(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｂ４Ｃと、ＴｉＢ２と、グラファイトとからなり室温から１５０℃の範囲の低温環境向けのＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックス軸受材料であって、前記Ｂ４ＣとＴｉＢ２との割合は、ＴｉＢ２が約３０〜７０重量％で残部がＢ４Ｃであり、前記グラファイトが約３〜１０ｖｏｌ％、残部がＢ４ＣとＴｉＢ２とからなることを特徴とするＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミック軸受材料。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、Ｂ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックス軸受材料に係り、特に、Ｂ４Ｃ−ＴｉＢ２系複合セラミックスに固定潤滑剤であるグラファイトを添加することにより優れた摺動特性を有するＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックス軸受材料に関する。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】
一般に、セラミックスは金属に比べ比重が小さく、高硬度、高耐熱性、高耐食性等の優れた長所を持つことから、輻広い条件下で用いることのできる摺動材料として注目されている。摺動材料として使用されるためには、優れた摩擦摩耗特性を持つことが基本条件である。そして、この摩擦摩耗特性を向上させることにより摩擦摩耗が軽減できれば省エネルギや機械寿命の延命等のメリットを生み出すこととなる。
【０００３】
現在、摺動材料として実用化されている代表的なセラミックスとして、Ｓｉ３Ｎ４、ＳｉＣ、サイアロンなどがある。Ｓｉ３Ｎ４はセラミック軸受として使用されているが、高温になると摩擦係数が増加してしまうという問題があり、またＳｉＣは空気軸受として使用されているが、停止の際に摩擦係数が大きくなる等の問題を有している。
【０００４】
これに対し、Ｂ４Ｃ−ＴｉＢ２系複合セラミックス（以下、ＢＴＣと略す）は、これらのものと比較して機械的性質や摺動特性が優れており、セラミックス軸受としての応用が期待されている材料である。
【０００５】
本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、前記ＢＴＣの摺動特性をさらに改善するために固体潤滑剤であるグラファイトを添加し、自己潤滑機能を有するＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックス軸受材料を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために、本発明の請求項１に記載のＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックス軸受材料は、Ｂ４Ｃと、ＴｉＢ２と、グラファイトとからなり室温から１５０℃の範囲の低温環境向けのＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックス軸受材料であって、前記Ｂ４ＣとＴｉＢ２との割合は、ＴｉＢ２が約３０〜７０重量％で残部がＢ４Ｃであり、前記グラファイトが約３〜１０ｖｏｌ％、残部がＢ４ＣとＴｉＢ２とからなることを特徴とする。
【０００９】
【作用】
前述した構成からなる本発明によれば、Ｂ４Ｃと、ＴｉＢ２と、グラファイトとからなり室温から１５０℃の範囲の低温環境向けのＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックス軸受材料であって、前記Ｂ４ＣとＴｉＢ２との割合は、ＴｉＢ２が約３０〜７０重量％で残部がＢ４Ｃであり、前記グラファイトが約３〜１０ｖｏｌ％、残部がＢ４ＣとＴｉＢ２とからなる焼結体を得ることができるため、従来のＢ４Ｃ−ＴｉＢ２系複合セラミックスの優れた摺動特性に加えて、グラファイトの固体潤滑剤としての機能が発揮されるため、自己潤滑機能を有するきわめて摺動特性に優れた低温環境向けの軸受材料を得ることができる。
【００１０】
【実施例】
以下、本発明を図面に示す実施例により説明する。
【００１１】
本発明者らは、ＢＴＣの摺動特性をさらに改善するために鋭意研究を重ねた結果、固体潤滑剤であるグラファイトを添加することにより、自己潤滑機能を有し摺動特性が一層優れた本発明のＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックス軸受材料を発明するに至った。
【００１２】
１）本発明の軸受材料の製造方法
本発明のＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックス軸受材料は、まず、粒子径が約０．７μｍのＢ４Ｃ粉末と粒子径が約６μｍのＴｉＢ２粉末とをそれぞれ所望の割合で湿式混合方法により混合し、その後、これを乾燥させたものに、粒子径が約２０μｍのグラファイト粉末を所定量添加して乾式混合方法により試料粉末を作製する。そして、この試料粉末をホットプレスにより加圧焼結する。このときの焼結条件は加圧力６０ＭＰａ、焼結温度１９００℃、焼結時間１ｈｒ、焼結雰囲気を真空度１×１０−１Ｐａ以上とした。
【００１３】
前記したＢ４Ｃ粉末とＴｉＢ２粉末との混合割合は、ＴｉＢ２が約３０〜７０重量％で残部がＢ４Ｃとされた。また、前記したＢ４Ｃ粉末とＴｉＢ２粉末との混合物に対するグラファイト粉末の割合は、グラファイトが約３〜１０ｖｏｌ％で、残部がＢ４Ｃ粉末とＴｉＢ２粉末との混合物とされた。
【００１４】
２）試験材料および試験方法
このような条件の下で得られた焼結体を、図１（ａ）に示すような１２．７×１２．７×４．７ｍｍのチップと、同図（ｂ）に示すような５０×１０×５ｍｍのプレートとに作製し、同図（ｃ）に示すようにして同じ材質同士または相手材をＳ５５Ｃとした場合について、摩擦係数の摩擦距離依存性および温度依存性を測定し、さらに比摩耗量を測定した。
【００１５】
この摩擦係数および比摩耗量の測定には図２に示す往復スライダ型摩擦摩耗試験機を使用し、試験条件は、最大摩擦速度１．１４ｍ／ｍｉｎ、温度２５〜８００℃、湿度４０〜５０％とした。そして、摩擦係数の摩擦距離依存性の測定は垂直荷重４．７Ｎおよび４７Ｎの場合について行い、摩擦係数の温度依存性の測定は垂直荷重４．７Ｎの一定荷重で行った。また、比摩耗量は４７Ｎの垂直荷重下で１００ｍ摺動させた後、プレートに対するチップの接触面の体積変化を測定して求めた。
【００１６】
３）試験を行うためのＢＴＣの基本組成の決定
まず、本発明者らは、ＢＴＣセラミックスにグラファイトを添加することにより、その摺動特性が如何に向上し、あるいは変化するかを判断するために、最も全体像を把握するのに好都合なＢＴＣの組成を定めることとした。
【００１７】
すなわち、前記ＢＴＣの組成をＢ４Ｃ−３０ｗｔ％ＴｉＢ２（以下、ＢＴＣ＃３と略す）、Ｂ４Ｃ−５０ｗｔ％ＴｉＢ２（以下、ＢＴＣ＃５と略す）およびＢ４Ｃ−７０ｗｔ％ＴｉＢ２（以下、ＢＴＣ＃７と略す）と変化させて試験材料を作製し、さらに比較試料としてＢ４Ｃ単独およびＴｉＢ２単独の試験材料も作製した。そして、これらについて機械的特性および摺動特性を測定し、それぞれを比較して最も平均的で全体的な傾向を把握し易いＢＴＣの組成を基本組成として定めた。
【００１８】
この結果、図３の温度変化に対する摩擦係数の関係において示されるように、ＢＴＣ＃５の摩擦係数が０℃から８００℃の全域で他の組成のＢＴＣ＃３およびＢＴＣ＃７に比較してほぼ平均的な摩擦係数を示している。また、機械的性質に関してもヤング率についてはＢＴＣ＃３が約４５４ＧＰａ、ＢＴＣ＃５が４９４ＧＰａ、ＢＴＣ＃７が４９８ＧＰａであり、さらに、マイクロビッカース硬度については、ＢＴＣ＃３が３８．６〜４５．２ＧＰａ、ＢＴＣ＃５が２８．０〜３２．９ＧＰａ、ＢＴＣ＃７が２５．１〜３２．９ＧＰａとなっており、他のＢＴＣ＃３およびＢＴＣ＃７と比較して平均的な数値を示している。そこで、ＢＴＣ＃５にグラファイトを添加した試料についての測定結果が得られれば、これから他の組成のＢＴＣ＃３およびＢＴＣ＃７についての測定結果も類推できると考えられることからＢＴＣ＃５を基本組成と定めた。
【００１９】
そこで、まず、このＢＴＣ＃５について従来のセラミックスと比較するために予備実験を行った。この結果を図４および図５に示す。図４はＳｉ３Ｎ４、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＣおよびＢＴＣ＃５についての摩擦距離に対する摩擦係数を示しており、また、図５は同様のセラミックスについての摩擦温度に対する比摩耗量を示している。
【００２０】
図４からわかるように、摩擦距離に対する各セラミックスの摩擦係数はＳｉ３Ｎ４およびＡｌ２Ｏ３が０．５、ＳｉＣが０．３であるのに対し、ＢＴＣ＃５は０．１と最も小さい値を示した。
【００２１】
また、図５からわかるように、摩擦温度に対する各セラミックスの比摩耗量はＳｉ３Ｎ４、Ａｌ２Ｏ３およびＳｉＣの比摩耗量が１０−３〜１０−４ｍｍ３／Ｎ・ｍの範囲で上下するのに対し、ＢＴＣ＃５は温度上昇にしたがって比摩耗量は低下し、６００℃のときには比摩耗量は１．１×１０−８ｍｍ３／Ｎ・ｍと最も小さい値を示した。
【００２２】
これにより、ＢＴＣ＃５は従来のセラミックスと比較して摩擦係数および非摩耗量が小さく、摩擦摩耗特性が非常にに優れていることがわかる。
【００２３】
４）本願発明の実施例等の機械的特性
本発明は、前記したような優れた性質を有するＢＴＣ＃５にグラファイトを添加したものであり、本発明の具体的な実施例として、ＢＴＣ＃５に対してグラファイトを添加したセラミックス軸受材料の機械的特性（密度、焼結体の相対密度、ロックウエル硬度、曲げ強さ、ヤング率、剪断弾性係数、ポアッソン比および体積弾性係数）を下表に示す。
【００２４】
各実施例は、ＢＴＣ＃５（Ｂ４Ｃ−３６ｖｏｌ％ＴｉＢ２）に対して、ＢＴＣ＃５−３ｖｏｌ％グラファイト、ＢＴＣ＃５−５ｖｏｌ％グラファイトおよびＢＴＣ＃５−１０ｖｏｌ％グラファイト（以下、ＢＴＣ＃５−３ｖｏｌ％Ｇｒ、−５ｖｏｌ％Ｇｒおよび−１０ｖｏｌ％Ｇｒと略す）の割合となるようにグラファイトを添加したものである。表中には比較材としてＳｉＣ、Ｓｉ３Ｎ４、Ａ２ｌＯ３についての値も示してある。
【００２５】
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この表からわかるように、本発明の各実施例の焼結体の相対密度はＢＴＣ＃５と同等以上であり、グラファイトを添加しても焼結性の低下は認められず、軸受材料として焼結する場合の形態保持性にも優れたものである。
【００２６】
５）本願発明の軸受材料の組織
図６は試験材料の表面の光学顕微鏡写真による組織図であり、同図（ａ）はＢＴＣ＃５の試験材料であり、同図（ｂ）はＢＴＣ＃５−１０ｖｏｌ％Ｇｒの試験材料である。図６において、白部分はＴｉＢ２であり、灰色部分はＢ４Ｃであり、黒色部分はグラファイトである。この図（ｂ）よりグラファイトがＢ４ＣおよびＴｉＢ２に対して均一に分散されていることがわかる。このように分散性がよいので、軸受の形状を自由に設計することができ、その許容度が大ききものである。
【００２７】
６）摩擦係数の温度依存性
図７および図８に垂直荷重を４．７Ｎ、最大摺動速度を１．１４ｍ／分、加熱速度６００℃／時とし、室温から８００℃までの摩擦係数の温度依存性試験の結果を示す。
【００２８】
図７は同じ材質のセラミックス同士を摺動させた場合の結果を示しており、図８はＳ５５Ｃを相手材として摺動させた場合の結果を示している。
【００２９】
図７からわかるように、同じ材質同士を摺動させた場合のＢＴＣ＃５−１０ｖｏｌ％Ｇｒの摩擦係数は、室温から１５０℃くらいの範囲において０．２５以下であり、ＢＴＣ＃５の０．４５に比較しても大きく改善されている。
【００３０】
また、図８からわかるように、Ｓ５５Ｃを相手材として摺動させた場合のＢＴＣ＃５−１０ｖｏｌ％Ｇｒの摩擦係数は、室温から１５０℃くらいの範囲において０．０４と極めて小さく、ＢＴＣ＃５の０．１５に比較しても大きく改善されている。
【００３１】
このように摩擦係数が非常に小さいことから、軸受材料としての利用範囲が拡大されることとなる。
【００３２】
７）摩擦係数の摩擦距離依存性
ａ）図９および図１０に垂直荷重を４．７Ｎ、最大摺動速度を１．１４ｍ／分、温度条件を室温とした場合における、摩擦距離に対する摩擦係数の関係を示す。
【００３３】
図９は同じ材質のセラミックス同士を摺動させた場合の結果を示しており、図１０はＳ５５Ｃを相手材として摺動させた場合の結果を示している。
【００３４】
図９からわかるように、同じ材質同士を摺動させた場合のＢＴＣ＃５−１０ｖｏｌ％Ｇｒの摩擦係数は約０．１８の一定値を示し、従来のセラミックスであるＳｉＣの摩擦係数が摩擦距離の増加に伴い大きくなって０．５を示し、Ｓｉ３Ｎ４の摩擦係数が約０．３という値であるのに対して小さく安定した傾向を示している。また、ＢＴＣ＃５−５ｖｏｌ％Ｇｒの摩擦係数は約０．３を示し、Ｓｉ３Ｎ４の摩擦係数よりもわずかに大きいが、ＳｉＣにくらべるとかなり小さい値を示し、前記ＢＴＣ＃５−１０ｖｏｌ％Ｇｒと同様に安定した傾向を示した。
【００３５】
また、図１０からわかるように、Ｓ５５Ｃを相手材として摺動させた場合のＢＴＣ＃５−１０ｖｏｌ％Ｇｒの摩擦係数は、約０．０４と極めて小さな値を示した。これはセラミックス中で最も小さな摩擦係数であり、ＳｉＣの摩擦係数の約１／１０の値に相当し、ＢＴＣ＃５の摩擦係数よりもさらに小さな値である。
【００３６】
ｂ）図１１および図１２に垂直荷重を４７Ｎ、最大摺動速度を１．１４ｍ／分、温度条件を室温とし、同じ材質のセラミックス同士を摺動させた場合における摩擦距離に対する摩擦係数の関係を示す。
【００３７】
この図１１よりＢＴＣ＃５−１０ｖｏｌ％Ｇｒの摩擦係数は、１０〜１００ｍの範囲でほぼ０．３の一定値を示しており、図１２に示すＳｉＣの摩擦係数が全く不安定であるのに対し安定した傾向を示し、また、Ｓｉ３Ｎ４の摩擦係数が約０．４であったのに比較してもより小さな値を示した。
【００３８】
一方、図１１に示したＢＴＣ＃５−５ｖｏｌ％Ｇｒの摩擦距離に対する摩擦係数は０．４〜０．４８を示し、ＢＴＣ＃５やＢＴＣ＃５−１０ｖｏｌ％Ｇｒよりも大きな値を示したものの、１０〜１００ｍの広い範囲にもかかわらずほぼ一定の値を示し、図１２に示した不安定な傾向を示すＳｉＣの摩擦係数よりも安定した傾向を示した。
【００３９】
８）比摩耗量
図１３に室温で摺動させた場合の比摩耗量を示す。
【００４０】
ＢＴＣ＃５−１０ｖｏｌ％Ｇｒの比摩耗量は、同じ材質同士を摺動させた場合には、２０３×１０−８ｍｍ３／Ｎ・ｍとなりＳｉ３Ｎ４の比摩耗量よりも大きい値を示したが、Ｓ５５Ｃを相手材として摺動させた場合には、７８．４×１０−８ｍｍ３／Ｎ・ｍの値を示しており、ＳｉＣおよびＳｉ３Ｎ４のいずれの比摩耗量よりも小さい値を示した。
【００４１】
さらに、ＢＴＣ＃５−５ｖｏｌ％Ｇｒの比摩耗量は、同じ材質同士を摺動させた場合には、１２６×１０−８ｍｍ３／Ｎ・ｍとなりＳｉ３Ｎ４の比摩耗量よりも大きい値となったが、Ｓ５５Ｃを相手材として摺動させた場合には、４６．４×１０−８ｍｍ３／Ｎ・ｍの値を示し、ＳｉＣおよびＳｉ３Ｎ４のいずれの比摩耗量よりも小さい値を示した。
【００４２】
これらの各実施例の試験結果より、本発明の軸受材料は、摩擦係数が従来のセラミックスよりも小さい値を示し、相手材をＳ５５Ｃとした場合の比摩耗量がＳｉ３Ｎ４およびＳｉＣよりも小さな値を示し摺動特性が向上したのは、摩擦摩耗面に形成されるＢ２Ｏ３膜による潤滑効果が発揮されるとともに、さらに添加したグラファイトの固体潤滑剤としての機能が加わり相乗的な効果を発揮しているためであると考えられる。
【００４３】
さらに、前記各実施例によれば、ＢＴＣ＃５にグラファイトを添加しても焼結性の低下は認められず、グラファイトを１０ｖｏｌ％添加した焼結体であってもその相対密度は９９．６％を維持できる。
【００４４】
また、Ｓ５５Ｃを相手材として摺動させた場合に、垂直荷重４．７Ｎ、室温の条件下でのＢＴＣ＃５の摩擦係数は０．１１であるのに対し、ＢＴＣ＃５−１０ｖｏｌ％Ｇｒの摩擦係数は０．０４ときわめて小さい値を示した。
【００４５】
さらに、室温から８００℃までの摩擦係数の温度依存性試験において、ＢＴＣ＃５にグラファイトを添加したＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックスの摩擦係数は、室温から１５０℃の範囲で改善することができる。また、ＢＴＣ＃５の摩擦係数は０．１５であるのに対し、ＢＴＣ＃５−１０ｖｏｌ％Ｇｒの摩擦係数は、０．０４ときわめて小さい値を示した。
【００４６】
一方、垂直荷重４７Ｎ、摩擦距離１００ｍ、室温の条件下で摺動させた後の比摩耗量は、グラファイトの添加量とともに増加するが、グラファイトを１０ｖｏｌ％添加したＢＴＣの比摩耗量は７．８４×１０−７ｍｍ３／Ｎ・ｍであり、Ｓｉ３Ｎ４およびＳｉＣのいずれの比摩耗量よりも小さい値となる。
【００４７】
以上より、ＢＴＣ＃５にグラファイトを添加したＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックスは、相手材をＳ５５Ｃとして摺動させた場合に優れた摺動特性を発揮することから、自己潤滑機能を有するセラミック軸受として応用が期待できる材料である。
【００４８】
なお、本発明は前記各実施例に限定されるものではなく、必要に応じて変更することができる。
【００４９】
たとえば、本実施例のＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックスはＢＴＣの組成をＢ４Ｃ−５０重量％ＴｉＢ２とするＢＴＣ＃５に固定したが、この組成に限られるものではなくＢ４Ｃ−３０重量％ＴｉＢ２あるいはＢ４Ｃ−７０重量％ＴｉＢ２などの組成に変更してもよい。
【００５０】
また、グラファイトの添加量についても３、５および１０ｖｏｌ％としているが、これらの割合に限定されるものではなく、添加量を増加あるいは減少させてもよい。
【００５１】
さらに、前記Ｂ４ＣやＴｉＢ２およびグラファイトの粉末についても、粒子径を変更したりグラファイト粉末として酸化物やほう化物でコーティングした粉末を使用してもよい。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように本発明のＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックス軸受材料によれば、ＢＴＣにグラファイトを添加しても焼結性が低下してしまうことはない。
【００５３】
また、相手材をＳ５５Ｃとして摺動させた場合に優れた摺動特性を発揮し、特に、ＢＴＣ＃５に１０ｖｏｌ％のグラファイトを添加したＢＴＣ＃５−１０ｖｏｌ％Ｇｒの摩擦係数は、０．０４ときわめて小さい値を得ることができる。
【００５４】
さらに、Ｓ５５Ｃを相手材として摺動させた場合に、Ｂ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックスはＳｉ３Ｎ４およびＳｉＣのいずれよりも小さな比摩耗量の値を得ることができる。
【００５５】
したがって、ＢＴＣにグラファイトを添加したＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックスは、自己潤滑機能を有する低温環境向けのセラミック軸受として応用が期待できる材料である。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）から（ｃ）は、本発明に係るＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックス軸受材料の摩擦係数および比摩耗量の測定に用いた試験材料の形状寸法を示す図
【図２】本発明に係るＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックス軸受材料の摩擦係数および比摩耗量測定に用いた往復スライダ型摩擦摩耗試験機を示す図
【図３】Ｂ４Ｃ−ＴｉＢ２系複合セラミックスの同じ材質同士で摺動させた場合における温度に対する摩擦係数の関係を示す線図
【図４】Ｂ４Ｃ−５０ｗｔ％ＴｉＢ２および従来のセラミックスの相手材を炭素鋼として摺動させた場合における摩擦距離に対する摩擦係数の関係を示す線図
【図５】Ｂ４Ｃ−５０ｗｔ％ＴｉＢ２および従来のセラミックスの相手材を同じ材質同士として摺動させた場合における温度に対する比摩耗量の関係を示す線図
【図６】（ａ）はＢＴＣ＃５、（ｂ）はＢＴＣ＃５−１０ｖｏｌ％Ｇｒの試験材料の表面の光学顕微鏡写真による金属組織図
【図７】ＢＴＣ＃５およびＢＴＣ＃５−１０ｖｏｌ％Ｇｒの同じ材質同士で摺動させた場合における温度に対する摩擦係数の関係を示す線図
【図８】ＢＴＣ＃５およびＢＴＣ＃５−１０ｖｏｌ％Ｇｒの相手材をＳ５５Ｃとして摺動させた場合における温度に対する摩擦係数の関係を示す線図
【図９】本発明に係るＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックス軸受材料の同じ材質同士を摺動させた場合における摩擦距離に対する摩擦係数の関係を示す線図（垂直荷重４．７Ｎ）
【図１０】本発明に係るＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックス軸受材料の相手材をＳ５５Ｃとして摺動させた場合における摩擦距離に対する摩擦係数の関係を示す線図（垂直荷重４．７Ｎ）
【図１１】本発明に係るＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミックス軸受材料の同じ材質同士を摺動させた場合における摩擦距離に対する摩擦係数の関係を示す線図（垂直荷重４７Ｎ）
【図１２】従来のセラミックスの同じ材質同士を摺動させた場合における摩擦距離に対する摩擦係数の関係を示す線図（垂直荷重４７Ｎ）
【図１３】本発明に係るＢ４Ｃ−ＴｉＢ２−グラファイト系複合セラミック軸受材料の同じ材質同士および相手材をＳ５５Ｃとして摺動させた場合における比摩耗量を示す線図
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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