【手続補正書】
【提出日】平成19年11月22日(2007.11.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】位置検出装置、該検出装置を用いた投影露光装置及びデバイス製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  検出対象からの光を光学系を介して受光手段により受光することにより、前記検出対象に関する位置情報を検出する位置検出装置であって、
前記光学系の光路内に配置された複数の楔光学部材を有し、
前記複数の楔光学部材は、少なくとも一対の平行に対向した楔面を有し、前記対向した楔面は前記光学系の光軸に垂直な面に対し傾いており、
前記複数の楔光学部材は、前記対向した楔面の間隔を調整可能であることを特徴とする位置検出装置。
【請求項２】  前記複数の楔光学部材は、それぞれが対向する楔面が平行な少なくとも２枚の楔光学系で構成される第１と第２の楔光学部材群を含み、前記第１の楔光学部材群の対向する楔面は前記光軸に垂直な面から第１の角度で傾いており、前記第２の楔光学部材群の対向する楔面は前記光軸に垂直な面から第２の角度で傾いており、前記第１の角度は前記第２の角度と異なることを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
【請求項３】  前記複数の楔光学部材の少なくともいずれかは、該検出装置中での結像倍率が最も高く、検出対象面と共役な面或いは、その近傍に配置されたことを特徴とする請求項１または２に記載の位置検出装置。
【請求項４】  前記複数の楔光学部材の少なくともいずれかは、前記検出系に対してテレセントリックな場所に配置されたことを特徴とする請求項１、２または３のいずれかに記載の位置検出装置。
【請求項５】  前記複数の楔光学部材に於いて、楔面で発生する光線の屈折角に平行な方向にその間隔を変化させる機能を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の位置検出装置。
【請求項６】  前記複数の楔光学部材中に、互いに交差する方向に傾けたそれぞれの楔面を有する２つの楔光学部材と、該２つの楔光学部材の間に配置した中間楔光学部材とを備え、該中間楔光学部材は前記２つの楔光学部材の楔面に対応して設けられ且つ互いに交差する方向に傾けた２つの楔面を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の位置検出装置。
【請求項７】  レチクルとウエハとの相対的な位置合わせを行った後、レチクルのパターンを投影光学系を介してウエハに露光する投影露光装置において
レチクル又はウエハの少なくとも一方のマークを検出対象としてその位置を検出する請求項１〜８のいずれかに記載の位置検出装置と、
レチクルのパターンをウエハに投影する投影光学系とを有することを特徴とする投影露光装置。
【請求項８】  請求項７に記載の投影露光装置を用いてウエハを露光する工程と、
前記露光されたウエハを処理する工程とを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
アライメントマークＡＭから発生した反射光、回折光、散乱光は、再度対物レンズ４０５、λ／４板４０９に戻り、今度は紙面に平行なＰ偏光に変換され、偏光ビームスプリッタ４０３を通過し、結像光学系４０７ａ（４０７ｂ）によって、アライメントマークＡＭの像を光電変換素子４１１（例えばＣＣＤカメラ）上に形成する。光電変換されたアライメントマーク像の位置に基づいて、ウエハ６の位置を検出する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る位置検出装置は、検出対象からの光を光学系を介して受光手段により受光することにより、前記検出対象に関する位置情報を検出する位置検出装置であって、前記光学系の光路内に配置された複数の楔光学部材を有し、前記複数の楔光学部材は、少なくとも一対の平行に対向した楔面を有し、前記対向した楔面は前記光学系の光軸に垂直な面に対し傾いており、前記複数の楔光学部材は、前記対向した楔面の間隔を調整可能であることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
検出対象であるアライメントマークＡＭから発生した反射光、回折光、散乱光は、再度対物レンズ４０５、λ／４板４０９に戻り、今度は紙面に平行なＰ偏光光に変換され、偏光ビームスプリッタ４０３を通過し、結像光学系４０７ａ（４０７ｂ）によって、アライメントマークＡＭの像を光電変換素子４１１（例えばＣＣＤカメラ）上に形成する。即ち、光電変換素子４１１は、検出対象からの光を光学系を介して受光することにより、検出対象の像を自らの上に形成する。結像光学系４０７ａは設計値上の理想位置は実線で示す位置であるが、実際の組み立て上の誤差によって、若干偏心した破線で示す位置４０７ｂにあるとする。その為、上述した波長シフトが発生している。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
光電変換素子４１１の直前（検出物体と共役面或いはその近傍）には、楔光学部材群４１０を構成する２枚の楔光学部材４１０ａ，４１０ｂ（以下この楔光学部材を楔と略称する）が、一対の平行に対向した楔面を有し、かつ、光学系の光軸に垂直な面に対して傾いた状態で配置されている。この２枚の楔の効果等については、以下に示す。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
図９に於いては、楔２０ａ，２０ｂを中心波長λ2 の屈折角θλ2 の方向と平行な方向に駆動することで、即ち、楔面で発生する光線の屈折角に平行な方向にその間隔を変化させる機能を有することで、楔面間隔ｄに依らず、楔中を透過する光路長が変化しない構成が可能となる。尚、波長λ1 、λ3 に対する光路長は変化するが、実際に発生する波長シフト量を考慮すると、その発生量は非常に微少で問題になる量ではない。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
図１１に於いて、Ｘ方向の計測については、図２で解説したように、第１の楔光学部材群を構成する２枚の楔２０ａ，２０ｂを用いて調整する。一方、Ｙ方向については、Ｙ方向に楔面を持つ第２の楔光学部材群を構成する２枚の楔２０ａ，２０ｂを用いて調整する。楔２０ａ，２０ｂは楔２１ａ，２１ｂに対し光軸周りに９０度回転した構成とする。