【手続補正書】
【提出日】平成20年4月1日(2008.4.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】圧電振動子
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  厚み滑り振動を主振動とする圧電振動子において、圧電基板両主面上中央部に励振用電極を形成すると共に、
前記圧電基板の厚み滑り振動の伝搬方向端部と前記励振用電極との間に複数の溝を設け、
前記複数の溝は、前記圧電基板の対向する辺から延在し、互いに間挿するよう配置されていることを特徴とする圧電振動子。
【請求項２】  前記複数の溝は、前記圧電基板の辺から、
前記圧電基板の辺に平行し且つ前記励振用電極のほぼ中央部を通過する線付近まで延在することを特徴とする請求項1に記載の圧電振動子。
【請求項３】  厚み滑り振動を主振動とする圧電振動子において、圧電基板両主面上中央部に励振用電極を形成すると共に、
前記圧電基板の厚み滑り振動の伝搬方向端部と前記励振用電極との間に複数の溝を設け、
前記溝が、所定の曲率で前記励振用電極側に湾曲していることを特徴とする圧電振動子。
【請求項４】  前記溝の長さは、前記励振用電極辺の長さ以上であることを特徴とする請求項３に記載の圧電振動子。
【請求項５】  前記励振用電極にもっとも近接した溝の圧電基板厚さ方向の深さは、他の溝の深さより浅いことを特徴とする請求項３又は４に記載の圧電振動子。
【請求項６】  前記複数の溝の圧電基板厚さ方向の深さは、前記励振用電極に近い程浅く、
圧電基板長手方向端部に近いほど深くしたことを特徴とする請求項５に記載の圧電振動子。
【請求項７】  前記励振用電極と圧電基板長手方向端部との間の所望の位置にある溝の圧電基板厚さ方向の深さを他の溝の深さより深くしたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の圧電振動子。
【請求項８】  前記励振用電極にもっとも近接した溝及びその次に近接した溝の圧電基板厚さ方向の深さは、他の溝の深さより浅いことを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電振動子。
【請求項９】  前記励振用電極と圧電基板長手方向端部との間の所望の位置にある隣り合う一組の溝と、
該一組の溝とは前記励振用電極を挟んで対向する位置にある他の隣り合う一組の溝の圧電基板厚さ方向の深さをそれ以外の溝の深さより深くしたことを特徴とする請求項８に記載の圧電振動子。
【請求項１０】  厚み滑り振動を主振動とする圧電振動子において、圧電基板両主面上中央部に励振用電極を形成すると共に、
前記圧電基板の厚み滑り振動の伝搬方向端部と前記励振用電極との間に複数の孔を設けたことを特徴とする圧電振動子。
【請求項１１】  前記圧電振動子が短冊形であって、
前記複数の孔は、前記圧電基板の短辺方向に列状に形成したことを特徴とする請求項１０に記載の圧電振動子。
【請求項１２】  前記圧電振動子が短冊形であって、
前記孔の列が、前記圧電基板の長辺と直交する線に対し所望の角度傾斜していることを特徴とする請求項１１に記載の圧電振動子。
【請求項１３】  前記圧電振動子が短冊形であって、
前記孔の列が、前記圧電基板の長辺と直交する線に対し所望の角度傾斜し、
且つ、前記圧電基板長辺方向に平行し且つ前記励振用電極のほぼ中央部を通過する線に対して線対称に設けられていることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の圧電振動子。
【請求項１４】  前記複数の列は、前記圧電基板の対向する辺から延在し、互いに間挿するよう配置されていることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の圧電振動子。
【請求項１５】  前記複数の列が、前記圧電基板の辺から、
前記圧電基板の辺に平行し且つ前記励振用電極のほぼ中央部を通過する線付近まで延在することを特徴とする請求項１４に記載の圧電振動子。
【請求項１６】  前記列が、所望の曲率で前記励振用電極側に湾曲していることを特徴とする請求項１１に記載の圧電振動子。
【請求項１７】  前記孔が、千鳥格子状に配列したことを特徴とする請求項１０に記載の圧電振動子。  
【請求項１８】  前記列の長さは、前記励振用電極の長さ以上であることを特徴とする請求項１１，１２，１３又は１６に記載の圧電振動子。
【請求項１９】  前記励振用電極に近い前記孔の圧電基板厚さ方向の深さは、他の孔の深さより浅いことを特徴とする請求項１０又は１７に記載の圧電振動子。
【請求項２０】  前記励振用電極と圧電基板長手方向端部との間の所望の位置にある複数の孔の圧電基板厚さ方向の深さを他の孔の深さより深くしたことを特徴とする請求項１０又は１７に記載の圧電振動子。
【請求項２１】  前記孔の圧電基板厚さ方向の深さは、前記励振用電極に近いほど浅く、圧電基板長手方向端部に近いほど深くしたことを特徴とする請求項１０又は１７に記載の圧電振動子。
【請求項２２】  前記励振用電極に近い前記列を構成する孔の圧電基板厚さ方向の深さは、他の列に含まれる孔の深さより浅いことを特徴とする請求項１１乃至１６のいずれか一項に記載の圧電振動子。
【請求項２３】  前記列を構成する孔の圧電基板厚さ方向の深さは、前記励振用電極に近い列の孔ほど浅く、圧電基板長手方向端部に近い列の孔ほど深くしたことを特徴とする請求項１１乃至１６のいずれか一項に記載の圧電振動子。
【請求項２４】  前記励振用電極と圧電基板長手方向端部との間の所望の位置にある列を構成する孔の圧電基板厚さ方向の深さを他の列を構成する孔の深さより深くしたことを特徴とする請求項１１，１２，１３又は１６のいずれか一項に記載の圧電振動子。
【請求項２５】  前記励振用電極にもっとも近接した一対の列及びその次に近接した一対の列を構成する孔の圧電基板厚さ方向の深さは、他の列を構成する孔の深さより浅いことを特徴とする請求項１４又は１５に記載の圧電振動子。
【請求項２６】  厚み滑り振動を主振動とする圧電振動子において、圧電基板両主面上中央部に励振用電極を形成すると共に、
前記圧電基板の厚み滑り振動の伝搬方向端部と前記励振用電極との間に添加物を添加したことを特徴とする圧電振動子。
【請求項２７】  前記添加物は、イオン打込み技術或は気相熱拡散技術を用いて添加したことを特徴とする請求項２６に記載の圧電振動子。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明は、厚み滑り振動を主振動とする圧電振動子において、圧電基板両主面上中央部に励振用電極を形成すると共に、前記圧電基板の厚み滑り振動の伝搬方向端部と前記励振用電極との間に複数の溝を設けたことを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明は、前記圧電振動子が短冊形であって、前記複数の溝が、前記圧電基板の長辺と直交する線に対し所望の角度傾斜して設けられていることを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また本発明は、前記圧電振動子が短冊形であって、前記複数の溝が、前記圧電基板の長辺と直交する線に対し所望の角度傾斜し、且つ、前記圧電基板長辺に平行し且つ前記励振用電極のほぼ中央部を通過する線に対して線対称に設けられていることを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また本発明は、前記複数の溝が、前記圧電基板の対向する長辺から延在し、互いに間挿するよう配置されていることを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また本発明は、前記複数の溝が、前記圧電基板長辺から、前記圧電基板長辺に平行し且つ前記励振用電極のほぼ中央部を通過する線付近まで延在することを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また本発明は、前記溝が、所定の曲率で前記励振用電極側に湾曲していることを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また本発明は、前記溝の長さが、前記励振用電極辺の長さ以上であることを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また本発明は、前記励振用電極にもっとも近接した溝の圧電基板厚さ方向の深さは、他の溝の深さより浅いことを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また本発明は、前記複数の溝の圧電基板厚さ方向の深さは、前記励振用電極に近い程浅く、圧電基板長手方向端部に近いほど深くしたことを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また本発明は、前記励振用電極と圧電基板長手方向端部との間の所望の位置にある溝の圧電基板厚さ方向の深さを他の溝の深さより深くしたことを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また本発明は、前記励振用電極にもっとも近接した溝及びその次に近接した溝の圧電基板厚さ方向の深さは、他の溝の深さより浅いことを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また本発明は、前記励振用電極と圧電基板長手方向端部との間の所望の位置にある隣り合う一組の溝と、該一組の溝とは前記励振用電極を挟んで対向する位置にある他の隣り合う一組の溝の圧電基板厚さ方向の深さをそれ以外の溝の深さより深くしたことを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また本発明は、厚み滑り振動を主振動とする圧電振動子において、圧電基板両主面上中央部に励振用電極を形成すると共に、前記圧電基板の厚み滑り振動の伝搬方向端部と前記励振用電極との間に複数の孔を設けたことを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また本発明は、前記振動子が短冊形であって、前記複数の孔は、前記圧電基板の短辺方向に列状に形成したことを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また本発明は、前記振動子が短冊形であって、前記孔の列が、前記圧電基板の長辺と直交する線に対し所望の角度傾斜していることを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また本発明は、前記振動子が短冊形であって、前記孔の列が、前記圧電基板の長辺と直交する線に対し所望の角度傾斜し、且つ、前記圧電基板長辺方向に平行し且つ前記励振用電極のほぼ中央部を通過する線に対して線対称に設けられていることを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
また本発明は、前記複数の列が、前記圧電基板の対向する長辺から延在し、互いに間挿するよう配置されていることを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また本発明は、前記複数の列が、前記圧電基板長辺から、前記圧電基板長辺に平行し且つ前記励振用電極のほぼ中央部を通過する線付近まで延在することを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また本発明は、前記列が、所望の曲率で前記励振用電極側に湾曲していることを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
また本発明は、前記孔が、千鳥格子状に配列したことを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
また本発明は、前記列の長さが、前記励振用電極の長さ以上であることを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
また本発明は、前記励振用電極に近い前記孔の圧電基板厚さ方向の深さが、他の孔の深さより浅いことを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
また本発明は、前記励振用電極と圧電基板長手方向端部との間の所望の位置にある複数の孔の圧電基板厚さ方向の深さを他の孔の深さより深くしたことを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
また本発明は、前記孔の圧電基板厚さ方向の深さを、前記励振用電極に近いほど浅く、圧電基板長手方向端部に近いほど深くしたことを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
また本発明は、前記励振用電極に近い前記列を構成する孔の圧電基板厚さ方向の深さが、他の列に含まれる孔の深さより浅いことを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
また本発明は、前記列を構成する孔の圧電基板厚さ方向の深さを、前記励振用電極に近い列の孔ほど浅く、圧電基板長手方向端部に近い列の孔ほど深くしたことを特徴とする圧
電振動子である。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
また本発明は、前記励振用電極と圧電基板長手方向端部との間の所望の位置にある列を構成する孔の圧電基板厚さ方向の深さを他の列を構成する孔の深さより深くしたことを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
また本発明は、前記励振用電極にもっとも近接した一対の列及びその次に近接した一対の列を構成する孔の圧電基板厚さ方向の深さが、他の列を構成する孔の深さより浅いことを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
また本発明は、厚み滑り振動を主振動とする圧電振動子において、圧電基板両主面上中央部に励振用電極を形成すると共に、前記圧電基板の厚み滑り振動の伝搬方向端部と前記励振用電極との間に添加物を添加したことを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
また本発明は、前記添加物を、イオン打込み技術或は気相熱拡散技術を用いて添加したことを特徴とする圧電振動子である。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
また本発明は、単一のウェーハ上であって、圧電振動子の励振用電極と該圧電振動子個片の長手方向端部との間に位置する部位に複数の溝または孔を形成する工程或は添加物を添加する工程と、単一のウェーハ上であって、各圧電振動子個片に対応し、圧電振動子個片の端部或は端部付近に位置する部位にスルーホールを形成する工程と、単一のウェーハ上に圧電振動子個片の励振用電極及びリード電極を夫々複数形成する工程と、前記スルーホールに導体膜を形成する工程と、前記単一のウェーハを複数の圧電振動子に分割する工程とからなることを特徴とする圧電振動子の製造方法である。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
また本発明は、上記溝または孔を形成する工程と上記スルーホールを形成する工程とを同時に行うことを特徴とする圧電振動子の製造方法である。
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
また本発明は、上記励振用電極及びリード電極を形成する工程と上記スルーホールに導体膜を形成する工程とを同時に行うことを特徴とする圧電振動子の製造方法である。