(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動板を有する第１の基板と、前記振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板とを備えた静電駆動方式のインクジェットヘッドの検査方法において、
前記インクジェットヘッドを減圧室内に収容し、前記減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させて前記振動板を変位させるようにし、前記振動板の変位に応じて変化する、前記エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する前記第２の基板側から検出することにより、前記インクジェットヘッドの良否を判定することを特徴とするインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項２】
前記減圧または加圧環境とした後、前記振動板の位置が安定する所定時間経過後に前記良否判定を行うことを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項３】
前記エアギャップの光の干渉による色が変化しているときは前記インクジェットヘッドを良品と判定し、変化していないときは前記インクジェットヘッドを不良品と判定することを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項４】
振動板を有する第１の基板と、前記振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板とを備えた静電駆動方式のインクジェットヘッドの検査方法において、
前記インクジェットヘッドを減圧室内に収容し、前記減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させ、一定時間、前記減圧または加圧環境を保持した後、大気圧環境に戻すように変化させて前記振動板を変位させるようにし、その環境変化期間内の前記振動板の変位に応じて変化する、前記エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する前記第２の基板側から検出することにより、前記インクジェットヘッドの良否を判定することを特徴とするインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項５】
前記減圧室内を前記大気圧環境に戻した後、前記振動板の位置が安定する所定時間経過後までを前記環境変化期間に含めて前記インクジェットヘッドの良否を判定することを特徴とする請求項４記載のインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項６】
前記環境変化期間内に、前記エアギャップの光の干渉による色が変化したときは前記インクジェットヘッドを良品と判定し、変化しなかったときは前記インクジェットヘッドを不良品と判定することを特徴とする請求項４または５に記載のインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項７】
インク液滴を吐出する単一または複数のノズル孔と、前記ノズル孔にそれぞれ連通し少なくとも一方の壁が振動板で前記インク液が保持される吐出室を有する第１の基板と、前記振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板とを備え、前記振動板および透明電極の間に電圧を印加することにより前記振動板を静電気力により振動させ、前記吐出室内のインク液に対してインク液滴を吐出するための圧力変動を与えるインクジェットヘッドの検査方法において、
前記インクジェットヘッドを減圧室内に収容し、前記減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させて前記振動板を変位させるようにし、前記振動板の変位に応じて変化する、前記エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する前記第２の基板から検出することにより、前記インクジェットヘッドの良否を判定することを特徴とするインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項８】
前記減圧または加圧環境とした後、前記振動板の位置が安定する所定時間経過後に前記良否判定を行うことを特徴とする請求項７記載のインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項９】
前記エアギャップの光の干渉による色が変化しているときは前記インクジェットヘッドを良品と判定し、変化していないときは前記インクジェットヘッドを不良品と判定することを特徴とする請求項７または８に記載のインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項１０】
インク液滴を吐出する単一または複数のノズル孔と、前記ノズル孔にそれぞれ連通し少なくとも一方の壁が振動板で前記インク液が保持される吐出室を有する第１の基板と、前記振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板とを備え、前記振動板および透明電極の間に電圧を印加することにより前記振動板を静電気力により振動させ、前記吐出室内のインク液に対してインク液滴を吐出するための圧力変動を与えるインクジェットヘッドの検査方法において、
前記インクジェットヘッドを減圧室内に収容し、前記減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させ、一定時間、前記減圧または加圧環境を保持した後、大気圧環境に戻すように変化させて前記振動板を変位させるようにし、その環境変化期間内の前記振動板の変位に応じて変化する、前記エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する前記第２の基板から検出することにより、前記インクジェットヘッドの良否を判定することを特徴とするインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項１１】
前記減圧室内を前記大気圧環境に戻した後、前記振動板の位置が安定する所定時間経過後までを前記環境変化期間に含めて前記インクジェットヘッドの良否を判定することを特徴とする請求項１０記載のインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項１２】
前記環境変化期間内に、前記エアギャップの光の干渉による色が変化したときは前記インクジェットヘッドを良品と判定し、変化しなかったときは前記インクジェットヘッドを不良品と判定することを特徴とする請求項１０または１１に記載のインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項１３】
前記エアギャップを目視することにより、前記エアギャップの光の干渉による色およびその変化を検知し、前記インクジェットヘッドの良否を判定することを特徴とする請求項１乃至１２のいずれかに記載のインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項１４】
前記エアギャップの部分を撮像手段により撮像することにより、前記エアギャップの光の干渉による色およびその変化を検知し、前記インクジェットヘッドの良否を判定することを特徴とする請求項１乃至１３のいずれかに記載のインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項１５】
前記撮像手段による撮像情報を表示手段により拡大表示させ、その表示結果に基づいて前記インクジェットヘッドの良否を判定することを特徴とする請求項１４に記載のインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項１６】
前記撮像手段による撮像情報が予め記憶された基準情報と同一のときは前記インクジェットヘッドを良品と判定し、異なるときは前記インクジェットヘッドを不良品と判定することを特徴とする請求項１４記載のインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項１７】
前記基準情報は、少なくともインクジェットヘッドが良品の場合のエアギャップの部分の撮像情報を含むことを特徴とする請求項１６に記載のインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項１８】
振動板を有する第１の基板と、前記振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板とを有し、前記エアギャップの内圧と外圧の圧力差を低減するための圧力補償手段を備えた静電駆動方式のインクジェットヘッドの検査方法において、
前記インクジェットヘッドを減圧室内に収容し、前記減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させて前記振動板を変位させるようにし、前記振動板の変位に応じて変化する、前記エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する前記第２の基板側から検出することにより、前記インクジェットヘッドの良否を判定することを特徴とするインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項１９】
インク液滴を吐出する単一または複数のノズル孔と、前記ノズル孔にそれぞれ連通し少なくとも一方の壁が振動板で前記インク液が保持される吐出室を有する第１の基板と、前記振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板と、前記エアギャップの内圧と外圧の圧力差を低減するための圧力補償手段とを備え、前記振動板および透明電極の間に電圧を印加することにより前記振動板を静電気力により振動させ、前記吐出室内のインク液に対してインク液滴を吐出するための圧力変動を与えるインクジェットヘッドの検査方法において、
前記インクジェットヘッドを減圧室内に収容し、前記減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させて前記振動板を変位させるようにし、前記振動板の変位に応じて変化する、前記エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する前記第２の基板から検出することにより、前記インクジェットヘッドの良否を判定することを特徴とするインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項２０】
振動板を有する第１の基板と、前記振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板と、前記エアギャップに連通し、外圧に応じて容積の増減が可能で、前記エアギャップの内圧と外圧の圧力差を低減する圧力補償室とを備えた静電駆動方式のインクジェットヘッドの検査方法において、
前記インクジェットヘッドを減圧室内に収容し、前記減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させて前記振動板を変位させるようにし、前記振動板の変位に応じて変化する、前記エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する前記第２の基板側から検出することにより、前記インクジェットヘッドの良否を判定することを特徴とするインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項２１】
振動板を有する第１の基板と、前記振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板と、前記エアギャップに連通し、外圧に応じて容積の増減が可能で、一部が外圧に応じて変位可能な変位板により構成した前記エアギャップの内圧と外圧の圧力差を低減する圧力補償室とを備えた静電駆動方式のインクジェットヘッドの検査方法において、
前記インクジェットヘッドを減圧室内に収容し、前記減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させて前記振動板を変位させるようにし、前記振動板の変位に応じて変化する、前記エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する前記第２の基板側から検出することにより、前記インクジェットヘッドの良否を判定することを特徴とするインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項２２】
振動板を有する第１の基板と、前記振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板と、前記エアギャップに連通し、外圧に応じて容積の増減が可能で、一部が外圧に応じて変位可能な変位板により構成し、内部の前記変位板に対向する位置に透明電極を有した前記エアギャップの内圧と外圧の圧力差を低減する圧力補償室とを備えた静電駆動方式のインクジェットヘッドの検査方法において、
前記インクジェットヘッドを減圧室内に収容し、前記減圧室内を大気圧環境から、減圧または加圧環境下に変化させ、前記大気圧環境での前記振動板の位置と、前記減圧または加圧環境下での前記振動板の位置とに応じた、前記エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する前記第２の基板側から検出することにより、前記インクジェットヘッドの良否を判定することを特徴とするインクジェットヘッドの検査方法。
【請求項２３】
振動板を有する第１の基板と、前記振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板とを備えた静電駆動方式のインクジェットヘッドが収容される減圧室と、前記減圧室を減圧または加圧環境下あるいは大気圧環境下にする駆動手段と、前記減圧または加圧環境下あるいは大気圧環境下での前記インクジェットヘッドのエアギャップの部分を撮像する撮像手段と、前記撮像手段からの撮像情報を拡大表示する表示手段と、前記インクジェットヘッドの良否を判定する判定手段とを備え、
前記駆動手段は、前記減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させて前記振動板を変位させるようにし、前記判定手段は、前記振動板の変位に応じて変化する、前記エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する前記第２の基板側から前記撮像手段で撮像した結果に基づき、前記インクジェットヘッドの良否を判定することを特徴とするインクジェットヘッドの検査装置。
【請求項２４】
前記判定手段は、前記減圧または加圧環境とした後、前記振動板の位置が安定した所定時間経過後に前記良否判定を行うことを特徴とする請求項２３に記載のインクジェットヘッドの検査装置。
【請求項２５】
前記判定手段は、前記エアギャップの光の干渉による色が変化しているときは前記インクジェットヘッドを良品と判定し、変化していないときは前記インクジェットヘッドを不良品と判定することを特徴とする請求項２３または２４に記載のインクジェットヘッドの検査装置。
【請求項２６】
振動板を有する第１の基板と、前記振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板とを備えた静電駆動方式のインクジェットヘッドが収容される減圧室と、前記減圧室を減圧または加圧環境下あるいは大気圧環境下にする駆動手段と、前記減圧または加圧環境下あるいは大気圧環境下での前記インクジェットヘッドのエアギャップの部分を撮像する撮像手段と、前記撮像手段からの撮像情報を拡大表示する表示手段と、前記インクジェットヘッドの良否を判定する判定手段とを備え、
前記駆動手段は、前記減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させ、一定時間、減圧または加圧環境を保持した後、大気圧環境に戻すように変化させて前記振動板を変位させるようにし、
前記判定手段は、その環境変化期間内の前記振動板の変位に応じて変化する、前記エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する前記第２の基板側から前記撮像手段で撮像した結果に基づき、前記インクジェットヘッドの良否を判定することを特徴とするインクジェットヘッドの検査装置。
【請求項２７】
前記判定手段は、前記減圧室内を前記大気圧環境に戻した後、前記振動板の位置が安定する所定時間経過後までを前記環境変化期間に含めて前記インクジェットヘッドの良否を判定することを特徴とする請求項２６記載のインクジェットヘッドの検査装置。
【請求項２８】
前記判定手段は、前記環境変化期間内に、前記エアギャップの光の干渉による色が変化したときは前記インクジェットヘッドを良品と判定し、変化しなかったときは前記インクジェットヘッドを不良品と判定することを特徴とする請求項２６または２７に記載のインクジェットヘッドの検査装置。
【請求項２９】
前記減圧室の少なくとも一方の面を透明部材により構成し、前記インクジェットヘッドをそのエアギャップの部分が前記一方の面に対応するように収容することを特徴とする請求項２３乃至２８のいずれかに記載のインクジェットヘッドの検査装置。
【請求項３０】
前記判定手段は、前記インクジェットヘッドのエアギャップの部分を撮像する撮像手段と、前記撮像手段からの撮像情報と予め記憶される基準情報とに基づいて前記インクジェットヘッドの良否を判定する処理手段と、前記処理手段の判定結果を出力する出力手段とを備えたことを特徴とする請求項２３乃至２９のいずれかに記載のインクジェットヘッドの検査装置。
【請求項３１】
前記撮像手段を前記減圧室内に設置したことを特徴とする請求項３０記載のインクジェットヘッドの検査装置。
【請求項３２】
前記撮像手段を前記減圧室の透明部材からなる一方の面に対応して設置したことを特徴とする請求項３０または３１に記載のインクジェットヘッドの検査装置。
【請求項３３】
前記基準情報は、少なくともインクジェットヘッドが良品の場合のエアギャップの部分の撮像情報を含むことを特徴とする請求項３０乃至３２のいずれかに記載のインクジェットヘッドの検査装置。
【請求項３４】
前記撮像手段をＣＣＤカメラとしたことを特徴とする請求項３０乃至３３のいずれかに記載のインクジェットヘッドの検査装置。
【請求項３５】
前記出力手段を表示手段および報知手段、またはいずれか一方により構成したことを特徴とする請求項３０乃至３４のいずれかに記載のインクジェットヘッドの検査装置。
【請求項３６】
前記表示手段は、文字または絵により前記インクジェットヘッドの良否の結果を表示することを特徴とする請求項３５記載のインクジェットヘッドの検査装置。
【請求項３７】
前記報知手段は、音により前記インクジェットヘッドの良否の結果を示すことを特徴とする請求項３５記載のインクジェットヘッドの検査装置。
【請求項３８】
前記駆動手段は、前記減圧室と外気側を連通させる配管と、前記配管に設けられ前記減圧室内の空気を排出するポンプと、前記配管に設けられ前記減圧室を開閉により大気圧環境下あるいは減圧または加圧環境下に保持する開閉バルブとを備えたことを特徴とする請求項２３乃至３７のいずれかに記載のインクジェットヘッドの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、紙などの記録紙面にインク液滴を吐出して付着させるインクジェット記録装置の主要部であるインクジェットヘッド、特に静電駆動方式のインクジェットヘッドの良否を判定する検査方法およびその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図６は静電駆動方式のインクジェットヘッドの断面図である。図において、１はインク液滴を基板の端部に設けたノズル孔から吐出させるエッジ型インクジェットヘッドで、３枚の基板２，３，４を重ねて接合した積層構造となっている。
【０００３】
第１の基板２は、シリコンによって構成され、３枚のうちの中間に位置している。この第１の基板２の上面側には、一方の側（ここでは図６の左側）に複数のノズル孔５が形成されるように一端より平行に等間隔で設けられた複数のノズル溝６と、ノズル溝６にそれぞれ連通し一方の壁（ここでは底壁）が振動板７である吐出室８を形成する凹部９と、凹部９の後部にオリフィス１０を形成するインク流入用細溝１１と、各吐出室８にインクを供給する共通のインクキャビティ１２を形成する凹部１３とが設けられている。
【０００４】
第２の基板３は、第１の基板２より凹部１３側が長くなるようにガラスによって構成され、第１の基板２の下面側に位置している。この第２の基板３の上面側には、第１の基板２の各吐出室８を形成する各凹部９からインクキャビティ１２を形成する凹部１３付近の対向する位置に、第１の基板２の各振動板７の振動室（エアギャップ）１４を形成する凹部１５が設けられ、その各凹部１５の内底面に例えば透明電極であるＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ、インジウム酸化第１錫）膜からなる電極１６がそれぞれ配設されていて、各振動室１４が封止されるように、第１の基板２の下面と第２の基板３の電極１６との間には封止部材１７がぞれぞれ設けられている。なお、この封止は通常大気圧下で行われる。
【０００５】
第３の基板４は、ガラスによって構成され、第１の基板２の上面側に位置している。この第３の基板４は、第１の基板２と接合することによって、第１の基板２のノズル溝６、凹部９、細溝１１および凹部１３の上部がカバーされて区画形成され、ノズル孔５、吐出室８、オリフィス１０およびインクキャビティ１２が形成される。
【０００６】
１８は第２の基板３の電極１６に電荷の供給および停止を制御する発振回路で、配線１９により第１の基板２と電極１６に接続されている。
【０００７】
このように構成されたインクジェットヘッド１は、発振回路１８より電極１６に０Ｖから１５０Ｖのパルス電圧を印加して電荷供給を行うと、電極１６の表面がマイナスに帯電して、対向する振動板７の下面はプラスに帯電し、振動板７は静電気の吸引作用によって電極１６に引きつけられて下方に撓む。これにより吐出室８の容積は広がる。ついで、電極１６への電荷供給を停止すると、振動板７は元に戻る。このとき、吐出室８の容積も元に戻るため、吐出室８の内圧が急激に上昇してノズル孔５よりインク液滴が吐出し、記録紙（図示せず）に着弾することよって記録が行われる。そして、次に振動板７が再び下方へ撓むことにより、インクキャビティ１２内のインクがオリフィス１０を通って吐出室８内に補給される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようなインクジェットヘッド１は、その品質あるいは印字性能などの良否を判定する場合、図７に示すようなプリンタに実際に組み込んだ後、次に説明するような方法で行っていた。なお、図７において、１００はプラテン、１０１はインクタンク、１０２はインクジェットヘッド１のキャリッジ、１０３はポンプ、１０４はキャップ、１０５は排インク溜、１０６はインク供給チューブ、１０７はインク排出チューブ、１０８は噴射口排出チューブ、１０９は記録紙である。
【０００９】
良否判定方法の１つ目は、（１）インク重量測定であり、一定の時間内での吐出重量を測定して１ショット当たりの吐出重量を測定する。２つ目は、（２）インク滴吐出速度測定であり、駆動周波数に周期させて吐出滴の位置を観察してインク速度を測定する。３つ目は、（３）エアギャップの観察であり、実駆動した後の各エアギャップ（振動室１４）を目視により観察して干渉色を判定する。
そして、上記（１）〜（３）の測定および判定結果がいずれも所定の値（良品の状態）をクリアしていれば、そのインクジェットヘッド１は良品であると判定され、いずれか１つでもクリアできなければ不良品と判定されていた。
【００１０】
しかしながら、上記（１）〜（３）のようなインクジェットヘッド１の良否判定方法は、プリンタ等に組み込んだ後、他の検査も含めて実駆動させて行うため、インクジェットヘッド１のみの良否の判定ではなく、インクジェットヘッド１を組み込んだプリンタに対する評価となってしまうとともに、この評価に長い時間を要していた。また、インクジェットヘッド１が不良品の場合、プリンタに組み込んだ後に不良品であることが判定されるので、不良品のインクジェットヘッド１を交換するために、プリンタを一度解体して新しいインクジェットヘッド１で組み立て直さなければならず、さらに、組み込んだインクジェットヘッド１に対して再度同様の検査を行わなければ新しいインクジェットヘッド１の良否を判定することができなかったため、相当な時間を要するとともに、コストがかかるという問題があった。
【００１１】
また、プリンタに組み込まれたインクジェットヘッド１は、インクジェットヘッド１とは関係ない部分の検査も行うので、例えば振動板７に振動室１４に連通する穴が空いてしまう振動板７の穴空き、あるいは、封止部材１７によるエアギャップ（振動室）１４の封止が不完全でエアギャップ１４の気密が保持できないエアギャップ１４の気密不良など、インクジェットヘッド１に対する不良が発見しずらいという問題もあった。
【００１２】
なお、振動板７に穴空き不良があった場合は、インクキャビティ１２中のインクが振動室１４へ流出することで、インクジェットヘッド１が正常に機能しなくなる（電圧を印加しても変位しなくなる）という状態になり、エアギャップ１４に気密不良があった場合は、振動板７が振動しなかったり、エアギャップ内にゴミなどが侵入してそのゴミが振動板７の正常な振動を妨げて、所定量のインクを吐出できないなどの状態になる。
そして、これらの不良は、インクジェットヘッド１の生産時に生じることが多い。
【００１３】
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、プリンタ等に組み込む前の静電駆動方式のインクジェットヘッドに対してその良否の判定を短時間で簡単かつ確実に低コストで行える検査方法およびその装置を提供することを目的としたものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、振動板を有する第１の基板と、振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板とを備えた静電駆動方式のインクジェットヘッドの検査方法において、インクジェットヘッドを減圧室内に収容し、減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させて振動板を変位させるようにし、振動板の変位に応じて変化する、エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する第２の基板側から検出することにより、インクジェットヘッドの良否を判定するものである。本発明においては、プリンタ等に組み込む前のインクジェットヘッドを減圧または加圧環境下に置き、インクジェットヘッドに対する良否の判定を行うようにしたので、短時間で簡単かつ確実に行うことができるとともに、従来のようにプリンタ等に組み込んだインクジェットヘッドが不良品の場合の交換などの手間を省くことができ、低コスト化を図ることができる。また、このように、エアギャップの色により良否を判定することにより、簡単かつ確実に行うことができる。
【００１５】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、減圧または加圧環境とした後、振動板の位置が安定する所定時間経過後に良否判定を行うものである。このように、インクジェットヘッドを減圧または加圧環境下に所定時間置くことにより、より確実に良否の判定を行うことができる。
【００１６】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、エアギャップの光の干渉による色が変化しているときはインクジェットヘッドを良品と判定し、変化していないときはインクジェットヘッドを不良品と判定するものである。これにより、簡単かつ確実に良否の判定を行うことができる。
【００１７】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、振動板を有する第１の基板と、振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板とを備えた静電駆動方式のインクジェットヘッドの検査方法において、インクジェットヘッドを減圧室内に収容し、減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させ、一定時間、減圧または加圧環境を保持した後、大気圧環境に戻すように変化させて振動板を変位させるようにし、その環境変化期間内の振動板の変位に応じて変化する、エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する第２の基板側から検出することにより、インクジェットヘッドの良否を判定するものである。本発明においては、プリンタ等に組み込む前のインクジェットヘッドを減圧または加圧環境下に置いた後大気圧環境下に置き、インクジェットヘッドに対する良否の判定を行うようにしたので、短時間で簡単かつ確実に行うことができるとともに、従来のようにプリンタ等に組み込んだインクジェットヘッドが不良品の場合の交換などの手間を省くことができ、低コスト化を図ることができる。また、エアギャップの色により良否を判定することにより、簡単かつ確実に行うことができる。
【００１８】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、減圧室内を大気圧環境に戻した後、振動板の位置が安定する所定時間経過後までを環境変化期間に含めてインクジェットヘッドの良否を判定するものである。このように、インクジェットヘッドを大気圧環境下に所定時間置くことにより、より確実に良否の判定を行うことができる。また、まずインクジェットヘッドを減圧または加圧環境下に所定時間置くので、大気圧環境下にしたときのインクジェットヘッドの違いがわかりやすくなり、より確実に良否の判定を行うことができる。
【００１９】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、環境変化期間内に、エアギャップの光の干渉による色が変化したときはインクジェットヘッドを良品と判定し、変化しなかったときはインクジェットヘッドを不良品と判定するものである。これにより、簡単かつ確実に良否の判定を行うことができる。
【００２０】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、インク液滴を吐出する単一または複数のノズル孔と、ノズル孔にそれぞれ連通し少なくとも一方の壁が振動板でインク液が保持される吐出室を有する第１の基板と、振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板とを備え、振動板および透明電極の間に電圧を印加することにより振動板を静電気力により振動させ、吐出室内のインク液に対してインク液滴を吐出するための圧力変動を与えるインクジェットヘッドの検査方法において、インクジェットヘッドを減圧室内に収容し、減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させて振動板を変位させるようにし、振動板の変位に応じて変化する、エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する第２の基板から検出することにより、インクジェットヘッドの良否を判定するものである。本発明においては、プリンタ等に組み込む前のインクジェットヘッドを減圧または加圧環境下に置き、インクジェットヘッドに対する良否の判定を行うようにしたので、短時間で簡単かつ確実に行うことができるとともに、従来のようにプリンタ等に組み込んだインクジェットヘッドが不良品の場合の交換などの手間を省くことができ、低コスト化を図ることができる。また、エアギャップの色により良否を判定することにより、簡単かつ確実に行うことができる。
【００２１】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、減圧または加圧環境とした後、振動板の位置が安定する所定時間経過後に良否判定を行うものである。このように、インクジェットヘッドを減圧または加圧環境下に所定時間置くことにより、より確実に良否の判定を行うことができる。
【００２２】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、エアギャップの光の干渉による色が変化しているときはインクジェットヘッドを良品と判定し、変化していないときはインクジェットヘッドを不良品と判定するものである。これにより、簡単かつ確実に良否の判定を行うことができる。
【００２３】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、インク液滴を吐出する単一または複数のノズル孔と、ノズル孔にそれぞれ連通し少なくとも一方の壁が振動板でインク液が保持される吐出室を有する第１の基板と、振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板とを備え、振動板および透明電極の間に電圧を印加することにより振動板を静電気力により振動させ、吐出室内のインク液に対してインク液滴を吐出するための圧力変動を与えるインクジェットヘッドの検査方法において、インクジェットヘッドを減圧室内に収容し、減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させ、一定時間、減圧または加圧環境を保持した後、大気圧環境に戻すように変化させて振動板を変位させるようにし、その環境変化期間内の振動板の変位に応じて変化する、エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する第２の基板から検出することにより、インクジェットヘッドの良否を判定するものである。本発明においては、プリンタ等に組み込む前のインクジェットヘッドを減圧または加圧環境下に置いた後大気圧環境下に置き、インクジェットヘッドに対する良否の判定を行うようにしたので、短時間で簡単かつ確実に行うことができるとともに、従来のようにプリンタ等に組み込んだインクジェットヘッドが不良品の場合の交換などの手間を省くことができ、低コスト化を図ることができる。また、このように、エアギャップの色により良否を判定することにより、簡単かつ確実に行うことができる。
【００２４】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、減圧室内を大気圧環境に戻した後、振動板の位置が安定する所定時間経過後までを環境変化期間に含めてインクジェットヘッドの良否を判定するものである。このように、まずインクジェットヘッドを減圧または加圧環境下に所定時間置くので、大気圧環境下にしたときのインクジェットヘッドの違いがわかりやすくなり、より確実に良否の判定を行うことができる。
【００２５】
また、インクジェットヘッドの検査方法は、環境変化期間内に、エアギャップの光の干渉による色が変化したときはインクジェットヘッドを良品と判定し、変化しなかったときはインクジェットヘッドを不良品と判定するものである。これにより、簡単かつ確実に良否の判定を行うことができる。
【００２６】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、エアギャップを目視することにより、エアギャップの光の干渉による色およびその変化を検知し、インクジェットヘッドの良否を判定するものである。これにより、短時間で簡単かつ確実に良否の判定を行うことができる。
【００２７】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、エアギャップの部分を撮像手段により撮像することにより、エアギャップの光の干渉による色およびその変化を検知し、インクジェットヘッドの良否を判定するものである。これにより、短時間でより簡単にかつより確実に良否の判定を行うことができる。
【００２８】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、撮像手段による撮像情報を表示手段により拡大表示させ、その表示結果に基づいてインクジェットヘッドの良否を判定するものである。これにより、高密度なエアギャップの部分を見やすくすることができ、短時間で簡単かつ確実に良否の判定を行うことができる。
【００２９】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、撮像手段による撮像情報が予め記憶された基準情報と同一のときはインクジェットヘッドを良品と判定し、異なるときはインクジェットヘッドを不良品と判定するものである。このように、撮像情報と基準情報により良否の判定を行うので、より確実に行うことができる。
【００３０】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、基準情報は、少なくともインクジェットヘッドが良品の場合のエアギャップの部分の撮像情報を含むものである。
【００３１】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、振動板を有する第１の基板と、振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板とを有し、エアギャップの内圧と外圧の圧力差を低減するための圧力補償手段を備えた静電駆動方式のインクジェットヘッドの検査方法において、インクジェットヘッドを減圧室内に収容し、減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させて振動板を変位させるようにし、振動板の変位に応じて変化する、エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する第２の基板側から検出することにより、インクジェットヘッドの良否を判定するものである。本発明においては、圧力補償手段を有するインクジェットヘッドにおいても良否判定を短時間で簡単かつ確実に行うことができる。
【００３２】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、インク液滴を吐出する単一または複数のノズル孔と、ノズル孔にそれぞれ連通し少なくとも一方の壁が振動板でインク液が保持される吐出室を有する第１の基板と、振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板と、エアギャップの内圧と外圧の圧力差を低減するための圧力補償手段とを備え、振動板および透明電極の間に電圧を印加することにより振動板を静電気力により振動させ、吐出室内のインク液に対してインク液滴を吐出するための圧力変動を与えるインクジェットヘッドの検査方法において、インクジェットヘッドを減圧室内に収容し、減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させて振動板を変位させるようにし、振動板の変位に応じて変化する、エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する第２の基板から検出することにより、インクジェットヘッドの良否を判定するものである。本発明においては、圧力補償手段を有するインクジェットヘッドにおいても良否判定を短時間で簡単かつ確実に行うことができる。
【００３３】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、振動板を有する第１の基板と、振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板と、エアギャップに連通し、外圧に応じて容積の増減が可能で、エアギャップの内圧と外圧の圧力差を低減する圧力補償室とを備えた静電駆動方式のインクジェットヘッドの検査方法において、インクジェットヘッドを減圧室内に収容し、減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させて振動板を変位させるようにし、振動板の変位に応じて変化する、エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する第２の基板側から検出することにより、インクジェットヘッドの良否を判定するものである。
【００３４】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、振動板を有する第１の基板と、振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板と、エアギャップに連通し、外圧に応じて容積の増減が可能で、一部が外圧に応じて変位可能な変位板により構成したエアギャップの内圧と外圧の圧力差を低減する圧力補償室とを備えた静電駆動方式のインクジェットヘッドの検査方法において、インクジェットヘッドを減圧室内に収容し、減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させて振動板を変位させるようにし、振動板の変位に応じて変化する、エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する第２の基板側から検出することにより、インクジェットヘッドの良否を判定するものである。
【００３５】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、振動板を有する第１の基板と、振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板と、エアギャップに連通し、外圧に応じて容積の増減が可能で、一部が外圧に応じて変位可能な変位板により構成し、内部の変位板に対向する位置に透明電極を有したエアギャップの内圧と外圧の圧力差を低減する圧力補償室とを備えた静電駆動方式のインクジェットヘッドの検査方法において、インクジェットヘッドを減圧室内に収容し、減圧室内を大気圧環境から、減圧または加圧環境下に変化させ、大気圧環境での振動板の位置と、減圧または加圧環境下での振動板の位置とに応じた、エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する第２の基板側から検出することにより、インクジェットヘッドの良否を判定するものである。
【００３６】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査装置は、振動板を有する第１の基板と、振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板とを備えた静電駆動方式のインクジェットヘッドが収容される減圧室と、減圧室を減圧または加圧環境下あるいは大気圧環境下にする駆動手段と、減圧または加圧環境下あるいは大気圧環境下でのインクジェットヘッドのエアギャップの部分を撮像する撮像手段と、撮像手段からの撮像情報を拡大表示する表示手段と、インクジェットヘッドの良否を判定する判定手段とを備え、駆動手段は、減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させて振動板を変位させるようにし、判定手段は、振動板の変位に応じて変化する、エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する第２の基板側から撮像手段で撮像した結果に基づき、インクジェットヘッドの良否を判定するものである。本発明においては、プリンタ等に組み込む前のインクジェットヘッドを減圧室に収容して減圧または加圧環境下あるいは大気圧環境下に置き、インクジェットヘッドに対する良否の判定を行うようにしたので、簡単な装置でインクジェットヘッドを減圧または加圧環境下あるいは大気圧環境下に置くことができるとともに、高密度なエアギャップの部分を拡大表示して見やすくすることができ、短時間で簡単かつ確実に良否の判定を行うことができる検査装置を得ることができる。
【００３７】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査装置は、判定手段が、減圧または加圧環境とした後、振動板の位置が安定した所定時間経過後に良否判定を行うものである。これにより、より確実に良否の判定を行える検査装置を得ることができる。
【００３８】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査装置は、判定手段が、エアギャップの光の干渉による色が変化しているときはインクジェットヘッドを良品と判定し、変化していないときはインクジェットヘッドを不良品と判定するものである。これにより、簡単かつ確実に良否の判定を行うことができる検査装置を得ることができる。
【００３９】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査装置は、振動板を有する第１の基板と、振動板にエアギャップを隔てて対向する透明電極を有する第２の基板とを備えた静電駆動方式のインクジェットヘッドが収容される減圧室と、減圧室を減圧または加圧環境下あるいは大気圧環境下にする駆動手段と、減圧または加圧環境下あるいは大気圧環境下でのインクジェットヘッドのエアギャップの部分を撮像する撮像手段と、撮像手段からの撮像情報を拡大表示する表示手段と、インクジェットヘッドの良否を判定する判定手段とを備え、駆動手段は、減圧室内を、大気圧環境から減圧または加圧環境に変化させ、一定時間、減圧または加圧環境を保持した後、大気圧環境に戻すように変化させて振動板を変位させるようにし、判定手段は、その環境変化期間内の振動板の変位に応じて変化する、エアギャップの光の干渉による色およびその変化を、透明性を有する第２の基板側から撮像手段で撮像した結果に基づき、インクジェットヘッドの良否を判定するものである。本発明においては、プリンタ等に組み込む前のインクジェットヘッドを減圧室に収容して減圧または加圧環境下あるいは大気圧環境下に置き、インクジェットヘッドに対する良否の判定を行うようにしたので、簡単な装置でインクジェットヘッドを減圧または加圧環境下あるいは大気圧環境下に置くことができるとともに、高密度なエアギャップの部分を拡大表示して見やすくすることができ、短時間で簡単かつ確実に良否の判定を行うことができる検査装置を得ることができる。
【００４０】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査装置は、判定手段が、減圧室内を大気圧環境に戻した後、振動板の位置が安定する所定時間経過後までを環境変化期間に含めてインクジェットヘッドの良否を判定するものである。これにより、より確実に良否の判定を行える検査装置を得ることができる。
【００４１】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査装置は、判定手段が、環境変化期間内に、エアギャップの光の干渉による色が変化したときはインクジェットヘッドを良品と判定し、変化しなかったときはインクジェットヘッドを不良品と判定するものである。これにより、簡単かつ確実に良否の判定を行うことができる検査装置を得ることができる。
【００４２】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査装置は、減圧室の少なくとも一方の面を透明部材により構成し、インクジェットヘッドをそのエアギャップの部分が一方の面に対応するように収容するものである。これにより、インクジェットヘッドのエアギャップの部分の色を判定することができる検査装置を得ることができる。
【００４３】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査装置は、判定手段が、インクジェットヘッドのエアギャップの部分を撮像する撮像手段と、撮像手段からの撮像情報と予め記憶される基準情報とに基づいてインクジェットヘッドの良否を判定する処理手段と、処理手段の判定結果を出力する出力手段とを備えたことものである。これにより、簡単な装置でインクジェットヘッドの良否を判定することができる。
【００４４】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査装置は、撮像手段を減圧室内に設置したものである。
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査装置は、撮像手段を減圧室の透明部材からなる一方の面に対応して設置したものである。
【００４５】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査装置は、基準情報が、少なくともインクジェットヘッドが良品の場合のエアギャップの部分の撮像情報を含むものである。
【００４６】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査装置は、撮像手段をＣＣＤカメラとしたものである。
【００４７】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査装置は、出力手段を表示手段および報知手段、またはいずれか一方により構成したことものである。これにより、判定結果を容易に把握することができる。
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査装置は、表示手段が、文字または絵によりインクジェットヘッドの良否の結果を表示するものである。
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査装置は、報知手段が、音によりインクジェットヘッドの良否の結果を示すことものである。
【００４８】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの検査装置は、駆動手段が、減圧室と外気側を連通させる配管と、配管に設けられ減圧室内の空気を排出するポンプと、配管に設けられ減圧室を開閉により大気圧環境下あるいは減圧または加圧環境下に保持する開閉バルブとを備えたものである。これにより、簡単な装置で容易に減圧室内を減圧または加圧環境下あるいは大気圧環境下にすることができ、インクジェットヘッドの良否の判定をより短時間で行うことができる。
【００４９】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は本発明の実施の形態１の構成および作用説明図である。なお、被検査物であるインクジェットヘッド１は、図６で説明したものと同一であり、インクジェットヘッド１に対する説明は省略する。
【００５０】
図において、２１は被検査物であるインクジェットヘッド１が収容される例えば真空チャンバーの如き減圧室で、少なくとも一方の面（ここでは底面２１ａ）がガラスの如き透明部材により構成されている。また、減圧室２１の一方の側面の下部に外気側と連通する配管２２が設けられ、その配管２２には、減圧室２１内を減圧環境下（真空状態も含む）にするポンプ２３と、開閉することにより減圧室２１内を減圧環境下または通常の大気圧環境下にする開閉バルブ２４とが設けられている。そして、これらによりインクジェットヘッド１の検査装置Ａが構成される。
【００５１】
このように構成された実施の形態１に係る検査装置Ａを用いて被検査物であるインクジェットヘッド１の不良、例えば振動板７の穴空きおよびエアギャップ（振動室）１４の気密不良などがあるかを検査する場合、まず、図１（ａ）に示すように、大気圧環境下にある減圧室２１内に図６に示すインクジェットヘッド１を、その底面側（第２の基板３の下面側）が透明部材からなる底面２１ａに対向するように収容し、開閉バルブ２４を閉じるとともにポンプ２３を駆動して減圧室２１内を減圧し、減圧環境下（真空状態）にする。ついで、減圧室２１の底面２１ａを介してインクジェットヘッド１の底面側（第２の基板３の下面側）から、減圧環境下（真空時）の各エアギャップ１４の部分の色を目視により観察する。なお、第２の基板３はガラスによって構成されているため、各エアギャップ１４の部分を観察することができ、エアギャップ１４の光の干渉による色およびその変化を観察することができる。
【００５２】
インクジェットヘッド１が良品の場合、インクジェットヘッド１の吐出室８はノズル孔５を介して減圧室２１内と連通されているとともに、エアギャップ１４は気密に保持されているため、減圧室２１内を真空にすると、図１（ｂ）に示すように、各振動板７は数秒程度で吐出室８側（上方）に膨らむように変位する。このとき、インクジェットヘッド１の底面側から各エアギャップ１４の部分を目視により観察すると、光の干渉によって各エアギャップ１４の色が例えば緑色から赤色へと変化する。これはインクジェットヘッド１が正常に動作していることを示し、振動板７の穴空きおよびエアギャップ１４の気密不良などのない良品であることが数秒程度で判定される。
【００５３】
一方、インクジェットヘッド１が振動板７に穴空きのある不良品の場合、図２（ａ）に示すように、減圧室２１内にインクジェットヘッド１を収容して減圧環境下にすると、いずれかの振動板７に形成された穴２５によってその振動板７に対応するエアギャップ１４は気密に保持されないため、例えば数μｍ以上の大きい穴２５のときは、図２（ｂ）に示すように穴２５を有する振動板７は変位せず、エアギャップ１４の色も変化しない。これはインクジェットヘッド１が正常に動作しないことを示し、不良品であることが数秒程度で判定される。また、例えば０．１μｍ以下の小さい穴２５のときは、エアギャップ１４と吐出室８との空気の流通に時間がかかるため、穴２５を有する振動板７は一旦吐出室８側に膨らんで変位するが、徐々に元の状態（振動板７が変位しない状態）に戻るので、最終的にエアギャップ１４の色は変化せず、インクジェットヘッド１が不良品であることが数分（５〜１０分）で判定される。
【００５４】
さらに、インクジェットヘッド１がエアギャップ１４の気密不良のある不良品である場合、減圧室２１内にインクジェットヘッド１を収容して減圧環境下にすると、封止部材１７により封止されていないエアギャップ１４と減圧室２１内とが連通されて減圧され、減圧室２１内と連通している吐出室８とエアギャップ１４とが同じ圧力下になり、振動板７は変位せず、エアギャップ１４の色も変化しない。これはインクジェットヘッド１が正常に動作しないことを示し、不良品であることが数秒程度で判定される。
【００５５】
このように、大気圧環境下にある減圧室２１内にインクジェットヘッド１を収容して減圧室２１内を減圧環境下にし、所定時間後インクジェットヘッド１の底面側から各エアギャップ１４の部分の色を観察するようにしたので、色の変化により数秒、遅くても１０分程度でインクジェットヘッド１の良否を判定することができる。これにより、プリンタ等に組み込む前にインクジェットヘッド１の良否を短時間で簡単かつ確実に判定することができる。また、プリンタ等に組み込む前で良否が判定できるので、インクジェットヘッド１に対する検査だけを行うことができるとともに、不良品を交換するなどの手間も省くことができ、工数が低減できて低コスト化を図ることができる。
【００５６】
実施の形態２．
本発明の実施の形態２は、実施の形態１に係る検査装置Ａを用い、大気圧環境下にある減圧室２１内に被検査物であるインクジェットヘッド１を収容して減圧室２１内を減圧環境下にし、一定時間減圧環境下で保持した後、開閉バルブ２４を開いて減圧室２１内を大気圧環境下に戻し、所定時間後の各エアギャップ１４の部分をインクジェットヘッド１の底面側から目視により観察するようにしたものである。
【００５７】
このように、被検査物であるインクジェットヘッド１の検査を行うと、インクジェットヘッド１が良品の場合は、減圧環境下で吐出室８側に膨らむように変位した各振動板７が大気圧環境下に戻したときに数秒程度で元の状態に戻り、各エアギャップ１４の色も減圧環境下で一旦変化し、大気圧環境下で元の色に戻る。
【００５８】
一方、インクジェットヘッド１が不良品の場合は、減圧環境下で不良の振動板７が変位せずその振動板７に対応するエアギャップ１４の色は変化しないか、あるいは、減圧環境下で振動板７が変位するものの徐々に元の状態にゆっくり戻り、エアギャップ１４の色も大気圧環境下に戻したときに一旦変化するものの、また元のエアギャップ１４の色にゆっくり戻る。
【００５９】
このように、一旦減圧環境下に置いた後、大気圧環境下に戻すので、大気圧環境下に戻したときの各振動板７の動きおよび各エアギャップ１４の色の違いがわかりやすくなり、インクジェットヘッド１の良否を短時間で簡単かつより確実に判定することができる。
【００６０】
なお、上述の実施の形態１，２では、被検査物をエッジ型インクジェットヘッド１とし、このエッジ型インクジェットヘッド１に対して検査を行う場合を例示して説明したが、図３に示すように、被検査物をフェイス型インクジェットヘッド３１とし、これに対して同様の検査装置Ａを用いて同様の検査を行ってもよい。この場合も同様の効果を奏する。
【００６１】
フェイス型インクジェットヘッド３１は、エッジ型インクジェットヘッド１では一方の側に設けられた複数のノズル孔５を第３の基板４の吐出室８に対向する位置に等間隔に設けられたもので、他の部分はエッジ型インクジェットヘッド１とほぼ同様の構成となっている。
【００６２】
また、図４に示すように、被検査物を圧力補償室を有するフェイス型インクジェットヘッド４１とし、これに対して同様の検査装置Ａを用いて同様の検査を行うようにしてもよい。この場合も同様の効果を奏する。
【００６３】
ここで、圧力補償室を有するインクジェットヘッド４１について、少し詳しく説明する。
圧力補償室を有するインクジェットヘッド４１は、再公表特許ＷＯ９９／４７３５７に開示されたもので、図３に示したフェイス型インクジェットヘッドにおいて、その第１の基板２に底壁が変位板４３である大気圧室４２を各吐出室８に対して並設するとともに、第２の基板３に大気圧室４２に対向する位置に内底面にＩＴＯからなるダミー電極４５を有する圧力補償室４４を設けたもので、大気圧室４２は、第１の基板２の一方の側に設けられた連通孔４６によって外部に連通され、圧力補償室４４は、第２の基板３に設けられた連通部４７によって各振動室（エアギャップ）１４に連通されている。
【００６４】
そして、このインクジェットヘッド４１を、例えば平地から高地に移動させて外気圧が低下したところで使用する場合、各振動室（エアギャップ）１４の内圧が変動しないとすると、その内圧は外気圧に比べて大幅に高くなり、圧力平衡状態を得るためには各振動板７は上方に撓み、各振動室（エアギャップ）１４の容積を増加させる。しかしながら、各振動室（エアギャップ）１４は連通部４７を介して圧力補償室４４に連通しているため、各振動板７が変位する前に大気圧室４２の変位板４３が上方に変位して圧力補償室４４の容積を増加させ、外気圧との圧力平衡状態を形成する。よって、振動板７および振動室（エアギャップ）１４は外気圧の変動に関係なく常に一定に保持される。
【００６５】
このように構成されたインクジェットヘッド４１に対して検査を行う場合、実施の形態１で説明した検査方法で行うと、例えば良品であるときは、各振動板７が上方に変位するが、変位板４３も外圧に伴って変位するため、各振動板７の変位は時間とともに減少（変位量（高さ）が減少）する。
そこで、実施の形態２で説明した検査方法で行う。つまり、大気圧環境下にある減圧室２１内に被検査物であるインクジェットヘッド４１を収容して減圧室２１内を減圧環境下にし、一定時間減圧環境下で保持して振動板７および変位板４３が所定の位置に安定した後、開閉バルブ２４を開いて減圧室２１内を大気圧環境下に戻し、所定時間後の各エアギャップ１４の部分をインクジェットヘッド４１の底面側から目視により観察する。
【００６６】
インクジェットヘッド４１が良品の場合、減圧環境下に保持すると、まず大気圧室４２の変位板４３が上方に変位して圧力補償室４４内が減圧され、これに連動して各振動室（エアギャップ）１４も減圧されて各振動板７も上方に変位する。このとき、インクジェットヘッド４１の底面側から各振動室（エアギャップ）１４の部分を目視により観察すると、各振動室（エアギャップ）１４の色は変化する。そして、大気圧環境下に戻すと、変位板４３が元の位置に戻るとともに、各振動板７も元の位置に戻り、このとき、各振動室（エアギャップ）１４の部分を目視により観察すると、各振動室（エアギャップ）１４の色は元の色に戻っており、良品であることが判定される。一方、不良品の場合は、変位板４３および振動板７は変位しないため、減圧環境下でも大気圧環境下でも各振動室（エアギャップ）１４の色は変化しない。これにより不良品であることが判定される。
【００６７】
実施の形態３．
図５は本発明の実施の形態３の構成説明図である。図において、５１は実施の形態１に係る検査装置Ａの減圧室２１の下方に設置された撮像手段であるＣＣＤカメラで、減圧室２１内に収容されたインクジェットヘッド１の底面側（第２の基板３の下面側）からエアギャップ１４の部分を撮像している。５２は良否判定部で、ＣＣＤカメラ５１からの撮像情報と、予め記憶されているインクジェットヘッド１が良品の場合の減圧環境下でのエアギャップ１４の色および色の変化が撮像された撮像情報を含む基準情報とを比較し、減圧室２１内のインクジェットヘッド１の良否を判定する。５３は良否判定部５２により判定された結果を出力する出力手段の１つである表示手段であるＣＲＴで、例えば良品の場合は「ＯＫ」、不良品の場合は「ＮＧ」などと文字を画面に表示する。そして、この実施の形態３は、ＣＣＤカメラ５１、良否判定部５２およびＣＲＴ５３と、減圧室２１とを含めて検査装置Ａが構成される。
【００６８】
なお、この実施の形態３では、ＣＣＤカメラ５１を減圧室２１の下方に設置したが、減圧室２１の上方またはいずれかの側面に設置してもよい。これらの場合、減圧室２１内に収容されるインクジェットヘッド１の底面側（第２の基板３の下面側）がＣＣＤカメラ５１側に向くように配置するとともに、減圧室２１もＣＣＤカメラ５１が設置される側の面を透明部材により構成する。
【００６９】
このように構成された実施の形態３に係る検査装置Ａを用いてインクジェットヘッド１の検査を行う場合、まず、大気圧環境下にある減圧室２１内に被検査物であるインクジェットヘッド１を収容するとともに、ＣＣＤカメラ５１の電源をＯＮ状態にしてインクジェットヘッド１の撮像を開始する。このとき、良否判定部５２およびＣＲＴ５３も駆動可能状態となる。ついで、開閉バルブ２４を閉じるとともにポンプ２３を駆動して減圧室２１内を減圧し、減圧環境下にする。そして、良否判定部５２は、ＣＣＤカメラ５１により撮像した減圧環境下でのインクジェットヘッド１の底面側（第２の基板３の下面側）からの撮像情報と基準情報とに基づいて、各エアギャップ１４の色等の比較を行い、比較結果により良否の判定を行う。
【００７０】
つまり、ＣＣＤカメラ５１により撮像した減圧環境下でのインクジェットヘッド１の底面側（第２の基板３の下面側）からの撮像情報に含まれる各エアギャップ１４の色と、基準情報に含まれる良品の場合のエアギャップ１４の色とが同一な場合は、減圧室２１内の被検査物であるインクジェットヘッド１は良品であると判定され、ＣＣＤカメラ５１により撮像した撮像情報に含まれる各エアギャップ１４の色と、基準情報に含まれる良品の場合のエアギャップ１４の色とが同一でない場合は、減圧室２１内の被検査物であるインクジェットヘッド１は不良品であると判定される。
【００７１】
そして、良否判定部５２は、判定結果をＣＲＴに送り、ＣＲＴはその判定結果に基づいて「ＯＫ」または「ＮＧ」の文字を画面に表示する。
【００７２】
このように、各エアギャップ１４の部分を撮像するＣＣＤカメラ５１と、その撮像した撮像情報と基準情報とを比較してインクジェットヘッド１の良否判定を行う良否判定部５２と、その判定結果を出力するＣＲＴ５３とを設けたので、より短時間に、そしてより簡単かつ正確にインクジェットヘッド１の良否を判定することができる検査装置Ａを得ることができる。
【００７３】
なお、上述の実施の形態３では、良否判定部５２に記憶される基準情報を、インクジェットヘッド１が良品の場合の色および色の変化が撮像された撮像情報とした場合を示したが、不良品の場合の色および色の変化を撮像した撮像情報を含めてもよい。この場合、良否判定部５２では、ＣＣＤカメラ５１からの撮像情報を良品の場合の基準情報と不良品の場合の基準情報との両者で比較し、より確実に良否の判定を行うことができる。また、減圧環境下の色の撮像情報だけでなく、大気圧環境下から減圧環境下に移行するまでの色の変化の撮像情報に基づいて良否の判定を行うようにすれば、より正確に良否の判定を行うことができる。
【００７４】
また、検査装置Ａは出力手段として表示手段であるＣＲＴ５３を備え、このＣＲＴ５３によりインクジェットヘッド１の良否の判定結果を文字により表示する場合を示したが、表示手段はＣＲＴ５３に限らず文字や絵を表示するものであれば適宜変更することができる。そして、出力手段としては音により表示する報知手段としてもよく、表示手段と報知手段の両者で表示するようにしてもよい。
【００７５】
さらに、上述の実施の形態３では、良否判定部５２によってインクジェットヘッド１の良否を判定する場合を示したが、図５の破線で示すように、良否判定部５２を省略し、ＣＣＤカメラ１からの撮像情報をＣＲＴ５３で拡大表示させ、その表示結果に基づいてインクジェットヘッド１の良否を判定するようにしてもよい。
【００７６】
また、上述の実施の形態３では、ＣＣＤカメラ５１を減圧室２１の下方に設置した場合を示したが、減圧室２１内に設置するようにしてもよい。この場合、減圧室２１はいずれの面も透明部材により構成しなくてもよい。
【００７７】
さらに、上述の実施の形態３では、実施の形態１にこの発明を実施した場合を示したが、実施の形態２にこの発明を実施してもよく、また、被検査物を図３に示すフェイス型インクジェットヘッド３１、あるいは、図４に示す圧力補償室を有するフェイス型インクジェットヘッド４１としてもよい。これらの場合も同様の効果を奏する。
【００７８】
また、上述の実施の形態１乃至３では、減圧室２１を減圧環境下にする場合を示したが、減圧室２１を加圧環境下にしてもよい。この場合も同様の効果を奏する。
【００７９】
【発明の効果】
以上のように本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法およびその装置によれば、プリンタ等に組み込む前のインクジェットヘッドに対して短時間で簡単かつ確実に良否の判定を行うことができるとともに、従来のようにプリンタ等に組み込んだインクジェットヘッドが不良品の場合の交換などの手間を省くことができ、低コスト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態１の構成および良品の場合の作用説明図である。
【図２】  本発明の実施の形態１の不良品の場合の作用説明図である。
【図３】  本発明の実施の形態１乃至３に係る被検査物であるフェイス型インクジェットヘッドの断面図である。
【図４】  本発明の実施の形態１乃至３に係る被検査物である圧力補償室を有するフェイス型インクジェットヘッドの断面図である。
【図５】  本発明の実施の形態３の構成説明図である。
【図６】  本発明の実施の形態１乃至３に係る被検査物であるエッジ型インクジェットヘッドの断面図である。
【図７】  被検査物であるインクジェットヘッドが組み込まれたプリンタの概要図である。
【符号の説明】
１  インクジェットヘッド（エッジ型インクジェットヘッド）
５  ノズル孔
７  振動板
８  吐出室
１４  エアギャップ（振動室）
１６  電極
１７  封止部材
２１  減圧室
２１ａ  底面
２２  配管
２３  ポンプ
２４  開閉バルブ
３１  フェイス型インクジェットヘッド
４１  圧力補償室を有するフェイス型インクジェットヘッド
４４  圧力補償室
４７  連通部
５１  ＣＣＤカメラ
５２  良否判定部
５３  ＣＲＴ
Ａ  検査装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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