(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（１）で表されるアミノ基含有フェノール誘導体。
【化１】
0004084597.tif 000020
（式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３は、炭素数１〜９のアルキル基、炭素数１〜１０のアルコキシ基、ＣＯＯＲ（Ｒは炭素数１〜６のアルキル基を示す）または水素であり、相互に異なっていても同一でもよく；
Ｒ４、Ｒ５は炭素数１〜９のアルキル基または水素であり、相互に異なっていても同一でもよく；
Ｘは−Ｏ−、−Ｓ−、−ＳＯ２−、−Ｃ（ＣＨ３）２−、−ＣＨ２−、−Ｃ（ＣＨ３）（Ｃ２Ｈ５）−、または−Ｃ（ＣＦ３）２−を示し；
ｎは１以上の整数であり；
ｎが２で、かつＸが−ＣＨ２−であるとき、化合物の中心の２つの芳香族環をつなぐＸは、前記芳香族環上のＯＨ基に対してオルト位に結合している。）
【請求項２】
両端のベンゼン環に結合したＲ４どうし、Ｒ５どうし、およびＸと−ＣＨ２−とが、それぞれ同一番号の炭素原子（炭素原子の位置を示す番号は前記一般式（１）に示された番号である）に結合していることを特徴とする請求項１に記載のアミノ基含有フェノール誘導体。
【請求項３】
Ｘが−ＣＨ２−であることを特徴とする請求項１または２に記載のアミノ基含有フェノール誘導体。
【請求項４】
Ｒ４、Ｒ５がメチル基であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のアミノ基含有フェノール誘導体。
【請求項５】
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３のうち、１つまたは２つが水素で、残りが水素以外のものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のアミノ基含有フェノール誘導体。
【請求項６】
請求項５において、前記水素以外のものがメチル基であることを特徴とするアミノ基含有フェノール誘導体。
【請求項７】
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３が全てメチル基であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のアミノ基含有フェノール誘導体。
【請求項８】
下記一般式（２）で表される繰り返し単位からなるポリイミド前駆体。
【化２】
0004084597.tif 000021
（式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３は、炭素数１〜９のアルキル基、炭素数１〜１０のアルコキシ基、ＣＯＯＲ（Ｒは炭素数１〜６のアルキル基を示す）または水素であり、相互に異なっていても同一でもよく；
Ｒ４、Ｒ５は炭素数１〜９のアルキル基または水素であり、相互に異なっていても同一でもよく；
Ｘは−Ｏ−、−Ｓ−、−ＳＯ２−、−Ｃ（ＣＨ３）２−、−ＣＨ２−、−Ｃ（ＣＨ３）（Ｃ２Ｈ５）−、または−Ｃ（ＣＦ３）２−を示し；
Ｒ６は芳香族テトラカルボン酸二無水物残基を示し；
ｎは１以上の整数である。）
【請求項９】
アミノ残基が結合したベンゼン環に結合したＲ４どうし、Ｒ５どうし、およびＸと−ＣＨ２−とが、それぞれ同一番号の炭素原子（炭素原子の位置を示す番号は前記一般式（２）に示された番号である）に結合していることを特徴とする請求項８に記載のポリイミド前駆体。
【請求項１０】
Ｘが−ＣＨ２−であることを特徴とする請求項８または９に記載のポリイミド前駆体。
【請求項１１】
Ｒ４、Ｒ５がメチル基であることを特徴とする請求項８〜１０のいずれか一項に記載のポリイミド前駆体。
【請求項１２】
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３のうち、１つまたは２つが水素で、残りが水素以外のものであることを特徴とする請求項８〜１１のいずれか一項に記載のポリイミド前駆体。
【請求項１３】
請求項１２において、前記水素以外のものがメチル基であることを特徴とするポリイミド前駆体。
【請求項１４】
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３が全てメチル基であることを特徴とする請求項８〜１１のいずれか一項に記載のポリイミド前駆体。
【請求項１５】
請求項８〜１４のいずれか一項に記載のポリイミド前駆体を脱水縮合反応させて得られることを特徴とするポリイミド樹脂。
【請求項１６】
請求項８〜１４のいずれか一項に記載のポリイミド前駆体において、１以上のフェノール性水酸基の水素が、当該ポリイミド前駆体に感光性を付与する官能基で置換されていることを特徴とする感光性ポリイミド前駆体。
【請求項１７】
請求項１６に記載の感光性ポリイミド前駆体を脱水縮合反応させて得られることを特徴とする感光性ポリイミド樹脂。
【請求項１８】
請求項１５に記載のポリイミド樹脂の１以上のフェノール性水酸基の水素が、当該ポリイミド樹脂に感光性を付与する官能基で置換されていることを特徴とする感光性ポリイミド樹脂。
【請求項１９】
請求項８〜１８のいずれか一項に記載のポリイミド前駆体またはポリイミド樹脂と、エポキシ樹脂及び／又はシリコーン樹脂とを、複合させた複合材料。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はアミノ基含有フェノール誘導体とこれを用いたポリイミド前駆体又はポリイミド樹脂と感光性ポリイミド前駆体または感光性ポリイミド樹脂、および複合材料に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＩＴ機器の高機能化により、莫大な情報を処理する携帯機器の高密度化が重要になってきている。また、この様な電子部品等に用いられる材料についても環境への影響が重視され、脱ハロゲン難燃化や、鉛フリーによる半田耐熱の上昇等、要求は日々厳しいものになってきている。この様な用途で材料に要求される性能としては、具体的には、低応力化、低誘電率、高耐熱性、高接着性、難燃性等が挙げられる。
また、従来、半導体素子の表面保護膜、層間絶縁膜などの電子部品に使用されているポリイミド樹脂は、耐熱性、機械特性、低誘電性、難燃性、塗膜性、フィルム性などに優れていることから、次世代用途への応用が期待されている。
しかしながら、現状では、ポリイミド樹脂はシリコンウェハ、酸化金属等との密着性（接着性）が悪い、ガラス転移後の熱膨張が大きい等の欠点もある。また、そのままではポリイミド樹脂の改質が難しく、有機溶剤に難溶なため、加工性が悪く、その用途は比較的狭かった。
そこで、これらのポリイミド樹脂の欠点を改良するために、例えば、特開平５−２５５４８０号公報には、ポリイミド樹脂本来の耐熱性を確保しつつ、難燃性を確保できる、バランスの良いエポキシ変性ポリイミド樹脂が開示されている。特開平６−３４５８６６号公報には、低応力化の改質を行うために、ポリイミド主鎖中にシロキサン骨格を導入したシロキサン変性ポリイミド樹脂が開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、例えば、特開平５−２５５４８０号公報に記載のエポキシ変性ポリイミド樹脂においては、実際にはポリイミド樹脂本来の分子量、塗膜性、機械特性は低下しており、要求される特性を満足しているとは言えない。
また、特開平６−３４５８６６号公報に記載のシロキサン変性ポリイミド樹脂においては、このシロキサン変性により耐熱性が低下してしまい、ポリイミド樹脂本来の特性が損なわれている。
本発明は前記事情に鑑てなされたもので、基板との密着性、可とう性等の従来のポリイミド樹脂の欠点を解決し、かつ従来のポリイミド樹脂の利点を維持した材料を提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、前記ポリイミド樹脂に不足する特性を補うためには、例えば他の化合物と複合化することが有効ではないかと考えて鋭意検討した。しかし、従来のポリイミド樹脂及びその材料は他の化合物との反応性が低く、この様な改良が困難であった。
そこで、さらに検討した結果、アミノ基含有フェノール誘導体を用いてポリイミド樹脂の骨格にフェノール化合物を導入することにより、他の化合物との複合化が可能となり、ポリイミド樹脂に不足した特性を複合化した化合物によって補うことができることを見い出し、本発明を完成させた。
すなわち、本発明のアミノ基含有フェノール誘導体は、下記一般式（１）で表されるアミノ基含有フェノール誘導体である。
【０００５】
【化３】
0004084597.tif 000002
【０００６】
（式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３は、炭素数１〜９のアルキル基、炭素数２〜１０のアルコキシ基、ＣＯＯＲ（Ｒは炭素数１〜６のアルキル基を示す）または水素であり、相互に異なっていても同一でもよく；
Ｒ４、Ｒ５は炭素数１〜９のアルキル基または水素であり、相互に異なっていても同一でもよく；
Ｘは−Ｏ−、−Ｓ−、−ＳＯ２−、−Ｃ（ＣＨ３）２−、−ＣＨ２−、−Ｃ（ＣＨ３）（Ｃ２Ｈ５）−、または−Ｃ（ＣＦ３）２−を示し；
ｎは１以上の整数であり；
ｎが２で、かつＸが−ＣＨ２−であるとき、化合物の中心の２つの芳香族環をつなぐＸは、前記芳香族環上のＯＨ基に対してオルト位に結合している。）
【０００７】
また、本発明のポリイミド前駆体は、下記一般式（２）で表される繰り返し単位からなるものである。
【０００８】
【化４】
0004084597.tif 000003
【０００９】
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3は、炭素数１〜９のアルキル基、炭素数２〜１０のアルコキシ基、ＣＯＯＲ（Ｒは炭素数１〜６のアルキル基を示す）または水素であり、相互に異なっていても同一でもよく；
Ｒ4、Ｒ5は炭素数１〜９のアルキル基または水素であり、相互に異なっていても同一でもよく；
Ｘは−Ｏ−、−Ｓ−、−ＳＯ2−、−Ｃ（ＣＨ3）2−、−ＣＨ2−、−Ｃ（ＣＨ3）（Ｃ2Ｈ5）−、または−Ｃ（ＣＦ3）2−を示し；
Ｒ6は芳香族テトラカルボン酸二無水物残基を示し；
ｎは１以上の整数である。）
【００１０】
また、本発明のポリイミド樹脂は、前記ポリイミド前駆体を脱水縮合反応させて得られるものである。
また、本発明のポリイミド前駆体またはポリイミド樹脂は、１以上のフェノール性水酸基の水素がポリイミド前駆体に感光性を付与する官能基で置換された感光性ポリイミド前駆体または感光性ポリイミド樹脂とすることもできる。
また本発明のポリイミド前駆体またはポリイミド樹脂は、エポキシ樹脂及び／又はシリコーン樹脂と複合させて複合材料を構成することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下本発明の構成について詳細に説明する。
（Ａ）アミノ基含有フェノール誘導体
前記一般式（１）で表されるアミノ基含有フェノール誘導体において、式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3は、
・炭素数１〜９、好ましくは１〜４の直鎖または分岐鎖状のアルキル基；
・炭素数１〜１０、好ましくは１〜４のアルコキシ基（アルコキシ基のアルキル残基は直鎖または分岐鎖状のいずれでもよい。）；
・ＣＯＯＲ（Ｒは炭素数１〜６、好ましくは３〜６の直鎖または分岐鎖状のアルキル基を示す）；または
・水素
であり、相互に異なっていても同一でもよい。
【００１２】
このうち、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3がアルキル基の場合は耐水性を向上させることができる。アルコキシ基またはＣＯＯＲの場合は後述する様に電子部品用として用いた場合に基板との密着性を向上させることができる。ＣＯＯＲの場合は、さらに後述する複合材料とする際にポリエステルとの複合化が可能になる。また、アルコキシ基またはＣＯＯＲの加水分解により、アルカリ溶解性をさらに向上させることができ、例えばアルカリ現像用途に適用する場合に好ましい。
よって、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3は用途に応じて適宜選択することが好ましい。
特に、Ｒ1、Ｒ2 、Ｒ3のうち、１つまたは２つが水素で、残りが水素以外のものであると特性上好ましい。
また、水素以外のものがメチル基であると好ましい。
例えばＲ1、Ｒ2 、Ｒ3のうち、ふたつが水素で、ひとつがメチル基の組み合わせ、またはひとつが水素でふたつがメチル基の組み合わせの場合、耐湿性が向上するため、好ましい。
【００１３】
また、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3は、前記一般式（１）に示した２〜６位の炭素原子のうち、いずれに結合していてもよいが、規則的繰り返し単位を必要とする場合は構造的に対称性がよいものが好ましい。
特に、ふたつが水素でひとつが水素以外のものである場合には、水素原子以外のものが４位の炭素原子に結合していると構造的に対称性がよい点から、規則的繰り返し単位を必要とする場合は好ましい。
また、Ｒ1、Ｒ2 、Ｒ3が全てメチル基であると、耐湿性がさらに向上し、また、溶剤に対する溶解性も向上するため、好ましい。
【００１４】
Ｒ4、Ｒ5は炭素数１〜９、好ましくは１〜４の直鎖状あるいは分岐鎖状のアルキル基または水素であり、相互に異なっていても同一でもよい。
この様にＲ4、Ｒ5にアルキル基を導入することにより、耐水性を向上させることができ、好ましい。また、アミノ基の反応性の点から、Ｒ4、Ｒ5がメチル基であると好ましい。
【００１５】
また、両端のアミノ基が結合したベンゼン環に結合したＲ4どうし、Ｒ5どうし、およびＸと−ＣＨ2−とが、それぞれ同一番号の炭素原子に結合しており、両端のアミノ基が結合したベンゼン環、およびこれらとフェノール性水酸基が結合したベンゼン環とを結合するＸと−ＣＨ2−が対称形になっていると高分子量のポリイミド前駆体を形成できるため、好ましい。
なお、Ｘは、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＳＯ2−、−Ｃ（ＣＨ3）2−、−ＣＨ2−、−Ｃ（ＣＨ3）（Ｃ2Ｈ5）−、または−Ｃ（ＣＦ3）2−であるが、そのうち、−ＣＨ2−であると反応プロセスが容易であり、好ましい。
好ましくは
・２つのＲ4が、それぞれ２位と６位の炭素原子のうちの一方の炭素原子に結合し、
・２つのＲ5が、それぞれ２位と６位の炭素原子のうちの他方の炭素原子に結合し、
・Ｘとメチレン基とが、それぞれ４位の炭素原子に結合していると、アミノ基の吸湿性がガードされるため、耐湿性が向上し、また、隣接するフェノール水酸基との相互作用がないため、アミノ基の反応性が高くなり、好ましい。
【００１６】
ｎは１以上の整数であるが、実質的には２０以下とされる。また、１以上、１５以下が好ましい。なお、ｎは要求特性よって適宜選択される。
【００１７】
本発明のアミノ基含有フェノール誘導体のうち、最も好ましいものの例を以下に示す。
【化５】
0004084597.tif 000004
【００１８】
本発明のアミノ基含有フェノール誘導体の製造方法について、前記一般式（１）において、Ｘが−ＣＨ2−の場合について説明する。
アミノ基含有フェノール誘導体は、下記［化６］で示したフェノール類化合物（すなわち、一般式（１）において、アミノ基が結合したベンゼン環、Ｘ、及びメチレン基を除いたもの）に、ホルマリンを反応させて、下記［化７］に示した様に、２つの−ＣＨ2ＯＨが結合したジメチロールフェノール誘導体を製造する。なお、［化７］に示した一般式中、ｎが２以上の場合は、２以上のフェノール類化合物がメチレン基によって接続された構造となる。ｎの数は前記［化６］で示した原料のフェノール類化合物の特性、反応条件等によって変更することができる。
ついで、このジメチロールフェノール誘導体の２つの−ＣＨ2ＯＨにおいて、それぞれ下記［化８］に示したアニリン誘導体のアミノ基と縮合反応させことにより、前記一般式（１）で示したアミノ基含有フェノール誘導体が得られる。
【００１９】
なお、下記［化６］乃至［化８］中のＲ1 、Ｒ2 、Ｒ3、Ｒ4 、Ｒ5 及びｎは前記一般式（１）中のものと同様であり、製造するアミノ基含有フェノール誘導体に応じて適宜選択される。
【００２０】
【化６】
0004084597.tif 000005
【００２１】
【化７】
0004084597.tif 000006
【００２２】
【化８】
0004084597.tif 000007
【００２３】
具体的な反応条件は例えば以下の通りである。
撹拌機、温度形、コンデンサー、滴下ロートを備えた反応器に、材料のフェノール類化合物と、このフェノール類化合物に対して、２〜４倍モルのホルマリンを含むホルマリン水溶液（好ましくは約５０質量％濃度）を仕込み、撹拌しながら、例えば０〜５０℃、１〜２時間の反応条件で、アルカリを滴下する。アルカリとしては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ水溶液などが好ましく、例えば約３０質量％程度の水酸化ナトリウム水溶液などを用いることができる。また、アルカリはフェノール類化合物に対して等モル程度の割合で用いられる。
その後、昇温し、例えば反応温度２０〜８０℃、反応時間２〜４時間の条件で反応させる。
【００２４】
ついで、好ましくは３０℃以下になる様に冷却し、酸で中和し、生成物を析出させる。酸は特に限定せず例えば約１０質量％濃度の酢酸水溶液などを用いることができる。
ついで、濾過し、生成物を水洗し、好ましくは５０℃以下の温度条件で減圧乾燥して生成物（ジメチロールフェノール誘導体）を得る。
さらに、温度計、コンデンサー、撹拌機を備えた反応器に、前記生成物、アニリン誘導体、酸触媒、必要に応じて有機溶媒を仕込み、１２０〜２００℃、好ましくは１４０〜１８０℃で、４〜８時間程度反応させる。
【００２５】
アニリン誘導体は、ジメチロールフェノール誘導体に対して２〜４倍モル、好ましくは２．２〜３．０倍モル用いられる。
酸触媒としては、一般的な有機酸、無機酸を用いることができ、例えば塩酸、パラトルエンスルホン酸、シュウ酸などが用いられ、中でもシュウ酸が好ましい。使用量はその種類などによって適宜変更されるが、シュウ酸の場合は例えば総仕込み量の１質量％程度が好ましい。
また、有機溶媒は必須ではないが、例えばアルコール類、セロソルブ類、トルエンなどが好ましい。使用量は例えば総仕込量に対して１０〜２０質量％とされる。
その後冷却し、必要に応じて蒸留、再結晶等の公知の方法で精製すると、本発明のアミノ基含有フェノール誘導体が得られる。再結晶に用いる有機溶媒としては、例えばセロソルブ類、アルコール類、酢酸エステル、ベンゼン、トルエンなどが挙げられる。
【００２６】
なお、前記一般式（１）において、Ｘが−ＣＨ2−以外の場合には、例えばビスフェノール−Ｓ、ヒドロキシジフェニルエーテル、ビスフェノールＡＦなどのフェノール核体化合物を用い、上述の場合と同様にジメチロール化し、ついでアニリン誘導体と反応させることにより、アミノ基含有フェノール誘導体を製造することができる。
【００２７】
（Ｂ）ポリイミド前駆体及びポリイミド樹脂
本発明のポリイミド前駆体は前記一般式（２）で表される繰り返し単位からなるものである。
また、これを脱水縮合反応させると、前記一般式（２）において、Ｒ6に結合するふたつのカルボキシル基とイミノ基とが、それぞれ脱水縮合反応して環状になり、以下の一般式（３）で表される繰り返し単位からなる、ポリイミド樹脂が得られる。
【００２８】
【化９】
0004084597.tif 000008
【００２９】
一般式（２）、（３）において、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｘ、およびｎは前記アミノ基含有フェノール誘導体について記載したものと同じである。
【００３０】
また、一般式（２）、（３）中において、Ｒ6は芳香族テトラカルボン酸二無水物残基を示す。芳香族テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，２’，３，３’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，３，３’，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−２，３，６，７−テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−１，２，５，６−テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−１，２，４，５−テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−１，４，５，８−テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−１，２，６，７−テトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２’，３，３’−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，３，３’，４’−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３”，４，４”−ｐ−テルフェニルテトラカルボン酸、２，２”，３，３”−ｐ−テルフェニルテトラカルボン酸、２，３，３”，４”−ｐ−テルフェニルテトラカルボン酸、２，２−ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）−プロパン二無水物、２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）−プロパン二無水物、ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）エーテル二無水物、ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）メタン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）メタン二無水物、ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）スルホン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）スルホン二無水物、１，１−ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）エタン二無水物、１，１−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）エタン二無水物などが好ましい。
これらの中でも、ピロメリット酸二無水物、３，３’，４，４’−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物などが一般的であり、かつ低熱膨張化の点から好ましい。
【００３１】
ポリイミド前駆体とポリイミド樹脂の質量平均分子量はほぼ同じ範囲とされる。それぞれの質量平均分子量は目的とする用途などによって適宜変更可能であるが、１万〜１０万であることが好ましく、２万〜６万であることがより好ましい。
なお、本発明のポリイミド前駆体またはポリイミド樹脂は、反応条件によって、上述の様に１万〜１０万程度、好ましくは２万〜６万の範囲で自由に質量平均分子量をコントロールすることができる。よって、従来のポリイミド樹脂と遜色のない分子量が得られる。
【００３２】
また、この様に質量平均分子量が従来のポリイミド樹脂と同等であるのに加えて、本発明のポリイミド樹脂は、それ自体が有機溶剤に可溶であるという非常に有効な特性を備えていることが判明した。
すなわち、一般に、従来の芳香族ポリイミド樹脂は有機溶剤に溶解しにくい。そのため、例えば、予め有機溶剤に可溶のポリイミド前駆体（すなわち、ポリアミック酸）を、有機溶剤に溶解した溶液を基材に塗布し、加熱により脱水環化し、さらに乾燥処理してポリイミド化を行うことにより、ポリイミド樹脂からなる塗膜を製造する方法が採用されている。
このときの加熱、乾燥処理の条件は、ポリイミド前駆体を脱水縮合反応によって環化させてポリイミド樹脂を得るため、高温かつ長時間の条件が必要とされる。
これに対して、本発明のポリイミド樹脂は有機溶剤に可溶であるため、ポリイミド前駆体ではなく、脱水縮合反応させた後のポリイミド樹脂自体を有機溶剤に溶解した溶液を例えば基材に塗布して、上記の加熱、乾燥処理条件よりもはるかに低温、短時間で乾燥することにより、ポリイミド樹脂からなる塗膜が得られる。  よって、従来よりもはるかに簡便な操作で短時間に塗膜を得ることができる。
また、脱溶剤の処理のみで、脱水縮合反応させる必要がないため、脱水による膜厚の減少や、膜厚のばらつきが生じることがない、という効果も得られる。
【００３３】
なお、このとき使用する有機溶剤としては、ポリアミド樹脂を溶解可能なものであれば特に限定することはなく、１種あるいは２種以上のものを混合して用いることができる。例えばＮ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルホスホルアミド、テトラメチレンスルホン、γ−ブチロラクトン、ｐ−クロルフェノール等の有機溶媒やメチルジグライム、メチルトリグライム等のグライム系溶媒等が挙げられる。
この様に本発明のポリイミド前駆体とポリイミド樹脂においては、膜形成が容易であったり、膜の表面を平坦化できるという、塗膜形成におけるポリイミド樹脂自身の利点をも十分に兼ね備えたものを提供することができる。
そして、さらに、脱水縮合反応させてポリイミド樹脂とした後に溶剤に溶解して、乾燥を経て、所定の形状に成形することができるため、ポリイミド前駆体の溶液を塗布した後に脱水縮合反応させる場合等の様に加熱処理の途中で脱水縮合反応の水が生じることがない。そのため、膜などの成形体に水を除去する際に生じるボイド等が生じにくいという利点もある。
薄膜状のものは脱水縮合反応で生じた水が大気中に抜けやすいが、厚膜状のものや、直方体状などの厚い成形体においては水が抜けにくく、ボイド等が生じやすい。したがって、この様な用途にポリイミド樹脂を溶解した溶液を用いると、そのボイドのない均一な成形体が得られ、好ましい。
そのため、本発明のポリイミド前駆体、及びポリイミド樹脂は、単独でも、水性現像用、電子材料の接着剤、絶縁材用、成形材用等として優れた特性を有する。
【００３４】
本発明のポリイミド前駆体は、例えば以下の様にして製造することができる。まず、反応器にアミノ基含有フェノール誘導体と有機溶媒を仕込み、例えば室温で約３０分程度撹拌してアミノ基含有フェノール誘導体を溶解する。
有機溶媒としては、材料と反応物を均一に溶解できるものであれば特に限定することはなく、１種あるいは２種以上のものを混合して用いることができる。例えばＮ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルホスホルアミド、テトラメチレンスルホン、γ−ブチロラクトン、ｐ−クロルフェノール等の有機溶媒やメチルジグライム、メチルトリグライム等のグライム系溶媒等が挙げられる。
有機溶媒は、アミノ基含有フェノール誘導体の濃度が３５〜１０質量％、好ましくは１５〜２５程度となる様に用いられる。
【００３５】
ついで、３０℃以下（好ましくは２０〜２５℃）の温度条件下で０．５〜１時間程度かけて、撹拌しながら芳香族テトラカルボン酸二無水物を添加する。ついで、同じ温度条件で１〜２０時間程度撹拌することにより、ポリイミド前駆体の溶液が得られる。ポリイミド前駆体として用いる場合には、溶液のまま用いることが好ましい。
芳香族テトラカルボン酸二無水物に対するアミノ基含有フェノール誘導体のモル比は１．２〜０．９、好ましくは約１．０、さらに好ましくは１．０１〜０．９９とされる。
【００３６】
ついで、ポリイミド前駆体を脱水縮合反応させて、ポリイミド樹脂とする場合には、上述の様にして得られたポリイミド前駆体の溶液を、例えば１７０〜２００℃の温度条件下、２〜４時間、脱水縮合反応させると、ポリイミド樹脂が得られる。
【００３７】
（Ｃ）感光性ポリイミド前駆体及び感光性ポリイミド樹脂
本発明の感光性ポリイミド前駆体は、前記一般式（２）で表される繰り返し単位からなるポリイミド前駆体において、フェノール性水酸基の水素原子の１つ以上が、当該ポリイミド前駆体に感光性を付与する官能基で置換されたものである。
本発明の感光性ポリイミド樹脂は、前記一般式（３）で表される繰り返し単位からなるポリイミド樹脂において、フェノール性水酸基の水素原子の１つ以上が、当該ポリイミド樹脂に感光性を付与する官能基で置換されたものである。
当該感光性ポリイミド前駆体及び感光性ポリイミド樹脂は、水性現像用、電子材料のソルダーレジスト用、感光材用などとして優れた特性を有する。
特に感光性ポリイミド樹脂は、塗膜を形成する前に既に脱水縮合反応を経ているので、塗膜形成時に水が生じず、膜減りが生じないという利点を有している。上述のポリイミド樹脂の場合と同様、厚膜などの脱水しにくい形状のものに適用する場合に特に優れた効果を発揮する。
【００３８】
感光性ポリイミド前駆体を用いる場合、アルカリ現像におけるコントラストを出すため、多量の感光基の導入が必要となる場合がある。
感光性ポリイミド前駆体の場合はフェノール性水酸基の１０〜９０％、好ましくは４０〜８０％が前記感光性を付与する置換基で置換されていると好ましい。
感光性ポリイミド樹脂の場合はフェノール性水酸基の１０〜７０％、好ましくは２０〜４０％が前記感光性を付与する置換基で置換されていると好ましい。
【００３９】
感光性ポリイミド前駆体と感光性ポリイミド樹脂の質量平均分子量は同程度の範囲とされ、良好な塗膜性を得るために、１〜１０万、好ましくは２〜６万とされる。
【００４０】
ポリイミド前駆体またはポリイミド樹脂に感光性を付与する官能基としてはキノンジアジド系感光基、アクリロイル基などが挙げられる。
キノンジアジド系感光基としては、例えば、１，２−ベンゾキノンジアジド−４−スルホン酸エステル、１，２−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸エステル、１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸エステル、２，１−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸エステル、２，１−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸エステルなどが好ましい。
【００４１】
一例として、キノンジアジド系感光基で置換した本発明の感光性ポリイミド前駆体は、上述の様にして本発明のポリイミド前駆体を製造した後、例えばこの反応物１００質量部に、キノンジアジドスルホニルクロライドを好ましくは１〜５０質量部、特に好ましくは５〜２５質量部反応させることにより、得られる。この反応においては、キノンジアジドスルホニルクロライド添加後、さらに１．２当量分のトリエチルアミンを好ましくは３０℃以下、特に好ましくは２５℃以下で、約３０分かけて滴下し、２〜１２時間反応させることが好ましい。これを、反応溶液の１０倍量の０．２％シュウ酸水溶液中に投入し、析出してきた固形分を濾過、イオン交換水洗浄、乾燥して感光性ポリイミド前駆体が得られる。
また、例えばキノンジアジド系感光基で置換した本発明の感光性ポリイミド樹脂は、上述の様にして、本発明のポリイミド樹脂を製造した後、上述の感光性ポリイミド前駆体と同様にして、キノンジアジドスルホニルクロライドを反応させることにより、得られる。
また、前記感光性ポリイミド前駆体を脱水縮合反応させて製造することもできる。
アクリロイル基で置換した感光性ポリイミド前駆体または感光性ポリイミド樹脂は、上述のキノンジアジドスルホニルクロライドにかえてアクリル酸クロライドを用いることにより、得ることができる。
【００４２】
なお、目的とする用途にもよるが最も好ましい感光性ポリイミド前駆体または感光性ポリイミド樹脂は、前記［化５］に示した好ましいアミノ基含有フェノール誘導体を用いたものであり、その中でも、熱膨張率の影響が重要な用途に用いる場合は、芳香族テトラカルボン酸二無水物として、特にピロメリット酸二無水物、３，３’，４，４’−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物などを用いたものが好ましい。
【００４３】
（Ｄ）複合材料
本発明のポリイミド前駆体またはポリイミド樹脂は、他の化合物と複合化した複合材料とすることができる。
本発明において、複合化するための他の化合物としては、フェノール性水酸基と反応する官能基を備えたものであれば特に限定することなく用いることができ、用途にもよるが、例えば合成樹脂が好ましい。
具体的には、例えばエポキシ樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂などを挙げることができ、これらは１種または２種以上混合して用いることができる。
本発明においては、エポキシ樹脂、あるいはシリコーン樹脂と複合化すると特に半導体素子の表面保護膜、層間絶縁膜等の電子部品用途などにおいて、ポリイミド樹脂の耐熱性、機械特性、電気絶縁性、難燃性、良好な膜形成性、平坦な膜の形成など、好ましい特性を付加できるため望ましい。
また、一般式（２）、（３）において、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3のいずれかひとつがＣＯＯＲである場合にはポリエステル樹脂との複合化も可能である。
なお、ポリイミド前駆体またはポリイミド樹脂のうち、ひとつ以上のフェノール性水酸基があれば、複合化が可能であるため、２以上のフェノール性水酸基を有し、その一部の水素原子がキノンジアジド系感光基で置換された感光性ポリイミド前駆体または感光性ポリイミド樹脂であっても複合化は可能である。
【００４４】
複合材料は例えば以下の様にして製造することができる。
まず、本発明のポリイミド前駆体またはポリイミド樹脂と、複合化する他の化合物とを、例えばエポキシ樹脂の様にグリシジル基を有する化合物の場合、４０〜８０℃、好ましくは６０℃程度の温度で２０〜６０分、好ましくは３０分程度均一に混合する。
その後、トリフェニルホスフィン、トリエチルアミン、その他一般的な硬化促進剤（好ましくはトリフェニルホスフィン）などの触媒を添加し、例えば４０〜８０℃、好ましくは６０℃程度の温度で２０〜６０分、好ましくは約３０分間撹拌して、複合化させる。
ついで１７０〜３５０℃に昇温し、３〜５時間維持し、硬化させて、複合材料を得る。例えば１８０℃で１時間維持し、昇温し、２５０℃で１時間維持し、さらに昇温し、３２０℃で１時間維持して、硬化させることができる。
なお、フィルム状にする場合には、昇温、硬化する前に、基板などの基体上にスピンコートなどによって塗布し、これを上述の様な条件で硬化させることにより、基体に密着した塗膜を簡単に得ることができる。
【００４５】
複合材料製造時の本発明のポリイミド前駆体またはポリイミド樹脂と他の化合物との配合比率は他の化合物の種類や用途などによって適宜変更可能であるが、例えば合成樹脂と複合化する場合、１０：１〜１：１０、好ましくは４：１〜１：４（質量比）とされる。
【００４６】
エポキシ樹脂と複合化する場合、エポキシ樹脂の種類は特に限定するものではなく目的とする用途によって適宜選択される。
例えばフェノールノボラック型エポキシ樹脂；ｏ−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂；ビスフェノールＡ、ビスフェノールＳ、ビスフェノールＦ、ビフェノール等のエポキシ化物と、ジアミノフェニルメタン等のポリアミンと、エピクロルヒドリンの反応によって得られるグリヂジルアミン型エポキシ樹脂；などを挙げることができ、これらを１種または２種以上組み合わせて用いることができる。
例えば成形材用途の場合は各種ノボラック型エポキシ樹脂が好ましく、フィルム、接着剤用途の場合には、各種ビスフェノールを用いたダイマータイプのエポキシ樹脂が好ましい。
エポキシ樹脂のエポキシ当量は用途によって適宜変更可能であるが、例えば  １５０〜２５０、好ましくは１６０〜２００とされる。
特に、エポキシ樹脂と複合化した複合材料は、驚くべきことに、複合化前のポリイミド前駆体のガラス転移点よりも高いガラス転移点を示し、耐熱性が向上することが明らかになった。したがって、基板などの電子部品との密着性が良好であり、かつ非常に耐熱性が良好な材料が得られる。
【００４７】
電子部品用途に適用する場合は、従来、電子部品用途に用いられているエポキシ樹脂の中から選択すると好ましい。
この場合、本発明のポリイミド前駆体またはポリイミド樹脂とエポキシ樹脂との配合比率は例えば１：４〜４：１、好ましくは２：１〜１：２（質量比）とされる。
また、最近はＩＣ封止材としてフィルム状のものも提案されているが、本発明の複合材料はポリイミド樹脂の良好な膜形成性を備えているため、この場合にも好適である。
【００４８】
シリコーン樹脂と複合化する場合も、シリコーン樹脂の種類は特に限定するものではなく用途によって適宜選択される。
シリコーン樹脂の数平均分子量は用途によって適宜変更可能であるが、例えば３０００〜３００００、好ましくは５０００〜２００００とされる。
最近は、電子部品用途において、ＩＣの集積度の向上により、低応力化樹脂としてシリコーン樹脂が用いられている。そのため、シリコーン樹脂を複合化すると、可とう性があり、低応力で、かつポリイミド樹脂の高い耐熱性、良好な誘電率、膜形成性などの好ましい特性を備えたフィルムなどを得ることができる。
特に、上述の様に、この複合材料はポリイミド樹脂の良好な膜形成性を備えており、かつシリコーン樹脂の可とう性を発揮するため、フィルム状の封止材やフレキシブルプリント基板などを構成するのに好適である。
この場合は、従来、電子部品用途に用いられているシリコーン樹脂の中から選択すると好ましい。
例えばフェニルメチルシリコーン樹脂、メチルシリコーン樹脂、変性シリコーン樹脂などが挙げられる。
この場合、本発明のポリイミド前駆体またはポリイミド樹脂とシリコーン樹脂との配合比率は例えば１０：１０〜１０：１、好ましくは１０：４〜１０：２（質量比）とされる。
【００４９】
この様に、本発明のアミノ基含有フェノール誘導体を用いて、ポリイミド前駆体又はポリイミド樹脂を構成すると、フェノール性水酸基の導入により、耐熱性、機械特性、電気絶縁性、難燃性などのポリイミド樹脂の優れた特性を維持しつつ、他の化合物との複合化が可能となる。
なお、複合化とは、アミノ基含有フェノール誘導体残基の前記フェノール性水酸基が他の化合物の官能基と反応し、結合することをいう。
例えば他の樹脂と複合化することにより、この樹脂が有する優れた特性を付加することができる。
さらに具体的には、エポキシ樹脂と複合化することにより、熱膨張係数が低く、ガラス、金属、金属酸化物等の基材に対して高接着性の材料が得られる。また、シリコーン樹脂と複合化することにより、シリコンウェハやガラス板との接着性が良好で、かつ可とう性に優れた材料を提供できる。
また、本発明のアミノ基含有フェノール誘導体を用いたポリイミド前駆体またはポリイミド樹脂においては、フェノール性水酸基の水素をポリイミド前駆体またはポリイミド樹脂に感光性を付与する官能基で置換することができ、その結果、感光性ポリイミド前駆体あるいは感光性ポリイミド樹脂が得られる。
【００５０】
【実施例】
以下、本発明を実施例を示して詳しく説明する。
（アミノ基含有フェノール誘導体の合成）
合成例１
（１）ジメチロールフェノール誘導体の合成
以下の様にしてジメチロールフェノール誘導体として、下記［化１０］に示した２，２′−メチレンビス（４−メチルー６−ヒドロキシメチルフェノール）を合成した。
【００５１】
【化１０】
0004084597.tif 000009
【００５２】
温度計、コンデンサー、撹拌機及び滴下ロートを備えた２Ｌ４つロフラスコに、ｐ−クレゾール：１６２ｇと、５０％ホルマリン水溶液：３６０ｇを仕込んだ。
その後、３０質量％ＮａＯＨ水溶液２００ｇを、３０℃以下、２時間の条件で滴下した。
ついで、昇温し、６０℃、４時間の条件で反応させた後、３０℃以下まで冷却した。
そして、１０質量％酢酸水溶液９００ｇを滴下して中和し、生成物を析出させ、濾過、水洗（１回につき３００ｇの水を使用し、４回操作を行った。）し、５０℃以下（約４０℃）で減圧乾燥し、生成物を得た。
収量は２００ｇ、生成物の性状は白色、粉状であった。
【００５３】
（２）アミノ基含有フェノール誘導体の合成
上記生成物を用いて、アミノ基含有フェノール誘導体として、下記［化１１］で示される２，２′−メチレンビス｛４−メチル−６−（３，５−ジメチル−４−アミノベンジル）フェノール｝を合成した。
【００５４】
【化１１】
0004084597.tif 000010
【００５５】
まず、温度計、コンデンサー、撹拌機を備えた５００ｍｌ４つロフラスコに、上記生成物：２００ｇ、２，６−ジメチルアニリン:１９０ｇ、シュウ酸：３．０ｇ、エチルセロソルブ：２０ｇを仕込み、１２０℃、４時間反応させた。ついで冷却し、エチルセロソルブ８００ｇを用いて再結晶し、アミノ基含有フェノール誘導体を得た。収量は３１５ｇ、生成物の性状は淡黄色、固体であった。
化合物の同定は、マススペクトル、ＩＲスペクトル及び融点によって行った。融点はセイコーインスツルメンツ株式会社製  ＤＳＣ  ２２０を用い、温度範囲２０〜５５０℃、昇温速度１０℃／ｍｉｎ、試料３〜５ｍｇの条件で測定した。
ＩＲスペクトルを図１に示した。また、生成物の融点は２０１℃であった。
【００５６】
合成例２
（１）ジメチロールフェノール誘導体の合成
下記［化１２］で示される２，６−ジビドロキシメチル−４−ｎ−プロピルカルボキシフェノールを合成した。
【００５７】
【化１２】
0004084597.tif 000011
【００５８】
以下の条件を変更した以外は、合成例１と同様の操作を行って生成物を得た。生成物の収量は１００ｇ、性状は白色、粉状であった。
【００５９】
・仕込みの条件；
ｐ−ヒドロキシ安息香酸プロピル：９０ｇ、
５０質量％ホルマリン水溶液：１２０ｇ
・滴下の条件；
４０℃以下、２時間
３０質量％ＮａＯＨ水溶液：６７ｇ使用
・昇温、反応条件；
７５℃、３時間
・中和の条件；
１０質量％酢酸水溶液５４０ｇ使用
【００６０】
（２）アミノ基含有フェノール誘導体の合成
この生成物を用いて、アミノ基含有フェノール誘導体として、下記［化１３］で示される２，６−ビス（３，５−ジメチルー４−アミノベンジル）−４−ｎ−プロピルカルボキシフェノールを合成した。
【００６１】
【化１３】
0004084597.tif 000012
【００６２】
以下の条件を変更した以外は、合成例１と同様の操作を行って生成物を得た。生成物の収量は１２５ｇ、性状は淡黄色、固体であった。
ＩＲスペクトルを図２に示した。また、生成物の融点は１２７．８℃であった。
【００６３】
・仕込みの条件；
生成物：７２ｇ
２，６−ジメチルアニリン：８０ｇ
シュウ酸：１．５ｇ
・反応条件；
１４０℃、４時間
【００６４】
合成例３
（１）ジメチロールフェノール誘導体の合成
ジメチロールフェノール誘導体として、下記［化１４］で示される２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ヒドロキシメチルフェノール）を合成した。
【００６５】
【化１４】
0004084597.tif 000013
【００６６】
以下の条件を変更した以外は、合成例１と同様の操作を行って生成物を得た。生成物の収量は６７ｇ、性状は赤黄、粉状であった。
【００６７】
・仕込みの条件；
ｐ−メトキシフェノール：６１ｇ
３７質量％ホルマリン水溶液：１６２ｇ
・滴下の条件；
４０℃以下、２時間
３０質量％ＮａＯＨ水溶液：６７ｇ使用
・昇温、反応条件；
６０℃、２時間
・中和の条件；
１０質量％酢酸水溶液５４０ｇ使用
【００６８】
（２）アミノ基含有フェノール誘導体の合成
アミノ基含有フェノール誘導体として、下記の［化１５］で示される２，２’−メチレンビス［４−メチル−６−（３，５−ジメトキシ−アミノベンジル）フェノール］を合成した。
【００６９】
【化１５】
0004084597.tif 000014
【００７０】
以下の条件を変更した以外は、合成例１と同様の操作を行って生成物を得た。生成物の収量は１２０ｇ、性状は淡赤色、固体であった。
ＩＲスペクトルを図３に示した。また、生成物の融点は１８０．７℃であった。
【００７１】
・仕込みの条件；
生成物：３２ｇ
２，６−ジメチルアニリン：３０ｇ
シュウ酸：０．６ｇ
・反応条件；
１４０℃、４時間
・精製（再結晶）の条件；
エチルセロソルブ：１５０ｇ使用
【００７２】
合成例４
（１）ジメチロールフェノール誘導体の合成
ジメチロールフェノール誘導体として、下記［化１６］で示されるレゾール型オルソクレゾール樹脂を製造した。
【００７３】
【化１６】
0004084597.tif 000015
【００７４】
以下の条件を変更した以外は、合成例１と同様の操作を行って生成物を得た。生成物の収量は１００ｇ、性状は褐色、粘調な液状であった。
【００７５】
・仕込みの条件；
ｏ−クレゾール：８１ｇ
５０質量％ホルマリン水溶液：９９ｇ
・滴下の条件；
３０℃以下、２時間
３０質量％ＮａＯＨ水溶液：１００ｇ使用
・昇温、反応条件；
７０℃、１時間
・中和の条件；
１０％酢酸水溶液４５０ｇ使用
【００７６】
（２）アミノ基含有フェノール誘導体の合成
アミノ基含有フェノール誘導体として、下記の［化１７］で示される両末端アミノベンジル化オルソクレゾールノボラックを合成した。
【００７７】
【化１７】
0004084597.tif 000016
【００７８】
まず、温度計、コンデンサー、撹拌機を備えた５００ｍｌ４つ口フラスコに、生成物：１００ｇ、アニリン：１８０ｇ、シュウ酸：２．８ｇを仕込み、１８０℃、４時間の条件で反応させた後、−７２０ｍｍＨｇ／１８０℃、３０分の条件で未反応物の除去した。そして、生成物を取り出したところ、生成物の収量は２５０ｇ、性状は褐色、固体であった。軟化点は１１３℃であった。
ＩＲスペクトルを図４に示した。
また、質量平均分子量をＧＰＣ（ゲルパーミネーションクロマトグラフィー）にて測定したところ７７０であった。
【００７９】
（ポリイミド前駆体の合成）
合成例５
合成例１で得られたアミノ基含有フェノール誘導体を用いて、以下の様にしてポリイミド前駆体を合成した。
合成例１で得られたアミノ基含有フェノール誘導体：４．９４０ｇ、ＮＭＰ溶媒（Ｎ−メチルピロリドン）：４０．３０ｇを仕込み、室温で３０分撹拌して溶解した。ついで３０℃以下の温度条件で、ピロメリット酸二無水物：２．１８０ｇ
を添加し、さらに２４時間、２５〜２８℃の条件で撹拌しながら反応させ、ポリイミド前駆体を得た。
ＩＲスペクトルを図５に示した。
また、生成物の質量平均分子量は３４５００であった。
【００８０】
（ポリイミドワニスの合成）
合成例６
合成例４で得られたアミノ基含有フェノール誘導体を用いて、以下の様にしてポリイミドワニス（ポリイミド樹脂の溶液）を合成した。
合成例４で得られたアミノ基含有フェノール誘導体：６．１８０ｇ、ＮＭＰ溶媒３２．５７ｇを仕込み、室温で３０分攪拌して溶解した。ついで、３０℃以下の温度条件でピロメリット酸二無水物：２．１８０ｇを添加し１時間攪拌した。その後窒素雰囲気下、１時間かけて１８０℃まで昇温し、３時間かけて脱水縮合反応（脱水環化）させ、ポリイミドワニスを得た。
生成物のＩＲスペクトルを図６に示した。
また、生成物の質量平均分子量は３２０００であった。
【００８１】
（後述する比較例２で用いるポリイミド前駆体の合成）
合成例７
ｐ，ｐ’−メチレンジアニリン４．００ｇ、ピロメリット酸二無水物４．３６ｇ、ＮＭＰ溶媒４７．３ｇを用い、合成例５と同様の方法によりポリイミド前駆体を得た。
【００８２】
（後述する比較例３で用いるポリイミド前駆体の合成）
合成例８
ｐ，ｐ’−メチレンジアニリン２０．０ｇ（０．１０ｍｏｌ）、及び質量平均分子量６０００のα，ω−ビス（３−アミノプロピル）ポリジメチルシロキサン６．００ｇ（０．００１ｍｏｌ）をＮＭＰ溶媒２７２ｇに溶解させ、ピロメリット酸二無水物２２．０２ｇ（０．１０１ｍｏｌ）を添加し、２４時間反応させ、ポリイミド前駆体を得た。
【００８３】
実施例１（合成例５のポリイミド前駆体とエポキシ樹脂の複合化）
エポキシ樹脂（エピコート８２８（商品名、油化シェルエポキシ社製））：１０ｇと、合成例５で得られたポリイミド前駆体：５０ｇを６０℃、３０分の条件で均一に混合し、ついで、触媒としてトリフェニルホスフィン：０．１ｇを添加し、６０℃にて３０分撹拌した。
ついで、得られ複合ポリイミド前駆体溶液をシリコンウェハ上およびＣｕ基板上にスピン塗布した後、１８０℃／１時間、２５０℃／１時間の熱処理を行い、ポリイミド−エポキシ複合化ポリマーの被膜を得た。このポリイミド被膜のＩＲスペクトルを図７に示した。
ついで、このポリイミド被膜付シリコンウェハを１２１℃、１００％ＲＨ下にてプレッシャークッカーを用いて４８時間の熱処理を行い、この前後（表１にはＰＣＴ前と、ＰＣＴ後と記載）における碁盤目剥離試験を実施した。その結果、剥離は観察されず、高度な接着性を保持していることがわかった。
碁盤目剥離試験は、前記被膜にカッターを用いてサイズ５ｍｍ×５ｍｍの正方形を碁盤の目状に１００個形成し、これにセロハンの粘着テープを貼り付けて、引き剥がし、このとき剥がれる正方形の個数を数えることにより、行った。
また、銅基板についての同様の試験を行い、結果を表１にあわせて示した。
【００８４】
この生成物について、以下の様にしてガラス転移点、熱分解温度（示差走査熱量測定［ＤＳＣ］）、線膨張係数をそれぞれ測定した。
前記複合ポリイミド前駆体溶液をアルミ箔上にロールコータにて塗布し、熱処理した後、アルミ箔から引き剥がし、厚さ５０μｍのフィルムを作成した。これを用いてガラス転移点および線膨張係数を測定した。すなわち、ＴＭＡ（商品名、ＳＩＩ社製）を用いて、温度２００〜４００℃、昇温速度２℃／ｍｉｎ、荷重１０ｇ、引張りモードの条件で測定した。
熱分解温度はＴＧ／ＤＴＡ３２０（商品名、ＳＩＩ社製）を用い、サンプル量１０ｍｇ、温度１００〜８００℃、昇温速度１０℃／ｍｉｎの条件で測定した。
【００８５】
比較のために合成例７で得られたポリイミド前駆体を、実施例１で用いたエポキシ樹脂とを１：１（質量比）の割合で、実施例１と同様の複合化の操作を行った生成物について、同様の試験を行った（比較例１）。
また、この汎用ポリイミド樹脂のみについても同様の試験を行った（比較例２）。
なお、ガラス転移点は、実施例１のポリイミド前駆体を脱水縮合反応させたポリイミド樹脂についても測定した。
結果を表１に示した。
【００８６】
【表１】
0004084597.tif 000017
【００８７】
表１の結果より、複合材料の方が複合していないポリイミド樹脂よりもガラス転移点が高く、耐熱性が向上していることが確認できた。また、密着性も良好であった。
また、線膨張係数も小さく、温度変化に対して体積変化が小さいことが確認できた。
【００８８】
実施例２（合成例５のポリイミド前駆体とシリコーン樹脂の複合化）
シリコーン樹脂  （ＫＦ１００１（商品名、信越化学社製））：２．０ｇと、合成例５で得られたポリイミド前駆体：５０ｇを実施例１と同様にして混合し、触媒としてトリフェニルホスフィン０．０１ｇを添加し、１５０℃、１時間反応させた。一部を取り出し、後述する可とう性の試験に用いた。
さらに、反応物の残りの部分については、１８０℃、３時間の条件で反応を完結させて、冷却後、多量のメタノール中に投入して、析出させ、濾過し、乾燥し、生成物を取り出した。
生成物のＩＲを図８に示した。１０００〜１２００ｃｍ-1のＳｉ−Ｏのピークにより、複合化されていることが確認できた。
この複合材料の質量平均分子量は３７０００であった。
また、実施例１と同様にしてガラス転移点を測定したところ２６０℃であった。
【００８９】
（応力の測定：可とう性の評価）
実施例２で得られたポリイミド前駆体を、５インチシリコンウェハ上にスピン塗布し、ついで１８０℃、３時間の熱処理を行ってポリイミド被膜を形成させ、５インチシリコンウェハの曲率半径を測定し、下記式にてシリコンウェハ上の応力を算出した。
また、比較例３として、合成例８で得られたポリイミド前駆体を用いて、同様の条件で５インチシリコンウェハ上にポリイミド被膜を形成し、同様に５インチシリコンウェハの曲率半径を測定し、下記式にてシリコンウェハ上の応力を算出した。
結果を表２に示した。
【００９０】
【数１】
0004084597.tif 000018
【００９１】
【表２】
0004084597.tif 000019
【００９２】
表２の結果より、実施例２においては、低応力化と高いガラス転移点（耐熱性）を両立できていることがわかる。これに対して比較例３においては、低応力化は実現できているが、主骨格のシロキサンユニットによりガラス転移点が低くなっており、耐熱性が不充分であった。
【００９３】
実施例３（感光性ポリイミド樹脂の合成）
合成例６で得られたポリイミドワニス２６．７ｇを反応容器に仕込み、ついで１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−５−スルホニルクロリド０．２６９ｇを添加し、均一に攪拌、混合した。さらに、冷却下、アセトン溶媒にて１０質量％に希釈したトリエチルアミン１．０１ｇを３０分かけて滴下し、滴下終了後、室温にて２４時間反応させた。反応終了後、この反応液を０．０２質量％蓚酸水溶液２５０ｇ中に投入し、析出してきた黄色固形物を濾過、イオン交換水にて洗浄後、乾燥して、感光性ポリイミド樹脂を得た。
この生成物のＩＲを図９に示した。これにより、感光基が導入されていることが確認できた。この感光性ポリイミド樹脂３．０ｇをエチルセロソルブ１２ｇに溶解し、２０質量％溶液を作成した。
この感光性ポリイミド樹脂溶液をシリコウェハ上にスピンコートし、９０℃ホットプレート上で１０分間加熱後、膜厚を測定したところ５．２μｍであった。ついで、ＵＶ露光機（ウシオ電機（株）製、ＭＬ−２５１Ｃ／Ａ）により、３６５ｎｍで６５ｍＪ／ｃｍ2  の光照射後、１．９８％ＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムヒドロキシド）水溶液中に６０秒浸漬し、更に２０秒間水洗した。露光部及び未露光部の膜厚を測定し、残膜率を求めた結果、露光部０％、未露光部１００％であった。
【００９４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明においては、フェノール性水酸基を備えたアミノ基含有フェノール誘導体を用いることにより、他の化合物との複合化が可能となり、ポリイミドの良好な特性を維持しつつ、ポリイミドのみでは得られなかった特性を備えた種々の材料を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  合成例１の生成物のＩＲスペクトルである。
【図２】  合成例２の生成物のＩＲスペクトルである。
【図３】  合成例３の生成物のＩＲスペクトルである。
【図４】  合成例４の生成物のＩＲスペクトルである。
【図５】  合成例５の生成物のＩＲスペクトルである。
【図６】  合成例６の生成物のＩＲスペクトルである。
【図７】  実施例１の生成物のＩＲスペクトルである。
【図８】  実施例２の生成物のＩＲスペクトルである。
【図９】  実施例３の生成物のＩＲスペクトルである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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