【手続補正書】
【提出日】平成20年1月31日(2008.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  複数の投影光学ユニットを備えて構成される露光装置において、
前記投影光学ユニットは、
電気的に制御可能な転写パターンを生成する可変パターン生成装置と、
前記可変パターン生成装置からの光を感光性基板上に投影する投影光学系と、
前記投影光学系のフォーカス位置を他の投影光学系とは独立に設定するフォーカス位置設定手段とをそれぞれ備えることを特徴とする露光装置。
【請求項２】  前記感光性基板上の複数個所の面位置を検出する面位置検出手段を更に備え、
前記投影光学ユニットの前記フォーカス位置設定手段は、前記面位置検出手段により検出された前記感光性基板上の複数個所の面位置に基づいて、フォーカス位置を独立に設定することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】  前記面位置検出手段は、前記投影光学ユニット毎に設けられた露光領域の面位置を検出する第１面位置検出手段を含んで構成されることを特徴とする請求項２記載の露光装置。
【請求項４】  前記フォーカス位置設定手段は、前記投影光学ユニットを前記投影光学系の光軸に沿って移動させる投影光学ユニット駆動手段を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項５】  前記フォーカス位置設定手段は、前記投影光学ユニットの前記可変パターン生成装置を前記投影光学系の光軸に沿って移動させる可変パターン生成装置駆動手段を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項６】  前記フォーカス位置設定手段は、前記投影光学ユニットの前記投影光学系を構成する光学部材の中の少なくとも１つを前記投影光学系の光軸に沿って移動させる光学部材駆動手段を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項７】  前記可変パターン生成装置は、発光パターンを形成する自発光型画像表示素子を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項８】  前記可変パターン生成装置は、光源と、該光源からの照明光の光路中に配置された非発光型画像表示素子とを備えることを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項９】  前記可変パターン生成装置と前記投影光学系とは、光軸直交方向に相対移動を行わないことを特徴とする請求項１乃至請求項８の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項１０】  前記投影光学ユニットと前記感光性基板とを相対的に走査方向に沿って移動させる走査手段を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項９の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項１１】  前記面位置検出手段は、前記投影光学ユニット毎に設けられて、前記第１面位置検出手段による第１の検出点とは前記走査方向に沿って異なる第２の検出点での面位置を検出する第２面位置検出手段を備えることを特徴とする請求項３乃至請求項１０の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項１２】  複数の投影光学ユニットを備えて構成される露光装置において、
前記投影光学ユニットは、
転写パターンが形成されたマスクと、
前記マスクに形成された前記転写パターンの像を感光性基板上に投影する投影光学系と、
前記投影光学系による前記転写パターンの像のフォーカス位置を他の投影光学系とは独立に設定するフォーカス位置設定手段とをそれぞれ備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１３】  前記感光性基板上の複数個所の面位置を検出する面位置検出手段を更に備え、
前記投影光学ユニットの前記フォーカス位置設定手段は、前記面位置検出手段により検出された前記感光性基板上の複数個所の面位置に基づいて、フォーカス位置を独立に設定することを特徴とする請求項１２記載の露光装置。
【請求項１４】  前記面位置検出手段は、前記投影光学ユニット毎に設けられた露光領域の面位置を検出する第１面位置検出手段を含んで構成されることを特徴とする請求項１３記載の露光装置。
【請求項１５】  前記フォーカス位置設定手段は、前記投影光学ユニットを前記投影光学系の光軸に沿って移動させる投影光学ユニット駆動手段を備えることを特徴とする請求項１２乃至請求項１４の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項１６】  前記フォーカス位置設定手段は、前記投影光学ユニットの前記マスクを前記投影光学系の光軸に沿って移動させるマスク駆動手段を備えることを特徴とする請求項１２乃至請求項１４の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項１７】  前記フォーカス位置設定手段は、前記投影光学ユニットの前記投影光学系を構成する光学部材の中の少なくとも１つを前記投影光学系の光軸に沿って移動させる光学部材駆動手段を備えることを特徴とする請求項１２乃至請求項１４の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項１８】  前記マスクは、可変パターン生成装置を備えることを特徴とする請求項１２乃至請求項１７の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項１９】  前記マスクと前記投影光学系とは、光軸直交方向に相対移動を行わないことを特徴とする請求項１２乃至請求項１８の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項２０】  前記投影光学ユニットと前記感光性基板とを相対的に走査方向に沿って移動させる走査手段を備えることを特徴とする請求項１２乃至請求項１９の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項２１】  前記面位置検出手段は、前記投影光学ユニット毎に設けられて、前記第１面位置検出手段による第１の検出点とは前記走査方向に沿って異なる第２の検出点での面位置を検出する第２面位置検出手段を備えることを特徴とする請求項１４乃至請求項２０の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項２２】  請求項１乃至請求項１１の何れか一項に記載の露光装置を用いた露光方法において、
前記投影光学ユニット毎にフォーカス位置を独立設定するフォーカス位置設定工程と、
前記転写パターンを感光性基板上に転写する転写工程と、
を含むことを特徴とする露光方法。
【請求項２３】  請求項１２乃至請求項２１の何れか一項に記載の露光装置を用いた露光方法において、
前記投影光学ユニット毎にフォーカス位置を独立設定するフォーカス位置設定工程と、
前記マスクのパターンを感光性基板上に転写する転写工程と、
を含むことを特徴とする露光方法。
【請求項２４】  前記フォーカス位置設定工程は、前記感光性基板上の複数個所の面位置を検出する面位置検出工程を含むことを特徴とする請求項２２又は請求項２３記載の露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の露光装置は、複数の投影光学ユニットを備えて構成される露光装置において、前記投影光学ユニットは電気的に制御可能な転写パターンを生成する可変パターン生成装置と、前記可変パターン生成装置からの光を感光性基板上に投影する投影光学系と、前記投影光学系のフォーカス位置を他の投影光学系とは独立に設定するフォーカス位置設定手段とをそれぞれ備えることを特徴とする。
また、請求項２に記載の露光装置は、前記感光性基板上の複数個所の面位置を検出する面位置検出手段を更に備え、前記投影光学ユニットの前記フォーカス位置設定手段は前記面位置検出手段により検出された前記感光性基板上の複数個所の面位置に基づいて、フォーカス位置を独立に設定することを特徴とする。
また、請求項３に記載の露光装置は、前記面位置検出手段が前記投影光学ユニット毎に設けられた露光領域の面位置を検出する第１面位置検出手段を含んで構成されることを特徴とする。
この請求項２及び請求項３に記載の露光装置によれば、感光性基板の面位置を検出する面位置検出手段を備え、その検出結果に基づいてフォーカス位置を独立に設定するため、各投影光学ユニットの投影光学系の結像位置を感光性基板の表面に正確に合致させることができる。
また、請求項４に記載の露光装置は、前記フォーカス位置設定手段が前記投影光学ユニットを前記投影光学系の光軸に沿って移動させる投影光学ユニット駆動手段を備えることを特徴とする。
この請求項４に記載の露光装置によれば、投影光学ユニット駆動手段により投影光学ユニットを移動させることによりフォーカス位置設定を行なうため、投影光学系の収差バランスを全く崩すことなく、各投影光学ユニットの投影光学系の結像位置を感光性基板の表面に合致させることができる。
また、請求項５に記載の露光装置は、前記フォーカス位置設定手段が前記投影光学ユニットの前記可変パターン生成装置を前記投影光学系の光軸に沿って移動させる可変パターン生成装置駆動手段を備えることを特徴とする。
また、請求項６に記載の露光装置は、前記フォーカス位置設定手段が前記投影光学ユニットの前記投影光学系を構成する光学部材の中の少なくとも１つを前記投影光学系の光軸に沿って移動させる光学部材駆動手段を備えることを特徴とする。
この請求項６に記載の露光装置によれば、光学部材駆動手段により投影光学系を構成する光学部材の少なくとも１つを移動させることによりフォーカス位置設定を行なうため、駆動対象の質量を小さく抑えることができ、迅速に各投影光学ユニットの投影光学系の結像位置を感光性基板の表面に合致させることができる。
また、請求項７に記載の露光装置は、前記可変パターン生成装置が発光パターンを形成する自発光型画像表示素子を備えることを特徴とする。この請求項７に記載の露光装置によれば、可変パターン生成装置が自発光型画像表示素子を備えているため、照明光学系を設置する必要がなく、露光装置のコストダウン及びコンパクト化を可能とする。
また、請求項８に記載の露光装置は、前記可変パターン生成装置が光源と該光源からの照明光の光路中に配置された非発光型画像表示素子とを備えることを特徴とする。この請求項８に記載の露光装置によれば、所望のパターンを容易に生成することができる。
また、請求項９に記載の露光装置は、前記可変パターン生成装置と前記投影光学系とが光軸直交方向に相対移動を行わないことを特徴とする。
また、請求項１０に記載の露光装置は、前記投影光学ユニットと前記感光性基板とを相対的に走査方向に沿って移動させる走査手段を備えることを特徴とする。
また、請求項１１に記載の露光装置は、前記面位置検出手段が前記投影光学ユニット毎に設けられて、前記第１面位置検出手段による第１の検出点とは前記走査方向に沿って異なる第２の検出点での面位置を検出する第２面位置を備えることを特徴とする。
この請求項１１に記載の露光装置によれば、予め走査露光する位置の面位置を第２面位置検出手段により検出する。従って、感光性基板の走査を停止又は走査速度を低下させることなく第２面位置検出手段により検出された値に基づいて各投影光学ユニットの投影光学系の結像位置と感光性基板の面位置を合致させることができる。
また、請求項１２に記載の露光装置は、複数の投影光学ユニットを備えて構成される露光装置において、前記投影光学ユニットは転写パターンが形成されたマスクと、前記マスクに形成された前記転写パターンの像を感光性基板上に投影する投影光学系と、前記投影光学系による前記転写パターンの像のフォーカス位置を他の投影光学系とは独立に設定するフォーカス位置設定手段とをそれぞれ備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
この請求項１２に記載の露光装置によれば、投影光学系による転写パターンの像のフォーカス位置を他の投影光学系とは独立に設定するため、各投影光学ユニットの投影光学系の結像位置を感光性基板の表面に合致させることができる。従って、感光性基板のたわみ、うねり等に影響されることのない最適な露光を容易に行なうことができる。また、複数の投影光学ユニットを備えて構成されるため、マスクの大きさが各投影光学ユニットの露光領域分だけで充分となり、更にこの露光領域を小さく設定することができる。従って、マスク面のたわみ、うねりといった問題も解消することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、請求項１３に記載の露光装置は、前記感光性基板上の複数個所の面位置を検出する面位置検出手段を更に備え、前記投影光学ユニットの前記フォーカス位置設定手段は前記面位置検出手段により検出された前記感光性基板上の複数個所の面位置に基づいて、フォーカス位置を独立に設定することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、請求項１４に記載の露光装置は、前記面位置検出手段が前記投影光学ユニット毎に設けられた露光領域の面位置を検出する第１面位置検出手段を含んで構成されることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
この請求項１３及び請求項１４に記載の露光装置によれば、感光性基板の面位置を検出する面位置検出手段を備え、その検出結果に基づいてフォーカス位置を独立に設定するため、各投影光学ユニットの投影光学系の結像位置を感光性基板の表面に正確に合致させることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、請求項１５に記載の露光装置は、前記フォーカス位置設定手段が前記投影光学ユニットを前記投影光学系の光軸に沿って移動させる投影光学ユニット駆動手段を備えることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
この請求項１５に記載の露光装置によれば、投影光学ユニット駆動手段により投影光学ユニットを移動させることによりフォーカス位置設定を行なうため、投影光学系の収差バランスを全く崩すことなく、各投影光学ユニットの投影光学系の結像位置を感光性基板の表面に合致させることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、請求項１６に記載の露光装置は、前記フォーカス位置設定手段が前記投影光学ユニットの前記マスクを前記投影光学系の光軸に沿って移動させるマスク駆動手段を備えることを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
この請求項１６に記載の露光装置によれば、マスク駆動手段によりマスクを移動させることによりフォーカス位置設定を行なうため、駆動対象の質量を小さく抑えることができ、迅速に各投影光学ユニットの投影光学系の結像位置を感光性基板の表面に合致させることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、請求項１７に記載の露光装置は、前記フォーカス位置設定手段が前記投影光学ユニットの前記投影光学系を構成する光学部材の中の少なくとも１つを前記投影光学系の光軸に沿って移動させる光学部材駆動手段を備えることを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
この請求項１７に記載の露光装置によれば、光学部材駆動手段により投影光学系を構成する光学部材の少なくとも１つを移動させることによりフォーカス位置設定を行なうため、駆動対象の質量を小さく抑えることができ、迅速に各投影光学ユニットの投影光学系の結像位置を感光性基板の表面に合致させることができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、請求項１８に記載の露光装置は、前記マスクが可変パターン生成装置を備えることを特徴とする。この請求項１８に記載の露光装置によれば、可変パターン生成装置によりマスクのパターンを電気的に制御することができ、抵コストで所望のパターンを容易に生成することができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、請求項１９に記載の露光装置は、前記マスクと前記投影光学系とが光軸直交方向に相対移動を行わないことを特徴とする。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、請求項２０に記載の露光装置は、前記投影光学ユニットと前記感光性基板とを相対的に走査方向に沿って移動させる走査手段を備えることを特徴とする。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、請求項２１に記載の露光装置は、前記面位置検出手段が前記投影光学ユニット毎に設けられて、前記第１面位置検出手段による第１の検出点とは前記走査方向に沿って異なる第２の検出点での面位置を検出する第２面位置を備えることを特徴とする。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
この請求項２１に記載の露光装置によれば、予め走査露光する位置の面位置を第２面位置検出手段により検出する。従って、感光性基板の走査を停止又は走査速度を低下させることなく第２面位置検出手段により検出された値に基づいて各投影光学ユニットの投影光学系の結像位置と感光性基板の面位置を合致させることができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また、請求項２２に記載の露光方法は、請求項１乃至請求項１１の何れか一項に記載の露光装置を用いた露光方法において、前記投影光学ユニット毎にフォーカス位置を独立設定するフォーカス位置設定工程と、前記転写パターンを感光性基板上に転写する転写工程とを含むことを特徴とする。
また、請求項２３に記載の露光方法は、請求項１２乃至請求項２１の何れか一項に記載の露光装置を用いた露光方法において、前記投影光学ユニット毎にフォーカス位置を独立設定するフォーカス位置設定工程と、前記マスクのパターンを感光性基板上に転写する転写工程とを含むことを特徴とする。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、請求項２４に記載の露光方法は、前記フォーカス位置設定工程が前記感光性基板上の複数個所の面位置を検出する面位置検出工程を含むことを特徴とする。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
この請求項２２乃至請求項２４に記載の露光方法によれば、請求項１乃至請求項２１の何れか一項に記載の露光装置を用いるため、感光性基板の面位置の検出が良好に行なわれ、各投影光学ユニットの投影光学系の結像位置と感光性基板の面位置との合致が正確に行なわれていることから、微細な露光パターンの露光を良好に行なうことができる。