(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上にアルミニウムを含む第１金属及び第２金属を連続蒸着し、パターン化して第１及び第２金属層を有するゲート配線、ゲート電極及びゲートパッド、並びに前記第１金属層及び前記第２金属層を含む前記ゲートパッドを連結する短絡配線を形成する段階と、前記ゲート配線、ゲート電極及びゲートパッドを覆うゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上の前記ゲート電極部分に半導体層と、前記半導体層上に不純物半導体層を形成する段階と、前記不純物半導体層上に第３金属でソース配線、ソース電極、ドレイン電極及びソースパッドを形成する段階と、前記ソース配線、前記ソース電極、前記ドレイン電極及び前記ソースバッド上に保護膜を形成する段階と、前記ゲートパッドを覆うゲート絶縁膜及び保護膜をパターン化してゲートパッドを露出させるゲートコンタクトホール、前記ドレイン電極を露出するドレインコンタクトホール、前記ソースパッドを露出するソースコンタクトホール及び前記短絡配線の一部分を露出する短絡配線切断ホールを形成し、前記ゲートコンタクトホールに露出された第２金属層及び前記第２金属層下にある第１金属層を除去し、前記短絡配線切断ホールに露出された第２金属層及び前記第２金属層下にある第１金属層を選択的に除去する段階と、前記保護膜上に導電物質を蒸着しパターン化して前記ドレイン電極に連結された画素電極と、前記ゲートパッドに連結されたゲートパッド端子及び前記ソースパッドに連結されたソースパッド端子を形成する段階と、を含む液晶表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記ゲートコンタクトホールを通して露出された前記第２金属層は、前記ゲートコンタクトホールを形成する食刻過程を通して露出させ、前記ゲートコンタクトホールを通して露出された前記第１金属層は、前記食刻工程後の洗浄工程で前記第１金属層と反応性が強い液で除去することを特徴とする、請求項１記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記ゲートパッド端子の形成段階において、前記第２金属層の食刻断面と前記ゲートパッド端子が接触されることを特徴とする、請求項２記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記ゲートコンタクトホールは、複数の小さいコンタクトホールを配列し形成することを特徴とする、請求項１記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記複数の小さいコンタクトホールは前記ゲートパッドの両端部に形成され、前記ゲートパッドの中央部には前記コンタクトホールが形成されないことを特徴とする、請求項４記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項６】
基板上にアルミニウムを含む第１金属と第２金属を連続蒸着し、パターン化して第１金属層と第２金属層を有するゲート物質及びゲートパッド、並びに前記第１金属層と第２金属層を含む前記ゲートパッドを連結する短絡配線を形成する段階と、前記ゲート物質及びゲートパッドを覆う絶縁膜を形成する段階と、前記絶縁膜の一部を食刻して前記ゲートパッドを露出するコンタクトホール及び前記短絡配線の一部分を露出する短絡配線切断ホールを形成して、前記コンタクトホールに露出された第２金属層及び前記第１金属層を除去し、前記短絡配線切断ホールに露出された第２金属層及び前記第２金属層下にある第１金属層を選択的に除去する段階と、前記絶縁膜上に導電物質で前記コンタクトホールを通して前記第２金属層と接する導電層を形成する段階と、を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項７】
前記コンタクトホールを通して露出された第２金属層は前記コンタクトホールを形成する食刻過程を続けて食刻側面を露出させ、前記コンタクトホールを通して露出された前記第１金属層は、前記食刻工程後に洗浄工程で前記第１金属層と反応性が強い液で除去することを特徴とする、請求項６記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記導電層の形成段階において、前記第２金属層の食刻断面と前記導電層が接することを特徴とする、請求項６記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記コンタクトホールは、複数の小さいコンタクトホールを配列し形成することを特徴とする、請求項６記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記複数の小さいコンタクトホールは前記ゲートパッドの両端部に形成され、前記ゲートパッドの中央部には前記コンタクトホールが形成されないことを特徴とする、請求項９記載の液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置（Liquid Crystal Display: LCD）の製造方法及びその構造に関する。特に、本発明は液晶表示装置において、マスクの使用回数を減少させることが出来る製造方法及びその構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
画像情報を画面に示す画面表示装置の中で今まで広く用いられているブラウン管表示装置（又は、Cathode Ray Tube；CRT）は、薄型及び軽量という長点で如何なる場所でも容易に使用が出来る薄膜型の平板表示装置で代替されつつある。特に、液晶表示装置は、他の平板装置より表示解像度が優れ、動画像を倶現する際のその品質はブラウン管に比べることができる程に反応速度が早いため、最も活発な開発研究が行われている。
【０００３】
液晶表示装置の駆動原理は、液晶の光学的異方性と分極性質とを利用したことである。方向性と分極性を有している細長い液晶分子に人為的の電気場を印加して分子配列の方向を調節することが出来る。従って、配向方向を任意に調節すると、液晶の光学的異方性による液晶分子の配列方向に沿って光を透過、又は遮断させることが出来て、画面表示装置に応用することが可能である。薄膜トランジスタ及びそれに連結されている画素電極が行列方式で配列された能動マトリクス液晶表示装置は、優れた画質と自然色を提供するので、最も注目されている製品である。一般的な液晶表示装置の構造は、次の如くである。図１は、液晶パネルの一般の構造を示す斜視図であり、図２は液晶パネルの平面図である。
【０００４】
液晶表示装置は、いろいろな素子が設けられた二つのパネル3と5が対向し、その間に液晶層が介されている形状である。液晶表示装置の一方のパネルには、色を現す複数個の素子が構成されており、これを一般的にカラーフィルターパネルと称する。カラーフィルターパネル3には、第１透明基板８１上に行列方式で設けられた画素の位置に沿って赤（R）、緑（G）、青（B）のカラーフィルター7が順次に配列されている。前記カラーフィルター7の間には、細い網模様のブラックマトリクス9が形成されている。それは、各々の色の間で混合色が現れることを防止するためである。又、カラーフィルター全面に共通電極８５が形成されている。共通電極は、液晶８７に印加する電気場を形成する一方の電極としての役割をする。
【０００５】
液晶表示装置の他方のパネルには、液晶を駆動するために電気場を発生させるスイッチ素子及び複数個の配線が形成されており、これを一般的にアクティブパネル5と称する。アクティブパネルには、第２透明基板８３上に行列方式で設けられた画素の位置に合わせて画素電極41が形成されている。前記画素電極41は、カラーフィルターパネル3に形成されている共通電極8と対向して液晶６１に印加される電気場を形成する他方の電極としての役割をする。複数個の前記画素電極41の水平配列方向に沿って信号配線13が形成されており、垂直配列方向に沿っては、データ配線23が形成されている。そして、前記画素電極41の一部には、前記画素電極41に電気場信号を印加する薄膜トランジスタ８９が形成されている。前記薄膜トランジスタのゲート電極11は、信号配線（ゲートバス配線）13に連結されており、ソース電極21はデータ配線（ソース配線）23に連結されている。そして、前記薄膜トランジスタ８９のドレイン電極31は、前記画素電極41に連結されている。又、前記ゲートバス配線13と前記ソース配線23の端部には、外部から印加される信号を受け取る終端端子（Terminal）のパッドが形成されている。
【０００６】
ゲートパッド15に電気的信号を印加すると、ゲートバス配線に沿ってゲート電極に印加され、前記ゲート電極11に印加された信号に沿ってソース電極21に印加されたデータ信号がドレイン電極31を通して画素電極41に表示するか、しないかが決められる。従って、前記ゲート電極の信号を調節することによって、前記データ信号印加を調節することが出来る。従って、前記ドレイン電極31に連結されている前記画素電極にデータ信号を人為的に伝達することが出来るようになる。即ち、前記薄膜トランジスタ19は、画素電極41を駆動するスイッチとしての役割をする。
【０００７】
このように作られた二つのパネル3、5が一定間隔（“セルギャップ（Cell Gap）”と称する）を隔てて対向して貼り合わせられ、その間に液晶物質が注入される。又、貼り合わせられた前記パネルの間から液晶物質が漏れることを防ぐためにエポキシのようなシール材81で封入される。このように、液晶表示装置の液晶パネルが完成される。
【０００８】
液晶表示装置の液晶パネルを製造する工程は、非常に複雑である。特に、薄膜トランジスタを含むアクティブパネルの製造には多くの段階が要求される。この複雑な製造工程で製品の性能が決定されるため、可能な限り工程が簡単であれば不良の確率を減らせる。アクティブパネルには液晶表示装置の性能に関連がある重要な素子が多く形成されているため、これを製造する工程を単純化するのが良い製品を製作するに重要な役割をする。一般に製造工程は、どんな物質から構成されるか、どんな仕様によって設計されるのか、又製造工程で発生される静電気のような問題点をどんな方法で解決するのかによって決定される場合が多い。
【０００９】
例えば、過去の小型液晶モニタの場合には問題が無いが、１２インチ以上のコンピューターモニタ用液晶表示装置のような大面積液晶表示装置の場合はゲート配線に使用される材質の固有抵抗値が画質の優秀性を決定する重要な要素になる。即ち、小面積液晶表示装置にはタンタル、タングステン、モリブデン等のような薄膜の表面安定性が良い金属でゲート物質（ゲート配線、ゲート電極及びゲートパッド等）に使用されたが、大面積の場合にはアルミニウムのような抵抗が低い金属を使用するのが望ましい。
【００１０】
然し、アルミニウム、又はアルミニウム合金をゲート物質に使用することは多くの問題点を有する。その代表的問題点は、アルミニウムの表面に発生するヒロック（Hillock）である。即ち、アルミニウムの蒸着後の表面に細微なアルミニウム粒子が残っている場合、製造工程上の高温状態になる場合に前記粒子は大きく成長して絶縁膜を破壊し、不良の発生を呼ぶ。一層詳細に言えば、アルミニウム表面にITOを蒸着接触する場合、その間に酸化アルミニウム膜（Al2O3）が形成されて界面接触抵抗が大きくなることに従ってゲート物質に電気信号の伝達が遅延される問題が発生する。
【００１１】
従って、従来のアルミニウム膜の表面を陽極酸化して表面の安定度を高くする方法が提示された。そして、外部と電気的に接触する部分は、陽極酸化を無しにクロームのような金属で中間電極を形成してITOとの接触抵抗を減らした。このような製造工程に使用されるマスクの回数は、最小８回が要求される。陽極酸化を通して液晶表示装置を製造する方法を平面図である図２、図２のIII−IIIに沿って製造工程を示す工程図３（ａ）−５（ｂ）を参照して説明する。
【００１２】
透明ガラス基板１上にアルミニウムを蒸着し、第１マスクを使用してゲート配線１３、ゲートパッド１５、ゲート電極１１、短絡配線１９及び複数のソース短絡連結端子２７を形成する。ここで短絡配線１９は、ゲートパッド１５を全部連結し、前記基板１の縁部を囲んだ形態を有する。従って、多くのゲート物質（ゲート電極、ゲートパッド、ゲート配線、短絡配線及びソース短絡配線）は全部等電位を有して製造工程中に発生する静電気による断線、又は絶縁破壊を防ぐことが出来る。そしてソース短絡連結端子２７は、後で形成されるソースパッドと連結される部分である。前記ソース短絡連結端子２７は、ソース配線が形成される時、静電気を防ぐために短絡配線１９を通して互いに等電位を有するようにする（図２、図３（ａ））。
【００１３】
前記基板１上に形成されたゲート物質の表面にヒロックが形成されることを防ぐために陽極酸化する。陽極酸化時、後で他の導電層と電気的接触する部分は陽極酸化されると電気信号の交換ができないためでフォトレジストを用いて選択的に陽極酸化をする。この際、第２マスクを使用してフォトレジストをパターン化して陽極酸化する部分だけを露出させて陽極酸化する。ここでゲートパッド部分と短絡配線中のソースパッドと接触される部分には陽極酸化されないようにフォトレジストを防止膜として陽極酸化する。その結果、図３（ｂ）のようにアルミニウム層の表面一部に陽極酸化膜９１が形成される。
【００１４】
前記ゲート物質が形成された基板全面に窒化シリコン（SiNx）、又は酸化シリコン（SiOx）のような絶縁物質を蒸着してゲート絶縁膜１７を形成する。そして、純粋アモルファスシリコンのような真性半導体物質と、不純物が添加されたアモルファスシリコンのような不純物半導体物質を連続に蒸着する。第３マスクを使用して真性半導体物質及び不純物半導体物質をパターニングして半導体層３３と不純物半導体層３５を形成する（図２、図３（ｃ））。
【００１５】
前記ゲート絶縁膜１７中で陽極酸化されなかったゲート物質、即ちゲートパッド１５とソース短絡連結端子２７を覆う部分を第４マスクをパターンとして除去する。そうすると、ゲートパッド１５とソース短絡連結端子２７が露出される（図４（ａ））。
【００１６】
ゲート絶縁膜１７が形成された基板全面にクローム、クローム合金を蒸着し、第５マスクをパターンとして配線２３、ソース電極２１、ソースパッド２５、ドレイン電極３１及びゲートパッド電極５３を形成する。前記ソースパッド２５は、前記ゲート絶縁膜１７に露出されたソース短絡配線１９に連結されて等電位状態をなす。ゲートパッド中間電極５３はゲート絶縁膜１７に露出されたゲートパッド１５と完全に接触する（図２、図４（ｂ））。
【００１７】
前記ソース物質（ソース電極、ドレイン電極、ソース配線、ソースパッド及びゲートパッド中間電極）が形成された基板全面に酸化シリコン（SiOx）、若しくは窒化シリコン（SiNx）のような絶縁物質を蒸着して保護膜３７を形成する。そして、第６マスクで上記保護膜をパターン化してゲートパッド中間電極５３、ソースパッド２５及びドレイン電極３１等を露出させる（図４（ｃ））。
【００１８】
このとき全てのゲートパッドと１５及びソースパッド２５が短絡配線１９に全部連結された状態である。従って、製造工程中に同じ電位を有して静電気による断線、又は絶縁破壊のような問題を防ぐことが出来た。然し、最終製品ではこの全配線が連結されてはならないため、全部独立的に分離しなければならない。そのために、短絡配線１９が形成されたガラス基板１部分をカットするようになる。その前に、配線が形成された後、近接した多くの配線の短絡及び断線等を検査する段階が要求される。一般に奇数番目配線と偶数番目配線で分けて連結後電気的に信号を印加して検査する方法が使用される。そのためには現在短絡配線１９が連結された状態で奇数番目、偶数番目配線で連結を分ける必要がある。即ち、短絡配線の四角部を除去して短絡配線を上、下、左、右で分ける。そして、左側短絡配線に連結された偶数番目のゲート配線の連結部分を切断し、右側短絡配線に連結された奇数番目のゲート配線の連結部分を切断する。そうすると、奇数番目配線と偶数番目配線で区分される。ソース配線も同じ方法で分離する。この時も切断したい連結部分の短絡配線切断部９３を第７マスクを用いて食刻法で除去する（図２、図５（ａ））。
【００１９】
最後に、ITO(Indium Tin Oxide)のような透明導電物質を前記保護膜３７上に蒸着し、第８マスクでパターニングしてゲートパッド中間電極５３に連結されたゲートパッド端子５７と、ソースパッド２５に連結されたソースパッド端子６７及びドレイン電極３１に連結された画素電極４１を形成する（図２、図５（ｂ））。
【００２０】
これでアルミニウムをゲート物質の材料で使用し、アルミニウム表面のヒロック問題を解決することが出来た。又、ゲートパッドとITO間にクロームを介してアルミニウムとITO間の接触問題も解決した。然し、陽極酸化のため、又製造工程で発生する静電気の防止のために連結された部分を除去する工程が要求された。結局、アルミニウム膜を陽極酸化してアクティブパネルの製造ために８回のマスク工程が要求される。然し、液晶表示装置に使用されるアクティブパネルの製造において使用されるマスク工程中には洗浄、蒸着、ベイキング、食刻等の様々な工程が含まれている。従って、マスク工程を１回も短縮しても製造時間が短縮され、歩留まりが向上される。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、薄膜トランジスタを含む液晶表示装置の製造において、アルミニウムのように低抵抗金属をゲート物質として使用する製造方法を提供することを目的とする。
【００２２】
又、本発明は、アルミニウムをゲート物質として使用する液晶表示装置において、アルミニウム表面にヒロックが発生することを防ぐことを目的とする。
【００２３】
又、本発明は、アルミニウムをゲート物質として使用する液晶表示装置において、使用されるマスク数を減らすことを目的とする。
【００２４】
本発明は、低抵抗金属のアルミニウムと高融点物質のモリブデン、タンタル、タングステン、アンチモンのような金属を蒸着し、同一マスクでパターン化してゲート物質を形成することによってアルミニウム表面に発生するヒロックを防止し、製造工程に使用するマスク数を減少させる。アルミニウムと高融点金属物質を連続蒸着し、同時にパターン化してゲート物質を形成する方法について本出願人は、韓国特許庁に特許出願した（出願番号９７−０７０１０）。上記件の発明には、第１金属層と第２金属層を連続蒸着し形成し、同一マスクで第２金属と第１金属を湿式食刻法でパターン化した。従って、第１金属層の幅がその上に形成された第２金属層の幅より狭く形成される。この時、第１金属層の幅と第２金属層の幅との差は、ヒロック発生を抑制する機能を十分にするために１〜４μm位の範囲になるように形成した。本発明では前記二重金属からなるゲート物質を含む薄膜トランジスタの形成方法を基づいて液晶表示装置を５回のマスク工程で製造する方法及びその方法による液晶表示装置の構造を提供する。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
前述した目的のために本発明は、第１金属物質と第２金属物質を連続蒸着して同一マスクでパターン化してゲート配線、ゲート電極、ゲートパッド及び短絡配線を形成する段階と、前記ゲート物質が形成された基板上に第１絶縁物質と、純粋半導体物質及び不純物が添加された半導体物質を連続蒸着し、前記純粋半導体物質と不純物半導体物質をパターン化してゲート絶縁膜上に半導体層及び不純物半導体層を形成する段階と、前記不純物半導体層が形成された基板上に第３金属を蒸着しパターン化してソース配線、ソース電極、ドレイン電極及びソースパッドを形成する段階と、前記ソース物質が形成された基板上に第２絶縁物質を蒸着しパターン化してゲートパッドとソースパッド及びドレイン電極の一部を露出させる絶縁膜を形成し、前記短絡配線と不必要に連結された部分を切断する段階と、前記保護膜上に透明導電物質で画素電極、ゲートパッド端子及びソースパッド端子を形成する段階とを含む。
【００２６】
【発明の実施の形態】
発明の実施の形態１
以下に図６、及び図６のＶ−Ｖ線に沿った工程断面図の図７（ａ）−図８（ｂ）を参照しながら説明する。
【００２７】
透明ガラス基板１０１上にアルミニウム、又アルミニウム合金のような金属を蒸着して第１金属層を形成する。次に、モリブデン（Mo）、タンタル（Ta）、タングステン（W）、又はアンチモン（Sb）のような高融点を有する金属を連続的に蒸着して第２金属層２１３を形成する。前記二重金属層２１１、２１３を第１マスクで食刻してゲート配線１１３、ゲート電極１１１、ゲートパッド１１５及びゲート短絡配線１１９を形成する。この時、第２金属層２１３と第１金属層２１１を湿式食刻法でパターン化して第１金属層２１１より幅が狭い第２金属層２１３が積層されたゲート物質（ゲート配線、ゲート電極、ゲートパッド及びゲート短絡配線）を形成する。基板１０１の横に伸びる複数のゲート配線１１３が列方向で並んでいる。ゲート電極１１１は、ゲート配線１１３から分岐され設計された画素の隅部に形成されている。そして、複数個のゲートパッド１１５は、全部ゲート短絡配線１１９に連結されて等電位状態になって静電気による断線、又は絶縁膜破壊等を防ぐことが出来る（図６、図７（ａ））。
【００２８】
前記第１金属層２１１、第２金属層２１３からなる前記ゲート物質が形成された基板１０１上に窒化シリコン（SiNx）、又は酸化シリコン（SiOx）のような無機絶縁物質を蒸着し、又場合によりBCB(BenzoCycloButene)若しくはアクリル(Acryl)系樹脂のような有機絶縁物質を塗布してゲート絶縁膜１１７を形成する。次に、純粋アモルファスシリコンのような真性半導体物質と不純物が添加されたアモルファスシリコンのような不純物半導体物質を連続蒸着し、第２マスク工程でパターン化して半導体層１３３及び不純物半導体層１３５を形成する。前記半導体層１３３は、ゲート絶縁膜上のゲート電極１１１部分に形成される（図６、図７（ｂ））。
【００２９】
前記不純物半導体層１３５が形成された基板１０１上にクローム(Cr)、又はクローム合金のような金属を蒸着し、第３マスク工程でパターン化してソース配線１２３、ソース電極１２１、ドレイン電極１３１、ソースパッド１２５及びソース短絡配線１２９等を形成する。ゲート絶縁膜１１７上でゲート配線１１３と直交して縦に伸びる複数のソース配線１２３が行方向に配列されている。不純物半導体層１３５の一辺にソース配線から分岐されたソース電極１２１が接触されている。不純物半導体層１３５の他辺にはソース電極１２１と向かい合うドレイン電極１３１が接触されている。ソース配線１２３の終端部にはソースパッド１２５が形成されている。そして、複数のソースパッド１２５はソース短絡配線１２９に互いに連結されている。この時、基板の上辺には奇数番目ソースパッド１２５を連結するソース短絡配線１２９を、基板の下辺には偶数番目ソースパッド１２５を連結する第２ソース短絡配線（図示せず）を別に形成することが出来る。図６には基板の一隅部だけを示し、奇数番目ソースパッド１２５はソース短絡配線１２９に連結され、偶数番目ソースパッド１２５はソース短絡配線１２９に連結されるように表示される。従って、全てのソース配線１２３が互いに連結されることによって工程中に発生される静電気のため配線が切断される問題は起こらない（図６、図７（ｃ））。
【００３０】
前記ソース物質（ゲート配線、ゲート電極、ゲートパッド及びゲート短絡配線）等が形成された基板上に窒化シリコン（SiNx）、又は酸化シリコン（SiOx）のような無機絶縁物質を蒸着し、又場合によりBCB(BenzoCycloButene)若しくはアクリル(Acryl)系樹脂のような有機絶縁物質を塗布して保護膜１３７を形成する。第４マスク工程で前記ソースパッド１２５と前記ドレイン電極１３１を覆う保護膜１３７の一部を除去してソースコンタクトホール１６１とドレインコンタクトホール１７１を形成する。そして、ゲートパッと１１５及びゲート短絡配線１１９中、奇数番目ゲートパッドに連結される部分を覆う保護膜１３７とゲート絶縁膜１１７の一部を除去し、ゲートコンタクトホール１５１及び短絡配線切断ホール１９３を形成する。ここで短絡配線切断ホール１９３を通して露出されたゲート物質は除去されることが望ましい。
【００３１】
即ち、ゲート短絡配線１１９に全部連結されたゲートパッド１１５中、奇数、または偶数番目の連結部分を切断することによって奇数番目ゲート配線と偶数番目ゲート配線を分離する。図６は基板の左辺を示し、ゲート短絡配線に奇数番目ソースパッドが連結され、偶数番目ソースパッドは連結されない。反面、図示されないが基板の右辺にはゲート短絡配線に奇数番目ソースパッドが連結されなく偶数番目ソースパッドだけが連結される。
【００３２】
従って、本発明は他の除去工程無しに次のような方法を提供する。現在のゲート物質はアルミニウムを含む第１金属層２１１とその上にモリブデン、タングステン、タンタル、又はアンチモンのような高融点金属を含む第２金属層２１３が積層されてある。先ず、第２金属層２１３は、保護膜１３７及びゲート絶縁膜１１７を除去する乾式食刻で同時に除去することが出来る。これは第２金属層２１３を形成するモリブデン、タングステン、タンタル、又はアンチモンのような保護膜１３７及びゲート絶縁膜１１７と食刻選択比が殆ど無いという性質を利用したことである。換言すると、保護膜１３７とゲート絶縁膜１１７の食刻時短絡配線の切断部分の除去を容易にするため、アルミニウム上に保護膜１３７及びゲート絶縁膜１１７と食刻選択比が等しく、高融点の金属を使用してアルミニウムのヒロック防止に使用する。
【００３３】
残っているアルミニウムは次のような方法で除去する。一般に食刻工程は、蒸着、フォトレジスト塗布、感光、現象、食刻、フォトレジスト除去のような過程を経る。保護膜１３７とゲート絶縁膜１１７の食刻工程にも同じ過程を経る。そして、フォトレジストの除去後にフォトレジストの除去時に使用した液を強風を照射し除去し、洗浄する工程を経る。一般に前記液の除去後、洗浄工程に移転するのにある程度の時間がかかるので、その間に残っているフォトレジスト除去液が前記保護膜の表面１３７を汚染させる場合がある。これを防ぐために洗浄工程の移転前に反応性が小さい液を塗って移送する。この時、保護膜には反応性が小さいがアルミニウムを含む第１金属層２１１との反応性が大きい弱アルカリ性液を利用する。従って、露出された第１金属製２１１が除去される（図８（ａ））。
【００３４】
前記保護膜１３７上にITO(Indium Tin Oxide)のような透明導電物質を蒸着し、第５マスク工程でパターン化して画素電極１４１、ゲートパッド端子１５７及びソースパッド端子１６７を形成する。画素電極１４１は、ドレインコンタクトホール１７１を通して露出されたドレイン電極１３１と接している。ゲートパッド端子１５７はゲートコンタクトホール１５１が形状によって食刻されたゲートパッド１１５の食刻断面と接している。前記ゲートパッド端子１５７は、ゲートパッド１１５をなす第２金属層２１３の食刻断面、又は第１金属層２１１の食刻断面と接する。そして、ソースパッド端子１６７は、ソースコンタクトホール１６１を通して露出されたソースパッド１２５と接する（図６、図８（ｂ））。
【００３５】
発明の実施の形態２
以下に図９、及び図９のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った工程断面図の図１０（ａ）−図１１（ｂ）を参照しながら説明する。本発明では発明の実施の形態１と薄膜トランジスタの形成方法が同一であるため、その断面図は省略する。
【００３６】
透明ガラス基板１０１上にアルミニウム（Al）、又アルミニウム合金のような金属で蒸着して第１金属層２１１を形成する。次に、モリブデン（Mo）、タンタル（Ta）、タングステン（W）、又はアンチモン（Sb）のような高融点を有する金属を連続に蒸着して第２金属層２１３を形成する。前記二重金属層２１１、２１３を第１マスクで食刻してゲート配線１１３、ゲート電極１１１、ゲートパッド１１５、第１ゲート短絡配線１１９ａ及び第１ソース短絡配線１２９ａを形成する。この時、第２金属層２１３と第１金属層２１１を湿式食刻法でパターン化して第１金属層２１１より幅が狭い第２金属層２１３が積層されたゲート物質（ゲート配線、ゲート電極、ゲートパッド、第１ゲート短絡配線及び第１ソース短絡配線）を形成する。基板１０１の横に伸びる複数のゲート配線１３３が列方向で並んでいる。ゲート電極１１１は、ゲート配線１１３から分岐されて設計された画素の隅部に形成されている。ゲート配線１１３の終端にはゲートパッド１１５が形成されている。そして、複数個のゲートパッド１１５は、全部第１ゲート短絡配線１１９ａに連結されて等電位状態になって静電気による断線、又は絶縁膜破壊等を防ぐことが出来る。複数の偶数番目ゲート配線は第１ゲート短絡配線１１９ａに迂回され連結されているが、これは奇数番目、偶数番目ゲート配線を分け易くするためである。第１ソース短絡配線１２９ａは、後に形成されるソース配線中、複数の奇数番目ソースパッドと連結される（図９、図１１（ａ））。
【００３７】
前記第１金属層２１１、第２金属層２１３からなる前記ゲート物質が形成された基板１０１上に窒化シリコン（SiNx）、又は酸化シリコン（SiOx）のような無機絶縁物質を蒸着し、又場合によりBCB(BenzoCycloButene)若しくはアクリル(Acryl)系樹脂のような有機絶縁物質を塗布してゲート絶縁膜１１７を形成する。次に、純粋アモルファスシリコンのような真性半導体物質と不純物が添加されたアモルファスシリコンのような不純物半導体物質を連続蒸着し、第２マスク工程でパターン化して半導体層１３３及び不純物半導体層１３５を形成する。前記半導体層１３３は、ゲート絶縁膜１１７上のゲート電極１１１部分に形成される（図９、図１１（ｂ））。
【００３８】
前記不純物半導体層１３５が形成された基板１０１上にクローム(Cr)、又はクローム合金のような金属を蒸着し、第３マスク工程でパターン化してソース配線１２３、ソース電極１２１、ドレイン電極１３１、ソースパッド１２５、第２ゲート短絡配線１１９ａ及び第２ソース短絡配線１２９ｂ等を形成する。ゲート絶縁膜１１７上でゲート配線１１３と直交して縦に伸びる複数のソース配線１２３が行方向に配列されている。不純物半導体層（図示されない）の一辺にソース配線１２３から分岐されたソース電極１２１が接触されている。不純物半導体層（図示されない）の他辺にはソース電極１２１と向かい合うドレイン電極１３１が接触されている。ソース配線１２３の終端部にはソースパッド１２５が形成されている。そして、偶数番目ソースパッド１２５は第２ソースパッド配線１２９ｂに互いに連結されている。全ての偶数番目ソース配線１２３が互いに連結されることによって工程中に発生される静電気のため配線が切断される問題は起こらない。現在奇数番目ソースパッド１２５はソース短絡配線と連結されてないが、静電気による損傷は発生しない。そして、第１ゲート短絡配線１１９ａと並びに配列されるように第２ゲート短絡配線１１９ｂが形成される（図９、図１０（ｃ））。
【００３９】
前記ソース物質（ゲート配線、ゲート電極、ゲートパッド、第２ソース短絡配線及び第２ゲート短絡配線）等が形成された基板上に窒化シリコン（SiNx）、又は酸化シリコン（SiOx）のような無機絶縁物質を蒸着し、又場合によりBCB(BenzoCycloButene)若しくはアクリル(Acryl)系樹脂のような有機絶縁物質を塗布して保護膜１３７を形成する。第４マスク工程で前記ソースパッド１２５と前記ドレイン電極１３１を覆う保護膜１３７の一部を除去してソースコンタクトホール１６１とドレインコンタクトホール１７１を形成する。そして、第２ゲート短絡配線１１９中、偶数番目ゲートパッド１１５の延長線上の部分を覆う保護膜１３７の一部を除去してゲート短絡コンタクトホール１８１を形成する。そして、ゲートパッド１１５及び第１ゲート短絡配線１１９ａと偶数番目ソースパッドと連結された部分を覆う保護膜１３７とゲート絶縁膜１１７の一部を除去して奇数番目ソースパッド１２５てゲートコンタクトホール１５１と短絡配線切断ホール１９３を形成する。この時、奇数番目ソースパッド１２５の延長線上の第１ソース短絡配線１２９ａの一部を覆う保護膜１３７とゲート絶縁膜１１７を除去してソース短絡コンタクトホール１９１を形成する。ここで短絡配線切断ホール１９３を通して露出されたゲート物質は除去されることが望ましい。即ち、第１ゲート短絡配線１１９ａと偶数番目ゲートパッド１１５の連結部分を切断することによって第１ゲート短絡配線１１９ａに連結された奇数番目ゲートパッドと第２ゲート短絡配線１１９ｂに連結された偶数番目ゲート配線の連結を切断する。
【００４０】
この時、発明の実施の形態１と同一方法で連結部を切断する。即ち、第２金属層２１３は、保護膜１３７とゲート絶縁膜１１７を除去する乾式食刻で同時に除去する。残っているアルミニウムも発明の実施の形態１と同一方法で除去する。即ち、保護膜１３７とゲート絶縁膜１１７食刻工程で使用したフォトレジストの除去後、フォトレジストの除去時に使用した液を強風を照射し除去し、洗浄する工程に移転する基板を保護膜には反応性が小さいが、アルミニウムを含む第１金属層２１１との反応性が大きい弱アルカリ性液を塗布する。従って、短絡配線切断ホール１９３が露出された第１金属製２１１は除去される。このように第１ゲート短絡配線１１９ａと偶数番目ゲートパッド１１５を連結するゲート物質、例えばゲートパッド１１５とソース短絡コンタクトホール１９１を通して露出された第１ソース短絡配線１２９ａの一部分も同じ形態で食刻される（図１１（ａ））。
【００４１】
前記保護膜１３７上にITO(Indium Tin Oxide)のような透明導電物質を蒸着し、第５マスク工程でパターン化して画素電極１４１、ゲートパッド端子１５７及びソースパッド端子１６７を形成する。画素電極１４１は、ドレインコンタクトホール１７１を通して露出されたドレイン電極１３１と接してある。ゲートパッド端子１５７はゲートコンタクトホール１５１が形状によって食刻されたゲートパッド１１５の食刻断面と接する。前記ゲートパッド端子１５７は、ゲートパッド１１５をなす第２金属層２１３の食刻断面、又は第１金属層２１１の食刻断面と接する。そして、複数のゲートパッド端子１５７中、偶数番目ゲートパッド１１５に連結されることはゲート短絡コンタクトホール１８１を通して露出された第２ゲート短絡配線１１９ｂと連結されるように形成する。又、ソースパッド端子１６７はソースコンタクトホール１６１を通して露出されたソースパッド１２５に接する。奇数番目ソースパッド１２５に連結されるソースパッド端子１６７はソース短絡コンタクトホール１９１を形状によって食刻された第１ソース短絡配線１２９ａの食刻断面と接する。従って、第１ゲート短絡配線１１９ａと第１ソース短絡配線１２９ａには各々奇数番目ゲートパッド１１５及び偶数番目ソースパッド１２５が連結される（図９、図１１（ｂ））。
【００４２】
発明の実施の形態１及び発明の実施の形態２に示したように、ゲートコンタクトホール１５１を通してゲートパッド端子１５７と接する部分はゲートパッドコンタクトホール１５１の形状で縁部に沿って露出された第２金属層２１３の食刻断面図である。従って、ゲートパッド端子１５７とゲートパッド１１５との接触抵抗はゲートコンタクトホール１５１の縁部の長さによって決定される。ゲートパッド部の接触抵抗が高くなることを防ぐためにはゲートコンタクトホール１５１形状の縁部長さを長くすることが望ましい。従って、ゲートコンタクトホール１５１の形状は、複数の小さい穴が配列されるように設計するのが当然である。一方、ゲートパッド１１５の中央部は、外部の電気信号を印加されることとして外部の連結端子と接触する部分である。従って、中央部にはコンタクトホールを形成しないことが外部連結端子と接触を良好に維持される。又、前述の図１２（ａ）〜（ｃ）に示すように長方形のゲートパッド１１５の両端部に複数の小さい穴が配列された形状を有するゲートコンタクトホール１５１を他の方法で設計することも良い。
【００４３】
結論として、本発明の実施の形態が提示する液晶表示装置の製造方法により、ゲート物質中にITOで形成される物質と接触される全部分、即ちゲートパッド、奇数番目ソースパッド短絡配線に連結される部分、発明の実施の形態では説明しなかったがカラーフィルタパネルに形成される共通電極とゲート信号の共通電極を接触させる銀接点部(Ag dot)のようなの所を前記ゲートパッド部と同一な構造で形成する。本発明による液晶表示装置でゲート物質とITOが接触される部分の構造は、次の如くである。ゲートバッド部の中心で、図１２（ｃ）のＩＸ−ＩＸ線に沿ってゲートパッド１１５のゲートコンタクトホール１５１部の断面を示す図１３（ａ）−ｃを参照して説明する。
【００４４】
ゲートコンタクトホール１５１を形成する過程が保護膜１３７とゲート絶縁区１１７をパターンする食刻工程で第２金属層２１３と共に食刻するように保護膜１３７及びゲート絶縁膜１１７に形成される絶縁膜コンタクトホール１５１ａの幅Ｗ１と第２金属層２１３に形成される第２金属層１５１ｂの幅Ｗ２は等しい値を有することが出来る。又、第２金属コンタクトホール１５１ｂにより第１金属層２１１がパターンされるため、第１金属層２１１に形成される第１金属コンタクトホール１５１ｃの幅Ｗ３は、第２金属層コンタクトホール１５１ｂの幅Ｗ２と等しい値を有することが出来る。この場合、ゲートパッド端子１５７は、第２金属層２１３と第１金属層２１１の食刻された側面と接する（図１３（ａ））。
【００４５】
しかし、一般にコンタクトホールの形成後に塗布されたレジストを除去し、保護膜との反応性が殆ど無く、第１金属層２１１と反応性がある液を塗布した状態で洗浄過程に移転するまで時間がかかる場合が多い。従って、第１金属層２１１は図１３（ｂ）に示すように第２金属層２１３下に過食刻(Undercutting)される。従って、第１金属コンタクトホール１５３ｃの幅Ｗ３は、第２金属層コンタクトホール１５３ｂの幅Ｗ２より大きく形成されることもある。この場合、ゲートパッド端子１５７は第２金属層２１３の食刻された側面に接するようになる。ゲートパッド端子１５７が第１金属層２１１と接しなくてもゲートパッドとゲートパッド端子間の接触問題は発生しない。第１金属層にアルミニウムを用い、ゲートパッド端子１５７にITOを使用するためでアルミニウムとITO界面に酸化アルミニウム膜が形成されて接触抵抗が非常に高くてあまりの影響を与えないためである。しかし、第２金属層２１３とゲートパッド端子１５７間の接触抵抗が高くならないように設計することが重要である。従って、絶縁膜コンタクトホール１５１ａと第２金属コンタクトホール１５１ｂを形成する乾式食刻法で使用されるプラズマエネルギーを調節して絶縁膜コンタクトホール１５１ａが斜めになった食刻断面を有するように調節し、絶縁膜コンタクトホール１５１ａの幅Ｗ１が第２金属コンタクトホール１５１ｂの幅Ｗ２より大きく形成するほうが望ましい。そうすると、第２金属層２１３の露出部分が一層広く確保されることが出来、ゲートパッド端子１５７と接触する面積を一層広く確保して接触抵抗が高くなる問題を防ぐことが出来る。
【００４６】
【発明の効果】
本発明は、アルミニウムの用に固有抵抗が低い物質をゲート物質で使用する液晶表示装置において、使用するマスク数を減少させる製造方法及びその構造を提供する。本発明により、ゲート物質でアルミニウムとアルミニウムを覆うモリブデン、タンタル、タングステン、又はアンチモンを連続蒸着し、一つのマスク工程でパターン化し形成した。そして、静電気短絡配線の切断工程を保護膜パターン工程及び洗浄工程で行う。従って、液晶表示装置のアクティブパネルの製造方法は、５回のマスク工程だけで制作が可能で歩留まりが向上され、コストの節減及び生産時間を短縮することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】  一般の液晶表示装置を示す斜視図。
【図２】  従来の方法による液晶表示装置のアクティブパネルを示す平面図。
【図３】  液晶表示装置のアクティブパネルを製造する従来の製造方法を示す工程断面図。
【図４】  液晶表示装置のアクティブパネルを製造する従来の製造方法を示す工程断面図（続き）。
【図５】  液晶表示装置のアクティブパネルを製造する従来の製造方法を示す工程断面図（続き）。
【図６】  本発明の実施の形態１の液晶表示装置のアクティブパネルを示す平面図。
【図７】  本発明の実施の形態１の液晶表示装置のアクティブパネルを製造する工程断面図。
【図８】  本発明の実施の形態１の液晶表示装置のアクティブパネルを製造する工程断面図（続き）。
【図９】  本発明の実施の形態２の液晶表示装置のアクティブパネルを示す平面図。
【図１０】  本発明の実施の形態２の液晶表示装置のアクティブパネルを製造する工程断面図。
【図１１】  本発明の実施の形態２の液晶表示装置のアクティブパネルを製造する工程断面図（続き）。
【図１２】  本発明の実施の形態によるアクティブパネルにおいて、ゲートパッド部に形成されるゲートコンタクトホールの様々な形状を示す複数の断面図。
【図１３】  本発明の実施の形態によるアクティブパネルのゲートパッド及びゲートコンタクトホールの形態を示す拡大断面図。
【符号の説明】
１，１０１    基板
３    カラーフィルタパネル
５    アクティブパネル
７    カーラーフィルタ
９    ブラックマトリクス
１１，１１１    ゲート電極
１３，１１３    ゲート配線
１５，１１５    ゲートパッド
１７，１１７    ゲート絶縁膜
１９    短絡配線
２１，１２１    ソース電極
２３，１２３    ソース配線
２５，１２５    ソースパッド
２７    ソース短絡連結端子
３１，１３１    ドレイン電極
３３，１３３    半導体層
３５，１３５    不純物半導体層
３７，１３７    半導体層
４１，１４１    画素電極
５１，１５１    ゲートコンタクトホール
５３    ゲートパッド中間電極
５７，１５７    ゲートパッド端子
６１，１６１    ソースコンタクトホール
８１    第１透明基板
８３    第２透明基板
８５    共通電極
８９    薄膜トランジスタ
９１    陽極酸化膜
９３    短絡配線切断部
１１９    ゲート短絡配線
１１９ａ    第１ゲート短絡配線
１１９ｂ    第２ゲート短絡配線
１２９    ソース短絡配線
１２９ａ    第１ソース短絡配線
１２９ｂ    第２ソース短絡配線
１８１    ゲート短絡コンタクトホール
１９１    ソース短絡コンタクトホール
１９３    短絡配線切断ホール
２１１    第１金属層
２１３    第２金属層
【図１】
0004199357.tif 000002
【図２】
0004199357.tif 000003
【図３】
0004199357.tif 000004
【図４】
0004199357.tif 000005
【図５】
0004199357.tif 000006
【図６】
0004199357.tif 000007
【図７】
0004199357.tif 000008
【図８】
0004199357.tif 000009
【図９】
0004199357.tif 000010
【図１０】
0004199357.tif 000011
【図１１】
0004199357.tif 000012
【図１２】
0004199357.tif 000013
【図１３】
0004199357.tif 000014