【手続補正書】
【提出日】平成20年1月16日(2008.1.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素の各々にノズル開口から液滴を吐出する液滴吐出工程と、前記液滴を乾燥させて前記複数の画素の各々に画素構成要素を形成する乾燥工程とを有する電気光学装置の製造方法において、
前記液滴吐出工程は、
前記画素構成要素の構成材料を含む第１液状物の液滴を前記複数の画素の各々に吐出する第１の液滴吐出工程と、
前記複数の画素の各々に、前記第１液状物の液滴の乾燥速度を調整する第２液状物の液滴を吐出する第２の液滴吐出工程と、
を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１において、少なくとも前記第１液状物は、前記組成物の構成材料を含み、
前記第２液状物は、前記第１液状物よりも沸点が高い液状物であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項３】
請求項２において、前記第２液状物は、前記第１液状物に用いられている溶媒よりも沸点が高い高沸点溶媒からなることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項４】
請求項２または３において、前記第２液状物は、沸点が２００℃以上の有機溶剤を含んでいることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項５】
前記第１液状物は、前記組成物が溶媒に溶解または分散されてなることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項６】
複数の画素の各々にノズル開口から液滴を吐出する液滴吐出工程と、前記液滴を乾燥させて前記複数の画素の各々に画素構成要素を形成する乾燥工程とを有する電気光学装置の製造方法において、
前記液滴吐出工程は、
前記複数の画素のうち第１の画素に、第１液状物の液滴を吐出する工程と、
前記第１の画素とは異なる第２の画素に、前記第１液状物とは組成が異なる第２液状物を吐出する工程と、
前記第１の画素に、乾燥速度を調整する第３液状物の液滴を吐出する工程と、
を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項７】
前記第１液状物は、前記第２液状物よりも乾燥速度が速いことを特徴とする請求項６に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
前記第１液状物は、前記第２液状物よりも沸点が低いことを特徴とする請求項６に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項９】
複数の画素の各々にノズル開口から液滴を吐出する液滴吐出工程と、前記液滴を乾燥させて前記複数の画素の各々に画素構成要素を形成する乾燥工程とを有する電気光学装置の製造方法において、
前記液滴吐出工程は、
前記画素構成要素の構成材料を含む第１液状物の液滴を前記複数の画素の各々に吐出する第１の液滴吐出工程と、
前記複数の画素のうち所定の画素に、前記第１液状物の液滴の乾燥速度を調整する第２液状物の液滴を吐出する第２の液滴吐出工程と、を有し、
前記乾燥工程において、前記所定の画素とは異なる画素と、前記所定の画素との乾燥速度差を調整する
ことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
前記加熱工程の後、各組成物の膜厚を計測し、前記膜厚の計測結果に基づいて、前記第２液状物の液滴を吐出すべき位置および量のうちの少なくとも一方を決定することを特徴とする請求項９に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
前記電気光学装置は、有機エレクトロルミネッセンス装置であり、
前記画素構成要素は、有機エレクトロルミネッセンスの発光層であることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１２】
液状物を貯留しておく液状物貯留部と、該液状物貯留部に連通する圧力発生室で開口するノズル開口と、前記圧力発生室を膨張、収縮させて前記ノズル開口から前記液状物の液滴を媒体上に吐出させる圧力発生素子とを備えた液滴吐出機構を有する液滴吐出装置において、
前記液滴吐出機構として、第１液状物の液滴を前記媒体上の複数の位置に吐出する第１の液滴吐出機構と、前記第１液状物の液滴と前記媒体上の同一位置に当該第１液状物の液滴の乾燥速度を調整する第２液状物の液滴を吐出する第２の液滴吐出機構とを有していることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１３】
請求項１２において、前記第２の液滴吐出機構は、前記第１液状物の各液滴のうち、所定の液滴と前記媒体上の同一位置に前記第２液状物の液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１４】
請求項１３において、前記第１の液滴吐出機構は、前記第１液状物として組成の相違する複数種類の第１の液状物を吐出し、
前記第２の液滴吐出機構は、前記複数種類の第１液状物のうち、所定の第１液状物の液滴と前記媒体上の同一位置に前記第２液状物の液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】電気光学装置の製造方法、および液滴吐出装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
上記の課題を解決するために、本発明の電気光学装置の製造方法は、複数の画素の各々にノズル開口から液滴を吐出する液滴吐出工程と、前記液滴を乾燥させて前記複数の画素の各々に画素構成要素を形成する乾燥工程とを有する電気光学装置の製造方法において、前記液滴吐出工程は、前記画素構成要素の構成材料を含む第１液状物の液滴を前記複数の画素の各々に吐出する第１の液滴吐出工程と、前記複数の画素の各々に、前記第１液状物の液滴の乾燥速度を調整する第２液状物の液滴を吐出する第２の液滴吐出工程と、を有することを特徴とする。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の電気光学装置の製造方法であって、少なくとも前記第１液状物は、前記組成物の構成材料を含み、前記第２液状物は、前記第１液状物よりも沸点が高い液状物であることを特徴とする。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の電気光学装置の製造方法であって、前記第２液状物は、前記第１液状物に用いられている溶媒よりも沸点が高い高沸点溶媒からなることを特徴とする。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の電気光学装置の製造方法であって、前記第２液状物は、沸点が２００℃以上の有機溶剤を含んでいることを特徴とする。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の電気光学装置の製造方法であって、前記第１液状物は、前記組成物が溶媒に溶解または分散されてなることを特徴とする。
上記の課題を解決するために、本発明の電気光学装置の製造方法は、複数の画素の各々にノズル開口から液滴を吐出する液滴吐出工程と、前記液滴を乾燥させて前記複数の画素の各々に画素構成要素を形成する乾燥工程とを有する電気光学装置の製造方法において、前記液滴吐出工程は、前記複数の画素のうち第１の画素に、第１液状物の液滴を吐出する工程と、前記第１の画素とは異なる第２の画素に、前記第１液状物とは組成が異なる第２液状物を吐出する工程と、前記第１の画素に、乾燥速度を調整する第３液状物の液滴を吐出する工程と、を有することを特徴とする。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の電気光学装置の製造方法であって、前記第１液状物は、前記第２液状物よりも乾燥速度が速いことを特徴とする。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の電気光学装置の製造方法であって、前記第１液状物は、前記第２液状物よりも沸点が低いことを特徴とする。
上記の課題を解決するために、本発明の電気光学装置の製造方法は、複数の画素の各々にノズル開口から液滴を吐出する液滴吐出工程と、前記液滴を乾燥させて前記複数の画素の各々に画素構成要素を形成する乾燥工程とを有する電気光学装置の製造方法において、前記液滴吐出工程は、前記画素構成要素の構成材料を含む第１液状物の液滴を前記複数の画素の各々に吐出する第１の液滴吐出工程と、前記複数の画素のうち所定の画素に、前記第１液状物の液滴の乾燥速度を調整する第２液状物の液滴を吐出する第２の液滴吐出工程と、を有し、前記乾燥工程において、前記所定の画素とは異なる画素と、前記所定の画素との乾燥速度差を調整することを特徴とする。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の電気光学装置の製造方法であって、前記加熱工程の後、各組成物の膜厚を計測し、前記膜厚の計測結果に基づいて、前記第２液状物の液滴を吐出すべき位置および量のうちの少なくとも一方を決定することを特徴とする。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の電気光学装置の製造方法であって、前記電気光学装置は、有機エレクトロルミネッセンス装置であり、前記画素構成要素は、有機エレクトロルミネッセンスの発光層であることを特徴とする。
上記の課題を解決するために、本発明では、ノズル開口から液滴を吐出する液滴吐出工程と、前記液滴を乾燥させて媒体上に組成物を形成する加熱工程とを有する組成物の製造方法において、前記液滴吐出工程は、前記組成物の構成材料を含む第１液状物の液滴を前記媒体上の複数の位置に吐出する第１の液滴吐出工程と、前記第１液状物の液滴が吐出された各位置と同一位置に、前記第１液状物の液滴の乾燥速度を調整する第２液状物の液滴を吐出する第２の液滴吐出工程とを有することを特徴とする。