(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶融ガラスをプレス成形して肉薄板状ガラスを製造する方法において、成形型の成形面を粗面加工し、その粗面加工された成形型の成形面に気体とともに耐熱性固体潤滑剤粉末を噴射して、前記気体と成形型との熱交換により前記成形型の冷却を行うとともに、前記耐熱性固体潤滑剤粉末を前記成形面に付着させることにより前記成形面における断熱性を高めた後、前記溶融ガラスを前記成形面で受け、プレス成形を行うこと、および前記成形後に前記成形面に残留している耐熱性固体潤滑剤粉末を除去した後に前記成形型を繰り返し用いること、ならびに前記肉薄板状ガラスが少なくとも研磨工程を行うことにより情報記録媒体用ガラス基板に加工されるものであることを特徴とする肉薄板状ガラスの製造方法。
【請求項２】
耐熱性固体潤滑剤粉末がＢＮ粉末であることを特徴とする請求項１記載の肉薄板状ガラスの製造方法。
【請求項３】
プレス成形後、軟化状態にある肉薄板状ガラスの反りを修正する工程を有することを特徴とする請求項１または２に記載の肉薄板状ガラスの製造方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の製造方法により肉薄板状ガラスを製造したのち、少なくとも研磨工程を行うことを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の製造方法により情報記録媒体用ガラス基板を製造したのち、少なくとも磁性層を形成する工程を行うことを特徴とする情報記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録媒体、光磁気記録媒体および光記録媒体などの情報記録媒体用の基板として、あるいはカメラ用フィルター、マスクブランクスなどの板状ガラスとして使用することが可能な、例えば肉厚３ｍｍ以下の肉薄板状ガラスをプレス成形により製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気記録媒体などの情報記録媒体用のガラス基板の製造方法として、板状のガラスから切り出す方法のほか、溶融ガラスから成形型を用いて直接プレス成形する方法、すなわち、ダイレクトプレス法が採用されている。
ダイレクトプレス法の従来例として、特開平７−１３３１２１号公報（株式会社オハラ）には、上・下型のプレス面の表面温度をガラス転移点近傍に設定するとともに、胴型の内表面温度を前記プレス面の表面温度よりも高く設定することにより、ガラスの胴型方向の延びを阻害せずにディスク状ガラス製品をプレス成形する方法が記載されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ダイレクトプレス法で、溶融ガラスを肉薄板状ガラスに成形するためには、形の小さい溶融ガラスゴブから径の大きい板状ガラスにする過程、すなわち溶融ガラスを外周方向によく引き延ばす過程を経る。このとき、ガラスをよく引き延ばすために、通常、溶融ガラスの温度は比較的高温に設定されている。しかし、溶融ガラスの温度が高いとガラスの型への融着がおこり易く、結果的にガラスを薄く引き延ばすことが困難となる。
また、肉薄板状ガラスを成形する場合は、肉厚のガラスを成形する場合と異なりガラスと成形型との接触面積が大きいため、成形型は、高温な溶融ガラスからの熱を受け取り温度が急上昇するため型に与える負担が大きく、結果的に型寿命を短くする要因となっていた。
【０００４】
特開平５−１０５４５８号公報（コーニング）には、ガラス原料の温度が軟化点以下となり熱的に平衡になるまで十分な時間をプレスする成形方法において、黒鉛、ＭｏＳ2 、ＢＮ（窒化ホウ素）などを水や耐熱油などの溶媒に分散させた分散液を成形型に塗布し、これらの固化層として成形型表面に離型材層を形成した成形型でディスク状ガラス製品を製造することが記載されている。
【０００５】
しかし、黒鉛やＭｏＳ2 は、低い温度（５００℃程度）で離型性を喪失してしまうため、高温の成形型の潤滑剤としては適当でない。
また、固化層として成形面に形成された離型材層は高温にさらされると剥離し易く、特にディスク状ガラス製品のような肉薄板状ガラス製品の場合はなおさらである。そして、一旦、離型材層の剥離が生じると、残った離型材層を除去したのちに改めて離型材層を形成することが必要となり、作業効率に著しくかける面がある。
【０００６】
特に、近年は磁気ディスクなどの情報記録媒体の分野をはじめとするあらゆる分野において、極く薄い平板状であっても機械的強度や耐熱性に優れるガラス素材が要求される傾向がある。このようなガラス素材は、一般的に成形可能な温度がかなり高温域にあるため、これを用いて肉薄の板状ガラスを製造する場合には潤滑剤にも耐熱性に優れることが不可欠である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上述の課題を解決するために、溶融ガラスをプレス成形して肉薄板状ガラスを製造する方法において、成形型の成形面に耐熱性固体潤滑剤粉末を付着させたのち、プレス成形を行う肉薄板状ガラスの製造方法とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明は、溶融ガラスをプレス成形して肉薄板状ガラスを製造する方法に適用される。このような成形は、通常、下型が、溶融ガラスを受け、次いで、対向して配置される上型との間でプレスすることにより行われる。このとき、溶融ガラスは、一定の粘度に調整されているため厚みのあるオハジキ状となっているが、プレス時に外周方向に引き延ばされて肉薄の板状ガラスに成形される。
【０００９】
本発明は、上記肉薄板状ガラスの製造工程において、成形型の成形面に耐熱性固体潤滑剤粉末を付着させたのちに、プレス成形を行うことを特徴とする肉薄板状ガラスの製造方法である。
ここで、耐熱性固体潤滑剤とは、プレス成形時に成形型のガラスに接する成形面が達する温度にあっても潤滑性を失わない固体潤滑剤をいう。かかる温度においても潤滑性を失わない固体潤滑剤を用いることにより溶融ガラスを外周方向によく引き延ばすことができるため、ごく肉薄の板状ガラスを製造することが可能となる。また、耐熱性固体潤滑剤を成形型と溶融ガラスの間に介在させることにより、溶融ガラスと成形型との接触面においてガラスから成形型への熱の移行量を少なくすることができる。このため、成形型との接触によりガラスが急激に温度低下するのが緩和され、ガラスの固化層を薄くすることができ、固化層が厚くなることにより所望の厚さの肉薄板状ガラスが得られなくなるのを防止できる。さらに、成形型への熱の移行が少ないことで、成形型の温度が急激に上昇するのを防いで型寿命を延ばすことができる。さらにまた、ガラスが軟化状態であるときにプレスを終了する場合にも、成形型を肉薄板状ガラスから引き離す際に優れた離型性を発揮する。
【００１０】
ここで、プレス成形時に成形型の成形面が達する温度はガラスの種類、溶融ガラスの温度、所望の肉薄板状ガラスの厚さ、径等により異なる。通常は、成形型の設定温度から溶融ガラスの温度の間にあるが、場合により溶融ガラスの温度に近い温度に達することもある。かかる温度において、潤滑性を失わない固体潤滑剤であれば本発明において耐熱性固体潤滑剤として適用することができるが、中でも、およそ９００℃まで潤滑性を失わない窒化ホウ素（ＢＮ）、特にα型の窒化ホウ素が好適に用いられる。
【００１１】
次に、耐熱性固体潤滑剤は、粉末状で成形型の成形面に付着させることが好ましい。粉末状であると、粉末粒子間に空気などの気体を含んだ状態で成形面に付着させることができるため、耐熱性固体潤滑剤を付着させたことによる断熱性をより高めることができる。また、粉末状で付着させることにより、成形後に成形面に残留している耐熱性固体潤滑剤をエアー噴射等により容易に除去することが可能となるため、繰り返し成形型を用いて肉薄板状ガラスを製造することが効率よく行える。
耐熱性固体潤滑剤粉末の粒径は特に限定されないが、例えば、ＢＮ粉末の場合には平均粒径が５〜１５μｍのものを使用することができる。
【００１２】
耐熱性固体潤滑剤粉末を成形面に付着させる方法としては、特に限定されず、例えば空気などの気体とともに噴射する方法のほか、刷毛等で塗布する方法を挙げることができるが、気体とともに噴射する方法によれば、均一に成形面に付着させることが容易であるほか、同時に噴射される気体による成形面の冷却効果を利用することもできる。
耐熱性固体潤滑剤粉末を成形型の成形面に均一に所定量付着させるために、成形面を適宜、粗面に形成しておくことも好ましい。また、耐熱性固体潤滑剤粉末を均一に付着させる手段としては、耐熱性固体潤滑剤粉末の水分量を調整することも有効である。耐熱性固体潤滑剤粉末として窒化ホウ素粉末を使用した場合には、その水分量は１重量％未満であることが好ましい。
【００１３】
以下本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の実施の形態を説明するための図で、肉薄板状ガラスの成形装置、特に下型装置を示す平面図である。この図１に示すように、下型１１（４１０℃に加熱される）はターンテーブル１２上の同一円周上に合計１６個等間隔に配置されており、ターンテーブル１２が１ピッチずつ回転するごとに図に示すＡからＰの位置を順に通過して以下の工程を経るようになっている。
すなわち、位置Ｏで成形面に耐熱性固体潤滑剤粉末が付着され、位置Ａでパイプから流下する溶融ガラスを受け、位置Ｃでプレス成形が行われ、位置Ｄおよび位置Ｅで反り修正プレスが行われ、位置Ｌ〜Ｎで肉薄板状ガラスの取り出しが行われる。
【００１４】
上記のように、下型１１の成形面には位置ＯにおいてＢＮ粉末が噴射装置１３により噴射され、付着される。図２は、噴射装置１３を具体的に示す構成図である。この噴射装置１３は、ＢＮ粉末２１が噴射装置本体２２に内蔵されており、さらに噴射装置本体２２に空気の流入パイプ２３と、空気およびＢＮ粉末２１の流出パイプ２４が接続されている。空気の流入パイプ２３の一端は、空気を例えば圧力４ｋｇ／ｃｍ2 で間欠的に送り出すシーケンサ２５に接続され、他の一端は噴射装置本体２２中のＢＮ粉末２１の堆積層に差し込まれている。したがって、シーケンサ２５から圧力４ｋｇ／ｃｍ2 で流入パイプ２３に流出した空気は、噴射装置本体２２内の流入パイプ２３の穴２３ａから噴射して噴射装置本体２２の中でＢＮ粉末２１を巻き上げると同時に、流出口の弁２６を開いてＢＮ粉末２１とともに流出パイプ２４に流出する。そして、この流出した空気およびＢＮ粉末は、流出パイプ２４上の途中で加速器２７からの４ｋｇ／ｃｍ2 の加速空気で加速されて、流出パイプ２４先端のノズル２８から図１の下型１１の成形面の向けて噴射される。その結果、ＢＮ粉末が下型１１の成形面に付着されるとともに、下型１１が噴射空気により熱交換で冷却される。このとき、下型１１の成形面を例えば面粗さ（Ｒａ）が０．５〜２．０μｍの粗面に形成しておくことにより、ＢＮ粉末の付着を向上させることができる。
【００１５】
図３は、ＢＮ粉末および空気を噴射するノズル２８の先端開口部の正面図である。この図のように、ノズル２８の開口部は、メッシュ２９を取り付けてメッシュ状の開口部としてある。さらに、開口部の中央部は閉塞部材３０によって塞いである。このようにメッシュ状の開口部とすることと、その中央部を塞ぐことで、ＢＮ粉末および空気が下型１１の成形面の中央部に集中することを防止している。
【００１６】
なお、下型１１の成形面は、下型１１が位置Ｏに達する度に１回ＢＮ粉末の噴射を受ける。このとき、ＢＮ粉末の水分量は１重量％未満が好ましい。さらに、ＢＮ粉末としては、純度：９８％上、平均粒径：５〜１５μｍ、比表面積：３〜１０ｍ2 ／ｇ、かさ密度：０．２〜０．６ｇ／ｃｍ3 、真比重：２．２６のｈ−ＢＮ粉末（水島合金鉄株式会社製、ＨＰ）を用いた。
【００１７】
図１の位置Ｃにおいては、図示しないが下型１１上にプレス成形のために上型（４００℃に加熱される）が配置される。この上型に対しても、図２のような噴射装置が設けられて、成形面にＢＮ粉末が噴射され付着される。
【００１８】
以上のような方法において、下型は複数個配置され、ガラスゴブの供給の工程、プレス成形の工程、成形品の取り出し工程等の工程を順次経るように設計され、例えば図１のようにターンテーブルの円周上に個々の下型を配置し、下型が各工程を経るようにターンテーブルを回転させることが好ましいが、直線方向に移動するように設計してもよい。また、各工程に、同時に供せられる下型の数は、単数であっても、複数個であってもよい。
一方、上型は、プレス成形の工程に位置した下型に対向して配置される。従って、上型は、一度のプレス成形に使用される下型と少なくとも同数が必要であるが、それ以上の個数を備えてもよい。
【００１９】
次に、下型および上型のそれぞれの成形面の温度は、プレス成形開始時に、ある所定温度に調節されることが必要である。
ここで、成形型について所定の温度とは、ガラス材料を、肉薄の板状に成形するのに適した温度をいう。かかる温度は、硝子種、肉厚、ガラス板のサイズ等により適宜決定される温度である。
【００２０】
さらに、プレス成形開始時の下型および上型の成形面の温度を前記所定温度に調節するために、下型および上型に対して、必要に応じて加熱する手段、および冷却する手段が講じられる。
加熱する手段としては、例えば、ニクロムヒータを成形型の周囲に複数配置して加熱する方法、成形型の周囲を取り囲むように配置したコイルに電流を流して導電体からなる成形型を誘導加熱する方法、ガスにより加熱する方法等があるが、均一な加熱ができる点で誘導加熱による方法が好ましい。誘導加熱によると、ニクロムヒータによる加熱の場合のように複数の熱源で一つの成形型を加熱する方法と異なり、一つのコイルで一または二以上の成形型を加熱することができるため熱源温度のバラツキという問題がなく、成形型とコイルの距離を一定にすることで成形型を均一に加熱することができる。また、誘導加熱を用いる場合、誘導加熱を上型、下型の両方に対して行っても、あるいは、いずれか一方に行ってもよく、胴型を用いる場合には、胴型に適用することも可能である。
ここで、誘導加熱の際にコイルに流す電流は、高周波電流であることが好ましい。低周波電流では装置が大がかりになり、また、人の可聴音域であるため騒音が問題となることがある。
【００２１】
一方、プレス成形に供せられた成形型の温度は、溶融ガラスからの熱を受け取って、プレス成形前に比べて上昇している。従って、どの肉薄板状ガラスについても同等の温度条件でプレス成形するためには、次のプレス成形に供されるまでに、成形型が成形前の温度に戻っていることが好ましい。このとき、プレス成形に供されたのち次のプレス成形に供されるまでの時間に自然冷却してプレス成形前の温度に戻る場合以外は、何らかの冷却手段を講じて温度を戻してやることが好ましい。
冷却手段としては、成形型の中空部に水や空気を循環させる方法、水等の液体を成形型の中空部内面に吹き付けて気化させる方法などを採用することができる。液体を吹き付けて気化させる方法によると、液体の気化熱で成形型を冷却することができるため、液体を循環させる方法よりも少ない液量で冷却効果が得られる。従って、水等の気化熱を利用する方法は、冷却効果の観点ばかりでなく、冷却装置をより小さくすることができる観点からも好ましい。さらに、例えば上型の冷却に時間がかかり、成形後、次の成形までに所定の温度までに冷却出来ない場合等には、上型を複数個容易し、どれか１つの上型がプレス成形を行っているときに、他の上型を冷却しておき、複数個の上型を循環させてもよい。
【００２２】
また、プレス成形においては、ガラスが軟化状態にあるときにプレスを終了するので、プレス成形終了時に、肉薄板状ガラスの温度が、成形型の温度より高く、この時点で肉薄板状ガラスと成形型は熱的に平衡状態に至っていない。しかし、成形型があらかじめ所定の温度に保たれているので、成形後冷却して得られた肉薄板状ガラスは、反り等の形状が一定した一定の形状をしており、研削・研磨しやすい形状となっている。また、肉薄板状ガラスと成形型は熱的に平衡状態に達するまで冷却する必要がないため、成形時間を短縮することもできる。
さらに、プレス時間を短くする目的で、肉薄板状ガラスの中心部が当該ガラス材料の軟化点以上の温度でプレス成形を終了してもよい。
また、プレス成形後の肉薄板状ガラスは軟化状態にあるので、プレス成形に次いで、肉薄板状ガラスの反りを修正する工程を行ってもよい。肉薄板状ガラスの反りを修正する工程とは、例えば、肉薄板状ガラスの片面にのみ空気等を吹きかける等、不均一に熱を奪ったり、上型と同様な成形面を有した成形型によって、再度プレスしたりすることによって、反りの大きさを修正する工程のことである。
【００２３】
また、胴型を用いる場合、成形型の温度は、上、下型のプレス面の表面温度をガラス転移点近傍に設定し、このプレス面の表面温度よりも胴型の内表面温度を高く設定してもよい。
さらに、成形型は、耐熱性の材料、例えばグラファイト、タングステン合金、窒化物、炭化物、耐熱金属等で形成されるが、高周波加熱を行う場合には、これによって加熱できる耐熱金属等に限定される。その場合、特に鋳鉄が強度、耐久性に優れるため好ましい。
【００２４】
上記の製造方法により得られた肉薄板状ガラスは、研削、研磨等の機械加工を経て、例えば情報記録媒体用ガラス基板となる。
以下、機械加工について詳しく説明する。機械加工については、具体的には、上記のガラスの表面を水洗浄し、以下の（１）荒ずり（粗研磨）、（２）砂掛け（精研削、ラッピング）、（３）第一研磨（ポリッシュ）、（４）第二研磨（ファイナル研磨、ポリッシュ）の各工程を経る。
【００２５】
（１）荒ずり工程
まず、粒度の細かいダイヤモンド砥石で上記ガラス基板の両面を片面ずつ研削加工した。このときの荷重は１００ｋｇ程度とした。これにより、ガラス基板両面の表面粗さをＲmax(JIS B 0601で測定）で１０μｍ程度に仕上げた。
次に、円筒状の砥石を用いてガラス基板の中央部分に孔を開けるとともに、外周端面も研削して直径を６５ｍｍφとした後、外周端面及び内周面に所定の面取り加工を施した。
【００２６】
（２）砂掛け（ラッピング）工程
次に、ガラス基板に砂掛け加工を施した。この砂掛け工程は、寸法精度及び形状精度の向上を目的としている。砂掛け加工は、ラッピング装置を用いて行い、砥粒の粒度を＃４００、＃１０００と替えて２回行った。
詳しくは、はじめに、粒度＃４００のアルミナ砥粒を用い、荷重を１００ｋｇ程度に設定して、内転ギアと外転ギアを回転させることによって、キャリア内に収納したガラス基板の両面を両精度０〜１μｍ、表面粗さ（Ｒmax)６μｍ程度にラッピングした。
次いで、アルミナ砥粒の粒度を＃１０００に替えてラッピングを行い、表面粗さ（Ｒmax)２μｍ程度とした。
上記砂掛け加工を終えたガラス基板を、中性洗剤、水の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄した。
【００２７】
（３）第一研磨（ポリッシュ）工程
次に、第一研磨工程を施した。この第一研磨工程は、上述した砂掛け工程で残留したキズや歪みの除去を目的とするもので、研磨装置を用いて行った。
詳しくは、ポリシャ（研磨粉）として硬質ポリシャ（セリウムパッドＭＨＣｌ：スピードファム社製）を用い、以下の研磨条件で第一研磨工程を実施した。
研磨液：酸化セリウム＋水
荷重：３００ｇ／ｃｍ2 （Ｌ＝２３８ｋｇ）
研磨時間：１５分
除去量：３０μｍ
下定盤回転数：４０ｒｐｍ
上定盤回転数：３５ｒｐｍ
内ギア回転数：１４ｒｐｍ
外ギア回転数：２９ｒｐｍ
上記第一研磨工程を終えたガラス基板を、中性洗剤、純水、純水、ＩＰＡ（イソプロピレンアルコール）、ＩＰＡ（蒸気乾燥）の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄した。
【００２８】
（４）第二研磨工程
次に、第一研磨工程で使用した研磨装置を行い、ポリシャを硬質ポリシャから軟質ポリシャ（ポリラックス：スピードファム社製）に替えて、第二研磨工程を実施した。研磨条件は、荷重を１００ｇ／ｃｍ2 、研磨時間を５分、除去量を５μｍとしたこと以外は、第一研磨工程と同様とした。
上記第二研磨工程を終えたガラス基板を、中性洗剤、中性洗剤、純水、純水、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）、ＩＰＡ（蒸気乾燥）の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄した。なお、各洗浄槽に超音波を印加した。
このようにして、外径６５ｍｍφ、中心部の孔径２０ｍｍφ、厚さ０．５ｍｍ、Ｒmax ４０オングストローム、Ｒａ８オングストローム程度の円板状の情報記録媒体用ガラス基板を得た。
【００２９】
以上のような方法で製造された情報記録媒体用ガラス基板は、そのガラス基板上に下地層、磁性層、保護層、潤滑層を順次積層することにより、磁気記録媒体を構成する。
【００３０】
ここで、磁気記録媒体のガラス基板の材質としては、たとえば、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ソーダアルミノケイ酸ガラス、アルミノボロシリケートガラス、ボロシリケートガラス、石英ガラス、チェーンシリケートガラス、または、結晶化ガラス等のガラスセラミックなどが挙げられる。さらに、好ましくは、次のような組成のガラスが使用される。
（１）結晶化ガラス１
重量％表示で、ＳｉＯ2 が６０〜８７％、Ｌｉ2 Ｏが５〜２０％、Ｎａ2 Ｏが０〜５％、Ｋ2 Ｏが０〜１０％、Ｎａ2 ＯとＫ2 Ｏが合計で０．５〜１０％、ＭｇＯが０．５〜７．５％、ＣａＯが０〜９．５％、ＳｒＯが０〜１５％、ＢａＯが０〜１３％、ＺｎＯが０〜１３％、Ｂ2 Ｏ3 が０〜１０％、Ａｌ2 Ｏ3 が０〜１０％、Ｐ2 Ｏ5 が０．５〜８％、ＴｉＯ2 が０〜５％、ＺｒＯ2 が０〜３％、ＳｎＯ2 が０〜３％、Ａｓ2 Ｏ3 とＳｂ2 Ｏ3 が合計で０〜２％、、上記金属酸化物の１種以上の金属元素のフッ化物をＦの合計量として０〜５％含有し、場合により着色成分として、Ｖ2 Ｏ5 、ＣｕＯ、ＭｎＯ2 、Ｃｒ2 Ｏ3 、ＣｏＯ、ＭｏＯ3 、ＮｉＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 、ＴｅＯ2 、ＣｅＯ2 、Ｐｒ2 Ｏ3 、Ｎｄ2 Ｏ3 、Ｅｒ2 Ｏ3 の群より選ばれた少なくとも１種を０〜５％含有し、主結晶としてリチウムジシリケート、場合によりα−クリストバライト、α−クオーツ、リチウムモノシリケート、β−スポジューメン等を含有し、結晶粒の大きさが３．０μｍ以下である結晶化ガラス。
（２）結晶化ガラス２
重量％表示で、ＳｉＯ2 が４５〜７５％、ＣａＯが４〜３０％、Ｎａ2 Ｏが２〜１５％、Ｋ2 Ｏが０〜２０％、Ａｌ2 Ｏ3 が０〜７％、ＭｇＯが０〜２％、ＺｎＯが０〜２％、ＳｎＯ2 が０〜２％、Ｓｂ2 Ｏ3 が０〜１％、Ｂ2 Ｏ3 が０〜６％、ＺｒＯ2 が０〜１２％、Ｌｉ2 Ｏが０〜３％、上記金属酸化物の１種以上の金属元素のフッ化物をＦの合計量として３〜１２％含有し、場合により着色成分としてＣｒ2 Ｏ3 、Ｃｏ3 Ｏ4 等を含有し、主結晶としてカナサイト又はカリウム・フルオロ・リヒテライトを含有し、結晶粒の大きさが１．０μｍ以下である結晶化ガラス。
（３）ガラス３
重量％表示で、ＳｉＯ2 が６２〜７５％、Ａｌ2 Ｏ3 が４〜１８％、ＺｒＯ2 が０〜１５％、Ｌｉ2 Ｏが３〜１２％、Ｎａ2 Ｏが３〜１３％含有するガラス。
【００３１】
このようなガラス基板は、耐衝撃性や耐振動性等の向上を目的として、表面に低温イオン交換法による化学強化処理を施すことができる。ここで、化学強化方法としては、従来より公知の化学強化法であれば特に制限されないが、例えば、ガラス転移点の観点から転移温度を超えない領域でイオン交換を行う低温型化学強化などが好ましい。化学強化に用いるアルカリ溶融塩としては、硝酸カリウム、硝酸ナトリウム、あるいは、それらを混合した硝酸塩などが挙げられる。
【００３２】
下地層としては、例えば、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ、Ｖ、Ｂ、Ａｌなどの非磁性金属から選ばれる少なくとも一種以上の材料からなる下地層等が挙げられる。Ｃｏを主成分とする磁性層の場合には、磁気特性向上等の観点からＣｒ単体やＣｒ合金であることが好ましい。また、下地層は単層とは限らず、同一又は異種の層を積層した複数層構造とすることもできる。例えば、Ｃｒ／Ｃｒ、Ｃｒ／ＣｒＭｏ、Ｃｒ／ＣｒＶ、ＣｒＶ／ＣｒＶ、Ａｌ／Ｃｒ／ＣｒＭｏ、Ａｌ／Ｃｒ／Ｃｒ、Ａｌ／Ｃｒ／ＣｒＶ、Ａｌ／ＣｒＶ／ＣｒＶ等の多層下地層等が挙げられる。
【００３３】
磁性層としては、例えば、Ｃｏを主成分とするＣｏＰｔ、ＣｏＣｒ、ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＣｒ、ＣｏＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＮｉＰｔや、ＣｏＮｉＣｒＰｔ、ＣｏＮｉＣｒＴａ、ＣｏＣｒＴａＰｔ、ＣｏＣｒＰｔＳｉＯなどの磁性薄膜が挙げられる。磁性層は、磁性膜を非磁性膜（例えば、Ｃｒ、ＣｒＭｏ、ＣｒＶなど）で分割してノイズの低減を図った多層構成（例えば、ＣｏＰｔＣｒ／ＣｒＭｏ／ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒＴａＰｔ／ＣｒＭｏ／ＣｏＣｒＴａＰｔなど）としてもよい。磁気抵抗型ヘッド（ＭＲヘッド）又は大型磁気抵抗型ヘッド（ＧＭＲヘッド）対応の磁性層としては、Ｃｏ系合金に、Ｙ、Ｓｉ、希土類元素、Ｈｆ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｚｎから選択される不純物元素、又はこれらの不純物元素の酸化物を含有させたものなども含まれる。また、磁性層としては、上記の他、フェライト系、鉄−希土類系や、ＳｉＯ2 、ＢＮなどからなる非磁性膜中にＦｅ、Ｃｏ、ＦｅＣｏ、ＣｏＮｉＰｔ等の磁性粒子が分散された構造のグラニュラーなどであってもよい。また、磁性層は、内面型、垂直型のいずれの記録形式であってもよい。
【００３４】
保護層としては、例えば、Ｃｒ膜、Ｃｒ合金膜、カーボン膜、ジルコニア膜、シリカ膜等が挙げられる。これらの保護層は、下地層、磁性層等とともにインライン型スパッタ装置で連続して形成できる。また、これらの保護層は、単層としてもよく、あるいは、同一又は異種の膜からなる多層構成としてもよい。さらに、上記保護層上に、あるいは上記保護層に替えて、他の保護層を形成してもよい。例えば、上記保護層に替えて、Ｃｒ膜の上にテトラアルコキシランをアルコール系の溶媒で希釈した中に、コロイダルシリカ微粒子を分散して塗布し、さらに焼成して酸化ケイ素（ＳｉＯ2 ）膜を形成してもよい。
【００３５】
潤滑層は、例えば、液体潤滑剤であるパーフロロポリエーテル（ＰＦＰＥ）をフレオン系などの溶媒で希釈し、媒体表面にディッピング法、スピンコート法、スプレイ法によって塗布し、必要に応じ加熱処理を行って形成する。
【００３６】
以上本発明について詳述し、上記の実施の形態は、ディスク状（円板状）ガラスをプレス成形する場合であるが、四角形などその他形状の肉薄板状ガラスをプレス成形する場合にも勿論本発明は適用できる。さらに、耐熱性固体潤滑剤粉末の付着装置も図２の噴射装置に限定されるものではない。
【００３７】
【発明の効果】
以上のように本発明の肉薄板状ガラスの製造方法によれば、成形型の成形面に耐熱性固体潤滑剤粉末を付着させるようにしたので、溶融ガラスが高温であり、かつ成形型が高温に加熱される肉薄板状ガラスのプレス成形においても優れた離型性を得ることができ、かつ溶融ガラスの延びをよくして薄い板状ガラスを量産性よく得ることができる。さらに、耐熱性固体潤滑剤粉末は、付着、残留分の除去も容易であるため、作業効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による肉薄板状ガラスの製造方法の実施の形態を説明するための平面図。
【図２】本発明の実施の形態で使用される噴射装置を具体的に示す構成図。
【図３】図２の噴射装置のノズル先端の正面図。
【符号の説明】
１１  下型
１３  噴射装置
２１  ＢＮ粉末
【図１】
0004080561.tif 000002
【図２】
0004080561.tif 000003
【図３】
0004080561.tif 000004