【手続補正書】
【提出日】平成20年1月18日(2008.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透過波長範囲が可変である波長選択手段が光増幅器とミラーとの間に設けられた共振器を備えたレーザ装置の制御方法であって、
前記共振器の発振波長が前記透過波長範囲のピーク波長または前記透過波長範囲内かつ前記透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側の波長になるように前記波長選択手段を制御する第１のステップと、
前記第１のステップの後に、前記透過波長範囲のピーク波長または前記透過波長範囲内かつ前記透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側において前記共振器が所望の発振波長を出力しつつ前記所望の発振波長の光強度が所定の値になるように前記波長選択手段を制御する第２のステップとを含むことを特徴とするレーザ装置の制御方法。
【請求項２】
前記レーザ装置は、周期的に複数の透過波長範囲を有するエタロンをさらに備え、
前記第１のステップは、前記波長選択手段の透過波長範囲が前記エタロンの複数の透過波長範囲のいずれか１つと重複するように前記波長選択手段の透過波長範囲を設定することにより、前記共振器から所望の波長光を出力させるステップであることを特徴とする請求項１記載のレーザ装置の制御方法。
【請求項３】
前記レーザ装置は、前記共振器を共振する光の位相を調整する位相調整手段をさらに備え、
前記第１のステップは、前記共振器を共振する光の位相を前記位相調整手段により調整することによって前記共振器から所望の波長光を出力させるステップであることを特徴とする請求項１記載のレーザ装置の制御方法。
【請求項４】
前記第２のステップの後に、前記共振器が前記所望の波長光を出力し、かつ、前記所望の波長光の光強度が所定値になるように前記光増幅器の出力強度を変化させる第３のステップをさらに含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のレーザ装置の制御方法。
【請求項５】
透過波長範囲が可変である波長選択手段が光増幅器とミラーとの間に設けられた共振器と、前記共振器から出力される光の外部への出力を制御する外部出力制御手段とを備えたレーザ装置の波長切換方法であって、
前記共振器の発振波長が前記透過波長範囲内かつ前記透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側である第１の範囲の波長になるように前記波長選択手段を制御する第１のステップと、
前記第１のステップの後に、前記透過波長範囲のピーク波長または前記透過波長範囲内かつ前記透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側において前記共振器が所望の発振波長を出力しつつ前記所望の発振波長の光強度が所定の値になるように前記波長選択手段を制御する第２のステップと、
前記共振器から出力される光の外部への出力が停止するように前記外部出力制御手段を制御する第３のステップと、
前記共振器の発振波長が前記透過波長範囲のピーク波長または前記透過波長範囲内かつ前記透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側である第２の範囲の波長になるように前記波長選択手段を制御する第４のステップと、
前記第４のステップの後に、前記透過波長範囲のピーク波長または前記透過波長範囲内かつ前記透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側において前記共振器が所望の発振波長を出力しつつ前記所望の発振波長の光強度が所定の値になるように前記波長選択手段を制御する第５のステップとを含むことを特徴とするレーザ装置の波長切換方法。
【請求項６】
前記レーザ装置は、周期的に複数の透過波長範囲を有するエタロンをさらに備え、
前記第１のステップは、前記波長選択手段の透過波長範囲が前記第２のエタロンの複数の透過波長範囲のいずれか１つと重複するように前記波長選択手段の透過波長範囲を設定することにより、前記共振器から所望の波長光を出力させるステップであることを特徴とする請求項５記載のレーザ装置の波長切換方法。
【請求項７】
前記レーザ装置は、前記共振器を共振する光の位相を調整する位相調整手段をさらに備え、
前記第１のステップは、前記共振器を共振する光の位相を前記位相調整手段により調整することによって前記共振器から所望の波長光を出力させるステップであることを特徴とする請求項５記載のレーザ装置の波長切換方法。
【請求項８】
前記第３のステップの後に、前記共振器が前記所望の波長光を出力し、かつ、前記所望の波長光の光強度が所定値になるように前記光増幅器の出力強度を変化させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載のレーザ装置の波長切換方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
次に、制御データ２００の作成方法について説明する。まず、温度制御装置４０の温度が所定の温度になるように、制御部５０により温度制御装置４０を制御する。次いで、ビームスプリッタ２１から出力されるレーザ光のピーク波長および光強度が所定の値になるように、制御部５０により外部共振器部１０および波長モニタ部３０を制御する。この場合の半導体光増幅器１１の制御電流値、位相調整器１２の制御電気信号、液晶エタロン１４の制御電圧値、光検知素子３３，３４，３５のターゲット電流値および温度制御装置４０のサーミスタによる検知結果を制御部５０のＲＯＭに記録する。また、レーザ装置１００の目標出力光強度およびレーザ装置１００の出力光の目標波長を制御部５０のＲＯＭに記録する。以上の作業を固定エタロン１３の各チャネルごとに行う。以上の作業により、制御データ２００が作成される。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
次に、制御部５０は、制御データ２００ａに基づいて半導体光増幅器１１に与える電流を制御することにより、レーザ装置１００から出力される光の光強度および位相を調整する。以上の行程により、レーザ装置１００から出力される光の波長および光強度が調整される。なお、制御部５０は、外部共振器部１０の縦モードを固定エタロン１３のエタロンピークに一致させた後、外部共振器部１０の縦モードが固定エタロン１３のエタロンピークに常に一致するように、位相調整器１２に与える電気信号を制御する。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
また、本実施例においては、外部共振器部１０の縦モードが固定エタロン１３のエタロンピークに一致するように位相調整器１２が制御されているが、外部共振器１０の縦モードが固定エタロン１３のエタロンピーク側に変化するように位相調整器１２を制御すれば本発明の効果が得られる。同様に、液晶エタロン１４のエタロンピークが固定エタロン１３のエタロンピークに一致するように液晶エタロン１４のエタロンピークが制御されているが、液晶エタロン１４のエタロンピークが固定エタロン１３のエタロンピーク側に変化するように液晶エタロン１４を制御すれば本発明の効果が得られる。