【手続補正書】
【提出日】平成19年12月18日(2007.12.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
結晶性物質の原料からフッ化カルシウム単結晶を成長させる結晶製造装置であって、
種結晶が配置される第１室および前記原料が配置される第２室を有する坩堝と、
前記第２室内に配置され、前記第１室側と前記第２室側とに開口する貫通孔が形成された第１の部材とを有し、
前記第１の部材は、溶融した前記原料から前記第１室の方向に受ける第１の力が前記第２室の方向に受ける第２の力よりも大きくなる形状を有することを特徴とする結晶製造装置。
【請求項２】
以下の条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の結晶製造装置。
∫Ｐａｄｓ＞∫Ｐｂｄｓ
但し、∫Ｐａｄｓは前記第１の部材における前記溶融した原料から前記第２室側の面に作用する圧力Ｐａの面積分、∫Ｐｂｄｓは前記第１の部材における前記溶融した原料から前記第１室側の面に作用する圧力の面積分である。
【請求項３】
前記第２室は、前記第１室側に向かって径が小さくなる円錐部を有し、
前記第１の部材は、前記円錐部に接触することを特徴とする請求項１又は２に記載の結晶製造装置。
【請求項４】
前記原料の溶融前に、前記貫通孔内に、前記原料と同一物質により形成された第２の部材が設置されることを特徴とする請求項１から３のいずれか１つに記載の結晶製造装置。
【請求項５】
結晶性物質の原料からフッ化カルシウム単結晶を成長させる結晶製造装置であって、
種結晶が配置される第１室および前記原料が配置される第２室を有する坩堝と、
前記坩堝内に配置され、前記第１室側と前記第２室側とに開口する貫通孔が形成された第１の部材とを有し、
前記原料の溶融前に、前記貫通孔内に、前記原料と同一物質により形成された第２の部材が設置されることを特徴とする結晶製造装置。
【請求項６】
前記第２の部材は、前記貫通孔内に挿入される挿入部と、前記貫通孔の前記第２室側の開口を覆う端部とを有することを特徴とする請求項５に記載の結晶製造装置。
【請求項７】
結晶性物質の原料からフッ化カルシウム単結晶を成長させる方法であり、種結晶が配置される第１室および前記原料が配置される第２室を有する坩堝を用いる結晶製造方法であって、
前記第１室に種結晶を配置するステップと、
前記第２室内に、前記第１室側と前記第２室側とに開口する貫通孔が形成された第１の部材を配置するステップと、
前記第２室に前記原料を配置するステップと、
前記原料を溶融するステップとを有し、
前記第１の部材は、溶融した前記原料から前記第１室の方向に受ける第１の力が前記第２室の方向に受ける第２の力よりも大きくなる形状を有することを特徴とする結晶製造方法。
【請求項８】
結晶性物質の原料からフッ化カルシウム単結晶を成長させる方法であり、種結晶が配置される第１室および前記原料が配置される第２室を有する坩堝を用いる結晶製造方法であって、
前記第１室に種結晶を配置するステップと、
前記坩堝内に、前記第１室側と前記第２室側とに開口する貫通孔が形成された第１の部材を配置するステップと、
前記第２室に前記原料を配置するステップと、
前記原料を溶融するステップとを有し、
前記原料の溶融前に、前記貫通孔内に、前記原料と同一物質により形成された第２の部材を設置するステップをさらに有することを特徴とする結晶製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
一方、特許文献３にて開示されている方法で転位を排除する場合においては、ネッキングのための部材を、テーパを有した種収納室に挿入する。しかし、この場合、円柱状の種結晶を用いると、種収納室のテーパ面と種結晶との間に隙間ができてしまい、その部分に原料融液が流れ込むため、この結果、製造される結晶が多結晶体となり、単結晶を得ることが難しくなってしまう。なお、種結晶を種収納室のテーパに合わせてテーパ状に加工してもよいが、加工によるコスト上昇が免れない。さらに、収納室のテーパ角度が小さいと、貫通孔を有する部品が原料融液から受ける浮力によって収納室から外れて、ネッキング自体ができなくなるおそれがある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
一つの側面としての本発明は、結晶性物質の原料からフッ化カルシウム単結晶を成長させる結晶製造装置および結晶製造方法であって、種結晶が配置される第１室および該原料が配置される第２室を有する坩堝と、該第２室内に配置され、第１室側と第２室側とに開口する貫通孔が形成された第１の部材とを用いる。そして、第１の部材を、溶融原料から第１室の方向に受ける第１の力が第２室の方向に受ける第２の力よりも大きくなる形状とすることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、他の側面としての本発明は、結晶性物質の原料からフッ化カルシウム単結晶を成長させる結晶製造装置および結晶製造方法であって、種結晶が配置される第１室および前記原料が配置される第２室を有する坩堝と、該坩堝内に配置され、第１室側と第２室側とに開口する貫通孔が形成された第１の部材とを用いる。そして、原料の溶融前に、該貫通孔内に、原料と同一物質により形成された第２の部材を設置することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明によれば、原料と同一物質により形成された第２の部材を第１の部材の貫通孔内に設置した状態で第２室の原料を溶融させることにより、第２室において溶融した原料と種結晶との温度差が大きい状態で溶融原料が第１室に流れ込むのをより確実に阻止することができる。したって、種結晶に与える熱的衝撃をより確実に緩和することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
そして、これらの発明により、転位が少ないフッ化カルシウム単結晶を製造することができ、特に短波長光に対して優れた光学特性を持つ材料としてのフッ化カルシウム単結晶を製造することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
ここで、本実施例では、キャップ部材１１７の上下面１１７ａ，１１７ｂはともに単純な平坦面としているが、上下面の形状が複雑になった場合でも、融液ＩＤａから受ける圧力の面積分を行うことで力Ｆ２は求まるので、キャップ部材１１７の形状は、本実施例の形状に限定されることはなく、
∫Ｐｂｄｓ−∫Ｐａｄｓ＜０
すなわち、
∫Ｐａｄｓ＞∫Ｐｂｄｓ
の条件を満たすものであれば構わない。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
図１に示すように、支持部材１２０は、筐体１７０の底部を貫通し、その上部は成長炉ＣＧＦに達する。支持部材１２０は、坩堝１１０と坩堝１１０内の原料の重量を支持し、坩堝昇降部１３０によって駆動されて坩堝１１０を昇降移動する。また、支持部材１２０は、図示しない回転機構によって駆動されて坩堝１１０と一体的に回転する。支持部材１２０による坩堝１１０の回転は、坩堝１１０内の温度を均一にするために行われる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
原料の融解後、徐々に坩堝１１０を下降させることにより、融液ＩＤａを冷却し、種結晶ＳＣの結晶方向と同一の結晶方向を有する単結晶ＩＤｂを成長させる（ステップ１０１０）。すなわち、融点温度付近で成長した結晶の表面にさらに結晶を析出させることで単結晶が成長する。実験では、成長炉ＣＧＦ全体の温度分布を固定し、坩堝１１０の下降速度を、０．２５ｍｍ／ｈ〜１ｍｍ／ｈとした。成長したフッ化カルシウム単結晶の長さは１００ｍｍ〜３００ｍｍであり、４００時間〜１５００時間程度の時間をかけて成長させた。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
本発明の実施例２である結晶製造装置１００Ａについて、図６を用いて説明する。図６には、該結晶製造装置１００Ａの坩堝１１０を示している。なお、本実施例の結晶製造装置１００Ａの基本構成は、実施例１の結晶製造装置１００と同様であるが、キャップ部材１１７’を円錐部１１６の上下方向中間領域に配置した点が異なる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
レチクル５２０は、例えば、石英製で、その上には転写されるべき回路パターン（又は像）が形成され、図示しないレチクルステージにより支持及び駆動される。レチクル５２０から発せられた回折光は、投影光学系５３０を通りプレート５４０上に投影される。レチクル５２０とプレート５４０は、光学的に共役の関係にある。本実施形態の露光装置５００はスキャナーであるため、レチクル５２０とプレート５４０を縮小倍率比の速度比でスキャンすることによりレチクル５２０のパターンをプレート５４０上に転写する。なお、ステップ・アンド・リピート方式の露光装置（「ステッパー」とも呼ばれる。）の場合は、レチクル５２０とプレート５４０を静止させた状態で露光が行われる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
露光において、光源部５１２から発せられた光束は、照明光学系５１４によりレチクル５２０を、例えば、ケーラー照明する。レチクル５２０を通過してレチクルパターンを反映する光は、投影光学系５３０によりプレート５４０上に結像される。露光装置５００が使用する照明光学系５１４及び投影光学系５３０は、本発明によるフッ化カルシウムから製造される光学素子を含んで、紫外光、遠紫外光及び真空紫外光を高い透過率で透過するので、高いスループットで経済性よくデバイス（半導体素子、ＬＣＤ素子、撮像素子（ＣＣＤなど）、薄膜磁気ヘッドなど）を提供することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２Ｂ】
2006188371.tif 000001