(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロータの一端に羽根車を固着し、羽根車側および反羽根車側の両側にそれぞれ配設した軸受でそのロータを支承しているキャンドモータポンプにおいて、キャンドモータの固定子鉄心の端面の一部に切欠き部を設け、遮蔽部を備えた複数個の誘導型センサをその切欠き部に検出面が回転子鉄心の端部外周面と軸方向に沿って少なくとも一部が重なるように配設し、下限値が５０〜１００Ｈｚの範囲にあってその下限値以上の周波数成分を減衰させるローパスフィルタ回路と、上限値が５〜２０Ｈｚの範囲にあってその上限値以下の周波数成分を減衰させるハイパスフィルタ回路とを前記センサの出力側に接続して前記ロータの位置を検出し前記軸受の摩耗状況を監視する軸受摩耗検出手段を設けたことを特徴とするキャンドモータポンプ。
【請求項２】
ロータの一端に羽根車を固着し、羽根車側および反羽根車側の両側にそれぞれ配設した軸受でそのロータを支承しているキャンドモータポンプにおいて、キャンドモータの固定子鉄心の端面の一部に切欠き部を設け、遮蔽部を備えた複数個の誘導型センサをその切欠き部に検出面が回転子鉄心の端部外周面と軸方向に沿って少なくとも一部が重なるように配設し、下限値が５０〜１００Ｈｚの範囲にあってその下限値以上の周波数成分を減衰させるローパスフィルタ回路を前記センサの出力側に接続し、ポンプの締切付近および小流量域運転時に前記ロータの位置を検出し前記軸受の摩耗状況を監視する軸受摩耗検出手段を設けたことを特徴とするキャンドモータポンプ。
【請求項３】
前記ハイパスフィルタ回路を分岐させる分岐手段を備えている請求項１のキャンドモータポンプ。
【請求項４】
前記誘導型センサは、その検出面と前記回転子鉄心の外周面端部とが軸方向に重なって配置され、その重なりは、検出面長の４０〜６０％である請求項１〜３いずれかのキャンドモータポンプ。
【請求項５】
前記誘導型センサは、その検出面と前記回転子鉄心の外周面端部とが軸方向に検出面長の９０％以上が重なって配置されている請求項１〜３いずれかのキャンドモータポンプ。
【請求項６】
前記誘導型センサの出力の最大値だけを出力する回路を備えている請求項１〜５いずれかのキャンドモータポンプ。
【請求項７】
前記誘導型センサの複数個の出力をスイッチングによって切り替え同一回路で検出するセンサ切り替え手段を備えている請求項１〜６いずれかのキャンドモータポンプ。
【請求項８】
前記ハイパスフィルタ回路の分岐手段および／または前記センサ切り替え手段を中央演算装置によって行う請求項３または７のキャンドモータポンプ。
【請求項９】
前記誘導型センサの出力を外部に送信する送信回路を備えている請求項１〜８いずれかのキャンドモータポンプ。
【請求項１０】
インバータ駆動によって運転される請求項１〜９いずれかのキャンドモータポンプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ロータの一端に羽根車を固着し、そのロータを羽根車側および反羽根車側の両側にそれぞれ配設した軸受で支承するキャンドモータポンプに関し、特に、ラジアル方向およびアキシャル方向の軸受の摩耗状況を電気的に検出する軸受摩耗検出手段を備えたキャンドモータポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図２８には、従来のキャンドモータポンプの一般的な構成が断面図で示されている。
図２８に示されているように、キャンドモータポンプはポンプ部Ｐとモータ部Ｍとで構成されている。そのポンプ部Ｐには、内部に羽根車２が配設されたポンプケーシング１が設けられ、そのケーシング１の高圧側開口部には、ケーシングカバー３が固着されている。そして、ケーシングカバー３には、羽根車２で昇圧されたポンプ取扱液の一部が流通する流通孔４が穿設されている。
【０００３】
前記ケーシングカバー３の内部には、ロータ５が挿通されており、このロータ５の一端には、ディスタンスピース６、スラスト板７ａ、軸スリーブ８ａおよび羽根車２が嵌合され、ボルト２２により固定されている。また、ロータ５の他端には、スラスト板７ｂおよび軸スリーブ８ｂが嵌合され、ボルト２３により固定されている。
【０００４】
ロータ５は、その両端部を１対の軸受９ａ、９ｂによって回転自在に支承されており、そのほぼ中央部にモータ部Ｍの回転子１０が固着され、前記軸受９ａはケーシングカバー３に、軸受９ｂはエンドカバー１１にそれぞれ嵌着されている。そして、ロータ５には、軸方向に貫通する貫通孔１４が穿設されており、この貫通孔１４は、両端のボルト２２、２３をも貫通し、両側に開口している。
【０００５】
また、モータ部Ｍの固定子１３はモータフレーム２４に嵌合されており、このモータフレーム２４の両端は、フレーム側板２５ａ、２５ｂに嵌合されている。そして、モータ部Ｍの回転子１０のキャン１２ａおよびモータ部Ｍの固定子１３のキャン１２ｂとでそれぞれ回転子１０および固定子１３がポンプ取扱液に触れないよう保護されている。また、固定子１３の鉄心両端面には、２組の誘導型センサＳ１およびＳ３と、Ｓ２およびＳ４とがそれぞれ配設されている。
【０００６】
上記の従来構造のキャンドモータポンプでは、運転中に回転側である軸スリーブ８ａ、８ｂおよびスラスト板７ａ、７ｂが、静止側である軸受９ａ、９ｂに接触して回転するため、カーボン製の軸受９ａ、９ｂが主に摩耗し、運転時間の増加に伴ってその摩耗量が増加し、ロータ５の触れ回りが大きくなる。そして、さらに摩耗が進行すると回転子１０のキャン１２ａと固定子１３のキャン１２ｂとが接触し、それぞれ損傷し、ついには破損に至る。この固定子１３のキャン１２ｂの破損は、その内部にポンプ取扱液が侵入して固定子１３の巻線を劣化させる原因となってキャンドモータ本体の致命的な故障を引き起こす。
【０００７】
一方、キャンドモータポンプは、ポンプ部Ｐとモータ部Ｍとの間には軸シール部を持たない一体の圧力容器構造であるので、ロータ５の振れ回りを本体外部から目視することができない。そのため、長期の使用や異物の混入など、何らかの原因によって軸受９ａ、９ｂに摩耗が生じた場合に、その変化を外部から確認することができない。
【０００８】
そこで、これまでに、軸受９ａ、９ｂの摩耗状況を検出する種々の検出手段が提案されていた。
これまで実施されてきた軸受の摩耗状況の検出手段のうち、電気的な検出手段として図２８および図２９に示すものがある。図示のように、２組の誘導型センサＳ１とＳ３と、およびＳ２とＳ４とがそれぞれ固定子１３の鉄心両端面に設けられ、図３０に示すようにセンサＳ１とＳ３とが１８０°対称位置に、同様に、センサＳ２とＳ４とが１８０°対称位置に配置されている。
【０００９】
この検出手段では、軸受９ａ、９ｂの半径方向（ラジアル方向Ａ）の摩耗は、誘導センサＳ１とＳ３と、およびＳ２とＳ４とで検出され、軸方向（アキシャル方向Ｂ）の摩耗は、誘導センサＳ１とＳ２とで、もしくはＳ３とＳ４とで検出される。すなわち、ラジアル方向Ａの摩耗は、誘導センサＳ１とＳ３とのそれぞれの誘導電圧の差（差動出力）、およびＳ２とＳ４との差動出力を検出し、どちらか大きい方が検出器（図示せず）に表示される。また、アキシャル方向Ｂの摩耗は、誘導センサＳ１とＳ２との差動出力で、もしくはＳ３とＳ４との差動出力で検出される。
【００１０】
図３１には、前記誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、およびＳ４から出力された信号を処理する回路の一例が示されている。
この信号処理回路７０Ｚは、誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、およびＳ４のそれぞれの信号を受け入れる入力回路３１、３２、３３、および３４と、比較回路部である差動アンプ３５、３６、３７、および３８と、比較後のオフセット調整回路３９、４０、４１、および４２と、それぞれの信号処理結果からロータ５の位置の演算を行う判定回路４３と、判定結果を表示する表示回路４４とから構成されている。
【００１１】
これにより、各誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、およびＳ４の出力は、それぞれ入力回路３１、３２、３３、および３４を介して比較回路部に入力され、ロータ５の位置が判定回路４３で演算されてその位置の変化から軸受の摩耗状況が判定されている。
【００１２】
すなわち、ラジアル方向Ａの軸受の摩耗について、図３２および図３３に示すように、軸受が主に上方向に摩耗した場合には、ロータ５が上方に移動するためにラジアル方向における上方の隙間δ１は、下方の隙間δ２より小さくなる。回転子１０が誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４の磁極に近付くほど、各センサの誘起電圧は大きくなる。したがって、誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４のそれぞれに誘起される誘起電圧の大小関係は、
Ｓ１＞Ｓ３、かつ  Ｓ２＞Ｓ４    となる。
また、誘導型センサＳ１とＳ３、Ｓ２とＳ４のそれぞれに誘起される誘起電圧の差（差動出力）の大小関係は、
（Ｓ１−Ｓ３）＜（Ｓ２−Ｓ４）    となり、
（Ｓ２−Ｓ４）の差動出力を検出器に回路を介して出力することによって、軸受のラジアル方向Ａのどちらか大きい方の摩耗を検出することができる。
【００１３】
また、アキシャル方向Ｂの軸受の摩耗について、図３４および図３５に示すように、羽根車２側の軸受９ａの端面が摩耗した場合には、ロータ５が羽根車２の方向に移動するため、誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４の磁極の回転子１０の外周面端部との軸方向の重なりＬ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４の大小関係は、
Ｌ１＞Ｌ２、かつ  Ｌ３＞Ｌ４    となり、
誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４のそれぞれに誘起される誘起電圧の大小関係は、
Ｓ１＞Ｓ２、かつ  Ｓ３＞Ｓ４    となる。
したがって、
（Ｓ１−Ｓ２）、もしくは  （Ｓ３−Ｓ４）    の差動出力を回路で大小比較し、大きい方を回路を介して表示することで軸受のアキシャル方向Ｂの軸受摩耗を検出することができる。
【００１４】
また、図３６に、ラジアル方向Ａの軸受摩耗量に対する差動出力が示されている。図中の従来型１は、モータの負荷電流が大きい場合、もしくはポンプの運転点が最高効率点よりかなり小さい場合を、従来型２は、モータの負荷電流が小さい場合、もしくはポンプの運転点が最高効率点付近の場合、従来型３は、特に全揚程の高いキャンドモータポンプでの締切付近や小流量域での運転中の場合がそれぞれ示されている。
【００１５】
そして、図３７には、アキシャル方向Ｂの軸受摩耗量に対する差動出力が示されている。前記同様に図中の従来型１は、モータの負荷電流が大きい場合、従来型２は、モータの負荷電流が小さい場合、従来型３は、特に全揚程の高いキャンドモータポンプでの締切付近や小流量域での運転中の場合がそれぞれ示されている。
【００１６】
いずれの場合においても、モータの負荷電流やポンプの運転点の変化によって差動出力が変動する。加えて、後記するように、キャンドモータの電源周波数と実際に運転される周波数との差によって生じるうねりや、誘導型センサの取り付け誤差によるモータ回転子１０の溝数Ｚとキャンドモータポンプの回転周波数Ｎ２との積（Ｚ×Ｎ２）である溝高調波成分によってセンサの差動出力に影響を受けるという問題がある。
【００１７】
また、特に、全揚程の高いキャンドモータポンプでは、締切り付近や小流量域での運転中に、ロータ５がある特定の位置でほとんど移動せずに回転を続けることがあり、センサの差動出力に影響を受けるという問題もある。
【００１８】
なお、その他の電気的検出手段としては、固定子の巻線スロット内にサーチコイルを巻き込むもの、または、特殊な巻線構造のキャンドモータを用いて軸受の摩耗状況をその巻線を利用して検出するようにした検出手段もある。（例えば、特開昭４９−５９２０１号公報、特開平１０−１７４３７４号公報参照。）
【００１９】
しかし、これらの電気的検出手段においても、モータの負荷電流やポンプの運転点の変化や、前記のうねりや誘導型センサの取り付け誤差による溝高調波成分、全揚程の高いキャンドモータポンプでの締切付近や小流量域での運転中にロータがほとんど移動せず、センサの差動出力に影響を受けるという前記同様の問題は存在し、軸受の摩耗状況は正確に表示し得ない。
【００２０】
一方、機械的検出の例としては、ロータの反羽根車側の軸端にロータと一定の間隔を保ち、エンドカバーに固着された機械的接触部と、その接触部が回転体との接触摩耗によって内部に封入されたガスが外部に排出される機能を備えた検出手段がある。このような検出手段の場合には、反羽根車側の軸受のラジアル方向の摩耗は検知できるが、羽根車側の軸受のラジアル方向の摩耗はほとんど検知できない。さらに、一度検出手段の作動した後は、内部に封入されたガスが放出されて摩耗した軸受と共に検出手段自体の交換も必要であり、保守部品の増加を余儀なくされるなどの問題がある。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の問題に対処し、モータの負荷電流やポンプの運転点の変化による影響、あるいはうねりやセンサ取付け誤差による溝高調波成分の影響を受けず、さらに全揚程の高いキャンドモータポンプにおいて締切り付近や小流量域での運転中にロータがほとんど移動しない場合にも、軸受のラジアル方向およびアキシャル方向の軸受の摩耗状況が検出できる電気的検出手段を有するキャンドモータポンプを提供することを目的としている。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、ロータの一端に羽根車を固着し、羽根車側および反羽根車側の両側にそれぞれ配設した軸受でそのロータを支承しているキャンドモータポンプにおいて、キャンドモータの固定子鉄心の端面の一部に切欠き部を設け、遮蔽部を備えた複数個の誘導型センサをその切欠き部に検出面が回転子鉄心の端部外周面と軸方向に沿って少なくとも一部が重なるように配設し、下限値が５０〜１００Ｈｚの範囲にあってその下限値以上の周波数成分を減衰させるローパスフィルタ回路と、上限値が５〜２０Ｈｚの範囲にあってその上限値以下の周波数成分を減衰させるハイパスフィルタ回路とを前記センサの出力側に接続して前記ロータの位置を検出し前記軸受の摩耗状況を監視する軸受摩耗検出手段を設けたことを特徴としている。
【００２３】
このような構成により、各誘導型センサの出力に含まれるキャンドモータの溝高調波成分およびうねりの周波数成分をそれぞれローパスフィルタとハイパスフィルタとで減衰させることによってこれらの影響をほとんど受けることなく、各センサの出力からロータの位置を検出し、その変化から軸受の摩耗状況を監視でき、判定することができる。
【００２４】
また、請求項２に係る発明は、ロータの一端に羽根車を固着し、羽根車側および反羽根車側の両側にそれぞれ配設した軸受でそのロータを支承しているキャンドモータポンプにおいて、キャンドモータの固定子鉄心の端面の一部に切欠き部を設け、遮蔽部を備えた複数個の誘導型センサをその切欠き部に検出面が回転子鉄心の端部外周面と軸方向に沿って少なくとも一部が重なるように配設し、下限値が５０〜１００Ｈｚの範囲にあってその下限値以上の周波数成分を減衰させるローパスフィルタ回路を前記センサの出力側に接続し、ポンプの締切付近および小流量域運転時に前記ロータの位置を検出し前記軸受の摩耗状況を監視する軸受摩耗検出手段を設けたことを特徴としている。
【００２５】
このような構成により、全揚程の高いキャンドモータポンプにおいて、締切付近や小流量域での運転でロータがほとんど移動せずに運転が続いている場合でも、各誘導型センサからの出力がハイパスフィルタ回路を通過しないので、ロータの位置が容易に検出でき、その変化から軸受の摩耗状況を検出し判定することができる。
【００２６】
また、請求項３に係る発明は、前記ハイパスフィルタ回路を分岐させる分岐手段を備えている請求項１のキャンドモータポンプである。
【００２７】
このような構成により、分岐手段によってハイパスフィルタ回路を通過させないようにできるので、全揚程の高いキャンドモータポンプで締切付近や小流量域でロータがほとんど移動しない運転状態と相対的に全揚程が低いキャンドモータポンプのいずれに対しても、切り替えて対応することができ各誘導型センサからの出力からロータの位置を検出し軸受の摩耗状況を判定することができる。
【００２８】
また、請求項４に係る発明は、前記誘導型センサは、その検出面と前記回転子鉄心の外周面端部とが軸方向に重なって配置され、その重なりは、検出面長の４０〜６０％である請求項１〜３いずれかのキャンドモータポンプである。
【００２９】
このように誘導型センサを軸方向に半分程度の重なりで配置すれば、軸受端面の摩耗によってロータがアキシャル方向に移動した距離の２倍に対応する差動出力を得ることができる。
【００３０】
また、請求項５に係る発明は、前記誘導型センサは、その検出面と前記回転子鉄心の外周面端部とが軸方向に検出面長の９０％以上が重なって配置されている請求項１〜３いずれかのキャンドモータポンプである。
【００３１】
固定子と回転子との空隙を通る固定子の巻線による磁束の軸方向端部の磁束密度が相対的に大きいモータに対しては、このようにセンサを軸方向にほぼ全面で重なるように配置するのが有効である。
【００３２】
また、請求項６に係る発明は、前記誘導型センサの出力の最大値だけを出力する回路を備えている請求項１〜５いずれかのキャンドモータポンプである。
【００３３】
これにより、最大値だけが出力されるので安定した差動出力が得られるので検出器の針振れを無くし、軸受摩耗状況がより正確に検出できる。
【００３４】
また、請求項７に係る発明は、前記誘導型センサの複数個の出力をスイッチングによって切り替え同一回路で検出するセンサ切り替え手段を備えている請求項１〜６いずれかのキャンドモータポンプである。
【００３５】
このように、誘導型センサの出力をスイッチングによって切り替え、回路を構成する部品点数を減らすことができる。
【００３６】
また、請求項８に係る発明は、前記ハイパスフィルタ回路の分岐手段および／または前記センサ切り替え手段を中央演算装置によって行う請求項３または７のキャンドモータポンプである。
【００３７】
これにより、さらに回路構成を簡単にすることができ、また、ラジアル方向とアキシャル方向の軸受の摩耗が羽根車側か反羽車側かを極めて簡単に検出することもできる。
【００３８】
また、請求項９に係る発明は、前記誘導型センサの出力を外部に送信する送信回路を備えている請求項１〜８いずれかのキャンドモータポンプである。
【００３９】
これにより、軸受の摩耗状況が遠隔地においても把握することができ、これを監視し判定することができる。
【００４０】
また、請求項１０に係る発明は、インバータ駆動によって運転される請求項１〜９いずれかのキャンドモータポンプである。
【００４１】
本発明によれば、ローパスフィルタ回路によって５０〜１００Ｈｚの下限値以上の周波数成分を減衰させるので、インバータのキャリア周波数の影響を受けることなくキャンドモータポンプをその下限値以下の任意の周波数帯域で運転することができる。また、ローパスフィルタ回路の減衰域を数百Ｈｚ程度に変えれば、さらに広範囲の周波数帯域での運転が可能になる。
【００４２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１ないし図５は、本発明の第１の実施の形態のキャンドモ−タポンプを示すものである。なお、前記の図２８ないし図３１に示した従来例と同一または相当部分には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
このキャンドモータポンプには、図１および図２に示すように、固定子１３の鉄心の両端面にそれぞれ遮蔽部Ｓ１ｄを備えた２組の誘導型センサＳ１とＳ３、およびＳ２とＳ４が設けられている。そして、図３に示すように、誘導型センサＳ１とＳ３とは１８０°対称に配置されており、同様に、誘導型センサＳ２とＳ４とも１８０°対称に配置されている。
【００４３】
これにより、軸受９ａ、９ｂの半径方向（ラジアル方向Ａ）の摩耗は、誘導型センサＳ１とＳ３とのそれぞれの誘起電圧の差（差動出力）、および誘導型センサＳ２とＳ４とのそれぞれの誘起電圧の差（差動出力）を検出し、どちらか大きい方を検出器（図示せず）に表示することによって行われる。
また、軸受９ａ、９ｂの軸方向（アキシヤル方向Ｂ）の摩耗は、誘導型センサＳ１とＳ２とのそれぞれの誘起電圧の差（差動出力）、もしくは誘導型センサＳ３とＳ４とのそれぞれの誘起電庄の差（差動出力）を検出することによって行われる。
【００４４】
図４には、遮蔽構造を備えた誘導型センサＳ１の取付け部の詳細が示されており、図示していない他の誘導型センサＳ２、Ｓ３、Ｓ４についても同様に構成されている。
図４において、誘導型センサＳ１は、鉄心Ｓ１ａとその鉄心Ｓ１ａに巻回された検出コイルＳ１ｂとからなり、さらに、その検出コイルＳ１ｂが巻回された鉄心Ｓ１ａは、半径方向に固定子１３の外周方向に向かって延び、コの字状に屈曲して、再び固定子内周方向に向かう遮蔽部Ｓ１ｄを有している。このように、鉄心Ｓ１ａの検出コイルＳ１ｂが巻回された部分は、遮蔽部Ｓ１ｄで遮蔽されている。
【００４５】
そして、検出コイルＳ１ｂが巻回された鉄心Ｓ１ａの検出面Ｓ１ｃは、固定子１３の内周面１３ａと略同一面に配置されている。また、誘導型センサＳ１は、その検出面Ｓ１ｃが回転子１０鉄心の外周面端部と軸方向に沿って長さＬ１０  だけ重なるように配置されている。この長さＬ１０  は、誘導型センサＳ１の検出面Ｓ１ｃの全長の４０〜６０％（約半分）になっており、誘導型センサＳ１は、固定子１３の端面の切欠き部分１３ｂに配置されている。
なお、図２に示すように、誘導型センサＳ２、Ｓ３、Ｓ４も、その検出面の全長の４０〜６０％の長さＬ２０  、Ｌ３０  、Ｌ４０  だけ回転子１０の鉄心の端部外周面と軸方向に沿って重なるように配置されている。
【００４６】
このように構成することにより、回転子１０の主としてエンドリング１０ａの負荷電流によって形成される磁束ΦＲは、鉄心Ｓ１ａの遮蔽部Ｓ１ｄに吸収され、これによって検出コイルＳ１ｂの巻回された近傍の検出面Ｓ１ｃには、磁束ΦＲはほとんど入らなくなる。一方、固定子１３の巻線によって形成される固定子１３と回転子１０との空隙を通る磁束ΦＳの端部の磁束ΦＬは、誘導型センサＳ１の検出面Ｓ１ｃを通るように形成され、この磁束量を検出コイルＳ１ｂで検出することが可能になる。
したがって、誘導型センサＳ１は、回転子１０の主としてエンドリング１０ａの負荷電流によって形成される磁束ΦＲの影響をほとんど受けることなく、固定子１３と回転子１０の空隙を通る磁束ΦＳの端部の磁束ΦＬを検出することが可能となる。
【００４７】
ここで、固定子１３の巻線により形成される固定子１３と回転子１０との空隙を通る磁束ΦＳの端部の磁束ΦＬは、キャンドモータポンプの動力源の周波数  （以下、電源周波数Ｎ０という）成分をもち、その一方、誘導型センサＳ１の検出コイルＳ１ｂの検出する誘起電圧はキャンドモータのすべりの周波数（以下、すべり周波数Ｎ１という）成分をもつ。
【００４８】
実験によると、このすべり周波数Ｎ１は数Ｈｚであり、キャンドモータへの負荷が大きくなるほど大きくなる。したがって、一般的に知られているモータのスリップ率と合致している。このため、実際のキャンドモータポンプの回転している周波数（以下、回転周波数Ｎ２という）は、以下のようになる。
（回転周波数Ｎ２）＝（電源周波数Ｎ０）−（すべり周波数Ｎ１）
すべり周波数Ｎ１は、キャンドモータの負荷率で決まる周波数であり、負荷が全くない場合には、
（すべり周波数Ｎ１）＝０
となる。また、キャンドモータの通常の使用範囲においては、
０＜（すべり周波数Ｎ１）＜（数Ｈｚ）
と考えて良い。
【００４９】
このすべり周波数Ｎ１によって、摩耗した軸受の場合のみならず、正規の摩耗していない軸受の場合においても、その正規の隙間（ラジアル方向Ａにおいては、直径隙間、アキシヤル方向Ｂにおいてはエンドプレー）があるために、検出器（図示せず）の針に影響を及ぼす。つまり、センサの差動出力に、すべり周波数Ｎ１（数Ｈｚ以下）の成分をもつ周期的な変動（以下、うねりという）があり、正規の摩耗していない軸受においても、検出器の針は正常な位置とある程度摩耗した位置との間を周期的に往復する。したがって、正規の摩耗していない軸受においても、あたかもある程度摩耗したかのように検出器の針が振れてしまう。
【００５０】
また、一方では、回転子１０の溝数Ｚとキャンドモータポンプの回転周波数Ｎ２の積（Ｚ×Ｎ２）である溝高調波成分によっても、センサの差動出力は影響を受ける。誘導型センサＳ１とＳ３とは１８０°対称に、また、誘導型センサＳ２とＳ４とは１８０°対称にそれぞれ配置されているため、理論上は、それぞれの対になったセンサ同士で、例えば軸受が全く摩耗していない場合には差動出力は打ち消し合うし、また、摩耗してくるとその差動出力が増加してくる。
ここで、回転子１０の溝数Ｚは、一般には２０ないし３０個程度あるため、溝高調波成分は極めて高い周波数となる。つまり、誘導型センサの取付けを正確に行わないと位相がずれてしまい、若干の位相ずれでも、差動出力として、本来の軸受摩耗による成分ではない成分を検出してしまう。
【００５１】
このため、この実施の形態にあっては、５０〜１００Ｈｚの下限値以上の溝高調波成分を減衰させるローパスフィルタ、および５〜２０Ｈｚの上限値以下のうねりの成分を減衰させるハイパスフィルタを回路に設けている。
【００５２】
図５は、軸受摩耗検出手段である誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４から出力された信号の処理回路７０を示している。この信号処理回路７０は、誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４のそれぞれの信号を受ける入力回路３１ないし３４と、溝高調波の成分を減衰させるローパスフィルタ回路４５ないし４８と、比較のための差動アンプ３５ないし３８と、うねりの成分を減衰させるハイパスフィルタ回路４９ないし５２と、比較後のオフセット調整回路３９ないし４２と、それぞれの信号処理結果から回転子位置の演算を行う判定回路４３と、そして判定した結果を表示する表示回路４４とから構成されている。
【００５３】
ここで、ローパスフィルタ回路４５ないし４８は、図６に示すように、下限値が、例えば７０Ｈｚで、それ以上の周波数成分を減衰するものであり、また、ハイパスフィルタ回路４９ないし５２は、上限値が、例えば１０Ｈｚで、それ以下の周波数成分を減衰するものである。
【００５４】
これにより、各誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４の出力は、ローパスフィルタ回路４５ないし４８を通って溝高調波の成分が減衰され、それぞれの出力信号を判別するための比較回路部に入力されており、さらにハイパスフィルタ回路４９ないし５２を通ってうねりの成分が減衰される。したがって、誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４のそれぞれの出力によってロータ５の位置を検出し、この位置の変化から軸受の摩耗状況を判定することができる。
【００５５】
次に、全揚程の比較的高いキャンドモータポンプでのロータ５の動きをみる。羽根車２に作用するラジアルスラストは、ポンプの運転点によって変化する。一般的には、次の公知の計算式で計算できる。
Ｆｒ＝Ｋ×Ｈ×γ×Ｄ×Ｂ×ξ
Ｋ＝Ｋ０×｛１−（Ｑ／Ｑｂｅｐ）２  ｝
ここに、
Ｆｒ：羽根車に作用するラジアルスラスト
Ｋ：ラジアルスラスト係数
Ｈ：ポンプの全揚程
γ：ポンプ取扱液の比重量
Ｄ：羽根車の外径
Ｂ：羽根車の出口幅（通路と主板と側板の厚さの総和）
ξ：ポンプケーシングのボリュートによる係数で、単ボリュートの場合はξ＝１
Ｋ０：締切点（Ｑ＝０）におけるラジアルスラスト係数
Ｑ：ポンプの運転流量
Ｑｂｅｐ：ポンプの最高効率点における流量
である。
【００５６】
また、ラジアルスラストの方向も広く一般に知られているように、横型単段の遠心ポンプにおいて、ポンプケーシングが単ボリュートの場合ではポンプケーシングのボリュート舌部が上方にある場合、ポンプの運転点が０％からおよそ１００％までは、ラジアルスラストは上向きに作用し、１００％を超えると下向きに作用する。１００％を超える運転では、ポンプのＮＰＳＨＲ（Ｎｅｔ  Ｐｏｓｉｔｉｖｅ  Ｓｕｃｔｉｏｎ  Ｈｅａｄ  Ｒｅｑｕｉｒｅｄ：ポンプが取扱液を羽根車に押し込んでいくのに必要な水頭）が大流量域になるほど大きくなるために、一般的には、１２０％程度が最大である。そのため、流量比０％（締切点）でラジアルスラストが最大となり上向きに作用し、最高効率点に近づくにつれて小さくなってそれを超えると下向きに増加していく。
【００５７】
このラジアルスラストは前記の計算式に示すように、全揚程に比例するので、全揚程の高いキャンドモータポンプほどラジアルスラストが大きくなり、流量比０％（締切点）で最大となる。したがって、全揚程の高いキャンドモータポンプでは、締切付近や小流量域での運転中にロータ５がほとんど移動せずに運転を続ける場合がある。つまり、例え摩耗している軸受の場合で、その隙間（ラジアル方向Ａにおいては直径隙間、アキシャル方向Ｂにおいてはエンドプレー）があっても、羽根車２に作用するラジアルスラストの影響で、羽根車２側の軸受９ａを支点として、ロータ５は羽根車２側が上向きに押さえつけられたまま一定の位置で運転を続ける場合がある。
【００５８】
このような場合には、誘導型センサＳ１〜Ｓ４からのそれぞれの出力は、変動がほとんどなくいわゆる直流成分に近い出力になる。ハイパスフィルタ回路４９〜５２は、コンデンサを含めて構成されているためにコンデンサは直流成分を通過させない特性がある。そして、軸受がある程度摩耗していても、ハイパスフィルタ回路４９〜５２を通すことによって誘導型センサＳ１〜Ｓ４からの出力はほとんどなくなり、あたかも摩耗していないように検出される。このため、図７および図８に示すように、ハイパスフィルタ回路４９〜５２をなくすることにより、誘導型センサＳ１〜Ｓ４のそれぞれの出力からロータ５の位置を検出し、この位置の変化から軸受９ａ、９ｂの摩耗状況を判定することができる。
【００５９】
図９および図１０に、ラジアル方向Ａの軸受の摩耗の検出原理を示す。図９に示すように、軸受９ａ、９ｂが主に上方向に摩耗した場合には、ロータ５が上方に移動するため、ラジアル方向Ａにおける上方の隙間δ１は、下方の隙間δ２よりも小さくなる。回転子１０が誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４の磁極に近づくほど、各センサの誘起電庄は大きくなる。したがって、誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４のそれぞれに誘起される誘起電圧の大小関係は、
Ｓ１＞Ｓ３、かつ、Ｓ２＞Ｓ４
となる。
また、誘導型センサＳ１とＳ３、Ｓ２とＳ４のそれぞれに誘起される誘起電圧の差（差動出力）の大小関係は
（Ｓ１−Ｓ３）＜（Ｓ２−Ｓ４）
となり、（Ｓ２−Ｓ４）の差動出力を回路を介して検出器に表示することによって軸受のラジアル方向Ａのどちらか大きい方の摩耗を検出することができる。
【００６０】
図１１および図１２に、アキシヤル方向Ｂの軸受の摩耗の検出原理を示す。アキシヤル方向Ｂについては、誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４の磁極の回転子１０との軸方向の重なり長さＬ１０  、Ｌ２０  、Ｌ３０  、Ｌ４０  は、それぞれ磁極のほぼ半分に位置しているため、差動出力（Ｓ１−Ｓ２）もしくは（Ｓ３−Ｓ４）は、アキシヤル方向Ｂの移動量に対して軸方向の重なり長さの変化がより大きくなっている。つまり、羽根車２側の軸受９ａの端面が距離Ｌａだけ摩耗して図１１に示すように、ロータ５が羽根車２の方向へ距離Ｌａだけ移動すると、誘導型センサＳ１の磁極の軸方向における回転子１０との重なり長さＬ１および誘導型センサＳ２の磁極の軸方向における回転子１０との重なり長さＬ２は、以下のように変化する。
Ｌ１＝Ｌ１０  ＋Ｌａ、  Ｌ２＝Ｌ２０  −Ｌａ
また、軸受の摩耗がない状態では、
Ｌ１０  ＝Ｌ２０  
となるように配置しているから、誘導型センサＳ１とＳ２の重なり長さの差は
Ｌ１−Ｌ２＝２×Ｌａ
となる。
【００６１】
誘導型センサＳ１、Ｓ２の磁極の回転子１０との軸方向の重なり長さＬ１、Ｌ２が、センサの誘起電庄に比例すると考えて良いので、したがって、差動出力  （Ｓ１−Ｓ２）は本来の移動量の２倍となる。誘導型センサＳ３、Ｓ４についても、誘導型センサＳ１、Ｓ２の場合と同様に、差動出力が本来の移動量の２倍となる。
【００６２】
図１３および図１４は、本発明の第２の実施の形態のキャンドモータポンプの誘導型センサの取付け部を示すもので、これは、誘導型センサＳ１、Ｓ２を、その検出面の全長Ｌ１ａ、Ｌ２ａにわたって回転子１０の鉄心の外周面端部と軸方向に沿って重なるように配置したものである。なお、図示しないが、誘導型センサＳ３、Ｓ４も同様に配置されている。
【００６３】
この実施の形態にあっては、前記のように、ロータ５が羽根車２の方向へ距離Ｌａだけ移動すると、誘導型センサＳ１の磁極の軸方向における回転子１０との重なり長さＬ１ｂ及び誘導型センサＳ２の磁極の軸方向における回転子１０との重なり長さＬ２ｂは、以下のように変化する。
Ｌ１ｂ＝Ｌ１ａ、  Ｌ２ｂ＝Ｌ２ａ−Ｌａ
また、軸受の摩耗がない状態では、
Ｌ１ａ＝Ｌ２ａ
となるように配置しているから、誘導型センサＳ１とＳ２の重なり長さの差は
Ｌ１ｂ−Ｌ２ｂ＝Ｌａ
となる。
したがって、アキシヤル方向Ｂの差動出力（Ｓ１−Ｓ２）そのものは、本来の移動量と同じになるが、磁束密度ΦＬが相対的に大きいキャンドモータに対して有効である。
【００６４】
上記のように構成することによって、キャンドモータの溝高調波成分やうねりの周波数成分の影響をほとんど受けることなく、軸受の摩耗状況を判定することができるが、ロータ５が軸受隙間内を回転周波数Ｎ２とは異なる周波数で回転している（以下、公転という）ために、センサの差動出力が周期的に変動する。この差動出力は、不規則に変化するのではなく、図１５および図１６に示すように、一定の最大値と一定の最小値の間で安定して周期的に繰り返す。つまり、公転によっても、少なくとも差動出力の最大値は変わらず、これによって、軸受の摩耗を正確に検出できる。
【００６５】
図１７は、キャンドモータの差動出力の振れをなくすための手段を備えた本発明の第３の実施の形態のキャンドモータポンプの軸受摩耗検出手段の信号処理回路７０Ｂを示すものである。
この信号処理回路７０Ｂは、誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４のそれぞれの信号を受ける入力回路３１ないし３４と、溝高調波の成分を減衰させるローパスフィルタ回路４５ないし４８と、比較のための差動アンプ３５ないし３８と、うねりの成分を減衰させるハイパスフィルタ回路４９ないし５２と、比較後のオフセット調整回路３９ないし４２と、それぞれの信号処理結果から回転子位置の演算を行う判定回路４３と、判定した結果の最大値だけを出力する回路であるピークホールド回路５３と、そしてその最大値だけを表示する表示回路４４とで構成されている。
【００６６】
これにより、各誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４の出力は、ローパスフィルタ回路４５ないし４８を通って溝高調波の成分が減衰され、それぞれの出力信号を判別するための比較回路部に入力され、ハイパスフィルタ回路４９ないし５２を通ってうねりの成分が減衰される。さらに、ピークホールド回路５３によって差動出力の最大値だけが検出される。したがって、誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４のそれぞれの出力によってロータ５の位置を検出し、この位置の変化から軸受の摩耗状況を判定することができる。
このように構成することによって、差動出力のそれぞれ最大値だけを検出器に出力できるので、検出器の針が振れることがなく、極めて安定する。
【００６７】
図１８は、本発明の第４の実施の形態である誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４の複数個の出力を、中央演算装置によってスイッチを切り替えて同一回路で検出する切り替え手段を備えたキヤンドモータポンプの信号処理回路７０Ｃを示している。図１８に示すように、切り替え手段５６ａとしてＳＷ１〜ＳＷ４、およびハイパスフィルタ回路の分岐手段５６ｂとしてＳＷ５の各切り替えスイッチが回路内に備えられている。
【００６８】
この切替え方法の一例を図１９に示す。図１９の縦方向にはスイッチＳＷ１ないしＳＷ５がそれぞれＯＮもしくはＯＦＦの状態を示し、横方向には検出すべき６種類の出力を時系列で示す。各符号はそれぞれ、Ｔｈ１はアキシヤル方向でのロータ５が移動している場合の検出を、Ｔｈ２は締切付近や小流量域での運転中にロータ５がほとんど移動せずに運転を続ける場合の検出を、Ｒａ１は羽根車側の軸受９ａのラジアル方向でのロータ５が移動している場合の検出を、Ｒａ２は羽根車側の軸受９ａのラジアル方向でのロータ５が移動しない場合の検出を、Ｒｂ１は反羽根車側の軸受９ｂのラジアル方向でのロータ５が移動している場合の検出を、そしてＲｂ２は反羽根車側の軸受９ｂのラジアル方向でのロータ５が移動しない場合の検出を示している。
【００６９】
これにより、それぞれのキャンドモータポンプが締切付近や小流量域での運転中にロータ５ほとんど移動せずに運転を続ける場合があるかどうかを確認して回路構成を使い分けることなく、どのようなキャンドモータポンプにでも適用できる。また、回路構成を簡単にすることが可能となり、ラジアル方向Ａとアキシヤル方向Ｂの軸受の摩耗が羽根車側か反羽根車側かを簡単に検出できる。
【００７０】
図２０は、本発明の第５の実施の形態である誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４の出力を外部に送信する送信回路５５を備えたキャンドモータポンプの軸受摩耗検出手段の信号処理回路７０Ｄを示している。中央演算装置の後に、送信回路５５を備える構成になつており、これにより、軸受の摩耗状況を遠隔地にいても監視できる。また、軸受の摩耗状況以外の、例えば回転方向や欠相などを検知して、この送信回路５５を介して遠隔地に送信できる。
【００７１】
図２１から図２５には、誘導型センサの出力を周波数分析したスペクトルを示し、横軸には周波数（Ｈｚ）を、縦軸には誘導型センサ、例えばＳ１に誘起される誘起電圧（ｄＢＶ）を示している。
図２１は、インバータを介さずに、かつ、前記ローパスフィルタ回路（４５）もハイパスフィルタ回路（４９）も通さずに、単に商用電源５０Ｈｚでキャンドモータポンプを運転した場合の５００Ｈｚまでのセンサコイル端の出力のスペクトルを示す。電源周波数５０Ｈｚにおけるモータのスリップ分を除いた５０Ｈｚより若干小さい周波数（約４９Ｈｚ）、すなわち、モータの実際に回転している周波数でセンサ出力が最大値Ａ１  となり、次いで３次高調波Ａ３  、５次高調波Ａ５  と続く。また、電源周波数の約半分の周波数やモータの運転周波数の約２倍の周波数でピークが観察されているが、これらはロータ５の軸受隙間内の運動によるものや、ロータ５の残留アンバランス量の影響と推定される。
【００７２】
図２２は、図２１の状態そのままで、スペクトルの範囲を２０ｋＨｚまで上げた場合である。やはり、モータの実際に回転している周波数（約４９Ｈｚ）でセンサ出力が最大値Ａ１  となり、次いで、１．３５ｋＨｚ付近、２．７Ｈｚ付近、４ｋＨｚ付近にピークがある。本モータの回転子の溝数は２８個であり、本モータの溝高調波（約４９×２８＝１．３７ｋＨｚ）のピークＢ１  と２次及び３次の溝高調波のピークＢ２  、Ｂ３  が観察されている。
以上のことから、商用電源で運転した場合のセンサ出力は、主として電源周波数の影響を受け、次いで溝高調波の影響を受ける。
【００７３】
図２３と図２４とは、市販のインバータを介して、前記ローパスフィルタ回路（４５）もハイパスフィルタ回路（４９）も通さずに、インバータのキャリア周波数を５ｋＨｚに固定して、５０Ｈｚでキャンドモータポンプを運転した場合の、センサコイル端の出力のスペクトルを示す。５００Ｈｚまでを図２３に、２０ｋＨｚまでを図２４に示す。５ｋＨｚ未満では、商用電源５０Ｈｚでキャンドモータポンプを運転した場合とほぼ同様の傾向である。しかし、５ｋＨｚから周波数の高い範囲では、１０ｋＨｚ付近、１５ｋＨｚ付近、２０ｋＨｚ付近にそれぞれインバータのキャリア周波数によるピークＤ１  、Ｄ２  、Ｄ３  、Ｄ４  が観察される。つまり、インバータ駆動の場合には、インバータのキャリア周波数の影響が高い周波数域まで残っている。
【００７４】
近年、ポンプの低騒音化のために、インバータのキャリア周波数を可聴周波数以上に設定するケースがほとんどである。このため、インバータのキャリア周波数を１５ｋＨｚにして、スペクトルを採取した。その結果を図２５に示す。５ｋＨｚ未満では、インバータのキャリア周波数を５ｋＨｚでキャンドモータポンプを運転した場合とほぼ同様の傾向である。
【００７５】
以上の結果から、前記のどの実施の形態のキャンドモータポンプの場合でも、数十Ｈｚ以上の溝高調波成分を減衰させるローパスフィルタを通過させて、誘導型センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４の出力を検出しているので、たとえインバータ駆動されるキャンドモータポンプでも、ローパスフィルタを通過させることにより、インバータのキャリア周波数成分（通常は５ないし２０ｋＨｚ）を充分減衰でき、インバータの影響を受けずに軸受の摩耗状況を監視できる。
【００７６】
図２６および図２７は、横型単段のキャンドモータボンプでポンプケーシングが単ボリュートの場合だけでなく、単段ポンプでダブルボリュートやデュフーザを使用している場合、あるいは多段キャンドモータポンプや立型キャンドモータポンプにも適用することを目的とした誘導型センサの配置を示す。図２６に示すように、羽根車側及び反羽根車側のそれぞれに、３組の誘動型センサ（Ｓ１〜Ｓ１２）が配置されている。検出原理は前記と同様である。これより、ラジアルスラストの向きがどの方向にあっても、またロータ５がどのような動きをしても、軸受の摩耗状況をより確実に監視することができる。
【００７７】
【発明の効果】
本発明は以上説明したように構成され、以下に示す効果を奏する。
（１）  キャンドモータの溝高調波成分やうねりの周波数成分をローパスフィルタおよびハイパスフィルタで減衰させることで、その影響をほとんど受けることなく、軸受の摩耗状況を誘導型センサによる電気的な検出方法を用いて容易にかつ確実に監視することができる。
（２）  また、全揚程の高いキャンドモータポンプでの締切付近や小流量域での運転中にロータがほとんど移動せずに運転が続けられても、ハイパスフィルタを通過させない、あるいは分岐させることで軸受の摩耗状況を容易にかつ確実に監視することができる。
（３）  さらに、誘導型センサ出力の最大値だけ出力する回路を備えれば、安定した検出ができ、また、誘導型センサを切り替え手段により切り替えて同一回路で検出すれば、構成部品を減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を実施したキャンドモータポンプの構成を示す断面図。
【図２】図１の誘導型センサ取付け部を拡大して示す断面図。
【図３】図２の側面図。
【図４】図２のセンサの遮蔽部を拡大して示す断面図。
【図５】軸受摩耗検出手段の処理回路を示す回路図。
【図６】フィルタにより減衰される周波数域を説明する図。
【図７】軸受摩耗検出手段の別の処理回路を示す回路図。
【図８】別のフィルタにより減衰される周波数域を説明する図。
【図９】ラジアル方向の軸受摩耗の検出を説明する図。
【図１０】図９の側面図。
【図１１】アキシャル方向の軸受摩耗の検出を説明する図。
【図１２】図１１の側面図。
【図１３】本発明の第２の実施形態の誘導型センサ取付け部を示す断面図。
【図１４】図１３の側面図。
【図１５】ラジアル摩耗量と差動出力との関係を示すグラフ。
【図１６】アキシャル摩耗量と差動出力との関係を示すグラフ。
【図１７】本発明の第３の実施形態の軸受摩耗検出手段の処理回路を示す回路図。
【図１８】本発明の第４の実施形態の軸受摩耗検出手段の処理回路を示す回路図。
【図１９】スイッチによる回路切り替えタイミングを説明する図。
【図２０】本発明の第５の実施形態の軸受摩耗検出手段の処理回路を示す回路図。
【図２１】誘導型センサの出力スペクトルの例を示す図。インバータを介さず、フィルタのない商用電源５０Ｈｚでポンプを運転した場合を示す。
【図２２】図２１の周波数範囲を２０ｋＨｚまで拡大して示した図。
【図２３】インバータのキャリア周波数５ｋＨｚでフィルタのない商用電源５０Ｈｚでポンプを運転した場合を示す。
【図２４】図２３の周波数範囲を２０ｋＨｚまで拡大して示した図。
【図２５】インバータのキャリア周波数１５ｋＨｚのフィルタのない商用電源５０Ｈｚでポンプを運転した場合を示す。
【図２６】誘導型センサの他の配置例を示す断面図。
【図２７】図２６の側面図。
【図２８】従来のキャンドモータポンプを示す断面図。
【図２９】図２８の誘導型センサ取付け部を拡大して示す断面図。
【図３０】図２９の側面図。
【図３１】従来の軸受摩耗検出手段の処理回路を示す回路図。
【図３２】従来のラジアル方向の軸受摩耗の検出を説明する図。
【図３３】図３２の側面図。
【図３４】従来のアキシャル方向の軸受摩耗の検出を説明する図。
【図３５】図３４の側面図。
【図３６】従来のラジアル方向の軸受摩耗の出力例を示す図。
【図３７】従来のアキシャル方向の軸受摩耗の出力例を示す図。
【符号の説明】
１・・・ポンプケーシング
２・・・羽根車
３・・・ケーシングカバー
５・・・ロータ
９ａ、９ｂ・・・軸受
１０・・・回転子
１１・・・エンドカバー
１２ｂ、１２ｂ・・・キャン
１３・・・固定子
４３・・・判定回路
４４・・・表示回路
４５〜４８・・・ローパスフィルタ回路
４９〜５２・・・ハイパスフィルタ回路
Ｓ１〜Ｓ１２・・・誘導型センサ
５３・・・ピークホールド回路
５４・・・中央演算装置
５５・・・送信回路
５６ａ・・・センサ切り替え手段
５６ｂ・・・分岐手段
Ｓ１ａ・・・鉄心
Ｓ１ｂ・・・検出コイル
Ｓ１ｃ・・・検出面
Ｓ１ｄ・・・遮蔽部
【図１】
0004124551.tif 000002
【図２】
0004124551.tif 000003
【図３】
0004124551.tif 000004
【図４】
0004124551.tif 000005
【図５】
0004124551.tif 000006
【図６】
0004124551.tif 000007
【図７】
0004124551.tif 000008
【図８】
0004124551.tif 000009
【図９】
0004124551.tif 000010
【図１０】
0004124551.tif 000011
【図１１】
0004124551.tif 000012
【図１２】
0004124551.tif 000013
【図１３】
0004124551.tif 000014
【図１４】
0004124551.tif 000015
【図１５】
0004124551.tif 000016
【図１６】
0004124551.tif 000017
【図１７】
0004124551.tif 000018
【図１８】
0004124551.tif 000019
【図１９】
0004124551.tif 000020
【図２０】
0004124551.tif 000021
【図２１】
0004124551.tif 000022
【図２２】
0004124551.tif 000023
【図２３】
0004124551.tif 000024
【図２４】
0004124551.tif 000025
【図２５】
0004124551.tif 000026
【図２６】
0004124551.tif 000027
【図２７】
0004124551.tif 000028
【図２８】
0004124551.tif 000029
【図２９】
0004124551.tif 000030
【図３０】
0004124551.tif 000031
【図３１】
0004124551.tif 000032
【図３２】
0004124551.tif 000033
【図３３】
0004124551.tif 000034
【図３４】
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【図３５】
0004124551.tif 000036
【図３６】
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【図３７】
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