(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）水酸基および／またはカルボキシル基を有するラジカル重合体、（Ｂ）キノンジアジド基含有化合物および（Ｃ）溶剤を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物１から形成されたレジスト膜［Ｉ］と、
（Ｄ）フェノール性水酸基を有する重合体、（Ｅ）キノンジアジド基含有化合物および（Ｆ）溶剤を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物２から形成されたレジスト膜［II］とからなり、
該ポジ型感放射線性樹脂組成物１において、該ラジカル重合体（Ａ）が、水に不溶であり、アルカリ水溶液に可溶であり、さらに、該溶剤（Ｆ）に不溶または難溶であることを特徴とする２層積層膜。
【請求項２】
前記ポジ型感放射線性樹脂組成物２において、溶剤（Ｆ）が２−ヘプタノンであることを特徴とする請求項１に記載の２層積層膜。
【請求項３】
前記レジスト膜［Ｉ］の膜厚が０．１μｍ〜３μｍの範囲にあり、前記レジスト膜［II］の膜厚が１μｍ〜２０μｍの範囲にあることを特徴とする請求項１または２に記載の２層積層膜。
【請求項４】
（Ａ）水酸基および／またはカルボキシル基を有するラジカル重合体、（Ｂ）キノンジアジド基含有化合物および（Ｃ）溶剤を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物１から形成されたレジスト膜［Ｉ］と、
（Ｄ）フェノール性水酸基を有する重合体、（Ｅ）キノンジアジド基含有化合物および（Ｆ）溶剤を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物２から形成されたレジスト膜［II］とからなる２層積層膜を形成する工程を含み、
該ポジ型感放射線性樹脂組成物１において、該ラジカル重合体（Ａ）が、水に不溶であり、アルカリ水溶液に可溶であり、さらに、該溶剤（Ｆ）に不溶または難溶であることを特徴とするパターン形成方法。
【請求項５】
（ａ）基板表面に、前記ポジ型感放射性樹脂組成物１からレジスト膜［Ｉ］を形成した後、前記レジスト膜［Ｉ］上に、前記ポジ型感放射性樹脂組成物２からレジスト膜［II］を形成して、２層積層膜を形成する工程と、
（ｂ）前記積層膜を、ＵＶ光での露光および／または電子線での描画によってパターン露
光する工程と、
（ｃ）前記積層膜を現像することによって、底部が開口部と比較して大きなアンダーカット形状のレジストパターンを形成する工程と、
（ｄ）前記レジストパターンを形成している積層膜を有する基板上に有機薄膜または無機薄膜を蒸着および／またはスパッタする工程と、
（ｅ）前記積層膜上に堆積した蒸着膜および／またはスパッタ膜を前記積層膜ごと剥離する工程と
を備えることを特徴とする請求項４に記載のパターン形成方法。
【請求項６】
前記ポジ型感放射線性樹脂組成物２において、溶剤（Ｆ）が２−ヘプタノンであることを特徴とする請求項４または５に記載のパターン形成方法。
【請求項７】
前記レジスト膜［Ｉ］の膜厚が０．１μｍ〜３μｍの範囲にあり、前記レジスト膜［II］の膜厚が１μｍ〜２０μｍの範囲にあることを特徴とする請求項４〜６のいずれかに記載のパターン形成方法。
【請求項８】
前記工程（ａ）において、基板が磁気ヘッドスライダのＡＢＳ(Air Bearing Surface)面であり、
前記工程（ｄ）において、有機薄膜がＤＬＣ（Diamond Like Carbon）膜であることを特徴とする請求項５に記載のパターン形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の技術分野】
本発明は、精密微細加工する際にフォトリソグラフィー技術を用いるいわゆるフォトファブリケーションに関する。より詳しくは、本発明は、２層レジスト膜を用いたリフトオフ法に関する。
【０００２】
【発明の技術的背景】
レジストを加工物表面に塗布し、フォトリソグラフィー技術によりレジスト膜をパターニングしたのち、蒸着および／またはスパッタにより、有機物または無機物を堆積させ、レジスト膜上に堆積した有機薄膜または無機薄膜を、このレジスト膜ごと剥離することで、レジスト開口部に所望の有機薄膜パターンまたは無機薄膜パターンを得る方法を一般にリフトオフ法と呼ぶ。
【０００３】
このリフトオフ法においては、レジストパターンの形状は非常に重要となる。たとえば、レジストパターンの形状が図２（ｃ）に示すようなポジ型レジストに多くみられる順テーパー形状である場合には、レジストの剥離後に得られる薄膜パターンは、図２（ｄ）のようなエッジの部分にバリを有するものになってしまう。
【０００４】
具体的には、たとえば、ＭＲ磁気ヘッドのスライダー加工においては、ＡＢＳ（Air Bearing Surface）面に、パッドの保護膜であるＤＬＣ（Diamond Like Carbon）膜を形成する際にリフトオフ法が用いられている。しかしながら、前述したように、ＤＬＣ膜のエッジ部分にバリが生じる場合がある。この際に生じたＤＬＣ膜のバリは、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）の磁気記録ディスクに傷をつけたり、異物となったりして、ＨＤＤの故障の原因となるという問題があった。
【０００５】
このようなバリの形成を防ぐため、図３（ｃ）に示すように、開口底部が開口上部と比較して大きな、いわゆる逆テーパー形状のレジストパターンを形成しうるネガ型レジストやイメージリバーサルレジスト等を使用することが考えられる。
しかしながら、これらの方法では一般にレジストパターンの形状制御が困難である上、形成したレジストパターンを光学顕微鏡で確認することが困難であり、さらには硬化型であるためレジストの剥離が困難であるなどの問題があった。
【０００６】
また、基板となる加工物表面は、一般に複数の加工工程を経ているため、レジストの塗布膜厚に対して大きな凹凸を有している場合が多く、均一な膜厚のレジスト膜を形成することが難しいという問題があった。
たとえば、先に述べたＭＲ磁気ヘッドのＡＢＳ面の加工においては、row barと呼ばれる短冊状に切り出した多数の加工片を、そのＡＢＳ面を上にして、冶具に貼り付けた状態で加工しているが、このrow bar間には隙間が空いているため、液状のレジストを直接塗布することができず、ドライフィルム等のフィルム状レジストが一般に用いられている。
【０００７】
また、加工物の生産性向上の点からは、加工工程の流れを妨げず、一連の工程の一部として、加工物表面に容易にパターン形成できる技術が望まれていた。
本発明者らは、このような状況に鑑みて鋭意研究した結果、特定のポジ型感放射線性樹脂組成物１を用いて形成したレジスト膜［Ｉ］と、特定のポジ型感放射線性樹脂組成物２を用いて形成したレジスト膜［II］とからなる２層積層膜を用いたパターン形成方法により、アンダーカット形状のレジストパターンを、1回の露光および現像で得ることができ、これによって、バリのない製膜層を容易に形成することができることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００８】
【発明の目的】
本発明は、基板表面にバリのない製膜層を容易に形成することができるレジスト膜およびこれを用いたパターン形成方法を提供することを目的としている。
【０００９】
【発明の概要】
本発明に係る２層積層膜は、（Ａ）水酸基および／またはカルボキシル基を有するラジカル重合体、（Ｂ）キノンジアジド基含有化合物および（Ｃ）溶剤を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物１から形成されたレジスト膜［Ｉ］と、
（Ｄ）フェノール性水酸基を有する重合体、（Ｅ）キノンジアジド基含有化合物および（Ｆ）溶剤を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物２から形成されたレジスト膜［II］とからなることを特徴としている。
【００１０】
また、本発明に係るパターン形成方法は、（Ａ）水酸基および／またはカルボキシル基を有するラジカル重合体、（Ｂ）キノンジアジド基含有化合物および（Ｃ）溶剤を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物１から形成されたレジスト膜［Ｉ］と、
（Ｄ）フェノール性水酸基を有する重合体、（Ｅ）キノンジアジド基含有化合物および（Ｆ）溶剤を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物２から形成されたレジスト膜［II］とからなる２層積層膜を形成する工程を含むことを特徴としている。
【００１１】
本発明に係るパターン形成方法は、
（ａ）基板表面に、前記ポジ型感放射性樹脂組成物１からレジスト膜［Ｉ］を形成した後、前記レジスト膜［Ｉ］上に、前記ポジ型感放射性樹脂組成物２からレジスト膜［II］を形成して、２層積層膜を形成する工程と、
（ｂ）前記積層膜を、ＵＶ光での露光および／または電子線での描画によってパターン露光する工程と、
（ｃ）前記積層膜を現像することによって、底部が開口部と比較して大きなアンダーカット形状のレジストパターンを形成する工程と、
（ｄ）前記レジストパターンを形成している積層膜を有する基板上に有機薄膜または無機薄膜を蒸着および／またはスパッタする工程と、
（ｅ）前記積層膜上に堆積した蒸着膜および／またはスパッタ膜を前記積層膜ごと剥離する工程とを備えることが好ましい。
【００１２】
前記ポジ型感放射線性樹脂組成物１において、ラジカル重合体（Ａ）は、水に不溶であり、アルカリ水溶液に可溶であり、さらに、前記溶剤（Ｆ）に不溶または難溶であることが好ましい。
前記ポジ型感放射線性樹脂組成物２において、溶剤（Ｆ）は２−ヘプタノンであることが好ましい。
【００１３】
前記レジスト膜［Ｉ］の膜厚は、０．１μｍ〜３μｍの範囲にあり、前記レジスト膜［II］の膜厚は、１μｍ〜２０μｍの範囲にあることが好ましい。
本発明では、前記工程（ａ）において、基板は、磁気ヘッドスライダのＡＢＳ(Air Bearing Surface)面であり、前記工程（ｄ）において、有機薄膜は、ＤＬＣ（Diamond Like Carbon）膜であることが好ましい。
【００１４】
【発明の具体的説明】
以下、本発明について具体的に説明する。
本発明に係る２層積層膜は、（Ａ）水酸基および／またはカルボキシル基を有するラジカル重合体、（Ｂ）キノンジアジド基含有化合物および（Ｃ）溶剤を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物１から形成されたレジスト膜［Ｉ］と、
（Ｄ）フェノール性水酸基を有する重合体、（Ｅ）キノンジアジド基含有化合物および（Ｆ）溶剤を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物２から形成されたレジスト膜［II］とからなることを特徴としている。
【００１５】
まず、本発明に用いられるポジ型感放射線性樹脂組成物１および２について、具体的に説明する。
＜下層用ポジ型感放射線性樹脂組成物１（組成物１）＞
本発明に用いるポジ型感放射線性樹脂組成物１（以下、単に組成物１ともいう。）は、（Ａ）水酸基および／またはカルボキシル基を有するラジカル重合体、（Ｂ）キノンジアジド基含有化合物、および（Ｃ）溶剤からなり、必要に応じて、（Ｇ）その他の成分を含有する組成物であることが望ましい。
（（Ａ）水酸基および／またはカルボキシル基を有するラジカル重合体）
本発明に用いられる水酸基および／またはカルボキシル基を有するラジカル重合体（以下、「重合体（Ａ）という。」）は、水酸基を有するラジカル重合性化合物（モノマーI）および／またはカルボキシル基を有するラジカル重合性化合物（モノマーII）、その他のラジカル重合性化合物（モノマーIII）の炭素−炭素二重結合が開裂して得られる繰り返し単位から構成される。
【００１６】
（モノマーI）
水酸基を有するラジカル重合性化合物（モノマーI）は、アルコール性水酸基を有するモノマーと、フェノール性水酸基を有するモノマーとの二つに大別される。
アルコール性水酸基を有するモノマーとしては、具体的には、たとえば２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート等のヒドロキシアルキルエステル類；ギ酸ビニル、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル等の脂肪酸ビニル類で重合後加水分解することにより、アルコール性水酸基を生じるものなどが挙げられる。これらの化合物は、単独で、または２種以上組み合わせて使用できる。これらの中では、ヒドロキシアルキルエステル類が好ましく、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート等がより好ましい。
【００１７】
フェノール性水酸基を有するモノマーとしては、具体的には、たとえば、ｐ−ヒドロキシスチレン、ｍ−ヒドロキシスチレン、ｏ−ヒドロキシスチレン、α−メチル−ｐ−ヒドロキシスチレン、α−メチル−ｍ−ヒドロキシスチレン、α−メチル−ｏ−ヒドロキシスチレン、４−イソプロペニルフェノール、２−アリルフェノール、４−アリルフェノール、２−アリル−６−メチルフェノール、２−アリル−６−メトキシフェノール、４−アリル−２−メトキシフェノール、４−アリル−２，６−ジメトキシフェノール、４−アリルオキシ−２−ヒドロキシベンゾフェノン等が挙げられる。これらの化合物は、単独で、または２種以上組み合わせて使用できる。これらの中では、ｐ−ヒドロキシスチレン、４−イソプロペニルフェノールが好ましい。
【００１８】
（モノマーII）
カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物（モノマーII）としては、具体的には、たとえば、アクリル酸、メタクリル酸、およびクロトン酸などのモノカルボン酸；マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸などのジカルボン酸；２−マレイノロイルオキシエチルメタクリレート、２−サクシノロイルオキシエチルメタクリレート、２−ヘキサヒドロフタロイルエチルメタアクリレートなどのカルボキシル基を有する（メタ）アクリル酸誘導体などが挙げられる。
【００１９】
これらの化合物は、単独で、または２種以上組み合わせて使用できる。これらの中では、アクリル酸、メタクリル酸、２−ヘキサヒドロフタロイルエチルメタアクリレートが好ましい。
（モノマーIII）
他のラジカル重合性化合物（モノマーIII）は、主として重合体の機械的特性を適度にコントロールする、すなわち、重合体のガラス転移温度をコントロールする目的で使用する。ここで、「他の」とは、前出のラジカル重合性化合物（モノマーIおよびモノマーII）以外のラジカル重合性化合物を意味する。
【００２０】
前記モノマーIIIとしては、具体的には、たとえば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル類、（メタ）アクリル酸アリールエステル類、ジカルボン酸ジエステル類、芳香族ビニル類、共役ジオレフィン類、ニトリル基含有重合性化合物、塩素含有重合性化合物、アミド結合含有重合性化合物、脂肪酸ビニル類などが挙げられる。より具体的には、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレートなどの（メタ）アクリル酸アルキルエステル；
フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレートなどの（メタ）アクリル酸アリールエステル；
マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチルなどのジカルボン酸ジエステル；
スチレン、α−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ビニルトルエン、ｐ−メトキシスチレンなどの芳香族ビニル類；
１，３−ブタジエン、イソプレン、１，４−ジメチルブタジエンなどの共役ジオレフィン類；
アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのニトリル基含有重合性化合物；
塩化ビニル、塩化ビニリデンなどの塩素含有重合性化合物；
アクリルアミド、メタクリルアミドなどのアミド結合含有重合性化合物；
酢酸ビニルなどの脂肪酸ビニル類を用いることができる。
【００２１】
これらの化合物は単独で、または２種以上組み合わせて用いることができる。これらの中では、アクリル酸アルキルエステル、特にｎ−ブチルアクリレートなどを好ましい化合物として挙げることができる。
このように本発明に用いられる重合体（Ａ）は、前記モノマーIおよび／またはモノマーIIと、モノマーIIIとをラジカル重合することによって得られる共重合体であるが、より具体的には、前記モノマーIとモノマーIIとモノマーIIIとをラジカル重合することによって得られる共重合体であることが好ましい。
【００２２】
前記重合体（Ａ）における前記各モノマーI、モノマーII、モノマーIIIから誘導される構成単位含有量（以下、それぞれモノマーI、II、III単位含有量という）は、前記重合体（Ａ）が、前記モノマーIとモノマーIIとモノマーIIIとをラジカル重合することによって得られる共重合体である場合には、
モノマーI単位含有量が、好ましくは１９〜９０重量％、より好ましくは、４０〜８０重量％であり、
モノマーII単位含有量が、好ましくは１〜３０重量％、より好ましくは２〜２０重量％であり、
モノマーIII単位含有量が、好ましくは９〜８０重量％、より好ましくは１８〜５０重量％であることが望ましい。
【００２３】
また、前記重合体（Ａ）が、前記モノマーＩまたはモノマーIIと、モノマーIIIとをラジカル重合することによって得られる共重合体である場合には、
モノマーＩまたはモノマーII単位含有量が、好ましくは１０〜９０重量％、より好ましくは２０〜６０重量％であり、
モノマーIII単位含有量が、好ましくは１０〜９０重量％、より好ましくは４０〜８０重量％であることが望ましい。
【００２４】
重合体（Ａ）を合成する際に用いられる重合溶媒としては、たとえばメタノール、エタノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコールなどのアルコール類；テトラヒドロフラン、ジオキサンなどの環状エーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルなどの多価アルコールのアルキルエーテル類；エチレングリコールエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテートなどの多価アルコールのアルキルエーテルアセテート類；トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類；アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン、ジアセトンアルコールなどのケトン類；酢酸エチル、酢酸ブチル、２−ヒドロキシプロピオン酸エチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２−ヒドロキシ−３−メチルブタン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル類が挙げられる。これらのうち、環状エーテル類、多価アルコールのアルキルエーテル類、多価アルコールのアルキルエーテルアセテート類、ケトン類、エステル類などが好ましく挙げられる。
【００２５】
また、ラジカル重合における重合触媒としては、通常のラジカル重合開始剤が使用でき、たとえば、２，２′−アゾビスイソブチロニトリル、２，２′−アゾビス−（２，４−ジメチルバレロニトリル）、２，２′−アゾビス−（４−メトキシ−２，４−ジメチルバレロニトリル）などのアゾ化合物；ベンゾイルペルオキシド、ラウロイルペルオキシド、ｔ−ブチルペルオキシピバレート、１，１′−ビス−（ｔ−ブチルペルオキシ）シクロヘキサンなどの有機過酸化物および過酸化水素などを挙げることができる。なお、過酸化物をラジカル重合開始剤に使用する場合には、還元剤を組み合わせてレドックス型の開始剤としても良い。
【００２６】
また、前記重合体（Ａ）の分子量は、得られる感放射線性樹脂組成物１を用いて形成するレジスト膜［Ｉ］における現像性、密着性などの観点から、重量平均分子量（本明細書における重量平均分子量は、すべてＧＰＣ法によるポリスチレン換算値である。）が２０００〜１０００００であることが好ましく、５０００〜５００００の範囲にあることがより好ましい。重量平均分子量が２０００未満であると、現像時間が短すぎ、一方、１０００００を超えると現像時間が長すぎ、解像性が著しく低下することがある。
【００２７】
また、重合体（Ａ）は、現像性および望ましいアンダーカット構造のレジストパターンを形成する点から水に不溶であり、アルカリ水溶液に可溶であることが好ましい。さらに、レジスト膜［Ｉ］上に、レジスト膜［II］を積層する際に、これらの混合層の発生を防止する点から、後述する溶剤（Ｆ）に不溶または難溶であることが好ましい。
【００２８】
ここで、水に不溶とは、重合体（Ａ）が水に対して実質的に溶解しないことを意味するが、具体的には２５℃の水１００ｇに対して、０．１ｇ以下の量で溶解してもよい。
また、アルカリ水溶液に可溶であるとは、好適にアルカリ現像可能であることを意味するが、具体的にはアルカリ水溶液、たとえば、２５℃のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド２．３８重量％水溶液１００ｇに対して、重合体（Ａ）が、好ましくは５ｇ以上溶解することが望ましい。ここで、前記アルカリ水溶液を構成するアルカリ類は、特に限定されないが、現像液を構成するアルカリ類として後述するものが挙げられる。
【００２９】
さらに、溶剤（Ｆ）に不溶または難溶とは、後述する溶剤（Ｆ）に対して重合体（Ａ）が実質的に溶解しないこと、または溶解してもごく微量であることを意味するが、具体的には、後述する溶剤（Ｆ）、たとえば、２５℃の２−ヘプタノン１００ｇに対して、重合体（Ａ）が０．１ｇ以下の量で溶解してもよい。
（（Ｂ）キノンジアジド基含有化合物）
キノンジアジド基含有化合物は、感光剤として現像時に２層レジスト膜のアンダーカット部分の後退量Ｗを充分コントロールできるだけの現像時間マージンを確保するために用いられる。なお、ここで、アンダーカット部分の後退量Ｗとは、図１（ｄ）に示すように、底部が開口部と比較して大きいアンダーカット形状の領域のうち、下層２に由来する領域から上層３に由来する領域を引いた領域を意味する。
【００３０】
前記キノンジアジド基含有化合物としては、具体的には、たとえば
２，３，４−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，４，４'−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，４，６−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，３，６−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４−トリヒドロキシ−２'−メチルベンゾフェノン、２，３，４，４'−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，２'，４，４'−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，３'，４，４'，６−ペンタヒドロキシベンゾフェノン、２，２'，３，４，４'−ペンタヒドロキシベンゾフェノン、２，２'，３，４，５−ペンタヒドロキシベンゾフェノン、２，３'，４，４'，５'，６−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン、２，３，３'，４，４'，５'−ヘキサヒドロキシベンゾフェノンなどのポリヒドロキシベンゾフェノン類；ビス（２，４−ジヒドロキシフェニル）メタン、ビス（２，３，４−トリヒドロキシフェニル）メタン、２−（４−ヒドロキシフェニル）−２−（４'−ヒドロキシフェニル）プロパン、２−（２，４−ジヒドロキシフェニル）−２−（２'，４'−ジヒドロキシフェニル）プロパン、２−（２，３，４−トリヒドロキシフェニル）−２−（２'，３'，４'−トリヒドロキシフェニル）プロパンなどのビス［（ポリ）ヒドロキシフェニル］アルカン類；トリス（４−ヒドロキシフェニル）メタン、ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジメチルフェニル）−４−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（４−ヒドロキシ−２，５−ジメチルフェニル）−４−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジメチルフェニル）−２−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（４−ヒドロキシ−２，５−ジメチルフェニル）−２−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（４−ヒドロキシ−２，５−ジメチルフェニル）−３，４−ジヒドロキシフェニルメタン、ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジメチルフェニル）−３，４−ジヒドロキシフェニルメタンなどのトリス（ヒドロキシフェニル）メタン類またはそのメチル置換体；ビス（３−シクロヘキシル−４−ヒドロキシフェニル）−３−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（３−シクロヘキシル−４−ヒドロキシフェニル）−２−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（３−シクロヘキシル−４−ヒドロキシフェニル）−４−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（５−シクロヘキシル−４−ヒドロキシ−２−メチルフェニル）−２−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（５−シクロヘキシル−４−ヒドロキシ−２−メチルフェニル）−３−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（５−シクロヘキシル−４−ヒドロキシ−２−メチルフェニル）−４−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（３−シクロヘキシル−２−ヒドロキシフェニル）−３−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（５−シクロヘキシル−４−ヒドロキシ−３−メチルフェニル）−４−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（５−シクロヘキシル−４−ヒドロキシ−３−メチルフェニル）−３−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（５−シクロヘキシル−４−ヒドロキシ−３−メチルフェニル）−２−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（３−シクロヘキシル−２−ヒドロキシフェニル）−４−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（３−シクロヘキシル−２−ヒドロキシフェニル）−２−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（５−シクロヘキシル−２−ヒドロキシ−４��メチルフェニル）−２−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（５−シクロヘキシル−２−ヒドロキシ−４−メチルフェニル）−４−ヒドロキシフェニルメタンなどの、ビス（シクロヘキシルヒドロキシフェニル）ヒドロキシフェニルメタン類またはそのメチル置換体；４，４'−［１−［４−［１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル］フェニル］エチリデン］ジフェノール；７−ヒドロキシ−４−(４'−ヒドロキシフェニル)−２−メチル−２−(２'，４'−ジヒドロキシ)フェニルクマロン；ノボラック樹脂、ピロガロール−アセトン樹脂、ｐ−ヒドロキシスチレンのホモポリマーまたはこれと共重合しうるモノマーとの共重合体；フェノール、ｐ−メトキシフェノール、ジメチルフェノール、ヒドロキノン、ナフトール、ピロカテコール、ピロガロール、ピロガロールモノメチルエーテル、ピロガロール−１，３−ジメチルエーテル、没食子酸、アニリン、ｐ−アミノジフェニルアミン、４，４'−ジアミノベンゾフェノンなどの水酸基またはアミノ基を有する化合物；などと、
ナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルホン酸、ナフトキノン−１，２−ジアジド−４−スルホン酸、オルトアントラキノンジアジドスルホン酸などのキノンジアジド基含有スルホン酸またはナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルホニルクロリドとの完全エステル化合物、部分エステル化合物、アミド化物または部分アミド化物などを挙げることができる。
【００３１】
本発明で使用される下層用ポジ型感放射線性樹脂組成物１は、前記のキノンジアジド基含有化合物を単独で含有してもよいし、２種以上を含有してもよい。
これらのうちでは、４，４'−［１−［４−［１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル］フェニル］エチリデン］ジフェノール１モルと、ナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルホニルクロリド１．０モルとのエステル化反応生成物が好ましい。
【００３２】
また（Ｂ）キノンジアジド基含有化合物は、前記（Ａ）ラジカル重合体１００重量部に対して、５〜６０重量部、好ましくは１０〜５０重量部、より好ましくは１５〜３０重量部の範囲で配合することが望ましい。この配合量が５重量部未満では未露光部と露光部とのアルカリ溶解速度に差がつきにくく、６０重量部を超えると得られるレジスト膜［Ｉ］の基板に対する密着性が低下する場合がある。
（（Ｃ）溶剤）
組成物１に用いられる（Ｃ）溶剤としては、具体的には、たとえば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、２−ヒドロキシプロピオン酸エチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２−ヒドロキシ−３−メチルブタン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、酢酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル等を挙げることができる。さらに、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチルホルムアニリド、Ｎ−メチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、１−オクタノール、１−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート等の高沸点溶剤を添加することもできる。これらの溶剤は、単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。これらのうちでは、２−ヒドロキシプロピオン酸エチルが好ましい。
【００３３】
これらの溶剤は、得られる組成物１をスピンコート法にて5μｍ以下に塗布する点からは、組成物１の固形分濃度が５重量％〜５０重量％、より好ましくは１０重量％〜２５重量％になる範囲で使用することが望ましい。すなわち、前記重合体（Ａ）およびキノンジアジド基含有化合物（Ｂ）の合計１００重量部に対して、前記溶剤を１００〜１９００重量部、好ましくは３００〜９００重量部の量で使用することが望ましい。
（（Ｇ）その他の成分）
前記組成物１には、他の成分として、塗布性、消泡性、レベリング性などを向上させる目的で界面活性剤を配合することもできる。界面活性剤としては、たとえばＢＭ−１０００、ＢＭ−１１００（ＢＭ  ケミー社製）、メガファックＦ１４２Ｄ、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１８３（大日本インキ化学工業（株）製）、フロラードＦＣ−１３５、同ＦＣ−１７０Ｃ、同ＦＣ−４３０、同ＦＣ−４３１（住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−１１２、同Ｓ−１１３、同Ｓ−１３１、同Ｓ−１４１、同Ｓ−１４５（旭硝子（株）製）、ＳＨ−２８ＰＡ、同−１９０、同−１９３、ＳＺ−６０３２、ＳＦ−８４２８（東レシリコーン（株）製）、ＮＢＸ−１５（ネオス（株）製）などの名称で市販されているフッ素系界面活性剤、またノニオンＳ−６、ノニオン０−４、プロノン２０１、プロノン２０４（日本油脂（株）製）、エマルゲンＡ−６０、同Ａ−９０、同Ａ−５００（花王（株）製）などの名称で市販されているノニオン系界面活性剤を、１種または２種以上使用することができる。
【００３４】
これらの界面活性剤は、前記（Ａ）ラジカル重合体１００重量部に対して、好ましくは５重量部以下、より好ましくは０．０１〜２重量部の量で使用されることが望ましい。
＜上層用ポジ型感放射線性樹脂組成物２（組成物２）＞
本発明に用いられる上層用ポジ型感放射線性樹脂組成物２（以下、単に組成物２ともいう。）は、（Ｄ）フェノール性水酸基を有する重合体、（Ｅ）キノンジアジド基含有化合物、（Ｆ）溶剤からなり、必要に応じて（Ｈ）他の成分として、水酸基および／またはカルボキシル基を有するラジカル重合体や界面活性剤などの添加剤を含有する組成物であることが望ましい。
（（Ｄ）フェノール性水酸基を有する重合体）
フェノール性水酸基を有する重合体としては、以下に示すノボラック樹脂、ポリヒドロキシスチレンおよびその誘導体が挙げられる。これらは単独で使用することもできるが、混合して使用してもよい。
【００３５】
（ノボラック樹脂）
本発明において用いられるアルカリ可溶性ノボラック樹脂は、ｍ−クレゾールと他の１種以上のフェノール類とをアルデヒド化合物と縮合して得られる樹脂であって、ｍ−クレゾールの割合が全フェノール類中の４０〜９０モル％であるアルカリ可溶性ノボラック樹脂であれば特に制限されない。
【００３６】
ノボラック樹脂の原料に用いられる前記他のフェノール類としては、具体的には、たとえば、２，３−キシレノール、２，４−キシレノール、２，５−キシレノール、３，４−キシレノール、３，５−キシレノールおよび２，３，５−トリメチルフェノールなどを挙げることができる。これらは、単独でまたは２種以上組み合わせて用いることができる。
【００３７】
これらのうちでは、２，３−キシレノール、２，４−キシレノール、３，４−キシレノールおよび２，３，５−トリメチルフェノールを好ましく挙げることができる。
また、ｍ−クレゾールと他の１種以上のフェノール類との好ましい組み合わせとしては、ｍ−クレゾール／２，３−キシレノール、ｍ−クレゾール／２，４−キシレノール、ｍ−クレゾール／２，３−キシレノール／３，４−キシレノール、ｍ−クレゾール／２，３，５−トリメチルフェノールおよびｍ−クレゾール／２，３−キシレノール／２，３，５−トリメチルフェノールなどを挙げることができる。
【００３８】
また、縮合させるアルデヒド化合物としては、たとえばホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、ベンズアルデヒド、ｏ−ヒドロキシベンズアルデヒド、ｍ−ヒドロキシベンズアルデヒド、ｐ−ヒドロキシベンズアルデヒド、グリオキサール、グルタルアルデヒド、テレフタルアルデヒド、イソフタルアルデヒド等を挙げることができる。これらのうち、特に、ホルムアルデヒド、ｏ−ヒドロキシベンズアルデヒドを好適に用いることができる。
【００３９】
これらのアルデヒド類も単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。このようなアルデヒド化合物を、フェノール類１モルに対し、好ましくは０.４〜２モル、より好ましくは０.６〜１.５モルの量で使用することが望ましい。
フェノール類とアルデヒド化合物との縮合反応には、通常、酸性触媒が使用される。この酸性触媒としては、たとえば塩酸、硝酸、硫酸、ギ酸、シュウ酸、酢酸、メタンスルホン酸、ｐ−トルエンスルホン酸等を挙げることができる。このような酸性触媒は、通常、フェノール類１モルに対し、１×１０-5〜５×１０-1モルの量で使用することができる。
【００４０】
縮合反応においては、通常、反応媒質として水が使用されるが、反応初期から不均一系になる場合は、反応媒質としてたとえばメタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール類、テトラヒドロフラン、ジオキサン等の環状エーテル類、エチルメチルケトン、メチルイソブチルケトン、２−ヘプタノン等のケトン類を用いることができる。これらの反応媒質は、通常、反応原料１００重量部当り、２０〜１,０００重量部の量で使用される。
【００４１】
縮合反応の温度は、原料の反応性に応じて、適宜調整することができるが、通常１０〜２００℃である。
反応方法としては、フェノール類、アルデヒド化合物、酸性触媒等を一括して仕込む方法および酸性触媒の存在下にフェノール類、アルデヒド化合物等を反応の進行とともに加えていく方法等を適宜採用することができる。
【００４２】
縮合反応終了後は、系内に存在する未反応原料、酸性触媒、反応媒質等を除去するために、反応温度を１３０℃〜２３０℃に上昇させ、減圧下で揮発分を除去し、ノボラック樹脂を回収する方法や、得られたノボラック樹脂をエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メトキシプロピオン酸メチル、乳酸エチル、メチルイソブチルケトン、２−ヘプタノン、ジオキサン、メタノール、酢酸エチル等の良溶媒に溶解したのち、水、ｎ−ヘキサン、ｎ−ヘプタン等の貧溶媒を混合し、次いで、析出する樹脂溶液層を分離し、高分子量のノボラック樹脂を回収する方法もある。
【００４３】
また、前記ノボラック樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量（以下、「Ｍｗ」という。）は、組成物２を製膜する際の作業性、レジストとして使用する際の現像性、感度および耐熱性の点から、２,０００〜２０,０００であることが好ましく、３,０００〜１５,０００であることが特に好ましい。
（ポリヒドロキシスチレン）
本発明に用いることができるポリヒドロキシスチレン類としては、マルカリンカーＭ，マルカリンカーＣＭＭ、マルカリンカーＣＨＭ、マルカリンカーＭＢ、マルカリンカーＰＨＭ−Ｃ、マルカリンカーＣＳＴ、マルカリンカーＣＢＡ（丸善石油化学（株）製）などの名称で市販されている樹脂が挙げられる。
（（Ｅ）キノンジアジド基含有化合物）
（Ｅ）キノンジアジド基含有化合物としては、下層用ポジ型感放射線性樹脂組成物１（組成物１）で記述した（Ｂ）キノンジアジド基含有化合物と同様のものが使用できる。
【００４４】
（Ｅ）キノンジアジド基含有化合物として、好ましい組み合わせとしては、
４，４'−［１−［４−［１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル］フェニル］エチリデン］ジフェノール１モルとナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルホニルクロリド２．０モルとのエステル化反応生成物、
７−ヒドロキシ−４−(４'−ヒドロキシフェニル)−２−メチル−２−(２'、４'−ジヒドロキシ)フェニルクマロン1モルとナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルホニルクロリド２．０モルのエステル化反応生成物が挙げられる。
【００４５】
本発明で使用される上層用ポジ型感放射線性樹脂組成物２は、前記キノンジアジド基含有化合物を単独で含有してもよいし、２種以上を含有してもよい。
このキノンジアジド基含有化合物は、前記（Ｄ）フェノール性水酸基を有する重合体１００重量部に対して、５〜６０重量部、好ましくは１０〜５０重量部、より好ましくは１５〜３５重量部の範囲で配合することが望ましい。この配合量が５重量部未満では未露光部と露光部とのアルカリ溶解速度に差がつきにくく、６０重量部を超えると形成されるレジスト膜［II］の均質性が低下し、解像性が劣化する傾向がみられる。
（（Ｆ）溶剤）
溶剤としては、下層用ポジ型感放射線性樹脂組成物１（組成物１）で記述した（Ｃ）溶剤と同様のものに加えて２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、４−ヘプタノン、シクロヘキサノンが使用できる。
【００４６】
これらのうち、レジスト膜［Ｉ］上に、レジスト膜［II］を積層する時に双方の混合層の発生を防止する点からは、重合体（Ａ）が不溶または難溶である溶剤が好ましく、具体的には、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、４−ヘプタノン、シクロヘキサノンを使用することが好ましい。
これらの溶剤は、得られた組成物２をスピンコート法で5μｍ以下に塗布する点からは、組成物２の固形分濃度が好ましくは５重量％〜５０重量％、より好ましくは１０重量％〜４０重量％になる範囲で使用することが望ましい。すなわち、前記（Ｄ）フェノール性水酸基を有する重合体および（Ｅ）キノンジアジド基含有化合物の合計１００重量部に対して、前記溶剤を１００〜１９００重量部、好ましくは１５０〜９００重量部の量で使用することが望ましい。
（（Ｈ）その他の成分）
前記組成物２は、その他の成分として、以下のものを含有してもよい。
【００４７】
（水酸基および／またはカルボキシル基を有するラジカル重合体）
本重合体は、組成物２の必須成分ではないが、添加することで塗布性、クラック耐性を向上することができる。このような重合体として、具体的には、組成物１で記述した（Ａ）水酸基および／またはカルボキシル基を有するラジカル重合体と同様のものが使用できる。なお、該重合体を添加する場合には、溶剤（Ｆ）として、重合体（Ａ）を溶解しうるものを使用することは言うまでもない。
【００４８】
組成物２においては、前記重合体（Ａ）を、その他の成分（Ｈ）として、フェノール性水酸基を有する重合体（Ｄ）１００重量部に対して、５０重量部以下、好ましくは３０重量部以下の量で使用することができる。
（多核フェノール化合物）
本化合物は、組成物２の必須成分ではないが、添加することでアルカリ溶解性が向上し、レジストパターンの形状をコントロールすることができる。ここで多核フェノール化合物とは、独立に存在するベンゼン環を２個以上有し、かつ、該ベンゼン環の一部に水酸基が結合したフェノール性水酸基を１分子中に２個以上有する化合物を意味する。具体的には、たとえば、４，４'−［１−［４−［１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル］フェニル］エチリデン］ジフェノール、２，２−ビス（１，５−ジメチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオン酸メチルエステル、４，６−ビス〔１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル〕−１，３−ベンゼンジオールなどが挙げられる。
【００４９】
これらの多核フェノール化合物は、（Ｄ）フェノール性水酸基を有する重合体１００重量部に対して、１〜３０重量部、好ましくは５〜２０重量部の量で使用することが望ましい。
（界面活性剤）
界面活性剤としては、下層用ポジ型感放射線性樹脂組成物１（組成物１）で記述した界面活性剤と同様のものが使用できる。
【００５０】
このような界面活性剤は、前記（Ｄ）フェノール性水酸基を有する重合体１００重量部に対して、好ましくは５重量部以下、より好ましくは０．０１〜２重量部の量で使用されることが望ましい。
次に、本発明に係る２層積層膜およびこれを用いたパターン形成方法について説明する。
＜２層積層膜およびこれを用いたパターン形成方法＞
本発明に係る２層積層膜は、前記ポジ型感放射線性樹脂組成物１から形成されたレジスト膜［Ｉ］と、前記ポジ型感放射線性樹脂組成物２から形成されたレジスト膜［II］とからなり、
本発明に係るパターン形成方法は、前記２層積層膜を形成する工程を含むことを特徴としているため、該パターン形成方法とあわせて、本発明に係る２層積層膜について、以下に説明する。
【００５１】
すなわち、図１を参照して説明すると、本発明に係るパターン形成方法は、基板１表面に、ポジ型感放射線性樹脂組成物１（組成物１）からレジスト膜［Ｉ］（図１では下層２）を形成した後（ａ-1）、ポジ型感放射線性樹脂組成物２（組成物２）からなるレジスト膜［II］（図１では上層３）をその上に形成して（ａ-2）、２層積層膜を形成する工程（ａ）と、
前記積層膜をＵＶ光での露光および／または電子線での描画によってパターン露光する工程（ｂ）と、
前記積層膜を現像することにより底部が開口部と比較して大きなアンダーカット形状のレジストパターンを形成する工程（ｃ）と、
前記レジストパターンを形成している積層膜を有する基板上に有機あるいは無機薄膜４ａ，４ｂを蒸着および／またはスパッタする工程（ｄ）と、
前記積層膜上に堆積した蒸着および／またはスパッタ膜４ａを前記積層膜、すなわち下層２，上層３ごとリフトオフする工程（ｅ）とを具備している。
【００５２】
前記工程（ａ）において、本発明に係る２層積層膜が形成されるが、ここで、ポジ型感放射線性樹脂組成物１とポジ型感放射線性樹脂組成物２との組み合わせを選択することで、該２層積層膜の形成方法として、（１）両層をスピンコート法で形成する方法と、（２）下層（レジスト膜［Ｉ］）をラミネート法で、上層（レジスト膜［II］）をスピンコート法で形成する方法の双方を採用することが可能である。すなわち、レジスト膜［Ｉ］とレジスト膜［II］の形成方法としては、下層／上層を、スピンコート／スピンコート、ラミネート／スピンコートで形成する方法をそれぞれ採用することができる。
【００５３】
具体的には、たとえば、加工物（基板）表面の凹凸の程度が比較的小さい場合は、前者（１）の方法を選択することで、プロセスの簡略化が可能となる。このため、通常は前者の方法が好ましく採用される。
一方、加工物（基板）表面の凹凸の程度が比較的大きくスピンコートが困難な場合、または加工工程における加工物の状態により、液状のレジストを直接塗布できない場合には、後者（２）の方法を選択することで、均一な膜厚の積層膜を得ることができる。
【００５４】
なお、下層２の形成方法において、ラミネート法を選択する場合には、下層２が、加熱、加温下で、基板（加工物）表面にラミネートされるが、基板（加工物）の種類によって、加熱温度には上限がある。たとえば、基板が、ＭＲ磁気ヘッドスライダの場合、熱による素子破壊が懸念されるため１００℃を超える加熱工程は好ましくない。したがって、この場合には１００℃以下でのラミネートを可能にする点から、組成物１において下層２のガラス転移点をある程度低く設定することが好ましい。
【００５５】
このようにして得られた前記レジスト膜［Ｉ］（下層）の膜厚は、レジスト膜の膜厚制御と、蒸着および／またはスパッタ膜の寸法制御の点から、０．１〜３μｍであることが好ましく、０．３〜２μｍの範囲であることがより好ましい。下層の膜厚が０．１μｍ未満の場合には、膜厚制御が困難となり、ピンホールが発生する恐れがある。下層の膜厚が３μｍを超える場合には、蒸着および／またはスパッタの際にアンダーカット部での拡散が顕著となり、蒸着および／またはスパッタ膜パターンの寸法制御が困難となることがある。
【００５６】
また、得られた前記レジスト膜［II］（上層）の膜厚は、蒸着および／またはスパッタ工程での熱変形パターニング特性との点から、１〜２０μｍであることが好ましい。上層の膜厚が１μｍ未満の場合、蒸着および／またはスパッタ工程で上層表面が加熱されアンダーカット上部が熱ダレして垂れ下り、基板表面に触れる恐れがでてくる。上層の膜厚が２０μｍを超える場合には、パターニング時間が長くなり、蒸着および／またはスパッタ膜パターンの寸法制御が困難になることがある。
【００５７】
なお、前記工程（ａ）において、下層２と上層３とを製膜した際に、下層２と上層３との混合層が発生すると、現像後にアンダーカット部分の基板面に現像残渣が発生する不具合が生じ易くなる。その一方で、両層がまったく混合せず両層の間に界面が存在する場合には、現像時に現像液がこの界面にそって浸透し、下層２の水平方向の現像速度が速くなり、アンダーカットの水平方向のサイズをコントロールすることが困難となる。この混合層を防止する手段として水溶性有機物を中間層として使用する事も可能であるが、加工工程が増える上、中間層の膜厚変化により適正な現像時間がシフトし、結果としてレジストの開口寸法にばらつきがでてしまう等の不具合が発生しやすい。これらの理由から下層２と上層３に用いる材料は、適度なインターミキシングが進行する組み合わせであることが好ましい。
【００５８】
また、本発明に係る２層積層膜では、続く工程（ｃ）において、前記積層膜に、底部が開口部と比較して大きなアンダーカット形状のレジストパターンを形成する点から、レジスト膜［Ｉ］の方がレジスト膜［II］よりも、同一現像液に対する溶解速度、すなわち、アルカリ水溶液に対する溶解速度が速いことが好ましい。
【００５９】
さらに、引き続く工程（ｄ）、すなわち、レジストパターンを形成している積層膜を有する基板上に有機あるいは無機薄膜４ａ，４ｂを蒸着および／またはスパッタする工程（ｄ）においては、積層膜表面が加熱される。このとき上層３の耐熱性が充分でない場合および／または、アンダーカット部分の後退量Ｗが大きい場合には、熱だれして周辺部分が垂れ下がり、蒸着および／またはスパッタした有機薄膜あるいは無機薄膜４ｂにバリが発生する原因となる。
【００６０】
したがって、上層３に用いるポジ型感放射線性樹脂組成物２は、この工程（ｄ）に支障がでないような耐熱性を有することが好ましく、下層２および上層３は、現像時にアンダーカット部分の後退量Ｗを充分コントロールできるだけの現像時間に対するマージンを有する事が好ましい。
なお、アンダーカット部分の後退量Ｗとは、前述したように、図１（ｄ）に示すように底部が開口部と比較して大きいアンダーカット状の領域のうち、下層２に由来する領域から上層３に由来する領域を引いた領域を意味する。
【００６１】
このように本発明における組成物１と組成物２の組み合わせは、上記条件を満足する組み合わせであることが好ましい。
以下、図１に基づいて、本発明に係るパターン形成方法を各工程ごとにさらに具体的に説明する。
（工程（ａ））
まず図１（ａ-1）に示すように下層材である組成物１を用いて基板表面にレジスト膜［Ｉ］（図１では下層２）を形成する方法であるが、基板表面が比較的平坦な場合は、組成物１（固形分量：５〜５０重量％）を、スピンコート法によって、基板１に塗布し、塗布後、塗膜（下層２）を有する基板１を２００℃以下、より好ましくは７０〜１３０℃で乾燥することにより、下層２を形成することができる。
【００６２】
基板１表面に凹凸がある場合には、レジスト膜［Ｉ］の均一性を確保する目的でＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等の基材上にスピンコートした後、クリーンオーブン等でベークすることでフィルム化した後、ラミネーターを用いて基板１にラミネートすることで、下層２を形成することができる。なお、この際、ラミネートする条件は基板１の材質等に応じて調整する。
【００６３】
次いで、図１（ａ-2）に示すように上層材である組成物２を用いて、レジスト膜［Ｉ］上にレジスト膜［II］を形成する。形成方法としては、たとえば、組成物２をレジスト膜［Ｉ］（図１では下層２）上に、スピンコート法によって塗布した後、２００℃以下、より好ましくは７０〜１３０℃で乾燥してレジスト膜［II］（図１では上層３）を形成する方法が好ましく挙げられる。
【００６４】
なお、組成物２をＰＥＴ等の基材上にフィルム化した後、ラミネーターを用いてレジスト膜［Ｉ］（下層２）上にラミネートする方法で、レジスト膜［II］（図１では上層３）を形成してもよく、またＰＥＴ等の基材上に下層材、上層材の順にフィルム化した後、ラミネーターを用いて基板１にラミネートすることにより、下層２と上層３を一度に形成してもよい。
【００６５】
（工程（ｂ））
次いで、所定のマスクＭを介して、下層２および上層３からなる積層膜に、放射線を照射し、パターン露光を行う。これらの放射線の線源としては、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、アルゴンガスレーザーなどを用いることができる。ここで放射線とは、紫外線（ＵＶ光）、可視光線、遠紫外線、Ｘ線、電子線などを意味する。これらのうちでは、操作性の点からＵＶ光、電子線が好ましい。パターン露光の際には、前記放射線を、前記積層膜に、好ましくは１００〜１５００ｍＪ／ｃｍ2、より好ましくは３００〜１０００ｍＪ／ｃｍ2の露光量となるように照射することが望ましい。
【００６６】
（工程（ｃ））
露光後の積層膜を、アルカリ現像液を用いて、浸漬法、パドル法、シャワー法に従って現像処理することで、積層膜の露光部を選択的に溶解除去し、図１（ｃ）に示すような所望のレジストパターンを得ることができる。前記レジストパターンは、底部が開口部に比較して大きなアンダーカット形状となる。
【００６７】
ここで現像液としては、たとえば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ｎ−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５，４，０］−７−ウンデセン、１，５−ジアザビシクロ［４，３，０］−５−ノナンなどのアルカリ類の水溶液を使用することができる。
【００６８】
また、上記アルカリ類の水溶液にメタノール、エタノールなどの水溶性有機溶媒や界面活性剤を適当量添加した水溶液を現像液として使用することもできる。現像処理後の基板およびレジストパターンに対して、水などを用いてリンス処理を施し、さらに乾燥させる。
なお、上述したような工程以外に他の工程が付加されても何等差し支えない。たとえば、下層２の下地として平坦化工程、基板１あるいは下地と下層２との密着性向上のための前処理工程、下層２と上層３との混合をコントロールするための中間層形成、積層膜の現像前の濡れ性向上を目的としたプリウェット処理、現像後に実施するポストベーク工程等を適宜ほどこすことができる。
【００６９】
本発明で用いる組成物１およびこれからなるレジスト膜［Ｉ］、組成物２およびこれからなるレジスト膜［II］は、アルカリ溶解性が極めて良好であり、さらに、同一現像液に対して、レジスト膜［Ｉ］の溶解速度の方がレジスト膜［II］の溶解速度よりも速いため、高い再現性をもってアンダーカット形状のレジストパターンを形成することができる。
【００７０】
また、このアンダーカット構造のレジストパターンは、光学顕微鏡による観察で形状を確認することが可能であり、レジストの剥離が容易であるため、所望のアンダーカット形状が得られなかった場合には、レジストを剥離し、再度パターニングすることができる。
（工程（ｄ））
次に、得られたアンダーカット形状のレジストパターンを用いて、図１（ｄ）に示すように薄膜４ａおよび４ｂ（有機薄膜あるいは無機薄膜）を蒸着および／またはスパッタにより形成する。得られる有機薄膜あるいは無機薄膜の厚さに特に制限はないが、これらの形状をコントロールする点からは、無機薄膜あるいは有機薄膜の厚さは、下層２の膜厚よりも薄い方が好ましい。
【００７１】
また、蒸着および／またはスパッタ方法により、得られる薄膜の垂直方向に異方性が生じるため、薄膜４ｂの形状制御には、上層３のポジ型レジスト開口寸法と、下層２の膜厚の調整が重要となる。前記蒸着および／またはスパッタ方法としては、たとえば、真空蒸着、スパッタリングなどのＰＶＤ（物理的気相堆積）が挙げられる。
【００７２】
（工程（ｅ））
次に、前記工程（ｄ）で形成した薄膜４ａおよび４ｂのうち、積層膜上に形成した部分４ａを前記積層膜ごと剥離し、目的とする薄膜パターン４ｂを得る。
薄膜４ａおよび４ｂ形成後のレジストパターンの剥離には、ポジ型レジストの剥離に一般に用いられる溶剤がそのまま使用することができる。すなわち、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、アセトン、２−ヒドロキシプロピオン酸エチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２−ヒドロキシ−３−メチルブタン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、酢酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル等を挙げることができる。さらに、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチルホルムアニリド、Ｎ−メチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、１−オクタノール、１−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート等の高沸点溶剤を使用することもできる。
【００７３】
前記レジストパターンの剥離は、室温でも可能であるが、温度を上げることにより剥離性能を向上することができる。
また、剥離前にレジストパターンを有する基板を、ＵＶ光で全面露光して、上層と下層、または、上層に含有される感光剤を分解させ、剥離を容易にすることができる。この場合には、剥離液としてエチルアルコール、イソプロピルアルコールなどの腐食性がほとんどみられない溶剤、または上述した現像液中に、室温でディップするだけで剥離が可能である。
【００７４】
【発明の効果】
本発明によれば、１回の露光および現像により断面がアンダーカット形状をした微細レジストパターンを基板上に形成することができ、このレジストパターンを用いたリフトオフ法により、基板上に所望の薄膜（有機あるいは無機薄膜）パターンを形成することができる。
【００７５】
前記アンダーカット形状をした微細レジストパターンは、1回の露光および現像で得られること、光学顕微鏡で形状確認が可能なこと、剥離が容易であることなど、製造工程上の利点が多いため、本発明をその製造工程に用いることで、被加工物の生産性を向上することができる。
本発明にかかるパターン形成方法は、上記のような効果を有するため、特に、磁気ヘッドのＡＢＳ(Air Bearing Surface)におけるＤＬＣ（Diamond Like Carbon）膜の製膜工程に最適である。
【００７６】
【実施例】
以下、実施例に基づいて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。また、特にことわりの無い限り、部は重量部、％は重量％を示す。
【００７７】
【調製例】
組成物１および組成物２の調製
以下の（Ａ）〜（Ｈ）成分を用いて、組成物１（下層用組成物（1-1）〜（1-7））および組成物２（上層用組成物（2-1）〜（2-2））を調製した。
＜（Ａ）水酸基および／またはカルボキシル基を有するラジカル重合体＞
（ラジカル重合体Ａ−１の合成）：
ドライアイス／メタノール環流器と温度計の付いたフラスコを窒素置換した後、重合開始剤として２，２′−アゾビスイソブチロニトリル３．０ｇ、溶媒として２−ヒドロキシプロピオン酸エチルを１５０ｇ仕込み、重合開始剤が溶解するまで攪拌した。引き続いて、４−イソプロペニルフェノール（モノマーI）４３ｇ、ｎ−ブチルアクリレート（モノマーIII）３０．８ｇ、アクリル酸（モノマーII）２．９ｇ、２ーヒドロキシエチルアクリレート（モノマーI）２３．３ｇを仕込んだ後、ゆるやかに攪拌を始めた。その後、溶液の温度を７０℃に上昇させ、この温度で３時間重合を行った。次いで重合開始剤として２，２′−アゾビスイソブチロニトリル１．５ｇを添加し、さらに７０℃で３時間重合を継続した。その後、室温まで放冷し、フラスコ内を空気で置換した後、ｐ−メトキシフェノール１５０ｍｇを加えた。反応生成物を多量のメタノールに滴下して反応物を凝固させた。この凝固物を水洗後、凝固物と同重量のテトラヒドロフランに再溶解し、多量のメタノールで再度凝固させた。この再溶解−凝固操作を計３回行った後、得られた凝固物を４０℃で４８時間真空乾燥し、ラジカル重合体Ａ−１を得た。
【００７８】
（ラジカル重合体Ａ−２の合成）：
上記Ａ−１において、モノマーとして、４−イソプロペニルフェノール（モノマーI）４３．４３ｇ、ｎ−ブチルアクリレート（モノマーIII）２０．７５ｇ、アクリル酸（モノマーII）２．９２ｇ、２−ヒドロキシエチルアクリレート（モノマーI）３２．９ｇを仕込んだ以外は同一の手順で合成を実施し、ラジカル重合体Ａ−２を得た。
【００７９】
（ラジカル重合体Ａ−３の合成）：
上記Ａ−１において、モノマーとして、４−イソプロペニルフェノール（モノマーI）４７．２ｇ、ｎ−ブチルアクリレート（モノマーIII）３３．８０ｇ、アクリル酸（モノマーII）１９．０ｇを仕込んだ以外は同一の手順で合成を実施し、ラジカル重合体Ａ−３を得た。
【００８０】
（ラジカル重合体Ａ−４の合成）：
ドライアイス／メタノール環流器と温度計の付いたフラスコを窒素置換した後、重合開始剤として２，２′−アゾビスイソブチロニトリル３．０ｇ、溶媒として２−ヒドロキシプロピオン酸エチルを２２５ｇ仕込み、重合開始剤が溶解するまで攪拌した。引き続いて、２−ヒドロキシエチルメタクリレート（モノマーI）７５．０ｇ、ｎ−ブチルアクリレート（モノマーIII）６０．０ｇ、２−ヘキサヒドロフタロイルエチルメタアクリレート（モノマーII）１５．０ｇを仕込んだ後、ゆるやかに攪拌を始めた。その後、溶液の温度を８０℃に上昇させ、この温度で４時間重合を行った。その後、室温まで放冷し、フラスコ内を空気で置換した後、ｐ−メトキシフェノール１５０ｍｇを加えた。反応生成物を多量のメタノールに滴下して反応物を凝固させた。この凝固物を水洗後、凝固物と同重量のテトラヒドロフランに再溶解し、多量のメタノールで再度凝固させた。この再溶解−凝固操作を計３回行った後、得られた凝固物を４０℃で４８時間真空乾燥し、ラジカル重合体Ａ−４を得た。
【００８１】
(ラジカル重合体Ａ−５の合成)：
上記Ａ−４において、モノマーとして４−イソプロペニルフェノール（モノマーI）６０．０ｇ、ｎ−ブチルアクリレート（モノマーIII）６０．０ｇ、ｎ−ブチルメタアクリレート（モノマーIII）３０．０ｇを仕込んだ以外は同一の手順で合成を実施し、ラジカル重合体Ａ−５を得た。
【００８２】
(ラジカル重合体Ａ−６の合成)：
上記Ａ−４において、モノマーとして２−ヘキサヒドロフタロイルエチルメタアクリレート（モノマーII）６０．０ｇ、ｎ−ブチルアクリレート（モノマーIII）６０．０ｇ、ｎ−ブチルメタアクリレート（モノマーIII）３０．０ｇを仕込んだ以外は同一の手順で合成を実施し、ラジカル重合体Ａ−６を得た。
＜（Ｂ）キノンジアジド基含有化合物、（Ｅ）キノンジアジド基含有化合物＞
キノンジアジド基含有化合物として、それぞれ以下のものを用いた。
Ｂ−１：
４，４'−［１−［４−［１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル］フェニル］エチリデン］ジフェノール１モルと、ナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルホニルクロリド１．０モルとのエステル化反応生成物。
Ｅ−１：
４，４'−［１−［４−［１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル］フェニル］エチリデン］ジフェノール１モルとナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルホニルクロリド２．０モルとのエステル化反応生成物。
Ｅ−２：
７−ヒドロキシ−４−(４'−ヒドロキシフェニル)−２−メチル−２−(２'、４'−ジヒドロキシ)フェニルクマロン1モルとナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルホニルクロリド２．０モルのエステル化反応生成物。
＜（Ｃ）溶剤＞
溶剤として、以下のものを用いた。
【００８３】
ＥＬ：２−ヒドロキシプロピオン酸エチル
＜（Ｄ）フェノール性水酸基を有する重合体の合成＞
Ｄ−１：
ｍ−クレゾールと２，３−キシレノールと３，４−キシレノールを重量比８０：１０：１０の割合で混合し、これにホルマリンを加え、シュウ酸触媒を用いて常法により縮合してクレゾールノボラックを得た。この樹脂に対して分別処理を施し、低分子領域をカットして重量平均分子量１０、０００のノボラック樹脂Ｄ−１を得た。
Ｄ−２：
ｍ−クレゾールとｐ−クレゾールを重量比４０：６０の割合で混合し、これにホルマリンを加え、シュウ酸触媒を用いて常法により縮合してクレゾールノボラックを得た。この樹脂に対して分別処理を施し、低分子領域をカットして重量平均分子量１５０００のノボラック樹脂Ｄ−２を得た。
Ｄ−３：
ｍ−クレゾールと３，５−キシレノールを重量比８０：２０の割合で混合し、これにホルマリンを加え、シュウ酸触媒を用いて常法により縮合してクレゾールノボラックを得た。この樹脂に対して分別処理を施し、低分子領域をカットして重量平均分子量１５０００のノボラック樹脂Ｄ−３を得た。
＜（Ｆ）溶剤＞
溶剤として、以下のものを用いた。
【００８４】
ＭＡＫ：２−ヘプタノン
ＥＬ（２−ヒドロキシプロピオン酸エチル）とＥＥＰ（３−エトキシプロピオン酸エチル）との混合溶剤。
＜（Ｇ）界面活性剤、（Ｈ）界面活性剤＞
界面活性剤として、以下のものを用いた。
【００８５】
ＮＢＺ−１５（フッ素系界面活性剤；ネオス（株）製）
ＳＦ−８４２８（東レシリコーン（株）製）
＜（Ｈ）多核体フェノール化合物＞
多核体フェノール化合物として、以下のものを用いた。
多核体フェノール化合物１：４，４'−［１−［４−［１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル］フェニル］エチリデン］ジフェノール
＜組成物１（下層用組成物（1-1）〜（1-7））の調製＞
（組成物（1-1）の調製）
上記ラジカル重合体Ａ−１を１００部、キノンジアジド基含有化合物Ｂ−１を２０部、界面活性剤ＮＢＸ−１５（ネオス（株）製）０．２部、ＥＬを６８０部添加し溶解した後、孔径１μｍのメンブレンフィルターを用いてろ過し、組成物（1-1）を調製した。
【００８６】
（組成物（1-2）〜（1-7）の調製）
表１に示す材料を用いて組成物（1-1）と同様の手順で調製した。
＜組成物２（上層用組成物（2-1）〜（2-2））の調製＞
（組成物（2-1）の調製）
Ｄ−１を９０部、多核フェノール化合物１を１０部、キノンジアジド基含有化合物Ｅ−１を２０部、Ｅ−２を１０部、界面活性剤としてＮＢＸ−１５を０．２部、ＭＡＫ１８０部に均一に溶解した後、これを孔径３μｍのメンブレンフィルターを用いてろ過し、固形分３５％の組成物（2-1）を調製した。
【００８７】
（組成物（2-2）の調製）
Ｄ−２を２５部、Ｄ−３を７５部、それにマルカリンカーＰＨＭ−Ｃを５０部、Ａ−４を１０部、キノンジアジド基含有化合物Ｂ−１を３５部、界面活性剤としてＳＦ−８４２８を０．０５部、フェノール多核体化合物１５部をＥＬ１７９部とＥＥＰ１７９部の混合溶剤に溶解した後、これを孔径３μｍのメンブレンフィルターを用いてろ過し、固形分３８％の組成物（2-2）を調製した。
【００８８】
【実施例１】
＜基板表面への積層膜形成＞
スピンコート／スピンコート：
組成物（1-1）をシリコンウェハー上に滴下し、スピンコートした後、ホットプレートにて１００℃、１０分間ベークして、レジスト膜［Ｉ］（下層）を得た。次にこの上に組成物（2-1）を滴下しスピンコート、ホットプレートにて１００℃、５分間ベークすることでレジスト膜［II］（上層）を形成し、２層積層膜を得た。
【００８９】
＜塗布性と塗布膜厚の評価＞
下層製膜後と上層製膜後に、光学顕微鏡にて塗膜の表面状態を観察した。
以下の基準で評価し、評価結果を○、×で示した。結果を表３に示す。
塗布性  ○  ：塗布基板全面で、均一な塗膜が得られた。
×  ：剥がれやホールなどが見られ、塗布基板全面では均一な塗膜が得られなかった。
【００９０】
塗布性の良好な塗膜を有する基板について、下層と上層の膜厚を触針式の膜厚計にて測定した。上層の膜厚は２層膜の膜厚から下層の膜厚を引くことで求めた。結果を表３に示す。
＜露光、現像およびその評価＞
上記の要領で作製した塗布性良好な基板を、アルカリ現像し、パターニング評価を実施した。評価条件は以下の通り。
【００９１】
露光機：Karl Suss Aligner MA150
(ズース・マイクロテックス社製、コンタクトアライナー)
露光量：500mJ/cm2  （４２０ｎｍ付近）
露光様式：ハードコンタクト露光
現像：テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液中で、ディップすることにより行った。なお、現像時間は１０秒刻みで変えて行った。
【００９２】
リンス：超純水の流水にて１分間リンスし、エアーブローして乾燥した。
現像後、必要に応じて、光学顕微鏡と走査型電子顕微鏡にてパターン形状を確認した。評価パターンは直径２０μｍの丸ホールで隣接するホール間のスペースが４０μｍ（ピッチ６０μｍ）のものを使用した。
評価：以下の基準で評価し、○、×で示した。結果を表３に示す。
【００９３】
現像性  ○  ：  現像残りなく、アンダーカット形状が得られおり、現像時間２０秒以上でも隣接するホールのアンダーカットがつながっていない。
現像性  ×  ：  現像時間によらず、現像残りがある、および／または隣接するホールのアンダーカットがつながっている。
＜ＤＬＣ膜の製膜、および評価＞
上記パターニング基板のうち、現像性の良好なレジストパターンを有する基板をホットプレート上にて８０℃、１０分間、ポストベークし、ＤＬＣ膜の製膜および評価に使用した。
【００９４】
ＤＬＣ膜の製膜には、ＤＬＣ−１５０Ｓ（島津製作所（株）製）を用いた。
前処理として、スパッタリングにてパターニング基板表面を洗浄したのち、Ｓｉを約２０オングストローム蒸着した後、ＤＬＣ膜を、２５０〜３００オングストローム蒸着した。このときの真空度は５×１０-3Torrであった。
ＤＬＣ製膜後、このＤＬＣ膜を有する基板を１００℃に加温したＮ−メチルピロリドン中に約１０分間ディップしてレジストを剥離した。その後、アセトンで数回リンスし、風乾した。
【００９５】
レジスト膜の剥離性の評価：
レジスト膜の剥離状態を光学顕微鏡で観察し、以下の基準で評価した。結果を表３に示す。
剥離性  ○  ：剥離処理した後、基板表面に剥離残渣がない。
×  ：剥離処理した後、基板表面に剥離残渣がみられた。
【００９６】
ＤＬＣ膜の評価：
上記のようにして、得られたＤＬＣパターンの形状を、ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）にて確認し、以下の基準で評価した。結果を表３に示す。
○  ：基板全面でＤＬＣ表面にバリ／突起がなく、直径が２０〜２１μｍ程度。
【００９７】
△  ：基板全面でＤＬＣ表面にバリ／突起は無いが、直径が２２μｍ以上になる。
×  ：ＤＬＣ表面にバリ／突起がある。
＜アルミナ膜の製膜、および評価＞
上記パターニング基板のうち、現像性の良好なレジストパターンを有する基板をホットプレート上にて８０℃、１０分間、ポストベークし、アルミナ膜の製膜および評価に使用した。本アルミナ膜は、ＧＭＲ素子のギャップ絶縁膜に用いられている。
【００９８】
アルミナ膜の製膜には、MPS-GA-LTS（日本（株）製）を用いた。前処理として、スパッタリングにてパターニング基板表面を洗浄したのち、アルミナ膜を、１５００〜１６００オングストローム蒸着した。このときの真空度は５×１０-5Torr、基板温度は約７０℃に制御した。製膜速度は、約１００オングストローム／分であった。
【００９９】
アルミナ製膜後の剥離性とアルミナ膜の評価はＤＬＣ膜の場合とまったく同様に行った。結果を表３に示す。
【０１００】
【実施例２】
表１に示した組成物１（下層用組成物）と、表２に示した組成物２（上層用組成物）を用い、組成物１として組成物（1-1）に代えて組成物（1-2）を用いた他は、実施例１と同様にして行った。結果を表３に示す。
【０１０１】
【実施例３】
表１に示した組成物１（下層用組成物）と、表２に示した組成物２（上層用組成物）を用い、組成物１として組成物（1-1）に代えて組成物（1-3）を用いた他は、実施例１と同様にして行った。結果を表３に示す。
【０１０２】
【実施例４】
表１に示した組成物１（下層用組成物）と、表２に示した組成物２（上層用組成物）を用い、組成物１として組成物（1-1）に代えて組成物（1-4）を用いて、塗布膜厚を変更した他は、実施例１と同様にして行った。結果を表３に示す。
【０１０３】
【実施例５】
表１に示した組成物１（下層用組成物）と、表２に示した組成物２（上層用組成物）を用い、組成物１として組成物（1-1）に代えて組成物（1-4）を用いて、下層を以下のようにしてラミネートにより形成し、塗布膜厚を変更した他は、実施例１と同様にして行った。結果を表３に示す。
ラミネート／スピンコート：
組成物（1-4）をＰＥＴフィルム上に滴下し、スピンコートした後、オーブンにて１００℃、５分間ベークした。シリコンウェハー上にこのフィルムをラミネートしたのち、ＰＥＴフィルムを引き剥がすことで、レジスト膜［Ｉ］（下層）を得た。ラミネート条件は、以下の通りであった。
【０１０４】
搬送速度：０．１ｍ／ｍｉｎ．
ロール温度：９５℃
ロール圧：１．５ｋｇｆ／ｃｍ2
次に、得られた下層に組成物（2-1）を滴下、スピンコートした後、ホットプレートにて１００℃、５分間ベークすることでレジスト膜［II］（上層）を形成し、２層積層膜を得た。
【０１０５】
【実施例６】
表１に示した組成物１（下層用組成物）と、表２に示した組成物２（上層用組成物）を用い、組成物２として組成物（2-1）に代えて組成物（2-2）を用いた他は、実施例４と同様にして行った。結果を表３に示す。
【０１０６】
【実施例７】
表１に示した組成物１（下層用組成物）と、表２に示した組成物２（上層用組成物）を用い、組成物２として組成物（2-1）に代えて組成物（2-2）を用いた他は実施例５と同様にして行った。結果を表３に示す。
【０１０７】
【実施例８】
表１に示した組成物１（下層用組成物）と、表２に示した組成物２（上層用組成物）を用い、組成物１として組成物（1-4）に代えて組成物（1-5）を用いたのと、組成物２として組成物（2-1）に代えて組成物（2-2）を用いた他は、実施例５と同様にして行った。結果を表３に示す。
【０１０８】
【実施例９】
表１に示した組成物１（下層用組成物）と、表２に示した組成物２（上層用組成物）を用い、組成物１として組成物（1-4）に代えて組成物（1-6）を用いたのと、組成物２として組成物（2-1）に代えて組成物（2-2）を用いた他は、実施例５と同様にして行った。結果を表３に示す。
【０１０９】
【比較例１】
表１に示した組成物１（下層用組成物）と、表２に示した組成物２（上層用組成物）を用い、組成物１として組成物（1-4）に代えて組成物（1-7）を用いた他は実施例４と同様にして行った。結果を表３に示す。
【０１１０】
【比較例２】
表１に示した組成物１（下層用組成物）と、表２に示した組成物２（上層用組成物）を用い、組成物１として組成物（1-4）に代えて組成物（1-7）を用いた他は実施例５と同様にして行った。結果を表３に示す。
【０１１１】
【比較例３】
表１に示した組成物１（下層用組成物）と、表２に示した組成物２（上層用組成物）を用い、組成物１として組成物（1-4）に代えて組成物（1-7）を用いた他は実施例６と同様にして行った。結果を表３に示す。
【０１１２】
【比較例４】
表１に示した組成物１（下層用組成物）と、表２に示した組成物２（上層用組成物）を用い、組成物１として組成物（1-4）に代えて組成物（1-7）を用いた他は実施例７と同様にして行った。結果を表３に示す。
【０１１３】
【表１】
0004063053.tif 000002
【０１１４】
【表２】
0004063053.tif 000003
【０１１５】
【表３】
0004063053.tif 000004
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は、本発明に係るパターン形成方法の概略図である。
【図２】  図２は、従来のパターン形成方法の概略図である。
【図３】  図３は、従来のパターン形成方法の概略図である。
【符号の説明】
１  …  基板
２  …  下層
３  …  上層
４ａ  …  蒸着および／またはスパッタ膜
４ｂ  …  蒸着および／またはスパッタ膜
５  …  レジスト
６ａ  …  蒸着および／またはスパッタ膜
６ｂ  …  蒸着および／またはスパッタ膜
７  …  レジスト
８ａ  …  蒸着および／またはスパッタ膜
８ｂ  …  蒸着および／またはスパッタ膜
Ｍ  …  マスク
【図１】
0004063053.tif 000005
【図２】
0004063053.tif 000006
【図３】
0004063053.tif 000007