(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化アルミニウムと、酸化ランタン、水酸化ランタン、及び炭酸ランタンから選ばれる化合物を有効成分として含み、アルミニウムの原子数とランタンの原子数の比が１：１〜１０であり、該有効成分の含有率が７０ｗｔ％以上であることを特徴とするフルオロカーボンの分解処理剤。
【請求項２】
酸化アルミニウムと、酸化ランタン、水酸化ランタン、及び炭酸ランタンから選ばれる化合物と、アルカリ土類金属化合物を有効成分として含み、アルミニウムの原子数と、ランタンの原子数及びアルカリ土類金属の原子数を合せた原子数の比が１：１〜１０であり、ランタンの原子数とアルカリ土類金属の原子数の比が２：１以下であり、該有効成分の含有率が７０ｗｔ％以上であることを特徴とするフルオロカーボンの分解処理剤。
【請求項３】
酸化アルミニウムが、平均細孔直径５０〜２００Åの細孔を有する酸化アルミニウムである請求項１または請求項２に記載のフルオロカーボンの分解処理剤。
【請求項４】
フルオロカーボンを含有するガスを、加熱下で、酸化アルミニウム及び酸化ランタンを有効成分として混合して含み、アルミニウムの原子数とランタンの原子数の比が１：１〜１０である分解処理剤と接触させてフルオロカーボンを分解することを特徴とするフルオロカーボンの分解処理方法。
【請求項５】
フルオロカーボンを含有するガスを、加熱下で、酸化アルミニウム、酸化ランタン、及びアルカリ土類金属化合物の酸化物を有効成分として混合して含み、アルミニウムの原子数と、ランタンの原子数及びアルカリ土類金属の原子数を合せた原子数の比が１：１〜１０であり、ランタンの原子数とアルカリ土類金属の原子数の比が２：１以下である分解処理剤と接触させてフルオロカーボンを分解することを特徴とするフルオロカーボンの分解処理方法。
【請求項６】
フルオロカーボンを含有するガスを、酸素及び／または水蒸気の共存下、分解処理剤と接触させてフルオロカーボンを分解する請求項４または請求項５に記載のフルオロカーボンの分解処理方法。
【請求項７】
フルオロカーボンを含有するガスと分解処理剤の接触温度が、３００〜１０００℃である請求項４または請求項５に記載のフルオロカーボンの分解処理方法。
【請求項８】
失活した分解処理剤を順次反応系から排出するとともに、新規分解処理剤を反応系に供給する請求項４または請求項５に記載のフルオロカーボンの分解処理方法。
【請求項９】
分解処理前のフルオロカーボンを含有するガスと分解処理後のガスを熱交換させる請求項４または請求項５に記載のフルオロカーボンの分解処理方法。
【請求項１０】
フルオロカーボンがパーフルオロカーボンである請求項４または請求項５に記載のフルオロカーボンの分解処理方法。
【請求項１１】
フルオロカーボンがＣＦ４である請求項４または請求項５に記載のフルオロカーボンの分解処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はフルオロカーボンの分解処理剤及び分解処理方法に関する。さらに詳細には半導体製造工程等から排出される排ガスに含まれるＣＦ４等のフルオロカーボンを、１０００℃以下の比較的低い温度で長時間効率よく分解処理することが可能な分解処理剤及び分解処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工業においては、ドライエッチング装置のエッチングガスやＣＶＤ装置のチャンバークリーニングガス等として、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ４Ｆ６、Ｃ５Ｆ８等のフルオロカーボンが使用されている。これらのフルオロカーボンは非常に安定な化合物であり地球温暖化に対する影響が大きいため、大気に放出した場合の環境への悪影響が懸念されている。従って、半導体製造工程から排出される排ガスに含まれるこれらのフルオロカーボンは、回収するかあるいは分解して大気に放出することが好ましい。
【０００３】
従来から使用されているＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ４Ｆ６、Ｃ５Ｆ８等のフルオロカーボンを、エッチングガスやチャンバークリーニングガス等として用いた後の排ガスは、通常は、窒素、アルゴン、ヘリウム等のキャリアガスをベースガスとし、前記フルオロカーボンの他、ＨＦ、Ｆ２、ＳｉＦ４等の酸性ガスが含まれることが多い。また、排ガスに含まれるこれらのフルオロカーボンの濃度は、通常１０〜５００００ｐｐｍ程度である。このように排ガスに含まれるフルオロカーボンの濃度が比較的低いため、これらの処理には、ランニングコストがより安い分解が多く試みられてきた。
【０００４】
従来からフルオロカーボンを分解処理する方法としては、例えばフルオロカーボンを含む排ガスを、水素、メタン、プロパン等を用いた焼却炉の火炎中に導入して燃焼させる方法、あるいはフルオロカーボンを含む排ガスに、空気または酸素、あるいは空気または酸素とともに水分を含む混合ガスを添加して加熱酸化する方法によりフルオロカーボンの分解が行なわれていた。また、フルオロカーボン等のフッ素化合物を、アルミナ存在下で、分子状酸素と接触させる方法（特開平１０−２８６４３４号公報）、アルミナに６Ａ族、８族、３Ｂ族の金属及び硫酸、燐酸、ほう酸等の無機酸を担持させた分解処理触媒と接触させる方法（特開平１１−１６５０７１号公報）、酸素及び水共存下において、３００〜１０００℃に加熱された、アルミナ系触媒と含シリカ混合材とを混合して成る触媒層を通過させる方法（特開２０００−１５０６０号公報）等が開発されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、燃焼法による分解処理方法は、フルオロカーボンを分解処理していない待機時にも燃焼状態を維持しなければならないためエネルギーコストが高い、二酸化炭素を大量に放出するという不都合があった。空気または酸素を添加して加熱酸化する分解処理方法は、１０００℃以上の加熱が必要であり、ＣＦ４の分解の場合はさらに高い温度が必要であるため、耐熱性とともに耐腐食性の点で分解処理装置の実用化が困難であった。
【０００６】
アルミナを分解触媒として用いたフルオロカーボンの分解処理方法は、比較的低い温度でフルオロカーボンを分解できるという長所がある。しかし、この分解処理方法においては、フルオロカーボンとの反応によりアルミナの表面にフッ化アルミニウムが生成し、短時間で分解触媒が失活するという不都合があった。また、アルミナに金属、無機酸、あるいはシリカを添加した分解処理触媒は、分解触媒の活性を比較的長時間維持させることを目的に開発されたものであるが、分解対象のフルオロカーボンがＣＦ４の場合は、１０００℃以下の温度で１００％近い分解率を維持して長時間連続で分解処理することは困難であった。
【０００７】
さらに、水の共存下でフルオロカーボンの分解処理を行なった場合は、分解率を向上させることができるが、分解処理後にフッ化水素が生成するため、排ガスを大気に放出するに先立って湿式浄化装置等によりこれを除去する必要があるほか、分解処理装置から排出される排ガスは、高温かつ腐食性であるため熱交換器を使用することができないという不都合があった。
従って、本発明が解決しようとする課題は、半導体製造工程等から排出される排ガスに含まれるＣＦ４等のフルオロカーボンを、短時間で分解処理剤が失活することなく、またフッ化水素等の腐食性ガスを排出させることなく、１０００℃以下の比較的低い温度で９９．９％以上の分解率で分解可能な分解処理剤及び分解処理方法を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、これらの課題を解決すべく鋭意検討した結果、酸化アルミニウムと、酸化ランタン、水酸化ランタン、及び炭酸ランタンから選ばれる化合物を有効成分として含む分解処理剤、あるいは酸化アルミニウムと、酸化ランタン、水酸化ランタン、及び炭酸ランタンから選ばれる化合物に、さらにアルカリ土類金属化合物を有効成分として含ませた分解処理剤が、前記課題を解決し得る分解処理剤であることを見い出し本発明のフルオロカーボンの分解処理剤に到達した。
【０００９】
また、本発明者らは、フルオロカーボンを、加熱下で、酸化アルミニウム及び酸化ランタンを有効成分として含む分解処理剤、あるいはこの分解処理剤にさらにアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含ませた分解処理剤と接触させることにより、前記課題を解決できることを見い出し本発明のフルオロカーボンの分解処理方法に到達した。
【００１０】
すなわち本発明は、酸化アルミニウムと、酸化ランタン、水酸化ランタン、及び炭酸ランタンから選ばれる化合物を有効成分として含み、アルミニウムの原子数とランタンの原子数の比が１：１〜１０であり、該有効成分の含有率が７０ｗｔ％以上であることを特徴とするフルオロカーボンの分解処理剤である。
また、本発明は、酸化アルミニウムと、酸化ランタン、水酸化ランタン、及び炭酸ランタンから選ばれる化合物と、アルカリ土類金属化合物を有効成分として含み、アルミニウムの原子数と、ランタンの原子数及びアルカリ土類金属の原子数を合せた原子数の比が１：１〜１０であり、ランタンの原子数とアルカリ土類金属の原子数の比が２：１以下であり、該有効成分の含有率が７０ｗｔ％以上であることを特徴とするフルオロカーボンの分解処理剤である。
【００１１】
また、本発明は、フルオロカーボンを含有するガスを、加熱下で、酸化アルミニウム、酸化ランタン、及びアルカリ土類金属化合物の酸化物を有効成分として混合して含み、アルミニウムの原子数と、ランタンの原子数及びアルカリ土類金属の原子数を合せた原子数の比が１：１〜１０であり、ランタンの原子数とアルカリ土類金属の原子数の比が２：１以下である分解処理剤と接触させてフルオロカーボンを分解することを特徴とするフルオロカーボンの分解処理方法である。
【００１２】
また、本発明は、フルオロカーボンを含有するガスを、加熱下で、酸化アルミニウム、酸化ランタン、及びアルカリ土類金属化合物の酸化物を有効成分として混合して含み、アルミニウムの原子数と、ランタンの原子数及びアルカリ土類金属の原子数を合せた原子数の比が１：１〜１０であり、ランタンの原子数とアルカリ土類金属の原子数の比が２：１以下である分解処理剤と接触させてフルオロカーボンを分解することを特徴とするフルオロカーボンの分解処理方法である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明のフルオロカーボンの分解処理剤及び分解処理方法は、窒素、アルゴン、ヘリウム等のガス中に含まれる、炭化水素の全てがフッ素に置換されたパーフルオロカーボン、一部がフッ素に置換されたヒドロフルオロカーボンの分解処理に適用されるが、これらのフルオロカーボンの中でも化学的に安定なＣＦ４の分解処理において、短時間で分解処理剤が失活することなく、フッ化水素等の腐食性ガスを排出させることなく、１０００℃以下の分解温度で９９．９％以上の分解率で分解可能な点で特に効果を発揮する。
【００１４】
本発明のフルオロカーボンの分解処理剤及び分解処理方法において、分解処理の対象となるフルオロカーボンとしては、例えば、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｆ８、Ｃ４Ｆ１０、Ｃ５Ｆ１２、Ｃ４Ｆ８、Ｃ４Ｆ６、Ｃ５Ｆ８等のパーフルオロカーボン及びＣＨ３Ｆ、ＣＨ２Ｆ２、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｈ４Ｆ２、Ｃ２Ｈ２Ｆ４等のヒドロフルオロカーボンが挙げられる。
【００１５】
以下、本発明のフルオロカーボンの分解処理剤について詳細に説明する。
【００１６】
本発明の分解処理剤は、酸化アルミニウムと、酸化ランタン、水酸化ランタン、及び炭酸ランタンから選ばれる化合物を有効成分として含む分解処理剤、または、酸化アルミニウムと、酸化ランタン、水酸化ランタン、及び炭酸ランタンから選ばれる化合物と、アルカリ土類金属化合物を有効成分として含む分解処理剤である。
【００１７】
ただし、アルカリ土類金属化合物が、酸化物以外である場合は、フルオロカーボンを分解処理する温度またはその近辺の温度で分解されて、アルカリ土類金属の酸化物となる化合物を用いることが好ましい。
【００１８】
酸化ランタン、水酸化ランタン、及び炭酸ランタンから選ばれる化合物（以下、「ランタン化合物」と記す）は単独で用いてもよく２種類以上を併用してもよい。
【００１９】
アルカリ土類金属の酸化物としては、酸化ベリリウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチウム、酸化バリウムを挙げることができるが、酸化ベリリウムは昇華開始温度が８００℃であり、酸化バリウムは有毒性が懸念されるため、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、または酸化ストロンチウムを用いることが好ましい。
【００２０】
また、前記以外のアルカリ土類金属化合物としては、アルカリ土類金属の水酸化物、炭酸塩、硫酸塩、硝酸塩、有機酸塩等を挙げることができるが、容易に酸化物に転換できる点で水酸化物、炭酸塩、または硝酸塩が好ましく、この中でも有害ガスを排出しない点で水酸化物または炭酸塩を用いることが好ましい。また、前記と同様な理由により、マグネシウム、カルシウム、またはストロンチウムの化合物を用いることが好ましい。
尚、これらのアルカリ土類金属化合物は単独で用いてもよく２種類以上を併用してもよい。
【００２１】
また、本発明に用いられる酸化アルミニウムとしては、アルミニウム平均細孔直径が５０〜２００Åの細孔を有するものが好ましく、その中でもγアルミナが好ましい。平均細孔直径が５０Å未満の細孔を有する酸化アルミニウムまたは平均細孔直径が２００Åを越える細孔を有する酸化アルミニウムを用いた場合は、フルオロカーボンの分解率が低下する虞を生じる。また、比表面積が１００ｍ２／ｇ以上の酸化アルミニウムが好ましい。酸化アルミニウムの純度は９９％以上であることが好ましく、さらに９９．９％以上であることがより好ましい。
【００２２】
本発明の酸化アルミニウム、ランタン化合物を含む分解処理剤は、通常は前記の酸化アルミニウムとランタン化合物を、混合し造粒することにより調製されるか、あるいは酸化アルミニウムを造粒するとともにランタン化合物を造粒した後、これらを混合することにより調製される。
また、本発明の酸化アルミニウム、ランタン化合物、アルカリ土類金属化合物を含む分解処理剤は、通常は前記の酸化アルミニウム、ランタン化合物、及びアルカリ土類金属化合物を、混合し造粒することにより調製されるか、酸化アルミニウム、ランタン化合物、及びアルカリ土類金属化合物を別々に造粒した後、これらを混合することにより調製されるか、あるいは酸化アルミニウムの造粒物と、ランタン化合物及びアルカリ土類金属化合物を混合して造粒したものを混合して調製される。そのほか、酸化アルミニウムと残りの１有効成分を混合して造粒物したものと、残りの他の有効成分の造粒物を混合して調製することもできる。
【００２３】
いずれの分解処理剤の調製方法においても、分解処理剤に含まれるアルミニウムの原子数と、ランタンの原子数及びアルカリ土類金属の原子数を合せた原子数の比が、１：１〜１０となるように、好ましくは１：１〜５．０となるように調製される。また、分解処理剤に含まれるランタンの原子数と、アルカリ土類金属の原子数については、ランタンの原子数が多いほど分解処理能力（分解処理剤単位量当たりに対するフルオロカーボンの分解処理量）が向上し、その比（ランタンの原子数：アルカリ土類金属化合物の原子数）は、２：１以下となるように調製される。さらに、前述のいずれの調製方法においても、通常は直径が０．１〜２０ｍｍ程度、好ましくは直径が１〜１０ｍｍ程度の球状、これに類似する形状、またはこれに相当する大きさ及び形状となるように造粒して調製される。
【００２４】
また、本発明のフルオロカーボンの分解処理剤は、造粒の際の成型性や成型強度を高めるために、有効成分のほかにバインダーを加えてもよい。このようなバインダーとしては、ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、メチルセルロース、カルボキシメチルセルロースなどの有機系バインダー、シリカ、珪藻土、珪酸ナトリウム、硫酸水素ナトリウムなどの無機系バインダーを挙げることができる。これらのバインダーを加える場合は、浄化剤を調製する際に有効成分に添加、混練される。バインダーの添加量は、成型条件などによって異なり一概には特定できないが、少なすぎる場合はバインダーとしての効果が得られず、多すぎる場合は分解処理能力が低下することから、通常は分解処理剤全重量に対して０．１〜１０ｗｔ％であり、好ましくは０．５〜５ｗｔ％である。
【００２５】
また、分解処理剤中にはフルオロカーボンの分解に悪影響を及ぼさない不純物、不活性物質等を含んでいてもよい。さらに、使用前の分解処理剤は水分を含んでいてもよいが含まない方が好ましく、通常は分解処理剤中の水分が２ｗｔ％以下となるように調製される。従って、有効成分を造粒する際は、打錠成型により造粒することが好ましい。尚、これらのバインダー、不純物、不活性物質、水分などを含んだ場合においても、分解処理剤中の有効成分の含有量は、通常は７０ｗｔ％以上、好ましくは９０ｗｔ％以上である。
【００２６】
次に、本発明のフルオロカーボンの分解処理方法を、図１乃至図６に基づいて詳細に説明するが、本発明がこれらにより限定されるものではない。
本発明のフルオロカーボンの分解処理方法における第１の形態は、フルオロカーボンを含有するガスを、加熱下で、酸化アルミニウム及び酸化ランタンを有効成分として含む分解処理剤と接触させてフルオロカーボンを分解する方法であり、図１はそのための分解処理装置の例を示す断面図である。
本発明のフルオロカーボンの分解処理方法における第２の形態は、フルオロカーボンを含有するガスを、加熱下で、酸化アルミニウム、酸化ランタン、及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む分解処理剤と接触させてフルオロカーボンを分解する方法であり、図２はそのための分解処理装置の例を示す断面図である。
【００２７】
フルオロカーボンの分解を、第１の形態または第２の形態により実施する場合は、通常は前述の本発明の分解処理剤が使用される。尚、アルカリ土類金属化合物として、酸化物以外のものを用いる場合は、フルオロカーボンを分解処理する温度またはその近辺の温度で分解されて、容易にアルカリ土類金属の酸化物となる化合物を用いることが好ましい。
【００２８】
フルオロカーボンの分解処理を、第１の形態により実施する場合は、分解処理を行なう前、分解処理装置に、例えば、図１（Ａ）に示すように、酸化アルミニウム及びランタン化合物を混合し造粒した造粒物４から成る分解処理剤が充填されるか、図１（Ｂ）に示すように、酸化アルミニウムの造粒物１及びランタン化合物の造粒物２を混合して成る分解処理剤が充填される。
【００２９】
フルオロカーボンの分解処理を、第２の形態により実施する場合は、分解処理を行なう前、分解処理装置に、例えば、図２（Ａ）に示すように、酸化アルミニウム、ランタン化合物、及びアルカリ土類金属化合物を混合し造粒した造粒物５から成る分解処理剤が充填されるか、図２（Ｂ）に示すように、酸化アルミニウムの造粒物１、ランタン化合物の造粒物２、及びアルカリ土類金属化合物の造粒物３を混合して成る分解処理剤が充填されるか、あるいは、図２（Ｃ）に示すように、酸化アルミニウムの造粒物１と、ランタン化合物及びアルカリ土類金属化合物の混合造粒物６を混合して成る分解処理剤が充填される。
【００３０】
また、フルオロカーボンの分解を、第１の形態または第２の形態により実施する場合は、図１、図２に示す分解処理装置のように分解処理剤を固定床として用いるほか、移動床、流動床として用いることができる。例えば、失活した分解処理剤を分解処理装置の下部に設けた分解処理剤排出口から排出するとともに、分解処理装置の上部に設けた分解処理剤供給口から新規分解処理剤を反応系に供給する構成とすることにより、さらに長時間にわたり連続してフルオロカーボンの分解処理を実施することができる。
【００３１】
本発明のフルオロカーボンの分解処理方法における第３の形態は、フルオロカーボンを含有するガスを、酸素及び／または水蒸気の共存下、加熱下で、酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤と接触させた後、酸化ランタンを有効成分として含む処理剤と接触させてフルオロカーボンを分解する方法であり、図３はそのための分解処理装置の例を示す断面図である。
【００３２】
フルオロカーボンの分解を、第３の形態により実施する場合は、通常は酸化アルミニウムの造粒物及びランタン化合物の造粒物が使用される。例えば、分解処理を行なう前、分解処理装置に、図３に示すように、酸化アルミニウムの造粒物１から成る処理剤及び酸化ランタンの造粒物２から成る処理剤が積層される。尚、本発明においては、これらの２処理剤層を１単位層として、単数または複数の単位層を積層させて分解処理を行なうことが可能である。図３は３単位層を積層させた構成のものである。
【００３３】
本発明のフルオロカーボンの分解処理方法における第４の形態は、フルオロカーボンを含有するガスを、酸素及び／または水蒸気の共存下、加熱下で、酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤と接触させた後、酸化ランタンを有効成分として含む処理剤及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む処理剤と接触させてフルオロカーボンを分解する方法であり、図４はそのための分解処理装置の例を示す断面図である。尚、本発明においては、処理対象ガスを、酸化ランタンを有効成分として含む処理剤、アルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む処理剤に接触させる順について特に制限されることがない。
【００３４】
フルオロカーボンの分解を、第４の形態により実施する場合は、通常は酸化アルミニウムの造粒物、ランタン化合物の造粒物、及びアルカリ土類金属化合物の造粒物が使用される。例えば、分解処理を行なう前、分解処理装置に、図４（Ａ）または図４（Ｂ）に示すように、酸化アルミニウムの造粒物１から成る処理剤、ランタン化合物の造粒物２から成る処理剤、及びアルカリ土類金属化合物の造粒物３から成る処理剤が積層される。尚、本発明においては、これらの３処理剤層を１単位層として、単数または複数の単位層を積層させて分解処理を行なうことが可能である。
【００３５】
本発明のフルオロカーボンの分解処理方法における第５の形態は、フルオロカーボンを含有するガスを、酸素及び／または水蒸気の共存下、加熱下で、酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤と接触させた後、酸化ランタン及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む処理剤と接触させてフルオロカーボンを分解する方法であり、図５はそのための分解処理装置の例を示す断面図である。
【００３６】
フルオロカーボンの分解を、第５の形態により実施する場合は、通常は酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤の源として酸化アルミニウムの造粒物が、酸化ランタンとアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む処理剤の源として、ランタン化合物及びアルカリ土類金属化合物を混合し造粒したもの、あるいはランタン化合物の造粒物及びアルカリ土類金属化合物の造粒物を混合したものが使用される。例えば、分解処理を行なう前、分解処理装置に、図５（Ａ）に示すように、酸化アルミニウムの造粒物１から成る処理剤、ランタン化合物及びアルカリ土類金属化合物の混合造粒物６から成る処理剤が積層されるか、図５（Ｂ）に示すように、酸化アルミニウムの造粒物１から成る処理剤、ランタン化合物の造粒物２及びアルカリ土類金属化合物の造粒物３から成る処理剤が積層される。尚、本発明においては、これらの２処理剤層を１単位層として、単数または複数の単位層を積層させて分解処理を行なうことが可能である。
【００３７】
尚、第３の形態、第４の形態、第５の形態においても、第１の形態、第２の形態の場合と同様に、アルカリ土類金属化合物として、酸化物以外のものを用いる場合は、フルオロカーボンを分解処理する温度またはその近辺の温度で分解されて、容易にアルカリ土類金属の酸化物となる化合物を用いることが好ましい。このアルカリ土類金属化合物は、前述の本発明の分解処理剤におけるアルカリ土類金属化合物と同様のものである。また、各々の造粒物の大きさ、形状、調製方法、有効成分の含有量、不純物等も前述の本発明の分解処理剤と同様である。
【００３８】
本発明において、分解処理装置の形状は通常は円筒状であり、大きさは通常は内径１０〜５００ｍｍ、長さは２０〜２０００ｍｍ程度である。分解処理装置に充填される分解処理剤の充填長は、通常は１０〜１０００ｍｍ程度、好ましくは５０〜５００ｍｍ程度である。分解処理剤の充填長が１０ｍｍ以下の場合はフルオロカーボンの分解が不充分となり、１０００ｍｍ以上の場合は圧力損失が大きくなる。また、処理剤の各層の厚さは、通常は２〜２００ｍｍである。分解処理装置を加熱するための手段としては、通常は図１乃至図５のように分解処理装置の外側にヒーターが設置され、外部の制御装置により温度がコントロールされる。
【００３９】
本発明の第１の形態または第２の形態によるフルオロカーボンの分解処理においては、フルオロカーボンがＣＦ４の場合は、分解処理を行なう際に、空気等の酸素を含有するガス、水、水蒸気またはこれらの混合物を添加してもよいが、これらを添加しなくてもＣＯを排出することなくＣＦ４を分解できる。また、フルオロカーボンがＣＦ４以外の場合は、何も添加することなく、または水、水蒸気のみ添加して分解処理を行なうと、フルオロカーボンを分解することができるが、ＣＯを排出する虞があるので、分解処理を行なう際に、酸素を含有するガス、水、水蒸気またはこれらの混合物を添加することが好ましい。
また、本発明の第３の形態、第４の形態、または第５の形態によるフルオロカーボンの分解処理においては、分解処理を行なう際に、フルオロカーボンを含有するガスに、酸素を含有するガス、水、水蒸気、またはこれらの混合物が添加される。
【００４０】
本発明によりＣＦ４を、酸化アルミニウム、酸化ランタン、及び酸化カルシウムからなる分解処理剤により、酸素及び水蒸気を共存させることなく分解処理する場合は、次の（式1）〜（式３）の反応が起こると推測される。また、ＣＦ４以外のフルオロカーボン、例えばＣ２Ｆ６を、酸化アルミニウム、酸化ランタン、及び酸化カルシウムからなる分解処理剤により、酸素の共存下で分解する場合は、次の（式４）〜（式６）の反応が起こると推測される。また、Ｃ２Ｆ６を酸化アルミニウム、酸化ランタン、及び酸化カルシウムからなる分解処理剤により、水蒸気の共存下で分解する場合は、（式７）〜（式１２）の反応が起こると推測される。
【００４１】
【化１】
0004156312.tif 000002
【００４２】
【化２】
0004156312.tif 000003
【００４３】
【化３】
0004156312.tif 000004
【００４４】
すなわち、本発明によりフルオロカーボンの分解を行なう際には、酸化アルミニウムの表面にはフルオロカーボンとの反応によりフッ化アルミニウムが生成するが、フッ化アルミニウムは直ちに酸化ランタン、アルカリ土類金属の酸化物と反応して酸化アルミニウムが再生されるので、長時間連続でフルオロカーボンを分解処理することができる。尚、前記反応式から明らかなように、分解処理剤には、アルカリ土類金属化合物よりランタン化合物を多く含ませた方が、分解処理能力（分解処理剤単位量当たりに対するフルオロカーボンの分解処理量）が向上する。
【００４５】
また、本発明の分解処理方法において、酸素が共存する場合は、ＣＯの排出を防止することができる。酸素を共存させずにＣＦ４以外のフルオロカーボンの分解を行なった場合は、ＣＯを排出する虞があるが、後段に乾式浄化装置を備えることにより容易に浄化することができる。また、水蒸気が共存する場合は、水蒸気がフッ化アルミニウムと反応するので、さらに長時間の分解処理が可能である。この際は腐食性ガスであるフッ化水素が発生するが、直ちに酸化ランタン、アルカリ土類金属の酸化物と反応して消失するので、分解処理装置からこの腐食性ガスが排出されることはない。尚、本発明の第３の形態、第４の形態、第５の形態によるフルオロカーボンの分解処理において水蒸気を共存させた場合は、ＨＦによる下層部の酸化アルミニウムの失活を防ぐことができる。
【００４６】
フルオロカーボンと分解処理剤の接触温度は、フルオロカーボンの種類、濃度、流量等により異なり一概に限定することはできないが、ＣＦ４以外のフルオロカーボンの分解処理の場合は、通常は３００〜１０００℃であり、ＣＦ４の分解処理の場合は、通常は７００〜１０００℃である。前記下限温度以下ではフルオロカーボンの分解率が低く、一方１０００℃以上では分解処理装置に耐熱性の高い材料が要求される不都合がある。また、フルオロカーボンを分解処理する際の圧力は通常は常圧で行われるが、１ＫＰａのような減圧あるいは０．２ＭＰａ（絶対圧力）のような加圧下で行なうこともできる。
【００４７】
本発明においてフルオロカーボンを含むガスの流速に特に制限はないが、一般的にガス中に含有されるフルオロカーボンの濃度が高いほど流速を小さくすることが好ましい。このため分解処理装置はフルオロカーボンの種類、濃度等などに応じて設計されるが、通常は空筒基準線速度（ＬＶ）が５０ｃｍ／ｓｅｃ以下の範囲となるようにされる。
【００４８】
図６は、本発明のフルオロカーボンの分解処理方法を実施するための分解処理システムの一例を示す構成図である。
図６のフルオロカーボンの分解処理システムにおいて、フルオロカーボンを含有するガス、酸素及び／または水蒸気は、各々フルオロカーボン導入ライン９、酸素及び／または水蒸気導入ライン１０からフルオロカーボンの分解処理装置１２に導入され、フルオロカーボンが分解処理された後、分解ガスの排出ライン１４により排出される。尚、本発明の第１の形態、第２の形態によりフルオロカーボンの分解処理を行なう場合は、酸素及び／または水蒸気導入ライン１０を使用することなく分解処理を行なうこともできる。
本発明においては、腐食性ガスが排出しないので、図６に示すように分解処理前のフルオロカーボンを含有するガスと分解処理後のガスを熱交換器により熱交換させることが可能である。また、フッ化水素等の腐食性ガスを浄化するための装置が不要である。
【００４９】
【実施例】
次に、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明がこれらにより限定されるものではない。
【００５０】
実施例１
（分解処理剤の調製）
市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１３０Å、純度９９．９％）及び酸化ランタン（純度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、原子数の比（Ａｌ／Ｌａ）が、０．５となるように混合した。混合物を内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキを用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ２の圧力で３０秒間加圧することにより成型して得られた剤を破砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを分解処理剤とした。
【００５１】
（分解処理試験）
前記の分解処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図１（Ａ）のような構成で充填長が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【００５２】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表１に示す。
【００５３】
実施例２，３
実施例１の分解処理剤の調製における酸化アルミニウムと酸化ランタンの混合比を、原子数の比（Ａｌ／Ｌａ）が各々０．２５、１．０となるように混合したほかは、実施例１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００５４】
実施例４，５
実施例１の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００５５】
実施例６〜８
実施例１の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例１と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００５６】
実施例９，１０
実施例１の分解処理剤の調製における酸化ランタンを、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００５７】
実施例１１
実施例１と同様にして調製した分解処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図１（Ａ）のような構成で充填長が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【００５８】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表１に示す。
【００５９】
実施例１２，１３
実施例１の分解処理剤の調製における酸化アルミニウムと酸化ランタンの混合比を、原子数の比（Ａｌ／Ｌａ）が各々０．２５、１．０となるように混合したほかは、実施例１１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００６０】
実施例１４，１５
実施例１１の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００６１】
実施例１６〜１８
実施例１１の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例１１と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００６２】
実施例１９，２０
実施例１の分解処理剤の調製における酸化ランタンを、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００６３】
実施例２１
実施例１と同様にして調製した分解処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図１（Ａ）のような構成で充填長が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【００６４】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表１に示す。
【００６５】
実施例２２，２３
実施例１の分解処理剤の調製における酸化アルミニウムと酸化ランタンの混合比を、原子数の比（Ａｌ／Ｌａ）が各々０．２５、１．０となるように混合したほかは、実施例１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例２１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００６６】
実施例２４，２５
実施例２１の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例２１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００６７】
実施例２６〜２８
実施例２１の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例２１と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００６８】
実施例２９，３０
実施例１の分解処理剤の調製における酸化ランタンを、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例２１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００６９】
実施例３１
（分解処理剤の調製）
市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アルミニウムの造粒物とした。また、市販の酸化ランタン（純度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキ用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ２の圧力で３０秒間加圧することにより成型し、得られた剤を破砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを酸化ランタンの造粒物とした。これらを原子数の比（Ａｌ／Ｌａ）が０．５となるように混合して分解処理剤を得た。
【００７０】
（分解処理試験）
前記の分解処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図１（Ｂ）のような構成で充填長が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【００７１】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表２に示す。
【００７２】
実施例３２，３３
実施例３１の分解処理剤の調製における酸化アルミニウムと酸化ランタンの混合比を、原子数の比（Ａｌ／Ｌａ）が各々０．２５、１．０となるように混合したほかは、実施例３１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例３１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表２に示す。
【００７３】
実施例３４，３５
実施例３１の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例３１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表２に示す。
【００７４】
実施例３６〜３８
実施例３１の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例３１と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表２に示す。
【００７５】
実施例３９，４０
実施例３１の分解処理剤の調製における酸化ランタンを、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例３１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例３１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表２に示す。
【００７６】
実施例４１
実施例３１と同様にして調製した分解処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図１（Ｂ）のような構成で充填長が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【００７７】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表２に示す。
【００７８】
実施例４２，４３
実施例３１の分解処理剤の調製における酸化アルミニウムと酸化ランタンの混合比を、原子数の比（Ａｌ／Ｌａ）が各々０．２５、１．０となるように混合したほかは、実施例３１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例４１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表２に示す。
【００７９】
実施例４４，４５
実施例４１の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例４１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表２に示す。
【００８０】
実施例４６〜４８
実施例４１の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例４１と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表２に示す。
【００８１】
実施例４９，５０
実施例３１の分解処理剤の調製における酸化ランタンを、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例３１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例４１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表２に示す。
【００８２】
実施例５１
実施例３１と同様にして調製した分解処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図１（Ｂ）のような構成で充填長が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【００８３】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表２に示す。
【００８４】
実施例５２，５３
実施例３１の分解処理剤の調製における酸化アルミニウムと酸化ランタンの混合比を、原子数の比（Ａｌ／Ｌａ）が各々０．２５、１．０となるように混合したほかは、実施例３１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例５１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表２に示す。
【００８５】
実施例５４，５５
実施例５１の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例５１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表２に示す。
【００８６】
実施例５６〜５８
実施例５１の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例５１と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表２に示す。
【００８７】
実施例５９，６０
実施例３１の分解処理剤の調製における酸化ランタンを、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例３１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例５１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表２に示す。
【００８８】
実施例６１
（処理剤の調製）
市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アルミニウムの造粒物から成る処理剤とした。また、市販の酸化ランタン（純度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキ用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ２の圧力で３０秒間加圧することにより成型し、得られた剤を破砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを酸化ランタンの造粒物から成る処理剤とした。
【００８９】
（分解処理試験）
前記の処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図３のような構成で原子数の比（Ａｌ／Ｌａ）が０．５となるように交互に４層ずつ充填した（全充填長６００ｍｍ）。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【００９０】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表３に示す。
【００９１】
実施例６２，６３
実施例６１の分解処理試験における酸化アルミニウムの原子数と酸化ランタンの原子数の比（Ａｌ／Ｌａ）が、各々０．２５、１．０となるように処理剤を積層したほかは、実施例６１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表３に示す。
【００９２】
実施例６４，６５
実施例６１の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例６１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表３に示す。
【００９３】
実施例６６〜６８
実施例６１の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例６１と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表３に示す。
【００９４】
実施例６９，７０
実施例６１の処理剤の調製における酸化ランタンを、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例６１と同様にして処理剤を調製した。これらの処理剤を用いて、実施例６１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表３に示す。
【００９５】
実施例７１〜７３
実施例１の分解処理剤の調製における平均細孔直径１３０Åの細孔を有するアルミナ触媒を、各々平均細孔直径３０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径８０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径２３０Åの細孔を有するアルミナ触媒に替えたほかは実施例１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表４に示す。
【００９６】
実施例７４〜７６
実施例３１の分解処理剤の調製における平均細孔直径１３０Åの細孔を有するアルミナ触媒を、各々平均細孔直径３０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径８０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径２３０Åの細孔を有するアルミナ触媒に替えたほかは実施例３１と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例３１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表５に示す。
【００９７】
実施例７７〜７９
実施例６１の処理剤の調製における平均細孔直径１３０Åの細孔を有するアルミナ触媒を、各々平均細孔直径３０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径８０Åの細孔を有するアルミナ触媒、平均細孔直径２３０Åの細孔を有するアルミナ触媒に替えたほかは実施例６１と同様にして処理剤を調製した。これらの処理剤を用いて、実施例６１と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表６に示す。
【００９８】
実施例８０
（分解処理剤の調製）
市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１３０Å、純度９９．９％）、酸化ランタン（純度９９％）、及び酸化カルシウム（純度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）が５：９：１となるように混合した。混合物を内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキを用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ２の圧力で３０秒間加圧することにより成型して得られた剤を破砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを分解処理剤とした。
【００９９】
（分解処理試験）
前記の分解処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図２（Ａ）のような構成で充填長が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【０１００】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表７に示す。
【０１０１】
実施例８１，８２
実施例８０の分解処理剤の調製における原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：９：１となるように混合したほかは、実施例８０と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例８０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表７に示す。
【０１０２】
実施例８３，８４
実施例８０の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例８０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表７に示す。
【０１０３】
実施例８５〜８７
実施例８０の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例８０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表７に示す。
【０１０４】
実施例８８，８９
実施例８０の分解処理剤の調製における酸化ランタンを、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例８０と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例８０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表７に示す。
【０１０５】
実施例９０
実施例８０と同様にして調製した分解処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図２（Ａ）のような構成で充填長が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【０１０６】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表７に示す。
【０１０７】
実施例９１，９２
実施例８０の分解処理剤の調製における原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：９：１となるように混合したほかは、実施例８０と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例９０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表７に示す。
【０１０８】
実施例９３，９４
実施例９０の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例９０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表７に示す。
【０１０９】
実施例９５〜９７
実施例９０の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例９０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表７に示す。
【０１１０】
実施例９８，９９
実施例８０の分解処理剤の調製における酸化ランタンを、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例８０と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例９０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表７に示す。
【０１１１】
実施例１００
実施例８０と同様にして調製した分解処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図２（Ａ）のような構成で充填長が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【０１１２】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表７に示す。
【０１１３】
実施例１０１，１０２
実施例８０の分解処理剤の調製における原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：９：１となるように混合したほかは、実施例８０と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１００と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表７に示す。
【０１１４】
実施例１０３，１０４
実施例１００の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１００と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表７に示す。
【０１１５】
実施例１０５〜１０７
実施例１００の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例１００と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表７に示す。
【０１１６】
実施例１０８，１０９
実施例８０の分解処理剤の調製における酸化ランタンを、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例８０と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１００と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表７に示す。
【０１１７】
実施例１１０
（分解処理剤の調製）
市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アルミニウムの造粒物とした。また、市販の酸化ランタン（純度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキ用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ２の圧力で３０秒間加圧することにより成型し、得られた剤を破砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを酸化ランタンの造粒物とした。さらに、市販の酸化カルシウム（純度９９％）を前記と同様に成型し篩分けしたものを酸化カルシウムの造粒物とした。これらを原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）が５：９：１となるように混合して分解処理剤を得た。
【０１１８】
（分解処理試験）
前記の分解処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図２（Ｂ）のような構成で充填長が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【０１１９】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表８に示す。
【０１２０】
実施例１１１，１１２
実施例１１０の分解処理剤の調製における原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：９：１となるように混合したほかは、実施例１１０と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１１０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表８に示す。
【０１２１】
実施例１１３，１１４
実施例１１０の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１１０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表８に示す。
【０１２２】
実施例１１５〜１１７
実施例１１０の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例１１０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表８に示す。
【０１２３】
実施例１１８，１１９
実施例１１０の分解処理剤の調製における酸化ランタンを、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例１１０と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１１０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表８に示す。
【０１２４】
実施例１２０
実施例１１０と同様にして調製した分解処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図２（Ｂ）のような構成で充填長が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【０１２５】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表８に示す。
【０１２６】
実施例１２１，１２２
実施例１１０の分解処理剤の調製における原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：９：１となるように混合したほかは、実施例１１０と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１２０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表８に示す。
【０１２７】
実施例１２３，１２４
実施例１２０の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１２０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表８に示す。
【０１２８】
実施例１２５〜１２７
実施例１２０の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例１２０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表８に示す。
【０１２９】
実施例１２８，１２９
実施例１１０の分解処理剤の調製における酸化ランタンを、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例１１０と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１２０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表８に示す。
【０１３０】
実施例１３０
実施例１１０と同様にして調製した分解処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図２（Ｂ）のような構成で充填長が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【０１３１】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表８に示す。
【０１３２】
実施例１３１，１３２
実施例１１０の分解処理剤の調製における原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：９：１となるように混合したほかは、実施例１１０と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１３０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表８に示す。
【０１３３】
実施例１３３，１３４
実施例１３０の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１３０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表８に示す。
【０１３４】
実施例１３５〜１３７
実施例１３０の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例１３０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表８に示す。
【０１３５】
実施例１３８，１３９
実施例１１０の分解処理剤の調製における酸化カルシウムを、各々酸化マグネシウム、酸化ストロンチウムに替えたほかは実施例１１０と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１３０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表８に示す。
【０１３６】
実施例１４０
（分解処理剤の調製）
市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アルミニウムの造粒物とした。また、市販の酸化ランタン（純度９９％）、及び酸化カルシウム（純度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、原子数の比（Ｌａ：Ｃａ）が９：１となるように混合した。混合物を内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキを用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ２の圧力で３０秒間加圧することにより成型して得られた剤を破砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを混合造粒物とした。さらに、酸化アルミニウムの造粒物と、酸化ランタン及び酸化カルシウムの混合造粒物を、原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）が５：９：１となるように混合して分解処理剤を得た。
【０１３７】
（分解処理試験）
前記の分解処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図２（Ｃ）のような構成で充填長が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【０１３８】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表９に示す。
【０１３９】
実施例１４１，１４２
実施例１４０の分解処理剤の調製における原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：９：１となるように混合したほかは、実施例１４０と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１４０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表９に示す。
【０１４０】
実施例１４３，１４４
実施例１４０の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１４０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表９に示す。
【０１４１】
実施例１４５〜１４７
実施例１４０の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例１４０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表９に示す。
【０１４２】
実施例１４８，１４９
実施例１４０の分解処理剤の調製における酸化ランタンを、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例１４０と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１４０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表９に示す。
【０１４３】
実施例１５０
実施例１４０と同様にして調製した分解処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図２（Ｃ）のような構成で充填長が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【０１４４】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表９に示す。
【０１４５】
実施例１５１，１５２
実施例１４０の分解処理剤の調製における原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：９：１となるように混合したほかは、実施例１４０と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１５０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表９に示す。
【０１４６】
実施例１５３，１５４
実施例１５０の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１５０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表９に示す。
【０１４７】
実施例１５５〜１５７
実施例１５０の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例１５０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表９に示す。
【０１４８】
実施例１５８，１５９
実施例１４０の分解処理剤の調製における酸化ランタンを、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例１４０と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１５０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表９に示す。
【０１４９】
実施例１６０
実施例１４０と同様にして調製した分解処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図２（Ｃ）のような構成で充填長が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量１０００ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【０１５０】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表９に示す。
【０１５１】
実施例１６１，１６２
実施例１４０の分解処理剤の調製における原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：９：１となるように混合したほかは、実施例１４０と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１６０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表９に示す。
【０１５２】
実施例１６３，１６４
実施例１６０の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１６０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表９に示す。
【０１５３】
実施例１６５〜１６７
実施例１６０の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例１６０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表９に示す。
【０１５４】
実施例１６８，１６９
実施例１４０の分解処理剤の調製における酸化カルシウムを、各々水酸化カルシウム、水酸化マグネシウムに替えたほかは実施例１４０と同様にして分解処理剤を調製した。これらの分解処理剤を用いて、実施例１６０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表９に示す。
【０１５５】
実施例１７０
（処理剤の調製）
市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アルミニウムの造粒物から成る処理剤とした。また、市販の酸化ランタン（純度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキ用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ２の圧力で３０秒間加圧することにより成型し、得られた剤を破砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを酸化ランタンの造粒物から成る処理剤とした。さらに、市販の酸化カルシウム（純度９９％）を前記と同様に成型し篩分けしたものを酸化カルシウムの造粒物から成る処理剤とした。
【０１５６】
（分解処理試験）
前記の処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図４（Ａ）のような構成で原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）が５：９：１となるように交互に２層ずつ充填した（全充填長６００ｍｍ）。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【０１５７】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表１０に示す。
【０１５８】
実施例１７１，１７２
実施例１７０の分解処理試験における原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：９：１となるように処理剤を積層したほかは、実施例１７０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１０に示す。
【０１５９】
実施例１７３，１７４
実施例１７０の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１７０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１０に示す。
【０１６０】
実施例１７５〜１７７
実施例１７０の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例１７０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表１０に示す。
【０１６１】
実施例１７８，１７９
実施例１７０の処理剤の調製における酸化ランタンを、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例１７０と同様にして処理剤を調製した。これらの処理剤を用いて、実施例１７０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１０に示す。
【０１６２】
実施例１８０
実施例１７０と同様にして調製した処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図４（Ｂ）のような構成で原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）が５：９：１となるように交互に２層ずつ充填した（全充填長６００ｍｍ）。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９２７ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【０１６３】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表１１に示す。
【０１６４】
実施例１８１，１８２
実施例１８０の分解処理試験における原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：９：１となるように処理剤を積層したほかは、実施例１８０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１１に示す。
【０１６５】
実施例１８３，１８４
実施例１８０の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１８０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１１に示す。
【０１６６】
実施例１８５〜１８７
実施例１８０の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例１８０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表１１に示す。
【０１６７】
実施例１８８，１８９
実施例１７０の処理剤の調製における酸化ランタンを、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例１７０と同様にして処理剤を調製した。これらの処理剤を用いて、実施例１８０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１１に示す。
【０１６８】
実施例１９０
（処理剤の調製）
市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アルミニウムの造粒物から成る処理剤とした。また、市販の酸化ランタン（純度９９％）、及び酸化カルシウム（純度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、原子数の比（Ｌａ：Ｃａ）が９：１となるように混合した。混合物を内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキを用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ２の圧力で３０秒間加圧することにより成型して得られた剤を破砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを混合造粒物から成る処理剤とした。
【０１６９】
（分解処理試験）
前記の処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図５（Ａ）のような構成で原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）が５：９：１となるように交互に３層ずつ充填した（全充填長６００ｍｍ）。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【０１７０】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表１２に示す。
【０１７１】
実施例１９１，１９２
実施例１９０の分解処理試験における原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：９：１となるように処理剤を積層したほかは、実施例１９０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１２に示す。
【０１７２】
実施例１９３，１９４
実施例１９０の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１９０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１２に示す。
【０１７３】
実施例１９５〜１９７
実施例１９０の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例１９０と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表１２に示す。
【０１７４】
実施例１９８，１９９
実施例１９０の処理剤の調製における酸化ランタンを、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例１９０と同様にして処理剤を調製した。これらの処理剤を用いて、実施例１９０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１２に示す。
【０１７５】
実施例２００
実施例１７０と同様にして調製した酸化アルミニウムの造粒物から成る処理剤、及び、実施例１７０と同様にして調製した酸化ランタンの造粒物と酸化カルシウムの造粒物を混合した処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、図５（Ｂ）のような構成で原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）が５：９：１となるように交互に３層ずつ充填した（全充填長６００ｍｍ）。分解処理装置の処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９２７ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【０１７６】
この間、３０分毎に分解処理装置の排出口から排出される分解ガスの一部を採取し、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）及びＧＣ−ＴＣＤ（熱伝導度検出器）によってＣＦ４の分析を行ないＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表１３に示す。
【０１７７】
実施例２０１，２０２
実施例２００の分解処理試験における原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を各々５：１８：２、あるいは１０：９：１となるように処理剤を積層したほかは、実施例２００と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１３に示す。
【０１７８】
実施例２０３，２０４
実施例２００の分解処理試験におけるＣＦ４の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例２００と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１３に示す。
【０１７９】
実施例２０５〜２０７
実施例２００の分解処理試験におけるフルオロカーボンを、各々Ｃ２Ｆ６、Ｃ５Ｆ８、ＣＨＦ３に替えたほかは実施例２００と同様にしてフルオロカーボンの分解処理試験を行なった。その結果を表１３に示す。
【０１８０】
実施例２０８，２０９
実施例２００の処理剤の調製における酸化ランタンを、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例２００と同様にして処理剤を調製した。これらの処理剤を用いて、実施例２００と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１３に示す。
【０１８１】
実施例２１０
実施例８０の分解処理剤の調製における原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を（５：７：３）となるように混合したほかは、実施例８０と同様にして分解処理剤を調製した。この分解処理剤を用いて、実施例８０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１４に示す。
【０１８２】
実施例２１１
実施例１１０の分解処理剤の調製における原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を（５：７：３）となるように混合したほかは、実施例１１０と同様にして分解処理剤を調製した。この分解処理剤を用いて、実施例１１０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１５に示す。
【０１８３】
実施例２１２
実施例１４０の分解処理試験における原子数の比（Ａｌ：Ｌａ：Ｃａ）を（５：７：３）となるように混合したほかは、実施例１４０と同様にして分解処理剤を調製した。この分解処理剤を用いて、実施例１４０と同様にしてＣＦ４の分解処理試験を行なった。その結果を表１６に示す。
【０１８４】
比較例１
市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アルミニウムの造粒物から成る分解処理剤とした。
この分解処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、充填長が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の分解処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量９５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【０１８５】
この間、実施例１と同様にＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表１７に示す。
【０１８６】
比較例２
市販のアルミナ触媒（平均細孔直径１３０Å、純度９９．９％、粒径２〜３ｍｍ）を酸化アルミニウムの造粒物から成る分解処理剤とした。
この分解処理剤を、内径４２ｍｍ、長さ１０００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の分解処理装置の内部に、充填長が３００ｍｍとなるように充填した。分解処理装置の分解処理剤の温度を８６０℃に加熱した後、ＣＦ４（流量１０ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量８７７ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入するとともに、水蒸気（流量７３ｍｌ／ｍｉｎ）及び酸素（流量５０ｍｌ／ｍｉｎ）を分解処理装置に導入してＣＦ４を分解した。
【０１８７】
この間、実施例１と同様にＣＦ４の分解率が９９．９％以下になるまでの時間を測定して分解処理剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＣＦ４の分解処理量（Ｌ）（分解処理能力）を求めるとともに、ＨＦの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表１７に示す。
【０１８８】
【表１】
0004156312.tif 000005
【０１８９】
【表２】
0004156312.tif 000006
【０１９０】
【表３】
0004156312.tif 000007
【０１９１】
【表４】
0004156312.tif 000008
【０１９２】
【表５】
0004156312.tif 000009
【０１９３】
【表６】
0004156312.tif 000010
【０１９４】
【表７】
0004156312.tif 000011
【０１９５】
【表８】
0004156312.tif 000012
【０１９６】
【表９】
0004156312.tif 000013
【０１９７】
【表１０】
0004156312.tif 000014
【０１９８】
【表１１】
0004156312.tif 000015
【０１９９】
【表１２】
0004156312.tif 000016
【０２００】
【表１３】
0004156312.tif 000017
【０２０１】
【表１４】
0004156312.tif 000018
【０２０２】
【表１５】
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【０２０３】
【表１６】
0004156312.tif 000020
【０２０４】
【表１７】
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【０２０５】
【発明の効果】
本発明のフルオロカーボンの分解処理剤及び分解処理方法により、半導体製造工程等から排出される排ガスに含まれるＣＦ４等のフルオロカーボンを、短時間で分解処理剤が失活することなく、フッ化水素等の腐食性ガスを排出させることなく、１０００℃以下の比較的低い温度で、９９．９％以上の分解率で分解することが可能になった。また、分解処理装置から排出する分解ガスにフッ化水素等の腐食性ガスが含まれないため、これを浄化するための浄化装置が不要となるほか、分解処理前のフルオロカーボンを含有するガスと分解処理後のガスを熱交換器により熱交換させることが可能となり熱エネルギーの損失を抑制することができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のフルオロカーボンの分解処理方法（第１の形態）を実施するための分解処理装置の例を示す断面図
【図２】本発明のフルオロカーボンの分解処理方法（第２の形態）を実施するための分解処理装置の例を示す断面図
【図３】本発明のフルオロカーボンの分解処理方法（第３の形態）を実施するための分解処理装置の例を示す断面図
【図４】本発明のフルオロカーボンの分解処理方法（第４の形態）を実施するための分解処理装置の例を示す断面図
【図５】本発明のフルオロカーボンの分解処理方法（第５の形態）を実施するための分解処理装置の例を示す断面図
【図６】本発明のフルオロカーボンの分解処理方法を実施するための分解処理システムの例を示す構成図
【符号の説明】
１  酸化アルミニウムの造粒物
２  ランタン化合物の造粒物
３  アルカリ土類金属化合物の造粒物
４  酸化アルミニウム及びランタン化合物を混合し造粒して成る造粒物
５  酸化アルミニウム、ランタン化合物、及びアルカリ土類金属化合物を混合し造粒して成る造粒物
６  ランタン化合物及びアルカリ土類金属化合物を混合し造粒して成る造粒物
７  ヒーター
８  温度センサー
９  フルオロカーボン導入ライン
１０  酸素及び／または水蒸気導入ライン
１１  熱交換器
１２  フルオロカーボンの分解処理装置
１３  温度制御器
１４  分解ガスの排出ライン
１５  冷却器
１６  ブロワー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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