【手続補正書】
【提出日】平成20年3月14日(2008.3.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一色目のカラーフィルタ被膜を基板上に形成する工程と、
エッチングマスクを用いて前記一色目のカラーフィルタ被膜を選択的にエッチングして、市松状の一色目のカラーフィルタを形成する工程と、
前記一色目のカラーフィルタを被覆するように前記基板上に、２色目以降の感光性を有するカラーフィルタ被膜を形成する工程と、
前記カラーフィルタ被膜を露光および現像して、前記一色目のカラーフィルタで囲まれた領域よりも内側に、２色目以降のカラーフィルタを形成する工程と、
２色目以降の前記カラーフィルタをリフローさせて、前記一色目のカラーフィルタで囲まれた領域内を前記カラーフィルタで埋める工程と
を有するカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記一色目のカラーフィルタは、グリーンカラーフィルタである
請求項１記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記２色目以降のカラーフィルタ被膜を形成する工程において、感光性を有する染料内添型のカラーフィルタ被膜を形成する
請求項１記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
前記２色目以降のカラーフィルタ被膜を形成する工程において、染料内添型のポジ型カラーフィルタ被膜を形成する
請求項１記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
前記２色目以降の前記カラーフィルタをリフローさせる前に、前記一色目のカラーフィルタと前記２色目以降の前記カラーフィルタの間に、０．０５μｍ〜０．５μｍの間隔を形成させる
請求項１記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
画素毎に受光部が形成された基板の上層に、カラーフィルタを有する固体撮像装置の製造方法であって、
基板の上層に、一色目のカラーフィルタ被膜を形成する工程と、
エッチングマスクを用いて前記一色目のカラーフィルタ被膜を選択的にエッチングして、市松状の一色目のカラーフィルタを形成する工程と、
前記一色目のカラーフィルタを被覆するように前記基板の上層に、２色目以降の感光性を有するカラーフィルタ被膜を形成する工程と、
前記カラーフィルタ被膜を露光および現像して、前記一色目のカラーフィルタで囲まれた領域よりも内側に、２色目以降のカラーフィルタを形成する工程と、
２色目以降の前記カラーフィルタをリフローさせて、前記一色目のカラーフィルタで囲まれた領域内を前記カラーフィルタで埋める工程と
を有する固体撮像装置の製造方法。
【請求項７】
前記一色目のカラーフィルタは、グリーンカラーフィルタである
請求項６記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項８】
前記２色目以降のカラーフィルタ被膜を形成する工程において、感光性を有する染料内添型のカラーフィルタ被膜を形成する
請求項６記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項９】
前記２色目以降のカラーフィルタ被膜を形成する工程において、染料内添型のポジ型カラーフィルタ被膜を形成する
請求項６記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項１０】
前記２色目以降の前記カラーフィルタをリフローさせる前に、前記一色目のカラーフィルタと前記２色目以降の前記カラーフィルタの間に、０．０５μｍ〜０．５μｍの間隔を形成させる
請求項６記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項１１】
基板に形成され、各画素を構成する受光部と、
前記基板の上層に形成され、各画素に対応して配置されたカラーフィルタとを有し、
前記カラーフィルタは、
市松状に配置され、感光剤を含まない一色目のカラーフィルタと、
市松状の前記一色目のカラーフィルタに囲まれた領域に配置され、感光剤を含む２色目以降のカラーフィルタと
を有する固体撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記の目的を達成するため、本発明のカラーフィルタの製造方法は、一色目のカラーフィルタ被膜を基板上に形成する工程と、エッチングマスクを用いて前記一色目のカラーフィルタ被膜を選択的にエッチングして、市松状の一色目のカラーフィルタを形成する工程と、前記一色目のカラーフィルタを被覆するように前記基板上に、２色目以降の感光性を有するカラーフィルタ被膜を形成する工程と、前記カラーフィルタ被膜を露光および現像して、前記一色目のカラーフィルタで囲まれた領域よりも内側に、２色目以降のカラーフィルタを形成する工程と、２色目以降の前記カラーフィルタをリフローさせて、前記一色目のカラーフィルタで囲まれた領域内を前記カラーフィルタで埋める工程とを有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記の本発明のカラーフィルタの製造方法では、まず、エッチングマスクを用いたエッチングにより市松状の一枚目のカラーフィルタを形成し、２色目以降のカラーフィルタの形成では、感光性を有するカラーフィルタ被膜を露光および現像してパターニングした後、リフローにより２色目以降のカラーフィルタのパターンを形成する。
２色目以降のカラーフィルタの形成において、露光および現像により一枚目のカラーフィルタにより囲まれる領域の内側にカラーフィルタをパターン形成した後に、リフロー処理を行うことにより、露光のアライメント誤差に影響を受けずに、自己整合的に一枚目のカラーフィルタにより囲まれる領域に２色目以降のカラーフィルタが形成される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記の本発明の固体撮像装置の製造方法は、画素毎に受光部が形成された基板の上層に、カラーフィルタを有する固体撮像装置の製造方法であって、基板の上層に、一色目のカラーフィルタ被膜を形成する工程と、エッチングマスクを用いて前記一色目のカラーフィルタ被膜を選択的にエッチングして、市松状の一色目のカラーフィルタを形成する工程と、前記一色目のカラーフィルタを被覆するように前記基板の上層に、２色目以降の感光性を有するカラーフィルタ被膜を形成する工程と、前記カラーフィルタ被膜を露光および現像して、前記一色目のカラーフィルタで囲まれた領域よりも内側に、２色目以降のカラーフィルタを形成する工程と、２色目以降の前記カラーフィルタをリフローさせて、前記一色目のカラーフィルタで囲まれた領域内を前記カラーフィルタで埋める工程とを有する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
上記の本発明の固体撮像装置の製造方法では、まず、エッチングマスクを用いたエッチングにより市松状の一枚目のカラーフィルタを形成し、２色目以降のカラーフィルタの形成では、感光性を有するカラーフィルタ被膜を露光および現像してパターニングした後、リフローにより２色目以降のカラーフィルタのパターンを形成する。
２色目以降のカラーフィルタの形成において、露光および現像により一枚目のカラーフィルタにより囲まれる領域の内側にカラーフィルタをパターン形成した後に、リフロー処理を行うことにより、露光のアライメント誤差に影響を受けずに、自己整合的に一枚目のカラーフィルタにより囲まれる領域に２色目以降のカラーフィルタが形成される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
上記の目的を達成するため、本発明の固体撮像装置は、基板に形成され、各画素を構成する受光部と、前記基板の上層に形成され、各画素に対応して配置されたカラーフィルタとを有し、前記カラーフィルタは、市松状に配置され、感光剤を含まない一色目のカラーフィルタと、市松状の前記一色目のカラーフィルタに囲まれた領域に配置され、感光剤を含む２色目以降のカラーフィルタとを有する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
上記の本発明の固体撮像装置では、一枚目のカラーフィルタは、エッチングマスクを用いたエッチングにより形成されたものであり、感光剤を含まない。また、市松状に配置することで、２色目以降のパターン位置を規定できる。２色目以降のカラーフィルタは、露光および現像によりパターン形成されたものであり、感光剤を含む。