【手続補正書】
【提出日】平成20年6月27日(2008.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
くさびを持ち、入射光束に対して傾斜して配置され、当該入射光束を反射光と透過光に分割する第１の透明平板と、
前記第１の透明平板からの前記反射光に対して傾斜して配置され、当該反射光の一部を第１の検出器へ向けて透過させ、他の部分を反射させる第２の透明平板と、
くさびを持ち、前記第１の透明平板からの前記透過光に対して傾斜して配置され、当該透過光の一部を第２の検出器へ向けて前記第２の透明平板で透過した光と同じ偏光状態で反射させ、他の部分を透過させる第３の透明平板と、を有し、
前記第１の透明平板により分割された前記反射光は、前記第１の透明平板のおもて面で反射した光と前記第１の透明平板の裏面で反射した光を含み、
前記第１の透明平板の前記くさびは、前記第１の透明平板の前記おもて面で反射した光と前記第１の透明平板の前記裏面で反射した光とが前記第１の検出器上で重なることにより、前記第１の検出器上に数本の干渉縞が発生するように設定され、
前記第３の透明平板で反射した光は、前記第３の透明平板のおもて面で反射した光と前記第３の透明平板の裏面で反射した光を含み、
前記第３の透明平板の前記くさびは、前記第３の透明平板の前記おもて面で反射した光と前記第３の透明平板の前記裏面で反射した光とが前記第２の検出器上で重なることにより、前記第２の検出器上に数本の干渉縞が発生するように設定されることを特徴とする光束分割装置。
【請求項２】
くさびを持ち、入射光束に対して傾斜して配置され、当該入射光束を反射光と透過光に分割する第１の透明平板と、
前記第１の透明平板からの前記反射光に対して傾斜して配置され、当該反射光を分割し、当該分割によって得た一部の光を検出器へ向ける第２の透明平板と、
前記第１の透明平板からの前記透過光に対して傾斜して配置され、当該透過光の一部を反射させ、他の部分を透過させる第３の透明平板と、を有し、
前記第１の透明平板により分割された前記反射光は、前記第１の透明平板のおもて面で反射した光と前記第１の透明平板の裏面で反射した光を含み、
前記第１の透明平板の前記くさびは、前記第１の透明平板の前記おもて面で反射した光と前記第１の透明平板の前記裏面で反射した光とが前記検出器上で重なることにより、前記検出器上に数本の干渉縞が発生するように設定され、
前記第３の透明平板からの反射光及び透過光のうちの一方は、前記第２の透明平板によって前記検出器の方へ向けられた光と同じ偏光状態を有することを特徴とする光束分割装置。
【請求項３】
くさびを持ち、入射光束に対して傾斜して配置され、当該入射光束を反射光と透過光に分割する第１の透明平板と、
前記第１の透明平板からの前記反射光に対して傾斜して配置され、当該反射光を分割し、当該分割した光のうちの１つを検出器へ向ける第２の透明平板と、
前記第１の透明平板からの前記透過光に対して傾斜して配置され、当該透過光を分割する第３の透明平板と、を有し、
前記第１の透明平板により分割された前記反射光は、前記第１の透明平板のおもて面で反射した光と前記第１の透明平板の裏面で反射した光を含み、
前記第１の透明平板の前記くさびは、前記第１の透明平板の前記おもて面で反射した光と前記第１の透明平板の前記裏面で反射した光とが前記検出器上で重なることにより、前記検出器上に数本の干渉縞が発生するように設定され、
前記第３の透明平板で分割された光のうちの１つは、前記第２の透明平板によって前記検出器の方へ向けられた光と同じ偏光状態を有することを特徴とする光束分割装置。
【請求項４】
所定の偏光状態を有する光源から射出された光束を用いる照明光学系と、
前記光源から射出された前記光束を分割し、前記光束と同じ偏光状態を有する第１及び第２の分割光を生成する請求項１乃至３記載のうちいずれか一項に記載の光束分割装置と、
前記光束分割装置によって分割された前記第１及び第２の分割光のうちの一方の光量を検出する検出器と、
当該検出器の検出結果に基づいて前記光源から射出される前記光束の光量を制御する制御部とを有する露光装置。
【請求項５】
請求項４に記載の露光装置を用いてパターンを被処理体に投影露光する工程と、
前記投影露光された被処理体を現像する工程とを有するデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の一側面としての光束分割装置は、くさびを持ち、入射光束に対して傾斜して配置され、当該入射光束を反射光と透過光に分割する第１の透明平板と、前記第１の透明平板からの前記反射光に対して傾斜して配置され、当該反射光の一部を第１の検出器へ向けて透過させ、他の部分を反射させる第２の透明平板と、くさびを持ち、前記第１の透明平板からの前記透過光に対して傾斜して配置され、当該透過光の一部を第２の検出器へ向けて前記第２の透明平板で透過した光と同じ偏光状態で反射させ、他の部分を透過させる第３の透明平板と、を有し、前記第１の透明平板により分割された前記反射光は、前記第１の透明平板のおもて面で反射した光と前記第１の透明平板の裏面で反射した光を含み、前記第１の透明平板の前記くさびは、前記第１の透明平板の前記おもて面で反射した光と前記第１の透明平板の前記裏面で反射した光とが前記第１の検出器上で重なることにより、前記第１の検出器上に数本の干渉縞が発生するように設定され、前記第３の透明平板で反射した光は、前記第３の透明平板のおもて面で反射した光と前記第３の透明平板の裏面で反射した光を含み、前記第３の透明平板の前記くさびは、前記第３の透明平板の前記おもて面で反射した光と前記第３の透明平板の前記裏面で反射した光とが前記第２の検出器上で重なることにより、前記第２の検出器上に数本の干渉縞が発生するように設定されることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
更に、本発明の別の一側面としての光束分割装置は、くさびを持ち、入射光束に対して傾斜して配置され、当該入射光束を反射光と透過光に分割する第１の透明平板と、前記第１の透明平板からの前記反射光に対して傾斜して配置され、当該反射光を分割し、当該分割によって得た一部の光を検出器へ向ける第２の透明平板と、前記第１の透明平板からの前記透過光に対して傾斜して配置され、当該透過光の一部を反射させ、他の部分を透過させる第３の透明平板と、を有し、前記第１の透明平板により分割された前記反射光は、前記第１の透明平板のおもて面で反射した光と前記第１の透明平板の裏面で反射した光を含み、前記第１の透明平板の前記くさびは、前記第１の透明平板の前記おもて面で反射した光と前記第１の透明平板の前記裏面で反射した光とが前記検出器上で重なることにより、前記検出器上に数本の干渉縞が発生するように設定され、前記第３の透明平板からの反射光及び透過光のうちの一方は、前記第２の透明平板によって前記検出器の方へ向けられた光と同じ偏光状態を有することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
更に、本発明の別の一側面としての光束分割装置は、くさびを持ち、入射光束に対して傾斜して配置され、当該入射光束を反射光と透過光に分割する第１の透明平板と、前記第１の透明平板からの前記反射光に対して傾斜して配置され、当該反射光を分割し、当該分割した光のうちの１つを検出器へ向ける第２の透明平板と、前記第１の透明平板からの前記透過光に対して傾斜して配置され、当該透過光を分割する第３の透明平板と、を有し、前記第１の透明平板により分割された前記反射光は、前記第１の透明平板のおもて面で反射した光と前記第１の透明平板の裏面で反射した光を含み、前記第１の透明平板の前記くさびは、前記第１の透明平板の前記おもて面で反射した光と前記第１の透明平板の前記裏面で反射した光とが前記検出器上で重なることにより、前記検出器上に数本の干渉縞が発生するように設定され、前記第３の透明平板で分割された光のうちの１つは、前記第２の透明平板によって前記検出器の方へ向けられた光と同じ偏光状態を有することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
更に、本発明の別の一側面としての露光装置は、所定の偏光状態を有する光源から射出された光束を用いる照明光学系と、前記光源から射出された前記光束を分割し、前記光束と同じ偏光状態を有する第１及び第２の分割光を生成する上記のうちいずれかに記載の光束分割装置と、前記光束分割装置によって分割された前記第１及び第２の分割光のうちの一方の光量を検出する検出器と、当該検出器の検出結果に基づいて前記光源から射出される前記光束の光量を制御する制御部とを有する。また、かかる露光装置を使用したデバイス製造方法も本発明の一側面として機能する。