【手続補正書】
【提出日】平成20年6月26日(2008.6.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カーボン・ナノチューブ・フィルタを形成する方法であって、
（ａ）炭素源およびカーボン・ナノチューブ触媒を用意するステップと、
（ｂ）前記炭素源を前記ナノチューブ触媒と反応させることによってカーボン・ナノチューブを成長させるステップと、
（ｃ）前記カーボン・ナノチューブの上に化学的に活性の層を形成し、または前記カーボン・ナノチューブの側壁に化学的に反応性の基を形成することによって、化学的に活性のカーボン・ナノチューブを形成するステップと、
（ｄ）前記化学的に活性のナノチューブをフィルタ・ハウジングの中に配置するステップと
を含む方法。
【請求項２】
前記ナノチューブ触媒が、基板上または前記基板上のテンプレート層上の前記ナノチューブ触媒の層として提供される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
ステップ（ａ）がさらに、
前記カーボン・ナノチューブ触媒の前記層をパターン形成して、カーボン・ナノチューブ触媒のアイランドを形成し、または前記カーボン・ナノチューブ触媒の層を含む前記テンプレート層のアイランドを形成するステップ
を含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記基板が平らであり、前記カーボン・ナノチューブが前記ナノチューブ触媒の前記層の上面に成長しており、前記ナノチューブ触媒の前記層が前記基板の上面にあり、または前記基板が中空円筒であり、前記カーボン・ナノチューブが前記ナノチューブ触媒層の前記上面に成長しており、前記ナノチューブ触媒層が前記基板の内面にある、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記カーボン・ナノチューブが前記基板に付着されている間にステップ（ｃ）および（ｄ）が実行される、請求項２に記載の方法。
【請求項６】
前記基板が、シリコン、セラミック、ガラス、プラスチック、ポリシリコン、銅および金からなるグループから選択された材料を含む、請求項２に記載の方法。
【請求項７】
前記カーボン・ナノチューブ触媒がコバルト、ニッケルおよび鉄からなるグループから選択された、請求項２に記載の方法。
【請求項８】
ステップ（ｄ）で、前記カーボン・ナノチューブがカーボン・ナノチューブのマットの形態をとる、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記化学的に活性の層が、酸化オスミウム、白金、チタン、ニッケル、金、パラジウム、アルミニウム、鉄または酸化シリコンを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記化学的に反応性の基が、アルキル基、フルオロ基、アリール基、ピロリジン基、水素、アミノ基、アルデヒド基、カルボキシル基、アミド基、イミノ基およびスルホ基からなる基から選択された、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記カーボン・ナノチューブが単壁カーボン・ナノチューブまたは多壁カーボン・ナノチューブである、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
フィルタ・ハウジングと、
前記フィルタ・ハウジングの中にあって、カーボン・ナノチューブの上に形成された化学的に活性の層を含み、または前記カーボン・ナノチューブの側壁に化学的に反応性の基を含む化学的に活性のカーボン・ナノチューブと
を含むフィルタ。
【請求項１３】
基板をさらに含み、前記化学的に活性のカーボン・ナノチューブが、前記基板または前記基板上のテンプレート層に結合されている、
請求項１２に記載のフィルタ。
【請求項１４】
前記基板が平らであり、前記化学的に活性のカーボン・ナノチューブが触媒層の上面に結合されており、前記触媒層が前記基板の上面に結合されており、または前記基板が中空円筒であり、前記化学的に活性のカーボン・ナノチューブが触媒層の前記上面に結合されており、前記触媒層が前記基板の内面に結合されている、請求項１３に記載のフィルタ。
【請求項１５】
基板をさらに含み、それぞれの前記化学的に活性のカーボン・ナノチューブの末端が前記基板に結合されている、
請求項１２に記載のフィルタ。
【請求項１６】
基板をさらに含み、それぞれの前記化学的に活性のカーボン・ナノチューブの末端が前記基板の表面上のカーボン・ナノチューブ触媒層に結合されている、
請求項１２に記載のフィルタ。
【請求項１７】
フィルタ・ハウジングと、
前記フィルタ・ハウジングの中にあって、カーボン・ナノチューブの上に形成された化学的に活性の層を含み、または前記カーボン・ナノチューブの側壁に化学的に反応性の基を含む化学的に活性のカーボン・ナノチューブと、
前記化学的に活性のカーボン・ナノチューブを含むろ材と
を含むフィルタ。
【請求項１８】
前記ろ材が、それぞれの前記化学的に活性のカーボン・ナノチューブの末端が結合した基板、または前記化学的に活性のカーボン・ナノチューブのマットの形態の前記化学的に活性のカーボン・ナノチューブを含む多孔壁容器を含む、請求項１７に記載のフィルタ。
【請求項１９】
前記化学的に活性のナノチューブが、前記フィルタの入口面および出口面に平行な２つ以上の層として配置された、請求項１７に記載のフィルタ。
【請求項２０】
前記化学的に活性のナノチューブが、前記フィルタ・ハウジング内でのガス流の意図された方向に垂直な２つ以上の層として配置された、請求項１７に記載のフィルタ。
【請求項２１】
前記化学的に活性のナノチューブが２つ以上の層として配置され、前記２つ以上の層のうちの少なくとも２つの異なる層の化学的に活性のナノチューブが、互いに異なる化学的に活性の層または互いに異なる化学的に反応性の基を有する、請求項１７に記載のフィルタ。
【請求項２２】
前記ろ材が２つ以上の層として配置され、前記２つ以上の層のうちの少なくとも２つの異なる層のろ材の中の化学的に活性のナノチューブが、互いに異なる化学的に活性の層または互いに異なる化学的に反応性の基を有する、請求項１７に記載のフィルタ。
【請求項２３】
前記ろ材がＨＥＰＡフィルタであり、前記化学的に活性のカーボン・ナノチューブが、前記ＨＥＰＡフィルタの表面にマットとして形成された、請求項１７に記載のフィルタ。
【請求項２４】
ウェハの上面のフォトレジスト層を露光するための露光システムであって、
光源、１つまたは複数の集束レンズ、マスク・ホルダ、スリットおよびウェハ・ステージを含む環境チャンバであって、前記光源、前記１つまたは複数の集束レンズ、前記マスク・ホルダおよび前記スリットが光軸に対して整列されており、前記ウェハ・ステージが直交する異なる２つの方向に移動可能であり、それぞれの前記直交する方向が前記光軸と直交し、前記マスク・ホルダおよび前記スリットが前記直交する２つの方向のうちの１つの方向に移動可能である環境チャンバと、
前記環境チャンバの側壁のフィルタと
を含み、前記フィルタが、
フィルタ・ハウジングと、
前記フィルタ・ハウジングの中にあって、カーボン・ナノチューブの上に形成された化学的に活性の層を含み、または前記カーボン・ナノチューブの側壁に化学的に反応性の基を含む化学的に活性のカーボン・ナノチューブと
を含み、
さらに、
最初に前記フィルタ内に、次いで前記環境チャンバの中へ、次いで前記環境チャンバの外へ空気または不活性ガスを強制的に流すための手段
を含む露光システム。
【請求項２５】
それぞれの前記化学的に活性のカーボン・ナノチューブの末端が基板に結合されており、または前記化学的に活性のカーボン・ナノチューブがマットの形態で多孔壁容器の中に含まれる、請求項２４に記載の露光システム。
【請求項２６】
浸漬ヘッドをさらに含み、前記浸漬ヘッドが、上面と側壁と下面開口とを有するチャンバを有し、前記上面が選択された光波長に対して透明であり、さらに、
前記浸漬ヘッドの前記チャンバに浸液を満たすための手段を含み、前記浸漬ヘッドの前記チャンバが前記光軸に対して整列した、
請求項２４に記載の露光システム。