【誤訳訂正書】
【提出日】平成20年10月1日(2008.10.1)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２１】
図７Ａ及び図７Ｂを参照すると、第４例示的実施形態の動作が記載されている。図７Ａは、上がった位置７００Ａにおける基板支持体の実施形態を示し、図７Ｂは、下がった位置７００Ｂにおける基板支持体の同じ実施形態を示している。上がった位置７００Ａにおいては、リフトピン７０２の基板軸受面は、基板をすぐに受容できるようにサセプタ７０４上にある。サセプタ７０４が上がるにつれて、リフトピン７０２は、ブッシュ７０６から摩擦のために上向きの力があるにもかかわらず静止状態にある。本発明のある実施形態によれば、リフトピン７０２の下端に取り付けられた重り及び/又は永久磁石７０８は、上向きの摩擦力より大きい力でチャンバ底部７１０に向かって下向きにリフトピン７０２を引っぱる。従って、ブッシュ７０６でのリフトピン７０２の結合が避けられ、リフトピン７０２の最上面がサセプタに完全に入るまでサセプタ７０４が上がるのでリフトピン７０２は上に移動しない。図示されていないが、サセプタ７０４は更に上げられることによって、リフトピン７０２がチャンバ７１０の底部と最早接触しなくてもよい。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２３】
基板がチャンバから取り出されるとき、サセプタ７０４が下げられることによって、リフトピン７０２は、再びチャンバの底部７１０と接触し、最終的にはブッシング７０６を通って押し上げられる。しかしながら、接触の前に、サセプタが下げられているとき、リフトピン７０２が磁気的に敏感なプレート７１４に近づくにつれて、リフトピン７０２の下端は磁気的に敏感なプレート７１４に向かって下に引っぱられる。この引きは、リフトピン７０２の垂直の向きの維持を援助する。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２５】
永久磁石７０８をリフトピン７０２の中に入れ、又はリフトピン７０２上に置くことにより、また、チャンバの底部に取り付けた電磁石を用いずに、磁石７０８は最も近い点で磁気的に敏感なプレート７１４に向かって縦に下向きに引きつけられる。言い換えれば、磁気的に敏感なプレート７１４がチャンバ底部に対してリフトピンの水平範囲を覆うのに十分に大きさであるとすると、（磁気的に敏感なプレート７１４が取り付けられている）チャンバ本体に対するサセプタの熱膨張は、サセプタリフトピンの位置とチャンバの底部の間に生じた異なる熱膨張量に拘わらず、永久磁石７０８の磁力によって真っ直ぐ下向きに引っぱられるリフトピンの傾向に影響しない。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２６】
しかしながら、電磁石を用いるある実施形態においては、十分に大きな磁界がリフトピンの全水平範囲に対して十分な均一性を生じるように生成され、磁気的に敏感なリフトピンが電磁石に向かって下げられるとき磁界からのいかなる水平成分の力も受けなくなるようにしてもよい。ある実施形態においては、チャンバ底部のプラグは、磁気的に敏感なリフトピンを引きつけるために磁界を生じる永久磁石を含むことができる。上記電磁石の実施形態のように、プラグにおける電磁石が、熱膨張又は他の力ためにリフトピンの範囲にあることができる全水平面積に対して本質的には一様であるのに十分な大きさの磁界を生じることを確実にすることは好ましいことである。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２８】
ある実施形態においては、重りは、リフトピン７０２（図７Ａ）のシャフトをサセプタ７０４のストレートボアブッシュ７０６に固定するか、さもなければはめ込むことができるあらゆる摩擦に打ち勝つのに十分なものとすることができる。リフトピン７０２のシャフトがブッシュ７０６内で結合する可能性を避けることが望ましい実施形態においては、真っ直ぐ下向きに引っぱる重力と磁力の双方の利点を有する、ネオジム、鉄、及びボロン（ＮＩＢ）；アルミニウム、ニッケル、及びコバルト（アルニコ）；及び/又はコバルト及びサマリウム（Ｃ-Ｓ）から作られるような永久磁石が使用されてもよい。  
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２９】
ある実施形態においては、先細ボア又は他のプロファイルを備えたブッシュを用いることができる。先細ボアの内径は、リフトピン固定の可能性を更に減らすために、ブッシュの全長の下方で広げられてもよい。このような実施形態においては、リフトピンの垂直の向きを維持するという本明細書に記載された方法は、実用的なものとして使うことができる。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を支持する為の装置において、
サセプタを通って垂直にすべるように配置された少なくとも１つのリフトピンと、
該リフトピンに結合した磁石であって、該リフトピンが該サセプタを通って垂直にすべるように配置されているとき、該リフトピンの垂直の向きを維持する引力を与えるように該磁石が配置されている、該磁石と、
を備えた装置。
【請求項２】
基板を支持する為の装置において、
リフトピンが該サセプタに結合するのを防止するように該磁石が配置されている、請求項１記載の装置。
【請求項３】
基板を支持する為の装置において、
該磁石が該リフトピンの下端に結合している、請求項１記載の装置。
【請求項４】
基板を支持する為の装置において、
該磁石が該リフトピンの中に封入されている、請求項１記載の装置。
【請求項５】
基板を支持する為の装置において、
該磁石が永久磁石である、請求項１記載の装置。
【請求項６】
基板を支持する為の装置において、
少なくとも１つのリフトピンの下にあるチャンバ壁内に配置された磁気的に敏感なプレートを更に含む、請求項１記載の装置。
【請求項７】
基板を支持する為の装置において、
該磁気的に敏感なプレートが、該少なくとも１つのリフトピンの水平範囲にわたって一様な引力を与えるのに十分な面積を有する、請求項６記載の装置。
【請求項８】
基板を支持する為の装置において、
リフトピンに接触するように適合した該磁気的に敏感なプレートの表面が保護カバーで覆われている、請求項６記載の装置。
【請求項９】
基板を支持する為の装置において、
該磁気的に敏感なプレートが該チャンバ壁に組込まれているプラグに取り付けられている、請求項６記載の装置。
【請求項１０】
基板を支持する為の装置において、
該少なくとも１つのリフトピンをガイドするように該サセプタ内に配置されたブッシュを更に含む、請求項１記載の装置。
【請求項１１】
基板を支持する為の装置において、
該ブッシュがストレートボアを含んでいる、請求項１０記載の装置。
【請求項１２】
基板を支持する為の装置において、
該ブッシュが先細ボアを含んでいる、請求項１０記載の装置。
【請求項１３】
基板を支持する為の装置において、
該磁石が該リフトピンの垂直の向きを維持するように配置されている、請求項１２記載の装置。
【請求項１４】
基板を支持するための装置において、
サセプタを通って垂直にすべるように適合したリフトピンと、
該リフトピンに結合した磁石であって、該リフトピンが該サセプタを通って垂直にすべるように配置されているとき、該リフトピンの垂直の向きを維持する引力を与えるように該磁石が配置されている、該磁石と、
を備えた装置。
【請求項１５】
基板を支持するための装置において、
該リフトピンが該サセプタに結合するのを防止するように該磁石が配置されている、請求項１５記載の装置。
【請求項１６】
基板を支持するための装置において、
該磁石が該リフトピンの下端に結合している、請求項１４記載の装置。
【請求項１７】
基板を支持するための装置において、
該磁石が該リフトピン内に封入されている、請求項１４記載の装置。
【請求項１８】
基板を支持するための装置において、
該磁石が永久磁石である、請求項１４記載の装置。