(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブ装置本体内にＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能に配置され、被検査体が載置された状態で、複数のプローブ針を有するプローブカードがカードホルダーを介して着脱可能に保持された保持機構まで移動して、上記被検査体と上記複数のプローブ針とを電気的に接触させる載置台と、
この載置台の側面に取り付けられて、上記プローブ針が上記載置台の載置面に接触しないように上記プローブカードを上記載置台上において着脱可能に支持するプローブカード支持体と、
このプローブカード支持体に上記プローブカードを受け渡す受け渡し機構と、を備え、
上記受け渡し機構は、上記プローブカードの受け渡し位置を決める位置決め部材を少なくとも一つ有し、また、
上記載置台は、上記プローブカードを上記保持機構に着脱するために、上記プローブカード支持体によって支持された上記プローブカードを搬送する機能を有する
ことを特徴とするプローブカード搬送機構。
【請求項２】
上記受け渡し機構は、上記プローブカードを着脱可能に保持するアダプタを含むことを特徴とする請求項１に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項３】
上記受け渡し機構は、上記アダプタを着脱可能に保持する搬送トレイと、上記プローブ装置本体の外側と内側の間で上記搬送トレイを移動案内するガイド機構を有することを特徴とする請求項２に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項４】
上記搬送トレイは、その先端部にＵ字状の切欠部を有するアダプタ保持部を有し、上記載置台が上記切欠部の中を上昇することにより、上記アダプタ保持部から上記載置台に取り付けられたプローブカード支持体上に上記アダプタを受け取ることを特徴とする請求項３に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項５】
上記ガイド機構は、水平状態及び垂直状態の両状態になるように、上記プローブ装置本体に回転可能に取り付けられていることを特徴とする請求項３または請求項４に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項６】
上記プローブカード支持体は、上記アダプタを吸引力により保持する吸引機構を有することを特徴とする請求項２〜請求項５のいずれか１項に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項７】
プローブ装置本体内にＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能に配置され、被検査体が載置された状態で、複数のプローブ針を有するプローブカードがカードホルダーを介して着脱可能に保持されたインサートリングまで移動して、上記被検査体と上記複数のプローブ針とを電気的に接触させる載置台と、
上記プローブカードを着脱自在に保持するアダプタと、
上記載置台の側面に取り付けられて、上記プローブ針が上記載置台の載置面に接触しないように上記プローブカードを保持する上記アダプタを上記載置台上において着脱可能に支持するプローブカード支持体と、
上記プローブカード支持体に上記アダプタを受け渡す受け渡し機構と、を備え、且つ、
上記載置台は、上記インサートリングに上記プローブカードを着脱するために、上記プローブカード支持体によって支持された上記アダプタを介して上記プローブカードを搬送する機能を有し、また、
上記受け渡し機構は、上記プローブカードを保持した上記アダプタを着脱自在に保持する搬送トレイと、上記プローブ装置本体に取り付けられたアームと、上記アームに固定され且つ上記プローブ装置本体の外側と内側の間で上記搬送トレイを移動案内するガイドレールを有する
ことを特徴とするプローブカード搬送機構。
【請求項８】
上記アームは、水平状態及び垂直状態になるように、上記プローブ装置本体に回転可能に取り付けられていることを特徴とする請求項７に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項９】
上記搬送トレイは、上記アダプタの存否を検出するセンサを有することを特徴とする請求項３または請求項７に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項１０】
上記プローブカード支持体は、上記アダプタを吸引力により保持する吸引機構を有することを特徴とする請求項７〜請求項９のいずれか１項に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項１１】
上記プローブカード支持体に、上記プローブカードの存否を検出するセンサを設けたことを特徴とする請求項１〜請求項１０のいずれか１項に記載のプローブカード搬送機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローブ装置のプローブカードを交換する際に用いられるプローブカード搬送機構に関し、更に詳しくは、構造的に簡素化して低コスト化を実現することができるプローブカード搬送機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プローブカード搬送機構を備えたプローブ装置は、通常、被検査体であるウエハを搬送過程でプリアライメントを行うローダ室と、このローダ室から受け取ったウエハの電気的特性検査を行うプローバ室とを備えている。ローダ室にはウエハの搬送機構及びプリアライメント機構が配設され、ローダ室において搬送機構を介してウエハを搬送する間にウエハのプリアライメントを行い、プリアライメント後のウエハをプローバ室へ引き渡す。プローバ室にはウエハの載置台、アライメント機構及びプローブカードが配設され、ウエハを載置した載置台がＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動し、この間にアライメント機構を介してウエハのアライメントを行い、アライメント後には載置台を介してウエハとプローブカードのプローブ針とを正確に電気的に接触させ、ウエハの電気的特性検査を行う。
【０００３】
ところで、プローブカードはウエハの種類に応じて交換する必要がある。プローブカードを交換する場合にはプローブカードの交換装置を用いてプローブカードをカードホルダーごと交換するようにしている。例えば特公平５−６７０６０号公報及び特開平３−２２０４７２号公報にはプローブカードを全自動で行うフルオートタイプの交換装置が提案されている。
【０００４】
一方、最近、ウエハの大口径化、超高集積化等により半導体製造工場の建設コストが高騰し、各種の半導体製造装置のコストダウンが大きな課題になっている。このことはプローブ装置の関しても例外ではない。そのため、プローブ装置においても、他の半導体製造装置と同様、構造の簡素化及び省スペース化を通してコストダウンを促進している。このような観点からすれば、フルオートタイプの交換装置は複数種のプローブカードを纏めて格納する格納部や、格納部から載置台までプローブカードを搬送する搬送機構等が必要になり、機構的に複雑でスペース的にも独自のスペースが必要なため、コスト的にも高くなりがちであった。そこで、本出願人は例えば特開平８−１３９１４１号公報においてセミオートタイプの交換装置を提案し、交換装置の簡素化及び省スペース化を促進し、低コスト化を実現した。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平８−１３９１４１号公報において提案したプローブカードの交換装置の場合には、フルオートタイプの交換装置と比較してプローブカードの格納部等が省略され、省スペース化、低コスト化が実現されているが、プローブカード搬送機構にはプローブカードを載せて搬送するアームにモータやアクチュエータ等の駆動機構が用いられているため、アームの駆動機構が若干複雑でコスト的に高くなっているという課題があった。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、プローブ装置が本来具備する機構以外には極力余分な駆動機構を用いることなく機構的、構造的に簡素化し、もって更に低コスト化を促進することができるプローブカード搬送機構を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載のプローブカード搬送機構は、プローブ装置本体内にＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能に配置され、被検査体が載置された状態で、複数のプローブ針を有するプローブカードがカードホルダーを介して着脱可能に保持された保持機構まで移動して、上記被検査体と上記複数のプローブ針とを電気的に接触させる載置台と、この載置台の側面に取り付けられて、上記プローブ針が上記載置台の載置面に接触しないように上記プローブカードを上記載置台上において着脱可能に支持するプローブカード支持体と、このプローブカード支持体に上記プローブカードを受け渡す受け渡し機構と、を備え、上記受け渡し機構は、上記プローブカードの受け渡し位置を決める位置決め部材を少なくとも一つ有し、また、上記載置台は、上記プローブカードを上記保持機構に着脱するために、上記プローブカード支持体によって支持された上記プローブカードを搬送する機能を有することを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明の請求項２に記載のプローブカード搬送機構は、請求項１に記載の発明において、上記受け渡し機構は、上記プローブカードを着脱可能に保持するアダプタを含むことを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明の請求項３に記載のプローブカード搬送機構は、請求項２に記載の発明において、上記受け渡し機構は、上記アダプタを着脱可能に保持する搬送トレイと、上記プローブ装置本体の外側と内側の間で上記搬送トレイを移動案内するガイド機構を有することを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明の請求項４に記載のプローブカード搬送機構は、請求項３に記載の発明において、上記搬送トレイは、その先端部にＵ字状の切欠部を有するアダプタ保持部を有し、上記載置台が上記切欠部の中を上昇することにより、上記アダプタ保持部から上記載置台に取り付けられたプローブカード支持体上に上記アダプタを受け取ることを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明の請求項５に記載のプローブカード搬送機構は、請求項３または請求項４に記載の発明において、上記ガイド機構は、水平状態及び垂直状態の両状態になるように、上記プローブ装置本体に回転可能に取り付けられていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項６に記載のプローブカード搬送機構は、請求項２〜請求項５のいずれか１項の発明において、上記プローブカード支持体は、上記アダプタを吸引力により保持する吸引機構を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項７に記載のプローブカード搬送機構は、プローブ装置本体内にＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能に配置され、被検査体が載置された状態で、複数のプローブ針を有するプローブカードがカードホルダーを介して着脱可能に保持されたインサートリングまで移動して、上記被検査体と上記複数のプローブ針とを電気的に接触させる載置台と、上記プローブカードを着脱自在に保持するアダプタと、上記載置台の側面に取り付けられて、上記プローブ針が上記載置台の載置面に接触しないように上記プローブカードを保持する上記アダプタを上記載置台上において着脱可能に支持するプローブカード支持体と、上記プローブカード支持体に上記アダプタを受け渡す受け渡し機構と、を備え、且つ、上記載置台は、上記インサートリングに上記プローブカードを着脱するために、上記プローブカード支持体によって支持された上記アダプタを介して上記プローブカードを搬送する機能を有し、また、上記受け渡し機構は、上記プローブカードを保持した上記アダプタを着脱自在に保持する搬送トレイと、上記プローブ装置本体に取り付けられたアームと、上記アームに固定され且つ上記プローブ装置本体の外側と内側の間で上記搬送トレイを移動案内するガイドレールを有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項８に記載のプローブカード搬送機構は、請求項７に記載の発明において、上記アームは、水平状態及び垂直状態になるように、上記プローブ装置本体に回転可能に取り付けられていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項９に記載のプローブカード搬送機構は、請求項３または請求項７に記載の発明において、上記搬送トレイは、上記アダプタの存否を検出するセンサを有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１０に記載のプローブカード搬送機構は、請求項７〜請求項９のいずれか１項に記載の発明において、上記プローブカード支持体は、上記アダプタを吸引力により保持する吸引機構を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項１１に記載のプローブカード搬送機構は、請求項１〜請求項１０のいずれか１項に記載の発明において、上記プローブカード支持体に、上記プローブカードの存否を検出するセンサを設けたことを特徴とするものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図３に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態のプローブカード搬送機構（以下、単に「搬送機構」と称す。）Ｔが適用されたプローブ装置Ｐは、図１に示すように、プローバ室１内でＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能に配設され且つ被検査体であるウエハを載置する載置台（ウエハチャック）２と、このウエハチャック２の上方でヘッドプレート３の略中央孔３Ａに固定されたプローブカードの保持機構（インサートリング）４と、このインサートリング４に対してカードホルダー５を介して着脱可能に保持されたプローブカード６とを備えている。プローバ室１には図示しないローダ室が隣接し、このローダ室からプローバ室１内のウエハチャック２でウエハを受け取る。プローバ室１内ではウエハチャック２がＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動する間にアライメント機構（図示せず）を介してウエハとプローブカード６のプローブ針６Ａとのアライメントを行った後、ウエハをインデックス送りを行いながらウエハの電気的特性検査を実行する。
【００１３】
而して、本実施形態の搬送機構Ｔは、図１、図２に示すように、プローバ室１内でＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能なウエハチャック２と、このウエハチャック２との間でカードホルダー付きのプローブカード６を受け渡す受け渡し機構７とを備え、受け渡し機構７から受け取ったプローブカード６をその取付位置であるインサートリング４までウエハチャック２を介して搬送するようになっている。
【００１４】
上記受け渡し機構７は、カードホルダー付きのプローブカード６を着脱自在に保持するアダプタ８と、このアダプタ８を着脱自在に保持する、先端部がＵ字状の切欠部によって二股に分かれて形成されたフォーク状の搬送トレイ９と、この搬送トレイ９をプローブカード６の受け渡し位置まで移動案内する一対のガイドレール１０、１０がガイド機構として固定されたアーム１１と、このアーム１１上で搬送トレイ９を介して移動したアダプタ８を受け取るためにウエハチャック２の周囲の３箇所で支持するアダプタ支持体１２とを備えている。
【００１５】
上記プローブ装置Ｐにプローブカード６を最初に取り付けたり交換したりする時には図１、図２の（ａ）に示すようにカードホルダー５付きのプローブカード６をアダプタ８の中央に装着するようになっている。このアダプタ８の中央にはカードホルダー５が嵌まり込む凹陥部８Ａが形成され、この凹陥部８Ａの中央にはプローブ針６Ａが通る中央孔８Ｂが形成されている。このアダプタ８の裏面には図２の（ｂ）に示すように搬送トレイ９の表面に設けられたガイドピン９Ａが嵌入する第１ガイド孔８Ｃが形成され、第１ガイド孔８Ｃ及びガイドピン９Ａを介して搬送トレイ９上でアダプタ８を常に一定の場所に位置決めした状態で支持するようになっている。更に、図２の（ａ）に示すようにガイドピン９Ａの近傍にはアダプタ８を検出する近接センサ９Ｂが設けられ、この近接センサ９Ｂを介して搬送トレイ９上のアダプタ８の存否を検出するようになっている。
【００１６】
図１、図２の（ａ）に示すように搬送トレイ９の基端部裏面には一対のガイドレール１０、１０と係合する係合部９Ｃ、９Ｃが設けられ、搬送トレイ９は手動操作により両係合部９Ｃ、９Ｃを介してアーム１１上を図１の矢印Ａで示すようにプローバ室１内の内側へ押し込み、その位置から引き出せるようになっている。図２の（ｃ）に示すようにアーム１１上には各ガイドレール１０、１０の先端側には位置決め部材（ストッパー）１３、１３が設けられ、これらのストッパー１３、１３で搬送トレイ９を止め、プローブカード６をプローバ室１内の常に一定の位置（ウエハチャックとのプローブカードの受け渡し位置）まで押し込むことができるようになっている。また、各ガイドレール１０、１０の基端側にはストッパー（図示せず）が設けられ、これらのストッパーで搬送トレイ９がガイドレール１０、１０から抜け出さないようにしてある。
【００１７】
上記アーム１１は図１に示すようにプローブ室１の正面（同図の右側）に対して基端部の軸１１Ａを介して枢着され、同図の矢印Ｂで示すように垂直状態から水平状態まで引き起こせるようになっている。そして、アーム１１は引き起こした状態でロックすることにより水平状態を保持できるようになっている。このアーム１１は倒れた状態でケーシング１３内に収納するようになっている。従って、搬送トレイ９及びアーム１１は通常ケーシング１３内に収納されている。
【００１８】
図１、図３に示すようにウエハチャック２には例えば周方向等間隔を空けた３箇所にアダプタ支持体１２が設けられ、３箇所のアダプタ支持体１２でアダプタ８を裏面から支持するようになっている。これらのアダプタ支持体１２はリング状の部材で連結されたものであって良く、個々に独立したものであっても良い。アダプタ支持体１２は図３に示すようにウエハチャック２の周面から側方へ突出し、その表面がウエハチャック２の表面からやや下方へ後退している。図１に示すようにアダプタ支持体１２の表面には図１に示すようにガイドピン１２Ａが設けられ、また、アダプタ８の裏面にはガイドピン１２Ａに対応する第２ガイド孔８Ｄが設けられ、アダプタ支持体１２上でアダプタ８を位置ズレなく支持するようになっている。また、アダプタ８の凹陥部８Ａでプローブカード６を支持した時に、プローブ針６Ａの下端がウエハチャック２の表面に接触しないようになっている。
【００１９】
また、図３に示すように上記アダプタ支持体１２には例えば排気用の第１、第２流路１２Ｂ、１２Ｃが２箇所で貫通し、第１、第２流路１２Ｂ、１２Ｃはいずれも真空排気装置（図示せず）に接続されている。図３では第１、第２流路１２Ｂ、１２Ｃは上下に貫通した状態になっているが、真空排気装置との関係で種々の形態を採ることができる。また、アダプタ８には第２流路１２Ｃに対応して設けられた貫通孔８Ｅが設けられている。この貫通孔８Ｅは下端がアダプタ支持体１２の第２流路１２Cと重なる位置にあり、その上端が凹陥部８Ａで開口している。更に、アダプタ８の裏面及びアダプタ支持体１２の表面はいずれも鏡面仕上げになっており、アダプタ８がアダプタ支持体１２上に密着するようになっている。
【００２０】
従って、アダプタ８がアダプタ支持体１２上で支持された状態で真空排気装置が駆動すると、第１流路１２Ｂを介してアダプタ８をアダプタ支持体１２の表面に真空吸着すると共に、第２流路１２Ｃ及び貫通孔８Ｅを介してアダプタ８の凹陥部８Ａにカードホルダー５を介してプローブカード６を真空吸着するようになっている。また、第２流路１２Ｃ及び貫通孔８Ｅからの真空排気に伴う圧力変動によりアダプタ８上のカードホルダー５（プローブカード６）の存否を検出することができる。特に、現在のようにプローブカード６をカードホルダー５と一緒に交換する場合には、１０Ｋｇを超える重量に達するため、従来のようにウエハチャック２表面で３本のピンを昇降させてプローブカードを受ける構造ではプローブカードを保持しきれないが、本実施形態ではアダプタ８及びアダプタ支持体１２を用い、従来の弱点を解決している。
【００２１】
上記ウエハチャック２は、プローブ装置Ｐの制御装置の制御下でプローブカード６の受け渡し位置まで移動し、アダプタ支持体１２のガイドピン１２Ａが搬送トレイ９で搬送されてくるアダプタ８の第２ガイド孔８Ｄと一致する向きで停止するようにしてある。また、アーム１１の二股の間隔はウエハチャック２が通り抜けられる幅になっている。
【００２２】
次に、動作について説明する。プローブカード６をインサートリング４に取り付ける場合には、図１の矢印Ｂで示すようにアーム１１を起こして水平状態にする。この状態で搬送トレイ９のガイドピン９Ａをアダプタ８の第１ガイド孔８Ｃに合わせてアダプタ８を搬送トレイ９上に装着する。この搬送トレイ９上にカードホルダー付きのプローブカード６を所定の向きにガイドピン９Ａを第１ガイド孔８Ｃに合わせて装着する。この間に、プローブ装置Ｐの制御装置の制御下でウエハチャック２が駆動し、プローブカード６の受け渡し位置まで移動する。受け渡し位置に来たウエハチャック２はアダプタ支持体１２が搬送トレイ９上のアダプタ８を受け渡す向きになっている。
【００２３】
この状態で搬送トレイ９を図１の矢印Ａで示す方向に手動操作でプローバ室１内に押し込み、アダプタ８をウエハチャック２の真上に位置させる。次いで、制御装置の制御下でウエハチャック２が上昇すると、アダプタ支持体１２のガイドピン１２Ａがアダプタ８の第２ガイド孔８Ｄに嵌入し、更に、ウエハチャック２がアーム１１の二股部分の間を通り抜けて上昇すると、プローブカード６を所定の向きに向けた状態でカードホルダー付きのプローブカード６をアダプタ８ごと搬送トレイ９から持ち上げる。
【００２４】
この時、真空排気装置が駆動し、第１、第２流路１２Ｂ、１２Ｃから排気すると第１流路１２Ｂにおいてアダプタ８を吸引し、アダプタ支持体１２の表面にアダプタ８を吸着、固定する。また、これと同時に第２流路１２Ｃからカードホルダー５を吸引し、カードホルダー５を介してプローブカード６をアダプタ８の凹陥部８Ａ内に吸着する。この吸引作用でアダプタ支持体１２上のプローブカード６の存在が確認される。
【００２５】
引き続き、ウエハチャック２が制御装置の制御下で駆動し、図１に示すように受け渡し位置からインサートリング４の真下まで移動する。更に、ウエハチャックが上昇し、カードホルダー５をインサートリング４内に挿入すると、インサートリング４が機能し、カードホルダー５を介してプローブカード６をインサートリング４で保持し、固定する。インサートリング４へのプローブカード６の装着が終了すると、ウエハチャック２が下降する。この時、第２流路１２Ｃ及び貫通孔８Ｅを介して真空排気しているが、万一この流路の圧力が上昇せず、真空度が低下しなければアダプタ８上にカードホルダー５が存在し、インサートリング４に対してプローブカード６を装着できなかったことを意味する。
【００２６】
その後、ウエハチャック２は受け渡し機構７側へ戻る。この時、搬送トレイ９では近接センサ９Ｂが機能し搬送トレイ９上のアダプタ８を検出する。その後、真空排気装置が停止し、第２流路１２Ｃ内の圧力を常圧に戻し、ウエハチャック２が下降すると、搬送トレイ９上へのアダプタ８の移載が終了する。この時点で手動操作により搬送トレイ９を引き出す。これによりプローブカード６の取付が完了したことになる。後は、アーム１１を折り畳み、ケーシング１３内へ格納する。
【００２７】
上記プローブカード６を交換する場合には、アーム１１を水平状態にし、上述したようにアダプタ８を搬送トレイ９上に装着し、手動操作で搬送トレイ９をウエハチャック２の真上まで押し込む。ウエハチャック２が上昇し、アダプタ支持体１２でアダプタ８を受け取り、真空排気装置が駆動するとアダプタ支持体１２上にアダプタ８を固定する。ウエハチャック２が上述した要領でインサートリング４の真下まで移動し、その位置からプローブカード６の受け取り位置まで上昇する。次いで、インサートリング４が機能してプローブカード６を解放すると、プローブカード６はカードホルダー５ごとアダプタ８の凹陥部８Ａに着地する。この時、第２流路１２Ｃ及び貫通孔８Ｅを介して排気しているため、カードホルダー５を介してプローブカード６をアダプタ８上に吸着し、第２路１２Ｃの真空度が高くなる。真空度が高くならない時にはアダプタ８におけるプローブカード６の受け渡しがうまく行かなかったことになり、再度受け渡し動作を行い、プローブカード６をアダプタ８上で確実に受け取る。プローブカード６を受け取れば、ウエハチャック２が移動し、搬送トレイ９の位置まで戻り、搬送トレイ９上へプローブカード６をアダプタ８ごと引き渡す。そして、搬送トレイ９を手動操作で引き出し、次のプローブカードと交換する。後は最初に説明したように新しいプローブカードをインサートリング４へ装着する。
【００２８】
以上説明したように本実施形態によれば、プローバ室１内でＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能なウエハチャック２と、このウエハチャック２との間でカードホルダー付きプローブカード６を受け渡す受け渡し機構７とを備え、受け渡し機構７は、プローブカード６を着脱自在に保持するアダプタ８と、このアダプタ８を着脱自在に保持する搬送トレイ９と、この搬送トレイ９を受け渡し位置まで移動案内するガイドレール１０、１０が固定されたアーム１１と、このアーム１１上で搬送トレイ９を介して移動したアダプタ８を受け渡すためにウエハチャック２の周囲の３箇所で支持するアダプタ支持体１２とを備えているため、プローブカード６の搬送には主としてウエハチャック２を用いることができ、ウエハチャック２との間でプローブカード６を受け渡す機構７としては駆動機構を設ける必要がなく、構造的に極めて簡素化することができ、余分なスペースが一切不要であり、大幅なコストダウンを実現することができる。
【００２９】
また、本実施形態によれば、搬送トレイ９にアダプタ８の存否を検出する近接センサ９Ｂを設けたため、搬送トレイ９に対してアダプタ８が確実に装着されたか否かを知ることができる。また、アダプタ支持体１２にアダプタ８を吸引して固定する第１流路１２Ｂを設けたため、アダプタ支持体１２においてアダプタ８が確実に支持されているか否かを知ることができると共に、プローブカード６が重量化してもアダプタ支持体１２においてアダプタ８を確実に固定支持することができる。また、アダプタ支持体１２にカードホルダー付きプローブカード６を第２流路１２Ｃを設け、この流路１２Ｃと連通する貫通孔８Ｅをアダプタ８に設けたため、インサートリング４でのプローブカード６の受け渡しが確実に行われたか否かを知ることができる。
【００３０】
尚、本発明は、上記実施形態の何等制限されるものではなく、必要に応じて各構成要素を適宜設計変更することができる。
【００３１】
【発明の効果】
本発明の請求項１〜請求項１１に記載の発明によれば、プローブ装置が本来具備する機構以外には極力余分な駆動機構を用いることなく機構的、構造的に簡素化し、もって更に低コスト化を促進することができるプローブカード搬送機構を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のプローブカード搬送機構の一実施形態の動作を説明するための側面図である。
【図２】図１に示す受け渡し機構を示す図で、（ａ）はその平面図、（ｂ）はアダプタと搬送トレイの位置決め部材を示す要部断面図、（ｃ）は搬送トレイとガイドレールとの関係を示す断面図である。
【図３】図１に示すウエハチャック、アダプタ支持体、カードホルダー及びプローブカードの関係を示す右半分の断面図である。
【符号の説明】
１ プローブ室（プローブ装置本体）
２ ウエハチャック（載置台）
４ インサートリング（プローブカードの取付位置）
５ カードホルダー
６ プローブカード
７ 受け渡し機構
８ アダプタ
９ 搬送トレイ
９Ｂ 近接センサ
１０ ガイドレール（ガイド部材）
１１ アーム
１２ アダプタ支持体
１２Ｂ 第１流路（検出部）
１２Ｃ 第２流路（吸引部）
【図１】
0004104099.tif 000002
【図２】
0004104099.tif 000003
【図３】
0004104099.tif 000004