【手続補正書】
【提出日】平成20年3月25日(2008.3.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる両面スロットバルブであって、
第１の面および第２の面を有するハウジングであって、前記第１の面に第１のスロットおよび前記第２の面に第２のスロットを有し、前記ハウジングの第１の面に連結された第１のモジュールと前記ハウジングの第２の面に連結された第２のモジュールとの間の基板の搬送を可能にするハウジングと、
前記ハウジング内で動くように取り付けられ、前記第１のスロットを閉じることを可能にする第１のドアと、
前記ハウジング内で動くように取り付けられ、前記第２のスロットを閉じることを可能にする第２のドアと、
前記第１および第２のドアのそれぞれに連結した単一シャフトであって、前記単一シャフトは中心位置を有し、前記単一シャフトが前記中心位置にある際に、前記第１のドアおよび前記第２のドアのそれぞれが、前記第１のスロットと前記第２のスロットのそれぞれから離れてそれらの間に位置する開位置にある、単一シャフトと、
前記第１および第２のドアの一方を選択的にそれぞれの閉位置に移動させて、それぞれのスロットを閉じるための前記単一シャフトを支える複クレードルアセンブリと、
を備え、
前記複クレードルアセンブリは、
第１および第２のクレードルと、
各クレードルのための個別の駆動装置であって、それぞれが伸長位置を有し、それぞれの伸長位置にある際に、前記第１のドアおよび前記第２のドアが開位置に保たれるように前記単一シャフトを中心位置に保つ駆動装置と、
を備え、
前記第１のクレードルは、前記ハウジングに対して回動可能に取り付けられて前記第２のクレードルを支えており、前記第２のクレードルは、前記単一シャフトを支え、前記第１のクレードルに対して回動可能に取り付けらており、各駆動装置はそれぞれ収縮位置も有する、両面スロットバルブ。
【請求項２】  請求項１記載の両面スロットバルブであって、更に、
前記個別の駆動装置を操作するための制御装置であって、前記個別の駆動装置の一方を伸長位置に置き、前記個別の駆動装置の他方を収縮位置に置き、前記第１および第２のドアの一方を選択的にそれぞれの閉位置に移動させて前記スロットを閉じるために、前記第１および第２のドアをバルブ開閉軌道に沿ってそれぞれの開および閉位置から閉および開位置へ移動させる制御装置を備える、両面スロットバルブ。
【請求項３】  半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる両面スロットバルブであって、
第１の面および第２の面を有するハウジングであって、前記第１の面に第１のスロットおよび前記第２の面に第２のスロットを有し、前記ハウジングの第１の面に連結された第１のモジュールと前記ハウジングの第２の面に連結された第２のモジュールとの間の基板の搬送を可能にするハウジングと、
前記ハウジング内で動くように取り付けられ、前記第１のスロットを閉じることを可能にする第１のドアと、
前記ハウジング内で動くように取り付けられ、前記第２のスロットを閉じることを可能にする第２のドアと、
前記第１と第２のドアのそれぞれに連結した単一シャフトと、
前記第１および第２のドアの一方を選択的にそれぞれの閉位置に移動させて、それぞれのスロットを閉じるための前記単一シャフトを支える複クレードルアセンブリと、
を備え、
前記複クレードルアセンブリは、
前記ハウジングを支持する枠と、
前記ハウジングに対して動くように前記枠に取り付けられた第１のクレードルと、
前記ハウジングに対して動くように前記第１のクレードルに取り付けられた第２のクレードルと、
を備え、
前記単一シャフトは、前記第１および第２のクレードルのそれぞれが前記ハウジングに対して動くことにより、前記ハウジング内の前記単一シャフトの位置が変化して、前記スロットの選択された一方が開または閉となるように、前記第２のクレードルに取り付けられている、両面スロットバルブ。
【請求項４】  請求項３記載の両面スロットバルブであって、
前記複クレードルアセンブリは、更に、
各クレードルを第１の共通の方向に移動させ、前記単一シャフトを移動させて前記スロットの一方を閉じるための駆動装置を含む、両面スロットバルブ。
【請求項５】  請求項３記載の両面スロットバルブであって、
前記複クレードルアセンブリは、更に、
各クレードルを第１の共通の方向に移動させ、前記単一シャフトを移動させて前記スロットの一方を閉じるとともに、各クレードルを第２の共通の方向に移動させ、前記単一シャフトを移動させて前記スロットの他方を閉じるための駆動装置を含む、両面スロットバルブ。
【請求項６】  処理モジュールと搬送モジュールを備えた半導体処理クラスタツール構造の配列内で用いる両面スロットバルブであって、
第１の処理モジュール側および第２の搬送モジュール側を有する真空容器であって、第１の壁面を有する前記第１の側に取り付けられた処理モジュール用のスロットと、第２の壁面を有する前記第２の側に取り付けられた搬送モジュール用のスロットを有することによって、前記処理モジュールと前記搬送モジュール間の基板の搬送を可能にする前記真空容器と、
閉鎖軌道に沿って前記処理モジュールおよび前記搬送モジュールそれぞれに対して近づく方向と離れる方向に前記真空容器内で動くことが可能なドア取り付け端として、前記閉鎖軌道にほぼ垂直であるアクセス軌道に沿って前記真空容器から離れる方向に動き、前記処理モジュールスロットと前記搬送モジュールとの間を直線的に開放することが可能なドア取り付け端を有する単一シャフトと、
前記閉鎖軌道に沿って動くように前記単一シャフトの前記ドア取り付け端に取り付けられ、前記処理モジュール用スロットを開閉する第１のドアと、
前記閉鎖軌道に沿って動くように前記単一シャフトの前記ドア取り付け端に取り付けられ、前記搬送モジュール用スロットを開閉する第２のドアと、
上方位置と、前記直線的な開放路から離れて前記２つのスロットと各スロットの壁へのアクセスを可能にする下方位置との間の前記アクセス軌道に沿って動くように、前記単一シャフトに取り付けられた前記第１および第２のドアと、
前記ドア取り付け端が前記アクセス軌道および前記閉鎖軌道に沿って動くように、前記単一シャフトを運ぶための複クレードルアセンブリであって、第１の軸を中心に回動するように前記第２のクレードルに取り付けられた第１のクレードルと、第２の軸を中心に回動するように前記真空容器に取り付けられた第２のクレードルとを有する、複クレードルアセンブリと、
前記複クレードルアセンブリ上の軸駆動機構であって、前記閉鎖軌道に沿って前記処理モジュールと前記搬送モジュールのそれぞれに対して近づく方向と離れる方向に前記真空容器内で前記単一シャフトの前記ドア取り付け端を動かすために前記複クレードル上に設けられた第１の駆動機構と、前記アクセス軌道に沿って前記真空容器に対して近づく方向と離れる方向に前記軸駆動ドア取り付け端を動かすための第２の駆動機構とを有する軸駆動機構と、
を備え、
前記単一シャフトは前記第１のクレードルに取り付けられており、
前記第１の駆動機構は、前記第１および第２のクレードルを回動させて、前記真空容器内で前記アクチュエータの前記ドア取り付け端を前記閉鎖軌道に沿って前記処理モジュールスロットおよび前記搬送モジュールスロットに対して近づく方向と離れる方向に動かすように前記第１および第２のクレードルに取り付けられており、
前記第２の駆動機構は、前記ドア取り付け端を前記アクセス軌道に沿って前記真空容器に対して近づく方向と離れる方向に動かすように前記第１のクレードルに取り付けられている、
両面スロットバルブ。