【手続補正書】
【提出日】平成20年4月1日(2008.4.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
格子面及び垂直面を持つ回折格子を有する回折光学素子であって、
前記回折格子は、前記格子面と垂直面の間に格子頂点形状面を有し、前記格子頂点形状面は、光軸と垂直方向に１０μｍ以下の幅で、前記格子面に対して１０°以下の角度をなす平面であることを特徴とする回折光学素子。
【請求項２】
複数の回折光学素子を積層した回折光学素子において、前記複数の回折光学素子の各々が請求項１に記載の回折光学素子によって構成されていることを特徴とする回折光学素子。
【請求項３】
格子面及び垂直面を持つ回折格子を有する回折光学素子を切削工具を用いて切削加工する回折光学素子の製造方法であって、
格子面を加工する工程と、
垂直面を荒加工する工程と、
前記格子面に対して１０°以下の角度をなすように前記切削工具を前記格子面側から垂直面側に移動して、格子頂点形状面を加工する工程と、
前記垂直面を仕上げ面形状に加工する工程と、
を有することを特徴とする回折光学素子の製造方法。
【請求項４】
格子面及び垂直面を持つ回折格子を有する回折光学素子の成形をする回折光学素子成形用金型を、切削工具を用いて切削加工する回折光学素子成形用金型の製造方法であって、
格子面を加工する工程と、
垂直面を荒加工する工程と、
前記格子面に対して１０°以下の角度をなすように前記切削工具を前記格子面側から垂直面側に移動して、格子頂点形状面を加工する工程と、
前記垂直面を仕上げ面形状に加工する工程と、
を有することを特徴とする回折光学素子成形用金型の製造方法。
【請求項５】
前記回折光学素子成形用金型は、母材としてプラスチック金型用鋼材が用いられることを特徴とする請求項４に記載の回折光学素子成形用金型の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】回折光学素子、回折光学素子の製造方法、及び回折光学素子成形用金型の製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、回折光学素子、回折光学素子の製造方法、及び回折光学素子成形用金型の製造方法に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑み、格子頂点にバリのない、所望の正確な回折格子形状を有する回折光学素子、回折光学素子の製造方法、及び回折光学素子成形用金型の製造方法を提供することを目的とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は、つぎのように構成した回折光学素子、回折光学素子の製造方法、及び回折光学素子成形用金型の製造方法を提供するものである。
すなわち、本発明の回折光学素子は、格子面及び垂直面を持つ回折格子を有する回折光学素子であって、
前記回折格子は、前記格子面と垂直面の間に格子頂点形状面を有し、前記格子頂点形状面は、光軸と垂直方向に１０μｍ以下の幅で、前記格子面に対して１０°以下の角度をなす平面であることを特徴としている。
また、本発明の回折光学素子の製造方法は、格子面及び垂直面を持つ回折格子を有する回折光学素子を切削工具を用いて切削加工する回折光学素子の製造方法であって、
格子面を加工する工程と、
垂直面を荒加工する工程と、
前記格子面に対して１０°以下の角度をなすように前記切削工具を前記格子面側から垂直面側に移動して、格子頂点形状面を加工する工程と、
前記垂直面を仕上げ面形状に加工する工程と、を有することを特徴としている。
また、本発明の回折光学素子成形用金型の製造方法は、格子面及び垂直面を持つ回折格子を有する回折光学素子の成形をする回折光学素子成形用金型を切削工具を用いて切削加工する回折光学素子成形用金型の製造方法であって、
格子面を加工する工程と、
垂直面を荒加工する工程と、
前記格子面に対して１０°以下の角度をなすように前記切削工具を前記格子面側から垂直面側に移動して、格子頂点形状面を加工する工程と、
前記垂直面を仕上げ面形状に加工する工程と、を有することを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明によれば、格子頂点にバリのない、所望の正確な回折格子形状を有する回折光学素子、回折光学素子の製造方法、及び回折光学素子成形用金型の製造方法を実現することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
つぎに、この図１を用いて本実施の形態における格子面の切削加工の手順について説明する。
図１において、１はバリが除去された平面による格子頂点形状面（以下、これをバリ除去形状面という）、２及び４は回折格子における回折機能を有する斜面（以下、これを格子面という）、３は垂直面である。また、１０は切削工具８の刃先の横切刃である。
ここで、バリ除去形状は、格子面２と垂直面３との間の光軸と垂直方向の幅ｄと、バリ除去形状面と格子面とのなす角度αで定義する。
（１）まず、工程１１において、横切刃１０によって角度αが１０°以下の格子面２を加工しながら、格子面２を延長した線上における垂直面３から２μｍだけ離れた位置（工程１１の矢印で示された位置）まで、工具刃先を移動させる。
（２）つぎに、工程１２において、上記垂直面３から２μｍ離れた位置を平行に切り込みながら次の格子面４まで１μｍだけ残す位置まで荒加工形状を切削加工しながら、工具刃先を移動させる（工程１２の矢印で示された位置）。なお、ここでの荒加工においては次の格子面４まで１μｍだけ残すように加工したが、この距離は１μｍに限られるものではなく、５μｍ以下であればよい。
（３）つぎに、工程１３において、前記工程１２において移動させた位置から工程１２の切り込み開始点まで工具刃先を戻す。（工程１３の矢印で示された位置）。
（４）つぎに、工程１４において、上記工程１２の開始点からバリ除去形状面１を延長した直線上を格子面２側に１μｍだけ離れた位置まで、工具刃先を移動させる（工程１４の矢印で示された位置）。
（５）つぎに、工程１５において、上記工具刃先を移動させた格子面側から上記垂直面３側に、前記バリ除去形状面１を延長した直線上を進み、幅１０μｍ以下のバリ除去形状１を加工し、垂直面３から１μｍだけ離れた位置まで切削しながら、工具刃先を移動させる（工程１５の矢印で示された位置）。
（６）つぎに、工程１６において、前記工程１５において切削した位置から格子頂点が切削される以前において本来あるべき点まで、工具刃先を移動させる（工程１６の矢印で示された位置）。
（７）つぎに、工程１７において、前記工程１６において工具刃先を移動させた位置から垂直面３の底部まで切り込みながら、前記工程１５で切削加工したバリ除去加工面１を経て、前記工程１２の垂直面の荒加工形状をさらに仕上面形状に切削加工しながら、つぎのの格子面４の加工開始位置まで、工具刃先を移動させる（工程１７の矢印で示された位置）。
（８）つぎに、工程１８において、前記工程１１と同様につぎの格子面４を切削加工し（工程１８の矢印で示された位置）、このような一連の工程を繰り返し、表面に光軸を中心とする回転対称形状の回折格子を有する回折光学素子成形用金型を製造する。
なお、以上では回折光学素子成形用金型の製造方法について説明したが、加工すべき回折光学素子の素材６に対して、工具８によって直接回折格子を切削加工して、回折光学素子を形成することができることは、説明するまでもないことである。