(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズル、該複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室、該複数の圧力室に対応して圧力室に圧力を発生させる圧電体、該圧電体の変形を前記圧力室のインクに伝える振動板からなるインクジェット記録ヘッド、及び、該インクジェット記録ヘッドの複数の圧電体上に設けた個別電極と制御部との接続を行うフレキシブル基板とを備えたインクジェット記録装置において、
上記圧電体は、上記個別電極が形成されている領域と上記個別電極が形成されていない領域とから構成され、
上記フレキシブル基板は、上記圧電体上の上記個別電極の端部で導電接合されていると共に、上記個別電極が形成されていない上記圧電体の領域で非導電接合されており、
上記個別電極が形成されていない上記圧電体の領域における上記フレキシブル基板との接続を、上記振動板上の上記圧力室の形成されていない部分に対応する領域においてのみ行うものであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２】
複数のノズル、該複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室、該複数の圧力室に対応して圧力室に圧力を発生させる圧電体、該圧電体の変形を前記圧力室のインクに伝える振動板からなるインクジェット記録ヘッド、及び、該インクジェット記録ヘッドの複数の圧電体上に設けた個別電極と制御部との接続を行うフレキシブル基板とを備えたインクジェット記録装置において、
上記圧電体は、上記個別電極が形成されている領域と上記個別電極が形成されていない領域とから構成され、
上記フレキシブル基板は、上記圧電体上の上記個別電極の端部で導電接合されていると共に、上記個別電極が形成されていない上記圧電体の領域で非導電接合されており、
上記フレキシブル基板は、上記圧力室の形成されていない部分に対応する領域において振動板の表面、及び、圧力室形成層の表面の両方において接続されることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項３】
上記フレキシブル基板と上記個別電極とを接続する接着剤として、異方性導電接着剤を用いたことを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェット記録装置。
【請求項４】
上記圧電体がマスクスパッタリング法によって形成されたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はインクジェット記録装置に関するものであり、特に、薄膜圧電体を用いたインクジェット記録ヘッドとフレキシブル基板との接続構造に特徴のあるインクジェット記録装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、パーソナルコンピュータ等の情報機器端末としてのプリンタ装置として、ワイヤを磁気駆動し、インクリボン及び記録媒体としての用紙を介してプラテンに押圧することによって印字を行うワイヤ駆動型の記録ヘッドを用いたプリンタ装置や、インクを圧電素子の作用によりノズルから噴射するインクジェット型の記録ヘッドを用いたプリンタ等が用いられているが、印字に伴う騒音の発生しないインクジェット型プリンタ装置がオフィス内での使用に適していると注目されている。
【０００３】
この様な従来のインクジェット型の記録ヘッドは、ノズル、圧力室、インク供給系、インクタンク、トランスジューサ等を備え、トランスジューサで発生した変位・圧力を圧力室に伝達することによって、ノズルからインク粒子を噴出させ、紙等の記録媒体の上に文字や画像を記録する。
【０００４】
この様なインクジェット型の記録ヘッドにおいて、一般に良く知られている方式は、トランスジューサとして薄板状の圧電素子を用い、この薄板状の圧電素子を圧力室の外壁に接着させ、圧電素子にパルス状の電圧を印加することによって圧力室の外壁を構成する複合板を撓ませ、撓みによって生じた変位・圧力を圧力室の外壁を介して圧力室内に伝達するものである。
【０００５】
ここで、図７を参照して、従来のインクジェット記録装置を説明する。
図７（ａ）参照
図７（ａ）は、インクジェット記録装置の概略的構成の説明図であり、記録媒体５１である用紙に、インクジェット型の記録ヘッド５２から記録媒体５１にインクを噴射することによって印字を行うものであり、記録ヘッド５２は記録ヘッド５２にインクを供給するインクタンク５３と共にキャリッジ５４に搭載され、紙面に対して垂直方向に移動する。
【０００６】
記録媒体５１は、送りローラ５５及び送りローラ５５と対になったピンチローラ５６とによって記録ヘッド５２とプラテン５９との間に送り出され、印字等の処理がなされたのち、排出ローラ５７及び排出ローラ５７と対になったピンチローラ５８とによって排出し、スタッカ６０によって収容する。
【０００７】
図７（ｂ）参照
図７（ｂ）は、１００μｍ程度の厚さの薄板状の圧電素子を用いた従来のインクジェット記録ヘッドの概略的な要部断面図（必要ならば、特開平７−１０１０５１号公報参照）であり、流路基板６１、蓋板６２、及び、インクプール（図示せず）が順次積層され、流路基板６１と蓋板６２とは接着剤で積層固着され、両者の間にノズル（図示せず）につながるインク流路６３が形成されると共に、蓋板６２の厚み方向にはインク流路６３と連通する連通孔６４が形成されている。
【０００８】
この流路基板６１に設けた凹部６５には、金属性の振動板６６を固着するとともに、その上に厚さが８０〜１００μｍ程度のピエゾ素子、即ち、圧電素子６８を導電性接着剤を用いて積層固着する。
この振動板６６の一端側は圧電素子６８の厚さに相当する高さを有する立ち曲部６７が設けられており、圧電素子６８の上端と振動板６６の立ち曲部６７の上端において、フレキシブル基板６９との電気的接続を取るようにしている。
【０００９】
この様な圧電素子６８に対して厚さ方向に電圧を印加することによって圧電素子６８を収縮させ、それによって振動板６６を図において太い破線で示すように撓ませ、この撓みを圧力室に相当するインク流路６３に伝達してインクを噴射させている。
【００１０】
しかし、近年の印字の高精細化に伴い、ノズルピッチの縮小化及び圧力室の縮小化が進み、それに伴って圧電素子の幅も狭くなってきている。
また、印字の高精細化と並び、印字速度の高速化も要求され、高速印字のためには圧電素子の駆動周波数を大きくする必要があるが、そのためには圧電素子、即ち、ピエゾ素子の厚さを薄くする必要が生じる。
【００１１】
この様な薄い圧電素子、例えば、１０μｍ以下の厚さの薄膜状の圧電素子は、導電性接着剤による接着が困難であるので、半導体製造技術を応用して、マスクを用いたマスクスパッタリング法によって成膜することになる。
【００１２】
ここで、図８を参照して、従来の薄膜圧電体を用いたインクジェット記録ヘッドを説明する。
図８参照
図８は、インクジェット記録ヘッドの要部断面斜視図であり、金属又は樹脂からなる圧力室壁７５によって、ノズル板７９に設けられた個々のノズル８０に対応する圧力室７１、各圧力室７１に共通にインクを供給するインク供給通路７４、インク供給通路７４からインクを供給するインク供給路７２、及び、インクをノズル８０に導く導通路７３が形成される。
【００１３】
この圧力室７１の上端には振動板７６が強固に接続され、この振動板７６の上面には、厚さ１０μｍ以下、例えば、３μｍの圧電体薄膜をマスクスパッタリング法によって堆積させて個々の圧電アクチュエータ７７を形成し、また、個々の圧電アクチュエータ７７上に、個別電極７８を同じくマスクスパッタリング法によって堆積させる。
【００１４】
この個々の圧電アクチュエータ７７に対しては、プリンタ装置本体の制御基板からの電気信号がフレキシブル基板（図示せず）を介して印加されるものであり、電気信号の印加された振動板７６は図において太い破線示すように撓み、この撓みを圧力室７１に伝達することによって、ノズル８０からインク粒子を噴射して印字を行う。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の薄膜圧電体を用いたインクジェト記録ヘッドの場合には、アセンブリ工程においてフレキシブル基板にかかる引っ張り等の力によってフレキシブル基板が剥離したり、或いは、薄膜圧電体と振動板とが互いに剥離するという問題が生じる。
【００１６】
即ち、ノズルピッチの縮小化及び圧力室の縮小化が進み、それに伴って圧電素子の幅も狭くなるに連れて、振動板との接合面積が小さくなり、接着強度が低下するためである。
【００１７】
この様な剥離の問題を解決するためには、フレキシブル基板が個別電極と全面で接着するようにすれば良いが、そうすると寄生静電容量が増加したり、フレキシブル基板による拘束力が強くなり、圧電素子の駆動特性が低下するという問題が生ずる。
【００１８】
したがって、本発明は、フレキシブル基板の剥離を防止するとともに、圧電素子の駆動特性の低下を防止することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
図１は本発明の原理的構成の説明図であり、この図１を参照して本発明における課題を解決するための手段を説明する。
なお、図１における符号２はインク供給口、符号３はノズル４に通ずる導通路、符号６はインク供給通路５につながるインク供給通路、符号８は圧力室壁、符号１３はフレキシブル基板１１を構成する基材、符号１５はカバーフィルムを表す。
【００２０】
図１（ａ）及び（ｂ）参照
（１）本発明は、複数のノズル４、この複数のノズル４にそれぞれ連通する複数の圧力室１、この複数の圧力室１に対応して圧力室１に圧力を発生させる圧電体１０、圧電体１０の変形を圧力室１のインクに伝える振動板９からなるインクジェット記録ヘッド、及び、このインクジェット記録ヘッドの複数の圧電体１０上に設けた個別電極１２と制御部との接続を行うフレキシブル基板１１とを備えたインクジェット記録装置において、圧電体１０は、個別電極１２が形成されている領域と個別電極１２が形成されていない領域とから構成され、フレキシブル基板１１は、圧電体１０上の個別電極１２の端部で導電接合されていると共に、個別電極１２が形成されていない圧電体１０の領域で非導電接合されていることを特徴とする。
【００２１】
この様に、インクジェット記録ヘッドとフレキシブル基板１１とを接続する際に、個別電極１２が形成されていない圧電体１０の領域においても行うことによって、接合面積を大きくすることができるので、フレキシブル基板１１の剥離が防止され、また、圧電体１０とも直接接合しているので圧電体１０と振動板９との剥離も防止できる。
なお、これに伴って、寄生静電容量が増加し、また、圧力室１に対応しない領域における圧電体１０の作用が問題になるが、圧電体１０の幅を縮小し、且つ、圧電体１０を薄膜化した場合には、接合強度の増加の効果の方がより優先される。
【００２２】
（２）また、本発明は、上記（１）において、個別電極１２が形成されていない圧電体１０の領域におけるフレキシブル基板１１との接続を、圧電体１０の長手方向の一端においてのみ行うことを特徴とする。
【００２３】
この様に、フレキシブル基板１１との接続を、圧電体１０の長手方向の一端においてのみ行うことによって、フレキシブル基板１１による圧電体１０の拘束を減少することができ、それによって圧電体１０の高速動作が可能になる。
【００２４】
（３）また、本発明は、上記（１）または（２）において、個別電極１２が形成されていない圧電体１０の領域におけるフレキシブル基板１１との接続を、振動板９上の圧力室１の形成されていない部分に対応する領域においてのみ行うことを特徴とする。
【００２５】
この様に、フレキシブル基板１１と接続する個別電極１２が形成されていない圧電体１０の領域を、圧力室１に対応する領域から離すことによって、圧電体１０が拘束されることによる駆動特性の低下に伴うインクの噴射に対する影響を最低限に減ずることができる。
【００２６】
なお、図の場合には、振動板９とインク供給通路５とが厚い３層の圧力室形成層７によって隔離されているので、インク供給通路５に対応する領域上において接続していても問題がないが、隔離が充分でない場合には、インク供給通路５に対する圧電体１０の影響が無視できなくなるので、インク供給通路５に対応する領域を避ける必要がある。
【００２７】
（４）また、本発明は、上記（１）または（２）または（３）において、フレキシブル基板１１は、圧力室１の形成されていない部分に対応する領域において振動板９の表面、及び、圧力室形成層７の表面の両方においても接続されることを特徴とする。
【００２８】
一般に振動板９は数μｍ〜十数μｍの厚さの金属薄膜であり、それ自体では剛性は低く、接合部の引っ張りにおいて不備を生ずることもあるが、この様に、厚い、例えば、数十〜数百μｍ程度の厚さの圧力室形成層７の表面においてもフレキシブル基板１１との接続を行うことによって、より強固な接続が可能になり、アセンブリ工程におけるフレキシブル基板１１の剥離を防止することができる。
【００２９】
（５）また、本発明は、上記（１）乃至（４）のいずれかにおいて、フレキシブル基板１１と個別電極１２とを接続する接着剤として異方性導電接着剤１６を用いたことを特徴とする。
【００３０】
この様に、異方性導電接着剤１６を用いることによってフレキシブル基板１１と個別電極１２との導電接続が容易になり、且つ、導電部材のない領域においては通常の接着剤として機能するので、フレキシブル基板１１の電極１４の露出していない領域における接着強度を高めることができる。
【００３１】
なお、異方性導電接着剤１６としては、シート状のものを用いても良いし、塗布型のものを用いても良く、シート状の異方性導電接着剤１６を用いた場合には接着工程が容易になるものの切り落としによる無駄が多くなり、他方、塗布型異方性導電接着剤１６を用いた場合には、滲み出しがなくなるが、マスクを用いた選択的塗布が必要になり、微細パターンの形成が困難になる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
ここで、本発明の第１の実施の形態を図２及び図４を参照して説明する。
図２参照
図２は、本発明の第１の実施の形態のインクジェット記録装置のインクジェット記録ヘッド近傍を示す概略的斜視図であり、図はカラー対応のためにＹ，Ｍ，Ｃ，Ｋの４色のヘッドを設けた場合を示しており、形状を理解しやすくするために両端のヘッドは完成した状態を示し、右から２番面のヘッドは圧力室形成層を固着する前の状態を示し、右から３番面のヘッドは振動板を接着する前の状態を示している。
【００３３】
この第１の実施の形態のインクジェット記録ヘッドは、インク供給通路２４，２５の形状を規定する圧力室壁２７（右から２番面のヘッドの状態）のインク供給通路２４に対応する部分に、インク供給口２２を形成するための開孔及び圧力室１を形成するための凹部を有する圧力室形成層２６を接着し（右から３番面のヘッドの状態）、次いで、振動板２８を接着したのち、振動板２８の上面に、マスクスパッタリング法を用いて厚さ１０μｍ以下、例えば、３μｍの圧電アクチュエータ２９を所定の間隔でストライプ状に形成し、続いて、圧電アクチュエータ２９上に同じくマスクスパッタリング法を用いて個別電極（図示せず）を形成したのち、異方性導電接着剤（図示せず）を用いて個別電極とフレキシブル基板３２の個別電極とを接続した（両端のヘッドの状態）のち、ノズル板３０に設けたノズル３１と導通路２３とが一致するように組み立てたものであり、圧電アクチュエータ２９を駆動することによってノズル３１からインク３５を噴射するものである。
【００３４】
図３参照
図３はフレキシブル基板３２の平面図であり、フレキシブル基板３２は、基材３３上に形成した所定のパターンの電極３４の表面の中央部（図においては左右の異方性導電接着剤３８，４０で挟まれた領域）をカバーフィルム３６で被覆してあり、このフレキシブル基板３２のヘッド部３７及び制御基板接続部３９に夫々ホットメルトタイプのシート状の異方性導電接着剤３８，４０（スリーボンド社製商品名：３３７０Ｋ）を、１２０℃，３ｋｇｆ／ｃｍ2 で３秒の条件で加熱・押圧して仮止めしたのち、破線で示す切除部４１，４２，４３を切除する。
なお、この場合、圧電アクチュエータ２９に接続する側、即ち、ヘッド部３７側の電極３３の長さは０．１０〜１．０ｍｍ、例えば、０．１５ｍｍとする。
【００３５】
図４（ａ）乃至（ｃ）参照
図４（ａ）はフレキシブル基板３２の接続状態を示す要部平面図であり、また、図４（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ′を結ぶ一点鎖線に沿った断面図であり、さらに、図４（ｃ）は図４（ｂ）の破線で示す円内を拡大して示した図である。
図から明らかなように、本発明においては、圧電アクチュエータ２９を圧力室２１の長さより長く、例えば、フレキシブル基板接続側において０．３ｍｍ程度長くなるように堆積させ、この圧電アクチュエータ２９上に圧電アクチュエータ２９よりも外周が内側となる個別電極４４が形成されている。
【００３６】
そして、フレキシブル基板３２の接続部が圧力室２１にかからない様に位置決めしたのち、接続部にパルスヒートを押圧した状態で、パルスヒートにパルス電流を印加することによってホットメルトタイプの異方性導電接着剤３８を溶融し、フレキシブル基板３２の電極３４と個別電極４４とを導電接合するとともに、圧電アクチュエータ２９の個別電極４４を形成していない領域においても圧電アクチュエータ２９とフレキシブル基板３２とを接合する。
なお、この場合の接合条件は、１８０℃で、５ｋｇｆ／ｃｍ2 で、２０秒間とする。
【００３７】
この場合、接合に際して異方性導電接着剤３８を用いているので、厚さ方向においては導電接続するが、横方向においては導電性を示さないので、各電極３４と各個別電極との接続が可能になる。
なお、図の場合には、圧電アクチュエータ２９の端部においては、カバーフィルム３６を介して接合された場合を示している。
【００３８】
この様に、本発明の第１の実施の形態においては、微細化に影響を与えない範囲で出来るだけ圧電アクチュエータ２９の面積を広く形成し、圧電アクチュエータ２９の個別電極４４の形成されていない領域においてもフレキシブル基板３２との接合を行って接合面積を広くしているので、アセンブリ工程における微細化に伴うフレキシブル基板３２の剥離の発生を防止することができる。
【００３９】
また、圧電アクチュエータ２９とフレキシブル基板３２との接合を、圧電アクチュエータ２９の一端側のみにおいて、且つ、圧力室２１から離れた位置において行っているので、圧電アクチュエータ２９を必要以上に拘束することがなく、圧電アクチュエータ２９の薄膜化に伴う、フレキシブル基板３２による拘束に起因する駆動特性の低下を防止することができる。
【００４０】
即ち、フレキシブル基板３２による拘束が過剰になると、薄膜状の圧電アクチュエータ２９の変形が抑制され、所望の駆動条件に満たなくなるので、この様な拘束を少なくすることが薄膜状の圧電アクチュエータ２９においては重要になる。
【００４１】
また、本発明の第１の実施の形態においては、接合のための接着剤として異方性導電接着剤を用い、且つ、接合の際にはパルスヒートを用いているので、接着剤の流れ出しが少なく、且つ、段差のある接合をスムーズに行うことができる。
なお、段差が大きい場合には、パルスヒートのチップ先端に予め段差を設けたものを用いるか、或いは、パルスヒートのチップとフレキシブル基板３２との間に熱伝導性のあるシートを挟んで接合を行うことが望ましい。
【００４２】
また、本発明の第１の実施の形態においては、シート状の異方性導電接着剤３８をフレキシブル基板３２に接着したのち、必要となる長さを残して切除しているので、不必要な部分での異方性導電接着剤の広がりをなくすることができる。即ち、反対に、圧電アクチュエータ２９側に異方性導電接着剤を塗布或いは粘着した場合には、フレキシブル基板３２との接合が広範囲になり、フレキシブル基板３２による拘束が過剰に大きくなるため、圧電アクチュエータ２９の駆動不良が生ずる。
【００４３】
なお、異方性導電接着剤はシート状のものを用いる必要は必ずしもなく、塗布型の異方性導電接着剤を用い、マスクを用いて所定のパターンに選択的に塗布しても良く、塗布した場合には、シート状異方性導電接着剤に比べて滲み出しが少なくなる利点があるが、０．５ｍｍ以下の幅のパターンを形成することが困難になる。
【００４４】
次に、図５及び図６を参照して、インク供給通路の形状、及び、フレキシブル基板との接合状態が異なる本発明の第２乃至第５の実施の形態を説明する。
図５（ａ）参照
この第２の実施の形態のインクジェット記録ヘッドの場合には、圧力室壁２７によって規定された圧力室２１とインク供給通路２４とがインク供給口２３を介して接続されており、圧力室２１のインクは導通路２３を介してノズル板３０に設けられたノズル３１から噴射される。
【００４５】
また、圧力室壁２７の上部には圧力室２１を覆うように振動板２８が強固に接着され、この振動板２８上にマスクスパッタリング法によって圧電アクチュエータ２９が圧力室２１より長く、且つ、インク供給通路２４にかからないように堆積させたのち、圧電アクチュエータ２９上に個別電極４４を形成する。
【００４６】
そして、フレキシブル基板３２に形成した電極３４のカバーフィルム３６側の露出端部が圧電アクチュエータ２９の端部と一致するように位置合わせしたのち、パルスヒートを用いて接合する。
【００４７】
この場合にも、上記の第１の実施の形態と同様に圧電アクチュエータ２９の個別電極４４の形成されていない領域においてもフレキシブル基板３２と接続しているのでフレキシブル基板３２の剥離を防止することができる。
また、圧電アクチュエータ２９とフレキシブル基板３２との接合を圧力室２１から離れた位置で行っているので、フレキシブル基板３２による圧電アクチュエータ２９の拘束の影響を少なくすることができる。
【００４８】
なお、この場合のインク供給通路２４上の圧力室壁２７の厚さは、第１の実施の形態における３層の圧力室形成層に比べて厚くないので、圧電アクチュエータ２９がインク供給通路２４にかかった場合には、圧電アクチュエータ２９の変形の影響がインク供給通路２４にも及び、インク供給通路２４を介して隣接する圧力室２１にも影響が及ぶので、この第２の実施の形態においては、圧電アクチュエータ２９がインク供給通路２４に掛からないように形成する必要がある。
【００４９】
図５（ｂ）参照
この第３の実施の形態のインクジェット記録ヘッドは、上記の第２の実施の形態とほぼ同様であるが、フレキシブル基板３２の接合状態において若干異なるものである。
即ち、この第３の実施の形態においては、フレキシブル基板３２の端部と圧力室２１の内壁とほぼ一致させると共に、フレキシブル基板３２の電極３４と圧電アクチュエータ２９との直接的な接続が生じないように、カバーフィルム３６の端部が圧電アクチュエータ２９の端部とほぼ一致するように位置合わせし、且つ、異方性導電接着剤３８をカバーフィルム３６上にも延在させたものである。
【００５０】
この様な構成を採用することによって、第２の実施の形態と比べて、圧力室２１の領域以外では圧電アクチュエータ２９はフレキシブル基板３２に拘束されるので、圧力室２１の領域以外で圧電アクチュエータ２９が駆動されることがなく、また、導電性接合部の面積が小さくなるので寄生静電容量を低減することができる。
【００５１】
図６（ａ）参照
この第４の実施の形態のインクジェット記録ヘッドは、上記の第３の実施の形態とほぼ同様であるが、振動板２８の形状、及び、フレキシブル基板３２の接合状態において若干異なるものである。
即ち、この第４の実施の形態においては、振動板２８の一部を切除し、露出した圧力室壁２７の上面においても異方性導電接着剤３８による接続を行ったものである。
【００５２】
一般に、振動板２８は厚さ数μｍ〜十数μｍの金属薄膜から構成されているので剛性が低く、接合部分の引っ張りで不備を生ずることがあるが、上記の様な構成を採用することによって、数十μｍ〜数百μｍの厚さの剛性の強い圧力室壁２７の上面においても接合を行っているので、フレキシブル基板３２の剥離の発生を防止することができる。
【００５３】
図６（ｂ）参照
この第５の実施の形態のインクジェット記録ヘッドは、上記の第３の実施の形態とほぼ同様であるが、フレキシブル基板３２を曲げると共に、接着剤４５で補強する点で若干異なるものである。
即ち、この第５の実施の形態においては、フレキシブル基板３２を接合する際に、パルスヒートによって押圧しながら加熱して接合したのち、パルスヒートを押圧した状態でフレキシブル基板３２を接合面より所定の角度を有するように曲ると共に、剥離が生じないように接着剤４５で立ち上げ部を補強する。
【００５４】
この第５の実施の形態においては、フレキシブル基板３２を予め曲げ、且つ、接着剤４５で補強しているので、フレキシブル基板３２の他端、即ち、制御基板接続部３９を制御基板と接続する際に改めて曲げる必要はなく、したがって、接続工程において剥離による不良が発生することがない。
【００５５】
また、フレキシブル基板３２の曲加工をパルスヒートの押圧下において行っているので、３〜５ｋｇｆ／ｃｍ2 程度の押圧下においては、曲加工に伴って剥離が生ずることもない。
【００５６】
以上、本発明の各実施の形態を説明してきたが、本発明は実施の形態における構成に限定されるものではなく、各種の変形が可能であり、例えば、圧力室及びインク供給通路の形状及び位置関係は、第１の実施の形態或いは第２の実施の形態に限られるものでなく、各種の形状のものを用いることができるが、要するに、少なくとも、圧力室にかからない位置において圧電アクチュエータの個別電極を形成していない領域とフレキシブル基板との接合を行えば良い。
【００５７】
【発明の効果】
本発明によれば、圧電体の長さを圧力室の長さより長くし、圧力室にかからない位置において圧電体の個別電極を形成していない領域とフレキシブル基板との接合を行っているので、接合強度を大きく且つ圧電体の拘束を小さくしているので、フレキシブル基板の剥離を防止できると共に、所期の駆動特性を得ることができ、それによって、インクジェット記録装置の微細化、高速化に寄与するところが大きい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の原理的構成の説明図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態のインクジェット記録ヘッドの概略的斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に用いるフレキシブル基板の平面図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態のインクジェット記録ヘッドの説明図である。
【図５】本発明の第２及び第３の実施の形態のインクジェット記録ヘッドの要部断面図である。
【図６】本発明の第４及び第５の実施の形態のインクジェット記録ヘッドの要部断面図である。
【図７】従来のインクジェット記録装置の概略的構成図である。
【図８】従来の薄膜圧電体を用いたインクジェット記録ヘッドの要部断面斜視図である。
【符号の説明】
１  圧力室
２  インク供給口
３  導通路
４  ノズル
５  インク供給通路
６  インク供給通路
７  圧力室形成層
８  圧力室壁
９  振動板
１０  圧電体
１１  フレキシブル基板
１２  個別電極
１３  基材
１４  電極
１５  カバーフィルム
１６  異方性導電接着剤
２１  圧力室
２２  インク供給口
２３  導通路
２４  インク供給通路
２５  インク供給通路
２６  圧力室形成層
２７  圧力室壁
２８  振動板
２９  圧電アクチュエータ
３０  ノズル板
３１  ノズル
３２  フレキシブル基板
３３  基材
３４  電極
３５  インク
３６  カバーフィルム
３７  ヘッド部
３８  異方性導電接着剤
３９  制御基板接続部
４０  異方性導電接着剤
４１  切除部
４２  切除部
４３  切除部
４４  個別電極
４５  接着剤
５１  記録媒体
５２  記録ヘッド
５３  インクタンク
５４  キャリッジ
５５  送りローラ
５６  ピンチローラ
５７  排出ローラ
５８  ピンチローラ
５９  プラテン
６０  スタッカ
６１  流路基板
６２  蓋板
６３  インク流路
６４  連通孔
６５  凹部
６６  振動板
６７  立ち曲部
６８  圧電素子
６９  フレキシブル基板
７１  圧力室
７２  インク供給路
７３  導通路
７４  インク供給通路
７５  圧力室壁
７６  振動板
７７  圧電アクチュエータ
７８  個別電極
７９  ノズル板
８０  ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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