【手続補正書】
【提出日】平成20年5月13日(2008.5.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに軸方向に摺動可能に嵌合された操作軸およびハウジングと、
この操作軸およびハウジングの少なくともいずれか一方の摺動面に流体通路を形成する溝と、
前記ハウジングに対して前記操作軸を軸方向に移動させる操作軸移動機構とを有し、
前記操作軸の軸方向の任意の位置において前記操作軸の一定移動量に対する前記流体通路の流量の変化の割合が一定になるように、前記溝を、前記流体通路を流れる流体の流量抵抗が長さ方向に沿って漸減又は漸増するように形成した流量調節弁。
【請求項２】
前記操作軸とハウジングとの間に設けられ、かつこれらのいずれか一方に固定され他方に摺動する補助スリーブを有し、
前記操作軸とハウジングとを、互いに熱膨張係数の異なる材料により構成し、
温度変化により、前記溝の流体通路の区間が変化することによる流量変化量と流体の粘性抵抗が変化することによる流量変化量とが打ち消し合うように、前記溝の形状を選定した請求項１の流量調節弁。
【請求項３】
前記補助スリーブは、前記操作軸に設けられた溝と接している部分が前記ハウジング内の空間に延出している請求項２の流量調節弁。
【請求項４】
前記補助スリーブと、これに摺動可能に接する操作軸又は前記ハウジングとを、同一材料、または熱膨張係数が接近した材料により構成した請求項２または３の流量調節弁。
【請求項５】
前記操作軸およびハウジングとが互いに嵌合され、前記溝が前記操作軸とハウジングの各接触面にそれぞれ設けられ、互いに螺合して流体通路を形成し、
前記操作軸の軸方向の任意の位置において前記操作軸の一定回転角度に対する、前記流体通路の流量の変化の割合が一定になるように、前記両溝を、前記流体通路を流れる流体の流量抵抗が長さ方向に沿って漸減又は漸増するように形成した請求項１の流量調節弁。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【発明の名称】流量調節弁
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流量を精密かつ任意に調節できる流量調節弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から流体の微小流量を精密に制御できる調節弁として精密ニードル弁が知られている。ここで使用されるニードルとして流量範囲に応じて１０数種類のＭＡＸＣＶ値（弁が全開のときのＣＶ値）を有するものが用意されている。またニードルの材質を適宜選択することによって、温度変化に応じてニードルとオリフィス部との口径（外径）差を変化させて温度補償を行うことも知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
また、従来、流量の任意調整が可能で調節範囲の広い絞り弁が知られている（特許文献２参照）。この絞り弁は弁本体の流体通路の内周面に雌ねじを形成すると共に抵抗子の外周面の一部に雌ねじに螺合する雄ねじを形成し、両者のねじ螺合の隙間を流体通路とするものである。
【特許文献１】実公昭５２−５２２６１号公報
【特許文献２】特開２０００−１７９７４８号公報
【非特許文献１】小林清志、飯田嘉宏共著，「新版 移動論」，第１１刷，株式会社朝倉書店，１９９７年１０月，ｐ．４８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、従来の精密ニードル弁には、次のような解決すべき課題があった。すなわち、全く温度補償をしていないニードル弁の場合には温度変化１℃当たりの誤差が、約０．４％であるが、温度補償をしているとして市販されている上記のニードル弁においても、温度補償により、誤差が１℃当たり、０．３％程度にしか改善されていない。
ほとんどすべての用途において、この誤差は小さいことが望ましく、温度補償としては、少なくとも、誤差を１℃当たり０．１％以下に抑えることが望ましい。
また、市販されているニードル弁の流量調整範囲は比較的狭い流量範囲なため使用者は多種類の流量調節範囲の製品の中から、用途に適した流量範囲のものを選定しなければならないが、予測を誤れば、また別の流量範囲のものを購入しなおすことなどが必要になり、不便であった。
【０００５】
また上記従来の絞り弁は、流体通路としてねじ螺合の隙間の有効断面積を変化させて絞り開度に変化を与えるものであるが、温度変化による流量の変化については補償するものではない。
【０００６】
本発明は以上の課題を解決するためになされたもので、多回転でどの位置でも回転角度に対する流量変化率が一定である流量調節弁および温度変化があっても流量が変化しない流量調節弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
図１０（ａ）に示すように、気体の粘度は温度上昇に伴って増加し、気体の流量抵抗が大となる。このため、温度上昇に伴って流体調節弁を流れる気体の流量が減少する。一方、温度上昇したときに、流体通路の長さを短尺化し気体の流量抵抗が小さくなるようにすれば、気体の流量を増加することができる。
【０００８】
また、図１０（ｂ）に示すように、液体の粘度は温度上昇に伴って減少し、液体の流量抵抗が小となる。このため、温度上昇に伴って流体調節弁を流れる液体の流量が増加する。一方、温度上昇したときに、液体通路の長さを長尺化し液体の流量抵抗が大きくなるようにすれば、液体の流量を減少することができる。
【０００９】
このように、気体と液体の粘度が温度変化に対して反対の性質を持っているが、逆向きの補正動作を適宜行わせることにより、温度変化があっても流量が変化しない流量調節弁を得ることが可能である。
【００１０】
本発明は、流量を広い範囲で調整でき、かつどの調整位置でも、操作軸の回転角度に対する流量変化が一定な絞り弁を得るものである。また、流体の粘性係数の増加による流量の減少と、流体の流量抵抗の減少による流量の増加とを相殺して、流量の温度依存性をなくすようにするものである。
【００１１】
本発明を実現するために、弁体の流体通路を、深さが漸減する三角溝とした場合の可変絞りについて説明する。
【００１２】
先ず、断面形状が正三角形流路に層流状態で流体が流れる場合の流量Ｑを求める。
図７に示す半径ｒの円管状の流路２７に流体が流れる場合の流量は、ハーゲン・ポアズイユの式により求められる。この式は次の（１）式で表される。
Ｑ＝πｒ4Δｐ／８μＬ          (１)
ここで、Ｑは円管を流れる流体の流量、ｒは円管の半径、Δｐは円管の入り口と出口の流体の、流れ方向の圧力差、μは流体の粘性係数、Ｌは円管の入り口から出口までの管長である。
【００１３】
図８に示す断面形状が正三角形の流路２８に流体が流れる場合も、同様に計算をする。
この場合に、移動論（非特許文献１参照）より、正三角形の高さをｈとすると、この流路は、下記の（２）式で表される半径ｒeの仮想円管の円管状の流路と等価なものとして計算をすることができる。
ｒe＝ｈ／３                    (２)
ｈは、図８に示すように正三角形の高さ（溝の深さ）である。
【００１４】
（２）を（１）に代入して層流状態での流量Ｑを求める。
Ｑ＝πｈ4Δｐ／６４８μＬ      (３)
円管内を流れる流体に対する円管の流量抵抗Ｒは、Ｒ＝Δｐ／Ｑ  であるから、これを(３)式に代入すると、次の（４）式となる。
Ｒ＝６４８μＬ／πｈ4          （４）
【００１５】
図９に示すような長手方向に深さが漸減する、断面形状が正三角形の流路２９に、粘性係数μの流体が流れる場合の流量抵抗Ｒを求める。
正三角形溝の深さｈが、長手方向に指数関数的に漸減する場合を考える。
流路２９の入り口の座標をｘ＝０とする。ｘ軸を、流路の長手方向に平行に設定すると、ｘ点での溝の深さｈ（ｘ）は、次式で表すことができる。
ここで、ａとｂは任意の定数、ｅは自然対数の底である。
ｈ（ｘ）＝ａｅ-ｂｘ                 （５）
【００１６】
（４）、（５）式から、流路２９の長手方向のある微小区間での流体抵抗は、
ｄＲ＝６４８μ・ｄｘ／π（ａｅ-ｂｘ）4    （６）
と表すことができる。故に、
ｄＲ／ｄｘ＝６４８μ・ｅ4ｂｘ／πａ4      （７）
【００１７】
流路２９の長手方向にみて、マイナス方向の無限遠から、位置ｘまでの流量抵抗は上式を積分して、
Ｒ（ｘ）＝１６２μ・ｅ4ｂｘ／πａ4ｂ      （８）
無限遠から位置ｘまでの正三角形溝を流れる流量は、下式で表される。
Ｑ（ｘ）＝πａ4ｂ・ｅ-4ｂｘ・Δｐ／１６２μ    （９）
【００１８】
この（９）式は、長手方向に深さが漸減する断面形状が正三角形で全長がｘの流路に、粘性係数がμの流体が流れたときの、流体の流量を求める計算式である。この式から、流路長ｘや流体のμと流量との関係を算出できる。
【００１９】
本発明は、それぞれ次のような構成により実現することができる。
〈構成１〉
互いに軸方向に摺動可能に嵌合された操作軸およびハウジングと、
この操作軸およびハウジングの少なくともいずれか一方の摺動面に流体通路を形成する溝と、
前記ハウジングに対して前記操作軸を軸方向に移動させる操作軸移動機構とを有し、
前記操作軸の軸方向の任意の位置において前記操作軸の一定移動量に対する前記流体通路の流量の変化の割合が一定になるように、前記溝を、前記流体通路を流れる流体の流量抵抗が長さ方向に沿って漸減又は漸増するように形成した流量調節弁。
【００２０】
溝を、流体通路を流れる流体の流量抵抗が長さ方向に沿って指数関数的に変化するように形成することにより、流量を広い範囲で調整でき、かつどの調整位置でも、操作軸の一定移動量に対する流量変化が一定な絞り弁を得ることができる。操作軸の一定移動量とは、例えば、ハウジングに螺合支持された操作軸を回転させながら一定移動する場合には、操作軸の回転角度の変位量である。操作軸の一定の回転数に対する流量変化の割合が、絞りの強さに関係なくどの位置でも一定で広い調整範囲を持つ。
従って、広い調整範囲に対応するための多種の弁を用意しておく必要がなく、容量選定作業がかなり簡単である。
なお、溝により形成される流体通路とは、溝の全長のうち、操作軸又はハウジングの接触面により同溝の開口面が閉塞されている部分の流体通路をいう。溝はピッチが一定のものだけでなく、一定でないものも含むものである。
【００２１】
〈構成２〉
前記操作軸とハウジングとの間に設けられ、かつこれらのいずれか一方に固定され他方に摺動する補助スリーブを有し、
前記操作軸とハウジングとを、互いに熱膨張係数の異なる材料により構成し、
温度変化により、前記溝の流体通路の区間が変化することによる流量変化量と流体の粘性抵抗が変化することによる流量変化量とが打ち消し合うように、前記溝の形状を選定した上記構成１の流量調節弁。
【００２２】
構成２により、流量の温度依存性をなくす効果が得られる。すなわち、弁使用中に温度変化に伴い、流体通路長の変化による流体の流量抵抗の変化量と、同時に、流体の粘性抵抗の変動による流量変化量とを相殺するようにした。適用する流体に応じて、操作軸とハウジングとの各材質と溝の形状とを適切に選定することにより、一定の流量を設定しておいたとき、温度変化があっても流量が変化しないようにした。従って流量の温度依存性がなく流量の温度補償ができる。
なお、溝により形成される流体通路とは、溝の全長のうち、操作軸又はハウジングの接触面により同溝の開口面が閉塞されている部分の流体通路をいう。この流体通路の区間（位置）を変化させれば、溝の深さが変化するので流量抵抗を変えることができる。溝はピッチが一定のものだけでなく、一定でないものも含むものである。
【００２３】
〈構成３〉
前記補助スリーブは、前記操作軸に設けられた溝と接している部分が前記ハウジング内の空間に延出している上記構成２の流量調節弁。
【００２４】
補助スリーブの、操作軸に設けられた溝と接している部分がハウジング内の空間に延出していることにより、その延出部分の内、外周面に加わる流体圧が等圧であり、この延出部分には機械的強度が要求されないから、肉厚を薄くすることができる。延出部分の肉厚を薄くできることにより、操作軸との嵌め合い精度を下げることができる。
【００２５】
〈構成４〉
前記補助スリーブと、これに摺動可能に接する操作軸又は前記ハウジングとを、同一材料、または熱膨張係数が接近した材料により構成した上記構成２または３の流量調節弁。
【００２６】
温度変化により、補助スリーブとこれに摺動可能に接する操作軸又はハウジングとの間に、径方向に隙間が生じた場合には、流体が溝内の流体通路以外に、径方向に生じた隙間を通じて流動するようになって所定の目的が達成できなくなる。構成３は、そのような温度変化による径方向の隙間の発生を防止する効果を奏する。
【００２７】
〈構成５〉
前記操作軸およびハウジングとが互いに嵌合され、前記溝が前記操作軸とハウジングの各接触面にそれぞれ設けられ、互いに螺合して流体通路を形成し、
前記操作軸の軸方向の任意の位置において前記操作軸の一定回転角度に対する、前記流体通路の流量の変化の割合が一定になるように、前記両溝を、前記流体通路を流れる流体の流量抵抗が長さ方向に沿って漸減又は漸増するように形成した上記構成１の流量調節弁。
【００２８】
溝を、流体通路を流れる流体の流量抵抗が長さ方向に沿って指数関数的に変化するように形成することにより、流量を広い範囲で調整でき、かつどの調整位置でも、操作軸の回転角度に対する流量変化が一定な絞り弁を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の実施の形態を実施例毎に詳細に説明する。
【実施例１】
【００３０】
図１は、実施例１の流体調節弁を示す縦断面図である。
図１において、実施例１の流体調節弁１０は、操作軸１２と、操作軸１２の終端側外周に嵌着された補助スリーブ１８と、操作軸１２及び補助スリーブ１８に、互いに軸方向に移動可能に嵌合されたハウジング２０とを備えている。補助スリーブ１８の外周面の、一方にスパイラルの溝１４が形成され、他方にＯリングを介在させたシール部２６が設けられている。
【００３１】
操作軸１２は、ねじ溝１３が設けられてハウジング２０の一端２０ａに螺合支持され、かつハウジング内の他端２０ｂ側に終端１６が位置するようにされている。操作軸１２の一端につまみ１５が設けられている。このつまみ１５を正転あるいは逆転することにより、操作軸１２をハウジング２０に対して軸方向に往復移動させることができる。このような構成がハウジング２０に対して操作軸１２を軸方向に移動させる操作軸移動機構である。しかし、本発明における操作軸移動機構は、これに限定されるものではなく、図示を省略したが、操作軸１２をハウジング２０に対して摺動可能に支持し、シリンダ等の往復駆動装置により操作軸１２を軸方向に往復動させる構成も含むものである。
【００３２】
ハウジング２０の他端２０ｂに開けた開口が一方の流体出入口２２とされ、ハウジングの側面に開けた開口が他方の流体出入口２４とされている。溝１４は、ハウジング２０の内周面に設けられた縮径部２０ｃによって一部が閉塞され、残部が露出されている。
【００３３】
ハウジング２０の一方の流体出入口２２と他方の流体出入口２４との間に、溝１４を通じて流体通路が形成されている。ここで、溝１４により形成される流体通路とは、溝１４の全長のうち、ハウジング２０の縮径部２０ｃとの接触により同溝の開口面が閉塞されている部分（Ｘ１）の流体通路をいう。
この実施例では、流体は、矢印で示すように一方の流体出入口２２から流入し、溝１４を経て他方の流体出入口２４から流出する。この流体の流れは逆方向でもかまわない。
【００３４】
つまみ１５を持って操作軸１２を回転すると、ねじ溝１３によって操作軸１２と共に補助スリーブ１８が長手方向に移動し、溝１４の外面がハウジング２０の縮径部２０ｃの内周面に沿って摺動するようにされている。操作軸１２を回転したとき、補助スリーブ１８も共に回転してもよいが、回転しないで長手方向に移動するようにしてもよい。
【００３５】
操作軸１２とハウジング２０とは、互いに熱膨張係数の異なる材料により構成されている。ハウジング２０と補助スリーブ１８とは、同一材料、又は熱膨張係数が接近した材料により構成されている。例えば、操作軸１２を真鍮等の金属材料で構成したとき、ハウジング２０と補助スリーブ１８をナイロンやフッ素樹脂等のプラスチック材料で構成する。
【００３６】
溝１４は、後述するように、操作軸１２の軸方向の任意の位置において操作軸１２の一定移動量に対する流体通路の流量の変化の割合が一定になるように、流体通路を流れる流体の流量抵抗が長さ方向に沿って指数関数的に漸減又は漸増するように形成されている。溝１４をこのように構成した場合は流量を広い範囲で調整でき、かつどの調整位置でも、操作軸の回転角度の変位量に対する流量変化が一定な絞り弁を得ることができる。
【００３７】
また、溝１４の形状を、温度変化により、溝１４の流体通路の区間（位置）が変化することによる流量変化量と流体の粘性抵抗が変化することによる流量変化量とが打ち消し合うように選定する。溝１４の流体通路の長さが一定のままでも、抵抗要素になる区間（位置）を変化させれば、溝１４の深さが変化するので流量抵抗を変えることができる。このようにした場合には流量の温度依存性をなくす効果が得られる。この効果については後述する。
【００３８】
以上のように構成した流量調整弁１０を、次のようにした場合について考える。
すなわち、溝１４の横断面形状を、長手方向に沿って深さが指数関数的に漸減する正三角形とする。操作軸とハウジングの軸方向の有効な（膨張係数の違いによる温度補償に有効な）長さを６０mmとする。操作軸１２には真鍮Ｃ３６０４ＢＤを使用し、ハウジング２０及び補助スリーブ１８にはナイロン６６を使用する。真鍮Ｃ３６０４ＢＤの熱膨張係数（熱膨張係数）は、２×１０-5／℃であり、ナイロン６６の熱膨張係数は、９×１０-5／℃である。従って、操作軸１２とハウジング２０の熱膨張係数の差は、７×１０-5／℃である。
【００３９】
空気の粘性係数μは、摂氏０度から摂氏１００度に温度上昇すると、１．７３倍になる。前述の（９）式から、粘性係数が１．７３倍に増えると、流量は１．７３分の１に減少する。
【００４０】
一方、摂氏０度から摂氏１００度に温度上昇すると、流体通路の部分での操作軸１２とハウジング２０の相対的な位置ずれ量は０．４２mmである。このとき、溝１４による流体通路長は相対的に短くなる。なお、操作軸１２の長手方向の熱伸縮差操作軸の半径方向の熱伸縮差は、操作軸の長手方向の熱伸縮差に比べて無視できないので、操作軸１２とハウジング２０との間に補助スリーブ１８を介在させている。
【００４１】
従って、０．４２ミリの位置ずれで溝１４を流れる空気の流量が１．７３倍に増えるように、溝１４を設計すればよい。この割合から、操作軸１２の長手方向に０．５mmだけ流体通路の長さを縮めたときに、流量が２分の１になるように、溝１４を設計するとよいことが分かる。逆に言えば、操作軸１２を長手方向に０．５mmだけ伸ばしたとき流量抵抗が２倍になるように溝１４の構造を設計するとよい。
【００４２】
操作軸１２の直径を６mmとし、スパイラルピッチが１mmならば、０．５mmでは溝１４は半周分で、長さは９mmになる。
すなわち、溝１４の長さが９mm増えると流量抵抗が２倍になるように溝１４を設計すると、上記の条件を満たす。
操作軸１２上の位置に応じた溝１４の深さｈの計算は、上記の（９）式を利用すればよい。
【００４３】
上記の式で、マイナス無限遠からゼロまでの流量抵抗が、ゼロから＋９mmまでの流量抵抗に等しければよい。
ｅ4ｂｘ0.9(ｃｍ)＝２
ｂ＝１９．２５４
Δｐが１０5 Pa（パスカル）のとき、流量が１０-5m3/sec（＝６００ml/min）に設計する。
(9)式から、
πａ4ｂ×１０5／１６２μ＝１０-5
μ＝１．３８×１０-5 (m2/s)
ａ4＝１６２μ×１０-10／πｂ
ａ＝４．３８×１０-4
ｈ（ｘ）＝４．３８×１０-4ｅ-19.254ｘ
【００４４】
操作軸１２を真鍮（Ｃ３６０４ＢＤ）とし、ハウジングをナイロン６６として流体調節弁を作ったとき、操作軸１２を２分の１回転すると流量抵抗が２倍になり、１回転だと４倍、２回転だと１６倍、Ｎ回転だと４のＮ乗倍になるように溝の形状やピッチを設計すると、空気の流量抵抗の温度依存性をなくした流体調節弁を実現できる。
【００４５】
なお、操作軸１２をステンレス鋼で構成し、ハウジング２０及び補助スリーブ１８を四フッ化エチレン樹脂で構成してもよい。操作軸１２の熱膨張係数よりも補助スリーブ１８及びハウジング２０の熱膨張係数が大きく選定されている。
【００４６】
溝１４を気体が流れる場合、操作軸１２とハウジング２０の各熱膨張係数と補助スリーブ１８の溝１４の形状は、温度上昇により気体の粘性係数が増加し流量が減少する気体の流量減少量と、同時に、温度変化により流体通路の区間が溝１４の流体抵抗が小さくなる方向に変化し流体抵抗が下がって流量が増加する気体の流量増加量とが等しくなるように、使用する気体に応じて選定されている。なお、溝１４を液体が流れる場合には、粘度が気体と温度変化に対して反対の性質を持っているので、逆向きの補正動作を適宜行わせることにより、同様の動作を行わせることができる。
【００４７】
使用する流体に応じて、操作軸とハウジングの各熱膨張係数と溝の形状を選定すると、流量の温度依存性がなく流量の温度補償ができる。
流量の温度補償は、ハウジングと操作軸の各熱膨張による長手方向の変位差を利用しているが、溝を設けた部分、すなわち補助スリーブと、この溝の外面に接する円筒面部分、すなわちハウジングとは同じ熱膨張係数の材料で構成することが好ましい。
【００４８】
こうすることによって、両者の隙間が径方向に広がって流量が大きく変化したり、同隙間が径方向に減少しすぎて操作軸が動かなくなること等を防止できる。溝１４を、操作軸１２の縦断面からみて正三角形の断面形状をなし正三角形溝の深さが長手方向に指数関数的に漸減するものとした場合は、所望の形状を得るための設計及び製作が容易である。
【実施例２】
【００４９】
図２は、実施例２の流体調節弁を示す縦断面図である。
図２において、実施例２の流体調節弁３０は、ハウジング３４の一端側内周の縮径部３４ａにスパイラルの溝３３を設け、操作軸３１の終端側外周に嵌着された補助スリーブ３２の外周面を、溝３３の外面に沿って往復動するようにしたものである。他の構成は、図１に示した構成と同じである。図２中、３５はつまみ、３６は一方の流体出入口、３８は他方の流体出入口、３９はシール部をそれぞれ示している。
【００５０】
つまみ３５を持って操作軸３１を回転すると、ねじ溝３７によって操作軸３１と共に補助スリーブ３２が長手方向に移動し、溝３３の外面がハウジング３４の縮径部３４ａの内周面に沿って摺動するようにされている。操作軸３１を回転したとき、補助スリーブ３２も共に回転してもよいが、回転しないで長手方向に移動するようにしてもよい。
【００５１】
溝３３を気体が流れる場合、操作軸３１の熱膨張係数よりも補助スリーブ３２及びハウジング３４の熱膨張係数が大きくなるように選定され、温度上昇により気体の粘性係数が増加し流量が減少する気体の流量減少量と、同時に、温度変化により流体通路の長さが減少し流体抵抗が下がって流量が増加する気体の流量増加量とが等しくなるように、使用する気体に応じて操作軸とハウジングの各熱膨張係数と溝の形状を選定するようにしたものである。なお、溝３３を液体が流れる場合にも、逆向きの補正動作を適宜行わせることにより、同様の動作を行わせることができる。
【００５２】
実施例１とは溝がハウジング側に設けられている点が相違するが、同様の効果が得られる。使用する流体の流量の温度依存性をなくし、流量の温度補償ができる。
【実施例３】
【００５３】
図３は、実施例３の流体調節弁を示す縦断面図である。
図３において、実施例３の流体調節弁４０は、操作軸４１と、操作軸４１の終端側外周に嵌着された補助スリーブ４２と、操作軸４１及び補助スリーブ４２に嵌合されたハウジング４３とを備えている。補助スリーブ４２の外周面にスパイラルの溝４４が形成されている。操作軸４１の中間部の外周上にはＯリングを介在させたシール部４６が設けられている。
【００５４】
操作軸４１は、ねじ溝４７が設けられてハウジング４３の一端４３ａに螺合支持され、かつハウジング内の他端４３ｂ側に終端４８を有するようにされている。操作軸４１の一端につまみ４５が固着されている。ハウジング４３の他端４３ｂに開けた開口が一方の流体出入口４８とされ、ハウジングの側面に開けた開口が他方の流体出入口４９とされている。溝４４は、ハウジング４３の側面の縮径部４３ｃによって一部が閉塞され、残部が露出されている。
【００５５】
ハウジング４３の一方の流体出入口４８と他方の流体出入口４９との間に、溝４４を通じて流体通路が形成されている。この実施例では、流体は、矢印で示すように一方の流体出入口４８から流入し、溝４４を経て他方の流体出入口４９から流出する。この流体の流れは逆方向でもかまわない。
【００５６】
つまみ４５を持って操作軸４１を回転すると、ねじ溝４７によって操作軸４１と共に補助スリーブ４２が長手方向に移動し、溝４４の外面がハウジング４３の縮径部４３ｃの内周面に沿って摺動するようにされている。操作軸４１を回転したとき、補助スリーブ４２も共に回転してもよいが、回転しないで長手方向に移動するようにしてもよい。
【００５７】
補助スリーブ４２及びハウジング４３を真鍮、ステンレス鋼のいずれかで構成し、操作軸４１をナイロン６６、四フッ化エチレン樹脂のいずれかで構成し、補助スリーブ４２及びハウジング４３の熱膨張係数よりも操作軸４１の熱膨張係数が大きくなるように選定されている。
【００５８】
溝４４を気体が流れる場合、操作軸４１とハウジング４３の各熱膨張係数と溝４４の形状は、温度上昇により気体の粘性係数が増加し流量が減少する気体の流量減少量と、同時に、温度変化により流体通路の長さが減少し流体抵抗が下がって流量が増加する気体の流量増加量とが等しくなるように、使用する気体に応じて適宜選定されている。なお、溝４４を液体が流れる場合にも、逆向きの補正動作を適宜行わせることにより、同様の動作を行わせることができる。
【００５９】
実施例３の流体調節弁４０は、実施例１とは補助スリーブ４２及びハウジング４３の熱膨張係数よりも操作軸４１の熱膨張係数が大きく選定されている点が相違するが、同様の効果が得られる。流量の温度依存性をなくし、流量の温度補償ができる。
【実施例４】
【００６０】
図４は、実施例４の流体調節弁を示す縦断面図である。
図４において、実施例４の流体調節弁５０は、スパイラルの溝５１をハウジング５２の側面の縮径部５２ａに設け、操作軸５３の終端側外周に嵌着された補助スリーブ５４の外周面を、溝５１の外面に沿って摺動するようにしたものである。他の構成は、図３に示した構成と同じである。図４中、５５はつまみ、５６は一方の流体出入口、５７は他方の流体出入口、５８はシール部をそれぞれ示している。
【００６１】
つまみ５５を持って操作軸５３を回転すると、ねじ溝５４によって操作軸５３と共に補助スリーブ５４が長手方向に移動し、溝５１の外面がハウジング５２の縮径部５２ａの内周面に沿って摺動するようにされている。操作軸５３を回転したとき、補助スリーブ５４も共に回転してもよいが、回転しないで長手方向に移動するようにしてもよい。
【００６２】
補助スリーブ５４及びハウジング５２を真鍮、ステンレス鋼のいずれかで構成し、操作軸５３をナイロン６６、四フッ化エチレン樹脂のいずれかで構成されている。溝５１を気体が流れる場合、操作軸５３とハウジング５２の各熱膨張係数と溝５１の形状は、温度上昇により気体の粘性係数が増加し流量が減少する気体の流量減少量と、同時に、温度変化により流体通路の長さが減少し流体抵抗が下がって流量が増加する気体の流量増加量とが等しくなるように、使用する気体に応じて適宜選定されている。なお、溝５１を液体が流れる場合にも、逆向きの補正動作を適宜行わせることにより、同様の動作を行わせることができる。
【００６３】
実施例３とは溝５１がハウジング５２側に設けられている点が相違するが、同様の効果が得られる。流量の温度依存性をなくし、流量の温度補償ができる。
【実施例５】
【００６４】
図５は、実施例５の流体調節弁を示す縦断面図である。
図５において、実施例５の流体調節弁６０は、終端側の外周面に溝６１が形成された操作軸６２と、この操作軸６２の終端側外周に圧入され、かつ溝６１の開口を開閉する補助スリーブ６３を内周に固設したハウジング６４とを備えている。
【００６５】
操作軸６２は、他方端側の外周面にねじ溝６５が設けられてハウジング６４の一端６４ａに螺合支持され、かつハウジング内の他端６４ｂ側に終端を有するようにされている。操作軸６２の中間部の外周上にはＯリングを介在させたシール部６９が設けられている。操作軸６２の外方端につまみ６６が設けられている。
【００６６】
ハウジング６４の他端に開けた開口が一方の流体出入口６７とされ、かつハウジングの側面に開けた開口が他方の流体出入口６８とされている。一方の流体出入口６７と他方の流体出入口６８との間に、補助スリーブ６３により一部の開口が閉じられた溝６１を通じて流体通路が形成されている。
【００６７】
補助スリーブ６３は、操作軸６２に設けられた溝６１と接している部分６３ａがハウジング６４内の空間に延出している。この延出部分６３ａの内周面には溝６１の流体通路内の流体圧が加わっており、またその外周面には、溝６１の流体通路内の流体圧とほぼ同じ圧力の、流体出入口６８近傍の流体圧が加わっている。すなわち、延出部分６３ａの内、外周面には同一流体圧が加わることから、流体圧の大小にかかわらずその影響を受けない。このため、補助スリーブ６３の肉厚を薄くすることができる。補助スリーブ６３が薄肉のため、溝６１を設けた操作軸６２との圧入の度合いを強くすることができる。補助スリーブ６３が厚肉の場合に比べると、補助スリーブ６３と操作軸６２との嵌め合い精度を高めることができる。
【００６８】
つまみ４５を持って操作軸６２を回転すると、他方の流体出入口６８に露出する溝６１の一部が操作軸６２の長手方向に移動するようにされている。
ハウジング６４をナイロン６６、四フッ化エチレン樹脂のいずれかで構成し、操作軸６２及び補助スリーブ６３を真鍮、ステンレス鋼のいずれかで構成し、操作軸６２の熱膨張係数よりも補助スリーブ６３及びハウジング６４の熱膨張係数が大きくなるように選定されている。
【００６９】
溝６１を気体が流れる場合、操作軸６２とハウジング６４の各熱膨張係数と溝６１の形状は、温度上昇により気体の粘性係数が増加し流量が減少する気体の流量減少量と、同時に、温度変化により流体通路の長さが相対的に減少し流体抵抗が下がって流量が増加する気体の流量増加量とが等しくなるように、使用する気体に応じて適宜選定されている。なお、溝６１を液体が流れる場合にも、逆向きの補正動作を適宜行わせることにより、同様の動作を行わせることができる。
【００７０】
使用する気体に応じて、操作軸とハウジングの各熱膨張係数と溝の形状を選定すると、流量の温度依存性がなく流量の温度補償ができる。
【実施例６】
【００７１】
図６は、実施例６の流体調節弁の一部を示す縦断面図である。
図６に示す実施例６の流体調節弁７０は、操作軸７１と、操作軸７１に嵌合されたハウジング７２とを備えている。流体調節弁７０は全体構成としては、図示を省略したが、図１ないし５に示した実施例における操作軸とこの操作軸に嵌合されたハウジングの構成と基本的に同じである。
【００７２】
一方の流体出入口７３と他方の流体出入口７４との間における操作軸７１とハウジング７２の各接触面、すなわち、操作軸７１の外周面とハウジング７２の内周面に、互いに螺合して流体通路を形成する溝７５、７６がそれぞれ形成されている。
両溝７５、７６は、操作軸の軸方向の任意の位置において操作軸の一定回転角度に対する、流体通路の流量の変化の割合が一定になるように、流体通路を流れる流体の流量抵抗が長さ方向に沿って指数関数的に漸減又は漸増するように形成されている。例えば、操作軸７１を１回転する毎に流量が半減するように形成される。
【００７３】
このような溝７５、７６は、例えば、次のようにして形成される。
すなわち、操作軸７１の一端部の外周面にテーパを設け、このテーパ面上にねじ溝７５を設ける。一方、ハウジング７２の円筒状の内周面に、操作軸７１のねじ溝に合致するねじ溝７６を設ける。次に、操作軸７１のねじ溝７５の山部を、上記した条件を満たすように切削する。操作軸７１のねじ溝７５の山部は、図示したように操作軸７１の先端に向かって漸次深く切削される。
【００７４】
このように構成することによって、流量を広い範囲で調整でき、かつどの調整位置でも、操作軸７１の回転角度に対する流量変化が一定な絞り弁を得ることができる。すなわち、操作軸７１の一定の回転数に対する流量変化の割合が絞りの強さがどの位置でも一定で広い調整範囲を持つ弁が得られる。
【００７５】
上記した各実施例においては、プラスチックと金属の組み合わせのような熱膨張係数が大きく異なる２種類の材料の熱膨張差を利用して温度補償を行っているが、本発明は、これに限定されるものでなく、温度により機械的変形を起こすバイメタル、液体封入体の駆動要素等を利用する方法も本発明に含まれるものである。本発明は、流体流量を大幅に調整させる比例弁、直動弁、ダンパー等に好適に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】実施例１の流体調節弁を示す縦断面図である。
【図２】実施例２の流体調節弁を示す縦断面図である。
【図３】実施例３の流体調節弁を示す縦断面図である。
【図４】実施例４の流体調節弁を示す縦断面図である。
【図５】実施例５の流体調節弁を示す縦断面図である。
【図６】実施例６の流体調節弁の一部を示す縦断面図である。
【図７】半径ｒの円管状の流路に流体が流れる場合の流量を求める式の説明図である。
【図８】断面形状が正三角形の流路に流体が流れる場合の流量を求める式の説明図である。
【図９】断面形状が正三角形の流路に、粘性係数μの流体が流れる場合の流量抵抗Ｒを求める式の説明図である。
【図１０】気体と液体の粘度の温度変化を示す線図である。
【符号の説明】
【００７７】
１０  流体調節弁
１２  操作軸
１３  ねじ溝
１４  溝
１５  つまみ
１６  終端
１８  補助スリーブ
２０  ハウジング
２２  一方の流体出入口
２４  他方の流体出入口
２６  シール部