【手続補正書】
【提出日】平成20年4月10日(2008.4.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モールド内に柱形状の石英ガラス塊を収容して、該石英ガラス塊を加熱加圧することにより、板状の石英ガラスを成形する方法において、
前記石英ガラス塊の表面を荒削りし、該表面の凹凸を０．５ｍｍ以下とし、
次に、前記石英ガラス塊の側面を面取りして平坦面を形成し、該平坦面を前記モールドの底部に接触させて、前記柱形状の石英ガラス塊を横置きにして収容し、
その後、該石英ガラス塊を加熱すると共に、加圧板により前記石英ガラス塊を押圧して、板状の石英ガラスを成形するようにしたことを特徴とする石英ガラスの成形方法。
【請求項２】
モールド内に柱形状の石英ガラス塊を収容して、該石英ガラス塊を加熱加圧することにより、板状の石英ガラスを成形する方法において、
前記石英ガラス塊の表面を荒削りし、該表面の凹凸を０．５ｍｍ以下とし、
次に、前記石英ガラス塊の側面を面取りして相対向する一対の平坦面を形成し、該一方の平坦面を前記モールドの底部に接触させて、前記柱形状の石英ガラス塊を横置きにして収容し、
その後、該石英ガラス塊を加熱すると共に、加圧板を前記石英ガラス塊の他方の平坦面に接触させて押圧することにより、板状の石英ガラスを成形するようにしたことを特徴とする石英ガラスの成形方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の石英ガラスの成形方法により成形され、該成形された石英ガラスの屈折率差が１×１０−７以下であることを特徴とする石英ガラス。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
そこで、この発明は、石英ガラスの加熱加圧成形により、広い面積の面を均質に成形することができ、且つ、生産性を向上させることが可能な石英ガラスの成形方法及び石英ガラスを提供することを課題とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
そこで、上記のような課題を解決する請求項１に記載の発明は、モールド内に柱形状の石英ガラス塊を収容して、該石英ガラス塊を加熱加圧することにより、板状の石英ガラスを成形する方法において、前記石英ガラス塊の表面を荒削りし、該表面の凹凸を０．５ｍｍ以下とし、次に、前記石英ガラス塊の側面を面取りして平坦面を形成し、該平坦面を前記モールドの底部に接触させて、前記柱形状の石英ガラス塊を横置きにして収容し、その後、該石英ガラス塊を加熱すると共に、加圧板により前記石英ガラス塊を押圧して、板状の石英ガラスを成形するようにした石英ガラスの成形方法としたことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項２に記載の発明は、モールド内に柱形状の石英ガラス塊を収容して、該石英ガラス塊を加熱加圧することにより、板状の石英ガラスを成形する方法において、前記石英ガラス塊の表面を荒削りし、該表面の凹凸を０．５ｍｍ以下とし、次に、前記石英ガラス塊の側面を面取りして相対向する一対の平坦面を形成し、該一方の平坦面を前記モールドの底部に接触させて、前記柱形状の石英ガラス塊を横置きにして収容し、その後、該石英ガラス塊を加熱すると共に、加圧板を前記石英ガラス塊の他方の平坦面に接触させて押圧することにより、板状の石英ガラスを成形するようにした石英ガラスの成形方法としたことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の石英ガラスの成形方法により成形され、該成形された石英ガラスの屈折率差が１×１０−７以下である石英ガラスとしたことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項１に記載の発明によれば、石英ガラス塊の側面を面取りして平坦面を形成し、この平坦面をモールドの底部に接触させて、柱形状の石英ガラス塊を横置きにして収容し、その後、この石英ガラス塊を加熱すると共に、加圧板により石英ガラス塊を押圧して、板状の石英ガラスを成形するようにしたため、成形終了後の形状に近い状態で成形開始が可能となることから、一度の成形で、成形完了後の石英ガラスの周縁部の角形状が精度良く形成でき、広い面積の面を均質に成形することができると共に、石英ガラス塊を立てた状態から加熱加圧する場合よりも、成形された石英ガラスから多くの板状石英ガラス部材を採取することが可能となり、生産性を向上させることができる。しかも、石英ガラス塊の表面を荒削りし、この表面の凹凸を０．５ｍｍ以下とすることにより、成形品に合成時の粗いインゴット肌の影響が出ることなく、良好な成形品を得ることができる。合成後の石英ガラス塊には、表面約１０〜３０ｍｍ程度に荒れた表面が存在し、そのまま成形しても成形後の表面に影響を及ぼしてしまうため、例えばダイヤモンドサンダーなどで表面を手で触って切れない程度（０．５ｍｍ以下の凹凸）の鋭利でないように処理して成形を行うことにより、良好な成形品を得ることができる。また、表面の荒削りは、面研削や丸め抜きなどの加工方法と比較し、加工が容易でありコストも安く元材の重量も確保することが可能となることから、成形後の重量（＝厚さ）も確保することができ、上記と同様により多くマスク材を採取できる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項３に記載の発明によれば、請求項１または２に記載の石英ガラスの成形方法により成形され、この成形された石英ガラスの屈折率差が１×１０−７以下であるため、かかる石英ガラスを光学系に用いる場合には、所望の光学特性を得ることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
このように成形終了後の形状に近い状態で成形開始が可能となることから、一度の成形で、成形完了後の石英ガラス２８の周縁部２８ａの角形状が精度良く形成でき、広い面積の面を均質に成形することができると共に、石英ガラス塊２５を立てた状態から加熱加圧する場合よりも、成形された石英ガラス２８から多くの基板状石英ガラスを採取することが可能となり、生産性を向上させることができた。
［比較例１］
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
なお、この比較例１は、請求項１，２に記載の発明を包含していないものである。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
【図１】この発明の実施の形態１の成形装置の概略縦断面図である。
【図２】同実施の形態１の成形装置の概略横断面図である。
【図３】同実施の形態１の石英ガラス塊を示す斜視図である。
【図４】同実施の形態１の石英ガラスを示す斜視図である。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】削除
【補正の内容】