(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸収液としてアルカリ性のチオ硫酸塩溶液を使用し、吸収部を直列２段に設け、２段目の吸収部にチオ硫酸塩溶液を供給し、２段目の吸収液の一部を１段目の吸収液として供給して窒素酸化物を含有する排ガス中の窒素酸化物を吸収除去するチオ硫酸塩脱硝法において、１段目の吸収部に酸化還元電位計及びｐＨ計、２段目の吸収部にｐＨ計を夫々設け、１段目の吸収部の酸化還元電位計で測定した電位値に基づいて１段目に供給する２段目の吸収液の供給量を制御し、１段目の吸収部のｐＨ計で測定したｐＨ値に基づいて１段目に供給するアルカリ溶液の供給量を制御し、２段目の吸収部のｐＨ計で測定したｐＨ値に基づいて２段目に供給するアルカリ溶液の供給量及びチオ硫酸塩溶液の供給量を制御することを特徴とするチオ硫酸塩脱硝法における吸収液濃度の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、窒素酸化物を含有する排ガス中の窒素酸化物をチオ硫酸塩溶液で吸収除去するチオ硫酸塩脱硝法における吸収液濃度の制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工場、石油化学工場、製鉄所などからは、比較的高濃度の窒素酸化物含有ガスが排出されるが、その窒素酸化物を脱硝処理する方法として、吸収液で窒素酸化物を吸収除去する湿式脱硝方法や触媒を用いて窒素酸化物を分解除去する乾式脱硝方法が用いられている。
【０００３】
前記湿式脱硝方法においては、水酸化アルカリやアンモニア等のアルカリ成分のみのアルカリ水溶液を吸収液として用いたアルカリ吸収法、過マンガン酸塩や亜塩素酸塩等の酸化剤を溶解したアルカリ水溶液を吸収液として用いた酸化吸収法、チオ硫酸塩や硫化物等の還元剤を溶解したアルカリ水溶液を吸収液として用いた還元吸収法などが知られている。
【０００４】
なお、一般的な排ガス中に含有されている窒素酸化物としては、ＮＯ、ＮＯ2及びＮＯとＮＯ2が反応して生成するＮ2Ｏ3などであるが、アルカリとの反応においては、ＮＯ＜ＮＯ2＜Ｎ2Ｏ3の順で反応速度が速くなり、従って、前記の順序で吸収除去しやすくなる。
【０００５】
前記のアルカリ吸収法は、ＮＯ2とアルカリとの直接的な反応と、排ガス中のＮＯとＮＯ2が反応して生成するＮ2Ｏ3とアルカリとの反応などで窒素酸化物を吸収除去する方法であり、Ｎ2Ｏ3の生成は、ＮＯ2とＮＯとの比が略１に近くなるほど生成量が多くなるが、ＮＯ2を多く含有する排ガスでは、ＮＯ2がアルカリと反応する割合が多くなるため、ＮＯとＮＯ2の反応が起こりにくくなり、全体としての脱硝効率が低い問題がある。
【０００６】
また、酸化吸収法では、ＮＯを酸化剤で酸化してＮＯ2とし、生成したＮＯ2とアルカリを反応させて窒素酸化物を吸収除去する方法あるが、反応しにくいＮＯを酸化して反応しやすいＮＯ2としているため、アルカリ吸収法よりも脱硝効率は高いが、ＮＯ2は前記した通り、Ｎ2Ｏ3よりも反応速度が遅いため、薬品費の高い酸化剤を用いる割には、脱硝効率の向上が不十分である問題がある。
【０００７】
更に、還元吸収法では、排ガス中のＮＯ2の一部を還元剤で還元してＮＯとし、排ガス中のＮＯ2とＮＯとの比を調整してＮ2Ｏ3を生成し、生成したＮ2Ｏ3とアルカリとの反応で窒素酸化物を吸収除去する方法であり、他の方法と比較して脱硝効率が高いが、安定した運転を維持するためには、ＮＯ2とＮＯとの比の制御操作が煩雑となる問題があった。また、一定期間の運転で吸収液は徐々に還元能力が低下するため、一定間隔又は連続で吸収液を排出する必要があるが、従来の装置においては、吸収部が１段であるため、排出液中の還元剤濃度が高く、排出液の処理に化学的処理を行う場合には、薬品費が嵩む問題が生じ、また生物学的処理を行う場合には、生物に対する負荷が大きくなる問題があった。
【０００８】
前記従来の夫々の問題に鑑みて、本願出願人は、特願平９−１２４６７１号で、吸収液としてチオ硫酸塩溶液を用いた還元吸収法において、吸収部を直列２段に構成し、２段目の吸収部にチオ硫酸塩溶液を供給して２段目の吸収液中のチオ硫酸塩濃度を高濃度とし、２段目の高濃度のチオ硫酸塩を含有する吸収液を１段目に循環して１段目の吸収液中のチオ硫酸塩濃度を低濃度で運転し、ＮＯとＮＯ2との比を調整してＮ2Ｏ3を効率的に生成させ、窒素酸化物の脱硝効率を向上させると共に、最終的に排出される１段目の吸収液のチオ硫酸塩濃度を低濃度とすることができることにより、前記従来の還元吸収法の問題を解決した方法を提案した。
【０００９】
前記特願平９−１２４６７１号で提案した発明においては、以前の還元吸収法の問題点であった、安定した運転維持のための煩雑な操作や、還元能力が低下した吸収液の処理における、化学的処理での薬品費が嵩む問題や、また、生物学的処理を行う場合における生物に対する負荷が大きくなる問題などは解決されたが、２段目にチオ硫酸塩溶液を一定量づつ連続的に供給して運転されるため、１段目及び２段目の吸収液のチオ硫酸塩濃度は成り行きの濃度となっていた。
【００１０】
また、チオ硫酸塩濃度を測定する方法としては、イオンクロマト法やヨウ素滴定法などが一般的に知られており、それらの方法でチオ硫酸塩濃度を測定していたため、サンプリングや分析に要する時間が非常に掛かり、分析された値に基づいてチオ硫酸塩溶液の供給を制御すると濃度の変動に追従できない問題があった。従って、２段目の吸収部のチオ硫酸塩濃度を一定の濃度に保持するために、チオ硫酸塩溶液を過剰に供給していた結果、薬品使用量が多くなり、薬品費が嵩む問題があった。更に、１段目の吸収部のチオ硫酸塩濃度が不明又はリアルタイムで判らないため、最終的に排出される排出液中のチオ硫酸塩濃度が一定せず、排出液の処理における化学的処理又は生物学的処理での装置の運転が煩雑となる問題があった。
【００１１】
従って本願出願人は、前記特願平９−１２４６７１号で提案した発明の問題点を解決することを課題として、特願平１１−１１０４４８号において、１段目及び／又は２段目の吸収部におけるチオ硫酸塩濃度を適正に制御でき、適正量の薬品使用量で、薬品費を低減することができる方法として、吸収部を直列２段に設け、２段目の吸収液の一部を１段目の吸収液として供給し、１段目の吸収部に酸化還元電位計を設け、酸化還元電位計で測定した電位値に基づいて２段目に供給するチオ硫酸塩溶液の供給量を制御することを特徴とするチオ硫酸塩脱硝法における吸収液濃度の制御方法を提案した。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
前記特願平１１−１１０４４８号で提案した発明では、１段目及び／又は２段目の吸収部における吸収液のアルカリ濃度を制御してないため、ｐＨ値が変動し、それに伴って窒素酸化物の脱硝効率も変動する問題があった。特に、１段目の吸収部におけるｐＨ値の変動により、酸化還元電位計での電位値が不正確となり、従って、電位値に基づいて制御する２段目に供給されるチオ硫酸塩溶液の供給量や１段目に供給される２段目の吸収液の供給量が不安定となり、脱硝効率に及ぼす影響が極めて大きいことが判明した。
【００１３】
従って、本発明は、前記特願平１１−１１０４４８号で提案した発明の問題点を解決するために改良されたものであり、１段目及び２段目の吸収部における吸収液のｐＨ値を測定して、その値に基づいて１段目及び２段目にアルカリ溶液を供給し、夫々のｐＨ値を安定させることにより、１段目及び２段目の吸収部における吸収液のチオ硫酸塩濃度をより正確に所定濃度に維持し、脱硝効率をより高い効率で安定させることができ、また、適正量の薬品使用量で、薬品費を低減することができる方法を提供する目的で成されたものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するための本発明の要旨は、請求項１に記載した発明においては、吸収液としてアルカリ性のチオ硫酸塩溶液を使用し、吸収部を直列２段に設け、２段目の吸収部にチオ硫酸塩溶液を供給し、２段目の吸収液の一部を１段目の吸収液として供給して窒素酸化物を含有する排ガス中の窒素酸化物を吸収除去するチオ硫酸塩脱硝法において、１段目の吸収部に酸化還元電位計及びｐＨ計、２段目の吸収部にｐＨ計を夫々設け、１段目の吸収部の酸化還元電位計で測定した電位値に基づいて１段目に供給する２段目の吸収液の供給量を制御し、１段目の吸収部のｐＨ計で測定したｐＨ値に基づいて１段目に供給するアルカリ溶液の供給量を制御し、２段目の吸収部のｐＨ計で測定したｐＨ値に基づいて２段目に供給するアルカリ溶液の供給量及びチオ硫酸塩溶液の供給量を制御することを特徴とするチオ硫酸塩脱硝法における吸収液濃度の制御方法である。
【００１５】
酸化還元電位計で１段目の吸収部の電位値を測定することにより、１段目吸収部のチオ硫酸塩濃度の変動がリアルタイムで測定でき、２段目の吸収部から１段目の吸収部に供給される吸収液の供給量が適正に制御され、また、２段目に供給するチオ硫酸塩溶液の供給量を制御することにより、２段目の吸収部のチオ硫酸塩濃度を適正な濃度に維持することが可能となった。更に、１段目の吸収部から最終的に排出される排出液中のチオ硫酸塩濃度がリアルタイムで測定できるため、排出液中のチオ硫酸塩濃度を一定の低い値に制御することができ、排水処理における化学的処理又は生物学的処理での装置の運転が容易となった。
【００１６】
また、１段目及び２段目の吸収部にｐＨ計を夫々設けて、夫々の吸収部におけるｐＨ値を測定し、ｐＨ値に基づいて１段目及び２段目に供給するアルカリ溶液の供給量を制御するため、夫々のｐＨ値を安定させることができ、従って、１段目及び２段目の吸収部における吸収液のチオ硫酸塩濃度をより正確に測定することができるため、チオ硫酸塩濃度を所定濃度に維持し、脱硝効率をより高い効率で安定させることができる。
【００１７】
なお、１段目の吸収液のｐＨ値は７〜９、好ましくは８前後であり、チオ硫酸塩濃度は０．０１〜１０ｍｇ／Ｌ、好ましくは０．１〜５ｍｇ／Ｌの低い値に制御され、２段目の吸収液のｐＨ値は９〜１３、好ましくは１２前後であり、チオ硫酸塩濃度は０．１〜２．０ｗｔ％の濃度の高い値に制御される。このような条件で運転することにより、ＮＯ2／ＮＯ比を適正な値に制御することができ、従ってＮ2Ｏ3を効率よく生成させ、脱硝効率を高く維持することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態について図面に基づいて説明する。図１は本発明の一実施の形態の系統図である。
【００１９】
１は排ガス中の窒素酸化物を吸収除去する１段目の吸収部である第１吸収塔であり、内部に充填材が充填された充填層１Ａが設けられ、充填層１Ａよりも下部には、排ガスの導入管ａが接続されており、また、底部には吸収液の一定量が滞留される液溜まり部１Ｂが形成され、液溜まり部１Ｂと連通し、吸収液を抜き出して吸収液循環ポンプ８を介して充填層１Ａへ循環する吸収液循環管ｄ及び吸収液を抜き出して図示しない排水処理装置などに排出する吸収液抜き出し管ｅが接続されている。更に、頂部には１次処理された処理ガスを２段目の吸収部である第２吸収塔２へ導入する１次処理ガス排出管ｂが接続している。また、第１吸収塔１の液溜まり部１Ｂには、酸化還元電位値を測定する酸化還元電位計６及びｐＨ計５が液溜まり部１Ｂ内の吸収液に電極を浸漬して配置されている。
【００２０】
２は排ガス中の窒素酸化物を除去する２段目の吸収部である第２吸収塔であり、第１吸収塔１の構造と略同一構造である。充填材が充填された充填層２Ａが設けられ、充填層２Ａよりも下部には、第１吸収塔１で１次処理された処理ガスを導入する１次処理ガス排出管ｂが接続され、頂部には２次処理された処理ガスを大気中に排出する処理ガスの排出管ｃが接続されており、また、底部には、吸収液の一定量が滞留される液溜まり部２Ｂが形成され、液溜まり部２Ｂと連通し、吸収液を抜き出して吸収液循環ポンプ９を介して充填層２Ａへ循環する吸収液循環管ｇが接続されている。更に、吸収液循環管ｇは、２段目の吸収液の一部を１段目の吸収液として供給する分岐管ｆが途中から分岐して設けられ、第１吸収塔１の液溜まり部１Ｂに接続している。また、分岐管ｆには、１段目の吸収部の酸化還元電位計６で測定した電位値に基づいて１段目に供給する２段目の吸収液の供給量を制御する制御弁１３が設けられている。また、第２吸収塔２の液溜まり部２Ｂには、ｐＨ計７が液溜まり部２Ｂ内の吸収液に電極を浸漬して配置されている。
【００２１】
また、第２吸収塔２の液溜まり部２Ｂに新規なチオ硫酸塩溶液を供給するために、途中にチオ硫酸塩溶液供給ポンプ１２を配置した吸収液供給管ｋを介してチオ硫酸塩溶液槽４が接続され、また、第１吸収塔１及び第２吸収塔２の夫々の液溜まり部１Ｂ、２Ｂに新規なアルカリ溶液を供給するために、途中にアルカリ溶液供給ポンプ１０、１１を夫々配置したアルカリ供給管ｈ、ｊを介してアルカリ溶液槽３が接続されている。
【００２２】
なお、チオ硫酸塩としては、チオ硫酸ナトリウム、チオ硫酸アンモニウムなどを用いることができるが、反応性や薬品費などからチオ硫酸ナトリウムを用いるのが好ましく、また、アルカリとしては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウムなどを用いることができるが、反応性や薬品費などから水酸化ナトリウムを用いるのが好ましい。更に、１段目の吸収液中のチオ硫酸塩濃度は０．０１〜１０ｍｇ／Ｌの低い値に制御され、２段目の吸収液中のチオ硫酸塩濃度は０．１〜２．０ｗｔ％の濃度の高い値に制御される。
【００２３】
前記１段目及び２段目の吸収部の吸収塔１、２は、充填塔構造であり、充填層を形成する充填材としては、合成樹脂、セラミック等で製造された円筒状、円柱状、鞍状等が用いられるが、脱硝効率やハンドリングの容易性等から合成樹脂製の円筒状充填材を用いるのが好ましく、また、前記の充填塔構造ではなく、棚段塔やスプレ−塔などの構造としてもよく、更に、吸収塔１、２の夫々に隣接して液溜まり槽を配置して、液溜まり部１Ｂ、２Ｂと連通した構造でもよく、本発明に用いられる吸収塔の構造は、それらの構造には限定されない。
【００２４】
以下、前記構成の脱硝装置により窒素酸化物を含有した排ガスから窒素酸化物を吸収除去する脱硝方法について述べる。
【００２５】
第１吸収塔１では、排ガスの導入管ａから排ガスが導入され、充填層１Ａを上向流で流通し、また、吸収液が吸収液循環ポンプ８を介して吸収液循環管ｄから充填層１Ａの上部に供給され、充填層１Ａを下向流で流通することにより、排ガスと吸収液が向流接触して排ガス中の窒素酸化物が吸収除去されると共に、チオ硫酸塩の還元作用でＮＯとＮＯ2との比が調整され、Ｎ2Ｏ3が効率的に生成される。
【００２６】
吸収液は、第１吸収塔１の底部に設けられた液溜まり部１Ｂに滞留されたのち、吸収液循環ポンプ８で吸引されて抜き出され、吸収液循環管ｄから充填層１Ａの上部に循環供給される。また、吸収液の一部は、吸収液抜き出し管ｅで第１吸収塔１外に抜き出され、図示しない排水処理装置で処理されたのち、河川等に放流されるが、吸収液の抜き出し量は、吸収液の組成により制御される。また、窒素酸化物が除去された処理ガスは、１次処理ガス排出管ｂから第２吸収塔２へ導入される。
【００２７】
第２吸収塔２では、１次処理ガス排出管ｂから１次処理された排ガスが導入され、充填層２Ａを上向流で流通し、また、吸収液が吸収液循環ポンプ９を介して吸収液循環管ｇから充填層２Ａの上部に供給され、充填層２Ａを下向流で流通することにより、排ガスと吸収液が向流接触して排ガス中の残存窒素酸化物が吸収除去される。なお、第１吸収塔１で排ガス中のＮＯとＮＯ2との比がチオ硫酸塩の還元作用で調整されており、また、第２吸収塔２でもチオ硫酸塩の還元作用で調整されて、Ｎ2Ｏ3が効率的に生成されているため、脱硝効率を高く維持することができる。窒素酸化物が除去された処理ガスは、処理ガス排出管ｃから大気中に排出される。
【００２８】
吸収液は、第２吸収塔２の底部に設けられた液溜まり部２Ｂに滞留されたのち、循環ポンプ９で吸引されて抜き出され、吸収液循環管ｇから充填層２Ａの上部に循環供給される。また、吸収液の一部は、分岐管ｆから１段目の吸収液として第１吸収塔１の液溜まり部１Ｂに供給される。
【００２９】
また、第１吸収塔１及び第２吸収塔２の夫々の吸収液のチオ硫酸塩濃度及びｐＨ値を調整するために、第２吸収塔２の液溜まり部２Ｂに、チオ硫酸塩溶液供給管ｋを介してチオ硫酸塩溶液槽４からチオ硫酸塩溶液供給ポンプ１２により新規なチオ硫酸塩溶液が供給され、また、第１吸収塔１及び第２吸収塔２の夫々の液溜まり部１Ｂ、２Ｂに、アルカリ供給管ｈ、ｊを介してアルカリ溶液槽３からアルカリ溶液供給ポンプ１０、１１により新規なアルカリ溶液が供給される。
【００３０】
前記における夫々の溶液の供給量制御は、酸化還元電位計６で第１吸収塔１における吸収液の電位値を測定し、図示しない制御装置を介してチオ硫酸塩濃度を算出して制御弁１３を制御することにより、第２吸収塔２から第１吸収塔１の液溜まり部１Ｂに供給される吸収液の供給量を適正に制御することができ、また、第２吸収塔２におけるｐＨ値をｐＨ計７で測定し、第２吸収塔２に供給するチオ硫酸塩溶液の供給量をチオ硫酸塩溶液供給ポンプ１２を制御することにより、第２吸収塔２の吸収液のチオ硫酸塩濃度を適正な濃度に維持することが可能となった。更に、第１吸収塔１から最終的に排出される排出液中のチオ硫酸塩濃度がリアルタイムで測定できるため、排出液中のチオ硫酸塩濃度を一定の低い値に制御することができ、排水処理における化学的処理又は生物学的処理での装置の運転が容易となった。
【００３１】
更に、第１吸収塔１及び第２吸収塔２の夫々の液溜まり部１Ｂ、２Ｂに配置されたｐＨ計５，７で、夫々の吸収液のｐＨ値を測定し、ｐＨ値に基づいてアルカリ溶液供給ポンプ１０，１１を制御してアルカリ溶液の供給量を制御するため、夫々のｐＨ値を安定させることができ、従って、第１吸収塔１の吸収液のチオ硫酸塩濃度をより正確に測定することができるため、チオ硫酸塩濃度を所定濃度に維持し、脱硝効率をより高い効率で安定させることができる。
【００３２】
なお、第１吸収塔１の吸収液中のチオ硫酸塩濃度は０．０１〜１０ｍｇ／Ｌの低い値に制御され、第２吸収塔２の吸収液中のチオ硫酸塩濃度は０．１〜２．０ｗｔ％の濃度の高い値に制御される。更に、排ガス中の窒素酸化物のＮＯ2／ＮＯ比に基づいて、第２吸収塔２の吸収液中のチオ硫酸塩とアルカリの濃度を制御することにより、ＮＯ2／ＮＯ比を適正な値に制御することができ、従ってＮ2Ｏ3を効率よく生成させ、脱硝効率を高く維持することができる。また、第１吸収塔１及び第２吸収塔２の吸収液のｐＨ値をｐＨ計５，７で夫々測定し、ｐＨ値に基づいて夫々に供給するアルカリ溶液の供給量を制御することにより、吸収液のｐＨ値を安定させることができ、従って、第１吸収塔１及び第２吸収塔２の吸収液のチオ硫酸塩濃度をより正確に測定することができるため、チオ硫酸塩濃度を所定濃度に維持し、脱硝効率をより高い効率で安定させることができる。
【００３３】
【実施例】
（実施例１）
前記脱硝方法により、半導体製造工程から排出される窒素酸化物を含有する排ガス中の窒素酸化物を除去処理する例について以下に詳述する。
第１吸収塔に供給するアルカリ溶液の供給量を第１吸収塔に設けたｐＨ計で制御し、また、第２吸収塔からの吸収液の供給を酸化還元電位計で制御して、第１吸収塔の吸収液のｐＨ値を８．０、電位値を１４０ｍｖに制御し、また、第２吸収塔に供給するアルカリ溶液の供給量及びチオ硫酸塩溶液の供給量を第２吸収塔に設けたｐＨ計で制御して、第２吸収塔の吸収液のｐＨ値を１２．０に制御し、窒素酸化物含有排ガスを処理した。
なお、排ガス中の窒素酸化物は、ＮＯ：３０５〜１４２ｐｐｍ、ＮＯ：９５５〜６６１ｐｐｍ、ＮＯ／ＮＯ2：３．１３〜４．６５であった。
その結果、処理ガス中の窒素酸化物はＮＯ：３７〜３２ｐｐｍ、ＮＯ2：６３〜５３ｐｐｍ、平均の脱硝率：９１．０％であり、また、チオ硫酸塩溶液の消費量は２５Ｌ／Ｈ、アルカリ溶液の消費量は５０Ｌ／Ｈであった。
【００３４】
（比較例１）
第１吸収塔に設けた酸化還元電位計により、第２吸収塔に供給するチオ硫酸塩溶液の供給量を制御し、初期の第１吸収塔の吸収液のｐＨ値を８．０、電位値を１４０ｍｖに設定し、また、第２吸収塔に設けたｐＨ計で第２吸収塔に供給するアルカリ溶液の供給量を制御して、第２吸収塔の吸収液のｐＨ値を１２．０に制御して排ガスを処理した。
なお、排ガス中の窒素酸化物は、ＮＯ：２５０〜１１０ｐｐｍ、ＮＯ2：８８０〜６７０ｐｐｍ、ＮＯ／ＮＯ2：３．５２〜６．０９であった。
その結果、第１吸収塔の吸収部のｐＨ値は７．０〜９．０の間で変動し、処理ガス中の窒素酸化物は、ＮＯ：３６〜２６ｐｐｍ、ＮＯ2：６４〜５４ｐｐｍ、平均の脱硝率：９０．６％であり、また、チオ硫酸塩溶液の消費量は２８Ｌ／Ｈ、アルカリ溶液の消費量は６５Ｌ／Ｈであった。
【００３５】
前記のとおり、本発明の吸収液濃度の制御方法では、脱硝効率をより高い効率で安定させることができ、また、チオ硫酸塩溶液及びアルカリ溶液の消費量を低減することができた。
【００３６】
【発明の効果】
本発明は、１段目及び２段目の吸収部における吸収液のチオ硫酸塩濃度をより正確に測定できるため、チオ硫酸塩濃度を所定濃度に維持し、脱硝効率をより高い効率で安定させることができ、また、チオ硫酸塩溶液及びアルカリ溶液の消費量を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の系統図
【符号の説明】
１：第１吸収塔
２：第２吸収塔
３：アルカリ溶液槽
４：チオ硫酸塩溶液槽
５、７：ｐＨ計
６：酸化還元電位計
８、９：吸収液循環ポンプ
１０、１１：アルカリ溶液供給ポンプ
１２：チオ硫酸塩溶液供給ポンプ
１３：制御弁
【図１】
0004199394.tif 000002