(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダミーウェーハにサンドペーパーを取付けるためのサンドペーパー取付装置において、
上面に前記ダミーウェーハが置かれるローディング面を有するステージと、
前記ローディング面に置かれた前記ダミーウェーハの取付面上にローラーを転がすことにより、前記ローラーと前記ダミーウェーハとの間に位置した前記サンドペーパーを圧搾して、前記ダミーウェーハの取付面に一側から漸進的に前記サンドペーパーを取付けるためのプレス手段と、
を備えることを特徴とするサンドペーパー取付装置。
【請求項２】
前記サンドペーパーを前記ローディング面から離れた位置に置くためのサポート手段をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のサンドペーパー取付装置。
【請求項３】
前記サポート手段は、
前記ローディング面の上部を横切って設けられ、前記サンドペーパーが設けられる少なくとも２つの支持棒と、
前記ステージの互いに対応する両側面に設置され、前記支持棒の両端が固定される側板と、
を有することを特徴とする請求項２に記載のサンドペーパー取付装置。
【請求項４】
前記サポート手段は、前記支持棒に前記サンドペーパーが付かず容易に滑るように、前記支持棒に設置される複数のミニローラーをさらに有することを特徴とする請求項３に記載のサンドペーパー取付装置。
【請求項５】
前記サポート手段は、前記サンドペーパーが傾いて置かれるように前記２つの支持棒が傾いて設置されていることを特徴とする請求項３に記載のサンドペーパー取付装置。
【請求項６】
前記サポート手段は、前記支持棒に互いに離れて設置され前記サンドペーパーが捩れずに滑って下がるように前記サンドペーパーの両側をガイドする一対のホルダをさらに有することを特徴とする請求項３に記載のサンドペーパー取付装置。
【請求項７】
前記一対のホルダは、前記サンドペーパーのサイズにより、前記支持棒で互いの間隔を調節可能であることを特徴とする請求項６に記載のサンドペーパー取付装置。
【請求項８】
前記ステージは、前記ローディング面からの前記ダミーウェーハの着脱を容易にするために、前記ローディング面の端部に溝が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のサンドペーパー取付装置。
【請求項９】
前記ローディング面は、前記ステージの上面より低く形成されていることを特徴とする請求項１に記載のサンドペーパー取付装置。
【請求項１０】
前記プレス手段および前記サポート手段は、前記ダミーウェーハに対する前記サンドペーパーの取付方向にスライド移動することを特徴とする請求項２に記載のサンドペーパー取付装置。
【請求項１１】
前記ステージは、前記プレス手段および前記サポート手段が前記ダミーウェーハに対する前記サンドペーパーの取付方向にスライド移動するようにガイドするためのガイドレールが両側面に設置されていることを特徴とする請求項１０に記載のサンドペーパー取付装置。
【請求項１２】
前記プレス手段は、前記ダミーウェーハに前記サンドペーパーを取付けるためのローラーと、前記ローラーの両端が固定されるブラケットと、前記ブラケットと連結され、前記ダミーウェーハに対する前記サンドペーパーの取付方向に前記ローラーを移動させるために設けられているハンドルとを有することを特徴とする請求項１１に記載のサンドペーパー取付装置。
【請求項１３】
前記ローラーは、前記サンドペーパーを取付ける時の前記ダミーウェーハの割れ防止、ならびに前記サンドペーパーの取付密度の増加のため、所定のクッション性を有する材質からなることを特徴とする請求項１２に記載のサンドペーパー取付装置。
【請求項１４】
前記ガイドレールには前記ローラーの移動範囲を制限するためのストッパーが設けられていることを特徴とする請求項１２に記載のサンドペーパー取付装置。
【請求項１５】
前記ステージには前記ローラーが最初の位置に固定されるようにローラーロックピンが設けられていることを特徴とする請求項１２に記載のサンドペーパー取付装置。
【請求項１６】
前記ステージには前記サンドペーパーの下端ポジションを合わせるための位置確認ラインが表示されていることを特徴とする請求項１に記載のサンドペーパー取付装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はダミーウェーハにサンド（ＳＡＮＤ）ペーパーを取付けるための装置に関するものであり、さらに具体的には半自動にサンドペーパーを取付できるサンドペーパー取付装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば図６に示すように、一般的にプローブカード２０にはウェーハのパッドに電気的に連結されてウェーハの良／不良を検査するための多数のチップ２２が設けられている。このチップは端の模様を丸く作り、又、空気と接して酸化される作用を無くすため、図６のように、サンドペーパー１０が取付けられたダミーウェーハＷを利用してチップの端を研磨する作業が行われていた。
【０００３】
このような研磨作業に使用されるダミーウェーハＷにはサンドペーパーが取付けられており、このサンドペーパーの取付は手作業により行われるので、次のような問題点が発生する。
第１に、ダミーウェーハにサンドペーパーを取付けた後、容易に接着するようにサンドペーパーの上を紙で擦るが、この過程でサンドペーパー表面に異物が累積されてサンドペーパーとしての機能が低下する。第２に、取付過程でサンドペーパーとダミーウェーハとの間に気泡が発生する可能性がある。このような気泡発生は後にプローブカードのチップに衝撃を与えて不良を誘発させる原因になる。第３に、サンドペーパーは取付時、ダミーウェーハ中央に取付けなければならないので、作業者の熟練度の違いにより取付不良が発生する可能性がある。第４に、取付作業には長い時間が必要とされる。平均的に1枚あたりの取付時間は1分が必要とされる（この時間は熟達された作業者の場合に該当する）。第５に、作業者により取付方法が違うので、それによる差が発生する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述のような従来の問題点を解決するためのものであり、その目的は、ダミーウェーハにサンドペーパーを容易に取付できる新しい形態のサンドペーパー取付装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前述の目的を達成するための本発明の特徴によると、ダミーウェーハにサンドペーパーを取付するための装置は、上面にダミーウェーハが置かれるローディング面を有するステージと、前記ローディング面に置かれたダミーウェーハの取付面上にローラーを転がすことにより、前記ローラーと前記ダミーウェーハとの間に位置した前記サンドペーパーを圧搾して、前記ダミーウェーハの取付面に一側から漸進的にサンドペーパーを取付けるためのプレス手段とを備える。そして、好ましくは、前記サンドペーパーを前記ローディング面から離れた位置に置くためのサポート手段を有する。
【０００６】
このような本発明で前記サポート手段は、前記ローディング面の上部を横切って設けられサンドペーパーが置かれる少なくとも２つの支持棒と、前記ステージの互いに対応する両側面に設けられ、前記支持棒の両端が固定される側板とを有する。そして、前記支持棒に前記サンドペーパーが付かず容易に滑るように支持棒に設けられる多数のミニローラーと、前記支持棒に互いに離れて設けられ、前記サンドペーパーが捩れずに滑って下がるように前記サンドペーパーの両側をガイドする一対のホルダとを有する。この一対のホルダはサンドペーパーのサイズにより、前記支持棒で互いの間の間隔を調節できる。
【０００７】
このような本発明で、前記サポート手段はサンドペーパーが傾いて置かれるよう、前記２つの支持棒を傾かせて設置することができる。
このような本発明で、前記ステージは前記ローディング面の端部に溝を形成できる。そして、ローディング面は前記ステージの上面より低く形成することができる。
【０００８】
このような本発明で、前記プレス手段と前記サポート手段はダミーウェーハに対するサンドペーパーの取付方向にスライド移動することができる。このため、前記ステージは、前記プレス手段と前記サポート手段がダミーウェーハに対するサンドペーパーの取付方向にスライド移動するようにガイドするためのガイドレールが両側面に設けられる。
【０００９】
このような本発明で、前記プレス手段はダミーウェーハにサンドペーパーを取付けるためのローラーと、前記ローラーの両端が固定されるブラケットと、前記ローラーを移動させるためのハンドルとを有する。このローラーは、所定のクッション性を有する材質からなることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の実施例はいろいろな形態に変形することができ、本発明の範囲が以下に述べる実施例により限定されると解釈してはいけない。本発明の実施例は当業界で平均的な知識を有した者に本発明をより完全に説明するため提供されるものである。従って、図面での要所の形状等は、より明確な説明を強調するために誇張されたものである。
【００１１】
以下、本発明の実施例を添付した図面、図１から図５に基づいて詳細に説明する。又、これらの図面で同一な機能を遂行する構成要所に対しては同一な参照番号を併記する。
図１は、本発明の一実施例によるサンドペーパー取付装置を概略的に示す斜視図である。図２はサンドペーパー取付装置の平面図である。図３はサンドペーパー取付装置の側面図である。
【００１２】
本実施例によるサンドペーパー半自動取付装置１００は大きくステージ１１０、プレス手段１３０およびサポート手段１５０からなる。
サンドペーパー１０を取付けるためのダミーウェーハＷは前記ステージ１１０の上面１１２に形成されたローディング面１１４に置かれる。このローディング面１１４はステージの上面１１２より０．６ｍｍ低く形成され、ステージの上面１１２にはサンドペーパー１０の下側ポジションを合わせるための位置確認ライン１１６が表示されている。そして、ステージの上面１１２にはローディング面１１４の端部に引接して４個の溝１１８が形成されており、この溝１１８はダミーウェーハＷをローディング面１１４に置く作業、又は、持ち上げる作業を容易にするためである。この溝１１８があることによって、前記ローディング面１１４からのダミーウェーハＷの着脱が容易である。前記ステージ１１０の両側面１１３には前記サポート手段１５０と前記プレス手段１３０との移動のため、ガイドレール１２０が設けられている。
【００１３】
ダミーウェーハＷに取付けるためのサンドペーパー１０は、前記サポート手段１５０によりローディング面１１４から離れた位置に傾いて置かれ、サンドペーパー１０の下端は前記ダミーウェーハＷの取付面一側（位置確認ライン）に位置することが望ましい。例えば、傾斜角は６０°が望ましい。サポート手段１５０は２つの支持棒１５４、側板１５２、ミニローラー１５６および一対のホルダ１５８を有する。前記側板１５２は前記ステージ１１０の互いに対応する両側面１１３に各々設置されたガイドレール１２０上に設けられる。この側板１５２の上端には前記支持棒１５４の両端が固定され、支持棒１５４は前記ローディング面１１４上部を横切って設けられる。前記支持棒１５４には前記サンドペーパー１０が付かず、容易に滑るように前記ミニローラー１５６が設けられる。前記一対のホルダ１５８は前記支持棒１５４に互いに離れて設けられ、その間隔はサンドペーパーのサイズ（７ｉｎｃｈ−１２ｉｎｃｈ）により調節が可能である。ホルダ１５８は前記支持棒１５４と支持棒１５４との間にサンドペーパーが抜けないよう、“├”形に形成されることが望ましい。前記サンドペーパー１０は、前記一対のホルダ１５８が両側ポジションを合わせてガイドするので、捩れずに正しく、そして、前記ミニローラー１５６により滑るように下がって、ダミーウェーハＷの正位置に取付けられる。
【００１４】
支持棒１５４上に置かれたサンドペーパー１０は漸進的にプレス手段１３０のローラー１３２により押されながら、前記ダミーウェーハＷの取付面一側から漸進的に取付けられる。前記プレス手段１３０は前記ステージ１１０の幅より大きい長さを有するローラー１３２と、前記ローラー１３２の両端が回転可能に固定されるブラケット１３４と、ハンドル１３６とを有する。前記ブラケット１３４は前記サポート手段１５０の側板１５２と共に前記ガイドレール１２０に沿ってスライド移動するよう、後端部にピボット式に設けられる。ガイドレール上で移動するブラケット１３４により前記ローラー１３２が前記ダミーウェーハＷの取付面上を転がっていく時、前記支持棒１５４上に置かれたサンドペーパー１０は転がっていくローラー１３２により前記ダミーウェーハＷの取付面に漸進的に取付けられる。一方、前記ガイドレール１２０には、前記ブラケット１３４がピボット式に固定された側板１５２の後端部への移動、即ちブラケットの移動を制限するストッパー１２２が設けられているので、前記ローラー１３２の移動範囲を制限できる。前記ローラー１３２の待機位置で任意移動を遮るため、前記ステージ１１０の上面１１２（ローラーの直ぐ下）には前記ローラー１３２を固定するためのロックピン（図示されない）が設けられる。
【００１５】
前記ローラー１３２は所定のクッション性を有する材質（シリコン又はゴム）からなるので、ダミーウェーハＷの取付面にサンドペーパーを圧搾する時、ダミーウェーハの割れを予防してサンドペーパー１０の取付密度を増加させることができる。
【００１６】
ここで、本実施例の構造的な特徴はサンドペーパーに置かれているサポート手段と、このサポート手段に置かれたサンドペーパーを一側から漸進的にダミーウェーハの取付面に取付けるローラーを有するプレス手段とを有することにある。図４及び図５はダミーウェーハにサンドペーパーを取付ける過程を説明するための図面である。図４及び図５を参照すると、先ず、ダミーウェーハをステージのローディング面に置く。そしてサンドペーパーを２つの支持棒の上に置く。この時、サンドペーパーは下側ポジションをステージに表示された位置確認実線に合わせ、左／右側ポジションは一対のホルダに合わせて置く。このようにダミーウェーハとサンドペーパーの取付準備が完了した状態でハンドルを取って前の方に、即ち図５の矢印方向に押すと、ローラーは側板と共に移動するブラケットに沿ってダミーウェーハの取付面上を転がっていき、この時、転がっていくローラーとダミーウェーハとの間に位置したサンドペーパーは下側からダミーウェーハの取付面に漸進的に均一に取付けられる。
【００１７】
以上で、本発明の実施例によるサンドペーパーの取付装置の構成及び作用を、前記の説明及び図面により示したが、これは一例をあげて説明したに過ぎず、本発明の技術的思想を外れない範囲内で、多様な変化及び変更が可能であることは勿論である。
【００１８】
【発明の効果】
以上のように、本発明のサンドペーパー取付装置は、次のような利点がある。第１に、サンドペーパー表面に異物が累積されない。第２に、サンドペーパーとダミーウェーハとの間に気泡が発生しない。第３に、ダミーウェーハの中央にサンドペーパーを取付できる。第４に、手作業に比べて作業時間を著しく短縮させられる。第５に、作業者の熟練度に構わず、均一な取付品質を得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例によるサンドペーパー取付装置を概略的に示す斜視図である。
【図２】本発明の実施例によるサンドペーパー取付装置を示す平面図である。
【図３】本発明の実施例によるサンドペーパー取付装置を示す側面図である。
【図４】本発明の実施例によるサンドペーパー取付装置においてダミーウェーハにサンドペーパーを取付ける過程を説明するための側面図である。
【図５】本発明の実施例によるサンドペーパー取付装置においてダミーウェーハにサンドペーパーを取付ける過程を説明するための側面図である。
【図６】ダミーウェーハを利用してプローブカードのチップ端を研磨する一般的な作業を示す模式図である。
【符号の説明】
１０  サンドペーパー
１００  サンドペーパー半自動取付装置
１１０  ステージ
１１２  上面
１１４  ローディング面
１１６  位置確認ライン
１１８  溝
１２０  ガイドレール
１２２  ストッパー
１３０  プレス手段
１３２  ローラー
１３４  ブラケット
１３６  ハンドル
１５０  サポート手段
１５２  側板
１５４  支持棒
１５６  ミニローラー
１５８  ホルダ
【図１】
0004064704.tif 000002
【図２】
0004064704.tif 000003
【図３】
0004064704.tif 000004
【図４】
0004064704.tif 000005
【図５】
0004064704.tif 000006
【図６】
0004064704.tif 000007