【手続補正書】
【提出日】平成20年2月20日(2008.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状被加熱物としてのディスプレイパネル用ガラス基板に対して所定の温度条件に従って加熱、徐冷を含む一連の熱処理を行うトンネル型の炉内に、このガラス基板を搬送するための複数のハースローラーが所定のピッチ間隔で配列されたディスプレイパネル用ガラス基板のローラハース式連続焼成炉において、
少なくとも上記ガラス基板が熱歪みを生じる温度以上になる領域の上記ピッチ間隔を、上記ガラス基板に歪みを生じることなく、このガラス基板をセッターを用いずにハースローラー上に直接載置して搬送可能な狭い間隔とし、かつ少なくとも上記領域のハースローラーの少なくとも表面が、溶融シリカで形成されたことを特徴とするディスプレイパネル用ガラス基板のローラハース式連続焼成炉。
【請求項２】
少なくとも上記ガラス基板が熱歪みを生じる温度以上になる領域の上記ハースローラーの表面粗さを、ガラス基板の表面粗さ以下とした請求項１に記載のディスプレイパネル用ガラス基板のローラハース式連続焼成炉。
【請求項３】
複数のハースローラーが所定のピッチ間隔で配列されたローラハース式連続焼成炉により、板状被加熱物としてのディスプレイパネル用ガラス基板に対して所定の温度条件に従って加熱、徐冷を含む一連の熱処理を行うディスプレイパネル用ガラス基板の連続焼成方法において、
少なくとも上記ガラス基板が熱歪みを生じる温度以上になる領域では、上記ガラス基板に歪みを生じることのない狭いピッチ間隔とし、かつ少なくとも表面が溶融シリカで形成されたハースローラー上に当該ガラス基板をセッターを用いずに直接載置して搬送しながら上記一連の熱処理を行うことを特徴とするディスプレイパネル用ガラス基板の連続焼成方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ディスプレイパネル用基板のローラハース式連続焼成炉及び連続焼成方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、ディスプレイパネル用ガラス基板のローラハース式連続焼成炉及び連続焼成方法に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
例えばプラズマディスプレイパネル用基板等のガラス基板に電極、誘電体、蛍光体等の膜形成を行うためには、ローラハース式連続焼成炉が用いられている。このローラハース式連続焼成炉では、例えばプラズマディスプレイパネル用ガラス基板等の板状被加熱物は、トンネル型の炉内を、所定温度まで加熱される加熱ゾーン、徐冷が行われる徐冷ゾーン、さらに常温程度まで冷却する冷却ゾーンに順次搬送されながら熱処理が行われている。図３は従来のローラハース式連続焼成炉を示す概略断面図であり、このローラハース式連続焼成炉について説明する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
なお、従来のローラハース式連続焼成炉で、板状被加熱物Ａを直接ハースローラー２２上に載置して搬送しようとすると、加熱ゾーンや徐冷ゾーンのうち、特に板状被加熱物が熱歪みを生じる温度以上になる領域において、板状被加熱物Ａに大きな歪みが発生することとなり、要求される精度を満足することはできなかった。
本発明は上記の事情に鑑みて提案されたものであって、セッターを用いずに板状被加熱物を直接ハースローラー上に載置して搬送しても、板状被加熱物に歪みが発生するのを抑えることができるディスプレイパネル用ガラス基板のローラハース式連続焼成炉及び連続焼成方法を提供することを目的とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は上記目的を達成するために以下の手段を採用している。すなわち、本発明のローラハース式連続焼成炉は、板状被加熱物としてのディスプレイパネル用ガラス基板に対して所定の温度条件に従って加熱、徐冷を含む一連の熱処理を行うトンネル型の炉内に、このガラス基板を搬送するための複数のハースローラーが所定のピッチ間隔で配列されたディスプレイパネル用ガラス基板のローラハース式連続焼成炉において、少なくとも上記ガラス基板が熱歪みを生じる温度以上になる領域の上記ピッチ間隔を、上記ガラス基板に歪みを生じることなく、このガラス基板をセッターを用いずにハースローラー上に直接載置して搬送可能な狭い間隔とし、かつ少なくとも上記領域のハースローラーの少なくとも表面が、溶融シリカで形成されたものである（請求項１）。
また、本願発明の連続焼成方法は、複数のハースローラーが所定のピッチ間隔で配列されたローラハース式連続焼成炉により、板状被加熱物としてのディスプレイパネル用ガラス基板に対して所定の温度条件に従って加熱、徐冷を含む一連の熱処理を行うディスプレイパネル用ガラス基板の連続焼成方法において、少なくとも上記ガラス基板が熱歪みを生じる温度以上になる領域では、上記ガラス基板に歪みを生じることのない狭いピッチ間隔とし、かつ少なくとも表面が溶融シリカで形成されたハースローラー上に当該ガラス基板をセッターを用いずに直接載置して搬送しながら上記一連の熱処理を行うものである（請求項３）。
このようにハースローラーのピッチ間隔を狭くすることにより、ガラス基板とハースローラーが接する面積、すなわちガラス基板を支持する面積を多くすることができる。これによって、ガラス基板がハースローラー間の隙間により撓むことを防止することができるので、セッターを用いずにガラス基板を直接ハースローラー上に載置して搬送しても、ガラス基板に歪みが発生するのを抑えることができる。
また、ガラス基板と接触するハースローラーの表面が溶融シリカであるので、ガラス基板の表面にキズをつけ難くすることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、上記ローラハース式連続焼成炉は、少なくとも上記ガラス基板が熱歪みを生じる温度以上になる領域の上記ハースローラーの表面粗さを、ガラス基板の表面粗さ以下とすることが望ましい（請求項２）。この場合、ガラス基板と接触するハースローラーの表面が滑らかに仕上げられているので、ガラス基板の表面にキズがつくのをより効果的に防止することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
以上のように、本発明に係るローラハース式連続焼成炉及び連続焼成方法では、ディスプレイパネル用ガラス基板に歪みを生じることなく、このガラス基板をハースローラー上に直接載置して搬送可能なように、少なくともガラス基板が熱歪みを生じる温度以上になる領域のハースローラーのピッチ間隔を狭く構成しているので、ガラス基板がハースローラー間の隙間により撓むことを防止することができる。これによって、セッターを用いずにガラス基板を直接ハースローラー上に載置して搬送しても、ガラス基板に歪みが発生するのを抑えることができる。また、焼成にセッターを必要としないので、セッターにかかるコストを無くすことが可能である。また、焼成にセッターを必要としないので、ガラス基板だけを加熱すればよく、消費電力が少なくなる。また、ガラス基板より寸法が大きいセッターを使用しないので、炉自体を小さくすることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、上記ガラス基板と接触するハースローラーの表面が溶融シリカであるので、ガラス基板の表面にキズをつけ難くすることができる。
また、上記ハースローラーの表面粗さがガラス基板の表面粗さ以下である場合、ガラス基板と接触するハースローラーの表面が滑らかに仕上げられているので、ガラス基板の表面にキズがつくのをより効果的に防止することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
図１は本発明に係るディスプレイパネル用基板のローラハース式連続焼成炉の一実施の形態を示す概略断面図であり、図２はこのローラハース式連続焼成炉の全体構成を示す概略図である。以下、図に基づいてこのローラハース式連続焼成炉について説明する。
この連続焼成炉には、図２に示すようにディスプレイパネル用ガラス基板である板状被加熱物Ａを所定温度まで加熱する加熱ゾーンＢと、所定温度まで加熱された板状被加熱物Ａを徐冷する徐冷ゾーンＣと、徐冷された板状被加熱物Ａをさらに常温程度まで冷却する冷却ゾーンＤとが設けられている。板状被加熱物Ａは、トンネル型の炉内１を加熱ゾーンＢ、徐冷ゾーンＣ、冷却ゾーンＤと順次移動されながら熱処理が行われる。