【手続補正書】
【提出日】平成20年6月13日(2008.6.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
前記光束断面形状整形手段は、平行光線の入射に対して直交２軸の１軸方向にのみ屈折作用をして焦点位置で線状のビームを形成するシリンドリカルレンズであることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
前記光束断面形状整形手段は、平行光線の入射に対して直交２軸の１軸方向にのみ屈折作用をして焦点位置で線状の複数のビームを形成するフライアイレンズであることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、前記光束断面形状整形手段は、平行光線の入射に対して直交２軸の１軸方向にのみ屈折作用をして焦点位置で線状のビームを形成するシリンドリカルレンズである。これにより、平行光線の入射に対して直交２軸の１軸方向にのみ屈折作用をして焦点位置で線状のビームを形成するシリンドリカルレンズで光束の断面形状を整形する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
さらに、前記光束断面形状整形手段は、平行光線の入射に対して直交２軸の１軸方向にのみ屈折作用をして焦点位置で線状の複数のビームを形成するフライアイレンズである。これにより、平行光線の入射に対して直交２軸の１軸方向にのみ屈折作用をして焦点位置で線状の複数のビームを形成するフライアイレンズで光束の断面形状を整形する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
そして、前記短冊状のフォトマスクは、その長手方向に沿って複数のマスクパターンを一列に並べて配置したものである。これにより、長手方向に沿って複数のマスクパターンを一列に並べて配置した短冊状のフォトマスクで所定の露光パターンを形成する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、請求項２に係る発明によれば、露光光の光束の断面形状を直交２軸の１軸方向に絞って容易に扁平状に整形することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
さらに、請求項３に係る発明によれば、露光光の光束の断面形状を直交２軸の１軸方向に絞って容易に扁平状に整形することができる。また、フォトマスクに対する露光光の均一照射を可能とすることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
上記ステージ１３の上方には、近接してマスクステージ６が配設されている。このマスクステージ６は、上記ステージ１３の上面１３ａに平行に短冊状のフォトマスク５を保持可能としたものであり、ステージ１３の上面１３ａと平行な面内にて矢印Ａ方向と直交する方向に移動することができ、また上記フォトマスク５の面の中心軸を中心に回転（θ）することができるようになっている（図４参照）。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
ここで、上記短冊状のフォトマスク５は、図４に示すようにその長手方向に沿って、矢印Ａで示す搬送方向に長い矩形状の複数のマスクパターン１９を一列に並べて配置したものであり、図２に示すように透明なガラス基板２０上に被着された例えばＣｒの不透明膜２１をエッチングして形成され、上記不透明膜２１が形成された面を下にして上記マスクステージ６に保持されるようになっている。そして、例えば上記複数のマスクパターン１９のうち、図４に示す左端部のマスクパターン１９ａの左縁部が上記カラーフィルタ基板１０の基準位置Ｓ１と位置合わせするための基準位置Ｓ２として予め設定されている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
上記光源２とマスクステージ６との間の光路上には、シリンドリカルレンズ１４が配設されている。このシリンドリカルレンズ１４は、平行光線の入射に対して直交２軸の１軸方向にのみ屈折作用をして焦点位置で線状のビームを形成するものであり、円柱をその中心軸に平行な面で分割したような形状を有しており、光源２から放射された露光光の光束１２の横断面（以下、単に「断面」と記載する）形状を短冊状のフォトマスク５の形状に合わせて整形するものであり、例えば、図４に示すように円形（同図に破線で示す）から楕円形（同図に実線で示す）に整形する光束断面形状整形手段となるものである。そして、同図に示すように、整形された断面楕円形の光束１２の長軸が上記短冊状のフォトマスク５の長手方向の中心軸と略合致するように、その円柱の中心軸をフォトマスク５の上記中心軸に略合致させて配置されている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
このとき、図示省略の撮像カメラによって撮像されたカラーフィルタ基板１０のブラックマトリクス１８のピクセル１７の像に基づいてマスクステージ６が制御されて、上記ステージ１３の上面と平行な面内にて図１に示す矢印Ａ方向と直交する方向に移動され、また上記フォトマスク５の面の中心軸を中心に回転（θ）されて、カラーフィルタ基板１０に予め設定された基準位置Ｓ１（図３参照）に対してマスクステージ６上に保持されたフォトマスク５の基準位置Ｓ２（図４参照）が位置決めされる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
カライドスコープ１５を射出した露光光は、シリンドリカルレンズ１４に入射する。このとき、カライドスコープ１５を射出した露光光のうち、図１に示すようにシリンドリカルレンズ１４の面１４ａ内にてその円柱の中心軸と直交する方向（同図において、左右方向）に放射した光線Ｌは、絞られるように内側に屈折されて上記シリンドリカルレンズ１４を射出する。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
一方、カライドスコープ１５を射出した露光光のうち、図２に示すようにシリンドリカルレンズ１４の面１４ａ内にてその円柱の中心軸に沿った方向（同図において、左右方向）に放射した光線Ｌは、放射角度を変えることなくシリンドリカルレンズ１４を射出する。したがって、図４に破線で示すように、カライドスコープ１５を射出した断面多角形（同図にはおいては、円形で示す）の光束１２の露光光は、同図に実線で示すようにシリンドリカルレンズ１４によってその円柱の中心軸に平行な軸を長軸とし、該中心軸と直交する軸を短軸とする扁平な形状（同図においては、楕円で示す）の光束１２に整形される。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
ここで、上記シリンドリカルレンズ１４がその円柱の中心軸をマスクステージ６に保持された短冊状のフォトマスク５の長手方向の中心軸に略合致させて配置されているので、コンデンサレンズ１６を射出した断面楕円形の露光光は、図４に示すように、その長軸を短冊状のフォトマスク５の長手方向の中心軸に合致させた状態でフォトマスク５を照射することとなる。この場合、光源２から放射した露光光は、フォトマスク５上に集められるので、フォトマスク５を照射する露光光のエネルギー密度が向上する。その後、断面楕円形の露光光の長軸に沿った方向の光線Ｌは、上記フォトマスク５を垂直に通過し、カラーフィルタ基板１０上のカラーレジストを垂直に露光する。したがって、カラーフィルタ基板１０上に形成される露光パターン２３のうち、短冊状のフォトマスク５の長手方向に沿った解像力が向上し、図３に示す矢印Ａと直交する方向の露光パターン２３の縁部２３ａ，２３ｂが鮮鋭となる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
図５は、本発明による露光装置の第２の実施形態を示す正面図である。この露光装置は、光源２とマスクステージ６との間の光路上に、光束断面形状整形手段として、平行光線の入射に対して直交２軸の１軸方向にのみ屈折作用をして焦点位置で線状の複数のビームを形成するフライアイレンズ２４を配設したものであり、該フライアイレンズ２４とマスクステージ６との間の光路上に配設したコンデンサレンズ１６とあいまって短冊状のフォトマスク５上に露光光を集めると同時に輝度分布を均一にできるようになっている。したがって、第２の実施形態においては、第１の実施形態において備えたカライドスコープ１５を省略することができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
【図１】本発明による露光装置の第１の実施形態を示す正面図である。
【図２】図１の要部を示す側面図である。
【図３】上記露光装置に使用されるカラーフィルタ基板を示す平面図である。
【図４】上記露光装置において、短冊状のフォトマスクに対する光束断面が楕円形の露光光の照射状態を示す説明図である。
【図５】本発明による露光装置の第２の実施形態を示す正面図である。
【図６】上記第２の実施形態に使用されるフライアイレンズの一構成例を示す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は平面図である。
【図７】従来の露光装置を示す正面図である。
【図８】従来の露光装置において、短冊状のフォトマスクに対する光束断面が円形の露光光の照射状態を示す説明図である。