【手続補正書】
【提出日】平成20年6月9日(2008.6.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  イオンビーム質量分析器のビームガイド（200）を有したイオン注入装置であって、
前記イオンビーム質量分析器のビームガイド（200）に関連した導波管（250）を備え、前記導波管（250）は、ＲＦ又はマイクロ波の出力を前記ビームガイド（200）に結合するように構成され、さらに、導波管（250）は、ＲＦ又はマイクロ波の出力を前記ビームガイド（200）に結合するための複数のポート（254）を含むことを特徴とするイオン注入装置。
【請求項２】  導波管（250）は、定常波共振状態をその内部で促すように構成されており、前記複数のポート（254）は、ＲＦ又はマイクロ波の出力を前記ビームガイド（200）に効率的に結合できるように導波管（250）に沿って位置決められていることを特徴とする請求項１記載のイオン注入装置。
【請求項３】  複数のポート（254）は、ｎλ／２（ここで、ｎは整数）の距離となるように互いに隔設されていることを特徴とする請求項２記載のイオン注入装置。
【請求項４】  イオンビーム質量分析器のビームガイド（200）の通路（202）においてパワー源からのマイクロ波エネルギーをビームプラズマに結合する導波管（250）であって、
頂部側と底部側とで前記パワー源からのマイクロ波エネルギーを伝搬し、入口端（210）から出口端（212）までの第１面におけるアーチ状経路（208）に沿って長手方向にかつ半径方向内側（204）と半径方向外側（206）との間で横方向に伸びている第１層（284）と、
前記第１層（284）の頂部側と底部側に各々設けられ、また入口端（210）から出口端（212）までの経路に沿って各々第２面と第３面において長手方向にかつ半径方向内側（204）と半径方向外側（206）との間で横方向に伸びている第２層（280）及び第３層（282）とを含み、
前記第２面及び第３面は、第１面とほぼ平行であり、かつ前記第２層（280）と第３層（282）の内の少なくとも一方（282）が、通路（202）の内部に面するとともに、横方向に伸長しかつ長手方向に隔設された複数のスロット（254）を有しており、該スロットは、通路（202）と第１層（284）との間を貫通ており、また前記第２層（280）と第３層（282）の内の他方（280）が、通路（202）の内部から離れて対面していることを特徴とする導波管。
【請求項５】  ビームガイドの通路（202）にマルチ−カスプド磁界を与えるための、横方向に伸長しかつ長手方向に隔設された磁石（220）をさらに含み、前記マルチ−カスプド磁界と、パワー源からのマイクロ波エネルギーとが、協働的に作用して前記通路の少なくとも一部分に沿って電子サイクロンの共振状態をつくり出すことを特徴とする請求項４記載の導波管。
【請求項６】  複数の磁石（220）と通路（202）の内部との間に配置されかつ複数の磁石（220）を被って、複数のスロット（254）を露出するビームガイドカバー（288）をさらに含むことを特徴とする請求項５記載の導波管。
【請求項７】  横方向に伸長しかつ長手方向に隔設されたスロット（254）を個別に取り囲んでいる複数のＯリング（286）をさらに含むことを特徴とする請求項６記載の導波管。
【請求項８】  第１層（284）は、石英から作られ、第２層（280）及び第３層（282）は、アルミニウムから作られており、前記Ｏリング（286）は、エラストマー材から作られ、ビームガイドカバー（288）は、アルミニウムから作られることを特徴とする請求項７記載の導波管。
【請求項９】  第２層（280）と第３層（282）の内の少なくとも一方（282）を貫通して横方向に伸長しかつ長手方向に隔設された前記複数のスロット（254）は、約５．３２６度の角度ピッチで配置されていて、約５０ｍｍの横方向スロット長さと約５ｍｍの長手方向スロット幅とを有しており、前記導波管（250）は、約１３５度のアーチ状の角度に渡って延びており、また前記半径方向内側（204）と前記半径方向外側（206）は、各々約３７０ｍｍと４３０ｍｍの半径を有していることを特徴とする請求項４、５、８のいずれか１つに記載の導波管。
【請求項１０】  第２層（280）と第３層（282）の内の他方は、ビームガイド通路（202）における双極子磁石上に設けられていることを特徴とする請求項４または請求項９記載の導波管。
【請求項１１】  第１層（284）は、石英から作られており、また第２層（280）と第３層（282）とはアルミニウムから作られていることを特徴とする請求項４記載の導波管。
【請求項１２】  イオン注入装置において経路（129）に沿ってイオンビームを調整するためのビームガイド（200）を有する質量分析装置であって、
経路（129）に沿う通路（139）に沿って取付けられた質量分析磁石（114）と、
前記通路（139）に電界を与えるパワー源（174）と、
イオンビームに関連したビームプラズマに電界を結合するための導波管（250）と、
前記通路（139）にマルチ−カスプド磁界を与える磁気装置（170）とを含み、
前記パワー源（174）、前記導波管（250）、および前記磁気装置（170）が、協働して前記通路（139）の少なくとも一部分にイオンビームの封じ込めを行うことを特徴とする質量分析装置。
【請求項１３】  パワー源（174）と磁気装置（170）は、協働して前記通路（139）の少なくとも一部分に沿って電子サイクロトロンの共振状態を与えるようにすることを特徴とする請求項１２記載の質量分析装置。
【請求項１４】  ビームガイド（200）は、通路（139,202）を限定している頂部と底部と横方向に対面する第１、第２の側部とを含み、前記頂部（222）と底部（224）と第１、第２の側部（204,206）とは、入口端（210）と出口端（212）との間で経路に沿って長手方向に伸びており、前記導波管（250）は、
頂部側と底部側とでパワー源（174）からのマイクロ波エネルギーを伝播し、入口端（210）から出口端（212）までの第１面におけるアーチ状経路に沿って長手方向にかつ半径方向内側（204）と半径方向外側（206）との間で横方向に伸びている第１層（284）と、
前記第１層（284）の頂部側と底部側に各々設けられ、また入口端（210）から出口端（212）までの経路に沿って各々第２面と第３面において長手方向にかつ半径方向内側（204）と半径方向外側（206）との間で横方向に伸びている第２層（280）及び第３層（282）とを含み、
前記第２面及び第３面は、第１面とほぼ平行であり、かつ前記第２層（280）と第３層（282）の内の少なくとも一方（282）が、通路（202）の内部に面するとともに、横方向に伸長しかつ長手方向に隔設された複数のスロット（254）を有しており、該スロットは、通路（202）と第１層（284）との間を貫通ており、また前記第２層（280）と第３層（282）の内の他方（280）が、通路（202）の内部から離れて対面しており、
前記磁気装置（170）は、ビームガイド通路（202）にマルチ−カスプド磁界を与えるために、横方向に伸長しかつ長手方向に隔設された前記複数の磁石（220）を含み、
前記マルチ−カスプド磁界と、前記パワー源（174）からの電界とは、協働的に相互作用し、通路（202）の少なくとも一部分に沿って電子サイクロトロンの共振状態をつくり出すことを特徴とする請求項１２記載の質量分析装置。
【請求項１５】  第１層（284）は、石英から作られており、また第２層（280）と第３層（282）は、アルミニウムから作られていることを特徴とする請求項１４記載の質量分析装置。
【請求項１６】  第２層（280）と第３層（282）の内の少なくとも一方（282）を貫通して横方向に伸長しかつ長手方向に隔設された前記複数のスロット（254）は、約５．３２６度の角度ピッチで配置されていて、約５０ｍｍの横方向スロット長さと約５ｍｍの長手方向スロット幅とを有しており、前記導波管（250）は、約１３５度のアーチ状の角度に渡って延びており、また前記半径方向内側（204）と前記半径方向外側（206）は、各々約３７０ｍｍと４３０ｍｍの半径を有していることを特徴とする請求項１５記載の質量分析装置。
【請求項１７】  イオンビーム質量分析器の通路（202）においてプラズマに電界を結合する導波管（250）であって、
パワー源（174）からのマイクロ波エネルギーを伝播するようになっている第１面に配置され、また入口端（210）から出口端（212）までのアーチ状経路に沿って長手方向にかつ半径方向内側（204）と半径方向外側（206）との間で横方向に伸びた頂部側と底部側とを有したベース層（284）と、
通路（202）の内部を向いたベース層（284）の頂部側と底部側の内の一方に取付けられかつ通路（202）の内部とベース層（284）との間で貫通して横方向に延び長手方向に隔設された複数のスロット（254）を有した第２層（282）とを含み、
前記ベース層（284）に沿って伝播するパワー源（174）からのマイクロ波エネルギーは、横方向に伸長しかつ長手方向に隔設された前記複数のスロット（254）の近くで通路（202）の内部においてプラズマに結合されることを特徴とする導波管。
【請求項１８】  パワー源（174）からのマイクロ波エネルギーを導波管（250）に与える手段をさらに含むことを特徴とする請求項１７記載の導波管。
【請求項１９】  ベース層（284）は、石英から作られており、また第２層（282）は、アルミニウムから作られていることを特徴とする請求項１７記載の導波管。
【請求項２０】  第２層（282）を貫通して横方向に伸長しかつ長手方向に隔設された複数のスロット（254）は、約５．３２６度の角度ピッチで配置されていて、約５０ｍｍの横方向スロット長さと約５ｍｍの長手方向スロット幅とを有しており、前記導波管（250）は、約１３５度のアーチ状の角度に渡って延びており、また前記半径方向内側（204）と前記半径方向外側（206）は、各々約３７０ｍｍと４３０ｍｍの半径を有していることを特徴とする請求項１７記載の導波管。
【請求項２１】  ＲＦ又はマイクロ波の出力をイオンビーム質量分析器のビームガイドに配給する方法（300）であって、
前記ＲＦ又はマイクロ波の出力源を導波管に結合するステップ（310）と、
前記ＲＦ又はマイクロ波の出力をイオンビーム質量分析器のビームガイドにおける一つ以上の領域に導波管を介して配給するステップ（310）と、
を含んでいることを特徴とする方法。
【請求項２２】  ＲＦ又はマイクロ波の出力をイオンビーム質量分析器のビームガイドにおける一つ以上の領域に導波管を介して配給するステップは、導波管に定常波を発生させることを含んでいる請求項２１記載の方法。
【請求項２３】  ＲＦ又はマイクロ波の出力をイオンビーム質量分析器のビームガイドにおける一つ以上の領域に導波管を介して配給するステップは、ＲＦ又はマイクロ波の出力をｎλ／２（ここで、ｎは整数）の距離だけビームガイドにおいて互いから隔設された領域で結合することを含んでいる請求項２１または請求項２２記載の方法。