(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象ガス成分を含む被測定ガスを内部に導き、かかる被測定ガス中の酸素濃度を制御するための第１室と、測定対象ガス成分の濃度を測定するための第２室と、前記第１室と前記第２室とを拡散抵抗をもって連通する連通部と、酸素イオン伝導体上に形成された複数の電極と、を有し、該複数の電極のうち少なくとも一つの電極が該第２室内に面すると共に、前記測定対象ガス成分を解離或いは酸化又は還元させるガス濃度測定電極をなし、前記第２室内に面する測定対象ガス成分の濃度を測定するための当該ガス濃度測定用電極の少なくとも一部が、Ｐｔを主たる電極成分とし且つＩｒを含み、さらにこのＩｒが、ＰｔとＩｒの合量に対して０．２〜５０ｗｔ％含まれ、前記複数の電極間に電圧が印加されて前記測定対象ガス成分の濃度に応じた電流が発生されることを特徴とするガスセンサ。
【請求項２】
前記第２室内に面するガス濃度測定用電極が、前記Ｐｔと前記Ｉｒの合量に対して、Ｉｒを２〜２０ｗｔ％含むことを特徴とする請求項１記載のガスセンサ。
【請求項３】
測定対象ガス成分を含む被測定ガスを内部に導き、かかる被測定ガス中の酸素濃度を制御するための第１室と、測定対象ガス成分の濃度を測定するための第２室と、前記第１室と前記第２室とを拡散抵抗をもって連通する連通部と、酸素イオン伝導体上に形成された複数の電極と、を有し、該複数の電極のうち少なくとも一つの電極が該第２室内に面すると共に、前記測定対象ガス成分を解離或いは酸化又は還元させるガス濃度測定電極をなし、前記第２室内に面する測定対象ガス成分の濃度を測定するための当該ガス濃度測定用電極の少なくとも一部が、Ｐｔを主たる電極成分とし且つＲｕを含み、さらにこのＲｕが、ＰｔとＲｕの合量に対して０．２〜５０ｗｔ％含まれ、前記複数の電極間に電圧が印加されて前記測定対象ガス成分の濃度に応じた電流が発生されることを特徴とするガスセンサ。
【請求項４】
前記第２室内に面するガス濃度測定用電極が、前記ＰｔとＲｕの合量に対して、Ｒｕを１〜１２ｗｔ％含むことを特徴とする請求項３記載のガスセンサ。
【請求項５】
測定対象ガス成分を含む被測定ガス雰囲気に通じる第１拡散抵抗部と、前記第１拡散抵抗部に通じる前記第１室と、酸素イオン伝導体上に前記第１室内に面して形成された内部電極及び該酸素イオン伝導体上に該第１室外に面して形成された外部電極を備え酸素を該第１室内外間で汲み出し入れする酸素ポンプセルと、前記第１室内に面して酸素イオン伝導体上に形成された酸素濃度検知電極と、該第１室で酸素濃度が制御されたガスが前記連通部に配設された第２拡散抵抗部を通じて導入される前記第２室と、酸素イオン伝導体上に形成された複数の電極を含み該複数の電極のうち少なくとも一つの電極が該第２室内に面する前記ガス濃度測定用電極であるガス濃度測定用セルと、を有し、前記酸素濃度検知電極の電位に基づいて前記酸素ポンプセルによる酸素の汲み出し量又は汲み入れ量が制御されること、及び前記測定用セルの前記複数の電極間に電圧が印加されて測定対象ガス成分の濃度に応じた電流が発生されること、を特徴とする請求項１〜４のいずれか一記載のガスセンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はガスセンサに関し、特に自動車、船舶、飛行機等の移動用、産業用の内燃機関の排ガス中、或いはボイラ等の燃焼ガス中のＮＯｘガス濃度、ＨＣガス濃度又はＮＨ3ガス濃度の測定に用いられるガスセンサに関し、中でもガスセンサの構成要素である測定用ポンプセルの電極成分に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、被測定ガス雰囲気に含まれる測定対象ガス成分の濃度を測定するガスセンサ、例えばＮＯｘガスセンサでは、かかる被測定ガスにおける酸素濃度が制御されたガスを生成するための第１室と、測定対象ガス成分の濃度、即ちＮＯｘガス濃度を測定するための第２室とを有する限界電流式のものが知られている。このようなＮＯｘガスセンサにあっては、第２室内でＮＯｘガスを解離させるため、第２室内に面するガス濃度測定用電極に所定の電圧を印加している。この電極（第２内部電極）としては、一般的に、Ｐｔ電極が用いられている。一方、特開平９−２８８０８４号公報には、この第２室内に面するＮＯｘガス濃度測定用電極として、ＲｈとジルコニアからなるＲｈサーメット電極が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記Ｐｔ電極は、妨害ガス、例えばＨ2Ｏ、ＣＯを解離させる触媒能力も高いため、これら妨害ガスの影響を受けて、ＮＯｘガス濃度の正確な測定が困難である場合がある。一方、上記特開平９−２８８０８４号公報に提案されたＲｈサーメット電極は、高温領域（例えば、７００〜８００℃）での長期間の使用に伴いＲｈが酸化してしまい、ＮＯｘを解離させる触媒能力が十分に発揮されない場合があるという問題がある。
【０００４】
本発明は、妨害ガスの影響を受け難く、正確な測定対象ガス成分の濃度測定が可能なガスセンサを提供することを目的とする。特に、本発明は、測定対象ガス成分の濃度を測定するための第２室内に面し、低い印加電圧においても測定対象ガス成分に対する触媒能力が高いガス濃度測定用電極を有するガスセンサを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、第１の視点において、Ｐｔを主たる電極成分とし且つＩｒを含み、さらにこのＩｒが、該Ｐｔ及び該Ｉｒの合量に対して０．２〜５０ｗｔ％含まれるガス濃度測定用電極を提供する。
【０００６】
本発明は、第２の視点において、Ｐｔを主たる電極成分とし且つＲｕを含み、さらにこのＲｕが、該Ｐｔ及び該Ｒｕの合量に対して０．２〜５０ｗｔ％含まれるガス濃度測定用電極を提供する。
【０００７】
前記第１及び第２の視点に係るガス濃度測定用電極は、複数の室（気体流通部）を有する限界電流式のガスセンサに適用される。このガスセンサは、測定対象ガス成分を含む被測定ガスを内部に導き、かかる被測定ガス中の酸素濃度を制御するための第１室と、測定対象ガス成分の濃度を測定するための第２室と、前記第１室と前記第２室とを拡散抵抗をもって連通する連通部と、酸素イオン伝導体上に形成された複数の電極と、を有し、該複数の電極のうち少なくとも一つの電極が該第２室内に面すると共に、前記測定対象ガス成分を解離或いは酸化又は還元させるガス濃度測定電極をなし、前記複数の電極間に電圧が印加されて前記測定対象ガス成分の濃度に応じた電流が発生される。このガスセンサは、測定対象ガスに対する触媒能力が高い電極を有するため、この電極に印加する電圧を低くして、該電極上での妨害ガス（含酸素ガス成分）の解離を抑制することができる。これによって、ＣＯ2、Ｈ2Ｏ等の妨害ガスの影響が少なく、精度の高い測定対象ガス成分の濃度測定が可能となる。また、このガスセンサは、第２室内に面するガス濃度測定用電極として、測定対象ガスに対する触媒能力が高い電極を有することにより、該電極上においてより短時間で、測定対象ガス成分が例えばＮＯｘガスの場合にはそのＮＯｘガスが解離され、ＨＣガスやＮＨ3ガスの場合にはそのＨＣガス又はＮＨ3ガスが酸化されることになる。この結果、ガスセンサの検出精度や応答性も向上する。
【０００８】
本発明のその他の視点及び特徴は、各請求項に記載のとおりであり、その引用をもってその重複記載を省略する。よって、各請求項の各特徴は、ここに記載されているものとみなされる。なお、従属項はそれぞれ、各独立項に記載された発明の原理に反しない限り、各独立項に適用され得、又従属項は他の従属項に適用され得る。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態を説明する。
【００１０】
本発明の好ましい実施の形態によれば、第２室内に面するガス濃度測定用電極において、その電極成分が測定用セルを構成する酸素イオン伝導体成分に担持されている。
【００１１】
本発明の好ましい実施の形態においては、測定対象ガス成分を解離或いは酸化又は還元させるために、第２室内に面するガス濃度測定用電極の少なくとも一部が、ＰｔとＩｒの合量に対して、Ｉｒを２〜２０ｗｔ％含む。
【００１２】
本発明の好ましい実施の形態においては、測定対象ガス成分を解離或いは酸化又は還元させるために、第２室内に面するガス濃度測定用電極の少なくとも一部が、ＰｔとＲｕの合量に対して、Ｒｕを１〜１２ｗｔ％含む。
【００１３】
本発明の好ましい実施の形態においては、測定対象ガス成分を解離或いは酸化又は還元させるために、第２室内に面するガス濃度測定用電極の少なくとも一部が、ＰｔとＩｒとＲｕの合量に対して、Ｉｒを２〜２０ｗｔ％及びＲｕを１〜１２ｗｔ％含む。
【００１４】
Ｐｔに対してＩｒ及びＲｕを添加する場合、これらの添加量が規定量より少ない場合には、Ｐｔが粒成長して三相界面（気相、電極成分（触媒相）及び酸素イオン伝導相の界面）を形成する面積が減少し、測定対象ガス成分を解離或いは酸化又は還元する触媒能力が低下する。反対に、これらの添加量が規定量より多い場合には、Ｉｒ及びＲｕが粒成長して三相界面を形成する面積が減少し、測定対象ガス成分を解離或いは酸化又は還元する触媒能力が低下する。また、Ｉｒ、Ｒｕが添加されることにより、ガス濃度測定用電極の高温領域における耐酸化性が向上する。
【００１５】
本発明の好ましい実施の形態においては、第２室内に面するガス濃度測定用電極の一部、例えば、第２室内に直接的に面する外周（外側）部分のみを、ＩｒないしＲｕを含むよう形成する。また、この電極には、本発明の効果が得られる限りにおいて、他の金属元素や酸素イオン伝導体と同質の成分を添加することができる。
【００１６】
本発明の好ましい実施の形態によれば、本発明の効果が得られる限りにおいて、第２室内に面するガス濃度測定用電極に、Ｐｔ、Ｉｒ及びＲｕ以外の電極成分、例えば、その他の卑金属ないし貴金属成分を所定量単独又は複合添加することを許容する。
【００１７】
本発明の好ましい実施の形態に係るガスセンサは、第１拡散抵抗部に通じる第１室と、酸素イオン伝導体上に第１室内外にそれぞれ面して形成された内部電極及び外部電極を備え、酸素を該第１室内外間で汲み出し入れする酸素ポンプセルと、第１室内に面して酸素イオン伝導体上に形成された酸素濃度検知電極と、該第１室で酸素濃度が制御されたガスが前記連通部に配設された第２拡散抵抗部を通じて導入される第２室と、酸素イオン伝導体上に形成された複数の電極を含み該複数の電極のうち少なくとも一つの電極が第２室内に面するガス濃度測定用電極（第２内部電極）である測定対象ガス成分濃度の測定用セルと、を有し、酸素濃度検知電極の電位に基づいて酸素ポンプセルによる酸素の汲み出し入れ量が制御され、又測定用セルの複数の電極間に電圧が印加されて測定対象ガス成分の濃度に応じた電流が発生される。さらに好ましくは、第１室において酸素ポンプセルにより、第２室に拡散するガス中の酸素濃度を可及的に低く制御する。これによって、測定用セル（第２酸素ポンプセル）に流れる酸素イオン伝導に起因する酸素ポンプ電流量が、第２室に拡散する酸素濃度の影響を受け難くされて、ガス濃度をよりよく反映するようになる。
【００１８】
例えば、本発明によるガスセンサをＮＯｘガス濃度測定に用いる場合、触媒能力が高いＩｒ又は／及びＲｕが添加されたＰｔ電極上でＮＯｘ、特にＮＯの解離が促進され、より低い印加電圧で短時間に、ＮＯｘが解離して生じた酸素イオンを酸素イオン伝導体を通じて汲み出すことができる。この結果、ＮＯｘガス濃度測定の検出精度や応答性が向上する。また、ＨＣガス濃度測定に用いる場合には、触媒能力が高いＩｒ又は／及びＲｕが添加されたＰｔ電極上でＨＣガス成分の酸化が促進され、効率よくＨＣガスが酸化されて酸素が消費されるため、その酸素の消費量から求められるＨＣガス濃度測定の検出精度や応答性が向上する。
【００１９】
本発明の好ましい実施の形態においては、酸素濃度検出電極と酸素イオン伝導体を介して配設される酸素濃度基準電極の電位を安定化させるため、酸素濃度基準電極と第２室に面するガス濃度測定用電極の間を、拡散抵抗をもって連通する。これによって、第２室に面するＮＯｘガス濃度測定用電極上でＮＯｘガスが解離されて生じた酸素イオン由来のＯ2ガスが酸素濃度基準電極に向かって拡散していく。かくして、酸素濃度基準電極は酸素濃度が高められた自己生成基準極となる。また、好ましくは、酸素濃度基準電極に微小電流を供給することによって、酸素濃度基準電極を酸素濃度が高められた自己生成基準極とする。
【００２０】
また、好ましくは、上記第１及び第２室（気体流通部）をセラミック等の多孔体、微細な貫通孔又は細かいスリット（すきま状にする）から構成する。
【００２１】
本発明によるガスセンサ（素子）は、公知のグリーンシートの積層焼成によるガスセンサの製造技術に基づき、次のように作製することができる。すなわち、酸素イオン伝導性を有するＺｒＯ2を主体とするグリーンシート単体、酸素ポンプセルの内部電極等となる多孔質な電極を形成するためＰｔ等の電極成分を含むペースト、第１拡散抵抗部（拡散孔）を形成するためのアルミナペースト、層間を絶縁するため或いは処理室を画成するための緻密層を形成するためのアルミナペースト、並びに処理室を画成するためのカーボンペーストなどがそれぞれ所定位置にスクリーン印刷法を用いて塗布されたＺｒＯ2を主体とするグリーンシート、及び第２拡散抵抗部（拡散孔）を形成するための多孔質セラミックス体（例えばアルミナ）が埋め込まれたＺｒＯ2を主体とするグリーンシート等を積層し、乾燥し、焼成する。なお、ここでは安定化剤（例えば、ＣａＯやＭｇＯ）を含有するＺｒＯ2を用いることが好ましい。
【００２２】
なお、第２室内に面するガス濃度測定用電極を形成するための原料ペーストは、Ｐｔ粉末、Ｉｒ粉末ないしＲｕ粉末、及び適量の有機溶剤、場合によってはＺｒＯ2粉末を混合し、分散させ、これに有機バインダーを有機溶剤に溶解させたものを添加し、さらに粘度調整剤を添加し、混合することにより作製できる。或いは、ＩｒないしＲｕを含む合金粉末を用いて、乾式混合、分散、湿式混合を経て原料ペーストを作製することもできる。
【００２３】
【実施例】
以上説明した本発明の好ましい実施の形態をさらに明確化するために、以下図面を参照して、本発明の一実施例を説明する。なお、本実施例では、ガスセンサの内でＮＯｘガス濃度の測定を行うＮＯｘガスセンサについて説明する。
【００２４】
図１は、本発明の一実施例に係るＮＯｘガスセンサ（ＮＯｘガスセンサ素子）の説明図であり、このガスセンサ素子の先端部を長手方向かつ積層方向に沿って切断した断面を示している。図１を参照すると、このガスセンサ素子は、酸素イオン伝導性の固体電解質（例えば、ＺｒＯ2）を主体とする第１層１〜第５層５が順に積層されて構成されている。なお、各層１〜５間には絶縁層が形成されている。第２層２及び第４層４は、酸素イオン伝導性の固体電解質層に代えて絶縁層（例えば緻密なアルミナ絶縁層）とすることができる。さらに、第２層２と同層に、第１層１、第２層２及び第３層３に囲まれて、測定対象ガス成分を含む被測定ガス雰囲気と画されてなる第１室７が画成されている。第４層４と同層に、第３層３、第４層４及び第５層５に囲まれて第２室９が画成されている。第２層２の両側面の一部には、第１拡散抵抗部６が形成されている。第１室７の一端側は、第１拡散抵抗部６を通じて被測定ガス雰囲気に連通している。第３層３中には、第２拡散抵抗部８（拡散抵抗をもつ連通部のこと）が形成されている。第２拡散抵抗部８の一端側は、第１室７の他端側であって第１拡散抵抗部６から離間した位置に開口している。第２拡散抵抗部８の他端側は、第２室９に開口している。これによって、第１室７と第２室９は拡散抵抗をもつ連通部（ここでは拡散抵抗部８のこと）を介して互いに連通している。
【００２５】
酸素イオン伝導性の固体電解質層である第１層１の被測定ガス雰囲気に面する一面上には第１外部電極１０、その第１室７に面する他面上には第１内部電極１１が形成されている。但し、第１内部電極１１の長さは、第１外部電極１０の長さより短くされ、第１拡散抵抗部６近傍から第２拡散抵抗部８の開口直上直前まで延在し、同開口直上までは形成されていない。第１酸素ポンプセルは、第１層１、第１外部電極１０及び第１内部電極１１から構成される。
【００２６】
酸素イオン伝導性の固体電解質層である第３層３の第１室７に面する一面上には、酸素濃度検知電極１２が第２拡散抵抗部８の開口近傍に形成されている。第３層３の他面上（第３層３、第４層４間）には、酸素濃度基準電極１３が形成されている。酸素濃度測定セルは、第３層３、酸素濃度検知電極１２及び酸素濃度基準電極１３から構成される。また、酸素濃度基準電極１３の電位を安定化させるため、酸素濃度基準１３と後述の第２外部電極１５の間は、第３拡散抵抗部１６を通じて連通されている。
【００２７】
酸素イオン伝導性の固体電解質層である第５層５の一面上、第２室９内に面してガス濃度測定用電極（以下「第２内部電極」という）１４が形成され、第２室９外（第４層４、第５層５間）にはガス濃度測定用外部電極（以下「第２外部電極」という）１５が形成されている。第２酸素ポンプセル、すなわち測定対象ガス成分（ＮＯｘガス）濃度の測定用セルは、第５層５、第２内部電極１４及び第２外部電極１５から構成される。
【００２８】
次に、このＮＯｘガスセンサ（素子）に適用される制御回路について説明する。
【００２９】
第１外部電極１０と第１内部電極１１間には、電源及び第１電流計が互いに直列に接続されている。電源が第１外部電極１０と第１内部電極１１間に印加する第１印加電圧Ｖｐ１は、酸素濃度検知電極１２と酸素濃度基準電極１３の電位差が一定となるよう可変に制御される。第１電流計は、第１外部電極１０と第１内部電極１１間に流れる第１酸素ポンプ電流Ｉｐ１を検出する。第１酸素ポンプ電流Ｉｐ１の大きさは基本的に被測定ガス中の酸素濃度に比例する。一方、第２内部電極１４と第２外部電極１５間には定電圧源及び第２電流計が接続されている。第２電流計は、第２内部電極１４と第２外部電極１５間に流れる第２酸素ポンプ電流Ｉｐ２を検出する。第２酸素ポンプ電流Ｉｐ２の大きさは基本的に被測定ガス中の測定対象ガス成分（ＮＯｘガス）の濃度に比例している。
【００３０】
なお、ガスセンサ素子を適温で動作させるために、素子の上層及び／又は下層には、ヒータが設置ないし貼着される（図１参照）。
【００３１】
［測定例］
図１に示したような構造を有し、第２内部電極の電極成分（表１参照）が互いに異なるＮＯｘガスセンサ（試料Ｎｏ．１〜１１）を作製した。試料Ｎｏ．２〜６に係るＮＯｘガスセンサにおいては、ＰｔとＩｒの合量（100wt%）にＩｒ粉末を下記の表１に示す重量で添加したペーストを用いて第２内部電極を作製した。試料Ｎｏ．７〜１１に係るＮＯｘガスセンサにおいては、ＰｔとＲｕの合量（100wt%）にＲｕ粉末を下記の表１に示す重量で添加したペーストをそれぞれ用いて第２内部電極を作製した。なお、試料Ｎｏ．１に係るＮＯｘガスセンサ（比較例）においては、Ｉｒ及びＲｕ粉末が添加されていないＰｔペーストを用いて第２内部電極を作製した。
【００３２】
これらのＮＯｘガスセンサに妨害ガス成分を含む被測定ガス（１）或いは（２）を投入し、測定用セルの両電極間（第２内部電極と第２外部電極間）に印加する電圧（第２印加電圧）Ｖｐ２を変えて、測定用セルに流れる第２酸素ポンプ電流Ｉｐ２を測定した。下記に測定条件を示し、表１に測定結果を示す。なお、表１中、Ｉｐ２［Ｏ2］は、被測定ガス（１）投入時、測定用セルに流れたＯ2に対するＩｐ２の限界電流を表し、Ｉｐ２［ＮＯ］は被測定ガス（２）投入時、測定用セルに流れたＮＯに対するＩｐ２の限界電流を表す。
【００３３】
［測定条件］
［被測定ガス（１）の組成  ７５０ｐｐｍ、ＣＯ2：１０％、Ｈ2Ｏ：１０％、Ｎ2：ｂａｌ、
被測定ガス組成（２）の組成  ＮＯ：１５００ｐｐｍ、ＣＯ2：１０％、Ｈ2Ｏ：１０％、Ｎ2：ｂａｌ、
被測定ガス温度  ６８０℃、
測定用セル（第２の酸素ポンプセル）への印加電圧４５０［ｍＶ］。
【００３４】
【表１】
0004165982.tif 000002
（＊）  試料Ｎｏ．１は比較例
【００３５】
ところで、Ｏ2は酸素２原子を有するのに対してＮＯは酸素１原子を有するから、理想的には、図２に示したＯ2＝７５０ｐｐｍ時のＩｐ２限界電流値と、図３に示したＮＯ＝１５００ｐｐｍ時のＩｐ２限界電流値は一致する。つまり、ＮＯｘガス濃度を酸素イオン伝導によって流れる電流に基づいて測定するためには、Ｏ2＝７５０ｐｐｍ時の限界電流値に対するＮＯ＝１５００ｐｐｍ時の限界電流値が「１」に近い方が好ましい。
【００３６】
表１を参照すると、Ｉｒ及びＲｕが添加されていない試料Ｎｏ．１のＮＯｘガスセンサ（比較例）の「Ｉｐ２［ＮＯ］／Ｉｐ２［Ｏ2］」が最も小さくなっている。よって、ＩｒないしＲｕの添加によって、「Ｉｐ２［ＮＯ］／Ｉｐ２［Ｏ2］」が「１」に近づき、低い印加電圧でもＮＯｘが十分に解離されることが分かる。
【００３７】
さらに、試料Ｎｏ．５に係るＮＯｘガスセンサ（実施例）のＯ2及びＮＯに対する限界電流特性を、試料Ｎｏ．１に係るＮＯｘガスセンサ（比較例）の同特性と対比して説明する。図２には、試料Ｎｏ．１及び５のＮＯｘガスセンサについて、被測定ガスがＮＯｘガスを含まない場合のＶｐ２とＩｐ２の関係、特に酸素に対する測定用セルの限界電流特性を示す。一方、図３には、両センサについて、被測定ガスがＮＯｘガスを含む場合のＶｐ２とＩｐ２の関係、特にＮＯガスに対する測定用セルの限界電流特性を示す。
【００３８】
図２及び図３を参照すると、試料Ｎｏ．５のＮＯｘガスセンサ（実施例）によれば、特に、第２印加電圧Ｖｐ２が低い範囲で、図２に示したＯ2によるＩｐ２と図３に示したＮＯによるＩｐ２の差が小さく、ＮＯが第２室において十分に解離されていることが分かる。このように第２印加電圧Ｖｐ２を低く設定できることにより、第２内部電極上における妨害ガス、例えばＣＯ、Ｈ2Ｏ等の解離が抑制される。この結果、ＮＯｘガス濃度をより正確に測定することが可能となる。
【００３９】
【発明の効果】
本発明によれば、妨害ガスの影響を受け難く、正確な測定対象ガス成分の濃度測定が可能なガスセンサが提供される。また、本発明によれば、低い印加電圧においても測定対象ガス成分に対する触媒能力が高いガス濃度測定用電極を有するガスセンサが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係るＮＯｘガスセンサの説明図である。
【図２】試料Ｎｏ．１及び５に係るＮＯｘガスセンサにおいて、Ｏ2に対する測定用セルの限界電流特性を示すグラフである。
【図３】試料Ｎｏ．１及び５に係るＮＯｘガスセンサにおいて、ＮＯに対する測定用セルの限界電流特性を示すグラフである。
【符号の説明】
１，…，５  第１層，…，第５層
６  第１拡散抵抗部
７  第１室
８  第２拡散抵抗部
９  第２室
１０  第１外部電極（酸素濃度制御ガス生成用の外部電極）
１１  第１内部電極（第１室内に面する酸素濃度制御ガス生成用の内部電極）
１２  酸素濃度検知電極
１３  酸素濃度基準電極
１４  第２内部電極（第２室内に面するガス濃度測定用電極）
１５  第２外部電極（ガス濃度測定用外部電極）
１６  第３拡散抵抗部
【図１】
0004165982.tif 000003
【図２】
0004165982.tif 000004
【図３】
0004165982.tif 000005