(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空室内に試料を搬入及び搬出する際に、試料を収容して搬送するために使用される試料搬送用容器であって、その壁面の一部に設けられた開口部に防塵用のフィルタが固定器具を用いて取り付けられた試料搬送用容器において、
前記開口部には、その内周面に沿って前記開口部を取り囲むようにＶ字型の溝が形成され、
前記固定器具は、前記溝に噛み合うＶ字型のエッジと、このエッジを前記溝に対して押し付ける板バネとで構成され、
前記フィルタの周縁部を前記溝と前記エッジの間に挟んで固定することによって、前記フィルタを前記開口部に取り付けるように構成されていることを特徴とする試料搬送用容器。
【請求項２】
前記固定器具は、押し付け力の方向が互いに直交する二つの板バネ製の部品によって構成され、
各部品は、互いに反対方向に向けられ、前記溝に噛み合うＶ字型の二つのエッジと、これらのエッジを互いに連結するブリッジ部とで構成されることを特徴とする請求項１に記載の試料搬送用容器。
【請求項３】
前記各部品は、板バネ材を用いて一体的に構成されていることを特徴とする請求項２に記載の試料搬送用容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置などにおいて、真空排気される処理室の中に試料を搬入及び搬出する際に、試料表面への異物の付着を防止する目的で、試料を収容して搬送するために使用される試料搬送用容器に係る。
【０００２】
【従来の技術】
図７に、特開平１０−２６１５６０号公報に記載されている試料搬送用容器の概要を示す。
【０００３】
この試料搬送用容器は、電子ビーム露光装置の描画室内にマスクを搬入及び搬出する際に使用されるものである。図中、２３はマスク、２４は試料搬送用容器、２９は底板（「蓋体」）、２８は容器本体、３０は開口部（「孔」）、３４はフィルタ、３２はネジを表わす。
【０００４】
マスク２３は、クリーンルーム内で試料搬送用容器２４の中に収容された後、その状態で電子ビーム露光装置の予備室の中に搬入される。次いで、予備室内を真空に排気した後、底板２９から容器本体２８を取り外し、底板２９の上にマスク２３を載せた状態で、マスク２３を電子ビーム露光装置の描画室の中に搬入する。露光が終了した後、底板２９の上にマスク２３を載せた状態で、マスク２３を予備室に戻し、底板２９の上に容器本体２８を再び取り付ける。次いで、予備室内に清浄な空気を導入して予備室内を大気圧に戻した後、予備室内から試料搬送用容器２４を取り出す。このように、露光が終了したマスクは試料搬送用容器２４に収容された状態で、次の工程へ送られる。
【０００５】
上記のような試料搬送用容器２４では、マスク２３を試料搬送用容器２４内に収容した状態のままで、試料搬送用容器２４の内部を真空に排気し、また、内部を大気圧に戻すことを可能にするため、試料搬送用容器２４の壁面に開口部３０を設け、そこにフィルタ３４を取り付けている。このフィルタ３４は、露光の終了後、予備室内を大気圧に戻す際に、試料搬送用容器２４内にダストが侵入することを防止するとともに、電子ビーム露光装置の外部においてマスク２３を搬送する際にも、試料搬送用容器２４内にダストが侵入することを防止する。
【０００６】
（従来の試料搬送用容器の問題点）
従来の試料搬送用容器では、図７に示されているように、フィルタ３４は、試料搬送用容器２４の容器本体２８の壁面にネジ３２を用いて取り付けられていた。このため、フィルタ３４を交換する際に、ネジ３２を取り外し次いで取り付ける必要があった。しかし、ネジの取り外し及び取り付けの工程は作業性が悪く、更に、クリーンルーム内でダストを発生させる要因となっていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上のような従来の試料搬送用容器の問題点に鑑み成されたもので、本発明の目的は、フィルタの脱着が容易で、且つ脱着の際に発塵のおそれが少ない試料搬送用容器を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の試料搬送用容器は、
真空室内に試料を搬入及び搬出する際に、試料を収容して搬送するために使用される試料搬送用容器において、
前記搬送用容器の壁面の一部に開口部を設け、この開口部に防塵用のフィルタを板バネの復原力を利用した固定器具を用いて取り付けたことを特徴とする。
【０００９】
本発明の試料搬送用容器によれば、当該搬送用容器に対するフィルタの固定を、板バネを利用して行っているので、フィルタの着脱が容易である。また、フィルタの固定をボルトを使用して行う従来の方法と比べて、発塵量を少なく抑えることができる。
【００１０】
好ましくは、前記開口部には、その内周面に沿って前記開口部を取り囲むようにＶ字型の溝が形成され、
前記固定器具は、前記溝に噛み合うＶ字型のエッジと、このエッジを前記溝に対して押し付ける板バネとで構成され、
前記フィルタの周縁部を前記溝と前記エッジの間に挟んで固定することによって、前記フィルタを前記開口部に取り付ける。
【００１１】
好ましくは、前記固定器具は、板バネによる押し付け力の方向が互いに直交する二つの部品によって構成され、
各部品は、互いに反対方向に向けられた板バネ製の二つのエッジと、これらのエッジを互いに連結する板バネ製のブリッジ部とで構成される。
【００１２】
好ましくは、前記各部品は、板バネ材を用いて一体的に構成される。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１に、本発明に基づく試料搬送用容器の概要を示す。図中、１は試料搬送用容器、２は開口部、３はフィルタ、５及び６は固定器具を表わす。
【００１４】
試料（図示せず）は、この試料搬送用容器１の中に収容された状態で、真空容器（例えば、半導体製造装置の予備室）の中に搬入され、また、その中から搬出される。試料を試料搬送用容器１内に収容した状態のままで、試料搬送用容器１の内部を真空に排気し、また、内部を大気圧に戻すことを可能にするために、試料搬送用容器１の壁面に開口部２が設けられ、そこにフィルタ３が取り付けられている。本発明に基づく試料搬送用容器では、以下に示すように、フィルタ３は、板バネの復原力を利用した二つの固定器具５及び６を用いて、開口部２に固定される。
【００１５】
図２に、フィルタ３が装着された状態の開口部２の部分拡大図を示す。図３に、開口部２の形状を、図４にフィルタ３の形状を、図５に第一の固定器具の形状を、図６に第二の固定器具の形状を、それぞれ示す。
【００１６】
図３に示すように、試料搬送用容器１の壁面には、長方形の開口部２が形成されている。この開口部２の入口側には、その内周面に沿って開口部を取り囲むようにＶ字型の溝１１ａ〜１１ｄが形成されている。即ち、開口部２の入口側（外壁面側）には、Ｖ字型の溝１１ａ〜１１ｄが形成され、このＶ字型の溝の一方の面は、開口部２の内周面から壁面に対して平行に伸び、もう一方の面は、外壁面から壁面に対して傾めの角度で壁面内に伸びている。
【００１７】
図４に示すように、フィルタ３は、上記の開口部２と比べて一回り大きい長方形の四辺に、それぞれ固定用の縁部が追加された形状を備えている。
【００１８】
第一の固定器具５は、図２に示すように、開口部の左右にあるＶ字型の溝１１ａ、１１ｂに噛み合うように構成されている。図５に示すように、第一の固定器具５は、二つのエッジ５ａ、５ｂ、及び両者を互いに連結する二つのブリッジ部５ｃ、５ｄから構成されている。第一の固定器具５は、ステンレス鋼製の板バネ材で一体的に構成されている。二つのエッジ５ａ、５ｂは、Ｖ字型の断面形状を備え、互いに反対方向（左右方向）に向けられている。ブリッジ部５ｃ、５ｄは、二つのエッジ５ａ、５ｂの間に架け渡されている。ブリッジ部５ｃ、５ｄの中央には、Ｕ字型の折曲げ部が形成されている。この折曲げ部を弾性変形させることによって、両端の二つのエッジ５ａ、５ｂの相互の間隔を縮め、開口部２の左右にあるＶ字溝１１ａ、１１ｂの中にこれらの二つのエッジ５ａ、５ｂを嵌め込む。
【００１９】
これに対して、第二の固定器具６は、図２に示すように、開口部の上下にあるＶ字型の溝１１ｃ、１１ｄに噛み合うように構成されている。図６に示すように、第二の固定器具６は、第一の固定器具５と同様に、二つのエッジ６ａ、６ｂ、及び両者を互いに連結する二つのブリッジ部６ｃ、６ｄから構成されている。第二の固定器具６も、ステンレス鋼製の板バネ材で一体的に構成されている。二つのエッジ６ａ、６ｂは、Ｖ字型の断面形状を備え、互いに反対方向（上下方向）に向けられている。ブリッジ部６ｃ、６ｄは、二つのエッジ６ａ、６ｂの間に架け渡されている。ブリッジ部６ｃ、６ｄの中央には、Ｕ字型の折曲げ部が形成されている。この折曲げ部を弾性変形させることによって、両端の二つのエッジ６ａ、６ｂの相互の間隔を縮め、開口部２の上下にあるＶ字溝１１ｃ、１１ｄの中にこれらの二つのエッジ６ａ、６ｂを嵌め込む。
【００２０】
図２に示すように、試料搬送用容器１の壁面の開口部２に、フィルタ３を嵌め込んだ後、フィルタ３の左右の縁部を、第一の固定器具５を用いて、左右のＶ字型の溝１１ａ、１１ｂの中に固定する。次いで、フィルタ３の上下の縁部を、第二の固定器具６を用いて、上下のＶ字型の溝１１ｃ、１１ｄの中に固定する。
【００２１】
上記のように、試料搬送用容器１の壁面の開口部２にフィルタ３を取り付ける際、Ｖ字型の溝１１ａ〜１１ｄとＶ字型のエッジ５ａ、５ｂ、６ａ、６ｂの間にフィルタ２の周縁部が挟まれる。このように、金属同士の接触がないので、発塵性が低く抑えられる。
【００２２】
なお、この例では、Ｖ字型の溝１１ａ〜１１ｄの角度αは４５度に設定され、Ｖ字型のエッジ５ａ、５ｂ、６ａ、６ｂの角度βは５０度に設定されている。このように、Ｖ字型のエッジの角度βを、Ｖ字型の溝の角度αよりも５度程度大きく設定することによって、フィルタ３の縁部におけるシール性を確保することができる。
【００２３】
【発明の効果】
本発明の試料搬送用容器によれば、搬送用容器に対するフィルタの固定を、板バネを利用した固定器具を用いて行っているので、フィルタの着脱が容易である。また、フィルタの固定をボルトを使用して行う従来の方法と比べて、発塵量を少なく抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の試料搬送用容器の概要を示す図。
【図２】フィルタが装着された状態の開口部の部分拡大図。
【図３】開口部の形状を示す図。
【図４】フィルタの形状を示す図。
【図５】第一の固定器具の形状を示す図。
【図６】第二の固定器具の形状を示す図。
【図７】従来の試料搬送用容器の一例を示す図。
【符号の説明】
１・・・試料搬送用容器、
２・・・開口部、
３・・・フィルタ、
５・・・第一の固定器具、
５ａ、５ｂ・・・Ｖ字型のエッジ、
５ｃ、５ｄ・・・ブリッジ部、
６・・・第二の固定器具、
６ａ、６ｂ・・・Ｖ字型のエッジ、
６ｃ、６ｄ・・・ブリッジ部、
１１ａ〜１１ｄ・・・Ｖ字型の溝、
２３・・・マスク、
２４・・・試料搬送用容器、
２８・・・容器本体、
２９・・・底板、
３０・・・開口部、
３２・・・ネジ、
３４・・・エアフィルタ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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