【手続補正書】
【提出日】平成20年4月3日(2008.4.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＦＯＵＰが載置され、このＦＯＵＰのＦＯＵＰドアを着脱し、ＦＯＵＰ内部にアクセスすることができるようにするためのＦＯＵＰオープナであって、
前記ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機構とを有し、前記ＦＯＵＰドアの着脱時に、前記ＦＯＵＰオープナに載置された前記ＦＯＵＰの前記ＦＯＵＰドアに対峙するポートドアと、
前記ＦＯＵＰドアを保持した状態で前記ポートドアを移動させて開放するポートドア移動手段と、を備え、
前記ポートドアは、
前記着脱機構が配置される一方の面と、前記保持機構が装着される他方の面と、を有するメイン構造体と、
前記メイン構造体の前記一方の面を覆うと共に前記メイン構造体に着脱可能な一方の面パネルと、
前記メイン構造体の他方の面を覆うと共に前記メイン構造体に着脱可能な他方の面パネルと、
で構成されることを特徴とするＦＯＵＰオープナ。
【請求項２】
前記着脱機構が前記メイン構造体の正面に、前記保持機構が前記メイン構造体の背面に装着され、
前記一方の面パネルに、前記ＦＯＵＰドアの着脱操作を行う前記着脱機構の一部を前記ポートドアの正面に露出させる第１孔部を設け、
前記メイン構造体に、前記ＦＯＵＰドアを保持する前記保持機構の一部を前記メイン構造体の正面に露出させる第２孔部を設け、
前記一方の面パネルに、前記保持機構の前記一部を前記ポートドアの正面に露出させる第３孔部を設けた、
ことを特徴とする請求項１に記載のＦＯＵＰオープナ。
【請求項３】
ＦＯＵＰが載置され、このＦＯＵＰのＦＯＵＰドアを着脱し、ＦＯＵＰ内部にアクセスすることができるようにするためのＦＯＵＰオープナであって、
前記ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機構とを有し、前記ＦＯＵＰドアの着脱時に、前記ＦＯＵＰオープナに載置された前記ＦＯＵＰの前記ＦＯＵＰドアにその正面が対峙するポートドアと、
前記ＦＯＵＰドアを保持した状態で前記ポートドアを移動させて開放するポートドア移動手段と、を備え、
前記ポートドアは、
前記着脱機構が装着される正面と、前記保持機構が装着される背面と、を有するメイン構造体と、
前記メイン構造体の前記正面を覆うと共に前記メイン構造体に着脱可能な表面パネルと、
前記メイン構造体の前記背面を覆うと共に前記メイン構造体に着脱可能な背面パネルと、
で構成され、
前記表面パネルに、前記ＦＯＵＰドアの着脱操作を行う前記着脱機構の一部を前記ポートドアの正面に露出させる第１孔部を設け、
前記メイン構造体に、前記ＦＯＵＰドアを保持する前記保持機構の一部を前記メイン構造体の正面に露出させる第２孔部を設け、
前記表面パネルに、前記保持機構の前記一部を前記ポートドアの正面に露出させる第３孔部を設け、
前記メイン構造体に、該メイン構造体の前記背面側から前記着脱機構を操作可能にするアクセス孔を設けた、
ことを特徴とするＦＯＵＰオープナ。
【請求項４】
前記着脱機構の一部が、前記ＦＯＵＰに設けられ、前記ＦＯＵＰドアを着脱するラッチ機構を操作するラッチキーであり、
前記保持機構の一部が、吸着パッドであり、
前記第１孔部は、前記ラッチキーを通し、かつ、これに干渉しない程度の大きさのラッチキー孔であることを特徴とする請求項２又は３に記載のＦＯＵＰオープナ。
【請求項５】
前記背面パネルには前記アクセス孔と連通する位置に開口が設けられていることを特徴とする請求項３に記載のＦＯＵＰオープナ。
【請求項６】
前記背面パネルに設けられた前記開口は、取り外し可能なシール部材によって塞がれることを特徴とする請求項５に記載のＦＯＵＰオープナ。
【請求項７】
前記第３孔部が、前記吸着パッドを通し、かつ、これに干渉しない程度の大きさの吸着パッド孔であることを特徴とする請求項４に記載のＦＯＵＰオープナ。
【請求項８】
前記ラッチキーは、前記ラッチキー孔を遮蔽するための蓋部材を備えることを特徴とする請求項４に記載のＦＯＵＰオープナ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、ＦＯＵＰオープナ自体をミニエンから取り外さずに、ポートドア内部にアクセスすることのできるポートドア構造を有するＦＯＵＰオープナを提供するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記の問題を解決するために、本発明によるＦＯＵＰオープナは、ＦＯＵＰが載置され、このＦＯＵＰのＦＯＵＰドアを着脱し、ＦＯＵＰ内部にアクセスすることができるようにするためのＦＯＵＰオープナであって、前記ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機構とを有し、前記ＦＯＵＰドアの着脱時に、前記ＦＯＵＰオープナに載置された前記ＦＯＵＰの前記ＦＯＵＰドアに対峙するポートドアと、前記ＦＯＵＰドアを保持した状態で前記ポートドアを移動させて開放するポートドア移動手段と、を備え、前記ポートドアは、前記着脱機構が配置される一方の面と、前記保持機構が装着される他方の面と、を有するメイン構造体と、前記メイン構造体の前記一方の面を覆うと共に前記メイン構造体に着脱可能な一方の面パネルと、前記メイン構造体の他方の面を覆うと共に前記メイン構造体に着脱可能な他方の面パネルと、で構成されることを特徴とする。
また、本発明によるＦＯＵＰオープナは、ＦＯＵＰが載置され、このＦＯＵＰのＦＯＵＰドアを着脱し、ＦＯＵＰ内部にアクセスすることができるようにするためのＦＯＵＰオープナであって、前記ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機構とを有し、前記ＦＯＵＰドアの着脱時に、前記ＦＯＵＰオープナに載置された前記ＦＯＵＰの前記ＦＯＵＰドアにその正面が対峙するポートドアと、前記ＦＯＵＰドアを保持した状態で前記ポートドアを移動させて開放するポートドア移動手段と、を備え、前記ポートドアは、前記着脱機構が装着される正面と、前記保持機構が装着される背面と、を有するメイン構造体と、前記メイン構造体の前記正面を覆うと共に前記メイン構造体に着脱可能な表面パネルと、前記メイン構造体の前記背面を覆うと共に前記メイン構造体に着脱可能な背面パネルと、で構成され、前記表面パネルに、前記ＦＯＵＰドアの着脱操作を行う前記着脱機構の一部を前記ポートドアの正面に露出させる第１孔部を設け、前記メイン構造体に、前記ＦＯＵＰドアを保持する前記保持機構の一部を前記メイン構造体の正面に露出させる第２孔部を設け、前記表面パネルに、前記保持機構の前記一部を前記ポートドアの正面に露出させる第３孔部を設け、前記メイン構造体に、該メイン構造体の前記背面側から前記着脱機構を操作可能にするアクセス孔を設けた、ことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明のＦＯＵＰオープナによれば、ＦＯＵＰオープナ自体をミニエンから取り外さずに、ポートドア内部にアクセスすることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
昇降基部材５１、アーム部４４、アーム部６４は、詳細には図示されないが、ポートプレート２１の左右（図２において紙面の向こう側と手前側）側縁寄りにそれぞれ左右一対設けられていて、左右の昇降基部材５１、５１は、左右に長い板状の連結部材（不図示）により連結されて一体化されている。この連結部材の左右方向中央部には、ネジ軸５４と螺合し合うボールナットを収容したナット収容部が形成されている。したがって、いま、ネジ軸５４がサーボモータ５３により回転させられると、該ネジ軸５４と螺合し合うボールナットを収容したナット収容部を一体に有する上記連結部材が昇降動する。そして、この連結部材の昇降動により、左右一対の昇降基部材５１、５１、同アーム部４４、４４、同アーム部６４、６４を介して、ポートドア２３とセンサ取付部材６２とが一緒になって昇降動する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
ポートドア進退機構駆動用モータ４３は、右方の昇降基部材５１の上面に固設されており、センサ進退機構駆動用モータ６３は、左方の昇降基部材５１の下面に固設されている。このように、ポートドア進退機構駆動用モータ４３とセンサ進退機構駆動用モータ６３とを左右に振り分けて設置することにより、上記連結部材、左右一対の昇降基部材５１、５１、両モータ４３、６３からなる一体組立体の左右重量バランスが図られている。しかしながら、これら両モータ４３、６３は、左右いずれかの昇降基部材５１の上下面にそれぞれ固設されてもよい。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
サーボモータ５３、ネジ軸５４、ナット収容部を一体に有する上記連結部材、昇降基部材５１、５１は、これらが全体としてポートドア・センサ昇降機構５０を構成している。このポートドア・センサ昇降機構５０は、図２に示されるように、ポートプレート２１を挟んで、ポートドア２３とセンサ取付部材６２とが配置されるクリーンルーム（第２制御空間２００）側とは反対の側に配置されており、同側に設けられた駆動部収容室８０内に収容されている。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
したがって、ポートドア進退機構４０の駆動部（ポートドア進退機構駆動用モータ４３、リニアガイド４１からなる）、センサ進退機構６０の駆動部（センサ進退機構駆動用モータ６３、リニアガイド６１からなる）およびポートドア・センサ昇降機構の駆動部（サーボモータ５３、ネジ軸５４、ナット収容部を一体に有する上記連結部材、左右一対の昇降基部材５１、５１からなる）は、いずれもポートプレート２１を挟んで、ポートドア２３とセンサ取付部材６２とが配置されるミニエン（クリーンルーム）２００側とは反対の側に配置され、ミニエン（クリーンルーム）２００から隔離されて、同側に設けられた駆動部収容室８０内に収容されていることになる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
＜ＦＯＵＰドアの着脱動作＞
図３及び図４に示されるように、ポートドア２３に設けられるＦＯＵＰドア１３の着脱機構は、ＦＯＵＰドア１３をＦＯＵＰフレーム１１の前面開口部１２に着脱可能に装着するラッチ機構を作動させたり、解除したりするためのラッチキー２５をポートドア２３の正面視（図４参照）左右２個所に備えており、また、ポートドア２３に設けられるＦＯＵＰドア１３の保持機構は、真空源に連通する吸着パッド２４をポートドア２３の正面視（図４参照）左上と右下の２個所に備えている。ＦＯＵＰドア１３には、ラッチキー２５が挿入されるキー溝（不図示）が形成されている。このキー溝は、ラッチ機構の操作端をなしている。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
図５を参照して説明すると、メイン構造体２３１には、アクセス孔２３５ａが設けられている。また、図６に示されるように、背面パネル２３２にもアクセス孔（開口）２３５ｂが設けられている。アクセス孔２３５ｂは、アクセス孔２３５ａよりも小さい開口である。それぞれのアクセス孔２３５ａ及び２３５ｂは、メイン構造体２３１と背面パネル２３２とが貼り合わされた場合、それぞれ同じ場所に位置するようになっている。そして、メイン構造体２３１と背面パネル２３２が貼り合わされた場合でも、両アクセス孔は貫通する孔となり、アクセス孔２３５ｂからラッチキー解除機構に所定のツールでアクセス可能なようになっている。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
ラッチキー孔については、図１に示される従来のポートドアにも設けられている（図１の１０３参照）が、本実施形態に係るポートドア２３のラッチキー孔２３７ａ及び２３７ｂは、従来よりも径が大きい。つまり、従来のラッチキー孔１０３はそこからミニエン内に塵が入り込まないようになるべく小さく設定されるため、ポートドア正面部材１０１を取り外そうにも、ラッチキーとポートドア正面部材１０１が干渉して（ラッチキーがラッチキー孔１０３に引っ掛って）取り外すことができない（図１参照）。同様に吸着パッド２４ａ、２４ｂと吸引孔（番号無し）にしても同様の問題があった。一方、本実施形態では、ラッチキー孔２３７ａ及び２３７ｂはラッチキー２５ａ及び２５ｂと干渉せず、さらに２４ａ及び２４ｂは吸着パッド用孔２３６ａ及び２３６ｂと干渉しない程度に充分大きい径を有しているので、表面パネル２３３を容易にメイン構造体２３１から取り外すことができる。従って、ＦＯＵＰが載置されていない状態では、ＦＯＵＰオープナー１をミニエン２００から取り外すことなく、単に表面パネル２３３を取り外すだけで、トラブルの対応や掃除、部品交換等のメンテナンスに簡単に対処することができる。そのため、ポートドア正面（メイン構造体２３１）が外気に晒されるが、塵がミニエンに侵入することはほとんどない。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
また、たとえ故障等が原因で（発生頻度としては少ないが）ポートドア２３がＦＯＵＰドア１３を保持したまま停止してしまった場合、ＦＯＵＰオープナ１をミニエン２００から取り外さずに、ポートドア２３の背面側のアクセス孔２３５ｂからラッチキー２５ａ及び２５ｂの強制解除を行い、ＦＯＵＰドア１３の保持を解放することができる。この場合には作業者が一旦、ミニエン内に入り、上記の手順でＦＯＵＰドア解除を行うが、ＦＯＵＰドア１３の保持を解除するだけの操作が行われるだけなので、再度クリーン度を回復するまでにそれ程時間を必要とせず、また、ＦＯＵＰオープナ１再設置のための位置調整の手間を必要としないという利点がある。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
また、ＦＯＵＰ１１を保持したまま故障等で動作停止したとしても、ポートドア２３に背面側からのアクセス孔２３５ｂを設けているので、ポートドア２３の背面側からアクセスしてＦＯＵＰドア１３の保持を容易に解除することができる。この解除するための時間は非常に短くて済むので、ＦＯＵＰオープナ１を取り外すことなく作業者がミニエン２００内へ入る時間も短くて済む。よって、ミニエン２００内の環境汚染を最小限に抑えつつ、トラブルに適切に対処することができる。