(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部塔，上部塔及び主凝縮蒸発器を有する複精留塔と、液化空気を液化寒冷源とするアルゴン凝縮器を塔頂部に有する粗アルゴン塔とを備え、該粗アルゴン塔に、粗アルゴン塔の還流液を貯溜する液溜を付設し、該液溜に前記粗アルゴン塔の還流液を導く還流液導入径路と、該液溜に貯溜された還流液を前記粗アルゴン塔に供給する還流液供給径路と、前記還流液導入径路及び還流液供給径路の少なくともいずれか一方に、該径路を流れる還流液の流量を調節する流量調節手段とを設け、圧縮，精製，冷却した原料空気を液化精留することにより、製品として少なくともアルゴンを採取する空気液化分離装置の運転方法において、前記粗アルゴン塔の還流液の少なくとも一部を前記液溜に貯溜し、該貯溜された還流液を、装置の運転状態に応じた流量で前記粗アルゴン塔に供給するとともに、前記空気液化分離装置が増量運転又は減量運転に移行する際における前記還流液の流量の増減速度を、前記アルゴン凝縮器の寒冷源となる液化空気の流量の増減速度よりも高くすることを特徴とする空気液化分離装置の運転方法。
【請求項２】
下部塔，上部塔及び主凝縮蒸発器を有する複精留塔と、液化空気を液化寒冷源とするアルゴン凝縮器を塔頂部に有する粗アルゴン塔とを備え、該粗アルゴン塔に、粗アルゴン塔の還流液を貯溜する液溜を付設し、該液溜に前記粗アルゴン塔の還流液を導く還流液導入径路と、該液溜に貯溜された還流液を前記粗アルゴン塔に供給する還流液供給径路と、前記還流液導入径路及び還流液供給径路の少なくともいずれか一方に、該径路を流れる還流液の流量を調節する流量調節手段とを設け、圧縮，精製，冷却した原料空気を液化精留することにより、製品として少なくともアルゴンを採取する空気液化分離装置の運転方法において、前記粗アルゴン塔の還流液の少なくとも一部を前記液溜に貯溜し、該貯溜された還流液を、装置の運転状態に応じた流量で前記粗アルゴン塔に供給するとともに、前記空気液化分離装置が増量運転又は減量運転に移行する際における前記還流液の流量の増減を、前記アルゴン塔の上昇ガス流の増減よりも先行させることを特徴とする空気液化分離装置の運転方法。
【請求項３】
前記空気液化分離装置が減量運転に移行する際には、前記粗アルゴン塔に供給される還流液の流量を前記アルゴン凝縮器で生成される還流液の流量よりも減少させることを特徴とする請求項１又は２記載の空気液化分離装置の運転方法。
【請求項４】
前記空気液化分離装置が増量運転に移行する際には、前記粗アルゴン塔に供給される還流液の流量を前記アルゴン凝縮器で生成される還流液の流量よりも増加させることを特徴とする請求項１又は２記載の空気液化分離装置の運転方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空気液化分離装置の運転方法に関し、詳しくは、低温で空気を液化精留することにより、少なくともアルゴン（粗アルゴンを含む）を製品として採取する空気液化分離装置であって、製品需要の大幅な変動に迅速に対応することができる空気液化分離装置の運転方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
酸素，窒素，アルゴンといった工業ガスの多消費ユーザーである製鉄所や化学工場等においては、ガスの大幅な需要変動が頻繁に繰り返されることが多い。これに対応するため、これらの工業ガスの製造設備である空気液化分離装置には、製品量の大幅な増減に迅速に対応できる能力が求められている。
【０００３】
例えば、空気液化分離装置にガスホルダーや液化ガス貯槽のようなバックアップ設備を付設して製品ガスを貯留し、需要増大時には、前記バックアップ設備から製品ガスを補給し、需要減少時には、余剰の製品ガスをバックアップ設備に貯留するようにしている。しかし、製品ガスの大幅需要変動に対応するためには、大型のバックアップ設備を必要とし、需要減少時にバックアップ設備の貯留能力を超えた場合には、装置のターンダウンや製品ガスの放風を行わなければならなかった。
【０００４】
また、前記ガスホルダー方式においては、需要増の際にも製品ガスの供給圧力を確保するため、製品圧縮機の吐出圧力を製品の送ガスに必要な圧力よりも遥かに高い圧力に設定して運転するため、動力の無駄が大きいという問題点がある。一方、製品ガスを液化して貯留する方式では、製品ガスを液化する際に多大な動力を要するという問題がある。さらに、製品ガスの放風は、過剰な生産を意味し、明らかに無駄な動力を消費していることになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、空気液化分離装置自身の能力として、需要の増減量に合わせて製品ガスの生産量を迅速に増減量できることが要求されるが、製品ガスの生産量を急激に増減量すると、製品純度が変動する不都合がある。
【０００６】
すなわち、蒸留塔の増減量操作を行う場合、上昇ガスの流量変化は、遅れが殆ど無いのに対し、還流液の流量は、時間的な遅れを伴って変化するため、蒸留塔の負荷を変更する場合には、還流液量を上昇ガス量より早く変化させるように制御系を設定するなどしてこのアンバランスを緩和し、製品純度の変動を抑えるようにしている。
【０００７】
しかし、製品ガスとしてアルゴンを生産する装置に設けられた粗アルゴン塔においては、上昇ガスの流量と還流液の流量とが、塔頂部に設けた粗アルゴン凝縮器で一意的に制御されているため、液量の変更とガス量の変更とに時間差を設けることができず、例えば、原料空気量比で毎分３％といった迅速な操業変更を行うと、製品アルゴンの純度が損なわれたり、純度が大きく変動したりするため、粗アルゴン塔の操業変更を迅速に行うことはできなかった。特に、規則充填物を使用した粗アルゴン塔は、棚段式のものに比べてより顕著に純度変動等を生じるため、増減量操作の迅速化にとって大きな制限となっている。
【０００８】
そこで本発明は、増減量操作時の粗アルゴン塔内で生じる還流比のアンバランスを緩和することにより、製品アルゴンをはじめとする各種製品ガスの純度変動を最小に抑えながら迅速に増減量操作を行うことができる空気液化分離装置の運転方法を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の空気液化分離装置の第１の運転方法は、下部塔，上部塔及び主凝縮蒸発器を有する複精留塔と、液化空気を液化寒冷源とするアルゴン凝縮器を塔頂部に有する粗アルゴン塔とを備え、該粗アルゴン塔に、粗アルゴン塔の還流液を貯溜する液溜を付設し、該液溜に前記粗アルゴン塔の還流液を導く還流液導入径路と、該液溜に貯溜された還流液を前記粗アルゴン塔に供給する還流液供給径路と、前記還流液導入径路及び還流液供給径路の少なくともいずれか一方に、該径路を流れる還流液の流量を調節する流量調節手段とを設け、圧縮，精製，冷却した原料空気を液化精留することにより、製品として少なくともアルゴンを採取する空気液化分離装置の運転方法において、前記粗アルゴン塔の還流液の少なくとも一部を前記液溜に貯溜し、該貯溜された還流液を、装置の運転状態に応じた流量で前記粗アルゴン塔に供給するとともに、前記空気液化分離装置が増量運転又は減量運転に移行する際における前記還流液の流量の増減速度を、前記アルゴン凝縮器の寒冷源となる液化空気の流量の増減速度よりも高くすることを特徴としている。
【００１０】
さらに、本発明の空気液化分離装置の第２の運転方法は、下部塔，上部塔及び主凝縮蒸発器を有する複精留塔と、液化空気を液化寒冷源とするアルゴン凝縮器を塔頂部に有する粗アルゴン塔とを備え、該粗アルゴン塔に、粗アルゴン塔の還流液を貯溜する液溜を付設し、該液溜に前記粗アルゴン塔の還流液を導く還流液導入径路と、該液溜に貯溜された還流液を前記粗アルゴン塔に供給する還流液供給径路と、前記還流液導入径路及び還流液供給径路の少なくともいずれか一方に、該径路を流れる還流液の流量を調節する流量調節手段とを設け、圧縮，精製，冷却した原料空気を液化精留することにより、製品として少なくともアルゴンを採取する空気液化分離装置の運転方法において、前記粗アルゴン塔の還流液の少なくとも一部を前記液溜に貯溜し、該貯溜された還流液を、装置の運転状態に応じた流量で前記粗アルゴン塔に供給するとともに、前記空気液化分離装置が増量運転又は減量運転に移行する際における前記還流液の流量の増減を、前記アルゴン塔の上昇ガス流の増減よりも先行させることを特徴としている。
【００１１】
また、第１及び第２の運転方法において、前記空気液化分離装置が減量運転に移行する際には、前記粗アルゴン塔に供給される還流液の流量を前記アルゴン凝縮器で生成される還流液の流量よりも減少させること、さらに、前記空気液化分離装置が増量運転に移行する際には、前記粗アルゴン塔に供給される還流液の流量を前記アルゴン凝縮器で生成される還流液の流量よりも増加させることを特徴としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の運転方法を実施する空気液化分離装置の一形態例を示す系統図である。この空気液化分離装置は、製品として粗アルゴンガス（ＲＡｒ），酸素ガス（ＧＯ２），窒素ガス（ＧＮ２）を生産するものであって、下部塔１，上部塔２及び主凝縮蒸発器３を有する複精留塔４と、アルゴン凝縮器５及び液溜６を有する粗アルゴン塔７と、各種ガスや液を熱交換させるための主熱交換器８及び過冷器９と、装置を所定の運転状態に制御するための各種制御手段とにより形成されている。
【００１３】
図示しない圧縮機で所定圧力に圧縮され、精製設備で精製された原料空気（ＡＩＲ）は、流量指示調節計（ＦＩＣ）１１により制御される調節弁１１Ｖを通って主熱交換器８に流入し、複精留塔４等から導出された各種低温ガスと熱交換を行って所定温度に冷却された後、経路５１を通って前記下部塔１の下部に導入される。
【００１４】
下部塔１に導入された原料空気は、塔内での精留操作によって塔頂部の窒素ガスと塔底部の酸素富化液化空気とに分離する。塔頂部の窒素ガスは、経路５２を経て前記主凝縮蒸発器３に導入され、上部塔底部の液化酸素と熱交換を行って液化し、その一部が経路５３に分岐する他は、経路５４を経て下部塔１の頂部に戻され、下部塔１の還流液となる。一方、前記経路５３に分岐した液化窒素は、過冷器９で冷却された後、流量調節計（ＦＣ）１２で調節される調節弁１２Ｖを通り、経路５５から上部塔２の頂部に導入されて上部塔２の還流液となる。
【００１５】
また、下部塔底部の酸素富化液化空気は、経路５６に抜出されて過冷器９で冷却され、下部塔底部の酸素富化液化空気量（液面高さ）を検出する液面調節計（ＬＣ）１３により制御される調節弁１３Ｖを通り、経路５７を通って上部塔２の中段に導入される。さらに、下部塔１の下段からは、塔内を流下する還流液の一部である液化空気が経路５８に抜出され、過冷器９で冷却された後、流量指示調節計（ＦＩＣ）１４により制御される調節弁１４Ｖを通り、前記アルゴン凝縮器５に寒冷源として導入される。アルゴン凝縮器５でアルゴンを凝縮させることにより気化した液化空気（空気）は、経路５９を経て上部塔２の中段部に導入される。
【００１６】
上部塔２に導入された前記経路５５からの液化窒素、前記経路５７からの酸素富化液化空気及び経路５９からの空気（気化した液化空気）は、上部塔２での精留操作により、塔頂部の窒素ガスと、塔底部の液化酸素とに分離する。
【００１７】
塔頂部の窒素ガスは、経路６０に抜出され、過冷器９の寒冷源となった後、主熱交換器８で原料空気を冷却することにより昇温し、流量調節計（ＦＣ）１５により制御される調節弁１５Ｖを通って経路６１から製品窒素ガス（ＧＮ２）として採取される。
【００１８】
また、塔底部の液化酸素は、主凝縮蒸発器３で前記窒素ガスと熱交換を行うことにより蒸発して酸素ガスとなり、一部が経路６２に抜出され、残部は上部塔２の上昇ガスとなる。経路６２に抜出された酸素ガスは、主熱交換器８で昇温した後、流量指示調節計（ＦＩＣ）１６により制御される調節弁１６Ｖを通って経路６３から製品酸素ガス（ＧＯ２）として採取される。塔底部の液化酸素の一部は、経路６４に抜出され、過冷器９を経た後、上部塔底部の液化酸素量（液面高さ）を検出する液面調節計（ＬＣ）１７により制御される調節弁１７Ｖを通り、経路６５から製品液化酸素（ＬＯ２）あるいは液化酸素中への炭化水素の濃縮を防止するための保安液化酸素として抜出される。
【００１９】
さらに、上部塔２の中段上部からは、不純窒素ガスが経路６６に抜出され、過冷器９及び主熱交換器８を経た後、上部塔２の塔頂部の圧力を検出する圧力調節計（ＰＣ）１８により制御される調節弁１８Ｖを通って経路６７から廃窒素ガス（ＲＮ２）として導出される。
【００２０】
そして、上部塔１の中段部からは、アルゴンを採取するための原料ガスとなるフィードアルゴンが経路６８に抜出され、流量計（ＦＩ）１９で流量を検出されながら粗アルゴン塔７の下部に導入され、粗アルゴン塔７の上昇ガスとなる。粗アルゴン塔７での精留によって塔頂部に発生した粗アルゴンガスは、経路６９を経てアルゴン凝縮器５に導入され、前記液化空気との熱交換によって大部分が液化し、該アルゴン凝縮器５と粗アルゴン塔７の頂部とを連結する液化アルゴン径路７０を形成する還流液導入径路７１，前記液溜６，還流液供給径路７２，調節弁２１Ｖを経て粗アルゴン塔７の塔頂部に導入され、粗アルゴン塔７の還流液となる。この還流液量を調節する流量調節手段である調節弁２１Ｖは、液溜６内の液面高さを検出する液面検出手段である液面調節計（ＬＣ）２０及び還流液供給径路７２を流れる還流液の流量を検出する流量検出手段である流量指示調節計（ＦＩＣ）２１によって制御される。また、粗アルゴン塔７の底部に流下した還流液（酸素富化液）は、経路７３によって上部塔２に戻される。採取される粗アルゴンガス（ＲＡｒ）は、液溜６の上部から経路７４に抜出され、主熱交換器８で昇温した後、流量指示調節計（ＦＩＣ）２２により制御される調節弁２２Ｖを通って経路７５から取出される。
【００２１】
このように、液化アルゴン径路７０の途中に液溜６を設けるとともに、該液溜６から粗アルゴン塔７に供給する還流液量を制御する流量指示調節計２１及び調節弁２１Ｖを設けたことにより、粗アルゴン塔７の還流液量を、装置の運転状態に応じて任意に設定することができる。すなわち、装置の増減量操作における還流液の変化量を上昇ガスの変化量に先行させて変化させることが可能となるので、塔内での精留操作を適正な状態に保つことができ、粗アルゴンの純度変動を低減できる。さらに、粗アルゴン塔７の運転状態によって影響を受ける上部塔２等も適正な運転状態に保つことができるので、製品酸素ガス等の純度変動も低減でき、各製品ガスの純度が、設定された純度以下に低下することがなくなる。
【００２２】
このように形成した空気液化分離装置において、製品ガスの生産量を増減する場合は、あらかじめ設定されたプログラムに応じて各調節計が各調節弁の開度を制御し、各経路を流れる気液の流量を増減することにより行われる。
【００２３】
例えば、１００％負荷の運転状態から７０％負荷の状態に減量する際には、原料空気供給ラインの流量指示調節計１１によって調節弁１１Ｖが絞られ、原料空気供給量が所定の減速度で７０％に減らされるとともに、所定のタイミングで各調節計及び調節弁が作動し、各部の気液の流量を、最終的に７０％負荷の状態に応じた流量に変更する。なお、７０％負荷のときの各部の流量は、単純に７０％になるわけではなく、各製品ガスの純度が所定純度を保てるように適当な流量に調節される。
【００２４】
表１は、１００％負荷における原料空気量が１０００００Ｎｍ３／ｈで、純度保証値９９．６ｖｏｌ％以上の製品酸素ガスの採取量が２１０００Ｎｍ３／ｈ、純度９７ｖｏｌ％以上の粗アルゴンガスの採取量が８７０Ｎｍ３／ｈであって、７０％負荷における原料空気量が７００００Ｎｍ３／ｈで、製品酸素ガスの採取量が１４６８０Ｎｍ３／ｈ、粗アルゴンガスの採取量が５２０Ｎｍ３／ｈに、それぞれ設定した装置において、各負荷で安定した状態で運転しているときの主要部の流量［Ｎｍ３／ｈ］と純度（ガス組成）［ｖｏｌ％］とを示すものである。
【表１】
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【００２５】
このような設定における装置において、液溜６や調節弁２１Ｖ等を設けた場合（本実施例）と、液溜等を設けない場合（従来例）とを比較した。なお、本実施例における増量運転時及び減量運転時の各気液の流量変化量は、液溜６から粗アルゴン塔７に供給する還流液の変化量のみを毎分２％に設定し、これ以外は全て毎分１％で変化させた（廃窒素ガスは圧力が一定になるように制御）。一方、液溜や調節弁が無い従来例における粗アルゴン塔７の還流液量は、アルゴン凝縮器５に導入される液化空気量に依存しており、還流液量の直接的な制御は行っていない（他は全て毎分１％）。
【００２６】
まず、７０％負荷から１００％負荷に増量運転を行う場合、上部塔１から経路６８を経て粗アルゴン塔７に供給されるフィードアルゴン中のアルゴン濃度は、本実施例では、増量開始後約４０分で極小値約６ｖｏｌ％になり、以後漸増して所定の９．４３ｖｏｌ％に到達したのに対し、従来例では、約４０分後に極小値約５ｖｏｌ％になった。
【００２７】
経路７５から採取される粗アルゴン中の酸素濃度は、本実施例では、増量開始後約６時間で極大値約２．２ｖｏｌ％になり、以後非常にゆっくりと減少していったのに対し、従来例では、約４時間後に極大値約５ｖｏｌ％になった。また、粗アルゴン中の窒素濃度は、本実施例では、増量開始後約３０分で極大値約０．６ｖｏｌ％になり、すぐに元に戻ったが、従来例では、増量開始後約２時間からゆっくりと変化した。
【００２８】
経路６３から採取される製品酸素ガスの純度は、本実施例では、増量開始後約２時間で極大値約９９．８３ｖｏｌ％になり、従来例では、約２時間後に極大値約９９．８５ｖｏｌ％になり、両者共、以後漸減していった。
【００２９】
次に、１００％負荷から７０％負荷に減量運転を行う場合、前記フィードアルゴン中のアルゴン濃度は、本実施例では、減量開始後約３０分で極小値約６ｖｏｌ％になり、全体としてみるとほとんど変動しなかったのに対し、従来例では、約４０分後に極大値約２０ｖｏｌ％になり、以後２時間程度で所定値に戻った。
【００３０】
前記粗アルゴン中の酸素濃度は、本実施例ではほとんど変動しなかったのに対し、従来例では、約８０分後に極小値約０．７ｖｏｌ％になり、以後漸増していった。
【００３１】
前記製品酸素ガスの純度は、本実施例では、減量開始後約６０分で極大値約９９．８ｖｏｌ％になるが、全体としてみるとほとんど変動しなかったのに対し、従来例では、約１００分後に、保証値を下回る極小値約９９ｖｏｌ％になり、以後漸増していった。
【００３２】
上述の増量運転及び減量運転の状況をみると、従来例は、増量時に粗アルゴン中の酸素濃度が大きく上昇し、減量時に製品酸素ガスの純度が大きく低下している。これらの数値は、いずれも許容値や保証値を満足できるものではなく、流量の変動速度を毎分１％よりもかなり低く設定しなければならないことがわかる。一方、本実施例では、これらの濃度変動が抑制されており、許容値や保証値を十分に満足する数値となっている。
【００３３】
また、粗アルゴン塔７の還流液の変化速度を、他の変化速度より高く、特に、アルゴン凝縮器５に寒冷源として導入される液化空気の変化速度より高く設定することにより、還流液量の変化を上昇ガス量の変化に対応させることができるので、上述の濃度変動抑制効果が得られるだけでなく、従来に比べて全体の流量増減速度を高く設定することが可能となるので、増減量操作を迅速に行うことができる。
【００３４】
なお、定常運転時における粗アルゴン塔７の還流液量は、流量指示調節計２１によって還流液供給径路７２の流量を一定に保つようにしてしてもよく、液面調節計２０によって液溜６内の液面を一定に保つようにしてもよい。
【００３５】
また、図１に想像線で示すように、還流液導入径路７１と還流液供給径路７２とを接続し、液溜６をバイパスする経路７６及び弁７６Ｖを設け、この経路７６に一定量の還流液を流し、残部を流量調節用として液溜６を通すようにしても同様の効果が得られる。この場合は、液溜６等を小型化することができる。
【００３６】
図２は、本発明の運転方法を実施する空気液化分離装置の他の形態例を示す系統図である。この空気液化分離装置は、粗アルゴン塔３０を上下２層構造とし、上層の精留段３１の下方に、塔内を流下する還流液の少なくとも一部を抜取って液溜３２に導く還流液導入経路３３を接続し、下層の精留段３４の上方に、液溜３２内の還流液を塔内に供給する還流液供給経路３５を接続するとともに、該還流液供給経路３５に、液溜３３内の液面高さを検出する液面調節計（ＬＣ）３６及び還流液供給径路３５を流れる還流液の流量を検出する流量指示調節計（ＦＩＣ）３７によって制御される調節弁３７Ｖを設けたものである。
【００３７】
本形態例は、粗アルゴン塔３０を流下する還流液の一部又は全部を、還流液導入経路３３により塔外に抜出して液溜３２に貯留し、所定量の還流液を、還流液供給径路３５により液溜３２から粗アルゴン塔３０に供給するようにしたものであって、下層の精留段３４における還流液量を任意に設定できるように形成したものである。
【００３８】
したがって、本形態例においても、粗アルゴン塔全体の還流液量の調節はできないものの、下層の精留段３４を流下する還流液量を、装置の運転状態に応じて適切に調節することができるので、前記形態例と略同様の濃度変動抑制や増減量運転操作の迅速化を図ることができる。
【００３９】
また、本形態例では、還流液導入経路３３の抜取り量を一定とし、還流液供給径路３５に調節弁３７Ｖを設けて粗アルゴン塔３０への還流液供給量を調節するように形成したが、還流液供給径路３５に調節弁を設けず、還流液導入経路３３に調節弁を設け、粗アルゴン塔３０の中間から抜取る還流液量を調節するように形成しても、下層の精留段３４における還流液の量を任意に調節することができる。
【００４０】
なお、本形態例は、粗アルゴン塔３０及びその周辺の構成、粗アルゴンを採取する前記経路７４が、粗アルゴン塔３０の頂部とアルゴン凝縮器５とを接続するガス経路３８から分岐する点を除いては、図１に示した前記形態例と同一に形成しているので、前記形態例における構成要素と同一の構成要素には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４１】
また、規則充填物を使用した充填塔を粗アルゴン塔３０に使用する際には、上下の充填物の間に設けられている液体捕集分配装置における液体捕集部を液溜として利用し、液体捕集部と液体分配部と間や、液体分配部に適宜な流量制御手段を設けるようにしてもよく、あるいは、液体捕集部で捕集した還流液を外部の液溜に抜出し、外部の液溜から液体分配部に還流液を供給するように形成するとともに、抜出し部や供給部の適当な位置で流量制御を行うようにしてもよい。さらに、図１の構成と図２の構成とを併用してもよい。
【００４２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、原料ガス（フィードアルゴン）が下部から供給され、上部に還流液を生成する凝縮器を備えた粗アルゴン塔に液溜等を付設して還流液の流量を調節できるようにしたので、粗アルゴン塔内の上昇ガス量と還流液量とを別々に独立して操作することができ、装置の運転状態に応じて最適な還流液量に設定することができる。例えば、減量操作時には粗アルゴン塔へ供給する還流液を減量し、逆に増量操作時には粗アルゴン塔に供給する還流液の流量を迅速に増量させることができるため、粗アルゴン塔内の上昇ガスと還流液との増減速度のアンバランスを緩和させることができ、製品純度の変動幅を小さく抑えることができるとともに、増減量操作を迅速に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の運転方法を実施する空気液化分離装置の一形態例を示す系統図である。
【図２】  同じく他の形態例を示す系統図である。
【符号の説明】
１…下部塔、２…上部塔、３…主凝縮蒸発器、４…複精留塔、５…アルゴン凝縮器、６…液溜、７…粗アルゴン塔、８…主熱交換器、９…過冷器、１１Ｖ〜２２Ｖ…調節弁、７０…液化アルゴン径路、７１…還流液導入径路、７２…還流液供給径路、ＦＩＣ…流量指示調節計、ＬＣ…液面計
【図１】
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【図２】
0004104726.tif 000004