(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイヘッドのスリット状ノズルを構成する両側リップの先端を洗浄する洗浄装置を具備する洗浄装置付大型塗布装置であって、該洗浄装置は、前記スリット状ノズルの幅方向に多数個の洗浄薬液噴射ヘッドが配列されてなり、該洗浄薬液噴射ヘッドは前記両側リップの先端外側を挟み込むように平行に配設され、該洗浄薬液噴射ヘッドは、先端方向に扇状に広がりを有する扇形噴射ノズル部と、この扇状の要より延びる細長の洗浄薬液と不活性ガスの２流体の混合領域部とでなり、該扇形噴射ノズル部の高さより混合領域部の高さが高く、かつ前記扇形噴射ノズル部の高さは一定であり、該洗浄薬液噴射ヘッドの噴射ノズル先端より、内部で混合された洗浄薬液と不活性ガスの２流体を噴射して洗浄し、その洗浄液ミストを強制排気することを特徴とする洗浄装置付大型塗布装置。
【請求項２】
前記洗浄薬液噴射ヘッドは、前記ダイヘッドのスリット状ノズルのリップ先端に対し水平面内で斜めに配設されていることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置付大型塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶ディスプレイ用のカラーフィルターの如き大型化するガラス板に高精度の塗布膜を形成する大型塗布装置に関するものであり、さらに詳細にはは、ダイコーターのヘッドを構成するスリットノズルを洗浄する洗浄装置付大型塗布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、枚葉状のガラス板へ高精度の塗布膜を形成する塗布装置として、例えばガラス板の中央部へ塗液を滴下し、回転しながら塗布膜を形成するスピンコート法が知られ、種々の製品に広く使用されていた。
【０００３】
しかし近年において、例えば液晶ディスプレー用のカラーフィルターなどでは、その大型化に伴い上記スピンコート法では滴下する液量を多く必要とし、従って飛ばされて廃棄される量も多くなり不経済的で、かつまたその膜厚の精度も低下する傾向にあった。
【０００４】
そのため、大型のガラス板への塗布方法として、例えば精密なテーブル（定盤）上へガラス板を真空吸着させて保持し、そのガラス板を保持したままの状態でテーブルを移動させ、塗液をガラス板上に供給するダイヘッドの下部を通過させることによって塗布を行うダイコート方式がある。
【０００５】
上記ダイヘッドの代表的な例として、被塗布基材の走行方向に対して上流側リップと下流側リップと、塗布液供給系よりダイヘッドの内部に塗布液が導入されるべく設けられたマニホールドと、このマニホールドから両側リップ先端に塗布液を押し出す通路であるスリット状ノズルとからなっているもので、このようなダイヘッドを使用する際に、リップ先端外側に塗布液が付着・堆積し、これが剥がれ落ち、その異物が塗布物あるいはラインの露光用マスク等に付着して塗布物が不良となったり、またリップ先端に付着・堆積したレジスト等により、塗布方向にスジムラが発生するという問題があった。
【０００６】
上記のような塗布物が不良となる問題の解決策として、ダイヘッドのリップ先端を洗浄する方法があり、例えばスリット状ノズルから洗浄薬液を噴射する所謂一流体噴射ノズルが、ダイヘッドの両側リップの先端を挟むように多数個配列されている洗浄装置によって洗浄する方法がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の一流体噴射ノズルを用いた従来技術においては、堆積物を完全に除去するためのスプレー打力を薬液の流量で稼ぐので洗浄薬液量が多く必要となるという問題点があった。さらに上記一流体噴射ノズルでは、洗浄性に均一性がなく、かつコンパクトに設計できないという問題点があった。即ち、異物等による不良品が皆無とはならず、かつ洗浄性に均一性がないなど洗浄効率が悪いのでその洗浄時間も多く要するなどにより塗布装置の稼働率をも下げるという問題があった。
【０００８】
本発明は、かかる従来技術の問題点を解決するものであり、その課題とするところは、ダイコーターのヘッドのスリット状ノズル（リップ先端）を洗浄する洗浄装置付大型塗布装置において、優れたスプレー打力で均一な洗浄性を有し、窒素ガス圧でスプレー打力を確保して洗浄薬液の量を削減し、かつ設計にコンパクト化が可能な洗浄薬液噴出ヘッド（ノズル）を有し、塗布液の堆積等の異物による塗布物の不良を極力減少せしめて、装置稼働率の向上に貢献する洗浄装置付大型塗布装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず請求項１の発明では、ダイヘッドのスリット状ノズルを構成する両側リップの先端を洗浄する洗浄装置を具備する洗浄装置付大型塗布装置であって、該洗浄装置は、前記スリット状ノズルの幅方向に多数個の洗浄薬液噴射ヘッドが配列されてなり、該洗浄薬液噴射ヘッドは前記両側リップの先端外側を挟み込むように平行に配設され、該洗浄薬液噴射ヘッドは、先端方向に扇状に広がりを有する扇形噴射ノズル部と、この扇状の要より延びる細長の洗浄薬液と不活性ガスの２流体の混合領域部とでなり、該扇形噴射ノズル部の高さより混合領域部の高さが高く、かつ前記扇形噴射ノズル部の高さは一定であり、該洗浄薬液噴射ヘッドの噴射ノズル先端より、内部で混合された洗浄薬液と不活性ガスの２流体を噴射して洗浄し、その洗浄液ミストを強制排気することを特徴とする洗浄装置付大型塗布装置としたものである。
【００１０】
上記請求項１の発明によれば、ダイヘッドの両側リップの先端外側を挟み込むように配設されている多数個の洗浄薬液噴射ヘッドのノズルより、洗浄薬液と窒素ガスがその内部で混合された２流体を噴射するので、その窒素ガス等不活性ガスの圧力によりスプレー打力がアップし、よってリップ先端外側に堆積している塗布液の堆積物を取り除くことができ、また、前記のようにスプレー打力を窒素ガス等不活性ガスで稼げるので噴射する洗浄薬液の量も削減できる洗浄装置付大型塗布装置とすることができる。さらにスプレー打力のアップによりスプレー粒径を微細にし、スプレーの広がりに対して打力、流量分布とも均一にするので、洗浄性にムラがなくなることになる。
また、洗浄液ミストを強制排気することによって洗浄液ミストの飛散を防止し、洗浄後の乾燥を促進することができる。
【００１２】
上記請求項１の発明によれば、洗浄薬液噴射ヘッドを、先端方向に扇状に広がりを有する扇形噴射ノズル部とこの扇形の要から細長く延びる洗浄薬液と窒素ガスの２流体の混合領域部とでなる形状としたので、従来の一流体噴射ノズルに比較しコンパクトな設計が可能で、かつスプレーされる領域も噴射口から僅か数ミリの所でも均一に洗浄することができ、また扇形噴射ノズル部の高さが２流体の混合領域部の高さより低く、かつ前記扇形噴射ノズル部の高さは一定であるので、窒素ガスによるスプレー打力をよりアップせしめることができ、よって洗浄効率をより向上させる洗浄装置付大型塗布装置とすることができる。
【００１３】
さらにまた、請求項２の発明では、前記洗浄薬液噴射ヘッドは、前記ダイヘッドのスリット状ノズルのリップ先端に対し水平面内で斜めに配設されていることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置付大型塗布装置としたものである。
【００１４】
上記請求項２の発明によれば、洗浄薬液噴射ヘッドをスリットノズルのリップ先端に対し斜め（水平面内で）に配設しているので、より洗浄の均一性を向上させることのできる洗浄装置付大型塗布装置とすることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態を図面を用いながら詳細に説明する。
本発明は、ダイコーターのヘッドを構成するスリットノズルを洗浄する洗浄装置付大型塗布装置に関するものであり、そのダイヘッドは、例えば図１の概略斜視図に示すように、塗布される大型のガラス板（１０）の走行方向（Ｐ）に対して上流側リップ（２２ａ）と下流側リップ（２２ｂ）と、塗布液供給系（図示せず）よりダイヘッド（２０）の内部に塗布液が導入されるべく設けられたマニホールド（２３）と、このマニホールド（２３）から両側リップ（２２ａ，２２ｂ）の先端に塗布液を押し出す通路であるスリット状ノズル（２１）とからなっているもので、本発明では、このようなダイヘッド（２０）を使用する際に、リップ（２２ａ，２２ｂ）の先端外側に塗布液が付着・堆積した堆積物を洗浄する洗浄装置（図示せず）を設けた洗浄装置付大型塗布装置とするものである。
【００１６】
上記本発明の洗浄装置付大型塗布装置は、図２の側断面概略図に示すように、例えばダイヘッド（１０）のスリット状ノズル（２１）を構成する上流側、下流側リップ（２２ａ，２２ｂ）の先端を洗浄するための洗浄薬液噴射ヘッド（３０）が、そのリップ（２２ａ，２２ｂ）の先端外側を挟み込むように配設されている洗浄装置（１００）を具備している大型塗布装置である。
【００１７】
さらに上記洗浄装置（１００）では、例えば図２に示すように、両側にある洗浄薬液噴射ヘッド（３０）に洗浄薬液（Ｓ）と不活性ガスとしての窒素ガス（Ｎ2 ）が供給されるようになっていて、洗浄した洗浄ミストは洗浄ポット（４０）で受けられ、強制排気発生器（４４）によりミストトラップ１（４２ａ）に送られ、さらにミストトラップ２（４２ｂ）に排出されるようになっている。
【００１８】
また上記洗浄装置（１００）は、図３の正面図に示すように、ダイヘッド（２０）のスリット状ノズル（２１）の幅（Ｗ）方向に平行に、その幅（Ｗ）分に相当する多数個の洗浄薬液噴射ヘッド（３０）が配列されている。
【００１９】
上記洗浄装置（１００）の具体的例では、幅８００ｍｍのダイヘッド（２０）のスリット状ノズル（２１）の幅（Ｗ）が７６０ｍｍの場合、洗浄薬液噴射ヘッド（３０）をピッチ（Ｒ）で数１０個配列することができる。このように小型の洗浄薬液噴射ヘッド（３０）を隙間なく多数個配列することによって、均一に洗浄することができるようにしてある。
【００２０】
そこで本発明では、上記洗浄薬液噴射ヘッド（３０）から、図２に示すように、送られてくる洗浄薬液（Ｓ）と不活性ガスとしての窒素ガス（Ｎ2 ）とが洗浄薬液噴射ヘッド（３０）内部で混合された２流体を噴射するようにしたことを特徴とするものである。
【００２１】
また、本発明では、上記洗浄薬液噴射ヘッド（３０）は、図４の模式的側断面図に示すように、先端方向に扇状に広がりを有する扇形噴射ノズル部（３２）とこの扇形の要から細長く延びる２流体の混合領域部（３４）とでなり、この扇形噴射ノズル部（３２）の高さ（Ｈ１）が混合領域部（３４）の高さ（Ｈ２）より低くし、かつ前記扇形噴射ノズル部の高さは一定としたものである。なおこの混合領域部（３４）には洗浄薬液の吹き出し口（Ｓｂ）と窒素ガス吹き出し口（Ｎ2 ｂ）が設けられている。
【００２２】
上記のような洗浄薬液噴射ヘッド（３０）の形状とすることによって、従来のスリット状ノズルより洗浄薬液が噴出する一流体噴射ノズルに比べ、コンパクト化が可能になり、かつスプレーされる領域も、扇形噴射ノズル部（３２）内で均一に混合２流体を広げてあるので、噴射口（ノズル先端）から僅か数ミリの所でも均一に洗浄することができる。
【００２３】
即ち上記洗浄薬液噴射ヘッド（３０）は、図４に示すように、扇形噴射ノズル（３２）の高さ（Ｈ１）が細長の２流体混合領域部（３４）の高さ（Ｈ２）より高くし、かつ前記扇形噴射ノズル部の高さは一定とすることによって、窒素ガス（Ｎ2 ）によるスプレー打力をよりアップせしめることができ、よって洗浄効率をより向上させることができるようにしたものである。
【００２４】
さらにまた、本発明では、洗浄薬液噴射ヘッド（３０）は、ダイヘッド（２０）のスリットノズルわ構成する上流側、下流側リップ（２２ａ，２２ｂ）の先端に対し斜め（水平面内で）に配設されているもので、このことによって、上流側、下流側リップ（２２ａ，２２ｂ）の先端の塗布液による汚れ・堆積物を落下し易くし、よってより洗浄の均一性を向上させる洗浄装置（１００）とすることができる。
【００２５】
以上のような本発明の洗浄装置付大型塗布装置の稼働は、例えば幅８００ｍｍのダイヘッド（２０）を用いて、幅６８０ｍｍ、長さ８８０ｍｍのガラス板（１０）に着色レジストを塗布した場合、数１０枚塗布した段階で、洗浄装置を稼働すると良好な洗浄ができる。この枚数が多すぎると堆積物による不良発生数が加速的に多くなり、洗浄時間を多く要し、また少なすぎると洗浄薬液や不活性ガスの使用量（即ち材料コスト）が増加するので好ましくない。
【００２６】
上記のように数１０枚に塗布した後の洗浄装置（１００）の稼働は、図２に示すように、ダイヘッド（２０）の両側リップ（２２ａ，２２ｂ）を挟み込むように多数個の洗浄薬液噴射ヘッド（３０）が配列されて、その下方に洗浄ポット（４０）を備えた洗浄装置（１００）を配置する。続いてこの洗浄薬液噴射ヘッド（３０）に不活性ガス、例えば窒素ガス（Ｎ2 ）と洗浄薬液（Ｓ）を送り込み、その内部の混合領域部（３４）で混合して２流体とし、扇形噴射ノズル部（３２）よりその２流体を噴射して、両側のリップ（２２ａ，２２ｂ）先端のレジスト付着・堆積物を洗浄する。洗浄され、落下された堆積物はミストとなって、強制排気により周囲に飛散することなく洗浄ポット（４０）からミストトラップ（４２）へ送られ処理されるようになっている。
【００２７】
【発明の効果】
本発明は以上の構成であるから、下記に示す如き効果がある。
即ち、ダイヘッドのスリット状ノズルを構成する両側リップ先端を洗浄する洗浄装置付大型塗布装置において、この両側リップの先端外側を挟み込むように配設されている多数個の洗浄薬液噴射ヘッドの噴射ノズルより、洗浄薬液と不活性ガスがその内部で混合された２流体を噴射し洗浄するので、スプレー打力がアップし、よってリップ先端外側に堆積している塗布液の堆積物を容易に取り除くことができ、塗布物の異物による不良品を激減することができる。また、このスプレー打力を不活性ガスで稼げるので噴射する洗浄薬液や不活性ガスの量も削減できる洗浄装置付大型塗布装置とすることができる。
【００２８】
また、リップ先端の塗布液の堆積物を洗浄した洗浄液ミストを強制排気することによって洗浄液ミストの飛散を防止し、洗浄後の乾燥を促進することができる。
【００２９】
また、前記洗浄薬液噴射ヘッドを、先端方向に扇状に広がりを有する扇形噴射ノズル部とこの扇形の要部から細長く延びる洗浄薬液と窒素ガスの２流体混合領域部とでなる形状としたので、従来の３分割されたノズルに比較しコンパクトで、かつスプレーされる領域も噴射口から僅か数ミリの所を均一に洗浄することができ、さらに扇形噴射ノズル部の高さが２流体混合領域部の高さより低く、かつ前記扇形噴射ノズル部の高さは一定であるので、窒素ガスによるスプレー打力をよりアップせしめることができ、よって洗浄効率をより向上させる洗浄装置付大型塗布装置とすることができる。
【００３０】
さらにまた、前記洗浄薬液噴射ヘッドをダイヘッドの両側リップ先端に対し斜め（水平面で）に配設しているので、より洗浄効率を向上させる洗浄装置とすることができる。
【００３１】
よって本発明の洗浄装置付大型塗布装置によれば、製品の不良率を極限まで減少させ、かつ塗布装置のタクト内でこの洗浄処理ができるので塗布装置の稼働率向上に貢献できる洗浄装置付大型塗布装置とすることができる。
【００３２】
従って本発明は、液晶ディスプレイ用のカラーフィルターの如き大型化するガラス板に高精度の塗布膜を形成する大型塗布装置として、優れた実用上の効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる一般的な大型塗布装置の一事例を示す斜視図である。
【図２】本発明の洗浄装置付大型塗布装置の一実施の形態を側面で表した説明図である。
【図３】本発明の洗浄装置付大型塗布装置の一実施の形態を正面で表した説明図である。
【図４】本発明の洗浄装置付大型塗布装置を構成する洗浄薬液噴射ヘッドの一実施の形態を側断面で表した説明図である。
【符号の説明】
１０‥‥ガラス板
２０‥‥ダイヘッド
２１‥‥スリット状ノズル
２２ａ‥‥上流側リップ
２２ｂ‥‥下流側リップ
２３‥‥マニホールド
３０‥‥洗浄薬液噴射ヘッド
３２‥‥扇形噴射ノズル
３４‥‥２流体の混合領域
４０‥‥洗浄ポット
４２ａ‥‥ミストトラップ１
４２ｂ‥‥ミストトラップ２
４４‥‥強制排気発生器
１００‥‥洗浄装置
Ｈ１‥‥扇形噴射ノズルの高さ
Ｈ２‥‥２流体の混合領域の高さ
Ｎ2 ‥‥窒素ガス
Ｎ2 ｂ‥‥窒素ガスの吹き出し口
Ｐ‥‥ガラス板の走行方向
Ｒ‥‥洗浄薬液噴射ヘッドの配列ピッチ
Ｓ‥‥洗浄薬液
Ｓｂ‥‥洗浄薬液の吹き出し口
Ｙ‥‥扇形噴射ノズルの幅
Ｗ‥‥スリット状ノズルの幅
【図１】
0004168603.tif 000002
【図２】
0004168603.tif 000003
【図３】
0004168603.tif 000004
【図４】
0004168603.tif 000005