【手続補正書】
【提出日】平成20年7月7日(2008.7.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】  
【請求項１】  互いに接近離間可能な少なくも一対の可動部材と、
それぞれ電動アクチュエータを備え、前記一対の可動部材を前記接近離間の方向にそれぞれ駆動する一対の駆動装置と、
それら一対の駆動装置を制御する制御装置と
を含む電動チャックであって、前記制御装置が、
前記一対の可動部材の実際の位置と速度との少なくとも一方が目標値に近づくように前記一対の駆動装置を制御する駆動制御部と、
その駆動制御部による制御中に、前記可動部材に作用する負荷を検出する負荷検出部と
を含み、その負荷検出部により検出された負荷が予め設定された設定負荷まで増大したとき、前記駆動制御部が前記一対の駆動装置に前記一対の可動部材の移動を停止させることを特徴とする電動チャック。
【請求項２】  前記駆動制御部が、前記負荷が前記設定負荷まで増大したことを前記負荷検出部が検出した時点における前記一対の可動部材の実際の位置を真目標位置とし、それら一対の可動部材をそれぞれそれら真目標位置に維持するように前記駆動装置を制御する真目標位置維持制御部を含む請求項１に記載の電動チャック。
【請求項３】  互いに接近離間可能な少なくも一対の可動部材と、
それぞれ電動アクチュエータを備え、前記一対の可動部材を前記接近離間の方向にそれぞれ駆動する一対の駆動装置と、
それら一対の駆動装置を制御する制御装置と
を含む電動チャックであって、前記制御装置が、前記一対の可動部材の実際の位置と速度との少なくとも一方が目標値に近づくように前記一対の駆動装置を制御するとともに、前記電動アクチュエータへの供給電流が予め設定された上限電流を超えることを防止する駆動制御部を含む電動チャック。
【請求項４】  前記一対の可動部材が、保持対象物の被保持部の外側面に当接する外爪を備え、前記駆動制御部が、前記外爪の間隔が前記被保持部の外のり寸法より第一設定量小さくなる位置を仮目標位置とし、前記一対の可動部材をそれら仮目標位置に接近させるように前記駆動装置を制御する仮目標位置接近制御部を含む請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載の電動チャック。
【請求項５】  前記一対の可動部材が、保持対象物の被保持部の内側面に当接する内爪を備え、前記駆動制御部が、前記内爪の間隔が前記被保持部の内のり寸法より第一設定量大きくなる位置を仮目標位置とし、前記一対の可動部材をそれら仮目標位置に接近させるように前記駆動装置を制御する仮目標位置接近制御部を含む請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載の電動チャック。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
なお、以下の各項において、（１）項が請求項１に相当し、請求項１に（１０）項の技術的特徴を付加したものが請求項２に、（１２）項が請求項３に、請求項１ないし請求項３のいずれか１つに（５）項の技術的特徴を付加したものが請求項４に、、請求項１ないし請求項３のいずれか１つに（７）項の技術的特徴を付加したものが請求項５に、それぞれ相当する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本項に記載の電動チャックは、上記(1)項〜(11)項に記載の電動チャックとは、制御の方式が異なる。可動部材に作用する負荷の監視として、電動アクチュエータへの供給電流を監視するものであるが、本項の電動チャックでは、電流監視に加え、その電流が設定されたある値を超えないように制御される。これにより、本項の電動チャックも、過度な把握力を発生させることがなく、つまり、所定の上限電流を超える電流が電動アクチュエータ供給されない本項の電動チャックは、寸法誤差等のある対象物であっても、対象物ごとのバラツキがなく、かつ、適正な把握力で保持することができ、変形し易いあるいは脆弱な保持対象物であっても、安定した保持が可能となる。本項に記載の電動チャックでは、駆動制御部が電流制限機能を有すると考えることも、また、制御装置が駆動制御部とは別に電流制限部を含むと考えることもできる。具体的な制御の方法については、後述するため、ここでの説明は省略する。なお、可動部材、電動アクチュエータ等の構成等についても、前記(1)項と同様であるため、ここでの説明は省略する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
（１３）前記駆動制御部が、時間の経過につれて前記一対の可動部材の各々の位置と速度との少なくとも一方の時々刻々の指令値を供給する指令値供給部を含む
(12)項に記載の電動チャック。
本項の限定は、上記(2)項の限定と同じ意味をもつため、ここでの説明は省略する。なお、記載を省略するが、上記(4)項〜(9)項に記載の態様については、(12)項，(13)項に記載の電動チャックについても、適用が可能である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
（１４）前記駆動制御部が、前記電動アクチュエータへの供給電流が前記上限電流に達するとともに、前記可動部材の位置と速度との少なくとも一方についての予定の指令値のすべてが前記指令値供給部により供給された後における前記一対の可動部材の実際の位置を真目標位置とし、その真目標位置にそれら一対の可動部材を維持する真目標位置維持制御部を含む(13)項に記載の電動チャック。
電動アクチュエータへの供給電流を制限しつつ、一対の可動部材を保持対象物に接近させ、保持爪等の保持部を当接させ、さらに保持部をその当接面を超えて移動させるような指令を出し続ければ、それぞれの電動アクチュエータへの供給電流が設定した上限電流を維持して、つまり、両可動部材の保持部が適切な力で対象物の被保持部を把握する状態で、両可動部材がバランスする。その状態における可動部材の位置を真目標位置として、その位置を維持するように制御すれば、その後の外乱によって保持対象物の保持位置がずらされることはない。したがって、本項に記載の電動チャックは、対象物の保持位置の安定性に優れた電動チャックとなる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
（１５）前記真位置維持制御部が、前記電動アクチュエータへの供給電流が前記上限電流に達するとともに、前記可動部材の位置と速度との少なくとも一方についての予定の指令値のすべてが出力された時点から設定時間が経過した時点における前記可動部材の実際の位置を前記真目標位置とするものである(14)項に記載の電動チャック。
本項は、真目標位置を維持する制御に切り替える時期についての限定である。一対の可動部材のバランスが安定するのを待って、真目標位置の制御に切り替えれば、保持対象物の把握力が適正値に安定した状態で、真目標位置の制御が開始されることになる。したがって、本項に記載の態様では、把握力が安定した電動チャックが得られる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
（１７）当該電動チャックが、保持対象物を支持する保持対象物支持部材から保持対象物を受け取るものであり、前記真位置維持制御部が、前記保持対象物が前記保持対象物支持部材から離間した後における前記可動部材の実際の位置を前記真目標位置とするものである (10)項，(11)項，(14)項ないし(16)項のいずれかに記載の電動チャック。
電動チャックとは別の支持部材に支持された保持対象物を電動チャックが取り上げる状態を想定する。例えば、テーブル等に置かれた保持対象物を電動チャックが保持し、その後にその電動チャックが移動させられるような状態である。このような場合、支持部材に支持された状態で、保持対象物が保持されるため、その支持部材が保持状態に影響を与える。例えば、支持部材と保持対象物と間の摩擦等により、正規な保持姿勢ではなく、若干の傾斜等させられた姿勢で保持される場合もある。かかる状態で保持された場合、保持対象物が支持部材を離れた直後に、支持部材の影響がなくなるため、保持の状態が変化する、つまり、その時点で正規の姿勢で保持される。このような場合を想定すれば、上述した真位置を維持するための制御は、支持部材の影響がなくなってから開始されることが望ましい。したがって、本項に記載の電動チャックは、保持対象物のを安定した姿勢で保持可能な電動チャックとなる。