【手続補正書】
【提出日】平成20年3月3日(2008.3.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  基板上に単層膜または多層膜を形成してなり、前記単層膜が記録層として形成されているか、または前記多層膜が記録層を一層備えており、これらの記録層に光照射を行うことにより記録または再生を行う光記録媒体において、前記記録層が炭素からなることを特徴とする光記録媒体。
【請求項２】  基板上に単層膜または多層膜を形成してなり、前記単層膜が記録層として形成されているか、または前記多層膜が記録層を一層備えており、これらの記録層に光照射を行うことにより記録または再生を行う光記録媒体において、前記記録層が炭素を主成分とする化合物からなることを特徴とする光記録媒体。
【請求項３】  前記記録層を形成する炭素または炭素を主成分とする化合物が、未記録状態では非晶質であることを特徴とする請求項１または２に記載の光記録媒体。
【請求項４】  前記炭素または炭素を主成分とする化合物が、ダイヤモンドライクカーボンであることを特徴とする請求項１、２または３に記載の光記録媒体。
【請求項５】  前記炭素を主成分とする化合物が、水素を含有することを特徴とする請求項２，３または４に記載の光記録媒体。
【請求項６】  前記炭素を主成分とする化合物が、窒素を含有することを特徴とする請求項２，３、４または５に記載の光記録媒体。
【請求項７】  前記光記録媒体において、保護層を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の光記録媒体。
【請求項８】  前記光記録媒体において、反射層を有することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の光記録媒体。
【請求項９】  前記光記録媒体が基板上に多層膜を形成してなり、該記多層膜は保護層、記録層、反射層の順または保護層、記録層、保護層、反射層の順に積層して形成されていることを特徴とする請求項８に記載の光記録媒体。
【請求項１０】  光記録媒体を構成する最上層の膜面上に潤滑層が設けられていることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の光記録媒体。
【請求項１１】  光記録媒体の膜面側から近接場光を照射することにより記録、及び、または、再生を行う手段を用いて記録、及び、または、再生が行われる光記録媒体であって、基板上に単層膜または多層膜を形成してなり、前記単層膜が記録層として形成されているか、または前記多層膜が記録層を一層備えており、該記録層が炭素からなることを特徴とする光記録媒体。
【請求項１２】  光記録媒体の膜面側から近接場光を照射することにより記録、及び、または、再生を行う手段を用いて記録、及び、または、再生が行われる光記録媒体であって、基板上に単層膜または多層膜を形成してなり、前記単層膜が記録層として形成されているか、または前記多層膜が記録層を一層備えており、該記録層が炭素を主成分とする化合物からなることを特徴とする光記録媒体。
【請求項１３】  前記記録層を形成する炭素または炭素を主成分とする化合物が、未記録状態では非晶質であることを特徴とする請求項１１または１２に記載の光記録媒体。
【請求項１４】  前記炭素または炭素を主成分とする化合物が、ダイヤモンドライクカーボンであることを特徴とする請求項１１，１２または１３に記載の光記録媒体。
【請求項１５】  前記炭素または炭素を主成分とする化合物が、水素を含有することを特徴とする請求項１１，１２，１３または１４に記載の光記録媒体。
【請求項１６】  前記炭素または炭素を主成分とする化合物が、窒素を含有することを特徴とする請求項１１，１２，１３，１４または１５に記載の光記録媒体。
【請求項１７】  前記光記録媒体において、保護層を有することを特徴とする請求項１１〜１６のいずれかに記載の光記録媒体。
【請求項１８】  前記光記録媒体において、反射層を有することを特徴とする請求項１１〜１７のいずれかに記載の光記録媒体。
【請求項１９】  前記光記録媒体が多層膜から構成され、保護層、記録層、反射層の順または保護層、記録層、保護層、反射層の順に形成されていることを特徴とする請求項１７または１８に記載の光記録媒体。
【請求項２０】  光記録媒体を構成する最上層の膜面上に潤滑層が設けられていることを特徴とする請求項１１〜１９のいずれかに記載の光記録媒体。
【請求項２１】  光照射により情報の記録を行う光記録において、炭素膜に光を照射することで膜の結晶相、結晶構造、または形状を変化させることにより情報の記録を行うことを特徴とする情報記録方法。
【請求項２２】  光照射により情報の記録を行う光記録において、炭素膜に波長が０．５μｍ以下の光を照射することで膜の結晶相、結晶構造、または形状を変化させることにより情報の記録を行うことを特徴とする情報記録方法。
【請求項２３】  光照射により情報の再生を行う光再生において、炭素膜に光を照射することで膜の結晶相、結晶構造、または形状の違いを光の特性の違いとして検出することにより情報の再生を行うことを特徴とする情報再生方法。
【請求項２４】  炭素膜を記録層とする記録媒体に光を照射することで膜の結晶相、結晶構造、または形状を変化させることにより情報の記録を行う情報記録手段を備えているか、または炭素膜を記録層とする記録媒体に光を照射することで記録部と未記録部の結晶相、結晶構造、または形状の違いを検出することにより情報の再生を行う再生手段を備えているか、またはこれらの記録手段、再生手段のどちらともを備えていることを特徴とする情報記録再生装置。
【請求項２５】  炭素膜を記録層とする記録媒体に波長０．５μｍ以下の光を照射することで膜の結晶相、結晶構造、または形状を変化させることにより情報の記録を行う情報記録手段を備えている情報記録再生装置。
【請求項２６】  記録層として炭素膜を備え、請求項２１または請求項２２に記載の記録方法を用いて情報を記録することを特徴とする情報記録媒体。
【請求項２７】  記録層として炭素膜を備え、請求項２３に記載の再生方法を用いて情報を再生することを特徴とする情報記録媒体。
【請求項２８】  記録層として炭素膜を備え、請求項２１または請求項２２に記載の記録方法を用いて情報を記録し、かつ、請求項２３に記載の再生方法を用いて情報を再生することを特徴とする情報記録媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
なお、以下に説明する請求項１〜１０は第１の発明に、請求項１１〜２０は第２の発明に、請求項２１〜２８は第３の発明に、それぞれ係るものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
また、上記目的達成のため第２の発明に係る光記録媒体は、記録層の構成材料として炭素または炭素化合物を用いたものである。すなわち、請求項１１に係る光記録媒体は、光記録媒体の膜面側から近接場光を照射することにより記録、及び、または、再生を行う手段を用いて記録、及び、または、再生が行われる光記録媒体であって、基板上に単層膜または多層膜を形成してなり、前記単層膜が記録層として形成されているか、または前記多層膜が記録層を一層備えており、該記録層が炭素からなることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
また、請求項１２に係る光記録媒体は、光記録媒体の膜面側から近接場光を照射することにより記録、及び、または、再生を行う手段を用いて記録、及び、または、再生が行われる光記録媒体であって、基板上に単層膜または多層膜を形成してなり、前記単層膜が記録層として形成されているか、または前記多層膜が記録層を一層備えており、該記録層が炭素を主成分とする化合物からなることを特徴とする。これら請求項１１，１２の発明により媒体の剛性が高くなり、耐摩耗性・耐衝撃性が向上し、高密度光記録媒体を提供することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
請求項１３に係る光記録媒体は、請求項１１または１２において、前記記録層を形成する炭素または炭素を主成分とする化合物が、未記録状態では非晶質であることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
請求項１４に係る光記録媒体は、請求項１１，１２または１３において、前記炭素または炭素を主成分とする化合物が、ダイヤモンドライクカーボンであることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
請求項１５に係る光記録媒体は、請求項１１，１２，１３または１４において、前記炭素または炭素を主成分とする化合物が、水素を含有することを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
請求項１６に係る光記録媒体は、請求項１１，１２，１３，１４または１５において、前記炭素または炭素を主成分とする化合物が、窒素を含有することを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
請求項１７に係る光記録媒体は、請求項１１〜１６のいずれかにおいて、保護層を有することを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
請求項１８に係る光記録媒体は、請求項１１〜１７のいずれかにおいて、反射層を有することを特徴とする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
請求項１９に係る光記録媒体は、請求項１７または１８において、当該光記録媒体が多層膜から構成され、保護層、記録層、反射層の順または保護層、記録層、保護層、反射層の順に形成されていることを特徴とする。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
請求項２０に係る光記録媒体は、請求項１１〜１９のいずれかにおいて、当該光記録媒体を構成する最上層の膜面上に潤滑層が設けられていることを特徴とする。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
さらに、上記目的達成のため、請求項２１に係る情報記録方法は、光照射により情報の記録を行う光記録において、炭素膜に光を照射することで膜の結晶相、結晶構造、または形状を変化させることにより情報の記録を行うことを特徴とする。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
請求項２２に係る情報記録方法は、光照射により情報の記録を行う光記録において、炭素膜に波長が０．５μｍ以下の光を照射することで膜の結晶相、結晶構造、または形状を変化させることにより情報の記録を行うことを特徴とする。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
請求項２３に係る情報再生方法は、光照射により情報の再生を行う光再生において、炭素膜に光を照射することで膜の結晶相、結晶構造、または形状の違いを光の特性の違いとして検出することにより情報の再生を行うことを特徴とする。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
請求項２４に係る情報記録再生装置は、炭素膜を記録層とする記録媒体に光を照射することで膜の結晶相、結晶構造、または形状を変化させることにより情報の記録を行う情報記録手段を備えているか、または炭素膜を記録層とする記録媒体に光を照射することで記録部と未記録部の結晶相、結晶構造、または形状の違いを検出することにより情報の再生を行う再生手段を備えているか、またはこれらの記録手段、再生手段のどちらともを備えていることを特徴とする。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
請求項２５に係る情報記録再生装置は、炭素膜を記録層とする記録媒体に波長０．５μｍ以下の光を照射することで膜の結晶相、結晶構造、または形状を変化させることにより情報の記録を行う情報記録手段を備えていることを特徴とする。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
請求項２６に係る情報記録媒体は、記録層として炭素膜を備え、請求項２１または請求項２２に記載の記録方法を用いて情報を記録することを特徴とする。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
請求項２７に係る情報記録媒体は、記録層として炭素膜を備え、請求項２３に記載の再生方法を用いて情報を再生することを特徴とする。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
請求項２８に係る情報記録媒体は、記録層として炭素膜を備え、請求項２１または請求項２２に記載の記録方法を用いて情報を記録し、かつ、請求項２３に記載の再生方法を用いて情報を再生することを特徴とする。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
実施形態（１）は、反射層の材料としてＷ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｚｒ，Ｎｂの中から任意に選択した少なくとも一種類の金属、またはこれらの金属を含む合金の中から任意に選択した少なくとも一種類の合金を用いた光記録媒体に関する。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
実施形態（２）は、基板が、Ａｌ，Ｗ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｚｒ，Ｎｂの中から任意に選ばれた少なくとも一種類の金属からなるか、または、これらの元素から任意に選ばれた少なくとも一種類の元素を含む合金からなる光記録媒体に関する。基板としてこれらの材料を用いることにより、基板が反射層の機能を兼ねることになるので、媒体を構成するための層を一層減らすことができる。層数を減らすことで媒体の強度が高くなるため、基板に上記のような材料を用いることは効果的である。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
つぎに、請求項１１の発明は、光記録媒体の膜面側から近接場光を照射することにより記録、及び、または、再生を行う手段を用いて記録、及び、または、再生が行われる光記録媒体であって、基板上に単層膜または多層膜を形成してなり、前記単層膜が記録層として形成されているか、または前記多層膜が記録層を一層備えており、該記録層が炭素からなる光記録媒体に関する。また、請求項１２に係る光記録媒体は、光記録媒体の膜面側から近接場光を照射することにより記録、及び、または、再生を行う手段を用いて記録、及び、または、再生が行われる光記録媒体であって、基板上に単層膜または多層膜を形成してなり、前記単層膜が記録層として形成されているか、または前記多層膜が記録層を一層備えており、該記録層が炭素を主成分とする化合物からなる光記録媒体に関する。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
また、炭素はダイヤモンドまたは、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）などのように、かなり硬い構造にすることも可能であるので、媒体強度を高めるためには好ましく、請求項１４の発明によれば、強度の高い光記録媒体を容易に作製することができる。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
請求項１３の発明は、記録層を形成する炭素または炭素を主成分とする化合物が、未記録状態では非晶質である光記録媒体に関する。炭素は、これを気相成長により製膜した直後の状態では非晶質になることが多く、この状態の炭素に光を照射することにより、容易に記録を行うことができる。また、記録部（記録後の炭素）は結晶化した状態にあるため安定であり、非晶質の未記録部を結晶化させることで記録するのは好ましい方法である。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
請求項１４に記載の発明は、記録層材料として用いる炭素または炭素を主成分とする化合物がダイヤモンドライクカーボンである光記録媒体に関する。ダイヤモンドライクカーボンは、グラファイト結合とダイヤモンド結合、つまりＳＰ２結合とＳＰ３が混在する非晶質または微結晶性の炭素薄膜である。この炭素薄膜はダイヤモンド結合を有するため、通常の炭素薄膜に比べ硬度が高い。この炭素薄膜を形成する場合、高周波プラズマ中での形成が好ましく、基板の近傍において、プラズマ中の電子が高周波印加電極に蓄積されることによってセルフバイアスが生じ、それにより加速されたイオンが、形成中の炭素または炭素を主成分とする膜に衝突することにより、この膜の硬度が高くなる。この炭素膜が水素、ハロゲン元素、３価もしくは５価の不純物元素を含むか、または炭素に窒素が添加されたいわゆる炭素を主成分とする炭素で炭素膜を形成することによって炭素膜と、この炭素膜を形成するべき面との密着性が良くなったり、炭素膜の硬度が向上したりするなどの効果が得られる。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
基板上に記録層としてダイヤモンドライクカーボンを製膜するときに、請求項１５の発明のように水素を添加するか、または請求項１６の発明のように窒素を添加することにより、記録層の硬度などの特性が向上する。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
請求項１５の発明において「水素を含有する炭素」とは、例えばダイヤモンドライクカーボンに炭化水素が混合しているような、水素が水素化合物としてではなく、混合物の成分として存在するような炭素、あるいは、水素と炭素が化学結合している水素化カーボンのような形態ものを意味している。「水素を含有する、炭素を主成分とする化合物」も同様の意味であり、例えば水素と炭素とその他の元素との化合物が挙げられる。このように、記録膜中に水素が含まれることで、膜の硬度が向上する。また、上記混合物として適当なものを採用することにより、この記録膜と、これに接触する他の膜との密着性が向上するうえ、記録膜の経時変化が抑えられるという効果がある。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
請求項１６の発明は、窒素を含有する炭素からなる記録層を設けた光記録媒体または、炭素を主成分とする化合物であって窒素を含有するものからなる記録層を形成した光記録媒体に関する。窒化炭素などは硬度が高く、自己潤滑性を有するため、基板上に記録層を形成した状態で媒体をヘッドに接触する程度に近づけて記録・再生を行う場合でも、特に保護層などを形成することなしに、良好な記録・再生が可能となる。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
請求項１６の発明において「窒素を含有する炭素」の意味は、上記した「水素を含有する炭素」と同様であり、「窒素を含有する、炭素を主成分とする化合物」の意味は、上記した「水素を含有する、炭素を主成分とする化合物」と同様である。具体例としては、窒化カーボン（窒素と炭素が化学結合した化合物）、窒化カーボンと炭素との混合物、窒化カーボンと炭素化合物との混合物等が挙げられる。また、窒素原子が炭素原子の格子間に入り込んで、格子をゆがませている状態のものをも意味している。このように、記録膜中に窒素が含まれることで、膜の硬度が向上する。また、上記混合物として適当なものを採用することにより、この記録膜と、これに接触する他の膜との密着性が向上するうえ、記録膜の経時変化が抑えられるという効果がある。さらに、窒化カーボンには、記録膜の自己潤滑性を向上させる効果もある。
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
また、ダイヤモンドライクカーボンなどは窒素を添加することにより記録層の硬度、膜の安定性などが向上し、より好ましい記録層となる。さらに、窒素量により熱伝導率、比熱などの熱的特性が変化するため、このような性質を利用して媒体の熱特性などを制御し、感度・変調度などを高めることができる。さらに、請求項１１に係る水素添加と、請求項１６に係る窒素添加とを同時に行うことで、それぞれの添加による効果を同時に得ることもできる。
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９２】
請求項１７の発明は、保護層を有する光記録媒体に関する。情報を記録するマークの大きさを制御するためには温度を制御する必要があるが、保護層を設け、熱伝導を利用して放熱・蓄熱を制御することができる。保護層の材料としてはＺｎＳ・ＳｉＯ２，ＳｉＮ，ＡｌＮ，ＳｉＣなど酸化物、窒化物、硫化物、炭化物などが挙げられ、それぞれの熱伝導率に応じて適宜の材料を選択することができる。
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９３】
請求項１８の発明は、反射層を有する光記録媒体に関する。反射層を設けることにより、記録層を透過した光が反射層で反射され再度記録層を透過する。これにより、光を効率良く利用することができ、良好な記録・再生を行うことができるようになるとともに、反射率が向上するなどの効果がある。また、反射層の材料として、熱伝導率の高いものを用いることにより、記録層に加わる熱を制御することができ、記録マークの形状・大きさを制御することができる。反射層の材料としては、温度の制御を行うため、その設計に応じた熱伝導性を有する材料を用いることができるが、例えばＡｇ，Ａｕ，Ａｌ、またその合金などが挙げられる。
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
請求項１９の発明は、光記録媒体が多層膜から構成され、保護層、記録層、反射層の順または保護層、記録層、保護層、反射層の順の層構成を有する光記録媒体に関する。各層間の拡散を防ぐため保護層を用いたり、光を反射し光の利用効率や反射率を高めるために反射層を用いたりするのが効果的であるが、保護層、記録層、反射層の順または保護層、記録層、保護層、反射層の順の層構成とすることにより、記録時に記録層に加わる熱をうまく制御し、最適な記録を行うことができるようになる。保護層、反射層をうまく組み合わせることによりその材質、膜厚などにより熱を放熱する役割と、熱を蓄える役割とを同時に果たすことができるようになる。また、記録層をその上下に設けた保護層で挟んで保護することにより、媒体の情報保存特性を向上させる効果もある。保護層、記録層、反射層の順または保護層、記録層、保護層、反射層の順の層構成とすることにより、反射層と反対側に設置されている保護層の上面より近接場光を入射することにより良好な記録、再生特性を示す。そのとき保護層の厚さは近接場光の特性から数十ｎｍ以下にすることが好ましい。
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９５】
請求項２０の発明は、光記録媒体を構成する膜の最上面に潤滑層を設けた光記録媒体に関する。媒体の最上層を潤滑層とすることにより、ディスク（光記録媒体）とヘッドとの潤滑が改善され、接触しても媒体が損傷を受けにくくなる。また、接触させて使用する構成においても動作が滑らかになる。また、潤滑層を設ける構成とした発明は、上述した様々な層構成に適用可能である。
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９７】
実施形態（３）は、反射層の材料としてＷ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｚｒ，Ｎｂの中から任意に選択した少なくとも一種類の金属、またはこれらの金属を含む合金の中から任意に選択した少なくとも一種類の合金を用いた光記録媒体に関する。
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９９】
実施形態（４）は、基板が、Ａｌ，Ｗ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｚｒ，Ｎｂの中から任意に選ばれた少なくとも一種類の金属からなるか、または、これらの元素から任意に選ばれた少なくとも一種類の元素を含む合金からなる光記録媒体に関する。基板としてこれらの材料を用いることにより、基板が反射層の機能を兼ねることになるので、媒体を構成するための層を一層減らすことができる。層数を減らすことで媒体の強度が高くなるため、基板に上記のような材料を用いることは効果的である。
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０１】
さらに、前記第３の発明に係る請求項２１の発明は、光照射により情報の記録を行う光記録において、炭素膜に光を照射することで炭素膜の結晶相、結晶構造、または形状を変化させることにより情報の記録を行う情報記録方法に関するものである。
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０６】
請求項２２に記載の発明は、光照射により情報の記録を行う光記録において、炭素膜に波長が０．５μｍ以下の光を照射することで炭素膜の結晶相、結晶構造、または形状を変化させることにより情報の記録を行う情報記録方法に関する。
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０８】
請求項２３に記載の発明は、光照射により情報の再生を行う光再生において、炭素膜に光を照射することで、情報の記録部と未記録部の結晶相、結晶構造、または形状の違いを光の特性の違いとして検出することにより情報の再生を行う情報再生方法に関する。
【手続補正４５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１０】
請求項２４に記載の発明は、炭素膜を記録層とする記録媒体に光を照射することで炭素膜の結晶相、結晶構造、または形状を変化させることにより情報の記録を行う情報記録手段を備えているか、または炭素膜を記録層とする記録媒体に光を照射することで情報を記録してある部分と未記録部分の結晶相、結晶構造、または形状の違いを検出することにより情報の再生を行う再生手段を備えているか、またはこれらの記録手段、再生手段のどちらともを備えている情報記録再生装置に関する。
【手続補正４６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１３】
請求項２５に記載の発明は、炭素膜を記録層とする記録媒体に波長０．５μｍ以下の光を照射することで炭素膜の結晶相、結晶構造、または形状を変化させることにより情報の記録を行う情報記録手段を備えている情報記録再生装置に関するものである。
【手続補正４７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１５】
請求項２６に記載の発明は、記録層として炭素膜を備え、請求項２１または請求項２２に記載の記録方法を用いて情報を記録することを特徴とする情報記録媒体である。また、請求項２７に記載の発明は、記録層として炭素膜を備え、請求項２３に記載の再生方法を用いて情報を再生することを特徴とする情報記録媒体である。さらに、請求項２８に記載の発明は、記録層として炭素膜を備え、請求項２１または請求項２２に記載の記録方法を用いて情報を記録し、かつ、請求項２３に記載の再生方法を用いて情報を再生することを特徴とする情報記録媒体に関する。
【手続補正４８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３０】
実施例１１
実施形態（１）の実施例を示す。図７のように基板１上に反射層４としてタングステンを製膜した。さらに記録層２、ＳｉＮからなる保護層３、潤滑層５の順に形成した。この光記録媒体では、潤滑層５を通して光を照射することにより記録・再生を行った。
【手続補正４９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３１】
実施例１２
実施形態（２）の実施例を示す。本発明に用いた光記録媒体は、図８に示したように、基板１としてＡｌＭｇ合金を用いた。この基板上面にＮｉＰの皮膜を無電解めっきにより形成した。そして、この皮膜の上面に保護層３ａ、記録層２、保護層３ｂ、潤滑層５の順に層を形成し光記録媒体とした。上記実施例１から１２の光記録媒体を用い、線速３．５／ｓで回転させながら、波長４０５ｎｍ；１０ｍＷの記録光でマーク長０．４μｍのマークの記録を行ったところＣ／Ｎの値は５０から５５ｄＢが得られ、良好な記録、再生を行うことができた。
【手続補正５０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３２】
実施例１３
請求項１１の発明の実施例を示す。図９に示したように、基板３１としてガラス、またはポリカーボネートのような樹脂、ハードディスクのようなAl合金基板なども用いることができるが、ここではガラス基板を用いた。この基板３１上に記録層３２として炭素膜をスパッタ法により形成した。ターゲットはグラファイトターゲットを用い、ｒｆ電力600W、Ar流量12sccmの条件で製膜した。基板には光の位置を案内するためのトラッキング用の溝、凹凸などが設けてあっても良い。近接場光を膜面側から入射し、記録、再生を行った。再生光を検出するための受光素子を膜面側に設置することにより反射光を検出して再生を行う。また、透明な基板を用い光が光記録媒体を透過するような構成にすることにより、基板側に受光素子を設置することで透過光を検出して情報の再生を行うことが可能となる。
【手続補正５１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３３】
実施例１４
請求項１３の発明の実施例を示す。図９に示す構成の媒体を作製した。この場合、未記録状態で非晶質状態とするため、グラファイトターゲットを用いてスパッタ法により炭素膜の記録層を製膜し、その他の構成は実施例１３と同様にした。
【手続補正５２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３４】
実施例１５
請求項１４の発明の実施例を示す。層構成は図９に示すとおりであるが、この場合、ＣＶＤ法により製膜した、ダイヤモンドライクカーボンからなる膜を記録層３２とした。上記製膜工程ではエチレンガスを導入し、ＲＦ電極に高周波を印加することによりダイヤモンドライクカーボン膜を形成した。その他の構成は実施例１３と同様にした。
【手続補正５３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３５】
実施例１６
請求項１５の発明の実施例を示す。層構成などは実施例１３と同様とした。ＥＣＲスパッタ法を用いて基板をイオンにさらしながら製膜することにより、より硬質の記録層３２を形成することが可能となった。この場合、スパッタ時のアルゴンガスに水素ガスを添加して製膜を行うことにより記録層として、水素を添加した炭素膜を製膜して光記録媒体とした。
【手続補正５４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３６】
実施例１７
請求項１６の発明の実施例を示す。図９のように基板３１としてガラス基板を用い、その上に記録層３２を形成して光記録媒体とした。記録層３２の製膜ではターゲットにグラファイトを、スパッタリングガスとして窒素とアルゴンの混合ガスをそれぞれ用い、高周波マグネトロンスパッタにより窒化炭素膜を製膜した。なお、窒素とアルゴンの混合ガスに、さらに水素ガスを添加して製膜しても良い。また、基板に負のバイアス電位を印加することより、硬質の膜が作製可能である。
【手続補正５５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３７】
実施例１８
請求項１７の発明の実施例を示す。図１０に示したように基板３１の上面に記録層３２を製膜し、さらに保護層３３としてＺｎＳ・ＳｉＯ２膜を製膜した。保護層３３を形成することで、より強度の高い光記録媒体が実現可能である。また別の層構成として、図１１に示すように基板３１の上に保護層３３ａを形成し、その上に記録層３２を、さらにこの記録層３２上に保護層３３ａを形成してもよい。
【手続補正５６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３８】
実施例１９
請求項１８の発明の実施例を示す。図１２に示したように基板３１上に反射層３４としてＡｇを製膜し、その上面に記録層３２として炭素膜を形成した。さらに保護層３３としてＳｉＮ膜を記録層３２上面に形成することにより、強度の高い光記録媒体を作製した。
【手続補正５７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３９】
実施例２０
請求項１９の発明の実施例を示す。図１３のように基板３１上に反射層３４、保護層３３ａ、記録層３２、保護層３３ｂの順に積層した多層構造を形成した。このような構成とすることにより強度が高く、記録・再生特性に優れた光記録媒体が実現可能となった。
【手続補正５８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４０】
実施例２１
請求項２０の発明の実施例を示す。図１４に示すように、基板３１上に記録層３２、保護層３３を製膜し、最上面に潤滑層３５をディッピング法、またはスピンコート法により形成した。このような構成の光記録媒体を用いて記録・再生を行った。
【手続補正５９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４１】
実施例２２
実施形態（３）の実施例を示す。図１５のように基板３１上に反射層３４としてタングステンを製膜した。さらに記録層３２、ＳｉＮからなる保護層３３、潤滑層３５の順に形成した。この光記録媒体では、潤滑層３５を通して光を照射することにより記録・再生を行った。
【手続補正６０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４２】
実施例２３
実施形態（４）の実施例を示す。本発明に用いた光記録媒体は、図１６に示したように、基板３１としてＡｌＭｇ合金を用いた。この基板上面にＮｉＰの皮膜を無電解めっきにより形成した。そして、この皮膜の上面に保護層３３ａ、記録層３２、保護層３３ｂ、潤滑層３５の順に層を形成し光記録媒体とした。実施例１３から２３で作製したような光記録媒体を用いて近接場光により記録、再生を行った。シリコンを異方性エッチングでピラミッド状の凹部を形成し、波長以下の大きさの開口を形成し、近接場光の発生源とした。レーザーダイオードからの情報信号に応じたパルス状の光をピラミッド状の凹部に集光し、波長以下の微小な開口から発生する近接場光を光記録媒体に照射し記録を行った。再生は、微小な開口に光を集光し発生した近接場光を光記録媒体に照射し再生を行った。
【手続補正６１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４３】
実施例２４
図１７に情報記録再生装置の構成の概略を示した。これは、請求項２４に記載の発明の情報記録再生装置の例であり、情報記録媒体１１、ディスクドライブ１２、コントローラ１３よりなる。コントローラ１３は装置全体の制御を行っており、サーボ制御部１５、信号処理部１６、光ピックアップ１７、ディスク駆動部１８などの制御を行っている。
【手続補正６２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４５】
請求項２５の発明の例としては光ピックアップ１７に備わっているレーザーダイオードの光の波長を０．４μｍ程度のものを用いた装置が例示できる。
【手続補正６３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４６】
実施例２５
炭素材料を記録層に用いた情報記録媒体として、図１８のような構成のものを用いた。この情報記録媒体は、図１７に示した情報記録媒体１１として用いられる。基板２１としてポリカーボネート製のディスク状基板を用いた。基板２１はトラッキングを制御するための溝、ピットを備えていても良い。ここでは溝を備えた基板を用いた。基板２１上に炭素膜２２を製膜し情報記録媒体とした。製膜はグラファイトターゲットを用い、高周波マグネトロンスパッタ法により行った。これは本発明の請求項２６〜２８に用いられる情報記録媒体の一例である。
【手続補正６４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４７】
実施例２６
情報記録媒体として、図１９に示したように基板２１上に反射層２３としてＡｌＴｉ合金を製膜し、更に炭素膜２２を製膜したものを用いた。この情報記録媒体に以下のような記録方法で記録を行った。本実施例は、請求項２１記載の発明の一例である。炭素膜の上面から情報に応じたパルス上の光を入射し記録を行った。光はパルスのピークが１５ｍＷのものを用いた。情報記録媒体のパルス状の光が照射された部分では温度が上昇し、炭素膜の結晶状態が変化して情報の記録ができた。変調度は５０％程度であった。
【手続補正６５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４９】
情報が記録されている部分は、形状変化により光の反射率が１０％程度と低くなり、未記録部との反射率の違いにより信号を検出し、変調を復調することにより情報を再生した。記録された信号は変調度７９％で再生ができた。本実施例は請求項２２、請求項２３の発明の実施例である。再生は透過光を検出することによっても、反射と同等以上の変調度で再生が可能であった。
【手続補正６６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５１】
情報が記録されている部分は、形状変化により光の反射率が２０％程度と低くなり、近接場光を照射したとき、光記録媒体から戻ってくる光は、情報が記録されている部分からの光と未記録部から戻ってくる光とで強度が異なる。その信号を復調することにより情報を再生した。記録された信号は変調度６０％で再生ができた。本実施例は請求項２２、請求項２３の発明の実施例である。
【手続補正６７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５６】
実施形態（１）によれば、耐摩耗性、耐衝撃性などに優れた高密度光記録媒体を実現できる。また、実施形態（２）によれば、基板が反射層の機能を発揮するため強度、コスト的に有利となり耐摩耗性、耐衝撃性などに優れた高密度光記録媒体を実現することができる。
【手続補正６８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５７】
請求項１１，１２の発明では、記録層に炭素または、炭素を主成分とする化合物を用いることにより耐摩耗性、耐衝撃性などに優れた高密度光記録媒体を実現することができる。また、記録層を炭素材料とすることによりコスト的にも有利な媒体構成が実現できる。
【手続補正６９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５８】
請求項１３の発明では、記録層が未記録状態で非晶質とすることにより、感度良く記録を行うことができる。また、請求項１４の発明では、記録層にダイヤモンドライクカーボンを用いることにより、硬度の高い光記録媒体を提供することができる。
【手続補正７０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５９】
請求項１５，１６の発明によれば、より硬度の高い光記録媒体を、請求項１７の発明によれば感度が良く、良好な記録が可能な光記録媒体を、それぞれ提供することができる。また、請求項１８の発明によれば、光を効率良く利用することができて感度が向上し、反射率も高い光記録媒体が提供できる。
【手続補正７１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６０】
請求項１９の発明では、媒体の熱を制御することができるため感度良く、良好な記録が可能な光記録媒体が提供できる。また、請求項２０の発明では媒体・ヘッド間の潤滑が良くなり耐摩耗性、耐衝撃性などに優れた高密度光記録媒体を実現できる。
【手続補正７２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６１】
実施形態（３）によれば、耐摩耗性、耐衝撃性などに優れた高密度光記録媒体を実現できる。また、実施形態（４）によれば、基板が反射層の機能を発揮するため強度、コスト的に有利となり耐摩耗性、耐衝撃性などに優れた高密度光記録媒体を実現することができる。
【手続補正７３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６２】
請求項２１の発明では、炭素材料を記録層に用いた記録媒体に対し高密度記録を行うのに適した情報記録方法を提供することができる。
【手続補正７４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６３】
請求項２２の発明では、光の波長を０．５μｍ以下とすることにより炭素材料を記録層に用いた記録媒体に対し感度良く高密度記録を行うことが可能となる情報記録方法を提供することができる。
【手続補正７５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６４】
請求項２３の発明では、炭素材料を記録層に用いた記録媒体に高密度に記録された情報を良好に再生する情報再生方法を提供することができる。
【手続補正７６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６５】
請求項２４の発明では、炭素材料を記録層に用いた記録媒体に対し高密度記録を行ったり、高密度に記録された情報を再生したりすることが可能な情報記録再生装置を提供できる。
【手続補正７７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６６】
請求項２５の発明では、光の波長を０．５μｍ以下とすることにより炭素材料を記録層に用いた記録媒体に対し感度良く高密度記録を行うことが可能となり、また良好に情報を再生できる情報記録再生装置を提供することができる。
【手続補正７８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６７】
請求項２６，２７，２８の発明では、近接場光による記録、再生においても耐摩耗性などに優れ良好に高密度記録再生が可能となる情報記録媒体を提供できる。