(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオン注入工程での対象体形状をなし、縁部に対象体の中心からの角度を表示する目盛りが形成されている本体と、
前記本体の中心から突出した形状に設置されている中心軸と、
前記中心軸を基準に回転可能に設置され、前記中心軸の中心から荷重の作用する方向の前記目盛りの角度を指示する指示部と、
を備えることを特徴とするイオン注入設備の対象体整列検証装置。
【請求項２】
前記指示部は、
前記中心軸の側部を覆うリング形状を有し、前記中心軸の中心線を基準にして回転可能に設置されている回転体と、
前記回転体の側部所定位置に設けられ、一側端部が前記中心軸の中心方向に向かい、相対側端部が前記目盛りに対応する方向に延長される連結部材と、
前記連結部材の相対側端部に連結され、前記連結部材の相対側端部を含む端部が荷重の作用する方向の前記目盛りを指示する錘と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の前記イオン注入設備の対象体整列検証装置。
【請求項３】
前記回転体の側部所定位置には前記中心軸の中心方向に向かう貫通ホールが形成され、前記連結部材は紐で構成され、一側端部が前記貫通ホールを通じて前記回転体の内側で固定され、相対側端部が前記錘の端部方向に向かうように連結されることを特徴とする請求項２に記載のイオン注入設備の対象体整列検証装置。
【請求項４】
前記指示部は、
前記本体に近接して対向する板形状を有し、前記中心軸を基準にして回転可能に設置されている回転板と、
前記回転板の一側部が外側へ突出して荷重の作用する方向の前記目盛りを指示する表示部と、
を有することを特徴とする請求項１に記載のイオン注入設備の対象体整列検証装置。
【請求項５】
前記回転板の縁部には前記中心軸の中心を基準にして前記目盛りに対応する補助目盛りが形成されていることを特徴とする請求項４に記載のイオン注入設備の対象体整列検証装置。
【請求項６】
前記補助目盛りは、前記目盛りの所定角度範囲内で目盛り間の角度と異なる角度範囲に形成されていることを特徴とする請求項５に記載のイオン注入設備の対象体整列検証装置。
【請求項７】
回転板上には前記回転板の表面から前記表示部の配置される方向に垂直に突出した形状を有する補助板が設置され、
前記中心軸に近接する前記回転板の所定位置には前記補助板の縁部まで延長される連結紐が固定され、
前記連結紐の端部に重さ錘が連結され、
前記補助板の縁部には前記連結紐の固定された部位を基準にして前記回転板及び前記本体の傾き角度を表示する傾き目盛りが形成されていることを特徴とする請求項５に記載のイオン注入設備の対象体整列検証装置。
【請求項８】
対象体形状を有し縁部に対象体中心からの角度を表示する目盛りが形成されている本体と、前記本体の中心から突出した形状の中心軸と、前記中心軸を基準にして回転可能に設置され前記中心軸の中心から荷重の作用する方向の前記目盛りの角度を指示する指示部とを備える対象体整列検証装置を用いるイオン注入設備の対象体整列検証方法であって、
前記対象体整列検証装置を対象体の置かれるイオン注入設備のディスクに安着して配置する段階と、
前記対象体に代わる前記対象体整列検証装置の本体の傾き及び回転角を計測する段階と、
前記対象体整列検証装置を移送手段を用いて移送し、前記対象体が前記ディスクにローディングされる前に前記対象体を整列する整列部に移送して配置する段階と、
計測値と前記整列部の整列位置値とを比較して判断する段階と、
を含むことを特徴とするイオン注入設備の対象体整列検証方法。
【請求項９】
前記対象体に代わる前記本体の角度を計測する段階は、前記対象体が設定値範囲に配置されるように、計測値を基準にして前記ディスクの位置状態を調節するために前記イオン注入設備の構成を調節する段階をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載のイオン注入設備の対象体整列検証方法。
【請求項１０】
前記整列部に配置される前記対象体整列検証装置の上側へ離隔された位置に外側から前記中心軸の方向に向かうように設置されるガイドと、前記ガイドにそってスライディング可能に設置され、一側に前記対象体整列検証装置に垂直に対向する貫通ホールが形成されているスライダと、前記スライダの貫通ホールを通じて貫通し設置され、前記対象体整列検証装置の縁部に形成された目盛りを指示する指示ピンとをさらに用いるイオン注入設備の対象体整列検証方法であって、
前記ディスクで確認された計測値が設定位置にあるように矯正した状態で前記対象体整列検証装置を前記整列部に移送して配置する段階と、
前記整列部に配置される対象体整列検証装置の所定位置を前記指示ピンを通じて確認する段階と、
前記指示ピンを通じて確認された所定位置に前記対象体整列検証装置が前記整列部の整列過程で正常に配置されたかどうかを確認する段階と、
前記整列部による回転角整列の位置が前記指示ピンにより確認された位置と一致するように前記整列部の駆動を調節する段階と、
を含むことを特徴とする請求項８に記載のイオン注入設備の対象体整列検証方法。
【請求項１１】
前記対象体整列検証方法の過程を少なくとも一回反復して実施することにより、前記整列部及び前記移送手段による対象体の整列関係及び移送位置関係を設定値に合うように矯正する段階をさらに含むことを特徴とする請求項８から１０のいずれか一項に記載のイオン注入設備の対象体整列検証方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、イオン注入設備の対象体整列検証装置及びその方法に関するものであり、詳しくは、対象体に注入される不純物イオンが設定された深さ以上に注入されるチャネリング現象を防止するため、対象体の傾きと回転角が設定値の範囲にあるかどうかを検証し、これを通じて対象体が整列配置されるようにするイオン注入設備の対象体整列検証装置及びその方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、イオン注入設備は要求される原子又は分子状態の不純物イオンを抽出して高電圧雰囲気で加速させ、前記不純物イオンが移動経路上に配置される対象体表面を通じて所定深さに浸透するようにしたものであり、このようなイオン注入方式としては静電レンズの制御によりイオンビームの経路を偏向させる方式と、走査されるイオンビームの進行に対し対象体のウェハを機械的に回転させる方式と、両者を組合わせて適用する方式とがある。
【０００３】
このような関係のイオン注入において、その対象体は対象体をなす元素の結晶格子構造に対応してイオンビームの走査方向から所定角度傾いた状態が求められ、これは走査される不純物イオンの、対象体の結晶格子構造中の原子核との衝突可能性を高めて不純物イオンの浸透深さを制限するためのものである。
【０００４】
このとき、ウェハＷがなす傾きθは極限定され、その傾きθが設定された範囲から外れる場合、不純物イオンは対象体の設定された深さ以上に浸透して不必要に他の層の性質を変化させるか、又はこれら層間の通電を誘導するなどのチャネリング現象を誘発する。
【０００５】
従って、上述のチャネリング現象を防止するために、イオンビームの走査方向に対する対象体の各方向対向角度、即ち対象体表面の傾きθとその回転角θ’との設定は大変重要な管理項目として指摘されている。
これに対する具体的説明において、その対象体を半導体素子の製造工程でのウェハとし、そのイオン注入によるウェハの各方向傾きθと回転角θ’との関係を添付図を参照して説明する。
【０００６】
ここで、前記対象体、即ちウェハＷの対向角度は、図４に示すようにイオンビームの走査方向Ｉに対する傾きθと、図５に示すように結晶格子がなす配列方向Ｓを基準にした回転角θ’との組合わせにより決定される。
このようにイオンビームの走査方向Ｉに対向するウェハＷの各方向傾きθと回転角θ’の設定基準は、図６に示すように、面心立方格子をなすウェハのシリコンの結晶構造がウェハＷ表面を基準にして配列されたものと仮定して、走査される不純物イオンが結晶構造の原子核と衝突する確率を高めるためにある。
【０００７】
これによると、まず、イオンビームの走査方向Iに対するウェハＷ表面の傾きθを90°に設定し、イオンビームのスキャニング方向Ｓに対するウェハＷ表面の回転角θ’を０°に設定した場合、結晶構造をもつシリコンウェハＷの原子核配列は、図７に示すように、走査される不純物イオンが衝突なしに通過できる空間が広く形成され、これは上述したチャネリング現象を誘発する。
【０００８】
又、イオンビームの走査方向Iに対するウェハＷ表面の傾きθを約45°に設定し、ウェハＷの回転角θ’を約７°に設定した場合、結晶構造をもつシリコンウェハＷの原子核配列は、図８に示すように、走査される不純物イオンが通過する空間を図７の場合よりも多少低減させているが、やはりチャネリング現象を誘発する。
【０００９】
そして、図９に示すように、イオンビームの走査方向Iに対するウェハＷ表面の傾きθを約35°に設定し、ウェハＷの回転角θ’を約８°に設定した場合におけるシリコンウェハＷの原子核配列は、走査される不純物イオンが通過する空間を狭くするが、多少チャネリング現象があり、これはイオン注入工程に求められる水準に不十分な関係にある。
【００１０】
これに対応して図１０に示すように、イオンビームの走査方向Ｉに対するウェハＷの表面傾きθを約68°±1に設定し、ウェハＷの回転角θ’を約7±0.5°に設定した場合のシリコンウェハＷの原子核配列は、走査される不純物イオンがたいてい衝突する粗密な間隔配列をなして、イオン注入工程に広く用いられる条件をなす。
【００１１】
前記ウェハＷの傾きθと回転角θ’に対する従来の設定関係構成としては、図１１に示すように、ロボットＲによりロードロックチャンバー（Ｌ／Ｌ）から引き出されたウェハＷをまず整列部Ａに配置する。整列部Ａで所定の回転角θ’で整列されたウェハＷは再びロボットＲにより、ウェハＷを所定の傾きθをもつように支持するターンテーブルＴ上のディスクＤに移される。
【００１２】
このとき、前記整列部Ａにより整列されるウェハＷが実質的にディスク上でイオンビームの走査方向Iに対し正確な設定範囲の回転角θ’をなしているかどうかが確認できない、即ち整列部ＡがウェハＷを正常に整列させているかどうかを確認できないという問題点がある。
又、ウェハＷがイオンビーム走査方向Iに対し正確な傾きθをなしているかどうかをもその確認ができないという問題点があった。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
以上の説明のように、対象体、即ちウェハＷの傾きθと回転角θ’が実質的にイオン注入過程において設定値にあるかどうかを確認するのに大きな難しさがあるだけでなく、イオン注入設備の分解及び組立過程においてその設定値で具現できるかどうかを検証することが難しいという問題点がある。
【００１４】
これにより、対象体が傾きθと回転角θ’が設定値を外れた状態である場合、工程が進行されれば続くチャネリング現象により多くのウェハＷの工程不良が招来され、これは要求される製品、即ち半導体装置の製造収率を低下させるだけでなく、製造される半導体装置の製造単価を上昇させ、不必要な工程実行により作業性及び生産性を低下させるという問題点があった。
【００１５】
そこで、本発明の目的は、イオンビームの走査方向に対する対象体の傾きと回転角が設定値範囲にあるかどうかを容易に検証でき、これを通じて対象体を正確な設定位置にあるように矯正して、傾きと回転角の不良による工程不良を防止することができるイオン注入設備の対象体整列検証装置及びその方法を提供することにある。
又、本発明の別の目的は、上述の整列過程を通じて製造収率を向上させ、生産性と作業性を向上させることができるイオン注入設備の対象体整列検証装置及びその方法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するための本発明によるイオン注入設備の対象体整列検証装置は、イオン注入工程での対象体形状をなし、縁部に対象体の中心からの角度を表示する目盛りが形成されている本体と、前記本体の中心から突出した形状に設置される中心軸と、前記中心軸を基準に回転可能に設置され、前記中心軸の中心から荷重の作用する方向の前記目盛りの角度を指示する指示部とを備えることを特徴とする。
【００１７】
又、前記指示部は、前記中心軸の側部を覆うリング形状を有し中心軸の中心線を基準にして回転可能に設置される回転体と、前記回転体の側部所定位置に設けられ、一側端部が前記中心軸の中心方向に向かい相対側端部が前記目盛りに対応する方向へ延長される連結部材と、前記連結部材の相対側端部に連結され、前記連結部材の相対側端部を含む端部が荷重の作用する方向の前記目盛りを指示する錘とを有する。
【００１８】
そして、前記回転体の側部所定位置には前記中心軸の中心方向に向かう貫通ホールの形成され、前記連結部材は紐で構成され、一側端部が前記貫通ホールを通じて前記回転体の内側で固定され、相対側端部は前記錘の端部方向に向かうように連結される。
【００１９】
一方、前記指示部の他の構成は、前記本体に近接して対向する板形状を有し前記中心軸を基準にして回転可能に設置される回転板と、前記回転板の一側部位が外側に突出して荷重の作用する方向の前記目盛りを指示する表示部とを有する。又、前記回転板の縁部には前記中心軸の中心を基準にして前記目盛りに対応する補助目盛りを形成することが好ましく、前記補助目盛りは前記目盛りの所定角度範囲内で前記目盛り間の角度と異なる角度範囲で形成して、より正確な角度を得ることが好ましい。
【００２０】
そして、前記回転板上にはその表面から前記表示部の配置される方向に垂直に突出した形状に補助板が形成され、前記中心軸に近接する前記回転板の所定位置には前記補助板の縁部まで延長されるように連結紐が固定され、前記連結紐の端部には重さ錘が連結され、前記補助板の縁部には前記連結紐が固定された部位を基準にして前記回転板と本体の傾き角度を表示する傾き目盛りが形成された構成からなることもできる。
【００２１】
一方、前記目的を達成するための本発明によるイオン注入設備の対象体整列検証方法は、対象体形状を有し縁部に対象体中心からの角度を表示する目盛りが形成されている本体と、前記本体中心から突出した形状の中心軸と、前記中心軸を基準にして回転可能に設置され前記中心軸の中心から荷重の作用する方向の前記目盛りの角度を指示する指示部とを備える対象体整列検証装置を用いる。前記対象体整列検証装置を対象体の置かれるイオン注入設備のディスクに安着して配置する段階と、前記対象体に代わる対象体整列検査装置の本体の傾きと回転角を計測する段階と、前記対象体整列検証装置を移送手段を用いて移送し、対象体が前記ディスクにローディング位置される以前に対象体を整列する整列部に移送して配置する段階と、測定値と整列部の整列位置値とを比較判断する段階とを含む。
【００２２】
このとき、前記対象体に代わる前記本体の角度を計測する段階は、対象体が設定値の範囲に配置されるように、測定値を基準にしてディスクの位置状態を調節するためにイオン注入設備の構成を調節する段階をさらに含むことが好ましい。又、前記整列部に配置される前記対象体整列検証装置の上側へ離隔された位置に外側から前記中心軸方向に向かうように設置されるガイドと、前記ガイドにそってスライディング可能に設置され、一側に前記整列検証装置に垂直に対向する貫通ホールが形成されたスライダと、前記スライダの貫通ホールを通じて貫通し設置され、前記整列検証装置の縁部に形成された目盛りを指示する指示ピンとを利用し、前記ディスクで確認された測定値が設定位置にあるように矯正した状態で対象体整列検証装置を前記整列部に移送して配置する段階と、前記整列部に配置される対象体整列検証装置の所定位置を前記指示ピンを通じて確認する段階と、前記指示ピンを通じて確認された所定位置に対象体整列検証装置が前記整列部の整列過程で正常に配置されるかどうかを確認する段階と、前記整列部による回転角整列位置が前記指示ピンにより確認された位置と一致するように前記整列部の駆動を調節する段階とをさらに含むことが好ましい。
そして、前記の過程を少なくとも一回以上反復して実施することにより、前記整列部と移送手段による対象体の整列関係と移送位置関係を設定値に合うように矯正するのが好ましい。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例によるイオン注入設備の対象体整列検証装置及びその方法に対し添付図を用いて説明する。
図１は本発明の一実施例による対象体整列角度検証装置の構成を示す斜視図であり、図２は本発明の変形実施例による対象体整列角度検証装置の構成を示す斜視図であり、図３は図２の構成を用いた整列部での検証過程に係る構成を示す斜視図であり、従来技術と同一な部分に対し同一な符号を付与し、それに従う詳しい説明は省略する。
【００２４】
本発明の一実施例及び変形実施例によるイオン注入設備の対象体整列検証装置１０ａ、１０ｂの構成は、図１及び図２に示すように、イオン注入工程を行うための対象体の形状、即ち半導体装置の製造によるウェハＷの形状と同一な外形及び大きさをなし、縁部に対象体の中心に対応する位置から各放射方向に対する角度を表示する目盛りが形成された本体１２が形成される。
【００２５】
又、前記本体１２の中心上面の中央部には垂直に突出した形状を有し所定直径をもつ中心軸１４が設置され、前記中心軸１４上には中心軸１４の中心を基準に回転可能に設置されて、前記中心軸１４の中心から荷重の作用する方向の目盛り１６を指示してその角度を確認する指示部１８ｂが設置されて構成される。
【００２６】
このとき、図１に示す実施例における前記指示部の構成は、中心軸１４の側部を覆うリング形状を有し中心軸１４を基準にして回転可能に設置される回転体２０が設置され、前記回転体２０の側部所定位置には一側端部が中心軸１４の中心方向に向かうようにして固定され、相対側端部が本体１２の縁部に形成された目盛り１６に近接して対応する位置まで延長される連結部材２２が設置され、又、連結部材２２の相対側端部には連結部材２２の相対側端部を含む端部が荷重の作用する方向の目盛り１６を指示するように固定される錘２４を含む構成からなる。
【００２７】
又、前記回転体２０に対する連結部材２２の固定関係は、回転体２０の側部所定位置に中心軸１４の中心方向に向かう貫通ホールを形成し、前記連結部材２２は通常の紐で構成して、前記紐の端部が回転体２０の外側から内側方向へ貫通して中心軸１４と干渉しないように固定させ、前記紐の相対側端部は前記錘２４の端部方向に向かうように連結してなされる。
【００２８】
一方、変形実施例による前記指示部１８ｂは、図２に示すように、前記本体１２の所定角度範囲に該当する板形状を有し本体１２の上面と近接して対向し回転可能に設置される回転板２６を有する。
又、前記本体１２の中心軸１４から外側方向へ配置された回転板２６の縁部所定位置には、回転板２６が本体１２の中心軸１４から荷重により回転配置されることにより、前記荷重の作用する方向に対応する目盛り１６を指示するための表示部２８が形成される。
【００２９】
そして、前記表示部２８を含む回転板２６の縁部には、図２に示すように、中心軸１４の中心を基準に本体１２の縁部に形成された目盛りに対応する補助目盛り３０が形成され、前記補助目盛り３０の間隔は前記本体１２の所定角度範囲内で本体１２上の目盛り１６の間隔よりも一定比率の関係で拡張又は縮小された間隔に形成するのが好ましい。
【００３０】
このような本体１２上の目盛り１６と回転板２６上の補助目盛り３０との相互間の間隔差は、ノギス(vernier calipers)又はマイクロメーターのように本体１２上の目盛り１６を主尺の目盛りとし、回転板形状の補助目盛り３０を前記主尺に対するバーニア目盛りを基準にして、前記表示部２８が指示する角度をより精密に確認できるようにしている。
【００３１】
このような構成に加えて前記回転板２６上には、図２に示すように、その表面から表示部２８が配置される方向に垂直に突出した形状をなす補助板３２ａ、３２ｂが設置され、前記補助板３２ａ、３２ｂは回転板２６の中心位置に対する表示部２８の指示が荷重の作用する方向にあるようにその荷重の作用を保持する。
【００３２】
又、前記中心軸１４の中心位置において補助板３２ａ、３２ｂの縁部まで延長された形状の連結紐３４が固定され、前記連結紐３４の他側端部には重さ錘３６が連結され、補助板３２ａ、３２ｂの縁部には荷重による重さ錘３６の位置に従い中心軸１４に固定された連結紐３４がなす傾き角度θを指示する傾き目盛り３８が形成されて構成されることもできる。
【００３３】
ここで、前記補助板３２ａ、３２ｂは2つの板が互いに並んで対向して配置される構成でもなされ、前記連結紐３４は両側の補助板３２ａ、３２ｂの間に位置して両側の補助板３２ａ、３２ｂの対向面に支持され中心軸１４に固定された部位から回転可能に設置される板形状でも構成でき、このように連結紐３４が板形状で形成された場合に上記の傾き目盛り３８を主尺目盛りとし、又他の補助目盛り（図目の単純化のために省略する）をもつ構成で形成されることもできる。
【００３４】
そして、前記連結紐３４の固定位置は、本体１２の上面から所定間隔だけ離隔された位置であり、これに対応する傾き目盛り３８は本体１２の表面から連結紐３４の固定位置と平行な位置を基準にして形成されるのが好ましい。
これに加えて前記連結紐３４は、中心軸１４に近接する補助板３２ａ、３２ｂの形状を円弧形状に形成し、その円弧形状の補助板３２ａ、３２ｂ部位に荷重の作用する方向に対し、重さ錘３６による連結紐３４の傾きθの指示角度が正確になされるように回転配置されるルーラー（図面の単純化のために省略する）をさらに設置して固定される。
【００３５】
このような対象体整列検証装置１０ａ、１０ｂをイオン注入設備に安着配置した状態で、イオンビームが走査される方向Ｉに対向するようにディスクＤを配置する。
これによって、前記連結部材２２で固定される錘２４、又は回転板２６の表示部２８はその荷重の作用する方向の目盛り１６を指示し、これを通じて本体１２の回転角θ’を測定することができる。
【００３６】
このような回転角θ’の基準設定は対象体、即ちウェハＷ上に形成されるフラットゾーンを基準にして形成されるか、又はウェハＷの格子配列を表示する任意の標識を基準にして確認し、好ましくは上記のフラットゾーンを基準にするのが一層よい。
【００３７】
又、前記補助板３２ａ、３２ｂに対し重さ錘３６による連結紐３４が指示する角度はイオンビーム走査方向Ｉに対する対象体整列検証装置１０ａ、１０ｂの傾きθ'、即ち対象体の傾きθとして確認することができる。
このとき、前記回転板２６上の補助目盛り３０、又は図示していないが連結紐３４による補助目盛りを通じてその荷重の作用する方向の回転角θ’と傾きθをより正確に測定することができる。
【００３８】
このように対象体整列検証装置１０ａ、１０ｂを通じて測定された回転角θ’と傾きθが要求される範囲内にあるかどうかを確認し、範囲内にない場合にその補償値を確認して、ディスクＤを含むディクスＤ上の対象体の回転角θ’に係るイオン注入設備の構成を調整して補償するようにする。
【００３９】
次いで、対象体整列検証装置１０ａ、１０ｂが正確な回転角θ’と傾きθに補償されると、その状態を維持するようにロボットＲを用いて、対象体がディスクにローディングされる前に対象体を整列する整列部Ａに移送して配置し、このときの対象体整列検証装置１０ａ、１０ｂの回転角θ’の程度を確認する。
【００４０】
このとき、前記整列部Ａには対象体整列検証装置１０ａ、１０ｂの回転角θ’の位置が正確にどこに位置するかを確認するための補助的手段が一層求められ、このような補助的手段として、図３に示すように、整列部Ａに対象体整列検証装置１０ａ、１０ｂが配置されるのに対応して外側から中心軸１４の中心方向に対し平行に延長されるガイド４０がさらに設置される。
【００４１】
又、前記ガイド４０上にはガイド４０の案内を受けてスライディング位置移動可能に設置されるスライダ４２が設置され、前記スライダ４２の所定位置側部は対象体整列検証装置１０ａ、１０ｂ、即ち対象体のウェハＷの中心から放射方向に対する目盛り１６位置に対向して延長し突出した形状をなす。
【００４２】
そして、前記スライダ４２の延長された部位には所定大きさの貫通ホールが前記目盛り１６位置に対向して垂直方向に形成され、前記貫通ホールを通じて前記目盛り１６を指示するための指示ピン４４が貫通して設置されることにより、ディスクＤから移送された対象体整列検証装置１０ａ、１０ｂの回転角θ’の程度を確認することができる。
【００４３】
以後、前記対象体整列検証装置１０ａ、１０ｂをロードロックチャンバーＬ／Ｌから整列部Ａに移送して配置し、整列される対象体整列検証装置１０ａ、１０ｂの回転角θ’の程度を再び確認し、ディスクＤから整列部Ａに移送されて確認された対象体整列検証装置１０ａ、１０ｂの回転角θ’の程度と比較することにより、整列部Ａが正常に駆動するかどうかの確認と、これを通じた整列部Ａの駆動の調整とができる。
上述の過程を再び逆順に複数回行うと、移送手段による整列不良があるかどうかが確認され、回転角θ’に対する正確な誤差程度が確認できる。
【００４４】
上述では、具体的な実施例に対してのみ詳しく説明したが、本発明の技術的思想の範囲内で変形及び変更できるのは本発明が属する分野の当業者には明白なものであり、そのような変形及び変更は本発明の特許請求範囲に属するといえるだろう。
【００４５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、上述の構成から実質的な対象体、即ちウェハの整列矯正がなされ、イオン注入によるチャネリング現象が防止され、又イオン注入設備の工程信頼度及び製造収率、ならびに生産性と作業性が向上されるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例による対象体整列検証装置の構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の変形実施例による対象体整列検証装置の構成を示す斜視図である。
【図３】本発明の変形実施例による対象体整列検証装置を用いた整列部での検証過程に係る構成を示す斜視図である。
【図４】イオンビーム走査方向に対向する対象体の表面の傾き関係を概略的に示す模式図である。
【図５】イオンビームのスキャン方向に対するウェハ回転角に対応するチャネリング現象の発生状態を概略的に示す分布図である。
【図６】ウェハの単位結晶格子構造を概略的に示す斜視図である。
【図７】ウェハの一方向角度に対する結晶格子の配置関係を概略的に示す模式図である。
【図８】ウェハの一方向角度に対する結晶格子の配置関係を概略的に示す模式図である。
【図９】ウェハの一方向角度に対する結晶格子の配置関係を概略的に示す模式図である。
【図１０】ウェハの一方向角度に対する結晶格子の配置関係を概略的に示す模式図である。
【図１１】一般のイオン注入設備でのウェハローディング関係を概略的に示す模式図である。
【符号の説明】
１０ａ、１０ｂ  対象体整列検証装置
１２  本体
１４  中心軸
１６  目盛り
１８ｂ  指示部
２０  回転体
２２  連結部材
２４  錘
２６  回転板
２８  表示部
３０  補助目盛り
３２ａ、３２ｂ  補助板
３４  連結紐
３６  重さ錘
３８  傾き目盛り
４０  ガイド
４２  スライダ
４４  指示ピン
Ｗ  ウェハ
【図１】
0004154208.tif 000002
【図２】
0004154208.tif 000003
【図３】
0004154208.tif 000004
【図４】
0004154208.tif 000005
【図５】
0004154208.tif 000006
【図６】
0004154208.tif 000007
【図７】
0004154208.tif 000008
【図８】
0004154208.tif 000009
【図９】
0004154208.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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