【手続補正書】
【提出日】平成20年7月31日(2008.7.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層と電極材料の層が交互に複数重ねて積層化され、前記複数の電極材料の層の間の導通を計る複数のスルーホールを備えた積層電気−機械エネルギー変換素子において、
一方の端面には複数のスルーホールと導通する複数の第１の電極を有し、他方の端面に少なくともひとつのスルーホールと導通する第２の電極を有することを特徴とする積層電気−機械エネルギー変換素子。
【請求項２】
前記複数の第１の電極に導通する前記複数のスルーホールの一部が、前記第２の電極と導通することを特徴とする請求項１に記載の積層電気−機械エネルギー変換素子。
【請求項３】
前記第２の電極は、積層電気−機械エネルギー変換素子内部に設けられ機械エネルギーを電気エネルギーに変換して得られる電気的な信号を発生する電極層と導通することを特徴とする請求項１に記載の積層電気−機械エネルギー変換素子。
【請求項４】
第１の弾性体と第２の弾性体の間に積層電気−機械エネルギー変換素子を配置すると共に、前記積層電気−機械エネルギー変換素子の一方の端面と前記第１の弾性体との間に回路基板を配置し、前記第１の弾性体と前記第２の弾性体を締結手段で締結することにより、前記第１の弾性体と前記第２の弾性体の間に前記積層電気−機械エネルギー変換素子と前記回路基板を固定した振動体を備えた振動波駆動装置において、
前記積層電気−機械エネルギー変換素子は、電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層と電極材料の層が交互に複数重ねて積層化されたものであって、前記複数の電極材料の層の間の導通を計る複数のスルーホールと、前記複数のスルーホールと導通する前記第１の弾性体に対向する面に形成された複数の第１の電極と、少なくとも一つのスルーホールと導通する前記第２の弾性体に対向する面に形成された第２の電極を有することを特徴とする振動波駆動装置。
【請求項５】
前記第２の電極は、前記第２の弾性体と接触しており、前記第２の弾性体を介して前記締結手段および前記第１の弾性体と同電位であることを特徴とする請求項４に記載の振動波駆動装置。
【請求項６】
前記複数の第１の電極は、高周波電圧が印加されるための電極と、グランドとして用いられる電極を含むことを特徴とする請求項４に記載の振動波駆動装置。
【請求項７】
前記第２の電極は、グランドとして用いられる電極であることを特徴とする請求項６に記載の振動波駆動装置。
【請求項８】
前記第２の電極は、前記積層電気−機械エネルギー変換素子内部に設けられ機械エネルギーを電気エネルギーに変換して得られる電気的な信号を発生する電極層と導通する電極であることを特徴とする請求項６に記載の振動波駆動装置。
【請求項９】
前記第２の電極は複数存在し、グランドとして用いられる電極と、前記積層電気−機械エネルギー変換素子内部に設けられ機械エネルギーを電気エネルギーに変換して得られる電気的な信号を発生する電極層と導通する電極を含むことを特徴とする請求項６に記載の振動波駆動装置。
【請求項１０】
前記第２の電極のうち前記グランドとして用いられる電極は、前記電気的な信号を発生する電極層と対向する電極層と導通しており、
前記電気的な信号を発生する電極層と対向する電極層は、前記第１の電極のうち前記グランドとして用いられる電極と導通する電極層とは絶縁されていることを特徴とする請求項９に記載の振動波駆動装置。
【請求項１１】
前記積層電気−機械エネルギー変換素子と前記第２の弾性体の間に配置され、前記積層電気−機械エネルギー変換素子の前記第２の電極と導通する回路基板を有することを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか一つに記載の振動波駆動装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
一つは金属ブロックｄ1 ，ｄ2 およびボルトｃが図１２の例では金属板ｂ１〜ｂ６を介して圧電素子の電気的なグランドと導通し同電位になっているのに対し、図１５では積層圧電素子とは導通しておらず、金属ブロックｄ1 ，ｄ2 とボルトｃは電気的に浮いた状態すなわち絶縁された状態になっていた。そのため、図１５の積層圧電素子を用いた振動波モータの場合は浮遊キャパシタンスなどの発生による電気的なノイズの発生が起こったりしていた。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
第１の発明は、電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層と電極材料の層が交互に複数重ねて積層化され、前記複数の電極材料の層の間の導通を計る複数のスルーホールを備えた積層電気−機械エネルギー変換素子において、一方の端面には複数のスルーホールと導通する複数の第１の電極を有し、他方の端面に少なくともひとつのスルーホールと導通する第２の電極を有することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
第２の発明は、上記第１の発明で、前記複数の第１の電極に導通する前記複数のスルーホールの一部が、前記第２の電極と導通することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
第３の発明は、上記第１の発明で、前記第２の電極は、積層電気−機械エネルギー変換素子内部に設けられ機械エネルギーを電気エネルギーに変換して得られる電気的な信号を発生する電極層と導通することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
第４の発明は、第１の弾性体と第２の弾性体の間に積層電気−機械エネルギー変換素子を配置すると共に、前記積層電気−機械エネルギー変換素子の一方の端面と前記第１の弾性体との間に回路基板を配置し、前記第１の弾性体と前記第２の弾性体を締結手段で締結することにより、前記第１の弾性体と前記第２の弾性体の間に前記積層電気−機械エネルギー変換素子と前記回路基板を固定した振動体を備えた振動波駆動装置において、前記積層電気−機械エネルギー変換素子は、電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層と電極材料の層が交互に複数重ねて積層化されたものであって、前記複数の電極材料の層の間の導通を計る複数のスルーホールと、前記複数のスルーホールと導通する前記第１の弾性体に対向する面に形成された複数の第１の電極と、少なくとも一つのスルーホールと導通する前記第２の弾性体に対向する面に形成された第２の電極を有することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
第５の発明は、上記第４の発明で、前記第２の電極は、前記第２の弾性体と接触しており、前記第２の弾性体を介して前記締結手段および前記第１の弾性体と同電位であることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
第６の発明は、上記第４の発明で、前記複数の第１の電極は、高周波電圧が印加されるための電極と、グランドとして用いられる電極を含むことを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
第７の発明は、上記第６の発明で、前記第２の電極は、グランドとして用いられる電極であることを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
第８の発明は、上記第６の発明で、前記第２の電極は、前記積層電気−機械エネルギー変換素子内部に設けられ機械エネルギーを電気エネルギーに変換して得られる電気的な信号を発生する電極層と導通する電極であることを特徴とする。第９の発明は、上記第６の発明で、前記第２の電極は複数存在し、グランドとして用いられる電極と、前記積層電気−機械エネルギー変換素子内部に設けられ機械エネルギーを電気エネルギーに変換して得られる電気的な信号を発生する電極層と導通する電極を含むことを特徴とする。第１０の発明は、上記第９の発明で、前記第２の電極のうち前記グランドとして用いられる電極は、前記電気的な信号を発生する電極層と対向する電極層と導通しており、前記電気的な信号を発生する電極層と対向する電極層は、前記第１の電極のうち前記グランドとして用いられる電極と導通する電極層とは絶縁されていることを特徴とする。第１１の発明は、上記第８乃至第１０の発明で、前記積層電気−機械エネルギー変換素子と前記第２の弾性体の間に配置され、前記積層電気−機械エネルギー変換素子の前記第２の電極と導通する回路基板を有することを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
図９は図７の実施の形態の変形例を示し、この実施の形態の積層圧電素子１′−２が図７の積層圧電素子と異なるのは、電極層７´にスルーホール９” が形成され、該電極層７´を有するグランド層５の直ぐ上の圧電材層には、スルーホール９”に対応してスルーホールが形成されていない点にある。