(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
層成長に関するモデルデータを有するプロセスモデルを使用することにより分子ビームエピタキシャル層を成長する方法であって、
第１成長種の第１層を成長するよう、成長チャンバ内のウェーハに第１成長種の第１ビームを向ける工程と、
前記ウェーハからの前記第１ビームの反射のフラックスを測定して前記第１層の第１厚み測定値を得る工程と、
前記第１厚み測定値と前記層成長に関するモデルデータに基づいた前記プロセスモデルとを比較し、成長すべき第２層の第２目標の厚みを得る工程と、
前記成長チャンバー内の前記ウェーハに第２成長種の第２ビームを向ける工程と、
前記第２目標厚みに達した時、前記第２成長種の前記第２ビームを終了させる工程とを備えた、分子ビームエピタキシャル層成長方法。
【請求項２】
前記フラックスの測定は質量スペクトルメータによって行う、請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記ウェーハは非プレーナー表面を有する、請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記第２ビームの反射のフラックスを測定して前記第２層の第２厚み測定値を得る工程と、
前記第２厚み測定値と前記プロセスモデルとを比較し、成長すべき第３層の第３目標の厚みを得る工程と、
前記成長チャンバー内の前記ウェーハに第３成長種の第３ビームを向ける工程と、
前記第３目標厚みが記録された時、前記第３成長種の前記第３ビームを終了させる工程とを更に含む、請求項１記載の方法。
【請求項５】
第１ビームおよび第２ビームが前記ウェーハに向けられる際に、前記ウェーハの温度がほぼ一定に維持される、請求項４記載の方法。
【請求項６】
前記ウェーハはＩＩＩ−Ｖ族半導体化合物から製造され、前記第１ビームがＩＩＩ族元素の第１の原子を含み、
前記第２ビームがＩＩＩ族元素の第２の原子を含む、請求項４記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子デバイスに関し、より詳細には半導体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来技術】
トランジスタおよび集積回路の性能を高めたいという要望が継続していた結果、現在のデバイス、例えばシリコンバイポーラトランジスタおよびＣＭＯＳトランジスタ、更にヒ化ガリウムＭＥＳＦＥＴが改善され、新しいデバイスタイプおよび材料が導入されることになった。特にマイクロウェーブ周波数においてノイズを低くし、パワーを大きくするという要求により、ヒ化ガリウム（ＧａＡｓ）とヒ化アルミニウムガリウム（Ａｌx Ｇａ1-x Ａｓ）との組み合わせから製造された高電子移動度トランジスタ（ＨＥＭＴ）や、ＭＥＳＦＥＴ状の構造をしたＡｌx Ｇａ1-x Ａｓとヒ化インジウムガリウム（Ｉｎx Ｇａ1-x Ａｓ）との組み合わせから製造された疑似モノモルフィックＨＥＭＴが得られた。同様に狭バンドギャップベースを備えたワイドギャップバンドエミッタ（例えばＧａＡｓベースを備えたＡｌx Ｇａ1-x Ａｓエミッタまたはシリコン- ゲルマニウムベースを備えたシリコンエミッタ）により製造されたヘテロジャンクションバイポーラトランジスタ（ＨＢＴ）は、エミッタへのキャリア注入に起因するベースドーピングレベルに対するすべてのシリコンバイポーラトランジスタの限界を克服した。
【０００３】
更に、高周波の性能を高めるためのデバイスサイズのスケールダウンにより、ポテンシャルバリアを通過するキャリアのトンネル効果のような観測可能な量子力学的効果が生じることとなった。これによりトンネル現象を活用する共振トンネル効果ダイオードおよび共振トンネル効果ホット電子トランジスタのような別個のデバイスが開発されることとなった。例えば、マルス外による「ＡｌＡｓ／ＧａＡｓダブルバリア共振トンネル効果ダイオードの再現可能な成長および応用」、１１、ジャーナル  オブ  バキュームサイエンス、テクニカルブリテン９６５（１９９３年）、およびエズベイ外による「１１０ＧＨｚのモノリシック共振トンネル効果ダイオードトリガー回路」、１２ＩＥＥＥエレクトロニックデバイスレター、４８０（１９９１年）は、それぞれ量子井戸共振トンネル効果ダイオードを形成するためＧａＡｓ構造内に埋め込まれた２つのＡｌＡｓトンネル効果バリアを使用している。この量子井戸は１. ７ｎｍ厚のトンネル効果バリアを備えた４. ５ｎｍの厚さとすることができる。これら共振トンネル効果トランジスタは、共振トンネル効果ダイオードにてゲインを与えることにより改善され、種々のタイプとなる。特にエミッタ内に１つ以上のダブルバリア量子井戸エネルギーフィルタが設けられたＨＢＴおよびホット電子トランジスタ（ＨＥＴ）は、それぞれ共振トンネル効果バイポーラトランジスタ（ＲＴＢＴ）および共振トンネル効果ホット電子トランジスタ（ＲＨＥＴ）を生み出した。フタツギ外による「ＩｎＡｌＡｓ／ＩｎＧａＡｓヘテロ構造を使用した共振トンネル効果」６５、ジャーナル  オブ  アプライドフィジックス、１７７１（１９８９年）は、ＲＴＢＴの特性を述べている。
【０００４】
上記デバイスはいずれもシャープなヘテロ接合を備えた構造を必要とし、共振トンネル効果デバイスは更に多数の薄い（〜２ｎｍ厚）化合物半導体層を必要とする。分子ビームエピタキシ（ＭＢＥ）技術は、かかる構造のための代表的な製造方法となっている。
【０００５】
図１は、簡単なＭＢＥシステム１００を示している。このシステムは回転ウェーハホルダー１０４およびこのウェーハホルダーに照準を合わせた流出セル１０６を備えた高真空チャンバ１０２と、種々のオプションの検出システム、例えば反射高エネルギー電子回折（ＲＨＥＥＤ）１１０−１１１、エリプソメータ１１２−１１３およびライン  オブ  サイト  インサイト反射型質量スペクトロメータ（ＲＥＭＳ）１１５を含む。ウェーハは一般に０. ５ｍｍ厚の２インチまたは３インチ径の円形をしている。ウェーハホルダー１０４はウェーハ１２０の温度を一般に４００〜７００℃の範囲に制御するためのヒータと熱電対を含む。ポンプは成長中に一般に５×１０-9トルの大きさの極めて低い圧力にチャンバ１０２を維持する。このような圧力は原子および分子の平均自由行路がチャンバ１０２の径よりも大きくなることを意味している。
【０００６】
ウェーハ１２０上に層を成長させるためのＭＢＥシステム１００の作動は次のとおりである。まず、ウェーハ１２０上に所望の層を成長させるのに必要な量の種を流出セル１０６に充填する。例えば１つの流出セルはアルミニウム（Ａｌ）と、別のガリウム（Ｇａ）と、第３のインジウム（Ｉｎ）、第４のヒ素（Ａｓ）を含むことができる。これは化合物半導体、例えばＧａＡｓ、Ｉｎx Ｇａ1-x Ａｓ、ＡｌＡｓ、Ａｌx Ｇａ1-x Ａｓ等の層を成長させるのに十分であろう。次にＧａＡｓの層を成長させるため、ガリウムおよびヒ素流出セルのシャッターを開け、ガリウムおよびヒ素（恐らくＡｓ2 またはＡｓ4 の状態である）のビームをウェーハ１２０に入射させる。理想的には入射ＧａおよびＡｓの原子／分子はウェーハ１２０の表面に付着し、移動し、ＧａＡｓを形成するように反応する。ヒ素の揮発性によりウェーハ１２０の表面でヒ素の過剰圧力が生じ、ＧａＡｓを形成するように反応する。更にこのヒ素の揮発性により、成長中のヒ素化合物の分解を防止するようにヒ素の過剰圧力が維持される。従って、ヒ素のビームはガリウム、アルミニウムまたはインジウムビームのフラックスの１０００倍のフラックスを有し得る。
【０００７】
検出システム、例えばＲＨＥＥＤは（非回転ウェーハに対し）ウェーハ１２０の表面層の結晶の質および成長レートを評価でき、エリプソメトリにより層の厚みが測定できる。ＲＥＭＳは温度の関数としての元素のうちの１つの衝突係数および脱離を評価できる。ブレナン外による「ＩｎＡｌＡｓおよびＩｎＧａＡｓの分子ビームエピタキシャル成長に対する反射型質量スペクトロメトリの応用」７、ジャーナル  オブ  バキュームサイエンス、テクニカルブリテン、２７７（１９８９年）；ブレナン外による米国特許第5,171,399 号およびブレナン外による「ＧａＡｓ、ＡｌＡｓおよびＩｎＡｓの分子ビームホモエピタキシ中のＡｓ4 の反応性付着」１０、ジャーナル  オブ  バキュームサイエンス、テクニカルブリテン、Ａ３３（１９９２年）を参照のこと。更に、米国特許第5,096,533 号も参照のこと。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、層のＭＢＷ成長は層の厚みを正確に制御する上で問題がある。電子デバイスの層の厚みは電子デバイスの電気的特性を決める上で重要である。代表的な成長方法は平均成長レートを決定し、平均成長レートに基づき層の公称厚みとするよう、拡散セルのシャッターの開閉を同期化している。平均成長レートは厚膜の成長および成長後の分析に従って決定されることが多いので、これらの結果を薄膜の成長に外挿する結果、公称厚み値から大きくずれる結果となり得る。流出セルのフラックスの変動またはウェーハ表面温度のような成長条件の変化に起因し、真の層の厚み（膜厚）は公称値からも異なることがある。従って、層の厚みの各々を正確に制御できるよう、層のデポジション中に成長レートを正確に測定するための方法が望まれている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、成長種の反射されたフラックスの測定値からフィードバック分析することにより、ＭＢＥにより成長中の層の厚みを制御するものである。
【００１０】
本発明は、一連の多層構造を成長すなわち製造する。各構造は多層構造に実装された１つ以上の構造デバイスを有する。第１バリア、第２バリアおよび量子井戸の厚みを含むこれらデバイスの物理的特性を測定する。これら物理的特性から、多層構造の所望の電気的特性が予想される。多層構造の実際の電気的特性を測定し、多層構造のモデルを得るようにモデル化技術により実際の電気的特性と、所望する、または予想される電気的特性を比較する。このモデルはデバイスの層の成長と関連して使用される。より詳細に説明すれば、層が成長する際に層の厚みを測定し、これら厚みを使用して成長すべき層の厚みを修正する。このように、既に成長した層の過剰または過小成長を修正することにより、所望する、すなわち目標とする電気的特性を得るように、このモデルを使用することができる。
【００１１】
本発明と共に使用すべき他の主な分野としては、デバイス構造、すなわち電気的特性を有しないが光学的特性（すなわち目標波長で高い反射性）を有する光学的材料がある。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図２は、本発明のＭＢＥシステムをブロック図で示しており、ＭＢＥシステムは参照番号２００で総称されており、このシステムは２０４を備えたＭＢＥ成長チャンバ２０２と、分子ビーム流出セルをドライブするコントローラ２０６を含む。ＭＢＥチャンバ２０２および質量スペクトロメータ２０４は、図１に示すような構造を有することができる。コントローラ２０６は質量スペクトルメータ２０４の出力信号に対して演算される計算および所定のモデルに応答して拡散セルシャッターを制御するようにプログラムされたパソコン（ＰＣ）を含むことができる。質量スペクトルメータ２０４はＭＢＥチャンバ２０２内のウェーハに入射する各原子の量を示す信号を出力し、よってこれら出力とプロセスモデルとを組み合わせることにより、現在成長中のデバイスのうちの層および更に厚く成長すべき層の厚みを決定できる。従って、コントローラ２０６は設定された層の厚みの多層構造を成長するようにプログラムでき、タイミングを合わせた成長からの偏差でなく、むしろ質量スペクトロメータの信号のフィードバックによる実際の層の厚みからの偏差を拡散セルが制御する。これにより生じ得る不均一成長レートに係わらず、すべての厚みの層に対し平均的な成長レートを用いる問題が解決できる。
【００１３】
図３は、本発明の要旨に従って成長できるデバイスを示す。
【００１４】
図８に示されているような他のタイプのＭＢＥシステムでも同じリアルタイムのフィードバック制御を行うことができる。図８は、そのコントローラ２０６を示し、このコントローラはスタンドアローンユニットとするか、または分散システムに設けることができるパソコンまたはミニコン、マイクロコンまたは汎用コンピュータとすることができる。このコントローラ２０６は流出セルのシャッターを開閉することにより流出セル３０２、３０３、３０４および３０５の動作を制御するよう、これら流出セルに結合されている。コントローラ２０６は成長中の層の厚みを測定するエリプソメータをスタートまたは停止させることにより、エリプソメータの作動を制御するよう、スペクトルエリプソメータにも結合されている。エリプソメータからの厚みデータはコントローラ２０６へ送られ、コントローラ内で成長レートのデータを統合し、この成長レートデータの統合から得られる厚みボリュームにより流出セルの作動をコントローラが制御することにより、成長中の層を制御できる。この方法からはより正確な成長を行うことができる。
【００１５】
図４は、最も左側部分にＲＴＤ構造体４１２を示す。このＲＴＤ構造体４１２はこの構造体にスタック状に取り付けられた４つのＲＴＤデバイス（４２０、４２２、４２４および４２６）を有する。図４の最も右側部分は単一のＲＴＤデバイス４１０を示す。このＲＴＤデバイス４１０は第１バリア４０２と、量子井戸４０４と、第２バリア４０６を含む。このＲＴＤデバイス４１０は更にノッチ４０８を含む。第１バリア４０２の厚みは約２０Åでよく、ノッチ４０８の厚みは約２０Åである。このＲＴＤデバイス４１０の電気的特性としてピーク電圧、ピーク電流および谷電流が挙げられる。このＲＴＤデバイス４１０のこれら電気的特性は、特定の層の厚みを含む多数のファクタによって決定される。例えば、ＲＴＤ構造体４１２のピーク電流（Ｉp ）は主にＲＴＤデバイス４２０の第２バリア４０６の厚みによって決まる。しかしながらＲＴＤデバイス４１０のピーク電流（Ｉp ）はより少ない程度でＲＴＤデバイス４１０の量子井戸４０４の厚みおよびＲＴＤデバイス４１０の第１バリア４０２の厚みから決定される。ＲＴＤデバイス４１０のピーク電圧（Ｖp ）は主にバリア４０２または４０６のインターフェースの粗さによって主に決定される。図５は、電圧と電流密度とを比較した代表的なＲＴＤデバイスの特徴を示す。
【００１６】
ＲＴＤデバイス４１０のためにエピタキシャルウェーハ構造を製造するための方法について、次のように説明する。チャンバ３１４内の回転ウェーハホルダー３１２に２インチ径のリン化インジウム（ＩｎＰ）ウェーハを取り付ける。チャンバ３１４を真空にし、Ａｓ4 フラックスのもとで２分間５５０℃まで加熱することにより、ＩｎＰの表面酸化物を脱離した。図６のブロック６５０に示されているように、一連のＲＴＤサンプルを成長させた。４つの順次成長させたＲＴＤ（４２０、４２２、４２４および４２６）の垂直に一体化したスタックはＲＴＤ構造体４１２に含まれている。このＲＴＤ構造体４１２は格子整合されたＩｎＧａＡｓから成る量子井戸領域とＩｎＡｓノッチが設けられた層（約２０Åの厚み）（いずれもドープされていない）との間に挟持された２つのＡｌＡｓバリア（約２０Åの厚み）を含む。酸化物が脱離されたＩｎＰ基板に格子整合されたＩｎ0.53Ｇａ0.47Ａｓ（４３２）およびＩｎ0.052 Ａｌ0.48Ａｓ（４３４）バッファ層（５×１０18ｃｍ-3のＳｉでｎ++ドープされている）をデポジットした。ＲＴＤデポジット間の２０００Åのスペーサ層は５００Åのｎ+ 層（１×１０18ｃｍ-3）と中心の１０００Åのｎ++層（５×１０18ｃｍ-3）４３６を含んでいた。
【００１７】
ＲＴＤの周辺のばらつきを研究し、ブロック６５０に示されたようなプロセスモデル得るために、８個の変数に対する線形モデルを構築するように７つのＲＴＤ構造体における２８個のＲＴＤデバイスのサンプルセットを設計した。研究した変数はＡｌＡｓバリア、ＩｎＧａＡｓ井戸およびＩｎＡｓ井戸の厚み、ＡｌＡｓおよびＩｎＡｓ成長レート、（ひずみ条件を変えるための）ＩｎＧａＡｓのｎ+ スペーサまたは組成、およびＩｎＡｓのＶ／ＩＩＩ比および成長温度であった。４５０℃の標準的な成長温度でＩｎＧａＡｓ、ＡｌＡｓおよびＩｎＡｓでの公称成長レートはそれぞれ２. ４、０. ８〜１. ２および０. ６〜１. ０Å／秒であった。ターゲットの厚みはＡｌＡｓでは６、７または８ＭＬ（単一膜）、ＩｎＡｓノッチでは５、６または７ＭＬ、２つのＩｎＧａＡｓ量子井戸膜では４、５または６ＭＬであった。表１は、各ＲＴＤデバイスのためのターゲット構造を示す。
【００１８】
【表１】
表１．この研究における各ＲＴＤにおけるターゲット構造および成長条件
0004034837.tif 000002
【００１９】
ＲＴＤスタックを処理し、ＲＴＤごとにＩ−Ｖ曲線を得た。
【００２０】
図５は、１つのバイアスに対するＲＴＤデバイスのピーク電流密度およびピーク電圧を示す。しかしながら実際には、各デバイスは２つの共振ピークを有し、１つのピークは順方向バイアスに対するピークであり、他方のピークは逆方向バイアスに対するピークである。図示していないが、第３象限では図５に示される鏡像関係が生じる。流出セル３０２、３０３、３０４および３０５を作動温度まで加熱する。一般に、全成長にわたってこれら温度を維持するが、他の実施例ではコントローラ２０６はビームフラックスを調節するように流出セルの温度を調節できた。
【００２１】
流出セル３０２、３０３、３０４および３０５が作動温度（この温度は流出セルのシャッターのリークにより質量スペクトルメータによって検出される）となると、コントローラ２０６はセル３０２、３０３、３０４および３０５の各々に制御信号を送信することにより、セル３０２、３０３、３０４および３０５のヒ素、インジウムおよびガリウム流出セルのシャッターを同時に開けることにより成長をスタートさせる。ヒ素流出セルの作動温度は、この作動温度における他の流出セルのフラックスのほぼ１００倍多いビームフラックスを発生させる。インジウムおよびガリウムセルはインジウムビームとガリウムビームの比を５３〜４７とするような温度で作動する（従って、ＩｎＧａＡｓの成長は常にＩｎ0.53Ｇａ0.47Ａｓとなる）。
【００２２】
ホルダー３１２上にて形成中の膜の厚さを測定するのに、光源３００と、コレクタ３０６と、モノクロメータ３０８を含む位相変調されたスペクトルエリプソメータ（ＳＥ）が使用される。光源３００はＸｅ（キセノン）光源を含むことができる。Ｘｅ光源はＰ位相の光とＳ位相の光の双方を放出するように線形に変更されており、コントローラ２０６によって制御されているシャッターを貫通し、１５０ワットのキセノンランプと光源偏光器と光弾性変調器（５０キロヘルツのＰＥＭから成るＰＥＭ）を含み、最後にゆるやかに光を合焦するための無ひずみ石英ウィンドーおよびレンズを備える。偏光ランプはホルダー３１２の成長表面から反射される。チャンバ３１４のポートは垂直表面から所定の角度、すなわち７５°に取り付けることができ、これにより１０×２５ｍｍの楕円プローブ面積が得られる。成長表面から反射された固有ビームは、第２の無ひずみ石英ウィンドーおよび第２の固定された偏光器および０. ３２ｍのモノクロメータ３０８を通してコレクタ３０６に収集される。モノクロメータ３０８は４０７４〜８５３２Åに広がる４６素子シリコンダイオードアレイ検出器により固有ビームを検出するようになっている。ホルダー３１２は基板の揺れから生じる問題を最小にするよう、ウェーハの回転と同時にコントローラ２０６によりトリガーされる波形の収集を行いながら、２０ｒｐｍで回転できる。Ｘｅ光源からの光はＰ偏光とＳ偏光とに交互に変化する。
【００２３】
Ｐ偏光の角度とＳ偏光の角度との比であるΨ、および線形偏光角度の値の回転であるΔは、次の式で示される複素反射率の比を示す。
【００２４】
【数１】
Ｒp ／Ｒs ＝Ｐ＝ｔａｎΨｅｘｐ（ｉΔ）    ・・・（１）
【００２５】
ここで、Ｒp はＰ位相の反射率であり、Ｒs はＳ位相反射率である。
これらΨおよびΔの値は高速波形デジタル化およびフーリエ変換解析、ならびに次の式を使用する、５０キロヘルツのＢＥＭ変調のＤＣ波、基本波および一次高調波強度（Ｉo 、Ｉw およびＩ2w）から各波長で抽出される。
【００２６】
【数２】
Ｉw ＝Ｉo ｓｉｎ２ΨｓｉｎΔ              ・・・（１ａ）
Ｉ2w＝Ｉo ｓｉｎ２ΨｃｏｓΔ              ・・・（１ｂ）
【００２７】
図１１および１２に示された成長温度（４５０℃）の光学的定数を使用してＳＥデータの解析を行う。ＷＶＡＳＥ解析ソフトウェアにあるエラー最小化技術を使用し、（Ψ、Δ）データの構造モデル（下記に説明する）およびこれら光定数への適合を行った。
【００２８】
ＲＴＤモニタリング
酸化物が脱離されたＩｎＰ基板から得られたスペクトルを適合し、ＳＥビームの入射角を決定し、Ψ値およびΔ値の観測値と計算値の差を最小にした。図１３および１４に示されるスペクトル例ではこの角度をＩｎＰ光学定数に適合し、このサンプルでのその後の膜成長を解析するため、角度をこの値に固定することにより、入射角に対する７６. １２°の値を決定した。
【００２９】
図１５、１６および１７にはＲＴＤのアクティブ領域の成長場所における成長モニタリングから得られたセンサデータが示されている。スペクトルエリプソメータＳＥからのデータ（２３のサンプリングした波長の一部しか示していない）の他に図１７に示されるＳＥＭＳデータはシャッター開放位置を示す。ＳＥデータはＡｌＡｓバリアおよびＩｎＧａＡｓスペーサ膜のデポジションに対する感受性を示すが、井戸領域によりスペクトル変化はより少なくなっている。
【００３０】
図１８および１９は、図１２の維持されたＡｌＡｓ光学的定数を使用してＡｌＡｓバリア成長の成長後の分析を示す。各バリアの前後で成長を中断すると、ΨおよびΔの値の総変化が正確に適合されるので、膜厚（成長レートではない）を良好に測定できる。
【００３１】
図２０には、成長場所のデータを成長後に解析することによって決定されたＡｌＡｓバリア厚の概要がプロットされている。各ＲＴＤには２つのバリアがあるので、データポイントは総計５６個である。図２０には公称バリア厚も示されている。ＳＥで測定された厚みまたは実際の厚みは、一般に所望する値の傾向に従った。各ＲＴＤ対の第２バリアは一貫して第１バリアよりも薄く、図２１に示された電気的測定値と一致していた。表２にＡｌＡｓバリアおよびＩｎＡｓ／ＩｎＧａＡｓ量子井戸の値を示す。
【００３２】
【表２】
表２．ＲＴＤサンプルにおけるＳＥで測定した膜厚
0004034837.tif 000003
【００３３】
デバイスパラメータとの相関性
成長後、ＳＥ分析から得られたＲＴＤ構造体４１２のパラメータをＲＴＤデバイス特性の予想可能な能力を証明するため検査した。所望の目標および測定によってＳＥにより決定された特徴の双方を種々のＩ−Ｖ特性、例えばｌｎ（ピーク電流［Ｉpeak］，Ｉp ）、ｌｎ（ピークＬp ／ＶｐＩv 電圧［Ｖpeak］，Ｖp ）およびｌｎ（谷電流［Ｉvalley］，Ｉv ）の電気的特性を関連づけるように、モデルすなわちマッピングを構築した。理論的にはバリア膜上でのピーク電流、谷電流およびピーク電圧は、バリア層および量子井戸厚みに対して、理論的には指数関数的に依存することが予想されるので、電気的特性の対数を考えた。モデル化技術としては標準線形回帰法、バックプロパゲーション法、ラジアルベース関数およびファジー回帰ツリー法（ｆａｚｚｙ  ｒｅｇｒｅｓｓｉｏｎ  ｔｒｅｅ）がある。サンプルセットは限られているので（８つの成長変数を有する２８個のサンプル）、成長すべき将来のデバイスのデバイスパラメータを予想するにあたり、線形モデルが最良の結果を与えることができる。Ｉ−Ｖ特性はＡｌＡｓ、ＩｎＡｓおよびＩｎＧａＡｓの厚みのばらつきを除く他のパラメータに敏感となり得る。これら厚みは電気的パラメータの最も重要な変動を配慮したものである。
【００３４】
図２１は、第２バリアの厚みに関連した未処理の修正していないＩp を示す。図８にはピーク電流に対し線形モデルを使用することが示されている。未処理データはバリアの厚みに対するｌｎ（Ｉpeak）の予想される線形依存性を示していないが、これはデータがピーク電流にも影響する量子井戸の厚みの変化を含んでいるからである。共通量子井戸値（１３ＭＬ）に基づき、修正されたＩp データを発生するよう（線形モデルおよび公称井戸の厚みを使って）、未処理データがスケーリングされている。修正されたＩp データによれば、線形の傾向がより明らかである。表３に依存性の４ＲＴＤテストサンプルに対するモデルパラメータおよび予想値が要約されている。
【００３５】
【表３】
表３．観測された値と比較された線形モデル予想値。これら予想値は表４に示された２パラメータモデルのパラメータに基づく。
0004034837.tif 000004
【００３６】
図２２は観測された電流の非対称性を示す。この非対称性は図９のバリアの厚みの非対称性に対してプロットされたもので、ＩP + ／ＩP - として定義される。ここで、ＩP + およびＩP - はそれぞれ順方向バイアスまたは逆方向バイアスをかけた時のピーク電流である。この電流の非対称性は本モデルでは採用されていないが、より正確な結果を得るためにこのモデルに加えることができる。図２２の第１象限にすべての観測データ点が位置しているので、この電流の非対称性はバリアの厚みの非対称性と相関性があるようである。表面から基板への電流の流れを説明するのにＩP + を使用しているので、この電流はＳＥによって測定されたより薄い頂部バリアを通過する初期のトンネル効果と一貫性がある。直接測定されない他の効果（例えばインターフェースの粗さ）もピーク電流の非対称性を決定する役割を果たすことができる。
【００３７】
図４は、下記を含む種々の電気的特性に対するモデルの係数を示す。
【００３８】
【数３】
ＩP ，Ｉv およびＶP 
【００３９】
２パラメータモデルに対する係数は次の式で示される。
【００４０】
【数４】
Ｉｎ（Ｐi ）＝Ｗ０i ＋（Ｗ１i * ＱAlAs）＋（Ｗ２i * ＱQwell ）
【００４１】
ここでＰi はＲＴＤ電気特性であり、ＱAlAsおよびＱQwell はそれぞれＡｌＡｓバリアおよびＩｎＧａＡｓ／ＩｎＡｓ量子井戸の正規化された厚みである。これらＱパラメータはそれらの厚みがそれぞれの値の最小値から最大値まで広がる時、０〜１の幅となる。
【００４２】
【表４】
0004034837.tif 000005
【００４３】
これらパラメータは図９に示されたような線形モデル化によって得られたものである。検討する電気的特性化のすべてに対し、同じモデル化方法を使用するので、式１は表４におけるモデル係数と関連させて使用される際の特定の電気的特性に対する一般化された式を示す。
一般化された式と組み合わされた表はプロセスモデルとなる。
【００４４】
【数５】
0004034837.tif 000006
式１
【００４５】
ここで、Ｐは電気的特性であり、Ｗ０i 、Ｗ１およびＷ２はこのモデルから得られることが多い。ＱAlAsおよびＱQwell はそれぞれＡｌＡｓバリアおよびＩｎＧａＡｓ／ＩｎＡｓ量子井戸の厚みである。
【００４６】
図７はこのシステムの作動を示す。バッファ層が成長（４３０、４３２および４３４）した後、コントローラ２０１からの信号により流出セルのシャッターが開けられ、ＲＴＤデバイスの第１バリアを成長させる。これらシャッターは第１バリアの厚みを成長させるよう、所定の時間開放される。コントローラ２０２は式２を採用することにより第１バリア４０２の第１ターゲットバリア厚みを決定する。
【００４７】
ＲＴＤデバイスが層ごとに成長されるにつれ、成長されていないＲＴＤデバイスの層はＲＴＤ構造体に対する既知の電気的特性を与える厚みに対する目標値を有する。既に成長済みのＲＴＤデバイスの層は測定によって知られた厚みを有する。
【００４８】
【数６】
0004034837.tif 000007
式２
【００４９】
式２はｌｎ（Ｐi ）が所望する係数の電気的特性として知られ、この式の左辺の残りの項は目標値であることを示している。これら目標値は第１バリアの厚みを得るよう、既知の値として処理される。このような意味で、目標値は左辺を決定する際に既知のものとして扱うことができる。これらの結果により、第１目標バリア厚みが生じる。この第１バリアの厚みを使用することにより、コントローラは図７のステップ６０２に示されているような第１バリア４０２を製造するため、流出セルのシャッターの開放を制御する。
【００５０】
コントローラ２０２はステップ６０４に示されているように、その時デポジットされた第１バリア層４０２を測定するよう、スペクトルエリプソメータＳＥに追加信号を送信することにより制御する。コントローラ２０２は次に式３により量子井戸４０４の目標厚みを再計算する。
【００５１】
【数７】
0004034837.tif 000008
式３
【００５２】
ステップ６０６におけるように、厚みが決定されると、コントローラ２０２は量子井戸の計算された厚みおよび第１バリア層４０２の測定された厚みに従って、量子井戸４０４を成長するように、以前と同じように流出節のシャッターを制御する。成長により量子井戸４０４の目標厚みに達すると、コントローラ２０２はスペクトルエリプソメータを作動させ、ステップ６０８におけるように、量子井戸４０４の厚みを測定する。これら測定された値はコントローラ２０２へ送信される。
【００５３】
【数８】
0004034837.tif 000009
式４
【００５４】
式４は第２バリア４０６の目標厚みを決定するよう、コントローラ２０２と共に使用される。従って、コントローラ２０２は第２バリアの計算された厚み、第１厚バリアの測定された厚み、および量子井戸の測定された厚みに従って、第２バリア４０６を成長するように、流出セルのシャッターを制御する。従って、正確な電気的特性を有することができるＲＴＤデバイス４１０が得られる。第１バリア、量子井戸および第２バリアの各厚みの電気的特性に対する効果は改善されるが、この理由は、これら層を成長する際に厚みを決定し、次の層の厚みを調節することにより、最終特性に対する効果を得ることができるからである。
【００５５】
図１０は、エピタキシャル成長システム７０２にすべての層の目標値が送られることを示す。エピタキシャル成長システム７０２は成長すべき層のうちの１つの実際の成長に対応するセンサー信号を出力する。コントローラ２０６はソフトウェアによりセンサーの解析を行い、成長したはずの層の厚みを決定する。コントローラ２０６はプロセスモデルを使用することにより、その後成長すべき層の仕様を得る。次にコントローラはセルのシャッターを作動させ、次の成長層を成長させる。
【００５６】
以上で、ＲＴＤ構造体およびＲＴＤデバイスを参照して、本発明について説明したが、本発明に係わる方法はＰＨＥＭＴ、ＨＢＴおよびＨＦＥＴの電子デバイスを含む他の多層構造体、干渉フィラー、反射防止コーティングおよび他の多層ミラー構造体を含む光学的構造体およびブラッグ反射器を備えたレーザー構造体およびブラッグ反射器を備えないレーザー構造体にも広げられるものである。
【００５７】
ＲＴＤデバイスが１層１層成長させられる際、まだ成長させられていないＲＴＤデバイスの層は厚みに対して目標値を有し、その目標値はＲＴＤ構造体に対して既知の電気的特性を提供することになる。既に成長させられたＲＴＤデバイスの層は測定により既知の厚さを有している。
【００５８】
以上の説明に鑑み、以下の項を開示する。
（１）プロセスモデルを使用することにより分子ビーム、エピタキシャル層を成長する方法であって、
第１成長種の第１層を成長するよう、成長チャンバ内のウェーハに第１成長種の第１ビームを向ける工程と、
前記ウェーハからの前記第１ビームの反射のフラックスを測定して前記第１層の第１厚み測定値を得る工程と、
前記第１厚み測定値と前記プロセスモデルとを比較し、成長すべき第２層の第２目標の厚みを得る工程と、
前記成長チャンバー内の前記ウェーハに第２成長種の第２ビームを向ける工程と、
前記第２目標厚みに達した時、前記第２成長種の前記第２ビームを終了させる工程とを備えた、分子ビームエピタキシャル層成長方法。
（２）前記フラックスの測定は質量スペクトルメータによって行う、前項１記載の方法。
（３）前記ウェーハは非プレーナー表面を有する、前項１記載の方法。
（４）前記第２ビームの反射のフラックスを測定して前記第２層の第２厚み測定値を得る工程と、
前記第２厚み測定値と前記プロセスモデルとを比較し、成長すべき第３層の第３目標の厚みを得る工程と、
前記成長チャンバー内の前記ウェーハに第３成長種の第３ビームを向ける工程と、
前記第３目標厚みが記録された時、前記第３成長種の前記第３ビームを終了させる工程とを更に含む、前項１記載の方法。
（５）第１ビームおよび第２ビームが前記ウェーハに向けられる際に、前記ウェーハの温度がほぼ一定に維持される、前項４記載の方法。
（６）前記ウェーハＩＩＩ−Ｖ４族半導体化合物から製造され、前記第１ビームが第１グループＩＩＩ族元素の原子を含み、
前記第２ビームが第２グループのＩＩＩ族元素の原子を含む、前記４項記載の方法。
【００５９】
（７）プロセスモデルに基づき、質量スペクトルメータ２０４信号のフィードバックにより、成長中の層の厚みを制御２０６することにより、分子ビームエピタキシ２０２成長を行う。共振トンネル効果ダイオードとして使用される多数のＡｌＡｓ、ＩｎＧａＡｓおよびＩｎＡｓ層を備えたＩＩＩ−Ｖ族化合物構造体が含まれる。
【図面の簡単な説明】
【図１】公知ＭＢＥ装置を示す。
【図２】本発明の一実施例をブロック図で示す。
【図３】共振トンネル効果ダイオードを示す。
【図４】ＲＴＤデバイスを示す。
【図５】電圧と電流密度との関係を示す。
【図６】本発明のプロセスの工程を示す。
【図７】本発明の更なるプロセス工程を示す。
【図８】別のＭＢＥ装置を示す。
【図９】本発明の線形モデルを示す。
【図１０】本発明のフィードバック装置をブロック図で示す。
【図１１】ＩｎＰｎ上の格子整合されたＩｎＧａＡｓの光学的定数を示す。
【図１２】ＩｎＰ上の格子整合されたＡｌＡｓの光学的定数を示す。
【図１３】無酸化物ＩｎＰ表面に対するＳＥデータおよび適合を示す。
【図１４】無酸化物ＩｎＰ表面に対するＳＥデータおよび適合を示す。
【図１５】ＲＴＤ成長中の成長場所におけるＳＥデータおよびＲＥＭＳデータを示す。
【図１６】ＲＴＤ成長中の成長場所におけるＳＥデータおよびＲＥＭＳデータを示す。
【図１７】ＲＴＤ成長中の成長場所におけるＳＥデータおよびＲＥＭＳデータを示す。
【図１８】単一ＡｌＡｓの成長に対するＳＥデータおよびモデル適合を示す。
【図１９】単一ＡｌＡｓの成長に対するＳＥデータおよびモデル適合を示す。
【図２０】  ＳＥ厚みとＲＴＤサンプルセットの各々との関係を示す。
【図２１】量子井戸の厚みのばらつきを補正したピーク電流データを示す。
【図２２】ＡｌＡｓ厚みの非対称性と比較した電流の非対称性を示す。
【符号の説明】
２００  ＭＢＥシステム
２０２  ＭＢＥチャンバ
２０４  質量スペクトルメータ
２０６  コントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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