【手続補正書】
【提出日】平成20年2月19日(2008.2.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  試料台に取り付けられた試料に対してその表面に探針が向くようにカンチレバー装着部にカンチレバーを装着し、前記試料と前記探針の間に生じる物理量を保持しながら前記探針で前記試料の表面を走査して試料表面を測定するようにした走査型プローブ顕微鏡において、
前記試料台の少なくとも１箇所に設けたカンチレバーカセット設置ポートと、  前記カンチレバーカセット設置ポートに、カンチレバー取出し可能状態で設置され、複数の前記カンチレバーを保管するカンチレバーカセットと、
前記カンチレバーカセットに保管された前記複数のカンチレバーのうち１つのカンチレバーを取り出す取出し装置とを備え、
自動測定中に前記カンチレバーの自動交換が行われることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
【請求項２】  前記カンチレバーカセット設置ポートにおける前記カンチレバーカセットの設置の有無を検出する第１検出手段と、
前記カンチレバーカセットに保管される前記複数のカンチレバーの各々の有無を個別に検出する第２検出手段と、
前記カンチレバー装着部におけるカンチレバーの装着の有無を検出する第３検出手段とを備え、
前記第１から第３の検出手段から出力される検出信号に基づいて装置状態を遷移させるようにしたことを特徴とする請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項３】  前記カンチレバーカセットで前記カンチレバーは前記探針を下向きにして保管されることを特徴とする請求項１または２記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項４】  前記カンチレバーカセットを２つまたはそれ以上設置できるように２つまたはそれ以上の前記カンチレバーカセット設置ポートを設け、前記カンチレバーカセットごとでカンチレバーの種類を異ならせるようにしたことを特徴とする請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項５】  試料の表面に探針が向くようにカンチレバーを設け、前記試料と前記探針の間に生じる物理量を保持しながら前記探針で前記試料の表面を走査して試料表面を測定するように構成された走査型プローブ顕微鏡に用いられるカンチレバーカセットであり、
前記走査型プローブ顕微鏡に設けられたカンチレバーカセット設置ポートに、カンチレバー取出し可能状態で設置され、複数の前記カンチレバーを前記探針を下向きにして保管し、前記走査型プローブ顕微鏡による自動測定中に前記カンチレバーの自動交換を可能にしたことを特徴とするカンチレバーカセット。
【請求項６】  メーカの工場出荷時においてカンチレバー搬送用に用いられ、前記カンチレバーを保護するカバー部材を備えることを特徴とする請求項５記載のカンチレバーカセット。
【請求項７】  保管される前記複数のカンチレバーの状態に関する情報を記憶するメモリを備えることを特徴とする請求項５または６記載のカンチレバーカセット。
【請求項８】  試料の表面に探針が向くようにカンチレバーを設け、前記試料と前記探針の間に生じる物理量を保持しながら前記探針で前記試料の表面を走査して試料表面を測定するように構成された走査型プローブ顕微鏡に用いられ、かつ複数の前記カンチレバーを保管するためのカンチレバーカセットによるカンチレバーの供給方法であり、
前記カンチレバーカセットを、人手による並べ替え作業を経ることなく、前記走査型プローブ顕微鏡に設けられたカンチレバーカセット設置ポートに、カンチレバー取出し可能状態で設置され、前記走査型プローブ顕微鏡による自動測定中に前記カンチレバーの自動交換、および前記複数のカンチレバーの各々の状態管理を可能にしたことを特徴とするカンチレバーの供給方法。
【請求項９】  前記複数のカンチレバーは、メーカの工場出荷時から前記カンチレバーカセットにおいて前記探針を下向きにして保管されることを特徴とする請求項８記載のカンチレバーの供給方法。
【請求項１０】  試料台に取り付けられた試料の表面に探針が向くようにカンチレバー装着部にカンチレバーを装着し、前記試料と前記探針の間に生じる物理量を保持しながら前記探針で前記試料の表面を走査して試料表面を測定するようにした走査型プローブ顕微鏡で用いられる前記カンチレバーの状態管理方法であり、
前記走査型プローブ顕微鏡は、
前記試料台の少なくとも１箇所に設けたカンチレバーカセット設置ポートと、  前記カンチレバーカセット設置ポートに、カンチレバー取出し可能状態で設置され、複数の前記カンチレバーを保管するカンチレバーカセットと、
前記カンチレバーカセットに保管された前記複数のカンチレバーのうち１つのカンチレバーを取り出す取出し装置と、
前記カンチレバーカセット設置ポートにおける前記カンチレバーカセットの設置の有無を検出する第１検出手段と、
前記カンチレバーカセットに保管される前記複数のカンチレバーの各々の有無を個別に検出する第２検出手段と、
前記カンチレバー装着部におけるカンチレバーの装着の有無を検出する第３検出手段を第３検出手段とを備え、
前記走査型プローブ顕微鏡のデータ処理部で、前記第１から第３の検出手段から出力される検出信号に基づいて、前記複数のカンチレバーの個々の状態を管理し、装置状態を管理し、装置の状態遷移を決めるようにしたことを特徴とするカンチレバーの状態管理方法。
【請求項１１】  前記複数のカンチレバーの個々の状態に関するデータを保存するデータベースを備え、必要に応じて前記複数のカンチレバーの各々の状態に関する前記データを使用することを特徴とする請求項１０記載のカンチレバーの状態管理方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明に係る走査型プローブ顕微鏡（請求項１に対応）は、試料台に取り付けられた試料に対してその表面に探針が向くようにカンチレバー装着部にカンチレバーを装着し、試料と探針の間に生じる物理量を保持しながら探針で試料の表面を走査して試料表面を測定するようにした走査型プローブ顕微鏡であり、試料台の少なくとも１箇所に設けたカンチレバーカセット設置ポートと、カンチレバーカセット設置ポートに、カンチレバー取出し可能状態で設置され、複数のカンチレバーを保管するカンチレバーカセットと、カンチレバーカセットに保管された複数のカンチレバーのうち１つのカンチレバーを取り出す取出し装置とを備え、自動測定中にカンチレバーの自動交換が行われるように構成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明に係るカンチレバーカセット（請求項５に対応）は、試料の表面に探針が向くようにカンチレバーを設け、試料と探針の間に生じる物理量を保持しながら探針で試料の表面を走査して試料表面を測定するように構成された走査型プローブ顕微鏡に用いられるカンチレバーカセットであり、走査型プローブ顕微鏡に設けられたカンチレバーカセット設置ポートに、カンチレバー取出し可能状態で設置され、複数のカンチレバーを探針を下向きにして保管し、走査型プローブ顕微鏡による自動測定中にカンチレバーの自動交換を可能にするように構成される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明に係るカンチレバーの供給方法（請求項８に対応）は、試料の表面に探針が向くようにカンチレバーを設け、試料と探針の間に生じる物理量を保持しながら探針で試料の表面を走査して試料表面を測定するように構成された走査型プローブ顕微鏡に用いられかつ複数のカンチレバーを保管するためのカンチレバーカセットによるカンチレバーの供給方法であり、カンチレバーカセットを、人手による並べ替え作業を経ることなく、走査型プローブ顕微鏡に設けられたカンチレバーカセット設置ポートに、カンチレバー取出し可能状態で設置され、走査型プローブ顕微鏡による自動測定中にカンチレバーの自動交換、および複数のカンチレバーの各々の状態管理を可能にした方法である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
カンチレバーカセット１０は平面形状が例えば正方形であり、側面形状は所望の厚みを有した平板状の部材で作られている。当該正方形の一辺は、例えば５０ｍｍの長さを有している。カンチレバーカセット１０はカセット台１０ａとカセットカバー１０ｂから成り、材質的には所要の強度を有するプラスチック材あるいは樹脂材等によって形成されている。カセット台１０ａの上面には、例えば１６個のカンチレバー１１を配置する配置部が形成されている。先端に探針（プローブ）１２を有するカンチレバー１１は、カンチレバーホルダ１３に固定されている。「カンチレバー」は、元々先端に探針１２を有するように形成されるものであり、探針付きカンチレバーであり、実質的に「探針」と同等の意味を有する。カンチレバーホルダ１３の平面形状は好ましくは正方形であり、比較的に大きな面積を有している。カンチレバー１１と探針１２の形態および機能は従来のものと同じである。カンチレバーホルダ１３は本実施形態固有の専用のものである。カセット台１０ａにおけるカンチレバーの配置部は、カンチレバーホルダ１３の形状に対応させて凹所として形成されている。図２から明らかなように、カンチレバーホルダ１３の前部の下面にカンチレバー１１は取り付けられ、探針１２の先端が下向きになるようにしてカンチレバー１１およびカンチレバーホルダ１３は置かれている。カセット台１０ａの上面に形成された１６個の凹所の各々でカンチレバーホルダ１３が保管され、同一姿勢および同一方向に並べて配列されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
上記のカンチレバー検出装置４３によれば、よく知られたコンピュータによる信号処理またはデータ処理の機能との相互作用の下で、走査型プローブ顕微鏡装置における使用において、カンチレバーカセットごとに、そこに保管されたカンチレバーを個別に管理することができる。さらにカンチレバーカセットは、工場出荷時における配列はそのままであるから、出荷時における管理状態と、ユーザにおける使用時における管理状態（使用状態）とを対比し、まとめて管理することもできる。さらに、カンチレバー検出装置４３によれば、ピックアップ装置（図示せず）でカンチレバーカセット１０−１に保管されるいずれかのカンチレバーを取り出し、走査型プローブ顕微鏡の探針装着部（またはカンチレバー装着部）に装着する場合において、戻すとき２つのカンチレバーが同じ箇所に存在してトラブルが発生するのを防止することができる。またカセット設置ポート３１に取り付けられたカンチレバーカセット１０−１では、各カンチレバー１１（または各探針１２もしくは各カンチレバーホルダ１３）の位置は、走査型プローブ顕微鏡の装置上で、すなわち試料台２９上で設定された座標系においてそれぞれ座標位置を与えることができるので、カンチレバー１１ごとに使用状況または使用状態および安全性等に関しての管理を行うことができる。併せて、カンチレバーカセット１０−１は、交換用の新品の探針１２を保管するカセットとしても使用できるし、さらには使用済みの探針１２を保管するカセットとしても使用することができる。