【手続補正書】
【提出日】平成20年1月23日(2008.1.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロ波帯域の基本周波数を有する方形波状のスイッチ信号を発生するスイッチ信号発生部と、
前記スイッチ信号に基づいてＥ級スイッチング電力増幅を行って増幅信号を出力するスイッチング電力増幅部と、
該スイッチング電力増幅部に増幅用の駆動電圧を可変的に供給することができる可変電圧供給部と、
前記増幅信号から前記スイッチ信号の基本周波数と同じ周波数の正弦波信号を取り出してマイクロ波として出力するためのマイクロ波選択部と、
前記マイクロ波を検出する出力信号検出部と、
該出力信号検出部の検出結果に基づいて前記可変電圧供給部を制御する駆動電圧制御部と、
を備えたことを特徴とするマイクロ波発生装置。
【請求項２】
マイクロ波帯域の基本周波数を有する方形波状のスイッチ信号を発生するスイッチ信号発生部と、
前記スイッチ信号に基づいてＥ級スイッチング電力増幅を行って増幅信号を出力するスイッチング電力増幅部と、
該スイッチング電力増幅部に増幅用の駆動電圧を可変的に供給することができる可変電圧供給部と、
前記増幅信号から前記スイッチ信号の基本周波数と同じ周波数の正弦波信号を取り出してマイクロ波として出力するためのマイクロ波選択部と、
前記正弦波信号によって生ぜしめられたプラズマの発光を検出する光検出部と、
前記光検出部の検出結果に基づいて前記可変電圧供給部を制御する駆動電圧制御部と、
を備えたことを特徴とするマイクロ波発生装置。
【請求項３】
前記マイクロ波選択部は、高Ｑ値を有するバンドパスフィルタまたは共振器よりなることを特徴とする請求項１または２記載のマイクロ波発生装置。
【請求項４】
前記バンドパスフィルタは、表面弾性波フィルタ、チューブラフィルタ、ウェーブガイドフィルタ、ランプドエレメントフィルタ及びキャビティフィルタよりなる群より選択される１つよりなることを特徴とする請求項３記載のマイクロ波発生装置。
【請求項５】
マイクロ波帯域の基本周波数を有する方形波状のスイッチ信号を発生するスイッチ信号発生部と、
前記スイッチ信号に基づいてＥ級スイッチング電力増幅を行って増幅信号を出力するスイッチング電力増幅部と、
該スイッチング電力増幅部に増幅用の駆動電圧を可変的に供給することができる可変電圧供給部と、
前記増幅信号によって生ぜしめられたプラズマの発光を検出する光検出部と、
前記光検出部の検出結果に基づいて前記可変電圧供給部を制御する駆動電圧制御部と、
を備えたことを特徴とするマイクロ波発生装置。
【請求項６】
前記スイッチング電力増幅部は、ＨＥＭＴ及び／又はＨＢＴよりなることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のマイクロ波発生装置。
【請求項７】
前記基本周波数は、２．４５ＧＨｚであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のマイクロ波発生装置。
【請求項８】
前記請求項１乃至７のいずれかに記載のマイクロ波発生装置と、
該マイクロ波発生装置に伝送路を介して接続されたマッチング回路と、
該マッチング回路に伝送路を介して接続されてマイクロ波を放射するアンテナ部と、
を備えたことを特徴とするマイクロ波供給装置。
【請求項９】
前記アンテナ部は、前記マイクロ波発生装置から供給されるマイクロ波に対して高Ｑ値となるように設定されていることを特徴とする請求項８記載のマイクロ波供給装置。
【請求項１０】
真空引き可能になされた処理容器と、
被処理体を載置するために前記処理容器内に設けられた載置台と、
前記処理容器内へ所定のガスを供給するためのガス供給手段と、
前記処理容器内にマイクロ波を導入してプラズマを立てるための請求項８または９に記載されたマイクロ波供給装置と、
装置全体を制御する装置制御手段と、
を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項１１】
マイクロ波帯域の基本周波数を有する方形波状のスイッチ信号をＥ級スイッチング電力増幅して増幅信号を形成し、該増幅信号から前記スイッチ信号の基本周波数と同じ周波数の正弦波信号を取り出してマイクロ波として出力するようにしたマイクロ波発生方法において、
前記マイクロ波を検出すると共に、該検出値に基づいて前記Ｅ級スイッチング電力増幅を行う際の増幅用の駆動電圧を可変的に制御するようにしたことを特徴とするマイクロ波発生方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項１に係る発明は、マイクロ波帯域の基本周波数を有する方形波状のスイッチ信号を発生するスイッチ信号発生部と、前記スイッチ信号に基づいてＥ級スイッチング電力増幅を行って増幅信号を出力するスイッチング電力増幅部と、該スイッチング電力増幅部に増幅用の駆動電圧を可変的に供給することができる可変電圧供給部と、前記増幅信号から前記スイッチ信号の基本周波数と同じ周波数の正弦波信号を取り出してマイクロ波として出力するためのマイクロ波選択部と、前記マイクロ波を検出する出力信号検出部と、該出力信号検出部の検出結果に基づいて前記可変電圧供給部を制御する駆動電圧制御部と、を備えたことを特徴とするマイクロ波発生装置である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
このように、マイクロ波帯域の基本周波数を有する方形波状のスイッチ信号に基づいて、スイッチング電力増幅部でＥ級スイッチング電力増幅を行い、この増幅動作の時に駆動電圧を可変的に制御し、得られた増幅信号からマイクロ波選択部において上記スイッチ信号の基本周波数と同じ周波数の正弦波信号を取り出してマイクロ波として出力することができる。
従って、従来用いられていたＡ級、或いはＡＢ級動作と比較して、動作効率が高く、しかも装置自体も小型化されて低コストで、バランス調整も不要にできる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項２に係る発明は、マイクロ波帯域の基本周波数を有する方形波状のスイッチ信号を発生するスイッチ信号発生部と、前記スイッチ信号に基づいてＥ級スイッチング電力増幅を行って増幅信号を出力するスイッチング電力増幅部と、該スイッチング電力増幅部に増幅用の駆動電圧を可変的に供給することができる可変電圧供給部と、前記増幅信号から前記スイッチ信号の基本周波数と同じ周波数の正弦波信号を取り出してマイクロ波として出力するためのマイクロ波選択部と、前記正弦波信号によって生ぜしめられたプラズマの発光を検出する光検出部と、前記光検出部の検出結果に基づいて前記可変電圧供給部を制御する駆動電圧制御部と、を備えたことを特徴とするマイクロ波発生装置である。
この場合、例えば請求項３に規定するように、前記マイクロ波選択部は、高Ｑ値を有するバンドパスフィルタまたは共振器よりなる。
また例えば請求項４に規定するように、前記バンドパスフィルタは、表面弾性波フィルタ、チューブラフィルタ、ウェーブガイドフィルタ、ランプドエレメントフィルタ及びキャビティフィルタよりなる群より選択される１つよりなる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項５に係る発明は、マイクロ波帯域の基本周波数を有する方形波状のスイッチ信号を発生するスイッチ信号発生部と、前記スイッチ信号に基づいてＥ級スイッチング電力増幅を行って増幅信号を出力するスイッチング電力増幅部と、該スイッチング電力増幅部に増幅用の駆動電圧を可変的に供給することができる可変電圧供給部と、前記増幅信号によって生ぜしめられたプラズマの発光を検出する光検出部と、前記光検出部の検出結果に基づいて前記可変電圧供給部を制御する駆動電圧制御部と、を備えたことを特徴とするマイクロ波発生装置である。
このように、マイクロ波帯域の基本周波数を有する方形波状のスイッチ信号に基づいて、Ｅ級スイッチング電力増幅部でスイッチング電力増幅を行い、この増幅動作の時に駆動電圧を可変的に制御し、得られた増幅信号をマイクロ波として出力することができる。
従って、従来用いられていたＡ級、或いはＡＢ級動作と比較して、動作効率が高く、しかも装置自体も小型化されて低コストで、バランス調整も不要にできる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項１１に係る発明は、マイクロ波帯域の基本周波数を有する方形波状のスイッチ信号をＥ級スイッチング電力増幅して増幅信号を形成し、該増幅信号から前記スイッチ信号の基本周波数と同じ周波数の正弦波信号を取り出してマイクロ波として出力するようにしたマイクロ波発生方法において、前記マイクロ波を検出すると共に、該検出値に基づいて前記Ｅ級スイッチング電力増幅を行う際の増幅用の駆動電圧を可変的に制御するようにしたことを特徴とするマイクロ波発生方法である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明に係るマイクロ波発生装置、マイクロ波供給装置、プラズマ処理装置及びマイクロ波発生方法によれば、次のように優れた作用効果を発揮することができる。
請求項１〜４、６〜１１に係る発明によれば、マイクロ波帯域の基本周波数を有する方形波状のスイッチ信号に基づいて、スイッチング電力増幅部でＥ級スイッチング電力増幅を行い、この増幅動作の時に駆動電圧を可変的に制御し、得られた増幅信号からマイクロ波選択部において上記スイッチ信号の基本周波数と同じ周波数の正弦波信号を取り出してマイクロ波として出力することができる。
従って、従来用いられていたＡ級、或いはＡＢ級動作と比較して、動作効率が高く、しかも装置自体も小型化されて低コストで、バランス調整も不要にできる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項５に係る発明によれば、マイクロ波帯域の基本周波数を有する方形波状のスイッチ信号に基づいて、スイッチング電力増幅部でＥ級スイッチング電力増幅を行い、この増幅動作の時に駆動電圧を可変的に制御し、得られた増幅信号をマイクロ波として出力することができる。
従って、従来用いられていたＡ級、或いはＡＢ級動作と比較して、動作効率が高く、しかも装置自体も小型化されて低コストで、バランス調整も不要にできる。