【手続補正書】
【提出日】平成20年7月8日(2008.7.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】  該チャック手段は該回転軸に対して実質上垂直な方向に延びる直線経路に沿って移動自在であり、該被加工物搬入・搬出域と該研磨域とに選択的に位置せしめられる時の該チャック手段の移動と該研磨手段によって被加工物の該被処理面を研磨する時の該チャック手段の往復動とは共に該直線経路に沿ったものである、請求項７記載の加工歪除去装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
図１と共に図４を参照して説明を続けると、ハウジング２の主部４の後半部上には略矩形状の没入部３２が形成されており、かかる没入部３２にはチャック手段３４が装着されている。チャック手段３４は支持部材３６とこの支持部材３６に実質上鉛直に延びる回転中心軸線を中心として回転自在に装着された円板形状のチャック板３８とを含んでいる。支持部材内にはチャック板３８を回転せしめるための電動モータ（図示していない）が配設されている。チャック板３８は多孔性セラミッックスの如き適宜の多孔性材料から構成されているのが好都合である。没入部３２上にはハウジング４の延在方向に実質上水平（従って、後述する研磨手段の回転軸に対して実質上垂直）である矢印４０及び４２で示す方向に延在する一対の案内レール（図示していない）が配設されており、かかる一対の案内レールにチャック手段３４の上記支持部材３６が滑動自在に装着されている。没入部３２には更に矢印４０及び４２で示す方向に延在するねじ軸（図示していない）が回転自在に装着されている。一方、チャック手段３４の支持部材３６には矢印４０及び４２で示す方向に延びる貫通雌ねじ孔（図示していない）が形成されており、かかる雌ねじ孔に上記ねじ軸が螺合せしめられている。上記ねじ軸にはパルスモータでよい電動モータ（図示していない）の出力軸が連結されている。電動モータが正転せしめられると、チャック手段３４が矢印４０で示す方向に移動せしめられ、電動モータが逆転せしめられると、チャック手段３４が矢印４２で示す方向に移動せしめられる。チャック手段３４の移動方向両側には、横断面形状が逆チャンネル形状であって、上記ねじ軸等を覆っている蛇腹手段４４及び４６が付設されている。蛇腹手段４４及び４６はキャンパス布の如き適宜の材料から形成することができる。蛇腹手段４４の前端は没入部３４の前面壁に固定され、後端はチャック手段３４の支持部材３６の前端面に固定されている。蛇腹手段４６の前端はチャック手段３４の支持部材３６の後端面に固定され、後端はハウジング２の直立壁６の前面に固定されている。チャック手段３４が矢印４０で示す方向に移動せしめられる際には、蛇腹手段４４が伸張され蛇腹手段４６が収縮され、チャック手段３４が矢印４２で示す方向に移動せしめられる際には蛇腹手段４４が収縮され蛇腹手段４６が伸張せしめられる。矢印４０及び４２で示す方向に延びる直線経路に沿って移動せしめられるチャック手段３４は、後に更に詳述する如く、矢印４０及び４２で示す方向に間隔をおいて位置せしめられている被加工物搬入・搬出域５０及び研磨域５２に選択的に位置せしめられる（後に更に言及する如く、チャック手段３４は、更に、被加工物搬入・搬出域５０及び研磨域５２においては、所定範囲に渡って矢印４０及び４２で示す方向に往復動せしめられる）。チャック手段３４のチャック板３８は支持部材３６及びハウジング４内に配設された連通路（図示していない）を介して選択的に真空源に連通せしめられて、後に更に言及する如く研磨すべき被加工物即ち半導体ウエーハ２４を真空吸着する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
ハウジング２の主部４の中間部片側には、チャック手段３４が上記被加工物搬入及び搬出域５０に位置せしめられている時に、上記仮受手段１４上の被加工物即ち半導体ウエーハ２４をチャック板３８上に搬入する被加工物搬入手段５４が配設されている。かかる搬入手段５４は、実質上鉛直に延びる鉛直部及びこの鉛直部から実質上水平に延出する水平部を有する可動アーム５６と、可動アーム５６の先端に装着された吸着具５８とから構成されている。可動アーム５６の鉛直部は昇降動自在に且つ実質上鉛直に延びる中心軸線を中心として回転自在に装着されている。吸着具５８の下面には多孔性部材が配設されている。可動アーム５６及びハウジング２の主部４に配設されている連通路（図示していない）を通して吸着具５８を真空源（図示していない）に選択的に連通せしめることによって吸着具５８の下面に半導体ウエーハ２４が吸着され、可動アーム５６の昇降動及び回転によって半導体ウエーハ２４が所要位置に搬送される。ハウジング２の主部の中間部他側には、チャック手段３４が上記被加工物搬入及び搬出域５０に位置せしめられている時に、チャック板３８上の半導体ウエーハ２４を上記洗浄手段１６に搬出するための被加工物搬出手段６０が配設されている。かかる搬出手段６０も、実質上鉛直に延びる鉛直部及びこの鉛直部から実質上水平に延出する水平部を有する可動アーム６２と、可動アーム６２の先端に装着された吸着具６４とから構成されている。可動アーム６２の鉛直部は昇降動自在に且つ実質上鉛直に延びる中心軸線を中心として回転自在に装着されている。吸着具６４の下面には多孔性部材が配設されている。可動アーム６２及びハウジング２の主部４に配設されている連通路（図示していない）を通して吸着具６４を真空源（図示していない）に選択的に連通せしめることによって吸着具６４の下面に半導体ウエーハ２４が吸着され、可動アーム６２の昇降動及び回転によって半導体ウエーハ２４が所要位置に搬送される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
研磨域５２において、チャック手段３４のチャック板３８の表面に保持されている被加工物の被処理面、即ち半導体ウエーハ２４の裏面を研磨する際には、滑動ブロック１１８が下降せしめられ、回転駆動せしめられている研磨工具１３６の研磨部材１４２が半導体ウエーハ２４の裏面に押圧される。そして、チャック手段３４が実質上鉛直に延びる（従って研磨手段１１４の回転軸１３４に平行に延びる）回転中心軸線を中心として回転せしめられると共に矢印４０及び４２で示す方向に所定範囲に渡って移動せしめられる。かくして、研磨部材１４２が半導体ウエーハ２４の裏面に作用せしめられ、半導体ウエーハ２４の裏面が研磨されて残留加工歪が除去される。かような研磨の際には、冷却手段１１０を構成する第一の噴射手段１１１及び第二の噴射手段１１３から冷却気体が噴射され、半導体ウエーハ２４及び研磨部材１４２が冷却される。研磨が終了すると、滑動ブロック１１８が幾分上昇されて研磨部材１４２が半導体ウエーハ２４の裏面から離隔される。しかる後に、必要に応じてドレッシング手段１１２から研磨部材１４２に向けて高圧気体が噴射され、研磨部材１４２の目詰まりが解消される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
図１及び図４と共に図７を参照して説明を続けると、図示の実施形態においては、研磨域５２に位置せしめられているチャック手段３４と共に、チャック手段３４に保持されている被加工物の被処理面即ち半導体ウエーハ２４の裏面に押圧せしめられている研磨工具１３６を囲繞する防塵カバー１４８が配設されている。かかる防塵カバー１４８は全体として箱形状であり、上壁１５０、前壁１５２並びに両側壁１５４を有する。かかる防塵カバー１４８はその後端縁を上記直立壁６に密接せしめて図１に図示する位置に固定されている。防塵カバー１４８の両側壁１５４は上下方向中間に下方を向いた肩面１５６を有し、両側壁１５４の下半部は上記没入部３２の両側面に密接せしめられ、肩面１５６がハウジング２の主部４の両側縁部の上面に密接せしめられる。防塵カバー１４８の前壁１５２にはチャック手段３４の通過を許容するための矩形開口１５８が形成されている。防塵カバー１４８の上壁１５０には研磨手段１１４の支持部材１４０及び研磨部材１４２の通過を許容するための円形開口１６０が形成されている。防塵カバー１４８の上壁１５０の一部は開閉自在な扉１６２によって規定されている。この扉１６２はその片端縁が片側壁１５４の上端縁に旋回自在に連結された第一旋回部材１６４とその片端縁が第一旋回部材１６４の先端縁に旋回自在に連結された第二旋回部材１６６とから構成されている。第二旋回部材１６６の自由端縁には上記円形開口１６０の半分を規定する半円形状の切欠が形成されている。第二旋回部材１６６の外面には指を掛けることができる凹部１６８も形成されている。扉１６２は通常は図１及び図７に実線で示す閉位置に位置せしめられているが、研磨工具１３６の修理或いは交換等の際には凹部１６８に指を掛けて図７に二点鎖線で示す開位置にせしめることができる。防塵カバー１４８の上壁１５０には上記円形開口１６０の周縁から上方に延びる円筒部材１６１が付設されている。この円筒部材１６１は半円筒形状の２個の部材から構成されており、その一方は上壁１５０の主部に固定され、その他方は扉１６２の第二旋回部材１６６に固定されていて第二旋回部材１６６と共に開閉動せしめられる。防塵カバー１４８の上壁１５０には、更に、防塵カバー１４８内を排気するための排気ダクト１７０が付設されている。排気ダクト１７０には適宜の排気手段（図示していない）が付設されており、研磨工具１３６によって半導体ウエーハ２４の裏面を研磨する際には、防塵カバー１４８によって囲繞されている研磨域５２が排気される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
図１及び図４を参照して、図示の加工歪除去装置における研磨作用の一例を要約して説明すると、チャック手段３４が被加工物搬入・搬出域５０に位置せしめられている時に、被加工物搬入手段５４によって受入手段１４上からチャック手段３４上へ、加工歪を有する裏面を研磨して加工歪を除去すべき半導体ウエーハ２４がその裏面を上方に向けた状態で搬入され、そしてかかる半導体ウエーハ２４がチャック板３８上に吸着される。しかる後に、チャック手段３４が矢印４０で示す方向に研磨域５２まで移動せしめられる。そして、研磨域５２においては、半導体ウエーハ２４を保持したチャック板３８が回転せしめられると共に、回転駆動せしめられている研磨工具１３６の研磨部材１４２がチャック板３８上の半導体ウエーハ２４の裏面に押圧され、そしてまたチャック手段３４が矢印４０及び４２で示す方向に所定範囲に渡って往復動せしめられ、かくして研磨部材１４２の作用によって半導体ウエーハ２４の裏面が乾式研磨され、残留加工歪が除去される。この際には、第一の噴射手段１１１から半導体ウエーハ２４に冷却気体が噴射され、第二の噴射手段１１３から研磨部材１４２に冷却気体が噴射される。また、排気ダクト１７０に付設されている排気手段が作動せしめられて、防塵カバー１４８内の粉塵が排気される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
研磨が終了すると、研磨工具１３６が半導体ウエーハ２４の裏面から上方に離隔され、チャック手段３４が矢印４２で示す方向に被加工物搬入・搬出域５０まで移動せしめられる。しかる後に、被加工物搬出手段６０によってチャック手段３４上から洗浄手段１６に半導体ウエーハ２４が搬出される。次いで、必要に応じてチャック板洗浄手段７８によってチャック板３８が洗浄される。更に詳述すると、滑動ブロック８４がハウジング２の主部４の中央部に移動せしめられてチャック手段３４のチャック板３８に対向して位置せしめられる。そして、ブラシ部材１０４及びオイルストーン１０８が回転駆動せしめられ、ケース９４及び９６が作用位置まで下降せしめられ、回転駆動せしめられているブラシ部材１０４及びオイルストーン１０８がチャック板３８の表面に押圧される。そして、滑動ブロック８４が矢印９０及び９２で示す方向に所定範囲に渡って往復動せしめられ、チャック手段３４が回転されると共に矢印４０及び４２で示す方向に所定範囲に渡って往復動せしめられる。更に、洗浄液噴射手段７４からチャック板３８に向けて洗浄液が噴射される。チャック板３８の洗浄が終了すると、ケース９４及び９６が非作用位置まで上昇され、滑動ブロック８４はハウジング２の主部４の片側まで退避される。しかる後に、被加工物搬入手段５４によって受入手段１４上に位置する次の半導体ウエーハ２４がチャック手段３４上に搬入される。チャック板洗浄域５０においてチャック板３８を洗浄している間に、必要に応じて被加工物搬出手段６０の吸着具６４を吸着具洗浄手段６６によって洗浄することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2003053662.tif 000001
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2003053662.tif 000002