【手続補正書】
【提出日】平成20年8月11日(2008.8.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】少なくとも中空構造を有する平均粒子径が１〜５μｍの無機粒子を含んだ無機材料、および感光性有機成分を含有することを特徴とする感光性セラミックス組成物。
【請求項２】該中空構造を有する平均粒子径が１〜５μｍの無機粒子の空隙率が５０〜９５体積％である請求項１記載の感光性セラミックス組成物。
【請求項３】該中空構造を有する平均粒子径が１〜５μｍの無機粒子が球状である請求項１または２に記載の感光性セラミックス組成物。
【請求項４】該中空構造を有する平均粒子径が１〜５μｍの無機粒子が、酸化物表記でＳｉＯ２を５０重量％以上含むものである請求項１〜３のいずれかに記載の感光性セラミックス組成物。
【請求項５】該感光性有機成分が、側鎖にカルボキシル基を有するアクリル系共重合体、光反応性化合物および光重合開始剤を含有するものである請求項１〜４のいずれかに記載の感光性セラミックス組成物。
【請求項６】該無機材料のうち、該中空構造を有する平均粒子径が１〜５μｍの無機粒子が２〜４０重量％であり、それ以外の無機素材が６０〜９８重量％である請求項１〜５のいずれかに記載の感光性セラミックス組成物。
【請求項７】該無機素材は、
（ａ）ＲｘＯ−Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２系材料（Ｒはアルカリ金属（ｘ＝２）またはアルカリ土類金属（ｘ＝１）を表す）、
（ｂ）ガラス粉末５０〜９０重量％および、石英粉末および／またはアモルファスシリカ粉末１０〜５０重量％の割合でなるものである材料、
（ｃ）酸化物換算表記でＳｉＯ２：５０〜９０重量％、ＺｎＯ：３〜４０重量％、Ｂ２Ｏ３：１〜２０重量％、およびアルカリ金属酸化物：３〜１０重量％の割合でなるものである材料、
（ｄ）酸化物換算表記で、ＳｉＯ２：４５〜５５重量％、Ａｌ２Ｏ３：３〜１０重量％、ＭｇＯ：１３〜２４重量％、およびＣａＯ：２０〜３０重量％の割合でなるものであるガラス粉末Ａ、
（ｅ）該ガラス粉末Ａ５０〜９６重量％、およびクオーツ粉末および／またはアモルファスシリカ粉末５〜５０重量％の割合でなるものである材料、
（ｆ）ＳｉＯ２：４０〜５５重量％、Ａｌ２Ｏ３：１０〜３５重量％、ＭｇＯ：４〜２４重量％、ＺｎＯ：２〜２０重量％、およびＢ２Ｏ３：５〜２０重量％の割合でなるものであるガラス粉末Ｂ、
（ｇ）該ガラス粉末Ｂ３０〜９５重量％とＺｎＯ：０〜３０重量％、ＳｉＯ２：５〜５５重量％、およびＢ２Ｏ３：０〜１０重量％の割合でなるものである混合物、
又は、
（ｈ）酸化物換算表記でＳｉＯ２：３０〜７０重量％、Ａｌ２Ｏ３：５〜４０重量％、ＣａＯ：３〜２５重量％、およびＢ２Ｏ３：３〜５０重量％の組成範囲である組成物を、８５重量％以上有してなるものであるガラス粉末Ｃ３０〜６０重量％と、アルミナ、ジルコニア、マグネシア、ベリリア、ムライト、コーディライト、スピネル、フォルステライト、アノーサイト、セルジアン、シリカおよび窒化アルミの群から選ばれた少なくとも１種類のセラミックス粉末７０〜４０重量％との混合物
の少なくともいずれかが含まれているものである請求項６に記載の感光性セラミックス組成物。
【請求項８】該無機素材は、無機粉末である請求項６または７に記載の感光性セラミックス組成物。
【請求項９】請求項１〜８のいずれかに記載の感光性セラミックス組成物により製造されたセラミックス基板。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
すなわち本発明は、少なくとも中空構造を有する平均粒子径が１〜５μｍの無機粒子を含んだ無機材料、および感光性有機成分を含有することを特徴とする感光性セラミックス組成物である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
又は、中空構造を有する平均粒子径が１〜５μｍの無機粒子を含んだ無機材料、および感光性有機成分を含有することを特徴とする感光性セラミックス組成物により製造されたセラミックス基板である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
実施例６〜８および比較例２〜３（中空粒子の粒子径）
無機素材として無機素材２を、中空構造を有する無機粒子としては中空構造を有する無機粒子２を、感光性有機成分としては、ポリマー１、光反応性化合物３、光重合開始剤を用い、厚み１００μｍのグリーンシートを得た。混合粉末中の中空構造を有する無機粒子の割合を３０重量％とし、かつ空隙率として７１体積％のものを用いた。中空構造を有する無機粒子２の平均粒子径を、０．５〜１０μｍまで変化させた。フォトリソグラフィー工程で、３０〜１００μｍまでのビアホール径を持つマスクパターンを使用して微細加工性を観察した。また、焼成後の中空構造の保持状態は、断面を光学顕微鏡および走査電子顕微鏡で観察した。その結果を以下表２に示す。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
【表２】
2003055036.tif 000001
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
実施例９〜１３（空隙率の変化）
無機素材として無機素材３を、中空構造を有する無機粒子として中空構造を有する無機粒子１を、感光性有機成分としては、ポリマー２、光反応性化合物１、光重合開始剤を用い、厚み１００μｍのグリーンシートを得た。中空構造を有する無機粒子１の平均粒子径は２．５μmとし、混合粒子中の中空構造を有する無機粒子の割合は、３０重量％とした。中空構造を有する無機粒子１の中でも空隙率が４０〜９７体積％と異なる粒子を用いた。その結果を以下表３に示す。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
【表３】
2003055036.tif 000002
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
実施例１４〜１６（中空粒子中のシリカ含有量）
中空構造を有する無機粒子のＳｉＯ２含有量の効果を調べるために、中空構造を有する無機粒子１、中空構造を有する無機粒子２、中空構造を有する無機粒子３を用いて比較することにした。無機素材として無機素材４を、感光性有機成分としては、ポリマー２、光反応性化合物１、光重合開始剤を用い、厚み１００μｍのグリーンシートを得た。中空構造を有する無機粒子の平均粒子径は２．５μｍとし、空隙率は８８体積％、混合素材中に占める中空構造を有する無機粒子の割合は３５重量％とした。いずれの粒子においても、フォトリソグラフィーを用いたビア形成では、５５μｍのビアホールを形成できた。以下表４に結果を示す。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
【表４】
2003055036.tif 000003
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
実施例１７、１８（中空粒子形状の比較）
無機素材として無機素材５を、中空構造を有する無機粒子として中空構造を有する無機粒子１を、感光性有機成分としては、ポリマー２、光反応性化合物１、光重合開始剤を用い、厚み１００μｍのグリーンシートを得た。中空構造を有する無機粒子１の平均粒子径は２．５μｍ、混合粉末に占める中空構造を有する無機粒子１の割合は３５重量％とした。中空構造を有する無機粒子１の形状として、比較的粒状のもの（球形率２５個数％以下、実施例１７）と球状のもの（球形率７０個数％以上、実施例１８）の２種類を選別し、その２つでの差異を調べた。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
実施例１９（無機素材選定）
無機素材として無機素材６を、中空構造を有する無機粒子として中空構造を有する無機粒子１を、感光性有機成分としては、ポリマー２，光反応化合物１および２，光重合開始剤を用い、表面処理したアルミナシート上にこのペーストを塗布して厚み１００μｍの塗布膜を形成した。中空構造を有する無機粒子１の平均粒子径は２μｍ、空隙率は８５体積％、混合粉末中に占める無機粒子１の割合は４０重量％であった。