(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロール状のベースフィルムをシート状にして間欠的に繰り出すためのベースフィルム供給装置と、
このベースフィルム供給装置によって繰り出されたシート状のベースフィルムに対して短冊状のカバーレイフィルムを仮圧着して、ベースフィルムにカバーレイフィルムが仮圧着されたシート状の積層フィルムを形成するための仮圧着装置と、
この仮圧着装置によって形成されたシート状の積層フィルムをロール状に巻き取るための積層フィルム回収装置とを備えたカバーレイフィルム貼り合わせ装置であって、
前記仮圧着装置は、ベースフィルムにカバーレイフィルムを仮圧着する仮圧着領域とカバーレイフィルムを前記仮圧着領域に向けて供給するカバーレイフィルム供給位置とを結ぶカバーレイフィルム供給路に沿ってカバーレイフィルムを供給可能で、かつ、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブルを有することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記カバーレイフィルム供給路は、前記ベースフィルム供給装置と前記積層フィルム回収装置とを結ぶベースフィルム供給路に対して直交することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項３】
短冊状のベースフィルムを仮圧着領域に向けて供給するためのベースフィルム供給装置と、
このベースフィルム供給装置によって供給された短冊状のベースフィルムに対して短冊状のカバーレイフィルムを仮圧着して、短冊状の積層フィルムを形成するための仮圧着装置と、
この仮圧着装置によって形成された短冊状の積層フィルムを回収するための積層フィルム回収装置とを備えたカバーレイフィルム貼り合わせ装置であって、
前記仮圧着装置は、ベースフィルムにカバーレイフィルムを仮圧着する仮圧着領域とカバーレイフィルムを前記仮圧着領域に向けて供給するカバーレイフィルム供給位置とを結ぶカバーレイフィルム供給路に沿ってカバーレイフィルムを供給可能で、かつ、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブルを有することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記仮圧着テーブルは、互いに直交する２つの水平方向に移動可能であり、かつ、水平面内の仮想点を回転中心とする円周方向に回動可能であることを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項５】
請求項４に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記仮圧着テーブルには、互いに離隔して配置された少なくとも２つの撮像用孔が設けられ、
これら各撮像用孔のそれぞれに対応して撮像素子が設けられていることを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記仮圧着テーブルは、前記仮圧着領域において上方に移動することにより仮圧着動作を行うことを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項７】
請求項６に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記仮圧着装置は、前記仮圧着領域において前記仮圧着テーブルが仮圧着動作を行うときに前記仮圧着テーブルを受ける緩衝機構をさらに有することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項８】
請求項７に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記緩衝機構にはベースフィルムを吸着するための多数のベースフィルム吸着孔が設けられていることを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項９】
請求項８に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記仮圧着装置は、仮圧着動作が行われる前にベースフィルムを前記緩衝機構に対して押さえつける押さえ機構をさらに有することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記仮圧着テーブルは、カバーレイフィルムを加熱するためのヒータを有することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
ロール状のカバーレイフィルムをシート状にして間欠的に繰り出すためのカバーレイフィルム繰り出し装置と、このカバーレイフィルム繰り出し装置により繰り出されたシート状のカバーレイフィルムを裁断して短冊状のカバーレイフィルムを形成するためのカバーレイフィルム裁断装置と、このカバーレイフィルム裁断装置によって形成された短冊状のカバーレイフィルムを前記仮圧着テーブル上に載置するためのカバーレイフィルム載置装置とを有するカバーレイフィルム裁断・載置装置をさらに備えたことを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記カバーレイフィルム裁断装置は、シート状のカバーレイフィルムを短冊状に裁断するための押し切り刃を有する押し切り刃金型及びこの押し切り刃金型を受ける受け金型を有し、
前記カバーレイフィルム裁断・載置装置は、前記押し切り刃を受ける刃受けシートを前記押し切り刃金型と前記受け金型との間に繰り出す刃受けシート繰り出し装置と、刃受けシートを巻き取る刃受けシート巻き取り装置とをさらに有することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記仮圧着テーブルには、短冊状のカバーレイフィルムを吸着するための多数のカバーレイフィルム吸着孔が設けられていることを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記カバーレイフィルム裁断・載置装置は、前記多数のカバーレイフィルム吸着孔に吸着されたカバーレイフィルムにおける離型フィルムの端部を把持する離型フィルム把持装置をさらに有し、
この離型フィルム把持装置が前記離型フィルムの端部を把持した状態で、前記カバーレイフィルム供給位置から前記仮圧着領域に向けて前記仮圧着テーブルが移動することによって、前記カバーレイフィルムから離型フィルムを剥離することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記カバーレイフィルム裁断・載置装置は、カバーレイフィルムを裁断するのに先立って、カバーレイフィルムから離型フィルムを部分的に剥離して部分剥離部を形成するための離型フィルム剥離刃をさらに有することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記カバーレイフィルム載置装置は、前記カバーレイフィルム裁断装置によって裁断されたカバーレイフィルムを前記仮圧着テーブルに搬送するための吸着パッドを有し、
この吸着パッドは、前記仮圧着テーブル上にカバーレイフィルムを載置してから前記離型フィルム把持装置によって離型フィルムの端部を把持するまでの間も、前記部分剥離部を吸着することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１７】
請求項１〜１６のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
ベースフィルム供給路内における前記仮圧着装置の前記積層フィルム回収装置側に配設され、前記仮圧着装置によってベースフィルムに仮圧着されたカバーレイフィルムをベースフィルムに対してさらに強固に仮圧着するための補助仮圧着装置をさらに備えたことを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１８】
請求項１７に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
ベースフィルム供給路内における前記補助仮圧着装置と前記積層フィルム回収装置との間に少なくとも２つの撮像素子が互いに離隔して配設されていることを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１９】
請求項１７又は１８に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記ベースフィルム供給装置及び前記積層フィルム回収装置、前記仮圧着装置並びに前記補助仮圧着装置を同期して動作させるためのコントローラをさらに備えたことを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項２０】
仮圧着テーブルに短冊状のカバーレイフィルムを吸着させた状態で、カバーレイフィルムとベースフィルムとの間の相対的な位置及び姿勢を調整した後、カバーレイフィルムとベースフィルムとの仮圧着を行うことを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項２１】
請求項２０に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
緩衝機構にベースフィルムを吸着させた状態で、カバーレイフィルムとベースフィルムとの仮圧着を行うことを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項２２】
請求項１〜２１のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置に用いるカバーレイフィルム裁断・載置装置であって、
ロール状のカバーレイフィルムをシート状にして間欠的に繰り出すためのカバーレイフィルム繰り出し装置と、
このカバーレイフィルム繰り出し装置により繰り出されたシート状のカバーレイフィルムを裁断して短冊状のカバーレイフィルムを形成するためのカバーレイフィルム裁断装置と、
このカバーレイフィルム裁断装置によって形成された短冊状のカバーレイフィルムを前記仮圧着テーブル上に載置するためのカバーレイフィルム載置装置とを有することを特徴とするカバーレイフィルム裁断・載置装置。
【請求項２３】
請求項２２に記載のカバーレイフィルム裁断・載置装置において、
前記カバーレイフィルム裁断装置は、シート状のカバーレイフィルムを短冊状に裁断するための押し切り刃を有する押し切り刃金型及びこの押し切り刃金型を受ける受け金型を有し、
前記カバーレイフィルム裁断・載置装置は、前記押し切り刃を受ける刃受けシートを前記押し切り刃金型と前記受け金型との間に繰り出す刃受けシート繰り出し装置と、刃受けシートを巻き取る刃受けシート巻き取り装置とをさらに有することを特徴とするカバーレイフィルム裁断・載置装置。
【請求項２４】
請求項２２又は２３に記載のカバーレイフィルム裁断・載置装置において、
前記仮圧着テーブルには、短冊状のカバーレイフィルムを吸着するための多数のカバーレイフィルム吸着孔が設けられていることを特徴とするカバーレイフィルム裁断・載置装置。
【請求項２５】
請求項２４に記載のカバーレイフィルム裁断・載置装置において、
前記多数のカバーレイフィルム吸着孔に吸着されたカバーレイフィルムにおける離型フィルムの端部を把持する離型フィルム把持装置をさらに有し、
この離型フィルム把持装置が前記離型フィルムの端部を把持した状態で、前記カバーレイフィルム供給位置から前記仮圧着領域に向けて前記仮圧着テーブルが移動することによって、前記カバーレイフィルムから離型フィルムを剥離することが可能となるように構成されていることを特徴とするカバーレイフィルム裁断・載置装置。
【請求項２６】
請求項２５に記載のカバーレイフィルム裁断・載置装置において、
カバーレイフィルムを裁断するのに先立って、カバーレイフィルムから離型フィルムを部分的に剥離して部分剥離部を形成するための離型フィルム剥離機構をさらに有することを特徴とするカバーレイフィルム裁断・載置装置。
【請求項２７】
請求項２６に記載のカバーレイフィルム裁断・載置装置において、
前記カバーレイフィルム裁断装置によって裁断されたカバーレイフィルムを前記仮圧着テーブルに搬送するための吸着パッドを有し、
この吸着パッドは、前記仮圧着テーブル上にカバーレイフィルムを載置してから前記離型フィルム把持装置によって離型フィルムの端部を把持するまでの間も、前記部分剥離部を吸着することを特徴とするカバーレイフィルム裁断・載置装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、フレキシブル基板形成用のベースフィルムにカバーレイフィルムを貼り合わせるためのカバーレイフィルム貼り合わせ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  一般に、フレキシブル基板を形成する工程には、銅箔等の導体パターンが形成されたポリイミド樹脂、ＰＥＴ樹脂、ポリエステル樹脂等からなるベースフィルムのパターン形成面に、熱硬化性の接着層を有するポリイミド樹脂、ＰＥＴ樹脂等からなるカバーレイフィルムを貼り合わせる工程があることが知られている。【０００３】  従来、この種のカバーレイフィルムの貼り合わせ作業は、作業台上に立設された多数の位置決め用ピンに対し人手によりベースフィルム及びカバーレイフィルムを挿通して位置決めしてから行われている。【０００４】  ところで、カバーレイフィルムには通常ベースフィルムの導体パターンに対応した多数の孔が開いているため、カバーレイフィルムの貼り合わせ作業を行うためにカバーレイフィルムから離型フィルムや離型紙（以下、この明細書では「離型フィルム」という。）を剥離するとカバーレイフィルムの腰がなくなり、極めて取り扱いにくいのが実情である。【０００５】  このため、このようなカバーレイフィルムの貼り合わせ作業における生産性は極めて低く、カバーレイフィルム貼り合わせ装置を用いてその貼り合わせ作業を自動化することが望まれていた。【０００６】  図１０は、従来のカバーレイフィルム貼り合わせ装置を説明するために示す図である。従来のカバーレイフィルム貼り合わせ装置８００は、図１０に示すように、ベースフィルム繰り出しロール８０１Ａ、カバーレイフィルム繰り出しロール８０２Ａ、離型フィルム繰り出しロール８０３Ａ，８０４Ａ、二対のロール８０５，８０５，８０７，８０７、積層フィルム巻き取りロール８０１Ｂ、離型フィルム巻き取りロール８０３Ｂ，８０４Ｂ及び加熱プレス８０６，８０６を備えている（例えば、特許文献１参照。）。【０００７】  そして、従来のカバーレイフィルム貼り合わせ装置８００においては、ベースフィルム繰り出しロール８０１Ａから繰り出されたベースフィルムＷ１１とカバーレイフィルム繰り出しロール８０２Ａから繰り出されたカバーレイフィルムＷ１２とは一体に重ね合わされ、さらに離型フィルム繰り出しロール８０３Ａ，８０４Ａから繰り出された離型フィルムＷ１３，Ｗ１４に挟まれた状態で、加熱プレス８０６，８０６によって一体に貼り合わされて積層フィルムＷ１５とされた後、積層フィルム巻き取りロール８０１Ｂに巻き取られる。【０００８】  このため、従来のカバーレイフィルム貼り合わせ装置８００によれば、ベースフィルムＷ１１とカバーレイフィルムＷ１２との貼り合わせ作業を自動化することができ、その結果、ベースフィルムＷ１１とカバーレイフィルムＷ１２との貼り合わせ作業における生産性を高くすることができる。【０００９】
【特許文献１】特開平２−２２６７９３号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】  しかしながら、上記したカバーレイフィルム貼り合わせ装置８００においては、ベースフィルムＷ１１とカバーレイフィルムＷ１２との貼り合わせを、ともに長尺のフィルム同士を一体に重ね合わせた状態で行うこととしている。このため、これらのフィルムの繰り出しを行えば行うほどベースフィルムの長尺方向における位置合わせ誤差が累積することになるため、ベースフィルムの長尺方向における位置合わせ精度を確保することは困難である。また、これらのフィルムの繰り出しを行うことによって発生する蛇行現象によって、ベースフィルムにおける短尺方向の位置合わせ誤差が発生するため、ベースフィルムの短尺方向における位置合わせ精度を確保することも容易ではない。このため、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの貼り合わせ位置精度を高くすることは容易ではなく、その結果、フレキシブル基板の品質を高くすることが容易ではないという問題があった。【００１１】  そこで、本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易で、その結果、フレキシブル基板の品質を高くすることが容易なカバーレイフィルム貼り合わせ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】（１）本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置は、ロール状のベースフィルムをシート状にして間欠的に繰り出すためのベースフィルム供給装置と、このベースフィルム供給装置によって繰り出されたシート状のベースフィルムに対して短冊状のカバーレイフィルムを仮圧着して、ベースフィルムにカバーレイフィルムが仮圧着されたシート状の積層フィルムを形成するための仮圧着装置と、この仮圧着装置によって形成されたシート状の積層フィルムをロール状に巻き取るための積層フィルム回収装置とを備えたカバーレイフィルム貼り合わせ装置であって、前記仮圧着装置は、ベースフィルムにカバーレイフィルムを仮圧着する領域（以下「仮圧着領域」という。）とカバーレイフィルムを前記仮圧着領域に向けて供給する位置（以下「カバーレイフィルム供給位置」という。）とを結ぶカバーレイフィルム供給路に沿ってカバーレイフィルムを供給可能で、かつ、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブルを有することを特徴とする。【００１３】  このため、本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置によれば、間欠的に繰り出されたシート状のベースフィルムに対して短冊状のカバーレイフィルムが仮圧着されることとなるため、長尺のベースフィルムを用いた場合であっても、ベースフィルムの長尺方向における位置合わせ誤差が累積することがなくなり、ベースフィルムの長尺方向における位置合わせ精度が低下することがなくなる。
また、本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置によれば、カバーレイフィルムは、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブルによって仮圧着領域に供給されることとなるため、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易となる。その結果、フレキシブル基板の品質を高くすることも容易となり、本発明の目的が達成される。【００１４】  なお、ベースフィルムに対してカバーレイフィルムを貼り合わせるには、少なくとも、カバーレイフィルムをベースフィルム供給路上の貼り合わせ領域に供給するカバーレイフィルム供給工程と、ベースフィルムに対してカバーレイフィルムを貼り合わせる貼り合わせ工程とが必要になるが、ベースフィルムに対してカバーレイフィルムを一段階で完全に貼り合わせることとした場合には、この貼り合わせ工程が極めて長くなり、全体としての生産性を向上することが困難となる。
このため、本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、ベースフィルムに対してカバーレイフィルムを完全に貼り合わせて積層フィルムを形成する代わりに、ベースフィルムに対してカバーレイフィルムを仮圧着して積層フィルムを形成することとしている。これにより、上記の貼り合わせ工程を大幅に短縮化して、全体としての生産性の向上を図っている。この場合、ベースフィルムに対してカバーレイフィルムを完全に貼り合わせるには、カバーレイフィルムが仮圧着された積層フィルムを圧着（本圧着）するための専用の本圧着装置（例えば真空プレス機。）を別途準備して、この本圧着装置を用いてベースフィルムに対してカバーレイフィルムを完全に貼り合わせればよい。【００１５】  ここで、この明細書において「短冊状」とは、必ずしも平面から見て細長い形状のみを意味しているものではなく、正方形状も含む略矩形状のことを意味しているものである。【００１６】（２）上記（１）に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム供給路は、前記ベースフィルム供給装置と前記積層フィルム回収装置とを結ぶベースフィルム供給路に対して直交することが好ましい。【００１７】  このように構成することにより、カバーレイフィルム供給路がベースフィルム供給路と交差する部分の面積を小さくできる結果、ベースフィルム供給路の長さを短くして装置をコンパクトなものにすることができる。【００１８】（３）上記（１）に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、ベースフィルムとしてロール状のベースフィルムを用いているが、本発明はこれに限定されるものではない。ベースフィルムとして短冊状のベースフィルムを用いた場合であっても、上記（１）に記載したカバーレイフィルム貼り合わせ装置の場合と同様の効果を有する。【００１９】  すなわち、本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置は、短冊状のベースフィルムを仮圧着領域に向けて供給するためのベースフィルム供給装置と、このベースフィルム供給装置によって供給された短冊状のベースフィルムに対して短冊状のカバーレイフィルムを仮圧着して、短冊状の積層フィルムを形成するための仮圧着装置と、この仮圧着装置によって形成された短冊状の積層フィルムを回収するための積層フィルム回収装置とを備えたカバーレイフィルム貼り合わせ装置であって、前記仮圧着装置は、仮圧着領域とカバーレイフィルム供給位置とを結ぶカバーレイフィルム供給路に沿ってカバーレイフィルムを供給可能で、かつ、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブルを有することを特徴とする。【００２０】  このため、本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置によれば、短冊状のベースフィルムを用いていることから、ベースフィルムの長尺方向における位置合わせ誤差が累積するおそれが生じないため、ベースフィルムの長尺方向における位置合わせ精度が低下することもない。
また、本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置によれば、上記（１）に記載したカバーレイフィルム貼り合わせ装置の場合と同様に、カバーレイフィルムは、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブルによって仮圧着領域に供給されることとなるため、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易となる。その結果、フレキシブル基板の品質を高くすることも容易となり、本発明の目的が達成される。【００２１】（４）上記（１）〜（３）のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記仮圧着テーブルは、互いに直交する２つの水平方向に移動可能であり、かつ、水平面内の仮想点を回転中心とする円周方向に回動可能であることが好ましい。【００２２】  このように構成することにより、ベースフィルムに対してカバーレイフィルムを位置（及び姿勢）精度良く配置することができるようになるため、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易となる。【００２３】  この場合において、互いに直交する２つの水平方向としては、ベースフィルム供給路に沿った方向及びカバーレイフィルム供給路に沿った方向を選択することが好ましい。また、水平面内の仮想点としては、仮圧着テーブルのカバーレイフィルムが載置される面における中心点を選択することが好ましい。【００２４】（５）上記（４）に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記仮圧着テーブルには、互いに離隔して配置された少なくとも２つの撮像用孔が設けられ、これら各撮像用孔のそれぞれに対応して撮像素子が設けられていることが好ましい。【００２５】  このように構成することにより、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの位置及び姿勢を少なくとも２つの撮像素子により精度良く測定することができるようになる。このため、ベースフィルムに対してカバーレイフィルムを位置（及び姿勢）精度良く配置することができるようになり、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易となる。【００２６】  この場合において、少なくとも２つの撮像用孔は、仮圧着テーブルの両端部に配置されることが好ましい。【００２７】（６）上記（１）〜（５）のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記仮圧着テーブルは、前記仮圧着領域において上方に移動することにより仮圧着動作を行うことが好ましい。【００２８】  このように構成することにより、ベースフィルムに対してカバーレイフィルムを位置（及び姿勢）精度良く配置した状態で、仮圧着テーブルがそのまま上方に移動することにより、ベースフィルムに対してカバーレイフィルムを位置（及び姿勢）精度良く配置した状態を維持したまま仮圧着することができるようになる。このため、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易となる。【００２９】（７）上記（６）に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記仮圧着装置は、前記仮圧着領域において前記仮圧着テーブルが仮圧着動作を行うときに前記仮圧着テーブルを受ける緩衝機構をさらに有��ることが好ましい。【００３０】  このように構成することにより、カバーレイフィルム全体をベースフィルムに対して均一な力で仮圧着することができるようになる。【００３１】（８）上記（７）に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記緩衝機構にはベースフィルムを吸着するための多数のベースフィルム吸着孔が設けられていることが好ましい。【００３２】  このように構成することにより、多数のベースフィルム吸着孔にベースフィルムを吸着させることができ、仮圧着領域においてベースフィルムを固定することができる。【００３３】（９）上記（８）に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記仮圧着装置は、仮圧着動作が行われる前にベースフィルムを前記緩衝機構に対して押さえつける押さえ機構をさらに有することが好ましい。【００３４】  このように構成することにより、押さえ機構がベースフィルムを緩衝機構に対して押さえつけるため、多数のベースフィルム吸着孔にベースフィルムをより確実に吸着させることができるようになる。
また、仮圧着動作が行われる前に押さえ機構による押さえ動作が行われるため、仮圧着テーブルによる仮圧着動作に邪魔されることなく押さえ動作を円滑に行うことができる。仮圧着動作が行われる前とは、仮圧着動作が終了した仮圧着テーブルが仮圧着領域からカバーレイフィルム供給位置に移動し、新たなカバーレイフィルムを載置して再び仮圧着領域へと戻ってくるまでの間のことであり、この時間を利用して押さえ機構による押さえ動作を行うことから、押さえ動作を行うための特別の時間をかけなくてもよいため、全体としての生産性を低下させることもない。【００３５】  この場合、前記仮圧着テーブルが前記仮圧着領域から前記カバーレイフィルム供給位置に向けて移動すると、前記押さえ機構が前記仮圧着領域外から前記仮圧着領域内に移動し、前記押さえ機構が前記仮圧着領域内から前記仮圧着領域外に移動すると、前記仮圧着テーブルが前記カバーレイフィルム供給位置から前記仮圧着領域に向けて移動するように構成されていることが好ましい。
これにより、仮圧着テーブルによる仮圧着動作及び押さえ機構による押さえ動作の両方の動作を円滑に行うことができる。【００３６】（１０）上記（１）〜（９）のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記仮圧着テーブルは、カバーレイフィルムを加熱するためのヒータを有することが好ましい。【００３７】  このように構成することにより、仮圧着に先立って、カバーレイフィルムをベースフィルムに対して供給する過程で、カバーレイフィルムの温度を予め高くすることができるようになるため、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの仮圧着をより短時間に円滑に行うことができるようになる。【００３８】（１１）上記（１）〜（１０）のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、ロール状のカバーレイフィルムをシート状にして間欠的に繰り出すためのカバーレイフィルム繰り出し装置と、このカバーレイフィルム繰り出し装置により繰り出されたシート状のカバーレイフィルムを裁断して短冊状のカバーレイフィルムを形成するためのカバーレイフィルム裁断装置と、このカバーレイフィルム裁断装置によって形成された短冊状のカバーレイフィルムを前記仮圧着テーブル上に載置するためのカバーレイフィルム載置装置とを有するカバーレイフィルム裁断・載置装置をさらに備えることが好ましい。【００３９】  このように構成することにより、ロール状のカバーレイフィルムから短冊状のカバーレイフィルムを形成し、その短冊状のカバーレイフィルムを仮圧着テーブルに供給することが可能になるため、ロール状のカバーレイフィルムを用いることができるようになる。このため、全体としての生産性をさらに高くすることができる。【００４０】（１２）上記（１１）に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム裁断装置は、シート状のカバーレイフィルムを短冊状に裁断するための押し切り刃を有する押し切り刃金型及びこの押し切り刃金型を受ける受け金型を有し、前記カバーレイフィルム裁断・載置装置は、前記押し切り刃を受ける刃受けシートを前記押し切り刃金型と前記受け金型との間に繰り出す刃受けシート繰り出し装置と、刃受けシートを巻き取る刃受けシート巻き取り装置とをさらに有することが好ましい。【００４１】  このように構成することにより、シート状のカバーレイフィルムを短冊状に裁断する際に、刃受けシート繰り出し装置によって繰り出される刃受けシートが常に押し切り刃を受けることが可能になるため、カバーレイフィルムを良好に裁断することができる。また、押し切り刃の刃先が損傷するのを防止することができる。【００４２】（１３）上記（１）〜（１２）のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記仮圧着テーブルには、短冊状のカバーレイフィルムを吸着するための多数のカバーレイフィルム吸着孔が設けられていることが好ましい。【００４３】  このように構成することにより、カバーレイフィルム供給位置において供給されたカバーレイフィルムを、仮圧着テーブルにより仮圧着領域まで円滑に搬送することができるようになる。【００４４】（１４）上記（１３）に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置におい���は、前記カバーレイフィルム裁断・載置装置は、前記多数のカバーレイフィルム吸着孔に吸着されたカバーレイフィルムにおける離型フィルムの端部を把持する離型フィルム把持装置をさらに有し、この離型フィルム把持装置が前記離型フィルムの端部を把持した状態で、前記カバーレイフィルム供給位置から前記仮圧着領域に向けて前記仮圧着テーブルが移動することによって、前記カバーレイフィルムから離型フィルムを剥離することが好ましい。【００４５】  このように構成することにより、カバーレイフィルムを仮圧着領域まで搬送する工程中にカバーレイフィルムから離型フィルムを剥離することができるようになるため、わざわざカバーレイフィルムから離型フィルムを剥離するための特別の工程を別途設ける必要がなくなる。このため、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの貼り合わせ作業を短縮化することができる。
また、仮圧着テーブルにカバーレイフィルムを載置するまでは、カバーレイフィルムを離型フィルムの付いた状態で取り扱うことができるようになるため、取り扱いが極めて容易になる。【００４６】（１５）上記（１４）に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム裁断・載置装置は、カバーレイフィルムを裁断するのに先立って、カバーレイフィルムから離型フィルムを部分的に剥離して部分剥離部を形成するための離型フィルム剥離刃をさらに有することが好ましい。【００４７】  このように構成することにより、仮圧着テーブルに載置されたカバーレイフィルムは、離型フィルム剥離刃によって予め部分剥離部が形成されるようになるため、離型フィルム把持装置が離型フィルムの端部を容易に把持することができるようになる。【００４８】（１６）上記（１５）に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム載置装置は、前記カバーレイフィルム裁断装置によって裁断されたカバーレイフィルムを前記仮圧着テーブルに搬送するための吸着パッドを有し、この吸着パッドは、前記仮圧着テーブル上にカバーレイフィルムを載置してから前記離型フィルム把持装置によって離型フィルムの端部を把持するまでの間も、前記部分剥離部を吸着することが好ましい。【００４９】  このように構成することにより、仮圧着テーブルに載置されたカバーレイフィルムにおいては、吸着パッドによって離型フィルムの部分剥離部が吸着されてめくれ上がった状態となるため、離型フィルム把持装置が離型フィルムの端部をさらに容易に把持することができるようになる。【００５０】（１７）上記（１）〜（１６）のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、ベースフィルム供給路内における前記仮圧着装置の前記積層フィルム回収装置側に配設され、前記仮圧着装置によってベースフィルムに仮圧着されたカバーレイフィルムをベースフィルムに対してさらに強固に仮圧着するための補助仮圧着装置をさらに備えることが好ましい。【００５１】  上記（１７）に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの仮圧着を行って積層フィルムを形成する工程の後に、積層フィルムを補助仮圧着を行う領域に供給するとともに新たなベースフィルムを仮圧着領域に供給する工程と、仮圧着テーブルの移動動作を行って、ベースフィルム供給路上の仮圧着領域に新たなカバーレイフィルムを供給する工程とが行われる。この場合、後者の工程が前者の工程よりも所要時間がかなり長くなるため、これらの工程間における時間差を利用して補助仮圧着処理を行うことにより、補助仮圧着を行う工程のための特別の時間をかけなくとも補助仮圧着工程を行うことができるようになる。このため、最初の仮圧着の時間を短縮することができるようになり、全体としての生産性をさらに向上することができる。【００５２】（１８）上記（１７）に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、ベースフィルム供給路内における前記補助仮圧着装置と前記積層フィルム回収装置との間に少なくとも２つの撮像素子が互いに離隔して配設されていることが好ましい。【００５３】  この���うに構成することにより、撮像素子が積層フィルムを撮影することで、積層フィルム回収装置が積層フィルムを回収する前にその仮圧着状態を確認することが可能となる。仮に、上記の撮像素子による撮影の結果、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの貼り付け位置がずれていたり仮圧着が不完全であったりした場合には、装置の運転を停止させることで、爾後、そのような仮圧着が不完全な積層フィルムが形成されるのを未然に防止することができるようになる。【００５４】（１９）上記（１７）又は（１８）に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記ベースフィルム供給装置及び前記積層フィルム回収装置、前記仮圧着装置並びに前記補助仮圧着装置を同期して動作させるためのコントローラをさらに備えることが好ましい。【００５５】  このように構成することにより、タクトタイムを合わせながら仮圧着工程及び補助仮圧着工程を行うことができるようになるため、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの貼り合わせ位置精度を高く保ったまま、全体として生産性の高い仮圧着を行うことができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】［図１］実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置を示す平面図である。
［図２］実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置を簡略化して示す平面図である。
［図３］実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置を示す正面図である。
［図４］仮圧着装置を説明するために示す要部拡大図である。
［図５］仮圧着装置及びカバーレイフィルム裁断・載置装置を説明するために示す側面図である。
［図６］カバーレイフィルム裁断・載置装置を示す背面図である。
［図７］カバーレイフィルム裁断・載置装置を示す側面図である。
［図８］ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの仮圧着方法を説明するために示すフローチャートである。
［図９］実施形態２に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置を簡略化して示す平面図である。
［図１０］従来のカバーレイフィルム貼り合わせ装置を示す正面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５７】  以下、本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置について、図に示す実施の形態に基づいて説明する。【００５８】［実施形態１］
まず、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置について、図１〜図７を用いて説明する。
図１は、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置を示す平面図である。図２は、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置を簡略化して示す平面図である。図３は、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置を示す正面図である。図４は、仮圧着装置を説明するために示す要部拡大図である。図５は、仮圧着装置及びカバーレイフィルム裁断・載置装置を説明するために示す側面図である。図６は、カバーレイフィルム裁断・載置装置を示す背面図である。図７は、カバーレイフィルム裁断・載置装置を示す側面図である。【００５９】  なお、以下の説明においては、互いに直交する３つの方向をそれぞれｘ軸方向（図１における紙面に平行で左右方向）、ｙ軸方向（図１における紙面に平行かつｘ軸に直交する方向）及びｚ軸方向（図１における紙面に垂直な方向）とする。【００６０】  実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１は、図１〜図３に示すように、各種の装置（後述する。）を搭載・固定するための装置本体１００と、ロール状のべースフィルムＷｂをシート状にして間欠的に繰り出すためのベースフィルム供給装置２００と、ベースフィルム供給装置２００によって繰り出されたシート状のベースフィルムＷｂに対して短冊状のカバーレイフィルムＷｃを仮圧着して、ベースフィルムＷｂにカバーレイフィルムＷｃが仮圧着されたシート状の積層フィルムＷｓを形成するための仮圧着装置４００と、仮圧着装置４００によって形成されたシート状の積層フィルムＷｓをロール状に巻き取るための積層フィルム回収装置３００と、ベースフィルム供給装置２００と積層フィルム回収装置３００との間に介在する一対のテンション装置２５０，３５０と、仮圧着装置４００によってベースフィルムＷｂに仮圧着されたカバーレイフィルムＷｃをベースフィルムＷｂに対してさらに強固に仮圧着するための補助仮圧着装置５００と、装置本体１００の後方に配置され、短冊状のカバーレイフィルムＷｃを仮圧着装置４００に供給するカバーレイフィルム裁断・供給装置６００とを備えている。
なお、積層フィルムＷｓは、ベースフィルムＷｂの一方のパターン形成面側に短冊状のカバーレイフィルムＷｃが仮圧着された構造を有している。【００６１】  装置本体１００は、平面視略矩形状の機台によって構成されている。装置本体１００の右側部には、図３に示すように、ベースフィルム供給装置２００及び積層フィルム回収装置３００、仮圧着装置４００並びに補助仮圧着装置５００を同期して動作させるためのコントローラを内蔵するコントローラボックス１１０が配設されている。【００６２】  装置本体１００には、図２に示すように、ベースフィルム供給装置２００と積層フィルム回収装置３００とを結ぶベースフィルム供給路Ｌ１と、カバーレイフィルム供給位置Ｐ１と仮圧着領域Ｐ２とを結ぶカバーレイフィルム供給路Ｌ２と、後述するカバーレイフィルム繰り出し装置６１０とカバーレイフィルム供給位置Ｐ１とを結ぶカバーレイフィルム搬送路Ｌ３とが形成されている。【００６３】  ベースフィルム供給装置２００は、図３に示すように、繰り出しローラ２１０及びガイドローラ２２０を有している。
繰り出しローラ２１０は、ローラ支持台１５０の上方端部に回転自在に支承されている。そして、トルクモータ２１２の駆動による回転によってロール状のベースフィルムＷｂをシート状に繰り出すように構成されている。
ガイドローラ２２０は、装置本体１００に回転自在に支承され、シート状のベースフィルムＷｂを積層フィルム回収装置３００側に案内するように構成されている。【００６４】  積層フィルム回収装置３００は、図３に示すように、巻き取りローラ３１０及びガイドローラ３２０を有している。
巻き取りローラ３１０は、ローラ支持台１５２の上方端部に回転自在に支承されている。そして、トルクモータ３１２の駆動による回転によってシート状の積層フィルムＷｓをロール状に巻き取るように構成されている。
ガイドローラ３２０は、装置本体１００に回転自在に支承され、シート状の積層フィルムＷｓを巻き取りローラ３１０側に案内するように構成されている。【００６５】  ベースフィルム供給装置２００側のテンション装置２５０は、図３に示すように、昇降ローラ２５２を有し、ベースフィルム供給装置２００の下方に配設されている。昇降ローラ２５２は、ローラ軸２５４が昇降ガイド２５６に回転・昇降自在に軸支されている。そして、シリンダ（図示せず。）の駆動による上昇によってベースフィルムＷｂを弛緩させ、また自重による下降によってベースフィルムＷｂを緊張させるように構成されている。【００６６】  積層フィルム回収装置３００側のテンション装置３５０は、図３に示すように、昇降ローラ３５２を有し、積層フィルム回収装置３００の下方に配設されている。昇降ローラ３５２は、ローラ軸３５４が昇降ガイド３５６に回転・昇降自在に軸支されている。そして、シリンダ（図示せず。）の駆動による上昇によって積層フィルムＷｓを弛緩させ、また自重による下降によって積層フィルムＷｓを緊張させるように構成されている。【００６７】  仮圧着装置４００は、図１〜図５に示すように、カバーレイフィルム供給路Ｌ２に沿ってカバーレイフィルムＷｃを供給可能で、かつ、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブル４１０と、仮圧着領域Ｐ２において仮圧着テーブル４１０が仮圧着動作を行うときに仮圧着テーブル４１０を受ける緩衝機構４８０と、仮圧着動作が行われる前にベースフィルムＷｂを緩衝機構４８０に対して押さえつける押さえ機構４９０とを有している。【００６８】  仮圧着テーブル４１０は、図４に示すように、第１移動装置４２０、第２移動装置４３０、第３移動装置４４０、第４移動装置４５０及びカバーレイフィルムＷｃが載置されるカバーレイフィルム載置部４６０を有している。【００６９】  第１移動装置４２０は、図４及び図５に示すように、サーボモータ４２２、サーボモータ４２２に軸支されたスクリューシャフト４２４、第１テーブル４２６及びｙ軸方向に沿って延在するガイド４２８を有し、装置本体１００上に配設されている。第１移動装置４２０は、サーボモータ４２２の駆動によるスクリューシャフト４２４の回転により、第１テーブル４２６がガイド４２８上をｙ軸方向に沿って移動するように構成されている。【００７０】  第２移動装置４３０は、サーボモータ４３２、サーボモータ４３２に軸支されたスクリューシャフト４３４、第２テーブル４３６及びｘ軸方向に沿って延在するガイド４３８を有し、第１テーブル４２６上に配設されている。第２移動装置４３０は、サーボモータ４３２の駆動によるスクリューシャフト４３４の回転により、第２テーブル４３６がガイド４３８上をｘ軸方向に沿って移動するように構成されている。【００７１】  第３移動装置４４０は、サーボモータ４４２、サーボモータ４４２に軸支されたスクリューシャフト４４４、第３テーブル４４６、第３テーブル４４６に回転力を付与する移動子４４７を有し、第２テーブル４３６上に配設されている。第３テーブル４４６は、第２テーブル４３６上の枢軸４４８に枢支され、テーブル受け４４���を介して揺動自在に配設されている。第３移動装置４４０は、サーボモータ４４２の駆動によるスクリューシャフト４４４の回転により、枢軸４４８を回転中心とする円周方向（ｚ軸まわり）に回動するように構成されている。【００７２】  第４移動装置４５０は、サーボモータ４５２、サーボモータ４５２に軸支されたスクリューシャフト４５４、第４テーブル４５６及びｘ軸方向に沿って延在するガイド４５８を有し、第３テーブル４４６上に配設されている。第４移動装置４５０は、サーボモータ４５２の駆動によるスクリューシャフト４５４の回転により、第４テーブル４５６がガイド４５８上をｘ軸方向に沿って移動するように構成されている。【００７３】  カバーレイフィルム載置部４６０は、図４に示すように、左側部から右側部に向かって上る勾配をもつ傾斜部４６２及びローラ４６４を介して、第４テーブル４５６上に配設されている。また、第４テーブル４５６及びカバーレイフィルム載置部４６０には、スプリング４６６が係止されている。これにより、第４テーブル４５６が図４の左方向へ移動すると、カバーレイフィルム載置部４６０が上昇し、第４テーブル４５６が図４の右方向へ移動すると、カバーレイフィルム載置部４６０が下降することとなる。【００７４】  実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１においては、仮圧着テーブル４１０は、互いに直交する２つの水平方向（ｘ軸方向及びｙ軸方向）に移動可能であり、かつ、水平面内の仮想点を回転中心とする円周方向（ｚ軸まわり）に回動可能である。
これにより、ベースフィルムＷｂに対してカバーレイフィルムＷｃを位置（及び姿勢）精度良く配置することができるようになるため、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易となる。【００７５】  実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１においては、互いに直交する２つの水平方向（ｘ軸方向及びｙ軸方向）としては、ベースフィルム供給路Ｌ１に沿った方向及びカバーレイフィルム供給路Ｌ２に沿った方向である（図２参照。）。また、水平面内の仮想点としては、仮圧着テーブル４１０のカバーレイフィルム載置部４６０における中心点である。【００７６】  実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１においては、図２及び図４に示すように、仮圧着テーブル４１０には、互いに離隔して配置された２つの撮像用孔４７０ａが設けられ、これら各撮像用孔４７０ａのそれぞれに対応して撮像素子４７０が設けられている。
これにより、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの位置及び姿勢を２つの撮像素子４７０により精度良く測定することができるようになる。このため、ベースフィルムＷｂに対してカバーレイフィルムＷｃを位置（及び姿勢）精度良く配置することができるようになり、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易となる。
なお、２つの撮像用孔４７０ａは、仮圧着テーブル４１０の両端部に配置されている（図２参照。）。【００７７】  実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１においては、仮圧着テーブル４１０は、仮圧着領域Ｐ２において上方に移動することにより仮圧着動作を行うように構成されている。
これにより、ベースフィルムＷｂに対してカバーレイフィルムＷｃを位置（及び姿勢）精度良く配置した状態で、仮圧着テーブル４１０がそのまま上方に移動することにより、ベースフィルムＷｂに対してカバーレイフィルムＷｃを位置（及び姿勢）精度良く配置した状態を維持したまま仮圧着することができるようになる。このため、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易となる。【００７８】  実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１においては、仮圧着装置４００は、図４及び図５に示すように、仮圧着領域Ｐ２において仮圧着テーブル４１０が仮圧着動作を行うときに仮圧着テーブル４１０を受ける緩衝機構４８０をさらに有している。
これにより、カバーレイフィルムＷｃ全体をベースフィルムＷｂに対して均一な力で仮圧着することができるようになる。【００７９】  実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１においては、緩衝機構４８０にはベースフィルムＷｂを吸着するための多数のベースフィルム吸着孔（図示せず。）が設けられている。
これにより、多数のベースフィルム吸着孔にベースフィルムＷｂを吸着させることができ、仮圧着領域Ｐ２においてベースフィルムＷｂを固定することができる。【００８０】  実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１においては、図１及び図５に示すように、仮圧着装置４００は、仮圧着動作が行われる前にベースフィルムＷｂを緩衝機構４８０に対して押さえつける押さえ機構４９０をさらに有している。
これにより、押さえ機構４９０がベースフィルムＷｂを緩衝機構４８０に対して押さえつけるため、多数のベースフィルム吸着孔にベースフィルムＷｂをより確実に吸着させることができるようになる。
また、仮圧着動作が行われる前に押さえ機構４９０による押さえ動作が行われるため、仮圧着テーブル４１０による仮圧着動作に邪魔されることなく押さえ動作を円滑に行うことができる。仮圧着動作が行われる前とは、仮圧着動作が終了した仮圧着テーブル４１０が仮圧着領域Ｐ２からカバーレイフィルム供給位置Ｐ１に移動し、新たなカバーレイフィルムＷｃを載置して再び仮圧着領域Ｐ２へと戻ってくるまでの間のことであり、この時間を利用して押さえ機構４９０による押さえ動作を行うことから、押さえ動作を行うための特別の時間をかけなくてもよいため、全体としての生産性を低下させることもない。【００８１】  実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１においては、仮圧着テーブル４１０が仮圧着領域Ｐ２からカバーレイフィルム供給位置Ｐ１に向けて移動すると、押さえ機構４９０が仮圧着領域外から仮圧着領域内に移動し、押さえ機構４９０が仮圧着領域内から仮圧着領域外に移動すると、仮圧着テーブル４１０がカバーレイフィルム供給位置Ｐ１から仮圧着領域Ｐ２に向けて移動するように構成されている。
これにより、仮圧着テーブル４１０による仮圧着動作及び押さえ機構４９０による押さえ動作の両方の動作を円滑に行うことができる。【００８２】  実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１においては、仮圧着テーブル４１０は、カバーレイフィルムＷｃを加熱するためのヒータ（図示せず。）を有している。
これにより、仮圧着に先立って、カバーレイフィルムＷｃをベースフィルムＷｂに対して供給する過程で、カバーレイフィルムＷｃの温度を予め高くすることができるようになるため、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの仮圧着をより短時間に円滑に行うことができるようになる。【００８３】  実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１においては、仮圧着テーブル４１０には、短冊状のカバーレイフィルムＷｃを吸着するための多数のカバーレイフィルム吸着孔（図示せず。）が設けられている。
これにより、カバーレイフィルム供給位置Ｐ１において供給されたカバーレイフィルムＷｃを、仮圧着テーブル４１０により仮圧着領域Ｐ２まで円滑に搬送することができるようになる。【００８４】  図１〜図３に示すように、ベースフィルム供給路Ｌ１における仮圧着装置４００の上流側（ベースフィルム供給装置２００側）及び下流側（積層フィルム回収装置３００側）には固定クランパ１２０，１３０が配設され、後述する補助仮圧着装置５００と積層フィルム回収装置３００との間には、移動クランパ１４０が配設されている。【００８５】  補助仮圧着装置５００は、図１〜図３に示すように、ベースフィルム供給路Ｌ１内における仮圧着装置４００の積層フィルム回収装置３００側に配設され、仮圧着装置４００によってベースフィルムＷｂに仮圧着されたカバーレイフィルムＷｃをベースフィルムＷｂに対してさらに強固に仮圧着するように構成されている。
補助仮圧着装置５００による補助仮圧着時間は、コントローラ１１０によって所望の時間に設定されている。【００８６】  カバーレイフィルム裁断・載置装置６００は、図１及び図２に示すように、ロール状のカバーレイフィルムＷｃ０をシート状にして間欠的に繰り出すためのカバーレイフィルム繰り出し装置６１０と、カバーレイフィルム繰り出し装置６１０により繰り出されたシート状のカバーレイフィルムＷｃ０を裁断して短冊状のカバーレイフィルムＷｃを形成するためのカバーレイフィルム裁断装置６３０と、カバーレイフィルム裁断装置６３０によって形成された短冊状のカバーレイフィルムＷｃを仮圧着テーブル４１０上に載置するためのカバーレイフィルム載置装置６５０とを有している。
これにより、ロール状のカバーレイフィルムＷｃ０から短冊状のカバーレイフィルムＷｃを形成し、その短冊状のカバーレイフィルムＷｃを仮圧着テーブル４１０に供給することが可能になるため、ロール状のカバーレイフィルムＷｃ０を用いることができるようになる。このため、全体としての生産性をさらに高くすることができる。【００８７】  カバーレイフィルム繰り出し装置６１０は、図６及び図７に示すように、繰り出しローラ６１２、駆動ローラ６１６及びガイドローラ６２０を有している。
繰り出しローラ６１２は、ローラ支持台１６０の上方端部に回転自在に支承されている。そして、トルクモータ６１４の駆動による回転によってロール状のカバーレイフィルムＷｃ０をシート状に繰り出すように構成されている。
駆動ローラ６１６は、ローラ支持台１６２に回転自在に支承されている。そして、トルクモータ６１８の駆動による回転によってシート状のカバーレイフィルムＷｃ０をガイドローラ６２０側に繰り出すように構成されている。
ガイドローラ６２０は、装置本体１００に回転自在に支承され、シート状のカバーレイフィルムＷｃ０をカバーレイフィルム裁断装置６３０側に案内するように構成されている。【００８８】  カバーレイフィルム繰り出し装置６１０の下方には、カバーレイフィルムＷｃ０を弛緩・緊張させるための昇降ローラ６２２が配設されている。【００８９】  ガイドローラ６２０のカバーレイフィルム裁断装置６３０側には、カバーレイフィルム繰り出し装置６１０からシート状のカバーレイフィルムＷｃ０を牽引するための引き出しローラ６２４と、移動クランパ６２６とが配設されている。【００９０】  カバーレイフィルム裁断装置６３０は、図６に示すように、シート状のカバーレイフィルムＷｃ０を短冊状に裁断するための押し切り刃を有する押し切り刃金型６３２及び押し切り刃金型６３２を受ける受け金型６３４を有している。また、カバーレイフィルム裁断・載置装置６００は、押し切り刃を受ける刃受けシートＷｈを押し切り刃金型６３２と受け金型６３４との間に繰り出す刃受けシート繰り出し装置６４０と、刃受けシートＷｈを巻き取る刃受けシート巻き取り装置６４２とをさらに有している。
これにより、シート状のカバーレイフィルムＷｃ０を短冊状に裁断する際に、刃受けシート繰り出し装置６４０によって繰り出される刃受けシートＷｈが常に押し切り刃を受けることが可能になるため、カバーレイフィルムを良好に裁断することができる。また、押し切り刃の刃先が損傷するのを防止することができる。【００９１】  カバーレイフィルム載置装置６５０は、図２に示すように、カバーレイフィルム裁断装置６３０によって裁断された短冊状のカバーレイフィルムＷｃをカバーレイフィルム受け渡し位置Ｐ３に受け渡すための移動クランパ６５２と、カバーレイフィルム受け渡し位置Ｐ３に載置されたカバーレイフィルムＷｃをカバーレイフィルム供給位置Ｐ１の仮圧着テーブル４１０まで搬送するための吸着パッド６５４とを有している。この吸着パッド６５４は、ｘ軸方向に移動可能であり、カバーレイフィルム供給位置Ｐ１及びカバーレイフィルム受け渡し位置Ｐ３において昇降可能である。【００９２】  実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１においては、カバーレイフィルム裁断・載置装置６００は、図１、図２及び図５に示すように、カバーレイフィルム載置装置６５０によって仮圧着テーブル４１０に載置されたカバーレイフィルムＷｃにおける離型フィルムの端部を把持する離型フィルム把持装置６６０をさらに有している。そして、離型フィルム把持装置６６０が離型フィルムの端部を把持した状態で、カバーレイフィルム供給位置Ｐ１から仮圧着領域Ｐ２に向けて仮圧着テーブル４１０が移動することによって、カバーレイフィルムＷｃから離型フィルムを剥離するように構成されている。
これにより、カバーレイフィルムＷｃを仮圧着領域Ｐ２まで搬送する工程中にカバーレイフィルムから離型フィルムを剥離することができるようになるため、わざわざカバーレイフィルムＷｃから離型フィルムを剥離するための特別の工程を別途設ける必要がなくなる。このため、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの貼り合わせ作業を短縮化することができる。
また、仮圧着テーブル４１０にカバーレイフィルムＷｃを載置するまでは、カバーレイフィルムＷｃを離型フィルムの付いた状態で取り扱うことができるようになるため、取り扱いが極めて容易になる。【００９３】  実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１においては、カバーレイフィルム裁断・載置装置６００は、図７に示すように、カバーレイフィルムＷｃ０を裁断するのに先立って、カバーレイフィルムＷｃ０から離型フィルムを部分的に剥離して部分剥離部を形成するための離型フィルム剥離刃６７０をさらに有している。
これにより、仮圧着テーブル４１０に載置されたカバーレイフィルムＷｃは、離型フィルム剥離刃６７０によって予め部分剥離部が形成されるようになるため、離型フィルム把持装置６６０が離型フィルムの端部を容易に把持することができるようになる。【００９４】  実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１においては、上記した吸着パッド６５４は、仮圧着テーブル４１０上にカバーレイフィルムＷｃを載置してから離型フィルム把持装置６６０によって離型フィルムの端部を把持するまでの間も、部分剥離部を吸着するように構成されている。
これにより、仮圧着テーブル４１０に載置されたカバーレイフィルムＷｃにおいては、吸着パッド６５４によって離型フィルムの部分剥離部が吸着されてめくれ上がった状態となるため、離型フィルム把持装置６６０が離型フィルムの端部をさらに容易に把持することができるようになる。【００９５】  カバーレイフィルム供給路Ｌ２における、カバーレイフィルム供給位置Ｐ１と仮圧着領域Ｐ２との中間位置には、図５に示すように、照明用の２つの発光素子１７０が配設されている。【００９６】  以上のように、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１は、ロール状のベースフィルムＷｂをシート状にして間欠的に繰り出すためのベースフィルム供給装置２００と、ベースフィルム供給装置２００によって繰り出されたシート状のベースフィルムＷｂに対して短冊状のカバーレイフィルムＷｃを仮圧着して、ベースフィルムＷｂにカバーレイフィルムＷｃが仮圧着されたシート状の積層フィルムＷｓを形成するための仮圧着装置４００と、仮圧着装置４００によって形成されたシート状の積層フィルムＷｓをロール状に巻き取るための積層フィルム回収装置３００とを備えている。また、仮圧着装置４００は、カバーレイフィルム供給路Ｌ２に沿ってカバーレイフィルムＷｃを供給可能で、かつ、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブル４１０を有している。【００９７】  このため、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１によれば、間欠的に繰り出されたシート状のベースフィルムＷｂに対して短冊状のカバーレイフィルムＷｃが仮圧着されることとなるため、長尺のベースフィルムを用いた場合であっても、ベースフィルムの長尺方向における位置合わせ誤差が累積することがなくなり、ベースフィルムの長尺方向における位置合わせ精度が低下することがなくなる。
また、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１によれば、カバーレイフィルムＷｃは、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブル４１０によって仮圧着領域Ｐ２に供給されることとなるため、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易となる。その結果、フレキシブル基板の品質を高くすることも容易となる。【００９８】  実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１においては、図１及び図３に示すように、ベースフィルム供給路Ｌ１内における補助仮圧着装置５００と積層フィルム回収装置３００との間に２つの撮像素子１８０が互いに離隔して配設されている。
これにより、撮像素子１８０が積層フィルムＷｓを撮影することで、積層フィルム回収装置３００が積層フィルムＷｓを回収する前にその仮圧着状態を確認することが可能となる。仮に、撮像素子１８０による撮影の結果、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの貼り付け位置がずれていたり仮圧着が不完全であったりした場合には、装置の運転を停止させることで、爾後、そのような仮圧着が不完全な積層フィルムが形成されるのを未然に防止することができるようになる。【００９９】  実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１においては、上記したように、ベースフィルム供給装置２００及び積層フィルム回収装置３００、仮圧着装置４００並びに補助仮圧着装置５００を同期して動作させるためのコントローラ１１０をさらに備えている。
これにより、タクトタイムを合わせながら仮圧着工程及び補助仮圧着工程を行うことができるようになるため、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの貼り合わせ位置精度を高く保ったまま、全体として生産性の高い仮圧着を行うことができるようになる。【０１００】  次に、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１を用いたときのベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの仮圧着方法について、図２及び図８を参照して説明する。図８は、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの仮圧着方法を説明するために示すフローチャートである。【０１０１】  実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１を用いたときのベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの仮圧着方法は、ベースフィルムＷｂを仮圧着装置４００に向けて供給する「ベースフィルム供給工程」と、短冊状のカバーレイフィルムＷｃを仮圧着テーブル４１０に供給する「カバーレイフィルム供給工程」と、ベースフィルムＷｂに対してカバーレイフィルムＷｃを仮圧着する「仮圧着・補助仮圧着工程」と、カバーレイフィルムＷｃが仮圧着された積層フィルムＷｓを回収する「積層フィルム回収工程」とを有している。以下、これらの各工程を順次説明する。
なお、カバーレイフィルムの貼り合わせを実施するにあたり、図２に示すように、移動クランパ１４０は補助仮圧着装置５００の近傍に配置され、カバーレイフィルム載置装置６５０の移動クランパ６５２はカバーレイフィルム裁断装置６３０の近傍に配置され、カバーレイフィルム載置装置６５０の吸着パッド６５４はカバーレイフィルム受け渡し位置Ｐ３に配置されているものとする。また、仮圧着テーブル４１０はカバーレイフィルム供給位置Ｐ１に配置されているものとする。【０１０２】１．ベースフィルム供給工程
まず、ベースフィルム供給装置２００、移動クランパ１４０及び積層フィルム回収装置３００を駆動することにより、ベースフィルムＷｂをベースフィルム供給路Ｌ１に沿って間欠的に繰り出す（図８のステップＱ１）。【０１０３】  ベースフィルムＷｂにおけるカバーレイフィルム貼り付け位置が仮圧着領域Ｐ２に来たら、ベースフィルムＷｂの繰り出し動作を一時停止して、固定クランパ１２０，１３０によりベースフィルムＷｂを把持する。このとき、押さえ機構４９０がベースフィルムＷｂを緩衝機構４８０に対して押さえつけることにより、仮圧着領域Ｐ２内のベースフィルムＷｂは緩衝機構４８０に設けられた多数のベースフィルム吸着孔によって真空吸着・固定される（図８のステップＱ２）。【０１０４】２．カバーレイフィルム供給工程
まず、カバーレイフィルム繰り出し装置６１０を駆動して、ロール状のカバーレイフィルムＷｃ０をシート状にして、カバーレイフィルム搬送路Ｌ３に沿って間欠的に繰り出す（図８のステップＲ１）。このときカバーレイフィルムＷｃ０は、離型フィルム剥離刃６７０によってカバーレイフィルムＷｃ０における離型フィルムが部分的に剥離され、部分剥離部が形成されることとなる。【０１０５】  カバーレイフィルム繰り出し装置６１０から繰り出されたシート状のカバーレイフィルムＷｃ０は、移動クランパ６２６によってカバーレイフィルム裁断装置６３０における押し切り刃金型６３２と受け金型６３４との間に供給される。そして、移動クランパ６５２によってシート状のカバーレイフィルムＷｃ０におけるカバーレイフィルム受け渡し位置Ｐ３側端縁が把持された状態で、カバーレイフィルム裁断装置６３０により裁断される（図８のステップＲ２）。このとき、シート状のカバーレイフィルムＷｃ０と受け金型６３４との間に刃受けシートＷｈが常に繰り出された状態で、カバーレイフィルムＷｃ０が裁断されることとなる。【０１０６】  カバーレイフィルム裁断装置６３０により短冊状に裁断されたカバーレイフィルムＷｃは、移動クランパ６５２によりカバーレイフィルム受け渡し位置Ｐ３に配置される。カバーレイフィルム受け渡し位置Ｐ３に配置されたカバーレイフィルムＷｃは、吸着パッド６５４により吸着され、カバーレイフィルム受け渡し位置Ｐ３からカバーレイフィルム供給位置Ｐ１の仮圧着テーブル４１０上へ搬送・載置される（図８のステップＲ３）。【０１０７】  仮圧着テーブル４１０に載置されたカバーレイフィルムＷｃにおいて、カバーレイフィルムＷｃの下面は、仮圧着テーブル４１０に設けられた多数のカバーレイフィルム吸着孔により吸着される。また、カバーレイフィルムＷｃの上面、すなわち離型フィルム面においては、部分剥離部以外の部分を吸着している吸着パッド６５４の吸着が解除される。この状態で仮圧着テーブル４１０が下降すると、仮圧着テーブル４１０に載置されたカバーレイフィルムＷｃにおいては、吸着パッド６５４によって離型フィルムの部分剥離部が吸着されてめくれ上がった状態となる。そして、このめくれ上がった部分剥離部を離型フィルム把持装置６６０によって把持するとともに、仮圧着テーブル４１０が仮圧着領域Ｐ２に向けて移動することにより、カバーレイフィルムＷｃから離型フィルムが容易に剥離されることとなる（図８のステップＲ４）。
なお、この剥離された離型フィルムは、カバーレイフィルム供給位置Ｐ１の傍に配設された離型フィルム回収ボックス（図示せず。）に回収される。【０１０８】３．仮圧着・補助仮圧着工程
まず、カバーレイフィルム供給位置Ｐ１でカバーレイフィルムＷｃが供給された仮圧着テーブル４１０を、カバーレイフィルム供給路Ｌ２における発光素子１７０が配設された位置まで移動させる。この位置で、仮圧着テーブル４１０に配設された２つの撮像素子４７０によってカバーレイフィルムＷｃを撮影し、この撮影結果に基づいて、仮圧着テーブル４１０上におけるカバーレイフィルムＷｃの位置を測定する（図８のステップＳ１）。【０１０９】  次に、仮圧着テーブル４１０を仮圧着領域Ｐ２まで移動させる。このとき、押さえ機構４９０は、仮圧着領域外に配置されている。仮圧着領域Ｐ２で、２つの撮像素子４７０によってベースフィルムＷｂを撮影し、この撮影結果に基づいて、仮圧着テーブル４１０の位置を基としたベースフィルムＷｂの位置を測定する（図８のステップＳ２）。そして、これらカバーレイフィルムＷｃ及びベースフィルムＷｂの測定値から相対ずれ量を算出し、この算出結果に基づいて、仮圧着テーブル４１０を駆動して水平方向（ｘ軸方向及びｙ軸方向）の移動調整及び／又は円周方向（ｚ軸まわり）の回動調整を行い、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの位置合わせをする（図８のステップＳ３）。【０１１０】  ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの位置合わせが終了したら、仮圧着テーブル４１０の第４移動装置４５０を駆動して仮圧着テーブル４１０を上方に移動させて、ベースフィルムＷｂにカバーレイフィルムＷｃを仮圧着させる（図８のステップＳ４）。これにより、ベースフィルムＷｂにカバーレイフィルムＷｂが仮圧着された積層フィルムＷｓが形成される。仮圧着動作の終了後、固定クランパ１２０，１３０の把持が解除される。
この仮圧着動作が終了すると、仮圧着テーブル４１０は、カバーレイフィルム裁断・載置装置６００から新たなカバーレイフィルムＷｃを受け取るために、カバーレイフィルム供給位置Ｐ１へと移動する。【０１１１】  仮圧着装置４００により形成されたシート状の積層フィルムＷｓは、ベースフィルム供給装置２００、移動クランパ１４０及び積層フィルム回収装置３００の駆動により補助仮圧着装置５００へと送られる。そして、補助仮圧着装置５００によって補助仮圧着が行われることにより、ベースフィルムＷｂに対してカバーレイフィルムＷｃがさらに強固に仮圧着された積層フィルムＷｓが形成される（図８のステップＳ５）。【０１１２】４．積層フィルム回収工程
補助仮圧着が行われた積層フィルムＷｓは、移動クランパ１４０によって積層フィルム回収装置３００に向けて送られる。このとき、移動クランパ１４０の幅方向両端部に配設された撮像素子１８０によって積層フィルムＷｓの仮圧着状態の確認作業が行われる（図８のステップＳＱ１）。そして、ベースフィルム供給装置２００、移動クランパ１４０及び積層フィルム回収装置３００を駆動することにより、シート状の積層フィルムＷｓを巻き取りローラ３１０に巻き取る（図８のステップＳＱ２）。これにより、シート状の積層フィルムＷｓがロール状に巻き取られ、ロール状の積層フィルムＷｓとして回収されることとなる。【０１１３】  以上の工程により、ベースフィルムＷｂにカバーレイフィルムＷｃが仮圧着された積層フィルムＷｓを形成することができる。【０１１４】  なお、ベースフィルムＷｂに対してカバーレイフィルムＷｃを貼り合わせるには、少なくとも、カバーレイフィルムＷｃをベースフィルム供給路上の貼り合わせ領域に供給するカバーレイフィルム供給工程と、ベースフィルムＷｂに対してカバーレイフィルムＷｃを貼り合わせる貼り合わせ工程とが必要になるが、ベースフィルムＷｂに対してカバーレイフィルムＷｃを一段階で完全に貼り合わせることとした場合には、この貼り合わせ工程が極めて長くなり、全体としての生産性を向上することが困難となる。
このため、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１においては、べースフィルムＷｂに対してカバーレイフィルムＷｃを完全に貼り合わせて積層フィルムを形成する代わりに、ベースフィルムＷｂに対してカバーレイフィルムＷｃを仮圧着して積層フィルムＷｓを形成することとしている。これにより、上記の貼り合わせ工程を大幅に短縮化して、全体としての生産性の向上を図っている。
実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１においては、ベースフィルムＷｂに対してカバーレイフィルムＷｃを完全に貼り合わせるために、カバーレイフィルムＷｃが仮圧着された積層フィルムＷｓを圧着（本圧着）するための真空プレス機を別途準備して、この真空プレス機を用いてベースフィルムＷｂに対してカバーレイフィルムＷｃを完全に貼り合わせることとしている。【０１１５】  上記したベースフィルムに対するカバーレイフィルムの仮圧着方法においては、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの仮圧着を行って積層フィルムＷｓを形成する工程の後に、積層フィルムＷｓを補助仮圧着を行う領域に供給するとともに新たなベースフィルムＷｂを仮圧着領域Ｐ２に供給する工程と、仮圧着テーブル４１０の移動動作を行って、ベースフィルム供給路Ｌ１上の仮圧着領域Ｐ２に新たなカバーレイフィルムＷｃを供給する工程とが行われる。この場合、後者の工程が前者の工程よりも所要時間がかなり長くなるため、これらの工程間における時間差を利用して補助仮圧着処理を行うことにより、補助仮圧着を行う工程のための特別の時間をかけなくとも補助仮圧着工程を行うことができるようになる。実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１によれば、上記のように構成された補助仮圧着装置５００を備えているため、最初の仮圧着の時間を短縮することができるようになり、全体としての生産性をさらに向上することができる。【０１１６】［実施形態２］
実施形態２に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置について、図９を用いて説明する。図９は、実施形態２に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置を簡略化して示す平面図である。なお、図９において図２と同一の部材については同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。【０１１７】  実施形態２に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置２は、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１と基本的には同様の構成を有しているが、ベースフィルムとして、ロール状ではなく短冊状のベースフィルムＷｂを用いている点が異なっている。【０１１８】  すなわち、実施形態２に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置２は、短冊状のベースフィルムＷｂを仮圧着領域Ｐ２に向けて供給するためのベースフィルム供給装置１２００と、ベースフィルム供給装置１２００によって供給された短冊状のベースフィルムＷｂに対して短冊状のカバーレイフィルムＷｃを仮圧着して、短冊状の積層フィルムＷｓを形成するための仮圧着装置４００と、仮圧着装置４００によって形成された短冊状の積層フィルムＷｓを回収するための積層フィルム回収装置１３００とを備えたカバーレイフィルム貼り合わせ装置であって、仮圧着装置４００は、仮圧着領域Ｐ２とカバーレイフィルム供給位置Ｐ１とを結ぶカバーレイフィルム供給路Ｌ２に沿ってカバーレイフィルムＷｃを供給可能で、かつ、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブル４１０を有している。【０１１９】  このため、実施形態２に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置２によれば、短冊状のベースフィルムＷｂを用いていることから、ベースフィルムの長尺方向における位置合わせ誤差が累積するおそれが生じないため、ベースフィルムの長尺方向における位置合わせ精度が低下することもない。
また、実施形態２に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置２によれば、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１の場合と同様に、カバーレイフィルムＷｃは、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの位置及び姿勢を調整可能な仮圧着テーブル４１０によって仮圧着領域Ｐ２に供給されることとなるため、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの貼り合わせ位置精度を高くすることが容易となる。その結果、フレキシブル基板の品質を高くすることも容易となる。【０１２０】  このように、実施形態２に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置２は、ベースフィルムとして、ロール状ではなく短冊状のベースフィルムＷｂを用いている点で、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１の場合とは異なっているが、その他の点では実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１と同様の構成を有しているため、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１が有する効果をそのまま有する。【０１２１】  なお、ベースフィルム供給路Ｌ１に沿って短冊状のベースフィルムＷｂ及び短冊状の積層フィルムＷｓを搬送するための搬送手段としては、吸着パッドや移動テーブルなどの公知の搬送手段を用いることができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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