(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
根太の上にグレーチングを載置して形成したクリーンルーム内のフロア上を移動する基板移載装置用移動台車をフロア上に固定する方法であって、該基板移載装置用移動台車は、型鋼製の井桁と、それを囲繞する八角形の枠体とからなる台車本体と、八角形の枠体の１つおきの各辺の中央下面に設けた４個の自在車輪と、各自在車輪の両側に設けた８個のレベルアジャスタとを有してなり、上記自在車輪は円筒状の車輪を有していて、その車輪幅はグレーチングの開口よりも広幅に形成してあり、上記レベルアジャスタを下して上記移動台車の水平度を調節したのち、レベルアジャスタの近傍で上記八角形の枠体とフロアを支持する根太とを台車固定治具により上下に挟持して固定するようにしたことを特徴とする基板移載装置用移動台車の固定方法。
【請求項２】
上記台車固定治具は根太の下面を押える下部押え部材と、台車本体の上面を押える上部押え部材と、各押え部材の両端に設けた貫通孔に嵌入したボルトおよびナットとから構成されている請求項１記載の基板移載装置用移動台車の固定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板移載装置用移動台車およびその固定方法に係り、特にクリーンルーム内においてＰＤＰ（プラズマ・ディスプレイ・パネル）用ガラス基板等を移載する基板移載装置用移動台車およびその固定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図６は複数のガラス基板等を収納したカセットの斜視図である。
このカセットａは、基板ｂの両端部を水平に支持するようになっていて、上下方向に所定間隔をもって複数枚（１５〜２０枚）収納するようになっている。
【０００３】
図７は基板搬送用ロボットの平面図である。
上記カセットａから基板ｂを取り出すのに、基板搬送用ロボットｃ（多関節アームロボット）が使用されている。多関節アームロボットｃは、２本の関節アームｄを有し、関節アームｄの先端には薄いハンドｅを有しており、このハンドｅをカセットａの基板ｂの間に水平に挿入し、基板ｂの下面から支持したのち、わずかに上方に持ち上げてカセットａから取り出すようになっている。
【０００４】
これまで薄型基板は、このように基板搬送用ロボットによってカセットａから取り出され、水平に把持して水平な検査台等に移載していたが、基板が大型になると基板搬送用ロボットも大型になり、基板の搬送距離も長くなる。したがって、基板搬送用ロボットは、高重量で高モーメントの多関節ロボット等を使用することになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、基板搬送用ロボットが大型化すると、クリーンルーム内ではクレーン等を使用することができないため、クリーンルーム内に大型の基板搬送用ロボットを搬入することは難しく、また、クリーンルームはフロアがグレーチングであるため、基板搬送用ロボットをフロアにアンカーボルトで固定することはできないなどの問題が生じる。
【０００６】
本発明は、上述した種々の問題点に鑑み創案されたものである。すなわち、本発明は、基板移載装置を移動台車上に設け、移動台車の下面に設けた自在車輪によりクリーンルーム内のグレーチングのフロア上に移動し、移動台車とフロアを支持する根太とを台車固定治具により上下に挟持して固定するようにし、大きな転倒モーメントにも耐えられるよにした基板移載装置用移動台車およびその固定方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明は、クリーンルーム内で基板を把持して移載する基板移載装置用移動台車であって、該移動台車は、型鋼製の井桁と、それを囲繞する八角形の枠体とからなる台車本体と、八角形の枠体の各斜辺の中央下面に設けた自在車輪と、自在車輪の両側に設けたレベルアジャスタとを有している基板移載装置用移動台車を提供する。
【０００８】
本発明の好ましい実施形態によれば、上記型鋼は、Ｈ型鋼である。
【０００９】
本願の第２発明によれば、根太の上にグレーチングを載置して形成したクリーンルーム内のフロア上に、上記移動台車上に設けた基板移載装置を設置する方法であって、レベルアジャスタを下ろして移動台車の水平度を調整したのち、レベルアジャスタ近傍で上記八角形の枠体とフロアを支持する根太とを台車固定治具により上下に挟持して固定するようにした基板移載装置用移動台車の固定方法が提供される。
【００１０】
本発明の好ましい実施形態によれば、上記台車固定治具は、根太の下面を押える下部押え部材と、台車本体の上面を押える上部押え部材と、各押え部材の両端に設けた貫通孔に嵌入したボルトおよびナットとから構成されている。
【００１１】
次に本発明の作用について説明する。
基板移載装置をクリーンルーム内のグレーチングのフロア上に設置するときは、基板移載装置を移動台車上に設け、台車本体の下面に設けた自在車輪によりフロア上を移動して停止し、台車本体に設けたレベルアジャスタをフロア下面のフロアを支持する根太と一致させ、各レベルアジャスタをフロア上に下ろしてレベルアジャスタ下端を根太上のフロアに押し付け、自在車輪の下端をフロア上面からわずかに浮かせて移動台車の水平度を調整したのち、移動台車の枠体と根太とを台車固定治具により上下に挟持して固定する。
【００１２】
台車本体を井桁と八角形の枠体で形成したのは、クリーンルーム内で上から下に流れる空気流をできるだけ邪魔しないようにするためと、基板移載装置の大きな転倒モーメントに耐えるために台車本体の形状は円に近く、周縁部で固定することが望まれているからである。また、枠体を台車固定治具により根太に固定するので、大きな転倒モーメントに耐えることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい一実施形態について図面を参照して説明する。
図１は本発明の基板移載装置用移動台車の平面図で、中央線Ｃより右半分が平面図、左半分が下面図である。図２は図１のＡ−Ａ矢視図、図３は図１のＢ−Ｂ矢視図、図４はフロアの側面断面図、図５は台車本体を根太に取り付けた状態を示す図である。
【００１４】
図１ないし図４において、１は基板移載装置用移動台車である。移動台車１は、Ｈ型鋼製の井桁２ａと、それを囲繞する八角形の枠体２ｂとからなる台車本体２と、八角形の枠体２ｂの各斜辺の中央下面に設けた４個の自在車輪４と、自在車輪４の内側に設けた８個のレベルアジャスタ５とを有している。なお、２ｃは台車本体２の上面に設けた基板移載装置３（図２の１点鎖線）の取付部であり、２ｄは台車本体２の下面に設けた自在車輪取付部である（図１）。
【００１５】
自在車輪４は、図３に示すように、車輪４ａと旋回部４ｂとから構成され、枠体２ｂの下面の自在車輪取付部２ｂにボルト・ナットにより固定されていて、グレーチングのフロア６上で移動を容易にするため、車輪幅をグレーチングの開口よりも幅広に形成している。
【００１６】
レベルアジャスタ５は、図３に示すように、枠体２ｂの各自在車輪４の両側の各角部に設けられていて、下端にベース５ｂを設けたボルト５ａと、ナット５ｃとから構成されている。
【００１７】
フロア６は、図４に示すように、クリンルーム内の基礎８上に立設した多数の支柱７上に設けた多数の四角形の根太６ａの上に載置されており、かつ、クリンルーム内に清浄な空気を流すためグレーチングになっている。
【００１８】
本願の第２発明の基板移載装置用移動台車の固定方法は、根太６ａの上にグレーチングを載置して形成したクリーンルーム内のフロア６上に、上記移動台車１上に設けた基板移載装置３を設置する方法であって、レベルアジャスタ５を下ろして移動台車１の水平度を調整したのち、レベルアジャスタ５近傍で上記八角形の枠体２ｂとフロア６を支持する根太６ａとを台車固定治具９、すなわち、台車固定治具９の上部押え部材９ｂを台車本体２の上面に下部押え部材９ａを根太６ａの下面にそれぞれ添わせ、台車固定治具９のボルト９ｃをグレーチングのフロア６の開口を上下に貫通させ、ボルト９ｃの上・下端部を上下の押え部材９ｂ，９ａの両端のボルト孔９ｅに通して台車本体２と根太６ａとを台車固定治具９により上下に挟持して固定するようにしたものである。
【００１９】
次に本発明の実施形態の作用について説明する。
基板移載装置３をクリーンルーム内のグレーチングのフロア６上に設置するときは、基板移載装置３を移動台車１上に設け、台車本体２の下面に設けた自在車輪４によりフロア６上を移動して停止し、台車本体２に設けたレベルアジャスタ５をフロア６下面のフロア６を支持する根太６ａと一致させ、各レベルアジャスタ５をフロア６上に下ろしてレベルアジャスタ５下端を根太６ａ上のフロア６に押し付け、自在車輪４の下端をフロア６上面からわずかに浮かせて移動台車１の水平度を調整したのち、移動台車１の枠体２ｂと根太６ａとを台車固定治具９により上下に挟持して固定する。
【００２０】
台車本体２を井桁２ａと八角形の枠体２ｂとで形成したのは、クリーンルーム内で上から下に流れる空気流をできるだけ邪魔しないようにするためと、基板移載装置３の大きな転倒モーメントに耐えるために台車本体２の形状は円に近く、周縁部で固定することが望まれているからである。また、枠体２ｂを台車固定治具９により根太６ａに固定するので、大きな転倒モーメントに耐えることができる。
【００２１】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更し得ることは勿論である。
【００２２】
【発明の効果】
上述した本発明の基板移載装置用移動台車およびその方法によれば、移動台車本体を、井桁と八角形の枠体で形成したので、クリーンルーム内で上から下に流れる空気流を邪魔することがなく、台車の下面に自在車輪を設けたので、グレーチングのフロア上を移動することができる。また、移動台車と根太とを台車固定治具により上下に挟持して固定するようにしたので、基板移載装置の大きな転倒モーメントに耐えることができるなどの優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基板移載装置用移動台車の平面図で、中央線Ｃより右半分が平面図、左半分が下面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ矢視図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ矢視図である。
【図４】フロアの側面断面図である。
【図５】台車本体を根太に取り付けた状態を示す図である。
【図６】複数のガラス基板等を収納したカセットの斜視図である。
【図７】基板搬送用ロボットの平面図である。
【符号の説明】
１  基板移載装置用移動台車
２  台車本体
２ａ  井桁
２ｂ  枠体
３  基板移載装置
４  自在車輪
５  レベルアジャスタ
６  フロア
６ａ  根太
７  フロア支柱
８  基礎
９  固定治具
【図１】
0004168433.tif 000002
【図２】
0004168433.tif 000003
【図３】
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【図４】
0004168433.tif 000005
【図５】
0004168433.tif 000006
【図６】
0004168433.tif 000007
【図７】
0004168433.tif 000008