(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下に配置した、搬送車の進行方向に沿う長手方向を有する板材と、該板材に上下を挟まれた両側の側板とから成るレール部材において、前記板材にはその両側縁部に取付孔を穿孔するとともに、前記側板は、それぞれ上下方向に貫通孔を形成した複数枚の側板片を、前記板材の側縁に沿って並べることにより構成し、前記取付孔と該貫通孔とに固定部材を挿入することにより前記板材に対し前記側板片を固定したことを特徴とするレール部材。
【請求項２】
複数枚の側板片のうち少なくとも一部の側板片は、曲面を有していることを特徴とする、請求項１に記載のレール部材。
【請求項３】
前記側板片は、前記貫通孔が成形されるように押出し成形して構成したことを特徴とする、請求項１又は請求項２記載のレール部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、走行レールの構成ユニットであるレール部材の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工場等、塵挨の発生が問題となるクリーンルームでは、物品を搬送するために、走行レールに沿って無人搬送車を自動走行させる無人搬送車システムが知られている。
この走行レールは、搬送車の車輪の走行面と、それに直交する両側面とを有し、該側面に搬送車のガイド車輪が案内されることとなる。
従来、この走行レールはユニット化したレール部材を組み合わせて構成されており、該レール部材は、上下の板材の間に側板を配置し、該板材と該側板とをボルトで締結して構成されるか、若しくは、一体成形することで構成されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来技術のうち前者の方法であるボルト締結については、上下の板材と側板とをボルトで取り付けるために、側板に上下方向にボルト孔を形成しておく必要があって、この側板の形成加工とボルト孔の穴ぐり加工とは別工程となり、そのためそれぞれの工程を別々の下請け工場に依頼することもある。また、側板の高さを考えると、該側板に貫通孔を穿孔するのもなかなか容易ではない。
また、走行レールのカーブ部分などに用いられるレール部材では、１枚物の側板に曲げ加工を施すのであるが、走行レールに複数のカーブがあると、そのカーブの形状ごとに曲げ加工を施さなければならない。加えて、カーブを構成するレール部材では、その内側の側板と外側の側板との曲率半径が異なり、つまり、内外両側板で曲げの度合いが異なってくる。このように、走行レールのカーブ部分を構成するレール部材は、その曲がり具合に応じて１つ１つ加工する必要があり、また、厚みのある該側板を精度よく曲げるのは困難なため、曲率が局所的に変化してしまい、そうすると、レールの幅が局所的に変化してしまうことになる。このことにより、無人搬送車をガイドするガイドローラと、該ガイドローラの案内面となる該側板との間隔が局所的に変化して、該ガイドレールが該側板に当接したり離間したりするのを繰り返すこととなり、振動や騒音の原因となっていた。さらに、該側板の曲げ加工は、熟練工に頼るため、コストがかかっていた。
【０００４】
一方、後者の一体成形については、レール部材が大きくなるにつれてその一体成形は難しくなり、さらに、カーブ部分に使用されるレール部材の一体成形はかなり困難である。
そこで、本発明では、これらの点を鑑み、走行レールの構成するレール部材の成形を簡単化することを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次に該課題を解決するための手段を説明する。
すなわち、請求項１に記載の如く、上下に配置した、搬送車の進行方向に沿う長手方向を有する板材と、該板材に上下を挟まれた両側の側板とから成るレール部材において、前記板材にはその両側縁部に取付孔を穿孔するとともに、前記側板は、それぞれ上下方向に貫通孔を形成した複数枚の側板片を、前記板材の側縁に沿って並べることにより構成し、前記取付孔と該貫通孔とに固定部材を挿入することにより前記板材に対し前記側板片を固定する。
【０００６】
また、請求項２に記載の如く、複数枚の側板片のうち少なくとも一部の側板片に、曲面を有させるようにする。
【０００７】
そして、請求項３に記載の如く、前記側板片は、前記貫通孔が成形されるように押出し成形して構成する。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る一実施例について、半導体製造工場等のクリーンルームで実用化されている無人搬送車システム１を参照しながら説明する。
図１は無人搬送車システム１の概略構成を示す平面図、図２は走行経路の分岐部に用いられるレール部材２０Ａの斜視図、図３は走行経路のカーブに用いられるレール部材２０Ｌの斜視図、図４は曲面形状の側板片２３の斜視図、図５は平面形状の側板片２４の斜視図、図６は側板片２３を天板２１、及び底板２２に取り付けた状態の側面図（一部側面断面図）、図７は貫通孔２３ｂ・２３ｃ・・・を長孔とした側板片２３の平面図、図８は貫通孔２３ｂ・２３ｄ・・・を長孔とした側板片２３の平面図である。
【０００９】
図１に示すように、無人搬送車１０の走行経路となる主軌道２がループ状に敷設され、その内側に、該主軌道２と分岐・合流する副軌道３が敷設され、該軌道２・３に沿って複数のステーション６・６・・・が配置されている。
【００１０】
この主軌道２から副軌道３への分岐部では、搬送車１０よりガイド輪を出没させ、該ガイド輪を主軌道２、又は副軌道３に沿った溝部にあてがって進路を選択し、搬送車１０を主軌道２、又は副軌道３へと方向付けている。
【００１１】
また、軌道２・３に沿って、銅線などの導電線を絶縁材料で被覆した給電線と、フィーダ線を用いた通信線とが架設されている。
この給電線には、主電源装置から高周波の電流が流されており、該給電線周りに生じる磁界によって、搬送車１０に固定されたピックアップコイルで誘導起電流が発生し、この誘導起電流を増幅し、整流・平滑して、搬送車１０の制御機器や走行用モータ等へ給電が行われている。
【００１２】
一方、通信線は無人搬送車システム１全体を統括管理するホストコントローラに接続され、また、搬送車１０には該通信線と送受信を行う通信器が搭載されて、各搬送車１０・１０は該ホストコントローラからの搬送指令により自動走行している。
【００１３】
次に、軌道２・３を構成するレール部材２０について説明する。
前記軌道２・３は多数のレール部材２０Ｓ・２０Ａ・２０Ｂ・２０Ｌ・２０Ｒ・・・を連結して構成されている。主軌道２と副軌道３との分岐部に使用されるレール部材２０Ａが図２に示され、主軌道２のカーブ部分に用いられるレール部材２０Ｌが図３に示される。
尚、図１に示す、主軌道２と副軌道３との合流部に使用されるレール部材２０Ｂと、分岐部のレール部材２０Ａとは、対称な形状となる。主軌道２のカーブ部分に使用されるレール部材２０Ｒと、レール部材２０Ｌも同様である。
【００１４】
これらのレール部材２０Ａ・２０Ｂ・２０Ｌ・２０Ｒは、上下に配置した天板２１及び底板２２・２２と、複数枚の側板片２３・２４・・・とから成り、天板２１と底板２２・２２との間に側板片２３・２４・・・を並べた状態で取り付けて構成している。
図４及び図５に示すように、側板片には、曲面に形成されたもの２３と、平面に形成されたもの２４と、の２種類の形状があり、また、曲面に形成された側板片２３は、その曲率半径が異なるものを数種類用意してある。なお、走行レールのカーブの箇所がいずれも同じ曲率半径だったとしても、カーブの内側と外側とで側板の曲率が異なるので、曲率半径が異なる少なくとも二種類の側板片２３を用意する必要があることになる。
これらの側板片２３・２４・・・を種々組み合わせながら、レール部材２０Ａ・２０Ｂ・２０Ｌ・２０Ｒの両側板を構成していくのである。
【００１５】
また、図６に示すように、天板２１には、その両側縁に沿って複数の取付孔２１ａ・２１ａ・・・を穿孔し、該取付孔２１ａ・２１ａ・・・に位置を合わせて、前記天板２１に対向する底板２２の側縁に取付孔２２ａ・２２ａ・・・を穿孔する。一方、各側板片２３には、上下方向に複数の貫通孔２３ａ・２３ａ・・・を形成し、同様に、側板片２４にも、上下方向に複数の貫通孔２４ａ・２４ａ・・・を形成する。
【００１６】
そして、天板２１の取付孔２１ａから、側板片２３の貫通孔２３ａへ固定ボルト２６を挿入する。そして、該固定ボルト２６の下端を、底板２２の取付孔２２ａに通し、該下端をナット２７で締結する。このような手順で、天板２１と底板２２との間に、順次、側板片２３・２４・・・を取り付けていく。
なお、前記貫通孔２３ａは平面視長孔状に形成されており、レールに沿った方向での適宜の遊びを設けて、側板片２３・２４の位置合わせを容易とし、側板片２３・２４・・・が隙間なく並べた状態で天板２１・底板２２に対し固定できるようにしてある。
【００１７】
この構成は前記レール部材２０Ａ・２０Ｂ・２０Ｌ・２０Ｒの内外両側面に有効で、これによれば、レール部材２０Ａ・２０Ｂ・２０Ｌ・２０Ｒの側面を曲面形状に容易に仕上げることができる。
詳述すれば、曲面形状の側板片２３・２３・・・と、平面形状の側板片２４・２４・・・とを組み合わせながら、レール部材２０Ａ・２０Ｂ・２０Ｌ・２０Ｒの側面を、精度の良い滑らかな曲面に形成していくのである。このため、レールの幅が常に一定となり、レールの両側面と、無人搬送車の両側部に取り付けたガイドローラ（不図示）とが、片側では連続して当接し、他方側では連続して離間することとなり、無人搬送車に発生する振動や騒音を低減させることができる。この結果、振動に弱い半導体のウエハ等を搬送するのに最適な走行レールとなる。また、レール部材２０Ａ・２０Ｂ・２０Ｌ・２０Ｒの連結端部に取り付けられる、両端の側板片２３・２４・・・は、天板２１や底板２２から出っ張ることもあり、このような場合は必要に応じて、該側板片２３・２４・・・の出っ張った部分を切断してもよい。
【００１８】
一方、分岐部・合流部のレール部材２０Ａ・２０Ｂでは、片側の側板が平面状となることから、長板状に形成した１枚物の側板２５をその片側側板として用いてもかまわない。また、直線部分に用いるレール部材２０Ｓは、天板と底板と側板とを一体成形したものを用いるものとする。なお、この場合は、アルミ材をレールの長手方向に沿って押し出して、一体成形することになる。
【００１９】
ここで、側板片２３の構成は、上記記載のものに限定することなく、例えば、図７に示すように、側板片２３の貫通孔２３ｂ・２３ｃ・・・を強度が確保できる限りにおいて、より長い長孔となるように構成してもよい。これによれば、中空部分がより多く形成されることになって、材料コストを節約できるとともに、レール部材２０Ａ・２０Ｂ・２０Ｌ・２０Ｒの軽量化が図れる。さらに、図８に示すように、長孔に形成した側板片２３の貫通孔２３ｄに複数の節を設け、該節に固定ボルト２６が収まる構成としてもよい。このような構成とすることで、肉抜きの孔と、固定ボルト２６用の貫通孔とを兼ねることができる。
同様に、側板片２４についても、貫通孔２４ａ・２４ａ・・・を長孔で構成してもよい。
【００２０】
また、本発明では、これらの側板片２３・２４を、アルミ材を押出し加工して成形してあり、これにより同形状の側板片２３・２４・・・を多量に容易に製造することができる。
この押出し加工の際の押出し方向は、図４（図５）に示すように、貫通孔２３ａ（２４ａ）の軸方向（レールの長手方向に対し垂直な方向）としてある。図４（図５）に示すようにアルミ材に強圧を加えて型枠から押し出して所定の長さにカットし、貫通孔２３ａ・２３ａ・・・（２４ａ・２４ａ・・・）とともに側板片２３（２４）を成形する。
【００２１】
このように押出し方向を貫通孔２３ａ（２４ａ）の方向とすることで、側板片２３（２４）を成形する際に、同時に貫通孔２３ａ・２３ａ・・・（２４ａ・２４ａ・・・）を成形することができる。従って、穴ぐり加工が不要となって、製造コストや工数を低減できる。
【００２２】
このように側板片２３・２４・・・を製造することにより、量産が容易でコスト面でも有利となり、該側板片２３・２４・・・を用いて形成されるレール部材２０Ａ・２０Ｂ・２０Ｌ・２０Ｒを安価に生産できる。
【００２３】
【発明の効果】
本発明は以上の如く構成したので、以下の効果を奏するものである。
すなわち、請求項１のように、上下に配置した、搬送車の進行方向に沿う長手方向を有する板材と、該板材に上下を挟まれた両側の側板とから成るレール部材において、前記板材にはその両側縁部に取付孔を穿孔するとともに、前記側板は、それぞれ上下方向に貫通孔を形成した複数枚の側板片を、前記板材の側縁に沿って並べることにより構成し、前記取付孔と該貫通孔とに固定部材を挿入することにより前記板材に対し前記側板片を固定したことで、固定部材を取付孔・貫通孔に通して固定する簡単な組立て構成であるから、レール部材の組立て工数が低減される。
【００２４】
また、請求項２のように、複数枚の側板片のうち少なくとも一部の側板片に、曲面を有させるようにすることで、カーブ部分のレール部材の側面を容易に、かつ精度の良い曲面に成形することができる。
【００２５】
そして、請求項３のように、前記側板片は、前記貫通孔が成形されるように押出し成形して構成することで、側板片を成形する際に貫通孔も同時に形成されることとなるから、穴ぐり加工が不要となって、製造コストと工数が削減できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】無人搬送車システム１の概略構成を示す平面図。
【図２】走行経路の分岐部に用いられるレール部材２０Ａの斜視図。
【図３】走行経路のカーブに用いられるレール部材２０Ｌの斜視図。
【図４】曲面形状の側板片２３の斜視図。
【図５】平面形状の側板片２４の斜視図。
【図６】側板片２３を天板２１、及び底板２２に取り付けた状態の側面図（一部側面断面図）。
【図７】貫通孔２３ｂ・２３ｃ・・・を長孔とした側板片２３の平面図。
【図８】貫通孔２３ｂ・２３ｄ・・・を長孔とした側板片２３の平面図。
【符号の説明】
１    無人搬送車システム
２    主軌道
３    副軌道
１０    無人搬送車
２０    レール部材
２１    天板
２１ａ  取付孔
２２    底板
２２ａ  取付孔
２３    側板片
２３ａ  貫通孔
２３ｂ  貫通孔
２３ｃ  貫通孔
２３ｄ  貫通孔
２４    側板片
２４ａ  貫通孔
２６    固定ボルト
【図１】
0004134533.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0004134533.tif 000009