【手続補正書】
【提出日】平成20年3月14日(2008.3.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
全長の変化、もしくは、変位出力部の移動により、第１の軸の方向に駆動変位を発生する駆動手段と、
前記駆動変位を取り出すために前記第１の軸の方向と直交する第２の軸の方向に延伸する変位取り出し手段と、
前記変位取り出し手段の変位を前記第１及び第２の軸の方向と直交する第３の軸の方向に変換する方向変換手段と、から成り、
前記方向変換手段は前記駆動手段に対して前記第２の軸の方向に配置されたことを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記方向変換手段は前記第１の軸の方向において略対称形状に構成される請求項１記載の駆動装置。
【請求項３】
前記方向変換手段は前記第１の軸の方向において非対称形状に構成され、
前記駆動手段は前記第１の軸の方向の一端が前記駆動装置の固定部に実質的に固定されるとともに、前記方向変換手段は前記第１の軸の方向において前記駆動手段の固定部とは反対側に配置される請求項１記載の駆動装置。
【請求項４】
前記方向変換手段は略同一形状の２組のリンク機構から成り、
前記２組のリンク機構は前記駆動手段を挟んで互いに反対側に配置される請求項１から３のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項５】
前記変位取り出し手段は前記第１の軸の方向に略平行移動する請求項１、２及び４のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項６】
前記変位取り出し手段は前記第２の軸まわりに回動変位する請求項１、２及び３のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項７】
前記変位取り出し手段は前記第３の軸まわりに回動変位する請求項１又は２記載の駆動装置。
【請求項８】
前記変位取り出し手段と方向変換手段は実質上単一の部材から製作される請求項１から６のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項９】
前記変位取り出し手段と方向変換手段は個別の部材から製作されたのち、結合される請求項１、２及び７の-いずれかに記載の駆動装置。
【請求項１０】
光学要素と、
前記光学要素の近傍に配置された請求項１から９のいずれかに記載の駆動装置と、
前記駆動装置を保持する筐体と、
前記駆動装置の制御手段と、を備えたことを特徴とする光学要素駆動装置。
【請求項１１】
光学要素を駆動する光学要素駆動装置であって、
全長の変化、もしくは、変位出力部の移動により、光軸と直交する第１の軸の方向に駆動変位を発生する駆動手段と、
前記駆動変位を取り出すために前記第１の軸及び光軸の両方向と直交する第２の軸の方向に延伸する変位取り出し手段と、
前記変位取り出し手段の変位を前記光軸に平行な第３の軸の方向に変換する方向変換手段と、から成り、
前記方向変換手段は前記駆動手段に対して前記第２の軸の方向に配置されたことを特徴とする駆動装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
上記の課題を解決するために、本発明の駆動装置は、全長の変化、もしくは、変位出力部の移動により、第１の軸の方向に駆動変位を発生する駆動手段と、
前記駆動変位を取り出すために前記第１の軸の方向と直交する第２の軸の方向に延伸する変位取り出し手段と、前記変位取り出し手段の変位を前記第１及び第２の軸の方向と直交する第３の軸の方向に変換する方向変換手段と、から成り、前記方向変換手段は前記駆動手段に対して前記第２の軸の方向に配置されたことを特徴とする。
さらに本発明の駆動装置は、光学要素を駆動する光学要素駆動装置であって、全長の変化、もしくは、変位出力部の移動により、光軸と直交する第１の軸の方向に駆動変位を発生する駆動手段と、前記駆動変位を取り出すために前記第１の軸及び光軸の両方向と直交する第２の軸の方向に延伸する変位取り出し手段と、前記変位取り出し手段の変位を前記光軸に平行な第３の軸の方向に変換する方向変換手段と、から成り、前記方向変換手段は前記駆動手段に対して前記第２の軸の方向に配置されたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
図１から図６は、本発明の実施例１の駆動装置に係わる図である。本発明の実施例１の駆動装置１１０は、全長の変化、もしくは、変位出力部の移動により、第１の軸の方向に駆動変位を発生する駆動手段と、前記駆動変位を取り出すために前記第１の軸の方向と直交する第２の軸の方向に延伸する変位取り出し手段と、前記変位取り出し手段の変位を前記第１及び第２の軸の方向と直交する第３の軸の方向に変換する方向変換手段と、から成り、前記方向変換手段は前記駆動手段に対して前記第２の軸の方向に配置される。
さらに、本発明の実施例１の駆動装置１１０は、前記方向変換手段は前記第１の軸の方向において略対称形状に構成される。
さらに、本発明の実施例１の駆動装置１１０は、前記方向変換手段は略同一形状の２組のリンク機構から成り、前記２組のリンク機構は前記駆動手段を挟んで互いに反対側に配置される。
さらに、本発明の実施例１の駆動装置１１０は、前記変位取り出し手段は前記第１の軸の方向に略平行移動する。
さらに、本発明の実施例１の駆動装置１１０は、前記変位取り出し手段と方向変換手段は実質上単一の部材から製作される。
さらに、本発明の実施例の光学要素駆動装置は、光学要素と、前記光学要素の近傍に配置された前記駆動装置と、前記駆動装置を保持する筐体と、前記駆動装置の制御手段と、を備える。
図２は、本発明が適用される半導体露光装置の概略構成を示す図である。この半導体露光装置は、スリット照明下でレチクルをスキャン駆動し、これに同期して半導体ウェハをスキャン駆動しながら露光動作を行なう、スキャナ式露光装置である。図２において、投影光学系１（投影レンズ１）は本発明の駆動装置を搭載し、所定の光学パワーを有したレンズ、このレンズの駆動装置、及びこれらを収納する固定鏡筒で構成されたものを個々のレンズユニットとし、複数のレンズユニットが積層されて１本の投影光学系を構成する。鏡筒マウント２は投影光学系１を露光装置本体３に固定するためのもので、設置地面の振動が投影光学系１に伝達しないよう、本体３と鏡筒マウント２は除振機構を介して締結される。
照明ユニット４は、原版となるレチクル５を種々の照明モードにて照明可能に構成される。レチクルステージ６はレチクル５をスキャン駆動する装置である。レチクル架台７はレチクルステージ６を鏡筒マウント３に固定するものである。半導体ウェハ８は感光剤が塗布され、ウェハステージ９は半導体ウェハ８を保持するものである。ウェハステージ９は半導体ウェハ８の光軸方向の位置調整を行なうとともに、レチクルステージ６のスキャン動作に同期して半導体ウェハ８をスキャン制御する。レンズ制御手段１０は所定の制御フローに従って本発明の駆動装置を制御する。具体的には、気圧センサ等の各種センサ情報に基づいて計算された結果、及びあらかじめ記憶されたプログラムに基づいて、所定のレンズを調整駆動することで、投影光学系１の光学性能を最適化する。詳しくは図６及び図７にて説明する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
図１は本発明の実施例１の駆動装置１１０の詳細図で、図３に示した駆動装置１１０の詳細構造を示したものである。
図１（ａ）はレンズの光軸方向上方から俯瞰した平面図で、Ｘ軸及びＹ軸を図示のように定義する。  図１（ｂ）はレンズ中心から見た側面図で、Ｘ軸及びＺ軸を図示のように定義する。  図１（ｃ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線で切断した断面図である。以上の図１において、固定鏡筒１０１は平坦部を示している。駆動装置本体１１１は、単一の金属ブロックから、ワイヤ放電加工及び切削加工にて形成されたリンク機構を構成する。光軸と直交する第１の軸の方向に駆動変位を発生する駆動手段である積層型ピエゾアクチュエータ１１２は、電歪素子と電極が交互に積層された駆動源が密閉型円筒容器内に封入され、前記第１の軸であるＸ軸方向の全長が印加電圧に略比例して増加する。ピエゾ調整ネジ１１３はアクチュエータ１１２の寸法誤差を補正するためもので、駆動装置本体１１１とアクチュエータ１１２の間に介在される。駆動装置取付ネジ１１４は、固定鏡筒１０１の裏面より駆動装置本体１１１をネジ締結する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
図４は駆動装置本体１１１からピエゾアクチュエータ１１２とピエゾ調整ネジ１１３を取り除いたリンク機構の詳細を示したもので、図４（ａ）は平面図、図４（ｂ）は斜視図である。図１と図４を用いて駆動装置本体１１１の製作方法を説明する。まず母材となる金属ブロックから、図４（a）及び（ｂ）に示したリンク機構の最外形を形成する面、及び図４（ａ）に示した機構の底部１１１ｗをフライス加工にて除去する。続いてこのフライス加工で残った底部１１１ＷのコーナーＲ部を除去するために、底部穴１１１ｐをワイヤ放電加工で形成する。次に図１（ｂ）に図示されているスリット部をワイヤ放電加工により形成し、リンク部は、変位取り出し手段である変位取り出しリンク１１１ａ、１１１ｂ、方向変換手段である方向変換リンク１１１ｃ、１１１ｄ、サポートリンク１１１e、１１１ｆ、レンズ枠駆動リンク１１１ｇ、カウンターリンク１１１ｈから成り、弾性ヒンジ部は、このリンク部を連結する。最後に穴あけ機でレンズ枠取付ネジ穴１１１ｊ、ピエゾ調整ネジ穴１１１ｍ、及び固定鏡筒に締結するための裏面ネジ穴の下穴を穿孔し、ネジ加工を行なってリンク機構が完成する。以上の工程により、駆動装置本体１１１のリンク機構が単一の金属ブロックから製造できる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
図５は駆動装置本体１１１のリンク動作を説明するための図で、図５（ａ）はピエゾアクチュエータ１１２が伸張したときのリンク機構側面図、図５（ｂ）は該リンク機構の模式図である。
以下に図１と図５を用いて駆動装置本体１１１の組立手順と駆動原理について説明する。
まず図１（ａ）において、駆動装置本体１１１の中央空間にピエゾアクチュエータ１１２を装填し、次にピエゾ調整ネジ穴１１１ｍの右側からピエゾ調整ネジ１１３をねじ込んでピエゾアクチュエータ１１２の底部１１２ｂを左方向に押し、ピエゾアクチュエータ１１２の出力端１１２ａをリンク機構の変位取り出しリンク１１１ａの右端面に圧接させる。これでピエゾアクチュエータ１１２の装着が完了する。次にピエゾアクチュエータ１１２の右端底部に設けられた２本の電極端子に所定電圧を印加すると、ピエゾアクチュエータ１１２の全長ＬはＸ軸方向にｄＬだけ伸張する。次に、図５（ｂ）に示したように、一方の変位取り出しリンク１１１ａは左方に−ｄＬ／２だけ、他方の変位取り出しリンク１１１ｂは右方にｄＬ／２だけ変位する。次にＸ軸に対して略４５度の傾斜を有するリンクから成る前記方向変換手段（該方向変換手段である方向変換リンク１１１ｃと１１１ｄとは、図５に示す通り、第１の軸の方向において略対称形状に構成されている）、いわゆるパンタグラフ構造を有する方向変換リンク１１１ｃ及び１１１ｄが回動し変位取り出しリンク１１１ａ及び１１１ｂはＸ軸方向への変位のほかにＺ軸方向にもおよそｄＬ／２だけ上昇する。このためレンズ枠駆動リンク１１１ｇはＺ軸方向におよそｄＬだけ上昇し、レンズ枠駆動リンク１１１ｇ上面のレンズ枠取付ネジ穴１１１ｊに結合された図示されないレンズ枠１０４もおよそｄＬだけＺ方向に上昇する。以上説明したように、ピエゾアクチュエータ１１２の伸張に伴ってレンズ枠駆動リンク１１１ｇがＺ方向に変位するが、レンズ枠駆動リンク１１１ｇはＺ方向のみに変位し、Ｘ方向及びＹ方向には変位しないことが望ましい。そこでこのような特性を実現するために、以下のような補助リンクが設けられる。まず、レンズ枠駆動リンク１１１ｇのＸ軸方向の移動を規制するため、その下部にはサポートリンク１１１ｅ及び１１１ｆが連結される。このサポートリンク１１１ｅ及び１１１ｆにより、レンズ枠駆動リンク１１１ｇはＺ軸方向の変位自由度は有するが、Ｘ軸方向の自由度は規制され、Ｚ軸方向のみ変位可能となる。また、レンズ枠駆動リンク１１１ｇのＹ軸方向の移動を規制するため、図１（ａ）に示したカウンターリンク１１１ｈが設けられる。カウンターリンク１１１ｈの構造は図４（ｂ）の斜視図に示したように、上面から見た平面形状はレンズ枠駆動リンク１１１ｇと若干異なるが、側面から見たリンク構造はレンズ枠駆動リンク１１１ｇ及びこれにつながる各リンクとまったく同一の形状をなしている。すなわち図１（ａ）において、ピエゾアクチュエータ１１２は略同一構成の２組のパンタグラフリンクの中間に配置されると共に、この２組のパンタグラフリンクは、前記第１の軸及び光軸の両方向と直交する第２の軸であるＹ軸方向に延伸した前記変位取り出しリンク１１１ａ及び１１１ｂにて連結されている。このためピエゾアクチュエータ１１２の伸張に伴ってレンズ枠駆動リンク１１１ｇとカウンターリンク１１１ｈは等量だけ、前記第１及び第２の軸の方向と直交する（即ち、前記光軸に平行）な第３の軸の方向であるＺ方向に変位し、かつＹ方向へのせん断剛性が高い構造となる。このため、レンズ枠取付ネジ穴１１１ｊの領域はＺ方向のみに変位し、Ｘ方向及びＹ方向への自由度が規制されるため、図示されないレンズ枠１０４をＺ方向に正確に駆動することができる。また、変位取り出しリンク１１１ａ及び１１１ｂはＸ軸方向及びＺ軸方向に並進移動するが、Ｘ軸まわり、Ｙ軸まわり及びＺ軸まわりの回動変位は生じない。従ってピエゾアクチュエータ１１２にたわみ応力を生じることがないので、脆性材であるピエゾアクチュエータ１１２の破壊を防ぐことができる。  
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
以上の実施例１によると、以下の効果を奏する。
（１-１）前記第１の方向に延伸した積層ピエゾアクチュエータ等の駆動手段を用い、前記第２の方向にリンク機構を配し、該リンク機構は前記第１の方向に生じたアクチュエータの出力変位を前記第３の方向に変換することで、最終変位出力方向である前記第３の方向の寸法を短縮した薄型駆動装置が提供できる。
（１-２）リンク機構の形状が前記第１の方向において略対称であるため、最終変位出力部の前記第１の方向への不要変位を極めて少なくすることができる。
（１-３）アクチュエータを挟んで前記第２の方向の両側に、略同一形状の２組のリンク機構をアクチュエータに対して略対称の位置に配したため、リンク機構内に発生する前記第２の方向の内部応力が釣り合い、最終変位出力部の前記第２の方向への不要変位を極めて少なくすることができる。
（１-４）アクチュエータと当接する変位取り出しリンクは並進運動のみを生じて回動変位は生じないため、アクチュエータに曲げ方向の撓み応力が発生せず、アクチュエータの破壊を回避できる。
（１-５）剛体リンク部と弾性ヒンジ部からなるリンク機構を単一のブロック状母材から製作できるため、複数部品の結合による寸法精度低下と剛性低下が回避できるほか、組み立てが容易で小型化にも有利である。
（１-６）該駆動装置を光学要素の周囲に複数配置することで、該光学要素を所望の方向に正確に駆動しながら、光学要素と駆動装置を含めた光学要素駆動装置全体の大きさ、特に光学要素の光軸方向の厚さを低減できる。その結果、隣接する複数の光学要素に該駆動装置を搭載できるため、光学系全体の調整自由度が増し、光学性能の向上に寄与する。さらに装置全体を小型化できるので、設置面積低減と低コスト化にも有利である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
以上説明した本発明の実施例１の駆動装置では、駆動装置本体１１１のリンク機構はＸ軸方向に略対称な構造をなしていたが、以下に説明される本発明の実施例２の駆動装置はＸ方向の形状を非対称とし、構造の簡略化とＸ軸方向の剛性向上を図ったものである。
図８（ａ）は本発明の実施例２の駆動装置本体の側面図、図８（ｂ）はリンク機構の動作説明図である。
本発明の実施例２の駆動装置は、全長の変化、もしくは、変位出力部の移動により、第１の軸の方向に駆動変位を発生する駆動手段と、前記駆動変位を取り出すために前記第１の軸の方向と直交する第２の軸の方向に延伸する変位取り出し手段と、前記変位取り出し手段の変位を前記第１及び第２の軸の方向と直交する第３の軸の方向に変換する方向変換手段と、から成り、前記方向変換手段は前記駆動手段に対して前記第２の軸の方向に配置される。さらに、本発明の実施例２の駆動装置は、前記方向変換手段は前記第１の軸の方向において非対称形状に構成され、前記駆動手段は前記第１の軸の方向の一端が前記駆動装置の固定部に実質的に固定されるとともに、前記方向変換手段は前記第１の軸の方向において前記駆動手段の固定部とは反対側に配置される。さらに、本発明の実施例２の駆動装置は、前記方向変換手段は略同一形状の２組のリンク機構から成り、前記２組のリンク機構は前記駆動手段を挟んで互いに反対側に配置される。さらに、本発明の実施例２の駆動装置は、前記変位取り出し手段は前記第１の軸の方向に略平行移動する。さらに、本発明の実施例２の駆動装置は、前記変位取り出し手段と方向変換手段は実質上単一の部材から製作される。さらに、本発明の実施例の光学要素駆動装置は、光学要素と、前記光学要素の近傍に配置された前記駆動装置と、前記駆動装置を保持する筐体と、前記駆動装置の制御手段と、を備える。
図８（ａ）において、固定鏡筒１０１は平坦部を示す。駆動装置本体２１１は、単一の金属ブロックから、ワイヤ放電加工及び切削加工にて形成されたリンク機構を構成する。前記駆動手段である積層型ピエゾアクチュエータ２１２は、実施例１のピエゾアクチュエータ１１２と同じ構成で、電歪素子と電極が交互に積層された駆動源が密閉型円筒容器内に封入され、前記第１の軸であるＸ軸方向の全長が印加電圧に略比例して増加する。ピエゾ調整ネジ２１３はアクチュエータ２１２の寸法誤差を補正するためのもので、駆動装置本体２１１とアクチュエータ２１２の間に介在される。駆動装置取付ネジ２１４は、固定鏡筒１０１の裏面から駆動装置本体２１１をネジ締結する。駆動装置本体２１１の平面図は省略するが、実施例１の駆動装置１１０と同様に、ピエゾアクチュエータ２１２の手前側に配置されたリンク機構と同一断面形状のリンク機構が、アクチュエータ２１２を挟んでその向こう側にも配置されている。即ち、リンク機構は略同一形状の２組のものがあり、各々のリンク機構は駆動手段を挟んで互いに反対側に配置される構成になっている。また、駆動装置本体２１１の製作方法は実施例１の駆動装置本体１１１と同様なため説明は省略する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
次に図８（ａ）を用いて駆動装置の組み立て方法を説明する。
まず、駆動装置本体２１１の中央空間にピエゾアクチュエータ２１２を装填する。次にピエゾ固定部２１１ｂに設けられたピエゾ調整ネジ穴２１１ｍの右側からピエゾ調整ネジ２１３をねじ込んでピエゾアクチュエータ２１２の底部２１２ｂを左方向に押し、ピエゾアクチュエータ２１２の出力端２１２ａをリンク機構の変位取り出しリンク２１１ａの右端面に圧接させる。これでピエゾアクチュエータ２１２の装着が完了する。前記駆動手段であるピエゾアクチュエータ２１２は、図８に示すとおり、その第１の軸の方向の一端が固定部である２１１ｂに実質的に固定されている。次にピエゾアクチュエータ２１２の右端底部に設けられた２本の電極端子に所定電圧を印加すると、ピエゾアクチュエータ２１２の全長ＬはＸ軸方向にｄＬだけ伸張する。次に図８（ｂ）を用いてリンク機構の動作を説明する。駆動装置本体２１１の右端に設けられたピエゾ固定部２１１ｂは、底部２１１ｗから連続した剛体部であるため、ピエゾアクチュエータ２１２の全長ＬがＸ軸方向にｄＬだけ伸張すると、ピエゾ固定部は不動のため、前記変位取り出し手段である左端の変位取り出しリンク２１１ａのみが左方に−ｄＬだけ変位する。次にＸ軸に対して略４５度の傾斜を有するリンクからなる前記方向変換手段（該方向変換手段である方向変換リンク２１１ｃは、図８に示す通り、第１の軸の方向において非対称形状に構成されている）、いわゆるパンタグラフ構造を有する方向変換リンク２１１ｃが回動し、変位取り出しリンク２１１ａはＸ方向への変位のほかにＺ方向にもおよそｄＬだけ上昇する。次にレンズ枠駆動リンク２１１ｇはＺ軸方向におよそ２ｄＬだけ上昇するため、レンズ枠駆動リンク２１１ｇ上面の図示されないレンズ枠取付ネジ穴に結合された図示されないレンズ枠１０４もおよそ２ｄＬだけＺ方向に上昇する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
以上説明したように、ピエゾアクチュエータ２１２の伸張に伴ってレンズ枠駆動リンク２１１ｇがＺ方向に変位するが、レンズ枠駆動リンク２１１ｇはＺ方向のみに変位し、Ｘ方向及びＹ方向には変位しないことが望ましい。そこでこのような特性を実現するために、以下のような補助リンクが設けられる。まず、レンズ枠駆動リンク２１１ｇのＸ軸方向の移動を規制するため、その下部にはサポートリンク２１１ｅが、また右端にはサポートリンク２１１ｆが設けられる。次に右端のサポートリンク２１１ｆは平行リンク機構を構成するため、レンズ枠駆動リンク２１１ｇはＺ軸方向の変位自由度は有するが、Ｘ軸方向の自由度は規制され、かつＹ軸周りの回転運動も規制される。また、レンズ枠駆動リンク２１１ｇのＹ軸方向の移動を規制するため、図８（ａ）で説明したように、レンズ枠駆動リンク２１１ｇと同一断面形状を有した不図示のカウンターリンク１１１ｈが、ピエゾアクチュエータ２１２を挟んで反対側に設けられる。
次に２組のリンク機構は、その左側は前記Ｙ軸方向に延伸した前記変位取り出し手段（変位取り出しリンク２１１ａ）で連結され、右側はピエゾ固定部２１１ｂで連結される。このため、ピエゾアクチュエータ２１２の伸張に伴ってレンズ枠駆動リンク２１１ｇとカウンターリンク２１１ｈは等量だけＺ方向に変位し、かつＹ方向へのせん断剛性が高い構造に構成される。このため、レンズ枠取付ネジ穴２１１ｊの領域はＺ方向のみに変位し、Ｘ方向及びＹ方向への自由度が規制され、レンズ枠１０４をＺ方向に正確に駆動することができる。また、変位取り出しリンク２１１ａ及び１１１ｂはＸ軸方向及びＺ軸方向に並進移動するが、ピエゾアクチュエータ２１２の右端２１２ｂは固定されるため、厳密には変位取り出しリンク２１１ａはＹ軸まわりに微小量回動変位する。但しその量は非常に僅かであるため、ピエゾアクチュエータ２１２に生ずる曲げ方向のたわみ応力も微小であり、脆性材であるピエゾアクチュエータ２１２の破壊を防ぐことができる。また、実施例２の駆動装置２１１を図３の駆動装置１１０と置き換え、図６及び図７で説明した制御ブロックと制御フローを用いることで、実施例１と同様の作用を得ることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
以上説明した実施例２によると、実施例１にて説明した以下の効果を奏する。
（１-１）前記第１の方向に延伸した積層ピエゾアクチュエータ等の駆動手段を用い、前記第２の方向にリンク機構を配し、該リンク機構は前記第１の方向に生じたアクチュエータの出力変位を前記第３の方向に変換することで、最終変位出力方向である前記第３の方向の寸法を短縮した薄型駆動装置が提供できる。
（１-３）アクチュエータを挟んで前記第２の方向の両側に、略同一形状の２組のリンク機構をアクチュエータに対して略対称の位置に配したため、リンク機構内に発生する前記第２の方向の内部応力が釣り合い、最終変位出力部の前記第２の方向への不要変位を極めて少なくすることができる。
（１-４）アクチュエータと当接する変位取り出しリンクは並進運動のみを生じて回動変位は生じないため、アクチュエータに曲げ方向の撓み応力が発生せず、アクチュエータの破壊を回避できる。
（１-５）剛体リンク部と弾性ヒンジ部からなるリンク機構を単一のブロック状母材から製作できるため、複数部品の結合による寸法精度低下と剛性低下が回避できるほか、組み立てが容易で小型化にも有利である。
（１-６）該駆動装置を光学要素の周囲に複数配置することで、該光学要素を所望の方向に正確に駆動しながら、光学要素と駆動装置を含めた光学要素駆動装置全体の大きさ、特に光学要素の光軸方向の厚さを低減できる。その結果、隣接する複数の光学要素に該駆動装置を搭載できるため、光学系全体の調整自由度が増し、光学性能の向上に寄与する。さらに装置全体を小型化できるので、設置面積低減と低コスト化にも有利である。
以上の効果が実施例１の場合と同様に得られるとともに、実施例１の効果である（１−２）に代わって、
（２-２）アクチュエータの一端が固定部に連結されるため、リンク機構の第１の方向の剛性が高くでき、外部から有害な振動が伝わった際の共振を低減することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
以上説明した本発明の実施例３よると、実施例１にて説明した以下の効果を奏する。
（１-１）前記第１の方向に延伸した積層ピエゾアクチュエータ等の駆動手段を用い、前記第２の方向にリンク機構を配し、該リンク機構は前記第１の方向に生じたアクチュエータの出力変位を前記第３の方向に変換することで、最終変位出力方向である前記第３の方向の寸法を短縮した薄型駆動装置が提供できる。
（１-２）リンク機構の形状が前記第１の方向において略対称であるため、最終変位出力部の前記第１の方向への不要変位を極めて少なくすることができる。
（１-５）剛体リンク部と弾性ヒンジ部からなるリンク機構を単一のブロック状母材から製作できるため、複数部品の結合による寸法精度低下と剛性低下が回避できるほか、組み立てが容易で小型化にも有利である。
（１-６）該駆動装置を光学要素の周囲に複数配置することで、該光学要素を所望の方向に正確に駆動しながら、光学要素と駆動装置を含めた光学要素駆動装置全体の大きさ、特に光学要素の光軸方向の厚さを低減できる。その結果、隣接する複数の光学要素に該駆動装置を搭載できるため、光学系全体の調整自由度が増し、光学性能の向上に寄与する。さらに装置全体を小型化できるので、設置面積低減と低コスト化にも有利である。
以上の効果が実施例１の場合と同様に得られるとともに、実施例１の効果である（１−３）（１−４）に代わって、
（３-３）不要変位の発生を防止するカウンターリンクを廃止したため、さらに小型化できるとともに、カウンターリンクの負荷抵抗がないため、より低出力のアクチュエータでも同等の駆動変位を得ることができる。
（３-４）変位取り出しリンクと方向変換リンクのリンク長の設定自由度が高いため、ピエゾアクチュエータの変位拡大率を所望の値に容易に設定できる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
以上説明した実施例４によると、実施例１にて説明した以下の効果を奏する。
（１-１）前記第１の方向に延伸した積層ピエゾアクチュエータ等の駆動手段を用い、前記第２の方向にリンク機構を配し、該リンク機構は前記第１の方向に生じたアクチュエータの出力変位を前記第３の方向に変換することで、最終変位出力方向である前記第３の方向の寸法を短縮した薄型駆動装置が提供できる。
（１-５）剛体リンク部と弾性ヒンジ部からなるリンク機構を単一のブロック状母材から製作できるため、複数部品の結合による寸法精度低下と剛性低下が回避できるほか、組み立てが容易で小型化にも有利である。
（１-６）該駆動装置を光学要素の周囲に複数配置することで、該光学要素を所望の方向に正確に駆動しながら、光学要素と駆動装置を含めた光学要素駆動装置全体の大きさ、特に光学要素の光軸方向の厚さを低減できる。その結果、隣接する複数の光学要素に該駆動装置を搭載できるため、光学系全体の調整自由度が増し、光学性能の向上に寄与する。さらに装置全体を小型化できるので、設置面積低減と低コスト化にも有利である。
以上の効果が実施例１の場合と同様に得られるとともに、実施例１の効果である（１−２）ないし（１−４）に代わって、
（４-２）アクチュエータの一端が固定部に連結されるため、リンク機構の第１の方向の剛性が高くでき、外部から有害な振動が伝わった際の共振を低減することができる。
（４-３）不要変位の発生を防止するカウンターリンクを廃止したため、さらに小型化できるとともに、カウンターリンクの負荷抵抗がないため、より低出力のアクチュエータでも同等の駆動変位を得ることができる。
（４-４）変位取り出しリンクと方向変換リンクのリンク長の設定自由度が高いため、ピエゾアクチュエータの変位拡大率を所望の値に容易に設定できる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
以上説明した実施例５によると、実施例１にて説明した以下の効果を奏する。
（１-１）前記第１の方向に延伸した積層ピエゾアクチュエータ等の駆動手段を用い、前記第２の方向にリンク機構を配し、該リンク機構は前記第１の方向に生じたアクチュエータの出力変位を前記第３の方向に変換することで、最終変位出力方向である前記第３の方向の寸法を短縮した薄型駆動装置が提供できる。
（１-２）リンク機構の形状が前記第１の方向において略対称であるため、最終変位出力部の前記第１の方向への不要変位を極めて少なくすることができる。
（１-６）該駆動装置を光学要素の周囲に複数配置することで、該光学要素を所望の方向に正確に駆動しながら、光学要素と駆動装置を含めた光学要素駆動装置全体の大きさ、特に光学要素の光軸方向の厚さを低減できる。その結果、隣接する複数の光学要素に該駆動装置を搭載できるため、光学系全体の調整自由度が増し、光学性能の向上に寄与する。さらに装置全体を小型化できるので、設置面積低減と低コスト化にも有利である。
以上の効果が実施例１の場合と同様に得られるとともに、実施例１の効果である（１−３）ないし（１−５）に代わって、
（５-３）最終変位出力部の両側に隣接してＸ軸方向の自由度を規制するリンクを設けたため、最終変位出力部のＸ軸方向の不要変位を極小化できるとともに、該方向の剛性を極めて高くできる。
（５-４）変位取り出しリンクに設けられた３箇所の弾性ヒンジ位置の設定自由度が高いため、ピエゾアクチュエータの変位拡大率を所望の値に容易に設定できる。
（５-５）アクチュエータの出力変位取り出し部材と、取り出した変位の方向変換部材を別部材として製作する構造としたため、リンク機構最厚部の寸法をアクチュエータの高さと同等程度に薄くすることが可能で、最終変位出力方向である第３の方向の寸法を更に短縮した薄型駆動装置が提供できる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
以上の実施例６によると、実施例１にて説明した以下の効果を奏する。
（１-１）前記第１の方向に延伸した積層ピエゾアクチュエータ等の駆動手段を用い、前記第２の方向にリンク機構を配し、該リンク機構は前記第１の方向に生じたアクチュエータの出力変位を前記第３の方向に変換することで、最終変位出力方向である前記第３の方向の寸法を短縮した薄型駆動装置が提供できる。
（１-２）リンク機構の形状が前記第１の方向において略対称であるため、最終変位出力部の前記第１の方向への不要変位を極めて少なくすることができる。
（１-５）剛体リンク部と弾性ヒンジ部からなるリンク機構を単一のブロック状母材から製作できるため、複数部品の結合による寸法精度低下と剛性低下が回避できるほか、組み立てが容易で小型化にも有利である。
（１-６）該駆動装置を光学要素の周囲に複数配置することで、該光学要素を所望の方向に正確に駆動しながら、光学要素と駆動装置を含めた光学要素駆動装置全体の大きさ、特に光学要素の光軸方向の厚さを低減できる。その結果、隣接する複数の光学要素に該駆動装置を搭載できるため、光学系全体の調整自由度が増し、光学性能の向上に寄与する。さらに装置全体を小型化できるので、  設置面積低減と低コスト化にも有利である。
以上の効果が実施例１の場合と同様に得られるとともに、実施例１の効果である（１−３）及び（１−４）に代わって、
（６-３）不要変位の発生を防止するカウンターリンクを廃止したため、さらに小型化できるとともに、カウンターリンクの負荷抵抗がないため、より低出力のアクチュエータでも同等の駆動変位を得ることができる。
（６-４）変位取り出しリンクに形成される３個の弾性ヒンジ位置の設定自由度が高いため、ピエゾアクチュエータの変位拡大率を所望の値に容易に設定できる。
（６-７）最終変位出力部の近傍に第１の方向への変位を規制するリンク部材を設けたため、最終変位出力部の第１の方向への剛性を高めるとともに不要変位を一層少なくすることができる。