(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力信号に基づいた電圧波形を圧電アクチュエータに印加して駆動させる圧電アクチュエータの駆動装置であって、制御用電源の電圧のＯＮ／ＯＦＦ信号及び電圧値を検出する基準電源電圧検出回路と、圧電アクチュエータに入力される電圧波形の電圧を検出するドライバ電圧検出回路と、入力信号の電圧とドライバ電圧検出回路の出力電圧の分圧値を比較する駆動電圧比較回路と、ドライバ電圧検出回路から圧電アクチュエータへの信号出力を制御する制御回路と、ドライバ電圧検出回路と圧電アクチュエータとの間に配設され且つこれらの間を接続／遮断するスイッチング素子を備えたことを特徴とする圧電アクチュエータの駆動装置。
【請求項２】
前記制御回路は、前記駆動電圧比較回路にて前記ドライバ電圧検出回路の出力電圧の分圧値である［１／（Ｘ＋α）・ドライバ電圧検出回路の出力電圧］が、前記入力信号の電圧よりも大きい場合：
［入力信号電圧＜（１／（Ｘ＋α））・ドライバ電圧検出回路の出力電圧］
Ｘ：出力電圧として設定した倍率、
α：負荷抵抗により規定された倍率
には、前記スイッチング素子を遮断させることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータの駆動装置。
【請求項３】
前記制御回路は、前記基準電源電圧検出回路で検出した前記制御用電源の出力電圧がＯＦＦの場合には、前記スイッチング素子を遮断させることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータの駆動装置。
【請求項４】
前記基準電源電圧検出回路において、前記制御用電源の出力電圧のＯＮ／ＯＦＦ信号を検出し、その信号を前記制御回路に送出する素子としてフォトカプラを用いたことを特徴とする請求項３に記載の圧電アクチュエータの駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置、光学アライメント装置、精密位置決め装置等において対象物を移動させるための圧電アクチュエータを駆動させる駆動装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
圧電アクチュエータを駆動させるための従来の駆動装置において、ステップ状の急峻な電圧波形を圧電アクチュエータに印加された際に圧電アクチュエータに過渡電流が流れて、駆動電圧を制御している電圧制御回路内のＦＥＴ、トランジスタ等の回路素子が破損する惧れがある問題点があった。
特開平１０−２６２３２５号公報には、これらの問題点を解決する為の方法が記載されている。図３に示されるように、通常時に、電圧制御回路１は、高電圧用電源５及び制御用電源２８により駆動する高電圧電源回路２からの受給電圧と入力信号により、ステップ状あるいはパルス状等の電圧波形を形成する。その電圧波形はスイッチング素子１８、ピーク電流検出回路１９及び交流実効値電流検出回路２０を介して圧電アクチュエータ３に印加される。ここで、圧電アクチュエータ３に流れる電流のピーク値が、あらかじめ設定されている設定電流値を越えているか否かをピーク電流検出回路１９で検出し、制御回路２５は、電流が設定電流値以下の時には、スイッチング素子１８の状態を維持して、入力信号に応じた電圧波形が圧電アクチュエータ３に印加される。一方、電流のピーク値が設定電流値を越えた場合は、制御回路２５は異常であることを認識してスイッチング素子１８を１０μｓｅｃ以下の短時間で遮断状態にする。このことにより、圧電アクチュエータ３へ流れる電流を遮断している。
【０００３】
他に、特開平１０−２６２３２５号公報は電源装置のスイッチをＯＦＦしたときに高電圧用電源５と制御用電源２８のうち電圧が低い方、すなわち制御用電源２８から先に電圧が低下するので、制御用電源２８の出力が０になった後にも、まだ高電圧用電源５に電荷が残留している時間が存在している。この時に、過電流が圧電アクチュエータ３に流れ込む惧れがあるため、制御用電源２８の出力電圧が電圧検出回路２９で検出され、この検出値が絶縁接合素子３０を介して制御回路２５に入力される。制御回路２５は電圧検出回路２９で検出された出力電圧が予め設定されている設定値を越えたか否かを判定し、設定値以下の場合に制御回路２５は制御信号を送出して、スイッチング素子１８を１０μｓｅｃ以下の短時間で遮断状態にすることにより、電源スイッチのＯＦＦ時に圧電アクチュエータ３に過電流が流れることを防止している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
圧電アクチュエータ駆動装置の内部回路のＦＥＴ、トランジスタ等の一部の回路素子が破損している場合、入力信号が０Ｖの時でも電圧制御回路１にて電圧波形が生成されて、高電圧出力が圧電アクチュエータ３に印加される惧れがある。その結果、圧電アクチュエータ３に過電流が流れて、結果的に圧電アクチュエータ３の特性劣化する原因となりうる。その対策として、圧電アクチュエータ３に印加される前段に並列に抵抗を挿入する方法が考えられるが、消費電力が大きくなることと、放熱対策を施す必要がある為、この方法はあまり好ましくない。
【０００５】
本発明は、このような課題を解決し、入力信号が０Ｖの時に、圧電アクチュエータの入力部に高電圧出力が印加されることを無くして、圧電アクチュエータの破損及び劣化を防止することができる圧電アクチュエータの駆動装置を提案することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明の圧電アクチュエータの駆動装置は以下の構成を特徴とする。
【０００７】
即ち、入力信号に基づいた電圧波形を圧電アクチュエータに印加して駆動させる圧電アクチュエータの駆動装置であって、制御用電源の電圧のＯＮ／ＯＦＦ信号及び電圧値を検出する基準電源電圧検出回路と、圧電アクチュエータに入力される電圧波形の電圧を検出するドライバ電圧検出回路と、入力信号の電圧とドライバ電圧検出回路の出力電圧の分圧値を比較する駆動電圧比較回路と、ドライバ電圧検出回路から圧電アクチュエータへの信号出力を制御する制御回路と、ドライバ電圧検出回路と圧電アクチュエータとの間に配設され且つこれらの間を接続／遮断するスイッチング素子を備えたことを特徴とする。
【０００８】
好適な実施形態において、前記制御回路は、前記駆動電圧比較回路にて前記ドライバ電圧検出回路の出力電圧の分圧値である［１／（Ｘ＋α）・ドライバ電圧検出回路の出力電圧］が、前記入力信号の電圧よりも大きい場合：
［入力信号電圧＜（１／（Ｘ＋α））・ドライバ電圧検出回路の出力電圧］
Ｘ：出力電圧として設定した倍率、
α：負荷抵抗により規定された倍率
には、前記スイッチング素子を遮断させることを特徴とする。
【０００９】
好適な実施形態において、前記制御回路は、前記基準電源電圧検出回路で検出した前記制御用電源の出力電圧がＯＦＦの場合には、前記スイッチング素子を遮断させることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータの駆動装置。
【００１０】
好適な実施形態において、前記基準電源電圧検出回路において、前記制御用電源の出力電圧のＯＮ／ＯＦＦ信号を検出し、その信号を前記制御回路に送出する素子としてフォトカプラを用いたことを特徴とする。
【００１１】
以上の構成により、入力信号が０Ｖの時に、圧電アクチュエータの入力部に高電圧出力が印加されることを無くして、圧電アクチュエータの破損及び劣化を防止することができる圧電アクチュエータの駆動装置が作製可能となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。図１にこの発明の実施の形態に係わる圧電アクチュエータの駆動装置のブロック図、図２に図１の中の保護回路を示すブロック図を示す。高電圧用電源５に異常電流検出回路１２を介して高電圧電源回路２が接続され、高電圧電源回路２にＤＣ平均電流検出回路１４を介して電圧制御回路１が接続されている。高電圧電源回路２には、制御用電源４も接続されている。さらに、電圧制御回路１に保護回路６、ドライバ電圧検出回路７及びスイッチング素子１１を介して圧電アクチュエータ３が接続されている。また、入力信号に電圧制御回路１及び保護回路６を介してドライバ電圧検出回路７が順次直列に接続されているラインと並列に、入力信号とドライバ電圧検出回路７の間に駆動電圧比較回路８が接続されている。さらに、駆動電圧比較回路８には、制御回路１０が接続されている。又、制御用電源４に基準電源電圧検出回路９及び制御回路１０を介してスイッチング素子１１が接続されている。スイッチング素子１１は例えばＭＯＳ型ＦＥＴから構成されており、このスイッチング素子１１に圧電アクチュエータ３が接続されている。
【００１３】
図２に基づいて保護回路６を説明する。保護回路６は、電圧制御回路１とドライバ電圧検出回路７との間に順次直列に接続されたスイッチング素子１８、ピーク電流検出回路１９及び交流実効値電流検出回路２０を有している。スイッチング素子１８は例えばＭＯＳ型ＦＥＴから構成されており、このスイッチング素子１８に絶縁ゲート電圧発生回路２１を介して保護回路用制御回路２５が接続されている。又、スイッチング素子１８、ピーク電流検出回路１９及び交流実効値電流検出回路２０がそれぞれフォトカプラ等から構成される絶縁結合素子２２、２３及び２４を介して保護回路用制御回路２５に接続されている。さらに、保護回路用制御回路２５には、解除スイッチ２６及び警告回路２７がそれぞれ接続されている。
【００１４】
異常電流検出回路１２及び１６がそれぞれフォトカプラ等から構成される絶縁結合素子１３及び１７を介して保護回路用制御回路２５に接続され、ＤＣ平均電流検出回路１４がフォトカプラ等から構成される絶縁結合素子１５を介して保護回路用制御回路２５に接続されている。
【００１５】
次に、実施の形態に係わる圧電アクチュエータの駆動装置の動作を説明する。電圧制御回路１は、高電圧用電源５及び制御用電源４により駆動する高電圧電源回路２から電圧供給を受け、外部から電圧の制御を指示するための入力信号Ｓ１に基づいてステップ状或いはパルス状等の電圧波形を形成する。なお、通常時は、保護回路用制御回路２５の指示により絶縁ゲート電圧発生回路２１からスイッチング素子１８にゲート電圧が印加されてスイッチング素子１８は接続状態になっており、電圧制御回路１で形成された電圧波形は保護回路６の中のスイッチング素子１８、ピーク電流検出回路１９及び交流実効値検出回路２０を介してドライバ電圧検出回路７に印加され、さらに制御回路１０から
スイッチング素子１１のゲートに電圧が印加されて（制御回路１０からスイッチング素子１１に制御信号Ｓ２が印加されて）スイッチング素子１１は接続状態になっており、ドライバ電圧検出回路７に印加された信号はスイッチング素子１１を介して圧電アクチュエータ３に印加される。これにより圧電アクチュエータ３が駆動される。
【００１６】
圧電アクチュエータ３に流れる電流のピーク値は、常時、保護回路６の中のピーク電流検出回路１９で検出され、検出値が絶縁接合素子２３を介して保護回路用制御回路２５に入力されている。保護回路用制御回路２５はピーク電流検出回路１９で検出された電流のピーク値（絶対値）が予め設定されている設定値を越えたか否かを判定し、ピーク電流検出回路１９で検出された電流のピーク値が設定値以下の時には、絶縁ゲート電圧発生回路２１から印加されるゲート電圧によってスイッチング素子１８の接続状態が維持され、入力信号Ｓ１に応じた電圧波形が交流実効値電流検出回路２０、ドライバ電圧検出回路７及びスイッチング素子１１を介して圧電アクチュエータ３に印加される。
【００１７】
一方、負荷である圧電アクチュエータ３のショート等により、圧電アクチュエータ３に流れる電流のピーク値が設定値を越えると、保護回路用制御回路２５は異常であることを認識し、絶縁接合素子２２を介して制御信号Ｓ３をスイッチング素子１８に送出する。スイッチング素子１８は、制御信号Ｓ３によって制御されて１０μｓｅｃ以下の短時間で遮断状態になり、これによって圧電アクチュエータ３へ流れる電流が遮断される。この時、保護回路用制御回路２５は、使用者に異常の発生及び圧電アクチュエータ３の駆動停止を知らせるために警告信号Ｓ４を警告回路２７に送出し、ＬＥＤの点灯とアラーム音の発生を行う。
【００１８】
又、圧電アクチュエータ３を正弦波等の交流で駆動する場合には、圧電アクチュエータ３へ流れる電流の実効値が交流実効値電流検出回路２０で検出され、検出値が絶縁結合素子２４を介して保護回路用制御回路２５に入力される。保護回路用制御回路２５は交流実効値電流検出回路２０で検出された実効値電流が予め設定されている設定値を越えたか否かを判定し、設定値以下のときには、絶縁ゲート電圧発生回路２１から印加されるゲート電圧によってスイッチング素子１８の接続状態を維持し、設定値を越える場合には、保護回路用制御回路２５は絶縁結合素子２２を介して制御信号Ｓ３をスイッチング素子１８に送出し、スイッチング素子１８を１０μｓｅｃ以下の短時間で遮断状態とすると共に、使用者に異常の発生及び圧電アクチュエータ３の駆動停止を知らせるために、警告信号Ｓ４を警告回路２７に送出し、ＬＥＤの点灯とアラーム音の発生を行う。
【００１９】
同様に、圧電アクチュエータ３を直流で駆動する場合には、高電圧電源回路２からＤＣ平均電流検出回路１４を介して電圧制御回路１へ流れる電流のＤＣ平均値がＤＣ平均電流検出回路１４で検出され、検出値が絶縁結合素子１５を介して保護回路用制御回路２５に入力される。保護回路用制御回路２５はＤＣ平均電流検出回路１４で検出されたＤＣ平均電流が予め設定されている設定値を越えたか否かを判定し、設定値以下のときには、絶縁ゲート電圧発生回路２１から印加されるゲート電圧によってスイッチング素子１８の接続状態を維持し、設定値を越える場合には、保護回路用制御回路２５は絶縁結合素子２２を介して制御信号Ｓ３をスイッチング素子１８に送出し、スイッチング素子１８を１０μｓｅｃ以下の短時間で遮断状態とすると共に、使用者に異常の発生及び圧電アクチュエータ３の駆動停止を知らせるために、警告信号Ｓ４を警告回路２７に送出し、ＬＥＤの点灯とアラーム音の発生を行う。
【００２０】
又、高電圧用電源５及び制御用電源４はそれぞれ別個のトランス、あるいは共通のトランスを用いて構成されるが、これらのトランスが異常状態になると、高電圧電源回路２あるいは保護回路６に異常電流が流れる惧れが生じる。そこで、高電圧用電源５から高電圧電源回路２に流れる電流及び制御用電源４から保護回路６に流れる電流がそれぞれ異常電流検出回路１２及び１６により検出され、これらの検出値が絶縁結合素子１３及び１７を介して保護回路用制御回路２５に入力される。保護回路用制御回路２５は入力された検出値が予め設定されている設定値を越えたか否かを判定し、設定値以下のときには、絶縁ゲート電圧発生回路２１から印加されるゲート電圧によってスイッチング素子１８の接続状態を維持し、設定値を越える場合には、保護回路用制御回路２５は絶縁結合素子２２を介して制御信号Ｓ３をスイッチング素子１８に送出し、スイッチング素子１８を１０μｓｅｃ以下の短時間で遮断状態とすると共に、使用者に異常の発生及び圧電アクチュエータ３の駆動停止を知らせるために、警告信号Ｓ４を警告回路２７に送出し、ＬＥＤの点灯とアラーム音の発生を行う。これにより、トランスの異常時に、電源各部内に溜まっていたエネルギーにより圧電アクチュエータ３に異常電流が流れることが防止される。
【００２１】
さらに、この駆動回路の制御用電源４と高電圧用電源５の電源スイッチをＯＦＦした時には、高電圧用電源５と制御用電源４のうち電圧の低い方、すなわち制御用電源４から先に電圧が低下する。従って、制御用電源４の出力電圧が０となって制御不能となった後でも、まだ高電圧用電源５に電荷が残留している時間が存在する。この時に負荷である圧電アクチュエータ３が接続されていて、且つ外部からの電圧の制御を指示する入力信号Ｓ１が電圧制御回路１に入力されている場合、電圧制御回路１に残留電荷による電圧が供給されることで電圧波形が生成されて高電圧出力が圧電アクチュエータ３に印加される。その為、圧電アクチュエータ３に過電流が流れる惧れがある。そこで、制御用電源４の出力電圧が基準電源電圧検出回路９で検出され、この検出値が制御回路１０に入力される。制御回路１０は基準電源電圧検出回路９で検出された出力電圧が予め設定されている設定値を下回っているか否かを判定し、設定値よりも  大きい値の場合、制御回路１０は制御信号Ｓ２をスイッチング素子１１に送出し、スイッチング素子１１のゲートに電圧が印加されて、スイッチング素子１１は接続状態になっており、電圧制御回路１で生成された高電圧出力は保護回路６、ドライバ電圧検出回路７及びスイッチング素子１１を介して圧電アクチュエータ３に印加される。
一方、設定値以下になると、制御回路１０は制御信号Ｓ２をスイッチング素子１１に送出しない為、スイッチング素子１１のゲートに電圧が印加されない。その結果、スイッチング素子１１は１０μｓｅｃ以下の短時間で遮断状態になると共に、使用者に異常の発生及び圧電アクチュエータ３の駆動停止を知らせるために、制御回路１０は警告信号Ｓ５を警告回路２７に送出し、ＬＥＤの点灯とアラーム音の発生を行う。これにより、電源スイッチのＯＦＦ時に圧電アクチュエータ３への高電圧印加を防止する。
【００２２】
上記の基準電源電圧検出回路９において、駆動装置の電源スイッチを有する制御用電源４の出力電圧のＯＮ／ＯＦＦ信号を検出し、その信号を制御回路１０に送出する素子としてフォトカプラを用いるのが好ましい。又、制御回路１０からスイッチング素子１１に制御信号Ｓ２を送出する素子としてフォトカプラを用いるのが好ましい。その結果、１０μｓｅｃ以下の短時間でスイッチング素子１１を遮断状態にすることが可能になる。
【００２３】
又、電圧制御回路１の内部回路のＦＥＴ、トランジスタ等の一部の素子が破損している時、外部からの電圧の制御を指示するための入力信号Ｓ１が電圧制御回路１に入力されていない場合（入力信号Ｓ１＝０Ｖ）であっても、高電圧用電源５及び制御用電源４により駆動する高電圧電源回路２から電圧供給を受け、電圧制御回路１は電圧波形を生成して、保護回路６に印加される場合がある。ここで、圧電アクチュエータ３に流れる電流のピーク値が予め設定されている設定値を越えているならば保護回路６の内部回路であるピーク電流検出回路１９にて電流のピーク値を検出し、検出値が絶縁結合素子２３を介して保護回路用制御回路２５に入力され、保護回路用制御回路２５が設定値を越えているので、絶縁結合素子２２を介して制御信号Ｓ３をスイッチング素子１８に送出して、スイッチング素子１８は１０μｓｅｃ以下の短時間で遮断状態になる。しかし、保護回路６の内部回路であるピーク電流検出回路１９、絶縁結合素子２２、２３、保護回路用制御回路２５、スイッチング素子１８、絶縁ゲート電圧発生回路２１等の回路の一部の素子が破損していた場合、保護回路６は圧電アクチュエータ３に異常電流が流れるのを防止することができない。又、保護回路６の内部回路の何れかの素子が破損していた場合だけではなく、異常電流検出回路１２、１６、高電圧電源回路２、ＤＣ平均電流検出回路１４、絶縁結合素子１３、１５、１７等の何れかの回路の素子が破損していた場合においても、同様に圧電アクチュエータ３に異常電流が流れるのを防止することができない。そこで、保護回路６の後段のドライバ電圧検出回路７で保護回路６からの出力電圧を検出する。そして、入力信号Ｓ１とドライバ電圧検出回路７で検出された２信号が駆動電圧比較回路８に入力される。駆動電圧比較回路８ではドライバ電圧検出回路７の出力電圧を１／（Ｘ＋α）に分圧し、この分圧値と入力信号Ｓ１の電圧値の大きさを比較し、その結果は制御回路１０に出力される。ここで、Ｘは出力電圧として設定した倍率、αは負荷抵抗により規定された倍率とする。そして、入力信号Ｓ１の電圧値がドライバ電圧検出回路７の出力電圧の分圧値よりも大きい場合、つまり［入力電圧＞（１／（Ｘ＋α））・ドライバ電圧検出回路の出力電圧］の場合では、駆動電圧比較回路８の出力信号に基づいて、制御回路１０は制御信号Ｓ２をスイッチング素子１１に送出し、スイッチング素子１１のゲートに電圧が印加されて、スイッチング素子１１は接続状態になっており、電圧制御回路１で生成された電圧波形は保護回路６、ドライバ電圧検出回路７及びスイッチング素子１１を介して圧電アクチュエータ３に印加される。一方、入力信号の電圧値がドライバ電圧検出回路７の出力電圧の分圧値よりも小さい場合、つまり入力電圧＜［（１／（Ｘ＋α））・ドライバ電圧検出回路の出力電圧］の場合では、駆動電圧比較回路８の出力信号に基づいて、制御回路１０は制御信号Ｓ２をスイッチング素子１１に送出しない為、スイッチング素子１１のゲートに電圧が印加されない。その結果、スイッチング素子１１は１０μｓｅｃ以下の短時間で遮断状態になると共に、使用者に異常の発生及び圧電アクチュエータ３の駆動停止を知らせるために、制御回路１０は警告信号Ｓ５を警告回路２７に送出し、ＬＥＤの点灯とアラーム音の発生を行う。これにより、保護回路６の内部回路が破損していた場合において、圧電アクチュエータ３への高電圧印加を防止する。
【００２４】
上記の入力信号Ｓ１とドライバ電圧検出回路７で検出された２信号を駆動電圧比較回路８にてドライバ電圧検出回路７の出力電圧を１／（Ｘ＋α）に分圧し、この分圧値と入力信号の電圧値の大きさを比較し、その結果に基づいて制御回路１０が制御信号Ｓ２をスイッチング素子１１に送出する方法について、実施例を以下に記載する。
例：Ｘ＝２０倍、α＝２の場合
ここで、Ｘは出力電圧として設定した倍率、αは負荷抵抗により規定された倍率とする。
・  入力電圧：５Ｖ・・・▲１▼
・  出力電圧：２０×５＝１００Ｖ
・  比較される分圧された出力電圧：（１／（Ｘ＋α））・出力電圧
＝１／（２０＋２）×１００＝４．５５Ｖ・・・▲２▼
従って通常時は▲１▼＞▲２▼となり、スイッチング素子１１が接続状態になり、圧電アクチュエータ３に高電圧出力が印加される。但し、▲２▼が５Ｖ以上の値（出力電圧で５×（２０＋２）＝１１０Ｖ）になると、▲１▼＜▲２▼になる為、スイッチング素子１１が遮断状態になり、圧電アクチュエータ３への高電圧出力の印加が防止される。
【００２５】
又、上記の駆動電圧比較回路８において、入力信号Ｓ１とドライバ電圧検出回路７の２信号の出力電圧を比較し、その出力信号を制御回路１０に送出する素子としてフォトカプラを用いるのが好ましい。その結果、１０μｓｅｃ以下の短時間でスイッチング素子１１を遮断状態にすることが可能になる。
【００２６】
遮断状態になったスイッチング素子１１、１８は、保護回路用制御回路２５及び制御回路１０に接続されている解除スイッチ２６を操作することによって解除することができる。解除スイッチ２６の操作により、絶縁ゲート電圧発生回路２１からスイッチング素子１８へのゲート電圧の印加が回復すると同時に、スイッチング素子１１が接続状態になり、再び入力信号Ｓ１に応じた圧電アクチュエータ３の駆動が可能となる。
【００２７】
尚、長期間にわたって使用された圧電アクチュエータ３が劣化してくると、圧電アクチュエータ３に流れる電流波形にピーク電流が次第に多く発生する。そこで、保護回路用制御回路２５は、ピーク電流検出回路１９で検出される電流のピーク値が設定値を越えてもすぐにはスイッチング素子１８を遮断状態とせずに、電流のピーク値が設定値を越える頻度を計数し、その頻度が所定値を越えた場合に圧電アクチュエータ３の劣化を警告回路２７によって外部へ通報するように構成することもできる。
【００２８】
【発明の効果】
以上の通り、本発明により圧電アクチュエータ駆動装置の内部回路の一部が壊れている為、入力信号が０Ｖの時に高電圧出力が圧電アクチュエータに印加される課題が解決できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態に係わる圧電アクチュエータの駆動回路を示すブロック図である。
【図２】この発明の実施の形態に係わる保護回路を示すブロック図である。
【図３】従来の駆動回路を示すブロック図である。
【符号の説明】
１：電圧制御回路
２：高電圧電源回路
３：圧電アクチュエータ
４：制御用電源
５：高電圧用電源
６：保護回路
７：ドライバ電圧検出回路
８：駆動電圧比較回路
９：基準電源電圧検出回路
１０：制御回路
１１：スイッチング素子
１２：異常電流検出回路
１３：絶縁結合素子
１４：ＤＣ平均電流検出回路
１５：絶縁結合素子
１６：異常電流検出回路
１７：絶縁結合素子
１８：スイッチング素子
１９：ピーク電流検出回路
２０：交流実効値電流検出回路
２１：絶縁ゲート電圧発生回路
２２：絶縁結合素子
２３：絶縁結合素子
２４：絶縁結合素子
２５：保護回路用制御回路
２６：解除スイッチ
２７：警告回路
２８：制御用電源
２９：電圧検出回路
３０：絶縁結合素子
３１：保護回路用電源
３２：異常電流検出回路
３３：絶縁結合素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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