【手続補正書】
【提出日】平成20年6月16日(2008.6.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  センサ躯体に薄膜ダイアフラムと該薄膜ダイアフラムに接した圧力検出用の空隙を形成され、前記薄膜ダイアフラムの撓み量から当該圧力検出用空隙に導入された圧力を検出する圧力センサにおいて、
前記センサ躯体に形成された圧力導入部と前記圧力検出用空隙を結んで当該圧力導入部から前記圧力検出用空隙へ圧力を導入させるための導圧通路を前記センサ躯体に形成され、前記導圧通路の一部に、当該導圧通路が前記圧力検出用空隙及び前記圧力導入部と接する部分の開口面積より断面積が大きなバッファ空間が形成されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】  前記バッファ空間の容積は、センサ応答周波数が、検出圧力域の周波数より高く、かつ、圧力ノイズの周波数より低くなるように定められていることを特徴とする、請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】  前記センサ応答周波数が、検出圧力域の最大周波数の１.５倍以上となるようにしたことを特徴とする、請求項２に記載の圧力センサ。
【請求項４】  前記センサ躯体は第１の基板と第２の基板を貼り合わせて形成され、前記圧力検出用空隙及び前記バッファ空間は第１の基板の表面に凹設されると共に第２の基板によって覆われていることを特徴とする、請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項５】  前記バッファ空間は、前記圧力検出用空隙よりも深く凹設されていることを特徴とする、請求項４に記載の圧力センサ。
【請求項６】  前記圧力導入部は、内部側の開口面積よりも外部側の開口面積が広くなっていることを特徴とする、請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項７】  前記バッファ空間は、前記圧力導入部と接する位置に設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項８】  前記バッファ空間は、前記導圧通路の途中に設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項９】  導圧通路によって連結された複数の圧力検出用空隙を有し、前記バッファ空間が圧力導入部から最初の圧力検出用空隙に至る導圧通路に設けたことを特徴とする、請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項１０】  導圧通路によって連結された複数の圧力検出用空隙を有し、前記バッファ空間が圧力導入部から延びた導圧通路が各圧力検出用空隙に分岐する前の位置に設けたことを特徴とする、請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項１１】  請求項１に記載した圧力センサと、当該圧力センサの圧力信号を電気信号に変換する変換回路と、当該電気信号から血圧値を演算する演算回路とを備えたことを特徴とする血圧計。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
しかして、ダイアフラム５の外面に圧力Ｐ１（例えば、基準圧力）が加わり、圧力導入部６及び導圧通路７を通じて導入された圧力Ｐ２がダイアフラム５の内面に印加されると、その圧力差Ｐ２−Ｐ１によってダイアフラム５が変形する。この変形によって、ダイアフラム５とドーピング領域３の間の距離が変わり、ダイアフラム５とドーピング領域３の間の静電容量が変化するので、その容量変化から圧力差又は圧力を検出することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【発明の開示】
本発明は、上記従来例の欠点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、圧力センサの他の特性に大きな影響を与えたり、小型化の妨げになったりすることなく、圧力変化に対する圧力センサの応答性を精度良く制御することができる圧力センサを提供することにある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明にかかる圧力センサは、センサ躯体に薄膜ダイアフラムと該薄膜ダイアフラムに接した圧力検出用の空隙を形成され、前記薄膜ダイアフラムの撓み量から当該圧力検出用空隙に導入された圧力を検出する圧力センサにおいて、前記センサ躯体に形成された圧力導入部と前記圧力検出用空隙を結んで当該圧力導入部から前記圧力検出用空隙へ圧力を導入させるための導圧通路を前記センサ躯体に形成され、前記導圧通路の一部に、当該導圧通路が前記圧力検出用空隙及び前記圧力導入部と接する部分の開口面積より断面積が大きなバッファ空間が形成されていることを特徴としている。なお、このバッファ空間の容積は、当該バッファ空間と圧力検出用空隙の間における導圧通路の容積よりも大きくなっていることが望ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の圧力センサにあっては、圧力導入部と圧力検出用空隙を結ぶ導圧通路の一部に、導圧通路が圧力検出用空隙及び圧力導入部と接する部分の開口面積より断面積が大きなバッファ空間を設けているので、導圧通路を伝達する圧力（気体の流れ）は当該空間で遅延し、一時的ないし瞬間的な圧力変化が発生した場合には、その圧力変化は当該空間で吸収され、薄膜ダイアフラムに伝わるのを阻害される。従って、導圧通路に前記空間を形成することで導圧通路に圧力のローパスフィルタの機能を持たせることができる。そして、当該空間の断面積や容積を調整することにより圧力伝達の遅延の程度を制御することができ、圧力センサの応答周波数やカットオフ周波数を精度よく制御することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明にかかる圧力センサの実施の態様によれば、センサ応答周波数が検出圧力域の周波数より高く、かつ、圧力ノイズの周波数より低くなるように前記バッファ空間の容積を定めているので、圧力ノイズの影響を受けることなく、検出圧力又はその変動周波数を精度良く検出することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明にかかる圧力センサの別な実施の態様によれば、前記センサ躯体を第１の基板と第２の基板の貼り合わせで形成し、前記圧力検出用空隙及び前記バッファ空間を第１の基板の表面に凹設すると共に第２の基板によって覆っているので、第１の基板の表面に加工し、その後第１の基板に第２の基板を接合させて第２の基板で覆うだけで圧力検出用空隙と前記バッファ空間を形成することができ、製造工程を簡略にすることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
さらに、この実施態様において、前記バッファ空間の深さを前記圧力検出用空隙よりも深くすれば、前記バッファ空間の幅を広くすることなく、前記バッファ空間の断面積を圧力検出用空隙の断面積よりも大きくすることができ、前記バッファ空間の占有面積が広くならないので、圧力センサの小型化に寄与する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明にかかる圧力センサのさらに別な実施の形態によれば、前記バッファ空間を前記圧力導入部と接する位置に設けてもよく、前記導圧通路の途中に設けてもよい。いずれの場合も、前記バッファ空間は圧力検出用空隙に隣接しないので、バッファ空間によって圧力センサの特性が影響を受けにくくなる。また、前者のように前記バッファ空間を圧力導入部と接する位置に設ければ、導圧通路を前記バッファ空間の片側にだけ設ければよく、圧力センサの小型化に寄与する。また、後者のように前記バッファ空間を導圧通路の途中に設ければ、圧力導入部から塵などが侵入したとしても、当該バッファ空間で捕らえられて圧力検出用空隙まで達しにくく、塵などによるセンサ特性への影響を低減させることができる。なお、圧力導入部と接する位置に前記バッファ空間を設ける場合、圧力導入部と前記バッファ空間がセンサ躯体の厚み方向に並ぶようにすれば、両者の配置バッファ空間を小さくでき、圧力センサを小型化できる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、本発明にかかる圧力センサのさらに別な実施の形態によれば、導圧通路によって連結された複数の圧力検出用空隙を有し、前記バッファ空間が圧力導入部から最初の圧力検出用空隙に至る導圧通路に設けているので、前記バッファ空間を設ける箇所を減らして圧力センサを小型化することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
同様に、本発明にかかる圧力センサのさらに別な実施の形態によれば、導圧通路によって連結された複数の圧力検出用空隙を有し、前記バッファ空間が圧力導入部から延びた導圧通路が各圧力検出用空隙に分岐する前の位置に設けているので、前記バッファ空間を設ける箇所を減らして圧力センサを小型化することができる。