(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の誘電体基板を挟持する上部主導体層および下部主導体層と、該上部主導体層および下部主導体層間を高周波信号の伝送方向に信号波長の２分の１未満の繰り返し間隔および所定の幅で電気的に接続する２列の側壁用貫通導体群とを具備し、前記各主導体層および前記側壁用貫通導体群に囲まれた領域によって前記高周波信号を伝送する第１および第２の誘電体導波管線路を、前記第１の誘電体導波管線路の先端を前記第２の誘電体導波管線路の一方の側部に設けた側部開口に互いの高周波信号の伝送方向が垂直となるように接続するとともに、分岐部の前記第２の誘電体導波管線路の前記上部主導体層に所定の上部開口を設けて成るＴ字状分岐誘電体導波管線路に対し、複数の誘電体層を積層して成る第２の誘電体基板と、前記上部開口周囲の前記第２の誘電体基板内に積層方向に形成され、所定間隔をもって前記上部主導体層に電気的に接続される導体壁用貫通導体群と、前記誘電体層間に前記高周波信号の信号波長の２分の１未満の間隔で形成され、前記導体壁用貫通導体群を前記誘電体層間でそれぞれ電気的に接続する、前記上部開口と略同寸法の開口を有する複数の副導体層とを具備し、前記複数の副導体層および前記導体壁用貫通導体群に囲まれた領域によって前記高周波信号を伝送する縦型の誘電体導波管線路を、前記上部開口に前記第１および第２の誘電体導波管線路に対して高周波信号の伝送方向が垂直となるように接続して成ることを特徴とする積層型マジックＴ。
【請求項２】
前記Ｔ字状分岐誘電体導波管線路の前記分岐部に、貫通導体および／または導体層から成る整合器を設けたことを特徴とする請求項１記載の積層型マジックＴ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、主にマイクロ波およびミリ波等の高周波信号を伝送・分岐して高周波回路を構成するための分岐部として用いられる、積層型の誘電体導波管線路を用いた積層型マジックＴに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、マイクロ波やミリ波などの高周波を用いる回路を構成するための要素に関する技術の研究が盛んに進められている。この回路構成要素の中には様々なものがあるが、その一つにマジックＴと呼ばれる一種の方向性結合器がある。このマジックＴは、例えば平衡形の位相検波やミキサ回路等に用いられる。
【０００３】
この従来のマジックＴは、方形導波管のＥ面Ｔ分岐とＨ面Ｔ分岐とを組み合わせた４端子構造をしている。図４に従来のマジックＴの構成を斜視図で示す。図４においてａ・ｂ・ｃ・ｄはそれぞれ導波管を示しており、通常は方形導波管が用いられている。これらのうち導波管ａ・ｃ・ｄは、Ｈ面が同図中に示すｘ−ｙ平面に平行な導波管で、導波管ｂはＨ面がｘ−ｚ平面に平行な導波管である。
【０００４】
ここで、導波管ａ・ｃ・ｄについて見ると、Ｈ面Ｔ分岐の導波管構造をしており、導波管ｂ・ｃ・ｄについて見ると、Ｅ面Ｔ分岐の導波管構造をしている。また、各導波管ａ〜ｄは、それぞれ周波数とサイズを調整し、ＴＥ10モードのシングルモードでのみ電磁波が伝播できるように設定されている。
【０００５】
この構造のマジックＴについてその動作を簡単に説明する。Ｈ面Ｔ分岐のうち導波管ａから励振すると、この電磁波は導波管ｃ・ｄとは結合できるが、導波管ｂとは結合できない。またＥ面Ｔ分岐のうち導波管ｂから励振すると、この電磁波は導波管ｃ・ｄとは結合できるが、導波管ａとは結合できない。すなわち、導波管ａから入力された電磁波は導波管ｃ・ｄのみに分岐し、導波管ｂから入力された電磁波は導波管ｃ・ｄのみに分岐する。しかも、導波管ａから入力された電磁波は同相で分岐されるのに対して、導波管ｂから入力された電磁波は逆相で分岐される。
【０００６】
また、このマジックＴに対しては、その２つの分岐が交差している分岐部においてインピーダンスのマッチングをとるために、分岐部の内部にインピーダンスの整合器として金属ポール（棒）や金属板が配置される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
このような構造を持った従来のマジックＴは、方形導波管を用いた３次元的な複雑な構造であるため、作製時の加工が非常に難しいという問題点があった。すなわち、このような構造は金属ブロックから導波路部分を削り出して作製することも可能であるが、３次元的な切削加工は容易ではないので、通常は２つまたは３つの部分に分割して作製される。この場合、各部分の接続部において電磁波の漏れが発生したり、接続のずれによる伝送・分岐特性の劣化が発生したりしやすいという問題点があった。
【０００８】
また、分岐部に挿入配置されるインピーダンスマッチングのための整合用金属ポールや金属板も、マジックＴに要求される対称構造を乱さないようにするため、図４中のＡ−Ｂ−Ｃ線に沿って切断した面に対して高い対称性を有していることが求められ、高精度の加工技術が必要である。このため、良好な伝送・分岐特性のものを安定して得ることが困難であり、生産性が低く、その結果、製造コストも高くなってしまうという問題点があった。
【０００９】
さらに、伝送・分岐する電磁波の周波数が低い場合にはその寸法は大きくなり、逆にミリ波のように周波数が高くなると導波管の寸法が著しく小さくなって、いずれの場合もその加工は非常に難しくなるという問題点もあった。
【００１０】
本発明は上記事情に鑑みて案出されたものであり、その目的は、良好な伝送・分岐特性のものを精度良くかつ安定して得ることができ、生産性も高いマジックＴを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記の問題点を解決すべく検討を重ねた結果、従来の方形導波管に代えて、セラミック製半導体素子収納用パッケージや多層配線基板等を作製するグリーンシート積層技術を用いて作製できる横型および縦型の積層型誘電体導波管線路を用いることにより、容易に、精度良く、しかも安価にマジックＴを製造できることを見出し発明を完成するに至った。
【００１２】
すなわち、本発明の積層型マジックＴは、第１の誘電体基板を挟持する上部主導体層および下部主導体層と、これら上部主導体層および下部主導体層間を高周波信号の伝送方向に信号波長の２分の１未満の繰り返し間隔および所定の幅で電気的に接続する２列の側壁用貫通導体群とを具備し、前記各主導体層および前記側壁用貫通導体群に囲まれた領域によって前記高周波信号を伝送する第１および第２の誘電体導波管線路を、前記第１の誘電体導波管線路の先端を前記第２の誘電体導波管線路の一方の側部に設けた側部開口に互いの高周波信号の伝送方向が垂直となるように接続するとともに、分岐部の前記第２の誘電体導波管線路の前記上部主導体層に所定の上部開口を設けて成るＴ字状分岐誘電体導波管線路に対し、複数の誘電体層を積層して成る第２の誘電体基板と、前記上部開口周囲の前記第２の誘電体基板内に積層方向に形成され、所定間隔をもって前記上部主導体層に電気的に接続される導体壁用貫通導体群と、前記誘電体層間に前記高周波信号の信号波長の２分の１未満の間隔で形成され、前記導体壁用貫通導体群を前記誘電体層間でそれぞれ電気的に接続する、前記上部開口と略同寸法の開口を有する複数の副導体層とを具備し、前記複数の副導体層および前記導体壁用貫通導体群に囲まれた領域によって前記高周波信号を伝送する縦型の誘電体導波管線路を、前記上部開口に前記第１および第２の誘電体導波管線路に対して高周波信号の伝送方向が垂直となるように接続して成ることを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の積層型マジックＴは、上記構成において、前記Ｔ字状分岐誘電体導波管線路の前記分岐部に、貫通導体および／または導体層から成る整合器を設けたことを特徴とするものである。
【００１４】
【作用】
このような構成の本発明の積層型マジックＴは、グリーンシート積層技術を用いて容易に作製することができる。すなわち、セラミックグリーンシート等の誘電体グリーンシートに貫通孔加工・メタライズインク等の導体ペースト埋め込み・導体パターン印刷・積層・焼成を行なうことにより十分な精度でかつ容易に製造可能であり、分岐部に設けるインピーダンス整合器としての金属ポールや金属板に相当する部分も、同様の貫通孔の形成および導体ペーストの印刷により容易に作製することができる。
【００１５】
また、誘電体基板および誘電体層を構成するセラミックスを始めとする誘電体材料の比誘電率を適当に選択することにより、周波数の低い場合でも、従来の方形導波管を用いたマジックＴに比べて大幅に小型化することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の積層型マジックＴについて図面を参照しながら説明する。
【００１７】
図１は、本発明の積層型マジックＴの実施の形態の一例の概略構成を示す斜視図である。図１において、ａ・ｂ・ｃ・ｄはそれぞれ積層型誘電体導波管線路による導波管であり、ａ・ｃ・ｄはＴ字状分岐誘電体導波管線路を構成する横型の誘電体導波管線路であり、ｂはその上方に接続される縦型の誘電体導波管線路である。
【００１８】
71は第１の誘電体基板、１は上部主導体層、２は下部主導体層であり、これら一対の主導体層１・２により第１の誘電体基板71を上下から挟持している。３は高周波信号である電磁波の伝送方向に信号波長の２分の１未満の繰り返し間隔および所定の幅で主導体層１・２間を電気的に接続するように形成された２列の側壁用貫通導体群である。また、４は主導体層１・２間にこれらと平行に形成され、２列の側壁用貫通導体群３のそれぞれを電気的に接続する副導体層であり、良好な疑似導体壁を得るために必要に応じて形成されるものである。これら各主導体層１・２および側壁用貫通導体群３ならびに副導体層４に囲まれた領域によって、高周波信号を伝送する横型の第１の誘電体導波管線路ａおよび第２の誘電体導波管線路ｃ−ｄが構成される。そして、第２の誘電体導波管線路ｃ−ｄの一方の側部に所定の側壁用貫通導体群を除いて形成された側部開口に、第１の誘電体導波管線路ａの先端を互いの高周波信号の伝送方向が垂直となるように接続することにより、Ｔ字状分岐誘電体導波管線路を構成している。さらに、この分岐部の第２の誘電体導波管線路ｃ−ｄの上部主導体層１には所定の開口寸法の上部開口１ａが設けられている。
【００１９】
72は複数の誘電体層を積層して成る第２の誘電体基板、５は上部開口１ａ周囲の第２の誘電体基板72内にその積層方向（同図中に示すｚ方向）に形成され、所定間隔をもって上部主導体層１に電気的に接続される導体壁用貫通導体群、６は第２の誘電体基板72の誘電体層間に高周波信号の信号波長の２分の１未満の間隔で形成され、導体壁用貫通導体群５を誘電体層間でそれぞれ電気的に接続する、上部開口１ａと略同寸法の開口６ａを有する複数の副導体層である。これら複数の副導体層６および導体壁用貫通導体群５に囲まれた領域によって、高周波信号を伝送する縦型の誘電体導波管線路ｂが構成される。そして、この誘電体導波管線路ｂをＴ字状分岐誘電体導波管線路の上部主導体層１の上部開口１ａに第１および第２の誘電体導波管線路ａ・ｃ−ｄに対して高周波信号の伝送方向が垂直となるように接続することにより、本発明の積層型マジックＴが構成される。
【００２０】
まず、Ｔ字状分岐誘電体導波管線路を構成する横型の第１および第２の誘電体導波管線路ａ・ｃ−ｄについて説明する。２列の側壁用貫通導体群３は、所定の幅Ｗｈをもって、高周波信号の伝送方向に信号波長の２分の１未満の所定の繰り返し間隔ｒをもって形成され配列されており、これによりこの誘電体導波管線路ａ・ｃ−ｄにおける疑似導体側壁を形成している。ここで、所定の幅Ｗｈは、導波管をシングルモードで用いる必要があるので、λ／２＜Ｗｈ＜λとする。なお、このλは誘電体中における高周波信号の自由空間波長である。
【００２１】
また、第１の誘電体基板71の厚みＨｈすなわち上部主導体層１と下部主導体層２との間隔は、Ｈｈ＜λ／２であることが必要である。図１に示す例では、誘電体導波管ａ・ｃ−ｄのＥ面とＨ面に当たる部分がそれぞれ上部主導体層１および下部主導体層２と側壁用貫通導体群３および副導体層４で形成されている。また、間隔ｒが信号波長の１／２未満の間隔に設定されることで、側壁用貫通導体群３が電気的な壁を形成している。
【００２２】
側壁用貫通導体群３と副導体層４とにより形成され、互いに平行に配置された側壁に対して、磁界の面は垂直となる。このため、側壁用貫通導体群３の貫通導体間の隙間が信号波長の１／２より大きいと、その隙間は電磁波に対するスロットとして作用してそこから電磁波が漏れることとなるので、この導波管線路に電磁波を給電しても、電磁波はここで作られる疑似的な導波管に沿って伝播しないこととなる。しかし、その隙間が信号波長の１／２、望ましくは信号波長の１／４より小さいと、電磁波はほとんど漏れることなくこの擬似的な導波管に沿って伝播することとなる。このときの副導体層４の役割は、側壁用貫通導体群３ほど重要ではないが、より擬似的な導体壁をより完全な導体壁に近づける作用があり、副導体層４を設けることにより電磁波の伝播特性が改善される。
【００２３】
その結果、図１に示す構成によれば、一対の主導体層１・２および２列の側壁用貫通導体群３と副導体層４によって囲まれる断面積がＷｈ×Ｈｈのサイズの領域が、第１および第２の誘電体導波管線路ａ・ｃ−ｄとなる。
【００２４】
なお、図１に示す例では側壁用貫通導体群３は２列に形成したが、この側壁用貫通導体群３を４列あるいは６列に配設して側壁用貫通導体群３による疑似的な導体壁を２重・３重に形成することにより、導体壁からの電磁波の漏れをより効果的に防止することができる。
【００２５】
次に、縦型の誘電体導波管線路ｂについて説明する。図１によれば、厚さｑの誘電体層が複数層積層され、各々の誘電体層には導波路線路の断面形状、具体的には上部開口１ａの輪郭に沿って、水平方向（同図中のｘ−ｙ平面の方向）に信号波長の２分の１未満の所定の間隔、好適には側壁用貫通導体群３の間隔ｒと同じ間隔をもって、導体壁用貫通導体群５が形成されている。この導体壁用貫通導体群５は、その下端がＴ字状分岐誘電体導波管線路の上部主導体層１に電気的に接続されている。
【００２６】
また、第２の誘電体基板72の誘電体層間には、全ての導体壁用貫通導体群５と電気的に接続し、導体壁用貫通導体群５を取り囲むように、上部開口１ａと略同寸法の開口６ａを有する複数の副導体層６が互いに平行に形成されている。なお、これら導体壁用貫通導体群５の形成間隔および複数の副導体層６の間隔ｑは、いずれも伝播する信号波長の１／２未満（望ましくは１／４以下）の間隔となるように設定されている。
【００２７】
このような構成により、縦型の誘電体導波管線路ｂにおいては、第２の誘電体基板72の誘電体層の積層方向に延びる導体壁用貫通導体群５と互いに平行に形成された複数の副導体層６との格子面によって、導波管壁が形成される。ここで、上部主導体層１の上部開口１ａおよび副導体層６の開口６ａの開口寸法のうち第２の誘電体導波管線路ｃ−ｄの伝送方向に直交する方向の寸法Ｗｖは、縦型の誘電体導波管線路ｂもシングルモードで用いる必要があるので、λ／２＜Ｗｖ＜λ（λは誘電体中の自由空間波長）とする。また、第２の誘電体導波管線路ｃ−ｄの伝送方向の寸法Ｈｖは、Ｈｖ＜λ／２であることが必要である。図１に示す例では、誘電体導波管線路ｂのＥ面にあたる部分は、導体壁用貫通導体群５および副導体層６で形成される、同図中に示すｙ−ｚ面に平行な壁であり、Ｈ面にあたる部分は、導体壁用貫通導体群５および副導体層６で形成されるｚ−ｘ面に平行な壁である。
【００２８】
Ｈ面にあたる導体壁用貫通導体群５と副導体層６により形成されたメッシュ構造の導体壁の穴は、信号波長の１／２より大きいとその隙間はスロットとして作用して電磁波が漏れることとなるので、この誘電体導波管線路ｂに電磁波を給電してもここで作られる疑似的な導波管に沿って伝播しないこととなる。しかし、その隙間が信号波長の１／２（望ましくは信号波長の１／４）より小さいと、電磁波はほとんど漏れることなくこの擬似的な導波管に沿って伝播する。
【００２９】
また、Ｅ面にあたる導体壁用貫通導体群５と副導体層６により形成されたメッシュ構造では、電磁波による電流はｙ方向にのみ流れるので、副導体層６の間隔ｑが信号波長の１／２未満であればよい。ここでのＥ面を形成する導体壁用貫通導体群５の役割は、副導体層６ほど重要ではないが、より完全な導体壁に近づける作用があり、これにより電磁波の伝播特性が改善される。
【００３０】
その結果、図１に示す構成によれば、導体壁用貫通導体群５と副導体層６とによって囲まれる断面積がＷｖ×Ｈｖのサイズの領域が、縦型の誘電体導波管線路ｂとなる。
【００３１】
そして、以上説明した横型の誘電体導波管線路ａ・ｃ−ｄによるＴ字状分岐誘電体導波管線路および縦型の誘電体導波管線路ｂを図１に示すように形成して接続することにより、本発明の積層型マジックＴの構造が完成する。
【００３２】
次に、図２は本発明の積層型マジックＴの実施の形態の他の例の概略構成を示す部分破断斜視図であり、この例では、積層型マジックＴの分岐部に、従来のインピーダンス整合用の金属ポールおよび金属板と同様に機能する、貫通導体から成る整合器８および導体層から成る整合器９を形成している。
【００３３】
本発明の積層型マジックＴによれば、第１の誘電体導波管線路ａ・第２の誘電体導波管線路ｃ−ｄおよび縦型の誘電体導波管線路ｂはいずれも誘電体導波管による伝送線路となるので、その導波管の寸法は第１および第２の誘電体基板71・72の比誘電率をεr とすると通常の方形導波管の１／√εr の大きさになる。従って、第１および第２の誘電体基板71・72を比誘電率εr の大きい誘電体材料によって構成するほど、各導波管の寸法は小さくすることができ、高密度に配線が形成される多層配線基板または半導体素子収納用パッケージ内に形成可能な大きさのマジックＴを構成することができる。
【００３４】
なお、側壁用貫通導体群３および導体壁用貫通導体群５を構成する貫通導体は前述のように信号波長λの２分の１未満の間隔ｒで配設されており、この間隔ｒは良好な伝送特性を実現するためには一定の繰り返し間隔とすることが望ましいが、信号波長λの２分の１未満の間隔であれば適宜変化させたりいくつかの値を組み合わせたりしてもよいことは言うまでもない。
【００３５】
次に、このような水平型および垂直形積層導波管を用いたマジックＴの製造方法を図３に示す分解斜視図を用いて説明する。
【００３６】
図３において、70は最下部の誘電体基板となる誘電体シートである。その他の符号は図１および図２において対応する箇所を示している。
【００３７】
まず、誘電体シート70に横型の第１および第２の誘電体導波管線路の下部主導体層２となる導体パターンを印刷等により形成する。次に、第１の誘電体基板71となる誘電体シート群に、側壁用貫通導体群３を構成する貫通導体および貫通導体から成る整合器８を構成する整合用貫通導体を必要に応じて形成する。これは、誘電体シートにＮＣパンチやレーザ加工等により貫通孔を形成した後、この貫通孔に金属インク（導体ペースト）を埋め込むことにより形成される。その後、上部主導体層１および副導体層４となる導体パターンを厚膜印刷法等により形成する。
【００３８】
また、第２の誘電体基板72を構成する複数の誘電体シートには、上記と同様にして、導体壁用貫通導体群５・副導体層６・導体層から成る整合器９を構成する整合用導体パターンを形成する。
【００３９】
最後に、これらを一括して積層し、誘電体シートが樹脂系の場合はキュアすることにより、またセラミックスやガラスセラミックスの場合は焼成することにより、本発明の積層型マジックＴが製造される。
【００４０】
このような積層型誘電体導波管線路を構成する第１および第２の誘電体基板71・72に用いる誘電体材料は、誘電体として機能し高周波信号の伝送を妨げることのない特性を有するものであればとりわけ限定されるものではないが、伝送線路を形成する際の精度および製造の容易性の点からは、第１および第２の誘電体基板71・72はセラミックスから成ることが望ましい。
【００４１】
このようなセラミックスとしてはこれまで様々な比誘電率を持つセラミックスが知られているが、積層型誘電体導波管線路を構成して高周波信号を伝送するためには常誘電体であることが望ましい。これは一般に強誘電体セラミックスは高周波領域では誘電損失が大きく伝送損失が大きくなるためである。従って、第１および第２の誘電体基板71・72の比誘電率εr は４〜100 程度が適当である。
【００４２】
このような第１および第２の誘電体基板71・72に好適なセラミックスとしては、例えばアルミナセラミックスやガラスセラミックス・窒化アルミニウムセラミックス等がある。これらは、セラミックス原料粉末に適当な有機溶剤・溶媒を添加混合して泥漿状になすとともにこれを従来周知のドクターブレード法やカレンダーロール法等を採用してシート状となすことによって複数枚のセラミックグリーンシートを得て、しかる後、これらセラミックグリーンシートの各々に適当な打ち抜き加工を施すとともにこれらを積層し、アルミナセラミックスの場合は1500〜1700℃、ガラスセラミックスの場合は850 〜1000℃、窒化アルミニウムセラミックスの場合は1600〜1900℃の温度で焼成することによって製作される。
【００４３】
また、上部主導体層１および下部主導体層２ならびに副導体層４および副導体層６は、例えば第１および第２の誘電体基板71・72がアルミナセラミックスから成る場合であれば、タングステン等の金属粉末に適当なアルミナ・シリカ・マグネシア等の酸化物や有機溶剤・溶媒等を添加混合してペースト状にしたものを厚膜印刷法により少なくとも伝送線路を完全に覆うようにセラミックグリーンシート上に印刷し、しかる後、約1600℃の高温で焼成し、厚み10〜15μｍ以上となるようにして形成する。
【００４４】
なお、各導体層および各貫通導体を形成する金属粉末としては、誘電体基板がガラスセラミックスから成る場合は銅・金・銀等が、アルミナセラミックスや窒化アルミニウムセラミックスから成る場合はタングステン・モリブデン・マンガン等が好適である。また、各導体層１・２・４・６の厚みは、５〜50μｍ程度とすればよい。
【００４５】
また、貫通導体群３・５を構成する貫通導体は、例えばビア導体やスルーホール導体等により形成すればよく、その断面形状も製作が容易な円形の他、矩形や菱形・六角形・八角形等の多角形であってもよい。これら貫通導体は、例えば誘電体シートであるセラミックグリーンシートに打ち抜き加工を施して形成した貫通孔に上記各導体層１・２・４・６と同様の導体ペーストを埋め込み、しかる後、誘電体シートと同時に焼成して形成する。なお、これらの貫通導体は直径50〜300 μｍが適当である。
【００４６】
なお、本発明は以上の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更や改良を施すことは何ら差し支えない。例えば、上記の実施の形態の例では横型の誘電体導波管線路の各主導体層がＨ面となるように形成したが、これを各誘電体導波管線路の断面の寸法を変えてＥ面となるように形成してもよい。
【００４７】
【発明の効果】
本発明の積層型マジックＴによれば、各導波管を積層型の誘電体導波管線路で構成したことから、グリーンシート積層技術を用いて十分な精度でかつ容易に製造することができる。また、この製造工程が従来のグリーンシート積層技術と同じなので、多層配線基板や半導体素子収納用パッケージ等の内部に容易に組み込むことが可能である。
【００４８】
さらに、誘電体基板および誘電体層を構成する誘電体材料の比誘電率を適当に選択することにより、周波数の低い場合でも、従来の方形導波管を用いたマジックＴに比べて大幅に小型化することができる。
【００４９】
分岐部に設けるインピーダンス整合器としての金属ポールや金属板に相当する部分も、同様の貫通孔の形成および導体ペーストの印刷により容易に作製することができる。
【００５０】
以上のように本発明によれば、良好な伝送・分岐特性のマジックＴを精度良くかつ安定して得ることができ、生産性も高いマジックＴを提供することができたた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の積層型マジックＴの実施の形態の一例の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の積層型マジックＴの実施の形態の他の例の概略構成を示す斜視図である。
【図３】本発明の積層型マジックＴの製造方法を説明するための分解斜視図である。
【図４】従来のマジックＴの例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１・・・・・上部主導体層
１ａ・・・・上部開口
２・・・・・下部主導体層
３・・・・・側壁用貫通導体群
５・・・・・導体壁用貫通導体群
６・・・・・副導体層
６ａ・・・・開口
８・・・・・貫通導体から成る整合器
９・・・・・導体層から成る整合器
71・・・・・第１の誘電体基板
72・・・・・第２の誘電体基板
ａ・・・・・第１の誘電体導波管線路
ｂ・・・・・縦型の誘電体導波管線路
ｃ−ｄ・・・第２の誘電体導波管線路
【図１】
0004199395.tif 000002
【図２】
0004199395.tif 000003
【図３】
0004199395.tif 000004
【図４】
0004199395.tif 000005