(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ツールを回転させる主軸モータと、前記回転するツールを被接合材に挿入し、前記ツールを前記挿入の上下方向に駆動させるヘッド駆動モータと、制御装置とを有し、前記被接合材の接合線長手方向に連続的に移動させながら前記被接合材を三次元方向に接合する摩擦攪拌接合装置であって、
前記制御装置は、前記被接合材への前記ツールの挿入方向における前記ツールと被接合材との相対的位置を設定する相対的位置設定手段又は前記被接合材への前記ツールの挿入深さを設定する挿入深さ設定手段と、前記主軸モーターの負荷率又は電流値を設定する負荷率設定手段又は電流値設定手段とを有し、
前記相対的位置設定手段又は挿入深さ設定手段によって予め設定された前記相対的位置又は挿入深さの値に基づいて前記負荷率設定手段又は電流値設定手段によって設定される前記負荷率又は電流値が所定の範囲になるように前記ヘッド駆動モータを制御し、前記予め設定された前記相対的位置又は挿入深さの値に制御することを特徴とする摩擦攪拌接合装置。
【請求項２】
請求項１において、前記制御装置は、前記負荷率、電流値及び挿入深さのいずれかが前記設定された値に達した時点で、その値を所定時間保持する保持時間設定手段を有することを特徴とする摩擦攪拌接合装置。
【請求項３】
請求項1又は２において、レーザー変位計又は接触型変位計によって前記被接合材への前記ツールの挿入方向における前記接合中の前記ツールと被接合材との相対位置又は前記被接合材への前記ツールの挿入深さを検出し、該検出された値を前記制御装置に反映させることを特徴とする摩擦攪拌接合装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、接合中にツールと被接合材との相対的距離を一定に保つ新規な摩擦攪拌接合装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
摩擦攪拌接合法は、アルミニウムやアルミニウム合金(以下、アルミ)、マグネシウムやマグネシウム合金(以下、マグネ)、銅や銅合金(以下、銅)、チタニウム又はチタニウム合金(以下、チタン合金)、鉄又は鋼(以下、鉄)などの被接合材について、それらの融点以下の温度で固相接合できる方法である。すなわち実質的に前記被接合材よりも硬い材質のツールを回転させながら挿入し、被接合材と相対的に移動させることにより、前記ツールと前記被接合材との間で発生する摩擦熱と塑性流動を利用して接合する方法である。これは特表平7-505090号公報で知られている。つまり前記ツールと接合材との摩擦熱による塑性流動現象を利用したものであり、アーク溶接や電子ビーム溶接などの従来の溶接法とは異なり、被接合材を溶かして接合(溶接)するものではない。
【０００３】
更に、摩擦攪拌接合法は、従来の摩擦溶接法のように加工物同士を回転させてその摩擦熱により接合する方法とは異なり、加工物を接合線長手方向に連続的に接合材の融点以下で接合できる方法である。また接合線は直線のみでなく、曲線や3次元的な曲線であってもよい。
【０００４】
図２は、摩擦攪拌接合における接合状況の概略を説明する断面図である。ショルダー11及びピン12からなる硬質のツール10を、図示していない主軸モーターにより回転させる。回転数は被接合材の材質や形状に依存するが、およそ1000rpm程度である。次にツール10を被接合材の表面13から所定の深さまで挿入し、接合方向14に沿ってツール10を相対的に移動させる。移動速度も被接合材の材質や形状に依存するが、およそ500mm/min程度である。このとき特徴的なことは、ツール10が移動方向に対して後退側に所定の角度θを持つことである。摩擦攪拌接合では、ツール形状、回転数、移動速度などが接合品質に影響を及ぼす。これらの因子はおよそノウハウをもとに最適化されているのが現状である。しかし、これらの因子を最適化する上で最も重要な因子は、ツール10の被接合材への挿入量である。
【０００５】
図３は図２に比較してツール10の被接合材への挿入量をやや深くした場合の摩擦攪拌接合における接合状況の概略を説明する断面図である。ツール10の挿入深さは、おおよそ図２から図３の間程度で接合品質は良好となる。しかし、図３よりもツール10の被接合材への挿入量を深くした場合、ツール10の移動方向14側のショルダー11が被接合材の表面13に食い込み、ツール10の側面で被接合材を切削することになる。このとき接合が完了した部分では、未完了の部分より被接合材の表面13が顕著に凹み、余剰に切削された被接合材はバリとなって外へ排出される。逆に図２よりもツール10の被接合材への挿入量を浅くした場合、ツール10の移動方向14と逆側のショルダー11が非接合材の表面13から離れ、ピン12で攪拌した材料を下方に抑える効果が減少して、ピン12で被接合材を切削することになる。このとき切削された被接合材はバリとなって外へ排出される。
【０００６】
したがって接合中にツール10の被接合材への挿入量を適正な値に保持することが接合部の品質向上に繋がる。ツール10の被接合材への挿入量は種々の因子に依存する。例えば被接合材の加工精度や拘束方法、更には接合装置そのものの精度などである。工業的にはこれらの因子を0．05mm程度の精度で仕上げることは非常に困難が伴う。もちろん加工精度などは十分な時間とコストを費やすことにより達成はされるが、部材の高コスト化に繋がり、現実的には難しい。
【０００７】
このような問題に対して、例えば特開平11-226768号公報にレーザー変位計を用いたツール10の被接合材への挿入量の制御方法が示されている。図４は、その装置の構成例を示す断面図である。本装置はテーブル27がテーブル駆動モーター21によりx方向に移動する。テーブル27上には、被接合材26が図示されていないジグにより固定されている。マシーンヘッド25がヘッド駆動モーター22によりｚ方向に移動する。なおマシーンヘッド25は、ボールネジ29及び図示されていないガイドにより支持されている。マシーンヘッド25には、ツール24とこれを回転する主軸モーター23が搭載される。マシーンヘッド25に搭載されたレーザー変位計28により、マシーンヘッド25と被接合材の表面30の距離をレーザー変位計で測定し、それをフィードバックしてマシーンヘッド25と被接合材の表面30の距離が常に所定の距離となるようにヘッド駆動モーター22を用いてマシーンヘッドの位置を相対的に調整する方法である。
【０００８】
このようなレーザー変位計を用いた位置制御は、従来のアーク溶接やレーザー溶接でも一般的な手法である。レーザー変位計による距離測定は、ツールとオフセットしてツールよりやや前方で行うことが一般的である。このためレーザー変位計の測定位置でのマシーンヘッドとツールの距離は、ツール近傍でのそれとわずかに異なる場合がある。また摩擦攪拌接合の場合、被接合材にはツールから約1000kgf程度の力が作用される。例えば、被接合材が部分的にテーブルからわずかに浮いている場合に不具合が生じる。レーザー変位計が先読みしてマシーンヘッドを上昇するよう制御するが、ツールがその位置を通過する際、被接合材がツールからの作用力により沈み、ツールと被接合材の距離が適切な距離よりやや大きくなってしまう。またレーザー変位計はあくまでも表面状態(表面位置)を検知するものであり、例えば被接合材の表面の汚れや摩擦熱による被接合材の酸化による輻射率の変化などに影響を受けやすい。
【０００９】
特開平6-143015号公報には、主電動機によって切削工具を回転して切削する切削装置において、主電動機の電流が所定値になるように切削工具の送り速度を調整することが示されているが、摩擦攪拌接合における特定の関係は示されていない。
【００１０】
特開平11-188517号公報には、主電動機によって切削工具を回転して切削する切削装置において、送り移動手段で検出した負荷量に基づいてその手段を停止させる手段を設けることが示されているが、摩擦攪拌接合における特定の関係は示されていない。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、被接合材の接合中の変形による三次元方向への接合に際してその品質への影響を受けにくい摩擦攪拌接合装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ツールを回転させる主軸モータと、前記回転するツールを被接合材に挿入し、前記ツールを前記挿入の上下方向に駆動させるヘッド駆動モータと、制御装置とを有し、前記被接合材の接合線長手方向に連続的に移動させながら前記被接合材を三次元方向に接合する摩擦攪拌接合装置であって、
前記制御装置は、前記被接合材への前記ツールの挿入方向における前記ツールと被接合材との相対的位置を設定する相対的位置設定手段又は前記被接合材への前記ツールの挿入深さを設定する挿入深さ設定手段と、前記主軸モーターの負荷率又は電流値を設定する負荷率設定手段又は電流値設定手段とを有し、
前記相対的位置設定手段又は挿入深さ設定手段によって予め設定された前記相対的位置又は挿入深さの値に基づいて前記負荷率設定手段又は電流値設定手段によって設定される前記負荷率又は電流値が所定の範囲になるように前記ヘッド駆動モータを制御し、前記予め設定された前記相対的位置又は挿入深さの値に制御することを特徴とする。
【００１３】
本発明は、前記主軸モーターの負荷率又はそれに流れる電流値が所定の範囲にあるように、前記被接合材への前記ツールの挿入方向における接合中の前記ツールと被接合材との相対的位置又は前記被接合材への前記ツールの挿入深さを制御しながら接合することにある。
【００１４】
摩擦攪拌接合は原理そのものが非常に単純であり、優れた継手特性を形成できる技術であるが、ツールと被接合材との相対距離を常に0．05mm程度の精度で制御する必要がある。本発明は摩擦攪拌接合における熱収支に着目した発明である。摩擦攪拌接合では、ツール10を回転する主軸モーターがする仕事が入熱源となっている。
【００１５】
図５は、図２及び図３の状態でのツール10と被接合材との接触面積21及び22を示したものである。図２及び図３に示したように、ツール10が移動方向に対して後退側に所定の角度θを持つため、接触面積31及び32はツール10の被接合材への挿入量に依存する。前述したように、主軸モーターのした仕事はツール10と被接合材との間で発生する摩擦熱に置き換わる。主軸モーターの回転数が同じ場合、発生する摩擦熱は接触面積に依存する。摩擦熱は被接合材へ拡散する。この熱で被接合材の温度が上昇して軟化し、ツール10により攪拌される。接触面積が大きい場合は摩擦熱は大きく、接触面積が小さい場合は摩擦熱は小さい。したがって常に安定した接合を行うためには、ツール10による被接合材の攪拌を安定させればよい。すなわち、その熱源である主軸モーターの仕事として負荷又は電流値を常に安定になるようにすればよい。
【００１６】
図６はツール挿入量と主軸負荷(＝主軸モーターのする仕事)の関係を模式的に示したものである。摩擦攪拌接合では接合品質にツール挿入量が影響し、ツール挿入量の適正値がある範囲にある。主軸モーターの回転数を一定とした場合、ツール挿入量の適正値に対応する主軸負荷の適正範囲がある。
【００１７】
本発明は、回転するツールを被接合材に挿入し、被接合材と相対的に移動させることにより前記被接合材を接合する摩擦攪拌接合装置において、前記ツールを回転する主軸モーターの負荷が所定の範囲にあるように、接合中の前記ツール及び前記被接合材の相対的位置を制御することを特徴とする。前記ツール及び前記被接合材の相対的位置は、例えば図４のヘッド駆動モーター22を用いて行うとよい。また主軸モーターの負荷は、例えば図４の主軸モーター23について電気的に検知すればよく、電流で検知するのが好ましい。
【００１８】
また従来使用してきたレーザー変位計又は接触型変位計を併用して接合中の前記ツール及び前記被接合材の相対的位置又は前記被接合材への前記ツール挿入量を検知してもよい。主軸モーターの負荷は、被接合材の接合直前温度に依存する。例えば被接合材が熱伝導率のよいアルミや銅の場合、接合速度が顕著に低い場合、極まれにツールと被接合材の間で発生した摩擦熱がツール進行方向の前方に拡散する。拡散した熱によりツール前方の被接合材の温度上昇が50℃程度以上であった場合、ツール前方の被接合材の強度(例えばその温度における変形抵抗)は低下する。このため主軸モーターの仕事が一定であると、熱拡散による予熱を考慮すると余剰に仕事をしすぎる事になる。したがって補助的にレーザー変位計を用いてもよい。また被接合材が任意曲面からなる形状の場合は、レーザー変位計を用いて任意曲面の法線を検出することも可能である。
【００１９】
更に、本発明は、前記ツールを前記被接合材上で定速で回転しながら前記被接合材に対して定速で挿入し、次いで前記ツールを回転する最大出力に対して所定の主軸モーターの負荷率又は前記被接合材に対する所定の挿入深さに達した時点で所定時間保持した後、前記ツールを接合方向に定速で移動しながら接合すること、又、その移動と共に、前記ツールを回転する主軸モーターの負荷率又はそれに流れる電流値が所定の範囲にあるように、前記被接合材への前記ツールの挿入方向における接合中の前記ツールと被接合材との相対的位置又は前記被接合材への前記ツールの挿入深さを制御しながら接合するものである。
【００２０】
又、本発明の摩擦攪拌接合装置は、前記ツールの回転数を設定する回転数設定手段と、前記ツールを前記被接合材上で定速で回転しながら前記被接合材に対して定速で挿入する挿入速度設定手段と、前記負荷率又は挿入深さが前記設定された値に達した時点で所定時間保持する保持時間設定手段と、前記ツールを接合方向に定速で移動しながら接合する接合速度設定手段とを有することが好ましい。
【００２１】
本発明の参考例として、回転する歯具又は砥石と被加工材とを相対的に移動させることにより前記被加工材を切削又は研削する加工に、前記歯具又は砥石を回転する主軸モーターの負荷又はそれに流れる電流値が所定の範囲になるように、前記被加工材への前記歯具又は砥石の挿入方向における加工中の前記歯具又は砥石と被加工材との相対的位置又は前記被加工材への前記歯具又は砥石の挿入深さを制御する制御装置を有することができる。
【００２２】
更に、本発明の参考例として、主軸モーターによって回転する歯具又は砥石をヘッド駆動装置によって被加工材に挿入し、前記歯具又は砥石と被加工材とを相対的に移動させることにより前記被加工材を切削又は研削する加工装置においても前述と同様である。
【００２３】
更に、本発明の参考例として、主軸モーターによって回転する歯具又は砥石をヘッド駆動装置によって被加工材に挿入し、前記歯具又は砥石と被加工材とを相対的に移動させることにより前記被加工材を切削又は研削する加工装置において、前記歯具又は砥石の回転数を設定する回転数設定手段と、前記歯具又は砥石を前記被接合材上で定速で回転しながら前記被加工材に対して定速で挿入する挿入速度設定手段と、前記歯具又は砥石を回転する最大出力に対して所定の主軸モーターの負荷率を設定する負荷率設定手段又は前記被加工材に対する所定の挿入深さを設定する挿入深さ設定手段と、前記歯具又は砥石を加工方向に定速で移動しながら接合する加工速度設定手段とを有し、又、前記歯具又は砥石を回転する主軸モーターの負荷率又はそれに流れる電流値が所定の範囲にあるように、加工中の前記歯具又は砥石と被加工材との前記被加工材への前記歯具又は砥石の挿入方向の相対的位置又は前記被加工材への前記歯具又は砥石の挿入深さを制御する制御装置とを有することができる。
【００２４】
又、本発明の参考例として、回転する歯具又は砥石と被加工材とを相対的に移動させることにより前記被加工材を切削又は研削する加工法において、前記歯具又は砥石を回転する主軸モーターの負荷が所定の範囲になるように、前記被加工材への前記歯具又は砥石の挿入方向における加工中の前記歯具又は砥石と被加工材との相対的位置又は前記被加工材への前記歯具又は砥石の挿入深さを制御しながら切削又は研削することができる。
【００２５】
更に、本発明の参考例として、回転する歯具又は砥石と被加工材とを相対的に移動させることにより前記被加工材を切削又は研削する加工法において、前記歯具又は砥石を前記被加工材上で定速で回転しながら前記被加工材に対して定速で挿入し、次いで前記前記歯具又は砥石を回転する最大出力に対して所定の主軸モーターの負荷率又は前記被加工材に対する所定の挿入深さに達した後、前記歯具又は砥石を加工方向に定速で移動しながら加工すること、又、その移動と共に、前記歯具又は砥石を回転する主軸モーターの負荷率又はそれに流れる電流値が所定の範囲にあるように、前記被加工材への前記歯具又は砥石の挿入方向における接合中の前記歯具又は砥石と被加工材との相対的位置又は前記被加工材への前記歯具又は砥石の挿入深さを制御しながら加工することができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
（実施例１）
図１は、本発明のツールと被接合材との相対位置制御の概念を示す摩擦攪拌接合装置のブロック図及び図７は図１の制御装置を備えた摩擦攪拌接合装置の正面図である。図１では、ＮＣ制御装置によってツールを回転させる主軸モーターとそのツールを被接合材に挿入させるヘッド駆動モーターとを所定の負荷率に設定すると共に、ツールの回転数、接合速度等が入力され、自動的に接合される。ＰＭＣ（Programmable Controller）制御装置では、主軸モーターの負荷率のモニター、ツール挿入深さのヒードバック制御が行われる。
【００２７】
即ち、ＮＣ制御装置及びＰＭＣ制御装置には、ツールの回転数を設定する回転数設定手段と、ツールを前記被接合材上で定速で回転しながら被接合材に対して定速で挿入する挿入速度設定手段と、ツールを回転する最大出力に対して所定の主軸モーターの負荷率を設定する負荷率設定手段、前記被接合材に対する所定の挿入深さを設定する挿入深設定手段と、負荷率又は挿入深さが前記設定された値に達した時点で所定時間保持する保持時間設定手段と、前記ツールを接合方向に定速で移動しながら接合する接合速度設定手段とを有し、更に、ツールを回転する主軸モーターの負荷率又はそれに流れる電流値が所定の範囲にあるように、接合中の前記ツールと被接合材との前記被接合材への前記ツールの挿入方向の相対的位置又は被接合材への前記ツールの挿入深さを制御するものである。
【００２８】
図７は、図１の制御装置によってコントロールされると共に、テーブル27をテーブル駆動モーター21により左右に移動させるタイプの装置であり、x軸方向に直線接合を行う摩擦攪拌接合装置である。被接合材26はテーブル27に図示していないジグにより拘束されている。被接合材26はアルミであり、形状は長さ2000ｍｍ、幅150ｍｍ、厚さ5ｍｍを有し、紙面の奥行きに2枚突き合わせたものである。また被接合材の中央部には、本発明の機能を確証するために厚さ2mmの鉄板40を挟みこんだ。これにより、被接合材30は長手方向のほぼ中央部が2mm程度凸になった形状である。
【００２９】
ツール24は工具鋼製であり、ショルダー部直径13mm、ピン部直径6mm、ピン部長さ4．0mmである。またツール24を回転する主軸モーター23は、出力5kWである。ツール24及び主軸モーター23を搭載するマシーンヘッド25は、ボールネジ29に支持され、ヘッド駆動モーター22によりz方向に移動する。なおこれらのモーターは図示していないNC制御装置及びPMC制御装置により制御されている。
【００３０】
図８は、本工程中の主軸負荷率、マシーンヘッド移動量の時間変化を示す。まずツール24を被接合材26の表面30から上に5mmの位置で停止している。主軸モーター23を1000rpmで起動すると同時に、ヘッド駆動モーター22も駆動し、マシーンヘッド25を下方に5mm/minで降下させる。このときマシーンヘッド25の降下は降下量が9．6mm(＝5．0＋4．6mm)もしくは主軸モーター23の負荷率(最大出力に対する現状出力の割合)が73%に達成したときにツール24の降下を停止するように制御した。
【００３１】
図８▲１▼のとき、主軸負荷率が73%となりマシーンヘッド25が停止した。この状態でのマシーンヘッド25の位置を制御指令値の基準(＝0mm)とした。ツール24を定速回転させたまま20秒保持した。このとき主軸負荷率はやや低下するが、制御には反映しない。20秒保持後、テーブル駆動モーター21を駆動させ、被接合材26をツール24に対して相対的に接合方向のx方向に移動を開始させた(図８▲２▼)。このときのテーブル移動速度は400mm/minとした。X方向の移動を開始すると同時に、主軸モーター23の負荷率が68〜71%となるように、マシーンヘッド25をヘッド駆動モーター22により上下に制御を開始した。主軸負荷率が上記バンドを外れた場合は、6mm/minの速度でマシーンヘッド25を上下に移動させる。被接合材26のほぼ中央部は2mm程度凸になった形状となっている。その凸型形状も合わせて図８に示してある。
【００３２】
図８▲３▼の時間で凸型の頂上に到達する。図８によれば、マシーンヘッド移動量(制御指令値)は被接合材の形状(ワーク変形)に完全に追従していることは明らかである。上記のような接合条件や制御変数はNC制御装置を介しており、ヒューマンインターフェースはその変数をNC装置にインプットするだけである。
【００３３】
図９は、前述のツール挿入量の制御を行った場合の接合ビード外観と、ツール挿入の深さの制御をせず常にマシーンヘッド25を同じ位置に保った場合の接合ビード外観を比較して示したものである。図８に示す凸型の頂上の位置を同じ記号▲３▼で示した。図９に示すように、制御：有の場合では、常にビード性状が安定しているが、制御：無の場合は図９の下部に見られる様に、▲３▼を挟んでその前後でツールが被接合材に顕著に食い込んで、バリが顕著に発生している様子がわかる。
【００３４】
以上のように、本発明のツールと被接合材との相対位置又はツール挿入の深さの制御を行うことにより、バリの発生の無い凹みの少ない接合品質が良好となることは明らかである。なお、本発明は基本的には既存のNC制御装置にソフトウェアを追加することにより比較的簡単な装置によって実施できるものである。
【００３５】
（参考例１）
本参考例の加工装置は、実施例１のツールに代えて、表面研磨機などの精密加工を行う装置に用いたもので、砥石の回転、被研磨材への挿入及び加工方向への移動を実施例１と同様に行うと共に、主軸回転モーターの負荷率又はそれに流れる電流値を予め設定された所定の範囲内になるように、実施例１と同様に砥石と被研磨材との間の相対的距離又は、砥石の被研磨材への挿入深さを制御する制御装置を備えたヘッド駆動装置を有するものである。
【００３６】
即ち、本制御装置を備えた加工装置には、砥石の回転数を設定する回転数設定手段と、砥石を被加工材上で定速で回転しながら被加工材に対して定速で挿入する挿入速度設定手段と、砥石を回転する最大出力に対して所定の主軸モーターの負荷率を設定する負荷率設定手段又は被加工材に対して所定の挿入深さに設定する挿入深さ設定手段と、砥石を加工方向に定速で移動しながら接合する加工速度設定手段と、砥石を回転する主軸モーターの負荷率又はそれに流れる電流値が所定の範囲にあるように、加工中の砥石と被加工材との被加工材への砥石の挿入方向の相対的位置又は被加工材への砥石の挿入深さを制御する制御装置とを有するものである。
【００３７】
これにより、砥石の主軸回転モーターの負荷率又はそれに流れる電流値を予め設定された所定の範囲内になるように常に一定に保たれ、外観上平滑な研磨を行うことができる。特に、本参考例は、曲面を有する鏡面研磨機への適用において有効である。
【００３８】
【発明の効果】
本発明によれば、摩擦攪拌接合における接合品質管理で最も重要な因子である被接合材へのツール挿入量が常に一定に保たれ、高精度に制御することができ、接合装置の自動化が図れる顕著な効果が得られるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の摩擦攪拌接合装置の制御装置の概念を示すブロック図である。
【図２】  摩擦攪拌接合におけるツール近傍の詳細を示す拡大断面図である。
【図３】  摩擦攪拌接合におけるツール近傍の詳細を示す拡大断面図である。
【図４】  レーザー変位計を用いてツール挿入量の制御を併用した摩擦攪拌接合装置の断面図である。
【図５】  図２及び図３の場合の、ツールと被接合材の接触面積を示す平面図である。
【図６】  本発明の基本概念であるツール挿入量と主軸負荷との関係を示す線図である。
【図７】  本発明の摩擦攪拌接合装置の断面図である。
【図８】  本発明の摩擦攪拌接合装置における制御指令値、ワーク変形及び主軸負荷率の時間変化を示す線図である。
【図９】  本発明の摩擦攪拌接合された部材の外観図である。
【符号の説明】
10…ツール、11…ショルダー、12…ピン、13…被接合材の表面、14…ツール移動方向、21…テーブル駆動モーター、22…ヘッド駆動モーター、23…主軸モーター、24…ツール、25…マシーンヘッド、26…被接合材、27…テーブル、28…レーザー変位計、29…ボールネジ、30…被接合材の表面、31…接触面積、32…接触面積、40…厚さ2mmの鉄板。
【図１】
0004199446.tif 000002
【図２】
0004199446.tif 000003
【図３】
0004199446.tif 000004
【図４】
0004199446.tif 000005
【図５】
0004199446.tif 000006
【図６】
0004199446.tif 000007
【図７】
0004199446.tif 000008
【図８】
0004199446.tif 000009
【図９】
0004199446.tif 000010