(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
保護すべき管継手を覆うことができる形態を有するカバーと、
前記カバーに接続されると共に、前記カバーを駆動させる駆動手段と
を備え、
前記駆動手段は、前記管継手が設けられている配管に脱着可能に取り付けられるよう構成されており、
前記駆動手段は、前記管継手を覆う第１の位置と、前記管継手から離れた第２の位置との間で前記カバーを移動させるよう構成されている、管継手のプロテクタ。
【請求項２】
前記管継手を取り外す際に限って前記カバーを前記第１の位置から前記第２の位置に移動させるよう、前記駆動手段を制御する制御手段を更に備える、請求項１に記載の管継手のプロテクタ。
【請求項３】
前記カバーは前記管継手を取り囲む筒状体である、請求項１又は２に記載の管継手のプロテクタ。
【請求項４】
前記駆動手段はエアシリンダである、請求項１〜３のいずれか１項に記載の管継手のプロテクタ。
【請求項５】
前記管継手は、ガス容器のバルブの吐出口と配管とを接続するためのものである、請求項１〜４のいずれか１項に記載の管継手のプロテクタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス配管システムにおける管継手、特にガス容器のバルブに配管を接続する管継手を作業員が誤認により取り外すのを防止するためのプロテクタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造等に用いられる特殊材料ガスは、通常、ガスボンベないしはガスシリンダと称される可搬型のガス容器に貯蔵された状態で使用される。かかる半導体製造用の特殊材料ガスには、可燃性（爆発性）、毒性、腐食性、支燃性等の危険性を有するものが多く、その取扱いには十分な安全上の配慮がなされなければならない。
【０００３】
例えば、ガス容器を交換する場合には、ガス配管システムにおけるバルブの開閉等を制御装置により自動的に遠隔制御することとし、可能な限り作業員がガス容器や配管に近づかなくても済むようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、現在のガス配管システムにおいては、ガス容器交換時にガス容器のバルブから配管を取り外す作業は、作業員による手作業となっている。また、この配管取外し作業は、配管内の残留ガスのパージが終了した後に行わなければならない。
【０００５】
このような人為的な作業では、単純な勘違い等が原因で、パージ前に配管取外し作業を開始してしまうことが考えられる。また、ガスを常時供給するためにガス容器を２本以上用いているシステムでは、交換対象ではないガス容器のバルブから配管を取り外すこともあり得る。
【０００６】
本発明は、以上の事情を鑑みてなされたものであり、その目的は、作業員が配管を誤認により取り外すような事態を防止するためのプロテクタを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明によるプロテクタは、保護すべき管継手（例えば、ガス容器のバルブの吐出口と配管とを接続するるための管継手）を覆うことができる形態を有するカバーと、前記カバーに接続されると共に、前記カバーを駆動させる駆動手段とを備え、前記駆動手段が、前記管継手が設けられている配管に脱着可能に取り付けられるよう構成されており、前記駆動手段が、前記管継手を覆う第１の位置と、前記管継手から離れた第２の位置との間で前記カバーを移動させるようになっていることを特徴としている。
【０００８】
かかる構成において、駆動手段を制御して、管継手を取り外す際に限ってカバーを前記第１の位置から前記第２の位置に移動させることとすれば、作業員は通常時には管継手に触れることができず、誤認による管継手の取外しを防止することが可能となる。
【０００９】
このプロテクト機能を十分に発揮するには、カバーは管継手を取り囲む筒状体が好ましい。
【００１０】
また、可燃性のガスを扱うガス配管システムでは、駆動手段はエアシリンダであることが有効である。
【００１１】
更に、駆動手段を、管継手が設けられている配管に脱着可能に取り付けられるよう構成することで、既存のガス配管システムにも適用可能となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面と共に本発明の好適な実施形態について説明する。
【００１３】
図１及び図２は本発明によるプロテクタの一実施形態を示しており、図１は、プロテクタがガス容器のバルブの吐出口と配管との接続部に取り付けられている状態を示している。ガス容器１０に取り付けられているバルブ１２の吐出口１４の外周面にはねじが切られており、このねじ部に、配管１６の接続端部に設けられた管継手１８のユニオンナット２０が螺合され、配管１６とバルブ吐出口１４とが接続されている。配管１６をバルブ１２の吐出口１４から取り外すには、レンチ等の工具を用いてユニオンナット２０を回し、吐出口１４のねじ部からユニオンナット２０を外せばよい。
【００１４】
本実施形態のプロテクタ２２は、図２に明示するように、略円筒形のカバー２４を有している。このカバー２４は、ユニオンナット２０の表面の六角面を覆い隠すことで、そこに工具が掛からないようにするためのものである。従って、カバー２４の内径はユニオンナット２０の最大外径よりも大きくされている。カバー２４の中心軸線に沿う長さは、ユニオンナット２０の全体を囲むべくユニオンナット２０の全長以上であることが好ましいが、工具の掛合を阻止することができれば十分であるので、図１に示す如くユニオンナット２０の全長に満たない長さとしてもよい。また、カバー２４には、その中心軸線方向に沿ってスリット２６が形成されている。このスリット２６は、配管１６とバルブ吐出口１４とが接続されている状態でカバー２４を取り付けることを可能にするためのものであり、その幅は少なくとも配管１６の外径よりも大きければよい。
【００１５】
カバー２４の一端には小型エアシリンダ（駆動手段）２８のピストンロッド３０の先端が固着されている。エアシリンダ２８は２本あり、それぞれの中心軸線がカバー２４の中心軸線と平行になるように配向され、且つまた、タイバー３２により一体的に保持されている。
【００１６】
タイバー３２の中央部の下面には押えバー３４が、ボルト３６及びナット３８により締結されるようになっている。このタイバー３２と押えバー３４の対向面にはそれぞれ略半円形の溝４０，４２が形成されており、この溝４０，４２間に配管１６を挟持することで、エアシリンダ２８及びカバー２４が配管１６に対して固定される。配管１６に対するタイバー３２及び押えバー３４の取付位置は、ピストンロッド３０をエアシリンダ２８のシリンダチューブ４４から突出させた時にカバー２４がユニオンナット２０を囲み、且つ、ピストンロッド３０をシリンダチューブ４４に引っ込めた時にカバー２４がユニオンナット２０から離れることとなる位置である。
【００１７】
この実施形態では、エアシリンダ２８はばね付勢式の単動型であり、内蔵されたばね（図示しない）により通常、ピストンロッド３０はシリンダチューブ４４から突出した状態とされている。そして、圧縮空気をエアシリンダ２８に供給すると、ピストンロッド３０はばねのばね力に抗して引込み位置に移動するようになっている。エアシリンダ２８に対する圧縮空気の供給は、ソレノイド式バルブ４６により制御される。図示のソレノイド式バルブ４６は、ぱねオフセット型の３ポート２位置バルブであり、ソレノイド４８への通電がない状態では大気とエアチューブ２８とを連通させ、通電時に圧縮空気源５０とエアチューブ２８とを連通させる。
【００１８】
以上のような構成のプロテクタ２２が設けられたガス配管システムが、シラン系ガス等の半導体製造用特殊材料ガスを扱うためのものである場合、特殊材料ガスが貯蔵されたガス容器１０はシリンダキャビネットと称される箱体（図示しない）に収容され、また、システム全体が制御装置５２により制御される。このような状況下においては、本発明のプロテクタ２２におけるバルブ４６のポジション切替えも、ガス配管システムの制御装置５２により制御されるのが好ましい。
【００１９】
上記ガス配管システムにおいては、ガス容器１０のバルブ１２と配管１６とを切り離すのは、バルブ１２が閉じられて配管１６中の残余ガスのパージが終了した後に限られ、ガス容器１０の交換が完了した後は、原則として管継手１８を作業員が触れることはない。従って、制御装置５２は、パージ作業が完了した後からガス容器交換が完了するまでの間に限り、バルブ４６のソレノイド４８に通電を行い、それ以外はソレノイド４８への通電は停止する。
【００２０】
バルブ４６のソレノイド４８への通電が停止された状態では、図１の（ａ）に示すように、エアシリンダ２８のピストンロッド３０はばね力により突出し、カバー２４は管継手１８のユニオンナット２０の周囲に配置される。その結果、作業員がユニオンナット２０を回そうとしても、工具をユニオンナット２０の六角面に掛合させることができず、管継手１８を誤って取り外す等の事態は完全に防止される。
【００２１】
一方、パージ作業が完了し、バルブ４６のソレノイド４８が通電されると、バルブ４６のポジションが切り替わり、圧縮空気源５０から圧縮空気がエアシリンダ２８に供給され、ピストンロッド３０がシリンダチューブ４４内に引き入れられる。この時、カバー２４は、図１の（ｂ）に示す位置に移動し、ユニオンナット２０の六角面の周囲に障害物がなくなるため、作業員は工具を用いてユニオンナット２０を回すことができ、配管１６をバルブ１２の吐出口１４から取り外すことが可能となる。
【００２２】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されないことはいうまでもない。例えば、上記実施形態では、カバー２４は円筒形であるが、作業員による接近を妨げる形態であるならば、どのような形態であってもよい。また、カバー２４を移動させる駆動手段も、ガスの種類によっては電気アクチュエータ等を用いることもできる。
【００２３】
また、本プロテクタ２２は、管継手を過誤により取り外すような事態が決して起きてはならない環境、例えば半導体製造用の特殊材料ガスの配管システムにおいて特に有効であるが、取扱いの容易なガスの配管システムに勿論、適用は可能であり、その設置位置も、ガス容器のバルブと配管との接続部に限定されない。
【００２４】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明のプロテクタによれば、管継手を取り外し必要がある時に限って管継手を露出させ、それ以外の時は管継手を覆うことができるので、作業員が誤って管継手を取り外すことが完全に防止される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるプロテクタの動作を示す概略説明図であり、（ａ）はカバーが管継手のユニオンナットを囲んだ状態、（ｂ）はカバーがユニオンナットから離れた状態を示す図である。
【図２】本発明によるプロテクタを示す斜視図である。
【符号の説明】
１０…ガス容器、１２…バルブ、１４…吐出口、１６…配管、１８…管継手、２０…ユニオンナット、２２…プロテクタ、２４…カバー、２６…スリット、２８…エアシリンダ、３２…タイバー、３４…押えバー、４６…バルブ、５２…制御装置。
【図１】
0004106114.tif 000002
【図２】
0004106114.tif 000003