(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に形成された電極を清掃するための清掃装置において、
前記基板に対し相対的に移動しつつ前記電極に接触し前記電極を清掃する清掃部材と、
この清掃部材が前記電極に接触する前に前記清掃部材の前記電極に接触する部分に溶剤を滴下させるノズルと、
前記清掃部材の前記溶剤が滴下した部分の色調を変化させる変色手段と、
前記清掃部材の色調の変化した範囲を検出する検出手段と、
この検出手段によって検出された上記清掃部材の色調が変化した範囲を予め設定された範囲と比較して上記清掃部材に設定された液滴数の溶剤が滴下されたか否かを判定する手段と
を具備したことを特徴とする基板の清掃装置。
【請求項２】
前記変色手段は、着色された溶剤であることを特徴とする請求項１記載の清掃装置。
【請求項３】
前記変色手段は、前記清掃部材に付着され、前記溶剤に反応して変色する試薬であることを特徴とする請求項１記載の基板の清掃装置。
【請求項４】
基板の縁部に形成された電極に清掃部材を接触させて清掃する清掃方法において、
前記清掃部材の前記電極に接触する部分に溶剤を滴下させる滴下工程と、
溶剤の滴下に基づく前記清掃部材の色調の変化した範囲を検出する検出工程と、
前記検出工程での色調の変化の検出結果に基づいて溶剤の滴下の適否を判別する判別工程と、
前記判別工程の判別の結果、溶剤の滴下が適正と判別されたとき、前記清掃部材の溶剤が滴下された部分を前記基板の電極が形成された縁部に接触させる工程と
を具備したことを特徴とする基板の清掃方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は基板に形成された電極を清掃するための清掃装置及び清掃方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶パネルなどの基板は、その基板の縁部に沿って電極が設けられ、この電極上にＴＣＰ（Tape Carrier  Package）やＩＣチップなどの電子部品が接合載置されて構成される。
【０００３】
上記電極と電子部品とは通常、異方性導電膜を介して電気的に接続される。そのため、接合部分において、電気的に良好な導通状態を得るためには、上記電極面がゴミの付着などによって汚れていないことが必要となる。そこで、基板の電極面に異方性導電膜を貼付するに先立ち、その電極面を清掃装置によって清掃するということが行なわれている。
【０００４】
上記清掃装置は、基板を所定方向に沿って搬送するテーブルを有し、このテーブルの上方には供給リールと巻き取りリールとに張設されてテープ状の清掃部材が設けられている。この清掃部材にはノズルからアルコールなどの揮発性の溶剤を滴下させて染み込ませ、この溶剤が染み込んだ部分を所定位置まで移動させ、搬送される基板の縁部の電極面に所定の圧力で接触させることで、上記電極面を清掃するようにしている。
【０００５】
上記ノズルは溶剤が滴下される先端が細径であるため、しばしば目詰まりを起こしたり、溶剤内に気泡が混入して適正な滴下が行なわれないことがある。その場合には、乾燥した清掃部材によって基板の電極面が擦られることになるため、その摩擦によって静電気が発生し、その静電気が電極を介して基板内に形成された回路素子を破壊する虞がある。
【０００６】
そこで、従来は雫状にノズルから滴下する溶剤の液滴数を、ノズル近くに設けた、たとえば反射型の光センサによってカウントし、この光センサによるカウント値に基づいて液滴が適正に滴下されたか否かを判定し、適正であれば清掃部材の液滴が滴下した部分によって基板の清掃を行なうようにしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ノズルから滴下される溶剤は、このノズルの先端が細径であるため、自身の表面張力により、ノズル先端から雫が落下せず、液溜まり状態となることがある。その場合、ノズル先端に溜まった溶剤が揺らぐと、その揺らぎによって上記光センサはノズルから所定数以上の液滴が滴下したものと誤検出してしまうことがある。
【０００８】
その結果、適正数の液滴数に達していないにも係わらず基板の製造を開始してしまい、清掃部材の溶剤が十分に或いは全く染み込んでいない部分で基板の電極面を清掃してしまうことになるから、静電気の発生による回路素子の破壊を招く虞がある。
【０００９】
この発明は、静電気の発生による回路素子の破壊を防止できるようにした基板の清掃装置及び清掃方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
この発明は、基板に形成された電極を清掃するための清掃装置において、
前記基板に対し相対的に移動しつつ前記電極に接触し前記電極を清掃する清掃部材と、
この清掃部材が前記電極に接触する前に前記清掃部材の前記電極に接触する部分に溶剤を滴下させるノズルと、
前記清掃部材の前記溶剤が滴下した部分の色調を変化させる変色手段と、
前記清掃部材の色調の変化した範囲を検出する検出手段と、
この検出手段によって検出された上記清掃部材の色調が変化した範囲を予め設定された範囲と比較して上記清掃部材に設定された液滴数の溶剤が滴下されたか否かを判定する手段と
を具備したことを特徴とする基板の清掃装置にある。
【００１２】
前記変色手段は、着色された溶剤であることが好ましい。
【００１３】
前記変色手段は、前記清掃部材に付着され、前記溶剤に反応して変色する試薬であることが好ましい。
【００１４】
この発明は、基板の縁部に形成された電極に清掃部材を接触させて清掃する清掃方法において、
前記清掃部材の前記電極に接触する部分に溶剤を滴下させる滴下工程と、
溶剤の滴下に基づく前記清掃部材の色調の変化した範囲を検出する検出工程と、
前記検出工程での色調の変化の検出結果に基づいて溶剤の滴下の適否を判別する判別工程と、
前記判別工程の判別の結果、溶剤の滴下が適正と判別されたとき、前記清掃部材の溶剤が滴下された部分を前記基板の電極が形成された縁部に接触させる工程と
を具備したことを特徴とする基板の清掃方法にある。
【００１６】
この発明によれば、ノズルから清掃部材に溶剤が滴下したか否かを、清掃部材の色調の変化によって検出するため、たとえばノズルに液溜まりが生じた場合などに、その液溜まりの揺らぎによって溶剤が滴下されていないのに、滴下されたものと誤検出するのが防止される。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の一実施の形態を図１乃至図６を参照しながら説明する。
【００１８】
図１はこの発明が適用されてなる清掃装置の正面図、図２は側面図であって、この清掃装置は本体１を備えている。この本体１の前面側には搬送装置２が設けられている。この搬送装置２は本体１の幅方向に沿うＸ方向に駆動されるＸテーブル３と、このＸテーブル３上に設けられ本体１の前面に対して垂直なＹ方向に駆動されるＹテーブル４及びこのＹテーブル４上に設けられ液晶パネルなどの基板５を吸着保持する保持部６とを備えている。したがって、上記保持部６に保持された基板５はＸＹ方向に駆動されるようになっている。
【００１９】
上記基板５は、縁部の上面にそれぞれ複数の電極（図示せず）が所定方向に沿って設けられている。上記保持部６は基板５に比べて小さく形成されている。そして、基板５は電極が形成された縁部を本体１の前面に対向させて上記保持部６に保持される。
【００２０】
上記本体１の前面には、上記保持部６に保持された基板５の縁部の上面に対向位置する上部清掃部１１と、下面に対向位置する下部清掃部１２とが設けられている。各清掃部１１，１２は上下対称に設けられた供給リール１３ａ，１３ｂと巻取りリール１４ａ，１４ｂを有する。各供給リール１３ａ，１３ｂには耐磨耗性に優れた柔らかなテープ状の布地からなる清掃部材１５が巻回されている。各清掃部材１５はそれぞれ第１乃至第３の中継ローラ１６ａ〜１６ｃと１つの巻取りローラ１７を介して各巻取りリール１４ａ，１４ｂに巻き取られるようになっている。
【００２１】
上記供給リール１３ａ，１３ｂと巻取りリール１４ａ，１４ｂとにはそれぞれ清掃部材１５に適度な張力を与えるモータ１８ａ，１８ｂ及び１９ａ，１９ｂが連結され、上記巻取りローラ１７には、この巻取りローラ１７を駆動するための駆動モータ２１ａ，２１ｂが連結されている。
【００２２】
したがって、上部清掃部１１と下部清掃部１２との清掃部材１５は、駆動モータ２１ａ，２１ｂが作動することで、供給リール１３ａ，１３ｂから巻取りリール１４ａ，１４ｂに巻き取られるようになっている。
【００２３】
なお、各モータは本体１の内部に設けられ、各ローラ及びリールは本体１の前面に回転可能に設けられている。
【００２４】
上記第２の中継ローラ１６ｂと第３の中継ローラ１６ｃとの間には押付けローラ２２ａ，２２ｂが設けられている。各押付けローラ２２ａ，２２ｂは上下シリンダ２３ａ，２３ｂによって基板５の板面に対して接離する方向に駆動されるようになっている。それによって、各押付けローラ２２ａ，２２ｂは保持部６によって清掃部１１、１２による清掃位置へ位置付けられた基板５の縁部に対し、清掃部材１５を上方向及び下方向から所定の圧力で押付けることになる。
【００２５】
清掃部材１５の第１の中継ローラ１６ａと第２の中継ローラ１６ｂとの間の部分にはそれぞれ上部ノズル２４ａと下部ノズル２４ｂとが先端を対向させて配置されている。
【００２６】
各ノズル２４ａ，２４ｂはアルコールなどの溶剤が収容された容器２５に供給チューブ２６を介して接続されている。この供給チューブ２６の中途部にはポンプ２７が設けられている。このポンプ２７は上記チューブ２６の中途部を回転するローラによって間歇的に所定方向に沿って圧縮するようになっており、それによって上記容器２５の溶剤を上記各ノズル２４ａ，２４ｂから滴下させるようになっている。
【００２７】
上記上部ノズル２４ａと下部ノズル２４ｂとから滴下した溶剤は清掃部材１５に向かって滴下する。それによって、各ノズル２４ａ，２４ｂから滴下した溶剤はそれぞれ清掃部材１５に染み込むことになる。
【００２８】
上記上部ノズル２４ａと下部ノズル２４ｂの近傍、この実施の形態では上記清掃部材１５の上記各ノズル２４ａ，２４ｂよりも走行方向の下流側の近傍に上記清掃部材１５に滴下した溶剤を撮像する検出手段としてのＣＣＤなどのカメラ２８ａ，２８ｂが、その撮像方向（光軸）を清掃部材上の溶剤の滴下予定位置に向けて配置されている。
【００２９】
清掃部材１５に滴下した溶剤を上記カメラ２８ａ，２８ｂによって撮像可能とするため、溶剤が清掃部材１５に滴下することで、その滴下した部分は変色手段によって変色するようになっている。変色手段としては、上記溶剤に染料を加えて着色したり、清掃部材１５にｐＨ試薬を塗付しておくことで、清掃部材１５に滴下した溶剤とｐＨ試薬が反応して清掃部材１５を変色させるなどの方法がある。この実施の形態では溶剤を染料によって着色させることで変色手段としている。
【００３０】
上記カメラ２８ａ，２８ｂからの撮像信号は信号処理部を有する制御装置２９によって処理される。この制御装置２９の信号処理部では清掃部材１５が変色したか否かの判別、つまり図６に示すように清掃部材１５に溶剤が滴下したか否かと、その変色の範囲、つまり変色面積Ｐが予め設定された設定面積に到達したか否かの判別とが行なわれ、その結果に基づいて基板５の清掃が行なわれる。
【００３１】
つぎに、上記構成の清掃装置によって基板５に設けられた電極を清掃する手順を図５のフローチャートを参照しながら説明する。
【００３２】
まず、Ｓ１  で示すように制御装置２９によって溶剤の滴下数を設定すると、Ｓ２  に示すように、その設定に基づいてポンプ２７が作動し、容器２５から供給チューブ２６を介して所定の色調に着色された溶剤が上部ノズル２４ａ及び下部ノズル２４ｂから清掃部材１５に滴下する。
【００３３】
清掃部材１５の溶剤が滴下する部分はカメラ２８ａ、２８ｂによって撮像され、その撮像信号は制御装置２９の信号処理部で処理される。この信号処理部では、まず、Ｓ３  に示すように清掃部材１５が着色された溶剤によって変色したか否かが判別される。つまり、各ノズル２４ａ，２４ｂから溶剤が確実に滴下しているか否かが検出される。
【００３４】
清掃部材１５に溶剤が滴下されていることが確認されたならば、Ｓ４  では制御装置２９によって予め設定された滴下に要する設定時間が経過したか否かが判別される。設定時間が経過したならば、ポンプ２７による溶剤の供給は停止される。そして、Ｓ５  では清掃部材１５の溶剤が滴下することで変色した面積Ｐ（図６に示す）が上記制御装置２９に予め設定された設定面積と比較される。
【００３５】
つまり、清掃部材１５に、Ｓ１  で設定された滴下数だけ確実に溶剤が滴下していれば、この清掃部材１５の変色面積Ｐは設定面積と同等或いはそれ以上になり、滴下数がノズルの詰まりや液溜まりなどによって不足している場合には変色面積Ｐが設定面積よりも小さくなる。したがって、変色面積Ｐと設定面積とを比較することで、清掃部材１５によって基板５を清掃するのに適した量の溶剤が滴下されたか否かを判別することができる。
【００３６】
Ｓ５  での判別がＹＥＳであれば、Ｓ６  では基板５の電極面の清掃が行なわれる。つまり、上記清掃部材１５が巻取りリール１４ａ，１４ｂに巻き取られ、この清掃部材１５の溶剤が滴下された部分が押付けローラ２２ａ，２２ｂに対向する位置まで送られた後、上記押付けローラ２２ａ，２２ｂが上下シリンダ２３ａ，２３ｂによって基板５に向けて移動される。それによって、上記清掃部材１５の溶剤が滴下された部分が基板５の縁部に形成された電極に所定の圧力で押付けられる。
【００３７】
清掃部材１５を基板５の縁部に押付けると、搬送装置２が作動して基板５を図１に示すＸ方向に搬送する。それによって、基板５の縁部の電極面が上記清掃部材１５の溶剤が滴下された部分によって静電気の発生を招くことなく清掃されることになる。
【００３８】
Ｓ５  で変色面積Ｐと設定面積とが比較された結果、変色面積Ｐが設定面積よりも小さな場合、清掃部材１５には設定された滴下数の溶剤が滴下されていないことになるから、その場合には各ノズル２４ａ，２４ｂに詰まりや液溜まりが生じたり、ポンプ２７の故障や容器２５の溶液がなくなったなどの原因が考えられる。したがって、その場合にはＳ７  で示すように警報が出され、作業者に点検を促すことになる。
【００３９】
上記一実施の形態では、清掃部材１５に所定量の溶剤が滴下されたことを、清掃部材の変色面積が設定面積と同等若しくはそれ以上になったことによって判定したが、図７に示すように清掃部材１５の変色範囲をカメラ２８の視野中心Ｏからの距離によって判定するようにしてもよい。つまり、清掃部材１５の変色範囲がカメラ２８の視野中心Ｏから距離Ｘに到達しない場合は滴下数が不足し、距離Ｘ以上であれば適正な量が滴下されたと判定することができる。
【００４０】
なお、このとき、カメラ２８の視野中心Ｏが清掃部材１５における溶剤の滴下中心位置（ノズル２４ａ，２４ｂの直下に相当する位置）に一致するように調整されていると好ましい。
【００４１】
また、上記一実施の形態では、清掃部材１５に溶剤が滴下されたことと、その滴下数が所定数に達したこと、つまり変色面積Ｐが設定面積と同等若しくはそれ以上になったこととの両方を検出してから清掃を開始するようにしたが、清掃部材１５が変色したことを検出したならば、その検出だけで清掃を開始するようにしてもよい。
【００４２】
この場合、清掃部材１５に滴下した溶剤の液滴数が設定数よりも少ない場合も考えられるが、溶剤が全く滴下していないということでないから、その状態で基板５を清掃しても、静電気の発生を抑制することができる。
【００４３】
また、上記一実施の形態では基板５の上面に電極が形成されている場合について説明したが、基板の下面あるいは両面に電極が形成されている場合であっても適用可能である。また、電極が基板の一方の面にのみ形成されている場合、上部清掃部１１と下部清掃部１２のうち、電極が形成されている面に対向する一方だけを基板に接触させて清掃するようにしてもよい。
【００４４】
また、溶剤が滴下した清掃部材の色調の変化と、その色調の変化の範囲とをカメラで検出するようにしたが、たとえば反射型の光センサが検出する反射光量の変化によって色調の変化と、変化の範囲を検出するようにしてもよく、その検出手段はなんら限定されるものでなく、要は清掃部材１５に生じる色調の変化と範囲とを検出できるものであればよい。
【００４５】
【発明の効果】
以上のようにこの発明によれば、清掃部材に溶剤が滴下したか否かを確実に検出し、静電気の発生による回路素子の破壊を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明が適用される一実施の形態を示す清掃装置の正面図。
【図２】図１に示す清掃装置の側面図。
【図３】図１における搬送装置を除いた清掃装置の正面図。
【図４】上部清掃部の拡大図。
【図５】動作を示すフローチャート。
【図６】清掃部材に溶剤が滴下した状態を示す平面図。
【図７】この発明の他の実施の形態を示す判定方法の説明図。
【符号の説明】
２…搬送装置
５…基板
１５…清掃部材
２４ａ…上部ノズル
２４ｂ…下部ノズル
２８…カメラ（検出手段）
【図１】
0004064675.tif 000002
【図２】
0004064675.tif 000003
【図３】
0004064675.tif 000004
【図４】
0004064675.tif 000005
【図５】
0004064675.tif 000006
【図６】
0004064675.tif 000007
【図７】
0004064675.tif 000008