(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物を洗浄処理する洗浄槽に貯液された溶剤と、該洗浄槽上方に放出される溶剤の蒸気を凝縮手段で凝縮して回収された再生溶剤とを、該溶剤毎に独立して貯液する溶剤貯留槽と、
上記各溶剤貯留槽から供給される各溶剤を一定の割合に混合して、該混合溶剤の析出作用により溶剤中に含まれる不純物を析出し、比重分離又は濾過分離する不純物分離手段と、
上記不純物が分離された溶剤を、上記洗浄槽に返還する溶剤返還手段とを備えた
分離再生装置。
【請求項２】
上記溶剤貯留槽を上記溶剤毎に複数設けると共に、
上記特定の溶剤貯留槽に貯液された溶剤を上記不純物分離手段に対して供給する時間を利用して、該特定の溶剤を他の溶剤貯留槽に対して補充する溶剤供給手段を設けた
請求項１記載の分離再生装置。
【請求項３】
上記溶剤の供給量を調整する供給量調整手段を、上記溶剤貯留槽と上記不純物分離手段との間に設けた
請求項１記載の分離再生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば実装基板やハイブリッドＩＣ、電子部品、半導体、液晶パネル、自動車電装品、光学部品、精密部品等の被洗浄物を洗浄処理する溶剤の洗浄能力を一定に保つときに用いられる分離再生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、上述の溶剤を、被洗浄物の洗浄処理に適した洗浄能力に回復する装置としては、例えば図２に示すように、洗浄装置４１の蒸気発生槽４４に貯液された溶剤Ｃを蒸発気化して処理槽４２内に放出した後、被洗浄物Ａを、処理槽４２の出入口４３から搬入して溶剤Ｃの蒸気Ｃａ中を通過させ、洗浄槽４５に貯液された溶剤Ｃと、予備洗浄槽４６に混合して貯液された溶剤Ｃ，Ｄと、仕上げ洗浄槽４７に貯液された溶剤Ｄとに浸漬して洗浄処理する。
【０００３】
一方、洗浄槽４５に貯液された溶剤Ｃを、ポンプ５０及び供給路５１を介して、汚れ分離装置６０に供給する。同時に、処理槽４２内に放出された溶剤Ｃの蒸気Ｃａを冷却ジャケット４８により凝縮液化して水分離槽４９に供給し、水分離槽４９により水分が分離された溶剤Ｄを、ポンプ５２及び供給路５３を介して、汚れ分離装置６０に供給する。
【０００４】
上述の汚れ分離装置６０は、溶剤Ｃ，Ｄを混合する為、汚れ（油分等）分離器６１と、貯液タンク６２と、ポンプ６３と、残留汚れ（油分等）分離器６４とに供給して汚れ（油分等）を分離すると共に、その溶剤Ｃ，Ｄを予備洗浄槽４６に返還供給する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述の洗浄装置４１は、洗浄槽４４に貯液された溶剤Ｃと、水分離槽４９に貯液された溶剤Ｄとを、ポンプ５０，５２の移送力により汚れ分離装置６０に対して連続的に供給するが、例えば溶剤Ｃ，Ｄの温度や比重等の外的要因によって、ポンプ５０，５２の供給量が変動するため、汚れ分離装置６０に供給される溶剤Ｃ，Ｄの供給量に過不足が生じやすく、被洗浄物Ａを洗浄処理するのに適した割合に保つことができない。且つ、予備洗浄槽４６に貯液される溶剤Ｃ＋Ｄの洗浄能力が不安定であるため、安定した洗浄効果が得られないという問題点を有している。
【０００６】
この発明は上記問題に鑑み、特性の異なる複数の溶剤を溶剤毎に独立して貯液する溶剤貯留槽より不純物分離手段に供給するので、溶剤中に溶け込んだ不純物の分離が促進されると共に、安定した洗浄効果が継続して得られる分離再生装置の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明は、被洗浄物を洗浄処理する洗浄槽に貯液された溶剤と、該洗浄槽上方に放出される溶剤の蒸気を凝縮手段で凝縮して回収された再生溶剤とを、該溶剤毎に独立して貯液する溶剤貯留槽と、上記各溶剤貯留槽に貯液された各溶剤を一定の割合に混合して、該混合溶剤の析出作用により溶剤中に含まれる不純物を析出し、比重分離又は濾過分離する不純物分離手段と、上記不純物が分離された溶剤を、上記洗浄槽に返還する溶剤返還手段とを備えた分離再生装置であることを特徴とする。
【０００８】
上述の被洗浄物は、例えば実装基板やハイブリッドＩＣ、電子部品、半導体、液晶パネル、自動車電装品、光学部品、精密部品等で構成することができる。また、溶剤は、例えばベース溶剤（ハイドロフルオロエーテル、商品名ノベックTM  ＨＦＥ）と、グリコールエーテル系溶剤とを所定の割合に混合又は添加してなるフッ素系溶剤を主成分とする溶剤で構成することができる。
【０００９】
また、洗浄槽は、例えば被洗浄物を本洗浄処理する洗浄槽、予備洗浄処理する予備洗浄槽、仕上げ洗浄処理する仕上げ洗浄槽等の単槽式洗浄槽又は複槽式洗浄槽で構成することができる。また、凝縮手段は、例えば、冷凍装置（チラーやブラインチラー）に接続された冷却ジャケットや凝縮コイル等で構成することができる。また、溶剤貯留槽は、例えば再生溶剤貯留槽や溶剤貯留槽等で構成することができる。また、不純物分離手段は、例えば汚れ分離装置や比重分離装置、濾過装置等で構成することができる。また、溶剤返還手段及び溶剤供給手段は、例えばポンプやバルブ、返還路、供給路等で構成することができる。
【００１０】
つまり、洗浄槽に貯液された溶剤と、凝縮手段で凝縮して回収された再生溶剤とを、該溶剤毎に独立して設けられた各溶剤貯留槽に対して一旦貯液する。各溶剤貯留槽に貯液された各溶剤を一定の割合に混合させる為、不純物分離手段に供給し、特性の異なる複数の溶剤を混合してなる析出作用により、溶剤中に溶け込んだ不純物（例えば油分や塵埃）を分離すると共に、混合溶剤を溶剤返還手段により洗浄槽に返還する。
【００１１】
実施の形態として、上記溶剤貯留槽を上記溶剤毎に複数設けることができると共に、上記特定の溶剤貯留槽に貯液された溶剤を上記不純物分離手段に対して供給する時間を利用して、該特定の溶剤を他の溶剤貯留槽に対して補充する溶剤供給手段を設けることができる。また、上記溶剤の供給量を調整する供給量調整手段を、上記溶剤貯留槽と上記不純物分離手段との間に設けることができる。
【００１２】
【作用及び効果】
この発明によれば、特性の異なる複数の溶剤を、該溶剤毎に独立して設けた各溶剤貯留槽に対して、各溶剤貯留槽に貯液された各溶剤を一定の割合に混合して不純物分離手段に供給するので、不純物分離手段に供給される各溶剤の供給量が変動したりせず、不純物を分離及び被洗浄物を洗浄するのに適した状態を保つことができる。且つ、複数の溶剤を一定の割合に混合してなる混合溶剤の不純物析出作用により、溶剤中に溶け込んだ不純物の析出・分離が促進されると共に、洗浄槽に貯液される溶剤の油濃度及び洗浄力を一定に保つことができ、安定した洗浄効果が継続して得られる。
【００１３】
なお、特定の溶剤貯留槽に貯液された溶剤を不純物分離手段に供給する時間を利用して、洗浄槽に貯液された溶剤と、凝縮手段で凝縮された再生溶剤とを他の溶剤貯留槽に貯液するので、不純物分離手段に供給される溶剤が不足したり、供給が中断したりせず、溶剤を略連続して供給することができ、不純物を分離する作業が効率よく行える。
【００１４】
【実施例】
この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳述する。
図面は、被洗浄物の洗浄処理に使用される溶剤の洗浄能力を一定に保つことができる分離再生装置を示し、図１に於いて、この洗浄装置１は、被洗浄物Ａが搬入及び搬出される出入口３を処理槽２上部に設け、溶剤Ｃの蒸気Ｃａを発生する蒸気発生槽４と、被洗浄物Ａを溶剤Ｃで洗浄処理する洗浄槽５（本洗浄槽）と、被洗浄物Ａを溶剤Ｃ＋Ｄで予備洗浄処理する予備洗浄槽６（プレリンス槽）と、被洗浄物Ａを溶剤Ｄで仕上げ洗浄処理する仕上げ洗浄槽７（リンス槽）とを処理槽２下部に配設し、溶剤Ｃを蒸気気化したＣａを凝縮液化された溶剤Ｄ中に含まれる水分を分離する水分離槽８を配設している。
【００１５】
上述の溶剤Ｃ，Ｄは、例えばベース溶剤（ハイドロフルオロエーテル＝ノベックTM  ＨＦＥ）と、グリコールエーテル系溶剤とを所定の割合に混合又は添加してなるフッ素系溶剤を主成分とする溶剤である。
【００１６】
一方の溶剤Ｃ（商品名ＮＦ）の特性は、沸点（初留点）＝略６５℃、比重（常温２５℃）＝１．１４、粘度（常温２５℃）＝１．５４ｃＰ、表面張力＝１８dyn/cmである。
【００１７】
他方の溶剤Ｄ（商品名ＮＦ−Ｒ）の特性は、沸点（初留点）＝略６１℃、比重（常温２５℃）＝１．５１、粘度（常温２５℃）＝０．５９ｃＰ、表面張力＝１５dyn/cmである。おな、その他の特性は略同一であるので説明を省略する。
【００１８】
前述の蒸気発生槽４には、上位側の洗浄槽５からオーバーフローする溶剤Ｃが所定量貯液され、その溶剤Ｃを、蒸発気化する所定温度（例えば略６５℃又は略６５℃以上の温度）に加熱するための加熱体４ａ（例えば加熱管や電熱ヒータ等）を槽底部に配設している。
【００１９】
且つ、被洗浄物Ａを、溶剤Ｃの蒸気Ｃａにより蒸気洗浄及び仕上げ乾燥する蒸気洗浄層１１を、上述の槽５，６，７と、後述する冷却ジャケット１２及び凝縮コイル１３との間に形成している。
【００２０】
前述の洗浄槽５には、後述する不純物分離装置１４により汚れ除去（油分等）された溶剤Ｃ＋Ｄを予備洗浄槽６に戻しオーバーフローして洗浄槽５に戻り溶剤Ｃとなり、被洗浄物Ａ全体が浸漬される深さ及び容量に貯液すると共に、洗浄槽５側の液面レベルを、蒸気発生槽４側の液面レベルよりも高位に設定して、洗浄槽５に貯液される余剰分の溶剤Ｃを、低位側の蒸気発生槽４にオーバーフローさせ、蒸気発生槽４の貯液レベルを一定に保つ。
【００２１】
且つ、洗浄槽５と後述する再生溶剤貯留槽１０とを返還路７ａで接続し、洗浄槽５と仕上げ洗浄槽７とを返還路５ａで接続して、洗浄槽５の溶剤を、槽４にて蒸発気化したＣａを冷却ジャケット１２、凝縮コイル１３にて凝縮して溶剤Ｄとなり、この溶剤Ｄを洗浄槽７にオーバーフローして、また仕上げ洗浄槽７から洗浄槽５にオーバーフローして、洗浄槽５に返還する。
【００２２】
前述の予備洗浄槽６には、後述する不純物分離装置１４により汚れ（油分等）除去処理された溶剤Ｃと溶剤Ｄとを混合してなる溶剤Ｃ＋Ｄを、被洗浄物Ａ全体が浸漬される深さ及び容量に貯液している。且つ、予備洗浄槽６側の液面レベルを、洗浄槽５側の液面レベルよりも高位に設定して、予備洗浄槽６の溶剤Ｃと溶剤Ｄの混合溶剤を、低位側の洗浄槽５にオーバーフローさせ、洗浄槽５の貯液レベルを一定に保つ。また、洗浄槽５に入った不純物を不純物分離装置１４により汚れ（油分等）除去処理した溶剤Ｃと溶剤Ｄとの混合溶剤を、洗浄槽６に戻す事により洗浄槽６の汚れ濃度（油分濃度等）は多少の汚れ持込が変化しても一定に保つ事が出来る。
【００２３】
前述の仕上げ洗浄槽７には、被洗浄物Ａの洗浄処理に適した溶剤Ｄを、被洗浄物Ａ全体が浸漬される深さ及び容量に貯液すると共に、仕上げ洗浄槽７側の液面レベルを、洗浄槽５と予備洗浄槽６側の液面レベルよりも高位に設定して、仕上げ洗浄槽７に貯液される余剰分の溶剤Ｄを、低位側の洗浄槽５にオーバーフローさせ、洗浄槽５の貯液レベルを一定に保つ。
【００２４】
且つ、仕上げ洗浄槽７と後述する再生溶剤貯留槽１０とを返還路７ａで接続すると共に、仕上げ洗浄槽７側の液面レベルを、再生溶剤貯留槽１０側の液面レベルよりも低位に設定して、再生溶剤貯留槽１０に貯液される溶剤Ｄを、返還路７ａを介して、低位側の仕上げ洗浄槽７に供給し、仕上げ洗浄槽７の貯液レベルを一定に保つ。
【００２５】
且つ、洗浄槽５に貯液された溶剤Ｃと、予備洗浄槽６に貯液された溶剤Ｃ＋Ｄと、仕上げ洗浄槽７に貯液された溶剤Ｄとに超音波振動を誘起するための超音波振動子９を、槽５，６，７底部に配設している。
【００２６】
前述の水分離槽８は、後述する凝縮コイル１３の略直下に配設され、その凝縮コイル１３により凝縮液化された溶剤Ｄ中に含まれる水分を比重分離する水分離溶剤貯留槽８ａと、水分が分離された再生溶剤Ｄを貯液する再生溶剤貯留槽８ｂとに分割形成している。且つ、水抜き路８ｃを、バルブ８ｄを介して、水分離溶剤貯留槽８ａの上部側壁に接続し、水分離溶剤貯留槽８ａの液面部分に浮上する比重の軽い水分を水抜き路８ｃから抜取る。
【００２７】
一方、再生溶剤Ｄを貯留するための再生溶剤貯留槽１０を、水分離槽８下部（又は側部）に形成すると共に、再生溶剤貯留槽１０側の液面レベルを、再生溶剤貯留槽８ｂ側の液面レベルよりも低位に設定して、再生溶剤貯留槽８ｂに貯液された溶剤Ｄを、低位側の再生溶剤貯留槽１０にオーバーフローさせて供給する。
【００２８】
つまり、蒸気洗浄層１１に放出された溶剤Ｃの蒸気Ｃａと、槽内部に侵入する大気中の水分とを凝縮コイル１３により凝縮液化して水分離溶剤貯留槽８ａに滴下し、凝縮液化された溶剤Ｄ中に含まれる水分を比重差により分離する。
【００２９】
且つ、水分離溶剤貯留槽８ａの液面部分に浮上する比重の軽い水分を、水抜き路８ｃを介して槽外に排出及び回収し、再生溶剤貯留槽８ｂに流入した比重の重い溶剤Ｄをオーバーフローさせて、再生溶剤貯留槽１０に一旦貯液した後、返還路７ａを介して、仕上げ洗浄槽７に返還する。なお、オーバーフローに代わる溶剤供給手段の他の例として、例えばポンプや吸引装置等の移送手段により供給することもできる。また水分離槽８、再生溶剤貯留槽１０を本体内蔵から外部に出して別置き槽として使用する事も出来る。
【００３０】
前述の冷却ジャケット１２及び凝縮コイル１３は、例えばチラーやブラインチラー等の冷凍装置に接続され、蒸気洗浄槽１１に放出された溶剤Ｃの蒸気Ｃａ及び槽内部に侵入する大気中の水分を凝縮液化する温度に冷却される。且つ、冷却ジャケット１２を、前述の出入口３と槽５，６，７との間の内壁面に配設し、凝縮コイル１３を、前述の水分離槽８の略真上に配設すると共に、被洗浄物Ａの搬入及び搬出、移動が妨げられないように配設している。
【００３１】
つまり、冷却ジャケット１２により凝縮液化した溶剤Ｄを槽５，６，７に滴下し、蒸発気化した溶剤Ｃの蒸気Ｃａが槽外に放出されるのを防止し、凝縮コイル１３により積極的に凝縮液化した水分を槽８に滴下して、その水分が溶剤Ｄ，Ｃに混入するのを防止する。
【００３２】
前述の不純物分離装置１４は、供給路１５の一端側を、ポンプ１６を介して、再生溶剤貯留槽１０底部に接続し、その供給路１５の他端側を２本に分岐すると共に、モーターバルブ１７と、逆止バルブ１８とを介して、２基の再生溶剤貯留槽１９（貯液タンク）を構成する再生溶剤貯留槽１９ａにそれぞれ接続している。
また、１基の再生溶剤貯留槽にてもよい。
【００３３】
実施例では、再生溶剤貯留槽１０に貯液された溶剤Ｄを２基の再生溶剤貯留槽１９に対して供給するが、例えば３基や４基以上の再生溶剤貯留槽１９に対して供給することもできる。また、１基の再生溶剤貯留槽にてもよい
【００３４】
上述の再生溶剤貯留槽１９は、再生溶剤貯留槽１０から供給される溶剤Ｄを貯液する再生溶剤貯留槽１９ａと、再生溶剤貯留槽１９ａからオーバーフローする余剰分の溶剤Ｄを貯液する余剰溶剤貯留槽１９ｂとに分割形成され、再生溶剤貯留槽１０と余剰溶剤貯留槽１９ｂとを返還路１９ｃで接続している。
【００３５】
つまり、再生溶剤貯留槽１９ａに貯液される余剰分の溶剤Ｄを余剰溶剤貯留槽１９ｂ側にオーバーフローさせ、その溶剤Ｄを、返還路１９ｃを介して、再生溶剤貯留槽１０に返還供給し、再生溶剤貯留槽１９ａに貯液される水分が分離された溶剤Ｄの貯液量を一定に保つ。また、溶剤Ｄを、例えばポンプやフィルター、バルブ等の移送手段により返還することもできる。
【００３６】
且つ、供給路２０の一端側を２本に分岐して、再生溶剤貯留槽１９ａにそれぞれ接続し、その供給路２０の他端側を、モーターバルブ２１と、流量調整バルブ２２と、流量計２３とを介して、後述する汚れ（油分等）分離器３４に接続している。また、２本に分岐しないで１９を1ヶにて使用してもよい。
【００３７】
一方、供給路２５の一端側を、ポンプ２６を介して、洗浄槽５に接続し、その供給路２５の他端側を２本に分岐すると共に、モーターバルブ２７と、逆止バルブ２８とを介して、２基の溶剤貯留槽２９（貯液タンク）を構成する溶剤貯留槽２９ａにそれぞれ接続している。また、１基の２９ａにて使用してもよい。
【００３８】
上述の溶剤貯留槽２９は、洗浄槽５から供給される溶剤Ｃを貯液する洗浄溶剤貯留槽２９ａと、洗浄溶剤貯留槽２９ａからオーバーフローする余剰分の溶剤Ｃを貯液する余剰溶剤貯留槽２９ｂとに分割形成され、洗浄槽５と余剰溶剤貯留槽２９ｂとを返還路２９ｃで接続している。
【００３９】
つまり、洗浄溶剤貯留槽２９ａに貯液される余剰分の溶剤Ｃを余剰溶剤貯留槽２９ｂ側にオーバーフローさせ、その溶剤Ｃを、返還路２９ｃを介して、洗浄槽５に返還供給し、再生溶剤貯留槽２９ａに貯液される汚れ（油分等）が溶解した溶剤Ｃの貯液量を一定に保つ。また、溶剤Ｃを、例えばポンプやフィルター、バルブ等の移送手段を介して接続することもできる。
【００４０】
且つ、供給路３０の一端側を２本に分岐して、再生溶剤貯留槽２９ａにそれぞれ接続し、その供給路３０の他端側を、モーターバルブ３１と、流量調整バルブ３２と、流量計３３とを介して、後述する汚れ（油分等）分離器３４に接続している。また、１基の２９ａにて使用してもよい。つまり、溶剤Ｃと溶剤Ｄとを混合してなる溶剤Ｃ＋Ｄを汚れ（油分等）分離器３４に一旦貯液し、溶剤Ｃ＋Ｄに含まれる汚れ（油分等）を比重差により分離する。且つ、排出路３４ａを、バルブ３４ｂを介して、汚れ（油分等）分離器３４の上部側壁に接続し、溶剤Ｃ（比重＝略１．１４）及び溶剤Ｄ（比重＝略１．５１）よりも比重が軽く、汚れ（油分等）分離器３４の液面部分に浮上する比重の軽い汚れ（油分等）（比重＝略０．８〜略０．９）を排出路３４ａから排出及び回収する。
【００４１】
且つ、汚れ（油分等）分離器３４と貯液タンク３５とを供給路３６で接続し、貯液タンク３５と残留汚れ（油分等）分離器３７とを、ポンプ３８を介して、供給路３９で接続している。
つまり、汚れ（油分等）分離器３４により油分が分離された溶剤Ｃ＋Ｄを貯液タンク３５に一旦貯液し、貯液タンク３５から供給される溶剤Ｃ＋Ｄを、残留汚れ（油分等）分離器３７内に収容したフィルター３７ｃで濾過して、溶剤Ｃ＋Ｄに含まれる残留汚れ（油分等）を分離除去する。
【００４２】
且つ、排出路３７ａを、バルブ３７ｂを介して、残留汚れ（油分等）分離器３７の上部側壁に接続し、残留汚れ（油分等）分離器３７に貯液される溶剤Ｃ＋Ｄよりも比重が軽く、残留汚れ（油分等）分離器３７の液面部分に浮上する残留汚れ（油分等）を排出路３７ａから排出及び回収する。
【００４３】
且つ、予備洗浄槽６と残留汚れ（油分等）分離器３７との間を返還路４０で接続して、汚れ（油分等）が分離された溶剤Ｃ＋Ｄを、予備洗浄槽６に返還して、予備洗浄槽６に貯液される溶剤Ｃ＋Ｄの洗浄能力を一定に保つ。
【００４４】
図示実施例は上記の如く構成するものにして、以下、洗浄装置１により溶剤Ｃ，Ｄ及び溶剤Ｃ＋Ｄの洗浄能力を一定に保つ方法を説明する。
【００４５】
先ず、図１に示すように、未洗浄の被洗浄物Ａを、出入口３から処理槽２内に搬入し、蒸気洗浄層１１に放出された蒸気Ｃａ中を通過させて、洗浄槽５に貯液された溶剤Ｃと、予備洗浄槽６に貯液された溶剤Ｃ＋Ｄと、仕上げ洗浄槽７に貯液された溶剤Ｄとに浸漬し、溶剤Ｃ，Ｄ及び溶剤Ｃ＋Ｄの洗浄能力と、超音波振動子９により誘起される溶剤Ｃ，Ｄ及び溶剤Ｃ＋Ｄの超音波振動とにより、被洗浄物Ａに付着する異物（例えば油分や塵埃）を洗浄除去した後、仕上げ洗浄済みの被洗浄物Ａを、蒸気洗浄槽１１に放出された蒸気Ｃａ中を通過させて蒸気洗浄を行い乾燥処理し、出入口３から処理槽２外部に搬出して、次工程に供給する。
【００４６】
一方、被洗浄物Ａの洗浄処理中（又は洗浄処理後）に於いて、蒸気洗浄槽１１に放出される溶剤Ｃの蒸気Ｃａを凝縮コイル１３により凝縮液化して水分離槽８に滴下し、溶剤Ｄ中に含まれる水分を比重差により分離し、水抜き路８ｃから槽外に排出すると共に、溶剤Ｄをオーバーフローさせて再生溶剤貯留槽１０に貯液し、返還路７ａを介して、仕上げ洗浄槽７に返還する。
【００４７】
同時に、再生溶剤貯留槽１０に貯液される溶剤Ｄを、不純物分離装置１４を構成する２基の再生溶剤貯留槽１９に対して交互に供給すると共に、一方の再生溶剤貯留槽１９に貯液される溶剤Ｄを、汚れ（油分等）分離器３４に供給するときに要する時間を利用して、再生溶剤貯留槽１０に貯液される溶剤Ｄを、他方の再生溶剤貯留槽１９に対して供給し、再生溶剤貯留槽１９に貯液される溶剤Ｄの貯液量及び汚れ（油分等）分離器３４に供給される溶剤Ｄの割合を一定に保つ。また、１基の再生溶剤貯留槽１９による間欠操作にて使用してもよい。
【００４８】
同様にして、洗浄槽５に貯液された溶剤Ｃを、２基の溶剤貯留槽２９に対して交互に供給すると共に、一方の回収溶剤貯留槽２９に貯液される溶剤Ｃを、汚れ（油分等）分離器３４に供給するときに要する時間を利用して、洗浄槽５に貯液される溶剤Ｃを、他方の溶剤貯留槽２９に対して供給し、溶剤貯留槽２９に貯液される溶剤Ｃの貯液量及び汚れ（油分等）分離器３４に供給される溶剤Ｃの割合を一定に保つ。また、１基の溶剤貯留槽２９による間欠操作にて使用してもよい。
【００４９】
次に、流量調整バルブ２２，３２を操作して、一方の再生溶剤貯留槽１９に貯液された溶剤Ｄと、溶剤貯留槽２９に貯液された溶剤Ｃとを混合する為、汚れ（油分等）分離器３４に供給し、その溶剤Ｃ，Ｄ中に含まれる比重の軽い汚れ（油分等）を比重差により分離し、排出路３４ａから排出及び回収する。
【００５０】
続いて、汚れ（油分等）が分離された溶剤Ｃ，Ｄを貯液タンク３５に一旦貯液し、貯液タンク３５から供給される溶剤Ｃ，Ｄを、残留汚れ（油分等）離器３７のフィルター３７ｃを通して、溶剤Ｃ，Ｄ中に含まれる残留汚れ（油分等）を分離除去する。同時に、溶剤Ｃ，Ｄ中に含まれる残留汚れ（油分等）を比重差により分離し、排出路３７ａから排出及び回収する。且つ、所定の洗浄能力に回復された溶剤Ｃ，Ｄを、予備洗浄槽６に返還供給して洗浄能力を一定に保つ。
【００５１】
以上のように、洗浄槽５に貯液される溶剤Ｃと、再生溶剤貯留槽１０に貯液される再生溶剤Ｄとを、溶剤Ｃ，Ｄ毎に独立して設けた不純物分離装置１４を構成する２基の（１基にて使用してもよい）再生溶剤貯留槽１９と、２基の（１基にて使用してもよい）溶剤貯留槽２９とに対して貯液し、再生溶剤貯留槽１９と溶剤貯留槽２９とに貯液された溶剤Ｃ，Ｄを混合して汚れ（油分等）分離器３４に供給するので、汚れ（油分等）分離器３４に供給される溶剤Ｃ＋Ｄの供給量が変動したりせず、油分や塵埃等の不純物を分離及び被洗浄物Ａを洗浄するのに適した状態を保つことができる。且つ、溶剤Ｃ，Ｄを一定の割合に混合してなる混合溶剤Ｃ＋Ｄの析出作用により、溶剤Ｃ，Ｄ中に溶け込んだ不純物の分離が促進されると共に、予備洗浄槽６に貯液される溶剤Ｃ＋Ｄの汚れ濃度（油分濃度等）及び洗浄力を一定に保つことができ、安定した洗浄効果が継続して得られる。
【００５２】
また、一方の再生溶剤貯留槽１９及び溶剤貯留槽２９に貯液された溶剤Ｃ，Ｄを汚れ（油分等）分離器３４に供給する時間を利用して、洗浄槽５に貯液される溶剤Ｃと、再生溶剤貯留槽１０に貯液される再生溶剤Ｄとを、他方の再生溶剤貯留槽１９及び回収溶剤貯留槽２９に貯液することもできるので、汚れ（油分等）分離器３４に供給される溶剤Ｃ，Ｄが不足したり、供給が中断したりせず、溶剤Ｃ，Ｄを略連続して供給することができ、不純物を分離する作業が効率よく行える。
【００５３】
さらに、流量調整バルブ２２，３２を操作して、再生溶剤貯留槽１９及び溶剤貯留槽２９から汚れ（油分等）分離器３４に供給される溶剤Ｃ，Ｄの供給量を調整すると共に、その溶剤Ｃの供給量を流量計２３，３３（又は検知センサー等）により確認するので、溶剤Ｃの種類や特性に応じて供給量を正確に設定することができる。
【００５４】
この発明の構成と、上述の実施例との対応において、
この発明の被洗浄物は、実施例の実装基板やハイブリッドＩＣ、電子部品、半導体、液晶パネル、自動車電装品、光学部品、精密部品等の被洗浄物Ａに対応し、
以下同様に、
洗浄槽は、洗浄槽５と、予備洗浄槽６と、仕上げ洗浄槽７とに対応し、
凝縮手段は、冷却ジャケット１２と、凝縮コイル１３とに対応し、
溶剤貯留槽は、再生溶剤貯留槽１９と、溶剤貯留槽２９とに対応し、
不純物分離手段は、不純物分離装置１４の汚れ（油分等）分離器３４と、貯液タンク３５と、残留汚れ（油分等）分離器３７とに対応し、
溶剤返還手段は、返還路４０に対応し、
溶剤供給手段は、供給路１５，２５と、ポンプ１６，２６と、モーターバルブ１７，２７と、逆止バルブ１８，２８に対応し、
供給量調整手段は、流量調整バルブ２２，３２と、流量計２３，３３とに対応するも、
この発明は、上述の実施例の構成のみに限定されるものではない。
【００５５】
上述の洗浄装置１の構成は、例えば１槽式や２槽式、３槽式以上の槽構成であっても、分離再生装置を適用することができ、実施例の３槽式の洗浄装置のみに限定されるものではない。また、上述の再生溶剤貯留槽、溶剤貯留槽は各１基にても使用してもよく、個数に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【図１】  洗浄装置による溶剤中の汚れ（油分等）分離再生方法を示す縦断側面図。
【図２】  従来例の洗浄装置による分離再生方法を示す縦断側面図。
【符号の説明】
Ａ…被洗浄物
Ｃ，Ｄ…溶剤
Ｃａ…蒸気
１…洗浄装置
２…処理槽
４…蒸気発生槽
５…洗浄槽
６…予備洗浄槽
７…仕上げ洗浄槽
８…水分離槽
９…超音波振動子
１０…再生溶剤貯留槽
１２…冷却ジャケット
１３…凝縮コイル
１４…不純物分離装置
１５，２５…供給路
１６，２６…ポンプ
１７，２７…モーターバルブ
１８，２８…逆止バルブ
１９…再生溶剤貯留槽
２９…溶剤貯留槽
２２，３２…流量調整バルブ
２３，３３…流量計
４０…返還路
【図１】
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【図２】
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