【手続補正書】
【提出日】平成20年2月18日(2008.2.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ステージ装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  X方向に直線運動する可動子を有するＸリニアモータと、前記Xリニアモータ上に搭載され、前記X方向と直角なY方向に直線運動する可動子を有するYリニアモータと、前記Yリニアモータ上に搭載され、前記X方向及び前記Y方向と直角な中心軸の周りを回動する可動子を有する揺動モータとを備え、前記Xリニアモータ及び前記Yリニアモータは、永久磁石及びその磁気空隙内に配置されるコイルの一方を可動子とし、前記コイルに通電することにより前記永久磁石又は前記コイルを直線運動させるようにしたステージ装置において、前記揺動モータは、前記中心軸を有するベースの表面に複数個の永久磁石が扇型に配置された磁気回路を有する固定子と、前記複数の永久磁石の磁気空隙に臨むように複数個の偏平コイルが扇型に配置された可動子を有し、この可動子をクロスローラベアリングを介して前記中心軸に装着するとともに、前記偏平コイルの端末に接続され、前記ベースの表面でかつ前記可動子の回転範囲外の領域に引出された配線を前記ベースに支持されたケーブルベア内に通すことを特徴とするステージ装置。
【請求項２】  X方向に直線運動する可動子を有するＸリニアモータと、前記Xリニアモータ上に搭載され、前記X方向と直角なY方向に直線運動する可動子を有するYリニアモータと、前記Yリニアモータ上に搭載され、前記X方向及び前記Y方向と直角な中空の中心軸の周りを回動する可動子を有する揺動モータとを備え、前記Xリニアモータ及び前記Yリニアモータは、永久磁石及びその磁気空隙内に配置されるコイルの一方を可動子とし、前記コイルに通電することにより前記永久磁石又は前記コイルを直線運動させるようにしたステージ装置において、前記揺動モータは、前記中心軸を有するベースの表面に複数の永久磁石が扇型に配置された磁気回路を有する固定子と、前記複数個の永久磁石の磁気空隙に臨むように複数個の偏平コイルが扇型に配置された可動子を有し、この可動子をクロスローラベアリングを介して前記中心軸に装着するとともに、前記偏平コイルの端末に接続され、前記ベースの表面でかつ前記可動子の回転範囲外の領域に引出された配線を前記中心軸の内部に通すことを特徴とするステージ装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、永久磁石とコイルとを相対的に移動させるようにした揺動モータ及びリニアモータを備えたステージ装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
特開平７−９９７６６号には、このような従来のθモータの縦方向寸法が大きくなるという問題を解決するため、リニアモータを可動子の移動方向に所定の曲率を有するようにしたθモータ（駆動ユニット）が示されている。しかし、特開平７−９９７６６号が示すθモータ（駆動ユニット）は磁気回路が相隣る磁極同士での磁束だけを使用する（磁気空隙内で磁束が閉ループを構成しない）方式であり、前記、特公昭５８−４９１００号および実開昭６３−９３７８３号公報に開示されているような、対向する永久磁石間（または永久磁石とヨークの間）に形成された磁気空隙内に発生する磁束を使用する方式に比べて磁束量が少なく、トルクが減少してしまうという問題があった。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明は前記従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、トルク減少を防止するとともに高さ方向寸法を小さくすることができる、揺動モータ（θモータ）を備えたステージ装置を提供することである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明のステージ装置は、X方向に直線運動する可動子を有するＸリニアモータと、前記Xリニアモータ上に搭載され、前記X方向と直角なY方向に直線運動する可動子を有するYリニアモータと、前記Yリニアモータ上に搭載され、前記X方向及び前記Y方向と直角な中心軸の周りを回動する可動子を有する揺動モータとを備え、前記Xリニアモータ及び前記Yリニアモータは、永久磁石及びその磁気空隙内に配置されるコイルの一方を可動子とし、前記コイルに通電することにより前記永久磁石又は前記コイルを直線運動させるようにしたステージ装置において、前記揺動モータは、前記中心軸を有するベースの表面に複数個の永久磁石が扇型に配置された磁気回路を有する固定子と、前記複数の永久磁石の磁気空隙に臨むように複数個の偏平コイルが扇型に配置された可動子を有し、この可動子をクロスローラベアリングを介して前記中心軸に装着するとともに、前記偏平コイルの端末に接続され、前記ベースの表面でかつ前記可動子の回転範囲外の領域に引出された配線を前記ベースに支持されたケーブルベア内に通すことを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明のステージ装置は、X方向に直線運動する可動子を有するＸリニアモータと、前記Xリニアモータ上に搭載され、前記X方向と直角なY方向に直線運動する可動子を有するYリニアモータと、前記Yリニアモータ上に搭載され、前記X方向及び前記Y方向と直角な中空の中心軸の周りを回動する可動子を有する揺動モータとを備え、前記Xリニアモータ及び前記Yリニアモータは、永久磁石及びその磁気空隙内に配置されるコイルの一方を可動子とし、前記コイルに通電することにより前記永久磁石又は前記コイルを直線運動させるようにしたステージ装置において、前記揺動モータは、前記中心軸を有するベースの表面に複数の永久磁石が扇型に配置された磁気回路を有する固定子と、前記複数個の永久磁石の磁気空隙に臨むように複数個の偏平コイルが扇型に配置された可動子を有し、この可動子をクロスローラベアリングを介して前記中心軸に装着するとともに、前記偏平コイルの端末に接続され、前記ベースの表面でかつ前記可動子の回転範囲外の領域に引出された配線を前記中心軸の内部に通す構成とすることもできる。  
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】