(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
エアゾールを形成するのに使用される液体に粒子を浮遊させてなる懸濁液のための容器であって、同容器が側壁及び底壁を有し、同容器の上部に噴霧手段があり、同容器の下部内に液体と浮遊粒子が含まれ、かつ、ピエゾ電気変換器が容器の底に設けられその容器内の液体に振動を与えるようになされており、高電圧がピエゾ電気変換器に接続され、かつ、同高電圧接続部を操作員の作業から遮蔽するために絶縁物質のスリーブが同容器に設けられ、
上記容器が、電気伝導材料で作られピエゾ電気変換器用にアース接触部を形成する同高電圧接続を囲んでいる容器。
【請求項２】
エアゾールを形成するのに使用される液体に粒子を浮遊させてなる懸濁液のための容器であって、同容器が側壁及び底壁を有し、同容器の上部に噴霧手段があり、同容器の下部内に液体と浮遊粒子が含まれ、かつ、ピエゾ電気変換器が容器の底に設けられその容器内の液体に振動を与えるようになされており、高電圧がピエゾ電気変換器に接続され、高電圧接続部はピエゾ電気変換器に接続されそこから外側に延びる接触部材を有し、上記容器は該接触部材を囲むスカート状壁を有し、同接触部材は上記容器から絶縁されており、かつ同高電圧接続部の接触部材を操作員の作業から遮蔽するために絶縁物質のスリーブが同容器に摺動脱着可能に設けられ、同高電圧接続部の接触部材を囲んでおり、上記スリーブは、該スリーブが形成する開口を閉じるための絶縁材料でできた横断壁を有し、同横断壁が上記容器の底壁と整合されており、上記スリーブは当該スリーブが上記容器に取り付けられた場合に上記接触部材と係合するように配置された接触装置を、備えている容器。
【請求項３】
沈着装置で使用される懸濁液用容器であって、上記懸濁液は基板上に沈着される粒子を含み、同容器は内室を囲む側壁と内室を閉じる底壁から成り、ピエゾ電気変換器が底壁の外側表面に取り付けられていて、上記容器は底壁に開いた凹部を形成するスカート状壁と、該凹部内に設けられた絶縁サポートと、該絶縁サポートに保持されそして上記ピエゾ電気変換器に電気的に接続された接触部材であって上記容器とは反対側に所定部分を有する接触部材と、上記容器に脱着可能に装着されたスリーブとを備え、該スリーブは上記容器の凹部内の接触部材を外部から遮断するために、同容器のスカートの側部に沿って上方向に伸びる絶縁物質から出来ており、上記スリーブは当該スリーブが上記容器に取り付けられた場合に上記接触部材と係合するように配置された接触装置を有していることを特徴とする懸濁液用容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野及び技術的背景】
本発明は、沈着室のウエハ上に沈着すべき、浮遊粒子を含む懸濁液収納用の容器に関するものである。この容器と液体は、沈着室の粒子を浮遊状態に保つために、高電圧源振動変換器により超音波振動され、高電圧源は、操作員との接触を避けるために、遮蔽されている。
【０００２】
また、超音波振動は、エアゾール発生装置において、液を揺り動かし粒子の浮遊を維持するために使われてきた。
高電圧は通常、超音波振動発生器の作動のために必要である。その発生器は、普通、ピエゾ電気セラミックスまたは結晶である。操作員と高電圧伝導体との接触は、回避されることが必要である。
【０００３】
【発明の構成並びに使用効果】
本発明は、高電圧接触部を外部から高レベルで隔離できるように組み立てられるた噴霧用懸濁液収納容器を提供する。そうすることによって、操作員の高電圧との接触の可能性は、おおいに減少する。すなわち、本発明に係る噴霧器用容器は、沈着室のウエハ上に沈着させるのに使用される、浮遊粒子を含む懸濁液収納容器であって、液体を超音波振動させるために、容器の底にピエゾ電気超音波変換器が設けられる。粒子は、容器が超音波的に振動すると浮遊状態となるので、望ましい状態で粒子を含む懸濁液が保持される。高電圧接触手段が、ピエゾ電気超音波振動変換器を電圧源に接続させるために使用される。変換器への接続は、絶縁ハウジングによって保持され、操作員と各電源関連部品との接触の可能性を減少させる。
【０００４】
懸濁液収納器のノズルを通され、沈着室での粒子沈着用のエアゾールが形成されるときに、懸濁液は振動エネルギーがかけられ、粒子の浮遊が維持される。。一つの沈着室で数種の粒子が沈着される場合、それぞれ異なる懸濁液若しくは特性を有する複数の液体容器が設けられ、それらを順次使用する場合は、それらの１つの容器をとってみれば、長時間使用されずにエアゾールを発生しないことになる。
【０００５】
高電圧出力の変換器への連結部は、容器の底部に連結される十分に絶縁されたカップまたはスリーブ部に囲まれるようになされる。同部カップまたはスリーブは、超音波ピエゾ電気変換器に連結する電気コネクターを持っている。ピエゾ電気変換器は、容器の底壁としっかり接触している。従って、容器の電導体が操作員と接触する可能性は減少する。
【０００６】
【実施形態】
図1には、粒子の浮遊する液体１２（懸濁液）を入れるのに使われる本発明に係る容器１０が示されている。この容器は、蓋１９によって閉じられる内室を画定する外部円筒側壁１１を有する。液体１２は、容器１０の内部に収納されている。液体１２は、粒子を半導体基盤または他の物質の上に沈着させる沈着装置に使われる、ポリスチレン・ラテックス（PSL）粒子、または銅、タングステン、または他の物質の粒子を含む、水でもよい。粒子はその液体中に浮遊している。噴霧器部分１４は、粒子を含む液体を吸引し、粒子が１８で示される基盤上に沈着される沈着室１６に噴射されるエアゾールを形成するのに使用される。
【０００７】
浮遊粒子を液体１２中に保持するために、容器１０の底壁２０は、その壁の外表面に密接に結合された超音波ピエゾ電気振動変換器２２を有する。図に示すように、変換器２２は、容器の底における壁１１の延長であるスカート２５により形成される凹所２４の中に設けられている。絶縁ブロック２６は、凹所２４内に形成される肩部２８に当接して、凹所２４内に保持される。絶縁ブロック２６は、金属電気接触装置３２が保持される凹所または開口３０を有する。この接触装置３２は、電圧をかけるための接続部であり、適切な線３４でピエゾ電気変換器２２に接続される。接触装置３２は、外部絶縁スリーブまたはカップ４２内に保持される絶縁ブロック４０上のスリーブ４１の凹所または穿孔３８の中に受け入れられる突出部または枝部３６を有する。この突出部３６は、金属電圧伝達スプリング４４と係合し、それによってスプリングは接触装置４６に接続され、この接触装置は、高電圧源５０につながる導線４８に確実に結合される。
【０００８】
カップ４２は、容器のスカート２５を受け入れる環状のスリーブまたは壁４３を有する。各部が組み立てられた時、バネ力を有するフィンガー５２は、カップ４２により支持され、容器のスカート２５の外表面上の支持溝５５に受け入れられる曲がった末端を有する。カップ４２は、バネ力を有するフィンガー５２によって適切に保たれ、該フィンガーはステンレス鋼容器１０へのアース接続を形成する。カップ４２は、頑丈な絶縁材料で、壁４３は容器１０の下方スカート部分を囲み、ピエゾ電気変換器２２へ通じる高電圧接触装置を遮蔽する。カップ４２は、底部壁５４で閉じられ、この壁は、高電圧線４８と接地線５５が通る開口を有する。
【０００９】
噴霧器１４は、図に示すように、圧縮気体源５８から気体を受け入れ、その気体は、制御穴６０を通って噴霧穴または出口６２に流れていく。粒子を含む液体１２は、管６４を通して吸引され、エアゾールとなり、環状壁６８で形成される環状衝突室６６に噴射される。大きい粒子は衝突し、液体１２に落下することになるが、小さな粒子を運ぶエアゾールは、衝突室の開口７０を通して吐き出され、出口管７２を通して沈着室１６に運ばれる。エアゾールは沈着室１６に導かれ、エアゾール内で運ばれ、以前液体１２内に浮遊していた粒子は、基板１８上に沈着する。
【００１０】
絶縁カップ４２は、突出部または枝部３６、スプリング４４および接触装置４６を通して高電圧を,超音波変換器および容器まで運ぶ、いくつかの接触部を持っている。カップ４２の外壁すなわちスリーブ部４３は接触および結合を遮蔽し、絶縁カップの使用は、人がアースと高電圧結合の陽電極の両方に接触する可能性を回避する。容器１０はアースされているので、該容器に触れても多量の電気が流れないようになる。高電圧電極は十分に遮蔽されている。
【００１１】
カップ部４２は、絶縁遮蔽または保護を形成するスリーブまたは壁４３を有する。同壁４３は、ピエゾ電気変換器部分へ通じる全ての高電圧接触部の周りに延びる。
【００１２】
変換器は希望する周波数で振動するように設計することができる。電圧源も、変換器にかけられる電圧を制御する制御装置を有することができる。
以上においては、本発明の好ましい実施形態について説明しているが、本発明にこれに限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に基づく電気接続部のある振動変換器を有する噴霧用懸濁液収納容器の縦断面図である。
【図２】  電気接続部を分離して示している図１の分解図である。
【図３】  本容器と共に使用される型の噴霧器の一例として、上記容器に示されている噴霧器部分を拡大して示す図である。
１０---容器
２０---容器の底壁
２２---ピエゾ電気振動変換器
２４---凹所
２５---スカート
３２---電気接触装置（高電圧接続部）
４２---スリーブ
３６---枝状部（突出部）
４４---スプリング
５２---フィンガー
５４---底壁
【図１】
0004063543.tif 000002
【図２】
0004063543.tif 000003
【図３】
0004063543.tif 000004