(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工に寄与する液体を供給しながら被加工物を加工する加工装置の加工領域において発生するミストを排気するための装置であって、
該加工領域において開口したダクトと、該ダクト内のミストを外部に排出するファンとから構成されており、
該ダクトの該ファンに至るまでの所要位置には、ミストを衝突させる邪魔板手段を設け、
該ダクトは、加工領域に連通する加工領域連通部と、ファンに連通するファン連通部とを含み、該邪魔板手段は、該加工領域連通部を流通するミストの出口となる該加工領域連通部の一端から上向きに開口した出口部と、該ファンへ排気されるミストの該ファン連通部への入口となる該ファン連通部の一端から下向きに開口した入口部と、該加工領域連通部内を流通したミストを衝突させて直接該ファンへ流通するのを阻止する下方に開口した断面がコの字型の邪魔板と、それらを覆う函体とから構成され、
該邪魔板は、該出口部の上方において該出口部と非接触の状態で該出口部全体を覆うように配設されていることを特徴とする排気装置。
【請求項２】
函体の下部には排水口が配設され、ミストが邪魔板に付着して液状となったものを該排水口から排出する請求項１に記載の排気装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、加工に寄与する液体を供給しながら加工が行われる加工装置において加工により発生したミストを加工装置の外部に排気する排気装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、図３に示す切削装置２０において半導体ウェーハを切削するときは、切削しようとする半導体ウェーハＷは、保持テープＴを介してフレームＦに保持されてチャックテーブル２１に保持される。そして、チャックテーブル２１がＸ軸方向に移動してアライメント手段２２の直下に位置付けられ、パターンマッチング等の処理によって切削領域が検出されてブレード２３との位置合わせが行われた後、更にチャックテーブル２１がＸ軸方向に移動して加工領域２４に進入し、高速回転するブレード２３の作用を受けて切削が行われる。
【０００３】
切削時は、半導体ウェーハＷを冷却するための冷却液、切削により生じた切削屑を含んだ冷却液を洗浄するための洗浄液等の加工に寄与する液体が供給されるため、これらの液体がブレード２３の回転によって相当量のミストとなって加工領域２４に充満することになる。
【０００４】
加工領域２４に相当量のミストが充満すると、加工領域２４内の各部位に付着して付着部位を汚染したり、外部からの視認性を阻害する等の弊害が生じる。従って、充満したミストは装置の外部に排出する必要がある。
【０００５】
そこで、通常の切削装置には、図４に示すような、ミストを加工領域２４内から外部に排出するための排気装置３０が設けられる。この排気装置３０は、加工領域２４に設けた排気口２５から切削装置２０の外部に連通するダクト３１と、ダクト３１の先端に配設されるファン（図示せず）とから構成されており、加工領域２４内で発生したミストは、ダクト３１を流通し、ファンを介して装置外部に排出される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ダクト３１を通じて流通したミストは必ずファンを経由するためにファンに付着することが多く、ミストがファンに付着すると、ファンが錆びる等して故障しやすく、寿命も短くなるという問題があり、かかる問題を解消することに課題を有している。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解消するための具体的手段として本発明は、加工に寄与する液体を供給しながら被加工物を加工する加工装置の加工領域において発生するミストを排気するための装置であって、加工領域において開口したダクトと、該ダクト内のミストを外部に排出するファンとから構成されており、ダクトのファンに至るまでの所要位置には、ミストを衝突させる邪魔板手段を設け、該ダクトは、加工領域に連通する加工領域連通部と、ファンに連通するファン連通部とを含み、邪魔板手段は、加工領域連通部を流通するミストの出口となる加工領域連通部の一端から上向きに開口した出口部と、ファンへ排気されるミストのファン連通部への入口となるファン連通部の一端から下向きに開口した入口部と、加工領域連通部内を流通したミストを衝突させて直接ファンへ流通するのを阻止する下方に開口した断面がコの字型の邪魔板と、それらを覆う函体とから構成され、邪魔板は、出口部の上方において出口部と非接触の状態で出口部全体を覆うように配設されている排気装置を提供するものである。
【０００８】
そして、函体の下部には排水口が配設され、ミストが邪魔板に付着して液状となったものを排水口から排出することを付加的要件とするものである。
【０００９】
このように構成される排水装置においては、ダクトのファンに至るまでの所要位置に、ミストを衝突させる邪魔板手段を設けたことにより、大半のミストは邪魔板手段によってダクト内における流通を阻止されるため、ファンに付着するミストを大幅に減少させることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に係る排気装置の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、図３に示した切削装置２０の加工領域２４において発生したミストを外部に排出する排気装置１０を示しており、排気装置１０は、加工領域２４の排気口２５から切削装置２０の内部を通ってファン１１ａへと接続されるホース状のダクト１１と、ダクト１１の途中に配設された邪魔板手段１２とから概ね構成されている。そして、ダクト１１は、加工領域２４の排気口２５に開口する加工領域連通部１３とファン１１ａに接続されるファン連通部１４とが、邪魔板手段１２を介して接続された構成となっている。
【００１１】
邪魔板手段１２は、図２に示すように、加工領域連通部１３の一端である出口部１５と、ファン連通部１４の一端である入口部１６と、出口部１５と入口部１６との間の領域に設けた邪魔板１７と、これらを覆う函体１８とから構成されている。
【００１２】
出口部１５は、加工領域連通部１３の一端から上向きに開口しており、加工領域連通部１３を流通したミストを上方に排出する際に、ミストの出口となるものである。一方、入力部１６は、ファン連通部１４の一端から下向きに開口しており、ファン連通部１４に進入するミストのファン連通部１４への入口となるものである。
【００１３】
邪魔板１７は、断面がコの字型の部材であり、出口部１５から排出されるミストをコの字の内側の面に衝突させることによりミストがファン連通部１４に流通するのを阻止し、かつ、衝突したミストを函体１８の下部に落下させるために、出口部１５の上方において出口部１５と非接触の状態で出口部１５の全体を覆うようにして配設されている。
【００１４】
また、函体１８の下部には、排水口１９が配設されており、排水口１９は、外部のドレーンに接続されている。
【００１５】
切削装置２０の加工領域２４において発生したミストは、排気口２５から吸引されて加工領域連通部１３に進入する。そして、加工領域連通部１３に進入したミストは、出口部１５から邪魔板手段１２に進入し、その大半は邪魔板１７に衝突する。
【００１６】
邪魔板１７に衝突したミストは水滴となって付着し、やがて落下して函体１８の下部に溜まっていく。一方、邪魔板１７に衝突しなかった一部のミストは入口部１６からファン連通部１４へと進入し、ファン１１ａを介して外部に排出される。
【００１７】
邪魔板１７に付着してから落下して函体１８の下部に溜まった液体は、排水口１９からドレーンへ液体が排出される。従って、函体１８の内部において液体が溢れることはない。
【００１８】
このように、入口部１６から進入したミストは、その大半が邪魔板１７に付着して水滴となり、落下して函体１８内に溜まった後にドレーンへ排出されるため、ファン１１ａへはミストがほとんど流通しない。従って、ファン１１ａに付着するミストを大幅に減少させることができる。
【００１９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る排気装置は、ダクトのファンに至るまでの所要位置にミストを衝突させる邪魔板手段を設けたことにより、大半のミストは邪魔板手段によってダクト内における流通を阻止されるため、ファンに付着するミストを大幅に減少させることができる。従って、ファンの錆等による故障が発生しにくく、ファンの寿命を伸ばすことができる。
【００２０】
また、邪魔板手段は構成が簡単、かつ安価であるため、経済性の面においても優れている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る排気装置を切削装置に適用した実施の形態の一例を示す説明図である。
【図２】同排気装置の構成の一例を示す説明図である。
【図３】切削装置の外観を示す斜視図である。
【図４】従来の排気装置を切削装置に適用した状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１０……排気装置  １１……ダクト  １１ａ……ファン  １２……邪魔板手段
１３……加工領域連通部  １４……ファン連通部  １５……出口部
１６……入口部  １７……邪魔板  １８……函体  １９……排水口
２０……切削装置  ２１……チャックテーブル  ２２……アライメント手段
２３……ブレード  ２４……加工領域  ２５……排気口
３０……排気装置  ３１……ダクト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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