【手続補正書】
【提出日】平成20年1月29日(2008.1.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】位置合わせ方法及びプログラム記録媒体
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置台をＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動させて上記載置台上に載置された第１物体とこの上方に配置された第２物体とを位置合わせする方法において、上記載置台に設けられた第１撮像手段を用いて第２物体を撮像する工程と、第２物体の撮像データに基づいてそのイメージデータ画像を画像データ領域に作成する工程と、第１撮像手段と移動可能な第２撮像手段との光軸を一致させて上記載置台の基準位置を求める工程と、上記載置台を移動させ第２撮像手段を用いて第１物体を撮像する工程と、第１物体の撮像画像をその物体に関する設計データに基づいてそのイメージデータ画像を上記画像データ領域に作成する工程と、上記画像データ領域内で上記両イメージデータ画像を重ね合わせる工程と、上記両イメージデータ画像が最も重なった位置を第１、第２物体の位置合わせ位置と判断する工程と、を有することを特徴とする位置合わせ方法。
【請求項２】
載置台をＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動させて上記載置台上に載置された被検査体の複数のデバイスそれぞれの複数の電極とこれらの電極に対応する複数の接触子とを電気的に接触させるに先だって上記各電極と各接触子とを位置合わせする方法において、上記載置台に設けられた第１撮像手段を用いて各接触子を撮像する工程と、各接触子の撮像データに基づいて位置合わせ対象となる接触子を抽出する工程と、抽出された撮像データに基づいて位置合わせ対象となる接触子のイメージデータ画像を第１イメージデータ画像として画像データ領域に作成する工程と、第１撮像手段と移動可能な第２撮像手段との光軸を一致させて上記載置台の基準位置を求める工程と、上記載置台を移動させ第２撮像手段を用いて上記各デバイスを撮像する工程と、位置合わせ対象となるデバイス撮像画像を抽出する工程と、抽出されたデバイス撮像画像においてその電極に関する設計データに基づいて位置合わせ対象となる電極のイメージデータを求めて第２イメージデータ画像として上記画像データ領域に作成する工程と、上記画像データ領域内で第１、第２イメージデータ画像を重ね合わせる工程と、第１、第２イメージデータ画像が最も重なった位置を上記電極と上記接触子の位置合わせ位置と判断する工程と、を有することを特徴とする位置合わせ方法。
【請求項３】
載置台をＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動させて上記載置台上に載置された被検査体の複数のデバイスそれぞれの複数の電極とこれらの電極に対応する複数の接触子とを電気的に接触させるに先だって上記各電極と各接触子とを位置合わせする方法において、上記載置台に設けられた第１撮像手段を用いて各接触子を撮像する工程と、各接触子の撮像データに基づいて位置合わせ対象となる接触子を抽出する工程と、抽出された撮像データに基づいて位置合わせ対象となる接触子のイメージデータ画像を第１イメージデータ画像として画像データ領域に濃度を付けて作成する工程と、第１撮像手段と移動可能な第２撮像手段との光軸を一致させて上記載置台の基準位置を求める工程と、上記載置台を移動させ第２撮像手段を用いて上記各デバイスを撮像する工程と、位置合わせ対象となるデバイス撮像画像を抽出する工程と、抽出されたデバイス撮像画像においてその電極に関する設計データに基づいて位置合わせ対象となる電極のイメージデータを求めて第２イメージデータ画像として上記画像データ領域に濃淡を付けて作成する工程と、上記画像データ領域内で第１、第２イメージデータ画像を重ね合わせる工程と、第１、第２イメージデータ画像の重なりにより画像濃度が最も大きく変化した位置を第１、第２イメージデータ画像が上記電極と上記接触子の位置合わせ位置と判断する工程と、を有することを特徴とする位置合わせ方法。
【請求項４】
コンピュータを駆動させて、載置台をＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動させて上記載置台上に載置された第１物体とこの上方に配置された第２物体とを位置合わせする方法において、上記載置台に設けられた第１撮像手段を用いて第２物体を撮像する工程と、第２物体の撮像データに基づいてそのイメージデータ画像を画像データ領域に作成する工程と、第１撮像手段と移動可能な第２撮像手段との光軸を一致させて上記載置台の基準位置を求める工程と、上記載置台を移動させ第２撮像手段を用いて第１物体を撮像する工程と、第１物体の撮像画像をその物体に関する設計データに基づいてそのイメージデータ画像を上記画像データ領域に作成する工程と、上記画像データ領域内で上記両イメージデータ画像を重ね合わせる工程と、上記両イメージデータ画像が最も重なった位置を第１、第２物体の位置合わせ位置と判断する工程と、を実行させることを特徴とするプログラム記録媒体。
【請求項５】
コンピュータを駆動させて、載置台をＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動させて上記載置台上に載置された被検査体の複数の電極とこれらの電極に対応する複数の接触子とを電気的に接触させるに先だって上記各電極と各接触子とを位置合わせする方法を実行するプログラムにおいて、上記載置台に設けられた第１撮像手段を用いて各接触子を撮像する工程と、各接触子の撮像データに基づいて位置合わせ対象となる接触子を抽出する工程と、抽出された撮像データに基づいて位置合わせ対象となる接触子のイメージデータ画像を第１イメージデータ画像として画像データ領域に作成する工程と、第１撮像手段と移動可能な第２撮像手段との光軸を一致させて上記載置台の基準位置を求める工程と、上記載置台を移動させ第２撮像手段を用いて上記各デバイスを撮像する工程と、位置合わせ対象となるデバイス撮像画像を抽出する工程と、抽出されたデバイス撮像画像においてその電極に関する設計データに基づいて位置合わせ対象となる電極のイメージデータを求めて第２イメージデータ画像として上記画像データ領域に作成する工程と、上記画像データ領域内で第１、第２イメージデータ画像を重ね合わせる工程と、第１、第２イメージデータ画像が最も重なった位置を上記電極と上記接触子の位置合わせ位置と判断する工程と、を実行させることを特徴とするプログラム記録媒体。
【請求項６】
コンピュータを駆動させて、載置台をＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動させて上記載置台上に載置された被検査体の複数の電極とこれらの電極に対応する複数の接触子とを電気的に接触させるに先だって、上記各電極と各接触子とを位置合わせする方法を実行するプロブラムを記録したプログラム記録媒体において、上記載置台に設けられた第１撮像手段を用いて各接触子を撮像する工程と、各接触子の撮像データに基づいて位置合わせ対象となる接触子を抽出する工程と、抽出された撮像データに基づいて位置合わせ対象となる接触子のイメージデータ画像を第１イメージデータ画像として画像データ領域に濃度を付けて作成する工程と、第１撮像手段と移動可能な第２撮像手段との光軸を一致させて上記載置台の基準位置を求める工程と、上記載置台を移動させ第２撮像手段を用いて上記各デバイスを撮像する工程と、位置合わせ対象となるデバイス撮像画像を抽出する工程と、抽出されたデバイス撮像画像においてその電極に関する設計データに基づいて位置合わせ対象となる電極のイメージデータを求めて第２イメージデータ画像として上記画像データ領域に濃淡を付けて作成する工程と、上記画像データ領域内で第１、第２イメージデータ画像を重ね合わせる工程と、第１、第２イメージデータ画像の重なりにより画像濃度が最も大きく変化した位置を第１、第２イメージデータ画像が上記電極と上記接触子の位置合わせ位置と判断する工程と、を実行させることを特徴とするプログラム記録媒体。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばプローブ装置を用いてウエハ等の被検査体の電極と接触子とを電気的に接触させて被検査体の電気的特性を検査する際に、被検査体の電極と接触子とを位置合わせする位置合わせ方法及びプログラム記録媒体に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、複数の接触子とこれらに対応する被検査体の電極を複雑な数値計算を行うことなく同時に位置合わせを行うことができると共に位置合わせの様子を視覚的に確認することができ、ひいては検査のスループットを向上させることができる位置合わせ方法及びプログラム記録媒体を提供することを目的としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載の位置合わせ方法は、載置台をＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動させて上記載置台上に載置された第１物体とこの上方に配置された第２物体とを位置合わせする方法において、上記載置台に設けられた第１撮像手段を用いて第２物体を撮像する工程と、第２物体の撮像データに基づいてそのイメージデータ画像を画像データ領域に作成する工程と、第１撮像手段と移動可能な第２撮像手段との光軸を一致させて上記載置台の基準位置を求める工程と、上記載置台を移動させ第２撮像手段を用いて第１物体を撮像する工程と、第１物体の撮像画像をその物体に関する設計データに基づいてそのイメージデータ画像を上記画像データ領域に作成する工程と、上記画像データ領域内で上記両イメージデータ画像を重ね合わせる工程と、上記両イメージデータ画像が最も重なった位置を第１、第２物体の位置合わせ位置と判断する工程と、を有することを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の請求項２に記載の位置合わせ方法は、載置台をＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動させて上記載置台上に載置された被検査体の複数のデバイスそれぞれの複数の電極とこれらの電極に対応する複数の接触子とを電気的に接触させるに先だって上記各電極と各接触子とを位置合わせする方法において、上記載置台に設けられた第１撮像手段を用いて各接触子を撮像する工程と、各接触子の撮像データに基づいて位置合わせ対象となる接触子を抽出する工程と、抽出された撮像データに基づいて位置合わせ対象となる接触子のイメージデータ画像を第１イメージデータ画像として画像データ領域に作成する工程と、第１撮像手段と移動可能な第２撮像手段との光軸を一致させて上記載置台の基準位置を求める工程と、上記載置台を移動させ第２撮像手段を用いて上記各デバイスを撮像する工程と、位置合わせ対象となるデバイス撮像画像を抽出する工程と、抽出されたデバイス撮像画像においてその電極に関する設計データに基づいて位置合わせ対象となる電極のイメージデータを求めて第２イメージデータ画像として上記画像データ領域に作成する工程と、上記画像データ領域内で第１、第２イメージデータ画像を重ね合わせる工程と、第１、第２イメージデータ画像が最も重なった位置を上記電極と上記接触子の位置合わせ位置と判断する工程と、を有することを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明の請求項３に記載の位置合わせ方法は、載置台をＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動させて上記載置台上に載置された被検査体の複数のデバイスそれぞれの複数の電極とこれらの電極に対応する複数の接触子とを電気的に接触させるに先だって上記各電極と各接触子とを位置合わせする方法において、上記載置台に設けられた第１撮像手段を用いて各接触子を撮像する工程と、各接触子の撮像データに基づいて位置合わせ対象となる接触子を抽出する工程と、抽出された撮像データに基づいて位置合わせ対象となる接触子のイメージデータ画像を第１イメージデータ画像として画像データ領域に濃度を付けて作成する工程と、第１撮像手段と移動可能な第２撮像手段との光軸を一致させて上記載置台の基準位置を求める工程と、上記載置台を移動させ第２撮像手段を用いて上記各デバイスを撮像する工程と、位置合わせ対象となるデバイス撮像画像を抽出する工程と、抽出されたデバイス撮像画像においてその電極に関する設計データに基づいて位置合わせ対象となる電極のイメージデータを求めて第２イメージデータ画像として上記画像データ領域に濃淡を付けて作成する工程と、上記画像データ領域内で第１、第２イメージデータ画像を重ね合わせる工程と、第１、第２イメージデータ画像の重なりにより画像濃度が最も大きく変化した位置を第１、第２イメージデータ画像が上記電極と上記接触子の位置合わせ位置と判断する工程と、を有することを特徴とするものである。
また、本願発明の請求項４に記載のプログラム記録媒体は、コンピュータを駆動させて、載置台をＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動させて上記載置台上に載置された第１物体とこの上方に配置された第２物体とを位置合わせする方法において、上記載置台に設けられた第１撮像手段を用いて第２物体を撮像する工程と、第２物体の撮像データに基づいてそのイメージデータ画像を画像データ領域に作成する工程と、第１撮像手段と移動可能な第２撮像手段との光軸を一致させて上記載置台の基準位置を求める工程と、上記載置台を移動させ第２撮像手段を用いて第１物体を撮像する工程と、第１物体の撮像画像をその物体に関する設計データに基づいてそのイメージデータ画像を上記画像データ領域に作成する工程と、上記画像データ領域内で上記両イメージデータ画像を重ね合わせる工程と、上記両イメージデータ画像が最も重なった位置を第１、第２物体の位置合わせ位置と判断する工程と、を実行させることを特徴とするものである。
また、本願発明の請求項５に記載のプログラム記録媒体は、コンピュータを駆動させて、載置台をＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動させて上記載置台上に載置された被検査体の複数の電極とこれらの電極に対応する複数の接触子とを電気的に接触させるに先だって上記各電極と各接触子とを位置合わせする方法を実行するプログラムにおいて、上記載置台に設けられた第１撮像手段を用いて各接触子を撮像する工程と、各接触子の撮像データに基づいて位置合わせ対象となる接触子を抽出する工程と、抽出された撮像データに基づいて位置合わせ対象となる接触子のイメージデータ画像を第１イメージデータ画像として画像データ領域に作成する工程と、第１撮像手段と移動可能な第２撮像手段との光軸を一致させて上記載置台の基準位置を求める工程と、上記載置台を移動させ第２撮像手段を用いて上記各デバイスを撮像する工程と、位置合わせ対象となるデバイス撮像画像を抽出する工程と、抽出されたデバイス撮像画像においてその電極に関する設計データに基づいて位置合わせ対象となる電極のイメージデータを求めて第２イメージデータ画像として上記画像データ領域に作成する工程と、上記画像データ領域内で第１、第２イメージデータ画像を重ね合わせる工程と、第１、第２イメージデータ画像が最も重なった位置を上記電極と上記接触子の位置合わせ位置と判断する工程と、を実行させることを特徴とするものである。
また、本願発明の請求項６に記載のプログラム記録媒体は、コンピュータを駆動させて、載置台をＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動させて上記載置台上に載置された被検査体の複数の電極とこれらの電極に対応する複数の接触子とを電気的に接触させるに先だって、上記各電極と各接触子とを位置合わせする方法を実行するプロブラムを記録したプログラム記録媒体において、上記載置台に設けられた第１撮像手段を用いて各接触子を撮像する工程と、各接触子の撮像データに基づいて位置合わせ対象となる接触子を抽出する工程と、抽出された撮像データに基づいて位置合わせ対象となる接触子のイメージデータ画像を第１イメージデータ画像として画像データ領域に濃度を付けて作成する工程と、第１撮像手段と移動可能な第２撮像手段との光軸を一致させて上記載置台の基準位置を求める工程と、上記載置台を移動させ第２撮像手段を用いて上記各デバイスを撮像する工程と、位置合わせ対象となるデバイス撮像画像を抽出する工程と、抽出されたデバイス撮像画像においてその電極に関する設計データに基づいて位置合わせ対象となる電極のイメージデータを求めて第２イメージデータ画像として上記画像データ領域に濃淡を付けて作成する工程と、上記画像データ領域内で第１、第２イメージデータ画像を重ね合わせる工程と、第１、第２イメージデータ画像の重なりにより画像濃度が最も大きく変化した位置を第１、第２イメージデータ画像が上記電極と上記接触子の位置合わせ位置と判断する工程と、を実行させることを特徴とするものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図５に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。尚、プローブ装置自体は図６のものに準じて構成されているため、従来と同一または相当部分には同一符号を附して説明する。
本発明の位置合わせ方法は制御装置（図示せず）の制御下で作動する位置合わせ機構７を介して実施され、最終的には図１に示すように複数のプローブ８Ａとこれらのプローブ８Ａに対応するウエハＷに形成されたデバイスの電極パッドＰが電気的に接触し、所定の電気的特性検査が行われる。後述する画像処理には位置合わせ用の画像処理ソフトが用いられる。画像処理ソフトは、記憶装置に登録しておくことにより、後述するように、撮像画像や設計データに基づいて対象プローブ及び対象パッドのイメージ画像をモニタ画面の画像イメージ領域に作成する機能と、プローブのイメージ画像及びパッドのイメージ画像それぞれに濃淡を付ける機能と、これらのイメージ画像をモニタ画面上で相対的に移動させて重ね合わせる機能と、重ね合わされたイメージ画像の濃度を算出する機能と、濃度の最大値または最小値を判断する機能を制御装置（コンピュータ）の制御下で実行する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
更に、メインチャック６が移動すると、メインチャック６上のウエハＷを上ＣＣＤカメラ７Ｂで撮像し、画像処理ソフトを用いて撮像画像と予め登録されている位置合せ用として特徴のある登録デバイス画像を比較し、登録デバイス画像と一致する撮像画像を抽出する。登録デバイス画像と一致する撮像画像を抽出したら、この撮像画像に登録デバイス画像の設計データを当てはめてその電極パッドのイメージ画像（以下、「パッドイメージ画像」と称す。）Ｐを図２の（ａ）に示すようにモニタ画面９Ａの画像データ領域に作成する。これらのパッドイメージ画像Ｐ’は上述の針先イメージ画像８Ｂと対応している。これらのパッドイメージ画像Ｐ’はプローバ室内におけるＸ、Ｙ座標位置を針先イメージ画像８Ｂと同一の縮尺で正確に表示している。そして、図２ではパッドイメージ画像Ｐ’の画像データ領域と針先イメージ画像８Ｂの画像データ領域とが隣接して表示されているが、これは画像処理ソフトを用いてＸ、Ｙ方向に位置ズレした画像イメージ領域を隣り合わせて表示している。従って、パッドイメージ画像Ｐ’の画像イメージ領域と針先イメージ画像８Ｂの画像イメージ領域それぞれのＸ、Ｙ座標値は不連続になっている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
【発明の効果】
本発明の請求項１、４に記載の発明によれば、第１物体とこれに対応する第２物体を複雑な数値計算を行うことなく同時に位置合わせを行うことができると共に位置合わせの様子を視覚的に確認することができ、ひいては位置合わせを伴う作業のスループットを向上させることができる位置合わせ方法及びプログラム記録媒体を提供することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明の請求項２、３及び請求項５、６に記載の発明によれば、複数の接触子とこれらに対応する被検査体の電極を複雑な数値計算を行うことなく同時に位置合わせを行うことができると共に位置合わせの様子を視覚的に確認することができ、ひいては検査のスループットを向上させることができる位置合わせ方法及びプログラム記録媒体を提供することができる。