(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルが配置されるインクジェットヘッドであって、
前記複数のノズルの各ノズルごとに設けられたキャビティと、各キャビティに通じており各ノズルに共通のリザーバと、前記リザーバに機能性液体を供給する供給口とを備えるインクジェットヘッドを有し、
前記複数のノズルは、ノズルの数より少ない複数のグループに分けられ、
前記複数のグループは、前記複数のノズルのうち前記供給口の近くに位置するノズルからなる第１のグループと、前記複数のノズルのうち前記供給口から遠くに位置するノズルからなる第２のグループとを少なくとも備え、
前記第１グループのノズルから吐出される機能性液体の吐出量を、前記第２グループのノズルから吐出される機能性液体の吐出量より多く制御することを特徴とするインクジェット式記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、インクやＥＬ（エレクトロルミネセンス）発光体溶液などの機能性液体を均一に吐出することのできるインクジェット式記録装置、並びに、表示装置に用いられるカラーフィルタやＥＬ素子基板などの機能性液体付与基板の製造方法及びこれら機能性液体付与基板を備えた電気光学装置などのデバイスや電子機器の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
表示装置用の機能性液体付与基板を製造する方法として、基板上にバンクで仕切られて形成された各画素に、インクジェット方式により機能性液体を導入することが知られている。この機能性液体付与基板は、各画素に対する機能性液体の吐出量をできるだけ均一にし、画素間のムラを最小限にする必要がある。
【０００３】
特開平１１−５８０７４号公報には、ノズル間のインク吐出量のバラツキを補正するため、各ノズルごとにあらかじめ測定して作成されたバラツキ補正データをもとに、駆動電圧を制御することが記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特開平１１−５８０７４号公報では、ノズルごとに補正データを作成しなければならないため、そのための作業に手間がかかっていた。また、駆動電圧の制御手段をノズルごとに別々に備える必要があるため、回路構成が複雑にならざるを得なかった。
【０００５】
その一方、吐出量のバラツキを完全に０にする必要がない場合には、上記のように複雑な手間及び構成を備える必要はない。例えば６４階調のＥＬ素子基板では±１．５％以下、３２階調のＥＬ素子基板では±３％以下、１６階調のＥＬ素子基板では±６％以下、更に、カラーフィルタでは±５％以下の膜厚ムラが目標とされており、機能性液体付与基板の塗布膜厚のバラツキは、ある程度の許容範囲を持っている。
【０００６】
本発明は、簡単な手順及び構成で機能性液体の吐出量をノズル間で均一化することができるインクジェット式記録装置および機能性液体付与基板の製造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明のインクジェット式記録装置は、機能性液体を吐出するための複数のノズルを備え、前記複数のノズルは、ノズルの数より少ない複数のグループに分けられ、前記ノズルから吐出される機能性液体の吐出量が各グループごとに制御されることを特徴とする。このように、ノズルごとではなくグループごとに調整可能としたので、補正値の選定作業や回路構成を簡略化しつつ、ノズル間で吐出量の均一性を確保することができる。
【０００８】
上記インクジェット式記録装置において、前記機能性液体はインクであり、カラーフィルタを製造可能であってもよい。また、上記インクジェット式記録装置において、前記機能性液体はＥＬ発光体溶液であり、ＥＬ素子基板を製造可能であってもよい。前記機能性液体は導電粒子分散溶液であり、導電配線パターンを備えた基板を製造可能であってもよい。
【０００９】
上記インクジェット式記録装置において、前記複数のノズルが配置されるインクジェットヘッド上の位置を複数のエリアに分け、各エリアに属するノズルを１つのグループに属するものとすることが望ましい。位置が近接するノズルが、互いに近似する吐出特性を示すことを利用し、同一エリアに属するノズルについては同一の波形を適用することにより、効果的にノズル間の吐出量均一化を図ることができる。
【００１０】
また、上記インクジェット式記録装置において、前記複数のノズルが配置されるインクジェットヘッドは、前記各ノズルごとに設けられたキャビティと、各キャビティに通じており各ノズルに共通のリザーバと、前記リザーバに機能性液体を供給する供給口とを備えており；前記複数のグループは、前記複数のノズルのうち前記供給口の近くに位置するノズルからなる第１のグループと、前記複数のノズルのうち前記供給口から遠くに位置するノズルからなる第２のグループとを少なくとも備えることが望ましい。インクの吐出量が供給口からノズルまでの距離に影響される性質を利用し、供給口からの距離に応じてノズルのグループ分けを行ない、効果的にノズル間の吐出均一化を図ることができる。
【００１１】
また、本発明の機能性液体付与基板の製造方法は、機能性液体を吐出可能な複数のノズルを備えたインクジェット式記録装置の前記複数のノズルを、ノズルの数より少ない複数のグループに分け、前記ノズルからの機能性液体の吐出を制御する信号の波形を各グループごとに調整し、基板上に形成された各画素に前記機能性液体を吐出することを特徴とする。
【００１２】
上記製造方法において、前記複数のノズルが配置されるインクジェットヘッド上の位置を複数のエリアに分け、各エリアに属するノズルを１つのグループに属するものとすることが望ましい。
【００１３】
また、上記製造方法において、前記複数のノズルが配置されるインクジェットヘッドは、前記各ノズルごとに設けられたキャビティと、各キャビティに通じており各ノズルに共通のリザーバと、前記リザーバに機能性液体を供給する供給口とを備えており；前記複数のグループは、前記複数のノズルのうち前記供給口の近くに位置するノズルからなる第１のグループと、前記複数のノズルのうち前記供給口から遠くに位置するノズルからなる第２のグループとを少なくとも備えることが望ましい。
【００１４】
また、本発明のデバイスの製造方法は、上記製造方法により製造された機能性液体付与基板を備えたことを特徴とする。
【００１５】
また、本発明のデバイスは、上記製造方法により製造された機能性液体付与基板を備えたことを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の電子機器の製造方法は、上記製造方法により製造された電気光学装置などのデバイスを用いることを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態として、機能性液体の一例であるインクを基板上に付与してカラーフィルタを製造する装置及び方法を例にとって説明する。
【００１８】
（１．製造装置の構成）
図１は、本発明の１実施形態によるインクジェット式記録装置の概略斜視図である。図に示すように、インクジェット式記録装置１００は、インクジェットヘッド群１、Ｘ方向駆動軸４、Ｙ方向ガイド軸５、制御装置６、載置台７、クリーニング機構部８、基台９を備えている。
【００１９】
インクジェットヘッド群１は、図示しないインクタンクから供給された機能性液体であるインクをそのノズル（吐出口）から各画素に吐出するインクジェットヘッド１ａを備えている。
【００２０】
載置台７は、この製造装置によって製造すべきカラーフィルタ用基板１０１を載置させるもので、この基板を基準位置に固定する機構を備える。
【００２１】
Ｘ方向駆動軸４には、Ｘ方向駆動モータ２が接続されている。Ｘ方向駆動モータ２は、ステッピングモータ等であり、制御装置６からＸ軸方向の駆動信号が供給されると、Ｘ方向駆動軸４を回転させる。Ｘ方向駆動軸４が回転させられると、インクジェットヘッド群１がＸ軸方向に移動する。
【００２２】
Ｙ方向ガイド軸５は、基台９に対して動かないように固定されている。載置台７は、Ｙ方向駆動モータ３を備えている。Ｙ方向駆動モータ３は、ステッピングモータ等であり、制御装置６からＹ軸方向の駆動信号が供給されると、載置台７をＹ軸方向に移動させる。
【００２３】
すなわち、Ｘ軸方向の駆動とＹ軸方向の駆動とを行うことで、インクジェットヘッド群１をカラーフィルタ用基板１０１上のいずれの場所にも自在に移動させることができる。カラーフィルタ用基板１０１に対するインクジェットヘッド１の相対速度も、各軸方向の駆動機構の制御で定まる。
【００２４】
制御装置６は、インクジェットヘッド群１にインク滴の吐出制御用の信号を供給する駆動信号制御装置３１（後述）を備える。また、Ｘ方向駆動モータ２およびＹ方向駆動モータ３に、インクジェットヘッド群１ａと載置台７との位置関係を制御する信号を供給するヘッド位置制御装置３２（後述）を備える。
【００２５】
クリーニング機構部８は、インクジェットヘッド群１をクリーニングする機構を備えている。クリーニング機構部８には、図示しないＹ方向の駆動モータが備えられる。このＹ方向の駆動モータの駆動により、クリーニング機構８は、Ｙ方向ガイド軸５に沿って移動する。クリーニング機構８の移動も、制御装置６によって制御される。
【００２６】
（２．インクジェットヘッドの構成）
図２は、インクジェットヘッド群１を構成する個々のインクジェットヘッド１ａの構造の説明図である。インクジェットヘッド１ａは、図に示すように、ノズル板１１０、圧力室基板１２０および振動板１３０を備えて構成されている。このヘッドは、オンデマンド形のピエゾジェット式ヘッドを構成している。
【００２７】
圧力室基板１２０は、キャビティ（圧力室）１２１、側壁（隔壁）１２２、リザーバ１２３および導入路１２４を備えている。キャビティ１２１は、シリコン等の基板をエッチングすることにより形成された、インクなどを吐出するために貯蔵する空間となっている。側壁１２２はキャビティ１２１間を仕切るよう形成されている。リザーバ１２３は、インクを各キャビティ１２１に充たすための流路となっている。導入路１２４は、リザーバ１２３から各キャビティ１２１にインクを導入可能に形成されている。なおキャビティ１２１などの形状はインクジェット方式によって種々に変形可能である。例えば平面的な形状のカイザー（Kyser）形であっても円筒形のゾルタン（Zoltan）形でもよい。
【００２８】
ノズル板１１０は、圧力室基板１２０に設けられたキャビティ１２１の各々に対応する位置にノズル１１１が配置されるよう、圧力室基板１２０の一方の面に貼り合わせられている。ノズル１１１の数は図示のものに限定されず、例えば１列３２ノズルとすることも可能である。ノズル板１１０を貼り合わせた圧力室基板１２０は、さらに筐体１２５に納められて、インクジェットヘッド１ａを構成している。
【００２９】
振動板１３０は圧力室基板１２０の他方の面に貼り合わせられている。振動板１３０の各キャビティ１２１の位置に対応する部分にはそれぞれ圧電体素子（図示しない）が設けられている。また、振動板１３０のリザーバ１２３の位置に対応する部分には、供給口（図示せず）が設けられて、図示しないインクタンクに貯蔵されているインクを圧力室基板１２０内部に供給可能になっている。
【００３０】
複数のノズル１１１は、ノズル１１１の数より少ない複数のグループに分けられている。より詳しくは、複数のノズル１１１が配置されるインクジェットヘッド１ａ上の位置は複数のエリアに分けられ、この複数のエリアのうちの各エリアに属するノズルが、１つのグループに属するものとなっている。さらに詳しくは、これらのグループは、供給口の近くに位置するノズル群からなるものと、供給口から遠くに位置するノズル群からなるものとを備えている。同一グループに属するノズルについては同一波形の制御信号によってインクが吐出されるようになっており、この制御信号は、各グループ毎に調整することができる。
【００３１】
（３．制御系の構成）
図３は、上記インクジェット式記録装置１００の制御系の構成を示すブロック図である。インクジェット式記録装置１００の制御系は、パーソナルコンピュータなどの電子計算機からなる駆動信号制御装置３１とヘッド位置制御装置３２とを備えている。
【００３２】
駆動信号制御装置３１はインクジェットヘッド１ａを駆動するための複数種類の波形を出力する。また、駆動信号制御装置３１は、カラーフィルタの各画素にＲ、Ｇ、Ｂのうち何れのインクを吐出するかを示すビットマップデータを出力する。
【００３３】
駆動信号制御装置３１はアナログアンプ３３とタイミング制御回路３４に接続されている。アナログアンプ３３は上記複数種類の波形を増幅する回路である。タイミング制御回路３４はクロックパルス回路を内蔵し、上記ビットマップデータに従ってインクの吐出タイミングを制御する回路である。
【００３４】
アナログアンプ３３とタイミング制御回路３４は、ともに中継回路３５に接続され、中継回路３５は駆動波形選択回路３６に接続される。中継回路３５は、タイミング制御回路３４から出力されたタイミング信号に従って、アナログアンプ３３から出力された信号を駆動波形選択回路３６に伝達する。
【００３５】
駆動波形選択回路３６は、上記複数種類の波形のうち、インクジェットヘッド１ａからのインク吐出を制御する波形を選択し、インクジェットヘッド１ａに送信する回路である。インクジェットヘッド１ａに備えられている複数のノズルは、ノズルの数より少ない数のグループに分けられ、各グループにつき１つの波形が選択される。各グループについて上記複数種類の波形のうちどの波形を選択するかは、予め測定されたインクジェットヘッド１ａの各ノズルからのインク吐出量のデータに基いて、駆動波形選択回路３６に対して設定される。
【００３６】
図４は、上記インクジェットヘッドにおける各ノズルのインク吐出量の分布の一例を示す図である。横軸はインクジェットヘッド１ａに備えられた複数のノズルの配列に従って付されたノズル番号であり、縦軸は各ノズルからインクを吐出するために同一の駆動波形を用いた場合に、各ノズルから吐出されるインク１滴あたりの吐出量（ｎｇ）である。
【００３７】
このインクジェットヘッドには、各ノズルに共通のリザーバにインクを供給する１つの供給口が設けられており、その供給口はノズルＮｏ．８〜１５の付近に位置している。図に示されるように、供給口の付近ではインク吐出量が少なく、供給口から遠い両端付近では、インク吐出量が多くなる傾向にある。
【００３８】
従って、インクジェットヘッドの両端付近に位置し、供給口から遠いノズルについては吐出量を抑える波形を選択し、中央付近に位置し、供給口に近いノズルについては吐出量を多くするような波形を選択すればよい。このように、ノズルの位置によって吐出量が増減する傾向を利用し、各ノズルが設けられている位置を複数のエリアに分け、互いに近似する吐出傾向を持つと考えられるエリアごとに波形を決定することとすれば、個々のノズルについて補正量を導出しなくても、十分に吐出量のバラツキを抑えることができ、装置的にも簡単な構成で実現することができる。
【００３９】
ヘッド位置制御装置３２は、インクジェットヘッド１ａと載置台７（およびこれに載置されたカラーフィルタ用基板）との位置関係を制御する回路であり、駆動信号制御装置３１と協動して、インクジェットヘッド１ａから吐出されるインクがカラーフィルタ用基板上の所定の場所に到達するように制御する。ヘッド位置制御装置３２は、Ｘ−Ｙ制御回路３７に接続されており、このＸ−Ｙ制御回路３７に対してヘッド位置に関する情報を送信する。
【００４０】
Ｘ−Ｙ制御回路３７は、Ｘ方向駆動モータ２とＹ方向駆動モータ３に接続され、これらＸ方向駆動モータ２およびＹ方向駆動モータ３に対して、ヘッド位置制御装置３２からの信号に基いて、Ｘ軸方向のインクジェットヘッド１ａの位置およびＹ軸方向の載置台７の位置を制御する信号を送信する。
【００４１】
（４．機能性液体付与基板の構成）
図５は、上記実施形態に係る製造装置及び製造方法により製造される機能性液体付与基板であるカラーフィルタの部分拡大図である。図５（ａ）は平面図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）のＢ−Ｂ’線断面図である。断面図各部のハッチングは一部省略している。
【００４２】
図５（ａ）に示されるように、カラーフィルタ２００は、マトリクス状に並んだ画素１３を備え、画素と画素の境目は、仕切り１４によって区切られている。画素１３の１つ１つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのインクが導入されている。この例では赤、緑、青の配置をいわゆるデルタ配列としたが、ストライプ配列、モザイク配列など、その他の配置でも構わない。
【００４３】
図５（ｂ）に示されるように、カラーフィルタ２００は、透光性の基板１２と、遮光性の仕切り１４とを備えている。仕切り１４が形成されていない（除去された）部分は、上記画素１３を構成する。この画素１３に導入された各色のインクは着色層２０を構成する。仕切り１４及び着色層２０の上面には、オーバーコート層２１及び電極層２２が形成されている。
【００４４】
（５．機能性液体付与基板の製造方法）
図６は、上記カラーフィルタの製造工程断面図である。断面図各部のハッチングは一部省略している。この図に基き、カラーフィルタの製造方法の一例を具体的に説明する。
【００４５】
（５−１．バンク形成及び表面処理工程）
膜厚０．７ｍｍ、たて３８ｃｍ、横３０ｃｍの無アルカリガラスからなる透明基板１２の表面を、熱濃硫酸に過酸化水素水を１重量％添加した洗浄液で洗浄し、純水でリンスした後、エア乾燥を行って清浄表面を得る。この表面に、スパッタ法によりクロム膜を平均０．２μｍの膜厚で形成し、金属層１６’を得る（図６：Ｓ１）。
【００４６】
この基板をホットプレート上で、８０℃で５分間乾燥させた後、金属層１６’の表面に、スピンコートによりフォトレジスト層（図示せず）を形成する。この基板表面に、所要のマトリクスパターン形状を描画したマスクフィルムを密着させ、紫外線で露光をおこなう。次に、これを、水酸化カリウムを８重量％の割合で含むアルカリ現像液に浸漬して、未露光の部分のフォトレジストを除去し、レジスト層をパターニングする。続いて、露出した金属層を、塩酸を主成分とするエッチング液でエッチング除去する。このようにして所定のマトリクスパターンを有する遮光層（ブラックマトリクス）１６を得ることができる（図６：Ｓ２）。遮光層１６の膜厚は、およそ０．２μｍである。また、遮光層１６の幅は、およそ２２μｍである。
【００４７】
この基板上に、さらにネガ型の透明アクリル系の感光性樹脂組成物１７’をやはりスピンコート法で塗布する（図６：Ｓ３）。これを１００℃で２０分間プレベークした後、所定のマトリクスパターン形状を描画したマスクフィルムを用いて紫外線露光を行なう。未露光部分の樹脂を、やはりアルカリ性の現像液で現像し、純水でリンスした後スピン乾燥する。最終乾燥としてのアフターベークを２００℃で３０分間行い、樹脂部を十分硬化させることにより、バンク層１７が形成され、遮光層１６及びバンク層１７からなる仕切り１４が形成される（図６：Ｓ４）。このバンク層１７の膜厚は、平均で２．７μｍである。また、バンク層１７の幅は、およそ１４μｍである。
【００４８】
得られた遮光層１６およびバンク層１７で区画された着色層形成領域（特にガラス基板１２の露出面）のインク濡れ性を改善するため、ドライエッチング、すなわち大気圧プラズマ処理を行なう。具体的には、ヘリウムに酸素を２０％加えた混合ガスに高電圧を印加し、プラズマ雰囲気を大気圧内でエッチングスポットに形成し、基板を、このエッチングスポット下を通過させてエッチングする。
【００４９】
（５−２．機能性液体の導入工程）
次に、仕切り１４で区切られて形成された画素１３内に、機能性液体であるインクをインクジェット方式により導入する（図６：Ｓ５）。インクジェット式記録ヘッドには、ピエゾ圧電効果を応用した精密ヘッドを使用し、微小インク滴を着色層形成領域毎に１０滴、選択的に飛ばす。駆動周波数は１４．４ｋＨｚ、すなわち、各インク滴の吐出間隔は６９．５μ秒に設定する。ヘッドとターゲットとの距離は、０．３ｍｍに設定する。ヘッドよりターゲットである着色層形成領域への飛翔速度、飛行曲がり、サテライトと称される分裂迷走滴の発生防止のためには、インクの物性はもとよりヘッドのピエゾ素子を駆動する波形（電圧を含む）が重要である。インクジェットヘッドを駆動する波形は、上述のように駆動信号制御装置３１、アナログアンプ３３、中継回路３５、駆動波系選択回路３６を経てインクジェットヘッドに伝達される。
【００５０】
図７は、上記駆動波形選択回路３６に入力される複数種類の信号波形の例を示す波形グラフである。横軸は時間（μ秒）、縦軸は印加電圧の最小値との差（Ｖ）である。ここに示された４種類の波形はいずれもプル・プッシュ・プル型といわれており、第１段階の電圧を降下させる段階（プル）ではメニスカス内にインクを引き込み、第２段階の電圧を上昇させる段階（プッシュ）でインクを吐出し、第３段階の再び電圧を降下させる段階（プル）ではメニスカスの振動を急激に減衰させる。ここでは、図に示されるように印加電圧の最大値と最小値との差（Ｖｈ）がそれぞれ１９Ｖ、１９．５Ｖ、２０Ｖ、２０．５Ｖとなるように４種類の波形を生成する。Ｖｈを低くするとインク吐出量は小さくなり、Ｖｈを高くするとインク吐出量は大きくなる。こうして、インクの吐出量を電圧の高低により制御する。
【００５１】
駆動波形選択回路３６は、上記４種類の波形のうち、インクジェットヘッド１ａからのインク吐出を制御する波形を選択し、インクジェットヘッド１ａに送信する。特に、インクジェットヘッド１ａに備えられている３２個のノズルは、７個、７個、６個、６個、６個の計５グループに分けられ、各グループにつきそれぞれ１つの波形を選択する。
【００５２】
図８は、本実施形態のインクジェットヘッド１ａにおける各ノズルからの１滴あたりインク吐出量について、補正前および補正後のデータを示したグラフである。横軸は、各ノズルの配列に従って仮に付されたノズル番号、縦軸は、各ノズルからの１滴あたりの吐出量（ｎｇ）である。補正前のデータは、実線の折れ線で示し、補正後のデータは、点線の折れ線で示した。なお、インク１滴あたりの吐出量は、ノズルから吐出されたインク滴のスピードをもとに算出した。
【００５３】
補正前では、すべてのノズルにつき、上記４種類の波形のうちＶｈ＝２０Ｖの駆動波形を用いた。その結果、各ノズルからのインク吐出量は、最大で約１９．５ｎｇ（ノズルＮｏ．３２）、最小で約１７．６ｎｇ（ノズルＮｏ．１６）であった。インク量バラツキは、±６．０％であった。
【００５４】
このインク量バラツキを補正するため、ノズルＮｏ．８〜Ｎｏ．１４のグループからのインク吐出制御信号のＶｈを２０．５Ｖとし、ノズルＮｏ．２１〜Ｎｏ．２６のグループからのインク吐出制御信号のＶｈを１９．５Ｖとし、ノズルＮｏ．２７〜Ｎｏ．３２のグループからのインク吐出制御信号のＶｈを１９Ｖとし、その他のノズルについてはそのまま２０Ｖとした。その結果、各ノズルからのインク吐出量は、最大で約１８．６ｎｇ（ノズルＮｏ．２４）、最小で約１７．６ｎｇ（ノズルＮｏ．１６）となった。インク量バラツキは、±２．９％に改善された。
【００５５】
また、ノズルから吐出されたインク滴の飛行速度のバラツキは、補正前は±１０％であったが、補正後は±５％であった。このようにインク滴の飛行速度が均一化したことにより、載置台の移動速度を高速化してもインク滴の着弾位置ずれが生じにくくなったため、製造速度を高めることが可能となった。
【００５６】
上記のようにして選択された波形により、インク滴を赤、緑、青の３色を同時に塗布して所定の配色パターンにインクを塗布する。インクとしては、例えばポリウレタン樹脂オリゴマーに無機顔料を分散させた後、低沸点溶剤としてシクロヘキサノンおよび酢酸ブチルを、高沸点溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、さらに非イオン系界面活性剤０．０１重量％を分散剤として添加し、粘度６〜８センチポアズとしたものを用いる。
【００５７】
（５−３．乾燥・硬化工程）
次に、塗布したインクを乾燥させる。まず、自然雰囲気中で３時間放置してインク層１９のセッティングを行った後、８０℃のホットプレート上で４０分間加熱し、最後にオーブン中で２００℃で３０分間加熱してインク層１９の硬化処理を行って、着色層２０が得られる（図６：Ｓ６）。
【００５８】
上記基板に、透明アクリル樹脂塗料をスピンコートして平滑面を有するオーバーコート層２１を形成する。さらに、この上面にＩＴＯ（Indium Tin Oxide）からなる電極層２２を所要パターンで形成して、カラーフィルタ２００とする（図６：Ｓ７）。
【００５９】
（６．表示装置の構成）
図９は、本発明の１実施形態の製造方法により製造される電気光学装置であるカラー液晶表示装置の断面図である。断面図各部のハッチングは一部省略している。このカラー液晶表示装置３００は、上記の方法により製造されたカラーフィルタ２００を用いているので、機能性液体の吐出量が画素間で均一化され、乾燥及び硬化後の機能性液体の膜厚が画素間で均一となり、画質の良好な画像を表示することができる。
【００６０】
このカラー液晶表示装置３００は、カラーフィルタ２００と対向基板３３８とを組み合わせ、両者の間に液晶組成物３３７を封入することにより構成されている。液晶表示装置３００の一方の基板３３８の内側の面には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と画素電極３３２とがマトリクス状に形成されている。また、もう一方の基板として、画素電極３３２に対向する位置に赤、緑、青の着色層２０が配列するようにカラーフィルタ２００が設置されている。
【００６１】
基板３３８とカラーフィルタ２００の対向するそれぞれの面には、配向膜３２６、３３６が形成されている。これらの配向膜３２６、３３６はラビング処理されており、液晶分子を一定方向に配列させることができる。また、基板３３８およびカラーフィルタ２００の外側の面には、偏光板３２９、３３９がそれぞれ接着されている。また、バックライトとしては蛍光燈（図示せず）と散乱板の組合わせが一般的に用いられており、液晶組成物３３７をバックライト光の透過率を変化させる光シャッターとして機能させることにより表示を行う。
【００６２】
なお、電気光学装置は、本発明では上記のカラー液晶表示装置に限定されず、例えば薄型のブラウン管、あるいは液晶シャッター等を用いた小型テレビ、ＥＬ表示装置、プラズマディスプレイ、ＣＲＴディスプレイ、ＦＥＤ（Field Emission Display）パネル等の種々の電気光学手段を用いた電気光学装置を採用することができる。
【００６３】
（７．電子機器の構成）
図１０は、本発明の１実施形態の製造方法により製造される電子機器であるノート型パーソナルコンピュータの斜視図である。このパーソナルコンピュータ５００は、上記のカラー液晶表示装置３００を表示部として用いているので、機能性液体の吐出量が画素間で均一化され、乾燥及び硬化後の機能性液体の膜厚が画素間で均一となり、画質の良好な画像を表示することができる。
【００６４】
図に示すように、液晶表示装置３００は筐体５１０に収納され、この筐体５１０に形成された開口部５１１から液晶表示装置３００の表示領域が露出するように構成されている。また、パーソナルコンピュータ５００は、入力部としてのキーボード５３０を備えている。
【００６５】
このパーソナルコンピュータ５００は、液晶表示装置３００の他に、図示しないが、表示情報出力源、表示情報処理回路、クロック発生回路などの様々な回路や、それらの回路に電力を供給する電源回路などからなる表示信号生成部を含んで構成される。液晶表示装置３００には、例えば入力部５３０から入力された情報等に基き表示信号生成部によって生成された表示信号が供給されることによって表示画像が形成される。
【００６６】
本実施形態に係る電気光学装置が組み込まれる電子機器としては、パーソナルコンピュータに限らず、携帯型電話機、電子手帳、ページャ、ＰＯＳ端末、ＩＣカード、ミニディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、およびエンジニアリング・ワークステーション（ＥＷＳ）、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを備えた装置、時計、ゲーム機器など様々な電子機器が挙げられる。
【００６７】
（８．他の実施例）
また、本発明の製造装置及び方法により製造される機能性液体付与基板は上記カラーフィルタに限らず、ＥＬ素子基板であってもよい。この場合、機能性液体としてはＥＬ発光体溶液を用いる。
【００６８】
また、本発明の製造装置及び方法により製造される機能性液体付与基板は、導電配線パターンが形成された基板であってもよい。この場合、機能性液体としては、例えば、Ａｕ（金）、Ａｇ（銀）、Ｃｕ（銅）、Ｐｔ（プラチナ）、Ｐｄ（パラジウム）などの導電性を有する物質を粉体にしたもの、粉体を結合させるためのバインダー、粉体を均一に分散させるための分散剤等を、溶剤に溶かした導電粒子分散溶液を用いる。
【００６９】
そして、基板上に所望の導電配線パターンを形成するように、本発明のインクジェットヘッドを用いて、導電粒子分散溶液を塗布する。その後その機能性液体を乾燥、固化させて導電配線パターンを形成する。
【００７０】
また、機能性液体付与基板としては、半導体素子が形成された基板や半導体素子から構成されるメモリが形成された基板であってもよい。この場合、機能性液体として、無機半導体材料、有機半導体材料、導電性高分子、強誘電体材料等を含む溶液を用いる。
【００７１】
また、機能性液体付与基板としては、遺伝子分析の試料として用いる基板であってもよい。この場合、機能性液体としては、タンパク質あるいはデオキシリボ核酸（ＤＮＡ）を含む溶液を用いる。
【００７２】
また、機能性液体付与基板としては、ディスプレイの電子銃を構成する基板をはじめとした電子デバイスを構成する基板であっても良い。この場合、機能性液体としてはカーボンナノチューブを含む溶液を用いる。
【００７３】
また、機能性液体付与基板としては、燃料電池の触媒あるいは無電界めっきに用いる触媒あるいはフィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）を構成する基板であっても良い。この場合、機能性液体としては、貴金属及び貴金属塩もしくはその酸化物を含む溶液を用いる。
【発明の効果】
本発明によれば、簡単な手順及び構成で機能性液体の吐出量をノズル間で均一化することができるインクジェット式記録装置および機能性液体付与基板の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の１実施形態によるインクジェット式記録装置の概略斜視図である。
【図２】  インクジェットヘッド群１を構成する個々のインクジェットヘッド１ａの構造の説明図である。
【図３】  上記インクジェット式記録装置の制御系の構成を示すブロック図である。
【図４】  上記インクジェットヘッドにおける各ノズルのインク吐出量の分布の一例を示す図である。
【図５】  上記実施形態に係る製造装置及び製造方法により製造される機能性液体付与基板であるカラーフィルタの部分拡大図である。
【図６】  上記カラーフィルタの製造工程断面図である。
【図７】  駆動波形選択回路３６に入力される複数種類の信号波形の例を示す波形グラフである。
【図８】  本実施形態のインクジェットヘッド１ａにおける各ノズルからの１滴あたりインク吐出量について、補正前および補正後のデータを示したグラフである。
【図９】  本発明の１実施形態の製造方法により製造される電気光学装置であるカラー液晶表示装置の断面図である。
【図１０】  本発明の１実施形態の製造方法により製造される電子機器であるノート型パーソナルコンピュータの斜視図である。
【符号の説明】
１００  インクジェット式記録装置
１ａ    インクジェットヘッド
１１１  ノズル
１２１  キャビティ
１２３  リザーバ
２００  カラーフィルタ（機能性液体付与基板）
３００  カラー液晶表示装置（電気光学装置）
５００  パーソナルコンピュータ（電子機器）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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