【手続補正書】
【提出日】平成20年5月30日(2008.5.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧印加電流測定装置において、
電圧印加電流測定装置の回路グランドとは浮いた状態で負荷電流を測定する負荷電流測定手段を具備する、ことを特徴とする電圧印加電流測定装置。
【請求項２】
電圧印加電流測定装置において、
電圧印加電流測定装置から負荷装置へ流れる負荷電流を測定する負荷電流測定手段は、電圧印加電流測定装置の回路グランドとは浮いた状態のフローティング電源を適用する、ことを特徴とする電圧印加電流測定装置。
【請求項３】
該負荷電流測定手段は、負荷に流れる電流を電流検出抵抗を直列に挿入して電圧に変換し、変換された該電流検出抵抗の両端の電圧を受けて、回路グランドとは浮いたフローティング状態の演算増幅手段で所定に増幅する、ことを特徴とする請求項１又は２記載の電圧印加電流測定装置。
【請求項４】
該負荷電流測定手段は、フローティング型電流測定部である、ことを特徴とする請求項３記載の電圧印加電流測定装置。
【請求項５】
該フローティング型電流測定部は、
該フローティング型電流測定部で使用する直流電源を供給するフローティング電源と、
負荷電流を検出する電流検出手段と、
該電流検出抵抗からの電圧信号を受けて、電圧印加電流測定装置の回路グランドとはフローティングした状態で、所定に増幅して出力し、電源は該フローティング電源を適用する演算増幅器と、
該演算増幅器からの増幅信号を受けてデジタルコードデータに変換して出力し、電源は該フローティング電源を適用するＡＤ変換器と、
電圧印加電流測定装置の回路グランドとはフローティングした状態の該デジタルコードデータを電圧印加電流測定装置の回路グランドＧＮＤ側へ伝送するフォトカプラと、
を具備することを特徴とする請求項４記載の電圧印加電流測定装置。
【請求項６】
フローティング電源は、発光素子と太陽電池とに基づいて絶縁した直流電源を供給する、ことを特徴とする請求項５記載の電圧印加電流測定装置。
【請求項７】
該電圧印加電流測定装置は、外部からの所定の設定データに基づき対応する直流の基準電圧を発生するＤＡ変換器と、
該基準電圧に基づいて所定の出力電圧を発生して負荷装置へ電流を供給する演算増幅器と、
負荷装置へ電流を供給するフォース線と、
負荷装置側の接続端の電圧を検出するセンス線との２本の線路と、
該センス線からの電圧信号を電流バッファして該演算増幅器へ帰還する演算増幅器と、
を具備することを特徴とする請求項１又は２記載の電圧印加電流測定装置。
【請求項８】
該電圧印加電流測定装置から負荷装置へ供給する電圧は一般の演算増幅器が適用できない高い電圧を供給する構成の電圧印加電流測定装置に適用する、ことを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の電圧印加電流測定装置。
【請求項９】
所定の出力電圧をＤＵＴに印加して前記ＤＵＴの負荷電流を測定する電圧印加電流測定装置であって、
前記ＤＵＴに前記出力電圧を印加する線路上に直列に接続される電流検出抵抗と、
当該電圧印加電流測定装置の回路グランドから絶縁された直流電源を供給するフローティング電源を有し、前記電流検出抵抗の両端の電位差を当該直流電源を用いて測定するフローティング型電流測定部と、
を備える電圧印加電流測定装置。
【請求項１０】
前記フローティング電源は、前記電流検出抵抗の前記出力電圧側をコモンレベル基準とする正電源および負電源を出力する請求項９に記載の電圧印加電流測定装置。
【請求項１１】
前記フローティング型電流測定部は、
前記正電源および前記負電源を使用して、前記電流検出抵抗の両端の電位差を増幅した増幅信号を出力する演算増幅器と、
前記正電源を使用して、前記増幅信号を受けてデジタルコードデータに変換して出力するＡＤ変換器と、
前記デジタルコードデータを、前記回路グランド基準に変換して出力する信号伝送手段と、
を更に有する請求項１０に記載の電圧印加電流測定装置。
【請求項１２】
前記フローティング電源は、
所定の電圧および回路グランドの間に設けられた発光素子と、
前記発光素子からの光を受けて前記正電源および前記負電源を出力する太陽電池と、
を有する請求項１０または１１に記載の電圧印加電流測定装置。
【請求項１３】
前記信号伝送手段は、前記コモンレベル基準のシリアルの前記デジタルコードデータを受けて、光信号に変換し、前記光信号をフォトトランジスタにより前記回路グランド基準の電気信号に変換するフォトカプラを含む請求項１１に記載の電圧印加電流測定装置。
【請求項１４】
前記演算増幅器は、前記電流検出抵抗の負荷側の電圧を正入力端へと入力し、前記演算増幅器の出力と前記コモンレベル基準との間を分圧した電圧を負入力端へと入力する請求項１１に記載の電圧印加電流測定装置。
【請求項１５】 
請求項１から１４のいずれかに記載の電圧印加電流測定装置を適用する、ことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項１６】
請求項１から１４のいずれかに記載の電圧印加電流測定装置を所定複数チャンネル備えて被試験デバイスの電流を測定する、ことを特徴とする半導体試験装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
次に、第８の解決手段を示す。上述電圧印加電流測定装置から負荷装置へ供給する電圧は一般の演算増幅器が適用できない高い電圧を供給する構成の電圧印加電流測定装置に適用する、ことを特徴とする上述電圧印加電流測定装置がある。次に、第９の解決手段を示す。上述電圧印加電流測定装置を適用して被試験デバイスの電流を測定する、ことを特徴とする半導体試験装置がある。次に、第１０の解決手段を示す。上述電圧印加電流測定装置を所定複数チャンネル備えて被試験デバイスの電流を測定する、ことを特徴とする半導体試験装置がある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、本発明の他の形態においては、所定の出力電圧をＤＵＴに印加してＤＵＴの負荷電流を測定する電圧印加電流測定装置であって、ＤＵＴに出力電圧を印加する線路上に直列に接続される電流検出抵抗と、当該電圧印加電流測定装置の回路グランドから絶縁された直流電源を供給するフローティング電源を有し、電流検出抵抗の両端の電位差を当該直流電源を用いて測定するフローティング型電流測定部と、を備える電圧印加電流測定装置を提供する。フローティング電源は、電流検出抵抗の出力電圧側をコモンレベル基準とする正電源および負電源を出力してもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
フローティング型電流測定部は、正電源および負電源を使用して、電流検出抵抗の両端の電位差を増幅した増幅信号を出力する演算増幅器と、正電源を使用して、増幅信号を受けてデジタルコードデータに変換して出力するＡＤ変換器と、デジタルコードデータを、回路グランド基準に変換して出力する信号伝送手段と、を更に有してもよい。フローティング電源は、所定の電圧および回路グランドの間に設けられた発光素子と、発光素子からの光を受けて正電源および負電源を出力する太陽電池と、を有してもよい。信号伝送手段は、コモンレベル基準のシリアルのデジタルコードデータを受けて、光信号に変換し、光信号をフォトトランジスタにより回路グランド基準の電気信号に変換するフォトカプラを含んでもよい。演算増幅器は、電流検出抵抗の正側の電圧を正入力端へと入力し、演算増幅器の出力とコモンレベル基準との間を分圧した電圧を負入力端へと入力してもよい。