(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２個の層からなる複数層物質のそれぞれの前記層の厚さを測定する複数層物質の厚さ測定方法であって、
（ａ）  前記２種類の波長の放射線のそれぞれを前記複数層物質に照射するステップと、
（ｂ）  前記（ａ）にて前記２種類の波長の放射線が前記複数層物質にそれぞれ照射されたときの各散乱放射線強度を測定するステップと、
（ｃ）  前記（ｂ）にて測定された前記各散乱放射線強度について、前記２個の層のそれぞれの厚さを未知数とする方程式を立てるステップと、
（ｄ）  前記（ｃ）の結果としての前記２個の前記方程式の連立方程式の解として前記２個の層のそれぞれの厚さを求めるステップとを備え、
前記２種類の波長のうちの第１の前記波長の前記放射線は、前記２個の層のうちの第１の層に入射した後に、前記第１の層にて散乱した結果、前記複数層物質の外方に第１の検出放射線として出るとともに、前記第１の層に入射した前記第１の波長の前記放射線は、前記第１の層にて減衰した後に前記２個の層のうちの第２の層に入射し、前記第２の層にて散乱した前記第１の波長の前記放射線が前記第１の層で減衰して前記複数層物質の外方に第２の検出放射線として出て、前記第１の検出放射線と前記第２の検出放射線とが合わせて、第１の前記散乱放射線強度として測定され、
前記２種類の波長のうちの第２の前記波長の前記放射線は、前記第１の層に入射した後に、前記第１の層にて散乱した結果、前記複数層物質の外方に第３の検出放射線として出るとともに、前記第１の層に入射した前記第２の波長の前記放射線は、前記第１の層にて減衰した後に前記第２の層に入射し、前記第２の層にて散乱した前記第２の波長の前記放射線が前記第１の層で減衰して前記複数層物質の外方に第４の検出放射線として出て、前記第３の検出放射線と前記第４の検出放射線とが合わせて、第２の前記散乱放射線強度として測定され、
前記測定された前記第１の散乱放射線強度をＩ１とし、前記測定された前記第２の散乱放射線強度をＩ２とすると、
前記連立方程式は、
Ｉ１＝Ｘ１＋Ｙ１．
Ｉ２＝Ｘ２＋Ｙ２．
で表され、
前記第１の検出放射線に対応する前記Ｘ１は、前記第１の層の厚さの関数であり、
前記第３の検出放射線に対応する前記Ｘ２は、前記第１の層の厚さの関数であり、
前記第２の検出放射線に対応する前記Ｙ１は、前記第１および第２の層のそれぞれの厚さの関数であり、
前記第４の検出放射線に対応する前記Ｙ２は、前記第１および第２の層のそれぞれの厚さの関数であり、
前記第１の層の厚さをａとし、前記第２の層の厚さをｂとしたとき、
前記連立方程式は、
【数１】
0004088455.tif 000018
【数２】
0004088455.tif 000019
で表され、
前記Ａ、Ｂは、前記放射線の散乱し易さを示す定数であり、
前記μは、前記放射線の減衰係数である
複数層物質の厚さ測定方法。
【請求項２】
請求項１に記載の複数層物質の厚さ測定方法において、
前記放射線は、Ｘ線またはガンマ線である
複数層物質の厚さ測定方法。
【請求項３】
２個の層からなる複数層物質のそれぞれの前記層の厚さを測定する複数層物質の厚さ測定装置であって、
前記複数層物質に向けて前記２種類の波長の放射線のそれぞれを照射可能な放射線発生源と、
前記２種類の波長の放射線が前記複数層物質にそれぞれ照射されたときの各散乱放射線を検出する放射線検出器と、
前記検出された前記２種類の波長の放射線のそれぞれに対応する前記散乱放射線に基づいて、前記２個の層のそれぞれの厚さを未知数とする方程式を立て、前記２個の前記方程式の連立方程式の解として前記２個の層の厚さを演算により求める演算部とを備え、
前記２種類の波長のうちの第１の前記波長の前記放射線は、前記２個の層のうちの第１の層に入射した後に、前記第１の層にて散乱した結果、前記複数層物質の外方に第１の検出放射線として出るとともに、前記第１の層に入射した前記第１の波長の前記放射線は、前記第１の層にて減衰した後に前記２個の層のうちの第２の層に入射し、前記第２の層にて散乱した前記第１の波長の前記放射線が前記第１の層で減衰して前記複数層物質の外方に第２の検出放射線として出て、前記第１の検出放射線と前記第２の検出放射線とが合わせて、第１の前記散乱放射線強度として測定され、
前記２種類の波長のうちの第２の前記波長の前記放射線は、前記第１の層に入射した後に、前記第１の層にて散乱した結果、前記複数層物質の外方に第３の検出放射線として出るとともに、前記第１の層に入射した前記第２の波長の前記放射線は、前記第１の層にて減衰した後に前記第２の層に入射し、前記第２の層にて散乱した前記第２の波長の前記放射線が前記第１の層で減衰して前記複数層物質の外方に第４の検出放射線として出て、前記第３の検出放射線と前記第４の検出放射線とが合わせて、第２の前記散乱放射線強度として測定され、
前記測定された前記第１の散乱放射線強度をＩ１とし、前記測定された前記第２の散乱放射線強度をＩ２とすると、
前記連立方程式は、
Ｉ１＝Ｘ１＋Ｙ１．
Ｉ２＝Ｘ２＋Ｙ２．
で表され、
前記第１の検出放射線に対応する前記Ｘ１は、前記第１の層の厚さの関数であり、
前記第３の検出放射線に対応する前記Ｘ２は、前記第１の層の厚さの関数であり、
前記第２の検出放射線に対応する前記Ｙ１は、前記第１および第２の層のそれぞれの厚さの関数であり、
前記第４の検出放射線に対応する前記Ｙ２は、前記第１および第２の層のそれぞれの厚さの関数であり、
前記第１の層の厚さをａとし、前記第２の層の厚さをｂとしたとき、
前記連立方程式は、
【数３】
0004088455.tif 000020
【数４】
0004088455.tif 000021
で表され、
前記Ａ、Ｂは、前記放射線の散乱し易さを示す定数であり、
前記μは、前記放射線の減衰係数である
複数層物質の厚さ測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数層物質の厚さ測定方法および装置に関し、特に、複数層構造をもつ物質の厚さをそれぞれ測定する複数層物質の厚さ測定方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
鋼板等で作られた煙道においては、排ガスによる腐食等によって減肉すると、強度的な問題が生じる。そこで、煙道内に入ることなく外部から保温材などの障害物を介して板厚を検査し、問題個所を特定・補修する必要がある。かかる事情、つまり、外部から板厚を検査して問題個所を特定・補修する必要があることは、煙道の他に、石油やガスタンク、燃焼炉などの立ち入りが困難な構造物についても同様である。
【０００３】
従来の金属板厚さ測定法としては、超音波、渦電流を利用した測定法があるが、このような測定法では、金属板の表面にセンサを接近させて測定する必要がある。かかる従来の測定法で板厚測定をするためには、プラントを停止して煙道内に人が入って内側から測定するか、煙道の外側にある保温材を剥がして測定する必要がある。
【０００４】
また、放射線の透過を利用した測定法では、放射線発生源または、計測器を煙道内に持ち込む必要がある。このため、測定に時間がかかることや保温材の再施工が必要となる等の問題があった。
【０００５】
Ｘ線やガンマ線などの放射線を物質に照射し、散乱する放射線の強度が物質の厚さの関数で示されることを利用して、その物質の厚さを検出する技術が特開平１１−２８１３３９号公報に示されている。
【０００６】
Ｘ線やガンマ線などの波動性放射線を照射して、複数層構造をもつ物質の厚さを測定する従来の技術を、図１１および図１２に示す。鋼板の厚さｔＢを測定しようとすると、腐食層ｔAの影響を受けて散乱量が多くなる。測定対象物質が２層である場合、一方の厚さが既知であることが前提となる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
複数層構造をもつ物質の厚さを測定する場合、複数層のうちのいずれかの層の厚さが既知でなくても、各層の厚さを測定できることが望まれている。
【０００８】
本発明の目的は、複数層構造をもつ物質の厚さを測定する場合、複数層のうちのいずれかの層の厚さが既知でなくても、各層の厚さを測定可能な複数層物質の厚さ測定方法および装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
以下に、［発明の実施の形態］で使用する番号・符号を用いて、［課題を解決するための手段］を説明する。これらの番号・符号は、［特許請求の範囲］の記載と［発明の実施の形態］の記載との対応関係を明らかにするために付加されたものであるが、［特許請求の範囲］に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。
【００１０】
本発明の複数層物質の厚さ測定方法は、Ｎ（Ｎは２以上の整数）個の層（４０、５０）からなる複数層物質（４０、５０）のそれぞれの前記層（４０、５０）の厚さ（ａ、ｂ）を測定する複数層物質の厚さ測定方法であって、（ａ）  前記Ｎ種類の波長の放射線のそれぞれを前記複数層物質（４０、５０）に照射するステップと、（ｂ）  前記（ａ）にて前記Ｎ種類の波長の放射線が前記複数層物質（４０、５０）にそれぞれ照射されたときの各散乱放射線強度（Ｉ１、Ｉ２）を測定するステップと、（ｃ）  前記（ｂ）にて測定された前記各散乱放射線強度（Ｉ１、Ｉ２）について、前記Ｎ個の層（４０、５０）のそれぞれの厚さ（ａ、ｂ）を未知数とする方程式を立てるステップと、（ｄ）  前記（ｃ）の結果としての前記Ｎ個の前記方程式の連立方程式の解として前記Ｎ個の層（４０、５０）のそれぞれの厚さ（ａ、ｂ）を求めるステップとを備えている。
【００１１】
本発明の複数層物質の厚さ測定方法において、前記Ｎは２であり、前記２種類の波長のうちの第１の前記波長の前記放射線（１１）は、前記２個の層（４０、５０）のうちの第１の層（４０）に入射した後に、前記第１の層（４０）にて散乱した結果、前記複数層物質（４０、５０）の外方に第１の検出放射線として出るとともに、前記第１の層（４０）に入射した前記第１の波長の前記放射線（１１）は、前記第１の層（４０）にて減衰した後に前記２個の層（４０、５０）のうちの第２の層（５０）に入射し、前記第２の層（５０）にて散乱した前記第１の波長の前記放射線（１１）が前記第１の層（４０）で減衰して前記複数層物質（４０、５０）の外方に第２の検出放射線として出て、前記第１の検出放射線と前記第２の検出放射線とが合わせて、第１の前記散乱放射線強度（Ｉ１）として測定され、前記２種類の波長のうちの第２の前記波長の前記放射線（１１）は、前記第１の層（４０）に入射した後に、前記第１の層（４０）にて散乱した結果、前記複数層物質（４０、５０）の外方に第３の検出放射線として出るとともに、前記第１の層（４０）に入射した前記第２の波長の前記放射線（１１）は、前記第１の層（４０）にて減衰した後に前記第２の層（５０）に入射し、前記第２の層（５０）にて散乱した前記第２の波長の前記放射線（１１）が前記第１の層（４０）で減衰して前記複数層物質（４０、５０）の外方に第４の検出放射線として出て、前記第３の検出放射線と前記第４の検出放射線とが合わせて、第２の前記散乱放射線強度（Ｉ２）として測定され、前記測定された前記第１の散乱放射線強度（Ｉ１）をＩ１とし、前記測定された前記第２の散乱放射線強度（Ｉ２）をＩ２とすると、前記連立方程式は、
Ｉ１＝Ｘ１＋Ｙ１．
Ｉ２＝Ｘ２＋Ｙ２．
で表され、
前記第１の検出放射線に対応する前記Ｘ１は、前記第１の層（４０）の厚さ（ａ）の関数であり、前記第３の検出放射線に対応する前記Ｘ２は、前記第１の層（４０）の厚さ（ａ）の関数であり、前記第２の検出放射線に対応する前記Ｙ１は、前記第１および第２の層（４０、５０）のそれぞれの厚さ（ａ、ｂ）の関数であり、前記第４の検出放射線に対応する前記Ｙ２は、前記第１および第２の層（４０、５０）のそれぞれの厚さ（ａ、ｂ）の関数である。
【００１２】
本発明の複数層物質の厚さ測定方法において、前記第１の層（４０）の厚さをａとし、前記第２の層（５０）の厚さをｂとしたとき、
前記連立方程式は、
【数３】
0004088455.tif 000002
【数４】
0004088455.tif 000003
で表され、
前記Ａ、Ｂは、前記放射線の散乱し易さを示す定数であり、前記μは、前記放射線の減衰係数である。
【００１３】
本発明の複数層物質の厚さ測定方法において、前記放射線は、Ｘ線またはガンマ線である。
【００１４】
本発明の複数層物質の厚さ測定装置は、Ｎ（Ｎは２以上の整数）個の層（４０、５０）からなる複数層物質（４０、５０）のそれぞれの前記層（４０、５０）の厚さ（ａ、ｂ）を測定する複数層物質の厚さ測定装置であって、前記複数層物質（４０、５０）に向けて前記Ｎ種類の波長の放射線のそれぞれを照射可能な放射線発生源と、前記Ｎ種類の波長の放射線が前記複数層物質（４０、５０）にそれぞれ照射されたときの各散乱放射線（Ｉ１、Ｉ２）を検出する放射線検出器と、前記検出された前記Ｎ種類の波長の放射線のそれぞれに対応する前記散乱放射線（Ｉ１、Ｉ２）に基づいて、前記Ｎ個の層（４０、５０）の厚さ（ａ、ｂ）を演算により求める演算部とを備えている。
【００１５】
Ｎ種類の波長の放射線を照射したときの散乱放射線強度の違いは、その波長の違い自体によるものと、その照射対象の複数層物質の物性によるものがある。その両方を利用して、複数層物質の各層の厚さを検出する。
【００１６】
μは、物性定数（Ｘ線の減衰係数）であり、照射するＸ線の波長によって異なり、波長が大きいほど減衰し易い。
Ａ、Ｂは、Ｘ線の散乱のし易さを示す係数であり、Ｘ線が照射される対象物の種類によって異なる。また、Ａ、Ｂは、それぞれ照射するＸ線の波長によって異なり、波長が大きいほど散乱し難い。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明の複数層物質の厚さ測定方法の一実施形態を説明する。
【００１８】
本実施形態は、複数層構造をもつ物質の各層の厚さをそれぞれ測定する装置に関する。本実施形態では、例えば、外装板や保温材などの障害物が施された鋼板の腐蝕による減肉の検査などを実施することができる。
【００１９】
本実施形態では、照射する放射線の波長を多波長にして、波長毎に散乱放射線を測定して連立方程式を解いて各層の厚さを得る。波長の変更とは、例えばガンマ線の場合はガンマ線波長を変更するし、Ｘ線の場合はＸ線管電圧を変える。
【００２０】
図１に腐食を伴った鋼板に対するＸ線散乱モデルを示す。測定対象物の鋼板５０は腐食しており、腐食層４０が形成されている。図１では、腐食層４０と鋼板５０とからなる２層構造を分かり易くするために、腐食層４０と鋼板５０とを離して図示している。
【００２１】
Ｘ線１１が腐食した鋼板表面に入射すると腐食層４０の厚さaによって散乱（４２）しながら減衰（４５）し、さらに厚さbの鋼板５０に再入射する。ここで散乱したＸ線４７が腐食層４０で減衰（６０）して外部に出て、腐食層４０での散乱（４２）と混ざり合い検出される。
【００２２】
腐食層４０と鋼板５０の厚さをそれぞれａ，ｂとすると、測定される散乱線量は以下の２式の連立方程式で表せる。
【数５】
0004088455.tif 000004
【数６】
0004088455.tif 000005
ただし、
Ｉ１，Ｉ２：後述する実測値（散乱放射線強度）
Ａ，Ｂ，μ：物性や装置構成で決まる定数
【００２３】
式（１）と式（２）を説明すると、次の通りである。
第１項目は腐食層４０での散乱４２であり、第２項目は鋼板５０による散乱４７に腐食層４０での減衰６０をかけ合わせたものである。未知数であるａ、ｂはＸ線の管電圧を複数レベルに切り換えることで求めることができる。解法は最小２乗法によって集束計算することとした。
【００２４】
次に、図９および図１０を参照して、上記の式（１）と式（２）の導出過程を示す。
【００２５】
１．一枚の板からの散乱Ｘ線
図９に示すような測定系において、板に強度I0のＸ線が入射した場合の散乱Ｘ線強度Iは式(3.1)で表される。
【数７】
0004088455.tif 000006
【００２６】
式(3.1)は、強度Ｉ０の入射Ｘ線が、板中をＸだけ進む間にｅｘｐ（−μ１ｘ）減衰し，Ｘの点で散乱された後、更に散乱Ｘ線が板を抜けるまでにｅｘｐ（−μ２ｘｓｉｎθ１／ｃｏｓθ２）減衰し、立体角Ωの線量計により検出される過程を示したものである。入射Ｘ線として数百kVのＸ線を用いるので、Ｘ線と板材料との相互作用はコンプトン散乱が支配的である。
【００２７】
従って、散乱断面積ｄｅσ／ｄΩは以下の式で表される。
【数８】
0004088455.tif 000007
【００２８】
また，n，Ωは以下の式で示される。
【数９】
0004088455.tif 000008
【数１０】
0004088455.tif 000009
【００２９】
μ2は散乱X線に対する減衰定数である。散乱X線のエネルギーE2は式(3. 5)で計算される。
【数１１】
0004088455.tif 000010
【００３０】
板厚tが小さく，式(3.1)の積分範囲内でθ，Ωの変化が十分に小さいと仮定すると，式(3.1)の積分はexpに関する部分だけになる。積分を実行すると式(3.6)のようになる。
【数１２】
0004088455.tif 000011
【００３１】
図９の様に板に対してX線を垂直{θ1=90(deg)}に照射する場合、sinθ1=1となり、式(3.6)は式(3.7)となる。
【数１３】
0004088455.tif 000012
【００３２】
２．二枚板の場合
鉄板の表面に腐食層がある場合、図１０に示すように、板Ａ（腐食層）からの散乱X線▲１▼と板Ｂ（健全板）からの散乱X線▲２▼に分けて考える。
【００３３】
▲１▼板A（腐食層）からの散乱X線
上層の板Aから散乱するX線の散乱強度比は式(3.7)で表される。今、板Aと板Bを分けて考えるため、式(3.7)を式(4.1)の様に書き直す。
【数１４】
0004088455.tif 000013
【００３４】
▲２▼板B（健全板）からの散乱X線
板Bから散乱するX線は式(3.7)を、板Aによる入射X線の減衰と散乱X線の減衰を考慮して修正する必要がある。板Bからの散乱X線強度比は式(4.2)で表される。
【数１５】
0004088455.tif 000014
【００３５】
以上より、二枚板の場合の観測されるX線の散乱強度比は式(4.1)と式(4.2)を加えたものである。
【数１６】
0004088455.tif 000015
【００３６】
３．散乱X線からの板厚推測
式(4.1)〜式(4.3)より、
【数１７】
0004088455.tif 000016
とおくと，散乱X線強度比は式(5.1)となる。
【数１８】
0004088455.tif 000017
【００３７】
式(5.1)において、板A厚さtaと板B厚さtbの２変数が未知で、他の定数は既知の値である。従って，異なるエネルギーのＸ線を２種類以上照射し、得られる散乱X線強度比測定データをもとに式(5.1)に相当する方程式を２つ以上連立させることにより板厚ta及びtbを求める。
【００３８】
次に、本実施形態の性能評価試験について説明する。
【００３９】
１．１模擬試験
本研究で開発したプログラムについて，システム全体の板厚測定誤差を検討した。
検討条件は以下のとおりである。
(1)腐食錆厚さ  1.4ｍｍ
(2)健全な鋼板の厚さ  ６ｍｍ
(3)散乱計測値の指示誤差（測定器自身が有する測定誤差）
指示値は±0.4％で変動するものとし、重み付けとして図２の合計１５通りによるものと仮定する。図２において、「１」〜「３」の各数字は、起こり得る可能性が高いと思われる条件の組合せに対して、より大きな数が割り当てられ、起こり得る可能性が低いと思われる条件の組合せに対して、より小さな数が割り当てられている。
【００４０】
図３から図５に管電圧の組み合わせ別に求めた板厚演算結果を示す。ただし一部条件では現実的でない数値を示したので自動的に評価の対象外とした。
なお、図２から図６において、Ｘ線管電圧というパラメータは、そのＸ線の波長に換算できる物理量である。
【００４１】
図６に総合評価結果を示す。総合的な評価は、図３から図５に図２の頻度に従い重み付けして統計処理を行った。
【００４２】
図６に示した結果は、重み付けして統計処理し、１５回分のデータに対して評価した結果である。例えば１６０ｋVのX線源を用いた場合、１回の測定では±１ｍｍの誤差を含み、１５回の平均値では±0.3ｍｍである。
【００４３】
１．２実機腐食層に対する評価
図７に腐食鋼板の評価結果を示す。腐食鋼板は、裏面からの超音波計測で３．１ｍｍの厚さが測定されたものを使用した。図７において、Ｘ線管電圧組合せの「１１０−１６０」とは、１１０ｋＶのＸ線管電圧に相当する波長のＸ線を照射したときの散乱放射線強度（実測値）を上記式（１）のＩ１とし、１６０ｋＶのＸ線管電圧に相当する波長のＸ線を照射したときの散乱放射線強度（実測値）を上記式（２）のＩ２とし、それらの式（１）および（２）の連立方程式を解いて鋼板５０の厚さｂを求めることを示している。その「１１０−１６０」の組合せのときの鋼板５０の厚さｂは、２．９９３（ｍｍ）として求められた。そのときの超音波計測での実測値３．１（ｍｍ）との差は、−０．１０７（ｍｍ）である。
図７に示すように、その測定結果は２５０ｋVでの値が大き目に現われているが、ほぼ超音波測定の結果と一致している。
【００４４】
図８に実機腐食鋼板の評価結果を示す。図８の見方は、図７と同じである。その切断面の厚さをノギスにより計測した結果が４〜５ｍｍである腐食鋼板を使用した。本結果も２５０ｋVでの値が大き目に現われているが、ほぼノギス測定の結果と一致している。
【００４５】
本実施形態は、鋼板５０とその腐食層４０を例にとって説明したが、複数層構造の測定対象物であれば、何にでも適用可能である。
【００４６】
【発明の効果】
本発明の複数層物質の厚さ測定方法は、複数層構造をもつ物質の厚さを測定する場合、複数層のうちのいずれかの層の厚さが既知でなくても、各層の厚さを測定可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の複数層物質の厚さ測定方法の一実施形態において、Ｘ線が照射されたときの腐食層と鋼板の散乱モデルを示す図である。
【図２】図２は、本発明の複数層物質の厚さ測定方法の一実施形態において、線量計測における指示誤差の組合せ頻度（重み付け）を示すグラフである。
【図３】図３は、本発明の複数層物質の厚さ測定方法の一実施形態において、Ｘ線管電圧が１１０ｋＶと１６０ｋＶの組合せでの測定結果を示すグラフである。
【図４】図４は、本発明の複数層物質の厚さ測定方法の一実施形態において、Ｘ線管電圧が１１０ｋＶと２００ｋＶの組合せでの測定結果を示すグラフである。
【図５】図５は、本発明の複数層物質の厚さ測定方法の一実施形態において、Ｘ線管電圧が１１０ｋＶと２５０ｋＶの組合せでの測定結果を示すグラフである。
【図６】図６は、本発明の複数層物質の厚さ測定方法の一実施形態において、図３から図５の組合せでの総合的な評価結果を示すグラフである。
【図７】図７は、本発明の複数層物質の厚さ測定方法の一実施形態において、腐食鋼板による評価結果を示すグラフである。
【図８】図８は、本発明の複数層物質の厚さ測定方法の一実施形態において、実機腐食鋼板による評価結果を示すグラフである。
【図９】図９は、本発明の複数層物質の厚さ測定方法の一実施形態において用いた式の導出過程を説明するに際しての、一枚板からの散乱Ｘ線の測定方法の概略を示す図である。
【図１０】図１０は、本発明の複数層物質の厚さ測定方法の一実施形態において用いた式の導出過程を説明するに際しての、二枚板からの散乱Ｘ線の測定方法の概略を示す図である。
【図１１】図１１は、従来一般の複数層物質の厚さ測定装置の概略構成を示す図である。
【図１２】図１２は、従来一般の複数層物質の厚さ測定方法における散乱放射線強度と板厚との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１１  照射Ｘ線
４０  腐食層
４２  腐食層での散乱
４７  健全板（鋼板）での散乱
５０  鋼板
ａ  腐食層の厚さ
ｂ  鋼板の厚さ
ｔＡ  腐食層の厚さ
ｔＢ  鋼板の厚さ
【図１】
0004088455.tif 000022
【図２】
0004088455.tif 000023
【図３】
0004088455.tif 000024
【図４】
0004088455.tif 000025
【図５】
0004088455.tif 000026
【図６】
0004088455.tif 000027
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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