【手続補正書】
【提出日】平成20年10月17日(2008.10.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定方向（ｘ）に対して互いに相対的に動く形に配置された基準尺（１０）と走査ユニット（２０）から構成された、位置に依存した走査信号を生成するための位置測定装置であって、その際
基準尺（１０）は、少なくとも一つのインクリメンタル目盛トラック（１１；１１１；２１１；３１１）を有し、この目盛トラックは、測定方向（ｘ）に延びており、基本的に光学特性が異なる目盛領域（１２ａ，１２ｂ）の周期的な配列で構成されており、少なくとも一つの基準位置（ｘREF ）に、目盛領域（１２ａ，１２ｂ）の非周期的な配列で構成される基準指標（ＲＥＦ）を有し、
走査ユニット（２０）は、コリメーターレンズを前置していない光源（２１）と光電式検出器配列を有し、この検出器配列は、少なくとも一つの基準インパルス信号検出器ユニット（２４ａ，２４ｂ；１２４ａ；２２４ａ；３２４ａ）を有し、この検出器ユニットは、基準指標（ＲＥＦ）と対応して基準インパルス信号（ＲＩ）を生成し、
基準位置（ｘREF ）の領域で振幅変調された周期的な縞模様が、検出面に生じる、
位置測定装置において、
基準インパルス信号検出器ユニット（２４ａ，２４ｂ；１２４ａ；２２４ａ；３２４ａ）は、複数の基準インパルス信号検出器エレメント（２６，２７．１，２７．２；１２６，１２７．１，１２７．２；２２６，２２７．１，２２７．２）から構成されており、これらの検出器エレメントは、これらの検出器エレメントが、基準位置（ｘREF ）で振幅変調された縞模様に対してバンドパスフィルターとして作用するとともに、出力側において、インクリメンタル目盛トラック（１１；１１１；２１１；３１１）からの周期的な信号成分と低周波の信号成分をフィルターで大幅に除去した基準インパルス信号（ＲＩ）が生じるように、サイズを規定されるとともに、基準インパルス信号（ＲＩ）を生成するように接続されていることを特徴とする位置測定装置。
【請求項２】
基準インパルス信号検出器ユニット（２４ａ，２４ｂ；１２４ａ；２２４ａ；３２４ａ）は、一つの中央に配置された基準インパルス信号検出器エレメント（２６；１２６；２２６）とこのエレメントに対して測定方向（ｘ）に対称的に配置された二つの基準インパルス信号検出器エレメント（２７．１，２７．２；１２７．１，１２７．２；２２７．１，２２７．２）とを有し、これらの二つの検出器エレメントは、この中央の基準インパルス信号検出器エレメント（２６；１２６；２２６）に対してＮ＊３６０°（Ｎ＝１，２，... ）の位相のずれた走査信号を生成するとともに、一方における中央に配置された基準インパルス信号検出器エレメント（２６；１２６；２２６）と他方におけるこのエレメントに対して測定方向（ｘ）に対称的に配置された二つの基準インパルス信号検出器エレメント（２７．１，２７．２；１２７．１，１２７．２；２２７．１，２２７．２）が、差分を取る形で接続されており、この差分信号が、基準インパルス信号（ＲＩ）となることを特徴とする請求項１に記載の位置測定装置。
【請求項３】
中央に配置された基準インパルス信号検出器エレメント（２６；１２６；２２６）の幅（ｂ1 ）が、このエレメントに対して測定方向（ｘ）に対称的に配置された二つの基準インパルス信号検出器エレメント（２７．１，２７．２；１２７．１，１２７．２；２２７．１，２２７．２）の幅（ｂ2 ）の二倍の大きさとなるように選定することを特徴とする請求項２に記載の位置測定装置。
【請求項４】
中央に配置された基準インパルス信号検出器エレメント（２６；１２６；２２６）の幅（ｂ1 ）が、インクリメンタル信号（ＩＮＣ）の信号周期（ＳＰINC ）と等しくなるように選定することを特徴とする請求項３に記載の位置測定装置。
【請求項５】
中央に配置された基準インパルス信号検出器エレメント（２６；１２６；２２６）とこのエレメントに隣接する基準インパルス信号検出器エレメント（２７．１，２７．２；１２７．１，１２７．２；２２７．１，２２７．２）との間隔（ｄ）を、以下の式
ｄ＝ｎ＊ＳＰINC ＋０．５ｂ2 
又は
ｄ＝ｎ＊ＳＰINC −０．５ｂ2 
ここで、
ＳＰINC ：インクリメンタル信号の信号周期
ｂ2     ：外側の基準インパルス信号検出器エレメントの幅
ｎ      ：０，１，２，３，......
にもとづき選定することを特徴とする請求項２に記載の位置測定装置。
【請求項６】
インクリメンタル目盛トラック（１１；１１１；２１１；３１１）の基準指標（ＲＥＦ）の領域には、インクリメンタル目盛トラック（１１；１１１；２１１；３１１）の周期性を乱す少なくとも一つの明視野が統合されており、この明視野が、反射率の高い又は透過率の高い目盛領域（１２ｂ）から構成されることを特徴とする請求項１に記載の位置測定装置。
【請求項７】
当該の明視野が、インクリメンタル目盛トラック（１１；１１１；２１１；３１１）の目盛周期（ＴＰM ）の２倍又はインクリメンタル目盛トラック（１１；１１１；２１１；３１１）の目盛周期（ＴＰM ）の１．５倍に相当する幅を有することを特徴とする請求項６に記載の位置測定装置。
【請求項８】
当該の明視野が、基準尺（１０；１００；２００；３００）上において、測定方向（ｘ）に対して最も近くに隣接する反射率の高い又は透過率の高い目盛領域（１２ｂ）との間隔が最大の幅を取るように配置されており、その際省かれる反射率の高い又は透過率の高い目盛領域の数が出来る限り最小となるように選定することを特徴とする請求項６に記載の位置測定装置。
【請求項９】
基準尺（１０；１００；２００；３００）上において、当該の明視野と測定方向（ｘ）に対して最も近くに隣接する反射率の高い又は透過率の高い目盛領域（１２ｂ）との間隔が、インクリメンタル目盛トラック（１１；１１１；２１１；３１１）の目盛周期（ＴＰM ）の１．５倍であることを特徴とする請求項８に記載の位置測定装置。
【請求項１０】
当該の基準インパルス信号検出器ユニットが、差分を取る形で互いに接続された二対の基準インパルス信号検出器エレメントから構成されており、これらの検出器エレメントは、１８０°位相のずれた走査信号（Ｓ１，Ｓ２）を生成するとともに、それらの間隔が、それぞれ測定方向（ｘ）に対してインクリメンタル信号の信号周期（ＳＰINC ）の整数倍であることを特徴とする請求項１に記載の位置測定装置。
【請求項１１】
当該のインクリメンタル目盛トラックには、基準指標（ＲＥＦ）として、少なくとも二つの明視野が形成されており、当該の走査ユニットには、測定方向（ｘ）に対して順番に配置された複数対の基準インパルス信号検出器エレメント（４２６．１，４２６．２，４２７．１，４２７．２）が配備されており、その際基準インパルス信号検出器エレメント（４２６．１，４２６．２，４２７．１，４２７．２）が、交番する順序で配備されており、隣接する対が、位相の異なる走査信号（Ｓ１，Ｓ２）を提供することを特徴とする請求項１０に記載の位置測定装置。
【請求項１２】
走査ユニット（２０）が、一つの走査板（２５）を有し、この走査板においては、
中央の領域に、送信目盛（２２）が配置されており、
送信目盛（２２）に隣接して、当該のインクリメンタル信号検出器エレメントが配置されており、
送信目盛（２２）には、測定方向（ｘ）に対して垂直に隣接する形で、少なくとも一つの基準インパルス信号検出器ユニット（２４ａ，２４ｂ）が配置されている、
ことを特徴とする請求項１から１１までのいずれか一つに記載の位置測定装置。
【請求項１３】
走査板（２５）上には、当該の基準インパルス信号検出器ユニットが複数配置されており、当該の基準インパルス信号検出器エレメントの間には、インクリメンタル信号検出器エレメントが、更に配置されていることを特徴とする請求項１２に記載の位置測定装置。