(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部と可動部を有し、該固定部と可動部との間に、剪断モードで変位する圧電セラミックスからなる少なくとも3つの変位発生部を並設してなり、上記各変位発生部を構成する圧電セラミックスの分極方向が同じ方向となるように配置してあることを特徴とする記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータ。
【請求項２】
上記変位発生部を構成する圧電セラミックスの圧電歪定数（ｄ15）が６００ｐｍ／Ｖ以上であることを特徴とする請求項１に記載の記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータ。
【請求項３】
上記可動部及び／又は固定部が、上記各変位発生部と接着にて接合してあることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３に記載の記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータを構成する可動部に、記録／再生ヘッドを取着するとともに、上記記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータを構成する固定部に、ヘッドサスペンションを取着したことを特徴とする記録／再生ヘッド位置決め装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項３に記載の記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータを構成する可動部に、記録／再生ヘッドを備えたヘッドサスペンションを取着するとともに、上記記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータを構成する固定部に、支持アームを取着したことを特徴とする記録／再生ヘッド位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、コンピューターの外部記憶装置等に使用されている磁気記録装置又は光記録装置に備える記録／再生ヘッド位置決め装置及びこれに用いる記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、磁気記録装置や光記録装置は、高速で回転する磁気ディスクや光ディスク（以下、単にディスクと称す）上に、記録／再生ヘッドを走査させ、記録／再生ヘッドとディスクとの間で磁気作用又は光作用によってディスク上に記録された情報を読み出したり、ディスク上に情報を書き込むようになっており、上記記録／再生ヘッドを所定位置に走査させる手段として記録／再生ヘッド位置決め装置が用いられている。
【０００３】
図６に一般的な記録／再生ヘッド位置決め装置の概略を示すように、このヘッド位置決め装置は、回転軸５に嵌合された軸受部４を有し、該軸受部４に備える支持アーム３に取着されたヘッドサスペンション２の先端に記録／再生ヘッド１を備えたもので、不図示のボイスコイルモーターにより軸受部４を矢印の方向に駆動させることで記録／再生ヘッド１をディスク６上の所定位置まで移動させるようになっていた。
【０００４】
ところで、近年、磁気記録装置や光記録装置の記録密度の向上に伴って、高ＢＰＩ（Ｂｉｔ  Ｐｅｒ  Ｉｎｃｈ）化、高ＴＰＩ（Ｔｒａｃｋ  Ｐｅｒ  Ｉｎｃｈ）化が要求されており、高ＢＰＩ化のためには、ディスク６の円周方向の記録密度を上げることが必要があり、また、高ＴＰＩ化のためには、ディスク６の半径方向の記録密度を上げることが必要となっている。そして、ＴＰＩの記録密度を上げるためには、記録／再生ヘッド１の位置決め精度をトラックピッチの１０％以下に抑えることが求められている。
【０００５】
しかしながら、ディスク６のトラックピッチは１μｍ以下であり、さらには０．５μｍ以下にまで狭まる方向にあり、ボイスコイルモーターによる位置決めでは、記録／再生ヘッド１の位置決め精度をトラックピッチの１０％以下（トラックピッチ１μｍ以下の場合、０．１μｍ以下）とすることが難しいものであった。
【０００６】
そこで、このような課題を解決するため、記録／再生ヘッド１とヘッドサスペンション２との間に圧電アクチュエータを配置し、この圧電アクチュエータを駆動させることにより記録／再生ヘッド１を微少移動させ、記録／再生ヘッド１の位置決め精度を高めることが提案されており、上記圧電アクチュエータとして、図６に示すように、固定部２２と可動部２３とからなり、固定部２２と可動部２３との間に縦振動（又は横振動）する２つの変位発生部２４，２５を並設したものが開示されている。そして、上記可動部２３に記録／再生ヘッド１を取着するとともに、固定部２２にヘッドサスペンション２を取着し、上記圧電アクチュエータ２１の一方の変位発生部２４を伸長させ、他方の変位発生部２５を縮長させることで可動部２３を矢印Ｃの方向に変位させ、各変位発生部２４，２５の伸縮を逆にすると、可動部２３を矢印Ｄの方向に変位させることができるようになっていた。
【０００７】
また、上記圧電アクチュエータ２１は、複数の圧電セラミック板の間に電極層を介在させて積層した板状体を用意し、サンドブラスト法によって図６に示すような貫通孔を形成することにより一体的に形成するようになっていた（国際公開番号  ＷＯ９８／１９３０４号公報参照）。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図６に示す圧電アクチュエータ２１は、機械的強度の小さな圧電セラミックスからなる２本の変位発生部２４，２５で可動部２３に取着された記録／再生ヘッド１を支持しなければならないことから、可動部２３が変位する際に発生する応力に屈して変位発生部２４，２５が破損したり、あるいは外部から衝撃が加わると破損するといった課題があった。
【０００９】
そこで、変位発生部２４，２５の数を増やすことも考えられるが、上記圧電アクチュエータ２１は、例えば、一方の変位発生部２４を圧電縦効果（又は圧電横効果）によって伸長させ、他方の変位発生部２５を圧電縦効果（又は圧電横効果）によって縮長させる構造であることから、３本目以上の変位発生部の変位量を制御することが極めて難しく、実際には駆動させることができなかった。
【００１０】
また、上記圧電アクチュエータ２１は、複数の圧電セラミック板の間に電極層を介在させて積層した板状体にサンドブラスト法によって貫通孔を形成することにより製造するため、ブラスト処理時に、各変位発生部２４，２５の幅が厚み方向において異なり、変位発生部２４，２５の変位量にばらつきを生じる恐れもあった。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明は上記課題に鑑み、記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータを、固定部及び可動部と、該固定部と可動部との間に並設され、剪断モードで変位する圧電セラミックスからなる少なくとも3つの変位発生部とから構成し、上記各変位発生部を形成する圧電セラミックスの分極方向が同じ方向となるように配置したことを特徴とする。
【００１２】
特に、上記変位発生部を形成する圧電セラミックスは、その圧電歪定数（ｄ15）が６００ｐｍ／Ｖ以上であることが好ましく、また、圧電アクチュエータを構成する可動部及び／又は固定部は、各変位発生部と接着剤にて接合したものが良い。
【００１３】
また、本発明は、上記記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータを構成する可動部に、記録／再生ヘッドを取着するとともに、上記記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータを構成する固定部に、ヘッドサスペンションを取着して記録／再生ヘッド位置決め装置を構成するか、あるいは上記記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータを構成する可動部に、記録／再生ヘッドを備えたヘッドサスペンションを取着するとともに、上記記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータを構成する固定部に、支持アームを取着して記録／再生ヘッド位置決め装置を構成したものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。
【００１５】
図１は本発明に係る記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータの一例を示す斜視図で、この記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータ（以下、単に圧電アクチュエータと言う）１１は、圧電セラミックスからなる固定部１２と、絶縁セラミックスからなる可動部１３と、上記固定部１２と可動部１３との間に所定の間隔を隔てて並設された圧電セラミックスからなる３つの変位発生部１４，１５，１６とからなり、上記固定部１２と上記各変位発生部１４，１５，１６とは一体的に形成するとともに、上記可動部１３と上記各変位発生部１４，１５，１６とは接着剤にて接合してある。
【００１６】
また、各変位発生部１４，１５，１６は角板状をなし、その側面にはそれぞれ電極１７を備えるとともに、各変位発生部１４，１５，１６を形成する圧電セラミックスには、矢印の方向に分極処理してある。
【００１７】
その為、圧電アクチュエータ１１の固定部１２を動かないように固定し、図２（ａ）（ｂ）に示すように、各変位発生部１４，１５，１６の右側に位置する電極１７に正の電圧を、各変位発生部１４，１５，１６の左側に位置する電極１７に負の電圧をそれぞれ印加すると、各変位発生部１４，１５，１６を形成する圧電セラミックスが、電極１７間に印加された電界と、予め分極処理によって付与された電界によって電極１７間方向に剪断モード変形を起こすため、可動部１３を矢印Ａの方向に変位させることができ、また、各変位発生部１４，１５，１６の電極１７間に印加する電圧の極性を反転させると、可動部１３を矢印Ｂの方向に変位させることができる。
【００１８】
そして、本発明の圧電アクチュエータ１１によれば、各変位発生部１４，１５，１６を剪断モード変形によって変位させるようにしてあることから、可動部２３が縦振動（又は横振動）する変位発生部２４，２５によって変位する従来の圧電アクチュエータ２１と比較して可動部１３の変位量を大きくすることができる。
【００１９】
また、各変位発生部１４，１５，１６は、剪断モード変形によって同じ方向に変位させることができるため、固定部１２と可動部１３との間に３本以上の変位発生部１４，１５，１６を設けることができるため、図６に示す従来の圧電アクチュエータ２１と比較して圧電アクチュエータ１１の機械的強度を向上させることができる。その為、外部から衝撃が加わったり、可動部１３を繰り返し変位させても変位発生部１４，１５，１６の破損がなく、長期間にわたり安定して可動部１３を変位させることができる。なお、機械的強度を向上させるためには、変位発生部の数を５本以上とすることが好ましい。
【００２０】
ところで、記録／再生ヘッド１の位置決め精度を高めるためには、大きな変位量が得られる圧電アクチュエータ１１を用いる必要があり、可動部１３を大きく変位させるためには、各変位発生部１４，１５，１６を形成する圧電セラミックスとして、圧電歪定数ｄ15ができるだけ高いものを用いれば良く、好ましくは圧電歪定数ｄ15が６００ｐｍ／Ｖ以上、さらに好ましくは圧電歪定数ｄ15が８００ｐｍ／Ｖ以上であるものを用いることが良い。
【００２１】
また、各変位発生部１４，１５，１６の間隔が狭い場合、各変位発生部１４，１５，１６が変位することにより固定部１２や可動部１３に歪みが発生し、可動部１３の変位量がばらつく恐れがあるが、図１の圧電アクチュエータ１１では、可動部１３と各変位発生部１４，１５，１６とを接着剤を介して接合してあることから、各変位発生部１４，１５，１６が変位することにより作用する力を接着層で吸収し、両隣の変位発生部１４，１５，１６に伝わることを防止し、可動部１３における変位量のばらつきを低減することができる。なお、図１では可動部１３と各変位発生部１４，１５，１６とを接着にて接合した例を示したが、固定部１２と各変位発生部１４，１５，１６とを接着にて接合したものでも良く、さらには固定部１２及び可動部１３をそれぞれ各変位発生部１４，１５，１６と接着にて接合したものでも構わない。ただし、接着層の厚みが厚くなり過ぎると、各変位発生部１４，１５，１６が変位することにより作用する力が吸収され、可動部１３の変位量が小さくなることから、接着層の厚みは１０μｍ以下とすることが良く、さらに１０μｍ以下の厚みを有する接着層中にフィラーを混入させたものを用いれば接着層の剛性を高めることができて好ましい。
【００２２】
また、各変位発生部１４，１５，１６が変位することにより作用する力によって可動部１３が歪まないようにするためには、剛性の高い絶縁セラミックスにより形成することが好ましく、例えば、アルミナ、ジルコニア、フォルステライト、ステアタイト、チタニア等を用いることができ、これらの中でもフォルステライト、ステアタイト、チタニアは圧電セラミックスと同程度の切削性を有することから、加工性の点で好ましい。
【００２３】
また、可動部１３における変位量のばらつきを抑えるためには、可動部１３だけでなく、固定部１２も接着にて変位発生部１４，１５，１６と接合するようにし、かつ固定部１２を上述したアルミナ、ジルコニア、窒化珪素、窒化アルミニウム、炭化珪素、フォルステライト、ステアタイト、チタニア、サファイア、ＴｉＣ系サーメット、ＴｉＮ系サーメット、ＴｉＣ−ＴｉＮ系サーメット等の絶縁セラミックスにより形成することが好ましい。
【００２４】
次に、図１に示す圧電アクチュエータ１１の製造方法について説明する。
【００２５】
まず、予め板厚方向に分極処理した圧電セラミック板を用意する。圧電セラミックスとしては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ系）、ランタンチタン酸鉛（ＰＬＺＴ系）、マグネシウムニオブ酸鉛（ＰＭＮ系）、ニッケルニオブ酸鉛（ＰＮＮ系）又はこれらの複合材を主体とする圧電セラミックスを用いることができる。
【００２６】
次に、ダイヤモンド砥粒を固着した回転刃を板厚方向に押し当て、所定の間隔を隔てて２列の溝を形成した後、上記回転刃を溝と直角な方向に押し当てて圧電セラミック板を分断することにより、溝を仕切る圧電セラミック部を変位発生部１４，１５，１６、各変位発生部１４，１５，１６を連結する圧電セラミック部を固定部１２とする部材を製作する。
【００２７】
このように、研削加工にて溝を形成することにより各変位発生部１４，１５，１６を形成すれば、各変位発生部１４，１５，１６の幅を厚み方向にわたって一定の幅とすることができるため、各変位発生部１４，１５，１６の変位ばらつきを抑えることができる。
【００２８】
次いで、各変位発生部１４，１５，１６を形成する圧電セラミックスの側面に、印刷法、メッキ法、真空蒸着法、スパッタリング法、ＰＶＤ法、ＣＶＤ法等によって金属膜を被着して電極１７を形成する。電極１７を形成する金属膜の材質としては、白金、金、パラジウム、ロジウム、ニッケル、クロム、アルミニウム等の金属、あるいは、白金−金、パラジウム−銀、白金−パラジウム等を主体とする合金を用いることができ、さらに上記金属膜を複数層積層したものでも構わない。
【００２９】
しかる後、各変位発生部１４，１５，１６の端部に、アルミナ、ジルコニア、窒化珪素、窒化アルミニウム、炭化珪素、フォルステライト、ステアタイト、チタニア、サファイア、ＴｉＣ系サーメット、ＴｉＮ系サーメット、ＴｉＣ−ＴｉＮ系サーメット等の絶縁セラミックスからなる可動部１３を接着剤にて接合することにより得ることができる。
【００３０】
なお、各変位発生部１４，１５，１６と可動部１３とを接合する接着剤としては、エポキシ系、ポリイミド系、フェノール系の熱硬化性接着剤を用いることができ、中でも接着強度と耐熱性の点でエポキシ系の熱硬化性接着剤を用いることが好ましい。
【００３１】
次に、図１に示す圧電アクチュエータ１１を用いた記録／再生ヘッド位置決め装置の一例を図２を用いて説明する。
【００３２】
この記録／再生ヘッド位置決め装置は、回転軸５に嵌合された軸受部４に備える支持アーム３に取着されたヘッドサスペンション２の先端に、上記圧電アクチュエータ１１を介して記録／再生ヘッド１を取着したもので、圧電アクチュエータ１１の固定部１２をヘッドサスペンション２の先端と取着するとともに、圧電アクチュエータ１１の可動部１３を記録／再生ヘッド１と取着してある。
【００３３】
そして、この記録／再生ヘッド位置決め装置を用いて記録／再生ヘッド１をディスク６上の所定位置に位置決めするには、不図示のボイスコイルモーターにより軸受部４を回転させて記録／再生ヘッド１をディスク６上の所定位置近傍まで移動させた後、圧電アクチュエータ１１を変位させて記録／再生ヘッド１を微少移動させることによりディスク６の所定位置に移動させることができ、上記圧電アクチュエータ１１は大きな変位量を得られることから、トラックピッチが１μｍ以下であるディスク６に対しても記録／再生ヘッド１の位置決め精度をトラックピッチの１０％以下とすることができる。
【００３４】
また、記録／再生ヘッド１を支持する圧電アクチュエータ１１は、固定部１２と可動部１３の間に３本の変位発生部１４，１５，１６を有し、高強度であることから、外部から衝撃が加わったり、記録／再生ヘッド１を支持した状態で可動部１３を繰り返し変位させたとしても各変位発生部１４，１５，１６を破損することがなく、長期間にわたって用いることができる。
【００３５】
さらに、図１に示す圧電アクチュエータ１１を用いた記録／再生ヘッド位置決め装置の他の例を図３を用いて説明する。
【００３６】
この記録／再生ヘッド位置決め装置は、回転軸５に嵌合された軸受部４に備える支持アーム３の先端に、上記圧電アクチュエータ１１を介して記録／再生ヘッド１を備えたヘッドサスペンション２を接合したもので、圧電アクチュエータ１１の固定部１２を支持アーム３の先端に取着するとともに、圧電アクチュエータ１１の可動部１３をヘッドサスペンション２の後端に取着してある。
【００３７】
そして、この記録／再生ヘッド位置決め装置を用いて記録／再生ヘッド１をディスク５上の所定位置に位置決めするには、不図示のボイスコイルモーターにて軸受部４を回転させて記録／再生ヘッド１をディスク６上の所定位置近傍まで移動させた後、圧電アクチュエータ１１を変位させて記録／再生ヘッド１を備えたヘッドサスペンション２を微少移動させることによりディスク６の所定位置に移動させることができ、上記圧電アクチュエータ１１は大きな変位量を得られることから、トラックピッチが１μｍ以下であるディスク６に対しても記録／再生ヘッド１の位置決め精度をトラックピッチの１０％以下とすることができる。
【００３８】
また、記録／再生ヘッド１を備えたヘッドサスペンション２を支持する圧電アクチュエータ１１は、固定部１２と可動部１３の間に３本の変位発生部１４，１５，１６を有し、高強度であることから、外部から衝撃が加わったり、記録／再生ヘッド１を備えたヘッドサスペンションを支持した状態で可動部１３を繰り返し変位させたとしても各変位発生部１４，１５，１６を破損することがなく、長期間にわたって用いることができる。
【００３９】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態だけに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で改良で変更できることは言う迄もない。
【００４０】
【実施例】
（実施例１）
板厚が１．２５ｍｍ、圧電歪定数ｄ15が５００ｐｍ／Ｖ、６００ｐｍ／Ｖ、８００ｐｍ／Ｖである、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電セラミック板を用意し、予め板厚方向に分極処理を施した後、ダイヤモンド砥粒を固着した回転刃を板厚方向に押し当て、複数の溝を並設し、次いで上記回転刃を溝と直角な方向に押し当てて圧電セラミック板を切断することにより、各溝を仕切る圧電セラミック部を変位発生部、各変位発生部を連結する圧電セラミック部を固定部としてなる部材を製作した。この時、各変位発生部の幅、長さ、厚みは表１に示す寸法とした。
【００４１】
その後、各変位発生部を形成する圧電セラミックスの側面に、スパッタリング法によって金からなる金属膜を被着して電極を形成し、しかる後、各変位発生部とチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電セラミックスからなる可動部をエポキシ系接着剤を介して接合することにより圧電アクチュエータを製作した。
【００４２】
そして、圧電アクチュエータの固定部を固定し、各変位発生部の電極間に±２０Ｖの電圧を印加して変位させ、可動部の変位量を上方よりレーザー変位計を用いて測定した。
【００４３】
次に、表１に示す試料Ｎｏ１〜２１の圧電アクチュエータ１１を、図３に示す記録／再生ヘッド位置決め装置の支持アーム３とヘッドサスペンション２との間に配置し、圧電アクチュエータの電極に±２０Ｖの電圧を印加して可動部を１億回変位させた時の変位発生部の破断の有無を双眼顕微鏡及びＳＥＭ写真で観察し、圧電アクチュエータ１１の耐久性について調べる実験を行った。
【００４４】
それぞれ結果は表１に示す通りである。
【００４５】
【表１】
0004071921.tif 000002
【００４６】
この結果、変位発生部の数を３つ以上とすることで、圧電アクチュエータの破損を防止できた。
【００４７】
また、好ましくは、変位発生部を形成する圧電セラミックスの圧電歪定数（ｄ15）を６００ｐｍ／Ｖ以上とすることで可動部の変位量を０．１μｍ以上と大きな変位量が得られることが判る。
（実施例２）
次に、実施例１の表１に示した試料Ｎｏ１〜２１の圧電アクチュエ―タを、図３に示す記録／再生ヘッド位置決め装置のヘッドサスペンション２と記録／再生ヘッド１との間に配置し、圧電アクチュエータの電極に±２０Ｖの電圧を印加して可動部を１億回変位させた時の変位発生部の破断の有無を双眼顕微鏡及びＳＥＭ写真で観察し、圧電アクチュエータの耐久性について調べる実験を行った。
【００４８】
結果は表２に示す通りである。
【００４９】
【表２】
0004071921.tif 000003
【００５０】
この結果、実施例１と同様に、変位発生部の数を３つ以上とすることで、変位発生部の破損を防止できた。
【００５１】
また、好ましくは、変位発生部を形成する圧電セラミックスの圧電歪定数（ｄ15）を６００ｐｍ／Ｖ以上とすることで可動部の変位量を０．１μｍ以上と大きな変位量が得られることが判る。
（実施例３）
次に、表１の試料Ｎｏ４における圧電アクチュエータのうち、可動部と固定部をそれぞれ変位発生部に接着にて接合するとともに、可動部を形成するチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電セラミックスに換え、アルミナ、ジルコニア、フォルステライト、ステアタイト、チタニア、ガラス、エポキシ樹脂を用いた時の可動部（試料Ｎｏ．４３〜４８，５０，５１）の変位量とそのばらつき具合を測定するとともに、表１の試料Ｎｏ４における圧電アクチュエータのうち、固定部も別体とし、該固定部をアルミナで形成するとともに、エポキシ系接着剤で変位発生部に接合した時の可動部（試料Ｎｏ．４９）の変位量とそのばらつき具合について調べる実験を行った。
結果は表３に示す通りである。
【００５２】
【表３】
0004071921.tif 000004
【００５３】
この結果、固定部又は可動部の少なくとも一方にＰＺＴ（圧電セラミックス）、アルミナ、ジルコニア、フォルステライト、ステアタイト、チタニア、ガラスを用いれば、剛性が高く、軽量であることから、可動部の変位量が大きく、また変位のばらつきも小さく優れていた。
【００５４】
また、これらの圧電アクチュエータを製作する際の回転刃による加工性を評価したところ、試料Ｎｏ．４，４５〜５０は回転刃の速度を換えることなく快適に加工できるが、試料Ｎｏ．４３，４４は回転刃の速度を若干遅くする必要があり、試料Ｎｏ．５１は回転刃の砥粒の目詰まりが多く、加工性はそれほど良くなかった。
【００５５】
この結果、可動部を変位発生部と異なる材質で形成する場合、フォルステライト、ステアタイト、チタニア、ガラスを用いれば良いことが判る。
【００５６】
【発明の効果】
以上のように、本発明の記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータによれば、固定部及び可動部と、該固定部と可動部との間に並設され、剪断モードで変位する圧電セラミックスからなる少なくとも3つの変位発生部とからなり、上記各変位発生部を構成する圧電セラミックスの分極方向が同じ方向となるように配置して構成したことから、可動部を大きく変位させることができるとともに、繰り返し可動部を変位させても十分な強度を有することから変位発生部の破損がなく、長期間にわたり使用することができる。
【００５７】
特に、上記変位発生部を構成する圧電セラミックスとして、その圧電歪定数（ｄ15）が６００ｐｍ／Ｖ以上であるものを用いることで、より一層大きな変位量が得られ好適である。
【００５８】
また、圧電アクチュエータを構成する可動部及び／又は固定部を変位発生部と接着剤にて接合して構成することにより、変位発生部が変位する際に可動部や固定部が変形することを防止し、可動部の変位量が低下したり、変位量がばらつくことを防止することができる。
【００５９】
また、本発明に係る記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータを構成する可動部に、記録／再生ヘッドを接合するとともに、上記記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータを構成する固定部に、ヘッドサスペンションを接合して記録／再生ヘッド位置決め装置を構成するか、あるいは上記記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータを構成する可動部に、記録／再生ヘッドを備えたヘッドサスペンションを接合するとともに、上記記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータを構成する固定部に、支持アームを接合して記録／再生ヘッド位置決め装置を構成することにより、ボイスコイルモーターでは得られない記録／再生ヘッドの微少移動が可能であることから、トラックピッチが１μｍ以下であるディスクに対しても記録／再生ヘッドの位置決め精度をトラックピッチの１０％以下とすることができ、ディスクへの確実な書き込みやディスクからの確実な読み出しを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータの一例を示す斜視図である。
【図２】（ａ）（ｂ）は本発明に係る記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータの駆動原理を説明するための平面図である。
【図３】本発明の圧電アクチュエータを用いた記録／再生ヘッド位置決め装置の一例を示す斜視図である。
【図４】本発明の圧電アクチュエータを用いた記録／再生ヘッド位置決め装置の他の例を示す斜視図である。
【図５】一般的な記録／再生ヘッド位置決め装置の一例を示す斜視図である。
【図６】従来の記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータを備えた記録／再生ヘッド位置決め装置の主要部を示す斜視図である。
【符号の説明】
１：記録／再生ヘッド
２：ヘッドサスペンション
３：支持アーム
４：ボイスコイルモーター
５：ディスク
１１：記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータ
１２：固定部
１３：可動部
１４，１５，１６：変位発生部
１７：電極
２１：記録／再生ヘッド位置決め用圧電アクチュエータ
２２：固定部
２３：可動部
２４，２５：変位発生部
【図１】
0004071921.tif 000005
【図２】
0004071921.tif 000006
【図３】
0004071921.tif 000007
【図４】
0004071921.tif 000008
【図５】
0004071921.tif 000009
【図６】
0004071921.tif 000010