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【手続補正書】
【提出日】平成20年9月18日(2008.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】正極と、負極と、セパレータと、非水電解質を備えた非水電解質二次電池において、
前記セパレータが、ポリオレフィン樹脂からなる微多孔質膜であって、分子量１万未満のポリオレフィン樹脂を０．５重量％以下含んでなることを特徴とする非水電解質二次電池。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、前記ポリオレフィン樹脂がポリエチレンであるセパレータを用いることが好ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月11日(2008.9.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電解質をアノード側電極とカソード側電極とで挟んで構成される電解質・電極接合体が、セパレータを介装して複数積層されたサブスタックを有し、前記サブスタックが中間プレートを介装して複数積層されることにより構成される燃料電池スタックであって、
前記中間プレートの面内には、反応ガスの供給方向上流側に配置された前記サブスタックの反応ガス出口側連通路と、前記反応ガスの供給方向下流側に配置された前記サブスタックの反応ガス入口側連通路とを連通する流路が設けられることを特徴とする燃料電池スタック。
【請求項２】
請求項１記載の燃料電池スタックにおいて、前記反応ガス入口側連通路は、前記サブスタックの積層方向に直線状に貫通するとともに、
上流側の前記サブスタックの前記反応ガス入口側連通路と、下流側の前記サブスタックの前記反応ガス入口側連通路とは、前記積層方向に同一位置に設けられる一方、
前記反応ガス出口側連通路は、前記サブスタックの積層方向に直線状に貫通するとともに、
上流側の前記サブスタックの前記反応ガス出口側連通路と、下流側の前記サブスタックの前記反応ガス出口側連通路とは、前記積層方向に同一位置に設けられることを特徴とする燃料電池スタック。
【請求項３】
請求項１または２記載の燃料電池スタックにおいて、前記流路は、前記反応ガスである酸化剤ガスを流す酸化剤ガス流れ変更流路と、
前記反応ガスである燃料ガスを流す燃料ガス流れ変更流路と、
を備え、
前記酸化剤ガス流れ変更流路および前記燃料ガス流れ変更流路は、前記中間プレートの同一面内に形成されることを特徴とする燃料電池スタック。
【請求項４】
請求項１または２記載の燃料電池スタックにおいて、前記流路は、前記反応ガスである酸化剤ガスを流す酸化剤ガス流れ変更流路と、
前記反応ガスである燃料ガスを流す燃料ガス流れ変更流路と、
を備え、
前記酸化剤ガス流れ変更流路および前記燃料ガス流れ変更流路は、前記中間プレートの異なる面内に形成されることを特徴とする燃料電池スタック。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
図１および図５に示すように、中間プレート１８ａの一方の面９０には、酸化剤ガス混合流路（酸化剤ガス流れ変更流路）９２と燃料ガス混合流路（燃料ガス流れ変更流路）９４とが設けられる。酸化剤ガス混合流路９２は、矢印Ｘ方向上流側の第１サブスタック１２の酸化剤ガス出口６４と、低加湿酸化剤ガス供給口６５と、矢印Ｘ方向下流側の第２サブスタック１４の酸化剤ガス入口５６とを連結する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
図８に示すように、中間プレート１０２ａ、１０２ｂの一方の面１１２には、酸化剤ガス出口６４と低加湿酸化剤ガス供給口６５と酸化剤ガス入口５６とを連通する酸化剤ガス混合流路（酸化剤ガス流れ変更流路）１１４が設けられる。この酸化剤ガス混合流路１１４は、中間プレート１０２ａ、１０２ｂの一方の面１１２に沿って対角方向に延在する長尺状流路を構成するとともに、ガイド部１１６を設けている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
中間プレート１０２ａ、１０２ｂの他方の面１１８には、燃料ガス出口６８と低加湿燃料ガス供給口６９と燃料ガス入口４６とを連通する燃料ガス混合流路（燃料ガス流れ変更流路）１２０が設けられる。この燃料ガス混合流路１２０は、ガイド部１２２を設けており、前記ガイド部１２２を構成する各リブ部の長さ、位置、方向および間隔等が設定され、低加湿燃料ガス供給口６９から前記燃料ガス混合流路１２０に供給される未使用の燃料ガスを、燃料ガス出口６８から供給される使用後の燃料ガスと均一に混合する機能を有する。
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月16日(2008.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】 ロードロック室を持ち、該ロードロック室経由で外部機器及び人間のどちらかとの間で基板の搬入出を行う露光装置において、前記ロードロック室内にパージガスを充填させる機構と、充填されたパージガスを回収する機構と、回収されたパージガスを保管する機構とを備え、パージガスで充填された前記ロードロック室を大気解放する前に、該ロードロック室内のパージガスを回収し、更に保管し、次回の基板搬入出時に、パージガスとして再利用することを特徴とする露光装置。
【請求項２】 ロードロック室を持ち、該ロードロック室経由で外部機器及び人間のどちらかとの間で基板の搬入出を行う露光装置において、前記ロードロック室が複数あり、各ロードロック室内にパージガスを充填させる機構と、充填されたパージガスを回収して再利用する機構と、搬入出される基板がそれぞれのロードロック室に置かれた段階で、各ロードロック室を閉鎖する閉鎖手段と、各ロードロック室の環境を結合することで内部の環境を平均化した状態から、各ロードロック室の環境を前記基板搬入出のための所定環境に合わせる手段とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項３】 前記基板とは感光基板であることを特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。
【請求項４】 前記基板とは原板であることを特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。
【請求項５】 前記外部機器とはレジスト塗布・現像装置であることを特徴とする請求項１、２または３に記載の露光装置。
【請求項６】 前記外部機器とは原板搬送装置であることを特徴とする、請求項１、２または４に記載の露光装置。
【請求項７】 ロードロック室経由で外部機器及び人間のどちらかとの間で基板の搬入出を行う基板搬入出装置において、前記ロードロック室内にパージガスを充填させて該ロードロック室内を基板搬入出のための所定環境にする手段と、基板搬入出後に前記ロードロック室を大気解放する手段と、パージガスで充填された前記ロードロック室を大気解放する前に、該ロードロック室内のパージガスを回収し、次回の基板搬入出時に、パージガスとして再利用する手段とを備えることを特徴とする基板搬入出装置。
【請求項８】 ロードロック室経由で外部機器及び人間のどちらかとの間で基板の搬入出を行う基板搬入出装置において、前記ロードロック室が複数あり、前記ロードロック室内にパージガスを充填させる手段と、充填されたパージガスを回収し再利用する手段と、搬入出される基板がそれぞれのロードロック室に置かれた段階で、各ロードロック室を閉鎖する手段と、各ロードロック室の環境を結合することで内部の環境を平均化した状態から、各ロードロック室の環境を前記基板搬入出のための所定環境に合わせる手段とを備えることを特徴とする基板搬入出装置。
【請求項９】 請求項１〜６のいずれかに記載の露光装置を含む各種プロセス用の製造装置群を半導体製造工場に設置する工程と、該製造装置群を用いて複数のプロセスによって半導体デバイスを製造する工程とを有することを特徴とする半導体デバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
図４は、環境制御装置１０が、ガスタンク１３からバルブ１８を通して不活性ガスをロードロック室３に送り込み、同室３内の環境を、所定環境である露光装置１内の環境に合わせている状態を表す図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
次に、図６に示すように、露光装置１のコントローラはドア４を閉め、その後ガス回収装置１１はバルブ１９を通してロードロック室３内の不活性ガスを回収し、回収されたガスは、ガス浄化装置１２により浄化して、ガスタンク１３に貯蔵される。従って、該回収されたガスは次回の基板搬入出時に、パージガスとして再利用されることになる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
次に、図１２に示すように、露光装置１のコントローラがバルブ１７を開いて、結合管１６経由で両ロードロック室３，２３内の環境を結合し、平均化する。次に、図１３に示すように、露光装置１のコントローラがバルブ１７を閉じて、ロードロック室３，２３内の環境を遮断した後、環境制御装置１０が、バルブ１８を通してガスタンク１３からの不活性ガスをロードロック室３に送り込み、同室３内の環境を、所定環境である露光装置１内の環境に合わせる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
また、露光装置１のコントローラの指令により、ガス回収装置２１はバルブ２９を通してロードロック室２３内の不活性ガスを回収し、回収されたガスをガス浄化装置２２により浄化し、ガスタンク１３に貯蔵する。その後環境制御装置３０は、露光装置１のコントローラの指令により、ロードロック室２３内を、所定環境であるＣ／Ｄ２内と同じ環境に設定する（合わせる）。このとき、ロードロック室３，２３内の環境が平均化された状態から環境設定が開始されるので、短時間で環境設定を終了することが可能になり、かつ不活性ガスの回収サイクルを持つため、ランニングコストの低減を図ることが可能になる。
【手続補正書】
【提出日】平成20年6月11日(2008.6.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  有底ビアホールを有するプリント配線基板において、有底ビアホールに金属メッキを施し、該ビアホールの底径より小さい粒子径で融点２５０℃以下の低融点金属粉を充填するとともに、該低融点金属を活性化させるフラックス成分を付与して加熱溶融させたことを特徴とするプリント配線基板。
【請求項２】  上記低融点金属粉に核金属粉を配合したことを特徴とする請求項１に記載のプリント配線基板。
【請求項３】  上記核金属粉の配合量を、全金属粉の９０重量％以下とすることを特徴とする請求項２に記載のプリント配線基板。
【請求項４】  上記核金属粉は、金、銀、銅、錫、ニッケルの中から選ばれた少なくとも一つであることを特徴とする請求項２又は３に記載のプリント配線基板。
【請求項５】  上記核金属粉に、該核金属とは異なる金属のメッキを施したことを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載のプリント配線基板。
【請求項６】  有底ビアホールに金属メッキを施す工程と、該ビアホールの底径より小さい粒子径の低融点金属粉を充填する工程と、該低融点金属粉を活性化させるフラックス成分を付与する工程と、上記フラックス成分とともに上記低融点金属を溶融させる工程とからなることを特徴とするプリント配線基板の製法。
【請求項７】  上記低融点金属粉を充填する工程において核金属とともに充填することを特徴とする請求項６に記載のプリント配線基板の製法。
【請求項８】  上記低融点金属粉および核金属粉を充填する手段は、スクリーン印刷を含む印刷法、散布法、転写法、振動法の中から選ばれたものである請求項７に記載のプリント配線基板の製法。
【請求項９】  上記低融点金属粉および核金属粉を充填する工程の前段でビアホール以外の部分を離型可能な材料でマスキングを施すことを特徴とする請求項７又は８に記載のプリント配線基板の製法。
【手続補正書】
【提出日】平成20年7月24日(2008.7.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱交換用循環溶液と上記循環溶液の蒸気とが収容された熱交換循環溶液収納容器、
この収納容器内の上記熱交換用循環溶液を上記収納容器外に送出する溶液送出口、
高温の熱交換用循環溶液と上記循環溶液の蒸気泡とからなる気液二相流体を上記収納容器に送入する気液二相流体送入口、
並びに上記溶液送出口と連接すると共に、顕熱放出熱交換器が設けられる第１輸送路と、内部の熱交換用循環溶液と上記収納容器内の熱交換用循環溶液、または内部の熱交換用循環溶液と上記収納容器内の熱交換用循環溶液および上記収納容器内の熱交換用循環溶液の蒸気とが熱交換する第２輸送路と、上記気液二相流体送入口と連接すると共に、加熱熱交換器が設けられる第３輸送路とを有し、上記第１輸送路ないし上記第３輸送路を連接した循環溶液輸送路を備え、
上記溶液送出口は、上記収納容器の両端に設けられ、
上記第１輸送路は、両方の溶液送出口に連接し、途中で合流して上記第２輸送路に接続されていることを特徴とする気泡ポンプ型熱輸送機器。
【請求項２】
第３輸送路の加熱熱交換器が設けられた部分は、複数に分割され、並列流路を構成していることを特徴とする請求項１記載の気泡ポンプ型熱輸送機器。
【請求項３】
気液二相流体送入口は、複数設けられていることを特徴とする請求項２記載の気泡ポンプ型熱輸送機器。
【請求項４】
第２輸送路は、複数の循環溶液輸送パイプと、上記循環溶液輸送パイプの上流に設けられた分配容器と、上記循環溶液輸送パイプの下流に設けられた集合容器とを有することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の気泡ポンプ型熱輸送機器。
【請求項５】
熱交換循環溶液収納容器には、熱交換用循環溶液の蒸気に不凝縮ガスが混入した気体が収容されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の気泡ポンプ型熱輸送機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の気泡ポンプ型熱輸送機器は、熱交換用循環溶液と上記循環溶液の蒸気とが収容された熱交換循環溶液収納容器、この収納容器内の上記熱交換用循環溶液を上記収納容器外に送出する溶液送出口、高温の熱交換用循環溶液と上記循環溶液の蒸気泡とからなる気液二相流体を上記収納容器に送入する気液二相流体送入口、並びに上記溶液送出口と連接すると共に、顕熱放出熱交換器が設けられる第１輸送路と、内部の熱交換用循環溶液と上記収納容器内の熱交換用循環溶液、または内部の熱交換用循環溶液と上記収納容器内の熱交換用循環溶液および上記収納容器内の熱交換用循環溶液の蒸気とが熱交換する第２輸送路と、上記気液二相流体送入口と連接すると共に、加熱熱交換器が設けられる第３輸送路とを有し、上記第１輸送路ないし上記第３輸送路を連接した循環溶液輸送路を備え、上記溶液送出口は、上記収納容器の両端に設けられ、上記第１輸送路は、両方の溶液送出口に連接し、途中で合流して上記第２輸送路に接続されているものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
この発明は、熱交換用循環溶液と上記循環溶液の蒸気とが収容された熱交換循環溶液収納容器、この収納容器内の上記熱交換用循環溶液を上記収納容器外に送出する溶液送出口、高温の熱交換用循環溶液と上記循環溶液の蒸気泡とからなる気液二相流体を上記収納容器に送入する気液二相流体送入口、並びに上記溶液送出口と連接すると共に、顕熱放出熱交換器が設けられる第１輸送路と、内部の熱交換用循環溶液と上記収納容器内の熱交換用循環溶液、または内部の熱交換用循環溶液と上記収納容器内の熱交換用循環溶液および上記収納容器内の熱交換用循環溶液の蒸気とが熱交換する第２輸送路と、上記気液二相流体送入口と連接すると共に、加熱熱交換器が設けられる第３輸送路とを有し、上記第１輸送路ないし上記第３輸送路を連接した循環溶液輸送路を備え、上記溶液送出口は、上記収納容器の両端に設けられ、上記第１輸送路は、両方の溶液送出口に連接し、途中で合流して上記第２輸送路に接続されているので、左右、前後への傾斜の影響、および体積力の方向の影響を受け難くなる。
【手続補正書】
【提出日】平成20年8月29日(2008.8.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクランブルされたディジタル放送信号を受信して記録媒体に記録再生するディジタル放送信号受信装置において、
前記ディジタル放送信号には、前記ディジタル放送信号を記録媒体に記録することを許すか否かを示すコピー制御情報を含み、
前記ディジタル放送信号を受信する受信手段と、
受信したディジタル放送信号のスクランブルを解除するデスクランブル手段と、
スクランブルを解除した前記ディジタル放送信号を記録媒体に記録再生する記録再生手段と、
スクランブルを解除した前記ディジタル放送信号から、前記コピー制御情報を検出する制御情報検出手段と、
前記制御情報検出手段での検出結果に基づき前記記録再生手段の記録再生動作を制御する記録再生制御手段とを備え、
前記記録再生制御手段は、前記コピー制御情報が一世代のみ記録を許すことを示すものであるディジタル放送信号の記録再生において、前記スクランブルを解除したディジタル放送信号を記録再生装置に固有の暗号化を行って記録して、他の装置では再生できないようにすると共に、前記ディジタル放送信号の再生時の出力においては、再生した上記ディジタル放送信号に前記コピー制御情報と同一の一世代のみ記録を許すことを示す情報を付加して出力する第一の状態と、再生した前記ディジタル放送信号にコピーが禁止であることを示す情報を付加して出力する第二の状態とを有することを特徴とするディジタル放送信号受信装置。
【請求項２】
前記記録再生制御手段は、前記ディジタル放送信号を再生して出力するときに、記録後所定期間内に限って前記第一の状態で出力することを特徴とする請求項１に記載のディジタル放送信号受信装置。
【請求項３】
スクランブルされたディジタル放送信号を受信して記録媒体に記録再生するディジタル放送信号受信方法において、
前記ディジタル放送信号には、前記ディジタル放送信号を記録媒体に記録することを許すか否かを示すコピー制御情報を含み、
前記ディジタル放送信号を受信し、
受信したディジタル放送信号のスクランブルを解除し、
前記コピー制御情報が一世代のみ記録を許すことを示すものであるスクランブルを解除した前記ディジタル放送信号を受信装置に固有の暗号化を行って記録して他の装置では再生できないようにし、
前記ディジタル放送信号の再生時の出力においては、再生した前記ディジタル放送信号に前記コピー制御情報と同一の一世代のみ記録を許すことを示す情報を付加して出力する第一の状態と、再生した前記ディジタル放送信号にコピーが禁止であることを示す情報を付加して出力する第二の状態とを有することを特徴とするディジタル放送信号受信方法。
【請求項４】
前記ディジタル放送信号を再生して出力するときに、記録後所定期間内に限って前記第一の状態で出力することを特徴とする請求項３に記載のディジタル放送信号受信方法。
【請求項５】
ディジタル放送信号をスクランブルして送信し、送信された前記ディジタル放送信号を受信して記録媒体に記録再生するディジタル放送信号送受信方法において、
ディジタル放送信号をスクランブルし、
前記ディジタル放送信号を記録媒体に記録することを許すか否かを示すコピー制御情報と共に送信し、
前記ディジタル放送信号を受信し、
受信したディジタル放送信号のスクランブルを解除し、
前記コピー制御情報が一世代のみ記録を許すことを示すものであるスクランブルを解除した前記ディジタル放送信号を受信装置に固有の暗号化を行って記録して他の装置では再生できないようにし、
前記ディジタル放送信号の再生時の出力においては、再生した前記ディジタル放送信号に前記コピー制御情報と同一の一世代のみ記録を許すことを示す情報を付加して出力する第一の状態と、再生した前記ディジタル放送信号にコピーが禁止であることを示す情報を付加して出力する第二の状態を有することを特徴とするディジタル放送信号送受信方法。
【請求項６】
ディジタル放送信号をスクランブルして送信するディジタル放送信号送信方法において、
ディジタル放送信号をスクランブルし、
前記ディジタル放送信号を記録媒体に記録することを許すか否かを示すコピー制御情報と共に送信し、
前記コピー制御情報は、送信された前記ディジタル放送信号の受信時に、前記コピー制御情報が一世代のみ記録を許すことを示すものであるときにはスクランブルを解除した前記ディジタル放送信号を受信装置に固有の暗号化を行って記録して他の装置では再生できないようにし、前記ディジタル放送信号の再生時の出力においては、再生した前記ディジタル放送信号に前記コピー制御情報と同一の一世代のみ記録を許すことを示す情報を付加して出力する第一の状態と、再生した前記ディジタル放送信号にコピーが禁止であることを示す情報を付加して出力する第二の状態とを有することを示す情報であることを特徴とするディジタル放送信号送信方法。
【手続補正書】
【提出日】平成20年4月1日(2008.4.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルにおいて２次元マトリックス状に配列された複数のトランジスタを駆動するための表示パネル駆動回路であって、
画像の表示を開始するタイミングを与える第１のスタートパルスが印加され、クロック信号に同期して第１のスタートパルスをシフトさせることにより、表示パネルにおいて駆動されるラインを順次選択する複数の信号を生成する第１のシフトレジスタと、
黒レベルの表示を開始するタイミングを与える第２のスタートパルスが印加され、クロック信号に同期して第２のスタートパルスをシフトさせることにより、表示パネルにおいて駆動されるラインを順次選択する複数の信号を生成する第２のシフトレジスタと、
前記第１のシフトレジスタによって生成される複数の信号と前記第２のシフトレジスタによって生成される複数の信号とに基づいて、前記表示パネルにおいて配列された各ラインのトランジスタを選択的に活性化するタイミングを与える複数の信号を生成する複数の論理回路と、
前記複数の論理回路によって生成される信号の電位をそれぞれシフトさせる複数のレベルシフト回路と、
前記複数のレベルシフト回路から出力される信号を入力して、前記表示パネルに配列された各ラインのトランジスタを選択的に活性化するための複数の駆動信号をそれぞれ出力する複数の出力回路と、
を具備する表示パネル駆動回路。
【請求項２】
前記複数の論理回路の各々が、
第１の制御信号に従って、前記第１のシフトレジスタの複数の出力信号が活性化される期間を減縮した信号を生成する第１の論理回路と、
第２の制御信号に従って、前記第２のシフトレジスタの複数の出力信号が活性化される期間を減縮した信号を生成する第２の論理回路と、
前記第１の論理回路によって生成される信号と前記第２の論理回路によって生成される信号との論理和を表す信号を生成する第３の論理回路と、
を含む、請求項１記載の表示パネル駆動回路。
【請求項３】
前記表示パネルが液晶表示パネルであり、前記複数のトランジスタが薄膜トランジスタである、請求項１又は２記載の表示パネル駆動回路。
【請求項４】
表示装置を駆動するための駆動回路であって、
第１の画像の表示を行うための第１のシフトレジスタと、
第２の画像の表示を行うための第２のシフトレジスタと、
複数の論理回路と、
を含み、
前記複数の論理回路の各々は、前記第１のシフトレジスタの複数の第１の出力信号のうちの１つと、前記第２のシフトレジスタの複数の第２の出力信号のうちの１つとに基づいて、前記表示装置を駆動するための信号を生成することを特徴とする駆動回路。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】表示パネル駆動回路及び駆動回路
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
ここで、複数の論理回路の各々が、第１の制御信号に従って、第１のシフトレジスタの複数の出力信号が活性化される期間を減縮した信号を生成する第１の論理回路と、第２の制御信号に従って、第２のシフトレジスタの複数の出力信号が活性化される期間を減縮した信号を生成する第２の論理回路と、第１の論理回路によって生成される信号と第２の論理回路によって生成される信号との論理和を表す信号を生成する第３の論理回路とを含むようにしても良い。また、表示パネルとして液晶表示パネルを用い、複数のトランジスタとして薄膜トランジスタを用いるようにしても良い。
また、本発明に係る駆動回路は、表示装置を駆動するための駆動回路であって、第１の画像の表示を行うための第１のシフトレジスタと、第２の画像の表示を行うための第２のシフトレジスタと、複数の論理回路と、を含み、前記複数の論理回路の各々は、前記第１のシフトレジスタの複数の第１の出力信号のうちの１つと、前記第２のシフトレジスタの複数の第２の出力信号のうちの１つとに基づいて、前記表示装置を駆動するための信号を生成する。
【手続補正書】
【提出日】平成20年4月25日(2008.4.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズ装置の振動を検出する振動センサと、該振動センサの検出信号に基づいて振動による像振れを補正する像振れ補正手段と、前記振動センサによる検出信号の振幅と周波数に基づいて前記像振れ補正手段を駆動するか否かを判断する判断手段とを備えたことを特徴とするレンズ装置。
【請求項２】
前記振動センサによる検出信号の振幅が所定の振幅よりも小さく、かつ前記検出信号の周波数が所定の周波数よりも小さいときは、前記判断手段は前記像振れ補正手段による像振れ補正を行わないようにすることを特徴とする請求項１に記載のレンズ装置。
【請求項３】
前記判断手段は前記振動センサによる検出信号が所定の振幅内にあるときは、前記像振れ補正手段による像振れ補正を行わないように判断し、前記所定の振幅を前記検出信号の周波数が高くなるにつれて小さくすることを特徴とする請求項１に記載のレンズ装置。
【請求項４】
前記振動センサによる検査信号の振幅と周波数の関係を記憶した記憶手段を有することを特徴とする請求項１〜３の何れか１つの請求項に記載のレンズ装置。
【請求項５】
請求項１〜４に記載のレンズ装置を有する撮像装置。
【手続補正書】
【提出日】平成20年4月23日(2008.4.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの光学素子と、少なくとも１つの正レンズとを備える投射光学系であって、
前記少なくとも１つの光学素子のうち、前記投射光学系の拡大共役側から数えてｉ番目の光学素子の材料の、Ｆ線、Ｃ線の光に対する屈折率を（Ｎｆ）ｉ、（Ｎｃ）ｉ、前記ｉ番目の光学素子の光軸上の肉厚をＤｉ（ここで、該ｉ番目の光学素子内を通過する光束が収束している場合には正、発散している場合には負とする）、前記投射光学系の焦点距離をｆ、前記少なくとも１つの正レンズのうち、前記投射光学系の拡大共役側から数えてｐ番目の正レンズの焦点距離をｆｐ、前記ｐ番目の正レンズの硝材のｄ線の光に対するアッベ数をνｐ、前記ｐ番目の正レンズのｇ線、Ｆ線、Ｃ線における屈折率を（Ｎｇ）ｐ、（Ｎｆ）ｐ、（Ｎｃ）ｐとし、さらに、θｐ＝｛（Ｎｇ）ｐ−（Ｎｆ）ｐ｝／｛（Ｎｆ）ｐ−（Ｎｃ）ｐ｝、θｐ，ａｖ＝Σ（θｐ／ｆｐ）／Σ（１／ｆｐ）、νｐ，ａｖ＝Σ（νｐ／ｆｐ）／Σ（１／ｆｐ）とするとき、
０．０２＜Σ｛（Ｎｆ）ｉ−（Ｎｃ）ｉ｝×Ｄｉ／ｆ＜０．１５
θｐ，ａｖ−（０．６４８−０．００１６８２×νｐ，ａｖ）＞０
θｐ，ａｖ−（０．５８９−０．０００５８４×νｐ，ａｖ）＜０
を満足することを特徴とする投射光学系。
【請求項２】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１記載の投射光学系。
０．０２５＜Σ｛（Ｎｆ）ｉ−（Ｎｃ）ｉ｝×Ｄｉ／ｆ＜０．１００
【請求項３】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１又は２記載の投射光学系。
θｐ，ａｖ−（０．６５５−０．００１６８２×νｐ，ａｖ）＞０
【請求項４】
前記少なくとも１つの実質的に光学的パワーを持たない光学素子のうち１つの光学素子のＦ線に対する屈折率をＮｆ、Ｃ線に対する屈折率をＮｃとするとき、
（Ｎｆ−Ｎｃ）＞０．０１
を満足することを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の投射光学系。
【請求項５】
拡大共役側から順に、負正正負正正のパワーを持つ６つのレンズ群を有し、前記６つのレンズ群のうち複数のレンズ群を移動させることにより変倍を行っており、
前記少なくとも１つの正レンズが前記６つのレンズ群の中に配置されていることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の投射光学系。
【請求項６】
前記正のパワーを持つレンズ群が、以下の条件を満足する異常分散正レンズを含むことを特徴とする請求項５に記載の投射光学系。
θｐ−（０．６４３８−０．００１６８２×νｐ）＞０．０１８
【請求項７】
少なくとも１つのプリズムと、少なくとも１つの正レンズとを備える投射光学系であって、
前記少なくとも１つのプリズムのうち、前記投射光学系の拡大共役側から数えてｉ番目のプリズムの材料の、Ｆ線、Ｃ線の光に対する屈折率を（Ｎｆ）ｉ、（Ｎｃ）ｉ、前記ｉ番目のプリズムの光軸上の肉厚をＤｉ（ここで、該ｉ番目のプリズム内を通過する光束が収束している場合には正、発散している場合には負とする）、前記投射光学系の焦点距離をｆ、前記少なくとも１つの正レンズのうち、前記投射光学系の拡大共役側から数えてｐ番目の正レンズの焦点距離をｆｐ、前記ｐ番目の正レンズの硝材のｄ線の光に対するアッベ数をνｐ、前記ｐ番目の正レンズのｇ線、Ｆ線、Ｃ線における屈折率を（Ｎｇ）ｐ、（Ｎｆ）ｐ、（Ｎｃ）ｐとし、さらに、θｐ＝｛（Ｎｇ）ｐ−（Ｎｆ）ｐ｝／｛（Ｎｆ）ｐ−（Ｎｃ）ｐ｝、θｐ，ａｖ＝Σ（θｐ／ｆｐ）／Σ（１／ｆｐ）、νｐ，ａｖ＝Σ（νｐ／ｆｐ）／Σ（１／ｆｐ）とするとき、
０．０２＜Σ｛（Ｎｆ）ｉ−（Ｎｃ）ｉ｝×Ｄｉ／ｆ＜０．１５
θｐ，ａｖ−（０．６４８−０．００１６８２×νｐ，ａｖ）＞０
θｐ，ａｖ−（０．５８９−０．０００５８４×νｐ，ａｖ）＜０
を満足することを特徴とする投射光学系。
【請求項８】
少なくとも一つの画像表示素子と、前記少なくとも一つの画像表示素子からの光を投射する、請求項１乃至７いずれかに記載の投射光学系とを有することを特徴とする画像投射装置。
【請求項９】
前記少なくとも一つの画像表示素子が３つの反射型液晶表示素子を含んでおり、
前記投射光学系が、偏光ビームスプリッターを含み、該３つの反射型液晶表示素子からの画像光を合成する色合成光学系と、前記色合成光学系からの画像光を投射する投射レンズとを備えていることを特徴とする請求項８記載の画像投射装置。
【請求項１０】
複数の画像表示素子と、
光源からの光を用いて前記複数の画像表示素子を複数の色光で照明する照明光学系と、
前記複数の画像表示素子から出射する複数の色光を色合成する色合成光学系と、
該色合成光学系で合成した光を被投射面に投射する投射光学系とを有する画像投射装置であって、
前記色合成光学系が少なくとも１つのプリズムを有しており、
前記投射光学系が少なくとも１つの正レンズとを備えており、
前記少なくとも１つのプリズムのうち、前記投射光学系の拡大共役側から数えてｉ番目のプリズムの材料の、Ｆ線、Ｃ線の光に対する屈折率を（Ｎｆ）ｉ、（Ｎｃ）ｉ、前記ｉ番目のプリズムの光軸上の肉厚をＤｉ（ここで、該ｉ番目のプリズム内を通過する光束が収束している場合には正、発散している場合には負とする）、前記投射光学系の焦点距離をｆ、前記少なくとも１つの正レンズのうち、前記投射光学系の拡大共役側から数えてｐ番目の正レンズの焦点距離をｆｐ、前記ｐ番目の正レンズの硝材のｄ線の光に対するアッベ数をνｐ、前記ｐ番目の正レンズのｇ線、Ｆ線、Ｃ線における屈折率を（Ｎｇ）ｐ、（Ｎｆ）ｐ、（Ｎｃ）ｐとし、さらに、θｐ＝｛（Ｎｇ）ｐ−（Ｎｆ）ｐ｝／｛（Ｎｆ）ｐ−（Ｎｃ）ｐ｝、θｐ，ａｖ＝Σ（θｐ／ｆｐ）／Σ（１／ｆｐ）、νｐ，ａｖ＝Σ（νｐ／ｆｐ）／Σ（１／ｆｐ）とするとき、
０．０２＜Σ｛（Ｎｆ）ｉ−（Ｎｃ）ｉ｝×Ｄｉ／ｆ＜０．１５
θｐ，ａｖ−（０．６４８−０．００１６８２×νｐ，ａｖ）＞０
θｐ，ａｖ−（０．５８９−０．０００５８４×νｐ，ａｖ）＜０
を満足することを特徴とする画像投射装置。
【手続補正書】
【提出日】平成20年7月31日(2008.7.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
歯の歯幅方向の両端側に、歯の歯面側及び歯の歯先面側の肉厚を薄くする空洞部を、歯の側面から歯の歯幅方向中央部に向かってお互いに貫通しない所定深さだけ形成し、
射出成形後の収縮差により、前記歯の歯幅方向両端側における前記空洞部を形成した部分の歯厚を、前記空洞部を形成しない部分の歯厚よりも大きくし、
前記歯の歯面における前記空洞部を形成した部分と前記空洞部を形成しない部分との間には、前記歯幅方向中央部に向かって前記歯の歯厚が漸減する部分が形成された、
ことを特徴とする射出成形プラスチックギヤ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の射出成形プラスチックギヤは、歯の歯幅方向の両端側に、歯の歯面側及び歯の歯先面側の肉厚を薄くする空洞部を、歯の側面から歯の歯幅方向中央部に向かってお互いに貫通しない所定深さだけ形成している。また、射出成形後の収縮差により、前記歯の歯幅方向両端側における前記空洞部を形成した部分の歯厚を、前記空洞部を形成しない部分の歯厚よりも大きくしている。そして、前記歯の歯面における前記空洞部を形成した部分と前記空洞部を形成しない部分との間には、前記歯幅方向中央部に向かって前記歯の歯厚が漸減する部分が形成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成20年3月27日(2008.3.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
又、上記保持器４ａはそれぞれ、銅或いは真鍮等の銅系合金、又は、ステンレス鋼等の鉄系合金製の素材に切削加工乃至研削加工を施す事により一体に造られたもので、上記各球面ころ３、３を転動自在に保持する為の複数のポケット９、９を備えている。この為に上記保持器４ａは、上記両列の球面ころ３、３同士の間に配置された円環状のリム部７と、このリム部７の軸方向両側面にそれぞれの基端部を結合固定した（一体に連続させた）複数の柱部８ａ、８ａとを備える。これら各柱部８ａ、８ａは、それぞれの基端部を上記リム部７の軸方向両側面の円周方向等間隔複数個所に結合固定した状態で、上記各球面ころ３、３の軸方向に配置されている。又、上記各柱部８ａ、８ａは、それぞれの先端部を、他の部分に結合しない自由端としている。即ち、これら各柱部８ａ、８ａの先端部には、これら各柱部８ａ、８ａの先端部同士を連結する連結部は設けていない。そして、円周方向に隣り合う柱部８ａ、８ａの円周方向側面と上記リム部７の軸方向片側面とで三方を囲まれる部分を、上記各ポケット９、９としている。
【手続補正書】
【提出日】平成20年2月26日(2008.2.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスクの回転方向に離間して該ディスクの外周側を軸方向に跨ぐ一対の腕部を有し該各腕部にパッドガイドが設けられた取付部材と、該取付部材の各腕部に摺動可能に設けられたキャリパと、前記取付部材の各腕部に前記パッドガイドを介して摺動可能に取付けられ該キャリパによりディスクの両面に押圧される一対の摩擦パッドと、前記取付部材の各腕部側にそれぞれ取付けられ該各摩擦パッドを各腕部間で弾性的に支持する一対のパッドスプリングとからなるディスクブレーキにおいて、
前記一対のパッドスプリングのうち一方のパッドスプリングは、前記取付部材のパッドガイドに嵌合して取付けられ該パッドガイドと一緒に前記摩擦パッドを軸方向に案内する案内板部と、該案内板部と摩擦パッドとの間をディスクの軸方向に延びるように形成され前記摩擦パッドをディスクの径方向外側に向けて付勢する径方向付勢部と、前記案内板部からディスクの径方向内側へと斜めに折曲げられた幅広板状体として形成され前記摩擦パッドをディスクの回転方向に付勢する回転方向付勢部とを有する構成としたことを特徴とするディスクブレーキ。
【請求項２】
前記径方向付勢部の長さ方向途中には、ディスクの径方向内向きの突片部を設け、前記案内板部には、前記突片部と対向する位置に空隙部を設け、前記径方向付勢部がディスクの径方向内側に変位したときに前記突片部がパッドガイドの壁面側に当接するように構成してなる請求項１に記載のディスクブレーキ。
【請求項３】
前記径方向付勢部は、その基端側がディスクの径方向外側に向けて略Ｕ字状に折返され先端側が自由端となって前記案内板部と摩擦パッドとの間をディスクの軸方向に延びる細長板状体として形成し、前記径方向付勢部と案内板部との間には、前記回転方向付勢部と径方向付勢部とを互いに独立して弾性変形させるための切込みを形成してなる請求項１または２に記載のディスクブレーキ。
【請求項４】
前記パッドスプリングには、前記案内板部と一緒に前記取付部材のパッドガイドに嵌合される爪部を設け、該爪部は、前記パッドガイドに弾性的に接触することにより前記案内板部をパッドガイドに対してディスクの径方向外側に付勢する構成としてなる請求項１，２または３に記載のディスクブレーキ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、請求項２の発明によると、前記径方向付勢部の長さ方向途中には、ディスクの径方向内向きの突片部を設け、前記案内板部には、前記突片部と対向する位置に空隙部を設け、前記径方向付勢部がディスクの径方向内側に変位したときに前記突片部がパッドガイドの壁面側に当接するような構成としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
一方、請求項３の発明によると、前記径方向付勢部は、その基端側がディスクの径方向外側に向けて略Ｕ字状に折返され先端側が自由端となって前記案内板部と摩擦パッドとの間をディスクの軸方向に延びる細長板状体として形成し、前記径方向付勢部と案内板部との間には、前記回転方向付勢部と径方向付勢部とを互いに独立して弾性変形させるための切込みを形成する構成としている。
また、請求項４の発明によると、前記パッドスプリングには、前記案内板部と一緒に前記取付部材のパッドガイドに嵌合される爪部を設け、該爪部は、前記パッドガイドに弾性的に接触することにより前記案内板部をパッドガイドに対してディスクの径方向外側に付勢する構成としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、請求項２に記載の発明によると、パッドスプリングの径方向付勢部に突片部を設け、案内板部には空隙部を設ける構成としているので、案内板部と摩擦パッドとの間をディスクの軸方向に延びる径方向付勢部が、例えばブレーキ操作時の振動等により付勢方向（摩擦パッドをディスクの径方向外側に付勢する方向）とは逆向きに変位しても、このときには前記突片部がパッドガイドの壁面側に当接して振動に伴う外力等を受承でき、径方向付勢部等に過大な応力が作用することを防ぐことができる。このため、前述の如き振動発生時に径方向付勢部が案内板部に強く重なり合うように変形するのを前記突片部により防止でき、例えば径方向付勢部および回転方向付勢部等の応力集中を抑えることができると共に、パッドスプリング全体の耐久性、寿命等を高め、信頼性を向上することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
一方、請求項３に記載の発明は、径方向付勢部と案内板部との間に切込みを設ける構成としているので、回転方向付勢部と径方向付勢部とを互いに独立して弾性変形させることができ、例えば径方向付勢部の変形が回転方向付勢部に影響を及ぼすのを防ぐことができる。このため、径方向付勢部と回転方向付勢部とに余分な応力を作用するのを防止でき、応力集中等の発生を抑えることができる。しかも、摩擦パッドに対する両者の付勢力を互いに独立させ、パッド姿勢やパッドスプリング自体の姿勢を安定させることができる。
また、請求項４に記載の発明によると、パッドスプリングには、案内板部と一緒に取付部材のパッドガイドに嵌合される爪部を設けているので、この爪部を前記パッドガイドの壁面に弾性的に接触させることにより、パッドスプリングの案内板部を取付部材のパッドガイドに対しディスクの径方向外側に付勢でき、回転方向付勢部をパッドガイドから離間させ、回転方向付勢部の付勢力を安定させることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
これにより、車両のブレーキ操作時等に制動トルク等の影響で摩擦パッド７が図１７中の矢示Ｃ方向に振動し、径方向付勢部１６の付勢片部１６Ｃが案内板部１４の下面板１４Ｂに重なり合うようにディスク１の径方向内側に変位しても、突片部１６Ｄをパッドガイド３の下側壁面３Ｂに弾性的に当接させることができ、径方向付勢部１６の付勢片部１６Ｃが下面板１４Ｂに当接することがなく、下面板１４Ｂと回転方向付勢部１９とに過大な応力が作用するのを防ぐことができる。
【手続補正書】
【提出日】平成20年4月8日(2008.4.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
そして、この第４の実施の形態では、第１の実施の形態における胴体部１と同様に、ＳＵＳ３０４Ｎ２製とした、超低温容器Ｔの鏡板２の厚みを薄くすることができるため、その分、超低温容器構造体を軽量化することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成20年2月26日(2008.2.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
そして、第２の軸部３４は、上述の第１の軸部３３と連続する鍔部３６と、この鍔部３６に続く基半部３４ａと、この基半部３４ａに続く先半部３４ｂとを有し、これら鍔部３６、基半部３４ａおよび先半部３４ｂが同心上にこの順で配置されている。
そして、図２および図３に示すように、円板状の鍔部３６が外輪４１の穴４１ａに挿入
された状態で嵌合することになり、この鍔部３６の軸方向に沿う長さ（厚さ）が、外輪４
１の厚さと略等しくされている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
この場合には、第２の軸部３４の鍔部３６および基半部３４aのそれぞれの軸径が支持軸の軸径とされ、外輪４１の穴４１ａの狭い径の部分と基半部３４aとのすきま量が０〜０．０５ｍｍとされるとともに、外輪４１の穴４１ａの広い径の部分と鍔部３６とのすきま量が０〜０．０５ｍｍとされる。また、後述のすきま量の目標値も、外輪４１の穴４１ａの狭い径の部分と基半部３４aとのすきま量において、例えば、０．０２５ｍｍとされるとともに、外輪４１の穴４１ａの広い径の部分と鍔部３６とのすきま量において、例えば、０．２５ｍｍとされる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
ここで、上述のように変位軸３１の第１の軸部３３がトラニオン６の円孔３０にラジア
ルニードル軸受３５により回転自在に支持され、第２の軸部３４にラジアルニードル軸受
３８を介してパワーローラ１１が支持され、かつ、ラジアルニードル軸受３５，３８に
おいては、軸が傾斜するすきまがあることから、トラニオン６に対する変位軸３１、およ
び変位軸３１に対するパワーローラ１１の傾きが発生し、これにより、パワーローラ１１
の回転中心がトラニオン６の枢軸５の方向にオフセット可能となる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年12月12日(2007.12.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
図３は、図２に示した制御ブロック図のアキシャルセンサ７３（ｚ軸方向）に関係する部分を詳細に示したものである。デジタル制御回路３０の正弦波離散値生成部３１３で生成された正弦波離散値はＤ／Ａコンバータ３１によりアナログ信号に変換され、そのアナログ信号はフィルタ３２へ出力される。出力された搬送波信号は高調波が含まれていて階段状になっているため、ローパスフィルタやバンドパスフィルタ等で構成されるフィルタ３２でフィルタリングすることにより、滑らかな搬送波信号が得られる。その搬送波信号は、抵抗Ｒを通して直列接続されたセンサ７３に印加される。フィルタ３２から出力される搬送波信号Ｆcarrier(t)は搬送波周波数をｆcとすれば次式（１）で表される。
Ｆcarrier(t)＝Ａsin(２πｆcｔ)    …（１）
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
【図１】本発明による磁気軸受装置が適用される磁気軸受式ターボ分子ポンプのポンプ本体１の概略構成を示す断面図である。
【図２】５軸制御型磁気軸受の制御ブロック図である。
【図３】図２に示した制御ブロック図のアキシャルセンサ７３（ｚ軸方向）に関係する部分を詳細に示したブロック図である。
【図４】信号波形の一例を示す図である。
【図５】サンプリングタイミングを説明する図である。
【図６】Ｓ／Ｎ比の向上を説明する図である。
【図７】図２における各軸のセンサ７１ｘ〜７３とセンサ回路３３ａ〜３３ｅとを詳細に示す図である。
【図８】第１の方法を説明するブロック図である。
【図９】位相シフト回路を用いて位相ずらしを行う場合の構成を示すブロック図である。
【図１０】第２の方法を説明するブロック図である。
【図１１】第３の方法を説明する図である。
【手続補正書】
【提出日】平成20年4月10日(2008.4.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
図１０、図１１は、本出願人が先に提案している表面形状測定装置について例を示す図であり、図１０に示すように、被測定物であるガラス基板１００を垂直に配置して、表面形状を測定する装置が考えられている。このような測定装置は、基台１１０の上にガラス基板１００を垂直に保持する垂直保持機構１２０および表面形状を測定する測定部１９０および測定部を支持する測定部支持機構１３０を備えている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
一方、フリー結合構造について、図７、図８を参照して説明する。
図８に示すように、水平スライドレール３７０、３７０およびスペーサ５００の下面には、板部材５４０が配置されて水平スライドレール３７０側へねじ等（図示しない）で固定されている。板部材５４０の下方には、受け板部３９０ｂが設けられ、板部材５４０の下面と受け板部３９０ｂの上面との間には、球面軸受５５０が１箇所介在配置されている。この球面軸受５５０をスリーブ５６０を介してねじ５７０によって取り付けることによって、受け板部３９０ｂが板部材５４０との間に隙間を有して装着される。前述した図５（ｂ）と同様に球面軸受５５０で板部材５４０を支えており、反対側の球面軸受５２０、５２０の２箇所と、計３箇所で水平移動手段３２０を支持していることになる。球面軸受５５０の位置は、反対側に位置する固定結合構造の球面軸受５２０、５２０の２箇所の中間に位置されている。
スリーブ５６０の外周部には、フローティング機構６００が装着され、図３内に示した矢印Ｘ−Ｙで示すように水平な縦横方向（長手方向とそれに直角方向）にフローティング（摺動）可能に構成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2006308296.tif 000001
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2006308296.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成20年2月13日(2008.2.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
この移動体５も支持枠２と平行な約２０°の傾斜を有しており、この移動体５の傾斜した上面に傾斜方向に沿って２本の偏光板供給スロット６が設けられており、内には供給スロット６の長さ方向に沿って偏光板が積層されている。
【手続補正書】
【提出日】平成20年2月19日(2008.2.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
以上の構成からなるレンズ鏡筒１０のレンズ移動機構では、ステッピングモータ５１によりリードスクリュー５０が正逆いずれかの方向に回転駆動されると、その回転がリードスクリュー係合部３４のラック歯４０を介して、ガイドバー２２及びガイドバー２３に直進案内されている前後の（２群側と４群側の）ラック体３３の光軸Ｏ方向の直進運動に変換される。
２群支持枠２５とラック体３３は光軸Ｏ方向に一緒に移動する。そして、互いの断面形状が同一である挿通孔２９、挿通孔３０、及び貫通孔３５に、軸受筒部材４３がガタなく挿入され、さらに、軸受筒部材４３の貫通孔４６にガイドバー２３がガタなく挿入されることにより、２群支持枠２５とラック体３３とガイドバー２３の間のガタは除去されている。従って、第２レンズ群Ｌ２の光軸の偏心や倒れの原因となる、２群支持枠２５とラック体３３の光軸Ｏに対する姿勢差が無くなる（２群支持枠２５とラック体３３は共に光軸方向を向く）ので、第２レンズ群Ｌ２の光学性能が劣化したり、原点センサＳ２による２群支持枠２５の原点位置検出が不安定で難しくなるのを防止できる。