【手続補正書】
【提出日】平成20年1月18日(2008.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光増幅器と、
透過特性に周期的な波長ピークを有し、前記周期的な波長ピークは可変であり、前記光増幅器からの光を透過する第１のエタロンと、
前記光増幅器を含む外部共振型レーザの外部ミラーとして機能し、前記光増幅器が有する有効ゲイン帯域の一部の波長について相対的に高い反射強度を有する波長選択ミラーとを備えることを特徴とするレーザモジュール。
【請求項２】
前記波長選択ミラーは、所望の反射光の中心波長の実質的に１／４の厚さの誘電体が複数積層されていることを特徴とする請求項１記載のレーザモジュール。
【請求項３】
前記第１のエタロンは、印加される電圧に応じて屈折率が変化する液晶を含み、
前記第１のエタロンの周期的な波長ピークは、前記液晶に印加される電圧によって変化することを特徴とする請求項１または２記載のレーザモジュール。
【請求項４】
前記第１のエタロンの周期的な波長ピークは、前記光増幅器の有効ゲイン内に複数存在することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のレーザモジュール。
【請求項５】
前記波長選択ミラーが相対的に高い反射強度を有する反射帯域幅は、前記第１のエタロンの周期的な波長ピークの間隔の２倍よりも小さいことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のレーザモジュール。
【請求項６】
前記光増幅器と前記波長選択ミラーとの間に、透過特性に周期的な波長ピークを持つ第２のエタロンをさらに備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のレーザモジュール。
【請求項７】
前記第２のエタロンの周期的な波長ピークの周期は、前記第１のエタロンの周期的な波長ピークの周期と異なることを特徴とする請求項６記載のレーザモジュール。
【請求項８】
前記光増幅器は、半導体光増幅器であることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のレーザモジュール。
【請求項９】
前記光増幅器と前記波長選択ミラーとの間に、屈折率が変化することによって、透過する光の位相を制御する位相調節器をさらに備えることを特徴とすることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のレーザモジュール。
【請求項１０】
前記位相調節器は、前記光増幅器に一体的に設けられた半導体により構成されることを特徴とする請求項９記載のレーザモジュール。     
【請求項１１】
前記光増幅器、前記波長選択ミラーおよび前記第１のエタロンが配置される温度制御装置をさらに備えることを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載のレーザモジュール。
【請求項１２】
前記外部共振型レーザの出力波長を検知する波長検知部をさらに備え、
前記位相調節器の屈折率は、前記波長検知部の検知結果に応じて変化することを特徴とする請求項９または１０記載のレーザモジュール。
【請求項１３】
出力光の透過および遮断を行うシャッタをさらに備えることを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載のレーザモジュール。
【請求項１４】
前記シャッタは、液晶を含み、前記液晶に印加される電圧に応じて出力光の透過および遮断を行うことを特徴とする請求項１３記載のレーザモジュール。
【請求項１５】
前記反射帯域においては、前記第１のエタロンを透過する光のピーク波長および前記第２のエタロンを透過する光のピーク波長は１つであり、前記第１のエタロンを透過する光のピーク波長の少なくとも一部と前記第２のエタロンを透過する光のピーク波長の少なくとも一部とが重複することを特徴とする請求項６記載のレーザモジュール。
【請求項１６】
光増幅器と、透過特性に周期的な波長ピークを有し、前記光増幅器からの光を透過するエタロンと、前記光増幅器を含む外部共振型レーザの外部ミラーとして機能し、前記光増幅器の有効ゲイン帯域の一部の波長について相対的に高い反射強度を持つ波長選択ミラーとを備える外部共振型レーザの波長制御方法であって、
前記光増幅器の有効ゲイン帯域と前記波長選択ミラーの反射帯域との帯域重複範囲内に前記エタロンの周期的な波長ピークが存在するように前記エタロンを制御することによってレーザ発振を行わせることを特徴とする外部共振型レーザの波長制御方法。
【請求項１７】
前記光増幅器の有効ゲイン帯域と前記波長選択ミラーの反射帯域との帯域重複範囲内に前記エタロンの周期的な波長ピークが１つ存在するように前記エタロンを制御することによってレーザ発振を行わせることを特徴とする請求項１６記載の外部共振型レーザの波長制御方法。
【請求項１８】
前記外部共振型レーザの出力光の強度を検知し、前記出力光の強度に基づいて前記光増幅器のゲインを制御することによって、前記出力光の強度を所望の値にすることを特徴とする請求項１６記載の外部共振型レーザの波長制御方法。
【請求項１９】
前記外部共振型レーザの出力光の波長を検知し、前記出力光の波長に基づいて前記外部共振型レーザ内の屈折率を制御することによって、前記出力光の波長を所望の値に制御することを特徴とする請求項１６記載の外部共振型レーザの波長制御方法。
【請求項２０】
前記外部共振型レーザ内の屈折率の制御は、前記エタロンまたは前記光増幅器の温度を制御することによりなされることを特徴とする請求項１９記載の外部共振型レーザの波長制御方法。
【請求項２１】
前記外部共振型レーザは、屈折率が変化することによって透過光の位相を制御する位相調節器をさらに備え、
前記外部共振型レーザ内の屈折率の制御は、前記位相調整器によりなされることを特徴とする請求項１９記載の外部共振型レーザの波長制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明に係るレーザモジュールは、光増幅器と、透過特性に周期的な波長ピークを有し、周期的な波長ピークは可変であり、光増幅器からの光を透過する第１のエタロンと、光増幅器を含む外部共振型レーザの外部ミラーとして機能し、光増幅器が有する有効ゲイン帯域の一部の波長帯域について相対的に高い反射強度を有する波長選択ミラーとを備えることを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明に係る外部共振型レーザの波長制御方法においては、光増幅器により光が増幅され、エタロンにより光増幅器からの光に周期的な波長ピークが持たされ、波長選択ミラーにより有効ゲイン帯域の一部の波長が反射され、その反射光の一部が外部に出力される。また、光増幅器の有効ゲイン帯域と波長選択ミラーの反射帯域との帯域重複範囲内にエタロンの透過波長ピークが存在するようにエタロンが制御される。この場合、エタロンを透過する光のピーク波長が波長選択ミラーの反射により限定される。したがって、出力光の波長選択精度が向上する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
なお、液晶エタロンは、周期的なエタロンピークが、その自由スペクトル幅とエタロンピークの可変幅とが一致するように設定されている。すなわち、本実施例の液晶エタロン１４の自由スペクトル幅は、前記のとおり波長選択ミラー１５の反射帯域幅Ｒよりも大きいので、液晶エタロン１４の可変幅は、波長選択ミラー１５の反射帯域全部をカバーすることになる。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
初期波長モニタ部３０は、フィルタ３１および光検知素子３２を含む。フィルタ３１は、ビームスプリッタ２３から与えられたレーザ光の絶対波長情報を強度情報に変換して光検知素子３２に与える。ここで、半導体光増幅器１１の電流値は、所定の光出力の値が得られるように、光検知素子４１の出力に基づいて制御されており、光検知素子３２は、フィルタ３１から与えられたレーザ光の光強度を測定し、その測定結果を制御部７０に与える。制御部７０は、光検知素子３２から与えられる測定結果に基づいて、光検知素子３２の出力値が所望のチャネルの初期波長に相当する値になるように液晶エタロン１４に印加する電圧を制御する。それにより、制御部７０は、光検知素子５２の測定結果に基づいて、外部共振型レーザ１０から出力されているレーザ光の波長を正確に計算することができる。