【手続補正書】
【提出日】平成20年2月22日(2008.2.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器の製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】屈曲モードで振動する水晶振動子の製造方法で、
水晶ウエハを準備する工程と、
その水晶ウエハの上面と下面に金属膜を形成する工程と、
前記金属膜の上にレジストを塗布する工程と、
音叉形状の金属膜とレジストを残して前記金属膜と前記レジストを除去する工程と、
第１のエッチング加工により、音叉基部と前記音叉基部に接続された音叉腕とを備えた音叉形状を形成する工程と、
第１のエッチング加工と異なる第２のエッチング加工により、前記音叉腕の対抗する上下面の各面に溝を形成する工程と、
前記音叉腕の一方の音叉腕の上下面の溝と前記音叉腕の他方の音叉腕の側面にそれぞれ第１電極と第２電極を配置し、かつ、第１電極と第２電極とが接続され、前記一方の音叉腕の側面と前記他方の音叉腕の上下面の溝にそれぞれ第３電極と第４電極を配置し、かつ、第３電極と第４電極とが接続されると共に、第１電極から第４電極を有する音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数が、３２．７６８ｋＨｚより高く形成され、第１電極と第２電極の電気的極性と第３電極と第４電極の電気的極性とが異極性となる第１電極から第４電極を配置する工程と、
前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数が、３２．７６８ｋＨｚより低くなるように、前記音叉腕に重りを形成する工程と、を備えていることを特徴とする水晶振動子の製造方法。
【請求項２】前記工程の順に行われることを特徴とする請求項１に記載の水晶振動子の製造方法。
【請求項３】前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数が、３２．７６８ｋＨｚより低くなるように、前記音叉腕に重りを形成する工程の後に、前記音叉腕に形成された前記重りを除去して、前記発振周波数を調整する工程を備えていて、前記重りを除去して調整された前記発振周波数が、３２．２ｋＨｚ〜３３．０８ｋＨｚの範囲内にあるように水晶ウエハ内で調整されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の水晶振動子の製造方法。
【請求項４】水晶振動子と、その水晶振動子を収納するケースと、そのケースに接続される蓋とを備えて構成される水晶ユニットの製造方法で、
水晶ウエハを準備する工程と、
その水晶ウエハの上面と下面に金属膜を形成する工程と、
前記金属膜の上にレジストを塗布する工程と、
音叉形状の金属膜とレジストを残して前記金属膜と前記レジストを除去する工程と、
第１のエッチング加工により、音叉基部と前記音叉基部に接続された音叉腕とを備えた音叉形状を形成する工程と、
第１のエッチング加工と異なる第２のエッチング加工により、前記音叉腕の対抗する上下面の各面に溝を形成する工程と、
前記音叉腕の一方の音叉腕の上下面の溝と前記音叉腕の他方の音叉腕の側面にそれぞれ第１電極と第２電極を配置し、かつ、第１電極と第２電極とが接続され、前記一方の音叉腕の側面と前記他方の音叉腕の上下面の溝にそれぞれ第３電極と第４電極を配置し、かつ、第３電極と第４電極とが接続されると共に、第１電極から第４電極を有する音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数が、３２．７６８ｋＨｚより高く形成され、第１電極と第２電極の電気的極性と第３電極と第４電極の電気的極性とが異極性となる第１電極から第４電極を配置する工程と、
前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数が、３２．７６８ｋＨｚより低くなるように、前記音叉腕に重りを形成する工程と、
前記ケースの固定部に前記音叉型屈曲水晶振動子を固定する工程と、
前記蓋を前記ケースに接続する工程と、を備えていることを特徴とする水晶ユニットの製造方法。
【請求項５】前記工程の順に行われることを特徴とする請求項４に記載の水晶ユニットの製造方法。
【請求項６】前記蓋を前記ケースに接続する工程の後に、前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数を調整する工程を備えていて、前記発振周波数が、３２．７６４ｋＨｚ〜３２．７７２ｋＨｚの範囲内にあるように調整されることを特徴とする請求項４または請求項５に記載の水晶ユニットの製造方法。
【請求項７】前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数が、３２．７６８ｋＨｚより低くなるように、前記音叉腕に重りを形成する工程の後に、かつ、前記ケースの固定部に前記音叉型屈曲水晶振動子を固定する工程の前に、前記音叉腕に形成された前記重りを除去して、前記発振周波数を調整する工程を備えていて、前記重りを除去して調整された前記発振周波数が、３２．２ｋＨｚ〜３３．０８ｋＨｚの範囲内にあるように水晶ウエハ内で調整されることを特徴とする請求項４または請求項５に記載の水晶ユニットの製造方法。
【請求項８】前記ケースの固定部に前記音叉型屈曲水晶振動子を固定する工程の後に、かつ、前記蓋を前記ケースに接続する工程の前に、前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数を調整する工程を備えていて、前記発振周波数が、３２．７６４ｋＨｚ〜３２．７７２ｋＨｚの範囲内にあるように調整されることを特徴とする請求項４または請求項５に記載の水晶ユニットの製造方法。
【請求項９】水晶振動子とその水晶振動子を収納するケースとそのケースに接続される蓋とを備えて構成される水晶ユニットと、増幅器と、コンデンサーと、抵抗と、を備えて構成される水晶発振回路を備えた水晶発振器の製造方法で、
水晶ウエハを準備する工程と、
その水晶ウエハの上面と下面に金属膜を形成する工程と、
前記金属膜の上にレジストを塗布する工程と、
音叉形状の金属膜とレジストを残して前記金属膜と前記レジストを除去する工程と、
第１のエッチング加工により、音叉基部と前記音叉基部に接続された音叉腕とを備えた音叉形状を形成する工程と、
第１のエッチング加工と異なる第２のエッチング加工により、前記音叉腕の対抗する上下面の各面に溝を形成する工程と、
前記音叉腕の一方の音叉腕の上下面の溝と前記音叉腕の他方の音叉腕の側面にそれぞれ第１電極と第２電極を配置し、かつ、第１電極と第２電極とが接続され、前記一方の音叉腕の側面と前記他方の音叉腕の上下面の溝にそれぞれ第３電極と第４電極を配置し、かつ、第３電極と第４電極とが接続されると共に、第１電極から第４電極を有する音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数が、３２．７６８ｋＨｚより高く形成され、第１電極と第２電極の電気的極性と第３電極と第４電極の電気的極性とが異極性となる第１電極から第４電極を配置する工程と、
前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数が、３２．７６８ｋＨｚより低くなるように、前記音叉腕に重りを形成する工程と、
前記ケースの固定部に前記音叉型屈曲水晶振動子を固定する工程と、
前記音叉型屈曲水晶振動子を備えた前記ケースに前記蓋を接続する工程と、
前記ケースの固定部に固定された前記音叉型屈曲水晶振動子を前記増幅器と、前記コンデンサーと、前記抵抗に電気的に接続する工程と、を備えていることを特徴とする水晶発振器の製造方法。
【請求項１０】前記工程の順になされることを特徴とする請求項９に記載の水晶発振器の製造方法。
【請求項１１】前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数が、３２．７６８ｋＨｚより低くなるように、前記音叉腕に重りを形成する工程の後に、かつ、前記ケースの固定部に前記音叉型屈曲水晶振動子を固定する工程の前に、前記音叉腕に形成された前記重りを除去して、前記発振周波数を調整する工程を備えていて、前記重りを除去して調整された前記発振周波数が、３２．２ｋＨｚ〜３３．０８ｋＨｚの範囲内にあるように水晶ウエハ内で調整されることを特徴とする請求項９または請求項１０に記載の水晶発振器の製造方法。
【請求項１２】水晶ユニットは前記音叉型屈曲水晶振動子と、前記ケースと前記蓋とを備えて構成され、水晶発振回路は前記水晶ユニットと、前記増幅器と、前記コンデンサーと、前記抵抗とを備えて構成され、前記水晶発振回路の出力となる出力周波数が、バッファ回路を介して出力され、かつ、３２．７６４ｋＨｚ〜３２．７７２ｋＨｚの範囲内にあることを特徴とする請求項９または請求項１０に記載の水晶発振器の製造方法。
【請求項１３】前記音叉型屈曲水晶振動子を備えた前記ケースに前記蓋を接続する工程の後に、かつ、前記ケースの固定部に固定された前記音叉型屈曲水晶振動子を前記増幅器と、前記コンデンサーと、前記抵抗に電気的に接続する工程の前に、前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数を調整する工程を備えていて、調整された前記発振周波数が、水晶発振回路の出力周波数で、かつ、３２．７６４ｋＨｚ〜３９．７７２ｋＨｚの範囲内にあると共に、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の容量比が、２次高調波モード振動の容量比より小さいことを特徴とする請求項９または請求項１０に記載の水晶発振器の製造方法。
【請求項１４】前記ケースの固定部に前記音叉型屈曲水晶振動子を固定する工程の後に、かつ、前記蓋を前記ケースに接続する工程の前に、前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数を調整する工程を備えていることを特徴とする請求項９または請求項１０に記載の水晶発振器の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】  すなわち、本発明の水晶振動子の製造方法の第１の態様は、屈曲モードで振動する水晶振動子の製造方法で、水晶ウエハを準備する工程と、その水晶ウエハの上面と下面に金属膜を形成する工程と、前記金属膜の上にレジストを塗布する工程と、音叉形状の金属膜とレジストを残して前記金属膜と前記レジストを除去する工程と、第１のエッチング加工により、音叉基部と前記音叉基部に接続された音叉腕とを備えた音叉形状を形成する工程と、第１のエッチング加工と異なる第２のエッチング加工により、前記音叉腕の対抗する上下面の各面に溝を形成する工程と、前記音叉腕の一方の音叉腕の上下面の溝と前記音叉腕の他方の音叉腕の側面にそれぞれ第１電極と第２電極を配置し、かつ、第１電極と第２電極とが接続され、前記一方の音叉腕の側面と前記他方の音叉腕の上下面の溝にそれぞれ第３電極と第４電極を配置し、かつ、第３電極と第４電極とが接続されると共に、第１電極から第４電極を有する音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数が、３２．７６８ｋＨｚより高く形成され、第１電極と第２電極の電気的極性と第３電極と第４電極の電気的極性とが異極性となる第１電極から第４電極を配置する工程と、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数が、３２．７６８ｋＨｚより低くなるように、前記音叉腕に重りを形成する工程と、を備えている水晶振動子の製造方法である。
本発明の水晶振動子の製造方法の第２の態様は、前記工程の順に行われる第１の態様に記載の水晶振動子の製造方法である。
本発明の水晶振動子の製造方法の第３の態様は、前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数が、３２．７６８ｋＨｚより低くなるように、前記音叉腕に重りを形成する工程の後に、前記音叉腕に形成された前記重りを除去して、前記発振周波数を調整する工程を備えていて、前記重りを除去して調整された前記発振周波数が、３２．２ｋＨｚ〜３３．０８ｋＨｚの範囲内にあるように水晶ウエハ内で調整される第１の態様または第２の態様に記載の水晶振動子の製造方法である。
本発明の水晶ユニットの製造方法の第１の態様は、水晶振動子と、その水晶振動子を収納するケースと、そのケースに接続される蓋とを備えて構成される水晶ユニットの製造方法で、水晶ウエハを準備する工程と、その水晶ウエハの上面と下面に金属膜を形成する工程と、前記金属膜の上にレジストを塗布する工程と、音叉形状の金属膜とレジストを残して前記金属膜と前記レジストを除去する工程と、第１のエッチング加工により、音叉基部と前記音叉基部に接続された音叉腕とを備えた音叉形状を形成する工程と、第１のエッチング加工と異なる第２のエッチング加工により、前記音叉腕の対抗する上下面の各面に溝を形成する工程と、前記音叉腕の一方の音叉腕の上下面の溝と前記音叉腕の他方の音叉腕の側面にそれぞれ第１電極と第２電極を配置し、かつ、第１電極と第２電極とが接続され、前記一方の音叉腕の側面と前記他方の音叉腕の上下面の溝にそれぞれ第３電極と第４電極を配置し、かつ、第３電極と第４電極とが接続されると共に、第１電極から第４電極を有する音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数が、３２．７６８ｋＨｚより高く形成され、第１電極と第２電極の電気的極性と第３電極と第４電極の電気的極性とが異極性となる第１電極から第４電極を配置する工程と、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数が、３２．７６８ｋＨｚより低くなるように、前記音叉腕に重りを形成する工程と、前記ケースの固定部に前記音叉型屈曲水晶振動子を固定する工程と、前記蓋を前記ケースに接続する工程と、を備えている水晶ユニットの製造方法である。
本発明の水晶ユニットの製造方法の第２の態様は、前記工程の順に行われる第１の態様に記載の水晶ユニットの製造方法である。
本発明の水晶ユニットの製造方法の第３の態様は、前記蓋を前記ケースに接続する工程の後に、前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数を調整する工程を備えていて、前記発振周波数が、３２．７６４ｋＨｚ〜３２．７７２ｋＨｚの範囲内にあるように調整される第１の態様または第２の態様に記載の水晶ユニットの製造方法である。
本発明の水晶ユニットの製造方法の第４の態様は、前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数が、３２．７６８ｋＨｚより低くなるように、前記音叉腕に重りを形成する工程の後に、かつ、前記ケースの固定部に前記音叉型屈曲水晶振動子を固定する工程の前に、前記音叉腕に形成された前記重りを除去して、前記発振周波数を調整する工程を備えていて、前記重りを除去して調整された前記発振周波数が、３２．２ｋＨｚ〜３３．０８ｋＨｚの範囲内にあるように水晶ウエハ内で調整される第１の態様または第２の態様に記載の水晶ユニットの製造方法である。
本発明の水晶ユニットの製造方法の第５の態様は、前記ケースの固定部に前記音叉型屈曲水晶振動子を固定する工程の後に、かつ、前記蓋を前記ケースに接続する工程の前に、前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数を調整する工程を備えていて、前記発振周波数が、３２．７６４ｋＨｚ〜３２．７７２ｋＨｚの範囲内にあるように調整される第１の態様または第２の態様に記載の水晶ユニットの製造方法である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】  本発明の水晶発振器の製造方法の第１の態様は、水晶振動子とその水晶振動子を収納するケースとそのケースに接続される蓋とを備えて構成される水晶ユニットと、増幅器と、コンデンサーと、抵抗と、を備えて構成される水晶発振回路を備えた水晶発振器の製造方法で、水晶ウエハを準備する工程と、その水晶ウエハの上面と下面に金属膜を形成する工程と、前記金属膜の上にレジストを塗布する工程と、音叉形状の金属膜とレジストを残して前記金属膜と前記レジストを除去する工程と、第１のエッチング加工により、音叉基部と前記音叉基部に接続された音叉腕とを備えた音叉形状を形成する工程と、第１のエッチング加工と異なる第２のエッチング加工により、前記音叉腕の対抗する上下面の各面に溝を形成する工程と、前記音叉腕の一方の音叉腕の上下面の溝と前記音叉腕の他方の音叉腕の側面にそれぞれ第１電極と第２電極を配置し、かつ、第１電極と第２電極とが接続され、前記一方の音叉腕の側面と前記他方の音叉腕の上下面の溝にそれぞれ第３電極と第４電極を配置し、かつ、第３電極と第４電極とが接続されると共に、第１電極から第４電極を有する音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数が、３２．７６８ｋＨｚより高く形成され、第１電極と第２電極の電気的極性と第３電極と第４電極の電気的極性とが異極性となる第１電極から第４電極を配置する工程と、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数が、３２．７６８ｋＨｚより低くなるように、前記音叉腕に重りを形成する工程と、前記ケースの固定部に前記音叉型屈曲水晶振動子を固定する工程と、前記音叉型屈曲水晶振動子を備えた前記ケースに前記蓋を接続する工程と、前記ケースの固定部に固定された前記音叉型屈曲水晶振動子を前記増幅器と、前記コンデンサーと、前記抵抗に電気的に接続する工程と、を備えている水晶発振器の製造方法である。
本発明の水晶発振器の製造方法の第２の態様は、前記工程の順になされる第１の態様に記載の水晶発振器の製造方法である。
本発明の水晶発振器の製造方法の第３の態様は、前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数が、３２．７６８ｋＨｚより低くなるように、前記音叉腕に重りを形成する工程の後に、かつ、前記ケースの固定部に前記音叉型屈曲水晶振動子を固定する工程の前に、前記音叉腕に形成された前記重りを除去して、前記発振周波数を調整する工程を備えていて、前記重りを除去して調整された前記発振周波数が、３２．２ｋＨｚ〜３３．０８ｋＨｚの範囲内にあるように水晶ウエハ内で調整される第１の態様または第２の態様に記載の水晶発振器の製造方法である。
本発明の水晶発振器の製造方法の第４の態様は、水晶ユニットは前記音叉型屈曲水晶振動子と、前記ケースと前記蓋とを備えて構成され、水晶発振回路は前記水晶ユニットと、前記増幅器と、前記コンデンサーと、前記抵抗とを備えて構成され、前記水晶発振回路の出力となる出力周波数が、バッファ回路を介して出力され、かつ、３２．７６４ｋＨｚ〜３２．７７２ｋＨｚの範囲内にある第１の態様または第２の態様に記載の水晶発振器の製造方法である。
本発明の水晶発振器の製造方法の第５の態様は、前記音叉型屈曲水晶振動子を備えた前記ケースに前記蓋を接続する工程の後に、かつ、前記ケースの固定部に固定された前記音叉型屈曲水晶振動子を前記増幅器と、前記コンデンサーと、前記抵抗に電気的に接続する工程の前に、前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数を調整する工程を備えていて、調整された前記発振周波数が、水晶発振回路の出力周波数で、かつ、３２．７６４ｋＨｚ〜３２．７７２ｋＨｚの範囲内にあると共に、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の容量比が、２次高調波モード振動の容量比より小さい第１の態様または第２の態様に記載の水晶発振器の製造方法である。
本発明の水晶発振器の製造方法の第６の態様は、前記ケースの固定部に前記音叉型屈曲水晶振動子を固定する工程の後に、かつ、前記蓋を前記ケースに接続する工程の前に、前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数を調整する工程を備えている第１の態様または第２の態様に記載の水晶発振器の製造方法である。