【手続補正書】
【提出日】平成19年11月30日(2007.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】マトリクス配線の製造方法、及び、電子源、画像形成装置の製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  基板上に、パターニングされた導電層と、前記導電層上から基板上に渡ってパターニングされた絶縁層とを備えるマトリクス配線の製造方法であって、基板上に、感光性材料と導電性材料とを含有する、第一の感光性ペーストを付与する工程と、当該第一の感光性ペーストを露光し、現像して、前記導電層の前駆体パターンを形成する工程と、前記導電層の前駆体パターン上から基板上に渡って、感光性材料と絶縁性材料とを含有する、第二の感光性ペーストを付与する工程と、付与された前記第二の感光性ペーストを露光し、現像して、前記絶縁層の前駆体パターンを形成する工程と、前記導電層の前駆体パターン及び前記絶縁層の前駆体パターンを焼成する工程とを有することを特徴とするマトリクス配線の製造方法。
【請求項２】  前記第一の感光性ペーストの付与と露光は、少なくとも二回以上繰り返され、前記第二の感光性ペーストの付与と露光も、少なくとも二回以上繰り返されることを特徴とする請求項１に記載のマトリクス配線の製造方法。
【請求項３】  少なくとも二回以上繰り返される、前記第一の感光性ペーストの付与と露光は、各露光のパターンを同一パターンとすることを特徴とする請求項２に記載のマトリクス配線の製造方法。
【請求項４】  少なくとも二回以上繰り返される、前記第一の感光性ペーストの付与と露光は、各露光のパターンを異なるパターンとすることを特徴とする請求項２に記載のマトリクス配線の製造方法。
【請求項５】  少なくとも二回以上繰り返される、前記第二の感光性ペーストの付与と露光は、各露光のパターンを同一パターンとすることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか一項に記載のマトリクス配線の製造方法。
【請求項６】  少なくとも二回以上繰り返される、前記第二の感光性ペーストの付与と露光は、各露光のパターンを異なるパターンとすることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか一項に記載のマトリクス配線の製造方法。
【請求項７】  前記導電性材料は主成分が金属であり、前記絶縁性材料は主成分がガラスであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載のマトリクス配線の製造方法。
【請求項８】  前記導電性材料は、導電性の粒子からなることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載のマトリクス配線の製造方法。
【請求項９】  マトリクス配線と、該マトリクス配線に給電されて駆動する電子放出素子と、を備えた電子源の製造方法であって、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の製造方法によって前記マトリクス配線を製造することを特徴とする電子源の製造方法。
【請求項１０】  電子源と、該電子源から放出された電子によって画像を形成する画像形成部材と、を備えた画像形成装置の製造方法であって、請求項９に記載の製造方法によって前記電子源を製造することを特徴とする画像形成装置の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、基板上に、パターニングされた導電層と、前記導電層上から基板上に渡ってパターニングされた絶縁層とを備えるマトリクス配線の製造方法であって、基板上に、感光性材料と導電性材料とを含有する、第一の感光性ペーストを付与する工程と、当該第一の感光性ペーストを露光し、現像して、前記導電層の前駆体パターンを形成する工程と、前記導電層の前駆体パターン上から基板上に渡って、感光性材料と絶縁性材料とを含有する、第二の感光性ペーストを付与する工程と、付与された前記第二の感光性ペーストを露光し、現像して、前記絶縁層の前駆体パターンを形成する工程と、前記導電層の前駆体パターン及び前記絶縁層の前駆体パターンを焼成する工程とを有することを特徴とするマトリクス配線の製造方法である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
上記本発明のマトリクス配線の製造方法は、さらなる特徴として、「前記第一の感光性ペーストの付与と露光は、少なくとも二回以上繰り返され、前記第二の感光性ペーストの付与と露光も、少なくとも二回以上繰り返されること」、「少なくとも二回以上繰り返される、前記第一の感光性ペーストの付与と露光は、各露光のパターンを同一パターンとすること」、「少なくとも二回以上繰り返される、前記第一の感光性ペーストの付与と露光は、各露光のパターンを異なるパターンとすること」、「少なくとも二回以上繰り返される、前記第二の感光性ペーストの付与と露光は、各露光のパターンを同一パターンとすること」、「少なくとも二回以上繰り返される、前記第二の感光性ペーストの付与と露光は、各露光のパターンを異なるパターンとすること」、「前記導電性材料は主成分が金属であり、前記絶縁性材料は主成分がガラスであること」、「前記導電性材料は、導電性の粒子からなること」、を含む。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、本発明は、マトリクス配線と、該マトリクス配線に給電されて駆動する電子放出素子と、を備えた電子源の製造方法であって、上記本発明の製造方法によって前記マトリクス配線を製造することを特徴とする電子源の製造方法である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
感光性ペーストは、導電性材料として銀を主成分とするもので、銀粒子を６〜８割程度含有するほか、感光性材料として感光性を有する有機成分、ガラスフリットおよび溶媒成分を２〜４割程度含有するものを使用した。この導電性材料を有する感光性ペーストをスクリーン印刷により基板１１上に成膜した。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
次に、図１（ｄ）において、１回目の成膜と同様の方法で、感光性材料と絶縁性材料とを含有する感光性ペーストを用いて層３２を形成した。感光性ペーストは、絶縁性材料としてガラスを主成分とするもので、ガラス系材料及び金属酸化物を４〜８割程度含有するほか、感光性材料として感光性を有する有機成分、バインダーおよび溶媒成分、その他添加剤を２〜６割程度含有するものを使用した。この絶縁性材料を有する感光性ペーストをスクリーン印刷により成膜した。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
感光性ペーストは、導電性材料として銀を主成分とするもので、銀粒子を６〜８割程度含有するほか、感光性材料として感光性を有する有機成分、ガラスフリットおよび溶媒成分を２〜４割程度含有するものを使用した。この導電性材料を有する感光性ペーストをスクリーン印刷により基板１１上に成膜した。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
次に、図２（ｆ）において、１回目の成膜と同様の方法で、感光性材料と絶縁性材料とを含有する感光性ペーストを用いて層３２を形成した。感光性ペーストは、絶縁性材料としてガラスを主成分とするもので、ガラス系材料及び金属酸化物を４〜８割程度含有するほか、感光性材料として感光性を有する有機成分、バインダーおよび溶媒成分、その他添加剤を２〜６割程度含有するものを使用した。この絶縁性材料を有する感光性ペーストをスクリーン印刷により成膜した。