【手続補正書】
【提出日】平成20年1月8日(2008.1.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  所定の透過性を有するミラーとアダプティブオプティクスとを有して構成されるレーザー共振器と、
前記レーザー共振器内に配設されたレーザー媒質と、
前記レーザー媒質からの出射光が入射される分散素子と
を有するレーザー装置。
【請求項２】  レーザー共振器内に配設された所定範囲の波長域においてレーザー発振可能なレーザー媒質と、
前記レーザー媒質からの出射光が入射されるミラーを有するアダプティブオプティクスと、
前記アダプティブオプティクスの前記ミラーによって反射された光が入射されるグレーティングと、
前記グレーティングの回折光が前記アダプティブオプティクスの前記ミラーによって反射されて入射されるように配置された所定の透過性を有するミラーと
を有するレーザー装置。
【請求項３】  レーザー共振器内に配設された所定範囲の波長域においてレーザー発振可能なレーザー媒質と、
前記レーザー媒質からの出射光が入射されるグレーティングと、
前記グレーティングの回折光が入射されるミラーを有するアダプティブオプティクスと、
前記アダプティブオプティクスの前記ミラーによって反射された光が前記グレーティングによって回折されて入射されるように配置された所定の透過性を有するミラーと
を有するレーザー装置。
【請求項４】  レーザー共振器内に配設された所定範囲の波長域においてレーザー発振可能なレーザー媒質と、
前記レーザー媒質からの出射光が入射されるプリズムと、
前記プリズムによって分光された光が入射されるミラーを有するアダプティブオプティクスと、
前記アダプティブオプティクスの前記ミラーによって反射された光が入射されるように配置された所定の透過率を有するミラーと
を有するレーザー装置。
【請求項５】  一方の端面の反射が防止され他方の端面が全反射可能となされたレーザーダイオードチップと、
前記レーザーダイオードチップの前記一方の端面からの出射光が入射されるグレーティングと、
前記グレーティングの回折光が入射されるミラーを有するアダプティブオプティクスと
を有するレーザー装置。
【請求項６】  請求項１、請求項２、請求項３、請求項４または請求項５のいずれか１項に記載のレーザー装置において、
前記アダプティブオプティクスは、トラッキングミラーまたはディフォーマブルミラーのいずれかである
レーザー装置。
【請求項７】  所定範囲の波長域においてレーザー発振可能なレーザー媒質からの出射光を、グレーティングから所定の波長の１次回折光がアダプティブオプティクスのミラーに入射するようにして、前記アダプティブオプティクスのミラーによって反射して前記グレーティングに入射させ、
前記グレーティングによって回折され前記アダプティブオプティクスのミラーに入射された波長の光を、レーザー共振器内を往復させることによりレーザー発振させて出力させる
ことを特徴とするレーザー装置における波長選択方法。
【請求項８】  所定範囲の波長域においてレーザー発振可能なレーザー媒質からの出射光をグレーティングに入射させ、前記グレーティングによって回折された所定の波長の１次回折光をアダプティブオプティクスのミラーに垂直に入射させて、
前記アダプティブオプティクスのミラーに垂直に入射されて反射された波長の光を、レーザー共振器内を往復させることによりレーザー発振させて、前記グレーティングの０次光として出力させる
ことを特徴とするレーザー装置における波長選択方法。
【請求項９】  所定範囲の波長域においてレーザー発振可能なレーザー媒質からの出射光をプリズムに入射させて分光し、前記プリズムによって分光された所定の波長の光をアダプティブオプティクスのミラーに垂直に入射させて、
前記アダプティブオプティクスのミラーに垂直に入射されて反射された波長の光を、レーザー共振器内を往復させることによりレーザー発振させて出力させる
ことを特徴とするレーザー装置における波長選択方法。
【請求項１０】  レーザーダイオードチップからの出射光をグレーティングに入射させ、前記グレーティングによって回折された所定の波長の１次回折光をアダプティブオプティクスのミラーに垂直に入射させて、
前記アダプティブオプティクスのミラーに垂直に入射されて反射された波長の光を、前記グレーティングの０次光として出力させる
ことを特徴とするレーザー装置における波長選択方法。
【請求項１１】  請求項７、請求項８、請求項９または請求項１０のいずれか１項に記載のレーザー装置における波長選択方法において、
前記アダプティブオプティクスは、トラッキングミラーまたはディフォーマブルミラーのいずれかである
ことを特徴とするレーザー装置における波長選択方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
【従来の技術】
従来、波長可変レーザーを所望な波長でレーザー発振させるための波長選択方法として、レーザー媒質を収容したレーザー共振器内に、グレーティング（回折格子）やプリズムなどの素子を配設するか、あるいは、これら素子とともにガルバノ付ミラーを配設し、精密回転マウントを手動またはモーターにより回転させて、グレーティング（回折格子）やプリズムなどの素子かまたはガルバノ付ミラーを機械的に回転することにより、レーザー媒質から出射される出射光の中から所望の波長の出射光のみを取り出し、取り出した出射光をレーザー媒質に対して反射させて増幅してレーザー発振を生ぜしめ、レーザー共振器から所望の波長のレーザー光のみを出射させるようにした波長選択方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−２６３７７９号公報（図１〜図３）  しかしながら、上記したような従来の波長選択方法を用いた場合においては、レーザー共振器内に配設されたグレーティングやプリズムなどの素子自体を機械的に回転するため、精密回転マウントを手動またはモーターにより回転させているので、これら素子の回転速度が制限されてしまっていた。また、ガルバノ付ミラーを機械的に回転させる場合には、制御する角度にもよるが、早くとも数百Ｈｚ程度でしか回転できなかった。このように、従来の技術においては、波長可変速度を速くすることが困難であるという問題点があった。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
また、上記した従来の波長選択方法においては、グレーティングやプリズムなどの素子、または、ガルバノ付ミラーを機械的に回転させるので、これら質量の重い部材の回転によってぶれが生じてしまい、波長選択の精度が良くないという問題点があった。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明におけるレーザー装置およびレーザー装置における波長選択方法は、グレーティングやプリズムなどの素子、あるいは、ガルバノ付ミラーのような質量の重い部材を機械的に回転させる従来の手法とはまったく異なる観点からなされたものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明のうち請求項５に記載の発明は、一方の端面の反射が防止され他方の端面が全反射可能となされたレーザーダイオードチップと、上記レーザーダイオードチップの上記一方の端面からの出射光が入射されるグレーティングと、上記グレーティングの回折光が入射されるミラーを有するアダプティブオプティクスとを有するようにしたものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明のうち請求項６に記載の発明のように、請求項１、請求項２、請求項３、請求項４または請求項５のいずれか１項に記載の発明において、上記アダプティブオプティクスは、トラッキングミラーまたはディフォーマブルミラーのいずれかであるようにしてもよい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明のうち請求項７に記載の発明は、所定範囲の波長域においてレーザー発振可能なレーザー媒質からの出射光を、グレーティングから所定の波長の１次回折光がアダプティブオプティクスのミラーに入射するようにして、上記アダプティブオプティクスのミラーによって反射して上記グレーティングに入射させ、上記グレーティングによって回折され上記アダプティブオプティクスのミラーに入射された波長の光を、レーザー共振器内を往復させることによりレーザー発振させて出力させるようにしたものである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、本発明のうち請求項８に記載の発明は、所定範囲の波長域においてレーザー発振可能なレーザー媒質からの出射光をグレーティングに入射させ、上記グレーティングによって回折された所定の波長の１次回折光をアダプティブオプティクスのミラーに垂直に入射させて、上記アダプティブオプティクスのミラーに垂直に入射されて反射された波長の光を、レーザー共振器内を往復させることによりレーザー発振させて、上記グレーティングの０次光として出力させるようにしたものである。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本発明のうち請求項９に記載の発明は、所定範囲の波長域においてレーザー発振可能なレーザー媒質からの出射光をプリズムに入射させて分光し、上記プリズムによって分光された所定の波長の光をアダプティブオプティクスのミラーに垂直に入射させて、上記アダプティブオプティクスのミラーに垂直に入射されて反射された波長の光を、レーザー共振器内を往復させることによりレーザー発振させて出力させるようにしたものである。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、本発明のうち請求項１０に記載の発明は、レーザーダイオードチップからの出射光をグレーティングに入射させ、上記グレーティングによって回折された所定の波長の１次回折光をアダプティブオプティクスのミラーに垂直に入射させて、上記アダプティブオプティクスのミラーに垂直に入射されて反射された波長の光を、上記グレーティングの０次光として出力させるようにしたものである。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、本発明のうち請求項１１に記載の発明のように、請求項７、請求項８、請求項９または請求項１０のいずれか１項に記載の発明において、上記アダプティブオプティクスは、トラッキングミラーまたはディフォーマブルミラーのいずれかであるようにしてもよい。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９２】
以上において説明した第２の実施の形態に示すレーザー装置（図５参照）ならびに第３の実施の形態に示すレーザー装置（図７参照）においても、上記した第１の実施の形態のレーザー装置（図１参照）と同様の効果を奏するものであり、アダプティブオプティクス１０のミラーの角度を変えると、レーザー共振器内を往復する光の波長が変わり、出射レーザー光の波長を変えることができ、波長可変速度を速くすることもできる。また、波長選択を高精度に行うことができ、しかも波長再現精度もよく、安定しかつ狭スペクトルの波長選択作用を実現することができる。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９３】
図９には、本発明の第４の実施の形態によるレーザー装置の構成概略図が示されている。なお、図１乃至図４に示した構成部材と同一の構成部材に関しては、理解を容易にするために、同一の符号を付して示すものとする。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
図９に示すレーザー装置たる半導体レーザーは、レーザーダイオードチップ５０と、レーザーダイオードチップ５０からの出射光が入射するレンズ５２と、アダプティブオプティクス１０と、波長選択用の分散素子としてのグレーティング（回折格子）５６とを有して構成されている。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
図１０には、ディフォーマブルミラー２００を示す概略構成斜視図が示されており、図１１には、図１０のＡ−Ａ線断面図が示されている。このディフォーマブルミラー２００は、下部部材２０２と上部部材２１２との２つのパーツより構成されている。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０６】
なお、図１０に示すディフォーマブルミラー２００においては、上部部材２１２の７つのピラー２１８−１〜２１８−７が下部部材２０２に７つの電極２０６−１〜２０６−７に対向するようになされているが、ピラー２１８−１〜２１８−７ならびに電極２０６−１〜２０６−７の数はこれに限られることなしに、上部部材２１２のピラーと下部部材２０２の電極とは互いに対向可能なようにして任意の数の形成することができ、例えば、１００個以上のピラーと電極とを形成するようにしてもよい。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０９】
なお、この実施の形態においては、ディフォーマブルミラー２００のミラー２１６の反射面２１６ａの傾きが変化可能な角度は最大で１°であり、水平状態（図１１参照）から±０．５°の範囲でミラー２１６の角度のコントロールが可能である。また、こうしたミラー２１６の角度の制御は、コントローラ２０によって２ｋＨｚ〜３ｋＨｚという高速でなされるものである。従って、この実施の形態においては、１秒間でおよそ３０００回程度はミラー２１６の角度を最大１°で振ることができる。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１２】
このため、半導体レーザー（図９参照）においては、所定の波長の１次回折光が、アダプティブオプティクス１０として用いたディフォーマブルミラー２００のミラー２１６の反射面２１６ａに垂直に入射するように、コントローラー２０によりディフォーマブルミラー２００のミラー２１６の角度を変化させる。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１９】
そして、本発明による半導体レーザー（図９参照）においても、上記した第１の実施の形態のレーザー装置（図１参照）と同様の効果を奏するものであり、アダプティブオプティクス１０のミラーの角度を変えると、レーザーダイオードチップ５０に帰還する光の波長が変わり、出射レーザー光の波長を変えることができ、波長可変速度を速くすることもできる。また、波長選択を高精度に行うことができ、しかも波長再現精度もよく、安定しかつ狭スペクトルの波長選択作用を実現することができる。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２１】
そこで、外部共振器を構成することが提案されているが、従来の外部共振器を有する半導体レーザーにおいては、レーザーダイオードの外部に配置されたグレーティングで回折された光は、機械的に回転する全反射ミラーによってもとの光路に戻されていた。このため、従来の半導体レーザーによる掃引速度は１００ｎｓ／ｓｅｃで、スペクトルの線幅は３００ｋＨｚ（約１ｐｍ）程度以下であり、本発明による半導体レーザー（図９参照）によって実現される掃引速度１００００ｎｍ／ｓｅｃには到底及ばないものである。
なお、上記した実施の形態は、以下の（１）乃至（６）に説明するように変形することができる。
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２６】
（２）上記した第１の実施の形態のレーザー装置（図１参照）においては、単一のグレーティング１６を配設するようにしたが、これに限られるものではないことは勿論であり、互いに異なる波長域で高い効率を有する複数のグレーティング（回折格子）を配設するようにしてもよい。
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２７】
例えば、図１２には、第１の実施の形態のレーザー装置（図１参照）の単一のグレーティング１６に代わって、複数のグレーティング１６−１、１６−２、１６−３を配設したレーザー装置の概略構成説明図が示されている。
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２９】
その結果、図１２に示すレーザー装置によれば、３つのグレーティング１６−１、１６−２、１６−３それぞれが異なる波長域をカバーするようになり（図１３（ｂ）参照）、単一のグレーティングを配設した場合（図１３（ａ）参照）に波長域が限られてしまうのに対して、連続で広範囲な波長域を、あるいは、複数の波長域をカバーすることが可能となる。
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３０】
（３）上記した第１〜第３の実施の形態のレーザー装置においては、アダプティブオプティクス１０としてトラッキングミラー１００（図２参照）を用いるようにしたが、これに限られるものではないことは勿論であり、静電効果を利用したタイプとは異なるタイプのトラッキングミラー、例えば、ピエゾを使用してミラーの角度の傾きを制御して変化可能なタイプのトラッキングミラーを用いるようにしてもよい。
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３２】
また、上記した第１〜第３の実施の形態のレーザー装置において、アダプティブオプティクス１０として、トラッキングミラー１００（図２参照）に代わってディフォーマブルミラー２００（図１０ならびに図１１参照）を使用するようにしてもよいし、第４の実施の形態のレーザー装置において、アダプティブオプティクス１０として、ディフォーマブルミラー２００に代わってトラッキングミラー１００を使用するようにしてもよい。
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３３】
（４）上記した実施の形態において、さらに、所定の位置に波面計測器を配設するようにして、共振器から出射したレーザー光の一部を取り出して当該波面計測器に取り込ませるようにしてもよい。このようにすると、アダプティブオプティクス１０は反射させる光の反射角度だけではなく波面も制御することができるので、波面計測器で計測された波面データに基づいてアダプティブオプティクス１０を制御することにより、クローズドループ制御でリアルタイムに、出射レーザー光のビーム形状や品質を波長と同時に制御することができる。
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３５】
そこで、本発明においてアダプティブオプティクス１０とともに波面計測器を配設すると、波面の乱れなどに合わせてそれを修正するようにアダプティブオプティクス１０のミラーの角度や形状を変化させることによって、出射レーザー光のビーム形状の改善や位相波面のゆらぎを補償して品質を改善でき、上記した従来の問題点も解消できる。例えば、出射レーザー光のビームパターンは、ＴＥＭ００モードと称される集光特性の優れたビームパターンなど各種ビームパターンに制御することができる。
【手続補正４５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３６】
なお、上記した第４の実施の形態でアダプティブオプティクス１０として用いたディフォーマブルミラー２００（図１０ならびに図１１参照）の場合には、ミラー２１６の反射面２１６ａが誘電体多層膜コートにより形成されているので、金属コートよりなる反射面のミラーに比べてダメージしきい値が高くなり、高出力レーザーの波面補正にも対応できる。
【手続補正４６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３７】
（５）上記した実施の形態において、さらに、レーザー共振器内などに各種部材を追加的に配設するようにしてもよく、例えば、ビームパターンを整形するためのアパーチャや、スペクトル幅を制御するためのエタロンなどを配設するようにしてもよい。
【手続補正４７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３８】
（６）上記した実施の形態ならびに上記（１）乃至（５）に示す変形例は、適宜に組み合わせるようにしてもよい。
【手続補正４８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態によるレーザー装置の概略構成説明図である。
【図２】アダプティブオプティックスとして用いるトラッキングミラーを示す概略構成斜視図である。
【図３】図２に示すトラッキングミラーの要部を示す説明図であり、（ａ）は電極１０６−１〜１０６−４の全ての電圧が０Ｖの場合を示す説明図であり、（ｂ）は電極１０６−１ならびに電極１０６−２に所定の電圧を印加し、電極１０６−３ならびに電極１０６−４の電圧を０Ｖとした場合を示す説明図であり、（ｃ）は電極１０６−３ならびに電極１０６−４に所定の電圧を印加し、電極１０６−１ならびに電極１０６−２の電圧を０Ｖとした場合を示す説明図である。
【図４】（ａ）は図１に示すレーザー装置から波長７００ｎｍの出射レーザー光を出射させる場合を示す概念図であり、（ｂ）は図１に示すレーザー装置から波長９００ｎｍの出射レーザー光を出射させる場合を示す概念図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態によるレーザー装置の概略構成説明図である。
【図６】図５に示すレーザー装置から波長７００ｎｍや波長９００ｎｍの出射レーザー光を出射させる場合を示す概念図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態によるレーザー装置の概略構成説明図である。
【図８】図７に示すレーザー装置から波長７００ｎｍや波長９００ｎｍの出射レーザー光を出射させる場合を示す概念図である。
【図９】本発明の第４の実施の形態によるレーザー装置の概略構成説明図である。
【図１０】アダプティブオプティックスとして用いるディフォーマブルミラーを示す概略構成分解斜視図である。
【図１１】図１０のＡ−Ａ線断面図である。
【図１２】本発明の他の実施の形態によるレーザー装置の概略構成説明図である。
【図１３】（ａ）は図１に示すレーザー装置の波長可変領域を示すグラフであり、（ｂ）は図１２に示すレーザー装置の波長可変領域を示すグラフである。
【符号の説明】
１０ アダプティブオプティクス
１２、３２、４２ 出射側ミラー
１４ レーザー媒質
１６、２６、５６ グレーティング（回折格子）
２０ コントローラー
２２ ミラー
３６ プリズム
３６ａ 入射面
３６ｂ 出射面
５０ レーザーダイオードチップ
５２ レンズ
１００ トラッキングミラー
１０２ 下部部材
１０４ 基盤
１０４ａ 表面
１０６−１〜１０６−５ 電極
１１２ 上部部材
１１４ フレーム
１１６ ミラー
１１６ａ 反射面
１１６ｂ、１１６ｃ、１１６ｄ、１１６ｅ 角部
１１８ 支持部材
２００ ディフォーマブルミラー
２０２ 下部部材
２０４ 基盤
２０４ａ 表面
２０６−１〜２０６−７ 電極
２１２ 上部部材
２１４ フレーム
２１６ ミラー
２１６ａ 反射面
２１６ｂ 面
２１８−１〜２１８−７ ピラー
２２０ 接着材料
【手続補正４９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2004191551.tif 000001
【手続補正５０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2004191551.tif 000002
【手続補正５１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
2004191551.tif 000003
【手続補正５２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2004191551.tif 000004
【手続補正５３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】
2004191551.tif 000005
【手続補正５４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４
【補正方法】削除
【補正の内容】