(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
蓄冷器、吸熱器、パルス管及び放熱器が順次直列に連結されて構成されたパルス管部を複数備え、該複数のパルス管部は互いに直列に連結され、
前記複数のパルス管部の一方端に冷却器が直列に連結され、該冷却器の前記パルス管部が連結された端部とは異なるもう一方の端部に作動ガスの圧力変動を発生する圧縮機が直列に連結され、
前記複数のパルス管部の他方端にバッファオリフィスとバッファタンクとが順次直列に連結され、
前記圧縮機のピストン運動によって、少なくとも１つのパルス管部の膨張仕事を、他のパルス管部の圧縮仕事として回収したことを特徴とするパルス管冷凍機。
【請求項２】
一方端が作動ガスの圧力変動を発生する圧縮機に連結され、冷却器、第１蓄冷器、第１吸熱器、第１パルス管及び第１放熱器が順次直列に連結されて構成される第１パルス管部と、
前記第１パルス管部の他方端に直列に連結され、第２蓄冷器、第２吸熱器、第２パルス管及び第２放熱器が順次直列に連結されて構成される第２パルス管部とを備え、
前記第２放熱器の端部のうち前記第２パルス管と連結された端部とは異なるもう一方の端部にバッファオリフィスとバッファタンクとが順次直列に連結され、
前記圧縮機のピストン運動によって、前記第１パルス管部の膨張仕事を、前記第２パルス管部の圧縮仕事として回収したことを特徴とするパルス管冷凍機。
【請求項３】
請求項２に記載のパルス管冷凍機において、
前記第１蓄冷器の高温端と前記第１パルス管の高温端との間、及び、前記第２蓄冷器の高温端と前記第２パルス管の高温端との間の少なくとも一方をバイパスするバイパス通路を設けたことを特徴とするパルス管冷凍機。
【請求項４】
請求項２に記載のパルス管冷凍機において、
前記圧縮機は２段式圧縮ピストンを有するとともに、前記第１冷却器は基端側冷却器と先端側冷却器に２分された構造を有し、これによって前記圧縮ピストンと前記先端側冷却器との間に前記第１蓄冷器に連結される第１圧縮室と、該第１蓄冷器から遮断された前記圧縮ピストンと前記基端側冷却器との間に第２圧縮室とを形成し、
前記第２圧縮室と前記第１パルス管の高温端との間をバイパスするバイパス通路を設けたことを特徴とするパルス管冷凍機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、パルス管冷凍機に係り、特に冷凍効率の向上を図れるようにしたパルス管冷凍機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、極低温用の冷凍機としてパルス管冷凍機が注目を集めている。このパルス管冷凍機は、内部に充填した作動ガスの圧力変動と位置変動との位相をずらして振動させることにより、冷却能力を発揮するものである。
【０００３】
このようなパルス管冷凍機の構造等は種々の文献において紹介されて周知のものとなっている（例えば、Ｍ．Ｙａｎａｉ：Ｐｕｌｓｅ  Ｔｕｂｅ  Ｃｒｙｏｃｏｏｌｅｒ，ＩＳＴＥＣ  Ｊｏｕｒｎａｌ  Ｖｏｌ９  Ｎｏ．３（１９９６），２０．など）。
【０００４】
こうした文献に紹介されたパルス管冷凍機も含め、従来のパルス管冷凍機は、例えば図７に示される構造を有している。
同図に示されるように、従来のパルス管冷凍機８１は、圧縮機８２と、冷却器８３と、蓄冷器８４と、吸熱器８５と、パルス管８６と、放熱器８７と、バッファオリフィス８８と、バッファタンク８９とが順次直列に連結されて構成されている。なお、上記冷却器８３、蓄冷器８４、吸熱器８５、パルス管８６及び放熱器８７によってパルス管部９０が形成されており、内部が真空に保たれた真空容器８１ａに収容されている。
【０００５】
上記圧縮機８２は、パルス管冷凍機８１内に充填してあるヘリウム等の作動ガスに圧力変動を発生させるもので、圧縮シリンダ９１と同圧縮シリンダ９１内にピストンリング（図示せず）を介して摺動可能に配設された圧縮ピストン９２とを備えている。そして、この圧縮ピストン９２と上記冷却器８３との間には、圧縮室９３が形成されている。この圧縮機８２は、駆動装置（図示せず）によって上記圧縮ピストン９２を往復動させることにより、上記パルス管冷凍機８１内の作動ガスの圧縮・膨張を繰り返すよう構成されている。
【０００６】
上記圧縮機８２に連結された冷却器８３は、内部を流れる作動ガスの圧縮熱を流体路９４を流れる冷却流体に放出するためのものである。
上記冷却器８３に連結された蓄冷器８４は、例えば、ステンレス鋼、リン青銅等のメッシュからなる蓄冷材９５が充填されたもので、作動ガスとの熱交換を行う。すなわち、作動ガスは、この蓄冷器８４内を上記吸熱器８５側に向かって進行する際に、同蓄冷器８４によって徐々に冷却されようになっており、反対に、上記冷却器８３側に向かって進行する（戻る）際に、同蓄冷器８４を冷却しながら徐々に温められるようになっている。
【０００７】
上記蓄冷器８４の低温端側（圧縮機８２と反対側）に連結された吸熱器８５は低温発生部となっている。
上記吸熱器８５に連結されたパルス管８６は、その室温端側（バッファオリフィス８８側）の熱が振動によって吸熱器８５に伝達されるのを防止するための中空の管である。
【０００８】
上記パルス管８６に連結された放熱器８７は、内部を流れる作動ガスの熱を流体路９５を流れる冷却流体に放出することで、上記パルス管８６の室温端側を冷却するためのものである。
【０００９】
上記放熱器８７は、バッファオリフィス８８を介して上記バッファタンク８９に連結されている。これらバッファオリフィス８８及びバッファタンク８９は、上記パルス管冷凍機８１（パルス管部９０）内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差を調節するためのものである。
【００１０】
このようなパルス管冷凍機８１においては、圧縮機８２の駆動に伴い圧縮ピストン９２を押し出すと、圧縮室９３内の作動ガスは圧縮され、同作動ガスは圧縮室９３に連通しているパルス管部９０へと移動するとともに、パルス管部９０（パルス管８６）内の作動ガスは圧縮されて高圧状態となる。
【００１１】
次に、圧縮機８２の駆動に伴い圧縮ピストン９２を引き戻すと、圧縮室９３内の作動ガスは膨張され、同圧縮室９３に連通しているパルス管部９０内の作動ガスは同圧縮室９３へと移動するとともに、パルス管部９０（パルス管８６）内の作動ガスは断熱膨張されて低圧状態となる。
【００１２】
このような動作を１サイクルとする仕事を連続的に操り返すことにより、パルス管部９０（パルス管８６）内の作動ガスは周期的に高圧状態から低圧状態へと圧力変動を操り返す。そしてこのとき、上記バッファオリフィス８８及びバッファタンク８９により、上記パルス管部９０（パルス管８６）内の作動ガスの圧力変動と位置変動との間の位相差が調節される。このため、作動ガスは、一方に移動して上記放熱器８７において熱を吐き出し、他方に移動して上記吸熱器８５において熱を吸い込む動作を繰り返す。そして、このような動作が連続的に行なわれることにより、上記吸熱器８５に冷凍を発生する。
【００１３】
パルス管冷凍機８１は、以上の動作により冷凍を行う。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、この種のパルス管冷凍機８１は、同様の蓄冷型の冷凍機であるスターリング冷凍機と比較して、一般に冷凍効率は低くなっている。これは、スターリング冷凍機が膨張ピストンを備え、同様の仕事のサイクルにおける膨張仕事分を同膨張ピストンによって回収し、圧縮機での圧縮仕事の助勢に利用しているためである。
【００１５】
換言すると、パルス管冷凍機８１においては、パルス管部９０（パルス管８６）内で作動ガスの圧力変動と位置変動とに起因する膨張仕事に相当する仕事が存在するが、膨張ピストンがないために、この仕事は熱に変換されて放熱器８７から放出されてしまい、仕事として利用できないためである。
【００１６】
本発明の目的は、冷凍効率の向上を図ることができるパルス管冷凍機を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、蓄冷器、吸熱器、パルス管及び放熱器が順次直列に連結されて構成されたパルス管部を複数備え、該複数のパルス管部は互いに直列に連結され、前記複数のパルス管部の一方端に冷却器が直列に連結され、該冷却器の前記パルス管部が連結された端部とは異なるもう一方の端部に作動ガスの圧力変動を発生する圧縮機が直列に連結され、前記複数のパルス管部の他方端にバッファオリフィスとバッファタンクとが順次直列に連結され、前記圧縮機のピストン運動によって、少なくとも１つのパルス管部の膨張仕事を、他のパルス管部の圧縮仕事として回収したことを要旨とする。
【００１８】
請求項２に記載の発明は、一方端が作動ガスの圧力変動を発生する圧縮機に連結され、冷却器、第１蓄冷器、第１吸熱器、第１パルス管及び第１放熱器が順次直列に連結されて構成される第１パルス管部と、前記第１パルス管部の他方端に直列に連結され、第２蓄冷器、第２吸熱器、第２パルス管及び第２放熱器が順次直列に連結されて構成される第２パルス管部とを備え、前記第２放熱器の端部のうち前記第２パルス管と連結された端部とは異なるもう一方の端部にバッファオリフィスとバッファタンクとが順次直列に連結され、前記圧縮機のピストン運動によって、前記第１パルス管部の膨張仕事を、前記第２パルス管部の圧縮仕事として回収したことを要旨とする。
【００１９】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のパルス管冷凍機において、前記第１蓄冷器の高温端と前記第１パルス管の高温端との間、及び、前記第２蓄冷器の高温端と前記第２パルス管の高温端との間の少なくとも一方をバイパスするバイパス通路を設けたことを要旨とする。
【００２０】
請求項４に記載の発明は、請求項２に記載のパルス管冷凍機において、前記圧縮機は２段式圧縮ピストンを有するとともに、前記第１冷却器は基端側冷却器と先端側冷却器に２分された構造を有し、これによって前記圧縮ピストンと前記先端側冷却器との間に前記第１蓄冷器に連結される第１圧縮室と、該第１蓄冷器から遮断された前記圧縮ピストンと前記基端側冷却器との間に第２圧縮室とを形成し、前記第２圧縮室と前記第１パルス管の高温端との間をバイパスするバイパス通路を設けたことを要旨とする。
【００２１】
（作用）
一般に、パルス管冷凍機においては、作動ガスの圧力変動と位置変動に伴う膨張仕事は、熱に変換されて外部に放出される。
【００２２】
請求項１に記載の発明の構成によれば、複数のパルス管部を直列に連結し、少なくとも１つのパルス管部の膨張仕事を、他のパルス管部の圧縮仕事として回収した。従って、この回収した分だけ振動発生源の仕事は低減され、冷凍効率の向上が図られる。
【００２３】
請求項２に記載の発明の構成によれば、第１パルス管部と第２パルス管部とを直列に連結し、第１パルス管部の膨張仕事を、第２パルス管部の圧縮仕事として回収した。従って、この回収した分だけ振動発生源の仕事は低減され、冷凍効率の向上が図られる。
【００２４】
請求項３に記載の発明の構成によれば、上記第１蓄冷器の高温端と第１パルス管の高温端との間、及び、上記第２蓄冷器の高温端と第２パルス管の高温端との間の少なくとも一方をバイパスするバイパス通路を設けた。従って、このバイパス通路を流れる作動ガスを制御することにより、第１パルス管部若しくは第２パルス管部内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差はより好適に制御され、優れた冷凍能力が発揮される。
【００２５】
請求項４に記載の発明の構成によれば、上記第１蓄冷器から遮断された圧縮ピストンと基端側冷却器との間に形成された第２圧縮室と、第１パルス管の高温端との間をバイパスするバイパス通路を設けた。従って、このバイパス通路を流れる作動ガスを制御することにより、第１パルス管部若しくは第２パルス管部内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差はより好適に制御され、優れた冷凍能力が発揮される。
【００２６】
また、第２圧縮室は、第１蓄冷器から遮断されているため、バイパス通路を経由する一方向性を持った循環流の発生が防止される。
【００２７】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下、本発明を具体化したパルス管冷凍機の第１実施形態について図１に基づき説明する。
【００２８】
同図に示されるように、本実施形態におけるパルス管冷凍機１は、圧縮機２と、第１冷却器１１と、第１蓄冷器１２と、第１吸熱器１３と、第１パルス管１４と、第１放熱器１５と、第２蓄冷器２２と、第２吸熱器２３と、第２パルス管２４と、第２放熱器２５と、バッファオリフィス３１と、バッファタンク３２とが順次直列に連結されて構成されている。
【００２９】
なお、上記第１冷却器１１、第１蓄冷器１２、第１吸熱器１３、第１パルス管１４及び第１放熱器１５によって第１パルス管部１０が形成されている。また、上記第１放熱器１５、第２蓄冷器２２、第２吸熱器２３、第２パルス管２４及び第２放熱器２５によって第２パルス管部２０が形成されており、同第１放熱器１５は、同第２パルス管部２０の冷却器（第２冷却器）としての機能を併せ有している。
【００３０】
上記第１及び第２パルス管部１０，２０は、内部が真空に保たれた真空容器１ａに収容されている。
上記圧縮機２は、パルス管冷凍機１内に充填してあるヘリウム等の作動ガスに圧力変動を発生させるもので、圧縮シリンダ３と同圧縮シリンダ３内にピストンリング（図示せず）を介して摺動可能に配設された圧縮ピストン４とを備えている。そして、この圧縮ピストン４と上記第１冷却器１１との間には、圧縮室５が形成されている。この圧縮機２は、駆動装置（図示せず）によって上記圧縮ピストン４を往復動させることにより、上記パルス管冷凍機１内の作動ガスの圧縮・膨張を繰り返すよう構成されている。
【００３１】
上記圧縮機２に連結された第１冷却器１１は、作動ガスの流れ方向に沿って規則的な多数の穴を有して、例えば銅にて形成されている。この第１冷却器１１は、内部を流れる作動ガスの圧縮熱を流体路３６を流れる冷却流体に放出するためのものである。
【００３２】
上記第１冷却器１１に連結された第１蓄冷器１２は、例えば、ステンレス鋼、リン青銅等のメッシュからなる蓄冷材３７が充填されたもので、作動ガスとの熱交換を行う。すなわち、作動ガスは、この第１蓄冷器１２内を上記第１吸熱器１３側に向かって進行する際に、同第１蓄冷器１２によって徐々に冷却されようになっており、反対に、上記第１冷却器１１側に向かって進行する（戻る）際に、同第１蓄冷器１２を冷却しながら徐々に温められるようになっている。
【００３３】
上記第１蓄冷器１２の低温端側（圧縮機２と反対側）に連結された第１吸熱器１３は第１の低温発生部となっている。この第１吸熱器１３は、同吸熱器１３に接触された被冷却体から効率よく熱を奪うため、作動ガスの流れ方向に沿って規則的な多数の穴を有して、例えば銅等の熱伝導性に優れた材料により形成されている。
【００３４】
上記第１吸熱器１３に連結された第１パルス管１４は、その室温端側（第１放熱器１５側）の熱が振動によって第１吸熱器１３に伝達されるのを防止するための中空の管であって、例えばステンレス鋼等の熱伝導率の小さい材料により形成されている。
【００３５】
上記第１パルス管１４に連結された第１放熱器１５は、作動ガスの流れ方向に沿って規則的な多数の穴を有して、例えば銅にて形成されている。この第１放熱器１５は、内部を流れる作動ガスの熱を流体路３８を流れる冷却流体に放出することで、上記第１パルス管１４の室温端側を冷却するためのものである。
【００３６】
上記第２パルス管部２０を構成する第２蓄冷器２２、第２吸熱器２３、第２パルス管２４及び第２放熱器２５は、それぞれ第１冷却器１１、第１蓄冷器１２、第１吸熱器１３、第１パルス管１４及び第１放熱器１５と同様の構造となっている。
【００３７】
上記第２放熱器２５は、例えば小型のニードル弁にて作動ガスの流量を調節するバッファオリフィス３１を介して上記バッファタンク３２に連結されている。このバッファタンク３２は、例えばパルス管冷凍機１（第１及び第２パルス管部１０，２０）の容積よりも充分大きな容積を有して形成されている。これらバッファオリフィス３１及びバッファタンク３２は、上記パルス管冷凍機１（第１及び第２パルス管部１０，２０）内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差を調節するためのものである。
【００３８】
このようなパルス管冷凍機１においては、圧縮機２の駆動に伴い圧縮ピストン４を押し出すと、圧縮室５内の作動ガスは圧縮され、同作動ガスは圧縮室５に連通している第１及び第２パルス管部１０，２０へと移動するとともに、同パルス管部１０，２０（第１及び第２パルス管１４，２４）内の作動ガスは圧縮されて高圧状態となる。
【００３９】
次に、圧縮機２の駆動に伴い圧縮ピストン４を引き戻すと、圧縮室５内の作動ガスは膨張され、同圧縮室５に連通している第１及び第２パルス管部１０，２０内の作動ガスは同圧縮室５へと移動するとともに、同パルス管部１０，２０（第１及び第２パルス管１４，２４）内の作動ガスは断熱膨張されて低圧状態となる。
【００４０】
このような動作を１サイクルとする仕事を連続的に操り返すことにより、第１及び第２パルス管部１０，２０（第１及び第２パルス管１４，２４）内の作動ガスは、それぞれ周期的に高圧状態から低圧状態へと圧力変動を操り返す。そしてこのとき、上記バッファオリフィス３１及びバッファタンク３２により、上記第１及び第２パルス管部１０，２０（第１及び第２パルス管１４，２４）内の作動ガスの圧力変動と位置変動との間の位相差がそれぞれ調節される。このため、作動ガスは、一方に移動して上記第１及び第２放熱器１５，２５において熱を吐き出し、他方に移動して上記第１及び第２吸熱器１３，２３において熱を吸い込む動作をそれぞれ繰り返す。そして、このような動作が連続的に行なわれることにより、上記第１及び第２吸熱器１３，２３にぞれぞれ冷凍を発生する。
【００４１】
パルス管冷凍機１は、以上の動作により冷凍を行う。
なお、このような動作において、第１パルス管部１０（第１パルス管１４）内で発生する作動ガスの移動と圧力変動に起因する膨張仕事に相当する仕事の一部は、上記第２パルス管部２０（第１放熱器（第２冷却器）１５、第２パルス管部２１、第２蓄冷器２２、第２吸熱器２３及び第２パルス管２４）において利用される。すなわち、第１パルス管部１０は、第２パルス管部２０の圧縮機として機能してその仕事の一部が回収される。
【００４２】
以上詳述したように、本実施形態によれば、以下に示す効果が得られるようになる。
（１）本実施形態において第１パルス管部１０は、第２パルス管部２０の圧縮機として機能してその仕事の一部が回収されるため、冷凍効率の向上を図ることができる。
【００４３】
（第２実施形態）
以下、本発明を具体化したパルス管冷凍機の第２実施形態について図２を参照して説明する。なお、第２実施形態のパルス管冷凍機４１は、第１実施形態の第１蓄冷器１２の高温端と第１パルス管１４（第２蓄冷器２２）の高温端との間、及び第２蓄冷器２２の高温端と第２パルス管２４の高温端との間にそれぞれ第１バイパス通路４２及び第２バイパス通路４３を設けてバイパスさせた、いわゆるダブルインレットタイプとしている。そして、上記第１及び第２バイパス通路４２，４３には、それぞれ作動ガスの流量を調整するためのバイパスオリフィス４４，４５が設けられている。このようにバイパスオリフィス４４，４５を有する第１及び第２バイパス通路４２，４３によって、上記バッファオリフィス３１及びバッファタンク３２によって発生される作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差に修正を加えることができる。従って、上記パルス管冷凍機４１（第１及び第２パルス管部１０，２０）内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差はより好適に制御される。
【００４４】
以上詳述したように、本実施形態によれば、前記第１実施形態の効果に加えて以下に示す効果が得られるようになる。
（１）本実施形態では、パルス管冷凍機４１（第１及び第２パルス管部１０，２０）内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差をより好適に制御し、優れた冷凍能力を発揮することができる。
【００４５】
（第３実施形態）
以下、本発明を具体化したパルス管冷凍機の第３実施形態について図３を参照して説明する。なお、第３実施形態のパルス管冷凍機５１は、第１実施形態の圧縮機２の圧縮シリンダ３に代えて、先端側（第１蓄冷器１２側）が縮径された圧縮シリンダ５２及び同圧縮シリンダ５２に対応して摺動可能となるように本体ピストン部５３ａ及びその先端側において縮径された縮径ピストン部５３ｂを有する２段式圧縮ピストン５３としている。そして、この圧縮機２の構造の変更に伴って、前記第１冷却器１１は２分されて基端側冷却器５４及び先端側冷却器５５が形成されている。なお、本体ピストン部５３ａと基端側冷却器５４との間、及び縮径ピストン部５３ｂと先端側冷却器５５との間には、それぞれ基端側圧縮室５６及び先端側圧縮室５７が形成されている。
【００４６】
また、パルス管冷凍機５１は、上記圧縮機２と第１パルス管１４の高温端との間にバイパス通路５８が設けられてバイパスされており、ダブルインレットタイプとなっている。そして、上記バイパス通路５８には、作動ガスの流量を調整するためのバイパスオリフィス５９が設けられている。
【００４７】
このようなダブルインレットタイプのパルス管冷凍機５１においては、圧縮機２の圧縮室が、基端側圧縮室５６と先端側圧縮室５７とに２分されているため、バイパス通路５８を経由する一方向性を持った循環流の発生が防止される。
【００４８】
以上詳述したように、本実施形態によれば、前記第２実施形態の効果に加えて以下に示す効果が得られるようになる。
（１）本実施形態では、ダブルインレットタイプのパルス管冷凍機に特有の循環流の発生を防止することで、作動安定性を向上することができる。
【００４９】
なお、本発明の実施の形態は上記実施形態に限定されるものではなく、次のように変更してもよい。
・前記第１実施形態においては、圧力変動を発生するためにピストンタイプの圧縮機２を採用したが、この圧縮機２に代えて、図４に示されるように高圧吐出弁６１及び低圧吸入弁６２を備えたコンプレッサー６３としてもよい。この場合、上記高圧吐出弁６１及び低圧吸入弁６２を選択的に切り替えることで、同様に圧力変動を発生することができる。
【００５０】
また、前記第２実施形態においても同様に、圧縮機２に代えて、図５に示されるように高圧吐出弁６１及び低圧吸入弁６２を備えたコンプレッサー６３としてもよい。
【００５１】
・前記各実施形態における作動ガスとして、ヘリウム、ネオン、アルゴン、窒素、空気等、あるいはこれらの混合物を採用してもよい。
・前記各実施形態においては、２つのパルス管冷凍機（第１及び第２パルス管部１０，２０）を直列に接続したものを採用したが、これは複数であればいくつでもよい。
【００５２】
また、その他の例として、図６に示すような構成にしてもよい。尚、図６において、符号３３，３４は開閉弁、３５はバッファタンクである。このように構成することにより、冷凍効率がより向上する。
【００５３】
【発明の効果】
以上詳述したように、請求項１及び２に記載の発明によれば、冷凍効率の向上を図ることができる。
【００５４】
請求項３に記載の発明によれば、バイパス通路を流れる作動ガスを制御することにより、第１パルス管部若しくは第２パルス管部内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差をより好適に制御し、優れた冷凍能力を発揮することができる。
【００５５】
請求項４に記載の発明によれば、バイパス通路を流れる作動ガスを制御することにより、第１パルス管部内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差をより好適に制御し、優れた冷凍能力を発揮することができる。
【００５６】
また、第２圧縮室は、第１蓄冷器から遮断されているため、バイパス通路を経由する一方向性を持った循環流の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るパルス管冷凍機の第１実施形態を示す説明図。
【図２】本発明に係るパルス管冷凍機の第２実施形態を示す説明図。
【図３】本発明に係るパルス管冷凍機の第３実施形態を示す説明図。
【図４】本発明に係るパルス管冷凍機の別例を示す説明図。
【図５】本発明に係るパルス管冷凍機の別例を示す説明図。
【図６】本発明に係るパルス管冷凍機の別例を示す説明図。
【図７】従来のパルス管冷凍機を示す説明図。
【符号の説明】
２  圧縮機
１０  第１パルス管部
１２  第１蓄冷器
１３  第１吸熱器
１４  第１パルス管
２０  第２パルス管部
２２  第２蓄冷器
２３  第２吸熱器
２４  第２パルス管
４２  第１バイパス通路
４３  第２バイパス通路
５６  基端側圧縮室
５７  先端側圧縮室
５８  バイパス通路
【図１】
0004147697.tif 000002
【図２】
0004147697.tif 000003
【図３】
0004147697.tif 000004
【図４】
0004147697.tif 000005
【図５】
0004147697.tif 000006
【図６】
0004147697.tif 000007
【図７】
0004147697.tif 000008