(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
集電体の電位が実質的に負電位になるように前記集電体に電圧を印加した状態で、スパッタリング法を用いて、正イオンになる元素を含む雰囲気下で、前記集電体上に、Ｌｉ−Ｃｏ−Ｏ層を含む正極活物質層を形成する工程を備え、
前記集電体には、−５０Ｖ以上−１０Ｖ以下の負電位が印加される、リチウム二次電池用電極の製造方法。
【請求項２】
前記正イオンになる元素は、Ａｒを含む、請求項１に記載のリチウム二次電池用電極の製造方法。
【請求項３】
前記集電体は、Ａｌを含む、請求項１または２に記載のリチウム二次電池用電極。
【請求項４】
前記正極活物質層を形成した後、前記正極活物質を６５０℃以下の温度で熱処理する工程をさらに備える、請求項１〜３のいずれか１項に記載のリチウム二次電池用電極の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、リチウム二次電池用電極の製造方法に関し、より特定的には、集電体上に活物質層を形成するリチウム二次電池用電極の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、盛んに研究開発が行われているリチウム二次電池は、用いる電極によって、充放電特性、充放電サイクル特性および保存特性などの電池特性が大きく左右される。このため、電極に用いる活物質を改善することにより、電池特性の改善および向上が図られている。従来のリチウム二次電池の正極には、ＬｉＣｏＯ2が用いられている。従来のリチウム二次電池用正極であるＬｉＣｏＯ2は、導電性が十分でなく、かつ、集電体に接着させる必要がある。このため、従来では、ＬｉＣｏＯ2の粉体に導電材および結着材を加えたものを集電体上に塗布することによって、集電体上にＬｉＣｏＯ2を含む正極活物質層を形成していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来のリチウム二次電池の正極では、導電材や結着材などの充放電に寄与しない材料が正極に含まれるため、正極の重量あたりまたは体積あたりのエネルギ密度が低下してしまうという問題点があった。
【０００４】
そこで、本願発明者らは、特願２００２−００８１２０号において、スパッタリング法を用いて集電体上にＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層を形成する方法を提案している。このように、スパッタリング法を用いて集電体上にＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層を形成することにより、導電材・結着材を含まないエネルギ密度のより高いリチウム二次電池用正極を形成することが可能になった。また、スパッタリング法を用いて集電体上にＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層を形成することにより、ＬｉＣｏＯ2の粉体塗布による場合とほぼ同等の充放電サイクル特性を得ることができた。
【０００５】
その一方、従来では、充放電サイクル特性のさらなる向上が求められている。しかし、充放電サイクル特性をより向上するのは困難であった。
【０００６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、
この発明の１つの目的は、スパッタリング法を用いてＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層を含む正極活物質層を形成する場合に、充放電サイクル特性をより向上することが可能なリチウム二次電池用電極の製造方法を提供することである。
【０００７】
この発明のもう１つの目的は、上記のリチウム二次電池用電極の製造方法において、集電体と正極活物質層との密着性をより向上させることである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、この発明の一の局面によるリチウム二次電池用電極の製造方法は、集電体の電位が実質的に負電位になるように集電体に電圧を印加した状態で、スパッタリング法を用いて、正イオンになる元素を含む雰囲気下で、集電体上に、Ｌｉ−Ｃｏ−Ｏ層を含む正極活物質層を形成する工程を備え、集電体には、−５０Ｖ以上−１０Ｖ以下の負電位が印加される。
【０００９】
この一の局面によるリチウム二次電池用電極の製造方法では、上記のように、集電体の電位が実質的に負電位になるように集電体に電圧を印加した状態で、スパッタリング法を用いて、正イオンになる元素を含む雰囲気下で、集電体上に、Ｌｉ−Ｃｏ−Ｏ層を含む正極活物質層を形成することによって、スパッタ時に正イオンになる元素が、通常より負電位に帯電した集電体に強く引き寄せられるので、この正イオンになる元素を、スパッタリングにより形成されるＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層に強く衝突させることができる。このように、正イオンになる元素が衝突することにより、通常のスパッタリングよりも多くのエネルギが加えられた状態でＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層からなる正極活物質層が形成されるので、スパッタ時に集電体に負電位を印加しないで形成された従来のＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層と異なる結晶性（結晶状態）を有するＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層を形成することができる。本願発明者らは、この従来と異なる結晶性（結晶状態）を有するＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層からなる正極活物質層を含む電極が、優れた充放電サイクル特性を有することを見出した。また、スパッタ時に正イオンになる元素が集電体の表面にも強く衝突するので、集電体の表面温度が上昇する。これにより、集電体材料の正極活物質層への拡散が促進されると考えられるので、正極活物質層と集電体材料との密着性をより向上させることができると考えられる。これによっても、充放電サイクル特性を向上させることができると考えられる。
【００１０】
上記一の局面によるリチウム二次電池用電極の製造方法において、好ましくは、正イオンになる元素は、Ａｒを含む。Ａｒを含む雰囲気を用いて集電体に負電位を印加すれば、充放電サイクル特性を向上することができることが実験により確認されているので、Ａｒを用いれば、確実に充放電サイクル特性を向上させることができる。
【００１２】
上記のリチウム二次電池用電極の製造方法において、好ましくは、集電体は、Ａｌを含む。このように集電体として、安価で、かつ、電解液中に溶出しにくいＡｌを用いれば、良好な電池特性を得ることができるとともに、製造コストを低減することができる。
【００１３】
上記のリチウム二次電池用電極の製造方法において、好ましくは、正極活物質層を形成した後、正極活物質を６５０℃以下の温度で熱処理する工程をさらに備える。このように、正極活物質をＡｌの融点（６６０．５℃）よりも低い６５０℃以下の温度で熱処理することによって、正極活物質の結晶性を向上させることができるとともに、集電体として、安価で、かつ、電解液中に溶出しにくいＡｌを用いることができる。
【００１４】
【実施例】
まず、本発明のリチウム二次電池用電極の製造方法の実施例を説明する前に、実施例で用いたスパッタ装置について説明する。図１は、本発明の実施例で用いたスパッタ装置の全体構成を示した概略図である。このスパッタ装置１は、図１に示すように、チャンバ２と、平板３と、カソード４と、バッキングプレート５とを備えている。カソード４には、ＲＦ電源６が接続されている。カソード４上に固定されたバッキングプレート５は、平板３と対向するように配置されている。バッキングプレート５上には、ターゲット９が固定される。平板３上には、試料となる集電体８が固定される。また、平板３には、スパッタ時に平板３を介して集電体８に負電位を印加するためのＲＦ電源７が接続されている。
【００１５】
上記したスパッタ装置１を用いて、以下の実施例１〜３による電極ａ１〜ａ３および比較例１による電極ｂ１を作製した。
【００１６】
（実施例１）
まず、実施例１の電極ａ１の集電体８として、２０μｍの厚みを有する圧延Ａｌ箔を準備した。そして、以下の表１に示す成膜条件でスパッタリングを行うことによって、集電体８上に、Ｌｉ−Ｃｏ−Ｏ層からなる正極活物質層を形成した。
【００１７】
【表１】
0004145061.tif 000002
具体的な作製プロセスとしては、図１に示したスパッタ装置１のバッキングプレート５上に、ＬｉＣｏＯ2からなる円形状（直径；１０．１６ｃｍ（４インチ），厚み；５ｍｍ）のターゲット９を固定するとともに、平板３に、上記した圧延Ａｌ箔からなる集電体８を固定した。この状態で、上記表１に示した条件下で、集電体８の表面上に、Ｌｉ−Ｃｏ−Ｏ層からなる正極活物質層を形成した。すなわち、ＲＦ電源７により、平板３を介して−５０Ｖ（ＲＦ電源７による印加電圧の平均値が−５０Ｖ）の負電位を集電体８に印加した状態で、ＲＦ電源６のＲＦ電力；３５０Ｗ（電力密度４．３２Ｗ／ｃｍ2）、チャンバ２内のＡｒガス流量；１００ｓｃｃｍ、ガス圧；０．１０Ｐａ、基板（集電体８）の温度；室温の条件下でスパッタリングを行った。これにより、集電体８上に、０．５μｍの厚みを有するＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層からなる正極活物質層を形成した。なお、実施例１では、正極活物質層形成前の基板（集電体８）の前処理は行わなかった。
【００１８】
次に、正極活物質層と集電体８とに対して、６００℃の大気中で２時間のアニール処理（熱処理）を行った。
【００１９】
最後に、上記のように形成した正極活物質層と集電体８とを、２ｃｍ×２ｃｍの大きさに切断することによって、実施例１の電極ａ１を作製した。
【００２０】
（実施例２）
実施例２の電極ａ２の集電体８として、実施例１と同様、約２０μｍの厚みを有する圧延Ａｌ箔を準備した。そして、以下の表２に示す成膜条件でスパッタリングを行うことによって、集電体８上に、Ｌｉ−Ｃｏ−Ｏ層からなる正極活物質層を形成した。なお、この実施例２では、実施例１と異なり、スパッタ時に、−１０Ｖの負電位を集電体８に印加した。
【００２１】
【表２】
0004145061.tif 000003
具体的な作製プロセスとしては、図１に示したスパッタ装置１のバッキングプレート５上に、ＬｉＣｏＯ2からなる円形状（直径；１０．１６ｃｍ，厚み；５ｍｍ）のターゲット９を固定するとともに、平板３上に、上記した圧延Ａｌ箔からなる集電体８を固定した。この状態で、上記表２に示した条件下で、集電体８の表面上に、Ｌｉ−Ｃｏ−Ｏ層からなる正極活物質層を形成した。すなわち、ＲＦ電源７により平板３を介して−１０Ｖ（ＲＦ電源７による印加電圧の平均値が−１０Ｖ）の負電位を集電体８に印加した状態で、ＲＦ電源６のＲＦ電力；３５０Ｗ（電力密度４．３２Ｗ／ｃｍ2）、チャンバ２内のＡｒガス流量；１００ｓｃｃｍ、ガス圧；０．１０Ｐａ、基板（集電体８）の温度；室温の条件下でスパッタリングを行った。これにより、集電体８上に、２．３μｍの厚みを有するＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層からなる正極活物質層を形成した。なお、実施例２では、正極活物質層形成前の基板（集電体８）の前処理は行わなかった。
【００２２】
次に、正極活物質層と集電体８とに対して、６００℃の大気中で２時間のアニール処理（熱処理）を行った。
【００２３】
最後に、上記のように形成した正極活物質層と集電体８とを２ｃｍ×２ｃｍの大きさに切断することによって、実施例２の電極ａ２を作製した。
【００２４】
（参考例３）
参考例３の電極ａ３の集電体８として、実施例１と同様、約２０μｍの厚みを有する圧延Ａｌ箔を準備した。そして、以下の表３に示す成膜条件で、スパッタリングを行った。なお、この参考例３では、スパッタ時に、−２００Ｖの負電位を集電体８に印加した。
【００２５】
【表３】
0004145061.tif 000004
具体的な作製プロセスとしては、図１に示したスパッタ装置１のバッキングプレート５上に、ＬｉＣｏＯ２からなる円形状（直径；１０．１６ｃｍ，厚み；５ｍｍ）のターゲット９を固定するとともに、平板３上に、上記した圧延Ａｌ箔からなる集電体８を固定した。この状態で、上記表３に示した条件下で、スパッタリングを行った。すなわち、ＲＦ電源７により平板３を介して−２００Ｖの負電位（ＲＦ電源７による印加電圧の平均値が−２００Ｖ）を集電体８に印加した状態で、ＲＦ電源６のＲＦ電力；３５０Ｗ（電力密度４．３２Ｗ／ｃｍ２）、チャンバ２内のＡｒガス流量；１００ｓｃｃｍ、ガス圧；０．１０Ｐａ、基板（集電体８）の温度；室温の条件下でスパッタリングを行った。この場合、集電体８上に、Ｌｉ−Ｃｏ−Ｏ層からなる正極活物質層は形成されなかった。なお、参考例３では、正極活物質層形成前の基板（集電体８）の前処理は行わなかった。また、参考例３では、正極活物質層が形成されなかったので、スパッタリング工程以降の電極作製プロセスは行わなかった。このため、後述する電池の作製および評価試験も行っていない。
【００２６】
（比較例１）
まず、比較例１の電極ｂ１の集電体８として、実施例１と同様、約２０μｍの厚みを有する圧延Ａｌ箔を準備した。そして、以下の表４に示す成膜条件でスパッタリングを行うことによって、集電体８上に、Ｌｉ−Ｃｏ−Ｏ層からなる正極活物質層を形成した。なお、比較例１では、実施例１、実施例２および参考例３と異なり、スパッタ時に負電位を集電体８に印加していない。比較例１のその他の作製プロセスは、実施例１と同様である。
【００２７】
【表４】
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具体的な作製プロセスとしては、図１に示したスパッタ装置１のバッキングプレート５上に、ＬｉＣｏＯ2からなる円形状（直径；１０．１６ｃｍ，厚み；５ｍｍ）のターゲット９を固定するとともに、平板３上に、上記した圧延Ａｌ箔からなる集電体８を固定した。この状態で、上記表４に示した条件下で、集電体８の表面上に、Ｌｉ−Ｃｏ−Ｏ層からなる正極活物質層を形成した。すなわち、ＲＦ電源６のＲＦ電力；３５０Ｗ（電力密度４．３２Ｗ／ｃｍ2）、チャンバ２内のＡｒガス流量；１００ｓｃｃｍ、ガス圧；０．１０Ｐａ、基板（集電体８）の温度；室温の条件下でスパッタリングを行った。これにより、集電体８上に、０．５μｍの厚みを有するＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層からなる正極活物質層を形成した。なお、比較例１では、正極活物質層形成前の基板（集電体８）の前処理は行わなかった。
【００２８】
次に、正極活物質層と集電体８とに対して、６００℃の大気中で２時間のアニール処理を行った。
【００２９】
最後に、上記のように形成した正極活物質層と集電体８とを、２ｃｍ×２ｃｍの大きさに切断することによって、比較例１の電極ｂ１を作製した。
【００３０】
［電池（三極式セル）の作製］
上記した実施例１および２による電極ａ１およびａ２と、比較例１による電極ｂ１とを用いて電池（三極式セル）を作製した。図２は、本発明の実施例１および２による電極ａ１およびａ２と、比較例１による電極ｂ１との充放電サイクル特性を評価するために作製した電池（三極式セル）の全体構成を示した概略図である。電池（三極式セル）１０は、ビーカーセル１１と、電解液１２と、対極（負極）１３と、作用極（正極）１４と、参照極１５とから構成されている。電解液１２は、エチレンカーボネートとジエチルカーボネートとの等体積混合溶媒にＬｉＰＦ6を１モル／リットル溶解することによって作製した。対極（負極）１３および参照極１５にはリチウム金属からなる電極を使用した。また、作用極（正極）１４には、上記実施例１、２および比較例１で作製した電極（正極）ａ１、ａ２および電極ｂ１をそれぞれ使用した。
【００３１】
［充放電サイクル特性評価試験］
上記した電池（三極式セル）１０を用いて、実施例１および２による電極ａ１およびａ２と、比較例１による電極ｂ１との充放電サイクル特性評価試験を行った。具体的な実験方法は次の通りである。まず、２５℃の温度条件下で、０．１ｍＡの定電流充電によって、参照極１５を基準電位とする作用極１４の電位が４．２Ｖになるまで充電した。その後、０．１ｍＡの定電流放電によって、参照極１５を基準電位とする作用極１４の電位が２．５Ｖになるまで放電を行った。これを１サイクルとして、１０サイクル目（電極ｂ１では７サイクル目）までの充放電サイクル特性評価試験を行った。これにより、１０サイクル目（電極ｂ１では７サイクル目）までの放電容量と充放電効率とを測定した。また、この測定結果を用いて、１０サイクル目（電極ｂ１では７サイクル目）の容量維持率を算出した。なお、１サイクル目の充放電効率、１０サイクル目の充放電効率、および、ｎサイクル目（１≦ｎ≦１０）の容量維持率はそれぞれ以下の式で定義される。
【００３２】
１サイクル目の充放電効率（％）＝〔１サイクル目の放電容量（ｍＡｈ／ｇ）〕／〔１サイクル目の充電容量（ｍＡｈ／ｇ）〕×１００
１０サイクル目の充放電効率（％）＝〔１０サイクル目の放電容量（ｍＡｈ／ｇ）〕／〔１０サイクル目の充電容量（ｍＡｈ／ｇ）〕×１００
ｎサイクル目の容量維持率（％）＝〔ｎサイクル目の放電容量（ｍＡｈ／ｇ）〕／〔１サイクル目の放電容量（ｍＡｈ／ｇ）〕×１００（１≦ｎ≦１０）
このようにして測定された実験結果を以下の表５に示す。なお、比較例１による電極ｂ１では、容量維持率が７サイクル目に大きく低下したので、７サイクル目で実験を中断した。このため、比較例１による電極ｂ１に関しては、７サイクル目の実験結果を１０サイクル目の実験結果の欄に記入している。
【００３３】
【表５】
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上記表５を参照して、本発明の実施例１および実施例２による電極ａ１および電極ａ２の１０サイクル目の放電容量、充放電効率および容量維持率は、従来の比較例１による電極ｂ１の７サイクル目の放電容量、充放電効率および容量維持率よりも大きいことがわかった。具体的には、従来の比較例１による電極ｂ１では、７サイクル目の放電容量が８６ｍＡｈ／ｇ、７サイクル目の充放電効率が５６．０％にまで低下したのに対し、本発明の実施例１および実施例２による電極ａ１および電極ａ２では、１０サイクル目の放電容量が約１３０ｍＡｈ／ｇ、１０サイクル目の充放電効率がほぼ１００％となった。また、容量維持率に関しても、従来の比較例１による電極ｂ１では、７サイクル目の容量維持率が５２．４％にまで低下したのに対し、本発明の実施例１による電極ａ１では、１０サイクル目の容量維持率が７６．０％となり、実施例２による電極ａ２では、１０サイクル目の容量維持率が８４．６％となった。
【００３４】
また、上記した充放電サイクル特性評価試験結果を用いて、実施例１および２による電極ａ１およびａ２と、比較例１による電極ｂ１との１０サイクル目までの容量維持率（電極ｂ１については７サイクル目まで）を算出した。図３は、実施例１および２による電極ａ１およびａ２と、比較例１による電極ｂ１との１０サイクル目までの容量維持率（電極ｂ１については７サイクル目まで）の変化を示した特性図である。図３を参照して、従来の比較例１による電極ｂ１では、６サイクル目から７サイクル目で容量維持率は大きく低下したのに対し、本発明の実施例１による電極ａ１および実施例２による電極ａ２では、１０サイクル目でも容量維持率は大きく低下しなかった。
【００３５】
［Ｘ線回折法による組成分析］
実施例１による電極ａ１および比較例１による電極ｂ１の正極活物質層を、ＣｕＫα線を用いたＸ線回折法により評価した。図４は、本発明の実施例１による電極ａ１の正極活物質層のＸ線回折法による測定結果を示した特性図である。図５は、従来の比較例１による電極ｂ１の正極活物質層のＸ線回折法による測定結果を示した特性図である。
【００３６】
図４および図５を参照して、従来の比較例１による電極ｂ１では、２θ＝６５．９°付近に、正極活物質層のＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層のものと思われる明瞭なピークが検出された。これに対して、本発明の実施例１による電極ａ１では、２θ＝６５．９°付近のピークは検出されなかった。これにより、本発明の実施例１による電極ａ１のＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層からなる正極活物質層は、従来の比較例１による電極ｂ１のＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層からなる正極活物質層とは異なる結晶性（結晶状態）を有していることが判明した。これは、以下の理由によるものと考えられる。すなわち、実施例１による電極ａ１では、集電体８に−５０Ｖの電圧を印加した状態で、スパッタリングを行うことによって、図１に示したように、スパッタ時に正イオンになるＡｒ元素が、通常より負電位に帯電した集電体８に強く引き寄せられる。これにより、Ａｒ元素が、スパッタリングにより形成されるＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層に衝突するので、通常のスパッタ時よりも多くのエネルギが加えられた状態でＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層からなる正極活物質層が形成される。その結果、実施例１によるＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層からなる正極活物質層は、従来の比較例１による電極ｂ１の正極活物質層に比べて、より安定な結晶状態になっていると考えられる。
【００３７】
また、実施例１および実施例２では、上記したように、スパッタ時に正イオンになるＡｒ元素が集電体８の表面にも強く衝突するので、集電体８の表面温度が上昇する。これにより、集電体８の表面付近の材料の正極活物質層への拡散が促進されると考えられるので、正極活物質層と集電体８との密着性をより向上させることができると考えられる。これによっても、充放電サイクル特性を向上させることができると考えられる。
【００３８】
また、実施例１および実施例２では、上記したように、６５０℃以下（６００℃）の熱処理により、電極ａ１および電極ａ２の充放電サイクル特性を向上させることができるので、集電体８として、安価で、かつ、電解液中に溶出しにくいＡｌ（融点：６６０．５℃）を用いることができる。これにより、良好な電池特性を有するリチウム二次電池用電極を得ることができるとともに、製造コストを低減することができる。
【００３９】
なお、参考例３では、上記したように、正極活物質層を形成することができなかった。これは、集電体８に大きな負の電圧（−２００Ｖ）を加えたことによって、スパッタ時に正イオンになるＡｒ元素が、集電体８上のＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層に激しく衝突したため、集電体８上のＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層がスパッタされる逆スパッタ現象が起こったためであると考えられる。本願発明者らの検討によると、スパッタ時に集電体８に印加される負電位は−１００Ｖ以上−１０Ｖ以下の範囲内であるのが好ましいと考えられる。
【００４０】
なお、今回開示された実施例は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施例の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００４１】
たとえば、上記実施例では、スパッタ時に正イオンになる元素としてＡｒガスを用いたが、本発明はこれに限らず、他の元素からなるガスを用いてもよい。たとえば、Ｈｅ、ＮｅまたはＫｒなどの他の希ガス元素からなるガスを用いてもよい。さらに、希ガス以外のスパッタ時に正イオンになる元素を用いてもよい。
【００４２】
また、上記実施例では、スパッタ時の集電体８に、ＲＦ電源７を用いて集電体８に負電位を印加したが、本発明はこれに限らず、ＲＦ電源以外の電源を用いて負電位を印加してもよい。たとえば、ＤＣパルス電源を用いてもよい。
【００４３】
また、上記実施例では、Ａｌからなる集電体８を用いたが、本発明はこれに限らず、他の材料からなる集電体８を用いてもよい。たとえば、Ａｌ合金からなる集電体８を用いてもよい。
【００４４】
また、上記実施例では、集電体８に正極活物質を形成した後、６００℃の大気中でアニール処理（熱処理）を行ったが、本発明はこれに限らず、アニール温度は集電体８として用いたＡｌの融点（６６０．５℃）以下の温度であればよい。なお、アニール処理による効果を得るためには、４００℃以上の温度で行うのが好ましい。また、大気以外の雰囲気中でアニール処理を行っても同様の効果を得ることができる。たとえば、真空中または酸素雰囲気中で行ってもよい。
【００４５】
なお、上記実施例では、集電体８上にスパッタリングにより正極活物質層を形成したが、スパッタ時にイオンビームなどを集電体８に照射することによって、正極活物質層の結晶構造を乱すようにしてもよい。
【００４６】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、スパッタリング法を用いてＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層を含む正極活物質層を形成する場合に、充放電サイクル特性をより向上することが可能なリチウム二次電池用電極の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例で用いたスパッタ装置の全体構成を示した概略図である。
【図２】本発明の実施例１および２による電極ａ１およびａ２と、比較例１による電極ｂ１との充放電サイクル特性を評価するために作製した電池（三極式セル）の全体構成を示した概略図である。
【図３】実施例１および２による電極ａ１およびａ２と、比較例１による電極ｂ１との１０サイクル目までの容量維持率（電極ｂ１については７サイクル目まで）の変化を示した特性図である。
【図４】本発明の実施例１による電極ａ１の正極活物質層のＸ線回折法による測定結果を示した特性図である。
【図５】従来の比較例１による電極ｂ１の正極活物質層のＸ線回折法による測定結果を示した特性図である。
【符号の説明】
７  ＲＦ電源
８  集電体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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