【手続補正書】
【提出日】平成19年12月12日(2007.12.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のイオンビーム生成能力を提供する既存のイオン源と磁場源と質量分解アパーチャとを有するイオン注入器をアップグレードする方法であって、
該方法は、
（ａ）該既存のイオン源を除去するステップと、
（ｂ）該既存のイオン源とは異なるイオンビーム生成能力を提供する別のイオン源に該既存のイオン源を置き換えるステップと
を包含する、方法。
【請求項２】
ステップ（ａ）は、
（ａ）クラスターイオンを生成しない既存のイオン源を除去すること
を包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
ステップ（ａ）は、
（ａ）既存のベルナス型のイオン源を除去すること
を包含する、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
ステップ（ａ）は、
（ａ）既存のフリーマン型のイオン源を除去すること
を包含する、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
ステップ（ｂ）は、
（ｂ）前記既存のイオン源をクラスター生成イオン源に置き換えること
を包含する、請求項２に記載の方法。
【請求項６】
ステップ（ａ）は、
（ａ）アーク放電型である前記既存のイオン源を除去すること
を包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
ステップ（ｂ）は、
（ｂ）前記既存のイオン源を電子衝突イオン源に置き換えること
を包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
ステップ（ｂ）は、
（ｂ）前記既存のイオン源をクラスターイオンを注入する電子衝突イオン源に置き換えること
を包含する、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
ステップ（ｂ）は、
（ｂ）前記既存のイオン源をデカボランクラスターイオンを注入するイオン源に置き換えること
を包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
既存のシングルモードのイオン源と磁場源と質量分解アパーチャとを有するイオン注入器をアップグレードする方法であって、
該方法は、
（ａ）該既存のシングルモードのイオン源を除去するステップと、
（ｂ）該既存のシングルモードのイオン源を新たなデュアルモードのイオン源に置き換えるステップと
を包含する、方法。
【請求項１１】
ステップ（ｂ）は、
（ｂ）前記既存のシングルモードのイオン源をノーマルモードと反射モードとを有するデュアルモードのイオン源に置き換えること
を包含する、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
イオン注入装置のためのイオン源であって、
該イオン源は、
イオン化されるべきガスを提供する蒸発器であって、該イオン源に取り外し可能に取り付けられている蒸発器と、
該蒸発器とイオン化チャンバとの間に流体伝達を提供するコンジットと、
該コンジットから該蒸発器をアイソレートする１つ以上のバルブと、
該蒸発器と流体伝達するイオン化チャンバと、
該蒸発器からの該ガスをイオン化するエネルギー源と
を備えている、イオン源。
【請求項１３】
前記イオン化チャンバは、前記イオン源に取り外し可能に取り付けられている、請求項１２に記載のイオン源。
【請求項１４】
イオン注入装置と共に用いるためのイオン源であって、
該イオン源は、
複数の側壁を定義するイオン化チャンバであって、該複数の側壁のうちの１つの少なくとも一部は、アパーチャプレートを定義し、かつ、イオンビームが該イオン化チャンバから抽出されることを可能にするイオン抽出アパーチャを含み、該アパーチャプレートは、少なくとも１つの導電面を含む、イオン化チャンバと、
その中にあるガスをイオン化する該イオン化チャンバの内部と流体伝達する電子源と、
該イオン化チャンバの該内部と流体伝達する供給ガス源と、
該少なくとも１つの導電面に電気的に結合されたバイアス電圧源と
を備えている、イオン源。
【請求項１５】
前記アパーチャプレートは、電気的絶縁材料から形成されており、少なくとも１つの電気的導電面を定義するために電気的導電膜によって部分的に被覆されている、請求項１４に記載のイオン源。
【請求項１６】
前記複数の側壁のうちの１つを形成する電気的絶縁フレームをさらに備え、該フレームは、前記アパーチャプレートを支持するように構成されている、請求項１４に記載のイオン源。
【請求項１７】
前記電気的絶縁材料は、窒化ホウ素である、請求項１５に記載のイオン源。
【請求項１８】
前記電気的導電膜は、グラファイトである、請求項１５に記載のイオン源。
【請求項１９】
ステップ（ｂ）は、
（ｂ）前記既存のイオン源をアーク放電プラズマタイプのイオン源に置き換えること
を包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項２０】
ステップ（ｂ）は、
（ｂ）前記既存のイオン源をアーク放電以外のプラズマイオン源に置き換えること
を包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項２１】
ステップ（ｂ）は、
（ｂ）前記既存のイオン源を電子衝突モードまたはアーク放電モードにおいて選択的に動作するイオン源に置き換えること
を包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項２２】
ガスまたは蒸気を受け取るイオン化ボリュームであって、該イオン化ボリュームからイオンビームが抽出されることを可能にするイオン抽出アパーチャを有するように形成されているイオン化ボリュームと、
該イオン化ボリューム内で、プラズマを形成する電子を放射することにより、第１の動作モードのアーク放電によって該イオン化ボリューム内の該ガスまたは蒸気をイオン化し、該イオン化ボリューム内で電子を放射し、第２の動作モードの直接的な電子衝突によって該イオン化ボリューム内の該ガスまたは蒸気をイオン化する電子源と、
ガスまたは蒸気源と、
該第１の動作モードと該第２の動作モードとの間で切り替えを行う手段と
を備えた、ユニバーサルイオン源。
【請求項２３】
前記電子源は、前記イオンボリュームの外側に配置されている、請求項２２に記載のユニバーサルイオン源。
【請求項２４】
前記ガスまたは蒸気源は、固体材料を受け取り、蒸気を生成する蒸発器を含み、該蒸発器は、前記イオン化ボリュームと流体伝達する、請求項２２に記載のユニバーサルイオン源。
【請求項２５】
前記電子源と整列されているアンチカソードをさらに備えている、請求項２２に記載のユニバーサルイオン源。
【請求項２６】
前記第１の電子源と前記アンチカソードとを繋ぐ線に平行に配向されている磁場源であって、反射ジオメトリを定義する磁場源をさらに備えている、請求項２２に記載のユニバーサルイオン源。
【請求項２７】
供給ガスまたは気体源と、
該供給ガスまたは気体源を受け取り、第１の動作モードで原子イオン生成し、第２の動作モードで分子イオンを生成するイオン源と
を備えた、ユニバーサルイオン源。
【請求項２８】
複数の面を有するボックスとして形成されたイオン化ボリュームを定義するイオン化チャンバであって、１つの面に形成された抽出アパーチャが該１つの面にほぼ直交するビーム線を定義し、該イオン化チャンバは、蒸気源を受け取る入口を含む、イオン化チャンバと、
電子を放射することにより、第１の動作モードの直接的な電子衝撃によって該イオン化チャンバ内の蒸気をイオン化する第１の電子エミッタと、
該イオン化チャンバ内で電子を放射することにより、第２の動作モードのアーク放電によって該イオン化ボリューム内の蒸気をイオン化する第２の電子エミッタと
を備えた、デュアルモードイオン源。
【請求項２９】
前記入口と流体伝達する第１の蒸発器であって、固体材料を受け取り、蒸気を生成する第１の蒸発器をさらに備えている、請求項２８に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項３０】
前記入口と流体伝達する第２の蒸発器であって、固体材料を受け取り、蒸気を生成する第２の蒸発器をさらに備えている、請求項２９に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項３１】
前記第１の蒸発器の温度を制御し、前記生じた蒸気の温度を２０℃〜２００℃に制御する温度制御システムをさらに備えている、請求項２９に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項３２】
前記第１の電子エミッタは、前記ビーム線にほぼ直交する電子ビーム形成する電子を電子ビーム軸に沿って放射する、請求項２８に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項３３】
前記供給材料は、前記第２の動作モードで単原子イオンを生成するように選択される、請求項３０に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項３４】
前記供給材料は、第１の動作モードで分子イオンを生成するように選択される、請求項３１に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項３５】
前記供給材料は、第１の動作モードでダイマーイオンを生成するように選択される、請求項３１に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項３６】
前記供給材料は、第１の動作モードで水素化物イオンを生成するように選択される、請求項３１に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項３７】
前記第１の電子エミッタは、前記イオン化チャンバの外側に配置されている、請求項２８に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項３８】
前記第１の電子エミッタは、前記イオン化チャンバから断熱されている、請求項２８に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項３９】
前記第２の電子エミッタは、前記イオン化チャンバの内側に配置されている、請求項２８に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項４０】
前記第１の電子エミッタは、フィラメントである、請求項２８に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項４１】
前記第１の電子エミッタからの電子を加速するレンズをさらに備えている、請求項２８に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項４２】
前記第１の電子エミッタは、熱電子放射によって電子を放射する、請求項２８に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項４３】
前記第１の電子エミッタは、直接的に加熱される、請求項４２に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項４４】
前記第１の電子エミッタは、間接的に加熱される、請求項４２に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項４５】
前記電子ビーム軸に対して軸磁場を生成する磁気源をさらに備えている、請求項３２に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項４６】
前記第１の電子エミッタから離れて配置されている電子リペラーをさらに備えており、該電子リペラーは、反射動作モードで電子を跳ね返し、非反射動作モードで電子を引き付ける、請求項２８に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項４７】
反射動作モードと非反射動作モードとの間で切り替えを行うモード切り替え装置をさらに備えている、請求項４６に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項４８】
前記デュアルモードイオン源は、前記第１の動作モードおよび前記第２の動作モードの両方において反射動作モードで動作するように構成されている、請求項４７に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項４９】
前記第１の動作モードおよび前記第２の動作モードにおいて前記デュアルモードイオン源の動作を制御する少なくとも１つのコントローラをさらに備えている、請求項４８に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項５０】
第１の動作モードの直接的な電子衝撃によってイオン化チャンバ内の蒸気をイオン化する第１のイオン源と、
第２の動作モードのアーク放電によってイオン化チャンバ内の蒸気をイオン化する第２のイオン源と、
該第１のイオン源と該第２のイオン源との間で切り替えを行うコントローラと
を備えた、デュアルモードイオン源。
【請求項５１】
前記第１のイオン源は、既存のイオン注入装置に組み込まれるように構成されている、請求項５０に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項５２】
前記第１のイオン源は、供給材料を含むダイマーをイオン化するように構成されている、請求項５０に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項５３】
前記第１のイオン源は、供給材料を含む水素化物をイオン化するように構成されている、請求項５０に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項５４】
前記第１のイオン源は、反射動作モードで動作するように構成されている、請求項５０に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項５５】
前記第１のイオン源は、非反射動作モードで動作するように構成されている、請求項５４に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項５６】
前記第１のイオン源は、前記反射／非反射動作モードが選択可能であるように構成されている、請求項５４に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項５７】
前記第２のイオン源は、反射動作モードで動作するように構成されている、請求項５０に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項５８】
前記第２のイオン源は、非反射動作モードで動作するように構成されている、請求項５７に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項５９】
前記第２のイオン源は、前記反射／非反射動作モードが選択可能であるように構成されている、請求項５８に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項６０】
前記第１のイオン源および前記第２のイオン源は、少なくとも２つの蒸発器を一緒に含む、請求項５０に記載のデュアルモードイオン源。
【請求項６１】
ガスまたは蒸気を受け取るイオン化ボリュームであって、該イオン化ボリュームからイオンビームが抽出されることを可能にするイオン抽出アパーチャを有するように形成されているイオン化ボリュームと、
該イオン化チャンバの外側に配置されている電子源であって、該イオン化ボリューム内で、プラズマを形成する電子を放射することにより、アーク放電動作モードのアーク放電によって該イオン化ボリューム内の該ガスまたは蒸気をイオン化する電子源と、
ガスまたは蒸気源と
を備えた、イオン源。
【請求項６２】
前記電子源と整列されているアンチカソードをさらに備えている、請求項６１に記載のイオン源。
【請求項６３】
前記第１の電子源と前記アンチカソードとを繋ぐ線に平行に配向されている磁場源をさらに備えている、請求項６２に記載のイオン源。
【請求項６４】
前記アンチカソードは、前記電子源から離れて配置されており、該アンチカソードは、反射動作モードで電子を跳ね返し、非反射動作モードで電子を引き付ける、請求項６３に記載のイオン源。
【請求項６５】
反射動作モードと非反射動作モードとの間で切り替えを行う手段をさらに備えている、請求項６４に記載のイオン源。
【請求項６６】
前記イオン源は、直接的電子衝突動作モードで動作するように構成されており、前記ガスまたは蒸気は、直接的な電子衝突によってイオン化される、請求項６１に記載のイオン源。
【請求項６７】
前記直接的な衝突動作モードと前記アーク放電動作モードとは、選択可能である、請求項６６に記載のイオン源。
【請求項６８】
前記イオン源は、反射動作モードおよび非反射動作モードで動作するようにさらに構成されている、請求項６７に記載のイオン源。