【手続補正書】
【提出日】平成20年3月7日(2008.3.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】移動案内装置、移動案内方法及びそれを用いた露光装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】      
【請求項１】  互いに交差する方向に案内されて移動し上下に異なる位置に配置されていて、上下方向の拘束をそれぞれ受けている第１の移動体及び第２の移動体と、
前記第１の移動体の移動方向及び前記第２の移動体の移動方向に定盤上で案内されて移動可能な第３の移動体とを有する移動案内装置において、
前記第１、第２及び第３の移動体を内部に収納する真空容器を設け、
前記第１及び第２の移動体を互いに交差する方向に駆動するそれぞれのアクチュエータを前記真空容器の外に設置し、
前記第３の移動体は、前記第１及び第２の移動体の案内面から力を受けて、互いに交差する２方向に駆動されることを特徴とする移動案内装置。  
【請求項２】 前記第１及び第２の移動体のそれぞれの一方の端部側を案内するそれぞれのラジアル軸受と、それぞれのもう一方の端部側を案内するそれぞれの上下拘束の軸受とを有し、前記第３の移動体は、上下方向の案内を、定盤面、前記第１及び第２の移動体の少なくともいずれかで行うとともに、前記第１及び第２の移動体の側面をガイドにして移動することを特徴とする請求項１に記載の移動案内装置。
【請求項３】 前記第１、第２及び第３の移動体を案内する静圧軸受を有し、前記アクチュエータはリニアタイプの超音波モータであることを特徴とする請求項１または２に記載の移動案内装置。
【請求項４】 前記アクチュエータからの力を前記第１及び第２の移動体に伝達する剛体を備え、前記真空容器はラビリンスを介して排気され、非接触にて大気に対しシールされることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の移動案内装置。
【請求項５】  互いに交差する方向に案内されて移動し上下に異なる位置に配置されていて、上下方向の拘束をそれぞれ受けている第１の移動体及び第２の移動体と、
前記第１の移動体の移動方向及び前記第２の移動体の移動方向に定盤上で案内されて移動可能な第３の移動体とを移動案内する移動案内方法において、
前記第１、第２及び第３の移動体を真空容器の中に収納し、前記第１及び第２の移動体を、前記真空容器の外に互いに交差する方向に設置されたそれぞれのアクチュエータにより駆動し、
前記第３の移動体を、前記第１及び第２の移動体の案内面からの力で互いに交差する２方向に駆動することを特徴とする移動案内方法。
【請求項６】  前記第１及び第２の移動体の案内は、それぞれの一方の端部側をそれぞれのラジアル軸受により行い、それぞれのもう一方の端部側をそれぞれの上下拘束の軸受により行い、前記第３の移動体の上下方向の案内を、定盤面、前記第１及び第２の移動体の少なくともいずれかで行い、前記第１及び第２の移動体の側面をガイドにして、前記第３の移動体を移動させることを特徴とする請求項５に記載の移動案内方法。
【請求項７】 前記第１、第２及び第３の移動体の案内は静圧軸受で行い、前記アクチュエータとしてリニアタイプの超音波モータを用いることを特徴とする請求項５または６に記載の移動案内方法。
【請求項８】 前記アクチュエータから前記第１及び第２の移動体への力の伝達は剛体により行われ、前記真空容器は、ラビリンスを介して排気され、非接触にて大気に対しシールされることを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載の移動案内方法。
【請求項９】 請求項１〜４のいずれかに記載の移動案内装置を用いて製造した半導体及び液晶パネルのいずれかのデバイス。
【請求項１０】 請求項５〜８のいずれかに記載の移動案内方法により製造した半導体及び液晶パネルのいずれかのデバイス。
【請求項１１】 請求項１〜４のいずれかに記載の移動案内装置を用いたことを特徴とする露光装置。
【請求項１２】  請求項１１に記載の露光装置を含む各種プロセス用の製造装置群を半導体製造工場に設置する工程と、該製造装置群を用いて複数のプロセスによって半導体デバイスを製造する工程とを有することを特徴とする半導体デバイス製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段及び作用】
上記目的を達成するために、本発明の移動案内装置は、互いに交差する方向に案内されて移動し上下に異なる位置に配置されていて、上下方向の拘束をそれぞれ受けている第１の移動体及び第２の移動体と、前記第１の移動体の移動方向及び前記第２の移動体の移動方向に定盤上で案内されて移動可能な第３の移動体とを有する移動案内装置において、前記第１、第２及び第３の移動体を内部に収納する真空容器を設け、前記第１及び第２の移動体を互いに交差する方向に駆動するそれぞれのアクチュエータを前記真空容器の外に設置し、前記第３の移動体は、前記第１及び第２の移動体の案内面から力を受けて、互いに交差する２方向に駆動されることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の移動案内装置では、前記第１及び第２の移動体のそれぞれの一方側を案内するそれぞれのラジアル軸受と、それぞれのもう一方側を案内するそれぞれの上下拘束の軸受を有し、前記第３の移動体は、上下方向の案内を、定盤面、前記第１及び第２の移動体の少なくともいずれかで行うとともに、前記第１及び第２の移動体の側面を横方向のガイドにして移動してもよく、前記第１、第２及び第３の移動体を案内する静圧軸受を有し、前記アクチュエータはリニアタイプの超音波モータであることが望ましく、前記アクチュエータからの力を前記第１及び第２の移動体に伝達する剛体を備え、前記真空容器はラビリンスを介して排気され、非接触にて大気に対しシールされることが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明の移動案内方法は、互いに交差する方向に案内されて移動し上下に異なる位置に配置されていて、上下方向の拘束をそれぞれ受けている第１の移動体及び第２の移動体と、前記第１の移動体の移動方向及び前記第２の移動体の移動方向に定盤上で案内されて移動可能な第３の移動体とを移動案内する移動案内方法において、前記第１、第２及び第３の移動体を真空容器の中に収納し、前記第１及び第２の移動体を、前記真空容器の外に互いに交差する方向に設置されたそれぞれのアクチュエータにより駆動し、前記第３の移動体を、前記第１及び第２の移動体の案内面からの力で互いに交差する２方向に駆動することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の移動案内方法では、前記第１及び第２の移動体の案内は、それぞれの一方側をそれぞれのラジアル軸受により行い、それぞれのもう一方側をそれぞれの上下拘束の軸受により行い、前記第３の移動体の上下方向の案内を、定盤面、前記第１及び第２の移動体の少なくともいずれかで行い、前記第１及び第２の移動体の側面を横方向のガイドにして、前記第３の移動体を移動させてもよく、前記第１、第２及び第３の移動体の案内は静圧軸受により行い、前記アクチュエータとしてリニアタイプの超音波モータを用いることが望ましく、前記アクチュエータから前記第１及び第２の移動体への力の伝達は剛体により行われ、前記真空容器はラビリンスを介して排気され、非接触にて大気に対しシールされることが好ましい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
図１〜図４において、１は定盤であり、１１はステージ定盤、１２は本体定盤である。２１はＸ方向固定ガイド、２２はＹ方向固定ガイド、第３の移動体である３はＸＹ移動体であってＸ方向及びＹ方向に平面移動可能である。第１の移動体である４１はＸ方向移動体であってＸＹ移動体３をＸ方向に移動させることが可能であり、第２の移動体である４２はＹ方向移動体であってＸＹ移動体３をＹ方向に移動させることが可能であり、アクチュエータとしての５１１，５１２はＸ方向駆動用リニアモータ、５２１，５２２はＹ方向駆動用リニアモータである。  
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
６１１はＸ方向移動体４１の一方の端部側である４１１をＸ方向へ案内をするとともにＸ方向以外の全方向に対し拘束する静圧軸受（ラジアル軸受）、６１２はＸ方向移動体４１を横方向へ案内するとともに上下方向に対し拘束する静圧軸受（上下方向の軸受）、６２１はＹ方向移動体４２のもう一方の端部側である４１２をＹ方向へ案内をするとともにＹ方向以外の全方向に対し拘束する静圧軸受（ラジアル軸受）、６２２はＹ方向移動体４２を横方向へ案内するとともに上下方向に対し拘束する静圧軸受（上下方向の軸受）、６３１はＸＹ移動体３と定盤１１間の垂直方向拘束の静圧軸受、６３２はＸＹ移動体３とＸ方向移動体４１間の横方向（Ｘ方向）の動きを拘束しながらＸＹ移動体３をＹ方向へ案内する静圧軸受、６４１はＸＹ移動体３とＹ方向移動体４２間の横方向（Ｙ方向）の動きを拘束しながらＸＹ移動体３をＸ方向へ案内する静圧軸受であり、これらはいずれも空気を使用した静圧軸受である。  
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
そして、真空容器８は、図５に示すように、前記アクチュエータからの力を前記第１及び第２の移動体に伝達する剛体である駆動力伝達棒９１１，９１２，９２１，９２２が出入りする内部と外部との境界部分に、ラビリンスシール構造８０を備えている。ラビリンスシール構造８０は、駆動力伝達棒９１１，９１２，９２１，９２２が通っている真空容器８の開口部に同心的に筒体８１を突設し、この筒体８１の内周に該駆動力伝達棒を取り巻く環状の溝を設けて凹凸を付け、駆動力伝達棒が出入りする部分を迷路状にしたものである。真空容器８内の気体は、筒体８１の周壁に開けられた複数の小孔８２を通って排出される。即ち、前記真空容器(中の気体)はラビリンス(迷路)を介して排気され、非接触にて大気に対しシールされる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】  １：定盤、１１：ステージ定盤、１２：本体定盤、２１，２１１：Ｘ方向固定ガイド、２２，２２１：Ｙ方向固定ガイド、３：ＸＹ移動体、４１：Ｘ方向移動体、４２：Ｙ方向移動体、５１１，５１２：Ｘ方向駆動用リニアモータ、５２１，５２２：Ｙ方向駆動用リニアモータ、６１１：Ｘ方向移動体のＸ方向以外全拘束静圧軸受、６１２：Ｘ方向移動体の垂直方向拘束静圧軸受、６２１：Ｙ方向移動体のＹ方向以外全拘束静圧軸受、６２２：Ｙ方向移動体の垂直方向拘束静圧軸受、６３１：ＸＹ移動体と定盤間の垂直方向拘束静圧軸受、６３２：ＸＹ移動体とＸ方向移動体の横方向拘束静圧軸受、６４１：ＸＹ移動体とＹ方向移動体の横方向拘束静圧軸受、８：真空容器、９１１，９１２：Ｘ方向移動体４１の駆動用駆動力伝達棒、９２１，９２２：Ｙ方向移動体４２の駆動用駆動力伝達棒、
１１０１：ベンダの事業所、１１０２，１１０３，１１０４：製造工場、１１０５：インターネット、１１０６：製造装置、１１０７：工場のホスト管理システム、１１０８：ベンダ側のホスト管理システム、１１０９：ベンダ側のローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、１１１０：操作端末コンピュータ、１１１１：工場のローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、１２００：外部ネットワーク、１２０１：製造装置ユーザの製造工場、１２０２：露光装置、１２０３：レジスト処理装置、１２０４：成膜処理装置、１２０５：工場のホスト管理システム、１２０６：工場のローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、１２１０：露光装置メーカ、１２１１：露光装置メーカの事業所のホスト管理システム、１２２０：レジスト処理装置メーカ、１２２１：レジスト処理装置メーカの事業所のホスト管理システム、１２３０：成膜装置メーカ、１２３１：成膜装置メーカの事業所のホスト管理システム、１４０１：製造装置の機種、１４０２：シリアルナンバー、１４０３：トラブルの件名、１４０４：発生日、１４０５：緊急度、１４０６：症状、１４０７：対処法、１４０８：経過、１４１０，１４１１，１４１２：ハイパーリンク機能。