【手続補正書】
【提出日】平成20年2月29日(2008.2.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の裏面に気体を吹き付けて前記基板を浮上させる浮上ステージと、前記基板の端部を保持して前記浮上ステージ上で搬送する基板搬送部と、前記浮上ステージの搬送方向に直行して架設され前記基板を検査する検査部とをベースに支持した基板検査装置において、
前記基板搬送部を支持し、前記浮上ステージの側縁に沿って配置され前記浮上ステージの搬送長さに略等しい長さを有する角柱状の第１ベース部と、
前記第１ベース部に対して分解可能に固定され前記検査部を支持する第２ベース部と、
前記第１ベース部と前記第２ベース部との間の位置決めを行う第１位置決め手段と、
前記第１ベース部と前記第２ベース部とを組み付けた状態で両ベース部に架設される門型フレームを備えた検査部と、
前記門型フレームを構成する両側の支柱と前記第１ベース部及び第２ベース部との間の位置決めを行う第２の位置決め手段とを備え、
車両による運送時に前記第１ベース部と前記第２ベース部と前記検査部と前記浮上ステージをそれぞれ独立したユニットに分割して輸送することを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記第１位置決め手段は、前記第１ベース部と前記第２ベース部の対向するそれぞれの側面に当て付け面の基準となる当接部を設けたことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記第１位置決め手段は、前記第１ベース部と前記第２ベース部の対向するそれぞれの側面に当て付け面の基準となる当接部を前記搬送方向に２つ設け、これらの当接部に前記第１ベース部と第２ベース部の取り付け位置の基準となる嵌合用突部と嵌合穴を設けたことを特徴とする請求項１
【請求項４】
前記第１位置決め手段は、前記第１ベース部に前記第２ベース部を水平方向及び垂直方向の取り付け位置の基準となる当て付け部材を設けたことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記第２位置決め手段は、前記第１ベース部と前記門形フレームの両支柱と対向するそれぞれの側面に当て付け面の基準となる突出部を設けたことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項６】
前記第２ベース部は、前記第１ベース部に平行に組み付けられる側部を有する矩形の枠に形成されることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。  
【請求項７】
前記第２ベース部は、前記第１ベース部に平行に組み付けられる側部を有するＴ字形に形成されることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。  
【請求項８】
前記第２ベース部は、前記第１ベース部に平行に組み付けられる側部を有するＬ字形に形成されることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項９】
基板の裏面に気体を吹き付けて前記基板を浮上させる浮上ステージと、前記基板の端部を保持して前記浮上ステージ上で搬送する基板搬送部と、前記浮上ステージの搬送方向に直行して架設され前記基板を検査する検査部とをベースに支持した基板検査装置の組み立て方法であって、
前記基板搬送部を支持し、前記浮上ステージの側縁に沿って配置され前記浮上ステージの搬送長さに略等しい長さを有する角柱状の第１ベース部と、
前記第１ベース部に対して分解可能に固定され前記検査部を支持する第２ベース部と、
前記第１ベース部と前記第２ベース部との間の位置決めを行う第１位置決め手段と、
前記第１ベース部と前記第２ベース部とを組み付けた状態で両ベース部に架設される門型フレームを備えた検査部と、
前記門型フレームを構成する両側の支柱と前記第１ベース部及び第２ベース部との間の位置決めを行う第２位置決め手段とを備え、
前記第１ベース部と前記第２ベース部と前記検査部と前記浮上ステージをそれぞれ独立したユニットに分割し、組み立ての際に前記第１ベース部に前記第２ベースを当て付けて前記第１位置決め手段により位置決めして固定し、前記第１ベースと前記第２ベースに前記検査部を架け渡して前記第２位置決め手段により位置決めして固定し、前記第１ベースと前記第２ベースに前記浮上ステージを固定することを特徴とする基板検査装置の組み立て方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
上記の課題を解決する本発明は、基板の裏面に気体を吹き付けて前記基板を浮上させる浮上ステージと、前記基板の端部を保持して前記浮上ステージ上で搬送する基板搬送部と、前記浮上ステージの搬送方向に直行して架設され前記基板を検査する検査部とをベースに支持した基板検査装置において、前記基板搬送部を支持し、前記浮上ステージの側縁に沿って配置され前記浮上ステージの搬送長さに略等しい長さを有する角柱状の第１ベース部と、前記第１ベース部に対して分解可能に固定され前記検査部を支持する第２ベース部と、前記第１ベース部と前記第２ベース部との間の位置決めを行う第１位置決め手段と、前記第１ベース部と前記第２ベース部とを組み付けた状態で両ベース部に架設される門型フレームを備えた検査部と、前記門型フレームを構成する両側の支柱と前記第１ベース部及び第２ベース部との間の位置決めを行う第２の位置決め手段とを備え、車両による運送時に前記第１ベース部と前記第２ベース部と前記検査部と前記浮上ステージをそれぞれ独立したユニットに分割して輸送することを特徴とする基板検査装置とした。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
この基板検査装置では、ベースが第１ベース部と、第２ベース部との少なくとも２つに分割できる構成になっており、組み立ての際には第２ベース部は、第１ベース部に対して水平方向及び、垂直方向に位置決めして固定されるので、両ベース部を固定することで、検査部、浮上ステージ及び搬送部との位置調整が行われる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、本発明は、基板の裏面に気体を吹き付けて前記基板を浮上させる浮上ステージと、前記基板の端部を保持して前記浮上ステージ上で搬送する基板搬送部と、前記浮上ステージの搬送方向に直行して架設され前記基板を検査する検査部とをベースに支持した基板検査装置の組み立て方法であって、前記基板搬送部を支持し、前記浮上ステージの側縁に沿って配置され前記浮上ステージの搬送長さに略等しい長さを有する角柱状の第１ベース部と、前記第１ベース部に対して分解可能に固定され前記検査部を支持する第２ベース部と、前記第１ベース部と前記第２ベース部との間の位置決めを行う第１位置決め手段と、前記第１ベース部と前記第２ベース部とを組み付けた状態で両ベース部に架設される門型フレームを備えた検査部と、前記門型フレームを構成する両側の支柱と前記第１ベース部及び第２ベース部との間の位置決めを行う第２位置決め手段とを備え、前記第１ベース部と前記第２ベース部と前記検査部と前記浮上ステージをそれぞれ独立したユニットに分割し、組み立ての際に前記第１ベース部に前記第２ベースを当て付けて前記第１位置決め手段により位置決めして固定し、前記第１ベースと前記第２ベースに前記検査部を架け渡して前記第２位置決め手段により位置決めして固定し、前記第１ベースと前記第２ベースに前記浮上ステージを固定することを特徴とする基板検査装置の組み立て方法とした。  
この基板検査装置の組み立て方法では、２つのベース部に分割されたベースを組み立てた後に、検査部及び浮上ステージを固定する。基板検査装置の輸送時には、各ベース部を分割して運搬することができるので、従来の一体型のベース部に比べて運搬が楽になる。この際に、両ベース部は、水平方向及び、垂直方向に位置決めして固定されるので、検査部、浮上ステージ及び搬送部を、相対的に正しい位置に固定することができる。