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【手続補正書】
【提出日】平成20年5月12日(2008.5.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反応ガスが供給されることにより電力を発生させる燃料電池と、前記燃料電池内部のガス通路に連通するように前記燃料電池外部に接続されたガス通路と、前記ガス通路の途中に設けられ前記ガス通路に複数の隣接する閉空間を形成する複数の弁と、ガス漏れ検知対象となる第１閉空間の圧力を検出する第１圧力センサと、前記第１閉空間の下流側に隣接する第２閉空間の圧力を検出する第２圧力センサと、前記第２閉空間の圧力を前記第１閉空間の圧力よりも低下させた状態で、前記第１圧力センサによる圧力検出結果と前記第２圧力センサによる圧力検出結果との組み合わせに基づいて、前記第１閉空間におけるガス漏れを検知する検知手段と、を備える燃料電池システムであって、
前記検知手段は、前記第１閉空間の圧力低減値が所定の閾値以上であり、前記第２閉空間の圧力上昇値が所定の閾値以上の場合に、前記第１閉空間と前記第２閉空間の間に設けられた弁からのガス漏れと判別し、前記第１閉空間の圧力低減値が所定の閾値以上であり、前記第２閉空間の圧力上昇値が所定の閾値未満の場合に、前記第１閉空間の前記ガス通路からのガス漏れと判別するものである、
燃料電池システム。
【請求項２】
前記第２閉空間の下流側に隣接する第３閉空間に設けられた第３圧力センサをさらに有し、
前記検知手段は、前記第１閉空間の圧力低減値が所定の閾値以上であり、前記第２閉空間の圧力上昇値が所定の閾値以上の場合に、前記第３閉空間の圧力を前記第２閉空間の圧力よりも低下させた状態で、前記第１閉空間及び前記第２閉空間とからなる新たな閉空間の圧力検出結果に基づいて、前記新たな閉空間からのガス漏れを検知する、
請求項１に記載の燃料電池システム。
【請求項３】
前記検知手段は、少なくとも一の減圧弁を含む閉空間のガス漏れ検知を行うものである、
請求項１又は２に記載の燃料電池システム。
【請求項４】
請求項１から３の何れか一項に記載の燃料電池システムを備えた、移動体。
【請求項５】
反応ガスが供給されることにより電力を発生させる燃料電池と、前記燃料電池内部のガス通路に連通するように前記燃料電池外部に接続されたガス通路と、前記ガス通路の途中に設けられ前記ガス通路に複数の隣接する閉空間を形成する複数の弁と、を備える燃料電池システムのガス漏れ検知方法であって、
ガス漏れ検知対象となる第１閉空間の下流側に隣接する第２閉空間の圧力を前記第１閉空間の圧力よりも低下させる第１の工程と、
前記第１閉空間内の所定時間における圧力低減値が所定閾値以上であるか否かを判定する第２の工程と、
前記第２の工程において前記第１閉空間内の所定時間における圧力低減値が所定閾値以上であると判定された場合に、前記第２閉空間の圧力上昇値が所定の閾値以上であるか否かを判定する第３の工程と、を含み、
前記第３の工程において、前記第２閉空間の圧力上昇値が所定の閾値以上の場合に、前記第１閉空間と前記第２閉空間の間に設けられた弁からのガス漏れと判別し、前記第２閉空間の圧力上昇値が所定の閾値未満の場合に、前記第１閉空間の前記ガス通路からのガス漏れと判別する、
燃料電池システムのガス漏れ検知方法。
【請求項６】
前記第３の工程において前記第２閉空間の圧力上昇値が所定の閾値以上と判定された場合に、前記第１閉空間と前記第２閉空間とからなる閉空間を新たな第１閉空間として設定し、前記新たな第１閉空間の下流側に存在する閉空間を新たな第２閉空間として設定して、前記第１の工程から前記第３の工程を繰り返す、
請求項５に記載の燃料電池システムのガス漏れ検知方法。
【手続補正書】
【提出日】平成20年1月24日(2008.1.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
フィルム状の絶縁基板の表面に第１の配線が設けられたフィルム状配線板と、前記第１の配線と電気的に接続される第２の配線が設けられたプリント配線板と、前記プリント配線板上に設けられ、かつ、前記フィルム状配線板が挿入されたコネクタとを備えた電子装置であって、
前記コネクタは、前記第２の配線と電気的に接続されたリードと、前記リードおよび前記フィルム状配線板を支持する支持部材と、前記フィルム状配線板の、前記第１の配線と前記リードの接触面の裏面側に設けられ、かつ、あらかじめ定められた軸まわりで回転させることにより前記第１の配線と前記リードの接触固定および解放を行うロック部材とを備え、
前記フィルム状配線板は、前記フィルム状の絶縁基板の、前記ロック部材と接触する面側に、前記ロック部材が前記第１の配線と前記リードを接触固定させた状態から解放状態になるのを防ぐ保護部材が設けられていることを特徴とする電子装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項９】
表示パネルと、フィルム状の絶縁基板の表面に第１の配線が設けられたフィルム状配線板と、前記第１の配線と電気的に接続される第２の配線が設けられたプリント配線板と、前記プリント配線板上に設けられ、かつ、前記フィルム状配線板が挿入されたコネクタとを備えた表示装置であって、
前記コネクタは、前記第２の配線と電気的に接続されたリードと、前記リードおよび前記フィルム状配線板を支持する支持部材と、前記フィルム状配線板の、前記第１の配線と前記リードの接触面の裏面側に設けられ、かつ、あらかじめ定められた軸まわりで回転させることにより前記第１の配線と前記リードの接触固定および解放を行うロック部材とを備え、
前記フィルム状配線板は、前記フィルム状の絶縁基板の、前記ロック部材と接触する面側に、前記ロック部材が前記第１の配線と前記リードを接触固定させた状態から解放状態になるのを防ぐ保護部材が設けられていることを特徴とする表示装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
（５）フィルム状の絶縁基板の表面に第１の配線が設けられたフィルム状配線板と、前記第１の配線と電気的に接続される第２の配線が設けられたプリント配線板と、前記プリント配線板上に設けられ、かつ、前記フィルム状配線板が挿入されたコネクタとを備えた電子装置であって、前記コネクタは、前記第２の配線と電気的に接続されたリードと、前記リードおよび前記フィルム状配線板を支持する支持部材と、前記フィルム状配線板の、前記第１の配線と前記リードの接触面の裏面側に設けられ、かつ、あらかじめ定められた軸まわりで回転させることにより前記第１の配線と前記リードの接触固定および解放を行うロック部材とを備え、前記フィルム状配線板は、前記フィルム状の絶縁基板の、前記ロック部材と接触する面側に、前記ロック部材が前記第１の配線と前記リードを接触固定させた状態から解放状態になるのを防ぐ保護部材が設けられている電子装置である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
（９）表示パネルと、フィルム状の絶縁基板の表面に第１の配線が設けられたフィルム状配線板と、前記第１の配線と電気的に接続される第２の配線が設けられたプリント配線板と、前記プリント配線板上に設けられ、かつ、前記フィルム状配線板が挿入されたコネクタとを備えた表示装置であって、前記コネクタは、前記第２の配線と電気的に接続されたリードと、前記リードおよび前記フィルム状配線板を支持する支持部材と、前記フィルム状配線板の、前記第１の配線と前記リードの接触面の裏面側に設けられ、かつ、あらかじめ定められた軸まわりで回転させることにより前記第１の配線と前記リードの接触固定および解放を行うロック部材とを備え、前記フィルム状配線板は、前記フィルム状の絶縁基板の、前記ロック部材と接触する面側に、前記ロック部材が前記第１の配線と前記リードを接触固定させた状態から解放状態になるのを防ぐ保護部材が設けられている表示装置である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
本発明の電子装置は、たとえば、図１および図２に示すように、フィルム状の絶縁基板の表面１０１に第１の配線１０２が設けられたフィルム状配線板１と、絶縁基板２０１の表面に前記第１の配線１０２と電気的に接続される第２の配線２０２が設けられたプリント配線板２と、前記プリント配線板２上に設けられ、かつ、前記フィルム状配線板１が挿入されたコネクタ３とを備える電子装置である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
また、前記コネクタ３は、前記第２の配線２０２と電気的に接続されたリード３０１と、前記リード３０１および前記フィルム状配線板１を支持する支持部材３０２と、前記フィルム状配線板１の、前記第１の配線１０２と前記リード３０１の接触面の裏面側に設けられ、かつ、あらかじめ定められた回転軸まわりで回転させることにより前記第１の配線１０２と前記リード３０１の接触固定および解放を行うロック部材３０３とを備える。このとき、前記ロック部材３０３は、図２に示した状態が、前記第１の配線１０２と前記リード３０１を接触固定させている状態（ロック状態）であり、前記ロック部材３０３の固定部３０３ａとリード３０１で前記フィルム状配線板１を挟むことで、前記第１の配線１０２と前記リード３０１の接触を確保するとともに、前記フィルム状配線板１が抜けないように固定している。また、前記ロック部材３０３は、たとえば、図３に示すように、回転軸周りに回転させると、前記固定部３０３ａが前記フィルム状配線板１（補強部材１０４）から離れ、解放された状態になる。つまり、前記フィルム状配線板１を前記コネクタ３に挿入して固定するときには、前記ロック部材３０３を、図３に実線で示したような解放状態（オープン状態）にして前記フィルム状配線板１を挿入した後、前記ロック部材３０３を、図２に示したようなロック状態にして固定する。
【手続補正書】
【提出日】平成19年11月19日(2007.11.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体を構成する第1ケース部材が、筐体を構成する第２ケース部材或いは回路モジュールのフレームに、当該第1ケース部材の外表面側からネジ止めされる構成の携帯型電子機器において、
所定の接続台装置に対して当該筐体を載置した状態でその接続台装置との電気的接続を行う接点端子を設け、当該筐体のネジ止め用の凹部を、当該筐体が前記接続台装置に載置した状態で当該接続台装置に設けられたロック爪に対応する位置に形成し、
前記接続台装置に対して当該筐体を載置した際は、前記接続台装置とは前記接点端子を介して電気的接続を行うと共に、その電気的接続状態において前記ネジ止め用の凹部と前記接続台装置のロック爪とが係合してロックされるようにした、
ことを特徴とする携帯型電子機器。
【請求項２】
前記ロック爪は、当該筐体を前記接続台装置に載置した際にバネの付勢により突出駆動し、前記ネジ止め用の凹部は、その突出したロック爪を係合するための深さを有すること、
を特徴とする請求項１記載の携帯型電子機器。
【請求項３】
当該携帯型電子機器は、表示部側筐体と操作部側筐体とがヒンジ部を介して回動可能に設けられ、前記ネジ止め用の凹部は、前記操作部側筐体の裏ケース側に設けられていること、
を特徴とする請求項１記載の携帯型電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、所定の接続台装置への載置により、当該接続台装置との電気的接続を行う携帯型電子機器に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
本発明の課題は、筐体に接続台装置のロック爪と契合する凹部を新たに設ける必要なく、筐体のネジ取り付け穴を利用してデザイン的制約を解消することである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
以上の課題を解決するために、本発明は、筐体を構成する第1ケース部材が、筐体を構成する第２ケース部材或いは回路モジュールのフレームに、当該第1ケース部材の外表面側からネジ止めされる構成の携帯型電子機器において、所定の接続台装置に対して当該筐体を載置した状態でその接続台装置との電気的接続を行う接点端子を設け、当該筐体のネジ止め用の凹部を当該筐体が前記接続台装置に載置した状態で当該接続台装置に設けられたロック爪に対応する位置に設け、前記接続台装置に対して当該筐体を載置した際は、前記接続台装置とは前記接点端子を介して電気的接続を行うと共に、その電気的接続状態において前記ネジ止め用の凹部と前記接続台装置のロック爪とが係合してロックされるようにした、ことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明によれば、ケース部材の外表面側に形成するネジ取付用の凹部を、接続台装置のロック爪と対応する位置に形成することにより、その接続台装置のロック爪の係合部となるので、筐体にロック爪係合用の凹部を新たに設ける必要がない。従って、筐体のデザイン的制約を解消できる。
【手続補正書】
【提出日】平成20年2月15日(2008.2.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の半導体レーザを定電流制御あるいは定出力制御する半導体レーザの駆動方法において、
前記定電流制御あるいは定出力制御による目標光出力と略同じ光出力が得られる半導体レーザの駆動電流値を、駆動開始からの経過時間に応じて規定したパターンを予め作成しておき、
半導体レーザを駆動開始させてから所定の期間、該半導体レーザの駆動電流を前記パターンに従って段階的に変化させ、
前記パターンを１つだけ用い、そのパターンを複数の半導体レーザに対して共通に使用することを特徴とする半導体レーザの駆動方法。
【請求項２】
半導体レーザの駆動電流を前記パターンに従って段階的に変化させる処理を、複数の半導体レーザに対して共通のタイミングで行うことを特徴とする請求項１記載の半導体レーザの駆動方法。
【請求項３】
前記複数の半導体レーザの各々から出射したレーザ光が合波される場合に、
これら複数の半導体レーザの駆動電流を前記パターンに従って段階的に変化させる処理を、複数の半導体レーザ間で時間的遅延を付けて行うことを特徴とする請求項１記載の半導体レーザの駆動方法。
【請求項４】
前記パターンとして、半導体レーザの駆動電流値を所定電流値に対する比で規定したパターンを用いることを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載の半導体レーザの駆動方法。
【請求項５】
複数の半導体レーザと、それらから各々出射したレーザ光が入力されて該レーザ光を合波する光ファイバとを有する装置において、前記複数の半導体レーザを駆動することを特徴とする請求項１から４いずれか１項記載の半導体レーザの駆動方法。
【請求項６】
前記半導体レーザとして、ＧａＮ系半導体レーザを駆動することを特徴とする請求項１から５いずれか１項記載の半導体レーザの駆動方法。
【請求項７】
複数の半導体レーザを定電流制御あるいは定出力制御する構成を備えた半導体レーザの駆動装置において、
前記定電流制御あるいは定出力制御による目標光出力と略同じ光出力が得られる半導体レーザの駆動電流値を、駆動開始からの経過時間に応じて規定したパターンを記憶した記憶手段と、
半導体レーザを駆動開始させてから所定の期間、該半導体レーザの駆動電流を前記パターンに従って段階的に変化させ、かつ、１つの前記パターンを複数の半導体レーザに対して共通に使用するように構成された電流制御手段とを備えたことを特徴とする半導体レーザの駆動装置。
【請求項８】
前記電流制御手段が、半導体レーザの駆動電流を前記パターンに従って段階的に変化させる処理を、複数の半導体レーザに対して共通のタイミングで行うように構成されていることを特徴とする請求項７記載の半導体レーザの駆動装置。
【請求項９】
前記複数の半導体レーザの各々から出射したレーザ光が合波される構成において、該複数の半導体レーザを駆動する装置であって、
前記電流制御手段が、前記複数の半導体レーザの駆動電流を前記パターンに従って段階的に変化させる処理を、複数の半導体レーザ間で時間的遅延を付けて行うように構成されていることを特徴とする請求項７記載の半導体レーザの駆動装置。
【請求項１０】
前記記憶手段が記憶している前記パターンが、半導体レーザの駆動電流値を所定電流値に対する比で規定したパターンであることを特徴とする請求項７から９いずれか１項記載の半導体レーザの駆動装置。
【請求項１１】
複数の半導体レーザと、それらから各々出射したレーザ光が入力されて該レーザ光を合波する光ファイバとを有する装置において、前記複数の半導体レーザを駆動することを特徴とする請求項７から１０いずれか１項記載の半導体レーザの駆動装置。
【請求項１２】
前記半導体レーザとして、ＧａＮ系半導体レーザを駆動することを特徴とする請求項７から１１いずれか１項記載の半導体レーザの駆動装置。
【請求項１３】
請求項１から６いずれか１項記載の半導体レーザの駆動方法に用いられる前記パターンを導出する方法であって、
駆動対象の半導体レーザを、所定電流を供給して駆動し、
そのとき該半導体レーザから発せられる光の少なくとも一部を光検出器により検出し、
該光検出器の出力が一定になるように前記所定電流を増減させ、
この所定電流を検出して、その増減のパターンを前記パターンとして採取することを特徴とする半導体レーザ駆動電流パターンの導出方法。
【請求項１４】
複数の半導体レーザを同時に駆動し、
そのとき該複数の半導体レーザから発せられる光の少なくとも一部を光検出器により検出し、
該光検出器の出力が一定になるように、各半導体レーザに供給される前記所定電流を同時に増減させることを特徴とする請求項１３記載の半導体レーザ駆動電流パターンの導出方法。
【請求項１５】
請求項７から１２いずれか１項記載の半導体レーザの駆動装置に用いられる前記パターンを導出する装置であって、
駆動対象の半導体レーザを、所定電流を供給して駆動する定電流回路と、
そのとき該半導体レーザから発せられる光の少なくとも一部を検出する光検出器と、
該光検出器の出力が一定になるように前記所定電流を増減させる手段と、
この所定電流を検出して、その増減のパターンを前記パターンとして採取する手段とを備えたことを特徴とする半導体レーザ駆動電流パターンの導出装置。
【請求項１６】
前記定電流回路が、複数の半導体レーザを同時に駆動するように構成され、
前記光検出器が、そのとき該複数の半導体レーザから発せられる光の少なくとも一部を検出可能に構成され、
前記所定電流を増減させる手段が、前記光検出器の出力が一定になるように、各半導体レーザに供給される前記所定電流を同時に増減させるように構成されていることを特徴とする請求項１５記載の半導体レーザ駆動電流パターンの導出装置。
【請求項１７】
半導体レーザから発せられた光を空間光変調素子によって変調し、その変調された光により感光材料を露光させる露光装置において、
半導体レーザを駆動する装置として、請求項７から１２いずれか１項記載の半導体レーザの駆動装置が用いられたことを特徴とする露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
なおより詳しく、この本発明による半導体レーザの駆動方法においては、前記パターンを１つだけ用い、そのパターンを複数の半導体レーザに対して共通に使用する。そのように１つのパターンを複数の半導体レーザに対して共通に使用するに当たっては、そのパターンとして、半導体レーザの駆動電流値を所定電流値に対する比で規定したパターンを用いることが望ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
なおより詳しく、上記の電流制御手段は、１つの前記パターンを複数の半導体レーザに対して共通に使用するように構成される。
【手続補正書】
【提出日】平成20年6月25日(2008.6.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
差動信号を用いたシリアルバスを介してデータ転送を行うインターフェース回路ブロックを含む集積回路装置であって、
前記インターフェース回路ブロックの短辺である第１の辺から対向する第３の辺へと向かう方向を第１の方向とし、前記インターフェース回路ブロックの長辺である第４の辺から対向する第２の辺へと向かう方向を第２の方向とした場合に、
前記インターフェース回路ブロックは、
所与の処理を行う回路が形成される回路形成領域と、
前記回路形成領域よりも前記第２の方向側に位置する前記第２の辺に沿って配置される入力端子形成領域と、
を有し、
前記入力端子形成領域は、
前記第１の方向に沿って設けられる複数の入力端子と、
前記複数の入力端子が形成される配線層の下層の配線層にて、前記第１の方向に沿って延在形成される前記集積回路装置用の複数の電源供給線と、
を含むことを特徴とする集積回路装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記複数の入力端子は、
前記インターフェース回路ブロックに前記差動信号を供給するための複数の差動信号入力端子と、
前記インターフェース回路ブロックに電源を供給するための複数の電源入力端子と、
を含み、
前記入力端子形成領域は、前記複数の差動信号入力端子が形成される差動信号入力端子形成領域と、前記複数の電源入力端子が形成される第１及び第２の電源入力端子形成領域を含み、前記差動信号入力端子形成領域、前記第１の電源入力端子形成領域及び前記第２の電源入力端子形成領域の各々が一列で前記第１の方向に沿って配置され、
前記差動信号入力端子形成領域は、前記第１の電源入力端子形成領域と前記第２の電源入力端子形成領域との間に設けられていることを特徴とする集積回路装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記差動信号入力端子形成領域には、前記第１の方向に沿って前記複数の差動信号入力端子が配置され、
前記第１及び第２の電源入力端子形成領域には、前記第１の方向に沿って前記複数の電源入力端子が形成されていることを特徴とする集積回路装置。
【請求項４】
請求項２又は３において、
前記複数の電源入力端子は、第１の電源電圧を供給するための複数の第１の電源入力端子と、前記第１の電源電圧よりも電圧の高い第２の電源電圧を供給するための複数の第２の電源入力端子と、を含み、
前記集積回路装置用の複数の電源供給線は、前記第１の電源電圧を供給するための第１の電源供給線を含むことを特徴とする集積回路装置。
【請求項５】
請求項４において、
前記第１の辺側及び前記第３の辺側の少なくとも一方側の入力端子は、前記複数の第１の電源入力端子の少なくとも一つとして設定されていることを特徴とする集積回路装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記複数の第１の電源入力端子のうちの前記第１の辺側及び前記第３の辺側の少なくとも一方側に設けられた第１の電源入力端子は、第１の保護回路を介して前記第１の電源供給線と接続されていることを特徴とする集積回路装置。
【請求項７】
請求項６において、
前記第１の保護回路はダイオードで構成されていることを特徴とする集積回路装置。
【請求項８】
請求項４又は５において、
前記複数の第１の電源入力端子の少なくとも一つは、第１の保護回路を介して前記第１の電源供給線に接続され、
前記第１の保護回路は、前記回路形成領域内の前記入力端子形成領域側であって前記第１の辺側及び前記第３の辺側の少なくとも一方側に配置されていることを特徴とする集積回路装置。
【請求項９】
請求項４乃至８のいずれかにおいて、
前記複数の第２の電源入力端子の少なくとも一つは、デカップリングコンデンサを介して前記第１の電源供給線と接続され、
前記デカップリングコンデンサは、前記回路形成領域であって前記第１の辺側及び前記第３の辺側の少なくとも一方側に配置されていることを特徴とする集積回路装置。
【請求項１０】
請求項４乃至９のいずれかにおいて、
前記複数の第１の電源入力端子の少なくとも一つは、第２の保護回路を介して前記第１の電源供給線に接続され、
前記第２の保護回路は、前記入力端子形成領域であって、前記差動信号入力端子形成領域に形成されている差動信号入力端子と、前記第１及び第２の電源入力端子形成領域の少なくとも一方に形成されている第１の電源入力端子と、の間の入力端子が形成されない領域の下層の半導体層に形成されていることを特徴とする集積回路装置。
【請求項１１】
請求項１０において、
前記第２の保護回路は、前記複数の入力端子が形成される領域の下層の半導体層の領域には形成されないことを特徴とする集積回路装置。
【請求項１２】
請求項１１において、
前記第２の保護回路はダイオードで構成されていることを特徴とる集積回路装置。
【請求項１３】
請求項２乃至１２のいずれかにおいて、
その各々が差動信号を受信する第１〜第Ｓの受信回路と、
前記第１〜第Ｓの受信回路に定電圧を供給するためのバイアス回路と、
を含み、
前記回路形成領域において前記第１の方向に沿って、第１〜第［Ｓ／２］（［Ｘ］はＸを越えない最大の整数）の受信回路、前記バイアス回路、第（［Ｓ／２］＋１）〜第Ｓの受信回路の順に配置されていることを特徴とする集積回路装置。
【請求項１４】
請求項１３において、
前記差動信号入力端子形成領域が、前記第１〜第Ｓの受信回路及び前記バイアス回路に対して前記第２の方向側に配置されていることを特徴とする集積回路装置。
【請求項１５】
請求項１３又は１４において、
前記第１〜第Ｓの受信回路からの信号を処理するロジック回路を含み、
前記ロジック回路の前記第２の方向側には、前記第１〜第Ｓの受信回路が配置されていることを特徴とする集積回路装置。
【手続補正書】
【提出日】平成20年4月15日(2008.4.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体装置の作製方法、剥離方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性を有する第１の基板上に金属層を形成し、
前記金属層上に絶縁層を形成し、
前記絶縁層上に薄膜トランジスタを有する回路を形成し、
前記回路を覆う樹脂層を形成し、
前記基板の裏面側から強光を照射して、前記金属層の一部をアブレーションさせることによって、前記金属層と前記絶縁層の間に空間を形成し、
力学的手段又は機械的手段を用いて前記空間から剥離を行うことによって、前記第１の基板と前記回路とを分離し、
前記回路を可撓性を有する第２の基板に貼り付けることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記強光を前記回路と前記第１の基板端面との間の領域に帯状に照射することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項３】
透光性を有する第１の基板上に金属層を形成し、
前記金属層上に絶縁層を形成し、
前記絶縁層上に薄膜トランジスタを有する回路を複数形成し、
前記回路を覆う樹脂層を形成し、
前記基板の裏面側から強光を照射して、前記金属層の一部をアブレーションさせることによって、前記金属層と前記絶縁層の間に空間を形成し、
力学的手段又は機械的手段を用いて前記空間から剥離を行うことによって、前記第１の基板と前記回路とを分離し、
前記回路を可撓性を有する第２の基板に貼り付け、
前記強光の照射は、隣接する前記回路の間の領域に行うことを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、
前記回路は、アンテナを有することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項５】
透光性を有する第１の基板上に金属層を形成し、
前記金属層上に絶縁層を形成し、
前記絶縁層上に薄膜トランジスタを形成し、
前記薄膜トランジスタを覆う樹脂層を形成し、
前記樹脂層上に前記薄膜トランジスタと電気的に接続される配線を形成し、
前記基板の裏面側から強光を照射して、前記金属層の一部をアブレーションさせることによって、前記金属層と前記絶縁層の間に空間を形成し、
力学的手段又は機械的手段を用いて前記空間から剥離を行うことによって、前記第１の基板と、前記薄膜トランジスタ及び前記配線と、を分離し、
前記薄膜トランジスタ及び前記配線を可撓性を有する第２の基板に貼り付けることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項６】
請求項５において、
前記強光を、前記薄膜トランジスタ及び配線が形成された領域と、前記基板端面と、の間の領域に帯状に照射することを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項７】
基板と、前記基板上に形成された薄膜トランジスタを有する回路との剥離方法であって、
透光性を有する前記基板上に金属層を形成し、
前記金属層上に絶縁層を形成し、
前記絶縁層上に前記回路を形成し、
前記回路を覆う樹脂層を形成し、
前記基板の裏面側から強光を照射して、前記金属層の一部をアブレーションさせることによって、前記金属層と前記絶縁層の間に空間を形成し、
力学的手段又は機械的手段を用いて前記空間から剥離を行うことを特徴とする剥離方法。
【請求項８】
請求項７において、
前記強光を前記回路と前記基板端面との間の領域に帯状に照射することを特徴とする剥離方法。
【請求項９】
基板と、前記基板上に形成された薄膜トランジスタを有する回路との剥離方法であって、
透光性を有する前記基板上に金属層を形成し、
前記金属層上に絶縁層を形成し、
前記絶縁層上に前記回路を複数形成し、
前記回路を覆う樹脂層を形成し、
前記基板の裏面側から強光を照射して、前記金属層の一部をアブレーションさせることによって、前記金属層と前記絶縁層の間に空間を形成し、
力学的手段又は機械的手段を用いて前記空間から剥離を行い、
前記強光の照射は、隣接する前記回路の間の領域に行うことを特徴とする剥離方法。
【請求項１０】
請求項７乃至請求項９のいずれか一項において、
前記回路は、アンテナを有することを特徴とする剥離方法。
【請求項１１】
基板と、前記基板上に形成された薄膜トランジスタ及び配線との剥離方法であって、
透光性を有する前記基板上に金属層を形成し、
前記金属層上に絶縁層を形成し、
前記絶縁層上に薄膜トランジスタを形成し、
前記薄膜トランジスタを覆う樹脂層を形成し、
前記樹脂層上に前記薄膜トランジスタと電気的に接続される配線を形成し、
前記基板の裏面側から強光を照射して、前記金属層の一部をアブレーションさせることによって、前記金属層と前記絶縁層の間に空間を形成し、
力学的手段又は機械的手段を用いて前記空間から剥離を行うことを特徴とする剥離方法。
【請求項１２】
請求項１１において、
前記強光を、前記薄膜トランジスタ及び配線が形成された領域と、前記基板端面と、の間の領域に帯状に照射することを特徴とする剥離方法。
【手続補正書】
【提出日】平成20年6月27日(2008.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を供給するための供給ノズルによって被露光体と当該被露光体に最も近い投影光学系の最終面との間に前記液体を満たし、前記投影光学系及び前記液体を介して前記被露光体を露光する露光装置であって、
前記被露光体と前記最終面との間に満たされた前記液体を回収するための回収ノズルを有し、
前記回収ノズルの前記被露光体側の面と前記液体との接触角は、前記最終面と前記液体との接触角以下、かつ、前記供給ノズルの前記被露光体側の面と前記液体との接触角以下であることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
液体を供給するための供給ノズルによって被露光体と当該被露光体に最も近い投影光学系の最終面との間に前記液体を満たし、前記投影光学系及び前記液体を介して前記被露光体を露光する露光装置であって、
前記被露光体と前記最終面との間に満たされた前記液体を回収するための回収ノズルを有し、
前記回収ノズルの前記被露光体側の面と前記液体との接触角は、前記最終面と前記液体との接触角に１０°を加えた角度以下であることを特徴とする露光装置。
【請求項３】
前記供給ノズルの前記被露光体側の面と前記液体との接触角は、前記最終面と前記液体との接触角に１０°を加えた角度以下であることを特徴とする請求項２記載の露光装置。
【請求項４】
前記回収ノズルの前記被露光体側の面と前記液体との接触角は、前記供給ノズルの前記被露光体側の面と前記液体との接触角以下であることを特徴とする請求項２記載の露光装置。
【請求項５】
前記回収ノズルの前記被露光体側の面は、酸化物から構成されることを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか一項記載の露光装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のうちいずれか一項記載の露光装置を用いて被露光体を露光するステップと、
当該露光された被露光体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の一側面としての露光装置は、液体を供給するための供給ノズルによって被露光体の表面と当該被露光体の表面に最も近い投影光学系の最終面との間に前記液体を満たし、前記投影光学系及び前記液体を介して前記被露光体を露光する露光装置であって、前記被露光体と前記最終面との間に満たされた前記液体を回収するための回収ノズルを有し、前記回収ノズルの前記被露光体側の面と前記液体との接触角は、前記最終面と前記液体との接触角以下、かつ、前記供給ノズルの前記被露光体側の面と前記液体との接触角以下であることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の別の側面としての露光装置は、液体を供給するための供給ノズルによって被露光体の表面と当該被露光体の表面に最も近い投影光学系の最終面との間に前記液体を満たし、前記投影光学系及び前記液体を介して前記被露光体を露光する露光装置であって、前記被露光体と前記最終面との間に満たされた前記液体を回収するための回収ノズルを有し、前記回収ノズルの前記被露光体側の面と前記液体との接触角は、前記最終面と前記液体との接触角に１０°を加えた角度以下であることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
液体制御部１００Ａは、液体ＬＷを供給するための後述する供給ノズル１１１Ａによってウェハ（被露光体）４０の表面と投影光学系の最終面３０ａとの間に液体ＬＷを満たし、液体ＬＷを回収するための後述する回収ノズル１２１Ａによって液体ＬＷを回収する。液体制御部１００Ａは、液体供給部１１０Ａと、液体回収部１２０Ａとを有する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
液体制御部１００Ｂは、液体ＬＷを供給するための後述する供給ノズル１１１Ｂによってウェハ（被露光体）４０の表面と投影光学系の最終面３０ａとの間に液体ＬＷを満たし、液体ＬＷを回収するための後述する回収ノズル１２１Ｂによって液体ＬＷを回収する。液体制御部１００Ｂは、液体供給部１１０Ｂと、液体回収部１２０Ｂとを有する。
【手続補正書】
【提出日】平成20年6月26日(2008.6.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
動画像データと音声データのうち少なくとも１つのメディアデータをファイルに記録するデータ記録装置であって、
前記メディアデータをフラグメント単位で記録する記録手段と、
前記フラグメント単位のデータを時系列順に連結する連結手段を有し、
前記記録手段は、記録されたデータ容量が所定のデータ容量を超えた場合、前記フラグメント単位のデータを時間的に古い順に削除することを特徴とするデータ記録装置。
【請求項２】
前記記録手段は、クラスタの境界からフラグメントの記録を開始することを特徴とする請求項１に記載のデータ記録装置。
【請求項３】
さらに、記録終了時に、時間的に古いフラグメントに対し、メタデータ情報をファイルの先頭のメタデータ形式に変換する変換手段を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のデータ記録装置。
【請求項４】
前記連結手段は、ＦＡＴ（Ｆｉｌｅ  Ａｌｌｏｃａｔｉｏｎ  Ｔａｂｌｅ）のクラスタ連結情報を書き換えることで、前記フラグメント単位のデータを時系列順に連結することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のデータ記録装置。
【請求項５】
前記記録手段は、入力された動画像データあるいは音声データにある閾値を超える変化があった時に、変化があったことを示すフラグをフラグメントに付加する請求項１〜４の何れか１項に記載のデータ記録装置。
【請求項６】
前記ファイルは、ＭＰ４におけるフラグメントムービー形であることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載のデータ記録装置。
【請求項７】
動画像データと音声データのうち少なくとも１つのメディアデータをファイルに記録するデータ記録方法であって、
前記メディアデータをフラグメント単位で記録していく記録工程と、
前記フラグメント単位のデータを時系列順に連結する連結工程を有し、
前記記録工程は、記録されたデータ容量が所定のデータ容量を超えた場合、前記フラグメント単位のデータを時間的に古い順に削除することを特徴とするデータ記録方法。
【請求項８】
請求項７に記載のデータ記録方法をコンピュータによって実行させるためのプログラム。
【請求項９】
請求項８に記載のプログラムを格納したことを特徴とするコンピュータで読み取り可能な記録媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記の目的を達成するため、本発明に係るデータ記録装置は、動画像データと音声データのうち少なくとも１つのメディアデータをファイルに記録するデータ記録装置であって、前記メディアデータをフラグメント単位で記録していく記録手段と、前記フラグメント単位のデータを時系列順に連結する連結手段を有し、前記記録手段は、記録されたデータ容量が所定のデータ容量を超えた場合、前記フラグメント単位のデータを時間的に古い順に削除することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明に係るデータ記録方法は、動画像データと音声データのうち少なくとも１つのメディアデータをファイルに記録するデータ記録方法であって、前記メディアデータをフラグメント単位で記録していく記録工程と、前記フラグメント単位のデータを時系列順に連結する連結工程を有し、前記記録工程は、記録されたデータ容量が所定のデータ容量を超えた場合、前記フラグメント単位のデータを時間的に古い順に削除することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成20年6月17日(2008.6.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
前記ジンバルは、前記クランプの反対側に、前記接続端子とは別に、前記ヘッド・スライダに当接して前記ヘッド・スライダを位置決めするストッパを備える、請求項４に記載のサスペンション。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明の第１７の態様は、上記第１６の態様において、前記ヘッド・スライダのテスト結果が良である場合、そのヘッド・スライダと前記ジンバルのタングとを接着剤で固着する。これによって、製品への実装においてヘッド・スライダとタングを強固に接続することができる。
本発明の第１８の態様は、上記第１６の態様において、前記ヘッド・スライダのテスト結果が良である場合、前記ヘッド・スライダの端子と前記接続端子とを導体で固着する。これによって、製品への実装において接続部の電気的コンタクトを強固にすることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明の第１９の態様は、上記第１６の態様において、前記ヘッド・スライダのテスト結果が良である場合、そのヘッド・スライダを前記サスペンションから取り外し、別の製品サスペンションに実装する。これによって、テストにおいてヘッド・スライダを確実に固定するとともに、サスペンションを廃棄することなく容易に不良ヘッド・スライダの交換を行うことができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
バネ性クランプ２２４は、好ましくは、図３に示すように、ヘッド・スライダ１０５の流入側に形成する。バネ性クランプ２２４をヘッド・スライダ１０５に対してサスペンション１１０の長手方向側に形成する、つまり、サスペンション１１０の短手方向に延びる面１５１と当接することによって、サスペンション１１０の短手方向の幅を広げることなく、バネ性クランプ２２４を形成することができる。また、ヘッド・スライダ１０５の流出側と異なり、流入側には信号伝送のための接続端子２２１などが存在しないため、必要なクランプ形状を容易に形成することができる。さらに好ましくは、バネ性クランプ２２４を、ジンバル・タング２２３の後に延在する部分を屈曲することによって形成する。これによって、別部材を使用することなくプレス加工によって容易にバネ性クランプを形成することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
図３において、バネ性クランプ２２４は２つの屈曲部２２４ａ、ｂを備えており、屈曲部２２４ａがヘッド・スライダ１０５の流入側の面１５１に当接している。このように、バネ性クランプ２２４がヘッド・スライダ１０５と線接触することで、均等に押圧力を加えることができる。ジンバル・タング２２３の後端部をヘッド・スライダ１０５側に屈曲することによって形成された他方の屈曲部２２４ｂが、バネ性クランプ２２４のバネ性を主に生んでいる。屈曲部２２４ａ、ｂ間はフラットな板状部であって、ジンバル・タング２２３への押圧力を生むように、ジンバル・タング２２３に対して所定の傾斜角を有している。このバネ性クランプ２２４の構造は、必要な押圧力が得られるとともに、加工が容易である点で好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
図４（ａ）、（ｂ）は、ヘッド・スライダの端子１５３の一つと接続端子２２１の一つの接続状態を模式的に示している。接続端子２２１は複数層から構成されており、最下層のジンバル層３０１、その上のポリイミドなどの絶縁層３０２及び最上層の導電層３０３を備えている。導電層３０３は銅などの金属で形成されている。導電層３０３がヘッド・スライダの端子１５３と押圧接触することによって、これらの間の電気的接続が確保されている。導電層３０３はジンバル層３０１及び絶縁層３０２よりも突出しているため、ジンバル層３０１はヘッド・スライダの端子１５３から離間することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
【図１】本実施形態における、ハードディスク・ドライブの構成を示す模式平面図である。
【図２】本実施形態における、ヘッド・ジンバル・アセンブリの製造工程を示すフローチャートである。
【図３】本実施形態における、ＤＥＴにおけるヘッド・ジンバル・アセンブリの構成を模式的に示す図である。
【図４】本実施形態における、ジンバルの接続端子とヘッド・スライダの端子の接続構造を模式的に示す図である。
【図５】本実施形態における、ＨＤＤ実装のためのヘッド・スライダの本接続を模式的に示す図である。
【図６】他の好ましい態様における、ヘッド・ジンバル・アセンブリの構成を模式的に示す図である。
【図７】他の好ましい態様における、ヘッド・ジンバル・アセンブリの構成を模式的に示す図である。
【図８】従来の技術におけるヘッド・ジンバル・アセンブリの構成を模式的に示す斜視図である。
【手続補正書】
【提出日】平成19年11月21日(2007.11.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  くん蒸剤の残渣を運搬するための容器（８）であって、本体ケース（１０）、上蓋（６０）及び通気口カバー（５０）を有し、本体ケースは、くん蒸剤の残渣を収納可能な収容室（１２）、りん化水素ガスを吸収可能な吸収剤層（３０）、上方開口（１４）、及び通気口（１６）を有し、上方開口は、前記残渣を収容室へ出し入れ可能な形状を備え、上蓋は、本体ケースの上方開口を開閉可能であり、通気口カバーは、本体ケースの通気口（１６）を開閉可能であり、本体ケースの収容室（１２）は、吸収剤層（３０）及び通気口（１６）を介し、本体ケースの外部と連通可能であることを特徴とする容器。
【請求項２】  前記吸収剤層は、互いに平行に配置された２枚の金網を有する吸収剤ケース（３６）に収容された粒状の活性炭から成り、りん化水素ガスを吸収し吸着力の強いりん化合物に変えることにより空気中のりん化水素ガスを除去する性能を有するものであることを特徴とする請求項１の容器。
【請求項３】  前記吸収剤ケースは、本体ケースに着脱自在に取り付けられると共にキャップにより開閉される開口を具備し、開口を介して吸収剤ケース内へ活性炭を充填し又は吸収剤ケース内から活性炭を排出することが可能であることを特徴とする請求項２の容器。
【請求項４】  前記本体ケースは、その水平断面がほぼ矩形であり、一方の対を成す側壁の各々に通気口が形成され、他方の対を成す側壁の各々に把手が設けられ、底部に足車が取り付けられたものであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項の容器。
【請求項５】  前記上蓋は、複数の開放可能な締結具により本体ケースに連結され、上部に取っ手が設けられたものであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項の容器。
【請求項６】  前記収容室（１２）は、くん蒸剤の残渣を収容した残渣ケース（７０）を収納可能であり、前記上方開口（１４）は、残渣ケースを収容室へ出し入れ可能であり、本体ケース（１０）は、収容室内に連通されるガス濃度測定口（２０）、及び収容室内へ空気を供給可能な空気供給口を具備することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項の容器。
【請求項７】  くん蒸剤の残渣を収容する残渣ケース及びそれを収納し運搬する容器の組み合わせであって、容器は、本体ケース、上蓋及び通気口カバーを有し、本体ケースは、くん蒸剤の残渣を収容した残渣ケースを収納可能な収容室、りん化水素ガスを吸収可能な吸収剤層、上方開口、及び通気口を有し、上方開口は、残渣ケースを収容室へ出し入れ可能な形状を備え、上蓋は、本体ケースの上方開口を開閉可能であり、通気口カバーは、本体ケースの通気口を開閉可能であり、本体ケースの収容室は、吸収剤層及び通気口を介し、本体ケースの外部と連通可能であり、残渣ケースは、くん蒸剤の残渣を平たく広げて載せることができるプレート部を有し、容器の収容室内において安定して上下に積み重ねることが可能であることを特徴とする組み合わせ。
【請求項８】  前記残渣ケースは、更にプレートの側縁から上方に伸びる部分を有する取っ手を備え、プレート、くん蒸剤の残渣を平たく広げて載せることができるメッシュ部を有し、残渣ケースは、上下に積み重ねられたとき、上方の残渣ケースのプレートと下方の残渣ケースのプレートとの間が下方の残渣プレートの取っ手により離間され、両者の間に気体の流通間隙を生じるものであることを特徴とする請求項７の組み合わせ。
【手続補正書】
【提出日】平成19年12月13日(2007.12.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に水銀および希ガスが封入され、かつ、電極が取り付けられたガラスバルブの内面に金属酸化物粒子からなる保護膜と蛍光体層とが順次積層されており、前記保護膜は、少なくとも５０wt％のシリカを含有するとともに、前記保護膜の膜厚は、０．５〜５．０μｍの範囲にあり、かつ、前記水銀は、前記ガラスバルブ内に２．２〜８．８μｇ／ｃｍ３の範囲で封入されていることを特徴とする蛍光ランプ。
【請求項２】
前記ガラスバルブは、屈曲したガラスバルブであり、前記保護膜は、膜厚が０．８μｍ以上であることを特徴とする請求項１記載の蛍光ランプ。
【請求項３】
前記ガラスバルブは、管内径が１７ｍｍ未満であって、前記水銀は、前記ガラスバルブ内に４．４μｇ／ｃｍ３以上封入されていることを特徴とする請求項１または２に記載の蛍光ランプ。
【請求項４】
内部に水銀および希ガスが封入され、内面に保護膜と蛍光体層とが順次積層された発光管と、誘導磁界を発生させる外部電極とを備え、前記保護膜は、少なくとも５０wt％のシリカを含有するとともに、前記保護膜の膜厚は、０．５〜５．０μｍの範囲にあり、かつ、前記水銀は、前記ガラスバルブ内に２．２〜８．８μｇ／ｃｍ３の範囲で封入されていることを特徴とする蛍光ランプ。
【請求項５】
前記保護膜は、チタン、アルミニウム、カルシウム、バリウム、マグネシウム、セリウム、ジルコニウム、亜鉛、マンガン、ユーロピウム、バナジウム、リン、硫黄、ホウ素、アンチモン、テルビウム、ガリウム、鉄、銀、銅、鉛、亜鉛、カドミウム、ガドリニウム、ランタン、ストロンチウム、タングステンおよびタリウムから選ばれる１種類以上の元素を含んだ金属酸化物を含有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の蛍光ランプ。
【請求項６】
前記保護膜は、イットリアを含有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の蛍光ランプ。
【請求項７】
前記保護膜は、ナノ蛍光体粒子を含有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の蛍光ランプ。
【請求項８】
前記シリカは、ＢＥＴ比表面積が２５〜１８０ｍ２／ｇの範囲であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の蛍光ランプ。
【請求項９】
前記蛍光ランプにスズと水銀とのアマルガムまたはスズと亜鉛と水銀とのアマルガムのいずれかが封入されていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の蛍光ランプ。