【手続補正書】
【提出日】平成20年7月11日(2008.7.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマにより露光光を発生する光源部からの前記露光光でパターンを照明する照明光学系を有し、前記パターンを介して被露光体を露光する露光装置であって、
前記光源部から前記照明光学系へ流入する汚染物質の量及び種類の少なくとも一方を測定する測定手段と、
前記測定手段の測定結果に基づいて、前記光源部の性能を判断する判断手段とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
光源チャンバに囲まれた空間内に生成されたプラズマにより露光光を発生する光源部からの光を用いてパターンを照明する照明光学系を有し、前記パターンを介して被露光体を露光する露光装置であって、
前記光源チャンバ内の汚染物質の量及び種類の少なくとも一方を測定する測定手段と、
前記測定手段の測定結果に基づいて、前記光源部の性能を判断する判断手段とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項３】
前記判断手段による判断結果に基づいて前記露光光の発生量を制御する制御手段を更に有することを特徴とする請求項１又は２記載の露光装置。
【請求項４】
前記判断手段による判断結果を出力する出力手段を更に有することを特徴とする請求項１又は２記載の露光装置。
【請求項５】
前記測定手段は、前記プラズマの生成中において、所定の時間間隔ごとに測定を行うことを特徴とする請求項１又は２記載の露光装置。
【請求項６】
前記露光光は、２０ｎｍ以下の波長を有することを特徴とする請求項１又は２記載の露光装置。
【請求項７】
プラズマにより光を発生する発生手段と、
前記発生手段を収納するチャンバと、
前記チャンバ内の汚染物質の量及び種類の少なくとも一方を測定する測定手段とを有することを特徴とする光源装置。
【請求項８】
前記測定手段の測定結果に基づいて、前記光源装置の性能を判断する判断手段を有することを特徴とする請求項７記載の光源装置。
【請求項９】
前記判断手段による判断結果に基づいて前記光の発生量を制御する制御手段を更に有することを特徴とする請求項８記載の光源装置。
【請求項１０】
前記判断手段による判断結果を出力する出力手段を更に有することを特徴とする請求項８記載の光源装置。
【請求項１１】
請求項１乃至６のうちいずれか一項記載の露光装置を用いて被露光体を露光するステップと、
露光された前記被露光体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、プラズマにより露光光を発生する光源部からの前記露光光でパターンを照明する照明光学系を有し、前記パターンを介して被露光体を露光する露光装置や、プラズマにより光を発生する発生手段を有する光源装置に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
そこで、本発明は、光学素子の汚染を低減することを例示的目的とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の一側面としての露光装置は、プラズマにより露光光を発生する光源部からの前記露光光でパターンを照明する照明光学系を有し、前記パターンを介して被露光体を露光する露光装置であって、前記光源部から前記照明光学系へ流入する汚染物質の量及び種類の少なくとも一方を測定する測定手段と、前記測定手段の測定結果に基づいて、前記光源部の性能を判断する判断手段とを有することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の別の側面としての光源装置は、光源チャンバに囲まれた空間内に生成されたプラズマにより露光光を発生する光源部からの光を用いてパターンを照明する照明光学系を有し、前記パターンを介して被露光体を露光する露光装置であって、前記光源チャンバ内の汚染物質の量及び種類の少なくとも一方を測定する測定手段と、前記測定手段の測定結果に基づいて、前記光源部の性能を判断する判断手段とを有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の別の側面としての光源装置は、プラズマにより光を発生する発生手段と、前記発生手段を収納するチャンバと、前記チャンバ内の汚染物質の量及び種類の少なくとも一方を測定する測定手段とを有することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明によれば、例えば、光学素子の汚染を低減することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
判断部１７０は、測定装置１６０の測定結果に基づいて、光源部（光源装置１００）の性能を判断する。つまり、判断部１７０は、測定装置１６０からの測定結果（汚染物質の量、ガスの種類及び分圧）に基づいて、光源装置１００の性能の状態を判断する。判断部１７０の判断方法としては、図示しないメモリに記録された規定値としてのテーブルに基づいて判断される。例えば、ガスの種類又は分圧が規定値以上であれば、判断結果を後述する制御部１８０に伝達する。判断部１７０は、測定装置１６０及び制御部１８０と電気的に接続されている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
測定装置１６０Ａは、光源装置１００Ａ及び照明光学系２００Ａに接続され、光源部（光源装置１００Ａ）から照明光学系２００Ａへ流入する汚染物質の量を測定及び／又は汚染物質の種類を検出する。測定装置１６０Ａは、差圧計１６２Ａと、測定部１６４Ａとを有する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
測定部１６４Ａは、光源部（光源装置１００Ａ）から照明光学系２００Ａへ流入する汚染物質の量を測定及び／又は汚染物質の種類を検出する。この場合、本実施形態では、測定部１６４Ａは、照明系チャンバ２５０Ａ内での汚染物質の量を測定し、測定結果に基づいて、照明光学系２００Ａへの流入する汚染物質の量を算出している。詳述すると、測定部１６４Ａは、集光ミラーチャンバ１５４Ａ内のガスの質量スペクトルを検出して、集光ミラーチャンバ１５４Ａ内のガス種とその分圧を算出し、後述する判断部１７０Ａへ係る算出結果を伝達する。また、測定部１６４Ａは、汚染物質の種類も測定する。更に、測定部１６４Ａは、プラズマＰＬの生成中において、所定の時間間隔ごとに計測してもよい。本実施形態では、測定部１６４Ａとして四重極子型質量分析計を使用している。四重極子型質量分析計を動作させるには、通常ある程度の真空度を必要とするので、照明系チャンバ２５０Ａは、光源チャンバ１５０Ａよりも低圧力となっている。この場合、光源チャンバ１５０Ａの圧力が測定部１６４Ａの動作範囲でない場合には、測定部１６４Ａと照明系チャンバ２５０Ａとの間にチャンバを設けてもよい。また、測定部１６４Ａは、四重極子型質量分析計に限るものではなく、例えば、質量分析計として磁場偏向型質量分析計等を使用してもよい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
判断部１７０Ａは、測定装置１６０Ａの測定結果に基づいて、光源部（光源装置１００Ａ）の性能を判断する。つまり、判断部１７０Ａは、測定装置１６０Ａからの測定結果（汚染物質の量、ガスの種類、分圧及び差圧）に基づいて、光源装置１００Ａの性能の状態を判断する。判断部１７０Ａの判断方法としては、図示しないメモリに記録された規定値としてのテーブルに基づいて判断される。例えば、ガスの種類又は分圧が規定値以上であれば、判断結果を後述する制御部１８０Ａに伝達する。判断部１７０Ａは、測定装置１６０Ａ及び制御部１８０Ａと電気的に接続されている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
測定装置１６０Ｂは、光源部（光源装置１００Ｂ）から照明光学系２００Ｂへ流入する汚染物質の量を測定する。この場合、本実施形態では、測定装置１６０Ｂは、照明系チャンバ２５０Ｂ内での汚染物質の量を測定し、測定結果に基づいて、照明光学系２００Ｂへの流入する汚染物質の量を測定している。詳述すると、測定装置１６０Ｂとしてファラデーカップが使用され、測定装置１６０Ｂは、光源装置１００Ｂから流入して照明系ミラー２１０Ｂの一部に設けられた開口部２１２Ｂを通過した汚染物質の量を検出する。ここで、ファラデーカップとは、カップ状のストッパで受け止めて、物質の量を測定する装置である。この場合、ファラデーカップは、中性粒子を検出することはできないが、生成部１１０から発生する荷電粒子の汚染物質を検出することで照明系チャンバ２５０内に流入するすべての汚染物質の量を計測することができる。尚、ファラデーカップと、四重極子型質量分析計や磁場偏向型質量分析計等とを併用して汚染物質の物質種とその量を検出してもよい。また、本実施形態では、ファラデーカップ以外に、例えばマイクロチャンネルプレートを使用してもよい。ここで、マイクロチャンネルプレートとは、電子、イオン、真空紫外線、Ｘ線及びγ線等を２次元的に検出する装置である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
判断部１７０Ｂは、測定装置１６０Ｂの測定結果に基づいて、光源部（光源装置１００Ｂ）の性能を判断する。つまり、判断部１７０Ｂは、測定装置１６０Ｂからの測定結果（汚染物質の流入量）に基づいて、光源装置１００Ｂの性能の状態を判断する。判断部１７０Ｂの判断方法としては、図示しないメモリに記録された規定値としてのテーブルに基づいて判断される。例えば、汚染物質の流入量が規定値以上であれば、判断結果を後述する制御部１８０Ｂに伝達する。判断部１７０Ｂは、測定装置１６０Ｂ及び制御部１８０Ｂと電気的に接続されている。