【手続補正書】
【提出日】平成20年2月26日(2008.2.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】成膜方法、発光装置の作製方法及び成膜装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置が有する第１の室において、坩堝に備えられた有機化合物をヒーターで加熱し、前記坩堝に対する前記ヒーターの位置を相対的に移動させることによって前記有機化合物に含まれる不純物を分離して、精製された有機化合物を形成し、
前記装置が有する第２の室において、前記精製された前記有機化合物を蒸着して、有機化合物層を形成することを特徴とする成膜方法。
【請求項２】
装置が有する第１の室において、帯融解法によって有機化合物を精製して、精製された有機化合物を形成し、
前記装置が有する第２の室において、前記精製された前記有機化合物を蒸着して、有機化合物層を形成することを特徴とする成膜方法。
【請求項３】
第１の室において、有機化合物をヒーターで加熱し、前記有機化合物に対する前記ヒーターの位置を相対的に移動させることによって前記有機化合物に含まれる不純物を分離して、精製された部分を有する有機化合物を形成し、
搬送機構を用いて、前記有機化合物の前記精製された部分を前記第１の室から第２の室へ搬送し、
前記第２の室において、前記有機化合物の前記精製された部分を蒸着して、有機化合物層を形成し、
前記第１の室は、前記第２の室と連結されていることを特徴とする成膜方法。
【請求項４】
第１の室において、帯融解法によって有機化合物を精製して、精製された部分を有する有機化合物を形成し、
搬送機構を用いて、前記有機化合物の前記精製された部分を前記第１の室から第２の室へ搬送し、
前記第２の室において、前記有機化合物の前記精製された部分を蒸着して、有機化合物層を形成し、
前記第１の室は、前記第２の室と連結されていることを特徴とする成膜方法。
【請求項５】
請求項１又は３において、前記ヒーターを、前記坩堝の長手方向に１０−２〜１０ｃｍ／ｈの速度で移動させることを特徴とする成膜方法。
【請求項６】
請求項１又は３において、前記不純物をヒーターにより加熱して気化させ、排気系により除去することを特徴とする成膜方法。
【請求項７】
請求項３又は４において、一つの坩堝上に底部に開口部を有する坩堝を複数重ねて用い、複数の坩堝のうち精製された有機化合物を有する坩堝を蒸着源として用いることを特徴とする成膜方法。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一において、前記精製から前記蒸着まで、前記精製された前記有機化合物を外気に曝すことなく行われることを特徴とする成膜方法。
【請求項９】
請求項３又は４において、前記第１の室から第２の室への搬送は、前記有機化合物の前記精製された部分を外気に曝すことなく行われることを特徴とする成膜方法。
【請求項１０】
装置が有する第１の室において、坩堝に備えられた有機化合物をヒーターで加熱し、前記坩堝に対する前記ヒーターの位置を相対的に移動させることによって前記有機化合物に含まれる不純物を分離して、精製された有機化合物を形成し、
前記装置が有する第２の室において、前記精製された前記有機化合物を蒸着して、基板の上方に有機化合物層を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１１】
装置が有する第１の室において、帯融解法によって有機化合物を精製して、精製された有機化合物を形成し、
前記装置が有する第２の室において、前記精製された前記有機化合物を蒸着して、基板の上方に有機化合物層を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１２】
第１の室において、有機化合物をヒーターで加熱し、前記有機化合物に対する前記ヒーターの位置を相対的に移動させることによって前記有機化合物に含まれる不純物を分離して、精製された部分を有する有機化合物を形成し、
搬送機構を用いて、前記有機化合物の前記精製された部分を前記第１の室から第２の室へ搬送し、
前記第２の室において、前記有機化合物の前記精製された部分を蒸着して、基板の上方に有機化合物層を形成し、
前記第１の室は、前記第２の室と連結されていることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１３】
第１の室において、帯融解法によって有機化合物を精製して、精製された部分を有する有機化合物を形成し、
搬送機構を用いて、前記有機化合物の前記精製された部分を前記第１の室から第２の室へ搬送し、
前記第２の室において、前記有機化合物の前記精製された部分を蒸着して、基板の上方に有機化合物層を形成し、
前記第１の室は、前記第２の室と連結されていることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１４】
請求項１０乃至１３のいずれか一において、前記有機化合物層は電極の上方に形成され、
前記電極はトランジスタの上方に形成され、かつ、前記トランジスタと電気的に接続していることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１５】
請求項１０又は１２において、前記ヒーターを、前記坩堝の長手方向に１０−２〜１０ｃｍ／ｈの速度で移動させることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１６】
請求項１０又は１２において、前記不純物をヒーターにより加熱して気化させ、排気系により除去することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１７】
請求項１２又は１３において、一つの坩堝上に底部に開口部を有する坩堝を複数重ねて用い、複数の坩堝のうち精製された有機化合物を有する坩堝を蒸着源として用いることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１８】
請求項１０乃至１７のいずれか一において、前記精製から前記蒸着まで、前記精製された前記有機化合物を外気に曝すことなく行われることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１９】
請求項１２又は１３において、前記第１の室から第２の室への搬送は、前記有機化合物の前記精製された部分を外気に曝すことなく行われることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項２０】
成膜室と精製室を有する成膜装置であって、前記成膜室は基板ホルダを有し、前記成膜室と前記精製室はゲートで連結され、前記精製室は、坩堝と、ヒーターと、を有し、前記ヒーターは前記坩堝を加熱し、かつ移動する手段を有し、前記成膜室と前記精製室は前記ゲートを閉じることで分離されることを特徴とする成膜装置。
【請求項２１】
成膜室と精製室を有する成膜装置であって、前記成膜室は基板ホルダを有し、前記成膜室と前記精製室はゲートで連結され、前記精製室は、坩堝と、ヒーターと、を有し、前記坩堝は、前記坩堝の長手方向に移動する手段を有し、前記ヒーターは前記坩堝を加熱し、前記成膜室と前記精製室は前記ゲートを閉じることで分離されることを特徴とする成膜装置。
【請求項２２】
請求項２０又は２１において、前記坩堝を複数有していることを特徴とする成膜装置。
【請求項２３】
請求項２０乃至２２のいずれか一において、前記成膜室は、前記ゲートを介して前記精製室の上方に配置されることを特徴とする成膜装置。
【請求項２４】
成膜室と精製室を有する成膜装置であって、前記成膜室は、基板ホルダと、蒸発源と、を有し、前記精製室は、複数の坩堝と、ヒーターと、搬送機構と、を有し、前記複数の坩堝は重ねられており、前記ヒーターは前記坩堝を加熱しながら移動する手段を有し、前記搬送機構は、前記複数の坩堝のうち精製された有機化合物を有する坩堝を前記精製室から前記成膜室へ移動する手段を有することを特徴とする成膜装置。
【請求項２５】
成膜室と精製室を有する成膜装置であって、前記成膜室は、基板ホルダと、蒸発源と、を有し、前記精製室は、複数の坩堝と、ヒーターと、搬送機構と、を有し、前記複数の坩堝は、重ねられており、かつ前記複数の坩堝の長手方向に移動する手段を有し、前記ヒーターは前記坩堝を加熱する手段を有し、前記搬送機構は、前記複数の坩堝のうち精製された有機化合物を有する坩堝を前記精製室から前記蒸発源へ移動する手段を有することを特徴とする成膜装置。
【請求項２６】
ロード室と、アライメント室と、第一の電極上に有機化合物層を形成する第一の成膜室と、精製室と、有機化合物層上に第二の電極を形成する第二の成膜室と、封止室とを有する成膜装置であって、前記第一の成膜室は、基板ホルダと、蒸発源と、を有し、前記精製室は、複数の坩堝と、ヒーターと、搬送機構と、を有し、前記複数の坩堝は重ねられており、前記ヒーターは、前記坩堝を加熱しながら移動する手段を有し、前記搬送機構は、前記複数の坩堝のうち精製された有機化合物を有する坩堝を前記精製室から前記成膜室へ移動する手段を有することを特徴とする成膜装置。
【請求項２７】
ロード室と、アライメント室と、第一の電極上に有機化合物層を形成する第一の成膜室と、精製室と、有機化合物層上に第二の電極を形成する第二の成膜室と、封止室とを有する成膜装置であって、前記第一の成膜室は、基板ホルダと、蒸発源と、を有し、前記精製室は、複数の坩堝と、ヒーターと、搬送機構と、を有し、前記複数の坩堝は、重ねられており、かつ前記複数の坩堝の長手方向に移動する手段を有し、前記ヒーターは、前記複数の坩堝を加熱することを特徴とする成膜装置。
【請求項２８】
請求項２４乃至２７のいずれか一において、前記複数の坩堝は、一つの坩堝上に底部に開口部を有する坩堝を複数重ねて用いることを特徴とする成膜装置。
【請求項２９】
請求項２０、２４又は２６において、前記ヒーターは前記坩堝の長手方向に移動する手段を有することを特徴とする成膜装置。
【請求項３０】
請求項２０、２４、２６において、前記ヒーターは１０−２〜１０ｃｍ／ｈの速度で移動することを特徴とする成膜装置。
【請求項３１】
請求項２０乃至３０のいずれか一において、前記ヒーターを複数有していることを特徴とする成膜装置。
【請求項３２】
請求項２１、２５又は２７において、前記坩堝は１０−２〜１０ｃｍ／ｈの速度で移動することを特徴とする成膜装置。
【請求項３３】
請求項２０乃至３２のいずれか一において、前記坩堝は、常温、常圧で固体状態である有機化合物を有していることを特徴とする成膜装置。