【手続補正書】
【提出日】平成20年7月8日(2008.7.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置及びデバイス製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  アクチュエータと、
前記アクチュエータにより力を加えられる物体の運動状態を検出する検出手段と、
前記アクチュエータを駆動する制御手段と、
前記検出手段から出力された信号を記録する記録手段と、
前記信号の異常を判定する判定手段と、
を有し、
前記制御手段は、前記判定手段の異常の判定にしたがって前記アクチュエータの駆動を停止し、
前記記録手段は、記録された前記信号を前記異常の判定後も保持する、
ことを特徴とする露光装置。
【請求項２】  アクチュエータと、
前記アクチュエータにより力を加えられる物体の運動状態を検出する検出手段と、
前記アクチュエータを駆動する制御手段と、
前記検出手段から出力された信号を記録する記録手段と、
前記検出手段から出力された信号と前記記録手段に記録された信号とを用いて前記制御手段の設定を変更すべき状態を判定する判定手段と、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項３】  前記制御手段は、前記検出手段から出力された信号に基づいて前記運動状態を制御することを特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。
【請求項４】  前記判定手段の判定にしたがった処理を行う上位制御手段をさらに有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の露光装置。 
【請求項５】  前記上位制御手段は、前記判定手段の判定にしたがって他のユニットに対する処理を行うことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の露光装置。
【請求項６】  表示手段を有し、前記上位制御手段は、前記判定手段の判定にしたがった表示を前記表示手段に行うことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の露光装置。
【請求項７】  前記記録手段は、前記制御手段から前記アクチュエータへの駆動指令信号を記録することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の露光装置。
【請求項８】  前記記録手段は、露光装置が稼働停止した後もデータを保持し続けることが可能なものであることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の露光装置。
【請求項９】  前記物体は、除振台であることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の露光装置。
【請求項１０】  前記物体は、露光される基板を搭載するステージであることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の露光装置。
【請求項１１】  前記物体は、原版を搭載するステージであることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の露光装置。
【請求項１２】  前記アクチュエータの駆動停止後も、前記検出手段は前記運動状態を検出し、前記記録手段は前記検出手段から出力された信号を記録することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項１３】  前記記録手段には、前記制御手段の設定値が予め記録されており、
前記判定手段は、前記設定値にも基づいて判定を行うことを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
【請求項１４】  請求項１乃至１３のいずれかに記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、露光装置およびデバイス製造方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の第一の目的は、異常発生時に迅速かつ適切な対応をとるための支援を行えるようにすることにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の第二の目的は、状態変化に応じた処置を行うための支援を行えるようにすることにある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため本発明の露光装置は、アクチュエータと、前記アクチュエータにより力を加えられる物体の運動状態を検出する検出手段と、前記アクチュエータを駆動する制御手段と、前記検出手段から出力された信号を記録する記録手段と、前記信号の異常を判定する判定手段と、を有し、前記制御手段は、前記判定手段の異常の判定にしたがって前記アクチュエータの駆動を停止し、前記記録手段は、記録された前記信号を前記異常の判定後も保持する、ことを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の露光装置は、アクチュエータと、前記アクチュエータにより力を加えられる物体の運動状態を検出する検出手段と、前記アクチュエータを駆動する制御手段と、前記検出手段から出力された信号を記録する記録手段と、前記検出手段から出力された信号と前記記録手段に記録された信号とを用いて前記制御手段の設定を変更すべき状態を判定する判定手段と、を有することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
【発明の効果】
以上のように、第１の発明の露光装置によれば、異常発生時に迅速かつ適切な対応とるための支援を行うことができる。また、第２の発明の露光装置によれば、状態変化に応じた処置を行うための支援を行うことができる。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】削除
【補正の内容】