(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の薄膜磁気ヘッド素子が配列されているローバーの浮上面とは反対側の面をレーザービームを透過する粘着テープに接着することによって該ローバーを保持し、該粘着テープを介して該ローバーの前記反対側の面にレーザービームを照射することによって磁気ヘッドスライダの浮上面を凸面形状に加工し、前記ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断し、その後、前記粘着テープの粘着性を失わせて該粘着テープから該各磁気ヘッドスライダを取り外すことを特徴とする磁気ヘッドスライダの浮上面形状加工方法。
【請求項２】
前記個々の磁気ヘッドスライダへの切断が、切断後も前記粘着テープで全体を保持するように前記ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断するものであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
複数の薄膜磁気ヘッド素子が配列されているローバーの浮上面とは反対側の面をレーザービームを透過する粘着テープに接着することによって該ローバーを保持し、切断後も該粘着テープで全体を保持するように該ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断し、該粘着テープを介して該各磁気ヘッドスライダの浮上面とは反対側の面にレーザービームを照射することによって該各磁気ヘッドスライダの浮上面を凸面形状に加工し、その後、前記粘着テープの粘着性を失わせて該粘着テープから該各磁気ヘッドスライダを取り外すことを特徴とする磁気ヘッドスライダの浮上面形状加工方法。
【請求項４】
個々の磁気ヘッドスライダへの切断後、前記粘着テープから各磁気ヘッドスライダを取り外す前に、該各磁気ヘッドスライダのクラウン量を測定することを特徴とする請求項２又は３に記載の方法。
【請求項５】
単一の前記ローバーを単一の前記粘着テープに接着して保持することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
複数の前記ローバーを単一の前記粘着テープに接着して保持することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
複数の薄膜磁気ヘッド素子が配列されているローバーの浮上面とは反対側の面をＵＶテープに接着することによって該ローバーを保持し、該ＵＶテープを介して該ローバーの前記反対側の面にレーザービームを照射することによって磁気ヘッドスライダの浮上面を凸面形状に加工し、前記ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断し、その後、前記ＵＶテープに紫外線を照射することにより粘着性を失わせて該ＵＶテープから該各磁気ヘッドスライダを取り外すことを特徴とする磁気ヘッドスライダの浮上面形状加工方法。
【請求項８】
前記個々の磁気ヘッドスライダへの切断が、切断後も前記ＵＶテープで全体を保持するように前記ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断するものであることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】
複数の薄膜磁気ヘッド素子が配列されているローバーの浮上面とは反対側の面をＵＶテープに接着することによって該ローバーを保持し、切断後も該ＵＶテープで全体を保持するように該ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断し、該ＵＶテープを介して該各磁気ヘッドスライダの浮上面とは反対側の面にレーザービームを照射することによって該各磁気ヘッドスライダの浮上面を凸面形状に加工し、その後、前記ＵＶテープに紫外線を照射することにより粘着性を失わせて該ＵＶテープから該各磁気ヘッドスライダを取り外すことを特徴とする磁気ヘッドスライダの浮上面形状加工方法。
【請求項１０】
個々の磁気ヘッドスライダへの切断後、前記ＵＶテープから各磁気ヘッドスライダを取り外す前に、該各磁気ヘッドスライダのクラウン量を測定することを特徴とする請求項８又は９に記載の方法。
【請求項１１】
単一の前記ローバーを単一の前記ＵＶテープに接着して保持することを特徴とする請求項７から１０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１２】
複数の前記ローバーを単一の前記ＵＶテープに接着して保持することを特徴とする請求項７から１０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１３】
多数の薄膜磁気ヘッド素子が形成されたウエハを切断することによって複数の薄膜磁気ヘッド素子がそれぞれ配列されている複数のローバーを得、該各ローバーの一方の面に磁気ヘッドスライダの浮上面を形成し、該各ローバーの前記浮上面とは反対側の面をレーザービームを透過する粘着テープに接着することによって該ローバーを保持し、該粘着テープを介して該ローバーの前記反対側の面にレーザービームを照射することによって磁気ヘッドスライダの浮上面を凸面形状に加工し、前記ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断し、その後、前記粘着テープの粘着性を失わせて該粘着テープから該各磁気ヘッドスライダを取り外すことを特徴とする磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項１４】
多数の薄膜磁気ヘッド素子が形成されたウエハを切断することによって複数の薄膜磁気ヘッド素子がそれぞれ配列されている複数のローバーを得、該各ローバーの一方の面に磁気ヘッドスライダの浮上面を形成し、該各ローバーの前記浮上面とは反対側の面をレーザービームを透過する粘着テープに接着することによって該ローバーを保持し、切断後も該粘着テープで全体を保持するように該ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断し、該粘着テープを介して該各磁気ヘッドスライダの浮上面とは反対側の面にレーザービームを照射することによって該各磁気ヘッドスライダの浮上面を凸面形状に加工し、その後、前記粘着テープの粘着性を失わせて該粘着テープから該各磁気ヘッドスライダを取り外すことを特徴とする磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項１５】
個々の磁気ヘッドスライダへの切断後、前記粘着テープから各磁気ヘッドスライダを取り外す前に、該各磁気ヘッドスライダのクラウン量を測定することを特徴とする請求項１３又は１４に記載の製造方法。
【請求項１６】
単一の前記ローバーを単一の前記粘着テープに接着して保持することを特徴とする請求項１３から１５のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項１７】
複数の前記ローバーを単一の前記粘着テープに接着して保持することを特徴とする請求項１３から１５のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項１８】
多数の薄膜磁気ヘッド素子が形成されたウエハを切断することによって複数の薄膜磁気ヘッド素子がそれぞれ配列されている複数のローバーを得、該各ローバーの一方の面に磁気ヘッドスライダの浮上面を形成し、該各ローバーの前記浮上面とは反対側の面をＵＶテープに接着することによって該ローバーを保持し、該ＵＶテープを介して該ローバーの前記反対側の面にレーザービームを照射することによって磁気ヘッドスライダの浮上面を凸面形状に加工し、前記ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断し、その後、前記ＵＶテープに紫外線を照射することにより粘着性を失わせて該ＵＶテープから該各磁気ヘッドスライダを取り外すことを特徴とする磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項１９】
多数の薄膜磁気ヘッド素子が形成されたウエハを切断することによって複数の薄膜磁気ヘッド素子がそれぞれ配列されている複数のローバーを得、該各ローバーの一方の面に磁気ヘッドスライダの浮上面を形成し、該各ローバーの前記浮上面とは反対側の面をＵＶテープに接着することによって該ローバーを保持し、切断後も該ＵＶテープで全体を保持するように該ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断し、該ＵＶテープを介して該各磁気ヘッドスライダの浮上面とは反対側の面にレーザービームを照射することによって該各磁気ヘッドスライダの浮上面を凸面形状に加工し、その後、前記ＵＶテープに紫外線を照射することにより粘着性を失わせて該ＵＶテープから該各磁気ヘッドスライダを取り外すことを特徴とする磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項２０】
個々の磁気ヘッドスライダへの切断後、前記ＵＶテープから各磁気ヘッドスライダを取り外す前に、該各磁気ヘッドスライダのクラウン量を測定することを特徴とする請求項１８又は１９に記載の製造方法。
【請求項２１】
単一の前記ローバーを単一の前記ＵＶテープに接着して保持することを特徴とする請求項１８から２０のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項２２】
複数の前記ローバーを単一の前記ＵＶテープに接着して保持することを特徴とする請求項１８から２０のいずれか１項に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ヘッドスライダの浮上面（ＡＢＳ）の形状を仕上げ加工する方法、及びこの方法を用いた磁気ヘッドスライダの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
薄膜磁気ヘッド素子を備えた浮上型磁気ヘッドスライダは、良好な浮上特性を得るために、レール上のＡＢＳがわずかに凸面形状（凸のクラウン及び／又はキャンバー）となっていることが要求される。なお、クラウンとは磁気ヘッドスライダの前後方向（空気流に平行な方向）に沿った形状歪みを表しており、キャンバーとは磁気ヘッドスライダの横方向（空気流に垂直な方向）に沿った形状歪みを表している。クラウン及びキャンバーを総称してクラウンと表すこともある。
【０００３】
このような凸面形状を有するＡＢＳは、複数の磁気ヘッドスライダが列状に並んで配列されているローバー（ＲＯＷ  ＢＡＲ）に対して、種々の加工が終了した後の仕上げ加工として形成される。即ち、ローバーに対してＡＢＳとは反対側の面からレーザービームを照射することにより、そのローバーを意図的に歪ませることにより、ＡＢＳを凸面形状に成形する（米国特許第５，２６６，７６９号）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の仕上げ加工によると、ローバーを治具に挟み込むことによってローバーの保持が行われるため、ローバーにチッピングが発生したり、汚れが付着する可能性がある。
【０００５】
さらに、ＡＢＳを凸面形状に成形した後にローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断分離した場合、その切断時の加工歪みによって、凸面形状が変形してしまい、所望の浮上特性が得られない恐れがある。
【０００６】
個々の磁気ヘッドスライダに分離した後にＡＢＳを凸面形状に成形加工すれば、このような問題は生じないが、凸面形状加工における位置決め及び凸面形状の山から谷までの高さ（クラウン量）の測定を、分離された個々の磁気ヘッドスライダについて安定して行うことはかなり難しい。特に最近のように、３０％スライダと称される１．０ｍｍ×１．２３５ｍｍ×０．３ｍｍという寸法や、２０％スライダと称される０．７ｍｍ×０．８５ｍｍ×０．２３ｍｍという寸法を有する小型化された磁気ヘッドスライダの場合、このような位置決め及び測定を容易にかつ正確に行うことは非常に困難となってきている。なお、凸面形状加工においては、このクラウン量を加工中及び／又は加工後に測定して加工量を制御することが必要である。
【０００７】
従って本発明の目的は、チッピング発生や汚れ付着を低減させることができる磁気ヘッドスライダのＡＢＳ形状加工方法及び磁気ヘッドスライダの製造方法を提供することにある。
【０００８】
本発明の他の目的は、ＡＢＳを所望の凸面形状に容易にかつ正確に加工することができる磁気ヘッドスライダのＡＢＳ形状加工方法及び磁気ヘッドスライダの製造方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、複数の薄膜磁気ヘッド素子が配列されているローバーのＡＢＳとは反対側の面をレーザービームを透過する粘着テープに接着することによってこのローバーを保持し、粘着テープを介してローバーのＡＢＳとは反対側の面にレーザービームを照射することによって磁気ヘッドスライダのＡＢＳを凸面形状に加工し、ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断し、その後、粘着テープの粘着性を失わせてこの粘着テープから各磁気ヘッドスライダを取り外す磁気ヘッドスライダのＡＢＳ形状加工方法が提供される。
【００１０】
ローバーをレーザービームを透過する粘着テープに接着して保持し、その状態で、ローバーのＡＢＳとは反対側の面に粘着テープを介してレーザービームを照射することによって各磁気ヘッドスライダのＡＢＳを凸面形状に加工する。次いで、ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断した後、熱を印加する等により粘着テープの粘着性を失わせてこの粘着テープから各磁気ヘッドスライダを取り外す。ＡＢＳ形状加工が、粘着テープに接着保持させた状態で行われるので、ローバーを直接治具に取り付けた場合のようにチッピング発生や汚れ付着がほとんど起こらない。
【００１１】
個々の磁気ヘッドスライダへの切断が、切断後も粘着テープで全体を保持するようにローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断するものであることが好ましい。このように、ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断した後も、各磁気ヘッドスライダが粘着テープにそのまま保持された状態を保つので、その後にクラウン量の測定を行っても非常に容易にかつ正確に精度良く測定できる。
【００１２】
本発明によれば、さらに、複数の薄膜磁気ヘッド素子が配列されているローバーのＡＢＳとは反対側の面をレーザービームを透過する粘着テープに接着することによってこのローバーを保持し、切断後も粘着テープで全体を保持するようにローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断し、粘着テープを介して各磁気ヘッドスライダのＡＢＳとは反対側の面にレーザービームを照射することによって各磁気ヘッドスライダのＡＢＳを凸面形状に加工し、その後、粘着テープの粘着性を失わせてこの粘着テープから各磁気ヘッドスライダを取り外す磁気ヘッドスライダのＡＢＳ形状加工方法が提供される。
【００１３】
ローバーをレーザービームを透過する粘着テープに接着して保持し、切断後も粘着テープで磁気ヘッドスライダ全体を保持するようにローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断する。その状態で、各磁気ヘッドスライダのＡＢＳとは反対側の面に粘着テープを介してレーザービームを照射することによって各磁気ヘッドスライダのＡＢＳを凸面形状に加工する。その後、熱を印加する等により粘着テープの粘着性を失わせてこの粘着テープから各磁気ヘッドスライダを取り外す。ＡＢＳ形状加工が、粘着テープに接着保持させた状態で行われるので、ローバーを直接治具に取り付けた場合のようにチッピング発生や汚れ付着がほとんど起こらない。しかも、個々の磁気ヘッドスライダに切断加工した後にＡＢＳを凸面形状に加工しているので、形成された凸面形状が、磁気ヘッドスライダへの切断における加工歪みによって変形してしまうような不都合が生じない。しかも、ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断した後も、各磁気ヘッドスライダが粘着テープにそのまま保持された状態を保つので、凸面形状加工における位置決め及びクラウン量の測定が非常に容易にかつ正確に精度良く行える。
【００１４】
個々の磁気ヘッドスライダへの切断後、粘着テープから各磁気ヘッドスライダを取り外す前に、各磁気ヘッドスライダのクラウン量を測定することが好ましい。
【００１５】
さらにまた、本発明によれば、多数の薄膜磁気ヘッド素子が形成されたウエハを切断することによって複数の薄膜磁気ヘッド素子がそれぞれ配列されている複数のローバーを得、各ローバーの一方の面に磁気ヘッドスライダのＡＢＳを形成した後、上述のＡＢＳ形状加工を行う薄膜磁気ヘッドの製造方法が提供される。
【００１６】
単一のローバー又は複数のローバーを単一の粘着テープに接着して保持することが好ましい。複数のローバーを１枚の粘着テープに接着して保持すれば、製造効率が大幅に向上する。
【００１７】
さらに本発明によれば、複数の薄膜磁気ヘッド素子が配列されているローバーのＡＢＳとは反対側の面をＵＶテープに接着することによってこのローバーを保持し、ＵＶテープを介してローバーのＡＢＳとは反対側の面にレーザービームを照射することによって磁気ヘッドスライダのＡＢＳを凸面形状に加工し、ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断し、その後、ＵＶテープに紫外線を照射することにより粘着性を失わせてＵＶテープから各磁気ヘッドスライダを取り外す磁気ヘッドスライダのＡＢＳ形状加工方法が提供される。
【００１８】
ローバーをＵＶテープに接着して保持し、その状態で、ローバーのＡＢＳとは反対側の面にＵＶテープを介してレーザービームを照射することによって各磁気ヘッドスライダのＡＢＳを凸面形状に加工する。次いで、ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断した後、ＵＶテープに紫外線を照射することにより、硬化させて粘着性を喪失させ各磁気ヘッドスライダをこのＵＶテープから取り外す。ＡＢＳ形状加工が、ＵＶテープに接着保持させた状態で行われるので、ローバーを直接治具に取り付けた場合のようにチッピング発生や汚れ付着がほとんど起こらない。
【００１９】
個々の磁気ヘッドスライダへの切断が、切断後もＵＶテープで全体を保持するようにローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断するものであることが好ましい。このように、ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断した後も、各磁気ヘッドスライダがＵＶテープにそのまま保持された状態を保つので、その後にクラウン量の測定を行っても非常に容易にかつ正確に精度良く測定できる。
【００２０】
本発明によれば、さらにまた、複数の薄膜磁気ヘッド素子が配列されているローバーのＡＢＳとは反対側の面をＵＶテープに接着することによってこのローバーを保持し、切断後もＵＶテープで全体を保持するようにローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断し、ＵＶテープを介して各磁気ヘッドスライダのＡＢＳとは反対側の面にレーザービームを照射することによって各磁気ヘッドスライダのＡＢＳを凸面形状に加工し、その後、ＵＶテープに紫外線を照射することにより粘着性を失わせてこのＵＶテープから各磁気ヘッドスライダを取り外す磁気ヘッドスライダのＡＢＳ形状加工方法が提供される。
【００２１】
ローバーをＵＶテープに接着して保持し、切断後もＵＶテープで磁気ヘッドスライダ全体を保持するようにローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断する。その状態で、各磁気ヘッドスライダのＡＢＳとは反対側の面にＵＶテープを介してレーザービームを照射することによって各磁気ヘッドスライダのＡＢＳを凸面形状に加工する。その後、ＵＶテープに紫外線を照射することにより、硬化させ、粘着性を失わせてこのＵＶテープから各磁気ヘッドスライダを取り外す。ＡＢＳ形状加工が、ＵＶテープに接着保持させた状態で行われるので、ローバーを直接治具に取り付けた場合のようにチッピング発生や汚れ付着がほとんど起こらない。しかも、個々の磁気ヘッドスライダに切断加工した後にＡＢＳを凸面形状に加工しているので、形成された凸面形状が、磁気ヘッドスライダへの切断における加工歪みによって変形してしまうような不都合が生じない。しかも、ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断した後も、各磁気ヘッドスライダがＵＶテープにそのまま保持された状態を保つので、凸面形状加工における位置決め及びクラウン量の測定が非常に容易にかつ正確に精度良く行える。
【００２２】
個々の磁気ヘッドスライダへの切断後、ＵＶテープから各磁気ヘッドスライダを取り外す前に、各磁気ヘッドスライダのクラウン量を測定することが好ましい。
【００２３】
さらに、本発明によれば、多数の薄膜磁気ヘッド素子が形成されたウエハを切断することによって複数の薄膜磁気ヘッド素子がそれぞれ配列されている複数のローバーを得、各ローバーの一方の面に磁気ヘッドスライダのＡＢＳを形成した後、上述のＡＢＳ形状加工を行う薄膜磁気ヘッドの製造方法が提供される。
【００２４】
単一のローバー又は複数のローバーを単一のＵＶテープに接着して保持することが好ましい。複数のローバーを１枚のＵＶテープに接着して保持すれば、製造効率が大幅に向上する。
【００２５】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の製造方法によって形成される磁気ヘッドスライダの一例を概略的に示す斜視図であり、図２は図１のＡ−Ａ線断面図であり、図３は図１のＢ−Ｂ線断面図である。
【００２６】
図１において、１１及び１２は浮上型磁気ヘッドスライダ１０の２つのサイドレール、１３は磁気ヘッドスライダ１０の後部レール、１４はこれらサイドレール１１及び１２並びに後部レール１３の表面に形成された磁気ヘッドスライダのＡＢＳ、１５は後部レール１３のＡＢＳ１４にその一部が現れている薄膜磁気ヘッド素子、１６〜１９は磁気ヘッド素子１５に電気的に接続されている電極端子である。
【００２７】
図２及び図３に誇張して表されているように、この種の磁気ヘッドスライダ１０においては、良好な浮上特性を得るために、レール上のＡＢＳ１４がわずかに凸面形状（凸のクラウン及び／又はキャンバー）に加工されている。
【００２８】
図４は本発明の一実施形態における磁気ヘッドスライダの製造方法を概略的に表すフローチャートである。以下、同図を参照して、本実施形態におけるＡＢＳの凸面形状への加工方法及び磁気ヘッドスライダの製造工程を説明する。
【００２９】
まず、ウエハ上に、マトリクス状に配列された多数の磁気ヘッド素子を薄膜技術によって形成する（ステップＳ１）。この薄膜磁気ヘッド素子のウエハ工程には、公知の種々の方法を適用することができる。
【００３０】
次いで、ウエハを切断し、各々のローバーに複数の薄膜磁気ヘッド素子が列状に並んで配列された複数のローバーを得る（ステップＳ２）。
【００３１】
次いで、複数のローバーをＵＶテープに接着固定する（ステップＳ３）。この接着は、ローバーのＡＢＳとは反対側の面をＵＶテープに接着することによって行われる。ＵＶテープは、通常、ベースフィルムと、紫外線照射によって硬化するＵＶ硬化型粘着層と、剥離フィルムとの３層構造となっており、図５に示すように、接着前に剥離フィルム５０ａをＵＶテープ５０から剥がし、これによって露出した粘着層５０ｂにローバー５１を貼り付ける。貼り付けたローバーとＵＶテープとの間に気泡が残らぬようにＵＶテープを押し付けて抜き出す。
【００３２】
次に、このようにローバー５１を接着したＵＶテープ５０をレーザー照射処理及び切断処理用の固定治具に取り付ける（ステップＳ４）。
【００３３】
図６は固定治具の一例にこのＵＶテープを取り付けた状態を示す斜視図であり、図７は図６のＣ−Ｃ線断面図である。
【００３４】
これらの図に示すように、固定治具６０は、例えば円環状のベースフレーム６１とこれに係合する円環状のカバーフレーム６２とから構成されており、ローバー５１が接着されたＵＶテープ５０の周囲を、ベースフレーム６１及びカバーフレーム６２によって挟み込むようにして固定保持する。このような保持方法によれば、ＵＶテープをある程度引張った状態でローバーを保持することができる。
【００３５】
次いで、この固定治具６０をレーザー照射装置に装着し、ＵＶテープを介してローバーのＡＢＳとは反対側の面にレーザービームを照射する（ステップＳ５）。
【００３６】
図８は固定治具６０をレーザー照射装置のテーブル８０に装着し、レーザービームをＵＶテープ５０の裏側からローバー５１に照射する状態を表している。なお、レーザービームが照射されても、ＵＶテープの粘着層はその粘着性は変化しない。ＵＶテープ５０がレーザービームを吸収せず透過するため、レーザービームはローバー５１のＡＢＳとは反対側の面に印加される。このように、ＡＢＳの反対側面のみにレーザービームを当てることにより、この表面を瞬間的にかつ部分的に加熱溶解させて応力を発生させ、レーザービームを照射しないＡＢＳ側の面との応力差を用いて図２及び図３に示すような凸面形状（凸のクラウン及び／又はキャンバー）を形成する。
【００３７】
なお、使用するレーザー源としては、ローバーの裏面を部分的に加熱溶解するものであればいかなる種類のものであっても良い。レーザービームが小径のスポット状のものである場合は、ローバーの縦方向、横方向又は斜め方向にスキャニングして照射する。レーザービームの径が比較的大きい場合は、一括して照射する。
【００３８】
その後、固定治具をレーザ照射装置から取り外し、切断（ダイシング）用研削装置に装着し、各ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断分離する（ステップＳ６）。
【００３９】
図９は固定治具６０を切断用研削装置のワーキングテーブル９０に取り付けた状態を表している。ワーキングテーブル９０には、多孔質チャック９１及びバキューム室９２を備えたバキュームチャック９３が設けられており、固定治具６０をワーキンテーブル９０に固定し、ＵＶテープ５０の裏面を多孔質チャック９１で吸引固定することによりその全体が均一に保持される。この状態で、各ローバー５１を個々の磁気ヘッドスライダに切断分離する。
【００４０】
図１０はＵＶテープ５０とその上に接着されたローバー５１を示しており、同図（Ａ）はローバー５１の切断前、同図（Ｂ）は切断後の状態を表している。同図（Ｂ）に示すように、ローバー５１を個々の磁気ヘッドスライダ１０１に切断分離しても、ＵＶテープ５０はその全厚まで切断されず一部が繋がっているため、各磁気ヘッドスライダ１０１はその全体がＵＶテープ５０を介して固定治具６０に保持された状態となっている。
【００４１】
次いで、必要に応じて、各磁気ヘッドスライダのクラウン量の測定を行う（ステップＳ７）。クラウン量とは、磁気ヘッドスライダのＡＢＳにおける凸面形状の谷から山までの高さを指しており、光学的に測定される。この測定を行う場合、各磁気ヘッドスライダが測定ステージ上に傾くことなく位置決めされる必要があるが、本実施形態によれば、全ての磁気ヘッドスライダがＵＶテープに固着されたままであるため、自動的に位置決めされることとなる。従って、クラウン量の測定が極めて容易にかつ精度良く行える。これは、２０％スライダや３０％スライダのように、磁気ヘッドスライダの寸法がより小さくなった場合に特に効果的である。また、ローバー状態ではなく、個々の磁気ヘッドスライダについてクラウン量が測定できるため、切断時の加工歪みの影響も測定量から排除することができる。さらに、ＵＶテープは厚さが１００μｍ程度と薄いため、このＵＶテープへの接着によって生じる歪みはＵＶテープが吸収し、磁気ヘッドスライダに影響を及ぼすことがない。従って、ＡＢＳの平面度は接着前と接着後では変化がないからその意味でもＡＢＳのクラウン量を正確に測定することができる。
【００４２】
その後、ＵＶテープ５０の裏面に紫外線を照射し、ＵＶテープの粘着層を硬化させる（ステップＳ８）。
【００４３】
この粘着層の硬化によって粘着性が失われるので、ＵＶテープ５０から各磁気ヘッドスライダ１０１を取り外す（ステップＳ９）。
【００４４】
上述したように、本実施形態では、ＡＢＳ形状加工が、ＵＶテープ５０に接着保持させた状態で行われるので、ローバー５１を直接治具に取り付けた場合のようにチッピング発生や汚れ付着がほとんど起こらない。また、クラウン量の測定もその状態で行われるので極めて容易となる。
【００４５】
図１１は本発明の他の実施形態における磁気ヘッドスライダの製造方法を概略的に表すフローチャートである。この実施形態では、ローバーの切断処理をレーザー照射処理の前に行っている。以下、同図を参照して、本実施形態におけるＡＢＳの凸面形状への加工方法及び磁気ヘッドスライダの製造工程を説明する。
【００４６】
まず、ウエハ上に、マトリクス状に配列された多数の磁気ヘッド素子を薄膜技術によって形成する（ステップＳ１１）。
【００４７】
次いで、ウエハを切断し、各々のローバーに複数の薄膜磁気ヘッド素子が列状に並んで配列された複数のローバーを得る（ステップＳ１２）。
【００４８】
次いで、複数のローバーをＵＶテープに接着固定する（ステップＳ１３）。
【００４９】
次に、このようにローバー５１を接着したＵＶテープ５０をレーザー照射処理及び切断処理用の固定治具に取り付ける（ステップＳ４）。
【００５０】
次いで、この固定治具６０を切断用研削装置に装着し、各ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断分離する（ステップＳ１５）。
【００５１】
その後、固定治具を切断用研削装置から取り外してレーザー照射装置に装着し、ＵＶテープを介して各磁気ヘッドスライダのＡＢＳとは反対側の面にレーザービームを照射する（ステップＳ１６）。このように、ＡＢＳの反対側面のみにレーザービームを当てることにより、この表面を瞬間的にかつ部分的に加熱溶解させて応力を発生させ、レーザービームを照射しないＡＢＳ側の面との応力差を用いて凸面形状（凸のクラウン及び／又はキャンバー）を形成する。本実施形態の場合、磁気ヘッドスライダに切断分離後に凸面形状を形成しているので、磁気ヘッドスライダへの切断加工歪みによってその後にクラウン変形等の劣化が生じる恐れがなくなる。
【００５２】
次いで、必要に応じて、各磁気ヘッドスライダのクラウン量の測定を行う（ステップＳ１７）。
【００５３】
その後、ＵＶテープ５０の裏面に紫外線を照射し、ＵＶテープの粘着層を硬化させる（ステップＳ１８）。
【００５４】
この粘着層の硬化によって粘着性が失われるので、ＵＶテープ５０から各磁気ヘッドスライダ１０１を取り外す（ステップＳ１９）。
【００５５】
本実施形態における、各工程におけるその他の処理内容及び作用効果等については、図４の実施形態の場合とほぼ同様である。
【００５６】
なお、以上の実施形態において、ステップＳ３（Ｓ１３）の処理とステップＳ４（Ｓ１４）の処理との順序を逆にしても、即ち、ＵＶテープを固着治具に取り付けてからそのＵＶテープにローバーを接着させても良いことは明らかである。
【００５７】
また、以上述べた実施形態においては、ＵＶテープを用いているが、ＵＶテープの代わりにレーザービームを透過しかつ加熱により粘着性が弱くなる粘着テープを用いて、紫外線照射処理の代わりに熱を印加する処理を行い、他は同様の処理を行っても良いことは明らかであり、同様の作用効果を得ることができる。
【００５８】
以上述べた実施形態は全て本発明を例示的に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【００５９】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本発明によれば、ローバーをレーザービームを透過する粘着テープに接着して保持し、その状態で、ローバーのＡＢＳとは反対側の面に粘着テープを介してレーザービームを照射することによって各磁気ヘッドスライダのＡＢＳを凸面形状に加工する。次いで、ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断した後、粘着テープの粘着性を失わせてこの粘着テープから各磁気ヘッドスライダを取り外す。ＡＢＳ形状加工が、粘着テープに接着保持させた状態で行われるので、ローバーを直接治具に取り付けた場合のようにチッピング発生や汚れ付着がほとんど起こらない。
【００６０】
さらに本発明によれば、ローバーをレーザービームを透過する粘着テープに接着して保持し、切断後も粘着テープで磁気ヘッドスライダ全体を保持するようにローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断する。その状態で、各磁気ヘッドスライダのＡＢＳとは反対側の面に粘着テープを介してレーザービームを照射することによって各磁気ヘッドスライダのＡＢＳを凸面形状に加工する。その後、粘着テープの粘着性を失わせてこの粘着テープから各磁気ヘッドスライダを取り外す。ＡＢＳ形状加工が、粘着テープに接着保持させた状態で行われるので、ローバーを直接治具に取り付けた場合のようにチッピング発生や汚れ付着がほとんど起こらない。しかも、個々の磁気ヘッドスライダに切断加工した後にＡＢＳを凸面形状に加工しているので、形成された凸面形状が、磁気ヘッドスライダへの切断における加工歪みによって変形してしまうような不都合が生じない。しかも、ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断した後も、各磁気ヘッドスライダが粘着テープにそのまま保持された状態を保つので、凸面形状加工における位置決め及びクラウン量の測定が非常に容易にかつ正確に精度良く行える。
【００６１】
またさらに本発明によれば、ローバーをＵＶテープに接着して保持し、その状態で、ローバーのＡＢＳとは反対側の面にＵＶテープを介してレーザービームを照射することによって各磁気ヘッドスライダのＡＢＳを凸面形状に加工する。次いで、ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断した後、ＵＶテープに紫外線を照射することにより、硬化させて粘着性を喪失させ各磁気ヘッドスライダをこのＵＶテープから取り外す。ＡＢＳ形状加工が、ＵＶテープに接着保持させた状態で行われるので、ローバーを直接治具に取り付けた場合のようにチッピング発生や汚れ付着がほとんど起こらない。
【００６２】
さらに本発明によれば、ローバーをＵＶテープに接着して保持し、切断後もＵＶテープで磁気ヘッドスライダ全体を保持するようにローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断する。その状態で、各磁気ヘッドスライダのＡＢＳとは反対側の面にＵＶテープを介してレーザービームを照射することによって各磁気ヘッドスライダのＡＢＳを凸面形状に加工する。その後、ＵＶテープに紫外線を照射することにより、硬化させ、粘着性を失わせてこのＵＶテープから各磁気ヘッドスライダを取り外す。ＡＢＳ形状加工が、ＵＶテープに接着保持させた状態で行われるので、ローバーを直接治具に取り付けた場合のようにチッピング発生や汚れ付着がほとんど起こらない。しかも、個々の磁気ヘッドスライダに切断加工した後にＡＢＳを凸面形状に加工しているので、形成された凸面形状が、磁気ヘッドスライダへの切断における加工歪みによって変形してしまうような不都合が生じない。しかも、ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断した後も、各磁気ヘッドスライダがＵＶテープにそのまま保持された状態を保つので、凸面形状加工における位置決め及びクラウン量の測定が非常に容易にかつ正確に精度良く行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の製造方法によって形成される磁気ヘッドスライダの一例を概略的に示す斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】本発明の一実施形態における磁気ヘッドスライダの製造方法を概略的に表すフローチャートである。
【図５】ローバーをＵＶテープに接着する工程を示す斜視図である。
【図６】固定治具の一例にローバーを接着したＵＶテープを取り付けた状態を示す斜視図である。
【図７】図６のＣ−Ｃ線断面図である。
【図８】固定治具をレーザー照射装置に装着した状態を示す断面図である。
【図９】固定治具を切断研削装置に装着した状態を示す断面図である。
【図１０】ＵＶテープ上に接着されたローバーの切断前及び切断後を示す断面図である。
【図１１】本発明の他の実施形態における磁気ヘッドスライダの製造方法を概略的に表すフローチャートである。
【符号の説明】
１０  浮上型磁気ヘッドスライダ
１１、１２  サイドレール
１３  後部レール
１４  ＡＢＳ
１５  薄膜磁気ヘッド素子
１６〜１９  電極端子
５０  ＵＶテープ
５０ａ  剥離フィルム
５０ｂ  粘着層
５１  ローバー
６０  固定治具
６１  ベースフレーム
６２  カバーフレーム
８０  テーブル
９０  ワーキングテーブル
９１  多孔質チャック
９２  バキューム室
９３  バキュームチャック
１０１  磁気ヘッドスライダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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