【手続補正書】
【提出日】平成20年10月27日(2008.10.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
官能化シリカゲルが中に不動化されている自己支持性繊維マトリックスを含む、フォトレジスト組成物を濾過するためのフィルターシートであって、前記官能化シリカゲルが、前記マトリックスの断面に渡り実質的に均一に分布している上記フィルターシート。
【請求項２】
官能化シリカゲルが、3-アミノプロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（ジエチレントリアミノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（エチレンジアミノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、2-（4-（エチレンジアミノ）ベンジル）エチルにより官能化されたシリカゲル、3-（1-チオウレイド）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（ウレイド）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（ジメチルアミノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（4,4'-トリメチレンジピペリジノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、2-（2-ピリジル）エチルにより官能化されたシリカゲル、3-（1-ピペラジノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（1-ピペリジノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（イミダゾール-1-イル）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（1-モルホリノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（1,3,4,6,7,8-ヘキサヒドロ-２Ｈ-ピリミド-[1,2-a]ピリミジノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、テトラアンモニウムアセテート酸により官能化されたシリカゲル、2-（4-ベンジルトリメチルアンモニウムクロリド）エチルにより官能化されたシリカゲル、3-（トリメチルアンモニウム）カーボネートプロピルにより官能化されたシリカゲル、及びこれらの混合物からなる群から選択される、請求項１のフィルターシート。
【請求項３】
自己支持性繊維マトリックスが、ポリアクリロニトリル繊維、ナイロン繊維、レーヨン繊維、ポリビニルクロライド繊維、セルロース繊維及びセルロースアセテート繊維からなる群から選択される、請求項１のフィルターシート。
【請求項４】
粒状フィルター助剤を更に含む、請求項１のフィルターシート。
【請求項５】
粒状フィルター助剤が、ケイ藻土、マグネシア、パーライト、タルク、コロイダルシリカ、ポリマー性粒状物、活性炭、モレキュラーシーブ、クレー及びこれらの混合物からなる群から選択される、請求項４のフィルターシート。
【請求項６】
官能化シリカゲル及び粒状フィルター助剤が中に不動化されている自己支持性繊維マトリックスを含む、フォトレジスト組成物を濾過するためのフィルターシートであって、前記官能化シリカゲル及び粒状フィルター助剤が、前記マトリックスの断面に渡り実質的に均一に分布されている、前記フィルターシート。
【請求項７】
官能化シリカゲルが、3-アミノプロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（ジエチレントリアミノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（エチレンジアミノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、2-（4-（エチレンジアミノ）ベンジル）エチルにより官能化されたシリカゲル、3-（1-チオウレイド）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（ウレイド）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（ジメチルアミノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（4,4'-トリメチレンジピペリジノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、2-（2-ピリジル）エチルにより官能化されたシリカゲル、3-（1-ピペラジノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（1-ピペリジノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（イミダゾール-1-イル）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（1-モルホリノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（1,3,4,6,7,8-ヘキサヒドロ-２Ｈ-ピリミド-[1,2-a]ピリミジノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、テトラアンモニウムアセテート酸により官能化されたシリカゲル、2-（4-ベンジルトリメチルアンモニウムクロリド）エチルにより官能化されたシリカゲル、3-（トリメチルアンモニウム）カーボネートプロピルにより官能化されたシリカゲル、及びこれらの混合物からなる群から選択される、請求項６のフィルターシート。
【請求項８】
自己支持性繊維マトリックスが、ポリアクリロニトリル繊維、ナイロン繊維、レーヨン繊維、ポリビニルクロライド繊維、セルロース繊維及びセルロースアセテート繊維からなる群から選択される、請求項６のフィルターシート。
【請求項９】
粒状フィルター助剤が、ケイ藻土、マグネシア、パーライト、タルク、コロイダルシリカ、ポリマー性粒状物、活性炭、モレキュラーシーブ、クレー及びこれらの混合物からなる群から選択される、請求項６のフィルターシート。
【請求項１０】
フォトレジスト組成物に使用するのに好適な成膜性樹脂の製造方法であって、（ａ）溶剤中に成膜性樹脂の溶液を用意し；  （ｂ）官能化シリカゲルを用意し；  （ｃ）成膜性樹脂の前記溶液と、（ｂ）の官能化シリカゲルとを接触させ；  及び（ｄ）官能化シリカゲルから成膜性樹脂の溶液を分離し、それによってフォトレジスト組成物に使用するのに適した成膜性樹脂を得る、段階を含む前記方法。
【請求項１１】
官能化シリカゲル（ｂ）が、3-アミノプロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（ジエチレントリアミノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（エチレンジアミノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、2-（4-（エチレンジアミノ）ベンジル）エチルにより官能化されたシリカゲル、3-（1-チオウレイド）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（ウレイド）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（ジメチルアミノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（4,4'-トリメチレンジピペリジノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、2-（2-ピリジル）エチルにより官能化されたシリカゲル、3-（1-ピペラジノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（1-ピペリジノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（イミダゾール-1-イル）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（1-モルホリノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、3-（1,3,4,6,7,8-ヘキサヒドロ-２Ｈ-ピリミド-[1,2-a]ピリミジノ）プロピルにより官能化されたシリカゲル、テトラアンモニウムアセテート酸により官能化されたシリカゲル、2-（4-ベンジルトリメチルアンモニウムクロリド）エチルにより官能化されたシリカゲル、3-（トリメチルアンモニウム）カーボネートプロピルにより官能化されたシリカゲル、及びこれらの混合物からなる群から選択される、請求項１０の方法。
【請求項１２】
成膜性樹脂の溶液と官能化シリカゲルとを接触させる段階（ｃ）が、前記溶液を、シリカゲルを含むカラムに通すことによって行われる、請求項１０の方法。
【請求項１３】
成膜性樹脂の溶液と官能化シリカゲルとを接触させる段階（ｃ）が、成膜性樹脂の溶液を、請求項１のフィルターシートに通すことによって行われる、請求項１０の方法。
【請求項１４】
成膜性樹脂の溶液と官能化シリカゲルとを接触させる段階（ｃ）が、前記溶液とシリカゲルとを一緒に混合することによって行われる、請求項１０の方法。
【請求項１５】
段階（ｃ）において成膜性樹脂の溶液をフィルターシートに通す前に、この成膜性樹脂の溶液を、
（ｉ）粒状フィルター助剤及び粒状イオン交換樹脂が中に不動化されている自己支持性繊維マトリックスからなるフィルターシートであって、前記イオン交換樹脂は約２〜約１０μｍの平均粒度を有し、そして前記粒状フィルター助剤及びイオン交換樹脂粒子は前記マトリックスの断面に渡り実質的に均一に分布している、前記フィルターシート；  及び／または
（ｉｉ）粒状フィルター助剤及びバインダー樹脂が中に不動化されている自己支持性繊維マトリックスからなるフィルターシートであって、０．０５〜０．５μｍの平均孔径を有する、前記フィルターシート；
但し、前記（ｉ）及び／または（ｉｉ）のフィルターシートは、段階（ａ）の溶剤ですすぎ処理されたものである；
から選択される少なくとも一つのフィルターシートに通す、請求項１３の方法。
【請求項１６】
成膜性樹脂の溶液を、（Ａ）フィルターシート（ｉ）；  （Ｂ）フィルターシート（ｉｉ）；  （Ｃ）最初にフィルターシート（ｉ）、その後フィルターシート（ｉｉ）；  または（Ｄ）最初にフィルターシート（ｉｉ）、その後フィルターシート（ｉ）のいずれかで前記フィルターシートに通す、請求項１５の方法。
【請求項１７】
段階（ｃ）において成膜性樹脂の溶液をフィルターシートに通した後に、この成膜性樹脂の溶液を、
（ｉ）粒状フィルター助剤及び粒状イオン交換樹脂が中に不動化されている自己支持性繊維マトリックスからなるフィルターシートであって、前記イオン交換樹脂は約２〜約１０μｍの平均粒度を有し、そして前記粒状フィルター助剤及びイオン交換樹脂粒子は前記マトリックスの断面に渡り実質的に均一に分布している、前記フィルターシート；  及び／または
（ｉｉ）粒状フィルター助剤及びバインダー樹脂が中に不動化されている自己支持性繊維マトリックスからなるフィルターシートであって、０．０５〜０．５μｍの平均孔径を有する、前記フィルターシート；
但し、前記（ｉ）及び／または（ｉｉ）のフィルターシートは、段階（ａ）の溶剤ですすぎ処理されたものである；
から選択される少なくとも一つのフィルターシートに通す、請求項１３の方法。
【請求項１８】
成膜性樹脂の溶液を、（Ａ）フィルターシート（ｉ）；  （Ｂ）フィルターシート（ｉｉ）；  （Ｃ）最初にフィルターシート（ｉ）、その後フィルターシート（ｉｉ）；  または（Ｄ）最初にフィルターシート（ｉｉ）、その後フィルターシート（ｉ）のいずれかで前記フィルターシートに通す、請求項１７の方法。
【請求項１９】
段階（ｄ）の後に、フォトレジスト組成物に使用するのに好適な成膜性樹脂が、各々５０ｐｐｂ未満のナトリウム及び鉄イオン濃度を有する、請求項１０の方法。
【請求項２０】
フォトレジスト組成物を製造する方法であって、（１）請求項１０の方法によって製造された成膜性樹脂；  （２）フォトレジスト組成物を感光性化するのに十分な量の感光性成分；  及び（３）適当なフォトレジスト溶剤を含む混合物を供することを含む、上記方法。
【請求項２１】
基材上に像を形成することによって微細電子デバイスを製造する方法であって、（ａ）請求項２０の方法で調製されたフォトレジスト組成物を用意し；  （ｂ）その後、段階（ａ）のフォトレジスト組成物で適当な基材をコーティングし；  （ｃ）その後、このコーティングされた基材を、実質的に全てのフォトレジスト溶剤が除去されるまで熱処理し；  及び（ｄ）フォトレジスト組成物を像様露光し、そして像様露光された領域のフォトレジスト組成物を適当な現像剤で除去することを含む、上記方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
以上は、本発明を例示、説明するものである。なお、上記の説明は、本発明の好ましい態様を示したものに過ぎないが、上述の通り、本発明は、様々な他の組み合わせ、改良、及び環境において使用すること、及び本明細書において表現される発明的概念の範囲内において、上記の教示及び／または関連技術分野の技術もしくは知識に基づいて変更もしくは改良することが可能である。更に、上記の態様は、本発明を実施する上で把握しているベストモードを説明することを意図し、かつこのような態様または他の態様において並びに本発明の特定の適用もしくは使用において必要とされる様々な改良を加えて、当業者が本発明を利用できるようにすることを意図したものである。それゆえ、上記の説明は、上記の形態に本発明を限定するものではない。また、添付の特許請求の範囲は、代わりの態様も包含するものである。
本発明は、請求項１〜２１に係る発明に関するものであるが、更に、それらの態様として以下を含む。
（１）  自己支持性繊維マトリックスがセルロース繊維である、請求項３のフィルターシート。
（２）  セルロース繊維が、約９０％を超えるアルファセルロース含有率を有する、上記（１）のフィルターシート。
（３）  セルロース繊維が、＋４００〜＋８００ｍＬのカナダ標準ろ水度を有する標準セルロースパルプを主量で、及び＋１００〜−１０００ｍＬのカナダ標準ろ水度を有する高度に精錬されたパルプを副量で含む、上記（１）のフィルターシート。
（４）  フィルターシートが、約０．２〜１．０マイクロメータ（μｍ）の平均孔径を有する、請求項１のフィルターシート。
（５）  フィルターシートが、約０．５〜１．０μｍの平均孔径を有する、請求項１のフィルターシート。
（６）  フィルターシートの粒状フィルター助剤が酸で洗浄されている、請求項４のフィルターシート。
（７）  酸が、塩酸、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、シュウ酸、コハク酸、スルホン酸、及び硝酸からなる群から選択される少なくとも一種である、上記（６）のフィルターシート。
（８）  フィルターシートが、約２〜約４５重量％の量で粒状フィルター助剤を含む、請求項４のフィルターシート。
（９）  フィルターシートが、約１５〜約８０重量％の量で繊維マトリックスを含む、請求項１のフィルターシート。
（１０）  フィルターシートが、約５〜約７０重量％の量で官能化シリカゲルを含む、請求項１のフィルターシート。
（１１）  自己支持性繊維マトリックスがセルロース繊維である、請求項８のフィルターシート。
（１２）  セルロース繊維が、約９０％を超えるアルファセルロース含有率を有する、上記（１１）のフィルターシート。
（１３）  セルロース繊維が、＋４００〜＋８００ｍＬのカナダ標準ろ水度を有する標準セルロースパルプを主量で、及び＋１００〜−１０００ｍＬのカナダ標準ろ水度を有する高度に精錬されたパルプを副量で含む、上記（１１）のフィルターシート。
（１４）  フィルターシートが、約０．２〜１．０μｍの平均孔径を有する、請求項６のフィルターシート。
（１５）  官能化シリカゲルを含むフィルターシートが、約０．５〜１．０μｍの平均孔径を有する、請求項６のフィルターシート。
（１６）  フィルターシートの粒状フィルター助剤が酸で洗浄されている、請求項６のフィルターシート。
（１７）  酸が、塩酸、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、シュウ酸、コハク酸、スルホン酸、及び硝酸からなる群から選択される少なくとも一種である、上記（１６）のフィルターシート。
（１８）  フィルターシートが、約２〜約４５重量％の量で粒状フィルター助剤を含む、請求項６のフィルターシート。
（１９）  フィルターシートが、約１５〜約８０重量％の量で繊維マトリックスを含む、請求項６のフィルターシート。
（２０）  フィルターシートが、約５〜約７０重量％の量で官能化シリカゲルを含む、請求項６のフィルターシート。
（２１）  段階（ｄ）の後に、フォトレジスト組成物に使用するのに好適な成膜性樹脂が、各々２５ｐｐｂ未満のナトリウム及び鉄イオン濃度を有する、請求項１０の方法。
（２２）  段階（ｄ）の後に、フォトレジスト組成物に使用するのに好適な成膜性樹脂が、各々１０ｐｐｂ未満のナトリウム及び鉄イオン濃度を有する、請求項１０の方法。