(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス素子等の表示装置に使用され、絶縁性基板の同一面側にアクリル樹脂膜である有機絶縁膜と無機絶縁膜の両方の上にＩＴＯ膜が形成された電極基板の作製方法であって、
絶縁性基板の同一面側にアクリル樹脂膜が形成された表示領域と無機絶縁膜が形成された周辺領域とを形成する工程と、
次いで、該表示領域および該周辺領域にプラズマ処理を行い、前記アクリル樹脂膜を、該アクリル樹脂膜上に形成されるＩＴＯ膜の結晶粒径が成膜後に２０ｎｍ以上５０ｎｍ以下になるように所定の表面粗さとする工程と、
その後に、前記表示領域および前記周辺領域上に、該表示領域の前記アクリル樹脂膜および該周辺領域の前記無機絶縁膜に接してＩＴＯ膜を、結晶粒径が２０ｎｍ以上５０ｎｍ以下に形成するＩＴＯ膜形成工程と、
前記表示領域の前記アクリル樹脂膜および前記周辺領域の前記無機絶縁膜に接して形成された前記ＩＴＯ膜を同時にウェットエッチングする工程と、
を包含する電極基板の作製方法。
【請求項２】
前記ＩＴＯ膜形成工程において、前記表示領域の前記アクリル樹脂膜に接する前記ＩＴＯ膜の結晶粒径が２０ｎｍ以上４０ｎｍ以下とされる、請求項１に記載の電極基板の作製方法。
【請求項３】
請求項１に記載の電極基板の作製方法によって作成されていることを特徴とする電極基板。
【請求項４】
前記表示領域の前記アクリル樹脂膜に接する前記ＩＴＯ膜の結晶粒径は、２０ｎｍ以上４０ｎｍ以下である、請求項３に記載の電極基板。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電極基板および電極基板の作製方法に関する。さらに詳しくは、無機絶縁膜からなる無機絶縁膜領域および有機絶縁膜からなる有機絶縁膜領域の両方に接する透明導電膜が形成される電極基板および電極基板の作製方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）を含む透明導電膜は、光を透過させ，且つ、光を制御する電極として利用可能である。そのような特性を有する透明導電膜を使用した電極基板は、エレクトロルミネセンス表示装置などの表示装置だけでなくタッチパネル、太陽電池などの用途への実用化が進められている。
【０００３】
有機絶縁膜および無機絶縁膜の両方の上に透明導電膜を形成した電極基板を使用した表示装置として液晶表示装置が挙げられる。液晶表示装置は、ＣＲＴに替わるフラットパネルディスプレイの一つとして盛んに研究が行われており、とくに消費電力が小さく、薄型であるという特徴を活かして、電池駆動の超小型テレビやノートブック型のパーソナルコンピュータの表示装置としてすでに実用化されている。ここでは、有機絶縁膜および無機絶縁膜の両方の上に透明導電膜を形成した電極基板を使用した表示装置としての具体例として液晶表示装置を説明する。
【０００４】
図１は液晶表示装置１００の基本的な構成を模式的に示す。液晶表示装置１００は、薄膜トランジスタ（以下ＴＦＴと記す）をスイッチング素子に用いたアクティブマトリクス型ＴＦＴアレイタイプであり、これは高表示品質が望まれる場合に有利である。
【０００５】
図１に示されるように液晶表示装置１００は、上側基板１０２と下側基板（電極基板）１０１との間に液晶層（図示せず）が設けられており、液晶層が上側基板１０２上の上側電極１０４と下側基板１０１上の複数の画素電極１０３とにより制御されるようになっている。下側基板１０１において、複数の画素電極１０３のそれぞれはスイッチング素子（ＴＦＴ）１０８を介してソース配線１０５に接続され、ＴＦＴ１０８のゲートはゲート配線１０６にそれぞれ接続されている。
【０００６】
図２は液晶表示装置の下側基板１０１（電極基板）の上面図を示す。ここで、液晶表示装置として、透過型アクティブマトリクスの液晶表示装置を想定している。ただし、液晶表示装置は、透過型に限定されず、透過／反射両用型液晶表示装置の透過領域も同様に考えることができる。
【０００７】
電極基板１０１は、絶縁性基板２０とその上に形成される構成要素全体を指す。電極基板１０１は、表示領域１５０および周辺領域１６０の２つの領域に分けられる。図２において、表示領域１５０を斜線で示す。表示領域１５０では、複数の画素電極１０３および複数の各画素電極１０３を制御する複数のＴＦＴ１０８が設けられる。画素電極１０３は透明導電膜により形成される。電極基板１０１を透過型液晶表示装置に使用する場合、絶縁性基板２０の少なくとも一部を透明材料で形成し、表示側の反対側からの光（一般に光源）を利用して表示を行うために電極を透明導電膜により形成することで、光の透過および制御を行う。
【０００８】
一方、周辺領域１６０には、複数のゲート接続端子部１１０、複数のソース接続端子部１２０、複数のコモン接続端子部１３０が設けられる。各ゲート接続端子部１１０、ソース接続端子部１２０、コモン接続端子部１３０にそれぞれ対応するゲート配線１０５、ソース配線１０６、コモン配線１０７が、周辺領域１６０から表示領域１５０にわたって形成されている。本明細書において、ゲート接続端子部１１０、ソース接続端子部１２０、コモン接続端子部１３０を総称して、周辺端子部と名付ける。
【０００９】
図３は、電極基板１０１の表示領域１５０を拡大した上面図を示す。図３において、破線で囲まれる領域が１つの画素電極１０３に相当する。各ゲート配線１０５と各コモン配線１０７とはそれぞれ平行に設けられ、各ゲート配線１０５および各コモン配線１０７とそれぞれ直交するように複数のソース配線１０６がそれぞれ設けられている。図３に示されるように、各ゲート配線１０５と各ソース配線１０６とのそれぞれの交差部では、各ゲート配線１０５およびソース配線１０６は、スイッチング素子であるＴＦＴ１０８のゲート電極またはソース電極と少なくとも接続するように分岐されている。ＴＦＴ１０８のドレイン電極に接続される接続電極４８はコモン配線１０７と一部が重なるように設けられ、さらに、接続電極４８とコモン配線１０７とが重なる領域の一部にコンタクトホール５０が設けられる。
【００１０】
図４は、図３のＡ−Ａ’線に沿った電極基板１０１の表示領域１５０の断面図を示す。図４において、左側（Ａ側）にＴＦＴ１０８、右側（Ａ’側）にコンタクトホール５０が示される。ここで、図４のＡ側をＴＦＴ部、Ａ’側をコンタクトホール部とよぶ。
【００１１】
ＴＦＴ部において、絶縁性基板２０上にゲート配線１０５の分岐部分が形成され、ゲート絶縁膜４４がそれらを覆うように設けられている。ゲート絶縁膜４４としてはシリコンナイトライド（ＳｉＮx）が使用され得る。ゲート絶縁膜４４上にアモルファス半導体層４５が形成され、アモルファス半導体層４５の左側上方にソース電極４６ａ、アモルファス半導体層４５の右側上方にドレイン電極４６ｂが形成される。ソース電極４６ａはソース配線１０６と接続され、ドレイン電極４６ｂは接続電極４８と接続されている。このように形成されたＴＦＴ１０８は透明材料からなる有機絶縁膜４９で覆われ、平坦化された有機絶縁膜４９は透明導電膜からなる画素電極１０３で覆われている。
【００１２】
コンタクト部において、絶縁性基板２０上にコモン配線１０７が形成され、ゲート絶縁膜４４がそれらを覆うように設けられている。ゲート絶縁膜４４は接続電極４８で覆われている。コンタクトホール部において、接続電極４８上に有機絶縁膜４９が形成され、有機絶縁膜４９は画素電極１０３で覆われている。ただし、接続電極４８と画素電極１０３とが直接的に接続するコンタクトホール５０が設けられている。
【００１３】
電極基板１０１の表示領域１５０を上述したように形成することで、主に２つの利点により高開口率が得られる。第１の理由は、表面が平坦化された有機絶縁膜４９上に画素電極１０３が形成されるので、画素電極１０３の段差部分により生じていた液晶層内の液晶分子（図示せず）の配向乱れによる表示不良（ドメイン現象）を無くすことができ、液晶層内の表示有効面積を増やすことができるためである。第２の理由は、０．３μｍから２μｍの比較的膜厚の厚い有機絶縁膜４９を形成して、その上に画素電極１０３を形成することによって、有機絶縁膜１０３の基板側にあるゲート配線１０５・ソース配線１０６と上面側（表示側）にある画素電極１０３との間の電気的短絡を生じることがないためである。したがって、表示を目視する側から見た場合、ゲート配線１０５・ソース配線１０６などの配線にオーバーラップさせるような広い面積で画素電極１０３を形成することが可能となる。
【００１４】
一方、周辺端子部では、実装部材との接続不良などを生じるリワーク時の信頼性が欠けるため、一般的に、電極となる無機絶縁膜上に透明導電膜が形成される。透明導電膜の形成は、周辺端子部の電極が酸化し、その結果、電極が高抵抗化することを防ぐ。周辺端子部の電極材料を有機絶縁膜上に形成することも考えられるが、有機絶縁膜の上に透明導電膜を形成することは、信頼性の観点から好ましいものではない。
【００１５】
透明導電膜の成膜後のエッチングは、一般にウエットエッチングを行う。なぜなら、ドライエッチングを行うと有機絶縁膜が変質し、絶縁性が脆化してしまうからである。また、電極基板を液晶表示装置に適用する場合、ドライエッチングに起因して液晶層が汚染され、表示品位の劣化が引き起こされる可能性がある。したがって、本明細書において、特に言及しない限り「エッチング」はウエットエッチングを意味する。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上述したように有機絶縁膜および無機絶縁膜の両方の上に形成された透明導電膜をエッチングする場合、同時にエッチングすることができるように考えられるが、実際には両者のエッチングシフトは異なる。本明細書において、エッチングシフトとは、エッチングによって除去される膜の長さを意味する。また、単位時間あたりのエッチングシフトを「エッチングレート」と規定する。有機絶縁膜上の透明導電膜と無機絶縁膜上の透明導電膜とを実質的に同じサイズで設計して、同じようなエッチングを行う場合、エッチングシフトが異なることにより、両者の透明導電膜の大きさにずれが生じる。すなわち、エッチングレートが異なる。したがって、透明導電膜をエッチングした際に、図５に示すように、一方の透明導電膜の設計寸法と仕上寸法との間に差が生じてしまう。したがって、有機絶縁膜上の透明導電膜と無機絶縁膜上の透明導電膜は、同時にエッチングすることができない。
【００１７】
ここで、図６を参照して、図２に示す液晶表示装置の電極基板の作製方法を説明する。図６は、工程（ａ）〜（ｇ）によりＴＦＴ部の画素電極１０３、ゲート接続端子部１１０・コモン接続端子部１３０、ソース接続端子部１２０（図２参照）を形成する方法を示す。図６では、ＴＦＴ部の画素電極１０３の形成工程を示すが、画素電極１０３の形成工程はＴＦＴ部に特に限定されるものではなく、表示領域１５０内の画素電極１０３は同じように形成されると考えられる。
【００１８】
工程（ａ）において、透明導電膜１５５（例えばＩＴＯ）を、ＴＦＴ部および周辺領域１６０（図２参照）の周辺端子部に同時に成膜する。
【００１９】
ＴＦＴ部の画素電極１０３となる透明導電膜１５５は、平坦に形成された有機絶縁膜４９上に形成される。
【００２０】
ゲート・コモン接続端子部１１０、１３０では、絶縁性基板２０上にゲート配線１０５またはコモン配線１０７を形成し、ゲート配線１０５またはコモン配線１０７の上の中央部を除去した状態で、無機絶縁膜１４４が形成される。ゲート配線１０５またはコモン配線１０７の上の中央部は電極１５４が設けられている。電極１５４上には、安定した接続抵抗をもつ透明電極１５７となる透明導電膜１５５を成膜する。
【００２１】
ソース接続端子部１２０では、絶縁性基板２０を覆うように無機絶縁膜１４４を形成し、無機絶縁膜１４４上にソース配線１０６を設けて，それらを覆うように、透明電極１５７となる透明導電膜１５５を成膜する。
【００２２】
工程（ｂ）において、周辺端子部のフォトレジストパターニングを行う。周辺端子部において、透明導電膜１５５を残す部分（すなわち、透明電極１５７を形成する部分）上に第１のレジスト１６５を形成する。第１のレジスト１６５は、例えば、東京応化製のノボラック樹脂のポジ型レジストを用いる。工程（ｂ）の際、ＴＦＴ部の透明導電膜１５５上全面に第１のレジスト１６５を形成する。
【００２３】
工程（ｃ）において、ウエットエッチングを行い、周辺端子部の不必要な透明導電膜１５５を除去する。
【００２４】
工程（ｄ）において、第１のレジスト１６５を剥離する。この時、周辺端子部において透明導電膜１５５よりなる透明電極１５７が形成される一方で、ＴＦＴ部の透明導電膜１５５は全面に形成されたままである。
【００２５】
工程（ｅ）において、画素電極１０３のフォトレジストパターニングを行う。透明導電膜１５５を残す部分（すなわち、画素電極１０３となる部分）上に第２のレジスト１６７を形成する。第２のレジスト１６７は、例えば、東京応化製のノボラック樹脂のポジ型レジストを用いる。工程（ｅ）の際、周辺端子部全面に第２のレジスト１６７を形成する。
【００２６】
工程（ｆ）において、ウエットエッチングを行い、ＴＦＴ部の不必要な透明導電膜１５５を除去する。
【００２７】
工程（ｇ）において、第２のレジスト１６７を剥離することで、画素電極１０３が形成される。
【００２８】
このように、電極基板１０１は形成されるが、上述したように、無機絶縁膜１４４上の透明導電膜１５５のエッチング（図６の（ｃ））と有機絶縁膜４９上の透明導電膜１５５のエッチング（図６の（ｆ））とは、それぞれエッチングレートが異なるため別々に行う必要がある。
【００２９】
本発明は、このような現状に鑑みてなされたものであり、その目的は、有機絶縁膜上に形成された透明導電膜と無機絶縁膜上に形成される透明導電膜を同時に精度良くエッチングすることができる、電極基板および電極基板の作製方法を提供することである。
【００３０】
【課題を解決するための手段】
本発明の電極基板の作製方法は、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス素子等の表示装置に使用され、絶縁性基板の同一面側にアクリル樹脂膜である有機絶縁膜と無機絶縁膜の両方の上にＩＴＯ膜が形成された電極基板の作製方法であって、絶縁性基板の同一面側にアクリル樹脂膜が形成された表示領域と無機絶縁膜が形成された周辺領域とを形成する工程と、次いで、該表示領域および該周辺領域にプラズマ処理を行い、前記アクリル樹脂膜を、該アクリル樹脂膜上に形成されるＩＴＯ膜の結晶粒径が成膜後に２０ｎｍ以上５０ｎｍ以下になるように所定の表面粗さとする工程と、
その後に、前記表示領域および前記周辺領域上に、該表示領域の前記アクリル樹脂膜および該周辺領域の前記無機絶縁膜に接してＩＴＯ膜を、結晶粒径が２０ｎｍ以上５０ｎｍ以下に形成するＩＴＯ膜形成工程と、前記表示領域の前記アクリル樹脂膜および前記周辺領域の前記無機絶縁膜に接して形成された前記ＩＴＯ膜を同時にウェットエッチングする工程とを包含する。
【００３１】
前記ＩＴＯ膜形成工程において、前記表示領域の前記アクリル樹脂膜に接する前記ＩＴＯ膜の結晶粒径が２０ｎｍ以上４０ｎｍ以下とされる。
【００３３】
本発明の電極基板は、請求項１に記載の電極基板の作製方法によって作成されていることを特徴とする。
【００３５】
前記表示領域の前記アクリル樹脂膜に接する前記ＩＴＯ膜の結晶粒径は、２０ｎｍ以上４０ｎｍ以下である。
【００３６】
【発明の実施の形態】
本願発明者らは、上記の課題を解決するために、すなわち、無機絶縁膜からなる無機絶縁膜領域に接する透明導電膜と、有機絶縁膜からなる有機絶縁膜領域に接する透明導電膜のエッチングレートを同程度にするために、透明導電膜の結晶粒径の制御を行えばよいことを見出した。
【００３７】
尚、ここでいう有機絶縁膜領域とは、透明導電膜に接する層または膜として、例えば、図１０に示される有機絶縁膜４９、図１１に示される有機絶縁膜１４４９が形成された領域、または、図１２に示されるプラスチック基板１４２０において、無機絶縁膜が形成されていない領域を示す。また、無機絶縁膜領域とは、透明導電膜に接する層または膜として、図１０に示される無機絶縁膜１４４、図１１または図１２に示される無機絶縁膜１４４４が形成された領域を示す。
【００３８】
図７は、透明導電膜をウエットエッチングする時間（分）とエッチングシフト（μｍ）との関係を示すグラフである。図７のグラフにおいて、有機絶縁膜上の透明導電膜の結晶粒径が約４０ｎｍの場合の結果を●、およびその線形補間を太線で示す。また、無機絶縁膜上の透明導電膜の結果を■、およびその線形補間を細線で示す。ここで、有機絶縁膜としてアクリル樹脂、透明導電膜としてＩＴＯ、無機絶縁膜としてＳｉＮxを使用した。図７のグラフに示されるように、エッチング時間が３〜５分の場合、有機絶縁膜上の透明導電膜のエッチングシフトは、１．５μｍより小さく、無機絶縁膜上の透明導電膜のエッチングシフトは１．０μｍより小さい。したがって、有機絶縁膜上の透明導電膜のエッチングシフトと無機絶縁膜上の透明導電膜のエッチングシフトとの差が比較的小さいため、所定のエッチング時間で有機絶縁膜上の透明導電膜と無機絶縁膜上の透明導電膜とを同時にエッチングすることが可能である。
【００３９】
図７のグラフでは、有機絶縁膜上の透明導電膜の結晶粒径は約４０ｎｍの場合を示したが、有機絶縁膜上の透明導電膜の結晶粒径が２０ｎｍ以上５０ｎｍ以下の範囲であれば、同様に、有機絶縁膜上の透明導電膜と無機絶縁膜上の透明導電膜とのエッチングシフトの差は小さく、両者を同時にエッチングすることができる。
【００４０】
比較のために、有機絶縁膜上の透明導電膜の結晶粒径が約１００ｎｍの場合の透明導電膜をウエットエッチングする時間（分）とエッチングシフト（μｍ）との関係を示すグラフを図８に示す。図８に示されるように、無機絶縁膜上の透明導電膜の結晶は、有機絶縁膜上の透明導電膜のエッチングシフトは、エッチング時間が３分〜５分の場合、２．０μｍ以上であり、無機絶縁膜上の透明導電膜のエッチングシフトと比べて大きく、その差も大きい。したがって、両者を同時にエッチングすることは困難である。
【００４１】
なお、図７および図８に示されるグラフは、有機絶縁膜が形成される有機絶縁膜領域の透明導電膜の結晶粒径を調整するための処理を、無機絶縁膜が形成される無機絶縁膜領域に対しても同様に行った結果を示している。図７および図８のグラフの比較から理解されるように、無機絶縁膜上の透明導電膜のエッチングシフトは、有機絶縁膜上の透明導電膜の結晶粒径を制御するための処理を行ってもほぼ一定である。一般に無機絶縁膜上の透明導電膜の結晶粒径は透明導電膜の成膜条件によってほぼ決定される。
【００４２】
有機絶縁膜上の透明導電膜の結晶粒径は、例えば、有機絶縁膜上に透明導電膜を成膜する前にプラズマ処理を行うことによって制御され得る。有機絶縁膜上の透明導電膜を成膜する前に酸素プラズマ処理またはＣＦ4プラズマ処理を長時間行うと、有機絶縁膜表面が荒れるため、その上に形成される透明導電膜の結晶粒径が大きくなる傾向がある。また、透明導電膜の成膜前にＡｒプラズマ処理を行うと有機絶縁膜の表面粗さが緩和されるため、その上に形成される透明導電膜の結晶粒径が小さくなる傾向がある。
【００４３】
図９は、有機絶縁膜上の透明導電膜のウエットエッチング時間とエッチングシフトとの関係を示すグラフである。有機絶縁膜としてアクリル樹脂、透明導電膜としてＩＴＯを使用し、ウエットエッチング時間は３．０分とした。図９に示されるように、有機絶縁膜上の透明導電膜の結晶粒径が２０ｎｍ以上５０ｎｍ以下であれば、エッチングシフトは１．０μｍ以下であり、無機絶縁膜上の透明導電膜のエッチングシフト（約０．２μｍ、図７参照）との差が小さいため、所定のエッチング時間で同時エッチングができる。有機絶縁膜上の透明導電膜の結晶粒径が２０ｎｍ以上４０ｎｍ以下であれば、さらにエッチングシフトが小さいため、有機絶縁膜上の透明導電膜の制御性は改善される。また、発明者らは、有機絶縁膜上の透明導電膜表面の結晶粒径が６０ｎｍ以上の場合、図８に示されるようにエッチングシフトは大きく増大し、有機絶縁膜上の透明導電膜と無機絶縁膜上の透明導電膜とのエッチングレートが大きく異なるため、同時エッチングパターニングができなくなることを確認している。
【００４４】
本発明による電極基板の適用例として液晶表示装置を、従来技術の電極基板を適用した液晶表示装置と対比して説明する。ただし、液晶表示装置は、単なる例示にすぎず、本発明は有機絶縁膜および無機絶縁膜の両方の上に透明導電膜を形成した電極基板であればどのような形態であっても適用できる。例えば、エレクトロルミネッセンス素子において、発光領域内では有機絶縁体からなる基板上に陽極として透明導電膜を形成し、他方、端子領域においては無機絶縁体上に透明導電膜を形成するような場合にも本発明を適用することができる。
【００４５】
本発明による電極基板を作製する方法を示す図１０は、従来の電極基板の形成方法を説明する図６に対応する。
【００４６】
具体的には、図１０の工程（ａ）において、表示領域１５０内の有機絶縁膜４９上、ならびに周辺領域１６０の無機絶縁膜１４４上に透明導電膜１５５を成膜する。プラズマ処理を行う場合、透明導電膜１５５を形成する前に、有機絶縁膜４９および、有機絶縁膜４９と無機絶縁膜１４４の両方に適切なプラズマ処理を行い、すくなくとも有機絶縁膜４９上の透明導電膜１５５の結晶粒径を２０ｎｍ以上５０ｎｍ以下にする。プラズマ処理は、例えば、Ａｒガス２９０ｓｃｃｍ、１．７Ｐａの雰囲気で、ＲＦ  ｐｏｗｅｒ１．０ｋｗにて３０秒行われる。
【００４７】
工程（ｂ）において、画素電極および周辺端子部のフォトレジストパターニングを行う。周辺端子部において、透明導電膜１５５を残す部分（すなわち、画素電極１０３または透明電極１５７を形成する部分）上にレジスト１６９を形成する。レジスト１６９は、例えば、東京応化製のノボラック樹脂のポジ型レジストを用いる。
【００４８】
工程（ｃ）において、ウエットエッチングを行い、画素電極および周辺端子部の不必要な透明導電膜１５５を除去する。ウエットエッチングは、例えば４０℃の第２塩化鉄をウエットエッチング液として、１８０秒間行う。エッチング液としては、液温４０℃のＦｅＣｌ3とＨＣｌの混合液が使用される。
【００４９】
工程（ｄ）において、レジスト１６９を剥離する。この時、周辺端子部において透明導電膜１５５よりなる透明電極１５７が形成され、表示領域１５０内において画素電極１０３が形成される。
【００５０】
すなわち、本発明により、図６に示す工程（ｂ）〜（ｄ）と（ｅ）〜（ｇ）とを同時に行うことができる。したがって、製造プロセスが短縮され、その結果、製造コストを下げ、また、製造現場の生産能力を向上させることができる。さらに、フォトレジストパターニング工程が減少するため、パターン不良による歩留まり低下を回避することができ、また、レジストおよび剥離液の使用量が減少する。さらに、有機絶縁膜を剥離液に晒す回数が減少するため、有機絶縁膜の膨潤を少なくすることができ、その結果、パネルの品質信頼性が向上する。
【００５１】
また、一般に透明導電膜の結晶粒径が２０ｎｍ以上５０ｎｍ以下である場合、透明導電膜は電極として機能するのに好適な電気抵抗を有する。しかし、逆に透明導電膜の結晶粒径が２０ｎｍより小さい場合、透明導電膜の粒径が小さすぎて電気抵抗が高くなり、その結果、電極として有効に機能しなくなる。また、このように透明導電膜の抵抗が大きい電極基板を液晶表示装置に適用すると、表示領域の画素電極、および、周辺領域のゲート接続端子部、コモン接続端子部、ソース接続端子部の電気抵抗が増加する。とくに、周辺領域のゲート接続端子部、コモン接続端子部、ソース接続端子部の電気抵抗の増加は、高精細・大型液晶表示装置を製造する際に望ましくない。
【００５２】
図１１の工程（ａ）〜（ｅ）を参照して本発明の概略を模式的に説明する。
【００５３】
工程（ａ）において、絶縁性基板１４２０上に、無機絶縁膜１４４４を形成する。絶縁性基板１４２０として、透明ガラスのほかにプラスチック基板を使用できる。プラスチック基板の材料としてポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリアクリレート、ポリエチレンなどが使用される。無機絶縁膜１４４４としては、例えば、ＳｉＯ2、ＳｉＮxまたはＴａＯ2を使用し、５００〜５０００Åの厚さで形成する。
【００５４】
工程（ｂ）において、絶縁性基板１４２０上の別の領域に有機絶縁膜１４４９を形成する。有機絶縁膜１４４９としては、例えば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネートなどを使用し、１００Å〜１ｍｍの厚さで形成する。
【００５５】
プラズマ処理によって、後に形成される透明導電膜１４５５の結晶粒径の制御を行う場合、プラズマ処理のガスとして、Ａｒ、ＣＦ4または酸素を使用して、少なくとも有機絶縁膜１４４９表面をプラズマ処理する。
【００５６】
工程（ｃ）において、透明導電膜１４５５をスパッタなどで、絶縁性基板１４２０、無機絶縁膜１４４４、有機絶縁膜１４４９を覆うように成膜する。透明導電膜１４５５として、ＩＴＯを使用してもよい。透明導電膜１４５５は、厚さ５００〜３０００Åで形成する。上述のプラズマ処理を行った場合、少なくとも有機絶縁膜１４４９透明導電膜１４５５の結晶粒径は、２０ｎｍ以上５０ｎｍ以下である。
【００５７】
工程（ｄ）において、フォトレジスト１４６５をパターニングした後、ウエットエッチングを行い、透明導電膜１４５５のパターニングを行う。フォトレジスト１４６５はノボラック樹脂を使用してもよく、ウエットエッチングのエッチング液として、ＦｅＣｌ3とＨＣｌの混合液またはＨＢｒを使用してもよい。
【００５８】
工程（ｅ）において、無機絶縁膜１４４４、有機絶縁膜１４４９上に所望の形状の透明導電膜１４５５が形成され、電極基板１７００が完成する。この時、無機絶縁膜１４４４上の透明導電膜１４５５と有機絶縁膜１４４９上の透明導電膜１４５５とのエッチングシフトの差は、２μｍ以下であることが望ましいが、これに限定されない。
【００５９】
無機絶縁膜１４４４、有機絶縁膜１４４９の成膜方法は、材料によって適切に選択される。具体的な方法としては、凸版印刷、スクリーン印刷、スピンコータなどがある。また、成膜後、さらに熱処理または紫外線照射を行ってもよい。
【００６０】
このように形成された透明導電膜１４５５と無機絶縁膜１４４４の密着性ならびに透明導電膜１４５５と有機絶縁膜１４４９との密着性は、ピールテストの結果、良好であることがわかった。
【００６１】
上述の説明では、絶縁性基板１４２０上に無機絶縁膜１４４４および有機絶縁膜１４４９を形成する電極基板１７００を示した。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、図１８に示すように、絶縁性基板１４２０としてプラスチック基板を使用し、その一部の領域に無機絶縁膜１４４４を形成し、無機絶縁膜１４４４とプラスチック基板１４２０上の一部に透明導電膜１４５５を形成する電極基板１８００も範囲に含む。このような電極基板１８００は、無機絶縁膜１４４４上にスイッチング素子等を含む集積回路を組み込み、透明導電膜１４５５は制御を行う電極だけでなく配線としても利用可能である。
【００６２】
【発明の効果】
本発明によれば、透明導電膜の結晶粒径の制御を行うことにより、有機絶縁膜領域に接するように形成された透明導電膜と無機絶縁膜領域に接するように形成された透明導電膜を同時にエッチング処理でき、工程の短縮が可能となる。これにより、電極基板の製造コストを低減することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】液晶表示装置の構成を模式図である。
【図２】電極基板の上面図である。
【図３】図２の電極基板の表示領域の拡大図である。
【図４】図３のＡ−Ａ’線に沿った断面図である。
【図５】設計寸法と仕上寸法との差をあらわす図である。
【図６】従来の電極基板の作製方法を説明する図である。
【図７】有機絶縁膜上の透明導電膜の結晶粒径が約４０ｎｍの場合のエッチング時間とエッチングシフトとの関係を示すグラフである
【図８】有機絶縁膜上の透明導電膜の結晶粒径が約１００ｎｍの場合のエッチング時間とエッチングシフトとの関係を示すグラフである。
【図９】有機絶縁膜上の透明導電膜の結晶粒径とエッチングシフトとの関係を示すグラフである。
【図１０】本発明による電極基板の作製方法を説明する図である。
【図１１】本発明の電極基板作製の概略を説明する図である。
【図１２】本発明の別の実施形態による電極基板を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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