【手続補正書】
【提出日】平成20年9月12日(2008.9.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気的検査を行う検査装置に用いられるプローブカードの移載作業を補助するプローブカード移載補助装置であって、
上記プローブカードを保持する保持部と、
上記保持部が先端部に取り付けられたアームと、
上記アームを支持する旋回自在な支持体と、
上記支持体を介して上記プローブカードをその重量に即して昇降させる昇降駆動装置と、を備えた
ことを特徴とするプローブカード移載補助装置。
【請求項２】
上記保持部は、回転操作により上記プローブカードと連結可能な連結部材を有することを特徴とする請求項１に記載のプローブカード移載補助装置。
【請求項３】
上記アームは、上記支持体の上端部から水平方向に張り出して伸縮可能に構成されていると共に、上記支持体の上端部を基点に上記支持体側へ折り畳み可能に構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプローブカード移載補助装置。
【請求項４】
上記昇降駆動装置は、上記アームを昇降させるシリンダ機構と、上記シリンダ機構に駆動流体を供給する流路を開閉するバルブと、上記駆動流体の圧力を制御するレギュレータと、上記レギュレータに対して上記プローブカードの重量を予め入力する入力端子と、上記駆動流体の圧力を検出する圧力センサと、上記プローブカードの有無を検出するカード検出センサと、を有することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のプローブカード移載補助装置。
【請求項５】
上記保持部は、上記連結部材の回転終端位置を確認するセンサを有することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のプローブカード移載補助装置。
【請求項６】
上記検査装置と上記検査装置に用いられるプローブカードを搬送する搬送手段との間で上記プローブカードの移載作業を補助する際に、上記検査装置と上記搬送手段の間に介在することを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載のプローブカード移載補助装置。
【請求項７】
電気的検査を行う検査装置と、上記検査装置に用いられるプローブカードの移載作業を補助するプローブカード移載補助装置と、を備え、
上記プローブカード移載補助装置は、
上記プローブカードを保持する保持部と、
上記保持部が先端部に取り付けられたアームと、
上記アームを支持する旋回自在な支持体と、
上記支持体を介して上記プローブカードをその重量に即して昇降させる昇降駆動装置と、を備えた
ことを特徴とする検査設備。
【請求項８】
上記保持部は、回転操作により上記プローブカードと連結可能な連結部材を有することを特徴とする請求項７に記載の検査設備。
【請求項９】
上記アームは、上記支持体の上端部から水平方向に張り出して伸縮可能に構成されていると共に、上記支持体の上端部を基点に上記支持体側へ折り畳み可能に構成されていることを特徴とする請求項７または請求項８に記載の検査設備。
【請求項１０】
上記昇降駆動装置は、上記アームを昇降させるシリンダ機構と、上記シリンダ機構に駆動流体を供給する流路を開閉するバルブと、上記駆動流体の圧力を制御するレギュレータと、上記レギュレータに対して上記プローブカードの重量を予め入力する入力端子と、上記駆動流体の圧力を検出する圧力センサと、上記プローブカードの有無を検出するカード検出センサと、を有することを特徴とする請求項７〜請求項９のいずれか１項に記載の検査設備。
【請求項１１】
上記保持部は、上記連結部材の回転終端位置を確認するセンサを有することを特徴とする請求項７〜請求項１０のいずれか１項に記載の検査設備。
【請求項１２】
上記検査装置と上記検査装置に用いられるプローブカードを搬送する搬送手段との間で上記プローブカードの移載作業を補助する際に、上記検査装置と上記搬送手段の間に介在することを特徴とする請求項７〜請求項１１のいずれか１項に記載の検査設備。
【請求項１３】
検査装置の近接領域にプローブカードを搬送する工程と、上記プローブカードを上記検査装置まで搬送する工程と、上記プローブカードを被検査体に接触させて電気的検査を行う工程と、を備えた検査方法であって、
上記プローブカードを上記検査装置まで搬送する工程は、
上記プローブカードを保持する工程と、
上記プローブカードを昇降させる工程と、
上記プローブカードをある点を中心に旋回する工程と、を有することを特徴とする検査方法。
【請求項１４】
上記プローブカードを昇降させる工程に先立って、上記プローブカードの有無を検出する工程を有することを特徴とする請求項１３に記載の検査方法。
【請求項１５】
上記プローブカードを昇降させる工程は、上記プローブカードの重量に対応して上記プローブカードを昇降させる力を制御する工程を有することを特徴とする請求項１３または請求項１４に記載の検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の請求項１に記載のプローブカード移載補助装置は、電気的検査を行う検査装置に用いられるプローブカードの移載作業を補助するプローブカード移載補助装置であって、上記プローブカードを保持する保持部と、上記保持部が先端部に取り付けられたアームと、上記アームを支持する旋回自在な支持体と、上記支持体を介して上記プローブカードをその重量に即して昇降させる昇降駆動装置と、を備えたことを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明の請求項３に記載のプローブカード移載補助装置は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上記アームは、上記支持体の上端部から水平方向に張り出して伸縮可能に構成されていると共に、上記支持体の上端部を基点に上記支持体側へ折り畳み可能に構成されていることを特徴とするものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の請求項４に記載のプローブカード移載補助装置は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明において、上記昇降駆動装置は、上記アームを昇降させるシリンダ機構と、上記シリンダ機構に駆動流体を供給する流路を開閉するバルブと、上記駆動流体の圧力を制御するレギュレータと、上記レギュレータに対して上記プローブカードの重量を予め入力する入力端子と、上記駆動流体の圧力を検出する圧力センサと、上記プローブカードの有無を検出するカード検出センサと、を有することを特徴とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明の請求項５に記載のプローブカード移載補助装置は、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の発明において、上記保持部は、上記連結部材の回転終端位置を確認するセンサを有することを特徴とするものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明の請求項６に記載のプローブカード移載補助装置は、請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の発明において、上記検査装置と上記検査装置に用いられるプローブカードを搬送する搬送手段との間で上記プローブカードの移載作業を補助する際に、上記検査装置と上記搬送手段の間に介在することを特徴とするものである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本発明の請求項７に記載の検査設備は、電気的検査を行う検査装置と、上記検査装置に用いられるプローブカードの移載作業を補助するプローブカード移載補助装置と、を備え、上記プローブカード移載補助装置は、上記プローブカードを保持する保持部と、上記保持部が先端部に取り付けられたアームと、上記アームを支持する旋回自在な支持体と、上記支持体を介して上記プローブカードをその重量に即して昇降させる昇降駆動装置と、を備えたことを特徴とするものである。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、本発明の請求項８に記載の検査設備は、請求項７に記載の発明において、上記保持部は、回転操作により上記プローブカードと連結可能な連結部材を有することを特徴とするものである。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明の請求項９に記載の検査設備は、請求項７または請求項８に記載の発明において、上記アームは、上記支持体の上端部から水平方向に張り出して伸縮可能に構成されていると共に、上記支持体の上端部を基点に上記支持体側へ折り畳み可能に構成されていることを特徴とするものである。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、本発明の請求項１０に記載の検査設備は、請求項７〜請求項９のいずれか１項に記載の発明において、上記昇降駆動装置は、上記アームを昇降させるシリンダ機構と、上記シリンダ機構に駆動流体を供給する流路を開閉するバルブと、上記駆動流体の圧力を制御するレギュレータと、上記レギュレータに対して上記プローブカードの重量を予め入力する入力端子と、上記駆動流体の圧力を検出する圧力センサと、上記プローブカードの有無を検出するカード検出センサと、を有することを特徴とするものである。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、本発明の請求項１１に記載の検査設備は、請求項７〜請求項１０のいずれか１項に記載の発明において、上記保持部は、上記連結部材の回転終端位置を確認するセンサを有することを特徴とするものである。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、本発明の請求項１２に記載の検査設備は、請求項７〜請求項１１のいずれか１項に記載の発明において、上記検査装置と上記検査装置に用いられるプローブカードを搬送する搬送手段との間で上記プローブカードの移載作業を補助する際に、上記検査装置と上記搬送手段の間に介在することを特徴とするものである。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、本発明の請求項１３に記載の検査方法は、検査装置の近接領域にプローブカードを搬送する工程と、上記プローブカードを上記検査装置まで搬送する工程と、上記プローブカードを被検査体に接触させて電気的検査を行う工程と、を備えた検査方法であって、上記プローブカードを上記検査装置まで搬送する工程は、上記プローブカードを保持する工程と、上記プローブカードを昇降させる工程と、上記プローブカードをある点を中心に旋回する工程と、を有することを特徴とするものである。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また、本発明の請求項１４に記載の検査方法は、請求項１３に記載の発明において、上記プローブカードを昇降させる工程に先立って、上記プローブカードの有無を検出する工程を有することを特徴とするものである。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、本発明の請求項１５に記載の検査方法は、請求項１３または請求項１４に記載の発明において、上記プローブカードを昇降させる工程は、上記プローブカードの重量に対応して上記プローブカードを昇降させる力を制御する工程を有することを特徴とするものである。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
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