【手続補正書】
【提出日】平成20年3月3日(2008.3.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  荷電粒子線露光装置であって、
荷電粒子線を放射する荷電粒子線源と、
複数の電子レンズを有し、該複数の電子レンズにより前記荷電粒子線源の中間像を複数形成する電子光学系アレイと、
前記電子光学系アレイによって形成される複数の中間像を基板上に投影する投影電子光学系と、
を備え、前記電子光学系アレイは、前記複数の中間像に係る複数の荷電粒子線の経路に沿って配置された複数の電極を含み、
前記複数の電極の各々は、該複数の荷電粒子線の経路上に複数の開口が形成されたメンブレンと、該メンブレンを支持する支持部とを有し、
前記複数の電極のうち少なくとも２つの電極は、入れ子構造が形成されるように配置されていることを特徴とする荷電粒子線露光装置。
【請求項２】  ベース部材を更に備え、前記入れ子構造を形成する前記少なくとも２つの電極の支持部は、前記ベース部材によって支持されていることを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項３】  前記入れ子構造を形成する前記少なくとも２つの電極の支持部は、前記ベース部材の１つの面によって支持されていることを特徴とする請求項２に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項４】  前記複数の電極の全てが、入れ子構造を形成するように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項５】  ベース部材を更に備え、前記複数の電極の全ての支持部が、前記ベース部材によって支持されていることを特徴とする請求項４に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項６】  前記複数の電極の全ての支持部が、前記ベース部材の１つの面によって支持されていることを特徴とする請求項５に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項７】  前記複数の電極は、少なくとも２つの入れ子構造が形成されるように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項８】  第１及び第２の面を有するベース部材を更に備え、前記ベース部材は、前記少なくとも２つの入れ子構造のうちの１つの入れ子構造を前記第１の面で支持し、前記少なくとも２つの入れ子構造のうちの他の１つの入れ子構造を前記第２の面で支持することを特徴とする請求項７に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項９】  前記少なくとも２つの入れ子構造を各々支持する少なくとも２つのベース部材を更に備えることを特徴とする請求項７に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項１０】  前記少なくとも２つの入れ子構造を互いに連結する連結部を更に備えることを特徴とする請求項７に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項１１】  前記入れ子構造を形成する少なくとも２つの電極の支持部は各々孔部を有し、１つの電極の孔部の内側に他の電極が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項１２】  前記複数の電極のうち前記入れ子構造を形成する少なくとも２つの電極以外の１つの電極は、前記入れ子構造を形成する少なくとも２つの電極のうち前記ベース部材から最も遠い位置に配置された電極に対向して配置されていることを特徴とする請求項２に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項１３】  前記複数の電極のうち前記入れ子構造を形成する少なくとも２つの電極以外の１つの電極の支持部の寸法は、前記入れ子構造を形成する少なくとも２つの電極のうち前記ベース部材から最も遠い位置に配置された電極の支持部の寸法よりも小さいことを特徴とする請求項１２に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項１４】  前記複数の電極は、該複数の電極のメンブレンが互いに接触しないように、配置されていることを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項１５】  前記複数の電極のうち少なくとも１つの電極は、その複数の開口によって形成される列を単位として分割されていることを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線露光装置。
【請求項１６】  前記複数の電極のうち少なくとも１つの電極は、荷電粒子線に作用させる電界を形成する電極であり、前記複数の電極のうち他の少なくとも１つの電極は、シールド電極であることを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】荷電粒子線露光装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子ビーム等の荷電粒子線を利用する荷電粒子線露光装置に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、荷電粒子線露光装置に係り、前記荷電粒子線露光装置は、荷電粒子線を放射する荷電粒子線源と、複数の電子レンズを有し、該複数の電子レンズにより前記荷電粒子線源の中間像を複数形成する電子光学系アレイと、前記電子光学系アレイによって形成される複数の中間像を基板上に投影する投影電子光学系とを備え、前記電子光学系アレイは、前記複数の中間像に係る複数の荷電粒子線の経路に沿って配置された複数の電極を含み、前記複数の電極の各々は、該複数の荷電粒子線の経路上に複数の開口が形成されたメンブレンと、該メンブレンを支持する支持部とを有し、前記複数の電極のうち少なくとも２つの電極は、入れ子構造が形成されるように配置されている。
その他、明細書に記載された発明の第１の側面は、複数の電子レンズを有する電子光学系アレイに係り、前記電子光学系アレイは、複数の荷電粒子線の経路に沿って配置された複数の電極を備え、前記複数の電極の各々は、該複数の荷電粒子線の経路上に複数の開口が形成されたメンブレンと、該メンブレンを支持する支持部とを有し、前記複数の電極のうち少なくとも２つの電極は、入れ子構造が形成されるように配置されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
その他、明細書に記載された発明の第２の側面は、複数の電子レンズを有する電子光学系アレイを製造する製造方法に係り、複数の開口が形成されたメンブレンと、該メンブレンを支持する支持部とを各々有する複数の電極を準備する準備工程と、ベース部材を準備する工程と、前記複数の電極の全部又は一部が入れ子構造を形成するように、前記複数の電極の支持部を前記ベース部材に固定する固定工程とを含む。前記電極の準備工程では、例えば、めっき法を利用して前記複数の電極を作製する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
その他、明細書に記載された発明の第４の側面は、デバイスの製造方法に係り、荷電粒子線露光装置を含む複数の半導体製造装置を工場に設置する工程と、前記複数の半導体製造装置を用いて半導体デバイスを製造する工程とを含む。前記荷電粒子線露光装置は、荷電粒子線を放射する荷電粒子線源と、複数の電子レンズを有し、該複数の電子レンズにより前記荷電粒子線源の中間像を複数形成する電子光学系アレイと、前記電子光学系アレイによって形成される複数の中間像を基板上に投影する投影電子光学系とを備える。前記電子光学系アレイは、前記複数の中間像に係る複数の荷電粒子線の経路に沿って配置された複数の電極を含み、前記複数の電極の各々は、該複数の荷電粒子線の経路上に複数の開口が形成されたメンブレンと、該メンブレンを支持する支持部とを有し、前記複数の電極のうち少なくとも２つの電極は、入れ子構造が形成されるように配置される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
その他、明細書に記載された発明の第５の側面は、半導体製造工場に係り、荷電粒子線露光装置を含む複数の半導体製造装置と、前記複数の半導体製造装置を接続するローカルエリアネットワークと、前記ローカルエリアネットワークと前記半導体製造工場外の外部ネットワークとを接続するゲートウェイとを備える。前記荷電粒子線露光装置は、荷電粒子線を放射する荷電粒子線源と、複数の電子レンズを有し、該複数の電子レンズにより前記荷電粒子線源の中間像を複数形成する電子光学系アレイと、前記電子光学系アレイによって形成される複数の中間像を基板上に投影する投影電子光学系とを備える。前記電子光学系アレイは、前記複数の中間像に係る複数の荷電粒子線の経路に沿って配置された複数の電極を含み、前記複数の電極の各々は、該複数の荷電粒子線の経路上に複数の開口が形成されたメンブレンと、該メンブレンを支持する支持部とを有し、前記複数の電極のうち少なくとも２つの電極は、入れ子構造が形成されるように配置される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
その他、明細書に記載された発明の第６の側面は、荷電粒子線露光装置の保守方法に係り、荷電粒子線露光装置が設置された工場外の外部ネットワーク上に、該荷電粒子線露光装置の保守に関する情報を蓄積するデータベースを準備する工程と、前記工場内のローカルエリアネットワークに前記荷電粒子線露光装置を接続する工程と、前記外部ネットワーク及び前記ローカルエリアネットワークを利用して、前記データベースに蓄積された情報に基づいて前記荷電粒子線露光装置を保守する工程とを含む。前記荷電粒子線露光装置は、荷電粒子線を放射する荷電粒子線源と、複数の電子レンズを有し、該複数の電子レンズにより前記荷電粒子線源の中間像を複数形成する電子光学系アレイと、前記電子光学系アレイによって形成される複数の中間像を基板上に投影する投影電子光学系とを備える。前記電子光学系アレイは、前記複数の中間像に係る複数の荷電粒子線の経路に沿って配置された複数の電極を含み、前記複数の電極の各々は、該複数の荷電粒子線の経路上に複数の開口が形成されたメンブレンと、該メンブレンを支持する支持部とを有し、前記複数の電極のうち少なくとも２つの電極は、入れ子構造が形成されるように配置される。