【手続補正書】
【提出日】平成20年3月31日(2008.3.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン基板と、
前記シリコン基板の上面に配設された第１の電極と、
前記第１の電極と対向し所定の空隙を隔てて配設された第２の電極と、
前記第２の電極を支持するメンブレンと、
前記メンブレンを支持するメンブレン支持部と、
からなる並列接続される複数の振動子セルからなる振動子エレメントの複数から構成される静電容量型超音波振動子であって、
前記各振動子セル、該振動子セルの集まりからなる複数の振動子セル群のそれぞれ、及び前記各振動子エレメントのうち少なくともいずれか１つに対応する第１の電極パッドであって前記第１の電極と電気的に接続される該第１の電極パッドと、
前記第２の電極と電気的に接続された接地電極である第２の電極パッドと、
を備えることを特徴とする静電容量型超音波振動子。
【請求項２】
前記第１の電極パッドは、前記第２の電極パッドと同じ面側に形成されることを特徴とする請求項１に記載の静電容量型超音波振動子。
【請求項３】
前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッドとが形成される側は、超音波送受信面側であることを特徴とする請求項２に記載の静電容量型超音波振動子。
【請求項４】
前記静電容量型超音波振動子は、さらに、
前記振動子エレメントを駆動させる駆動信号が入力される信号線を備え、
前記信号線は、前記第２の電極パッドと短絡していない前記第１の電極パッドとのみ電気的に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の静電容量型超音波振動子。
【請求項５】
前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッド間に電圧を印加することにより、該第１の電極パッドと該第２の電極パッド間の静電容量及び誘電損失を測定し、該測定結果に基づいて、前記信号線は前記第１の電極パッドと接続されることを特徴とする請求項４に記載の静電容量型超音波振動子。
【請求項６】
前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッド間に交流電圧及び直流電圧を印加することにより、該記第１の電極パッドと該第２の電極パッド間の静電容量及び誘電損失を測定し、該測定結果に基づいて、前記信号線は前記第１の電極パッドと接続されることを特徴とする請求項４に記載の静電容量型超音波振動子。
【請求項７】
前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッド間に電圧を印加することにより、該記第１の電極パッドと該第２の電極パッド間の直流抵抗を測定し、該測定結果に基づいて、前記信号線は前記第１の電極パッドと接続されることを特徴とする請求項４に記載の静電容量型超音波振動子。
【請求項８】
前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッド間に電圧を印加して非接触赤外線温度検査を行い、該検査結果に基づいて、前記信号線は前記第１の電極パッドと接続されることを特徴とする請求項４に記載の静電容量型超音波振動子。
【請求項９】
前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッドとの間の短絡について電子ビームを用いた画像検査法による検査を行い、該検査結果に基づいて、前記信号線は前記第１の電極パッドと接続されることを特徴とする請求項４に記載の静電容量型超音波振動子。
【請求項１０】
前記画像検査法は、電位コントラスト法、試料吸収電流法、抵抗コントラスト法、及び電子ビーム誘起電流法のうち少なくともいずれかの方法であることを特徴とする請求項９に記載の静電容量型超音波振動子。
【請求項１１】
前記全ての第１の電極パッドに対して、前記振動子エレメントを駆動させる駆動信号が入力される信号線を電気的に接続した後、前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッド間で短絡していないかを検出し、該検出の結果に基づいて、前記信号線は、前記第２の電極パッドと短絡している前記第１の電極パッドと電気的に断線させられることを特徴とする請求項１に記載の静電容量型超音波振動子。
【請求項１２】
前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッド間に電圧を印加して非接触赤外線温度分布検査を行い、該検査結果に基づいて、前記信号線は前記第１の電極パッドと電気的に断線させられることを特徴とする請求項１１に記載の静電容量型超音波振動子。
【請求項１３】
前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッドとの間の短絡について電子ビームを用いた画像検査法による検査を行い、該検査結果に基づいて、前記信号線は前記第１の電極パッドと電気的に断線させられることを特徴とする請求項１１に記載の静電容量型超音波振動子。
【請求項１４】
前記画像検査法は、電位コントラスト法、試料吸収電流法、抵抗コントラスト法、及び電子ビーム誘起電流法のうち少なくともいずれかの方法であることを特徴とする請求項１３に記載の静電容量型超音波振動子。
【請求項１５】
請求項１〜１４のうちいずれか１項に記載の静電容量型超音波振動子を備える体腔内挿入型超音波診断装置。
【請求項１６】
複数の超音波振動子エレメントを配列してなる静電容量型超音波振動子を実装した超音波内視鏡スコープを有する体腔内挿入型超音波診断装置において、
前記各超音波振動子エレメントから得られた超音波受信信号を基に、該超音波振動子エレメントの位置情報を検出する位置検出手段と、
前記超音波受信信号に欠損がある場合、この欠損した超音波受信信号を補完する超音波受信信号を擬似的に生成する擬似信号生成手段と、
前記擬似信号生成手段により生成された擬似超音波受信信号に基づいて、超音波診断画像を構築する画像構築手段と、
を備えることを特徴とする体腔内挿入型超音波診断装置。
【請求項１７】
前記静電容量型超音波振動子は、シリコン基板と、前記シリコン基板の上面に配設された第１の電極と、前記第１の電極と対向し所定の空隙を隔てて配設された第２の電極と、前記第２の電極を支持するメンブレンと、前記メンブレンを支持するメンブレン支持部とからなり、各振動子セルの端子同士が並列接続されてなる振動子エレメントが複数集積配列され、該静電容量型超音波振動子をその先端部に構成させたことを特徴とする請求項１６に記載の体腔内挿入型超音波診断装置。
【請求項１８】
前記静電容量型超音波振動子は、
前記各振動子エレメントに対応する第１の電極パッドであって、前記第１の電極と電気的に接続される該第１の電極パッドと、
前記第２の電極と電気的に接続された接地電極である第２の電極パッドと、
前記振動子エレメントを駆動させる駆動信号が入力される信号線と、
を有し、
前記信号線は、前記第２の電極パッドと振動子エレメントの端子間が短絡していない前記第１の電極パッドとのみ電気的に接続されていることを特徴とする請求項１７に記載の体腔内挿入型超音波診断装置。
【請求項１９】
前記擬似信号生成手段は、前記超音波受信信号を欠損した前記振動子エレメントに隣接する振動子エレメントから取得された前記超音波受信信号のピーク電圧の平均を算出して前記擬似信号を生成する
ことを特徴とする請求項１６に記載の体腔内挿入型超音波診断装置。
【請求項２０】
前記擬似信号生成手段は、前記欠損信号がある場合、前記検出された超音波受信信号について内挿補間処理を行い、該欠損信号に対応する擬似信号を生成する
ことを特徴とする請求項１６に記載の体腔内挿入型超音波診断装置。
【請求項２１】
複数の超音波振動子エレメントを配列してなる静電容量型超音波振動子を実装した超音波内視鏡スコープを有する体腔内挿入型超音波診断装置において、
前記静電容量型超音波振動子により得られた超音波受信信号に基づいて超音波診断画像を構築する画像構築手段と、
前記超音波診断画像に基づいて輝度が異常な領域を画像処理によって検出する異常領域検出手段と、
前記検出された異常な領域を画像処理により輝度補正する輝度補正手段と、
を備えることを特徴とする体腔内挿入型超音波診断装置。
【請求項２２】
シリコン基板と、
前記シリコン基板の上面に配設された第１の電極と、
前記第１の電極と対向し所定の空隙を隔てて配設された第２の電極と、
前記第２の電極を支持するメンブレンと、
前記メンブレンを支持するメンブレン支持部と、
からなる並列接続される複数の振動子セルからなる静電容量型超音波振動子であって、
前記振動子セルの集合からなる振動子セル群が複数存在し、該各振動子セル群に対応する第１の電極パッドであって前記第１の電極と電気的に接続される該第１の電極パッドと、
前記第２の電極と電気的に接続された接地電極である第２の電極パッドと、
前記全ての第１の電極パッドと電気的に接続される第１の端子と、
前記全ての第２の電極パッドと電気的に接続される第２の端子と、
を備える２端子構造で構成されていることを特徴とする静電容量型超音波振動子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明にかかる静電容量型超音波振動子は、シリコン基板と、前記シリコン基板の上面に配設された第１の電極と、前記第１の電極と対向し所定の空隙を隔てて配設された第２の電極と、前記第２の電極を支持するメンブレンと、前記メンブレンを支持するメンブレン支持部と、からなる並列接続される複数の振動子セルからなる振動子エレメントの複数から構成される静電容量型超音波振動子であって、前記各振動子セル、該振動子セルの集まりからなる複数の振動子セル群のそれぞれ、及び前記各振動子エレメントのうち少なくともいずれか１つに対応する第１の電極パッドであって前記第１の電極と電気的に接続される該第１の電極パッドと、前記第２の電極と電気的に接続された接地電極である第２の電極パッドと、を備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
前記静電容量型超音波振動子において、前記第１の電極パッドは、前記第２の電極パッドと同じ面側に形成されることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
前記静電容量型超音波振動子において、前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッドとが形成される側は、超音波送受信面側であることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
前記静電容量型超音波振動子は、さらに、前記振動子エレメントを駆動させる駆動信号が入力される信号線を備え、前記信号線は、前記第２の電極パッドと短絡していない前記第１の電極パッドとのみ電気的に接続されていることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
前記静電容量型超音波振動子において、前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッド間に電圧を印加することにより、該第１の電極パッドと該第２の電極パッド間の静電容量及び誘電損失を測定し、該測定結果に基づいて、前記信号線は前記第１の電極パッドと接続されることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
前記静電容量型超音波振動子において、前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッド間に交流電圧及び直流電圧を印加することにより、該記第１の電極パッドと該第２の電極パッド間の静電容量及び誘電損失を測定し、該測定結果に基づいて、前記信号線は前記第１の電極パッドと接続されることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
前記静電容量型超音波振動子において、前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッド間に電圧を印加することにより、該記第１の電極パッドと該第２の電極パッド間の直流抵抗を測定し、該測定結果に基づいて、前記信号線は前記第１の電極パッドと接続されることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
前記静電容量型超音波振動子において、前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッド間に電圧を印加して非接触赤外線温度検査を行い、該検査結果に基づいて、前記信号線は前記第１の電極パッドと接続されることを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
前記静電容量型超音波振動子において、前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッドとの間の短絡について電子ビームを用いた画像検査法による検査を行い、該検査結果に基づいて、前記信号線は前記第１の電極パッドと接続されることを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
前記静電容量型超音波振動子において、前記画像検査法は、電位コントラスト法、試料吸収電流法、抵抗コントラスト法、及び電子ビーム誘起電流法のうち少なくともいずれかの方法であることを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
前記静電容量型超音波振動子において、前記全ての第１の電極パッドに対して、前記振動子エレメントを駆動させる駆動信号が入力される信号線を電気的に接続した後、前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッド間で短絡していないかを検出し、該検出の結果に基づいて、前記信号線は、前記第２の電極パッドと短絡している前記第１の電極パッドと電気的に断線させられることを特徴とする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
前記静電容量型超音波振動子において、前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッド間に電圧を印加して非接触赤外線温度分布検査を行い、該検査結果に基づいて、前記信号線は前記第１の電極パッドと電気的に断線させられることを特徴とする。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
前記静電容量型超音波振動子において、前記第１の電極パッドと前記第２の電極パッドとの間の短絡について電子ビームを用いた画像検査法による検査を行い、該検査結果に基づいて、前記信号線は前記第１の電極パッドと電気的に断線させられることを特徴とする。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
前記静電容量型超音波振動子において、前記画像検査法は、電位コントラスト法、試料吸収電流法、抵抗コントラスト法、及び電子ビーム誘起電流法のうち少なくともいずれかの方法であることを特徴とする。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、本発明にかかる体腔内挿入型超音波診断装置は、前記静電容量型超音波振動子を備えることを特徴とする。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
本発明にかかる、複数の超音波振動子エレメントを配列してなる静電容量型超音波振動子を実装した超音波内視鏡スコープを有する体腔内挿入型超音波診断装置は、前記各超音波振動子エレメントから得られた超音波受信信号を基に、該超音波振動子エレメントの位置情報を検出する位置検出手段と、前記超音波受信信号に欠損がある場合、この欠損した超音波受信信号を補完する超音波受信信号を擬似的に生成する擬似信号生成手段と、前記擬似信号生成手段により生成された擬似超音波受信信号に基づいて、超音波診断画像を構築する画像構築手段と、を備えることを特徴とする。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
前記体腔内挿入型超音波診断装置において、前記静電容量型超音波振動子は、シリコン基板と、前記シリコン基板の上面に配設された第１の電極と、前記第１の電極と対向し所定の空隙を隔てて配設された第２の電極と、前記第２の電極を支持するメンブレンと、前記メンブレンを支持するメンブレン支持部とからなり、各振動子セルの端子同士が並列接続されてなる振動子エレメントが複数集積配列され、該静電容量型超音波振動子をその先端部に構成させたことを特徴とする。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
前記体腔内挿入型超音波診断装置において、前記静電容量型超音波振動子は、前記各振動子エレメントに対応する第１の電極パッドであって、前記第１の電極と電気的に接続される該第１の電極パッドと、前記第２の電極と電気的に接続された接地電極である第２の電極パッドと、前記振動子エレメントを駆動させる駆動信号が入力される信号線と、を有し、前記信号線は、前記第２の電極パッドと振動子エレメントの端子間が短絡していない前記第１の電極パッドとのみ電気的に接続されていることを特徴とする。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
前記体腔内挿入型超音波診断装置において、前記擬似信号生成手段は、前記超音波受信信号を欠損した前記振動子エレメントに隣接する振動子エレメントから取得された前記超音波受信信号のピーク電圧の平均を算出して前記擬似信号を生成することを特徴とする。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
前記体腔内挿入型超音波診断装置において、前記擬似信号生成手段は、前記欠損信号がある場合、前記検出された超音波受信信号について内挿補間処理を行い、該欠損信号に対応する擬似信号を生成することを特徴とする。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
本発明にかかる、複数の超音波振動子エレメントを配列してなる静電容量型超音波振動子を実装した超音波内視鏡スコープを有する体腔内挿入型超音波診断装置は、前記静電容量型超音波振動子により得られた超音波受信信号に基づいて超音波診断画像を構築する画像構築手段と、前記超音波診断画像に基づいて輝度が異常な領域を画像処理によって検出する異常領域検出手段と、前記検出された異常な領域を画像処理により輝度補正する輝度補正手段と、を備えることを特徴とする。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
本発明にかかる静電容量型超音波振動子は、シリコン基板と、前記シリコン基板の上面に配設された第１の電極と、前記第１の電極と対向し所定の空隙を隔てて配設された第２の電極と、前記第２の電極を支持するメンブレンと、前記メンブレンを支持するメンブレン支持部と、からなる並列接続される複数の振動子セルからなり、前記振動子セルの集合からなる振動子セル群が複数存在し、該各振動子セル群に対応する第１の電極パッドであって前記第１の電極と電気的に接続される該第１の電極パッドと、前記第２の電極と電気的に接続された接地電極である第２の電極パッドと、前記全ての第１の電極パッドと電気的に接続される第１の端子と、前記全ての第２の電極パッドと電気的に接続される第２の端子と、を備える２端子構造で構成されていることを特徴とする。