Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成20年7月15日(2008.7.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部に設置される固定ユニットと、
前記固定ユニットの上面に平行な面内で回転する回転手段と、
撮像装置と前記回転手段とを連結すると共に、前記撮像装置を使用するモードに応じて、前記撮像装置を予め設定された所定位置まで水平方向の角度を保持しながら移動させる移動手段と、
を備えることを特徴とする雲台装置。
【請求項２】
前記所定位置は、前記撮像装置の重心位置と前記撮像装置の回転中心が一致する位置であることを特徴とする請求項１記載の雲台装置。
【請求項３】
前記所定位置は、前記撮像装置が備えるレンズの主点位置と前記撮像装置の回転中心が一致する位置であることを特徴とする請求項１記載の雲台装置。
【請求項４】
前記移動手段は、前記撮像装置と前記回転手段との水平方向の相対的位置関係を変える平行リンク機構であることを特徴とする請求項１記載の雲台装置。
【請求項５】
前記移動手段は、前記撮像装置と前記回転手段との水平方向の相対的位置関係を変えるスライド機構であることを特徴とする請求項１記載の雲台装置。
【請求項６】
前記移動手段は、前記撮像装置の通常使用モードでは、前記撮像装置の重心移動に応じて、前記撮像装置の重心位置と前記撮像装置の回転中心が一致する位置まで前記撮像装置を移動させることを特徴とする請求項１記載の雲台装置。
【請求項７】
前記移動手段は、前記撮像装置のパノラマ撮影モードでは、前記撮像装置が備えるレンズの主点移動に応じて、前記撮像装置の主点位置と前記撮像装置の回転中心が一致する位置まで前記撮像装置を移動させることを特徴とする請求項１記載の雲台装置。
【請求項８】
前記移動手段は、前記撮像装置の移動動作が終了するまでは、前記撮像装置が備えるズーム或いはフォーカスに関わるレンズは移動しないことを特徴とする請求項７記載の雲台装置。
【請求項９】
前記回転手段は、前記固定ユニットの上面に平行な面内で回転させる機構と、前記撮像装置を鉛直方向に回転させる機構とを更に備えることを特徴とする請求項１記載の雲台装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
上述の目的を達成するために、本発明の雲台装置は、基部に設置される固定ユニットと、前記固定ユニットの上面に平行な面内で回転する回転手段と、撮像装置と前記回転手段とを連結すると共に、前記撮像装置を使用するモードに応じて、前記撮像装置を予め設定された所定位置まで水平方向の角度を保持しながら移動させる移動手段と、を備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
通常使用モードでは、撮像装置の重心移動に応じて、撮像装置の重心位置と回転中心が一致する位置まで撮像装置を移動させるため、撮像装置及び回転手段を少ない力で回転させ且つ精度良く停止させることが可能となる。もしくは、より短時間で所定の回転数まで到達させることが可能となる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
１  カメラユニット（撮像装置）
２  チルトモータ（機構）
４  回転チルトギア（機構）
５  チルト固定ギア（機構）
１１、１２、１７、１８  リンクロッド（移動手段）
１９  パン回転ユニット（回転手段）
２４  リンクモータ（移動手段）
２５  リンクギア（移動手段）
２６  パンギア（機構）
３１  パン固定ユニット（固定ユニット）
３４  パンモータ（機構）
３５  パン回転ギア（機構）
４３、４４  スタンド（移動手段）
４５  プレート（移動手段）
４６  直線ギア（移動手段）
４７  モータ（移動手段）
４８  ギア（移動手段）
【手続補正書】
【提出日】平成20年5月12日(2008.5.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
二次電池を内蔵するカメラ又はカメラアクセサリを収納可能な防水プロテクタにおいて、
外部からの電磁力によって上記二次電池の充電用電気エネルギーを発生する非接触発電手段と、
上記非接触発電手段からの上記充電用電気エネルギーを上記二次電池に伝達するために、上記カメラ又はカメラアクセサリと上記非接触発電手段とを電気的に接続する接続手段と、
を具備することを特徴とする防水プロテクタ。
【請求項２】
カメラ又はカメラアクセサリと、該カメラ又はカメラアクセサリを収納可能な防水プロテクタと、を含むカメラシステムにおいて、
上記カメラ又はカメラアクセサリに内蔵された二次電池と、
上記二次電池を充電するための充電回路と、
上記防水プロテクタ内に配置され、外部からの電磁力を受けて電気エネルギーを発生する受電コイルと、
上記電気エネルギーを上記二次電池の充電用に上記充電回路に供給する制御回路と、
を具備することを特徴とするカメラシステム。
【請求項３】
上記防水プロテクタを載置可能であって、上記受電コイルに対して上記電磁力を供給する送電コイルを含む充電台を具備することを特徴とする請求項２に記載のカメラシステム。
【請求項４】
上記受電コイルは、上記充電台の載置面に配置されていることを特徴とする請求項３に記載のカメラシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】防水プロテクタ、及びカメラシステム
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
上記の目的を達成するために、本発明の第１の態様による防水プロテクタは、二次電池を内蔵するカメラ又はカメラアクセサリを収納可能な防水プロテクタにおいて、外部からの電磁力によって上記二次電池の充電用電気エネルギーを発生する非接触発電手段と、上記非接触発電手段からの上記充電用電気エネルギーを上記二次電池に伝達するために、上記カメラ又はカメラアクセサリと上記非接触発電手段とを電気的に接続する接続手段と、を具備することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
上記の目的を達成するために、本発明の第２の態様によるカメラシステムは、カメラ又はカメラアクセサリと、該カメラ又はカメラアクセサリを収納可能な防水プロテクタと、を含むカメラシステムにおいて、上記カメラ又はカメラアクセサリに内蔵された二次電池と、上記二次電池を充電するための充電回路と、上記防水プロテクタ内に配置され、外部からの電磁力を受けて電気エネルギーを発生する受電コイルと、上記電気エネルギーを上記二次電池の充電用に上記充電回路に供給する制御回路と、を具備することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成20年2月22日(2008.2.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
このような上金型２と下金型３は、キャビティ４が支持部材１２で閉塞されるように型合わせして型締めされる。その後、ゲート９から成形材料を注入してキャビティ４内を充填することにより、現像ブレードが製造される。
このような本発明では、１個のゲート９が位置するキャビティ注入部６から注入された成形材料は、図１に鎖線で示す流れに沿って、キャビティ本体５内を流れ、オーバーフローしてキャビティ溜め部７に到達する。このため、キャビティ本体５における成形材料の流れが良く、ヒケ、ウエルドの発生が防止される。また、成形材料中に気泡が存在しても、オーバーフロー用のキャビティ溜め部７に気泡を集めて脱気することができ、気泡が存在せず緻密で均一な厚みのブレード部材の成形が可能である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2007025047.tif 000001
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2007025047.tif 000002
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４】
2007025047.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成20年7月10日(2008.7.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像を構成するデータを蓄積する画像データ蓄積手段と、
紙文書の内容を光電変換により前記画像へと変換する画像読取手段と、
前記画像読取手段によって変換された読取画像の一部あるいは全体を領域として特定する領域特定手段と、
前記画像読取手段によって変換された読取画像を圧縮して圧縮データを生成する画像圧縮手段と、
前記領域特定手段で特定された特定領域に対し前記画像データ蓄積手段から類似する画像データを検索する画像データ検索手段と、
前記領域特定手段で特定された特定領域に対応する、前記画像データ検索手段による検索の結果を、関連画像情報として前記圧縮データに付加する情報付加手段とを有することを特徴とする画像処理装置。
【請求項２】
前記画像圧縮手段で圧縮された圧縮データに対し、ユーザーにより指定された領域の画像データを抽出する抽出手段と、
前記抽出手段によって抽出された画像データの指定領域に関連画像情報が存在する場合に、前記ユーザーに通知する通知手段とを有することを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項３】
前記画像データ検索手段は、前記読取画像の特定領域内の特徴量と、前記画像データ蓄積手段に蓄積された前記画像データの特徴量とのマッチングにより行うことを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項４】
前記画像を構成するデータは、非圧縮ラスタ画像と、圧縮ラスタ画像と、画像を描画する命令群とを含むことを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項５】
前記読取画像の特定領域内の特徴量は、画像データから算出された画像特徴量であることを特徴とする請求項３に記載の画像処理装置。
【請求項６】
前記関連画像情報は、前記画像データ検索手段による検索結果に含まれる画像データの所在情報を列挙するものであることを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項７】
前記関連画像情報は、前記画像データ検索手段による検索結果に含まれる画像データが編集可能か否かに関する情報を含むことを特徴とする請求項６に記載の画像処理装置。
【請求項８】
前記通知手段は、前記指定領域に対応する関連画像数を通知することを特徴とする請求項２に記載の画像処理装置。
【請求項９】
前記通知手段は、前記指定領域に対応する関連画像情報中に編集可能な画像データが含まれるか否かを通知することを特徴とする請求項２に記載の画像処理装置。
【請求項１０】
前記画像圧縮手段で圧縮された圧縮データを、ネットワークを経由して他の装置へと送信する送信手段を有することを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項１１】
画像の一部あるいは全体を領域として特定する領域特定工程と、
前記画像を圧縮して圧縮データを生成する画像圧縮工程と、
前記領域特定工程において特定された特定領域に対し類似する画像データを検索する画像データ検索工程と、
前記領域特定工程において特定された特定領域に対応する、前記画像データ検索工程における検索の結果を、関連画像情報として前記圧縮データに付加する情報付加工程とを有することを特徴とする画像処理方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の画像処理方法の各工程をコンピュータに実行させることを特徴とするコンピュータプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の画像処理装置は、画像を構成するデータを蓄積する画像データ蓄積手段と、紙文書の内容を光電変換により前記画像へと変換する画像読取手段と、前記画像読取手段によって変換された読取画像の一部あるいは全体を領域として特定する領域特定手段と、前記画像読取手段によって変換された読取画像を圧縮して圧縮データを生成する画像圧縮手段と、前記領域特定手段で特定された特定領域に対し前記画像データ蓄積手段から類似する画像データを検索する画像データ検索手段と、前記領域特定手段で特定された特定領域に対応する、前記画像データ検索手段による検索の結果を、関連画像情報として前記圧縮データに付加する情報付加手段とを有することを特徴とする。
本発明の画像処理方法は、画像の一部あるいは全体を領域として特定する領域特定工程と、前記画像を圧縮して圧縮データを生成する画像圧縮工程と、前記領域特定工程において特定された特定領域に対し類似する画像データを検索する画像データ検索工程と、前記領域特定工程において特定された特定領域に対応する、前記画像データ検索工程における検索の結果を、関連画像情報として前記圧縮データに付加する情報付加工程とを有することを特徴とする。
本発明のコンピュータプログラムは、前記画像処理方法の各工程をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成20年2月14日(2008.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】ポリアルキレンオキシドの存在下でビニルエステルのラジカル重合を行い、次いで形成されたグラフト共重合体のエステル基の少なくとも一部を加水分解することにより得ることができるグラフト共重合体の、レーザー彫刻可能な凸版印刷版の製造のための使用方法。
【手続補正書】
【提出日】平成20年2月29日(2008.2.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】 印刷媒体の上方でプリントヘッドの複数のパスを実行して、それぞれの前記パスによって前記印刷媒体にマークのスウォースを形成するステップと、
前記プリントヘッドの印刷パス同士の間で、前記印刷媒体をゼロでない前進距離だけ前進させるステップであって、前進させるステップ同士の間で前記前進距離を変化させるステップとを含み、
２つのスウォースの縁が前記印刷媒体上で実質的に重ならないように、前記前進させるステップが、スウォースそれぞれの縁を他のスウォースそれぞれの縁と間隔を空けるステップを含む画像を印刷する方法。
【請求項２】 前記前進させるステップが、スウォースの縁同士の間隔を十分に空けるステップ、すなわち印刷媒体の前進方向にスウォースの寸法の少なくとも１／２０である間隔を空けるステップを含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】 前記前進距離が、実質的にランダムであるか、またはランダムに選ばれるステップを含む請求項１に記載の方法。
【請求項４】 前記前進距離が、複数の別個の数値を実質的に循環させて定められるステップを含む請求項１に記載の方法。
【請求項５】 前記前進距離が、２つの別個の数値を実質的に交互に入れ替えて定められるステップを含む請求項１に記載の方法。
【請求項６】 前記パスの数Ｎが奇数であり、ｎが１からＮまでの整数であり、前記前進距離が、（２ｎ−１）／２Ｎの式によって定まる値の間で変化するステップを含む請求項１に記載の方法。
【請求項７】 印刷媒体に画像を印刷する装置であって、
プリントヘッドと、
前記印刷媒体の上方で前記プリントヘッドの複数のパスを実行して、それぞれの前記パスによって前記印刷媒体上にマークのスウォースを形成する手段と、
前記プリントヘッドの印刷パス同士の間で、前記印刷媒体をゼロでない前進距離だけ段階的に前進させる手段であって、段階的な前進動作同士の間で前記前進距離を変化させる手段と、
２つのスウォースの縁が前記印刷媒体上で実質的に重ならないように、スウォースそれぞれの縁を他のスウォースそれぞれの縁と間隔を空ける手段とを備えている装置。
【請求項８】 前記間隔を空ける手段が、スウォースの縁同士の間隔を十分空けるように、すなわち印刷媒体の前進方向にスウォースの寸法の少なくとも１／２０である間隔を空けるように構成されていることを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項９】 前記前進距離が、実質的にランダムであるか、ランダムに選ばれるように構成されていることを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項１０】 印刷媒体の前進方向軸上のエラーに対応するようにインストールされたアルゴリズムを備えているプリンタ用の装置であって、
前記前進距離が、エラーに対応するアルゴリズムに適合するように変化する構成となっていることを特徴とする請求項７に記載の装置。
【手続補正書】
【提出日】平成20年3月25日(2008.3.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】  式Ｉ１〜Ｉ３：
【化８】
2001316669.tif 000001
式中、Ｒ１１とＲ１２は、請求項１の式Ｉの定義のとおりである、
の化合物からなる群から選択される１種または２種以上の化合物を含むことを特徴とする、液晶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
好ましい濃度範囲のために上に記載した好ましい実施態様に同一でもよく、好ましくは同一である、特に好ましい実施態様では、液晶媒体は
・  式Ｉ１の１種以上の化合物、および／または、好ましくはおよびであって、
−式ＩＩ１の１種以上の化合物、および／または
・  式Ｉ２の１種以上の化合物、および／または、好ましくはおよびであって、
−式Ｉ３の１種以上の化合物、および／または、好ましくはおよびであって、
−式ＩＩ１の１種以上の化合物、
・  式ＩＩＩ１ないしＩＩＩ３の化合物からなるグループから選択された１種以上の化合物、および／または
−式ＩＶ１ないしＩＶ３、好ましくはＩＶ１の化合物からなるグループから選択された１種以上の化合物、                                    
・  Ｉ１ないしＩ３、好ましくはＩ３の化合物からなるグループから選択された１種以上の化合物、および／または
−式ＩＩ１の１種以上の化合物、
−式ＩＩＩの、好ましくは式ＩＩＩ１の１種以上の化合物、および／または
・  式ＩＶ、好ましくは式ＩＶ１、特に好ましくは式ＩＶ１ａないしＩＶ１ｄの式の化合物からなるグループから選択された、極めて特に好ましくは式ＩＶ１ｃおよびＩＶ１ｄ、特にＩＶ１ｄの化合物からなるグループから選択された１種以上の化合物
【手続補正書】
【提出日】平成20年3月3日(2008.3.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】蛍光体粉末と樹脂成分を含有する蛍光体ペーストにおいて、蛍光体粉末が、２価のユーロピウムを賦活したアルミン酸塩蛍光体であって、該アルミン酸塩の化学量論組成式がＭＭｇＡｌ１０Ｏ１７であり、かつＭが少なくともＢａ、ＳｒおよびＣａの少なくとも１種からなり、かつ化学量論組成に対してアルミニウム元素が過剰な組成であることを特徴とするディスプレイ用蛍光体ペースト。
【請求項２】アルミニウム元素の過剰量が化学量論組成量に対して１０％以下であることを特徴とする請求項１に記載のディスプレイ用蛍光体ペースト。
【請求項３】マグネシウム元素の量が化学量論組成量に対して９０〜１００％であることを特徴とする請求項１または２記載のディスプレイ用蛍光体ペースト。
【請求項４】２価のユーロピウムの置換量がＭ元素に対して５〜２０ａｔｍ％であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のディスプレイ用蛍光体ペースト。
【請求項５】樹脂成分がセルロース系樹脂またはアクリル系樹脂であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のディスプレイ用蛍光体ペースト。
【請求項６】ディスプレイが、プラズマディスプレイパネル、電子放出素子を用いた画像形成装置あるいは蛍光表示管素子を用いた画像形成装置であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のディスプレイ用蛍光体ペースト。
【請求項７】請求項１〜６のいずれかに記載のディスプレイ用蛍光体ペーストを用いて形成されたことを特徴とするディスプレイ用部材。
【請求項８】請求項７記載のディスプレイ用部材を用いてなることを特徴とするディスプレイ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、蛍光体粉末と樹脂成分を含有する蛍光体ペーストにおいて、蛍光体粉末が、２価のユーロピウムを賦活したアルミン酸塩蛍光体であって、該アルミン酸塩の化学量論組成式がＭＭｇＡｌ１０Ｏ１７であり、かつＭが少なくともＢａ、ＳｒおよびＣａの少なくとも１種からなり、かつ化学量論組成に対してアルミニウム元素が過剰な組成であることを特徴とするディスプレイ用蛍光体ペーストである。
【手続補正書】
【提出日】平成20年2月6日(2008.2.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  方向性凝固共晶合金材料及び超合金材料のインベストメント鋳造でのコアとしての使用に適したゲルキャストセラミック物品の製造方法であって、
（ｉ）（Ａ）セラミック成分と（Ｂ）液体中の重合性結合剤の溶液とを含んでなるセラミックスラリーを調製する工程、
（ii）上記スラリーを物品形状のゲルキャスト未焼結体へと成形する工程、
（iii）上記スラリーをゲル化させる工程、
（iv）上記ゲルキャスト未焼結体を高湿度条件下で予備乾燥する工程、
（ｖ）予備乾燥後の上記ゲルキャスト未焼結体を凍結させる工程、
（vi）上記凍結した未焼結体を、該未焼結体を凍結乾燥するのに十分な時間、真空に付す工程、及び
（ｖ）酸素含有雰囲気中で未焼結体を加熱して焼結セラミック物品を形成する工程
を含んでなる方法。
【請求項２】  前記スラリーが、アルミナ、アルミナ−アルミニウム、シリカ、ジルコニア、ジルコン、シリカ−ジルコン、炭化ケイ素、窒化ケイ素、酸化マグネシウム、及びこれらの物質の１種類以上を含む混合物からなる群から選択される１種類以上の材料を含む、請求項１記載の方法。
【請求項３】  前記スラリーが、アルミナ、アルミニウム−アルミナ、ジルコン、及びこれらの物質の１種類以上を含む混合物からなる群から選択される１種類以上の材料を含む、請求項１記載の方法。
【請求項４】  前記スラリーが水を含む、請求項１記載の方法。
【請求項５】  前記重合性結合剤がアクリレート、アクリルアミド系単量体、及びそれらの組合せからなる群から選択される、請求項４記載の方法。
【請求項６】  前記スラリーが、解膠剤及び可塑剤からなる群から選択される１種類以上の成分をさらに含む、請求項４記載の方法。
【請求項７】  前記物品がセラミックコアである、請求項１記載の方法。
【請求項８】  前記セラミックコアが、シリカ、アルミナ、アルミニウム−アルミナ、ジルコン、及びこれらの物質の１種類以上を含む混合物からなる群から選択される１種類以上の材料から形成される、請求項７記載の方法。
【請求項９】  前記セラミック物品の温度を工程（vi）で凍結温度から２０℃以上の温度まで徐々に上げる、請求項１記載の方法。
【請求項１０】  前記スラリー中のアルミナとアルミニウムとの重量比が２０：１〜５：２の範囲内にある、請求項１記載の方法。
【請求項１１】  前記アルミナが溶融アルミナである、請求項１記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成20年5月9日(2008.5.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】  請求項１または２に記載の化合物を製造する方法であって、−６０℃以下の温度の溶媒中または混合溶媒中で、式（ＩＩ）のハロベンゼン（ただし式中のＹ、Ｘ１およびＸ２ は請求項１の中で定義した通りであり）を有機リチウム化合物そしてその後に式（ＩＩＩ）のホルミル同族体（ただし式（ＩＩＩ）中ではＲ１は１ないし６個の炭素原子を有するアルキル基、トリメチルシリル基または置換したまたは未置換のフェニル基であり、Ｒ２は１ないし６個の炭素原子を有するアルキル基、トリメチルシリル基または置換したまたは未置換のフェニル基であり、Ｒ３は−ＣＨ（＝Ｏ）または−ＣＨ（ＯＲ４）２、式中Ｒ１とＲ２は窒素原子と共に５ないし７員環の一部を構成してもよく、Ｒ４は１ないし４個の炭素原子を有するアルキル基である）と反応させ、続いて加水分解させることを含む、前記方法。
【化２】
2001316323.tif 000001
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】  式（ＩＩＩ）の化合物がジメチルホルムアミドまたはジエチルホルムアミドである、請求項３または４に記載の方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】  活性化剤または選択性改善剤、とくにテトラメチレンジアミンまたはカリウムｔ−ブチレートを反応混合物に添加する、請求項３〜６のいずれかに記載の方法。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】  式（ＩＩ）の化合物と有機リチウム化合物とを、式（ＩＩＩ）の化合物存在下で反応させる、請求項３〜７のいずれかに記載の方法。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１３】  液晶性混合物の成分がフェナントレン誘導体である、請求項１２に記載の使用。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
式（ＩＩＩ）のホルミル同族体は好ましくはＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジプロピルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジイソプロピルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジブチルホルムアミド、Ｎ−ホルミルピロリジン、Ｎ−ホルミルモルホリン、Ｎ−ホルミルピペリジン、ジメチルホルムアミドジアルキルアセタール、Ｎ−メチルホルムアニリド、Ｎ−エチルホルムアニリド、Ｎ，Ｎ−ビス−（トリメチルシリル）−ホルムアミドである。式（ＩＩＩ）のホルミル同族体は極めて好ましくはＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
応用例１
クマー（Ｋｕｍａｒ）がＪ．Ｏｒｇ．Ｃｈｅｍ．１９９７，６２，８５３５−８５３９に記載しているように、２−ブロモ−５，６−ジフロロベンズアルデヒドは４−ペンチルフェニルボロン酸とＰｄ触媒の存在中に反応して、３，４−ジフロロ−４’−ペンチルビフェニル−カルボアルデヒドを生じた。この化合物は同書でクマーが記載したようにトリメチルスルホニウムヨウ化物と反応し、３，４−ジフロロ−２−（オキシラン−２−イル）−４’−ペンチルビフェニルを生じた。その後に精製することなく、三フッ化硼素エチルエーテル錯化合物の存在中にこの化合物を１，２−ジフロロ−７−ペンチルフェナントレンに転換した。この粗製品を液晶材料（ＤＥ−Ａ−１９５  ００  ７６８参照）のこのタイプに典型的な方法で精製した。その結果１，２−ジフロロ−７−ペンチルフェナントレンを無色の結晶として得た。
【手続補正書】
【提出日】平成20年5月28日(2008.5.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  半導体ウエハ上に特徴部を無電解メッキする方法であって、
複数のローラーを備えるメッキ装置を用意し、
前記複数のローラーのうちの１つを第１の位置から振り出し、前記複数のローラーのうちの残りのローラーに前記ウエハを装填し、次いで前記ローラーを第２の位置へ振り戻し、
前記ウエハを前記複数のローラーで支持し、
前記複数のローラーの各々を回転させることにより、前記ウエハを回転させ、
メッキ溶液を前記ウエハの表面上に流す
各ステップを有する方法。
【請求項２】  前記支持するステップは、前記ウエハを前記複数のローラーの各々のローラーの溝内に支持するステップを有する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】  前記ウエハを回転させるステップは、前記ローラーの各々の歯車を、前記ローラーの各々において前記歯車と係合している中心の太陽歯車を回転させることによって、回転させるステップを有する、請求項１に記載の方法。
【請求項４】  さらに、前記ウエハ及び前記ローラーを前記メッキ溶液中に浸漬させるステップを有する、請求項１に記載の方法。
【請求項５】  前記ウエハを浸漬させるステップは、前記ウエハ及び前記ローラーをタンク内に浸漬させるステップを有し、前記メッキ溶液を流すステップは、前記メッキ溶液を前記タンクの底から前記タンクの頂部へ流すステップを有する、請求項４に記載の方法。
【請求項６】  半導体ウエハ上に特徴部を無電解メッキする方法であって、
複数のローラーを備えるメッキ装置を用意し、
前記複数のローラーのうちの１つを第１の位置から振り出し、前記複数のローラーのうちの残りのローラーに前記ウエハを装填し、次いで前記ローラーを第２の位置へ振り戻し、
前記ウエハを前記複数のローラーで支持し、前記ローラーの各々は、前記ウエハの端部を支持するための溝を有し、
前記ウエハをメッキ溶液中に浸漬させ、
前記ローラーを回転させることにより、前記ウエハを回転させ、
前記ウエハを回転させるステップの間に、メッキ溶液を前記ウエハの表面上に流す
各ステップを有する方法。
【請求項７】  前記ウエハを回転させるステップは、前記ローラーの各々の歯車を、前記ローラーの各々において前記歯車と係合している中心の太陽歯車を回転させることによって、回転させるステップを有する、請求項６に記載の方法。
【請求項８】  前記ウエハを浸漬させるステップは、前記ウエハ及び前記ローラーをタンク内に浸漬させるステップを有し、前記メッキ溶液を流すステップは、前記メッキ溶液を前記タンクの底から前記タンクの頂部へ流すステップを有する、請求項６に記載の方法。
【請求項９】  半導体ウエハを処理する方法であって、
液体を収容するための内側部分、前記内側部分からオーバーフローした液体を収容するための外側部分、及び該外側部分と連通する、該外側部分からの液体を前記内側部分へ再循環させるための底部区画を備える処理タンクを用意し、
ウエハのバッチを、前記処理タンクの前記内側部分内のローラーに実質的に垂直に装填し、
前記ウエハのバッチを捕獲ローラーに固定し、
前記処理タンクの前記内側部分を処理液で満たし、
ローラー上の前記ウエハのバッチを回転させ、
前記液体を前記処理タンクの底部から、層流として、一定の層流速度で、回転軸に垂直に、前記ウエハのバッチ付近に流し、
前記ウエハのバッチの回転速度及び前記液体の流速を制御して、前記ウエハの表面と前記処理用の液体との間の周期的な相対運動を維持する
各ステップを有する方法。
【請求項１０】  前記処理は、銅金属上への実質的に均一な金属層のメッキである、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】  前記金属層がアルミニウムを含む、請求項１０に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成20年8月11日(2008.8.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
発光機能を有している発光半導体領域と、
前記発光半導体領域の上に配置され且つ光取り出し面を有している電流分散半導体層と、
前記電流分散半導体層の前記光取り出し面の一部上に配置された第１の電極と、
前記発光半導体領域の他方の主面に電気的に接続された第２の電極と
を備えた半導体発光素子であって、
平面的に見て前記第１の電極の周縁から前記電流分散半導体層の前記光取り出し面の周縁に向かって延びている複数の第１の仮想直線上に凹部が形成され、前記第１の電極の周縁から前記電流分散半導体層の前記光取り出し面の周縁に向かって延びている複数の第２の仮想直線上に凹部が形成されていないことを特徴とする半導体発光素子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記課題を解決するための本発明は、発光機能を有している発光半導体領域と、
前記発光半導体領域の上に配置され且つ光取り出し面を有している電流分散半導体層と、前記電流分散半導体層の前記光取り出し面の一部上に配置された第１の電極と、前記発光半導体領域の他方の主面に電気的に接続された第２の電極と
を備えた半導体発光素子であって、
平面的に見て前記第１の電極の周縁から前記電流分散半導体層の前記光取り出し面の周縁に向かって延びている複数の第１の仮想直線上に凹部が形成され、前記第１の電極の周縁から前記電流分散半導体層の前記光取り出し面の周縁に向かって延びている複数の第２の仮想直線上に凹部が形成されていないことを特徴とする半導体発光素子に係わるものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
更に詳しく説明すると、ＴＭＡ（トリメチルアルミニウム）と、ＴＥＧ（トリエチルガリウム）と、ＴＭＩｎ（トリメチルインジウム）と、ＰＨ3（フォスフイン）とを原料として用い、例えば、（ＡｌXＧａ1-X）yＩｎl-yＰ（0.3≦ｘ≦１、０．３≦ｙ≦０．６）の組成を有するｎ型半導体層９を形成する。ここで、ｎ型のドーパントガスとしては、例えば、ＳｉＨ4（モノシラン）、Ｓｉ2Ｈ6（ジシラン）、ＤＥＳｅ（ジエチルセレン）、ＤＥＴｅ（ジエチルテルル）等を用いることができる。次に、ｎ型半導体層９よりもアルミニウム組成の低い、（ＡｌXＧａ1-X）yＩｎl-yＰ（0.2≦ｘ＜１、０．３≦ｙ≦０．６）の組成を有する活性層１０を形成する。この活性層１０の形成時には、ドーパントガスは用いない。次に、活性層１０よりもアルミニウム組成の高いＡｌXＧａ1-X）yＩｎl-yＰ（0.3≦ｘ≦１、０．３≦ｙ≦０．６）の組成を有するｐ型半導体層１１を形成する。ここで、ｐ型不純物を導入するために、例えば、ＤＥＺｎ（ジエチル亜鉛）、ＣＰ2Ｍｇ（ビスシクロペンタジエニルマグネシウム）等のドーパントガスを用いるか、或いは固体のベリリウム（Ｂｅ）を用いる。次に、ＴＥＧ及びＰＨ3を導入してｐ型の不純物が添加されたＧａＰから成る電流分散半導体層（ウインドウ層）３を形成する。ここで、ＰＨ3のかわりにＴＢＰ（ターシャリーブチルフォスィン）を用いることもできる。
【手続補正書】
【提出日】平成20年2月13日(2008.2.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁化方向が固着された第１の磁性層と、磁化方向が固着された第２の磁性層と、前記第１の磁性層と前記第２の磁性層との間に設けられた中間層と、前記第１の磁性層、前記中間層および前記第２の磁性層を含む積層膜の膜面垂直に電流を通電する電極とを有し、
前記中間層が絶縁体領域とFe,Co,Ni,Crの少なくともひとつを含む金属領域からなり、前記金属領域は前記第１および第２の磁性層と接触していることを特徴とする磁気抵抗効果素子。
【請求項２】
第１の非磁性層と、第２の非磁性層と、前記第１の非磁性層と前記第２の非磁性層との間に設けられた中間層と、前記第１の非磁性層、前記中間層および前記第２の非磁性層を含む積層膜の膜面垂直に電流を通電する電極とを有し、
前記中間層が絶縁体領域とFe,Co,Ni,Crの少なくともひとつを含む金属領域からなり、
前記金属領域は前記第１および第２の非磁性層と接触していることを特徴とする磁気抵抗効果素子。
【請求項３】
磁化方向が固着された磁性層と、非磁性層と、前記磁性層と前記非磁性層との間に設けられた中間層と、前記磁性層、前記中間層および前記非磁性層を含む積層膜の膜面垂直に電流を通電する電極とを有し、 
前記中間層が絶縁体領域とFe,Co,Ni,Crの少なくともひとつを含む金属領域からなり、前記金属領域は前記磁性層および前記非磁性層と接触していることを特徴とする磁気抵抗効果素子。
【請求項４】
前記中間層において、前記絶縁体領域は、Fe、Co、Ni、Cr、Al、Si、Mgの少なくとも一つを含む酸化物又は窒化物であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一に記載の磁気抵抗効果素子。
【請求項５】
前記中間層において、前記金属領域の膜面方向の面積が、前記絶縁体領域の膜面方向の面積よりも大きいことを特徴とする、請求項１に記載の磁気抵抗効果素子。
【請求項６】
前記中間層において、前記金属領域と前記第１および第２の磁性層との接触面積が、前記金属領域の略中央部で膜面方向に広がる断面積よりも大きいこと特徴とする、請求項１に記載の磁気抵抗効果素子。
【請求項７】
前記金属領域の、前記中間層の面内方向における大きさ（幅）が、５０ｎｍ以下であることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一に記載の磁気抵抗効果素子。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一に記載の磁気抵抗効果素子を具えることを特徴とする、磁気ヘッド。
【請求項９】
磁気記録媒体と、請求項８に記載の磁気ヘッドとを具えることを特徴とする、磁気記録再生装置。
【請求項１０】
請求項１〜７のいずれか一に記載の磁気抵抗効果素子を具えることを特徴とする、磁気メモリ。
【手続補正書】
【提出日】平成20年3月25日(2008.3.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップと、
前記半導体チップに作りこまれてなる配線であって、第１の部分と、前記第１の部分よりも幅が広い第２の部分と、前記第１の部分と前記第２の部分との連結部分と、を有する前記配線と、
前記第２の部分とオーバーラップする位置に設けられた第１のコンタクト部と、
前記配線の上方であって、前記連結部分とオーバーラップする位置に形成されたパッドと、
前記パッド上に形成されてなるバンプと、
前記連結部分と前記パッドとの間に位置して、前記連結部分の全体及び前記第１のコンタクト部を覆うように形成されてなる緩衝層と、
前記配線と前記緩衝層との間に設けられた第１の無機絶縁層と、
前記緩衝層と前記パッドとの間に設けられた第２の無機絶縁層と、
を含み、
前記緩衝層は、前記第１及び第２の無機絶縁層よりも柔らかい材料から形成されてなる半導体装置。
【請求項２】
請求項１記載の半導体装置において、
前記第１のコンタクト部は前記緩衝層と前記第２の部分との間に設けられ、前記緩衝層と前記第２の部分を電気的に接続している半導体装置。
【請求項３】
請求項１記載の半導体装置において、
前記半導体チップに作りこまれてなり、前記第２の部分の下方に位置する拡散層を有し、
前記第１のコンタクト部は、前記第２の部分と、前記拡散層との間に設けられている半導体装置。
【請求項４】
請求項３記載の半導体装置において、
前記配線は、前記第１の部分よりも幅が広い第３の部分を有し、
前記緩衝層と前記第３の部分との間に設けられ、前記緩衝層と前記第３の部分を電気的に接続している第２のコンタクト部を更に有する半導体装置。
【請求項５】
半導体チップと、
前記半導体チップに作りこまれてなる配線であって、第１の部分と、前記第１の部分よりも幅が広い第２の部分と、前記第１の部分と前記第２の部分との連結部分と、を有する前記配線と、
前記第２の部分とオーバーラップする位置に設けられた第１の導電材料と、
前記配線の上方であって、前記連結部分とオーバーラップする位置に形成されたパッドと、
前記パッド上に形成されてなるバンプと、
前記連結部分と前記パッドとの間に位置して、前記連結部分の全体及び前記第１の導電材料を覆うように形成されてなる第２の導電材料と、
前記配線と前記緩衝層との間に設けられた第１の無機絶縁層と、
前記緩衝層と前記パッドとの間に設けられた第２の無機絶縁層と、
を含み、
前記緩衝層は、前記第１及び第２の無機絶縁層よりも柔らかい材料から形成されてなる半導体装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2008066760.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成20年3月25日(2008.3.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
地板と、
前記地板のなす面と略同一の面内にあって多角形をなすと共に一角に給電点が設けられ、かつ、前記給電点が設けられた一角に繋がる２辺のうち１の辺及び他の辺が前記地板の１の辺にそれぞれ対向及び略直交してなる平面導体と、
前記地板のなす面と略同一の面内にあり、前記地板の辺に略直交する前記平面導体の辺の前記給電点と反対側の端近辺に繋がると共に開放端を有してなる線状導体とを
備えたことを特徴とする広帯域アンテナ。
【請求項２】
前記給電点から、前記地板の辺に略直交する前記平面導体の辺を経由して、前記線状導体の開放端までの距離によって定まる共振周波数を有することを特徴とする請求項１に記載の広帯域アンテナ。
【請求項３】
前記給電点から、前記地板の辺に対向する前記平面導体の辺を経由して、前記平面導体の前記給電点が設けられた一角の対角までの距離によって定まる共振周波数を有することを特徴とする請求項１に記載の広帯域アンテナ。
【請求項４】
前記地板の辺に対向する前記平面導体の辺は、前記地板の辺に略平行することを特徴とする請求項１に記載の広帯域アンテナ。
【請求項５】
前記地板の辺に対向する前記平面導体の辺と前記地板の辺の平均の間隔が、前記給電点から前記地板の辺に対向する前記平面導体の辺を経由して前記平面導体の前記給電点が設けられた一角の対角までの距離の略０．３倍に相当する値以下であることを特徴とする請求項１に記載の広帯域アンテナ。
【請求項６】
平面導体と線状導体と地板を有し、低域共振と高域共振を発生する広帯域アンテナであって、
前記平面導体の面と前記地板の面と前記線状導体は略同一平面上に配置され、
前記平面導体は、
四角形以上の多角形であり、
多角形の一角に位置する給電点と、
前記一角に繋がり前記地板の第１の辺とほぼ等間隔のギャップで対向する第２の辺と、
一端が前記一角に繋がると共に他端近辺が前記線状導体に繋がる第３の辺とを有し、
前記給電点から前記第３の辺を経由して前記線状導体の開放端に至る距離が前記低域共振周波数の波長の略４分の１であり、前記給電点から前記第２の辺を経由して前記多角形内の最も遠い対角までの辺に沿った距離が前記高域共振周波数の波長の略０．３倍であり、前記ギャップが前記給電点から前記第２の辺を経由して前記多角形内の最も遠い対角までの辺に沿った距離の略０．３倍以下である
ことを特徴とする広帯域アンテナ。
【請求項７】
平面導体と線状導体と地板を有し、低域共振と高域共振を発生する広帯域アンテナであって、
前記平面導体の面と前記地板の面と前記線状導体は略同一平面上に配置され、
前記平面導体は、
四角形以上の多角形であり、
多角形の一角に位置する給電点と、
前記一角に繋がり前記地板の第１の辺とほぼ等間隔のギャップで対向する第２の辺と、
一端が前記一角に繋がると共に他端近辺が前記線状導体に繋がる第３の辺と、
前記第２の辺と略平行な第４の辺とを有し、
前記給電点から前記第３の辺を経由して前記線状導体の開放端に至る距離が前記低域共振周波数の波長の略４分の１であり、前記給電点から前記第２の辺を経由して前記多角形内の最も遠い対角までの辺に沿った距離が前記高域共振周波数の波長の略０．３倍であり、前記ギャップが前記給電点から前記第２の辺を経由して前記多角形内の最も遠い対角までの辺に沿った距離の略０．３倍以下であり、前記第４の辺が前記第２の辺より長い
ことを特徴とする広帯域アンテナ。
【請求項８】
前記線状導体は、前記地板の第１の辺と略平行に配置されることを特徴とする請求項６又は７に記載の広帯域アンテナ。
【請求項９】
前記線状導体は、前記地板の第１の辺と略垂直に配置されることを特徴とする請求項６又は７に記載の広帯域アンテナ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明の広帯域アンテナは、地板と、前記地板のなす面と略同一の面内にあって多角形をなすと共に一角に給電点が設けられ、かつ、前記給電点が設けられた一角に繋がる２辺のうち１の辺及び他の辺が前記地板の１の辺にそれぞれ対向及び略直交してなる平面導体と、前記地板のなす面と略同一の面内にあり、前記地板の辺に略直交する前記平面導体の辺の前記給電点と反対側の端近辺に繋がると共に開放端を有してなる線状導体とを備えたことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成20年3月11日(2008.3.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器の上部に当該真空容器内の載置台と対向して設けられると共に多数のスロットが形成された板状のスロットアンテナと、このスロットアンテナの周縁にその下縁が接続された円形導波管と、この円形導波管の上面にその下端側が接続された円筒形導波管と、この円筒形導波管の内部に設けられると共に前記スロットアンテナの中央部にその下端側が接続され、円筒形導波管と共に同軸導波管を構成する導電性の軸部と、前記同軸導波管にマイクロ波を供給するためのマイクロ波電源と、を備えた装置を用い、
基板を真空容器内の載置台に載置する工程と、
希ガスと窒素又は希ガスとアンモニアとを含み、シリコンを含まないガスであって、希ガスの含有量が５０％以上９９％以下のガスを前記真空容器内に供給する工程と、
前記スロットアンテナから前記真空容器内にマイクロ波を供給することにより前記ガスをプラズマ化して真空容器内にプラズマを生成する工程と、
このプラズマにより前記基板を窒化して基板上に窒化膜を形成する工程と、
を含むことを特徴とする絶縁膜形成方法。
【請求項２】
真空容器の上部に当該真空容器内の載置台と対向して設けられると共に多数のスロットが形成された板状のスロットアンテナと、このスロットアンテナの周縁にその下縁が接続された円形導波管と、この円形導波管の上面にその下端側が接続された円筒形導波管と、この円筒形導波管の内部に設けられると共に前記スロットアンテナの中央部にその下端側が接続され、円筒形導波管と共に同軸導波管を構成する導電性の軸部と、前記同軸導波管にマイクロ波を供給するためのマイクロ波電源と、を備えた装置を用い、
基板を真空容器内の載置台に載置する工程と、
希ガスと酸素とを含み、シリコンを含まないガスであって、希ガスの含有量が５０％以上９９％以下のガスを前記真空容器内に供給する工程と、
前記ガスをプラズマ化して真空容器内にプラズマを生成する工程と、
このプラズマにより前記基板を酸化して基板上に酸化膜を形成する工程と、
を含むことを特徴とする絶縁膜形成方法。
【請求項３】
前記酸化膜をＮＯガス雰囲気中でアニールする工程を更に含むことを特徴とする請求項２記載の絶縁膜形成方法。
【請求項４】
前記真空容器内の圧力は５０ｍTorr〜１Torrであることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の絶縁膜形成方法。
【請求項５】
基板の温度が３００℃〜４００℃であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一つに記載の絶縁膜形成方法。
【請求項６】
前記ガスは水素を含むことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一つに記載の絶縁膜形成方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、基板に絶縁膜例えばゲ−ト絶縁膜を形成する方法に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、真空容器の上部に当該真空容器内の載置台と対向して設けられると共に多数のスロットが形成された板状のスロットアンテナと、このスロットアンテナの周縁にその下縁が接続された円形導波管と、この円形導波管の上面にその下端側が接続された円筒形導波管と、この円筒形導波管の内部に設けられると共に前記スロットアンテナの中央部にその下端側が接続され、円筒形導波管と共に同軸導波管を構成する導電性の軸部と、前記同軸導波管にマイクロ波を供給するためのマイクロ波電源と、を備えたプラズマ処理装置を用い、
基板を真空容器内の載置台に載置する工程と、
希ガスと窒素又は希ガスとアンモニアとを含み、シリコンを含まないガスであって、希ガスの含有量が５０％以上９９％以下のガスを前記真空容器内に供給する工程と、
前記スロットアンテナから前記真空容器内にマイクロ波を供給することにより前記ガスをプラズマ化して真空容器内にプラズマを生成する工程と、
このプラズマにより前記基板を窒化して基板上に窒化膜を形成する工程と、
を含むことを特徴とする。
他の発明は、上記のプラズマ処理装置を用い、
基板を真空容器内の載置台に載置する工程と、
希ガスと酸素とを含み、シリコンを含まないガスであって、希ガスの含有量が５０％以上９９％以下のガスを前記真空容器内に供給する工程と、
前記ガスをプラズマ化して真空容器内にプラズマを生成する工程と、
このプラズマにより前記基板を酸化して基板上に酸化膜を形成する工程と、
を含むことを特徴とする
真空容器内の圧力は例えば５０ｍTorr〜１Torrであり、基板の温度は例えば３００℃〜４００℃である。また前記ガスは水素を含むようにしてもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明によれば、板状スロットアンテナに形成された多数のスロットから真空容器内に高周波を供給しているので、電子温度の低い高密度のプラズマが発生し、そしてこのプラズマにより真空容器内に供給されたガスをプラズマ化しているため、電気的特性の良い絶縁膜を形成することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成20年10月3日(2008.10.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
そして、ビデオ・テープやＤＶＤに記録された画像情報（Ａ、Ｂ、Ｃ、・・）を再生する際には、ＰＬ．ｄａｔａに基いて画像情報（Ａ、Ｂ、Ｃ、・・）を再生することとする。これにより、例えば、ＰＬ．ｄａｔａが図４に示す内容である場合には、画像Ａ、画像Ｃ、画像Ｂの再生順番で、画像Ａを５秒間、画像Ｃを１０秒間、画像Ｂを３秒間再生することができる。
なお、特許文献１には、「動画の記録に用いる記録媒体は、テープ状媒体であり、撮影した画像は常に撮影順にテープ上に連続して並び、撮影した画像は必ずテープ単位で保管され、鑑賞する際には、テープの先頭から時間順にする必要があった。」という課題に対し、「動画像の記録をテープのようなシーケンシャルメディアではなく、各カットの撮影毎に一単位の画像ファイルを生成するハードディスクのようなランダムアクセスが可能なメディアに記録する電子カメラを用いる。そして撮影時に生成された数秒から数十秒単位の多量の画像ファイルを、撮影する時刻範囲や場所等の特定の条件に従って自動的にグループ分けを行い、ユーザがそれぞれの画像ファイルの存在を意識することなく、グループ単位で、そのグループ内の画像ファイルを連続して再生する。」という解決手段を用いることが記載されている。
【特許文献１】特開平10-254746
【手続補正書】
【提出日】平成20年3月1日(2008.3.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】縦割りした棘突起と接する側面を両端に有する本体部分と該側面に設けた突起からなる棘突起スペーサー
【請求項２】前記本体部分と該本体部分の側面から略鉛直方向に延びている突起からなる請求項１記載の棘突起スペーサー
【請求項３】前記突起は円柱状であることを特徴とする請求項１又は２記載の棘突起スペーサー
【請求項４】前記突起の長さが２．５〜５．５mmである請求項１、２又は３記載の棘突起スペーサー
【請求項５】前記突起の直径が１〜３mmである請求項１乃至４記載のいずれかな棘突起スペーサー
【請求項６】前記本体部分は弓形状であることを特徴とする請求項１又は２記載の棘突起スペーサー
【請求項７】前記弓形状である本体部分の両側面がなす角度は５０〜８０度であることを特徴とする請求項６記載の棘突起スペーサー