【手続補正書】
【提出日】平成20年10月22日(2008.10.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の吸気口を有する筐体と、
前記第１の吸気口に設置された第１のフィルタと、
前記第１の吸気口と前記第１のフィルタとを介して前記筐体内に外界の空気を流入させる第１のファンと、
前記筐体内に配置され前記筐体内の空間に臨む第２の吸気口を有する清浄室と、
前記第２の吸気口に配置された第２のフィルタと、
前記第２の吸気口と前記第２のフィルタとを介して前記清浄室に前記筐体内の空気を流入させる第２のファンと、
前記筐体の外界の圧力を測定する外部圧力測定手段と、
前記筐体内の圧力を測定する内部圧力測定手段と、
前記清浄室内の圧力を測定する清浄室内圧力測定手段と、
前記内部圧力測定手段による前記筐体内の圧力の測定値が前記外部圧力測定手段による前記筐体の外界の圧力の測定値よりも設定値だけ高く、さらに前記清浄室内圧力測定手段による前記清浄室内の圧力の測定値が前記内部圧力測定手段による前記筐体内の圧力の測定値よりも設定値だけ高くなるように、前記第１のファン及び前記第２のファンの回転数を制御する制御手段と
を備えたことを特徴とするミニエンバイロメント装置。
【請求項２】
請求項１のミニエンバイロメント装置において、前記筐体がクリーンルーム内に設置されていることを特徴とするミニエンバイロメント装置。
【請求項３】
請求項１のミニエンバイロメント装置において、前記第１のフィルタ及び前記第１のファン、又は前記第２のフィルタ及び前記第２のファンの少なくとも一組がファンフィルタユニットで構成されていることを特徴とするミニエンバイロメント装置。
【請求項４】
吸気口を有する筐体と、
前記吸気口を介して前記筐体内に外界の空気を流入させるファンを有する第１のファンフィルタユニットと、
前記筐体内の空間を区画し、前記筐体内の空間に臨む吸気口を有する隔壁と、
前記隔壁の前記吸気口を介して前記隔壁で画定された清浄室に前記筐体内の空気を流入させるファンを有する第２のファンフィルタユニットと、
前記筐体の外界、前記筐体内の空間、前記清浄室内の圧力をそれぞれ測定する複数の圧力測定手段と、
これら圧力測定手段の圧力の測定値を基に、前記筐体内の圧力の測定値が前記筐体の外界の圧力の測定値よりも設定値だけ高く、さらに前記清浄室内の圧力の測定値が前記筐体内の圧力の測定値よりも設定値だけ高くなるように、前記ファンの回転数を制御する制御手段と
を備えたことを特徴とするミニエンバイロメント装置。
【請求項５】
吸気口を有する清浄室と、
前記清浄室の前記吸気口を介して前記清浄室内に空気を流入させるファンを有する第１のファンフィルタユニットと、
前記清浄室を覆う一又は複数の準清浄室と、
前記準清浄室の吸気口を介して前記準清浄室に空気を流入させるファンを有する第２のファンフィルタユニットと、
前記準清浄室の外界、前記準清浄室内、前記清浄室内の圧力をそれぞれ測定する複数の圧力測定手段と、
これら圧力測定手段の圧力の測定値を基に、前記準清浄室内の圧力の測定値が前記準清浄室の外界の圧力の測定値よりも設定値だけ高く、さらに前記清浄室内の圧力の測定値が前記準清浄室内の圧力の測定値よりも設定値だけ高くなるように、前記ファンの回転数を制御する制御手段と
を備えたことを特徴とするミニエンバイロメント装置。
【請求項６】
吸気口を有する清浄室と、
前記清浄室の前記吸気口を介して前記清浄室内に空気を流入させるファンを有する第１のファンフィルタユニットと、
前記清浄室の少なくとも前記吸気口が臨む準清浄室と、
前記準清浄室の吸気口を介して前記準清浄室に外界の空気を流入させるファンを有する第２のファンフィルタユニットと、
前記準清浄室の外界、前記準清浄室内、前記清浄室内の圧力をそれぞれ測定する複数の圧力測定手段と、
これら圧力測定手段の圧力の測定値を基に、前記準清浄室内の圧力の測定値が前記準清浄室の外界の圧力の測定値よりも設定値だけ高く、さらに前記清浄室内の圧力の測定値が前記準清浄室内の圧力の測定値よりも設定値だけ高くなるように、前記ファンの回転数を制御する制御手段と
を備えたことを特徴とするミニエンバイロメント装置。
【請求項７】
第１の吸気口を有する筐体と、
前記第１の吸気口に設置された第１のフィルタと、
前記第１の吸気口と前記第１のフィルタとを介して前記筐体内に外界の空気を流入させる第１のファンと、
前記筐体内に配置され前記筐体内の空間に臨む第２の吸気口を有する清浄室と、
前記第２の吸気口に配置された第２のフィルタと、
前記第２の吸気口と前記第２のフィルタとを介して前記清浄室に前記筐体内の空気を流入させる第２のファンと、
前記清浄室に設けたシャッターと、
前記清浄室内に配置した光学式検査装置と、
前記筐体内に配置され、前記シャッターの開放時に前記光学式検査装置との間で試料を授受する搬送装置と、
前記筐体の外界の圧力を測定する外部圧力測定手段と、
前記筐体内の圧力を測定する内部圧力測定手段と、
前記清浄室内の圧力を測定する清浄室内圧力測定手段と、
前記内部圧力測定手段による前記筐体内の圧力の測定値が前記外部圧力測定手段による前記筐体の外界の圧力の測定値よりも設定値だけ高く、さらに前記清浄室内圧力測定手段による前記清浄室内の圧力の測定値が前記内部圧力測定手段による前記筐体内の圧力の測定値よりも設定値だけ高くなるように、前記第１のファン及び前記第２のファンの回転数を制御する制御手段と
を備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項８】
第１の吸気口を有する筐体と、
前記第１の吸気口に配置された第１のフィルタと、
前記第１の吸気口と前記第１のフィルタとを介して前記筐体内に外界の空気を流入させる第１のファンと、
前記筐体内に配置した電子顕微鏡と、
前記筐体内に配置され、前記筐体内の空間に臨む第２の吸気口と前記電子顕微鏡との間で授受する試料を載置する試料ステージとを有するロードロック室と、
前記第２の吸気口に配置された第２のフィルタと、
前記第２の吸気口と前記第２のフィルタとを介して前記ロードロック室に前記筐体内の空気を流入させる第２のファンと、
前記ロードロック室に設けたシャッターと、
前記筐体内に配置され、前記シャッターの開放時に前記ロードロック室との間で試料を授受する搬送装置と、
前記筐体の外界の圧力を測定する外部圧力測定手段と、
前記筐体内の圧力を測定する内部圧力測定手段と、
前記ロードロック室内の圧力を測定するロードロック室内圧力測定手段と、
前記内部圧力測定手段による前記筐体内の圧力の測定値が前記外部圧力測定手段による前記筐体の外界の圧力の測定値よりも設定値だけ高く、さらに前記ロードロック室内圧力測定手段による前記ロードロック室内の圧力の測定値が前記内部圧力測定手段による前記筐体内の圧力の測定値よりも設定値だけ高くなるように、前記第１のファン及び前記第２のファンの回転数を制御する制御手段と
を備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項９】
第１の吸気口を有する筐体と、
前記第１の吸気口に配置された第１のフィルタと、
前記第１の吸気口と前記第１のフィルタを介して前記筐体内に外界の空気を流入させる第１のファンと、
前記筐体内に配置した処理室と、
前記筐体内に配置され、前記筐体内の空間に臨む第２の吸気口と前記処理室との間で授受する試料を載置する試料ステージとを有するロードロック室と、
前記第２の吸気口に配置された第２のフィルタと、
前記第２の吸気口と前記第２のフィルタとを介して前記ロードロック室に前記筐体内の空気を流入させる第２のファンと、
前記ロードロック室に設けたシャッターと、
前記筐体内に配置され、前記シャッターの開放時に前記ロードロック室との間で試料を授受する搬送装置と、
前記筐体の外界の圧力を測定する外部圧力測定手段と、
前記筐体内の圧力を測定する内部圧力測定手段と、
前記ロードロック室内の圧力を測定するロードロック室内圧力測定手段と、
前記内部圧力測定手段による前記筐体内の圧力の測定値が前記外部圧力測定手段による前記筐体の外界の圧力の測定値よりも設定値だけ高く、さらに前記ロードロック室内圧力測定手段による前記ロードロック室内の圧力の測定値が前記内部圧力測定手段による前記筐体内の圧力の測定値よりも設定値だけ高くなるように、前記第１のファン及び前記第２のファンの回転数を制御する制御手段と
を備えたことを特徴とする製造装置。
【請求項１０】
第１の吸気口を有する筐体と、
前記第１の吸気口に配置された第１のフィルタと、
前記第１の吸気口と前記第１のフィルタを介して前記筐体内に外界の空気を流入させる第１のファンと、
前記筐体内に配置した処理室と、
前記筐体内に配置され、前記筐体内の空間に臨む第２の吸気口と前記処理室との間で授受する試料を保持する試料保持部とを有する清浄室と、
前記第２の吸気口に配置された第２のフィルタと、
前記第２の吸気口と第２のフィルタとを介して前記清浄室に前記筐体内の空気を流入させる第２のファンと、
前記清浄室に設けたシャッターと、
前記筐体内に配置され、前記シャッターの開放時に前記清浄室との間で試料を授受する搬送装置と、
前記筐体の外界の圧力を測定する外部圧力測定手段と、
前記筐体内の圧力を測定する内部圧力測定手段と、
前記清浄室内の圧力を測定する清浄室内圧力測定手段と、
前記内部圧力測定手段による前記筐体内の圧力の測定値が前記外部圧力測定手段による前記筐体の外界の圧力の測定値よりも設定値だけ高く、さらに前記清浄室内圧力測定手段による前記清浄室内の圧力の測定値が前記内部圧力測定手段による前記筐体内の圧力の測定値よりも設定値だけ高くなるように、前記第１のファン及び前記第２のファンの回転数を制御する制御手段と
を備えたことを特徴とする製造装置。
【請求項１１】
特定の空間内の空気を清浄化する空間の清浄化方法において、
筐体の吸気口に一の集塵フィルタを配置し、前記集塵フィルタを介して外界の空気を送り込み前記筐体内を外界に対して陽圧とし、
前記筐体内の空気を他の集塵フィルタを介して特定の空間に送り込み、当該特定の空間を前記筐体内の空間に対してさらに陽圧として清浄化する
ことを特徴とする空間の清浄化方法。
【請求項１２】
クリーンルーム内に配置される検査装置であって、
第１のファンフィルタユニットを備える筺体と、
前記筐体の内部に配設された第２のファンフィルタユニットを備える筐体と
を備えたことを特徴とする検査装置。