(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）ボデイと、
（ｂ）ボデイに回転可能に支持されたホルダと、
（ｃ）ホルダの一端部に設けられたスクライブ工具と、
（ｄ）ホルダの一端部に設けられ、スクライブ工具に振動エネルギーを供給する振動発生部材と、
（ｅ）一端部がホルダに固定された板ばねと、
（ｆ）ボデイに、板ばね方向への突出量を調節可能にして設けられ、板ばねを押して撓ませることにより板ばねに弾性力を生じさせ、これによりホルダに回動力を付与し、ひいてはスクライブ工具にワークに向かう押圧荷重を付与する押圧部材と、
を備えたことを特徴とするスクライブ装置。
【請求項２】
上記ホルダは、上記ボデイに回転可能に支持される第１ホルダ部分と、この第１ホルダ部分の一端部に支持される第２ホルダ部分とを有し、上記板ばねの一端部は上記第１ホルダ部分に固定され、上記スクライブ工具は上記第２ホルダ部分に取り付けられており、上記第１ホルダ部分と第２ホルダ部分には互いに対峙する受部がそれぞれ設けられ、これら受部間に上記振動発生部材が設けられ、この振動発生部材の振動エネルギーを第２ホルダ部分を介して上記スクライブ工具に供給することを特徴とする請求項１に記載のスクライブ装置。
【請求項３】
上記第２ホルダ部分が上記第１ホルダ部分に回転可能に支持され、上記スクライブ工具が上記第２ホルダ部分の一端部に取り付けられており、上記第１ホルダ部分には予圧部材が設けられ、この予圧部材は、上記第２ホルダ部分の第１ホルダ部分に対する回転の中心から見て、上記振動発生部材の反対側に配置され、上記第２ホルダ部分に回動力を付与することにより上記振動発生部材に圧縮力となる予圧を付与することを特徴とする請求項２に記載のスクライブ装置。
【請求項４】
上記押圧部材が、先端部の突出量を調節可能な調節ねじにより構成され、この調節ねじの先端部が上記板ばねに当たることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のスクライブ装置。
【請求項５】
上記板ばねが、上記ホルダにおいて、上記ボデイの調節ねじ取付け部の反対側を向く面に固定され、上記調節ねじが上記ホルダに形成された孔を貫通して上記板ばねに当たることを特徴とする請求項４に記載のスクライブ装置。
【請求項６】
上記ホルダには当接部が設けられ、この当接部は、上記ホルダのボデイに対する回転の中心から見て、上記スクライブ工具の反対側に配置され、上記ボデイには、この当接部からの荷重を検出する荷重検出部材が設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のスクライブ装置。
【請求項７】
上記ホルダのボデイに対する回転の中心を基準にして、上記ホルダを含む回転系の一方側の質量とその重心の回転中心からの距離との積が、他方側の質量とその重心の回転中心からの距離との積と、ほぼ等しいことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のスクライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、平板形状のワークに刻線を形成するためのスクライブ装置およびスクライブシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
最も原始的なスクライブ装置は、ホルダと、このホルダの下端に回転可能に設けられたディスク形状をなすカッタとを有している。カッタの周縁は尖っている。このスクライブ装置では、カッタをワークの表面に押し付けた状態でホルダを移動させることにより、カッタの周縁でワーク表面に刻線を形成するようになっている。
【０００３】
上記装置では、カッタからワークに強い押圧荷重が付与されるため、ワークの刻線の近傍が破損し易く、きれいな刻線を形成することができなかった。そこで、本出願人は特開平９−２７８４７３号のスクライブ装置を開発した。この装置は、ボデイと、ボデイに一端が連結された板ばね（弾性体）と、ボデイに設けられ板ばねに振動エネルギーを供給するピエゾアクチュエータと、板ばねの他端に固定されたスクライブ工具とを有している。この装置では、板ばねを弾性変形させた状態でスクライブ工具をワークに押し付けている。この押し付け状態でボデイをワークに沿って移動させながら、ピエゾアクチュエータを駆動させると、ピエゾアクチュエータの振動エネルギーが板ばねを介してスクライブ工具に伝達される。これにより、スクライブ工具は、ワーク面に沿って移動しながらワークをたたくことになり、ワークに連続した垂直クラックを発生させることができ、ひいては刻線を形成することができる。
【０００４】
上記装置では、板ばねは、その先端でスクライブ工具を保持する役割と、スクライブ工具にワークへの押圧荷重を付与する役割と、ピエゾアクチュエータからの振動をスクライブ工具に伝達する役割を担っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記装置では、板ばねの役割が多いので、シリコンウエハーや、半導体化合物等の脆性材料からなる薄いワークをスクライブするのには適していない。すなわち、板ばねは、スクライブ工具を保持する役割と振動を伝達する役割をも担うので、ばね定数を大きくする必要がある。そのため、例えば薄いワークにとっては過大な押圧荷重が付与されてしまうことがある。また、スクライブ工具のワークの微小凹凸に対する追随性が悪く、押圧荷重の変動が大きい。さらに、ピエゾアクチュエータの振動が板ばねを介してスクライブ工具に伝達されるため、振動の伝達を安定して行えない。その結果、この装置では薄いワークにきれいな刻線を形成できない。
【０００６】
また、本出願人は、特開２００１−４８５６２号公報に開示されたスクライブ装置も開発している。このスクライブ装置は、ボデイ，ホルダ，ピエゾアクチュエータ等を含む大きな質量をスライド機構で案内し、磁石で浮かすとともに弾性的に支持する構成となっている。しかし、この装置では、大きな質量でワークを叩くため、ワークへの衝撃が過大になってしまう。また、大きな質量を保持するため磁石のばね定数が大きくなってしまい、ワークの微小凹凸に対する追随性が悪く、押圧荷重の変動が大きい。その結果、これら装置でも薄いワークにきれいな刻線を形成できない。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明のスクライブ装置は、（ａ）ボデイと、（ｂ）ボデイに回転可能に支持されたホルダと、（ｃ）ホルダの一端部に設けられたスクライブ工具と、
（ｄ）ホルダの一端部に設けられ、スクライブ工具に振動エネルギーを供給する振動発生部材と、（ｅ）一端部がホルダに固定された板ばねと、（ｆ）ボデイに、板ばね方向への突出量を調節可能にして設けられ、板ばねを押して撓ませることにより板ばねに弾性力を生じさせ、これによりホルダに回動力を付与し、ひいてはスクライブ工具にワークに向かう押圧荷重を付与する押圧部材と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
上記構成では、板ばねは、スクライブ工具にワークへの押圧荷重を付与する役割だけを担い、スクライブ工具を保持する役割や、振動を伝達する役割を担わない。そのため、板ばねのばね定数を小さくすることが可能となり、押圧荷重を小さくすることが可能となる。またスクライブ工具はワーク面の微小の凹凸に追随することができ、押圧荷重の変動を小さくできる。さらに、振動発生部材からの振動を板ばねを介さずにホルダからスクライブ工具に安定して伝達できる。さらにまた、比較的小さな質量をもって衝撃荷重をワークに付与できる。その結果、ワークが薄い場合でもきれいな刻線を形成することができる。
さらに、押圧部材の突出量を調節することにより、板ばねの弾性力を調節でき、ひいてはスクライブ工具のワークへの押圧荷重を調節することができるので、ワークの厚さや材質等に応じた最適のスクライブを行うことができる。
また、板ばねを用いることにより、スクライブ工具への押圧荷重を一層安定して供給でき、スクライブ工具をワーク面の微小の凹凸に確実に追随することができる。
【００１２】
好ましくは、上記ホルダは、上記ボデイに回転可能に支持される第１ホルダ部分と、この第１ホルダ部分の一端部に支持される第２ホルダ部分とを有し、上記板ばねの一端部は上記第１ホルダ部分に固定され、上記スクライブ工具は上記第２ホルダ部分に取り付けられており、上記第１ホルダ部分と第２ホルダ部分には互いに対峙する受部がそれぞれ設けられ、これら受部間に上記振動発生部材が設けられ、この振動発生部材の振動エネルギーを第２ホルダ部分を介して上記スクライブ工具に供給する。
【００１３】
上記構成によれば、振動発生部材は、第１、第２のホルダの受部間に配置されているので、いかなる状況下でも板ばねの弾性力とスクライブ工具のワークへの押圧荷重との関係に影響を与えず、所望の押圧荷重が確実に得られる。
【００１４】
好ましくは、上記第２ホルダ部分が上記第１ホルダ部分に回転可能に支持され、上記スクライブ工具が上記第２ホルダ部分の一端部に取り付けられており、上記第１ホルダ部分には予圧部材が設けられ、この予圧部材は、上記第２ホルダ部分の第１ホルダ部分に対する回転の中心から見て、上記振動発生部材の反対側に配置され、上記第２ホルダ部分に回動力を付与することにより上記振動発生部材に圧縮力となる予圧を付与する。これにより、振動発生部材は安定して第２ホルダ部分およびスクライブ工具に振動エネルギーを付与することができる。
【００１５】
本発明装置において好ましくは、上記押圧部材が、先端部の突出量を調節可能な調節ねじにより構成され、この調節ねじの先端部が上記弾性体に当たる。この構成によれば、調節ねじの先端部の突出量を調節することにより、弾性体の弾性力を調節でき、ひいてはスクライブ工具のワークへの押圧荷重を調節することができるので、ワークの厚さや材質等に応じた最適のスクライブを行うことができる。
【００１６】
さらに好ましくは、上記ホルダには当接部が設けられ、この当接部は、上記ホルダのボデイに対する回転の中心から見て、上記スクライブ工具の反対側に配置され、上記ボデイには、この当接部からの荷重を検出する荷重検出部材が設けられている。この構成によれば、荷重検出部材が当接部から受ける荷重を検出することによって、上記スクライブ工具のワークへの押圧荷重を正確に予想して調節できる。
【００１７】
好ましくは、上記ホルダのボデイに対する回転の中心を基準にして、上記ホルダを含む回転系の一方側の質量とその重心の回転中心からの距離との積が、他方側の質量とその重心の回転中心からの距離との積と、ほぼ等しい。この構成により、スクライブ工具のワークへの押圧荷重に対するホルダの影響を無くすことができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１実施形態をなすスクライブシステムについて、図１，図２を参照しながら説明する。スクライブシステムは、スクライブ装置１と、ワークＷを載せる水平で平坦な保持面２ａを有するテーブル２と、スクライブ装置１を移動させる移動機構３とを備えている。
【００２０】
概略的に説明すると、上記スクライブ装置１は、ボデイ１０と、このボデイ１０に回転可能に支持されたホルダ２０と、ホルダ２０に取り付けられたスクライブ工具３０と、ホルダ２０に振動エネルギーを供給するピエゾアクチュエータ４０（振動発生部材）と、ホルダ２０に取り付けられた板ばね５０（弾性体）と、板ばね５０の弾性力を調節する調節ねじ６０（押圧部材）と、を備えている。
【００２１】
以下、スクライブ装置１を、水平Ｘ軸（保持面２ａと平行をなし、図１において左右方向に延びる軸）と、水平Ｙ軸（Ｘ軸と直交し、保持面２ａと平行をなす軸）と、垂直Ｚ軸（保持面２ａと直交する軸）を参照しながら、詳細に説明する。上記ボデイ１０は、Ｘ軸方向に延びて上記保持面２ａと平行をなす水平基板部１１と、この基板部１１の中間位置の下面に設けられた支持部１２とを有している。図２に示すように、この支持部１２はＹ軸方向に延び、その両端に一対の軸受１３を有している。また、基板部１１の右端部の下面には、ロードセル１５（荷重検出部材）が設けられており、左端部の上面には板ばね１６（補助弾性部材）が設けられている。この板ばね１６は、左方向に水平に延びて下方に直角に折られ、さらに右方向に直角に折られている。この板ばね１６の下側の水平部１６ａが、上記ピエゾアクチュエータ４０のための受部となっている。
【００２２】
上記ホルダ２０は、Ｘ軸方向に延びる第１部２１と、Ｙ軸方向に延びる第２部２２とを有して十字形をなしている。これら第１部２１，第２部２２は下方が開放されるようにして中空をなしており、さらに第１部２１には、図示しない孔を多数形成して軽量化を図っている。
【００２３】
上記ホルダ２０の第２部２２の両端部には、Ｙ軸方向に延びるシャフト２３（回転軸）が貫通し、図示しないねじ等で固定されている。シャフト２３の両端部は尖っていて第２部２２から突出しており、上記軸受１３に回転可能に支持されている。その結果、ホルダ２０はシャフト２３を回転中心として、ボデイ１０に回転可能に支持されている。
【００２４】
上記ホルダ２０の右端部にはねじ２５が取り付けられており、このねじ２５の頭部が前述したロードセル１５への当接部２５ａとなっている。
上記ホルダ２０の左端部の上面には、受板２６（ホルダ２０の受部）が掛け渡されている。上記ピエゾアクチュエータ４０は、その下端が受板２６に固定されその上端が前述したボデイ１０に取り付けられた板ばね１６の下側水平部１６ａに固定されている。
【００２５】
上記ホルダ２０の左端部には保持機構３５が設けられており、この保持機構３５に上記スクライブ工具３０が保持されている。スクライブ工具３０は、棒形状をなしその下端が尖っている。このスクライブ工具３０の尖端にはダイヤモンド粒が取り付けられている。保持機構３５は、ワークＷの材料に応じてスクライブ工具３０の傾斜角度を調節できるようになっている。
【００２６】
上記ホルダ２０の下面には、上記シャフト２３（回転中心）から右方に離れた位置において、Ｘ軸方向に細長い板ばね５０の右端部がねじ５５により固定されている。他方、ボデイ１０には調節ねじ６０（押圧部材）が設けられており、この調節ねじ６０の下端部６５（先端部）は、ホルダ２０の第１部２１においてシャフト２３から左方に離れた位置に形成された孔２１ａを貫通し、ホルダ２０の下面から突出して板ばね５０に当たり、この板ばね５０を押圧して撓ませることができるようになっている。上記説明から明かなように、板ばね５０の固定点と押圧点はホルダ２０の回転中心から見て反対側に位置している。
【００２７】
調節ねじ６０の操作リング６１を回わすことにより、下端部６５のホルダ２０の下面からの突出量を調節することができる。下端部６５の突出量がゼロの状態では、板ばね５０は撓み量がゼロで第１部２１の下面に接しており、下端部６５の突出量が増大するにしたがって板ばね５０の撓みが大きくなる。
【００２８】
上記板ばね１６は、後述するようにピエゾアクチュエータ４０の振動がホルダ２０に伝達されるように、十分にばね定数が大きい。板ばね５０は、板ばね１６に比べてばね定数が小さい。
本実施形態では、上記ホルダ２０を含む回転系において、ホルダ２０の回転中心より左側の部位（スクライブ工具３０，保持機構３５等の付属部材を含む）の質量Ｗ１とその重心の回転中心からの距離Ｄ１との積Ｗ１×Ｄ１は、回転中心より右側の部位（ねじ２５，５５等の付属部材を含む）の質量Ｗ２とその重心の回転中心からの距離Ｄ２との積Ｗ２×Ｄ２と、ほぼ等しくなっている。
【００２９】
なお、ホルダ２０はシャフト２３を中心に回動可能であるが、この回動領域は微小である。すなわち、ピエゾアクチュエータ４０と板ばね１６でホルダ２０の左端部がボデイ１０に連結されているため、ホルダ２０の大きな回動は禁じられている。
【００３０】
次に、上記構成をなすスクライブシステムの作用を説明する。スクライブ装置１がワークＷから離れている状態では、ホルダ２０の左端部がピエゾアクチュエータ４０および板ばね１６を介してボデイ１０の左端部に連結されているため、ホルダ２０は静止状態を維持されている。下端部６５の突出量がゼロで、板ばね５０の撓みがゼロである状態では、ロードセル１５の検出荷重は初期値（例えばゼロ）である。
【００３１】
調節ねじ６０の下端部６５をホルダ２０の下面から突出させると、板ばね５０が撓み、突出量が増大するにしたがって板ばね５０の撓みが大きくなる。撓んだ板ばね５０の弾性力により、ホルダ２０には図１において反時計回り方向の回転力が付与される。この状態では、板ばね１６とロードセル１５でホルダ２０を受け止め、荷重を負担する。したがって、ロードセル１５は、撓んだ板ばね５０の弾性力に対応する荷重を検出することになる。作業者は、このロードセル１５の検出荷重を見ながら調節ねじ６０の下端部６５の突出量を調節し、板ばね５０の弾性力を調節する。
【００３２】
次に、ボデイ１０に連結された移動機構３を駆動させてスクライブ装置１を下降させ、スクライブ工具３０の尖端をワークＷの縁から外れた位置で、ワークＷの上面より微小量（例えば数ミクロン）低い位置に配置させる。この状態で、スクライブ装置１を右方向（スクライブ工具３０の傾斜方向）に移動させてスクライブ工具３０の尖端をワークＷの上面に乗り上げさせる。この乗り上げ状態では、スクライブ工具３０は、板ばね５０の弾性力に起因した押圧荷重で、ワークＷを押圧する。上記スクライブ工具３０がワークＷに乗り上げる前と後では、スクライブ工具３０のボデイ１０に対する変位量が微少であるので、板ばね１６の歪みは殆どなく、そのため、上記スクライブ工具３０の押圧荷重は、この板ばね１６の弾性力の影響を受けない。なお、上記スクライブ工具３０の尖端がワークＷに食い込む場合には、上記スクライブ工具３０のボデイ１０に対する変位量はより小さくなる。
【００３３】
上述した状態で、移動機構３を駆動させてスクライブ装置１を右方向（スクライブ工具３０の傾斜方向）に移動させながら、ピエゾアクチュエータ４０を駆動させて振動を発生させると、この振動はホルダ２０を介してスクライブ工具３０に伝達される。その結果、スクライブ工具３０がワークＷを微小間隔をおいて叩き、連続した垂直クラックすなわちスクライブ線を形成する。
【００３４】
上記板ばね５０は、スクライブ工具３０を保持する役割を担わず、ピエゾアクチュエータ４０の振動を伝達する役割をも担わず、スクライブ工具３０に押圧荷重を付与する役割だけを担う。そのため、上記板ばね５０のばね定数を小さくすることができ、前述したシリコンウェハーや化合物半導体等の薄いワークＷをスクライブする場合には、上記スクライブ工具３０のワークＷへの押圧荷重を小さくすることが容易である。また、板ばね５０のばね定数を小さく設定することができるので、ワークＷの表面の微小の凹凸に対してスクライブ工具３０が追随し飛び跳ねが無く、押圧荷重の変動を抑制できる。さらに、ワークＷへの衝撃の際、ボデイ１０の質量が作用せず、ホルダ２０およびこのホルダ２０に取り付けられたスクライブ工具３０等の付属物の質量が作用するだけであり、しかもこのホルダ２０を軽量にすることにより、１回の衝撃荷重を小さくすることができる。さらにまた、ホルダ２０を含む回転系は、回転中心の左右のバランスがとれているので、ホルダ２０の自重がスクライブ工具３０のワークＷへの押圧荷重に影響を与えることもない。その結果、安定したスクライブを行うことができ、ワークＷが薄くてもきれいな刻線を描くことができる。
【００３５】
移動機構３は、スクライブ装置１を９０°回転させてＹ軸方向にも同様の刻線を形成することができる。この際、上記と同様にスクライブ装置１をワークＷの面に沿ってスクライブ工具３０の傾斜方向に移動させる。
【００３６】
次に、本発明の第２の実施形態をなすスクライブシステムについて図３、図４を参照しながら説明する。第２実施形態において、第１実施形態に対応する構成部には、図中同番号を付してその詳細な説明を省略する。また、テーブル２，移動機構３については、第１実施形態と同様なので図示を省略する。図３では、ボデイ１０の基板部１１を省略し、支持部１２のみを示す。
【００３７】
第２実施形態のスクライブ装置１’では、第１実施形態のホルダ２０の代わりに、互いに別部材をなす第１ホルダ部分２０Ａと第２ホルダ部分２０Ｂを備えたホルダ２０’を用いる。第１実施形態のホルダ２０と同様に、第１ホルダ部分２０Ａはシャフト２３によりボデイ１０に回動可能に支持されている。第１ホルダ部分２０Ａの平板部には、この回転中心より右側に板ばね５０が取り付けられるとともに、右端部にはロードセル１５への当接部となるねじ２５が取り付けられている。さらに第１ホルダ部分２０Ａの平板部には、上記回転中心より左側に、調節ねじ６０の先端部が貫通する孔２１ａが形成されている。
【００３８】
上記第２ホルダ部分２０Ｂは、上部が開口した箱形状をなしており、上記第１ホルダ部分２０Ａに回動可能に支持されている。詳述すると、第１ホルダ部分２０Ａの左端部の両側壁には一対の軸受２４が設けられており、これら軸受２４に上記シャフト２３と平行をなすシャフト２７（回転軸）が回転可能に支持されている。このシャフト２７は、第２ホルダ部分２０Ｂの両側壁を貫通し、この両側壁に固定されている。
【００３９】
上記第２ホルダ部分２０Ｂの左端部にスクライブ工具３０が取り付けられている。上記第２ホルダ部分２０Ｂの回転中心（シャフト２７）とスクライブ工具３０との間の位置には、ピエゾアクチュエータ４０が配置されている。詳述すると、第２ホルダ部分２０Ｂの底壁には凹部２８（第２ホルダ部分の受部）が形成されており、この凹部２８にピエゾアクチュエータ４０の下端部が嵌っている。第１ホルダ部分２０Ａの平板部の左端部にはねじ２９（第１ホルダ部分の受部）が垂直にねじ込まれており、このねじ２９の下端がピエゾアクチュエータ４０の上端に当たるようになっている。
【００４０】
上記第２ホルダ部分２０Ｂの回転中心（シャフト２７）から見て、ピエゾアクチュエータ２７の反対側、すなわちシャフト２３，２７間には、予圧機構７０が配置されている。この予圧機構７０は、第１ホルダ部分２０Ａの平板部に垂直にねじこまれた予圧ねじ７１（予圧部材）と、この予圧ねじ７１の下端と第２ホルダ部分２０Ｂの後壁の上面との間に介在された皿ばね７２（弾性部材）とを備えている。
【００４１】
上記予圧ねじ７１をねじ込むことにより、皿ばね７２を介して第２ホルダ部分２０Ｂに図３中時計回り方向の回動力が生じ、第２ホルダ部分２０Ｂがピエゾアクチュエータ４０を第１ホルダ部分２０Ａのねじ２９に押し付ける。これにより、ピエゾアクチュエータ４０に予圧が付与される。その結果、ピエゾアクチュエータ４０は安定した振動を出力することができる。予圧ねじ７１のねじ込み量を調節することにより、上記予圧を調節することができる。皿ばね７２を介在させることにより、ピエゾアクチュエータ４０への予圧を微調整できるが、この皿ばね７２は無くてもよい。また、皿ばね７２の代わりに弾性部材として鋼球を用いてもよい。鋼球でも数ミクロンの弾性変形が可能である。
【００４２】
本実施形態では、上記第１ホルダ部分２０Ａ，第２ホルダ部分２０Ｂを含む回転系において、第１ホルダ部分２０Ａの回転中心より左側の部位（スクライブ工具３０，保持機構３５等の付属部材を含む）の質量とその重心の回転中心からの距離との積は、回転中心より右側の部位（ねじ２５，５５等の付属部材を含む）の質量とその重心の回転中心からの距離との積と、ほぼ等しくなっている。
【００４３】
上記構成のスクライブ装置１’の作用を説明する。スクライブ装置１’がワークから離れている状態では、第１ホルダ部分２０Ａ，第２ホルダ部分２０Ｂを含む回転系は板ばね５０の弾性力により反時計方向に回動力を付与されており、これをロードセル１５で受け止めているため、静止状態を維持されている。
【００４４】
次に、移動機構を駆動させてスクライブ装置１’を下降させ、スクライブ工具３０の尖端をワークの縁から外れた位置で、ワークの上面より微小量（例えば数ミクロン）低い位置に配置させる。この状態で、スクライブ装置１’を移動させてスクライブ工具３０の尖端をワークＷの上面に乗り上げさせる。この乗り上げ状態では、スクライブ工具３０は、板ばね５０の弾性力に起因した押圧荷重で、ワークＷを押圧する。上記スクライブ工具３０がワークＷに乗り上げる前と後では、スクライブ工具３０がボデイ１０に対して変位し、これに応じて板ばね５０の弾性力が若干増大するが、板ばね５０の弾性力のみに起因した押圧荷重をスクライブ工具３０に付与することができる。ロードセル１５で検出した荷重に、上記変位に対応した板ばね５０の弾性力の増大分を勘定に入れることにより、正確に押圧荷重を算出することができる。なお、この増大分は微小であるので無視してもよい。
【００４５】
上述した状態で、移動機構３を駆動させてスクライブ装置１を右方向（スクライブ工具３０の傾斜方向）に移動させながら、ピエゾアクチュエータ４０を駆動させて振動を発生させると、この振動は第２ホルダ部分２０Ｂを介してスクライブ工具３０に伝達される。その結果、スクライブ工具３０がワークＷを微小間隔をおいて叩き、連続した垂直クラックすなわちスクライブ線を形成する。上記振動は、第１ホルダ部分２０Ａ方向へも伝達されるが、第１ホルダ部分２０Ａの質量が第２ホルダ部分２０Ｂより大きいため、その伝達量は小さい。
上記スクライブ装置１’の他の作用は、第１実施形態のスクライブ装置１と同様であるので、説明を省略する。
【００４６】
本発明は上記実施形態に制約されず、種々の形態を採用可能である。例えば、第１実施形態のホルダ２０または第２実施形態の第１ホルダ部分２０Ａには、その長手方向に沿って複数のねじ穴を形成しておき、ワークＷの材質や厚さに応じて板ばね５０の固定点を変え、これによりばね定数を変えるようにしてもよい。第１実施形態のボデイおよびホルダの形状はこの実施形態に制約されず、例えば水平部と起立部を有してＬ字形にし、ボデイの起立部にロードセルを設け、ホルダの起立部に当接部を設けてもよい。第２実施形態のボデイおよび第１ホルダ部分についても同様である。
第１実施形態において、板ばね１６およびピエゾアクチュエータをホルダの回転中心に近づけてもよい。この場合、板ばね１６は省略することも可能である。
移動機構は、テーブルをボデイに対して移動させるようにしてもよい。
本発明のスクライブ装置は、比較的厚いワークに用いることもできる。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、ワークが薄い場合でもきれいな刻線を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態をなすスクライブ装置を含むスクライブシステムの縦断面図である。
【図２】同スクライブ装置の図１中ＩＩ−ＩＩ矢視断面図である。
【図３】本発明の第２実施形態をなすスクライブ装置の縦断面図である。
【図４】同スクライブ装置の図３中ＩＶ−ＩＶ矢視断面図である。
【符号の説明】
１、１’  スクライブ装置
２  テーブル
２ａ  保持面
３  移動機構
１０  ボデイ
１５  ロードセル（荷重検出部材）
１６  板ばね（補助弾性部材）
１６ａ  板ばねの下側水平部（受部）
２０，２０’  ホルダ
２０Ａ  第１ホルダ部分
２０Ｂ  第２ホルダ部分
２３  シャフト（ホルダの回転中心，第１ホルダ部分の回転中心）
２７  シャフト（第２ホルダ部分の回転中心）
２８  凹部（第２ホルダ部分の受部）
２９  ねじ（第１ホルダ部分の受部）
３０  スクライブ工具
４０  ピエゾアクチュエータ（振動発生部材）
５０  板ばね
６０  調節ねじ（押圧部材）
６５  調節ねじの下端部（先端部）
７０  予圧機構
７１  予圧ねじ（予圧部材）
【図１】
0004177683.tif 000002
【図２】
0004177683.tif 000003
【図３】
0004177683.tif 000004
【図４】
0004177683.tif 000005