(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
片面を試料配置面とし一辺側にスライド用空所を有する試料載置板と、前記スライド用空所に前記試料載置板と面一にしてこの試料載置板に対して一方向にスライド可能に設けられた可動板とからなり、
前記試料載置板と可動板とのそれぞれに、この可動板から試料載置板側に渡された薄膜状試料を挟み込む保持部が設けられ、かつ、前記可動板には、該可動板から試料載置板側に渡された前記薄膜状試料の引っ張り方向に位置調整する可動板移動手段が設けられていることを特徴とする薄膜状試料観察用治具。
【請求項２】
上記保持部は、上記試料載置板と可動板とのそれぞれに形成された挟み込み空間に配置されて該空間内面とで薄膜状試料を挟み込み可能な押圧体と、この押圧体を常時試料開放方向に付勢するばね体と、前記押圧体を試料挟み付け方向に移動させる押圧体移動手段とからなるものである請求項１に記載の薄膜試料観察用治具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は合成樹脂フィルムなどの薄膜状試料を電子顕微鏡などにより観察する際に使用する治具に関するものである。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】
合成樹脂フィルムなどの薄膜に引っ張り力などの負荷条件を加えてその薄膜の変化などを観察するような場合、特に観察しようとする現象が極めて小さいものの場合には、電子顕微鏡、原子間力顕微鏡、金属顕微鏡などの汎用測定装置が使用されている。
しかしながら、このような汎用測定装置において、試料を配置し測定や観察などを行う測定部は狭い空間であって、この測定空間に観察対象である試料とともに、その試料に対する負荷を加える機構を組み入れることはできないものとなっていた。このため、薄膜状の試料に引っ張り力を加えたときの変化などを前記汎用測定装置を用いて測定、観察しようとした場合、引っ張り力を加える前の状態でその試料のみを測定空間に配置して観察や測定を行い、引っ張り力を加えた後も試料のみを測定空間に配置して観察、測定を行うこととなり、事前、事後の状態を観察するに留まっているのが現状であって、引っ張り力を加え続けるような装置を伴った状態で試料を前記測定空間に配置できず、連続的な引っ張り力を加えたる状態や任意の引っ張り力を固定的に加えた状態での測定、観察が行えないという不都合があった。さらに、上述したような各種の顕微鏡装置に引っ張り力を試料に付加する装置を測定空間に設けるような対処も考えられるが、顕微鏡装置が極めて高価な専用機となって不経済である。そして、仮に各種顕微鏡装置に引っ張り装置などを付加したような場合でも、それぞれの顕微鏡装置では引っ張り力などの条件を同一にすることは非常に難しく、試料に加わる条件を同一にした状態で各種顕微鏡装置を用いた観察は行えないという不都合がある。
そこで本発明は上記事情に鑑み、上記汎用測定装置における測定空間に設置できる小型の用具にて薄膜状の試料を保持するとともに、その用具により薄膜状の試料に引っ張り力を加えることができるようにすることを課題とし、薄膜状の試料に引っ張り力を加えながらの変化を汎用測定装置にて観察、測定できるようにすることを目的とする。
【０００３】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を考慮してなされたもので、片面を試料配置面とし一辺側にスライド用空所を有する試料載置板と、前記スライド用空所に前記試料載置板と面一にしてこの試料載置板に対して一方向にスライド可能に設けられた可動板とからなり、前記試料載置板と可動板とのそれぞれに、この可動板から試料載置板側に渡された薄膜状試料を挟み込む保持部が設けられ、かつ、前記可動板には、該可動板から試料載置板側に渡された前記薄膜状試料の引っ張り方向に位置調整する可動板移動手段が設けられていることを特徴とする薄膜状試料観察用治具を提供して、上記課題を提供することを目的とするものである。
そして、本発明において、上記保持部は、上記試料載置板と可動板とのそれぞれに形成された挟み込み空間に配置されて該空間内面とで薄膜状試料を挟み込み可能な押圧体と、この押圧体を常時試料開放方向に付勢するばね体と、前記押圧体を試料挟み付け方向に移動させる押圧体移動手段とからなるものとすることができる。
【０００４】
【発明の実施の形態】
つぎに本発明を図１と図２に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図中１は薄膜状試料観察用治具で、該治具１は例えば４０ｍｍ×４０ｍｍの略正方形状にし、厚さを約３ｍｍとした薄板の形状としている。そして、この治具１においては面一にして組み合わせることのできるステンレス製の試料載置板２と同じくステンレス製の可動板３とからなるもので、前記試料載置板２は片面を試料配置面４とし隅部からＬ形のステー５が延設されてこの試料載置板２の本体６と前記ステー５とで挟み込む形で本体６の一辺側にスライド用空所７を形成している。図示されてるように前記スライド用空所７に可動板３が配置されているものであって、スライド用空所７の開放側に渡された棒状のスライドガイド８をその可動板３の一端に貫通させるとともに、可動板３の他端を前記ステー５の基部内側に形成したガイド溝９に移動可能に支持させることで、この可動板３が試料載置板２に対して面一な状態にして一方向に移動可能となるように設けられている。
前記可動板３において試料載置板２の本体６側の端面部分には、可動板３に螺合して凸没可能なネジ体からなる可動板移動手段１０が設けられており、この可動板移動手段１０の位置から上記ステー５側に延び、かつ、このステー５を貫通するようにして形成された透孔１１に、例えば六角レンチを差し入れて前記ネジ体を回転させて可動板移動手段１０を突出させることでその先端を上記本体６に当接させることで、この可動板３を本体６から離れる方向（後述のように薄膜状試料を引っ張る方向）に移動させることができるようにしている。もちろん、可動板移動手段１０におけるネジ体を逆方向に回転させればその可動板移動手段１０が可動板内へと後退することとなり、可動板３を自由に本体６側へと近づけるようにすることができる。
【０００５】
上記試料載置板２と可動板３とのそれぞれには、可動板３の移動方向に対して直角方向に長く形成された保持部１２が一体ずつ設けられている。このように試料載置板２と可動板３とに横長の保持部１２が設けられているものであって、可動板３から試料載置板２へと渡された合成樹脂フィルムなどの薄膜状試料の端部をこの両保持部１２に保持させ、可動板３を上記可動板移動手段１０により上記スライド用空所７内において試料載置板２の本体６から離れるように移動させることで前記薄膜状試料に対して引っ張り力を加えることができるようにしている。
前記保持部１２はワイヤによる放電加工にて試料載置板２と可動板３とに面一にして作り込まれているものであって、放電加工にて試料載置板２と可動板３とのそれぞれに形成された挟み込み空間１３に配置された押圧体１４と、この押圧体１４から外側に位置しその押圧体１４の長さ方向に一対にして配置されたばね体１５と、前記押圧体１４を挟み込み空間１３の内面に向けて押し出す押圧板移動手段１６とからなるものである。前記ばね体１５自体も放電加工にて切り込み状にして形成され、それぞれ押圧体１４と試料載置板２の本体６とに連続し、他方においても押圧体１４と可動板３自体に連続しているものであり、よって、このばね体１５を介して押圧体１４それぞれが相対する方向に移動可能とされ、対向する側に進み出るようにさせることで前記挟み込み空間１３の内面と当接する状態で薄膜状試料の端部を挟み込み保持できるようにしている。即ち、この保持部１２それぞれで薄膜状試料の端部を挟み込み保持した状態で上記可動板３を後退移動（本体６から離れる方向に上記可動板移動手段により操作）させることで薄膜状試料に引っ張り力を加え、可動板移動手段の操作により、その引っ張り力を徐々に変化させたり、また、任意とした一定の引っ張り力を加えた状態とすることができるようにしているものである。
そして、前記押圧体移動手段１６それぞれは上記可動板移動手段１０と同じ構成であって、試料載置板２の外面と可動板３の外面とのそれぞれから押圧体１４側に向けて上記ばね体１５の間に対応する位置にして貫通する透孔１７の押圧体側にネジ体を螺合させてこれを凸没可能となるようにしてなるものであり、前記透孔１７に差し入れられた六角レンチなどによりネジ体を回転突出させて押圧体１４に当接させ、その押圧体１４を挟み込み空間１３の内面に向けて移動させるようにしたものである。なお、可動板３側における保持部１２では前記透孔１７がステー５も貫通する形で形成されている。
上記ばね体１５は常時押圧体１４を試料開放方向に付勢する状態で支持しているものであり、押圧体移動手段１６におけるネジ体が進み出るときはその付勢力に抗する形で回転突出することになる。そして、押圧体移動手段１６を緩めれば、即ち、後退させるようにすれば、ネジ体の所定後退距離の間はその押圧体１４が共に後退するようになり、押圧体移動手段１６の緩め操作時に迅速に押圧体１４の戻りが生じるようにしている。
【０００６】
図において１８はネジ孔を示している。このネジ孔１８は、試料載置板２の上に配置する試料引張板１９を固定するためのものである。通常、薄膜状試料を試料載置板２の上に置いて上述のように保持部により保持させた状態で可動板の後退によりその薄膜状試料に引っ張り力を加えるようにするが、引っ張り力を加えた時点で薄膜状試料が若干ではあるが試料載置面から浮く状態となり、その浮き状態で適正な観察、測定が行えない場合には、薄膜状試料と試料載置板との間にこの試料引張板を配置し、試料引張板１９の上で張られた状態となる試料を観察するようにする。前述したようにネジ孔１８はこの試料引張板１９を固定させるためのものであり、位置が選択できるように、試料引っ張り方向に複数設けられている。
なお、図示した例における試料載置板はその薄膜状試料の観察位置においては平板状のものとしているが、本発明はこれに限定されるものではなく、その試料載置板における観察位置には各種のセンサー機器が配置できるように機器設置用の凹部、や孔を形成するようにしてもよい。また、保持部における構成も上述した構成に限定されるものではない。
【０００７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の薄膜状試料観察用治具によれば、片面を試料配置面とし一辺側にスライド用空所を有する試料載置板と、前記スライド用空所に前記試料載置板と面一にしてこの試料載置板に対して一方向にスライド可能に設けられた可動板とからなり、前記試料載置板と可動板とのそれぞれに、この可動板から試料載置板側に渡された薄膜状試料を挟み込む保持部が設けられ、かつ、前記可動板には、該可動板から試料載置板側に渡された前記薄膜状試料の引っ張り方向に位置調整する可動板移動手段が設けられていることを特徴とするものである。このように薄型で小さい形態の治具であって、薄膜状試料を保持できるようになるため、汎用測定装置における狭い測定空間にも簡単に配置することができる。しかも、薄膜状試料に引っ張り力を徐々に加えたり、任意の引っ張り力を加えた状態で維持させることができるため、汎用測定装置自体に付加機構を設けることなく引っ張り力が加わった状態での、また、その引っ張り力を変化させる時点での薄膜状試料の観察、測定が行えるようになる。さらに、薄膜状試料に引っ張り力を加えた状態を維持できるため、試料と治具とを伴ったまま、即ち、同一の引っ張り力を加えた状態のまま、一つの治具を各種の汎用測定装置に順次セットできるようになり、同一条件の引っ張り力が加わった薄膜状試料に対して各種の測定、観察が行えるようになるなど、実用性に優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る薄膜状試料観察用治具の一実施例を示す説明図である。
【図２】同じく一実施例における試料載置板と可動板とを示す説明図である。
【符号の説明】
１…薄膜状試料観察用治具
２…試料載置板
３…可動板
７…スライド用空所
１０…可動板移動手段
１２…保持部
１３…挟み込み空間
１４…押圧体
１５…ばね体
１６…押圧体移動手段
【図１】
0004168496.tif 000002
【図２】
0004168496.tif 000003