【手続補正書】
【提出日】平成19年12月7日(2007.12.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する処理容器にガスを供給するガス供給装置であって，
複数のガス供給源と，
前記複数のガス供給源から供給される複数のガスを混合する混合配管と，
前記混合配管で混合された混合ガスを分流して処理容器の複数箇所に供給する複数の分岐配管と，
少なくとも一つの分岐配管を流れる混合ガスに所定の付加ガスを供給する付加ガス供給装置と，を備え，
ガス流量を調整するためのバルブと圧力計を各分岐配管に備え，
さらに，前記圧力計の計測結果に基づいて，前記バルブの開閉度を調整して，前記混合配管の混合ガスを所定の圧力比で前記分岐配管に分流する圧力比制御装置を備えた
ことを特徴とする，ガス供給装置。
【請求項２】
前記付加ガス供給装置は，前記分岐配管に連通する付加ガス供給配管を有し，
前記付加ガス供給配管は，前記圧力計と前記バルブの下流側に接続されていることを特徴とする，請求項１に記載のガス供給装置。
【請求項３】
前記圧力比制御装置は，前記付加ガス供給装置から分岐配管に前記付加ガスを供給しない状態で，前記各分岐配管に分流される混合ガスの圧力比を前記バルブにより所定の圧力比に調整し，その状態で前記バルブの開閉度を固定することを特徴とする，請求項２に記載のガス供給装置。
【請求項４】
前記圧力比制御装置により前記分岐配管の混合ガスが所定の圧力比に調整された後に，前記付加ガス供給装置から前記分岐配管に付加ガスを供給する制御部をさらに備えたことを特徴とする，請求項３に記載のガス供給装置。
【請求項５】
基板を収容する処理容器と，
複数のガス供給源と，
前記複数のガス供給源から供給される複数のガスを混合する混合配管と，
前記混合配管で混合された混合ガスを分流して処理容器の複数箇所に供給する複数の分岐配管と，
少なくとも一つの分岐配管を流れる混合ガスに所定の付加ガスを供給する付加ガス供給装置と，を備え，
前記処理容器内に配置され，前記処理容器内の処理空間にガスを吐出させるためのシャワーヘッドを有し，
前記複数の分岐配管は，前記シャワーヘッドに接続されることを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】
ガス流量を調整するためのバルブと圧力計を各分岐配管に備え，
さらに，前記圧力計の計測結果に基づいて，前記バルブの開閉度を調整して，前記混合配管の混合ガスを所定の圧力比で前記分岐配管に分流する圧力比制御装置を備えたことを特徴とする，請求項５に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記付加ガス供給装置は，前記分岐配管に連通する付加ガス供給配管を有し，
前記付加ガス供給配管は，前記圧力計と前記バルブの下流側に接続されていることを特徴とする，請求項６に記載の基盤処理装置。
【請求項８】
前記圧力比制御装置は，前記付加ガス供給装置から分岐配管に前記付加ガスを供給しない状態で，前記各分岐配管に分流される混合ガスの圧力比を前記バルブにより所定の圧力比に調整し，その状態で前記バルブの開閉度を固定することを特徴とする，請求項７に記載の基盤処理装置。
【請求項９】
前記圧力比制御装置により前記分岐配管の混合ガスが所定の圧力比に調整された後に，前記付加ガス供給装置から前記分岐配管に付加ガスを供給する制御部をさらに備えたことを特徴とする，請求項８に記載の基盤処理装置。
【請求項１０】
前記複数の分岐配管は２本であり，
前記２本の分岐配管は，前記シャワーヘッド内部で同心円状に区画された第１，第２のバッファ室にそれぞれ接続されることを特徴とする，請求項９に記載の基板処理装置。
【請求項１１】
前記第１のバッファ室はシャワーヘッド中心部側に，前記第２のバッファ室は前記シャワーヘッド外周部側に配置され，
前記付加ガス供給装置が接続された分岐配管は，前記第２のバッファ室に接続されることを特徴とする，請求項１０に記載の基板処理装置。
【請求項１２】
前記処理容器内に配置され，前記基板を載置する載置部を有し，
前記複数の分岐配管の内少なくとも１つは，前記処理容器の側面から，前記シャワーヘッドと前記載置部とで形成される空間にガスを供給できるよう接続されることを特徴とする，請求項５に記載の基板処理装置。
【請求項１３】
複数のガス供給源と，
前記複数のガス供給源から供給される複数のガスを混合する混合配管と，
前記混合配管で混合された混合ガスを分流して処理容器の複数箇所に供給する複数の分岐配管と，
少なくとも一つの分岐配管を流れる混合ガスに所定の付加ガスを供給する付加ガス供給装置と，を有し，
ガス流量を調整するためのバルブと圧力計を各分岐配管に備えたガス供給装置を用いた供給ガス設定方法であって，
前記付加ガス供給装置から前記分岐配管に付加ガスを供給しない状態で，前記混合配管から各分岐配管に分流される混合ガスの圧力比を前記バルブにより所定の混合比に調整し，その後前記分岐配管の前記バルブの開閉度を固定する工程と，
その後，付加前記ガス供給装置から所定の前記分岐配管に所定流量の付加ガスを供給する工程と，を有することを特徴とする，供給ガス設定方法。

【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的を達成する本発明は，基板を処理する処理容器にガスを供給するガス供給装置であって，複数のガス供給源と，前記複数のガス供給源から供給される複数のガスを混合する混合配管と，前記混合配管で混合された混合ガスを分流して処理容器の複数箇所に供給する複数の分岐配管と，少なくとも一つの分岐配管を流れる混合ガスに所定の付加ガスを供給する付加ガス供給装置と，を備え，ガス流量を調整するためのバルブと圧力計を各分岐配管に備え，さらに，前記圧力計の計測結果に基づいて，前記バルブの開閉度を調整して，前記混合配管の混合ガスを所定の圧力比で前記分岐配管に分流する圧力比制御装置を備えたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
別の観点による本発明によれば，基板を収容する処理容器と，複数のガス供給源と，前記複数のガス供給源から供給される複数のガスを混合する混合配管と，前記混合配管で混合された混合ガスを分流して処理容器の複数箇所に供給する複数の分岐配管と，少なくとも一つの分岐配管を流れる混合ガスに所定の付加ガスを供給する付加ガス供給装置と，を備え，前記処理容器内に配置され，前記処理容器内の処理空間にガスを吐出させるためのシャワーヘッドを有し，前記複数の分岐配管は，前記シャワーヘッドに接続されることを特徴とする基板処理装置が提供される。
また，上記基板処理装置は，ガス流量を調整するためのバルブと圧力計を各分岐配管に備え，さらに，前記圧力計の計測結果に基づいて，前記バルブの開閉度を調整して，前記混合配管の混合ガスを所定の圧力比で前記分岐配管に分流する圧力比制御装置を備えていてもよい。
前記付加ガス供給装置は，前記分岐配管に連通する付加ガス供給配管を有し，前記付加ガス供給配管は，前記圧力計と前記バルブの下流側に接続されていてもよい。
また，前記圧力比制御装置は，前記付加ガス供給装置から分岐配管に前記付加ガスを供給しない状態で，前記各分岐配管に分流される混合ガスの圧力比を前記バルブにより所定の圧力比に調整し，その状態で前記バルブの開閉度を固定するようにしてもよい。
また，上記基板処理装置は，前記圧力比制御装置により前記分岐配管の混合ガスが所定の圧力比に調整された後に，前記付加ガス供給装置から前記分岐配管に付加ガスを供給する制御部をさらに備えていてもよい。
また，前記複数の分岐配管は２本であり，前記２本の分岐配管は，前記シャワーヘッド内部で同心円状に区画された第１，第２のバッファ室にそれぞれ接続されることとしてもよい。
また，前記第１のバッファ室はシャワーヘッド中心部側に，前記第２のバッファ室は前記シャワーヘッド外周部側に配置され，前記付加ガス供給装置が接続された分岐配管は，前記第２のバッファ室に接続されていてもよい。
また，上記基板処理装置は，前記処理容器内に配置され，前記基板を載置する載置部を有し，前記複数の分岐配管の内少なくとも１つは，前記処理容器の側面から，前記シャワーヘッドと前記載置部とで形成される空間にガスを供給できるよう接続されていてもよい。

【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
さらに別の観点による本発明によれば，複数のガス供給源と，前記複数のガス供給源から供給される複数のガスを混合する混合配管と，前記混合配管で混合された混合ガスを分流して処理容器の複数箇所に供給する複数の分岐配管と，少なくとも一つの分岐配管を流れる混合ガスに所定の付加ガスを供給する付加ガス供給装置と，を有し，ガス流量を調整するためのバルブと圧力計を各分岐配管に備えたガス供給装置を用いた供給ガス設定方法であって，前記付加ガス供給装置から前記分岐配管に付加ガスを供給しない状態で，前記混合配管から各分岐配管に分流される混合ガスの圧力比を前記バルブにより所定の混合比に調整し，その後前記分岐配管の前記バルブの開閉度を固定する工程と，その後，付加前記ガス供給装置から所定の前記分岐配管に所定流量の付加ガスを供給する工程と，を有することを特徴とする，供給ガス設定方法が提供される。

【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】