【手続補正書】
【提出日】平成20年6月20日(2008.6.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる複スロットバルブであって、
第１の面および第２の面を有するハウジングであって、前記ハウジングの第１の面に取り付けられた第１のモジュールと前記ハウジングの第２の面に取り付けられた第２のモジュールとの間で基板を通過するために、前記第１の面に第１のスロットを、前記第２の面に第２のスロットを有するハウジングと、
前記ハウジング内に動作可能に取り付けられ、前記第１のスロットを閉じることを可能にする第１のドアと、
前記ハウジング内に動作可能に取り付けられ、前記第２のスロットを閉じることを可能にする第２のドアと、
を備え、
前記第１および第２のドアは、それぞれ、前記第１および第２のスロットに重なる長さを有すると共に、前記ドアの長辺の中央に中心部を有し、
前記複スロットバルブは、さらに、前記第１および第２のドアの各々に結合され、前記第１および第２のドアの一方を選択的かつ別々に動かす共通アクチュエータ、を備え、前記共通アクチュエータは、それぞれのドアの前記中心部の位置において、前記第１のドアおよび前記第２のドアに取り付けられている、
複スロットバルブ。
【請求項２】  半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる複スロットバルブであって、
第１の面および第２の面を有するハウジングであって、前記ハウジングの第１の面に取り付けられた第１のモジュールと前記ハウジングの第２の面に取り付けられた第２のモジュールとの間で基板を通過するために、前記第１の面に第１のスロットを、前記第２の面に第２のスロットを有するハウジングと、
前記ハウジング内に動作可能に取り付けられ、前記第１のスロットを閉じることを可能にする第１のドアと、
前記ハウジング内に動作可能に取り付けられ、前記第２のスロットを閉じることを可能にする第２のドアと、
前記第１および第２のドアの各々に結合され、前記第１および第２のドアの一方を選択的かつ別々に動かすことで、それぞれ、前記第１および第２のスロットを閉じる共通アクチュエータであって、前記共通アクチュエータは中心位置を有し、前記共通アクチュエータが前記中心位置にある際に、前記第１のドアおよび前記第２のドアそれぞれが、前記第１のスロットおよび前記第２のスロットそれぞれから離れてそれらの間にある開位置に位置する、共通アクチュエータと、
解放可能な力を供給して、前記第１のドアおよび前記第２のドアが前記開位置に解放可能に保たれるように、前記共通アクチュエータを前記中心位置に保つバイアスアセンブリと、
を備える、複スロットバルブ。
【請求項３】  請求項２に記載の複スロットバルブであって、前記共通アクチュエータは、反対側に位置する第１および第２の面を有し、前記バイアスアセンブリは、さらに、
前記共通アクチュエータの前記第１および第２の面の各々に設けられた別個の弾性部を備え、
前記別個の弾性部の各々は、前記解放可能な力の一方を提供し、前記別個の弾性部の前記解放可能な力は、通常、力平衡にあることで、前記第１のドアおよび前記第２のドアが前記開位置に解放可能に保たれるように、前記共通アクチュエータを前記中心位置に保つ、複スロットバルブ。
【請求項４】  請求項２に記載の半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる複スロットバルブであって、さらに、
前記解放可能な力の内のそれぞれの力に抗し、前記第１および第２のドアの内の選択された一方をそれぞれの閉位置に動かすためのドア駆動装置であって、前記ドア駆動装置は、前記共通アクチュエータにそれぞれ接続された２つの別個の駆動部を含む、ドア駆動装置
を備える、複スロットバルブ。
【請求項５】  請求項４に記載の半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる複スロットバルブであって、
前記２つの駆動部の一方により、前記共通アクチュエータが前記第１および第２のドアを一緒に伸長・収縮軌道に沿ってそれぞれの開位置へ動かす動作と開位置から動かす動作が引き起こされ、
前記２つの駆動部の他方により、前記共通アクチュエータが前記解放可能な力の内の前記それぞれの力に抗し、第２の軌道にある前記第１および第２のドアの１つをそれぞれの開位置からそれぞれの閉位置へ動かす動作が引き起こされる、
複スロットバルブ。
【請求項６】  請求項４に記載の複スロットバルブであって、
前記第１および第２のドアのいずれもがそれぞれの閉位置にある必要がない場合には、前記ドア駆動装置が前記解放可能な力の内の前記それぞれの力に抗するのを中断し、
前記バイアスアッセンブリが、前記解放可能な力の内の前記それぞれの力に抗するのを中断している前記ドア駆動装置に影響し、前記解放可能な力を供給して前記共通アクチュエータを前記中心位置に保つ、
複スロットバルブ。
【請求項７】 半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる複スロットバルブであって、
第１の面および第２の面を有するハウジングであって、前記ハウジングの第１の面に取り付けられた第１のモジュールと前記ハウジングの第２の面に取り付けられた第２のモジュールとの間で基板を通過するために、前記第１の面に第１のスロットを、前記第２の面に第２のスロットを有するハウジングと、
前記ハウジング内に動作可能に取り付けられ、前記第１のスロットを閉じることを可能にする第１のドアと、
前記ハウジング内に動作可能に取り付けられ、前記第２のスロットを閉じることを可能にする第２のドアと、
前記第１および第２のドアに結合された１つのドアアクチュエータと、
前記第１および第２のドアを軸に対して中心に配置した状態で前記１つのドアアクチュエータを移動させるよう構成されたマウントであって、さらに、前記中心に配置されたドアを前記第１および第２のスロットの間の位置に移動させるよう構成されており、さらに、前記１つのドアアクチュエータを前記軸に対して傾斜した位置に傾斜させることで、前記傾斜した位置において、前記第１および第２のドアの一方が、前記第１および第２のスロットの内の対応する一方を閉じて、前記第１および第２のドアの他方が、前記スロットの内の対応する他方が開くように前記１つのドアアクチュエータによって配置される、マウントと、
前記１つのドアアクチュエータが前記ドアを中心に配置するように、前記マウントを作動させるためのコンピュータ制御された制御装置と、
を備える、複スロットバルブ。
【請求項８】 請求項７に記載の複スロットバルブであって、
前記第１および第２のドアが、前記軸に対して中心に配置されている時に、前記第１のドアおよび前記第２のドアのそれぞれが、前記第１のスロットおよび前記第２のスロットそれぞれから離れてそれらの間にある開位置に位置し、
前記複スロットバルブは、さらに、
前記１つのアクチュエータが、前記軸に対して中心に配置され、前記第１のドアおよび前記第２のドアが、前記開位置に保持されるように、前記マウントを保持するためのセンタリング機構を備え、
前記制御装置は、前記マウントが、前記第１および第２のスロットの間の前記位置から前記軸に沿って、前記中心に配置されたドアを移動させるように構成されている、
複スロットバルブ。
【請求項９】 請求項７に記載の複スロットバルブであって、さらに、
前記１つのドアアクチュエータを移動させて前記第１および第２のドアを前記第１および第２のスロットの間に配置させる動作を前記マウントに行わせるための駆動部を備える、複スロットバルブ。
【請求項１０】 請求項９に記載の複スロットバルブであって、さらに、
前記１つのドアアクチュエータが前記第１および第２のドアを前記第１および第２のスロットの間に配置させる時に、前記第１および第２のドアが前記第１および第２のスロットの間で中心に配置されるように前記１つのドアアクチュエータを配置する動作を、前記マウントに行わせるためのセンタリング機構
を備える、複スロットバルブ。
【請求項１１】 請求項７に記載の複スロットバルブであって、さらに、
前記第１および第２のドアが前記第１および第２のスロットの間の中央に配置された後に前記１つのドアアクチュエータを傾斜させるように、前記マウントに対して作用するよう構成された傾斜機構を備え、
前記傾斜機構は、前記１つのドアアクチュエータを前記傾斜した位置に傾斜させるように、前記マウントを配置する、
複スロットバルブ。
【請求項１２】 請求項７に記載の複スロットバルブであって、
前記制御装置は、前記１つのドアアクチュエータが、前記傾斜した位置に傾斜することで、前記第１および第２のスロットのそれぞれを閉じるように、前記マウントを作動させる、複スロットバルブ。
【請求項１３】 請求項１２に記載の複スロットバルブであって、
前記スロットの内の前記対応する他方が開くように配置された前記他方のドアは、前記スロットの内の前記対応する他方から離れていることで、前記閉じた方のスロットに対応するモジュールにおいて動作を継続しつつ、前記スロットの内の前記対応する他方の保守管理を可能にする、複スロットバルブ。
【請求項１４】 半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる複スロットバルブであって、
第１の面および第２の面を有するハウジングであって、前記ハウジングの第１の面に取り付けられた第１のモジュールと前記ハウジングの第２の面に取り付けられた第２のモジュールとの間で基板を通過するために、前記第１の面に第１のスロットを、前記第２の面に第２のスロットを有するハウジングと、
前記ハウジング内に取り付けられ、第１の軸の方向に移動することで前記第１のスロットを閉じることを可能にする第１のドアと、
前記ハウジング内に取り付けられ、前記第２の軸の前記方向に移動することで前記第２のスロットを閉じることを可能にする第２のドアと、
単一の部材からなる共通ドアアクチュエータであって、前記単一の部材は、前記第１の軸の前記方向に移動させるために前記第１および第２のドアのそれぞれを取り付け、前記共通ドアアクチュエータは縦軸を有する、共通ドアアクチュエータと、
前記縦軸および前記ドアが、前記第１および第２のスロットの間の中央の位置にあるように、前記第１の軸と直交する方向に前記縦軸を保ちつつ前記共通ドアアクチュエータを移動させるためのマウントと、
前記ドアが、前記第１および第２のスロットの間の前記中央の位置に到達した時に、前記マウントを移動させて前記共通ドアアクチュエータを傾斜させ、それにより、前記共通ドアアクチュエータは、前記第１および第２のドアの内の一方が前記スロットの内の一方を開いた状態で、前記スロットの内の他方を閉じるように前記第１および第２のドアの内の他方を移動させる、傾斜駆動部と、
前記第１および第２のドアの内の前記一方が前記スロットの内の前記一方を開いた状態で、前記スロットの内の前記他方を閉じるように前記マウントの移動を制御するためのコンピュータプログラム命令を備えるよう構成されたコンピュータワークステーションと、
を備える、複スロットバルブ。
【請求項１５】 請求項１４に記載の複スロットバルブであって、
前記傾斜駆動部は、さらに、
前記共通ドアアクチュエータを傾斜させるために前記マウントに作用するよう構成された機構を備え、
前記傾斜は、前記第１の軸に対する前記縦軸の方向を垂直から鋭角に変更し、
前記傾斜が、前記第１の軸に沿った第１の方向にある時に、前記共通ドアアクチュエータは、前記第２のドアが前記第２のスロットを開いた状態で、前記第１のスロットを閉じるように前記第１のドアを移動させ、前記傾斜が、前記第１の軸に沿った第２の方向にある時に、前記共通ドアアクチュエータは、前記第１のドアが前記第１のスロットを開いた状態で、前記第２のスロットを閉じるように前記第２のドアを移動させる、
複スロットバルブ。
【請求項１６】 請求項１４に記載の複スロットバルブであって、さらに、
前記第１の軸に直交する方向に前記縦軸を保ちつつ前記共通ドアアクチュエータを移動させるための駆動部と、
前記ワークステーションに接続された制御装置であって、前記マウントが、前記第１の軸に直交する方向に前記縦軸を保ちつつ前記共通ドアアクチュエータを移動させ、前記傾斜駆動部が、前記ドアが前記第１および第２のスロットの間の中央の位置に到達した時に、前記共通ドアアクチュエータを傾斜させるように、前記駆動部を作動させる、制御装置と、
を備える、複スロットバルブ。
【請求項１７】 請求項１６に記載の複スロットバルブであって、さらに、
前記第１の軸に直交する方向に前記縦軸を保ちつつ前記共通ドアアクチュエータが移動される時に、前記第１および第２のドアが前記第１および第２のスロットの間の中央の位置にあるように前記共通ドアアクチュエータを配置するよう、前記マウントを保持するためのアセンブリを備える、複スロットバルブ。
【請求項１８】 請求項１４に記載の複スロットバルブであって、
前記マウントは、前記コンピュータワークステーションに応答して、前記ドアを前記第１の軸から離して配置するように前記共通ドアアクチュエータを移動させるよう構成されている、複スロットバルブ。
【請求項１９】  処理モジュールと搬送モジュールを備えた半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる複スロットバルブであって、
第１の処理モジュール面および第２の搬送モジュール面を有する真空容器であって、前記処理モジュールと前記搬送モジュールとの間で基板を通過するために、前記第１の面に処理モジュールスロットを、前記第２の面に搬送モジュールスロットを有し、前記真空容器の前記第１の面は第１の壁面を有し、前記真空容器の前記第２の面は第２の壁面を有する、真空容器と、
閉軌道に沿って前記処理モジュールスロットと前記搬送モジュールスロットに近づく方向と離れる方向に前記真空容器内で動くことのできるドア取り付け端を有する共通アクチュエータであって、前記ドア取り付け端が、前記閉軌道とほぼ直交するアクセス軌道に沿って前記真空容器から離れる方向に動くことができ、それにより、前記処理モジュールスロットと前記搬送モジュールスロットの間を直線的に開放する、共通アクチュエータと、
前記処理モジュールスロットを開閉するために前記閉軌道に沿って動くように、前記共通アクチュエータの前記ドア取り付け端に取り付けられた第１のドアであって、上位置と下位置の間の前記アクセス軌道に沿って動くように前記共通アクチュエータにより取り付けられており、前記上位置においては、前記第１の壁面にアクセスを可能にするように前記真空容器の前記第１の壁面に平行でそこから離れる、第１のドアと、
前記搬送モジュールスロットを開閉するために前記閉軌道に沿って動くように、前記共通アクチュエータの前記ドア取り付け端に取り付けられた第２のドアであって、上位置と下位置の間の前記アクセス軌道に沿って動くように前記共通アクチュエータにより取り付けられており、前記上位置においては、前記第２の壁面にアクセスを可能にするように前記真空容器の前記第２の壁面に平行でそこから離れる、第２のドアと、
前記閉軌道に沿って前記処理モジュールスロットと前記搬送モジュールスロットそれぞれに向かう方向と離れる方向に前記真空容器内で前記アクチュエータの前記ドア取り付け端を動かすために、第１の駆動部を有する複動式アクチュエータ機構であって、前記アクセス軌道に沿って前記共通アクチュエータの前記ドア取り付け端を動かし前記真空容器から離すために、第２の駆動部を有する、アクチュエータ機構と、
を備える、複スロットバルブ。
【請求項２０】  請求項１９記載の複スロットバルブであって、さらに、
前記ドア取り付け端と反対の位置にあるバイアス駆動端を有する前記共通アクチュエータであって、前記バイアス駆動端と前記ドア取り付け端との間の軸を中心に回転するように取り付けられた、共通アクチュエータと、
前記アクチュエータの前記ドア取り付け端を前記閉軌道に沿って前記処理モジュールスロットと前記搬送モジュールスロットそれぞれから離してそれらの間に弾性的に保持するために、前記アクチュエータの前記バイアス駆動端に取り付けられた複動式弾性バイアス機構と、
を備える、複スロットバルブ。
【請求項２１】  請求項１９記載の複スロットバルブであって、さらに、
前記第１の駆動部および前記第２の駆動部を別々に制御するための制御装置と、
前記第２のドアを前記閉位置に置き、前記搬送モジュールが修理モード以外で稼動することを許容すると同時に、前記処理モジュールの修理のために前記第１のドアを前記閉位置以外の位置に置くことができるようにするために、前記制御装置に接続されたコンピュータワークステーションと、
を備える、複スロットバルブ。
【請求項２２】  請求項２１記載の複スロットバルブであって、さらに、
前記ドアの修理を容易にするためのドアアクセスポートを有する前記真空容器と、
前記制御装置によって、前記複動式アクチュエータ機構を作動させ、前記第１のドアおよび前記第２のドアを前記アクセス軌道に沿ってそれぞれの前記上位置に移動させ、前記第１のドアを前記閉軌道に沿って開位置に移動させ、前記第２のスロットを閉じるために前記第２のドアを前記閉軌道に沿って移動させる、コンピュータプログラム命令を備え、両方のドアの前記上位置において、前記第１のドアが前記開位置にある際に、前記第１のドアが前記ドアアクセスポートを介して供給される別のドアと交換される位置にある、前記コンピュータワークステーションと、
を備える、複スロットバルブ。
【請求項２３】  請求項２１記載の複スロットバルブであって、さらに、
前記ドア取り付け端と反対の位置にあるバイアス駆動端を有する前記共通アクチュエータであって、前記バイアス駆動端と前記ドア取り付け端との間の軸を中心に回転するように取り付けられた、共通アクチュエータと、
前記共通アクチュエータの前記バイアス駆動端を前記軸を中心に回転させ、前記共通アクチュエータの前記ドア取り付け端を前記閉軌道に沿って前記処理モジュールスロットと前記搬送モジュールスロットそれぞれから離れてそれらの間にある位置に解放可能に保持するために、前記共通アクチュエータの前記バイアス駆動端に作用するよう構成された複動式弾性バイアス機構と、
前記真空容器へのアクセスを容易にするためのドアアクセスポートを有する前記真空容器と、
前記制御装置によって、前記複動式アクチュエータ機構を作動させ、前記バイアス機構に、離れていて間にある前記位置に前記ドア取り付け端を解放可能に保つことを許容させ、前記第１のドアおよび前記第２のドアを前記アクセス軌道に沿って前記下位置に移動させ、前記アクセスポートを介して前記第１および第２の壁面の修理を可能にするためのコンピュータプログラム命令を備える前記コンピュータワークステーションと、
を備える、複スロットバルブ。