【手続補正書】
【提出日】平成20年1月31日(2008.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  波長が２００ｎｍ以下の光を実質的に透過させる複数の屈折部材を含み、第１面の像を第２面上に投影する投影光学系において、
結晶光学材料により形成され、前記第１面と前記第２面との間の光路中における最も前記第２面側に配置されて、パワーを有しない第１の屈折部材と、
結晶光学材料により形成され、前記第１の屈折部材の前記第１面側の光路中で前記第１の屈折部材と隣接して配置されて、前記第１の屈折部材側にパワーを有しない面を持つ第２の屈折部材と、
を備え、
前記第１の屈折部材の結晶軸と前記第２の屈折部材の結晶軸とが所定の関係で位置決めされることを特徴とする投影光学系。
【請求項２】  前記第1の屈折部材及び前記第２の屈折部材のうちの少なくとも一方は、前記投影光学系の光軸に対して前記第１の屈折部材とは異なる結晶軸を有する第３の屈折部材と、前記投影光学系の光軸に対して前記第２の屈折部材とは異なる結晶軸を有する第４の屈折部材との何れか一方と交換可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の投影光学系。
【請求項３】  前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材は、前記第１の屈折部材と前記第２の屈折部材との総厚を保ちながら、前記第１の屈折部材とは異なる厚さを有する第５の屈折部材と、前記第２の屈折部材とは異なる厚さを有する第６の屈折部材とに交換可能に構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の投影光学系。
【請求項４】  前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材の少なくとも一方は、前記投影光学系の光軸周りに回転可能に構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項５】  前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材は、前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材を形成する結晶材料の結晶軸［１１１］若しくは該結晶軸［１１１］と光学的に等価な結晶軸、又は結晶軸［１００］若しくは該結晶軸［１００］と光学的に等価な結晶軸と光軸がほぼ一致するように構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項６】  前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材のうちの少なくとも一方は、前記投影光学系の光軸に対して軸ずれした結晶軸を有する第７の屈折部材と交換可能に構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項７】  前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材のうちの少なくとも一方は、前記第１の屈折部材とは異なる応力ひずみ量を有する第８の屈折部材と、前記第２の屈折部材とは異なる応力ひずみ量を有する第９の屈折部材との何れか一方と交換可能に構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項８】  請求項１乃至７の何れか一項に記載の投影光学系を調整する調整方法であって、
偏光状態の異なる光を用いて前記投影光学系の偏光収差を計測する偏光収差計測工程と、
前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材のうちの少なくとも一方の結晶軸を調整する調整工程とを含むことを特徴とする投影光学系の調整方法。
【請求項９】  前記調整工程は、
前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材のうちの少なくとも一方を、前記屈折部材とは異なる結晶軸を有する別の屈折部材に交換する工程を含むことを特徴とする請求項８に記載の投影光学系の調整方法。
【請求項１０】  前記調整工程は、
前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材を、前記第１の屈折部材と前記第２の屈折部材との総厚を保ちながら、前記第１の屈折部材とは異なる厚さを有する第５の屈折部材と、前記第２の屈折部材とは異なる厚さを有する第６の屈折部材とに交換する工程を含むことを特徴とする請求項８記載の投影光学系の調整方法。
【請求項１１】  前記第１の屈折部材は、前記第１面と前記第２面との間の光路中における最も前記第２面側に配置されて、パワーを有さず、
前記第２の屈折部材は、前記第１の屈折部材の前記第１面側の光路中で前記第１の屈折部材と隣接して配置されて、前記第１の屈折部材側にパワーを有しない面を持つことを特徴とする請求項１０に記載の投影光学系の調整方法。
【請求項１２】  前記調整工程は、
前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材のうちの少なくとも一方を、前記投影光学系の光軸周りに回転させる工程を含むことを特徴とする請求項８に記載の投影光学系の調整方法。
【請求項１３】  前記調整工程は、
前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材のうちの少なくとも一方を、前記投影光学系の光軸に対して軸ずれした結晶軸を有する別の屈折部材と交換する工程を含むことを特徴とする請求項８に記載の投影光学系の調整方法。
【請求項１４】  前記調整工程は、
前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材のうちの少なくとも一方を、前記屈折部材とは異なる応力ひずみ量を有する別の屈折部材と交換する工程を含むことを特徴とする請求項８に記載の投影光学系の調整方法。
【請求項１５】  波長が２００ｎｍ以下の光を実質的に透過させる少なくとも１つの結晶光学材料からなる屈折部材を含み、第１面の像を第２面上に投影する投影光学系の調整方法において、
偏光状態の異なる光を用いて前記投影光学系の偏光収差を計測する偏光収差計測工程と、
前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記結晶光学材料からなる屈折部材の結晶軸を調整する調整工程とを含むことを特徴とする投影光学系の調整方法。
【請求項１６】  前記調整工程は、
前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記結晶光学材料からなる屈折部材を、前記屈折部材とは異なる結晶軸を有する別の屈折部材に交換する工程を含むことを特徴とする請求項１５に記載の投影光学系の調整方法。
【請求項１７】  前記結晶光学材料からなる屈折部材は、前記結晶光学材料からなる第１及び第２の屈折部材を備え、
前記調整工程は、
前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材を、前記第１の屈折部材と前記第２の屈折部材との総厚を保ちながら、前記第１の屈折部材とは異なる厚さを有する第５の屈折部材と、前記第２の屈折部材とは異なる厚さを有する第６の屈折部材とに交換する工程を含むことを特徴とする請求項１５記載の投影光学系の調整方法。
【請求項１８】  前記第１の屈折部材は、前記第１面と前記第２面との間の光路中における最も前記第２面側に配置されて、パワーを有さず、
前記第２の屈折部材は、前記第１の屈折部材の前記第１面側の光路中で前記第１の屈折部材と隣接して配置されて、前記第１の屈折部材側にパワーを有しない面を持つことを特徴とする請求項１７に記載の投影光学系の調整方法。
【請求項１９】  前記調整工程は、
前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記結晶光学材料からなる屈折部材を、前記投影光学系の光軸周りに回転させる工程を含むことを特徴とする請求項１５に記載の投影光学系の調整方法。
【請求項２０】  前記結晶光学材料からなる屈折部材は、結晶軸［１１１］若しくは該結晶軸［１１１］と光学的に等価な結晶軸、又は結晶軸［１００］若しくは該結晶軸［１００］と光学的に等価な結晶軸とほぼ一致した光軸を備えることを特徴とする請求項１５乃至請求項１８の何れか一項に記載の投影光学系の調整方法。
【請求項２１】  前記調整工程は、
前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記結晶光学材料からなる屈折部材を、前記投影光学系の光軸に対して軸ずれした結晶軸を有する別の屈折部材と交換する工程を含むことを特徴とする請求項１５に記載の投影光学系の調整方法。
【請求項２２】  前記調整工程は、
前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記結晶光学材料からなる屈折部材を、前記屈折部材とは異なる応力ひずみ量を有する別の屈折部材と交換する工程を含むことを特徴とする請求項１５に記載の投影光学系の調整方法。
【請求項２３】  波長が２００ｎｍ以下の光を実質的に透過させる結晶光学材料からなる結晶光学部材を含む複数の屈折部材を備え、第１面の像を第２面上に投影する投影光学系の製造方法において、
前記投影光学系を構成する前記複数の屈折部材のそれぞれについての複屈折率を計測する複屈折率計測工程と、
前記複屈折率計測工程により計測された複屈折率に基づいて、前記結晶光学部材の結晶軸を調整する調整工程と、
を含むことを特徴とする投影光学系の製造方法。
【請求項２４】  前記調整工程は、
前記複屈折率計測工程により計測された複屈折率の値に基づいて、前記結晶光学部材を、前記結晶光学部材とは異なる結晶軸を有する別の結晶光学部材に交換する工程を含むことを特徴とする請求項２３に記載の投影光学系の製造方法。
【請求項２５】  前記結晶光学部材は、前記結晶光学材料からなる第１及び第２の結晶光学部材を備え、
前記調整工程は、
前記複屈折率計測工程により計測された複屈折率の値に基づいて、前記第１の結晶光学部材及び前記第２の結晶光学部材を、前記第１の結晶光学部材と前記第２の結晶光学部材との総厚を保ちながら、前記第１の結晶光学部材とは異なる厚さを有する第５の結晶光学部材と、前記第２の結晶光学部材とは異なる厚さを有する第６の結晶光学部材とに交換する工程を含むことを特徴とする請求項２３記載の投影光学系の製造方法。
【請求項２６】  前記第１の結晶光学部材は、前記第１面と前記第２面との間の光路中における最も前記第２面側に配置されて、パワーを有さず、
前記第２の結晶光学部材は、前記第１の屈折部材の前記第１面側の光路中で前記第１の屈折部材と隣接して配置されて、前記第１の屈折部材側にパワーを有しない面を持つことを特徴とする請求項２５に記載の投影光学系の製造方法。
【請求項２７】  前記調整工程は、
前記複屈折率計測工程により計測された複屈折の値に基づいて、前記結晶光学部材を、前記投影光学系の光軸周りに回転させる工程を含むことを特徴とする請求項２３に記載の投影光学系の製造方法。
【請求項２８】  前記結晶光学部材は、結晶軸［１１１］若しくは該結晶軸［１１１］と光学的に等価な結晶軸、又は結晶軸［１００］若しくは該結晶軸［１００］と光学的に等価な結晶軸とほぼ一致した光軸を備えることを特徴とする請求項２３乃至請求項２７の何れか一項に記載の投影光学系の製造方法。
【請求項２９】  前記調整工程は、
前記複屈折率計測工程により計測された複屈折率の値に基づいて、前記結晶光学部材を、前記投影光学系の光軸に対して軸ずれした結晶軸を有する別の結晶光学部材と交換する工程を含むことを特徴とする請求項２３に記載の投影光学系の製造方法。
【請求項３０】  前記調整工程は、
前記複屈折率計測工程により計測された複屈折率の値に基づいて、前記結晶光学部材を、前記結晶光学部材とは異なる応力ひずみ量を有する別の結晶光学部材と交換する工程を含むことを特徴とする請求項２３に記載の投影光学系の製造方法。
【請求項３１】  請求項１５乃至請求項２２の何れか一項に記載の調整方法によって調整されたことを特徴とする投影光学系。
【請求項３２】  請求項２３乃至請求項３０の何れか一項に記載の製造方法によって製造されたことを特徴とする投影光学系。
【請求項３３】  前記第1面に設定されたマスクを照明するための照明系と、
前記マスクに形成されたパターンの像を前記第２面に設定された感光性基板上に形成するために請求項１乃至請求項７、請求項３１及び請求項３２の何れか一項に記載の投影光学系と、
を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項３４】  前記第１面に設定されたマスクを照明し、請求項１乃至請求項７、請求項３１及び請求項３２の何れか一項に記載の投影光学系を介して前記マスクに形成されたパターンの像を前記第２面に設定された感光性基板上に投影露光することを特徴とする露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
この請求項７記載の投影光学系によれば、第１の屈折部材及び第２の屈折部材のうちの少なくとも一方を第１の屈折部材とは異なる応力ひずみ量を有する第８の屈折部材と第２の屈折部材とは異なる応力ひずみ量を有する第９の屈折部材との何れか一方と交換することにより、複屈折起因の結像性能を調整することができる。
また、請求項８記載の投影光学系の調整方法は、偏光状態の異なる光を用いて前記投影光学系の偏光収差を計測する偏光収差計測工程と、前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材のうちの少なくとも一方の結晶軸を調整する調整工程とを含むことを特徴とする。
また、請求項９記載の投影光学系の調整方法は、前記調整工程が、前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材のうちの少なくとも一方を、前記屈折部材とは異なる結晶軸を有する別の屈折部材に交換する工程を含むことを特徴とする。
また、請求項１０記載の投影光学系の調整方法は、前記調整工程が、前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材を、前記第１の屈折部材と前記第２の屈折部材との総厚を保ちながら、前記第１の屈折部材とは異なる厚さを有する第５の屈折部材と、前記第２の屈折部材とは異なる厚さを有する第６の屈折部材とに交換する工程を含むことを特徴とする。
また、請求項１１記載の投影光学系の調整方法は、前記第１の屈折部材が、前記第１面と前記第２面との間の光路中における最も前記第２面側に配置されて、パワーを有さず、前記第２の屈折部材は、前記第１の屈折部材の前記第１面側の光路中で前記第１の屈折部材と隣接して配置されて、前記第１の屈折部材側にパワーを有しない面を持つことを特徴とする。
また、請求項１２記載の投影光学系の調整方法は、前記調整工程が、前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材の少なくとも一方を、前記投影光学系の光軸周りに回転させる工程を含むことを特徴とする。
また、請求項１３記載の投影光学系の調整方法は、前記調整工程が、前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材のうちの少なくとも一方を、前記投影光学系の光軸に対して軸ずれした結晶軸を有する別の屈折部材と交換する工程を含むことを特徴とする。
また、請求項１４記載の投影光学系の調整方法は、前記調整工程が、前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材のうちの少なくとも一方を、前記屈折部材とは異なる応力ひずみ量を有する別の屈折部材と交換する工程を含むことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、請求項１５記載の投影光学系の調整方法は、波長が２００ｎｍ以下の光を実質的に透過させる少なくとも１つの結晶光学材料からなる屈折部材を含み、第１面の像を第２面上に投影する投影光学系の調整方法において、偏光状態の異なる光を用いて前記投影光学系の偏光収差を計測する偏光収差計測工程と、前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記結晶光学材料からなる屈折部材の結晶軸を調整する調整工程とを含むことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、請求項１６記載の投影光学系の調整方法は、前記調整工程が、前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記結晶光学材料からなる屈折部材を、前記屈折部材とは異なる結晶軸を有する別の屈折部材に交換する工程を含むことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
この請求項１６記載の投影光学系の調整方法によれば、偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、結晶光学材料からなる屈折部材を、この屈折部材とは異なる結晶軸を有する別の屈折部材に交換することにより、複屈折起因の結像性能を調整することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、請求項１７記載の投影光学系の調整方法は、前記結晶光学材料からなる屈折部材が、前記結晶光学材料からなる第１及び第２の屈折部材を備え、前記調整工程は、前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記第１の屈折部材及び前記第２の屈折部材を、前記第１の屈折部材と前記第２の屈折部材との総厚を保ちながら、前記第１の屈折部材とは異なる厚さを有する第５の屈折部材と、前記第２の屈折部材とは異なる厚さを有する第６の屈折部材とに交換する工程を含むことを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
この請求項１７記載の投影光学系の調整方法によれば、偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、第１の屈折部材及び第２の屈折部材を、第１の屈折部材と第２の屈折部材との総厚を保ちながら、第１の屈折部材とは異なる厚さを有する第５の屈折部材と第２の屈折部材とは異なる厚さを有する第６の屈折部材とに交換することにより、複屈折起因でない収差状態を変化させること無く、複屈折起因の結像性能を調整することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また、請求項１８記載の投影光学系の調整方法は、前記第１の屈折部材が、前記第１面と前記第２面との間の光路中における最も前記第２面側に配置されて、パワーを有さず、前記第２の屈折部材は、前記第１の屈折部材の前記第１面側の光路中で前記第１の屈折部材と隣接して配置されて、前記第１の屈折部材側にパワーを有しない面を持つことを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
この請求項１８記載の投影光学系の調整方法によれば、第１の屈折部材が第１面と第２面との間の光路中における最も第２面側に配置されており、第２の屈折部材が第１の屈折部材の第１面側の光路中で第１の屈折部材と隣接して配置されていることから、投影光学系の光学性能の調整を容易に行うことができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
また、請求項１９記載の投影光学系の調整方法は、前記調整工程が、前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記結晶光学材料からなる屈折部材を、前記投影光学系の光軸周りに回転させる工程を含むことを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
この請求項１９記載の投影光学系の調整方法によれば、偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、結晶光学材料からなる屈折部材を投影光学系の光軸周りに回転させることにより、複屈折起因の結像性能を調整することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、請求項２０記載の投影光学系の調整方法は、前記結晶光学材料からなる屈折部材が、結晶軸［１１１］若しくは該結晶軸［１１１］と光学的に等価な結晶軸、又は結晶軸［１００］若しくは該結晶軸［１００］と光学的に等価な結晶軸とほぼ一致した光軸を備えることを特徴とする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
また、請求項２１記載の投影光学系の調整方法は、前記調整工程が、前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記結晶光学材料からなる屈折部材を、前記投影光学系の光軸に対して軸ずれした結晶軸を有する別の屈折部材と交換する工程を含むことを特徴とする。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
この請求項２１記載の投影光学系の調整方法によれば、偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、結晶光学材料からなる屈折部材を投影光学系の光軸に対して軸ずれした結晶軸を有する別の屈折部材と交換することにより、複屈折起因の結像性能を調整することができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
また、請求項２２記載の投影光学系の調整方法は、前記調整工程が、前記偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、前記結晶光学材料からなる屈折部材を、前記屈折部材とは異なる応力ひずみ量を有する別の屈折部材と交換する工程を含むことを特徴とする。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
この請求項２２記載の投影光学系の調整方法によれば、偏光収差計測工程により計測された偏光収差の値に基づいて、結晶光学材料からなる屈折部材を異なる応力ひずみ量を有する別の屈折部材と交換することにより、複屈折起因の結像性能を調整することができる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
また、請求項２３記載の投影光学系の製造方法は、波長が２００ｎｍ以下の光を実質的に透過させる結晶光学材料からなる結晶光学部材を含む複数の屈折部材を備え、第１面の像を第２面上に投影する投影光学系の製造方法において、前記投影光学系を構成する前記複数の屈折部材のそれぞれについての複屈折率を計測する複屈折率計測工程と、前記複屈折率計測工程により計測された複屈折率に基づいて、前記結晶光学部材の結晶軸を調整する調整工程とを含むことを特徴とする。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
また、請求項２４記載の投影光学系の製造方法は、前記調整工程が、前記複屈折率計測工程により計測された複屈折率の値に基づいて、前記結晶光学部材を、前記結晶光学部材とは異なる結晶軸を有する別の結晶光学部材に交換する工程を含むことを特徴とする。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
この請求項２４記載の投影光学系の製造方法によれば、複屈折率計測工程により計測された複屈折率の値に基づいて、結晶光学部材を、この結晶光学部材とは異なる結晶軸を有する別の結晶光学部材に交換することにより、複屈折起因の結像性能を調整した投影光学系を製造することができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
また、請求項２５記載の投影光学系の製造方法は、前記結晶光学部材が、前記結晶光学材料からなる第１及び第２の結晶光学部材を備え、前記調整工程は、前記複屈折率計測工程により計測された複屈折率の値に基づいて、前記第１の結晶光学部材及び前記第２の結晶光学部材を、前記第１の結晶光学部材と前記第２の結晶光学部材との総厚を保ちながら、前記第１の結晶光学部材とは異なる厚さを有する第５の結晶光学部材と、前記第２の結晶光学部材とは異なる厚さを有する第６の結晶光学部材とに交換する工程を含むことを特徴とする。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
この請求項２５記載の投影光学系の製造方法によれば、複屈折率計測工程により計測された複屈折率の値に基づいて、第１の結晶光学部材及び第２の結晶光学部材を、第１の結晶光学部材と第２の結晶光学部材との総厚を保ちながら、第１の結晶光学部材とは異なる厚さを有する第５の結晶光学部材と、第２の結晶光学部材とは異なる厚さを有する第６の結晶光学部材とに交換することにより、複屈折起因でない収差状態を変化させること無く、複屈折起因の結像性能を調整した投影光学系を製造することができる。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
また、請求項２６記載の投影光学系の製造方法は、前記第１の結晶光学部材が、前記第１面と前記第２面との間の光路中における最も前記第２面側に配置されて、パワーを有さず、前記第２の結晶光学部材は、前記第１の屈折部材の前記第１面側の光路中で前記第１の屈折部材と隣接して配置されて、前記第１の屈折部材側にパワーを有しない面を持つことを特徴とする。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
この請求項２６記載の投影光学系の製造方法によれば、第１の屈折部材が第１面と第２面との間の光路中における最も第２面側に配置されており、第２の屈折部材が第１の屈折部材の第１面側の光路中で第１の屈折部材と隣接して配置されていることから、投影光学系を製造する際に、投影光学系の光学性能の調整を容易に行うことができる。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
また、請求項２７記載の投影光学系の製造方法は、前記調整工程が、前記複屈折率計測工程により計測された複屈折の値に基づいて、前記結晶光学部材を、前記投影光学系の光軸周りに回転させる工程を含むことを特徴とする。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
この請求項２７記載の投影光学系の製造方法によれば、複屈折率計測工程により計測された複屈折の値に基づいて、結晶光学部材を投影光学系の光軸周りに回転させることにより、複屈折起因の結像性能を調整した投影光学系を製造することができる。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
また、請求項２８記載の投影光学系の製造方法は、前記結晶光学部材が、結晶軸［１１１］若しくは該結晶軸［１１１］と光学的に等価な結晶軸、又は結晶軸［１００］若しくは該結晶軸［１００］と光学的に等価な結晶軸とほぼ一致した光軸を備えることを特徴とする。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
また、請求項２９記載の投影光学系の製造方法は、前記調整工程が、前記複屈折率計測工程により計測された複屈折率の値に基づいて、前記結晶光学部材を、前記投影光学系の光軸に対して軸ずれした結晶軸を有する別の結晶光学部材と交換する工程を含むことを特徴とする。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
この請求項２９記載の投影光学系の製造方法によれば、複屈折率計測工程により計測された複屈折率の値に基づいて、結晶光学部材を投影光学系の光軸に対して軸ずれした結晶軸を有する別の結晶光学部材と交換することにより、複屈折起因の結像性能を調整した投影光学系を製造することができる。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
また、請求項３０記載の投影光学系の製造方法は、前記調整工程が、前記複屈折率計測工程により計測された複屈折率の値に基づいて、前記結晶光学部材を、前記結晶光学部材とは異なる応力ひずみ量を有する別の結晶光学部材と交換する工程を含むことを特徴とする。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
この請求項３０記載の投影光学系の製造方法によれば、複屈折率計測工程により計測された複屈折率の値に基づいて、結晶光学部材を、この結晶光学部材とは異なる応力ひずみ量を有する別の結晶光学部材と交換することにより、複屈折起因の結像性能を調整した投影光学系を製造することができる。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
また、請求項３１記載の投影光学系は、請求項１５乃至請求項２２の何れか一項に記載の調整方法によって調整されたことを特徴とする。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
また、請求項３２記載の投影光学系は、請求項２３乃至請求項３０の何れか一項に記載の製造方法によって製造されたことを特徴とする。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
また、請求項３３記載の露光装置は、前記第１面に設定されたマスクを照明するための照明系と、前記マスクに形成されたパターンの像を前記第２面に設定された感光性基板上に形成するために請求項１乃至請求項７、請求項３１及び請求項３２の何れか一項に記載の投影光学系とを備えることを特徴とする。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
この請求項３３記載の露光装置によれば、複屈折の影響を実質的に受けることなく良好な光学性能を有する投影光学系を用いて、高解像で高精度な投影露光を行うことができる。
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
また、請求項３４記載の露光方法は、前記第１面に設定されたマスクを照明し、請求項１乃至請求項７、請求項３１及び請求項３２の何れか一項に記載の投影光学系を介して前記マスクに形成されたパターンの像を前記第２面に設定された感光性基板上に投影露光することを特徴とする。
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
この請求項３４記載の露光方法によれば、複屈折の影響を実質的に受けることなく良好な光学性能を有する投影光学系を用いて、高解像で高精度な投影露光を行うことができる。