【手続補正書】
【提出日】平成20年3月28日(2008.3.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
光学素子と、
前記基板に対して前記光学素子を部分的に固定する固定手段と、
前記基板と前記光学素子との間に配置され、前記光学素子の表面形状を変化させる力を前記光学素子に加える変形手段とを有し、
前記変形手段は、前記光学素子の背面に接触する棒、および、前記基板に対して前記棒を駆動するアクチュエータを含み、
前記固定手段は、前記光学素子の背面の中央部を固定することを特徴とする光学装置。
【請求項２】
基板と、
光学素子と、
前記基板に対して前記光学素子を部分的に固定する固定手段と、
前記基板と前記光学素子との間に設けられ、前記光学素子の表面形状を変化させる力を前記光学素子に加える変形手段とを有し、
前記変形手段は、前記光学素子の背面に接触する棒、および、前記基板に対して前記棒を駆動するアクチュエータを含み、
前記固定手段は、前記光学素子の側面の少なくとも３箇所を固定することを特徴とする光学装置。
【請求項３】
前記光学素子の波面収差を測定する測定装置と、
前記測定装置の測定結果に基づいて前記アクチュエータの駆動量を算出し、前記変形手段が加える力を制御するための制御部とを有することを特徴とする請求項１または２記載の光学装置。
【請求項４】
前記変形手段は、前記光学素子の表面形状を非対称に変形させることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項記載の光学装置。
【請求項５】
前記変形手段を冷却する冷却手段を更に有することを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか一項記載の光学装置。
【請求項６】
前記変形手段が前記光学素子に加える力によって、前記光学素子の少なくとも一部が変位しないように前記変形手段の前記力を決定して前記変形手段の変形動作を制御する制御部を有することを特徴とする請求項２記載の光学装置。
【請求項７】
前記光学素子の自重による変形を防止する自重補償手段を有することを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか一項記載の光学装置。
【請求項８】
前記自重補償手段は変形手段に沿って同極が対向するように配置された磁石を含むことを特徴とする請求項７記載の光学装置。
【請求項９】
請求項１乃至８のうちいずれか一項記載の光学装置を有することを特徴とする露光装置。
【請求項１０】
請求項１乃至８のうちいずれか一項記載の光学装置の光学素子を含む被検光学系の波面収差を算出するステップと、
前記算出ステップによって算出された前記被検光学系の前記波面収差に基づいて前記光学装置を利用して前記被検光学系を調節するステップと、
前記調節ステップによって調節された前記被検光学系を使用して被露光体を露光するステップとを有することを特徴とする露光方法。
【請求項１１】
請求項９に記載の露光装置を用いて被露光体を露光するステップと、
前記露光された前記被露光体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の一側面としての光学装置は、基板と、光学素子と、前記基板に対して前記光学素子を部分的に固定する固定手段と、前記基板と前記光学素子との間に配置され、前記光学素子の表面形状を変化させる変形力を前記光学素子に加える変形手段とを有し、前記変形手段は、前記光学素子の背面に接触する棒、および、前記基板に対して前記棒を駆動するアクチュエータを含み、前記固定手段は、前記光学素子の背面の中央部を固定することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の別の一側面としての光学装置は、基板と、光学素子と、前記基板に対して前記光学素子を部分的に固定する固定手段と、前記基板と前記光学素子との間に設けられ、前記光学素子の表面形状を変化させる変形力を前記光学素子に加える変形手段とを有し、前記変形手段は、前記光学素子の背面に接触する棒、および、前記基板に対して前記棒を駆動するアクチュエータを含み、前記固定手段は、前記光学素子の側面の少なくとも３箇所を固定することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
固定手段は、本実施例では、円筒形の支持棒１６として具体化されており、ミラー１２をベース１４に部分的に変位不能に固定する。ベース１４は変位しないので、ミラー１２の支持棒１６との接触部１２ｃも変位不能となる。支持棒１６もできるだけ低熱膨張特性を持つ高剛性材料が望ましい。支持棒１６は、ミラー１２の背面１２ｂの中央部に設けられている。本実施例では、図１に点線で示すように、支持棒の中心線と背面１２ｂの中心（重心）とベース１４の中心が例示的に位置合わせされている。ミラー１２の重心は支持棒１６の中心線上にあるためミラー１２にはモーメントが作用しない。なお、本発明は、固定手段の位置、形状、大きさ、数を限定するものではない。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
動作において、制御部３０は、測定装置１０１からの測定結果である波面収差情報に基づいて、メモリ３２からミラー１２の現在の形状など必要な情報を取得して波面収差を補正するのに必要なミラー形状、かかるミラー形状を形成するのに必要なアクチュエータ２４が加えるべき変形力の分布、かかる変形力の分布を形成するのに必要なアクチュエータ２４の駆動力を算出する。制御部３０は、収差補正時にアクチュエータ２４の駆動力分解能又は駆動変位の分解能、安定性、波面収差測定精度、駆動力算出に用いるミラー系の剛性マトリックスの精度などを考慮する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
冷却機構４０は、アクチュエータ２４を冷却する。即ち、アクチュエータ２４の中には発熱により、光学装置１０Ａの中に温度分布が形成するものがある。必要に応じて光学装置１０Ａを温調することで、ミラー１２の熱変形を防止し、光学装置１０Ａの外部の部材への熱の影響を抑えることができる。例えば、アクチュエータ２４がリニアモータ又は電磁石を使用する場合、ミラー１２を所望の形状に変形した後、一定期間に亘って形状を維持する必要から力の印加を継続すると発熱してしまう。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
以下、図４（ａ）及び図４（ｂ）を参照して、本発明の第３の実施例の光学装置１０Ｂについて説明する。ここで、図４（ａ）は、光学装置１０Ｂの上面図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ断面図である。光学装置１０Ｂは、光学装置１０と固定手段において相違する。光学装置１０Ｂの固定手段は、支持棒１６の代わりに、ミラー１２の側面１２ｄに少なくとも３箇所以上固定された固定板１６Ａを有する。光学装置１０Ｂは、光学装置１０よりもミラー１２の固有振動数が高くすることができるという長所がある。図４（ａ）の黒丸は駆動位置を示す駆動点である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
ミラー1を変形させる変形動作のアルゴリズムは次の通りである。ミラー１のからの反射光を波面形状測定器（PMI）で計測し、その波面形状をZernike分解する。Zernikeの第１、２、３項はそれぞれミラーの鉛直方向のシフトに関する量、水平方向での傾きに関する量で、ミラーの姿勢の変化を示すもので、ミラーの姿勢調整に必要な量である。Zernikeの第４次以降の項は光学系の収差補正に必要なミラーの形状成分である。ミラー姿勢調整に必要な駆動力を算出し、その駆動力をミラー形状を変形させるアクチュエータ４に分配し、ミラー形状変形に必要な駆動力と合わせてアクチュエータ４にミラー変形駆動指令値を算出する。この駆動指令値に基づいてミラー変形シミュレーションを行い、ミラー１の姿勢と形状誤差が許容値に入るかどうかを判断し、許容値以下になるとアクチュエータ４に駆動指令値を送り、ミラー１の形状を収差補正に必要な形状に変形させる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
上述の方法により、光学素子の少なくとも一部が変位しない若しくは許容値範囲内で変位するように変形動作を制御して、ミラーの姿勢を保つことができ、且つミラーの変形後の形状誤差を許容値内にすることが可能である。