【手続補正書】
【提出日】平成20年7月4日(2008.7.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置及びデバイス製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  原版のパターンを投影して基板を露光する露光装置であって、
前記原版または前記基板を保持して移動可能なステージと、
前記ステージを支持する定盤と、
前記ステージに保持されている前記原版または前記基板の表面の高さ及び傾きを検出する検出手段と、
前記検出手段を支持する架台と、
前記定盤と前記架台とで囲まれた、前記ステージを含む空間の空調を行う空調手段と、
前記空間内に光路を有して前記ステージの位置を計測するレーザ干渉計とを有し、
前記検出手段に含まれる光電検出手段を前記空間の外に配置したことを特徴とする露光装置。
【請求項２】  前記検出手段は、照明光により照明されたパターンを原版または前記基板上に投影する投光光学系と前記基板の前記パターンの像を前記光電検出手段に再結像させる受光光学系とを有し、前記光電検出手段を含む第１の部分とその他の第２の部分とは、瞳面近傍で分割されていることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】  前記光電検出手段は、前記架台に支持されていることを特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。
【請求項４】  前記第１の部分は、前記架台との間に、冷却配管を含むことを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
【請求項５】  前記レーザ干渉計は、前記架台に支持されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の露光装置。
【請求項６】  前記架台に支持され、かつ前記原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の露光装置。
【請求項７】  請求項１乃至６のいずれかに記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、原版のパターンを投影して基板を露光する露光装置に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は、レーザ干渉計の計測精度を改善することを目的としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明の露光装置は、原版のパターンを投影して基板を露光する露光装置であって、前記原版または前記基板を保持して移動可能なステージと、前記ステージを支持する定盤と、前記ステージに保持されている前記原版または前記基板の表面の高さ及び傾きを検出する検出手段と、前記検出手段を支持する架台と、前記定盤と前記架台とで囲まれた、前記ステージを含む空間の空調を行う空調手段と、前記空間内に光路を有して前記ステージの位置を計測するレーザ干渉計とを有し、前記検出手段に含まれる光電検出手段を前記空間の外に配置したことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
つまり、本発明に係る面位置検出装置では、ステージ空調空間外部に発熱源である光電検出手段からなるセンサ部を配置し、特に、センサ部と投光光学系、受光光学系から構成される本体部を、光学的に調整敏感度が低い光学瞳面近傍で分割することが望ましい。こうして、本体部とセンサ部を別配置可能にし、センサ部をステージ空間外部に配置することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、センサ部の土台には、温度制御された液体を循環させる冷却機構を設けたことを特徴としてもよい。こうして、センサ部自体及びセンサ部を固定している部材の熱による機械的な変形を防止している。例えば、センサ部を固定している部材が、下面にてステージ空調空間と接し、レーザ干渉計や面位置検出装置の本体部を固定し、上面にて投影光学系を固定している架台であり、その上面または側面等にセンサ部を固定した場合、センサ部の熱が架台に伝わり、ステージ空調空間における空気の温度ゆらぎや投影光学系や面位置検出装置、レーザ干渉計などの機械的な変形を防止することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
ステージ空間には、検出手段である面位置検出装置７も架台８の下面に固定されており、この露光装置は、投影光学系ＵＬに対するウエハＷの表面の高さ及び傾きを検出し、その検出値が所定のベストフォーカス値（投影光学系の像面の高さを示す所定の司令値）になるように、フォーカス・レベリングステージ２の制御手段（不図示）に検出信号を送ることにより、ウエハＷの露光領域の高さ及び傾きを補正制御している。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
特に、精密計測が必要である面位置検出装置７及びレーザ干渉計６を配置しているステージ空間は、温調エア吹出しフィルタ（不図示）を用いて、ステージ空間全域（空調空間）の温度を吹出し温度とほぼ同じにしてあり、温度勾配に起因する面位置検出装置７及びレーザ干渉計６の光路上の空気の温度ゆらぎ（屈折率の変動）による計測誤差を防いでいる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
本実施形態に係る露光装置は、ステージ空間に発熱源を配置することにより発生する温度ゆらぎを防止することに着目し、ステージ空間に設置される面位置検出装置７の発熱源であるセンサ部２８（光電検出手段２７から構成されている）の配置位置を変更したものであり、以下に本実施形態に係る露光装置に設置される面位置検出装置７の構成を詳細に説明する。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
このように、本実施形態においては、架台８に光路用及び光学部材挿入用の穴を設け、面位置検出装置７の受光光学系は、ミラーを用いて垂直方向に展開し、光学的な調整敏感度が低い瞳面近傍で、第1の部分であるセンサ部２８と、その他の第２の部分である面位置検出手段の本体部（投光光学系、受光光学系）とを分割することによって、光電検出手段２７から構成されるセンサ部２８の配置位置を架台８下面から上面に変更し、センサ部２８の発熱に起因する面位置検出装置７及びレーザ干渉計６の計測誤差を防止している。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
【発明の効果】
本発明によれば、レーザ干渉計の計測精度を改善することができる。