【手続補正書】
【提出日】平成20年3月4日(2008.3.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】基部と、前記基部に接続された複数本の振動腕を備えて構成される水晶角速度センサで、前記複数本の振動腕の少なくとも１本の振動腕の上面と下面の各面に溝が形成され、前記溝の側面と、その側面に対抗する振動腕の側面に互いに電気的極性が異なる電極が配置され、その対抗する側面に配置された前記電極は、前記水晶角速度センサの角速度を検出する角速度検出用の電極であることを特徴とする水晶角速度センサ。
【請求項２】前記複数本の振動腕は第１振動腕と第２振動腕を備えて構成され、前記第１振動腕と前記第２振動腕の各振動腕の上面と下面の各面に溝が形成され、前記第１振動腕の前記溝の側面と、その側面に対抗する前記第１振動腕の側面に互いに電気的極性が異なる電極が配置され、かつ、前記第２振動腕の前記溝の側面と、その側面に対抗する前記第２振動腕の側面に互いに電気的極性が異なる電極が配置され、前記第１振動腕の溝と側面に配置された前記電極は、前記水晶角速度センサを駆動する駆動用電極で、かつ、前記第２振動腕の溝と側面に配置された前記電極は、前記水晶角速度センサの角速度を検出する角速度検出用電極であることを特徴とする請求項１に記載の水晶角速度センサ。
【請求項３】前記水晶角速度センサは音叉形状の水晶角速度センサであることを特徴とする請求項２に記載の水晶角速度センサ。
【請求項４】前記複数本の振動腕は第１振動腕と第２振動腕と第３振動腕と第４振動腕を備えた４本の振動腕を備えて構成され、前記第１振動腕から前記第４振動腕の各振動腕の上面と下面の各面に溝が形成され、前記第１振動腕の前記溝の側面と、その側面に対抗する前記第１振動腕の側面に互いに電気的極性が異なる電極が配置され、かつ、前記第２振動腕の前記溝の側面と、その側面に対抗する前記第２振動腕の側面に互いに電気的極性が異なる電極が配置され、前記第３振動腕の前記溝の側面と、その側面に対抗する前記第３振動腕の側面に互いに電気的極性が異なる電極が配置され、かつ、前記第４振動腕の前記溝の側面と、その側面に対抗する前記第４振動腕の側面に互いに電気的極性が異なる電極が配置され、前記第１振動腕から前記第４振動腕の２本の振動腕の溝と側面に配置された前記電極は、前記水晶角速度センサを駆動する駆動用電極で、かつ、前記第１振動腕から前記第４振動腕の他の２本の振動腕の溝と側面に配置された前記電極は、前記水晶角速度センサの角速度を検出する角速度検出用電極であることを特徴とする請求項１に記載の水晶角速度センサ。
【請求項５】前記基部とその基部に接続された前記第１振動腕と前記第２振動腕は音叉の形状をしていて、前記第１振動腕の上面と下面の各面に形成された溝の側面に配置された前記電極が、前記第２振動腕の側面に配置された前記電極に電気的に接続され、かつ、前記第２振動腕の上面と下面の各面に形成された溝の側面に配置された前記電極が、前記第１振動腕の側面に配置された前記電極に電気的に接続されていることを特徴とする請求項４に記載の水晶角速度センサ。
【請求項６】前記基部とその基部に接続された前記第３振動腕と前記第４振動腕は音叉の形状をしていて、前記第３振動腕と前記第４振動腕の各振動腕の上面と下面の各面に形成された溝は第１側面と第２側面を有し、前記第１側面と前記第２側面の少なく一面と、その一面に対抗する振動腕の側面に互いに電気的極性が異なる電極が配置されていることを特徴とする請求項５に記載の水晶角速度センサ。
【請求項７】前記複数本の振動腕の少なくとも１本の振動腕の上面と下面の各面に形成された前記溝は、第１溝と第２溝を備えた２個の溝を備えていて、前記第１溝と前記第２溝は振動腕の幅方向に分割して形成され、かつ、振動腕の長さ方向に伸びていて、前記第１溝と前記第２溝の各溝の側面には互いに電気的極性の異なる電極が配置され、前記電極は前記水晶角速度センサの角速度を検出する角速度検出用電極であることを特徴とする請求項１に記載の水晶角速度センサ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発明の水晶角速度センサの第１の態様は、基部と、前記基部に接続された複数本の振動腕を備えて構成される水晶角速度センサで、前記複数本の振動腕の少なくとも１本の振動腕の上面と下面の各面に溝が形成され、前記溝の側面と、その側面に対抗する振動腕の側面に互いに電気的極性が異なる電極が配置され、その対抗する側面に配置された前記電極は、前記水晶角速度センサの角速度を検出する角速度検出用の電極である水晶角速度センサである。
本発明の水晶角速度センサの第２の態様は、前記複数本の振動腕は第１振動腕と第２振動腕を備えて構成され、前記第１振動腕と前記第２振動腕の各振動腕の上面と下面の各面に溝が形成され、前記第１振動腕の前記溝の側面と、その側面に対抗する前記第１振動腕の側面に互いに電気的極性が異なる電極が配置され、かつ、前記第２振動腕の前記溝の側面と、その側面に対抗する前記第２振動腕の側面に互いに電気的極性が異なる電極が配置され、前記第１振動腕の溝と側面に配置された前記電極は、前記水晶角速度センサを駆動する駆動用電極で、かつ、前記第２振動腕の溝と側面に配置された前記電極は、前記水晶角速度センサの角速度を検出する角速度検出用電極である第１の態様に記載の水晶角速度センサである。
本発明の水晶角速度センサの第３の態様は、前記水晶角速度センサは音叉形状の水晶角速度センサである第２の態様に記載の水晶角速度センサである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の水晶角速度センサの第４の態様は、前記複数本の振動腕は第１振動腕と第２振動腕と第３振動腕と第４振動腕を備えた４本の振動腕を備えて構成され、前記第１振動腕から前記第４振動腕の各振動腕の上面と下面の各面に溝が形成され、前記第１振動腕の前記溝の側面と、その側面に対抗する前記第１振動腕の側面に互いに電気的極性が異なる電極が配置され、かつ、前記第２振動腕の前記溝の側面と、その側面に対抗する前記第２振動腕の側面に互いに電気的極性が異なる電極が配置され、前記第３振動腕の前記溝の側面と、その側面に対抗する前記第３振動腕の側面に互いに電気的極性が異なる電極が配置され、かつ、前記第４振動腕の前記溝の側面と、その側面に対抗する前記第４振動腕の側面に互いに電気的極性が異なる電極が配置され、前記第１振動腕から前記第４振動腕の２本の振動腕の溝と側面に配置された前記電極は、前記水晶角速度センサを駆動する駆動用電極で、かつ、前記第１振動腕から前記第４振動腕の他の２本の振動腕の溝と側面に配置された前記電極は、前記水晶角速度センサの角速度を検出する角速度検出用電極である第１の態様に記載の水晶角速度センサである。
本発明の水晶角速度センサの第５の態様は、前記基部とその基部に接続された前記第１振動腕と前記第２振動腕は音叉の形状をしていて、前記第１振動腕の上面と下面の各面に形成された溝の側面に配置された前記電極が、前記第２振動腕の側面に配置された前記電極に電気的に接続され、かつ、前記第２振動腕の上面と下面の各面に形成された溝の側面に配置された前記電極が、前記第１振動腕の側面に配置された前記電極に電気的に接続されている第４の態様に記載の水晶角速度センサである。
本発明の水晶角速度センサの第６の態様は、前記基部とその基部に接続された前記第３振動腕と前記第４振動腕は音叉の形状をしていて、前記第３振動腕と前記第４振動腕の各振動腕の上面と下面の各面に形成された溝は第１側面と第２側面を有し、前記第１側面と前記第２側面の少なく一面と、その一面に対抗する振動腕の側面に互いに電気的極性が異なる電極が配置されている第５の態様に記載の水晶角速度センサである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の水晶角速度センサの第７の態様は、前記複数本の振動腕の少なくとも１本の振動腕の上面と下面の各面に形成された前記溝は、第１溝と第２溝を備えた２個の溝を備えていて、前記第１溝と前記第２溝は振動腕の幅方向に分割して形成され、かつ、振動腕の長さ方向に伸びていて、前記第１溝と前記第２溝の各溝の側面には互いに電気的極性の異なる電極が配置され、前記電極は前記水晶角速度センサの角速度を検出する角速度検出用電極である第１の態様に記載の水晶角速度センサである。上記のように構成することにより課題を解決するものである。すなわち、角速度に対して高い検出感度を有する新形状、かつ、新電極構成の水晶角速度センサが実現できる。