(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部材を保持するための二軸ステージを基準となるベースステージに平行になるように、ベースステージの平面に沿って変位する３つの板ばねで支持し、そのうちの第１および第２の板ばねは、その一端部が互いに直交する二軸方向において前記二軸ステージに固定されているとともに、他端部が前記ベースステージに固定され、第３の板ばねは、前記二軸ステージが前記ベースステージの平面に沿って移動可能となるように前記二軸ステージとベースステージとの間に設けられ、これら第１および第２の板ばねを前記ベースステージの平面に沿って変位させることにより、前記二軸ステージに保持された光学部材の位置を調整可能としたことを特徴とする光学部材の位置調整機構。
【請求項２】
第１および第２の板ばねがいずれもＬ字状に形成されており、これらＬ字状の第１および第２の板ばねの端部が二軸ステージに固定されているとともに、他端部が同じ平面内において前記ベースステージに固定されており、これら第１および第２の板ばねの変位により二軸ステージが移動可能に構成されている請求項１に記載の光学部材の位置調整機構。
【請求項３】
前記二軸ステージを移動させるアクチュエータ部と第１および第２の板ばねとの間には、アクチュエータ部の駆動力を変倍して第１および第２の板ばねに伝達する変倍機構が設けられている請求項２に記載の光学部材の位置調整機構。
【請求項４】
前記第１および第２の板ばねの二軸ステージへの固定点を超えた位置には、第１および第２の板ばねの延設方向に沿うように二軸ステージとベースステージとの間にわたってばねが張設されている請求項２または３に記載の光学部材の位置調整機構。
【請求項５】
光学部材を保持するための二軸ステージを基準となるベースステージに平行になるように、ベースステージの平面にのみ沿って変位する２つの板ばねで支持し、その２つの板ばねは、その一端部が互いに直交する二軸方向において前記二軸ステージに固定されているとともに、他端部が前記ベースステージに固定され、また、前記二軸ステージとベースステージとの間には二軸ステージがベースステージの平面に沿って移動可能となるように支持する部材が設けられており、前記２つの板ばねを前記ベースステージの平面にのみ沿って変位させることにより、前記二軸ステージに保持された光学部材の位置を調整可能としたことを特徴とする光学部材の位置調整機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば、粒径分布測定装置に組み込まれる光検出器など各種の光学部材の位置を調整する機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
粒径分布測定装置は、例えば粉粒や粒体など粉粒体の粒子径の分布を測定するものであり、基本的には、分散媒など適宜の液体中に粉粒体を分散させた試料が流通的に供給されるセルの一側にレーザ光を発する光源を設け、他側に前記レーザ光の照射により生ずる散乱光や回折光を検出する光検出器を設けてなるものである。
【０００３】
上記粒径分布測定装置においては、光源と光検出器との光軸が互いに厳密に一致していなければならず、例えば、透過光受光素子と、この受光素子を中心にして適宜の間隔をおいて設けられる複数の円弧状の散乱光受光素子（リングディテクタ）とからなる光検出器の場合、光源を発したレーザ光の光軸と透過光受光素子の中心位置とが一致している必要があるが、光源が熱歪みを起こしたり、光源と光検出器との間に設けられるセルやレンズをそれぞれ設けたベンチが熱で歪んだり、また、セルを交換したりする場合、その取付け位置が変化するなどして、前記光軸にずれが生ずることがあった。
【０００４】
そこで、従来の粒径分布測定装置においては、前記光検出器を、例えば図４に示すように保持し、その位置調整を行えるようにしていた。すなわち、図４において、６０はレーザ光源（図示していない）から発せられるレーザ光Ｌの光軸と垂直な平面Ｘ−Ｙ平面において設けられる光検出器位置調整機構で、第１ステージ６１と第２ステージ６２とからなる。第１ステージ６１には、第２ステージ６２とこれをＸ軸方向に移動させるＸ軸アクチュエータ６３が設けられている。また、第２ステージ６２には、ディテクタステージ６４とこれを前記Ｘ軸と直交するＹ軸方向に移動させるＹ軸アクチュエータ６５が設けられている。そして、ディテクタステージ６４には、透過光受光素子６６ａとこの受光素子６６ａを中心にして適宜の間隔をおいて設けられる複数の円弧状の散乱光受光素子６６ｂとからなる光検出器６６が設けられている。
【０００５】
前記光検出器位置調整機構６０においては、Ｘ軸アクチュエータ６３およびＹ軸アクチュエータ６５を動作させて、ディテクタステージ６４をＸ軸および／またはＹ軸方向に移動させることにより、光検出器６０の透過光受光素子６６ａをレーザ光Ｌの光軸と一致するように調整することができるように構成している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の光検出器位置調整機構６０においては、その構成が２つのステージ６１，６２の２層構造であるとともに、第２ステージ６２に設けられるアクチュエータ６５としては、ディテクタステージ６４を移動させるに十分な力を出力するものであればよいが、第１ステージ６１に設けられるアクチュエータ６３としては、第２ステージ６２、ディテクタステージ６４およびアクチュエータ６５を十分移動させる力を有するアクチュエータが必要になり、それだけ、装置全体の構成が大型化し、重量も大きくなる。そして、装置全体の重量が大きいため、外部からの振動や衝撃による影響を受けやすく、また、それに耐える堅牢な構造が必要となる。また、第１ステージ６１および第２ステージ６２にそれぞれ設けられているアクチュエータ６３，６５が発生する熱がディテクタステージ６４に伝わり、光検出器６６を構成する受光素子６６ａ，６６ｂに悪影響が及ぼされるおそれがある。
【０００７】
上述のような課題は、粒径分布測定装置における光検出器６６のみならず、ガス分析計など各種の分析装置や測定装置などに設けられるレンズ、光源、光学フィルタ、ミラー、ピンホール、回折格子などの光学部材の位置調整機構において共通して生じているところである。
【０００８】
この発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、簡単な構成でありながらも高精度に光学部材の位置調整を行うことのできる光学部材の位置調整機構を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明の光学部材の位置調整機構は、光学部材を保持するための二軸ステージを基準となるベースステージに平行になるように、ベースステージの平面に沿って変位する３つの板ばねで支持し、そのうちの第１および第２の板ばねは、その一端部が互いに直交する二軸方向において前記二軸ステージに固定されているとともに、他端部が前記ベースステージに固定され、第３の板ばねは、前記二軸ステージが前記ベースステージの平面に沿って移動可能となるように前記二軸ステージとベースステージとの間に設けられ、これら第１および第２の板ばねを前記ベースステージの平面に沿って変位させることにより、前記二軸ステージに保持された光学部材の位置を調整可能としたことを特徴としている（請求項１）。
【００１０】
請求項１に記載の光学部材の位置調整機構において、第１および第２の板ばねがいずれもＬ字状に形成されており、これらＬ字状の第１および第２の板ばねの端部が二軸ステージに固定されているとともに、他端部が同じ平面内において前記ベースステージに固定されており、これら第１および第２の板ばねの変位により二軸ステージが移動可能に構成されていてもよい（請求項２）。
【００１１】
請求項２に記載の光学部材の位置調整機構において、前記二軸ステージを移動させるアクチュエータ部と第１および第２の板ばねとの間に、アクチュエータ部の駆動力を変倍して第１および第２の板ばねに伝達する変倍機構が設けられていることが望ましい（請求項３）。
【００１２】
請求項２または３に記載の光学部材の位置調整機構において、前記第１および第２の板ばねの二軸ステージへの固定点を超えた位置には、第１および第２の板ばねの延設方向に沿うように二軸ステージとベースステージとの間にわたってばねが張設されていてもよい（請求項４）。
また、この発明の光学部材の位置調整機構は、光学部材を保持するための二軸ステージを基準となるベースステージに平行になるように、ベースステージの平面にのみ沿って変位する２つの板ばねで支持し、その２つの板ばねは、その一端部が互いに直交する二軸方向において前記二軸ステージに固定されているとともに、他端部が前記ベースステージに固定され、また、前記二軸ステージとベースステージとの間には二軸ステージがベースステージの平面に沿って移動可能となるように支持する部材が設けられており、前記２つの板ばねを前記ベースステージの平面にのみ沿って変位させることにより、前記二軸ステージに保持された光学部材の位置を調整可能としたことを特徴としている（請求項５）。
【００１３】
上記した構成の本発明の光学部材の位置調整機構によれば、全体の構成が簡単であり、軽量であるので、外部からの振動や衝撃の影響を受けにくく、光学部材を保持するための二軸ステージを、それほど強固ではない簡単な構造で支持することができる。そして、アクチュエータ部を二軸ステージとは別の位置のベースステージに配置することができるので、任意の構造および大きさのアクチュエータ部を用いることができる。また、アクチュエータ部を二軸ステージから離れた位置に配置することができるので、アクチュエータ部から発生する熱が二軸ステージやこれに保持される光学部材に直接伝わることがない。さらに、二軸ステージが一つの平面的な部材である場合、機構全体の構成を簡単かつ小型化することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の詳細を、図を参照しながら説明する。図１〜図３は、この発明の一つの実施の形態を示すものである。まず、図１は、この発明の光学部材の位置調整機構（以下、単に位置調整機構という）を組み込んだ粒径分布測定装置の全体構成を概略的に示すものである。この図において、１はレーザ光２を発する光源、３はレーザ光２を適宜拡大するビームエクスパンダ、４は試料５が図中の矢印６で示すように供給される流通型のセル、７はセル４の後方に設けられる集光レンズである。８は集光レンズ７からの散乱光や透過光を検出する光検出器で、例えば薄いディテクタステージ９の表面に、透過光受光素子１０を中心にして複数の円弧状の散乱光受光素子１１が適宜の間隔をおいて設けられてなるもので、各受光素子１０，１１はフォトダイオードよりなる。１２は光検出器８からの信号を取り込むマルチプレクサ、１３はマルチプレクサ１２からの信号が入力され、散乱光強度パターンに基づいて演算を行って粒子径分布を求めるＣＰＵ、１４は装置全体を制御するパソコンで、演算結果などを表示するカラーディスプレイなどの表示装置１５を備えている。ここまでの構成は、従来の粒径分布測定装置のそれと変わるところはない。
【００１５】
前記図１に示した粒径分布測定装置においては、前記光検出器８の透過光受光素子１０の中心を、レーザ光２の光軸中心と合致させるための位置調整機構１６として、図２および図３に示すように構成されるものを用いている。
【００１６】
すなわち、図１〜図３において、１７は例えば平板状のベースステージで、レーザ光２の光軸２と直交するように立設されるものである。このベースステージ１７の一方の平面側に、光学部材としての光検出器８を着脱自在に保持する平板状の二軸ステージ１８がベースステージ１７の平面に沿うように変形かつ変位する３つの適宜の幅を有する板ばね１９，２０，２１で支持される。この実施の形態における二軸ステージ１８は、その平面視形状がほぼ正方形で、その一つの対角線が上下方向に、他の対角線が水平方向になるように、つまり、４辺１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄが４５°の状態で傾いた状態で設けられる。そして、この二軸ステージ１８の一つの角部（辺１８ａと辺１８ｂが挟む部分）には平面視左右対称形の膨出部１８Ａが形成される一方、これと対角線の角部（辺１８ｃと辺１８ｄが挟む部分）には、平面視矩形状の膨出部１８Ｂが形成されている。そして、光検出器８は、前記平板状の二軸ステージ１８の一方の面側に設けられ、板ばね１９〜２１は、二軸ステージ１８の他方の面側、ベースステージ１７と二軸ステージ１８との間に設けられる。なお、以下、辺１８ａと平行な方向をＸ方向、辺１８ｂと平行な方向をＹ方向といい、互いに直交する二軸方向とは、Ｘ方向、Ｙ方向のことをいう。
【００１７】
前記板ばね１９〜２１のうちの第１の板ばね１９および第２の板ばね２０は、それらの板厚方向から見てＬ字形状を呈して、それぞれ、互いに直交した面部１９ａ，１９ｂ、２０ａ，２０ｂよりなる。また、第３の板ばね２１は、一つのフラットな面部を有する板ばねよりなる。
【００１８】
そして、第１の板ばね１９は、その一つの面部１９ａがＸ方向と平行になり、面部１９ａの端部が二軸ステージ１８の膨出部１８Ａの縁に固定され、他の面部１９ｂの端部がベースステージ１７の平面１７ａに突設された固定部材２２に固定され、その幅面が前記平面１７ａと垂直となっている。また、第２の板ばね２０は、その一つの面部２０ａがＹ方向と平行になり、面部２０ａの端部が前記ベースステージ１７の平面１７ａに突設された固定部材２３に固定され、その幅面が前記ベースステージ１７の平面１７ａと垂直になっている。さらに、第３の板ばね２１、その一端が前記膨出部１８Ａとは対角線上の反対側に位置する膨出部１８Ｂの水平な縁に固定され、他端が前記ベースステージ１７の平面１７ａに突設された固定部材２４に固定され、その幅面が前記ベースステージ１７の平面１７ａと垂直で、かつ、Ｘ方向、Ｙ方向と４５°の状態（水平状態）になるように設けられている。
【００１９】
上述のように構成された板ばね１９〜２１は、ベースステージ１７の平面１７ａに沿った方向、すなわち、第１の板ばね１９はＸ方向に、第２の板ばね２０は前記Ｘ方向と直交するＹ方向に、第３のばね２１はＡ方向（ベースステージ１７の上下方向）にのみ変形および／または変位することができ、その結果、二軸ステージ１８は、ベースステージ１７の平面１７ａに沿って、Ｘ方向およびＹ方向においてのみ移動可能に構成されている。特に、二軸ステージ１８は、その上端側が第３のばね２１によって支持されているので、ベースステージ１７の平面１７ａに平行かつ上下方向以外の無用な動きを行うことはない。
【００２０】
そして、前記二軸ステージ１８は、以下に述べるような機構の働きにより、ｘ1 方向（Ｘ方向において上向きの方向）、ｘ2 方向（Ｘ方向において下向きの方向）、ｙ1 方向（Ｙ方向において上向きの方向）、ｙ2 方向（Ｙ方向において下向きの方向）に移動できるように構成されている。
【００２１】
すなわち、第１の板ばね１９および第２の板ばね２０のそれぞれ屈曲部の内側には、ベースステージ１７に設けられるアクチュエータ部３２Ｘ，３２Ｙ（後述する）の押圧力を受けて、二軸ステージ１８をｘ1 方向およびｙ1 方向に移動させる駆動部材２５，２６が設けられている。また、前記膨出部１８Ａにおける点（第１の板ばね１９の面部１９ａを延長した線と第２の板ばね２０の面部２０ａを延長した線との交点）２７にそれぞれ一端が結合され、それぞれの他端がベースステージ１７上の固定点２８，２９にそれぞれ結合され、Ｘ方向およびＹ方向にそれぞれ沿うように引きばね３０，３１が張設されている。
【００２２】
前記駆動部材２５，２６に所定の押圧力を印加するアクチュエータ部３２Ｘ，３２Ｙの構成を説明する。アクチュエータ部３２Ｘは、駆動部材２５をＸ方向に押圧するものであり、アクチュエータ部３２Ｙは駆動部材２６をＹ方向に押圧するものである。そして、両アクチュエータ部３２Ｘ，３２Ｙは互いに同じ構成であるので、一方のＸ方向アクチュエータ部３２Ｘの構成を説明し、図２および図３において、Ｙ方向アクチュエータ部３２Ｙ側の対応する部材には同一符号を付してその説明は省略する。
【００２３】
すなわち、図２および図３において、３３はモータで、例えば正、逆いずれの方向にも回転することのできるステップモータ（パルスモータともいう）で、ベースステージ１７の平面１７ａにブラケットを介して取り付けられている。このモータ３３の出力軸３３ａは、上下方向の変位を吸収するカップリング３４を介して、押圧部材としてのボールねじ３５と結合されている。そして、前記平面１７ａのモータ３３の下方位置には、ブラケットを介してボールナット３６が取り付けられており、ボールねじ３５は、ボールナット３６と螺合し、その先端（下端）部３５ａは球面または適宜の曲面に形成されており、この先端部側がボールナット３６から適宜長さだけ下方に突出している。したがって、前記ボールねじ３５は、モータ３３の正方向の回転または逆方向の回転により、それぞれ、図２中の符号Ｕ方向またはＤ方向に下降または上昇し、後述するレバー３７を駆動する。
【００２４】
３７は前記ボールねじ３５の下方向の移動量または上方向の移動量および押圧力を適宜変倍して伝達する変倍機構で、この実施の形態においては、レバー（梃子）よりなる。このレバー３７は、ボールねじ３５の下端部３５ａの押圧力が作用する水平な第１レバー部３７Ａと、第１の板ばね１９の面部１９ｂ（第２の板ばね２０の面部２０ｂ）と平行になるように第１レバー部３７Ａから４５°の角度で斜め方向に立ち上がる第２レバー部３７Ｂとからなり、ベースステージ１７に立設される支点３７Ｃによって回転自在に枢支されている。そして、前記レバー３７は、ボールねじ３５の押圧力が作用する第１レバー部３７Ａの力点部には平座金３８がボールねじ３５および第１レバー部３５ａのいずれによっても拘束されない状態で介装されている。また、前記レバー３７の第２レバー部３７Ｂの出力側には、駆動部材２５（２６）を押圧する押圧部３７ｂが形成されている。
【００２５】
上記構成の位置調整機構１６において、光検出器８は、その透過光受光素子１０が第１の板ばね１９の面部１９ａを延長した線と第２の板ばね２０の面部２０ａを延長した線との交点２７に一致するようにして、二軸ステージ１８に取り付けられる。この状態で、アクチュエータ部３２Ｘ，３２Ｙのモータ３３を正転させると、このモータ３３の出力軸３３ａと上下方向の変位を吸収するカップリング３４を介して接続されたボールねじ３５が下方向（Ｕ方向）に動き、その押圧力が平座金３８を介してレバー３７の第１レバー部３７ＡをＵ方向に変位させる。この第１レバー部３７Ａの下方向への変位に伴って第２レバー部３７Ｂが図２および図３において符号ｗ1 で示す方向に回転し、この回転による押圧力が駆動部材２５，２６に印加される。その結果、第１の板ばね１９は引きばね３０の引っ張り力に抗して、また、第２の板ばね２０は引きばね３１の引っ張り力に抗して、それぞれ、符号ｘ1 ，ｙ1 で示す方向に移動し、この移動に伴って、二軸ステージ１８が同様に移動し、二軸ステージ１８に保持されている光検出器８が同様に移動する。したがって、前記モータ３３に対してそれぞれ最適の回転量を得るための指令を与えることにより、光検出器８を保持した二軸ステージ１８を移動させることができ、光検出器８の中心である透過光受光素子１０の位置をレーザ光２の光軸に合致させることができるのである。
【００２６】
なお、前記モータ３３を逆転させたときには、二軸ステージ１８を符号ｘ2 ，ｙ2 で示す方向に移動させることができることはいうまでもない。
【００２７】
上述した位置調整機構１６においては、アクチュエータ部３２Ｘ，３２Ｙおよびこのアクチュエータ部３２Ｘ，３２Ｙによる駆動力をＸ方向、Ｙ方向への駆動部材２５，２６に伝達する機構３７を、二軸ステージ１８ととともにベースステージ１７に組み込むようにしているので、光検出器８の位置調整機構１６として小型・コンパクトなものが得られる。
【００２８】
そして、前記アクチュエータ部３２Ｘ，３２Ｙには、モータ３３を用い、その出力軸３３ａを上下方向の変位を吸収することができるカップリング３４を用いてボールねじ３５に伝達するとともに、ボールねじ３５による駆動力をレバー３７を介して第１の板ばね１９および第２の板ばね２０にそれぞれ設けた駆動部材２５，２６に伝えるようにしているので、アクチュエータ部３２Ｘ，３２Ｙを光検出器８を保持する二軸ステージ１８とは離れた位置に設けることができ、モータ３３の熱が板ばね１９，２０に伝えられるといった不都合を生ずることがない。
【００２９】
また、上記位置調整機構１６においては、摺動部がなく、こじれやこすれがないので、動きがスムーズである。さらに、レバー３７におけるレバー比を適宜調整することにより、二軸ステージ１８の動きの大小を設定することができ、光検出器８の位置をよりきめ細かく微調整することができる。
【００３０】
この発明は、種々の変形して実施することができ、第１の板ばね１９および第２の板ばね２０は、それぞれ、必ずしも一体物でなくてもよく、例えば、第１の板ばね１９を構成するのに、２枚の独立したフラットな板ばねを、駆動部材２５に対して、面部１９ａ，１９ｂと同じように取り付けるようにしてもよい。第２の板ばね２０についても同様である。さらに、第１の板ばね１９および第２の板ばね２０として、面部１９ａ，２０ａからのみなるものを用い、この面部１９ａ，２０ａの長手方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に変位させる駆動力を印加するようにしてもよい。
【００３１】
そして、駆動部材２５，２６に対しては、押圧力に代えて、引っ張り力を印加するようにしてもよい。すなわち、アクチュエータ部３２Ｘ，３２Ｙとして引っ張り力を発生させるように構成したものを用いてもよい。
【００３２】
また、引きばね３０，３１に代えて押しばねを用いてもよく、そして、第３の板ばね２１が十分に強いものであれば、ばね３０，３１は必ずしも設ける必要はない。さらに、二つのばね３０，３１を設けるのに代えて、点２７から下方に真っ直ぐに（鉛直方向）一つのばねを、点２７とベースステージ１７上の固定点（図示していない）との間に張設してもよい。
【００３３】
さらに、光検出器８は、その透過光受光素子１０が二軸ステージ１８上の点２７に一致するようにして二軸ステージ１８に取り付ける必要はなく、前記透過光受光素子１０と前記点２７が多少ずれていてもよい。
【００３４】
そして、上述の実施の形態においては、二軸ステージ１８に保持される光学部材が光検出器８であったが、この発明はこれに限られるものではなく、光学部材がガス分析計など各種の分析装置や測定装置などに設けられるレンズ、光源、光学フィルタ、ミラー、ピンホール、回折格子などであっても、同様に位置調整を行うことができる。この場合、レンズ、光学フィルタ、ピンホールなど、光を通過させるものにおいては、ベースステージ１７に光通過用孔など光通過部を開設したり、ベースステージ１７の形状を適宜工夫する必要がある。
【００３５】
【発明の効果】
以上のように、この発明の光学部材の位置調整機構は、光学部材を保持するための二軸ステージを基準となるベースステージに平行になるように、ベースステージの平面に沿って変位する３つの板ばねで支持し、そのうちの第１および第２の板ばねは、その一端部が互いに直交する二軸方向において前記二軸ステージに固定されているとともに、他端部が前記ベースステージに固定され、第３の板ばねは、前記二軸ステージが前記ベースステージの平面に沿って移動可能となるように前記二軸ステージとベースステージとの間に設けられ、これら第１および第２の板ばねを前記ベースステージの平面に沿って変位させることにより、前記二軸ステージに保持された光学部材の位置を調整可能としているので、全体の構成が簡単であり、軽量であり、したがって、外部からの振動や衝撃の影響を受けにくく、光学部材を保持するための二軸ステージを、それほど強固ではない簡単な構造で支持することができる。
【００３６】
そして、アクチュエータ部を二軸ステージとは別の位置のベースステージに配置することができるので、任意の構造および大きさのアクチュエータ部を用いることができる。また、アクチュエータ部を二軸ステージから離れた位置に配置することができるので、アクチュエータ部から発生する熱が二軸ステージやこれに保持される光学部材に直接伝わることがない。さらに、二軸ステージが一つの平面的な部材である場合、機構全体の構成を簡単かつ小型化することができ、二軸ステージを一つの平面内に形成することができ、二軸ステージの小型・コンパクト化が図れ、特に、厚み方向のサイズを小さくすることができるので、光路長の短い小型・コンパクトな光学装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の光学部材の位置調整機構を組み込んだ粒径分布測定装置の全体構成を概略的に示す図である。
【図２】  この発明の光学部材の位置調整機構の平面構成を概略的に示す図である。
【図３】  前記位置調整機構の要部を拡大して示す図である。
【図４】  従来技術をするための図である。
【符号の説明】
８…光学部材、１６…位置調整機構、１７…ベースステージ、１８…二軸ステージ、１９，２０，２１…板ばね、３０，３１…ばね、３２Ｘ，３２Ｙ…アクチュエータ部、３７…変倍機構。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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