【手続補正書】
【提出日】平成20年4月24日(2008.4.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物の被照射部位にレーザ光を集光して照射することによって被加工物の加工を行うレーザ加工装置であって、
レーザ光の照射手段と、
前記照射手段に対して照射対象物を相対的に走査させる走査手段と、
前記照射手段と前記走査手段とを制御して、前記レーザ光で前記照射対象物を相対的に走査しつつ、前記レーザ光を前記照射対象物に照射することによって、前記照射対象物にライン状の調整用加工痕を形成させる調整用加工痕作成制御手段と、
前記調整用加工痕を撮像する撮像手段と、
を備えることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザ加工装置であって、
前記調整用加工痕作成制御手段が、
前記照射手段と前記走査手段とを制御して、前記レーザ光で前記照射対象物を相対的に走査しつつ、前記レーザ光を前記照射対象物に照射することを、前記照射手段と前記照射対象物との離間距離を変化させつつ実行させることにより、前記照射対象物にライン状の複数の調整用加工痕を形成させる、
ことを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項３】
請求項２に記載のレーザ加工装置であって、
前記撮像手段により得られた撮像結果を用いて、前記複数の調整用加工痕の鮮鋭度比較を行い、当該比較結果に基づいて前記レーザ光の合焦状態が実現される前記照射手段の配置位置を特定する配置位置特定手段、
をさらに備えることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載のレーザ加工装置であって、
前記撮像手段により得られた撮像結果を用いて、前記レーザ光の走査方向に直角な方向についての前記複数の調整用加工痕の位置比較を行い、当該比較結果に基づいて前記レーザ光の光軸の傾き度合を特定する光軸傾き特定手段、
をさらに備えることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のレーザ加工装置であって、
前記撮像手段により得られた撮像結果を用いて、前記照射対象物の前記撮像手段の視野中に前記レーザ光の走査方向に沿って設定された所定の基準線分と前記調整用加工痕との間で前記レーザ光の走査方向に直角な方向についての位置比較を行い、当該比較結果に基づいて当該方向についての前記レーザ光の光軸のずれ度合を特定する光軸ずれ特定手段、
をさらに備えることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項６】
被加工物の被照射部位にレーザ光を集光して照射することによって被加工物の加工を行うレーザ加工装置、におけるレーザ光の調整方法であって、
前記レーザ光で照射対象物を相対的に走査することによってライン状の調整用加工痕を形成し、前記ライン状の調整用加工痕を観察して、前記レーザ光の照射手段の調整のための情報を得ることを特徴とするレーザ光の調整方法。
【請求項７】
被加工物の被照射部位にレーザ光を集光して照射することによって被加工物の加工を行うレーザ加工装置、におけるレーザ光の調整方法であって、
所定の照射手段からのレーザ光によって照射対象物を相対的に走査するプロセスを、前記照射手段と前記照射対象物との幾何学的関係を変化させつつ実行することにより、前記照射対象物にライン状の複数の調整用加工痕を形成する加工痕形成工程と、
前記複数の調整用加工痕の幾何学的状態について相対的な比較を行い、当該比較結果に基づいて前記照射手段の光学的状況を判断する判断工程と、
を備えることを特徴とするレーザ光の調整方法。
【請求項８】
請求項７に記載のレーザ光の調整方法において、
前記幾何学的関係は、前記照射対象物と前記照射手段との離間距離であり、
前記相対的な比較は、前記複数の加工痕の幅の比較であって、
前記光学的状況が、前記照射対象物への合焦状況であることを特徴とするレーザ光の調整方法。
【請求項９】
請求項７に記載のレーザ光の調整方法において、
前記幾何学的関係は、前記照射対象物と前記照射手段との離間距離であり、
前記相対的な比較は、前記レーザ光の走査方向に直角な方向についての前記複数の調整用加工痕の位置比較であって、
前記光学的状況が、前記レーザ光の光軸の傾き状況であることを特徴とするレーザ光の調整方法。
【請求項１０】
被加工物の被照射部位にレーザ光を集光して照射することによって被加工物の加工を行うレーザ加工装置、におけるレーザ光の調整方法であって、
所定の照射手段からのレーザ光によって照射対象物を相対的に走査するプロセスを実行することにより、前記照射対象物にライン状の調整用加工痕を形成する加工痕形成工程と、
前記調整用加工痕の幾何学的状態について所定の基準状態との間で比較を行い、当該比較結果に基づいて前記照射手段の状況を判断する判断工程と、
を備えることを特徴とするレーザ光の調整方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載のレーザ光の調整方法において、
前記所定の基準状態が、前記照射対象物の光学的観察手段の視野中に前記レーザ光の走査方向に沿って設定された所定の基準線分によって表現されており、
前記比較は、前記走査の方向に直角な方向についての前記調整用加工痕と前記基準線分との位置比較であって、
前記光学的状況が、前記走査に直角な方向についての前記レーザ光の光軸のずれ状況であることを特徴とするレーザ光の調整方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】レーザ加工装置におけるレーザ光の調整方法、およびレーザ加工装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、被加工物の被照射部位にレーザ光を集光して照射することによって被加工物の加工を行うレーザ加工装置であって、レーザ光の照射手段と、前記照射手段に対して照射対象物を相対的に走査させる走査手段と、前記照射手段と前記走査手段とを制御して、前記レーザ光で前記照射対象物を相対的に走査しつつ、前記レーザ光を前記照射対象物に照射することによって、前記照射対象物にライン状の調整用加工痕を形成させる調整用加工痕作成制御手段と、前記調整用加工痕を撮像する撮像手段と、を備えることを特徴とする。
請求項２の発明は、請求項１に記載のレーザ加工装置であって、前記調整用加工痕作成制御手段が、前記照射手段と前記走査手段とを制御して、前記レーザ光で前記照射対象物を相対的に走査しつつ、前記レーザ光を前記照射対象物に照射することを、前記照射手段と前記照射対象物との離間距離を変化させつつ実行させることにより、前記照射対象物にライン状の複数の調整用加工痕を形成させる、ことを特徴とする。
請求項３の発明は、請求項２に記載のレーザ加工装置であって、前記撮像手段により得られた撮像結果を用いて、前記複数の調整用加工痕の鮮鋭度比較を行い、当該比較結果に基づいて前記レーザ光の合焦状態が実現される前記照射手段の配置位置を特定する配置位置特定手段、をさらに備えることを特徴とする。
請求項４の発明は、請求項２または請求項３に記載のレーザ加工装置であって、前記撮像手段により得られた撮像結果を用いて、前記レーザ光の走査方向に直角な方向についての前記複数の調整用加工痕の位置比較を行い、当該比較結果に基づいて前記レーザ光の光軸の傾き度合を特定する光軸傾き特定手段、をさらに備えることを特徴とする。
請求項５の発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のレーザ加工装置であって、前記撮像手段により得られた撮像結果を用いて、前記照射対象物の前記撮像手段の視野中に前記レーザ光の走査方向に沿って設定された所定の基準線分と前記調整用加工痕との間で前記レーザ光の走査方向に直角な方向についての位置比較を行い、当該比較結果に基づいて当該方向についての前記レーザ光の光軸のずれ度合を特定する光軸ずれ特定手段、をさらに備えることを特徴とする。
請求項６の発明は、被加工物の被照射部位にレーザ光を集光して照射することによって被加工物の加工を行うレーザ加工装置、におけるレーザ光の調整方法であって、前記レーザ光で照射対象物を相対的に走査することによってライン状の調整用加工痕を形成し、前記ライン状の調整用加工痕を観察して、前記レーザ光の照射手段の調整のための情報を得ることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、請求項７の発明は、被加工物の被照射部位にレーザ光を集光して照射することによって被加工物の加工を行うレーザ加工装置、におけるレーザ光の調整方法であって、所定の照射手段からのレーザ光によって照射対象物を相対的に走査するプロセスを、前記照射手段と前記照射対象物との幾何学的関係を変化させつつ実行することにより、前記照射対象物にライン状の複数の調整用加工痕を形成する加工痕形成工程と、前記複数の調整用加工痕の幾何学的状態について相対的な比較を行い、当該比較結果に基づいて前記照射手段の光学的状況を判断する判断工程と、を備えることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、請求項８の発明は、請求項７に記載のレーザ光の調整方法において、前記幾何学的関係は、前記照射対象物と前記照射手段との離間距離であり、前記相対的な比較は、前記複数の加工痕の幅の比較であって、前記光学的状況が、前記照射対象物への合焦状況であることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、請求項９の発明は、請求項７に記載のレーザ光の調整方法において、前記幾何学的関係は、前記照射対象物と前記照射手段との離間距離であり、前記相対的な比較は、前記レーザ光の走査方向に直角な方向についての前記複数の調整用加工痕の位置比較であって、前記光学的状況が、前記レーザ光の光軸の傾き状況であることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、請求項１０の発明は、被加工物の被照射部位にレーザ光を集光して照射することによって被加工物の加工を行うレーザ加工装置、におけるレーザ光の調整方法であって、所定の照射手段からのレーザ光によって照射対象物を相対的に走査するプロセスを実行することにより、前記照射対象物にライン状の調整用加工痕を形成する加工痕形成工程と、前記調整用加工痕の幾何学的状態について所定の基準状態との間で比較を行い、当該比較結果に基づいて前記照射手段の状況を判断する判断工程と、を備えることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、請求項１１の発明は、請求項１０に記載のレーザ光の調整方法において、前記所定の基準状態が、前記照射対象物の光学的観察手段の視野中に前記レーザ光の走査方向に沿って設定された所定の基準線分によって表現されており、前記比較は、前記走査の方向に直角な方向についての前記調整用加工痕と前記基準線分との位置比較であって、前記光学的状況が、前記走査に直角な方向についての前記レーザ光の光軸のずれ状況であることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項１ないし請求項１１の発明によれば、対物レンズの開口数ＮＡが大きい場合であっても、撮像手段によって得られた調整用加工痕の撮像結果に基づいて、レーザ光の調整を簡易かつ確実に行うことができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
特に、請求項５および請求項１０の発明によれば、レーザ光の照射位置を観察視野中心とのズレが解消されるので、高い加工精度で加工をすることができる。