(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）及び（Ｄ）を必須成分とし、超微粒子状シリカ粉末を配合してなり、超微粒子状シリカ粉末の１次粒子の平均径が５〜２０ナノメーター（ｎｍ）の範囲にあり、その配合量がシリカ粉末を含有しない該組成物１００重量部に対して０．２〜２重量部であることを特徴とするタックフリー性のアルカリ現像型光硬化性樹脂組成物。
（Ａ）一般式（II）
【化１】
0004122471.tif 000010
〔式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4は同一又は異なってもよく、水素原子又はメチル基を表し、Ｒ5 は炭素数１〜５の直鎖又は側鎖構造のアルキル基を表す。ａ，ｂ及びｃは重合度を表す。〕
で示される側鎖にカルボキシル基とアクリル基を有する変性共重合体。
（Ｂ）炭素数７以上の鎖状及び／環状構造を有するアルカンジオール類のジ（メタ）アクリレートである光重合性ビニルモノマー。
（Ｃ）光重合開始剤。
（Ｄ）有機溶媒。
【請求項２】
光重合性ビニルモノマーが、１，８−オクタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０−デカンジオールジ（メタ）アクリレート、シクロヘキサンジメタノールジ（メタ）アクリレート、及びジメチロールトリシクロデカンジ（メタ）アクリレートの１種又は２種以上の混合物であることを特徴とする請求項１に記載のタックフリー性のアルカリ現像型光硬化性樹脂組成
物。
【請求項３】
下記（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）及び（Ｄ）を必須成分とするアルカリ現像型光硬化性樹脂組成物に、１次粒子の平均径が５〜２０ナノメーター（ｎｍ）の範囲にある超微粒子状シリカ粉末をシリカ粉末を含有しない該組成物１００重量部に対して０．２〜２重量部の範囲で含有せしめることを特徴とするアルカリ現像型光硬化性樹脂組成物のタック性を改良する方法。
（Ａ）一般式（II）
【化２】
0004122471.tif 000011
〔式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4は同一又は異なってもよく、水素原子又はメチル基を表し、Ｒ5 は炭素数１〜５の直鎖又は側鎖構造のアルキル基を表す。ａ，ｂ及びｃは重合度を表す。〕
で示される側鎖にカルボキシル基とアクリル基を有する変性共重合体。
（Ｂ）炭素数７以上の鎖状及び／環状構造を有するアルカンジオール類のジ（メタ）アクリレートである光重合性ビニルモノマー。
（Ｃ）光重合開始剤。
（Ｄ）有機溶媒。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はアルカリ現像型光硬化性樹脂組成物に関する、更に詳しくはプリント配線基板用のエッチングレジスト、その他各種金属加工用エッチングレジストに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、プリント配線基板をはじめ各種金属加工用エッチングレジストには、高分子バインダー樹脂、光重合性ビニルモノマー及び光重合開始剤からなる光硬化性樹脂組成物が用いられてきた。
近年各種刷版、エレクトロニクス分野の発展に伴い、微細なパターンを得るために高解像力、高感度の光硬化性組成物が種々提案されている。また、作業性や作業環境の改善のため希アルカリ水溶液で現像処理できる組成物も種々提案されている。
しかしながら、これら提案されている感光液は実用面では感光液を基板へ塗布し乾燥した後の乾燥塗膜がべとつく性質（タック性）が十分に改善されていないのが現状である。従って、その後の作業工程において、塗布基板の取り扱いの際に硬化塗膜の接着や剥離がしばしば発生し、歩留りや作業効率が悪くなるという問題を抱えている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前述の如く、前記レジストはタックフリー性能については実用面からは未だ不十分であり、問題は解消されていない。
特に露光時に塗膜に密着されるマスクパターンが露光装置から発生する熱によって塗膜に粘着することによって作業能率が悪くなるという問題、また塗布基板のハンドリング中に塗膜が他の基板に粘着することによって塗膜の損傷が起きたり、次工程の作業に支障をきたすなどの問題がある。
かかる状況から、前記エッチングレジストにおいては乾燥塗膜のタックフリー性の更なる改善が課題となっている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは前記課題を解決すべく、アルカリ現像型光硬化性樹脂組成物にタックフリー性を付与するための手段を鋭意検討した結果、前記組成物に充填剤として超微粒子シリカ粉末を含有させることにより乾燥塗膜のタックフリー性が格段に向上することを見出だし、本発明をなすに至った。
【０００５】
本発明のタックフリー性のアルカリ現像型光硬化性樹脂組成物は、下記（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）及び（Ｄ）を必須成分とし、充填剤として超微粒子状シリカ粉末を配合したことを特徴とする組成物である。
（Ａ）一般式（II）
【化２】
0004122471.tif 000002
〔式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4は同一又は異なってもよく、水素原子又はメチル基を表し、Ｒ5 は炭素数１〜５の直鎖又は側鎖構造のアルキル基を表す。ａ，ｂ及びｃは重合度を表す。〕
で示される側鎖にカルボキシル基とアクリル基を有する変性共重合体。
（Ｂ）炭素数７以上の鎖状及び／環状構造を有するアルカンジオール類のジ（メタ）アクリレートである光重合性ビニルモノマー。
（Ｃ）光重合開始剤。
（Ｄ）有機溶媒。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の詳細を説明する。
本発明で使用する成分（Ａ）は、カルボキシル基を有するセグメントを含む共重合体（Ｉ）に一分子中に一個以上のビニル基とエポキシ基を有する脂環式エポキシ基含有不飽和化合物（II）を開環付加反応させて得られる側鎖にカルボキシル基とアクリル基を有する変性共重合体である。
前記カルボキシル基を有するセグメントを含む共重合体（Ｉ）としては、下記一般式（Ｉ）で示される共重合体（Ｉ）が例示できる。
一般式（Ｉ）：
【化３】
0004122471.tif 000003
〔式中、Ｒ1 及びＲ2は同一又は異なっていてもよく、水素原子又はメチル基を表し、Ｒ3 は炭素数１〜５の直鎖又は側鎖構造のアルキル基を表す。また、ｍ及びｎは重合度を表し、ｍ／ｎ＝０．５〜２．４（モル比）である。〕
【０００７】
共重合体（Ｉ）としては、具体的には、メタクリル酸−アクリル酸エステル共重合体、メタクリル酸−メタクリル酸エステル共重合体、アクリル酸−アクリル酸エステル共重合体、アクリル酸−メタクリル酸エステル共重合体等が挙げられる。更には具体的には、メタクリル酸−アクリル酸ブチル共重合体、メタクリル酸−メタクリル酸メチル共重合体、アクリル酸−アクリル酸ブチル共重合体、アクリル酸−メタクリル酸メチル共重合体等が挙げられる。
又、本発明で使用する脂環式エポキシ基含有不飽和化合物（II）としては、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルメタクリレート或いは（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルアクリレートが好ましい。
【０００８】
従って、側鎖にカルボキシル基とアクリル基を有する変性共重合体（Ａ）としては、カルボキシル基を有するセグメントを含む共重合体（Ｉ）に（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルメタクリレート或いは（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルアクリレートから選択されるエポキシ基含有不飽和化合物（II）を開環付加反応させて得られる前記一般式（II）で示される変性共重合体が好ましい。
このような変性共重合体（Ａ）の特徴は、特開平１−２９８２０号公報、特開平８−４１１５０号公報、特開平８−２５９６２４号公報、特開平８−２６２２１号公報、特開平９−２７８８４２号公報、特開平９−２７８８６９号公報、特開平１０−７７５５号公報、特開平１０−１０７２６号公報、特開平１０−１７６４４号公報などに記載されているように、乾燥塗膜のタックフリー性が従来の樹脂を用いた場合に比べて改善されることが述べられている。
【０００９】
本発明で使用する変性共重合体（Ａ）の酸価（ＪＩＳ  Ｋ−１５５７準拠）は、５０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲にあることが好ましい。
酸価が５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下になると希アルカリ水溶液による現像時に未硬化樹脂組成物の除去が難しい。一方、酸価が１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上になると希アルカリ水溶液による現像時に画像が流れたり、或いは硬化皮膜の耐湿性が悪くなる場合がある。
又、変性共重合体（Ａ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は５，０００〜２０，０００の範囲が好ましい。
変性共重合体（Ａ）の重量平均分子量が５，０００以下であると、タックフリー性能が劣り、露光後の塗膜の耐湿性が悪く、また現像時に膜べりが生じ解像度が大きく劣るという問題がある。一方、重量平均分子量が２０，０００を越えると、希アルカリ水溶液による現像性が著しく悪くなることや貯蔵安定性が劣る等の問題が生ずる。
【００１０】
更に、前述した開環付加反応に際し、エポキシ基含有不飽和化合物とカルボキシル基含有アクリル共重合体の比率に特に制限がないが、開環付加反応後の樹脂１Ｋｇにつき二重結合が通常１．３〜３．５モル、即ち二重結合当量１，０００〜２８６ｇ／ｍｏｌ不飽和基、好ましくは１．５〜３．５モル（二重結合当量６６７〜３３３ｇ／ｍｏｌ）である。
当該変性共重合体（Ａ）が１．０モルより少ない場合には、充分な光硬化物が得られないことがある。また、３．５モルより多い場合には充分な貯蔵安定性が得にくい等の問題がある。
【００１１】
当該変性共重合体（Ａ）に該当する製品としては、例えばダイセル化学工業（株）製「サイクロマーＰ」が市販品されており、本発明において使用できる。
前記サイクロマーＰには、下記表に示す四銘柄が市販されており、いずれの銘柄の製品も本発明において使用できる。
これらの銘柄はいずれもメタクリル酸−メタクリル酸メチル共重合体（Ｉ）に（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルアクリレートを付加させたものである。
【００１２】
【表１】
0004122471.tif 000004
【００１３】
本発明の光硬化性樹脂組成物は光重合性多官能ビニルモノマーが配合できるが、本発明で使用する成分（Ｂ）の光重合性ビニルモノマーとしては、炭素数７個以上の鎖状式及び／又は油環式アルカンジオール類のジ（メタ）アクリルエステルからなる重合性ビニルモノマーを使用することを特徴とする。
本発明で使用する好適な光重合性ビニルモノマー（Ｂ）としては、具体的には１，８−オクタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０−デカンジオールジ（メタ）アクリレート、シクロヘキサンジメタノールジ（メタ）アクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジ（メタ）アクリレート、水添ビスフェノールＦジ（メタ）アクリレート、水添ビフェノールジ（メタ）アクリレートなどが例示できる。これらは１種又は２種以上の混合物として使用できる。
中でも１，９−ノナンジオールジアクリレート、１，１０−デカンジオールジアクリレート、シクロヘキサンジメタノールジアクリレートを使用した場合には、優れた感度と解像力が得られると共に乾燥塗膜のタックフリー性が格段に向上する。
【００１４】
本発明の組成物における光重合性ビニルモノマー（Ｂ）の配合量は、変性共重合体（Ａ）１００重量部に対して１〜２５重量部が好適である。
光重合性ビニルモノマーの配合量が２５重量部を越えると、乾燥塗膜のタックフリー性、アルカリ水溶液による現像性が劣るという問題が生じる。一方、１重量部以下になると、感度と解像力が劣り、実用に耐えないレベルとなる。
更に、光重合性ビニルモノマー（Ｂ）の添加量が多くなればなるほど感度は高くなることから、各種ドライフィルムレジストに応じて感度調節が可能である。
【００１５】
変性共重合体（Ａ）を含む当該組成物は、光重合開始剤を配合することによって本発明の光硬化性樹脂組成物となる。
光重合開始剤（Ｃ）としては、特に制限はなくハロメチルオキサゾール系化合物、ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、オニウム塩、ベンゾインエーテル類、ベンゾフェノン類、キサントン類、アセトフェノン誘導体、アジド等種々のものが使用できる。
本発明の組成物は、変性共重合体（Ａ）成分との組み合わせにおいて、画像形成性という点では、光重合開始剤として４−ジメチルアミノ安息香酸エチル［日本化薬（株）  カヤキュアＥＰＡ）、２，４−ジエチルチオキサントン［日本化薬（株）  カヤキュアＤＥＴＸ］及び２−ベンジル−２−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−１−ブタノン［チバスペシャリティケミカル（株）製  イルガキュア３６９］の３種類を混合して用いるのがよい。
増感剤としては、２−ニトロフルオレン、２，４−７−トリニトロフルオレノン、ベンズアンスロン、ピクラミド、１，２−アンスラキノン、１，１−クロロ−６−ヒドロキシベンズアンスロン、フェナンスラキノン、４−（４−ブトキシフェニル）−２，６−ジフェニルチオピリリウムパークレート等が例示できる。
【００１６】
更には、本発明の光硬化性樹脂組成物には、その他の添加剤としてこの種の分野で慣用されている熱重合禁止剤、レベリング剤、シリコーン系又は弗素系消泡剤、酸化防止剤、フィラー、着色顔料、着色染料などを活性エネルギー線による硬化を阻害しない程度で添加することができる。
【００１７】
本発明における当該組成物の調製には有機溶媒（Ｄ）を使用するが、有機溶媒としては、特に制限はなくエステル類、アルコール類、エーテル類、ケトン類等の種々の溶剤を用いることができ、単独で、又は混合して用いることが可能である。
各種塗布装置の特性によって、適宜溶媒は選択される。
溶媒としては、メタノール、エタノール、２−プロパノール等のアルコール類、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類、ジエチルエーテル、ジブチルエーテル、ジオキサン等のエーテル類、酢酸エチル、酢酸イソブチル、エチレングリコールモノアセテート、プロピレングリコールモノアセテート、ジプロピレングリコールモノアセテート等のエステル類、エチレングリコールモノアルキルエーテル類、ジエチレングリコールモノアルキルエーテル類、プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテル類、エチレングリコールジアルキルエーテル類、プロピレングリコールジアルキルエーテル類、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル類のジエチレングリコールジアルキルエーテル類、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル等のジプロピレングリコールジアルキルエーテル類、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ジエチレングリコーツモノアルキルエーテルアセテート類、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類等が挙げられる。
【００１８】
本発明において、充填剤として使用される超微粒子シリカ粉末としては、１次粒子の平均径が５〜３０ｎｍ（ナノメーター）であって、５〜２０ｎｍのものが好適に用いられる。
更には、該微粒子表面上にシラノール基（−ＳｉＯＨ）を有する親水性のシリカが媒体への分散性がよく、好適に用いられる。
このような超微粒子シリカ粉末は日本アエロジル（株）から『ＡＥＲＯＳＩＬ（アエロジル）』の商品名で市販されている。
親水性グレードとしては、５０、９０Ｇ、１３０、２００、２００Ｖ、２００ＣＦ、２００ＦＡＤ、３００、３００ＣＦ、３８０などが市販されているが、この中で標準タイプの＃２００が通常用いられる。
上記＃２００の主な物理化学的データは次の通りである。
・ＢＥＴ法による比表面積  ：２００ｍ2 ／ｇ
・４％水分散液中のｐＨ値  ：４．０〜４．５
・１次粒子の平均径        ：約１２ｎｍ
・見掛け比重              ：５０ｇ／Ｌ
・ＳｉＯ2 含有率          ：＞９９．９％
【００１９】
また、本発明における超微粒子シリカ粉末は、組成物１００重量部に対して１〜１０重量部、好ましくは１〜５重量部である。
上記配合量が１０重量部を越えると、組成物調製時にチクソトロピーが顕著に現れ、混合操作が事実上困難となる。
一方、１重量部以下になると、乾燥塗膜のタックフリー性が劣るという問題が生じる。
また、このように超微粒子シリカ粉末を配合しても、感度や解像度などの感光特性は損なわれることはなく、これを添加しない場合の感光特性が維持される。
更には、得られ塗膜は塩化第２鉄水溶液などのエッチング液に対しても良好な耐性を示し、超微粒子シリカ粉末を配合することによる弊害はみられない。
【００２０】
本発明の組成物を用いて被膜を形成する方法は、以下のように実施される。
ガラス、プラスチック、金属（亜鉛、鉄、銅、アルミニウム、又はこれらの合金）などの基板或いは金属蒸着板に、ナチュラルロールコーター、リバースロールコーター、グラビアロールコーター、スクリーン印刷機、カーテンコーター、エアースプレー、バーコーター、ナイフコーター、スピンコーター、刷毛、浸漬（ディップ）塗装機等を用いて当該組成物を塗布する。前記基板は加熱処理、表面研磨、エッチング又は薬剤などで表面処理して、特性の改良を施してもよい。又、本発明組成物と基板間の密着性を改良するために、前記組成物に密着性促進剤を含めてもよく、例えばシランカップリング剤を配合してもよい。
【００２１】
膜厚は応用分野によって異なるが、通常１〜７０μｍの範囲とするとよい。次いで、得られた塗布物を室温又は温風ヒーター中で乾燥させて塗着膜を形成させる。加熱温度は前記組成物及び基板の劣化が起こらない温度、例えば１５０℃まで加熱することができる。
得られた塗着膜にネガマスクを介して、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ等を使用して活性エネルギー線を照射して露光を行う。次いで、スプレーガン、浸漬法又はパッド法等で現像し、乾燥塗膜で１〜７０μｍのレジストパターンを形成する方法が採用される。
次いで、アルカリ現像液によって現像処理される。
【００２２】
本発明の光硬化性樹脂組成物で形成した塗着膜の現像には、希アルカリ水溶液が用いられる。前記希アルカリ水溶液のアルカリ成分としては、具体的にはリチウム、ナトリウム、カリウム等のアルカリ金属の水酸化物、炭酸塩、重炭酸塩、リン酸塩等の無機塩基、ピロリン酸塩、ベンジルアミン、ブチルアミン等の第１級アミン、ジメチルアミン、ジベンジルアミン、ジエタノールアミン等の第２級アミン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリエタノールアミン等の第３級アミン、モルホリン、ピペラジン、ピリジン等の環状アミン、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン等のポリアミン、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、トリメチルベンジルアンモニウムヒドロキシド、トリメチルフェニルベンジルアンモニウムヒドロキシド、コリン等のアンモニウムヒドロキシド類、トリメチルスルホニウムヒドロキシド、ジエチルメチルスルホニウムヒドロキシド、ジメチルベンジルスルホニウムヒドロキシド等のスルホニウムヒドロキシド類、並びにこれらアルカリ成分と緩衝液の混合液が挙げられる。これらの１種又は２種以上の混合物が用いられる。
【００２３】
現像用の希アルカリ水溶液のアルカリ成分の使用量は、希アルカリとなる程度であればよく特に限定されない。例えば、希アルカリ水溶液として通常０．５〜５重量％の炭酸ナトリウム水溶液が用いられる。
上記の如く、現像処理したレジストパターン塗膜は更に必要に応じて１００〜２００℃の温度で１０分〜３時間程度のポストベークが施される。これにより塗膜の重合硬化を更に進行させ耐熱性、耐エッチング性、密着性、タックフリー性を向上させることができる。
本発明の光硬化性樹脂組成物は、フォトレジスト、エッチングレジスト、ソルダーレジスト、ドライフィルムレジスト、刷版等に使用されるが、エッチングレジストとして使用する場合には、前記のように基板上に形成されたレジストパターンをエッチング液で処理して、基板に所望のパターンを転写形成させる。
エッチング液としては、特に限定されないが、通常塩化第二鉄、塩化第二銅などの水溶液が用いられる。
エッチング処理終了後、次いでアルカリ水溶液を用いて塗膜の剥離処理が行われる。剥離処理は、特に限定されないが、５〜１０％苛性ソーダ水溶液を６０℃以上に加熱して処理すれば、容易に剥離できる。
【００２４】
【実施例】
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるものではない。
【００２５】
実施例１
（１）組成物の調製
＜原液の調製＞
変性共重合体（Ａ）として、ダイセル化学工業（株）製のサイクロマーＰ  銘柄ＡＣＡ−２００Ｍを５００ｇ、光重合性ビニルモノマー（Ｂ）として、１，９−ノナンジオールアクリレート（１，９−ＮＤ−Ａ）２４ｇ、光重合開始剤（Ｃ）として、カヤキュアＥＰＡ  １２ｇ、カヤキュアＤＥＴＸ  １２ｇ、及びイルガキュア３６９  １２ｇの混合物、溶媒（Ｄ）として、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭ）５００ｇを攪拌器付フラスコに加え、完全に溶解するまで攪拌した。次いで、得られた溶解液を孔径  ０．６μｍのフィルターを通して精密濾過を行ない、組成物原液を調製した。
0004122471.tif 000005
【００２６】
＜超微粒子シリカ粉末の分散＞
次に上記の原液  ５００ｇ及び日本アエロジル（株）製のＡＥＲＯＳＩＬ２００  ２５ｇをサンドミルに１時間かけてシリカ粉末を十分に分散させた。
＜組成物の最終調製＞
次に上記の原液  ３００ｇ、及び上記の分散液７５ｇを攪拌器付フラスコに計り取り約１時間攪拌混合した。
この場合、ＡＥＲＯＳＩＬ２００の配合量は前記感光液原液１００重量部に対して０．９６部であった。
【００２７】
（２）基板の脱脂
４２合金（４２Ｎｉ−Ｆｅ合金）板を６０℃の日本表面処理（株）製ジャスコクリーンＮｏ．５水溶液に２分間浸漬してアルカリ脱脂を行った。次いで水洗・乾燥処理した。これを以下の評価試験に供した。
（３）感光液の塗布及びプレベーク
上記（１）で調製した感光液を上記（２）の４２合金基板にホワラー塗布装置を用いてレジスト膜厚が約１０μｍになるように塗布した。塗布後、塗布板を更に乾燥するため３分間回転を続けた。次いで、８０℃に温度調整された熱風恒温乾燥器中に前記塗布板を１０分間入れ、プレベーク処理を行った。
【００２８】
（４）露光
プレベーク処理した基板の塗布面に解像力チャート（テストパターン）とコダック社製ステップタブレットＮｏ．２を真空密着させながら、１Ｋｗ超高圧水銀灯を用いて距離１ｍにて２分間露光した。
0004122471.tif 000006
（５）現像
前記（４）の露光した基板を２５℃の０．５％炭酸ナトリウム水溶液中に通常６０〜８０秒間浸漬してバット現像した。その後、水洗処理をした。
【００２９】
（６）ポストベーク
１５０℃に温度調整された熱風恒温乾燥器中に前記（５）のパターンが形成された基板を１０分間入れて、ポストベーク処理を行った。
（７）エッチング試験
上記（６）でポストベーク処理した基板を４５°Ｂｅ′塩化第二鉄水溶液を用いて５０℃で５分間スプレーエッチングを行った。
【００３０】
上記各工程で実施した試験評価項目は下記の通りである。
得られた評価結果は表１に示した。
＜測定項目とその測定方法＞
（１）タック性能
１０×１０ｃｍサイズのガラス基板上にホエラー塗布装置を用いて試験に供する感光液を塗布した。次いで、感光液を塗布したガラス基板を８０℃のホットプレート上で１０分間プレベークした。
次にこのサンプル（塗布ガラス基板）を５０℃に保ったホットプレートに塗布面が上になるように置き、その塗布面上に上記と同じサイズのガラス板を重ね合わせ、その上に荷重２Ｋｇの重りを載せ１０分間放置した。その後、レジスト被膜とガラス板との粘着力、即ち上下２枚のガラス板を剥がすのに要する力を評価し、これを加温時のタックフリー性の尺度とした。
上記加温時のタックフリー性能は、次の基準で評価した。
○：タックがない。（力をかけなくとも容易に剥離できる）
△：タックがややある。（力を少しかけると剥離できる）
×：タックがある。（力をかなりかけても剥離できない）
【００３１】
（２）残膜率
現像前の膜厚と現像後の膜厚を重量法で測定した。
○：現像前の９０％以上の膜厚を有していた。
△：現像前の８５〜９０％の膜厚を有していた。
×：現像前の８５％の膜厚しか有していなかった。
【００３２】
（３）現像時間
現像は液温２５℃の１％炭酸ナトリウム水溶液で行い、未露光部分の塗膜を全て溶解するまでの時間を現像時間とした。
尚、本発明において希アルカリ水溶液に可溶とは、この現像時間が２分以内であることを意味する。
現像性は次の基準で評価した。
○：２分未満で現像可能
△：２〜５分で現像可能
×：５分を越える現像時間が必要
【００３３】
（４）感度
感度はＫｏｄａｋ  Ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ  Ｓｔｅｐ  Ｔａｂｌｅｔ  Ｎｏ．２を用いて評価し、グレースケール感度即ち段数で表示した。
この段数が高いほど高感度であることを示す。
（５）解像度
ネガとポジタイプの解像力チャートを用いて測定した。テストパターンの線幅５、１０、１５、２０、２５、３０、４０・・・・・５００μｍのラインが明確に解像されている下限値を求めた。
この値が低いほど解像度がよいことを示す。
【００３４】
（６）密着性
得られたレジスト塗膜について、ＪＩＳ  Ｄ−Ｏ２０試験法に準じてセロハンテープによるピーリング試験（剥離試験）を行ない、剥離の発生を観察した。
評価基準は次の通りである。
○：密着性良好          １００／１００
△：密着性やや劣る      ５０／１００〜９９／１００
×：密着性劣る          ０／１００〜４９／１００
【００３５】
（７）耐エッチング液性能
ポストベークした後、液温５０℃の４５°Ｂｅ´塩化第二鉄水溶液で５分間スプレーエッチングを行った。その後、塗膜のパターンをＳＥＭ写真及び目視で観察した。
耐エッチング液性は次の評価基準で行った。
○：塗膜に変化が見られない
△：僅かに塗膜に光沢がなくなる
×：光沢がなく、塗膜に侵食が見られる
【００３６】
実施例２
実施例１において、変性共重合体をサイルロマーＰ  銘柄ＡＣＡ２００に代えて実施例１と同じ方法で実験を行った。
＊ＡＣＡ２００の物性値
酸価          ：１１６mg KOH/g
二重結合当量  ：４５０g/mol
重量平均分子量：１５，０００
得られた評価結果を表１に示した。
【００３７】
実施例３〜４
実施例１において、充填剤  ＡＥＲＯＳＩＬ２００の配合量を１５ｇ（実施例３）及び３５ｇ（実施例４）に代えて実施例１と同じ方法で実験を行った。
尚、この場合、ＡＥＲＯＳＩＬ２００の配合量は前記感光液原液１００重量部に対して、それぞれ０．５８及び１．３重量部であった。
得られた評価結果を表１に示した。
【００３８】
実施例５
実施例１において、光重合性ビニルモノマーをシクロヘキサンジメタノールジアクリレートに代えて実施例１と同じ方法で実験を行った。
得られた評価結果を表１に示した。
【００３９】
実施例６〜７
実施例１において、充填剤  超微粒子状シリカ粉末を日本アエロジル（株）製の平均粒子径の異なる「ＡＥＲＯＳＩＬ１３０」（実施例６）及び「ＡＥＲＯＳＩＬ３００」（実施例７）に代えて実施例１と同じ方法で実験を行った。
それぞれのシリカ粉末の物性は次の通りである。
0004122471.tif 000007
尚、この場合、ＡＥＲＯＳＩＬ２００の配合量は前記感光液原液１００重量部に対して０．９６重量部である。
得られた評価結果を表１に示した。
【００４０】
比較例１
実施例１において、充填剤  ＡＥＲＯＳＩＬ２００を全く配合しないで実施例１と同じ方法で実験を行った。
得られた評価結果を表１に示した。
比較例２
実施例１において、充填剤「ＡＥＲＯＳＩＬ２００」の配合量を４ｇにして実施例１と同じ方法で実験を行った。
尚、この場合、ＡＥＲＯＳＩＬ２００は前記感光液原液１００重量部に対して０．１６重量部であった。
得られた評価結果を表１に示した。
【００４１】
比較例３
実施例１において、充填剤「ＡＥＲＯＳＩＬ２００」の配合量を６０ｇにして実施例１と同じ方法で実験を行った。
尚、この場合、ＡＥＲＯＳＩＬ２００は前記感光液原液１００重量部に対して２．２重量部であった。
その結果、得られた感光液は極めて高いチクソトロピーを示し、不均一な塗膜しか得られず実用に供しがたいものであった。
【００４２】
比較例４
実施例１において、充填剤「ＡＥＲＯＳＩＬ５０」に代えて実施例１と同じ方法で実験を行った。
用いたシリカ粉末の物性値は次の通りである。
0004122471.tif 000008
尚、この場合、ＡＥＲＯＳＩＬ５０の配合量は前記感光液原液１００重量部に対して０．９８重量部である。
得られた評価結果を表１に示した。
【００４３】
【表２】
0004122471.tif 000009