【手続補正書】
【提出日】平成20年1月29日(2008.1.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】電位固定装置および容量測定装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  第１容量と、前記第１容量に直接的に接続される第２容量との２つの容量間の接続線の電位を固定するための電位固定装置であって、
増幅器と、所定電圧印加手段と、第１高抵抗と、第２高抵抗と、出力端子とを含む電圧供給手段を備え、
前記増幅器には、前記第１高抵抗の一方端が接続され、
前記第１高抵抗の他方端と前記第２高抵抗の一方端とが接続され、
前記第１高抵抗の他方端と前記第２高抵抗の一方端との間には、前記出力端子が接続され、
前記第２高抵抗の他方端と前記所定電圧印加手段とが接続されている、電位固定装置。
【請求項２】  前記電位固定装置は、さらに、第１演算増幅器を含み、
前記第１容量は、被測定容量であり、
前記２つの容量間の接続線は、信号線であり、
前記信号線に前記第１演算増幅器の入力端子が接続されている、請求項１に記載の電位固定装置を含む容量測定装置。
【請求項３】  前記第２高抵抗は、前記第１高抵抗に直接的に接続され、
前記電圧供給手段は、前記第１高抵抗と前記第２高抵抗とによって分圧された電位を出力する電圧分圧手段を含む、請求項１または２に記載の電位固定装置。
【請求項４】  前記電圧供給手段は、前記第１容量と前記第２容量との合計総電荷量を保持しながら、前記２つの容量間の接続線の電位を一定に維持する、請求項１または３に記載の電位固定装置。
【請求項５】  前記電圧供給手段は、前記接続線に印加される動作信号の電位と等しい電位を出力するとともに、
前記電圧供給手段の出力端子は、前記２つの容量間の接続線に接続されている、請求項１または３に記載の電位固定装置。
【請求項６】  前記電位固定装置は、さらに、第２演算増幅器を含み、
前記第２演算増幅器の出力端子は、前記第２容量に接続されている、請求項２または３に記載の容量測定装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
【課題を解決するための手段】
この発明の一の局面における電位固定装置は、第１容量と、その第１容量に直接的に接続される第２容量との２つの容量間の接続線の電位を固定するための電位固定装置であって、増幅器と、所定電圧印加手段と、第１高抵抗と、第２高抵抗と、出力端子とを含む電圧供給手段を備えている。そして、増幅器には、第１高抵抗の一方端が接続され、第１高抵抗の他方端と第２高抵抗の一方端とが接続され、第１高抵抗の他方端と第２高抵抗の一方端との間には、出力端子が接続され、第２高抵抗の他方端と所定電圧印加手段とが接続されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
このように構成すれば、増幅器の増幅度と、第１高抵抗および第２高抵抗の抵抗値と、所定電圧印加手段の電圧値とを決定することによって、容易に電圧供給手段の出力端子の電位を、第１容量と第２容量との間の接続線に印加される動作信号の電位と等しい電位に制御することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
この発明の一の局面における電位固定装置を含む容量測定装置において、電位固定装置は、さらに、第１演算増幅器を含み、第１容量は、被測定容量であり、２つの容量間の接続線は、信号線であり、信号線に第１演算増幅器の入力端子が接続されている。このように構成すれば、信号線に電流の出入りがなくなるので、信号線の合計総電荷量が変化するのを防止することができる。これにより、容量測定装置において、被測定容量を構成する第１容量と、第２容量との間の信号線の電位を固定した場合にも、容量測定装置の感度が低下することがない。その結果、正確な容量測定を行うことができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
上記一の局面における電位固定装置において、好ましくは、第２高抵抗は、第１高抵抗に直接的に接続され、電圧供給手段は、第１高抵抗と第２高抵抗とによって分圧された電位を出力する電圧分圧手段を含む。なお、本発明における「高抵抗」とは、対象容量が１ｐＦ程度で、数百ＭＨｚ以上のときは、数ＭΩ以上であり、対象容量が１ｐＦ程度で、数百ＫＨｚ〜１ＭＨｚ程度のときは、数百ＭΩ以上である。すなわち、「高抵抗」は、第１容量および第２容量のインピーダンス成分に比べて、十分に大きな相対的に高い抵抗値を有する抵抗を意味する。このように、電圧供給手段を、第１高抵抗と第２高抵抗とによって分圧された電位を出力する電圧分圧手段を含むように構成すれば、第１高抵抗および第２高抵抗の抵抗値を適宜選択することにより、容易に電圧供給手段の出力電位を調節することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
上記一の局面における電位固定装置において、好ましくは、電圧供給手段は、第１容量と第２容量との合計総電荷量を保持しながら、２つの容量間の接続線の電位を一定に維持する。このように構成すれば、第１容量と第２容量との合計総電荷量を保持しながら２つの容量間の接続線の電位を一定に維持する電圧供給手段を設けるとともに、その電圧供給手段の出力端子を２つの容量間の接続線に接続することによって、第１容量と第２容量との間の接続線における電荷量が変化するのを防止することができる。このように、第１容量と第２容量との間の接続線における電荷量が変化するのを防止することができるので、たとえば、容量測定装置において、第１容量と第２容量との間の接続線における電位を固定した場合にも、容量測定値の感度が低下することがない。その結果、正確な容量測定を行うことができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
この発明の一の局面における電位固定装置において、電圧供給手段は、接続線に印加される動作信号の電位と等しい電位を出力するとともに、電圧供給手段の出力端子は、２つの容量間の接続線に接続されている。このように構成すれば、第１容量と第２容量とを接続する接続線に印加される動作信号の電位と等しい電位を出力する電圧供給手段を設けるとともに、その電圧供給手段の出力端子を第１容量と第２容量との間の接続線に接続することによって、第１容量と第２容量との間の接続線に電流の出入りがなくなるので、接続線の合計総電荷量が変化するのを防止することができる。このように、第１容量と第２容量との間の接続線の電荷量が変化するのを防止することができるので、たとえば、容量測定装置において、第１容量と第２容量との接続線の電位を固定した場合にも、容量測定装置の感度が低下することがない。その結果、正確な容量測定を行うことができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
上記一の局面における電位固定装置を含む容量測定装置において、好ましくは、電位固定装置が、さらに、第２演算増幅器を含み、その第２演算増幅器の出力端子は第２容量に接続されている。このように構成すれば、第２演算増幅器を電流源として用いることができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】