(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエーハを選択的に保持し搬送するエッジグリッピングウエーハハンドリング装置であって、
ウエーハハンドリング装置により支持され、移動させられるように構成されるパドルアームを備え、該パドルアームは第１端と第２端とを備え、該第２端は該第１端の反対側に位置し、
前記パドルアームに設けられ、前記パドルアームの前記第１端に互いに離間して配置された複数の固定フィンガを備え、該複数の固定フィンガの各フィンガが、該ウエーハエッジをグリップするように形成された所定長さのV形状のノッチと、前記ウエーハエッジを前記V形状のノッチにガイドするように形成された傾斜面部分と、前記所定長さのV形状のノッチの端から所定の距離をおいて配置された可撓部と、を含み、該可撓部は前記ウエーハエッジに接触し、前記傾斜面部分が前記ウエーハエッジを前記V形状のノッチにガイドするに従って撓むように形成され、
前記パドルアームの第２端に設置され、前記ウエーハの前記エッジをグリップ及び開放するよう形成された移動フィンガを備え、
前記移動フィンガが前記ウエーハエッジをグリップするとき、前記移動フィンガは前記パドルアームの第１端方向に移動し、前記各固定フィンガの傾斜面部分が前記ウエーハエッジを各固定フィンガの前記V形状のノッチにガイドさせるように、そして各固定フィンガの前記V形状のノッチに前記ウエーハエッジをグリップさせるように、そして前記各固定フィンガの可撓部に前記ウエーハエッジに接触し、前記傾斜面部分が前記ウエーハエッジを前記各固定フィンガのV形状のノッチにガイドするに従って撓ませるように、動作可能であり、これにより前記ウエーハの周囲のエッジのみを前記記移動フィンガと前記複数の固定フィンガによりグリップさせ、
前記移動フィンガが前記ウエーハエッジを開放する時、前記移動フィンガは前記パドルアームの第２端方向へ移動して戻るように動作可能であり、
前記各固定フィンガの可撓部は、前記移動フィンガが前記ウエーハエッジを開放するために前記パドルアームの第２端方向へ移動して戻るに従って、前記ウエーハエッジを前記各固定フィンガの前記V形状のノッチから離すようにするために所定の方向に変位する、
装置。
【請求項２】
前記パドルアームの第１端は複数の歯を有するフォーク状に形成され、１つの前記固定フィンガが前記フォーク状の第１端の各歯に配設されている、
請求項１の装置。
【請求項３】
前記パドルアームが動作環境で剛性を維持する材質から成る、
請求項１の装置。
【請求項４】
前記複数の固定フィンガが２つの固定フィンガである、
請求項１の装置。
【請求項５】
前記複数の固定フィンガがＰＥＥＫから作成される、
請求項１の装置。
【請求項６】
前記可撓部は、前記ウエーハエッジが前記フィンガウエーハノッチ内に保持される時、前記ウエーハエッジに対して変位するように形成されている、
請求項１の装置。
【請求項７】
前記移動フィンガは、前記ウエーハに摺動接触するように形成された傾斜フィンガエッジと前記ウエーハをグリップするように形成されたフィンガウエーハノッチを有する面を備えた移動フィンガ片を有する、
請求項１の装置。
【請求項８】
前記移動フィンガ片がＰＥＥＫから成る、
請求項７の装置。
【請求項９】
前記移動フィンガは、前記パドルアームの前記第２端に装着されたエフェクタ機構上に配置され、前記エフェクタ機構は弾力的に動くように形成された可撓ヒンジと膨張変位するように形成されたベローズとを有し、前記ベローズは前記可撓ヒンジを前記膨張変位により動かすように動作可能であり、前記可撓ヒンジは固定端と可動端を有する、
請求項１の装置。
【請求項１０】
前記膨張変位は前記ベローズへの圧力流体の注入により与えられる、
請求項９の装置。
【請求項１１】
前記圧力流体は圧力空気であり、前記ベローズは圧力空気入り口開口を前記可撓ヒンジから離れた端部に有する、
請求項１０の装置。
【請求項１２】
前記可撓ヒンジが更に、少なくとも１つの断面絞り部を有する少なくとも１つの可撓アームを有し、該断面絞り部が一時的な変形に適合するように形成され、前記少なくとも１つの可撓アームは前記固定端と可動端との間に配置されている、
請求項９の装置。
【請求項１３】
前記一時的変形が前記可撓ヒンジの弾力的な動きを提供する、
請求項１２の装置。
【請求項１４】
前記少なくとも１つの可撓アームが更に複数の平行な可撓アームを有する、
請求項１２の装置。
【請求項１５】
前記エフェクタ機構が囲いにケーシングされ、該囲いが前記パドルアームの第２端に装着され、前記ヒンジ固定端は前記囲いに接続し、前記可動端は前記移動フィンガに接続し、前記移動フィンガは前記囲いのスロットを通過する、
請求項９の装置。
【請求項１６】
前記可撓部は可撓片を有し、該可撓片は力が該可撓片に加えられたとき引っ込み、前記力が前記可撓片から除かれたときに延出するように形成されている、
請求項１の装置。
【請求項１７】
フィンガのセットを含むパドルアーム／フィンガアッセンブリを提供し、前記フィンガのセットが１つの移動フィンガと複数の固定フィンガを含み、前記移動フィンガと複数の固定フィンガの各々が面と該面の下に配置された傾斜フィンガエッジを有する、ステップと、
前記パドルアーム／フィンガアッセンブリをウエーハの下に、且つ前記移動フィンガと複数の固定フィンガの面がウエーハの周囲に配置されるように、設け、前記複数の固定フィンガの面が前記移動フィンガの面の反対側のウエーハの周囲に配置されている、ステップと、
前記パドルアーム／フィンガアッセンブリを、フィンガセットの各フィンガに設けられ前記面の下に位置する前記傾斜フィンガエッジが前記ウエーハの前記周囲の下面に当接するまで、上昇させる、ステップと、
前記移動フィンガを前記ウエーハの中心方向に、前記ウエーハの周囲が、前記複数の固定フィンガの全ての面に接触するまで移動させ、前記ウエーハの周囲を該移動フィンガの前記面に形成されたノッチにグリップし、
前記複数の固定フィンガの各固定フィンガは、
前記ウエーハをグリップするように動作する前記面に形成された所定長さのV形状のノッチと、
前記所定長さのV形状のノッチの端から所定の距離をおいて配置された可撓部と、を備え、前記可撓部は前記ウエーハの周囲に接触し、前記ウエーハの周囲が前記各固定フィンガの面に接触するに従って撓むように形成された、ステップと、
前記移動フィンガの移動を、前記ウエーハの周囲が前記複数の固定フィンガの各所定長さのV形状のノッチにグリップされるまで継続し、前記複数の固定フィンガの各々の可撓部は前記ウエーハの周囲により撓む、ステップとを備えた、
ウエーハグリッピングの方法。
【請求項１８】
前記移動フィンガは、弾力的に動くように形成された可撓ヒンジと膨張変位するように形成されたベローズとを備えたエフェクタ機構上に配置され、前記ベローズは前記可撓ヒンジを前記膨張変位により動かすように動作可能であり、前記可撓ヒンジは固定端と可動端を有し、前記可撓ヒンジは更に、前記固定端と移動端の間に設けられた板ばねとして形成された少なくとも１つの可撓アームを有し、該板ばねは一時的に変形するよう形成されている、
請求項１７の方法。
【請求項１９】
前記一時的な変形は前記可撓ヒンジの弾力的動きを与える、
請求項１８の方法。
【請求項２０】
固定端と、少なくとも１つの板ばねの可撓アームと、前記固定端に平行な移動端と、を備えて弾力的に動くように構成され、前記少なくとも１つの可撓アームが前記固定端と移動端の間に設けられ、前記移動端が装着機能を有するように構成されて、一時的に撓むように構成された可撓ヒンジと、
前記固定端に垂直な固定サポートと前記移動端との間に装着され、その膨張が前記固定端に平行なまま前記移動端を変位させる、膨張変位可能に構成されたベローズと、
を有するエフェクタ機構。
【請求項２１】
前記ベローズがベローズに圧入される圧力流体の力により膨張する、
請求項２０のエフェクタ機構。
【請求項２２】
前記移動端の前記変位が円滑な動きである、
請求項２０のエフェクタ機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
＜関連出願の参照＞
本願は３５ＵＳＣ１１９（ｅ）に基づき、シリコンウエーハハンドリングのためのエッジグリッピングエンドエフェクタ（これに開示されたものは、該引用をもってここに組み込む）と称する米国仮出願６０／１３２，４５５、１９９９年５月４日出願、に対する優先権を主張する。
【０００２】
＜連邦政府の後援による研究開発に関する宣明＞
なし
【０００３】
＜発明の背景＞
半導体製造用のシリコンウエーハは、シリコンのスライスからシリコンウエーハ上への機能集積回路の集積まで、その過程で多くのステップを通過する。これらの多くのステップ間で、ウエーハはカセットから取り出され、その方向を変え、保持装置に収納され、そして次のステップに送られる。これらの操作は全てクリーンルームで行われる。ウエーハハンドリングにおける現在の技術の１つはバキュームグリッパにより裏面接触を用いている。この技術はウエーハに表面と裏面が有ることを要求し、しかも裏面はバキュームグリッパにより取り扱われるという条件が付される。ウエーハハンドリングの第２の技術はエッジにおいてウエーハをグリップするが、しかし急な力が掛かりやすく、また機械的に摩耗しやすく、これは汚染の原因となる。またこれらの技術は共にカセットからウエーハを出し入れする時にウエーハ詰まり（jams）が生ずる問題や、カセット内の誤配置であるウエーハ突出（proturusion）の問題或いは搬送機構の故障によるウエーハの汚染などの問題を有していた。
【０００４】
＜本発明の簡単な概括＞
本発明はシリコンウエーハのハンドリングに関し、特にシリコンウエーハのエッジグリップハンドリングに関する。
【０００５】
ウエーハとグリッパの間で少なくとも３点の接触があるならば、安定したウエーハのエッジグリップが維持可能である。３点の接触により分散される力はウエーハの重量に釣り合う十分なものでなければならず、またウエーハを曲げるほどに十分に大きなものであってはならない。パドル上に少なくとも３つのエッジグリッパフィンガがパドル上に、パドル全体／フィンガアッセンブリがカセット内でウエーハとの間で適合するように搭載される。グリッパフィンガの少なくとも２つがパドルの一端に間隔をあけて固定され、ウエーハによりもたらされるこれらに掛かる力に受動的に応答する。作動する１のフィンガはパドルの他端に搭載され、線形運動を示す。ウエーハの反対側のフィンガの配列はパドルアームの軸線に沿ったエッジをフリーにする。圧力流体より駆動される可撓ヒンジにより、可動フィンガはウエーハに接触するように移動する。可撓ヒンジの機構においては摩擦動作がないため、該機構は摩耗せず、バックラッシュやクリープのような誤動作がなく、また格別の汚染も生じない。更に圧力流体機構の使用は円滑な安定した動作が移動フィンガに伝えられることを確実にする。
【０００６】
ウエーハをピックアップするに際し、パドル／フィンガアッセンブリは、２つの固定フィンガがウエーハのエッジを丁度通過するまで目標ウエーハの下にスライドする。そして該アッセンブリは上昇してウエーハと全てのフィンガのグリッピング表面がほぼ位置を合わせるようにする。次に移動フィンガはウエーハ方向に動いてウエーハに力を及ぼし、ウエーハの遠い側のエッジを固定フィンガに接触させる。移動フィンガは運搬中及びカセットからの退出まで接触位置を維持する。
【０００７】
ウエーハの開放はピックアップ動作を反転させることにより行われる。移動フィンガはウエーハとの接触を解き、ウエーハ上の力を開放する。固定フィンガ上の可撓片はウエーハを軽く突いて固定フィンガのエッジグリッピング表面から遠ざける。そして、パドル／フィンガアッセンブリは下降してウエーハの近辺から退去する。
ここに開示された発明は下記の説明及び図面を参照することにより、より完全に理解される。
【０００８】
＜図面の詳細な説明＞
シリコンウエーハのエッジグリップの利点はエッジをグリップすることにより両面が処理可能にフリーとなる事である。表面が汚染されることなく、しかもグリップフィンガにより覆われることもない。更にウエーハのエッジをグリップすることにより、ウエーハ自体を装置内に正確に置くことができ、ずれが生じる可能性がない。
【０００９】
本発明の基本は、ウエーハのエッジをグリップするのにフィンガを使用することにある。このようなフィンガをウエーハの周囲を囲んで分散する。１つのフィンガがある種の機構により駆動される。該機構は構造の曲げに基づき、こすれや摩擦を生じない。ウエーハをグリップするために利用される固定フィンガ（fixed finger）は不動（inert）ではなく、能動的な応答性を有する。該発明の一実施例が図１に示される。パドルアーム／フィンガアッセンブリ１０はパドルアーム１２から構成され、パドルアーム１２上には複数の固定フィンガ１６と移動フィンガ１８を動かすための機構２０が装着されている。パドルアーム１２はフィンガをウエーハの反対側に置くのに十分な長さを有する。パドルアーム／フィンガアッセンブリ１０の高さはパドルがウエーハ間に位置できるように或いはウエーハの下側に位置し下からウエーハを掴むように十分にコンパクトなものとする。
【００１０】
図１に示す実施例ではパドルアーム１２の末端１５において２つの固定フィンガ１６を使用している。該固定フィンガ１６は、２つの固定フィンガ１６と移動フィンガ１８とがウエーハのエッジ周りで３角形の接触を形成するように離間している。パドルアームの近端１７において、移動フィンガ１８がハウジング２０に覆われた機構に装着されている。該機構は近端１７に恒久的に固着している。移動フィンガ１８は該機構が稼働する時、移動フィンガ１８と固定フィンガ１６の間の距離が少なくなるように動かされる。
【００１１】
ウエーハが図２に示すようにパドルアーム／フィンガアッセンブリ１０により保持されるとき、ウエーハ１４のエッジは固定フィンガ１６と移動フィンガ１８上に装着されたフィンガ片４０により保持される。固定フィンガ１６と移動フィンガ１８が一度ウエーハをグリップすると、パドルアーム／フィンガアッセンブリ１０全体は必要に応じて、またパドルアームを動かすロボットにプログラムされたようにウエーハを移動させるように動くことができる。
【００１２】
パドルアーム１２の末端１５に固定された固定フィンガ３０の詳細を図３に示す。固定フィンガ３０はボディ３５と可撓部３７から構成されている。ボディ３５は第１面３３がウエーハに面するようにパドル上に位置している。第１面３３は２つの部分、トップ部のノッチ３５と下部の傾斜面３２から構成されている。ボディ３５はその底面３１によりパドル１２に固定されている。図３において図示される装着手段は１組の孔３６であり、ボルトをそこに通してボディ３５をパドル１２に固定する。固定フィンガの可撓部３７はボディ３５の後ラジアル面２９と平行である。可撓部３７は後ラジアル面２９上でボディ３５に固定され、可撓部３７の残りの部分をボディ３５から所定距離離間させる固定端２８を備えている。可撓部３７はボディ３５の後ラジアル面２９に対して平行に伸びており、そして可撓フィンガ３９が可撓部３７に垂直に延出し、ボディ２７の側部と平行に伸びている。可撓フィンガ３９は少なくともノッチ３４の外側端まで延出し、可撓部３７内で終了している。
【００１３】
固定フィンガ全体は弾性のある材料から成り、可撓部３７に対する押しつけ力が可撓部分を変位させるようになっている。好適な実施例では、固定フィンガはポリマのモールド片であるのが望ましく、好適にはポリエーテルエーテルケトン（PEEK）が望ましい。また、固定フィンガはＰＥＥＫから機械仕上げで作成することも可能である。ＰＥＥＫを使用して固定フィンガを製造することが望ましいのは、それが劣化することなく、ウエーハを汚染する微粒子を生成しないからであり、またそれが適度な弾力を有し、可撓片を実現するからである。
【００１４】
固定フィンガのボディ３５は孔３６を通りボディ３５をパドル１２に締結するボルトを用いてパドルに固定されている。傾斜面３２はウエーハ１５のエッジ１４をノッチ３４方向にガイドするリードイン(lead-in）として機能する。ノッチ３４はウエーハ１５の厚みよりも大きなスパンを有し、ウエーハ１５をノッチ３４上の２点でグリップするに十分な深さを有している。
【００１５】
固定フィンガ３０の可撓部３７はボディ３５に固定され、小さなブリッジ部２８によりそれと離間して隙間を設けている。ブリッジ部２８の中央は可撓部３７のピボット点として機能する。可撓部３７はボディ３５の幅方向に伸び、該ボディをクリアしたところで可撓フィンガ３９が可撓部３７に垂直に延出している。可撓フィンガ３９の可撓部３７への接合に９０゜の角度を用いることが可能であるが、図３に図示するように同一の機能を有する、より複雑な曲線を用いても良い。このような複雑な曲線は、可撓片３７の弾力性が対向する可動フィンガ１９により与えられる力に応答するように較正されるように設計されている。可撓フィンガ３７の長さはほぼノッチ３４の端部と同一面となるように選択される。パドル１２がウエーハ１５接触するように移動すると、可撓片３７もウエーハ１５の端部１４と接触する。
【００１６】
移動フィンガ片４０は図４に示される。これはボディ４８と装着孔４６と傾斜面４２とそのラジアル面４４の上部とを有する。好適な実施例では、移動フィンガ片は、ポリマのモールド片であるのが望ましく、好適にはポリエーテルエーテルケトン（PEEK）が望ましい。ＰＥＥＫを使用して可動フィンガ片を製造することが望ましいのは、それが劣化することなく、ウエーハを汚染する微粒子を生成しないからである。装着孔４６は移動フィンガ片４０を、フィンガ片４０を動かす機構に接続する移動フィンガ１８に固定する。傾斜面４２は固定フィンガ上のリードインと同様にリードインとして機能し、ウエーハをボディ４４の上部４８へと導く。ボディ４４の上部４８は固定フィンガ３０のノッチと同一のノッチとして成形可能であり、また他の形状とすることも可能である。好適な実施例では上部はＶ形状のノッチに成形されている。
【００１７】
移動フィンガ片４０は図５に示すようにエフェクタ機構５０に装着されている。エフェクタ機構５０は可撓ヒンジ５５とベローズ５２により構成されている。可撓ヒンジ５５は１組の安定端５６、６０から構成され、該安定端５６、６０は一対の可撓アーム５８に連結して、力が加わらない時は矩形を形成する。可撓アーム５８は端部が可撓ノッチ５３で終わる直線区間５７から構成される。ベローズ５２は安定端とのつなぎ目近くにおいて１の可撓アーム５８に装着されている。第１の安定端５６は可撓ヒンジ５５に装着し、第２の安定端６０はそれに移動フィンガ１８を装着している。前記機構の移動フィンガへの方向によって、該移動フィンガ１８は移動フィンガ片４０を第２の安定端６０と同じ方向に移動させる直角アングル１９を備えても良い。可撓アーム５８の可撓ノッチ５３により、可撓アーム５８は変形可能となる。ベローズ５２はシール端５１を有し、また圧力流体の入力ポート５４を他端に有する。シール端５１は第１の安定端５６とのつなぎ目において一方の可撓アーム５８に装着されている。もし、圧力流体がベローズに流入する時、ベローズの入力ポート５４が固定されていれば、シール端５１は可撓アーム５８に力を及ぼし、第１の安定端５６に対する垂直状態からそれを変形する。第１の安定端５６近くの変形は第２の安定端６０におけるより大きな水平方向の変形となる。この変形は移動フィンガ片４０の動きに反映される。エフェクタ機構５０の中で移動する唯一のパーツはベローズ５２であり、ベローズ５２は若干膨張して可撓アーム５８と第２の安定端６０に力を加え、安定端６０は可撓アーム５８の変形により動く。従って、この動きは、ウエーハを汚染する物質を生成する可能性のあるいかなる摩擦からも解放されている。該可撓アームと安定端５６、６０は静止状態では矩形の平行四辺形を形成する。可撓ノッチ５３があるため、ベローズ５２内の圧力流体が圧力を掛ける時可撓アーム／固定端の継ぎ目は変形可能である。図６はどのようにベローズ５２が可撓アーム５８を動かすかを示すものである。可撓端５６はコーナ７２と７４を有する。静止状態で、可撓アームはポジション８２と８４の位置にあり、コーナ７６、７８を有する可動安定端６０に接続している。平行四辺形が固定している時、ポイント７２、７４は静止したままであり、一方ポイント７６、７８は、ポイント７６、７８より少し下に変位した新ポイント７６’と７８’に移動する。フィンガ１８はその解放位置８０とその変位位置８０’に示されている。固定端７２／７４に近い可撓アーム８２と８４の最初の小さな動きが、アームの遠い端部で７６から７６’への大きな変位を生じていることがわかる。
【００１８】
該変位は次式で与えられる。
【数１】
式１
0004097404.tif 000002
【００１９】
ここでthetaは固定端における変位角であり、thetaはエフェクタ機構が作成される材質により定義される。
【００２０】
【数２】
式２
0004097404.tif 000003
【００２１】
E は材質のヤング率、Ｍは下式で表される各ノッチの曲げモーメントである。
【００２２】
【数３】
式３
0004097404.tif 000004
【００２３】
他の値は図５上に示される。
一実施例において、７０−７９  Ｔ６  アルミニウムを用い、それぞれの値はＬ＝２．５インチ、Ｒ＝０．３７５インチ、ｔ＝０．０１２５インチ、ｂ＝０．２５インチ、Ｌ１＝０．６０２インチ、そしてＦ＝５  ｌｂ、先端は０．７０７インチ移動する。
【００２４】
上記式はベローズ５２が安定端５６から図５に示すよりも更に遠い位置に装着されている時に適用される。これは他の装着形態及び他の圧力流体に対しても望ましい。
【００２５】
エフェクタ機構の他の実施例を図８に示す。ここで、可撓ヒンジ５０はもはや一片の材料から形成されていない。可撓アーム９２は可撓性の金属材料から作られている。可撓アーム９２はろうづけやボルトにより安定端５６、６０に接続されているが、安定端５６、６０は基本的に前記実施例と同様に実現することが可能である。この実施例ではベローズは可動安定端６０に装着されている。この可撓ヒンジの動作は他の実施例と同様である。ベローズ５２が拡張すると、可動安定端６０に力を及ぼす。可撓アーム９２が板バネで作成されている場合、ベローズの力は可動安定端を変位させる。該可撓アームは該変位が正しい軸に沿うものであること、及び可動端は力が除かれた時は開放位置に戻ることを保証する。
【００２６】
図７に示すように、装着機構２０がエフェクタ機構５０に設けられている。固定安定端５６は装着機構２０の１つの壁８４に装着されている。反対側の装着機構２０の壁８６内のスロット８２は移動フィンガ１８を箱の内部に通している。ベローズ５２は可撓アーム５８と側壁５４との間に装着され、取り入れ口５４を該側壁５４に貫通させている。圧力流体がベローズ５２に送り込まれると、可撓アーム５８はたわみ、移動フィンガ片４０を支持する移動フィンガ１８は大きくたわんでウエーハエッジ１４に係合し、ウエーハ１５を固定フィンガ１６のノッチ３４に押し込む。移動フィンガ片４０により与えられる力は、フィンガ片４０がウエーハエッジ１４を開放するまでそれを張力で支持する可撓片３９を変位させるに十分である。パドルアームアッセンブリは、ウエーハの検出、閉じたフィンガの検出、開いたフィンガの検出等の装置の適正な動作を保証するために必要なセンサを装着するに適当なプラットフォームとなる。
【００２７】
本技術に関して通常の技能を有するものにとって、これらのコンセプトを用いた他の実施例が使用可能であることが明らかである。従って、本発明は記述された実施例により限定されるべきではなく、むしろ本願特許請求の範囲の範囲と精神にのみにより限定されるべきものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】パドル、固定フィンガ及び移動フィンガを示す。
【図２】ウエーハを保持しているパドル、固定フィンガ及び移動フィンガを示す。
【図３】固定フィンガ可撓具を示す。
【図４】移動フィンガ片を示す。
【図５】移動フィンガを支持する可撓フィンガとそこに装着されたベローズを示す。
【図６】ベローズが力を及ぼした時の、可撓ヒンジの可撓動作を図示する。
【図７】ハウジングに装着されたエフェクタ機構とハウジングからギア部に延出した移動フィンガを示す。
【図８】可撓フィンガの他の例を示す。
【図１】
0004097404.tif 000005
【図２】
0004097404.tif 000006
【図３】
0004097404.tif 000007
【図４】
0004097404.tif 000008
【図５】
0004097404.tif 000009
【図６】
0004097404.tif 000010
【図７】
0004097404.tif 000011
【図８】
0004097404.tif 000012