【手続補正書】
【提出日】平成20年2月26日(2008.2.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリット状の照明光を形成するための可変スリット装置において、
前記照明光の長手方向における一方の長辺を規定する第１端部を有する複数の第１ブレードと、
前記照明光の長手方向における他方の長辺を規定する第２端部を有する複数の第２ブレードとを有し、
前記第１ブレードと前記第２ブレードとは、前記照明光の長手方向に関して前記第１端部と前記第２端部とが互いに所定位置にずれるように配置されることを特徴とする可変スリット装置。
【請求項２】
前記一方の長辺は、前記複数の第１ブレードを前記照明光の長手方向と直交する方向に移動させる第１駆動位置で駆動することによって規定され、
前記他方の長辺は、前記複数の第２ブレードを前記照明光の長手方向と直交する方向に移動させる第２駆動位置で駆動することによって規定されることを特徴とする請求項１に記載の可変スリット装置。
【請求項３】
前記複数の第１ブレードと前記複数の第２ブレードとは、それぞれ略同一の大きさを有し、
前記第１駆動位置と前記第２駆動位置とは、前記照明光の長手方向を挟んで互い違いに配置されることを特徴とする請求項２に記載の可変スリット装置。
【請求項４】
前記第１駆動位置と前記第２駆動位置とは、前記第１ブレード及び前記第２ブレードを前記照明光の長手方向に略半分の長さだけずらして配置されることを特徴とする請求項３に記載の可変スリット装置。
【請求項５】
前記複数の第１ブレード及び／又は前記複数の第２ブレードは、前記照明光の長手方向と交差する方向に延びる両側端部を有し、
前記複数の第１ブレード及び／又は前記複数の第２ブレードは、前記両側端部において回転可能に連結されることを特徴とする請求項１から請求項４のうちいずれか一項に記載の可変スリット装置。
【請求項６】
前記複数の第１ブレード及び／又は前記複数の第２ブレードを駆動する駆動機構を更に有し、
前記第１駆動位置及び前記第２駆動位置は、前記駆動機構の駆動軸の位置であることを特徴とする請求項５に記載の可変スリット装置。
【請求項７】
前記駆動機構の駆動軸は、前記両側端部が回転可能に連結される位置に配置されることを特徴とする請求項１から請求項６のうちいずれか一項に記載の可変スリット装置。
【請求項８】
前記駆動機構は、前記複数の第１ブレード及び／又は前記複数の第２ブレードを前記照明光の光路方向に移動させることを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の可変スリット装置。
【請求項９】
スリット状の照明光を形成するための可変スリット装置において、
前記照明光の長手方向における一方の長辺を規定する第１端部及び前記照明光の長手方向と交差する方向に延びる両側端部とを有する複数の第１ブレードと、
前記複数の第１ブレードのそれぞれを前記両側端部で互いに回転可能に連結する第１連結部と、
前記第１連結部が連結された位置とは異なる位置で、前記複数の第１ブレードを駆動する第１駆動部材と、
を備えることを特徴とする可変スリット装置。
【請求項１０】
前記複数の第１ブレードのうちの少なくとも一つに前記第１駆動部材の駆動軸が２つ連結されていることを特徴とする請求項９に記載の可変スリット装置。
【請求項１１】
前記照明光の長手方向における他方の長辺を規定する第２端部及び前記照明光の長手方向と交差する方向に延びる両側端部とを有する複数の第２ブレードと、
前記複数の第２ブレードのそれぞれを前記両側端部で互いに回転可能に連結する第２連結部と、
前記第２連結部が連結された位置とは異なる位置で、前記複数の第２ブレードを駆動する第２駆動部材と、
を更に備えることを特徴とする請求項９又は請求項１０に記載の可変スリット装置。
【請求項１２】
前記第１駆動部材は、前記複数の第１ブレードを前記照明光の光路方向に移動させ、
前記第２駆動部材は、前記複数の第２ブレードを前記照明光の光路方向に移動させることを特徴とする請求項１１に記載の可変スリット装置。
【請求項１３】
スリット状の照明光を形成するための可変スリット装置において、
前記照明光の長手方向における―方の長辺を規定する第１端部及び前記照明光の長手方向と交差する方向に延びる両側端部とを有する複数の第１ブレードと、
前記照明光の長手方向における他方の長辺を規定する第２端部及び前記照明光の長手方向と交差する方向に延びる両側端部とを有する複数の第２ブレードと、
前記複数の第１ブレードのそれぞれを前記両側端部で互いに回転可能に連結する第１連結部と、
前記複数の第２ブレードのそれぞれを前記両側端部で互いに回転可能に連結する第２連結部とを備え、
前記第１連結部と前記第２連結部とは、前記照明光の長手方向に関して、互いに異なる位置に配置されることを特徴とする可変スリット装置。
【請求項１４】
前記複数の第１ブレードと前記複数の第２ブレードとは、それぞれ略同一の大きさを有し、
前記第１連結部と前記第２連結部とは、前記第１ブレード及び前記第２ブレードを前記照明光の長手方向に略半分の長さだけずらして配置されることを特徴とする請求項１３に記載の可変スリット装置。
【請求項１５】
前記第１ブレードの数と前記第２ブレードとの数が異なることを特徴とする請求項１３又は請求項１４に記載の可変スリット装置。
【請求項１６】
スリット状の照明光を被照明物に照射する照明装置において、
前記照明光の形状を調整する装置として、請求項１から請求項１２のうちいずれか一項に記載の可変スリット装置が用いられることを特徴とする照明装置。
【請求項１７】
スリット状の照明光をマスクを介して基板に照射しつつ、前記マスクと前記基板とを前記照明光の長手方向と略直交する方向に相対走査させることにより、前記マスクに形成されたパターンを前記基板上に露光する露光装置において、
前記照明光を前記マスクに照射する照明装置として、請求項１６に記載の照明装置を用いることを特徴とする露光装置。
【請求項１８】
前記照明光の照度むらに関する情報を計測する計測部と、
前記照度むらに関する情報に基づいて、前記相対移動時に、前記照明光の長手方向と略直交する方向における前記照明光の照度が累積で略均一になるように、前記照明光の一方の長辺の形状と前記照明光の他方の長辺の形状との少なくとも一方を求める演算部と、
前記演算部の演算結果に基づいて、前記複数の第１ブレード及び／又は前記複数の第２ブレードの駆動を制御する制御装置と、
を備えることを特徴とする請求項１７に記載の露光装置。
【請求項１９】
前記基板に形成される前記パターンの線幅に関する情報に基づいて、前記照明光の他方の長辺の形状との少なくとも一方を求める演算部と、
前記演算部の演算結果に基づいて、前記複数の第２ブレードの駆動を制御する制御装置と、
を備えることを特徴とする請求項１８に記載の露光装置。
【請求項２０】
前記基板に形成される前記パターンの線幅に関する情報は、前記基板上に塗布される感光剤の膜厚のむらに起因する線幅変化量を含むことを特徴とする請求項１９に記載の露光装置。
【請求項２１】
前記計測部は、前記マスクの交換時に、前記照明光の照度むらに関する情報を計測し、
前記制御装置は、交換された前記マスクに形成されたパターンを前記基板に露光する前に、前記複数の第１ブレード及び前記複数の第２ブレードの駆動を制御すると共に、前記基板上の複数の露光領域のそれぞれに前記パターンを露光する毎に、前記複数の第２ブレードの駆動を制御することを特徴とする請求項１８に記載の露光装置。
【請求項２２】
リソグラフィ工程を含むデバイスの製造方法において、前記リソグラフィ工程において請求項１７から請求項２１のうちいずれか一項に記載の露光装置を用いることを特徴とするデバイスの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、第１駆動部材（５０）は、複数の第１ブレード（３３０ａ，３３０ｃ）を照明光（ＥＬ）の光路方向に移動させ、第２駆動部材（６０）は、複数の第２ブレード（３３０ｂ，３３０ｄ）を照明光の光路方向に移動させるものでは、照明光の周縁部のぼけ幅を最適に設定することができる。
また、スリット状の照明光を形成するための可変スリット装置（１００）において、照明光（ＥＬ）の長手方向における―方の長辺（Ｌ１）を規定する第１端部（３８０ａ）及び照明光の長手方向と交差する方向に延びる両側端部（３８０ｂ）とを有する複数の第１ブレード（３３０ａ，３３０ｃ）と、照明光の長手方向における他方の長辺（Ｌ２）を規定する第２端部（３８０ｃ）及び照明光の長手方向と交差する方向に延びる両側端部（３８０ｄ）とを有する複数の第２ブレード（３３０ｂ，３３０ｄ）と、複数の第１ブレードのそれぞれを両側端部で互いに回転可能に連結する第１連結部（３３２ａ）と、複数の第２ブレードのそれぞれを両側端部で互いに回転可能に連結する第２連結部（３３２ｂ）とを備え、第１連結部と第２連結部とは、照明光の長手方向に関して、互いに異なる位置に配置されるようにした。
また、複数の第１ブレード（３３０ａ，３３０ｃ）と複数の第２ブレード（３３０ｂ，３３０ｄ）とは、それぞれ略同一の大きさを有し、第１連結部（３３２ａ）と第２連結部（３３２ｂ）とは、第１ブレード及び第２ブレードを照明光（ＥＬ）の長手方向に略半分の長さだけずらして配置されるようにした。
また、第１ブレード（３３０ａ，３３０ｃ）の数と第２ブレード（３３０ｂ，３３０ｄ）との数が異なるようにした。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０７】
また、一枚のウエハＷに形成されるショット領域毎に照度むらを補正することも可能である。この場合には、例えば、ウエハを露光する前に、第１遮光部１０により、１次むらを除いた２次以上のむらを補正するように、第１遮光部１０の各ブレード３０ａのエッジ部８０ａの初期状態からの傾斜量を設定する。この傾斜量の設定は、１枚のウエハＷ又は複数枚のウエハＷの露光が終了するまでは変更されない。また、第２遮光部２０により、１次むらを補正するように、第２遮光部２０の各ブレード３０ｂのエッジ部８０ｃの初期状態からの傾斜量を設定する。このように各ブレード３０ａ、３０ｂの傾きを設定することによって、１次むらは、ショット領域毎に確実に補正することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２１】
次に、実際の露光処理では、ショット領域毎に、テスト露光したウエハＷの線幅の分布の結果に応じて、前もって調整されたブレード３０ｂのエッジ部８０ｃの傾斜量（照度計２３０の計測結果に基づいて求められた第２遮光部２０のブレード３０ｂのエッジ部８０ｃの傾斜量）に、各ショット領域毎に求められた傾斜量を加えて、各ショット領域毎に与えられる積算露光量を調整してパターンの線幅不良を改善する。
例えば、パターンの線幅が細くなってしまったショット領域では、照明光ＥＬの照度を少なくし、一方、パターンの線幅が太くなってしまったショット領域では、照明光ＥＬの照度を多くする。すなわち、積極的に露光むらを発生させることにより、露光処理の前処理工程及び後処理工程における各処理のむらを相殺する。
具体的には、テスト露光の結果、一つのショット領域内においてパターンの線幅が不均一であった場合には、そのショット領域については、非スキャン方向のむらは可変スリット装置１００によりスリット幅を変化させて露光むらを発生させることにより補正する。一方、スキャン方向のむらは、照明光ＥＬのパルス数を変化させながらスキャン露光したり、或いはウエハステージＷＳの移動速度、すなわちスキャン速度を変化させながら露光したりすることにより、むらを補正することができる。