(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物が載置される検査ステージにおいて、
前記検査対象物が載置されるべき載置面を有する載置板と、
前記載置板の両側に沿ってそれぞれ配置され、それぞれのローラ群が複数のローラを有する一対のローラ群と、
前記複数のローラの上端が前記載置面より上方となる上方位置と前記複数のローラの上端が前記載置面よりも下方となる下方位置との間で、前記一対のローラ群を変位させる変位手段と、
を備え、
前記変位手段は、前記複数のローラに検査対象物が支持された状態で、前記複数のローラの上端を前記下方位置に変位させることで、前記検査対象物を前記載置板に載置させ、前記載置板に検査対象物が載置された状態で、前記複数のローラの上端を前記上方位置に変位させることで、前記検査対象物を前記載置板から取り上げることを特徴とする検査ステージ。
【請求項２】
請求項１に記載の検査ステージにおいて、
前記一対のローラ群の一方側に配置された第１位置決め部材と、
前記変位手段によって前記一対のローラ群を前記上方位置から前記下方位置に変位させる動作に応じて、前記検査対象物を前記第１位置決め部材側に付勢する第１付勢手段と、
をさらに備えることを特徴とする検査ステージ。
【請求項３】
請求項２に記載の検査ステージにおいて、
前記第１付勢手段が、前記検査対象物を付勢する際に、前記検査対象物の大きさに応じて、前記検査対象物に当接する押さえ部材の移動距離を調節することを特徴とする検査ステージ。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の検査ステージにおいて、
前記複数のローラの配列方向と直交する方向に関して前記載置面の一方側に配置された第２位置決め部材をさらに備え、
前記変位手段が、前記ローラ群を変位させるために操作される操作レバーを有し、前記複数のローラの上端が前記下方位置となるように操作されたときの前記操作レバーで、前記第２位置決め部材と対向する前記載置面の他方側から検査対象物を第２位置決め部材側に付勢する第２付勢手段と、
を備えることを特徴とする検査ステージ。
【請求項５】
請求項４に記載の検査ステージにおいて、
前記複数のローラの配列方向と直交する方向に関して、前記載置面の一方側に前記第２位置決め部材より前記載置板側に配置された第３位置決め部材をさらに備え、
前記第３位置決め部材が、前記載置面に対して略垂直方向に進退することを特徴とする検査ステージ。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の検査ステージにおいて、
前記一対のローラ群上で移動する前記検査対象物を、前記複数のローラの配列方向に沿うようにガイドするガイド部材をさらに備えることを特徴とする検査ステージ。
【請求項７】
請求項６に記載の検査ステージにおいて、
前記一対のローラ群が、
前記ガイド部材を有することを特徴とする検査ステージ。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載の検査ステージにおいて、
前記載置板の少なくとも前記両側に設けられ、前記載置板を支持する支持板をさらに備え、
前記支持板が、前記変位手段による前記ローラ群の変位を許容するための切り欠き部を有することを特徴とする検査ステージ。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の検査ステージにおいて、
前記載置板は、前記載置面に載置された前記検査対象物を前記載置面を介して照明するための照明光に対して透過性を有することを特徴とする検査ステージ。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかに記載の検査ステージにおいて、
前記変位手段が、
前記複数のローラのローラ軸がそれぞれ固定された回動軸と、
前記回動軸をその軸心周りに回動させる操作レバーと、
を有することを特徴とする検査ステージ。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれかに記載の検査ステージにおいて、
前記一対のローラ群のローラ軸が、口径の異なる複数のローラを有することを特徴とする検査ステージ。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の検査ステージにおいて、
前記一対のローラ群の一方のローラ軸が、
前記検査対象物に対して、前記複数のローラの配列方向と直交する方向の位置決めを行う第４位置決め部材を有し、
前記一対のローラ群の他方のローラ軸が、前記第４位置決め部材側に前記検査対象物を付勢する付勢部材を有することを特徴とする検査ステージ。
【請求項１３】
請求項１２に記載の検査ステージにおいて、
前記第４位置決め部材および／または前記付勢部材がローラであることを特徴とする検査ステージ。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれかに記載の検査ステージと、前記検査ステージに載置された検査対象物を撮像して、検査対象物の画像データを取得する撮像手段と、
前記撮像手段によって取得された前記画像データに基づいて、検査対象物の欠陥を検出する欠陥検出手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の検査装置において、
前記検査ステージに対して前記検査対象物を搬出入する搬出入部と、前記撮像手段が配置された検査部との間で前記検査ステージを移動させるステージ移動手段をさらに備えることを特徴とする検査装置。
【請求項１６】
請求項１４または１５に記載の検査装置において、
前記搬出入部にある前記検査ステージ上の前記検査対象物の上方空間を覆う開閉自在なカバー部材をさらに備えることを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査対象物を載置するための検査ステージおよび検査ステージ上の検査対象物を検査する検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント基板の基材の表面に形成された感光性のレジスト膜に配線パターンなどを焼き付けるために使用するガラスマスク板や、プリント基板などの板状の検査対象物は、オペレータによって検査装置に設けられた検査ステージ上に載置され、その外観を光学的に検査される。さらに、検査が終了した後、検査対象物はオペレータによって検査ステージ上から取り上げられる。
【０００３】
このとき、検査対象物の下面が検査ステージの表面および表面上の異物と擦れることによって検査対象物の下面に傷が付くことがある。これを防止するため、オペレータは検査対象物を所望の位置に載置する場合や、あるいは検査終了後に検査対象物を取り上げる場合には、検査対象物を持ち上げ、可能な限り検査ステージ上で検査対象物を滑らせることのないようにしなければならない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、これらガラスマスク板などの検査対象物は重量が大きいため、検査対象物を検査ステージ上で滑らせずに取り扱うことは、オペレータにかかる負担が大きくなるという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、オペレータに負担をかけることなく検査の精度を向上させ、かつ検査対象物を傷つけることを防止する検査ステージおよび検査装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、請求項１の発明は、検査対象物が載置される検査ステージにおいて、前記検査対象物が載置されるべき載置面を有する載置板と、前記載置板の両側に沿ってそれぞれ配置され、それぞれのローラ群が複数のローラを有する一対のローラ群と、前記複数のローラの上端が前記載置面より上方となる上方位置と前記複数のローラの上端が前記載置面よりも下方となる下方位置との間で、前記一対のローラ群を変位させる変位手段と、を備え、前記変位手段は、前記複数のローラに検査対象物が支持された状態で、前記複数のローラの上端を前記下方位置に変位させることで、前記検査対象物を前記載置板に載置させ、前記載置板に検査対象物が載置された状態で、前記複数のローラの上端を前記上方位置に変位させることで、前記検査対象物を前記載置板から取り上げる。
【０００７】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る検査ステージにおいて、前記一対のローラ群の一方側に配置された第１位置決め部材と、前記変位手段によって前記一対のローラ群を前記上方位置から前記下方位置に変位させる動作に応じて、前記検査対象物を前記第１位置決め部材側に付勢する第１付勢手段と、をさらに備える。
【０００８】
また、請求項３の発明は、請求項２の発明に係る検査ステージにおいて、前記第１付勢手段が、前記検査対象物を付勢する際に、前記検査対象物の大きさに応じて、前記検査対象物に当接する押さえ部材の移動距離を調節する。
【０００９】
また、請求項４の発明は、請求項１ないし３のいずれかの発明に係る検査ステージにおいて、前記複数のローラの配列方向と直交する方向に関して前記載置面の一方側に配置された第２位置決め部材をさらに備え、前記変位手段が、前記ローラ群を変位させるために操作される操作レバーを有し、前記複数のローラの上端が前記下方位置となるように操作されたときの前記操作レバーで、前記第２位置決め部材と対向する前記載置面の他方側から検査対象物を第２位置決め部材側に付勢する第２付勢手段と、を備える。
【００１０】
また、請求項５の発明は、請求項４の発明に係る検査ステージにおいて、前記複数のローラの配列方向と直交する方向に関して、前記載置面の一方側に前記第２位置決め部材より前記載置板側に配置された第３位置決め部材をさらに備え、前記第３位置決め部材が、前記載置面に対して略垂直方向に進退する。
【００１１】
また、請求項６の発明は、請求項１ないし５のいずれかの発明に係る検査ステージにおいて、前記一対のローラ群上で移動する前記検査対象物を、前記複数のローラの配列方向に沿うようにガイドするガイド部材をさらに備える。
【００１２】
また、請求項７の発明は、請求項６の発明に係る検査ステージにおいて、前記一対のローラ群が、前記ガイド部材を有する。
【００１３】
また、請求項８の発明は、請求項１ないし７のいずれかの発明に係る検査ステージにおいて、前記載置板の少なくとも前記両側に設けられ、前記載置板を支持する支持板をさらに備え、前記支持板が、前記変位手段による前記ローラ群の変位を許容するための切り欠き部を有する。
【００１４】
また、請求項９の発明は、請求項１ないし８のいずれかの発明に係る検査ステージにおいて、前記載置板は、前記載置面に載置された前記検査対象物を前記載置面を介して照明するための照明光に対して透過性を有する。
【００１５】
また、請求項１０の発明は、請求項１ないし９のいずれかの発明に係る検査ステージにおいて、前記変位手段が、前記複数のローラのローラ軸がそれぞれ固定された回動軸と、前記回動軸をその軸心周りに回動させる操作レバーと、を有する。
【００１６】
また、請求項１１の発明は、請求項１ないし１０のいずれかの発明に係る検査ステージにおいて、前記一対のローラ群のローラ軸が、口径の異なる複数のローラを有する。
【００１７】
また、請求項１２の発明は、請求項１ないし１１のいずれかの発明に係る検査ステージにおいて、前記一対のローラ群の一方のローラ軸が、前記検査対象物に対して、前記複数のローラの配列方向と直交する方向の位置決めを行う第４位置決め部材を有し、前記一対のローラ群の他方のローラ軸が、前記第４位置決め部材側に前記検査対象物を付勢する付勢部材を有する。
【００１８】
また、請求項１３の発明は、請求項１２の発明に係る検査ステージにおいて、前記第４位置決め部材および／または前記付勢部材がローラである。
【００１９】
また、請求項１４の発明は、請求項１ないし１３のいずれかの発明に係る検査ステージと、前記検査ステージに載置された検査対象物を撮像して、検査対象物の画像データを取得する撮像手段と、前記撮像手段によって取得された前記画像データに基づいて、検査対象物の欠陥を検出する欠陥検出手段と、を備える。
【００２０】
また、請求項１５の発明は、請求項１４の発明に係る検査装置において、前記検査ステージに対して前記検査対象物を搬出入する搬出入部と、前記撮像手段が配置された検査部との間で前記検査ステージを移動させるステージ移動手段をさらに備える。
【００２１】
また、請求項１６の発明は、請求項１４または１５の発明に係る検査装置において、前記搬出入部にある前記検査ステージ上の前記検査対象物の上方空間を覆う開閉自在なカバー部材をさらに備える。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付の図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００２３】
＜１．  第１の実施の形態＞
図１は、本実施の形態における検査装置１の正面図である。検査装置１は、検査部２、検査部２の前側に搬出入部３、およびラック４を備える。ラック４には、各種データや画像を表示する表示部５、オペレータの指示を入力するためのキーボード６およびマウス７が設置される（図３）。
【００２４】
図２は、ラック４に係る構成を除いた検査装置１の側面図である。検査部２は、検査装置１に係る各種演算および制御を行う制御部２０と、検査対象物であるガラスマスク板９１（図５）を撮影し、ガラスマスク板の画像データを取得する撮影部２１と、後述する検査ステージ３０に載置されたガラスマスク板９１を、検査ステージ３０を介して下方から照明する照明部３９とをその内部に備える。なお、制御部２０等がこの発明の欠陥検出手段に相当するものであり、撮影部２１によって取得されたガラスマスク板の画像データに対して、パターンマッチング法やデザインルールチェック法等の画像処理を実行して、ガラスマスク板に形成されたパターン等の欠陥を検出する。また、撮影部２１等がこの発明の撮像手段に相当する。搬出入部３はカバー８０および８１を備え、カバー８０にはカバー８０を開閉する際に使用する取手８２および蝶番８３が設けられている。なお、カバー８０等がこの発明のカバー部材に相当する。
【００２５】
また、検査装置１は、ガラスマスク板９１等の検査対象物を保持する検査ステージ３０を備える。この検査ステージ３０は、図示しないステージ移動機構によって、検査部２と搬出入部３との間でＹ方向に沿って往復移動させられる。ステージ移動機構は、例えば、検査ステージ３０に螺合され、Ｙ方向に延設されたボールネジと、このボール螺子を回転駆動するモータとで構成される。そして、このモータを制御部２０で制御してボール螺子を正逆回転駆動して、検査ステージをＹ方向に沿って往復移動させれば良い。
【００２６】
これにより、搬出入部３と検査部２との間で検査ステージ３０を移動させることができ、検査対象物を搬出入しやすい搬出入部３で、検査対象物の載置および取り上げ作業を行うことができることからオペレータの負担を削減することができる。
【００２７】
図３は、検査装置１を上から見た図である。カバー８０は、蝶番８３により搬出入部３のフレーム本体に開閉自在に第３取付部材８０２（図４）を介して取り付けられ、搬出入部３にある検査ステージ３０上のガラスマスク板９１の上方空間を覆うようになっている。カバー８１は、蝶番８４により搬出入部３のフレーム本体に開閉自在に第３取付部材８０２を介して取り付けられる。
【００２８】
図４は、図３に示すIV−IV線断面図であり、カバー８０および８１の開閉の様子を示した図である。なお、検査装置１には、図４に示すような構成が左側面にも同様に設けられている。図４に示すように、カバー８０の裏面側方部には第１取付部材８００が固定されており、第１取付部材８００と第１結合部材８５とがビス８８により取り付けられる。第１結合部材８５と第２結合部材８６とはビス８９により結合しており、第２結合部材８６は搬出入部３の本体フレームに図示しないブラケットを介して、カバー８０内の空間に固定された第２取付部材８０１にビス８７により取り付けられている。ビス８７ないしビス８９による取付は、ビス８７ないしビス８９のそれぞれを中心に回動することができるようにされている。また、カバー８０は搬出入部３の本体フレームに図示しないブラケットを介して、カバー８０および８１内の空間に固定されている第３取付部材８０２に取り付けられた蝶番８３と結合している。このような構成により、カバー８０は、蝶番８３の軸心を中心にほぼ４５°回動することができ、オペレータにより開閉自在とされている。さらに、カバー８１は蝶番８４により第３取付部材８０２に取り付けられており、蝶番８４の軸心を中心に回動可能である。
【００２９】
これにより、検査対象物や検査ステージ上に異物が進入することを防止することができ、異物によって検査対象物が傷つけられることを防止することができる。また、カバー８１も、開閉することができ、カバー８０および８１を取り外すことなく、撮影部２１などの検査部２のメンテナンスを行うことができる。
【００３０】
図５は、搬出入部３内の検査ステージ３０を上から見た図である。図５においてカバー８０などの構成は省略してある。検査ステージ３０は、載置板３１、支持板３２、操作レバー３３（３３ａ，３３ｂ）、上下ローラ３４、第１位置決めローラ３５、押さえ機構３６、第２位置決めローラ３７、およびガイド部材３８を備える。
【００３１】
載置板３１の上面は、検査時にはガラスマスク板９１が載置される。さらに、載置板３１は照明部３９からの照明光を遮蔽しないために光透過性のある部材で形成され、この結果、撮影部２１が鮮明な画像を撮影することができ、検査精度を向上することができる。また、支持板３２は、例えばアルミなどの金属製であり、載置板３１を設置するために載置板３１の両側を含む載置板３１の周囲に設けられる。
【００３２】
操作レバー３３（操作レバー３３ａおよび３３ｂの総称）は、ガラスマスク板９１を検査ステージ３０に載置する際、あるいは取り上げる際にオペレータによって操作される。操作レバー３３ａにより操作されるシャフト３４３ａと、操作レバー３３ｂにより操作されるシャフト３４３ｂとは、載置板３１の両側に沿ってそれぞれ配置され、それぞれ５つの上下ローラ３４が固定される。また、シャフト３４３ａには、押さえ機構３６の後述する偏心カム３６３（図１１）がさらに固定されている。なお、シャフト３４３ａおよび３４３ｂに固定される上下ローラ３４の数は、５つに限られるものではない。なお、操作レバー３３、シャフト３４３ａ，３４３ｂなどで、この発明の変位手段が構成されている。
【００３３】
上下ローラ３４は、詳細は後述するが、ガラスマスク板９１の検査対象領域外に当接するとともに、ガラスマスク板９１をＺ軸方向に移動させる機能を有するとともに、ガラスマスク板９１をＹ軸方向に移動させる際にはローラ上を滑らせることにより、摩擦を最小限に抑える機能をも有する。また、上下ローラ３４は、載置板３１の両側にＹ軸方向に沿って複数配置され、これらの上下ローラ３４によってこの発明の一対のローラ群が構成されている。
【００３４】
第１位置決めローラ３５は、シャフト３４３ｂの側に配置され、押さえ機構３６によりガラスマスク板９１がＸ方向に付勢される際に、ガラスマスク板９１の位置決めを行う。また、第２位置決めローラ３７は、Ｘ軸方向（上下ローラ３４の配列方向と直交する方向）に関して載置板３１の一方側に配置され、操作レバー３３によりガラスマスク板９１がＹ方向に付勢される際に、ガラスマスク板９１の位置決めを行う。なお、第１位置決めローラ３５、第２位置決めローラ３７は、この発明の第１位置決め部材、第２位置決め部材にそれぞれ相当する。
【００３５】
ガイド部材３８は、シャフト３４３ａおよび３４３ｂに沿って固定される。これにより、上下ローラ３４上で移動するガラスマスク板９１を、Ｙ軸方向（上下ローラ３４の配列方向）に沿うようガイドすることができる。この結果、ガラスマスク板９１の載置または取り上げ作業時に、ガラスマスク板９１を上下ローラ３４上でスムーズに移動させることができる。
【００３６】
図６は、操作レバー３３ａを検査装置１の前面方向から示す外観図である。操作レバー３３ａは、握り部３３０および付勢部材３３１から構成され、シャフト３３２を差し込む固定穴３３９を有する。操作レバー３３ａは、シャフト３３２に固定穴３３９と固定ピン３３３により固定されている。
【００３７】
シャフト３３２は、操作レバー３３ａが図６において左右に回動操作されることにより、軸心を中心に回動可能とされている。なお、以下、操作レバー３３ａをシャフト３３２の軸心を中心に図６において左回転させる操作を「操作Ａ」、右回転させる操作を「操作Ｂ」とする。
【００３８】
ストッパー３３６は、検査ステージ３０に固定された支持部材３３５に逆Ｌ字状になるように固定されている。そして、上部に張り出した部分に操作レバー３３ａを引っかけることができ、操作レバー３３ａがオペレータの操作なしに上方に回転（操作Ｂに相当）しないように保持する機能を有する。
【００３９】
図７および図８は、操作レバー３３ａを上方向より見た図である。図７および図８に示す操作レバー３３ａは、いずれも、ほぼ水平状態である。
【００４０】
操作レバー３３ａは、シャフト３３２に対して固定ピン３３３の軸心を中心に回動可能とされており、オペレータが操作レバー３３ａを仮想線で示す位置まで回動させる（以下、操作レバー３３ａを固定ピン３３３の軸心を中心に図７において左回転させる操作を「操作Ｃ」と称する。）ことにより、ストッパー３３６をはずすことができ、操作Ａおよび操作Ｂが可能となる。
【００４１】
また、操作レバー３３ａは、握り部３３０に取り付けられたレバー付勢バネ３３４により図８において固定ピン３３３の軸心を中心に右回転する方向に常に付勢されており、オペレータが操作していない状態では図８の仮想線に示すように、右回転方向に回動する。このとき、検査ステージ３０にガラスマスク板９１が載置されている場合は、操作レバー３３ａの付勢部材３３１がガラスマスク板９１をＹ方向（検査装置１において後方向）に付勢する。また、ガラスマスク板９１が載置されていない場合であっても、ストッパー３３６により所定位置以上回転しないように保持される。
【００４２】
これにより、ほぼ水平状態になるように操作されたときの操作レバー３３で、第２位置決めローラ（図５）３７と対向する載置板３１の他方側からガラスマスク板９１を第２位置決めローラ３７側に付勢することができ、ガラスマスク板９１をＹ軸方向に位置決めすることができる。このように、付勢部材３３１、レバー付勢バネ３３４などにより、この発明の第２付勢手段が構成されている。
【００４３】
さらに、シャフト３３２は図７に示すように、内部に円筒状の空洞を有しており、５つの上下ローラ３４の軸部３４０（図９）がそれぞれ固定されたシャフト３４３ａの先端がシャフト３３２と軸心が同じになるように内部にはめ込まれている。シャフト３４３ａのシャフト３３２にはめ込まれている部分にはピン３４４が固定されており、シャフト３３２の切り欠き穴３３８にはめ込まれることにより、シャフト３４３ａがシャフト３３２から抜けないようにされている。
【００４４】
これにより、操作レバー３３ａを操作することにより、シャフト３３２を回動させると、シャフト３４３ａをその軸心周りに回動させることができる。
【００４５】
また、切り欠き穴３３８がピン３４４よりも図７においてＸ軸方向に長い形状となっていることから、シャフト３３２が軸心を中心に回動した場合でも、ピン３４４が切り欠き穴３３８の縁に当たるまでシャフト３４３ａは回動しないようにされている。
【００４６】
図９は、シャフト３４３ａに固定された上下ローラ３４と押さえ機構３６とを示す図である。図９には上下ローラ３４を２つ記載しているが、実際には図５に示すようにシャフト３４３ａには、５つの上下ローラ３４が固定されている。
【００４７】
上下ローラ３４は、軸部３４０の先端部分にビス３４２によりローラ３４１を回動可能に取り付けた構成を有する。
【００４８】
図１０は、上下ローラ３４の動作を示す図である。なお、図１０において上下ローラ３４を上方位置にある場合は実線で、下方位置にある場合は仮想線で示す。上下ローラ３４の軸部３４０はシャフト３４３ａに固定され、シャフト３４３ａに対しては回動できないようにされている。ただし、シャフト３４３ａが軸心を中心に回動されることにより、上下ローラ３４も回動し、ローラ３４１の位置がＺ軸方向に移動する。
【００４９】
ここで、操作レバー３３ａと上下ローラ３４との位置関係について説明すると、操作レバー３３ａがほぼ垂直（図６における実線で示す位置）である場合に上下ローラ３４は上方位置となり、操作レバー３３ａがほぼ水平（図６における仮想線で示す位置）である場合に上下ローラ３４は下方位置となる。なお、支持板３２に切り欠き部３２０を設けることにより、上下ローラ３４の動作を妨げないようにすることができて、操作レバー３３ａの操作による上下ローラ３４の変位を許容することができる。
【００５０】
オペレータは、図１０に示すように各上下ローラ３４が上方位置にある状態（操作レバー３３ａがほぼ垂直状態）で、図５に示す載置板３１の両側に配置された手前側（Ｙ方向と逆側）の例えば各２個分のローラ３４１（図１０）上に、ガラスマスク板９１の先端部の両端を載せる。そして、ガラスマスク板９１を各ローラ３４１上で、その先端が第２位置決めローラ３７に当接するまでＹ方向に向けて滑らせて移動させる。この移動に伴って各ローラ３４１はガラスマスク板９１の検査対象領域外の裏面に当接しつつ回転し、移動途中においてガラスマスク板９１が蛇行したときは、ガラスマスク板９１の両側面は各ガイド部材３８によってＹ方向に沿うようにガイドされる。移動を終えて各ローラ３４１に支持されたガラスマスク板９１の下面は載置板３１の上面よりも高い位置にあり、ガラスマスク板９１と載置板３１とは離間している。このように、ガラスマスク板９１を各ローラ３４１上で滑らせて載置板３１の上方に移動させることによって、オペレータは大型で重いガラスマスク板９１を載置板３１の上方で手を伸ばして持つ必要がなくなり、作業負担が軽減される。
【００５１】
次に、オペレータが操作Ａを行うことによりシャフト３４３ａが回動し、それとともに上下ローラ３４もシャフト３４３ａの軸心を中心に図１０において左周りに回動する。ローラ３４１とガラスマスク板９１の下面が接する点が載置板３１の上面とほぼ同じ高さになったときに、ガラスマスク板９１が載置板３１の載置面に載置される。そして、操作レバー３３ａがほぼ水平状態となったときに上下ローラ３４が下方位置になる。
【００５２】
また、検査が終了してガラスマスク板９１を撤去する際には、オペレータが操作Ｂを行うことによりシャフト３４３ａが回動し、それとともに上下ローラ３４もシャフト３４３ａの軸心を中心に図１０において右周りに回動する。ローラ３４１の上端が載置板３１の上面とほぼ同じ高さになったときに、ガラスマスク板９１が再び各上下ローラ３４により支持され、さらに各上下ローラ３４が回動することによりガラスマスク板９１は載置板３１の載置面から持ち上げられる。そして、オペレータは、上述の載置動作手順とは逆の動作手順で、各上下ローラ３４に支持されたガラスマスク板９１を、各上下ローラ３４上を滑らせつつＹ方向と逆方向に移動させた後、その先端部のみが例えば両側２個ずつの上下ローラ３４に支持されたガラスマスク板９１を各上下ローラ３４から持ち上げる。このようにして、載置板３１からガラスマスク板９１が取り上げられる。この取り上げ作業時においても、上述の載置作業と同様に、オペレータは大型で重いガラスマスク板９１を載置板３１の上方で手を伸ばして持つ必要がなくなり、作業負担が軽減される。
【００５３】
これにより、複数の上下ローラ３４の上端が載置板３１の載置面より上方となる上方位置と、複数の上下ローラ３４の上端が載置板３１の載置面より下方となる下方位置との間で、一対のローラ群を変位させることができ、ガラスマスク板９１を載置板３１上で滑らせることなく載置することができることから、検査時の載置、取り上げ作業中に検査対象物に傷を付けないようにすることができる。
【００５４】
図９に戻って、押さえ機構３６は、固定台３６０、シャフト３６１、移動台３６２、偏心カム３６３、押さえローラ３６５、ローラ用シャフト３６７、押さえ板３６８およびバネ３６４、３６６から構成される。
【００５５】
図１１は、押さえ機構３６の外観図である。固定台３６０は、凹部を有する形状であり、支持板３２に固定されている。固定台３６０の凹部には移動台３６２がＸ軸方向に移動可能な状態で搭載されている。固定台３６０にはシャフト３６１が移動台３６２に設けられたシャフト用穴３６２ａに通された状態で固定されており、移動台３６２のＺ軸方向の移動はできないようにされている。また、移動台３６２は、固定台３６０と固定台３６０の上方を覆う図示しない蓋とで形成される空間に配置されているため、移動台３６２がシャフト３６１の軸心を中心に回動することもない。ただし、シャフト用穴３６２ａが図９に示すようにＸ軸方向に長い形状であることから、移動台３６２はＸ軸方向に移動可能である。なお、押さえローラ３６５が支持板３２に触れることのないように、支持板３２には切り欠き部３２１が設けられている。
【００５６】
移動台３６２には押さえ板３６８が固定されており、これを偏心カム３６３がＸ方向に押すことにより、移動台３６２がＸ方向に移動する。偏心カム３６３は、シャフト３４３ａに固定されており、操作Ａによりシャフト３４３ａが回動すると押さえ板３６８をＸ方向に付勢する。
【００５７】
すなわち、オペレータが操作Ａを行うと、シャフト３４３ａが回動して偏心カム３６３により移動台３６２がＸ方向に移動する。このとき、押さえローラ３６５がガラスマスク板９１をＸ方向に付勢する。
【００５８】
これにより、一対のローラ群を上方位置から下方位置に変位させる動作（操作Ａ）に応じて、ガラスマスク板９１を第１位置決めローラ３５側に付勢することができ、ガラスマスク板９１を検査ステージ３０上に載置する動作に連動して、ガラスマスク板９１の左右の位置決めを行うことができる。このように、押さえ機構３６などによって、この発明の第１付勢手段が構成されている。
【００５９】
また、押さえローラ３６５は、ローラ用シャフト３６７により移動台３６２に回転可能に取り付けられている。また、移動台３６２に設けられたローラ用シャフト３６７を通すためのシャフト用穴３６２ｂもシャフト用穴３６２ａと同様にＸ軸方向に長い形状とされており、押さえローラ３６５がローラ用シャフト３６７とともに移動台３６２に対してＸ軸方向に移動可能にされている。さらに、ローラ用シャフト３６７にはバネ３６６が取り付けられ、ローラ用シャフト３６７をＸ方向に付勢している。
【００６０】
これにより、移動台３６２がＸ方向に移動してガラスマスク板９１を付勢する際に、ガラスマスク板９１の大きさに応じて、自動的に移動距離を調節することができ、ガラスマスク板９１が製造誤差により、多少大きく製造されている場合でも、移動台３６２をＸ方向に押し込み過ぎることによってガラスマスク板９１に傷をつけることを防止することができる。
【００６１】
さらに、シャフト３６１にはバネ３６４が取り付けられ、移動台３６２をＸ方向とは逆の方向に付勢している。
【００６２】
すなわち、ガラスマスク板９１を取り上げる際には、まず、オペレータが操作Ｃを行うことにより操作レバー３３がストッパー３３６からはずされ、同時に付勢部材３３１によるＹ方向の付勢が取り除かれる。さらに、オペレータが操作Ｂを行うことにより、シャフト３４３ａが図１１において右回転し、偏心カム３６３によるＸ軸方向の付勢が取り除かれる。偏心カム３６３の付勢が取り除かれると移動台３６２がバネ３６４によりＸ方向と逆方向に移動し、押さえローラ３６５がガラスマスク板９１から離れることから、ガラスマスク板９１を取り上げることができる。
【００６３】
以上により、検査装置１では、検査対象物の載置および取り上げの際に、検査対象物と載置板３１の載置面との摩擦を最小限にすることができ、オペレータに負担をかけることなく、検査対象物に傷を付けることを防止することができる。また、載置する動作に応じて検査対象物の位置決めを行うことにより、オペレータに負担をかけることなく、検査精度の向上を図ることができる。
【００６４】
＜２．  第２の実施の形態＞
第１の実施の形態における検査装置１では、検査対象物が、ほぼ同じ大きさである場合について説明したが、特に、検査対象物がガラスマスク板である場合、検査が行われる工程によっては、ガラスマスク板にマスクホルダが取り付けられた状態で検査装置に搬送される場合があり、マスクホルダの有無によって検査対象物の外形が大きく異なってしまう場合がある。
【００６５】
したがって、検査装置が予めマスクホルダを取り付けた状態に合わせて製造されていた場合、搬送されてきたガラスマスク板にマスクホルダが取り付けられていなければ、オペレータがマスクホルダを取り付けなければならない（治具を使用してもよい）。逆に、検査装置がマスクホルダを取り付けていない状態に合わせて製造されていた場合、搬送されてきたガラスマスク板にマスクホルダが取り付けられていれば、オペレータがマスクホルダをはずさなければならなかった。すなわち、大きさ（外形）の異なる検査対象物に対応していない検査装置では、ガラスマスク板の状態（大きさ）に応じてオペレータが何らかの操作（段取り）を行う必要がある。
【００６６】
本実施の形態における検査装置では、大きさの異なるガラスマスク板を検査対象物とする場合であっても、オペレータが特別な段取りを行うことなく、第１の実施の形態と同等の検査ができる。
【００６７】
図１２は、このような原理に基づいて構成した第２の実施の形態における検査装置１０の検査ステージ３０ａの概略斜視図である。なお、検査装置１０の各構成のうち、第１の実施の形態と同様の機能を有する構成については、適宜、同符号を用いて説明する。また、各構成（ローラなど）の数は、第１の実施の形態と同様に、図１２に示す数に限られるものではない。さらに、本実施の形態においては、外形の大きいガラスマスク板９１をガラスマスク板９２と、外形の小さいガラスマスク板９１をガラスマスク板９３とする。
【００６８】
第２の実施の形態における検査ステージ３０ａは、操作レバー３３（３３ａ，３３ｂ）、上下ローラ３４，４０，４１、第１位置決めローラ３５、押さえ機構３６、第２位置決めローラ３７、および位置決め部材４２を備える。
【００６９】
シャフト３４３ａには２つの上下ローラ４０、３つの上下ローラ３４、および２つの偏心カム３６３とが固定される。また、シャフト３４３ｂには、２つの上下ローラ４１と３つの上下ローラ３４とが固定される。
【００７０】
上下ローラ３４は、第１の実施の形態と同様の構成および機能を有する。すなわち、操作レバー３３が操作されることにより、ガラスマスク板９２をＺ軸方向に上下させるとともに、ガラスマスク板９２をＹ軸方向に移動させる際には、ローラ３４１により、ガラスマスク板９２に作用する摩擦を最小限にする。
【００７１】
本実施の形態における押さえ機構３６の押さえローラ３６５は、第１の実施の形態と異なり、Ｚ軸に略平行な方向を回転軸としている。したがって、本実施の形態における押さえローラ３６５は、ＸＹ平面に略平行な面内で回転することが可能とされているが、このような機構であっても第１の実施の形態と同様に、ガラスマスク板９２をＸ方向に付勢することができる。なお、検査装置１０では、第１の実施の形態と同様にＸＺ平面に略平行な面内で回転する押さえローラ３６５を有する押さえ機構３６が用いられてもよい。
【００７２】
図１３は、第２の実施の形態における上下ローラ４０の構成を示す図である。上下ローラ４０は、軸部４００、ローラ４０１、付勢部材４０２、およびバネ４０３を備える。
【００７３】
上下ローラ４０は、外形が小さいガラスマスク板９３の検査対象領域外に当接するとともに、ガラスマスク板９３をＺ軸方向に移動させる機能を有する。上下ローラ４０の軸部４００は、シャフト３４３ａに固定され、シャフト３４３ａに対しては回動できないようにされている。ただし、上下ローラ３４と同様に、シャフト３４３ａが軸心を中心に回動されることにより、上下ローラ４０も回動する。
【００７４】
ローラ４０１は、ガラスマスク板９３をＺ軸方向に移動させる際に、図１３に示すように、当該ガラスマスク板９３が載置される。また、ローラ４０１は、軸Ｐを中心に回転可能な状態で軸部４００に取り付けられており、ガラスマスク板９３をＹ軸方向に移動させる際に、当該ローラ４０１上を滑らせることにより、ガラスマスク板９３に作用する摩擦を最小限に抑える機能を有する。すなわち、ローラ４０１は、ガラスマスク板９２に対するローラ３４１と同等の機能を、ガラスマスク板９３に対して有する。
【００７５】
付勢部材４０２は、軸部４００に対して所定の範囲を軸Ｐ方向に移動可能とされ、バネ４０３の付勢力により、ガラスマスク板９３をＸ方向（上下ローラ４１側）に付勢する機能を有する。なお、外形の大きなガラスマスク板９２の検査を行う際に、付勢部材４０２とガラスマスク板９２とが干渉しないよう、付勢部材４０２の上面の高さ位置（Ｚ方向の位置）は、常に上下ローラ３４のローラ３４１の上面の高さ位置よりも低い位置となるよう構成される。
【００７６】
図１４は、第２の実施の形態における上下ローラ４１の構成を示す図である。上下ローラ４１は、軸部４１０、ローラ４１１、および位置決め部材４１２を備える。
【００７７】
上下ローラ４１は、ガラスマスク板９３の検査対象領域外に当接するとともに、ガラスマスク板９３をＺ軸方向に移動させる機能を有する。上下ローラ４１の軸部４１０はシャフト３４３ｂに固定され、シャフト３４３ｂに対しては回動できないようにされている。ただし、上下ローラ３４と同様に、シャフト３４３ｂが軸心を中心に回動されることにより、上下ローラ４１も回動する。
【００７８】
ローラ４１１は、軸部４１０の軸Ｑを中心に回転可能な状態で配置されており、上下ローラ４０のローラ４０１と同等の機能を有する。
【００７９】
位置決め部材４１２は、軸部４１０に対して固定されており、上下ローラ４０の付勢部材４０２によってＸ方向に付勢されるガラスマスク板９３が、図１４に示すように当接する。
【００８０】
位置決め部材４１２は、上下ローラ４１の回動動作によりＸ軸方向に移動するが、そのＸ軸方向の位置は上下ローラ４１の回動位置により決定される。したがって、ガラスマスク板９３が載置板３１に載置されるときの上下ローラ４１の位置（ローラ４１１の上面の高さ位置が載置板３１の高さ位置と等しくなる位置）において、位置決め部材４１２のＸ軸方向の位置が所定の位置となるように上下ローラ４１を構成することにより、ガラスマスク板９３をＸ軸方向について所定の位置に位置決めすることができる。
【００８１】
なお、ガラスマスク板の大小に関わらず、Ｘ軸方向の位置決めを行う部材を共通にすることも可能であるが、その場合には、ガラスマスク板のＸ方向側の位置が常に同じ位置となることから、小さいガラスマスク板を載置した際には、ガラスマスク板の中心位置がＸ方向に偏ってしまう。しかし、検査装置１０では、ガラスマスク板９３に合わせて位置決め部材４１２が（−Ｘ）方向に移動することにより、ガラスマスク板９３を載置板３１の中央部に載置することができる。
【００８２】
また、位置決め部材４１２は、オペレータがガラスマスク板９３をＹ軸方向に移動させる場合に、ガラスマスク板９３の移動方向を案内するガイドとしての機能を有する。
【００８３】
図１５は、位置決め部材４２の構成を示す図である。なお、ガラスマスク板９２のＹ軸方向の位置決めを行う際のガラスマスク板９２のＺ軸方向の位置を第１上方位置ＰＴ１、ガラスマスク板９３のＹ軸方向の位置決めを行う際のガラスマスク板９３のＺ軸方向の位置を第２上方位置ＰＴ２と称する。
【００８４】
位置決め部材４２は、バネ４２０および取付部材４２１を備え、位置決めローラ３７より載置板３１側に、支持板３２に設けられた取り付け穴（図示せず）を貫通した状態で設置される。
【００８５】
バネ４２０の上端は取付部材４２１を介して支持板３２の裏面に固定されており、下端は位置決め部材４２に固定されている。
【００８６】
このような構成により、位置決め部材４２の上面に対して（−Ｚ）方向に外力が生じていない状態では、位置決め部材４２は載置面に対して進出した状態となるが、図１５に示すように、その上面は第１上方位置ＰＴ１より下方、かつ、第２上方位置ＰＴ２より上方となる。また、位置決め部材４２の上面に対して（−Ｚ）方向に外力が生じると、位置決め部材４２は支持板３２に押し込まれた状態となる。すなわち、位置決め部材４２は載置面に対して進退可能とされている。なお、位置決め部材４２を載置面に対して進退させる機構は、これに限られるものではなく、他の周知の機構が用いられてもよい。
【００８７】
次に、検査装置１０における、ガラスマスク板９２およびガラスマスク板９３に対する動作を説明する。図１６は、検査装置１０において検査対象物が上下ローラ３４，４０で保持されている様子を示す図である。
【００８８】
まず、外形が大きいガラスマスク板９２の検査を行う場合には、図１６に示すように、オペレータは、ガラスマスク板９２を上下ローラ３４のローラ３４１上に搬入する。その際、オペレータは、ローラ３４１上を滑らせつつ、第１位置決めローラ３５（図１２）に沿ってガラスマスク板９２を第２位置決めローラ３７に当接するまでＹ方向に押し込む。
【００８９】
なお、このときのガラスマスク板９２のＺ軸方向の位置は、図１５に示す第１上方位置ＰＴ１（点線で示す位置）付近であることから、ガラスマスク板９２と位置決め部材４２とは干渉することはなく、位置決め部材４２によってガラスマスク板９２の裏面が傷つけられることはない。また、本実施の形態では、第１位置決めローラ３５がガラスマスク板９２をガイドする機能を有しているが、第１の実施の形態と同様にガイド部材３８を設けてＹ軸方向の移動を案内するように構成してもよい。
【００９０】
次に、第１の実施の形態と同様に、操作レバー３３に対してオペレータが操作Ａを行うことにより、上下ローラ３４が回動し、ガラスマスク板９２が（−Ｚ）方向に移動し、押さえ機構３６および第１位置決めローラ３５によりガラスマスク板９２のＸ軸方向の位置決めが行われる。このとき、上下ローラ４０，４１も同時に回動するため、ガラスマスク板９２が（−Ｚ）方向に移動しても、これらのローラと干渉することはない。
【００９１】
さらに、操作Ａの途中で、操作レバー３３に操作Ｃが行われることにより、操作レバー３３の付勢部材３３１および第２位置決めローラ３７により、Ｙ軸方向の位置決めが行われる。
【００９２】
操作Ａが完了すると、ガラスマスク板９２が載置板３１に載置される。このとき、位置決め部材４２の上面とガラスマスク板９２の裏面とが当接し、ガラスマスク板９２の自重により位置決め部材４２が（−Ｚ）方向に押し込まれ、退出する。
【００９３】
このように、位置決め部材４２が支持板３２に対してＺ軸方向に進退することにより、位置決め部材４２がガラスマスク板９２の検査の妨害となることを防止することができる。
【００９４】
検査が終了すると、オペレータが操作レバー３３に対して操作Ｂを行うことにより、上下ローラ３４が回動し、ローラ３４１がＺ方向に移動する。このとき、上下ローラ４０，４１も同様の動作を行うが、図１６に示すように、ローラ３４１の上面位置が常にローラ４０２（４１２）よりも高い位置になるよう構成されているため、ガラスマスク板９２は、上下ローラ３４によって載置板３１から取り上げられる。
【００９５】
一方、外形が小さいガラスマスク板９３の検査を行う場合には、オペレータは、ガラスマスク板９３を上下ローラ４０，４１のローラ４０１，４１１上に搬入する。その際、オペレータは、ガラスマスク板９３をローラ４０１，４１１上を滑らせつつ、位置決め部材４１２に沿ってＹ方向に移動させる。このときのガラスマスク板９３は第２上方位置ＰＴ２（図１５）にあることから、ガラスマスク板９２は位置決め部材４２に当接し、ガラスマスク板９３のＹ軸方向の位置決めが行われる。
【００９６】
このように、検査装置１０では、Ｙ軸方向にガラスマスク板９３を移動させる際に、位置決め部材４１２に沿って移動させることにより、外形の小さい検査対象物であってもガイドすることができる。すなわち、検査対象物の外形に応じてＹ軸方向の移動の案内を行うことができる。
【００９７】
次に、第１の実施の形態と同様に、操作レバー３３に対してオペレータが操作Ａを行うことにより、上下ローラ４０，４１が回動し、ガラスマスク板９３が（−Ｚ）方向に移動する。
【００９８】
さらに、操作Ａの途中で、操作レバー３３に操作Ｃが行われることにより、操作レバー３３の付勢部材３３１によってガラスマスク板９３が位置決め部材４２側に付勢される。これにより、ガラスマスク板９３のＹ軸方向の位置決めを行うことができる。
【００９９】
操作Ａが完了すると、ガラスマスク板９３が載置板３１に載置され、この状態でガラスマスク板９３に対する検査が開始される。
【０１００】
検査が終了すると、オペレータが操作レバー３３に対して操作Ｂを行うことにより、上下ローラ４０，４１が回動し、ローラ４０１，４１１がＺ方向に移動する。このとき、上下ローラ３４も同様の動作を行うが、図１６に示すように、ガラスマスク板９３は外形が小さいため、ローラ３４１には当接せず、上下ローラ４０（４１）により、載置板３１から取り上げられる。
【０１０１】
以上により、第２の実施の形態における検査装置１０においても、検査対象物を主にローラ（ローラ３４１，４０１，４１１）上を滑らせることにより水平方向に移動させるため、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【０１０２】
また、検査対象物の大きさが異なる場合であっても、オペレータが治具などを使用したり、検査装置１０の設定を変更するなどの段取りを行うことなく、検査を行うことができる。なお、検査装置１０において、ガラスマスク板９３にマスクホルダを取り付けた状態が、ガラスマスク板９２の外形と等しくなるように予め設計しておけば、マスクホルダの有無によって、オペレータが特別の操作（段取り）を行うことなく、検査対象物の検査を行うことができる。
【０１０３】
また、ガラスマスク板９３のＹ軸方向の位置決めを行う位置決め部材４２がガラスマスク板９２の検査時には載置面に対して退出することにより、検査対象物の外形に応じてＹ軸方向の位置決めを行うことができる。
【０１０４】
また、検査装置１０では、外形が異なる場合であっても、検査対象物を載置板３１のほぼ中央に位置決めして検査することができる。したがって、例えば、ガラスマスク板９３を単体で検査する場合と、ガラスマスク板９３にマスクホルダを取り付けて検査する場合とにおいて、検査領域の位置を共通にすることができる。
【０１０５】
＜３．  変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
【０１０６】
例えば、上記実施の形態では、オペレータは操作レバー３３ａおよび３３ｂを別々に操作しなければならないが、操作レバー３３ａおよび３３ｂを連動させることにより、一つの操作レバーにより一連の動作が行われるようにしてもよい。その場合、オペレータの負担をさらに軽減することができる。
【０１０７】
また、検査ステージは、操作レバーを回動させる動作に連動して上下ローラが回動されるようにされているが、操作レバーの動作はこれに限られるものではない。例えば、操作レバーを上下させる動作に連動して上下ローラが上下してもよいし、図１７に示すような構造を設けて、Ｘ軸方向に操作レバー３３ａを操作することによっても同様の効果を得ることができる。
【０１０８】
また、検査装置１では、検査ステージが移動することにより検査対象物を撮影部の撮影位置に搬送するようにしているが、撮影部が検査ステージの上方に移動する構成を有していてもよい。
【０１０９】
また、上記第２の実施の形態では、外形の大きいガラスマスク板９２と外形の小さいガラスマスク板９３とを、それぞれ別個の上下ローラで移動させるように構成したが、これに限られるものではなく、検査対象物の大きさにかかわらず、同じ上下ローラによって移動するように構成してもよい。
【０１１０】
図１８および図１９は、このような原理に基づいて構成した検査装置において、同一の上下ローラによってガラスマスク板９２，９３がそれぞれ移動する様子を示す図である。ここに示す検査装置の上下ローラは、付勢部材４０２および位置決め部材４１２がそれぞれローラとなっている。すなわち、付勢部材４０２は上下ローラ４０の回転軸Ｐを軸にローラ４０１と同様に回転するローラであり、位置決め部材４１２は上下ローラ４１の回転軸Ｑを軸にローラ４１１と同様に回転するローラである。
【０１１１】
図１８に示すように、ガラスマスク板９２を移動させる場合には、ガラスマスク板９２は付勢部材４０２および位置決め部材４１２の上面に当接した状態となる。すなわち、ガラスマスク板９２の検査を行う際には、付勢部材４０２および位置決め部材４１２がローラ３４１と同様の機能を発揮することにより、当該検査装置の上下ローラ４０，４１は、第２の実施の形態における上下ローラ３４の機能を発揮する。
【０１１２】
また、図１９に示すように、ガラスマスク板９３を移動させる場合には、第２の実施の形態と同様に、付勢部材４０２はガラスマスク板９３をＸ方向に付勢し、位置決め部材４１２はガラスマスク板９３のＸ方向の位置決めを行う。
【０１１３】
このように上下ローラ４０，４１の軸部４００，４１０が、それぞれ口径の異なる複数のローラを有することにより、第２の実施の形態のように検査対象物の大きさに応じて、別途上下ローラを設ける必要がない（例えば、上下ローラ３４が不要になる）ことから、装置構成を簡素化することができる。
【０１１４】
なお、図１８および図１９では、口径の異なる複数のローラとして２つのローラのみ示しているが、ローラの数はこれに限られるものではなく、検査対象物の大きさに応じてさらに多くのローラを設けてもよい。また、図１８および図１９では、ローラ４０１と付勢部材（ローラ）４０２とがそれぞれ独立して軸部４００に設けられ複数のローラを構成しているが、ここでいう複数のローラとは、それらが互いに固定され同時に回転するようにされているもの、およびそれらが１つの部材で一体として構成されているものも含む概念である。ローラ４１１と位置決め部材（ローラ）４１２とについても同様である。
【０１１５】
【発明の効果】
請求項１ないし１４に記載の発明では、複数のローラの上端が載置面より上方となる上方位置と複数のローラの上端が載置面よりも下方となる下方位置との間で、一対のローラ群を変位させることにより、検査時の載置、取り上げ作業中に検査対象物に傷を付けないようにすることができる。
【０１１６】
請求項２に記載の発明では、変位手段によって一対のローラ群を上方位置から下方位置に変位させる動作に応じて、検査対象物を第１基板位置決め部材側に付勢することにより、検査対象物を検査ステージ上に載置する動作に連動して、検査対象物の左右の位置決めを行うことができる。
【０１１７】
請求項３に記載の発明では、第１付勢手段が、検査対象物を付勢する際に、検査対象物の大きさに応じて、検査対象物に当接する押さえ部材の移動距離を調節することにより、検査対象物に製造誤差による大きさの違いがある場合でも、付勢の際に検査対象物に傷をつけることを防止することができる。
【０１１８】
請求項４に記載の発明では、変位手段が、ローラ群を変位させるために操作される操作レバーを有し、複数のローラの上端が下方位置となるように操作されたときの操作レバーで、第２位置決め部材と対向する載置面の他方側から検査対象物を第２位置決め部材側に付勢することにより、検査対象物を検査ステージ上に載置する動作に連動して、検査対象物の前後の位置決めを行うことができる。
【０１１９】
請求項５に記載の発明では、第２位置決め部材より載置板側に配置された第３位置決め部材をさらに備え、第３位置決め部材が、載置面に対して略垂直方向に進退することにより、検査対象物の大きさに合わせて位置決めすることができる。
【０１２０】
請求項６に記載の発明では、一対のローラ群上で移動する検査対象物を、複数のローラの配列方向に沿うようにガイドすることにより、一対のローラ群上で検査対象物をスムーズに移動させることができる。
【０１２１】
請求項７に記載の発明では、一対のローラ群が、ガイド部材を有することにより、検査対象物の大きさに応じてガイドすることができる。
【０１２２】
請求項８に記載の発明では、支持板が、変位手段によるローラ群の変位を許容するための切り欠き部を有することにより、ローラの動作を妨げないようにすることができる。
【０１２３】
請求項９に記載の発明では、載置板は、載置面に載置された検査対象物を載置面を介して照明するための照明光に対して透過性を有することにより、検査対象物を照明することができ、鮮明な画像を撮像することができるため、検査精度を向上させることができる。
【０１２４】
請求項１０に記載の発明では、変位手段が、複数のローラのローラ軸がそれぞれ固定された回動軸と、回動軸をその軸心周りに回動させる操作レバーとを有することにより、簡易な操作で検査対象物の載置と取り上げとを行うことができ、オペレータの負担を軽減することができる。
【０１２５】
請求項１１に記載の発明では、一対のローラ群のローラ軸が、口径の異なる複数のローラを有することにより、検査対象物の大きさに応じて複数のローラ軸を設ける必要がない。
【０１２６】
請求項１２に記載の発明では、一対のローラ群の一方のローラ軸が、第４位置決め部材を有し、一対のローラ群の他方のローラ軸が、第４位置決め部材側に検査対象物を付勢する付勢部材を有することにより、複数のローラの配列方向と直交する方向の位置決めを行うことができる。
【０１２７】
請求項１３に記載の発明では、第４位置決め部材および／または付勢部材がローラであることにより、第４位置決め部材と付勢部材とをローラで兼用することができる。
【０１２８】
請求項１５に記載の発明では、検査ステージに対して検査対象物を搬出入する搬出入部と、撮像手段が配置された検査部との間で検査ステージを移動させることにより、検査対象物を搬入しやすい位置で、検査対象物の載置および取り上げ作業を行うことができ、オペレータの負担を削減することができる。
【０１２９】
請求項１６に記載の発明では、搬出入部にある検査ステージ上の検査対象物の上方空間を覆う開閉自在なカバー部材をさらに備えることにより、検査対象物や検査ステージ上に異物が進入することを防止することができ、検査対象物に傷が付くことを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態における検査装置の正面図である。
【図２】検査装置のラックに係る構成を除いた検査装置の側面図である。
【図３】検査装置を上から見た図である。
【図４】カバーの開閉の様子を示した図である。
【図５】搬送部内の検査ステージの外観図である。
【図６】操作レバーを検査装置の前面方向から示す外観図である。
【図７】操作レバーを上方向より見た図である。
【図８】操作レバーを上方向より見た図である。
【図９】シャフトに固定された上下ローラと押さえ機構とを示す図である。
【図１０】上下ローラの動作を示す図である。
【図１１】押さえ機構の外観図である。
【図１２】第２の実施の形態における検査装置の検査ステージの概略斜視図である。
【図１３】第２の実施の形態における上下ローラの構成を示す図である。
【図１４】第２の実施の形態における上下ローラの構成を示す図である。
【図１５】位置決め部材の構成を示す図である。
【図１６】検査装置において検査対象物が上下ローラで保持されている様子を示す図である。
【図１７】変形例における操作レバーと上下ローラとの構造を示した図である。
【図１８】変形例における検査装置において、外形の大きいガラスマスク板を移動させる様子を示す図である。
【図１９】変形例における検査装置において、外形の小さいガラスマスク板を移動させる様子を示す図である。
【符号の説明】
１，１０  検査装置
２  検査部
２０  制御部
２１  撮影部
３  搬出入部
３０，３０ａ  検査ステージ
３１  載置板
３２  支持板
３２０，３２１  切り欠き部
３３，３３ａ，３３ｂ  操作レバー
３３４  レバー付勢バネ
３４，４０，４１  上下ローラ
３４０，４００，４１０  軸部
３４１，４０１，４１１  ローラ
４０２  付勢部材
４１２  位置決め部材
３５  第１位置決めローラ
３６  押さえ機構
３７  第２位置決めローラ
３８  ガイド部材
３９  照明部
４２  位置決め部材
８０，８１  カバー
９１，９２，９３  ガラスマスク板
【図１】
0004156866.tif 000002
【図２】
0004156866.tif 000003
【図３】
0004156866.tif 000004
【図４】
0004156866.tif 000005
【図５】
0004156866.tif 000006
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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