(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スタンパー作製工程において作製したスタンパーを使用して、その表面に記録層が形成されたトラッキング用の案内溝をレーザービームの入射方向側の一面に形成した基材を備えると共にその表面に記録層が形成されるトラッキング用の案内溝が一面に形成された光透過層を前記基材の上部に積層して構成される多層光記録媒体を製造する多層光記録媒体の製造方法であって、
前記スタンパー作製工程として、前記案内溝の凹凸と反転する向きの反転微細凹凸が表面に形成された金属製の第１スタンパーと、前記案内溝の凹凸と同じ向きの微細凹凸が表面に形成された金属製のスタンパーから転写して前記案内溝の凹凸と反転する向きであってその深さが前記第１スタンパーの前記反転微細凹凸の深さよりも深く、かつ前記光透過層の形成に使用した際に前記基材の一面に形成される前記案内溝と同一深さの前記案内溝を当該光透過層の前記一面に形成可能な反転微細凹凸が表面に形成された樹脂製スタンパーとを作製する工程を少なくとも実施し、
前記多層光記録媒体を製造するための中間工程として、前記第１スタンパーから転写して前記一面に前記案内溝が形成された前記基材を作製する工程と、
前記作製した基材における前記案内溝の前記表面に前記記録層を形成する工程と、
前記形成した記録層の表面に光透過性樹脂を塗布する工程と、
前記塗布した光透過性樹脂の表面に前記樹脂製スタンパーから転写してその深さが前記基材に形成された前記案内溝の深さと同一の前記案内溝が形成された前記光透過層を形成する工程と、
前記形成した光透過層における前記案内溝の前記表面に前記記録層を形成する工程とを少なくとも実施する多層光記録媒体の製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の多層光記録媒体の製造方法に従って製造され、その表面に前記記録層が形成されたトラッキング用の案内溝を前記レーザービームの入射方向側の前記一面に形成した前記基材を備えると共にその表面に前記記録層が形成されるトラッキング用の案内溝が前記一面に形成された前記光透過層を前記基材の上部に１または２以上積層して構成される多層光記録媒体であって、
前記基材および前記光透過層の前記各一面にそれぞれ形成された前記各案内溝は同一の深さに形成されている多層光記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、その表面に記録層が形成されたトラッキング用の案内溝をレーザービームの入射方向側の一面に形成した基材を備えると共にその表面に記録層が形成されるトラッキング用の案内溝が一面に形成された光透過層を前記基材の上部に積層した多層光記録媒体の製造方法、および多層光記録媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の多層光記録媒体として、図１８に示す多層（一例として２層）光記録媒体３１が知られている。この多層光記録媒体３１は、いわゆる片面多層光記録媒体であって、中心部に装着用中心孔が形成された平板状（一例として円板状）の基材Ｄの上に、記録層Ｌ１、スペーサ層ＳＰ、記録層Ｌ０およびカバー層Ｃが順に積層されている。この場合、基材Ｄは、カバー層Ｃ側の表面に案内溝（グルーブＧＲやランドＬＤ）等の微細凹凸（深さＬｄ１２）が形成されている。また、記録層Ｌ１は、この微細凹凸上に、記録用レーザービームおよび再生用レーザービーム（以下、区別しないときには「レーザービーム」ともいう）を反射する反射膜や、記録用レーザービームを照射することによって光学的定数の変化に伴って光反射率が変化する相変化膜、および相変化膜を保護する保護膜などを積層して構成されている。また、スペーサ層ＳＰは、光透過性樹脂で形成され、カバー層Ｃ側の表面に基材Ｄに形成された微細凹凸の深さＬｄ１２と同等の深さＬｄ０２のグルーブＧＲやランドＬＤ等の微細凹凸が形成されている。また、記録層Ｌ０は、この微細凹凸上に、相変化膜や保護膜などを積層して構成されている。カバー層Ｃは、光透過性樹脂で形成されている。この多層光記録媒体３１では、同図の矢印Ａの向きで光ピックアップからレーザービームが照射されることにより、記録層Ｌ０，Ｌ１に対する記録データの記録、または記録層Ｌ０，Ｌ１からの記録データの読み出しが行われる。
【０００３】
次に、この多層光記録媒体３１の製造方法について図１４〜図１８を参照して説明する。
【０００４】
この多層光記録媒体３１の製造に際しては、まず、基材Ｄの表面に形成するグルーブＧＲ、ランドＬＤおよびピット等（以下、「グルーブＧＲやランドＬＤ等」ともいう）の微細凹凸と同じ向きの微細凹凸（以下、「同相微細凹凸」ともいう）が表面に形成されたマスタースタンパーＭＳＳを金属材料を用いて作製する。次いで、図１４に示すように、このマスタースタンパーＭＳＳの表面に形成された微細凹凸を転写することにより、グルーブＧＲやランドＬＤ等の微細凹凸と反転する向き（位相が反転する向き）の微細凹凸（以下、「反転微細凹凸」ともいう）が表面に形成されたマザースタンパーＭＴＳ１１を金属材料を用いて作製する。この場合、金属材料でマザースタンパーＭＴＳ１１を作製するため、マザースタンパーＭＴＳ１１の微細凹凸は、マスタースタンパーＭＳＳの微細凹凸に対して、深さＤＰＭＳ１１が同じで向きが反転する。さらに、図１５に示すように、このマザースタンパーＭＴＳ１１から転写することにより、グルーブＧＲやランドＬＤ等と同じ向きの同相微細凹凸が表面に形成されたチャイルドスタンパーＣＨＳを金属材料を用いて作製する。この場合、金属材料でチャイルドスタンパーＣＨＳを作製するため、チャイルドスタンパーＣＨＳの微細凹凸も、マザースタンパーＭＴＳ１１の微細凹凸に対して、深さＤＰＭＳ１１が同じで向きが反転する。
【０００５】
次に、図１６に示すように、マザースタンパーＭＴＳ１１およびチャイルドスタンパーＣＨＳをそれぞれの樹脂成形用金型（図示せず）内にセットし、各金型内に樹脂材を射出することにより、その表面にグルーブＧＲやランドＬＤ等が形成された基材Ｄとカバー層Ｃとをそれぞれ作製する。この場合、カバー層Ｃは、光透過性樹脂材料を用いて作製する。次いで、図１７に示すように、作製した基材ＤのグルーブＧＲやランドＬＤ等の上に記録層Ｌ１を形成し、作製したカバー層Ｃの微細凹凸形成面上に記録層Ｌ０を形成する。最後に、図１８に示すように、基材Ｄとカバー層Ｃとを、互いの微細凹凸形成面同士が対向するようにして光透過性樹脂製の接着剤を用いて貼り合わせる。この場合、光透過性樹脂製の接着剤によって形成される接着層が光透過層としてのスペーサ層ＳＰを構成する。この状態では、基材Ｄ上の記録層Ｌ１とカバー層Ｃ上（スペーサ層ＳＰ上）の記録層Ｌ０は、入射光の向きに対して、その向きが共に同じ同相微細凹凸を有することとなる。また、スペーサ層ＳＰにおけるカバー層Ｃに接する表面には、硬化前の接着剤がカバー層Ｃに形成された微細凹凸に馴染むことによってこの微細凹凸とは向きが反転した微細凹凸が形成される。以上の工程によって、多層光記録媒体３１が製造される。なお、各図面において、基材Ｄおよびスペーサ層ＳＰ各々のグルーブＧＲの溝幅が作図上異なっているが、実際には、両者はほぼ等しく形成される。
【０００６】
しかしながら、この製造方法では、カバー層Ｃを射出成形によって作製するため、カバー層Ｃの厚みを薄く形成することが容易でなく、多層光記録媒体３１全体の厚みが厚くなるという問題点がある。
【０００７】
そこで、出願人は、カバー層Ｃの膜厚が薄い多層光記録媒体４１を製造可能な製造方法を開発した。なお、この多層光記録媒体４１も多層光記録媒体３１と同様にして、図２５に示すように、矢印Ａの向きで光ピックアップからレーザービームが照射されることにより、記録層Ｌ０，Ｌ１に対する記録データの記録、または記録層Ｌ０，Ｌ１からの記録データの読み出しが行われる。以下、この製造方法について図１９〜図２５を用いて説明する。なお、多層光記録媒体３１と同一の構成については同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【０００８】
この製造方法では、最初に、スタンパー作製工程を実施する。この工程では、まず、前述した多層光記録媒体３１の製造方法と同様にして、マスタースタンパーＭＳＳを１つ作製し、このマスタースタンパーＭＳＳを用いて金属製のマザースタンパーＭＴＳ１１を作製する（図１４参照）。この場合、金属材料は転写性が良好で、かつ収縮率を無視できるため、マザースタンパーＭＴＳ１１は、その反転微細凹凸がマスタースタンパーＭＳＳにおける微細凹凸の深さＤＰＭＳ１１とほぼ等しく形成される。次いで、このマザースタンパーＭＴＳ１１を用いてチャイルドスタンパーＣＨＳを金属材料を用いて作製する（図１５参照）。この場合、チャイルドスタンパーＣＨＳもマザースタンパーＭＴＳ１１と同様にして金属材料を用いて作製するため、その表面に形成された同相微細凹凸がマスタースタンパーＭＳＳにおける微細凹凸の深さＤＰＭＳ１１とほぼ等しく形成される。次に、図１９に示すように、このチャイルドスタンパーＣＨＳを用いて、チャイルドスタンパーＣＨＳの微細凹凸の向きとは反転しマザースタンパーＭＴＳ１１と同じ向きの反転微細凹凸が表面に形成（転写）されたスタンパーＲＳを光透過性の樹脂材料（例えば、アクリル製）を用いて作製する。この場合、樹脂材料の転写性は金属材料の転写性よりも劣り、かつこの樹脂材料の収縮率（この例では、０．５％〜１．５％）がめっき工程における金属材料の収縮率（例えば、ほぼ０％）よりも遙かに大きい。このため、スタンパーＲＳは、その表面に形成されたグルーブＧＲやランドＬＤ等を形成するための微細凹凸の深さＤＰＲＳ１１がチャイルドスタンパーＣＨＳの微細凹凸の深さＤＰＭＳ１１よりも浅く形成される。
【０００９】
次いで、作製した各スタンパーを用いて多層光記録媒体４１の製造工程を実施する。この工程では、まず、マザースタンパーＭＴＳ１１を樹脂成形用金型（図示せず）内にセットし、金型内に樹脂材（例えば、ＰＣ（ポリカーボネート））を射出することにより、図２０に示すように、表面にグルーブＧＲやランドＬＤ等の案内溝が形成（転写）された基材Ｄを作製する。この場合、樹脂として用いるＰＣの収縮率が０．５％〜１．５％のため、基材Ｄの微細凹凸の深さＬｄ１３は、その分だけマザースタンパーＭＴＳ１１における微細凹凸の深さＤＰＭＳ１１よりも浅く形成される。次いで、図２１に示すように、作製した基材Ｄの微細凹凸形成面上に、例えばスパッタ法によって記録層Ｌ１を成膜（形成）する。
【００１０】
次に、図２２に示すように、基材Ｄにおける記録層Ｌ１の形成面上に光透過性を有する樹脂の塗液Ｒを滴下し、スピンコート法によって基材Ｄの表面全域に亘って塗液Ｒを薄膜状に塗布する。次に、図２３に示すように、塗液Ｒが塗布された基材Ｄの上にその微細凹凸形成面を塗液Ｒ側に向けた状態で樹脂製のスタンパーＲＳを覆い被せる。この場合、基材Ｄ上に塗布が完了した時点では、塗液Ｒは、流動性を有しているため、スタンパーＲＳの表面の微細凹凸の形状に馴染みつつ、スタンパーＲＳと基材Ｄとの間の隙間全体に行き渡る。
【００１１】
次いで、塗液Ｒを硬化させる。具体的には、塗液Ｒとして紫外線硬化型樹脂を用いた場合、スタンパーＲＳ側から紫外線を照射することにより、塗液Ｒを硬化させる。この際に、樹脂製のスタンパーＲＳからスペーサ層ＳＰへの転写性（使用する紫外線硬化型樹脂の収縮率、および紫外線硬化型樹脂と樹脂製のスタンパーとの接触圧等に起因）に応じて、スペーサ層ＳＰに形成されるランドＬＤの深さＬｄ０３は樹脂製のスタンパーＲＳの微細凹凸の深さＤＰＲＳ１１よりも、２〜１０％浅くなる。次に、図２４に示すように、基材ＤからスタンパーＲＳを剥離する。これにより、表面にグルーブＧＲやランドＬＤ等の微細凹凸が形成（転写）されたスペーサ層ＳＰが完成する。この場合、基材ＤのグルーブＧＲ（案内溝）は、樹脂として用いるＰＣの収縮率に応じて浅く形成される。一方、スペーサ層ＳＰのグルーブＧＲは、スタンパーＲＳ作製の際に樹脂が収縮してスタンパーＲＳの反転微細凹凸が浅くなるのに加えて、スペーサ層ＳＰの形成の際にもスタンパーＲＳからの転写性に起因して、その分、さらに浅く形成される。したがって、基材Ｄを作製する際の樹脂の収縮とスタンパーＲＳ作製の際の樹脂の収縮が同程度とした場合であっても、スペーサ層ＳＰのグルーブＧＲは、スタンパーＲＳからの転写性に起因して浅く形成される分だけ、基材ＤのランドＬＤの深さＬｄ１３よりも確実に浅く形成される。
【００１２】
続いて、図２５に示すように、形成したスペーサ層ＳＰの微細凹凸形成面上に、例えばスパッタ法によって記録層Ｌ０を成膜する。次いで、その記録層Ｌ０の上に塗液をスピンコートして硬化させることによりカバー層Ｃを形成する。これにより、多層光記録媒体４１の製造が完了する。この製造方法によれば、カバー層Ｃをスピンコート法によって作製するため、カバー層Ｃを樹脂成形によって製造する方法と比べてカバー層Ｃの膜厚を薄く形成することができる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記したスタンパーＲＳを使用して製造した多層光記録媒体４１には、以下の解決すべき課題がある。すなわち、多層光記録媒体４１の記録層Ｌ１，Ｌ０に対する記録データの記録、または記録層Ｌ０，Ｌ１からの記録データの読み出しを行う際には、各記録層Ｌ０，Ｌ１で反射されたレーザービームを受光した光ピックアップから出力されるトラッキング差信号を用いてトラッキングサーボが行われる。この場合、トラッキング差信号の信号レベルは、基材Ｄやスペーサ層ＳＰの表面に形成されたランドＬＤの深さに左右され、一般的に、所定範囲内では、その信号レベルはランドＬＤが深いほど大きくなる。具体的には、トラッキング差信号の信号レベルＩｐとランドＬＤの深さＬｄとの間には下記の式が成立する。
Ｉｐ∝ｓｉｎ（２π・２・ｎ・Ｌｄ／λ）
ここで、ｎはカバー層Ｃ（またはスペーサ層ＳＰ）の屈折率、λはレーザービーム波長を意味する。
【００１４】
一方、多層光記録媒体４１では、前述したように、基材Ｄを作製する際の樹脂の収縮とスタンパーＲＳ作製の際の樹脂の収縮が同程度とした場合、スペーサ層ＳＰのランドＬＤの深さＬｄ０３は、スタンパーＲＳからの転写性に起因して浅く形成される分だけ、基材ＤのランドＬＤの深さＬｄ１３よりも確実に浅く形成される。このため、この多層光記録媒体４１では、記録層Ｌ１に対するトラッキングサーボよりも記録層Ｌ０に対するトラッキングサーボの方が行いにくくなり、記録層Ｌ０に対する記録データの記録や、記録層Ｌ０からの記録データの読み出しを良好に行うのが困難となるおそれがあるという解決すべき課題が存在する。
【００１５】
本発明は、かかる改善すべき点に鑑みてなされたものであり、各記録層に対する記録データの記録および読出しを良好に行いつつ、全体の厚みを薄く形成し得る多層光記録媒体の製造方法を提供することを主目的とする。また、全体としての厚みを厚くすることなく各記録層に対する記録データの記録および読出しを良好に行い得る多層光記録媒体を提供することを他の目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく本発明に係る多層光記録媒体の製造方法は、スタンパー作製工程において作製したスタンパーを使用して、その表面に記録層が形成されたトラッキング用の案内溝をレーザービームの入射方向側の一面に形成した基材を備えると共にその表面に記録層が形成されるトラッキング用の案内溝が一面に形成された光透過層を前記基材の上部に積層して構成される多層光記録媒体を製造する多層光記録媒体の製造方法であって、前記スタンパー作製工程として、前記案内溝の凹凸と反転する向きの反転微細凹凸が表面に形成された金属製の第１スタンパーと、前記案内溝の凹凸と同じ向きの微細凹凸が表面に形成された金属製のスタンパーから転写して前記案内溝の凹凸と反転する向きであってその深さが前記第１スタンパーの前記反転微細凹凸の深さよりも深く、かつ前記光透過層の形成に使用した際に前記基材の一面に形成される前記案内溝と同一深さの前記案内溝を当該光透過層の前記一面に形成可能な反転微細凹凸が表面に形成された樹脂製スタンパーとを作製する工程を少なくとも実施し、前記多層光記録媒体を製造するための中間工程として、前記第１スタンパーから転写して前記一面に前記案内溝が形成された前記基材を作製する工程と、前記作製した基材における前記案内溝の前記表面に前記記録層を形成する工程と、前記形成した記録層の表面に光透過性樹脂を塗布する工程と、前記塗布した光透過性樹脂の表面に前記樹脂製スタンパーから転写してその深さが前記基材に形成された前記案内溝の深さと同一の前記案内溝が形成された前記光透過層を形成する工程と、前記形成した光透過層における前記案内溝の前記表面に前記記録層を形成する工程とを少なくとも実施する。
【００１７】
また、本発明に係る多層光記録媒体は、上記の多層光記録媒体の製造方法に従って製造され、その表面に前記記録層が形成されたトラッキング用の案内溝を前記レーザービームの入射方向側の前記一面に形成した前記基材を備えると共にその表面に前記記録層が形成されるトラッキング用の案内溝が前記一面に形成された前記光透過層を前記基材の上部に１または２以上積層して構成される多層光記録媒体であって、前記基材および前記光透過層の前記各一面にそれぞれ形成された前記各案内溝は同一の深さに形成されている。
【００１８】
なお、本発明に係る多層光記録媒体の上記製造方法の中間工程において、表面に記録層が形成されるトラッキング用の案内溝が一面に形成された光透過層は、前記基材上に形成した前記記録層の表面に光透過性樹脂を塗布する工程と、前記塗布した光透過性樹脂の表面に前記樹脂製スタンパーから転写して前記案内溝が形成された前記光透過層を形成する工程とを実施することによって作製された１層の樹脂層で形成しているが、上記工程で用いられる前記基材と前記樹脂製スタンパーを用いて２層以上の樹脂層によって形成することも可能である。この場合の光透過層の製造方法では、前記樹脂製スタンパー上に前記光透過性樹脂を塗布し、前記光透過性樹脂の表面に前記樹脂製スタンパーから転写して案内溝が形成された光透過層（第１層）を形成する工程と、前記基材上に形成した前記記録層の上に光透過性接着樹脂（第２層）を塗布する工程と、前記案内溝が形成された光透過層と前記基材とを互いに樹脂同士が対向する向きで貼り合わせる（接着する）工程とを少なくとも実施する。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る多層光記録媒体および多層光記録媒体の製造方法の好適な実施の形態について説明する。
【００２０】
最初に、多層（一例として２層）光記録媒体１の構成について、図９を参照して説明する。
【００２１】
多層光記録媒体１は、例えば、相変化記録層を複数備えたいわゆる片面多層光記録媒体（書き換え型光記録媒体）であって、少なくとも、基材Ｄ、記録層Ｌ１、スペーサ層ＳＰ、記録層Ｌ０およびカバー層Ｃを備えて構成されている。基材Ｄは、樹脂（例えば、ポリカーボネート）を材料として平板状（一例として円板状）に形成され、その一方の面（図９における上面）には、その中心部近傍から外縁部に向けて、微細凹凸としてのレーザービームガイド用のグルーブＧＲ、およびランドＬＤが螺旋状に形成されている。また、この基材Ｄに形成されたランドＬＤの深さＬｄ１１は、トラッキングサーボ時において、Ｓ／Ｎの良好なトラッキング差信号が得られるように、上記した多層光記録媒体３１，４１における基材Ｄの表面に形成されたランドＬＤの深さＬｄ１２，Ｌｄ１３と同等になるように設定されている。記録層Ｌ１は、基材Ｄの表面に形成されたグルーブＧＲ上やランドＬＤの上部に、反射膜、相変化膜、および保護膜などを積層して構成されている。この場合、相変化膜は、ＧｅＴｅＳｂ、ＩｎＳｂＴｅまたはＡｇＧｅＩｎＳｂＴｅなどの相変化材料を例えばスパッタ法によって薄膜状に形成されている。
【００２２】
スペーサ層ＳＰは、光透過性樹脂で形成され、そのカバー層Ｃ側の表面にグルーブＧＲおよびランドＬＤ等が形成されている。この場合、スペーサ層ＳＰに形成されたランドＬＤの深さＬｄ０１は、トラッキングサーボ時において、Ｓ／Ｎの良好なトラッキング差信号が得られるように、基材Ｄの表面に形成されたランドＬＤの深さＬｄ１１と同等になるように設定されている。記録層Ｌ０は、スペーサ層ＳＰの表面に形成されたグルーブＧＲ上やランドＬＤ上に、相変化膜や保護膜などを積層して構成されている。この場合、記録層Ｌ０の相変化膜は、記録層Ｌ１の相変化膜と同様の構成を備えている。カバー層Ｃは、記録層Ｌ０の傷付きを防止すると共に光路の一部（レンズ）としての役割を有する層であって、記録層Ｌ０の上に光透過性樹脂の塗液ＲＣをスピンコートして硬化させることによって形成されている。この多層光記録媒体１では、同図の矢印Ａの向きで光ピックアップから記録用レーザービーム（例えば波長が４０５ｎｍのレーザービーム）が記録層Ｌ１，Ｌ０に照射されることにより、この記録層Ｌ１，Ｌ０が非晶質状態と結晶状態との間で可逆的に相変化させられて記録マークの記録および消去が行われる。具体的には、記録層Ｌ１，Ｌ０に記録用レーザービームが照射された際に、その照射部分が融点以上に加熱された後に急速に冷却（急冷）されることによって非晶質化されて、２値記録データに応じて記録マークが形成される。また、記録層Ｌ１，Ｌ０は、記録用レーザービームが照射された際に、その照射部分が結晶化温度以上に加熱された後に徐々に冷却（徐冷）されることによって結晶化されて、記録マークが消去される。さらに、同図の矢印Ａの向きで光ピックアップから再生用レーザービームが照射されることにより、記録層Ｌ０，Ｌ１からの記録データの読み出しが行われる。
【００２３】
このように、この多層光記録媒体１によれば、スペーサ層ＳＰのランドＬＤの深さＬｄ０１を基材ＤのランドＬＤの深さＬｄ１１と同等に形成したことにより、記録層Ｌ０に対するトラッキングサーボ時におけるトラッキング差信号の信号レベルをより高く維持することができる。このため、記録層Ｌ０に対するトラッキングサーボ時に光ピックアップから出力されるトラッキング差信号のＳ／Ｎを改善することができる結果、記録層Ｌ０に対するトラッキングサーボを記録層Ｌ１に対するトラッキングサーボと同様にして良好に行うことができる。したがって、各記録層Ｌ０，Ｌ１に対する記録データの記録および読出しを良好に行うことができる。また、記録層Ｌ０の上に塗液をスピンコートして硬化させることによってカバー層Ｃを形成するため、射出成形によってカバー層Ｃが作製された多層光記録媒体３１と比較して、カバー層Ｃの厚みを薄く形成することができる結果、多層光記録媒体１全体としての厚みを薄くすることができる。
【００２４】
次に、多層光記録媒体１の製造方法について、図１〜図９を参照して説明する。
【００２５】
この多層光記録媒体１の製造に際しては、まず、本発明におけるスタンパー作製工程を実施する。最初に、金属製平板（一例として金属円板）の表面にカッティング加工することにより、基材Ｄの表面に形成するグルーブＧＲやランドＬＤ等の微細凹凸と同じ向きの関係にある同相微細凹凸を持つ第１のマスタースタンパー（図示せず）を作製する。次いで、多層光記録媒体３１の製造方法と同様にして、この第１のマスタースタンパーから転写して、図１に示すように、本発明における第１スタンパーに相当する第１のマザースタンパーＭＴＳ１を作製する。また、金属製平板（一例として金属円板）の表面にカッティング加工することにより、同相微細凹凸を持つ第２のマスタースタンパー（図示せず）を作製する。次いで、第２のマスタースタンパーから金属材料に偶数回転写することにより、図２に示すように、同相微細凹凸を持つチャイルドスタンパーＣＨＳ２を作製する。さらに、図３に示すように、このチャイルドスタンパーＣＨＳ２（または第２のマスタースタンパー）を用いて、反転微細凹凸が表面に形成された樹脂製のスタンパーＲＳを作製し、このスタンパーＲＳをスペーサ層ＳＰの表面にグルーブＧＲやランドＬＤ等の微細凹凸を形成するために使用する。
【００２６】
この場合、多層光記録媒体１の記録層Ｌ０に対するトラッキングサーボ時に光ピックアップから出力されるトラッキング差信号のＳ／Ｎが記録層Ｌ１に対するトラッキングサーボ時に光ピックアップから出力されるトラッキング差信号のＳ／Ｎと同じように良好になることが好ましい。したがって、多層光記録媒体１におけるスペーサ層ＳＰの表面に形成されるランドＬＤの深さＬｄ０１は、多層光記録媒体１における基材Ｄの表面に形成されたランドＬＤの深さＬｄ１１と同一に設定する。その一方、多層光記録媒体１の製造においては、スペーサ層ＳＰのグルーブＧＲの形成に樹脂製のスタンパーＲＳを使用する。この場合、第２のマザースタンパーＭＴＳ２からスタンパーＲＳを作製する際に、樹脂製のスタンパーＲＳは使用した樹脂材料に固有の収縮率で収縮する。また、樹脂製のスタンパーＲＳからスペーサ層ＳＰを作製する際の転写性により、その分グルーブＧＲが浅く形成される。一方、前述したように金属材料は転写性が良好で、かつ収縮率を無視できるため、第１のマスタースタンパーと第１のマザースタンパーＭＴＳ１の各微細凹凸の深さがほぼ等しく形成され、また第２のマスタースタンパーとチャイルドスタンパーＣＨＳ２の各微細凹凸の深さもほぼ等しく形成される。したがって、第２のマスタースタンパーのカッティング加工時には、樹脂製のスタンパーＲＳの収縮率と樹脂製のスタンパーＲＳからスペーサ層ＳＰへの転写性とを考慮して、スタンパーＲＳの反転微細凹凸の深さＤＰＲＳが第１のマザースタンパーＭＴＳ１の反転微細凹凸の深さＤＰＭＳ１よりも深く、かつスペーサ層ＳＰの表面に形成されるランドＬＤの深さＬｄ０１と基材Ｄの表面に形成されるランドＬＤの深さＬｄ１１とが同一となる条件を満たす深さＤＰＭＳ２（チャイルドスタンパーＣＨＳ２の反転微細凹凸の深さも同等）で同相微細凹凸をカッティング加工する。具体的には、微細凹凸における溝の深さＤＰＭＳ２を第１のマザースタンパーＭＴＳ１に形成された反転微細凹凸の深さＤＰＭＳ１よりも例えば０．５ｎｍ〜５ｎｍ程度深くなるように加工する。
【００２７】
次いで、第１のマザースタンパーＭＴＳ１を樹脂成形用金型内にセットし、金型内に樹脂材（例えば、ＰＣ（ポリカーボネート））を射出することにより、図４に示すように、表面にグルーブＧＲやランドＬＤ等の案内溝が形成（転写）された基材Ｄを作製する。この場合、樹脂として用いるＰＣの収縮率が０．５％〜１．５％のため、基材Ｄの微細凹凸の深さＬｄ１１はその分、第１のマザースタンパーＭＴＳ１の反転微細凹凸の深さＤＰＭＳ１よりも浅く形成される。次いで、図５に示すように、作製した基材Ｄの微細凹凸形成面上に、例えばスパッタ法によって記録層Ｌ１を成膜（形成）する。
【００２８】
次に、図６に示すように、基材Ｄにおける記録層Ｌ１の形成面上に光透過性を有する樹脂の塗液Ｒを滴下し、スピンコート法によって基材Ｄの表面全域に亘って塗液Ｒを薄膜状に塗布する。次に、図７に示すように、塗液Ｒが塗布された基材Ｄの上にその微細凹凸形成面を塗液Ｒ側に向けた状態で樹脂製のスタンパーＲＳを覆い被せる。この場合、基材Ｄ上に塗布が完了した時点では、塗液Ｒは、流動性を有しているため、スタンパーＲＳの表面の微細凹凸の形状に馴染みつつ、スタンパーＲＳと基材Ｄとの間の隙間全体に行き渡る。
【００２９】
次いで、塗液Ｒを硬化させる。具体的には、塗液Ｒとして紫外線硬化型樹脂を用いた場合、スタンパーＲＳ側から紫外線を照射することにより、塗液Ｒを硬化させる。この際に、樹脂製のスタンパーＲＳからスペーサ層ＳＰへの転写性（使用する紫外線硬化型樹脂の収縮率、および紫外線硬化型樹脂と樹脂製のスタンパーとの接触圧等に起因）に応じて、スペーサ層ＳＰに形成されるランドＬＤの深さＬｄ０１は樹脂製のスタンパーＲＳの微細凹凸の深さＤＰＲＳ（図３参照）よりも、２〜１０％浅くなる。この場合、スタンパーＲＳの反転微細凹凸の深さＤＰＲＳは、第１のマザースタンパーＭＴＳ１の反転微細凹凸の深さＤＰＭＳ１よりも、前述した樹脂製のスタンパーＲＳからスペーサ層ＳＰへの転写性を考慮して予め深く形成されている。この結果、スペーサ層ＳＰに形成されるランドＬＤの深さＬｄ０１は、基材Ｄに形成されたランドＬＤの深さＬｄ１１と同等に形成される（図８参照）。次に、図８に示すように、基材ＤからスタンパーＲＳを剥離する。これにより、表面にグルーブＧＲやランドＬＤ等の微細凹凸が形成（転写）されたスペーサ層ＳＰが完成する。
【００３０】
続いて、図９に示すように、形成したスペーサ層ＳＰの微細凹凸形成面上に、例えばスパッタ法によって記録層Ｌ０を成膜する。以上までの工程が、本発明における中間工程に相当する。次いで、その記録層Ｌ０の上に塗液ＲＣをスピンコートして硬化させることによりカバー層Ｃを形成する。これにより、多層光記録媒体１の製造が完了する。
【００３１】
このように、この多層光記録媒体の製造方法によれば、樹脂製のスタンパーＲＳからスペーサ層ＳＰへの転写性を考慮してスタンパーＲＳの反転微細凹凸の深さＤＰＲＳを第１のマザースタンパーＭＴＳ１の反転微細凹凸の深さＤＰＭＳ１よりも予め深く形成することにより、スペーサ層ＳＰのランドＬＤの深さＬｄ０１と基材ＤのランドＬＤの深さＬｄ１１とを同等に形成することができる。また、記録層Ｌ０の上に塗液Ｒ１をスピンコートした後に硬化させてカバー層Ｃを形成することにより、カバー層Ｃの厚み、ひいては媒体全体としての厚みが薄い多層光記録媒体１を製造することができる。
【００３２】
なお、本発明は、上記した発明の実施の形態に限らず、適宜変更が可能である。例えば、前述した実施の形態で作製した基材ＤとスタンパーＲＳとを用いて、２層以上の光透過性樹脂層からなるスペーサ層ＳＰを製造することも可能である。この場合、図１０に示すように、スタンパーＲＳにおける微細凹凸の形成面上に光透過性を有する樹脂の塗液Ｒ１を滴下し、スピンコート法によってスタンパーＲＳの表面全域に亘って塗液Ｒ１を塗布する。次いで、この塗液Ｒ１を硬化させる。具体的には、塗液Ｒ１として紫外線硬化樹脂を用いた場合には、紫外線を照射することにより硬化させる。この際に、前述したようにスタンパーＲＳからの転写性に応じて、スペーサ層ＳＰに形成されるランドＬＤの深さＬｄ０１はスタンパーＲＳの微細凹凸の深さＤＰＲＳよりも浅くなる。次に、図１１に示すように、基材Ｄにおける記録層Ｌ１の形成面上に光透過性樹脂製の塗液Ｒ２を滴下し、スピンコート法によって基材Ｄの表面全体に亘って塗液Ｒ２を塗布する。次いで、図１２に示すように、塗液Ｒ１と塗液Ｒ２とを密着させて、基材ＤにスタンパーＲＳを貼り合わせる。具体的には、塗液Ｒ２として紫外線硬化型の光透過性接着樹脂を用いた場合には、スタンパーＲＳ側から紫外線を照射し、塗液Ｒ２を硬化させることにより、基材ＤにスタンパーＲＳを貼り合わせる。
【００３３】
続いて、基材ＤからスタンパーＲＳを剥離する。これにより、図１３に示すように、塗液Ｒ１および塗液Ｒ２によって形成された２層の樹脂層から構成されると共に、塗液Ｒ１による樹脂層の表面にグルーブＧＲやランドＬＤ等の微細凹凸が形成(転写)されたスペーサ層ＳＰが完成する。このような作製工程を採用することによっても、スペーサ層ＳＰのランドＬＤの深さＬｄ０１と基材ＤのランドＬＤの深さＬｄ１１とが同一に形成される。このスペーサ層ＳＰの作製工程によれば、基材ＤおよびスタンパーＲＳに特性が異なる材質の樹脂を塗布することができる。このため、記録層Ｌ１および記録層Ｌ０にとって適切な樹脂をそれぞれ使用することができる。なお、基材Ｄ側に塗布した塗液Ｒ２を硬化させ、スタンパーＲＳ側に塗液Ｒ１として紫外線硬化型の光透過性接着樹脂を塗布し、基材ＤおよびスタンパーＲＳを重ねた後に塗液Ｒ１を硬化させる作製工程を採用することもできる。
【００３４】
また、上記した発明の実施の形態では、一例として、相変化膜を用いて各記録層Ｌ０，Ｌ１を構成した例について説明したが、各記録層Ｌ０，Ｌ１を、追記型の記録層や再生専用層で構成することもできる。また、複数の記録層や複数の再生専用層を有するＤＶＤファミリーの一部にも適用することができる。また、第１のマザースタンパーＭＴＳ１を直接的に使用する方法に代えて、第１のマザースタンパーＭＴＳ１から金属材料に偶数回転写して作製した金属製スタンパーを使用して基材Ｄを作製することもできる。
【００３５】
また、基材Ｄは円板状に限らず、長方形等の多角形や楕円等の各種形状に形成することができる。また、本発明の実施の形態では、２層の記録層Ｌ１，Ｌ０を有する多層光記録媒体１を例に挙げて説明したが、３層以上の記録層を有する多層光記録媒体にも、本発明を有効に適用することができる。この多層光記録媒体は、その表面に記録層が形成されたトラッキング用の案内溝（グルーブＧＲやランドＬＤ等）をレーザービームの入射方向側の一面に形成した基材Ｄを備え、その表面に記録層が形成されるトラッキング用の案内溝（グルーブＧＲやランドＬＤ）が一面に形成された光透過層を基材Ｄの上部に２以上積層されると共に、各案内溝が同一の深さに形成された構成を備える。また、各金属製のスタンパーおよび各樹脂製のスタンパーの材質については、特に限定されるものではなく、適宜選択することができる。また、本発明の各実施の形態では、記録層Ｌ１に反射膜が含まれる構成を採用した例について説明したが、本発明においては記録層Ｌ１中に反射膜が存在する構成は必須ではなく、基材Ｄや各層の反射率および屈折率を適宜調整して記録層Ｌ１からのレーザービームの反射光が記録や再生に支障のない程度に十分に得られる層構造となっていればよい。また、本発明の実施の形態では、記録層Ｌ０の上に光透過性樹脂の塗液ＲＣをスピンコートして硬化させることによってカバー層Ｃを形成する方法を採用した例について説明したが、光透過性の樹脂シートを光透過性の接着層を介して貼り付けることによってカバー層を形成する方法を採用することもできる。この場合には、樹脂シートとしては、例えば厚みが５０μｍ〜１００μｍ程度のポリカーボネート樹脂製のシートを使用し、また光透過性の接着層としては、例えば紫外線硬化型の接着剤を使用することができる。
【００３６】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係る多層光記録媒体の製造方法によれば、スタンパー作製工程として、基材や光透過層の表面に形成される案内溝の凹凸と反転する向きの反転微細凹凸が表面に形成された金属製の第１スタンパーと、案内溝の凹凸と同じ向きの微細凹凸が表面に形成された金属製のスタンパーから転写して案内溝の凹凸と反転する向きであってその深さが第１スタンパーの反転微細凹凸の深さよりも深く、かつ光透過層の形成に使用した際に光透過層の一面に基材の一面に形成される案内溝と同一深さの案内溝を形成可能な反転微細凹凸が表面に形成された樹脂製スタンパーを作製する工程を少なくとも実施し、これらの第１スタンパーおよび樹脂製スタンパーを用いて基材および光透過層をそれぞれ形成することにより、光透過層の案内溝の深さと基材の案内溝の深さとを同等に形成することができる結果、すべての記録層に対するトラッキングサーボ時におけるトラッキング差信号のＳ／Ｎが良好な多層光記録媒体を製造することができる。また、この製造方法によれば、記録層の上に塗液をスピンコートして硬化させることでカバー層を形成することにより、カバー層の厚みを薄くすることができる結果、多層光記録媒体自体も薄く形成することができる。
【００３７】
また、本発明に係る多層光記録媒体によれば、基材および光透過層の各一面にそれぞれ形成された各案内溝を同一の深さに形成したことにより、光透過層の一面に形成された記録層に対するトラッキングサーボ時におけるトラッキング差信号の信号レベルを基材の一面に形成された記録層に対するトラッキングサーボ時におけるトラッキング差信号の信号レベルと同等に高い状態で維持することができる。したがって、光透過層に形成された記録層に対するトラッキングサーボ時に光ピックアップから出力されるトラッキング差信号のＳ／Ｎを改善することができる結果、光透過層に形成された記録層に対するトラッキングサーボを基材に形成された記録層に対するトラッキングサーボと同様にして良好に行うことができる。したがって、すべての記録層に対する記録データの記録や、すべての記録層からの記録データの読み出しを良好に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１のマザースタンパーＭＴＳ１の側面断面図である。
【図２】チャイルドスタンパーＣＨＳ２の側面断面図である。
【図３】チャイルドスタンパーＣＨＳ２から樹脂製のスタンパーＲＳを作製する際の側面断面図である。
【図４】第１のマザースタンパーＭＴＳ１を用いて基材Ｄを作製した際の側面断面図である。
【図５】その表面に記録層Ｌ１が形成された基材Ｄの側面断面図である。
【図６】基材Ｄ上にスピンコート法によって塗液Ｒを塗布した状態の側面断面図である。
【図７】塗液Ｒが塗布された基材Ｄ上にスタンパーＲＳを載置した状態の側面断面図である。
【図８】塗液Ｒを硬化させた後に、スタンパーＲＳを剥離してスペーサ層ＳＰを作製した状態の側面断面図である。
【図９】多層光記録媒体１の構成を示す側面断面図である。
【図１０】スペーサ層ＳＰについての他の作製工程において、スタンパーＲＳ上にスピンコート法によって塗液Ｒ１を塗布して硬化させた状態の側面断面図である。
【図１１】スペーサ層ＳＰについての他の作製工程において、基材Ｄ上にスピンコート法によって塗液Ｒ２を塗布した状態の側面断面図である。
【図１２】図１１に示す状態の基材Ｄ上に図１０に示すスタンパーＲＳを重ねて塗液Ｒ２を硬化させた状態の側面断面図である。
【図１３】図１２に示す状態からスタンパーＲＳを剥離して、スペーサ層ＳＰを作製した状態の側面断面図である。
【図１４】マスタースタンパーＭＳＳからマザースタンパーＭＴＳ１１を作製する際の側面断面図である。
【図１５】マザースタンパーＭＴＳ１１からチャイルドスタンパーＣＨＳを作製する際の側面断面図である。
【図１６】マザースタンパーＭＴＳ１１から基材Ｄを作製し、チャイルドスタンパーＣＨＳからカバー層Ｃを作製する際のそれぞれの側面断面図である。
【図１７】基材Ｄの表面に記録層Ｌ１を形成し、カバー層Ｃの表面に記録層Ｌ０を形成した状態のそれぞれの側面断面図である。
【図１８】多層光記録媒体３１の構成を示す側面断面図である。
【図１９】チャイルドスタンパーＣＨＳから樹脂製のスタンパーＲＳを作製する際の側面断面図である。
【図２０】マザースタンパーＭＴＳ１１を用いて基材Ｄを作製した際の側面断面図である。
【図２１】その表面に記録層Ｌ１が形成された基材Ｄの側面断面図である。
【図２２】基材Ｄ上にスピンコート法によって塗液Ｒを塗布した状態の側面断面図である。
【図２３】塗液Ｒが塗布された基材Ｄ上にスタンパーＲＳを載置した状態の側面断面図である。
【図２４】塗液Ｒを硬化させた後に、スタンパーＲＳを剥離してスペーサ層ＳＰを作製した状態の側面断面図である。
【図２５】多層光記録媒体４１の構成を示す側面断面図である。
【符号の説明】
１  多層光記録媒体
Ｃ  カバー層
ＣＨＳ２  チャイルドスタンパー
Ｄ  基材
ＧＲ  グルーブ
Ｌ０，Ｌ１  記録層
ＬＤ  ランド
ＭＴＳ１，ＭＴＳ２  マザースタンパー
Ｒ，Ｒ１，Ｒ２  塗液
ＲＳ  スタンパー
ＳＰ  スペーサ層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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