【手続補正書】
【提出日】平成20年1月16日(2008.1.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レチクルのパターンを被処理体に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系と前記被処理体との間に供給される液体を介して、前記被処理体を露光する露光装置であって、
前記液体の周囲に第１の気体を供給する第１の気体供給口と、
前記投影光学系の光軸に関し、前記第１の気体供給口よりも外側に配置され、前記第１の気体と異なる第２の気体を供給する第２の気体供給口と、を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記光軸に関し、前記第１の気体供給口よりも内側に配置され、前記第１の気体を回収する第１の気体回収口と、
前記第１の気体供給口と前記第２の気体供給口との間に配置され、前記第２の気体を回収する第２の気体回収口と、を有することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記光軸に関し、前記第１の気体供給口よりも内側に配置され、前記第１の気体を回収する第１の気体回収口と、
前記光軸に関し、前記第２の気体供給口よりも外側に配置され、前記第２の気体を回収する第２の気体回収口と、を有することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項４】
前記第１の気体は、前記液体と同じ物質の蒸気又は前記液体が気化した蒸気の組成を有する蒸気を含み、
前記第１の気体に含まれる前記蒸気の濃度は、前記第２の気体に含まれる前記蒸気の濃度よりも高いことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項記載の露光装置。
【請求項５】
前記第１の気体に含まれる酸素の分圧は、前記第２の気体に含まれる酸素の分圧よりも低いことを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか一項記載の露光装置。
【請求項６】
前記被処理体を載置するステージを更に有し、
前記第２の気体は、前記ステージが配置される空間の雰囲気と同じ組成であることを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか一項記載の露光装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のうちいずれか一項記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の一側面としての露光装置は、レチクルのパターンを被処理体に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系と前記被処理体との間に供給される液体を介して、前記被処理体を露光する露光装置であって、前記液体の周囲に第１の気体を供給する第１の気体供給口と、前記投影光学系の光軸に関し、前記第１の気体供給口よりも外側に配置され、前記第１の気体と異なる第２の気体を供給する第２の気体供給口と、を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
本実施形態では、図２に示すように、第１の気体供給口１０３ａから供給される第１の気体ＰＧ１と第２の気体供給口１０３ｂから供給される第２の気体ＰＧ２によって、２重（２つ）のエアカーテンが形成される。第２の気体ＰＧ２によって形成されるエアカーテンは、投影光学系３０の光軸ＯＡに関し、第１の気体ＰＧ１によって形成されるエアカーテンよりも外側に形成される。なお、本出願では、「内側」とは、投影光学系３０の光軸ＯＡに近づく側（即ち、光軸ＯＡ側）、「外側」とは、投影光学系３０の光軸ＯＡから遠ざかる側と定義する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
第１の効果として、第２の気体ＰＧ２によるエアカーテンを形成することによって、第１の気体ＰＧ１によるエアカーテンの形成が補助される（整流効果）。第１の気体ＰＧ１によるエアカーテンのみを形成した（即ち、第１の気体ＰＧ１のみを供給した）場合、第１の気体ＰＧ１の一部が第１の気体供給口１０３ａから外側に抜けてしまうため、液体ＬＷを留めるエアカーテンのガス圧が弱くなってしまう。その結果、露光中にウェハ４０が高速で移動すると、投影光学系３０とウェハ４０との間に供給（充填）された液体ＬＷが周囲に飛散してしまう。また、特許文献３のように、２つの気体供給口を配置しても、気体を回収する回収口が１つであると、２つの気体供給口から供給される気体の流路が定まらず、効率的ではない。そこで、本実施形態では、第２の気体ＰＧ２によるエアカーテンを形成することによって、第１の気体ＰＧ１が第１の気体供給口１０３ａから外側に抜けることを抑制し、第１の気体ＰＧ１によるエアカーテンを強固にしている。具体的には、図２に示すように、光軸ＯＡから投影光学系３０の最終レンズの径方向（内側から外側）に向かって、第１の気体回収口１０４ａ、第１の気体供給口１０３ａ、第２の気体供給口１０３ｂ、第２の気体回収口１０４ｂの順に配置している。これにより、投影光学系３０の光軸ＯＡに関し、第１の気体ＰＧ１が外側から内側に流動するのに対して、第２の気体ＰＧ２は内側から外側に流動するため、整流効果を得ることができる。なお、第１の気体回収口１０４ａ、第１の気体供給口１０３ａ、第２の気体供給口１０３ｂ及び第２の気体回収口１０４ｂの配置については、後で詳細に説明する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
第１の気体供給口１０３ａは、投影光学系３０の光軸ＯＡに関し、液体供給口１０１よりも外側に形成（配置）され、液体ＬＷの周囲に第１の気体ＰＧ１を供給する。第２の気体供給口１０３ｂは、投影光学系３０の光軸ＯＡに関し、第１の気体供給口１０３ａよりも外側に形成（配置）され、第１の気体ＰＧ１と隣接するように第２の気体ＰＧ２を供給する。第１の気体回収口１０４ａは、投影光学系３０の光軸ＯＡに関し、第１の気体供給口１０３ａよりも内側、且つ、液体供給口１０１と第１の気体供給口１０３ａとの間に形成（配置）される。第１の気体回収口１０４ａは、少なくとも第１の気体供給口１０３ａから供給される第１の気体ＰＧ１を回収する。第２の気体回収口１０４ｂは、投影光学系３０の光軸ＯＡに関し、第２の気体供給口１０３ｂよりも外側に形成され、少なくとも気体ＰＧ２を回収する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
液体ＬＷの周囲に２重のエアカーテンを形成するために、第１の気体供給口１０３ａ及び第２の気体供給口１０３ｂから第１の気体ＰＧ１及び第２の気体ＰＧ２を供給すると、第１の気体ＰＧ１及び第２の気体ＰＧ２の供給量や電力消費量が多くなる。一方、本発明者は、ウェハ４０が移動する方向に応じて液体ＬＷも移動し、液体ＬＷが常に全ての方位に広がるわけではないことを発見した。そこで、本実施形態では、図３に示すように、気体供給口１０３及び気体回収口１０４をそれぞれ４分割し、液体ＬＷが広がる方向に応じて使用（駆動）する気体供給口１０３及び気体回収口１０４を選択してエアカーテンを形成している。これにより、露光装置１の経済性を向上させることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
ノズルユニット１００Ａには、ノズルユニット１００と同様に、液体供給口１０１、液体回収口１０２、気体供給口１０３Ａ及び気体回収口１０４Ａが形成されている。気体供給口１０３Ａ及び気体回収口１０４Ａは、実質的に、気体供給口１０３及び気体回収口１０４と同様の機能を有する。ノズルユニット１００Ａは、第２の気体供給口１０３Ａｂと第２の気体回収口１０４Ａｂとの位置を交換した点でノズルユニット１００と異なる。但し、露光装置１Ａは、ノズルユニット１００Ａを使用しながらも、露光装置１と同様な効果を得ることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
気体供給口１０３Ａは、気体供給配管９２に接続し、第１の気体ＰＧ１及び第２の気体ＰＧ２を供給するための開口である。換言すれば、気体供給口１０３Ａはエアカーテンを形成するための開口であり、本実施形態では、ノズルユニット１００Ａの凸部１００Ａａに形成される。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
気体回収口１０４Ａは、供給した気体ＰＧを回収するための開口であり、気体回収配管９４に接続する。従って、気体回収口１０４Ａは、気体供給口１０３Ａの近傍に配置される。気体回収口１０４Ａは、投影光学系３０の光軸ＯＡに関し、気体供給口１０３Ａよりも内側に形成される。これにより、気体ＰＧの流動方向は、投影光学系３０の光軸ＯＡに関し、外側から内側に向かうことになる。