【手続補正書】
【提出日】平成20年3月19日(2008.3.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被処理体を保持具に搭載して熱処理炉への搬入搬出を行なうための搬送作業室に、複数の被処理体を多段に収容可能なパスボックスを介して被処理体の移載作業室を接続し、該移載作業室の外側に複数の被処理体を収容した運搬容器を載置する載置台を設置し、前記移載作業室に載置台上の運搬容器とパスボックスとの間で被処理体の移載を行なう第１の移載機構を設け、前記搬送作業室にパスボックスと保持具との間で被処理体の移載を行なう第２の移載機構を設け、前記パスボックスに熱処理後の被処理体を冷却する冷却機構を設けたことを特徴とする熱処理装置。
【請求項２】
前記パスボックスは、移載作業室側および搬送作業室側に開口した開口部をそれぞれ開閉可能に塞ぐドアを備えていることを特徴とする請求項１記載の熱処理装置。
【請求項３】
前記パスボックスは、内部が不活性ガスで置換可能に構成されていることを特徴とする請求項１または２記載の熱処理装置。
【請求項４】
前記パスボックス内には、被処理体を上下方向に所定間隔で多段に支持する棚が設けられていると共に、前記冷却機構を構成する冷却板が各被処理体の上面と下面に対向させるべく多段に配設されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の熱処理装置。
【請求項５】
複数の被処理体を収容した運搬容器から複数の被処理体を多段に収容可能なパスボックスを経由して保持具に多段に搭載し、該保持具を熱処理炉に搬入して所定の熱処理を行なう熱処理方法であって、熱処理後の被処理体を前記保持具から運搬容器に戻す過程で前記パスボックス内で冷却することを特徴とする熱処理方法。
【請求項６】
複数の被処理体を保持具に搭載して熱処理炉への搬入搬出を行なうための搬送作業室に、複数の被処理体を多段に収容可能なパスボックスを介して被処理体の移載作業室を接続し、該移載作業室の外側に複数の被処理体を収容した運搬容器を載置する載置台を設置し、前記移載作業室に載置台上の運搬容器とパスボックスとの間で被処理体の移載を行なう第１の移載機構を設け、前記搬送作業室にパスボックスと保持具との間で被処理体の移載を行なう第２の移載機構を設けたことを特徴とする熱処理装置。
【請求項７】
前記運搬容器には蓋が着脱自在に設けられ、前記載置台には前記蓋を開閉する蓋開閉機構が設けられていることを特徴とする請求項１記載の熱処理装置。
【請求項８】
前記第１の移載機構には前記載置台上の運搬容器内の被処理体の位置および数を検知する検知部が設けられていることを特徴とする請求項１記載の熱処理装置。
【請求項９】
前記移載作業室にはノッチを有する被処理体を多段に載置してノッチを整列させるノッチ整列機構が設けられていることを特徴とする請求項１記載の熱処理装置。
【請求項１０】
前記移載作業室には複数のダミー被処理体を一時的に保持しておくダミー保持部が設けられていることを特徴とする請求項１記載の熱処理装置。
【請求項１１】
前記移載作業室にはダミー被処理体用の運搬容器を前記載置台上から一時的に退避させておく退避機構が設けられていることを特徴とする請求項１記載の熱処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項５の発明は、複数の被処理体を収容した運搬容器から複数の被処理体を多段に収容可能なパスボックスを経由して保持具に多段に搭載し、該保持具を熱処理炉に搬入して所定の熱処理を行なう熱処理方法であって、熱処理後の被処理体を前記保持具から運搬容器に戻す過程で前記パスボックス内で冷却することを特徴とする。
請求項６の発明は、複数の被処理体を保持具に搭載して熱処理炉への搬入搬出を行なうための搬送作業室に、複数の被処理体を多段に収容可能なパスボックスを介して被処理体の移載作業室を接続し、該移載作業室の外側に複数の被処理体を収容した運搬容器を載置する載置台を設置し、前記移載作業室に載置台上の運搬容器とパスボックスとの間で被処理体の移載を行なう第１の移載機構を設け、前記搬送作業室にパスボックスと保持具との間で被処理体の移載を行なう第２の移載機構を設けたことを特徴とする。
請求項７の発明は、請求項１の熱処理装置において、前記運搬容器には蓋が着脱自在に設けられ、前記載置台には前記蓋を開閉する蓋開閉機構が設けられていることを特徴とする。
請求項８の発明は、請求項１の熱処理装置において、前記第１の移載機構には前記載置台上の運搬容器内の被処理体の位置および数を検知する検知部が設けられていることを特徴とする。
請求項９の発明は、請求項１の熱処理装置において、前記移載作業室にはノッチを有する被処理体を多段に載置してノッチを整列させるノッチ整列機構が設けられていることを特徴とする。
請求項１０の発明は、請求項１の熱処理装置において、前記移載作業室には複数のダミー被処理体を一時的に保持しておくダミー保持部が設けられていることを特徴とする。
請求項１１の発明は、請求項１の熱処理装置において、前記移載作業室にはダミー被処理体用の運搬容器を前記載置台上から一時的に退避させておく退避機構が設けられていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
（５）請求項５の発明によれば、複数の被処理体を収容した運搬容器から複数の被処理体を多段に収容可能なパスボックスを経由して保持具に多段に搭載し、該保持具を熱処理炉に搬入して所定の熱処理を行なう熱処理方法であって、熱処理後の被処理体を前記保持具から運搬容器に戻す過程で前記パスボックス内で冷却するようにしているため、ＴＡＴの短縮が図れる。
（６）請求項６の発明は、複数の被処理体を保持具に搭載して熱処理炉への搬入搬出を行なうための搬送作業室に、複数の被処理体を多段に収容可能なパスボックスを介して被処理体の移載作業室を接続し、該移載作業室の外側に複数の被処理体を収容した運搬容器を載置する載置台を設置し、前記移載作業室に載置台上の運搬容器とパスボックスとの間で被処理体の移載を行なう第１の移載機構を設け、前記搬送作業室にパスボックスと保持具との間で被処理体の移載を行なう第２の移載機構を設けているため、複数個の運搬容器を搬送保管する搬送保管室を備え、多数枚のウエハを搭載する保持具を使用する従来の縦型熱処理装置に比して、ＴＡＴの短縮、装置の小型化および多品種少量生産が可能になる。
（７）請求項７の発明によれば、前記載置台には蓋付運搬容器の蓋を開閉する蓋開閉機構が設けられているため、運搬容器として蓋付運搬容器を用いることができ、被処理体のパーティクル汚染の抑制効果を高めることができる。
（８）請求項８の発明によれば、前記第１の移載機構には前記載置台上の運搬容器内の被処理体の位置および数を検知する検知部が設けられているため、第１の移載機構の動きを利用して運搬容器内の被処理体の位置および数を検知することができ、載置台に被処理体の検知機構を別途設ける必要が無く、装置のコンパクト化およびコストの低減が図れる。
（９）請求項９の発明によれば、前記移載作業室にはノッチを有する被処理体を多段に載置してノッチを整列させるノッチ整列機構が設けられているため、被処理体のノッチ整列を必要に応じて容易に行なうことができる。
（１０）請求項１０の発明によれば、前記移載作業室には複数のダミー被処理体を一時的に保管しておくダミー保管部が設けられているため、載置台上にダミー被処理体用の運搬容器をいつまでも置いておく必要がなくなり、載置台のコンパクト化が図れる。
（１１）請求項１１の発明によれば、前記移載作業室にはダミー被処理体用の運搬容器を前記載置台上から一時的に退避させておく退避機構が設けられているため、載置台を運搬容器を２個置くコンパクトなものとすることができる。