【手続補正書】
【提出日】平成20年9月10日(2008.9.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  パターンの位置を検出する位置検出装置であって、
前記パターンを第１倍率で撮像して第１の画像を得る第１撮像系と、
前記パターンを前記第１倍率よりも高い第２倍率で撮像して第２の画像を得る第２撮像系と、
前記第１撮像系より得られた前記第１の画像に基づいて、前記第２撮像系と前記パターンとの間の相対位置が前記パターンの位置を検出するのに有効であるかを判断する判断手段とを備えることを特徴とする位置検出装置。
【請求項２】  前記第１の撮像系と前記第２の撮像系が、前記パターンの撮像を同時に行うように制御する制御手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
【請求項３】  前記第１撮像系によって取得された前記第１の画像に基づいて前記パターンの位置を検出する第１検出手段を更に備え、
前記判断手段は、前記第１検出手段によって検出された位置に基づいて、前記相対位置が有効か否かを判断することを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
【請求項４】  前記第１撮像系によって取得された前記第１の画像に基づいて、前記パターンの位置を検出する第１検出手段を更に備え、
前記判断手段は、前記第１検出手段によって検出された位置に基づいて、前記第２撮像系によって取得された前記第２の画像が有効か否かを判断することを特徴とする請求項２に記載の位置検出装置。
【請求項５】  前記第２の撮像系によって取得された前記第２の画像に基づいて、前記パターンの位置を検出する第２検出手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
【請求項６】  前記第２の撮像系によって取得された前記第２の画像に基づいて、前記パターンの位置を検出する第２検出手段を更に備え、
前記判断手段によって前記相対位置が有効であると判断された場合に、前記第２検出手段によって検出された前記位置は有効化されることを特徴とする請求項２に記載の位置検出装置。
【請求項７】  前記判断手段によって前記相対位置が有効でないと判断された場合に、前記第２の撮像系によって取得された前記第１の画像に基づいて前記パターンと前記第２の撮像系とを位置決めする位置決め手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
【請求項８】  前記第１検出手段によって検出された位置が所定の範囲内にある場合に、前記判断手段は前記相対位置が有効であると判断することを特徴とする請求項３に記載の位置検出装置。
【請求項９】  前記第１及び第２の撮像系はそれぞれ蓄積時間を設定可能な第１及び第２の光電変換素子を有し、
前記第１及び第２の撮像系によって取得された前記第１及び第２の画像に基づいて、前記第１及び第２の光電変換素子のそれぞれの蓄積時間を設定する設定手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
【請求項１０】  前記第１及び第２の撮像系はそれぞれ蓄積時間を設定可能な第１及び第２の光電変換素子を有し、
前記第１の撮像系によって取得された前記第１の画像に基づいて、前記第１及び第２の光電変換素子のそれぞれの蓄積時間を設定する設定手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
【請求項１１】  前記第１及び第２の撮像系は、共通の対物光学ユニットを有することを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
【請求項１２】  アライメントマークが形成された基板を位置決めする位置決め装置であって、
第１の倍率で前記アライメントマークを撮像して第１の画像を取得する第１の撮像系と、
前記第１の倍率よりも高い第２の倍率で前記のアライメントマークを撮像して第２の画像を取得する第２の撮像系と、
前記第１の撮像系によって取得された前記第１の画像に基づいて、前記第２の撮像系と前記アライメントマークの間の相対位置が、前記アライメントマークの位置を検出するのに有効か否かを判断する判断手段と、
前記第２の画像に基づいて、前記アライメントマークの位置を検出する検出手段と、
前記検出手段によって検出された前記アライメントマークの位置に基づいて、前記基板を位置決めする位置決め手段とを備えることを特徴とする位置決め装置。
【請求項１３】  前記検出手段で検出された前記アライメントマークの位置に基づいて、アライメントマークを位置決めする第２位置決め手段を更に備えることを特徴とする請求項１２に記載の位置決め装置。
【請求項１４】  パターンの位置を検出する位置検出方法であって、
第１撮像系を用いて、第１の倍率で前記パターンを撮像して第１の画像を得る第１撮像工程と、
第２の撮像系を用いて、前記第１の倍率よりも高い第２の倍率で前記パターンを撮像して第２の画像を得る第２撮像工程と、
前記第１撮像工程で取得された前記第１の画像に基づいて、前記第２の撮像系と前記パターンとの相対位置が前記パターンの位置を検出するのに有効であるか否かを判断する判断工程とを有することを特徴とする位置検出方法。
【請求項１５】  アライメントマークが形成された基板の位置決めをする位置決め方法であって、
第１の撮像系を用いて、第１の倍率で前記アライメントマークを撮像して第１の画像を取得する第１撮像工程と、
第２の撮像系を用いて、前記第１の倍率よりも高い第２の倍率で前記アライメントマークを撮像して第２の画像を取得する第２撮像工程と、
前記第１撮像工程で取得された前記第１の画像に基づいて、前記第２撮像系と前記アライメントマークの間の相対位置が前記アライメントマークの位置を検出するのに有効か否かを判断する判断工程とを有することを特徴とする位置決め方法。
【請求項１６】  請求項１２に記載された位置決め装置と、
前記位置決め装置によって位置決めされた基板に対して露光処理を行う露光手段とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１７】  請求項１２に記載された位置決め装置を用いて基板を位置決めする位置決め工程と、
前記位置決め工程で位置決めされた基板を露光する露光工程とを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するための本発明による位置検出装置は以下の構成を備える。すなわち、
パターンの位置を検出する位置検出装置であって、
前記パターンを第１の倍率で撮像して第１の画像を得る第１撮像系と、
前記パターンを前記第１の倍率よりも高い第２の倍率で撮像して第２の画像を得る第２撮像系と、
前記第１撮像系によって得られた前記第１の画像に基づいて、前記第２撮像系と前記パターンとの間の相対位置が前記パターンの位置を検出するのに有効であるかを判断する判断手段とを備える。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、上記の目的を達成するための本発明による位置決め装置は以下の構成を備える。すなわち、
アライメントマークが形成された基板を位置決めする位置決め装置であって、
第１の倍率で前記アライメントマークを撮像して第１の画像を取得する第１の撮像系と、
前記第１の倍率よりも高い第２の倍率で前記のアライメントマークを撮像して第２の画像を取得する第２の撮像系と、
前記第１の撮像系によって取得された前記第１の画像に基づいて、前記第２の撮像系と前記アライメントマークの間の相対位置が、前記アライメントマークの位置を検出するのに有効か否かを判断する判断手段と、
前記第２の画像に基づいて、前記アライメントマークの位置を検出する検出手段と、
前記検出手段によって検出された前記アライメントマークの位置に基づいて、前記基板を位置決めする位置決め手段とを備える。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、上記の目的を達成するための本発明による位置検出方法は、
パターンの位置を検出する位置検出方法であって、
第１撮像系を用いて、第１の倍率で前記パターンを撮像して第１の画像を得る第１撮像工程と、
第２の撮像系を用いて、前記第１の倍率よりも高い第２の倍率で前記パターンを撮像して第２の画像を得る第２撮像工程と、
前記第１撮像工程で取得された前記第１の画像に基づいて、前記第２の撮像系と前記パターンとの相対位置が前記パターンの位置を検出するのに有効であるか否かを判断する判断工程とを有する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、上記の目的を達成するための本発明による位置決め方法は、
アライメントマークが形成された基板の位置決めをする位置決め方法であって、
第１の撮像系を用いて、第１の倍率で前記アライメントマークを撮像して第１の画像を取得する第１撮像工程と、
第２の撮像系を用いて、前記第１の倍率よりも高い第２の倍率で前記アライメントマークを撮像して第２の画像を取得する第２撮像工程と、
前記第１撮像工程で取得された前記第１の画像に基づいて、前記第２撮像系と前記アライメントマークの間の相対位置が前記パターンの位置を検出するのに有効か否かを判断する判断工程とを有する。