【手続補正書】
【提出日】平成20年2月20日(2008.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の回転軸線周りに非接触で相対回転する第一部材と第二部材との間に動圧隙間が形成され、それら第一部材と第二部材との相対回転に伴い、前記動圧隙間に流体動圧を発生させるよう構成されるとともに、前記第一部材及び前記第二部材の少なくともいずれかにおいて、前記動圧隙間に面する研磨表面（以下、動圧隙間形成面という）を含む部分が少なくともアルミナ質セラミックにて構成される、気体を動圧発生用流体とするセラミック動圧軸受けにおいて、
前記研磨仕上げされた動圧隙間形成面を構成するアルミナ質セラミックにおける、Ａｌ2Ｏ3換算したＡｌ成分の含有率が、９０〜９９．５質量％であり、
前記動圧隙間形成面における、寸法２〜２０μｍの表面空孔の形成面積率が１０〜６０％であることを特徴とするセラミック動圧軸受。
【請求項２】
前記アルミナ質セラミックは、粒界相を構成する酸化物系焼結助剤成分が、酸化物換算にて０．５〜１０質量％含有されている請求項１記載のセラミック動圧軸受。
【請求項３】
前記酸化物系焼結助剤成分として、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ及びＳｉから選ばれる１種又は２種以上を、酸化物換算した値にて合計で０．５〜１０質量％含有されている請求項２記載のセラミック動圧軸受。
【請求項４】
前記アルミナ質セラミックの見かけ密度が３．５〜３．９ｇ／ｃｍ３である請求項１ないし３のいずれかに記載のセラミック動圧軸受。
【請求項５】
前記アルミナ質セラミックの相対密度が９０〜９８％である請求項１ないし４のいずれかに記載のセラミック動圧軸受。
【請求項６】
前記アルミナ質セラミックの曲げ強度が２８０〜５５０ＭＰａである請求項１ないし５のいずれかに記載のセラミック動圧軸受。
【請求項７】
前記アルミナ質セラミックの前記動圧隙間形成面にて、荷重１５Ｎにて測定したロックウェル硬さが９２〜９８である請求項１ないし６のいずれかに記載のセラミック動圧軸受。
【請求項８】
前記研磨仕上げされた動圧隙間形成面を構成するセラミック結晶粒子の平均粒径が１〜７μｍである請求項１ないし７のいずれかに記載のセラミック動圧軸受。
【請求項９】
前記動圧隙間形成面において、粒径２〜５μｍのセラミック結晶粒子の面積率が４０％以上であることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載のセラミック動圧軸受。
【請求項１０】
前記動圧隙間形成面に存在する表面空孔の平均寸法が、セラミック結晶粒子の平均粒径よりも大である請求項１ないし９のいずれかに記載のセラミック動圧軸受。
【請求項１１】
前記動圧隙間形成面に存在する表面空孔の平均寸法が２〜２０μｍである請求項１ないし１０のいずれかに記載のセラミック動圧軸受。
【請求項１２】
前記第一部材及び前記第二部材は、それぞれ全体がセラミックにて構成されており、かつ該セラミックは、相対密度が９０％以上の緻密セラミック焼結体であって、焼結体に存在する寸法２〜２０μｍの空孔が主に、前記動圧隙間形成面に前記表面空孔の形で局在化した形で存在するものである請求項１ないし１１のいずれかに記載のセラミック動圧軸受。
【請求項１３】
前記表面空孔は、前記動圧隙間形成面を加工仕上げする際に、セラミック結晶粒子が脱落して形成されたものである請求項１２記載のセラミック動圧軸受。
【請求項１４】
前記第一部材は軸状に形成され、前記第二部材に形成された挿通孔に該第一部材が挿通されるとともに、前記第二部材の挿通孔内面と、これに挿通される前記第一部材の外周面とをそれぞれラジアル動圧隙間形成面として、それらラジアル動圧隙間形成面の間にラジアル動圧隙間が形成されている請求項１ないし１３のいずれかに記載のセラミック動圧軸受。
【請求項１５】
前記第一部材は、前記回転軸線方向における前記第二部材の少なくとも一方の端面に対向する形で配置され、該第二部材の端面と、これに対向する前記第一部材の対向面とをそれぞれスラスト動圧隙間形成面として、それらスラスト動圧隙間形成面の間にスラスト動圧隙間が形成されている請求項１ないし１３のいずれかに記載のセラミック動圧軸受。
【請求項１６】
前記動圧隙間形成面に動圧溝が形成されている請求項１ないし１５のいずれかに記載のセラミック動圧軸受。
【請求項１７】
ハードディスク装置のハードディスク回転主軸部分の軸受として使用される請求項１ないし１６のいずれかに記載のセラミック動圧軸受。
【請求項１８】
ポリゴンスキャナのポリゴンミラー回転主軸部分の軸受として使用される請求項１ないし１６のいずれかに記載のセラミック動圧軸受。
【請求項１９】
請求項１ないし１８のいずれかに記載のセラミック動圧軸受をモータ回転出力部の軸受として用いたことを特徴とする軸受付きモータ。
【請求項２０】
ハードディスク装置のハードディスク回転駆動部に使用される請求項１７記載の軸受付きモータ。
【請求項２１】
ポリゴンスキャナのポリゴンミラー駆動部に使用される請求項１８記載の軸受付きモータ。
【請求項２２】
最大回転数が８０００ｒｐｍ以上の高速回転用モータである請求項１９ないし２１のいずれかに記載の軸受付きモータ。
【請求項２３】
請求項２０又は２２に記載の軸受付きモータと、その軸受付きモータにより回転駆動されるハードディスクとを備えたことを特徴とするハードディスク装置。
【請求項２４】
請求項２１又は２２に記載の軸受付きモータと、その軸受付きモータにより回転駆動されるポリゴンミラーとを備えたことを特徴とするポリゴンスキャナ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記課題を解決するために本発明のセラミック動圧軸受は、所定の回転軸線周りに非接触で相対回転する第一部材と第二部材との間に動圧隙間が形成され、それら第一部材と第二部材との相対回転に伴い、前記動圧隙間に流体動圧を発生させるよう構成されるとともに、前記第一部材及び前記第二部材の少なくともいずれかにおいて、前記動圧隙間に面する研磨表面（以下、動圧隙間形成面という）を含む部分が少なくともアルミナ質セラミックにて構成される、気体を動圧発生用流体とするセラミック動圧軸受けにおいて、前記研磨仕上げされた動圧隙間形成面を構成するアルミナ質セラミックにおける、Ａｌ2Ｏ3換算したＡｌ成分の含有率（以下、アルミナ含有率という）が、９０〜９９．５質量％であり、前記動圧隙間形成面における、寸法２〜２０μｍの表面空孔の形成面積率が１０〜６０％であることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本発明では、動圧隙間形成面における、寸法２〜２０μｍの表面空孔の形成面積率が１０〜６０％（より好ましくは１５〜４０％）である。
従って、凝着摩耗あるいはリンキングをより生じにくくし、かつ動圧隙間に発生する流体動圧レベルを高めることが可能となる。
次に、研磨仕上げされた動圧隙間形成面を構成するアルミナ質セラミックの見かけ密度は、３．５〜３．９ｇ／ｃｍ3であることが望ましい。アルミナ質セラミックの密度を比較的高い値である３．５〜３．９ｇ／ｃｍ3に調整することにより、動圧隙間発生面を構成するアルミナ質セラミックの強度及び耐摩耗性の絶対値を向上させることができ、ひいては部材間の接触が生じやすい回転の起動・停止時において、動圧隙間形成面の摩耗や焼き付きを効果的に防止することができる。