【手続補正書】
【提出日】平成20年1月10日(2008.1.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マクロ照明部が上方から照射するマクロ照明下に被検体を保持するホルダと、
前記ホルダを検査者の目視観察し易い角度に回転させる揺動手段と、
前記ホルダ上に前記被検体を挟んで対向して配置される一対のガイドレールと、
長辺方向が前記マクロ照明光の照射方向と同じ方向に沿うように配置され、前記被検体の表面上に対して非接触となるように前記一対のガイドレール上を移動するガイド部材と、
前記ガイド部材の長辺方向に移動可能に設けられ、前記被検体の表面に対して斜めにスポット光を照射するレーザヘッドと、
前記揺動手段により所定の角度に前記ホルダを傾けた状態で前記ガイド部材と前記レーザヘッドをそれぞれ移動させて前記スポット光の照射位置により前記被検体上の欠陥位置を指定する操作部と、
前記ガイド部材と前記レーザヘッドの各移動位置の座標データから前記スポット光により指定された前記欠陥位置の座標データを求める座標検出部と、
を備えたことを特徴とする座標検出装置。
【請求項２】
前記レーザヘッドは、前記スポット光が前記ガイド部材の長辺方向に対して交差する斜め下方に向くように配置されることを特徴とする請求項１に記載の座標検出装置。
【請求項３】
前記レーザヘッドは、前記スポット光の照射位置が前記ガイド部材の影にならないように前記被検体の表面に対して前記スポット光の投射角度を３０〜７０°に設定したことを特徴とする請求項１または２に記載の座標検出装置。
【請求項４】
前記レーザヘッドは、前記被検体の表面で反射する前記スポット光の反射光路に遮光部材を設け、前記遮光部材は、前記レーザヘッドに追従することを特徴とする請求項１に記載の座標検出装置。
【請求項５】
前記ガイド部材は、前記レーザヘッドから前記被検体の表面に照射される前記スポット光を検査者が目視可能にする間隙を形成し、前記レーザヘッドと対向する側に前記被検体の表面で反射する前記スポット光を遮光する遮光部材を設けたことを特徴とする請求項１に記載の座標検出装置。
【請求項６】
被検体の上方からマクロ照明光を照射し、前記被検体上の欠陥を目視で観察する被検体検査装置において、
前記被検体の上方から前記マクロ照明光を照射するマクロ照明部と、
前記被検体を保持するホルダと、
前記ホルダを検査者の目視観察し易い角度に回転させる揺動手段と、
前記ホルダ上に前記被検体を挟んで対向して配置される一対のガイドレールと、
長辺方向が前記マクロ照明光の照射方向と同じ方向に沿うように配置され、前記被検体の表面上に対して非接触となるように前記一対のガイドレール上を移動するガイド部材と、
前記ガイド部材の長辺方向に移動可能に設けられ、前記被検体の表面に対して斜めにスポット光を照射するレーザヘッドと、
前記揺動手段により所定の角度に前記ホルダを傾けた状態で前記ガイド部材と前記レーザヘッドをそれぞれ移動させて前記スポット光の照射位置により前記被検体上の欠陥位置を指定する操作部と、
前記ガイド部材と前記レーザヘッドの各移動位置の座標データから前記スポット光により指定された前記欠陥位置の座標データを求める座標検出部と、
を備えたことを特徴とする被検体検査装置。
【請求項７】
前記レーザヘッドは、前記スポット光が前記ガイド部材の長辺方向に対して交差する斜め下方に向くように配置されることを特徴とする請求項１に記載の被検体検査装置。
【請求項８】
前記レーザヘッドは、前記スポット光の照射位置が前記ガイド部材の影にならないように前記被検体の表面に対して前記スポット光の投射角度を３０〜７０°に設定したことを特徴とする請求項６または７に記載の被検体検査装置。
【請求項９】
前記レーザヘッドは、前記被検体の表面で反射する前記スポット光の反射光路に遮光部材を設け、前記遮光部材は、前記レーザヘッドに追従することを特徴とする請求項６に記載の被検体検査装置。
【請求項１０】
前記ガイド部材は、前記レーザヘッドから前記被検体の表面に照射される前記スポット光を検査者が目視可能にする間隙を形成し、前記レーザヘッドと対向する側に前記被検体の表面で反射する前記スポット光を遮光する遮光部材を設けたことを特徴とする請求項６に記載の被検体検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明による座標検出装置は、マクロ照明部が上方から照射するマクロ照明下に被検体を保持するホルダと、ホルダを検査者の目視観察し易い角度に回転させる揺動手段と、ホルダ上に被検体を挟んで対向して配置される一対のガイドレールと、長辺方向がマクロ照明光の照射方向と同じ方向に沿うように配置され、被検体の表面上に対して非接触となるように前記一対のガイドレール上を移動するガイド部材と、ガイド部材の長辺方向に移動可能に設けられ、被検体の表面に対して斜めにスポット光を照射するレーザヘッドと、揺動手段により所定の角度に前記ホルダを傾けた状態でガイド部材とレーザヘッドをそれぞれ移動させてスポット光の照射位置により被検体上の欠陥位置を指定する操作部と、ガイド部材とレーザヘッドの各移動位置の座標データからスポット光により指定された欠陥位置の座標データを求める座標検出部とを備えたことを特徴とする。
本発明によれば、ガイド部材を被検体の表面に対向して非接触で移動させるとともに、レーザヘッドをガイド部材に沿って移動させることでスポット光を直接被検体に照射できる。そして、被検体上に照射されたスポット光の照射位置に関する座標データを座標検出部で求める。この場合、操作部によりガイド部材とレーザヘッドを移動させてレーザヘッドから照射されるスポット光を被検体上の欠陥位置に直接照射することで、ホルダが傾きによらず精度の良い座標データを安定的に得られる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明による被検体検査装置は、被検体の上方からマクロ照明光を照射し、被検体上の欠陥を目視で観察する被検体検査装置において、被検体の上方からマクロ照明光を照射するマクロ照明部と、被検体を保持するホルダと、ホルダを検査者の目視観察し易い角度に回転させる揺動手段と、ホルダ上に被検体を挟んで対向して配置される一対のガイドレールと、長辺方向が前記マクロ照明光の照射方向と同じ方向に沿うように配置され、被検体の表面上に対して非接触となるように一対のガイドレール上を移動するガイド部材と、ガイド部材の長辺方向に移動可能に設けられ、被検体の表面に対して斜めにスポット光を照射するレーザヘッドと、揺動手段により所定の角度に前記ホルダを傾けた状態でガイド部材とレーザヘッドをそれぞれ移動させてスポット光の照射位置により被検体上の欠陥位置を指定する操作部と、ガイド部材とレーザヘッドの各移動位置の座標データからスポット光により指定された欠陥位置の座標データを求める座標検出部とを備えたことを特徴とする
本発明によれば、ガイド部材を被検体の表面に対向して非接触で移動させるとともに、レーザヘッドをガイド部材に沿って移動させることでスポット光を直接被検体に照射できる。そして、被検体上に照射されたスポット光の照射位置に関する座標データを座標検出部で求める。この場合、操作部によりガイド部材とレーザヘッドを移動させてレーザヘッドから照射されるスポット光を被検体上の欠陥位置に直接照射することで、ホルダが傾きによらず精度の良い座標データを安定的に得られる。