(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被照射面を照明する照明光学系に用いられて、４極状の光強度分布を有する二次光源を照明瞳面に形成するために入射光束を４つの光束に変換する回折光学装置において、
前記照明光学系の光軸にほぼ平行な第１軸線を中心として回転可能に構成された第１回折光学部材と、前記光軸にほぼ平行な第２軸線を中心として回転可能に構成され且つ前記光軸との直交面に沿って前記第１回折光学部材と隣り合うように配置された第２回折光学部材とを備えていることを特徴とする回折光学装置。
【請求項２】
前記直交面において、前記第１軸線と前記第２軸線とは前記光軸に関してほぼ対称な位置関係を有することを特徴とする請求項１に記載の回折光学装置。
【請求項３】
前記光軸にほぼ平行な第３軸線を中心として回転可能に構成され且つ前記直交面に沿って前記第１回折光学部材または前記第２回折光学部材と隣り合うように配置された第３回折光学部材と、前記光軸にほぼ平行な第４軸線を中心として回転可能に構成され且つ前記直交面に沿って前記第３回折光学部材と隣り合い且つ前記第２回折光学部材または前記第１回折光学部材と隣り合うように配置された第４回折光学部材とをさらに備えていることを特徴とする請求項１または２に記載の回折光学装置。
【請求項４】
前記直交面において前記第１軸線と前記第２軸線と前記第３軸線と前記第４軸線とを結ぶ四角形は前記光軸を中心としたほぼ正方形を形成することを特徴とする請求項３に記載の回折光学装置。
【請求項５】
被照射面を照明する照明光学系に用いられて、４極状の光強度分布を有する二次光源を照明瞳面に形成するために入射光束を４つの光束に変換する回折光学装置において、
前記照明光学系の光軸にほぼ平行な所定の軸線を中心として回転可能に構成された第１回折光学部材と、前記所定の軸線を中心として回転可能に構成された第２回折光学部材とを備え、
前記第１回折光学部材および前記第２回折光学部材には、複数の同心円によって規定された円形状および円環状の領域の少なくとも一部がほぼ同じように形成され、
前記第１回折光学部材では、前記円形状または円環状の領域のうち、中心から奇数番目の領域に回折作用面が形成され、
前記第２回折光学部材では、前記円形状または円環状の領域のうち、中心から偶数番目の領域に回折作用面が形成されていることを特徴とする回折光学装置。
【請求項６】
前記円形状の領域の半径の寸法と前記円環状の各領域の半径方向の寸法とは互いにほぼ等しいことを特徴とする請求項５に記載の回折光学装置。
【請求項７】
前記第１回折光学部材および前記第２回折光学部材には、複数の同心円によって規定された円形状および円環状の領域の全部がほぼ同じように形成されていることを特徴とする請求項５または６に記載の回折光学装置。
【請求項８】
前記円形状の領域の半径の寸法と前記円環状の各領域の半径方向の寸法とは互いに等しく、前記第１回折光学部材と前記第２回折光学部材とのアライメント誤差は、前記円形状の領域の半径の寸法または前記円環状の各領域の半径方向の寸法をＬとするとき、Ｌ／２０よりも小さいことを特徴とする請求項５乃至７のいずれか１項に記載の回折光学装置。
【請求項９】
前記第１回折光学部材の回折作用面と前記第２回折光学部材の回折作用面とは対向していることを特徴とする請求項５乃至８のいずれか１項に記載の回折光学装置。
【請求項１０】
前記円形状の領域の半径の寸法と前記円環状の各領域の半径方向の寸法とは互いに等しく、前記第１回折光学部材の回折作用面と前記第２回折光学部材の回折作用面との光軸に沿った間隔は、前記円形状の領域の半径の寸法または前記円環状の各領域の半径方向の寸法をＬとし、前記回折光学装置における回折角に対応する開口数をＮＡとするとき、（１／ＮＡ）×（Ｌ／２０）よりも小さいことを特徴とする請求項９に記載の回折光学装置。
【請求項１１】
前記第１回折光学部材および前記第２回折光学部材には、複数の同心円によって規定された円形状または円環状の領域の一部が形成され、
前記第１回折光学部材および前記第２回折光学部材のうちの少なくとも一方における前記円形状または円環状の領域とは異なる箇所には、前記入射光束を所定の光束に変換するための回折面または屈折面が形成されていることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の回折光学装置。
【請求項１２】
被照射面を照明する照明光学系に用いられて、４極状の光強度分布を有する二次光源を照明瞳面に形成するために入射光束を４つの光束に変換する屈折光学装置において、
前記照明光学系の光軸にほぼ平行な第１軸線を中心として回転可能に構成された第１屈折光学部材と、前記光軸にほぼ平行な第２軸線を中心として回転可能に構成され且つ前記光軸との直交面に沿って前記第１屈折光学部材と隣り合うように配置された第２屈折光学部材とを備えていることを特徴とする屈折光学装置。
【請求項１３】
前記直交面において、前記第１軸線と前記第２軸線とは前記光軸に関してほぼ対称な位置関係を有することを特徴とする請求項１２に記載の屈折光学装置。
【請求項１４】
前記光軸にほぼ平行な第３軸線を中心として回転可能に構成され且つ前記直交面に沿って前記第１屈折光学部材または前記第２屈折光学部材と隣り合うように配置された第３屈折光学部材と、前記光軸にほぼ平行な第４軸線を中心として回転可能に構成され且つ前記直交面に沿って前記第３屈折光学部材と隣り合い且つ前記第２屈折光学部材または前記第１屈折光学部材と隣り合うように配置された第４屈折光学部材とをさらに備えていることを特徴とする請求項１２または１３に記載の屈折光学装置。
【請求項１５】
前記直交面において前記第１軸線と前記第２軸線と前記第３軸線と前記第４軸線とを結ぶ四角形は前記光軸を中心としたほぼ正方形を形成することを特徴とする請求項１４に記載の屈折光学装置。
【請求項１６】
被照射面を照明する照明光学系に用いられて、４極状の光強度分布を有する二次光源を照明瞳面に形成するために入射光束を４つの光束に変換する屈折光学装置において、
前記照明光学系の光軸にほぼ平行な所定の軸線を中心として回転可能に構成された第１屈折光学部材と、前記所定の軸線を中心として回転可能に設けられた第２屈折光学部材とを備え、
前記第１屈折光学部材および前記第２屈折光学部材には、複数の同心円によって規定された円形状または円環状の領域の少なくとも一部がほぼ同じように形成され、
前記第１屈折光学部材では、前記円形状または円環状の領域のうち、中心から奇数番目の領域に屈折作用面が形成され、
前記第２屈折光学部材では、前記円形状または円環状の領域のうち、中心から偶数番目の領域に屈折作用面が形成されていることを特徴とする屈折光学装置。
【請求項１７】
前記円形状の領域の半径の寸法と前記円環状の各領域の半径方向の寸法とは互いにほぼ等しいことを特徴とする請求項１６に記載の屈折光学装置。
【請求項１８】
前記第１屈折光学部材および前記第２屈折光学部材には、複数の同心円によって規定された円形状または円環状の領域の全部がほぼ同じように形成されていることを特徴とする請求項１６または請求項１７に記載の屈折光学装置。
【請求項１９】
前記第１屈折光学部材および前記第２屈折光学部材には、複数の同心円によって規定された円形状または円環状の領域の一部が形成され、
前記第１屈折光学部材および前記第２屈折光学部材のうちの少なくとも一方における前記円形状または円環状の領域とは異なる箇所には、前記入射光束を所定の光束に変換するための回折作用面または屈折作用面が形成されていることを特徴とする請求項１６または請求項１７に記載の屈折光学装置。
【請求項２０】
前記第１屈折光学部材および前記第２屈折光学部材の前記領域内の前記屈折作用面には、プリズムアレイが形成されていることを特徴とする請求項１６乃至１９のいずれか１項に記載の屈折光学装置。
【請求項２１】
被照射面を照明する照明光学装置において、
４極状の光強度分布を有する二次光源を照明瞳面に形成するために、入射光束を４つの光束に変換して前記光軸を中心とした４点状または４極状の光束をファーフィールドに形成する請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の回折光学装置または請求項１２乃至２０のいずれか１項に記載の屈折光学装置を備えていることを特徴とする照明光学装置。
【請求項２２】
光束を供給するための光源手段と、
前記光源手段からの光束を、光軸に対して様々な角度成分を有する光束に変換して、第１の所定面へ入射させるための角度光束形成手段と、
前記第１の所定面に入射した前記様々な角度成分を有する光束に基づいて、前記光軸を中心とした４つの照野を第２の所定面上に形成するために前記回折光学装置または前記屈折光学装置を含む照野形成手段と、
前記第２の所定面上に形成された前記４つの照野からの光束に基づいて、前記４つの照野とほぼ同じ光強度分布を有する４極状の二次光源を形成するためのオプティカルインテグレータと、
前記オプティカルインテグレータからの光束を前記被照射面へ導くための導光光学系とを備えていることを特徴とする請求項２１に記載の照明光学装置。
【請求項２３】
前記角度光束形成手段は、前記光源手段からのほぼ平行な光束を、前記光軸に対して様々な角度で発散する光束に変換するための発散光束形成素子と、前記発散光束形成素子を介して形成された発散光束を集光して前記第１の所定面へ導くための第１光学系とを有することを特徴とする請求項２２に記載の照明光学装置。
【請求項２４】
前記第１光学系は、前記二次光源として形成される４つの面光源の各中心と前記光軸との距離を変化させることなく各面光源の大きさを変化させるための第１変倍光学系を有することを特徴とする請求項２３に記載の照明光学装置。
【請求項２５】
前記第１変倍光学系は、前記発散光束形成素子と前記第１の所定面とを光学的にほぼ共役に結ぶアフォーカルズームレンズを有することを特徴とする請求項２４に記載の照明光学装置。
【請求項２６】
前記角度光束形成手段は、二次元状に配列された複数の第１単位光学素子を有する第１光学素子アレイと、前記複数の第１単位光学素子と光学的に対応するように配置された複数の第２単位光学素子を有する第２光学素子アレイとから構成された波面分割型オプティカルインテグレータを有し、
前記波面分割型オプティカルインテグレータの後側焦点面は前記第１の所定面またはその近傍に配置されていることを特徴とする請求項２２に記載の照明光学装置。
【請求項２７】
前記二次光源として形成される４つの面光源の各中心と前記光軸との距離を変化させることなく各面光源の大きさを変化させるために、前記第１光学素子アレイと前記第２光学素子アレイとの間隔が可変に構成されていることを特徴とする請求項２６に記載の照明光学装置。
【請求項２８】
前記回折光学装置または前記屈折光学装置からの光束を前記第２の所定面へ導くための第２光学系を備えていることを特徴とする請求項２２乃至２７のいずれか１項に記載の照明光学装置。
【請求項２９】
前記第２光学系は、前記二次光源を相似的に拡大または縮小させるための第２変倍光学系を有することを特徴とする請求項２８に記載の照明光学装置。
【請求項３０】
前記第２変倍光学系は、前記回折光学装置または前記屈折光学装置と前記第２の所定面とを実質的にフーリエ変換の関係に結ぶズームレンズを有することを特徴とする請求項２９に記載の照明光学装置。
【請求項３１】
請求項２１乃至３０のいずれか１項に記載の照明光学装置と、前記被照射面に配置されたマスクのパターンを感光性基板に投影露光するための投影光学系とを備えていることを特徴とする露光装置。
【請求項３２】
請求項２１乃至３０のいずれか１項に記載の照明光学装置を介してマスクを照明し、照明された前記マスクに形成されたパターンの像を感光性基板上に投影露光することを特徴とする露光方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回折光学装置、屈折光学装置、照明光学装置、露光装置および露光方法に関し、特に半導体素子、撮像素子、液晶表示素子、薄膜磁気ヘッド等のマイクロデバイスをリソグラフィー工程で製造するための露光装置に好適な照明光学装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の典型的な露光装置においては、光源から射出された光束が、オプティカルインテグレータとしてのフライアイレンズを介して、多数の光源からなる実質的な面光源としての二次光源を形成する。二次光源からの光束は、フライアイレンズの後側焦点面の近傍に配置された開口絞りを介して制限された後、コンデンサーレンズに入射する。
【０００３】
コンデンサーレンズにより集光された光束は、所定のパターンが形成されたマスクを重畳的に照明する。マスクのパターンを透過した光は、投影光学系を介してウェハ上に結像する。こうして、ウェハ上には、マスクパターンが投影露光（転写）される。なお、マスクに形成されたパターンは高集積化されており、この微細パターンをウェハ上に正確に転写するにはウェハ上において均一な照度分布を得ることが不可欠である。
【０００４】
そこで、フライアイレンズの後側焦点面に円形状の二次光源を形成し、その大きさを変化させて照明のコヒーレンシィσ（σ値＝開口絞り径／投影光学系の瞳径、あるいはσ値＝照明光学系の射出側開口数／投影光学系の入射側開口数）を変化させる技術が注目されている。また、フライアイレンズの後側焦点面に輪帯状や４極状の二次光源を形成し、投影光学系の焦点深度や解像力を向上させる技術が注目されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のような従来技術では、円形状の二次光源に基づく通常の円形照明の場合も、輪帯状や４極状の二次光源に基づく変形照明（輪帯照明や４極照明）の場合も、被照射面であるマスク上の一点に入射する光束の断面形状がマスク上の直交する二方向に関して同じ位置関係にある。換言すると、従来技術では、被照射面上の直交する二方向で照明条件が同じである。その結果、マスクパターンに方向性がある場合、マスク上の直交する二方向で最適な照明条件を実現することができない。
【０００６】
特に、光軸を中心とした４つの面光源からなる４極状の二次光源が形成される４極照明の場合、各面光源の大きさおよび各面光源の中心の光軸からの距離をそれぞれ変化させることは、たとえば特開２００１−８５２９３号公報などに開示されている。しかしながら、従来技術では、４極照明において４極状の二次光源を構成する各面光源の大きさおよび各面光源の中心の光軸からの距離をそれぞれ変化させることは可能であったが、各面光源の角度位置を独立的に且つ連続的に変化させて光軸に関して２回回転対称の形態を有する多様な４極状の二次光源を形成することはできなかった。
【０００７】
なお、本出願人は、たとえば特願２００１−７４２４０号明細書および図面においてアキシコン系を用いることにより各面光源の角度位置を独立的に且つ連続的に変化させて光軸に関して２回回転対称の形態を有する多様な４極状の二次光源を形成する技術を提案しているが、蛍石の加工性ではアキシコン系の製造が困難であって製造コストが非常に高くなる。そこで、アキシコン系を用いることなく簡素な構成にしたがって、各面光源の角度位置を独立的に且つ連続的に変化させて光軸に関して２回回転対称の形態を有する多様な４極状の二次光源を形成する技術が要望されている。
【０００８】
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたものであり、簡易な構成にしたがって各面光源の角度位置を独立的に且つ連続的に変化させて光軸に関して２回回転対称の形態を有する多様な４極状の二次光源を形成し、被照射面上の直交する二方向で互いに異なる照明条件を実現することのできる照明光学装置を提供することを目的とする。
【０００９】
また、本発明は、光軸に関して２回回転対称の形態を有する多様な４極状の二次光源を形成し、被照射面上の直交する二方向で互いに異なる照明条件を実現することのできる照明光学装置を用いて、マスクに最適な照明条件のもとで、感光性基板上にマスクパターンを忠実に転写することのできる露光装置および露光方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の第１発明では、被照射面を照明する照明光学系に用いられて、４極状の光強度分布を有する二次光源を照明瞳面に形成するために入射光束を４つの光束に変換する回折光学装置において、
前記照明光学系の光軸にほぼ平行な第１軸線を中心として回転可能に構成された第１回折光学部材と、前記光軸にほぼ平行な第２軸線を中心として回転可能に構成され且つ前記光軸との直交面に沿って前記第１回折光学部材と隣り合うように配置された第２回折光学部材とを備えていることを特徴とする回折光学装置を提供する。
【００１１】
第１発明の好ましい態様によれば、前記直交面において、前記第１軸線と前記第２軸線とは前記光軸に関してほぼ対称な位置関係を有する。また、前記光軸にほぼ平行な第３軸線を中心として回転可能に構成され且つ前記直交面に沿って前記第１回折光学部材または前記第２回折光学部材と隣り合うように配置された第３回折光学部材と、前記光軸にほぼ平行な第４軸線を中心として回転可能に構成され且つ前記直交面に沿って前記第３回折光学部材と隣り合い且つ前記第２回折光学部材または前記第１回折光学部材と隣り合うように配置された第４回折光学部材とをさらに備えていることが好ましい。この場合、前記直交面において前記第１軸線と前記第２軸線と前記第３軸線と前記第４軸線とを結ぶ四角形は前記光軸を中心としたほぼ正方形を形成することが好ましい。
【００１２】
本発明の第２発明では、被照射面を照明する照明光学系に用いられて、４極状の光強度分布を有する二次光源を照明瞳面に形成するために入射光束を４つの光束に変換する回折光学装置において、
前記照明光学系の光軸にほぼ平行な所定の軸線を中心として回転可能に構成された第１回折光学部材と、前記所定の軸線を中心として回転可能に構成された第２回折光学部材とを備え、
前記第１回折光学部材および前記第２回折光学部材には、複数の同心円によって規定された円形状および円環状の領域の少なくとも一部がほぼ同じように形成され、
前記第１回折光学部材では、前記円形状または円環状の領域のうち、中心から奇数番目の領域に回折作用面が形成され、
前記第２回折光学部材では、前記円形状または円環状の領域のうち、中心から偶数番目の領域に回折作用面が形成されていることを特徴とする回折光学装置を提供する。
【００１３】
第２発明の好ましい態様によれば、前記円形状の領域の半径の寸法と前記円環状の各領域の半径方向の寸法とは互いにほぼ等しい。また、前記第１回折光学部材と前記第２回折光学部材とは前記所定の軸線に沿って互いに隣り合うように配置されていることが好ましい。また、前記所定の軸線は、前記照明光学系の光軸と共軸であることが好ましい。
【００１４】
また、第２発明の好ましい態様によれば、前記第１回折光学部材および前記第２回折光学部材には、複数の同心円によって規定された円形状および円環状の領域の全部がほぼ同じように形成されている。あるいは、前記第１回折光学部材および前記第２回折光学部材には、複数の同心円によって規定された円形状または円環状の領域の一部が形成され、前記第１回折光学部材および前記第２回折光学部材のうちの少なくとも一方における前記円形状または円環状の領域とは異なる箇所には、前記入射光束を所定の光束に変換するための回折面または屈折面が形成されていることが好ましい。
【００１５】
本発明の第３発明では、被照射面を照明する照明光学系に用いられて、４極状の光強度分布を有する二次光源を照明瞳面に形成するために入射光束を４つの光束に変換する屈折光学装置において、
前記照明光学系の光軸にほぼ平行な第１軸線を中心として回転可能に構成された第１屈折光学部材と、前記光軸にほぼ平行な第２軸線を中心として回転可能に構成され且つ前記光軸との直交面に沿って前記第１屈折光学部材と隣り合うように配置された第２屈折光学部材とを備えていることを特徴とする屈折光学装置を提供する。
【００１６】
第３発明の好ましい態様によれば、前記直交面において、前記第１軸線と前記第２軸線とは前記光軸に関してほぼ対称な位置関係を有する。また、前記光軸にほぼ平行な第３軸線を中心として回転可能に構成され且つ前記直交面に沿って前記第１屈折光学部材または前記第２屈折光学部材と隣り合うように配置された第３屈折光学部材と、前記光軸にほぼ平行な第４軸線を中心として回転可能に構成され且つ前記直交面に沿って前記第３屈折光学部材と隣り合い且つ前記第２屈折光学部材または前記第１屈折光学部材と隣り合うように配置された第４屈折光学部材とをさらに備えていることが好ましい。この場合、前記直交面において前記第１軸線と前記第２軸線と前記第３軸線と前記第４軸線とを結ぶ四角形は前記光軸を中心としたほぼ正方形を形成することが好ましい。
【００１７】
本発明の第４発明では、被照射面を照明する照明光学系に用いられて、４極状の光強度分布を有する二次光源を照明瞳面に形成するために入射光束を４つの光束に変換する屈折光学装置において、
前記照明光学系の光軸にほぼ平行な所定の軸線を中心として回転可能に構成された第１屈折光学部材と、前記所定の軸線を中心として回転可能に設けられた第２屈折光学部材とを備え、
前記第１屈折光学部材および前記第２屈折光学部材には、複数の同心円によって規定された円形状または円環状の領域の少なくとも一部がほぼ同じように形成され、
前記第１屈折光学部材では、前記円形状または円環状の領域のうち、中心から奇数番目の領域に屈折作用面が形成され、
前記第２屈折光学部材では、前記円形状または円環状の領域のうち、中心から偶数番目の領域に屈折作用面が形成されていることを特徴とする屈折光学装置を提供する。
【００１８】
第４発明の好ましい態様によれば、前記円形状の領域の半径の寸法と前記円環状の各領域の半径方向の寸法とは互いにほぼ等しい。また、前記第１屈折光学部材と前記第２屈折光学部材とは前記所定の軸線に沿って互いに隣り合うように配置されていることが好ましい。また、前記所定の軸線は、前記照明光学系の光軸と共軸であることが好ましい。
【００１９】
また、第４発明の好ましい態様によれば、前記第１屈折光学部材および前記第２屈折光学部材には、複数の同心円によって規定された円形状または円環状の領域の全部がほぼ同じように形成されている。あるいは、前記第１屈折光学部材および前記第２屈折光学部材には、複数の同心円によって規定された円形状または円環状の領域の一部が形成され、前記第１屈折光学部材および前記第２屈折光学部材のうちの少なくとも一方における前記円形状または円環状の領域とは異なる箇所には、前記入射光束を所定の光束に変換するための回折作用面または屈折作用面が形成されていることが好ましい。さらに、第４発明においては、前記第１屈折光学部材および前記第２屈折光学部材の前記領域内の前記屈折作用面には、プリズムアレイが形成されていることが好ましい。
【００２０】
本発明の第５発明では、被照射面を照明する照明光学装置において、
４極状の光強度分布を有する二次光源を照明瞳面に形成するために、入射光束を４つの光束に変換して前記光軸を中心とした４点状または４極状の光束をファーフィールドに形成する第１発明あるいは第２発明の回折光学装置または第３発明あるいは第４発明の屈折光学装置を備えていることを特徴とする照明光学装置を提供する。
【００２１】
第５発明の好ましい態様によれば、光束を供給するための光源手段と、前記光源手段からの光束を、光軸に対して様々な角度成分を有する光束に変換して、第１の所定面へ入射させるための角度光束形成手段と、前記第１の所定面に入射した前記様々な角度成分を有する光束に基づいて、前記光軸を中心とした４つの照野を第２の所定面上に形成するために前記回折光学装置または前記屈折光学装置を含む照野形成手段と、前記第２の所定面上に形成された前記４つの照野からの光束に基づいて、前記４つの照野とほぼ同じ光強度分布を有する４極状の二次光源を形成するためのオプティカルインテグレータと、前記オプティカルインテグレータからの光束を前記被照射面へ導くための導光光学系とを備えている。
【００２２】
また、第５発明の好ましい態様によれば、前記角度光束形成手段は、前記光源手段からのほぼ平行な光束を、前記光軸に対して様々な角度で発散する光束に変換するための発散光束形成素子と、前記発散光束形成素子を介して形成された発散光束を集光して前記第１の所定面へ導くための第１光学系とを有する。この場合、前記第１光学系は、前記二次光源として形成される４つの面光源の各中心と前記光軸との距離を変化させることなく各面光源の大きさを変化させるための第１変倍光学系を有することが好ましい。また、この場合、前記第１変倍光学系は、前記発散光束形成素子と前記第１の所定面とを光学的にほぼ共役に結ぶアフォーカルズームレンズを有することが好ましい。
【００２３】
あるいは、第５発明の好ましい態様によれば、前記角度光束形成手段は、二次元状に配列された複数の第１単位光学素子を有する第１光学素子アレイと、前記複数の第１単位光学素子と光学的に対応するように配置された複数の第２単位光学素子を有する第２光学素子アレイとから構成された波面分割型オプティカルインテグレータを有し、前記波面分割型オプティカルインテグレータの後側焦点面は前記第１の所定面またはその近傍に配置されている。この場合、前記二次光源として形成される４つの面光源の各中心と前記光軸との距離を変化させることなく各面光源の大きさを変化させるために、前記第１光学素子アレイと前記第２光学素子アレイとの間隔が可変に構成されていることが好ましい。
【００２４】
また、第５発明の好ましい態様によれば、前記回折光学装置または前記屈折光学装置からの光束を前記第２の所定面へ導くための第２光学系を備えている。この場合、前記第２光学系は、前記二次光源を相似的に拡大または縮小させるための第２変倍光学系を有することが好ましい。また、この場合、前記第２変倍光学系は、前記回折光学装置または前記屈折光学装置と前記第２の所定面とを実質的にフーリエ変換の関係に結ぶズームレンズを有することが好ましい。
【００２５】
本発明の第６発明では、第５発明の照明光学装置と、前記被照射面に配置されたマスクのパターンを感光性基板に投影露光するための投影光学系とを備えていることを特徴とする露光装置を提供する。
【００２６】
本発明の第７発明では、第５発明の照明光学装置を介してマスクを照明し、照明された前記マスクに形成されたパターンの像を感光性基板上に投影露光することを特徴とする露光方法を提供する。
【００２７】
【発明の実施の形態】
本発明の照明光学装置では、入射光束を４つの光束に変換して前記光軸を中心とした４点状（または４極状）の光束をファーフィールドに形成する回折光学装置を用いて、４極状の光強度分布を有する二次光源を照明瞳面に形成する。本発明の典型的な態様にしたがう回折光学装置は、光軸に平行な第１軸線および第２軸線を中心として回転可能に構成された第１回折光学部材（屈折光学部材）および第２回折光学部材（屈折光学部材）を備えている。
【００２８】
ここで、光軸との直交面に沿って第１回折光学部材（屈折光学部材）と第２回折光学部材（屈折光学部材）とは互いに隣り合うように配置され、その直交面において第１軸線と第２軸線とは光軸に関して対称な位置関係を有する。こうして、回折光学装置に入射する光束のうち、第１回折光学部材（屈折光学部材）に入射する光束に基づいて４極状の二次光源を構成する４つの面光源のうちの第１組の一対の面光源が形成され、第２回折光学部材（屈折光学部材）に入射する光束に基づいて第２組の一対の面光源が形成される。
【００２９】
そして、第１軸線を中心として第１回折光学部材（屈折光学部材）を回転させることにより第１組の一対の面光源の角度位置を連続的に変化させることができ、第２軸線を中心として第２回折光学部材（屈折光学部材）を回転させることにより第２組の一対の面光源の角度位置を連続的に変化させることができる。すなわち、第１回折光学部材（屈折光学部材）および第２回折光学部材（屈折光学部材）をそれぞれ回転させることにより、照明瞳面に形成される４極状の二次光源を構成する各面光源の角度位置を独立的に且つ連続的に変化させることができる。
【００３０】
本発明の照明光学装置を露光装置に適用する場合、マスクパターンに方向性があって、マスク上の直交する二方向でそれぞれ照明条件を設定するのが一般的である。したがって、この場合、アキシコン系を用いることなく簡素な構成にしたがって、本発明の回折光学装置の作用により照明瞳面に形成される４極状の二次光源を構成する各面光源の角度位置を独立的に且つ連続的に変化させ、所定の角度関係を維持しながら光軸に関して２回回転対称の形態を有する多様な４極状の二次光源を形成し、被照射面上の直交する二方向で互いに異なる照明条件を実現することができる。
【００３１】
また、本発明の照明光学装置が組み込まれた露光装置および本発明の照明光学装置を用いた露光方法では、光軸に関して２回回転対称の形態を有する多様な４極状の二次光源を形成し、被照射面上の直交する二方向で互いに異なる照明条件を実現することのできる照明光学装置を用いて、マスクに最適な照明条件のもとで、感光性基板上にマスクパターンを忠実に転写することができる。さらに、感光性基板上にマスクパターンを忠実に転写することのできる本発明の露光装置および露光方法を用いて、良好なマイクロデバイスを製造することができる。
【００３２】
本発明の実施形態を、添付図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の第１実施形態にかかる照明光学装置を備えた露光装置の構成を概略的に示す図である。図１において、感光性基板であるウェハの法線方向に沿ってＺ軸を、ウェハ面内において図１の紙面に平行な方向にＹ軸を、ウェハ面内において図１の紙面に垂直な方向にＸ軸をそれぞれ設定している。
【００３３】
図１の露光装置は、露光光（照明光）を供給するための光源１として、１９３ｎｍの波長の光を供給するＡｒＦエキシマレーザー光源を備えている。なお、光源１として、２４８ｎｍの波長の光を供給するＫｒＦエキシマレーザー光源や、１５７ｎｍの波長の光を供給するＦ2レーザー光源や、ｇ線（４３６ｎｍ）やｉ線（３６５ｎｍ）の光を供給する水銀ランプなどを用いることができる。水銀ランプを用いる場合、光源１は、水銀ランプと楕円鏡とコリメータレンズとを有する構成となる。
【００３４】
光源１からＺ方向に沿って射出されたほぼ平行光束は、Ｘ方向に沿って細長く延びた矩形状の断面を有し、一対のレンズ２ａおよび２ｂからなるビームエキスパンダー２に入射する。各レンズ２ａおよび２ｂは、図１の紙面内（ＹＺ平面内）において負の屈折力および正の屈折力をそれぞれ有する。したがって、ビームエキスパンダー２に入射した光束は、図１の紙面内において拡大され、所定の矩形状の断面を有する光束に整形される。
【００３５】
整形光学系としてのビームエキスパンダー２を介したほぼ平行光束は、折り曲げミラー３でＹ方向に偏向された後、回折光学素子４に入射する。一般に、回折光学素子は、ガラス基板に露光光（照明光）の波長程度のピッチを有する段差を形成することによって構成され、入射ビームを所望の角度に回折する作用を有する。回折光学素子４は、入射した矩形状の平行光束を回折してファーフィールドに円形状の光束を形成する機能を有する発散光束形成素子である。
【００３６】
したがって、回折光学素子４を介して回折された光束は、アフォーカルズームレンズ（変倍リレー光学系）５に入射し、その瞳面に円形状の光束を形成する。この円形状の光束からの光は、アフォーカルズームレンズ５から射出されて、回折光学装置６に入射する。なお、アフォーカルズームレンズ５は、回折光学素子４と回折光学装置６とを光学的にほぼ共役な関係に維持し、且つアフォーカル系（無焦点光学系）を維持しながら、所定の範囲で倍率を連続的に変化させることができるように構成されている。アフォーカルズームレンズ５の倍率変化は、制御系２１からの指令に基づいて動作する第１駆動系２２により行われる。
【００３７】
こうして、回折光学装置６には、光軸ＡＸに対してほぼ対称に斜め方向から光束が入射する。すなわち、回折光学素子４とアフォーカルズームレンズ５とは、光源１からの光束を光軸ＡＸに対して様々な角度成分を有する光束に変換して、回折光学装置６の入射面（第１の所定面）へ入射させるための角度光束形成手段を構成している。回折光学装置６は、入射した平行光束を４つの光束に変換して光軸ＡＸを中心とした４点状の光束をファーフィールドに形成する機能を有し、制御系２１からの指令に基づいて動作する第２駆動系２３により行われる。回折光学装置６の詳細な構成および作用については後述する。
【００３８】
回折光学装置６を介した光束は、ズームレンズ（変倍光学系）７を介して、オプティカルインテグレータとしてのマイクロレンズアレイ８を照明する。なお、ズームレンズ７は、所定の範囲で焦点距離を連続的に変化させることのできるσ値可変用の変倍光学系であって、回折光学装置６とマイクロレンズアレイ８の後側焦点面とを光学的にほぼ共役に結んでいる。換言すると、ズームレンズ７は、回折光学装置６とマイクロレンズアレイ８の入射面とを実質的にフーリエ変換の関係に結んでいる。
【００３９】
したがって、回折光学装置６を介した光束は、ズームレンズ７の後側焦点面（ひいてはマイクロレンズアレイ８の入射面）に、円と４点とのコンボリューションに基づく光強度分布、すなわち光軸ＡＸを中心とした４つの円形状の照野からなる４極状の照野を形成する。このように、回折光学装置６とズームレンズ７とは、回折光学装置６の入射面（第１の所定面）に入射した様々な角度成分を有する光束に基づいて、光軸ＡＸを中心とした４つの照野をマイクロレンズアレイ８の入射面（第２の所定面）上に形成するための照野形成手段を構成している。この４極状の照野の全体的な大きさは、ズームレンズ７の焦点距離に依存して変化する。ズームレンズ７の焦点距離の変化は、制御系２１からの指令に基づいて動作する第３駆動系２４により行われる。
【００４０】
マイクロレンズアレイ８は、縦横に且つ稠密に配列された多数の正屈折力を有する微小レンズからなる光学素子である。マイクロレンズアレイ８を構成する各微小レンズは、マスクＭ上において形成すべき照野の形状（ひいてはウェハＷ上において形成すべき露光領域の形状）と相似な矩形状の断面を有する。一般に、マイクロレンズアレイは、たとえば平行平面ガラス板にエッチング処理を施して微小レンズ群を形成することによって構成される。
【００４１】
ここで、マイクロレンズアレイを構成する各微小レンズは、フライアイレンズを構成する各レンズエレメントよりも微小である。また、マイクロレンズアレイは、互いに隔絶されたレンズエレメントからなるフライアイレンズとは異なり、多数の微小レンズが互いに隔絶されることなく一体的に形成されている。しかしながら、正屈折力を有するレンズ要素が縦横に配置されている点でマイクロレンズアレイはフライアイレンズと同じである。なお、図１では、図面の明瞭化のために、マイクロレンズアレイ８を構成する微小レンズの数を実際よりも非常に少なく表している。
【００４２】
したがって、マイクロレンズアレイ８に入射した光束は多数の微小レンズにより二次元的に分割され、各微小レンズの後側焦点面には多数の光源がそれぞれ形成される。こうして、図２に示すように、マイクロレンズアレイ８の後側焦点面には、マイクロレンズアレイ８への入射光束によって形成される照野とほぼ同じ光強度分布を有する二次光源、すなわち光軸ＡＸを中心とした４つの円形状の実質的な面光源（図中斜線で示す）３１〜３４からなる４極状の二次光源が形成される。このように、マイクロレンズアレイ８は、その入射面（第２の所定面）上に形成された４つの照野からの光束に基づいて、４つの照野とほぼ同じ光強度分布を有する４極状の二次光源を形成するためのオプティカルインテグレータを構成している。
【００４３】
マイクロレンズアレイ８の後側焦点面に形成された４極状の二次光源からの光束は、必要に応じて４極状の光透過部を有する開口絞りを介して制限された後、コンデンサー光学系９の集光作用を受けた後、所定のパターンが形成されたマスクＭを重畳的に照明する。マスクＭのパターンを透過した光束は、投影光学系ＰＬを介して、感光性基板であるウェハＷ上にマスクパターンの像を形成する。こうして、投影光学系ＰＬの光軸ＡＸと直交する平面（ＸＹ平面）内においてウェハＷを二次元的に駆動制御しながら一括露光またはスキャン露光を行うことにより、ウェハＷの各露光領域にはマスクＭのパターンが逐次露光される。
【００４４】
なお、一括露光では、いわゆるステップ・アンド・リピート方式にしたがって、ウェハの各露光領域に対してマスクパターンを一括的に露光する。この場合、マスクＭ上での照明領域の形状は正方形に近い矩形状であり、マイクロレンズアレイ８の各微小レンズの断面形状も正方形に近い矩形状となる。一方、スキャン露光では、いわゆるステップ・アンド・スキャン方式にしたがって、マスクおよびウェハを投影光学系に対して相対移動させながらウェハの各露光領域に対してマスクパターンをスキャン露光する。この場合、マスクＭ上での照明領域の形状は短辺と長辺との比がたとえば１：３の矩形状であり、マイクロレンズアレイ８の各微小レンズの断面形状もこれと相似な矩形状となる。
【００４５】
なお、第１実施形態では、回折光学素子４に代えて、マイクロレンズアレイ（またはフライアイレンズ）を用いることもできる。この場合、正六角形状または正方形状の微小レンズ（またはレンズエレメント）からなるマイクロレンズアレイ（またはフライアイレンズ）を用いると、マイクロレンズアレイ８の後側焦点面には４つの正六角形状または正方形状の面光源からなる４極状の二次光源が形成される。
【００４６】
図２を再び参照すると、マイクロレンズアレイ８の後側焦点面に形成される４極状の二次光源は、４つの円形状の面光源３１〜３４から構成されている。ここで、各面光源３１〜３４の中心３１ａ〜３４ａは光軸ＡＸから同じ距離ｒだけ離れており、各面光源３１〜３４は互いに同じ大きさ（直径）φを有する。また、４つの中心３１ａ〜３４ａを結んで形成される四角形は、光軸ＡＸを中心としてＸ方向およびＺ方向に平行な辺を有する矩形である。
【００４７】
ここで、光軸ＡＸからの距離ｒは、ズームレンズ７の焦点距離と回折光学装置６の回折角との積に依存する。また、大きさ（直径）φは、アフォーカルズームレンズ５の倍率とズームレンズ７の焦点距離と回折光学素子４の回折角（マイクロレンズアレイまたはフライアイレンズを用いる場合にはその発散角）との積に依存する。さらに、面光源３１の中心３１ａと光軸ＡＸとを結ぶ線分が＋Ｘ軸となす角度θAおよび面光源３２の中心３２ａと光軸ＡＸとを結ぶ線分が＋Ｘ軸となす角度θBは、回折光学装置６の回折特性に依存する。
【００４８】
従来技術では、回折光学装置６の位置に回折光学素子やマイクロレンズアレイやフライアイレンズが配置されているので、ズームレンズ７の焦点距離およびアフォーカルズームレンズ５の倍率を変化させることにより、各面光源の光軸ＡＸからの距離ｒおよび各面光源の大きさ（直径）φを連続的に変化させることは可能であったが、各面光源の角度位置θAおよびθBを連続的に変化させることはできなかった。すなわち、回折光学装置６の位置において特性の異なる回折光学素子やマイクロレンズアレイやフライアイレンズを交換することにより、各面光源の角度位置θAおよびθBを離散的に変化させることはできても、連続的に変化させることはできなかった。
【００４９】
そこで、第１実施形態では、マイクロレンズアレイ８の後側焦点面に形成される４極状の二次光源を構成する各面光源の角度位置θAおよびθBを連続的に変化させることが可能な回折光学装置６を導入している。図３は、第１実施形態における回折光学装置の構成を概略的に示す図である。図３（ａ）を参照すると、第１実施形態の回折光学装置６は、光軸ＡＸに平行な第１軸線ＡＸ１を中心として回転可能に構成された第１回折光学部材６ａと、光軸ＡＸに平行な第２軸線ＡＸ２を中心として回転可能に構成された第２回折光学部材６ｂとを備えている。
【００５０】
ここで、第１軸線ＡＸ１と第２軸線ＡＸ２とはＸ軸に沿って配置され光軸ＡＸに関して対称な位置関係を有し、光軸ＡＸとの直交面（ＸＺ面）において第１回折光学部材６ａと第２回折光学部材６ｂとはＸ方向に沿って隣接するように配置されている。また、第１回折光学部材６ａと第２回折光学部材６ｂとは、互いに同じ構成を有する円形状の基板であって、その片側の面には図３（ｂ）に示すような形状の回折作用面が形成されている。
【００５１】
具体的には、第１回折光学部材６ａおよび第２回折光学部材６ｂに求められる回折角に対応する開口数（ひいては回折光学装置６に求められる回折角に対応する開口数）ＮＡと、露光光の波長λ（第１実施形態では１９３ｎｍ）とにより、回折作用面のピッチｄ＝λ／ＮＡが、たとえば２．８μｍに設定される。この場合、回折作用面の凸部の幅ａおよび凹部の幅ｂはともに、たとえば１．４μｍに設定される。そして、たとえば石英（または蛍石など）で形成された基板の露光光に対する屈折率をｎとすると、段差Δ＝λ／｛２（ｎ−１）｝が、たとえば１７２ｎｍに設定される。
【００５２】
図３（ａ）に示すように、回折光学装置６には、回折光学素子４への入射光束と相似な矩形状の光束３５が入射する。そして、回折方向が＋Ｘ軸に対してθAの角度をなすように設定された第１回折光学部材６ａに入射した光束は、図２において光軸ＡＸに関して対称な一対の面光源３１および３３を形成する。一方、回折方向が＋Ｘ軸に対してθBの角度をなすように設定された第２回折光学部材６ｂに入射した光束は、図２において光軸ＡＸに関して対称な一対の面光源３２および３４を形成する。
【００５３】
したがって、第１実施形態の回折光学装置６では、第１軸線ＡＸ１を中心として第１回折光学部材６ａを回転させることにより、面光源３１の角度位置θAおよび面光源３３の角度位置（θA＋１８０度）を連続的に変化させることができる。同様に、第２軸線ＡＸ２を中心として第２回折光学部材６ｂを回転させることにより、面光源３２の角度位置θBおよび面光源３４の角度位置（θB＋１８０度）を連続的に変化させることができる。すなわち、第１回折光学部材６ａおよび第２回折光学部材６ｂをそれぞれ回転させることにより、マイクロレンズアレイ８の後側焦点面（すなわち照明瞳面）に形成される４極状の二次光源を構成する各面光源の角度位置θAおよびθBを独立的に且つ連続的に変化させることができる。
【００５４】
前述したように、露光装置では、マスクパターンに方向性があって、マスク上の直交する二方向でそれぞれ照明条件を設定するのが一般的である。したがって、第１実施形態では、アキシコン系を用いることなく簡素な構成にしたがって、回折光学装置６の作用によりマイクロレンズアレイ８の後側焦点面に形成される４極状の二次光源を構成する各面光源の角度位置θAおよびθBを独立的に且つ連続的に変化させ、θA＋θB＝１８０度の関係を維持しながら光軸ＡＸに関して２回回転対称の形態を有する多様な４極状の二次光源を形成し、被照射面上の直交する二方向で互いに異なる照明条件を実現することができる。
【００５５】
以下、第１実施形態における照明条件の切り換え動作などについて具体的に説明する。まず、ステップ・アンド・リピート方式またはステップ・アンド・スキャン方式にしたがって順次露光すべき各種のマスクに関する情報などが、キーボードなどの入力手段２０を介して制御系２１に入力される。制御系２１は、各種のマスクに関する最適な線幅（解像度）、焦点深度等の情報を内部のメモリー部に記憶しており、入力手段２０からの入力に応答して駆動系２２〜２４に適当な制御信号を供給する。
【００５６】
すなわち、所望の形態を有する４極状の二次光源を得るために、第１駆動系２２は制御系２１からの指令に基づいてアフォーカルズームレンズ５の倍率を設定し、第２駆動系２３は制御系２１からの指令に基づいて回折光学装置６における第１回折光学部材６ａおよび第２回折光学部材６ｂの回転角度をそれぞれ設定し、第３駆動系２４は制御系２１からの指令に基づいてズームレンズ７の焦点距離を設定する。ここで、アフォーカルズームレンズ５の倍率を変化させることにより、４つの面光源の各中心と光軸ＡＸとの距離ｒを変化させることなく、各面光源の大きさφを変化させることができる。
【００５７】
また、ズームレンズ７の焦点距離を変化させることにより、距離ｒおよび大きさφをともに変化させて、４極状の二次光源を相似的に拡大または縮小させることができる。さらに、第１回折光学部材６ａおよび第２回折光学部材６ｂの回転角度をそれぞれ変化させることにより、各面光源の角度位置θAおよびθBを独立的に且つ連続的に変化させることができる。こうして、４極状の二次光源を構成する各面光源の角度位置θAおよびθBを独立的に且つ連続的に変化させ、θA＋θB＝１８０度の関係を維持しながら光軸ＡＸに関して２回回転対称の形態を有する多様な４極状の二次光源を形成し、被照射面上の直交する二方向で最適な照明条件を実現することができる。
【００５８】
ところで、第１実施形態では、図３（ａ）に示すように、回折光学装置６への矩形状の入射光束３５のうちの一部分が、第１回折光学部材６ａにも第２回折光学部材６ｂにも入射することなく（すなわち照明に寄与することなく）失われる。換言すれば、回折光学装置６において、ある程度の光量損失が発生する。また、第１実施形態では、第１回折光学部材６ａと第２回折光学部材６ｂとが一方向に沿って配置されているので、マイクロレンズアレイ８への入射光束のテレセントリシティが崩れ、マイクロレンズアレイ８の収差に起因してマスクＭ上において（ひいてはウェハＷ上において）照明むらが発生する。そこで、第１実施形態では、回折光学装置６について、以下に示す２つの変形例が可能である。
【００５９】
図４は、第１実施形態の第１変形例にかかる回折光学装置の構成を概略的に示す図である。図４に示すように、第１変形例の回折光学装置６０では、第１実施形態の回折光学装置６に対して、第３回折光学部材６ｃおよび第４回折光学部材６ｄを付設している。ここで、第３回折光学部材６ｃおよび第４回折光学部材６ｄは、第１回折光学部材６ａや第２回折光学部材６ｂと同じ構成を有し、光軸ＡＸに平行な第３軸線ＡＸ３および第４軸線ＡＸ４を中心としてそれぞれ回転可能に構成されている。
【００６０】
ここで、第１軸線ＡＸ１と第２軸線ＡＸ２および第３軸線ＡＸ３と第４軸線ＡＸ４とはそれぞれＸ方向に沿って配置され、光軸ＡＸとの直交面（ＸＺ面）において第１軸線ＡＸ１と第２軸線ＡＸ２と第３軸線ＡＸ３と第４軸線ＡＸ４とを結ぶ四角形は光軸ＡＸを中心とした正方形を形成している。すなわち、第３回折光学部材６ｃは第２回折光学部材６ｂとＺ方向に沿って隣接するように配置され、第４回折光学部材６ｄは第３回折光学部材６ｃとＸ方向に沿って隣接し且つ第１回折光学部材６ａとＺ方向に沿って隣接するように配置されている。
【００６１】
図４に示すように、回折光学装置６０には、回折光学素子４への入射光束と相似な正方形状の光束３６が入射する。そして、回折方向が＋Ｘ軸に対してθAの角度をなすように設定された第１回折光学部材６ａおよび第３回折光学部材６ｃに入射した光束は、図２において光軸ＡＸに関して対称な一対の面光源３１および３３を形成する。一方、回折方向が＋Ｘ軸に対してθBの角度をなすように設定された第２回折光学部材６ｂおよび第４回折光学部材６ｄに入射した光束は、図２において光軸ＡＸに関して対称な一対の面光源３２および３４を形成する。
【００６２】
したがって、第１変形例にかかる回折光学装置６０では、第１軸線ＡＸ１および第３軸線ＡＸ３を中心として第１回折光学部材６ａおよび第３回折光学部材６ｃを回折方向が互いに一致するようにそれぞれ回転させることにより、面光源３１の角度位置θAおよび面光源３３の角度位置（θA＋１８０度）を連続的に変化させることができる。同様に、第２軸線ＡＸ２および第４軸線ＡＸ４を中心として第２回折光学部材６ｂおよび第４回折光学部材６ｄを回折方向が互いに一致するようにそれぞれ回転させることにより、面光源３２の角度位置θBおよび面光源３４の角度位置（θB＋１８０度）を連続的に変化させることができる。
【００６３】
すなわち、第１回折光学部材６ａ〜第４回折光学部材６ｄをそれぞれ回転させることにより、マイクロレンズアレイ８の後側焦点面に形成される４極状の二次光源を構成する各面光源の角度位置θAおよびθBを独立的に且つ連続的に変化させることができる。第１変形例では、回折光学装置６０においてある程度の光量損失は発生するが、第１回折光学部材６ａ〜第４回折光学部材６ｄが直交する二方向に沿って二次元的に配置されているので、マイクロレンズアレイ８への入射光束のテレセントリシティが実質的に崩れることなく、マスクＭ上における（ひいてはウェハＷ上における）照明むらの発生を防止することができる。
【００６４】
図５は、第１実施形態の第２変形例にかかる回折光学装置の構成を概略的に示す図である。図５に示すように、第２変形例の回折光学装置６１は、光軸ＡＸを中心として回転可能に構成された第１回折光学部材６１ａと、同じく光軸ＡＸを中心として回転可能に構成され且つ光軸ＡＸに沿って第１回折光学部材６１ａと近接して配置された第２回折光学部材６１ｂとから構成されている。第１回折光学部材６１ａと第２回折光学部材６１ｂとは、基本的に同じ構成を有する円形状の基板であって、その片側の面には複数（図５では９個）の同心円によって規定された円形状および円環状の領域が形成されている。
【００６５】
ここで、円形状の領域の半径の寸法と円環状の各領域の半径方向の寸法とは互いに等しく、たとえばＬ＝０．５ｍｍ程度に設定されている。ただし、第１回折光学部材６１ａでは、円形状または円環状の領域のうち、中心から奇数番目の領域に回折作用面が形成されている。一方、第２回折光学部材６１ｂでは、円形状または円環状の領域のうち、中心から偶数番目の領域に回折作用面が形成されている。なお、第１回折光学部材６１ａおよび第２回折光学部材６１ｂには、第１実施形態の回折光学装置６と同じ構成を有する回折作用面が形成されている。すなわち、回折光学装置６１は、図６に示すように、第１回折光学部材６１ａと第２回折光学部材６１ｂとを光学的に合成した形態を有することになる。
【００６６】
図５に示すように、回折光学装置６１には、ひいては第１回折光学部材６１ａおよび第２回折光学部材６１ｂには、回折光学素子４への入射光束と相似な正方形状の光束３７が入射する。そして、回折方向が＋Ｘ軸に対してθAの角度をなすように設定された第１回折光学部材６１ａの回折作用面に入射した光束は、図２において光軸ＡＸに関して対称な一対の面光源３１および３３を形成する。一方、回折方向が＋Ｘ軸に対してθBの角度をなすように設定された第２回折光学部材６１ｂの回折作用面に入射した光束は、図２において光軸ＡＸに関して対称な一対の面光源３２および３４を形成する。
【００６７】
したがって、第２変形例にかかる回折光学装置６１では、光軸ＡＸを中心として第１回折光学部材６１ａを回転させることにより、面光源３１の角度位置θAおよび面光源３３の角度位置（θA＋１８０度）を連続的に変化させることができる。同様に、光軸ＡＸを中心として第２回折光学部材６１ｂを回転させることにより、面光源３２の角度位置θBおよび面光源３４の角度位置（θB＋１８０度）を連続的に変化させることができる。すなわち、第１回折光学部材６１ａおよび第２回折光学部材６１ｂをそれぞれ回転させることにより、マイクロレンズアレイ８の後側焦点面に形成される４極状の二次光源を構成する各面光源の角度位置θAおよびθBを独立的に且つ連続的に変化させることができる。
【００６８】
第２変形例では、図５に示すように、回折作用に起因する光量損失を除き、回折光学装置６１における光量損失を実質的に回避することができる。また、第１回折光学部材６１ａおよび第２回折光学部材６１ｂにおける回折作用面が同心円的に（二次元的に）配置されているので、マイクロレンズアレイ８への入射光束のテレセントリシティが実質的に崩れることなく、マスクＭ上における（ひいてはウェハＷ上における）照明むらの発生を防止することができる。
【００６９】
なお、第２変形例では、第１回折光学部材６１ａの中心軸線および第２回折光学部材６１ｂの中心軸線を光軸ＡＸとほぼ一致させることが必要である。具体的には、第１回折光学部材６１ａと第２回折光学部材６１ｂとのアライメント誤差（芯出し誤差）を、Ｌ／２０よりも小さく抑えることが好ましい。そして、第１回折光学部材６１ａと第２回折光学部材６１ｂとのアライメント誤差（芯出し誤差）を、Ｌ／１００よりも小さく抑えることがさらに好ましい。また、回折光学装置６１における光量損失をできるだけ回避するために、第１回折光学部材６１ａの回折作用面と第２回折光学部材６１ｂの回折作用面とを対向させ、その光軸ＡＸに沿った間隔を、（１／ＮＡ）×（Ｌ／２０）よりも小さく抑えることが好ましい。そして、この間隔を、（１／ＮＡ）×（Ｌ／１００）よりも小さく抑えることがさらに好ましい。ここで、上述したように、Ｌは円形状の領域の半径の寸法または円環状の各領域の半径方向の寸法であり、ＮＡは回折光学装置６１における回折角に対応する開口数である。
【００７０】
なお、上述の第１実施形態および各変形例では、４極状の二次光源を構成する各面光源の角度位置θAおよびθBを独立的に且つ連続的に変化させ、θA＋θB＝１８０度の関係を維持しながら光軸ＡＸに関して２回回転対称の形態を有する多様な４極状の二次光源を形成しているが、θB＝θA＝９０度に設定することにより、Ｚ方向に沿った一対の面光源からなる２極状の二次光源を形成することもできる。また、θB＝θA＝０度（または１８０度）に設定することにより、Ｘ方向に沿った一対の面光源からなる２極状の二次光源を形成することもできる。
【００７１】
また、上述の第１実施形態および各変形例では、４点状の光束をファーフィールドに形成する機能を有する回折光学装置について説明したが、各点がある程度の広がりを持つような４極状の光束をファーフィールドに形成するように回折光学装置を構成することもできる。この場合、マイクロレンズアレイ８の入射面には、円と４極とのコンボリューションに基づく光強度分布、すなわち光軸ＡＸを中心とした４極状の照野が形成される。
【００７２】
図７は、本発明の第２実施形態にかかる照明光学装置を備えた露光装置の構成を概略的に示す図である。また、図８は、一対のマイクロレンズアレイからなる波面分割型オプティカルインテグレータの構成を概略的に説明する図である。第２実施形態は、第１実施形態と類似の構成を有する。しかしながら、第２実施形態では、回折光学素子４とアフォーカルズームレンズ５とからなる角度光束形成手段に代えて、一対の光学素子アレイからなる波面分割型のオプティカルインテグレータを角度光束形成手段として用いている点が、第１実施形態と相違している。以下、第１実施形態との相違点に着目して、第２実施形態を説明する。
【００７３】
図７を参照すると、ミラー３と回折光学装置６との間の光路中には、正屈折力の微小レンズからなる第１マイクロレンズアレイ（または第１フライアイレンズ：第１光学素子アレイ）４０ａと正屈折力の微小レンズからなる第２マイクロレンズアレイ（または第２フライアイレンズ：第２光学素子アレイ）４０ｂとで構成されたマイクロレンズアレイ群（またはフライアイレンズ群）４０が配置されている。マイクロレンズアレイ４０ａおよび４０ｂを構成する各微小レンズはともに正六角形状または矩形状の断面を有し、そのサイズは同じである。また、マイクロレンズアレイ４０ａおよび４０ｂは、図８に示すように、マイクロレンズアレイ群４０の後側焦点面４０ｃが実質的に移動しないように、光軸に沿ってそれぞれ移動可能に構成されている。
【００７４】
換言すれば、第１マイクロレンズアレイ４０ａと第２マイクロレンズアレイ４０ｂとの間隔は可変であり、マイクロレンズアレイ群４０は焦点距離が可変の波面分割型オプティカルインテグレータを構成している。マイクロレンズアレイ群４０の焦点距離の変化は、制御系２１からの指令に基づいて動作する駆動系２５により行われる。なお、マイクロレンズアレイ群４０は、その後側焦点面４０ｃが回折光学装置６の入射面（すなわち第１回折光学部材６ａおよび第２回折光学部材６ｂの入射面：第１の所定面）またはその近傍に位置するように配置されている。
【００７５】
第２実施形態では、マイクロレンズアレイ群４０に入射した矩形状のほぼ平行光束が二次元的に波面分割され、その後側焦点面４０ｃに矩形状の実質的な面光源（多数の光源からなる全体的に矩形状の面光源）が形成される。マイクロレンズアレイ群４０の後側焦点面４０ｃに形成された矩形状の面光源からの光束は、回折光学装置６およびズームレンズ７を介して、マイクロレンズアレイ８の入射面に、正六角形または矩形円と４点とのコンボリューションに基づく光強度分布、すなわち光軸ＡＸを中心とした４つの正六角形状または矩形状の照野からなる４極状の照野を形成する。
【００７６】
こうして、マイクロレンズアレイ８の後側焦点面には、マイクロレンズアレイ８への入射光束によって形成される照野とほぼ同じ光強度分布を有する二次光源、すなわち光軸ＡＸを中心とした４つの正六角形状または矩形状の実質的な面光源からなる４極状の二次光源が形成される。第２実施形態では、第１マイクロレンズアレイ４０ａと第２マイクロレンズアレイ４０ｂとの間隔を変化させて、マイクロレンズアレイ群４０の焦点距離を変化させることにより、４つの面光源の各中心と光軸ＡＸとの距離ｒを変化させることなく、各面光源の大きさφを変化させることができる。
【００７７】
また、ズームレンズ７の焦点距離を変化させることにより、距離ｒおよび大きさφをともに変化させて、４極状の二次光源を相似的に拡大または縮小させることができる。さらに、回折光学装置６において第１回折光学部材６ａおよび第２回折光学部材６ｂの回転角度をそれぞれ変化させることにより、各面光源の角度位置を独立的に且つ連続的に変化させることができる。こうして、第２実施形態においても、第１実施形態よりもさらに簡素な構成にしたがって、４極状の二次光源を構成する各面光源の角度位置を独立的に且つ連続的に変化させ、光軸に関して２回回転対称の形態を有する多様な４極状の二次光源を形成し、被照射面上の直交する二方向で最適な照明条件を実現することができる。
【００７８】
なお、第２実施形態では、第１実施形態と同様に回折光学装置６を用いているが、第１変形例と同様に回折光学装置６０を用いてマイクロレンズアレイ８への入射光束のテレセントリシティの崩れを実質的に回避し、マスクＭ上における（ひいてはウェハＷ上における）照明むらの発生を防止することもできる。また、第２変形例と同様に回折光学装置６１を用いて、照明むらの発生を防止するとともに、回折光学装置６１における光量損失を抑制することもできる。
【００７９】
また、第２実施形態では、第１マイクロレンズアレイ４０ａおよび第２マイクロレンズアレイ４０ｂがともに正屈折力の微小レンズから構成されているが、いずれか一方のマイクロレンズアレイを負屈折力の微小レンズで構成することもできる。さらに、第２実施形態では、２つのマイクロレンズアレイにより焦点距離が可変のマイクロレンズアレイ群を構成しているが、３つ以上のマイクロレンズアレイでマイクロレンズアレイ群を構成することもできる。
【００８０】
さて、上述の各実施形態並びに各変形例では、回折光学部材が図３（ｂ）に示すような位相型で２段に近似（バイナリー近似）された回折作用面を有していたが、その代わりに、光量損失を厭わなければ振幅型の回折作用面を有するものであってもかまわない。また、回折作用面を位相型とする場合には、回折作用面における近似レベルを４段としても良く、また８段としても良い。また、回折作用面にブレーズ化された（鋸歯状断面を持つ）回折面を形成しても良い。
【００８１】
また、上述の各実施形態並びに各変形例では、入射光束を４つの光束に変換してファーフィールドに４点状または４極状の光束を形成するための回折光学部材を用いたが、屈折光学部材を用いることも可能である。この場合、各実施形態並びに各変形例の回折光学部材における回折作用面を、図９に示す形状の屈折作用面とすれば良い。図９は、上述の各実施形態並びに各変形例に適用される屈折光学部材の構成を示す図であり、図９（ａ）は屈折作用面の断面図、図９（ｂ）は屈折作用面の一部の斜視図である。
【００８２】
図９に示すように、屈折光学部材の屈折作用面は、回折光学部材の回折作用面の溝方向と同じ方向に延びた稜線を持つ屋根型プリズムを、当該溝方向と直交する１次元方向に稠密に配置した屋根型プリズムアレイの形状を有している。このような屋根型プリズムアレイは、マイクロレンズアレイや回折光学素子と同様にたとえば光透過性基板（石英、蛍石など）をエッチングすることにより得られる。
【００８３】
図９（ａ）に示すように、屋根型プリズムアレイの斜面と光軸直交面とのなす角度をαとし、屋根型プリズムアレイが形成されている光透過性基板の屈折率をｎとするとき、屋根型プリズムアレイにより屈折される光線の屈折角θは、おおむね、θ≒（ｎ−１）αの関係を満足する。
【００８４】
一例を挙げると、露光光の波長λが１９３ｎｍである場合、屋根型プリズムアレイのピッチｄ＝０．１ｍｍ、光透過性基板の屈折率ｎ＝１．５６、屋根型プリズムアレイの角度α＝７°、屋根型プリズムアレイの段差（サグ量）Δ＝６．２μｍに設定すると、屈折角θ＝４°が得られる。なお、屋根型プリズムアレイの頂角は１８０−２αであることは言うまでもない。
【００８５】
このように、上述の各実施形態並びに変形例における回折光学装置の回折作用面をたとえば屋根型プリズムアレイからなる屈折作用面として屈折光学装置とすると、光利用効率が高いという利点がある。例えば、回折光学装置の回折作用面をバイナリー近似された位相型回折光学素子とする場合には、製造誤差による光量ロスを無視しても約８０％程度の回折効率しか得られないが、上述のような屈折光学装置とすれば（光透過部材の材料内部や反射防止コートの吸収や屈折光学装置の屈折面での表面反射の影響、製造誤差による影響を除くと）ほぼ１００％の光利用効率が得られる。
【００８６】
さて、上述の第２変形例では、第１回折光学部材６１ａと第２回折光学部材６１ｂとが照明光学装置の光軸ＡＸを中心として回転可能に設けられているが、これら第１回折光学部材および第２回折光学部材の回転軸は光軸ＡＸと異なっていても良い。
【００８７】
図１０は、第３変形例にかかる回折光学装置の構成を概略的に示す図である。図１０に示すように、第３変形例の回折光学装置６２は、光軸ＡＸと平行な回転軸ＡＸ６を中心として回転可能に構成された第１回折光学部材６２ａと、同じく回転軸ＡＸ６を中心として回転可能に構成され且つ回転軸ＡＸ６に沿って第１回折光学部材と近接して配置された第２回折光学部材６２ｂとから構成されている。
【００８８】
図１０に斜線で示すとおり、第１回折光学部材６２ａは、第２変形例における第１回折光学部材６１ａの複数の円形状および円環状の領域内に位置する回折作用面を扇形に切り取った形状の回折作用面を有する。第２回折光学部材６２ｂは、第２変形例における第２回折光学部材６１ｂの複数の円形状および円環状の領域内に位置する回折作用面を扇形に切り取った形状の回折作用面を有する。第２変形例と同様に、第１回折光学部材６２ａでは中心から奇数番目の領域に回折作用面が形成されており、第２回折光学部材６２ｂでは中心から偶数番目の領域に回折作用面が形成されている。図１１に示すように、回折光学装置６２は、第１回折光学部材６２ａと第２回折光学部材６２ｂとを光学的に合成した形態を有する。
【００８９】
図１０に戻って、回折光学装置６２には、ひいては第１回折光学部材６２ａおよび第２回折光学部材６２ｂには、長方形状の光束３８が入射する。そして、第２変形例と同様に、回折方向が＋Ｘ軸に対してθAの角度をなすように設定された第１回折光学部材６２ａの回折作用面に入射した光束は、図２において光軸ＡＸに対してほぼ対称な一対の面光源３１および３３を形成する。一方、回折方向がＸ軸に対してθBをなすように設定された第２回折光学部材６２ｂの回折作用面に入射した光束は、図２において光軸ＡＸに関して対称な一対の面光源３２および３４を形成する。
【００９０】
さて、４極照明では、一般的に光軸ＡＸに関して２回回転対称の形態を有する４極状の二次光源を形成するため、図２における面光源３１乃至３４の角度位置θA、θB、（θA＋１８０度）、（θB＋１８０度）は、それぞれ０°＜θA＜９０°、９０°＜θB＜１８０°であれば良い。したがって、第１回折光学部材６２ａと第２回折光学部材６２ｂとに要求される回転角はともに９０度となる。
【００９１】
図１１（ａ）には、第１回折光学部材６２ａの回転角θAと第２回折光学部材６２ｂの回転角θBとが９０°をなす状態、すなわち第１回折光学部材６２ａの扇形の回折作用面と第２回折光学部材６２ｂの回折作用面とが重なった状態を示し、図１１（ｂ）には、第１回折光学部材６２ａの回転角θAと第２回折光学部材６２ｂの回転角θBとが同方向である状態を示す。
【００９２】
図１０および図１１に示したように、回折光学部材の回転軸ＡＸ６を光軸ＡＸに対して平行移動させることにより、中心角が（９０°＋γ度）の扇形の領域内のみに各回折光学部材６２ａおよび６２ｂの回折作用面を形成すれば良いことが分かる。なお、上記角度γは、入射光束３８の大きさや形状、および回転軸ＡＸ６に対する入射光束の偏心量（回転軸ＡＸ６と光軸ＡＸとの距離に対応）に応じて求まる。
【００９３】
このように、第３変形例にかかる回折光学装置６２においても、回転軸ＡＸ６を中心として第１回折光学部材６２ａを回転させることにより、図２の面光源３１の角度位置θAおよび面光源３３の角度位置（θA＋１８０度）を連続的に変化させることができる。同様に、回転軸ＡＸ６を中心として第２回折光学部材６２ｂを回転させることにより、図２の面光源３２の角度位置θBおよび面光源３４の角度位置（θB＋１８０度）を連続的に変化させることができる。すなわち、第２変形例と同様に、マイクロレンズアレイ８の後側焦点面に形成される４極状の二次光源を構成する各面光源の角度位置θAおよびθBを独立的に且つ連続的に変化させることができる。このとき、図１０および図１１からも明らかな通り、回折光学装置６２における光量損失を実質的に回避することができる。
【００９４】
図１０に戻って、第３変形例の第１回折光学部材６２ａおよび第２回折光学部材６２ｂの扇形領域以外の領域には、別の照明条件用の回折光学素子または屈折光学素子を設けることができる。たとえば１０（ａ）に示す第１回折光学部材６２ａには、光透過部６３ａと複数の回折光学素子（屈折光学素子）６４ａ〜６４ｄとが設けられており、図１０（ｂ）に示す第２回折光学部材６２ｂには、光透過部６３ｂと複数の回折光学素子（屈折光学素子）６４ｅ〜６４ｈとが設けられている。ここで、回折光学素子としては、入射光束を回折させて回折光学素子のファーフィールドにおいて２点状や４点状などの多点状、リング状の光束に変換するものを用いることが可能である。
【００９５】
ここで、回折光学素子４によって回折光学装置６２に所定の角度分布を持つ光束が入射するため、入射光束を２点状に変換する回折光学素子が照明光路に設定された場合には、マイクロレンズアレイ８の入射面において２極状の照野が形成され、入射光束を４点状に変換する回折光学素子が照明光路に設定された場合には、マイクロレンズアレイ８の入射面において４極状の照野が形成され、入射光束をリング状に変換する回折光学素子が照明光路に設定された場合には、マイクロレンズアレイ８の入射面において輪帯状の照野が形成される。
【００９６】
このとき、第１回折光学部材６２ａに設けられた回折光学素子（屈折光学素子）６４ａ〜６４ｄの何れかを用いる（何れかを照明光路に設定する）場合、第２回折光学部材６２ｂにおいては光透過部６３ｂが照明光路に設定される。また、第２回折光学部材６２ｂに設けられた回折光学素子（屈折光学素子）６４ｅ〜６４ｈの何れかを用いる（何れかを照明光路に設定する）場合には、第１回折光学部材６２ａの光透過部６３ａが照明光路に設定される。そして、第１回折光学部材６２ａの光透過部６３ａおよび第２回折光学部材６２ｂの光透過部６３ｂを照明光路に設定すれば、回折作用を無効に、すなわち素抜けにできる。この場合には、マイクロレンズアレイ８の入射面において円形状の照野が形成され、マイクロレンズアレイ８が円形状の二次光源を形成して、通常の円形照明を行うことができる。
【００９７】
なお、図１１から明らかな通り、第１回折光学部材６２ａにおける最も中心側の回折作用面と、第２回折光学部材６２ｂにおける最も中心側の回折作用面とに関しては、入射光束３８が通過する領域と重複しないため、これらの回折作用面を設けなくとも良い。また、図１０および図１１に示した第３変形例の回折光学装置６２においては、回折光学装置６２に長方形状の光束３８が入射するとしたが、この入射光束は長方形には限られず、前述の実施形態のように正方形であっても良いし、どのような形状であっても良い。
【００９８】
なお、図１０および図１１に示した第３変形例の回折光学装置６２においても、図９に示した変形例と同様に、屈折作用面を有する屈折光学装置に変形しても良い。また、図１０および図１１に示した第３変形例の回折光学装置６２では、各回折光学部材６２ａ、６２ｂの１つの扇形領域内に回折作用面を設けたが、各々の回折光学部材６２ａ、６２ｂに複数の回折作用面を含む扇形領域を設けることも可能である。この場合には、それぞれの回折光学部材６２ａ、６２ｂにおける扇形領域毎に回折作用面のピッチが異なるもの（屈折光学部材の場合は光線の屈折角が異なるもの）を設けておくことが好ましい。
【００９９】
上述の各実施形態にかかる露光装置では、照明光学装置によってマスク（レチクル）を照明し（照明工程）、投影光学系を用いてマスクに形成された転写用のパターンを感光性基板に露光する（露光工程）ことにより、マイクロデバイス（半導体素子、撮像素子、液晶表示素子、薄膜磁気ヘッド等）を製造することができる。以下、上述の各実施形態の露光装置を用いて感光性基板としてのウェハ等に所定の回路パターンを形成することによって、マイクロデバイスとしての半導体デバイスを得る際の手法の一例につき図１２のフローチャートを参照して説明する。
【０１００】
先ず、図１２のステップ３０１において、１ロットのウェハ上に金属膜が蒸着される。次のステップ３０２において、そのｌロットのウェハ上の金属膜上にフォトレジストが塗布される。その後、ステップ３０３において、上述の各実施形態の露光装置を用いて、マスク上のパターンの像がその投影光学系を介して、その１ロットのウェハ上の各ショット領域に順次露光転写される。その後、ステップ３０４において、その１ロットのウェハ上のフォトレジストの現像が行われた後、ステップ３０５において、その１ロットのウェハ上でレジストパターンをマスクとしてエッチングを行うことによって、マスク上のパターンに対応する回路パターンが、各ウェハ上の各ショット領域に形成される。その後、更に上のレイヤの回路パターンの形成等を行うことによって、半導体素子等のデバイスが製造される。上述の半導体デバイス製造方法によれば、極めて微細な回路パターンを有する半導体デバイスをスループット良く得ることができる。
【０１０１】
また、上述の各実施形態の露光装置では、プレート（ガラス基板）上に所定のパターン（回路パターン、電極パターン等）を形成することによって、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることもできる。以下、図１３のフローチャートを参照して、このときの手法の一例につき説明する。図１３において、パターン形成工程４０１では、上述の各実施形態の露光装置を用いてマスクのパターンを感光性基板（レジストが塗布されたガラス基板等）に転写露光する、所謂光リソグラフィー工程が実行される。この光リソグラフィー工程によって、感光性基板上には多数の電極等を含む所定パターンが形成される。その後、露光された基板は、現像工程、エッチング工程、レジスト剥離工程等の各工程を経ることによって、基板上に所定のパターンが形成され、次のカラーフィルター形成工程４０２へ移行する。
【０１０２】
次に、カラーフィルター形成工程４０２では、Ｒ（Red）、Ｇ（Green）、Ｂ（Blue）に対応した３つのドットの組がマトリックス状に多数配列されたり、またはＲ、Ｇ、Ｂの３本のストライプのフィルターの組を複数水平走査線方向に配列したカラーフィルターを形成する。そして、カラーフィルター形成工程４０２の後に、セル組み立て工程４０３が実行される。セル組み立て工程４０３では、パターン形成工程４０１にて得られた所定パターンを有する基板、およびカラーフィルター形成工程４０２にて得られたカラーフィルター等を用いて液晶パネル（液晶セル）を組み立てる。セル組み立て工程４０３では、例えば、パターン形成工程４０１にて得られた所定パターンを有する基板とカラーフィルター形成工程４０２にて得られたカラーフィルターとの間に液晶を注入して、液晶パネル（液晶セル）を製造する。
【０１０３】
その後、モジュール組み立て工程４０４にて、組み立てられた液晶パネル（液晶セル）の表示動作を行わせる電気回路、バックライト等の各部品を取り付けて液晶表示素子として完成させる。上述の液晶表示素子の製造方法によれば、極めて微細な回路パターンを有する液晶表示素子をスループット良く得ることができる。
【０１０４】
なお、上述の各実施形態においては、マイクロレンズアレイ８を介して形成された４極状の二次光源からの光を、導光光学系としてのコンデンサー光学系９によって集光して、重畳的にマスクＭを照明する構成となっている。しかしながら、コンデンサー光学系９とマスクＭとの間に、照明視野絞り（マスクブラインド）と、この照明視野絞りの像をマスクＭ上に形成するリレー光学系とを配置しても良い。この場合、導光光学系は、コンデンサー光学系９とリレー光学系とから構成され、コンデンサー光学系９は二次光源からの光を集光して重畳的に照明視野絞りを照明することになり、リレー光学系は照明視野絞りの開口部（光透過部）の像をマスクＭ上に形成することになる。
【０１０５】
また、上述の各実施形態においては、４極状の二次光源を形成するためのオプティカルインテグレータとしてマイクロレンズアレイ８を用いているが、波面分割型のインテグレータであるマイクロレンズアレイ８に代えて、内面反射型のオプティカルインテグレータとしてのロッド型インテグレータを用いることもできる。この場合、第２光学系としてのズームレンズ７よりもマスクＭ側に集光光学系を追加して回折光学装置６の共役面を形成し、この共役面近傍に入射端が位置決めされるようにロッド型インテグレータを配置する。
【０１０６】
また、このロッド型インテグレータの射出端面または射出端面近傍に配置される照明視野絞りの像をマスクＭ上に形成するためのリレー光学系を配置する。この構成の場合、第２の所定面はズームレンズ７と上記集光光学系との合成光学系の瞳面となり、二次光源はリレー光学系の瞳面に形成される（二次光源の虚像はロッド型インテグレータの入射端近傍に形成される）。また、ロッド型インテグレータからの光束をマスクＭへ導くためのリレー光学系が導光光学系となる。
【０１０７】
さらに、上述の各実施形態では、照明光学装置を備えた投影露光装置を例にとって本発明を説明したが、マスク以外の被照射面を照明するための一般的な照明光学装置に本発明を適用することができることは明らかである。
【０１０８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の照明光学装置では、所定の構成を有する回折光学装置（屈折光学装置）の作用により、照明瞳面に形成される４極状の二次光源を構成する各面光源の角度位置を独立的に且つ連続的に変化させることができる。その結果、アキシコン系を用いることなく簡素な構成にしたがって、光軸に関して２回回転対称の形態を有する多様な４極状の二次光源を形成し、被照射面上の直交する二方向で互いに異なる照明条件を実現することができる。
【０１０９】
また、本発明の照明光学装置が組み込まれた露光装置および本発明の照明光学装置を用いた露光方法では、光軸に関して２回回転対称の形態を有する多様な４極状の二次光源を形成し、被照射面上の直交する二方向で互いに異なる照明条件を実現することのできる照明光学装置を用いて、マスクに最適な照明条件のもとで、感光性基板上にマスクパターンを忠実に転写することができる。さらに、感光性基板上にマスクパターンを忠実に転写することのできる本発明の露光装置および露光方法を用いて、良好なマイクロデバイスを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる照明光学装置を備えた露光装置の構成を概略的に示す図である。
【図２】マイクロレンズアレイの後側焦点面に形成される４極状の二次光源の構成を概略的に示す図である。
【図３】第１実施形態における回折光学装置の構成を概略的に示す図である。
【図４】第１実施形態の第１変形例にかかる回折光学装置の構成を概略的に示す図である。
【図５】第１実施形態の第２変形例にかかる回折光学装置の構成を概略的に示す図である。
【図６】第２変形例にかかる回折光学装置において第１回折光学部材と第２回折光学部材とを光学的に合成した形態を示す図である。
【図７】本発明の第２実施形態にかかる照明光学装置を備えた露光装置の構成を概略的に示す図である。
【図８】一対のマイクロレンズアレイからなる波面分割型オプティカルインテグレータの構成を概略的に説明する図である。
【図９】各実施形態並びに変形例にかかる回折光学装置を屈折光学装置とした際の構成を概略的に示す図である。
【図１０】第３変形例にかかる回折光学装置の構成を概略的に示す図である。
【図１１】第３変形例にかかる回折光学装置において第１回折光学部材と第２回折光学部材とを光学的に合成した形態を示す図である。
【図１２】マイクロデバイスとしての半導体デバイスを得る際の手法のフローチャートである。
【図１３】マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得る際の手法のフローチャートである。
【符号の説明】
１  光源
４  回折光学素子
５  アフォーカルズームレンズ
６，６０，６１，６２  回折光学装置
７  ズームレンズ
８  マイクロレンズアレイ
９  コンデンサー光学系
４０  マイクロレンズアレイ群
４０ａ，４０ｂ  マイクロレンズアレイ（光学素子アレイ）
Ｍ  マスク
ＰＬ  投影光学系
Ｗ  ウェハ
２０  入力手段
２１  制御系
２２〜２４  駆動系
【図１】
0004106701.tif 000002
【図２】
0004106701.tif 000003
【図３】
0004106701.tif 000004
【図４】
0004106701.tif 000005
【図５】
0004106701.tif 000006
【図６】
0004106701.tif 000007
【図７】
0004106701.tif 000008
【図８】
0004106701.tif 000009
【図９】
0004106701.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
0004106701.tif 000012
【図１２】
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【図１３】
0004106701.tif 000014