【手続補正書】
【提出日】平成20年1月21日(2008.1.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
図１及び図２において、１は制御電極２と電子回路部３と複数の外部リード電極４と絶縁膜１´ を備えた下部基板、５は外部リード電極７と電子回路部１０を備え、反射面兼上部電極６を含む可撓性薄膜８と該薄膜８を図２に示す如く支持する上部基板である。図３において、９は高電圧源９ａとリファレンス電圧９ｂとを備えていて制御電極２に印加される定電圧１０ａを制御する電圧制御回路、１０は定電圧１０ａと高周波電源１０ｂとを備えていて定電圧１０ａに静電容量を検出する高周波を重畳する高周波重畳回路、６Ａは制御電極２と上部電極６との間の静電容量の変化を検出する静電容量検出回路である。なお、上記下部基板、上部基板、電圧制御回路、高周波重畳回路及び静電容量検出回路は何れも周知の半導体製造技術を利用して製作され、電圧制御回路及び高周波重畳回路は同技術を用いて電子回路部３にまとめて下部基板１と一体に製作され、静電容量検出回路は同技術を用いて電子回路部３’に上部基板５と一体に製作され得る。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
図４において、９Ａは高電圧源９ａに接続されていて負荷抵抗Ｒ２及びＲ３に流れる制御電流Ｉｓを制御する制御素子、９Ｂは制御素子９Ａの駆動電流Ｉｄを制御する駆動素子、９Ｃは＋端子９ｃに印加されるリファレンス電圧Ｖｒｅｆと−端子に印加される出力電圧Ｖｏｕｔを負荷抵抗Ｒ２及びＲ３で分圧して得られるモニター電圧Ｖｍとを入力として駆動素子９Ｂの駆動量を制御する差動増幅器である。図５において、１０は高周波重畳回路の等価回路である。また、６ｂは＋端子が接地され−端子が抵抗Ｒ４を介して上部電極６に接続された差動増幅器である。これら抵抗Ｒ４、Ｒ５および増幅器６ｂにより電流−電圧変換がなされ、静電容量検出出力端６ａからは電圧が出力される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
次に、上記装置の作用を説明する。高電圧源９ａは１００ボルト程度の定電圧源であり、リファレンス電圧（Ｖｒｅｆ）９ｂは５ボルト程度の可変電圧であって、これらの電圧は外部リード電極４に印加され、電圧制御回路９へ供給される。そして、この電圧制御回路９からリファレンス電圧Ｖｒｅｆに対応して制御された高電圧１０ａに高周波電源１０ｂが重畳され制御電極２に印加され、上部電極６との間に生じる静電引力により反射面の形状が変化する。また、リファレンス電圧Ｖｒｅｆを変えることにより上部電極及び反射面６の変形量（変位量）を制御することが出来る。また、高周波を上部電極及び反射面の機械的共振周波数よりも遥かに高い周波数にすることで重畳された高周波は変形量（変位量）に対して何ら影響を与えない。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
１                 下部基板
１´               絶縁膜
２                 制御電極
２´               静電容量検出電極
３，３´ 電子回路部
４，７             外部リード電極
５                 上部基板
６                 反射面兼上部電極（上部電極）
６Ａ               静電容量検出回路
６ａ               静電容量検出出力端
８                 可撓性薄膜
９                 電圧制御回路
９ａ               高電圧源
９ｂ               リファレンス電圧
９ｃ               作動増幅器９Ｃの＋端子
１０               高周波重畳回路
１０ａ             定電圧
１０ｂ             高周波電源
１１               可変形状鏡
１１ａ             薄膜（反射面）
１１ｂ，４０，４１ 電極
１１ｃ             圧電素子
１２，１４         可変抵抗器
１３               電源
１５               電源スイッチ
１６               演算装置
１７               温度センサー
１８               湿度センサー
１９               距離センサー
２０               対物レンズ
２１               接眼レンズ
２２，２３         プリズム
２４               ミラー
２５，５７         固体撮像素子
２６               撮像レンズ
２７               支持台
２８               振れセンサー
２９，３２         駆動回路
３０               永久磁石
３１               コイル
３３，７９         撮像ユニット
３４               マイクロポンプ
３５，９０         流体
３６               可変形状鏡
３７               反射膜
３８               液溜
３９               振動板
４２，４３         弁
４４，６２，７８   可変焦点レンズ
４５，４６，５６，６３，６４，８０  レンズ
４５ａ，４５ｂ，４６ａ，４６ｂ      レンズ面
４７，４８，６５，６６，８４        透明電極
４９               高分子分散液晶層
５０               スイッチ
５１               交流電源
５２，７０         液晶分子
５３               高分子セル
５４               可変抵抗器
５５               絞り
５８               可変焦点回折光学素子
５９，６０，７２，７３，７５，７６，９１，９３   透明基板
６１               可変焦点眼鏡
６７，６８         配向膜
６９               ツイストネマテイック液晶層
７１               可変偏角プリズム
７４               可変焦点ミラー
７７               反射膜
８１               透明部材
８２               透明物質
８３               流体又はゼリー状物質
８５               回路
８６               シリンダー
８７               支援部材
８８               変形可能な部材
８９               マイクロポンプ
９２               弾性体
９４               圧電材料
９４Ａ，９４Ｂ     薄板
９５               透明で柔らかい基板
９６               レンズ形状の透明基板
９７               電歪材料
９８，９９         透明弾性体
１００             アドベンゼン
１０１             スペーサー
１０２，１０３     紫外光源
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2002228813.tif 000001
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2002228813.tif 000002