【手続補正書】
【提出日】平成19年11月29日(2007.11.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着テーブル上に位置決め供給されたウエハの直上に供給される広幅テープを貼付ロールの押圧転動によりウエハ上に押圧することで貼り付け、その後テープをウエハ外形形状に切断するウエハへのテープ貼付方法において、
少なくとも吸着テーブルを挟む位置に設けられ上面が吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在となる複数のテープ支持板を用い、
ウエハが載置された吸着テーブルの直上に引き出した広幅テープを上昇位置にある複数のテープ支持板に貼り付けて固定した後にテープ支持板の外側の位置にて切断し、
ウエハを載置した吸着テーブルとテープを貼り付けたテープ支持板を真空チャンバ内にて真空状態にし、
真空状況下での貼付ローラを用いた貼付作業時に、各テープ支持板を貼付ローラの進行に伴い独立して下降動させることを特徴とするウエハへのテープ貼付方法。
【請求項２】
吸着テーブル上に位置決め供給されたウエハ及びダイシングフレームの直上に供給される広幅のダイシングテープを貼付ロールの押圧転動によりウエハ及びダイシングフレーム上に押圧することで貼り付け、その後にダイシングテープをダイシングフレームに沿って切断するウエハへのダイシングテープ貼付方法において、
少なくとも吸着テーブルを挟む位置に設けられ上面が吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在となる複数のテープ支持板を用い、
ウエハ及びダイシングフレームが載置された吸着テーブルの直上に引き出した広幅ダイシングテープを上昇位置にある複数のテープ支持板に貼り付けて固定した後にテープ支持板の外側の位置にて切断し、
ウエハ及びダイシングフレームが載置された吸着テーブルとダイシングテープを貼り付けたテープ支持板を真空チャンバ内にて真空状態にし、
真空状況下での貼付ローラを用いた貼付作業時に、各テープ支持板を貼付ローラの進行に伴い独立して下降動させることを特徴とするウエハへのテープ貼付方法。
【請求項３】
上記のウエハへのテープ貼付方法において、少なくとも１つのテープ支持板を貼付作業時にテープにかかる張力が緩和される方向に移動させながら貼付作業を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハへのテープ貼付方法。
【請求項４】
ウエハを上面に吸着して保持する吸着テーブルと、吸着テーブル上のウエハの直上に広幅テープを供給するテープ送り機構と、吸着テーブル上のウエハに対しテープを押圧しつつ転動する貼付ロールと、ウエハに貼り付いたテープをウエハ外形形状に切断するテープカッターとよりなるウエハへのテープ貼付装置において、
少なくとも吸着テーブルを挟んだ位置に複数設けられ、それぞれ別個に吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在としたテープ支持板と、
広幅テープの端部をクランプしてテープ支持板上に引き出すチャックユニットと、
テープ支持板に貼り付けた後のテープをテープ支持板の外側の位置にて切断する切断機構と、
吸着テーブル、テープ支持板、及び貼付ローラを収納して真空状態で貼付作業を行える真空チャンバとを設けたことを特徴とするウエハへのテープ貼付装置。
【請求項５】
ウエハ及びダイシングフレームを上面に吸着して保持する吸着テーブルと、吸着テーブル上のウエハ及びダイシングフレームに対し広幅ダイシングテープを順次供給するテープ送り機構と、吸着テーブル上のウエハ及びダイシングフレームに対しダイシングテープを押圧する貼付ロールと、ダイシングフレームに貼り付いたダイシングテープをダイシングフレームに沿って切断するテープカッターとよりなるウエハへのダイシングテープ貼付装置において、
少なくとも吸着テーブルを挟んだ位置に複数設けられ、それぞれ別個に吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在としたテープ支持板と、
広幅ダイシングテープの端部をクランプしてテープ支持板上に引き出すチャックユニットと、
テープ支持板に貼り付けた後の広幅ダイシングテープをテープ支持板の外側の位置にて切断する切断機構と、
吸着テーブル、テープ支持板、及び貼付ローラを収納して真空状態で貼付作業を行える真空チャンバとを設けたことを特徴とするウエハへのテープ貼付装置。
【請求項６】
上記ウエハへのテープ貼付装置において、少なくとも１つのテープ支持板にテープの貼付時にテープにかかる張力を緩和するよう移動可能とする張力緩和装置を設けたことを特徴とする請求項４又は５に記載のウエハへのテープ貼付装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
３）ダイシングテープ（図１９（ｃ））
ダイシングフレーム６（以下、Ｄ／Ｃフレーム６）にダイシングテープ５（以下、Ｄ／Ｃテープ５）を介してウエハ１の裏面（研磨面）を貼り付けることが行われているが、この場合は次の２通りの方法が採られている。
(i) Ｄ／Ｃフレーム６とＤ／Ｃテープ５を貼り合わせた後、真空チャンバ内でウエハ１の裏面とＤ／Ｃテープ５を貼り付け、Ｄ／Ｃフレーム６と一体化させる。
(ii)Ｄ／Ｃフレーム６とウエハ１の裏面に同時にＤ／Ｃテープ５を貼り付け、Ｄ／Ｃフレーム６に沿ってＤ／Ｃテープ５を切断する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
上記の課題を解決するための請求項１の発明は、吸着テーブル上に位置決め供給されたウエハの直上に供給される広幅テープを貼付ロールの押圧転動によりウエハ上に押圧することで貼り付け、その後テープをウエハ外形形状に切断するウエハへのテープ貼付方法において、少なくとも吸着テーブルを挟む位置に設けられ上面が吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在となる複数のテープ支持板を用い、ウエハが載置された吸着テーブルの直上に引き出した広幅テープを上昇位置にある複数のテープ支持板に貼り付けて固定した後にテープ支持板の外側の位置にて切断し、ウエハを載置した吸着テーブルとテープを貼り付けたテープ支持板を真空チャンバ内にて真空状態にし、真空状況下での貼付ローラを用いた貼付作業時に、各テープ支持板を貼付ローラの進行に伴い独立して下降動させる構成を採用したものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
同じく請求項２の発明は、吸着テーブル上に位置決め供給されたウエハ及びダイシングフレームの直上に供給される広幅のダイシングテープを貼付ロールの押圧転動によりウエハ及びダイシングフレーム上に押圧することで貼り付け、その後にダイシングテープをダイシングフレームに沿って切断するウエハへのダイシングテープ貼付方法において、
少なくとも吸着テーブルを挟む位置に設けられ上面が吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在となる複数のテープ支持板を用い、ウエハ及びダイシングフレームが載置された吸着テーブルの直上に引き出した広幅ダイシングテープを上昇位置にある複数のテープ支持板に貼り付けて固定した後にテープ支持板の外側の位置にて切断し、ウエハ及びダイシングフレームが載置された吸着テーブルとダイシングテープを貼り付けたテープ支持板を真空チャンバ内にて真空状態にし、真空状況下での貼付ローラを用いた貼付作業時に、各テープ支持板を貼付ローラの進行に伴い独立して下降動させる構成を採用したものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
同じく請求項３の発明は、上記請求項１又は２に記載のウエハへのテープ貼付方法において、少なくとも１つのテープ支持板を貼付作業時にテープにかかる張力が緩和される方向に移動させながら貼付作業を行う構成を採用したものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
同じく請求項４の発明は、ウエハを上面に吸着して保持する吸着テーブルと、吸着テーブル上のウエハの直上に広幅テープを供給するテープ送り機構と、吸着テーブル上のウエハに対しテープを押圧しつつ転動する貼付ロールと、ウエハに貼り付いたテープをウエハ外形形状に切断するテープカッターとよりなるウエハへのテープ貼付装置において、少なくとも吸着テーブルを挟んだ位置に複数設けられ、それぞれ別個に吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在としたテープ支持板と、広幅テープの端部をクランプしてテープ支持板上に引き出すチャックユニットと、テープ支持板に貼り付けた後のテープをテープ支持板の外側の位置にて切断する切断機構と、吸着テーブル、テープ支持板、及び貼付ローラを収納して真空状態で貼付作業を行える真空チャンバとを設けた構成を採用したものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
同じく請求項５の発明は、ウエハ及びダイシングフレームを上面に吸着して保持する吸着テーブルと、吸着テーブル上のウエハ及びダイシングフレームに対し広幅ダイシングテープを順次供給するテープ送り機構と、吸着テーブル上のウエハ及びダイシングフレームに対しダイシングテープを押圧する貼付ロールと、ダイシングフレームに貼り付いたダイシングテープをダイシングフレームに沿って切断するテープカッターとよりなるウエハへのダイシングテープ貼付装置において、少なくとも吸着テーブルを挟んだ位置に複数設けられ、それぞれ別個に吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在としたテープ支持板と、広幅ダイシングテープの端部をクランプしてテープ支持板上に引き出すチャックユニットと、テープ支持板に貼り付けた後の広幅ダイシングテープをテープ支持板の外側の位置にて切断する切断機構と、吸着テーブル、テープ支持板、及び貼付ローラを収納して真空状態で貼付作業を行える真空チャンバとを設けた構成を採用したものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
同じく請求項６の発明は、上記請求項４又は５に記載のウエハへのテープ貼付装置において、少なくとも１つのテープ支持板にテープの貼付時にテープにかかる張力を緩和するよう移動可能とする張力緩和装置を設けた構成を採用したものである。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
この発明によれば、チャック引き出し方式を採用し、更に、テープ支持板に貼り付け後のテープをカットするようにしたので、必要最小限のテープのみを真空チャンバ内に供給できるようになり、テープのチャンバの挟み込みにより使用できない部分が無くなり、テープのランニングコストを低減しながら真空チャンバ内でのテープの貼り付けを自動化できるようになった。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、真空チャンバの上下チャンバでのテープ挟み込みが不要となるので、チャンバに付着した粘着剤の処理が不要となるとともに、真空チャンバの真空度を高めることが可能となった。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
更に、真空チャンバ内にてテープを貼り付けることができるので、ＭＥＭＳ等の表面の凹凸が大きなウエハでも真空度を高めて精度良くテープの貼り付けができるようになった。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、従来、Ｄ／ＣテープとＤ／Ｃフレームを貼り合わせた後、Ｄ／Ｃフレームとウエハを真空チャンバ内で貼り合わせしていたものが、Ｄ／ＣフレームとウエハにＤ／Ｃテープを同時に貼り付けすることが可能となり、真空チャンバ内での同時貼り付けも可能となった。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
ウエハへのテープ貼付時に複数のテープ支持板のうち少なくとも１つのテープ支持板を張力緩和機構により移動可能としたものについては、各テープ支持板の間隔を変化させることができるので、テープ張力を緩和しながらウエハに貼り付けることが可能となり、貼り付け時の残存応力を低減（ローテンション化）できるので、ウエハの反りや破損を防止できる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また、ＤＡＦ等において、熱可塑性のテープを使用する場合であっても機器の蓄熱に伴うテープ伸縮をテープ支持板の張力緩和機構により吸収し、シワのない貼り付けが可能となり、特に蓄熱し易い真空チャンバ内であってもシワのない精度の良い貼り付けができるようになる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、貼り付けに伴うＤ／Ｃテープに加わる張力をテープ支持板の張力緩和機構により吸収しウエハに対するローテンション化が可能になり、更に、熱可塑性のＤ／Ｃテープであってもシワを生じさせることなく貼り付け可能となった。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
上流側テープチャックユニット２５は、支持枠１３，１３の対向する内面に傾斜状に設けられたレール２７に沿って適宜駆動源で往復移動可能なように設けられ、この上流側テープチャックユニット２５は、保護テープ３の粘着面となる下面を受ける非粘着処理が施されたローラ２８と、保護テープ３上からローラ２８に対してシリンダ２９で進退動自在となり、保護テープ３をローラ２８とで挟持するテープチャック３０を設けて形成され、図２の実線で示す上部原位置から同図二点鎖線の下部前進位置に移動することにより、その移動ストローク分だけ保護テープ３を引き出すことになる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
ウエハ１の形状に切り取られた保護テープ３が貼り付いた貼付済ウエハ１′は、図１９（ａ）に示す状態となり、その後搬送ロボット１５により貼付済ウエハ収納部１４に収納され、テープ支持板４２と４３に貼り付いたウエハ形状に切り抜かれた保護テープ３の残部（廃棄テープカス３′）は、上下動と前進後退動及び回転軸６１を軸とした回転が可能で、テープを挟み込む作用を有し、チャック部に非粘着処理が施された廃棄テープチャック６２によりテープ廃棄ボックス６３に収納される。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
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