(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被回収容器中のＳＦ６ガス以外のガスを吸着する吸着剤を充填した吸着筒を２本有するＰＳＡ方式によるガス分離部とガス供給部で構成するＳＦ６ガス回収装置において、被回収容器にガス供給部で調圧した高圧ガスを供給し、被回収容器に充填されているＳＦ６ガスを主とするガスと混合した被回収ガスを取出口より取り出し、該ガス分離部の一方の吸着筒に送入し、この加圧吸着工程にある吸着筒にてＳＦ６ガス以外のガスを吸着筒内の吸着剤に吸着させてＳＦ６ガスと分離し、該吸着筒の吸着剤がそれ以上吸着することのできない飽和状態になる前に被回収ガスの供給を止め、他方の減圧再生工程の完了した吸着筒と入口同士と出口同士を結合し、吸着工程の完了した吸着筒のガスを減圧再生工程の完了した吸着筒に移す均圧工程を行った後、吸着工程の完了した吸着筒は減圧再生工程に入り、吸着剤に吸着したガスを大気中に排出し、減圧再生工程の終了した吸着筒は吸着工程に入り、被回収ガスを供給してＳＦ６ガスを分離するようにしたＳＦ６ガス回収装置。
【請求項２】
ゼオライトを上流側に分子篩炭を下流側に充填した吸着筒２本を有するＰＳＡ方式によるガス分離部と高圧空気供給部で構成するＳＦ６ガス回収装置において、被回収容器に高圧空気供給部より一定圧の高圧空気を供給してＳＦ６ガスと混合し、取出口より被回収ガスを取り出し、該ガス分離部に送入し、１方の加圧吸着工程にある吸着筒にて窒素ガス、酸素ガス他を該吸着筒内の吸着剤に吸着させてＳＦ６ガスと分離し、該吸着筒の吸着剤がそれ以上吸着することのできない飽和状態になる前に被回収ガスの供給を止め、他方の減圧再生工程の完了した吸着筒と入口同士と出口同士を結合し、吸着工程の完了した吸着筒のガスを減圧再生工程の完了した吸着筒に移す均圧工程を行った後、吸着工程の完了した吸着筒は減圧再生工程に入り、吸着剤に吸着したガスを大気中に排出し、減圧再生工程の終了した吸着筒に被回収ガスを供給して吸着工程に入り、ＳＦ６ガスを分離するようにしたＳＦ６ガス回収装置。
【請求項３】
被回収容器に高圧ガスを供給するガス供給部と、被回収容器から被回収ガスが送入され、ＳＦ６ガス以外のガスを吸着する吸着剤を充填した吸着筒を２本有するＰＳＡ方式によるガス分離部と、ガス分離部で分離されたＳＦ６ガスを加圧する加圧部と、加圧されたＳＦ６ガスを液化する液化部で構成するＳＦ６ガス回収装置において、被回収容器より取り出したＳＦ６を含む被回収ガスをガス分離部に供給し、ＳＦ６ガスとＳＦ６を含まないガスに分離し、ＳＦ６を含まないガスを大気中に排出し、ＳＦ６ガスを加圧部にて加圧した後、液化部に送り、該液化部は液体窒素タンクより液体窒素ガスの主に気化潜熱の雰囲気にこの液化部を付設して該液化部を冷却し、ＳＦ６ガスを液化させるようにしたＳＦ６ガス回収装置。
【請求項４】
被回収容器に高圧ガスを供給するガス供給部と、被回収容器から被回収ガスが送入され、ＳＦ６ガス以外のガスを吸着する吸着剤を充填した吸着筒を２本有するＰＳＡ方式によるガス分離部と、ガス分離部で分離されたＳＦ６ガスを加圧する加圧部と、加圧されたＳＦ６ガスを液化する液化部で構成するＳＦ６ガス回収装置において、被回収容器より取り出したＳＦ６を含む被回収ガスをガス分離部に供給し、ＳＦ６ガスとＳＦ６を含まないガスとに分離し、ＳＦ６を含まないガスを大気中に排出し、ＳＦ６ガスを加圧部にて加圧した後、液化部に送り、該液化部は液体窒素タンクよりの液化窒素ガスの主に気化潜熱の雰囲気にこの液化部を付設して該液化部を冷却し、ＳＦ６ガスを液化させるようにし、ガス化した液化窒素を加圧して被回収容器に供給するようにしたＳＦ６ガス回収装置。
【請求項５】
被回収容器に高圧ガスを供給するガス供給部と、被回収容器から被回収ガスが送入され、ＳＦ６ガス以外のガスを吸着する吸着剤を充填した吸着筒を２本有するＰＳＡ方式によるガス分離部と、ガス分離部で分離されたＳＦ６ガスを加圧する加圧部と、加圧されたＳＦ６ガスを液化する液化部で構成するＳＦ６ガス回収装置において、
被回収容器中のＳＦ６ガス濃度が５０ｖｏｌ％以上である場合には、該被回収容器内の内圧が略大気圧（約０ＭＰａ・G）より高いときには、被回収ガスをガス分離部を経ることなく加圧部にて加圧した後、液化部にて冷却液化し、該被回収容器内の内圧が略大気圧（約０ＭＰａ・G）より低くなった後には、ガス供給部より被回収容器内に一定圧のガスを供給し、ＳＦ６ガスと混合して圧力を高め、被回収ガスをガス分離部を経ることなく加圧部にて加圧した後、液化部にて冷却液化して回収を継続し、
被回収ガス中のＳＦ６ガス濃度が５０ｖｏｌ％以下である場合には、被回収ガスをガス分離部に送入し、ＳＦ６ガスとＳＦ６以外のガスとを分離し、ＳＦ６以外のガスを大気中に排出し、ＳＦ６ガスを加圧部にて加圧した後、液化部にて冷却液化するようにしたＳＦ６ガス回収装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はＳＦ６ガス（６フッ化硫黄ガス、以下同じ）の回収に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＳＦ６ガスは高電圧電力用トランスや電力回路の遮断器に充填し、その熱的安定性，電気的安定性，高絶縁耐圧性を生かして装置の小型化を可能にし、都市の変電所の小容積化でその貢献は大きい。トランスや遮断器に充填されているＳＦ６ガスはその純度１００％のものや窒素ガスにより適度にうすめて充填されるものがある。それ等が用いられている機器の点検保守，修理のときはこれ等のガスを抜き出さなければならないが、従来はこれ等のガスによる人体等への害は少ないので大気中に放出していた。
しかし、ＳＦ６ガスは高価なガスであるため経費的に容易に回収再利用できる範囲の回収装置は従来よりあり回収して再利用していた。
すなわち、抜取加圧と圧縮冷却によって液化回収する装置はあったが、被回収容器内を高真空域まで吸引して回収したり、他のガスが混合しているガスを分離してＳＦ６ガスのみを回収する装置などはなかった。
【０００３】
すなわち、他のガスが混入し、ＳＦ６ガスの濃度が下がっている場合はその分圧が低くなるため高圧に圧縮し、そして低い温度までの冷却が必要となるため高額の装置価格となり、作られていなかった。
そして従来は、ＳＦ６ガスが使用中に遮断時のアークや熱によりわずかに分解されて生ずるＳＦ４や二酸化硫黄，ＳＯＦ２などの分解ガスは使用機器の特性劣化を生ずるものがあるので、これを防止するために除去する装置はあったが回収時に分離精製する装置はなかった。
【０００４】
近年、地球温暖化防止による炭酸ガス等の放出が規制されるようになってきた。１９９７年世界環境会議が京都で開催され、その結果炭酸ガスの２４０００倍の温暖化係数を持つＳＦ６ガスもその放出を厳しく規制されるようになった。
ＳＦ６ガスを大気に漏出する事が無いようにするためには、
「イ」  充填機器のシール部より漏れて漏出するガスを無くする。
「ロ」  機器据付時，保守修理時，解体廃棄時等で、ガス充填や抜取に係わるときに廃棄されるガスを無くすることが重要である。
この「イ」については、機器のシール部の改良により現在は大変少なくなっている。
また「ロ」については、電力業界は電気共同研究会により「電力用ＳＦ６ガス取扱い基準」を平成１０年１２月に自主制定し、その排出を規制することとした。
すなわち、点検修理時は０．０１５ＭＰａ・ａｂｓ（回収率９７ｖｏｌ％以上）解体撤去時は０．００５ＭＰａ・ａｂｓ（回収率９９ｖｏｌ％以上）の真空域まで吸引回収する自主基準を作成した。高真空域まで回収すると回収に長時間を要する欠点を生ずる。点検時の回収率が低いのは装置停止による停電の時間を可能な限り短くするための妥協値であり、撤去時は十分に時間をとって真空引きするようになっている。すなわち高真空域まで吸引回収し、大気への漏出量を少なく押さえている。
【０００５】
電力業界としては２００５年までに上記基準に合う回収装置を開発し、実施することとしている。
不活性ガスである窒素ガスを５０ｖｏｌ％混入してもインパルス破壊電圧はＳＦ６ガス単独ガス時の８５％，商用周波数破壊電圧は同９６．６％であり、性能低下が少ないのでＳＦ６ガスをトランスや遮断器に封入する際に窒素ガスによりうすめて使用するメーカーと高純度のＳＦ６ガスを使用するメーカーとがある。従来はこのような窒素ガスが混入したガスは回収しにくいガスであったため、点検や廃棄時にその多くは大気中に放出して廃棄していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
トランスや遮断器である被回収容器よりＳＦ６ガスを大気中にほとんど漏出することなく９９ｖｏｌ％以上を回収することであり、しかも短時間に回収できるようにする。また被回収ガス中に窒素ガスや空気の混入があってもそれを分離し、回収できるようにすること。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的は上記課題を解決するため、臨界温度４５．６４℃，臨界圧力３．７５ＭＰａ・Ｇ，融点−５０．８℃，昇華点−６３．８℃のＳＦ６ガスの特徴を考慮し、さらに被回収容器としてのトランス又は電路の遮断器は密閉容器でありその中にＳＦ６ガスが高圧（約０．６ＭＰａ・Ｇ〜０．３ＭＰａ・Ｇ）で充填されている。
そして充填ガスは混合されている窒素ガスや放電により少量だが、ＳＦ６ガスが分解し、ＳＦ４，ＳＯＦ２，二酸化硫黄が存在し、水分も混入することがある。但し、ＳＦ６ガスからの分解ガス，ＳＦ４，ＳＯＦ２，二酸化硫黄の除去については別途除去手段があり、そこで大部分取り除くことができるが、ここでの詳細な記述は省く。
電力の供給という公共のインフラクチャーに係わる装置に使用されている装置の点検，保守あるいは修理時に停電する時間を極力短くする事は、ＳＦ６ガスを回収する主性能に次いで重要な課題である。これ等の諸問題を考慮しながら効率の良い回収装置を発明した。
【０００８】
被回収容器（トランス，遮断器など）には被回収ガス（ＳＦ６ガス）が前述のように高圧で充填してある。そしてＳＦ６ガスは易液化ガスであるため、これを加圧する加圧部と冷却液化する液化部を設け、被回収ガス中のＳＦ６ガスの濃度が高い範囲においては、加圧ガス中のＳＦ６ガス分圧も高くなるので、液化ガスの液化温度と圧力の関係から加圧する圧力が比較的低い圧力範囲または液化温度の比較的高い範囲で容易に液化回収できる。
まずかかる方法により被回収容器内の内圧が加圧ポンプにより液化可能な圧力範囲となるまで回収する。前述のように被回収ガスはＳＦ６ガス１００％のものと窒素ガス等によりうすめられている場合がある。この混入ガスが存在していてもこれをＳＦ６ガスと分離するガス分離部を設ける。ガス分離部は特定ガスを吸着する吸着剤を用いたＰＳＡ法（ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｓｗｉｎｇ  Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ）により行う。特定ガスを含む混合ガスを、該吸着剤を充填した吸着筒に圧力を加えながら送り込むとこの吸着剤に特定ガスが吸着して除かれ、吸着されないガスが吸着筒の他端から分離されて取り出される。この工程を吸着工程という。そして吸着剤に特定ガスが吸着されていっぱいになる少し前に混合（原料）ガスの送入を止め、その吸着筒の入口より吸着筒の圧力を減じてやると、吸着剤に吸着した特定ガスが吸着剤より離脱して排出され、吸着剤の吸着能力が再生する。これを再生工程という。この吸着工程と再生工程を繰り返しながら、すなわち吸着筒に圧力を加えたり、減じたりしながらガスを分離するのでｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｓｗｉｎｇ  Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ（略してＰＳＡ）（圧力変動吸着）法という。
【０００９】
そして吸着剤には対象ガスであるＳＦ６ガスを吸着して、混合ガスを吸着しない吸着剤と、対象ガスであるＳＦ６ガスを吸着せず混合している他のガスを吸着する吸着剤とがある。その使用する吸着剤により、対象ガスを取り出す方法が少し異なる。
例えばＳＦ６ガスを対象ガスとした場合、前者は活性炭に分子篩機能を持たせた分子篩炭がある。後者にはゼオライトの５Ａタイプ，４Ａタイプ他がある。前者の場合は対象ガスであるＳＦ６ガスが吸着剤に吸着し、分離されているのであるから、減圧再生工程で吸着剤より離脱する工程内で濃縮したＳＦ６ガスを回収する。後者では加圧吸着工程でＳＦ６ガスが吸着筒の他端より分離されて出てくるので吸着工程で得られる。
ゼオライトはＳＦ６ガスはほとんど吸着せず窒素ガスや炭酸ガス，水分を良く吸着除去する、酸素ガスはわずかに吸着するのでＳＦ６ガスとこれ等のガスが混合しているガスからＳＦ６ガスを分離するガス分離部に吸着剤として使用する。
【００１０】
しかしＳＦ６ガスに空気が混入した場合も起こり得る。空気はその主成分が窒素７８％，酸素２１％であるので、まず窒素を多く吸着するゼオライトを吸着筒の上流側に入れ、続いて酸素を強く吸着する分子篩炭を吸着剤としてその下流に置くことによりまず窒素ガスを除き濃度の低い酸素を濃縮し、分子篩炭により分圧の高くなった酸素を効率よく吸着除去できるよう、２種の吸着剤を前記のように上流・下流に組み合わせ配置することにより効率のよい空気の分離除去が出来るガス分離部を構成する。そして、ガス分離部で分離したＳＦ６ガス以外のガスは窒素ガスと酸素ガスであり、大気を構成するガスと同一であるので大気中に放気する。再生工程において、大気中に放気されるこの排気ガスはＳＦ６ガスを含まなくする必要があり、吸着工程の終わった吸着筒内にＳＦ６ガスが残らないよう、吸着工程と再生工程の間に均圧工程を入れる。
【００１１】
すなわちガス分離部に吸着剤を充填した複数の吸着筒を用い、ひとつの加圧工程にある吸着筒に被回収ガスを供給し、ＳＦ６ガス中の混合ガスを吸着剤に吸着させ、吸着剤が吸着ガスで満杯になる前に被回収ガスの供給を止め、他のひとつの再生工程の終了した吸着筒と入口同士，出口同士を結合し、吸着工程の終了した吸着筒内のガスを再生工程の終了した吸着筒に移す均圧工程を行った後、吸着工程の終了した吸着筒は減圧し、再生工程に入り、吸着剤に吸着したガスを脱着して大気に排出する。この時、真空ポンプにより真空域まで減圧して再生することもある。そして再生工程の終了した吸着筒は吸着工程に入り、被回収ガスを供給してＳＦ６ガスを分離する。均圧工程を入れることにより、吸着工程の完了した吸着筒の入口，出口及びそれぞれの導管内に存在するＳＦ６ガスを再生工程の終わった吸着筒に移した後（ＳＦ６ガスを無くした後）、再生工程に入ってＳＦ６ガスを含まない吸着ガスを大気中へ排出するようにしたものである。
【００１２】
被回収容器内に存在する被回収ガス（ＳＦ６ガス）は、この被回収容器内の内圧を大気圧レベルにまで回収してもまだ被回収容器内にあるガス中に残存するため、これを点検時は０．０１５ＭＰａ・ａｂｓ，解体時は０．００５ＭＰａ・ａｂｓの真空域まで減圧して回収し、ＳＦ６ガスが大気中へ散逸することを少なくする自主規制としているが、真空値が高まる程、ガスが膨張し、その回収に長時間を要する。そこで鋭意研究の結果、前記ガス分離部にて分離のできるガスを被回収容器に充填し、被回収容器を陽圧又は陽圧に近い圧力に高めてこの分離部にて分離可能なガスをＳＦ６ガスと混合して導出するようにすることにより、ＳＦ６ガスを短時間で目標回収レベル（残留ガスレベル）まで回収する。そのためガス供給部を設ける。
ガス供給部のガスはガス分離部の能力と相まって窒素ガス又は空気を用いることが出来る。
【００１３】
短時間で効率良く回収するため、被回収容器内のＳＦ６ガスの濃度が高い範囲においては容易に液化回収出来るので被回収容器内の被回収ガスを加圧部で加圧し、続いて液化部で冷却液化して回収する。この方法により被回収容器内の内圧が加圧ポンプにより液化可能な圧力範囲までは回収する。（しかしこの圧力は液化部の冷却能力（温度）に左右されて変わることに注意する必要がある。）被回収容器内圧力が一定値以下に下がるとガス供給部より、ガスを被回収容器に供給し、昇圧して加圧部で加圧できるようにする。このとき液化部より非液化ガスを抜き取るようにする。このガスは加圧部より上流側に戻すようにして、再度加圧冷却液化のサイクルに入れる。
【００１４】
被回収ガス中のＳＦ６ガスの濃度が低くなるに従って、ＳＦ６ガスの分圧が下がるので液化のための圧力は高くなり、液化に必要な温度が低くなり液化できなくなるので、一定濃度以下になると被回収ガスをガス分離部に導き、ＳＦ６ガスを濃縮した後に加圧部に加える。この方法により回収を継続していき、被回収ガス中のＳＦ６ガスの濃度をみて０．０１５ＭＰａ・ａｂｓ相当までの回収ができたか判断し、回収を終える。
かかる方法によれば被回収容器より高真空まで引くことの出来る高価な真空ポンプを使うことなく陽圧にて被回収ガスを導出することができるうえ短時間で目標レベル以下の回収ができる。
【００１５】
すなわち、
「あ」  ガス供給部とガス分離部で構成されたＳＦ６ガス回収装置において、被回収容器にガス供給部で調圧した高圧ガスを供給し、ＳＦ６ガスと混合した被回収ガスをガス取出口より取り出し、ガス分離部にてＳＦ６を多く含むガスとＳＦ６をほとんど含まないガスに分離し、ＳＦ６をほとんど含まないガスを大気中に排出し、ＳＦ６を含むガスを回収する。
「い」  被回収容器中のＳＦ６ガス又は混合ガス（窒素ガス又は空気や炭酸ガス等）を吸着する吸着剤を充填した吸着筒を有するＰＳＡ方式によるガス分離部とガス供給部とで構成するＳＦ６ガス回収装置において、被回収容器にガス供給部で調圧した高圧ガスを供給し、ＳＦ６ガスと混合した被回収ガスを取り出し、該ガス分離部に送入し、加圧吸着工程にて被回収容器内の易吸着ガスを吸着筒内の吸着剤に吸着させて非吸着ガスと分離し、減圧再生工程にて吸着筒を減圧し、吸着剤に吸着しているガスを脱着し、ＳＦ６ガスと分離した混合ガスを大気中に排出するようにした。
「う」  ゼオライトを吸着剤として充填した吸着筒を有するＰＳＡ方式によるガス分離部と窒素ガス供給部で構成するＳＦ６ガス回収装置において、被回収容器に窒素ガス供給部で調圧した窒素ガスを供給して被回収容器に充填されているＳＦ６ガスを主とするガスと混合した被回収ガスを取り出し、該ガス分離部に送入し、加圧吸着工程にて窒素ガス等を吸着筒内の吸着剤に吸着除去してＳＦ６ガスと分離し、減圧工程にて吸着筒を減圧し、吸着剤に吸着している窒素ガス等を脱着し、大気中に放出するようにした。
【００１６】
また、
「え」  被回収容器中のＳＦ６ガス以外のガスを吸着する吸着剤を充填した吸着筒を２本有するＰＳＡ方式によるガス分離部とガス供給部で構成するＳＦ６ガス回収装置において、被回収容器にガス供給部で調圧した高圧ガスを供給し、被回収容器に充填されているＳＦ６ガスを主とするガスと混合した被回収ガスを取出口より取り出し、該ガス分離部に送入し、１方の加圧吸着工程にある吸着筒にてＳＦ６ガス以外のガスを吸着筒内の吸着剤に吸着させてＳＦ６ガスと分離し、該吸着筒の吸着剤が吸着ガスで満杯になる前に被回収ガスの供給を止め、他方の減圧再生工程の完了した吸着筒と入口同士と出口同士を結合し、吸着工程の完了した吸着筒のガスを減圧再生工程の完了した吸着筒に移す均圧工程を行った後、吸着工程の完了した吸着筒は減圧再生工程に入り、吸着剤に吸着したガスを大気中に排出し、減圧再生工程の終了した吸着筒は吸着工程に入り、被回収ガスを供給してＳＦ６ガスを分離するようにした。
「お」  ゼオライトを上流側に分子篩炭を下流側に充填した吸着筒２本を有するＰＳＡ方式によるガス分離部と高圧空気供給部で構成するＳＦ６ガス回収装置において、被回収容器に高圧空気供給部より一定圧の高圧空気を供給してＳＦ６ガスと混合し、取出口より被回収ガスを取り出し、該ガス分離部に送入し、１方の加圧吸着工程にある吸着筒にて窒素ガス，酸素ガス他を該吸着筒内の吸着剤に吸着させてＳＦ６ガスと分離し、該吸着筒の吸着剤が該吸着ガスで満杯になる前に被回収ガスの供給を止め、他方の減圧再生工程の完了した吸着筒と入口同士，出口同士を結合し、吸着工程の完了した吸着筒のガスを減圧再生工程の完了した吸着筒に移す均圧工程を行った後、吸着工程の完了した吸着筒は減圧再生工程に入り、吸着剤に吸着したガスを大気中に排出し、減圧再生工程の終了した吸着筒に被回収ガスを供給して吸着工程に入り、ＳＦ６ガスを分離するようにした。
【００１７】
さらに、
「か」  ガス分離部と加圧部と液化部で構成するＳＦ６ガス回収装置において、被回収容器より取り出したＳＦ６を含む被回収ガスをガス分離部に供給し、ＳＦ６ガスとＳＦ６を含まないガスとに分離し、ＳＦ６を含まないガスを大気中に排出し、ＳＦ６ガスを加圧部にて加圧した後、液化部に送り、該液化部は液体窒素タンクより液体窒素ガスの主に気化潜熱の雰囲気にこの液化部を付設して該液化部を冷却し、ＳＦ６ガスを液化させるようにし、ガス化した液化窒素を加圧して被回収容器に供給するようにした。
「き」  ガス分離部と加圧部，液化部，ガス供給部で構成するＳＦ６ガス回収装置において、被回収容器中のＳＦ６ガス濃度が濃いときは被回収ガスを加圧部にて直接加圧した後、液化部にて冷却液化し、冷却部内の非液化ガスを加圧部より上流側に戻すよう構成し、該被回収容器内の内圧が略大気圧（約０ＭＰａ・Ｇ）になるまで行ない、その後、ガス供給部より被回収容器内に一定圧のガスを供給し、ＳＦ６ガスと混合し、圧力を高め前記加圧冷却による液化回収を継続し、被回収ガス中のＳＦ6ガス濃度が一定値以下になると被回収ガスを ガス分離部に送入し、ＳＦ６ガスと混合ガスとを分離し、混合ガスを大気中に排出し、ＳＦ６ガスを加圧部にて加圧した後、液化部にて冷却液化するようにしたものである。
【００１８】
【実施例】
図１に好ましい１実施例のＳＦ６ガス回収装置のフローシートを示す。
トランスや遮断器である被回収容器１の中に充填されているＳＦ６ガスを回収するものである。回収装置の構成はガス分離部３，ガス供給部７，加圧部２，液化部４及び液化したＳＦ６ガスを貯蔵する貯液器５より成っている。
被回収容器１には通常０．３ＭＰａ・Ｇから０．６ＭＰａ・Ｇの圧力でＳＦ６ガスが封入されている。その濃度は１００ｖｏｌ％から、窒素ガスでうすめられても５０ｖｏｌ％以上の濃度で封入されている。そしてＳＦ６ガスは臨界温度４５．６４℃，臨界圧力３．７５ＭＰａ・Ｇ，臨界モル容積２０１ｍＬ／ｍｏｌ，融点−５０．８℃，昇華点−６３．８℃である。
【００１９】
ＳＦ６ガスの蒸気圧は例えば０℃で１．２２ＭＰａ・Ｇであるので被回収ガスを抜き出して加圧部２で２．４４ＭＰａ・Ｇに加圧し、冷却部４で０℃以下に冷却すれば５０ｖｏｌ％以上のＳＦ６ガスは液化回収することができる。
このため被回収容器１より加圧部２に被回収ガスを導入し、バッファタンク２８と加圧ポンプ３０と定圧弁２９による戻し回路で構成する加圧部２により２．４４ＭＰａ・Ｇに加圧し、これを冷却部３１，液化タンク３２と電磁弁３３，３４で構成する液化部４で２０℃以下に冷却し、ＳＦ６を液化回収する。液化ＳＦ６は貯液器５に貯える。
【００２０】
被回収ガスのＳＦ６濃度が５０ｖｏｌ％以上のときは被回収容器内の内圧が０ＭＰａ・Ｇになると、ガス供給部７よりガスを送入口３６より送入し、ＳＦ６ガスと混合し、取出口３５より取り出し、加圧部２で加圧し、液化部で冷却する方法を継続し、ＳＦ６ガスを液化回収する。液化タンク３２内には非液化ガス（窒素ガス）が残るのでこのガスは加圧部より上流側に戻す（図示は省略している）ようにする。そして被回収ガス中のＳＦ６ガスの濃度が５０ｖｏｌ％以下になると前記圧力と温度では液化回収が出来なくなるので、ガス分離部３に電磁弁１０を閉じ９を開いて被回収ガスを導入し、ＳＦ６ガスを分離する。すなわちＳＦ６ガス以外の窒素ガス他を吸着する吸着剤を充填した吸着筒１９，２０と電磁弁１８，２１〜２７と真空ポンプ１５で構成されるガス分離部３の一方の吸着筒１９に電磁弁２１を開いて導入すると、吸着筒１９内の吸着剤に被回収ガス中のＳＦ６以外のガスが吸着されて除去されるのでＳＦ６ガスが濃縮されて吸着筒の他端出口より電磁弁２５，２７を通って導出する、これを吸着工程という。
【００２１】
この導出したガスは加圧部２のバッファタンク２８に貯留され、次に加圧される。吸着筒１９の吸着剤に窒素ガス等が吸着し、満杯になる少し前に電磁弁９と２７を閉とし、被回収ガスの導入とＳＦ６ガスの導出を中止し、再生工程の終了している吸着筒２０の入口の電磁弁２１と２３，出口の電磁弁２５，２６を開とし、吸着工程の終了した吸着筒１９から再生工程の終了している吸着筒２０に、吸着筒１９内や入口・出口導管内に残留するＳＦ６ガスを吸着筒２０に移動させる均圧工程を行った後、吸着筒１９の電磁弁２１と２５を閉とし、電磁弁２２と１８を開にして大気に開放し吸着筒１９の圧力を大気圧まで減圧すると、吸着剤に吸着している窒素ガス等が離脱して、大気中に排出される。続いて電磁弁１８を閉として、真空ポンプ１５により真空域まで引いて吸着剤の再生を十分に行う。（再生工程）
【００２２】
吸着筒２０は電磁弁９と２７を開にして、被回収ガスを電磁弁９，２３から導入し、濃縮したガスを電磁弁２６，２７よりバッファタンク２８に導入し、加圧ポンプ３０により加圧し、前と同じ方法により液化分離する。ガス供給部７は、窒素ボンベ１３と調圧弁１４で構成し、窒素ガスを被回収容器に導入して混合する場合にはＳＦ６ガスと窒素ガスとを分離するのでガス分離部３で使用する吸着剤はゼオライトで良く、他にも窒素ガスを吸着するものであれば使用可能で、ゼオライトは１３Ｘタイプ，５Ａタイプがあり、５Ａタイプをこの実施例で使用している。
【００２３】
また吸着筒の被回収ガスの入口（上流）側にゼオライトと出口（下流）側に分子篩炭（ＣＭＳ・・Ｃａｒｂｏｎ，Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ，Ｓｅａｖｅｓ）を充填し、窒素ガスと酸素ガスを吸着除去できるようにすると窒素ガスを用いるガス供給部７に代えて空気を用いた圧縮空気発生部６を用いることができる。これはコンプレッサー１２と空気乾燥器により構成し、乾燥した空気を調節された圧力で被回収容器１に送入し、ＳＦ６ガスと混合した後、前記窒素ガスを用いた方法と同じ原理でＳＦ６ガスを分離回収できるのでどこにでもある空気を用いて行うことが出来る。
【００２４】
そして混合ガス中のＳＦ６ガスの濃度が大気圧換算で、純ＳＦ６ガスの０．０１５ＭＰａ・ａｂｓ相当の約５％になった時、尚ＰＳＡガス分離部に導入する圧力分だけ高圧であるときは、その圧力相当分の１を乗じた濃度まで下げてやる必要がある。
また被回収容器１とガス分離部への導入口の間にガス分離に必要な圧力に昇圧するコンプレッサーを設置することも出来る。この場合は被回収容器１内の圧力は大気圧とすることが出来るので約５％まで達すると終了することが出来る。
【００２５】
図２に別の好ましい１実施例のＳＦ６ガス回収装置のフローシートを示す。
このＳＦ６ガス回収装置の構成は、ガス分離部３，ガス供給部７，加圧部２，液化部４及び液化したＳＦ６ガスを貯蔵する貯液器５より成り立っており、第１の実施例と同一構成であるが、ガス分離部３がＳＦ６ガスを吸着する分子篩炭を吸着剤として吸着筒１９，２０に充填してある。
ここの動作以外は実施例１と同じであるのでこのガス分離部分を中心に説明する。被回収ガス中のＳＦ６ガスの濃度が下がってくると、ガス分離部の電磁弁１０を閉じ、同９を開いて被回収ガスを導入し、ＳＦ６ガスを分離する。すなわちＳＦ６ガスを吸着する吸着剤を充填した吸着筒１９，２０と電磁弁１２，２１〜２７と真空ポンプ１５で構成されるガス分離部３の一方の吸着筒１９に電磁弁２１を開いて導入すると、吸着筒１９内の吸着剤に被回収ガス中のＳＦ６ガスが吸着されて除去される吸着筒の他端出口より電磁弁２５，２７を通って非吸着ガスである混合ガス（ＳＦ６ガスを含まないガス）が導出される。これを吸着工程という。
【００２６】
吸着筒１９の吸着剤にＳＦ６ガスが吸着し、満杯になる前に電磁弁９，２１と２５，２７を閉とし、再生工程の終了した吸着筒２０の電磁弁２３，２４，２６を閉とし、電磁弁３７を開とし、着筒１９と２０の均圧化を行い、吸着筒１９内の非吸着ガスを中心に吸着筒２０内に移す。
この工程は吸着工程の完了した吸着筒内のＳＦ６ガスの濃度を高める働きをする。
その後、次の工程を入れて更にＳＦ６ガスの濃度を高めることも出来る。
すなわち電磁弁１２，２１を開としてＳＦ６ガスで吸着筒１９内をパージして吸着筒１９内の混合ガスを吸着筒２０の方へ追い出す工程である。かかる均圧工程，パージ工程はＳＦ６ガスが液化可能濃度に達していれば全部又は一部を省くことが出来る。そしてこの後（このとき一部ＳＦ６ガスも移る）、電磁弁２１，１２，３７を閉とし、電磁弁２２，１１を開とし、真空ポンプ１５にて吸着筒内１９のＳＦ６ガスを導出してバッファタンク２８に送り、これを加圧部で昇圧する。吸着筒１９は十分に真空引きし、ＳＦ６ガスを回収するとともに吸着剤の再生を行う。吸着筒２０は電磁弁９，２３，２６，２７を開とし、被回収ガスを導入し、吸着筒１９と同様に吸着工程を行う。
以上、ガス分離部に使用する吸着剤にＳＦ６ガスを吸着する分子篩炭を用いるため、ＳＦ６ガスの回収を再生工程で行う以外は、実施例１と同じ動作である。
【００２７】
また、液化部４の冷却部３１及び液化タンク３２は温度を必要な値まで下げなければならない。通常は電気冷凍機を用いて冷却するが、前述の通り、被回収容器にガスを供給するので液体窒素４０を用いてその蒸発潜熱を蒸発器４１を用いて液化部の冷却熱源として用い、その蒸発した窒素ガスを窒素ガス取出口４３より被回収容器に導入し、前記ガス供給源とすることにより、効率化を図るようにすることが出来る。尚、液化部は気密にし、一定の圧力に耐えなければならない。
【００２８】
【発明の効果】
本発明を実施することにより、従来、回収困難あるいは不完全な回収又は高価な設置と長時間を要していたものが、比較的簡単な回収装置で、しかもほぼ完全に、かつ、比較的短時間にＳＦ６ガスを回収することができるという優れた作用効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の好適な一実施例のフローシートである。
【図２】  別の好ましい実施例のフローシートである。
【符号の説明】
１  被回収容器
２  加圧部
３  ガス分離部
４  液化部
５  貯液器
６  高圧空気供給部
７  ガス供給部
８，９，１０  電磁弁
１１  空気乾燥器
１２  コンプレッサー
１３  窒素ボンベ
１４  調圧弁
１５  真空ポンプ
１６  排気口１
１７  排気口２
１８  電磁弁
１９．２０  吸着筒
２１〜２７  電磁弁
２８  バッファタンク
２９  定圧弁
３０  加圧ポンプ
３１  冷却部
３２  液化タンク
３３，３４  電磁弁
３５  取出口
３６  送入口
４０  液体窒素タンク
４１  蒸発器
４２  液化部内窒素ガス出口
４３  液化部より窒素ガス取出口
４４  ガス取入口
【図１】
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【図２】
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