(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円盤状のスレーブ媒体の磁性層に対して情報を転写して同心円状のトラックを形成するためのパターン状の磁性層を有する磁気転写用マスター担体の該磁性層を前記スレーブ媒体の磁性層と密着させた状態で転写用磁界を印加して、前記スレーブ媒体の磁性層に前記情報を磁気転写する磁気転写方法において、
前記スレーブ媒体として垂直磁気記録媒体を用い、該スレーブ媒体のトラック面に垂直な一方向に初期直流磁界を印加して該スレーブ媒体の磁性層を該トラック面に垂直な一方向に初期直流磁化させた後、
前記スレーブ媒体の磁性層と前記マスター担体の磁性層とを密着させた状態でそれらの磁性層に前記初期直流磁化の方向と逆向きの転写用磁界を印加して磁気転写を行うものであり、
前記スレーブ媒体の最大直径を有するトラックの直径以上の幅の磁極を有する永久磁石対が、互いに異なる磁極が対面するように配置されてなる永久磁石装置を用意し、
前記永久磁石対の間に前記スレーブ媒体と前記マスター担体との密着体を挿入し、
前記スレーブ媒体のトラック領域よりも狭い領域であって、該スレーブ媒体の最大直径を有するトラックの直径以上の幅を有する領域に対して、前記永久磁石対の一方から他方に向かう前記転写用磁界を発生させ、
前記密着体を前記永久磁石対に対して直線的に相対移動させることにより、前記トラック領域全域に亘る磁気転写を行うものであることを特徴とする磁気転写方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録媒体に情報を転写するためのパターン状の磁性層を有する磁気転写用マスター担体の該磁性層を前記スレーブ媒体の磁性層と密着させた状態で転写用磁界を印加して、前記スレーブ媒体の磁性層に前記情報を磁気転写する磁気転写方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
磁気記録媒体においては一般に、情報量の増加に伴い、多くの情報を記録する大容量で、安価で、かつ、好ましくは短時間で必要な箇所が読み出せる、いわゆる高速アクセスが可能な媒体が望まれている。それらの一例としてハードディスク装置やフロッピー（Ｒ）ディスク装置に用いられる高密度磁気記録媒体（磁気ディスク媒体）が知られ、その大容量化を実現するためには、狭いトラック幅を正確に磁気ヘッドが走査し、高いＳ／Ｎ比で信号を再生する、いわゆるトラッキングサーボ技術が大きな役割を担っている。このトラッキングサーボを行うために、ディスク中に、ある間隔でトラッキング用のサーボ信号、アドレス情報信号、再生クロック信号等が、いわゆるプリフォーマットとして記録されている。
【０００３】
このプリフォーマットを正確にかつ効率よく行う方法として、マスター担体が担持するサーボ信号等の情報を磁気記録媒体へ磁気的に転写する磁気転写方法が特開昭６３−１８３６２３号公報、特開平１０−４０５４４号公報、特開平１０−２６９５６６号公報等に開示されている。
【０００４】
この磁気転写は、磁気ディスク媒体等の磁気記録媒体（スレーブ媒体）に転写すべき情報に対応する、凸部表面に磁性層を備えた凹凸パターンを有するマスター担体を用意し、このマスター担体とスレーブ媒体を密着させた状態で、転写用磁界を印加することにより、マスター担体の凹凸パターンが担持する情報（例えばサーボ信号）に対応する磁気パターンをスレーブ媒体に転写するもので、マスター担体とスレーブ媒体との相対的な位置を変化させることなく静的に記録を行うことができ、正確なプリフォーマット記録が可能であり、しかも記録に要する時間も極めて短時間であるという利点を有している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、磁気記録媒体としては、その磁性層の面に水平な方向に磁化容易軸を有する水平磁気記録媒体、および、磁性層の面に垂直な方向に磁化容易軸を有する垂直磁気記録媒体が考えられるが、従来、一般に水平磁気記録媒体が用いられており、上述した磁気転写技術の開発も水平磁気記録媒体への磁気転写を主眼において進められてきた。一方、垂直磁気記録媒体を用いれば、水平磁気記録媒体と比較してさらなる大容量化が期待される。
【０００６】
垂直磁気記録媒体へ磁気転写を行う場合には、磁性層の面に垂直な方向へ磁界を印加する必要があり、水平磁気記録媒体への磁気転写の場合とは異なる最適な条件があるものと考えられる。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑み、垂直磁気記録媒体に対して良好な磁気転写を行うための磁気転写方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気転写方法は、スレーブ媒体の磁性層に対して情報を転写するためのパターン状の磁性層を有する磁気転写用マスター担体の該磁性層を前記スレーブ媒体の磁性層と密着させた状態で転写用磁界を印加して、前記スレーブ媒体の磁性層に前記情報を磁気転写する磁気転写方法において、
前記スレーブ媒体として垂直磁気記録媒体を用い、該スレーブ媒体のトラック面に垂直な一方向に初期直流磁界を印加して該スレーブ媒体の磁性層を該トラック面に垂直な一方向に初期直流磁化させた後、
前記スレーブ媒体の磁性層と前記マスター担体の磁性層とを密着させた状態でそれらの磁性層に前記初期直流磁化の方向と逆向きの転写用磁界を印加して磁気転写を行うことを特徴とするものである。
【０００９】
ここで、「情報を転写する」とは、スレーブ媒体の磁性層の磁化の配列を該情報に応じたパターンにパターン化することを意味する。
【００１０】
「密着」とは、必ずしも両者が完全に密着した状態のみならず、一様な間隔で近接して配された状態をも含むものである。
【００１１】
また、スレーブ媒体の磁性層の初期直流磁化は、スレーブ媒体とマスター担体を密着させた状態で行ってもよいし、マスター担体とは密着させていない状態で行ってもよい。マスター担体と密着させずに初期直流磁化を行った場合には、初期直流磁化を行った後に、マスター担体と密着させればよい。
【００１２】
また、本発明の磁気転写方法は、前記転写用磁界の強度が、前記スレーブ媒体の磁性層の保磁力の０．５倍以上３．５倍以下であることが望ましい。
【００１３】
また、前記スレーブ媒体のトラック領域よりも狭い領域に発生させた前記転写用磁界に対して、それぞれの磁性層を互いに密着させた前記スレーブ媒体および前記マスター担体を、該スレーブ媒体のトラック領域全域が前記転写用磁界内を通過するように相対的に移動させることにより磁気転写を行うことができる。
【００１４】
特に、前記スレーブ媒体が、同心円状にトラックを有する円盤状である場合には、前記トラック領域よりも狭い領域を、前記スレーブ媒体の最小半径トラックから最大半径トラックに亘る半径方向に延びる一領域を覆う広さを有する領域とし、前記相対的な移動を、前記スレーブ媒体を前記トラックに沿って回転させるものとすることができる。
【００１５】
ここで、スレーブ媒体のトラック領域および同心円状のトラックとは、磁気転写によって形成されるトラック領域および同心円状のトラックを意味するものである。
【００１６】
なお、前記転写用磁界に対して相対的に移動とは、スレーブ媒体およびマスター担体を移動させるものであってもよいし、転写用磁界を移動させるものであってもよい。
【００１７】
上記磁気転写方法は、スレーブ媒体の磁性層に対して情報を転写するためのパターン状の磁性層を有する磁気転写用マスター担体の該磁性層を前記スレーブ媒体の磁性層と密着させた状態で転写用磁界を印加して、前記スレーブ媒体の磁性層に前記情報を磁気転写する磁気転写装置であって、
前記スレーブ媒体のトラック面に垂直な一方向に初期直流磁界を印加して該スレーブ媒体の磁性層を該トラック面に垂直な一方向に初期直流磁化させる初期直流磁化手段と、
前記スレーブ媒体の磁性層と前記マスター担体の磁性層とを密着させた状態でそれらの磁性層に前記初期直流磁化の方向と逆向きの転写用磁界を印加する転写用磁界印加手段とを備えたことを特徴とする磁気転写装置により実施することができる。
【００１８】
この磁気転写装置においては、前記転写用磁界印加手段を、前記スレーブ媒体のトラック面よりも狭い領域に前記転写用磁界を発生させる転写用磁界発生手段と、それぞれの磁性層を互いに密着させた前記スレーブ媒体および前記マスター担体を、該スレーブ媒体のトラック面全域が前記転写用磁界内を通過するように、該転写用磁界に対して相対的に移動させる移動手段とを備えてなるものとすることができる。
【００１９】
さらに、前記転写用磁界発生手段が、同心円状にトラックを有する円盤状の前記スレーブ媒体のトラック面の最小半径トラックから最大半径トラックに亘る該トラックの半径方向に延びる領域に対して前記転写用磁界を発生させるものとし、前記移動手段が、前記円盤状のスレーブ媒体を前記転写用磁界に対して相対的に前記トラックに沿って回転させるものとしてもよい。
【００２０】
また、前記スレーブ媒体として同心円状にトラックを有する円盤状の垂直磁気記録媒体を用いる場合、該スレーブ媒体のトラック面に垂直な一方向に初期直流磁界を印加して該スレーブ媒体の磁性層を該トラック面に垂直な一方向に初期直流磁化させた後、
前記スレーブ媒体のトラック領域よりも狭い領域であってかつ最大直径を有するトラックの直径よりも広い幅を有する領域に発生させた、前記初期直流磁化の方向と逆向きの転写用磁界に対して、それぞれの磁性層を互いに密着させた前記スレーブ媒体および前記マスター担体を、該スレーブ媒体のトラック面全域が前記転写用磁界内を通過するように相対的に移動させて磁気転写を行ってもよい。
【００２１】
この磁気転写方法は、スレーブ媒体の磁性層に対して情報を転写するためのパターン状の磁性層を有する磁気転写用マスター担体の該磁性層を前記スレーブ媒体の磁性層と密着させた状態で転写用磁界を印加して、前記スレーブ媒体の磁性層に前記情報を磁気転写する磁気転写装置であって、
同心円状にトラックを有する円盤状のスレーブ媒体のトラック面に垂直な一方向に初期直流磁界を印加して該スレーブ媒体の磁性層を該トラック面に垂直な一方向に初期直流磁化させる初期直流磁化手段と、
前記スレーブ媒体のトラック領域より狭い領域であってかつ最大直径を有するトラックの直径よりも広い幅を有する領域に前記初期直流磁化の方向と逆向きの転写用磁界を発生させる転写用磁界発生手段および前記転写用磁界に対して、それぞれの磁性層を互いに密着させた前記スレーブ媒体および前記マスター担体を、該スレーブ媒体のトラック面全域が前記転写用磁界内を通過するように相対的に移動させる移動手段からなる転写用磁界印加手段とを備えたことを特徴とする磁気転写装置により実施することができる。
【００２２】
なお、上記各磁気転写装置において、前記転写用磁界印加手段は、前記初期直流磁化手段を兼ねるものとすることができる。
【００２３】
また、転写用磁界発生手段としては、電磁石装置、永久磁石装置等が用いられるが、磁界強度等の条件を設定調整する点からは電磁石装置を使用するのが好ましく、一方、定められた磁界強度での磁気転写を行う際には、安価かつコンパクトに構成が可能であるという点から永久磁石装置を使用するのが好ましい。
【００２４】
【発明の効果】
本発明の磁気転写方法のように、スレーブ媒体の磁性層をトラック面に垂直な一方向に初期直流磁化させた後、スレーブ媒体の磁性層とマスター担体の磁性層とを密着させた状態でそれらの磁性層に前記初期直流磁界の方向と逆向きの転写用磁界を印加して磁気転写を行うことにより、垂直磁気記録媒体に対して良好な磁気転写を行うことができる。
【００２５】
特に、転写用磁界の強度をスレーブ媒体の磁性層の保磁力の０．５倍以上３．５倍以下とすることにより、より精度良く磁気転写を行うことができる。
【００２６】
なお、前記スレーブ媒体のトラック領域よりも狭い領域に発生させた前記転写用磁界に対して、それぞれの磁性層を互いに密着させた前記スレーブ媒体および前記マスター担体を、該スレーブ媒体のトラック領域全域が前記転写用磁界内を通過するように相対的に移動させることにより磁気転写を行えば、容易かつ効率的に磁気転写済みのスレーブ媒体を得ることができる。
【００２７】
特に、円盤状のスレーブ媒体の最小半径トラックから最大半径トラックに亘る半径方向に延びる一領域に発生させた転写用磁界に対して、それぞれの磁性層を互いに密着させた前記スレーブ媒体および前記マスター担体を回転させて磁気転写する方法を用いれば、ハードディスクやフレキシブルディスク等の円盤状の磁気記録媒体への磁気転写を容易な構成で効率的に行うことができる。
【００２８】
また、円盤状のスレーブ媒体のトラック領域よりも狭い領域であってかつ最大直径を有するトラックの直径よりも広い幅を有する領域に発生させた転写用磁界に対して、それぞれの磁性層を互いに密着させた前記スレーブ媒体および前記マスター担体を、該スレーブ媒体のトラック面全域が前記転写用磁界内を通過するように相対的に移動させて磁気転写を行う方法を用いれば、回転等の複雑な移動をすることなく、直線的な移動でトラック面全域の磁気転写が可能となるため、円盤状の磁気記録媒体への磁気転写をより容易にかつ効率的に行うことができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の第１の実施形態にかかる磁気転写方法を実施する磁気転写装置の転写用磁界印加手段の要部斜視図である。
【００３０】
図１に示す転写用磁界印加手段１は、磁界発生手段である永久磁石装置５（５ａ，５ｂ）と、永久磁石装置５の上下磁石５ａ，５ｂの間に配置された円盤状のスレーブ媒体２と円盤状のマスター担体３，４との密着体10を矢印Ａ方向に回転させる図示しない回転手段とを備えている。
【００３１】
永久磁石装置５の上下磁石５ａ、５ｂは、少なくとも図２に示すスレーブ媒体２の最小半径トラックｒminから最大半径トラックｒmaxに亘る幅を有し、図示の通り、密着体10の下方から上方へ向う磁界Ｈduを発生させるように互いの異なる磁極が対面するようにして配置されている。また永久磁石装置５は、上下磁石５ａ，５ｂをその間に密着体10を挿入する際およびそこから排出する際には十分に離間させる必要があるため、両磁石５ａ、５ｂを互いに離間させるための図示しない離間手段を備えている。なお、ここで磁界Ｈduは、スレーブ媒体の保磁力Ｈcsの０．５倍から３．５倍の強さとなるように設定されている。
【００３２】
図２は密着体10の分解図を示したものである。密着体10は、スレーブ媒体２の磁性層２ｂ、２ｃの各面にマスター担体３ａ、４ａのパターン状の凸部の凸部表面を密着させたものであり、電磁石装置５へセットする際には、その半径方向と磁石５ａ、５ｂの幅方向とを一致させるようにして両磁石間に挿入されるものである。
【００３３】
本発明の磁気転写方法において用いられるスレーブ媒体は、例えば、両面または片面に磁気記録層が形成されたハードディスク、フレキシブルディスク等の円盤状磁気記録媒体であり、特に、磁気記録層の磁化容易方向が記録面に対して垂直な方向に形成されている垂直磁気記録媒体である。図２に示したスレーブ媒体２は、円盤状の基板２ａの両面にそれぞれ磁性層（磁気記録層）２ｂ、２ｃが形成された両面記録可能な垂直磁気記録媒体である。
【００３４】
マスター担体３は、スレーブ媒体２の下側記録層２ｂへ記録するための情報に応じたパターン状の凸部が形成されたものであり、マスター担体４は、マスター担体３と同様の層構成からなる、スレーブ媒体２の上側記録層２ｃへ記録するための情報に応じたパターン状の凸部が形成されたものである。各マスター担体３、４は、パターン状の凸部が形成された基板３ａ、４ａと、該基板表面に形成された軟磁性層３ｂ，４ｂとからなる。
【００３５】
次に、本実施形態の磁気転写方法を説明する。まず、図３を参照して磁気転写の基本工程を説明する。図３（ａ）は磁界を一方向に印加してスレーブ媒体を初期直流磁化する工程、同図（ｂ）はマスター担体とスレーブ媒体とを密着して初期直流磁界とは反対方向に磁界を印加する工程、同図（ｃ）は磁気転写後の状態をそれぞれ示す図である。なお、図３においてスレーブ媒体２についてはその下側記録層２ｂ側のみを示し、該下側記録層２ｂへの磁気転写についてのみ説明するが、上側記録層２ｃについても同様である。
【００３６】
図３(ａ)に示すように、予めスレーブ媒体２に初期直流磁界Ｈinをトラック面に垂直な一方向に印加して記録層２ｂの磁化を一方向に揃えておく。その後、図３(ｂ)に示すように、このスレーブ媒体２の記録層２ｂ側の面とマスター担体３の凸部表面の軟磁性層３ｂとを密着させ、スレーブ媒体２の記録層２ｂに垂直な方向に前記初期直流磁界Ｈinとは逆向き（すなわち、初期直流磁化の方向と逆向き）の転写用磁界Ｈduを印加して磁気転写を行う。その結果、図３(ｃ)に示すように、スレーブ媒体２の記録層２ｂにはマスター担体３のパターン状の凸部に応じた情報（例えばサーボ信号）が磁気的に転写記録される。
【００３７】
なお、マスター担体３の凹凸パターンが図３のポジパターンと逆の凹凸形状のネガパターンの場合であっても、初期直流磁界Ｈinの方向および転写用磁界Ｈduの方向を上記と逆方向にすることによって同様の情報を磁気的に転写記録することができる。
【００３８】
次に、図１に示した転写用磁界印加手段１を用いた磁気転写方法を説明する。
【００３９】
まず、図示しない初期直流磁化手段においてスレーブ媒体２の磁性層２ｂ、２ｃの初期直流磁化を行う。すなわち、磁性層２ｂ、２ｃに対して垂直な方向の初期直流磁界Ｈinを印加して磁性層を初期直流磁化させる。
【００４０】
その後、スレーブ媒体２の磁性層２ｂ、２ｃをそれぞれマスター担体３、４のパターン状の凸部と密着させて密着体10とし、永久磁石装置５の上下磁石５ａ、５ｂを互いに十分離間させた状態で、転写用磁界Ｈduがスレーブ媒体２の磁性層２ｂ、２ｃの初期直流磁化方向と逆向きとなるように密着体10を両磁石間に挿入する。その後、上下磁石５ａ、５ｂを密着体10表面に近接させて転写用磁界Ｈduを印加する。磁石を密着体10に近接させた状態で図示しない回転手段により密着体10を矢印Ａ方向に一回転させて磁気転写を行う。
【００４１】
本実施形態の磁気転写方法においては、スレーブ媒体２の磁性層２ｂ、２ｃを予め初期直流磁化し、その後マスター担体３、４と密着させるとしたが、予めスレーブ媒体２とマスター担体３、４とを密着させた状態でスレーブ媒体２の磁性層２ｂ、２ｃの初期直流磁化を行うこともできる。
【００４２】
上記実施の形態においては、密着体10を転写用磁界Ｈduに対して回転させるものとしたが、密着体10を固定し、永久磁石５ａ、５ｂを回転させるようにしてもよい。
【００４３】
本実施形態の磁気転写装置によれば、垂直磁気記録媒体へ容易に磁気転写を行うことができ、かつ良好な磁気転写を達成することができる。垂直磁気記録媒体への良好な磁気転写を可能としたことにより、従来の高密度な水平磁気記録媒体よりもさらに大容量の記録媒体を容易に得ることができる。
【００４４】
また、転写用磁界印加手段を、転写用磁界発生手段と移動手段とから構成し、特に、転写用磁界発生手段を、同心円状にトラックを有する円盤状の前記スレーブ媒体のトラック面の最小半径トラックから最大半径トラックに亘る該トラックの半径方向に延びる領域に対して前記転写用磁界を発生させるものとし、移動手段を、前記円盤状のスレーブ媒体を前記転写用磁界に対して相対的に前記トラックに沿って回転させるものとしているので、ハードディスクやフレキシブルディスク等の円盤状の磁気記録媒体への磁気転写に最適であり、容易な構成で効率的に磁気転写を行うことができる。
【００４５】
また、上述の転写用磁界印加手段１を初期直流磁化手段として利用することもできる。この場合には、スレーブ媒体２の磁性層２ｂ、２ｃに対して初期直流磁界Ｈinの方向と転写用磁界Ｈduの方向が逆向きになるように、初期直流磁界印加時と転写用磁界印加時でスレーブ媒体２の上下面を逆にして永久磁石装置５にセットすればよい。
【００４６】
このように、転写用磁界印加手段を初期直流磁化手段を兼ねるものとすることにより、装置にかかるコストを抑制することができ、結果として安価なプリフォーマット済みの磁気記録媒体の提供が可能となる。
【００４７】
なお、初期直流磁界および転写用磁界は、スレーブ媒体の保磁力、マスター担体およびスレーブ媒体の比透磁率等を勘案して定められた値を採用する必要がある。ただし、前述の通り、転写用磁界の強さは、スレーブ媒体の保磁力Ｈcsの０．５倍以上、３．５倍以下の値とする。
【００４８】
上記実施の形態において、磁界発生手段として永久磁石装置５を挙げて説明したが、磁界発生手段としては図４に示すような電磁石装置15を使用してもよい。図４に示す電磁石装置15は、密着体10の上下に配される、該密着体の半径方向の幅を有し、所定のギャップを有するコア16にコイル17が巻き付けられてなる。この電磁石装置15を用いた磁気転写方法は上述の場合と同様である。電磁石装置15を用いれば、磁界の方向や磁界強度を容易に変更することができる。
【００４９】
図５は本発明の第２の実施形態にかかる磁気転写方法を実施する磁気転写装置の転写用磁界印加手段の要部斜視図である。
【００５０】
本第２の実施形態にかかる磁気転写方法は、第１の実施形態にかかる磁気転写方法のように、磁気ディスクもしくは、磁界発生装置を相対的に回転させることなく、直線的な移動のみでトラック面全域への磁気転写を可能とした磁気転写方法である。
【００５１】
図５に示す転写用磁界印加手段101は、磁界発生手段である永久磁石装置105（105ａ，105ｂ）と、永久磁石装置105の上下磁石105ａ，105ｂの間に配置された円盤状のスレーブ媒体２と円盤状のマスター担体３，４との密着体10を矢印方向に移動させる図示しない移動手段とを備えている。
【００５２】
永久磁石装置105の上下磁石105ａ、105ｂは、少なくとも図２に示すスレーブ媒体２の最大直径トラックの直径ｄと同等の幅を有し、図示の通り、密着体10の下方から上方へ向う磁界Ｈduを発生させるように互いの異なる磁極が対面するようにして配置されている。なお、ここで磁界Ｈduは、スレーブ媒体の保磁力Ｈcsの０．５倍から３．５倍の強さとなるように設定されている。
【００５３】
まず、図示しない初期直流磁化手段においてスレーブ媒体２の磁性層２ｂ、２ｃの初期直流磁化を行う。すなわち、磁性層２ｂ、２ｃに対して垂直な方向の初期直流磁界Ｈinを印加して磁性層を初期直流磁化させる。
【００５４】
その後、スレーブ媒体２の磁性層２ｂ、２ｃをそれぞれマスター担体３、４のパターン状の凸部と密着させて密着体10とする。この密着体10を、転写用磁界Ｈduがスレーブ媒体２の磁性層２ｂ、２ｃの初期直流磁化方向と逆向きとなるように、密着体10の全面が転写磁界Ｈdu内を通過するように矢印方向に永久磁石105ａ，105ｂの間を移動させる。
【００５５】
本実施形態の磁気転写方法においては、スレーブ媒体２の磁性層２ｂ、２ｃを予め初期直流磁化し、その後マスター担体３、４と密着させるとしたが、予めスレーブ媒体２とマスター担体３、４とを密着させた状態でスレーブ媒体２の磁性層２ｂ、２ｃの初期直流磁化を行うこともできる。
【００５６】
上記実施の形態においては、密着体10を転写用磁界Ｈduに対して移動させるものとしたが、密着体10を固定し、永久磁石105ａ、105ｂを移動させるようにしてもよい。
【００５７】
本実施の形態の磁気転写装置によれば、転写用磁界印加手段が、前記スレーブ媒体のトラック領域より狭い領域であってかつ最大直径を有するトラックの直径よりも広い幅を有する領域に前記初期直流磁化の方向と逆向きの転写用磁界を発生させる転写用磁界発生手段を備えたものであるから、移動手段はスレーブ媒体およびマスター担体を転写用磁界に対して直線的に移動するだけでトラック面全域の磁気転写が可能となり、移動手段の構成をより簡易なものとすることができる。
【００５８】
また、上述の転写用磁界印加手段101を初期直流磁化手段として利用することもできる。この場合には、スレーブ媒体２の磁性層２ｂ、２ｃに対して初期直流磁界Ｈinの方向と転写用磁界Ｈduの方向が逆向きになるように、初期直流磁界印加時と転写用磁界印加時でスレーブ媒体２の上下面を逆にした状態で永久磁石間を移動させればよい。
【００５９】
このように、転写用磁界印加手段を初期直流磁化手段を兼ねるものとすることにより、装置にかかるコストを抑制することができ、結果として安価なプリフォーマット済みの磁気記録媒体の提供が可能となる。
【００６０】
なお、初期直流磁界および転写用磁界は、スレーブ媒体の保磁力、マスター担体およびスレーブ媒体の比透磁率等を勘案して定められた値を採用する必要がある。ただし、前述の通り、転写用磁界の強さは、スレーブ媒体の保磁力Ｈcsの０．５倍以上、３．５倍以下の値とする。
【００６１】
上記第２の実施の形態において、磁界発生手段として永久磁石装置105を挙げて説明したが、磁界発生手段としては図６に示すような電磁石装置115を使用してもよい。図６に示す電磁石装置115は、密着体10の上下に配される、スレーブ媒体２の最大半径トラックの直径より大きな幅を有するコア116ａ、116ｂにコイル117ａ、117ｂが巻き付けられてなる二つの電磁石を備えてなる。この電磁石装置115を用いた磁気転写方法は上述の場合と同様である。電磁石装置115を用いれば、磁界の方向や磁界強度を容易に変更することができる。
【００６２】
次に、マスター担体とスレーブ媒体について詳細に説明する。
【００６３】
マスター担体３は、前述のとおり、表面にパターン状の凸部を備えた基板３ａとその表面（凸部上および凸部間である凹部）に形成された軟磁性層３ｂとを備えてなる。マスター担体３の基板３ａとしては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、セラミックス、合成樹樹脂等が用いられる。また、軟磁性層３ｂの磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａＺｒ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉ、ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａＮ）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ）を用いることができ、特に好ましいのはＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉである。基板３ａとしてＮｉなどを用いる場合には必ずしも軟磁性層を被膜する必要はないが、軟磁性層を設けることにより転写精度が向上する。また、基板３ａが非磁性体の場合には軟磁性層が必要である。
【００６４】
マスター担体３のパターン状凸部（凹凸パターン）の形成は、スタンパー法、フォトリソグラフィ法等を用いて行うことができる。以下、マスター担体３の製造方法を簡単に説明する。
【００６５】
まず、表面が平滑なガラス板（または石英板）の上にスピンコート等でフォトレジストを形成し、このガラス板を回転させながらサーボ信号に対応して変調したレーザー光（または電子ビーム）を照射し、フォトレジスト全面に所定のパターン、例えば各トラックに回転中心から半径方向に線状に延びるサーボ信号に相当するパターンを円周上の各フレームに対応する部分に露光し、その後、フォトレジストを現像処理し、露光部分を除去しフォトレジストによる凹凸形状を有する原盤を得る。次に、原盤の表面の凹凸パターンをもとに、この表面にメッキ（電鋳）を施し、ポジ状凹凸パターンを有するＮｉ基板を作製し、原盤から剥離する。この基板をそのままマスター担体とするか、または凹凸パターン上に必要に応じて軟磁性層、保護膜を被覆してマスター担体とする。
【００６６】
また、前記原盤にメッキを施して第２の原盤を作製し、この第２の原盤を使用してメッキを行い、ネガ状凹凸パターンを有する基板を作製してもよい。さらに、第２の原盤にメッキを行うか樹脂液を押し付けて硬化を行って第３の原盤を作製し、第３の原盤にメッキを行い、ポジ状凹凸パターンを有する基板を作製してもよい。
【００６７】
一方、前記ガラス板にフォトレジストによるパターンを形成した後、エッチングしてガラス板に穴を形成し、フォトレジストを除去した原盤を得て、以下前記と同様に基板を形成するようにしてもよい。
【００６８】
金属による基板の材料としては、前述の通り、ＮｉもしくはＮｉ合金等を使用することができ、この基板を作製する前記メッキとしては、無電解メッキ、電鋳、スパッタリング、イオンプレーティングを含む各種の金属成膜法が適用できる。基板の凸部高さ（凹凸パターンの深さ）は、50〜800ｎｍの範囲が好ましく、より好ましくは80〜600ｎｍである。この凹凸パターンがサーボ信号である場合は、円周方向よりも半径方向に長い矩形状の凸部が形成される。具体的には、半径方向の長さは0.05〜20μｍ、円周方向は0.05〜5μｍが好ましく、この範囲で半径方向の方が長い形状となる値を選ぶことがサーボ信号の情報を担持するパターンとして好ましい。
【００６９】
基板の凹凸パターン上への軟磁性層３ｂの形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などを用いて行う。軟磁性層の厚みは、50〜500ｎｍの範囲が好ましく、さらに好ましくは80〜300ｎｍである。
【００７０】
なお、この凸部表面の軟磁性層の上に５〜30ｎｍのダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等の保護膜を設けることが好ましく、さらに潤滑剤層を設けても良い。また、軟磁性層と保護膜の間に、Ｓｉ等の密着強化層を設けてもよい。潤滑剤を設けることにより、スレーブ媒体との接触過程で生じるずれを補正する際の、摩擦による傷の発生などの耐久性の劣化が改善される。
【００７１】
なお、上述においては、表面が凹凸状に形成されたマスター担体について説明したが、凹凸パターンを有する基板の凹部に磁性層を埋めこみ表面が平面状となっているマスター担体を用いることもできる。この場合、凹部領域に埋めこまれた磁性層がパターン状となるような凹凸パターンを有する基板とすればよい。
【００７２】
スレーブ媒体２は、前述のとおり、ハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体であり、その磁気記録層としては、塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層が形成されている。なお、ここでは、磁気記録層がトラック面に対して垂直な方向に磁化容易軸を有する磁気異方性を備えているものを用いる。なお、金属薄膜型磁気記録層の磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒＢ、ＣｏＮｉ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＰｔ、ＦｅＣｏＮｉ）を用いることができる。なお、磁性材料の下（支持体側）に必要な磁気異方性をつけるために非磁性の下地層を設けることが好ましい。この非磁性の下地層は、結晶構造と格子定数を磁気記録層に合わすことが必要であり、そのような材料としては、Ｔｉ、Ｃｒ、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡｌ、Ｒｕ、Ｐｄ等が挙げられる。また、磁性層の垂直磁化状態を安定化させ、また、記録再生時の感度を向上させるために非磁性下地層の下にさらに軟磁性層からなる裏打ち層を設けることが好ましい。
【００７３】
なお、磁気記録層厚は10ｎｍ以上500ｎｍ以下であることが好ましく、さらに好ましくは20ｎｍ以上200ｎｍ以下である。また、非磁性層厚は、10ｎｍ以上150ｎｍ以下が好ましく、さらに好ましくは20ｎｍ以上80ｎｍ以下である。また、裏打ち層厚は50ｎｍ以上2000ｎｍ以下が好ましく、さらに好ましくは80ｎｍ以上400ｎｍ以下である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態にかかる磁気転写方法を実施する磁気転写装置の要部斜視図
【図２】マスター担体とスレーブ媒体を示す斜視図
【図３】磁気転写方法の基本工程を示す図
【図４】第１の実施形態の変更例を示す概略図
【図５】本発明の第２の実施形態にかかる磁気転写方法を実施する磁気転写装置の要部斜視図
【図６】第２の実施形態の変更例を示す概略図
【符号の説明】
１    転写用磁界印加手段
２    スレーブ媒体
３、４    マスター担体
５    永久磁石装置
５ａ，５ｂ    永久磁石
15    電磁石装置
101    転写用磁界印加手段
102    スレーブ媒体
103、104    マスター担体
105    永久磁石装置
105a，105b    永久磁石
115    電磁石装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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