【手続補正書】
【提出日】平成20年1月31日(2008.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光に基づいて被検面に対して斜め方向から検出光を送光し、該被検面により反射された前記検出光を受光して前記被検面の面位置を検出する面位置検出装置において、
前記光源を駆動して前記光源からの光の出力変調を行う光源変調手段と、
送光パターンを有する送光面を通過した前記光源からの前記出力変調された光に基づいて、前記被検面上に前記送光面の前記送光パターンの像を投射する送光系と、
前記被検面により反射された光を、受光パターンを有する受光面を介して受光する受光系と、
を備えることを特徴とする面位置検出装置。
【請求項２】
前記光源変調手段は、前記光源への注入電流の変調を行う注入電流変調手段を備えることを特徴とする請求項１記載の面位置検出装置。
【請求項３】
前記光源は、少なくとも１つの固体光源を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の面位置検出装置。
【請求項４】
前記少なくとも１つの固体光源は、発光ダイオードを備えていることを特徴とする請求項３記載の面位置検出装置。
【請求項５】
前記光源は、それぞれ異なる波長域を持つ光を射出する複数の前記固体光源と、該複数の固体光源からの光を合成する合成手段とを備えていることを特徴とする請求項３または請求項４記載の面位置検出装置。
【請求項６】
前記光源変調手段は、前記光源からの光の出力波形を変調する出力波形変調手段を備え、
前記出力波形変調手段により出力波形変調された前記検出光を前記受光系で受光し、前記光源変調手段の変調信号に基づいて同期検波することを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか一項に記載の面位置検出装置。
【請求項７】
前記出力波形変調手段は、前記光源からの光を正弦波状に出力変調することを特徴とする請求項６記載の面位置検出装置。
【請求項８】
前記受光系は、前記被検面上の各計測点において、該被検面の面位置に依存する計測信号と、該被検面の面位置に依存しない強度オフセット信号とを同時に検出する信号検出手段を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項７の何れか一項に記載の面位置検出装置。
【請求項９】
前記受光面は、前記被検面上の各計測点に対応するスリット状のパターンを有する第１受光面及び第２受光面により構成され、
前記受光系は、前記被検面により反射された前記検出光を第１検出光と第２検出光とに分岐する分岐手段と、
前記第１受光面の受光パターンを通過した前記第１検出光を受光することにより前記計測信号を検出する第１受光手段と、
前記第２受光面の受光パターンを通過した前記第２検出光を受光することにより前記強度オフセット信号を検出する第２受光手段と
を備えることを特徴とする請求項８記載の面位置検出装置。
【請求項１０】
前記分岐手段は、前記検出光を振幅分割することを特徴とする請求項９記載の面位置検出装置。
【請求項１１】
前記受光パターンは、前記被検面上の各計測点に対応するスリット状のパターンを有し、
前記受光系は、前記被検面により反射された前記検出光を第１検出光と第２検出光とに分岐する分岐手段と、
前記受光パターンを通過した前記第１検出光を受光することにより前記計測信号を検出する第１受光手段と、
前記受光パターンを通過した前記第２検出光を受光することにより前記強度オフセット信号を検出する第２受光手段と
を備えることを特徴とする請求項８記載の面位置検出装置。
【請求項１２】
前記分岐手段は、前記受光面の近傍に光分割部材を設けることにより前記検出光を分岐することを特徴とする請求項１１記載の面位置検出装置。
【請求項１３】
前記光分割部材は、平行平板ガラスを備えて構成されていることを特徴とする請求項１２記載の面位置検出装置。
【請求項１４】
前記第２受光手段は、２分割センサを備えて構成されていることを特徴とする請求項９乃至請求項１３の何れか一項に記載の面位置検出装置。
【請求項１５】
前記送光パターンは、前記被検面上の各計測点に対応するスリット状のパターンを有し、
前記受光パターンは、前記被検面上の各計測点に対応して隣接した２つのスリット状のパターンを有し、
前記受光系は、前記受光パターンの一方のスリット状のパターンを通過する前記検出光を受光することにより前記被検面の面位置に依存する計測信号を検出する第１受光手段と、
前記受光パターンの他方のスリット状のパターンを通過する前記検出光を受光することにより前記被検面の面位置に依存しない強度オフセット信号を検出する第２受光手段と
を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項７の何れか一項に記載の面位置検出装置。
【請求項１６】
前記第２受光手段は、２分割センサを備えて構成されていることを特徴とする請求項１５記載の面位置検出装置。
【請求項１７】
前記光源変調手段は、前記光源からの光の出力変調を行う際の変調周波数を変調する周波数変調手段を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項１６の何れか一項に記載の面位置検出装置。
【請求項１８】
感光性基板上に所定のパターンを転写する露光装置において、
前記感光性基板の面位置を検出するための請求項１乃至請求項１７の何れか一項に記載の面位置検出装置を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１９】
感光性基板上に所定のパターンを転写する露光方法において、
請求項１乃至請求項１７の何れか一項に記載の面位置検出装置を用いて前記感光性基板の面位置を検出する検出工程と、
前記感光性基板上に前記所定のパターンを転写する転写工程と、
を含むことを特徴とする露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、請求項５記載の面位置検出装置は、前記光源が、それぞれ異なる波長域を持つ光を射出する複数の前記固体光源と、該複数の固体光源からの光を合成する合成手段とを備えていることを特徴とする。
また、請求項６記載の面位置検出装置は、前記光源変調手段が前記光源からの光の出力波形を変調する出力波形変調手段を備え、前記出力波形変調手段により出力波形変調された前記検出光を前記受光系で受光し、前記光源変調手段の変調信号に基づいて同期検波することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、請求項７記載の面位置検出装置は、前記出力波形変調手段が前記光源からの光を正弦波状に出力変調することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
この請求項６及び請求項７記載の面位置検出装置によれば、光源からの光の出力波形を変調する出力波形変調手段を用いて光を同期検波することができるため、高精度に被検面の面位置のずれ方向を検出することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、請求項８記載の面位置検出装置は、前記受光系が前記被検面上の各計測点において、該被検面の面位置に依存する計測信号と、該被検面の面位置に依存しない強度オフセット信号とを同時に検出する信号検出手段を備えることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
この請求項８記載の面位置検出装置によれば、被検面の面位置に依存する計測信号を検出し、計測信号が検出される被検面上の計測点において被検面の面位置に依存しない強度オフセット信号を検出するため、被検面の計測点における反射率変動を検出することができ、被検面の反射率変動等による被検面の面位置の検出誤差の発生を防止することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、請求項９記載の面位置検出装置は、前記受光面が前記被検面上の各計測点に対応するスリット状のパターンを有する第１受光面及び第２受光面により構成され、前記受光系は、前記被検面により反射された前記検出光を第１検出光と第２検出光とに分岐する分岐手段と、前記第１受光面の受光パターンを通過した前記第１検出光を受光することにより前記計測信号を検出する第１受光手段と、前記第２受光面の受光パターンを通過した前記第２検出光を受光することにより前記強度オフセット信号を検出する第２受光手段とを備えることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、請求項１０記載の面位置検出装置は、前記分岐手段が前記検出光を振幅分割することを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
この請求項９及び請求項１０記載の面位置検出装置によれば、分岐手段により分岐された一方の検出光を受光することにより被検面に依存する計測信号を検出し、他方の検出光を受光することにより計測信号が検出される被検面上の計測点において被検面の面位置に依存しない強度オフセット信号を検出するため、精度良く被検面の計測点における反射率変動等を検出することができ、被検面の反射率変動等による被検面の面位置の検出誤差の発生を防止することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、請求項１１記載の面位置検出装置は、前記受光パターンが前記被検面上の各計測点に対応するスリット状のパターンを有し、前記受光系は、前記被検面により反射された前記検出光を第１検出光と第２検出光とに分岐する分岐手段と、前記受光パターンを通過した前記第１検出光を受光することにより前記計測信号を検出する第１受光手段と、前記受光パターンを通過した前記第２検出光を受光することにより前記強度オフセット信号を検出する第２受光手段とを備えることを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、請求項１２記載の面位置検出装置は、前記分岐手段が前記受光面の近傍に光分割部材を設けることにより前記検出光を分岐することを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、請求項１３記載の面位置検出装置は、前記光分割部材が平行平板ガラスを備えて構成されていることを特徴とする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
この請求項１１〜請求項１３記載の面位置検出装置によれば、平行平板ガラス等の光分割部材を用いて検出光を第１検出光と第２検出光とに分割し、第１検出光から被検面の面位置に依存する計測信号を検出し、計測信号が検出される被検面上の計測点において被検面の面位置に依存しない強度オフセット信号を検出するため、被検面の計測点における反射率変動等を検出することができ、被検面の反射率変動等による被検面の面位置の検出誤差の発生を防止することができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また、請求項１４記載の面位置検出装置は、前記第２受光手段が２分割センサを備えて構成されていることを特徴とする。この請求項１４記載の面位置検出装置によれば、第２受光手段が２分割センサを備えているため、被検面の面位置のずれの方向を確実に検出することができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、請求項１５記載の面位置検出装置は、前記送光パターンが前記被検面上の各計測点に対応するスリット状のパターンを有し、前記受光パターンは、前記被検面上の各計測点に対応して隣接した２つのスリット状のパターンを有し、前記受光系は、前記受光パターンの一方のスリット状のパターンを通過する前記検出光を受光することにより前記被検面の面位置に依存する計測信号を検出する第１受光手段と、前記受光パターンの他方のスリット状のパターンを通過する前記検出光を受光することにより前記被検面の面位置に依存しない強度オフセット信号を検出する第２受光手段とを備えることを特徴とする。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
この請求項１５記載の面位置検出装置によれば、第１受光手段により被検面の面位置に依存する計測信号を検出し、第２受光手段により被検面の面位置に依存しない強度オフセット信号を検出するため、被検面の反射率変動等を検出することができ、被検面の面位置の検出誤差の発生を防止することができる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また、請求項１６記載の面位置検出装置は、前記第２受光手段が２分割センサを備えて構成されていることを特徴とする。この請求項１６記載の面位置検出装置によれば、第２受光手段が２分割センサを備えているため、被検面の面位置のずれの方向を確実に検出することができる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、請求項１７記載の面位置検出装置は、前記光源変調手段が前記光源からの光の出力変調を行う際の変調周波数を変調する周波数変調手段を備えることを特徴とする。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
この請求項１７記載の面位置検出装置によれば、光源からの光出力の変調周波数を変調することができるため、例えば装置の固有振動数を回避した周波数帯域で同期検波を行うなど、面位置検出条件を装置ごとに最適化することができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
また、請求項１８記載の露光装置は、感光性基板上に所定のパターンを転写する露光装置において、前記感光性基板の面位置を検出するための請求項１乃至請求項１７の何れか一項に記載の面位置検出装置を備えることを特徴とする。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
この請求項１８記載の露光装置によれば、請求項１乃至請求項１７のいずれか一項に記載の面位置検出装置を備えているため、感光性基板上の面位置を正確に検出することができ、高解像度を有する露光装置を提供することができる。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
また、請求項１９記載の露光方法は、感光性基板上に所定のパターンを転写する露光方法において、請求項１乃至請求項１７の何れか一項に記載の面位置検出装置を用いて前記感光性基板の面位置を検出する検出工程と、前記感光性基板上に前記所定のパターンを転写する転写工程とを含むことを特徴とする。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
この請求項１９記載の露光方法によれば、請求項１乃至請求項１７のいずれか一項に記載の面位置検出装置を用いるため、感光性基板の面位置の検出が良好に行われていることから、微細な露光パターンの露光を良好に行うことができる。