(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に、配向層と少なくとも１つの共有結合した反応性基を有するモノマーを含有する物質の光学的異方性層とを順次に設け、その後前記光学的異方性層を重合させることにより、光学素子を製造するに当り、
前記被着している配向層も共有結合した反応性基を有し、
前記配向層は、共有結合した反応性基を有するポリイミドを主成分として含有して形成され、
前記基板としてガラス基板を使用し、前記基板と前記配向層との間にオルガノシラン化合物をベースとする接着層を設ける、
光学素子の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法であって、前記光学的異方性層及び前記配向層に係る反応性基として、放射線に曝すことによって重合する（メタ）アクリレート化合物を使用する、方法。
【請求項３】
請求項１に記載の方法であって、前記オルガノシラン化合物は、少なくとも１つの（メタ）アクリレート基を有する、方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のうちいずれか１つに記載の方法によって製造される偏光検知ビームスプリッタ。
【請求項５】
請求項１ないし３のうちいずれか１つに記載の方法によって製造されるコレステリックフィルタ。
【発明の詳細な説明】
本発明は、基板に、配向層および少なくとも１個の共有結合した反応性基を有するモノマーを含有する物質の光学的異方性層を順次に設け、その後前記光学的異方性層を重合させることにより、光学素子を製造する方法に関するものである。また、本発明は、この方法によって製造される偏光感知ビームスプリッタ（ＰＢＳ）およびコレステリックフィルタに関するものである。
冒頭に記載した種類の方法はそれ自体知られている。例えば、欧州特許出願ＥＰ第５７６０７２号−Ａ１明細書には、複屈折物質の少なくとも１個のくさび形素子を有する偏光感知ビームスプリッタ、いわゆるくさび形ＰＢＳの製造方法が記載されている。使用する複屈折物質は一軸配向ポリマーから成り、該ポリマーは液晶モノマー組成物を重合させたものから形成される。このモノマー組成物中の少なくともいくつかのモノマーは、少なくとも１個の共有結合した反応性基を有する。このモノマー組成物は、２個の基板がくさびを形成し、これらの基板の向い合った表面に配向層が設けられるように、互に対して配置された２個の基板の間で重合させることにより、硬化する。
また、このような方法は、未公開の欧州特許出願第９５３０１７７０．５号（ＰＨＮ１５．３５５）に示唆されている。この欧州特許出願には、タイプの異なる偏光感知ビームスプリッタの製造方法が記載されている。このビームスプリッタは平坦であり、基板に配向層を設け、該配向層の上に所望の構造を有する光学的異方性層を設けたものである。光学的異方性層は、複屈折物質を含有する区域および等方性物質を含有する区域を有する。等方性物質はレプリカ法によって２工程で設ける。この方法では、所望の構造を有するプレス面を有するプレス型、例えば、ジグザグ構造または鋸歯構造の形態のプレス型を使用する。先ず、光学的異方性物質を配向層の上に、レプリカ法によって、特定の構造に従って設け、次いで重合させる。プレス型を除去した後に、生成した溝に等方性物質を（例えば、スピニング法によって）充填し、次いでこの物質も重合させる。この方法により、いわゆる平坦な偏光感知ビームスプリッタ（フラットＰＢＳ）が得られる。
また、欧州特許出願ＥＰ第６４３１２１号Ａ１には、切り替え可能なコレステリックフィルタを製造するために、このような方法を使用することが記載されている。このコレステリックフィルタは、２個の基板のそれぞれに配向層を設け、該２個の基板の間に、液晶物質を含有する光学的活性層を挟んだものである。前記液晶物質はモノマーの一部分が少なくとも１個の共有結合した反応性基を有するモノマー混合物のコレステリック状態に配列した重合生成物から成る。共有結合した２個の基を有するモノマーが少量存在しているため、重合によって僅かに交差結合した網状構造が生成する。
この既知方法はいくつかの欠点を有する。これらの欠点の１つは、重合した光学的異方性層と配向層を担持する基板との間の接着が不十分なことである。くさび形偏光感知ビームスプリッタ（「くさび形ＰＢＳ」）を製造する場合には、２個の基板の間でくさび形をした光学的異方性物質を重合させ、２個の基板の一方を除去する際に、この欠点が現われる。目視検査の結果、一方の基板を剥離する際に、くさび形素子と他方の基板との間の接着が著しく影響を受ける、ことが明らかになった。時には、上述の操作の結果として、くさび形素子に亀裂が生じることがある。このような作用は、くさび形ＰＢＳの光学的性質に悪い影響を及ぼす。これは重大な欠点であると考えられる。
他のタイプの偏光感知ビームスプリッタ（「フラットＰＢＳ」）を製造する場合にも、類似の問題が起る。この問題は、光学的異方性層を設け、この層を重合させた後に、プレス型を除去する際に現われる。被着している層の複数の部分は、時には、これらの部分が基板から引き離されるような強さでプレス型表面に接着していることがある。その結果、この場合にも、光学的異方性層と配向層が設けられている基板との間の接着が不十分である。
また、上述の既知方法によって製造したコレステリックフィルタの場合にも、重合した光学的異方性物質と基板との間の接着が問題を起す。例えば、コレステリックフィルタを製造してからある時間が経過した後に、コレステリックフィルタの上に望ましくない構造物（カリフラワー作用）が生成する。これらのフィルタを精密に検査した結果、コレステリック物質が基板から剥離した状態になっていることが分った。これは、おそらく、光学的活性層の重合中およびこれに関連する収縮中に生じる引張応力による。
本発明の目的は、既知方法の上述の欠点を回避することにある。特に、本発明は、光学的異方性物質と配向層が設けられている基板との間の接着を著しく改善することができる方法を、提供することにある。本発明のもう１つの目的は、適正に機能する光学素子、例えば、偏光感知ビームスプリッタおよびコレステリックフィルタを製造することができる方法を提供することにある。
本発明のこれらの目的および他の目的は、基板に、配向層および少なくとも１個の共有結合した反応性基を有するモノマーを含有する物質の光学的異方性層を順次に設け、その後前記光学的異方性層を重合させることにより、光学素子を製造するに当り、前記被着している配向層も共有結合した反応性基を有する、ことを特徴とする光学素子の製造方法、によって達成される。
本発明は、光学的異方性層と基板との間の接着が、基板上に設けられている配向層に光学的異方性層を化学的に結合させた場合に著しく改善される、ことを見い出したことに基く。実際に、これは、配向層の分子の一部分にも、共有結合した反応性基を付与する、ことにより達成される。光学的異方性層の重合中に、配向層の反応性基が同時に重合する。これらの反応性基の一部分は光学的異方性物質の反応性基と反応し、またこの逆も起る。この結果、光学的異方性物質と配向層との間に化学的結合が生成し、これにより基板と光学的異方性層との間の接着が改善される、ことになる。
反応性基としては、エポキシ化合物、ビニルエーテル化合物またはチオレン系化合物のような種々のタイプの化合物を使用することができる。これらの化合物は、既知方法で、例えば、熱硬化により重合させることができる。しかし、あるいは反応性基としてエポキシ化合物および／またはビニルエーテル化合物が使用されている配向層を、光開始剤の存在下に放射に曝すことにより、重合させることができる。このようなタイプの反応性基を効果的に重合させるには、特に、ジフェニルヨードヘキサフルオロアルセナイド（ｄｉｐｈｅｎｙｌｉｏｄｏｎｉｕｍ  ｈｅｘａｆｌｕｏｒｏａｒｓｅｎｉｄｅ）のようなジアリールヨード化合物のタイプの光開始剤を使用することができる。
本発明方法の好適例は、反応性基として、放射に曝すことによって重合する（メタ）アクリレート化合物を使用する、ことを特徴とする。本発明においては、このタイプの反応性基が放射の作用下に迅速に重合する、ことを見い出した。アクリレート化合物とは、クロロアクリレート化合物またはフルオロアクリレート化合物のような置換アクリレート化合物を包含すると理解すべきである。
（メタ）アクリレート化合物を重合させるには、種々のタイプの化学線、例えば、ガンマ線、高エネルギー粒子を含む放射を使用することができる。重合は適当な光開始剤の存在下にＵＶ光によって行うのが好ましい。芳香族カルボニル化合物が（ジ）（メタ）アクリレート化合物を硬化させるのに極めて適当な光開始剤であることが分った。
本発明の範囲内において、種々のタイプの配向層、例えば、摩擦処理した（rubbed）ポリエテンまたはナイロンの配向層を使用することができる。これらの物質が満たす必要のある最も重要な必要条件は、これらの物質に反応性基を付与できることである。本発明方法の好適例は、配向層として、共有結合した反応性基を有するポリイミドを主成分とするものを使用する、ことを特徴とする。このタイプの配向層を使用すると、この配向層にいわゆる「プレチルト（ｐｒｅｔｉｌｔ）」を付与することができ、この結果として光学的異方性物質にある条件下に所望の配向を極めて一層容易に付与することができるという利点が達成される。このタイプの層のうち、共有結合した反応性基として（メタ）アクリレート化合物を含有するポリイミドの配向層が好ましい。このタイプの配向層は比較的簡単な方法で製造することができる。
通常のポリイミドはポリアミド酸とポリイミドとの混合物から成る。この混合物は二無水物とジアミンとの反応生成物である。これらの物質は反応してポリアミド酸を生成し、次いでポリアミド酸は環化反応および水の除去によってポリイミドに転化する。反応条件に応じて、ポリイミドとポリアミド酸との平衡混合物が生成し、この混合物中のポリアミド酸の比較的大きな割合が加熱によってポリイミドに転化する。ポリアミド酸には共有結合した反応性基を付与することができる。（ｎ）（メタ）アクリレート基の場合には、ポリアミド酸のカルボニル基はこれによってエステル化される。高温において、このような結合した反応性（メタ）アクリレート基はポリアミド酸から再び離脱した状態になることがある。
本発明方法の他の好適例は、基板としてガラス板を使用し、基板と配向層との間にオルガノシラン化合物をベースとする接着層を設ける、ことを特徴とする。このような手段によって、光学的異方性層とガラス基板との接着が一層改善される。この点に関し、本発明の範囲内において、ガラス基板の代りに、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）またはポリカーボネートのような（透明な）合成樹脂の基板を使用することができる。本発明においては、有機物質から成る通常の配向層は、前記合成樹脂基板に良好に接着する、ことを見い出した。これは、特に、ポリイミドに適用される。このような配向層と合成樹脂基板との間の接着は、基板を予めＵＶ／オゾン処理することにより、一層改善される。
結合層用のオルガノシラン化合物としては、種類の異なる化合物を使用することができる。これらの化合物に共通なことは、これらの化合物が多かれ少なかれ炭素直鎖から組立てられ、炭素直鎖は一端にシラン基を有し、他端に反応性基、例えば、アミン基、エポキシ基、またはビニルエチルエーテル基を有する、ことである。反応性基としては配向層（その前駆物質）の共有結合した反応性基と同じタイプのものが好ましい。シラン基は−Ｓｉ（ＯＲ）（ＯＲ′）（ＯＲ″）−タイプ（式中のＲ，Ｒ′およびＲ″はＨ，ＣＨ3およびＣ2Ｈ5からなる群から選択したものである）の基である。シラン化合物はＲ，Ｒ′およびＲ″として２〜３個のＣＨ3基および／またはＣ2Ｈ5基を有するものが好ましい。
配向層とガラス基板との間の極めて良好な接着は、オルガノシラン化合物の反応性基として（メタ）アクリレート化合物を使用する場合に得られる。共有結合した反応性基として（メタ）アクリレート化合物を含有するポリイミドをベースとする配向層と、共有結合した反応性基として（メタ）アクリレート化合物を含有する光学的異方性層とを組み合わせると、重合した光学的異方性物質とガラス基板との間の結合が極めて強い光学素子が得られる。このようにして製造された光学素子では、光学的異方性物質が基板から剥離した状態になる可能性がほとんど無くなる。
本発明方法は、種々のタイプの光学素子を多量生産するのに、極めて有利に使用することができる。このことは、特に、上述のような種々のタイプの偏光感知ビームスプリッタに適用される。また、このことは、異なるタイプの切り替え可能または切り替え不可能なコレステリックフィルタの製造にも適用される。
本発明のこれらの面および他の面は、後述する実施例から明らかであり、本発明のこれらの面および他の面をこれらの実施例について説明する。
図面において：
図１は、第１のタイプの偏光感知ビームスプリッタを製造するのに使用した本発明方法の３つの工程を示す説明図であり、
図２は、第２のタイプの偏光感知ビームスプリッタを製造するのに使用した本発明方法の３つの工程を示す説明図であり、
図３は、本発明方法によって製造した切り替え可能なコレステリックフィルタの断面図であり、
図４は、６種の化合物の構造式を示す。
なお、明瞭にするために、これらの図面は尺度通りにしなかった。
実施例１
２個の２８ｍｍ×４８ｍｍガラス基板（１）および（２）を、アセトン，エキストラン（ｅｘｔｒａｎ）石鹸，脱イオン水およびイソプロパノールによって順次処理することにより清浄にし、次いで乾燥した。基板（１）には、スピンコーティング（５，０００ｒｐｍ）により、オルガノシラン化合物、すなわち３−（Ｎ−スチリルメチル−２−アミノ−エチルアミノ）プロピルトリメトキシシランを含有する溶液（エタノール中０．５重量％）の薄い結合層（３）を設け、次いでこの基板を熱処理（１２５℃で５分間）した。
次いで、この結合層に感光性配向層（４）を被着させた。この感光性配向層は、共有結合した反応性メタクリレート基を有するポリイミド（この化合物はある量のポリアミド酸を含有している）（ＺＬＩ２６５０，メルク社）をＮ−メチルピロリドンに溶解した１％ポリイミド溶液をスピンコーティング（２，０００ｒｐｍ）することにより設けた。次いで、基板（１）を１２０℃で６０分間アニールした。比較的低いアニール温度のために、ポリアミド酸に結合している反応性メタクリレート基の小部分のみが離脱した。このタイプの感光性ポリイミドを使用することは半導体工業で知られており、半導体工業ではリソグラフィー技術と組み合わせて使用されている。
基板（２）には、非感光性物質の通常のポリイミド層（５）、従って共有結合した反応性基を含有していないポリイミド層（５）を設けた。このために、ＪＩＢＡ１  １５０１（ＪＳＲ）の溶液を５，０００ｒｐｍにおけるスピンコーティングによって被着させた。基板（２）には結合層を設けなかった。次いで、この基板もアニール（８０℃で１５分間、次いで１７０℃で６０分間）した。
これらのガラス基板を毛羽の無い布によって縦方向に摩擦した。次いで、両基板が５°の角をなし、両基板の長手方向の側部が互に接触し、両配向層の摩擦方向が互に平行になりかつ形成されるくさび形ビームスプリッタの屈折端（７）に平行になるように、両基板を型内に配置した。
次いで、形成したくさび内に、少なくとも１個の共有結合した反応性基を有するモノマーを含有する光学的異方性物質（６）を充填した。この実施例では、反応性基としてアクリレートを使用した。光学的異方性物質としては、図４の化合物ａ（ジアクリレートＣ６Ｍ）と化合物ｂ（モノアクリレートＣＢ６）との１：１混合物をジクロロメタンに溶解した溶液を含有する液晶物質を使用した。この混合物に添加した光開始剤は０．５重量％の量のイルガキュア（Ｉｒｇａｃｕｒｅ，商品名）６５１（チバガイギー社）であった。
溶媒を蒸発させた後に、生成した混合物を温度１０５℃（ネマチック相）で２個の基板の間に入れた。次いで、この混合物をＵＶ光（３６０ｎｍ；０．１４ｍＷ／ｃｍ2）に５分間露光することにより、該混合物を重合させた。この重合プロセスにおいて、基板（１）の結合層中および配向層中に存在する共有結合した反応性基も重合した。このようにして生成した光学素子を図１−ａに示す。次いで、僅かな圧力を加えることにより、配向層（５）を有する基板（２）を光学素子から除去した。生成したくさび形偏光感知ビームスプリッタの形態の光学素子を図１−ｂに示す。
上述の本発明方法を、第２のくさび形素子の製造にも使用した。両素子間の唯一の相違は、配向層を異なる方向に摩擦したことである。第２の素子では摩擦方向をくさびの屈折端（７）に対して４５°の角をなすようにした。両素子を、ガラス基板が設けられていないくさび形素子の表面位置で接着剤（ノーランド（Ｎｏｒｌａｎｄ，商品名）６５）によって一体に接着した。このようにして、いわゆるウォーラストンプリズムを得た。これを図１−ｃに示す。その作動は上述の欧州特許公報ＥＰ第５７６０７２号−Ａに詳細に記載されている。
このタイプの光学素子の製造に関する種々の実験から、光学的異方性物質（６）と基板（１）との間の接着力が、前記光学的異方性物質と基板（２）との間の接着力より、著しく大きいことが分った。その結果、光学素子からの基板（２）の除去は、基板（１）の除去より著しく容易であった。本発明方法の実施中に、くさび形素子の複数の部分が基板（１）および基板（２）から同時に剥離した状態になることは、決してなかった。既に存在している本発明に係る配向層のほかに、オルガノシラン化合物をベースとす結合層（３）が存在する結果、基板（１）に対する光学的異方性層の接着は、さらに著しく改善された。
実施例２
ガラス基板（１１）に、石鹸溶液による洗浄、水による洗浄、イソプロパノールによる洗浄、および乾燥という操作を順次に行うことにより、ガラス基板（１１）を予備処理した。次いで、この基板をＵＶ／オゾンで処理した。次いで、オルガノシラン化合物、すなわち３−（Ｎ−スチリルメチル−２−アミノ−エチルアミノ）プロピルトリメトキシシランの溶液（エタノール中０．５重量％）によって、基板（１１）の上に薄い結合層（１２）を設けた。この溶液をスピンコーティング（２，０００ｒｐｍ）によって被着させ、次いでこの基板を熱処理（１２０℃で２分間）した。
次いで、結合層（１２）の上に配向層（１３）を設けた。この配向層は、共有結合した反応性メタクリレート基を有するポリイミド（ＺＬＩ２６５０，メルク社）をＮ−メチルピロリドンに溶解した１％ポリイミド溶液をスピンコーティング（２，０００ｒｐｍ）することにより、被着させた。次いで、結合層（１２）および配向層（１３）を有する基板（１１）を、１２０℃で６０分間アニールした。冷却後に、ポリイミドを毛羽のない布により特定の方向に摩擦した。
次いで、所望の構造を有するプレス面（１５）、例えば、ジグザク構造または鋸歯構造の形態のプレス面（１５）を有するＰＯＭ（ポリオキシメチレン）のプレス型（１４）を、プレス面が配向層（１３）と接触するように設け、次いでプレス型と配向層との間に光学的異方性物質（１６）を高い温度（１３０℃）で設けた。光学的異方性物質としては、この温度でネマチック相になっている液晶物質Ｃ６Ｈ（メルク社、図４−ｅ参照）を使用した。この光学的異方性物質には０．５重量％の光開始剤（イルガキュア（Ｉｒｇａｃｕｒｅ）６５１）を含有させた。この物質を配向させた後に、室温でＵＶランプ（フィリップスＰＬ１０Ｗ１０，３６０ｎｍ，１ｍＷ／cm2）に１５分間露光することにより、前記物質を前記温度で重合させた。この状態を図２−ａに示す。
光学的異方性物質（１６）を重合させた後に、プレス型（１４）を除去した。このようにして得た半製品の構造を図２−ｂに示す。次いで、光学的異方性物質の所望の構造を有する表面に薄い等方性物質層（１７）を設け、次いでこの層を１０分間（フィリップスＰＬ１０Ｗ１０，３６０ｎｍ，１ｍＷ／cm2）重合させた。等方性物質としては、ビスフェノールＡジアクリレート（サートマー（Ｓａｒｔｏｍｅｒ，商品名）３４９，図４−ｆ参照）４０重量％と１，６−ヘキサンジオールジアクリレート（ＨＤＤＡ）６０重量％との混合物を使用した。この混合物に１重量％の量のイルガキュア（Ｉｒｇａｃｕｒｅ）６５１を添加した。このようにして得た偏光感知ビームスプリッタの構造を図２−ｃに示す。
このタイプの光学素子の製造中に実施した種々の比較実験の結果から、光学的異方性物質（１６）と基板（１１）との間の接着力が、光学的異方性物質（１６）とプレス型（１４）のプレス面（１５）との間の接着力より著しく大きいことが分った。その結果、等方性物質（１６）からプレス型（１４）を基板（１１）より極めて容易に剥離することができた。本発明方法の実施中に、所望の構造を有する光学的異方性物質（１６）の層の複数の部分が基板（１１）およびプレス型（１４）から同時に剥離した状態になることは、決してなかった。既に存在している本発明に係る配向層のほかに、好ましくは３−（Ｎ−スチリルメチル−２−アミノ−エチルアミノ）プロピルトリメトキシシランのような、オルガノシラン化合物をベースとする結合層を使用すると、基板（１１）に対する光学的異方性層（１６）の接着は、さらに著しく改善された。
実施例３
図３に示すコレステリックフィルタを製造するために、２個の研摩した１０ｃｍ×１０ｃｍガラス基板（２２）を、エキストラン（ｅｘｔｒａｎ）石鹸、脱イオン水およびイソプロパノールによって順次に処理することにより清浄にし、次いで乾燥した。先ず、両基板に導電性ＩＴＯ（インヂウム錫酸化物）の層（２３）を設けた。次いで、オルガノシラン溶液、すなわち３−（Ｎ−スチリルメチル−２−アミノ−エチルアミノ）プロピルトリメトキシシランの溶液（エタノール中０．５重量％）の薄い結合層（２４）を、両基板に設けた。この結合層（２４）をスピンコーティング（５，０００ｒｐｍ）によって被着させ、次いで両基板を熱処理（１２０℃で５分間）した。
次いで、両基板の結合層（２４）に配向層（２５）を設けた。この配向層は、共有結合した反応性メタクリレート基を有するポリイミド（ＺＬＩ２６５０，メルク社）を１−メチルピロリドンに溶解した１％ポリイミド溶液をスピンコーティング（２，０００ｒｐｍ）することにより、被着させた。次いで、両基板（２２）を１２０℃で６０分間アニールした。冷却後に、配向層（２５）を毛羽のないベルベットの布で摩擦した。
２個の基板のうちの一方の基板の配向層に直径４．２ミクロンのボール形態の複数個のスペーサ（図示せず）を設けた。これらのスペーサはスピンコーティングによって被着させた。他方の基板には、その側面に、ＵＶ感受性接着剤によって接着させたシールとして作用する継目部材（２６）を設け、次いで両基板を配向層が互に向い合うように積み重ねた。次いで、このようにして形成したセルに、コレステリック配列（ｃｈｏｌｅｓｔｅｒｉｃ  ｏｒｄｅｒ）を有する液晶物質の形態の光学的異方性物質（２７）を充填した。この物質（２７）には、共有結合した反応性基を有するモノマーならびに光開始剤を予め含有させた。この実施例では、ジアクリレートＣ６Ｍ（図４−ａ）１重量％と、モノアクリレートＪＬ３１４（図４−ｃ）１９重量％と、非反応性アキラル（ａｃｈｉｒａｌ）ＣＢ１５（図４−ｄ）３９．５重量％と、非反応性アキラルＢＬ６００ ４０．５重量％との混合物を使用した。ＢＬ６００（メルク社）は、フッ素置換および／または塩素置換されたシアノビビニル化合物とシアノテルビニル化合物との混合化合物から成る。この混合物に１重量％の量の光開始剤イルガキュア６５１を添加した。
最後に、コレステリックセルを露光した。その結果、コレステリック物質が重合した。重合は、コレステリックセルをＵＶ光（３６０ｎｍ，１ｍＷ／ｃｍ2）に５分間露光することにより起った。この重合プロセスにおいて、基板（１）の結合層中および配向層中に存在する共有結合した反応性基も重合した。
図３に示す本発明のコレステリックフィルタの製造中に行った種々の比較実験の結果から、基板に対する光学的異方性物質の接着力が、既知フィルタの接着力より著しく強いことが分った。これは、本発明のコレステリックフィルタが種々の加速寿命試験の後でも「カリフラワー作用」を示さないこと、によって示される。既に存在する本発明に係る配向層のほかに、オルガノシランをベースとする結合層を使用すると、両基板に対するコレステリック層（２７）の接着がさらに著しく改善された。
本発明方法の説明を切り替え可能なコレステリックフィルタについて行った。しかし、本発明方法の効果は切り替え不可能なコレステリックフィルタの場合にも得られる。
本発明方法によって、光学的異方性物質が基板に強固に結合している光学素子を製造できることが分った。そのため、基板から、あるいは基板上の配向層からの物質の望ましくない剥離は起らない。これは光学素子の光学的性質に好ましい影響を及ぼす。
【図１ａ】
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【図１ｂ】
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【図１ｃ】
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【図２ａ】
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【図２ｂ】
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【図２ｃ】
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【図４ａ】
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【図４ｂ】
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【図４ｃ】
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【図４ｄ】
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【図３】
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【図４ｅ】
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【図４ｆ】
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