【手続補正書】
【提出日】平成20年4月25日(2008.4.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  マトリックス状に配置された多数の変調素子を持つ露光ユニットを用いて所定のパターンを描画面上に多重露光により描画する多重露光描画方法であって、
前記露光ユニットのマトリックス状に配置された変調素子の一方の配列方向に沿って、しかも該配列方向に対して所定の角度だけ傾斜させて該露光ユニットを前記描画面に対して相対的に移動させる移動段階と、
前記露光ユニットの変調素子によって前記描画面上に得られる単位露光領域のサイズの整数倍の距離Ａに、該サイズより小さい距離ａを加えた距離（Ａ＋ａ）だけ、前記露光ユニットが該描画面上に対して相対的に移動する度毎に、該露光ユニットの変調素子を所定のパターンデータに基づいて選択的に露光作動させる露光段階とより成る多重露光描画方法。
【請求項２】  請求項１に記載の多重露光描画方法において、前記露光ユニットが前記距離（Ａ＋ａ）だけ移動する度毎に、該露光ユニットが前記変調素子の他方の配列方向に距離ｂだけ変位するように、前記角度が設定されているとき、前記距離ａ及びｂが、前記単位露光領域のサイズの数値を割り切れるような数値とされていることを特徴とする多重露光描画方法。
【請求項３】  請求項１に記載の多重露光描画方法において、前記露光ユニットが前記距離（Ａ＋ａ）だけ移動する度毎に、該露光ユニットが前記変調素子の他方の配列方向に距離ｂだけ変位するように、前記角度が設定されているとき、前記距離ａ及びｂが、前記単位露光領域のサイズの数値を割り切れないような数値とされていることを特徴とする多重露光描画方法。
【請求項４】  請求項１から３までのいずれか１項に記載の多重露光描画方法において、前記露光ユニットが前記距離（Ａ＋ａ）だけ移動する度毎に一旦停止され、そこで前記露光段階が実施された後に前記露光ユニットが再び移動させられることを特徴とする多重露光描画方法。
【請求項５】  請求項１から３までのいずれか１項に記載の多重露光描画方法において、前記露光ユニットが連続的に一定速度で移動させられ、該露光ユニットの移動距離が前記距離（Ａ＋ａ）の倍数の距離に到達する度毎に前記露光段階が実施され、その実施時間については該露光ユニットが前記単位露光領域のサイズより小さい距離を移動する間の時間とされることを特徴とする多重露光描画方法。
【請求項６】  マトリックス状に配置された多数の変調素子を持つ露光ユニットを用いて、所定のパターンを描画面上に多重露光により描画する多重露光描画装置であって、
前記露光ユニットのマトリックス状に配置された変調素子の一方の配列方向に沿って、しかも該配列方向に対して所定の角度だけ傾斜させて、該露光ユニットを前記描画面に対して相対的に移動させる移動手段と、
前記露光ユニットの変調素子によって、前記描画面上に得られる単位露光領域のサイズの整数倍の距離Ａに該サイズより小さい距離ａを加えた距離（Ａ＋ａ）だけ、前記露光ユニットが、該描画面上に対して相対的に移動する度毎に、該露光ユニットの変調素子を所定のパターンデータに基づいて選択的に露光作動させる露光手段と、を具備して成る多重露光描画装置。
【請求項７】  請求項６に記載の多重露光描画装置において、更に、前記露光ユニットが前記距離（Ａ＋ａ）だけ移動する度毎に該露光ユニットを停止させて、前記露光手段による露光作動が終了した後に、前記露光ユニットを再び移動させる、間欠駆動手段が設けられることを特徴とする多重露光描画装置。
【請求項８】  請求項６に記載の多重露光描画装置において、更に、前記露光ユニットを連続的に一定速度で移動させつつ、該露光ユニットの移動距離が前記距離（Ａ＋ａ）の倍数の距離に到達する度毎に前記露光手段による露光作動を実施させる際に、その実施時間について、該露光ユニットが前記単位露光領域のサイズより小さい距離を移動する間の時間として設定する時間設定手段が設けられることを特徴とする多重露光描画装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
各描画ユニット（１８1、…１８8；２０1、…２０7）で、個々のマイクロミラーは通常は第２の反射位置即ち非露光位置に置かれているが、露光作動を行うとき、マイクロミラーは第２の反射位置（非露光位置）から第１の反射位置即ち露光位置に回動変位させられる。マイクロミラーの非露光位置から露光位置への回動変位の制御については、後述するように回路パターンデータ（ラスタデータ）に従って行われる。なお、図２においては、図示の都合上、結像光学系２８から逸らされた光束（ＬＢ2）も描画面３２に向けられているが、しかし実際にはそのような光束（ＬＢ2）については描画面３２に到達しないように処理されることは言うまでもない。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
各グループの個々のビットデータ“Ｂ”に対しては、図１２に模式的に示すようなアドレスデータ［Ｌx,Ｒy］が与えられる。アドレスデータ成分Ｌxはライン番号Ｌ（図１１）を示し、アドレスデータ成分Ｒyは各グループの最上ビットから数えて何ビット目に当たるかを表す。例えば、アドレスデータ［000001,0001］は各グループのライン番号１の最上位ビットのビットデータ“Ｂ”を表し、アドレスデータ［000003,0001］は各グループのライン番号３の最上位ビットのビットデータ“Ｂ”を表し、またアドレスデータ［000001,1278］は各グループのライン番号１の最上位ビットから数えて1278番目のビットデータ“Ｂ”を表し、アドレスデータ［000003,1278］は各グループのライン番号３の最上位ビットから数えて1278番目のビットデータ“Ｂ”を表し、更にアドレスデータ［000001,1280］は各グループのライン番号１の最下位ビットのビットデータ“Ｂ”を表し、アドレスデータ［000003,1280］は各グループのライン番号３の最下位ビットのビットデータ“Ｂ”を表す。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
既に述べたように、各露光作動毎に各ＤＭＤユニット（１８1、…１８8；２０1、…２０7）の個々のマイクロミラーによって得られる単位露光領域はＸ軸の正側に所定距離（Ａ＋ａ）だけ移動させられるので、各ＤＭＤユニットの個々のマイクロミラーが各露光位置でどのビットデータ“Ｂ”に従って動作させられるべきかを描画作動前に確定することが必要である。また、各ＤＭＤユニットの個々のマイクロミラーが各露光位置でどのビットデータ“Ｂ”に従って動作させられるべきかについては、各ＤＭＤユニットの露光作動毎の移動距離（Ａ＋ａ）だけでなくビットデータ“Ｂ”サイズによっても変動する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
ここで、もしビットデータ“Ｂ”のサイズが10μm×10μmであるとすると、図１１に示す第1番目のグループのライン番号1のビットデータのうち例えばアドレスデータ［000001,0001］のビットデータ“Ｂ”により定義される一画素領域は図１５に示すような斜線領域ＨＺ10となる。同様に、ビットデータ“Ｂ”のサイズが20μm×20μmであれば、図１１に示す第1番目のグループのライン番号1のビットデータのうちのアドレスデータ［000001,0001］のビットデータ“Ｂ”により定義される一画素領域は図１６に示すような斜線領域ＨＺ20となる。また、ビットデータ“Ｂ”のサイズが30μm×30μmであれば、図１１に示す第1番目のグループのライン番号1のビットデータのうちのアドレスデータ［000001,0001］のビットデータ“Ｂ”により定義される一画素領域は図１７に示すような斜線領域ＨＺ30となる。更に、ビットデータ“Ｂ”のサイズが40μm×40μmのときには、図１１に示す第1番目のグループのライン番号1のビットデータのうちのアドレスデータ［000001,0001］のビットデータ“Ｂ”により定義される一画素領域は図１８に示すような斜線領域ＨＺ40となる。従って、描画面３２上で回路パターンを描画する際の描画領域のＹ軸に沿う負側の境界線はビットデータ“Ｂ”のサイズによって変動する。即ち、図１４に示す境界線ＢＯ10、ＢＯ20、ＢＯ30、ＢＯ40はビットデータ“Ｂ”のサイズがそれぞれ10μm×10μm、20μm×20μm、30μm×30μm及び40μm×40μmの場合の境界線を示す。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１１】
ステップ２１０３では、フラグＦが“０”に初期化され、またカウンタｉが“１”に初期化される。なお、フラグＦ及びカウンタｉの機能は図１９の描画ルーチンの場合と同様である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２８】
本発明による多重露光方式から得られる別の作用効果として、個々の露光ユニットに組み込まれる結像光学系に起因する露光むらがあったとしても、その露光むらの影響は多重露光のために小さくされるという点も挙げられる。