【手続補正書】
【提出日】平成20年8月8日(2008.8.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  可動部と、固定部と、可動部が固定部に対して揺動し得るように可動部と固定部を連結している連結部と、固定部と可動部の一方に設けられた磁界発生部材と、固定部と可動部の他方に設けられた駆動コイルとを備えており、駆動コイルを流れる電流と磁界発生部材で発生される磁界との相互作用により生じる力に従って可動部が固定部に対して揺動される電磁駆動式アクチュエータを駆動するための駆動装置であり、
可動部の共振周波数にほぼ等しい周波数を有し、一周期内の一定期間のあいだ電流値が０である周期的な波形の電流信号を駆動コイルに供給する駆動信号供給部と、
電流値が０である期間に対応する期間のあいだの駆動コイルの両端の電圧波形のゼロクロス点のタイミングに基づいて揺動状態を検出する揺動検出部とを有している、電磁駆動式アクチュエータの駆動装置。
【請求項２】  可動部と、固定部と、可動部が固定部に対して揺動し得るように可動部と固定部を連結している連結部と、固定部と可動部の一方に設けられた磁界発生部材と、固定部と可動部の他方に設けられた駆動コイルとを備えており、駆動コイルを流れる電流と磁界発生部材で発生される磁界との相互作用により生じる力に従って可動部が固定部に対して揺動される電磁駆動式アクチュエータを駆動するための駆動装置であり、
可動部の共振周波数にほぼ等しい周波数を有し、一周期内の一定期間のあいだ電流値が０である周期的な波形の電流信号を駆動コイルに供給する駆動信号供給部と、
電流値が０である期間に対応する期間のあいだの駆動コイルの両端の電圧波形の半周期分の実効値に基づいて可動部の振幅情報を検出する揺動検出部とを有している、電磁駆動式アクチュエータの駆動装置。
【請求項３】  請求項１または請求項２において、駆動コイルに供給される電流波形は、一周期内の電流値が０である期間を除いた期間は、正弦波の一部である、電磁駆動式アクチュエータの駆動装置。
【請求項４】  請求項３において、可動部は平板状であり、駆動コイルは平面コイルである、電磁駆動式アクチュエータの駆動装置。
【請求項５】  可動部と、固定部と、可動部が固定部に対して揺動し得るように可動部と固定部を連結している連結部と、固定部と可動部の一方に設けられた磁界発生部材と、固定部と可動部の他方に設けられた駆動コイルとを備えており、駆動コイルを流れる電流と磁界発生部材で発生される磁界との相互作用により生じる力に従って可動部が固定部に対して揺動される電磁駆動式アクチュエータの揺動検出方法であり、
可動部の共振周波数にほぼ等しい周波数を有し、一周期内の一定期間のあいだ電流値が０である周期的な波形の電流信号を駆動コイルに供給する工程と、
電流値が０である期間に対応する期間のあいだの駆動コイルの両端の電圧波形のゼロクロス点のタイミングに基づいて揺動状態を検出する工程とを含む、電磁駆動式アクチュエータの揺動検出方法。
【請求項６】  可動部と、固定部と、可動部が固定部に対して揺動し得るように可動部と固定部を連結している連結部と、固定部と可動部の一方に設けられた磁界発生部材と、固定部と可動部の他方に設けられた駆動コイルとを備えており、駆動コイルを流れる電流と磁界発生部材で発生される磁界との相互作用により生じる力に従って可動部が固定部に対して揺動される電磁駆動式アクチュエータの揺動検出方法であり、
可動部の共振周波数にほぼ等しい周波数を有し、一周期内の一定期間のあいだ電流値が０である周期的な波形の電流信号を駆動コイルに供給する工程と、
電流値が０である期間に対応する期間のあいだの駆動コイルの両端の電圧波形の半周期分の実効値に基づいて可動部の振幅情報を検出する工程とを含む、電磁駆動式アクチュエータの揺動検出方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ひとつには、可動部と、固定部と、可動部が固定部に対して揺動し得るように可動部と固定部を連結している連結部と、固定部と可動部の一方に設けられた磁界発生部材と、固定部と可動部の他方に設けられた駆動コイルとを備えており、駆動コイルを流れる電流と磁界発生部材で発生される磁界との相互作用により生じる力に従って可動部が固定部に対して揺動される電磁駆動式アクチュエータを駆動するための駆動装置であり、可動部の共振周波数にほぼ等しい周波数を有し、一周期内の一定期間のあいだ電流値が０である周期的な波形の電流信号を駆動コイルに供給する駆動信号供給部と、電流値が０である期間に対応する期間のあいだの駆動コイルの両端の電圧波形のゼロクロス点のタイミングに基づいて揺動状態を検出する揺動検出部とを有している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また本発明は、ひとつには、可動部と、固定部と、可動部が固定部に対して揺動し得るように可動部と固定部を連結している連結部と、固定部と可動部の一方に設けられた磁界発生部材と、固定部と可動部の他方に設けられた駆動コイルとを備えており、駆動コイルを流れる電流と磁界発生部材で発生される磁界との相互作用により生じる力に従って可動部が固定部に対して揺動される電磁駆動式アクチュエータを駆動するための駆動装置であり、可動部の共振周波数にほぼ等しい周波数を有し、一周期内の一定期間のあいだ電流値が０である周期的な波形の電流信号を駆動コイルに供給する駆動信号供給部と、電流値が０である期間に対応する期間のあいだの駆動コイルの両端の電圧波形の半周期分の実効値に基づいて可動部の振幅情報を検出する揺動検出部とを備えている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また本発明は、ひとつには、可動部と、固定部と、可動部が固定部に対して揺動し得るように可動部と固定部を連結している連結部と、固定部と可動部の一方に設けられた磁界発生部材と、固定部と可動部の他方に設けられた駆動コイルとを備えており、駆動コイルを流れる電流と磁界発生部材で発生される磁界との相互作用により生じる力に従って可動部が固定部に対して揺動される電磁駆動式アクチュエータの揺動検出方法であり、可動部の共振周波数にほぼ等しい周波数を有し、一周期内の一定期間のあいだ電流値が０である周期的な波形の電流信号を駆動コイルに供給する工程と、電流値が０である期間に対応する期間のあいだの駆動コイルの両端の電圧波形のゼロクロス点のタイミングに基づいて揺動状態を検出する工程とを含んでいる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また本発明は、ひとつには、可動部と、固定部と、可動部が固定部に対して揺
動し得るように可動部と固定部を連結している連結部と、固定部と可動部の一方
に設けられた磁界発生部材と、固定部と可動部の他方に設けられた駆動コイルと
を備えており、駆動コイルを流れる電流と磁界発生部材で発生される磁界との相
互作用により生じる力に従って可動部が固定部に対して揺動される電磁駆動式ア
クチュエータの揺動検出方法であり、可動部の共振周波数にほぼ等しい周波数を有し、一周期内の一定期間のあいだ電流値が０である周期的な波形の電流信号を駆動コイルに供給する工程と、電流値が０である期間に対応する期間のあいだの駆動コイルの両端の電圧波形の半周期分の実効値に基づいて可動部の振幅情報を検出する工程とを含んでいる。