(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
運搬可能な複数の単位スキッドを組み合わせてなる純水製造装置を需要箇所に設置する方法であって、
純水製造装置の製造工場において、
各単位スキッドを結合して純水製造装置を組み立てる試組み工程と、
試組みされた純水製造装置に通水する通水試運転工程と、
該純水製造装置を単位スキッドに分解する分解工程と
を行い、次いで、
各単位スキッドを需要箇所に運搬し、各単位スキッドを結合して純水製造装置を組み立てる本組み工程を行うことを特徴とする純水製造装置の設置方法。
【請求項２】
請求項１において、前記通水試運転工程では純水を通水することを特徴とする純水製造装置の設置方法。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記分解工程後、少なくとも一部の単位スキッド内に不活性ガスを封入することを特徴とする純水製造装置の設置方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項において、単位スキッドはフレーム内に純水製造用の機器を設置したものであり、
該単位スキッドはトラックの荷台に載る大きさ及び重量のものであることを特徴とする純水製造装置の設置方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は純水製造装置の設置方法に係り、特に複数の単位スキッドを組み合わせた純水製造装置を設置する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体や液晶等の製造工場など純水（超純水を含む。）を多量に消費する箇所にあっては純水製造装置を設置している。
【０００３】
超純水製造装置は、図２に示すように前処理システム１、一次純水システム２及びサブシステム３から構成される。原水は、凝集、加圧浮上（沈殿）、濾過装置等よりなる前処理システム１で処理され、原水中の懸濁物質やコロイド物質が除去される。この水は、逆浸透膜分離装置、脱気装置及びイオン交換装置（混床式又は４床５塔式）を備える一次純水システム２で処理され、イオンや有機成分が除去された後、熱交換器、低圧紫外線酸化装置、イオン交換純水装置及び限界濾過膜分離装置を備えるサブシステム３で処理され、超純水が製造される。このサブシステム３において、低圧紫外線酸化装置では、低圧紫外線ランプより出される１８５ｎｍの紫外線によりＴＯＣを有機酸さらにはＣＯ２まで分解する。生成した有機酸及びＣＯ２は後段のイオン交換樹脂で除去される。限外濾過膜分離装置では、微小粒子が除去されイオン交換樹脂の流出粒子も除去される。
【０００４】
この純水製造装置は、純水の需要家の要求特性、生産水量、設置スペース状況などを勘案して設計され、純水製造装置メーカーの製作工場にて各機器が製作される。そして、この機器を需要家の敷地に搬入し、組み立て、通水試運転後、需要家に引き渡される。
【０００５】
通水試験により不具合が見出されたときには、純水製造装置の製造工場から代替機器等を取り寄せて交換し、再度通水試運転し、合格後、需要家に引き渡される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の純水製造装置の設置工程にあっては、据付施工現場での組立て、試運転に著しく時間が掛り、引渡し納期がかなり長いものとなっていた。
【０００７】
本発明は、据付施工現場での作業時間を著しく短縮することができ、その結果として需要家への引き渡し納期も著しく短くすることができる純水製造装置の設置方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の純水製造装置の設置方法は、運搬可能な複数の単位スキッドを組み合わせてなる純水製造装置を需要箇所に設置する方法であって、純水製造装置の製造工場において、各単位スキッドを結合して純水製造装置を組み立てる試組み工程と、試組みされた純水製造装置に通水する通水試運転工程と、該純水製造装置を単位スキッドに分解する分解工程とを行い、次いで、各単位スキッドを需要箇所に運搬し、各単位スキッドを結合して純水製造装置を組み立てる本組み工程を行うことを特徴とするものである。
【０００９】
かかる本発明方法によると、純水製造装置の製造工場において各単位スキッドを試組み（ためしぐみ）し通水試運転を行い、不具合がある場合には機器の交換等の適切な処置を施す。通水試運転により合格が確認された後、単位スキッドに分解し、需要箇所に運搬して純水製造装置を組み立てるため、需要箇所では単位スキッドを結合するだけで不具合のない純水製造装置の据え付けが可能である。このため、需要箇所での据付施工時間が著しく短くて足りるようになる。
【００１０】
この通水試運転では純水を通水することが好ましい。これは、低水質の水を通水すると機器内部を汚染するおそれがあるからである。
【００１１】
分解工程後、少なくとも少なくとも一部の単位スキッド内に窒素ガス等の不活性ガスを封入することにより、塵埃等による機器内部汚染が防止される。
【００１２】
本発明では、単位スキッドはフレーム内に純水製造用の機器を設置したものであり、該単位スキッドはトラックの荷台に載る大きさ及び重量のものであることが望ましい。この単位スキッドはクレーンやチェーンブロック等によって容易に移動させることができると共に、トラックにより需要箇所に容易に迅速に輸送することができ、引き渡し納期の一層の短縮化が可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して実施の形態について説明する。図１は実施の形態に係る方法により組み立てられる純水製造装置のブロック図である。
【００１４】
この純水製造装置は、原水槽スキッド１０と、ポンプスキッド２０と、前処理スキッド３０と、脱炭酸塔スキッド４０と、活性炭スキッド５０と、一次純水システム用スキッド６０と、サブシステム用スキッド７０とを備えている。
【００１５】
ポンプスキッド２０は、直方体形状のフレーム内に前段ポンプＰ１と後段ポンプＰ３とを設置したものである。前処理スキッド３０は、直方体形状のフレーム内に熱交換器（Ｈ／Ｅ）と、中和槽と、凝集槽と、ポンプＰ２と、精密濾過装置（ＭＦ）とを設置したものである。
【００１６】
一次純水システム用スキッド６０は、直方体形状のフレーム内に精密濾過装置（ＭＦ）、ポンプＰ４、第１逆浸透膜分離装置（ＲＯ１）、第２逆浸透膜分離装置（ＲＯ２）、脱気膜装置（ＭＤ）及び電気脱イオン装置（ＣＤＩ）を設置したものである。
【００１７】
サブシステム用スキッド７０は、直方体形状のフレーム内にサブタンクと、ポンプＰ５と、熱交換器（Ｈ／Ｅ）と、紫外線照射装置（ＵＶ）と、デミナーすなわち混床式イオン交換樹脂塔（ＤＩ）と、限外濾過装置（ＵＦ）とを設置したものである。
【００１８】
この実施の形態では、これらの原水槽１０、スキッド２０，３０，４０，５０，６０，７０として、それぞれユースポイントでの定格使用量が１５ｍ３／Ｈ，３０ｍ３／Ｈ，４５ｍ３／Ｈ，６０ｍ３／Ｈである場合に応じて、処理能力が異なる４機種を標準品として用意してある。そして、需要家の要求に応じ、これらの４機種のうちのいずれか又は複数を組み合わせることにより、必要供給水量に対処できるようにしている。
【００１９】
需要箇所への納入機種及び時期が決まると、据付現場では据付用基礎工事の手配及び施工を開始すると共に、純水製造装置の製造工場では、上記の機種から選択された機種の単位スキッドを試組みし、純水により通水試運転を行う。この試組みに際しては、本組みと同様の組み立てを行う。すなわち、据付現場での単位スキッドの配置に正確に合致させて単位スキッドを配置し、単位スキッド同士を配管等の接続部材で接続する。また、各機器の通電用電力ケーブルの結線と、センサ類の取付、リード線の引き回し、制御回路との結線等もすべて行う。
【００２０】
この試組みの段階では、高純度の水質が要求されるサブシステム用スキッド内のイオン交換樹脂及び活性炭等の充填物は充填しないでおくと、該充填物の汚染に配慮せずに試組み工程および分解工程を行えるので好ましい。ただし、前処理用スキッド、一次純水用スキッドの様な高純度水質を要求されないスキッドの場合は、前記充填物を充填しておく方が次工程の純水の通水試運転によって充填物が洗浄できるので好ましい。
【００２１】
試組み終了後、純水を通水し、漏水の有無や計装用機器の作動チェックを行う。この通水試運転中に不具合箇所が発見されたときには、当該箇所の補修や、パーツ交換を行い、再度通水試運転を行う。この通水試運転は、各スキッドおよびスキッド間の接合配管が十分に洗浄されるまで行うと、現場での通水試運転時間が短縮できるので好ましい。
【００２２】
通水試運転が合格となったならば、水を抜き、単位スキッド間の通水用接続や電線の結線を解除し、各機器の内部に窒素ガスを封入する。その後、各単位スキッドを据付現場にトラック搬送し、現場で組み立てる。この現場組み立ては、単位スキッド間の通水用接続と電線の結線及びイオン交換樹脂、活性炭の充填程度で済み、きわめて簡単である。
【００２３】
完成した純水製造装置は、既にその製造工場にて試組み及び通水試運転が終了しているものであるから、現場での単位スキッド同士の接続に齟齬が生じることは無く、また現場での通水試運転も必ず合格する。従って、現場での組み立て作業時間は著しく短くて済み、また確実に需要家への引渡し納期を守ることが可能である。
【００２４】
なお、図１のシステムは純水製造装置の一例であり、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２５】
本発明では、純水製造装置の全体を１台の制御装置で制御すると、制御システムが小型化するので好ましい。単位スキッド毎に制御装置を配置すると、単位スキッド同士の通信による信号取り合いが発生し、制御装置に組み込むソフトウェアが複雑になり、メンテナンスが難しくなる。
【００２６】
【発明の効果】
以上の通り、本発明によると、純水製造装置を据付現場にて短時間にて不具合なく組み立て、納期内に需要家に引き渡すことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を示す系統図である。
【図２】従来の超純水製造装置を示す系統図である。
【符号の説明】
１  前処理システム
２  一次純水システム
３  サブシステム
１０  原水槽スキッド
２０  ポンプスキッド
３０  前処理システム用スキッド
４０  脱炭酸塔スキッド
５０  活性炭スキッド
６０  一次純水システム用スキッド
７０  サブシステム用スキッド
【図１】
0004122749.tif 000002
【図２】
0004122749.tif 000003