【手続補正書】
【提出日】平成19年12月25日(2007.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理対象を収容するカセットチャンバと、
前記処理対象の処理を行うプロセスチャンバと、
前記カセットチャンバおよび前記プロセスチャンバとゲートバルブを介して連結されたトランスファチャンバと、
前記トランスファチャンバを介して前記カセットチャンバと前記プロセスチャンバとの間で前記処理対象を搬送する搬送手段と、
前記カセットチャンバと前記トランスファチャンバとで共用される第１の排気ポンプと、
前記プロセスチャンバ内の排気を行う第２の排気ポンプとを備えたクラスタツールの圧力を制御する圧力制御方法であって、
前記カセットチャンバから前記プロセスチャンバへ前記処理対象を搬送する際に、前記第２の排気ポンプによる前記プロセスチャンバ内の排気を行いつつ、前記第１の排気ポンプによる前記トランスファチャンバ内の排気を停止させるステップと、
前記プロセスチャンバと前記トランスファチャンバとの間に設けられた前記ゲートバルブを開き、前記第２の排気ポンプによって前記プロセスチャンバ及び前記トランスファチャンバ内の排気を行うステップと
を有することを特徴とする圧力制御方法。
【請求項２】
前記プロセスチャンバと前記トランスファチャンバとの間に設けられた前記ゲートバルブが開いている時に、前記トランスファチャンバへのパージを行うステップをさらに備えることを特徴とする請求項１記載の圧力制御方法。
【請求項３】
前記第１の排気ポンプにより、前記トランスファチャンバをアイドル中に排気するステップと、
前記第１の排気ポンプによる前記トランスファチャンバの排気を停止させ、前記第１の排気ポンプにより、前記カセットチャンバを排気するステップと、
前記カセットチャンバから前記トランスファチャンバへ前記処理対象を搬送する際に、前記第１の排気ポンプによる前記カセットチャンバ内の排気を停止させるステップと
をさらに備えることを特徴とする請求項１または２記載の圧力制御方法。
【請求項４】
処理対象を収容するカセットチャンバと、
前記カセットチャンバおよびプロセスチャンバとゲートバルブを介して連結されたトランスファチャンバと、
前記トランスファチャンバを介して前記カセットチャンバと前記プロセスチャンバとの間で前記処理対象を搬送する搬送手段と、
前記カセットチャンバと前記トランスファチャンバとで共用される第１の排気ポンプと、
前記プロセスチャンバ内の排気を行う第２の排気ポンプとを備えた搬送装置であって、
前記第２の排気ポンプによる前記プロセスチャンバ内の排気を行いつつ、前記第１の排気ポンプによる前記トランスファチャンバ内の排気を停止させ、この状態で、前記カセットチャンバから前記プロセスチャンバへ前記処理対象を搬送するよう構成されたことを特徴とする搬送装置。
【請求項５】
処理対象を収容するカセットチャンバと、
前記処理対象の処理を行うプロセスチャンバと、
前記カセットチャンバおよび前記プロセスチャンバとゲートバルブを介して連結されたトランスファチャンバと、
前記トランスファチャンバを介して前記カセットチャンバと前記プロセスチャンバとの間で前記処理対象を搬送する搬送手段と、
前記カセットチャンバと前記トランスファチャンバとで共用される第１の排気ポンプと、
前記プロセスチャンバ内の排気を行う第２の排気ポンプとを備え、
前記カセットチャンバから前記プロセスチャンバへ前記処理対象を搬送する際に、前記第２の排気ポンプによる前記プロセスチャンバ内の排気を行いつつ、前記第１の排気ポンプによる前記トランスファチャンバ内の排気を停止させ、前記プロセスチャンバと前記トランスファチャンバとの間に設けられた前記ゲートバルブを開いた際に、前記第２の排気ポンプによって前記プロセスチャンバ及び前記トランスファチャンバ内の排気を行うよう構成されたことを特徴とするクラスタツール。
【請求項６】
前記第１の排気ポンプによる前記トランスファチャンバ内の排気の停止中に、前記第１の排気ポンプを用いて前記カセットチャンバ内の排気を行うことを特徴とする請求項５記載のクラスタツール。
【請求項７】
前記第１の排気ポンプによる前記トランスファチャンバおよび前記カセットチャンバの排気の停止に伴って、前記第１の排気ポンプの電源をオフすることを特徴とする請求項６記載のクラスタツール。
【請求項８】
前記処理対象の搬送中に前記トランスファチャンバ内の圧力が所定値を超えた場合は、前記第１の排気ポンプによる前記トランスファチャンバ内の排気を一時的に行うことを特徴とする請求項５記載のクラスタツール。
【請求項９】
処理対象を収容するカセットチャンバと、
前記処理対象の処理を行うプロセスチャンバと、
前記カセットチャンバおよび前記プロセスチャンバとゲートバルブを介して連結されたトランスファチャンバと、
前記トランスファチャンバを介して前記カセットチャンバと前記プロセスチャンバとの間で前記処理対象を搬送する搬送手段と、
前記トランスファチャンバ及び前記カセットチャンバと接続された第１の排気ポンプと、
前記プロセスチャンバと接続された第２の排気ポンプと
を備えたクラスタツールの圧力を制御する方法であって、
前記第２のポンプによって前記プロセスチャンバ内を排気するステップと、
前記第１のポンプによって前記トランスファチャンバ内を排気するステップと、
前記第１のポンプによる前記トランスファチャンバ内の排気を停止し、前記第１のポンプによって前記カセットチャンバ内を排気するステップと、
前記第１のポンプによる前記カセットチャンバ内の排気及び前記トランスファチャンバ内の排気を停止した状態で、前記搬送手段により前記トランスファチャンバを介して前記カセットチャンバと前記プロセスチャンバとの間で複数の前記処理対象を順次搬送し、前記処理対象の処理を実行するステップと
を有することを特徴とする圧力制御方法。
【請求項１０】
前記処理対象の処理を実行するステップにおいて、前記トランスファチャンバ内の圧力が所定値を超えた場合は、前記第１のポンプによる前記トランスファチャンバ内の排気を一時的に行うことを特徴とする請求項９記載の圧力制御方法。
【請求項１１】
前記処理対象の処理を実行するステップにおいて、前記プロセスチャンバと前記トランスファチャンバとの間に設けられた前記ゲートバルブが開いている時に、前記第２の排気ポンプによって前記プロセスチャンバを介して前記トランスファチャンバ内の排気を行いつつ、前記トランスファチャンバへのパージを行うステップをさらに備えることを特徴とする請求項９記載の圧力制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、請求項１記載の発明によれば、処理対象を収容するカセットチャンバと、前記処理対象の処理を行うプロセスチャンバと、前記カセットチャンバおよび前記プロセスチャンバとゲートバルブを介して連結されたトランスファチャンバと、前記トランスファチャンバを介して前記カセットチャンバと前記プロセスチャンバとの間で前記処理対象を搬送する搬送手段と、前記カセットチャンバと前記トランスファチャンバとで共用される第１の排気ポンプと、前記プロセスチャンバ内の排気を行う第２の排気ポンプとを備えたクラスタツールの圧力を制御する圧力制御方法であって、前記カセットチャンバから前記プロセスチャンバへ前記処理対象を搬送する際に、前記第２の排気ポンプによる前記プロセスチャンバ内の排気を行いつつ、前記第１の排気ポンプによる前記トランスファチャンバ内の排気を停止させるステップと、前記プロセスチャンバと前記トランスファチャンバとの間に設けられた前記ゲートバルブを開き、前記第２の排気ポンプによって前記プロセスチャンバ及び前記トランスファチャンバ内の排気を行うステップとを有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、請求項２記載の発明によれば、前記プロセスチャンバと前記トランスファチャンバとの間に設けられた前記ゲートバルブが開いている時に、前記トランスファチャンバへのパージを行うステップをさらに備えることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、請求項３記載の発明によれば、前記第１の排気ポンプにより、前記トランスファチャンバをアイドル中に排気するステップと、前記第１の排気ポンプによる前記トランスファチャンバの排気を停止させ、前記第１の排気ポンプにより、前記カセットチャンバを排気するステップと、前記カセットチャンバから前記トランスファチャンバへ前記処理対象を搬送する際に、前記第１の排気ポンプによる前記カセットチャンバ内の排気を停止させるステップとをさらに備えることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、請求項４記載の発明によれば、処理対象を収容するカセットチャンバと、前記カセットチャンバおよびプロセスチャンバとゲートバルブを介して連結されたトランスファチャンバと、前記トランスファチャンバを介して前記カセットチャンバと前記プロセスチャンバとの間で前記処理対象を搬送する搬送手段と、前記カセットチャンバと前記トランスファチャンバとで共用される第１の排気ポンプと、前記プロセスチャンバ内の排気を行う第２の排気ポンプとを備えた搬送装置であって、前記第２の排気ポンプによる前記プロセスチャンバ内の排気を行いつつ、前記第１の排気ポンプによる前記トランスファチャンバ内の排気を停止させ、この状態で、前記カセットチャンバから前記プロセスチャンバへ前記処理対象を搬送するよう構成されたことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、請求項５記載の発明によれば、処理対象を収容するカセットチャンバと、前記処理対象の処理を行うプロセスチャンバと、前記カセットチャンバおよび前記プロセスチャンバとゲートバルブを介して連結されたトランスファチャンバと、前記トランスファチャンバを介して前記カセットチャンバと前記プロセスチャンバとの間で前記処理対象を搬送する搬送手段と、前記カセットチャンバと前記トランスファチャンバとで共用される第１の排気ポンプと、前記プロセスチャンバ内の排気を行う第２の排気ポンプとを備え、前記カセットチャンバから前記プロセスチャンバへ前記処理対象を搬送する際に、前記第２の排気ポンプによる前記プロセスチャンバ内の排気を行いつつ、前記第１の排気ポンプによる前記トランスファチャンバ内の排気を停止させ、前記プロセスチャンバと前記トランスファチャンバとの間に設けられた前記ゲートバルブを開いた際に、前記第２の排気ポンプによって前記プロセスチャンバ及び前記トランスファチャンバ内の排気を行うよう構成されたことを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、請求項６記載の発明によれば、前記第１の排気ポンプによる前記トランスファチャンバ内の排気の停止中に、前記第１の排気ポンプを用いて前記カセットチャンバ内の排気を行うことを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、請求項７記載の発明によれば、前記第１の排気ポンプによる前記トランスファチャンバおよび前記カセットチャンバの排気の停止に伴って、前記第１の排気ポンプの電源をオフすることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
これにより、ドライポンプ等の消費電力の大幅な削減が可能となる。
また、請求項８記載の発明によれば、前記処理対象の搬送中に前記トランスファチャンバ内の圧力が所定値を超えた場合は、前記第１の排気ポンプによる前記トランスファチャンバ内の排気を一時的に行うことを特徴とする。
また、請求項９記載の発明によれば、処理対象を収容するカセットチャンバと、前記処理対象の処理を行うプロセスチャンバと、前記カセットチャンバおよび前記プロセスチャンバとゲートバルブを介して連結されたトランスファチャンバと、前記トランスファチャンバを介して前記カセットチャンバと前記プロセスチャンバとの間で前記処理対象を搬送する搬送手段と、前記トランスファチャンバ及び前記カセットチャンバと接続された第１の排気ポンプと、前記プロセスチャンバと接続された第２の排気ポンプとを備えたクラスタツールの圧力を制御する方法であって、前記第２のポンプによって前記プロセスチャンバ内を排気するステップと、前記第１のポンプによって前記トランスファチャンバ内を排気するステップと、前記第１のポンプによる前記トランスファチャンバ内の排気を停止し、前記第１のポンプによって前記カセットチャンバ内を排気するステップと、前記第１のポンプによる前記カセットチャンバ内の排気及び前記トランスファチャンバ内の排気を停止した状態で、前記搬送手段により前記トランスファチャンバを介して前記カセットチャンバと前記プロセスチャンバとの間で複数の前記処理対象を順次搬送し、前記処理対象の処理を実行するステップとを有することを特徴とする。
また、請求項１０記載の発明によれば、前記処理対象の処理を実行するステップにおいて、前記トランスファチャンバ内の圧力が所定値を超えた場合は、前記第１のポンプによる前記トランスファチャンバ内の排気を一時的に行うことを特徴とする。
また、請求項１１記載の発明によれば、前記処理対象の処理を実行するステップにおいて、前記プロセスチャンバと前記トランスファチャンバとの間に設けられた前記ゲートバルブが開いている時に、前記第２の排気ポンプによって前記プロセスチャンバを介して前記トランスファチャンバ内の排気を行いつつ、前記トランスファチャンバへのパージを行うステップをさらに備えることを特徴とする。