【手続補正書】
【提出日】平成20年1月25日(2008.1.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】            明細書
【発明の名称】  ペリクル収納容器及びペリクルの取り出し方法
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクルを収納して保管、搬送するために用いられるトレーと蓋とよりなるペリクル収納容器に於て、該容器のトレーの所定位置にペリクル枠支持用治具を挿通し得る治具孔を１個以上設けて構成したことを特徴としたペリクル収納容器。
【請求項２】
側部に耳部が突設された保護フィルムが粘着材を介してペリクル枠の下面に貼着されて形成されたペリクルを収納して保管、搬送するために用いられるトレーと蓋とよりなるペリクル収納容器に於て、該容器のトレーの所定位置にペリクル枠支持用治具を挿通し得る第１治具孔と前記保護フィルムの耳部を吸引把持し得る吸引把持用治具を挿通し得る第２治具孔とを夫々１個以上設けて構成したことを特徴としたペリクル収納容器。
【請求項３】
ペリクル枠の上縁に接着剤を介してペリクル膜が張着されたペリクルの、該ペリクル枠の下縁に粘着材を介して保護フィルムが貼着されているペリクルが収納されたトレーから、該ペリクルを取り出す方法であって、
基台上に起立突設されたペリクル枠支持用治具と該保護フィルムを吸引把持し得る吸引把持用治具を有する押上装置に、該ペリクル枠支持用治具を挿通し得る第１治具孔と該吸引把持用治具を挿通し得る第２治具孔が穿設されているトレーを、収納されたペリクルごと、該孔に該治具を挿通させて該ペリクルを該トレーから押し上げる工程と、
該押上装置によって該トレーから押上げられた該ペリクルを、その状態を維持しながら、該吸引把持用治具を吸引状態にして該保護フィルムを該吸引把持用治具に吸着固定させる工程と、
該ペリクル枠の周側面に設けられた溝に嵌入させるための先端部を有するペリクルホルダーの該先端部を、該ペリクル枠の溝に挿入させてペリクルを支持する工程と、
該ペリクルホルダーを上昇させて、該ペリクルから該保護フィルムを剥離する工程と、
を上記工程の順に従って行うことを特徴とするペリクルの取り出し方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ペリクル枠にペリクル膜が貼着されて形成されたペリクルを収納する容器に係り、特に、ＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）、ＴＦＴＬＣＤ（薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクル（以下、「マスク」という）に固着して使用されるペリクルを一時的に保管したり、搬送したりする際に使用されるペリクル収納容器及びペリクルの取り出し方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ペリクルは、一定幅を有するペリクル枠に透明薄膜からなるペリクル膜を接着剤等を用いて張着されたものであり、ペリクル膜はマスクとは所定の距離（ペリクル枠高さ）をおいてマスク上に位置させ、マスク上に塵埃等の異物等が付着するのを防止するものである。
【０００３】
フォトリソグラフィ工程において、異物等がペリクル上に付着したとしても、それ等の像はフォトレジストが塗布された半導体ウェハ上には結像しない。従って、マスクをペリクルで保護することにより、異物等の像による半導体集積回路の短絡や断線等、また液晶ディスプレイ（以下、「ＬＣＤ」という）の欠陥を防止することが出来、フォトリソグラフィ工程での製造歩留りが向上する。
【０００４】
更にマスクのクリーニング回数が減少して、その寿命を延ばす等の効果がペリクルにより得られる。
【０００５】
半導体用ペリクル及びＬＣＤ用ペリクルにおいては、共に露光工程におけるスループット向上のために露光する光の透過率が高いことが要求される。そのために、透明薄膜の片面或いは両面に反射防止層が設けられるようになってきている。反射防止層は単層或いは２層以上の層で構成されることもある。
【０００６】
最外層に用いる反射防止層の材料としては、特開昭61-209449号公報に開示されたテトラフルオロエチレン−ビニリデンフルオライド−ヘキサフルオロプロピレンポリマー、或いは特開平1-100549号公報に開示されたポリフルオロアクリレート、或いは特開平3-39963号公報に開示された主鎖に環状構造を有するフッ素ポリマーであるデュポン社製のテフロンＡＦ（商品名）、或いは旭硝子社製のサイトップ（商品名）等が提案されている。
【０００７】
最外層の反射防止層の材料の多くは、フッ素含有ポリマーや、フッ化カルシウムやフッ化マグネシウム等の無機フッ素系材料が用いられている。透明薄膜層（中心層）材料の多くはニトロセルロースやセルロースアセテートプロピオネート、カーボネート化アセチルセルロース等のセルロース誘導体及びこれらの混合物が用いられている。
【０００８】
ＬＣＤではＴＦＴ（薄膜トランジスタ）の実用化により大画面化、高精細化、大容量化等が達成されつつあるが、ＴＦＴ−ＬＣＤ製造で使用されるペリクルもこれに対応して大型化及び面内の光透過性の均一性が求められ、また半導体製造用のペリクルにおいても均一な高光線透過率を持つペリクル膜が求められているが、更にペリクル自身及びその周辺からミクロンオーダーの塵埃等の異物の発生も許されないペリクルが求められている。
【０００９】
このようなマスク保護装置としてのペリクルは、ペリクル枠と、該ペリクル枠の一側面に接着剤を介して張着されたペリクル膜とから構成されるものである。特に、ＬＣＤ用の大型ペリクルは、マスク貼り付け時にペリクルを人手により把持して保護フィルムを剥離する作業があり人手によるペリクルのハンドリング並びに人手による保護フィルムの剥離作業によりペリクルを落下させたりペリクル膜を傷つけたりペリクル膜に異物を付着させる虞があった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述の従来例のペリクル収納容器に於ては、ペリクル収納容器よりペリクルを取出す際に、人の手作業によってペリクルを容器より取出さなければならないので、作業効率が悪い上に、ペリクル膜に傷を付ける心配がある等の問題があった。
【００１１】
さらに、ペリクル収納容器より取出したペリクルをマスクに貼り付ける場合には、ペリクル枠の下面に貼着された保護フィルムを剥離除去しなければならず、この保護フィルムの剥離除去も人の手作業で行っていたが、作業効率が悪く、かつこの剥離除去時に周辺から異物が発塵する心配がある等の問題があった。
【００１２】
本発明に係るペリクル収納容器は、前述の従来の多くの問題点に鑑み開発された全く新しい技術であって、特に本発明の収納容器を使用することによって、作業者がペリクルに直接に接触することなく、ペリクル収納容器のトレイからペリクルを取出すことが出来、かつペリクルから保護フィルムを剥離除去することが出来、これによって作業効率を著しく向上させ、かつペリクルのペリクル膜を傷付けたり、或は異物が発塵することを防止し得る全く新しい技術を提供するものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は前記目的を達成するために鋭意研究を行った結果、ペリクルをマスクに貼り付ける時にペリクル収納容器からペリクルを取り出しマスク粘着材から保護フィルムを剥離する過程をよく観察すると、人手により直接ペリクルを把持すると共にマスク粘着材から保護フィルムを人手により剥離しておりペリクルを落下させたりペリクル膜に傷を付けたり、ペリクル膜に異物を付着させる虞があることを見い出し、本発明を成すに至ったものである。
【００１４】
本発明に係るペリクル収納容器の第１発明の要旨は、ペリクルを収納して保管、搬送するために用いられるトレーと蓋とよりなるペリクル収納容器に於て、該容器のトレーの所定位置にペリクル枠支持用治具を挿通し得る治具孔を１個以上設けて構成したことを特徴としたペリクル収納容器である。
【００１５】
前述の第１発明に係るペリクル収納容器に於ては、ペリクル収納容器のトレーの所定位置にペリクル枠支持用治具を挿通し得る第１治具孔を１個以上設けて構成したので、この第１治具孔にペリクル枠支持用治具を挿通することによって、該ペリクル枠支持用治具でペリクルを支持して、該ペリクルをペリクル収納容器のトレイより引離し、別に用意したペリクル枠ホルダー等を使用することによって、ペリクルをペリクル収納容器より人手を要することなく自動的に取出すことが出来る。
【００１６】
従って、収納容器からペリクルの取出し、保護フィルムの剥離作業、マスクに貼着するためにペリクルの移動等の際にペリクルを落下させたり、ペリクル膜に傷を付けたり、ペリクルに異物が付着することを防止出来る。そのために、作業効率と信頼性を著しく向上させることが出来る。
【００１７】
本発明に係るペリクル収納容器の第２発明の要旨は、側部に耳部が突設された保護フィルムが粘着材を介してペリクル枠の下面に貼着されて形成されたペリクルを収納して保管、搬送するために用いられるトレーと蓋とよりなるペリクル収納容器に於て、該容器のトレーの所定位置にペリクル枠支持用治具を挿通し得る第１治具孔と前記保護フィルムの耳部を吸引把持し得る吸引把持用治具を挿通し得る第２治具孔とを夫々１個以上設けて構成したことを特徴としたペリクル収納容器である。
【００１８】
前述の第２発明に係るペリクル収納容器に於ては、ペリクル収納容器のトレーの所定位置にペリクル枠支持用治具を挿通し得る第１治具孔とペリクルの保護フィルムの耳部を吸引把持し得る治具を挿通し得る第２治具孔とを夫々１個以上設けて構成したので、これ等の第１及び第２治具孔にペリクル枠支持用治具と耳部を吸引把持し得る治具を夫々挿通することによって、ペリクルをペリクル収納容器のトレイから引離すと同時に、保護フィルムの耳部を吸引把持して固定することが出来る。
【００１９】
従って、第２発明に係るペリクル収納容器を使用した場合には、別に用意したペリクル枠ホルダー等を併用することによって、ペリクルをペリクル収納容器より自動的に取出すことが出来、かつペリクルの取出し時に、ペリクル枠の下面から保護フィルムを剥離させることが出来る。そのために、この第２発明の容器を使用した場合に於ては、ペリクルの容器からの取出し及び移動の外に、ペリクルから保護フィルムを人手を用いずに自動的に剥離することが出来、これによってペリクルを落下させたり、ペリクル膜に傷を付けたり、或はペリクルに異物が付着することを防止出来る。本発明を実施することによって作業効率と信頼性を著しく向上させることが出来る。
【００２０】
また、本発明に係るペリクルの取り出し方法は、ペリクル枠の上縁に接着剤を介してペリクル膜が張着されたペリクルの、該ペリクル枠の下縁に粘着材を介して保護フィルムが貼着されているペリクルが収納されたトレーから、該ペリクルを取り出す方法であって、基台上に起立突設されたペリクル枠支持用治具と該保護フィルムを吸引把持し得る吸引把持用治具を有する押上装置に、該ペリクル枠支持用治具を挿通し得る第１治具孔と該吸引把持用治具を挿通し得る第２治具孔が穿設されているトレーを、収納されたペリクルごと、該孔に該治具を挿通させて該ペリクルを該トレーから押し上げる工程と、該押上装置によって該トレーから押上げられた該ペリクルを、その状態を維持しながら、該吸引把持用治具を吸引状態にして該保護フィルムを該吸引把持用治具に吸着固定させる工程と、該ペリクル枠の周側面に設けられた溝に嵌入させるための先端部を有するペリクルホルダーの該先端部を、該ペリクル枠の溝に挿入させてペリクルを支持する工程と、該ペリクルホルダーを上昇させて、該ペリクルから該保護フィルムを剥離する工程と、を上記工程の順に従って行うことを特徴とするペリクルの取り出し方法である。
【００２１】
【発明の実施の形態】
図により本発明に係るペリクル収納容器の一実施例を具体的に説明すると、図１（ａ）は本発明に係るペリクル収納容器のトレイと該トレイ内に収納されたペリクルを示す斜視図、図１（ｂ）は図１（ａ）の一部の拡大説明図である。
【００２２】
図２は図１（ａ）のトレイとペリクル取出治具との関係を示す斜視図、図３は図２のペリクル取出治具によってペリクルをトレイより浮上させた状態の斜視図、図４はペリクルホルダーによってペリクルをトレイより取出す状態の斜視図である。
【００２３】
図１（ａ）、（ｂ）に於て、Ａはペリクルであって、ペリクル枠１の上縁には接着剤２を介してペリクル膜３が張着されている。ペリクル枠１の下縁（下面）にはペリクルＡをフォトマスクやレティクル（以下、単にマスクという）に貼り付ける時に使用される粘着材４が塗着されると共に、この粘着材４にはペリクルＡの貼着時に簡単に剥離し得る保護フィルム５が貼着されている。また、この保護フィルム５の側縁所定位置には耳部５ａが一体的に突設されている。前記ペリクル枠１の周側面には溝１ａが設けられている。
【００２４】
ペリクル枠１としては、ペリクル膜３を支持し得る枠であればどのような材質であっても良いが、表面をアルマイト処理したアルミフレームやクロムメッキ等を施した金属枠等の支持枠、更にはエンジニアリングプラスチック等で製造した樹脂支持枠等が用いられ、その形状も方形、円形等、他の種々の形状であっても良い。通常は、製造の容易さ、強度等の点から金属枠が用いられる。
【００２５】
ペリクル膜３の透明薄膜層（中心層）材料としては、ニトロセルロース、セルロースアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート、エチルセルロース、カーボネート化アセチルセルロース等のセルロース誘導体が使用出来る。
【００２６】
これらのセルロース誘導体は、夫々単独で用いても良いが、２種以上のセルロース誘導体との混合物を用いても良い。使用するセルロース誘導体は、高分子量のもの程、薄膜の形状保持性が良いため好ましい。
【００２７】
即ち、数平均分子量が３万以上、好ましくは５万以上である。このような材料のうち、ニトロセルロースは旭化成工業株式会社製、セルロースアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネートはイーストマン・コダック社製のものが夫々市販されており、容易に入手することが出来る。
【００２８】
セルロース誘導体の溶媒としては、２−ブタノン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、乳酸エチル、酢酸セロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等、及びこれ等の溶媒の混合系が使用される。
【００２９】
セルロース誘導体等の溶液は、予め異物除去のための濾過をしてから、スピンコートする。透明薄膜（中心層）の膜厚は、溶液粘度や基板の回転速度を変化させることにより適宜変化させることが出来る。基板上に形成された薄膜に含まれている溶媒はホットプレート、オーブン等で揮発させる。
【００３０】
ペリクル膜３の反射防止層は単層或いは２層以上の層で構成されるが、単層の場合（表裏に反射防止層を形成すると、ペリクル膜３の層数は３層）は、反射防止層の屈折率ｎ１が透明薄膜（中心層）の屈折率ｎＣに対してｎ１＝（ｎＣ）1/2の時に反射防止効果は最大となり、この値に近い反射防止層材料を選択する程、反射防止効果は大きくなる。反射防止層の厚みｄは、反射防止すべき波長をλとするとｎ１×ｄ＝λ／４とすれば良い。
【００３１】
また、反射防止層が２層の場合（前述と同様に表裏に反射防止層を形成するとペリクル膜３の層数は５層）は、透明薄膜層に接する層を高屈折率反射防止層にし、最外層を低屈折率反射防止層とするが、最外層の反射防止層から順に屈折率と厚みをｎ１、ｄ１及びｎ２、ｄ２とすると、ｎ２／ｎ１＝（ｎＣ）1/2の時に反射防止効果は最大となり、この値に近いｎ２／ｎ１の反射防止層材料を選択する程、反射防止効果は大きくなる。
【００３２】
反射防止層の厚みｄ１、ｄ２は、反射防止すべき波長をλとすると、ｎ１×ｄ１＝ｎ２×ｄ２＝λ／４とすれば良い。中心層にはセルロース誘導体、ポリビニルブチラール、ポリビニルプロピオナール等を使用することが出来、その場合にはこれらの屈折率は１．５前後であるから、（ｎＣ）1/2が約１．２２となる。従って、反射防止層材料の屈折率としては、反射防止層が単層の場合、ｎ２／ｎ１が１．２２に近い程、反射防止効果が大きくなり、好ましい。
【００３３】
最外層として用いる低屈折率反射防止層の材料としては、テトラフルオロエチレン−ビニリデンフルオライド−ヘキサフルオロプロピレンポリマー、ポリフルオロアクリレート、主鎖に環状構造を有するフッ素ポリマーであるデュポン社製のテフロンＡＦ（商品名）、旭硝子社製のサイトップ（商品名）等のフッ素系材料が使用出来る。
【００３４】
テフロンＡＦは、γ線、電子線、α線等の放射線や遠紫外線等の光を照射することにより、濾過性、制電性、ペリクル膜３とペリクル枠１との接着性が向上する。
【００３５】
６はペリクル収納容器のトレーであって、前述のペリクルＡをその内部に収納することが出来、かつこのトレー６に容器蓋（図示せず）を被覆することによって、ペリクルＡを密閉した状態で保管したり、搬送したりすることが出来るように構成されている。
【００３６】
前記トレー６の所定位置、即ちペリクルＡを収納した際に、ペリクルＡのペリクル枠１が当接される位置には後述のペリクル枠支持用治具を挿通することが出来る第１治具孔７が穿設されている。
【００３７】
また、該トレー６には前述の第１治具孔７とは別に、前述のペリクルＡの保護フィルム５の耳部５ａを吸引把持し得る治具を挿通することが出来る第２治具孔８が穿設されている。この第２治具孔８は、ペリクルＡをトレー６内に戴置した際に、保護フィルム５の耳部５ａがトレー６に当接される場所に穿設されている。
【００３８】
前記トレー６を成形するに当っては、例えばアクリル樹脂、ＰＥＴ樹脂等が一般的に使用出来る。また、トレー６の成形に当っては、射出成形、直空成形等の成形方法が用いられる。前述のトレー６に設ける第１治具孔７及び第２治具孔８は夫々トレー６の成形時に同時に設けることも、或はトレー６が成形された後でプレス加工等によって穿設することも可能である。
【００３９】
前述のようにトレー６に設けられた第１及び第２治具孔７、８は夫々トレー６の外側からテープ（図示せず）が貼着されて密封されている。このようにトレー６にテープを貼着した理由は、ペリクルＡを収納する収納容器内にこれ等の治具孔７、８を通じて塵埃が侵入することを防止するためである。トレー６に貼着されたテープは、トレー６よりペリクルＡを取り出す時に剥離される。
【００４０】
前述のトレー６は、次の理由によって導電性を有していることが好ましい。即ち、トレー６が導電性を有していると、帯電による塵埃が付着しにくくなり、トレー６の異物除去作業が軽減されるためである。このようにトレー６に導電性を持たせるためには、トレー６を成形する際の副資材として導電物質、例えば導電性カーボンブラック、金属粉等を成形資材となる樹脂の中に混入すれば良い。
【００４１】
次に、図２乃至図４に於て、前述のトレー６内に収納されているペリクルＡをトレー６より自動的に押上げると共に、ペリクルＡのペリクル枠１に貼着されている保護フィルム５をペリクル枠１より剥離する際に使用される押上装置と、その押上装置を使用してトレー６よりペリクルＡを取出す方法について詳述する。
【００４２】
図に於て、９は押上装置であって、基台１０の所定位置、即ち前記トレー６の第１治具孔７に対応する位置には、該第１治具孔７に挿通し得るペリクル枠支持用治具１１が起立突設されている。また、前記基台１０の所定位置、即ちトレー６の第２治具孔８に対応する位置には、前記保護フィルム５の耳部５ａを吸引把持し得る吸引把持用治具１２が起立突設されている。
【００４３】
前記ペリクル枠支持用治具１１の上面にはペリクル枠１を支持し易くするために切欠部１１ａが設けられている。また、吸引把持用治具１２の中芯部には通気孔（図示せず）が貫通されている。さらに、前記基台１０の上側部には、後述のペリクルＡを保持し得るペリクルホルダーをガイドし得る一対のガイドブロック１３が左右に対応して起立突設されている。
【００４４】
１４はコ状のペリクルホルダーであって、その両先端部１４ａはペリクル枠１の外周面に設けられた溝１ａに嵌入し得る形状を有しており、このペリクルホルダー１４の元部には一対の柄１５が取付けられている。
【００４５】
前述の押上装置９とペリクルホルダー１４とを使用してトレー６内に収納されたペリクルＡを取出す方法について説明すると次の通りである。
【００４６】
先ずトレー６の裏面に貼着されていたテープを剥離して、前記第１治具孔７及び第２治具孔８を夫々貫通させ、トレー６を押上装置９上に移動して来て、トレー６に設けられた治具孔７、８に夫々ペリクル枠支持用治具１１及び吸引把持用治具１２を挿通させる。
【００４７】
そして、ペリクル枠支持用治具１１の上面の切欠部１１ａでペリクルＡを支持しながらペリクルＡを押し上げて、ペリクルＡをトレー６より脱出させる。かつ吸引把持用治具１２の上面をペリクルＡの保護フィルム５の耳部５ａに当接すると共に、バキューム装置（図示せず）等を作動させて耳部５ａを吸引把持用治具１２の上面に吸着固定させる。
【００４８】
続いて、ペリクルホルダー１４をガイドブロック１３に沿って移動させて、その両先端部１４ａをペリクル枠１の外周面に設けられた溝１ａ内に挿入して、ペリクルホルダー１４によってペリクルＡを支持する。この状態のままペリクルホルダー１４を上昇させることによって、ペリクルＡを上昇させると共にペリクル枠１の下面に貼着され、かつその耳部５ａが吸引把持用治具１２によって固定されている保護フィルム５をペリクル枠１より自動的に剥離することが出来る。
【００４９】
このようにペリクルホルダー１４によって保持されたペリクルＡはそのままの状態でマスク（図示せず）の上に移動させ、ペリクル枠１の下面に塗着されている粘着材４を利用してペリクルＡをマスクの上に粘着固定することが出来る。
【００５０】
前述のように、本発明に係るペリクル収納容器のトレー６と、押上装置９と及びペリクルホルダー１４とを使用することによって、人手を要することなく、ペリクルＡをトレー６より自動的に取り出し、かつペリクルＡに設けられた保護フィルム５を強制的に剥離し、さらにペリクルＡをマスクの上に全自動的に粘着して固定することが出来る。
【００５１】
【実施例】
以下に、本発明を適用した一実施例について説明する。先ず、セルロースアセテートプロピオネート（イーストマン・コダック社製、「ＣＡＰ４８２−２０」、以下「ＣＡＰ」という）を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに溶解し、ＣＡＰ溶液を作製する。
【００５２】
かつ、反射防止層としての含フッ素樹脂を溶媒に溶解した溶液を作製する。先ず、塗布用基板をスピンコーターにセットして、調整したＣＡＰ溶液を、フィルターで濾過し、その濾過液の適当量を上記塗布用基板上に滴下し、その後、塗布用基板を１０００ｒｐｍで４５秒間回転させ、次に、ホットプレートで溶媒を蒸発せしめ、シリコンウェーハ上にＣＡＰからなる厚さ１〜２μｍの透明薄膜層（中心層）を形成した。
【００５３】
次いで、上記で調整した含フッ素樹脂溶液を、フィルターで濾過し、その濾過液を上記中心層の上に数ｃｃ滴下し、６００ｒｐｍで３０秒間回転させた後、風乾し、更にホットプレート上で乾燥し、反射防止層を形成した。
【００５４】
さらに、２３℃、相対湿度５０％の条件下で塗布用基板により剥離し、更に含フッ素樹脂溶液数ｃｃを上記基板から剥離した２層膜の中心層露出面に滴下し、６００ｒｐｍで３０秒間回転させた後、風乾して反射防止層を形成し、３層膜を得た。
【００５５】
続いて、上面に紫外線硬化型接着剤を用いて、表面をアルマイト処理をしたアルミニウム製の金属で出来ているペリクル枠１に、３層のペリクル膜３を接着した。そして前述のように２種類の治具孔７、８が設けられ、かつこれ等の治具孔７、８の周りにテープが貼られたトレー６内にペリクルＡを収納し、トレー６に蓋をしてペリクル収納容器を密封して、ペリクルＡを保管或は輸送した。
【００５６】
前述のように構成されたペリクル収納容器よりペリクルＡを取出す時には、トレー６の裏面に貼着されているテープを剥離し、かつトレー６に被蓋されていた蓋を取り外し、トレー６を押上装置９上に移動して両者を相互に位置合せをして組合せ、トレー６の２種類の治具孔７、８内に押上装置９の２種類の治具１１、１２を挿通した。
【００５７】
前述のように、治具１１を治具孔７に挿通することによって、治具１１の上面の切欠部１１ａでペリクル枠１を支持して押し上げ、同時に治具１２を治具孔８に挿通すると共にバキューム装置等を作動させることによって、ペリクルＡの保護フィルム５の耳部５ａを治具１２の上部で吸引固定させた。
【００５８】
ペリクルホルダー１４を基台１０に設けられたガイドブロック１３を利用して位置決めすると共に、ペリクルホルダー１４の両先端部１４ａをペリクル枠１の溝１ａに嵌入してペリクルホルダー１４でペリクルＡを保持した。
【００５９】
その後でペリクルホルダー１４を上昇させることによって、耳部５ａが治具１２によって吸引固定されている保護フィルム５をペリクル枠１より自動的に剥離することが出来た。ペリクルホルダー１４によって保持されたペリクルＡは、そのままの状態でマスク上に移動させ、粘着材４を利用することによって、ペリクルＡをマスクに粘着固定することが出来た。
【００６０】
本発明に係るペリクル収納容器を使用した場合には、他の押上装置９、ペリクルホルダー１４等を併用することによって、人手を介さずにしてトレー６よりペリクルＡを取り出すと共に、ペリクルＡに設けられていた保護フィルムを簡単確実に剥離することが出来た。
【００６１】
従って、ペリクルＡを人が持って落下させたり、ペリクル膜３に傷を付けたり、またはペリクルＡに塵埃等の異物が付着したりすることが防止出来、かつ無発塵ペリクルをマスクに貼着することが出来た。
【００６２】
【発明の効果】
本発明に係るペリクル収納容器は、前述のように、ペリクル収納容器のトレーの所定位置にペリクル枠支持用治具を挿通し得る第１治具孔を１個以上設けて構成したので、この第１治具孔にペリクル枠支持用治具を挿通することによって、該ペリクル枠支持用治具でペリクルを支持して、該ペリクルをペリクル収納容器のトレイより引き離し、別に用意したペリクル枠ホルダー等を使用することによって、ペリクルをペリクル収納容器より人手を要することなく自動的に取出すことが出来る等の効果を有している。
【００６３】
従って、本発明に係るペリクル収納容器を使用することによって、収納容器からペリクルの取出し、保護フィルムの剥離作業、マスクに貼着するためにペリクルの移動等の際にペリクルを落下させたり、ペリクル膜に傷を付けたり、ペリクルに異物が付着することを防止出来る効果を有している。そのために、作業効率と信頼性を著しく向上させることが出来る効果も有している。
【００６４】
さらに、ペリクル収納容器のトレーの所定位置にペリクル枠支持用治具を挿通し得る第１治具孔とペリクルの保護フィルムの耳部を吸引把持し得る治具を挿通し得る第２治具孔とを夫々１個以上設けて構成した場合には、これ等の第１及び第２治具孔にペリクル枠支持用治具と耳部を吸引把持し得る治具を夫々挿通することによって、ペリクルをペリクル収納容器のトレイから引離すと同時に、保護フィルムの耳部を吸引把持して固定することが出来る効果を有している。
【００６５】
従って、前述のペリクル収納容器を使用した場合には、別に用意したペリクル枠ホルダー等を併用することによって、ペリクルをペリクル収納容器より自動的に取出すことが出来、かつペリクルの取出し時に、ペリクル枠の下面から保護フィルムを剥離させることが出来る効果を有している。そのために、この容器を使用した場合に於ては、ペリクルの容器からの取出し及び移動の外に、ペリクルから保護フィルムを人手を用いずに自動的に剥離することが出来、これによってペリクルを落下させたり、ペリクル膜に傷を付けたり、或はペリクルに異物が付着することを防止出来る等の多大な効果を有している。本発明を実施することによって作業効率と信頼性を著しく向上させることが出来る効果も有している。
【図面の簡単な説明】
【図１】
図１（ａ）は本発明に係るペリクル収納容器のトレイと該トレイ内に収納されたペリクルを示す斜視図、図１（ｂ）は図１（ａ）の一部の拡大説明図である。
【図２】
図２は図１（ａ）のトレイとペリクル取出治具との関係を示す斜視図である。
【図３】
図３は図２のペリクル取出治具によってペリクルをトレイより浮上させた状態の斜視図である。
【図４】
図４はペリクルホルダーによってペリクルをトレイより取出す状態の斜視図である。
【符号の説明】
Ａ …ペリクル
１ …ペリクル枠
１ａ …溝
２ …接着剤
３ …ペリクル膜
４ …粘着材
５ …保護フィルム
５ａ …耳部
６ …トレー
７ …第１治具孔
８ …第２治具孔
９ …押上装置
１０ …基台
１１ …ペリクル枠支持用治具
１１ａ…切欠部
１２ …吸引把持用治具
１３ …ガイドブロック
１４ …ペリクルホルダー
１４ａ…両先端部
１５ …柄