【手続補正書】
【提出日】平成20年6月19日(2008.6.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器の出力反射係数を測定する測定装置であって、
互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路と、
前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に前記信号発生器に接続する選択部と、
前記信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させる発生制御部と、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において前記信号発生器から出力された出力信号の電力を順次に測定する電力測定装置と、
前記所定の電力、前記電力測定装置により測定された電力測定値、および前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数に基づき、前記信号発生器の出力反射係数を算出する出力反射係数算出部と
を備える測定装置。
【請求項２】
前記出力反射係数算出部は、以下の式（１）により前記信号発生器の前記出力反射係数を算出する
請求項１に記載の測定装置。
【数１】
2008151652.tif 000001
式（１）において、Ｐｓ１からＰｓｋは、前記少なくとも４つの接続回路のうちの第１から第ｋ（ｋは４以上の整数。）の接続回路が前記信号発生器に接続されたそれぞれの状態において、前記信号発生器に与えられた前記所定の電力の設定値の平方根を表す。Ｐｍ１からＰｍｋは、前記第１から第ｋの接続回路が前記信号発生器に接続されたそれぞれの状態において測定された前記電力測定値の平方根を表す。ｘ１からｘｋは、前記第１から第ｋの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数を表す。ΓＳは、前記信号発生器の前記所定の周波数における前記出力反射係数を表す。Ｅｏｕｔは、前記信号発生器の出力伝送係数を表す。
【請求項３】
前記式（１）において左式の左側の行列に対応する行列式の値が、予め定められた値より小さい場合において、
前記発生制御部は、前記所定の周波数より高い第１周波数の出力信号および前記所定の周波数より低い第２周波数の出力信号を前記信号発生器から出力させ、
前記電力測定装置は、前記第１周波数の出力信号および前記第２周波数の出力信号のそれぞれについて、前記第１から第ｋの接続回路が前記信号発生器に接続されたそれぞれの状態において電力を測定し、
前記出力反射係数算出部は、
前記第１周波数を前記所定の周波数として、前記信号発生器の前記第１周波数における出力反射係数を前記式（１）により算出し、
前記第２周波数を前記所定の周波数として、前記信号発生器の前記第２周波数における出力反射係数を前記式（１）により算出し、
前記信号発生器の前記第１周波数における出力反射係数および前記信号発生器の前記第２周波数における出力反射係数を補間して、前記所定の周波数における出力反射係数を算出する
請求項２に記載の測定装置。
【請求項４】
与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器の出力反射係数を測定する測定装置であって、
互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路と、
前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に前記信号発生器に接続する選択部と、
前記信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させる発生制御部と、
前記信号発生器と当該信号発生器に接続された前記接続回路との間に設けられ、前記信号発生器から前記接続回路へ向かう方向に伝播する前記出力信号の一部を分離した出力分離信号を出力する出力信号分離器と、
前記信号発生器と当該信号発生器に接続された前記接続回路との間に設けられ、前記接続回路から前記信号発生器へ向かう方向に伝播する反射信号の一部を分離した反射分離信号を出力する反射信号分離器と、
前記出力分離信号をアナログ／デジタル変換して検出する出力信号検出部と、
前記反射分離信号をアナログ／デジタル変換して検出する反射信号検出部と、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された前記反射分離信号に対する前記出力分離信号の割合に基づき、前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数を算出する入力反射係数算出部と、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された前記出力分離信号に基づき、前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において出力された前記出力信号の電力を順次に測定する電力測定部と、
前記所定の電力、前記電力測定部により測定された電力測定値、および前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数に基づき、前記信号発生器の出力反射係数を算出する出力反射係数算出部と
を備える測定装置。
【請求項５】
与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器の出力反射係数を測定する測定方法であって、
互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に前記信号発生器に接続し、
前記信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させ、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において前記信号発生器から出力された出力信号の電力を電力測定装置により順次に測定し、
前記所定の電力、前記電力測定装置により測定された電力測定値、および前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数に基づき、前記信号発生器の出力反射係数を算出する
測定方法。
【請求項６】
与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器の出力反射係数を測定する測定方法であって、
互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に前記信号発生器に接続し、
前記信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させ、
前記信号発生器と当該信号発生器に接続された前記接続回路との間に設けられた出力信号分離器により、前記信号発生器から前記接続回路へ向かう方向に伝播する前記出力信号の一部を分離した出力分離信号を出力し、
前記信号発生器と当該信号発生器に接続された前記接続回路との間に設けられた反射信号分離器により、前記接続回路から前記信号発生器へ向かう方向に伝播する反射信号の一部を分離した反射分離信号を出力し、
前記出力分離信号をアナログ／デジタル変換して検出し、
前記反射分離信号をアナログ／デジタル変換して検出し、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された前記反射分離信号に対する前記出力分離信号の割合に基づき、前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数を算出し、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された前記出力分離信号に基づき、前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において出力された前記出力信号の電力を順次に測定し、
前記所定の電力、測定された電力測定値、および前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数に基づき、前記信号発生器の出力反射係数を算出する
測定方法。
【請求項７】
与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器を校正する校正装置であって、
互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路と、
前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に前記信号発生器に接続する選択部と、
前記信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させる発生制御部と、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において前記信号発生器から出力された出力信号の電力を順次に測定する電力測定装置と、
前記所定の電力、前記電力測定装置により測定された電力測定値、および前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数に基づき、前記信号発生器の出力伝送係数を算出する特性算出部と、
与えられた前記設定値に応じた電力を出力するように算出した前記出力伝送係数に基づき前記信号発生器を校正する校正部と
を備える校正装置。
【請求項８】
前記特性算出部は、
以下の式（１）により、前記信号発生器の出力反射係数を算出する出力反射係数算出部と、
以下の式（２）により前記出力伝送係数を算出する出力伝送係数算出部と
を有する請求項７に記載の校正装置。
【数２】
2008151652.tif 000002
式（１）、（２）において、Ｐｓ１からＰｓｋは、前記少なくとも４つの接続回路のうちの第１から第ｋ（ｋは４以上の整数。）の接続回路が前記信号発生器に接続されたそれぞれの状態において、前記信号発生器に与えられた前記所定の電力の設定値の平方根を表す。Ｐｍ１からＰｍｋは、前記第１から第ｋの接続回路が前記信号発生器に接続されたそれぞれの状態において測定された前記電力測定値の平方根を表す。ｘ１からｘｋは、前記第１から第ｋの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数を表す。ΓＳは、前記信号発生器の前記所定の周波数における前記出力反射係数を表す。Ｅｏｕｔは、前記信号発生器の出力伝送係数を表す。
【請求項９】
与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器を校正する校正装置であって、
互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路と、
前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に前記信号発生器に接続する選択部と、
前記信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させる発生制御部と、
前記信号発生器と当該信号発生器に接続された前記接続回路との間に設けられ、前記信号発生器から前記接続回路へ向かう方向に伝播する前記出力信号の一部を分離した出力分離信号を出力する出力信号分離器と、
前記信号発生器と当該信号発生器に接続された前記接続回路との間に設けられ、前記接続回路から前記信号発生器へ向かう方向に伝播する反射信号の一部を分離した反射分離信号を出力する反射信号分離器と、
前記出力分離信号をアナログ／デジタル変換して検出する出力信号検出部と、
前記反射分離信号をアナログ／デジタル変換して検出する反射信号検出部と、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された前記反射分離信号に対する前記出力分離信号の割合に基づき、前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数を算出する入力反射係数算出部と、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された前記出力分離信号に基づき、前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において出力された前記出力信号の電力を順次に測定する電力測定部と、
前記所定の電力、前記電力測定部により算出された電力測定値、および前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数に基づき、前前記信号発生器の出力伝送係数を算出する特性算出部と、
与えられた前記設定値に応じた電力を出力するように算出した前記出力伝送係数に基づき前記信号発生器を校正する校正部と
を備える校正装置。
【請求項１０】
与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器を校正する校正方法であって、
互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に前記信号発生器に接続し、
前記信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させ、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において前記信号発生器から出力された出力信号の電力を電力測定装置により順次に測定し、
前記所定の電力、前記電力測定装置により測定された電力測定値、および前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数に基づき、前記信号発生器の出力伝送係数を算出し、
与えられた前記設定値に応じた電力を出力するように算出した前記出力伝送係数に基づき前記信号発生器を校正する
校正方法。
【請求項１１】
与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器を校正する校正方法であって、
互いに異なる入力反射係数を有する少なくとも４つの接続回路のそれぞれを順次に前記信号発生器に接続し、
前記信号発生器から所定の電力且つ所定の周波数の出力信号を出力させ、
前記信号発生器と当該信号発生器に接続された前記接続回路との間に設けられた出力信号分離器により、前記信号発生器から前記接続回路へ向かう方向に伝播する前記出力信号の一部を分離した出力分離信号を出力し、
前記信号発生器と当該信号発生器に接続された前記接続回路との間に設けられた反射信号分離器により、前記接続回路から前記信号発生器へ向かう方向に伝播する反射信号の一部を分離した反射分離信号を出力し、
前記出力分離信号をアナログ／デジタル変換して検出し、
前記反射分離信号をアナログ／デジタル変換して検出し、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された前記反射分離信号に対する前記出力分離信号の割合に基づき、前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数を算出し、
前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において検出された前記出力分離信号に基づき、前記少なくとも４つの接続回路が前記信号発生器に順次に接続されたそれぞれの状態において出力された前記出力信号の電力を順次に測定し、
前記所定の電力、測定された電力測定値、および前記少なくとも４つの接続回路のそれぞれの前記所定の周波数における入力反射係数に基づき、前前記信号発生器の出力伝送係数を算出し、
与えられた前記設定値に応じた電力を出力するように算出した前記出力伝送係数に基づき前記信号発生器を校正する
校正方法。
【請求項１２】
与えられた設定値に応じた電力の出力信号を出力する信号発生器の出力反射係数を測定する測定装置であって、
前記信号発生器に接続される接続回路が、互いに異なる少なくとも４つの入力反射係数のそれぞれの入力反射係数を有する状態において前記信号発生器から所定の電力で出力された出力信号の電力を、前記接続回路を介して測定する電力測定装置と、
前記所定の電力、前記電力測定装置により測定された電力測定値、および前記少なくとも４つの入力反射係数に基づき、前記信号発生器の出力反射係数を算出する出力反射係数算出部と
を備える測定装置。