【手続補正書】
【提出日】平成20年8月5日(2008.8.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
永久磁石及びヨークにより断面形状が略コの字の磁気回路をＺ軸に沿って形成した固定子と、前記磁気回路に沿って形成された磁気空隙と、前記磁気空隙を介して前記固定子の磁極と対向する多相コイルを有すると共に前記磁気空隙内においてＺ軸方向に自在に走行するように構成された可動子とを具備する可動コイル型Ｚ軸リニアモータであって、
前記ヨークの外表面上にＺ軸の走行用レールが敷設され、前記レールに沿って前記可動子が走行することを特徴とする可動コイル型Ｚ軸リニアモータ。
【請求項２】
請求項１に記載の可動コイル型Ｚ軸リニアモータにおいて、Ｚ軸の走行用レールが敷設された前記ヨークの裏面側に前記永久磁石が配設されていることを特徴とする可動コイル型Ｚ軸リニアモータ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の可動コイル型Ｚ軸リニアモータにおいて、前記多相コイルに通電されない時には前記可動子を機械的にロックして該可動子のＺ軸方向への落下を阻止するＺ軸ロック機構を有することを特徴とする可動コイル型Ｚ軸リニアモータ。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の可動コイル型Ｚ軸リニアモータにおいて、前記可動子はばねにより支持されていることを特徴とする可動コイル型Ｚ軸リニアモータ。
【請求項５】
少なくとも一軸のリニアモータを具備する下軸リニアモータ駆動ステージと、少なくとも可動コイル型Ｚ軸リニアモータを具備する上軸リニアモータ駆動ステージとを有するリニアモータ駆動ステージであって、
可動コイル型Ｚ軸リニアモータは、永久磁石及びヨークにより断面形状が略コの字の磁気回路をＺ軸に沿って形成した固定子と、前記磁気回路に沿って形成された磁気空隙と、前記磁気空隙を介して前記固定子の磁極と対向する多相コイルを有すると共に前記磁気空隙内においてＺ軸方向に自在に走行するように構成された可動子とを具備し、前記ヨークの外表面上にＺ軸の走行用レールが敷設され、前記レールに沿って前記可動子が走行することを特徴とするリニアモータ駆動ステージ。
【請求項６】
請求項５に記載のリニアモータ駆動ステージにおいて、前記上軸リニアモータ駆動ステージにＹ軸リニアモータ及び可動コイル型Ｚ軸リニアモータが搭載され、Ｙ軸リニアモータの同一走行路に複数の可動子が配設されていることを特徴とするリニアモータ駆動ステージ。
【請求項７】
下ベースと、下ベース上に載置された少なくとも一軸のリニアモータとを具備する下軸リニアモータ駆動ステージと、
下ベース上に立設された支柱と、前記支柱上に載置された上ベースと、上ベース上に配設された可動コイル型Ｚ軸リニアモータと、可動コイル型Ｚ軸リニアモータの可動子に配設されたインクジェットユニットとを具備する上軸リニアモータ駆動ステージとを有し、
可動コイル型Ｚ軸リニアモータは、永久磁石及びヨークにより断面形状が略コの字の磁気回路をＺ軸に沿って形成した固定子と、前記磁気回路に沿って形成された磁気空隙と、前記磁気空隙を介して前記固定子の磁極と対向する多相コイルを有すると共に前記磁気空隙内においてＺ軸方向に自在に走行するように構成された可動子とを具備し、前記ヨークの外表面上にＺ軸の走行用レールが敷設され、前記レールに沿って前記可動子が走行することを特徴とする機能性薄膜用製造装置。
【請求項８】
請求項７に記載の機能性薄膜用製造装置において、前記上軸リニアモータ駆動ステージにＹ軸リニアモータ及び可動コイル型Ｚ軸リニアモータが搭載され、Ｙ軸リニアモータの同一走行路に複数の可動子が配設されていることを特徴とする機能性薄膜用製造装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明のリニアモータ駆動ステージは、少なくとも一軸のリニアモータを具備する下軸リニアモータ駆動ステージと、少なくとも可動コイル型Ｚ軸リニアモータを具備する上軸リニアモータ駆動ステージとを有し、可動コイル型Ｚ軸リニアモータは、永久磁石及びヨークにより断面形状が略コの字の磁気回路をＺ軸に沿って形成した固定子と、前記磁気回路に沿って形成された磁気空隙と、前記磁気空隙を介して前記固定子の磁極と対向する多相コイルを有すると共に前記磁気空隙内においてＺ軸方向に自在に走行するように構成された可動子とを具備し、前記ヨークの外表面上にＺ軸の走行用レールが敷設され、前記レールに沿って前記可動子が走行することを特徴とする。
本発明のリニアモータ駆動ステージを構成する上軸及び下軸リニアモータ駆動ステージはそれぞれ高精度位置決め、高速走行が可能なので実用的である。特に、下軸リニアモータ駆動ステージ及び上軸リニアモータ駆動ステージを有する上下分離駆動型リニアモータ駆動ステージであって、かつ上軸及び下軸リニアモータ駆動ステージに搭載される各リニアモータの可動子の走行方向を揃えて平行に配設すると実用性が高い。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明のリニアモータ駆動ステージにおいて、前記上軸リニアモータ駆動ステージにＹ軸リニアモータ及び可動コイル型Ｚ軸リニアモータを搭載するのが実用的である。Ｙ軸リニアモータの同一走行路に複数の可動子を配設した場合、可動子のＹ方向の総占有長さが小さいので小型化に適し、所定工程の作業効率を顕著に向上することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明の機能性薄膜用製造装置は、下ベースと、下ベース上に載置された少なくとも一軸のリニアモータとを具備する下軸リニアモータ駆動ステージと、下ベース上に立設された支柱と、前記支柱上に載置された上ベースと、上ベース上に配設された可動コイル型Ｚ軸リニアモータと、可動コイル型Ｚ軸リニアモータの可動子に配設されたインクジェットユニットとを具備する上軸リニアモータ駆動ステージとを有し、可動コイル型Ｚ軸リニアモータは、永久磁石及びヨークにより断面形状が略コの字の磁気回路をＺ軸に沿って形成した固定子と、前記磁気回路に沿って形成された磁気空隙と、前記磁気空隙を介して前記固定子の磁極と対向する多相コイルを有すると共に前記磁気空隙内においてＺ軸方向に自在に走行するように構成された可動子とを具備し、前記ヨークの外表面上にＺ軸の走行用レールが敷設され、前記レールに沿って前記可動子が走行することを特徴とする。
前記可動コイル型Ｚ軸リニアモータとして、前記多相コイルに通電されない時にはＺ軸可動子を機械的にロックして該可動子のＺ軸方向への落下を阻止するＺ軸ロック機構を有するか、及び／またはＺ軸可動子をばねにより支持する構造のものが好ましい。
本発明の機能性薄膜用製造装置は、下軸リニアモータ駆動ステージに搭載されたリニアモータの可動子（テーブル）上に透明基板を保持し、該透明基板と、上軸リニアモータ駆動ステージに搭載されたリニアモータの可動子に配設したインクジェットユニットとを相対的に高速移動し、かつ高精度位置決めを行えるようにしたので実用性が高い。
本発明の機能性薄膜用製造装置において、透明基板の高速移動で発生する気流の乱れによるインクの飛翔曲がり対策として、前記インクジェットユニットの端部にインク吐出口及びエア吐出口を設けると共に前記インク吐出口から吐出されたインクの飛翔曲がりを抑制するように前記エア吐出口からエアを吐出するのが好ましい。
本発明の機能性薄膜用製造装置は、前記上軸リニアモータ駆動ステージにＹ軸リニアモータ及び可動コイル型Ｚ軸リニアモータが搭載され、Ｙ軸リニアモータの同一走行路に複数の可動子が配設されていることが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
図２を参照し、本発明の機能性薄膜用製造装置について説明する。
図２の機能性薄膜用製造装置５０は、防振ユニット１１と、下軸リニアモータ駆動ステージ１０と、上軸リニアモータ駆動ステージ４０とを有して構成されている。
下軸リニアモータ駆動ステージ１０は、防振ユニット１１上に載置された下ベース１（例えば石材製）と、下ベース１上に載置されたＸ軸リニアモータ（可動コイル型リニアモータ）２と、Ｘ軸リニアモータ２の可動子７上に載置された下Ｙ軸リニアモータ（可動コイル型リニアモータ）２２と、下Ｙ軸リニアモータの可動子を構成するキャリッジ１３（例えばＡｌ合金製）及びガラス基板保持用のテーブル２７等により構成されている。キャリッジ１３とテーブル２７との間にはθ方向の回転モータ（図示省略）が備えてある。このモータに通電するとロータ（図示省略）及びテーブル２７はθ方向に沿って回転し、テーブル２７をインデックス（回転割り出し）するようになっている。
Ｘ軸リニアモータ２は、断面がコの字状に形成された強磁性ヨーク（例えばＳＳ４００製）の相対向する内側面上に、ブロック状の永久磁石（例えばＮｄＦｅＢ系異方性焼結磁石）をＸ軸に沿って異極同士を隣接させて所定個数を延設すると共に磁気空隙８を介して異極同士を対向させて一対の永久磁石列（図示省略）を形成した固定子４と、固定子４の磁気空隙８に沿ってＸ軸方向に自在に走行する３相コイル（図示省略）を有する可動子７等で構成されている。５，５はＸ軸リニアモータのレールである。６は基準部材（例えば石材製）である。９はＸ軸ケーブルベア（ケーブルベアは登録商標であり、以下同様。）であり図示省略のケーブル（信号線、電力線及び冷却用配管等）を収納した可撓性のキャタピラ型のものである。
２９は下Ｙ軸ケーブルベア（Ｘ軸ケーブルベア９と同じ構造体）である。３０は下Ｙ軸ケーブルベア２９の収納スペースである。２１は下Ｙ軸ベース（例えば石材製）であり、溝部２６に下Ｙ軸リニアモータの固定子３１（固定子４と同じ構造の組立体）が配設されると共に凸部２８，２８に一対の下Ｙ軸リニアモータのレール２５，２５が配設されている。下Ｙ軸リニアモータ２２の可動子を構成する３相コイル（図示省略）は固定子３１の磁気空隙に沿ってＹ軸方向に走行自在に配設されている。
３３はねじ孔である。３３以外にも下ベース１、下Ｙ軸ベース２１、支柱３及び上ベース４１等随所に同様のねじ孔が設けてあり、各構成部材の締結に適宜使用される。