(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルがアレイ状に設けられたノズルプレートと、振動板を有する加圧液室と振動板を変位させる駆動手段とからなるインク滴吐出機構を複数有する駆動アクチュエータとを備え、振動板を変形させて加圧液室のインクをノズルから噴射させて記録紙に記録する記録ヘッドにおいて、
駆動アクチュエータは１つのノズル毎に対応したインク滴吐出機構と、複数のインク吐出機構の両端部に設けられた冗長インク滴吐出機構を有し、駆動アクチュエータに正常に動作しない不良インク滴吐出機構が発生したときに、不良インク滴吐出機構を使用せずに、不良インク滴吐出機構を境界として、一方のインク滴吐出機構及び一方の冗長インク滴吐出機構が有するノズルから噴射するインクの噴射方向と、他方のインク滴吐出機構及び他方の冗長インク滴吐出機構が有するノズルから噴射するインクの噴射方向とを異ならせてインク滴を吐出させることを特徴とする記録ヘッド。
【請求項２】
上記駆動アクチュエータに不良インク滴吐出機構が発生したときに、不良インク滴吐出機構を境界とした両側のノズルプレートのノズルの方向を異ならせる請求項１記載の記録ヘッド。
【請求項３】
複数のノズルがアレイ状に設けられたノズルプレートと、振動板を有する加圧液室と振動板を変位させる駆動手段とからなるインク滴吐出機構を複数有する駆動アクチュエータとを備え、振動板を変形させて加圧液室のインクをノズルから噴射させて記録紙に記録する記録ヘッドにおいて、
駆動アクチュエータは１つのノズル毎に対応したインク滴吐出機構と、複数のインク吐出機構の両端部に設けられた冗長インク滴吐出機構を有し、駆動アクチュエータに正常に動作しない不良インク滴吐出機構が発生したときに、不良インク滴吐出機構を使用せずに、不良インク滴吐出機構を境界として、一方のインク滴吐出機構及び一方の冗長インク滴吐出機構によりインクを噴射するノズルプレートのノズルと、他方のインク滴吐出機構及び他方の冗長インク滴吐出機構によりインクを噴射するノズルプレートのノズルの位置とを、紙送り方向と直交する方向に１つのインク滴吐出機構分近付けて形成したことを特徴とする記録ヘッド。
【請求項４】
上記駆動アクチュエータの各インク滴吐出機構と冗長インク滴吐出機構の加圧液室の紙送り方向の両端を紙送り方向と直交する方向に１つのインク吐出機構分ずらして各インク滴吐出機構と冗長インク滴吐出機構を紙送り方向に対して斜めになるように配置し、不良インク滴吐出機構を境界としてノズルプレートのノズルの位置を紙送り方向と直交する方向にずらして形成する請求項３記載の記録ヘッド。
【請求項５】
上記駆動アクチュエータの各インク滴吐出機構と冗長インク滴吐出機構の加圧液室の紙送り方向の両端を紙送り方向と直交する方向に１つのインク吐出機構分ずらして各インク滴吐出機構と冗長インク滴吐出機構を紙送り方向に対して階段状に形成し、不良インク滴吐出機構を境界としてノズルプレートのノズルの位置を紙送り方向と直交する方向にずらして形成する請求項３記載の記録ヘッド。
【請求項６】
上記不良インク滴吐出機構を境界として両側のノズルプレートのノズルの位置を、インク滴吐出機構と冗長インク滴吐出機構の加圧液室の範囲内で不良インク滴吐出機構に近付けて配置した請求項３記載の記録ヘッド。
【請求項７】
複数のノズルがアレイ状に設けられたノズルプレートと、振動板を有する加圧液室と振動板を変位させる駆動手段とからなるインク滴吐出機構を複数有する駆動アクチュエータとを備え、振動板を変形させて加圧液室のインクをノズルから噴射させて記録紙に記録する記録ヘッドにおいて、
駆動アクチュエータは１つのノズル毎に対応したインク滴吐出機構と、複数のインク吐出機構の両端部に設けられた冗長インク滴吐出機構を有し、
上記駆動アクチュエータの各インク滴吐出機構と冗長インク滴吐出機構の加圧液室のピッチとノズルプレートのノズルのピッチとを異ならせ、上記駆動アクチュエータに不良インク滴吐出機構が発生したときに、不良インク滴吐出機構の位置にノズルが配置されないようにノズルプレートと駆動アクチュエータを接合したことを特徴とする記録ヘッド。
【請求項８】
複数のノズルがアレイ状に設けられたノズルプレートと、振動板を有する加圧液室と振動板を変位させる駆動手段とからなるインク滴吐出機構を１つのノズル毎に対応して有するとともに複数の冗長インク滴吐出機構を有する駆動アクチュエータとを備え、振動板を変形させて加圧液室のインクをノズルから噴射させて記録紙に記録する記録ヘッドの製造方法であって、
駆動アクチュエータの不良インク滴吐出機構の有無を検出し、不良インク滴吐出機構を検出したときに、不良インク滴吐出機構を境界とした一方のインク滴吐出機構及び一方の冗長インク滴吐出機構に対応するノズルプレートのノズルの形状と、他方のインク滴吐出機構及び他方の冗長インク滴吐出機構に対応するノズルプレートのノズルの形状とを異ならせて形成し、ノズルを形成したノズルプレートと駆動アクチュエータを接合することを特徴とする記録ヘッドの製造方法。
【請求項９】
上記ノズルプレートのノズルを形成するノズルパターンを、駆動アクチュエータの不良インク滴吐出機構を境界として、一方は１００％の開口率を有するパターンを有し、他方は開口率に一定の変化を設けたグラデーションパターンを有するマスクを使用してレジストを露光して形成し、形成したノズルパターンを使用して電鋳法でノズルを形成する請求項８記載の記録ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
上記駆動アクチュエータの不良インク滴吐出機構を境界として、ノズルプレートに対するレーザ光の照射角度を変えてノズルを形成する請求項８記載の記録ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
上記駆動アクチュエータの不良インク滴吐出機構を境界としてノズルプレートを回動し、ノズルプレートに対するレーザ光の照射角度を変えてノズルを形成する請求項１０記載の記録ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
複数のノズルがアレイ状に設けられたノズルプレートと、振動板を有する加圧液室と振動板を変位させる駆動手段とからなるインク滴吐出機構を１つのノズル毎に対応して有するとともにインク滴吐出機構の両端に設けた冗長インク滴吐出機構を有する駆動アクチュエータとを備え、振動板を変形させて加圧液室のインクをノズルから噴射させて記録紙に記録する記録ヘッドの製造装置であって、
検査装置とノズル加工装置を有し、検査装置は駆動アクチュエータの不良インク滴吐出機構の有無を検出し、ノズル加工装置は検査装置から出力される不良インク滴吐出機構有無情報によりノズルプレートの保持角度を切り替えてレーザ光を照射しノズルを形成することを特徴とする記録ヘッドの製造装置。
【請求項１３】
複数のノズルがアレイ状に設けられたノズルプレートと、振動板を有する加圧液室と振動板を変位させる駆動手段とからなるインク滴吐出機構を１つのノズル毎に対応して有するとともにインク滴吐出機構の両端に設けた冗長インク滴吐出機構を有する駆動アクチュエータとを備え、振動板を変形させて加圧液室のインクをノズルから噴射させて記録紙に記録する記録ヘッドの駆動アクチュエータの製造方法であって、
上記インク滴吐出機構を多数形成したウエハで不良インク滴吐出機構を検出し、ノズルプレートのノズル数と同じ数のインク滴吐出機構に冗長インク滴吐出機構の個数を加えた領域のなかで不良インク滴吐出機構が１個又は２個の領域を良品領域として選択し、選択した領域を切り出すことを特徴とする駆動アクチュエータの製造方法。
【請求項１４】
請求項１乃至７に記載の記録ヘッドを使用したことを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、インク液滴をノズルから射出させる記録ヘッドと記録ヘッドの製造方法と記録ヘッドの製造装置と駆動アクチュエータの製造方法及びインクジェット記録装置、特に記録ヘッドを作製時の歩留まりの向上と印字特性の向上に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ノンインパクト記録装置は記録時の騒音発生が無視できる程度に小さい点でオフィス用等として注目されている。そのうち高速記録可能で、かつ普通紙に特別の定着処理を要せずに記録できるインクジェット記録装置が近年多く使用されている。このインクジェット記録装置のなかで特にオンデマンド方式は従来のインパクト方式の記録装置などと比べると、動作音が小さいことや、高精細な画像を出力できることなどの特徴を有し、急速に普及している。
【０００３】
このオンデマンド方式の記録装置は、その駆動方法からアクチュエータ方式と熱エネルギによりインク滴を吐出する方式に分類される。アクチュエータ方式は圧電振動子などのアクチュエータでインク流路の壁の一部を振動板として変形させることによりインクを押し出す方式であり、インクを噴射する複数のノズルと加圧液室をアレイ状に設け、共通液室から流体抵抗路を介して各加圧液室に供給して充満しているインクの圧力を加圧液室の一面に配置された振動板に圧電振動子を接合し、圧電振動子により振動板を変位させ、この振動板の変位によりノズルからインクを吐出させて記録紙等の記録媒体に印字する。熱エネルギを利用した方式は薄膜の抵抗加熱体によりインクを局所的に加熱して気泡を発生させ、気泡の体積増大によりインクを吐出させて記録紙等の記録媒体に印字する。
【０００４】
近年、出力画像の高品質化と出力速度の高速化が要求されており、より小滴なインク滴をより高い周波数で安定して吐出させることができる高密度の記録ヘッドの開発が要望されている。しかしながら圧電振動子を用いた記録ヘッドを高密度化するためには加圧液室の幅も高密度化に対応した微少寸法にするため振動板の板厚も数ミクロンと薄くする必要がある。この振動板を研磨等の方法により数ミクロンの板厚に形成することは加工精度上極めて困難である。また、熱エネルギを利用した記録ヘッドは駆動手段が薄膜の抵抗加熱体により形成されるため、上記のような問題はないが、薄膜の抵抗加熱体が急速な加熱と冷却の繰り返すため、抵抗加熱体が損傷して記録ヘッドの寿命が短くなってしまう。
【０００５】
これらの短所を解消するために、個別電極を振動板と微小間隔をおいて設け、振動板と個別電極の間に電圧を印加して正又は負の電荷をそれらに与えて振動板を個別電極側に静電的吸引又は反発させて変形させ、加圧液室のインクをノズルから吐出させて記録紙に印字する静電気力を利用した記録ヘッドが特開平６−１２６９５６号公報や特開平９−２０００７号公報等に開示されている。この静電気力を利用した記録ヘッドは小型高密度化がはかれるとともに高印字品質で長寿命であるという利点を有する。
【０００６】
この静電力を利用した記録ヘッドは薄く加工された振動板に対して個別電極を一定の微小間隔をおいて配置しているため、アレイ状に配置された個別電極と振動板を有する静電アクチュエータを作製するときに、例えば１個の個別電極と振動板の間にごみ等の異物が混入して振動板が正常に動作しない場合、その静電アクチュエータを使用した記録ヘッドは不良品になってしまう。また、いずれの駆動方式でも、共通液室から流体抵抗路及びノズルを有する加圧液室までのインク供給経路の１系統にごみ等の異物が付着した場合にもノズルから正常にインクを吐出させることができず、作製した記録ヘッドが不良品になってしまう。特に、記録する画像の高画質化に伴うパターン密度が上昇するにしたがい、記録ヘッドの異物などによる欠陥の発生が増大しており、記録ヘッドを作製するときの歩留まり低下の大きな要因となっている。また、不良品となる記録ヘッドのほとんどは１〜２ビットの不良が占めており、この１〜２ビットの不良に対する対策により歩留まり上昇とコストダウンを図ることができる。また、例えば特開平４−193542号公報に示すように、記録用紙と同じ幅を有するフルラインタイプの記録ヘッドを用い、記録の高速化を図る場合、ノズル数の増大によるチップ面積の増大も歩留まり低下の大きな要因となっている。
【０００７】
この記録ヘッドの歩留まり低下を防ぐために、例えば特開平８−174805号公報に示すように、複数のノズルが１列に配置された第１のノズルアレイと、第１のノズルアレイの各ノズルと同じピッチで複数個のノズルを１列に配置した第２のノズルアレイを第１のノズルアレイと並列に配置し、第１のノズルアレイのノズルに不良がある場合、その不良のノズルに対応した第２のノズルアレイのノズルを代用し、代用したノズルからのインク吐出を遅延回路やプログラムの切替により記録用紙の送りに対して１タイミングだけずらして記録するようにしている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら複数のノズルを有するノズルアレイと並列に代用のノズルアレイを設けると、ノズル数に比例してチップの面積が増大して、ノズルプレートや振動板を有するアクチュエータを作製するときの歩留まりが低下するとともに、記録ヘッドが大型化するという短所がある。
【０００９】
この発明はかかる短所を改善し、記録画像の高解像度化にともなうアクチュエータの微細化によって生じる１〜２ビット不良による歩留まり低下及び高速化に伴うノズル数の増加によって生じる歩留まり低下を、チップ面積を増大させないとともに新たな製造プロセスを用いることなく防ぐことができる記録ヘッドと記録ヘッドの製造方法と記録ヘッドの製造装置と駆動アクチュエータの製造方法及びインクジェット記録装置を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る記録ヘッドは、複数のノズルがアレイ状に設けられたノズルプレートと、振動板を有する加圧液室と振動板を変位させる駆動手段とからなるインク滴吐出機構を複数有する駆動アクチュエータとを備え、振動板を変形させて加圧液室のインクをノズルから噴射させて記録紙に記録する記録ヘッドにおいて、駆動アクチュエータは１つのノズル毎に対応したインク滴吐出機構と、複数のインク吐出機構の両端部に設けられた冗長インク滴吐出機構を有し、駆動アクチュエータに正常に動作しない不良インク滴吐出機構が発生したときに、不良インク滴吐出機構を使用せずに、不良インク滴吐出機構を境界として、一方のインク滴吐出機構及び一方の冗長インク滴吐出機構が有するノズルから噴射するインクの噴射方向と、他方のインク滴吐出機構及び他方の冗長インク滴吐出機構が有するノズルから噴射するインクの噴射方向とを異ならせてインク滴を吐出させることを特徴とする。
【００１１】
上記駆動アクチュエータに不良インク滴吐出機構が発生したときに、不良インク滴吐出機構を境界とした両側のノズルプレートのノズルの方向を異ならせてインク噴射方向を異ならせると良い。
【００１２】
また、駆動アクチュエータに正常に動作しない不良インク滴吐出機構が発生したときに、不良インク滴吐出機構を使用せずに、不良インク滴吐出機構を境界として、一方のインク滴吐出機構及び一方の冗長インク滴吐出機構によりインクを噴射するノズルプレートのノズルの位置と、他方のインク滴吐出機構及び他方の冗長インク滴吐出機構によりインクを噴射するノズルプレートのノズルの位置とを、紙送り方向と直交する方向に１つのインク滴吐出機構分近付けて形成しても良い。また、ノズルプレートのノズルの位置を変えるときに、駆動アクチュエータの各インク滴吐出機構と冗長インク滴吐出機構の加圧液室の紙送り方向の両端を紙送り方向と直交する方向に１つのインク吐出機構分ずらして各インク滴吐出機構と冗長インク滴吐出機構を紙送り方向に対して斜めになるように配置し、不良インク滴吐出機構を境界としてノズルプレートのノズルの位置を紙送り方向と直交する方向にずらして形成したり、駆動アクチュエータの各インク滴吐出機構と冗長インク滴吐出機構の加圧液室の紙送り方向の両端を紙送り方向と直交する方向に１つのインク吐出機構分ずらして各インク滴吐出機構と冗長インク滴吐出機構を紙送り方向に対して階段状に形成し、不良インク滴吐出機構を境界としてノズルプレートのノズルの位置を紙送り方向と直交する方向にずらして形成したり、あるいは不良インク滴吐出機構を境界として両側のノズルプレートのノズルの位置を、インク滴吐出機構と冗長インク滴吐出機構の加圧液室の範囲内で不良インク滴吐出機構に近付けて配置しても良い。
【００１３】
また、駆動アクチュエータの各インク滴吐出機構と冗長インク滴吐出機構の加圧液室のピッチとノズルプレートのノズルのピッチとを異ならせ、駆動アクチュエータに不良インク滴吐出機構が発生したときに、不良インク滴吐出機構の位置にノズルが配置されないようにノズルプレートと駆動アクチュエータを接合しても良い。
【００１４】
【００１５】
【００１６】
この発明の記録ヘッドの製造方法は、上記駆動アクチュエータの不良インク滴吐出機構の有無を検出し、不良インク滴吐出機構を検出したときに、不良インク滴吐出機構を境界とした一方のインク滴吐出機構及び一方の冗長インク滴吐出機構に対応するノズルプレートのノズルの形状と、他方のインク滴吐出機構及び他方の冗長インク滴吐出機構に対応するノズルプレートのノズルの形状とを異ならせて形成し、ノズルを形成したノズルプレートと駆動アクチュエータを接合することを特徴とする。
【００１７】
このノズルプレートにノズルを形成するときに、上記ノズルプレートのノズルを形成するノズルパターンを、駆動アクチュエータの不良インク滴吐出機構を境界として、一方は１００％の開口率を有するパターンを有し、他方は開口率に一定の変化を設けたグラデーションパターンを有するマスクを使用してレジストを露光して形成し、形成したノズルパターンを使用して電鋳法でノズルを形成すると良い。
【００１８】
また、駆動アクチュエータの不良インク滴吐出機構を境界として、ノズルプレートに対するレーザ光の照射角度を変えてノズルを形成したり、あるいは駆動アクチュエータの不良インク滴吐出機構を境界としてノズルプレートを回動し、ノズルプレートに対するレーザ光の照射角度を変えてノズルを形成しても良い。
【００１９】
この発明に係る記録ヘッドの製造装置は、検査装置とノズル加工装置を有し、検査装置は駆動アクチュエータの不良インク滴吐出機構の有無を検出し、ノズル加工装置は検査装置から出力される不良インク滴吐出機構有無情報によりノズルプレートの保持角度を切り替えてレーザ光を照射しノズルを形成することを特徴とする。
【００２０】
この発明に係る記録ヘッドの駆動アクチュエータの製造方法は、複数のノズルがアレイ状に設けられたノズルプレートと、振動板を有する加圧液室と振動板を変位させる駆動手段とからなるインク滴吐出機構を１つのノズル毎に対応して有するとともにインク滴吐出機構の両端に設けた冗長インク滴吐出機構を有する駆動アクチュエータとを備え、振動板を変形させて加圧液室のインクをノズルから噴射させて記録紙に記録する記録ヘッドの駆動アクチュエータの製造方法であって、上記インク滴吐出機構を多数形成したウエハで不良インク滴吐出機構を検出し、ノズルプレートのノズル数と同じ数のインク滴吐出機構に冗長インク滴吐出機構の個数を加えた領域のなかで不良インク滴吐出機構が１個又は２個の領域を良品領域として選択し、選択した領域を切り出すことを特徴とする。
【００２１】
【００２２】
この発明のインクジェット記録装置は、上記記録ヘッドを使用したことを特徴とする。
【００２３】
【発明の実施の形態】
この発明のインクジェットプリンタに使用する記録ヘッドは、複数のノズルが設けられたノズルプレートと静電アクチュエータを有する。静電アクチュエータには、各ノズル毎に設けられた加圧液室と流体抵抗路と、各流体抵抗路を介して加圧液室にインクを供給する共通液室を有し、Ｎｉ電鋳又はステンレスにより形成されたノズルプレートが位置合わせして接合される。この静電アクチュエータには加圧液室に設けられた振動板と、振動板に対して所定間隔で設けられた個別電極とからなるインク滴吐出機構を有し、振動板と個別電極の間に電圧を印加して正又は負の電荷をそれらに与えて振動板を個別電極側に静電的吸引又は反発させて変形させ、加圧液室のインクをノズルから吐出させて記録紙に印字する。
【００２４】
この記録ヘッドの静電アクチュエータとノズルプレートを接合するときは、静電アクチュエータを作製してノズルプレートを接合する前の検査や動作チェックで不良インク滴吐出機構の有無を検出する。この不良インク滴吐出機構の検出結果によりノズルプレートのノズルを形成する。静電アクチュエータには、所定のｎビット分のインク滴吐出機構設けられているとともに複数、例えば両端に１ビットずつの冗長インク滴吐出機構が設けられている。この冗長インク滴吐出機構は、静電アクチュエータを作製したときに所定のｎビット分のインク滴吐出機構のうち１ビット又２ビット分のインク滴吐出機構が異物等により不良となったときに、不良インク滴吐出機構に替えて使用する。すなわち、静電アクチュエータを作製してノズルプレートを接合する前に、所定のｎビット分のインク滴吐出機構のうちの１ビット分のインク滴吐出機構の個別電極と振動板との間に異物が混入したりして不良インク滴吐出機構となったことを検出すると、ノズルプレートのノズルを形成するときに、不良インク滴吐出機構に対応するノズルを形成しないで不良インク滴吐出機構の隣のインク滴吐出機構から残りの全てのインク滴吐出機構と冗長インク滴吐出機構に対応するノズルを不良インク滴吐出機構側に一定角度、例えば70度〜85度の角度だけ傾けて形成する。このノズルプレートを静電アクチュエータに位置合わせして接合する。このように不良インク滴吐出機構の隣のインク滴吐出機構から全てのインク滴吐出機構と冗長インク滴吐出機構に対応するノズルを一定角度傾けて形成することにより、不良インク滴吐出機構の隣のインク滴吐出機構から記録紙に射出するインクの射出位置を１ビットずつずらしてビット抜けを防ぐことができる。
【００２５】
【実施例】
〔実施例１〕  図１はこの発明の一実施例の構成図である。図に示すように、インクジェットプリンタ１はシアンＣ，マゼンタＭ、イェロＹ，ブラックＢｋの各色のインクをそれぞれ収納した４個のインクカートリッジ２と、複数のノズルを有し各インクカートリッジ２からインクが供給される４個の記録ヘッド３と、インクカートリッジ２と記録ヘッド３を搭載したキャリッジ４と、記録紙を収納した給紙トレイ５ａ，５ｂや手差しテーブル６から記録紙を印字部７に搬送する搬送ローラ８と、印字した記録紙を排紙トレイ９に排出する排出ローラ１０を有する。そしてホスト装置から送られる画像データを記録紙に印字するときは、キャリッジ４をキャリッジガイドローラ１１に倣って走査しながら、搬送ローラ８により印字部７に送られた記録紙に記録ヘッド３のノズルから画像データに応じてインクを噴射して文字や画像を記録する。
【００２６】
記録ヘッド３は、図２の分解斜視図に示すように、複数のノズル１２が設けられたノズルプレート１３と静電アクチュエータ１４とＦＰＣケーブル１５とフレーム１６とフィルタ１７及びジョイント部１８を有する。静電アクチュエータ１４には、図３の断面図に示すように、各ノズル毎に設けられた加圧液室１９と流体抵抗路２０と、各流体抵抗路２０を介して加圧液室１９にインクを供給する共通液室２１を有し、Ｎｉ電鋳又はステンレスにより形成されたノズルプレート１３が位置合わせして接合される。この静電アクチュエータ１４の加圧液室１９には振動板２２と、振動板２２に対して所定間隔で設けられた個別電極２３を有し、振動板２２と個別電極２３の間に電圧を印加して正又は負の電荷をそれらに与えて振動板２２を個別電極２３側に静電的吸引又は反発させて変形させ、加圧液室１９のインクをノズル１２から吐出させて記録紙に印字する。ＦＰＣケーブル１５はドライバＩＣ２４が搭載され、静電アクチュエータ１４に異方性導電膜によって電気的に接続される。フィルタ１７が熱溶着されたフレーム１６とインク供給タンク又はインクカートリッジからインクを供給するためのジョイント部１８は接着剤により接合され、静電アクチュエータ１４と接合したノズルプレート１２にフレーム１６が位置合わせして接合される。
【００２７】
この記録ヘッド３の静電アクチュエータ１４とノズルプレート１３を接合するときは、まず静電アクチュエータ１４を作製してノズルプレート１３を接合する前の検査や動作チェックで不良ビットの有無を検出する。この不良ビットの検出結果によりノズルプレート１３のノズル１２を形成する。静電アクチュエータ１４には、図４に示すように、加圧液室１９と振動板２２及び個別電極２３からなるインク滴吐出機構３０が所定のｎビット分の他に複数、例えば両端に１ビット分ずつの冗長インク滴吐出機構３１が設けられている。この冗長インク滴吐出機構３１は、静電アクチュエータ１４を作製したときに所定のｎビット分のインク滴吐出機構３０うち１ビット又２ビット分が異物等により不良インク滴吐出機構なったときに、不良インク滴吐出機構に替えて使用するものである。すなわち、静電アクチュエータ１４を作製してノズルプレート１３を接合する前に、例えば図５の断面図に示すように、所定のｎビット分のインク滴吐出機構３０のうちの１ビット分のインク滴吐出機構３０ｉの個別電極２３と振動板２２との間に異物３２が混入したりして不良インク滴吐出機構になったことを検出すると、ノズルプレート１３のノズル１２を形成するときに、不良インク滴吐出機構３０ｉに対応するノズルを形成しないで不良インク滴吐出機構３０ｉの隣のインク滴吐出機構３０ｊから残りの全てのインク滴吐出機構３０と冗長インク滴吐出機構３１に対応するノズル１２ｂを不良インク滴吐出機構３０ｉに対応するノズルを形成する位置の方に一定角度、例えば70度〜85度の角度だけ傾けて形成する。このノズルプレート１３を、図５に示すように、静電アクチュエータ１４に位置合わせして接合する。このように不良インク滴吐出機構３０ｉの隣のインク滴吐出機構３０ｊから全てのインク滴吐出機構３０と冗長インク滴吐出機構３１に対応するノズル１２ｂを一定角度傾けて形成することにより、不良インク滴吐出機構３０ｉの隣のインク滴吐出機構３０ｊから記録紙２５に射出するインクの射出位置３３を、図５に示すように、１ビットずつずらしてビット抜けを防ぐことができる。
【００２８】
この一定角度傾けたノズル１２ｂを有するノズルプレート１３の製造方法を図６の工程図を参照して説明する。まず、図６（ａ）に示すように、フォトマスク３４を静電アクチュエータ１４の不良インク滴吐出機構の有無により作製する。このフォトマスク３４を作製するときに、不良インク滴吐出機構３０ｉの位置に応じて一定角度傾けたノズル１２ｂを形成するパターン部３５とそれ以外の正常なインク滴吐出機構に対応する通常のノズル１２ａに対応するパターン部３６を作製する。パターン部３６は黒100％のパターンで形成し、パターン部３５はノズル１２ｂの傾斜角度に対応して開口率に一定の変化を設けたグラデーションパターンで形成する。次に、例えばステンレス板等の導電性材料からなるマスター基板３７に電鋳マスク材、例えばドライフイルムレジスト３８を張り合わせる。その後、ドライフイルムレジスト３８の表面からフォトマスク３４を介し露光して現像する。このフォトマスク３４を使用して露光し現像すると、図６（ｂ）に示すように、グラデーションパターンを有するパターン部３５により一方が傾斜したノズルパターン３９が形成され、黒100％のパターンを有するパターン部３６で正常なノズルパターン４０が形成される。このノズルパターン３９，４０をマスクとして電鋳法でめっき析出や蒸着等により、図６（ｃ）に示すように、ノズル材料４１を形成する。その後、マスタ基板３７とノズルパターン３９，４０を除去して、図６（ｄ）に示すように、一定角度傾けたノズル１２ｂと通常のノズル１２ａを有するノズルプレート１３を形成することができる。
【００２９】
〔実施例２〕  上記実施例は一定角度傾けたノズル１２ｂと通常のノズル１２ａを有するノズルプレート１３を電鋳法で形成した場合について説明したが、レーザ加工装置で一定角度傾けたノズル１２ｂと通常のノズル１２ａを加工しても良い。このノズルプレート１３のノズル１２ａ，１２ｂを加工するレーザ加工装置５０は、図７の構成図に示すように、Ｘ軸モータ５１とＹ軸モータ５２を有するＸ−Ｙテーブル５３と、Ｘ−Ｙテーブル５３に搭載され、Ｚ軸モータ５４を有する昇降装置５５と、昇降装置５５の先端部に設けた回動モータ５６により支持面の角度を自由に可変できる支持テーブル５７と、支持テーブル５７の上部に配置されたレーザ装置５８を有する。レーザ装置５８は例えば高出力のエキシマレーザビーム等を出射する。このレーザ加工装置５０の駆動制御部５９は、図８のブロック図に示すように、静電アクチュエータ１４の不良インク滴吐出機構の有無を検査する検査装置６０の欠陥検査装置６１から出力する欠陥検出信号を入力してＸ軸モータ５１とＹ軸モータ５２とＺ軸モータ５４及び回動モータ５６の動作を制御するマイクロコンピュータ６２を有する。
【００３０】
このレーザ加工装置５０で支持テーブル５７に載置されたノズルプレート１３のノズル１２を加工するとき、検査装置６０の欠陥検出装置６１で静電アクチュエータ１４の不良インク滴吐出機構有無を検出し、検出信号をレーザ加工装置５０のマイクロコンピュータ６２に送る。マイクロコンピュータ６２は欠陥検出装置６１から不良インク滴吐出機構の検出信号が送られないときは、回動モータ５６により支持テーブル５７を水平に保持し、図９（ａ）に示すように、支持テーブル５７に載置されて水平に保持されたノズルプレート１３にレーザ装置５８からレーザビーム６３を照射してノズルプレート１３の表面に対して垂直な通常のノズル１２ａを加工する。この通常のノズル１２ａの加工をＸ−Ｙテーブル５３を所定ピッチで移動しながら繰り返しているときに、欠陥検出装置６１から静電アクチュエータ１４の不良インク滴吐出機構３０ｉの検出信号が送られると、マイクロコンピュータ６２はＸ−Ｙテーブル５３を２ピッチ分だけ移動し、回動モータ５６を駆動して支持テーブル５７をあらかじめ定めた一定角度回動して、支持テーブル５７に載置したノズルプレート１３を傾け、Ｚ軸モータ５４を駆動して昇降装置５５の位置を可変してノズルプレート１３のノズル加工位置をレーザビームの焦点に合わせる。この状態で、図９（ｂ）に示すように、レーザ装置５８からレーザビーム６３を照射して、ノズルプレート１３の表面に対して一定角度傾いたノズル１２ｂを加工する。その後、ノズルプレート１３を一定角度傾けた状態で冗長インク滴吐出機構３１に対応するノズル１２ｂまで順次加工して通常のノズル１２ａと一定角度傾けたノズル１２ｂとを有するノズルプレート１３を作製する。
【００３１】
このように静電アクチュエータ１４の不良インク滴吐出機構有無の情報を利用してノズルプレート１３を加工することにより、作製された各静電アクチュエータ１４に適したノズル１２を有するノズルプレート１３を簡単に作製することができ、記録ヘッド３を作製するときに不良品が発生することを低減して歩留まりを高めることができる。
【００３２】
〔実施例３〕  次にノズルプレート１３に一定角度傾けたノズル１２ｂを形成せずに不良ビットのビット抜けを防ぐ場合の実施例について説明する。この実施例の場合、静電アクチュエータ１４には、図１０（ａ）に示すように、加圧液室１９と振動板２２及び個別電極２３で構成した各インク滴吐出機構３０と両端の冗長インク滴吐出機構３１とを、記録紙２５の搬送方向であるＹ方向の両端部が少なくとも１ビット分を越えるよう傾けて形成する。
【００３３】
この静電アクチュエータ１４に使用するノズルプレート１３にノズル１２を加工するとき、レーザ加工装置５０のマイクロコンピュータ６２は、検査装置６０の欠陥検出装置６１で検出した静電アクチュエータ１４の不良インク滴吐出機構の有無によりノズル１２の加工位置を変える。すなわち、検査装置６０の欠陥検出装置６１から不良インク滴吐出機構の検出信号が出力されないとき、マイクロコンピュータ６２は、図１０（ａ）に示すように、各インク滴吐出機構３０の先端部に対応する位置６４にノズル１２ａを加工するように支持テーブル５７に載置されたノズルプレート１３を位置決めしてレーザ装置５８からレーザビーム６３を照射してノズル１２ａを加工する。このノズル１２ａの加工を、ノズルプレート１３を載置した支持テーブル５７をＸ方向に１ビット分ずつずらしながら繰り返しているときに、欠陥検出装置６１で不良インク滴吐出機構３０ｉを検出すると、マイクロコンピュータ６２はＸ軸モータ５１とＹ軸モータ５２を駆動してノズルプレート１３のノズル加工位置を静電アクチュエータ１４の各インク滴吐出機構３０の傾き角αと各インク滴吐出機構３０の間隔Ｄで定まる距離Ｌ＝Ｄ／tanαだけ記録紙の搬送方向であるＹ方向の後方に移動し、さらにＸ方向に１ビット分ずらして、不良インク滴吐出機構３０ｉの隣のインク滴吐出機構３０ｊに対応する位置にノズル加工位置６５を定め、レーザ装置５８からレーザビーム６３を照射して位置をずらしたノズル１２ｃを加工する。このノズル１２ｃの加工を、ノズルプレート１３を載置した支持テーブル５７をＸ方向に１ビット分ずつずらしながら冗長ビット３１まで繰り返して、ノズルプレート１３にｎビットのノズル１２を形成し、形成したノズルプレート１３と検査していた静電アクチュエータ１４を接合して記録ヘッド３を作製する。
【００３４】
この作製した記録ヘッド３を使用して記録紙２５にインクを射出して記録するエンジン制御部７０には、図１１のブロック図に示すように、アクチュエータ情報入力部７１とタイミング設定部７２とタイミング制御部７３及び信号発生部７４を有する。アクチュエータ情報入力部７１は欠陥検査装置６１で検出した静電アクチュエータ１４の不良ビットの有無とその位置を示す情報を入力する。タイミング設定部７２はアクチュエータ情報入力部７１に入力した静電アクチュエータ１４の情報から記録ヘッド３の各インク滴吐出機構３０のインクを射出するタイミングを設定する。タイミング制御部７３はプリンタコントローラ７５から送られた画像データの出力タイミングをタイミング設定部７２で設定された射出タイミングにより制御して信号発生部７４に送る。信号発生部７４はインクの射出タイミングに応じて送られた画像データにより、記録ヘッド３の各インク滴吐出機構３０毎に個別電極２３と振動板２２に駆動電圧を出力する。
【００３５】
このエンジン制御部７０で、例えば図１１に示すように、静電アクチュエータ１４に２つの不良インク滴吐出機構３０ｄ，３０ｉがあって、ノズルプレート１３の第１の冗長インク滴吐出機構３１とインク滴吐出機構３０ａ〜インク滴吐出機構３０ｃの先端部に対応する位置にノズル１２ａを形成し、不良インク滴吐出機構３０ｄ，３０ｉの間のインク滴吐出機構３０ｅ〜インク滴吐出機構３０ｈに対応する位置にノズル１２ａから距離Ｌだけずらしたノズル１２ｃを形成し、不良インク滴吐出機構３０ｉ以降のインク滴吐出機構３０ｊから第２の冗長インク滴吐出機構３１に対応する位置にノズル１２ａから距離２Ｌだけずらしたノズル１２ｄを形成した記録ヘッド３からインクを射出して記録紙に画像を形成するときは、図１１の射出タイミングに示すように、第１の冗長インク滴吐出機構３１とインク滴吐出機構３０〜インク滴吐出機構３０ｃを駆動してノズル１２ａからインクを射出させた後、距離Ｌと記録紙の送り速度で定まる射出タイミングＴ１だけずらしてノズル１２ｃからインクを射出させ、さらにノズル１２ａからインクを射出させた後、距離２Ｌと記録紙の送り速度で定まる射出タイミングＴ２だけずらしてノズル１２ｄからインクを射出させる。このようにしてビット抜けなしに画像を形成することができる。
【００３６】
上記実施例は静電アクチュエータ１４に各インク滴吐出機構３０を斜めに形成してノズル１２の位置をずらした場合について説明したが、静電アクチュエータ１４に形成する各インク滴吐出機構３０を、図１０（ｂ）に示すように、クランク形状に形成し、不良ビットが生じた場合、ノズルプレート１３に位置をずらしたノズル１２ｃを形成しても良い。また、図１２に示すように、紙送り方向Ｙとヘッドスキャン方向Ｘに対して記録ヘッド３を一定角度傾けて配置し、各ノズル１２から一定の射出タイミングＴ３でインクを射出し、不良インク滴吐出機構３０ｉの位置で射出タイミングをＴ４に切り替えるようにしても良い。
【００３７】
〔実施例４〕上記実施例は静電アクチュエータ１４に不良インク滴吐出機構が生じたときに、紙送り方向にずらしたノズル１２ｃ，１２ｄをノズルプレート１３に形成してビット抜けを防ぐ場合について説明したが、静電アクチュエータ１４に不良インク滴吐出機構が生じたときに、ノズルプレート１３に形成するノズル１２のピッチを変えてもビット抜けを防ぐことができる。例えば図１３（ａ）に示すように、各インク滴吐出機構３０を形成する加圧液室１９の間隔Ａとノズル１２の直径Ｂが加圧液室１９の幅Ｗに対して十分に小さい場合、不良インク滴吐出機構３０ｉを境界にしてその前後のインク滴吐出機構３０ｈとインク滴吐出機構３０ｊに対応するノズル１２ｈ，１２ｊを不良インク滴吐出機構３０ｉに近付けて例えばピッチＰ＝（Ｗ＋２Ａ＋Ｂ）で形成し、その他のノズル１２を等ピッチＰ＝（Ｗ＋Ａ）で形成すると、使用上問題のないレベルでビット抜けを防ぐことができる。また、図１３（ｂ）に示すように、静電アクチュエータ１４の各インク滴吐出機構３０を形成する加圧液室１９の配列ピッチＰよりノズルプレート１３に形成するノズル１２のピッチＮＰを大きくして、一定間隔毎に加圧液室１９を使用しないようにしても良い。例えば図１３（ｂ）に示すように、ノズル１２のピッチＮＰを加圧液室１９のピッチＰに対して、ＮＰ＝（６Ｐ／５）になるように定め、静電アクチュエータ１４に不良インク滴吐出機構３０ｉが存在した場合、不良インク滴吐出機構３０ｉの位置にノズル１２を形成しないようにする。このように加圧液室１９のピッチＰとノズル１２のピッチＮＰを異ならせると、加圧液室１９の６ビット毎に冗長ビットが１ビット存在することになり、静電アクチュエータ１４やノズルプレート１３のチップ面積が若干大きくなるが、各ノズル１２からインクを噴射するタイミングを切り替える必要がなく、記録ヘッド３を駆動するエンジン制御部の構成と制御を簡略化することができる。
【００３８】
〔実施例５〕次に、静電アクチュエータ１４の作製方法について説明する。インクジェットプリンタ１の記録ヘッド３を作製するときに、半導体微細加工技術等を用いてシリコンウエハ上にアクチュエータを作成することにより記録ヘッド３の製造コストを下げることができる。特に静電アクチュエータ１４の場合には低消費電力という特徴もあるため、多ノズル化に適した構造である。この静電アクチュエータ１４に限らず、多ノズル化によりチップサイズを大きくすると、歩留まりが落ちる傾向にある。特に静電アクチュエータ１４は個別電極２３と振動板２２の間に微細な間隙を有するためパーティクルによる欠陥が発生しやすい。この静電アクチュエータ１４の歩留まり低下を防ぐ方法として、図１３（ａ）に示すように、振動板２２を有する加圧液室１９と個別電極２３を、ノズル数を規定せずに単純に一列に多数配置したアクチュエータ８０を複数組有するウエハ８１の段階で、各振動板２２の動作確認を行い、不良インク滴吐出機構３０ｘを検出する。その後、必要とするビット数に冗長ビットを加えたビット数の中に不良インク滴吐出機構３０ｘが１個又は２個以下含まれる領域を良品領域として選択し、ダイシングにより切り出し、静電アクチュエータ１４とする。このように振動板２２を有する加圧液室１９と個別電極２３を多数配置したウエハ８１から静電アクチュエータ１４の良品チップを切り出すことにより、実際に使用できる静電アクチュエータ１４だけを切り出すことができ、静電アクチュエータ１４を作成するときの歩留まりを向上することができる。また、不良インク滴吐出機構３０ｘが１個又は２個以下含まれる領域を良品領域とするから、ウエハ８１から多数の静電アクチュエータ１４を切り出すことができ、ウエハ８１を有効に利用することができる。さらにフルラインタイプの静電アクチュエータを効率良く作成することもできる。
【００３９】
また、図１４（ｂ）に示すように、振動板２２を有する加圧液室１９と個別電極２３を一列に多数配置したアクチュエータ８０を複数組有するウエハ８１から、一定ビット数、例えば12ビットずつ１チップ８２として切り出し、切り出した各チップ８２毎に検査を行い、必要とするビット数と冗長ビットの中に不良インク滴吐出機構３０ｘが１個又は２個以下含まれるように選別して貼り合せて静電アクチュエータ１４を形成しても良い。この場合も、多ノズルを有する静電アクチュエータ１４を歩留まりを低下させずに作製することができる。
【００４０】
上記各実施例は静電アクチュエータ１４を使用した場合について説明したが、圧電振動子を使用した記録ヘッドやバブルジェットを使用した記録ヘッドにも同様に適用することができる。
【００４１】
【発明の効果】
この発明は以上説明したように、振動板を有する加圧液室と振動板を変位させる駆動手段を有する駆動アクチュエータに冗長インク滴吐出機構を設け、駆動アクチュエータに正常に動作しない不良インク滴吐出機構が発生したときに、不良インク滴吐出機構を使用せずに冗長インク滴吐出機構を使用してビット抜けを防ぐようにしたから、駆動アクチュエータを製造しているときに、不良インク滴吐出機構が１〜２ビット発生しても、その駆動アクチュエータを使用することができ、駆動アクチュエータを製造しているときの歩留まりを向上することができる。
【００４２】
また、駆動アクチュエータに不良インク滴吐出機構が発生したときに、不良インク滴吐出機構を境界として両側のインク滴吐出機構でノズルからのインク噴射方向を異ならせることにより、ビット抜けを確実に防ぐことができ、記録ヘッドを製造したときの歩留まりを高めることができる。
【００４３】
また、不良インク滴吐出機構を境界として両側のインク滴吐出機構でノズルプレートのノズルの方向を変えてインク噴射方向を異ならせることにより、所定のインク噴射位置に確実にインクを噴射することができ、良質な印刷を安定して行うことができる。
【００４４】
また、駆動アクチュエータに不良インク滴吐出機構が発生したときに、不良インク滴吐出機構を境界として両側のインク滴吐出機構でノズルプレートのノズルの位置を変えて、不良インク滴吐出機構のインク噴射位置にインクを噴射させることにより、不良インク滴吐出機構があってもビット抜けを確実に防止することができ、記録ヘッドの歩留まりを高めることができる。この場合、駆動アクチュエータの各インク滴吐出機構の加圧液室を、紙送り方向に斜めになるように配置し、不良インク滴吐出機構を境界として両側のインク滴吐出機構でノズルプレートのノズルの位置を紙送り方向で異ならせたり、駆動アクチュエータの各インク滴吐出機構の加圧液室を、紙送り方向に対して階段状に形成し、不良インク滴吐出機構を境界として両側のインク滴吐出機構でノズルプレートのノズルの位置を紙送り方向で異ならせたり、あるいは駆動アクチュエータの各インク滴吐出機構の加圧液室を紙送り方向に斜めになるように配置し、駆動アクチュエータに不良インク滴吐出機構が発生したときに、不良インク滴吐出機構を境界として両側のインク滴吐出機構でノズルプレートのノズルの位置を紙送り方向に２ビット分異ならせることにより、不良インク滴吐出機構があってもビット抜けを確実に防止することができ、記録ヘッドの歩留まりを高めることができる。
【００４５】
また、駆動アクチュエータに不良インク滴吐出機構が発生したときに、不良インク滴吐出機構を境界として両側のインク滴吐出機構でノズルプレートのノズルの位置を、両側のインク滴吐出機構の加圧液室の範囲内で不良インク滴吐出機構に近付けて配置したり、駆動アクチュエータの各インク滴吐出機構の加圧液室の間隔とノズルプレートの間隔を異ならせ、駆動アクチュエータに不良インク滴吐出機構が発生したときに、不良インク滴吐出機構の位置にノズルが配置されないようにノズルプレートと駆動アクチュエータを接合することにより、簡単な駆動制御でビット抜けを防止して、記録ヘッドの歩留まりを向上することができる。
【００４６】
また、個別電極と振動板の間の間隙が非常に狭い静電アクチュエータを多ノズル化した場合、不良インク滴吐出機構が１〜２ビット発生しても、その静電アクチュエータを使用することができ、静電アクチュエータを製造しているときの歩留まりを向上することができるとともにフルラインの記録ヘッドも効率良く作製することができる。
【００４７】
【００４８】
また、記録ヘッドを製造するときに、駆動アクチュエータの不良インク滴吐出機構の有無を検出し、不良インク滴吐出機構の有無の検出結果によりノズルプレートにノズルを形成し、ノズルを形成したノズルプレートと駆動アクチュエータを接合することにより、駆動アクチュエータに不良インク滴吐出機構があっても、その影響を受けずにビット抜けのない記録ヘッドを安定して製造することができる。
【００４９】
この記録ヘッドを製造しているときに、駆動アクチュエータで不良インク滴吐出機構を検出した場合、不良インク滴吐出機構を境界として両側のインク滴吐出機構でノズルプレートのノズルの形状を異ならせて射出方向を変えることにより、ビット抜けのない記録ヘッドを安定して製造することができる。
【００５０】
この形状が異なるノズルを形成するときに、ノズルを形成するノズルパターンを、駆動アクチュエータの不良インク滴吐出機構を境界として、一方は100％の開口率を有するパターンを有し、他方は開口率に一定の変化を設けたグラデーションパターンを有するマスクを使用してレジストを露光して形成し、形成したノズルパターンを使用して電鋳法でノズルを形成することにより、特別な方法を使用せずに形状の異なるノズルを容易に形成することができる。
【００５１】
また、駆動アクチュエータの不良インク滴吐出機構を境界として、ノズルプレートに対するレーザ光の照射角度を変えてノズルを形成したり、駆動アクチュエータの不良インク滴吐出機構を境界としてノズルプレートを回動し、ノズルプレートに対するレーザ光の照射角度を変えてノズルを形成することにより、形状の異なるノズルを容易に形成することができる。
【００５２】
また、ノズルプレートのノズルを形成するときに、駆動アクチュエータの不良インク滴吐出機構の有無の情報を利用してノズルプレートの保持角度を切り替えてレーザ光を照射してノズルを形成することにより、駆動アクチュエータの状態に応じたノズルを精度良く形成できる。
【００５３】
また、駆動アクチュエータを製造するときに、振動板を有する加圧液室と振動板を変位させる駆動手段からなるインク滴吐出機構を多数形成したウエハで不良インク滴吐出機構を検出し、不良インク滴吐出機構が１個又は２個以下の領域を良品領域として選択し、選択した領域を切り出すことにより、実際に使用できる駆動アクチュエータだけを切り出すことができ、駆動アクチュエータを作成するときの歩留まりを向上することができる。また、不良インク滴吐出機構が１個又は２個以下含まれる領域を良品領域とするから、ウエハから多数の駆動アクチュエータを切り出すことができ、ウエハを有効に利用することができる。
【００５４】
削除
さらに、振動板を有する加圧液室と振動板を変位させる駆動手段からなるインク滴吐出機構を多数形成したウエハから、一定ビット数ずつ１チップとして切り出し、切り出した各チップ毎に不良インク滴吐出機構の有無を検出し、必要とするインク滴吐出機構数の中に不良インク滴吐出機構が１個又は２個以下含まれるように選別して貼り合せることにより、多ノズルを有する駆動アクチュエータを歩留まりを低下させずに作製できる。
【００５５】
また、この記録ヘッドをインクジェット記録装置に使用することによりビット抜けのない画像等を安定して記録することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施例のインクジェットプリンタの構成図である。
【図２】  記録ヘッドの構成を示す分解斜視図である。
【図３】  記録ヘッドの構成を示す断面図である。
【図４】  静電アクチュエータの各インク滴吐出機構の配置図である。
【図５】  静電アクチュエータとノズルプレートのノズルの構成を示す断面図である。
【図６】  形状が異なるノズルを有するノズルプレートの作製工程を示す工程図である。
【図７】  ノズルを加工するレーザ加工装置の構成図である。
【図８】  レーザ加工装置の駆動制御部の構成を示すブロック図である。
【図９】  レーザ加工装置で形状が異なるノズルを作製するときの工程図である。
【図１０】  第２の静電アクチュエータとノズルの配置図である。
【図１１】  エンジン制御部の構成を示すブロック図である。
【図１２】  第３の静電アクチュエータの構成と射出タイミングを示す説明図である。
【図１３】  他の静電アクチュエータとノズルの配置図である。
【図１４】  静電アクチュエータを製造方法を示す配置図である。
【符号の説明】
１；インクジェットプリンタ、３；記録ヘッド、１２；ノズル、
１３；ノズルプレート、１４；静電アクチュエータ、１９；加圧液室、
２０；流体抵抗路、２１；共通液室、２２；振動板、２３；個別電極、
３１；冗長インク滴吐出機構、３２；異物、３３；インク射出位置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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