【手続補正書】
【提出日】平成19年12月26日(2007.12.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被写体面と、
ビームを分離するための１つの光学要素と、
凹面鏡と、
像平面と、
前記被写体面とビームを分離するための前記光学要素との間に配置された第１のレンズ系と、
ビームを分離するための前記光学要素と前記凹面鏡との間に配置された第２の二重パスレンズ系と、
ビームを分離するための前記光学要素と前記像平面との間に配置された第３のレンズ系と、
を備え、
前記第２のレンズ系が最大で５つのレンズを備えていて、該レンズの２つが発散レンズであることを特徴とする投射露光レンズ。
【請求項２】
前記第２のレンズ系が２つのレンズを備えていることを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項３】
前記第２のレンズ系が３つのレンズを備えていることを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項４】
前記第２のレンズ系の前記２つのレンズの頂点間の距離は、０．６×前記凹面鏡の直径よりも小さいことを特徴とする請求項２に記載の投射露光レンズ。
【請求項５】
前記３つのレンズは第１、第２、第３のレンズからなり、前記第２のレンズ系の前記第１のレンズと前記第３のレンズとの頂点間の距離は、０．６×前記凹面鏡の直径よりも小さいことを特徴とする請求項３に記載の投射露光レンズ。
【請求項６】
前記２つのレンズのそれぞれの直径は、１．１×開口絞りの直径よりも大きいことを特徴とする請求項２に記載の投射露光レンズ。
【請求項７】
前記３つのレンズのそれぞれの直径は、１．１×開口絞りの直径よりも大きいことを特徴とする請求項３に記載の投射露光レンズ。
【請求項８】
ビームを分離するための前記光学要素と前記第２のレンズ系の２つの第１のレンズとの間の距離は、１．５×前記レンズの直径よりも大きいことを特徴とする請求項２に記載の投射露光レンズ。
【請求項９】
ビームを分離するための前記光学要素と前記第２のレンズ系の３つの第１のレンズとの間の距離は、１．５×前記レンズの直径よりも大きいことを特徴とする請求項３に記載の投射露光レンズ。
【請求項１０】
ビームを分離するための前記光学要素は、ビームスプリッタもしくは折り曲げ面を備えていることを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項１１】
ｒｍｓ波面収差は、２０ミリ波よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項１２】
前記第１のレンズ系が１つのレンズから成ることを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項１３】
前記第１のレンズ系の１つのレンズが収斂レンズであることを特徴とする請求項１２に記載の投射露光レンズ。
【請求項１４】
前記第１のレンズ系の１つのレンズが１つの非球面を有していることを特徴とする請求項１３に記載の投射露光レンズ。
【請求項１５】
ビームを折り曲げるための面が２つの折り曲げミラーを備えることを特徴とする請求項１０に記載の投射露光レンズ。
【請求項１６】
前記折り曲げミラーがプリズムの内面であることを特徴とする請求項１５に記載の投射露光レンズ。
【請求項１７】
プリズム材料が１．４よりも大きい屈折率を有していることを特徴とする請求項１６に記載の投射露光レンズ。
【請求項１８】
プリズム材料は、−２０℃〜＋３００℃の温度領域で、１０−６Ｋ−１よりも小さい膨張係数を有していることを特徴とする請求項１７に記載の投射露光レンズ。
【請求項１９】
前記折り曲げミラーの面は高反射薄膜でコーティングされていることを特徴とする請求項１５に記載の投射露光レンズ。
【請求項２０】
前記折り曲げミラーは１つの非球面を備えていることを特徴とする請求項１５に記載の投射露光レンズ。
【請求項２１】
前記第２のレンズ系と前記凹面鏡は、折り曲げられた光軸に沿って配置されていることを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項２２】
折り曲げミラーが、前記第１のレンズ系の光軸と前記第２のレンズ系の光軸とが交差する領域に配置されていることを特徴とする請求項２１に記載の投射露光レンズ。
【請求項２３】
前記第１のレンズ系の第１のレンズの前記被写体面からの離間距離よりも、前記第２の二重パスレンズ系のレンズ及び前記凹面鏡の方が前記被写体面から大きく離れるように、折り曲げ角度は９０°から逸れていることを特徴とする請求項１５に記載の投射露光レンズ。
【請求項２４】
投射露光レンズは中間像を備えていることを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項２５】
前記中間像が前記第３のレンズ系に配置されていることを特徴とする請求項２４に記載の投射露光レンズ。
【請求項２６】
前記中間像は、ビームを分離するための前記光学要素と前記第３のレンズ系の第１のレンズとの間に配置されていることを特徴とする請求項２４に記載の投射露光レンズ。
【請求項２７】
前記第３のレンズ系が開口絞りを備えていることを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項２８】
前記第３のレンズ系は、前記中間像と前記開口絞りとの間に配置されたレンズを有さない長いドリフト空間を備えていることを特徴とする請求項２７に記載の投射露光レンズ。
【請求項２９】
前記中間像と前記開口絞りとの間のレンズを有さないドリフト部分は、ビームを分離するための前記光学要素と前記像平面との間の距離の２５％よりも大きいことを特徴とする請求項２７に記載の投射露光レンズ。
【請求項３０】
前記第３のレンズ系の中間像から始まる前記像平面と前記中間像との間の距離の５０％の範囲内に、最大で４つのレンズが配置されていることを特徴とする請求項２４に記載の投射露光レンズ。
【請求項３１】
前記第３のレンズ系のレンズは、前記開口絞りと前記像平面との間に密に詰められていることを特徴とする請求項２８に記載の投射露光レンズ。
【請求項３２】
前記中間像の平面は自由に接近できることを特徴とする請求項２４に記載の投射露光レンズ。
【請求項３３】
前記中間像の平面内には、視野絞りが配置されていることを特徴とする請求項３２に記載の投射露光レンズ。
【請求項３４】
前記第２のレンズ系及び前記凹面鏡から成るサブシステムは非球面を備えていることを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項３５】
前記凹面鏡と隣り合う前記第２のレンズ系のレンズが非球面を備えていることを特徴とする請求項３４に記載の投射露光レンズ。
【請求項３６】
前記凹面鏡が非球面を備えていることを特徴とする請求項３４に記載の投射露光レンズ。
【請求項３７】
前記凹面鏡と隣り合うレンズは、前記凹面鏡の面と対向して配置される非球面を備えていることを特徴とする請求項３５に記載の投射露光レンズ。
【請求項３８】
前記凹面鏡が非球面を備えていることを特徴とする請求項３７に記載の投射露光レンズ。
【請求項３９】
開口絞りが前記第３のレンズ系に配置されるとともに、１又は２つ以上の非球面に関する条件ｈ／φ＞１．２が満たされ、この場合、ｈは、前記被写体面の光軸の交差部から放射され且つ最大の開口数を有するレンズ面を透過する光ビームの各レンズ面での高さであり、φは、第３のレンズ群の開口絞りの半径であることを特徴とする請求項３４に記載の投射露光レンズ。
【請求項４０】
前記第３のレンズ系のレンズの１つの面が非球面であることを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項４１】
前記第３のレンズ系のレンズの１つの非球面は、開口面の前側に配置され、少なくとも１つは開口面の後側に配置されていることを特徴とする請求項４０に記載の投射露光レンズ。
【請求項４２】
前記像平面と隣り合うレンズの一方の面が非球面であることを特徴とする請求項４０に記載の投射露光レンズ。
【請求項４３】
投射露光レンズの全てのレンズが同じ材料によって形成されていることを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項４４】
複数のレンズが第１の材料及び第２の材料によって形成され、４つ以下のレンズが第２の材料によって形成されていることを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項４５】
前記第１の材料又は前記第２の材料は、石英ガラス、ＬｉＦ、ＣａＦ２、ＢａＦ２、フッ化クリスタルのいずれか一つまたはこれらの組み合わせであることを特徴とする請求項４３又は請求項４４に記載の投射露光レンズ。
【請求項４６】
投射露光レンズを介して伝わる光の波長に応じて、以下の材料が使用される、
１８０＜λ＜２５０ｎｍ：石英又はＣａＦ２
１２０＜λ＜１８０ｎｍ：ＣａＦ２又はＢａＦ２
ことを特徴とする請求項４５に記載の投射露光レンズ。
【請求項４７】
前記第３のレンズ系は、視野レンズ群、中間補正レンズ群、合焦レンズ群から成ることを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項４８】
前記視野レンズ群は収斂屈折力を有し、前記中間補正レンズ群は収斂もしくは発散屈折力を有し、前記合焦レンズ群は収斂屈折力を有することを特徴とする請求項４７に記載の投射露光レンズ。
【請求項４９】
発散パワーレンズ及び収斂パワーレンズを被写体側からこの順序で有する１つのプラスパワーダブレットが、前記第３のレンズ系に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項５０】
投射露光系は中間像を有し、前記被写体面と中間の像平面との間の結像比は０．９０よりも大きく、しかし統一されていないことを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項５１】
投射露光系は中間像を有し、前記第３のレンズ系は一対の凹凸レンズを備え、中間像側の凹凸レンズの凹面は中間像に面し、他の凹面は反対側に面していることを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項５２】
一対の凹凸レンズは前記中間補正レンズ群に配置されていることを特徴とする請求項４７に記載の投射露光レンズ。
【請求項５３】
プラスパワーダブレットが前記合焦レンズ群に配置されていることを特徴とする請求項４７に記載の投射露光レンズ。
【請求項５４】
プラスパワーダブレットの１つは、前記第３のレンズ群の開口面に隣接して配置されていることを特徴とする請求項４９に記載の投射露光レンズ。
【請求項５５】
長手方向の有色収差は、１９３ｎｍで、１ｐｍの帯域幅につき、０．０１５μｍよりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項５６】
長手方向の有色収差は、１５７ｎｍで、１ｐｍの帯域幅につき、０．０５μｍよりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項５７】
両側でテレセントリックであることを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項５８】
−  ＵＶレーザ光源と、
−  照明光学系と、
−  マスク操作及び位置決めシステムと、
−  請求項１に記載の投射露光レンズと、
−  ウエハ操作及び位置決めシステムと、
を備えていることを特徴とする投射露光装置。
【請求項５９】
請求項５８に記載の投射露光装置を使用してリソグラフィにより微構造デバイスを製造する方法であり、マスクが、前記照明光学系によって照射され、ウエハ上に前記投射露光レンズによって投射される方法。
【請求項６０】
ステップアンドリピート、走査、又はステッチング露光スキームを使用することを特徴とする請求項５９に記載の方法。
【請求項６１】
前記第２のレンズ系の前記２つのレンズの頂点間の距離は、０．５×前記凹面鏡の直径よりも小さいことを特徴とする請求項２に記載の投射露光レンズ。
【請求項６２】
前記３つのレンズは第１、第２、第３のレンズからなり、前記第２のレンズ系の前記第１のレンズと前記第３のレンズとの頂点間の距離は、０．５×前記凹面鏡の直径よりも小さいことを特徴とする請求項３に記載の投射露光レンズ。
【請求項６３】
前記２つのレンズのそれぞれの直径は、１．２×開口絞りの直径よりも大きいことを特徴とする請求項２に記載の投射露光レンズ。
【請求項６４】
前記３つのレンズのそれぞれの直径は、１．２×開口絞りの直径よりも大きいことを特徴とする請求項３に記載の投射露光レンズ。
【請求項６５】
ビームを分離するための前記光学要素と前記第２のレンズ系の２つの第１のレンズとの間の距離は、１．８×前記レンズの直径よりも大きいことを特徴とする請求項２に記載の投射露光レンズ。
【請求項６６】
ビームを分離するための前記光学要素と前記第２のレンズ系の３つの第１のレンズとの間の距離は、１．８×前記レンズの直径よりも大きいことを特徴とする請求項３に記載の投射露光レンズ。
【請求項６７】
ｒｍｓ波面収差は、１０ミリ波よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項６８】
前記第１の材料及び前記第２の材料は、石英ガラス、ＬｉＦ、ＣａＦ２、ＢａＦ２、フッ化クリスタルのいずれか一つまたはこれらの組み合わせであることを特徴とする請求項４４に記載の投射露光レンズ。
【請求項６９】
投射露光レンズを介して伝わる光の波長に応じて、以下の材料が使用される、
１８０＜λ＜２５０ｎｍ：石英及びＣａＦ２
１２０＜λ＜１８０ｎｍ：ＣａＦ２及びＢａＦ２
ことを特徴とする請求項６８に記載の投射露光レンズ。
【請求項７０】
複数のレンズが第１の材料及び第２の材料によって形成され、３つ以下のレンズが第２の材料によって形成されていることを特徴とする請求項１に記載の投射露光レンズ。
【請求項７１】
投射露光レンズを介して伝わる光の波長に応じて、以下の材料が使用される、
１８０＜λ＜２５０ｎｍ：石英及びＣａＦ２
１２０＜λ＜１８０ｎｍ：ＣａＦ２及びＢａＦ２
ことを特徴とする請求項７０に記載の投射露光レンズ。
【請求項７２】
複数のレンズが第１の材料及び第２の材料によって形成され、３つ以下のレンズが第２の材料によって形成されていることを特徴とする請求項７０に記載の投射露光レンズ。
【請求項７３】
被写体面と、
ビームを分離するための複数の光学要素と、
凹面鏡と、
像平面と、
前記被写体面とビームを分離するための前記光学要素との間に配置された第１のレンズ系と、
ビームを分離するための前記光学要素と前記凹面鏡との間に配置された第２の二重パスレンズ系と、
ビームを分離するための前記光学要素と前記像平面との間に配置された第３のレンズ系と、
を備え、
前記第１、第２、第３のレンズ系の少なくとも１つのレンズもしくは鏡面が非球面であり、投射露光レンズの開口数ＮＡが０．７又は０．７より大きく、好ましくは０．８又は０．８より大きく、最大の像高さが１０ｍｍよりも大きく、
前記第１のレンズ系は少なくとも１つの非球面を有する１つのレンズからなることを特徴とする投射露光レンズ。
【請求項７４】
前記第２のレンズ系が最大で５つのレンズを備えていることを特徴とする請求項７３に記載の投射露光レンズ。
【請求項７５】
前記第２のレンズ系が２つのレンズを備えていることを特徴とする請求項７４に記載の投射露光レンズ。
【請求項７６】
前記第２のレンズ系が３つのレンズを備えていることを特徴とする請求項７４または７５のいずれかに記載の投射露光レンズ。