【手続補正書】
【提出日】平成20年2月26日(2008.2.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に気密空間を有する基台と、
前記気密空間を第１及び第２の気密空間に仕切り、当該第１の気密空間側にテープを貼り付ける部品を載置する弾性体からなる弾性シートと、
当該弾性シートに載置された前記部品から所定距離隔てるように前記基台に取り付けられるテープと、
前記第１及び第２の気密空間をそれぞれ真空にさせる第１及び第２の真空ポンプと、
前記第１及び第２の気密空間をそれぞれ真空乃至大気圧に切り換える第１及び第２の弁とを備えることを特徴とする真空テープ貼付装置。
【請求項２】
前記弾性シートには、その中央部に前記部品を位置決めするための位置決め部材が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の真空テープ貼付装置。
【請求項３】
前記テープには、当該テープに歪みやシワが生じないようにフレームが取り付けられており、前記テープは、前記フレームを介して前記基台に取り付けられることを特徴とする請求項１又は２に記載の真空テープ貼付装置。
【請求項４】
前記基台及び前記フレームの何れか一方又は双方に、前記テープで隔てられた前記第１の気密空間を通気可能とするための通気部を有することを特徴とする請求項１乃至３の何れか１に記載の真空テープ貼付装置。
【請求項５】
前記基台は、外部から前記弾性シートに前記部品を載置できるように、前記第１の気密空間を分離可能とすることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１に記載の真空テープ貼付装置。
【請求項６】
内部に気密空間を有する基台と、前記気密空間を第１及び第２の気密空間に仕切り、当該第１の気密空間側にテープを貼り付ける部品を載置する弾性体からなる弾性シートと、当該弾性シートに載置された前記部品から所定距離隔てるように前記基台に取り付けられるテープと、前記第１及び第２の気密空間をそれぞれ真空にさせる第１及び第２の真空ポンプと、前記第１及び第２の気密空間をそれぞれ真空乃至大気圧に切り換える第１及び第２の弁とを備える真空テープ貼付装置において、
前記第１及び第２の弁を切り換えることにより、前記第１及び第２の真空ポンプが前記第１及び第２の気密空間を真空にする第１のステップと、
前記第２の弁を切り換えることにより、前記第２の気密空間に空気を流入させる第２のステップとを有することを特徴とする真空テープ貼付方法。
【請求項７】
前記弾性シートには、その中央部に前記部品を位置決めするための位置決め部材が設けられていることを特徴とする請求項６に記載の真空テープ貼付方法。
【請求項８】
前記テープには、当該テープに歪みやシワが生じないようにフレームが取り付けられており、前記テープは、前記フレームを介して前記基台に取り付けられることを特徴とする請求項６又は７に記載の真空テープ貼付方法。
【請求項９】
前記基台及び前記フレームの何れか一方又は双方に、前記テープで隔てられた前記第１の気密空間を通気可能とするための通気部を有することを特徴とする請求項６乃至８の何れか１に記載の真空テープ貼付方法。
【請求項１０】
前記基台は、外部から前記弾性シートに前記部品を載置できるように、前記第１の気密空間を分離可能とし、
前記第１のステップの前に、前記基台を分離させて前記弾性シートにウェハーを載置するステップを有することを特徴とする請求項６乃至９の何れか１に記載のウェハー用真空テープ貼付方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
従来のウェハー用テープ貼付装置は、図５に示すように、ローラの圧着によりダイシング用テープをウェハーに貼り付けていた。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
特開２００３−００７８０８号公報に記載のウェハー用テープ貼付装置は、図６及び図７に示すように、ウェハーとダイシング用テープの付いたシートリングを装置内に配置し、装置本体側の部屋と上蓋側の部屋をそれぞれ大気圧から真空に切り換えるように弁Ａ及び弁Ｂを備え、弁Ａ及び弁Ｂでそれぞれの部屋を高真空圧で保持したまま、上蓋側の部屋の弁Ａを真空から大気圧に切り換えることにより、上蓋側の部屋と装置本体側の部屋の差圧を発生させ、上蓋のゴムシートが本体側へ膨らみ、ダイシング用テープを下方に押してウェハーに貼り付けるようになっている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するため、本発明にかかる真空テープ貼付装置は、内部に気密空間を有する基台と、前記気密空間を第１及び第２の気密空間に仕切り、当該第１の気密空間側にテープを貼り付ける部品を載置する弾性体からなる弾性シートと、当該弾性シートに載置された前記部品から所定距離隔てるように前記基台に取り付けられるテープと、前記第１及び第２の気密空間をそれぞれ真空にさせる第１及び第２の真空ポンプと前記第１及び第２の気密空間をそれぞれ真空乃至大気圧に切り換える第１及び第２の弁とを備えることとする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
この場合、前記弾性シートには、その中央部に前記部品を位置決めするための位置決め部材が設けられていることが望ましい。また、前記テープには、当該テープに歪みやシワが生じないようにフレームが取り付けられており、前記テープは、前記フレームを介して前記基台に取り付けられることが望ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
一方、本発明にかかる真空テープ貼付方法は、内部に気密空間を有する基台と、前記気密空間を第１及び第２の気密空間に仕切り、当該第１の気密空間側にテープを貼り付ける部品を載置する弾性体からなる弾性シートと、当該弾性シートに載置された前記部品から所定距離隔てるように前記基台に取り付けられるテープと、前記第１及び第２の気密空間をそれぞれ真空にさせる第１及び第２の真空ポンプと、前記第１及び第２の気密空間をそれぞれ真空乃至大気圧に切り換える第１及び第２の弁とを備える真空テープ貼付装置において、前記第１及び第２の弁を切り換えることにより、前記第１及び第２の真空ポンプが前記第１及び第２の気密空間を真空にする第１のステップと、前記第２の弁を切り換えることにより、前記第２の気密空間に空気を流入させる第２のステップとを有することとする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
この場合、前記弾性シートには、その中央部に前記部品を位置決めするための位置決め部材が設けられていることが望ましい。また、前記テープには、当該テープに歪みやシワが生じないようにフレームが取り付けられており、前記テープは、前記フレームを介して前記基台に取り付けられることが望ましい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
更に、前記基台及び前記フレームの何れか一方又は双方に、前記テープで隔てられた前記第１の気密空間を通気可能とするための通気部を有することが望ましい。また、前記基台は、外部から前記弾性シートに前記部品を載置できるように、前記第１の気密空間を分離可能とし、前記第１のステップの前に、前記基台を分離させて前記弾性シートにウェハーを載置するステップを有することが望ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
図１は本発明にかかるウェハー用テープ貼付装置の構成を示しており、基台１と、上蓋２と、基台１の上蓋２側に取り付けられて気密空間Ａ３を形成し、ウェハー６を載置するための弾性体のゴムシート７と、ゴムシート７と上蓋２の間に気密空間Ｂ４を形成するために、基台１と上蓋２が接合したときに気密状態にするリング８と、ウェハー６に貼り付けるダイシング用テープ９と、基台１に設けられダイシング用テープ９に歪みやシワが生じないようにダイシング用テープ９に取り付けられるフレーム１０と、ダイシング用テープ９をウェハー６から所定距離を隔てるようにフレーム１０を載置するためのフレーム台１１と、気密空間Ａ３及びＢ４をそれぞれ真空にする弁Ａ１２及びＢ１３と、気密空間Ａ３及びＢ４から弁Ａ１２及びＢ１３にそれぞれ接続する真空開口Ａ１４及びＢ１５と、ゴムシート７の気密空間Ｂ４側の中央部に設けられ、載置するウェハー６のずれを防止するウェハーガード１６と、を備えている。なお、真空開口Ｂ１５は図面では気密空間Ｂ４の中央部に設けられているが、これは分かり易くするために中央部に設けたものであり、実際にはダイシング用テープ９と干渉しない気密空間Ｂ４の周辺部に設けられており、上蓋２のダイシング用テープ９に対峙する部分は平面状となっている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
なお、気密空間Ｂ４の内、ゴムシート７とダイシング用テープ９の間を気密空間Ｃ５とし、この気密空間Ｂ４と気密空間Ｃ５は後述するように通気可能となっている。また、ダイシング用テープ９とフレーム１０は、貼り付けられるだけに限られず、ダイシング用テープ９を表裏から挟み込むように取り付けても良く、ダイシング用テープ９に歪みやシワが生じないようにする構成であればどの様な構成であってもよい。更に、フレーム１０とフレーム台１１は、単に載置するだけに限られず、嵌合等による固定、接着等でも良い。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
図２を参照して、ウェハー６、ゴムシート７、フレーム台１１、ウェハーガード１６の構成を詳細に説明する。ゴムシート７には載置するウェハー６の位置決めの為に、載置されるウェハー６を囲むようにウェハーガード１６が貼り付けられている。一方、ダイシング用テープ９に貼り付けられたフレーム１０を載置するフレーム台１１には、気密空間Ｂ４と気密空間Ｃ５とを通気するための溝１７が複数設けられている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
なお、この溝１７はフレーム１０に設けても良く、また、気密空間Ｂ４と気密空間Ｃ５が元々通気しているのであれば、別途溝を設けなくても良い。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
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