【手続補正書】
【提出日】平成20年8月28日(2008.8.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部で処理ガスによる処理を行うための処理容器と、
上記処理容器内に上記処理ガスを供給するガス供給機構と、
上記処理容器内から処理後のガスを排気するガス排気機構と、
上記ガス排気機構によって排気されるガスの一部を上記処理容器内に戻すガス循環機構と、
上記ガス供給機構と連通して上記処理容器内に開口する第１ガス供給孔と、
上記処理容器内に開口する第２ガス供給孔と、
上記第２ガス供給孔を、上記ガス循環機構と上記ガス供給機構とに選択的に連通させる手段と、
上記ガス排気機構及び上記ガス循環機構を加熱する加熱手段と、を備えた
ことを特徴とする処理装置。
【請求項２】
上記ガス排気機構及び上記ガス循環機構の上記加熱手段の一部に代えて冷却手段を設けることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
【請求項３】
ガス排気機構を通じて処理容器内を排気しつつ、ガス供給機構により第１ガス供給孔及び第２ガス供給孔から上記処理容器内にガスを供給して処理を行う処理装置の運転方法であって、
上記第１ガス供給孔及び上記第２ガス供給孔から上記処理容器内に処理ガスを供給し、上記処理容器内から処理後のガスを排気する非循環運転と、
上記第１ガス供給孔から上記処理容器内に処理ガスを供給し、上記処理容器内から処理後のガスを排気すると共に上記処理容器内から排気されるガスの一部をガス循環機構を通じて上記第２ガス供給孔から上記処理容器内に戻す循環運転と、
を選択的に行うと共に、
上記非循環運転おいては少なくとも上記ガス排気機構を加熱し、上記循環運転においては上記ガス排気機構及び上記ガス循環機構を加熱する
ことを特徴とする処理装置の運転方法。
【請求項４】
処理運転とクリーニング運転を選択的に行う処理装置の運転方法であって、
上記処理運転は、
ガス供給機構を通じて処理容器内に処理ガスを供給して処理する工程と、
ガス排気機構を通じて上記処理容器内から処理後のガスを排気する工程と、
上記処理容器から排気されるガスの一部をガス循環機構を通じて上記処理容器内に戻す工程と、を備え、
上記クリーニング運転は、
上記ガス供給機構を通じて上記処理容器内にクリーニングガスを供給する工程と、
上記処理容器内で上記クリーニングガスのプラズマを発生させて上記処理容器内をクリーニングする工程と、
上記ガス排気機構を通じて上記処理容器内から上記クリーニングガスのプラズマを排気して、上記ガス排気機構をクリーニングする工程と、
上記処理容器から排気される上記クリーニングガスのプラズマの一部を上記ガス循環機構を通じて上記処理容器内に戻して、上記ガス循環機構をクリーニングする工程と、を備えた
ことを特徴とする処理装置の運転方法。
【請求項５】
上記クリーニング運転におけるクリーニングの終了時点を、上記処理容器内のプラズマ発光強度に基づいて判断することを特徴とする請求項４に記載の処理装置の運転方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載の処理装置は、内部で処理ガスによる処理を行うための処理容器と、上記処理容器内に上記処理ガスを供給するガス供給機構と、上記処理容器内から処理後のガスを排気するガス排気機構と、上記ガス排気機構によって排気されるガスの一部を上記処理容器内に戻すガス循環機構と、上記ガス供給機構と連通して上記処理容器内に開口する第１ガス供給孔と、上記処理容器内に開口する第２ガス供給孔と、上記第２ガス供給孔を、上記ガス循環機構と上記ガス供給機構とに選択的に連通させる手段と、上記ガス排気機構及び上記ガス循環機構を加熱する加熱手段と、を備えたことを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、本発明の請求項２に記載の処理装置は、請求項１に記載の発明において、上記ガス排気機構及び上記ガス循環機構の上記加熱手段の一部に代えて冷却手段を設けることを特徴とするものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明の請求項３に記載の処理装置の運転方法は、ガス排気機構を通じて処理容器内を排気しつつ、ガス供給機構により第１ガス供給孔及び第２ガス供給孔から上記処理容器内にガスを供給して処理を行う処理装置の運転方法であって、上記第１ガス供給孔及び上記第２ガス供給孔から上記処理容器内に処理ガスを供給し、上記処理容器内から処理後のガスを排気する非循環運転と、上記第１ガス供給孔から上記処理容器内に処理ガスを供給し、上記処理容器内から処理後のガスを排気すると共に上記処理容器内から排気されるガスの一部をガス循環機構を通じて上記第２ガス供給孔から上記処理容器内に戻す循環運転と、を選択的に行うと共に、上記非循環運転おいては少なくとも上記ガス排気機構を加熱し、上記循環運転においては上記ガス排気機構及び上記ガス循環機構を加熱することを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明の請求項４に記載の処理装置の運転方法は、処理運転とクリーニング運転を選択的に行う処理装置の運転方法であって、上記処理運転は、ガス供給機構を通じて処理容器内に処理ガスを供給して処理する工程と、ガス排気機構を通じて上記処理容器内から処理後のガスを排気する工程と、上記処理容器から排気されるガスの一部をガス循環機構を通じて上記処理容器内に戻す工程と、を備え、上記クリーニング運転は、上記ガス供給機構を通じて上記処理容器内にクリーニングガスを供給する工程と、上記処理容器内で上記クリーニングガスのプラズマを発生させて上記処理容器内をクリーニングする工程と、上記ガス排気機構を通じて上記処理容器内から上記クリーニングガスのプラズマを排気して、上記ガス排気機構をクリーニングする工程と、上記処理容器から排気される上記クリーニングガスのプラズマの一部を上記ガス循環機構を通じて上記処理容器内に戻して、上記ガス循環機構をクリーニングする工程と、を備えたことを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明の請求項５に記載の処理装置の運転方法は、請求項４に記載の発明において、上記クリーニング運転におけるクリーニングの終了時点を、上記処理容器内のプラズマ発光強度に基づいて判断することを特徴とするものである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図４に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態の処理装置１０は、例えば図１に示すように、ウエハＷのエッチング処理を行う処理容器（以下、「処理室」と称す。）１１と、処理室１１内に配設されたサセプタ１２と、サセプタ１２の上方に配設され且つ処理ガスＱ１を処理室１１内へ供給するシャワーヘッド１３と、処理室１１内を所定の真空度まで減圧するガス排気機構１４とを備えて、シャワーヘッド１３には処理ガスＱ１等を供給するガス供給機構１５が接続されている。サセプタ１２には高周波電源１６がマッチングボックス１７を介して接続され、高周波電源１６から所定の高周波電力をサセプタ１２に印加し、シャワーヘッド１３から供給された処理ガスＱ１をプラズマ化してサセプタ１２上のウエハＷをエッチングする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
尚、本発明は上記実施形態に何等制限さるものではなく、必要に応じて適宜設計変更することができる。上記実施形態では不純物の付着を防止しあるいは抑制する手段として加熱手段２２をガス排気機構１４及びガス循環機構２１に設けた場合について説明したが、加熱手段に代えてガス排気機構１４及びガス循環機構２１の一部に冷却手段を設け、冷却手段によって排気ガス及び循環ガスＱ２を強制的に冷却して不純物を捕捉するようにしても良い。また、循環ガスＱ２の流速を速めることによっても不純物の付着を抑制することができる。また、上記実施形態では処理装置１０をクリーニングする場合に処理室１１とガス循環機構２１を個別にこの順序でクリーニングする例を挙げたが、処理室１１とガス循環機構２１を同時にクリーニングしても良い。この場合にも終点検出器を介してクリーニングの終点を検出することができる。また、クリーニングガスの種類によってはプラズマを立てなくても良い。また、上記実施形態ではエッチング装置を例に挙げて説明したが、それ以外のＣＶＤ装置等にも本発明を適用することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
【発明の効果】
本発明の請求項１〜請求項３に記載の発明によれば、地球環境に負荷のかかる処理ガスを使用する場合にガス循環機構を選択的に使用しても、ガス循環機構における不純物の堆積を抑制し、防止することができる処理装置及びその運転方法を提供することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
また、本発明の請求項４、請求項５に記載の発明によれば、地球環境に負荷のかかる処理ガスを使用する場合にガス循環機構を選択的に使用してガス循環機構に不純物が堆積した場合に、堆積物を確実に除去することができる処理装置の運転方法を提供することができる。