(57)【要約】熱伝導性複合材料は、ポリマーと窒化ホウ素とを含み、窒化ホウ素は、ナノファイバ、ナノチューブ、ナノプレート若しくはそれらの組み合わせの形態である。代替的に、熱伝導性複合材料は、孔を有する窒化ホウ素と、窒化ホウ素の孔に配置されるポリマーと、を含む。
2017520633.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱伝導性複合材料であって、
ポリマーと
窒化ホウ素と、を含み、
前記窒化ホウ素が、ナノファイバ、ナノチューブ、ナノプレート若しくはそれらの組み合わせの形態である熱伝導性複合材料。
【請求項２】
前記窒化ホウ素が、ナノファイバまたはナノチューブの形態である、請求項１に記載の熱伝導性複合材料。
【請求項３】
前記窒化ホウ素がナノファイバの形態にあり、かつ前記ナノファイバが織られた形態にある、請求項１乃至２のいずれか一項以上の熱伝導性複合材料。
【請求項４】
前記窒化ホウ素が１〜１００ナノメートルの断面寸法を有する、請求項１乃至３のいずれか一項以上の熱伝導性複合材料。
【請求項５】
前記窒化ホウ素が１００ナノメートル〜１０ミリメートルの全長を有する、請求項１乃至４のいずれか一項以上の熱伝導性複合材料。
【請求項６】
前記窒化ホウ素が１０〜１，０００，０００のアスペクト比を有する、請求項１乃至５のいずれか一項以上の熱伝導性複合材料。
【請求項７】
前記窒化ホウ素が前記ポリマー層の主要面とほぼ垂直な方向に延びている、請求項１乃至６のいずれか一項以上の熱伝導性複合材料。
【請求項８】
熱伝導性複合材料であって、
孔を有する窒化ホウ素と、
前記窒化ホウ素の前記孔に配置されるポリマーと、
を含む、熱伝導性複合材料。
【請求項９】
前記窒化ホウ素が５〜１０００ナノメートルの平均孔径を有する、請求項８に記載の熱伝導性複合材料。
【請求項１０】
前記窒化ホウ素がドープされた窒化ホウ素である、請求項８乃至９のいずれか一項以上の熱伝導性複合材料。
【請求項１１】
前記複合材料が層の形態にある、請求項８乃至１０のいずれか一項以上の熱伝導性複合材料。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれか一項以上の熱伝導性複合材料を製造する方法であって、前記方法は、
ポリマーまたはプレポリマー組成物を窒化ホウ素及び溶媒と合せて混合物を形成する工程と、
前記混合物を成形して層を形成する工程と、
前記溶媒を除去して熱伝導性複合材料を製造する工程と、
を含む、方法。
【請求項１３】
前記ポリマーを架橋する工程を更に含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記ポリマーを発泡させる工程を更に含む、請求項１２乃至１３のいずれか一項以上の方法。
【請求項１５】
前記窒化ホウ素は多孔性窒化ホウ素であり、かつ前記多孔性窒化ホウ素の孔中にあるプレポリマー組成物を重合する工程を更に含む、請求項１２乃至１４のいずれか一項以上の方法。
【請求項１６】
請求項１乃至１５のいずれか一項以上の熱伝導性複合材料を含む回路材料であって、選択的に導電層上に配置される、回路材料。
【請求項１７】
請求項１乃至１５のいずれか一項以上の熱伝導性複合材料を含むプリント基板であって、導電層上に配置される、プリント基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、熱伝導性複合材料及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
熱伝導性複合材料（ポリマー及び充填材）は、例えばプリント基板を含む広範な用途にて使用されている。プリント基板（ＰＣＢ）は、非導電性基板上に積層された導電経路を使用して、電子部品を機械的に支持するとともに電気的に接続するために使用される。電子部品は熱を生ずる。その熱はＰＣＢを介して放散される。また、ＰＣＢの熱放散特性が不十分である部品からの熱を放散するためにヒートシンクを使用することもできる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
電子部品からの改善された熱放散を提供するために、かつヒートシンクの使用を回避するために、改善された熱放散特性を備えるＰＣＢ材料の必要性が存在している。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
熱伝導性複合材料であって、ポリマーと窒化ホウ素とを含み、同窒化ホウ素が、ナノファイバ、ナノチューブ、ナノプレート若しくはそれらの組み合わせの形態である熱伝導性複合材料が開示されている。
【０００５】
また、熱伝導性複合材料であって、多孔性の窒化ホウ素と、同窒化ホウ素の孔に配置されるポリマーとを含む熱伝導性複合材料が開示されている。
同熱伝導性複合材料を製造する方法は、ポリマーと、窒化ホウ素と、溶媒とを合せて混合物を生成する工程と、同混合物を成形して層を形成する工程と、熱伝導性複合材料を製造するために溶媒を除去する工程と、を含む。
【０００６】
本開示の上記した及びその他の態様、利点及び特徴は、添付する図面を参照して、その更に詳細かつ例示的な実施形態にて記載されることにより、より明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】シングルクラッド積層板（ｃｌａｄ  ｌａｍｉｎａｔｅ）の概略図である。
【図２】ダブルクラッド積層板の概略図である。
【図３】パターン形成された導電層を備えるダブルクラッド積層板の概略図である。
【図４】２つのダブルクラッド回路積層板を含む例示的な回路アセンブリの概略図である。
【図５】熱伝導性複合材料の実施形態の模式図である。
【図６】熱伝導性複合材料の別の実施形態の模式図である。
【図７】多孔性の窒化ホウ素とポリマーとを含む熱伝導性複合材料の実施形態の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本願の発明者らは、ポリマーと、ナノファイバ、ナノチューブ、若しくはナノプレートの形態にある窒化ホウ素粒子とを組み合わせることにより、改善された熱伝導率を備えた複合材料が得られることを見出した。一実施形態において、窒化ホウ素粒子は、ポリマー層の主要面とほぼ垂直な方向に配向されており、それにより、改善された熱伝導率が得られる。別の実施形態において、多孔性窒化ホウ素であって、同窒化ホウ素の孔にポリマーが配置された多孔性窒化ホウ素が提供される。これらの材料は、改善された機械強度、機械的応力による不具合に対する抵抗性及び改善された弾性を含む改善された機械的特性のようなその他の望ましい特性を提供する。別の実施形態において、選択された誘電率を有する複合材料が、ドープされた窒化ホウ素ナノチューブのような適切な窒化ホウ素の選択によって提供され得る。複合材料はまた改善された熱安定性を提供し、はんだ付け及び／またはワイヤボンディングのような高温への暴露時に、変形または気泡形成を回避する能力が得られる。高い熱伝導性と高い熱安定性との組み合わせは、高いクロック速度及び高出力にて運転するチップ、より大きなサイズのチップ、或いは熱を発生するレーザダイオードを備える光電子部品のようなより高い熱を発生するデバイスにおいて有用である。複合材料は多種多様な回路サブアセンブリにおいて使用でき、かつビルドアップ層として、マルチレイヤコアの誘電性基板層として、或いは両者の組み合わせとして、使用できる。
【０００９】
ポリマー複合材料は、任意の適切なポリマーを含むことができる。一実施形態において、ポリマーは、ポリイミド、ポリフェニルスルホン、ポリエチルスルホン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリ（アリーレンエーテル）或いはエポキシのような誘電性ポリマーである。ポリマーはホモポリマー或いはコポリマーであってもよく、そして、グラフトコポリマー或いはブロックコポリマーを含むことができる。ポリマーは架橋されていてもよい。例示的なポリ（アリーレンエーテル）は、ポリ（２，６−ジメチル−１，４−フェニレンエーテル）、ポリ（２，６−ジエチル−１，４−フェニレンエーテル）、ポリ（２，６−ジプロピル−１，４−フェニレンエーテル）、ポリ（２−メチル−６−アリル−１，４−フェニレンエーテル）、ポリ（ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−ジメトキシ−１，４−フェニレンエーテル）、ポリ（２，６−ジクロロメチル−１，４−フェニレンエーテル）、ポリ（２，６−ジブロモメチル−１，４−フェニレンエーテル）、ポリ（２，６−ジ（２−クロロエチル）−１，４−フェニレンエーテル）、ポリ（２，６−ジトリル−１，４−フェニレンエーテル）、ポリ（２，６−ジクロロ−１，４−フェニレンエーテル）、ポリ（２，６−ジフェニル−１，４−フェニレンエーテル）及びポリ（２，５−ジメチル−１，４−フェニレンエーテル）を含む。有用なポリ（アリーレンエーテル）は、選択的に２，３，６−トリメチル−１，４−フェニレンエーテル単位と組み合わせられる、２，６−ジメチル−１，４−フェニレンエーテル単位を含む。ポリマーは官能基化されていてもよい。Ａｓａｈｉから入手できるＰＰＥ−ＭＡ（マレイン酸化（ｍａｌｅｉｎｉｚｅｄ）ポリ（アリーレンエーテル））及びＣｈｅｍｔｕｒａから入手できるＢｌｅｎｄｅｘ（登録商標）ＨＰＰ８２０（非修飾ポリ（アリーレンエーテル））が代表的なものである。
【００１０】
一実施形態において、ポリマーは、回路材料において使用するのに適したポリブタジエンまたはポリイソプレンであり得る。本明細書にて使用されるように、「ポリブタジエンまたはポリイソプレンポリマー」は、ブタジエン由来のホモポリマー、イソプレン由来のホモポリマー、及びブタジエン及び／またはイソプレン及び／またはブタジエン及びイソプレンの少なくとも一方とともに硬化可能な５０重量パーセント（ｗｔ％）未満のモノマーに由来するコポリマー、を含む。ブタジエン及び／またはイソプレンとともに硬化可能な適切なモノマーは、アクリロニトリル、エタクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、β−クロロアクリロニトリル、α−ブロモアクリロニトリル、Ｃ１−６アルキル（メタ）アクリレート（例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート及びイソプロピル（メタ）アクリレート）、アクリルアミド、メタクリルアミド、マレイミド、Ｎ−メチルマレイミド、Ｎ−エチルマレイミド、イタコン酸、（メタ）アクリル酸のようなモノエチレン性不飽和化合物及び前述のモノエチレン性不飽和モノマーの少なくとも１つからなる組み合わせを含む。
【００１１】
ポリブタジエンまたはポリイソプレンはさらに弾性ポリマーを含む。弾性ポリマーは、ポリ（アリーレンエーテル）及び／または、例えば存在する場合には、ポリブタジエン樹脂またはイソプレン樹脂とともに硬化することができる。適切なエラストマーは、アルケニル芳香族化合物に由来するブロック（Ａ）と、共役ジエンに由来するブロック（Ｂ）からなる弾性ブロックコポリマーを含む。ブロック（Ａ）及び（Ｂ）の配置は、分岐鎖を備えたラジアルテレブロック構造を含む直鎖構造及びグラフト構造を含む。直鎖構造の例は、ジブロック（Ａ−Ｂ）、トリブロック（Ａ−Ｂ−ＡまたはＢ−Ａ−Ｂ）、テトラブロック（Ａ−Ｂ−Ａ−Ｂ）及びペンタブロック（Ａ−Ｂ−Ａ−Ｂ−ＡまたはＢ−Ａ−Ｂ−Ａ−Ｂ）構造、並びにＡ及びＢの合計で６以上のブロックを含む直鎖構造を含む。特定のブロックコポリマーは、ジブロック、トリブロック及びテトラブロック構造を含み、特に、Ａ−Ｂジブロック及びＡ−Ｂ−Ａトリブロック構造を含む。
【００１２】
適切な誘電性ポリマーは、ＰＣＢについての１つ以上の工業規格に適合し得る。例えば、誘電性ポリマーは、ＩＰＣ−４１０４Ｂ／２１規格、或いは製造される特定のＰＣＢについての関連する規格に適合し得る。
【００１３】
気泡（ｆｏａｍ）を提供するために処方化されるポリマーは、ポリオレフィン、フルオロポリマー、ポリイミド、ポリアリールケトン、ポリアリールエーテルケトン、シリコーン、ポリウレタン等を含む。ポリマー性発泡材料は、（加工及び使用温度に耐え得ることが可能であるならば）熱可塑性、または熱硬化性とすることができる。
【００１４】
窒化ホウ素は、結晶、多結晶、非晶質若しくはそれらの組み合わせであってもよく、ナノファイバ、ナノチューブ、ナノプレート若しくはそれらの組み合わせの形態である。ナノチューブの形態である窒化ホウ素は、具体的に記載される。ナノファイバは中実（ｓｏｌｉｄ）とすることができる。ナノチューブは、１つの壁を有するか、或いは複数の壁を有していてもよく、そして中空のコアを有していてもよい。また、複数のナノファイバ及び／またはナノチューブは、任意の適切な形態を有し得る。例えば、同ナノファイバ及び／またはナノチューブは、例えば不織マットのようにランダムに構成されたものであってもよく、或いは同ナノファイバ及び／またはナノチューブは、織られた形態であってもよい。
【００１５】
窒化ホウ素は、任意の適切な寸法を有する。窒化ホウ素は、１〜１００ナノメートル（ｎｍ）、具体的には２〜８０ｎｍ、さらに具体的には４〜６０ｎｍの断面寸法を有し得る。窒化ホウ素は、１００ｎｍ〜１０ミリメートル（ｍｍ）、具体的には２００ｎｍ〜１ｍｍ、さらに具体的には４００ｎｍ〜０．１ｍｍの全長を有し得る。窒化ホウ素は、全長／断面寸法として計算された、１０〜１，０００，０００の、具体的には２０〜５００，０００の、より具体的には４０〜２５０，０００のアスペクト比を有し得る。断面寸法は、ファイバまたはチューブの直径であり、或いはプレートの厚さであり得る。窒化ホウ素の平均粒子径は、レーザ光散乱により測定された場合、１０ｎｍ〜１０００μｍ、具体的には２０ｎｍ〜５００μｍ、より具体的には４０ｎｍ〜２５０μｍであり得る。
【００１６】
窒化ホウ素は、熱伝導性である。窒化ホウ素は、１〜２０００Ｗ／ｍ・Ｋ、具体的には、１０〜１８００Ｗ／ｍ・Ｋ若しくは１００〜１６００Ｗ／ｍ・Ｋの熱伝導率を有し得る。
【００１７】
窒化ホウ素は、所望の特性を提供するためにドープされていないか、或いはドープされていてもよい。例えば、窒化ホウ素は、ポリマーの誘電特性を増大させるために、例えば、銀、炭素、フッ素等でドープされていてもよい。代替的に、窒化ホウ素は、ｎ−ドープ窒化ホウ素若しくはｐ−ドープ窒化ホウ素を提供するべくドープされていてもよい。ドープされた窒化ホウ素は、半導体特性を有する窒化ホウ素を提供するのに有効な元素を含んでいてもよい。代表的なドーパントは、炭素、酸素、硫黄、Ｆのようなハロゲン、Ａｇ、Ｚｒ若しくはＴｉのような遷移金属、Ｓｉ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｂ若しくはＴｅのような半金属を含む。上記したものの少なくとも１つを含む組み合わせを使用してもよい。ドーパントの含有量は、窒化ホウ素の全質量に基づいてその０．００１〜２０ｗｔ％、具体的には０．０１〜１０ｗｔ％、より具体的には０．１〜１ｗｔ％であってもよい。ドープされた窒化ホウ素の代表的なものは、０．１〜１０ｗｔ％のＳｉを含む、ＳｉでドープされたＢＮを含む。
【００１８】
窒化ホウ素は、複合材料に、適切な熱伝導率、誘電率及び機械的特性を提供するのに十分な量にてポリマー層に含めることができる。窒化ホウ素は、複合材料の全質量に基づいてその０．１〜９０重量％パーセント（ｗｔ％）、具体的には１〜８５ｗｔ％、より具体的には５〜８０ｗｔ％の量にて誘電ポリマー層中に含めることができる。例えば、複合材料は、１Ｗ／ｍ・Ｋ以上、具体的には、２Ｗ／ｍ・Ｋ以上若しくは４Ｗ／ｍ・Ｋ以上の熱伝導率を有し得る。一実施形態において、複合材料は、１〜２０００Ｗ／ｍ・Ｋ、具体的には、１〜１０００Ｗ／ｍ・Ｋ若しくは１〜１００Ｗ／ｍ・Ｋの熱伝導率を有し得る。複合材料は、１．５〜１５、具体的には３〜１２、より具体的には４〜１０の誘電率を有し得る。複合材料は、１〜５０ｐｐｍ／℃、具体的には２〜４０ｐｐｍ／℃、より具体的には４〜３０ｐｐｍ／℃の熱膨張係数を有し得る。
【００１９】
一実施形態において、多孔性窒化ホウ素が、図７にて模式的に示されるように使用される。一態様において、ポリマー５００は、多孔性窒化ホウ素６００の孔内に配置され得る。ポリマーは、孔を完全に、或いは部分的に満たしていてもよい。選択的に、ポリマーは、多孔性窒化ホウ素６００を完全に或いは部分的に被覆しかつ包囲していてもよいことが理解される。窒化ホウ素の空隙率は、１〜９９容量パーセント（ｖｏｌ％）、具体的には２〜９８ｖｏｌ％、より具体的には４〜９６ｖｏｌ％であり得る。多孔性窒化ホウ素の孔のサイズは、１ｎｍ〜１０００ｎｍ、具体的には２ｎｍ〜５００ｎｍ、より具体的には４ｎｍ〜２５０ｎｍであり得る。ポリマーは、複合材料の全質量に基づいてその０．１〜９０重量パーセント（ｗｔ％）、具体的には１〜８５ｗｔ％、より具体的には５〜８０ｗｔ％の量にて存在し得る。
【００２０】
複合材料の特性は、等方性または異方性であり得る。理論によって結び付けられることを望むものではないが、窒化ホウ素の配向は異方性特性を提供することが理解される。窒化ホウ素はランダムに配向されているか、あるいは選択された方向に配向されていてもよい。窒化ホウ素ナノチューブ２００が複合材料１００の面を貫通する方向に配向されている実施形態について、複合材料の主要面と垂直な方向、即ち図５に示されるように厚さ或いは面を貫通する方向への配向について具体的に記載されている。代替的に、窒化ホウ素３００が複合材料４００にランダムに配向されている実施形態が図６に示されている。複合材料の面内（ｉｎ−ｐｌａｎｅ）熱伝導率及び面貫通方向（ｔｈｒｏｕｇｈ−ｐｌａｎｅ）熱伝導率は各々が独立して選択されてもよく、各々が独立して、１〜２０００Ｗ／ｍ・Ｋ、具体的には、１０〜１８００Ｗ／ｍ・Ｋ若しくは１００〜１６００Ｗ／ｍ・Ｋであってもよい。一実施形態において、面貫通方向熱伝導率は、面内熱伝導率よりも、１０〜１０，０００倍、具体的には１００〜１，０００倍大きい。複合材料の面内熱膨張係数及び面貫通方向の熱膨張係数は、各々独立して選択されてもよく、各々が独立して、１〜５０ｐｐｍ／℃、具体的には２〜４０ｐｐｍ／℃、より具体的には４〜３０ｐｐｍ／℃であり得る。
【００２１】
複合材料は、１０ギガヘルツにて測定して０．０２以下の、具体的には１０ギガヘルツにて測定して０．０１以下の、より具体的には１０ギガヘルツにて測定して０．００５以下の放散係数（ｄｉｓｓｉｐａｔｉｏｎ  ｆａｃｔｏｒ）を有し得る。
【００２２】
複合材料は、比較的低い弾性と高い伸びとを有する。これは、部品に熱サイクルが付与される場合に銅めっきビアの壁が過度の応力を受けることを回避するので、銅相互連結部の確実性において特に有用である。一実施形態において、複合材料の引張係数は、３０００メガパスカル（ＭＰａ）未満、具体的には１００〜３０００ＭＰａ、より具体的には２００〜２５００ＭＰａである。別の実施形態において、誘電材料の伸びは、５％を超えている。
【００２３】
複合材料は更に低吸湿性を備えており、それは、使用時及び保管時のいずれにおいても環境条件に対してより感受性の低い基板を提供する。一実施形態において、吸湿は、２３℃にて水中に２４時間浸漬させた時、０．０５〜０．３％である。
【００２４】
複合材料は更に、更なる充填材（ｆｉｌｌｅｒ）、例えば複合材料の誘電特性を調整するための充填材を含み得る。ガラスビーズ、シリカ、若しくは粉末マイクログラスファイバのような低膨張係数の充填材を使用することができる。芳香族ポリアミド若しくはポリアクリロニトリルのような熱的に安定なファイバを使用することができる。代表的な充填材は、二酸化チタン（ルチル型及びアナターゼ型）、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、非晶質溶融シリカ、コランダム、珪灰石、アラミド繊維（例えば、ＤｕＰｏｎｔから入手可能なＫＥＶＬＡＲ（商標名））、繊維ガラス、Ｂａ２Ｔｉ９Ｏ２０、石英、窒化アルミニウム、炭化ケイ素、ベリリア（ｂｅｒｙｌｌｉａ）、アルミナ、マグネシア、マイカ、タルク、ナノクレイ、アルミノケイ酸塩（天然の及び合成の）及び溶融二酸化ケイ素（Ｃａｂｏｔ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎから入手可能なＣａｂ−Ｏ−Ｓｉｌ（登録商標））を含み、これらは単独にて、或いは組み合わせにて使用され得る。
【００２５】
充填材は、中実粒子、多孔性粒子若しくは中空粒子の形態であり得る。充填材の粒子径は、熱膨張係数、弾性、伸び及び耐火性を含む多数の重要な特性に影響を与える。一実施形態において、充填材は、０．１〜１５マイクロメートル、具体的には、０．２〜１０マイクロメートルの平均粒子径を有する。二峰性の、三峰性の、或いはより高い平均粒度分布を有する充填材の組み合わせが使用され得る。充填材は、複合材料の全質量に基づいてその０．１〜８０ｗｔ％、具体的には１〜６５ｗｔ％、より具体的には５〜５０ｗｔ％の量にて含まれていてもよい。
【００２６】
窒化ホウ素、充填材（含まれる場合）及びポリマーの間の接着性を改善するために、生理食塩水、ジルコン酸塩、若しくはチタン酸塩のようなカップリング剤が使用され得る。窒化ホウ素及び充填材（含まれる場合）が前処理されてもよく、或いはカップリング剤がポリマー中に含められてもよい。カップリング剤は、含まれる場合、複合材料の全質量に基づいてその０．０１〜２．０ｗｔ％の量にて存在し得る。
【００２７】
ポリマーは更に、硬化開始剤、架橋剤、粘度調整剤、湿潤剤、難燃剤及び抗酸化剤のような添加剤を選択的に含んでいてもよい。添加剤の具体的な選択は、複合材料の具体的な用途及びその用途が所望とする特性によって決まるものであるが、熱伝導率、誘電率、放散係数、誘電損失及び／またはその他の所望の特性のような、回路サブアセンブリの電気特性を高めるか、或いは電気特性に実質的に有害な影響を与えないように選択される。
【００２８】
例示的な硬化開始剤は、複合材料において、ポリマーの硬化（架橋）を開始するのに有用なものを含む。例としては、限定されるものではないが、アジド、過酸化物、硫黄及び硫黄誘導体を含む。硬化開始剤としては、フリーラジカル開始剤が特に望ましい。フリーラジカル開始剤の例としては、過酸化物、ヒドロペルオキシド、及び２，３−ジメチル−２，３−ジフェニルブタンのような非過酸化物開始剤が含まれる。過酸化物硬化剤の例としては、過酸化ジクミル、アルファ、α−ジ（ｔ−ブチルペルオキシ）−ｍ，ｐ−ジイソプロピルベンゼン、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルペルオキシ）ヘキサン−３、及び２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルペルオキシ）ヘキシン−３及び前述の硬化開始剤の１つ以上を含む混合物を含む。硬化開始剤は、使用される場合、複合材料の全質量に基づいてその０．０１〜５ｗｔ％の量にて存在し得る。
【００２９】
架橋剤は、誘電材料の硬化時に架橋密度を増大させる反応性のモノマー若しくはポリマーである。一実施形態において、そのような反応性のモノマー若しくはポリマーは、複合材料中のポリマーとともに反応することが可能である。適切な反応性モノマーの例は、特に、スチレン、ジビニルベンゼン、ビニルトルエン、ジビニルベンゼン、シアヌル酸トリアリル、フタル酸ジアリル、多機能性アクリル酸塩モノマー（例えば、Ｓａｒｔｏｍｅｒ  Ｃｏ．から入手可能なＳａｒｔｏｍｅｒ（登録商標）化合物）であり、そのすべては市販されている。架橋剤の有用な量は、複合材料の全質量に基づいてその０．１〜５０ｗｔ％である。
【００３０】
例示的な抗酸化剤は、ラジカル捕捉剤及び金属不活性化剤を含む。非限定的なフリーラジカル捕捉剤の例は、ポリ［［６−（１，１，３，３−テトラメチルブチル）アミノ−ｓ−トリアジン−２，４−ジイル］［（２，２，６，６，−テトラメチル−４−ピペリジル）イミノ］ヘキサメチレン［（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペリジル）イミノ］］であり、Ｃｈｉｍａｓｓｏｒｂ  ９４４（登録商標）の商品名でＣｉｂａ  Ｃｈｅｍｉｃａｌｓより市販されている。非限定的な金属不活性化剤の例は、２，２−オキサリルジアミドビス［エチル  ３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドトキシフェニル）プロピオネート］であり、Ｎａｕｇａｒｄ（登録商標）ＸＬ−１の商品名でＵｎｉｒｏｙａｌ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ（コネチカット州ミドルベリ）より市販されている。単一の抗酸化剤或いは２つ以上の抗酸化剤の混合物が使用され得る。抗酸化剤は典型的には、複合材料の全質量に基づいてその３ｗｔ％まで、具体的には０．５〜２．０ｗｔ％の量にて存在し得る。
【００３１】
カップリング剤は、金属表面または充填材表面をポリマーと結合する共有結合の形成を促進するため、或いは共有結合状態を共有するために含められてもよい。例示的なカップリング剤には、３−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン及び３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン及びヘキサメチレンジシラザンが含まれる。
【００３２】
代表的な難燃剤添加物は、臭素、リン及び金属酸化物含有難燃剤を含む。適切な臭素含有難燃剤は、例えば、Ｓａｙｔｅｘ（登録商標）ＢＴ−９３Ｗ（エチレンビステトラブロモナフタルアミド）、Ｓａｙｔｅｘ（登録商標）１２０（テトラデカボロモジフェノキシベンゼン）の商品名でＡｌｂｅｍａｒｌｅ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎより入手可能であり、ＢＣ−５２、ＢＣ−５８の商品名でＧｒｅａｔ  Ｌａｋｅより入手可能であり、そしてＦＲ１０２５の商品名でＥｓｓｃｈｅｍ  Ｉｎｃより入手可能である。適切なリン含有難燃剤は、例えば式（ＧＯ）３Ｐ＝Ｏ（各Ｇは、独立して、少なくとも１つのＧが芳香族基である場合、Ｃ１−３６アルキル、シクロアルキル、アリール、アルキルアリールまたはアリールアルキル基である）の芳香族リン酸塩のような、種々の有機リンベースの化合物を含む。Ｇ基のうちの２つが結合されて、環状基、例えば、ジフェニルペンタエリスリトールジホスフェートが提供されてもよい。その他の適切な芳香族リン酸塩は、例えば、フェニルビス（ドデシル）ホスフェート、フェニルビス（ネオペンチル）ホスフェート、フェニルビス（３，５，５’−トリメチルヘキシル）ホスフェート、エチルジフェニルホスフェート、２−エチルヘキシルジ（ｐ−トリル）ホスフェート、ビス（２−エチルヘキシル）ｐ−トリルホスフェート、トリトリルホスフェート、ビス（２−エチルヘキシル）フェニルホスフェート、トリ（ノニルフェニル）ホスフェート、ビス（ドデシル）ｐ−トリルホスフェート、ジブチルフェニルホスフェート、２−クロロエチルジフェニルホスフェート、ｐ−トリルビス（２，５，５’−トリメチルヘキシル）ホスフェート、２−エチルヘキシルジフェニルホスフェート等であり得る。具体的な芳香族リン酸塩は、Ｇの各々が芳香族性、例えば、トリフェニルホスフェート、トリクレジルホスフェート、イソプロピル化トリフェニルホスフェート、等であるものである。適切なジ−官能基化、若しくはポリ官能基化芳香族リン含有化合物の例は、レゾルシノールテトラフェニルジホスフェート（ＲＤＰ）、それぞれ、ヒドロキノンのビス（ジフェニル）ホスフェート及びビスフェノール−Ａのビス（ジフェニル）ホスフェート、それらのオリゴマー、ポリマーカウンターパート等を含む。金属ホスフィナート塩も使用され得る。ホスフィナートの例は、例えば、脂環式のホスフィナート塩及びホスフィナートエステルのようなホスフィナート塩である。ホスフィナートの更なる例は、ジホスフィン酸、ジメチルホスフィン酸、エチルメチルホスフィン酸、ジエチルホスフィン酸、及びこれらの酸の塩、例えば、アルミニウム塩及び亜鉛塩である。ホスフィン酸化物の例は、イソブチルビス（ヒドロキシアルキル）ホスフィンオキシド及び１，４−ジイソブチレン−２，３，５，６−テトラヒドロキシ−１，４−ジホスフィンオキシドまたは１，４−ジイソブチレン−１，４−ジホスホリル−２，３，５，６−テトラヒドロキシシクロヘキサンである。リン含有化合物の更なる例は、ＮＨ１１９７（登録商標）（Ｇｒｅａｔ  Ｌａｋｅｓ）、ＮＨ１５１１（登録商標）（Ｇｒｅａｔ  Ｌａｋｅｓ）、ＮｃｅｎｄＸ  Ｐ−３０（登録商標）（Ａｌｂｅｍａｒｌｅ）、Ｈｏｓｔａｆｌａｍ  ＯＰ５５０（登録商標）（Ｃｌａｒｉａｎｔ）、Ｈｏｓｔａｆｌａｍ  ＯＰ９１０（登録商標）（Ｃｌａｒｉａｎｔ）、ＥＸＯＬＩＴ（登録商標）９３５（Ｃｌａｒｉａｎｔ）及びＣｙａｇａｒｄ  ＲＦ  １２０４（登録商標）、Ｃｙａｇａｒｄ  ＲＦ  １２４１（登録商標）及びＣｙａｇａｒｄ  ＲＦ  １２４３Ｒ（ＣｙａｇａｒｄはＣｙｔｅｃ  Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓの製品である）である。特に有利な実施形態において、ハロゲンフリーの複合材料は、ＥＸＯＬＩＴ（登録商標）９３５（ホスフィン酸アルミニウム）とともに使用した場合、優れた難燃性を有する。更に別の難燃剤は、メラミンポリホスフェート、メラミンシアヌレート、メラム（Ｍｅｌａｍ）、メロン（Ｍｅｌｏｎ）、メレム（Ｍｅｌｅｍ）、グアニジン、ホスファザン（ｐｈｏｓｐｈａｚａｎｅｓ）、シラザン、ＤＯＰＯ（９，１０−ジヒドロ−９−オキサ−１０ホスフェナントレン−１０−オキシド）及びＤＯＰＯ（１０−５  ジヒドロキシフェニル，１０−Ｈ−９  オキサホスファフェナントレンロ（ｏｘａｐｈｏｓｐｈａｐｈｅｎａｎｔｈｒｅｎｅｌｏ）−オキシド）を含む。適切な金属酸化物難燃剤は、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、スズ酸亜鉛、及び酸化ホウ素である。難燃剤は、種々の種類の薬剤に対して当該技術分野において周知の量にて含まれ得る。
【００３３】
複合材料は、ポリマーまたはプレポリマー組成物を窒化ホウ素と合わせて（ｃｏｍｂｉｎｉｎｇ）、熱伝導性複合材料を合成することにより製造され得る。合わせることは、混和すること、混合すること、攪拌すること、のような任意の適切な方法によるものであってよい。一実施形態において、複合材料を形成するために使用される組成物の成分であってポリマー及び窒化ホウ素を含む成分は、コーティング用混合物または溶液を提供するために、溶媒に溶解させること及び／または懸濁させることにより合わせられ得る。溶媒は、ポリマーまたはプレポリマー組成物を溶解し、窒化ホウ素及び存在し得る任意のその他の選択的な充填材を分散し、そして、形成及び乾燥において好都合な蒸発速度を有するように選択される。溶媒となり得る非排他的なリストは、キシレン、トルエン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ヘキサン及びヘプタン、オクタン及びノナンのような液体のより高次な（ｈｉｇｈｅｒ）アルカン等、シクロヘキサン、イソホロン、及び種々のテルペンベースの溶媒である。特定の例示的な溶媒は、キシレン、トルエン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、及びヘキサンを含み、さらにより具体的には、キシレン及びトルエンを含む。溶液及び分散液中の組成物の成分の濃度は必須（ｃｒｉｔｉｃａｌ）ではなく、成分の溶解度、使用される充填材のレベル、適用方法、及びその他の因子によって決まることになるであろう。一般に、溶液は、溶液の全質量に基づいて、１０〜５０ｗｔ％の固形分（溶媒以外の全ての成分）、より具体的には１５〜４０ｗｔ％の固形分を含む。コーティング用混合物は、そこから後に放出される担体上に、或いは代替的に、回路構造の層内に後に形成されることになる導電性金属層のような基板上に、形成され得る。
【００３４】
例えば、成形により層が形成された後に、溶媒を室温の状態にて蒸発させるか、或いは、強制空気若しくは加熱空気によって蒸発させて、複合材料を形成する。層は、乾燥工程中に、硬化させるか、或いは部分的に硬化させて（Ｂ−ステージ）もよく、或いは層は、所望であれば乾燥後に部分的に、或いは完全に硬化させてもよい。層は、例えば、２０〜２００℃、具体的には３０〜１５０℃、より具体的には４０〜１００℃に加熱され得る。得られる複合材料は、積層（例えば、発泡体に）及び硬化の前に保存され、部分的に硬化された後に保存され、或いは積層されて、ビルドアップ後に完全に硬化されてもよい。
【００３５】
代替的に、例えば仮に熱硬化性のものが使用される場合、方法は、プレポリマー組成物を重合して、熱伝導性複合材料を製造する工程を含み得る。窒化ホウ素が多孔性窒化ホウ素である一実施形態において、ポリマーは、例えば、多孔性窒化ホウ素の孔に、例えば重合化させて、形成されてもよい。
【００３６】
発泡体が形成される別の実施形態において、複合材料は、当業者に周知の方法、例えば機械的な発泡及び層を形成するための成形により、或いは、層の形成前若しくは形成後に、化学的または物理的な発泡剤により、発泡体が形成される。
【００３７】
複合材料層の厚さは、意図される用途にて決まることになるであろう。一実施形態において、複合材料の厚さは、５〜１０００マイクロメートル、具体的には、５〜５００マイクロメートル、より具体的には５〜４００マイクロメートルである。別の実施形態において、誘電性基板層として使用される場合、複合材料の厚さは、２５〜４００マイクロメートル、具体的には、５０マイクロメートル〜２００マイクロメートル、より具体的には７５マイクロメートル〜１５０マイクロメートルである。
【００３８】
複合材料は、種々の回路材料において使用され得る。本明細書にて使用されるように、回路材料は、回路及びマルチレイヤ回路の製造において使用される物品であり、回路サブアセンブリ、結合層（ｂｏｎｄ  ｐｌｉｅｓ）、樹脂被覆導電層、非被覆（ｕｎｃｌａｄ）誘電層、フリーフィルム及びカバーフィルムを含む。回路サブアセンブリは、導電層、例えば誘電層に固定して取り付けられた銅を備えた回路積層板を含む。ダブルクラッド回路積層板は、２つの導電層を有し、それぞれが誘電層の各々の側に設けられている。積層板の導電層を例えばエッチングによりパターン形成することにより、回路が提供される。マルチレイヤ回路は複数の導電層からなり、その少なくとも１つは、導電性配線パターンを含む。典型的には、マルチレイヤ回路は、結合層を使用して１つ又は複数の回路を一緒に重ね合わせることによって、その後エッチングされる樹脂被覆導電層を用いて追加層を作り上げることによって、又はその後で添加剤金属化される非被覆誘電層を加えて追加層を作り上げることによって、形成される。マルチレイヤ回路を形成した後、導電層の間に有用な電気経路を生成するために、公知のホール形成技術及びメッキ技術を使用することができる。
【００３９】
回路材料、回路積層板の形成のために有用な導電層は、限定するものではないが、ステンレス鋼、銅、金、銀、アルミニウム、亜鉛、スズ、鉛、遷移金属、及び上記したものの少なくとも１つを含む合金を含むことができ、銅が例示的である。適切な導電層は、回路の形成において現在使用されている銅フォイル、たとえば電着銅フォイルなど、導電性金属の薄層を含む。
【００４０】
一実施形態において、積層板は、回路基板を形成すべく、１つまたは２つのシート状のコーティングされた、若しくはコーティングされていない導電層の間に誘電複合材料の１つまたは複数の層を配置する（少なくとも１つの導電層と少なくとも１つの誘電性基板層との間には接着剤層を配置することができる）ことにより形成される。導電層は、特に介在層なしで誘電性基板層と直接接触した状態にすることができる。代替的に、接着剤または結合層は、導電層と誘電層との間に配置することができる。結合層は、誘電層の厚さの１０パーセント未満とすることができる。
【００４１】
層にする材料は、次いで、層を結合して積層板を形成するのに適切な圧力及び温度下で、かつ適切な期間において、プレス装置、たとえば真空プレス装置中に配置することができる。積層及び硬化は、たとえば真空プレス装置を使用して、１ステップの工程により行うことができる、又は多ステップの工程により行うことができる。例示的な１ステップの工程では、ＰＴＦＥポリマーマトリックスに関し、層にする材料は、プレス装置中に配置され、積層圧力（たとえば約１０３４ｋＰａ〜約２７５８ｋＰａ（約１５０〜約４００ｐｓｉ））にまで上げられ、積層温度（たとえば約２６０〜約３９０℃）にまで加熱される。積層温度及び積層圧力は、所望の浸漬時間、すなわち約２０分間維持され、その後、約１５０℃より低くまで冷却される（その間、なお圧力下にある）。
【００４２】
例示的な多ステップの工程において、約１５０℃〜約２００℃の温度にて過酸化物硬化工程が実施され、次いで、部分的に硬化したスタックを高エネルギー電子ビーム照射硬化（Ｅビーム硬化）に、或いは不活性大気下での高温硬化工程にさらすことができる。２ステージの硬化を使用すると、非常に高度な架橋をその結果得られる積層板に与えることができる。第２のステージで使用される温度は、典型的には約２５０℃〜約３００℃であるか、またはポリマーの分解温度である。この高温硬化はオーブン中で実施することができるが、また、プレス装置中で、すなわち最初の積層及び硬化工程の継続として実施することができる。具体的な積層温度及び積層圧力は、具体的な接着剤組成及び基板組成によって決まることになり、当業者は必要以上の実験を行うことなく容易に確かめられる。
【００４３】
図１において、例示的な回路サブアセンブリが図示されている。サブアセンブリは、誘電性基板層１４上に配置され、同誘電性基板層と接触状態にある導電性金属層１２を備えるシングルクラッド積層板１０である。誘電性基板層１４は、架橋されたフルオロポリマーを含み、選択的に、誘電複合材料がそれにより形成されるように粒子状充填材も含む。選択的なガラス織物（図示せず）が、誘電性基板層１４中に存在していてもよい。本明細書に記載されている実施形態の全てにおいて、様々な層が、完全に、又は部分的に互いにカバーし、また、追加の導電層、パターン形成された回路層及び誘電層も存在することができることを理解されたい。また、選択的な接着剤（結合層）層（図示せず）を備えることもでき、硬化させないか、或いは部分的に硬化させることができる。多くの異なるマルチレイヤ回路構成を上記の積層板を使用して形成することができる。
【００４４】
マルチレイヤ回路アセンブリの別の実施形態は、図２の符号２０に示されている。ダブルクラッド回路層２０は、誘電性基板層２４の相反する側に配置される導電層２２、２６を含む。誘電性基板層は充填材を含むことができる。誘電性基板層２４は、織られた織物または不織布（図示せず）を含むことができる。
【００４５】
回路サブアセンブリ３０が図３に示され、同回路サブアセンブリ３０は誘電性基板層３４の相反する側に配置される、回路層３２と導電層３６と、を含む。誘電性基板層３４は、織られた織物または不織布（図示せず）を含むことができる。
【００４６】
図４は、第１のダブルクラッド回路５０、第２のダブルクラッド回路６０及びその間に配置される結合層７０を有する例示的なマルチレイヤ回路アセンブリ４０を示す。ダブルクラッド回路５０は、２つの導電性回路層５４、５６の間に配置される誘電性基板５２を含む。ダブルクラッド回路６０は、２つの導電性回路層６４、６６の間に配置される誘電性基板６２を含む。誘電性基板５２、６２の１つまたは両方が、ホウケイ酸塩微小球を充填材として含む。各誘電性基板層５２、６２は、織られた、若しくは織られていないガラス強化（図示せず）を含むことができる。また、２つのキャップ層８０、９０が示されている。各キャップ層８０、９０は、結合層８４、９４上に配置される導電層８２、９２を含む。
【００４７】
別の実施形態において、複合材料は、発泡体の形態にある。発泡体は、オープンセル構造、またはクローズドセル構造を有することができる。
【実施例】
【００４８】
先見的な実施例
ポリ（フェニレンエーテル）（ＮＯＲＹＬ（登録商標）６４０−１１１，１グラム（ｇ））、ブタジエン−スチレンコポリマー（Ｒｉｃｏｎ１８４  ＭＡ−６，１ｇ）、硬化剤（Ｐｅｒｋａｄｏｘ（登録商標），０．５ｇ）及び窒化ホウ素ナノチューブ（１ｇ）をキシレン中にて合せて、その後、成形して層を形成し、層を乾燥させて複合材料を形成する。複合材料は、所望の熱伝導率、誘電特性及び機械特性を有する。
【００４９】
本発明は更に以下の実施形態により説明され、同実施形態は特許請求の範囲を制限するものではない。
実施形態１。熱伝導性複合材料であって、ポリマーと窒化ホウ素とを含み、同窒化ホウ素が、ナノファイバ、ナノチューブ、ナノプレート若しくはそれらの組み合わせの形態である熱伝導性複合材料。
【００５０】
実施形態２。実施形態１に記載の熱伝導性複合材料であって、窒化ホウ素が、ナノファイバまたはナノチューブの形態である、熱伝導性複合材料。
実施形態３。実施形態１乃至２のいずれか１つ以上の熱伝導性複合材料であって、窒化ホウ素がナノファイバの形態にあり、かつナノファイバが織られた形態にある、熱伝導性複合材料。
【００５１】
実施形態４。実施形態１乃至３のいずれか１つ以上の熱伝導性複合材料であって、窒化ホウ素が１〜１００ナノメートルの断面寸法を有する、熱伝導性複合材料。
実施形態５。実施形態１乃至４のいずれか１つ以上の熱伝導性複合材料であって、窒化ホウ素が１００ナノメートル〜１０ミリメートルの全長を有する、熱伝導性複合材料。
【００５２】
実施形態６。実施形態１乃至５のいずれか１つ以上の熱伝導性複合材料であって、窒化ホウ素が１０〜１，０００，０００のアスペクト比を有する、熱伝導性複合材料。
実施形態７。実施形態１乃至６のいずれか１つ以上の熱伝導性複合材料であって、窒化ホウ素がポリマー層の主要面とほぼ垂直な方向に延びている、熱伝導性複合材料。
【００５３】
実施形態８。熱伝導性複合材料であって、孔を有する窒化ホウ素と、同窒化ホウ素の孔に配置されるポリマーと、を含む、熱伝導性複合材料。
実施形態９。実施形態８に記載の熱伝導性複合材料であって、窒化ホウ素が５〜１０００ナノメートルの平均孔径を有する、熱伝導性複合材料。
【００５４】
実施形態１０。実施形態８乃至９のいずれか１つ以上の熱伝導性複合材料であって、窒化ホウ素がドープされた窒化ホウ素である、熱伝導性複合材料。
実施形態１１。実施形態８乃至１０のいずれか１つ以上の熱伝導性複合材料であって、複合材料が層の形態にある、熱伝導性複合材料。
【００５５】
実施形態１２。実施形態１乃至１１のいずれか１つ以上の熱伝導性複合材料を製造する方法であって、同方法は、ポリマーまたはプレポリマー組成物を窒化ホウ素及び溶媒と合わせる工程と、同混合物を成形して層を形成する工程と、溶媒を除去して熱伝導性複合材料を製造する工程と、を含む、方法。
【００５６】
実施形態１３。実施形態１２に記載の方法であって、ポリマーを架橋する工程を更に含む、方法。
実施形態１４。実施形態１２乃至１３のいずれか１つ以上の方法であって、ポリマーを発泡させる工程を更に含む、方法。
【００５７】
実施形態１５。実施形態１２乃至１４のいずれか１つ以上の方法であって、窒化ホウ素は多孔性窒化ホウ素であり、かつ、多孔性窒化ホウ素の孔中にあるプレポリマー組成物を重合する工程を更に含む、方法。
【００５８】
実施形態１６。実施形態１乃至１５のいずれか１つ以上の熱伝導性複合材料を含む回路材料であって、選択的に導電層上に配置される、回路材料。
実施形態１７。実施形態１乃至１５のいずれか１つ以上の熱伝導性複合材料を含むプリント基板であって、回路上に配置される、プリント基板。
【００５９】
本明細書において使用される「アルキル」は、特定の数の炭素原子、具体的には１〜１２個の炭素原子、より具体的には１〜６個の炭素原子、を有する、直鎖または分岐鎖の脂肪族飽和炭化水素を意味している。アルキル基は、例えば、１〜５０個の炭素原子（Ｃ１〜Ｃ５０アルキル）を有する基を含む。
【００６０】
「アリール」は、全ての環員（ｒｉｎｇ  ｍｅｍｂｅｒ）が炭素であり、かつ少なくとも１つの環が芳香性である環状部分であって、同環状部分が、特定の数の炭素原子、具体的には６〜２４個の炭素原子、より具体的には６〜１２個の炭素原子、を有する、環状部分を意味する。２つ以上の環が存在していてもよく、そして、任意の更なる環は、独立して、芳香性であるか、飽和であるか、或いは部分的に不飽和であり、そして、融合されている、ペンダントである、スピロ環である、若しくはそれらの組み合わせであってもよい。
【００６１】
本明細書において使用される「遷移金属」は、元素周期表の第３族〜第１１族の元素を参照する。
本明細書において開示された範囲は、端値及び全ての中間の値を全て含んでおり、独立して組み合わせ可能である。更に、「第１の（ｆｉｒｓｔ）」、「第２の（ｓｅｃｏｎｄ）」等の用語は、本明細書においては、何らかの順序、量又は重要性も意味せず、むしろ１つの要素と別の要素を区別するために使用され、そして、「１つ（ａ）」及び「１つ（ａｎ）」なる用語は、本明細書においては量の限定を意味せず、むしろ少なくとも１つの参照アイテムの存在を意味する。「または（ｏｒ）」は、「及び／または（ａｎｄ／ｏｒ）」を意味する。本明細書において使用されるように、用語「シート」、「フィルム」、「プレート」及び「層」は、相互に変更可能に使用され、サイズを意味することは意図されていない。更に本明細書において使用されるように、溶出溶媒は、溶出溶媒の全てを含む。全ての参考文献は、その全体が参照として本明細書中にて援用される。
【００６２】
本発明は、その幾らかの実施形態を参照して述べてきたが、本発明の範囲から逸脱せずに、種々の変更を実施することができ、かつ同等物を本発明の要素と置換することができることは当業者に理解されるであろう。さらに、本発明の必須の範囲から逸脱せずに、具体的な状況又は材料を本発明の教示に適応させるべく、多くの修正を実施することができる。したがって、本発明は、本発明を実施することが企図された最良の形態として開示された具体的な実施形態に限定されるものでなく、本発明は、添付の請求項の範囲内に含まれる、すべての実施形態を含むことになると意図される。
【図１】
2017520633.tif 000003
【図２】
2017520633.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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2017520633.tif 000011
2017520633.tif 000012
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