(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のガス流路および第２のガス流路を底面側に開放した円柱状のボディ有する複数種のガス制御機器と、両側に突出部を有し、これら突出部間に溝状の凹所を有する基台と、前記基台の凹所における中間部に配置され、両側部を頂部側へ開放したガス流路を有する中間流路ブロックと、前記基台の凹所における両側端部に配置され、一側部を前記の隣り合う中間流路ブロック側寄り位置で頂部側へ開放したガス流路を有する終端流路ブロックと、前記基台の両側突出部に取外し可能に取付けられ、前記各ガス制御機器の第１のガス流路および第２のガス流路における開放部を前記の隣り合う流路ブロックのガス流路における隣り合う開放部に連通し得る位置決め状態で、前記各ガス制御機器をガス制御機器取付け手段で取付け、このガス制御機器取付け手段における支持手段が、前記ガス制御機器のボディを挿入することができる円筒状部、この円筒状部の下部外周に一体的に設けられ、基台の両側突出部上に重ねられるフランジ部を有する支持台を備え、前記ガス制御機器取付け手段における接続手段が、前記支持台の円筒状部における上部周囲に形成されたねじ部と、前記ガス制御機器のボディの外周に設けられ、前記ボディを前記支持台の円筒状部に挿入した状態で、前記ねじ部に螺着して前記ボディを流路ブロック側へ加圧する筒状接続部材とを備え、前記各ガス制御機器の各ガス流路と前記各流路ブロックのガス流路とを連通させた状態で両者間をシールするシール手段とを備えたことを特徴とする集積化ガス制御装置。
【請求項２】
前記ガス制御機器取付け手段における支持台と中間流路ブロックおよび終端流路ブロックとが互いに形成された凹凸状の位置決め用係合部により位置決めされる請求項１記載の集積化ガス制御装置。
【請求項３】
前記ガス制御機器取付け手段における支持手段のフランジ部が、基台の両側突出部に頂面側から底面側へ向かって形成されたねじ穴にねじにより取付けられた請求項１または２記載の集積化ガス制御装置。
【請求項４】
前記ガス制御機器が、底部の両側中央部に第１のガス流路および第２のガス流路を底面側に開放した突出ブロックを有し、ガス制御機器取付け手段における支持手段が、前記突出ブロックを支持するように基台の両側突出部の４箇所に立設された支柱を備え、前記ガス制御機器取付け手段における接続手段が、前記突出ブロックの両側に配置された前記支柱に跨って連係され、中央部に貫通するねじ穴を有するクランプ用ブロックと、前記クランプ用ブロックのねじ穴に螺合され、前記突出ブロックを流路ブロック側へ加圧するボルトを備えた請求項３または４記載の集積化ガス制御装置。
【請求項５】
前記ガス制御機器取付け手段における支柱が、基台の両側突出部に頂面側から底面側へ向かって形成されたねじ穴に螺入された請求項４記載の集積化ガス制御装置。
【請求項６】
前記ガス制御機器が、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィルタユニット、レギュレータ、圧力トランスデューサ、自動ダイヤフラム弁、パージ弁から選択使用される請求項１ないし３のいずれかに記載の集積化ガス制御装置。
【請求項７】
ガス制御機器がマスフローコントローラである請求項４または５記載の集積化ガス制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体、液晶等の製造装置において、高純度のガスの供給制御、パージガスによる浄化等の所望の用途でパネル状に集積化して使用される集積化ガス制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の半導体製造装置における集積化ガス制御装置としては、大別して３つの方式が知られている。第１の方式にあっては、複数種のガス制御機器を継手、配管により連結してガス制御ラインを構成する。そして、この多数組を並列に配置してパネル状に集積化している。
【０００３】
第２の方式にあっては、例えば、特開２０００−１４６０７１号公報に記載されているように、複数の流路ブロックをベースプレート上に固定し、前記流路ブロック上にシール材を介してガス制御機器を載せて前記流路ブロックのガス流路と前記ガス制御機器の流路とを連通させ、前記ガス制御機器のフランジ、若しくは突出ブロックを前記流路ブロックにねじにより取外し可能に取付けてガス制御ラインを構成する。そして、この多数組を並列に配置してパネル状に集積化している。
【０００４】
第３の方式にあっては、本出願人が先に特願平１１−１２４３７７号として提案したように、複数組のガス制御機器取付けブロックと流路ブロックとを組合せてベースプレート上に取付け、前記ガス制御機器取付けブロックの円筒状部に前記ガス制御機器の円柱状のボディを挿入してこのボディと前記流路ブロックとの間にシール材を介在させるとともに、前記ボディのガス流路を前記流路ブロックのガス流路に連通させ、前記ガス制御機器のボディの外周に設けたユニオンナットを前記ガス制御機器取付けブロックの円筒状部に形成されているねじ部に螺着してガス制御ラインを構成する。そして、この多数組を並列に配置してパネル状に集積化している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来例のうち、第１の方式のように複数種のガス制御機器を配管、継手を用いて連結すると、ガス制御ラインが長くなり、半導体製造装置に占めるガス制御装置の内容積が増大する。また、ガス制御ラインは、一般的に各々異なる流路構成となるが、ガス制御機器の着脱が困難であるため、設計、製作、組立のためのトータル製作リードタイムが長くなり、新設時の初期立上がり時間が長くなり、製作にも手数を要し、高価となる。その上、ガス制御機器の交換が困難であるため、流路変更の必要が生じた場合、これに対応することができない。また、性能面では、溶接ヒューム、パーティクルが発生し、溶接部の脆性劣化が生じて配管の寿命が短くなり、コスト面では、製品歩留りが悪く、メンテナンス費が高価となる。更に、ガス制御装置のコンパクト化を図ることができないため、パネル状に構成するに当たり、表、裏の多面配置や多層配置を必要とするケースが多い。
【０００６】
第２の方式によれば、ベースプレート上に並べた流路ブロックにガス制御機器を取付けるので、装置全体のコンパクト化を図って半導体製造装置に占める内容積を減少させることができ、しかも、溶接ヒューム等の発生の解消による装置の長寿命化等を図ることができる。また、ガス制御機器を流路ブロックに対して容易に着脱することができるので、ガス制御機器を容易に交換することができ、したがって、トータル製作リードタイムの短縮化、製作の簡易化による低コスト化、メンテナンスの簡易化によるメンテナンス費の低減等を図ることができる。しかしながら、ガス制御機器のフランジ、若しくは突出ブロックを複数箇所でねじにより取付けるに際し、ガス制御機器と流路ブロックとの間にはＯリング等の弾性シール材が介在されており、しかも、ガス制御機器の姿勢を一定に保つ機能も備えていないため、片締めが発生しやすく、信頼性に劣る。
【０００７】
第３の方式によれば、ガス制御機器を流路ブロックと組合わせたガス制御機器取付けブロックに取付けるようにしているので、前記のような第２の方式による利点を有する。更には、ガス制御機器のボディの外周に設けたユニオンナットをガス制御機器取付けブロックの円筒状部に螺着することにより、ガス制御機器を流路ブロックに接続するので、ガス制御機器の全体を偶力を発生させずにバランス良く締め付けることができ、緊密なシールを確保することができ、したがって、信頼性を向上させることができる。しかしながら、ガス制御機器のボディの形状が円柱状に特定されてしまうため、第２の方式で用いたフランジ、若しくは突出ブロックを備えたガス制御機器に交換使用することができず、利用者の利便性を図ることができない。
【０００８】
本発明の目的は、前記のような従来の問題を解決するものであり、流路ブロックを用いた前記従来例が有する装置全体のコンパクト化、製作リードタイムの短縮化、低コスト化、メンテナンスの簡易化等の各利点を得ることができることは勿論のこと、ガス制御機器の全体を片締を抑制しながらバランス良く締め付けることができて流路ブロックとの緊密なシール状態を確保することができ、したがって、信頼性を向上させることができ、また、フランジ部、若しくは突出ブロックを一体的に備えたねじ止めタイプのガス制御機器に交換使用することができるようにして交換使用するガス制御機器の型式の制約を抑制することができ、したがって、利用者の利便性を向上させることができるようにした集積化ガス制御装置を提供するにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために本発明の集積化ガス制御装置は、第１のガス流路および第２のガス流路を底面側に開放した円柱状のボディ有する複数種のガス制御機器と、両側に突出部を有し、これら突出部間に溝状の凹所を有する基台と、前記基台の凹所における中間部に配置され、両側部を頂部側へ開放したガス流路を有する中間流路ブロックと、前記基台の凹所における両側端部に配置され、一側部を前記の隣り合う中間流路ブロック側寄り位置で頂部側へ開放したガス流路を有する終端流路ブロックと、前記基台の両側突出部に取外し可能に取付けられ、前記各ガス制御機器の第１のガス流路および第２のガス流路における開放部を前記の隣り合う流路ブロックのガス流路における隣り合う開放部に連通し得る位置決め状態で、前記各ガス制御機器をガス制御機器取付け手段で取付け、このガス制御機器取付け手段における支持手段が、前記ガス制御機器のボディを挿入することができる円筒状部、この円筒状部の下部外周に一体的に設けられ、基台の両側突出部上に重ねられるフランジ部を有する支持台を備え、前記ガス制御機器取付け手段における接続手段が、前記支持台の円筒状部における上部周囲に形成されたねじ部と、前記ガス制御機器のボディの外周に設けられ、前記ボディを前記支持台の円筒状部に挿入した状態で、前記ねじ部に螺着して前記ボディを流路ブロック側へ加圧する筒状接続部材とを備え、前記各ガス制御機器の各ガス流路と前記各流路ブロックのガス流路とを連通させた状態で両者間をシールするシール手段を備えたものである。
【００１０】
この場合、前記ガス制御機器取付け手段における支持台と前記中間流路ブロックおよび終端流路ブロックとを互いに形成された凹凸状の位置決め用係合部により位置決めし、また、前記ガス制御機器取付け手段における支持手段のフランジ部を前記基台の両側突出部の頂面側から底面側へ向かって形成されたねじ穴にねじにより取付けるようにするのが好ましい。
【００１１】
または前記ガス制御機器が、底部の両側中央部に第１のガス流路および第２のガス流路を底面側に開放した突出ブロックを有し、前記ガス制御機器取付け手段における支持手段が、前記突出ブロックを支持するように前記基台の両側突出部の４箇所に立設された支柱を備え、前記ガス制御機器取付け手段における接続手段が、前記突出ブロックの両側に配置された前記支柱に跨って連係され、中央部に貫通するねじ穴を有するクランプ用ブロックと、前記クランプ用ブロックのねじ穴に螺合され、前記突出ブロックを前記流路ブロック側へ加圧するボルトとを備えることができ、この場合、前記ガス制御機器取付け手段における支柱を前記基台の両側突出部に頂面側から底面側へ向かって形成されたねじ穴に螺入するのが好ましい。
【００１２】
前記シール手段が、前記各ガス制御機器における第１のガス流路および第２のガス流路の底面開放側の周縁部に形成されたシーリング用環状突出部と、前記中間流路ブロックおよび終端流路ブロックの頂面開放側の周縁部に形成されたシーリング用環状突出部と、前記各ガス制御機器における第１のガス流路および第２のガス流路と前記流路ブロックのガス流路とを連通させる穴を有し、前記ガス制御機器と前記流路ブロックとの間に前記各シーリング用環状突出部の食い込み状態で介在されるメタルガスケットとを備えることができる。このメタルガスケットはガス制御機器側に保持手段により保持させておくのが好ましい。
【００１３】
前記中間流路ブロックおよび終端流路ブロックが、前記ガス制御機器取付け手段により前記ガス制御機器を接続する際に前記シール手段を介して前記基台に対して取外し可能に押圧固定されるように構成することができる。
【００１４】
前記ガス制御機器が一つの構成単位として組立てられた状態で前記ガス制御機器取付け手段により前記流路ブロックに取外し可能に接続するように構成することができる。
【００１５】
前記の円柱状ボディを有するガス制御機器として、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィルタユニット、レギュレータ、圧力トランスデューサ、自動ダイヤフラム弁、パージ弁から選択使用することができ、前記突出ブロックを有するガス制御機器としてマスフローコントローラを用いることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態について図面を参照しながら説明する。
図１ないし図１２はそれぞれ本発明の一実施形態に係る集積化ガス制御装置を示し、図１は一列のガス制御ラインの全体平面図、図２は一列のガス制御ラインの全体正面図、図３、図４、図５は図２における左側部、中間部、右側部の拡大縦断面図、図６、図７は一部分解斜視図、図８はガス制御機器を取付ける前の状態の平面図、図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ一方のタイプの中間流路ブロックを示す平面図、側面図、中央部縦断面図、図１０（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ他方のタイプの中間流路ブロックを示す平面図、側面図、中央部縦断面図、図１１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ終端流路ブロックを示す平面図、側面図、中央部縦断面図、図１２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ支持台を示す平面図、一部破断側側面図、中央部縦断面図である。
【００１７】
集積化ガス制御装置は、図１および図２に示すようなガス制御ライン１が複数列（図示例では一列のみ示している）に並設される。各ガス制御ライン１は、縦型に構成された所望のガス制御機器が組み合わされて構成される。本実施形態におけるガス制御ライン１は、その一例として、ガス流路を開閉するトグル型手動ダイヤフラム弁２、ガス中に含まれる不純物を除去するフィルタユニット３、ガスの圧力を調整するレギュレータ４、流れるガスの圧力を検出する圧力トランスデューサ５、流路を開閉する自動ダイヤフラム弁６、パージガスの供給に用いるパージ弁７、ガスの流量を制御するマスフローコントローラ８、ガス流路を開閉する自動ダイヤフラム弁９が組み合わされ、基台１０に設けられた中間流路ブロック１１、終端流路ブロック１２に取付け装置１３、１４により接続された状態で取外し可能に取付けられる。
【００１８】
トグル型手動ダイヤフラム弁２、フィルタユニット３、レギュレータ４、圧力トランスデューサ５、自動ダイヤフラム弁６、パージ弁７、マスフローコントローラ８および自動ダイヤフラム弁９は、それぞれ備えている機能においては公知であるので、その詳細については説明を省略するが、図３ないし図５から明らかなように、それぞれ機能部分が内蔵され、一つの構成単位として組立てられた状態で一体的に取付け装置１３、１４により中間流路ブロック１１、終端流路ブロック１２に接続され、若しくは交換のために一つの構成単位として組立てられた状態で一体的に中間流路ブロック１１、終端流路ブロック１２から外されるように構成されている。
【００１９】
トグル型手動ダイヤフラム弁２、フィルタユニット３、レギュレータ４、圧力トランスデューサ５、自動ダイヤフラム弁６、パージ弁７および自動ダイヤフラム弁９は、ボディ１５を有している（なお、トグル型手動ダイヤフラム弁２、フィルタユニット３、レギュレータ４、圧力トランスデューサ５、自動ダイヤフラム弁６、パージ弁７および自動ダイヤフラム弁９の機能等により各ボディ１５はその長さ、形状等を異にし、その他についてもその長さ、方向等を異にするが、ここでは説明の便宜上、以下においても同一機能部分については同一符号を付して説明する。）。
【００２０】
各ボディ１５は、ほぼ同径の円柱状部１６を有し、円柱状部１６より底部側には円柱状部１６の外径より小さい長方形状部１７を有し、長方形状部１７はトグル型手動ダイヤフラム弁６等の配列方向に沿う両側が長辺となり、トグル型手動ダイヤフラム弁６等の配列方向と直角方向の両側が短辺となり、底面が平坦面を有するように形成されている。各ボディ１５内には第１のガス流路１８と第２のガス流路１９とが形成され、各ガス流路１８、１９の一方は機能部分側へ開放され、他方は底面側に開放され、底面側の開放部は軸心からほぼ等距離位置でほぼ同径となるように設定されている。ボディ１５の底面には各ガス流路１８、１９の開放部周縁においてシーリング用環状突出部２０、２１が形成され、各環状突出部２０、２１は先端部が断面において尖るように形成されている。トグル型手動ダイヤフラム弁２、圧力トランスデューサ５、自動ダイヤフラム弁６、パージ弁７、自動ダイヤフラム弁９の各ボディ１５の上部外周にはフランジ部２２が一体的に設けられ、各フランジ部２２にはほぼ１８０度位相をずらした位置で位置決め用係合部２３，２４が切欠かれている。フィルタユニット３、レギュレータ４の各ボディ１５の中間部における段部２５にはほぼ１８０度位相をずらした位置で位置決め用係合部２３、２４が切欠かれている。
【００２１】
マスフローコントローラ８は、底部側の両側に突出ブロック２６、２７を有し、各突出ブロック２６、２７は基部側の幅が広く、その先方の幅が狭く、その両側面が係合部２８となっている（図７参照）。各突出ブロック２６、２７の幅狭部における底部側には円形状の溝２９により円形状部３０が形成され、この円形状部３０の底面が平坦面を有するように形成されている。マスフローコントローラ８の突出ブロック２６、２７には第１のガス流路３１と第２のガス流路３２とが形成され、各ガス流路３１、３２の一方は機能部分側へ開放され、他方は突出ブロック２６、２７の円形状部３０の軸心に沿うようにしてその底部平坦面側に開放されている。突出ブロック２６、２７の底面には各ガス流路３１、３２の開放部周縁においてシーリング用環状突出部３３、３４が形成され、各環状突出部は先端側が断面において湾曲するように形成されている。
【００２２】
図１ないし図８に示すように、基台１０はアルミニウム等から成り、長辺方向に沿う両側に突出部３５を有し、両側の突出部３５間に長辺方向に沿う溝状の凹所３６を有している。両側突出部３５の頂面は平面状に形成され、凹所３６は垂直壁と平面状の底面とにより横断面において矩形状に形成されている。
【００２３】
トグル型手動ダイヤフラム弁２とフィルタユニット３との間、フィルタユニット３とレギュレータ４との間、レギュレータ４と圧力トランスデューサ５との間、圧力トランスデューサ５と自動ダイヤフラム弁６との間、自動ダイヤフラム弁６とパージ弁７との間にそれぞれ跨って使用される中間流路ブロック１１はステンレス鋼等により同様に構成される。特に、図９（ａ）〜（ｃ）から明らかなように、基台１０の凹所３６の幅に適合する幅を有し、全体として直方体状に形成され、頂面側において、中央部に位置決め用係合部３７が突出され、位置決め用係合部３７の両側にそれより少し低い位置決め用係合部３８が突出され、位置決め用係合部３８の外側の端部側にはそれより低い平坦状の接続部３９が形成されている。接続部３９の位置決め用係合部３８側は中間流路ブロック１１の中央部側へ突出する円弧状に形成されている。各中間流路ブロック１１にはガス流路４０が形成されている。各ガス流路４０はその中間部分が中間流路ブロック１１の軸心に沿うように水平方向に形成され、この水平部の両端部で頂面側へ直角方向に屈曲されて接続部３９に開放されている（なお、各ガス流路４０は前記のようにＵ字状に形成するほか、Ｖ字状に形成することもできる。）。各接続部３９にはガス流路４０の開放部周縁においてシーリング用環状突出部４１が突設され、このシーリング用環状突出部４１は先端部が断面において尖るように形成され、位置決め用係合部３８より低くなるように設定されている。各中間流路ブロック１１が基台１０の凹所３６に挿入された状態で、位置決め用係合部３７、３８が基台１０の突出部３５より高く突出されるように設定されている（図３ないし図５参照）。
【００２４】
パージ弁７とマスフローコントローラ８との間、マスフローコントローラ８と自動ダイヤクラム弁９との間にそれぞれ跨って使用される中間流路ブロック１１は、特に、図１０（ａ）〜（ｃ）から明らかなように、位置決め用係合部３７の一側に位置決め用係合部３８が突設され、他側にマスフローコントローラ８の突出ブロック２６、２７における幅狭部の底面を載せる載置面４２が位置決め用係合部３８より少し低く、しかも、シーリング用環状突出部４１より僅かに高く形成され、平坦状の接続部３９が円形状に形成され、環状突出部４１の先端側が断面において湾曲するように形成された点を除き、図９に示す前記中間流路ブロック１１とほぼ同様の構成である。そして、この各中間流路ブロック１１は、基台１０の凹所３６に挿入された状態で位置決め用係合部３７、３８が基台１０の突出部３５より高く突出され、載置面４２が突出部３５とほぼ同じ高さになるように設定されている（図４、図５参照）。
【００２５】
各終端流路ブロック１２はステンレス鋼等により同様に構成される。特に、図１１（ａ）〜（ｃ）から明らかなように、基台１０の凹所３６の幅に適合する幅を有し、中央部から一側部に亘って直方体状に形成され、他側部が円柱状に形成されている。直方体状部の頂面側において、円柱状部側の端部に位置決め用係合部４３が突設され、位置決め用係合部４３の一側端部側にはそれより順次低くなる位置決め用係合部４４、平坦状の接続部４５が形成されている。接続部４５の位置決め用係合部４４側は終端流路ブロック１２の中央部側へ突出する円弧状に形成されている。円柱状部の中間部外周にはねじ４６が形成されている。各終端流路ブロック１２にはガス流路４７が形成されている。各ガス流路４７は円柱状部の端面側から終端流路ブロック１２の軸心に沿うように水平方向に形成され、この水平部の端部で頂面側へ直角方向に屈曲されて接続部４５に開放されている。各接続部４５にはガス流路４７の開放部周縁においてシーリング用環状突出部４８が突設され、このシーリング用環状突出部４８はその先端側が断面において尖るように形成され、位置決め用係合部４４より低くなるように設定されている。各円柱状部の端面にもガス流路４７の開放部周縁においてシーリング用環状突出部４９が突設されている。
【００２６】
中間流路ブロック１１と終端流路ブロック１２とは位置決め用係合部３７と４３、位置決め用係合部３８と４４、接続部３９と４５、シーリング用環状突出部４１と４８がそれぞれほぼ同一高さとなるように設定されている。
【００２７】
図１ないし図８に示すように、基台１０の凹所３６にはその両端部において終端流路ブロック１２の直方体状部が取外し可能に挿入され、各終端流路ブロック１２のねじ部４６が基台１０の外方に突出され、凹所３６にはその中間部において中間流路ブロック１１が取外し可能に挿入されている。トグル型手動ダイヤフラム弁２とフィルタユニット３との間、フィルタユニット３とレギュレータ４との間、レギュレータ４と圧力トランスデューサ５との間、圧力トランスデューサ５と自動ダイヤフラム弁６との間、自動ダイヤフラム弁６とパージ弁７との間にそれぞれ跨る中間流路ブロック１１としては、図９（ａ）〜（ｃ）に示すように、両側に位置決め用係合部３８を有するタイプのものが用いられて一方の終端流路ブロック１２に隣接するように配置されている。パージ弁７とマスフローコントローラ８との間、マスフローコントローラ８と自動ダイヤフラム弁９との間にそれぞれ跨る一対の中間流路ブロック１１としては、図１０（ａ）〜（ｃ）に示すように、一側に位置決め用係合部３８を有し、他側に載置面４２を有するタイプのものが用いられ、互いに間隔を存して前記最終段の中間流路ブロック１１と他方の終端流路ブロック１２に隣接するように配置されている。
【００２８】
トグル型手動ダイヤフラム弁２、フィルタユニット３、レギュレータ４、圧力トランスデューサ５、自動ダイヤフラム弁６、パージ弁７および自動ダイヤフラム弁９の取付け装置１３は、支持台５０、筒状接続部材であるユニオンナット５１等から構成され、これら支持台５０、ユニオンナット５１はトグル型手動ダイヤフラム弁２等の形状等により高さ、外径等を異にするが、基本的構造については同様であるので、便宜上、同じ機能を有する部分については同じ符号を付し、異なる部分についてのみ異なる符号を付して説明する。
【００２９】
支持台５０は、ステンレス鋼等から成り、特に、図１２（ａ）〜（ｃ）から明らかなように、円筒状部５２の下端部外周に角形状のフランジ部５３が一体的に設けられている。円筒状部５２の外周には雄ねじ５４が形成され、フランジ部５２の四隅部には座ぐりを有するねじ取付け穴５５が形成されている。各ねじ取付け穴５５は前記基台１０の両側突出部３５にトグル型手動ダイヤフラム弁２等の各取付け位置に対応して各４箇所に頂面側から底面側へ向かって形成されたねじ穴５６に対応するように設定されている。円筒状部５２はトグル型手動ダイヤフラム弁２等のボディ１５を挿入し、かつボディ１５の円柱状部１６を密に嵌合し得るように設定され、円筒状部５２の頂面にはほぼ１８０度位相をずらした位置で位置決め用係合部５７、５８が一体的に突出されている。
【００３０】
円筒状部５２にボディ１５が挿入された状態で、円筒状部５２の位置決め用係合部５７，５８にボディ１５側の位置決め用係合部２３、２４が係合され、円筒状部５２にボディ１５が位置決め状態で軸方向にのみ移動し得るように支持されるようになっている（図３ないし図５参照）。このとき、例えば、対応する位置決め用係合部５７および位置決め用係合部２３の幅と、位置決め用係合部５８および位置決め用係合部２４の幅とを変えるなどにより、ボディ１５を円筒状部５２に挿入する際、ボディ１５の円筒状部５２に対する挿入方向、すなわち、第１のガス流路１８と第２のガス流路１９の位置が正しくなるように規制することができる。
【００３１】
支持台５０の底面側には位置決め用係合部５９が凹入され、この位置決め用係合部５９は中間流路ブロック１１の位置決め用係合部３８、終端流路ブロック１２の位置決め用係合部４４に係合し得るような幅、深さに設定されている。そして、支持台５０の位置決め用係合部５９が終端流路ブロック１２の位置決め用係合部４４と終端流路ブロック１２に隣接する中間流路ブロック１１の位置決め用係合部３８に跨って係合され、隣接する中間流路ブロック１１同士の位置決め用係合部３８に跨って係合される。
【００３２】
前記係合状態で、フランジ部５３のねじ取付け穴５５が基台１０のねじ穴５６に対応し得るように位置決めされ、また、フランジ部５３の側面が隣接する終端流路ブロック１２の位置決め用係合部４３と中間流路ブロック１１の位置決め用係合部３７の側面、隣接する中間流路ブロック１１同士の位置決め用係合部３７の側面に係合され、支持台５０と中間流路ブロック１１とがトグル型手動ダイヤフラム弁２等の配列方向において位置決めされるようになっている。なお、終端流路ブロック１２を基台１０に図示していない係合穴と係合ピンとの係合など、所望の位置決め手段により位置決めすることにより、全体を外れないように位置決めすることができる（図１ないし図５、図８参照）。
【００３３】
前記のような位置決め状態において、図１ないし図８、特に、図８から明らかなように、終端流路ブロック１２の接続部４５と中間流路ブロック１１における終端流路ブロック１２との隣接側の接続部３９および隣接する中間流路ブロック１１の隣接側の接続部３９同士が支持台５０内に位置するようにし、基台１０の凹部３６内における頂部開放側で円弧状部を両側に有するほぼ長円形状に凹入されている。そして、この凹入部、すなわち、平坦部が支持台５０に支持されるボディ１５における底部平坦面に対応し得るようになっている。また、終端流路ブロック１２のガス流路４７における頂面側開放部およびシーリング用環状突出部４８および隣接する中間流路ブロック１１のガス流路４０における終端流路ブロック１２隣接側の頂面側開放部と、隣接する中間流路ブロック１１のガス流路４０における隣接側の頂面開放部およびシーリング用環状突出部４１とがそれぞれ支持台５０に支持されるボディ１５の第１のガス流路１８、第２のガス流路１９における底面側開放部およびシーリング用環状突出部２０、２１と対応し得るようになっている。
【００３４】
したがって、前記のような位置決め状態で、ねじ６０が支持台５０のフランジ部５３のねじ取付け穴５５から基台１０のねじ穴５６に螺入されて支持台５０のフランジ部５３が基台１０に取外し可能で固定状態に取付けられることにより、終端流路ブロック１２、中間流路ブロック１１は位置決め状態で、しかも、抜止め状態に保持されている。
【００３５】
特に、図３ないし図５から明らかなように、トグル型手動ダイヤフラム弁２、圧力トランスデューサ５、自動ダイヤフラム弁６、パージ弁７および自動ダイヤフラム弁９のボディ１５の外周部には組立時にボディ１５の上方からステンレス鋼等から成るユニオンナット５１が軸回りで回転可能に、かつフランジ部の内面がボディ１５フランジ部２２の頂面に係合されるように嵌合されている。フィルタユニット３、レギュレータ４にあっては、その組立時にボディの上方からユニオンナット５１を嵌合することができない。そこで、ユニオンナット５１がボディ１５に底部側から嵌合された後、底部側からステンレス鋼等から成る係合用ナット６１が嵌合され、位置決め用係合部２３、２４の上方における大径のねじ部６２に螺着されてユニオンナット５１のフランジ部の内面が係合用ナット６１の頂面に係合されている。
【００３６】
各ボディ１５の底部外周部にはステンレス鋼等から成る枠状の保持部材６３が取外し可能に取付けられ、保持部材６３によりボディ１５の底面側にステンレス鋼等から成るメタルガスケット６４が保持されている。メタルガスケット６４の底面は保持部材６３から突出され、この突出部の外周形状は、前記のように流路ブロック１１、１２の接続部４４および３８、接続部３８および３８と基台１０の凹所３６における垂直壁との組合わせで形成される長円形状の凹入部（図８参照）に対応する長円形状にされている。メタルガスケット６４の両側部には穴６５、６６が形成され、これらの６５、６６は第１のガス流路１８、第２のガス流路１９に連通されている。
【００３７】
各支持台５０の円筒状部５２には前記のようにトグル型手動ダイヤフラム弁２等のボディ１５がメタルガスケット６４等と共に挿入されて位置決め状態に支持され、メタルガスケット６４の底部側が前記のように流路ブロック１１、１２の接続部４４および３８、接続部３８および３８における長円形状の凹入部に挿入される。トグル型手動ダイヤフラム弁２、自動ダイヤフラム弁９にあっては、それらのボディ１５における第１のガス流路１８と第２のガス流路１９の開放部がメタルガスケット６４の穴６５と６６により隣接する終端流路ブロック１２のガス流路４７の開放部と中間流路ブロック１１のガス流路４０の開放部に連通されている。フィルタユニット３、レギュレータ４、圧力トランスデューサ５、自動ダイヤフラム弁６、パージ弁７にあっては、それらのボディ１５における第１のガス流路１８と第２のガス流路１９の開放部がメタルガスケット６４の穴６５と６６により隣接する中間流路ブロック１１のガス流路４０の開放部に連通されている。
【００３８】
そして、トグル型手動ダイヤフラム弁２等の各ボディ１５に嵌合されているユニオンナット５１が支持台５０の円筒状部５２における外周の雄ねじ部５４に螺着され、各ボディ１５、メタルガスケット６４等が流路ブロック１１、１２側へ加圧されることにより、メタルガスケット６４がボディ１５の底部平坦面と流路ブロック１１、１２の接続部４４、３９である平坦面との間でメタルガスケット６４の穴６５、６６の周縁部にシーリング用環状突出部２０、２１、４８、４１が食い込んだ確実なシール状態で介在され、トグル型手動ダイヤフラム弁２等が流路ブロック１１、１２に接続された状態に保持される。前記のようにシーリング用環状突出部２０、２１、４８、４１の先端側が尖るように形成することにより、これらを比較的小さい加圧力でメタルガスケット６４に食い込ませることができる。このとき、メタルガスケット６４がボディ１５の底面平坦面と流路ブロック１１、１２の平坦面に当接することにより、メタルガスケット６４に対するシーリング用環状突出部２０、２１、４８、４１の食い込みを規制することができるが、シーリング用環状突出部２０、２１、４８、４１の先端側を断面において湾曲させることにより、メタルガスケット６４に対する食い込みを規制する必要がないので、平坦面をメタルガスケット６４に当接させないようにすることもできる。
【００３９】
トグル型手動ダイヤフラム弁２等の流路ブロック１１、１２に対する接続に際し、前記のようにトグル型手動ダイヤフラム弁２等はそのボディ１５が支持台５０に流路ブロック１１、１２に対して位置決めされ、流路ブロック１１、１２側へ移動可能に支持された状態でユニオンナット５１により加圧される。したがって、トグル型手動ダイヤフラム弁２等の流路ブロック１１、１２に対する接続時にトグル型手動ダイヤフラム弁２等が前記位置決め状態から傾くおそれがないので、片締めのおそれがなく、緊密なシールを確保することができる。特に、前記のようにボディ１５の外周に設けたユニオンナット５１を支持台５０に螺着することにより、トグル型手動ダイヤフラム弁２等を流路ブロック１１、１２に接続するので、トグル型手動ダイヤフラム弁２等の全体を簡単な操作で偶力を発生させずにバランス良く締め付けることができる。
【００４０】
マスフローコントローラ８の取付け装置１４は、特に、図５、図７から明らかなように、支柱６７、クランプ用ブロック６８、ボルト６９等から構成される。支柱６７はステンレス鋼等から成り、底部側外周にねじ７０を有し、頂部側に頂部７１、中間部７２より小径となる支持部７３が形成されている。前記基台１０の両側突出部３５にはパージ弁７と自動ダイヤフラム弁９との間でマスフローコントローラ８の取付け位置に対応して頂面側から底面側へ向かって計４箇所にねじ穴７４が形成され、各ねじ穴７４に支柱６７のねじ７０が螺着されている。クランプ用ブロック６８はステンレス鋼等から成り、両側に支柱６７の支持部７３に軸方向に沿って移動し得る係合溝７５が形成され、クランプ用ブロック６８の頂面側で係合溝７５の側方開放側における端部にはクランプ用ブロック６８の上昇時に支柱６７の頂部７１に係合し得る係合用突部７６が一体的に設けられている。クランプ用ブロック６８の中央部には頂面から底面に貫通するねじ穴７７が形成され、このねじ穴７７にボルト６９が挿通状態で螺合されるようになっている。
【００４１】
マスフローコントローラ８の突出ブロック２６、２７における底部の円形状部外周部には溝２９内でステンレス鋼等から成る枠状の保持部材７８が取外し可能に取付けられ、保持部材７８により突出ブロック２６、２７の底部側にステンレス鋼等から成るメタルガスケット７９が保持されている。メタルガスケット７９の底面は保持部材７８から突出され、この突出部の外周形状は前記のように中間流路ブロック１１における円形で平坦状の接続部３９に対応する円形状に形成されている。メタルガスケット７９の中央部には穴８０が形成され、この穴８０が第１のガス流路３１、若しくは第２のガス流路３２に連通されている。
【００４２】
そして、各支柱６７の中間部７２にはマスフローコントローラ８の突出ブロック２６、２７における基部両側部の係合部２８が係合されて位置決め状態で上下動が許されるように支持され、メタルガスケット７９の底部側が前記のように中間流路ブロック１１における円形状の接続部３９に挿入される。これに伴い、突出ブロック２６、２７の平坦面が中間流路ブロック１１における平坦状の接続部３９に対応され、突出ブロック２６、２７における第１のガス流路３１と第２のガス流路３２の開放部およびシーリング用環状突出部３３、３４がメタルガスケット７９を介して中間流路ブロック１１のガス流路４０の開放部およびシーリング用環状突出部４１に対応されている。
【００４３】
基台１０の凹所３６を挟んで対峙する両側の支柱６７における支持部７３にクランプ用ブロック６８における係合溝７５が上下動可能に係合されている。各クランプ用ブロック６８のねじ穴７７にボルト６９が挿通状態で螺合され、各ボルト６９の先端の曲面状突出部８１が突出ブロック２６、２７の頂面中央部に形成された曲面状凹入部８２に係合される。そして、ボルト６９が回転されることにより、まず、両側の支柱６７により回転規制されているクランプ用ブロック６８が上昇し、支柱６７の頂部７１の底面に当接されて上昇規制され、この状態で係合用突部７６が頂部７１に係合され、クランプ用ブロック６８はその係合溝７５の奥側と係合用突部７６とで頂部７１を挟むことになり、支柱６７からの離脱が防止される。続いて、ボルト６９が回転されてクランプ用ブロック６８のねじ穴７７からの下方への突出長さが長くなることにより、ボルト６９の曲面状突出部８１により突出ブロック２６、２７の曲面状凹入部８２が加圧され、メタルガスケット７９の穴８０の周縁部にシーリング用環状突出部３３、３４、４１が食い込むとともに、突出ブロック２６、２７の幅狭の突出部が中間流路ブロック１１の載置面４２に載置された安定状態で、かつ確実なシール状態でマスフローコントローラ３８が中間流路ブロック１１に接続された状態に保持される。勿論、このマスフローコントローラ８の接続に際し、シーリング用環状突出部３３、３４、４１の先端側を断面において尖らせておくこともでき、この場合には、メタルガスケット７９に対するシーリング用環状突出部３３、３４、４１の食い込みを規制するためにメタルガスケット７９を突出ブロック２６、２７の平坦面と中間流路ブロック１１の接続部３９である平坦面との間に当接状態に介在させるようにすればよい。
【００４４】
マスフローコントローラ８の中間流路ブロック１１に対する接続に際し、前記のようにマスフローコントローラ８はその突出ブロック２６、２７がその係合部２８と支柱６７により流路ブロック１１に対して位置決めされ、流路ブロック１１側へ移動可能に支持された状態でボルト６９により加圧される。したがって、マスフローコントローラ８が前記位置決め状態から支柱６７により挟まれた方向においては傾くおそれがなく、支柱６７により挟まれていない方向のみの片締めに注意すればよいので、片締めのおそれが少なく、緊密なシール状態を確保することができる。
【００４５】
このようにしてトグル型手動ダイヤフラム弁２等の所望のガス制御機器が流路ブロック１１、１２により接続されることにより、図１、図２に示すように、ガス制御ライン１が構成され、所望本数のガス制御ライン１が並列されることにより、パネル状の集積化ガス制御装置が構成される。このような集積化ガス制御装置において、一方の終端に位置する終端流路ブロック１２がねじ部３６によりガス供給源側に接続され、他方の終端に位置する終端流路ブロック１２がねじ部３６により所望のガス供給先側に接続される。そして、前記のようにパネル状に構成された集積化ガス制御装置に用いることにより、多数のガス制御ライン１において、トグル型手動ダイヤフラム弁２等のガス制御機器を作動させることにより、窒素ガス、水素ガス、モノシラン、シジラン、水素希釈ホスフィン、Ｎ２Ｏ、三弗化クロライド等の高純度ガスの圧力制御、流量制御、混合、パージガス等の供給時の制御を確実に安定して行うことができる。
【００４６】
前記のように構成された集積化ガス制御装置において、支持台５０を用いて取付けているトグル型手動ダイヤフラム弁２等のいずれかのガス制御機器を交換するには、そのユニオンナット５１を緩めることにより、トグル型手動ダイヤフラム弁２等をメタルガスケット６４と共に支持台５０から外す。そして、新しいガス制御機器をメタルガスケット６４と共に、前記と同様にして、支持台５０に取付けて流路ブロック１１、１２と接続状態に保持することができる。マスフローコントローラ８を交換するには、まず、ボルト６９を緩め、突出ブロック２６、２７の押圧状態を解放するとともに、クランプ用ブロック６８を支柱６７の支持部７３内で下降させて係合用突部７６を支柱６７の頂部７１から離脱させる。続いて、クランプ用ブロック６８を支柱６７から外し、マスフローコントローラ８をメタルガスケット７９と共に支柱６７に沿って上方へ外す。そして、新しいマスフローコントローラ８をメタルガスケット７９と共に、前記と同様にして、支柱６７にクランプ用ブロック６８、ボルト６９等により取付けて流路ブロック１１と接続状態に保持することができる。
【００４７】
このようなトグル型手動ダイヤフラム弁２等の各ガス制御機器の交換に際し、各ガス制御機器は、前記のように一つの構成単位として組立てられた状態を維持して一体的に取り外し、取付けることができるので、その作業性を向上させることができるとともに、利用者の利便性を向上させることができる。
【００４８】
支持台５０を用いて取付けているトグル型手動ダイヤフラム弁２等のいずれかのガス制御機器を支持台５０と共に交換するには、支持台５０のねじ６０を外すことにより、トグル型手動ダイヤフラム弁２等をメタルガスケット６４、支持台５０と共に外す。そして、新しいガス制御機器をメタルガスケット６４、支持台５０と共に交換する。その際、前記と同様に、まず、支持台５０を基台１０にねじ６０により取付け、その後、ガス制御機器をメタルガスケット６４と共にユニオンナット５１により支持台５０に取付けて流路ブロック１１、１２と接続状態に保持することができる。この場合、支持台５０のねじ６０による取付け位置を標準化しておくことにより、別の機能を有するガス制御機器を交換使用することができる。
【００４９】
支持台５０を用いて取付けているトグル型手動ダイヤフラム弁２等のいずれかのガス制御機器を支持台５０、流路ブロック１１、１２と共に交換するには、支持台５０のねじ６０を外すことにより、トグル型手動ダイヤフラム弁２等をメタルガスケット６４、支持台５０と共に外す。終端流路ブロック１２については端部に位置するトグル型手動ダイヤフラム弁２、自動ダイヤフラム弁９を支持台５０と共に外すことにより、そのまま基台１０から外して交換することができる。しかしながら、中間流路ブロック１１については、隣接するガス制御機器によりメタルガスケット６４、７９を介して加圧されているため、この隣接するガス制御機器を支持台５０に対して緩め、若しくは外すことにより、その下側の中間流路ブロック１１の加圧状態を解除することができるので、その中間流路ブロック１１を全体を分解することなく、基台１０から外して交換することができる。
【００５０】
また、基台１０におけるねじ穴５６の配置について標準化しておくことにより、前記トグル型手動ダイヤフラム弁２等の所望のガス制御機器、若しくはすべてのガス制御機器を必要に応じて前記従来のようにフランジを一体的に有するガス制御機器に交換することも可能である。また、マスフローコントローラ８についても基台１０におけるねじ穴７４の配置について標準化しておくことにより、前記従来例のように突出ブロックにガス流路の両側に位置してねじ取付け穴を有するタイプのマスフローコントローラに交換することも可能である。なお、これらの交換に際しては、本実施形態のように支持台５０や支柱６７によりガス制御機器を位置決めして支持した状態で取付けることができないため、片締めの問題を生じ、流路ブロック１１、１２との確実な接続状態を得ることができないおそれがあることについては、前記のように従来技術の問題として記載しているとおりである。
【００５１】
前記実施形態に係る集積化ガス制御装置によれば、ガス制御ライン１を分解せずに、ユニオンナット５１やボルト６９を螺着したり、外したり、更には支持台５０をねじ６０で取付けたり、外したりすることにより、所望のガス制御機器を簡単に着脱できるので、メンテナンスが簡単で、その費用も安価となる。また、ガス制御ライン１は、標準化された支持台５０、流路ブロック１１、１２を用いることにより、高自由度な流路構成を得ることができるとともに、設計、製作、組立に要するトータル製作リードタイムを短縮することができ、したがって、半導体製造装置等を新設する際の初期立上り時間を短縮することができ、その上、流路構成の短縮化、直線化を図ることができ、しかも、置換性、応答性等の性能も向上する。
【００５２】
また、両側を頂面側に開放した中間流路ブロック１１を用いるので、流路ブロック同士を接続する必要がなく、ガス制御ライン１の長さを短縮化することができる。また、ガス制御機器をユニオンナット５１、ボルト６９により加圧することにより、中間流路ブロック１１、終端流路ブロック１２を基台１０に固定することができ、中間流路ブロック１１、終端流路ブロック１２自体を基台１０に固定しなくてもよいので、組立作業を容易に、かつ迅速に行うことができることは勿論のこと、加工箇所、部品点数を削減することができ、しかも、ガス制御機器のボディ１５、中間流路ブロック１１、終端流路ブロック１２、支持台５０等を標準化することができるので、更に一層、製作リードタイムの短縮化とコスト低減を実現することができる。
【００５３】
また、支持台５０を用いて取付けるトグル型手動ダイヤフラム弁２等の各ガス制御機器にあっては、そのボディ１５を支持台５０の円筒状部５２に挿入し、ボディ１５の外周に嵌合したナットを円筒状部５２の内周に形成した雌ねじに螺合することもできるが、前記本実施形態のように、各ガス制御機器のボディ１５を支持台５０の円筒状部５２に挿入し、ボディ１５の外周に嵌合したユニオンナット５１を円筒状部５２の外周に形成した雄ねじ５４に螺合することにより、ユニオンナット５１を雄ねじ５４に対して着脱する際に両ねじ部から発生するパーティクル等が円筒状部５２内に侵入するのを防止することができる。
【００５４】
更に、中間流路ブロック１１、終端流路ブロック１２についてはガス中に不純物が混入しないようにするために、前記のようにステンレス鋼を用いるのが好ましいが、基台１０についてはガスと接触しないので、前記のようにアルミニウム等の軽量な材料を用いることができ、全体の軽量化を図ることができる。
【００５５】
なお、支持台５０はねじ６０により基台１０に取外し可能に取付けることに限定されるものではなく、例えば、クランプ装置のような他の取付け手段により基台１０に取外し可能に取付けるようにしてもよい。また、トグル型手動ダイヤフラム弁２等を位置決め状態で支持する手段も前記実施形態における支持台５０の構成に限定されるものではなく、前記支持手段にトグル型手動ダイヤフラム弁２等を取付けて流路ブロック１１、１２と接続した状態に保持する手段もユニオンナット５１に限定されるものではなく、トグル型手動ダイヤフラム弁２等を支持手段により位置決め状態に支持しているので、いかなる接続手段を用いても片締めを生じるおそれはない。また、マスフローコントローラ８を位置決め状態で支持する手段も支柱６７に限定されるものではなく、任意の手段を採用することができ、マスフローコントローラ８を流路ブロック１１と接続した状態に保持する手段もクランプ用ブロック６８、ボルト６９等に限定されるものではなく、マスフローコントローラ８を支持手段により位置決め状態に支持しているので、いかなる接続手段を用いても片締めを抑制することができる。このほか、本発明は、その基本的技術思想を逸脱しない範囲で種々設計変更することができる。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、中間流路ブロック、終端流路ブロックにより複数のガス制御機器を接続するので、装置全体のコンパクト化、製作リードタイムの短縮化、低コスト化、メンテナンスの簡易化等を図ることができる。また、基台の凹所に中間流路ブロックと終端流路ブロックを挿入し、基台の両側突出部に複数箇所で取外し可能に取付けた支持手段にガス制御機器を位置決めして支持した状態で接続手段により流路ブロックにシール手段を介して接続状態に保持することができるので、ガス制御機器を簡単な操作で片締めを抑制しながら、そのガス流路を流路ブロックのガス流路と連通した確実なシ−ル状態で接続することができ、したがって、信頼性を向上させることができる。また、基台の両側突出部にねじ穴を形成しておくことにより、従来のトグル型手動ダイヤフラム弁等のようにボディの下端部外周にフランジ部を一体的に有し、フランジ部の隅部にねじ取付け穴を有するタイプの各ガス制御機器や従来のマスフローコントローラのように両側の突出ブロックにガス流路の両側に位置してねじ取付け穴を有するガス制御機器に交換使用することができるようにし、使用するガス制御機器に型式の差異による制約を受けないようにすることでき、したがって、利用者の利便性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る集積化ガス制御装置における一列のガス制御ラインを示す全体の平面図である。
【図２】同集積化ガス装置における一列のガス制御ラインを示す全体の正面図である。
【図３】同集積化ガス制御装置を示し、図２の左側部分における中央部縦断面図である。
【図４】同集積化ガス制御装置を示し、図２の中間部分における中央部縦断面図である。
【図５】同集積化ガス制御装置を示し、図２の右側部分における中央部縦断面図である。
【図６】同集積化ガス制御装置を示す一部分解斜視図である。
【図７】同集積化ガス制御装置を示す一部分解斜視図である。
【図８】同集積化ガス制御装置を示し、各ガス制御機器を取付ける前の状態における基台、流路ブロック、支持台等を示す平面図である。
【図９】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ同集積化ガス制御装置に用いる一方のタイプの中間流路ブロックを示す平面図、側面図、中央部縦断面図である。
【図１０】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ同集積化ガス制御装置に用いる他方のタイプの中間流路ブロックを示す平面図、側面図、中央部縦断面図である。
【図１１】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ同集積化ガス制御装置に用いる終端流路ブロックを示す平面図、側面図、中央部縦断面図である。
【図１２】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ同集積化ガス制御装置に用いる支持台を示す平面図、一部破断側面図、中央部縦断面図である。
【符号の説明】
１  ガス制御ライン
２  トグル型手動ダイヤフラム弁
３  フィルタユニット
４  レギュレータ
５  圧力トランスデューサ
６  自動ダイヤフラム弁
７  パージ弁
８  マスフローコントローラ
９  自動ダイヤフラム弁
１０  基台
１１  中間流路ブロック
１２  終端流路ブロック
１３  取付け装置
１４  取付け装置
１５  ボディ
１８  第１のガス流路
１９  第２のガス流路
２６  突出ブロック
２７  突出ブロック
２８  係合部
３５  突出部
３６  凹所
５０  支持台
５１  ユニオンナット
６４  メタルガスケット
６７  支柱
６８  クランプ用ブロック
７９  メタルガスケット
【図１】
0004156184.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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