【手続補正書】
【提出日】平成20年3月24日(2008.3.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検面の位相情報を担持した縞画像を撮像し、該縞画像に基づき前記被検面の計測を行なう縞計測装置において設定された、計測空間の座標系から実空間の座標系へ変換するための変換係数の値を較正する方法であって、
互いのなす角度が前記実空間において所定の基準値をとるように構成された少なくとも２つの反射面を有する較正用治具を、前記縞計測装置により前記少なくとも２つの反射面それぞれの傾斜情報を担持した１つの縞画像を撮像し得るように設置する較正用治具設置手順と、
前記縞計測装置により前記１つの縞画像を撮像する縞画像撮像手順と、
撮像された前記１つの縞画像に基づき、前記計測空間の座標系における前記少なくとも２つの反射面のなす角度の算出値を求める角度算出手順と、
前記基準値と前記算出値とが所定の単位系のもとで互いに一致するように、前記変換係数の値を較正する較正手順と、
をこの順で行なうことを特徴とする縞計測装置の変換係数較正方法。
【請求項２】
前記角度算出手順は、
前記１つの縞画像に基づき、前記計測空間の座標系において前記少なくとも２つの反射面それぞれを表す、前記変換係数をパラメータとして含む少なくとも２つの方程式を求めるステップと、
求められた前記少なくとも２つの方程式それぞれの法線成分同士の内積演算に基づき、前記算出値を求めるステップと、
からなることを特徴とする請求項１記載の縞計測装置の変換係数較正方法。
【請求項３】
被検面の位相情報を担持した縞画像を撮像し、該縞画像に基づき前記被検面の計測を行なう縞計測装置において設定された、計測空間の座標系から実空間の座標系へ変換するための変換係数の値を較正する装置であって、
互いのなす角度が前記実空間において所定の基準値をとるように構成された少なくとも２つの反射面を有する較正用治具と、
前記縞計測装置により撮像された、前記少なくとも２つの反射面それぞれの傾斜情報を担持した１つの縞画像に基づき、前記計測空間の座標系における前記少なくとも２つの反射面のなす角度の算出値を求める角度算出手段と、
前記基準値と前記算出値とが所定の単位系のもとで互いに一致するように前記変換係数の値を較正する較正手段と、
を備えてなることを特徴とする変換係数較正装置。
【請求項４】
前記角度算出手段は、
前記１つの縞画像に基づき、前記計測空間の座標系において前記少なくとも２つの反射面それぞれを表す、前記変換係数をパラメータとして含む少なくとも２つの方程式を求め、求められた前記少なくとも２つの方程式それぞれの法線成分同士の内積演算に基づき、前記算出値を求めるように構成されていることを特徴とする請求項３記載の変換係数較正装置。
【請求項５】
請求項３または４記載の変換係数較正装置を備えてなることを特徴とする縞計測装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
すなわち、本発明に係る縞計測装置の変換係数較正方法は、被検面の位相情報を担持した縞画像を撮像し、該縞画像に基づき前記被検面の計測を行なう縞計測装置において設定された、計測空間の座標系から実空間の座標系へ変換するための変換係数の値を較正する方法であって、
互いのなす角度が前記実空間において所定の基準値をとるように構成された少なくとも２つの反射面を有する較正用治具を、前記縞計測装置により前記少なくとも２つの反射面それぞれの傾斜情報を担持した１つの縞画像を撮像し得るように設置する較正用治具設置手順と、
前記縞計測装置により前記１つの縞画像を撮像する縞画像撮像手順と、
撮像された前記１つの縞画像に基づき、前記計測空間の座標系における前記少なくとも２つの反射面のなす角度の算出値を求める角度算出手順と、
前記基準値と前記算出値とが所定の単位系のもとで互いに一致するように、前記変換係数の値を較正する較正手順と、をこの順で行なうことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
前記角度算出手順は、前記１つの縞画像に基づき、前記計測空間の座標系における前記少なくとも２つの反射面それぞれを表す、前記変換係数をパラメータとして含む少なくとも２つの方程式を求めるステップと、求められた前記少なくとも２つの方程式それぞれの法線成分同士の内積演算に基づき、前記算出値を求めるステップと、からなるようにすることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明に係る変換係数較正装置は、被検面の位相情報を担持した縞画像を撮像し、該縞画像に基づき前記被検面の計測を行なう縞計測装置において設定された、計測空間の座標系から実空間の座標系へ変換するための変換係数の値を較正する装置であって、
互いのなす角度が前記実空間において所定の基準値をとるように構成された少なくとも２つの反射面を有する較正用治具と、
前記縞計測装置により撮像された、前記少なくとも２つの反射面それぞれの傾斜情報を担持した１つの縞画像に基づき、前記計測空間の座標系において前記少なくとも２つの反射面のなす角度の算出値を求める角度算出手段と、
前記基準値と前記算出値とが所定の単位系のもとで互いに一致するように前記変換係数の値を較正する較正手段と、を備えてなることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
前記角度算出手段は、前記１つの縞画像に基づき、前記計測空間の座標系において前記少なくとも２つの反射面それぞれを表す、前記変換係数をパラメータとして含む少なくとも２つの方程式を求め、求められた前記少なくとも２つの方程式それぞれの法線成分同士の内積演算に基づき、前記算出値を求めるように構成することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
なお、上記「所定の基準値」とは、較正用治具の少なくとも２つの反射面それぞれの傾斜情報を担持した１つの縞画像を、較正対象となる縞計測装置により撮像し得る（角度が大きすぎて１つの反射面の縞画像しか得られないということのない）角度範囲内で設定されるものであれば、任意に設定し得るものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明に係る縞計測装置の変換係数較正方法および装置によれば、縞計測装置により撮像された、較正用治具の少なくとも２つの反射面それぞれの傾斜情報を担持した１つの縞画像から、計測空間の座標系における少なくとも２つの反射面のなす角度を算出し、この算出値と実空間における少なくとも２つの反射面のなす角度の基準値とが、所定の単位系のもとで互いに一致するように変換係数を較正するようにしていることにより、以下のような効果を奏する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
すなわち、従来方法のように基準角度計を用いた複数回の計測を行なう必要がなく、較正用治具の少なくとも２つの反射面それぞれの傾斜情報を担持した１つの縞画像を縞計測装置より撮像すれば、後は演算により変換係数の値を較正することができるので、これまで手順が煩雑で多くの時間を要するとされていた変換係数の値の較正を、容易かつ短時間で行なうことが可能となる。