(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンとフィルタで構成され下面に空気吹出口を有するファン付きフィルタユニットを取付枠に取り付けるファン付きフィルタユニットの取付構造において、前記ファン付きフィルタユニットを、底面中央が開口し周縁に載置片が形成され側壁の上端縁に沿って外方に延設した係止片を備えたバット形受部材を介して取付枠に取り付けるものであって、前記ファン付きフィルタユニットを密封材を介して前記バット形受部材の載置片上に載置すると共に前記バット形受部材の係止片を密封材を介して前記取付枠に取り付けることを特徴とするファン付きフィルタユニットの取付構造。
【請求項２】
前記係止片と前記取付枠の間に遮蔽材を挟持させたことを特徴とする請求項１記載のファン付きフィルタユニットの取付構造。
【請求項３】
前記密封材をガスケットとしたことを特徴とする請求項１または２記載のファン付きフィルタユニットの取付構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造等のための高清浄度空間を形成するクリーンルームのシステム天井や、該クリーンルーム内で使用されたり、精密機械の部品加工や組立工場、或いは、食品加工工場等でコンベアの一部分の空気清浄を行う場合や、精密機械等の製造用のクリーンルーム内の一部分の空気清浄を行う場合等に用いられるファン付フィルタユニットを使用する各種クリーンルーム用機器、例えば、クリーンブース、クリーンベンチ、パスボックス、クリーンストッカー等におけるファン付きフィルタユニットの取付構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、クリーンルームのシステム天井やクリーンルーム用機器にファン付きフィルタユニットを取り付けるものとして、例えば、クリーンブースでは、下面に空気吹出口を有するファン付きフィルタユニットを天井板の開口部を閉塞するように天井枠に溶接したアングルにガスケットを介して載置し、ファン付きフィルタユニットの上面をボルト締めにより締め付け固定し、この天井板の周辺部を支柱で支え、天井板の側辺部と支柱にボルト締めによりビニールカーテンを締め付け固定し外部と遮蔽するようにしたクリーンブースがある。
また、別のクリーンブースとして、天井板を特に設けることなく天井枠に溶接したアングルにガスケットを介してファン付きフィルタユニットを載置し、このファン付きフィルタユニットの外周の天井枠までビニールカーテンを設け、ファン付きフィルタユニットの上流側は前記ファン付きフィルタユニットの外周の天井枠とビニールカーテンの間で現場でシール作業し、ファン付きフィルタユニットの下流側は天井枠に溶接したアングルと天井枠の間をシール作業することで、清浄化されない空気がクリーンブース内に流入しないようにしたものが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前者のようなクリーンブースでは、現場での締め付け作業による作業工数が多くなり、ファン付きフィルタユニットの取り付けが簡単にできないという不都合があり、また、後者のようなクリーンブースでも、現場でのシール作業が大変でファン付きフィルタユニットの取り付けが簡単にできないという不都合がある。
また、これらのようなファン付きフィルタユニットをクリーンブースの天井部に設けるタイプのものは、予め天井部の骨組みを溶接で一体化した状態で現場に搬入することが一般であり、このため輸送、梱包がコンパクトにできないので輸送コストが高くなる不都合があった。
そこで、本発明は、分解して輸送でき、かつ現場で簡単に組立、取付作業が行えるシステム天井や、クリーンブース等の各種クリーンルーム用機器におけるファン付きフィルタユニットの取付構造を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明のファン付きフィルタユニットの取付構造は、前記課題を解決するべく、ファンとフィルタで構成され下面に空気吹出口を有するファン付きフィルタユニットを取付枠に取り付けるファン付きフィルタユニットの取付構造において、前記ファン付きフィルタユニットを、底面中央が開口し周縁に載置片が形成され側壁の上端縁に沿って外方に延設した係止片を備えたバット形受部材を介して取付枠に取り付けるものであって、前記ファン付きフィルタユニットを密封材を介して前記バット形受部材の載置片上に載置すると共に前記バット形受部材の係止片を密封材を介して前記取付枠に取り付けることを特徴とする。
また、請求項２記載のファン付きフィルタユニットの取付構造は、前記係止片と前記取付枠の間に遮蔽材を挟持させたことを特徴とする。
また、請求項３記載のファン付きフィルタユニットの取付構造は、請求項１または２記載のファン付きフィルタユニットの取付構造において、前記密封材をガスケットとしたことを特徴とする。
【０００５】
本発明のファン付きフィルタユニットの取付構造は、前記バット形受部材を用いることで、クリーンルームの天井部を構成するシステム天井に適用できるだけでなく、クリーンルーム用フィルタ機器のファン付きフィルタユニットの取付構造としても適用できる。
【０００６】
【実施例】
以下、本発明ファン付きフィルタユニットの取付構造をクリーンブースに適用した一実施例を図面に基づき説明する。
図１はファン付きフィルタユニットの取付構造を適用したクリーンブースの平面図、図２は図１のＡ−Ａ線断面図、図３はバット形受部材の斜視図である。
図に示すように、ファン付きフィルタユニット１は、その上面に空気取入口２を、下面に空気吹出口３を有している。このファン付きフィルタユニット１内には、空気取入口２に対向して送風機４が、そして空気吹出口３に対向してフィルタ５が設けられている。
【０００７】
前記ファン付きフィルタユニット１は、その空気吹出口３を下面に臨ませて、天井枠６に橋渡しされた架台枠６ａと、この架台枠６ａに橋渡しされた架台枠６ｂで形成される取付枠６ｃ上に載置されている。
詳細には、前記ファン付きフィルタユニット１は、底面１０ａ中央が開口し周縁に載置片１０ｂが形成され側壁１０ｃの上端縁に沿って外方に延設した係止片１０ｄを備えたバット形受部材１０を介して取付枠６ｃに配設されるもので、前記ファン付きフィルタユニット１をガスケット１１を介して前記バット形受部材１０の載置片１０ｂ上に載置すると共に前記バット形受部材１０の係止片１０ｄをガスケット１２を介して取付枠６ｃ上に載置するようにした。
【０００８】
また、前記天井枠６の周辺部は４本の支柱７で支えられ、空気吹出口３の下面にはメディアガード８が設けられている。また、前記バット形受部材１０の係止片１０ｄと前記取付枠６ｃの間にビニールカーテン９が挟持されており、このビニールカーテン９でクリーンブースの天井部を覆うと共に支柱７間も覆うようにビニールカーテン９が垂下されている。
【０００９】
次に、前記クリーンブースの組立作業と作動につき説明する。
先ず、天井枠６，６，６，６をネジ１３で締め付け固定して骨組みを構成し、次に、２本の対向する天井枠６，６に架台枠６ａ，６ａを、さらにこの２本の対向する架台枠６ａ，６ａに架台枠６ｂ，６ｂを橋渡してネジ１３で締め付け固定し、取付枠６ｃを形成する。
【００１０】
また、支柱７に図略の補強材が設けられ、天井枠６，６，６，６と支柱７，７，７，７をビス締め固定する。この状態でファン付きフィルタユニット１の設置部分が開口したビニールカーテン９を被覆してバット形受部材１０を取付枠６ｃにガスケット１２を介して載置することによりバット形受部材１０の係止片１０ｄと前記取付枠６ｃの間にビニールカーテン９の開口端部を挟持する。
【００１１】
次に、予め送風機４とフィルタ５を内蔵したファン付きフィルタユニット１をガスケット１１を介してバット形受部材１０の載置片１０ｂ上に載置することで、ファン付きフィルタユニット１の自重によりファン付きフィルタユニット１とバット形受部材１０の載置片１０ｂの間と、バット形受部材１０の係止片１０ｄと取付枠６ｃの間の気密性を持たせるものである。
【００１２】
次に、クリーンブースの作動について説明すれば、送風機４によって空気取入口２からファン付きフィルタユニット１内に吸い込まれた空気は、フィルタ５を通過して清浄化された空気となりクリーンブース内に導かれ、さらに下方向に導かれクリーンブース外へ排出されることになる。
【００１３】
本実施例では、ファン付きフィルタユニット１は１個としたが、これに限定されることなく架台枠６ａ及び架台枠６ｂを縦横に組み合わせることで複数個のファン付きフィルタユニットを載置することができる。
また、密封材としては、ガスケット１１，１２を使用したが、シリコンゲル等を充填した溝にフランジを嵌合するいわゆるチャンネルシール方式としてもよい。
【００１４】
また、本実施例では、遮蔽材としてビニールカーテンを使用したが、通気性のないカーテン素材であればこれに限定することなく使用できる。
また、支柱７の脚部にキャスタを設けることにより移動自在に構成することができる。
【００１５】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ファン付きフィルタユニットをバット形受部材を介して取付枠に固定できるため、ファン付きフィルタユニットと取付枠の間のシール作業が不要となる。
また、本発明をクリーンブースに適用すれば、バット形受部材によりファン付きフィルタユニットと取付枠のシール作業が不要となると同時に天井板を設けることなくビニールカーテンでクリーンブース全体を被覆して、ビニールカーテンと取付枠の間のシール作業も不要となる。
また、天井枠、取付枠は分解して輸送でき、これらをネジ固定して枠組するだけで特別なシール作業も不要でファン付きフィルタユニットの自重により取付設置できるため、現場での組立設置工事も簡単にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のファン付きフィルタユニットの取付構造をクリーンブースに適用した一実施例の平面図
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図
【図３】バット形受部材の全体図
【符号の説明】
１    ファン付きフィルタユニット
２    空気取入口
３    空気吹出口
４    送風機
５    フィルタ
６    天井枠
６ａ  架台枠
６ｂ  架台枠
６ｃ  取付枠
７    支柱
８    メディアガード
９    ビニールカーテン
１０    バット形受部材
１０ａ  底面
１０ｂ  載置片
１０ｃ  側壁
１０ｄ  係止片
１１    ガスケット
１２    ガスケット
１３    ネジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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