(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
担持体上に担持されたウエハーを、その担持体の周辺１カ所でハンドリングして取り扱い、直進によりマガジンへの収納位置から２つの位置規正ピンにウエハーを倣わせて位置規正を行う規正位置まで引き出すウエハー取り扱い手段を備えたウエハーの取り扱い装置において、
ウエハー取り扱い手段は、ウエハーを担持する担持体をハンドリングし一方向に直進可能で、かつ支持部を有し、ほぼＶ型のＶ型面を形成した押動子を設けたハンドラーと、このハンドラーを先端部に有し、かつ前記直進方向に対してウエハーを担持する担持体の面に平行でかつ直角方向に前記支持部が移動可能で、かつローラを設けたスライド台を有した腕部と、前記スライド台と前記ハンドラーとの間に設けられ、前記ハンドラーが担持体上に担持されたウエハーをハンドリングして規正位置に引き出し時、ウエハーを担持する担持体に傾きがあって規正位置にある前記一方の位置規正ピンにウエハーが片当たりした場合、ウエハーを担持する担持体の前記片当たり点を支点とし、片当たり点からハンドラーのウエハーハンドリング位置までを腕の長さとした引き出し力によるウエハーを担持する担持体へのモーメントを受けて他方の位置規正ピンに倣おうとするのを、前記ハンドラーの引き出し方向への移動に併せ、前記ハンドラーの支持部が前記腕部のスライド台により、片当たり点から離れる方向に前記ハンドラーの支持部の移動成分を吸収させて、かつウエハーを担持する担持体の面に平行で、引き出し方向である直進方向に対して直角方向に移動可能なよう前記スライド台のローラに前記ハンドラー側に設けた押動子のＶ型面を定位置から押しつけ、ローラにＶ型面の底部が対向する原点位置にハンドラー７が復動するように付勢して設けられた付勢手段と、前記腕部を一方向に移動可能に支持する移動台と、この移動台に支持された前記腕部をマガジンへの収納位置から規正位置迄の方向に往復駆動する駆動部とからなるウエハーの取り扱い装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハーの取り扱い装置に関し、例えば、個々の半導体チップにダイシングされた半導体ウエハーを取り扱って、半導体チップを回路基板に実装するのに用いられる。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハー取り扱い装置は、本発明の実施の形態を示す図１を参照して、担持体１上に担持されたウエハー２を、その担持体１の支持リング１aの１カ所でハンドリングして取り扱い、ボールねじ４などで直進駆動されてマガジン３への収納位置から位置規正ピン５がある規正位置まで引き出し、また引き出し位置からマガジン３内に押し戻して収納するウエハー取り扱い手段６を備え、このウエハー取り扱い手段６は前記ハンドリングのためにマガジン３の側に向いたハンドラー７を有している。このハンドラー７は担持体１を上下一対のチャック片８、８によってチャッキングする方式で前記ハンドリングを行う。
【０００３】
前記規正位置へ引き出したウエハー２の位置規正ピン５による位置決めによって、担持体１の支持リング１aがその内側に支持しているダイシングシート１b上の半導体ウエハー２がダイシングによって個々の半導体チップ２aとされているのを、予め規定された座標軸に従って位置認識されるように供給することができ、部品を回路基板に自動的に実装する部品実装装置などでの自動的な取り扱いに必要な位置精度を持って供せる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、近時、ウエハー２が４インチ、５インチ、６インチ、８インチ、３００ｍｍと大型化していくなかで、位置規正ピン５による位置決め不良や引き出し不能といった問題が発生しやすくなっている。本発明者等がこれにつき種々に実験をし検討を重ねたところ、ウエハー２が大型化するほど取り扱い時の負荷が増大するので、ハンドラー７のチャッキング力をウエハー２の大きさに対応して設定し取り扱い負荷に対応しているが、チャッキング力が強すぎると、ウエハー２が傾きをもって図９（ｂ）に破線で示すように位置規正ピン５に近づき、例えば図９（ｂ）に実線で示すように一方の位置規正ピン５にＶカット部１ｃが当接しても、ウエハー２はチャッキングされているハンドラー７に対して姿勢を自由に変えられず直線縁１ｃが他方の位置規正ピン５に当接しないままとなって、２つの位置規正ピン５に倣い切れないことがある。つまり、位置決め不良になることがある。
【０００５】
そこで、チャッキング力を低く設定すると、図１０に矢印で示す方向にハンドラー７が偏り、ウエハー２の偏った位置をハンドリングして引き出すことがあると、規正位置に到達するまでにウエハー２が取り扱い負荷の偏りによって傾き、図９（ｂ）に示すような２つの位置規正ピン５に対する片当たりを生じ、ウエハー２がハンドラー７に対して姿勢を変えて２つの位置規正ピン５に倣う前に、ハンドラー７がウエハー２から外れてしまい、位置決めし切れないことがある。また、図１１に示すようにハンドラー７に偏りがなくても、ウエハー２とマガジン３との間の遊びのためにウエハー２が傾いていると、これをハンドリングして引き出すのにウエハー２がマガジンに接触してこじれ、引き出し抵抗が増大することによってハンドラー７がウエハー２から外れ、引き出し不能になることがある。
【０００６】
本発明の目的は、ウエハーを確実に引き出し位置規正できるウエハーの取り扱い装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記のような目的を達成するため、本発明のウエハーの取り扱い装置は、担持体上に担持されたウエハーを、その担持体の周辺１カ所でハンドリングして取り扱い、直進によりマガジンへの収納位置から２つの位置規正ピンにウエハーを倣わせて位置規正を行う規正位置まで引き出すウエハー取り扱い手段を備えたウエハーの取り扱い装置において、ウエハー取り扱い手段は、ウエハーを担持する担持体をハンドリングし一方向に直進可能で、かつ支持部を有し、ほぼＶ型のＶ型面を形成した押動子を設けたハンドラーと、このハンドラーを先端部に有し、かつ前記直進方向に対してウエハーを担持する担持体の面に平行でかつ直角方向に前記支持部が移動可能で、かつローラを設けたスライド台を有した腕部と、前記スライド台と前記ハンドラーとの間に設けられ、前記ハンドラーが担持体上に担持されたウエハーをハンドリングして規正位置に引き出し時、ウエハーを担持する担持体に傾きがあって規正位置にある前記一方の位置規正ピンにウエハーが片当たりした場合、ウエハーを担持する担持体の前記片当たり点を支点とし、片当たり点からハンドラーのウエハーハンドリング位置までを腕の長さとした引き出し力によるウエハーを担持する担持体へのモーメントを受けて他方の位置規正ピンに倣おうとするのを、前記ハンドラーの引き出し方向への移動に併せ、前記ハンドラーの支持部が前記腕部のスライド台により、片当たり点から離れる方向に前記ハンドラーの支持部の移動成分を吸収させて、かつウエハーを担持する担持体の面に平行で、引き出し方向である直進方向に対して直角方向に移動可能なよう前記スライド台のローラに前記ハンドラー側に設けた押動子のＶ型面を定位置から押しつけ、ローラにＶ型面の底部が対向する原点位置にハンドラー７が復動するように付勢して設けられた付勢手段と、前記腕部を一方向に移動可能に支持する移動台と、この移動台に支持された前記腕部をマガジンへの収納位置から規正位置迄の方向に往復駆動する駆動部とからなる。
【０００８】
このような構成では、ハンドラーがウエハーをハンドリングして直進し規正位置まで引き出すのに、ウエハーに傾きがあって規正位置にある位置規正部材にウエハーが片当たりしたとき、ウエハーはその片当たり点を支点とし、片当たり点からハンドリング位置までを腕の長さとした、引き出し力によるモーメントを受けて位置規正部材に倣おうとするのを、ハンドラーは付勢手段の付勢に抗した前記直進方向に対する直角方向の成分をもつ原点位置からの移動によってウエハーとの僅かな相対移動量にて許容し、規正位置まで引き出すウエハーを位置規正部材に正しく倣わせられる。また、引き出し時にウエハーが傾きのためにマガジンに接触するようなとき、ウエハーにマガジンとの接触位置を支点とし、接触位置とハンドラーによるハンドリング位置との間を腕の長さとした、接触抵抗と引き出し力とによるモーメントが働くときも、ハンドラーは付勢手段の付勢に抗した前記直進方向に対する直角方向の成分をもつ原点位置からの移動を伴い、ウエハーの接触抵抗を回避する側への移動を僅かな相対移動にて許容するので、接触抵抗の増大やこじれ、これらによる担持体を含むウエハーの損傷を回避することもできる。
【０００９】
したがって、ウエハーとの相対移動が僅かになる分だけハンドラーのウエハーに対するハンドリング力を大きくできることも相まって、ウエハーを確実に引き出し、確実に位置決めできる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るウエハーの取り扱い装置について、図１〜図１１を参照しながら説明し、本発明の理解に供する。以下の説明は本発明の具体例であって、特許請求の範囲を限定するものではない。
【００１８】
本実施の形態は図６に示すような部品実装装置１１において、既述した図１に示す担持体１を含むウエハー２を取り扱ってダイシングされた半導体チップ２aを回路基板への実装のために供給する場合の一例である。担持体１は金属製のリング１aによってダイシングシート１ｂを保持し、ダイシングシート１ｂ上にウエハー２を担持している。ウエハー２は個々の半導体チップ２aにダイシング加工されており、ウエハー取り扱い手段６によって位置規正ピン５が位置する規正位置に引き出し位置決めした状態で、ダイシングシート１ｂをエキスパンドして個々の半導体チップ２aどうしの間隔を広げ、１つずつピックアップされやすくする。しかし、担持体１の構造やウエハー２の担持方式、位置規正方式、引き出し目的はこれに限られることはない。
【００１９】
図１に示すウエハー取り扱い装置は、担持体１上に担持されたウエハー２を、その担持体１の周辺１カ所でハンドリングして取り扱い、矢印１０で示すY方向の直進により少なくともマガジン３への収納位置から位置規正ピン５が位置する規正位置まで引き出すウエハー取り扱い手段６を備えている。このウエハー取り扱い手段６は前記YY方向に直交する腕１２を有し、この腕１２の基部がX方向の移動台１３に支持され、モータ１４で回転駆動されるボールねじ４によってY方向に往復駆動するようにしている。しかし、Y方向の支持方式、駆動方式もこれに限定されず、可能などのような方式を採用してもよい。
【００２０】
腕１２の先端部にウエハー２をハンドリングして取り扱うためのハンドラー７を有している。ハンドラー７は一例として上下一対のチャック片８、８を開閉駆動部１５を持ったものとし、チャック片８、８がマガジン３の側に向き、ウエハー２のリング１aを図３に仮想線で示すように進入させた状態で閉じられることによりチャッキング式にハンドリングする。ハンドラー７は特に、ユニットに構成しウエハー取り扱い手段６上で、本例では腕１２上で、前記直進方向、つまりY方向に対して直角な矢印１６で示すX方向成分をもって移動できる図２〜図５に示す例のような支持部１７を有し、図２に実線で示す原点位置へ復動させる付勢手段１８を働かせてある。開閉駆動部１５は電動式、電磁式、エアーやオイルなどの流体によるものなど種々なものを採用することができる。
【００２１】
図１〜図５に示す例の支持部１７は、図２〜図５に示すように腕１２にボルト２１によって取り付けるなどして設けたスライド台２２のガイド２３によってX方向に移動できるように支持されている。ガイド２３はスライド台２２にボルト２４によって取り付けられ摩耗すると交換できる。ガイド２３はハンドラー７をX方向に案内するためにハンドラー７側にボルト２６aにより取り付けたシュー２６と嵌まり合っている。
【００２２】
付勢手段１８は、スライド台２２に設けたボールベアリングなどよりなるローラ２７にハンドラー７側に設けた押動子２８の図２に示すようなほぼV型のＶ型面２８aをばね２９により定位置から押しつけ、ローラ２７にV型面２８aの底部が対向する図２に実線で示す原点位置にハンドラー７が復動するように付勢する。
【００２３】
このように設けられたハンドラー７がウエハー２をチャック方式にハンドリングして直進し規正位置まで引き出すのに、ウエハー２に傾きがあって規正位置にある位置規正ピン５、５にウエハー２が図９（ｃ）に示す１点鎖線で示すように近づき、仮想線で示すように従来同様にウエハー２の先行している右側がそれに対応する右側の位置規正ピン５に片当たりする。しかし、本例ではこのとき、ウエハー２が前記片当たり点、本例では右側の位置規正ピン５の位置を支点とし、片当たり点から、従って位置規正ピン５から矢印３１を施したハンドリング位置までを腕の長さとした、引き出し力による矢印３１方向へのモーメントを受けて左側の位置規正ピン５にも倣おうとするのを、ハンドラー７が引き出し方向への移動に併せ、図２に仮想線で示すように押動子２８をばね２９の付勢に抗してローラ２７によりＶ型面２８aを介し押し退けられながら原点位置からＸ方向に移動することによってＸ方向の移動成分を吸収する。これにより、ハンドラー７はウエハー２の矢印３１で示す動きを僅かな相対移動量によって許容して無理なく応動するので、比較的大きなハンドリング力に設定しても規正位置まで引き出すウエハー２を位置規正ピン５、５などの位置規正部材に図９（ｃ）に実線で示すように正しく倣わせ、図９（a)に示す最終的な位置決めができる。
【００２４】
また、引き出し時にウエハー２が傾きのためにマガジン３に図１１に示すように接触するようなとき、ウエハー２にマガジン３との接触位置を支点とし、接触位置とハンドラー７によるハンドリング位置との間を腕の長さとした、接触抵抗と引き出し力とによるモーメントが働くときも、ハンドラー７は付勢手段１８の付勢に抗した前記直進方向に対する直角方向の成分をもつ原点位置からの移動を伴い、ウエハー２の接触抵抗を回避する側への移動を僅かな相対移動にて許容するので、接触抵抗の増大やこじれ、これらによる担持体１を含むウエハー２の損傷を回避することもできる。
【００２５】
したがって、ハンドラー７とウエハー２との相対移動が僅かになる分だけハンドラー７のウエハー２に対するハンドリング力を大きくできることも相まって、ウエハー２を確実に引き出し、確実に位置決めできる。１つの例を示すと、担持体１を含む１２インチのウエハー２が６１６ｇ程度であるのに対し、ハンドリング力は２ｋｇｆ（４ｋｇ/ｃｍ2圧力時）程度に設定して好適であった。
【００２６】
位置決め後ハンドリングが解除されるとハンドラー７は、ウエハー２との関係を断たれてフリーになるので、押動子２８がばね２９によりＶ型面２８aのＸ方向に移動した側と反対の側の斜面だけでローラ２７に圧接して生じている反移動側への移動分力によって、Ｖ型面２８aの両側面がローラ２７に圧接する原点位置に自動的に復動し安定する。本例では、ハンドラー７はこの原点位置に対して左右両側に移動することができ、つまり、ハンドラー７の原点位置がその移動範囲のほぼ中央位置にあるため、ウエハー２の傾きが前記直進方向に対する左右のどちらであるかにより、マガジン３との接触や位置規正ピン５、５などの位置規正部材との片当たりが左右のどちらで生じるときにも同様に対応することができる。しかし、Ｘ方向の移動は左右の一方側だけ行うようにしても、移動できる方向に対応した側の傾きに対応することができ、トラブルが半減するし、マガジン３やウエハー取り扱い装置などの癖によって傾きが片側に決まっているような場合に有効である。
【００２７】
ここに、ハンドラー７のＸ方向の移動は本例の直線方向に限られることはなく、１つの軸まわりの回動などであっても対応することができる。
【００２８】
本例では、また、ハンドラー７が前記直進方向、つまりＹ方向にも移動できる支持部３２を有し、マガジン３側に復動するように付勢手段３３を働かせてある。支持部３２は前記シュー２６を持った第１スライダ３４にボルト３５によって取り付けたガイド３６と、このガイド３６に嵌まり合ってＹ方向に案内されるシュー３７をボルト３７aで取り付けて持った第２スライダ３８とを組み合わせ、この第２スライダ３８にハンドラー７を搭載してある。付勢手段３３は第１スライダ３４と第２スライダ３８の後部との間に圧縮ばね３９を働かせたものとしてある。圧縮ばね３９は第１スライダ３４側ではピン４１により、第２スライダ３８側では凹部４２によって保持している。第２スライダ３８は付勢手段３３の付勢によって第１スライダ３４のストッパー４３に当接させてマガジン３側への進出位置を規制し、これによって、ハンドラー７をウエハー取り扱い手段６上でのウエハー２に対するハンドリング位置に安定させる。
【００２９】
これにより、ウエハー取り扱い手段６がマガジン３内のウエハー２の引き出しのために近づいていったときに、ハンドラー７とウエハー２との高さが合わず万一突き当たっても、ウエハー取り扱い手段６のそれ以上の進出に対しハンドラー７は、ウエハー取り扱い手段６上で付勢手段３３に抗してマガジン３とは反対の側に後退し、担持体１を含むウエハー２とハンドラー７とが干渉し合って損傷するようなことを防止することができ、マガジン３の収納効率を高めるために、ウエハー２の厚みに対応した最小の収納ピッチに設定するような場合に特に有効である。
【００３０】
本例の支持部１７、３２、付勢手段１８、３３のそれぞれは１つの例を示すものであって、これらに限られることはなく、可能な種々な構造、方式を採用することができる。なお、図２に示すように第１スライダ３４には第２スライダ３８との間の相対移動を光学的、磁気的なセンサー３０などにより検知してハンドラー７の横移動量を計測し、過剰であるときは装置を停止するようにしている。また、第２スライダ３８の後退位置は第１スライダ３４上のストッパー４０によって規制するようにしてある。さらに、ハンドラー７にはそれがハンドリングしたウエハー２の有無を光学的、磁気的なセンサー２０などによって検出してウエハー２の有無に対応した動作制御を行えるようにしてある。
【００３１】
ここで、本例のウエハー取り扱い装置５０を採用した図６に示す部品実装装置１１につき説明すると、半導体チップ２aなどの部品を所定位置に供給する部品供給部５１、前記金属接合によって部品を実装する回路基板などの実装対象物を支持し加熱しながら部品実装位置に持ち運んで前記接合による部品実装に供する実装ステージ５２を含み、部品実装後の回路基板を他へ移す実装対象物取り扱い手段５３、所定位置に供給される半導体チップ２aを２つの実装ヘッド５５、５６のボイスコイルモータに連結した部品保持ツールの１例としての吸着ノズル５４にてピックアップして取り扱い部品実装位置に位置決めされている回路基板に双方の金属接合部どうしが対向するように位置合わせして実装に供する部品取り扱い手段５７、吸着ノズル５４を通じてこれが保持している部品に前記金属接合のための超音波振動を与えるホーンを利用した超音波振動手段５８、部品実装装置１１の動作を制御する制御手段５９を備えている。
【００３２】
これにより、部品供給部５１が所定位置に供給する半導体チップ２aを、部品取り扱い手段５７がそれの実装ヘッド５５、５６に有した吸着ノズル５４によってピックアップして持ち運び、実装対象物取り扱い手段５３の実装ステージ５２によって加熱状態で支持して実装位置に供給し位置決めしている回路基板との金属接合部どうしを対向させ、超音波振動手段５８および実装ヘッド５５、５６の吸着ノズル５４によって金属接合部どうしを摩擦接合させて半導体チップ２aを回路基板に自動的に実装することを高速に繰り返し行なうことができる。
【００３３】
部品供給部５１は前記ウエハー取り扱い装置５０を有し、ウエハー２を収容したマガジン３を載置して昇降させるリフタ６１を部品供給源とし、このリフタ６１によって所定高さに位置決めされた収納段につき、ウエハー取り扱い手段６のハンドラー７によってウエハー２をハンドリングしてエキスパンド台６２にある前記位置規正ピン５、５による規制位置まで引き出し位置決めし、部品供給後、残りのウエハー２ないし空の担持体１をマガジン３内に押し戻すことを繰り返す。
【００３４】
エキスパンド台６２は前記引き出してくるウエハー２を受け入れて位置決めする位置決め位置と半導体チップ２aを供給するために部品のピックアップに供するピックアップ位置との間でＸ方向に移動でき、ピックアップ位置では受け入れたウエハー２のダイシングシート１ｂをエキスパンドするとともに、単独で、あるいは半導体チップ２aを吸着ノズル６３などでピックアップして下向きを上向きに反転して所定の部品供給位置に持ち運ぶピックアップ手段６４とにより、互いが直交するＸＹ２方向に相対移動するようにして、どの位置の半導体チップ２aをもピックアップに供せるようにする。このとき、ウエハー２がエキスパンド台６２上で正確に位置決めされていることにより、部品実装装置１１において予め設定されているピックアップ位置を原点とした座標軸から必要な半導体チップ２aの位置を指定して間違いなく、また位置に偏りなく確実にピックアップされるようにすることができる。なお、このピックアップ位置には図示しないがピックアップ位置にある半導体チップ２aをダイシングシート１ｂの下方から突き上げてピックアップされやすくする突き上げ棒が設けられている。
【００３５】
部品取り扱い手段５７はＸ方向に移動する２つの実装ヘッド５５、５６によって、ピックアップ手段６４によって供給される半導体チップ２aを種類別にピックアップして実装位置に持ち運び、実装ステージ５２上の回路基板への実装を行う。
【００３６】
実装対象物取り扱い手段５３は、回路基板のローディング部６５とアンローディング部６７との間に前記実装ステージ５２を有している。この実装ステージ５２はＹ方向に移動でき、ローディング部６５から搬入した回路基板を実装位置まで持ち運んで前記部品実装ヘッド５５または５６による加熱を伴う部品実装に供し、半導体チップ２aの所定の実装を終えた時点で基の位置に復帰し、部品実装後の回路基板をアンローディング部６７に搬出し先へ搬送されるようにする。
【００３７】
図７に模式的に示す例はハンドラー７が、前記Ｘ方向の直線移動に代えて、１つの軸７１のまわりに前記直進するＸ方向に対しＹ方向の左右両側に回動できるようにした具体例である。ハンドラー７は軸７１により第１スライダ３４の上に直接回転できるように支持し、基部を第１スライダ３４上でピン７４や溝にて左右の振れ止めをして支持した線状や板状の直状ばね７２の先端部を軸７１に直径線方向に通しなどして回り止め連結して付勢手段７０としてある。これにより、ハンドラー７はウエハー２の傾きによるマガジンとの接触や位置規正部材への片当たりに対応して、矢印７３で示すように左右どちらの側にも直状ばね７２をチャージしながら回動して対応して、ウエハー２のマガジンとの接触を解消する方向や位置規正部材への倣い方向への動きに対し、Ｙ方向の直進と、軸７１回りの回動とによって、図１〜図５に示す例の場合よりも回動する分だけウエハー２との相対移動量をさらに小さくして応動でき、ハンドリング力をさらに強めてもよくなる。ハンドリングが解除されたとき直状ばね７２の復元力により中立位置に復動される。
【００３８】
本例では先の例の第２スライダが省略できるが、Ｙ方向の支持部３２は必要である。付勢手段７０は１つの蔓巻ばねや両側から２つのばねを反対方向に働かせるなどどのようなものを採用してもよい。
【００３９】
図８に模式的に示す例は、直線移動や１つの軸まわりの回動に代えた別の回動方式によるもので、Ｘ方向に対し直角な左右の一方側および他方側への偏心位置にて回動できる２つの支持部８１、８２を有し、それぞれの前記偏心状態となる図に示す原点位置に復動するよう付勢手段８３、８４を働かせてある。より具体的には、支持部８１はハンドラー７の左側の偏心位置に軸８５により回転できるように支持された回動支持部８６を有し、支持部８２はハンドラー７をその右側の偏心位置に軸８７によって回動支持部８６上に回動できるように支持してある。付勢手段８３は軸８５回りに装着した蔓巻ばね８８を、回動支持部８６が腕１２上のストッパー８９に当接する原点位置に復動するよう腕１２との間に働かせ、付勢手段８４は軸８７まわりに装着した蔓巻ばね９１を、ハンドラー７が回動支持部８６上のストッパー９２に当接する原点位置に復動するように回動支持部８６との間に働かせてある。
【００４０】
本例では、ウエハー２の傾き向きによる左右どちら側のマガジンとの接触、位置規正部材との片当たりに対しても、ハンドラー７の前記２つの支持部８１、８２によるどちらかの、付勢手段８３または付勢手段８４に抗した矢印７３で示した方向の一方側への回動によって図７の例の場合と同様に対応することができる。しかも、ウエハー２との突き当たり時にも前記両偏心位置に回動力が生じるので、ハンドラー７はウエハー取り扱い手段６の腕１２上で後退する動作をしてウエハー２との突き当たりによる干渉をも防止することができる。従って、Ｙ方向に移動するための特別な支持部は省略することができる。
【００４１】
なお、本実施の形態は、図１〜図８を参照して、担持体１上に担持されたウエハー２を、その担持体１の周辺１カ所でハンドラー７によりハンドリングして取り扱い、直進により少なくともマガジン３への収納位置から位置規正ピン５などの位置規正部材のある規正位置まで引き出すのに、ハンドラー７が前記直進方向に対する直角な左右両側に変位できるように弾性的に支持した状態で、前記ウエハー２の引き出しを行うウエハー２の取り扱い方法をも提供するものであり、前記した各例の装置を利用して、または、他のものを利用して実現して、確実に引き出し位置決めするという同様な作用を奏することができる。
【００４２】
【発明の効果】
本発明によれば、ハンドラーがウエハーをハンドリングして直進し規正位置まで引き出すのに、ウエハーに傾きがあって規正位置にある位置規正部材にウエハーが片当たりしたとき、ウエハーはその片当たり点を支点とし、片当たり点からハンドリング位置までを腕の長さとした、引き出し力によるモーメントを受けて位置規正部材に倣おうとするのを、ハンドラーは付勢手段の付勢に抗した前記直進方向に対する直角方向の成分をもつ原点位置からの移動によってウエハーとの僅かな相対移動量にて許容し、規正位置まで引き出すウエハーを位置規正部材に正しく倣わせられる。また、引き出し時にウエハーが傾きのためにマガジンに接触するようなとき、ウエハーにマガジンとの接触位置を支点とし、接触位置とハンドラーによるハンドリング位置との間を腕の長さとした、接触抵抗と引き出し力とによるモーメントが働くときも、ハンドラーは付勢手段の付勢に抗した前記直進方向に対する直角方向の成分をもつ原点位置からの移動を伴い、ウエハーの接触抵抗を回避する側への移動を僅かな相対移動にて許容するので、接触抵抗の増大やこじれ、これらによる担持体を含むウエハーの損傷を回避することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るウエハーの取り扱い装置を示す斜視図である。
【図２】図１の装置におけるウエハー取り扱い手段のハンドラー部を示す平面図である。
【図３】図２のハンドラーを手前側から見た側面図である。
【図４】図２のハンドラーを右側から見た背面図である。
【図５】図２のハンドラーを左側から見た正面図である。
【図６】図１の装置を採用した部品実装装置の斜視図である。
【図７】ウエハー取り扱い手段の別の例を示すハンドラー部の平面図である。
【図８】ウエハー取り扱い手段の今１つの例を示すハンドラー部の平面図である。
【図９】ウエハーの規制位置での位置決め状態を示し、その（a）は最終位置決め状態、その（ｂ）は従来の位置決め不良状態、その（ｃ）は本実施の形態での位置決めの進行状態である。
【図１０】ウエハーの偏った位置をハンドリングして引き出す場合の状態図である。
【図１１】傾いたウエハーをハンドリングして引き出す場合の状態図である。
【符号の説明】
１  担持体
２  ウエハー
２a  半導体チップ
３  マガジン
４  ボールねじ
５  位置規正ピン
６  ウエハー取り扱い手段
７  ハンドラー
８  チャック片
１１  部品実装装置
１２  腕
１３  移動台
１４  モータ
１５  開閉駆動部
１７、３２、８１、８２  支持部
１８、３３、７０、８３、８４  付勢手段
７１、８５、８７  軸
８６  回動支持部
【図１】
0004117767.tif 000002
【図２】
0004117767.tif 000003
【図３】
0004117767.tif 000004
【図４】
0004117767.tif 000005
【図５】
0004117767.tif 000006
【図６】
0004117767.tif 000007
【図７】
0004117767.tif 000008
【図８】
0004117767.tif 000009
【図９】
0004117767.tif 000010
【図１０】
0004117767.tif 000011
【図１１】
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