【手続補正書】
【提出日】平成19年12月21日(2007.12.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被分析材へ給電することで、グロー放電による発光を生じさせるグロー放電発光分析装置において、
高周波電圧を前記被分析材に印加すべく高周波電力を生成する高周波電力生成部と、
該高周波電力生成部による一秒間あたりの給電回数を受け付ける手段と、
該手段により受け付けた一秒間あたりの給電回数に基づき、前記高周波電力生成部により生成される高周波電圧を前記被分析材に断続的に印加する断続給電手段と
を備えることを特徴とするグロー放電発光分析装置。
【請求項２】
前記被分析材への給電を連続的に行う連続給電手段と、
該連続給電手段による給電及び前記断続給電手段による給電の切替を行う給電切替手段と
を更に備えることを特徴とする請求項１に記載のグロー放電発光分析装置。
【請求項３】
前記給電回数を受け付ける手段は、
前記高周波電力生成部による複数の区分に区分けされた掘削の時間帯毎の一秒間あたりの給電回数をそれぞれ受け付けるよう構成してあり、
前記断続給電手段は、
前記受け付けた複数の区分に区分けされた掘削の時間帯毎の一秒間あたりの給電回数に基づき、前記高周波電力生成部により生成される高周波電圧を前記被分析材に断続的に印加するよう構成してある
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のグロー放電発光分析装置。
【請求項４】
被分析材に給電される電力値を検出する第１検出手段と、
給電に対する被分析材からの反射波に係る電力値を検出する第２検出手段と、
前記第１検出手段が検出した電力値及び前記第２検出手段が検出した電力値の差を演算する演算手段と、
該演算手段が演算した差に基づき前記断続給電手段が被分析材へ給電する電力値を変更する電力値変更手段と
を更に備えることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載のグロー放電発光分析装置。
【請求項５】
基準値を記憶する記憶部を更に備え、
前記電力値変更手段は、前記演算手段が演算した差が前記基準値と同等になるように電力値を変更する手段
を備えることを特徴とする請求項４に記載のグロー放電発光分析装置。
【請求項６】
前記断続給電手段は、断続的な給電の中の一時間帯と他時間帯とに対して相違する電力値で給電を行う手段を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一つに記載のグロー放電発光分析装置。
【請求項７】
グロー放電による発光の強度を測定する分光器と、
該分光器が測定した値を前記断続給電手段による断続的な給電時に同期させて取得する分析制御部と
を更に備えることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか一つに記載のグロー放電発光分析装置。
【請求項８】
電源部と、分光器と、分析制御部とを有するグロー放電発光分析装置の該電源部から被分析材へ給電を行いグロー放電を発生し、グロー放電により生じた発光の強度を前記分光器で測定し、該分光器が測定した値を前記分析制御部で取得して分析を行うグロー放電発光分析方法において、
前記電源部に設けられる高周波電力生成部により高周波電力を生成させ、前記被分析材に高周波電圧を印加し、
該高周波電力生成部による一秒間あたりの給電回数を受け付け、
該受け付けた一秒間あたりの給電回数に基づき、前記高周波電力生成部により生成される高周波電圧を前記被分析材に断続的に印加し、
前記分光器が測定した値を断続的な給電時に同期させて前記分析制御部で取得することを特徴とするグロー放電発光分析方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】グロー放電発光分析装置及びグロー放電発光分析方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明はグロー放電に係る電力の供給及び供給停止をパルス的に切り替えることで、分析可能な試料の種類を拡大したグロー放電発光分析装置及びグロー放電発光分析方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明は、斯かる問題に鑑みてなされたものであり、電力の供給及び供給停止を交互に繰り返して断続的に電力供給を行うことで、試料に対する電力供給による負荷及びスパッタリングの威力を低減し、様々な材質の試料分析を可能にすると共に、安定した定量分析を実現できるようにしたグロー放電発光分析装置及びグロー放電発光分析方法を提供することを目的とする。
また、本発明は、断続的な給電における１回分の給電時間及び単位時間当たりの給電回数を設定可能にすることで、様々な材質の試料の特性に合わせて最適な分析を行えるようにしたグロー放電発光分析装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明に係るグロー放電発光分析装置は、被分析材へ給電することで、グロー放電による発光を生じさせるグロー放電発光分析装置において、高周波電圧を前記被分析材に印加すべく高周波電力を生成する高周波電力生成部と、該高周波電力生成部による一秒間あたりの給電回数を受け付ける手段と、該手段により受け付けた一秒間あたりの給電回数に基づき、前記高周波電力生成部により生成される高周波電圧を前記被分析材に断続的に印加する断続給電手段とを備えることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明に係るグロー放電発光分析装置は、前記被分析材への給電を連続的に行う連続給電手段と、該連続給電手段による給電及び前記断続給電手段による給電の切替を行う給電切替手段とを更に備えることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明に係るグロー放電発光分析装置は、前記給電回数を受け付ける手段は、前記高周波電力生成部による複数の区分に区分けされた掘削の時間帯毎の一秒間あたりの給電回数をそれぞれ受け付けるよう構成してあり、前記断続給電手段は、前記受け付けた複数の区分に区分けされた掘削の時間帯毎の一秒間あたりの給電回数に基づき、前記高周波電力生成部により生成される高周波電圧を前記被分析材に断続的に印加するよう構成してあることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明に係るグロー放電発光分析装置は、被分析材に給電される電力値を検出する第１検出手段と、給電に対する被分析材からの反射波に係る電力値を検出する第２検出手段と、前記第１検出手段が検出した電力値及び前記第２検出手段が検出した電力値の差を演算する演算手段と、該演算手段が演算した差に基づき前記断続給電手段が被分析材へ給電する電力値を変更する電力値変更手段とを更に備えることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明に係るグロー放電発光分析装置は、基準値を記憶する記憶部を更に備え、前記電力値変更手段は、前記演算手段が演算した差が前記基準値と同等になるように電力値を変更する手段を備えることを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明に係るグロー放電発光分析装置は、前記断続給電手段は、断続的な給電の中の一時間帯と他時間帯とに対して相違する電力値で給電を行う手段を備えることを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明に係るグロー放電発光分析装置は、グロー放電による発光の強度を測定する分光器と、該分光器が測定した値を前記断続給電手段による断続的な給電時に同期させて取得する分析制御部とを更に備えることを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明に係るグロー放電発光分析方法は、電源部と、分光器と、分析制御部とを有するグロー放電発光分析装置の該電源部から被分析材へ給電を行いグロー放電を発生し、グロー放電により生じた発光の強度を前記分光器で測定し、該分光器が測定した値を前記分析制御部で取得して分析を行うグロー放電発光分析方法において、前記電源部に設けられる高周波電力生成部により高周波電力を生成させ、前記被分析材に高周波電圧を印加し、該高周波電力生成部による一秒間あたりの給電回数を受け付け、該受け付けた一秒間あたりの給電回数に基づき、前記高周波電力生成部により生成される高周波電圧を前記被分析材に断続的に印加し、前記分光器が測定した値を断続的な給電時に同期させて前記分析制御部で取得することを特徴とする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明にあっては、電力供給及び電力供給停止を交互に切り替えて断続的に電力供給を行うため、被分析材に対する電力供給による負荷及びスパッタリングの威力も断続的なものになる。よって、同一の電力値で連続的に給電する場合に比べて供給される全電力量が低減される共に被分析材に対する給電の負荷及びスパッタリングが低減される。その結果、従来分析が不可能であった試料、例えば、各種ゴム、合成樹脂及び有機ポリマーのような有機物等の試料に対し溶解又は焦げてしまうことが防止され、また、ガラス及びセラミック等の試料に対しても破壊が防止される。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明にあっては、電力を連続的に供給すること及び電力供給を断続的に行うことの２種類の供給方式を切り替えるため、被分析材の材質に応じた給電形態を適用して分析を行えるようになる。即ち、定性的な分析において被分析材の材質が金属であれば、連続的な電力供給により分析を行い、被分析材が溶解又は焦げるような材質若しくは破壊が起こるような材質であれば、断続的な電力供給により分析を行うことにより成分分析を支障無く行えるようになる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明にあっては、１回の給電時間を設定することで、様々な被分析材の材質の特性に応じて最適な給電形態を提供できるようになる。即ち、溶解又は焦げやすい材質であっても、同系統の材質の種類によっては溶解又は焦げやすい程度が異なるため、給電の負荷及びスパッタリングによる威力の程度を材質毎に適宜細かく調整することで、定性的な分析及び定量的な分析のいずれにおいても分析の不具合が解消される。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明にあっては、分析の中で時間帯毎に給電時間を設定可能にすることで、被分析材の特性に応じて一段と詳細な給電形態を提供でき、効率的な分析が達成される。例えば、被分析材が材質の異なる多層構造である場合、分析における前半の時間帯は１回の給電時間を長く設定する一方、後半の時間帯は１回の給電時間を短く設定することで、各層の材質の特性に応じた分析が可能になる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明にあっては、単位時間当たりの給電回数、即ち、断続給電に係る周波数を設定するため、定性的な分析及び定量的な分析のいずれにおいても材質の特性に応じた電力供給形態を確保して、被分析材の溶解及び破壊等を回避して分析を行うことが可能になる。さらに、被分析材の溶解及び破壊等とは別に、材質によっては材質を構成する元素が検出しやすくなると云う分析に適した周波数が存在するため、周波数を調整することで分析しやすい条件を適宜設定できるようになる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
本発明にあっては、分析の中で時間帯毎に相違する給電回数を設定することが可能なため、定性的な分析及び定量的な分析のいずれにおいても一段と試料の材質特性に応じた給電回数を設定できるようになり、被分析材の溶解及び破壊等を防止すると共に、最適な分析条件を確保できる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
本発明にあっては、給電に係る電力値及び被分析材からの反射波に係る電力値の検出並びに両者の差に基づき給電に係る電力値を変更するので、従来、被分析材のインピーダンス値の変動に対応してマッチングボックスで行っていた反射波に係る調整をソフト的、又は、回路的な演算で行えるようになる。その結果、高速の調整が可能になり、断続給電により電力供給及び電力供給停止がパルス的に高速で切り替えられても充分に追従できるようになる。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
本発明にあっては、電力値の調整を記憶した基準値に基づいて行うため、電力値の変更が一定の基準に照らし合わせて行われ、電力値に係る調整処理が容易になると共に処理精度も向上される。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
本発明にあっては、分析の中で時間帯毎に相違する電力値で給電を行えるため、分析条件を多様にして、効率的な分析を行えるようになる。例えば、金属と有機膜との多層膜のような試料では、金属部分を分析する時間帯には電力値を高くする一方、有機膜部分を分析する時間帯は電力値を低くして給電の負担を軽減した分析を行うようなことも可能になり、様々な分析条件を提供できるようになる。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
本発明にあっては、断続的に行われる給電の時期に合わせて分析制御部が分光器で測定された値を取得するので、断続的な給電における非給電時の測定値は分析制御部で取得されなくなり、分光器で測定される非給電時の測定値（０点レベル）の不安定要素を排除できる。また、特に定量分析では、断続的な給電により高電力を印可できることから、分析制御部では従来に比べてノイズを抑制した高い値の測定結果を短時間で得られるようになる。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
本発明にあっては、電力供給及び電力供給停止をパルス的に高速で交互に切り替えることにより、断続的な給電を実現できる。その結果、従来の連続的な給電に比べて供給する平均的な電力量を低くすると共に被分析材に対する電力供給による負荷及びインピーダンスの威力を低減でき、各種ゴム、合成樹脂、有機ポリマーのような有機物等の材質で生じていた溶解及び焦げ等を回避できると共に、ガラス及びセラミック等の材質で生じていた破壊も防止して確実な分析を行える。また、金属材料の定量分析に対しても、スパッタリングによる金属材料の損耗程度を緩やかにして安定した測定を確保できると共に高電力値での給電も実現できる。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
本発明にあっては、連続的な給電と、断続的な給電とを適宜切り替えることで、被分析材の材質に応じた最適な給電形態を選択して効率的な分析を行える。
本発明にあっては、断続給電の中の１回の給電時間の設定を行うことにより、被分析材の様々な材質に応じて最適な条件で分析を行える。
本発明にあっては、断続給電の相違する時間帯で相違する給電時間を設定することにより、被分析材の材質の特性に応じた一段と詳細な分析条件を確保できる。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
本発明にあっては、断続給電の中の単位時間当たりの給電回数の設定を行うことにより、被分析材の材質の特性に応じた給電状態を確保して安定した分析を実行できると共に、分析に好適な条件を確保できる。
本発明にあっては、断続給電の相違する時間帯で相違する単位時間当たりの給電回数の設定を行うことにより、被分析材の溶解及び破壊等を防止した上で、一段と試料の材質特性に応じた分析条件を確保できる。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
本発明にあっては、被分析材に係る電力値を検出して給電に係る電力値を変更することにより、断続給電でも被分析材のインピーダンス値の変動に対応して適切な給電を行える。
本発明にあっては、基準値に基づき電力値の変更を行うことにより、電力調整に係る処理が容易になると共に処理精度も向上できる。
本発明にあっては、分析の中で時間帯毎に相違する電力値で給電を行うことにより、多様な分析条件の設定が可能となり、効率的且つ確実な分析を実現できる。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
本発明にあっては、断続的に行われる給電の時期に合わせて分析制御部が分光器で測定された値を取得することで、分析制御部は不安定要素を含む非給電時の測定値を排除して実質的な給電時に係る測定値のみを分析対象にし、安定した分析を行えると共に、高電力の印可を可能にして高レベルの測定値を得られる。