【手続補正書】
【提出日】平成20年8月8日(2008.8.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】試料作製装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハやデバイスなどの電子部品等の試料から所望の特定領域を含む微小試料を、集束イオンビームを用いて分離または分離準備して、微小領域分析や観察、計測用の試料作製装置に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を載置する試料ステージと、
該試料にイオンビームを照射するイオンビーム光学系と、
微小試料として該試料の一部を摘出するためのプローブと、
前記プローブにより摘出された該微小試料を固定する試料ホルダと、
前記試料ステージの試料載置面に垂直な線分を回転軸として前記試料ステージの回転を制御するステージ制御装置と、を備え、
前記試料ステージに対し、前記イオンビーム光学系から照射されるイオンビームの照射軸が傾斜するよう前記イオンビーム光学系が配置されていることを特徴とする試料作製装置。
【請求項２】
試料を載置する試料ステージと、
該試料にイオンビームを照射するイオンビーム光学系と、
微小試料として該試料の一部を摘出するためのプローブと、
前記プローブにより摘出された該微小試料を固定する試料ホルダと、
前記試料ステージの試料載置面に垂直な線分を回転軸として前記試料ステージの回転を制御するステージ制御装置と、を備え、
前記試料ステージを傾斜させていない状態の該試料載置面に対し、前記イオンビーム光学系から照射されるイオンビームの照射軸が傾斜するよう前記イオンビーム光学系が配置されていることを特徴とする試料作製装置。
【請求項３】
試料を載置する試料ステージと、
該試料にイオンビームを照射するイオンビーム光学系と、
微小試料として該試料の一部を摘出するためのプローブと、
前記プローブにより摘出された該微小試料を固定する試料ホルダと、
前記試料ステージの試料載置面に垂直な線分を回転軸として前記試料ステージの回転を制御するステージ制御装置と、を備え、
前記試料ステージに対し、前記イオンビーム光学系の構成要素である対物レンズの中心軸が傾斜するように前記イオンビーム光学系が配置されていることを特徴とする試料作製装置。
【請求項４】
試料を載置する試料ステージと、
該試料にイオンビームを照射するイオンビーム光学系と、
微小試料として該試料の一部を摘出するためのプローブと、
前記プローブにより摘出された該微小試料を固定する試料ホルダと、
前記試料ステージの試料載置面に垂直な線分を回転軸として前記試料ステージの回転を制御するステージ制御装置と、を備え、
前記試料ステージを傾斜させていない状態の該試料載置面に対し、前記イオンビーム光学系の構成要素である対物レンズの中心軸が傾斜するように前記イオンビーム光学系が配置されていることを特徴とする試料作製装置。
【請求項５】
請求項３または４記載の試料作製装置において、
前記対物レンズの中心軸がイオンビームの照射軸と概略一致するように、前記イオンビーム光学系が該試料載置面に対し傾斜して配置されていることを特徴とする試料作製装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項記載の試料作製装置において、
前記イオンビーム光学系は、該試料載置面と前記イオンビーム光学系から照射されるイオンビームの照射軸との角度が３０度から７５度の範囲となるように配置されていることを特徴とする試料作製装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項記載の試料作製装置において、
前記試料ステージは、傾斜機能を有することを特徴とする試料作製装置。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれか１項記載の試料作製装置において、
前記試料は、ウェーハであることを特徴とする試料作製装置。
【請求項９】
請求項１〜６のいずれか１項記載の試料作製装置において、
さらに、電子ビームを照射する電子ビーム光学系を備えることを特徴とする試料作製装置。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本願発明は、試料を載置する試料ステージと、該試料にイオンビームを照射するイオンビーム光学系と、微小試料として該試料の一部を摘出するためのプローブと、プローブにより摘出された該微小試料を固定する試料ホルダと、試料ステージの試料載置面に垂直な線分を回転軸として試料ステージの回転を制御するステージ制御装置と、を備え、該試料載置面に対し、イオンビーム光学系から照射されるイオンビームの照射軸が傾斜するようイオンビーム光学系が配置されている試料作製装置、に関する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本願発明は、試料を載置する試料ステージと、該試料にイオンビームを照射するイオンビーム光学系と、微小試料として該試料の一部を摘出するためのプローブと、プローブにより摘出された該微小試料を固定する試料ホルダと、試料ステージの試料載置面に垂直な線分を回転軸として試料ステージの回転を制御するステージ制御装置と、を備え、  試料ステージを傾斜させていない状態の該試料載置面に対し、イオンビーム光学系から照射されるイオンビームの照射軸が傾斜するようイオンビーム光学系が配置されている試料作製装置、に関する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本願発明は、試料を載置する試料ステージと、該試料にイオンビームを照射するイオンビーム光学系と、微小試料として該試料の一部を摘出するためのプローブと、プローブにより摘出された該微小試料を固定する試料ホルダと、試料ステージの試料載置面に垂直な線分を回転軸として試料ステージの回転を制御するステージ制御装置と、を備え、  該試料載置面に対し、前記イオンビーム光学系の構成要素である対物レンズの中心軸が傾斜するように前記イオンビーム光学系が配置されている試料作製装置、に関する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、本願発明は、試料を載置する試料ステージと、該試料にイオンビームを照射するイオンビーム光学系と、微小試料として該試料の一部を摘出するためのプローブと、プローブにより摘出された該微小試料を固定する試料ホルダと、試料ステージの試料載置面に垂直な線分を回転軸として試料ステージの回転を制御するステージ制御装置と、を備え、試料ステージを傾斜させていない状態の該試料載置面に対し、前記イオンビーム光学系の構成要素である対物レンズの中心軸が傾斜するように前記イオンビーム光学系が配置されている試料作製装置に関する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】削除
【補正の内容】