【手続補正書】
【提出日】平成20年9月22日(2008.9.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保管する基板保管装置と、前記基板に所定の処理を施す少なくとも１つの基板処理装置と、前記基板保管装置及び前記基板処理装置の間を移動して前記基板を搬送する基板搬送装置とを備え、該基板搬送装置は前記基板を保持し、前記基板保管装置又は前記基板処理装置から前記基板を搬出し、且つ前記基板保管装置又は前記基板処理装置へ前記基板を搬入する、少なくとも１つの基板搬送手段を有する基板搬送システムにおいて、
前記基板搬送装置は前記基板搬送手段に前記基板を保持させたまま移動することを特徴とする基板搬送システム。
【請求項２】
前記基板搬送装置は複数の前記基板搬送手段を備え、
前記複数の基板搬送手段の少なくとも１つは複数の前記基板を保持することを特徴とする請求項１記載の基板搬送システム。
【請求項３】
前記基板搬送手段は前記基板を載置する搬送アームであることを特徴とする請求項１又は２記載の基板搬送システム。
【請求項４】
前記基板搬送システムは、複数の前記基板処理装置を備え、
前記基板搬送装置は前記複数の基板処理装置の間を移動することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の基板搬送システム。
【請求項５】
前記基板搬送手段による前記基板の搬送経路を規定する複数の搬送命令を組み合わせて、前記基板の搬送シーケンスを設定する制御装置を備え、
前記複数の搬送命令のうち少なくとも１つが規定する搬送経路に、前記基板搬送手段が前記基板を保持したまま動作を中断する動作中断位置が設定されていることを特徴とする請求項１記載の基板搬送システム。
【請求項６】
前記基板搬送装置は複数の前記基板搬送手段を有し、
前記制御装置は前記複数の基板搬送手段による前記基板の搬送を連続的に行うか又は搬送経路が互いに異なる前記搬送シーケンスを設定することを特徴とする請求項５記載の基板搬送システム。
【請求項７】
前記搬送シーケンスでは、前記複数の基板搬送手段のうち少なくとも１つが前記基板を前記基板保管装置又は前記基板処理装置へ搬入すると共に、他の前記基板搬送手段のうち少なくとも１つが前記基板を前記基板保管装置又は前記基板処理装置から搬出することを特徴とする請求項６記載の基板搬送システム。
【請求項８】
前記基板処理装置は複数の前記基板を受け渡す基板受け渡し部を有し、
前記基板搬送手段は複数の前記基板を保持することを特徴とする請求項１記載の基板搬送システム。
【請求項９】
前記基板保管装置は複数の前記基板を受け渡す他の基板受け渡し部を有することを特徴とする請求項８記載の基板搬送システム。
【請求項１０】
前記基板処理装置は複数の前記基板を受け渡す基板受け渡し部を有し、該基板受け渡し部は前記基板を収容する複数の基板収容手段を有し、各前記基板収容手段は１枚の前記基板を収容し、
前記基板搬送手段は複数あり、該複数の基板搬送手段の少なくとも１つは複数の前記基板を保持すると共に、他の前記基板搬送手段のうち少なくとも１つが１枚の前記基板を保持し、
前記基板受け渡し部における前記基板を収容していない前記基板収容手段の数に応じて、前記基板受け渡し部に前記基板を受け渡す基板搬送手段が前記複数の基板搬送手段から選択されることを特徴とする請求項１記載の基板搬送システム。
【請求項１１】
前記基板受け渡し部における前記基板を収容していない前記基板収容手段が１つである場合、前記１枚の前記基板を保持する基板搬送手段が選択されることを特徴とする請求項１０記載の基板搬送システム。
【請求項１２】
基板を保管する基板保管装置、及び前記基板に所定の処理を施す少なくとも１つの基板処理装置の間を移動して前記基板を搬送する基板搬送装置であって、前記基板を保持し、且つ前記基板保管装置又は前記基板処理装置から前記基板を搬出し、前記基板保管装置又は前記基板処理装置へ前記基板を搬入する、少なくとも１つの基板搬送手段を備える基板搬送装置において、
前記基板搬送手段に前記基板を保持させたまま移動することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項１３】
基板を保管する基板保管装置と、前記基板に所定の処理を施す少なくとも１つの基板処理装置と、前記基板保管装置及び前記基板処理装置の間を移動して前記基板を搬送する基板搬送装置と、前記基板の搬送シーケンスを設定する制御装置とを備える基板搬送システムにおける基板搬送方法であって、
前記制御装置が搬送される前記基板の諸元を前記基板処理装置に通知すると共に、前記基板処理装置の状態を問い合わせる状態問い合わせステップと、
前記状態を問い合わされた基板処理装置が前記状態を前記制御装置に連絡する状態連絡ステップと、
前記制御装置が前記連絡された状態に基づいて前記搬送シーケンスを設定する搬送シーケンス設定ステップと、
前記制御装置が前記設定された搬送シーケンスを前記基板搬送装置に通知する搬送シーケンス通知ステップとを有することを特徴とする基板搬送方法。
【請求項１４】
前記基板搬送装置は前記基板を保持し、前記基板保管装置又は前記基板処理装置から前記基板を搬出し、且つ前記基板保管装置又は前記基板処理装置へ前記基板を搬入する、少なくとも１つの基板搬送手段を有し、
前記基板搬送装置が前記基板搬送手段に前記基板を保持させたまま移動する移動ステップを有することを特徴とする請求項１３記載の基板搬送方法。
【請求項１５】
前記基板処理装置は、複数の前記基板を受け渡す基板受け渡し部、又は１枚の前記基板を受け渡す基板受け渡し部のいずれかを有し、
前記基板搬送装置が前記基板処理装置に前記基板受け渡し部の種類を問い合わせる基板受け渡し部種類問い合わせステップと、
前記基板処理装置が前記基板受け渡し部の種類を前記基板搬送装置に連絡する基板受け渡し部種類連絡ステップとを有することを特徴とする請求項１３又は１４記載の基板搬送方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】基板搬送システム、基板搬送装置及び基板搬送方法  
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、基板搬送システム、基板搬送装置及び基板搬送方法に関し、特に、基板を枚葉で搬送する基板搬送システム及び基板搬送方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の目的は、基板の搬送効率を向上することができる基板搬送システム、基板搬送装置及び基板搬送方法を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項４記載の基板搬送システムは、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の基板搬送システムにおいて、前記基板搬送システムは、複数の前記基板処理装置を備え、前記基板搬送装置は前記複数の基板処理装置の間を移動することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項５記載の基板搬送システムは、請求項１記載の基板搬送システムにおいて、前記基板搬送手段による前記基板の搬送経路を規定する複数の搬送命令を組み合わせて、前記基板の搬送シーケンスを設定する制御装置を備え、前記複数の搬送命令のうち少なくとも１つが規定する搬送経路に、前記基板搬送手段が前記基板を保持したまま動作を中断する動作中断位置が設定されていることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項６記載の基板搬送システムは、請求項５記載の基板搬送システムにおいて、前記基板搬送装置は複数の前記基板搬送手段を有し、前記制御装置は前記複数の基板搬送手段による前記基板の搬送を連続的に行うか又は搬送経路が互いに異なる前記搬送シーケンスを設定することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項７記載の基板搬送システムは、請求項６記載の基板搬送システムにおいて、前記搬送シーケンスでは、前記複数の基板搬送手段のうち少なくとも１つが前記基板を前記基板保管装置又は前記基板処理装置へ搬入すると共に、他の前記基板搬送手段のうち少なくとも１つが前記基板を前記基板保管装置又は前記基板処理装置から搬出することを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項８記載の基板搬送システムは、請求項１記載の基板搬送システムにおいて、前記基板処理装置は複数の前記基板を受け渡す基板受け渡し部を有し、前記基板搬送手段は複数の前記基板を保持することを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項９記載の基板搬送システムは、請求項８記載の基板搬送システムにおいて、前記基板保管装置は複数の前記基板を受け渡す他の基板受け渡し部を有することを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項１０記載の基板搬送システムは、請求項１記載の基板搬送システムにおいて、前記基板処理装置は複数の前記基板を受け渡す基板受け渡し部を有し、該基板受け渡し部は前記基板を収容する複数の基板収容手段を有し、各前記基板収容手段は１枚の前記基板を収容し、前記基板搬送手段は複数あり、該複数の基板搬送手段の少なくとも１つは複数の前記基板を保持すると共に、他の前記基板搬送手段のうち少なくとも１つが１枚の前記基板を保持し、前記基板受け渡し部における前記基板を収容していない前記基板収容手段の数に応じて、前記基板受け渡し部に前記基板を受け渡す基板搬送手段が前記複数の基板搬送手段から選択されることを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項１１記載の基板搬送システムは、請求項１０記載の基板搬送システムにおいて、前記基板受け渡し部における前記基板を収容していない前記基板収容手段が１つである場合、前記１枚の前記基板を保持する基板搬送手段が選択されることを特徴とする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
上記目的を達成するために、請求項１２記載の基板搬送装置は、基板を保管する基板保管装置、及び前記基板に所定の処理を施す少なくとも１つの基板処理装置の間を移動して前記基板を搬送する基板搬送装置であって、前記基板を保持し、且つ前記基板保管装置又は前記基板処理装置から前記基板を搬出し、前記基板保管装置又は前記基板処理装置へ前記基板を搬入する、少なくとも１つの基板搬送手段を備える基板搬送装置において、前記基板搬送手段に前記基板を保持させたまま移動することを特徴とする。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
上記目的を達成するために、請求項１３記載の基板搬送方法は、基板を保管する基板保管装置と、前記基板に所定の処理を施す少なくとも１つの基板処理装置と、前記基板保管装置及び前記基板処理装置の間を移動して前記基板を搬送する基板搬送装置と、前記基板の搬送シーケンスを設定する制御装置とを備える基板搬送システムにおける基板搬送方法であって、前記制御装置が搬送される前記基板の諸元を前記基板処理装置に通知すると共に、前記基板処理装置の状態を問い合わせる状態問い合わせステップと、前記状態を問い合わされた基板処理装置が前記状態を前記制御装置に連絡する状態連絡ステップと、前記制御装置が前記連絡された状態に基づいて前記搬送シーケンスを設定する搬送シーケンス設定ステップと、前記制御装置が前記設定された搬送シーケンスを前記基板搬送装置に通知する搬送シーケンス通知ステップとを有することを特徴とする。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
請求項１４記載の基板搬送方法は、請求項１３記載の基板搬送方法において、前記基板搬送装置は前記基板を保持し、前記基板保管装置又は前記基板処理装置から前記基板を搬出し、且つ前記基板保管装置又は前記基板処理装置へ前記基板を搬入する、少なくとも１つの基板搬送手段を有し、前記基板搬送装置が前記基板搬送手段に前記基板を保持させたまま移動する移動ステップを有することを特徴とする。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
請求項１５記載の基板搬送方法は、請求項１３又は１４記載の基板搬送方法において、前記基板処理装置は、複数の前記基板を受け渡す基板受け渡し部、又は１枚の前記基板を受け渡す基板受け渡し部のいずれかを有し、前記基板搬送装置が前記基板処理装置に前記基板受け渡し部の種類を問い合わせる基板受け渡し部種類問い合わせステップと、前記基板処理装置が前記基板受け渡し部の種類を前記基板搬送装置に連絡する基板受け渡し部種類連絡ステップとを有することを特徴とする。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
請求項１記載の基板搬送システム、請求項１２記載の基板搬送装置によれば、基板搬送装置が基板搬送手段に基板を保持させたまま移動するので、基板搬送装置において基板をバッファに収容する必要及び基板をバッファから取り出す必要を無くすことができ、もって、基板の搬送効率を向上することができる。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
請求項５記載の基板搬送システムによれば、制御装置は、基板搬送手段が基板を保持したまま動作を中断する動作中断位置が設定されている搬送経路を規定する搬送命令を含む複数の搬送命令を組み合わせて基板の搬送シーケンスを設定するので、設定された搬送シーケンスにしたがって基板搬送装置が基板搬送手段に基板を保持させたまま移動することができ、これにより、基板搬送装置において基板をバッファに収容する必要及び基板をバッファから取り出す必要を無くすことができ、もって、基板の搬送効率を向上することができる。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
請求項６記載の基板搬送システムによれば、制御装置は複数の基板搬送手段による基板の搬送経路が互いに異なる搬送シーケンスを設定するので、搬送シーケンスに関する設定の自由度を増すことができ、もって、より基板の搬送効率を向上することができるか、又は、制御装置は複数の基板搬送手段による基板の搬送を連続的に行う搬送シーケンスを設定するので、複数の基板が連続的に搬送され、もって、より基板の搬送効率を向上することができる。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
請求項７記載の基板搬送システムによれば、搬送シーケンスでは、複数の基板搬送手段のうち少なくとも１つが基板を基板保管装置又は基板処理装置へ搬入すると共に、他の基板搬送手段のうち少なくとも１つが基板を基板保管装置又は基板処理装置から搬出するので、基板の入れ換えを迅速に行うことができ、もって、さらに、基板の搬送効率を向上することができる。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
請求項８記載の基板搬送システムによれば、基板処理装置は複数の基板を受け渡す基板受け渡し部を有し、基板処理装置から基板を搬出し且つ基板処理装置へ基板を搬入する基板搬送手段は複数の基板を保持するので、基板搬送手段は複数の基板を基板処理装置に同時に受け渡すことができ、もって、基板の搬送効率を向上することができる。
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
請求項９記載の基板搬送システムによれば、基板保管装置は複数の基板を受け渡す他の基板受け渡し部を有するので、基板搬送手段は複数の基板を基板保管装置に同時に受け渡すことができ、もって、より基板の搬送効率を向上することができる。
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
請求項１０記載の基板搬送システムによれば、基板受け渡し部における基板を収容していない基板収容手段の数に応じて、基板受け渡し部に基板を受け渡す基板搬送手段が、複数の基板を保持する基板搬送手段及び１枚の基板を保持する基板搬送手段から選択されるので、基板を収容していない基板収容手段の数と、基板搬送手段が保持可能な基板の枚数とを整合させることができ、もって、基板の搬送効率を向上することができる。
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
請求項１１記載の基板搬送システムによれば、基板受け渡し部における基板を収容していない基板収容手段が１つである場合、１枚の基板を保持する基板搬送手段が選択されるので、基板搬送手段が基板受け渡し部に基板を受け渡すことができない事態の発生を防止することができる。
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
請求項１３記載の基板搬送方法によれば、制御装置が搬送される基板の諸元を基板処理装置に通知すると共に、基板処理装置の状態を問い合わせ、状態を問い合わされた基板処理装置が状態を制御装置に連絡し、制御装置が連絡された状態に基づいて搬送シーケンスを設定し、制御装置が設定された搬送シーケンスを基板搬送装置に通知するので、基板処理装置は予め搬送されてくる基板の諸元を知ることができ、もって、基板が搬送された後に該基板の諸元を制御装置に問い合わす必要を無くすことができ、さらに、基板処理装置が基板を受け入れることができない状態にある場合に基板搬送装置は当該基板処理装置を通過することができる。これにより、基板の搬送効率を向上することができる。
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
請求項１４記載の基板搬送方法によれば、基板搬送装置が基板搬送手段に基板を保持させたまま移動するので、基板搬送装置において基板をバッファに収容する必要及び基板をバッファから取り出す必要を無くすことができ、もって、より基板の搬送効率を向上することができる。
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
請求項１５記載の基板搬送方法によれば、複数の基板を受け渡す基板受け渡し部、又は１枚の基板を受け渡す基板受け渡し部のいずれかを有する基板処理装置が、基板受け渡し部の種類を基板搬送装置に連絡するので、基板搬送装置が同時に基板処理装置に受け渡す基板の枚数と、基板処理装置が同時に受取可能な基板の枚数との整合を確認することができ、もって、基板の受け渡しを確実に行うことができる。