【手続補正書】
【提出日】平成20年10月15日(2008.10.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  壁体に形成された貫通孔から突出する軸体をシールするシール装置において、
上記壁体の外面に一端面が気密に接合され上記貫通孔を貫通した上記軸体が挿通される挿通孔が形成されたハウジングと、
このハウジングの一端面側の上記軸体の外周面と上記挿通孔の内周面との間の空間部に気体を供給する気体供給手段と、
上記ハウジングの他端面側の上記軸体の外周面と上記挿通孔の内周面との間の上記空間部に液体を供給する液体供給手段と、
上記挿通孔の内周面と上記軸体の外周面との間の空間部に設けられ上記液体供給手段から供給された液体によって上記軸体の上記空間部内に位置する部分をシールするとともに上記気体供給手段から供給された気体を上記ハウジングの一端面側へ流出させるシール手段と
を具備したことを特徴とするシール装置。
【請求項２】  上記ハウジングの上記気体供給手段が設けられた箇所と対応する箇所には、上記液体供給手段から供給された液体を排出するための排液路が形成され、この排液路には上記液体をその粘性によって排液路内に溜めるとともに毛細管現象によって排出する細孔を有するノズル部材が設けられていることを特徴とする請求項１記載のシール装置。
【請求項３】  上記シール手段は、上記挿通孔の内周面と上記気体の外周面との間の空間部を、上記気体供給手段によって気体が供給される第１の空間部と、上記液体供給手段によって液体が供給される第２の空間部とに隔別するリング状の第１乃至第３のシール部材からなることを特徴とする請求項１記載のシール装置。
【請求項４】 上記第１のシール部材は上記ハウジングの一端面側に位置し、上記第３のシール部材は上記ハウジングの他端面側に位置するとともに、上記第２のシール部材は上記第１のシール部材と第３のシール部材との間に位置し、
上記第２のシール部材は、上記第２の空間部に供給された液体を上記第１の空間部に流入させるよう上記軸体の外周面との間にわずかな隙間を有することを特徴とする請求項３記載のシール装置。
【請求項５】 上記ハウジングの上記第１の空間部に対応する部分には、上記第２の空間部から上記第１の空間部に流入した液体を排出する排液路が形成され、この排液路には液体の排出を制限する細孔が形成されたノズル部材が設けられていることを特徴とする請求項４記載のシール装置。
【請求項６】  基板を所定方向に搬送しながら処理する処理装置において、
上記基板の搬送方向の一端に搬入口、他端に搬出口を有し上記搬送方向と交差する方向に位置する一対の壁体に所定間隔で貫通孔が対応して形成された処理槽と、
この処理槽内に上記基板の搬送方向に沿って所定間隔で配置され両端部をそれぞれ上記一対の壁体に形成された貫通孔から外部へ突出させた軸体と、
上記処理槽の貫通孔から突出した上記軸体の両端部をそれぞれ回転可能に支持した軸受体と、
上記壁体の外面に設けられ上記軸体の上記貫通孔から突出した端部をシールするシール装置とを具備し、
上記シール装置は請求項１に記載された構成であることを特徴とする処理装置。
【請求項７】  上記軸体の一端部には従動歯車が設けられ、この従動歯車には駆動源によって回転駆動される駆動歯車が噛合しており、
上記液体供給手段は、液体供給槽と、この液体供給槽の液体を上記ハウジングの挿通孔と軸体の外周面との間の空間部に供給する液体供給管と、上記液体供給槽の液面を一定に保つオーバフロー管と、上記従動歯車と駆動歯車との噛合部分に対向して設けられ、上記オーバフロー管から排出される液体を貯えて上記各歯車の噛合部分を潤滑する潤滑槽と
を具備したことを特徴とする請求項６記載の処理装置。
【請求項８】  上記液体供給管には外周面に螺旋溝が形成され上記液体供給槽の液体の圧力を低減して上記空間部へ流す流量調整部材が設けられていることを特徴とする請求項７記載の処理装置。
【請求項９】  液体が流れる管体に設けられるものであって、
外周面に螺旋溝が形成されるとともに、上記管体の内周面に外周面を接触させて圧入され上記管体を流れる液体を上記螺旋溝に沿って流す流量調整部材からなることを特徴とする微小流量制御装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項３の発明は、上記シール手段は、上記挿通孔の内周面と上記気体の外周面との間の空間部を、上記気体供給手段によって気体が供給される第１の空間部と、上記液体供給手段によって液体が供給される第２の空間部とに隔別するリング状の第１乃至第３のシール部材からなることを特徴とする請求項１記載のシール装置にある。
請求項４の発明は、上記第１のシール部材は上記ハウジングの一端面側に位置し、上記第３のシール部材は上記ハウジングの他端面側に位置するとともに、上記第２のシール部材は上記第１のシール部材と第３のシール部材との間に位置し、
上記第２のシール部材は、上記第２の空間部に供給された液体を上記第１の空間部に流入させるよう上記軸体の外周面との間にわずかな隙間を有することを特徴とする請求項３記載のシール装置にある。
請求項５の発明は、上記ハウジングの上記第１の空間部に対応する部分には、上記第２の空間部から上記第１の空間部に流入した液体を排出する排液路が形成され、この排液路には液体の排出を制限する細孔が形成されたノズル部材が設けられていることを特徴とする請求項４記載のシール装置にある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項６の発明は、基板を所定方向に搬送しながら処理する処理装置において、
上記基板の搬送方向の一端に搬入口、他端に搬出口を有し上記搬送方向と交差する方向に位置する一対の壁体に所定間隔で貫通孔が対応して形成された処理槽と、
この処理槽内に上記基板の搬送方向に沿って所定間隔で配置され両端部をそれぞれ上記一対の壁体に形成された貫通孔から外部へ突出させた軸体と、
上記処理槽の貫通孔から突出した上記軸体の両端部をそれぞれ回転可能に支持した軸受体と、
上記壁体の外面に設けられ上記軸体の上記貫通孔から突出した端部をシールするシール装置とを具備し、
上記シール装置は請求項１に記載された構成であることを特徴とする処理装置にある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項７の発明は、上記軸体の一端部には従動歯車が設けられ、この従動歯車には駆動源によって回転駆動される駆動歯車が噛合しており、
上記液体供給手段は、液体供給槽と、この液体供給槽の液体を上記ハウジングの挿通孔と軸体の外周面との間の空間部に供給する液体供給管と、上記液体供給槽の液面を一定に保つオーバフロー管と、上記従動歯車と駆動歯車との噛合部分に対向して設けられ、上記オーバフロー管から排出される液体を貯えて上記各歯車の噛合部分を潤滑する潤滑槽と
を具備したことを特徴とする請求項６記載の処理装置にある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項８の発明は、上記液体供給管には外周面に螺旋溝が形成され上記液体供給槽の液体の圧力を低減して上記空間部へ流す流量調整部材が設けられていることを特徴とする請求項７記載の処理装置にある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項９の発明は、液体が流れる管体に設けられるものであって、
外周面に螺旋溝が形成されるとともに、上記管体の内周面に外周面を接触させて圧入され上記管体を流れる液体を上記螺旋溝に沿って流す流量調整部材からなることを特徴とする微小流量制御装置にある。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
各搬送ローラ５の一端部にはそれぞれ樹脂製の従動歯車１７が嵌着されている。各従動歯車１７には同じく樹脂製の駆動歯車１８が噛合している。駆動歯車１８は従動歯車１７の径方向下方に位置していて、複数の駆動歯車１８は上記搬送ローラ５と軸線を直交させて回転可能に配置された駆動軸１９に嵌着されている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
したがって、上記液体供給槽５３から上記液体供給管５２を流れる液体は、供給管５２に比べて断面積が十分に小さく、しかも流路長が十分に長い上記流量調整部材６２の外周面の螺旋溝６３を流れることになるから、少量の純水が一定量で上記シール装置１３の液体供給路４３を通じて第２の空間部６１に滴下する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
第２の空間部６１に滴下した純水は、この第２の空間部６１に溜まるとともに、第２のシール部材３９の内周面や外周面を通って第１の空間部５１へ流れる。さらに、第２のシール部材３９の両側面と第１、第２のカラー３６，３７との端面との接触部分にも浸入する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
第１の空間部５１に流入した純水は、この空間部５１から排液路６５に滴下する。この排液路６５に設けられたノズル部材６７の細孔６６は純水の粘性によってその純水を直ちに流出させることのない小さな内径寸法に形成されている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
このような純水の流れによって第１の空間部５１は第２の空間部６１と気密に隔別される。それによって、気体供給管４４から気体供給路４２を通じて第１の空間部５１に供給された気体は、第２の空間部６１へはほとんど流れず、第１のシール部材３８の内周面と搬送ローラ５の外周面との隙間を通って処理槽１の側壁７に形成された貫通孔８から上記処理槽１内へ流入する。したがって、このような気体の流れによって、上記処理槽１内の雰囲気が貫通孔８から外部に漏れ出るのが防止される。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
しかも、第１の空間部５１に気体を流すようにしたので、この第１の空間部５１は気体の供給圧と同程度に圧力が上昇する。一方、第２の空間部６１に供給される純水は少量である。そのため、第２の空間部６１から第１の空間部５１に純水が沁み込んでも、その純水は第１の空間部５１に供給された気体の圧力によって第１のシール部材３８と搬送ローラ５との隙間を通って処理槽１側へ漏れ出るようなことがない。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
このような構成の処理装置によれば、搬送ローラ５の処理槽１の側壁７に形成された貫通孔８から突出させた両端部分はシール装置１３によってシールされている。このシール装置１３のハウジング２９の内部には、第１乃至第３のシール部材３８〜４０によって第１の空間部５１と第２の空間部６１とが隔別形成されている。第１の空間部５１には気体が供給され、第２の空間部６１には純水が供給される。第１の空間部５１は第２の空間部６１よりも処理槽１の側壁７側に位置している。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
純水は液体供給管５２に設けられた流量調整部材６２によって流量が少量であり、気体の圧力は純水の圧力に比べて十分に高く、この実施の形態では約２ｋｇ／ｃｍ２  である。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
そのため、第２の空間部６１に供給された純水が第２、第３のシール部材３９，４０の内周面と搬送ローラ５の外周面との隙間に入り込むことで、この搬送ローラ５の外周面がシールされる。しかも、第１の空間部５１に供給された気体が第１のシール部材３８の内周面と搬送ローラ５の外周面との隙間を通じて処理槽１の側壁７の貫通孔８から処理槽１内へ流れ込む。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
それと同時に、第２の空間部６１に供給された純水は少量であり、しかも、この第２の空間部６１よりも側壁７側に設けられた第１の空間部５１には気体が供給されるため、上記純水が第１の空間部５１から搬送ローラ５の外周面を伝わって処理槽１内へ流入するのが防止される。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
第２の空間部６１に滴下した純水は第２のシール部材３９と搬送ローラ５との隙間を通って第１の空間部５１に沁み込み、この第１の空間部５１に形成された排液路６５に流れ、ここに溜まってノズル部材６７の細孔６６から毛細管現象によって沁み出て排出される。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
さらに、圧力がほぼ０の純水を第２の空間部６１にわずかに供給することで、その純水により液体シールを行なうようにしているから、純水の使用量が非常に少なくてすむばかりか、純水の使用量が少ないことによって、その純水が搬送ローラ５を伝わって処理槽１内へ流入し難くい。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2003106465.tif 000001