【手続補正書】
【提出日】平成20年3月11日(2008.3.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原板のパターンを基板に投影する投影光学系と、
前記基板を支持するステージと、
前記投影光学系と前記ステージとの間に配置された光透過性部材と、
前記投影光学系と前記光透過性部材との間の第１空間に第１液体を供給する第１供給器と、
前記光透過性部材と前記基板との間の第２空間に前記第１液体とは異なる第２液体を供給する第２供給器と、
を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記第１液体として無機物系の液体を使用し、前記第２液体として有機物系の液体を使用することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記第１液体として、前記第２液体よりも前記投影光学系の端面を構成する光学部品を汚染しにくい液体を使用し、前記第２液体として、前記第１液体よりも前記基板を腐食させにくい液体を使用することを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記第１空間に供給された第１液体を回収する第１回収器と、
前記第２空間に供給された第２液体を回収する第２回収器と、
を更に備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記第１空間を外部空間から仕切る仕切り部材と、
前記第２空間を外部空間から仕切るエアカーテンを形成する機構と、
を更に備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項６】
前記第１空間を外部空間から仕切るエアカーテンを形成する機構と、
前記第２空間を外部空間から仕切る仕切り部材と、
を更に備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項７】
ステージに載置された基板に対して投影光学系を介して原板のパターンを投影し転写する露光方法であって、
前記投影光学系と前記ステージとの間に配置された光透過性部材と前記投影光学系との間の第１空間に第１液体を満たすとともに、前記光透過性部材と前記基板との間の第２空間に前記第１液体とは異なる第２液体を満たす工程と、
前記原板のパターンを前記投影光学系、前記第１液体、前記光透過性部材及び前記第２液体を介して前記基板に投影し転写する工程と、
を含むことを特徴とする露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置及び露光方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、液浸法によって基板にパターンを転写する露光装置及び露光方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、上記の課題認識を基礎としてなされたものであり、例えば、露光のために使用する液体の選択の自由度を高めること、より具体的な例を挙げれば、例えば、純水以外の液体の使用を可能にすることを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の第１の側面は、露光装置に係り、該露光装置は、原板のパターンを基板に投影する投影光学系と、前記基板を支持するステージと、前記投影光学系と前記ステージとの間に配置された光透過性部材と、前記投影光学系と前記光透過性部材との間の第１空間に第１液体を供給する第１供給器と、前記光透過性部材と前記基板との間の第２空間に前記第１液体とは異なる第２液体を供給する第２供給器とを備える。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の好適な実施形態によれば、前記第１液体として無機物系の液体を使用し、前記第２液体として有機物系の液体を使用することが好ましい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の好適な実施形態によれば、前記第１液体として、前記第２液体よりも前記投影光学系の端面を構成する光学部品を汚染しにくい液体を使用し、前記第２液体として、前記第１液体よりも前記基板を腐食させにくい液体を使用することが好ましい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の好適な実施形態によれば、前記露光装置は、前記第１空間に供給された第１液体を回収する第１回収器と、前記第２空間に供給された第２液体を回収する第２回収器とを更に備えることが好ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の好適な実施形態によれば、前記露光装置は、前記第１空間を外部空間から仕切る仕切り部材と、前記第２空間を外部空間から仕切るエアカーテンを形成する機構とを更に備えることが好ましい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の好適な実施形態によれば、前記露光装置は、前記第１空間を外部空間から仕切るエアカーテンを形成する機構と、前記第２空間を外部空間から仕切る仕切り部材とを更に備えることが好ましい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の第２の側面は、ステージに載置された基板に対して投影光学系を介して原板のパターンを投影し転写する露光方法に係り、該露光方法は、前記投影光学系と前記ステージとの間に配置された光透過性部材と前記投影光学系との間の第１空間に第１液体を満たすとともに、前記光透過性部材と前記基板との間の第２空間に前記第１液体とは異なる第２液体を満たす工程と、前記原板のパターンを前記投影光学系、前記第１液体、前記光透過性部材及び前記第２液体を介して前記基板に投影し転写する工程とを含む。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明によれば、例えば、露光のために使用する液体の選択の自由度を高めること、より具体的な例を挙げれば、例えば、純水以外の液体の使用が可能になる。純水よりも高い屈折率を有する液体の使用は、純水使用時よりも高い解像度で基板にパターンを転写することに寄与する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
レチクルステージ３や基板ステージ５４の二次元的な位置は、参照ミラー４、５とレーザ干渉計６、７によってリアルタイムに計測される。この計測値に基づいて、ステージ制御装置１０は、レチクル２（レチクルステージ）や基板５１（基板ステージ５４）の位置決めや同期制御を行う。基板ステージ５４には、基板５１の鉛直方向の位置や回転方向、傾きを調整、変更或いは制御する駆動装置が内蔵されており、露光時は、この駆動装置により投影光学系８の焦点面に基板５１上の露光領域が常に高精度に合致するように基板ステージ５４が制御される。ここで、基板５１の表面の鉛直方向の位置と傾きは、不図示の光フォーカスセンサーによって計測され、ステージ制御装置１０に提供される。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
この実施形態の露光装置には、最終光学素子９と基板５１との間の空間を第１空間と第２空間とに分離するとともに第１空間を外部空間から仕切るための仕切りとしての容器５５が設けられている。容器５５の一部、例えば、側壁には、第１液体供給口２５及び第１液体回収口２６がそれぞれ連通している。
容器５５の底部の少なくとも一部、より具体的には、露光光を通過させるべき部分は、光透過性部材４１で構成される。容器５５は、第１空間に供給された第１液体４２が外部空間に漏れ出すことを防止し、第１液体４２が第２液体４３と混合することを防止することができる構造であれば十分であり、例えば、第１液体供給口２５及び第１液体回収口２６のために開口している部分を除いて密閉容器として構成することもできるし、例えば、上部の少なくとも一部が開口した容器として構成することもできる。
容器５５（光透過性部材４１）と基板５１との間の第２空間は、第２液体供給口２７を通して供給される第２液体４３によって満たされ、第２空間の第２液体４３は、回収口２８を通して回収される。