【手続補正書】
【提出日】平成20年9月1日(2008.9.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つ以上のセンサに応答して、電源が電力を供給する電気負荷の異常な変化を検出するための電気回路であり、各センサが、前記電力または前記負荷の電磁条件に応答したセンサ信号を生成する電気回路であって、
各センサ導出信号の値が、前記センサ信号の１つ以上に応じたものであるように、各センサ信号を受信し、１つ以上のセンサ導出信号を生成するためのセンサ信号受信回路と、
前記センサ導出信号を受信し、各センサ導出信号に対して、対応する比較結果を生成するための比較器回路であって、各比較結果が、真または偽のいずれかであり得る値を有し、前記比較器が、前記対応するセンサ導出信号が、前記センサ導出信号に関連付けられたしきい値より大きいかまたは小さいかにしたがって、各比較結果の値を決定する比較器回路と、
前記比較結果の任意のものが肯定的であれば、電気負荷の異常な変化を知らせるアラートを発信するためのアラート回路と、
を備える、回路。
【請求項２】
前記それぞれのしきい値が、前記負荷に電気アークが存在しない場合、各センサ導出値が、それに関連付けられたしきい値に通常交わらないように確立された、請求項１に記載の回路。
【請求項３】
前記それぞれのしきい値が、前記負荷に電気アークが発生すれば、各センサ導出値が、それに関連付けられたしきい値に交わると想定されるように確立された、請求項２に記載の回路。
【請求項４】
前記それぞれのしきい値が、前記負荷に電気アークが発生すれば、各センサ導出値が、それに関連付けられたしきい値に交わると想定されるように確立された、請求項１に記載の回路。
【請求項５】
前記センサ導出値の１つが、前記センサ信号の１つである、請求項１に記載の回路。
【請求項６】
前記センサ導出値の１つが、前記センサ信号の１つの変化率である、請求項１に記載の回路。
【請求項７】
前記電気負荷が、プラズマチャンバであり、
前記センサ信号の１つが、前記プラズマチャンバからの放射に応答する、請求項１に記載の回路。
【請求項８】
前記電気負荷が、プラズマチャンバであり、
前記センサ信号の１つが、前記プラズマチャンバ内の電磁場に応答する、請求項１に記載の回路。
【請求項９】
前記センサ信号の１つが、前記電源と前記負荷との間の反射ＲＦ電力に応答し、
前記アラート回路が、前記反射ＲＦ電力がそれに関連付けられたしきい値を超えれば、アラートを発信する、請求項１に記載の回路。
【請求項１０】
前記センサ信号の１つが、前記電源と前記負荷との間の反射ＲＦ電力に応答し、
前記アラート回路が、前記反射ＲＦ電力の変化率がそれに関連付けられたしきい値を超えれば、アラートを発信する、請求項１に記載の回路。
【請求項１１】
前記電源が、前記電源によって供給された電力が、電力設定点信号に応答するレベルを有するように、電力設定点信号によって制御され、
前記比較器回路が、前記電力設定点信号に応答して、前記しきい値の少なくとも１つを調節する、請求項１に記載の回路。
【請求項１２】
前記比較器回路が、前記電力設定点信号に比例するように、前記しきい値の少なくとも１つを調節する、請求項１１に記載の回路。
【請求項１３】
電力設定点値の複数の範囲を画成し、前記しきい値の１つ以上に対してそれぞれの値を各範囲に関連付ける表が格納されたメモリ回路をさらに備え、
前記比較器回路が、前記しきい値の１つ以上のそれぞれの値を、前記電力設定点信号の現在の値を含む電力設定点値の範囲に関連付けられた表に格納された値に設定する、請求項１１に記載の回路。
【請求項１４】
前記センサ導出値の各々が、前記負荷に異常な変化がない場合に、値の正常範囲によって特徴付けられ、
前記比較器回路が、前記電気負荷の異常な変化を知らせるアラートを発信するアラート回路に応答して、前記しきい値の少なくとも１つを、前記しきい値に関連付けられた前記センサ導出値の値の正常範囲に近い値に変化させる、請求項１に記載の回路。
【請求項１５】
前記比較器回路が、前記電気負荷の異常な変化を知らせる前記アラートに応答して、前記しきい値の少なくとも１つを変化させた後、関連付けられたしきい値にすでに交差したすべてのセンサが、関連付けられたしきい値の元の側へ交わって戻ったときを決定し、次いで、前記電気負荷の異常な変化を知らせる前記アラートに応答して、前記比較器回路が変化させた前記しきい値のすべてを元の値に回復させる、請求項１４に記載の回路。
【請求項１６】
前記比較器回路および前記アラート回路が、プログラマブルコンピュータであり、
前記センサ導出信号が、前記コンピュータのメモリに格納された値である、請求項１に記載の回路。
【請求項１７】
電源が電力を供給するプラズマチャンバにおいて、電気アークが発生しているかどうかを検出するための電気回路であって、
前記電力または前記プラズマチャンバの電磁条件に応答して各センサがセンサ信号を生成する１つ以上のセンサと、
各センサ導出信号の値が、前記センサ信号の１つ以上に応じたものであるように、各センサ信号を受信し、１つ以上のセンサ導出信号を生成するためのセンサ信号受信回路と、
前記センサ導出信号を受信し、各センサ導出信号に対して、対応する比較結果を生成するための比較器回路であって、各比較結果が、真または偽のいずれかであり得る値を有し、前記比較器が前記対応するセンサ導出信号が、前記センサ導出信号に関連付けられたしきい値より大きいかまたは小さいかに応じて、各比較結果の値を決定する比較器回路と、
前記比較結果の任意のものが肯定的であれば、プラズマチャンバにおける電気アークを知らせるアラートを発信するためのアラート回路と、
を備える、回路。
【請求項１８】
前記それぞれのしきい値が、前記プラズマチャンバに電気アークが存在しない場合、各センサ導出値が、それに関連付けられたしきい値に通常交わらないように確立された、請求項１７に記載の回路。
【請求項１９】
前記それぞれのしきい値が、前記プラズマチャンバに電気アークが発生すれば、各センサ導出値が、それに関連付けられたしきい値に交わると想定されるように確立された、請求項１８に記載の回路。
【請求項２０】
前記それぞれのしきい値が、前記プラズマチャンバに電気アークが発生すれば、各センサ導出値が、それに関連付けられたしきい値に交わると想定されるように確立された、請求項１７に記載の回路。
【請求項２１】
前記センサ導出値の１つが、前記センサ信号の１つである、請求項１７に記載の回路。
【請求項２２】
前記センサ導出値の１つが、前記センサ信号の１つの変化率である、請求項１７に記載の回路。
【請求項２３】
前記センサ信号の１つが、前記プラズマチャンバからの放射に応答する、請求項１７に記載の回路。
【請求項２４】
前記センサ信号の１つが、前記プラズマチャンバ内の電磁場に応答する、請求項１７に記載の回路。
【請求項２５】
前記電源が、ＲＦ電力を前記プラズマチャンバに供給し、
前記センサ信号の１つが、前記電源と前記プラズマチャンバとの間の反射ＲＦ電力に応答し、
前記アラート回路が、前記反射ＲＦ電力が、それに関連付けられたしきい値を超えれば、アラートを発信する、請求項１７に記載の回路。
【請求項２６】
前記電源が、ＲＦ電力を前記プラズマチャンバに供給し、
前記センサ信号の１つが、前記電源と前記プラズマチャンバとの間の反射ＲＦ電力に応答し、
前記アラート回路が、前記反射ＲＦ電力の変化率が、それに関連付けられたしきい値を超えれば、アラートを発信する、請求項１７に記載の回路。
【請求項２７】
前記電源が、前記電源によって供給された電力が、電力設定点信号に応答するレベルを有するように、電力設定点信号によって制御され、
前記比較器回路が、前記電力設定点信号に応答して、前記しきい値の少なくとも１つを調節する、請求項１７に記載の回路。
【請求項２８】
前記比較器回路が、前記電力設定点信号に比例するように、前記しきい値の少なくとも１つを調節する、請求項２７に記載の回路。
【請求項２９】
電力設定点値の複数の範囲を画成し、前記しきい値の１つ以上に対してそれぞれの値を各範囲に関連付ける表が格納されたメモリ回路をさらに備え、
前記比較器回路が、前記しきい値の１つ以上のそれぞれの値を、前記電力設定点信号の現在の値を含む電力設定点値の範囲に関連付けられた表に格納された値に設定する、請求項２７に記載の回路。
【請求項３０】
前記センサ導出値の各々が、前記プラズマチャンバに電気アークがない場合に、値の正常範囲によって特徴付けられ、
前記比較器回路が、前記プラズマチャンバの電気アークを知らせるアラートを発信するアラート回路に応答して、前記しきい値の少なくとも１つを、前記しきい値に関連付けられた前記センサ導出値の値の正常範囲に近い値に変化させる、請求項１７に記載の回路。
【請求項３１】
前記比較器回路が、前記プラズマチャンバの電気アークを知らせる前記アラートに応答して、前記しきい値の少なくとも１つを変化させた後、関連付けられたしきい値にすでに交差したすべてのセンサが、関連付けられたしきい値の元の側へ交わって戻ったときを決定し、次いで、前記プラズマチャンバの電気アークを知らせる前記アラートに応答して、前記比較器回路が変化させた前記しきい値のすべてを元の値に回復させる、請求項３０に記載の回路。
【請求項３２】
前記比較器回路および前記アラート回路が、プログラマブルコンピュータであり、
前記センサ導出信号が、前記コンピュータのメモリに格納された値である、請求項１７に記載の回路。
【請求項３３】
電源が電力を供給する電気負荷における電気アークを抑制するための電気回路であって、
電源によって供給される電力が制御するための制御入力を有する、電力を電気負荷に供給するように適合された電源と、
前記電気負荷に電気アークが発生しているかどうかを値が指示する信号を出力するアーク検出回路と、
前記アーク検出回路の前記出力信号を受信し、前記電源の前記制御入力に制御信号を送信するように接続された制御回路とを備え、
前記アーク検出回路が、前記電気負荷に電気アークが発生していることを指示する信号を出力した後、前記制御回路が、第１の期間、前記電力レベルを低減するように前記電源に命令する第１の値に前記制御信号を設定し、次いで、前記第１の期間後、前記第１の期間前のレベルに前記電力を戻すように前記電源に命令する第２の値に前記制御信号を設定する、回路。
【請求項３４】
前記制御回路が前記制御信号を前記第２の値に設定した後、前記アーク検出回路が、前記電気負荷に電気アークが発生していることを指示する信号を再度出力すれば、前記制御回路が、第２の期間、前記電力レベルを低減するように前記電源に命令する第１の値に前記制御信号を設定し、次いで、前記第２の期間後、前記第２の期間前のレベルに前記電力を戻すように前記電源に命令する前記第２の値に前記制御信号を設定する、請求項３３に記載の回路。
【請求項３５】
前記制御回路が、前記制御信号を前記第１の値に設定した回数を計数し、前記カウントが、所定の最大値以上であると、前記制御回路が、前記制御信号を前記第２の値に引き続き設定しない、請求項３３に記載の回路。
【請求項３６】
前記電気負荷が、プラズマチャンバである、請求項３３に回路。
【請求項３７】
前記アーク検出回路が、
前記電力または電気負荷の電磁条件に応答して各センサがセンサ信号を生成する１つ以上のセンサと、
各センサ導出信号の値が、前記センサ信号の１つ以上に応じたものであるように、各センサ信号を受信し、１つ以上のセンサ導出信号を生成するためのセンサ信号受信回路と、
前記センサ導出信号を受信し、各センサ導出信号に対して、対応する比較結果を生成するための比較器回路であって、各比較結果が、真または偽のいずれかであり得る値を有し、前記比較器が、前記対応するセンサ導出信号が、前記センサ導出信号に関連付けられたしきい値より大きいかまたは小さいかにしたがって、各比較結果の値を決定する比較器回路と、
を備える、請求項３３に記載の回路。
【請求項３８】
前記アーク検出回路および前記制御回路の少なくとも１つが、プログラマブルコンピュータである、請求項３３に記載の回路。