【手続補正書】
【提出日】平成20年8月8日(2008.8.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  第１のガイド面を備えた第１の構造体と、
該第１のガイド面に沿って移動可能な移動体と、
第２のガイド面を備えた第２の構造体と、
該移動体とともに移動する可動子と、該可動子に対向して配置される固定子とを有するアクチュエータと、を備え、
前記固定子が前記第２のガイド面に沿って移動可能に支持されることを特徴とする移動装置。
【請求項２】  該第１の構造体と該第２の構造体とは、振動的に絶縁されていることを特徴とする請求項１に記載の移動装置。
【請求項３】  前記固定子は、前記移動体を駆動する時の反力により前記第２のガイド面上を移動することを特徴とする請求項１または２に記載の移動装置。
【請求項４】  前記第１の構造体が前記第２の構造体上に除振台を介して設置されていることを特徴とする請求項３に記載の移動装置。
【請求項５】  前記第１の構造体および前記第２の構造体が、それぞれ除振台上に設置されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の移動装置。
【請求項６】  前記固定子を前記第２のガイド面上で駆動する駆動手段を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の移動装置。
【請求項７】  前記アクチュエータが前記可動子と前記固定子とを有するリニアモータであることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の移動装置。
【請求項８】   前記第１の構造体は、前記第２の構造体の上に３点で支持されることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の移動装置。
【請求項９】  前記移動体および前記固定子はそれぞれ前記第１のガイド面上および第２のガイド面上に静圧軸受を介して支持されることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の移動装置。
【請求項１０】  前記移動体に物体を載せて移動させるステージとして請求項１〜９のいずれかに記載の移動装置を有することを特徴とするステージ装置。
【請求項１１】  パターンを有する原版及び該パターンが転写される基板の少なくともいずれかを前記移動体に載せて使用する請求項１０に記載のステージ装置を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１２】  請求項１１に記載の露光装置を含む各種プロセス用の製造装置群を半導体製造工場に設置する工程と、該製造装置群を用いて複数のプロセスによって半導体デバイスを製造する工程とを有することを特徴とする半導体デバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、本発明は、第１のガイド面を備えた第１の構造体と、該第１のガイド面に沿って移動可能な移動体と、第２のガイド面を備えた第２の構造体と、該移動体とともに移動する可動子と、該可動子に対向して配置される固定子とを有するアクチュエータと、を備え、前記固定子が前記第２のガイド面に沿って移動可能に支持されることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
該第１の構造体と該第２の構造体とは、振動的に絶縁されていることを特徴としてもよく、前記固定子は、前記移動体を駆動する時の反力により前記第２のガイド面上を変位することを特徴としてもよく、前記第１の構造体が前記第２の構造体上に除振台を介して設置されていてもよく、装置全体が除振台上に設置されていてもよく、前記固定子と前記第２のガイド面との相対位置を維持するための固定子位置制御駆動手段を有していてもよく、前記アクチュエータが前記可動子と前記固定子とを有するリニアモータでもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
構造体５は、第１のガイド面としての移動体ガイド面１６を有する。移動体ガイド面１６は、ＸＹスライダ７を案内する。第1の構造体５は、基準構造体６の凹部内の平坦な底面６ａ上に除振台１５ａによる３点支持で設置されている。基準構造体６は、基定盤２０上に複数の除振台１５ｂによる支持で設置されている。基準構造体６は、凹部の周囲の上面に第２のガイド面としての固定子ガイド面１７を有している。第２のガイド面は、後述するように、固定子の移動のガイド面となる。構造体５及び基準構造体６は、移動体ガイド面１６と固定子ガイド面１７とがほぼ面一になるように構成されている。構造体５の側面と基準構造体６の凹部側面とは、空隙を介して対面している。ＸＹスライダ７は、構造体５上のガイド面１６に対して静圧軸受９によって非接触に支持されている。そのため、ＸＹスライダ７は、Ｘ，Ｙ方向（平面方向）に移動可能である。Ｘガイドバー３の両脇には、Ｘガイドバー３をＹ方向に駆動するための電磁アクチュエータ１１が設けられている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
電磁アクチュエータ１１Ｘは、Ｙ可動子１０と一対のＹ固定子１とを有するリニアモータである。Ｙ可動子１０は、Ｙ方向にスライド可能なＸガイドバー３の両端に設けられている。上述のようにＸガイドバー３はＸＹスライダ７のＸ方向移動を案内するので、Ｙ可動子１０は、移動体（ＸＹスライダ７）とともに移動する。また、一対のＹ固定子１は、左右互いに独立して設けられている。同様に、電磁アクチュエータ１１Ｙは、Ｘ可動子１２と一対のＸ固定子２とを有するリニアモータである。Ｘ可動子１２は、Ｘ方向にスライド可能なＹガイドバー４の両端に設けられている。上述のようにＹガイドバー４はＸＹスライダ７のＹ方向移動を案内するので、Ｘ可動子１２は、移動体（ＸＹスライダ７）とともに移動する。また、一対のＸ固定子２は、互いに独立して設けられている。ここで、それぞれ一対のＹ固定子１及びＸ固定子２は、基準構造体６上のガイド面１７に対して静圧軸受８によって非接触に支持されており、ＸＹ平面（ガイド面１７）上を移動可能である。即ち、Ｙ固定子１及びＸ固定子２を第２のガイド面１７上で駆動することができる。なお、第1のガイド面１６と第２のガイド面１７とは、前述したように面一になっているので、同じＸＹ平面として取り扱うことが可能である。また、これらのＹ固定子１及びＸ固定子２は所定の質量を持ち、後述の質量体の機能を備えている。ＸＹスライダ７は、静圧軸受９によってＸガイドバー３とＹガイドバー４にガイドされており、ＸＹ平面で移動可能である。つまり、ＸＹスライダ７は、Ｘガイドバー３がＹ方向に移動するとＹガイドバー４に沿ってＹ方向に移動し、Ｙガイドバー４がＸ方向に移動するとＸガイドバー３に沿ってＸ方向に移動する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
Ｙリニアモータ固定子１は、ＸＹスライダ７とＸスライダ３がＹ方向に移動するときに作用する力の駆動反力を受ける。また、Ｘリニアモータ固定子２は、ＸＹスライダ７とＹスライダ４がＸ方向に移動するときに作用する力の駆動反力を受ける。Ｙリニアモータ固定子１およびＸリニアモータ固定子２は、その駆動反力によって、第２のガイド面であるガイド面１７上を変位（移動）する。これにより固定子が反力カウンタの役割を果たす。本実施形態では、例えば、ＸＹスライダ７を＋Ｙ方向に駆動すると、左右のＹリニアモータ固定子１は、−Ｙ方向に駆動反力を受けて−Ｙ方向に変位することになる。同様に、ＸＹスライダ７を＋Ｘ方向に駆動すると、図１（ａ）の紙面における上下のＸリニアモータ固定子２は、−Ｘ方向に駆動反力を受けて−Ｘ方向に移動することになる。固定子１及び固定子２が移動すると、変位荷重によって基準構造体６に変形を及ぼす。しかし構造体５は、基準構造体６上に除振台１５ａによる３点で支持され、力学上振動的に絶縁されている別体であるため、基準構造体６の変形の影響は構造体５には及ばず、ＸＹスライダ７のガイド面１６を平坦に保つことができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本実施形態では、固定子１，２の移動による基準構造体６の変形が、構造体５には及ばないので、ガイド面１６を平坦に保つことができ、ＸＹスライダ７の高精度な位置決めを行なうことができる。また、本実施形態では、第２の構造体である基準構造体６を除振台１５ｂ上に設置することで、摩擦等の影響で質量体に所定の動作をさせることが出来ず、処理できなかった反力によって、ステージを構成するＸＹスライダ７が揺れるのを抑制することが出来る。