(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
予めカーボンブラックに水酸基を有する高分子化合物をグラフト化した後、酸無水物を用いてカルボキシル基を導入したグラフト化カーボンブラックと、水酸基を有するアルカリ可溶性バインダー樹脂に前記酸無水物と同一の酸無水物を用いてカルボキシル基を導入したバインダー樹脂とを含む感光性黒色樹脂組成物であって、
前記アルカリ可溶性バインダー樹脂の存在下に前記高分子化合物と前記カーボンブラックを反応せしめた後、酸無水物を用いて前記アルカリ可溶性バインダー樹脂と前記高分子化合物をグラフト化したカーボンブラックにカルボキシル基を導入したことを特徴とする感光性黒色樹脂組成物。
【請求項２】
下記（１）〜（３）の工程を少なくとも含むことを特徴とするブラックマトリクスの形成方法。
（１）基板上に請求項１記載の感光性黒色樹脂組成物を塗布、乾燥して感光性黒色樹脂層を形成する工程
（２）前記感光性黒色樹脂層をマスクパターンを介して露光する工程
（３）前記露光済みの感光性黒色樹脂層を現像する工程
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は感光性黒色樹脂組成物及びブラックマトリクスの形成方法に関するものであり、さらに詳しくはカラーフィルタ製造に使用する材料、特にブラックマトリクスを形成する感光性黒色樹脂組成物、及びその感光性黒色樹脂組成物を用いてブラックマトリクスを形成する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
カラーフィルタは、通常、赤、緑、青の色画素のモザイクまたはストライプ状に配列したフィルタである。さらにコントラストの良好な画像を得るためにブラックマトリクスと称する黒色画素を前述色画素の周囲に形成する。さらに、アクティブ型表示装置においては、このブラックマトリクスを使用することで不要な光を除去できるようになり、スイッチング素子の誤動作を低減する効果を有している。
上記のブラックマトリクスは、通常、ガラス基板上に蒸着法、スパッタ法などで設けた金属薄膜よりフォトリソグラフィ法で微細パターンを形成する。
【０００３】
具体的には、クロム薄膜上にフォトレジストを塗布、乾燥、フォトマスクを介して紫外線を照射し、現像することによりレジストパターンを形成し、更にエッチング工程とレジスト剥離工程を経てブラックマトリクスを形成する。前述のブラックマトリクスの形成は、その工程が煩雑であるために時間を要し、コスト高となっている。また、遮光膜となるブラックマトリクスにクロム膜を使用するために反射率が高い。近年、更に環境安全性も考慮されるようになり、カーボンブラックを含有した薄膜によるブラックマトリクスの形成する手法に代わりつつある。
【０００４】
上記カーボンブラック含有の薄膜により形成されたブラックマトリクスには、光学濃度（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｄｅｎｓｉｔｙ：ＯＤと称す）を得るためにカーボンブラックを多量に添加する必要がある。しかしながら、カーボンブラックの添加量増加に伴い分散性及び分散安定性を向上するために、添加されている顔料誘導体や高分子化合物分散剤の添加量も増加する。この為、カーボンブラックの含有量を多くすることが出来ずＯＤ値が得られず、更に感度が低下するという問題がある。逆に、感度を重視するとＯＤ値が得られないという問題が発生する。
一般的には、ＯＤ値を得るために遮光膜であるブラックマトリクスの膜厚を厚くする手段が考えられる。しかしながら、ブラックマトリクスの膜厚を厚くした場合、カラーフィルタの赤、緑、青からなる複数色画素とブラックマトリクスとの重なり部分に段差が発生し、液晶パネル時に表示ムラが発生し易いという問題がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の第１の目的は、上記問題を解決し、紫外線露光に対して高感度で、高遮光性を有し、アルカリ水溶液による現像が可能であり、しかも硬化膜の耐薬品性、耐熱性、基板との密着性が優れ、更に、膜強度が高く低反射率のブラックマトリクスを形成することができる感光性黒色樹脂組成物を提供することであり、本発明の第２の目的は、その感光性黒色樹脂組成物を用いてブラックマトリクスを容易に形成する方法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは上記課題を解決するため種々検討したところ、特定のグラフト化カーボンブラックと特定のアルカリ可溶性バインダーを含む感光性黒色樹脂組成物により上記課題を解決することができることを見いだし、本発明を成すに至った。
【０００７】
すなわち、上記課題を解決するための請求項１の発明は、予めカーボンブラックに水酸基を有する高分子化合物をグラフト化した後、酸無水物を用いてカルボキシル基を導入したグラフト化カーボンブラックと、水酸基を有するアルカリ可溶性バインダー樹脂に前記酸無水物と同一の酸無水物を用いてカルボキシル基を導入したバインダー樹脂とを含む感光性黒色樹脂組成物であって、
前記アルカリ可溶性バインダー樹脂の存在下に前記高分子化合物と前記カーボンブラックを反応せしめた後、酸無水物を用いて前記アルカリ可溶性バインダー樹脂と前記高分子化合物をグラフト化したカーボンブラックにカルボキシル基を導入したことを特徴とする感光性黒色樹脂組成物である。
【０００８】
（削除）
【０００９】
（削除）
【００１０】
（削除）
【００１１】
本発明の請求項２の発明は、下記（１）〜（３）の工程を少なくとも含むことを特徴とするブラックマトリクスの形成方法である。
（１）基板上に請求項１記載の感光性黒色樹脂組成物を塗布、乾燥して感光性黒色樹脂層を形成する工程
（２）前記感光性黒色樹脂層をマスクパターンを介して露光する工程
（３）前記露光済みの感光性黒色樹脂層を現像する工程
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に本発明を詳細に説明する。
ブラックマトリクスの形成に使用する本発明の感光性黒色樹脂組成物は、予めカーボンブラックに水酸基を有する高分子化合物をグラフト化した後、酸無水物を用いてカルボキシル基を導入したグラフト化カーボンブラックと、水酸基を有するアルカリ可溶性バインダー樹脂に前記酸無水物と同一の酸無水物を用いてカルボキシル基を導入したバインダー樹脂とを少なくとも含み、他に公知の感光性黒色樹脂組成物に含まれるエチレン系不飽和二重結合を有するモノマー、及び光重合開始剤などを必須成分として含有する感光性黒色樹脂組成物である。
【００１３】
本発明においてカーボンブラックのグラフト化に使用できる水酸基を有する高分子化合物は、分子内にカーボンブラック表面上の官能基に反応可能な基を有するものが好ましく使用でき、具体的には、例えばアジリジン基、オキサゾリン基、Ｎ−ヒドロキシアルキルアミド基、エポキシ基、チオエポキシ基、ビニル基、アクリル基、メタクリル基、ケイ素系加水分解基、アミノ基などの官能基を分子内に１種又は２種以上有する高分子化合物を挙げることができる。これらの中でもアジリジン基、オキサゾリン基、Ｎ−ヒドロキシアルキルアミド基から選ばれる１種又は２種以上の基を有する高分子化合物が好ましく使用できる。
【００１４】
本発明においてカーボンブラックと前記高分子化合物を反応させる場合には、反応を阻害しない範囲内で、反応系に前記高分子化合物以外のポリマー、モノマー成分、有機溶剤を添加してもよい。
反応系中に前記高分子化合物は、カーボンブラックに対して１０〜１００重量％、好ましくは、２０〜６０重量％含有する必要がある。１０重量％未満では、グラフト効果が低減して膜強度が得られなくなり、１００重量％を超えると感光性に障害を及ぼして光学濃度が不足する。
【００１５】
本発明で用いるカーボンブラックとしては、ｐＨ７以下のものが好ましく、特にｐＨ５以下のものが好ましい。ｐＨ７を超えると、カーボン表面へのグラフト重合が阻害されて膜強度の向上が認められない。
【００１６】
本発明で用いる酸無水物としては、具体的には、例えば無水フタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロム無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、３，６−エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、テトラブロモ無水フタル酸、トリメリット酸などの二塩基酸無水物、脂肪族あるいは芳香族四カルボン酸二無水物などの四塩基酸二無水物などが挙げられ、これらの１種または２種以上を使用することができる。
【００１７】
本発明において酸無水物の使用量は、カーボンブラックにグラフト化させた前記高分子化合物中の水酸基１化学当量あたり、０．１〜１．１化学当量が適しており、反応条件は希釈剤の存在下あるいは非存在下でハイドロキノンや酸素などの重合禁止剤の存在下あるいは非存在下で５０〜１３０℃で反応させることができる。
【００１８】
この水酸基と酸無水物のハーフェステル化反応に際し、「有機化合物の合成と反応（II）」、丸善株式会社発行、昭和５２年１２月２０日発行、第１０１４頁に記載されているような触媒を用いることができる。触媒としては酸触媒、塩基性触媒、金属無機塩などが挙げられる。
酸触媒としては、硫酸、ｐ−トルエンスルホン酸などまたはこれらの併用系が挙げられる。
【００１９】
塩基性触媒としては、第３級アミン、例えばトリエチルアミン、トリエチレンジアミン、Ｎ−ペンタメチルエチレントリアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルウラリルアミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラメチルプロピレンジアミン、Ｎ−メチルモルホリン、Ｎ−Ｎ’−メチルビペラジン、ピリジン、４−ジメチルアミノピリジン、４−ピロリジノピロジン、１，８−ジアザビンクロ−［５，４，０］７−ウンデセン（ＤＢＵ）などまたはこれらの併用系が挙げられる。
金属無機塩としては、例えば、リチウム、ジルコニウム、カリウム、スズ、亜鉛、鉛などの金属の塩化物や酢酸ナトリウムなどまたはこれらの併用系が挙げられる。
【００２０】
本発明で用いるアルカリ可溶性バインダー樹脂としては、公知の高分子化合物が挙げられ、具体的には、例えば、（メタ）アクリル酸と（メタ）アクリル酸アルキルエステル（例えば、メチル基、エチル基、ブチル基など）の共重合体、ポリ（メタ）アクリル酸、スチレンと無水マレイン酸などの不飽和二塩基酸無水物との共重合物など、また、分子中にカルボン酸、ヒドロキシ基、アミノ基、カルボン酸アミド基、スルフォン酸アミド基などを含む高分子化合物などを挙げることができる。
【００２１】
これらのアルカリ可溶性バインダー樹脂の添加量は、固形分総量の１０〜４３重量％が好ましい。１０重量％未満では基板とのパターン強度が低下し、４３重量％を超えると樹脂層の粘着性が強固になり、現像性低下の原因となる。
【００２２】
本発明で用いるエチレン性不飽和二重結合を有するラジカル重合性モノマーは単独又は２種類以上の組み合わせで使用することが可能で、具体的には、例えば２−エチル、２−ブチルプロパンジオールジアクリレート、ペンタエリストールテトラアクリレート、ジペンタエリストールヘキサアクリレート、ジペンタエリストールペンタアクリレート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパントリアクリレート、トリス（２−アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、１，４−ジイソプロペニルベンゼン、１，４−ジヒドロキシベンゼンメタクリレート、デカメチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、またはジアリルフマレートなどが挙げられる。
これらの中でも２−ブチルプロパンジオールジアクリレート、ペンタエリストールテトラアクリレート、ジペンタエリストールヘキサアクリレート、ジペンタエリストールペンタアクリレート、またはポリオキシエチル化トリメチロールプロパントリアクリレートなどが特に好ましく使用できる。
【００２３】
本発明の感光性黒色樹脂組成物中に含有する光重合開始剤は、既知のすべての化合物を使用することができる。光重合開始剤の具体例としては、例えば、ベンジル、ジアセチルなどのα−ジケトン類、ベンゾインなどのアシロイン類、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルなどのアシロインエーテル類、チオキサントン、２，４−ジエチルキサントン、チオキサントン−４−スルフォン酸などのチオキサントン類、ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンなどのベンゾフェノン類、アセトフェノン、ｐ−ジメチルアセトフェノン、α，α’−ジメトキシアセトキシアセトフェノン、２，２’−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、ｐ−メトキシアセトフェノン、２−メチル−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−１−プロパノンなどのアセトフェノン類及びアントラキノン、１，４−ナフトキノンなどのキノン類、トリブロモメチルフェニルスルフォン、フェナンシルクロライド、トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、ｐ−メトキシフェニル−２，４−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−ブトキシスチリル）−５−トリクロロメチル−１，３，４−オキサジアゾール、９，１０−ジメチルベンズフェナジン、９−フェニルアクリジン、チオキサントン／アミン、ベンゾフェノン／ミヒラーズケトン、ベンジルジメチルケタール、ヘキサアリールビイミダゾール／メルカプトベンズイミダゾールなどが挙げられる。
これらの中でもトリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、ｐ−メトキシフェニル−２，４−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、α，α’−ジメトキシアセトキシアセトフェノンが特に好ましく使用できる。
【００２４】
これらの光重合開始剤は、その総量がアルカリ可溶性バインダー樹脂に対して０．５〜４０重量％を使用することが好ましい。０．５重量％未満では感度を得られにくく、４０重量％を超えると結晶の析出による硬化不足などの原因となる。
【００２５】
本発明で使用する分散用溶剤としては、具体的には、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルなどのセルソルブ類、及びこれの酢酸エステル、酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸ｉ−プロピル、酢酸ｎ−ブチルなどの酢酸エステル類、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類、メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類、及びエタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレグリコール、ジエチレングリコール、グルセリンなどのアルコール類が挙げられる。
【００２６】
上記の各材料をディゾルバー型攪拌機、ターボ型攪拌機、二軸式攪拌機などの攪拌機を用いて混和して本発明の感光性黒色樹脂組成物とするか、或いは２本ロールミル、３本ロールミル、サンドミル、ペイントシェイカーなどの分散機を用いて混練して本発明の感光性黒色樹脂組成物とするが、その際に用いられる上記分散用有機溶剤の好ましい量は、全固形分の５０〜２００重量％である。
【００２７】
以下に本発明のブラックマトリクスの形成工程を図面を用いて説明する。
図１（ａ）（感光性黒色樹脂組成物層の形成）に示したように、基板１上に感光性黒色樹脂組成物をバーコート法、ロールコート法、スピンナー法、或いはカーテンコート法を用いて、均一に塗布し感光性黒色樹脂層２を形成する。乾燥を必要とする場合は、７０〜１００℃程度の温度にて加熱してもよい。
【００２８】
次に、図１（ｂ）（露光）に示したように、マスクパターン３を用いてブラックマトリクスにする箇所にのみ紫外線を照射し露光を行い、ラジカル重合させて硬化させる。露光に使用する光源としては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯などである。
【００２９】
次に、図１（ｃ）（現像、ポストベーク）に示したように、アルカリ水溶液を現像液として、未露光部の黒色樹脂層を除去して、ブラックマトリクス４を形成する。
【００３０】
上記現像液としては、たとえば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウムなどの無機アルカリ溶液、トリエチルアミンなどのアルキルアミン類、トリエタノールアミンなどのアルコールアミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイドなどの第四級アンモニウム塩などを用いることができる。また、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコールなどのアルコール系極性溶剤なども用いることができる。
他のアルカリ水溶液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液や、水との混和性がよい有機溶剤を少量添加したものを挙げることができる。アルカリ性物質としては、例えば、アンモニア、アルカリ金属水酸化物類、アルカリ金属炭酸塩類、アルカリ金属重炭酸塩類、アルカリ金属ケイ酸塩類、アルカリ金属メタケイ酸塩類、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド類又は燐酸三ナトリウムなどが挙げられる。アルカリ濃度は０．０１〜２０重量％であり、ｐＨは８〜１４が好ましい。
【００３１】
また、上記現像液に必要に応じて他の添加剤、たとえば、界面活性剤、湿潤剤、有機溶剤などを添加しても良い。
【００３２】
本発明において、カルボキシル基を導入したグラフト化カーボンブラック、光重合開始剤、カルボキシル基を導入したバインダー樹脂及びエチレン系不飽和二重結合を有するモノマーを用いることにより、高感度の本発明の感光性黒色樹脂組成物が得られ、この本発明の感光性黒色樹脂組成物を用いて膜強度が優れ、且つ、高遮光性で平滑なブラックマトリクスが得られる。
【００３３】
【実施例】
以下比較例および実施例により本発明を更に具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に制限されるものではない。
［比較例１］
［合成例１］
（工程１）
攪件装置、窒素ガス導入管、還流冷却管、温度計、及び滴下ロートを備えたセパラブルフラスコに溶剤として、トルエン８０部とメチルエチルケトン２０部を仕込み、メチルメタアクリレート（ＭＭＡ）８５部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート（ＨＥＭＡ）１５部、チオグリコール酸４．３部、およびアゾビスイソブチロニトリル２部を上記混合溶媒に４時間かけて連続的に滴下しながら重合を行った。
その後、同温度で３時間加熱攪拌を行い、９５℃にて２時間熟成して重合反応を終了した。この反応液２００部に対してグリシジルメタクリレート８．５部（１．３倍当量／ＣＯＯＨ）を、触媒としてテトラブチルアンモニウムブロマイド１．３部および重合禁止剤としてハイドロキノンモノメチルエーテル０．０４部を加え、反応温度８５〜９０℃にて１０時間反応させた。
このものをｎ−ヘキサン中に再沈し、固形分を５０℃にて２日間減圧乾燥させ片末端メタクリレート型のＭＭＡ−ＨＥＭＡ共重合体マクロモノマーを得た。
【００３４】
（工程２）
工程１で得られたマクロモノマー５０部、スチレン２５部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート２０部、イソプロピルオキサゾリン５部、及びアゾビスイソブチロニトリル３部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１００部に溶解し、重合性単量体組成物を得た。攪拌装置、窒素ガス導入管、還流冷却管、温度計、及び滴下ロートを備えたセパラブルフラスコにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５０部を仕込み、８０℃まで昇温した。反応系の温度を８０℃に保ちながら、３時間かけて上記重合性単量体組成物を滴下し、更に同温度にて２時間重合反応を継続した。その後、１１０℃に昇温し２時間熟成反応を行い、反応性基としてオキサゾリン基を含有する高分子化合物１の溶液（不揮発分４０％）を得た。
【００３５】
（工程３）
攪拌装置、還流冷却管、及び温度センサーを備えているセパラブルフラスコに、カーボンブラックを３０部、上記オキサゾリン基含有高分子化合物１  ２２．５部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート９７．５部、及びジルコニアビーズ８００部を仕込んだ。回転数６００ｒｐｍで攪件しながら、１００℃で３時問反応させた。冷却後、ビーズを取り除き、カーボンブラック２０％含有カーボンブラックグラフトポリマー（ＧＣＢ）分散体１を得た。
【００３６】
（工程４）
攪拌装置、還流冷却管、および温度センサーを備えているセパラブルフラスコ内に、工程３にて得られたＧＣＢ分散体１５０部、無水トリメリット酸３．５９部、及び１，８−ジアザビシクロ［５，４，０］−ウンデセン０．０９部を仕込み、８０℃にて１時問反応を行い、カルボキシル基含有ＧＣＢ分散体を得た。
【００３７】
［感光性黒色樹脂層の形成］
工程４にて得られたＧＣＢ分散体３００部、アルカリ可溶性バインダー樹脂としてＢＭＡ／ＭＭＡ／ＨＥＭＡ／ＭＡＡ（５５／１０／１５／２０モル）共重合体（ＭＷ３０，０００）（ＢＭＡ＝ブチルメタクリレート、ＭＡＡ＝メタクリル酸）４２部、ペンタエリストールアクリレート１９．７部、ｐ−メトキシフェニル−２，４−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン１９．７部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３６０部、及びガラスビーズ５００部をガラス瓶に入れ、ペイントシェーカーにて２時間分散して感光性黒色樹脂分散液（１）を作製した。この感光性黒色樹脂分散液をスピンナーにより８５０ｒｐｍ、５秒で塗布し、乾燥し黒色樹脂層１を形成した。
【００３８】
［露光］
３ｋＷ超高圧水銀灯を用いて１５０ｍＪ／ｃｍ2 の露光量で、マスクパターンを介して露光を行った。
【００３９】
［現像］
１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて、基板を回転させながらシャワーを噴霧する方式で６０秒間現像し、非露光部の感光性黒色樹脂層を除去した。最後にオーブン中にて２３０℃で１時問加熱しブラックマトリクス１を得た。
【００４０】
［実施例１］
［合成例２］
（工程１）
攪拌装置、還流冷却管及び温度センサーを備えているパラブルフラスコにカーボンブラック６０部、合成例１の工程２で得られたオキサゾリン基含有高分子化合物溶液（不揮発分４０％）を４５部アルカリ可溶性バインダー樹脂として前記ＢＭＡ／ＭＭＡ／ＨＥＭＡ／ＭＡＡ共重合体を４２部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１９５部、ジルコニアビーズ１６００部を仕込み、回転数６００ｒｐｍで攪拌しながら１００℃、３時間反応を行った。冷却後ビーズを取り除きカーボンブラックグラフトポリマー（ＧＣＢ）分散体２を得た。
【００４１】
（工程２）
上記、工程１で得られたＧＣＢ分散体２に対し、無水トリメリット酸７．１８部、１，８−ジアザビシクロ［５，４，０］−ウンデセン０．１８部を仕込み８０℃にて１時間反応を行い、水酸基を持つ前記ＢＭＡ／ＭＭＡ／ＨＥＭＡ／ＭＡＡ共重合体（アルカリ可溶性バインダー樹脂）及び水酸基を持つ高分子化合物をグラフトしたＧＣＢに対してカルボキシル基を導入した。
このものにペンタエリストールアクリレート１９．７部、ｐ−メトキシフェニル２，４−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン１９．７部、ＰＧＭＡＣ３６０部及びガラスビーズ５００部をガラス瓶に入れ、ペイントシェーカーにて２時間分散して比較例１の感光性黒色樹脂層の形成と同様にして本発明の感光性黒色樹脂分散液（２）を作製した。
比較例１と同様にスピンナーにより８５０ｒｐｍ、５秒で塗布、乾燥し黒色樹脂層２を形成した。
【００４２】
比較例１で得られた黒色樹脂層１と実施例１で得られた黒色樹脂層２とを比較したところ、黒色樹脂層１では表面がツヤ消し状態となるのに対し黒色樹脂層２では鏡面光沢となった。
得られた塗布膜をヘイズグロスリフレクトメーター（ビックケミー・ジャパン株式会社製）を用いて２０°グロス値を測定したところ、比較例１で得られた黒色樹脂層１では２．０でありツヤ消し状態であるのに対し、実施例１で得られた黒色樹脂層２では１０１あり鏡面状態であった。
【００４３】
【発明の効果】
本発明の感光性黒色樹脂組成物は、紫外線露光に対して高感度で、高遮光性を有し、アルカリ水溶液による現像が可能であり、しかも硬化膜の耐薬品性、耐熱性、基板との密着性が優れ、更に、膜強度が高く低反射率のブラックマトリクスを形成することができる。本発明の感光性黒色樹脂組成物を用いることにより塗膜の光沢（平面平滑性）にすぐれたものが得られ、また、アルカリ現象性が向上する。
本発明のブラックマトリクスの形成方法により、ブラックマトリクスを容易に製造できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のブラックマトリクスの形成方法を説明する説明図であり、（ａ）は黒色感光性黒色樹脂組成物層の形成工程を示す説明図であり、（ｂ）は露光工程を示す説明図であり、（ｃ）は現像、ポストベークしてブラックマトリクッスを作る工程を示す説明図である。
【符号の説明】
１  基板
２  感光性黒色樹脂組成物層
３  マスクパターン
４  ブラックマトリクス
【図１】
0004165780.tif 000002