【手続補正書】
【提出日】平成19年11月27日(2007.11.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  データ通信ネットワークを利用して産業用機器を管理する管理システムであって、
前記産業用機器が設置された工場に配置された第１の操作装置、及び前記産業用機器が設置された前記工場の遠隔地に配置された第２の操作装置に対して選択的に前記産業用機器の操作権限を与える管理装置と、
前記管理装置によって操作権限が与えられている操作装置からの指示に従って前記産業用機器を動作させると共に、前記産業用機器の動作状況を示す情報を該操作装置に提供する制御装置と、
を備えることを特徴とする管理システム。
【請求項２】  前記第２の操作装置と前記制御装置とがデータ通信ネットワークを介して接続されていることを特徴とする請求項１に記載の管理システム。
【請求項３】  前記管理装置は、前記産業用機器の管理者から与えられる指示に従って前記第１の操作装置及び前記第２の操作装置に対して選択的に前記産業用機器の操作権限を与えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の管理システム。
【請求項４】  前記産業用機器の管理者を設定する管理者設定手段を更に備え、
前記管理装置は、前記管理者設定手段によって設定された管理者からの指示に従って前記第１の操作装置及び前記第２の操作装置に対して選択的に前記産業用機器の操作権限を与えることを特徴とする請求項３に記載の管理システム。
【請求項５】  前記産業用機器の管理者が前記第２の操作装置の管理者である場合に、前記第１の操作装置が前記制御装置を介して前記産業用機器を操作することができる内容を制限する制限手段を更に備えることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の管理システム。
【請求項６】  前記産業用機器の管理者が前記第１の操作装置の管理者である場合に、前記第２の操作装置が前記制御装置を介して前記産業用機器を操作することができる内容を制限する制限手段を更に備えることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の管理システム。
【請求項７】  前記第１の操作装置による前記産業用機器の操作に関連する情報を前記第２の操作装置に対して秘密にし、前記第２の操作装置による前記産業用機器の操作に関連する情報を前記第１の操作装置に対して秘密にするセキュリティ手段を更に備えることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の管理システム。
【請求項８】  前記セキュリティ手段は、前記第２の操作装置に対して秘密にされている情報の全部又は一部を前記第１の操作装置からの指示に従って前記第２の操作装置に公開し、前記第１の操作装置に対して秘密にされている情報の全部又は一部を前記第２の操作装置からの指示に従って前記第１の操作装置に対して公開することを特徴とする請求項７に記載の管理システム。
【請求項９】  前記セキュリティ手段は、前記第１の操作装置に前記産業用機器の操作権限が与えられている場合に前記産業用機器の動作状況を示す情報を前記第１の操作装置からの指示に従って前記第２の操作装置に公開し、前記第２の操作装置に前記産業用機器の操作権限が与えられている場合に前記産業用機器の動作状況を示す情報を前記第２の操作装置からの指示に従って前記第１の操作装置に公開することを特徴とする請求項８に記載の管理システム。
【請求項１０】  前記第２の操作装置は、前記産業用機器の製造、販売若しくは保守に携わる者又は前記産業用機器についてのサービスに携わる者の事業所に配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の管理システム。
【請求項１１】  前記産業用機器は、半導体製造装置を含むことを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の管理システム。
【請求項１２】  前記半導体製造装置は、露光装置、ＣＶＤ装置、エッチング装置、ＣＭＰ装置、レジスト塗布装置、現像装置、アッシング装置及び検査装置のいずれかを含むことを特徴とする請求項１１に記載の管理システム。
【請求項１３】  データ通信ネットワークを利用して産業用機器を管理する管理方法であって、
前記産業用機器が設置された工場に配置された第１の操作装置、及び前記産業用機器が設置された前記工場の遠隔地に配置された第２の操作装置に対して選択的に前記産業用機器の操作権限を与える管理工程と、
前記管理工程で操作権限が与えられた操作装置から前記産業用機器の制御装置に指示を送って前記制御装置に前記産業用機器を制御させると共に、前記産業用機器の動作状況を示す情報を前記制御装置から該操作装置に送る制御工程と、
を含むことを特徴とする管理方法。
【請求項１４】  前記第２の操作装置と前記制御装置とがデータ通信ネットワークを介して接続されていることを特徴とする請求項１３に記載の管理方法。
【請求項１５】  前記管理工程では、前記産業用機器の管理者から与えられる指示に従って前記第１の操作装置及び前記第２の操作装置に対して選択的に前記産業用機器の操作権限を与えることを特徴とする請求項１３又は請求項１４に記載の管理方法。
【請求項１６】  前記産業用機器の管理者を設定する設定工程を更に含み、
前記管理工程では、前記設定工程で設定された管理者からの指示に従って前記第１の操作装置及び前記第２の操作装置に対して選択的に前記産業用機器の操作権限を与えることを特徴とする請求項１５に記載の管理方法。
【請求項１７】  前記産業用機器の管理者が前記第２の操作装置の管理者である場合に、前記第１の操作装置が前記制御装置を介して前記産業用機器を操作することができる内容を制限する制限工程を更に含むことを特徴とする請求項１３乃至請求項１６のいずれか１項に記載の管理方法。
【請求項１８】  前記産業用機器の管理者が前記第１の操作装置の管理者である場合に、前記第２の操作装置が前記制御装置を介して前記産業用機器を操作することができる内容を制限する制限工程を更に含むことを特徴とする請求項１３乃至請求項１６のいずれか１項に記載の管理方法。
【請求項１９】  前記第１の操作装置による前記産業用機器の操作に関連する情報を前記第２の操作装置に対して秘密にし、前記第２の操作装置による前記産業用機器の操作に関連する情報を前記第１の操作装置に対して秘密にするセキュリティ工程を更に含むことを特徴とする請求項１３乃至請求項１８のいずれか１項に記載の管理方法。
【請求項２０】  前記セキュリティ工程は、前記第２の操作装置に対して秘密にされている情報の全部又は一部を前記第１の操作装置からの指示に従って前記第２の操作装置に公開し、前記第１の操作装置に対して秘密にされている情報の全部又は一部を前記第２の操作装置からの指示に従って前記第１の操作装置に対して公開する工程を含むことを特徴とする請求項１９に記載の管理方法。
【請求項２１】  前記セキュリティ工程では、前記第１の操作装置に前記産業用機器の操作権限が与えられている場合に前記産業用機器の動作状況を示す情報を前記第１の操作装置からの指示に従って前記第２の操作装置に公開し、前記第２の操作装置に前記産業用機器の操作権限が与えられている場合に前記産業用機器の動作状況を示す情報を前記第２の操作装置からの指示に従って前記第１の操作装置に公開することを特徴とする請求項２０に記載の管理方法。
【請求項２２】  前記第２の操作装置は、前記産業用機器の製造、販売若しくは保守に携わる者又は前記産業用機器についてのサービスに携わる者の事業所に配置されていることを特徴とする請求項１３乃至請求項２１のいずれか１項に記載の管理方法。
【請求項２３】  前記産業用機器は、半導体製造装置を含むことを特徴とする請求項１３乃至請求項２２のいずれか１項に記載の管理方法。
【請求項２４】  前記半導体製造装置は、露光装置、ＣＶＤ装置、エッチング装置、ＣＭＰ装置、レジスト塗布装置、現像装置、アッシング装置及び検査装置のいずれかを含むことを特徴とする請求項２３に記載の管理方法。