【手続補正書】
【提出日】平成20年4月8日(2008.4.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持して移動可能な第１基板保持ハンドと、上記第１基板保持ハンド上における基板の相対移動を規制するための規制部材とを有する第１基板搬送機構と、
上記第１基板保持ハンドに保持された基板の移動経路において上記第１基板搬送機構とは独立して配置され、基板の移動を規制することにより、上記第１基板保持ハンド上の所定位置に基板を位置決めする位置決め当接部を有する第１位置決め機構とを含み、
上記第１基板搬送機構は、上記第１基板保持ハンドを移動させることによって、この第１基板保持ハンド上の基板を上記位置決め当接部に当接させ、さらに当該基板を上記第１基板保持ハンド上で上記規制部材に向けて相対移動させることにより、上記第１基板保持ハンド上の所定位置に基板を導く位置決め動作を実行するものであることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
上記第１位置決め機構は、少なくとも一対のピンを含み、
上記位置決め当接部は、上記一対のピンの側面に設けられていることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項３】
上記第１基板保持ハンドとの間で基板の受け渡しを行う第２基板保持ハンドを有する第２基板搬送機構をさらに含むことを特徴とする請求項１または２記載の基板搬送装置。
【請求項４】
上記第１基板保持ハンド上での基板の位置決めの後に、上記第１基板保持ハンドから上記第２基板保持ハンドへと基板が受け渡されることを特徴とする請求項３記載の基板搬送装置。
【請求項５】
上記第２基板保持ハンドは、基板を保持して移動可能なものであり、
上記第２基板保持ハンドに保持された基板の移動経路において上記第２基板搬送機構とは独立して配置され、基板の移動を規制することにより、上記第２基板保持ハンド上の所定位置に基板を位置決めする位置決め当接部を有する第２位置決め機構をさらに含むことを特徴とする請求項３または４記載の基板搬送装置。
【請求項６】
上記第２位置決め機構は、少なくとも一対のピンを含み、
上記位置決め当接部は、上記一対のピンの側面に設けられていることを特徴とする請求項５記載の基板搬送装置。
【請求項７】
上記第２基板搬送機構は、上記第２基板保持ハンド上における基板の相対移動を規制するための規制部材をさらに含み、
上記第２基板搬送機構は、上記第２基板保持ハンドを移動させることによって、この第２基板保持ハンド上の基板を上記位置決め当接部に当接させ、さらに当該基板を上記第２基板保持ハンド上で上記規制部材に向けて相対移動させることにより、上記第２基板保持ハンド上の所定位置に基板を導く位置決め動作を実行するものであることを特徴とする請求項５または６記載の基板搬送装置。
【請求項８】
上記第２基板保持ハンド上での基板の位置決めの後に、上記第２基板保持ハンドから上記第１基板保持ハンドへと基板が受け渡されることを特徴とする請求項５ないし７のいずれかに記載の基板搬送装置。
【請求項９】
上記第１位置決め機構および第２位置決め機構は、上記位置決め当接部を共有していることを特徴とする請求項５ないし８のいずれかに記載の基板搬送装置。
【請求項１０】
上記第１基板保持ハンドと上記第２基板保持ハンドとの間の基板の受け渡しのための基板受け渡し位置が定められており、この基板受け渡し位置に対して上記第１基板保持ハンド側または上記第２基板保持ハンド側のいずれかの位置に上記第１および第２位置決め機構において共有される上記位置決め当接部が配置されており、
上記第１基板搬送機構は、上記基板受け渡し位置から上記位置決め当接部に向かって上記第１基板保持ハンドを移動することによって、この第１基板保持ハンド上の所定位置に基板を位置決めする位置決め動作を行うものであり、
上記第２基板搬送機構は、上記基板受け渡し位置から上記位置決め当接部に向かって上記第２基板保持ハンドを移動することによって、この第２基板保持ハンド上の所定位置に基板を位置決めする位置決め動作を行うものであることを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項１１】
第１基板搬送機構に設けられた第１基板保持ハンドで基板を保持する工程と、
基板を保持した第１基板保持ハンドを移動させる一方で、上記第１基板搬送機構とは独立して配置された位置決め当接部により基板の移動を規制することにより、上記第１基板保持ハンド上の所定位置に基板を位置決めする位置決め工程とを含み、
上記位置決め工程が、上記第１基板保持ハンドを移動させることによって、この第１基板保持ハンド上の基板を上記位置決め当接部に当接させ、さらに当該基板を上記第１基板保持ハンド上で上記第１基板搬送機構に備えられた規制部材に向けて相対移動させることにより、上記第１基板保持ハンド上の所定位置に基板を導く工程を含むことを特徴とする基板搬送方法。
【請求項１２】
上記位置決め工程の後に、上記第１基板保持ハンドから第２基板保持ハンドへと基板を受け渡す工程をさらに含むことを特徴とする請求項１１記載の基板搬送方法。
【請求項１３】
第２基板搬送機構に設けられた第２基板保持ハンドで基板を保持する工程と、
基板を保持した第２基板保持ハンドを移動させる一方で、上記第２基板搬送機構とは独立して配置された位置決め当接部により基板の移動を規制することにより、上記第２基板保持ハンド上の所定位置に基板を位置決めする工程と、
この位置決め工程の後に、上記第２基板保持ハンドから上記第１基板保持ハンドへと基板を受け渡す工程とをさらに含むことを特徴とする請求項１２記載の基板搬送方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
上記の目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板（Ｗ）を保持して移動可能な第１基板保持ハンド（１１，１２）と、上記第１基板保持ハンド上における基板の相対移動を規制するための規制部材（８１〜８４）とを有する第１基板搬送機構（ＩＲ）と、上記第１基板保持ハンドに保持された基板の移動経路において上記第１基板搬送機構とは独立して配置され、基板の移動を規制することにより、上記第１基板保持ハンド上の所定位置に基板を位置決めする位置決め当接部を有する第１位置決め機構（７１，７２）とを含み、上記第１基板搬送機構は、上記第１基板保持ハンドを移動させることによって、この第１基板保持ハンド上の基板を上記位置決め当接部に当接させ、さらに当該基板を上記第１基板保持ハンド上で上記規制部材に向けて相対移動させることにより、上記第１基板保持ハンド上の所定位置に基板を導く位置決め動作を実行するものであることを特徴とする基板搬送装置である。なお、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素等を表す。以下、この項において同じ。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記の構成によれば、第１基板保持ハンドを移動させることによって、この第１基板保持ハンドに保持された基板が、第１位置決め機構の位置決め当接部に当接し、その結果、第１基板保持ハンド上で基板の相対移動が起きる。これによって、第１基板保持ハンド上における基板の位置決めを達成することができる。
位置決め当接部は、第１基板保持ハンドに保持された基板の移動経路上に固定配置することができるから、従来のようなシリンダ駆動機構等が不要である。これにより、基板搬送装置の構成が簡単になるから、そのコストを削減することができる。さらに、第１基板保持ハンド上における基板の位置決めは、第１基板保持ハンドを移動するのみで達成できるため、従来のように、基板位置決め部材をシリンダ駆動機構によって駆動したりする工程が不要である。そのため、基板の位置決めを速やかに行うことができるから、基板搬送速度が速くなり、この基板搬送装置を組み込んだ基板処理装置のスループットを向上することができる。
また、この発明では、第１基板搬送機構には、第１基板保持ハンド上における基板の相対移動を規制するための規制部材が備えられている。そこで、第１基板搬送機構は、第１基板保持ハンド上の基板を位置決め当接部に当接させた後、さらに、第１基板保持ハンドを移動させることにより、基板を規制部材のある位置に向けて相対移動させる。これによって、基板は、第１基板保持ハンド上において、規制部材によって規制された所定の位置範囲内に正確に位置決めされることになる。
上記規制部材は、第１基板保持ハンド上に固定されていてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項３記載の発明は、上記第１基板保持ハンドとの間で基板の受け渡しを行う第２基板保持ハンド（２１，２２）を有する第２基板搬送機構（ＣＲ）をさらに含むことを特徴とする請求項１または２記載の基板搬送装置である。
この構成によれば、第１基板保持ハンド上において位置決めされた基板を、第２基板保持ハンドに確実に受け渡すことができる。上述のとおり、第１基板保持ハンド上における基板の位置決めは、簡単な構成によって速やかに行うことができるので、第１基板保持ハンドから第２基板保持ハンドへの基板の受け渡しを低コストで高速に行える。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項４記載の発明は、上記第１基板保持ハンド上での基板の位置決めの後に、上記第１基板保持ハンドから上記第２基板保持ハンドへと基板が受け渡されることを特徴とする請求項３記載の基板搬送装置である。
この構成を採用することにより、第１基板保持ハンドから第２基板保持ハンドへの基板の受け渡しを確実に行える。
請求項５記載の発明は、上記第２基板保持ハンドは、基板を保持して移動可能なものであり、上記第２基板保持ハンドに保持された基板の移動経路において上記第２基板搬送機構とは独立して配置され、基板の移動を規制することにより、上記第２基板保持ハンド上の所定位置に基板を位置決めする位置決め当接部を有する第２位置決め機構（７１，７２）をさらに含むことを特徴とする請求項３または４記載の基板搬送装置である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
この構成によれば、第１基板保持ハンド上における基板の位置決めと同様にして、第２基板保持ハンド上における基板の位置決めを行うことができる。これにより、第２基板保持ハンドによる基板の搬送を、搬送不良（基板の落下等）を生じることなく良好に行える。また、第２基板搬送機構から第１基板搬送機構への基板の受け渡しも、正確に行うことができる。
請求項６記載の発明は、上記第２位置決め機構は、少なくとも一対のピン（７１，７２）を含み、上記位置決め当接部は、上記一対のピンの側面に設けられていることを特徴とする請求項５記載の基板搬送装置である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
この構成を採用することによって、第２位置決め機構を、極めて低コストで簡単な構成で実現できる。なお、第２位置決め機構は、少なくとも一対（２本）のピンを有していれば、第２基板保持ハンド上で基板の位置決めを十分に行うことができるが、たとえば、３本以上のピンを有していてもよい。
請求項７記載の発明は、上記第２基板搬送機構は、上記第２基板保持ハンド上における基板の相対移動を規制するための規制部材（９１〜９４）をさらに含み、上記第２基板搬送機構は、上記第２基板保持ハンドを移動させることによって、この第２基板保持ハンド上の基板を上記位置決め当接部に当接させ、さらに当該基板を上記第２基板保持ハンド上で上記規制部材に向けて相対移動させることにより、上記第２基板保持ハンド上の所定位置に基板を導く位置決め動作を実行するものであることを特徴とする請求項５または６記載の基板搬送装置である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
この構成により、第２基板保持ハンド上における基板の位置決めを確実に行える。
請求項８記載の発明は、上記第２基板保持ハンド上での基板の位置決めの後に、上記第２基板保持ハンドから上記第１基板保持ハンドへと基板が受け渡されることを特徴とする請求項５ないし７のいずれかに記載の基板搬送装置である。
この構成を採用すれば、第２基板保持ハンドから第１基板保持ハンドへの基板の受け渡しを確実に行うことができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項９記載の発明は、上記第１位置決め機構および第２位置決め機構は、上記位置決め当接部を共有していることを特徴とする請求項５ないし８のいずれかに記載の基板搬送装置である。
この構成を採用すれば、さらなるコストの削減を図ることができる。
請求項１０記載の発明は、上記第１基板保持ハンドと上記第２基板保持ハンドとの間の基板の受け渡しのための基板受け渡し位置（ＷＴ）が定められており、この基板受け渡し位置に対して上記第１基板保持ハンド側または上記第２基板保持ハンド側のいずれかの位置に上記第１および第２位置決め機構において共有される上記位置決め当接部が配置されており、上記第１基板搬送機構は、上記基板受け渡し位置から上記位置決め当接部に向かって上記第１基板保持ハンドを移動することによって、この第１基板保持ハンド上の所定位置に基板を位置決めする位置決め動作を行うものであり、上記第２基板搬送機構は、上記基板受け渡し位置から上記位置決め当接部に向かって上記第２基板保持ハンドを移動することによって、この第２基板保持ハンド上の所定位置に基板を位置決めする位置決め動作を行うものであることを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項１１記載の発明は、第１基板搬送機構（ＩＲ）に設けられた第１基板保持ハンドで基板を保持する工程と、基板を保持した第１基板保持ハンドを移動させる一方で、上記第１基板搬送機構とは独立して配置された位置決め当接部（７１，７２）により基板の移動を規制することにより、上記第１基板保持ハンド上の所定位置に基板を位置決めする位置決め工程とを含み、上記位置決め工程が、上記第１基板保持ハンドを移動させることによって、この第１基板保持ハンド上の基板を上記位置決め当接部に当接させ、さらに当該基板を上記第１基板保持ハンド上で上記第１基板搬送機構に備えられた規制部材（８１〜８４）に向けて相対移動させることにより、上記第１基板保持ハンド上の所定位置に基板を導く工程を含むことを特徴とする基板搬送方法である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
この方法により、請求項１に関連して述べた効果と同様な効果を達成できる。
請求項１２記載の発明は、上記位置決め工程の後に、上記第１基板保持ハンドから第２基板保持ハンドへと基板を受け渡す工程をさらに含むことを特徴とする請求項１１記載の基板搬送方法である。
この発明により、請求項４に関連して述べた効果と同様な効果を達成できる。
請求項１３記載の発明は、第２基板搬送機構（ＣＲ）に設けられた第２基板保持ハンドで基板を保持する工程と、基板を保持した第２基板保持ハンドを移動させる一方で、上記第２基板搬送機構とは独立して配置された位置決め当接部（７１，７２）により基板の移動を規制することにより、上記第２基板保持ハンド上の所定位置に基板を位置決めする工程と、この位置決め工程の後に、上記第２基板保持ハンドから上記第１基板保持ハンドへと基板を受け渡す工程とをさらに含むことを特徴とする請求項１２記載の基板搬送方法である。