【手続補正書】
【提出日】平成20年2月26日(2008.2.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、前記基台の上方に被せられて前記基台との間に気密空間を形成する上蓋と、前記気密空間を前記基台側の気密空間Ａと前記上蓋側の気密空間Ｂとに仕切り、前記気密空間Ｂ側にテープを貼り付ける部品を載置する弾性体の弾性シートと、前記弾性シートに載置され、ウェハーを前記弾性シートから離して支持する貼付用治具と、前記気密空間Ａ及び気密空間Ｂの内気圧をそれぞれ変化させる第１及び第２の真空ポンプとを有するウェハー用真空テープ貼付装置であって、
前記貼付用治具は、前記弾性シートに載置されるプレートと、前記プレート上に設けられてウェハーの外周部に接触して支持する複数の支持ピンと、前記支持ピンで支持されたウェハーを前記弾性シートの中央部に位置決めする位置合わせピンとを有することを特徴とするウェハー用真空テープ貼付装置。
【請求項２】
前記弾性シートは、エチレンプロピレンゴム、ブチルゴム、フッ素ゴム、シリコンゴム、ネオプレンゴムの何れかであることを特徴とする請求項１に記載のウェハー用真空テープ貼付装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
特許文献１に記載のウェハー固定方法は、装置内でウェハーの回路面側の回路が形成されていない周囲部分をテーブル状に吸着してウェハーを固定すると共に、外ウェハーを囲む所定の位置にリングフレームを搭載し、ウェハーを昇温し、ダイシングテープの基材面側からローラーで押圧することにより、リングフレームとウェハーをダイシングテープ状の固定する方式が記載されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
また本願発明者の１人が先に出願した特許文献２に記載の真空テープ貼付装置及び方法は、図９に示すように、真空チャンバー内の貼付用ゴムシート上にウェハーの回路面を接触させるように置き、その周囲の所定位置にダイシングテープを予め貼っておいたリングフレームを搭置し、真空チャンバー内及び貼付用ゴムシートの下の気密空間を既定の真空度まで減圧し、貼付用ゴムシートの下の減圧された気密空間のみ大気圧に戻すことにより、真空チャンバー内と貼付用ゴムシートの下の気密空間に差圧が生じ、貼付用ゴムシートが減圧されている真空チャンバー内の方向（上方向）に膨らみ、ウェハーを持ち上げ、ダイシングテープに固定する方式が記載されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−３０８０３３号公報
【特許文献２】特開２００５−２６３７７号公報
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、特許文献１に記載されたウェハー固定方法では、ＭＥＭＳウェハーの外周部のみ真空吸着固定しても、極薄ウェハーをローラーで荷重を掛けながら貼る場合、ウェハーへのダメージがあり、最悪の場合、ウェハーが破損するという問題があった。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
さらに、特許文献２に記載の真空テープ貼付装置及び方法では、貼付用ゴムシートの上に直接ウェハー回路部を接触させてセットするため、ＭＥＭＳデバイスのように非常に壊れやすい構造体（回路）がある場合は、構造体を壊す可能性があるという問題があった。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
かかる目的を達成するために本発明にかかるウェハー用真空テープ貼付装置は、基台と、前記基台の上方に被せられて前記基台との間に気密空間を形成する上蓋と、前記気密空間を前記基台側の気密空間Ａと前記上蓋側の気密空間Ｂとに仕切り、前記気密空間Ｂ側にテープを貼り付ける部品を載置する弾性体の弾性シートと、前記弾性シートに載置され、ウェハーを前記弾性シートから離して支持する貼付用治具と、前記気密空間Ａ及び気密空間Ｂの内気圧をそれぞれ変化させる第１及び第２の真空ポンプとを有し、前記貼付用治具は、前記弾性シートに載置されるプレートと、前記プレート上に設けられてウェハーの外周部に接触して支持する複数の支持ピンと、前記支持ピンで支持されたウェハーを前記弾性シートの中央部に位置決めする位置合わせピンとを有することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明のウェハー用テープ貼付装置では、ウェハーを弾性シートに直接載置するのではなく、貼付用治具でウェハーの構造体のある回路面の外周部のみ接触させてセットし、この状態で弾性シートを差圧により膨らましウェハーを上方に持ち上げてダイシングテープの粘着層に貼り付けるようにしたことにより、ウェハーの構造体（回路）を破壊することなく、ウェハーの裏面全体に残留空気のない均一な状態でダイシングテープを貼り付けることが可能となった。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
図１は本発明にかかるウェハー用テープ真空貼付装置の構成を示しており、基台１５と、基台１５の上方に被さる上蓋４と、基台１５と上蓋４が接合することにより内部に気密空間を形成するために基台１５の上蓋４側に取り付けられるリングＢ９と、基台１５の上面中央部に有するゴムシート３と、ゴムシート３の中央部と基台１５の空間を気密にするために基台１５の上蓋４側に取り付けられるリングＡ２３と、ゴムシート３の周辺部に載置されたフレーム台２２と、ダイシングテープ１を貼り付けられてフレーム台２２に載置されたダイシングフレーム１３と、ダイシングフレーム１３に貼り付けられて、上蓋４と基台１５によって形成された気密空間を、上蓋４側を気密空間Ｂ５として基台１５側を気密空間Ｃ６に分離するダイシングテープ１と、ゴムシート３上でフレーム台２２より内側に設けられた貼付用治具１４と、貼付用治具１４によりゴムシート中央部に位置決めされて載置されるウェハー２と、基台１５の気密空間Ｂ５部分に設けられた真空開口Ｂ７と、真空開口Ｂ７から管を通じて気密空間Ｂ５、Ｃ６を大気圧から真空圧に変化させる真空弁Ｂ８と、基台１５の中央部のゴムシート３下部に設けられた真空開口Ａ１１と、真空開口Ａ１１からの管で構成される気密空間Ａ１０を大気圧から真空圧に変化させる真空弁Ａ１２とから構成される。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
図４及び５は、貼付用治具１４の断面図及び平面図を示している。貼付用治具１４は図から明らかなように、ゴムシート３上に載置されるプレート１６と、プレート１６上に設けられウェハー２を支持する複数の支持ピン１７と、支持ピン１７で支持されたウェハー２の位置決めを行う位置合わせピン１８から構成され、ウェハー２の回路１９は図面で下向きとなるように載置されている。なお、ウェハー２は複数の支持ピン１７により支持されて加重が分散されており、ウェハー２にとっては略均一加重となっているため応力が一点に集中することがない。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
図６及び７は、ダイシングフレーム１３とフレーム台２２の断面図及び平面図を示している。なお、分かり易くするために、図６及び７から図４及び５で示した貼付用治具１４を除去して示している。図から明らかなように、ダイシングテープ１と、ダイシングテープ１を取り付けるダイシングフレーム１３と、ダイシングフレーム１３を支持する複数のフレーム支持ピン２０と、ゴムシート３上に固定されてフレーム支持ピン２０を載置するフレーム台２２と、フレーム台２２上に固定されてダイシングフレーム１３をゴムシート３の中央部に位置決めするフレーム位置合わせピン２１とを備えている。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
次に本発明の動作につき図面を参照して説明する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
そして、ゴムシート３に貼付用治具１４を載置し、ウェハー２を回路面が下向きになるように位置合わせピン１８によって位置決めを行って支持ピン１７にウェハー２の外周部のみを接触させて載置する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
この状態で上蓋４によって基台１５を閉めることにより、気密空間Ｂ５、Ｃ６が形成される。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
その後、図３に示すように、真空弁Ａ１２を真空側から大気側に切り替えて気密空間Ａ１０を真空圧から大気圧にすることで、気密空間Ｃ６と気密空間Ａ１０との間に差圧を発生させることにより、ゴムシート３を気密空間Ｃ６側に膨らませて貼付用治具１４を上方に押し上げることにより、貼付用治具１４に載置されているウェハー２を残留空気を入れずにダイシングテープ１に貼り付けることができる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
【図１】本発明にかかるウェハー用真空テープ貼付装置の構成を示した図。
【図２】真空弁Ａ及びＢを真空側にしたときの状態を示した図。
【図３】真空弁Ａを大気側に、真空弁Ｂを真空側にしたときの状態を示した図。
【図４】貼付用治具の断面図。
【図５】貼付用治具の平面図。
【図６】ダイシングフレーム１３とフレーム台２２の断面図。
【図７】ダイシングフレーム１３とフレーム台２２の平面図。
【図８】従来のローラーを使用したウェハー用真空テープ貼付装置の構成を示した図。
【図９】特許文献２に記載の真空テープ貼付装置。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
１ ダイシングテープ
２ ウェハー
３ ゴムシート
４ 上蓋
５ 気密空間Ｂ
６ 気密空間Ｃ
７ 真空開口Ｂ
８ 真空弁Ｂ
９ リングＢ
１０ 気密空間Ａ
１１ 真空開口Ａ
１２ 真空弁Ａ
１３ ダイシングフレーム
１４ 貼付用治具
１５ 基台
１６ プレート
１７ 支持ピン
１８ 位置合わせピン
１９ 回路
２０ フレーム支持ピン
２１ フレーム位置合わせピン
２２ フレーム台
２３ リングＡ
【手続補正１９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2006310338.tif 000001
【手続補正２０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2006310338.tif 000002
【手続補正２１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2006310338.tif 000003