(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ランドおよびグルーブの両方を記録トラックとして基板上に有し、
前記基板のグルーブ側面の傾斜角が２５°以上、４０°以下で、かつ前記基板のランド面およびグルーブ面の算術平均粗さ（Ｒａ）がいずれも０．２〜０．７ｎｍであり、
情報の再生が磁気的な超解像（ＭＳＲ）を用いて行われる光情報記録媒体。
【請求項２】
前記光情報記録媒体は、第１の誘電体層、信号記録・再生層および第２の誘電体層を基板上に備えてなるものである請求項１記載の光情報記録媒体。
【請求項３】
前記光情報記録媒体は、光磁気記録層を有する信号記録・再生層を基板上に備えてなるものである請求項１記載の光情報記録媒体。
【請求項４】
前記光情報記録媒体は、熱拡散層を備えてなるものである請求項２または３に記載の光情報記録媒体。
【請求項５】
前記ランド面の算術平均粗さ（Ｒａ）と前記グルーブ面の算術平均粗さ（Ｒａ）の差が０．２ｎｍ以下である請求項１記載の光情報記録媒体。
【請求項６】
ランドおよびグルーブの両方を記録トラックとして有する、情報の再生が磁気的な超解像（ＭＳＲ）を用いて行われる光情報記録媒体用基板を転写作製し、
前記グルーブ側面に対応する原盤面の傾斜角が２５°以上、４０°以下で、かつ前記ランド面および前記グルーブ面に対応する原盤面の算術平均粗さ（Ｒａ）がいずれも０．２〜０．７ｎｍである光情報記録媒体用原盤。
【請求項７】
ランドおよびグルーブの両方を記録トラックとして有する、情報の再生が磁気的な超解像（ＭＳＲ）を用いて行われる光情報記録媒体用基板を転写作製する光情報記録媒体用原盤素材表面にランド−グルーブ形状を作製する工程と、
前記ランド−グルーブ形状が形成された原盤素材表面をプラズマエッチング処理して前記グルーブ側面に対応する原盤面の傾斜角を２５°以上、４０°以下とし、かつ前記ランド面および前記グルーブ面に対応する原盤面の算術平均粗さ（Ｒａ）をいずれも０．２〜０．７ｎｍとする工程とを備える光情報記録媒体用原盤の製造方法。
【請求項８】
前記プラズマエッチング処理工程におけるプラズマ発生ガスがＡｒ、Ｎ２、ＨｅまたはＯ２である請求項７記載の光情報記録媒体用原盤の製造方法。
【請求項９】
前記ランド面に対応する原盤面の算術平均粗さ（Ｒａ）と、前記グルーブ面に対応する原盤面の算術平均粗さ（Ｒａ）の差を０．２ｎｍ以下とする請求項７記載の光情報記録媒体用原盤の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光情報記録媒体に関し、さらに詳しくはランドおよびグルーブの両方を記録トラックとして有する光情報記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
書き換え可能でリムーバブルな光情報記録媒体（以下、光ディスクと略す）は、パソコン用ファイルメモリなどとして、広く用いられるようになっている。そのニーズに応えるために、記録容量を増加させるための様々な技術が開発されている。記録容量を高める方法としては、半径方向と周方向に記録密度を高める手法がある。
【０００３】
半径方向に記録密度を高める方法として、ランド（平坦部分）・グルーブ（溝部分）の双方を記録トラックとして使用するランド・グルーブ記録フォーマットがある。この方法は従来、ランドもしくはグルーブの一方のみを記録トラックとしてきたものを、双方とも記録トラックとして用いることにより、記録密度を高める方法である。
【０００４】
このランド・グルーブ記録方法においては、ランドおよびグルーブそれぞれ単独での信号品質であるＣＮＲ（Ｃａｒｒｉｅｒ  ｔｏ  Ｎｏｉｓｅ  Ｒａｔｉｏ）や、ジッタ（Ｊｉｔｔｅｒ）、あるいはクロストークが問題となるばかりでなく、隣接するトラックに記録された信号間の、即ちランドに隣接するグルーブからのクロストーク、あるいはグルーブに隣接するランドに記録された信号からのクロストークの影響が表れる。
【０００５】
また一般に、ランド・グルーブ記録においては、再生レーザの入射面から見て凹面であるランドトラックと、凸面であるグルーブトラックとの間でクロストークの特性に差が見られる。そして、ランドからグルーブへ漏れ込む信号量とグルーブからランドへ漏れ込む信号量とに差異があって、それらに留意しながら複雑な設計がなされているのが現状である。
また、ランドおよびグルーブが記録トラックとして隣接しているために、ＣＮＲやジッタの現象も、より複雑になる。
【０００６】
一方、周方向に記録密度を高めていく手法として、磁気的超解像（ＭＳＲ＝Ｍａｇｎｅｔｉｃａｌｌｙ  Ｉｎｄｕｃｅｄ  Ｓｕｐｅｒ  Ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ）がある。これは、再生光の回折限界よりも微細に記録された記録マークを、上層（いわゆる再生層）に磁気的に形成された開口を通して読み出す技術である。これによって、回折限界以下で隣接するマークを、分離して読み出すことが可能になる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このランド・グルーブ記録と上記ＭＳＲを組み合わせた場合、ランド・グルーブ双方のトラックにおけるクロストークとジッタおよびＭＳＲの磁気的な特性とは、トレードオフの関係となっていて、全てを同時に満足させる設計手法、あるいは最適設計の手法がなく、解決が困難な問題であった。部分的には例えばクロストークはランド・グルーブ間の傾斜角に関係し、ジッタおよびＭＳＲの磁気的な特性はランド・グルーブの面粗度（表面粗さ）とパターンの形状に起因することが予想されていた。しかしながら、それらについての最適な組合せ、あるいは制御可能なパラメータは得られていなかった。
【０００８】
また、そのような最適な組合せが得られていなかったため、該光情報記録媒体を製造するための光情報記録媒体用原盤およびその製造方法も得られていなかった。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑みてなされてものであって、その目的は、ランド・グルーブ両方を記録トラックとする信号品質の高い光情報記録媒体を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、以下に述べる本発明に係る光情報記録媒体、光情報記録媒体用原盤およびその製造方法によって達成される。
【００１１】
即ち請求項１に係る光情報記録媒体は、ランドおよびグルーブの両方を記録トラックとして基板上に有し、前記基板のグルーブ側面の傾斜角が２５°以上、４０°以下で、かつ前記基板のランド面およびグルーブ面の算術平均粗さ（Ｒａ）がいずれも０．２〜０．７ｎｍであり、情報の再生が磁気的な超解像（ＭＳＲ）を用いて行われる。
このような構成の光情報記録媒体は、良好な信号品質特性、即ち良好なジッタ、消去磁界特性、クロストーク特性を有する。また、このような構成の光情報記録媒体は、ＭＳＲの使用により、より高密度な記録を良好な信号品質特性で行うことができる。
なお、本発明において、上記算術平均粗さ（Ｒａ）は、粗さ曲線から、その平均線の方向に基準長さＬだけ抜き取り、その抜き取り部分の平均線から測定曲線までの偏差の絶対値を計算し、平均した値であり、下記式で求められる。また本明細書では、この算術平均粗さ（Ｒａ）を面粗度と記載することがある。
【００１２】
【数１】
0004147753.tif 000002
【００１３】
請求項１に記載の光情報記録媒体では、前記ランド面の算術平均粗さ（Ｒａ）と、前記グルーブ面の算術平均粗さ（Ｒａ）の差が０．２ｎｍ以下であることが望ましい（請求項５）。このような構成による光情報記録媒体は、ランド−グルーブ間における磁気的バランスが良くなり、良好な信号品質特性を有する。
【００１４】
また請求項６に係る発明は、ランドおよびグルーブの両方を記録トラックとして基板上に有する、情報の再生が磁気的な超解像（ＭＳＲ）を用いて行われる光情報記録媒体用基板を転写作製し、該グルーブ側面に対応する原盤面の傾斜角が２５°以上、４０°以下で、かつ該ランド面および該グルーブ面に対応する原盤面の算術平均粗さ（Ｒａ）がいずれも０．２〜０．７ｎｍである。
このような構成の光情報記録媒体の原盤によって良好な信号品質を有する光情報記録媒体を複製することができる。
【００１５】
請求項７に係る光情報記録媒体用原盤の製造方法は、ランドおよびグルーブの両方を記録トラックとして有する、情報の再生が磁気的な超解像（ＭＳＲ）を用いて行われる光情報記録媒体用基板を転写作製する光情報記録媒体用原盤素材表面にランド−グルーブ形状を作製する工程と、該ランド−グルーブ形状が形成された原盤素材表面をプラズマエッチング処理して該グルーブ側面に対応する原盤面の傾斜角を２５°以上、４０°以下とし、かつ該ランド面および該グルーブ面に対応する原盤面の算術平均粗さ（Ｒａ）をいずれも０．２〜０．７ｎｍとする工程とを備えたものである。
このような光情報記録媒体の原盤の製造方法によって、良好な信号品質特性を有する光情報記録媒体を複製し得る光情報記録媒体用原盤が製造可能となる。
【００１６】
また、請求項７記載の光情報記録媒体用原盤の製造方法は、プラズマエッチング処理工程におけるプラズマ発生ガスがＡｒ、Ｎ2、ＨｅまたはＯ2であることが望ましい（請求項８）。また、請求項７に記載の光情報記録媒体用原盤の製造方法では、ランド面に対応する原盤面の算術平均粗さ（Ｒａ）と、グルーブ面に対応する原盤面の算術平均粗さ（Ｒａ）の差を０．２ｎｍ以下とすることが望ましい（請求項９）。
このような光情報記録媒体の原盤の製造方法によって、ランド面とグルーブ面の面粗度をバランスよく整えることができ、良好な信号品質特性を有する光情報記録媒体を複製する光情報記録媒体用原盤を作製できる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明の光情報記録媒体（光ディスクと略すことがある）は、グルーブ（溝）とランドとの両方を記録トラックとして基板上に有し、該基板の裏面側からレーザ光を照射して記録および再生を行う構成をなすものである。
【００１８】
以下、本発明の光ディスクの１例を図面を参照して説明するが、本発明の光ディスクは実施の形態や実施例に限定されるものではない。即ち、本発明の光ディスクは記録トラックとして基板上にグルーブとランドが形成されてなるものであれば適用可能である。例えば、光磁気ディスクの他、記録信号に応じた所定の微細凹凸パターンが信号記録層に形成された再生専用の光ディスクでもよく、相変化型あるいは色素を用いた光ディスクなどでもよい。
【００１９】
第１の実施の形態（請求項１）
図１は、本実施の形態による光情報記録媒体１（以下光ディスクと略す）の部分切り欠き斜視図である。本発明の光ディスク１は、記録信号の記録および再生を複数回行うことができるものであり、例えば、ディスクカートリッジ（図示せず）に収納されて、記録再生装置（図示せず）に対して着脱自在に用いられる。
【００２０】
本発明の光ディスク１は図２に示すように、透明ディスク基板２上に、第１の誘電体層３，信号記録・再生層４，第２の誘電体層５，熱拡散層６が順次積層されて形成される。信号記録・再生層４は再生層、中間層そして記録層からなる。
【００２１】
透明ディスク基板２は、図３に示すように、断面が溝状のグルーブ２ａおよび断面が台形状のランド２ｂが、円周方向にスパイラル状に形成されている。そして、光ディスク１は、グルーブ２ａおよびランド２ｂに沿って、信号の記録および再生が行われるよう構成されている。
【００２２】
透明ディスク基板２においては、グルーブ２ａに沿って、記録信号の記録再生が行われる記録用トラックが形成されている。
そして、本発明に係る透明ディスク基板２においては、グルーブおよびランドの両方における信号記録を行う。
【００２３】
図４は、図３におけるランド−グルーブ形状の拡大断面を模式的に示す図である。図４においてＲａＬはランド面の算術平均粗さ（Ｒａ）、ＲａＧはグルーブ面の算術平均粗さ（Ｒａ）を示し、θは、グルーブ側面が透明ディスク基板２の水平面となす角である。ここで、このグルーブ側面傾斜角θは２５°以上４０°以下であり、かつ上記ＲａＬおよびＲａＧはいずれも０．２〜０．７ｎｍである。
【００２４】
また、本実施の形態においては、上記構成の光ディスク１において、情報の再生は磁気的な超解像（ＭＳＲ）を用いた（請求項１）。
【００２５】
以上のように構成された透明ディスク基板２上に、図２に示すように、第１の誘電体層３，信号記録・再生層４，第２の誘電体層５，熱拡散層６を常法により順次形成して光ディスク１を作製した。
ここで各層の厚さは、基板は１．２ｍｍ、第１の誘電体層３は８０ｎｍとした。信号記録・再生層４は再生層４０ｎｍ、中間層３０ｎｍそして記録層５０ｎｍからなる。また、第２の誘電体層５は２０ｎｍ，熱拡散層６は１０ｎｍとした。
【００２６】
光ディスク１を構成する信号記録・再生層４は、本実施の形態においては、光磁気記録層を備える。光磁気記録層は単層で形成されていてもよく、あるいは多層構造で形成されても良い。又、信号記録・再生層４には、透明ディスク基板２のグルーブ２ａ−ランド２ｂの凹凸形状が転写されている。
【００２７】
実験は、表１に示すような面粗度（算術平均粗さ（Ｒａ））および傾斜角を有するディスク基板を用いた試験例１、試験例２、および試験例３について行った。膜構成は全て同一である。
【００２８】
【表１】
0004147753.tif 000003
【００２９】
図５乃至７はこれらの３点での実験結果を示すグラフである。
図５は各例のジッタの特性を示し、図６は消去磁界特性を示し、そして図７はパワーマージン特性を示す。ここで、パワーマージン特性はクロストークの発生しにくさを結果的に表す。実験条件については、全項目に共通の条件として、読み取りレーザ光の波長は６５０ｎｍ、ＮＡは０．５５、線速度は毎秒７．５ｍである。
【００３０】
ジッタに関する実験は、以下のステップで行った。
１．ランド（グルーブ）とその両端のグルーブ（ランド）の記録を消去する。
２．ランド（グルーブ）に最適条件でランダム記録を行い、最適条件で再生してジッタを測定する（最適条件とは、ジッタの値が最小になる条件）。
実験結果は、図５に示した通りである。
【００３１】
消去磁界特性の実験は、以下のステップで行った。
１．ランド（グルーブ）とその両端のグルーブ（ランド）の記録を消去する。
２．ランド（グルーブ）に最適パワーで記録する。
３．最適再生パワーで再生しジッタを計測する（これをジッタ６００とおく）。
４．最大消去磁界（６００Ｏｅ）で消去後、最適パワーで記録する。
５．消去磁界（３００Ｏｅ）で消去後、最適パワーで記録する。
６．最適再生パワーで再生しジッタを計測する（これをジッタ３００とおく）。
７．消去率を（ジッタ３００／ジッタ６００）で計測する。
実験結果は、図６に示す通りである。
【００３２】
パワーマージン特性についての実験は、以下のステップで行った。
１．ランド（グルーブ）とその両端のグルーブ（ランド）の記録を消去する。
２．ランド（グルーブ）に最適条件で記録する。
３．両端のグルーブ（ランド）に最適記録パワーの５％アップで記録する。
４．Ｒａｄｉａｌ  Ｔｉｌｔ＝３．５ｍｒａｄ、Ｄｅｔｒａｃｋ＝ＴｒａｃｋＰｉｔｃｈの５％をシフトさせて、以下を計測する。
５．ランド（グルーブ）にて再生パワーを変化させて再生し、ジッタを測定する。
６．ジッタの立下がり（Ｐｒｍｉｎ）から、ジッタの立ち上がり（Ｐｒｍａｘ）を計測する。
７．Ｐｒｍａｒｇｉｎ
＝｛（Ｐｒｍａｘ−Ｐｒｍｉｎ）／Ｐｒｍｉｎ）｝×１００（％）
をＸＴマージンとする。
８．ジッタの立上がり、立下がりはジッタ値が１１％を切ったときの値とする。
その実験結果は、図７に示す通りである。
【００３３】
図５乃至７の実験結果を考察する。ジッタについては、図５に示すように、試験例１および試験例２におけるランド・グルーブのジッタについては、そのランド・グルーブ双方のジッタが調和的に低く抑えられていることが分かる。
【００３４】
それに反して、試験例３では、グルーブでのジッタは低いもののランドでのジッタは高く、両方の調和がとれているとはいえない。このようなアンバランスなジッタ特性は、ランドおよびグルーブの両方を記録トラックとして使用するのには適していない。試験例１においてはランドの面粗度が向上（算術平均粗さ（Ｒａ）が減少）して、グルーブの面粗度（算術平均粗さ（Ｒａ））とのバランスが良くなったためと考えられる。
【００３５】
図６が示す消去磁界特性を見ると、試験例１および試験例２はランド、およびグルーブとも試験例３よりも低く抑えられていることが分かる。この原因、即ちプラズマエッチングによってランド部は面粗度が向上したが、グルーブにおいては面粗度が悪化（算術平均粗さ（Ｒａ）が増大）したのにも関わらず消去特性が向上した原因についての詳細は不明であるが、磁化反転が容易な面状態になったために消去特性が向上したと推測される。
【００３６】
図７はパワーマージン特性を示し、クロストークに対する抵抗力を示す。傾斜角θは一般には、より緩やかになることによって、そのクロストークが増加して読み取り特性が低下する、即ちパワーマージンが低下すると推測される。しかし、試験例１および試験例２，３の実験結果によると、傾斜角２５°、４０°では悪化せずに維持された。そして、ランド・グルーブ双方のバランスがとれているといえる。但し、試験例２の１９°では大幅に悪化した。以上の結果を定性的にまとめると、以下の表２のようになる。
【００３７】
【表２】
0004147753.tif 000004
【００３８】
以上の実験から、試験例１によると、記録面の形状、即ち透明ディスク基板の形状を制御することによって、光ディスクの磁気的な特性において以下のような効果を得ることができることが分かった。
１．ランド部のジッタが向上すると共に、ランド・グルーブ双方間のバランスが良くなる。
２．ランド部、グルーブ部ともに消去磁界特性が向上する。
３．ランド部およびグルーブ部のクロストーク特性を悪化させずに維持できる。
【００３９】
即ち、本発明に係る実施の形態によって、基板面のグルーブおよびランド形状の制御によって、今まで困難であったランド、グルーブ双方トラックのクロストークとジッタおよび磁気的な性能を同時に満足することが可能となった。
【００４０】
第２の実施の形態（請求項６、請求項７）
本発明による光情報記録媒体１は、前記したような形状を有する透明ディスク基板２を用いることで作製できるが、このディスク基板は次に述べるような光情報記録媒体用原盤を製造し、使用することで得ることができる。成型後の光ディスクの形状（傾斜角・面粗度）も、スタンパ（原盤）の相似形となるからである
【００４１】
即ち、光情報記録媒体用原盤の製造方法は、ランドおよびグルーブの両方を記録トラックとして有する光情報記録媒体の基板を転写作製する光情報記録媒体用原盤の製造方法であって、原盤素材表面にランド−グルーブ形状を作製する工程と、該ランド−グルーブ形状が形成された原盤素材表面をプラズマエッチング処理して該グルーブ側面の傾斜角を２５°以上、４０°以下とし、かつ該ランド面および該グルーブ面の算術平均粗さ（Ｒａ）をいずれも０．２〜０．７ｎｍとする工程とを備えたことを特徴とする。
【００４２】
この光情報記録媒体用原盤の製造方法を、図８を参照しながら述べる。この方法は、以下のステップからなる。
まず、原盤作製のもとになるガラス板１０の表面を研磨、洗浄し（図８（ａ）、ガラス板１０の表面にレジスト１１を塗布する（図８（ｂ））。ついで、レジスト１１の面に対して、トラックの形状が残るように、レーザビーム１７で露光してカッティングを行い（図８（ｃ））、レジスト１１を現像して洗浄し、表面にレジスト残部１２による凹凸状のトラックが形成されたガラス板１８が出来上がる（図８（ｄ））。
【００４３】
このガラス板１８のトラック面に、ニッケルメッキを施すための準備として、例えばスパッタリング無電解メッキなどによって薄いニッケル膜１３を付着させて、表面を導体化させ（図８（ｅ））、その上にニッケルメッキを施してニッケルメッキ層１４を形成する（図８（ｆ））。
そのニッケルメッキ層１４をガラス板１８から剥離させ、洗浄および裏面研磨を行い、ニッケル製の原盤１５が出来上がる（図８（ｇ），図８（ｈ））。このニッケルの原盤１５の表面全面にわたって、プラズマエッチング処理を行う（図８（ｉ））。
【００４４】
本実施の形態における原盤素材表面にランド−グルーブ形状を作製する工程（第１工程と略す）は、上記図８（ａ）から（ｈ）のステップである。このステップについては、公知技術で様々な方法が可能である。ここで述べたニッケルメッキによる方法はその１つである。また、原盤素材は上記のニッケル材に限定されない。
【００４５】
第１工程で出来上がったニッケル原盤１５の特徴は、そのランド面が面状態の粗いレジスト表面にメッキされているため、面粗度が粗いことである。即ち図９にその模式的断面図を示すように、ランド面はグルーブ面よりも粗い状態であって、面粗度のバランスがとれていない。ここで得た光ディスクは従来例であり、前述表１，２における比較例２に相当する。
【００４６】
本発明では図８（ｉ）に示すように、ランド−グルーブ形状が形成された原盤素材表面を、さらにプラズマエッチング処理する。この工程（第２工程と称す）によって、グルーブ側面の傾斜角を２５°以上、４０°以下とし、かつランド面およびグルーブ面の算術平均粗さ（Ｒａ）をいずれも０．２〜０．７ｎｍとする。
【００４７】
本実施の形態においては、プラズマエッチング処理として平行平板型で基板陰極設置タイプの装置を用いた。使用したプラズマエッチングガスは、Ａｒガスである。試験例１および試験例２についての、ＲＦパワー、Ａｒガス圧、処理時間はそれぞれ、１５０Ｗ、１０Ｐａ、３min（試験例１）、および１５０Ｗ、１０Ｐａ、５min（試験例２）である。この条件のニッケル膜のエッチングレートは約１０ｎｍ／ｍｉｎであり、測定は原子間力顕微鏡（ＡＦＭ＝Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を用いた。
【００４８】
実験の結果を図１０および図１１に示す。図１０は、本実施例によるプラズマエッチング時間と傾斜角の関係を示すグラフであり、図１１は本実施例によるプラズマエッチング時間と、ランド面およびグルーブ面の面粗度すなわち、算術平均粗さ（Ｒａ）との関係を示すグラフである。
【００４９】
図１０に示すように、グルーブ面の傾斜角θは、異方性エッチングにおけるエッチング速度の角度依存性により、処理時間と共に鈍化していく。初期状態は４０°（図１０のＣの部分、試験例３）であるが、例えば試験例１の３分では約２５°（図１０のＡの部分）であり、試験例２の５分では１９°（図１０のＢの部分）である。
【００５０】
図１１において、ＡL点、ＢL点、ＣL点はそれぞれ試験例１、試験例２、試験例３におけるランド部の算術平均粗さ（Ｒａ）を示し、ＡG点、ＢG点、ＡG点はそれぞれ試験例１、試験例２、試験例３におけるグルーブ部の算術平均粗さ（Ｒａ）を示す。図１１に示すように、上記算術平均粗さ（Ｒａ）は基本的に、イオンの衝撃で悪化（増大）していく方向にある。しかし、ランド面は第１工程において、面状態の粗いレジスト表面にメッキされて形成されたため、初期状態においては粗い。そのため、プラズマ処理の初期においては算術平均粗さ（Ｒａ）は向上（減少）する。つまり、粗かった初期状態のランド面の算術平均粗さ（Ｒａ）は、プラズマエッチングによって一時的に減少する。その後、そのままプラズマエッチングを続けると、プラズマエッチングの効果によって表面は荒れていく、即ちランド面の算術平均粗さ（Ｒａ）は単調増加的に増大する。
【００５１】
そのため、一定時間経過後にエッチングを停止して、ランド面とグルーブ面とで、算術平均粗さ（Ｒａ）が相互に近づいた状態にとどめるのが、クロストーク特性の向上など信号品質の向上に資することになる。このようにプラズマエッチング法を用いてランド面・グルーブ面の面粗度を制御でき、そのような面粗度の制御が信号品質を向上させ得る。
【００５２】
なお、上記実施の形態ではＡｒガスによるプラズマエッチングを用いたが、他のガス種、例えばＮ2 、Ｈｅ、Ｏ2 を用いることもできる。
【００５３】
以上により作製した試験例１のディスクと、試験例２および３のディスクの特性との比較は、前述の表２に示した通りである。即ち試験例１はエッチング時間が３分で、傾斜角２５°であり、グルーブ・ランド面ともに面粗度は低く抑えられてバランスがとれている。そのため、ジッタなどの信号品質は良好である。
【００５４】
試験例３は、本発明におけるプラズマエッチング処理を施されていない状態のため、傾斜角は大きく、かつランド・グルーブ面の面粗度のバランスはとれていない。そのため、クロストーク特性には優れるものの、ジッタと磁気消去特性は不良である。
【００５５】
試験例２は、本発明におけるエッチング処理時間を５分間としたため、傾斜角が１９°となり、そのため、クロストーク特性が落ちた。
【００５６】
【発明の効果】
以上詳細に説明したとおり、本発明による光情報記録媒体、および光情報記録媒体用原盤とその製造方法によれば、次のような効果を奏することができる。
請求項１に係る光情報記録媒体によって、ランド・グルーブ両面における記録が、その記録品質を低下させずに可能となった。即ち、ランド・グルーブ両面の関連するジッタ、消去磁気およびパワーマージン特性を好適にバランスさせ、しかも、信号記録膜の性質に関係なく形状のみによってそれらを向上させることができる。本発明の光情報記録媒体は、周方向に記録密度を高めるＭＳＲ方式において特にその効果が発揮される。
【００５７】
請求項６〜９に係る光情報記録媒体用原盤およびその製造方法によれば、上記の記録媒体の大量生産が可能となり、またプラズマエッチングを用いることによって面粗度の制御が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による光情報記録媒体の一例の部分切り欠き斜視図である。
【図２】本発明による光情報記録媒体の一例の模式的断面図である。
【図３】本発明による光情報記録媒体の透明ディスク基板の部分模式斜視図である。
【図４】本発明による光情報記録媒体の透明ディスク基板の部分模式断面図である。
【図５】実施例１、比較例１および２のジッタ特性を示すグラフである。
【図６】実施例１、比較例１および２の消去磁界特性を示すグラフである。
【図７】実施例１、比較例１および２のパワーマージン特性を示すグラフである。
【図８】本発明による光情報記録媒体用原盤の製造方法を示す工程断面図である。
【図９】従来例による光情報記録媒体の透明ディスク基板の部分模式断面図である。
【図１０】本発明による光情報記録媒体用原盤の製造工程におけるプラズマエッチング時間とグルーブ側面傾斜角の関係を示すグラフである。
【図１１】本発明による光情報記録媒体用原盤の製造工程におけるプラズマエッチング時間と、ランド面およびグルーブ面の算術平均粗さ（Ｒａ）との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１…光情報記録媒体、２…透明ディスク基板、２ａ…グルーブ面、２ｂ…ランド面、θ…グルーブ側面傾斜角、３…第１の誘導体層、４…信号記録・再生層、５…第２の誘導体層、６…熱拡散層、１０…ガラス基板、１１…レジスト層、１５…光情報記録媒体用原盤
【図１】
0004147753.tif 000005
【図２】
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【図３】
0004147753.tif 000007
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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