(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
超純水製造装置と、超純水製造装置で製造された超純水を貯蔵する貯蔵タンクと、貯蔵タンクから使用箇所に超純水を導く管路と、フィルタエレメントとフィルタエレメントを収容したケースとから構成され、ガスを、フィルタエレメントとケースとの間の一次室に供給し、フィルタエレメントからなる二次室から排出するよう構成された無菌フィルタであって、貯蔵タンクに接続された無菌フィルタと、貯蔵タンクおよび無菌フィルタに蒸気を供給する蒸気供給手段と、貯蔵タンクおよび無菌フィルタに圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段とから構成された超純水供給装置において、
（１）蒸気供給手段からの蒸気を、無菌フィルタの一次室に供給し、無菌フィルタの一次室に設けた第１のドレイン排出手段により排出するとともに、無菌フィルタの二次室に設けた第２のドレイン排出手段により排出するよう構成し、
（２）蒸気供給手段からの蒸気を、貯蔵タンクに供給し、貯蔵タンクに設けた第３のドレイン排出手段により排出するよう構成し、
（３）圧縮空気供給手段からの圧縮空気を、無菌フィルタの一次室に供給し、無菌フィルタの一次室に設けた第１のドレイン排出手段により排出するとともに、無菌フィルタの二次室に設けた第２のドレイン排出手段により排出するか、あるいは、無菌フィルタの二次室から貯蔵タンクを介して貯蔵タンクに設けた第３のドレイン排出手段により排出するよう構成し、
たことを特徴とする超純水供給装置。
【請求項２】
前記第１のドレイン排出手段がオリフィスから構成され、前記第２のドレイン排出手段がバルブとオリフィスを直列配置して構成され、前記第３のドレイン排出手段がバルブとオリフィスを並列に配置して構成される請求項１記載の超純水装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の超純水供給装置の滅菌方法であって、
（１）圧縮空気供給手段からの圧縮空気を無菌フィルタを介して貯蔵タンクに供給し、貯蔵タンク内の超純水を第３のドレイン排出手段から抜き、
（２）蒸気供給手段からの蒸気を、無菌フィルタの一次室に供給し、無菌フィルタの一次室に設けた第１のドレイン排出手段により排出するとともに、無菌フィルタの二次室に設けた第２のドレイン排出手段により排出して、無菌フィルタを滅菌し、
（３）圧縮空気供給手段からの圧縮空気を、無菌フィルタの一次室に供給し、無菌フィルタの一次室に設けた第１のドレイン排出手段により排出するとともに、無菌フィルタの二次室に設けた第２のドレイン排出手段により排出して、無菌フィルタ内の蒸気を追い出し、
（４）蒸気供給手段からの蒸気を、貯蔵タンクに供給し、貯蔵タンクに設けた第３のドレイン排出手段により排出して、貯蔵タンクを滅菌し、
（５）圧縮空気供給手段からの圧縮空気を、無菌フィルタの一次室に供給し、無菌フィルタの一次室に設けた第１のドレイン排出手段により排出するとともに、無菌フィルタの二次室から貯蔵タンクを介して貯蔵タンクに設けた第３のドレイン排出手段により排出して、貯蔵タンク内の蒸気を追い出して冷却する、
ことを特徴とする超純水供給装置の滅菌方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、超純水製造装置と、超純水製造装置で製造された超純水を貯蔵する貯蔵タンクと、貯蔵タンクから使用箇所に超純水を導く管路と、フィルタエレメントとフィルタエレメントを収容したケースとから構成され、ガスを、フィルタエレメントとケースとの間の一次室に供給し、フィルタエレメントからなる二次室から排出するよう構成された無菌フィルタであって、貯蔵タンクに接続された無菌フィルタと、貯蔵タンクおよび無菌フィルタに蒸気を供給する蒸気供給手段と、貯蔵タンクおよび無菌フィルタに圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段とから構成された超純水供給装置およびその滅菌方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、超純水製造装置と、超純水製造装置で製造された超純水を貯蔵する貯蔵タンクと、貯蔵タンクから使用箇所に超純水を導く管路と、貯蔵タンクに接続された無菌フィルタと、貯蔵タンクおよび無菌フィルタに蒸気を供給する蒸気供給手段と、貯蔵タンクおよび無菌フィルタに圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段とから構成された超純水供給装置は、特公昭６３−２２３２号公報において開示されている。
【０００３】
特公昭６３−２２３２号公報で開示された超純水供給装置において、無菌フィルタおよび貯蔵タンクの滅菌は、蒸気供給手段からの蒸気を無菌フィルタの二次側より一次側に流し、無菌フィルタの一次側からさらに貯蔵タンクに流すことで、無菌フィルタと貯蔵タンクとを同時に滅菌することで実施されている。これにより、十分な滅菌を無菌フィルタおよび貯蔵タンクに対し一度に実施することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した特公昭６３−２２３２号公報における滅菌方法では、無菌フィルタの二次側より一次側に蒸気が流れるため、無菌フィルタの耐圧が低いことから、無菌フィルタが損傷する問題があった。また、貯蔵タンクの部分が温度上昇するまで無菌フィルタに蒸気を通さなければならないため、無菌フィルタの寿命が短くなる問題もあった。さらに、蒸気を無菌フィルタと貯蔵タンクへ同時に流して滅菌しているため、無菌フィルタ単独の滅菌時間の制御ができない問題もあった。
【０００５】
本発明の目的は上述した課題を解消して、無菌フィルタの損傷の可能性が少なく、また、無菌フィルタ単独での滅菌時間の制御が可能な超純水供給装置およびその滅菌方法を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の超純水供給装置は、超純水製造装置と、超純水製造装置で製造された超純水を貯蔵する貯蔵タンクと、貯蔵タンクから使用箇所に超純水を導く管路と、フィルタエレメントとフィルタエレメントを収容したケースとから構成され、ガスを、フィルタエレメントとケースとの間の一次室に供給し、フィルタエレメントからなる二次室から排出するよう構成された無菌フィルタであって、貯蔵タンクに接続された無菌フィルタと、貯蔵タンクおよび無菌フィルタに蒸気を供給する蒸気供給手段と、貯蔵タンクおよび無菌フィルタに圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段とから構成された超純水供給装置において、（１）蒸気供給手段からの蒸気を、無菌フィルタの一次室に供給し、無菌フィルタの一次室に設けた第１のドレイン排出手段により排出するとともに、無菌フィルタの二次室に設けた第２のドレイン排出手段により排出するよう構成し、（２）蒸気供給手段からの蒸気を、貯蔵タンクに供給し、貯蔵タンクに設けた第３のドレイン排出手段により排出するよう構成し、（３）圧縮空気供給手段からの圧縮空気を、無菌フィルタの一次室に供給し、無菌フィルタの一次室に設けた第１のドレイン排出手段により排出するとともに、無菌フィルタの二次室に設けた第２のドレイン排出手段により排出するか、あるいは、無菌フィルタの二次室から貯蔵タンクを介して貯蔵タンクに設けた第３のドレイン排出手段により排出するよう構成し、たことを特徴とするものである。また、好ましい態様として、第１のドレイン排出手段をオリフィスから構成し、第２のドレイン排出手段をバルブとオリフィスを直列配置して構成し、第３のドレイン排出手段をバルブとオリフィスを並列に配置して構成する。
【０００７】
さらに、本発明の超純水供給装置の滅菌方法は、上述した超純水供給装置の滅菌方法であって、（１）圧縮空気供給手段からの圧縮空気を無菌フィルタを介して貯蔵タンクに供給し、貯蔵タンク内の超純水を第３のドレイン排出手段から抜き、（２）蒸気供給手段からの蒸気を、無菌フィルタの一次室に供給し、無菌フィルタの一次室に設けた第１のドレイン排出手段により排出するとともに、無菌フィルタの二次室に設けた第２のドレイン排出手段により排出して、無菌フィルタを滅菌し、（３）圧縮空気供給手段からの圧縮空気を、無菌フィルタの一次室に供給し、無菌フィルタの一次室に設けた第１のドレイン排出手段により排出するとともに、無菌フィルタの二次室に設けた第２のドレイン排出手段により排出して、無菌フィルタ内の蒸気を追い出し、（４）蒸気供給手段からの蒸気を、貯蔵タンクに供給し、貯蔵タンクに設けた第３のドレイン排出手段により排出して、貯蔵タンクを滅菌し、（５）圧縮空気供給手段からの圧縮空気を、無菌フィルタの一次室に供給し、無菌フィルタの一次室に設けた第１のドレイン排出手段により排出するとともに、無菌フィルタの二次室から貯蔵タンクを介して貯蔵タンクに設けた第３のドレイン排出手段により排出して、貯蔵タンク内の蒸気を追い出して冷却する、ことを特徴とするものである。
【０００８】
本発明では、滅菌蒸気の無菌フィルタ内での流れを一次室から二次室となるよう構成することで、さらに、滅菌に使用した蒸気を排出すると同時に一次室からも排出するよう構成することで、無菌フィルタにかかる圧力を減少させ、無菌フィルタの損傷を防止することができる。また、無菌フィルタの除菌と貯蔵タンクの除菌とを各別に実施できるよう構成することで、貯蔵タンクの部分が温度上昇するまでの間無菌フィルタに蒸気を通す必要がなく、無菌フィルタの寿命を長くすることができるとともに、無菌フィルタの滅菌時間の制御が可能となる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の超純水供給装置の一例の構成を示す図である。図１に示す例において、本発明の超純水供給装置は、超純水製造装置１と、超純水製造装置１で製造された超純水を貯蔵する貯蔵タンク２と、貯蔵タンク２から使用箇所３に超純水を導く管路４と、貯蔵タンク２に接続された無菌フィルタ５と、貯蔵タンク２および無菌フィルタ５に蒸気を供給する蒸気供給手段６と、貯蔵タンク２および無菌フィルタ５に圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段７とから基本的に構成されている。上述した構成の本発明の超純水供給装置では、貯蔵タンク２内の超純水をポンプ８の駆動により使用箇所３へ供給できる。また、無菌フィルタ５を、フィルタエレメント５ａとフィルタエレメント５ａを収容したケース５ｂとから構成し、ガスを、フィルタエレメント５ａとケース５ｂとの間の一次室に供給し、フィルタエレメント５ａからなる二次室から排出するよう構成している。なお、上述した各構成は従来の構成と同じである。
【００１０】
図１に示す例において、超純水製造装置１からの超純水を貯蔵タンク２に供給するために、超純水製造装置１と貯蔵タンク２との間は管路１１で接続され、この管路１１にはバルブＶ１を設けている。貯蔵タンク２から使用箇所３に超純水を導くための管路４には、バルブＶ２、ポンプ８、バルブＶ３を設けている。貯蔵タンク２内の超純水あるいは滅菌時に貯蔵タンク２内に供給される蒸気を外部へ排出するために、貯蔵タンク２には、第３のドレイン排出手段として、一部管路４と共通で一端が開放された管路１２を接続し、この管路１２には、バルブＶ４を設けるとともに、その下流側にバルブＶ５とオリフィス２１とを並列に設けている。
【００１１】
また、図１に示す例において、無菌フィルタ５の滅菌処理の際、蒸気供給手段６からの蒸気を無菌フィルタ５に供給するために、蒸気供給手段６と無菌フィルタ５の一次室との間は管路１３で接続され、この管路１３にはバルブＶ６を設けている。滅菌処理の際無菌フィルタ５に供給された蒸気を外部へ排出するために、第１のドレイン排出手段として、無菌フィルタ５の一次室に一端が開放された管路１４を接続し、この管路１４にオリフィス２２を設けるとともに、第２のドレイン排出手段として、無菌フィルタの二次室に一端が開放された管路１５を接続し、この管路１５にバルブＶ７、バルブＶ８、オリフィス２３を設けている。
【００１２】
さらに、図１に示す例において、貯蔵タンク２の滅菌処理の際、蒸気供給手段６からの蒸気を貯蔵タンク２に供給するために、管路１３と管路１５のバルブＶ７およびバルブＶ８との間は管路１６で接続され、この管路１６にはバルブＶ９を設けるとともに、管路１５と管路１６との接続部と貯蔵タンク２との間は管路１７で接続され、この管路１７にはバルブＶ１０を設けている。
【００１３】
さらにまた、図１に示す例において、圧縮空気供給手段７からの圧縮空気を無菌フィルタ５さらには貯蔵タンク２へ供給するために、圧縮空気供給手段７と無菌フィルタ５との間は一部管路１３と共通の管路１８で接続され、この管路１８にはバルブＶ１１を設けるとともに、管路１８に一端が開放の管路１９を接続し、この管路１９にはバルブ１２を設けている。無菌フィルタ５を通過した圧縮空気は、管路１５、バルブＶ７、管路１７、バルブＶ１０を介して貯蔵タンク２に供給される。
【００１４】
上述した本発明の超純水供給装置では、蒸気供給手段６からの蒸気を、管路１３、バルブＶ６を介して無菌フィルタ５の一次室に供給し、無菌フィルタ５の一次室に設けた第１のドレイン排出手段としての管路１４、オリフィス２２により排出するとともに、無菌フィルタ５の二次室に設けた第２のドレイン排出手段としての管路１５、バルブＶ７、バルブＶ８、オリフィス２３により排出することができる。また、蒸気供給手段６からの蒸気を、管路１６、バルブＶ９、管路１７、バルブＶ１０を介して直接貯蔵タンク２に供給し、貯蔵タンク２に設けた第３のドレイン排出手段としての管路１２、バルブＶ４、オリフィス２１により排出することができる。さらに、圧縮空気供給手段７からの圧縮空気を、管路１８、バルブＶ１１を介して無菌フィルタ５の一次室に供給し、無菌フィルタ５の一次室に設けた上述した第１のドレイン排出手段により排出するとともに、無菌フィルタ５の二次室に設けた上述した第２のドレイン排出手段により排出するか、あるいは、無菌フィルタ５の二次室から管路１５、バルブＶ７、管路１７、バルブＶ１０、貯蔵タンク２を介して、貯蔵タンク２に設けた上述した第３のドレイン排出手段により排出することができる。
【００１５】
次に、上述した本発明の超純水供給装置における滅菌方法について説明する。まず、圧縮空気供給手段７からの圧縮空気を管路１８、バルブＶ１１、無菌フィルタ５を介して貯蔵タンク２に供給し、貯蔵タンク２内の超純水を第３のドレイン排出手段を構成する管路１２、バルブＶ４、バルブＶ５を介して抜き取る（ステップ１）。次に、蒸気供給手段６からの蒸気を、管路１３、バルブＶ６を介して無菌フィルタ５の一次室に供給し、無菌フィルタ５の一次室に設けた第１のドレイン排出手段を構成する管路１４、オリフィス２２により排出するとともに、無菌フィルタ５の二次室に設けた第２のドレイン排出手段を構成する管路１５、バルブＶ７、バルブＶ８、オリフィス２３により排出して、無菌フィルタ５を滅菌する（ステップ２）。次に、圧縮空気供給手段７からの圧縮空気を、管路１８、バルブＶ１１を介して無菌フィルタ５の一次室に供給し、無菌フィルタの５一次室に設けた上述した第１のドレイン排出手段により排出するとともに、無菌フィルタ５の二次室に設けた上述した第２のドレイン排出手段により排出して、無菌フィルタ内の蒸気を追い出す（ステップ３）。
【００１６】
次に、蒸気供給手段６からの蒸気を管路１６、バルブＶ９、管路１７、バルブＶ１０を介して貯蔵タンク２に供給し、貯蔵タンク２に設けた上述した第３のドレイン排出手段により排出して、貯蔵タンク２を滅菌する（ステップ４）。次に、圧縮空気供給手段７からの圧縮空気を、管路１８、バルブＶ１１を介して無菌フィルタ５の一次室に供給し、無菌フィルタ５の一次室に設けた上述した第１のドレイン排出手段により排出するとともに、無菌フィルタ５の二次室から管路１５、バルブＶ７、管路１７、バルブＶ１０、貯蔵タンク２を介して貯蔵タンク２に設けた上述した第３のドレイン排出手段により排出して、貯蔵タンク２内の蒸気を追い出して冷却する（ステップ５）。なお、上述した本発明の超純水供給装置の滅菌方法において、各ステップで言及しなかったバルブは、その時点ですべて閉状態となっている。
【００１７】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、滅菌蒸気の無菌フィルタ内での流れを一次室から二次室となるよう構成しているため、さらに、滅菌に使用した蒸気を排出すると同時に一次室からも排出するよう構成しているため、無菌フィルタにかかる圧力を減少させ、無菌フィルタの損傷を防止することができる。また、無菌フィルタの除菌と貯蔵タンクの除菌とを各別に実施できるよう構成しているため、貯蔵タンクの部分が温度上昇するまでの間無菌フィルタに蒸気を通す必要がなく、無菌フィルタの寿命を長くすることができるとともに、無菌フィルタの滅菌時間の制御が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の超純水供給装置の一例の構成を示す図である。
【符号の説明】
１  超純水製造装置、２  貯蔵タンク、３  使用箇所、４、１１〜１９  管路、５  無菌フィルタ、５ａ  フィルタエレメント、５ｂ  ケース、６  蒸気供給手段、７  圧縮空気供給手段、８  ポンプ、Ｖ１〜Ｖ１２  バルブ
【図１】
0004156734.tif 000002