(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ部材が貼り付けられた離型紙を送り出す送り装置と、前記送り装置にて搬送される前記離型紙に貼り付けられた前記テープ部材を前記離型紙を残して切断する切断装置と、
前記切断装置にて切断された前記テープ部材が貼着される基板を前記テープ部材の貼着位置へ位置付ける基板ステージと、
前記貼着位置に位置付けられた前記基板に対して切断された前記テープ部材を圧着する圧着ツールと、
前記切断装置にて切断された前記テープ部材のうち、不要なテープ部材を前記離型紙から剥離するテープ剥離装置と、を有するテープ部材貼着装置において、前記テープ剥離装置に対し前記離型紙を挟んで対向して配置され、前記離型紙に対して進退自在に設けられ、前記不要なテープ部材を前記テープ剥離装置に向けて押し出す押し出し部材と、
前記押し出し部材を進退動させる駆動部と、を有することを特徴とするテープ部材貼着装置。
【請求項２】
前記押し出し部材における前記離型紙との接触面には、前記離型紙を吸着する吸着孔を設けたことを特徴とする請求項１記載のテープ部材貼着装置。
【請求項３】
前記テープ剥離装置は、粘着性を有するテープを前記テープ部材に押し付けるローラ部材を有することを特徴とする請求項１または２記載のテープ部材貼着装置。
【請求項４】
前記ローラ部材は、前記押し出し部材における前記離型紙との接触面に沿って移動自在に設けられたことを特徴とする請求項３記載のテープ部材貼着装置。
【請求項５】
テープ部材が貼り付けられた離型紙を送り出す送り装置と、前記送り装置にて搬送される前記離型紙に貼り付けられた前記テープ部材を前記離型紙を残して切断する切断装置と、
前記切断装置にて切断された前記テープ部材が貼着される基板を前記テープ部材の貼着位置へ位置付ける基板ステージと、
前記貼着位置に位置付けられた前記基板に対して切断された前記テープ部材を圧着する圧着ツールと、
前記切断装置にて切断された前記テープ部材のうち、不要なテープ部材を前記離型紙から剥離するテープ剥離装置と、を有するテープ部材貼着装置において、前記テープ剥離装置に対し前記離型紙を挟んで対向して配置され、前記テープ剥離装置の対向位置にて前記テープ部材を前記テープ剥離装置側に凸となるように屈曲させるガイド手段を設けたことを特徴とするテープ部材貼着装置。
【請求項６】
前記ガイド手段は、円弧状のガイド面を有することを特徴とする請求項５記載のテープ部材貼着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板上にテープ部材を貼着するテープ部材貼着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶デイスプレイパネル（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）に代表されるフラットパネルディスプレイ等の製造工程では、ガラス基板に対してフィルム状部材にて形成された電子部品を貼着するために、その両面に粘着性を有する異方性導電フィルム（Anisotropic  Conductive  Film、以下「ＡＣＦ」という）等のテープ部材が用いられている。
【０００３】
このＡＣＦは、ガラス基板、或いは電子部品に予め貼着されるのであるが、このＡＣＦの貼着工程では、ＡＣＦ貼着装置が用いられる。
【０００４】
図８に示すＡＣＦ貼着装置１においては、ＡＣＦ２は離型紙３に貼付された状態で供給リール４に巻回されており、ＡＣＦ２は矢印Ａ方向に沿って移動自在のチャック機構（送り装置）５にて引き出され、基板ステージ６にて貼着位置に位置付けられたガラス基板７上に位置決めされる。なお、ＡＣＦ２は、この送り途中において、切断装置８にて所定の寸法に切断される。ここで、切断装置８は、離型紙３を切断することなくＡＣＦ２のみを切断するように作動量が調整されている。
【０００５】
ＡＣＦ２がガラス基板７上に位置付けられると、圧着ツール９が下降して、離型紙３を介してＡＣＦ２をガラス基板７上に熱圧着する。このときガラス基板７は、下方からバックアップツール１０により支持される。
【０００６】
圧着ツール９が上昇した後、不図示の離型紙剥離機構にて、ガラス基板７上に貼着されたＡＣＦ２から離型紙３が剥離される。
【０００７】
この後、切断装置８にて所定寸法に切断された次に貼着されるＡＣＦ２がチャック機構５により引き出され、同時に、ＡＣＦ２から剥離された離型紙３は巻取りリール１１に巻き取られる。一方、基板ステージ６は、ガラス基板７における次にＡＣＦ２が貼着される部位が貼着位置となるようにガラス基板７を移動させる。
【０００８】
また、このようなＡＣＦ貼着装置１においては、今回の貼着対象となるＡＣＦ２をガラス基板７に圧着する際に、ＡＣＦ２の位置決め位置が矢印Ａ方向に位置ずれを生じた場合であっても、次に貼着予定のＡＣＦ２が圧着ツール９の下方に侵入して今回貼着対象のＡＣＦ２と一緒に圧着される不具合を防止するために、今回貼着対象のＡＣＦ２と次に貼着予定のＡＣＦ２との間に間隙を形成する作業を行なっている。
【０００９】
すなわち、ＡＣＦ貼着装置１は、ＡＣＦ剥離装置１２を有しており、このＡＣＦ剥離装置１２にて間隔を形成するためのＡＣＦ２（以下これを「不要なＡＣＦ」と称す）を離型紙３から剥離し除去する。
【００１０】
図９は、ＡＣＦ剥離装置１２を示す正面図である。
【００１１】
ＡＣＦ剥離装置１２は、エアシリンダ等の昇降装置１３にて上下動するベース部材１４に、粘着テープ１５を供給するための供給リール１６、粘着テープ１５を支持する剥離ヘッド１７、粘着テープ１５を巻き取る巻取りリール１８を備えてなり、供給リール１６から供給された粘着テープ１５は、ガイドローラ１９を介して剥離ヘッド１７に掛け回され、さらにガイドローラ２０を介して巻取りリール１８へと送られるように構成される。剥離ヘッド１７は、剥離する不要のＡＣＦ２の長さに対応する幅で形成されている。また、ＡＣＦ２を挟んで剥離ヘッド１７と対向する位置には、離型紙３を吸着保持する保持ブロック２１が配置される。
【００１２】
そして、不要なＡＣＦ２が、ＡＣＦ剥離装置１２による剥離位置に位置付けられるとエアシリンダ１３の作動によりベース部材１４が上昇し、図９に２点鎖線で示すごとくに、剥離ヘッド１７により粘着テープ１５を不要なＡＣＦ２に押し付け、その後、ベース部材１４を下降させることで、離型紙３からＡＣＦ２を剥離する。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ＡＣＦ２は切断装置８にて切断されてはいるものの、切断されたＡＣＦ２同士は切断後も近接して位置していることから、十分に分離されていないことがあり、このような場合には、上記したＡＣＦ剥離装置１２によりＡＣＦ２の剥離を試みたとしても、粘着テープ１５の粘着力ではＡＣＦ２を離型紙３から剥離することができずに取り残してしまうことがあった。また、不要なＡＣＦ２を取り残してしまった場合には、この取り残した不要なＡＣＦ２は貼着対象のＡＣＦ２に近接していることから、後の圧着ツール９によるガラス基板７への熱圧着時に、貼着対象のＡＣＦ２とともにガラス基板７に圧着されてしまう不具合を生じるおそれを有する。
【００１４】
本発明は、テープ部材を離型紙から良好に剥離することが可能なテープ部材貼着装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の本発明は、テープ部材が貼り付けられた離型紙を送り出す送り装置と、前記送り装置にて搬送される前記離型紙に貼り付けられた前記テープ部材を前記離型紙を残して切断する切断装置と、前記切断装置にて切断された前記テープ部材が貼着される基板を前記テープ部材の貼着位置へ位置付ける基板ステージと、前記貼着位置に位置付けられた前記基板に対して切断された前記テープ部材を圧着する圧着ツールと、前記切断装置にて切断された前記テープ部材のうち、不要なテープ部材を前記離型紙から剥離するテープ剥離装置と、を有するテープ部材貼着装置において、前記テープ剥離装置に対し前記離型紙を挟んで対向して配置され、前記離型紙に対して進退自在に設けられ、前記不要なテープ部材を前記テープ剥離装置に向けて押し出す押し出し部材と、前記押し出し部材を進退動させる駆動部と、を有することを特徴とする。
【００１６】
請求項２記載の本発明は、請求項１においてさらに、前記押し出し部材における前記離型紙との接触面には、前記離型紙を吸着する吸着孔を設けたことを特徴とする。
【００１７】
請求項３記載の本発明は、請求項１または２においてさらに、前記テープ剥離装置は、粘着性を有するテープを前記テープ部材に押し付けるローラ部材を有することを特徴とする。
【００１８】
請求項４記載の本発明は、請求項３においてさらに、前記ローラ部材は、前記押し出し部材における前記離型紙との接触面に沿って移動自在に設けられたことを特徴とする。
【００１９】
請求項５記載の本発明は、テープ部材が貼り付けられた離型紙を送り出す送り装置と、前記送り装置にて搬送される前記離型紙に貼り付けられた前記テープ部材を前記離型紙を残して切断する切断装置と、前記切断装置にて切断された前記テープ部材が貼着される基板を前記テープ部材の貼着位置へ位置付ける基板ステージと、前記貼着位置に位置付けられた前記基板に対して切断された前記テープ部材を圧着する圧着ツールと、前記切断装置にて切断された前記テープ部材のうち、不要なテープ部材を前記離型紙から剥離するテープ剥離装置と、を有するテープ部材貼着装置において、前記テープ剥離装置に対し前記離型紙を挟んで対向して配置され、前記テープ剥離装置の対向位置にて前記テープ部材を前記テープ剥離装置側に凸となるように屈曲させるガイド手段を設けたことを特徴とする。
【００２０】
請求項６記載の本発明は、請求項５においてさらに、前記ガイド手段は、円弧状のガイド面を有することを特徴とする。
【００２１】
【作用】
請求項１記載の本発明によれば、テープ剥離装置による剥離位置に位置付けられた不要なテープ部材は、駆動部にて進退動される押し出し部材にてテープ剥離装置に向けて押し出される。
【００２２】
請求項２記載の本発明によれば、押し出し部材にてテープ剥離装置に向けて押し出される不要なテープ部材は、押し出し部材に設けられた吸着孔にて離型紙を介して吸着される。
【００２３】
請求項３記載の本発明によれば、押し出し部材にてテープ剥離装置に向けて押し出された不要なテープ部材は、テープ剥離装置の粘着性を有するテープをローラ部材にて押し付けられる。
【００２４】
請求項４記載の本発明によれば、ローラ部材は、押し出し部材にてテープ剥離装置に向けて押し出された不要なテープ部材に粘着性を有するテープを押し付けた状態で、押し出し部材における離型紙との接触面に沿って移動される。
【００２５】
請求項５記載の本発明によれば、テープ剥離装置による剥離位置に位置付けられたテープ部材は、ガイド手段によってテープ剥離装置側に凸状に屈曲される。
【００２６】
請求項６記載の本発明によれば、テープ剥離装置による剥離位置に位置付けられたテープ部材は、ガイド手段によってテープ剥離装置側に凸の円弧状に屈曲される。
【００２７】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。
【００２８】
図１は、本発明に係るＡＣＦ貼着装置の構成を示す正面図、図２は、ＡＣＦ剥離装置を示す正面図、図３は、不要なＡＣＦの剥離動作説明図である。なお、図１乃至図３において、図８および図９と同一部品には同一符号を付し、その説明を省略する。
【００２９】
本実施の形態において、切断装置８およびＡＣＦ剥離装置１２に対向して配置された保持ブロック２１には、ＡＣＦ剥離装置１２に対して進退自在に支持された押し出し部材２２と、この押し出し部材２２を進退動させる駆動部としてのエアシリンダ２３とが組み込まれている。そして、図３に示すように、押し出し部材２２における離型紙３との接触面２２ａには、離型紙３を吸着保持する吸着孔２２ｂが設けられており、この吸着孔２２ｂは、不図示の真空源に選択的に接続可能とされている。また、押し出し部材２２の幅寸法Ｌは、剥離する不要なＡＣＦ２の寸法、すなわち、一の貼着対象のＡＣＦ２と次の貼着対象のＡＣＦ２との間に形成する間隙の寸法とほぼ同じ長さに形成する。なお、ＡＣＦ剥離装置１２の剥離ヘッド１７の幅寸法も同様に形成される。
【００３０】
なお、図３中、符号２１ａで示してあるのは、保持ブロック２１に設けられた吸着孔であり、保持ブロック２１はこの吸着孔２１ａに真空圧を作用させることにて離型紙３を吸着保持する。
【００３１】
次に作動について説明する。
【００３２】
いま、切断装置８が一の貼着対象のＡＣＦ２を所定寸法に切断した後、チャック機構５が一の貼着対象のＡＣＦ２と次の貼着対象のＡＣＦ２との間に形成する必要な間隙に相当する長さ分離型紙３を引き出し、次の切断予定位置を切断装置８による切断位置に位置付け、さらに、切断装置８がその切断予定位置にてＡＣＦ２を切断し、一の貼着対象のＡＣＦ２と次の貼着対象のＡＣＦ２との間に間隙を形成するために剥離されるＡＣＦ（不要なＡＣＦ）２の形成が完了したものとして説明する。
【００３３】
まず、チャック機構５が離型紙３を挟持し、矢印Ａ方向に所定距離移動して不要なＡＣＦ２をＡＣＦ剥離装置１２による剥離位置に位置付ける。具体的には例えば、切断装置８とＡＣＦ剥離装置１２との相対距離Ｌ１、剥離ヘッド１７の幅寸法Ｌとから、切断装置８が不要なＡＣＦ２の後端部２ａ（図３）の切断を完了した位置から矢印Ａ方向に距離Ｘ＝（Ｌ１−Ｌ／２）を求めることができるので、チャック機構５を距離Ｘ移動させることで、不要なＡＣＦ２をＡＣＦ剥離装置１２による剥離位置に位置付ける。
【００３４】
不要なＡＣＦ２がＡＣＦ剥離装置１２による剥離位置に位置付けられると、保持ブロック２１の吸着孔２１ａ、押し出し部材２２の吸着孔２２ｂに真空圧が供給されて離型紙３が吸着保持される。
【００３５】
次いで、エアシリンダ２３が作動して押し出し部材２２が下降される。このとき、離型紙３は、保持ブロック２１による吸着力と押し出し部材２２による押し出し力とで若干引伸ばされながらＡＣＦ剥離装置１２側に凸となるように屈曲されて、不要なＡＣＦ２がＡＣＦ剥離装置１２に向けて押し出された状態となる（図３）。
【００３６】
エアシリンダ１３の作動によりベース部材１４が上昇され、これにより、粘着テープ１５における剥離ヘッド１７上で支持された部位が、押し出し部材２２にて押し出された不要なＡＣＦ２に押付けられる（図４）。そして、ベース部材１４が下降することで、粘着テープ１５が粘着された不要なＡＣＦ２は離型紙３から引き剥がされる。不要なＡＣＦ２を剥離したＡＣＦ剥離装置１２は、巻取りリール１８により粘着テープ１５を所定量巻き取り、不要なＡＣＦ２が粘着されていない部位を剥離ヘッド１７上に位置させる。
【００３７】
一方、チャック機構５は、不要なＡＣＦ２が剥離された後、今回貼着対象となるＡＣＦ２をガラス基板７に対する貼着位置に位置付けるために移動する。
【００３８】
なお、ＡＣＦ貼着装置１２によるガラス基板７に対するＡＣＦ２の貼着動作については、例えば、特開平７−１０１６１８号公報に記載されている技術を用いることで行なうことができるので、その説明は省略する。
【００３９】
本実施の形態によれば、下記▲１▼の作用効果を有する。
【００４０】
▲１▼ＡＣＦ剥離装置１２により不要なＡＣＦ２を離型紙３から剥離するときに、不要なＡＣＦ２を、この不要なＡＣＦ２の寸法とほぼ同じ幅寸法Ｌの押し出し部材２２により離型紙３側からＡＣＦ剥離装置１２に向けて押し出すようにしているので、不要なＡＣＦ２とその前後に位置する貼着対象のＡＣＦ２との間の切断装置８による切断部を拡開させることができる。このため、切断装置８による切断にもかかわらず、その切断部が十分に分離されていないような場合であっても、切断部が拡開させることにより不要なＡＣＦ２とその前後に位置する貼着対象のＡＣＦ２とが分離され、その結果、ＡＣＦ剥離装置１２によりＡＣＦ２を離型紙３から容易に引き剥がすことが可能となる。
【００４１】
次に、第２の実施の形態について、図４、図５を用いて説明する。なお、図４、図５において、図２、図３と同一部品には同一符号を付してその説明は省略する。
【００４２】
第２の実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置１では、ＡＣＦ剥離装置２４が、第１の実施の形態においてブロック状を成していた剥離ヘッド１７を回転自在に支持されたローラ状のローラ部材２５としている。そして、このローラ部材２５は、その保持部２６がベース部材１４の上端部に不図示のガイド手段にてスライド自在に支持されており、支持部２６にはベース部材１４に固定されたエアシリンダ２７の作動ロッドが連結される。
【００４３】
これにより、ローラ部材２５はエアシリンダ２７の作動によって、押し出し部材２２のＡＣＦ２との接触面２２ａに沿って往復動できるようになっている。
【００４４】
次に、第２に実施の形態による不要なＡＣＦ２の剥離動作について説明する。
【００４５】
不要なＡＣＦ２がＡＣＦ剥離装置２４による剥離位置に位置付けられると、押し出し部材２２が下降して、不要なＡＣＦ２をＡＣＦ剥離装置２４に向けて押し出す。次に、ベース部材１４が上昇しローラ部材２５にて粘着テープ１５を不要なＡＣＦ２に押付ける。このとき、ローラ部材２５は、不要なＡＣＦ２の右側端部に対応して位置するようにエアシリンダ２７の作動により右端位置（図４中実線位置）に位置している。
【００４６】
ここで、エアシリンダ２７の作動により、ローラ部材２５が不要なＡＣＦ２の左端位置（図４中２点鎖線）まで移動する。このローラ部材２５の移動過程で不要なＡＣＦ２は離型紙３から剥離される（図５）。
【００４７】
この後、ベース部材１４が下降し、押し出し部材２２は上昇する。
【００４８】
このような実施の形態においては、第１の実施の形態の作用効果▲１▼の他に、次の作用効果▲２▼を有する。
【００４９】
▲２▼エアシリンダ２７の作動量を変更することによりローラ部材２５の移動量を容易に調整することができることから、不要なＡＣＦ２の寸法が変更された場合にも、部品交換を行なう必要なく、容易かつ迅速に対応することができる。
【００５０】
次に、図６、図７を用いて第３の実施の形態について説明する。
【００５１】
第３の実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置１では、ＡＣＦ剥離装置３０が、離型紙３の搬送をガイドするガイドローラ（ガイド手段）３１に対応して配置される。すなわち、ＡＣＦ剥離装置３０は、ガイドローラ３１の外周面に対し、ガイドローラ３１における離型紙３（ＡＣＦ２）が掛け回された位置対応し、ガイドローラ３１の回転中心を向くように配置される。そして、剥離ヘッド３２における粘着テープ１５の支持面３２ａは、ガイドローラ３１の外周面の曲率とほぼ同じ曲率で凹型に湾曲した形状に形成されている。
【００５２】
また、切断装置８は、ガイドローラ３１よりも離型紙３の搬送方向上流側の所定の位置に配置される。
【００５３】
第３の実施の形態によれば、ＡＣＦ剥離装置３０による剥離位置に位置付けられた不要なＡＣＦ２は、ガイドローラ３１の外周面に沿って湾曲されられることから、この湾曲によって、前後に位置する貼着対象のＡＣＦ２との間の切断装置８による切断部を拡開させることができる。このため、切断装置８による切断にもかかわらず、その切断部が十分に分離されていないような場合であっても、切断部が拡開させることにより不要なＡＣＦ２とその前後に位置する貼着対象のＡＣＦ２とが分離され、その結果、ＡＣＦ剥離装置１２によりＡＣＦ２を離型紙３から容易に引き剥がすことが可能となる。
【００５４】
なお、上記の第１および第２の実施の形態において、押し出し部材２２にて不要なＡＣＦ２を押し出した後、ベース部材１４を上昇させて、粘着テープ１５を不要なＡＣＦ２に当接させる例で説明したが、ベース部材１４を上昇させることなく押し出し部材２２の押し出しのみによって不要なＡＣＦ２を粘着テープ１５に当接させるようにし、その後ベース部材１４を下降させ、不要なＡＣＦ２を離型紙３から剥離するようにしてもよい。
【００５５】
またテープ部材としてＡＣＦを例にあげて説明したが、本発明の適用にあたってはこれに限定されるわけではなく、例えば基板に部品を単に固定する目的で使用される粘着性部材であっても良い。
【００５６】
【発明の効果】
本発明によれば、テープ部材を離型紙から良好に剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るＡＣＦ貼着装置の構成を示す正面図である。
【図２】ＡＣＦ剥離装置の構成を示す正面図である。
【図３】不要なＡＣＦの剥離動作説明図である。
【図４】第２の実施の形態に係るＡＣＦ貼着装置におけるＡＣＦ剥離装置の構成を示す正面図である。
【図５】第２の実施の形態における不要なＡＣＦの剥離動作説明図である。
【図６】第３の実施の形態に係るＡＣＦ貼着装置を示す正面図である。
【図７】図６のＡＣＦ剥離装置の拡大正面図である。
【図８】従来のＡＣＦ貼着装置の構成を示す正面図である。
【図９】図８のＡＣＦ剥離装置の拡大正面図である。
【符号の説明】
１  ＡＣＦ貼着装置
２  ＡＣＦ（テープ部材）
３  離型紙
５  チャック機構（送り装置）
６  基板ステージ
７  ガラス基板
８  切断装置
９  圧着ツール
１２  ＡＣＦ剥離装置
１５  粘着テープ
１７  剥離ヘッド
２２  押し出し部材
２３  エアシリンダ（駆動部）
２４  ＡＣＦ剥離装置
２５  ローラ部材
３０  ＡＣＦ剥離装置
３１  ガイドローラ（ガイド手段）
【図１】
0004080187.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0004080187.tif 000008
【図８】
0004080187.tif 000009
【図９】
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