(57)【要約】  本発明は、ターゲット処理マシンを収容するためのアセンブリ（１）に関する。アセンブリは、囲い（２）と搬送ユニット（３）とを有する。囲いは、その上にターゲット処理マシンを配置するためのベースプレート（２１）と、ベースプレートに固定された側壁パネル（２２）と、側壁パネルに固定された上壁パネル（２３）とを有する。さらに、囲いは、囲いの側壁にアクセス開口（２４）を含む。搬送ユニットは、ベースプレートに対して搬送ユニットを移動させるための１以上の搬送要素（３１）を含む。搬送ユニットは、さらに、アクセス開口を閉じるように配置されたドアパネル（３２）を有し、ドアパネルは、少なくとも囲いに向かう、又は囲いから離れる方向への搬送ユニットに対するドアパネルの移動を可能にするたわみ継手（３３）によって搬送ユニットに移動可能に装着されている。
2017520015.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
囲いと、搬送ユニットとを具備し、
前記囲いは、
その上にターゲット処理マシンを配置するためのベースプレートと、
前記ベースプレートに固定された側壁パネルと、
前記側壁パネルに固定された上壁パネルとを有し、
前記囲いは、前記囲いの側壁にアクセス開口を有し、
前記搬送ユニットは、前記ベースプレートに対して前記搬送ユニットを移動させるための１以上の搬送要素を有し、
前記搬送ユニットは、前記アクセス開口を閉じるために配置されたドアパネルを有する、ターゲット処理マシンを収容するためのアセンブリにおいて、
前記ドアパネルは、たわみ継手によって前記搬送ユニットに装着され、
前記たわみ継手は、少なくとも前記搬送ユニットが前記囲いの前記アクセス開口の正面に配置されたとき、少なくとも、前記囲いに向かう、又は前記囲いから離れる方向への前記搬送ユニットに対する前記ドアパネルの移動を可能にするように配置されていることを特徴とするアセンブリ。
【請求項２】
前記たわみ継手は、ばねマウントを含む請求項１に記載のアセンブリ。
【請求項３】
前記ドアパネルは、前記アクセス開口を閉じるために前記囲いに当接するように配置されている請求項１又は２に記載のアセンブリ。
【請求項４】
前記ドアパネルを備えた前記搬送ユニットは、前記囲いから取り外し可能であり、好ましくは、前記ドアパネルを備えた前記搬送ユニットは、その全体が前記囲いから取り外し可能である請求項１、２又は３に記載のアセンブリ。
【請求項５】
アセンブリは、位置決め部材と、補足的な位置決め部材とを有し、
前記位置決め部材は、前記ベースプレートに固定して接続され、
前記補足的な位置決め部材は、前記搬送ユニットに固定して接続され、
少なくとも前記位置決め部材と前記補足的な位置決め部材とが互いに連結されたとき、前記位置決め部材及び前記補足的な位置部材は、前記ベースプレート及び前記搬送ユニットを互いに関連付けてアライメントするように配置されている請求項１ないし４のいずれか１に記載のアセンブリ。
【請求項６】
前記位置決め部材及び前記補足的な位置決め部材は、各々、第１のアライメント部材と、第１の補足的な第１のアライメント部材との一方を有し、前記第１のアライメント部材及び前記第１の補足的な第１のアライメント部材は、少なくとも前記第１のアライメント部材及び前記第１の補足的なアライメント部材が互いに連結されたとき、前記ベースプレートと前記搬送ユニットとの間に一定の距離を与えるようになっている請求項５に記載のアセンブリ。
【請求項７】
前記第１のアライメント部材は、ソケットを含み、
前記第１の補足的なアライメント部材は、スピゴットを含み、
前記スピゴットは、前記ベースプレートと前記搬送ユニットとの間に一定の距離を与えるために、前記ソケットに挿入可能であり、好ましくは、前記スピゴットは、前記ベースプレートに対する前記搬送ユニットの一定の位置を与えるために、前記ソケットに挿入可能である請求項６に記載のアセンブリ。
【請求項８】
前記位置決め部材及び前記補足的な位置決め部材は、各々、第２のアライメント部材と、第２の補足的なアライメント部材との一方を有し、前記第２のアライメント部材と及び前記第２の補足的なアライメント部材は、少なくとも前記第２のアライメント部材及び前記第２の補足的なアライメント部材が互いに連結されたとき、前記ベースプレートと前記搬送ユニットとの間に一定の回転向きを、特に前記ベースプレートにほぼ垂直に延びた軸のまわりの一定の回転向きを与えるようになっている請求項５、６又は７に記載のアセンブリ。
【請求項９】
前記第２のアライメント部材は、接触面を含み、
前記第２の補足的なアライメント部材は、当接部材を含み、
前記当接部材は、前記ベースプレートと前記搬送ユニットとの間に一定の回転向きを与えるために、前記接触面に当接するように配置可能である請求項８に記載のアセンブリ。
【請求項１０】
前記ベースプレートは、プレ負荷部材を含み、
前記搬送ユニットは、補足的なプレ負荷部材を含み、
前記プレ負荷部材と前記補足的なプレ負荷部材とは、互いに連結されて、前記搬送ユニットの機械的なプレ負荷を前記囲いに向かって前記ドアパネルに与えるように配置されている請求項１ないし９のいずれか１に記載のアセンブリ。
【請求項１１】
前記プレ負荷部材及び前記補足的なプレ負荷部材は、アパーチャとホックとの一方を有し、前記ホックは、前記プレ負荷部材と前記補足的なプレ負荷部材とを互いに連結するために前記アパーチャへ移動するように配置されている請求項１０に記載のアセンブリ。
【請求項１２】
アセンブリは、台座を有し、前記台座には、その上に前記搬送ユニットを配置するための搬送ユニット位置が設けられている請求項１ないし１１のいずれか１に記載のアセンブリ。
【請求項１３】
前記ベースプレートは、前記台座の上の並進固定、回転固定、あるいはその両方である位置に配置されている請求項１２に記載のアセンブリ。
【請求項１４】
前記搬送ユニットは、複数の支持部材を有し、
前記台座の前記搬送ユニット位置は、複数の支持部材接触面を有し、
前記支持部材接触面の各々は、前記支持部材の１つを受けるように配置され、
前記支持部材及び前記支持部材接触面は、前記搬送ユニットと前記台座との間に一定の距離を与えるか、前記台座にほぼ平行に延びた軸のまわりの一定の回転向きを与えるか、あるいはその両方を与えるように配置されている請求項１２又は１３に記載のアセンブリ。
【請求項１５】
前記台座には、前記搬送ユニット位置に配置されたインターフェースユニットが設けられ、前記インターフェースユニットは、少なくとも前記搬送ユニットが前記台座の上の前記搬送ユニット位置に実質的に配置されたとき、前記搬送ユニットに接続可能である請求項１２、１３又は１４に記載のアセンブリ。
【請求項１６】
前記インターフェースユニットは、前記搬送ユニットに設備を与えるために、前記搬送ユニットとテクニカルサービス用接続との間の接続を与えるように配置され、前記設備は、電力供給部、給水部、排出部、真空ダクト及び給気部の１以上を含む請求項１５に記載のアセンブリ。
【請求項１７】
前記インターフェースユニットは、前記接続を与えるために、前記インターフェースユニット又は前記インターフェースユニットの連結ユニットを前記搬送ユニットに向かって移動させるためのアクチュエータを有し、好ましくは、前記アクチュエータは、前記インターフェースユニットを移動させるために配置されるか、前記連結ユニットがほぼ垂直向きである請求項１６に記載のアセンブリ。
【請求項１８】
プレ真空シールと、真空シールとをさらに具備し、これらは、少なくとも前記ドアパネルが前記囲いの前記アクセス開口の正面に配置されたとき、両方とも前記囲いの前記側壁にある前記アクセス開口のまわりに配置される請求項１ないし１７のいずれか１に記載のアセンブリ。
【請求項１９】
前記真空シールは、前記プレ真空シールと前記アクセス開口との間に配置されている請求項１８に記載のアセンブリ。
【請求項２０】
前記プレ真空シールは、少なくとも前記ドアパネルが前記囲いの前記アクセス開口の正面に配置されたとき、この方向において前記真空シールの厚さよりも大きい距離にわたって前記ドアパネルと前記囲いとの間の方向に延びた可撓性フラップを有する請求項１８又は１９に記載のアセンブリ。
【請求項２１】
前記プレ真空シールは、前記囲いの前記側壁に、好ましくは前記囲いの前記側壁の第１の凹部に配置されている請求項１８、１９又は２０に記載のアセンブリ。
【請求項２２】
前記真空シールは、前記囲いの前記側壁に、好ましくは前記囲いの前記側壁の第２の凹部に配置されている請求項１８、１９、２０又は２１に記載のアセンブリ。
【請求項２３】
前記搬送要素は、圧縮空気供給部に接続可能な１以上のエアパッドを有する請求項１ないし２２のいずれか１に記載のアセンブリ。
【請求項２４】
前記１以上のエアパッドは、前記搬送ユニットの底側に配置され、好ましくは、床に、特に前記囲いの近くの実質的に閉じた床の上に前記搬送ユニットを実質的にとどまらせるように配置されている請求項２３に記載のアセンブリ。
【請求項２５】
前記１以上のエアパッドは、前記床の上の前記搬送ユニットの実質的な均衡、安定したとどまり、あるいはその両方を与えるために、前記搬送ユニットの底側に配置されている請求項２３に記載のアセンブリ。
【請求項２６】
前記ドアパネルには、移送開口が設けられ、
アセンブリは、さらに、前記移送開口に実質的に隣接して、前記搬送ユニットの上の並進固定、回転固定、あるいはその両方である位置に配置された搬送デバイスを有する請求項１ないし２５のいずれか１に記載のアセンブリ。
【請求項２７】
前記搬送デバイスは、前記移送開口を囲んでいるたわみ継手を介して、好ましくは真空ベローズを介して、前記ドアパネルに接続されたロードロックシステムを有する請求項２６に記載のアセンブリ。
【請求項２８】
前記ドアパネルには、１以上の真空ポンプが、好ましくは、１以上のターボ分子ポンプが設けられている請求項１ないし２７のいずれか１に記載のアセンブリ。
【請求項２９】
前記１以上の真空ポンプは、可撓管路を介して、好ましくは真空ベローズを介して、前記搬送ユニットに接続されている請求項２８に記載のアセンブリ。
【請求項３０】
前記可撓管路は、特に、前記搬送ユニットにおいて前記１以上の真空ポンプと真空ダクトとの間の接続を与えるために、前記インターフェースユニットに接続可能であり、前記真空ダクトは、好ましくは、プレ真空ポンプに接続されている請求項１６に従属する請求項２９に記載のアセンブリ。
【請求項３１】
請求項１ないし３０のいずれか１に記載のアセンブリでの使用を意図し、それに適した搬送ユニット。
【請求項３２】
ターゲット処理マシンを収容するためのアセンブリ用の搬送ユニットであって、
前記アセンブリは、囲いと、ドアパネルと、搬送ユニットとを有し、
前記囲いは、前記囲いの側壁にアクセス開口を有し、
前記ドアパネルは、前記アクセス開口を閉じるために配置され、
前記搬送ユニットは、前記囲いに対して前記搬送ユニットを移動させるための、特に、前記囲いと前記ドアパネルとの少なくとも一方に隣接して前記搬送ユニットを位置決めするための、１以上の搬送要素を有し、
前記搬送要素は、圧縮空気供給部に接続可能な１以上のエアパッドを有する搬送ユニット。
【請求項３３】
前記１以上のエアパッドは、前記搬送ユニットの底側に配置され、好ましくは、床に、特に前記囲いの近くの実質的に閉じた床の上に前記搬送ユニットを実質的にとどまらせるように配置されている請求項３２に記載の搬送ユニット。
【請求項３４】
前記１以上のエアパッドは、前記床の上の前記搬送ユニットの実質的な均衡、安定したとどまり、あるいはその両方を与えるために、前記搬送ユニットの前記底側に配置されている請求項３３に記載の搬送ユニット。
【請求項３５】
ターゲット処理マシンを収容するためのアセンブリであって、
アセンブリは、囲いと、ドアと、搬送ユニットと、前記搬送ユニットを少なくとも支持するための床部とを有し、
前記囲いは、前記囲いの側壁にアクセス開口を有し、
前記ドアパネルは、前記アクセス開口を閉じるために配置され、
前記搬送ユニットは、前記囲いに対して前記搬送ユニットを移動させるための１以上の搬送要素を有し、
前記床部は、前記囲いと前記ドアパネルとの少なくとも一方に隣接して配置され、前記床部には、その上に前記搬送ユニットを位置決めするための搬送ユニット位置が設けられているアセンブリ。
【請求項３６】
前記囲いは、前記床部の上の並進固定、回転固定、あるいはその両方である位置に配置されている請求項３５に記載のアセンブリ。
【請求項３７】
前記搬送ユニットは、複数の支持部材を有し、
前記床部の前記搬送ユニット位置は、複数の支持部材接触面を有し、
前記支持部材接触面の各々は、前記支持部材の１つを受けるように配置され、前記支持部材及び前記支持部材接触面は、前記搬送ユニットと前記床部との間に一定の距離を与えるか、前記床部にほぼ平行に延びた軸のまわりの一定の回転向きを与えるか、あるいはその両方を与えるように配置されている請求項３５又は３６に記載のアセンブリ。
【請求項３８】
前記床部には、前記搬送ユニット位置に配置されたインターフェースユニットが設けられ、前記インターフェースユニットは、少なくとも前記搬送ユニットが前記床部の上の前記搬送ユニット位置に実質的に配置されたとき、前記搬送ユニットに接続可能である請求項３５、３６又は３７に記載のアセンブリ。
【請求項３９】
前記インターフェースユニットは、前記搬送ユニットに設備を与えるために、前記搬送ユニットとテクニカルサービス用接続との間の接続を与えるように配置され、前記設備は、電力供給部、給水部、排出部、真空ダクト及び給気部の１以上を含む請求項３８に記載のアセンブリ。
【請求項４０】
前記インターフェースユニットは、前記接続を与えるために、前記インターフェースユニット又は前記インターフェースユニットの連結ユニットを前記搬送ユニットに向かって移動させるためのアクチュエータを有し、好ましくは、前記アクチュエータは、前記インターフェースユニットを移動させるために配置されるか、前記連結ユニットがほぼ垂直向きである請求項３９に記載のアセンブリ。
【請求項４１】
前記床部は、台座を、特に、前記搬送ユニットを運ぶための実質的に硬質であるか、単一であるか、その両方である台座を有する請求項３５ないし４０のいずれか１に記載のアセンブリ。
【請求項４２】
前記台座は、前記囲いを運ぶために、好ましくは、前記台座に対して実質的に回転固定、並進固定、あるいはその両方である位置に配置されている請求項４１に記載のアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リソグラフィ又は検査マシンなどのターゲット処理マシン用囲い（エンクロージャ、enclosure）に関する。
【背景技術】
【０００２】
このような囲いの一例が、本発明の権利者に譲渡された国際公開第２０１３／０３７８０２号に開示されている。リソグラフィ又は検査マシンなどの、国際公開第２０１３／０３７８０２号に開示されるようなターゲット処理マシンは、硬質なベースプレートと、ターゲット上に１以上の光学又は粒子ビームを投影するための投射カラムと、投射カラムを支持しベースプレートによって支持されベースプレートに固定された支持フレームと、ターゲットを運ぶための可動部分とベースプレートによって支持されベースプレートに固定された固定部分とを含むステージとを有している。このターゲット処理マシンは、真空チャンバとも称される囲いの内部に配置され、支持フレーム及びカラムを囲んでいる。囲いは、囲いの内部空間の真空環境の提供及び維持のために配置される。囲いは、ベースプレート、囲いの成形処理部分、及び前記ベースプレートによって支持され前記ベースプレートに固定された複数の壁パネルを有する。囲いは、側壁の１つのためのドアフレームと、壁パネルのサイズとほぼ同じサイズでありドアフレームに適合するドアとを有する。
【０００３】
本発明の権利者に譲渡された国際公開第２０１２／０８０２７８号は、それ自身の真空チャンバに含まれるリソグラフィ装置を有するリソグラフィシステムユニットを開示している。修理点検目的のために提供される自由領域に面したリソグラフィシステムの側面は、真空チャンバに出入りする基板を搬送するためのロードロックシステム（load lock system）を有し、また、このような修理点検目的のために開けられることができるアクセス開口を有する。リソグラフィシステムユニットには、ロードロックシステムと同じ側面にドアが設けられている。ドアは、取り外し可能に取り付け可能であり、例えば搬送ユニットを使用して、その全体が取り外し可能である。搬送ユニットは、ドアを支持するために配置され、ホイール又はレールなどの１以上の搬送要素を含む。リソグラフィ装置は、上昇位置にリソグラフィ装置を位置決めするために支持構造体によって支持されている。ロードロックシステムはドアに統合されている。
【０００４】
米国特許第４，９４８，９７９号は、基板などの材料に所定の処理を行うための真空作業チャンバと、材料を変化させるための真空プレチャンバとを有する真空装置を開示している。両真空チャンバは、それぞれのチャンバの内部を連通するために連結部材によって連結されており、連通は、連結部材に対して位置されたバルブ手段によって管理される。真空チャンバは、互いに関連して水平に移動可能又は枢動可能であるように構成されることができる。この真空装置の構造によれば、真空漏れ操作、真空化操作及び材料交換操作は、それによる影響を受けることなく、さまざまな処理を正確に実行するために、真空チャンバのうちの１つの振動の伝達をなくすために両真空チャンバが分離された状態で行われる。したがって、各材料交換操作中、これら真空チャンバが分離されてまた互いに連結される必要があり、それ故、多くの時間及び労力を必要とする。さらに、真空チャンバを連結するとき、連結部材が互いに接続されるべきであるときには連結部材の前面は互いに接触されなければならない。米国特許第４，９４８，９７９号には詳細には述べられていないが、連結部材が接続されたとき、これらは真空気密結合を与える必要がある。この真空気密結合がどのように得られるかは、米国特許第４，９４８，９７９号には述べられていない。
【０００５】
チャンバ間の真空気密結合を得るために、互いに関連する真空チャンバの正確かつ注意深いアライメントが必要である。特に、真空気密圧縮であるようにして結合部材の前面を配置し、チャンバの内部の真空状態の維持を確実にするために、真空チャンバの連結中の真空作業チャンバに対する真空プレチャンバの正確かつ注意深いアライメントが必要である。
【発明の概要】
【０００６】
本発明の目的は、ターゲット処理マシン用の新規で改良された囲いを提供することであり、この囲いは、特に、ターゲット処理マシンと、囲いの内部でターゲットをターゲット処理マシンの内外に搬送するためのロードロックシステムのような搬送デバイスとの間のより正確なアライメントを可能にする。
【０００７】
第１の態様によれば、本発明は、ターゲット処理マシンを収容するためのアセンブリを提供し、アセンブリは、囲いと、搬送ユニットとを具備し、前記囲いは、その上に前記ターゲット処理マシンを配置するためのベースプレートと、前記ベースプレートに固定された側壁パネルと、前記側壁パネルに固定された上壁パネルとを有し、前記囲いは、前記囲いの側壁にアクセス開口を有し、前記搬送ユニットは、前記ベースプレートに対して前記搬送ユニットを移動させるか位置決めするかの少なくとも一方のための１以上の搬送要素を有し、前記搬送ユニットは、前記アクセス開口を閉じるために配置されたドアパネルを有し、前記ドアパネルは、たわみ継手によって前記搬送ユニットに装着され、前記たわみ継手は、少なくとも前記搬送ユニットが前記囲いの前記アクセス開口の正面に配置されたとき、少なくとも、前記囲いに向かう、又は前記囲いから離れる方向への前記搬送ユニットに対する前記ドアパネルの移動を可能にするように配置されている。
【０００８】
前記搬送ユニットに前記ドアパネルを移動可能に配置することによって、特に、前記アクセス開口を閉じるために、アクセス開口に配置されたとき、前記ドアパネルの装着の許容範囲、装着の不正確さ又はずれが、前記搬送ユニットに対する前記ドアパネルの移動によって少なくとも実質的に吸収される。本発明によれば、搬送ユニットは、アクセス開口に配置されたとき、ドアパネルの装着の許容範囲、装着の不正確さ又はずれから実質的に独立して、ベースプレートに対して正確に配置されることができる。これは、例えば、囲いの内部でターゲットをターゲット処理マシンの内外に搬送するためのロードロックシステムのような搬送デバイスに設けられた、ベースプレート上のターゲット処理マシンと搬送ユニットとの間のより正確なアライメントを可能にする。
【０００９】
さらに、囲いの内部の空間の空気抜き（真空化）中、又は、囲いの内部の真空状態の維持中、囲いやドアパネルの変形も、搬送ユニットに対してドアパネルの移動に少なくとも実質的に吸収される。したがって、このような変形は、少なくとも実質的に、ベースプレート上のターゲット処理マシンと、搬送ユニットに配置された搬送デバイスとの間の正確なアライメントを妨害しない。
【００１０】
本発明によれば、ドアパネルは、たわみ継手によって搬送ユニットに装着される。たわみ継手を介して搬送ユニットにドアパネルを配置することによって、特にアクセス開口を閉じるために、アクセス開口に配置されたとき、装着の許容範囲、ドアパネルの装着の不正確又はずれが、たわみ継手に少なくとも実質的に吸収される。
【００１１】
本発明によれば、たわみ継手は、好ましくは少なくとも囲いに向かう、又は囲いから離れる方向に、特に、搬送ユニットが囲いのアクセス開口の正面に配置されたとき、搬送ユニットに対するドアパネルの移動を可能にするように配置されている。囲いに向かう、又は囲いから離れる方向における可撓性が、特に、アクセス開口を閉じるとき、又は、囲いの内部の空間の空気を抜いているとき、又は、囲いの内部の真空状態を維持しているとき、あるいはこれらの少なくとも１つのとき、ドアパネルのいかなる移動もずれも吸収するのに有効である。
【００１２】
本発明によるたわみ継手により、囲いに対する搬送ユニットのアライメントは、米国特許第４，９４８，９７９号による真空チャンバのアライメントほど正確かつ注意深くする必要がなくなる。
【００１３】
一実施形態では、前記たわみ継手は、前記ドアパネルと前記搬送ユニットとの間の弾性接続を含む。一実施形態では、前記たわみ継手は、ばねマウントを含む。そのようなばねマウントは、一方では、ドアパネルと搬送ユニットとの間の所望の可動性を提供する。他方では、ばねマウントは、例えば、囲いに対してドアパネルをアライメントするのをアシストするために、又は、以下でより詳細に説明されるようなプレ真空シール（pre-vacuum seal）にプレ負荷（preload）を与えるのをアシストするために、搬送ユニットに対して所望の位置にドアパネルを付勢するためのプレ負荷力（preload force）を与えることができる。
【００１４】
一実施形態では、前記ドアパネルは、１以上の板ばねによって搬送ユニットに装着されている。これらが板ばねの長手方向にほぼ垂直な方向に必要なたわみ継手を与えることができ、さらに、これらが板ばねの長手方向とほぼ平行な方向にドアパネルと搬送ユニットとの間に実質的な固定位置を与えるので、板ばねの使用は特に有効である。一実施形態では、前記ドアパネルは、前記１以上の板ばねによって前記搬送ユニットに懸吊されている。
【００１５】
一実施形態では、前記ドアパネルは、前記アクセス開口を閉じるために前記囲いに当接するように配置されている。搬送ユニットが囲いに向かって移動されたとき、ドアパネルは、アクセス開口のまわりに配置された囲いに、好ましくは囲いのプレ真空シール又は真空シールに当接する。
【００１６】
ドアパネルが囲いに対して配置され、アクセス開口を閉じているとき、ドアパネルは、好ましくは、側壁又は囲いの側壁の一部として与えられる。一実施形態では、前記ドアパネルは、囲いの内部領域を区別している、すなわち境界を定めている第１の表面と、前記第１の表面の反対側にあり、囲いの外部を囲んでいる周囲領域を少なくとも部分的に区別している、すなわち境界を定めている第２の表面とを有する。一実施形態では、前記アクセス開口及び前記ドアパネルは、例えば、メンテナンス又は修理点検動作のための囲いの内部領域に容易にアクセス可能にするために、実質的に囲いの側壁全体のサイズを有する。
【００１７】
一実施形態では、前記ドアパネルを備えた前記搬送ユニットは、前記囲いから取り外し可能であり、好ましくは、前記ドアパネルを備えた前記搬送ユニットは、その全体が前記囲いから取り外し可能である。したがって、搬送ユニットは必要に応じて他の搬送ユニットに素早く交換されることができ、例えばメンテナンス中のターゲット処理マシンのダウンタイムを短くする。
【００１８】
一実施形態では、前記アセンブリは、位置決め部材と、補足的な位置決め部材とを有し、前記位置決め部材は、前記ベースプレートに固定して接続され、前記補足的な位置決め部材は、搬送ユニットに固定して接続され、少なくとも前記位置決め部材と前記補足的な位置決め部材とが互いに連結されたとき、前記位置決め部材及び前記補足的な位置部材は、前記ベースプレート及び前記搬送ユニットを互いに関連付けてアライメントするように配置されている。前記位置決め部材及び前記補足的な位置決め部材は、前記ベースプレートに対する前記搬送ユニットの正確なアライメントをアシストする。
【００１９】
一実施形態では、前記位置決め部材及び前記補足的な位置決め部材は、各々、第１のアライメント部材と、第１の補足的なアライメント部材との一方を有し、前記第１のアライメント部材及び前記第１の補足的な第１のアライメント部材は、少なくとも前記第１のアライメント部材及び前記第１の補足的なアライメント部材が互いに連結されたとき、前記ベースプレートと前記搬送ユニットとの間に一定の距離を与えるようになっている。一実施形態では、前記第１のアライメント部材は、ソケットを含み、前記第１の補足的なアライメント部材は、スピゴット（spigot）を含み、前記スピゴットは、前記ベースプレートと前記搬送ユニットとの間に一定の距離を与えるために、前記ソケットに挿入可能である。一実施形態では、前記スピゴットは、前記ベースプレートに対する前記搬送ユニットの一定の位置を与えるために、前記ソケットに挿入可能である。
【００２０】
一実施形態では、前記位置決め部材及び前記補足的な位置決め部材は、各々、第２のアライメント部材と、第２の補足的なアライメント部材との一方を有し、前記第２のアライメント部材と及び前記第２の補足的なアライメント部材は、少なくとも前記第２のアライメント部材と、第２の補足的なアライメント部材が互いに連結されたとき、前記ベースプレートと前記搬送ユニットとの間に一定の回転向きを、特に前記ベースプレートにほぼ垂直に延びた軸のまわりの一定の回転向きを与えるようになっている。一実施形態では、前記第２のアライメント部材は、接触面を含み、前記第２の補足的なアライメント部材は、当接部材を含み、前記当接部材は、前記ベースプレートと前記搬送ユニットの間に一定の回転向きを与えるために、前記接触面に当接するように配置可能である。
【００２１】
一実施形態では、前記ベースプレートは、プレ負荷部材を含み、前記搬送ユニットは、補足的なプレ負荷部材を含む。前記プレ負荷部材と前記補足的なプレ負荷部材とは、互いに連結されて、前記搬送ユニットの機械的なプレ負荷を前記囲いに向かって前記ドアパネルに与えるように配置されている。一実施形態では、前記プレ負荷部材及び前記補足的なプレ負荷部材は、アパーチャとホックとの一方を有し、前記ホックは、前記プレ負荷部材と前記補足的なプレ負荷部材とを互いに連結するために前記アパーチャへ移動するように配置されている。一実施形態では、前記ホックは、前記ベースプレートに対して並進固定、回転固定、あるいはその両方である位置に搬送ユニットを位置決めするのをアシストするためのプレ負荷力を与えるためのアクチュエータに連結されている。さらに、プレ負荷力は、囲いに向かってドアパネルを押し付け、以下でより詳細に説明されるようにアクセス開口の閉鎖をアシストする。
【００２２】
一実施形態では、前記アセンブリは、プレ真空シールと、真空シールとをさらに具備し、これらは、少なくとも前記ドアパネルが前記囲いの前記アクセス開口の正面に配置されたとき、両方とも前記囲いの前記側壁にある前記アクセス開口のまわりに配置される。特に、プレ負荷は、ドアパネルをプレ真空シールに押し付ける。プレ真空シールに対するドアパネルを用いることで、囲いの内部の空間は、プレ真空ポンプを使用して空気を抜かれる（真空にされる）ことができる。囲いの外部の周囲空気圧力に対する囲いの内部の換算圧力に起因して、ドアパネルは、周囲空気圧力によって、囲いに向かって、特に真空シールにさらに押し付けられる。ドアパネルが真空シールに押し付けられたとき、囲いの内部の空間は、囲いの内部の真空状態を得るか維持するために、さらに空気を抜かれる（真空にされる）ことができる。
【００２３】
ここに使用される「真空」との用語は、完全な真空を指すものではなく、囲いを囲んでいる環境中の圧力よりも低い囲いの内部の内部圧力を指すことに留意する。例えば、囲い中の荷電粒子リソグラフィマシンについて、囲いの内部の真空圧力は、好ましくは１０−３ミリバール以下であり、より好ましくは１０−６ミリバール以下である。
【００２４】
一実施形態では、前記真空シールは、前記プレ真空シールと前記アクセス開口との間に配置されている。したがって、真空シールは、少なくとも、囲いの側壁の開口の平面で見たとき、プレ真空シール内に配置されている。使用中、真空シールは、囲いの内部の空気を抜かれた空間に隣接して配置されているが、プレ真空シールは、囲いの外部を囲んでいる周囲雰囲気に隣接して配置されている。
【００２５】
一実施形態では、前記プレ真空シールは、少なくとも前記ドアパネルが前記囲いの前記アクセス開口の正面に配置されたとき、この方向において前記真空シールの厚さよりも大きい距離にわたって前記ドアパネルと前記囲いとの間の方向に延びた可撓性フラップを有する。可撓性フラップは、ドアパネルが囲いに接近したときに、囲い、囲いの真空シール、あるいはその両方に当接しないように、囲いをシールするのをアシストするために、大きな距離にわたって、例えば、真空シールを超えて５ｍｍ以上、好ましくは真空シールを超えて１０〜２０ｍｍ延びている。
【００２６】
前記プレ真空シールは前記ドアパネルに配置されることができるが、前記プレ真空シールは、前記囲いの前記側壁に、好ましくは前記囲いの前記側壁の第１の凹部に配置されることが好まれる。前記真空シールは前記ドアパネルに配置されることができるが、前記真空シールは、前記囲いの前記側壁に、好ましくは前記囲いの前記側壁の第２の凹部に配置されることが好まれる。
【００２７】
一実施形態では、前記アセンブリは、台座を有し、前記台座には、その上に前記搬送ユニットを配置するための搬送ユニット位置が設けられている。一実施形態では、前記ベースプレートは、前記台座の上の並進固定、回転固定、あるいはその両方である位置に配置されている。
【００２８】
本出願の内容において、「並進固定（fixed）」との用語は、並進運動（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の３つの自由度を全て少なくとも実質的に制限している状態を指し、「回転固定（rigid）」との用語は、回転（Ｒｘ、Ｒｙ、Ｒｚ）の３つの自由度を全て少なくとも実質的に制限している状態を指すことに留意する。
【００２９】
一実施形態では、前記搬送ユニットは、複数の支持部材を有し、前記台座の前記搬送ユニット位置は、複数の支持部材接触面を有し、前記支持部材接触面の各々は、前記支持部材の１つを受けるように配置され、前記支持部材及び前記支持部材接触面は、前記搬送ユニットと前記台座との間に一定の距離を与えるか、前記台座と前記ベースプレートとの少なくとも一方にほぼ平行に延びた軸のまわりの一定の回転向きを与えるか、あるいはその両方を与えるように配置されている。ベースプレートは、好ましくは、前記台座の上の並進固定、回転固定、あるいはその両方である位置に配置され、前記支持部材及び前記支持部材接触面が前記台座に対する前記搬送ユニットの少なくとも部分的な並進固定、回転固定、あるいはその両方である位置を与えるので、前記台座は、前記ターゲット処理マシンと前記搬送ユニットにある搬送デバイスとの間の正確なアライメントのための追加のアライメント手段を与える。特に、第１のアライメント部材と第１の補足的なアライメント部材との組合せ、及び、第２のアライメント部材と第２の補足的なアライメント部材との組合せでは、搬送ユニット及びベースプレートの正確かつ有限の位置が確立され、６つの自由度が全て制御されるか抑制される。
【００３０】
一実施形態では、前記台座には、前記搬送ユニット位置に配置されたインターフェースユニットが設けられ、前記インターフェースユニットは、少なくとも前記搬送ユニットが前記台座の上の前記搬送ユニット位置に実質的に配置されたとき、前記搬送ユニットに接続可能である。
【００３１】
一実施形態では、前記インターフェースユニットは、前記搬送ユニットに設備を与えるために、前記搬送ユニットとテクニカルサービス用接続との間の接続を与えるように配置され、前記設備は、電力供給部、給水部、排出部、真空ダクト及び給気部の１以上を含む。前記インターフェースユニットは、前記搬送ユニットに、搬送ユニット上に配置された搬送デバイスに、電力供給部などの設備を与えるか、前記インターフェースユニットは、好ましくは、前記ドアパネル及び前記搬送ユニットの可動性を保持するために、可撓ケーブル及び導管を介して、前記ドアパネルに、前記電力供給部及び前記真空ダクトなどの設備を与える。
【００３２】
一実施形態では、前記インターフェースユニットは、前記接続を与えるために、前記インターフェースユニット又は前記インターフェースユニットの連結ユニットを前記搬送ユニットに向かって移動させるためのアクチュエータを有する。一実施形態では、前記アクチュエータは、前記インターフェースユニットを移動させるために配置されるか、前記連結ユニットがほぼ垂直向きである。したがって、床に、又は床の近くに配置されたインターフェースユニットは、前記搬送ユニットの底側に接続するために、前記床の外部から出るように上方に移動するように駆動される。前記搬送ユニットが前記囲いから離れるように移動されると、前記インターフェースユニットは、前記アクチュエータによって引っ込められ、かくして、実質的に、障害となるインターフェースユニットなしで、囲いに容易にアクセスすることができる。
【００３３】
一実施形態では、前記搬送要素は、圧縮空気供給部に接続可能な１以上のエアパッドを有する。一実施形態では、前記１以上のエアパッドは、前記搬送ユニットの底側に配置され、好ましくは、前記囲いの近くの実質的に閉じた床などの床の上に搬送ユニットを実質的にとどまらせるように配置されている。一実施形態では、前記１以上のエアパッドは、前記床の上の前記搬送ユニットの実質的な均衡、安定したとどまり、あるいはその両方を与えるために、前記搬送ユニットの底側に配置されている。前記搬送ユニットが移動される必要があるとき、圧縮空気供給部は、床面、特に囲いの近くの閉じた床面の上に搬送ユニットがとどまることを可能にする１以上のエアパッドに接続され、オペレーターによって床面の上であらゆる方向に容易に移動されることができる。
【００３４】
一実施形態では、前記ドアパネルには、移送開口が設けられ、アセンブリは、さらに、前記移送開口に実質的に隣接して、前記搬送ユニットの上の並進固定、回転固定、あるいはその両方である位置に配置された搬送デバイスを有する。一実施形態では、前記搬送デバイスは、前記移送開口を囲んでいるたわみ継手を介して、好ましくは真空ベローズを介して、前記ドアパネルに接続されたロードロックシステムを有する。
【００３５】
一実施形態では、ドアパネルには、１以上の真空ポンプが、特に、１以上のターボ分子ポンプが設けられている。一実施形態では、１以上の真空ポンプは、少なくとも前記ドアパネルと前記搬送ユニットとの間の可動性を維持するために、可撓管路を介して、好ましくは真空ベローズを介して、前記搬送ユニットに接続されている。
【００３６】
一実施形態では、前記可撓管路は、特に、前記搬送ユニットにおいて前記１以上の真空ポンプと真空ダクトとの間の接続を与えるために、前記インターフェースユニットに接続可能であり、前記真空ダクトは、好ましくは、プレ真空ポンプに接続されている。前記１以上のターボ分子ポンプは、前記囲いと前記搬送ユニットから離れて配置された１以上のプレ真空ポンプへの流動性接続を与えるために前記インターフェースユニットに接続可能である。
【００３７】
第２の態様によれば、本発明は、上で述べられたようなアセンブリでの使用を意図し、それに適した搬送ユニットを提供する。
【００３８】
さらなる態様によれば、本発明は、ターゲット処理マシンを収容するためのアセンブリ用の搬送ユニットを提供し、前記アセンブリは、囲いと、ドアパネルと、搬送ユニットとを有し、前記囲いは、前記囲いの側壁にアクセス開口を有し、前記ドアパネルは、前記アクセス開口を閉じるために配置され、前記搬送ユニットは、前記囲いに対して前記搬送ユニットを移動させるための、特に、前記囲いと前記ドアパネルとの少なくとも一方に隣接して前記搬送ユニットを位置決めするための、１以上の搬送要素を有し、前記搬送要素は、圧縮空気供給部に接続可能な１以上のエアパッドを有する。
【００３９】
一実施形態では、前記１以上のエアパッドは、前記搬送ユニットの底側に配置され、好ましくは、床の上に、特に前記囲いの近くの実質的に閉じた床の上に前記搬送ユニットを実質的にとどまらせるように配置されている。
【００４０】
一実施形態では、前記１以上のエアパッドは、前記床の上の前記搬送ユニットの実質的な均衡、安定したとどまり、あるいはその両方を与えるために、前記搬送ユニットの前記底側に配置されている。
【００４１】
さらなる態様によれば、本発明は、ターゲット処理マシンを収容するためのアセンブリを提供し、前記アセンブリは、囲いと、ドアパネルと、搬送ユニットと、前記搬送ユニットを少なくとも支持するための床部とを有し、前記囲いは、前記囲いは囲いの側壁にアクセス開口を有し、前記ドアパネルは、前記アクセス開口を閉じるために配置され、前記搬送ユニットは、前記囲いに対して前記搬送ユニットを移動させるための１以上の搬送要素を有し、前記床部は、前記囲いと前記ドアパネルとの少なくとも一方に隣接して配置され、前記床部には、その上に前記搬送ユニットを位置決めするために搬送ユニット位置が設けられている。
【００４２】
一実施形態では、前記囲いは、前記床部の上の並進固定、回転固定、あるいはその両方である位置に配置されている。
【００４３】
一実施形態では、前記搬送ユニットは、複数の支持部材を有し、前記床部の前記搬送ユニット位置は、複数の支持部材接触面を有し、前記支持部材接触面の各々は、前記支持部材の１つを受けるために配置され、前記支持部材及び前記支持部材接触面は、前記搬送ユニットと前記床部との間に一定の距離を与えるか、前記床部に実質的に平行に延びた軸のまわりの一定の回転向きを与えるか、あるいはその両方を与えるように配置されている。
【００４４】
一実施形態では、前記床部には、前記搬送ユニット位置に配置されたインターフェースユニットが設けられ、前記インターフェースユニットは、少なくとも前記搬送ユニットが前記床部の上の前記搬送ユニット位置に実質的に配置されたとき、前記搬送ユニットに接続可能である。
【００４５】
一実施形態では、前記インターフェースユニットは、前記搬送ユニットに設備を与えるために、前記搬送ユニットとテクニカルサービス用接続との間の接続を与えるように配置され、前記設備は、電力供給部、給水部、排出部、真空ダクト及び給気部の１以上を有する。
【００４６】
一実施形態では、前記インターフェースユニットは、前記接続を与えるために、前記インターフェースユニット又は前記インターフェースユニットの連結ユニットを前記搬送ユニットに向かって移動させるためのアクチュエータを有し、好ましくは、前記アクチュエータは、前記インターフェースユニットを移動させるために配置されるか、前記連結ユニットがほぼ垂直向きである。
【００４７】
一実施形態では、前記床部は、台座を、特に、前記搬送ユニットを運ぶための実質的に硬質であるか、単一であるか、その両方である台座を含む。一実施形態では、前記台座は、好ましくは、前記台座に対して実質的に並進固定、回転固定、あるいはその両方である位置に囲いを運ぶために配置される。
【００４８】
明細書で述べられ示されるさまざまな態様及び特徴が、個々に、可能なところならどこへでも適用されることができる。これらの個々の態様、特に添付の従属請求項で述べられる態様及び特徴は、分割特許出願の主題となりうる。
【００４９】
本発明は、添付図面に示される例示的な実施形態に基づいて説明される。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】図１は、本発明によるアセンブリの第１の実施形態を概略的に示す図である。
【図２Ａ】図２Ａは、本発明によるアセンブリの第２の実施形態を概略的に示す図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、本発明によるアセンブリの第２の実施形態を概略的に示す図である。
【図２Ｃ】図２Ｃは、本発明によるアセンブリの第２の実施形態を概略的に示す図である。
【図３Ａ】図３Ａは、本発明によるアセンブリの第３の実施形態を概略的に示す図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、本発明によるアセンブリの第３の実施形態を概略的に示す図である。
【図３Ｃ】図３Ｃは、本発明によるアセンブリの第３の実施形態を概略的に示す図である。
【図３Ｄ】図３Ｄは、本発明によるアセンブリの第３の実施形態を概略的に示す図である。
【図４】図４は、本発明によるアセンブリの第４の実施形態を詳細に示す図である。
【図５】図５は、図４のアセンブリの分解図を示す図である。
【図６】図６は、図４のアセンブリの搬送ユニット及びドアパネルの分解組立図を示す図である。
【図７】図７は、ドアパネルと搬送ユニットとの間のたわみ継手の１つを詳細に示す図である。
【図８】図８は、図４の搬送ユニットの底側を示す図である。
【図９】図９は、囲いにあるアクセス開口よりも下のベースプレートの一部を詳細に示す図であり、少なくとも図４に示されるような組み立て状態で搬送ユニットに面している。
【図１０】図１０は、搬送ユニットの一部を詳細に示す図であり、少なくとも図４に示されるような組み立て状態でベースプレートに面している。
【図１１】図１１は、さらなる実施形態による搬送ユニットの底側の詳細を示す図である。
【図１２】図１２は、囲いの正面にある台座部分を示す平面図である。
【図１３】図１３は、囲いの内外に基板を搬送するための搬送デバイスを含む搬送ユニットを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００５１】
図は、本発明によるアセンブリのさまざまな例を示し、アセンブリは、好ましくは、例えば、本発明の権利者に譲渡され、これら全体の内容が参照としてここに組み込まれる国際公開第２０１２／０８０２７８号及び国際公開第２０１３／０３７８０２号に開示されるターゲット処理マシンのための囲いを提供する。
【００５２】
図１に示される第１の例では、アセンブリ１は、囲い２と、搬送ユニット３とを有する。囲い２は、好ましくは、その上にターゲット処理マシンを配置するためのベースプレート２１と、ベースプレート２１に固定された側壁パネル２２と、側壁パネル２２に固定された上壁パネル２３とを有する。さらに、囲い２は、搬送ユニット３に面している囲い２の側壁にアクセス開口２４を有する。この例におけるアクセス開口２４は、図５の例に示されるのと実質的に同じであり、アクセス開口２４は、実質的に囲い２の側壁全体のサイズを有する。
【００５３】
搬送ユニット３は、図１に示されるように、１以上の搬送要素を、特に、囲い２に対して、特にそれのベースプレート２１に対して搬送ユニット３を移動させるための４つのホイール３１を有する。搬送ユニット３は、さらに、アクセス開口２４を閉じるために配置されたドアパネル３２を有し、ドアパネル３２は、特にたわみ継手３３によって、搬送ユニット３に移動可能に装着されている。
【００５４】
荷電粒子リソグラフィ装置を収容するための囲い２を使用するために、囲い２の内部の空間は、囲い２の内部に真空環境を与えるために空気を抜かれなければならない。荷電粒子リソグラフィ装置を動作させるために、代表的には、少なくとも１０−６ミリバールの真空が必要である。必要な真空環境を得て維持するために、壁パネル２２は、ベースプレート２１と隣接している側壁パネル２２との間に、及び、上壁パネル２３と隣接している側壁パネル２２との間に、例えば、Ｏ−リング又はＣ−リングなどのシール部材を配置することによって、流体密又は真空密接続を与えるために、ベースプレート２１に固定されている。
【００５５】
囲い２に対してドアパネル３２を正確に位置決めするために、ドアパネルは、搬送ユニットに移動可能に配置されている。好ましくは、ドアパネルは、少なくともｙ方向に沿った並進移動で、好ましくはまた（図１の紙面にほぼ垂直に向けられた）ｘ軸のまわりの回転Ｒｘで、好ましくはｚ軸のまわりの回転Ｒｚで、搬送ユニットに対して移動可能である。これらの１以上の自由度が、たわみ継手３３によって確立され、たわみ継手は、例えば、図１に概略的に示されるばねカップリングのような弾性カップリングを含む。ばねカップリングは、第１の側面でドアパネル３３に接続されており、第１の側面と反対側の第２の側面で搬送ユニット３に接続されている。
【００５６】
図１にさらに示されるように、ドアパネル３２は、少なくともドアパネル３２がアクセス開口２４を実質的に閉じるために配置されたとき、囲い２の内側の空気を抜くための真空ポンプなどのユーティリティデバイス（utility device）５を運ぶことができる。
【００５７】
さらに、搬送ユニット３には、例えば国際公開第２０１２／０８０２７８号に開示されるような、囲い２の内外に基板を搬送するための搬送デバイス６が設けられることができる。ドアパネル３２には移送開口３５が設けられ、移送開口３５に実質的に隣接している搬送デバイス６は、搬送ユニット３の上の並進固定、回転固定、あるいはその両方である位置に配置されている。搬送デバイス６は、たわみ継手３３を介してドアパネル３２に接続されたロードロックシステムを有し、これは、好ましくは、図１に概略的に示されるような、移送開口３５を囲んでいる真空ベローズを有する。
【００５８】
第２の例では、図２Ａ並びに図２Ｂに示されるように、アセンブリ１０１は、囲い２と、搬送ユニット１０３とを有する。搬送ユニット１０３は、図２Ａに示されるように、囲い２に対して搬送ユニット１０３を移動させるための１以上のホイール１３１を有する。搬送ユニット１０３は、さらに、アクセス開口２４を閉じるために配置されたドアパネル１３２を有し、ドアパネル１３２は、たわみ継手１３３によって搬送ユニット１０３に装着されている。再び、ドアパネル１３２には、ユーティリティデバイス１０５が設けられることができる。
【００５９】
図２Ａ並びに図２Ｂに示される例では、ドアパネル１３２は、例えばローラ支持体１３４を使用して、Ｚ方向において実質的に固定されるように配置されている。ｚ方向に実質的に固定されているが、たわみ継手１３３は、少なくともｙ方向に沿った移動を、好ましくはまた（図１の紙面にほぼ垂直に向けられた）ｘ軸のまわりの回転Ｒｘを、好ましくはｚ軸のまわりの回転Ｒｚを可能にする。
【００６０】
この第２の例による搬送ユニット１０３は、さらに、ｙ方向におけるドアパネル１３２の移動を制限する端止め１３５を有する。搬送ユニット１０３が囲い２から離れている状況では、ばね１６２は、端止め１３５に向かってドアパネル１３２を付勢する。ばね１６２は、少なくともドアパネル１３２が図２Ａに示されるように囲い２に対して位置決めされていないとき、ドアパネル１３２を端止め１３５に押し付けるプレ負荷力を与え、ドアパネル１３２のｙ方向の移動又はＲｘ、Ｒｚの回転を実質的に防ぐ。ばね１６２の第１の端部は、搬送ユニット１０３のコネクタ１３６に接続され、一方、第１の端部と反対側の第２の端部は、ドアパネル１３２に当接するように配置されている。
【００６１】
搬送ユニット１０３が囲い２に向かって移動されて、図２Ｂに示されるように、ドアパネル１３２が囲い２に当接したとき、ドアパネル１３２は、端止め１３５の押しから離されて、ｙ方向に実質的に移動可能であるか、ｘ軸及びｚ軸のまわりに回転するか、その両方である。この状況では、ドアパネル１３２は、囲い２にその位置を合わせて、囲い２の所望の閉鎖又はシール、あるいはその両方を得るのをアシストするために、囲い２に従いうる。
【００６２】
図２Ａ並びに図２Ｂに示される第２の例では、プレ負荷を与えるためのばね１６２は、囲い２とは反対側のドアパネル１３２の側面に配置され、一方、端止め１３５は、少なくともドアパネル１３２が囲い２に、特にそのアクセス開口２４に隣接するように、又は囲い２の正面に、特にそのアクセス開口２４の正面にあるように、あるいはその両方であるように配置されたとき、囲いに面したドアパネル１３２の側面に配置されている。さらに、プレ負荷を与えるためのばね１６２は、コネクタ１３６を介して搬送ユニット１０３に固定して接続され、端止め１３５は、搬送ユニット１０３に固定して接続されている。しかしながら、同じ機能がまた、図２Ｃにおける第２の例の代替実施形態に示されるような機械的な構造が反転したものによって得られることができ、図２Ｃでは、ばね１６２’がドアパネル１３２’に接続されているか、端止め１３５’がドアパネル１３２’に接続されているか、その両方である。
【００６３】
第３の例では、図３Ａ、図３Ｂ並びに図３Ｃに示されるように、アセンブリ２０１は、囲い２と、搬送ユニット２０３とを有する。搬送ユニット２０３は、図３Ａに示されるように、囲い２に対して搬送ユニット２０３を移動させるための１以上のホイール２３１を有する。搬送ユニット２０３は、さらに、アクセス開口２４を閉じるために配置されたドアパネル２３２を有し、ドアパネル２３２は、たわみ継手２３３によって搬送ユニット２０３に装着されている。再び、ドアパネル１３２には、ユーティリティ装置２０５が設けられることができる。
【００６４】
図３Ａ、図３Ｂ並びに図３Ｂに示される例では、ドアパネル２３２は、例えばローラ支持体２３４を使用して、Ｚ方向において実質的に固定されるように配置されている。ｚ方向に実質的に固定されているが、たわみ継手１３３は、少なくともｙ方向に沿った移動を、好ましくはまた（図１の紙面にほぼ垂直に向けられた）ｘ軸のまわりの回転Ｒｘを、好ましくはｚ軸のまわりの回転Ｒｚを可能にする。
【００６５】
この第３の例による搬送ユニット２０３は、さらに、ｙ方向におけるドアパネル２３２の移動を制限する端止め２３５を有する。搬送ユニット２０３が囲い２から離れている状況では、ばね２６２は、端止め２３５に向かってドアパネル２３２を付勢する。ばね２６２は、少なくともドアパネル２３２が図３Ａに示されるように囲い２に対して位置決めされていないとき、ドアパネル２３２を端止め２３５に押し付けるプレ負荷力を与え、ドアパネル２３２のｙ方向の移動又はＲｘ、Ｒｚの回転を実質的に防ぐ。ばね２６２の第１の端部は、搬送ユニット２０３に接続され、一方、第１の端部と反対側の第２の端部は、ドアパネル２３２に当接するように配置されている。
【００６６】
搬送ユニット２０３が囲い２に向かって移動されて、図２Ｂに示されるように、ドアパネル２３２が囲い２に、特に、アクセス開口のまわりに配置されたプレ真空シール２５１に当接したとき、ドアパネル２３２はプレ真空シール２５１と当接してプレ真空シール２５１を押し付け、プレ真空シール２５１を圧縮する。この状況では、ドアパネル２３２は、プレ真空シール２５１と端止め２３５との間に配置されている。これは、囲い２の内部の低下した気圧を得るために、囲い２の内部が空気を抜かれることを可能にする。続いて、周囲空気圧力が、図３Ｃに示されるように、ドアパネル２３２を囲い２にさらに押し付けて、端止め２３５からドアパネル２３２を引っ張る。このとき、ドアパネル２３２は、ｙ方向に実質的に移動可能であるか、ｘ軸及びｚ軸のまわりに回転するか、その両方である。この状況では、ドアパネル２３２は、囲い２にその位置を合わせて、囲い２の所望の閉鎖又はシール、あるいはその両方を得るのをアシストするために、囲い２に従いうる。これは、囲い２の内部の所望の真空を得て維持するために、囲い２の内部がさらに空気を抜かれることを可能にする。
【００６７】
図３Ａ、図３Ｂ並びに図３Ｃに示される第３の例では、プレ負荷を与えるためのばね２６２は、囲い２とは反対側のドアパネル２３２の側面に配置され、一方、端止め２３５は、少なくともドアパネル２３２が囲い２に、特にそのアクセス開口２４に隣接するように、又は囲い２の正面に、特にそのアクセス開口２４の正面にあるように、あるいはその両方であるように配置されたとき、囲いに面したドアパネル２３２の側面に配置されている。さらに、プレ負荷を与えるためのばね２６２は、搬送ユニット２０３に固定して接続され、端止め２３５は、搬送ユニット１０３に固定して接続されている。しかしながら、同じ機能がまた、図３Ｄにおける第２の例の代替実施形態に示されるような機械的な構造が反転したものによって得られることができ、図３Ｄでは、ばね２６２’がドアパネル２３２’に接続されているか、端止め２３５’がドアパネル２３２’に接続されているか、その両方である。
【００６８】
図４ないし図１３には、より精巧な第４の例が示される。図４、及び図５の分解図に示されるように、アセンブリ３０１は、囲い３０２と、搬送ユニット３０３とを有する。囲い３０２は、その上にターゲット処理マシンを配置するためのベースプレート３２１と、ベースプレート３２１に固定された側壁パネル３２２と、側壁パネル３２２に固定された上壁パネル３２３とを有する。さらに、囲い３０２は、囲い３０２の側壁にアクセス開口３２４を含む。
【００６９】
搬送ユニット３０３は、１以上の搬送要素を、特に、囲い３０２に対して、特にそれのベースプレート３２１に対して搬送ユニット３０３を移動させるための、図８に示される４つのエアパッド３３１を有する。搬送ユニット３０３は、さらに、アクセス開口３２４を閉じるために配置されたドアパネル３３２を有し、ドアパネル３３２は、以下により詳細に説明されるようなたわみ継手３３３、３３３’、３３４（図７）によって搬送ユニット３０３に移動可能に装着されている。
【００７０】
図７に示されるように、ドアパネル３３２の下縁部の一辺は、支持ブロック３３４１の上部に置かれ、搬送ユニット３０３に固定して接続された装着ブロック３３４３からほぼ垂直に延びている２つの板ばね３３４２を介して懸吊されている。この装着は、支持ブロック３３４１が搬送ユニット３０３に対してｙ方向に沿って移動することを可能にする。この特定の実施形態では、ｙ方向の移動が、支持ブロック３３４１と装着ブロック３３４３との間に配置された制限体３３４４を使用して制限されている。ドアパネル３３２を支持するために、ドアパネル３３２の下縁部の他辺にも同じ構造が配置されることに留意する。
【００７１】
さらに、ドアパネル３３２は、ほぼ水平に延びた２つの板ばね３３３、３３３’を介して搬送ユニット３０３に接続されている。これら板ばね３３３、３３３’は、一側面でドアパネル３３２に接続され、一側面と反対側の他の側面で搬送ユニット３０３の装着部材３０４、３０４’に接続されている。
【００７２】
荷電粒子リソグラフィ装置を収容するための囲い３０２を使用するために、囲い３０２の内部の空間は、囲い３０２の内部に真空環境を与えるために空気を抜かれなければならない。荷電粒子リソグラフィ装置を動作させるために、代表的には、少なくとも１０−６ミリバールの真空が必要である。必要な真空環境を得て維持するために、壁パネル３２２は、ベースプレート３２１と隣接している側壁パネル３２２との間に、及び、上壁パネル３２３と隣接している側壁パネル３２２との間に、例えば、Ｏ−リング又はＣ−リングなどのシール部材を配置することによって、流体密又は真空密接続を与えるために、ベースプレート３２１に固定されている。
【００７３】
この例の囲い３０２は、実質的に囲い３０２の側壁全体のサイズを有するアクセス開口３２４を囲んでいるドアフレーム３２５を有する。囲い３０２には、特にドアフレーム３２５には、プレ真空シール３５１と真空シール３５１とが設けられ、これらの両方がアクセス開口３２４のまわりに配置されている。特に、図９に詳細に示されるように、真空シール３５２がアクセス開口３２４のまわりに配置され、プレ真空シール３５１が真空シール３５２のまわりに配置されている。プレ真空シール３５１は、囲い３０２に対して外向きの方向にドアフレーム３２５の平面から延出したゴム製フラップを有し、これは、ドアフレーム３２５の第１の凹部に配置されたＣ−リングである。真空シール３５１は、ドアフレーム３２５の第２の凹部に配置されたＯ−リングを含む。第２の凹部は、アクセス開口３２４のまわりに延び、第１の凹部は第２の凹部のまわりに延びている。
【００７４】
上壁パネル３２３には、囲い３０２の内部のマシンへの接続用の囲い３０２へのデータ通信ケーブル、電気供給ケーブル、冷却水チューブなどを与えるために配置された複数の通路を有するインターフェースボックス３２６が設けられている。使用されない通路は、カバープレート３２７でシールされている。使用時には、これら通路は、データ通信ケーブル、電気供給ケーブル、冷却水チューブなどのために真空密なフィードスルーを与える。
【００７５】
図４の例のベースプレート３２１は、台座４０４の上に配置されている。ベースプレート３２１は、台座４０４の上の並進固定、回転固定、あるいはその両方である位置に配置されている。ベースプレート３２１は、好ましくは、アルミニウムなどの金属の厚くて硬質なブロックから作られる。ベースプレート３２１は、台座４０４上にベースプレート３２１及びターゲット処理マシンを支持するための支持脚を有する。さらに、台座４０４には支持面４４１が設けられ、支持面は、ベースプレート３２１の支持脚と共に台座４０４の上にベースプレート３２１のキネティックマウントを与え、台座４０４の上にベースプレート３２１の並進固定（Ｘ、Ｙ、Ｚ）及び回転固定（Ｒｘ、Ｒｙ、Ｒｚ）位置を与える。好ましくは、支持脚及びベースプレート３２１は、単一体として形成される。
【００７６】
台座４０４の上でのベースプレート３２１の位置決めを少なくともアシストするために、ベースプレート３２１は、ガイドピン５０１を含み、台座４０４は、台座４０４に囲い２０２を下げているときにガイドピン５０１を受ける受け開口５０２を含む。
【００７７】
図５並びに図１２に示されるように、台座４０４には、搬送ユニット３０３をその上に配置するための搬送ユニット位置４４２が設けられている。台座４０４、特に、それの搬送ユニット位置４４２は、支持部材接触面４４３、４４４を含む。支持部材接触面４４３、４４４の各々は、図８並びに図１０に示されるように、搬送ユニット３０３の底側に配置された支持部材３３４の１つを受けるように配置されている。支持部材３３４及び支持部材接触面４４３、４４４は、搬送ユニット３０３の側壁と台座４０４との間に一定の距離を与えるように、したがって、台座４０４に対する搬送ユニット３０３の一定のＺ位置を与えるように配置されている。複数の支持部材３３４を使用することによって、これら支持部材３３４及び支持部材接触面４４３、４４４は、ベースプレート３２１にほぼ平行に延びた軸のまわりの固定の回転向きＲｘ、Ｒｙを与えるように、したがって、台座４０４の上に搬送ユニット３０３の回転固定Ｒｘ及び回転固定Ｒｙの位置を与えるように配置されている。
【００７８】
ここでは、この特定の例の支持部材３３４は、各々、ホルダに回転可能に配置されたボール３３５を有することに留意する。したがって、支持部材３３４は、ボール−ベアリングとして作用することができ、台座４０４の支持部材接触面４４３、４４４に対する搬送ユニット３０３の回転運動を可能にする。
【００７９】
ベースプレート３２１に対する搬送ユニット３０３の正確なアライメントをさらにアシストするために、ベースプレートは、図９に示されるように、囲い３０２のアクセス開口３２４よりも下にソケット４１１を有する。さらに、搬送ユニット３０３は、図６、図７、図８並びに図１０に示されるように、スピゴット３３６を含む。スピゴット３３６は、ベースプレート３２１に対する搬送ユニット３０３の並進固定位置（Ｘ、Ｙ）を与えるために、ソケット４１１に挿入可能である。スピゴットもベースプレート３２１に配置されることができ、ソケットは同じ結果を得るために搬送ユニット３０３に配置されることができることに留意する。
【００８０】
さらに、ベースプレート３２１は、２つの当接部材４１２を含み、これらは、図９に示されるように、ソケット４１１の両側に、ソケット４１１から離れて配置されている。搬送ユニット３０３は、スピゴット３３６の両側に、スピゴット３３６から離れて配置された２つの接触面３３７を含む。搬送ユニット３０３がベースプレート３２１の正面に配置され、スピゴット３３６がソケット４１１に挿入されたとき、当接部材４１２は、ベースプレート３２１と搬送ユニット３０３との間に固定の回転向きＲｚを与えるように、接触面３３７に当接するように配置されている。
【００８１】
接触面３３７への当接部材４１２の所望の当接を与えるために、図１１に示されるように、ベースプレート３２１は、アパーチャ４１４を含むプレ負荷部材４１３を有し、搬送ユニット３０３は、ホック３３９を含む補足的なプレ負荷部材３３８を有する。搬送ユニット３０３がベースプレート３２１の正面に配置されたとき、スピゴット３３６がソケット４１１に挿入され、ホック３３９が、プレ負荷部材４１４と補足的なプレ負荷部材３３８とを互いに連結するためにアパーチャ４１４に移動するように配置される。さらに、ホック３３９は、ベースプレート３２１に対して搬送ユニット３０３を位置決めする、特に、接触面３３７に対して当接部材４１２を位置決めするのをアシストするために、プレ負荷力を与えるためのアクチュエータ３８１に連結されている。
【００８２】
したがって、この例では、ベースプレート３２１に対する搬送ユニット３０３のＸ、Ｙ、Ｒｚのアライメント及び位置決め、及び、ベースプレート３２１の上に並進固定及び回転固定して位置決めされたマシンが、ベースプレート３２１と搬送ユニット３０３との間のアライメント部材によって、特に、スピゴット３３６及びソケット４１１、及び、当接部材４１２及び接触面３３７によって与えられる。ベースプレート３２１に対する搬送ユニット３０３のＺ、Ｒｘ、Ｒｙのアライメント及び位置決めは、台座４０４上のベースプレート３２１及び搬送ユニット３０３の装着及び位置決めによって与えられる。
【００８３】
さらに、プレ負荷力は、囲い３０２に向かって、特に、プレ真空シール３５１にドアパネル３３２を押し付ける。これは、囲い３０２の内部の低下した気圧を得るために、囲い３０２の内部が空気を抜かれることを可能にする。続いて、周囲空気圧力が、ドアフレーム３２５に、特に真空シール３５２にドアパネル３３２を押し付ける。これは、囲い３０２の内部の所望の真空を得て維持するために、囲い３０２の内部がさらに空気を抜かれることを可能にする。ドアパネル３３２と搬送ユニット３０３との間のたわみ継手３３３、３３３’、３３４が、好ましくは少なくとも囲い３０２に向かう、又は離れる方向Ｙに、搬送ユニット３０３に対するドアパネル３３２の移動を与えるように配置されているので、囲い３０２の空気抜きに起因するドアパネル３３２の移動は、ベースプレート３２１に対する搬送ユニット３０３のアライメントに影響しない。
【００８４】
この例では、ドアパネル３０３は、側壁パネルと実質的に同じサイズを有する。これは、囲い３０２の内部への容易なアクセスを与えるために、囲い３０２に大きな開口３２４を与える。
【００８５】
ドアパネル３３２を備えた搬送ユニット３０３は、囲い３０２から取り外し可能であり、特に、搬送ユニット３０３は、その全体が囲い３０２から取り外し可能であり、エアパッド３３１を使用して囲い３０２に向かって、又は囲い３０２から離れるように移動されることができる。
【００８６】
一実施形態では、搬送ユニット３０３には、図１３の搬送ユニット３０３の横断面に概略的に示されるように、搬送デバイス３０６のような動的構成要素が設けられており、動的構成要素３０６が、囲い３０２の内部のアセンブリ３０１とターゲット処理マシンとの少なくとも一方の機能をアシストする。このような一実施形態では、搬送ユニット位置４４２に配置されたインターフェースユニット４４５を台座４０４に与えることが有効である。搬送ユニット３０３が台座４０４の上の搬送ユニット位置４４２に実質的に配置されたとき、インターフェースユニット４４５は搬送ユニット３０３に接続可能である。
【００８７】
インターフェースユニット４４５と台座４０４との少なくとも一方には、例えば、搬送ユニット３０３に対して上方にインターフェースユニット４４５を移動させるために、図１２に示されるように、インターフェースユニット４４５において導管４４６からの接続を与えるために、図８に示されるように、搬送ユニット３０３の対応する導管３１０に、インターフェースユニットアクチュエータが設けられている。
【００８８】
図５、図６、図７並びに図１０に示される例では、ドアパネル３３２には、１以上の真空ポンプ３０５が、特にターボ分子ポンプが設けられており、これらは、囲い３０２の内側とは反対側のドアパネル３３２の側面に配置されている。真空ポンプ３０５の位置では、ドアパネル３３２には、囲い３０２の内部と真空ポンプ３０５との間の流体接続を与えるために、大きな開口３５１が設けられている。真空ポンプ３０５は、ドアパネル３３２と搬送ユニット３０３との間の可動接続を維持するために、好ましくは撓み管路又はベローズを介して、１以上の導管３１０に接続されている。
【００８９】
搬送ユニット３０３へのドアパネル３３２のたわみ継手のさらなる利点は、たわみ継手が真空ポンプ３０５からの振動を吸収することができることである。
【００９０】
搬送ユニット３０３及びベースプレート３２１の正確なアライメントのおかげで、搬送ユニット３０３には、国際公開第２０１２／０８０２７８号に述べられた例に関して、囲い３０２の内外に基板を搬送するための搬送デバイス３０６が設けられることができる。ドアパネル３３２には、移送開口３１１と搬送デバイス３０６とが設けられており、搬送デバイスは、図６並びに図１０に示されるように、移送開口３１１に実質的に隣接して、搬送ユニット３０３の上の並進固定、回転固定、あるいはその両方である位置に配置されている。搬送デバイス３０６は、好ましくは図１３に概略的に示されるような真空ベローズによって、たわみ継手３０７を介してドアパネル３３２に接続されたロードロックシステムを有し、真空ベローズは移送開口３１１を囲んでいるドアパネル３３２に接続されている。
【００９１】
上の説明は、好ましい実施形態の動作を例証するためのものであり、本発明の範囲を限定する目的でないことが理解されるべきである。上の説明から、当業者には、さまざまな変形例が本発明の趣旨及び範囲に包含されることが明らかである。
【００９２】
要約すると、本発明は、ターゲット処理マシンを収容するためのアセンブリに関する。アセンブリは、囲いと、搬送ユニットとを有する。囲いは、その上にターゲット処理マシンを配置するためのベースプレートと、ベースプレートに固定された側壁パネルと、側壁パネルに固定された上壁パネルとを有する。さらに、囲いは、囲いの側壁にあるアクセス開口を有する。搬送ユニットは、ベースプレートに対して搬送ユニットを移動させるための１以上の搬送要素を有する。搬送ユニットは、アクセス開口を閉じるために配置されたドアパネルを有し、ドアパネルは、たわみ継手によって搬送ユニットに移動可能に装着され、少なくとも、囲いに向かう、又は囲いから離れる方向への搬送ユニットに対するドアパネルの移動を可能にする。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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