【手続補正書】
【提出日】平成20年9月18日(2008.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に設けられた誘電体多層膜と、該誘電体多層膜上に設けられたスイッチング素子と、該スイッチング素子上に設けられた層間絶縁膜と、該層間絶縁膜に形成された第１のコンタクトホールを介して前記スイッチング素子と電気的に接続された透明電極と、該透明電極上に設けられた発光層と、該発光層上に設けられた対向電極とを有し、
前記層間絶縁膜は、前記発光層と平面的に重なる領域には設けられず、
前記誘電体多層膜は、前記発光層と平面的に重なる領域にまで延在していることを特徴とする発光装置。
【請求項２】
請求項１において、前記層間絶縁膜上には、前記第１のコンタクトホールを介して前記スイッチング素子に接続された導電膜が設けられ、
前記導電膜上には絶縁保護膜が設けられ、
前記透明電極は、前記絶縁保護膜に形成された第２のコンタクトホールを介して前記導電膜に接続され、
前記絶縁保護膜は、前記発光層と平面的に重なる領域には設けられていないことを特徴とする発光装置。
【請求項３】
基板上に設けられた誘電体多層膜と、該誘電体多層膜上に設けられたスイッチング素子と、該スイッチング素子上に設けられた層間絶縁膜と、該層間絶縁膜に形成された第１のコンタクトホールを介して前記スイッチング素子に電気的に接続された透明電極と、該透明電極上に設けられた発光層と、該発光層上に設けられた対向電極を有する発光装置の製造方法であって、
前記基板上に誘電体多層膜を形成する誘電体多層膜形成工程を有し、
当該誘電体多層膜形成工程を行った後、少なくとも、前記スイッチング素子の形成工程、前記層間絶縁膜の形成工程、前記透明電極の形成工程、前記発光層の形成工程、および前記対向電極の形成工程をこの順に行い、かつ、
前記層間絶縁膜の形成工程では、前記第１のコンタクトホールを形成する際、前記発光層が形成される領域と平面的に重なる領域の前記層間絶縁膜を除去することを特徴とする発光装置の製造方法。
【請求項４】
請求項３において、前記発光層の形成工程では、前記層間絶縁膜の除去によって形成された凹部内に発光層形成用液状物の液滴を吐出した後、当該発光層形成用液状物を固化させて前記発光層を形成することを特徴とする発光装置の製造方法。
【請求項５】
請求項３において、前記層間絶縁膜の形成工程の後であって前記透明電極の形成工程の前に、前記層間絶縁膜の前記第１のコンタクトホールを介して前記スイッチング素子に接続する導電膜の形成工程、および絶縁保護膜の形成工程をこの順に行い、
前記絶縁保護膜の形成工程では、前記導電膜に前記透明電極を接続させる第２のコンタクトホールを形成する際、前記発光層が形成される領域と平面的に重なる領域の前記絶縁保護膜を除去することを特徴とする発光装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１または２のいずれかに記載の発光装置を備えていることを特徴とする電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明による発光装置は、基板上に設けられた誘電体多層膜と、該誘電体多層膜上に設けられたスイッチング素子と、該スイッチング素子上に設けられた層間絶縁膜と、該層間絶縁膜に形成された第１のコンタクトホールを介して前記スイッチング素子に電気的に接続された透明電極と、該透明電極上に設けられた発光層と、該発光層上に設けられた対向電極を有し、前記層間絶縁膜は、前記発光層と平面的に重なる領域には設けられず、前記誘電体多層膜は、前記発光層と平面的に重なる領域にまで延在していることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明において、前記層間絶縁膜上には、前記第１のコンタクトホールを介して前記スイッチング素子に接続された導電膜が設けられ、前記導電膜上には絶縁保護膜が設けられ、前記透明電極は、前記絶縁保護膜に形成された第２のコンタクトホールを介して前記導電膜に接続され、前記絶縁保護膜は、前記発光層と平面的に重なる領域には設けられていないことが好ましい。層間絶縁膜の上層側に導電膜を形成するとともに、この導電膜の上層に絶縁保護膜を形成すると、誘電体多層膜と透明電極との層間に絶縁保護膜が介在し、絶縁保護膜を含めて光共振器を構成することになり、不要な干渉が発生するが、本発明では、誘電体多層膜と透明電極との層間では、発光層と平面的に重なる領域の絶縁保護膜が除去されているので、スイッチング素子と基板との層間に誘電体多層膜を配置した場合でも、理想的な光共振器を構成することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明による発光装置の製造方法は、基板上に設けられた誘電体多層膜と、該誘電体多層膜上に設けられたスイッチング素子と、該スイッチング素子上に設けられた層間絶縁膜と、該層間絶縁膜に形成された第１のコンタクトホールを介して前記スイッチング素子に電気的に接続された透明電極と、該透明電極上に設けられた発光層と、該発光層上に設けられた対向電極を有する発光装置の製造方法であって、前記基板上に誘電体多層膜を形成する誘電体多層膜形成工程を有し、当該誘電体多層膜形成工程を行った後、少なくとも、前記スイッチング素子の形成工程、前記層間絶縁膜の形成工程、前記透明電極の形成工程、前記発光層の形成工程、および前記対向電極の形成工程をこの順に行い、かつ、前記層間絶縁膜の形成工程では、前記第１のコンタクトホールを形成する際、前記発光層が形成される領域と平面的に重なる領域の前記層間絶縁膜を除去することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明において、前記発光層の形成工程では、前記層間絶縁膜の除去によって形成された凹部内に発光層形成用液状物の液滴を吐出した後、当該発光層形成用液状物を固化させて前記発光層を形成することが好ましい。すなわち、発光層形成用液状物の液滴を吐出して発光層を形成する場合には、液滴が不要な領域に流出しないように、感光性樹脂により隔壁（バンク）を形成してもよいが、本発明では、層間絶縁膜の部分的な除去によって凹部が形成されるので、この凹部内に発光層形成用液状物の液滴を吐出すれば隔壁の形成を省略しても、液滴が不要な領域に流出しない。それ故、隔壁を形成するための工程を省略できるので、生産性が向上する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明において、前記層間絶縁膜の形成工程の後であって前記透明電極の形成工程の前に、前記層間絶縁膜の前記第１のコンタクトホールを介して前記スイッチング素子に接続する導電膜の形成工程、および絶縁保護膜の形成工程をこの順に行い、前記絶縁保護膜の形成工程では、前記基板上に前記絶縁保護膜を形成した後、当該絶縁保護膜を部分的にエッチングして前記導電膜に前記透明電極を接続させる第２のコンタクトホールを形成する際、前記発光層が形成される領域と平面的に重なる領域の前記絶縁保護膜を除去することが好ましい。絶縁保護膜の形成工程で第２のコンタクトホールを形成する際、発光層と平面的に重なる領域の絶縁保護膜を除去するので、発光層と平面的に重なる領域には、誘電体多層膜と透明電極との層間に絶縁保護膜が介在しない。従って、絶縁保護膜に起因する不要な干渉が発生しないので、理想的な光共振器を構成できる。しかも、かかる絶縁保護膜の除去は、第２のコンタクトホールの形成と同時に行うため、新たな工程の追加を一切、必要としない。