【手続補正書】
【提出日】平成20年1月31日(2008.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  
光源から射出される光束により第１の基板を照明する照明光学系と、
前記第１の基板のパターンの一部の像を第２の基板上にそれぞれ投影する複数の部分投影光学系と、
前記第１の基板を載置する第１のステージと、
前記第２の基板を載置する第２のステージとを備え、
前記第１のステージと前記第２のステージとを走査方向に同期移動させて走査露光を行う走査型投影露光装置において、
前記第２のステージ上に配置され、前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過した光の光量又は照度を計測する複数の光電センサと、
前記複数の光電センサ間の感度校正を行う感度校正手段と、
前記照明光学系及び前記部分投影光学系の内の少なくとも一方に備えられ、前記複数の光電センサによる計測値に基づいて前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過する光の光量又は照度を調整する照度調整手段とを備え、
前記感度校正手段による前記複数の光電センサ間の感度校正を前記複数の光電センサの個数よりも少ない回数の前記複数の光電センサによる計測に基づいて行うことを特徴とする走査型投影露光装置。
【請求項２】
前記複数の光電センサによる計測回数は、２回であることを特徴とする請求項１に記載の走査型投影露光装置。
【請求項３】
前記複数の光電センサは、走査方向を横切る方向に略等ピッチで配置され、
前記感度校正手段による前記複数の光電センサ間の感度校正時における前記複数の光電センサによる第１回目の光量又は照度の計測後に少なくとも１ピッチ分前記第２のステージを走査方向を横切る方向に移動させて第２回目の光量又は照度の計測を行なうことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の走査型投影露光装置。
【請求項４】
前記複数の光電センサ間の感度校正は、前記第１の基板の交換時に行われることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の走査型投影露光装置。
【請求項５】
前記部分投影光学系は、前記走査方向を横切る方向に所定間隔をもって第１列として複数配置されると共に前記走査方向を横切る前記方向に所定間隔をもって第２列として複数配置され、前記第１列の前記部分投影光学系に対応した露光領域と前記第２列の前記部分投影光学系に対応した露光領域とは、走査露光することによるオーバラップ露光領域を有し、
前記複数の光電センサは、少なくとも２個所の前記オーバラップ露光領域の計測を同時に行うことを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか一項に記載の走査型投影露光装置。
【請求項６】
前記複数の光電センサは、前記第１列の前記部分投影光学系に対応した露光領域の前記オーバラップ露光領域及び前記第２列の前記部分投影光学系に対応した露光領域の前記オーバラップ露光領域の内の少なくとも一方の２個所の前記オーバラップ露光領域を同時に計測することを特徴とする請求項５に記載の走査型投影露光装置。
【請求項７】
光源から射出される光束により第１の基板を照明する照明光学系と、
前記第１の基板のパターンの一部の像を第２の基板上にそれぞれ投影する複数の部分投影光学系と、
前記第１の基板を載置する第１のステージと、
前記第２の基板を載置する第２のステージとを備え、
前記第１のステージと前記第２のステージとを走査方向に同期移動させて走査露光を行う走査型投影露光装置において、
前記第２のステージ上に配置され、前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過した光の光量又は照度を計測する複数の光電センサと、
前記照明光学系及び前記部分投影光学系の内の少なくとも一方に備えられ、前記複数の光電センサによる計測値に基づいて前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過する光の光量又は照度を調整する照度調整手段と
を備え、
前記部分投影光学系は、前記走査方向を横切る方向に所定間隔をもって第１列として複数配置されると共に前記走査方向を横切る前記方向に所定間隔をもって第２列として複数配置され、前記第１列の前記部分投影光学系に対応した露光領域と前記第２列の前記部分投影光学系に対応した露光領域とは、走査露光することによるオーバラップ露光領域を有し、
前記照度調整手段は、前記複数の光電センサにより同時に計測された少なくとも２個所の前記オーバラップ露光領域の計測値に基づいて、前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過する光の光量又は照度を調整することを特徴とする走査型投影露光装置。
【請求項８】
前記複数の光電センサは、前記第１列の前記部分投影光学系に対応した露光領域の前記オーバラップ露光領域及び前記第２列の前記部分投影光学系に対応した露光領域の前記オーバラップ露光領域の内の少なくとも一方の２個所の前記オーバラップ露光領域を同時に計測することを特徴とする請求項７に記載の走査型投影露光装置。
【請求項９】
前記照明光学系は、前記照明光学系から射出される光の波長を切り替える波長切り替え手段を備え、
前記複数の光電センサは、前記波長切り替え手段により切り替えられた光の波長に応じた感度係数を有することを特徴とする請求項７または請求項８に記載の走査型投影露光装置。
【請求項１０】
前記照度調整手段による前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過した光の光量又は照度の調整は、前記第１の基板の交換時に行われることを特徴とする請求項７乃至請求項９の何れか一項に記載の走査型投影露光装置。
【請求項１１】
前記複数の光電センサは、走査方向を横切る方向に略等ピッチで配置され、
前記第１列の前記部分投影光学系又は前記第２列の前記部分投影光学系を通過した光の光量又は照度の計測を行う場合に、前記複数の光電センサによる第１回目の光量又は照度の計測後に少なくとも１ピッチ分、前記第２のステージを走査方向を横切る方向に移動させて第２回目の光量又は照度の計測を行なうことを特徴とする請求項７乃至請求項１０の何れか一項に記載の走査型投影露光装置。
【請求項１２】
前記複数の光電センサの配置ピッチは、前記部分投影光学系の配置ピッチに略等しいことを特徴とする請求項７乃至請求項１１の何れか一項に記載の走査型投影露光装置。
【請求項１３】
前記第１の基板を交換する位置は、前記第１の基板ステージが前記第１列の前記部分投影光学系に対応した露光領域及び前記第２列の前記部分投影光学系に対応した露光領域の内の少なくとも一方の計測点を遮光しない位置とすることを特徴とする請求項７乃至請求項１２の何れか一項に記載の走査型投影露光装置。
【請求項１４】
前記照明光学系は、前記光源から射出される光束に基づいて、それぞれ前記第１の基板上の一部の領域を照明する複数の部分照明光学系を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項１３の何れか一項に記載の走査型投影露光装置。
【請求項１５】
光源から射出される光束により第１の基板を照明し、複数の部分投影光学系を用いて前記第１の基板のパターンの一部の像を第２の基板上の複数の露光領域へそれぞれ投影し、前記第１の基板と前記第２の基板とを走査方向に同期移動させて走査露光を行う走査型投影露光装置の照度キャリブレーション方法であって、
前記第２の基板を載置する基板ステージ上に設けられた複数の光電センサを用いて、前記複数の露光領域の内の少なくとも２個所の光量又は照度を計測する第１計測工程と、
前記第２の基板を載置する前記基板ステージを、前記複数の光電センサの配置ピッチの少なくとも１ピッチ分、前記走査方向を横切る方向に移動させる第１移動工程と、
前記複数の露光領域の内の少なくとも２個所の光量又は照度を計測する第２計測工程と、
前記第１計測工程及び前記第２計測工程により計測された前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過した光の光量又は照度に基づいて、前記複数の光電センサ間の感度を校正する感度校正工程と、
前記第１計測工程及び前記第２計測工程により計測された前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過した光の光量又は照度に基づいて、前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過する光の光量又は照度を調整する照度調整工程と、を含むことを特徴とする走査型投影露光装置の照度キャリブレーション方法。
【請求項１６】
前記部分投影光学系は、前記走査方向を横切る方向に所定間隔をもって第１列として複数配列されると共に前記走査方向を横切る前記方向に所定間隔をもって第２列として複数配置されており、
前記部分投影光学系の前記第２列又は前記第１列に対応した露光領域の少なくとも２個所の光量又は照度を計測する第３計測工程とを更に含み、
前記照度調整工程は、前記第１計測工程、前記第２計測工程及び前記第３計測工程により計測された前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過した光の光量又は照度に基づいて、前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過する光の光量又は照度を調整することを特徴とする請求項１５記載の走査型投影露光装置の照度キャリブレーション方法。
【請求項１７】
前記第３計測工程では、前記少なくとも２個所の光量又は照度を同時に計測することを特徴とする請求項１６に記載の走査型投影露光装置の照度キャリブレーション方法。
【請求項１８】
請求項１乃至請求項１４の何れか一項に記載の走査型投影露光装置を用いた露光方法において、
前記照明光学系を用いて前記第１の基板を照明する照明工程と、
前記複数の部分投影光学系を用いて前記第１の基板のパターンの一部の像を前記第２の基板上にそれぞれ投影する投影露光工程とを含み、
前記第１の基板が載置されている前記第１のステージと前記第２の基板が載置されている前記第２のステージとを同期移動させて走査露光を行うことを特徴とする露光方法。
【請求項１９】
請求項１５乃至請求項１７の何れか一項に記載の走査型投影露光装置の照度キャリブレーション方法により照度のキャリブレーションを行った走査型投影露光装置を用いた露光方法において、
前記照明光学系を用いて前記第１の基板を照明する照明工程と、
前記複数の部分投影光学系を用いて前記第１の基板のパターンの一部の像を前記第２の基板上にそれぞれ投影する投影露光工程とを含み、
前記第１の基板が載置されている前記第１のステージと前記第２の基板が載置されている前記第２のステージとを同期移動させて走査露光を行うことを特徴とする露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、請求項５に記載の走査型投影露光装置は、前記部分投影光学系が、前記走査方向を横切る方向に所定間隔をもって第１列として複数配置されると共に前記走査方向を横切る前記方向に所定間隔をもって第２列として複数配置され、前記第１列の前記部分投影光学系に対応した露光領域と前記第２列の前記部分投影光学系に対応した露光領域とは、走査露光することによるオーバラップ露光領域を有し、前記複数の光電センサは、少なくとも２個所の前記オーバラップ露光領域の計測を同時に行うことを特徴とする。
また、請求項６に記載の走査型投影露光装置は、前記複数の光電センサが、前記第１列の前記部分投影光学系に対応した露光領域の前記オーバラップ露光領域及び前記第２列の前記部分投影光学系に対応した露光領域の前記オーバラップ露光領域の内の少なくとも一方の２個所の前記オーバラップ露光領域を同時に計測することを特徴とする。
また、請求項７に記載の走査型投影露光装置は、光源から射出される光束により第１の基板を照明する照明光学系と、前記第１の基板のパターンの一部の像を第２の基板上にそれぞれ投影する複数の部分投影光学系と、前記第１の基板を載置する第１のステージと、前記第２の基板を載置する第２のステージとを備え、前記第１のステージと前記第２のステージとを走査方向に同期移動させて走査露光を行う走査型投影露光装置において、前記第２のステージ上に配置され、前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過した光の光量又は照度を計測する複数の光電センサと、前記照明光学系及び前記部分投影光学系の内の少なくとも一方に備えられ、前記複数の光電センサによる計測値に基づいて前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過する光の光量又は照度を調整する照度調整手段とを備え、前記部分投影光学系は、前記走査方向を横切る方向に所定間隔をもって第１列として複数配置されると共に前記走査方向を横切る前記方向に所定間隔をもって第２列として複数配置され、前記第１列の前記部分投影光学系に対応した露光領域と前記第２列の前記部分投影光学系に対応した露光領域とは、走査露光することによるオーバラップ露光領域を有し、前記照度調整手段は、前記複数の光電センサにより同時に計測された少なくとも２個所の前記オーバラップ露光領域の計測値に基づいて、前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過する光の光量又は照度を調整することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、請求項８に記載の走査型投影露光装置は、前記複数の光電センサが前記第１列の前記部分投影光学系に対応した露光領域の前記オーバラップ露光領域及び前記第２列の前記部分投影光学系に対応した露光領域の前記オーバラップ露光領域の内の少なくとも一方の２個所の前記オーバラップ露光領域を同時に計測することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
この請求項７及び請求項８に記載の走査型投影露光装置によれば、複数の光電センサにより同時に少なくとも２個所のオーバラップ露光領域の光量又は照度を計測するため、１つの光電センサを備える露光装置と比較して短時間に照明光学系及び部分投影光学系を通過する光の光量又は照度を調整することができる。従って、照度むらが生じにくい高精度かつ高スループットの走査型投影露光装置を提供することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、請求項９に記載の走査型投影露光装置は、前記照明光学系が前記照明光学系から射出される光の波長を切り替える波長切り替え手段を備え、前記複数の光電センサは、前記波長切り替え手段により切り替えられた光の波長に応じた感度係数を有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
この請求項９に記載の走査型投影露光装置によれば、複数の光電センサが波長切り替え手段により切り替えられた光の波長に応じた感度係数を有しているため、光の波長毎に数種類の光電センサを設ける必要がなく、１種類の光電センサによりそれぞれの光の波長に応じた光の光量又は照度を正確に計測することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、請求項１０に記載の走査型投影露光装置は、前記照度調整手段による前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過した光の光量又は照度の調整が前記第１の基板の交換時に行われることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
この請求項１０に記載の走査型投影露光装置によれば、照明光学系及び部分投影光学系を通過した光の光量又は照度の調整が第１の基板の交換時に行われることにより、スループットを低下させることなく照明光学系及び部分投影光学系を通過した光の光量又は照度の調整を行なうことができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、請求項１１に記載の走査型投影露光装置は、前記複数の光電センサが走査方向を横切る方向に略等ピッチで配置され、前記第１列の前記部分投影光学系又は前記第２列の前記部分投影光学系を通過した光の光量又は照度の計測を行う場合に、前記複数の光電センサによる第１回目の光量又は照度の計測後に少なくとも１ピッチ分、前記第２のステージを走査方向を横切る方向に移動させて第２回目の光量又は照度の計測を行なうことを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
この請求項１１に記載の走査型投影露光装置によれば、第１回目の光量又は照度の計測後に少なくとも１ピッチ分前記第２のステージを走査方向を横切る方向に移動させて第２回目の光量又は照度の計測を行なう、即ち、１つの計測点を２つの光電センサにより計測を行なうことにより短時間で照明光学系及び部分投影光学系を通過する光の光量又は照度の調整を行なうことができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、請求項１２に記載の走査型投影露光装置は、前記複数の光電センサの配置ピッチが前記部分投影光学系の配置ピッチに略等しいことを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
この請求項１２に記載の走査型投影露光装置によれば、複数の光電センサの配置ピッチが部分投影光学系の配置ピッチに略等しいため、オーバラップ露光領域の光量又は照度を同時に計測することができ、短時間に複数の光電センサ間の感度校正及び照度調整を行なうことができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、請求項１３に記載の走査型投影露光装置は、前記第１の基板を交換する位置が前記第１の基板ステージが前記第１列の前記部分投影光学系に対応した露光領域及び前記第２列の前記部分投影光学系に対応した露光領域の内の少なくとも一方の計測点を遮光しない位置とすることを特徴とする。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
この請求項１３に記載の走査型投影露光装置によれば、第１の基板を交換する位置が第１の基板ステージが第１列の部分投影光学系に対応した露光領域及び第２列の部分投影光学系に対応した露光領域の内の少なくとも一方の計測点を遮光しない位置とすることにより、第１の基板の交換時に遮光されていない計測点における照明光学系及び部分投影光学系を通過する光の光量又は照度を計測することが可能となる。従って、高スループットの走査型投影露光装置を提供することができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また、請求項１４に記載の走査型投影露光装置は、前記照明光学系が前記光源から射出される光束に基づいて、それぞれ前記第１の基板上の一部の領域を照明する複数の部分照明光学系を備えることを特徴とする。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
この請求項１４に記載の走査型投影露光装置によれば、第１の基板上の一部の領域を照明する複数の部分照明光学系を備えているため、各部分照明光学系が照度調整手段を備えることが可能となる。従って、部分照明光学系及び部分投影光学系を通過する光の光量又は照度の調整をきめ細かに行なうことができる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
また、請求項１５に記載の走査型投影露光装置の照度キャリブレーション方法は、光源から射出される光束により第１の基板を照明し、複数の部分投影光学系を用いて前記第１の基板のパターンの一部の像を第２の基板上の複数の露光領域へそれぞれ投影し、前記第１の基板と前記第２の基板とを走査方向に同期移動させて走査露光を行う走査型投影露光装置の照度キャリブレーション方法であって、前記第２の基板を載置する基板ステージ上に設けられた複数の光電センサを用いて、前記複数の露光領域の内の少なくとも２個所の光量又は照度を計測する第１計測工程と、前記第２の基板を載置する前記基板ステージを、前記複数の光電センサの配置ピッチの少なくとも１ピッチ分、前記走査方向を横切る方向に移動させる第１移動工程と、前記複数の露光領域の内の少なくとも２個所の光量又は照度を計測する第２計測工程と、前記第１計測工程及び前記第２計測工程により計測された前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過した光の光量又は照度に基づいて、前記複数の光電センサ間の感度を校正する感度校正工程と、前記第１計測工程及び前記第２計測工程により計測された前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過した光の光量又は照度に基づいて、前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過する光の光量又は照度を調整する照度調整工程とを含むことを特徴とする。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
この請求項１５に記載の走査型投影露光装置の照度キャリブレーション方法によれば、短時間かつ高精度に複数の光電センサ間の感度校正と照明光学系及び部分投影光学系を通過する光の光量又は照度の調整を行なうことができる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
また、請求項１６に記載の走査型投影露光装置の照度キャリブレーション方法は、前記部分投影光学系が前記走査方向を横切る方向に所定間隔をもって第１列として複数配列されると共に前記走査方向を横切る前記方向に所定間隔をもって第２列として複数配置されており、前記部分投影光学系の前記第２列又は前記第１列に対応した露光領域の少なくとも２個所の光量又は照度を計測する第３計測工程とを更に含み、前記照度調整工程は、前記第１計測工程、前記第２計測工程及び前記第３計測工程により計測された前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過した光の光量又は照度に基づいて、前記照明光学系及び前記部分投影光学系を通過する光の光量又は照度を調整することを特徴とする。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
この請求項１６に記載の走査型投影露光装置の照度キャリブレーション方法によれば、短時間かつ高精度に複数の光電センサ間の感度校正と照明光学系及び部分投影光学系を通過する光の光量又は照度の調整を行なうことができる。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
また、請求項１７に記載の走査型投影露光装置の照度キャリブレーション方法は、前記第３計測工程では、前記少なくとも２個所の光量又は照度を同時に計測することを特徴とする。
また、請求項１８に記載の露光方法は、請求項１乃至請求項１４の何れか一項に記載の走査型投影露光装置を用いた露光方法において、前記照明光学系を用いて前記第１の基板を照明する照明工程と、前記複数の部分投影光学系を用いて前記第１の基板のパターンの一部の像を前記第２の基板上にそれぞれ投影する投影露光工程とを含み、前記第１の基板が載置されている前記第１のステージと前記第２の基板が載置されている前記第２のステージとを同期移動させて走査露光を行うことを特徴とする。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
また、請求項１９に記載の露光方法は、請求項１５乃至請求項１７の何れか一項に記載の走査型投影露光装置の照度キャリブレーション方法により照度のキャリブレーションを行った走査型投影露光装置を用いた露光方法において、前記照明光学系を用いて前記第１の基板を照明する照明工程と、前記複数の部分投影光学系を用いて前記第１の基板のパターンの一部の像を前記第２の基板上にそれぞれ投影する投影露光工程とを含み、前記第１の基板が載置されている前記第１のステージと前記第２の基板が載置されている前記第２のステージとを同期移動させて走査露光を行うことを特徴とする。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
この請求項１８及び請求項１９に記載の露光方法によれば、複数の光電センサの計測値に基づいて複数の光電センサ間の感度校正と照明光学系及び部分投影光学系を通過する光の光量又は照度の調整が短時間かつ高精度に行われた走査型投影露光装置を用いて露光を行うため、マスクパターンの転写を良好に行なうことができる。