【手続補正書】
【提出日】平成20年6月3日(2008.6.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の容量を有するＤ／Ａ変換回路であって、
前記複数の容量は、第１電極と、前記第１電極に接している第１誘電体と、前記第１誘電体に接している第２電極と、前記第２電極に接している第２誘電体と、前記第２誘電体に接している第３電極とをそれぞれ有しており、
前記第２電極は、前記第１電極及び前記第３電極と重なっており、
前記第２電極は、前記第１電極及び前記第３電極と重なっている部分において開口部を有しており、
前記第２電極が有する開口部において、前記第１誘電体及び前記第２誘電体にコンタクトホールが形成されており、
前記コンタクトホールを介して前記第１電極と前記第３電極が接続されており、
前記複数の容量がそれぞれ有する前記第１電極と前記第３電極の一部は、電気的に接続されており、
前記複数の容量がそれぞれ有する前記第２電極は、全て電気的に接続されていることを特徴とするＤ／Ａ変換回路。
【請求項２】
複数の容量を有するＤ／Ａ変換回路であって、
前記複数の容量は、第１電極と、前記第１電極に接している第１誘電体と、前記第１誘電体に接している第２電極と、前記第２電極に接している第２誘電体と、前記第２誘電体に接している第３電極とをそれぞれ有しており、
前記第２電極は、前記第１電極及び前記第３電極と重なっており、
前記第２電極は、前記第１電極及び前記第３電極と重なっている部分において開口部を有しており、
前記第２電極が有する開口部において、前記第１誘電体及び前記第２誘電体にコンタクトホールが形成されており、
前記コンタクトホールを介して前記第１電極と前記第３電極が接続されており、
前記複数の容量がそれぞれ有する前記第１電極と前記第３電極は電気的に接続されており、該接続により第１乃至第ｎの容量を形成し、
前記第１乃至第ｎの容量の容量値の比は、２０：２１：２２：…：２（ｎ−２）：２（ｎ−１）で表され、
前記複数の容量がそれぞれ有する前記第２電極は、全て電気的に接続されていることを特徴とするＤ／Ａ変換回路。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、前記複数の容量の各容量値は等しいことを特徴とするＤ／Ａ変換回路。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の前記Ｄ／Ａ変換回路を用いることを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
Ｄ／Ａ変換回路を有する半導体装置であって、
前記Ｄ／Ａ変換回路は複数の容量を有しており、
前記複数の容量は、第１電極と、前記第１電極に接している第１誘電体と、前記第１誘電体に接している第２電極と、前記第２電極に接している第２誘電体と、前記第２誘電体に接している第３電極とをそれぞれ有しており、
前記第２電極は、前記第１電極及び前記第３電極と重なっており、
前記第２電極は、前記第１電極及び前記第３電極と重なっている部分において開口部を有しており、
前記第２電極が有する開口部において、前記第１誘電体及び前記第２誘電体にコンタクトホールが形成されており、
前記コンタクトホールを介して前記第１電極と前記第３電極が接続されており、
前記複数の容量がそれぞれ有する前記第１電極と前記第３電極の一部は、電気的に接続されており、
前記複数の容量がそれぞれ有する前記第２電極は、全て電気的に接続されており、
前記第２電極の電位が、前記Ｄ／Ａ変換回路の後段の回路に与えられることを特徴とする半導体装置。
【請求項６】
Ｄ／Ａ変換回路を有する半導体装置であって、
前記Ｄ／Ａ変換回路は複数の容量を有しており、
前記複数の容量は、第１電極と、前記第１電極に接している第１誘電体と、前記第１誘電体に接している第２電極と、前記第２電極に接している第２誘電体と、前記第２誘電体に接している第３電極とをそれぞれ有しており、
前記第２電極は、前記第１電極及び前記第３電極と重なっており、
前記第２電極は、前記第１電極及び前記第３電極と重なっている部分において開口部を有しており、
前記第２電極が有する開口部において、前記第１誘電体及び前記第２誘電体にコンタクトホールが形成されており、
前記コンタクトホールを介して前記第１電極と前記第３電極が接続されており、
前記複数の容量がそれぞれ有する前記第１電極と前記第３電極は電気的に接続されており、該接続により第１乃至第ｎの容量を形成し、
前記第１乃至ｎの容量の容量値の比は、２０：２１：２２：…：２（ｎ−２）：２（ｎ−１）で表され、
前記第２電極の電位が、前記Ｄ／Ａ変換回路の後段の回路に与えられることを特徴とする半導体装置。
【請求項７】
絶縁表面を有する基板上に複数の容量を有するＤ／Ａ変換回路と薄膜トランジスタを有する半導体装置であって、
前記Ｄ／Ａ変換回路は複数の容量を有しており、
前記複数の容量は、第１電極と、前記第１電極に接している第１誘電体と、前記第１誘電体に接している第２電極と、前記第２電極に接している第２誘電体と、前記第２誘電体に接している第３電極とをそれぞれ有しており、
前記第２電極は、前記第１電極及び前記第３電極と重なっており、
前記第２電極は、前記第１電極及び前記第３電極と重なっている部分において開口部を有しており、
前記第２電極が有する開口部において、前記第１誘電体及び前記第２誘電体にコンタクトホールが形成されており、
前記コンタクトホールを介して前記第１電極と前記第３電極が接続されており、
前記複数の容量がそれぞれ有する前記第２電極は、全て電気的に接続されており、
前記複数の容量がそれぞれ有する前記第１電極と前記第３電極の一部は、電気的に接続されており、
前記第２電極の電位が、前記Ｄ／Ａ変換回路の後段の回路に与えられ、
前記薄膜トランジスタは、前記第１乃至第３電極のいずれか一つと同時に形成された半導体膜と、前記第１の誘電体と同時に形成されたゲート絶縁膜と、前記第１乃至第３電極のいずれか一つと同時に形成されたゲート電極と、前記第１乃至第３電極のいずれか一つと同時に形成されたソース電極及びドレイン電極とを有し、
前記第２誘電体と同時に形成された層間絶縁膜を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項８】
絶縁表面を有する基板上に複数の容量を有するＤ／Ａ変換回路と薄膜トランジスタを有する半導体装置であって、
前記Ｄ／Ａ変換回路は複数の容量を有しており、
前記複数の容量は、第１電極と、前記第１電極に接している第１誘電体と、前記第１誘電体に接している第２電極と、前記第２電極に接している第２誘電体と、前記第２誘電体に接している第３電極とをそれぞれ有しており、
前記第２電極は、前記第１電極及び前記第３電極と重なっており、
前記第２電極は、前記第１電極及び前記第３電極と重なっている部分において開口部を有しており、
前記第２電極が有する開口部において、前記第１誘電体及び前記第２誘電体にコンタクトホールが形成されており、
前記コンタクトホールを介して前記第１電極と前記第３電極が接続されており、
前記複数の容量がそれぞれ有する前記第１電極と前記第３電極は電気的に接続されており、該接続により第１乃至第ｎの容量を形成し、
前記第１乃至第ｎの容量の容量値の比は、２０：２１：２２：…：２（ｎ−２）：２（ｎ−１）で表され、
前記複数の容量がそれぞれ有する前記第２電極は、全て電気的に接続されており、
前記第２電極の電位が、前記Ｄ／Ａ変換回路の後段の回路に与えられ、
前記薄膜トランジスタは、前記第１乃至第３電極のいずれか一つと同時に形成された半導体膜と、前記第１の誘電体と同時に形成されたゲート絶縁膜と、前記第１乃至第３電極のいずれか一つと同時に形成されたゲート電極と、前記第１乃至第３電極のいずれか一つと同時に形成されたソース電極及びドレイン電極とを有し、
前記第２誘電体と同時に形成された層間絶縁膜を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項９】
請求項５乃至請求項８のいずれか一項において、前記複数の容量の各容量値は等しいことを特徴とする半導体装置。
【請求項１０】
請求項５乃至請求項９のいずれか一項において、表示装置、デジタルスチルカメラ、ノートブック型パーソナルコンピュータ、モバイルコンピュータ、ＤＶＤプレーヤー、ヘッドマウントディスプレイ、ビデオカメラまたは携帯電話あることを特徴とする半導体装置。