【手続補正書】
【提出日】平成20年1月31日(2008.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  周期的に配列された複数の素子によって構成される光像形成部を有し、且つ該光像形成部に投影すべきパターンを生成する可変パターン生成装置と、
前記可変パターン生成装置の前記パターンからの光を感光性基板上に投影パターンとして投影する投影光学系とを備え、
前記投影光学系は、前記投影光学系の投影倍率を可変とする変倍手段を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項２】  前記可変パターン生成装置によって生成される前記パターンは、前記素子の配列方向に略平行に周期的に延在した所定間隔且つ所定幅の複数のパターン領域を備えることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】  前記変倍手段は、前記投影パターンにおける対象部分のサイズを、前記光像形成部の周期的構造の単位距離を投影した投影単位距離に略対応する所定許容範囲内以下で補助的に拡大若しくは縮小することを特徴とする請求項１及び請求項２の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項４】  前記変倍手段は、前記投影パターンにおける対象部分のサイズを、前記光像形成部の周期的構造の単位距離を投影した投影単位距離の１／２以下に略対応する所定許容範囲内で拡大若しくは縮小することを特徴とする請求項３に記載の露光装置。
【請求項５】  前記補助倍率βｈは、前記投影単位距離をＰ１とし、前記対象部分のサイズをＰ１より大きなＰ２とし、（Ｐ２／Ｐ１）の値の整数部分をｎとし、δを許容誤差とした場合に、
｜βｈ｜≧Ｐ２／（（ｎ＋１）×Ｐ１）−δ      （１）
｜βｈ｜≦Ｐ２／（ｎ×Ｐ１）＋δ              （２）
の両式をともに満足することを特徴とする請求項３に記載の露光装置。
【請求項６】  前記補助倍率βｈは、（Ｐ２／Ｐ１）の値の小数部分をｄとした場合に、ｄ≦０．５のときは、
１≦｜βｈ｜≦Ｐ２／（ｎ×Ｐ１）＋δ
を満足し、ｄ＞０．５のときは、
Ｐ２／（（ｎ＋１）×Ｐ１）−δ≦｜βｈ｜≦１
を満足することを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項７】  前記可変パターン生成装置は、前記素子の配列方向に略平行に周期的に延在した所定間隔且つ所定幅の複数のパターン領域を備えるパターンを生成し、前記投影パターンにおける対象部分は、前記複数のパターン領域の前記素子の配列方向に略平行な所定間隔であることを特徴とする請求項３乃至請求項６の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項８】  前記変倍手段は、前記投影光学系の光軸に関して対称的に前記投影倍率を変更することを特徴とする請求項１乃至請求項７の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項９】  前記感光性基板を前記投影光学系に対して所定移動方向に移動させる基板支持手段をさらに備え、前記可変パターン生成装置は、前記感光性基板の移動に同期して前記パターンを変更することを特徴とする請求項１乃至請求項８の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項１０】  前記基板支持手段による感光性基板の移動方向は、前記素子の配列方向に非平行な所定角度をなすことを特徴とする請求項９に記載の露光装置。
【請求項１１】  前記光像形成部を構成する素子の配列は、縦の配列方向及び横の配列方向が互いに９０°をなす直交格子状であり、かつ、両配列方向の一方が前記感光性基板の移動方向に対して非平行な所定傾斜角度をなすことを特徴とする請求項１０に記載の露光装置。
【請求項１２】  前記光像形成部を構成する素子の配列は、縦の配列方向及び横の配列方向が互いに９０°と異なる角度をなす斜め格子状であり、かつ、前記配列方向の一方が前記感光性基板の移動方向に対して非平行な所定傾斜角度をなすことを特徴とする請求項１０に記載の露光装置。
【請求項１３】  前記可変パターン生成装置は、前記光像形成部中の互いに隣接する複数の素子からの前記投影パターンによって、前記感光性基板上に前記移動方向に延びる露光像を形成することを特徴とする請求項１０乃至請求項１２の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項１４】  前記可変パターン生成装置は、前記光像形成部中の前記複数の素子のうち前記移動方向に垂直な方向に関して異なる位置に配列された一群の素子からの前記投影パターンによって、前記移動方向に垂直な方向に所定幅を有する露光像を前記感光性基板上に形成することを特徴とする請求項１３に記載の露光装置。
【請求項１５】  投影手段によって投影されるパターンと感光性基板とを相対的に所定の移動方向に沿って移動させつつパターンを露光する露光装置において、
周期的に配列された複数の素子によって投影すべきパターンを生成する光像形成部を備え、
前記光像形成部の前記複数の素子の配列方向は、前記投影手段により前記感光性基板上に投影された前記複数の素子の投影パターンの配列方向が前記移動方向を横切るように設定され、
前記光像形成部に生成される前記パターンを前記移動に同期して変更することによって、前記移動方向に垂直な方向に関して所定幅を有する前記投影パターンを前記感光性基板上に形成する際に、前記投影パターンの形成に寄与する複数の素子の動作を変更することにより前記投影パターンの露光量を調節する表示駆動装置をさらに備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１６】  前記表示駆動装置は、前記投影パターンの形成に寄与する前記複数の素子の数、点灯時間、及び点灯輝度の少なくとも１つを変更することによって前記投影パターンの露光量を調節することを特徴とする請求項１４及び請求項１５の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項１７】  前記表示駆動装置は、前記感光性基板上に当該感光性基板の移動方向に垂直な方向に異なる幅を有する複数の露光像を形成するとともに、当該複数の露光像の露光量が略等しくなるように、前記複数の素子の動作を制御することを特徴とする請求項１５及び請求項１６の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項１８】  前記表示駆動装置は、前記複数の露光像のうち感光性基板の移動方向に垂直な方向の幅が広い露光像の形成に寄与する複数の素子の数、点灯時間、及び点灯輝度の少なくとも１つを低下させることによって当該複数の露光像の露光量を略等しくすることを特徴とする請求項１７に記載の露光装置。
【請求項１９】  周期的に配列された複数の素子によって構成される光像形成部を有し、且つ該光像形成部に投影すべきパターンを生成する可変パターン生成装置と、
前記可変パターン生成装置によって生成された前記パターンを感光性基板上に投影パターンとして投影する投影手段とを備え、
前記投影手段は、前記投影手段の光学特性を可変とする光学特性可変手段を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項２０】  前記光学特性可変手段は、前記投影パターンの投影倍率を可変とする変倍手段を備えることを特徴とする請求項１９記載の露光装置。
【請求項２１】  請求項１乃至請求項２０の何れか一項に記載の露光装置を用いた露光方法であって、
前記光像形成部に所望のパターンを生成するパターン形成工程と、
前記光像形成部に生成された前記パターンを前記感光性基板上に転写する転写工程とを含むことを特徴とする露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、第１の発明に係る露光装置は、周期的に配列された複数の素子によって構成される光像形成部を有し、且つ該光像形成部に投影すべきパターンを生成する可変パターン生成装置と、可変パターン生成装置のパターンからの光を感光性基板上に投影パターンとして投影する投影光学系とを備え、投影光学系は、投影光学系の投影倍率を可変とする変倍手段を備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記露光装置では、投影光学系が投影パターンの投影倍率を可変とする変倍手段を備えるので、可変パターン生成装置によって生成される投影パターンを所望のサイズに調整することができる。つまり、周期的に配列された複数の素子のピッチによって段階的なサイズで生成されるパターンを、感光性基板上に投影パターンとして投影する際に変倍手段によって投影パターンのサイズを可変にすることができるので、投影パターンにおける配線間隔等の各部寸法を連続的な任意のサイズに調節することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、第３の発明に係る露光装置は、第１，２の発明の装置において、変倍手段が、投影パターンにおける対象部分のサイズを、光像形成部の周期的構造の単位距離を投影した投影単位距離に略対応する所定許容範囲内以下で補助的に拡大若しくは縮小することを特徴とする。この場合、素子を投影した投影単位距離に略対応する所定許容範囲に変倍範囲を小さく制限することによって、サイズ調節の範囲を制限することなく投影すなわち露光精度を確保することができる。さらに、この場合変倍手段の構成を簡単なものとすることもできる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、第４の発明に係る露光装置は、第３の発明の装置において、変倍手段が、投影パターンにおける対象部分のサイズを、光像形成部の周期的構造の単位距離を投影した投影単位距離の１／２以下に略対応する所定許容範囲内で拡大若しくは縮小することを特徴とする。この場合、変倍範囲をさらに制限して投影精度を確保することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、第７の発明に係る露光装置は、第３〜６の発明の装置において、可変パターン生成装置が、素子の配列方向に略平行に周期的に延在した所定間隔且つ所定幅の複数のパターン領域を備えるパターンを生成し、投影パターンにおける対象部分が、複数のパターン領域の素子の配列方向に略平行な所定間隔であることを特徴とする。この場合、複数のパターン領域の配列方向に略平行な所定間隔（例えばパターン領域がラインである場合にはライン間隔）を正確に制御することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、第８の発明に係る露光装置は、第１〜７の発明の装置において、変倍手段が、投影光学系の光軸に関して対称的に投影倍率を変更することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、第９の発明に係る露光装置は、第１〜８の発明の装置において、感光性基板を投影光学系に対して所定移動方向に移動させる基板支持手段をさらに備え、可変パターン生成装置は、感光性基板の移動に同期してパターンを変更することを特徴とする。この場合、スキャン型の露光が可能になり、制御された高精度の露光光によって広域露光が可能になる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、第１０の発明に係る露光装置は、第９の発明の装置において、基板支持手段による感光性基板の移動方向は、素子の配列方向に非平行な所定角度をなすことを特徴とする。この場合、所定角度を調整することによって感光性基板の移動方向に関する複数の素子のサイズ、ピッチ等を所望の値に設定することができるので、段階的なサイズで生成されるパターンのサイズを変倍手段と協働して制御することができ、投影パターンにおける配線間隔等の各部寸法を高い自由度で任意のサイズに設定することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、第１３の発明に係る露光装置は、第１０〜１２の発明の装置において、可変パターン生成装置が、光像形成部中の互いに隣接する複数の素子からの投影パターンによって、感光性基板上に移動方向に延びる露光像を形成することを特徴とする。この場合、サイズ、ピッチ等を所望の値に設定した複数の素子によって、投影パターンにおける配線、間隔等のパターン寸法を高い自由度で任意に設定することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、第１４の発明に係る露光装置は、第１３の発明の装置において、可変パターン生成装置が、光像形成部中の複数の素子のうち移動方向に垂直な方向に関して異なる位置に配列された一群の素子からの投影パターンによって、移動方向に垂直な方向に所定幅を有する露光像を感光性基板上に形成することを特徴とする。この場合、感光性基板の移動方向に垂直な方向に関する投影パターンにおけるパターンの幅を一群の素子によって自在に設定することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、第１５の発明に係る露光装置は、投影手段によって投影されるパターンと感光性基板とを相対的に所定の移動方向に沿って移動させつつパターンを露光する露光装置において、周期的に配列された複数の素子によって投影すべきパターンを生成する光像形成部を備え、光像形成部の複数の素子の配列方向は、投影手段により感光性基板上に投影された複数の素子の投影パターンの配列方向が移動方向を横切るように設定され、光像形成部に生成されるパターンを移動に同期して変更することによって、移動方向に垂直な方向に関して所定幅を有する投影パターンを感光性基板上に形成する際に、該投影パターンの形成に寄与する複数の素子の動作を変更することにより該投影パターンの露光量を調節する表示駆動装置をさらに備える。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
上記露光装置では、表示駆動装置が、移動方向に垂直な方向に関して所定幅を有する投影パターンを同期変更しつつ感光性基板上に形成する際に、該投影パターンの形成に寄与する複数の素子の動作を変更することにより該投影パターンの露光量を調節するので、投影パターンの露光量を所望の値に調整することができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、第１６の発明に係る露光装置は、第１４、１５の発明の装置において、表示駆動装置が、投影パターンの形成に寄与する複数の素子の数、点灯時間、及び点灯輝度の少なくとも１つを変更することによって投影パターンの露光量を調節する。ここで、点灯時間や点灯輝度の変更は、自発光型画像表示素子に限らず、非発光型画像表示素子にも適用される。ここで、ＬＣＤ等の非発光型画像表示素子で点灯時間や点灯輝度とは、透過率が増大したオン状態に保持される時間やその際の透過光強度を意味するものとする。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、第１８の発明にかかる露光装置は、第１７の発明の装置において、表示駆動装置は、複数の露光像のうち感光性基板の移動方向に垂直な方向の幅が広い露光像の形成に寄与する複数の素子の数、点灯時間、及び点灯輝度の少なくとも１つを低下させることによって当該複数の露光像の露光量を略等しくする。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、第１９の発明に係る露光装置は、周期的に配列された複数の素子によって構成される光像形成部を有し、且つ該光像形成部に投影すべきパターンを生成する可変パターン生成装置と、可変パターン生成装置によって生成されたパターンを感光性基板上に投影パターンとして投影する投影手段とを備え、投影手段は、投影手段の光学特性を可変とする光学特性可変手段を備えることを特徴とする。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
上記露光装置では、投影手段がその光学特性を可変とする光学特性可変手段を備えるので、可変パターン生成装置によって生成されるパターンの投影状態を所望の状態に調整できる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、第２０の発明に係る露光装置は、第１９の発明の装置において、光学特性可変手段が、投影パターンの投影倍率を可変とする変倍手段を備えることを特徴とする。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また、第２１の発明に係る露光方法は、第１〜第２０の発明の露光装置を用いた露光方法であって、光像形成部に所望のパターンを生成するパターン形成工程と、光像形成部に生成されたパターンを感光性基板上に転写する転写工程とを含むことを特徴とする。