【手続補正書】
【提出日】平成20年1月31日(2008.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
投影光学系中の最も基板側の光学部材と前記基板との間に所定の液体を介在させつつ、露光光に基づいて所定のパターンを前記投影光学系を介して前記基板上に転写する露光装置に用いられて、
前記基板に対して斜め方向から検出光を投射し、該基板を経由した前記検出光を受光して前記基板の面位置を検出する面位置検出装置において、
前記検出光を通過させる窓を有し、前記基板の表面と前記投影光学系中の最も前記基板側の前記光学部材との間に前記所定の液体を保持するための液体保持部材を備えることを特徴とする面位置検出装置。
【請求項２】
前記液体保持部材の前記窓は、第１窓と第２窓とを少なくとも備え、
前記面位置検出装置から射出される前記検出光が、前記第１窓に入射し、該第１窓から入射した前記検出光が前記基板を経由した後に前記第２窓から射出されることを特徴とする請求項１記載の面位置検出装置。
【請求項３】
前記面位置検出装置から射出される前記検出光は、前記第１窓の射出面から略垂直に射出され、前記第２窓の入射面に対して略垂直に入射することを特徴とする請求項２記載の面位置検出装置。
【請求項４】
前記第１窓へ入射する前記検出光の光路中に配置される第１の光路偏向部材と、
前記第２窓から射出される前記検出光の光路中に配置される第２の光路偏向部材と、
を備えることを特徴とする請求項２または請求項３記載の面位置検出装置。
【請求項５】
前記窓は、前記投影光学系を構成する光学部材とは異なる光学部材により構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか一項に記載の面位置検出装置。
【請求項６】
投影光学系中の最も基板側の光学部材と前記基板との間に所定の液体を介在させつつ、露光光に基づいて所定のパターンを前記投影光学系を介して前記基板上に転写する露光装置において、
請求項１乃至請求項５の何れか一項に記載の面位置検出装置を備えていることを特徴とする露光装置。
【請求項７】
マスクを保持するマスクステージと、
前記基板を保持する基板ステージと、
露光中に前記投影光学系の倍率比に応じて前記マスクステージと前記基板ステージとを所定の走査方向に沿って移動させる駆動部と、
を備え、
前記検出光の光路を前記走査方向を含まない面内に設定することを特徴とする請求項６記載の露光装置。
【請求項８】
請求項６または請求項７記載の露光装置を用いた露光方法において、
前記基板上の面位置を検出する面位置検出工程と、
前記パターンを前記基板上に転写する転写工程と、
を含むことを特徴とする露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項１記載の面位置検出装置は、投影光学系中の最も基板側の光学部材と前記基板との間に所定の液体を介在させつつ、露光光に基づいて所定のパターンを前記投影光学系を介して前記基板上に転写する露光装置に用いられて、前記基板に対して斜め方向から検出光を投射し、該基板を経由した前記検出光を受光して前記基板の面位置を検出する面位置検出装置において、前記検出光を通過させる窓を有し、前記基板の表面と前記投影光学系中の最も前記基板側の前記光学部材との間に前記所定の液体を保持するための液体保持部材を備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、請求項２記載の面位置検出装置は、前記液体保持部材の前記窓が第１窓と第２窓とを少なくとも備え、前記面位置検出装置から射出される前記検出光が、前記第１窓に入射し、該第１窓から入射した前記検出光が前記基板を経由した後に前記第２窓から射出されることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
この請求項１及び請求項２記載の面位置検出装置によれば、面位置検出装置から射出される検出光を通過させる窓を有する液体保持部材を備えているため、液浸法を用いた露光装置においても基板表面の面位置を精度良く検出することができ、微細なパターンを良好に露光することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、請求項３記載の面位置検出装置は、前記面位置検出装置から射出される前記検出光が前記第１窓の射出面から略垂直に射出され、前記第２窓の入射面に対して略垂直に入射することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
この請求項３記載の面位置検出装置によれば、検出光が第１窓の射出面から略垂直に射出され、第２窓の入射面に対して略垂直に入射するため、温度変化等により液体保持部材により保持されている液体の屈折率が変化した場合においても、検出光の屈折を最小限に抑えることができる。従って、基板表面の面位置を精度良く検出することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、請求項４記載の面位置検出装置は、前記第１窓へ入射する前記検出光の光路中に配置される第１の光路偏向部材と、前記第２窓から射出される前記検出光の光路中に配置される第２の光路偏向部材とを備えることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
この請求項４記載の面位置検出装置によれば、第１の光路偏向部材と第２の光路偏向部材を備えているため、検出光の光路を基板表面から離れた位置に設定することができ、面位置検出装置を構成する光学部材を基板表面に接触させることなく容易に配置することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、請求項５記載の面位置検出装置は、前記窓が前記投影光学系を構成する光学部材とは異なる光学部材により構成されていることを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
この請求項５記載の面位置検出装置によれば、窓が投影光学系を構成する光学部材とは異なる光学部材により構成されているため、面位置検出装置から射出される検出光は投影光学系を介することなく窓から略垂直な角度で射出し、窓へ略垂直な角度で入射する。従って、温度変化等により液体保持部材により保持されている液体の屈折率が変化した場合においても、検出光の屈折を最小限に抑えることができるため、基板表面の面位置を精度良く検出することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、請求項６記載の露光装置は、投影光学系中の最も基板側の光学部材と前記基板との間に所定の液体を介在させつつ、露光光に基づいて所定のパターンを前記投影光学系を介して前記基板上に転写する露光装置において、請求項１乃至請求項５の何れか一項に記載の面位置検出装置を備えていることを特徴とする。
また、請求項７記載の露光装置は、マスクを保持するマスクステージと、前記基板を保持する基板ステージと、露光中に前記投影光学系の倍率比に応じて前記マスクステージと前記基板ステージとを所定の走査方向に沿って移動させる駆動部とを備え、前記検出光の光路を前記走査方向を含まない面内に設定することを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
この請求項７記載の露光装置によれば、検出光の光路が走査方向を含まない面内に設定されているため、液浸法を用いた露光装置においても検出光の光路と液体の供給及び排出を行なう部材との干渉を回避することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、請求項８記載の露光方法は、請求項６または請求項７記載の露光装置を用いた露光方法において、前記基板上の面位置を検出する面位置検出工程と、前記パターンを前記基板上に転写する転写工程とを含むことを特徴とする。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
この請求項８記載の露光方法によれば、面位置検出工程により基板上の面位置を精度良く検出し露光を行なうため、微細なパターンを良好に露光することができる。