【手続補正書】
【提出日】平成20年4月14日(2008.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
変位検出される一方の部材に取り付けられたスケールと、前記一方の部材に対して相対移動する他方の部材に取り付けられ、かつ、前記スケールに対向して配置された検出ヘッドとを備え、前記スケールには、相対移動する方向に対して第２のピッチの光学パターンを有する第２格子が設けられており、前記検出ヘッドには、前記スケールに所定の光を照射する投光部と、前記投光部から前記スケールに照射されて前記第２格子により反射及び回折した光により前記光検出器の受光面上に形成されるセルフイメージの動きを検出する光検出部と、が設けられた光学式エンコーダであって、
前記投光部は、光源と、前記光源に対して前記スケールに対向する側に配置された第１格子とが組み合わされて前記所定の光を照射するように構成され、前記第１格子には前記相対移動する方向に対して第１のピッチの光学格子が形成されており、前記光検出部は、光検出器と、前記光検出器の受光面に配置された第３格子とが組み合わされて前記セルフイメージの動きを検出するように構成されており、前記第３格子には前記相対移動する方向に対して第３のピッチの光学格子が形成されており、前記第１格子の形成面と前記第３格子の形成面とは、それぞれ前記スケールに対して略平行に配置され、前記投光部から出射した光が前記スケールにより反射及び回折されて前記光検出部に到るまでの光路内において、前記スケールに対向する前記検出ヘッドの表面には、前記スケールに対して略平行かつ略平坦な光透過領域が形成され、第1格子と第３格子は別体として形成されており、さらに、第1格子は、光源の出射面に直接形成されているか、あるいは第1格子を形成した光透過性基板を光源の出射面に積層した構成であり、第３格子は、光検出器の受光面に直接形成されているか、あるいは第３格子を形成した光透過性基板を光検出器の受光面に積層した構成であるとともに、第１格子から検出ヘッドの表面に至る空間および第３格子から検出ヘッドの表面に至る空間は、光透過性基板が存在する部分を除いて屈折率が１より大きな光透過性樹脂で充填されていることを特徴とする光学式エンコーダ。
【請求項２】
前記第１格子は、前記光源の光出射表面に直接形成した光学格子、または前記光源の電流注入電極を兼ねた格子状電極パターンであることを特徴とする請求項１に記載の光学式エンコーダ。
【請求項３】
前記光源は、ベアチップ、または前記ベアチップをモールド封止した面発光型半導体素子であることを特徴とする請求項１〜２のいずれか一項に記載の光学式エンコーダ。
【請求項４】
前記第１格子と前記第３格子との少なくとも一方は、光透過性基板に光学格子を形成したものであり、前記光透過性基板の側面は、光透過樹脂で覆われていることを特徴とする請求項１に記載の光学式エンコーダ。
【請求項５】
前記第１格子と前記第３格子に対して前記スケールに対向する側に前記スケールと平行に配置された板状光透過性部材を配置し、前記板状光透過性部材と前記第１格子との間の空間、及び前記板状光透過性部材と前記第３格子との間の空間には、光透過性基板または光透過樹脂が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光学式エンコーダ。
【請求項６】
変位検出される一方の部材に取り付けられたスケールと、前記一方の部材に対して相対移動する他方の部材に取り付けられ、かつ、前記スケールに対向して配置された検出ヘッドとを備え、前記スケールには、前記相対移動する方向に対して第２のピッチの光学パターンを有する第２格子が設けられており、前記検出ヘッドには、前記スケールに所定の光を照射する投光部と、前記投光部から前記スケールに照射されて第２格子により反射及び回折した光により前記光検出器の受光面上に形成されるセルフイメージの動きを検出する光検出部と、が設けられた光学式エンコーダであって、
前記投光部は、光源と、前記光源に対して前記スケールに対向する側に配置された第１格子とが組み合わされて前記所定の光を照射するように構成され、前記第１格子には、前記相対移動する方向に対して第１のピッチの光学格子が形成されており、前記光検出部は、光検出器と、前記光検出器の受光面に配置された少なくとも一つの受光素子アレイにより前記セルフイメージの動きを検出するように構成されており、前記受光素子アレイは、前記セルフイメージの周期的な強度分布の略整数倍のピッチを有する受光素子群により構成され、前記受光素子アレイ内の前記各々の受光素子は、前記相対移動する方向に対して互いに一定寸法だけずらして配置されており、前記第１格子の形成面と前記受光面は、前記スケールに対して略平行に配置され、前記投光部から出射した光が前記スケールにより反射及び回折され前記光検出部に到るまでの光路内においては、前記スケールに対向する前記検出ヘッドの表面には、前記スケールに対して略平行かつ略平坦な光透過領域が形成され、第1格子と第３格子は別体として形成されており、さらに、第1格子は光源の出射面に直接形成されているか、あるいは第1格子を形成した光透過性基板を光源の出射面に積層した構成であり、さらに、第１格子から検出ヘッドの表面に至る空間および受光素子アレイから検出ヘッドの表面に至る空間は、光透過性基板が存在する部分を除いて屈折率が１より大きな光透過性樹脂で充填されていることを特徴とする光学式エンコーダ。
【請求項７】
前記第１格子は、前記光源の光出射表面に直接形成した光学格子、または前記光源の電流注入電極を兼ねた格子状電極パターンであることを特徴とする請求項６に記載の光学式エンコーダ。
【請求項８】
前記光源は、ベアチップまたはベアチップをモールド封止した面発光型半導体素子であることを特徴とする請求項６〜７のいずれか一項に記載の光学式エンコーダ。
【請求項９】
前記第１格子は、光透過性基板に光学格子を形成したものであり、前記光透過性基板の側面は、光透過樹脂で覆われていることを特徴とする請求項６に記載の光学式エンコーダ。
【請求項１０】
前記第１格子と前記受光面に対して前記スケールに対向する側に前記スケールと平行に配置された板状光透過性部材を配置し、前記板状光透過性部材と前記第１格子との間の空間、及び前記板状光透過性部材と前記受光面との間の空間には、光透過性基板または光透過樹脂が配置されていることを特徴とする請求項６〜９のいずれか一項に記載の光学式エンコーダ。
【請求項１１】
前記光透過性部材と前記光透過性基板と前記光透過樹脂とは、前記光源が出射する所定の波長領域の光に対して所定の光透過率を有し、かつ前記所定の波長領域よりも長波長側の光と、前記所定の波長領域よりも短波長側の光との少なくとも一方の光に対しては光透過率が１／２以下になることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の光学式エンコーダ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、第１の本発明によれば、変位検出される一方の部材に取り付けられたスケールと、一方の部材に対して相対移動する他方の部材に取り付けられ、かつ、スケールに対向して配置された検出ヘッドとを備え、スケールには、相対移動する方向に対して第２のピッチの光学パターンを有する第２格子が設けられており、検出ヘッドには、スケールに所定の光を照射する投光部と、投光部からスケールに照射されて第２格子により反射及び回折した光により光検出器の受光面上に形成されるセルフイメージの動きを検出する光検出部と、が設けられた光学式エンコーダであって、投光部は、光源と、光源に対してスケールに対向する側に配置された第１格子とが組み合わされて所定の光を照射するように構成され、第１格子には相対移動する方向に対して第１のピッチの光学格子が形成されており、光検出部は、光検出器と、光検出器の受光面に配置された第３格子とが組み合わされてセルフイメージの動きを検出するように構成されており、第３格子には相対移動する方向に対して第３のピッチの光学格子が形成されており、第１格子の形成面と第３格子の形成面とは、それぞれスケールに対して略平行に配置され、投光部から出射した光がスケールにより反射及び回折されて光検出部に到るまでの光路内において、スケールに対向する検出ヘッドの表面には、スケールに対して略平行かつ略平坦な光透過領域が形成され、第1格子と第３格子は別体として形成されており、さらに、第1格子は、光源の出射面に直接形成されているか、あるいは第1格子を形成した光透過性基板を光源の出射面に積層した構成であり、第３格子は、光検出器の受光面に直接形成されているか、あるいは第３格子を形成した光透過性基板を光検出器の受光面に積層した構成であるとともに、第１格子から検出ヘッドの表面に至る空間および第３格子から検出ヘッドの表面に至る空間は、光透過性基板が存在する部分を除いて屈折率が１より大きな光透過性樹脂で充填されていることを特徴とする光学式エンコーダを提供できる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、第２の本発明によれば、変位検出される一方の部材に取り付けられたスケールと、一方の部材に対して相対移動する他方の部材に取り付けられ、かつ、スケールに対向して配置された検出ヘッドとを備え、スケールには、相対移動する方向に対して第２のピッチの光学パターンを有する第２格子が設けられており、検出ヘッドには、スケールに所定の光を照射する投光部と、投光部からスケールに照射されて第２格子により反射及び回折した光により光検出器の受光面上に形成されるセルフイメージの動きを検出する光検出部と、が設けられた光学式エンコーダであって、投光部は、光源と、光源に対してスケールに対向する側に配置された第１格子とが組み合わされて所定の光を照射するように構成され、第１格子には、相対移動する方向に対して第１のピッチの光学格子が形成されており、光検出部は、光検出器と、光検出器の受光面に配置された少なくとも一つの受光素子アレイによりセルフイメージの動きを検出するように構成されており、受光素子アレイは、セルフイメージの周期的な強度分布の略整数倍のピッチを有する受光素子群により構成され、受光素子アレイ内の各々の受光素子は、相対移動する方向に対して互いに一定寸法だけずらして配置されており、第１格子の形成面と受光面は、スケールに対して略平行に配置され、投光部から出射した光がスケールにより反射及び回折され光検出部に到るまでの光路内においては、スケールに対向する検出ヘッドの表面には、スケールに対して略平行かつ略平坦な光透過領域が形成され、第1格子と第３格子は別体として形成されており、さらに、第1格子は光源の出射面に直接形成されているか、あるいは第1格子を形成した光透過性基板を光源の出射面に積層した構成であり、さらに、第１格子から検出ヘッドの表面に至る空間および受光素子アレイから検出ヘッドの表面に至る空間は、光透過性基板が存在する部分を除いて屈折率が１より大きな光透過性樹脂で充填されていることを特徴とする光学式エンコーダを提供できる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】