【手続補正書】
【提出日】平成20年3月25日(2008.3.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から放射された光を導光する光学系を備え、前記光学系を介して基板を露光する露光装置において、
前記光学系を構成する光学部材の温度を調整する温度調整手段と、
前記温度調整手段の負荷を検出する検出手段と、
検出された前記負荷に基づいて、前記光学系を構成する光学部材の光学特性を取得する取得手段とを具備することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記温度調整手段により温度を調整され且つ前記取得手段により前記光学特性を取得される光学部材は、前記光を反射するミラーであることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記温度調整手段により温度を調整される光学部材は、前記光学系の光路上に配置されて前記光を吸収する光吸収部材であり、前記取得手段により前記光学特性を取得される光学部材は、前記光を反射するミラーであることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項４】
前記光吸収部材は、前記光の形状を整形するためのマスキングブレード、ＮＡ絞り、およびσ絞りの少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項３に記載の露光装置。
【請求項５】
前記光学系は複数の光学部材を有し、
前記光学部材ごとに前記温度調整手段を設け、
前記検出手段は、前記光学部材ごとに前記負荷を検出することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項６】
前記温度調整手段は、前記光学部材と熱交換する媒体を加熱するヒータを含み、前記負荷は、前記ヒータの負荷であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項７】
取得された前記光学特性が閾値を超えて変化しているか判定する判定手段と、前記光学特性が閾値を超えて変化していると判定された場合、その旨を警告する警告手段とを更に備えることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項８】
取得された前記光学特性が閾値を超えて変化しているか判定する判定手段と、前記光学特性が閾値を超えて変化していると判定された場合、前記光学部材を洗浄する手段とを更に備えることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項９】
取得された前記光学特性が閾値を超えて変化しているか判定する判定手段と、前記光学特性が閾値を超えて変化していると判定された場合、前記光学部材の交換を促すために報知する手段と、前記光学部材を交換する手段とを更に備えることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記光学系は、マスクを照明する照明光学系、および前記マスクからの光を前記基板に投影する投影光学系とを含むことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、前記ステップで露光された基板を現像するステップとを含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置およびデバイス製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、露光装置およびデバイス製造方法に関し、特に、ＩＣ、ＬＳＩ等の半導体デバイス、液晶デバイス、ＣＣＤ等の撮像デバイス、磁気ヘッド等のデバイスを製造するためのリソグラフィー工程に用いられる露光装置およびデバイス製造方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明は、上記課題に鑑みてなされ、その目的は、簡単な構成によって光学部材の光学特性を取得することである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の第１の態様は、光源から放射された光を導光する光学系を備え、前記光学系を介して基板を露光する露光装置において、前記光学系を構成する光学部材の温度を調整する温度調整手段と、前記温度調整手段の負荷を検出する検出手段と、検出された前記負荷に基づいて、前記光学系を構成する光学部材の光学特性を取得する取得手段とを具備する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、上記態様において、前記温度調整手段により温度を調整され且つ前記取得手段により前記光学特性を取得される光学部材は、前記光を反射するミラーである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、上記態様において、前記温度調整手段により温度を調整される光学部材は、前記光学系の光路上に配置されて前記光を吸収する光吸収部材であり、前記取得手段により前記光学特性を取得される光学部材は、前記光を反射するミラーである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、上記態様において、前記光吸収部材は、前記光の形状を整形するためのマスキングブレード、ＮＡ絞り、およびσ絞りの少なくとも１つを含む。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、上記態様において、前記光学系は複数の光学部材を有し、前記光学部材ごとに前記温度調整手段を設け、前記検出手段は、前記光学部材ごとに前記負荷を検出する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、上記態様において、前記温度調整手段は、前記光学部材と熱交換する媒体を加熱するヒータを含み、前記負荷は、前記ヒータの負荷である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、上記態様において、取得された前記光学特性が閾値を超えて変化しているか判定する判定手段と、前記光学特性が閾値を超えて変化していると判定された場合、その旨を警告する警告手段とを更に備える。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また、上記態様において、取得された前記光学特性が閾値を超えて変化しているか判定する判定手段と、前記光学特性が閾値を超えて変化していると判定された場合、前記光学部材を洗浄する手段とを更に備える。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、上記態様において、取得された前記光学特性が閾値を超えて変化しているか判定する判定手段と、前記光学特性が閾値を超えて変化していると判定された場合、前記光学部材の交換を促すために報知する手段と、前記光学部材を交換する手段とを更に備える。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
また、上記態様において、前記光学系は、マスクを照明する照明光学系、および前記マスクからの光を前記基板に投影する投影光学系とを含む。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また、本発明の第２の態様は、上記態様の露光装置を用いて基板を露光するステップと、前記ステップで露光された基板を現像するステップとを含む。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
以上のように、本発明によれば、簡単な構成によって光学部材の光学特性を取得することができる。