(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板をアライメントしたのち、分断する基板分断方法であって、
（ａ）基板を吸引保持するテーブル上へ当該基板を搬入する工程と、
（ｂ）基板の四方に配置され、基板の四辺のうち直交する二辺においてはテーブルの周辺に取り付けられた可動部に連結部材を介して固着されているそれぞれ２個以上のアライメント部材を前進させて該基板の四辺端部を押圧してアライメントする工程と、
（ｃ）基板のアライメントが完了したのち、該基板をテーブルに吸着する工程と、
（ｄ）該基板を分断予定線に沿ってスクライブする工程と、
（ｅ）前記アライメント部材をすべて後退させる工程と、
（ｆ）前記分断予定線に沿って基板を分断する工程と、
（ｇ）当該分断された基板を搬出する工程
とを含む基板分断方法。
【請求項２】
予め分断予定線に沿ってスクライブされた基板をアライメントしたのち、分断する基板分断方法であって、
（ａ）基板を吸引保持するテーブル上へ当該基板を搬入する工程と、
（ｂ）基板の四方に配置され、基板の四辺のうち直交する二辺においてはテーブルの周辺に取り付けられた可動部に連結部材を介して固着されているそれぞれ２個以上のアライメント部材を前進させて該基板の四辺端部を押圧してアライメントする工程と、
（ｃ）基板のアライメントが完了したのち、該基板をテーブルに吸着する工程と、
（ｄ）前記アライメント部材をすべて後退させる工程と、
（ｅ）前記分断予定線に沿って基板を分断する工程と、
（ｆ）当該分断された基板を搬出する工程
とを含む基板分断方法。
【請求項３】
基板をアライメントしたのち、分断する基板分断装置であって、基板を吸引保持するテーブルと、該基板をテーブルへ搬入するとともに、該テーブルから搬出する搬送手段と、前記基板の四方に配置され、基板の四辺のうち直交する二辺においてはテーブルの周辺に取り付けられた可動部に連結部材を介して固着されているそれぞれ２個以上のアライメント部材を前進させて、当該基板の四辺端部をアライメント部材により押圧してアライメントするアライメント機構と、該基板を分断予定線に沿って分断するブレイク手段とを備えており、前記アライメント機構が、前記基板のアライメントが完了したのち、該基板を分断する前に該基板の四辺端部を押圧している前記アライメント部材を後退させる制御部を有してなる基板分断装置。
【請求項４】
前記分断予定線に沿って基板を予めスクライブするスクライブ手段を備えてなる請求項３記載の基板分断装置。
【請求項５】
前記アライメント部材の素材が、フッ素樹脂、ポリアセタール樹脂およびポリベンゾイミダゾールのうちの、いずれかである請求項３または４記載の基板分断装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は基板分断方法および基板分断装置に関する。さらに詳しくは、２枚のガラス基板を重ね合わせて形成された基板、たとえば液晶パネルの必要なサイズに切り出すため、または液晶パネルが複数個形成された１枚の基板から、個々の液晶パネルを取り出す際、該基板をアライメントしたのち、機械的にスクライブし、切断する基板分断方法および基板分断装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、テーブル上に載置された基板を所定の寸法に切断する基板分断装置として、たとえば吸着搬送手段にて基板を吸着させて搬送することにより、テーブル上に載置し、該吸着搬送手段に一体に設置された位置決め手段の保持部材にて該基板端部を押圧して表面から突出した位置決め用基準ピンに当接させることにより、前記基板の位置決めを行なったのち、基板を分断する自動基板裁断装置がある（実開平６−１６４３６号公報参照）。また、他の装置として、位置決め部材が配設され、基板を吸着保持するチャックテーブルと、該基板の搬送手段と、該基板を位置決め部材に押圧する押圧手段と、該基板の分割領域を検出するアライメント手段と、該分割領域を切削する少なくとも１本のスピンドルを有する回転ブレードとを備える液晶板分割装置がある（特開平７−８９７４１号公報参照）。
【０００３】
これらの装置の位置決め動作を図３に示す概略図を用いて説明する。図３において、５１はテーブル、５２は該テーブル５１に形成される真空吸着孔、５３は基板５４のＸ方向およびＹ方向にそれぞれ２本設置される位置決め用固定ピンである。また、５５は該固定ピン５３に対向する位置決め用押出し部材であり、エアシリンダー５６により基板５４の方向にそれぞれ移動される。
【０００４】
つぎに従来の位置決め（アライメント）と基板分断について説明する。まず基板５４が搬送手段によりテーブル５１に設置されると、押出し部材５５が基板５４に向かって移動し、基板５４を押し動かすことでアライメント動作を行なう。基板５４は押出し部材５５により固定ピン５３に接触するまで移動して、該固定ピン５３に押し当てられる。ついで真空吸着孔５２により基板５４はテーブル５１上に吸着固定される。ついで押出し部材５５が基板５４から離れる方向にそれぞれ移動することにより、基板５４のアライメントを完了する。アライメント終了後も基板５４はテーブル５１に真空吸着で固定され、また、固定ピン５３と基板５４は接触した状態となっている。そして、こののち、分断予定線Ｌに沿ってブレイク手段により、基板分断が行なわれる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図４に示されるように、前記基板５４が固定ピン５３に接触したまま、すなわち固定ピン５３で基板５４の動きを拘束する状態でブレイク手段５７によって分断されると、端材５８はスムーズに変形することができない。これにより、端材５８は切断面の端面５９を押しつぶすような形で変形し、分断される。その結果、端面５９には品質上の不具合、たとえば欠けや割れなどが発生し、歩留りが低下するという問題がある。
【０００６】
本発明は、叙上の事情に鑑み、分断時に基板に割れや欠けなどの不具合をなくし、歩留りを向上させることができる基板分断方法および基板分断装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の基板分断方法は、基板をアライメントしたのち、分断する基板分断方法であって、
（ａ）基板を吸引保持するテーブル上へ当該基板を搬入する工程と、
（ｂ）基板の四方に配置され、基板の四辺のうち直交する二辺においてはテーブルの周辺に取り付けられた可動部に連結部材を介して固着されているそれぞれ２個以上のアライメント部材を前進させて該基板の四辺端部を押圧してアライメントする工程と、
（ｃ）基板のアライメントが完了したのち、該基板をテーブルに吸着する工程と、
（ｄ）基板を分断予定線に沿ってスクライブする工程と、
（ｅ）前記アライメント部材をすべて後退させる工程と、
（ｆ）前記分断予定線に沿って基板を分断する工程と、
（ｇ）当該分断された基板を搬出する工程
とを含むことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の基板分断方法は、予め分断予定線に沿ってスクライブされた基板をアライメントしたのち、分断する基板分断方法であって、
（ａ）基板を吸引保持するテーブル上へ当該基板を搬入する工程と、
（ｂ）基板の四方に配置され、基板の四辺のうち直交する二辺においてはテーブルの周辺に取り付けられた可動部に連結部材を介して固着されているそれぞれ２個以上のアライメント部材を前進させて該基板の四辺端部を押圧してアライメントする工程と、
（ｃ）基板のアライメントが完了したのち、該基板をテーブルに吸着する工程と、
（ｄ）前記アライメント部材をすべて後退させる工程と、
（ｅ）前記分断予定線に沿って基板を分断する工程と、
（ｆ）当該分断された基板を搬出する工程
とを含むことを特徴とする。
【０００９】
さらに本発明の基板分断装置は、基板をアライメントしたのち、分断する基板分断装置であって、基板を吸引保持するテーブルと、該基板をテーブルへ搬入するとともに、該テーブルから搬出する搬送手段と、前記基板の四方に配置され、基板の四辺のうち直交する二辺においてはテーブルの周辺に取り付けられた可動部に連結部材を介して固着されているそれぞれ２個以上のアライメント部材を前進させて、当該基板の四辺端部をアライメント部材により押圧してアライメントするアライメント機構と、該基板を分断予定線に沿って分断するブレイク手段とを備えており、前記アライメント機構が、前記基板のアライメントが完了したのち、該基板を分断する前に該基板の四辺端部を押圧している前記アライメント部材を後退させる制御部を有してなることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて、本発明の基板分断方法および基板分断装置を説明する。
【００１１】
図１に示されるように、本発明の一実施の形態にかかわる基板分断装置は、基板１を吸引保持するテーブル２と、該基板１をテーブル２へ搬入するとともに、該テーブル２から搬出する、たとえば真空吸着により基板を吸着できる吸着パッド機構、該吸着パッド機構をＸ軸方向へ移動させる駆動用モータおよびＹ軸方向へ動作するエアシリンダー機構からなる搬送手段（図示せず）と、該基板１をアライメントするアライメント機構３と、該基板１を分断予定線Ｌに沿ってスクライブするスクライブ手段（図示せず）と、該分断予定線Ｌに沿って分断するブレイク手段とから構成されている。前記基板１としては、２枚のガラス基板のあいだに液晶を挟んだ液晶パネルを少なくとも２枚連接した連接ガラス基板または取りしろが残されているパネル素形基板などを用いることができる。なお、本実施の形態では、スクライブ手段を備えているが、本発明においては、これに限定されるものではなく、予め分断予定線に沿ってスクライブされた基板を分断する場合には、スクライブ手段を省くこともできる。
【００１２】
前記テーブル２は、その上面に基板１を真空吸着するために、外部の真空ポンプなどの真空発生装置につながっている吸着孔４がテーブル表面から内部に形成されている。なお、本実施の形態では、テーブル２の全表面に形成された吸着孔４のうち、基板１の寸法に合わせて該基板１を吸着する範囲の吸着孔４だけが作動するように切替え機構を内部に備えるのが好ましい。または吸着孔４は基板１の寸法に合わせた範囲にだけに形成することもできる。
【００１３】
前記搬送手段としては、基板１をアームに吸着してテーブル１上にローディングするとともに、該テーブル２からアンローディングすることができるロボットアーム搬送手段または吸着パッドと該吸着パッドをＸ方向またはＹ方向およびＺ方向（紙面に対して垂直方向）に移動させることができる吸着搬送手段などを用いることができる。
【００１４】
前記アライメント機構３は、本実施の形態では、テーブル２の周辺、すなわちＸ方向およびＹ方向に平行に１対ずつ配置されており、たとえばガス圧で作動するエアシリンダー５（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）や電動アクチュエータなどの可動部と、該エアシリンダー５の先端部に連結材６を介して固着されているアライメント部材７（７ａ、７ｂ）または直接固着されているアライメント部材７（７ｃ、７ｄ）と、前記エアシリンダー５にガスを供給してアライメント部材７の進退動作を調節する可動部の制御部とから構成されている。なお、基板１の寸法や分断位置などにより、前記エアシリンダー５の取り付け位置をＸ方向およびＹ方向に変更することにより、基板１のアライメント位置の調整を行なうこともできる。
【００１５】
また、前記アライメント機構３における制御部は、前記基板１のアライメントが完了したのち、該基板１を分断する前に該基板１の四辺端部１ａを押圧しているアライメント部材７を後退させる機能を有している。すなわちブレイク時にアライメント部材７が基板１と接触しないようにアライメント部材７を移動させる。
【００１６】
つぎに本実施の形態にかかわる基板分断装置の動作について説明する。まず、テーブル２上に基板１が移載されると、アライメント部材７を基板１に向かって移動させて、基板１のアライメントを行なう。この基板１のアライメント位置は、アライメント部材７の取り付け方で決定される。ついで基板１を吸着孔４からの真空吸引によりテーブル２に吸着固定する。そののち、アライメント部材７を基板１から離れる方向に移動させる。そして、基板１の分断予定線Ｌに沿ってスクライブしたのち、図２に示されるように、ブレイク手段の分断部材１１を基板１に押し当てて当該基板１を分断する。このとき、端材１２は自由に曲げモーメントを受けるため、図２に示されるように変形し、分断予定線Ｌに沿って正確に分断される。
【００１７】
本実施の形態では、アライメント部材を基板のアライメント後に移動させることにより、ブレイク時に基板はアライメント部材と接触していない状態になるため、従来よりブレイク時にアライメント部材と基板との接触により発生していた割れや欠けがなくなり、歩留りを改善させることができる。
【００１８】
なお、本実施の形態では、エアシリンダーがテーブルとは独立してテーブルの周辺に配置されているが、本発明においては、これとは別に基板をテーブルへ搬送するための前記搬送手段側に取り付けることができる。ただし、該搬送手段の移動精度によりアライメント精度が変化する惧れがある。すなわち、たとえばＸ方向に配置されるエアシリンダー５ｂ、５ｄを搬送手段に取り付けると、搬送手段の動作精度により、アライメント部材７ｂ、７ｄの位置が変わるため、アライメント位置は一定にならない。これに対し、前記エアシリンダー５ｂ、５ｄのうち、たとえばエアシリンダー５ｄを搬送手段側に取り付けると、テーブル側のエアシリンダー５ｂのアライメント部材７ｂはアライメント部材７ｄに押し付けるように基板１をアライメントすれば、多少搬送の動作精度がばらついてもアライメント位置は一定であるので、アライメント部材７ｂ、７ｄのアライメント精度に影響しなくなる。これはＹ方向に配置されるエアシリンダー５ａ、５ｃについても同様のことが言える。
【００１９】
また、アライメント部材７は基板１と直接接触する部分であるため、金属を用いると、アライメント部材７との接触により割れや欠けなどの不具合が発生する惧れがある。このため、本発明においては、アライメント部材７に用いる素材として、フッ素樹脂、デルリンまたはポリベンゾイミダゾールなどの合成樹脂を用いるのが望ましい。
【００２０】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明によれば、ブレイク時に基板はアライメント部材と接触していないので、基板に割れや欠けが発生しなくなり、歩留りを改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態にかかわる基板分断装置を示す概略説明図である。
【図２】基板の分断状態を説明する図である。
【図３】従来の基板分断装置を示す概略説明図である。
【図４】図３の基板分断装置における基板の分断状態を説明する図である。
【符号の説明】
１  基板
１ａ  四辺端部
２  テーブル
３  アライメント機構
４  吸着孔
５、５ａ、５ｂ  エアシリンダー
、５ｃ、５ｄ
６  連結材
７、７ａ、７ｂ  アライメント部材
、７ｃ、７ｄ
１１  分断部材
１２  端材
Ｌ  分断予定線
【図１】
0004051422.tif 000002
【図２】
0004051422.tif 000003
【図３】
0004051422.tif 000004
【図４】
0004051422.tif 000005