(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部（２０）とロータリーテーブル（３０）を備えており、
基部（２０）にロータリーテーブル（３０）が軸心（Ａ）を中心に回転可能に設定されており、
基部（２０）の内部に穴が形成されていて、その穴の内側にクランプシリンダー（３８）が設けられており、このクランプシリンダー（３８）は、必要に応じてロータリーテーブル（３０）をクランプするためのものであり、
ロータリーテーブル（３０）の下面には回転軸（３２）の上端が固定されていて、その回転軸（３２）は軸心（Ａ）のまわりに回転し、
ロータリーテーブル（３０）と基部（２０）の間には軸受（３４）が設けられており、ロータリーテーブル（３０）は軸受（３４）を介して基部（２０）に回転自在に支持されており、回転軸（３２）と基部（２０）の間にも軸受（３６）が設けられていて、回転軸（３２）も、軸受（３６）を介して基部（２０）に回転自在に支持されており、これらの複数の軸受（３４、３６）を設けることにより、ロータリーテーブル（３０）が回転自在に支持され、かつ、揺動が防止されるようになっており、
ロータリーテーブル（３０）と基部（２０）の間には、リニアモーター（４０）が設定されており、リニアモーター（４０）は、軸受（３４）の外側にロータリーテーブル（３０）の外周に沿って配置されていて、軸心（Ａ）を中心に全体的に大きな円形となるように配置されており、マグネット（４２、４３）と、コイル（４４、４５）で構成されていて、ロータリーテーブル（３０）はその円形のリニアモーター（４０）により直接駆動され、
ロータリーテーブル（３０）の下面にはマグネット支持部材（４６）が取り付けられていて、そのマグネット支持部材（４６）は内側面が開放した断面略凹形の円環状部材であり、マグネット支持部材（４６）の上部はロータリーテーブル（３０）の下面に固定されており、下部は内側に突出していて、マグネット支持部材（４６）の下部の上面と下面にマグネット（４２、４３）がそれぞれ設けられており、それらのマグネット（４２、４３）は、コイル（４４、４５）に対し、それぞれ対面しており、
ロータリーテーブルがインデックス機能付きの割出しテーブルであることを特徴とするロータリーテーブル装置。
【請求項２】
基部（２０）とロータリーテーブル（３０）を備えており、
基部（２０）にロータリーテーブル（３０）が軸心（Ａ）を中心に回転可能に設定されており、
基部（２０）の内部に穴が形成されていて、その穴の内側にクランプシリンダー（３８）が設けられており、このクランプシリンダー（３８）は、必要に応じてロータリーテーブル（３０）をクランプするためのものであり、
ロータリーテーブル（３０）の下面には回転軸（３２）の上端が固定されていて、その回転軸（３２）は軸心（Ａ）のまわりに回転し、
ロータリーテーブル（３０）と基部（２０）の間には軸受（３４）が設けられており、ロータリーテーブル（３０）は軸受（３４）を介して基部（２０）に回転自在に支持されており、回転軸（３２）と基部（２０）の間にも軸受（３６）が設けられていて、回転軸（３２）も、軸受（３６）を介して基部（２０）に回転自在に支持されており、これらの複数の軸受（３４、３６）を設けることにより、ロータリーテーブル（３０）が回転自在に支持され、かつ、揺動が防止されるようになっており、
ロータリーテーブル（３０）と基部（２０）の間には、リニアモーター（４０）が設定されており、リニアモーター（４０）は、軸受（３４）の外側にロータリーテーブル（３０）の外周に沿って配置されていて、軸心（Ａ）を中心に全体的に大きな円形となるように配置されており、マグネット（４２、４３）と、コイル（４４、４５）で構成されていて、ロータリーテーブル（３０）はその円形のリニアモーター（４０）により直接駆動され、
ロータリーテーブル（３０）の下面にはマグネット支持部材（４６）が取り付けられていて、そのマグネット支持部材（４６）は内側面が開放した断面略凹形の円環状部材であり、マグネット支持部材（４６）の上部はロータリーテーブル（３０）の下面に固定されており、下部は内側に突出していて、マグネット支持部材（４６）の下部の上面と下面にマグネット（４２、４３）がそれぞれ設けられており、それらのマグネット（４２、４３）は、コイル（４４、４５）に対し、それぞれ対面しており、
ロータリーテーブルが微細な加工を行う時に使用されるロータリーテーブルであることを特徴とするロータリーテーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般に工作機械や産業機械において使用されるインデックス機能付きのテーブル（割出しテーブル）や、微細な加工を行う時に使用されるロータリーテーブルを含む種々のロータリーテーブル装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のロータリーテーブルは、一般に、サーボモーターとウォーム軸とウォームホイルの組合せにより構成されていた。このような構成においては、ウォーム軸とウォームホイールがサーボモーターの駆動に応じて回転することにより、ウォームホイールに設置されたロータリテーブルが回転する。
【０００３】
【発明が解決しようする課題】
しかしながら、ウォーム軸とウォームホイールを組合せた構成では、バックラッシュが大きかった。
【０００４】
また、複リードウォームによりバックラッシュを最小にするように調整することも可能であるが、調整に手間がかかっていた。
【０００５】
さらに、ウォーム軸とウォームホイールは、長時間使用していると、歯面に摩耗が生じる。そのため、バックラッシュの調整がくり返し必要となっていた。
【０００６】
本発明は、高精度の割り出しと高速回転を行うことができるリニアモーター駆動のロータリーテーブル装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決手段の一つは、基部（２０）とロータリーテーブル（３０）を備えており、
基部（２０）にロータリーテーブル（３０）が軸心（Ａ）を中心に回転可能に設定されており、
基部（２０）の内部に穴が形成されていて、その穴の内側にクランプシリンダー（３８）が設けられており、このクランプシリンダー（３８）は、必要に応じてロータリーテーブル（３０）をクランプするためのものであり、
ロータリーテーブル（３０）の下面には回転軸（３２）の上端が固定されていて、その回転軸（３２）は軸心（Ａ）のまわりに回転し、
ロータリーテーブル（３０）と基部（２０）の間には軸受（３４）が設けられており、ロータリーテーブル（３０）は軸受（３４）を介して基部（２０）に回転自在に支持されており、回転軸（３２）と基部（２０）の間にも軸受（３６）が設けられていて、回転軸（３２）も、軸受（３６）を介して基部（２０）に回転自在に支持されており、これらの複数の軸受（３４、３６）を設けることにより、ロータリーテーブル（３０）が回転自在に支持され、かつ、揺動が防止されるようになっており、
ロータリーテーブル（３０）と基部（２０）の間には、リニアモーター（４０）が設定されており、リニアモーター（４０）は、軸受（３４）の外側にロータリーテーブル（３０）の外周に沿って配置されていて、軸心（Ａ）を中心に全体的に大きな円形となるように配置されており、マグネット（４２、４３）と、コイル（４４、４５）で構成されていて、ロータリーテーブル（３０）はその円形のリニアモーター（４０）により直接駆動され、
ロータリーテーブル（３０）の下面にはマグネット支持部材（４６）が取り付けられていて、そのマグネット支持部材（４６）は内側面が開放した断面略凹形の円環状部材であり、マグネット支持部材（４６）の上部はロータリーテーブル（３０）の下面に固定されており、下部は内側に突出していて、マグネット支持部材（４６）の下部の上面と下面にマグネット（４２、４３）がそれぞれ設けられており、それらのマグネット（４２、４３）は、コイル（４４、４５）に対し、それぞれ対面しており、
ロータリーテーブルがインデックス機能付きの割出しテーブルであることを特徴とするロータリーテーブル装置であり、
本発明の他の解決手段は、基部（２０）とロータリーテーブル（３０）を備えており、
基部（２０）にロータリーテーブル（３０）が軸心（Ａ）を中心に回転可能に設定されており、
基部（２０）の内部に穴が形成されていて、その穴の内側にクランプシリンダー（３８）が設けられており、このクランプシリンダー（３８）は、必要に応じてロータリーテーブル（３０）をクランプするためのものであり、
ロータリーテーブル（３０）の下面には回転軸（３２）の上端が固定されていて、その回転軸（３２）は軸心（Ａ）のまわりに回転し、
ロータリーテーブル（３０）と基部（２０）の間には軸受（３４）が設けられており、ロータリーテーブル（３０）は軸受（３４）を介して基部（２０）に回転自在に支持されており、回転軸（３２）と基部（２０）の間にも軸受（３６）が設けられていて、回転軸（３２）も、軸受（３６）を介して基部（２０）に回転自在に支持されており、これらの複数の軸受（３４、３６）を設けることにより、ロータリーテーブル（３０）が回転自在に支持され、かつ、揺動が防止されるようになっており、
ロータリーテーブル（３０）と基部（２０）の間には、リニアモーター（４０）が設定されており、リニアモーター（４０）は、軸受（３４）の外側にロータリーテーブル（３０）の外周に沿って配置されていて、軸心（Ａ）を中心に全体的に大きな円形となるように配置されており、マグネット（４２、４３）と、コイル（４４、４５）で構成されていて、ロータリーテーブル（３０）はその円形のリニアモーター（４０）により直接駆動され、
ロータリーテーブル（３０）の下面にはマグネット支持部材（４６）が取り付けられていて、そのマグネット支持部材（４６）は内側面が開放した断面略凹形の円環状部材であり、マグネット支持部材（４６）の上部はロータリーテーブル（３０）の下面に固定されており、下部は内側に突出していて、マグネット支持部材（４６）の下部の上面と下面にマグネット（４２、４３）がそれぞれ設けられており、それらのマグネット（４２、４３）は、コイル（４４、４５）に対し、それぞれ対面しており、
ロータリーテーブルが微細な加工を行う時に使用されるロータリーテーブルであることを特徴とするロータリーテーブル装置である。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明によるロータリーテーブル装置においては、ロータリテーブルを直接リニアモーターで駆動する。
【０００９】
各種の実施形態が可能であるが、次のものが好ましい。
【００１０】
（１）ロータリーテーブルが軸受を介してロータリーテーブル装置の基部に回転自在に支えられている。ロータリーテーブルと基部のいずれか一方にリニアモーターのマグネットを設定する。ロータリーテーブルと基部の他方にリニアモーターのコイルを設定する。リニアモーターのマグネットとコイルの両方が軸受の外側に位置している。
【００１１】
（２）リニアモーターのマグネットとコイルの両方が円形である。
【００１２】
（３）リニアモーターのマグネットとコイルの両方がロータリーテーブルの外周に沿って配置されている前述のロータリーテーブル装置。
【００１３】
【実施例】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
【００１４】
図１は、本発明によるリニアモーター駆動によるロータリーテーブル装置の一つの例を示す。
【００１５】
ロータリーテーブル装置１０は基部２０とロータリーテーブル３０を備えている。
【００１６】
基部２０にロータリーテーブル３０が軸心Ａを中心に回転可能に設定されている。
【００１７】
基部２０の内部には軸心Ａを中心とした円筒形の穴が形成されていて、この穴の内周にはクランプシリンダー３８が設けられている。このクランプシリンダー３８は、必要に応じてロータリーテーブル３０をクランプするためのものである。
【００１８】
ロータリーテーブル３０の下面には回転軸３２の上端が固定されている。回転軸３２は軸心Ａのまわりに回転するものであり、ロータリーテーブル３０の上面と回転軸３２の回転中心は垂直に設定されている。回転軸３２は軸心Ａのまわりに回転するものであり、ロータリーテーブル３０の回転中心と一致する。すなわち、回転軸３２の中心線が軸心Ａと一致している。
【００１９】
ロータリーテーブル３０と基部２０の間にはボールタイプの軸受３４が設けられている。ロータリーテーブル３０はリング状の軸受３４を介して基部２０に回転自在に支持されている。回転軸３２と基部２０の間にもリング状の軸受３６が設けられている。回転軸３２も、軸受３６を介して基部２０に回転自在に支持されている。
【００２０】
図１には、軸受３４、３６がそれぞれスラスト玉軸受、ラジアル玉軸受として構成された例が示されている。２つの軸受３４、３６を設ける構成により、ロータリーテーブル３０が回転自在に支持され、しかも、揺動が防止されるようになっている。
【００２１】
基部２０とロータリーテーブル３０の間には、図示が省略されているが、スケール部及び検出部が設けられている。スケール部及び検出部によりロータリーテーブル３０の回転数が検出される。検出部は図示しない制御部に接続されており、検出された信号はこの制御部に送られる。この制御部は検出された信号や予め設定されたプログラム等に基づいてロータリーテーブル３０の回転と位置決めを制御するものである。
【００２２】
ロータリーテーブル３０と基部２０の間には、リニアモーター４０が設定されている。リニアモーター４０は、リング状の軸受３４の外側にロータリーテーブル３０の外周に沿って配置されていて、大きなリング形状をしている。つまり、リニアモーター４０は軸心Ａを中心に全体的に大きな円形となるように配置されており、マグネット４２、４３と、コイル４４、４５で構成されている。
【００２３】
ロータリーテーブル３０は円形リニアモーター４０により直接駆動される。たとえば、基部２０の上部にコイル４４、４５が取り付けられている。コイル４４、４５は平面状に構成され、軸心Ａを中心に周回するように上下方向に所定の間隔を空けて配置されている。また、コイル４４、４５は制御部に接続されていて、通電が制御されるようになっている。
【００２４】
ロータリーテーブル３０の下面にはマグネット支持部材４６が取り付けられている。マグネット支持部材４６は内側面が開放した断面略凹形の円環状部材である。マグネット支持部材４６の上部はロータリーテーブル３０の下面に固定されており、下部は内側に突出している。マグネット支持部材４６の下部の上面と下面にマグネット４２、４３がそれぞれ設けられている。
【００２５】
マグネット４２、４３は、コイル４４、４５に対し、それぞれ対面している。
マグネット４２、４３の配列は、周方向に順次異なった極（Ｎ、Ｓ、Ｎ．．．の順）となっている。
【００２６】
前述の実施例においては、コイル４４、４５に電流を供給し、コイル４４、４５に発生する磁界とマグネット４２、４３との間に生じる電磁力の吸引、反発を制御することにより、ロータリーテーブル３０を所定の方向に回転させるようになっている。
【００２７】
【発明の効果】
本願の請求項１に係る発明によれば、ロータリーテーブルが軸受に支持され、かつ、リニアモーターによりダイレクトに駆動されるため、揺動やバックラッシュがなくなり、高精度（例えば０．００１°）の割り出しと高速回転を両方とも高精度に行うことが可能となる。
【００２８】
なお、本発明は上述の実施例に限定されない。
【００２９】
コイル及びマグネットの個数は、前述の実施例に限定されない。ロータリーテーブルへの積載重量やリニアモーターの性能に応じて、１組または３組以上のコイル及びマグネットを設けても良い。
【００３０】
軸受は、ボールベアリングに限定されない。スラスト玉軸受、ラジアル玉軸受の他、円錐ころ軸受等種々の軸受を利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のロータリーテーブル装置の一例を示す断面図。
【符号の説明】
１０  ロータリーテーブル装置
２０  基部
３０  ロータリーテーブル
３２  回転軸
３４、３６  軸受
３８  クランプシリンダー
４０  リニアモーター
４２、４３  マグネット
４４、４５  コイル
４６  マグネット支持部材
【図１】
0004076055.tif 000002