【手続補正書】
【提出日】平成20年5月22日(2008.5.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】発光装置の作製方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極上に第１の有機化合物膜を形成し、
第１の有機化合物膜上に第２の有機化合物膜を形成し、
前記第２の有機化合物膜上に第１の導電膜を形成し、
前記第２の有機化合物膜の前記第１の導電膜と重ならない領域を、非プロトン性溶媒を用いて、湿式エッチング法によりエッチングし、
前記第１の有機化合物膜上に第３の有機化合物膜を形成し、
前記第３の有機化合物膜上に第２の導電膜を形成し、
前記第３の有機化合物膜の前記第２の導電膜と重ならない領域と、前記第１の有機化合物膜の前記第１の導電膜及び前記第２の導電膜と重ならない領域と、を乾式エッチング法によりエッチングすることを特徴とする発光装置の作製方法であって、
前記第１の有機化合物膜はプロトン性溶媒を溶媒とする溶液を塗布することにより形成し、
前記第２の有機化合物膜及び前記第３の有機化合物膜は非プロトン性溶媒を溶媒とする溶液を塗布することにより形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項２】
電極上に第１の有機化合物膜を形成し、
第１の有機化合物膜上に第２の有機化合物膜を形成し、
前記第２の有機化合物膜上に第１の導電膜を形成し、
前記第２の有機化合物膜の前記第１の導電膜と重ならない領域を、非プロトン性溶媒を用いて、湿式エッチング法によりエッチングし、
前記第１の有機化合物膜上に第３の有機化合物膜を形成し、
前記第３の有機化合物膜上に第２の導電膜を形成し、
前記第３の有機化合物膜の前記第２の導電膜と重ならない領域と、前記第１の有機化合物膜の前記第１の導電膜及び前記第２の導電膜と重ならない領域とにＯ２プラズマを照射してエッチングすることを特徴とする発光装置の作製方法であって、
前記第１の有機化合物膜はプロトン性溶媒を溶媒とする溶液を塗布することにより形成し、
前記第２の有機化合物膜及び前記第３の有機化合物膜は非プロトン性溶媒を溶媒とする溶液を塗布することにより形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
前記第１の有機化合物膜は、ＰＥＤＯＴまたはポリアニリンを用いて形成されることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一において、
前記第２の有機化合物膜及び前記第３の有機化合物膜は、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリアルキルフェニレン、ポリアセチレン誘導体から選ばれた一種または複数種を用いて形成されることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一において、
前記第２の有機化合物膜及び前記第３の有機化合物膜は、ポリ（２，５−ジアルコキシ−１，４−フェニレンビニレン）、ポリ（２−ジアルコキシフェニル−１，４−フェニレンビニレン）、ポリ（２−メトキシ−５−（２−エチル−ヘキソキシ）−１，４−フェニレンビニレン）、ポリ（２，５−ジメチルオクチルシリル−１，４−フェニレンビニレン）、ポリ（２，５−ジアルコキシ−１，４−フェニレン）、ポリ（３−アルキルチオフェン）、ポリ（３−ヘキシルチオフェン）、ポリ（３−シクロヘキシルチオフェン）、ポリ（３−シクロヘキシル−４−メチルチオフェン）、ポリ（３−［４−オクチルフェニル］−２，２’ビチオフェン）、ポリ（３−（４オクチルフェニル）−チオフェン）、ポリ（ジアルキルフルオレン）、ポリ（ジオクチルフルオレン）から選ばれた一種または複数種を用いて形成されることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項６】
絶縁表面上に陽極を形成し、
陽極の端部を覆うように絶縁層を形成し、
前記陽極及び前記絶縁層上に第１の有機化合物膜を形成し、
第１の有機化合物膜上に第２の有機化合物膜を形成し、
前記第２の有機化合物膜上に第１の導電膜を形成し、
前記第２の有機化合物膜の前記第１の導電膜と重ならない領域を、非プロトン性溶媒を用いて、湿式エッチング法によりエッチングし、
前記第１の有機化合物膜上に第３の有機化合物膜を形成し、
前記第３の有機化合物膜上に第２の導電膜を形成し、
前記第３の有機化合物膜の前記第２の導電膜と重ならない領域を、非プロトン性溶媒を用いて、湿式エッチング法によりエッチングし、
前記第１の有機化合物膜上に第４の有機化合物膜を形成し、
前記第４の有機化合物膜上に第３の導電膜を形成し、
前記第４の有機化合物膜の前記第３の導電膜と重ならない領域と、前記第１の有機化合物膜の前記第１の導電膜、前記第２の導電膜及び前記第３の導電膜と重ならない領域とを乾式エッチング法によりエッチングし、
前記第１の有機化合物膜はプロトン性溶媒を溶媒とする溶液を塗布することにより形成し、
前記第２の有機化合物膜、前記第３の有機化合物膜及び前記第４の有機化合物膜は非プロトン性溶媒を溶媒とする溶液を塗布することにより形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項７】
絶縁表面上に陽極を形成し、
陽極の端部を覆うように絶縁層を形成し、
前記陽極及び前記絶縁層上に第１の有機化合物膜を形成し、
前記第１の有機化合物膜上に第２の有機化合物膜を形成し、
前記第２の有機化合物膜上に第１の導電膜を形成し、
前記第２の有機化合物膜の前記第１の導電膜と重ならない領域を、非プロトン性溶媒を用いて、湿式エッチング法によりエッチングし、
前記第１の有機化合物膜上に第３の有機化合物膜を形成し、
前記第３の有機化合物膜上に第２の導電膜を形成し、
前記第３の有機化合物膜の前記第２の導電膜と重ならない領域を、非プロトン性溶媒を用いて、湿式エッチング法によりエッチングし、
前記第１の有機化合物膜上に第４の有機化合物膜を形成し、
前記第４の有機化合物膜上に第３の導電膜を形成し、
前記第４の有機化合物膜の前記第３の導電膜と重ならない領域と、
前記第１の有機化合物膜の前記第１の導電膜、前記第２の導電膜及び前記第３の導電膜と重ならない領域とにＯ２プラズマを照射してエッチングし、
前記第１の有機化合物膜はプロトン性溶媒を溶媒とする溶液を塗布することにより形成し、
前記第２の有機化合物膜、前記第３の有機化合物膜及び前記第４の有機化合物膜は非プロトン性溶媒を溶媒とする溶液を塗布することにより形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項８】
請求項６または請求項７において、
前記第１の有機化合物膜は、ＰＥＤＯＴまたはポリアニリンを用いて形成されることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項９】
請求項６乃至請求項８のいずれか一において、
前記第２の有機化合物膜、前記第３の有機化合物膜、及び前記第４の有機化合物膜は、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリアルキルフェニレン、ポリアセチレン誘導体から選ばれた一種または複数種を用いて形成されることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１０】
請求項６乃至請求項９のいずれか一において、
前記第２の有機化合物膜、前記第３の有機化合物膜、及び前記第４の有機化合物膜は、ポリ（２，５−ジアルコキシ−１，４−フェニレンビニレン）、ポリ（２−ジアルコキシフェニル−１，４−フェニレンビニレン）、ポリ（２−メトキシ−５−（２−エチル−ヘキソキシ）−１，４−フェニレンビニレン）、ポリ（２，５−ジメチルオクチルシリル−１，４−フェニレンビニレン）、ポリ（２，５−ジアルコキシ−１，４−フェニレン）、ポリ（３−アルキルチオフェン）、ポリ（３−ヘキシルチオフェン）、ポリ（３−シクロヘキシルチオフェン）、ポリ（３−シクロヘキシル−４−メチルチオフェン）、ポリ（３−［４−オクチルフェニル］−２，２’ビチオフェン）、ポリ（３−（４オクチルフェニル）−チオフェン）、ポリ（ジアルキルフルオレン）、ポリ（ジオクチルフルオレン）から選ばれた一種または複数種を用いて形成されることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項１０のいずれか一において、
前記非プロトン性溶媒として、トルエン、ベンゼン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、クロロホルム、テトラリン、キシレン、アニソール、ジクロロメタン、γブチルラクトン、ブチルセルソルブ、シクロヘキサン、ＮＭＰ（Ｎ−メチル−２−ピロリドン）、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノン、ジオキサンまたは、ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）から選ばれた１種または複数種を用いることを特徴とする発光装置の作製方法。