(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
填料を含まずＪＩＳ  Ｐ  ８１２４で規定された米坪が２０〜４０ｇ／ｍ２で、ＪＩＳ  Ｋ  ０１０１で規定された塩素イオン濃度が１０〜１００ｐｐｍ、ＴＡＰＰＩ  ４６８ｍ  ６０で規定された硫酸イオン濃度が１０〜２００ｐｐｍの原紙の両面に、Ｔｇが０〜３０℃のＳＢＲまたはアクリル系合成樹脂のうちから選択された少なくとも１つの合成樹脂が乾燥重量で３〜１０ｇ／ｍ２塗工され、カレンダーがけされＪＩＳ  Ｐ  ８１１９で規定された平滑度が表側の面で５００秒以上とされてなることを特徴とする無塵紙。
【請求項２】
電子部品用基材の金属面または金属メッキ面に重ね合わせて用いる合紙に適した請求項１記載の無塵紙。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、無塵紙に関するものである。さらに詳しくは、この発明は、クリーンルーム内で使用するのに適した無塵紙に関するもので、より具体的には、例えば、クリーンルーム内で、超ＬＳＩ等の半導体素子を装着して配線加工作業等を行うのに使用する電子部品実装用の基材の金属面また金属メッキ面を保護したりするために用いる合紙等に適した無塵紙に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
超ＬＳＩを始めとする半導体等のエレクトロニクス産業、医薬品や食品の製造業、および、精密機械工業等の先端産業においては、塵埃等によって製品の欠陥や品質、歩留まり等に重大な悪影響が生じることから、クリーンルーム内に塵埃のない環境を作り、そこで必要とする各種の作業が行われている。そして、クリーンルーム内での各種の作業においては、塵埃の内部への搬入を極力防止するとともに、内部での作業に伴う塵埃の発生を極力抑制することが必要とされる。その一つとして、クリーンルーム内で行われる各種作業のうち、クリーンルーム内での各種作業に伴う記録やコピーの作成、伝票等の作成等において、塵埃の発生を抑えるために無塵紙が使用されている。
【０００３】
無塵紙としては、天然パルプを主体とした原紙にバインダー樹脂を含浸させた含浸タイプのものが主流を占めている。このほかに、合成紙タイプ、不織布タイプ等が市販されてはいるものの、単価が高いこと等の面からその流通量は限られたものとなっている。
【０００４】
主流となっている天然パルプを主体とした無塵紙は、記録や筆記に適することを主眼としたものであることから、米坪も５０ｇ／ｍ２以上のもので、パルプとバインダー樹脂とが多量に必要とされ、それ程安価とすることはできず、また、バインダー樹脂を含浸させたものであることから、バインダー樹脂が無塵紙の表裏面側に多いとはいえず、凹凸面ともなっており、紙の表面からパルプ繊維が露出し易く、使用中に摩擦等により表面が毛羽立ったり、パルプ繊維がちぎれ塵埃となって分離し、浮遊したり、機器や製品等に付着し不都合を引き起こしたりする。
【０００５】
近年、無塵紙は、クリーンルーム内で超ＬＳＩ等の電子部品を実装するためのリードフレームやＣＲＴのシャドウマスク等に用いる金属薄板と重ね合わせて用いるための合紙として利用されつつある。リードフレーム用等の金属薄板は、必要な孔等の加工が施され、バリ等が除去され、精密な表面仕上げされたステンレス板や銅板、または、精密な表面仕上げされたステンレス板や銅板等に銀等のメッキが施されたもので、表面に傷が付き易く、また、表面が酸化され易い。そして、僅かに表面が酸化した金属薄板でさえも抵抗値が変わったりすることになる。表面に傷が付いたり、表面が酸化した金属薄板を用いると、電流の流れに異常が生じたり、異常発熱したり、断線したりすることになり、不良品の発生原因となる。そこで、金属薄板の表面に無塵紙を合紙として重ね合わせ、金属薄板の表面への傷の発生や、表面の酸化を防止しようとしている。この無塵紙の合紙としての具体的使用形態は、例えば、長尺状の金属薄板を巻き取る際に、長尺状の無塵紙を重ね合わせて巻取ロールとしたり、あるいは、無塵紙を所定長さに切断された金属薄板に一枚づつ挟み込んで金属薄板と無塵紙とを重ね合わせた積層体としたりしており、このような形態とすることで、金属薄板の表面への傷の発生や、表面の酸化を防止しようとしている。そして、このようにした巻取ロールや積層体は、クリーンルーム内に搬入され、保管され、必要な工程において金属薄板と合紙として使用された無塵紙を分離し、金属薄板を必要な作業に提供する。そして、分離された無塵紙は、通常廃棄される。
【０００６】
このような合紙に使用される無塵紙のうち、主流を占めている天然パルプを主体とした原紙にバインダー樹脂を含浸させた含浸タイプのものでは、金属薄板との摩擦等により表面が毛羽立ったり、摩耗等によりパルプ繊維がちぎれ塵埃となって分離し、金属薄板に付着したりし、金属薄板の表面に傷を付けたりすることになる。そして、塵埃となって浮遊すると、機器や製品等に付着し不都合を引き起こすことになる。また、金属薄板と無塵紙とを長期間にわたり接触させていると、本来、空気中の酸素等との直接接触が断たれることから、酸化はし難いものと考えられるものの、原因ははっきりしていないが、金属薄板が所々酸化することが散見される。また、この無塵紙は、米坪が５０ｇ／ｍ２以上で価格的にも高いものであるが、使用後の用途がなく、再利用することなく廃棄されることから、結果的にコストの高いものとなっている。
【０００７】
また、合成紙タイプや不織布タイプの無塵紙をリードフレーム用等の金属薄板の合紙として使用することは、これらの無塵紙が高価になりすぎ、価格的に引き合わず好ましくない。
【０００８】
合成樹脂フィルムをリードフレーム用等の金属薄板の合紙として使用することも考えられるが、フィルム表面に塗布されたブロッキング防止用のパウダーによって金属薄板の表面が傷付けられ易く、また、表面から脱落し塵埃となること等から好ましくない。
【０００９】
このほか、半導体等を扱うエレクトロニクス産業に限っても、無塵紙は、上述した合紙だけでなく、クリーンルーム内で生産される電子部品等の工業製品の生産過程で使用される工程紙、または、包装紙にも無塵紙が使用されてきており、その用途が拡大してもいるが、前述したと同様な理由から使用には難点がある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
このようなことから、従来の無塵紙よりも安価で、発塵度が低い無塵紙が希求されており、また、リードフレームやシャドウマスクに例示される金属面や金属メッキ面を有する電子部品用基材の合紙等に使用した時に、金属面や金属メッキ面にとって不都合となる酸化、さらには、傷の発生の恐れのない安価な無塵紙の開発が希求されている。
【００１１】
この発明は、上記のような実情に鑑み鋭意研究の結果創案されたものであり、これまでのパルプを主体とする無塵紙よりも発塵度が低い無塵紙をより安価に提供することを目的としている。また、この発明は、リードフレームやシャドウマスクに例示される金属面や金属メッキ面を有する電子部品用基材の合紙等に適し、これまでのパルプを主体とする無塵紙よりも発塵度が低い無塵紙を安価に提供することをも目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、この発明の無塵紙は、填料を含まずＪＩＳ  Ｐ  ８１２４で規定された米坪が２０〜４０ｇ／ｍ２で、ＪＩＳ  Ｋ  ０１０１で規定された塩素イオン濃度が１０〜１００ｐｐｍ、ＴＡＰＰＩ  ４６８ｍ  ６０で規定された硫酸イオン濃度が１０〜２００ｐｐｍの原紙の両面に、Ｔｇが０〜３０℃のＳＢＲまたはアクリル系合成樹脂のうちから選択された少なくとも１つの合成樹脂が乾燥重量で３〜１０ｇ／ｍ２塗工され、カレンダーがけされＪＩＳ  Ｐ  ８１１９で規定された平滑度が表側の面で５００秒以上とされてなることを特徴とする（請求項１）。
【００１３】
これによれば、パルプ、塗工樹脂の使用量を最適とし、価格的にも性能的にもバランスの取れ、例えば、リードフレームやシャドウマスクに例示される金属面や金属メッキ面を有する電子部品用基材の合紙等に適し、発塵度の少ない良質な無塵紙を安価に提供することができることになる。
【００１４】
すなわち、原紙が填料を含まないことから、填料が脱落し塵埃となることがない。そして、原紙の米坪を２０〜４０ｇ／ｍ２とすると、両面に塗工するＴｇが０〜３０℃のＳＢＲまたはアクリル系合成樹脂のうちから選択された少なくとも１つの合成樹脂（以下、特にことわらない限り用語「塗工樹脂」は、Ｔｇが０〜３０℃のＳＢＲまたはアクリル系合成樹脂のうちから選択された少なくとも１つの合成樹脂を意味する。）が、原紙の表面を均一にむらなく被覆するとともに原紙内部にまで十分浸透することになり、無塵紙としたときに、表面からはもちろん切断面からも発塵する恐れがないことから好ましい。原紙の米坪が、２０ｇ／ｍ２未満では、塗工の際に断紙する可能性が高くなること等から塗工操業性が悪くなり好ましくない。原紙の米坪が、４０ｇ／ｍ２を超えると、パルプの使用量が多くなり、コストアップに繋がるとともに、塗工樹脂を原紙内部にまで十分浸透させるのに多量の塗工樹脂を必要とし、無塵紙の単価がアップすることになり、好ましくない。また、原紙のＪＩＳ  Ｋ  ０１０１で規定された塩素イオン濃度が１０〜１００ｐｐｍ、ＴＡＰＰＩ  ４６８ｍ  ６０で規定された硫酸イオン濃度が１０〜２００ｐｐｍであると、例えば、リードフレームやシャドウマスクに例示される金属面や金属メッキ面を有する電子部品用基材の合紙として使用した場合、金属面や金属メッキ面が酸化されることがないことから好ましい。塩素イオン濃度を１０ｐｐｍ未満、硫酸イオン濃度を１０ｐｐｍ未満とすることは好ましいが、現時点においては技術的に困難である。塩素イオン濃度が１００ｐｐｍを超え、硫酸イオン濃度が２００ｐｐｍを超えると、金属面や金属メッキ面が酸化されることになり好ましくない。塩素イオン濃度が１０〜１００ｐｐｍ、硫酸イオン濃度が１０〜２００ｐｐｍであると、合紙として使用した場合に金属面や金属メッキ面が酸化されることがない原因ははっきりしていないが、主に、塩素イオン、硫酸イオンは、酸素との反応性が高いこと等によると考えられる。
【００１５】
原紙の両面に塗工される塗工樹脂として、Ｔｇが０〜３０℃のＳＢＲまたはアクリル系合成樹脂のうちから選択された少なくとも１つの合成樹脂であることが、無塵紙を積み重ねた状態においてブロッキングしたりせず、積み重ねて熱が加わったときにおいてもブロッキングせず、また、無塵紙を擦ったり・揉んだり・引き裂いたりしたときに塗工樹脂が粉末となって剥離し、塵埃化したり、金属面や金属メッキ面に傷を付けたりする恐れがないことから好ましい。塗工樹脂のＴｇが０℃未満では、無塵紙を積み重ねた状態においてブロッキングしたり、積み重ねて熱が加わったときにおいてブロッキングしたりすることから好ましくなく、Ｔｇが３０℃を超えると、無塵紙を擦ったり、揉んだり、引き裂いたりしたときに塗工樹脂が粉末となって剥離し、塵埃化したり、金属面や金属メッキ面に傷を付けたりすることから好ましくない。原紙の両面への塗工樹脂の塗工量が３〜１０ｇ／ｍ２であることが、原紙の表面を均一にむらなく被覆できるとともに原紙内部にまで十分浸透することになり、無塵紙を擦ったり、揉んだり、引き裂いたりしたときに表面からはもちろん切断面から発塵する恐れがないことから好ましい。塗工樹脂としてのＳＢＲ、アクリル系合成樹脂は、単独、または、混合して使用する。そして、塗工樹脂は原紙の表裏に均等に塗工され、上記の塗工量となるようにすることが好ましい。塗工量が３ｇ／ｍ２未満では、塗工樹脂を原紙の表面を均一にむらなく被覆できず、また、原紙内部にまで十分浸透することができず、表面からパルプ繊維の露出する箇所ができたり、摩擦等によって毛羽立ちが生じたり、パルプ繊維がちぎれ塵埃となったりし、また、無塵紙を擦ったり、揉んだり、引き裂いたりしたときに表面からはもちろん切断面から発塵したりすることになり好ましくない。塗工量が１０ｇ／ｍ２を超えても無塵紙の性能の向上には特に寄与するところが少なく、無塵紙の単価をアップすることに繋がり好ましくない。また、塗工樹脂の塗工後、カレンダーがけされＪＩＳ  Ｐ  ８１１９で規定された平滑度が表側の面で５００秒以上とされると、金属面や金属メッキ面の合紙として使用した場合、これらの金属面や金属メッキ面とのこすれによる塵埃の発生がほとんどない等の利点が多い。これは、無塵紙の表面とこれらの金属面や金属メッキ面が密着し、互いの面の相対移動が生じた場合等において摩擦やこすれ等による金属面や金属メッキ面への負荷が少なく、無塵紙の表面の摩耗等が生じることがない等といったことによると考えられるが、はっきりしていない。平滑度が５００秒未満では、金属面や金属メッキ面とのこすれによる塵埃の発生がみられ好ましくない。なお、好ましい平滑度の上限は特にないと考えられるが、技術的には２，０００秒が現時点においては限界である。
塗工樹脂の塗工後、カレンダーがけされて得られた裏側の面の平滑度も高い程好ましいものの、原紙の裏側の面の平滑度は、表側の面ほど高くすることはできないが、ＪＩＳ  Ｐ  ８１１９で規定された平滑度で３０秒以上であれば、リードフレーム等の金属板の金属面や金属メッキ面と反対面と無塵紙の裏側の面が接触してもこすれによる塵埃の発生がほとんどない等の支障がない。なお、無塵紙の裏側の面平滑度の上限は特にないと考えられるが、技術的には１００秒が現時点においては限界である。
【００１６】
なお、無塵紙のＪＩＳ  Ｋ  ０１０１で規定された塩素イオン濃度としては１０ｐｐｍを超え１００ｐｐｍ以下、ＴＡＰＰＩ  ４６８ｍ  ６０で規定された硫酸イオン濃度としては１０ｐｐｍを超え２００ｐｐｍ以下になるように塗工樹脂を選定することが、上述した理由と同様、金属面や金属メッキ面の合紙として使用した場合に、金属面や金属メッキ面が酸化されることがないことから好ましい。
【００１７】
なお、この無塵紙は、電子部品用基材の金属面または金属メッキ面に重ね合わせて用いる合紙だけでなく、工程紙、包装紙にも使用できるものであり、さらに、セラミックス基板、プリント基板等の電子部品用基材の合紙、工程紙、包装紙にも使用できることはいうまでもない。
また、バイオインダストリーを始めとする各種技術分野でのクリーンルームで使用する各種の無塵紙としても適しているものである。
ここで、この発明の無塵紙がクリーンルーム内での記録、筆記用に使用できることはいうまでもない。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、実施の形態を示し、さらに詳しくこの発明について説明する。もちろんこの発明は以下の実施の形態によって限定されるものではない。
この発明において、原紙に使用されるパルプとしては、Ｌ−ＢＫＰ、Ｎ−ＢＫＰいずれでもよく、Ｌ−ＢＫＰとＮ−ＢＫＰとを混合して用いてもよい。また、合成パルプ等を全く使用できないわけではない。
【００１９】
原紙を抄造する際のパルプ液中に内添する薬品のうち、紙力増強剤としては、カチオン化デンプン、ポリアクリルアマイド樹脂、スチレン系樹脂等を用いることができる。その他、パルプ液中には、サイズ剤等を添加することができる。
【００２０】
原紙の抄造に際しては、抄造された原紙のＪＩＳ  Ｋ  ０１０１で規定された塩素イオン濃度が１０〜１００ｐｐｍ、ＴＡＰＰＩ  ４６８ｍ  ６０で規定された硫酸イオン濃度が１０〜２００ｐｐｍとなるように、パルプ液中の塩素イオン濃度を調節すればよい。
【００２１】
パルプ液を、通常の長網抄紙機、ツインワイヤー抄紙機、または丸網抄紙機によって抄造し、所定の水分率にし、ヤンキードライヤー、または、多筒式ドライヤーによって乾燥させ、填料を含まずＪＩＳ  Ｐ  ８１２４で規定された米坪が２０〜４０ｇ／ｍ２の原紙を得るようにすればよい。
【００２２】
このような原紙に、両面側からＴｇが０〜３０℃のＳＢＲまたはアクリル系合成樹脂が乾燥重量で３〜１０ｇ／ｍ２となるように塗工する。ＳＢＲまたはアクリル系合成樹脂は、エマルジョン、ディスパージョン、または、溶液として塗工する。
【００２３】
塗工には、ロールコーター、エアーナイフコーター、ブレードコーター等公知のものが採用できる。
【００２４】
塗工後、ＪＩＳ  Ｐ  ８１１９で規定された平滑度が表側の面で５００秒以上となるように、例えば、スーパーカレンダーがけを行う。
【００２５】
この発明の無塵紙は、上記したようにオフマシンで製造するだけに限られず、オンマシンで製造するようにしてもよい。
【００２６】
【実施例】
次に、実施例を比較例とともに示しさらに詳しく説明する。
以下の実施例等における発塵度の測定方法とその評価は、次に記載の通りである。
＜１＞擦りによる発塵度
Ａ５サイズの試験片２枚を、クリーン状態に調整した測定器（商品名：グローブボックス、日本エアーテック（株）製、清浄度：ＵＳ．Ｆｅｄ．Ｓｔｄ．２０９ＥクラスＭ２．５）内で、表裏重ね合わせ３回／１０秒の速度で３分２０秒間手で擦り合わせる。
測定開始から終了までグローブボックス内の空気を吸引し、発生した０．１μ以上の塵の個数をパーティクルカウンター（型式：ＫＣ−２１Ａ、リオン（株）製）にて測定する。
捕集した０．１μ以上の塵の個数を、空気１リットル当たりに含まれる個数に換算する。
【００２７】
＜２＞揉みによる発塵度
Ａ５サイズの試験片１枚を、クリーン状態に調整した測定器（商品名：グローブボックス、日本エアーテック（株）製、清浄度：ＵＳ．Ｆｅｄ．Ｓｔｄ．２０９ＥクラスＭ２．５）内で、１回／１５秒の割合で３分２０秒間手で揉む。
上記＜１＞と同様にして、０．１μ以上の塵の個数を測定し、空気１リットル当たりの個数に換算する。
【００２８】
＜３＞引き裂き揉み発塵度
Ａ５サイズの試験片１枚を、クリーン状態に調整した測定器（商品名：グローブボックス、日本エアーテック（株）製、清浄度：ＵＳ．Ｆｅｄ．Ｓｔｄ．２０９ＥクラスＭ２．５）内で、５秒ごとに４箇所（４ｃｍ間隔）を引き裂いて５枚とし、これを重ね合わせ、その後揉み試験と同様にして１回／１５秒の割合で３分間手で揉む。
上記＜１＞と同様にして、０．１μ以上の塵の個数を測定し、空気１リットル当たりの個数に換算する。
【００２９】
＜４＞リードフレームの酸化試験
試験片をジグザグに折りたたみジグザグ状の試験片の表と表、裏と裏の間に銀メッキを施したリードフレームを一枚づづ計６０枚挟み込んで積層体とし、この積層体をアルミで包み込み、オーブン中で１００℃、１時間加熱した後のリードフレームの表面の酸化を変色箇所の有無として目視で確認する。ここにおいて、一箇所でも変色箇所があれば、酸化の発生があるものと判断する。
【００３０】
（参考例）
Ｌ−ＢＫＰ１００％、フリーネス３９０ｃｃ、スチレン系の紙力増強剤１０ｋｇ／Ｔ、カチオン化デンプン１０ｋｇ／Ｔで内添したパルプ液を抄造し、原紙を得た。
得られた原紙の米坪（ｇ／ｍ２）、厚さ（μ）、緊度（ｇ／ｃｍ３）、引張強さ（ｋｇ）、引き裂き強さ（ｇ）、平滑度（秒）、ｐＨ、塩素イオン濃度（ｐｐｍ）、硫酸イオン濃度（ｐｐｍ）を測定した。得られた結果は、表１に示す通りである。なお、温度２０℃、湿度６５％で測定を行った。
【００３１】
米坪（ｇ／ｍ２）は、ＪＩＳ  Ｐ  ８１２４の規定に基づき測定した。
厚さ（μ）は、ＪＩＳ  Ｐ  ８１１８の規定に基づき測定した。
緊度（ｇ／ｃｍ３）は、ＪＩＳ  Ｐ  ８１１８の規定に基づき測定した。
引張強さ（ｋｇ）は、ＪＩＳ  Ｐ  ８１１３の規定に基づき測定した。ここで縦とはＭＤ方向の引張強さ、横とはＣＤ方向の引張強さを意味する。
引き裂き強さ（ｇ）は、ＪＩＳ  Ｐ  ８１１６の規定に基づき測定した。ここで縦とはＭＤ方向の引き裂き強さ、横とはＣＤ方向の引き裂き強さを意味する。
平滑度（秒）は、ＪＩＳ  Ｐ  ８１１９の規定に基づき測定した。ここで表とはワイヤー側の面の平滑度、裏とはワイヤーと反対側の面の平滑度を意味する。
ｐＨは、ＪＩＳ  Ｐ  ８１３３の規定に基づき測定した。
塩素イオン濃度（ｐｐｍ）は、ＪＩＳ  Ｋ  ０１０１の規定に基づき測定した。
硫酸イオン濃度（ｐｐｍ）は、ＴＡＰＰＩ  ４６８ｍ  ６０の規定に基づき測定した。
【００３２】
そして、原紙の擦りによる発塵度、揉みによる発塵度、引き裂き揉み発塵度を、それぞれ前記＜１＞、＜２＞、＜３＞に従い測定した。また、原紙によるリードフレームの酸化試験を前記＜４＞に従い行った。得られた結果は、表１に示すとおりである。なお、原紙の裏と接したリードフレームのうちの１つに変色が見られた。その原因は、原紙から発生した塵等によって変色したものと考えられるが、はっきりしていない。
【００３３】
（実施例１）
参考例で得た原紙を用い、オフマシンで、塗工樹脂としてアクリル酸エステル共重合体のエマルジョンを両面塗工し、スーパーカレンダーがけをして、無塵紙を得た。塗工するアクリル酸エステル共重合体はＴｇ８℃、ｐＨ８±１、固形分３５±１％、粘度６００±２００ｍＰａ・ｓ／３０℃である。
【００３４】
得られた無塵紙の米坪（ｇ／ｍ２）、厚さ（μ）、緊度（ｇ／ｃｍ３）、引張強さ（ｋｇ）、引き裂き強さ（ｇ）、平滑度（秒）、ｐＨ、塩素イオン濃度（ｐｐｍ）、硫酸イオン濃度（ｐｐｍ）を参考例１と同様にして測定した。得られた結果は、表１に示すとおりである。なお、実施例１における平滑度の表とはスーパーカレンダーがけした平滑度の高い面を意味し、裏とはその反対面を意味する。
【００３５】
また、この無塵紙の擦りによる発塵度、揉みによる発塵度、引き裂き揉み発塵度を、それぞれ前記＜１＞、＜２＞、＜３＞に従い測定した。また、この無塵紙によるリードフレームの酸化試験を前記＜４＞に従い行った。得られた結果は、表１に示すとおりである。
【００３６】
（比較例１）
市販の無塵紙の米坪（ｇ／ｍ２）、厚さ（μ）、緊度（ｇ／ｃｍ３）、引張強さ（ｋｇ）、引き裂き強さ（ｇ）、平滑度（秒）、ｐＨ、塩素イオン濃度（ｐｐｍ）、硫酸イオン濃度（ｐｐｍ）を参考例１と同様にして測定した。得られた結果は、表１に示すとおりである。なお、比較例１における平滑度の表とは平滑度の高い面を意味し、裏とはその反対面を意味する。
【００３７】
また、市販の無塵紙の擦りによる発塵度、揉みによる発塵度、引き裂き揉み発塵度を、それぞれ前記＜１＞、＜２＞、＜３＞に従い測定した。また、この市販の無塵紙によるリードフレームの酸化試験を前記＜４＞に従い行った。得られた結果は、表１に示すとおりである。
【００３８】
（比較例２）
市販のＰＰＣ用紙の米坪（ｇ／ｍ２）、厚さ（μ）、緊度（ｇ／ｃｍ３）、引張強さ（ｋｇ）、引き裂き強さ（ｇ）、平滑度（秒）、ｐＨ、塩素イオン濃度（ｐｐｍ）、硫酸イオン濃度（ｐｐｍ）を参考例１と同様にして測定した。得られた結果は、表１に示すとおりである。なお、ここで表とはワイヤー側の面の平滑度、裏とはワイヤーと反対側の面の平滑度を意味する。
【００３９】
また、このＰＰＣ用紙の擦りによる発塵度、揉みによる発塵度、引き裂き揉み発塵度を、それぞれ前記＜１＞、＜２＞、＜３＞に従い測定した。得られた結果は、表１に示すとおりである。
【００４０】
【表１】
0004167348.tif 000002
【００４１】
図１は、発塵度と塗工樹脂の塗工量との関係の一例を示す。これは、実施例１と同一原紙を用い、塗工樹脂の原紙への両面塗工量を変えたものである。塗工量は乾燥重量を示す。塗工樹脂として、実施例１と同一のアクリル酸エステル共重合体、および、ＳＢＲを使用した。これら塗工樹脂のエマルジョンを両面塗工し、スーパーカレンダーがけをして、無塵紙を得たものである。平滑度は、実施例１と同程度となるようにスーパーカレンダーがけした。なお、使用したＳＢＲはＴｇ９℃、ｐＨ８．５±１、固形分４４±１％、粘度１，８００±２００ｍＰａ・ｓ／３０℃である。
図１における発塵度は前記＜１＞の擦りによる発塵度の試験方法に従ったものである。
図１に示されるように、アクリル酸エステル共重合体、ＳＢＲいずれも塗工量が３ｇ／ｍ２以上であることが好ましいことを示している。塗工量が１０ｇ／ｍ２を超えても無塵紙の性能の向上には特に寄与するところが少なく、無塵紙の単価をアップすることになることを示している。
【００４２】
表２に塗工樹脂のＴｇと発塵度、ブロッキング、耐熱ブロッキング、銅板の酸化との関係の一例を示す。これは、実施例１と同一原紙に実施例１と同一の塗工樹脂でＴｇのグレードが相違したものを塗工したものである。平滑度は、実施例１と同程度となるようにスーパーカレンダーがけした。また、塗工量はいずれも乾燥重量で、略４ｇ／ｍ２となるように塗工した。
【００４３】
発塵度は前記＜１＞の擦りによる発塵度の試験方法に従ったものである。
ブロッキング試験は、各Ｔｇの無塵紙の表面と裏面とを合わせ、テストスーパーカレンダーを通し、無塵紙同士のブロッキングの有無を確認することで行った。試験条件は、線圧１００ｋｇ／ｃｍ、ロール温度６０℃、速度５ｍ／ｍｉｎである。
×：ブロッキング発生あり、△：ブロッキングの僅かな箇所の発生あり、○：ブロッキングの発生なし
耐熱ブロッキング試験は、各Ｔｇの無塵紙の試験片を作製し、平滑仕上げされた銅板との間に挟み、これをアルミで包み込み、オーブン中で１００℃、１時間加熱した後の試験片と銅板（幅１００ｍｍ、長さ２００ｍｍ）とのブロッキングの有無を目視で確認することで行った。
×：ブロッキング発生あり、△：ブロッキングの僅かな箇所の発生あり、○：ブロッキングの発生なし
銅板の酸化試験は、耐熱ブロッキング試験の銅板の変色箇所の有無を目視することで行った。銅板の変色の評価における○は、酸化による変色箇所が全く見られないことを意味する。
【００４４】
【表２】
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【００４５】
【発明の効果】
この発明は、以上詳しく説明したように構成されているので、以下に記載されるような効果を奏する。
この発明の無塵紙によれば、市販されているこれまでのパルプを主体とする無塵紙よりも発塵度のさらに低い無塵紙を安価に得ることができることになり、クリーンルーム内での無塵紙の使用により発生する塵埃をさらに減少させることになり、良好なクリーンルーム環境を提供することができ、不良品の発生、機器の故障等を低減させることができる。
また、この発明の無塵紙は、電子部品用基材の金属面または金属メッキ面に重ね合わせて用いる合紙等に適しており、表面に傷を生じさせたり、酸化させることがなく、各種のトラブルの発生をなくすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の無塵紙における発塵度と塗工樹脂の塗工量との関係の一例を示す図である。
【図１】
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