(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体材料を収容した材料タンクの開閉弁をそれぞれ有する不活性ガス導入部および液体材料導出部に、開閉弁をそれぞれ有する不活性ガス導入管および液体材料導出管を分離自在に接続するとともに、前記不活性ガス導入管と液体材料導出管との間を開閉弁を介して接続し、さらに、不活性ガス導入管または液体材料導出管に開閉弁および真空ポンプを備えた真空引きラインを接続した液体材料供給装置におけるパージ方法であって、
前記不活性ガス導入部の開閉弁から不活性ガス導入管の開閉弁に至るガス流路部分および前記液体材料導出部の開閉弁から液体材料導出管の開閉弁に至る液体流路部分を、前記真空ポンプによって真空引きしてパージし、
前記不活性ガス導入部および液体材料導出部の開閉弁と前記不活性ガス導入管および液体材料導出管の開閉弁をそれぞれ閉じた状態で前記真空ポンプによって、前記流路部分の圧力を確認するための圧力確認ラインの圧力センサの指示値が所定の圧力値以下になるまで前記流路部分を真空引きした後、前記真空引きラインの開閉弁を閉じ、このときの前記圧力センサの指示値が、前記所定の圧力値を越えて圧力上昇が生じているのか、あるいは、前記所定の圧力値以下のままで圧力上昇がないのかを確認するようにし、
さらに、前記圧力センサの指示値が、前記所定の圧力値を越えて圧力上昇が生じていれば所定のパージが行われていないと判断して再度前記流路部分を真空引きしてパージする一方、前記圧力センサの指示値が、前記所定の圧力値以下のままで圧力上昇がなければ、前記流路部分において所定のパージが行われていると判断するようにしたことを特徴とする液体材料供給装置の材料タンク接続部分におけるパージ方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体製造などにおいて用いる液体材料供給装置の材料タンク接続部分におけるパージ方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
前記液体材料供給装置は、液体材料を収容したタンク（以下、材料タンクという）に対して不活性ガス導入管によって不活性ガスを導入し、この導入によって押し出される液体材料を液体材料導出管によって導出するように構成されているが、前記材料タンクは、前記不活性ガス導入管および液体材料導出管とは、通常、接続・分離自在に構成され、使用によって材料タンク内の液体材料がある一定量以下になると、新しい材料タンクに取り替えられる。そして、今まで使用していた材料タンクを前記不活性ガス導入管および液体材料導出管から分離する場合、従来においては、図２に示すようにして、ガス流路および液体流路内におけるパージを行うようにして、前記流路内に不活性ガスＩＧおよび液体材料が残留させないようにしていた。
【０００３】
すなわち、図２において、１は液体材料ＬＭを収容する材料タンクである。２，３は材料タンク１に設けられる不活性ガスＩＧの導入部、液体材料ＬＭの導出部で、不活性ガス導入部２は、材料タンク１内と連通するように上蓋１ａに取り付けられており、液体材料導出部３は上蓋１ａを貫通して、材料タンク１内の底板１ｂ近くまで挿入されている。そして、これらの不活性ガス導入部２および液体材料導出部３には、開閉弁４，５が設けられるとともに、先端には後述する不活性ガス導入管６、液体材料導出管７との分離自在の接続のための接続部２ａ，３ａが設けられている。
【０００４】
６，７は不活性ガス導入部２および液体材料導出部３にそれぞれ分離自在に接続される不活性ガス導入管、液体材料導出管である。そして、不活性ガス導入管６の上流側は不活性ガス供給源（図示していない）に接続され、下流端には不活性ガス導入部２の接続部２ａに対応する接続部６ａが形成されるとともに、開閉弁８が設けられている。また、液体材料導出管７の上流端には液体材料導出部３の接続部３ａに対応する接続部７ａが形成されるとともに、開閉弁９，１０が直列に設けられ，開閉弁１０の下流側は、半導体製造装置（図示していない）に接続されている。なお、前記接続部２ａと６ａおよび３ａと７ａは、いずれも容易に接続・分離できるように構成されている。
【０００５】
そして、以下、説明の便宜上、前記接続部２ａと６ａおよび３ａと７ａによって、不活性ガス導入部２と不活性ガス導入管６、液体材料導出部３と液体材料導出管７とがそれぞれ接続されているときの開閉弁４から開閉弁８までの流路部分および開閉弁５から開閉弁９間での流路部分を、それぞれガス側接続流路１１、液体側接続流路１２と言い、これら１１．１２を総称して材料タンク接続部分１３と言う。
【０００６】
１４は材料タンク接続部分１３を真空引きするための真空引きラインで、例えば液体材料導出管７の開閉弁９の上流側の点１５において接続され、開閉弁１６および真空ポンプ１７が直列に設けられており、真空ポンプ１７の下流側は大気開放されている。そして、１８はガス側接続流路１１と液体側接続流路１２とを互いに接続する接続流路で、両端がガス側接続流路１１および液体側接続流路１２とそれぞれ点１９，２０において接続されており、開閉弁２１を備えている。
【０００７】
上記構成の液体材料供給装置においては、材料タンク１の取替えに際して、材料タンク接続部分１３をパージする必要があるが、従来においては、開閉弁４，５，８，９を閉じるとともに、開閉弁１６，２１を開いて、真空ポンプ１７を動作させて材料タンク接続部分１３をパージする真空引き動作と、開閉弁４，５，９，１６を閉じるとともに、開閉弁８，２１を開いて、不活性ガス導入管６を介して不活性ガスＩＧを材料タンク接続部分１３に導入してこれをガス加圧する動作とを所定の回数繰り返し、これらの真空引き動作とガス加圧動作をそれぞれ所定の回数行うことにより、材料タンク接続部分１３のパージが行われていると判断していた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、液体材料ＬＭの種類やその純度およびそのときの環境温度など使用環境によっては、前記材料タンク接続部分１３に対する真空引き動作とガス加圧動作の回数を変える必要があるが、前記各動作を特定の回数だけ行う従来の手法においては、前記材料タンク接続部分１３のパージが必ずしも確実に行われていないことがあった。
【０００９】
この発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、材料タンク接続部分のパージを短時間に行うことができるとともに、そのパージ効果を確実に確認することのできる液体材料供給装置の材料タンク接続部分におけるパージ方法（以下、単にパージ方法という）を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明では、液体材料を収容した材料タンクの開閉弁をそれぞれ有する不活性ガス導入部および液体材料導出部に、開閉弁をそれぞれ有する不活性ガス導入管および液体材料導出管を分離自在に接続するとともに、前記不活性ガス導入管と液体材料導出管との間を開閉弁を介して接続し、さらに、不活性ガス導入管または液体材料導出管に開閉弁および真空ポンプを備えた真空引きラインを接続した液体材料供給装置におけるパージ方法であって、
前記不活性ガス導入部の開閉弁から不活性ガス導入管の開閉弁に至るガス流路部分および前記液体材料導出部の開閉弁から液体材料導出管の開閉弁に至る液体流路部分を、前記真空ポンプによって真空引きしてパージし、
前記不活性ガス導入部および液体材料導出部の開閉弁と前記不活性ガス導入管および液体材料導出管の開閉弁をそれぞれ閉じた状態で前記真空ポンプによって、前記流路部分の圧力を確認するための圧力確認ラインの圧力センサの指示値が所定の圧力値以下になるまで前記流路部分を真空引きした後、前記真空引きラインの開閉弁を閉じ、このときの前記圧力センサの指示値が、前記所定の圧力値を越えて圧力上昇が生じているのか、あるいは、前記所定の圧力値以下のままで圧力上昇がないのかを確認するようにし、
さらに、前記圧力センサの指示値が、前記所定の圧力値を越えて圧力上昇が生じていれば所定のパージが行われていないと判断して再度前記流路部分を真空引きしてパージする一方、前記圧力センサの指示値が、前記所定の圧力値以下のままで圧力上昇がなければ、前記流路部分において所定のパージが行われていると判断するようにしている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の詳細を、図を参照しながら説明する。図１は、この発明のパージ方法を実施するための構成を示すもので、この図において、図２における符号と同一符号は同一物であるので、その説明は省略する。
【００１２】
図１において、２２は材料タンク接続部分１３における圧力の状態を確認するための圧力確認ラインで、この実施の形態においては、液体側接続流路１２と接続流路１８との接続点２０に接続され、開閉弁２３および圧力センサ２４が直列状態で設けられている。
【００１３】
次に、上記構成を用いたパージ方法について説明する。
（１）開閉弁４，５，８，９を閉じるとともに、開閉弁１６，２１，２３を開いて、真空ポンプ１７を動作させて材料タンク接続部分１３を真空引きしてパージを行い、圧力センサ２４の指示値が０Ｐａになるようにする。
【００１４】
（２）開閉弁１６を閉じる。この状態では、開閉弁４，５，８，９，１６は閉じ、開閉弁２１，２３は開いている。そして、この状態において、圧力センサ２４の指示値を確認し、０Ｐａを超えて圧力上昇が生じていれば、材料タンク接続部分１３には、不活性ガスＩＧおよび液体材料ＬＭが残留していると判断して、前記（１）のようにしてパージを行い、圧力センサ２４の指示値を確認する。ここで、前記指示値が０Ｐａのままで圧力上昇がなければ、所定のパージが行われていると判断できるので、材料タンク１を接続部２ａと６ａおよび３ａと７ａ  においてガス側接続流路１１および液体側接続流路１２から切り離す。
【００１５】
上述のように、上記パージ方法においては、数値としてパージ効果を確認することができるので、必要以上に真空引きなどの操作を繰り返して行う必要がないとともに、材料タンク１の使用環境に関係なく、パージ効果を定量的かつ確実に把握することができる。したがって、材料タンク接続部分１３におけるパージを短時間かつ確実に行うことができる。
【００１６】
なお、上述の実施の形態においては、真空引きライン１４および圧力確認ライン２２を液体側接続流路１２に接続しているが、これらをガス側接続流路１１に接続してもよく、要するに、材料タンク接続部分１３に接続されていればよい。そして、真空引きライン１４および圧力確認ライン２２は、材料タンク接続部分１３に分離自在に接続されるようにしてあってもよい。また、ガス側接続流路１１と液体側接続流路１２とを接続する接続流路１８は、これらと分離自在に構成してあってもよい。
【００１７】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、材料タンク接続部分のパージを短時間に行うことができるとともに、そのパージ効果を確実に確認することができ、使用環境に関係なく定量的にパージ効果を確認することができ、各種の液体材料に容易に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の液体材料供給装置の材料タンク接続部分におけるパージ方法を実施するための構成の一例を概略的に示す図である。
【図２】  従来の液体材料供給装置の材料タンク接続部分におけるパージ方法を実施するための構成を概略的に示す図である。
【符号の説明】
１…材料タンク、２…不活性ガス導入部、３…液体材料導出部、４，５，８，９，１０，１６，２１，２３…開閉弁、６…不活性ガス導入管、７…液体材料導出管、１１…ガス流路部分、１２…液体流路部分、１４…真空引きライン、１７…真空ポンプ、２２…圧力確認ライン、２４…圧力センサ、ＬＭ…液体材料、ＩＧ…不活性ガス。
【図１】
0004088062.tif 000002
【図２】
0004088062.tif 000003