【手続補正書】
【提出日】平成20年9月9日(2008.9.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】  明細書
【発明の名称】  濃度測定用センサの製造方法
【特許請求の範囲】
【請求項１】  基板上に形成された電極を利用して、試料液中の特定成分の濃度に相関するレベルの信号を出力する濃度測定用センサを製造する方法であって、
上記電極は、材料基板上に導体部を形成した後に、この導体部に波長が２００ｎｍ以下である真空紫外線を照射することにより形成されることを特徴とする、濃度測定用センサの製造方法。
【請求項２】  上記導体部は、導体粉末、バインダ樹脂、および溶剤を含む電極材料を上記材料基板上に塗布した後に、それを乾燥させることにより形成される、請求項１に記載の濃度測定用センサの製造方法。
【請求項３】  上記濃度測定用センサは、上記試料液が供給される試薬層をさらに有しており、
上記試薬層は、酸化還元酵素、電子伝達物質、および溶剤を含む試薬層材料を、上記導体部に接触するようにして塗布した後に、それを乾燥させることにより形成される、請求項１または２に記載の濃度測定用センサの製造方法。
【請求項４】  上記真空紫外線の照射は光源を用いて行われ、
上記光源は、分光強度特性におけるピーク波長が１２０〜２００ｎｍ、ピーク波長の半値幅が１０〜２０ｎｍの範囲にある真空紫外線を出射するように構成されている、請求項１ないし３のいずれかに記載の濃度測定用センサの製造方法。
【請求項５】  上記導体部に対して放射発散度８〜１０ｍＷ／ｃｍ2で真空紫外線を照射する、請求項１ないし４のいずれかに記載の濃度測定用センサの製造方法。
【請求項６】  上記真空紫外線の照射時間は、１０〜２４０秒である、請求項１ないし５のいずれかに記載の濃度測定用センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、バイオセンサなど濃度測定用センサを製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
バイオセンサとしては、図１および図２に示したものがある。これらの図に示したバイオセンサＸは、基板３上に一対の電極３１，３２を形成するとともに、これらの電極３１，３２に接触するようにして試薬層３３を形成したものである。試薬層３３は、たとえば酸化還元酵素と電子伝達物質とを含んでいる。試薬層３３に対しては、流路２１内に血液などの試料液を導入することにより試料液が供給される。試薬層３３では、試料液中の特定成分の酸化反応と電子伝達物質との還元反応により、還元型の電子伝達物質が生成される。そして、一対の電極３１，３２を利用して試薬層３３に電圧を印加することにより、還元型の電子伝達物質が一方の電極３１に電子が供給して、バイオセンサＸから酸化電流が出力されるように構成されている。
【０００３】
一対の電極３１，３２は、たとえばスクリーン印刷の手法により形成される。より具体的には、まず、複数のバイオセンサ形成領域が設定された材料基板上にマスクを載置した後、このマスクの開口部に液状またはペースト状の電極材料を充填する。さらに、電極材料を乾燥させることにより、一対の電極３１，３２となるべき導体層が材料基板上に形成される。試薬層３３は、たとえば導体層に接触するようにして液状またはペースト状の試薬層材料を塗布した後に、これを乾燥させることにより形成することができる。試薬層３３は、固体状として形成されるものの、試料液の供給により容易に溶解するものとして形成される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
電極材料は、たとえば導体粉末（カーボン粉末など）とバインダ樹脂（ポリビニルブチレン（ＰＶＢ）などのビニル樹脂）との混合物を溶剤により液状化またはペースト化したものである。ＰＶＢなどのバインダ樹脂は、負にチャージした疎水基を有するものがある。それらのバインダ樹脂を用いて電極３１，３２を形成する場合には、導体部の表面が疎水化するとともに負にチャージしてしまう。このようにして導体部の表面が帯電すれば、導体部の表面に不純物が付着しやすくなってしまう。導体部の表面に不純物が付着したままでバイオセンサを形成すれば、電極３１，３２の表面と試薬層３３との間の電子移動が妨げられる。つまり、電極３１，３２の感度が低下して、バイオセンサＸからの出力が小さくなってしまう。また、導体部の表面が疎水的であれば試薬層材料が導体部の表面ではじかれてしまい、適切に試薬層３３を形成できない場合もある。このような試薬層３３を有するバイオセンサＸでは、試薬層３３の溶解時における試薬層３３と電極３１，３２との間の接触面積が小さくなって、試薬層３３と電極３１，３２の表面との間の電子移動を適切に行うことができなくなる。その結果、電極３１，３２の感度が低下してしまう。
【０００５】
このような不具合を解消するために、低圧水銀ランプを用いて導体部の表面に紫外線を照射し、導体部の表面の濡れ性などを改善する方法も提案されている。しかしながら、低圧水銀ランプでは、濡れ性などの改善に寄与する波長の紫外線以外に、このような改善に寄与しない波長の紫外線や可視光のほか、赤外光も出射される。そのため、導体部の表面が適切に改質されるまでに、多くのエネルギが材料基板に供給されることとなる。このため、材料基板（基板）をＰＥＴなどのような熱可塑性樹脂により形成する場合には、材料基板（基板）が劣化してしまう虞れがある。
【０００６】
本願発明は、このような事情のもとに考えだされたものであって、基板上に形成された電極を利用して、試料液中の特定成分の濃度に相関するレベルの信号を出力する濃度測定用センサにおいて、基板を劣化させることなく電極の感度を高めることを課題としている。
【０００７】
【発明の開示】
本願発明は、上記した課題を解決するために次の技術的手段を講じている。すなわち、本願発明により提供される濃度測定用センサは、基板上に形成された電極を利用して、試料液中の特定成分の濃度に相関するレベルの信号を出力する濃度測定用センサを製造する方法であって、上記電極は、材料基板上に導体部を形成した後に、この導体部に波長が２００ｎｍ以下である真空紫外線を照射することにより形成されることを特徴としている。
【０００８】
真空紫外線はエネルギが高いために、それを照射することによって不純物の分子結合を切断することができる。その一方で、真空紫外線により気相中の酸素から励起酸素原子が生成される。励起酸素原子を得るには２４０ｎｍよりも波長の短い電磁波を照射する必要があるが、真空紫外線はこの条件を満たしているために励起酸素原子を生成させることができる。この励起酸素原子は、分子結合が切断された不純物と反応し、ガス状二酸化炭素や水蒸気が生成する。その結果、導体部の表面からは不純物がガス状化合物となって飛散除去されるため、不純物の付着量の少ない電極を提供できるようになる。
【０００９】
上述したように、不純物の除去は、不純物の分子結合の切断および励起酸素原子の生成といったプロセスを経て行われる。このようなプロセスは、真空紫外線のエネルギが大きいために相対的に短時間で行うことができる。その結果、ＰＥＴなどの熱可塑性樹脂により材料基板を形成した場合であっても、基板を損傷することなく不純物の除去を行うことができるようになる。
【００１０】
好ましい実施の形態においては、上記導体部は、導体粉末、バインダ樹脂、および溶剤を含む電極材料を上記材料基板上に塗布した後に、それを乾燥させることにより形成される。
【００１１】
真空紫外線により気相中の酸素から励起酸素原子が生成されるのは上述した通りである。この励起酸素原子は、分子結合が切断された不純物のみならず、バインダ樹脂を構成する分子の側鎖や末端基と反応し、これらを酸化する。側鎖や末端基が酸化されれば、これらは水酸基やカルボキシル基などの親水基となる。その結果、電極の表面は親水性の高いものとされる。
【００１２】
濃度測定用センサは、たとえば試料液が供給される試薬層をさらに有している。試薬層は、酵素、電子伝達物質、および溶剤を含む試薬層材料を、導体部に接触するようにして塗布した後に、乾燥させることにより形成される。この場合、導体部の表面の親水性が高められていれば、導体部の表面において試薬層材料がはじかれてしまうこともない。そのため、導体部の表面に対して適切に試薬層を形成することができるようになる。
【００１３】
濃度測定用センサからは信号が出力されるが、濃度測定用センサの一例であるバイオセンサにおいては、たとえば応答電流として信号が出力される。この応答電流は、試料液中の特定成分の濃度に相関するものであり、試薬層と電極との間の電子授受に起因するものである。本願発明の製造方法により提供される濃度測定用センサでは、電極表面への不純物の付着が抑制されているため、試薬層と電極との間の電子の授受が不純物により阻害されてしまうことも抑制される。また、電極表面の親水性が高められているために、試料液の供給により液相となっている試薬層は、電極との接触面積が大きなもの（接触角が小さなもの）となっている。その結果、試薬層と電極との間の電子の授受を適切に行うことができる。このようにして電子の授受を適切に行える結果、本願発明の製造方法により提供される濃度測定用センサは、電極感度が高いものとなっている。
【００１４】
真空紫外線の照射は光源を用いて行われ、光源としては、たとえば分光強度特性におけるピーク波長が１２０〜２００ｎｍ、ピーク波長の半値幅が１０〜２０ｎｍの範囲にある真空紫外線を出射するように構成されたものが使用される。導体部に対しては、たとえば８〜１０ｍＷ／ｃｍ2で真空紫外線が照射される。真空紫外線の照射時間は、たとえば１０〜２４０秒、さらに好ましくは６０〜１８０秒とされる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本願発明の好ましい実施の形態について、図面を参照して具体的に説明する。図１ないし図３は、本願発明に係る製造方法の適用対象となる濃度測定用センサの一例としてのバイオセンサを示している。バイオセンサＸは、カバー板１、スペーサ２および基板３を有している。
【００１６】
カバー板１には穴部１０が設けられている。スペーサ２には穴部１０に連通するとともに先端部２０ａが開放した細幅なスリット２０が設けられている。カバー板１およびスペーサ２が基板３の上面３０に積層された状態では、スリット２０により流路２１が形成されている。この流路２１は、スリット２０の先端部２０ａおよび穴部１０を介して外部と連通している。先端部２０ａは試料液導入口２１ａを構成しており、この試料液導入口２１ａから供給された試料液は、毛細管現象により穴部１０に向けて流路２１内を進行する。
【００１７】
基板３の上面３０には、作用極３１および対極３２が設けられている。基板３の上面３０にはさらに、作用極３１および対極３２の双方に接触するようにして試薬層３３が形成されている。
【００１８】
作用極３１および対極３２は、全体として基板３の長手方向に延びている。作用極３１および対極３２の一端部３１ａ，３２ａは、基板３の短手方向に延びている。作用極３１および対極３２の他端部３１ｂ，３２ｂは、試薬層３３に電圧を印加する際に電圧印加用プローブがコンタクトする部分である。
【００１９】
試薬層３３は、たとえば固形状であり、作用極３１の一端部３１ａと対極３２の一端部３２ａとの間を橋渡すようにして設けられている。この試薬層３３は、たとえば酸化還元酵素および電子伝達物質を含んでいる。
【００２０】
バイオセンサＸは、たとえば材料基板から複数のものが同時に製造される。図４および図５に示したように、材料基板４はＰＥＴなどの絶縁性の高い樹脂材料により形成されており、図中に仮想線で囲んだように縦横に並んで複数のバイオセンサ形成領域４０が設定されている。材料基板４に対しては、まず図４に示したように個々のバイオセンサ形成領域４０のそれぞれに作用極３１および対極３２（図２参照）となるべき導体部４１が２つずつ形成される。
【００２１】
導体部４１は、たとえば図５に示したようにスクリーン印刷の手法により形成することができる。より具体的には、まず材料基板４上にマスク５を載置する。マスク５は、ステンレスなどにより形成されており、形成すべき導体部４１に対応して複数の開口部５１が設けられている。マスク５は、フォトリソグラフィの手法によりフォトマスクとして形成してもよい。
【００２２】
ついで、マスク５上にペースト状または液状とされた電極材料５３をディップした後、スキージ５２を移動させて開口部５１内に電極材料５３′を充填する。電極材料５３は、たとえば導体粉末１００重量部に対して、バインダ樹脂１０〜１５重量部、溶剤６０〜６５重量部を混合することにより調整される。導体粉末としては、導電性カーボン（カーボンブラックを含む）粉末などが挙げられ、バインダ樹脂としては、ビニル樹脂、たとえばポリビニルブチレンなどが挙げられ、溶剤としては、ブチルセロソルブアセテートなどが挙げられる。
【００２３】
さらに、マスク５を除去した後に、電極材料５３′を１３０〜１５０℃で２０〜４０分乾燥させることにより、溶剤が蒸発して図４に示したように個々のバイオセンサ形成領域４０に導体部４１が形成される。フォトマスクを用いる場合や電極材料５３の粘度が大きい場合には、電極材料５３′を乾燥させてからフォトマスクが除去される。
【００２４】
導体部４１は、真空紫外線（波長が２００ｎｍ以下の電磁波）を照射することにより、バイオセンサＸ用の電極４１′に仕上げられる。真空紫外線の照射は、たとえば図６に示したような真空紫外線照射装置６を用いて行われる。
【００２５】
真空紫外線照射装置６は、テーブル６０の上面６１を覆いうる蓋６２を有している。蓋６２は、図６から予想されるように箱状の形態を有している。蓋６２内には、複数の線状光源６３が横並びして固定されている。真空紫外線の照射を行う場合には、テーブル６０の上面６１上に材料基板４が載置され、蓋６２により材料基板４が覆われる。このとき、線状光源６３と導体部４１との最短距離が２ｍｍ以下、より好ましくは０．５〜２ｍｍとなるように線状光源６３が蓋６２に固定される。
【００２６】
線状光源６３としては、たとえば分光強度特性におけるピーク波長が１２０〜２００ｎｍ、ピーク波長の半値幅が１０〜２０ｎｍの範囲にある真空紫外線を出射するものが使用される。線状光源６３としては、エキシマ遷移（放電）を利用するものが好ましく使用される。エキシマの構成成分としては、たとえばキセノン（Ｘｅ）、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）、ネオン（Ｎｅ）が挙げられる。エキシマが、Ａｒ2である場合には波長が１２６ｎｍ、Ｋｒ2である場合には波長が１４７ｎｍ、Ｘｅ2である場合には波長が１７２ｎｍの真空紫外線が放電される。また、Ａｒとフッ素、塩素、または臭素、あるいはＮｅとフッ素を組み合わせたエキシマとしても、これのエキシマ遷移により真空紫外線を得ることができる。
【００２７】
本願発明は、導体部４１に付着した不純物を除去することを目的とし、さらには表面の親水性の高い電極４１′を得ることを目的としている。このような目的を達成するためには、たとえば導体部４１に対して８〜１０ｍＷ／ｃｍ2の照度の光が１０〜２４０秒間、さらに好ましくは６０〜１８０秒間照射される。
【００２８】
上記した条件のもとで導体部４１の表面に真空紫外線を照射すれば、導体部４１の表面に付着していた不純物が除去され、しかも電極４１′の表面が親水性の高いものとされる。
【００２９】
真空紫外線の照射により導体部４１の表面の不純物が除去されるのは、不純物がガス状二酸化炭素や水蒸気として飛散するからであると考えられる。つまり、真空紫外線はエネルギが高いために、それを照射することによって不純物の分子結合を切断することができる。その一方で、真空紫外線照射により気相中の酸素から励起酸素原子が生成される。励起酸素原子を得るには２４０ｎｍよりも波長の短い電磁波を照射する必要があるが、真空紫外線はこの条件を満たしているために励起酸素原子を生成させることができる。この励起酸素原子は、分子結合が切断された不純物と反応し、ガス状二酸化炭素や水蒸気が生成する。その結果、不純物が飛散除去される。
【００３０】
一方、電極４１′の表面の親水性が高くなるのは、励起酸素原子によって導体部４１中のバインダ樹脂が酸化されるからであると考えられる。より具体的には、バインダ樹脂の構成分子の側鎖や末端基が酸化されて水酸基やカルボキシル基などの親水基となるためであると考えられる。
【００３１】
ついで、図７に示したように示したように個々のバイオセンサ形成領域４０に対して試薬層４２を形成する。試薬層４２は、図７に示したようにノズル４３を用いて試薬層材料を塗布した後にこれを乾燥させることにより形成することができる。試薬層４２は、スクリーン印刷によっても形成することができる。試薬層材料は、たとえば酸化還元酵素、電子伝達物質および溶剤を含んでいる。
【００３２】
先にも触れたように、電極４１′は親水性の高いものとされているから、電極４１′に材料液を塗布したとしてもそれが電極４１′によってはじかれることもない。そのため、電極４１′上に適切に試薬層４２を形成することができる。
【００３３】
ここで、酸化還元酵素は、濃度測定の対象となる特定成分の種類によって選択される。特定成分としては、たとえばグルコース、コレステロール、乳酸が挙げられる。このような特定成分に対しては、酸化還元酵素としてグルコースデヒドロゲナーゼ、グルコースオキシダーゼ、コレステロールデヒドロゲナーゼ、コレステロールオキシダーゼ、乳酸デヒドロゲナーゼ、乳酸オキシダーゼが挙げられる。
【００３４】
電子伝達物質としては、たとえば鉄やＲｕの錯体が使用される。使用可能な鉄錯体としては、たとえばフェリシアン化カリウムが挙げられ、使用可能なＲｕ錯体としては、ＮＨ3を配位子とするものが挙げられる。
【００３５】
溶剤としては、たとえばリン酸カリウム緩衝液などが挙げられる。
【００３６】
ついで、図８に示したように横並びするバイオセンサ形成領域４０を一連に覆うようにして板材４４を接合した後に、さらに板材４４上に板材４５を接合する。板材４４は、バイオセンサＸのスペーサ２（図２参照）となるべきものであり、複数のスリット４４ａが形成されている。一方、板材４５は、バイオセンサＸのカバー１（図２参照）となるべきものであり、複数の穴部４５ａが形成されている。板材４４，４５は、たとえば両面テープにより接着される。
【００３７】
最後に、バイオセンサ形成領域４０の外延に沿って材料基板４を切断することによって、図１ないし図３に示したバイオセンサＸが得られる。先に説明したように、導体部４１の表面からは不純物が除去され、電極４１′の表面は親水性の高いものとされている。したがって、バイオセンサＸの作用極３１および対極３２は、表面への不純物の付着が抑制され、かつ表面の親水性が高いものとされている。
【００３８】
バイオセンサＸは、濃度測定装置（図示略）に装着して使用される。濃度測定装置にバイオセンサＸを装着すれば、作用極３１および対極３２の他端部３１ｂ，３２ｂ（図２参照）に対して一対のプローブ、がコンタクトするように濃度測定装置が構成される。試料液導入口２１ａから試料液（たとえば血液）を導入すれば、試料液は、毛細管現象により穴部１０に向けて流路２１内を進行する。この過程においては、試薬層３３に試料液が含浸して試薬層３３が溶解する。先にも触れたように、作用極３１および対極３２は、親水性の高いものとされているため、作用極３１および対極３２によって試料液の進行が妨げられることもない。
【００３９】
試薬層３３では、特定成分の酸化反応、および電子伝達物質の還元反応により、還元型の電子伝達物質が生成される。還元型の電子伝達物質の量は、試料液中の特定成分の濃度に相関するものである。そして、作用極３１および対極３２（試薬層３３）に対して一対のプローブにより電圧を印加すれば、還元型とされた電子伝達物質が作用極３１に対して電子を供給（酸化）する。先にも触れたように作用極３１および対極３２の表面からは不純物が除去されているから、不純物により試薬層３３から作用極３１への電子の移動が阻害されることもない。また、作用極３１が親水性の高いものとされているから、作用極３１と溶解して液化した試薬層３３との間の界面は接触面積も大きく（接触角が小さく）、電子が移動しやすい状態となっている。したがって、バイオセンサＸでは、溶解した試薬層３３から作用極３１に対して適切に電子を移動させることができる。つまり、作用極３１は感度が高く、適切に電気信号を出力できるものとなっている。
【００４０】
作用極３１に供給された電子の量は、プローブを介してバイオセンサＸから出力される。一方、濃度測定装置では、バイオセンサＸからの出力に基づいて、特定成分の濃度が演算される。
【００４１】
つぎに、本願発明に係る製造方法により得られるバイオセンサについて、電極感度および電極表面の親水性について評価する。
【００４２】
（電極感度の評価）
電極感度は、バイオセンサからの応答電流に基づいて図９に示したようなＣＶ波形を測定し、そのときに応答電流値が正のピークＰとなるピーク電流Ｉｐおよびこれに対応するピーク電圧Ｅｐにより評価した。
【００４３】
評価用のバイオセンサの外観構成は、図１ないし図３に示したものと概ね同様である。基板３の材料としては、Ｅ−２２白ＰＥＴアニール処理済み（東レ製）を用いた。スペーサ２は、厚みＤ１を１５５μｍ、スリット２０の幅Ｗを１．２ｍｍとした。カバー１は、厚みＤ２を１００μｍとした。カバー１における流路２１を形成する面は、レシチン処理を施した。
【００４４】
作用極３１および対極３２は、電極材料としてカーボンインキ（Ｅｌｅｃｔｒｏｄａｇ ４２３ＳＳ：日本アチソン製）を用いてスクリーン印刷により導体部を形成した後に、導体部に真空紫外線を照射することにより形成した。
【００４５】
真空紫外線照射は、エキシマ光照射装置（ＵＥＲ２００−１７２：ウシオ電機（株）製）を用いて行った。なお、上記エキシマ光照射装置では、ピーク波長が１７２ｎｍ、半値幅１４ｎｍのエキシマ光が照射される。真空紫外線の照射条件は、線状光源と導体部との間の距離を１ｍｍ（図６参照）、導体部に対する放射発散度を８．５ｍＷ／ｃｍ2とした。真空紫外線の照射は大気中で行った。
【００４６】
以上の条件のもとで、真空紫外線の照射時間を０秒、１０秒、２０秒、３０秒、６０秒、９０秒、１５０秒、１８０秒、２１０秒、２４０秒としてバイオセンサをそれぞれ３つずつ形成した。
【００４７】
ＣＶ波形は、Ｖｏｌｔａｍｍｅｔｒｉｃ  ａｎａｌｙｚｅｒ（ＢＡＳ製）を用いて測定した。バイオセンサに供給する標準液としては、生理食塩水（０．９ｗｔ％ＮａＯＨ）に対して、それぞれ２５ｍＭとなるようにフェリシアン化カリウムおよびフェロシアン化カリウムを溶解させたものを用いた。掃引速度は、１００ｍＶ／ｓｅｃとした。
【００４８】
個々のバイオセンサから得られたＣＶ波形に基づいて、各バイオセンサ毎にピーク電流Ｉｐおよびピーク電圧Ｅｐを読み取った（図９参照）。その結果を、真空紫外線の照射時間を横軸として図１０に示した。図１０においては、同一照射時間の３つのサンプルについての平均値をプロットしてある。
【００４９】
図１０からわかるように、真空紫外線を照射しない場合（照射時間０秒）に比べて、真空紫外線を照射した場合のほうがピーク電流Ｉｐが大きく、ピーク電圧Ｅｐが小さくなっている。つまり、真空紫外線を照射した電極（作用極や対極）では、相対的に小さな印加電圧で相対的に大きな応答電流が得られることがわかる。この結果は、電極（作用極３１や対極３２（図２参照））の感度が改善されていることを示している。このような効果を確実に享受するためには、図１０からは真空紫外線の照射時間を６０秒以上とすればよいことが伺える。ただし、照射時間を不当に長くしても、それに見合うだけの効果の上積みはないため、真空紫外線の照射時間を６０〜１８０秒とするのが好ましいといえる。
【００５０】
なお、いずれのバイオセンサにおいても、基板の劣化は見受けられなかった。このことは同時に、電極（作用極３１や対極３２（図２参照））の感度を高めるために、真空紫外線の照射という手段を不具合なく採用できることを示唆している。
【００５１】
（親水性の評価）
親水性は、接触角を測定することにより評価した。接触角は、電極のみを形成した基板に対して、電極表面に水滴を４μｌたらし、ＪＩＳ  Ｒ３２５７に準じて測定した。接触角は、真空紫外線を照射した直後、３日後、１２日後のそれぞれに測定した。１２日後のものについては、照射時間以外については、ＣＶ波形の測定と全く同様の条件のもとでバイオセンサの形態に加工し、電極表面の接触角を測定した。その結果を横軸を照射時間として図１１に示した。真空紫外線の照射条件は、先に説明したＣＶ波形の測定と同様とし、また同図には照射時間が同一の３つのサンプルについての平均値をプロットしてある。
【００５２】
図１１からわかるように、真空紫外線の照射直後に接触角を測定したものについては、真空紫外線を照射した場合には、真空紫外線を全く照射しない場合（照射時間０秒）に比べて接触角が著しく小さく、照射時間６０秒以上で略一定値となっている。つまり、真空紫外線の照射によって親水性が大きくなることが伺える。そして、真空紫外線を照射してから３日または１２日経過した場合には、接触角の増加が見られるものの、真空紫外線を照射しない場合に比べて接触角が小さくなっている。とくに、照射時間を６０秒以上とした場合には、依然として接触角が小さく、この場合には、長期間にわたって高い親水性を維持できることが伺える。また、真空紫外線を照射してからバイオセンサの形態としたものについては、多少の接触角の増加が見受けられるものの接触角は小さいものとなっている。
【００５３】
このように、真空紫外線を照射することによって、電極（作用極３１や対極３２（図２参照））の親水性が高められ、それが長期間維持される。このような効果を確実に享受するためには、図１１からは真空紫外線の照射時間を６０秒以上とすればよいことが伺える。ただし、照射時間が９０秒を超えても、親水性の改善の程度の差はないため、実用的には照射時間を９０秒以下とするのが好ましいといえる。また、バイオセンサに加工した後においても親水性の劣化がさほどないため、この点からも真空紫外線の照射という手段をバイオセンサの製造技術として有効に採用できることが示唆されている。
【００５４】
【発明の効果】
以上に説明したように、真空紫外線を照射することにより、基板を劣化させることなく電極の感度を高めることができる。また、電極にバインダ樹脂が含まれている場合には、電極表面の親水性を高めることができるため、目的通りに試薬層を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本願発明の適用対象となるバイオセンサの一例を示す全体斜視図である。
【図２】
図１のバイオセンサの分解斜視図である。
【図３】
（ａ）は図１のIIIａ―IIIａ線に沿う断面図、（ｂ）は図１のIIIｂ―IIIｂ線に沿う断面図である。
【図４】
導体部を形成した材料基板の斜視図である。
【図５】
スクリーン印刷の手法を説明するための斜視図および要部拡大図である。
【図６】
真空紫外線の照射作業を説明するための斜視断面図である。
【図７】
試薬層形成工程を説明するための斜視図である。
【図８】
バイオセンサの製造過程を説明するための斜視図である。
【図９】
ＣＶ波形の一例を示すグラフである。
【図１０】
真空紫外線の照射時間とピーク電流およびピーク電圧との関係を示すグラフである。
【図１１】
真空紫外線の照射時間と接触角（親水性）との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
Ｘ  バイオセンサ（濃度測定用センサ）
３  基板（バイオセンサの）
３１  作用極（バイオセンサの電極）
３２  対極（バイオセンサの電極）
３３  試薬層（バイオセンサの）
４  材料基板
４１  導体部
４２  試薬層（材料基板の）
６３  線状光源