【手続補正書】
【提出日】平成20年2月4日(2008.2.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射した光束を第１光束と第２光束とに分離して、該第１光束が基準面に供給され該第２光束が測定対象面に供給されるように配置されたビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタで得られる前記第１及び第２光束が前記基準面及び前記測定対象面のそれぞれに斜めに入射するように光源からの光束を該ビームスプリッタに導き、前記基準面及び前記測定対象面で反射され前記ビームスプリッタによって統合された前記第１及び第２光束を反射部材に導く光学ユニットと、
前記第１及び第２光束を受光して干渉信号を生成する受光素子とを備え、
前記反射部材で反射した前記第１及び第２光束は、前記光学ユニットで前記ビームスプリッタへ導かれ、該ビームスプリッタにて再び分離され、前記基準面及び前記測定対象面で反射され、該ビームスプリッタで再び統合され、
前記光学ユニットは、該ビームスプリッタで再び統合された前記第１及び第２光束を前記受光素子に導き、
前記受光素子は、前記光学ユニットからの前記第１及び第２光束を受光して該第１及び第２光束の位相差に対応した前記干渉信号を生成し、
前記光学ユニットは、前記ビームスプリッタによって統合された前記第１及び第２光束を前記反射部材の位置に集光することを特徴とする位置検出装置。
【請求項２】
入射した光束を第１光束と第２光束とに分離して、該第１光束が基準面に供給され該第２光束が測定対象面に供給されるように配置されたビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタで得られる前記第１及び第２光束が前記基準面及び前記測定対象面のそれぞれに斜めに入射するように光源からの光束を該ビームスプリッタに導き、前記基準面及び前記測定対象面で反射され前記ビームスプリッタによって統合された前記第１及び第２光束を反射部材に導く光学ユニットと、
前記第１及び第２光束を受光して干渉信号を生成する受光素子とを備え、
前記反射部材で反射した前記第１及び第２光束は、前記光学ユニットで前記ビームスプリッタへ導かれ、該ビームスプリッタにて再び分離され、前記基準面及び前記測定対象面で反射され、該ビームスプリッタで再び統合され、
前記光学ユニットは、該ビームスプリッタで再び統合された前記第１及び第２光束を前記受光素子に導き、
前記受光素子は、前記光学ユニットからの前記第１及び第２光束を受光して該第１及び第２光束の位相差に対応した前記干渉信号を生成し、
前記光学ユニットは、前記反射部材の位置を焦点面とする光学素子を有し、
前記光学素子は、前記ビームスプリッタによって統合された前記第１及び第２光束を反射部材に導き、前記反射部材で反射した前記第１及び第２光束を前記ビームスプリッタへ導くことを特徴とする位置検出装置。
【請求項３】
前記光学素子は、前記光源からの光束を平行光束に変換して前記ビームスプリッタに導き、前記ビームスプリッタで再び統合された前記第１及び第２光束を前記受光素子に導くことを特徴とする請求項２に記載の位置検出装置。
【請求項４】
前記光学素子は、レンズであることを特徴とする請求項２に記載の位置検出装置。
【請求項５】
前記レンズは、屈折率分布型レンズであることを特徴とする請求項４に記載の位置検出装置。
【請求項６】
前記光学ユニットは、前記光源からの光束を第１の位置に集光する集光手段を有し、
前記光学素子は、該第１の位置を焦点面とするように配置され、前記第１の位置から発散される光束を前記平行光束に変換することを特徴とする請求項３に記載の位置検出装置。
【請求項７】
前記集光手段は、前記光源からの光束を伝搬し、前記第１の位置に出射端を有する光ファイバを含むことを特徴とする請求項６に記載の位置検出装置。
【請求項８】
前記光学ユニットは、前記光源からの光束を平行光束に変換する第1のレンズと、前記反射部材の位置を焦点面とする第２のレンズと、を有し、
前記第1のレンズは、前記平行光束を前記ビームスプリッタに導き、前記ビームスプリッタで再び統合されて互いに干渉した前記第１及び第２光束を前記受光素子に導き、
前記第２のレンズは、前記ビームスプリッタによって統合された前記第１及び第２光束を反射部材に導き、前記反射部材で反射した前記第１及び第２光束を前記ビームスプリッタへ導くことを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
【請求項９】
前記光学ユニットと前記受光素子の間に配置され、前記光学ユニットからの光束を透過する１／４波長板と、
前記１／４波長板と前記受光素子の間に配置され、前記１／４波長板からの光束を複数の光束に分割するビーム分割素子と、
前記ビーム分割素子と前記受光素子の間に配置された偏光素子アレイと、を備え、
前記受光素子は、前記偏光素子アレイを介した前記複数の光束を受光する分割受光素子であることを特徴とする請求項１又は２に記載の位置検出装置。
【請求項１０】
入射した光束を第１光束と第２光束とに分離して、該第１光束が基準面に供給され該第２光束が測定対象面に供給されるように配置されたビームスプリッタを用いた位置検出方法であって、
光学ユニットにより、前記ビームスプリッタで得られる前記第１及び第２光束が前記基準面及び前記測定対象面のそれぞれに斜めに入射するように光源からの光束を該ビームスプリッタに導き、
前記光学ユニットにより、前記基準面及び前記測定対象面で反射され前記ビームスプリッタによって統合された前記第１及び第２光束を反射部材に導き、ここで前記ビームスプリッタによって統合された前記第１及び第２光束は前記光学ユニットにより前記反射部材の位置に集光され、
前記光学ユニットにより、前記反射部材で反射した前記第１及び第２光束を前記ビームスプリッタへ導き、ここで前記第１及び第２光束は前記ビームスプリッタにて再び分離され、前記基準面及び前記測定対象面で反射された前記第１及び第２光束は該ビームスプリッタで再び統合され、
前記光学ユニットにより、該ビームスプリッタで再び統合された前記第１及び第２光束を受光素子に導き、
前記受光素子により、前記第１及び第２光束の位相差に対応した干渉信号を生成することを特徴とする位置検出方法。
【請求項１１】
入射した光束を第１光束と第２光束とに分離して、該第１光束が基準面に供給され該第２光束が測定対象面に供給されるように配置されたビームスプリッタを用いた位置検出方法であって、
光学ユニットにより、前記ビームスプリッタで得られる前記第１及び第２光束が前記基準面及び前記測定対象面のそれぞれに斜めに入射するように光源からの光束を該ビームスプリッタに導き、
前記光学ユニット内の光学素子により、前記基準面及び前記測定対象面で反射され前記ビームスプリッタによって統合された前記第１及び第２光束を、前記光学素子の焦点面に配置された反射部材に導き、
前記光学素子により、前記反射部材で反射した前記第１及び第２光束を前記ビームスプリッタへ導き、ここで前記第１及び第２光束は前記ビームスプリッタにて再び分離され、前記基準面及び前記測定対象面で反射された前記第１及び第２光束は該ビームスプリッタで再び統合され、
前記光学ユニットにより、該ビームスプリッタで再び統合された前記第１及び第２光束を受光素子に導き、
前記受光素子により、前記第１及び第２光束の位相差に対応した干渉信号を生成することを特徴とする位置検出方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記の目的を達成するための本発明による位置検出装置は以下の構成を備える。すなわち、
２光束が測定対象面に供給されるように配置されたビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタで得られる前記第１及び第２光束が前記基準面及び前記測定対象面のそれぞれに斜めに入射するように光源からの光束を該ビームスプリッタに導き、前記基準面及び前記測定対象面で反射され前記ビームスプリッタによって統合された前記第１及び第２光束を反射部材に導く光学ユニットと、
前記第１及び第２光束を受光して干渉信号を生成する受光素子とを備え、
前記反射部材で反射した前記第１及び第２光束は、前記光学ユニットで前記ビームスプリッタへ導かれ、該ビームスプリッタにて再び分離され、前記基準面及び前記測定対象面で反射され、該ビームスプリッタで再び統合され、
前記光学ユニットは、該ビームスプリッタで再び統合された前記第１及び第２光束を前記受光素子に導き、
前記受光素子は、前記光学ユニットからの前記第１及び第２光束を受光して該第１及び第２光束の位相差に対応した前記干渉信号を生成し、
前記光学ユニットは、前記ビームスプリッタによって統合された前記第１及び第２光束を前記反射部材の位置に集光する。