【手続補正書】
【提出日】平成20年3月27日(2008.3.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体素子である被測定素子に接続され、制御手段からの切替信号を受けるようになされた切替手段と、
前記制御手段からの切替信号を受けて前記切替手段に伝える制御信号コネクタと、
前記切替手段に接続され、前記被測定素子の第１の電気特性を測定する第１の測定手段が有する複数の第１測定手段コネクタに接続するようにされた複数の第１のコネクタと、
前記切替手段に接続され、前記被測定素子の第２の電気特性を測定する第２の測定手段が有する複数の第２測定手段コネクタに接続するようにされた複数の第２のコネクタと
を備え、
前記第１の測定手段と前記第２の測定手段は、互いに異なる配線構成により前記被測定素子と接続されるものであり、
前記切替手段は、前記制御信号コネクタを介した前記制御手段からの前記切替信号に基づいて、前記被測定素子が、それぞれの測定手段に用いる配線構成に応じて、前記第１のコネクタまたは前記第２のコネクタのいずれと電気的に接続されるかを定めるものである半導体素子特性測定装置に用いる接続装置。
【請求項２】
半導体素子である被測定素子に接続され、制御手段からの切替信号を受けるようになされた切替手段であって、前記接続は第1のガードと第2のガードを含む切替手段と、
前記制御手段からの切替信号を受けて前記切替手段に伝える制御信号コネクタと、
前記切替手段に接続され、前記被測定素子の第１の電気特性を測定する第１の測定手段が有する複数の第１測定手段コネクタに接続するようにされた複数の第１のコネクタと、
前記切替手段に接続され、前記被測定素子の第２の電気特性を測定する第２の測定手段が有する複数の第２測定手段コネクタに接続するようにされた複数の第２のコネクタと、
前記被測定素子の近傍に設けた前記第１のガードに接続される第１の端子と、前記被測定素子の近傍に設けた前記第２のガードに接続される第２の端子を備えたガード切替手段と
を備え、
前記第１の測定手段と前記第２の測定手段は、互いに異なる配線構成により前記被測定素子と接続されるものであり、
前記切替手段は、前記制御信号コネクタを介した前記制御手段からの前記切替信号に基づいて、前記被測定素子が、それぞれの測定手段に用いる配線構成に応じて、前記第１のコネクタまたは前記第２のコネクタのいずれと電気的に接続されるかを定めるものである半導体素子特性測定装置に用いる接続装置。
【請求項３】
前記第１の測定手段と前記第２の測定手段と前記制御手段を互いに固定した関係をもって配置し、前記第１測定手段コネクタと、前記第２測定手段コネクタと、前記制御手段の制御信号出力コネクタとがある所定の配列に配置されている測定器に接続される請求項１または２に記載の接続装置であって、
前記第１測定手段コネクタに適合する前記第１のコネクタと、前記第２測定手段コネクタに適合する前記第２のコネクタと、前記制御信号出力コネクタに適合する前記制御信号コネクタとが、前記所定の配列に応じて配列されて一体になされており、
前記第１測定手段コネクタと前記第２測定手段コネクタと前記制御信号出力コネクタとに一体として接続可能な接続装置。
【請求項４】
前記第１の測定手段は電圧電流特性測定装置であり、前記第２の測定手段は電気容量測定装置であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の接続装置。
【請求項５】
前記被測定素子に接続される少なくとも二つの端子に出力される測定用信号の組合わせを変更し、前記制御手段によって制御される組替え手段を前記切替手段が有していることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の接続装置。
【請求項６】
第１の状態と第２の状態を有する入力手段と該入力手段による選択入力を受ける選択制御手段とをさらに有し、前記第１の状態が選択されたときには、前記第１の測定手段が前記被測定素子に接続されて前記第１の測定手段が動作し、前記第２の状態が選択されたときには、前記第２の測定手段が前記被測定素子に接続されて前記第２の測定手段が動作するよう、前記選択制御手段によって前記第１の測定手段と前記第２の測定手段と前記切替手段とを制御する半導体素子特性測定装置であって、
前記被測定素子が、ＭＯＳトランジスタ素子、配線対、バイポーラトランジスタのいずれかであるときに、前記第１の状態は、それぞれ、ＭＯＳゲート酸化膜のゲートリーク評価、配線間リーク評価、バイポーラトランジスタの電気特性評価の測定を選択するものであり、前記第２の状態は、それぞれ、ＭＯＳゲート酸化膜の膜厚評価、配線間容量評価、バイポーラトランジスタのジャンクション容量評価の測定を選択するものである請求項１ないし３のいずれかに記載の接続装置。
【請求項７】
前記第１の測定手段と前記第２の測定手段とを備えている測定器と、請求項１に記載の接続装置とを中継するためのケーブルアセンブリであって、
前記測定器は、前記第１測定手段コネクタと、前記第２測定手段コネクタとが第１の配列に配置されているものであり、
前記接続装置は、前記第１のコネクタと前記第２のコネクタとが第２の配列に配置されているものであり、
前記第１測定手段コネクタと前記第２測定手段コネクタとにそれぞれ直接接続することができるよう前記第１の配列に応じてそれぞれが配置されている複数の第３のコネクタと複数の第４のコネクタとを有する第１のコネクターアセンブリと、
前記接続装置にある前記第１のコネクタと前記第２のコネクタとにそれぞれ直接接続することができるよう前記第２の配列に応じてそれぞれが配置されている複数の第５のコネクタと複数の第６のコネクタとを有する第２のコネクターアセンブリと、
前記第３のコネクタのそれぞれを前記第５のコネクタの対応するそれぞれに電気的に接続する第１の導線群と、前記第４のコネクタのそれぞれを前記第６のコネクタの対応するそれぞれに電気的に接続する第２の導線群とを含み、前記第１のコネクターアセンブリと前記第２のコネクターアセンブリとを中継する複数の導線ケーブルと
を含むケーブルアセンブリ。
【請求項８】
前記第１のコネクターアセンブリは、第１の制御信号中継コネクタをさらに有しており、
前記第２のコネクターアセンブリは、第２の制御信号中継コネクタをさらに有しており、
前記測定器は、前記制御手段の制御信号出力コネクタをさらに有して、前記第１の配列に該制御信号出力コネクタが含まれており、
前記接続装置は、前記制御信号コネクタをさらに有して、前記第２の配列に該制御信号コネクタが含まれており、
前記第１のコネクターアセンブリは、前記第１測定手段コネクタと前記第２測定手段コネクタと前記制御信号出力コネクタとにそれぞれ直接接続することができるよう前記第１の配列に応じてそれぞれが配置された前記第３のコネクタと前記第４のコネクタと前記第１の制御信号中継コネクタとを有しており、
前記第２のコネクターアセンブリは、前記第１のコネクタと前記第２のコネクタと前記制御信号コネクタとにそれぞれ直接接続することができるよう前記第２の配列に応じてそれぞれが配置された前記第５のコネクタと前記第６のコネクタと前記第２の制御信号中継コネクタとを有しており、
前記複数の導線ケーブルは、前記第１の制御信号中継コネクタと前記第２の制御信号中継コネクタとを電気的に接続する第３の導線群をさらに含むものである請求項６に記載のケーブルアセンブリ。
【請求項９】
前記切替手段は筐体をさらに備え、
前記複数の第２のコネクタは、前記筐体から電気的に絶縁されている請求項２に記載の接続装置。
【請求項１０】
前記制御手段からガード切替信号を受信し、前記ガード切替手段に該ガード切替信号を送信する、ガード切替信号のための第７のコネクタをさらに備えた請求項２に記載の接続装置。
【請求項１１】
前記第１の測定手段は電圧電流特性測定装置であり、前記第２の測定手段は電気容量測定装置であり、前記ガード切替手段は、前記第１の測定手段が前記被測定素子に接続されたときに開かれ、前記第２の測定手段が前記被測定素子に接続されたときに閉じられることを特徴とする請求項１０に記載の接続装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
このようにケーブルアセンブリを構成することにより、制御信号も測定用の配線と一体に伝達することが可能になり、さらに簡便に接続を行なうことができる。
また、本発明においては、半導体素子である被測定素子に接続され、制御手段からの切替信号を受けるようになされた切替手段であって、前記接続は第1のガードと第2のガードを含む切替手段と、前記制御手段からの切替信号を受けて前記切替手段に伝える制御信号コネクタと、前記切替手段に接続され、前記被測定素子の第１の電気特性を測定する第１の測定手段が有する複数の第１測定手段コネクタに接続するようにされた複数の第１のコネクタと、前記切替手段に接続され、前記被測定素子の第２の電気特性を測定する第２の測定手段が有する複数の第２測定手段コネクタに接続するようにされた複数の第２のコネクタと、前記被測定素子の近傍に設けた前記第１のガードに接続される第１の端子と、前記被測定素子の近傍に設けた前記第２のガードに接続される第２の端子を備えたガード切替手段とを備え、前記第１の測定手段と前記第２の測定手段は、互いに異なる配線構成により前記被測定素子と接続されるものであり、前記切替手段は、前記制御信号コネクタを介した前記制御手段からの前記切替信号に基づいて、前記被測定素子が、それぞれの測定手段に用いる配線構成に応じて、前記第１のコネクタまたは前記第２のコネクタのいずれと電気的に接続されるかを定めるものである半導体素子特性測定装置に用いる接続装置が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
コネクタ４２６０および４２６２のガード導体は互いに接続され、スイッチ４２５８Ａを経て、コネクタ４２０２および４２０３のガード導体と接続される。