Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月5日(2008.9.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
前方が開放した筐体と、この筐体内で前方に向かって光を照射するように配置されたそれぞれ少なくとも一つのＬＥＤ素子を有する少なくとも一つのＬＥＤランプユニットと、上記筐体の開放した前面を閉じる透光性材料から成る前面レンズと、上記ＬＥＤランプユニットと熱的に接続される熱伝導性材料から成る放熱部材と、を含んでいる車両用灯具において、
上記放熱部材が、端部が解放した中空に形成されており、上記筐体内に配置されると共に、上記放熱部材の端部が、それぞれ筐体の上面及び下面に備えられた貫通孔に連結されていることを特徴とする、車両用灯具。
【請求項２】
上記ＬＥＤランプユニットを複数備え、上記放熱部材が、その二つの開放端の間にて、上記複数のＬＥＤランプユニットのそれぞれに対して分岐していることを特徴とする、請求項１に記載の車両用灯具。
【請求項３】
上記放熱部材が、中間領域に球面形状の外形部分を備え、上記ＬＥＤランプユニットが、上記球面形状の外形部分を収容可能な取付部にて可動性を有して取り付けられていることを特徴とする、請求項１に記載の車両用灯具。
【請求項４】
上記放熱部材の球面形状の外形部分と上記ＬＥＤランプユニットの放熱部材への取付部分との間に、熱伝導性材が介在していることを特徴とする、請求項３に記載の車両用灯具。
【請求項５】
上記放熱部材の空気流の導入口付近に、この導入口への空気流の導入を促進する送風手段が配置されていることを特徴とする、請求項１から４の何れかに記載の車両用灯具。
【請求項６】
上記放熱部材と筐体との連結は、上記筐体が上記放熱部材を中心に回動可能に取り付けられていることを特徴とする、請求項１から５の何れかに記載の車両用灯具。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
上記目的は、本発明によれば、前方が開放した筐体と、この筐体内で前方に向かって光を照射するように配置されたそれぞれ少なくとも一つのＬＥＤ素子を有する少なくとも一つのＬＥＤランプユニットと、上記筐体の開放した前面を閉じる透光性材料から成る前面レンズと、上記ＬＥＤランプユニットと熱的に接続される熱伝導性材料から成る放熱部材と、を含んでいる車両用灯具において、上記放熱部材が、端部が解放した中空に形成されており、上記筐体内に配置されると共に、上記放熱部材の端部が、それぞれ筐体の上面及び下面に備えられた貫通孔に連結されていることを特徴とする、車両用灯具により、達成される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明による車両用灯具は、好ましくは、上記ＬＥＤランプユニットを複数備え、上記放熱部材が、その二つの開放端の間にて、上記複数のＬＥＤランプユニットのそれぞれに対して分岐している。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明による車両用灯具は、好ましくは、上記放熱部材が、中間領域に球面形状の外形部分を備え、上記ＬＥＤランプユニットが、上記球面形状の外形部分を収容可能な取付部にて可動性を有して取り付けられている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明による車両用灯具は、好ましくは、上記放熱部材の球面形状の外形部分と上記ＬＥＤランプユニットの放熱部材への取付部分との間に、熱伝導性材が介在している。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明による車両用灯具は、好ましくは、上記放熱部材と筐体との連結は、上記筐体が上記放熱部材を中心に回動可能に取り付けられている。
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月19日(2008.9.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ化黒鉛、導電剤及び結着剤を圧縮成形してなる非水電解液電池用正極であって、前記フッ化黒鉛が、（ＣＦｘ）ｎ（０．４０≦ｘ≦０．９０）で表されるフッ素化された炭素と未フッ化炭素とからなり、前記未フッ化炭素が前記フッ化黒鉛に被覆され、かつ前記フッ化黒鉛の少なくとも表面の一部に前記未フッ化炭素が露出している非水電解液電池用正極。
【請求項２】
軽金属を活物質とする負極と、フッ化黒鉛、導電剤及び結着剤を圧縮成形した正極とからなる非水電解液電池であって、前記フッ化黒鉛が、（ＣＦｘ）ｎ（０．４０≦ｘ≦０．９０）で表されるフッ素化された炭素と未フッ化炭素とからなり、前記未フッ化炭素が前記フッ化黒鉛に被覆され、かつ前記フッ化黒鉛の少なくとも表面の一部に前記未フッ化炭素が露出している非水電解液電池。
【請求項３】
フッ化黒鉛、導電剤及び結着剤からなる非水電解液電池用正極の製造方法であって、黒鉛をフッ素化して（ＣＦｘ）ｎ（０．４０≦ｘ≦０．９０）で表されるフッ素化された炭素と未フッ化炭素とからなるフッ化黒鉛を形成する工程と、前記フッ化黒鉛を粉砕する工程と、前記フッ化黒鉛と導電剤と結着剤とを圧縮成形する工程とを有する非水電解液電池用正極の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
前記従来技術の課題を解決するために、本発明の非水電解液電池は、正極がフッ化黒鉛、導電剤及び結着剤を圧縮成形してなるものであって、前記フッ化黒鉛が、（ＣＦｘ）ｎ（０．４０≦ｘ≦０．９０）で表されるフッ素化された炭素と未フッ化炭素とからなり、前記未フッ化炭素が前記フッ化黒鉛に被覆され、かつ前記フッ化黒鉛の少なくとも表面の一部に前記未フッ化炭素が露出していることを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明によると、フッ素化された炭素と未フッ化炭素からなる（ＣＦｘ）ｎ（０．４０≦ｘ≦０．９０）で表されるフッ化黒鉛を粉砕したものを正極活物質に用いることにより、低温での負荷特性の優れた非水電解液電池を得ることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は前記のように、フッ化黒鉛、導電剤及び結着剤を圧縮成形した正極からなる非水電解液電池であって、前記フッ化黒鉛が、（ＣＦｘ）ｎ（０．４０≦ｘ≦０．９０）で表されるフッ素化された炭素と未フッ化炭素とからなり、前記未フッ化炭素が前記フッ化黒鉛に被覆され、かつ前記フッ化黒鉛の少なくとも表面の一部に前記未フッ化炭素が露出していることを特徴とし、フッ化黒鉛中の未フッ素化カーボン部分と導電剤のカーボンとの両者がバインダーに吸着されることになり、効果的な均一混合となるため、この正極を用いた非水電解液電池においては、低温での負荷特性の向上が得られる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また本発明は、フッ化黒鉛、導電剤及び結着剤からなる非水電解液電池用正極の製造方法であって、黒鉛をフッ素化して（ＣＦｘ）ｎ（０．４０≦ｘ≦０．９０）で表されるフッ素化された炭素と未フッ化炭素とからなるフッ化黒鉛を形成する工程と、前記フッ化黒鉛を粉砕する工程と、前記フッ化黒鉛と導電剤と結着剤とを圧縮成形する工程とを有することを特徴とするものである。さらに、前記粉砕する工程においてはジェットミルによる粉砕が好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
以上説明したように、本発明によると、軽金属を活物質とする負極、フッ化黒鉛を活物質とする正極からなる非水電解液電池において、前記フッ化黒鉛が、（ＣＦｘ）ｎ（０．４０≦ｘ≦０．９０）で表されるフッ素化された炭素と未フッ化炭素とからなり、前記未フッ化炭素が前記フッ化黒鉛に被覆され、かつ前記フッ化黒鉛の少なくとも表面の一部に前記未フッ化炭素が露出している状態であるものを使用することにより、低温下における負荷特性の優れる非水電解液電池を提供することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月19日(2008.9.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
また、電池１０のようにＢｉ元素の添加量を二酸化マンガン１ｍｏｌに対して０．０１ｍｏｌよりも大きくすると、Ｂｉを添加しない場合よりも電池内部抵抗の上昇を抑制することができるが、二酸化マンガンの活性が小さくなるために電池の放電時間は短くなり好ましくない。
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月16日(2008.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を有する筐体と、前記開口から露出する操作釦と、前記筐体の内部に配備された回路基板と、該回路基板上に取り付けられて前記操作釦の操作に感応する感応部を有するスイッチとを具え、前記筐体は、前面キャビネットと、背面キャビネットと、両キャビネットの間に介在する中間キャビネットとを互いに接合して形成されると共に、前記操作釦の表面には鍍金処理が施されている小型電子機器において、
前記中間キャビネットは、電気絶縁性材料から形成されると共に、前記操作釦の背面と回路基板との間に介在する平板部を有し、該平板部には、前記スイッチの感応部或いは該感応部に接触する前記操作釦の作用部が貫通する小口が開設されていることを特徴とする小型電子機器。
【請求項２】
前記操作釦は、前記筐体の内部へ押し込む方向のプッシュ操作が可能であり、該操作釦の背面には、前記スイッチの感応部を押圧する押圧部が該感応部に向けて突設され、該押圧部が前記中間キャビネットの小口を貫通している請求項１に記載の小型電子機器。
【請求項３】
前面キャビネット、背面キャビネット及び中間キャビネットはそれぞれ、合成樹脂製の一体成型品から構成され、中間キャビネットは、前面キャビネット及び背面キャビネットの色とは異なる色に着色されている請求項１又は請求項２に記載の小型電子機器。
【請求項４】
前記開口は、前記前面キャビネットと背面キャビネットの内、一方のキャビネットに開設され、前記操作釦は、該一方のキャビネットと中間キャビネットの平板部との間に挟持されると共に、中間キャビネットの平板部と操作釦の対向部、及び前記一方のキャビネットの内面と操作釦の対向部には、該操作釦を所定位置に位置決めするための位置決め構造が設けられている請求項１乃至請求項３の何れかに記載の小型電子機器。
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月18日(2008.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源取付け部及びこの光源取付け部と一体の周部を有し、点灯回路が収容された金属製の外郭部材と；
発光素子が実装された回路基板を有して前記光源取付け部に熱的に接続された状態に配置された光源と；
下面が開口された笠状をなし、前記外郭部材に伝熱可能に接続された金属製の外郭笠と；
を具備することを特徴とするランプ。
【請求項２】
透光性でかつ電気絶縁性の材料で形成され、前記発光素子に対向する配光制御部及び前記発光素子を避けて前記光源に接する当接部を有して、前記光源を覆って前記光源取付け部にねじ止めされた光源カバーを備えることを特徴とする請求項１に記載のランプ。
【請求項３】
前記外郭笠が前記光源カバーを収容していて、この外郭笠と前記光源の間を仕切るように配置される環状区画部を前記光源カバーに一体に設けたことを特徴とする請求項２に記載のランプ。
【請求項４】
前記外郭笠と前記外郭部材とが一体に形成されていることを特徴とする請求項１から３の内のいずれか一項に記載のランプ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
請求項１の発明は、光源取付け部及びこの光源取付け部と一体の周部を有し、点灯回路が収容された金属製の外郭部材と；発光素子が実装された回路基板を有して前記光源取付け部に熱的に接続された状態に配置された光源と；下面が開口された笠状をなし、前記外郭部材に伝熱可能に接続された金属製の外郭笠と；を具備することを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項１の発明では、外郭部材の光源取付け部に対して光源が熱的に接続された状態であるので、発光素子が発した熱は効率よく光源取付け部に伝導される。そして、光源取付け部の熱は、外郭部材全体に伝導され、この外郭部材の外部に露出している周部の外表面より他の部材に妨げられることなく外部に放出できる。しかも、点灯回路の熱も作用する外郭部材には外郭笠が熱的に接続されているので、外郭部材の熱は外郭笠に伝わって、この外郭笠の外部に露出している外面より他の部材に妨げられることなく放出できる。したがって、光源の温度上昇を効果的に抑制できる。
請求項２の発明は、請求項１の発明において、透光性でかつ電気絶縁性の材料で形成され、前記発光素子に対向する配光制御部及び前記発光素子を避けて前記光源に接する当接部を有して、前記光源を覆って前記光源取付け部にねじ止めされた光源カバーを備えることを特徴としている。
この請求項２の発明では、光源に載せた光源カバーを貫通するねじを光源取付け部にねじ込むことで、光源と光源カバーとが外郭部材に対して脱落を防止された状態に取付けられる。この取付けにより、光源カバーの当接部が光源を光源取付け部の表面に押付けるので、光源を光源カバーと光源取付け部との間に挟持できる。これにより、光源と光源取付け部とが熱的に接続された状態となるので、発光素子が発した熱を効率よく光源取付け部に伝導できる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項３の発明は、請求項２の発明において、前記外郭笠が前記光源カバーを収容していて、この外郭笠と前記光源の間を仕切るように配置される環状区画部を前記光源カバーに一体に設けたことを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項３の発明では、外郭笠によって、光源を覆った光源カバーに他のものが当らないように保護できる。更に、電気絶縁性の光源カバーの環状区画部によって、光源と金属製外郭笠との間の距離が近い場合であっても、格別な絶縁部材やこの部材を取付ける手間等を要することなく、光源と金属製外郭笠との間の電気的絶縁を図ることができる。
請求項４の発明は、請求項１から３の内のいずれか一項の発明において、前記外郭笠と前記外郭部材とが一体に形成されていることを特徴としている。
この請求項４の発明では、外郭笠が外郭部材に一体に形成されているため、外郭部材の光源取付け部から外郭笠への熱抵抗が小さく、良好に伝熱させることができるとともに、部品点数が削減されて組立て工数も減らすことができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項１に係る発明のランプによれば、光源の温度上昇を効果的に抑制できる。
請求項２に係る発明のランプによれば、光源取付け部にねじ止めされた光源カバーの当接部で光源が光源取付け部の表面に押付けられて、光源が光源取付け部に熱的に接続されるので、発光素子が発した熱を効率よく光源取付け部に伝導できる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項３に係る発明のランプによれば、光源カバーを保護できるとともに、光源カバーを利用して光源と金属製外郭笠との間の電気的絶縁を図ることができる。
請求項４に係る発明のランプによれば、光源取付け部から外郭笠へ良好に伝熱させることができるとともに、部品点数を削減できる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年12月3日(2007.12.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本実施の形態において、冷却水は、燃料電池の電極における反応熱を冷却するためのものを使用するが、燃料ガスまたは空気と同温もしくはそれ以上であるのが好ましい。こうすれば、燃料ガスまたは空気の冷却を抑制することができる。たとえば、燃料ガスまたは空気の温度を６５〜７０℃程度とし、冷却水供給用第１マニホールド１１１における冷却水の温度を７１℃とすることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成20年4月1日(2008.4.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空洞共鳴筒と、マイクロ波輻射部と、を有し、該空洞共鳴筒にマイクロ波輻射部を収容した構成を備えた光マイクロ波共鳴器用キャビティであり、
前記マイクロ波輻射部がマイクロ波を輻射するためのアンテナと、空洞共鳴筒外への前記マイクロ波の漏洩を防止する為のブロッキングコンデンサと、を備えた構成であることを特徴とする光マイクロ波共鳴器用キャビティ。
【請求項２】
前記空洞共鳴筒が、開口を有する容器の該開口をプリント基板にて封止した構成であり、前記マイクロ波輻射部が、該空洞共鳴筒の外から信号の供給を受けるものであり、
前記マイクロ波輻射部がマイクロ波を輻射するためのアンテナと、空洞共鳴筒外への前記マイクロ波の漏洩を防止する為のブロッキングコンデンサと、を備えた構成であることを特徴とする請求項１に記載の光マイクロ波共鳴器用キャビティ。
【請求項３】
前記空洞共鳴筒の外側に整合回路を備え、  前記整合回路が、該整合回路の出力信号を前記マイクロ波輻射部へ供給する為のものであり、前記整合回路と前記マイクロ波輻射部とを導通接続する端子を前記プリント基板に備えた光マイクロ波共鳴器用キャビティであって、
前記マイクロ波輻射部がマイクロ波を輻射するためのアンテナと、空洞共鳴筒外への前記マイクロ波の漏洩を防止する為のブロッキングコンデンサと、を備え、前記ブロッキングコンデンサの一端子を前記端子に導通した構成であることを特徴とする請求項２に記載の光マイクロ波共鳴器用キャビティ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記課題を解決する為に、本発明に係る光マイクロ波共鳴器用キャビティは空洞共鳴筒と、マイクロ波輻射部と、を有し、該空洞共鳴筒にマイクロ波輻射部を収容した構成を備えた光マイクロ波共鳴器用キャビティであり、前記マイクロ波輻射部がマイクロ波を輻射するためのアンテナと、空洞共鳴筒外への前記マイクロ波の漏洩を防止する為のブロッキングコンデンサと、を備えた構成であることを特徴とする。
更に、上記特徴に加え、前記空洞共鳴筒が、開口を有する容器の該開口をプリント基板にて封止した構成であり、前記マイクロ波輻射部が、該空洞共鳴筒の外から信号の供給を受けるものであり、前記マイクロ波輻射部がマイクロ波を輻射するためのアンテナと、空洞共鳴筒外への前記マイクロ波の漏洩を防止する為のブロッキングコンデンサと、を備えた構成であることを特徴とする。
更にまた上記特徴に加え  前記空洞共鳴筒の外側に整合回路を備え、  前記整合回路が、該整合回路の出力信号を整合した信号を前記マイクロ波輻射部へ供給する為のものであり、前記整合回路と前記マイクロ波輻射部とを導通接続する端子を前記プリント基板に備えた光マイクロ波共鳴器用キャビティであって、前記マイクロ波輻射部がマイクロ波を輻射するためのアンテナと、空洞共鳴筒外への前記マイクロ波の漏洩を防止する為のブロッキングコンデンサと、を備え、前記ブロッキングコンデンサの一端子を前記端子に導通した構成であることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月26日(2008.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子機器筐体と、前記電子機器筐体に設けられた開口部と、外周を前記開口部に保持され、内周でコネクタの外形を保持するようにした弾性体と、前記弾性体に圧入固定されるコネクタとを備えたコネクタ配置構造。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】コネクタ配置構造
【手続補正書】
【提出日】平成20年8月20日(2008.8.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子回路基板を収容する筐体を有し該筐体の壁部には前記電子回路基板と外部配線とを電気的に接続するためのコネクタ端子が貫設された電子制御装置であって、
前記コネクタ端子が貫設された貫設壁の内壁面には、該貫設壁とコネクタ端子との間を液密に封止するためのシール剤を貯留可能な貯留部が設けられ、
前記貯留部は、前記筐体の開口部方向に開口するように形成されること、
を特徴とする電子制御装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電子制御装置において、
前記貯留部は、壁面が前記コネクタ端子と接触しないように形成されること、
を特徴とする電子制御装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の電子制御装置において、
前記貯留部は、前記コネクタ端子の貫通方向に開口するように形成されること、
を特徴とする電子制御装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、電子回路基板を収容する筐体を有し該筐体の壁部には前記電子回路基板と外部配線とを電気的に接続するためのコネクタ端子が貫設された電子制御装置であって、前記コネクタ端子が貫設された貫設壁の内壁面には、該貫設壁とコネクタ端子との間を液密に封止するためのシール剤を貯留可能な貯留部が設けられ、前記貯留部は、前記筐体の開口部方向に開口するように形成されること、を要旨とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記構成によれば、貯留部にシール剤を充填するだけで、煩雑な盛り上げ作業を行うことなく、端子貫設部に隙間無くシール剤を塗布することができる。従って、容易且つ確実に各コネクタ端子と貫設壁との間の安定的な防水層を形成することができ、その結果、より高い耐水性を確保することができる。また、開口部から直接的にシール剤を貯留部内に充填することができる。従って、その充填作業を容易に行うことができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項２に記載の発明は、前記貯留部は、壁面が前記コネクタ端子と接触しないように形成されること、を要旨とする。
上記構成によれば、各コネクタ端子と貯留部の壁面との接触面にシール剤が十分に流入しない微細な隙間ができることを防止することができ、これにより、更に高い防水性を確保することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項３に記載の発明は、前記貯留部は、前記コネクタ端子の貫通方向に開口するように形成されること、を要旨とする。
上記構成によれば、各コネクタ端子を貯留部の壁面と接触させないように配置しやすくなる。
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月5日(2008.9.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の基板が、前記一対の基板の間に空間が形成されるように対向して配置され、
前記一対の基板の周縁部が第１の封着部によって封着されることにより、外部に対する前記空間の気密が保持されたディスプレイパネルであって、
前記第１の封着部が、Ｂｉの含有量が相対的に高い第１の非晶質領域と、Ｂｉの含有量が相対的に低い第２の非晶質領域とを含むことを特徴とするディスプレイパネル。
【請求項２】
一対の基板が、前記一対の基板の間に空間が形成されるように対向して配置され、
前記一対の基板から選ばれる少なくとも１つの基板に通気孔が設けられており、
前記少なくとも１つの基板における前記空間側とは反対側の主面に、前記通気孔と連通する管体が配置されており、
前記少なくとも１つの基板と前記管体とが第２の封着部によって封着され、かつ、前記管体が封止されることにより、外部に対する前記空間の気密が保持されたディスプレイパネルであって、
前記第２の封着部が、Ｂｉの含有量が相対的に高い第１の非晶質領域と、Ｂｉの含有量が相対的に低い第２の非晶質領域とを含むことを特徴とするディスプレイパネル。
【請求項３】
前記第１の非晶質領域におけるＢｉの含有量が、４５重量％以上である請求項１または２に記載のディスプレイパネル。
【請求項４】
前記第１の非晶質領域が、Ｂｉ2Ｏ3を含むガラス組成物からなり、
前記ガラス組成物が、Ｂｉ2Ｏ3を２０モル％以上５５モル％以下、Ｂ2Ｏ3を１０モル％以上３０モル％以下、ＺｎＯを１５モル％以上５０モル％以下含む請求項１または２に記載のディスプレイパネル。
【請求項５】
前記第２の非晶質領域が、Ｐ、Ｓｎ、Ｂ、Ｚｎ、Ｔｅ、ＶおよびＰｂから選ばれる少なくとも１種の元素の酸化物を含むガラス組成物からなる請求項１または２に記載のディスプレイパネル。
【請求項６】
前記ガラス組成物が、Ｐ2Ｏ5を２０モル％以上６０モル％以下、ＳｎＯを１５モル％以上６５モル％以下、ＺｎＯを０．５モル％以上１０モル％以下含む請求項５に記載のディスプレイパネル。
【請求項７】
前記第１の非晶質領域が、Ｂｉ2Ｏ3を含むガラス組成物からなり、
前記第１の封着部に含まれる非晶質領域が、前記非晶質領域全体として、Ｂｉ2Ｏ3を３０モル％以下含む請求項１に記載のディスプレイパネル。
【請求項８】
前記第１の非晶質領域が、Ｂｉ2Ｏ3を含むガラス組成物からなり、
前記第２の封着部に含まれる非晶質領域が、前記非晶質領域全体として、Ｂｉ2Ｏ3を３０モル％以下含む請求項２に記載のディスプレイパネル。
【請求項９】
前記第１の封着部における前記第１の非晶質領域の含有量が、８重量％以上である請求項１に記載のディスプレイパネル。
【請求項１０】
前記第２の封着部における前記第１の非晶質領域の含有量が、８重量％以上である請求項２に記載のディスプレイパネル。
【請求項１１】
前記第１の封着部の前記外部側の表面におけるＢｉの含有量が、５．３重量％以上である請求項１に記載のディスプレイパネル。
【請求項１２】
前記第２の封着部の前記外部側の表面におけるＢｉの含有量が、５．３重量％以上である請求項２に記載のディスプレイパネル。
【請求項１３】
前記第１の非晶質領域の軟化点が、前記第２の非晶質領域の軟化点をＸ℃としたときに、（Ｘ−２０）℃以上（Ｘ＋７０）℃以下である請求項１または２に記載のディスプレイパネル。
【請求項１４】
前記第１の封着部が、Ｂｉの濃度勾配を有する請求項１に記載のディスプレイパネル。
【請求項１５】
前記第１の封着部におけるＢｉの含有量が、前記第１の封着部における前記外部側の表面において最も高い請求項１４に記載のディスプレイパネル。
【請求項１６】
前記第２の封着部が、Ｂｉの濃度勾配を有する請求項２に記載のディスプレイパネル。
【請求項１７】
前記第２の封着部におけるＢｉの含有量が、前記第２の封着部における前記外部側の表面において最も高い請求項１６に記載のディスプレイパネル。
【手続補正書】
【提出日】平成20年6月9日(2008.6.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
燃料電池セルと、電気伝導性材料により構成されたセパレーターとが積層された構成の積層型燃料電池における電圧モニターを行うための端子を有する端子ユニットであって、
絶縁性部材よりなるホルダーの少なくとも一側部に、弾性を有する金属製端子を複数設置し、前記ホルダーを燃料電池本体の一側部に着脱可能に装着して、前記各金属製端子を前記セパレーターにそれぞれ弾接させたことを特徴とする積層型燃料電池の端子ユニット。
【請求項２】
前記ホルダーを前記燃料電池本体に形成された凹部内に埋設したことを特徴とする請求項１記載の積層型燃料電池の端子ユニット。
【請求項３】
前記ホルダーを、複数の小ホルダーをガイドロッドを介して移動可能に連結することにより構成し、前記各小ホルダーに前記弾性を有する金属製端子を設置したことを特徴とする請求項１または２記載の積層型燃料電池の端子ユニット。
【請求項４】
前記燃料電池本体の凹部を、該燃料電池本体の載置面および該載置面と対向する上面以外の側面一部に形成したことを特徴とする請求項２記載の積層型燃料電池の端子ユニット。
【請求項５】
前記ホルダーを前記凹部に嵌着すると共に、前記金属製端子を前記セパレーターに密着させたことを特徴とする請求項１〜４いずれか１項記載の積層型燃料電池の端子ユニット。
【請求項６】
前記金属製端子を前記ホルダーの相対向する側面にそれぞれ設けたことを特徴とする請求項１，３または４記載の積層型燃料電池の端子ユニット。
【請求項７】
燃料電池セルと、電気伝導性材料により構成されたセパレーターとが積層された構成の積層型燃料電池において、前記複数の燃料電池セルが請求項１〜６いずれか１項記載の端子ユニットにより結束されてなることを特徴とする積層型燃料電池。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項６に記載の発明は、請求項１，３または４記載の積層型燃料電池の端子ユニットにおいて、金属製端子をホルダーの相対向する側面にそれぞれ設けたことを特徴とし、この構成によって、ホルダーの着脱を容易に行うことができ、またセパレーターの種々の配置構成に対応して確実な電気的接触が可能になる。
請求項７に記載の発明は、燃料電池セルと、電気伝導性材料により構成されたセパレーターとが積層された構成の積層型燃料電池において、前記複数の燃料電池セルが請求項１〜６いずれか１項記載の端子ユニットにより結束されてなることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成20年6月9日(2008.6.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極が積層された膜電極接合体と、酸素を含む酸化ガスをカソードに供給し、また水素を含む燃料ガスをアノードに供給する流路が形成されたセパレータを有する燃料電池単セル、あるいは前記燃料電池単セルを複数個積層して構成される燃料電池スタックの両極に、当該燃料電池の発電により得られる電流を取り出すための集電部とを備えた燃料電池システムにおいて、
前記各集電部を該集電部の面方向に複数に電気的に分割し、前記燃料電池単セルを挟んで相対する前記分割された集電部の電位差を計測する計測部と、前記分割された集電部に独立に接続されて、任意の値の電流を取り出す負荷部とを備えたことを特徴とする燃料電池システム。
【請求項２】
前記分割された集電部を、前記カソードの流路パスに沿った形で分割して配置したことを特徴とする請求項１記載の燃料電池システム。
【請求項３】
前記負荷部を可変抵抗により構成したことを特徴とする請求項１記載の燃料電池システム。
【請求項４】
前記負荷部を電子負荷により構成したことを特徴とする請求項１記載の燃料電池システム。
【請求項５】
前記負荷部をインバータを介して外部負荷と接続したことを特徴とする請求項１，３または４記載の燃料電池システム。
【請求項６】
前記分割された集電部から取り出される電流値の面内分布に基づき、前記燃料電池単セルの異常が回復不可能と診断した場合に、警報を発生させ、異常な燃料電池単セルが含まれる前記燃料電池スタックの運転を停止させるように制御する制御部を備えたことを特徴とする請求項１または２記載の燃料電池システム。
【手続補正書】
【提出日】平成19年12月10日(2007.12.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】次の構成要件（Ａ01）〜（Ａ03），（Ａ04′），（Ａ06）を備えた複合型真空ポンプ、
（Ａ01）円筒状内側面を有するケーシング内で前記ケーシングと同軸の回転軸回りに回転するとともに回転時に軸方向に気体を移送する気体移送部が外側面に形成された回転子、
（Ａ02）気体移送方向の上流部のターボ分子ポンプ型気体移送部と下流部のねじ溝式ポンプ型気体移送部とを有する前記気体移送部、
（Ａ03）前記回転子外側面の前記下流部分に円周方向に所定間隔で且つ螺旋状に形成された幅が５ｍｍ以上の複数のねじ山と前記複数の各ねじ山の間に形成されるねじ溝とを有し、前記ねじ溝の底面の前記回転軸からの距離であるねじ溝底面の半径が気体移送方向上流端に行くに従って小さくなるように形成され、回転時に上流端に流入した気体を下流側に移送する前記ねじ溝式ポンプ型気体移送部、
（Ａ04′）前記回転子外側面の前記上流部に円周方向に所定間隔で形成され且つ所定の翼角を有する複数の翼と前記複数の各翼の間に形成された気体移送用溝とを有し、前記各翼は気体移送方向上流端の翼厚が下流端よりも薄く且つ下流端が前記ねじ山の上流端に連続するように形成され、前記気体移送用の溝の底面の前記回転軸からの距離である気体移送用溝の半径が気体移送方向上流端に行くに従って小さくなるように形成されるとともに前記気体移送用溝の底面の下流端は前記ねじ溝の底面の上流端に連続するように形成され、回転時に上流端から取り入れた気体を圧縮して前記ねじ溝式ポンプ型気体移送部の上流端に移送するターボ分子ポンプ型気体移送部、
（Ａ06）前記ターボ分子ポンプ型気体移送部の上流端の上流側において前記回転子の外周に沿って設けられるとともにターボ分子ポンプの動翼と同様の機能を有する動翼。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
（第３発明）
本発明の複合型真空ポンプの第３発明は、次の構成要件（Ａ01）〜（Ａ03），（Ａ04′），（Ａ06）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）円筒状内側面を有するケーシング（６）内で前記ケーシング（６）と同軸の回転軸（Ｊ）回りに回転するとともに回転時に軸方向に気体を移送する気体移送部（Ｓ）が外側面に形成された回転子（Ｈ）、
（Ａ02）気体移送方向の上流部のターボ分子ポンプ型気体移送部（Ｓ２）と下流部のねじ溝式ポンプ型気体移送部（Ｓ１）とを有する前記気体移送部（Ｓ）、
（Ａ03）前記回転子（Ｈ）外側面の前記下流部分に円周方向に所定間隔で且つ螺旋状に形成された幅が５ｍｍ以上の複数のねじ山（３６）と前記複数の各ねじ山（３６）の間に形成されるねじ溝（３７）とを有し、回転時に上流端に流入した気体を下流側に移送する前記ねじ溝式ポンプ型気体移送部（Ｓ１）、
（Ａ04′）前記回転子（Ｈ）外側面の前記上流部に円周方向に所定間隔で形成され且つ所定の翼角（θ）を有する複数の翼（４１）と前記複数の各翼（４１）の間に形成された気体移送用溝（４２）とを有し、前記各翼（４１）は上流端の翼厚（Ｗ１）が下流端よりも薄く且つ下流端が前記ねじ山（３６）の上流端に連続するように形成され、前記気体移送用の溝（４２）の底面の前記回転軸（Ｊ）からの距離である気体移送用溝（４２）の半径が気体移送方向上流端に行くに従って小さくなるように形成されるとともに前記気体移送用溝（４２）の底面の下流端は前記ねじ溝（３７）の底面の上流端に連続するように形成され、回転時に上流端から取り入れた気体を圧縮して前記ねじ溝式ポンプ型気体移送部（Ｓ１）の上流端に移送するターボ分子ポンプ型気体移送部（Ｓ２）、
（Ａ06）前記ターボ分子ポンプ型気体移送部（Ｓ２）の上流端の上流側において前記回転子（Ｈ）の外周に沿って設けられるとともにターボ分子ポンプの動翼と同様の機能を有する動翼（５２ａ）。
【手続補正書】
【提出日】平成20年2月22日(2008.2.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】 タービンエンジン（１０）用の燃焼器（３０）の製造方法であって、燃焼器は環状の半径方向外側及び半径方向内側の支持部材及びそれぞれの内側及び外側ライナ（５２及び５０）によって形成される燃焼ゾーン（３６）を有しており、内側及び外側ライナは各々複数の連なったパネル（５４）及び複数の冷却スロット（７８）を含んでいて、冷却スロットが内側及び外側パネルの張出部（７４）によって形成され、上記複数の連なったパネルが冷却スロットで隔てられて段状に配置されており、当該方法が、
少なくとも１枚の内側ライナパネルに0.000254ｍ（０．０１インチ）を超える厚さ（Ｔ１）の遮熱材を施工して、各パネルに施工された遮熱材の上流側エッジが当該パネルに隣接する上流のパネルの張出部（７４）より下流になるようにする段階、及び
少なくとも１枚の外側ライナパネルに0.000254ｍ（０．０１インチ）を超える厚さ（Ｔ１）の遮熱材を施工して、各パネルに施工された遮熱材の上流側エッジが当該パネルに隣接する上流のパネルの張出部（７４）より下流になるようにする段階
を含んでなる方法。
【請求項２】 内側ライナ（５２）が燃焼器（３０）の入口側（３４）付近にカウル（６０）及び該カウルの下流に順次連結した第一パネル（６４）を含んでおり、外側ライナ（５０）が燃焼器の入口側付近に第一パネル（６６）及び第一パネルの下流に順次連結した第一パネルを含んでおり、前記内側ライナパネルに遮熱材を施工する段階が、前記第一内側ライナパネルに0.000254ｍ（０．０１インチ）を超える厚さ（Ｔ１）の遮熱材が形成されるように内側ライナパネルに遮熱材を施工する段階をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項３】 前記内側ライナパネル（５４）に遮熱材を施工する段階が、少なくとも１枚の内側ライナパネルに他の１以上の内側ライナパネルを被覆する遮熱材の厚さの２倍以上の厚さ（Ｔ１）の遮熱材が形成されるように、内側ライナパネルに遮熱材を施工する段階をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項４】 複数の連なったパネル（５４）を段状に配置してなるライナ（４０）であって、
上記複数のパネルが当該複数の連なったパネルの張出部（７４）によって形成される一連の冷却スロット（７８）で隔てられており、各パネルはライナ面（７０）と外面（７２）とを備えており、前記パネルは前記ライナ面のみに施工された遮熱材の層を有し、パネルの少なくとも１枚が0.000254ｍ（０．０１インチ）を超える厚さ（Ｔ１）の前記遮熱材の層（９０）を有し、各パネルに施工された遮熱材の上流側エッジが当該パネルに隣接する上流のパネルの張出部（７４）より下流になっている、ライナ（４０）。
【請求項５】 少なくとも１枚のパネル（５４）が残りのパネルの遮熱材の層の厚さの２倍以上の厚さ（Ｔ１）の遮熱材の層を有する、請求項４記載のライナ（４０）。
【請求項６】 前記複数の連なったパネル（５４）が第一パネル（６４）と第二パネルを含んでいて、第一パネルが第二パネルの上流に位置し、第二パネルが第一パネルの下流に順次連結される、請求項４記載のライナ（４０）
【請求項７】 第一パネル（６４）が0.000254ｍ（０．０１インチ）を超える厚さ（Ｔ１）の遮熱材の層（９０）を有し、第一パネル（６４）が、第二パネルを被覆する遮熱材の層の厚さの２倍以上の厚さ（Ｔ１）の遮熱材の層を有する、請求項６記載のライナ（４０）。
【請求項８】 入口（３４）と、
排出口と、
入口から排出口まで延在する内側ライナ（５２）であって、該内側ライナは複数の連なった内側ライナパネル（５４）を段状に配置してなり、各パネルはライナ面（７０）と外面（７２）とを備えており、内側ライナパネルが内側ライナパネルの張出部（７４）で形成される一連の冷却スロット（７８）で隔てられていて遮熱材の層（９０）を有し、各パネルのライナ面に施工された遮熱材の上流側エッジが当該パネルに隣接する上流のパネルの外面より下流になるようにされている、内側ライナ（５２）と、
入口から排出口まで延在する外側ライナ（５０）であって、該外側ライナは上記内側ライナと連結して燃焼ゾーン（３６）を形成し、該外側ライナは複数の連なった外側ライナパネルを段状に配置してなり、各パネルはライナ面（７０）と外面（７２）とを備えており、外側ライナパネルが外側ライナパネルの張出部で形成される一連の冷却スロットで隔てられていて遮熱材の層を有する、外側ライナ（５０）と
を含んでなる燃焼器（３０）であって、
内側ライナパネル及び外側ライナパネルの少なくとも１枚が前記ライナ面のみに施工され且つ0.000254ｍ（０．０１インチ）を超える厚さ（Ｔ１）の遮熱材の層を有し、各パネルのライナ面に施工された遮熱材の上流側エッジが当該パネルに隣接する上流のパネルの外面より下流になるようにされている、
燃焼器（３０）。
【請求項９】 内側ライナの一連のパネル（５４）が第一パネル（６４）と第二パネルを含んでいて、内側ライナ第二パネルが内側ライナ第一パネルの下流に順次連結され、外側ライナの一連のパネル（５４）が第一パネル（６６）と第二パネルを含んでいて、外側ライナ第一パネルが燃焼器入口（３４）に隣接していて、外側ライナ第二パネルが外側ライナ第一パネルの下流に順次連結される、請求項８記載の燃焼器（３０）。
【請求項１０】 内側ライナ第一パネル（６４）及び外側ライナ第一パネル（６６）の少なくとも１枚が、0.000254ｍ（０．０１インチ）を超える厚さ（Ｔ１）の遮熱材の層を有する、請求項９記載の燃焼器（３０）。
【手続補正書】
【提出日】平成20年1月8日(2008.1.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シートと熱可塑性樹脂からなる樹脂シートとを重ねて送る送り手段と、
前記送り手段から重ねて送られた前記基材シートおよび前記樹脂シートを所定の温度で加熱し、前記樹脂シートを軟化させる加熱手段と、
側面に複数個のスリット用パターンが設けられた円柱形状を有し、前記加熱手段で加熱された前記基材シートおよび前記樹脂シートを受けて、軟化した前記樹脂シートに対して前記複数個のスリット用パターンを押しつけつつ回転することにより、前記樹脂シートにスリットを形成する加圧回転手段と
を備えるリニアエンコーダ用スケールの製造装置。
【請求項２】
請求項１に記載のリニアエンコーダ用スケールの製造装置であって、
前記加圧回転手段は、前記樹脂シートを前記基材シートに圧着し一体化させる
リニアエンコーダ用スケールの製造装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のリニアエンコーダ用スケールの製造装置であって、
前記複数個のスリット用パターンは、溝を介して分けられている
リニアエンコーダ用スケールの製造装置。
【請求項４】
請求項２に記載のリニアエンコーダ用スケールの製造装置であって、
前記基材シートには複数個の孔または切れ込みが設けられ、
前記加圧回転手段は、前記加熱手段で加熱され軟化した前記樹脂シートの一部を前記孔または切れ込みへ埋め込ませることにより前記樹脂シートを前記基材シートに一体化させる
リニアエンコーダ用スケールの製造装置。
【請求項５】
基材シートと熱可塑性樹脂からなる樹脂シートとを重ねて送る送り工程と、
前記送り工程から重ねて送られた前記基材シートおよび前記樹脂シートを所定の温度で加熱し、前記樹脂シートを軟化させる加熱工程と、
前記加熱工程で加熱された前記基材シートおよび前記樹脂シートを受け、側面に複数個のスリット用パターンが設けられた円柱形状を有する加圧回転手段を、軟化した前記樹脂シートに対して前記複数個のスリット用パターンを押しつけつつ回転させることにより、前記樹脂シートにスリットを形成する加圧回転工程と
を備えるリニアエンコーダ用スケールの製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載のリニアエンコーダ用スケールの製造方法であって、
前記加圧回転手段は、前記樹脂シートを前記基材シートに圧着し一体化させる
リニアエンコーダ用スケールの製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載のリニアエンコーダ用スケールの製造方法であって、
前記基材シートには複数個の孔または切れ込みが設けられ、
前記加圧回転手段は、前記加熱手段で加熱され軟化した前記樹脂シートの一部を前記孔または切れ込みへ埋め込ませることにより前記樹脂シートを前記基材シートに一体化させる
リニアエンコーダ用スケールの製造方法。
【請求項８】
請求項５乃至請求項７のいずれかに記載のリニアエンコーダ用スケールの製造方法であって、
前記基材シートは、金属からなる
リニアエンコーダ用スケールの製造方法。
【請求項９】
請求項５乃至請求項８のいずれかに記載のリニアエンコーダ用スケールの製造方法であって、
前記熱可塑性樹脂は、所定のガラス転移点を有する非結晶性樹脂であり、
前記所定の温度は、前記ガラス転移点より高く且つ前記ガラス転移点との差が５０℃以下である
リニアエンコーダ用スケールの製造方法。
【請求項１０】
請求項５乃至請求項８のいずれかに記載のリニアエンコーダ用スケールの製造方法であって、
前記熱可塑性樹脂は、所定の軟化温度を有する結晶性樹脂であり、
前記所定の温度は、前記軟化温度より高く且つ温度に対する弾性率の低下率が０．２／℃以下となる温度である
リニアエンコーダ用スケールの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成20年4月21日(2008.4.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板を搭載して所定方向に走査するＸＹステージと、被検査基板上の欠陥を斜め
から照明する照明装置と、その欠陥を上方に配した検出光学系で検出する検出装置と、温度及び気圧の変化に対して、結像位置変化を補正する機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の欠陥検査装置において、前記斜めからの照明は、ステージの走行方向と
は直角方向に長い楕円形状の照明光束をステージの走査方向から規定の照射角度で照射す
る照明光学系であり、更に該照明系と平面的に異なる方向より、規定の照射角度で前期斜
めからの照明と同じ位置を照射する照明光学系を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の欠陥検査装置において、
オートフォーカスの照明光は前記検出光学系の検出レンズに干渉しない空間に照明光路
を有し、暗視野照明となるように被検査基板上の投影し、反射光を対向するポジションセ
ンサに結像させる構成を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の欠陥検査装置において、
前記検出光学系は拡大系レンズを有し、欠陥の散乱光を高ＮＡで取り込み、センサに拡
大投影させることによって、より微小な欠陥，解像限界以下の欠陥を検出可能とすること
を特徴とする欠陥検査装置。
【請求項５】
請求項１記載の欠陥検査装置において、温度または気圧の少なくともいずれかの測定器
を装置内に設置していることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の欠陥検査装置において、
温度及び気圧の変化に対して前記検出光学系のセンサの高さまたは被検査基板高さを補
正する結像位置補正機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項７】
請求項６記載の欠陥検査装置において、
結像位置を補正するために、センサを上下させるＺ機構、または被検査基板の高さを変
更するステージＺ機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項８】
請求項５記載の欠陥検査装置において、
温度のセンサ部分を検査レンズ表面および気圧測定口を検査レンズ近傍に設置したこと
を特徴とする欠陥検査装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の欠陥検査装置において、
事前に温度，気圧の少なくともいずれかと、補正量の相関をテーブルデータとして記憶
する記憶手段を備え、該記憶手段に記憶されたテーブルデータに基づき、結像位置補正を
リアルタイムに実行する機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項１０】
被検査物を搭載するステージと、被検査物を照明する照明装置と、その欠陥を検出光学系で検出する検出装置と、温度及び気圧の少なくとも１つの変化に対して、結像位置変化を補正する補正装置とを備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項１１】
請求項１０記載の欠陥検査装置において、
前記照明装置は、被検査物上で長い楕円形状の照明光束を生じることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項１２】
請求項１０または１１記載の欠陥検査装置において、
前記照明装置とは異なる、オートフォーカスの照明光を発生する第２の照明装置を有することを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項１３】
請求項１０〜１２のいずれかに記載の欠陥検査装置において、
前記検出光学系は拡大系レンズをすることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項１４】
請求項１０記載の欠陥検査装置において、温度または気圧の少なくともいずれかの測定器を装置内に設置していることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項１５】
請求項１０〜１４のいずれかに記載の欠陥検査装置において、
温度及び気圧の少なくとも１つの変化に対して、前記検出光学系のセンサの高さまたは被検査物高さを補正する結像位置補正機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項１６】
請求項１５記載の欠陥検査装置において、
結像位置を補正するために、センサを上下させるＺ機構、または被検査物の高さを変
更するステージＺ機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項１７】
請求項１４記載の欠陥検査装置において、
温度のセンサ部分を検査レンズ表面、および気圧測定口を検査レンズ近傍に設置したことを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項１８】
請求項１０〜１７のいずれかに記載の欠陥検査装置において、
事前に温度，気圧の少なくともいずれかと、補正量の相関をデータとして記憶する記憶手段を備え、該記憶手段に記憶されたデータに基づき、結像位置補正を実行する機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項１９】
被検査物を照明し、前記被検査物の欠陥を検出し、温度及び気圧の少なくとも１つの変化に対して、結像位置変化を補正することを特徴とする欠陥検査方法。
【請求項２０】
請求項１９記載の欠陥検査方法において、
前記温度は、検査レンズ表面の温度であり、前記気圧は、検査レンズ近傍の気圧であることを特徴とする欠陥検査方法。
【手続補正書】
【提出日】平成20年7月31日(2008.7.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
底部外表面が曲面になった試料容器と、
前記試料容器の底部から出射した光を検出するための光検出器と、
前記試料容器と前記光検出器の間に位置するピンホール板と、
前記試料容器と前記ピンホール板の間に位置する集光レンズとを有し、
前記ピンホール板は、前記集光レンズの焦点に当該ピンホール板に設けられたピンホールの位置が一致するように設置されていることを特徴とする光検出装置。
【請求項２】
請求項１記載の光検出装置において、励起光を実質的に平行光として前記試料容器の前記底部へ照射する光照射部を有することを特徴とする光検出装置。
【請求項３】
請求項２記載の光検出装置において、前記励起光は前記試料容器の底部によって前記試料容器に保持される試料溶液中に点状に集光されることを特徴とする光検出装置。
【請求項４】
請求項２記載の光検出装置において、前記試料容器と前記集光レンズの間にダイクロイックミラーが設けられ、前記光照射部は前記ダイクロイックミラーを介して前記試料容器中の試料溶液に励起光を照射することを特徴とする光検出装置。
【請求項５】
請求項１記載の光検出装置において、前記試料容器の底部は屈折率が１．５５以上であることを特徴とする光検出装置。
【請求項６】
請求項１記載の光検出装置において、前記試料容器と前記集光レンズの間に透明な仕切り板が設けられていることを特徴とする光検出装置。
【請求項７】
請求項１記載の光検出装置において、前記試料容器の底部外表面が非球面であることを特徴とする光検出装置。
【請求項８】
請求項７記載の光検出装置において、前記試料容器の底部内表面が非球面であることを特徴とする光検出装置。
【請求項９】
請求項１記載の光検出装置において、前記試料容器の上に、透明又は一部が光を吸収する部材のふたを備え、ふたの下面の少なくとも一部が前記試料容器中の試料溶液に接触することを特徴とする光検出装置。
【請求項１０】
請求項１記載の光検出装置において、前記試料容器は、それぞれ独立して試料溶液を収容する複数のウェルを備え、前記試料容器を前記光検出器に対して２次元的に駆動する駆動部を有することを特徴とする光検出装置。
【請求項１１】
底部外表面が曲面になった試料容器と、
前記試料容器の底部から出射した光を検出するための光検出器と、
前記試料容器と前記光検出器の間に位置する集光レンズとを有し、
前記光検出器は、前記集光レンズの焦点に光電面が一致するように設置されていることを特徴とする光検出装置。