【手続補正書】
【提出日】平成19年11月15日(2007.11.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１４０ｎｍ〜２４８ｎｍの範囲の作業波長で５０％以上の透過率を有する液浸流体であって、
ビシクロヘキシル、グリセロール及びｃｉｓ−２−メチルシクロヘキサノールからなる群より選択される少なくとも１種のキャリア媒体、及び、
アルキルアルコール、アルキルエトキシレートとアルキルプロポキシレート及びそれらの誘導体、アルキル酸エステル、アミン基を含むアルキルアミン、アルキルアミンエトキシレート、アセチレン列アルコールとアセチレン列ジオール及びそれらのエチレンオキシド／プロピレンオキシド誘導体、アルキルポリグリコシド、ブロックオリゴマー、エチレン及びプロピレンオキシドのポリマー、グリシジルエーテル、グリシジルエーテルのグルカミン誘導体、尿素、シロキサン含有化合物、フッ素化又は部分的にフッ素化されたアセチレン列アルコール、並びに、ジオール及びそれらの誘導体から選択される、約１ｐｐｍから最大溶解限度までの少なくとも１種の添加剤、
を含む液浸流体。
【請求項２】
フォトレジストの層を塗布した基材上にパターンを形成する方法であって、
基材上のフォトレジストの層と１４０ｎｍ〜３６５ｎｍの範囲の作業波長を有するレンズとの間に流体を導入し、この流体が、
水性流体、非水性流体及びそれらの混合物からなる群から選択され上記作業波長で水以上の屈折率を有する少なくとも１種のキャリア媒体、及び
アルキルアルコール、アルキルエトキシレートとアルキルプロポキシレート及びそれらの誘導体、アルキル酸エステル、アミン基を含むアルキルアミン、アルキルアミンエトキシレート、アセチレン列アルコールとアセチレン列ジオール及びそれらのエチレンオキシド／プロピレンオキシド誘導体、アルキルポリグリコシド、ブロックオリゴマー、エチレン及びプロピレンオキシドのポリマー、グリシジルエーテル、グリシジルエーテルのグルカミン誘導体、尿素、シロキサン含有化合物、フッ素化又は部分的にフッ素化されたアセチレン列アルコールとジオール及びそれらの誘導体、フッ素系界面活性剤、イオン性液体、塩、及び電解質から選択される、約１ｐｐｍから最大溶解限度までの少なくとも１種の添加剤であって、当該少なくとも１種の添加剤がフッ素系界面活性剤である場合には当該流体は約１重量％以上の水性流体を含むものとする、少なくとも１種の添加剤、
を含む、流体導入工程、及び、
基材上のフォトレジストの層を上記流体を通して露光して、フォトレジストにパターンを形成する工程、
を含む、パターン形成方法。
【請求項３】
前記少なくとも１種のキャリア媒体が水性流体である、請求項２記載の方法。
【請求項４】
前駆少なくとも１種の添加剤を、アルキルアルコール、イオン性液体、塩、電解質、及びそれらの混合物からなる群から選ぶ、請求項３記載の方法。
【請求項５】
前記少なくとも１種のキャリア媒体が非水性流体である、請求項２記載の方法。
【請求項６】
前記非水性流体が、ビシクロヘキシル、グリセロール及びｃｉｓ−２−メチルシクロヘキサノールからなる群より選択される少なくとも１種である、請求項５記載の方法。
【請求項７】
前記非水性流体がビシクロヘキシルである、請求項６記載の方法。
【請求項８】
前記少なくとも１種のキャリア媒体が水性及び非水性流体の混合物であり、当該非水性流体が水混和性である、請求項２記載の方法。
【請求項９】
前記非水性流体が、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、グリセロール、エチレングリコール及びその誘導体、ポリエチレングリコール及びその誘導体、並びにテトラヒドロフランからなる群より選択される少なくとも１種である、請求項８記載の方法。
【請求項１０】
フォトレジストの層を塗布した基材上にパターンを形成する方法であって、
基材上のフォトレジストの層と１４０ｎｍ〜３６５ｎｍの範囲の作業波長を有するレンズとの間に流体を導入し、この流体が、
水性流体、非水性流体及びそれらの混合物からなる群から選択され上記作業波長で水以上の屈折率を有する少なくとも１種のキャリア媒体、及び
アルキルアルコール又は１以上のヒドロキシル基を有する高分子アルコールから選択される、約１０ｐｐｍから最大溶解限度までの少なくとも１種の添加剤、
を含む、流体導入工程、及び、
基材上のフォトレジストの層を上記流体を通して露光して、フォトレジストにパターンを形成する工程、
を含む、パターン形成方法。
【請求項１１】
前記少なくとも１種のキャリア媒体が水性及び非水性流体の混合物であり、当該非水性流体が水混和性である、請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
前記非水性流体が、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、グリセロール、エチレングリコール及びその誘導体、ポリエチレングリコール及びその誘導体、並びにテトラヒドロフランからなる群より選択される少なくとも１種である、請求項１１記載の方法。
【請求項１３】
前記少なくとも１種のキャリア媒体が非水性流体である、請求項１０記載の方法。
【請求項１４】
前記非水性流体が、ビシクロヘキシル、グリセロール及びｃｉｓ−２−メチルシクロヘキサノールからなる群より選択される少なくとも１種である、請求項１３記載の方法。
【請求項１５】
前記非水性流体がビシクロヘキシルである、請求項１４記載の方法。
【請求項１６】
前記非水性流体が炭化水素である、請求項１３記載の方法。
【請求項１７】
フォトレジストの層を塗布した基材上にパターンを形成する方法であって、
基材上のフォトレジストの層と１４０ｎｍ〜３６５ｎｍの範囲の作業波長を有するレンズとの間に流体を導入し、この流体が、
非水性流体、及び水性流体と非水性流体の混合物からなる群から選択され上記作業波長で水以上の屈折率を有する少なくとも１種のキャリア媒体、
を含む、流体導入工程、及び、
基材上のフォトレジストの層を上記流体を通して露光して、フォトレジストにパターンを形成する工程、
を含む、パターン形成方法。
【請求項１８】
前記少なくとも１種のキャリア媒体が水性及び非水性流体の混合物であり、当該非水性流体が水混和性である、請求項１７記載の方法。
【請求項１９】
前記非水性流体が、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、グリセロール、エチレングリコール及びその誘導体、ポリエチレングリコール及びその誘導体、並びにテトラヒドロフランからなる群より選択される少なくとも１種である、請求項１８記載の方法。
【請求項２０】
前記少なくとも１種のキャリア媒体が非水性流体である、請求項１７記載の方法。
【請求項２１】
前記非水性流体が、ビシクロヘキシル、グリセロール及びｃｉｓ−２−メチルシクロヘキサノールからなる群より選択される少なくとも１種である、請求項２０記載の方法。
【請求項２２】
前記非水性流体がビシクロヘキシルである、請求項２０記載の方法。
【請求項２３】
前記非水性流体が炭化水素を含む、請求項２０記載の方法。
【請求項２４】
前記非水性流体がフッ素化した炭化水素を含む、請求項２０記載の方法。
【請求項２５】
前記非水性流体がＳＦ5−官能化炭化水素を含む、請求項２０記載の方法。
【請求項２６】
前記非水性流体が硫黄含有化合物を含む、請求項２０記載の方法。
【請求項２７】
フォトレジストの層を塗布した基材上にパターンを形成する方法であって、
基材上のフォトレジストの層と１４０ｎｍ〜３６５ｎｍの範囲の作業波長を有するレンズとの間にビシクロヘキシルの流体層を導入する工程、及び、
基材上のフォトレジストの層を上記流体を通して露光して、フォトレジストにパターンを形成する工程、
を含む、パターン形成方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
少なくとも１種のキャリア媒体を含む液浸流体、及び少なくとも１種のキャリア媒体と少なくとも１種の添加剤とを含む液浸流体が、ここに開示される。本発明の一つの側面において、アルキルアルコール、アルキルエトキシレートとアルキルプロポキシレート及びそれらの誘導体、アルキル酸エステル、アミン基を含むアルキルアミン、アルキルアミンエトキシレート、アセチレン列アルコールとアセチレン列ジオール及びそれらのエチレンオキシド／プロピレンオキシド誘導体、アルキルポリグリコシド、ブロックオリゴマー、エチレン及びプロピレンオキシドのポリマー、グリシジルエーテル、グリシジルエーテルのグルカミン誘導体、尿素、シロキサン含有化合物、フッ素化又は部分的にフッ素化されたアセチレン列アルコールとジオール及びそれらの誘導体、フッ素系界面活性剤、イオン性液体、塩、並びに電解質から選択される少なくとも１種の添加剤を約１ｐｐｍから最大溶解限度まで含む液浸流体であって、但し当該少なくとも１種の添加剤がフッ素系界面活性剤である場合には当該液浸流体は約１重量％以上の水性流体を含む液浸流体が、提供される。