【手続補正書】
【提出日】平成20年1月31日(2008.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源部からの光束で被照射面を照明する照明光学装置において、
前記光源部と前記被照射面との間の光路中に配置される第１オプティカルインテグレータと、
前記第１オプティカルインテグレータと前記被照射面との間の光路中に配置される第２オプティカルインテグレータと、
前記第１オプティカルインテグレータと前記第２オプティカルインテグレータとの間の光路中に配置され、前記第２オプティカルインテグレータへの入射光束の入射位置を変化させる入射位置変更素子と、
を備え、
前記入射位置変更素子は、前記光源部から射出される光束のエネルギー密度が高くなる所で用いられた場合においても前記入射位置変更素子の光学性能を維持することができる光学部材により構成されることを特徴とする照明光学装置。
【請求項２】
前記光学部材は、結晶材料により形成される結晶光学部材を有することを特徴とする請求項１に記載の照明光学装置。
【請求項３】
前記結晶光学部材は、蛍石または水晶を有することを特徴とする請求項２記載の照明光学装置。
【請求項４】
前記結晶光学部材は、前記結晶光学部材の結晶方位（１１１）と前記照明光学装置の光軸とが一致するように位置決めされることを特徴とする請求項２または請求項３記載の照明光学装置。
【請求項５】
前記入射位置変更素子は、
前記照明光学装置の光軸方向に対して凹状屈折面を有する第１プリズムと、
前記第１プリズムの前記凹状屈折面と相補的に形成された凸状屈折面を有する第２プリズムと、
を備え、
前記第１プリズム及び前記第２プリズムのうち少なくとも一方は、前記照明光学装置の光軸に沿って移動可能に構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか一項に記載の照明光学装置。
【請求項６】
前記入射位置変更素子は、
前記照明光学装置の光軸方向に対して凹状屈折面の一部を有する第１プリズムと、
前記照明光学装置の光軸方向に対して凸状屈折面の一部を有する第２プリズムと、
を備え、
前記第１プリズム及び前記第２プリズムのうちの少なくとも一方は、前記照明光学装置の光軸方向に沿って移動可能に構成され、
前記第１プリズムは複数の前記凹状屈折面の一部を有し、
前記第２プリズムは複数の前記凸状屈折面の一部を有することを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか一項に記載の照明光学装置。
【請求項７】
前記入射位置変更素子は、前記照明光学装置の瞳または該瞳の近傍に配置されることを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れか一項に記載の照明光学装置。
【請求項８】
前記第１オプティカルインテグレータは、前記光源部からの光束に基づいて前記瞳または該瞳の近傍に所定形状の光強度分布を形成することを特徴とする請求項７記載の照明光学装置。
【請求項９】
感光性基板上にマスクのパターンを転写する露光装置において、
前記マスクを照明するための請求項１乃至請求項８の何れか一項に記載の照明光学装置と、
前記マスクのパターンの像を前記感光性基板上に形成するための投影光学系と、
を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１０】
感光性基板上に所定のパターンを転写する露光方法において、
請求項１乃至請求項８の何れか一項に記載の照明光学装置を用いて前記所定のパターンが形成されるマスクを照明する照明工程と、
前記感光性基板上に前記所定のパターンを転写する転写工程と、
を含むことを特徴とする露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、請求項２記載の照明光学装置は、前記光学部材が結晶材料により形成される結晶光学部材を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、請求項３記載の照明光学装置は、前記結晶光学部材が蛍石または水晶を有することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、請求項４記載の照明光学装置は、前記結晶光学部材が前記結晶光学部材の結晶方位（１１１）と前記照明光学装置の光軸とが一致するように位置決めされることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
この請求項２〜請求項４記載の照明光学装置によれば、光学部材が結晶光学部材を有しており、結晶光学部材が結晶光学部材の結晶方位（１１１）と照明光学装置の光軸とが一致するように位置決めされているため、直線偏光状態の光束が光学部材に入射した場合において、直線偏光の振動方向の変化、直線偏光から楕円偏光や円偏光への変化を防止することができる。従って、被照射面の特性等に対応した最適な偏光状態の光束で照明を行うことができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、請求項５記載の照明光学装置は、前記入射位置変更素子が前記照明光学装置の光軸方向に対して凹状屈折面を有する第１プリズムと、前記第１プリズムの前記凹状屈折面と相補的に形成された凸状屈折面を有する第２プリズムとを備え、前記第１プリズム及び前記第２プリズムのうち少なくとも一方は、前記照明光学装置の光軸に沿って移動可能に構成されていることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
この請求項５記載の照明光学装置によれば、入射位置変更素子が備える第１プリズム及び第２プリズムのうち少なくとも一方が照明光学装置の光軸に沿って移動可能に構成されているため、第１プリズムの凹状屈折面と第２プリズムの凸状屈折面とを当接させることにより、入射位置変更素子が平行平面板を構成する。また、第１プリズムの凹状屈折面と第２プリズムの凸状屈折面とを離間させることにより、入射位置変更素子がいわゆるビームエキスパンダーを構成するため、第１プリズムの凹状屈折面と第２プリズムの凸状屈折面との間隔を調整することにより、第２オプティカルインテグレータへの入射光束の入射位置（光軸からの距離）を自由に変化させることができる。従って、例えば変形照明等（例えば輪帯照明または多極照明）を行う場合、被照射面の照射されるべき領域に対応した照明形状とすることができ、被照射面を良好に照明することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、請求項６記載の照明光学装置は、前記入射位置変更素子が前記照明光学装置の光軸方向に対して凹状屈折面の一部を有する第１プリズムと、前記照明光学装置の光軸方向に対して凸状屈折面の一部を有する第２プリズムとを備え、前記第１プリズム及び前記第２プリズムのうちの少なくとも一方は、前記照明光学装置の光軸方向に沿って移動可能に構成され、前記第１プリズムは複数の前記凹状屈折面の一部を有し、前記第２プリズムは複数の前記凸状屈折面の一部を有することを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
この請求項６記載の照明光学装置によれば、入射位置変更素子が備える第１プリズムが複数の凹状屈折面の一部を有するため、凹状屈折面を有するプリズムと比較して第１プリズムの厚さを薄くすることができる。また、同様に、入射位置変更素子が備える第２プリズムが複数の凸状屈折面の一部を有するため、凸状屈折面を有するプリズムと比較して第２プリズムの厚さを薄くすることができる。従って、第１プリズム及び第２プリズムを照明光学装置に搭載する際に、配置スペースを小さくすることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、第１プリズム及び第２プリズムのうち少なくとも一方が照明光学装置の光軸に沿って移動可能に構成されているため、第１プリズムの複数の凹状屈折面の一部と第２プリズムの複数の凸状屈折面の一部とを当接させることにより、入射位置変更素子が平行平面板を構成する。また、第１プリズムの複数の凹状屈折面の一部と第２プリズムの複数の凸状屈折面の一部とを離間させることにより、入射位置変更素子がいわゆるビームエキスパンダーを構成するため、第１プリズムと第２プリズムとの間隔を調整することにより、第２オプティカルインテグレータへの入射光束の入射位置（光軸からの距離）を自由に変化させることができる。従って、変形照明等（例えば輪帯照明または多極照明）を行う場合、被照射面の照射されるべき領域に対応した照明形状とすることができ、被照射面を良好に照明することができる。