【手続補正書】
【提出日】平成20年9月10日(2008.9.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】アライメント装置とその方法、露光装置及び方法、デバイスの製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  第１の方向に関してグローバルアライメント計測に利用可能な第１マークと、第２の方向に関してプリアライメント計測に利用可能な第２マークとを備えるアライメントマークが設けられた基板を位置決めするアライメント装置であって、
前記第１マーク及び前記第２マークを用いて、当該アライメントマークの前記第１及び第２の方向に対するプリアライメント計測を行う第１計測手段と、
前記プリアライメント計測の結果に基づいて、前記基板の位置を補正するべく前記基板を移動する移動手段と、
前記基板の移動の後に、前記第１マークを用いて前記アライメントマークの前記第１の方向に関して、前記第１のマークによるグローバルアライメント計測を行う第２計測手段とを備えることを特徴とするアライメント装置。
【請求項２】  前記第１計測手段は、第１の倍率で前記アライメントマークを撮像し、撮像された該アライメントマークの前記第１及び第２マークに対する画像処理によって前記プリアライメント計測を行い、
前記第２計測手段は、前記第１の倍率よりも大きい第２の倍率で前記アライメントマークを撮像し、撮像された該アライメントマークの前記第１マークに対する画像処理によって前記グローバルアライメント計測を行うことを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項３】  前記第１及び第２計測手段は、対物部を共通とし、それぞれ専用の異なる倍率系と検出器とを有する低倍率及び高倍率のマーク検出系を有し、前記低倍率及び高倍率のマーク検出系は同時に前記基板上の前記アライメントマークを計測可能であることを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項４】  前記第１及び第２計測手段のそれぞれの検出器に対して個別に調光された照明を提供する照明手段を更に備えることを特徴とする請求項３に記載のアライメント装置。
【請求項５】  前記照明手段は、前記第２計測手段の高倍率のマーク検出のための調光情報を、前記第１計測手段の低倍率のマーク検出中あるいはその前の段階に得ることを特徴とする請求項４に記載のアライメント装置。
【請求項６】  前記第１及び第２計測手段のそれぞれの検出器に対して提供される照明光の波長が互いに異なることを特徴とする請求項４に記載のアライメント装置。
【請求項７】  前記低倍率および高倍率のマーク検出系のＮＡが互いに異なることを特徴とする請求項３に記載のアライメント装置。
【請求項８】  前記低倍率のマーク検出系の焦点深度の方が前記高倍率のマーク検出系の焦点深度より大きいことを特徴とする請求項３に記載のアライメント装置。
【請求項９】  前記低倍率のマーク検出系によるマーク検出の為の位置まで前記基板を移動させる最中から前記低倍率のマーク検出系による検出またはフォーカシングを開始することを特徴とする請求項３に記載のアライメント装置。
【請求項１０】  前記低倍率のマーク検出系の検出形態が前記高倍率のマークの検出形態と異なることを特徴とする請求項３に記載の位置検出装置。
【請求項１１】  前記基板には前記アライメントマークが複数設けられており、これら複数のアライメントマークについて前記第１及び第２計測手段による計測を実行する制御手段を更に備え、
前記制御手段は、所定のアライメントマークに対して前記第１及び第２計測手段による計測を実行した後、残りのアライメントマークに対しては前記第２計測手段のみを用いて計測を実行することを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項１２】  前記制御手段は、
（i）第１のアライメントマークについて前記第１及び第２第計測手段による計測を行い、その計測結果に基づいて該第１のアライメントマークから所定範囲にあるアライメントマークについて前記第２計測手段のみによる計測を行う第１処理と、
（ii）前記所定範囲外にある第２のアライメントマークについて、前記第１及び第２計測手段による計測を行い、その計測結果に基づいて該第２のアライメントマークから所定範囲にあるアライメントマークについて該第２計測手段のみによる計測を行う第２処理と、
（iii）残りのアライメントマークについて、前記第１及び第２処理で得られた計測結果に基づいて位置補正を行って、前記第２計測手段のみを適用して計測を行う第３処理とを実行することを特徴とする請求項１１に記載のアライメント装置。
【請求項１３】  所定の基板に対して前記第１及び第２計測手段を用いて位置決めを実行した後は、次の基板に対して前記第２計測手段のみを用いて位置決めを行うことを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項１４】  第１の方向に関してグローバルアライメント計測に利用可能な第１マークと、第２の方向に関してプリアライメント計測に利用可能な第２マークとを備えるアライメントマークが設けられた基板を位置決めするアライメント方法であって、
前記第１マーク及び前記第２マークを用いて、当該アライメントマークの前記第１及び第２の方向に関するプリアライメント計測を行う第１計測工程と、
前記プリアライメント計測の結果に基づいて、前記基板の位置を修正するべく前記基板を移動する移動工程と、
前記移動工程の後に、前記第１マークを用いて前記アライメントマークの前記第１の方向に関して、前記第１のマークによるグローバルアライメント計測を行う第２計測工程とを有することを特徴とするアライメント方法。
【請求項１５】  アライメントマークを有する基板を露光する露光装置であって、
第１の倍率で前記基板上のアライメントマークの第１の画像を検出する第１スコープと、前記アライメントマークは第１の方向に関するラフなアライメント計測と前記第１の方向に関する精密なアライメント計測との量に利用可能な第１マークと、前記第１の方向とは異なる第２の方向に関するラフなアライメント計測に利用可能な第２のマークとを具備し、
前記第１の倍率よりも高い第２の倍率で前記基板上の前記アライメントマークの第２の画像を検出する第２スコープと、
前記第１の画像に基づいて、前記第１のマークの前記第１の方向に関する第１の位置と、前記第２のマークの前記第２の方向に関する第２の位置とを取得し、前記第２の画像に基づいて、前記第１のマークの前記第１の方向に関する第３の位置を取得するプロセッサと、
前記基板を保持し移動するステージと、
取得された前記第１及び第２の位置に基づいて前記第２スコープが前記第２の画像を検出するように前記ステージの位置を制御し、前記基板を露光するために、取得された前記第３の画像に基づいて前記ステージの位置を制御するコントローラとを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１６】  前記第１及び第２スコープの各々は画像センサを有し、前記プロセッサは前記第１乃至第３の画像を取得するために画像処理を実行することを特徴とする請求項１５に記載の露光装置。
【請求項１７】  前記第１及び第２スコープは共通の対物光学部を有することを特徴とする請求項１５に記載の露光装置。
【請求項１８】  前記アライメントマークを照明する、前記第１及び第２スコープに共通の照明光源を更に備えることを特徴とする請求項１５に記載の露光装置。
【請求項１９】  デバイスを製造する方法であって、
請求項１５に記載の露光装置を用いてアライメントマークを有する基板を露光するステップと、
露光された前記基板を現像するステップと、
前記デバイスを製造するために、現像された前記基板を処理するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項２０】  アライメントマークを有する基板を露光する露光方法であって、
第１スコープが、前記基板上のアライメントマークの第１の画像を第１の倍率で検出する工程と、ここで前記アライメントマークは第１の方向に関するラフなアライメント計測と前記第１の方向に関する精密なアライメント計測との量に利用可能な第１マークと、前記第１の方向とは異なる第２の方向に関するラフなアライメント計測に利用可能な第２のマークとを具備し、
第２スコープが、前記基板上の前記アライメントマークの第２の画像を、前記第１の倍率よりも高い第２の倍率で検出する工程と、
プロセッサが、前記第１の画像に基づいて、前記第１のマークの前記第１の方向に関する第１の位置と、前記第２のマークの前記第２の方向に関する第２の位置とを取得する工程と、
コントローラが、前記基板を保持し移動するステージの位置を、取得された前記第１及び第２の位置に基づいて前記第２スコープが前記第２の画像を検出するように制御し、
前記プロセッサが、前記第２の画像に基づいて、前記第１のマークの前記第１の方向に関する第３の位置を取得する工程と、
コントローラが、前記基板を露光するために、取得された前記第３の画像に基づいて前記ステージの位置を制御する工程とを有することを特徴とする露光方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するための本発明によるアライメント装置は以下の構成を備える。すなわち、
第１の方向に関してグローバルアライメント計測に利用可能な第１マークと、第２の方向に関してプリアライメント計測に利用可能な第２マークとを備えるアライメントマークが設けられた基板を位置決めするアライメント装置であって、
前記第１マーク及び前記第２マークを用いて、当該アライメントマークの前記第１及び第２の方向に対するプリアライメント計測を行う第１計測手段と、
前記プリアライメント計測の結果に基づいて、前記基板の位置を補正するべく前記基板を移動する移動手段と、
前記基板の移動の後に、前記第１マークを用いて前記アライメントマークの前記第１の方向に関して、前記第１のマークによるグローバルアライメント計測を行う第２計測手段とを備える。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、上記の目的を達成するための本発明によるアライメント方法は、
第１の方向に関してグローバルアライメント計測に利用可能な第１マークと、第２の方向に関してプリアライメント計測に利用可能な第２マークとを備えるアライメントマークが設けられた基板を位置決めするアライメント方法であって、
前記第１マーク及び前記第２マークを用いて、当該アライメントマークの前記第１及び第２の方向に関するプリアライメント計測を行う第１計測工程と、
前記プリアライメント計測の結果に基づいて、前記基板の位置を修正するべく前記基板を移動する移動工程と、
前記移動工程の後に、前記第１マークを用いて前記アライメントマークの前記第１の方向に関して、前記第１のマークによるグローバルアライメント計測を行う第２計測工程とを有する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、上記の目的を達成するための本発明による露光装置は、
アライメントマークを有する基板を露光する露光装置であって、
第１の倍率で前記基板上のアライメントマークの第１の画像を検出する第１スコープと、ここで前記アライメントマークは第１の方向に関するラフなアライメント計測と前記第１の方向に関する精密なアライメント計測との量に利用可能な第１マークと、前記第１の方向とは異なる第２の方向に関するラフなアライメント計測に利用可能な第２のマークとを具備し、
前記第１の倍率よりも高い第２の倍率で前記基板上の前記アライメントマークの第２の画像を検出する第２スコープと、
前記第１の画像に基づいて、前記第１のマークの前記第１の方向に関する第１の位置と、前記第２のマークの前記第２の方向に関する第２の位置とを取得し、前記第２の画像に基づいて、前記第１のマークの前記第１の方向に関する第３の位置を取得するプロセッサと、
前記基板を保持し移動するステージと、
取得された前記第１及び第２の位置に基づいて前記第２スコープが前記第２の画像を検出するように前記ステージの位置を制御し、前記基板を露光するために、取得された前記第３の画像に基づいて前記ステージの位置を制御するコントローラとを備える。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
さらに、上記の目的を達成するための本発明によるデバイス製造方法は、
上記記載の露光装置を用いてアライメントマークを有する基板を露光するステップと、
露光された前記基板を現像するステップと、
前記デバイスを製造するために、現像された前記基板を処理するステップとを有する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、本発明による露光方法は、
アライメントマークを有する基板を露光する露光方法であって、
第１スコープが、前記基板上のアライメントマークの第１の画像を第１の倍率で検出する工程と、ここで前記アライメントマークは第１の方向に関するラフなアライメント計測と前記第１の方向に関する精密なアライメント計測との量に利用可能な第１マークと、前記第１の方向とは異なる第２の方向に関するラフなアライメント計測に利用可能な第２のマークとを具備し、
第２スコープが、前記基板上の前記アライメントマークの第２の画像を、前記第１の倍率よりも高い第２の倍率で検出する工程と、
プロセッサが、前記第１の画像に基づいて、前記第１のマークの前記第１の方向に関する第１の位置と、前記第２のマークの前記第２の方向に関する第２の位置とを取得する工程と、
コントローラが、前記基板を保持し移動するステージの位置を、取得された前記第１及び第２の位置に基づいて前記第２スコープが前記第２の画像を検出するように制御し、
前記プロセッサが、前記第２の画像に基づいて、前記第１のマークの前記第１の方向に関する第３の位置を取得する工程と、
コントローラが、前記基板を露光するために、取得された前記第３の画像に基づいて前記ステージの位置を制御する工程とを有する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】