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【手続補正書】
【提出日】平成19年12月17日(2007.12.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子と受光素子を有するセンサモジュールと、反射領域部と非反射領域部を交互に移動方向に沿って配置して成る光学変調トラックを有し、前記センサモジュールと相対移動可能なスケールとを備え、前記スケールと前記センサモジュールとの相対移動に伴う信号を得る光学式エンコーダにおいて、前記反射領域部又は／及び前記非反射領域部の反射光量は前記パルスコードスケールの移動方向に沿って基準位置から徐々に変化するように構成し、前記反射領域部と前記非反射領域部の光量の変化に基づいて前記移動方向と移動速度に応じた位相の変化した２相のインクリメンタル信号と、前記基準位置からの移動量に応じたアブソリュート信号とを得ることを特徴とする光学式エンコーダ。
【請求項２】
前記パルスコードスケールは円板状とし、前記反射領域部と非反射領域部を円周方向に沿って配置したことを特徴とする請求項１に記載の光学式エンコーダ。
【請求項３】
前記アブソリュート信号は前記反射領域部の径方向長さを前記円周方向に沿って変化することにより検出する請求項２に記載の光学式エンコーダ。
【請求項４】
前記アブソリュート信号は前記反射領域部の反射率を前記移動方向に沿って変化させることによって検出することを特徴とする請求項１に記載の光学式エンコーダ。
【請求項５】
前記アブソリュート信号は前記非反射領域部の非反射率を前記移動方向に変化することにより検出することを特徴とする請求項１に記載の光学式エンコーダ。
【請求項６】
前記アブソリュート信号は前記反射領域部と非反射領域部のコントラスト比を前記移動方向に沿って変化することにより検出することを特徴とする請求項１に記載の光学式エンコーダ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記目的を達成するための本発明に係る光学式エンコーダは、発光素子と受光素子を有するセンサモジュールと、反射領域部と非反射領域部を交互に移動方向に沿って配置して成る光学変調トラックを有し、前記センサモジュールと相対移動可能なスケールとを備え、前記スケールと前記センサモジュールとの相対移動に伴う信号を得る光学式エンコーダにおいて、前記反射領域部又は／及び前記非反射領域部の反射光量は前記パルスコードスケールの移動方向に沿って基準位置から徐々に変化するように構成し、前記反射領域部と前記非反射領域部の光量の変化に基づいて前記移動方向と移動速度に応じた位相の変化した２相のインクリメンタル信号と、前記基準位置からの移動量に応じたアブソリュート信号とを得ることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明を図１〜図７に図示の実施例に基づいて詳細に説明する。
図１は光学式エンコーダの要部斜視図を示し、固定部２１に回転軸２２が設けられ、その近傍に発光素子２３、受光素子２４、処理回路２５を同一平面上に配置して構成したセンサモジュール２６が設けられている。回転軸２２にはパルスコードホイール２７がねじ２８により固定されており、円板状のパルスコードホイール２７（パルスコードスケール）の下面には、センサモジュール２６と対向して光学変調トラック２９（スケール）が形成されている。センサモジュール２６とパルスコードホイール２７とは相対移動可能に構成されており、相対位相することによりセンサモジュール２６から変位信号を得る。
【手続補正書】
【提出日】平成19年12月13日(2007.12.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサの通算使用時間を取得する第１の取得手段と、
前記第１の取得手段により取得されたセンサの通算使用時間に応じた故障率を導出する導出手段と、
前記導出手段により導出された通算使用時間に応じた故障率に基づいて、前記センサの異常検出処理タイミングを決定する決定手段とを有する電子制御装置。
【請求項２】
前記導出手段は、前記センサの通算使用時間と前記通算使用時間に対応する故障率との対応関係を表すバスタブ曲線に基づいて、前記通算使用時間に対応する故障率を導出する請求項１に記載の電子制御装置。
【請求項３】
前記決定手段は、前記通算使用時間に対応する故障率が高くなるにしたがって、前記センサの異常検出処理タイミングの周期を短くする請求項１又は２に記載の電子制御装置。
【請求項４】
前記センサの故障率を上昇させる要因の度合を表すパラメータを取得する第２の取得手段を有し、
前記決定手段は、前記第２の取得手段により取得されたセンサの故障率を上昇させる要因の度合を表すパラメータに基づいて、前記センサの異常検出処理タイミングを決定する請求項１乃至３のいずれかに記載の電子制御装置。
【請求項５】
前記決定手段は、前記センサの故障率を上昇させる要因の度合を表すパラメータが大きくなるにしたがって、前記センサの異常検出処理タイミングの周期を短くする請求項４に記載の電子制御装置。
【請求項６】
前記決定手段は、前記通算使用時間に対応する故障率を、前記センサの故障率を上昇させる要因の度合を表すパラメータに基づいて補正し、補正後の通算使用時間に対応する故障率に基づいて、前記センサの異常検出処理タイミングを決定する請求項４又は５に記載の電子制御装置。
【請求項７】
前記通算使用時間に対応する故障率と前記センサの故障率を上昇させる要因の度合を表すパラメータに対応する故障率とによって一意に定まるセンサの異常検出処理タイミングによって構成されるテーブルを有し、前記決定手段は、前記テーブルから前記第１の取得手段により取得された通算使用時間に対応する故障率と前記第２の取得手段により取得されたセンサの故障率を上昇させる要因の度合を表すパラメータとによって一意に定まるセンサの異常検出処理タイミングを得る請求項４又は５に記載の電子制御装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成19年12月14日(2007.12.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
一対の反射型センサを備え該一対の反射型センサの間に配置された薄板の表面形状を測定するための測定装置であって、
前記一対の反射型センサは所定の間隔をおいて配置されるとともに該所定の間隔方向と直交する面において互いに所定のずれ量だけずらされて配置されており、
前記薄板及び前記一対の反射型センサを前記直交する面に沿って相対的に移動させて前記薄板表面を走査して前記薄板の表面形状を得る走査手段を有することを特徴とする表面形状測定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
さらに本発明によれば、一対の反射型センサを備え該一対の反射型センサの間に配置された薄板の表面形状を測定するための測定装置であって、前記一対の反射型センサは所定の間隔をおいて配置されるとともに該所定の間隔方向と直交する面において互いに所定のずれ量だけずらされて配置されており、前記薄板及び前記一対の反射型センサを前記直交する面に沿って相対的に移動させて前記薄板表面を走査して前記薄板の表面形状を得る走査手段を有することを特徴とする表面形状測定装置が得られる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
以上のように、本発明では、一対の反射型センサを所定の間隔をおいて配置するとともに、所定の間隔方向と直交する面において互いに所定のずれ量だけずらして配置して、直交する面に沿って薄板及び一対の反射型センサを相対的に移動させて薄板表面を走査するようにしたので、一対の反射型センサからの光が薄板を透過したり又は乱反射しても、光干渉が生じることなく、精度よく薄板の表面形状を測定できるという効果がある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
ここで、図２も参照して、測定部移動機構７０は被測定物であるガラス基板Ｗの幅よりもその長さが大きく、所定の間隔をおいて平行に配置された一対のスライドレール部７１及び７２を有し、スライドレール部７１及び７２はガラス基板Ｗの幅方向に延在している。スライドレール部７１及び７２にはそれぞれ水平方向に移動可能にスライド部材７３及び７４が装着されており、スライド部材７３及び７４の対向面にはそれぞれ測定部（例えば、変位センサ（一対の反射型センサ））７５及び７６が取り付けられ、測定部７５及び７６はガラス基板Ｗを挟んで対向する位置に配設されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
一対の反射型センサを所定の間隔をおいて配置するとともに、所定の間隔方向と直交する面において互いに所定のずれ量だけずらして配置して、直交する面に沿って薄板及び一対の反射型センサを相対的に移動させて薄板表面を走査するようにしたから、一対の反射型センサからの光が薄板を透過したり又は乱反射しても、光干渉が生じることなく、精度よく薄板の表面形状を測定できる結果、各種薄板の表面形状測定に適用できる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
１０  基台（ベース）
１０ａ  基板垂直保持機構
１０ｂ  測定機構
２１  下部保持部
２２  上部保持部
２１ａ，２１ｂ  保持部材
２２ａ  柱部
２２ｂ  上下ねじ送り機構
２２ｃ，３２，４２  取付部材
３０，４０  上下スライド装置
５０，６０  ねじ送り機構
３１，４１  スライド部材
７０  測定部移動機構
８０  駆動部
５１，６１  ナット部
７１，７２  スライドレール部
７３，７４  スライド部材
７５，７６  測定部（変位センサ（一対の反射型センサ））
【手続補正書】
【提出日】平成19年11月29日(2007.11.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
測位信号を送信するノードと、基準信号を送信する基準局と、前記ノードの位置を算出するサーバとを有するノード位置測位システムにおける無線基地局であって、
前記ノードからの測位信号及び前記測位信号を受信した後に前記基準局から送信される前記基準信号を受信する信号受信部と、
前記信号受信部が受信した前記測位信号及び前記基準信号から特定のパターンを検出し、検出した時刻を測定する受信時刻測定部と、
受信時刻測定部が測定した時刻から生成された時刻情報を、前記時刻情報に基づいて前記ノードの位置を算出する前記サーバの位置計算部に送信する通信部と、を備えることを特徴とする無線基地局。
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月25日(2008.9.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  少なくとも１個の立体状基体と、複数種類の被検物質に対して夫々特異的に結合する複数種類の特異親和性物質を該立体状基体の特定位置の表面に部分的に固相化された特異親和性プローブと、前記特異親和性プローブの前記基体表面での配置を判別するための位置検出用マーカーとを具備する検出用アレイ。
【請求項２】  請求項１に記載の検出用アレイであって、１個の前記基体に対し複数の前記位置検出用マーカーを付してなる検出用アレイ。
【請求項３】  前記位置検出用マーカーが、突起部または凹部である検出用アレイ。
【請求項４】  前記位置検出用マーカーが、前記プローブの種類毎に異なる信号量または信号パターンを発生し得る信号発生手段である検出用アレイ。
【請求項５】  請求項１から４の何れか１項に記載の検出用アレイであって、断面の直径が２ｍｍ以下で且つ長手部分が１ｃｍから５０ｃｍであるような細長い繊維体または棒状体からなる前記基体を不定形もしくは螺旋状に曲げることにより、球状、円錐状、円筒状の３次元構造としたことを特徴とする検出用アレイ。
【請求項６】  請求項１から５の何れか１項に記載の検出用アレイであって、前記基体の特定部位に対し偏在的に磁性を設けたことを特徴とする検出用アレイ。
【請求項７】  請求項１から６の何れか１項に記載の検出用アレイであって、前記特異親和性物質は、遺伝子等の核酸を含む物質、抗原、抗体、アレルゲン、ホルモンおよび酵素の群から選ばれる検出用アレイ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、生物学的試料中の被検物質を特異親和性物質を用いて検出するための検出用アレイであって、詳しくは、特異親和性物質としてのプローブを立体状基体の表面に固相化したプローブアレイに関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
発明者等は、鋭意研究の結果、従来は平板上に特異親和性物質を固相化していた平板状のチップ状アレイを、３次元的な立体状基体である球状に変更するという大胆な発想に基づいて、上記の課題を解決し目的を達成する手段を開発した。即ち、本発明は、少なくとも１個の立体状基体と、複数種類の被検物質に対して夫々特異的に結合する複数種類の特異親和性物質を該立体状基体の特定位置の表面に部分的に固相化された特異親和性プローブと、前記特異親和性プローブの前記基体表面での配置を判別するための位置検出用マーカーとを具備する検出用アレイである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
従来は、ハイブリダイゼーション反応を試みる際、乾燥防止のためのカバーグラスを用いて静置状態で行っている。しかしながら、本発明の核酸プローブアレイを用いれば、チューブまたはウェル内にて、本アレイと試料を共存させ、振盪下または攪拌下で反応を実施できる。すなわち、容器中で、攪拌しながら該基体と検体とのハイブリダイゼーション反応を行うことが可能であるため、従来技術で問題となっている反応むらを回避することが可能であるとともに安定した反応を実施することができる。また、プローブＤＮＡと標的ＤＮＡとの接触頻度が増加するので、ハイブリダイゼーション反応効率も上昇するという優れた効果が得られる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
また更に、本発明は、従来の核酸プローブアレイの同面積のものに比較して小型であるため、試薬および被検試料等の少量化が可能である。すなわち、粒状基体の直径を踏まえて、適切な反応容器を選択することによって、粒状基体を覆うのに十分なだけの少ない液量で反応及び洗浄を行うことが可能となり、試薬等の省資源化が図れる。また、１つの容器内において一度に多くの数量の核酸プローブアレイを反応に供することも可能である。また、反応容器に合わせて、粒状基体の直径を変えることも可能である。例えば、１ウェル当り１つの本核酸プローブアレイを使用する場合、９６ウェルには約６から７ｍｍ、３８４ウェルには約３ｍｍが好ましく使用できる。また、図１０では、粒状基体の直径および個数が、ウェル内で、２層以上に積層する用に設定されているが、１層となるように設定すれば、２次元状で各基体の配置を把握できるのでより好ましい。また、大きさの異なる核酸プローブアレイを組み合わせて使用することにより、容器内のスペースを効率よく使用することが可能であり、それにより省資源化および省試薬化等を実現することが可能である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
【発明の効果】
基体を従来の平板状から、３次元的表面を有する立体状の形状として複数種類の特異親和性物質を固相化したことにより、多量のサンプル、試薬、洗浄液等の処理液を必要とせずに表面積を増加することが可能となった。それにより実装密度を向上することが可能となり、より多くのプローブを固定することが可能になった。従って、省資源化が可能である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
さらに、特異親和性結合試薬との位置関係を把握可能になっているので、同時にまたは連続的に複数の異なる検査を実行する場合に、各々の検査状況を区別して把握することが容易である。
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月4日(2008.9.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  三次元形状を有する被検査体の外観を検査する装置であって、
前記被検査体を走査する走査ユニットと、
前記被検査体を把持する支持台と、
を含み、
前記走査ユニットおよび前記支持台の相対的な往復運動によって前記走査ユニットのセンサが前記被検査体の上面を走査し、
前記往復運動の始点および終点は前記走査ユニットから離れた待機位置に設定され、
前記待機位置にて前記被検査体と前記走査ユニットとのクリアランスが確保されて前記被検査体の着脱が自在となるように前記走査ユニットおよび前記支持台の位置決めがなされていることを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】  前記走査ユニットは、前記往復運動の往路と復路で異なる照明状態を実現するとともに、それぞれの照明状態で異なる検査のための画像を取得することを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項３】  前記走査により取得された画像を解析するメインユニットをさらに含み、
前記メインユニットは、前記往復運動の往路と復路で反転する画像に対し、反転読出処理を加えて検査することを特徴とする請求項１、２のいずれかに記載の外観検査装置。
【請求項４】  前記走査ユニットは、前記往復運動の往路または復路のいずれか一方において前記被検査体の上面を走査することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の外観検査装置。
【請求項５】  三次元形状を有する被検査体の外観を検査する装置であって、
前記被検査体を走査する走査ユニットと、
前記被検査体を把持する支持台と、
を含み、
前記走査ユニットおよび前記支持台の相対運動によって前記走査ユニットのセンサが前記被検査体の上面を一回走査し、
前記相対運動の始点は前記走査ユニットから離れた待機位置に設定され、
前記待機位置にて前記被検査体と前記走査ユニットとのクリアランスが確保されて前記被検査体の着脱が自在となるように前記走査ユニットおよび前記支持台の位置決めがなされていることを特徴とする外観検査装置。
【請求項６】  前記走査ユニットは、前記被検査体の検査面に垂直上方から投光する落射照明源と、前記被検査体の検査面に斜め方向から投光する側方照明源とを含み、前記相対運動の際に、前記落射照明源と前記側方照明源を交互に切り替えて点灯することを繰り返し、それぞれの照明状態における２つの異なる画像を取得することを特徴とする請求項５に記載の外観検査装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年11月30日(2007.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】  前記強磁性板、永久磁石および磁束検知素子を含む損傷検出器を、複数本のワイヤーロープに対してそれぞれ配設するとともに、隣接する損傷検出器は互いに重複しない位置に配設したことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のワイヤーロープ損傷検出装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、上記第３の目的を達成するため、本発明の請求項５に係る発明は、請求項４に係る発明において、前記強磁性板、永久磁石および磁束検知素子を含む損傷検出器を、複数本のワイヤーロープに対してそれぞれ配設するとともに、隣接する損傷検出器は互いに重複しない位置に配設した構成にしてある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
また、本発明の請求項５に係る発明では、一定間隔で並んでいる複数本のワイヤーロープに対して、それぞれ強磁性板、永久磁石および磁束検知素子を含む損傷検出器を配設するとともに、隣接する損傷検出器は互いに重複しない位置に配設されているので、複数本のワイヤーロープの損傷を同時に検出することができる。したがって、複数本のワイヤーロープ損傷検出作業の時間短縮を図ることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年12月6日(2007.12.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  視点位置から目標地点を俯瞰した俯瞰図を作成する俯瞰図作
成手段を備えた俯瞰図作成方法であって、
前記目標地点を略中心とし、設定された視点位置と前記目標地点とを結ぶ線分
を半径とした円周上にあって、前記目標地点を直接俯瞰できる位置を求める抽出
手段と、
該抽出手段からの抽出結果に基づいて、視点位置の変更を行う視点位置変更手
段とを備えていることを特徴とする俯瞰図作成方法。
【請求項２】  前記抽出手段が、前記円周上を最初に設定された視点位置か
ら、俯瞰角を大きくしていくことによって、前記目標地点を直接俯瞰できる位置
を求めるものであることを特徴とする請求項１記載の俯瞰図作成方法。
【請求項３】  請求項１又は請求項２記載の俯瞰図作成方法が採用されたも
のであることを特徴とするナビゲーションシステム。
【手続補正書】
【提出日】平成20年8月27日(2008.8.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  真空アーク再溶解法装置（１０）であって、
炉室（１４）と、
前記炉室（１４）内で再溶解する材料で形成された消耗電極（１２）と、
前記炉室（１４）内のルツボ（１６）と
を備えており、前記ルツボ（１６）が、前記消耗電極（１２）からの溶解物を収集する容器をなす壁から構成されていて、該壁が、凝固した溶解物を機械的に安定させる増大した表面積を付与するための溝（４６）であって、その内部を充填する溶解物をリブ状に凝固せしめる複数の同形状の溝（４６）でテクスチャ加工されており、ルツボ内を溶解物が上昇する際に前記リブが完全には再溶解しない、真空アーク再溶解法装置（１０）。
【請求項２】  前記テクスチャ加工された壁が、前記凝固溶解物質のシェルフ（４２）の固定を行う、請求項１記載の装置（１０）。
【請求項３】  前記テクスチャ加工された壁が、１／８〜３／４インチ（０．３１７５〜１．９ｃｍ）の溝深さ、１／８〜２インチ（０．３１７５〜５．０８ｃｍ）の幅及び３／８〜４インチ（０．９４２〜１０．１６ｃｍ）の溝間隔を有するほぼ垂直の溝（４６）で輪郭形成されている、請求項１又は請求項２記載の装置（１０）。
【請求項４】  前記テクスチャ加工された壁が、１／４〜１／２インチ（０．６３５〜１．２７ｃｍ）の溝深さ、１／４〜１／２インチ（０．６３５〜１．２７ｃｍ）の幅及び１／２〜３／４インチ（１．２７〜１．９ｃｍ）の溝間隔を有するほぼ垂直の溝（４６）で輪郭形成されている、請求項１記載の装置（１０）。
【請求項５】  前記テクスチャ加工された壁が、溝幅の１／４〜１／２倍でアールをつけたほぼ垂直の溝（４６）で輪郭形成されている、請求項１又は請求項２記載の装置（１０）。
【請求項６】  前記テクスチャ加工された壁がほぼ垂直の溝（４６）で輪郭形成されており、ルツボ（１６）の円周に対する溝（４６）の深さ又は幅の比率が０．００１〜０．０５であり、ルツボ（１６）の内側円周の１インチ（２．５４ｃｍ）当たりの溝（４６）の頻度が０．１〜５である、請求項１又は請求項２記載の装置（１０）。
【請求項７】  前記テクスチャ加工された壁に、クレバス（５６）とピーク（５８）が交互に設けられている、請求項１記載の装置（１０）。
【請求項８】  真空アーク再溶解方法であって、当該方法が、
複数の同形状の溝（４６）でテクスチャ加工された壁から構成される冷却ルツボ（１６）であって、消耗電極（１２）から溶解物を収集するための容器をなす冷却ルツボ（１６）の上で前記消耗電極（１２）を炉室（１４）内に装填し、
前記電極（１２）とルツボ（１６）の底部との間に直流電流を励起して前記電極（１２）の先端から材料の溶解を生ぜしめ、
前記先端からの溶解物を前記ルツボ（１６）に収集し、
前記溝（４６）の内部を溶解物で充填して該溶解物をリブ状に凝固せしめ、
前記溶解物を冷却して、凝固する材料の下側境界に先んじて前記ルツボ（１６）の前記テクスチャ加工された壁に隣接して形成される凝固物からなるシェルフ（４２）によって特徴付けられるインゴットを形成し、
ルツボ内を溶解物が上昇する際に完全には再溶解しない前記リブによって前記シェルフ（４２）を支持する
ことを含む方法。
【請求項９】  前記テクスチャ加工された壁が、前記シェルフ（４２）を安定させ、前記壁からの前記シェルフ（４２）の突然の脱落を予防する、請求項８記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成20年7月31日(2008.7.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】 入口（３４）と、出口（３６）と、前記入口（３４）に連結されかつ排液孔（４２）を有する第１の内室（４０）と、前記第１の内室（４０）の周囲において密閉された第２の内室（５０）とを含んでいて、
密閉時において前記第２の内室（５０）へのアクセスは、前記排液孔（４２）に限定され、
前記第１の内室（４０）が前記入口（３４）からガスと液体との混合物を受入れて前記ガスから前記液体の少なくとも一部を分離することにより、前記第１の内室（４０）の底に液体が集積し、次いで前記第１の内室（４０）の底に集積した液体が前記排液孔（４２）を通して前記第２の内室（５０）に移送されることを特徴とする液体・気体分離装置。
【請求項２】 前記入口（３４）が収集装置に連結される請求項１記載の液体・気体分離装置。
【請求項３】 前記第１の内室（４０）が実質的に円筒形を成している請求項１または２記載の液体・気体分離装置。
【請求項４】 前記第１の内室（４０）は、第１のガス試料を受け入れるように構成され、前記第１のガス試料は、気体又は液体の状態で患者から導入された液体を少なくとも部分的に含有し、前記出口（３６）は、前記第１の内室（４０）と接続し、前記第１の内室（４０）から第２のガス試料を受け入れるように構成され、前記第２のガス試料は前記第１のガス試料から誘導されかつ実質的に液体を含有しない請求項１記載の液体・気体分離装置。
【請求項５】 ガス試料から液体を分離するために使用されるガス分析システムにおいて、
気体又は液体の状態で導入された液体を少なくとも部分的に含有する第１のガス試料を供給するガス試料供給源（１２）と、
前記第１のガス試料を受入れる入口（３４）と、
前記第１のガス試料から誘導されかつ実質的に液体を含有しない第２のガス試料を供給する出口（３６）と、
前記出口（３６）に連結されかつ第２のガス試料のガス含量を分析するように構成されたガス分析装置（１４）と、
前記入口（３４）に連結されかつ排液孔（４２）を有する第１の内室（４０）と、
前記第１の内室（４０）の周囲において密閉された第２の内室（５０）とを含んでいて、
密閉時において前記第２の内室（５０）は、前記第２の内室（５０）の内部に導く唯一の開口を有しており、該唯一の開口が前記排液孔（４２）であり、
前記第１の内室（４０）が前記入口（３４）からガスと液体との混合物を受入れて前記ガスから前記液体の少なくとも一部を分離することにより、前記第１の内室（４０）の底に液体が集積し、次いで前記第１の内室（４０）の底に集積した液体が前記排液孔（４２）を通して前記第２の内室（５０）に移送されることを特徴とするガス分析システム。
【請求項６】 前記入口（３４）が収集装置に連結される請求項５記載のガス分析システム。
【請求項７】 前記第１の内室（４０）が実質的に円筒形を成している請求項５または６記載のガス分析システム。
【請求項８】 第１の膨張室（４０）内に第１のガス試料を受入れる工程と、
前記第１のガス試料から液体を分離する工程と、
前記第１の膨張室（４０）に設けられた排液孔（４２）を通して前記第１の膨張室（４０）から前記第１の膨張室（４０）に密閉された第２の膨張室（５０）に液体を供給する工程と、
前記第１の膨張室（４０）からガス分析装置（１４）に第２のガス試料を供給する工程とを含み、
前記第２の膨張室（５０）が前記第１の膨張室（４０）に密閉された時、前記第２の膨張室（５０）へのアクセスは、前記排液孔（４２）に限定される、ことを特徴とするガス試料の分析方法。
【請求項９】 前記第１の試料が患者から導入される請求項８記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成19年12月11日(2007.12.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  放射線を電気信号に変換する変換素子と、前記変換素子によって変換された電気信号を読み出す読み出し素子と、をそれぞれ含む複数の画素が２次元に配列された変換回路部と、
行単位で複数の前記読み出し素子を順次駆動するための駆動回路と、
前記放射線の出射の開始及び終了を検出する検出素子と、
前記検出素子の検出結果に応じて前記駆動回路を制御する制御手段とを備える放射線撮像装置において、
前記駆動回路は、前記変換素子の特性を安定させるための第１の動作と、前記第１の動作の後に前記変換素子により前記放射線を前記電気信号に変換し蓄積するための第２の動作と、蓄積された前記電気信号を前記読み出し素子により読み出すための第３の動作と、を前記変換回路部に行わせ、
前記制御手段は、前記検出素子によって前記放射線の出射の開始が検出されたとき、前記第１の動作から前記第２の動作に遷移するように前記駆動回路を制御し、且つ前記検出素子によって前記放射線の出射の終了が検出されたとき、前記第２の動作から前記第３の動作に遷移するように前記駆動回路を制御することを特徴とする放射線撮像装置。
【請求項２】  前記第１の動作と前記第３の動作は、行単位で複数の前記画素の前記読み出し素子を順次駆動するものであり、前記第１の動作は繰り返し行われるものであることを特徴とする請求項１記載の放射線撮像装置。
【請求項３】  前記制御手段は、前記読み出し素子による前記電気信号の読み出しが終了したときに、前記読み出し素子の駆動を停止させるよう前記駆動回路を制御することを特徴とする請求項１又は２記載の放射線撮像装置。
【請求項４】  前記第１の動作のための時間をｔａ、前記第３の動作のための時間をｔｆとすると、
ｔｆ≧ｔａ
とされていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。
【請求項５】  前記読み出し素子によって読み出された電気信号をアナログ信号からディジタル信号に変換するアナログ／ディジタル変換器と、前記アナログ／ディジタル変換器で変換された電気信号を記憶するメモリとを備え、前記メモリは放射線撮像装置に対して着脱可能であることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項記載の放射線撮像装置。
【請求項６】  さらに、放射線撮像装置を駆動するバッテリを備え、前記バッテリは放射線撮像装置に対して着脱可能であることを特徴とする請求項５に記載の放射線撮像装置。
【請求項７】  前記第１の動作によって取得された出力と、前記第３の動作によって取得された出力と、を加算する手段を更に有することを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。
【請求項８】  前記変換素子は、前記放射線を光に変換する蛍光体と、前記蛍光体によって変換された光を前記電気信号に変換する光電変換素子とを備えることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項記載の放射線撮像装置。
【請求項９】  請求項１から８のいずれか１項記載の放射線撮像装置と、
前記放射線撮像装置に放射線を出射する放射線源とを備えることを特徴とする放射線撮像システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の放射線撮像装置は、放射線を電気信号に変換する変換素子と、前記変換素子によって変換された電気信号を読み出す読み出し素子と、をそれぞれ含む複数の画素が２次元に配列された変換回路部と、行単位で複数の前記読み出し素子を順次駆動するための駆動回路と、前記放射線の出射の開始及び終了を検出する検出素子と、前記検出素子の検出結果に応じて前記駆動回路を制御する制御手段とを備える放射線撮像装置において、前記駆動回路は、前記変換素子の特性を安定させるための第１の動作と、前記第１の動作の後に前記変換素子により前記放射線を前記電気信号に変換し蓄積するための第２の動作と、蓄積された前記電気信号を前記読み出し素子により読み出すための第３の動作と、を前記変換回路部に行わせ、前記制御手段は、前記検出素子によって前記放射線の出射の開始が検出されたとき、前記第１の動作から前記第２の動作に遷移するように前記駆動回路を制御し、且つ前記検出素子によって前記放射線の出射の終了が検出されたとき、前記第２の動作から前記第３の動作に遷移するように前記駆動回路を制御することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
（実施形態３）
図１３は、本発明の実施形態３のＸ線撮像システムの撮影時の動作を示すタイムチャートであり、図１０と同様のものである。図１０と図１３との相違点は、図１０では空読み期間「Ｋ」の時間と本読み期間「Ｈ」の時間とが同じであるのに対し、図１３では空読み期間「Ｋ」の時間（ｔａ）と本読み期間「Ｈ」の時間（ｔｆ）とを異ならせて空読み期間「Ｋ」の方を短くしている点にある。言い換えれば、図１３では空読み動作のフレーム周波数ｆａ（Ｈｚ）が、本読み動作におけるフレーム周波数ｆｒ（Ｈｚ）より大きい。
【手続補正書】
【提出日】平成19年12月17日(2007.12.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  内輪の両端に当接する油切りと、該油切りの外周面と摺接するリップを有し、外輪の両端部に固定されるオイルシール手段とを備えた鉄道車両用軸受装置において、該鉄道車両用軸受装置内に前記リップと前記油切りとによって区画された密閉空間を形成し、前記リップに逆止弁を設けたことを特徴とする鉄道車両用軸受装置。
【請求項２】 前記リップが外側リップと内側リップとを有し、前記外側リップと前記内側リップの少なくとも一方に前記逆止弁を設けたことを特徴とする請求項１記載の鉄道車両用軸受装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の前記目的は、内輪の両端に当接する油切りと、該油切りの外周面と摺接するリップを有し、外輪の両端部に固定されるオイルシール手段とを備えた鉄道車両用軸受装置において、該鉄道車両用軸受装置内に前記リップと前記油切りとによって区画された密閉空間を形成し、前記リップに逆止弁を設けたことを特徴とする鉄道車両用軸受装置によって達成することができる。前記リップが外側リップと内側リップとを有し、前記逆止弁が前記外側リップと前記内側リップの少なくとも一方に設けられていてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
図１に本発明の第１実施形態である鉄道車両用軸受装置（以下軸受装置）１０のオイルシール１３付近の要部断面図を示す。軸受装置１０の図示しない他の構成については、図１０に示す軸受装置１００と同様の構成である。図１に示すオイルシール１３において、外周部１３１の内周側端部に固着されたシール部材１１の外側リップ１４には、外気に触れている空間ＣとグリースＧが充填されている密閉空間Ａとを連通する楕円形状の開口１２と逆止弁１４ａが設けられている。逆止弁１４ａは、開口１２を覆うように外側リップ１４の密閉空間Ａ側に一つ取り付けられている。ここで、グリースＧとしては、例えば、リチウム系グリース等のグリースや潤滑剤含有ポリマー部材等を適宜選択できる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年12月1日(2007.12.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】 軸とスリーブ軸受から基本的に構成される軸受装置において、
前記軸と前記スリーブ軸受の少なくとも一方が米ぬかから得られる脱脂ぬかと、熱硬化性樹脂を混合して混錬し、不活性ガス中で一次焼成した後、１００メッシュ以下に粉砕して炭化粉末とし、当該炭化粉末と熱硬化性樹脂を混合して混錬し、加圧成形した後、成形体を不活性ガス雰囲気中で再び熱処理して得られるＣＲＢセラミックスからなる軸受装置。
【請求項２】 前記軸または前記スリーブ軸受がスチール系金属である請求項１記載の軸受装置。
【請求項３】前記軸または前記スリーブ軸受が合成樹脂である請求項１記載の軸受装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明者は、鋭意研究した結果、米ぬかから得られる脱脂ぬかと、熱硬化性樹脂を混合して混錬し、不活性ガス中７００℃〜１０００℃で一次焼成した後、１００メッシュ以下に粉砕して炭化粉末とし、当該炭化粉末と熱硬化性樹脂を混合して混錬し、圧力２０ＭPa〜３０ＭPaで加圧成形した後、成形体を不活性ガス雰囲気中で再び１００℃〜１１００℃で熱処理したところ多孔質材料が得られ、当該多孔質材料がスリーブ軸受用材料として理想的な特性を有することを見出した。（以下、ＣＲＢセラミックスという）
上記ＣＲＢセラミックスは、損傷しにくい、軽量長寿命でしかも、オイルやグリースを長期間に亘って保持することができることを見出した。当該多孔質材料がスリーブ軸受用材料として理想的な特性を有するばかりか、成形時の寸法と仕上がり時の寸法収縮比率が小さいことも判った。すなわち、上記の多孔質材料は、成形時の寸法と仕上がり時の寸法収縮比率が３％以下と小さく、油保持が１３ｗｔ％、体積抵抗率４．８５×１０−３Ωcm、密度が１．０５〜１．３ｇ／ｃｍ３であり、高温焼成すれば、適度の硬度のものが得られ、しかも摩擦係数が約０．１５程度のものが得られた。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、米ぬかから得られる脱脂ぬかと、熱硬化性樹脂を混合して混錬し、不活性ガス中７００℃〜１０００℃で一次焼成した後、１００メッシュ以下に粉砕して炭化粉末とし、当該炭化粉末と熱硬化性樹脂を混合して混錬し、圧力２０ＭPa〜３０ＭPaで加圧成形した後、成形体を不活性ガス雰囲気中で再び１００℃〜１１００℃で熱処理して得られる多孔質材料（ＣＲＢセラミックス）をスリーブ軸受とするか、従来の合成樹脂製やスチール系金属のスリーブ軸受に、ＣＲＢセラミックス製の軸を組み合わせることにより、多様な特性をもつスリーブ軸受が作れることを見出した。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
脱脂ぬかと熱硬化性樹脂の混合割合は、重量比で、５０〜９０：５０〜１０であるが、好適には７５：２５
が用いられる。ここで用いられる熱硬化性樹脂は、比較的分子量が小さい液体状のものが望ましい。一次焼成温度は、７００℃〜１０００℃であり、通常はロータリーキルンが用いられ、焼成時間は約４０分から１２０分である。一次焼成した炭化粉末と熱硬化性樹脂の混合割合が、重量比で、５０〜９０：５０〜１０であが、好適には７５：２５
が用いられる。一次焼成した炭化粉末と熱硬化性樹脂の混錬物は、加圧成形時の圧力は、２０〜３０ＭPaであり、好適には２１〜２５ＭPaが用いられる。金型の温度は約１５０℃が好ましい。熱処理温度は、６００℃〜１１００℃であり、通常は充分にコントロールされた電気炉で行う。焼成時間は約６０分から３６０分である。焼成温度までの昇温速度は、５００℃までは比較的穏やかに上げることが要求される。具体的な数値で云うと、０．５〜２℃／分であり、好ましくは１℃／分である。また、焼き上げた後、温度を下げるのには、５００℃までは比較的穏やかに下げることが要求される。５００℃以下になると自然放冷する。具体的な数値で云うと、０．５〜４℃／分であり、好ましくは１℃／分である。また、不活性ガスは、ヘリウム、アルゴン、ネオン、窒素ガスどれでも良いが、好適には窒素ガスが用いられる。さらに、本発明において、軸ないしスリーブ軸受として用いるスチール系金属としては、鉄とニッケル、クロム、モリブデン等の合金であり、硬くて錆びにくい合金ならどのようなものでも良い。また、軸ないしスリーブ軸受として用いる合成樹脂は、硬質ポリエチレン、ポリプロビレン等のポリオレフィン、ナイロン６６等のポリアミド、ポリカーボネートなど、ある程度硬くて丈夫な合成樹脂ならどのようなものでも用いることが出来る。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の実施の形態をまとめると、以下のとおりである。
（１）軸とスリーブ軸受から基本的に構成される軸受装置において、
前記軸と前記スリーブ軸受の少なくとも一方が米ぬかから得られる脱脂ぬかと、熱硬化性樹脂を混合して混錬し、不活性ガス中で一次焼成した後、１００メッシュ以下に粉砕して炭化粉末とし、当該炭化粉末と熱硬化性樹脂を混合して混錬し、加圧成形した後、成形体を不活性ガス雰囲気中で再び熱処理して得られるＣＲＢセラミックスからなる軸受装置。
(２) 前記軸または前記スリーブ軸受がスチール系金属である上記（１）記載の軸受装置。
（３）前記軸または前記スリーブ軸受が合成樹脂である上記（１）記載の軸受装置。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【表１】
2002181049.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月22日(2008.9.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】 直径を構成する内部通路（２８）を有する空気圧管路（２２）における、前記内部通路（２８）の内側に形成されるオリフィス（２６，４２）であって、
前記内部通路（２８）の直径よりも小さい直径を構成する第１部分（３０，４４）と、
次第に増大する直径を構成する第２部分（３２，４６）と、
を含み、
前記第２部分（３２，４６）は、前記空気圧管路（２２）に形成されるドレン穴（３４）に面することを特徴とするオリフィス（２６，４２）。
【請求項２】 前記第２部分（３２，４６）は、円錐形開口を構成することを特徴とする請求項１に記載のオリフィス（２６，４２）。
【請求項３】 前記オリフィス（２６，４２）は、前記内部通路（２８）と同軸方向に配置されることを特徴とする請求項１に記載のオリフィス（２６，４２）。
【請求項４】 ガスタービンエンジン（１０）に用いられ、直径を構成する内部通路（２８）を有する圧縮機吐出圧管路（２２）における、前記内部通路（２８）の内側に形成されるオリフィス（２６，４２）であって、
前記内部通路（２８）の直径よりも小さい直径を構成する第１部分（３０，４４）と、
第１及び第２端部を有し、該第１端部は前記第１部分（３０，４４）に隣接しており、前記第１端部では前記第１部分（３０，４４）の直径に等しく、また前記第２端部では前記内部通路（２８）の直径に等しい、次第に増大する直径を構成する第２部分（３２，４６）と、
を含み、
前記第２部分（３２，４６）は、前記圧縮機吐出圧管路（２２）に形成されるドレン穴（３４）に面することを特徴とするオリフィス（２６，４２）。
【請求項５】 前記第２部分（３２，４６）は、円錐形開口を構成することを特徴とする請求項４に記載のオリフィス（２６，４２）。
【請求項６】 前記オリフィス（２６，４２）は、前記内部通路（２８）と同軸方向に配置されることを特徴とする請求項４に記載のオリフィス（２６，４２）。
【請求項７】 前記オリフィス（２６，４２）は、前記圧縮機吐出圧管路（２２）の破損個所からの空気放出を制限する絞りオリフィス（２６）であることを特徴とする請求項４に記載のオリフィス（２６，４２）。
【請求項８】 前記オリフィス（２６，４２）は、前記圧縮機吐出圧管路（２２）の１端に形成されたマニホルド・オリフィス（４２）であることを特徴とする請求項４に記載のオリフィス（２６，４２）。
【手続補正書】
【提出日】平成19年12月10日(2007.12.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体プロセスチャンバから排出されるパーフルオロ化合物またはその前駆体を含む排出ガスを除害する排出ガス除害システムであって、１のライン上に、前記パーフルオロ化合物またはその前駆体を大気圧プラズマで分解するプラズマ処理装置と、前記プラズマ処理装置の上流側に設けられた、前記排ガス中の腐食性物質を吸収する乾式固体吸収剤充填筒とを備える排出ガス除害システム。
【請求項２】
前記固体吸収剤が、一酸化銅およびソーダライムから選ばれる請求項１に記載の排出ガス除害システム。
【請求項３】
前記乾式固体吸収剤充填筒の下流に、前記排ガス中の粒子を捕捉するフィルターユニットをさらに備える請求項１または２に記載の排出ガス除害システム。
【請求項４】
前記半導体プロセスチャンバと前記乾式固体吸収剤充填筒とを接続するラインに加熱手段をさらに備える請求項１〜３のいずれか１項に記載の排出ガス除害システム。
【請求項５】
前記半導体プロセスチャンバと前記乾式固体吸収剤充填筒との間に、前記排ガス中に含まれる液化性物質を冷却して捕捉除去する冷却トラップをさらに備える請求項１〜４のいずれか１項に記載の排出ガス除害システム。
【請求項６】
前記半導体プロセスチャンバと前記１のライン上で最上流に配置される装置との間に第２のラインを備え、および前記排ガスの前記１のラインへの流れと前記第２のラインへの流れとを切り替える開閉弁を備える請求項１〜５のいずれか１項に記載の排出ガス除害システム。
【請求項７】
前記乾式固体吸収剤充填筒と前記プラズマ処理装置との間に前記排ガスの逆流を防止するための装置をさらに備える請求項１〜６のいずれか１項に記載の排出ガス除害システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明によれば、第１の半導体プロセスとパーフルオロ化合物またはその前駆体を含むガスを総排ガスとして排出する第２の半導体プロセスが行われる半導体プロセスチャンバの下流で第１の排出導管を介して接続された排気ポンプに接続させるための第２の排出導管と、
前記第２の排出導管から分岐する第３の排出導管と、
前記第２の排出導管と第３の排出導管の分岐点よりも下流で前記第２の排出導管に設けられ、前記第１の半導体プロセスが行われている間は開放されて前記第１の半導体プロセスにおける排ガスを前記第２の排出導管を介して排出させ、前記第２の半導体プロセスが行われている間は閉鎖される第１の開閉弁と、
前記第２の排出導管と第３の排出導管の分岐点よりも下流で前記第３の排出導管に設けられ、前記第２の半導体プロセスが行われている間は開放されて前記第２の半導体プロセスにおける排ガスを前記第３の排出導管を介して排出させ、前記第１の半導体プロセスが行われている間は閉鎖される第２の開閉弁と、
前記第１の開閉弁の下流で前記第２の排出導管に接続され、前記第１の半導体プロセスからの排ガスを処理するための第１の処理装置と、
前記第２の開閉弁の下流で前記第３の排出導管に接続され、前記パーフルオロ化合物またはその前駆体を大気圧プラズマで分解する第２の処理装置と、
前記第２の開閉弁の下流、かつ前記第２の処理装置の上流で、前記第３の排出導管に設けられ、主として前記第２の半導体プロセスからの排ガス中に残留する第１の半導体プロセスからの排ガスを処理するための乾式処理装置と
を備える半導体プロセスチャンバからの排ガスを除害するためのシステムが提供される。
また、本発明によれば、半導体プロセスチャンバから排出されるパーフルオロ化合物またはその前駆体を含む排出ガスを除害する排出ガス除害システムであって、１のライン上に、前記パーフルオロ化合物またはその前駆体を大気圧プラズマで分解するプラズマ処理装置と、前記プラズマ処理装置の上流側に設けられた、前記排ガス中の腐食性物質を吸収する乾式固体吸収剤充填筒とを備える排出ガス除害システムが提供される。
【手続補正書】
【提出日】平成20年4月21日(2008.4.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動信号に基づき超音波を発生する超音波振動子と、
この超音波振動子を駆動するための電圧を供給する電圧供給部とを有し、体腔内に導入可能なカプセル型医療装置であって、
前記電圧供給部から供給される供給電圧を脈動させて脈流電圧を生成するスイッチング部と、
前記スイッチング部により生成された脈流電圧を昇圧するコンデンサ及びダイオード部と、
前記超音波振動子を駆動するための駆動タイミング信号を前記コンデンサ及びダイオード部からの昇圧電圧に重畳して超音波深同士を駆動させるドライブ信号を生成するドライブ信号生成部と、
を具備したことを特徴とするカプセル型医療装置。
【請求項２】
前記コンデンサ及びダイオード部は、コッククロフト・ウォルトン回路からなることを特徴とする請求項１に記載のカプセル型医療装置。
【請求項３】
前記コンデンサ及びダイオード部から出力される昇圧電圧を一時的に貯めるコンデンサをさらに有することを特徴とする請求項１または２に記載のカプセル型医療装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】カプセル型医療装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、体腔内に導入可能なカプセル型医療装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、他のチップ化可能な電子回路と同様に昇圧回路をチップ化可能に構成して小型化し、さらに電力効率を向上して低消費電力化可能なカプセル型医療装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記課題を解決するために本発明によるカプセル型医療装置は、駆動信号に基づき超音波を発生する超音波振動子と、この超音波振動子を駆動するための電圧を供給する電圧供給部とを有し、体腔内に導入可能なカプセル型医療装置であって、前記電圧供給部から供給される供給電圧を脈動させて脈流電圧を生成するスイッチング部と、前記スイッチング部により生成された脈流電圧を昇圧するコンデンサ及びダイオード部と、前記超音波振動子を駆動するための駆動タイミング信号を前記コンデンサ及びダイオード部からの昇圧電圧に重畳して超音波深同士を駆動させるドライブ信号を生成するドライブ信号生成部と、を具備したことを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のカプセル型医療装置は、他のチップ化可能な電子回路と同様に昇圧回路をチップ化可能に構成して小型化でき、さらに電力効率を向上して低消費電力化できるという効果を有する。
【手続補正書】
【提出日】平成20年4月21日(2008.4.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動信号に基づき超音波を発生する超音波振動子と、
この超音波振動子を駆動するための電圧を供給する電圧供給部とを有する、体腔内に導入可能なカプセル型医療装置であって、
前記超音波振動子を駆動するための駆動タイミング信号を前記電圧供給部から供給される供給電圧に重畳して重畳信号を生成する重畳部と、
重畳信号を直接昇圧して前記超音波振動子を駆動させるドライブ信号を生成する昇圧部と、
を具備することを特徴とするカプセル型医療装置。
【請求項２】
前記重畳部と、前記昇圧部から成るドライブ信号生成部を有することを特徴とする請求項１に記載のカプセル型医療装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】カプセル型医療装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、体腔内に導入可能なカプセル型医療装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、低消費電力化を図るとともに簡単な構成で小型なカプセル型医療装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記課題を解決するために本発明によるカプセル型医療装置は、駆動信号に基づき超音波を発生する超音波振動子と、この超音波振動子を駆動するための電圧を供給する電圧供給部とを有する、体腔内に導入可能なカプセル型医療装置であって、前記超音波振動子を駆動するための駆動タイミング信号を前記電圧供給部から供給される供給電圧に重畳して重畳信号を生成する重畳部と、重畳信号を直接昇圧して前記超音波振動子を駆動させるドライブ信号を生成する昇圧部と、を具備したことを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明のカプセル型医療装置は、低消費電力化を図るとともに簡単な構成で小型に構成することができるという効果を有する。