【手続補正書】
【提出日】平成20年3月18日(2008.3.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨する上定盤及び下定盤と、上記キャリヤを駆動するためのサンギヤ及びインターナルギヤとを備えた両面研磨装置において用いられ、上記上定盤及び／又は下定盤の円環状をしたパッド貼着面に円環状の研磨パッドを貼着するための加圧ローラであって、
該加圧ローラが、上記パッド貼着面の幅と同等以上の長さを有する円柱形のローラ本体と、該ローラ本体を回転自在に支持するローラ軸と、該ローラ軸の両端にそれぞれ形成された係止部とを有していて、これらの係止部が、上記ローラ軸の両端に個別に取り付けられた互いに独立するブロック形の部材により、上記研磨装置における下定盤の内外周側に設けられた係止受部にそれぞれ係止可能なるように形成され、これらの係止部を上記係止受部に係止させることにより、該研磨装置に対し、上記ローラ本体が定盤の半径方向に位置して研磨パッドに全幅にわたり当接するように取付可能であることを特徴とする両面研磨装置における研磨パッド貼着用加圧ローラ。
【請求項２】
キャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨する上定盤及び下定盤と、上記キャリヤを駆動するためのサンギヤ及びインターナルギヤと、上定盤及び／又は下定盤の円環状をしたパッド貼着面に円環状の研磨パッドを貼着するための加圧ローラとを有し、
上記加圧ローラは、上記パッド貼着面の幅と同等以上の長さを有する円柱形のローラ本体と、該ローラ本体を回転自在に支持するローラ軸と、該ローラ軸の両端にそれぞれ形成された係止部とを有していて、これらの係止部が、上記ローラ軸の両端に個別に取り付けられた互いに独立するブロック形の部材により、上記下定盤の内外周側に設けられた係止受部にそれぞれ係止可能なるように形成され、
上記上定盤及び／又は下定盤のパッド貼着面に研磨パッドを仮接着したあと、上記加圧ローラを上下の定盤間に半径方向に介在させてローラ本体を研磨パッドに全幅にわたり当接させると共に、ローラ軸の両端の係止部を下定盤の内外周側の係止受部にそれぞれ係止させ、上定盤で荷重を加えた状態にして上下の定盤を互いに逆向きに回転させることにより、上記ローラ本体を定盤の回転に追随させて従動回転させながら、該ローラ本体によって上記研磨パッドをパッド貼着面に圧着させるように構成されていることを特徴とする両面研磨装置。
【請求項３】
キャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨する上定盤及び下定盤と、上記キャリヤを駆動するためのサンギヤ及びインターナルギヤとを備えた両面研磨装置において、上記上定盤及び／又は下定盤の円環状をしたパッド貼着面に円環状の研磨パッドを貼着するための方法であって、
上記パッド貼着面の幅と同等以上の長さを有する円柱形のローラ本体と、該ローラ本体を回転自在に支持するローラ軸と、該ローラ軸の両端にそれぞれ形成された係止部とを有し、これらの係止部が上記ローラ軸の両端に個別に取り付けられた互いに独立するブロック形の部材により形成されていて、上記研磨装置に対して着脱自在である複数の加圧ローラを使用し、
上記上定盤及び／又は下定盤のパッド貼着面に研磨パッドを仮接着したあと、上記加圧ローラを上下の定盤間に半径方向に介在させてローラ本体を研磨パッドに全幅にわたり当接させると共に、上記ローラ軸の両端の係止部を下定盤の内外周側に設けられた係止受部にそれぞれ係止させ、上定盤で荷重を加えた状態にして上下の定盤を互いに逆向きに回転させることにより、上記ローラ本体を定盤の回転に追随させて従動回転させながら、該ローラ本体によって上記研磨パッドをパッド貼着面に圧着させることを特徴とする両面研磨装置における研磨パッドの貼着方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−１５１６６１号公報
【特許文献２】特開２０００−６０１１号公報
【特許文献３】特開平１１−３２０３８７号公報
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記課題を解決するため、本発明によれば、キャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨する上定盤及び下定盤と、上記キャリヤを駆動するためのサンギヤ及びインターナルギヤとを備えた両面研磨装置において用いられ、上記上定盤及び／又は下定盤の円環状をしたパッド貼着面に円環状の研磨パッドを貼着するための加圧ローラであって、該加圧ローラが、上記パッド貼着面の幅と同等以上の長さを有する円柱形のローラ本体と、該ローラ本体を回転自在に支持するローラ軸と、該ローラ軸の両端にそれぞれ形成された係止部とを有していて、これらの係止部が、上記ローラ軸の両端に個別に取り付けられた互いに独立するブロック形の部材により、上記研磨装置における下定盤の内外周側に設けられた係止受部にそれぞれ係止可能なるように形成され、これらの係止部を上記係止受部に係止させることにより、該研磨装置に対し、上記ローラ本体が定盤の半径方向に位置して研磨パッドに全幅にわたり当接するように取付可能であることを特徴とする両面研磨装置における研磨パッド貼着用加圧ローラが提供される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明によれば、キャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨する上定盤及び下定盤と、上記キャリヤを駆動するためのサンギヤ及びインターナルギヤと、上定盤及び／又は下定盤の円環状をしたパッド貼着面に円環状の研磨パッドを貼着するための加圧ローラとを有し、上記加圧ローラは、上記パッド貼着面の幅と同等以上の長さを有する円柱形のローラ本体と、該ローラ本体を回転自在に支持するローラ軸と、該ローラ軸の両端にそれぞれ形成された係止部とを有していて、これらの係止部が、上記ローラ軸の両端に個別に取り付けられた互いに独立するブロック形の部材により、上記下定盤の内外周側に設けられた係止受部にそれぞれ係止可能なるように形成され、上記上定盤及び／又は下定盤のパッド貼着面に研磨パッドを仮接着したあと、上記加圧ローラを上下の定盤間に半径方向に介在させてローラ本体を研磨パッドに全幅にわたり当接させると共に、ローラ軸の両端の係止部を下定盤の内外周側の係止受部にそれぞれ係止させ、上定盤で荷重を加えた状態にして上下の定盤を互いに逆向きに回転させることにより、上記ローラ本体を定盤の回転に追随させて従動回転させながら、該ローラ本体によって上記研磨パッドをパッド貼着面に圧着させるように構成されていることを特徴とする両面研磨装置が提供される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
更に、本発明によれば、キャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨する上定盤及び下定盤と、上記キャリヤを駆動するためのサンギヤ及びインターナルギヤとを備えた両面研磨装置において、上記上定盤及び／又は下定盤の円環状をしたパッド貼着面に円環状の研磨パッドを貼着するための方法であって、上記パッド貼着面の幅と同等以上の長さを有する円柱形のローラ本体と、該ローラ本体を回転自在に支持するローラ軸と、該ローラ軸の両端にそれぞれ形成された係止部とを有し、これらの係止部が上記ローラ軸の両端に個別に取り付けられた互いに独立するブロック形の部材により形成されていて、上記研磨装置に対して着脱自在である複数の加圧ローラを使用し、上記上定盤及び／又は下定盤のパッド貼着面に研磨パッドを仮接着したあと、上記加圧ローラを上下の定盤間に半径方向に介在させてローラ本体を研磨パッドに全幅にわたり当接させると共に、上記ローラ軸の両端の係止部を下定盤の内外周側に設けられた係止受部にそれぞれ係止させ、上定盤で荷重を加えた状態にして上下の定盤を互いに逆向きに回転させることにより、上記ローラ本体を定盤の回転に追随させて従動回転させながら、該ローラ本体によって上記研磨パッドをパッド貼着面に圧着させることを特徴とする両面研磨装置における研磨パッドの貼着方法が提供される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】