【手続補正書】
【提出日】平成20年9月26日(2008.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数の開口を備えた薄板状のマスクを介して、導電性ボールを基板の一方の面に搭載するための装置であって、
前記基板の他方の面を支持する基板支持面を備えた基板支持台と、
前記基板支持面の周囲に位置する上端面を備えたフレームと、
前記マスクの上に導電性ボールを供給するボール供給装置と、
前記基板および前記ボール供給装置の間に前記マスクを保持するためのマスク保持部と、
前記マスクが前記上端面に接し、前記上端面の内側で前記マスクが前記基板の表面に接するように、前記基板支持台、前記フレームおよび／または前記マスク保持部を相対的に上下に移動するための移動機構とを有する装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記基板支持台および前記フレームを含むステージを有し、
前記ステージは、さらに、前記基板支持台を上下に移動する第１の移動装置と、前記フレームを上下に移動する第２の移動装置とを含む、装置。
【請求項３】
請求項２において、前記第２の移動装置は、複数の上下機構を含み、前記フレームのＺ軸方向の高さおよび角度を補正可能である、装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかにおいて、前記基板支持台は、前記基板を吸着支持可能である、装置。
【請求項５】
請求項２または３において、
前記ステージに支持された基板と前記マスク保持部に保持されたマスクとの位置決めを行うアライメント装置をさらに有する、装置。
【請求項６】
多数の開口を備えた薄板状のマスクを介して、導電性ボールを基板の一方の面に搭載するために前記基板を支持するステージであって、
前記基板の他方の面を支持する基板支持面を備えた基板支持台と、
前記基板支持面の周囲に位置する上端面を備えたフレームと、
前記基板支持台を上下に移動する第１の移動装置と、
前記フレームを上下に移動する第２の移動装置とを有し、
前記第２の移動装置は、複数の上下機構を含み、前記フレームのＺ軸方向の高さおよび角度を補正可能である、ステージ。
【請求項７】
多数の開口を備えた薄板状のマスクを介して、導電性ボールを基板の一方の面に搭載する方法であって、
前記基板の他方の面を基板支持面により支持することと、
前記基板支持面の周囲に位置し、前記基板支持面に対して上下に移動可能な上端面を前記マスクに接し支持するとともに、前記上端面の内側で前記マスクを前記基板の表面に接することと、
前記マスクの上に導電性ボールを供給して前記マスクの前記開口にボールを充填することとを有するボール搭載方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】導電性ボールを搭載する装置および方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明の一つの形態は、多数の開口を備えた薄板状のマスクを介して、基板の一方の面に導電性ボールを搭載するための装置であって、基板の他方の面を支持する基板支持面を備えた基板支持台と、基板支持面の周囲に位置する上端面を備えたフレームと、マスクの上に導電性ボールを供給するボール供給装置と、基板およびボール供給装置の間にマスクを保持するためのマスク保持部と、マスクが上端面に接し、上端面の内側でマスクが基板の表面に接するように、基板支持台、フレームおよび／またはマスク保持部を相対的に上下に移動するための移動機構とを有する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
配置の対象となる導電性ボールが微小になり、厚みが１ｍｍ程度あるいはそれ以下の薄板状になったマスク（マスクプレート）は、それ自体の剛性は低い。薄板状のマスクに対し大きな張力を加えて平面性を向上させることにより、マスクの歪みに起因すると考えられるボールの配置ミスを改善できると考えられる。しかしながら、本願発明者らの観測によると、配置ミス、特に基板の縁部、すなわち、基板の周囲近傍における配置ミスを改善することが難しい。これに対し、上記の装置を採用することにより、基板の縁部における配置ミスを改善できる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記の装置は、基板を支持する基板支持面の周囲に、基板支持面に対して相対的に上下に移動可能な上端面が設けられている。このため、基板支持面と上端面との位置関係を、基板支持面にセットされる基板の一方の面に対して、その外側で上端面がマスクに接し、さらに、上端面と基板の一方の面との上下の差は、マスクに有意な歪みが発生しない程度に調整することができる。したがって、個々、ロットあるいは種類などによって基板の厚みに公差があり、マスクのセッティング、例えば基板とマスクとの平行状態に多少の差が発生する条件であっても、マスクは、基板の外側で上端面に接する。このため、マスクの外周領域で歪みが生じても、それは、基板の一方の面の領域ではなく、上端面の領域となり、マスクの外周に歪みが発生しても、その歪みの影響が基板に及ぶのを防止できる。したがって、マスクの歪みに起因する、導電性ボールの配置ミスを防止できる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
装置は、基板支持面を備えた基板支持台（支持体）と、基板支持面の周囲に位置し、上端面を備えたフレームとを備えたステージを含んでいてもよい。基板支持台とフレームとを相対的に上下に動かすことにより、基板支持面に対する上端面の上下位置を変更できる。さらに、基板支持台とフレームとを相対的に上下に移動する機構を設けることにより、基板支持面に対する上端面の上下位置の変更が容易となる。そのような機構は、たとえば、モータなどのアクチュエータを用いたものであり、フレームに対して基板支持台を上下方向に突没させたり、基板支持台と、フレームとを独立して動かす機構を採用できる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
ステージの基板支持台は、基板を吸着支持可能とすることが好ましい。基板支持面に基板を密着支持することにより、基板自体の歪みを矯正できるので、導電性ボールの配置ミスを抑制できる。また、導電性ボールを配置する対象となる基板には、半導体ウエハ、回路基板、ガラス基板のような絶縁体基板など、種々の材料からなる種々の基板が含まれ、それらの基板を吸着により基板支持面にセットできる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の装置の一形態はボール充填装置であり、上記ステージと、マスクの上にボールを供給するボール供給装置と、ステージおよびボール供給装置の間にマスクを保持するためのマスク保持部と、ステージとマスクとが上端面において接するように、ステージおよび／またはマスクを上下に移動するための移動機構を有する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
さらに、本発明の装置の一形態はボール搭載装置であって、上記ボール充填装置と、ステージに保持された基板とマスク保持部に保持されたマスクとの位置決めを行うアライメント装置とを有する。