(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
容量可変範囲の上限か下限かの何れかにポンプ容量を切り換える切換手段が可変容量形液体ポンプに設けられた双安定ポンプと、これを駆動する電動モータと、前記双安定ポンプから圧力液体の供給を受ける作動部と、前記双安定ポンプの吐出流量またはそれに応じた前記作動部の可動部材の速度に対応した物理量を検出する第１検出手段と、別体の制御手段から受けた第１制御指令に前記第１検出手段の検出値を追従させる第１制御量を生成する第１制御量演算手段と、前記液体ポンプの吐出圧力またはそれに応じて前記作動部に生じた力を検出する第２検出手段と、前記制御手段から受けた第２制御指令に前記第２検出手段の検出値を追従させる第２制御量を生成する第２制御量演算手段と、前記第１制御量と前記第２制御量との何れか一方を選択して前記電動モータの回転制御に供する選択手段と、その選択に対応して前記切換手段を作動させる切換作動手段とを備えた液圧装置。
【請求項２】
回転駆動されて液体の吸入および吐出を行うポンプ本体と，その単位回転当たりの吐出容量を可変する容量可変機構と，この容量可変機構の受圧部に連通する導圧路に対して接続され吐出圧力等の高圧側の流路と吸入圧力等の低圧側流路とを連通させる切換弁とを具備した双安定ポンプと、これを駆動する電動モータと、前記双安定ポンプから圧力液体の供給を受ける作動部と、前記双安定ポンプの吐出流量またはそれに応じた前記作動部の可動部材の速度に対応した物理量を検出する第１検出手段と、別体の制御手段から受けた第１制御指令に前記第１検出手段の検出値を追従させる第１制御量を生成する第１制御量演算手段と、前記液体ポンプの吐出圧力またはそれに応じて前記作動部に生じた力を検出する第２検出手段と、前記制御手段から受けた第２制御指令に前記第２検出手段の検出値を追従させる第２制御量を生成する第２制御量演算手段と、前記第１制御量と前記第２制御量との何れか一方を選択して前記電動モータの回転制御に供する選択手段と、その選択に対応して前記切換弁を作動させる切換作動手段とを備えた液圧装置。
【請求項３】
前記容量可変範囲の下限または前記容量可変機構による容量可変範囲の下限を調節しうる下限調節手段を前記双安定ポンプに設けたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載された液圧装置。
【請求項４】
前記切換手段または前記切換弁での前記容量可変範囲の上限から下限への切換に際してその切換速度を下げる切換緩和手段を前記双安定ポンプに設けたことを特徴とする請求項３記載の液圧装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、作動部へ圧力液体を供給する液体ポンプを電動モータで駆動する油圧装置等の液圧装置に関し、詳しくは、作動状態の制御に際して速度制御と力制御とを選択的に行う液圧装置に関する。
また、この発明は、そのような液圧装置への組み込みに好適な可変容量形液体ポンプに関し、詳しくは、ポンプ容量が切換状態によって容量可変範囲の上限か下限かの何れかで安定する液体ポンプである言わば双安定ポンプにも関する。
【０００２】
【従来の技術】
油圧装置によっては油圧アクチュエータ等の作動部を駆動する際にロッド等の可動部材がシリンダエンド等の作動限に達して作動力が急増したのを受けて作動状態の制御を速度制御から力制御へ自動切換すると好都合な場合があり、そのために、速度検出手段と圧力検出手段とを設けるとともに、その検出結果を帰還させて速度指令に検出速度を追従させる速度制御と圧力指令に検出圧力を追従させる力制御との何れか一方を選択して有効にするようになっているものがある。
【０００３】
そして、そのような制御を行う油圧装置として、最近では、消費エネルギーが少なくて電動モータが小形化し易い等の利点から、定容量形油圧ポンプをサーボモータで駆動するハイブリッドシステムが増えてきており、さらに、制御指令に追従する速度制御・圧力制御等の制御が行い易いこと等の利点もかわれて、可変容量形油圧ポンプをサーボモータで駆動するものや、可変容量形油圧ポンプを可変速のブラシレスＤＣ−ＤＣモータで駆動するものも、提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
そして、このような液圧装置では、電動モータの制御可能範囲と液体ポンプの制御可能範囲とを組み合わせた広い制御可能範囲を利用しているため、制御手法や制御条件が適切であれば理論上はエネルギー効率の向上などの最適化が達成されると期待される。
しかしながら、制御可能範囲が広く制御変数等も多い状況で、最適な制御条件等を定めるのは、一般に単純ではなく、面倒な設計作業や煩雑な動作確認等が必要となる。このため、作動条件が大幅に変化するような状況や、種々のアプリケーションに適合するものを素早く提供することが求められるような状況では、制御手段が複雑で設計や開発の負担が重いので、不都合である。
【０００５】
そこで、電動モータの速度制御と液体ポンプの容量制御との組み合わせを採用するとともに、そうしたとしても、制御手段は簡素・簡便なものとなるように工夫することが課題となる。
この発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、モータ回転速度およびポンプ容量を可変して作動状態の速度制御および力制御を行う液圧装置を制御手段も含めて簡便に実現することを目的とする。
また、本発明は、そのような液圧装置に組み込むのに好適な液体ポンプを実現することも目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決するために発明された第１乃至第４の解決手段について、その構成および作用効果を以下に説明する。
【０００７】
［第１の解決手段］
第１の解決手段の双安定ポンプは、出願当初の請求項１に記載の如く、可変容量形液体ポンプにおいて、容量可変範囲の上限か下限かの何れかにポンプ容量を切り換える切換手段が設けられている、というものである。
また、このような双安定ポンプを組み込んだ第１の解決手段の液圧装置は、出願当初の請求項５に記載の如く、上記の双安定ポンプと、これを駆動する電動モータと、前記双安定ポンプから圧力液体の供給を受ける作動部と、前記双安定ポンプの吐出流量またはそれに応じた前記作動部の可動部材の速度に対応した物理量を検出する第１検出手段と、第１制御量を前記電動モータの回転制御に供すれば、受けた又は生成した第１制御指令に前記第１検出手段の検出値を追従させるような前記第１制御量を生成する第１制御量演算手段と、前記液体ポンプの吐出圧力またはそれに応じて前記作動部に生じた力を検出する第２検出手段と、第２制御量を前記電動モータの回転制御に供すれば、受けた又は生成した第２制御指令に前記第２検出手段の検出値を追従させるような前記第２制御量を生成する第２制御量演算手段と、前記第１制御量と前記第２制御量との何れか一方を選択して前記電動モータの回転制御に供する選択手段と、その選択に対応して前記切換手段を作動させる切換作動手段とを備えたものである。
【０００８】
このような第１解決手段の双安定ポンプを組み込んだ第１解決手段の液圧装置にあっては、電動モータによって液体ポンプである双安定ポンプが駆動されると双安定ポンプから作動部へ圧力液体が供給されて作動部では可動部材の駆動等がなされる。また、その速度等が第１検出手段によって検出され、その検出値に基づき第１制御量演算手段によって生成された第１制御量が選択手段によって前記電動モータの回転制御に供されると、速度指令等の第１制御指令に可動部材の速度等が追従し、速度制御が行われる。さらに、液体ポンプの吐出圧力や可動部材の推力等の力が第２検出手段によって検出され、その検出値に基づき第２制御量演算手段によって生成された第２制御量が選択手段によって前記電動モータの回転制御に供されると、圧力指令等の第２制御指令に吐出圧力等が追従し、力制御が行われる。こうして、電動モータの回転制御等に基づき速度制御と力制御とが選択的に行われる。
【０００９】
また、その選択に対応して即ち第１制御量の選択されている速度制御時か第２制御量の選択されている力制御時かに対応して、切換作動手段によって切換手段が作動させられ、これに応じてポンプ容量も切り換えられる。すなわち、双安定ポンプは、速度制御時にポンプ容量が容量可変範囲の上限になり、力制御時にポンプ容量が容量可変範囲の下限になる。こうして、大流量の必要な速度制御時には液体ポンプの基本的な吐出能力を増強させる一方、少量で足りる力制御時には液体ポンプの基本的な吐出能力を抑えることで、過剰な圧力液体の供給が回避されるので、エネルギー消費の無駄が少なくなる。
【００１０】
しかも、その液体ポンプは、可変容量形ポンプに切換手段を付加して実現できる簡素な双安定ポンプであり、その制御も、速度制御と力制御との選択に対応して切り換えるだけなので、簡便な手段にて行われる。また、そのようにしても、上述したように、速度制御や力制御は、電動モータの回転制御に対するフィードバック制御に基づいて遂行される。
【００１１】
このように、作動状態の速度制御および力制御が選択的に行われるのを前提として、モータ回転速度およびポンプ容量を可変するに際して、ポンプ容量の可変を双安定ポンプの容量切換という簡便な手法にて行うようにしたことにより、動作上不都合なく制御条件が絞り込まれるので、最適条件の設定等が簡単になり、制御手段も簡素化される。
したがって、この発明によれば、モータ回転速度およびポンプ容量を可変して作動状態の速度制御および力制御を選択的に行う液圧装置等を制御手段も含めて簡便に実現することができる。
【００１２】
［第２の解決手段］
第２の解決手段の双安定ポンプは、出願当初の請求項２に記載の如く、回転駆動されて液体の吸入および吐出を行うポンプ本体と、その単位回転当たりの吐出容量を可変する容量可変機構と、この容量可変機構の受圧部に連通する導圧路に対して接続され吐出圧力等の高圧側の流路と吸入圧力等の低圧側流路とを連通させる切換弁とを備えたものである。
また、このような双安定ポンプを組み込んだ第２の解決手段の液圧装置は、出願当初の請求項５に記載の如く、この第２解決手段の双安定ポンプと、上記電動モータと、その回転制御手段と、上記作動部と、上記第１検出手段と、上記第１制御量演算手段と、上記第２検出手段と、上記第２制御量演算手段と、上記選択手段と、その選択に対応して前記切換弁を作動させる切換作動手段とを備えたものである。
【００１３】
このような第２の解決手段の双安定ポンプにあっては、切換弁の作動状態に応じて、容量可変機構の受圧部に連通する導圧路に高圧側の流路と低圧側の流路との何れか一方が接続されると、容量可変機構によるポンプ容量が、増大または減少して、容量可変範囲の上限か下限かの何れかに落ち着く。これにより、上述した第１解決手段の双安定ポンプ及び液圧装置が具現化されることとなる。
【００１４】
しかも、その要点である切換手段が、容量可変機構に絡む導圧路に対して導入された切換弁にて具体化されているので、厄介な機構部・機械部分の改造は、液体ポンプだけ、それもその付加機構の一部だけで済ませることも可能であり、そのため、一層簡便に行うことができる。
したがって、この発明によれば、モータ回転速度およびポンプ容量を可変して作動状態の速度制御および力制御を選択的に行う液圧装置等を制御手段も含めて一層簡便に実現することができる。
【００１５】
［第３の解決手段］
第３の解決手段の双安定ポンプは、出願当初の請求項３に記載の如く、上記の第１の解決手段の双安定ポンプであって、上記第１解決手段における前記容量可変範囲の下限または上記第２解決手段における前記容量可変機構による容量可変範囲の下限を調節しうる下限調節手段が設けられたものである。
また、第３の解決手段の液圧装置は、出願当初の請求項５に記載の如く、上記の第１，第２の解決手段の液圧装置に上記第３解決手段の双安定ポンプを組み込んだものである。
【００１６】
容量可変範囲の下限が一般の可変容量形ポンプのように零または零に近いと、ポンプ容量がその下限になる力制御時に、吐出流量が少なくて済むとは言っても必要量を確保するには電動モータや液体ポンプが高速で回転しなければならないため、電動モータ等の機械効率が低下してしまいがちなところ、上記のような第３の解決手段の双安定ポンプ及び液圧装置にあっては、容量可変範囲の下限が調節可能なので、それが零や略零よりも大きくなるよう調節することで、力制御時における電動モータや液体ポンプの回転状態を下げることが可能である。
【００１７】
これにより、力制御時の機械効率が改善される。しかも、調節量を加減することで簡単に行うことができる。
したがって、この発明によれば、モータ回転速度およびポンプ容量を可変して作動状態の速度制御および力制御を選択的に行うようにしても制御手段も含めて簡便な液圧装置等について、力制御時の機械効率の低下も容易に防止することができる。
【００１８】
［第４の解決手段］
第４の解決手段の双安定ポンプは、出願当初の請求項４に記載の如く、上記の第３の解決手段の双安定ポンプであって、上記第１解決手段における前記切換手段または上記第２解決手段における前記切換弁の作動によってなされる前記容量可変範囲の上限から下限への切換に際してその切換速度を下げる切換緩和手段を備えたものである。
また、第４の解決手段の液圧装置は、出願当初の請求項５に記載の如く、上記の第１〜第３の解決手段の液圧装置に上記第４解決手段の双安定ポンプを組み込んだものである。
【００１９】
このような第４の解決手段の双安定ポンプ及び液圧装置にあっては、作動部の作動状態についての制御が速度制御から力制御に切り替わる際に、それに対応してポンプ容量も容量可変範囲の上限から下限へ切り替わるが、その切換速度が切換緩和手段によって下げられるので、ポンプ吐出流量は穏やかに減少する。
これにより、容量可変範囲の下限が零より大きく調節されていることとも相俟って、速度制御から力制御への切換時にポンプによる液体供給状態が電動モータ等の加速性能を超えて急変するということは確実に阻止されるので、ポンプ容量の変更を速度制御から力制御への切換に連動して単純に行っても、不所望な衝撃を伴うような圧力変動等が生じることは無い。
したがって、この発明によれば、モータ回転速度およびポンプ容量を可変して作動状態の速度制御および力制御を選択的に行うようにしても制御手段も含めて簡便な液圧装置等について、力制御時の機械効率の低下を容易に防止するとともに、速度制御から力制御への切換時に衝撃等が発生するのを防止することもできる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
このような解決手段で達成された本発明の双安定ポンプ及び液圧装置について、これを実施するための具体的な形態を、以下の第１〜第３実施例により説明する。
図１〜図３に示した第１実施例は、上述した第１〜第４の解決手段を具現化したものであり、図４及び図５に示した第２実施例や、図６の第３実施例は、その変形例である。
なお、それらの図示に際しては、簡明化等のため、筐体パネルや，ベース，フレーム，ボルト等の締結具，ヒンジ等の連結具，Ｏリング等のシール部材，継手等の接続部材などは図示を割愛し、発明の説明に必要なものや関連するものを中心に主として記号やブロックで図示した。また、電気信号ラインと油圧のメインラインは細い実線で、油圧のパイロットラインは細い長破線で図示した。
【００２１】
【第１実施例】
本発明の双安定ポンプ及び液圧装置の第１実施例について、その具体的な構成を、図面を引用して説明する。図１は、ポンプ構造等を示し、（ａ）が詳細ブロック図、（ｂ）が一定速度で回転させたときの圧力−流量特性グラフ、（ｃ）が斜板での容量可変方式の原理を示す要部斜視図、（ｄ）が容量可変機構や切換弁等も付加した要部の断面図である。また、図２は、液圧装置の構成を示し、（ａ）が全体ブロック図、（ｂ）がモータコントローラのブロック図である。さらに、図３は、モータドライバの回路図である。先ず、液体ポンプ５（双安定ポンプ）について説明し、その後で、それを組み込んだ液圧装置について述べる。
【００２２】
液体ポンプ５は（図１参照）、斜板５ｈの傾転角を可変制御しうるアキシャルピストンポンプが良く用いられるが、可変容量形であれば、ラジアルピストンポンプやベーンポンプ等の他のタイプのものでも良い。いずれであっても、ポンプ軸５ｄを回転駆動されて液体の吸入および吐出を行うポンプ本体に、その単位回転当たりの吐出容量を可変する容量可変機構５ａが付設されていて、容量可変機構５ａや斜板５ｈの可動範囲が制約されなければ、液体ポンプ５の容量が制御可能範囲の上限に来たときポンプ軸５ｄの単位回転数当たり最大量を吐出し、液体ポンプ５の容量が制御可能範囲の下限に来たとき吐出量Ｑがほぼ零になるようになっている。
【００２３】
アキシャルピストンポンプを例に詳述すると（図１（ｃ），（ｄ）参照）、ポンプ軸５ｄを介してシリンダブロック５ｆが電動モータ４によって回転駆動されると、シュープレート５ｇに一端の係止された幾つかのピストンが進退し、それに伴って、バルブプレートの吸い込みポート５ｅから油等の液体が吸い込まれるとともに、バルブプレートの吐き出しポート５ｃから液体が吐出されるようになっている。シュープレート５ｇの傾きを規定する斜板５ｈ（ヨーク）は、傾動可能に支持され、その傾きが容量可変機構５ａによって可変制御されるようになっている。容量可変機構５ａは、斜板５ｈを押しながら進退移動しうる受圧部材を具えるとともに、導圧路５ｉに供給されたパイロット圧を適宜の連通路経由で上記の受圧部材に導いて、そのパイロット圧が高いと斜板５ｈの傾転角を変えてピストンの行程および吐出流量Ｑを零に近づけ、パイロット圧が低いと斜板５ｈの傾転角を逆向きに変えてピストンの行程および吐出流量Ｑを最大に近づけるようになっている。
【００２４】
また（図１（ａ），（ｄ）参照）、その導圧路５ｉの端にポートの一つを合わせて切換弁５ｂ（切換手段）もポンプ本体に付設されている。切換弁５ｂは、後述するモータコントローラ２０からの切換信号Ａに応じて作動する２位置の電磁弁であり、その各ポートには、上記導圧路５ｉの他、ポンプの吐出ポート５ｃに連通していて吐出圧力Ｐを導く高圧側流路と、ポンプの吸込ポート５ｅに連通していて大気圧かそれより負圧の吸入圧力を導く低圧側流路も、連通するように接続されている。そして、切換信号Ａがオフのときには、導圧路５ｉを低圧側流路に連通させ、これによってポンプ容量を容量可変機構５ａによる容量可変範囲の上限に切り換える一方（図１（ｂ）の実線グラフ参照）、切換信号Ａがオンのときには、導圧路５ｉを高圧側流路に連通させ、これによってポンプ容量を容量可変機構５ａによる容量可変範囲の下限に切り換えるようになっている（図１（ｂ）の長破線グラフ参照）。
【００２５】
さらに（図１（ａ），（ｄ）参照）、その下限を調節可能とするために、ポンプ本体のうち容量可変機構５ａと干渉するところに、当接位置調整ネジ機構５ｊ（下限調節手段）も付設されている。当接位置調整ネジ機構５ｊは、斜板５ｈに関して上記の受圧部材とは反対側に設けられて、ネジ部材の先端が斜板５ｈに当接することで斜板５ｈの可動範囲を下限側から規制するようになっている。そのネジ部材は、ケーシングを貫いた状態で設けられ、ロックナットや図示しない適宜のシール部材等も付けられている。そして、その露出端を適宜な治具等で回すと、ネジ部材が斜板５ｈに向けて進退するので、斜板５ｈの下限側停止位置が変えられる。これにより、外部から容量可変機構５ａによる容量可変範囲の下限を調節することができるようになっている（図１（ｂ）の長破線グラフと短破線グラフと点線グラフとを参照）。
【００２６】
また、切換弁５ｂには、オリフィスやチョーク状の小孔が貫通形成された雄ネジ部材からなる絞り５ｋ（切換緩和手段）も装着されている。この絞り５ｋは、高圧側流路に連通するポートの奥にねじ込まれていて、切換信号Ａのオン時に吐出ポート５ｃから導圧路５ｉへ流れ込む液体流量を少量に規制する。そして、その流量規制に基づいて、容量可変機構５ａへのパイロット圧が吸入圧力から吐出圧力Ｐへ上昇する際にゆっくり上昇させ、それを受ける受圧部材もゆっくり移動させることで、切換弁５ｂによる容量可変範囲の上限から下限への切換に際してその切換速度を下げるようになっている。また、この絞り５ｋは、ポンプ本体から切換弁５ｂを外せば簡単にレンチ等のねじ回しで交換でき、それによってオリフィス径等の絞り量の変更等も容易にできるようになっているが、そのような必要の無い場合には、切換弁５ｂのスプールのエッジ部にテーパや切欠をつける等のことで、切換速度を緩和するようにしても良い。
【００２７】
次に、上記の液体ポンプ５を組み込んだ液圧装置は（図２（ａ）参照）、メインコントローラ１（制御手段）が幾つかの駆動系に制御指令を出しながらアプリケーションに対応した順序制御を行うものであるが、その駆動系の一つに、上記の液体ポンプ５を電動モータ４で駆動するものが採用されている。その液体ポンプ５の吐出側には、適宜のゴムホースや金属管等の配管を介して油圧アクチュエータ等からなる作動部６が液圧駆動可能に接続され、作動部６の可動部材を駆動するのに必要な圧力液体が液体ポンプ５から作動部５へ供給されるようになっている。
【００２８】
作動部６の典型例としては、油圧シリンダが挙げられるが、その場合、可動部材は、液体ポンプ５の吐出量Ｑにほぼ対応した速度で移動するピストンロッド等であり、作動限６ａは、そのロッドが当接するシリンダエンドであったり、そのロッドの先で起こる金型への充填材の充満であったりする。その可動部材の移動速度を検出するために、作動部６には速度検出手段６ｂ（第１検出手段）が付設されている。この速度検出手段６ｂは、ロータリエンコーダやリニアエンコーダ等の適宜な検出装置を用いて可動部材の速度Ｖｆ（第１検出手段の検出値）を検出するものであり、その検出先の可動部材には、磁石等の被検出子が付設されたり検出光通過用の切欠が形成されたりする。また、作動部６と液体ポンプ５との間の配管等には、液体ポンプ５の吐出圧力Ｐを検出するために、力検出手段６ｃ（第２検出手段）が接続されている。それには検出圧力Ｐｆ（第２検出手段の検出値）を電気信号で帰還させるために圧電変換回路付きの圧力計等が採用されている。
【００２９】
さらに、電動モータ４には、少なくとも電流制御・トルク制御の可能なサーボモータが採用され、それに駆動電流を供給しうるように、モータ制御用電子回路２が接続されている。電動モータ４とモータ制御用電子回路２との間には、電流制御・トルク制御を可能とするために、その駆動電流を検出するとともに電気信号（Ｉｆ）にしてモータ制御用電子回路２へ帰還させる電流検出手段４ａが設けられている。その帰還信号を受けるモータ制御用電子回路２は、信号送受可能にメインコントローラ１と接続されていて、メインコントローラ１で生成された速度指令Ｖｃ（第１制御指令）を受けてこれに基づき速度制御を行うとともに、やはりメインコントローラ１で生成された圧力指令Ｐｃ（第２制御指令）を受けて圧力制御（力制御）を行うようになっている。
【００３０】
そのため、モータ制御用電子回路２には、パワートランジスタ等を有して電動モータ４への駆動電流を生成するモータドライバ３０と、そのパワートランジスタのオンオフ等を電動モータ４の各相に対応づけて制御するため例えば三相のパルス信号Ｕｐ，Ｖｐ，Ｗｐを生成してモータドライバ３０へ送出するモータコントローラ２０とが設けられている。このモータコントローラ２０による電動モータ４の回転制御は、駆動電流Ｉｆに基づくフィードバック制御である電流制御によって行われ、モータコントローラ２０による速度制御や圧力制御は、その電流制御をマイナーループとした多重のフィードバックループにて行われるようになっている。
【００３１】
モータコントローラ２０は（図２（ｂ）参照）、専用のアナログ回路やデジタル回路あるいは汎用のマイクロプロセッサシステム等の何れか又はそれらの組み合わせで具体化されており、それには、電流検出手段４ａからの駆動電流Ｉｆに加えて、速度検出手段６ｂ及び力検出手段６ｃからの速度Ｖｆ及び圧力Ｐｆも、それぞれ適宜の信号伝送用ケーブル等を介して帰還されるようになっている。モータコントローラ２０には、速度制御を担うために、速度指令Ｖｃと速度Ｖｆとから速度制御量Ｖｐ（第１制御量）を生成する第１制御量演算手段２１＋２２が設けられており、圧力制御を担うために、圧力指令Ｐｃと圧力Ｐｆとから圧力制御量Ｐｐ（第２制御量）を生成する第２制御量演算手段２３＋２４が設けられており、電流制御を担うために、モータ回転制御手段２７＋２８が設けられている。
【００３２】
第１制御量演算手段２１＋２２には、速度制御量Ｖｐが電流指令Ｉｐとしてモータ回転制御手段２７＋２８へ送出されると速度指令Ｖｃに速度Ｖｆを追従させることとなるような速度制御量Ｖｐを生成するために、すなわち速度Ｖｆが速度指令Ｖｃに近づいて一致するような速度制御量Ｖｐを生成するために、速度指令Ｖｃから速度Ｖｆを減じて差ΔＶを算出する減算回路等の速度誤差演算部２１と、例えばＰＩ制御を行うため差ΔＶに対して適宜の増幅や積分等の処理も施して速度制御量Ｖｐを生成する速度制御量演算部２２とが設けられている。
【００３３】
第２制御量演算手段２３＋２４には、圧力制御量Ｐｐが電流指令Ｉｐとしてモータ回転制御手段２７＋２８へ送出されると圧力指令Ｐｃに圧力Ｐｆを追従させることとなるような圧力制御量Ｐｐを生成するために、すなわち圧力Ｐｆが圧力指令Ｐｃに近づいて一致するような圧力制御量Ｐｐを生成するために、圧力指令Ｐｃから圧力Ｐｆを減じて差ΔＰを算出する減算回路等の圧力誤差演算部２３と、例えばＰＩ制御を行うため差ΔＰに対して適宜の増幅や積分等の処理も施して圧力制御量Ｐｐを生成する圧力制御量演算部２４とが設けられている。
【００３４】
また、それらに加えて、モータコントローラ２０には、速度制御から圧力制御への切換を自動で行うために、しかも決定困難な閾値等が無くても切換判別が適切に行えるように、次のような選択手段２５＋２６が設けられている。すなわち、選択手段２５＋２６には、速度制御量Ｖｐと圧力制御量Ｐｐとの何れか一方を選択してモータ回転制御手段２７＋２８に供するために、差ΔＶと差ΔＰとを入力してその大小を比較する比較部２５と、その比較結果として得られる選択Ｓに基づいて差ΔＶが差ΔＰより小さいときには電流指令Ｉｐとして速度制御量Ｖｐを選択し差ΔＶが差ΔＰより大きいときには電流指令Ｉｐとして圧力制御量Ｐｐを選択してその電流指令Ｉｐを電流制御部２７に送出する選択切換部２６とが設けられている。
【００３５】
モータ回転制御手段２７＋２８には、選択切換部２６から電流指令Ｉｐを受けるとともに電流検出手段４ａから駆動電流Ｉｆを受けて電流指令Ｉｃに駆動電流Ｉｆを一致させるような制御信号を生成する電流制御部２７と、その制御信号を受けてそれに適宜のパルス幅変調等の処理を行って三相パルス信号Ｕｐ，Ｖｐ，Ｗｐを生成するパルス幅変調部２８（信号変換手段）とが設けられている。その三相パルス信号Ｕｐ，Ｖｐ，Ｗｐは、モータドライバ３０へ送出されるようになっている。
【００３６】
さらに、モータコントローラ２０には、選択手段２５＋２６の選択Ｓに対応して切換弁５ｂを作動させるために切換弁駆動回路２９（切換作動手段）も設けられている。切換弁駆動回路２９は、切換弁５ｂの電磁駆動部を励磁させるのに適した例えばリレー回路やパワートランジスタ回路であり、選択Ｓに対応して切換信号Ａをオン／オフさせるようになっている。具体的には、選択Ｓが電流指令Ｉｐに速度制御量Ｖｐを選んでいるときには切換信号Ａがオフで上述したようにポンプ容量が容量可変機構５ａによる容量可変範囲の上限に切り換えられ、選択Ｓが電流指令Ｉｐに圧力制御量Ｐｐを選んでいるときには切換信号Ａがオンでポンプ容量が容量可変機構５ａによる容量可変範囲の下限に切り換えられるようになっている。
【００３７】
また、モータドライバ３０は、パルス信号Ｕｐに従って何れか一方が導通し他方が遮断する直列接続のトランジスタ対Ｑ１，Ｑ２と、同様にパルス信号Ｖｐに従って交互に導通・遮断するトランジスタ対Ｑ３，Ｑ４と、パルス信号Ｗｐに従って交互に導通・遮断するトランジスタ対Ｑ５，Ｑ６とを具えたインバータである。各トランジスタＱ１〜Ｑ６は、ＩＧＢＴ等のパワートランジスタからなり、フライホイールダイオードや図示しないスナバ回路等も必要に応じて適宜付加されている。また、３組のトランジスタ対は、商用の交流電流を直流に変換する電源部３１から延びた正負一対の配線間に接続されていて、正側トランジスタＱ１，Ｑ３，Ｑ５がオンして導通状態のとき電動モータ４の各相Ｕ，Ｖ，Ｗへ電流を流し込む一方、負側トランジスタＱ２，Ｑ４，Ｑ６がオンして導通状態のとき電動モータ４の各相Ｕ，Ｖ，Ｗから電流を吸い込むようになっている。なお、これらのトランジスタとモータコントローラ２０との間には、パルス信号Ｕｐ，Ｖｐ，Ｗｐに対応したベース電流を増幅生成するアンプや、対のトランジスタが同時にオンして短絡等の障害が起こるのを防止するための回路３２等も付設されている。
【００３８】
この第１実施例の双安定ポンプ及び液圧装置について、その使用態様及び動作を説明する。
【００３９】
作動部６の可動部材が高速前進してから作動限６ａに達して停止状態に近い微速で前進する場合を具体例とし、これに対応して、速度指令Ｖｃ及び圧力指令Ｐｃがスタート時から前進および略停止まで正の一定値で与えられ、圧力指令Ｐｃは速度指令Ｖｃより大きいものとする。
【００４０】
そうすると、作動限６ａに達するまでは作動部６の可動部材がスムースに前進して圧力Ｐｆが大きくならない一方で速度Ｖｆが速度指令Ｖｃに追従することから、差ΔＶが差ΔＰより小さい状態が維持されるので、比較部２５からの選択Ｓによって速度制御が選択されるため、第１制御量演算手段２１＋２２からの速度制御量Ｖｐが電流指令Ｉｐに用いられ、その速度制御によって速度Ｖｆが速度指令Ｖｃに追従させられる状態が維持される。
【００４１】
また、その状態では、選択Ｓに従う切換弁駆動回路２９によって切換信号Ａがオフにされ、これで作動する切換弁５ｂによって、液体ポンプ５の容量が容量可変機構５ａによる容量可変範囲の上限にされるので、電動モータ４が速度制御にて高速回転させられるのと相俟って、液体ポンプ５の吐出量Ｑは、増量されて、作動部６の可動部材を速度指令Ｖｃ対応速度で移動させるのに必要かつ十分な量に維持される（図１（ｂ）の実線グラフ参照）。こうして、作動部６の可動部材が作動限６ａに達するまではほぼ一定速度で前進する。しかも、ポンプ吐出能力をほぼ最大限に発揮しながらその全吐出量が無駄なく作動部の駆動に供給される。
【００４２】
そして、作動部６の可動部材が作動限６ａに達すると強い反力等を生じてその進行が止められるとともに圧力Ｐｆが急激に上昇する一方で速度Ｖｆが速度指令Ｖｃに追従できなくなる。これに伴い、差ΔＰは急減し、差ΔＶは急増して、差ΔＰが差ΔＶを下回るようになる。すると、それに対応して、比較部２５からの選択Ｓの内容が切り替わって、選択Ｓによって圧力制御が選択されるため、第２制御量演算手段２３＋２４からの圧力制御量Ｐｐが電流指令Ｉｐに用いられ、その圧力制御によって圧力Ｐｆが圧力指令Ｐｃに追従させられるようになる。
【００４３】
しかも、そのとき、選択Ｓに従う切換弁駆動回路２９によって切換信号Ａがオンされ、これで作動する切換弁５ｂによって、液体ポンプ５の容量が容量可変機構５ａによる容量可変範囲の下限にされる。その際、絞り５ｋの働きによって切換弁５ｂがゆっくり切り替わるため、それに伴って液体ポンプ５の容量も容量可変機構５ａによる容量可変範囲の上限から下限へゆっくりと変化することから、サーボコントロールすなわちモータコントローラ２０による電動モータ４のフィードバック制御が、切換弁５ｂの作動によっては一時も不能にされることなく働くので、電動モータ４の回転速度が圧力制御にて適切な回転速度にされて、液体ポンプ５の容量が下げられるのとも相俟って、液体ポンプ５の吐出量Ｑは、ショックを生ずることなく減少して、作動部６の可動部材を微速前進させながら吐出圧力Ｐを圧力指令Ｐｃ対応圧力に維持するのに必要かつ十分な量に落ち着く（図１（ｂ）の長破線グラフ参照）。
【００４４】
その状態では、一般に吐出流量Ｑの変動が小さいので、電動モータ４の回転は、概ね、液体ポンプ５の容量に逆比例して決まる。そこで、圧力制御時のモータ回転速度が高すぎて電動モータ４や液体ポンプ５の機械効率が良くないときには、当接位置調整ネジ機構５ｊの調節を行って容量可変機構５ａによる容量可変範囲の下限を上げる。そうすると、モータ回転速度が同じであれば吐出流量Ｑは増加するのであるが（図１（ｂ）における短破線グラフや点線グラフ参照）、フィードバック制御によって、吐出流量Ｑは必要量に維持され、代わりにモータ回転速度が低下する。
【００４５】
こうして、圧力制御時には圧力Ｐｆの変動が抑制され、速度制御時には速度Ｖｆの変動が抑制されて、何れの制御状態でも、制御指令Ｖｃ，Ｐｃに追従する制御が的確に行われる。しかも、メインコントローラ１は、モータ制御用電子回路２に対して制御指令Ｖｃ，Ｐｃを与えれば良く、液体ポンプ５の容量を直接制御する必要がないので、簡素なもので足りる。また、差ΔＶ，ΔＰの大小比較に基づいて切換判定を行うようにもしたことにより、所定の閾値等が無くても確実に速度制御から力制御への自動切換が安定して行われる。
【００４６】
さらに、その切換判定時に生成された選択Ｓを利用して直截的に切換信号Ａも生成されるので、液体ポンプ５の容量制御を担うモータコントローラ２０も、簡素なもので済む。
その結果、ポンプ構造ばかりかメインコントローラ１やモータコントローラ２０についても複雑化を招くことなく、モータ回転速度およびポンプ容量を可変して作動状態の速度制御および力制御を行う液圧装置を具現化することができるうえ、エネルギー効率の向上まで達成することができる。
【００４７】
【第２実施例】
本発明の双安定ポンプ及び液圧装置の第２実施例について、その具体的な構成を、図面を引用して説明する。図４は、液圧装置の構成を示し、（ａ）が全体ブロック図、（ｂ）がモータコントローラの一部のブロック図である。また、図５は、ポンプ構造等を示し、（ａ）が詳細ブロック図、（ｂ）が圧力−流量特性のグラフである。
【００４８】
この液圧装置が上述した第１実施例のものと相違するのは、電動モータ４がサーボモータからオープン制御の誘導電動機４１に変えられた点と、それに伴いモータコントローラ２０がそれ用のモータコントローラ４２になった点である。
また、この双安定ポンプ５が上述した第１実施例のものと相違するのは、上限調節手段５ｍが追加されている点である。
【００４９】
誘導電動機４１には（図４（ａ）参照）、安価で一般的なかご形三相誘導電動機等が採用され、オープン制御なので、すなわち誘導電動機４１自体およびその直前直後からの検出を伴ったフィードバック制御が行われないので、電流検出手段４ａは省かれている。もっとも、モータ回転制御以外のところのフィードバック制御までは排除しないので、誘導電動機４１の先に設けられた液体ポンプ５や作動部６には速度検出手段６ｂや力検出手段６ｃが設けられており、その検出（Ｐｆ，Ｖｆ）に基づくフィードバック制御は、モータコントローラ４２にも引き継がれている。
【００５０】
モータコントローラ４２がモータコントローラ２０と相違するのは、モータ回転制御の部分であり、電流制御部２７及びパルス幅変調部２８が次の電圧制御発振回路（ＶＣＯ）４３及び三相変換部４４にて置き換えられている。すなわち（図４（ｂ）参照）、モータコントローラ４２では、選択切換部２６に後続して、電流指令Ｉｐを制御電圧として入力しそれに応じて発振周波数を変えるＶＣＯ４３と、その発振信号から互いに位相のずれた３つの発振信号を生成してインバータであるモータドライバ３０に送出する三相変換部４４とが設けられていて、駆動電流Ｉｆの帰還が無くても、誘導電動機４１の回転速度を可変しうるようになっている。
【００５１】
上限調節手段５ｍは（図５（ａ）参照）、当接位置調整ネジ機構５ｊと同様に外部からの操作にて斜板５ｈへの当接端を進退させうるものであれば当接位置調整ネジ機構５ｊと同一構造のものでも異なる構造のものでも良いが、当接位置調整ネジ機構５ｊとは反対側から斜板５ｈに当接するところに設置されていて、外部から容量可変機構５ａによる容量可変範囲の上限を調節することができるようになっている（図５（ｂ）の長破線グラフと短破線グラフと点線グラフとを参照）。
【００５２】
この場合、誘導電動機４１の回転制御がオープン制御なので誘導電動機４１における滑り量によって誘導電動機４１の回転速度は多少変動するが、許容範囲を超えて大きく変動しない限り、検出（Ｐｆ，Ｖｆ）に基づくモータコントローラ４２のフィードバック制御によって吸収されるので、それ以外の動作等は、第１実施例について上述したのとほぼ同様のものとなる。そこで、サーボモータを廃して誘導電動機４１をインバータ３０でオープン制御する安価な液圧装置であっても、ポンプ構造ばかりか制御手段についても複雑化を招くことなく、モータ回転速度およびポンプ容量を可変して作動状態の速度制御および力制御を行う液圧装置を具現化することができるうえ、エネルギー効率の向上まで達成することができる。しかも、この場合、容量可変機構５ａによる容量可変範囲に関してその下限ばかりか上限も調節しうるようになっているので、圧力制御時の動作条件に加えて速度制御時の動作条件についても、種々の動作環境・状況に適合させるのが容易になっている。
【００５３】
【第３実施例】
図６にフローチャートを示した本発明の液圧装置は、上述した第１実施例と同じものを別の形態で具体化したものである。すなわち、モータコントローラ２０にコンピュータが用いられ、第１，第２制御量演算手段や、選択手段、モータ回転制御手段などが、プログラム処理にて具体化されたものである。コンピュータには、汎用のマイクロプロセッサやデジタルシグナルプロセッサ等が採用され、シリアルやパラレルのデジタルデータ入出力回路が内蔵または外付けされる。また、Ａ／Ｄ変換回路やＤ／Ａ変換回路も必要なだけ付設される。
【００５４】
その処理について詳述すると、先ず速度指令Ｖｃ，速度Ｖｆ，圧力指令Ｐｃ，圧力Ｐｆ，駆動電流Ｉｆがデジタル値に変換されて入力され（ステップＳ１）、それらから差ΔＶ及び差ΔＰが算出される（ステップＳ２）。次に差ΔＶと差ΔＰとが比較されて（ステップＳ３）、差ΔＶが差ΔＰより小さいときには差ΔＶやそれ以前の積分値等から速度制御量Ｖｐが算出されて電流指令Ｉｐにされる（ステップＳ４）とともに切換信号Ａがオフにされる（ステップＳ５）一方、差ΔＶが差ΔＰより大きいときには差ΔＰやそれ以前の積分値等から圧力制御量Ｐｐが算出されて電流指令Ｉｐにされる（ステップＳ６）とともに切換信号Ａがオンにされる（ステップＳ７）。それから、電流指令Ｉｐと駆動電流Ｉｆとの差を無くすような駆動電流値が算出され（ステップＳ８）、その算出値に基づくパルス幅変調処理にて三相パルス信号Ｕｐ，Ｖｐ，Ｗｐが生成されそれがモータドライバ３０に送出される（ステップＳ９）。このモータコントローラ２０は、それら一連の処理が所定周期で繰り返されるようになっている。
【００５５】
この場合、ステップＳ２で速度誤差演算部２１及び圧力誤差演算部２３の処理が行われ、ステップＳ３で比較部２５の処理が行われ、ステップＳ４で速度制御量演算部２２及び選択切換部２６の処理が行われ、ステップＳ６で圧力制御量演算部２４及び選択切換部２６の処理が行われ、ステップＳ５，Ｓ７で切換弁駆動回路２９に対する出力処理が行われ、ステップＳ８で電流制御部２７の処理が行われ、ステップＳ９でパルス幅変調部２８の処理が行われるので、その動作結果は、第１実施例について説明したのと同様になる。
【００５６】
【その他】
なお、上記実施例では、作動部６がシリンダ等の油圧アクチュエータの場合を述べたが、この発明の適用は、それに限られず、油圧モータや他のアクチュエータであっても良い。例えば、ボールネジ等の回転直進運動変換機構とラムシリンダ等の加圧機構との組み合わせや、減速ギヤ等を介在させて連結された揺動機構などもよく用いられる。また、その応用も、例えば、プレス装置やダイキャストマシーンの他、ガラス用成形機や，工作機，射出成形機，圧入部品装着装置，移載装置，ロボットアーム等、種々の分野で可能である。さらに、液体は、油圧が普及しており使い易いが、油圧に限られるもので無く、例えばアプリケーションの特質や制約事項等にもよるが、水や、化学合成された液体、異種液体の混合液、粉粒材の混入液などを用いても良い。
【００５７】
また、その他の各構成要素についても付言すると、第１検出手段には、上述した速度検出手段６ｂのように速度Ｖｆを直接求めるものの他、加速度や位置など速度算出の基礎となる物理量を測定するものも利用可能であり、あるいは液体ポンプ５の吐出流量Ｑを測定する流量計等も使用することができる。そのポンプ吐出流量Ｑの検出も、流体容積を計る直接的な手段の他、流路における差圧や動圧を測定して流量に変換演算するものや、液体ポンプ５の容量と回転速度とを測定して吐出流量Ｑを算出するもの等、間接的な手段であっても良い。液体ポンプ５の容量は、例えばアキシャルピストンポンプなら斜板に対して傾転角センサを設ける等のことで求められ、その場合でも、速度制御時は高速回転のため、ポンプ吐出流量Ｑを推定する演算結果の誤差も少ないので、適切な検出値が得られる。第２検出手段には、圧力を検出するプレッシャーゲージ等の他、液体ポンプ５の吐出圧力Ｐに応じて作動部６に生じた力を検出するものも使用可能であり、力Ｐｆとして作動部６の作動力等を検出する場合には、ロードセル等が採用され、推力を生じる作動部材やそれを受ける部材等に付設される。トルクを検出する場合にはトルク計なども用いられる。
【００５８】
さらに、速度制御量演算部２２や圧力制御量演算部２４には、上述したＰＩ制御の他、ＰＩＤ制御やベクトル制御なども適宜採用され、その手法は適宜のハードウェアやソフトウェアを用いた一般的な設計技術にて具体化される。ＶＣＯ４３や三相変換部４４も、上述したようなアナログ回路に限らず、デジタルのカウンタ回路やコンピュータのプログラム処理に基づくもので良く、パルス幅変調等を伴うものであっても良い。電動モータ４がサーボモータの場合、それには、ブラシレスＤＣサーボモータでは永久磁石同期モータ等が用いられ、誘導モータではかご形誘導モータが多用される。
【００５９】
また、上記の各実施例では、メインコントローラ１とモータ制御用電子回路２とが別のユニットに分離されていたが、これに限られるものでなく、メインコントローラ１とモータ制御用電子回路２が同じユニットに纏められていても良く、あるいはメインコントローラ１とモータコントローラ２０とが同じユニットでも良い。あるいは同じコンピュータシステムに纏められていても良く、そのような場合は、速度指令Ｖｃや圧力指令Ｐｃはモータ制御用電子回路２内で生成され、ボード間や回路ブロック間あるいはルーチン間で引き渡されることもある。
【００６０】
また、上記の各実施例では、液体ポンプ５から作動部６への液体流路に方向制御弁やリリーフ弁等の存在を明示しなかったが、この発明は、それらの存在を否定するものでは無く、方向制御弁等が組み込まれていても良い。また、作動部の可動部材の往復動や安全確保等のためや、その他の必要に応じて、適宜、種々の油圧回路等が接続されていても良い。
【００６１】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の第１の解決手段の双安定ポンプ及び液圧装置にあっては、双安定ポンプの容量切換にて制御条件を絞り込んでおくようにしたことにより、モータ回転速度およびポンプ容量を可変して作動状態の速度制御および力制御を選択的に行う液圧装置等を制御手段も含めて簡便に実現することができたという有利な効果が有る。
【００６２】
また、本発明の第２の解決手段の双安定ポンプ及び液圧装置にあっては、制御条件の絞り込みに役立つポンプ容量の切換が切換弁にてなされるようにしたことにより、モータ回転速度およびポンプ容量を可変して作動状態の速度制御および力制御を選択的に行う液圧装置等を制御手段も含めて一層簡便に実現することができたという有利な効果を奏する。
【００６３】
さらに、本発明の第３の解決手段の双安定ポンプ及び液圧装置にあっては、容量可変範囲の下限を調節して力制御時における電動モータや液体ポンプの回転状態を下げうるようにもしたことにより、モータ回転速度およびポンプ容量を可変して作動状態の速度制御および力制御を選択的に行うようにしても制御手段も含めて簡便な液圧装置等について、力制御時の機械効率の低下も容易に防止することができたという有利な効果が有る。
【００６４】
また、本発明の第４の解決手段の双安定ポンプ及び液圧装置にあっては、液体供給状態が電動モータ等の加減速性能を超えて急変することが無いようにもしたことにより、モータ回転速度およびポンプ容量を可変して作動状態の速度制御および力制御を選択的に行うようにしても制御手段も含めて簡便な液圧装置等について、力制御時の機械効率の低下を容易に防止するとともに、速度制御から力制御への切換時に衝撃が発生するのを防止することもできたという有利な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の双安定ポンプ及び液圧装置の第１実施例について、ポンプ構造等を示し、（ａ）が詳細ブロック図、（ｂ）が圧力−流量特性のグラフ、（ｃ）が斜板での容量可変方式の原理を示す要部斜視図、（ｄ）が容量可変機構や切換弁等も付加した要部の断面図である。
【図２】      液圧装置の構造を示し、（ａ）が全体ブロック図、（ｂ）がモータコントローラのブロック図である。
【図３】      モータドライバの回路図である。
【図４】  本発明の双安定ポンプ及び液圧装置の第２実施例について、（ａ）が全体ブロック図、（ｂ）がモータコントローラの一部のブロック図である。
【図５】      ポンプ構造等を示し、（ａ）が詳細ブロック図、（ｂ）が圧力−流量特性のグラフである。
【図６】  本発明の双安定ポンプ及び液圧装置の第３実施例について、モータコントローラの処理手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１    メインコントローラ（応用向け順序制御手段）
２    モータ制御用電子回路（電動モータの制御駆動装置）
４    電動モータ（サーボモータ）
４ａ      電流検出手段（モータトルク検出手段）
５    液体ポンプ（切換弁付き可変容量形ポンプ、双安定ポンプ）
５ａ      容量可変機構（斜板傾転機構）
５ｂ      切換弁（電磁弁、切換手段）
５ｉ      導圧路（液体流路、パイロット圧を導く連通路）
５ｊ      当接位置調整ネジ機構（ストッパー、下限調節手段）
５ｋ      絞り（オリフィス、チョーク、切換緩和手段）
６    作動部（油圧モータやシリンダユニット等のアクチュエータ）
６ａ      作動限
６ｂ      速度検出手段（速度センサ、流量センサ、第１検出手段）
６ｃ      力検出手段（圧力センサ、推力センサ、第２検出手段）
２０  モータコントローラ（制御回路、電動モータの電子制御装置）
２１      速度誤差演算部（流量・速度制御手段、第１制御量演算手段）
２２      速度制御量演算部（流量・速度制御手段、第１制御量演算手段）
２３      圧力誤差演算部（力制御手段、第２制御量演算手段）
２４      圧力制御量演算部（力制御手段、第２制御量演算手段）
２５      比較部（判定手段、選択手段）
２６      選択切換部（スイッチ、セレクタ、モータ回転制御の選択手段）
２７      電流制御部（モータトルク制御部、サーボモータ回転制御手段）
２８      パルス幅変調部（制御信号変換部、サーボモータ回転制御手段）
２９      切換弁駆動回路（ＡＣ・ＤＣ・固体リレー回路、切換作動手段）
３０  モータドライバ（インバータ、パワー回路、電動モータの駆動装置）
４１  誘導電動機（オープン制御の電動モータ）
４２  モータコントローラ（制御回路、電動モータの電子制御装置）
４３      ＶＣＯ（電圧制御発振、オープン制御でのモータ回転制御手段）
４４      三相変換部（制御信号変換部、オープンなモータ回転制御手段）
【図１】
0004052808.tif 000002
【図２】
0004052808.tif 000003
【図３】
0004052808.tif 000004
【図４】
0004052808.tif 000005
【図５】
0004052808.tif 000006
【図６】
0004052808.tif 000007