【手続補正書】
【提出日】平成20年6月2日(2008.6.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ネットワークアナライザと被測定物との間に接続され、対称性を有するフィクスチャの網特性を求める方法であって、
前記被測定物を接続するためのポートが短絡された前記フィクスチャの網特性を前記ネットワークアナライザで測定して第一の網特性を取得するステップと、
前記ポートが開放された前記フィクスチャの網特性を前記ネットワークアナライザで測定して第二の網特性を取得するステップと、
事前に測定された前記フィクスチャの電気長または前記フィクスチャの電気長の定義値を用いて、前記第一の網特性および前記第二の網特性をそれぞれ補正するステップと、
前記フィクスチャの対称性を利用して、前記補正された第一の網特性と前記補正された第二の網特性とから演算により前記フィクスチャの残留インピーダンス成分の網特性を求めるステップと、
を含む方法。
【請求項２】
前記残留インピーダンス成分の網特性を求めるステップを、
次式に基づき実施する、
【数１】
2005331519.tif 000001
ただし、
【数２】
2005331519.tif 000002
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記開放が、前記被測定物の電極間隔で開放されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記フィクスチャの電気長が、以下の（１）から（４）のいずれかの方法により測定されることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の方法。
（１）フィクスチャの電気長を求める方法であって、
前記被測定物を接続するための前記フィクスチャのポートを開放または短絡する第一のステップと、
所定の周波数範囲における前記フィクスチャの位相特性を、前記ネットワークアナライザで測定する第二のステップと、
前記周波数範囲内の第一の測定点における前記測定の結果から前記電気長を求める第三のステップと、
前記測定結果の全てを、前記電気長を用いて補正する第四のステップと、
前記補正された測定結果が最大値を示す周波数と前記補正された測定結果が最小値を示す周波数との中間周波数に対応する第二の測定点における前記測定結果から前記電気長を求めるか、または、前記第二の測定点における前記補正された測定結果から求められる残留電気長を前記電気長に加える第五のステップと、
を含むことを特徴とする方法。
（２）フィクスチャの電気長を求める方法であって、
前記被測定物を接続するための前記フィクスチャのポートを開放または短絡するステップと、
所定の周波数範囲における前記フィクスチャの群遅延特性を、前記ネットワークアナライザで測定するステップと、
前記測定の結果が最大値を示す周波数と前記測定結果が最小値を示す周波数との中間周波数に対応する測定点における前記測定結果から前記電気長を求めるステップと、
を含むことを特徴とする方法。
（３）フィクスチャの電気長を求める方法であって、
前記被測定物を接続するための前記フィクスチャのポートを開放または短絡するステップと、
所定の周波数範囲における前記フィクスチャの位相特性を、前記ネットワークアナライザで測定するステップと、
前記測定された位相についての近似直線の傾きから前記フィクスチャの電気長を求めるステップと、
を含み、
前記測定された位相に対する前記近似直線の誤差の正の最大値の絶対値と、前記誤差の負の最大値の絶対値との差が所定値未満または実質的ゼロである、
ことを特徴とする方法。
（４）フィクスチャの電気長を求める方法であって、
前記被測定物を接続するための前記フィクスチャのポートを開放または短絡するステップと、
所定の周波数範囲における前記フィクスチャの群遅延特性を、前記ネットワークアナライザで測定するステップと、
前記測定された群遅延の最大値と最小値との中間値から前記電気長を求めるステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項５】
ネットワークアナライザまたは前記ネットワークアナライザを制御する装置に、
且つネットワークアナライザと被測定物との間に接続され且つ対称性を有するフィクスチャの、前記被測定物を接続するためのポートが短絡されたときの網特性を前記ネットワークアナライザに測定させ第一の網特性を取得するステップと、
前記ポートが開放されたときの前記フィクスチャの網特性を前記ネットワークアナライザに測定させ第二の網特性を取得するステップと、
事前に測定された前記フィクスチャの電気長または前記フィクスチャの電気長の定義値を用いて、前記第一の網特性および前記第二の網特性をそれぞれ補正するステップと、
前記フィクスチャの対称性を利用して、前記補正された第一の網特性と前記補正された第二の網特性とから演算により前記フィクスチャの残留インピーダンス成分の網特性を求めるステップと、
を実行させるプログラム。
【請求項６】
前記残留インピーダンス成分の網特性を求めるステップを、
次式に基づき実施する、
【数３】
2005331519.tif 000003
ただし、
【数４】
2005331519.tif 000004
ことを特徴とする請求項５に記載のプログラム。
【請求項７】
前記開放が、前記被測定物の電極間隔で開放されることを特徴とする請求項５または請求項６に記載のプログラム。
【請求項８】
前記フィクスチャの電気長が、以下の（１）から（４）のいずれかの方法により測定されることを特徴とする請求項５乃至請求項７のいずれかに記載のプログラム。
（１）フィクスチャの電気長を求める方法であって、
前記被測定物を接続するための前記フィクスチャのポートを開放または短絡する第一のステップと、
所定の周波数範囲における前記フィクスチャの位相特性を、前記ネットワークアナライザで測定する第二のステップと、
前記周波数範囲内の第一の測定点における前記測定の結果から前記電気長を求める第三のステップと、
前記測定結果の全てを、前記電気長を用いて補正する第四のステップと、
前記補正された測定結果が最大値を示す周波数と前記補正された測定結果が最小値を示す周波数との中間周波数に対応する第二の測定点における前記測定結果から前記電気長を求めるか、または、前記第二の測定点における前記補正された測定結果から求められる残留電気長を前記電気長に加える第五のステップと、
を含むことを特徴とする方法。
（２）フィクスチャの電気長を求める方法であって、
前記被測定物を接続するための前記フィクスチャのポートを開放または短絡するステップと、
所定の周波数範囲における前記フィクスチャの群遅延特性を、前記ネットワークアナライザで測定するステップと、
前記測定の結果が最大値を示す周波数と前記測定結果が最小値を示す周波数との中間周波数に対応する測定点における前記測定結果から前記電気長を求めるステップと、
を含むことを特徴とする方法。
（３）フィクスチャの電気長を求める方法であって、
前記被測定物を接続するための前記フィクスチャのポートを開放または短絡するステップと、
所定の周波数範囲における前記フィクスチャの位相特性を、前記ネットワークアナライザで測定するステップと、
前記測定された位相についての近似直線の傾きから前記フィクスチャの電気長を求めるステップと、
を含み、
前記測定された位相に対する前記近似直線の誤差の正の最大値の絶対値と、前記誤差の負の最大値の絶対値との差が所定値未満または実質的ゼロである、
ことを特徴とする方法。
（４）フィクスチャの電気長を求める方法であって、
前記被測定物を接続するための前記フィクスチャのポートを開放または短絡するステップと、
所定の周波数範囲における前記フィクスチャの群遅延特性を、前記ネットワークアナライザで測定するステップと、
前記測定された群遅延の最大値と最小値との中間値から前記電気長を求めるステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項９】
請求項５乃至請求項８のいずれかに記載のプログラムを実行する制御装置が内蔵されるか、外部接続されることを特徴とするネットワークアナライザ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
まず、境界面Ｐ１において１ポート校正によりベクトル校正を行う（ステップＳ１０）。具体的には、オープン標準器およびショート標準器およびロード標準器を順番にコネクタ２１２に接続し、測定部１１０に反射測定を実施させ、得られた３つの測定結果を基に演算制御部１２０に誤差モデルを解かせて、補正用のデータを得る。得られた補正用データはメモリ１３０に格納される。これにより、境界面Ｐ１は、校正面となる。次に、フィクスチャ３００ａの電気長成分ＳＤを求める（ステップＳ２０）。ここで求められる電気長成分ＳＤは、残留インピーダンス成分ＳＺの周波数−位相特性に現れるリップルが０°（開放時）または１８０°（短絡時）を中心にして振幅するような値（または行列）、または、残留インピーダンス成分ＳＺの周波数−群遅延特性に現れるリップルがゼロ秒を中心にして振幅するような値（または行列）が求められる。このリップルは、ネットワークアナライザ１００からの進行波と測定面Ｐ２からの反射波が干渉することにより生じるものである。ネットワークアナライザ１００内における方向性結合器（不図示）の不完全性もリップルを生じさせる要因である。次に、フィクスチャ３００ａの残留インピーダンス成分ＳＺを求める（ステップＳ３０）。なお、フィクスチャ３００ａの全体的な特性ＳＦは、電気長成分ＳＤと残留インピーダンス成分ＳＺとの合成により表現される。このようにして得られたフィクスチャ３００ａの特性は、以後の測定結果を補正するためのデータに反映される（ステップＳ４０）。具体的には、ディエンベディング機能やポート延長補正機能で用いられる補正用データとして、フィクスチャ３００ａの特性ＳＦ（もしくはＳＤとＳＺのそれぞれ）がメモリ１３０に書き込まれる。または、校正時に作成された補正用データにフィクスチャ３００ａの特性ＳＦ（もしくはＳＤとＳＺのそれぞれ）を合成する。そして、フィクスチャ３００ａを介して測定されるＤＵＴ４００の特性を測定部１１０に測定させ、演算制御部１２０に上記の補正用データに基づいて測定結果を補正させる（ステップＳ５０）。その結果、ＤＵＴ４００の真の特性により近い値が求められる。なお、フィクスチャ３００ａの全体的な特性ＳＦを求めることが目的である場合、つまり、フィクスチャ３００ａの電気長成分ＳＤの正確な値を必要としない場合、ステップ２０でフィクスチャ３００ａの電気長成分ＳＤを実測する代わりに、フィクスチャ３００の設計情報からフィクスチャ３００ａの電気長成分ＳＤの定義値を導出し、それをフィクスチャ３００ａの電気長成分ＳＤとしても、ステップ２０以後の処理を実施しても良い。さて、上記の一連の処理（ステップＳ１０〜ステップＳ５０）は、フィクスチャ３００ａのみならず、フィクスチャ３００ｂおよび３００ｃについても実施される。フィクスチャ３００ｂおよび３００ｃについても実施する場合、対象となるＤＵＴポートが、フィクスチャ３００ａについて実施する場合とは異なるが、そのような変更は当業者であれば容易に想像されるので、ここでは詳述しない。