【手続補正書】
【提出日】平成20年1月23日(2008.1.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】  
【請求項１】 
光源と、
前記光源の点灯装置と、
前記光源と前記点灯装置を接続する金具と、
前記点灯装置と接続しており、前記点灯装置を第１の方向に移動させる第１のユニットと、
前記点灯装置と接続しており、前記点灯装置を前記第１の方向に垂直な第２の方向に移動させる第２のユニットと、
前記点灯装置内に設けられ、前記金具と前記光源とを前記点灯装置に対して相対的に前記第１の方向及び前記第２の方向に垂直な第３の方向に移動させる第３のユニットと
を有することを特徴とする半導体製造装置。
【請求項２】 
光源と、
前記光源の点灯装置と、
前記光源と前記点灯装置を接続する金具と、
前記点灯装置と接続しており、前記光源及び前記点灯装置を第１の方向に移動させる第１のユニットと、
前記点灯装置と接続しており、前記光源及び前記点灯装置を前記第１の方向に垂直な第２の方向に移動させる第２のユニットと、
前記光源からの光を反射する楕円ミラーを、前記光源及び前記点灯装置に対して相対的に前記第１の方向及び前記第２の方向に垂直な第３の方向に移動させる第３のユニットと
を有することを特徴とする半導体製造装置。
【請求項３】 前記光源は、放電ランプであることを特徴とする請求項１または２に記載の半導体製造装置。
【請求項４】前記光源及び前記点灯装置が同一筐体内に取り付けられたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の半導体製造装置。
【請求項５】 前記筐体は、電磁シールドが施されたものであり、
該筐体の構成は、断熱材の間に銅編線を挟み、該銅編線を該筐体の外壁内に通してアースに接続されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の半導体製造装置。
【請求項６】  前記光源及び前記点灯装置を冷却するために外気取り入れ口から冷却エアーを取り込み、前記冷却エアーで前記光源及び前記点灯装置の冷却を行うことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の半導体製造装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
従来、前記半導体製造装置である露光装置について、その露光装置の光源から発せられた露光光はシャッタと呼ばれる遮光装置によって遮光／投光され、それぞれ素子製作に適した適正露光量に制御され、レチクル、レンズを通してウエハ上に露光される。通常、前記露光光の光源を大きくし、大光量の光源に変更して同じ露光量を求めるに際して露光時間を短くし、単位時間あたりのウエハ処理枚数を多くし、生産性をあげ、露光装置自体の生産効率をアップさせようとしていた。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段および作用】
上記目的を達成するために、本発明の半導体製造装置は、光源と、前記光源の点灯装置と、前記光源と前記点灯装置を接続する金具と、前記点灯装置と接続しており、前記点灯装置を第１の方向に移動させる第１のユニットと、前記点灯装置と接続しており、前記点灯装置を前記第１の方向に垂直な第２の方向に移動させる第２のユニットと、前記点灯装置内に設けられ、前記金具と前記光源とを前記点灯装置に対して相対的に前記第１の方向及び前記第２の方向に垂直な第３の方向に移動させる第３のユニットとを有することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の半導体製造装置は、さらに、光源と、前記光源の点灯装置と、前記光源と前記点灯装置を接続する金具と、前記点灯装置と接続しており、前記光源及び前記点灯装置を第１の方向に移動させる第１のユニットと、
前記点灯装置と接続しており、前記光源及び前記点灯装置を前記第１の方向に垂直な第２の方向に移動させる第２のユニットと、前記光源からの光を反射する楕円ミラーを、前記光源及び前記点灯装置に対して相対的に前記第１の方向及び前記第２の方向に垂直な第３の方向に移動させる第３のユニットとを有することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
前記半導体製造装置は、前記光源及び前記点灯装置を冷却するために外気取り入れ口から冷却エアーを取り込み、前記冷却エアーで前記光源及び前記点灯装置の冷却を行うことが可能であり、前記半導体製造装置は、同一外気取り入れ口から冷却エアーを取り込み、前記点灯装置、前記光源の順序で冷却を行うことが好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
上記構成等において、光源ランプを点灯させる点灯装置電源部は、ランプボックス、光源ランプ下部に位置し、本電源部上部にランプを点灯させるスタータ部が点灯装置と一体になって存在する。また、スタータ部自体には、光源ランプを接続するため接続金具があり、本金具を使用して点灯装置電源から光源ランプに電力を給電する。それと同時に、本金具は、ランプを物理的に固定するランプ固定金具として使用でき、位置関係から言えば下からランプ点灯装置電源部、その上にランプ点灯装置スタータ部、その上に光源ランプという位置関係になっている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本点灯装置電源、 スタータ部と光源ランプ接続金具（金属）は、同一金属筐体に内蔵されており、従来存在していた点灯装置電源、 スタータ部と光源ランプを接続するためのケーブルは削除されている。また、発熱という観点から見ると、電源部の発熱と光源ランプの発熱を比較すると、ランプ部の発熱が大きく、電源部分の発熱に比べ数倍の発熱量を有する。このため、電源部分の外壁を冷却した空気をランプ部の冷却に使用することも可能であり、本発明ではランプ部と電源部を一体化したため、同一の冷却装置を使用して電源部の外壁を冷却した空気をそのまま外に排気することなく、その空気をランプ部に送り、ランプ部の冷却に使用し、高温の排気を熱排気管に戻すということを行っている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
前記光源ランプの直接接続によるケーブルの削除、同一の冷却装置（冷却機）の使用を行うことにより、本発明の半導体製造装置の第１の目的であるランプ投入電力の大型化に伴うノイズの発生を従来と同じレベルに、またはそれ以下にし、かつ大型化する装置の設置スペースを従来並、 または減少させ、ケーブルを含めたトータルの装置設置作業を軽減することが可能となる。また、本発明の半導体製造装置の第２の目的である前記冷却装置の効率を向上させ、冷却に使用する電力の削減、省エネルギーを実現することが可能となる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
図２は、図１におけるランプボックス部２を示した図である。図２において、７は光源ランプ自体であり、７−１は光源ランプの陰極、７−２は光源ランプの陽極を示している。前記光源ランプは放電ランプであってもよい。８は光源ランプ７を点灯させるためのスタータ部であり、９はランプ点灯装置電源を示している。前記スタータ部８とランプ点灯装置電源９は一体構造となっている。即ち、光源７と光源点灯装置（前記スタータ部８とランプ点灯装置電源９とから構成される）とは同一筐体内に取り付けられている。１０はランプ点灯装置電源部９を冷却するための冷却装置であり、スタータ部８、ランプ点灯装置電源９の筐体外壁を冷却する。本冷却装置１０の冷却エアーは、筐体外壁を冷却するのみでランプ点灯装置電源部９、スタータ部８内の化学物質で汚れることなく光源ランプ部７に送られる。１１は光源ランプ部７を冷却するランプ冷却装置である。ランプ冷却装置１１は、ランプ点灯装置電源９、スタータ部８の筐体外壁を冷却した空気を光源ランプ７へ送る機能を有している。また、ランプ冷却装置１１の点灯装置電源９、ランプスタータ部８側には、ケミカルフィルタが取り付けてあり、ランプ７の曇り現象を発生させる有機物の除去も行っている。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
図５は、図２における光源ランプ７のＸＹ駆動機構を示した平面図である。通常は光源ランプ７の接続部のみＸ，Ｙ方向に駆動していたが、本実施形態では、スタータ部８、ランプ点灯装置電源部９を一緒に駆動させなければならない。本実施形態の駆動機構の構成について、接続部のみを駆動させる場合と構成的には同じであり、本実施形態に適用したことによる複雑化等の問題は無い。また、機構部が見やすいように、スタータ部８と光源ランプ７を仕切る仕切り板２１を省略している。図５において、スタータ部８は第１の方向であるＸ方向に駆動できるＸガイド２２に接続され、Ｘガイド２２はスタータＸ駆動部２３に接続されている。スタータＸ駆動部２３上には、Ｘ方向に駆動するためのＸ駆動モータ２７が取り付けられており、 ボールネジを使用してＸ駆動を行う。Ｘガイド２２、スタータＸ駆動部２３及びＸ方向に駆動するためのＸ駆動モータ２７は、光源点灯装置を第１の方向に移動させる第１のユニットを構成する。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
上記したスタータＸ駆動部２３は、第２の方向であるＹ方向に駆動できるＹガイド２４に接続され、Ｙガイド２４はスタータＹ駆動部２５に接続されている。スタータＹ駆動部２５上にはＹ方向に駆動するためのＹ駆動モータ２６が取り付けられ、Ｘ方向と同様に、 ボールネジを使用してＹ駆動を行う。Ｙガイド２４、スタータＹ駆動部２５及びＹ方向に駆動するためのＹ駆動モータ２６は、光源点灯装置を第２の方向に移動させる第２のユニットを構成する。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
スタータ部８の内部には、ランプ接続金具２０のみを第３の方向であるＺ方向に駆動するための機構が入っており、Ｚ駆動モータ３０により、ランプ接続金具固定部２９をＺ方向に駆動させる。ランプ接続金具固定部２９とＺ駆動モータ３０とは、ランプ接続金具と光源ランプとをランプ点灯装置に対して相対的に第３の方向に移動させる第３のユニットを構成する。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
図７において、仕切り板２１より下の部分は、図６と同じであるがこの部分から上の部分、 楕円ミラー部２８と仕切り板２１の間にＺ駆動機構を有する。前記楕円ミラー２８には、楕円ミラー固定柱３４が取り付けられ、 楕円ミラー固定柱３４と楕円ミラー固定具３２の間にはＺガイド３５が存在している。また、Ｚ駆動モータＡ３１は、楕円ミラー固定具３２に固定され楕円ミラー固定柱３４とＺ駆動モータＡ３１のボールネジは締結されている。楕円ミラー固定柱３４、楕円ミラー固定具３２、Ｚガイド３５及びＺ駆動モータＡ３１とは、楕円ミラーを、光源ランプ及びランプ点灯装置に対して相対的に第３の方向に移動させる第３のユニットを構成する。これにより、Ｚ駆動モータＡ３１により本ボールネジを駆動することにより、Ｚ方向の駆動を行うことが可能となる。