【手続補正書】
【提出日】平成19年12月18日(2007.12.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  被塗布基板を吸着固定するテーブルと、前記基板と一定間隔はなれ対向する位置において塗液を塗布する塗布ヘッドと、前記テーブルと塗布ヘッドを相対的に塗布方向に移動する第１移動手段と、前記塗布ヘッドを基板に対し離間・接近する方向に移動する第２移動手段と、前記塗布ヘッドの塗布方向前方にて基板表面の高さを検出する高さ検出手段とを備えた塗液の塗布装置において、前記テーブルまたは塗布ヘッドの塗布方向の相対位置を検出する位置検出手段と、該位置検出手段による塗布方向位置信号と前記高さ検出手段による前記基板の表面高さ信号を一時記憶する記憶手段とを設けるとともに、前記位置信号と前記表面高さ信号に基づき前記塗布ヘッドの高さを制御する高さ制御手段を設け、かつ、前記高さ検出手段と前記記憶手段との間に、急激な高さ信号の変化をカットする高さ信号比較処理手段を設けたことを特徴とする塗液の塗布装置。
【請求項２】  前記高さ検出手段が前記基板の塗液の塗布方向に直交する方向の中央近傍、または前記基板の塗液の塗布方向に直交する方向の両端近傍、または前記基板の塗液の塗布方向に直交する方向の中央および両端近傍に設けられている請求項１の塗液の塗布装置。
【請求項３】  前記第２移動手段が塗布ヘッドの延設方向の中央近傍または塗布ヘッドの延設方向の両端近傍に設けられている、請求項１または２の塗液の塗布装置。
【請求項４】  被塗布基板を吸着固定するテーブルと、前記基板と一定間隔はなれ対向する位置において塗液を塗布する塗布ヘッドと、前記テーブルと塗布ヘッドを相対的に塗布方向に移動する第１移動手段と、前記塗布ヘッドを基板に対し離間・接近する方向に移動する第２移動手段と、前記塗布ヘッドの塗布方向前方にて基板表面の高さを検出する高さ検出手段を備えた塗液の塗布装置を用いて塗液を塗布するに際し、前記基板の塗布方向位置に対応する基板表面の高さ信号を記憶し、塗布ヘッドの高さを、前記基板の塗布方向位置に対応して制御するとともに、前記高さ検出手段の高さ信号の急激な変化を差分、微分法を用いてカットし、基板の厚さムラの信号のみを取り出し、前記塗布ヘッドの高さを制御することを特徴とする塗液の塗布方法。
【請求項５】  前記基板の塗液の塗布方向に直交する方向の中央近傍、または前記基板の塗液の塗布方向に直交する方向の両端近傍、または前記基板の塗液の塗布方向に直交する方向の中央近傍および両端近傍の基板表面の高さを検出する、請求項４の塗液の塗布方法。
【請求項６】  前記第２移動手段が塗布ヘッドの延設方向の中央近傍または塗布ヘッドの延設方向の両端近傍に設けられている、請求項４または５の塗液の塗布方法。
【請求項７】  前記両端近傍の高さ検出手段により前記基板の塗布開始位置の両端部の高さを検出し、前記塗布ヘッドを該塗布ヘッドの両端近傍の第２移動手段により塗布ヘッドの傾きを前記基板表面の傾きに合わせた後、塗布を開始し、前記両端近傍の高さ検出手段の内いずれか片側の高さ信号または、両側の高さ信号の平均値による高さ信号あるいは中央近傍の高さ信号を用いて塗布ヘッドと基板表面の間隙が一定になるように制御しながら塗布する請求項５または６の塗液の塗布方法。
【請求項８】  被塗布基板を吸着固定するテーブルと、前記基板と一定間隔はなれ対向する位置において塗液を塗布する塗布ヘッドと、前記テーブルと塗布ヘッドを相対的に塗布方向に移動する第１移動手段と、前記塗布ヘッドの延設方向の両端に設けられ該塗布ヘッドを基板に対し離間・接近する方向に移動する第２移動手段と、前記塗布ヘッドの塗布方向前方にて基板の塗液の塗布方向に直交する方向の中央および両端の基板表面の高さを検出する高さ検出手段とを備えた塗液の塗布装置を用いて塗液を塗布するに際して、前記基板の塗液の塗布方向に直交する方向の両端近傍の高さ検出手段により前記基板の塗布開始位置の両端部近傍の高さを検出し、前記塗布ヘッドの両端近傍の第２移動手段により、塗布ヘッドの傾きに合わせた後、塗布を開始し、前記両端部の高さ検出手段の内いずれか片側の高さ信号または、両側の平均値高さ信号または、基板中央近傍の高さ検出手段による高さ信号を用いて塗布ヘッドと基板表面の間隙を制御するとともに、前記高さ検出手段の高さ信号の急激な変化を差分、微分法を用いてカットし、基板の厚さムラの信号のみを取り出し、前記塗布ヘッドの高さを制御することを特徴とする塗液の塗布方法。
【請求項９】  前記基板の表面に塗布方向に延びる複数の縦リブが形成されており、前記塗布ヘッドが複数の吐出孔を有し、塗液が赤色（Ｒ）又、緑色（Ｇ）又は青色（Ｂ）のいずれか一色の蛍光体を含むペースト状である、請求項１ないし３のいずれかに記載の塗液の塗布装置を用いたことを特徴とするプラズマディスプレイ用部材の製造装置。
【請求項１０】  前記基板の表面に塗布方向に延びる複数の縦リブと、該縦リブに直交する方向に延びる複数の横リブとにより格子状の凹凸が形成されており、前記塗布ヘッドが複数の吐出孔を有し、塗液が赤色（Ｒ）又、緑色（Ｇ）又は青色（Ｂ）のいずれか一色の蛍光体を含むペースト状である、請求項１ないし３のいずれかに記載の塗液の塗布装置を用いたことを特徴とするプラズマディスプレイ用部材の製造装置。
【請求項１１】  前記基板の表面に塗布方向に延びる複数の縦リブが形成されており、前記塗布ヘッドが複数の吐出孔を有し、塗液が赤色（Ｒ）又、緑色（Ｇ）又は青色（Ｂ）のいずれか一色の蛍光体を含むペースト状である、請求項４ないし８のいずれかに記載の塗液の塗布方法を用いたことを特徴とするプラズマディスプレイ用部材の製造方法。
【請求項１２】  前記基板の表面に塗布方向に延びる複数の縦リブと、該縦リブに直交する方向に延びる複数の横リブとにより格子状の凹凸が形成されており、前記塗布ヘッドが複数の吐出孔を有し、塗液が赤色（Ｒ）又、緑色（Ｇ）又は青色（Ｂ）のいずれか一色の蛍光体を含むペースト状である、請求項４ないし８のいずれかに記載の塗液の塗布方法を用いたことを特徴とするプラズマディスプレイ用部材の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の塗液の塗布装置は、被塗布基板を吸着固定するテーブルと、前記基板と一定間隔はなれ対向する位置において塗液を塗布する塗布ヘッドと、前記テーブルと塗布ヘッドを相対的に塗布方向に移動する第１移動手段と、前記塗布ヘッドを基板に対し離間・接近する方向に移動する第２移動手段と、前記塗布ヘッドの塗布方向前方にて基板表面の高さを検出する高さ検出手段とを備えた塗液の塗布装置において、前記テーブルまたは塗布ヘッドの塗布方向の相対位置を検出する位置検出手段と、該位置検出手段による塗布方向位置信号と前記高さ検出手段による前記基板の表面高さ信号を一時記憶する記憶手段とを設けるとともに、前記位置信号と前記表面高さ信号に基づき前記塗布ヘッドの高さを制御する高さ制御手段を設け、かつ、前記高さ検出手段と前記記憶手段との間に、急激な高さ信号の変化をカットする高さ信号比較処理手段を設けたことを特徴とするものからなる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記高さ信号検出手段と記憶手段との間には急激な高さ信号の変化をカットする高さ信号比較処理手段を設ける。たとえば、高さ信号が予め設定された閾値を越えた場合、該高さ信号をカットする高さ信号比較処理手段を設ければ、横リブの存在による高さ信号の急激な変動をカットすることができるので、基板の厚さむらに起因する高さ信号の変化のみを正確に捕捉することかできる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、上記課題を解決するために本発明の塗液の塗布方法は、被塗布基板を吸着固定するテーブルと、前記基板と一定間隔はなれ対向する位置において塗液を塗布する塗布ヘッドと、前記テーブルと塗布ヘッドを相対的に塗布方向に移動する第１移動手段と、前記塗布ヘッドを基板に対し離間・接近する方向に移動する第２移動手段と、前記塗布ヘッドの塗布方向前方にて基板表面の高さを検出する高さ検出手段を備えた塗液の塗布装置を用いて塗液を塗布するに際し、前記基板の塗布方向位置に対応する基板表面の高さ信号を記憶し、塗布ヘッドの高さを、前記塗布方向位置に対応して制御するとともに、前記高さ検出手段の高さ信号の急激な変化を差分、微分法を用いてカットし、基板の厚さムラの信号のみを取り出し、前記塗布ヘッドの高さを制御することを特徴とすることを特徴とする方法からなる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、上記課題を解決するためにもう一つの本発明の塗液の塗布方法は、被塗布基板を吸着固定するテーブルと、前記基板と一定間隔はなれ対向する位置において塗液を塗布する塗布ヘッドと、前記テーブルと塗布ヘッドを相対的に塗布方向に移動する第１移動手段と、前記塗布ヘッドの延設方向の両端に設けられ該塗布ヘッドを基板に対し離間・接近する方向に移動する第２移動手段と、前記塗布ヘッドの塗布方向前方にて基板の塗液の塗布方向に直交する方向の中央および両端の基板表面の高さを検出する高さ検出手段とを備えた塗液の塗布装置を用いて塗液を塗布するに際して、前記基板の塗液の塗布方向に直交する方向の両端近傍の高さ検出手段により前記基板の塗布開始位置の両端部近傍の高さを検出し、前記塗布ヘッドの両端近傍の第２移動手段により、塗布ヘッドの傾きを基板の塗布開始位置の傾きに合わせた後、塗布を開始し、前記両端部の高さ検出手段の内いずれか片側の高さ信号または、両側の平均値高さ信号または、基板中央近傍の高さ検出手段による高さ信号を用いて塗布ヘッドと基板表面の間隙を制御するとともに、前記高さ検出手段の高さ信号の急激な変化を差分、微分法を用いてカットし、基板の厚さムラの信号のみを取り出し、前記塗布ヘッドの高さを制御することを特徴とする方法からなる。