(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック製回転スリーブの外側に金属製外周部材が焼きばめされるとともに上記金属製外周部材に複数のミラー面が形成されてなる回転体が、動圧空気軸受けで支持された動圧空気軸受型光偏向器において、
上記金属製外周部材に形成されたミラー面は軸方向の位置が上記セラミック製回転スリーブと重なるように配置され、
上記金属製外周部材には、上記ミラー面と上記セラミック製回転スリーブとの間に焼きばめ応力除去部が形成され、
上記セラミック製回転スリーブと上記金属製外周部材の焼きばめ部は、上記セラミック製回転スリーブの軸方向略全長に渡って焼きばめされ、
前記回転スリーブの内径を基準にして、前記金属製外周部材に前記ミラー面を加工する際の鏡面加工用基準面が形成されていることを特徴とする動圧空気軸受型光偏向器。
【請求項２】
セラミック製回転スリーブの外側に金属製外周部材が焼きばめされるとともに上記金属製外周部材に複数のミラー面が形成されてなる回転体が、動圧空気軸受で支持された動圧空気軸受型光偏向器において、
上記金属製外周部材に形成されたミラー面は軸方向の位置が上記セラミック製回転スリーブと重なるように配置され、
上記金属製外周部材には、上記ミラー面と上記セラミック製回転スリーブとの間に焼きばめ応力除去部が形成され、
上記セラミック製回転スリーブと上記金属製外周部材の焼きばめ部は、少なくとも上記セラミック製回転スリーブの両端外径部が焼きばめされ、
前記回転スリーブの内径を基準にして、前記金属性外周部材にミラー面を加工する際の鏡面加工用基準面が形成されていることを特徴とする動圧空気軸受型光偏向器。
【請求項３】
上記焼きばめ応力除去部は、上記ミラー面の内接円と同心の円周溝であって、この円周溝が少なくとも上記ミラー面と軸方向に重なるように形成されている請求項１または２記載の動圧空気軸受型光偏向器。
【請求項４】
上記金属製外周部材には、動圧空気軸受径より大きい貫通孔が形成されている請求項１または２記載の動圧空気軸受型光偏向器。
【請求項５】
請求項１または２記載の動圧空気軸受型光偏向器における回転体の加工方向であって、
セラミック製回転体スリーブと金属製外周部材とを焼きばめする第１工程と、
前記回転スリーブの内径を基準にして、前記金属製外周部材の応力除去部の外側に鏡面加工用基準面を加工する第２工程と、
前記鏡面加工用基準面を基準にして、ミラー面を鏡面加工する第３工程とを有することを特徴とする動圧空気軸受型光偏向器の回転体の加工方法。
【請求項６】
請求項１または２記載の動圧空気軸受型光偏向器に用いる部品のリサイクル方法であって、回転体を加熱してセラミック製回転スリーブを取り外し、上記セラミック製回転スリーブを再利用することを特徴とする動圧空気軸受型光偏向器用部品のリサイクル方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、レーザー書き込み系などに用いられる動圧空気軸受型光偏向器、その回転体の加工方法および動圧空気軸受型光偏向器用部品のリサイクル方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
デジタル複写機、レーザープリンタ等のレーザー書き込み系を用いた電子写真方式の記録装置ないしは画像形成装置は、印字品質の高さ、形成画像品質の高さ、高速プリント、低騒音などの優れた特徴と低価格化により、急速に普及してきている。これら記録装置のレーザー書き込み系の構成部品である光偏向器として一般に回転多面鏡が用いられている。回転多面鏡は、記録装置のプリント速度、画素密度に応じた回転速度で回転駆動される。近年、プリント速度の高速化、画素密度の高密度化にともない、光偏向器には２００００回転／分以上の高速回転が要求されている。しかしながら、従来のように軸受のタイプがボールベアリングタイプでは、長寿命・高耐久・低騒音という要求品質を満足することができない。そのため高速回転用の光偏向器の軸受としては、動圧空気軸受を用いたものが実用化されている。
【０００３】
特開平７−１９００４７号公報記載のものは動圧空気軸受を用いた光偏向器の例であって、回転初期から所定の回転数を維持し、使用環境温度まで安定した良好な回転精度を達成する高速回転体、例えば回転多面鏡を用いた光偏向器を提供することを目的としている。その構成を概略的に説明すると次のようになる。セラミック製固定軸の外側にあってこのセラミック製固定軸とともに動圧空気軸受を構成する高速回転体であって、ラジアル方向に一定の厚さを有するセラミックスリーブ及びその外周に焼きばめ固着した上記セラミックスリーブより熱膨張係数の大きい金属製外周部材により構成される高速回転体に関する。上記セラミックスリーブは上記金属製外周部材を焼きばめ固着した後にその内径を所定のつづみ形状に加工し、高速回転体の使用回転数により作用するラジアル方向の遠心応力及び摩擦による熱膨張により緩和する焼きばめ圧縮応力に応じて、セラミック製固定軸とセラミックスリーブとのすきまが一様になるように、セラミックスリーブ内径のつづみ形状を決める。
【０００４】
しかしながら、上記公報記載の発明には、以下の不具合がある。
鏡面加工した回転多面鏡を焼きばめすると、焼きばめ時の圧縮応力によりミラー面が歪んで平面度が悪化し、高精度な鏡面を維持できない。その結果、良好な画像出力が得られない。
また、焼きばめ後に回転多面鏡のミラー面を鏡面加工した場合でも、高速回転により回転体の温度が上昇すると、セラミック製回転スリーブの線膨張係数が金属製外周部材の線膨張係数より小さいため、焼きばめによる圧縮応力が取り除かれる結果、ミラー面が歪んで平面度が悪化し、高精度な鏡面を維持できない。その結果、良好な画像出力が得られない。
【０００５】
また、セラミック製回転スリーブの外側に金属製外周部材を焼きばめした後、焼きばめにより一部変形した内径を加工する必要がある。また、セラミック製回転スリーブの内径がつづみ形状に形成されるため、セラミック製回転スリーブの内径中心軸に対するミラー面の角度を、高い精度で所定の角度に形成することができない。さらに、焼きばめ後にセラミック製回転スリーブの内径を加工しているために、光偏向器がある年月使用された後、これを回収し、セラミック製回転スリーブを取り外して再利用するということができない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は以上のような従来技術の問題点を解消するためになされたもので、以下に述べるような解決課題をもっている。
請求項１記載の発明の課題
セラミック製回転スリーブの外側に金属製外周部材を焼きばめした後、セラミック製回転スリーブの内径の仕上げ加工をする必要がない。
ある年月の間光偏向器を使用した後回収し、セラミック製回転スリーブを取り外して再利用することができる。
セラミック製回転スリーブの内径中心軸に対して一定の角度で精度の高いミラー面を容易に形成することができる。
セラミック製回転スリーブと金属製外周部材との焼きばめにより、セラミック製回転スリーブの内径を、略ストレートに変形させることができる。
上記の特徴を備えた、長寿命・高耐久・低騒音の動圧空気軸受型光偏向器を提供する。
【０００７】
請求項２記載の発明の課題
セラミック製回転スリーブと金属製外周部材との焼きばめにより、セラミック製回転スリーブの内径を、両端が細くなる円筒に変形させることが容易で、セラミック製回転スリーブの内径中心軸に対して一定の角度で精度の高いミラー面を容易に形成することができる動圧空気軸受型光偏向器を提供する。
【０００８】
請求項３記載の発明の課題
請求項１記載の発明において、高速回転、あるいは周囲温度の変化により、回転体の温度が変化し、焼きばめ部の圧縮応力が変化しても、ポリゴンミラー面が歪んで平面度が悪化することなく、高精度な鏡面を維持することができる、セラミック製回転スリーブ一体型回転多面鏡のミラー面の歪みを防止することができる動圧空気軸受型光偏向器を提供する。
請求項４記載の発明の課題
セラミック製回転スリーブの内径を加工治具に対して高精度に配置、固定することができ、セラミック製回転スリーブの内径中心軸に対してミラー面を、所定の角度で、かつ、高い精度で形成することができる動圧空気軸受型光偏向器を提供する。
【０００９】
請求項５記載の発明の課題
請求項１記載の発明と同様の効果を得ることができる動圧空気軸受型光偏向器の回転体の加工方法を提供する。
請求項６記載の発明の課題
請求項１記載の動圧空気軸受型光偏向器で使用される、高価なセラミック製回転スリーブのリサイクル方法を提供し、低コストで部品の再利用を図る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、セラミック製回転スリーブの外側に金属製外周部材が焼きばめされるとともに上記金属製外周部材に複数のミラー面が形成されてなる回転体が、動圧空気軸受けで支持された動圧空気軸受型光偏向器において、上記金属製外周部材に形成されたミラー面は軸方向の位置が上記セラミック製回転スリーブと重なるように配置され、上記金属製外周部材には、上記ミラー面と上記セラミック製回転スリーブとの間に焼きばめ応力除去部が形成され、上記セラミック製回転スリーブと上記金属製外周部材の焼きばめ部は、上記セラミック製回転スリーブの軸方向略全長に渡って焼きばめされ、前記回転スリーブの内径を基準にして、前記金属製外周部材に前記ミラー面を加工する際の鏡面加工用基準面が形成されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、セラミック製回転スリーブと金属製外周部材の焼きばめ部は、少なくともセラミック製回転スリーブの両端外径部が焼きばめされていることを特徴とする。
【００１２】
請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明において、焼きばめ応力除去部は、ミラー面の内接円と同心の円周溝であって、この円周溝が少なくともミラー面と軸方向に重なるように形成されていることを特徴とする。
請求項４記載の発明は、請求項１記載の発明において、金属製外周部材には、動圧空気軸受径より大きい貫通孔が形成されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項５記載の発明は、請求項１または２記載の動圧空気軸受型光偏向器における回転体の加工方向であって、セラミック製回転体スリーブと金属製外周部材とを焼きばめする第１工程と、前記回転スリーブの内径を基準にして、前記金属製外周部材の応力除去部の外側に鏡面加工用基準面を加工する第２工程と、前記鏡面加工用基準面を基準にして、ミラー面を鏡面加工する第３工程とを有することを特徴とする。
【００１４】
請求項６記載の発明は、請求項１記載の動圧空気軸受型光偏向器に用いる部品のリサイクル方法であって、回転体を加熱してセラミック製回転スリーブを取り外し、上記セラミック製回転スリーブを再利用することを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明にかかる動圧空気軸受型光偏向器、その回転体の加工方法および動圧空気軸受型光偏向器用部品のリサイクル方法の実施形態について説明する。
【００１６】
図１、図２、図３において、ハウジング１の下面には、各種機器の光学ハウジングへの取り付け基準面１ａが形成されている。ハウジング１の上面側中央には円筒形の軸受取り付け部１ｂが形成され、軸受取り付け部１ｂの内周側には動圧空気軸受を構成する固定軸２が嵌合され固定されている。固定軸２の円筒状表面には動圧空気軸受を構成するための溝２ａが軸方向上下に形成されている。固定軸２の外周側には、回転体３の内周側に一体に嵌められた回転スリーブ１５の内周面が僅かな隙間をおいて対向している。したがって、回転体３が回転を開始すると、上記溝２ａに沿って空気が流れることによって、回転スリーブ１５の内周面と固定軸２の外周面との間に形成された軸受すきまの空気圧力が高まり、回転体３が固定軸２に対し非接触でラジアル方向(半径方向)に支持される。
【００１７】
固定軸２の内側には吸引型磁気軸受の固定部５が固定されている。吸引型磁気軸受の固定部５は、図３に示すように、キャップ部材６とストッパ７が固定軸２の内筒部に圧入固定されることで、上記キャップ部材６とストッパ７とで軸方向に挟まれることにより固定軸２に固定されている。キャップ部材６の中央部（内周縁部）には空気が通過するときの粘性抵抗を利用して上下振動を減衰させるφ０．２〜φ０．５ｍｍ程度の微細穴が形成されている。キャップ部材６とストッパ７はともに非磁性材料、例えばステンレス鋼板などからなる。
【００１８】
吸引型磁気軸受の固定部５は回転軸方向に２極に着磁されたリング状永久磁石８と、このリング状永久磁石８の内径よりも小さい中心円が形成された強磁性材料からなる第１の固定ヨーク板９と、同様に、上記リング状永久磁石８の内径よりも小さい中心孔が形成された強磁性材料からなる第２の固定ヨーク板１０とからなる。第１の固定ヨーク板９と第２の固定ヨーク板１０はリング状永久磁石８を軸方向に挟み、第１の固定ヨーク板９の中心孔および、第２の固定ヨーク板１０の中心孔が回転中心軸に対して同軸になるように配置され、固定軸２の内側に固定されている。リング状永久磁石８の材質としては主に希土類系の永久磁石が用いられる。固定ヨーク板９、１０には鉄鋼系の板材が用いられる。固定軸２はセラミック、あるいはアルミ合金などの非磁性材料からなる。
【００１９】
ハウジング１の上面には略中央部に孔が形成されたプリント基板１１が配置されている。ハウジング１の軸受取り付け部１ｂの外周には、プリント基板１１、スペーサ１２、複数の突極にモータ巻線１３ａが巻かれたステータコア１３がこの順番に嵌合され、軸受取り付け部１ｂの先端がかしめられて、すなわち塑性変形されて、上記３つの部品がハウジング１の上面と上記かしめ部との間に挟まれて固定されている。モータ方式は、回転体３に取り付けられたロータマグネット１４とモータ巻線１３ａが巻かれたステータコア１３とが、固定軸２および回転体３の中心軸線を中心とした円筒面に沿って対向したラジアルギャップ・アウターロータ型のブラシレスモータである。
【００２０】
回転体３は、セラミック製の回転スリーブ１５と、その外側に焼きばめ固定された外周部材１６とを有してなる。外周部材１６は、アルミニウムを主成分とする金属からなり、上記スリーブ１５と金属製の外周部材１６とが回転スリーブ１５の軸方向全長に渡って焼きばめ固定されている。外周部材１６の外周には周方向に一定の間隔で、複数のミラー面１６ａが一体に形成されている。すなわち、外周部材１６は回転多面鏡を構成している。外周部材１６の下側は円筒形のロータハウジングになっており、このロータハウジングの内周面にはモータ用のロータマグネット１４が接着または圧入によって固定されている。ロータマグネット１４の内周面は、所定の間隙をおいてステータコア１３の外周面と対向している。外周部材１６の上端には動圧軸受の径よりも大きい径の貫通孔が形成されている。
【００２１】
回転スリーブ１５と外周部材１６は以下の加工工程に付され、ミラー面１６ａが加工される。
第１工程：セラミック製回転スリーブ１５と金属製外周部材１６との焼きばめ工程
第２工程：鏡面加工用基準面加工工程
第３工程：鏡面加工工程
第１工程では、回転スリーブ１５の外側に外周部材１６が焼きばめによって固定される。
【００２２】
第２工程では、鏡面加工用基準面１６ｂが加工される。外周部材１６には動圧軸受径より大きい貫通孔が形成されており、この貫通孔を利用して冶具に固定され鏡面加工用基準面１６ｂが加工される。図６はこの加工の様子を示す。図６において、回転スリーブ１５の内径側に加工用治具２２を貫通させて冶具２２に回転スリーブ１５を固定し、回転スリーブ１５の内径中心軸と高精度に直交する鏡面加工用基準面１６ｂを切削加工あるいは研削加工により形成する。鏡面加工用基準面１６ｂは、ミラー面１６ａの歪みを防止する円周溝１６ｄの外側に形成される。符号２３は上記基準面１６ｂを形成するための刃物を示す。加工用治具２２はマンドレルと呼ばれるテーパー形状の棒で、回転スリーブ１５を挿入後、回転スリーブ１５が挿入された部分の外径を拡大することで、回転スリーブ１５を固定することができる。
第３工程では、回転スリーブ１５と一体になった外周部材１６を上記鏡面加工用基準面１６ｂで固定してミラー面を加工・形成する。
【００２３】
前述の特開平７−１９００４７号公報に記載されている従来例を、上記本発明の実施形態に対応させて説明すると、第１工程で回転スリーブ１５の外側に外周部材１６が焼きばめ固定されることになる。ところが、動圧空気軸受面である回転スリーブ１５の内径が上端部を中心に変形するため、第２工程の前に内径の修正・仕上げ加工をする必要がある。
【００２４】
これに対して本発明の上記実施形態では、回転スリーブ１５の軸方向全長にわたって外周部材１６が焼きばめされるため、焼きばめ後、回転スリーブ１５の全長にわたって、ほぼ均等に内径が変形する。したがって、あらかじめストレートの円筒形状に仕上げた回転スリーブ１５を用いることで、焼きばめ後の回転スリーブ１５の内径はわずかに内径寸法が縮小したストレートの円筒形状となる。このとき、焼きばめによる変形量に合わせて、あらかじめ、回転スリーブ１５の内径寸法を少し大きめに仕上げておく。
【００２５】
焼きばめ後の回転スリーブ１５の内径はストレートの円筒形状となるので、図６に示すように、鏡面加工用基準面１６ｂを加工する際に加工用治具２２にまっすぐ固定されて回転スリーブ１５の内径中心軸と高精度に直交する鏡面加工用基準面１６ｂを加工することができる。その結果、第３工程で回転スリーブ１５と一体になった外周部材１６を鏡面加工用基準面１６ｂで固定してミラー面を加工する際も、鏡面加工用基準面１６ｂの回転スリーブ１５の内径中心軸に対する角度精度が高いため、回転スリーブ１５の内径中心軸に対して一定の角度で精度の高いミラー面を形成することができる。
【００２６】
前記特開平７−１９００４７号公報記載の発明のように、回転スリーブ１５の内径をつづみ形状とすると、図１０に示すように、鏡面加工用基準面３３ｂを加工する際に、回転スリーブ１５およびこれと一体の外周部材３３が加工用治具２２にまっすぐ固定されず、斜めに固定され、鏡面加工用基準面３３ｂが回転スリーブ１５の内径中心軸に対し傾いて加工されてしまうことがあった。その結果、第３工程で回転スリーブ１５と一体になった外周部材３３を鏡面加工用基準面３３ｂで固定してミラー面を加工する際も、回転スリーブ１５の内径中心軸に対する鏡面加工用基準面３３ｂの角度精度が悪いため、回転スリーブ１５の内径中心軸に対して角度のバラツキが大きくなり、精度の悪いミラー面が形成されてしまうことがあった。なお、図１０では、つづみ形状を誇張して示している。
【００２７】
上記工程により回転体３が形成される第１の実施形態にかかる光偏向器は、複写機、その他の機器に取り付けられてある年月使用された後、これを回収し、回転体３を加熱することによって回転スリーブ１５を取り外すことができ、これを再利用することができる。回転スリーブ１５はセラミック製で非常に硬度が高く動圧空気軸受として使用してもほとんど磨耗しない。また、物性面でも安定しており、金属のように腐食等の問題がないため、さらに、回転スリーブ１５と外周部材１６とを締結した後に回転スリーブを切削加工する工程もないため、再利用が容易である。光偏向器は長年の使用によりミラー面の反射率等が劣化するため、ミラー部の再利用は困難であるが、回転体３の外周部材１６を交換し、前述の工程によりミラー面を加工することにより、再生品の回転スリーブ１５を再利用して回転体を構成することができる。回転スリーブ１５はセラミック製で硬度が高く加工コストが高いため高価な部品となっているが、繰り返し再利用することで軸受コストを抑えることができる。また、回転スリーブ１５と外周部材１６との締結に接着剤等を使用していないため、解体が容易であり、分別、再資源化が容易である。
【００２８】
図８は、回転スリーブ１５、ミラー面１６ａ、ミラー面１６ａの歪みを防止するための円周溝１６ｄの、軸方向位置の重なり関係を説明する図で、外周部材１６と回転スリーブ１５の間には、回転多面鏡の内接円と同心状の上記円周溝１６ｄが形成されている。円周溝１６ｄはミラー及び回転スリーブ１５と軸方向（図８において縦方向）の位置が重なるように形成されている。回転体３は高速回転により温度が上昇する。温度が上昇すると、セラミック製回転スリーブ１５の線膨張係数が、アルミを素材とする外周部材１６の線膨張係数より小さいため、焼きばめされている回転スリーブ１５と外周部材１６との間の圧縮応力が緩和され、外周部材１６の外周部にわずかな変形が生じる。しかし、ミラー面１６ａおよび回転スリーブ１５は軸方向の位置が重なるように形成され、かつ、ミラー面１６ａと回転スリーブ１５との間に、ミラー面１６ａおよび回転スリーブ１５と軸方向の位置が重なるように上記円周溝１６ｄが形成されているため、焼きばめによる圧縮応力がミラー面１６ａに及ぶことがない。すなわち、上記円周溝１６ｄは、焼きばめ応力除去部として機能する。したがって、回転体３の温度が変動してもミラー面１６ａが歪むことがなく、高精度な平面が維持される。
【００２９】
外周部材１６上端の貫通孔には、外周部材１６と線膨張係数が略等しい閉止部材１７が圧入固定されている。閉止部材１７は円盤形状となっている。外周部材１６上端の閉止部材１７が圧入固定される部分の周辺には薄肉円筒部１６ｃが形成され、閉止部材１７の圧入による応力を薄肉円筒部１６ｃで吸収する応力吸収部となっている。閉止部材１７の圧入部外径は外周部材１６の圧入部内径より２０〜６０μｍ程度大きく形成されているため、閉止部材１７が圧入されると、外周部材１６の薄肉円筒部１６ｃが外側に向かって変形する。圧入時に薄肉円筒部１６ｃが外側に変形することで、閉止部材１７の圧入によってミラー面１６ａまで伝達される応力が低減される。その結果、閉止部材１７の圧入後も、ミラー面１６ａは高精度な平面が維持される。薄肉円筒部１６ｃはその外径を内径（圧入径）の１．２倍以下とし、圧入部の肉厚を薄肉化することで、閉止部材１７の圧入による応力を吸収し、ミラー面の歪みを防止する効果が得られる。薄肉円筒部１６ｃをさらに薄肉化し、外径を内径（圧入径）の１．１倍以下に形成すれば、ミラー面１６ａの歪みを防止する効果がより高くなる。
【００３０】
応力吸収部となる薄肉円筒部１６ｃの圧入による変形には塑性変形の要素と弾性変形の要素の両者がある。弾性変形により半径方向の弾性力が作用した状態で、閉止部材１７が固定されている。外周部材１６と閉止部材１７の材質は、その線膨張係数が略等しい材質とする。こうすることで、温度変化により外周部材１６と閉止部材１７とが同じように伸縮するので、締結部が緩むことなく、温度変化によって回転体３のバランスが崩れ、振動が大きくなるということがない。
【００３１】
また、外周部材１６上端の薄肉円筒部１６ｃの外径に、別形状の閉止部材を圧入または焼きばめすることも可能である。しかし、上記第１の実施形態のように、薄肉円筒部１６ｃの内径に閉止部材１７を圧入する方が、閉止部材１７が高温で緩むことなく固定される利点がある。これは、セラミック製回転スリーブ１５の線膨張係数が金属製外周部材１６の線膨張係数の１／３以下であるため、高温での回転スリーブ１５の外径拡大量が小さく、外周部材１６の焼きばめ部内径拡大量も通常より小さくなる結果、焼きばめ部の延長である閉止部材１７の圧入部の内径拡大量も通常より小さく、閉止部材１７の固定力が高温で増加するためである。
【００３２】
図１、図４に示すように、閉止部材１７の中心部には吸引型磁気軸受の回転部１８が配置・固定されている。吸引型磁気軸受の回転部１８には、前記第１の固定ヨーク板９の中心円孔および、第２の固定ヨーク板１０の中心円孔との間に磁気ギャップを構成する外筒面が形成され、その外筒面が回転中心軸と同軸になるように配置されている。吸引型磁気軸受の回転部１８には永久磁石または鉄鋼系の強磁性材料が用いられる。
【００３３】
外周部材１６上端の貫通孔は閉止部材１７によって塞がれることで、回転体３と固定軸２が組み立てられたときに、固定軸上端と回転体３の間に略密閉空間３ａが形成される。この略密閉空間３ａの空気が前記キャップ部材６に形成されたφ０．２〜０．５ｍｍの微細孔を出入りするときの空気の粘性抵抗によって軸方向の振動減衰効果が得られる。
【００３４】
外周部材１６の上端は回転スリーブ１５より突出し、突出部を含めて外周部材１６の貫通孔は回転スリーブ１５の外径と同じ、またはそれ以上に形成されている。そのため、外周部材１６と回転スリーブ１５の間に加工油が残ることがなく、回転により、加工油が滲み出してくるということがない。
【００３５】
また、外周部材１６の上記突出部の貫通孔を回転スリーブ１５の外径と同径、すなわち、焼きばめ径と同径とし、焼きばめ径の延長部を閉止部材１７の圧入部内径として利用することで、回転軸に対する閉止部材の中心軸のズレを抑えることができ、バランス修正量が少なくなり、修正作業が容易となる。また、部品検査など寸法管理も容易となる。
【００３６】
外周部材１６の円周溝１６ｄは回転体３のバランス修正用の溝として利用される。回転体３の不釣り合い(アンバランス)による振動が非常に小さいレベルになるように、回転体３の上下２ヶ所の修正面でバランス修正が行われる。上側のバランス修正面は円周溝１６ｄの一部であり、下側のバランス修正面は、回転体３の下部に一体に固定されているロータマグネット１４の一部１４ａである。焼きばめ応力除去部を兼ねた円周溝１６ｂをバランス修正用の溝として利用するので、バランス修正用の溝を別途に設ける必要がない。
【００３７】
ハウジング１およびプリント基板１１の上方には回転体３を囲むように内部がくりぬかれたカバー１９がハウジング１にねじで固定されている。カバー１９にはレーザー光の入出射用開口部が形成され、この開口部にガラス板２０が両面テープまたは接着剤で固定されて密閉されている。カバー１９とプリント基板１１の間には弾性シール部材２１が配置されるとともに圧縮され、回転体３が配置される空間と外部とを遮断し、回転体３の配置される空間を密閉している。図２に示すように、プリント基板１１に回路素子非実装部１１ｅを設け、この回路素子非実装部１１ｅに弾性シール部材２１を配置し圧縮すれば密閉効果が高くなる。このように、回転体３を密閉空間に配置することで回転多面鏡が攪拌する空気量を減らして、風損を小さく抑え、駆動素子に流れる電流を小さくして、不必要な電力消費を抑制している。また、回転多面鏡の風きり音を閉じ込めて騒音レベルを小さくしている。
【００３８】
プリント基板１１には駆動回路が一体で設けられており、モータ巻線１３ａやホール素子１１ａとパターン配線され、ホール素子１１ａの位置検出信号にしたがって、順次、モータ巻線１３ａへの通電を切り替え、回転体３を回転駆動して定速制御する。プリント基板１１は片面の金属基板でロータマグネット１４と対向する面に回路素子１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄなどが実装され、裏面はアルミニウム合金製のハウジング１と密着して固定されている。その結果、駆動素子１１ｂなどの回路素子の発熱に対し、回路素子の熱容量が大きくなり、放熱効率が良くなるので、小型で低コストな回路素子を使用することができる。また、スルーホール加工が不要な片面の金属基板を用いて、プリント基板１１も低コスト化することができる。
【００３９】
さらに、第１の実施形態では、駆動素子１１ｂなどの回路素子を回転体３が配置される密閉空間に配置している。密閉空間は回転体３が回転することで空気が攪拌されるため、密閉空間の温度は略均一となり、回路素子の発熱を分散させて放熱させることができる。その結果、回路素子の温度上昇を抑え、信頼性を高めることができる。
【００４０】
図１、図２に示すように、プリント基板１１の一部はハウジング１とカバー１９の間から露出しており、その露出部に入出力信号および駆動電源用のコネクタ１１ｄが実装されている。ハウジング１の取付基準面より上方に入出力信号および駆動電源用のコネクタ１１ｄを配置することで、光偏向器を取り付けた後でもハーネスの取り付けができ、上方からの差込みにより作業性もよい。
上記構成の密閉型光偏向器はカバー１９を含めて構成されるので、小型でコンパクトな状態で、高速回転での回転むらおよび騒音等の特性保証および検査が容易である。
【００４１】
また、上記構成の密閉型光偏向器は、ハウジング１の取付基準面と密着する面を設けたアルミダイキャスト製の光学ハウジングに取り付けて使用することで、高速回転にともなう光偏向器の発熱に対して、金属基板からハウジング、さらに、光学ハウジングへと伝わる放熱経路を確保することができる。その結果、光偏向器の駆動素子１１ｂなどの温度上昇を低く抑え、信頼性を確保した状態で使用することができる。
【００４２】
次に、本発明にかかる動圧空気軸受型光偏向器の第２の実施形態について説明する。図５は第２の実施形態を示すもので、（ａ）は分解斜視図、（ｂ）断面図である。回転体３０の構成のみが第１の実施形態と異なる。回転体３０以外の、第１の実施形態と同じ構成については説明を省略する。
図５において、回転体３０は、セラミック製の回転スリーブ１５と、アルミニウムを主成分とする金属製の外周部材３１とを有してなる。回転スリーブ１５の外側に、外周部材３１が、回転スリーブ１５の両端部で外周部材３１が焼きばめされて固定され、外周部材３１には複数のミラー面３１ａが周方向に等間隔でかつ開き角度を同じくして形成されている。外周部材３１の下側にはモータ用のロータマグネット１４が接着または圧入固定されている。外周部材３１の上端には動圧軸受径より大きい貫通孔が形成されている。
【００４３】
回転スリーブ１５と外周部材３１は以下の加工工程でミラー面３１ａが加工される。
第１工程：セラミック製回転スリーブ１５と金属製外周部材３１の焼きばめ工程
第２工程：鏡面加工用基準面３１ｂ加工工程
第３工程：鏡面加工工程
【００４４】
第１工程では、回転スリーブ１５の外側に外周部材３１が焼きばめ固定される。
第２工程では、鏡面加工用基準面３１ｂが加工される。外周部材３１には動圧軸受径より大きい貫通孔が形成されており、図７に示すように、回転スリーブ１５の内径に加工用治具２２を貫通させて回転スリーブ１５およびこれと一体の外周部材３１を固定し、回転スリーブ１５の内径中心軸と高精度に直交する鏡面加工用基準面３１ｂが切削加工あるいは研削加工により形成される。符号２３は加工用の刃物を示す。加工用治具２２はマンドレルと呼ばれるテーパー形状の棒で、回転スリーブ１５を挿入後、回転スリーブ１５が挿入された部分の外径を拡大することで、回転スリーブ１５を固定することができる。
第３工程では回転スリーブ１５と一体になった外周部材３１を鏡面加工用基準面３１ｂで固定してミラー面３１ａを加工・形成する。
【００４５】
図９に示す従来例においては、第１工程で回転スリーブ１５の外側に外周部材３３が焼きばめ固定されると、動圧空気軸受面である回転スリーブ１５の内径が上端部を中心に変形するため、第２工程の前に、内径の修正・仕上げ加工をする必要があった。
【００４６】
これに対して、本発明の上記第２実施形態では、回転スリーブ１５の両端部で外周部材３１が焼きばめされるため、焼きばめ後、回転スリーブ１５の両端部の内径が変形する。したがって、あらかじめストレートの円筒形状に仕上げた回転スリーブ１５を用いることで、焼きばめ後の回転スリーブ１５の内径は両端部の内径寸法がわずかに縮小した円筒形状となる。このとき、焼きばめによる変形量に合わせて、あらかじめ、回転スリーブ１５の内径寸法を仕上げておく。
【００４７】
焼きばめ後の回転スリーブ１５の内径は両端部の内径寸法がわずかに縮小した円筒形状となるので、図７に示すように、鏡面加工用基準面３１ｂを加工する際に加工用治具２２に回転スリーブ１５の内径の両端部で、まっすぐ固定されて回転スリーブ１５の内径中心軸と高精度に直交する鏡面加工用基準面３１ｂを加工することができる。その結果、第３工程で回転スリーブ１５と一体になった外周部材３１を鏡面加工用基準面３１ｂで固定してミラー面３１ａを加工する際も、鏡面加工用基準面３１ｂの、回転スリーブ１５の内径中心軸に対する角度精度が高いため、回転スリーブ１５の内径中心軸に対して一定の角度で精度の高いミラー面３１ａを形成することができる。なお、図５（ｂ）、図７では、両端が細くなる回転スリーブ１５の円筒形状を誇張して示している。
【００４８】
特開平７−１９００４７号公報記載の発明では、回転スリーブ１５の内径をつづみ形状とすることになる。しかし、このような構成では、図１０に示すように、鏡面加工用基準面３３ｂを加工する際に加工用治具２２に対してまっすぐ固定されず、斜めに固定され、鏡面加工用基準面３３ｂが回転スリーブ１５の内径中心軸に対し傾いて加工されてしまうことがあった。その結果、第３工程で回転スリーブ１５と一体になった外周部材３３を鏡面加工用基準面３３ｂで固定してミラー３３ａ面を加工する際も、鏡面加工用基準面３３ｂの、回転スリーブ１５の内径中心軸に対する角度精度が悪いため、回転スリーブ１５の内径中心軸に対して角度バラツキが大きく、精度が悪いミラー面３３ａが形成されてしまうことがあった。なお、図１０では、つづみ形状を誇張して示している。
【００４９】
前記工程により回転体３０が形成される第２実施形態にかかる光偏向器は、ある年月にわたり使用した後回収し、回転体３０を加熱して回転スリーブ１５を取り外して再利用することができる。回転スリーブ１５はセラミック製で非常に硬度が高く動圧空気軸受として使用してもほとんど磨耗しない。また、物性面でも安定しており、金属のように腐食等の問題がないため再利用が容易である。光偏向器は長年の使用によりミラー面３１ａの反射率等が劣化するため、ミラー部の再利用は困難であるが、回転体３０の外周部材３１を交換し、上記工程によりミラー面を加工することにより、再生品の回転スリーブ１５を利用して回転体３０を構成することができる。回転スリーブ１５はセラミック製で硬度が高く加工コストが高いため高価な部品となっているが、繰り返し再利用することで軸受コストを抑えることができる。同時に、締結に接着剤等を使用していないため、解体が容易で分別、再資源化が容易である。
【００５０】
以上、本発明にかかる実施形態について説明したが、本発明はセラミック製動圧空気軸受を用い、長寿命・高耐久・低騒音の光偏向器に関し、特にセラミック製回転スリーブ１５の外側に金属製の外周部材が焼きばめ固定され、外周部材にミラー部が一体で形成された回転体に関する発明である。したがって、その他の構成については実施形態に限定されるものではない。
【００５１】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、次のような作用効果を得ることができる。
セラミック製回転スリーブの外側に金属製外周部材を焼きばめした後、セラミック製回転スリーブの内径の仕上げ加工をする必要がない。
光偏向器を使用後回収し、セラミック製回転スリーブを取り外して再利用することができる。
セラミック製回転スリーブの内径中心軸に対して一定の角度で精度の高いミラー面を容易に形成することができる。
セラミック製回転スリーブと金属製外周部材の焼きばめにより、セラミック製回転スリーブの内径を、略ストレートに変形させることが可能であり、振れのない、高い回転精度を得ることができる。
もって、長寿命・高耐久・低騒音の動圧空気軸受型光偏向器を提供することができる。
【００５３】
請求項２記載の発明によれば、セラミック製回転スリーブと金属製外周部材の焼きばめにより、セラミック製回転スリーブの内径を、両端が細くなる円筒に変形させることが可能であり、振れのない、回転精度の高い動圧空気軸受型光偏向器を提供することができる。
【００５４】
請求項３記載の発明によれば、高速回転、あるいは周囲温度の変化により、回転体の温度が変化し、焼きばめ部の圧縮応力が変化しても、回転多面鏡の反射面が歪んで平面度が悪化することがなく、高精度な鏡面を維持することができる動圧空気軸受型光偏向器を提供することができる。
【００５５】
請求項４記載の発明によれば、セラミック製回転スリーブの内径を加工治具に対して高精度に配置、固定することができ、セラミック製回転スリーブの内径中心軸に対して一定の角度で精度の高いミラー面を形成することができる動圧空気軸受型光偏向器を提供することができる。
【００５６】
請求項５記載の発明によれば、請求項１記載の発明と同様の作用効果を得る動圧空気軸受型光偏向器の回転体の加工方法を提供することができる。
請求項６記載の発明によれば、セラミック製回転スリーブをリサイクルすることによって、請求項１記載の動圧空気軸受型光偏向器で使用される高価なセラミック製回転スリーブを再利用することができ、動圧空気軸受型光偏向器の低コスト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる動圧空気軸受型光偏向器の第１の実施形態を示す縦断面図である。
【図２】上記実施形態を、カバーを外した状態で示す平面図である。
【図３】上記実施形態を示す分解斜視図である。
【図４】上記実施形態中の回転体の部分を示す（ａ）は分解斜視図、（ｂ）は縦断面図である。
【図５】本発明にかかる動圧空気軸受型光偏向器の第２の実施形態を示す縦断面図である。
【図６】上記第１の実施形態にかかる回転体の加工の様子を示す断面図である。
【図７】上記第２の実施形態にかかる回転体の加工の様子を示す断面図である。
【図８】上記第１の実施形態にかかる回転体の回転スリーブと円周溝とミラー面との軸方向の位置関係を示す断面図である。
【図９】従来の動圧空気軸受型光偏向器の例を示す縦断面図である。
【図１０】従来の動圧空気軸受型光偏向器における回転体の加工の様子を示す断面図である。
【符号の説明】
３  回転体
１５  回転スリーブ
１６  外周部材
１６ａ  ミラー面
１６ｂ  鏡面加工用基準面
１６ｄ  応力除去部としての円周溝
３０  回転体
３１  外周部材
３１ａ  ミラー面
３１ｂ  鏡面加工用基準面
【図１】
0004033283.tif 000002
【図２】
0004033283.tif 000003
【図３】
0004033283.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0004033283.tif 000009
【図９】
0004033283.tif 000010
【図１０】
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