(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上基板を保持する上ステージと、下基板を保持する下ステージと、上ステージと下ステージが配置される密閉空間を区画形成する密閉容器と、密閉容器内の圧力を調整する圧力調整装置とを有し、圧力調整装置による密閉容器内の圧力の減圧下にて上基板と下基板とを接着剤を介して貼り合わせる基板貼り合わせ装置であって、
上ステージと下ステージとを少なくとも基板の面方向で相対移動させる移動装置を有し、
移動装置が、密閉容器とは独立に架台に支持される基板貼り合わせ装置。
【請求項２】
移動装置と上下のステージの少なくとも一方のステージとを結合部材により結合し、移動装置と密閉容器とを結合部材の周囲で可撓隔壁部材により連結し、密閉容器及び可撓隔壁部材が区画形成する密閉空間に上下のステージと結合部材とを配置する請求項１に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項３】
移動装置と上下のステージの少なくとも一方のステージとを結合部材により結合し、密閉容器と上記の少なくとも一方のステージとを結合部材の周囲で可撓隔壁部材により連結し、密閉容器及び可撓隔壁部材が区画形成する密閉空間に上下のステージを配置する請求項１に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項４】
移動装置と下ステージとを結合部材により結合し、さらに、上ステージに他の結合部材により結合されてなり上ステージを昇降させる昇降装置と、昇降装置と密閉容器とを結合部材の周囲で連結する他の可撓隔壁部材と、を有することを特徴とする請求項２または３に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項５】
密閉容器を上チャンバと下チャンバとを有して構成し、さらに、上チャンバを昇降させるチャンバ昇降シリンダを有することを特徴とする請求項４に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項６】
昇降可能な昇降フレームを有し、上記昇降装置およびチャンバ昇降シリンダは上記昇降フレームに支持されてなることを特徴とする請求項５に記載の基板貼り合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶表示パネル装置の製造等に用いて好適な基板貼り合わせ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示パネルの製造に用いられる基板貼り合わせ装置は、上ガラス基板を保持する上ステージと、下ガラス基板を保持する下ステージと、上ステージと下ステージを包囲する密閉容器と、密閉容器内の圧力を調整する圧力調整装置とを有し、圧力調整装置による密閉容器内の圧力の減圧下にて上ガラス基板と下ガラス基板を接着剤を介して貼り合わせ、上ガラス基板と下ガラス基板の間に液晶を封止可能とする。
【０００３】
上下のガラス基板は、良好な液晶表示精度を得るため、高精度に位置合わせする必要がある。従来技術では、上下のガラス基板の貼り合わせの前に、密閉容器により形成される密閉空間内の圧力の減圧下で、上ステージと下ステージを基板の面方向で相対移動させ、それらの位置合わせを行なっている。
【０００４】
上下のガラス基板の貼り合わせを密閉空間内の減圧下（真空中等）で行なうのは、貼り合わされる上下のガラス基板の間のシール材で囲まれる領域に封止される液晶中に空気が入ることを防止するためである。液晶表示パネルにおいて、空気が入った部分は表示できなくなる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来技術では、上下のガラス基板の位置合わせのために、密閉容器内の減圧下で上ステージと下ステージを相対移動させる移動装置（例えばＸＹテーブル）を、密閉容器の密閉空間を形成する部分に支持している。密閉容器の密閉空間を形成する部分は、減圧下で、大気圧との差圧の影響により撓みを生じることがあり、この場合、撓み部分に支持されている移動装置の駆動精度（例えばＸＹテーブルのＸ方向の角度ずれやＹ方向の角度ずれ）を損ない、ひいては上下のガラス基板の位置合わせ精度を低下させる。
【０００６】
本発明の課題は、基板貼り合わせ装置において、密閉容器の減圧下で上ステージと下ステージを相対移動させる移動装置の駆動精度を損なうことなく、上下の基板の位置合わせ精度を向上させることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、上基板を保持する上ステージと、下基板を保持する下ステージと、上ステージと下ステージが配置される密閉空間を区画形成する密閉容器と、密閉容器内の圧力を調整する圧力調整装置とを有し、圧力調整装置による密閉容器内の圧力の減圧下にて上基板と下基板とを接着剤を介して貼り合わせる基板貼り合わせ装置であって、上ステージと下ステージとを少なくとも基板の面方向で相対移動させる移動装置を有し、移動装置が、密閉容器とは独立に架台に支持されるようにしたものである。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１の発明において更に、移動装置と上下のステージの少なくとも一方のステージとを結合部材により結合し、移動装置と密閉容器とを結合部材の周囲で可撓隔壁部材により連結し、密閉容器及び可撓隔壁部材が区画形成する密閉空間に上下のステージと結合部材とを配置するようにしたものである。
【０００９】
請求項３の発明は、請求項１の発明において更に、移動装置と上下のステージの少なくとも一方のステージとを結合部材により結合し、密閉容器と上記の少なくとも一方のステージとを結合部材の周囲で可撓隔壁部材により連結し、密閉容器及び可撓隔壁部材が区画形成する密閉空間に上下のステージを配置するようにしたものである。
請求項４の発明は、請求項１の発明において更に、移動装置と下ステージとを結合部材により結合し、さらに、上ステージに他の結合部材により結合されてなり上ステージを昇降させる昇降装置と、昇降装置と密閉容器とを結合部材の周囲で連結する他の可撓隔壁部材と、を有するようにしたものである。
請求項５の発明は、請求項１の発明において更に、密閉容器を上チャンバと下チャンバとを有して構成し、さらに、上チャンバを昇降させるチャンバ昇降シリンダを有するようにしたものである。
請求項６の発明は、請求項１の発明において更に、昇降可能な昇降フレームを有し、上記昇降装置およびチャンバ昇降シリンダは上記昇降フレームに支持されてなるようにしたものである。
【００１０】
【作用】
請求項１の発明によれば下記▲１▼の作用がある。
▲１▼上下の基板の位置合わせのために、密閉容器内の減圧下で上ステージと下ステージを相対移動させる移動装置（例えばＸＹテーブル）を密閉容器には独立に架台に支持した。従って、密閉容器の密閉空間を形成する部分が、減圧下で、大気圧との差圧の影響により撓んでも、この撓みが移動装置の駆動精度（例えばＸＹテーブルのＸ方向の角度ずれやＹ方向の角度ずれ）に影響しない。これにより、移動装置の駆動精度を良好に維持し、上下の基板の位置合わせ精度を向上させることができる。
【００１１】
請求項２の発明によれば下記▲２▼の作用がある。
▲２▼移動装置と密閉容器とを結合部材の周囲で可撓隔壁部材により連結し、密閉容器及び可撓隔壁部材が区画形成する密閉空間に上下のステージと結合部材とを配置するようにした。従って、密閉空間の中で動く部材は、上下のステージと結合部材だけとなり、移動装置を含まない。これにより、密閉空間の中で発生する発塵を少なくできるし、密閉空間の容積を少なくして減圧のための排気時間を短くできる。また、移動装置等の構造物の表面に付着していたガス等の発散もなくし、排気時間を短くできる。
【００１２】
請求項３の発明によれば下記▲３▼の作用がある。
▲３▼密閉容器と少なくとも一方のステージとを結合部材の周囲で可撓隔壁部材により連結し、密閉容器及び可撓隔壁部材が区画形成する密閉空間に上下のステージを配置するようにした。従って、密閉空間の中で動く部材は、上下のステージだけとなり、移動装置と結合部材を含まない。これにより、密閉空間の中で発生する発塵をより少なくできるし、密閉空間の容積をより少なくして減圧のための排気時間をより短くできる。また、移動装置や結合部材等の構造物の表面に付着していたガス等の発散もなくし、排気時間をより短くできる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１は第１実施形態の基板貼り合わせ装置を示す模式図、図２は第２実施形態の基板貼り合わせ装置を示す模式図である。
【００１４】
（第１実施形態）（図１）
基板貼り合わせ装置１０は、上ガラス基板１と下ガラス基板２を接着剤（シール剤）を介して貼り合わせ、この上下の基板１、２の間で接着剤に囲まれる領域に液晶を封止したセル（液晶表示パネル）を製造するものである。
【００１５】
基板貼り合わせ装置１０は、架台１１に密閉容器２０と、昇降装置３０と、移動装置４０と、上ステージ５１と、下ステージ５２と、圧力調整装置６０とを有する。
【００１６】
密閉容器２０は、上下のチャンバ２１、２２を有する。架台１１の上部構造体１２には昇降シリンダ２３が固定され、昇降シリンダ２３に昇降フレーム２４を吊下げ支持し、昇降フレーム２４に上チャンバ２１をチャンバ昇降シリンダ２６を介して吊下げ支持している。架台１１の下部構造体１３の天板１３Ａに下チャンバ２２を固定している。密閉容器２０は、昇降シリンダ２３、２６により上チャンバ２１が下降されることにて上チャンバ２１が下チャンバ２２に対し閉じたとき、上チャンバ２１と下チャンバ２２の内部に下部構造体１３の天板１３Ａ及び後述する可撓隔壁部材３６、４４とともに密閉空間２５を区画形成し、上ステージ５１と下ステージ５２を包囲可能とする。密閉容器２０は、昇降シリンダ２３、２６により上チャンバ２１及び上ステージ５１が上昇されることにて上チャンバ２１及び上ステージ５１が下チャンバ２２及び下ステージ５２に対して開かれたとき、前工程から移送されてくる上ガラス基板１と下ガラス基板２を上チャンバ２１と下チャンバ２２の間に導入可能とし、それらのガラス基板１、２は上ステージ５１、下ステージ５２に保持可能とされる。
【００１７】
昇降装置３０は、上ステージ５１を昇降可能とする。昇降フレーム２４には昇降モータ３１が固定され、昇降モータ３１に結合されるボールねじ３２にはボールナット３３を介して昇降台３４が吊下げられ、昇降台３４には結合部材３５を介して上ステージ５１が支持される。昇降装置３０は、昇降モータ３１の正逆転により上ステージ５１を昇降させる。昇降台３４と上チャンバ２１は結合部材３５の周囲で可撓隔壁部材３６により連結され、密閉容器２０が昇降台３４の下面及び可撓隔壁部材３６とともに区画形成する密閉空間２５に上ステージ５１と結合部材３５を配置する。
【００１８】
移動装置４０は、下ステージ５２を上ステージ５１に対し、それらが保持する上ガラス基板１、下ガラス基板２の面方向で相対移動させる。架台１１の下部構造体１３において、天板１３Ａから下方に離隔する底板１３ＢにはＸＹテーブル４１が設置され、ＸＹテーブル４１の上にはθテーブル４２が設置され、θテーブル４２には結合部材４３を介して下ステージ５２が支持される。ＸＹテーブル４１はＸ方向駆動モータとＹ方向駆動モータによりＸ方向とＹ方向に移動し、θテーブル４２はθ駆動モータ４２Ａにより旋回移動する。移動装置４０は、ＸＹテーブル４１とθテーブル４２の作動により、下ステージ５２をＸ方向、Ｙ方向に移動するとともに、旋回移動する。θテーブル４２と下部構造体１３の天板１３Ａは結合部材４３の周囲で可撓隔壁部材４４により連結され、密閉容器２０が下部構造体１３の天板１３Ａ、θテーブル４２の上面及び可撓隔壁部材４４とともに区画形成する密閉空間２５に下ステージ５２と結合部材４３を配置する。尚、図１（Ｂ）に示すように下部構造体１３の天板１３Ａと結合部材４３との間に密閉容器２０内と外部とを区画するように可撓隔壁部材４４Ａを設けても良い。
【００１９】
上ステージ５１は上ガラス基板１を静電力にて保持する静電吸着板５１Ａを有する。また上ステージ５１には、真空源５３に接続された真空供給管５３Ａを上チャンバ２１に貫通配管し、この真空供給管５３Ａを上ステージ５１の静電吸着板５１Ａに設けた多数の吸着孔（不図示）に連通し、上ガラス基板１を真空吸着力で保持可能とする真空吸着装置が形成される。
【００２０】
下ステージ５２は下ガラス基板２を静電力にて保持する静電吸着板５２Ａを有する。また、下ステージ５２には、真空源５４に接続された真空供給管５４Ａを下チャンバ２２に貫通配管し、この真空供給管５４Ａを下ステージ５２の静電吸着板５２Ａに設けた多数の吸着孔（不図示）に連通し、下ガラス基板２を真空吸着力で保持可能とする真空吸着装置が形成される。
【００２１】
圧力調整装置６０は密閉容器２０が形成した密閉空間２５の圧力を調整する。真空源６１に接続された真空供給管６１Ａが架台１１の下部構造体１３の天板１３Ａ（又は下チャンバ２２）から密閉空間２５に連通され、密閉空間２５を減圧可能とする。空気源（又はＮ２源）６２に接続された空気供給管６２Ａが架台１１の下部構造体１３の天板１３Ａ（又は下チャンバ２２）から密閉空間２５に連通され、密閉空間２５を大気圧に昇圧可能とする。上チャンバ２１の密閉空間２５に臨む位置には圧力センサ６３が配置され、密閉空間２５の圧力を検出する。
【００２２】
基板貼り合わせ装置１０は検出装置を構成するカメラ７０を有する。カメラ７０は、天板１３Ａに設けたのぞき窓１３Ｃから下ステージ５２の貫通孔５２Ｃを通して上ステージ５１、下ステージ５２に保持されている上ガラス基板１、下ガラス基板２の各コーナー部に設けられている位置合わせマークを撮像し、同じく検出装置を構成する画像処理装置（不図示）により上ガラス基板１と下ガラス基板２の相対位置ずれ状態を検出する。尚、図示は省略したが、カメラ７０は基板１、２の各コーナー部に対応して１つずつ配置される。
【００２３】
基板貼り合わせ装置１０は制御装置（不図示）を有する。制御装置は、検出装置７０の検出結果に基づき、昇降装置３０、移動装置４０、上ステージ５１と下ステージ５２の静電吸着板５１Ａ、５２Ａ及び真空吸着装置、圧力調整装置６０を以下の基板貼り合わせ手順で制御し、上ガラス基板１と下ガラス基板２を貼り合わせる。
【００２４】
(1)密閉容器２０の昇降シリンダ２３により上チャンバ２１及び上ステージ５１を上昇させ、上チャンバ２１及び上ステージ５１を下チャンバ２２及び下ステージ５２から離隔させて、上ガラス基板１及びと下ガラス基板２をそれらのチャンバ２１、２２の間に順次導入する。下ガラス基板２は接着剤に囲まれる領域に予め液晶が供給されている。上ステージ５１の静電吸着板５１Ａにより上ガラス基板１を静電力で保持し、下ステージ５２の静電吸着板５２Ａにより下ガラス基板２を静電力で保持する。
【００２５】
このとき、上ステージ５１と下ステージ５２の真空吸着装置を作動させることにより上ガラス基板１と下ガラス基板２に対し真空吸着力を及ぼしても良い。但し、この真空吸着力は、下記(2)の密閉空間２５の減圧下では無効になる。
【００２６】
(2)密閉容器２０の昇降シリンダ２３、２６により上チャンバ２１を下チャンバ２２に対して閉じ、上ステージ５１と下ステージ５２を包囲する密閉空間２５を形成する。続いて、圧力調整装置６０の真空供給管６１Ａを開放し密閉空間２５内の雰囲気を真空状態に減圧する。このとき、上ステージ５１と下ステージ５２との間には、ＸＹ方向で相対移動が可能となるように所定の間隙が形成されている。
【００２７】
(3)検出装置により、上ステージ５１に保持されている上ガラス基板１と、下ステージ５２に保持されている下ガラス基板２の相対位置ずれ状態を検出し、これに基づいて、上ガラス基板１と下ガラス基板２を位置合わせする。この位置合わせは、移動装置４０のＸＹテーブル４１、θテーブル４２により行なう。
【００２８】
(4)昇降装置３０の昇降モータ３１により上ステージ５１を下降し、上述(2)の圧力調整装置６０による減圧下で上ガラス基板１と下ガラス基板２を接着剤を介して仮貼り合わせする。
【００２９】
(5)上ガラス基板１と下ガラス基板２の仮貼り合わせ後、圧力調整装置６０の真空供給管６１Ａを閉じ、空気供給管６２Ａを開放し密閉空間２５内の雰囲気を昇圧させる。圧力センサ６３の検出圧力が所定圧力に到達したら、上ステージ５１と下ステージ５２の静電吸着板５１Ａ、５２Ａによる静電力をオフし、真空吸着装置５１Ｂ、５２Ｂによる真空吸着力をオンし、上ガラス基板１と下ガラス基板２を真空吸着力で保持する。
【００３０】
このとき、上ステージ５１と下ステージ５２は、静電吸着板５１Ａ、５２Ａによる静電力をオンし続け、真空吸着装置５１Ｂ、５２Ｂによる真空吸着力を合わせオンし、上ガラス基板１と下ガラス基板２を静電吸着力と真空吸着力で保持しても良い。
【００３１】
(6)検出装置により、上ステージ５１、下ステージ５２に保持されて仮貼り合わせ状態にある上ガラス基板１と下ガラス基板２の相対位置ずれ状態を検出し、この検出結果に基づいて両ガラス基板１、２の相対位置ずれを修正する動作を実行する。この位置ずれ修正動作は、移動装置４０のＸＹテーブル４１、θテーブル４２により行なう。
【００３２】
このとき、上ガラス基板１と下ガラス基板２の仮貼り合わせの度に、相対位置ずれ状態があれば修正動作し、なければ修正動作しない。
【００３３】
但し、上ガラス基板１と下ガラス基板２の仮貼り合わせ後に検出された相対位置ずれ状態が許容値を超えたことを条件に修正動作を選択実行するものでも良い。
【００３４】
また、移動装置４０のＸＹテーブル４１、θテーブル４２による位置ずれ修正動作の実行は、密閉空間２５内にある両ガラス基板１、２の周囲雰囲気を前述(5)の如く所定の圧力まで昇圧させた状態で、両ガラス基板１、２のそれぞれを上ステージ５１と下ステージ５２のそれぞれに前述の如くの真空吸着力で保持して行なう。
【００３５】
このとき、上ガラス基板１と下ガラス基板２の位置合わせ動作は、両ガラス基板１、２の周囲雰囲気が大気圧に昇圧される過程で行なうことが好ましい。
【００３６】
(7)上ガラス基板１と下ガラス基板２の再位置合わせ後、圧力調整装置６０の空気供給管６２Ａにより密閉空間２５内の圧力が大気圧に昇圧されたことを圧力センサ６３により確認した後、上ステージ５１と下ステージ５２の吸着力をオフするとともに密閉容器２０の昇降シリンダ２３、２６及び昇圧モータ３１により上チャンバ２１及び上ステージ５１を上昇させ、上ガラス基板１と下ガラス基板２の貼り合わせによって製作されたセルを密閉容器２０の外に取出す。上ステージ５１と下ステージ５２の吸着力をオフする前に、ＵＶ光照射装置や加熱装置で上ガラス基板１と下ガラス基板２の接着剤を硬化させても良い。
【００３７】
しかるに、基板貼り合わせ装置１０にあっては、前述した如く、移動装置４０を架台１１の下部構造体１３において、天板１３Ａから下方に離隔する底板１３Ｂに設置し、天板１３Ａに下チャンバ２２を固定（本実施形態においては天板１３Ａの一部が下チャンバ２２の一部を構成）して構成される密閉容器２０とは独立になる状態で、移動装置４０を架台１１に支持した。
【００３８】
従って、本実施形態によれば以下の作用がある。
▲１▼上下のガラス基板１、２の位置合わせのために、密閉容器２０内の減圧下で上ステージ５１と下ステージ５２を相対移動させる移動装置４０（例えばＸＹテーブル４１）を密閉容器２０には独立に架台１１に支持した。従って、密閉容器２０の密閉空間２５を形成する部分が、減圧下で、大気圧との差圧の影響により撓んでも、この撓みが移動装置４０の駆動精度（例えばＸＹテーブル４１のＸ方向の角度ずれやＹ方向の角度ずれ）に影響しない。これにより、移動装置４０の駆動精度を良好に維持し、上下のガラス基板１、２の位置合わせ精度を向上させることができる。
【００３９】
▲２▼移動装置４０と密閉容器２０とを結合部材４３の周囲で可撓隔壁部材４４により連結し、密閉容器２０及び可撓隔壁部材４４が区画形成する密閉空間２５に上下のステージ５１、５２と結合部材４３とを配置するようにした。従って、密閉空間２５の中で動く部材は、上下のステージ５１、５２と結合部材４３だけとなり、移動装置４０を含まない。これにより、密閉空間２５の中で発生する発塵を少なくできるし、密閉空間２５の容積を少なくして減圧のための排気時間を短くできる。また、移動装置４０等の構造物を密閉容器２０内に配置した場合に比べ、密閉容器２０内に配置される構造物を少なくでき、構造物の表面に付着した油等の汚れから発散するガス等を低減させることができ、これによっても排気時間の短縮が可能である。
【００４０】
尚、上述の基板貼り合せ装置１０にあっては、密閉容器２０を上下に分割したチャンバ２１、２２にて構成し、上チャンバ２１を上ステージ５１とともに上下動させることで上下のチャンバ２１、２２間及び上下ステージ５１、５２間に上ガラス基板１及び下ガラス基板２を導入するためのスペースを形成するようにした。これにより、単一のチャンバからなる密閉容器内で上ステージを昇降動させる構成とし、上ガラス基板１及び下ガラス基板２を導入するときには、上ステージを上昇させかつ密閉容器に設けたガラス基板１、２導入用の開閉扉を開くようにしたものに比べて、密閉容器にて形成される密閉空間２５を小さくできる。
【００４１】
（第２実施形態）（図２）
第２実施形態が第１実施形態と異なる点は、密閉容器２０の下チャンパ２２が固定される下部構造体１３の天板１３Ａと下ステージ５２の裏面とを、移動装置４０と下ステージ５２を結合する結合部材４３の周囲で可撓隔壁部材９０により連結したことにある。密閉容器２０が下部構造体１３の天板１３Ａ及び可撓隔壁部材９０とともに区画形成する密閉空間２５に下ステージ５２を配置したものである。
【００４２】
本実施形態によれば、上記▲１▼の作用に加え下記を有する。すなわち密閉容器２０と一体の下部構造体１３の天板１３Ａと下ステージ５２とを結合部材４３の周囲で可撓隔壁部材９０により連結し、密閉容器２０が下部構造体１３の天板１３Ａ及び可撓隔壁部材９０とともに区画形成する密閉空間２５に下ステージ５２を配置するようにした。従って、密閉空間２５の中で動く部材は、下ステージ５２だけとなり、移動装置４０と結合部材４３を含まない。これにより、密閉空間２５の中で発生する発塵をより少なくできるし、密閉空間２０の容積をより少なくして減圧のための排気時間をより短くできる。また、移動装置４０等の構造物を密閉容器２０内に配置した場合に比べ、密閉容器２０内に配置される構造物を極力少なくでき、構造物の表面に付着した油等の汚れから発散するガス等を低減させることができ、これによっても排気時間の短縮が可能である。
【００４３】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、本発明が適用される基板は、ガラス基板に限らず、樹脂基板でも良い。
【００４４】
また、接着剤は、シール剤に限らず、シール性を有していない接着剤を用いることも可能である。
【００４５】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、基板貼り合わせ装置において、密閉容器の減圧下で上ステージと下ステージを相対移動させる移動装置の駆動精度を損なうことなく、上下の基板の位置合わせ精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は第１実施形態の基板貼り合わせ装置を示す模式図である。
【図２】図２は第２実施形態の基板貼り合わせ装置を示す模式図である。
【符号の説明】
１  上ガラス基板（上基板）
２  下ガラス基板（下基板）
１０  基板貼り合わせ装置
１１  架台
２０  密閉容器
２５  密閉空間
４０  移動装置
４３  結合部材
４４、９０  可撓隔壁部材
５１  上ステージ
５２  下ステージ
６０  圧力調整装置
【図１】
0004034978.tif 000002
【図２】
0004034978.tif 000003