【手続補正書】
【提出日】平成19年12月5日(2007.12.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検体の屈折率分布を測定する測定方法であって、
参照プレートと反射プレートとの間に前記被検体を配置し、前記参照プレートからの反射光と前記反射プレートからの反射光との干渉縞を基に、第１の位相分布を測定する第１のステップと、
前記参照プレートと前記反射プレートとの間に前記被検体を配置せずに、前記参照プレートからの反射光と前記反射プレートからの反射光との干渉縞を基に、第２の位相差分布を測定する第２のステップと、
前記参照プレートと前記反射プレートとの間に前記被検体を配置し、前記参照プレートからの反射光と前記被検体の第１の面からの反射光との干渉縞を基に、第３の位相差分布を測定する第３のステップと、
前記参照プレートと前記反射プレートとの間に前記被検体を配置し、前記参照プレートからの反射光と前記被検体の第２の面からの反射光との干渉縞を基に、第４の位相差分布を測定する第４のステップと、
前記第１の位相差分布、前記第２の位相差分布、前記第３の位相差分布及び前記第４の位相差分布を基に、前記被検体の屈折率分布を導出する導出ステップとを有し、
前記第１のステップにおける前記反射プレート上の光の位置と、前記第２のステップにおける前記反射プレート上の光の位置とを一致させ、
前記第１のステップにおける前記被検体の前記第１の面上の光の位置と、前記第３のステップにおける前記被検体の前記第１の面上の光の位置とを一致させ、
前記第１のステップにおける前記被検体の前記第２の面上の光の位置と、前記第４のステップにおける前記被検体の前記第２の面上の光の位置とを一致させることを特徴とする測定方法。
【請求項２】
前記導出ステップでは、前記第１の位相差分布をＷ２、前記第２の位相差分布をＷ１、前記第３の位相差分布をＷ３、前記第４の位相差分布をＷ４、前記被検体の屈折率をｎとして、｛ｎ（Ｗ２−Ｗ１）−（ｎ−１）（Ｗ４−Ｗ３）｝に代入し、前記被検体の屈折率分布を導出することを特徴とする請求項１記載の測定方法。
【請求項３】
前記参照プレートと前記反射プレートとの間に前記被検体を配置し、前記参照プレートからの反射光と前記被検体の第１の面からの反射光との干渉縞を基に、第５の位相差分布を測定する第５のステップ、を更に有し、
前記第４のステップにおける前記被検体の第１の面上の光の位置と、前記第５のステップにおける前記被検体の第１の面上の光の位置とを一致させ、
前記導出ステップでは、前記第１の位相差分布、前記第２の位相差分布、前記第３の位相差分布、前記第４の位相差分布及び前記第５の位相差分布を基に、前記被検体の屈折率分布を導出することを特徴とする請求項１記載の測定方法。
【請求項４】
前記導出ステップでは、前記第１の位相差分布をＷ２、前記第２の位相差分布をＷ１、前記第３の位相差分布をＷ３、前記第４の位相差分布をＷ４、前記第５の位相差分布をＷ５、前記被検体の屈折率をｎとして、｛ｎ（Ｗ２−Ｗ１）−（ｎ−１）（Ｗ４−Ｗ３）−（ｎ−１）（ｎ−１）（Ｗ５−Ｗ３）｝に代入し、前記被検体の屈折率分布を導出することを特徴とする請求項３記載の測定方法。
【請求項５】
参照プレートからの参照光と反射プレートからの被検光とを干渉させ、被検体の屈折率分布を測定する測定方法であって、
第１の基準プレートと第２の基準プレートとの間に緩挿させた前記被検体を、前記参照プレートと前記反射プレートとの間に配置し、前記被検体を含む透過波面を測定する第１の測定ステップと、
互いに張り合わせた前記第１のプレート及び前記第２のプレートを、前記参照プレートと前記反射プレートとの間に配置し、前記被検体を含まない透過波面を測定する第２の測定ステップとを有し、
前記第１の測定ステップにおける前記第１の基準プレート、前記第２の基準プレート及び前記反射プレート上での光の位置と、前記第２の測定ステップにおける前記第１の基準プレート、前記第２の基準プレート及び前記反射プレート上での光の位置とを一致させることを特徴とする測定方法。
【請求項６】
前記被検体の前記第１の面と前記第２の面とは、非平行であることを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか一項記載の測定方法。
【請求項７】
被検体の屈折率分布を測定する測定装置であって、
請求項１乃至６のうちいずれか一項記載の測定方法を行うことを特徴とする測定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】測定方法及び測定装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての測定方法は、被検体の屈折率分布を測定する測定方法であって、参照プレートと反射プレートとの間に前記被検体を配置し、前記参照プレートからの反射光と前記反射プレートからの反射光との干渉縞を基に、第１の位相分布を測定する第１のステップと、前記参照プレートと前記反射プレートとの間に前記被検体を配置せずに、前記参照プレートからの反射光と前記反射プレートからの反射光との干渉縞を基に、第２の位相差分布を測定する第２のステップと、前記参照プレートと前記反射プレートとの間に前記被検体を配置し、前記参照プレートからの反射光と前記被検体の第１の面からの反射光との干渉縞を基に、第３の位相差分布を測定する第３のステップと、前記参照プレートと前記反射プレートとの間に前記被検体を配置し、前記参照プレートからの反射光と前記被検体の第２の面からの反射光との干渉縞を基に、第４の位相差分布を測定する第４のステップと、前記第１の位相差分布、前記第２の位相差分布、前記第３の位相差分布及び前記第４の位相差分布を基に、前記被検体の屈折率分布を導出する導出ステップとを有し、前記第１のステップにおける前記反射プレート上の光の位置と、前記第２のステップにおける前記反射プレート上の光の位置とを一致させ、前記第１のステップにおける前記被検体の前記第１の面上の光の位置と、前記第３のステップにおける前記被検体の前記第１の面上の光の位置とを一致させ、前記第１のステップにおける前記被検体の前記第２の面上の光の位置と、前記第４のステップにおける前記被検体の前記第２の面上の光の位置とを一致させることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明の別の側面としての測定方法は、参照プレートからの参照光と反射プレートからの被検光とを干渉させ、被検体の屈折率分布を測定する測定方法であって、第１の基準プレートと第２の基準プレートとの間に緩挿させた前記被検体を、前記参照プレートと前記反射プレートとの間に配置し、前記被検体を含む透過波面を測定する第１の測定ステップと、互いに張り合わせた前記第１のプレート及び前記第２のプレートを、前記参照プレートと前記反射プレートとの間に配置し、前記被検体を含まない透過波面を測定する第２の測定ステップとを有し、前記第１の測定ステップにおける前記第１の基準プレート、前記第２の基準プレート及び前記反射プレート上での光の位置と、前記第２の測定ステップにおける前記第１の基準プレート、前記第２の基準プレート及び前記反射プレート上での光の位置とを一致させることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明の更に別の側面としての測定装置は、被検体の屈折率分布を測定する測定装置であって、上述の測定方法を行うことを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】