(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の電子部品を環状接続して構成されたネットワーク素子における当該隣り合う電子部品を相互に接続した接続部の各々と、当該各接続部に一端をそれぞれ接続した複数のプローブの各々との接続状態をインピーダンス測定装置を使用して検査するコンタクト検査方法であって、
前記複数のプローブを前記環状に配置される第１番目から第Ｎ（Ｎは自然数）番目の接続部のうちの奇数番目の各接続部にそれぞれ接続された前記各プローブで構成される第１グループと、偶数番目の各接続部にそれぞれ接続された前記各プローブで構成される第２グループとにグループ分けし、当該第１グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続し、当該第２グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続し、当該２つの共通接続部位間のインピーダンスを測定し、その測定値と予め規定した基準値とを比較してその比較結果に基づいて前記接続状態を検査するコンタクト検査方法。
【請求項２】
複数の電子部品を環状接続して構成されたネットワーク素子における当該隣り合う電子部品を相互に接続した接続部の各々と、当該各接続部に一端をそれぞれ接続した複数のプローブの各々との接続状態をインピーダンス測定装置を使用して検査するコンタクト検査方法であって、
前記複数のプローブを前記環状に配置される第１番目から第Ｎ（Ｎは自然数）番目の接続部に接続すると共に、一方のグループの前記プローブと他方のグループの前記プローブとが２つずつ交互に分かれるように当該複数のプローブを第１グループおよび第２グループにグループ分けし、当該第１グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続し、当該第２グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続し、当該２つの共通接続部位間のインピーダンスを測定し、その測定値と予め規定した基準値とを比較してその比較結果に基づいて前記接続状態を検査するコンタクト検査方法。
【請求項３】
複数の電子部品を環状接続して構成されたネットワーク素子における当該隣り合う電子部品を相互に接続した接続部の各々と、当該各接続部に一端をそれぞれ接続した複数のプローブの各々との接続状態をインピーダンス測定装置を使用して検査するコンタクト検査システムであって、
試験用信号を出力する出力部および当該試験用信号を入力する入力部を有する前記インピーダンス測定装置と、接続装置とを備えて構成され、
前記接続装置は、制御信号に従い、前記複数のプローブを前記環状に配置される第１番目から第Ｎ（Ｎは自然数）番目の接続部のうちの奇数番目の各接続部にそれぞれ接続された前記各プローブで構成される第１グループと、偶数番目の各接続部にそれぞれ接続された前記各プローブで構成される第２グループとにグループ分けし、かつ当該第１グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続して前記インピーダンス測定装置の前記出力部に接続すると共に当該第２グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続して前記インピーダンス測定装置の前記入力部に接続する接続処理を実行可能に構成され、
前記インピーダンス測定装置は、前記接続装置によって前記接続処理が実行された状態において前記出力部および前記入力部間のインピーダンスを測定して表示するコンタクト検査システム。
【請求項４】
前記制御信号を前記接続装置に出力する制御装置を備えて構成されている請求項３記載のコンタクト検査システム。
【請求項５】
前記制御装置は、前記制御信号を出力すると共に測定開始信号を出力可能に構成され、前記インピーダンス測定装置は、前記測定開始信号を入力したときに前記インピーダンスの測定をそれぞれ開始する請求項４記載のコンタクト検査システム。
【請求項６】
前記制御装置は、前記インピーダンス測定装置によって測定された測定値と予め規定された基準値とを比較してその比較結果に基づいて前記接続状態を判別する請求項４または５記載のコンタクト検査システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の電子部品を環状接続して構成されたネットワーク素子における隣り合う電子部品を相互に接続した接続部の各々と、その各接続部に一端をそれぞれ接続した複数のプローブの各々との接続状態を検査するコンタクト検査方法およびコンタクト検査システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ネットワーク素子を量産する場合、製造したネットワーク素子に対して各種電気的試験を行う必要がある。この場合、例えば、ネットワーク素子内のコンデンサ、抵抗およびインダクタなどの各電子部品に対して耐圧試験を行う際には、耐圧試験用のプローブをネットワーク素子内の各電子部品に接続された電極等の接続部に確実に接続させる必要がある。このような場合において、その耐圧試験器のプローブと、ネットワーク素子内の各接続部との接続状態を検査するために、この種のコンタクト検査方法が用いられる。
【０００３】
次に、従来のコンタクト検査方法について、図７を参照して説明する。最初に、試験対象としてのネットワーク素子２の構成について説明する。同図に示すように、ネットワーク素子２は、例えば、コンデンサＣ１〜Ｃ８（以下、区別しないときには、「コンデンサＣ」ともいう）を環状に接続して構成され、各コンデンサＣ，Ｃ同士の接続部には、外部接続が可能な電極Ｔ１〜Ｔ８（以下、区別しないときには、「電極Ｔ」ともいう）が形成されている。
【０００４】
このネットワーク素子２に対して耐圧試験を行う際には、まず、耐圧試験用のプローブＰ１〜Ｐ８の各一端をネットワーク素子２の電極Ｔ１〜Ｔ８にそれぞれ接続する。次いで、プローブＰ１，Ｐ２の各他端をＬＣＲ測定装置１の接続端子（図示せず）に接続する。この場合、ＬＣＲ測定装置１にプローブが備えられているときには、その各プローブをプローブＰ１，Ｐ２の各他端にそれぞれ接続する。続いて、ＬＣＲ測定装置１によってプローブＰ１，Ｐ２間の容量を測定する。この際に、各プローブＰ１，Ｐ２がネットワーク素子２の電極Ｔ１，Ｔ２に正常に接続されているときには、コンデンサＣ１の容量（例えば、値Ｃとする）と、他のコンデンサＣ２〜Ｃ８の直列容量（例えば、コンデンサＣ２〜Ｃ８の各容量が値Ｃとする）との合成容量（この例では、値８・Ｃ／７）が測定される。一方、各プローブＰ１，Ｐ２のいずれか一方または双方がネットワーク素子２の電極Ｔ１，Ｔ２に正常に接続されていないときには、浮遊容量を無視すれば、その測定値がほぼ０となる。次いで、本来測定されるべき容量が測定されたときには、プローブＰ１，Ｐ２の各他端をＬＣＲ測定装置１から取り外した後に、耐圧試験器をプローブＰ１，Ｐ２の各他端に接続する。続いて、耐圧試験器を起動して耐圧試験を行う。逆に、本来測定されるべき容量が測定されなかったときには、プローブＰ１，Ｐ２の各一端と電極Ｔ１，Ｔ２とを接続し直した後に、ＬＣＲ測定装置１を使用してコンタクト検査を再度行い、本来測定されるべき容量が測定されたときには、上記したようにして、耐圧試験器によって耐圧試験を行う。続いて、電極Ｔ３，Ｔ４、電極Ｔ５，Ｔ６、および電極Ｔ７，Ｔ８についても、同様にして、コンタクト検査を行い、正常に接続されているときに初めて耐圧試験を開始する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この従来のコンタクト検査方法には以下の問題点がある。すなわち、従来のこの方法では、ネットワーク素子２の各一対の電極Ｔ，ＴにＬＣＲ測定装置１を接続してコンタクト検査を行うという一連の処理を各一対の電極Ｔ，Ｔ毎に順次繰り返して行う必要がある。したがって、コンタクト検査の際の容量測定を各一対の電極Ｔ，Ｔの組数だけ行わなければならない関係上、コンタクト検査全体としての処理時間がかかり、各種電気的試験のコスト、ひいてはネットワーク素子２の製造コストが高騰しているという問題点がある。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、ネットワーク素子に対するコンタクト検査を短時間で行い得るコンタクト検査方法およびコンタクト検査システムを提供することを主目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項１記載のコンタクト検査方法は、複数の電子部品を環状接続して構成されたネットワーク素子における当該隣り合う電子部品を相互に接続した接続部の各々と、当該各接続部に一端をそれぞれ接続した複数のプローブの各々との接続状態をインピーダンス測定装置を使用して検査するコンタクト検査方法であって、前記複数のプローブを前記環状に配置される第１番目から第Ｎ（Ｎは自然数）番目の接続部のうちの奇数番目の各接続部にそれぞれ接続された前記各プローブで構成される第１グループと、偶数番目の各接続部にそれぞれ接続された前記各プローブで構成される第２グループとにグループ分けし、当該第１グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続し、当該第２グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続し、当該２つの共通接続部位間のインピーダンスを測定し、その測定値と予め規定した基準値とを比較してその比較結果に基づいて前記接続状態を検査する。なお、本発明において、「インピーダンス」には、容量、抵抗およびインダクタンスが含まれる。また、「接続部」には、電極、接続端子およびリード線などが含まれる。
【０００８】
請求項２記載のコンタクト検査方法は、複数の電子部品を環状接続して構成されたネットワーク素子における当該隣り合う電子部品を相互に接続した接続部の各々と、当該各接続部に一端をそれぞれ接続した複数のプローブの各々との接続状態をインピーダンス測定装置を使用して検査するコンタクト検査方法であって、前記複数のプローブを前記環状に配置される第１番目から第Ｎ（Ｎは自然数）番目の接続部に接続すると共に、一方のグループの前記プローブと他方のグループの前記プローブとが２つずつ交互に分かれるように当該複数のプローブを第１グループおよび第２グループにグループ分けし、当該第１グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続し、当該第２グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続し、当該２つの共通接続部位間のインピーダンスを測定し、その測定値と予め規定した基準値とを比較してその比較結果に基づいて前記接続状態を検査する。
【０００９】
請求項３記載のコンタクト検査システムは、複数の電子部品を環状接続して構成されたネットワーク素子における当該隣り合う電子部品を相互に接続した接続部の各々と、当該各接続部に一端をそれぞれ接続した複数のプローブの各々との接続状態をインピーダンス測定装置を使用して検査するコンタクト検査システムであって、試験用信号を出力する出力部および当該試験用信号を入力する入力部を有する前記インピーダンス測定装置と、接続装置とを備えて構成され、前記接続装置は、制御信号に従い、前記複数のプローブを前記環状に配置される第１番目から第Ｎ（Ｎは自然数）番目の接続部のうちの奇数番目の各接続部にそれぞれ接続された前記各プローブで構成される第１グループと、偶数番目の各接続部にそれぞれ接続された前記各プローブで構成される第２グループとにグループ分けし、かつ当該第１グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続して前記インピーダンス測定装置の前記出力部に接続すると共に当該第２グループに属するすべての前記プローブの他端を共通接続して前記インピーダンス測定装置の前記入力部に接続する接続処理を実行可能に構成され、前記インピーダンス測定装置は、前記接続装置によって前記接続処理が実行された状態において前記出力部および前記入力部間のインピーダンスを測定して表示する。
【００１０】
請求項４記載のコンタクト検査システムは、請求項３記載のコンタクト検査システムにおいて、前記制御信号を前記接続装置に出力する制御装置を備えて構成されている。
【００１１】
請求項５記載のコンタクト検査システムは、請求項４記載のコンタクト検査システムにおいて、前記制御装置は、前記制御信号を出力すると共に測定開始信号を出力可能に構成され、前記インピーダンス測定装置は、前記測定開始信号を入力したときに前記インピーダンスの測定をそれぞれ開始する。
【００１２】
請求項６記載のコンタクト検査システムは、請求項４または５記載のコンタクト検査システムにおいて、前記制御装置は、前記インピーダンス測定装置によって測定された測定値と予め規定された基準値とを比較してその比較結果に基づいて前記接続状態を判別する。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るコンタクト検査方法およびコンタクト検査システムの好適な実施の形態について説明する。
【００１４】
最初に、図１を参照して、第１の実施の形態に係るコンタクト検査方法を適用する検査系について説明する。なお、ネットワーク素子２の構成については、上記した構成と同一のため、各構成要素に同一の符号を付して、重複する説明を省略する。
【００１５】
この検査系では、ＬＣＲ測定装置１がインピーダンス測定装置として使用される。このＬＣＲ測定装置１は、本発明におけるインピーダンス測定装置に相当し、所定周波数の測定用信号を出力する出力部に接続されたプローブＰＨと、測定用信号を入力する入力部に接続されたプローブＰＬとに測定対象体を接続し、測定対象体を介して入力される測定用信号に基づいて、測定対象体の容量値、抵抗値およびインダクタンス値を測定可能に構成されている。
【００１６】
次に、一例として、８つのコンデンサ（電子部品）Ｃ１〜Ｃ８を環状接続したネットワーク素子２内の隣り合うコンデンサＣ，Ｃを相互に接続して形成された各電極（接続部）Ｔ１〜Ｔ８と、その各電極Ｔ１〜Ｔ８に一端を接続した耐圧試験用のプローブＰ１〜Ｐ８（以下、区別しないときには、「プローブＰ」ともいう）との接続状態を検査する際のコンタクト検査方法について説明する。
【００１７】
最初に、図１に示すように、複数のプローブＰ１〜Ｐ８を２つにグループ分けする。この際に、このコンタクト検査方法では、環状に配置される第１番目の電極Ｔ１から第Ｎ（Ｎは自然数で、この例では８）番目の電極ＴＮ（この例ではＴ８を意味する）のうちの奇数番目の各電極Ｔに接続された各プローブＰを第１グループとし、偶数番目の各電極Ｔに接続された各プローブＰを第２グループとしてグループ分けする。したがって、プローブＰ１，Ｐ３，Ｐ５，Ｐ７が第１グループとしてグループ化され、プローブＰ２，Ｐ４，Ｐ６，Ｐ８が第２グループとしてグループ化される。この場合、ネットワーク素子２に対する各プローブの接続構造は、同図に示すように、一方のグループ（第１グループ）における隣り合う一対のプローブ間に、他方のグループ（第２グループ）のプローブが１つだけ配設される構成となる。次いで、第１グループに属するすべてのプローブＰ１，Ｐ３，Ｐ５，Ｐ７の他端を共通接続し、第２グループに属するすべてのプローブＰ２，Ｐ４，Ｐ６，Ｐ８の他端を共通接続する。続いて、共通接続したプローブＰ１，Ｐ３，Ｐ５，Ｐ７の他端（共通接続部位）にＬＣＲ測定装置１のプローブＰＨを接続し、共通接続したプローブＰ２，Ｐ４，Ｐ６，Ｐ８の他端（共通接続部位）にＬＣＲ測定装置１のプローブＰＬを接続する。次に、この状態で、ＬＣＲ測定装置１を使用して両プローブＰＨ，ＰＬ間の容量を測定する。
【００１８】
一例として、各コンデンサＣ１〜Ｃ８の容量がそれぞれ値Ｃの場合、各プローブＰ１〜Ｐ８が正常に各電極Ｔ１〜Ｔ８に接続されているときには、各コンデンサＣ１〜Ｃ８の合成容量が測定されるため、測定値として値８・Ｃが測定される。一方、図２に示すように、例えば、電極Ｔ５とプローブＰ５とが未接続または接触不良のときには、コンデンサＣ４，Ｃ５の容量が加算されないため、測定値として値６・Ｃが測定される。したがって、値８・Ｃを基準値として予め規定しておくことで、測定値と基準値とを比較してその比較結果に基づいて接続状態の良否を検査することができる。この場合、例えば、測定値が基準値に対して９０％〜１１０％の範囲内であるときには、接続状態が良であると判定し、測定値が９０％未満または１１０％を超えるときには、いずれかの電極ＴとプローブＰとが未接続か、または異常が生じていると判定する。次いで、すべての電極Ｔ１〜Ｔ８と、対応するプローブＰ１〜Ｐ８とが正常に接続されていると判定したときには、各プローブＰ１〜Ｐ８とプローブＰＨ，ＰＬとの接続を解除した後、一対のプローブＰ，Ｐを耐圧試験器に接続して耐圧試験を実施する。この耐圧試験を各一対のプローブＰ，Ｐ毎に実施し、この電気的試験を終了する。
【００１９】
このように、このコンタクト検査方法によれば、各電極Ｔ１〜Ｔ８と各プローブＰ１〜Ｐ８との接続状態を１回で検査することができるため、コンタクト検査に要する処理時間を十分に短縮することができる。したがって、耐圧試験のコスト、ひいてはネットワーク素子２の製造コストを十分に低減することができる。
【００２０】
次に、第２の実施の形態に係るコンタクト検査方法の好適な実施の形態について、図３を参照して説明する。なお、同図では、ＬＣＲ測定装置１の図示を省略する。
【００２１】
同図に示すように、このコンタクト検査方法でも、最初に、複数のプローブＰ１〜Ｐ８を２つにグループ分けする。この場合、このコンタクト検査方法では、プローブＰ１，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ８を第１グループとし、プローブＰ２，Ｐ３，Ｐ６，Ｐ７を第２グループとする。これにより、ネットワーク素子２に対する各プローブの接続構造は、図３に示すように、第１グループ（一方のグループ）のプローブと、第２グループ（他方のグループ）のプローブとが２つずつ交互に分かれる構成となる。次いで、第１グループに属するすべてのプローブＰ１，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ８の他端を共通接続し、第２グループに属するすべてのプローブＰ２，Ｐ３，Ｐ６，Ｐ７の他端を共通接続する。続いて、共通接続したプローブＰ１，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ８の他端にＬＣＲ測定装置１のプローブＰＨ（図示せず）を接続し、共通接続したプローブＰ２，Ｐ３，Ｐ６，Ｐ７の他端にＬＣＲ測定装置１のプローブＰＬ（図示せず）を接続する。次に、この状態で、第１の実施の形態で説明した手順と同様にして、ＬＣＲ測定装置１を使用して両プローブＰＨ，ＰＬ間の容量を測定する。
【００２２】
このコンタクト検査方法では、各プローブＰ１〜Ｐ８が正常に各電極Ｔ１〜Ｔ８に接続されているときには、コンデンサＣ１，Ｃ３，Ｃ５，Ｃ７の合成容量が測定されるため、測定値として値４・Ｃが測定される。一方、図４に示すように、例えば、電極Ｔ３とプローブＰ３とが接続されていないときには、コンデンサＣ３の容量に代えて、コンデンサＣ２，Ｃ３の直列容量が加算されるため、測定値として値３．５・Ｃが測定される。したがって、このコンタクト検査方法でも、値４・Ｃを基準値として予め規定しておくことで、測定値と基準値とを比較してその比較結果に基づいて接続状態の良否を検査することができる。この場合、例えば、測定値が基準値に対して９０％〜１１０％の範囲内であるときには、接続状態が良であると判定し、測定値が９０％未満または１１０％を超えるときには、いずれかの電極ＴとプローブＰとが未接続か、または異常が生じていると判定する。
【００２３】
このように、このコンタクト検査方法によれば、各電極Ｔ１〜Ｔ８と各プローブＰ１〜Ｐ８との接続状態を１回で検査することができるため、コンタクト検査に要する処理時間を十分に短縮することができる。したがって、耐圧試験のコスト、ひいてはネットワーク素子２の製造コストを十分に低減することができる。ただし、第１の実施の形態では、プローブＰ１〜Ｐ８のいずれかに未接続や接触不良が生じている場合、第２の実施の形態に係るコンタクト検査方法と比較して、基準値と測定値との差分が顕著に現れる。したがって、第１の実施の形態に係るコンタクト検査方法を採用することにより、その検査結果の信頼性を最も高めることができる。
【００２４】
次に、他のコンタクト検査方法について、図５を参照して説明する。
【００２５】
同図に示すように、このコンタクト検査方法では、一例として４台のＬＣＲ測定装置１ー１〜１−４（以下、区別しないときには、「ＬＣＲ測定装置１」といもいう）を使用する。この場合、使用するＬＣＲ測定装置１の数は、１回で検査するプローブＰの数による。つまり、接続状態を検査するプローブＰの数がＭ（Ｍは４以上の偶数とする）のときには、（Ｍ／２）台のＬＣＲ測定装置１を使用することにより、このコンタクト検査方法を１回実施するだけで、すべてのプローブＰに対するコンタクト検査が完了する。
【００２６】
このコンタクト検査方法では、まず、一対の電極Ｔ，Ｔに接続されたプローブＰ，ＰをＬＣＲ測定装置１のプローブＰＨ，ＰＬまたは接続端子（同図では接続端子を使用するものとし、その接続端子の図示を省略する）に接続する。具体的には、電極Ｔ１，Ｔ２に接続されたプローブＰ１，Ｐ２をＬＣＲ測定装置１−１の接続端子にそれぞれ接続し、電極Ｔ３，Ｔ４に接続されたプローブＰ３，Ｐ４をＬＣＲ測定装置１−２の接続端子にそれぞれ接続する。同様にして、電極Ｔ５，Ｔ６に接続されたプローブＰ５，Ｐ６をＬＣＲ測定装置１−３の接続端子にそれぞれ接続し、電極Ｔ７，Ｔ８に接続されたプローブＰ７，Ｐ８をＬＣＲ測定装置１−４の接続端子にそれぞれ接続する。
【００２７】
次いで、各ＬＣＲ測定装置１−１〜１−４を使用して同時に容量を測定する。この場合、各プローブＰ１〜Ｐ８が各電極Ｔ１〜Ｔ８に正常に接続されているときには、各ＬＣＲ測定装置１によって測定される各測定値はそれぞれ値（８・Ｃ／７）となる。具体的には、例えば、ＬＣＲ測定装置１−１では、コンデンサＣ１の容量と、コンデンサＣ２〜Ｃ８の直列容量との合成容量となる。したがって、上記の値（８・Ｃ／７）が測定される。一方、いずれかの電極Ｔと、対応するプローブＰとが接触不良または未接触の場合、その電極Ｔに接続されているＬＣＲ測定装置１によって測定される容量は、浮遊容量を無視すれば、ほぼ０となる。したがって、このコンタクト検査方法であっても、値８・Ｃ／７を基準値として予め規定しておくことで、測定値と基準値とを比較してその比較結果に基づいて接続状態の良否を検査することができる。この場合、例えば、測定値が基準値に対して９０％〜１１０％の範囲内であるときには、接続状態が良であると判定し、測定値が９０％未満または１１０％を超えるときには、いずれかの電極ＴとプローブＰとが未接続であると判定する。このように、このコンタクト検査方法によれば、すべての電極Ｔと、対応する各プローブＰとの接触状態を１回のコンタクト検査で検査することができる。したがって、コンタクト検査に要する処理時間を十分に短縮することができる。また、このコンタクト検査方法によれば、各ＬＣＲ測定装置１によって測定された容量（インピーダンス）を確認することで、電極ＴとプローブＰとが未接触または接触不良の箇所を容易に特定することができる。
【００２８】
次に、耐圧試験システムＳＹＳ１に本発明に係るコンタクト検査システムを適用した例について、図６を参照して説明する。なお、一例として、ネットワーク素子２の各電極Ｔ１〜Ｔ８とプローブＰ１〜Ｐ８との接続状態を検査する例について説明する。
【００２９】
図６に示すように、この耐圧試験システムＳＹＳ１は、ＬＣＲ測定装置１と、本発明における接続装置に相当するスキャナ装置１１と、制御装置１２と、耐圧試験器３１と、複数の接触型のプローブＰ１〜Ｐ８とを備えて構成されている。
【００３０】
スキャナ装置１１は、第１群のスイッチＳ１〜Ｓ８と、第２群のスイッチＳ９，Ｓ１０とを備えて構成されている。この場合、スイッチＳ１〜Ｓ８は、制御装置１２から制御信号Ｓｃ１が出力された際には、ネットワーク素子２における第１番目の電極Ｔ１から第Ｎ（この例では８）番目の電極ＴＮ（この例ではＴ８）のうちの奇数番目の各電極Ｔに接続された各プローブＰを第１グループとしてＬＣＲ測定装置１のプローブＰＨに接続すると共に偶数番目の各電極Ｔに接続された各プローブＰを第２グループとしてグループ分けしてＬＣＲ測定装置１のプローブＰＬに接続する。また、スイッチＳ１〜Ｓ８は、制御装置１２から制御信号Ｓｃ１の出力が停止された際には、各プローブＰ１〜Ｐ８とスイッチＳ９，Ｓ１０の各接点とを接続する。なお、各スイッチＳ１〜Ｓ８の各ｃ接点は、それぞれプローブＰ１〜Ｐ８に接続され、各プローブＰ１〜Ｐ８は、図外のプローブ自動接続機構によってネットワーク素子２の電極Ｔ１〜Ｔ８に接続される。一方、スイッチＳ９，Ｓ１０は、制御装置１２から出力される制御信号Ｓｃ２に従い、各ａ接点〜ｄ接点のいずれかをｅ接点にそれぞれ接続する。
【００３１】
制御装置１２は、スキャナ装置１１、ＬＣＲ測定装置１および耐圧試験器３１を制御する。具体的には、制御装置１２は、制御信号Ｓｃ１を出力して各スイッチＳ１〜Ｓ８の切替を制御すると共に制御信号Ｓｃ２を出力して各スイッチＳ９，Ｓ１０の切替を制御する。また、制御装置１２は、ＬＣＲ測定装置１に対してスタート信号Ｓｔ１を出力して測定を開始させると共に、ＬＣＲ測定装置１から測定データＤｔが出力された際には、その測定データＤｔと所定の基準値（例えば、上記した値８・Ｃ）とを比較して、その基準値に対して９０％〜１１０％の範囲内か否かを検査（比較）し、その検査結果（比較結果）に基づいて、電極Ｔ１〜Ｔ８とプローブＰ１〜Ｐ８との接続の良否を判別する。また、制御装置１２は、接続が良好と判別したときには、制御信号Ｓｃ２を出力して各スイッチＳ９，Ｓ１０の切替を制御すると共に耐圧試験器３１に対してスタート信号Ｓｔ２を出力して耐圧試験を開始させる。
【００３２】
この耐圧試験システムＳＹＳ１では、耐圧試験の際に、プローブ自動接続機構が、図外の搬送機構によって測定位置まで搬送された測定対象のネットワーク素子２における各電極Ｔ１〜Ｔ８に各プローブＰ１〜Ｐ８をそれぞれ自動接続する。次いで、制御装置１２が、制御信号Ｓｃ１を出力することにより、各スイッチＳ１〜Ｓ８を切り替え制御してｃ接点とｂ接点とを接続する。この際には、スキャナ装置１１は、プローブＰ１，Ｐ３，Ｐ５，Ｐ７を共通接続してＬＣＲ測定装置１のプローブＰＨに接続すると共にプローブＰ２，Ｐ４，Ｐ６，Ｐ８を共通接続してＬＣＲ測定装置１のプローブＰＬに接続する。次いで、制御装置１２は、スタート信号Ｓｔ１をＬＣＲ測定装置１に出力する。これにより、ＬＣＲ測定装置１は、容量測定を開始し、容量測定を終了した時点で、制御装置１２に対して測定データＤｔを出力する。
【００３３】
続いて、制御装置１２は、測定データＤｔに基づいて接続不良と判別したときには、その旨を図外の表示装置に表示させると共にプローブ自動接続機構に対して各電極Ｔ１〜Ｔ８と各プローブＰ１〜Ｐ８との接続を解除させた後に、再度自動接続を実行させて、上記の処理を再度実行する。一方、接続良好と判別したときには、制御装置１２は、その旨を表示装置に表示させると共に、制御信号Ｓｃ１の出力を停止することにより、各スイッチＳ１〜Ｓ８を切り替え制御してｃ接点とａ接点とを接続させる。この際には、スイッチＳ１，Ｓ３，Ｓ５，Ｓ７の各ａ接点がスイッチＳ９のａ接点〜ｄ接点にそれぞれ接続されると共にスイッチＳ２，Ｓ４，Ｓ６，Ｓ８の各ａ接点がスイッチＳ１０のａ接点〜ｄ接点にそれぞれ接続される。次いで、制御装置１２は、制御信号Ｓｃ２を出力することにより、スイッチＳ９，Ｓ１０を切り替え制御して各ｅ接点と各ａ接点とを接続させる。この後、制御装置１２は、スタート信号Ｓｔ２を耐圧試験器３１に出力する。これにより、耐圧試験器３１は、コンデンサＣ１に対する耐圧試験を開始し、その試験を終了した時点で、制御装置１２に対して試験終了信号Ｓｅを出力する。この後、制御装置１２は、制御信号Ｓｃ２を出力してスイッチＳ９．Ｓ１０を切り替え制御することにより、耐圧試験器３１に対して各コンデンサＣの耐圧試験を順次実行させる。次いで、すべてのコンデンサＣに対する耐圧試験を終了したときに、このネットワーク素子２に対する耐圧試験が終了する。
【００３４】
このように、この耐圧試験システムＳＹＳ１によれば、スキャナ装置１１が制御装置１２によって制御されることによってプローブＰ１〜Ｐ８を２つにグループ分けして各グループのプローブＰを共通接続すると共にその共通接続した各プローブＰをＬＣＲ測定装置１のプローブＰＨ，ＰＬに自動接続し、かつ、その状態でＬＣＲ測定装置１が容量を測定することにより、各電極Ｔ１〜Ｔ８と各プローブＰ１〜Ｐ８との接続状態を１回で検査することができるため、コンタクト検査に要する処理時間を十分に短縮することができる。したがって、耐圧試験のコスト、ひいてはネットワーク素子２の製造コストを十分に低減することができる。また、スキャナ装置１１が制御信号Ｓｃ１，Ｓｃ２に従って接続処理を自動実行し、かつＬＣＲ測定装置１がスキャナ装置１１によって接続処理が実行された状態において容量を自動測定することにより、人件費が不要となる結果、ネットワーク素子２に対する測定コストを格段に低減することができる。さらに、制御装置１２がＬＣＲ測定装置１によって測定された測定値と基準値とを比較してその比較結果に基づいて接続状態を判別することにより、コンタクト検査を自動化することができる。
【００３５】
なお、本発明は、上記した各実施の形態に示した構成に限定されず、適宜変更することが可能である。例えば、ネットワーク素子２内の素子の種類はコンデンサＣに限らず、抵抗やインダクタなどであってもよい。また、コンデンサ、抵抗およびインダクタが混在しているネットワーク素子であっても、そのネットワーク素子についての基準値を予め規定しておき、その基準値と測定値とを比較することで、すべての電極Ｔと、対応する各プローブＰとの接触状態を１回でコンタクト検査することができる。また、本発明におけるインピーダンス測定装置はＬＣＲ測定装置１に限らず、ネットワーク素子内の電子部品を測定するのに適した各種測定装置を用いることができる。例えば、ネットワーク素子として、複数の抵抗を環状接続したタイプのものであれば、インピーダンス測定装置として、抵抗計を使用することができる。また、ネットワーク素子内の各電子部品を測定する順序を問わないのは勿論である。さらに、本発明に係るコンタクト検査システムは、耐圧試験システムＳＹＳ１への適用に限らず、各種電気的試験システムに適用が可能である。
【００３６】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係るコンタクト検査方法およびコンタクト検査システムによれば、環状に配置される第１番目から第Ｎ番目の接続部のうちの奇数番目の各接続部にそれぞれ接続された各プローブを第１グループとすると共に、偶数番目の各接続部にそれぞれ接続された各プローブを第２グループとしてグループ分けし、第１グループに属するすべてのプローブの他端を共通接続し、第２グループに属するすべてのプローブの他端を共通接続し、２つの共通接続部位間のインピーダンスを測定し、その測定値と予め規定した基準値とを比較してその比較結果に基づいて接続状態を検査することにより、各接続部と各プローブとの接続状態を１回で検査することができるため、コンタクト検査に要する処理時間を十分に短縮することができる。したがって、各種電気的試験のコスト、ひいてはネットワーク素子の製造コストを十分に低減することができる。また、プローブのいずれかに接触不良や未接続が生じている場合に、基準値と測定値との差分が顕著に現れるため、コンタクト検査の信頼性を十分に高めることができる。
【００３７】
また、本発明に係るコンタクト検査方法によれば、環状に配置される第１番目から第Ｎ（Ｎは自然数）番目の接続部にプローブをそれぞれ接続すると共に、一方のグループのプローブと他方のグループのプローブとが２つずつ交互に分かれるように複数のプローブを第１グループおよび第２グループにグループ分けし、第１グループに属するすべてのプローブの他端を共通接続し、第２グループに属するすべてのプローブの他端を共通接続し、２つの共通接続部位間のインピーダンスを測定し、その測定値と予め規定した基準値とを比較してその比較結果に基づいて接続状態を検査することにより、各接続部と各プローブとの接続状態を１回で検査することができるため、コンタクト検査に要する処理時間を十分に短縮することができる。したがって、各種電気的試験のコスト、ひいてはネットワーク素子の製造コストを十分に低減することができる。
【００３８】
また、本発明に係るコンタクト検査システムによれば、制御信号を接続装置に出力する制御装置を備えたことにより、接続装置による接続処理を自動的に実行させるシステムを構築することができる。
【００３９】
さらに、本発明に係るコンタクト検査システムによれば、制御装置が制御信号を出力すると共に測定開始信号を出力し、測定装置が測定開始信号を入力したときにインピーダンスの測定を開始することにより、測定装置による測定を自動的に実行させるシステムを構築することができる。
【００４０】
また、本発明に係るコンタクト検査システムによれば、制御装置がインピーダンス測定装置によって測定された測定値と予め規定された基準値とを比較してその比較結果に基づいて接続状態を判別することにより、コンタクト検査を自動化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第１の実施の形態に係るコンタクト検査方法を適用する検査系の回路図である。
【図２】  ネットワーク素子２における電極Ｔ５とプローブＰ５とが未接続の状態を示す回路図である。
【図３】  第２の実施の形態に係るコンタクト検査方法を適用する検査系の回路図である。
【図４】  ネットワーク素子２における電極Ｔ３とプローブＰ３とが未接続の状態を示す回路図である。
【図５】  コンタクト検査方法を適用する他の検査系の回路図である。
【図６】  耐圧試験システムＳＹＳ１の構成を示す構成図である。
【図７】  従来のコンタクト検査方法を適用する検査系の回路図である。
【符号の説明】
１，１−１〜１−４  ＬＣＲ測定装置
２  ネットワーク素子
１１  スキャナ装置
１２  制御装置
Ｃ１〜Ｃ８  コンデンサ
Ｐ１〜Ｐ８，ＰＨ，ＰＬ  プローブ
Ｓｔ  スタート信号
ＳＹＳ１  耐圧試験システム
Ｔ１〜Ｔ８  電極
【図１】
0004044317.tif 000002
【図２】
0004044317.tif 000003
【図３】
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【図４】
0004044317.tif 000005
【図５】
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【図６】
0004044317.tif 000007
【図７】
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