記光束形状変換手段からの光束を入射光として、有効光源を形成する有効光源形成手段と、
前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面の近傍に配置され、前記光束形状変換手段により変換された光束の一部を遮光する遮光部材を有し、
前記遮光部材は、それぞれ独立して移動可能な複数の遮光部を有し、前記有効光源の形状の変更に応じて、前記複数の遮光部を移動することを特徴とする照明光学系。
【請求項２】
光源からの光束を用いて被照射面を照明する照明光学系であって、
前記光源からの光束を変換し、前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面において所定の光束形状を形成する光束形状変換手段と、
前記光束形状変換手段からの光束を入射光として、有効光源を形成する有効光源形成手段と、
前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面の近傍に配置され、前記光束形状変換手段により変換された光束の一部を遮光する遮光部材と、
前記有効光源の偏光状態を設定する偏光設定手段とを有し、
前記遮光部材は、それぞれ独立して移動可能な複数の遮光部とを有し、前記有効光源の形状及び偏光状態のうち少なくとも一方の変更に応じて、前記複数の遮光部を移動することを特徴とする照明光学系。
【請求項３】
前記複数の遮光部は、前記照明光学系の光軸と垂直な方向に移動可能であることを特徴とする請求項１又は２に記載の照明光学系。
【請求項４】
光源からの光束を用いて被照射面を照明する照明光学系であって、
前記光源からの光束を変換し、前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面において所定の光束形状を形成する光束形状変換手段と、
前記光束形状変換手段からの光束を入射光として、有効光源を形成する有効光源形成手段と、
前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面の近傍に配置され、前記光源からの光束の一部を遮光する複数の遮光部材とを有し、
前記複数の遮光部材の各々は、前記照明光学系の光軸方向における互いに異なる位置に配置され、前記照明光学系の光路に対して挿脱可能であることを特徴とする照明光学系。
【請求項５】
前記被照射面とフーリエ変換の関係にある第１の面の近傍で挿脱可能な第１の遮光部材と、
前記被照射面とフーリエ変換の関係にある第２の面の近傍で挿脱可能な第２の遮光部材とを有することを特徴とする請求項４に記載の照明光学系。
【請求項６】
前記第１の遮光部材を複数有し、
該複数の第１の遮光部材は、前記照明光学系の光路内において切り替えて配置されることを特徴とする請求項５に記載の照明光学系。
【請求項７】
前記第２の遮光部材を複数有し、
該複数の第２の遮光部材は、前記照明光学系の光路内において切り替えて配置されることを特徴とする請求項６に記載の照明光学系。
【請求項８】
光源からの光束を用いて被照射面を照明する照明光学系であって、
前記光源からの光束を変換し、前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面において所定の光束形状を形成する光束形状変換手段と、
前記光束形状変換手段からの光束を入射光として、有効光源を形成する有効光源形成手段と、
前記光源からの光束の一部を遮光し、前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面の近傍において、前記照明光学系の光路に対して挿脱可能な第１の遮光部材と、
前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面の近傍に配置され、前記光源からの光束の一部を遮光し、それぞれ独立して移動可能な複数の遮光部を有する第２の遮光部材とを有することを特徴とする照明光学系。
【請求項９】
光源からの光束を用いて被照射面を照明する照明光学系であって、
前記光源からの光束を変換し、前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面において所定の光束形状を形成する光束形状変換手段と、
前記光束形状変換手段からの光束を入射光として、有効光源を形成する有効光源形成手段と、
前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面の近傍に配置され、前記光源からの光束の一部を遮光する複数の遮光部材とを有し、
前記複数の遮光部材の各々は、それぞれ独立して移動可能な複数の遮光部を有することを特徴とする照明光学系。
【請求項１０】
前記複数の遮光部材のうちの１つは虹彩絞りであることを特徴とする請求項４に記載の照明光学系。
【請求項１１】
前記挿脱可能な遮光部材は虹彩絞りであることを特徴とする請求項８に記載の照明光学系。
【請求項１２】
前記複数の遮光部材のうちの１つにより、前記有効光源の開口角が定められることを特徴とする請求項４に記載の照明光学系。
【請求項１３】
前記挿脱可能な遮光部材により、前記有効光源の開口角が定められることを特徴とする請求項８に記載の照明光学系。
【請求項１４】
前記有効光源の偏光状態を設定する偏光設定手段とを有することを特徴とする請求項４、８及び９のうちいずれか１項に記載の照明光学系。
【請求項１５】
ミラーを有し、被露光体を露光する露光装置に使用され、光源からの光束を用いて被照射面を照明する照明光学系であって、
前記光束の前記被照射面における入射角度分布としての有効光源の複数の領域に前記光束の所定の偏光状態を設定する偏光設定手段と、
前記被照射面と実質的にフーリエ変換の関係にある位置に配置された複数のフィルター部材と、
前記複数のフィルター部材は、それぞれ複数の有効光源領域に対応して配置され、それぞれの偏光状態に対して最適化された透過率分布を持つことを特徴とする照明光学系
【請求項１６】
前記照明光学系は、前記被照射面を均一に照明するためのオプティカルインテグレータを更に有し、
前記フィルター部材は、前記オプティカルインテグレータの入射面もしくは射出面の近傍、または前記入射面又は前記射出面と光学的に共役な面の近傍に配置されることを特徴とする請求項１５に記載の照明光学系。
【請求項１７】
前記フィルター部材の前記透過率分布は、第１の方向に変化し、前記第１の方向と直交する第２の方向では実質的に一定であることを特徴とする請求項１５記載の照明光学系。
【請求項１８】
前記フィルター部材は、遮光部を有することを特徴とする請求項１５記載の照明光学系。
【請求項１９】
前記照明光学系は、複数の種類の前記偏光設定手段と前記複数の種類の偏光設定手段にそれぞれ対応する複数の種類のフィルター部材とを有し、
一対の前記偏光設定手段と前記フィルター部材は、光路上に切り替え可能に配置されていることを特徴とする請求項１５記載の照明光学系。
【請求項２０】
前記偏光設定手段は、λ／２位相板を含むことを特徴とする請求項１５項記載の照明光学系。
【請求項２１】
ミラーを有し、被露光体を露光する露光装置に使用され、光源からの光束を用いて被照射面を照明する照明光学系であって、
前記被照射面に、前記光束の入射角分布として有効光源分布形状を形成する光束形状変換手段と、
照明光学系の光軸に沿って移動可能に配置される絞りとを有し、
前記絞りは、前記被照射面と実質的にフーリエ変換の関係にある位置の近傍に配置されることを特徴とする照明光学系。
【請求項２２】
前記絞りは、複数の独立駆動可能な遮光部を有することを特徴とする請求項２１に記載の照明光学系。
【請求項２３】
前記遮光部は、前記有効光源の形状を変更することを特徴とする請求項２２に記載の照明光学系。
【請求項２４】
前記遮光部は、前記有効光源の形状を変更せずに前記有効光源の強度を変更することを特徴とする請求項２２に記載の照明光学系。
【請求項２５】
前記有効光源の複数の領域に前記光束の所定の偏光状態を設定する偏光設定手段を有することを特徴とする請求項２３又は２４に記載の照明光学系。
【請求項２６】
前記複数の遮光部は、偏光状態に応じて移動されることを特徴とする請求項２５に記載の照明光学系。
【請求項２７】
前記複数の遮光部は、有効光源に応じて移動されることを特徴とする請求項２２に記載の照明光学系。
【請求項２８】
ミラーを有し、被露光体を露光する露光装置に使用され、光源からの光束を用いて被照射面を照明する照明光学系であって、
前記被照射面と実質的にフーリエ変換の関係にある位置に配置されるフィルター部材を有し、
前記フィルター部材の透過率分布は、第１の方向に変化し、前記第１の方向と直交する第２の方向では実質的に一定であることを特徴とする照明光学系。
【請求項２９】
複数の前記フィルター部材と、
被照射面に前記光束の入射角度分布として有効光源形状を形成する光束形状変換手段とを有し、
前記複数のフィルターは、前記有効光源に応じて切り替えることを特徴とする請求項２８に記載の照明光学系。
【請求項３０】
被照射面の前記光束の入射角度分布として有効光源形状を形成する光束形状変換手段と、
前記有効光源の複数の領域に前記光束の所定の偏光状態を設定する偏光設定手段とを有し、
前記複数のフィルターは、有効光源及び前記所定の偏光状態のうち少なくとも一方に応じて切り替えられることを特徴とする請求項２８に記載の照明光学系。
【請求項３１】
ミラーを有し、被露光体を露光する露光装置に使用され、光源からの光束を用いて被照射面を照明する照明光学系であって、
前記被照射面の前記光束の入射角度分布として有効光源の複数の領域に前記光束の所定の偏光状態を設定する、光路上に切り替え可能に配置されている複数の種類の偏光設定手段と、
前記照明光学系の光軸に沿って移動可能に配置される絞りと、
前記偏光設定手段の切り替えに従って、前記絞りの形状、直径及び位置のうち少なくとも一つを制御する制御手段とを有することを特徴とする照明光学系。
【請求項３２】
光源からの光束を用いて被照射面としてのレチクルを照明する照明光学系と、
被露光体にレチクルのパターンを投影する投影光学系と、
ブロードバンド高反射膜ミラーは、照明光学系及び投影光学系のうち少なくとも一方に配置され、
前記照明光学系は、被照射面と実質的にフーリエ変換の関係にある位置に配置され、前記ミラーによる前記照明光学系の透過率分布の不均一性を補正するように予め設定された透過率分布を含むフィルター部材とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項３３】
光源からの光束を用いて被照射面に配置されたレチクルを照明するための請求項１５、２１、２８及び３１のうちいずれか１項に記載の照明光学系と、
被露光体上にレチクルのパターンを投影する投影光学系とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項３４】
前記ミラーは、ブロードバンド高反射膜ミラーであることを特徴とする請求項３３に記載の露光装置。
【請求項３５】
光源からの光束を用いて被照射面に配置されたレチクルを照明するための請求項１乃至１４の何れか１項に記載の照明光学系と、
被露光体上にレチクルのパターンを投影する投影光学系とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項３６】
請求項３３又は３５に記載の露光装置を用いて、被露光体を露光するステップと、
露光された被露光体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の一側面としての照明光学系は、光源からの光束を用いて被照射面を照明する照明光学系であって、前記光源からの光束を変換し、前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面において所定の光束形状を形成する光束形状変換手段と、前記光束形状変換手段からの光束を入射光として、有効光源を形成する有効光源形成手段と、前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面の近傍に配置され、前記光束形状変換手段により変換された光束の一部を遮光する遮光部材を有し、前記遮光部材は、それぞれ独立して移動可能な複数の遮光部を有し、前記有効光源の形状の変更に応じて、前記複数の遮光部を移動することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の別の側面としての照明光学系は、光源からの光束を用いて被照射面を照明する照明光学系であって、前記光源からの光束を変換し、前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面において所定の光束形状を形成する光束形状変換手段と、前記光束形状変換手段からの光束を入射光として、有効光源を形成する有効光源形成手段と、前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面の近傍に配置され、前記光束形状変換手段により変換された光束の一部を遮光する遮光部材と、前記有効光源の偏光状態を設定する偏光設定手段とを有し、前記遮光部材は、それぞれ独立して移動可能な複数の遮光部とを有し、前記有効光源の形状及び偏光状態のうち少なくとも一方の変更に応じて、前記複数の遮光部を移動することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本実施例の別の一側面の照明光学系として、光源からの光束を用いて被照射面を照明する照明光学系であって、前記光源からの光束を変換し、前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面において所定の光束形状を形成する光束形状変換手段と、前記光束形状変換手段からの光束を入射光として、有効光源を形成する有効光源形成手段と、前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面の近傍に配置され、前記光源からの光束の一部を遮光する複数の遮光部材とを有し、前記複数の遮光部材の各々は、前記照明光学系の光軸方向における互いに異なる位置に配置され、前記照明光学系の光路に対して挿脱可能であることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の別の側面としての照明光学系は、光源からの光束を用いて被照射面を照明する照明光学系であって、前記光源からの光束を変換し、前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面において所定の光束形状を形成する光束形状変換手段と、前記光束形状変換手段からの光束を入射光として、有効光源を形成する有効光源形成手段と、前記光源からの光束の一部を遮光し、前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面の近傍において、前記照明光学系の光路に対して挿脱可能な第１の遮光部材と、前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面の近傍に配置され、前記光源からの光束の一部を遮光し、それぞれ独立して移動可能な複数の遮光部を有する第２の遮光部材とを有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の別の側面としての照明光学系は、光源からの光束を用いて被照射面を照明する照明光学系であって、前記光源からの光束を変換し、前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面において所定の光束形状を形成する光束形状変換手段と、前記光束形状変換手段からの光束を入射光として、有効光源を形成する有効光源形成手段と、前記被照射面とフーリエ変換の関係にある面の近傍に配置され、前記光源からの光束の一部を遮光する複数の遮光部材とを有し、前記複数の遮光部材の各々は、それぞれ独立して移動可能な複数の遮光部を有することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の別の側面としての照明光学系は、ミラーを有し、被露光体を露光する露光装置に使用され、光源からの光束を用いて被照射面を照明する照明光学系であって、前記光束の前記被照射面における入射角度分布としての有効光源の複数の領域に前記光束の所定の偏光状態を設定する偏光設定手段と、前記被照射面と実質的にフーリエ変換の関係にある位置に配置された複数のフィルター部材と、前記複数のフィルター部材は、それぞれ複数の有効光源領域に対応して配置され、それぞれの偏光状態に対して最適化された透過率分布を持つことを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の別の側面としての照明光学系は、ミラーを有し、被露光体を露光する露光装置に使用され、光源からの光束を用いて被照射面を照明する照明光学系であって、前記被照射面に、前記光束の入射角分布として有効光源分布形状を形成する光束形状変換手段と、照明光学系の光軸に沿って移動可能に配置される絞りとを有し、前記絞りは、前記被照射面と実質的にフーリエ変換の関係にある位置の近傍に配置されることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の別の側面としての照明光学系は、ミラーを有し、被露光体を露光する露光装置に使用され、光源からの光束を用いて被照射面を照明する照明光学系であって、前記被照射面と実質的にフーリエ変換の関係にある位置に配置されるフィルター部材を有し、前記フィルター部材の透過率分布は、第１の方向に変化し、前記第１の方向と直交する第２の方向では実質的に一定であることを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の別の側面としての照明光学系は、ミラーを有し、被露光体を露光する露光装置に使用され、光源からの光束を用いて被照射面を照明する照明光学系であって、前記被照射面の前記光束の入射角度分布として有効光源の複数の領域に前記光束の所定の偏光状態を設定する、光路上に切り替え可能に配置されている複数の種類の偏光設定手段と、前記照明光学系の光軸に沿って移動可能に配置される絞りと、前記偏光設定手段の切り替えに従って、前記絞りの形状、直径及び位置のうち少なくとも一つを制御する制御手段とを有することを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の別の側面としての露光装置は、光源からの光束を用いて被照射面としてのレチクルを照明する照明光学系と、被露光体にレチクルのパターンを投影する投影光学系と、ブロードバンド高反射膜ミラーは、照明光学系及び投影光学系のうち少なくとも一方に配置され、前記照明光学系は、被照射面と実質的にフーリエ変換の関係にある位置に配置され、前記ミラーによる前記照明光学系の透過率分布の不均一性を補正するように予め設定された透過率分布を含むフィルター部材とを有することを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明の別の側面としての露光装置は、光源からの光束を用いて被照射面に配置されたレチクルを照明するための上述された照明光学系と、被露光体上にレチクルのパターンを投影する投影光学系とを有することを特徴とする。