【手続補正書】
【提出日】平成20年2月6日(2008.2.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に圧力室が形成されるとともに該圧力室には感圧素子が配設された圧力ハウジングと、前記圧力ハウジングの内部に計測対象となる流体を導入するための流路が形成されたジョイントハウジングとを備え、前記圧力ハウジングと前記ジョイントハウジングとは、絶縁部材を介してろう付け接合される圧力センサであって、
前記圧力ハウジング又は前記ジョイントハウジングと前記絶縁部材との間の少なくとも一方には、前記ろう付け接合により前記絶縁部材に作用する応力を緩和するための応力緩和部材が介在されるとともに、前記応力緩和部材は、両接合面に開口する少なくとも一の貫通孔を有すること、を特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
内部に圧力室が形成されるとともに該圧力室には感圧素子が配設された圧力ハウジングと、前記圧力ハウジングの内部に計測対象となる流体を導入するための流路が形成されたジョイントハウジングとを備え、前記圧力ハウジングと前記ジョイントハウジングとは、絶縁部材を介してろう付け接合される圧力センサであって、
前記圧力ハウジングと前記絶縁部材との間には、前記ろう付け接合により前記絶縁部材に作用する応力を緩和するための応力緩和部材が介在されるとともに、前記絶縁部材とろう付け接合される前記ジョイントハウジングの接合部はフランジ状に形成され、且つそのフランジ部の厚みは前記応力を緩和可能に薄肉とされてなること、
を特徴とする圧力センサ。
【請求項３】
内部に圧力室が形成されるとともに該圧力室には感圧素子が配設された圧力ハウジングと、前記圧力ハウジングの内部に計測対象となる流体を導入するための流路が形成されたジョイントハウジングとを備え、前記圧力ハウジングと前記ジョイントハウジングとは、絶縁部材を介してろう付け接合される圧力センサであって、
前記圧力ハウジング又は前記ジョイントハウジングと前記絶縁部材との間の少なくとも一方には、前記ろう付け接合により前記絶縁部材に作用する応力を緩和するための応力緩和部材が介在されるとともに、前記応力緩和部材は、前記圧力ハウジングの内部と前記流路とを連通するための連通孔を有し、該連通孔は、前記ろう付け接合の後に形成されること、を特徴とする圧力センサ。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のうちの何れか一項に記載の圧力センサにおいて、
前記応力緩和部材は、軟質金属又は低熱膨張率合金により形成されてなること、
を特徴とする圧力センサ。
【請求項５】
請求項３に記載の圧力センサにおいて、
前記応力緩和部材は、前記連通孔を形成する部分が薄肉に形成されてなること、
を特徴とする圧力センサ。
【請求項６】
内部に圧力室が形成されるとともに該圧力室には感圧素子が配設された圧力ハウジングと、前記圧力ハウジングの内部に計測対象となる流体を導入するための流路が形成されたジョイントハウジングとを備え、前記圧力ハウジングと前記ジョイントハウジングとは、絶縁部材を介してろう付け接合される圧力センサの製造方法であって、
前記圧力ハウジング又は前記ジョイントハウジングと前記絶縁部材との間の少なくとも一方に、前記ろう付け接合により前記絶縁部材に作用する応力を緩和するための応力緩和部材を介在させて前記ろう付け接合を行う工程と、
前記ろう付け接合を行う工程の後に、前記応力緩和部材に前記圧力ハウジングの内部と前記流路とを連通するための連通孔を形成する工程と、を備えること、
を特徴とする圧力センサの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、内部に圧力室が形成されるとともに該圧力室には感圧素子が配設された圧力ハウジングと、前記圧力ハウジングの内部に計測対象となる流体を導入するための流路が形成されたジョイントハウジングとを備え、前記圧力ハウジングと前記ジョイントハウジングとは、絶縁部材を介してろう付け接合される圧力センサであって、前記圧力ハウジング又は前記ジョイントハウジングと前記絶縁部材との間の少なくとも一方には、前記ろう付け接合により前記絶縁部材に作用する応力を緩和するための応力緩和部材が介在されるとともに、前記応力緩和部材は、両接合面に開口する少なくとも一の貫通孔を有すること、を要旨とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記構成によれば、ろう付け接合時の高温加熱及びその冷却過程において、圧力ハウジング及びジョイントハウジングと絶縁部材との間の熱膨張率の差異に起因して絶縁部材に作用する応力を緩和することができる。その結果、該応力及びその残留応力による絶縁部材の破壊、或いは接合強度の低下といった不具合の発生を防止して、圧力ハウジングとジョイントハウジングとの間の良好な接合状態を確保することができる。また、両接合面に開口する貫通孔を応力緩和部材に設けることで、圧力ハウジング及びジョイントハウジング（並びに絶縁部材）のろう付け接合時、各応力緩和部材の各接合面のうち上側に位置する方の接合面に配置されたろう材が、その加熱処理により溶融し、下側の接合面側へと流出する。従って、下側の接合面側にろう材を配置することなく、応力緩和部材と圧力ハウジング及び絶縁部材、並びに応力緩和部材とジョイントハウジング及び絶縁部材との間を確実にろう付け接合することができる。その結果、このろう付け接合工程を容易なものとすることができるとともに、ろう材の使用量を抑えて製造コストの低減を図ることができる。更に、こうした貫通孔を設けることで、応力緩和部材が変形しやすくなる。その結果、より効果的に絶縁部材に作用する応力を緩和することができる。加えて、その応力緩和機能を損なうことなく安価な素材にて応力緩和部材を形成することもできる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
請求項２に記載の発明は、内部に圧力室が形成されるとともに該圧力室には感圧素子が配設された圧力ハウジングと、前記圧力ハウジングの内部に計測対象となる流体を導入するための流路が形成されたジョイントハウジングとを備え、前記圧力ハウジングと前記ジョイントハウジングとは、絶縁部材を介してろう付け接合される圧力センサであって、前記圧力ハウジングと前記絶縁部材との間には、前記ろう付け接合により前記絶縁部材に作用する応力を緩和するための応力緩和部材が介在されるとともに、前記絶縁部材とろう付け接合される前記ジョイントハウジングの接合部はフランジ状に形成され、且つそのフランジ部の厚みは前記応力を緩和可能に薄肉とされてなること、を要旨とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記構成によれば、ジョイントハウジングと絶縁部材との間については、応力緩和部材を介在させることなく良好な接合状態を確保することができ、その結果、ろう付け接合工程の容易化を図ることができるとともに、その製造コストを抑えることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項３に記載の発明は、内部に圧力室が形成されるとともに該圧力室には感圧素子が配設された圧力ハウジングと、前記圧力ハウジングの内部に計測対象となる流体を導入するための流路が形成されたジョイントハウジングとを備え、前記圧力ハウジングと前記ジョイントハウジングとは、絶縁部材を介してろう付け接合される圧力センサであって、前記圧力ハウジング又は前記ジョイントハウジングと前記絶縁部材との間の少なくとも一方には、前記ろう付け接合により前記絶縁部材に作用する応力を緩和するための応力緩和部材が介在されるとともに、前記応力緩和部材は、前記圧力ハウジングの内部と前記流路とを連通するための連通孔を有し、該連通孔は、前記ろう付け接合の後に形成されること、を要旨とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記構成によれば、ろう付け接合時の高温加熱処理（約８００℃程度）の際にジョイントハウジングの金属成分が揮発し絶縁部材に付着することを防止することができ、その結果、こうした金属成分の付着による絶縁性毀損の可能性を排除することができる。特に、黄銅に含まれる亜鉛（Ｚｎ）の融点は、ろう材として用いられる銀ろうの融点よりも低いため、ジョイントハウジングを黄銅にて形成する場合には、このような製造方法を用いるとよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項４に記載の発明は、前記応力緩和部材は、軟質金属又は低熱膨張率合金により形成されてなること、を要旨とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項５に記載の発明は、前記応力緩和部材は、前記連通孔を形成する部分が薄肉に形成されてなること、を要旨とする。
上記構成によれば、ろう付け接合後の連通孔の形成を容易なものとすることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項６に記載の発明は、内部に圧力室が形成されるとともに該圧力室には感圧素子が配設された圧力ハウジングと、前記圧力ハウジングの内部に計測対象となる流体を導入するための流路が形成されたジョイントハウジングとを備え、前記圧力ハウジングと前記ジョイントハウジングとは、絶縁部材を介してろう付け接合される圧力センサの製造方法であって、前記圧力ハウジング又は前記ジョイントハウジングと前記絶縁部材との間の少なくとも一方に、前記ろう付け接合により前記絶縁部材に作用する応力を緩和するための応力緩和部材を介在させて前記ろう付け接合を行う工程と、前記ろう付け接合を行う工程の後に、前記応力緩和部材に前記圧力ハウジングの内部と前記流路とを連通するための連通孔を形成する工程と、を備えること、を要旨とする。