(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハ(11,12)を載せるための間隔をあけた一対の第１アーム用ウェーハ受け(26,27)を有し第１エアロック室用ウェーハ受け(14)にて保持された前記ウェーハ(11,12)をイオン注入するためのプラテン(16)に搬送する第１アーム(18)と、
前記ウェーハ(11,12)を載せるための間隔をあけた一対の第２アーム用ウェーハ受け(28,29)を有し前記プラテン(16)にて保持された前記ウェーハ(11,12)を第２エアロック室用ウェーハ受け(17)に搬送する第２アーム(19)と
を備えたウェーハ搬送装置において、
前記間隔をあけた一対の第１アーム用ウェーハ受け(26,27)に直径の異なる複数種類のウェーハ(11,12)を収容可能であってかつ前記複数種類のウェーハ(11,12)の外径に相応する内径を有する複数の第１凹部(26a,27a,26b,27b)がそれぞれ形成され、
前記間隔をあけた一対の第２アーム用ウェーハ受け(28,29)に直径の異なる複数種類の前記ウェーハ(11,12)を収容可能であってかつ前記複数種類のウェーハ(11,12)の外径に相応する内径を有する複数の第２凹部(28a,29a,28b,29b)がそれぞれ形成され、
前記複数の第１凹部(26a,27a,26b,27b)の底面は外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成され、
前記複数の第２凹部(28a,29a,28b,29b)の底面は外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成され、
前記プラテン(16)が、鉛直方向に延びるプラテン用支軸に固着されこのプラテン用支軸とともに回転可能かつ昇降可能なプラテン用円板(16a)と、このプラテン用円板(16a)の上面にその中心から放射状に延びかつ上方に突設された板状の３枚のプラテン用ウェーハ受け(16b)とを有し、
前記３枚のプラテン用ウェーハ受け(16b)に直径の異なる複数種類のウェーハ(11,12)を収容可能であってかつ前記複数種類のウェーハ(11,12)の外径に相応する内径を有する複数のプラテン用凹部(16c,16d)がそれぞれ形成され、
前記複数のプラテン用凹部(16c,16d)の底面は外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成され、
前記３枚のプラテン用ウェーハ受け(16b)のうち２枚のプラテン用ウェーハ受け(16b)が互いに近接して設けられ、残りの１枚のプラテン用ウェーハ受け(16b)がプラテン用支軸を中心にして前記２枚のプラテン用ウェーハ受け(16b)に対向するように設けられ、
前記一対の第１アーム用ウェーハ受け(26,27)の間隔は、前記第１アーム(18)の先端部が前記第１エアロック室用ウェーハ受け(14)の上方に到来したときに前記第１エアロック室用ウェーハ受け(14)に形成された第１凸部(14b)に遊嵌可能な間隔であって、しかも前記第１アーム(18)の先端部が前記プラテン(16)の上方に到来したときに前記３枚のプラテン用ウェーハ受け(16b)に遊嵌可能な間隔であり、
前記一対の第２アーム用ウェーハ受け(28,29)の間隔は、前記第２アーム(19)の先端部が前記プラテン(16)の上方に到来したときに前記３枚のプラテン用ウェーハ受け(16b)に遊嵌可能な間隔であって、しかも前記第２アーム(19)の先端部が前記第２エアロック室用ウェーハ受け(17)の上方に到来したときに前記第２エアロック室用ウェーハ受け(17)に形成された第２凸部(17b)に遊嵌可能な間隔である
ことを特徴とするウェーハ搬送装置。
【請求項２】
第１エアロック室用ウェーハ受け(14)に直径の異なる複数種類のウェーハ(11,12)を収容可能であってかつ前記複数種類のウェーハ(11,12)の外径に相応する内径を有する複数の第１エアロック室用凹部(14c,14d)がそれぞれ形成され、
前記第２エアロック室用ウェーハ受け(17)に直径の異なる複数種類の前記ウェーハ(11,12)を収容可能であってかつ前記複数種類のウェーハ(11,12)の外径に相応する内径を有する複数の第２エアロック室用凹部(17c,17d)がそれぞれ形成され、
前記複数の第１エアロック室用凹部(14c,14d)の底面は外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成され、
前記複数の第２エアロック室用凹部(17c,17d)の底面は外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成された
請求項１記載のウェーハ搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、中電流イオン注入装置にウェーハを搬送するのに適したウェーハ搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、チャンバ内外に通じるエアロック室がウェーハを固定保持するプラテンによりチャンバ内側から開閉され、このプラテンがプラテン駆動機構によりエアロック室を閉止する位置とウェーハを処理する位置との間で回動するように構成された真空チャンバが開示されている（特開平７−１９３４０号）。この真空チャンバでは、エアロック室のチャンバ外側がエアロック扉により開閉される。これにより少なくともエアロック扉又はプラテンのいずれか一方が閉止され、チャンバ内部が大気に開放されないように構成される。またエアロック扉はウェーハを載置した状態で保持する３個のウェーハガイドを有し、プラテンは静電チャックによりウェーハを保持するように構成される。
【０００３】
このように構成された真空チャンバでは、先ずエアロック室がプラテンによりチャンバ内側から閉止された状態で、エアロック室の下方でウェーハがエアロック扉のウェーハガイド上に載置され、その後エアロック扉が上昇してエアロック室がエアロック扉によりチャンバ外側から閉止される。次にエアロック室から空気が排出されて、静電チャックが作動してプラテンがウェーハを吸引固定する。更にプラテンがプラテン駆動手段により駆動されて垂直に立上がり、この状態でウェーハにイオン注入される。このようにプラテンがウェーハの搬送を行うので、プラテンによりウェーハの固定保持が確実に行われ、搬送中にウェーハからパーティクル等が発生することがない。この結果、真空チャンバ内部の汚染を抑制できるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の特開平７−１９３４０号公報に示された真空チャンバでは、外径の異なる複数種類のウェーハをそれぞれ載置するときには、これらのウェーハの外径に対応する複数種類のウェーハガイドを用意しておく。そして外径の異なるウェーハにイオン注入する場合には、ウェーハガイドをそのウェーハの外径に対応するものに交換しなければならない。このため、外径の異なるウェーハにイオン注入すべく装置を切換える作業時間、即ちインチコンバージョン作業時間が増大する不具合があった。
本発明の目的は、外径の異なるウェーハにイオン注入するためのインチコンバージョン作業時に、アーム用ウェーハ受け、プラテン用ウェーハ受け及びエアロック室用ウェーハ受けの交換作業を不要にすることにより、インチコンバージョン作業時間を短縮できる、ウェーハ搬送装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、図１及び図６に示すように、ウェーハ１１，１２を載せるための間隔をあけた一対の第１アーム用ウェーハ受け２６，２７を有し第１エアロック室用ウェーハ受け１４にて保持されたウェーハ１１，１２をイオン注入するためのプラテン１６に搬送する第１アーム１８と、ウェーハ１１，１２を載せるための間隔をあけた一対の第２アーム用ウェーハ受け２８，２９を有しプラテン１６にて保持されたウェーハ１１，１２を第２エアロック室用ウェーハ受け１７に搬送する第２アーム１９とを備えたウェーハ搬送装置の改良である。
その特徴ある構成は、間隔をあけた一対の第１アーム用ウェーハ受け２６，２７に直径の異なる複数種類のウェーハ１１，１２を収容可能であってかつ複数種類のウェーハ１１，１２の外径に相応する内径を有する複数の搬入側凹部２６ａ，２７ａ，２６ｂ，２７ｂがそれぞれ形成され、間隔をあけた一対の第２アーム用ウェーハ受け２８，２９に直径の異なる複数種類のウェーハ１１，１２を収容可能であってかつ複数種類のウェーハ１１，１２の外径に相応する内径を有する複数の搬出側凹部２８ａ，２９ａ，２８ｂ，２９ｂがそれぞれ形成され、複数の搬入側凹部２６ａ，２７ａ，２６ｂ，２７ｂの底面が外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成され、複数の搬出側凹部２８ａ，２９ａ，２８ｂ，２９ｂの底面が外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成され、プラテン１６が、鉛直方向に延びるプラテン用支軸に固着されこのプラテン用支軸とともに回転可能かつ昇降可能なプラテン用円板１６ａと、このプラテン用円板１６ａの上面にその中心から放射状に延びかつ上方に突設された板状の３枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂとを有し、３枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂに直径の異なる複数種類のウェーハ１１，１２を収容可能であってかつ複数種類のウェーハ１１，１２の外径に相応する内径を有する複数のプラテン用凹部１６ｃ，１６ｄがそれぞれ形成され、複数のプラテン用凹部１６ｃ，１６ｄの底面は外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成され、３枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂのうち２枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂが互いに近接して設けられ、残りの１枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂがプラテン用支軸を中心にして上記２枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂに対向するように設けられ、一対の第１アーム用ウェーハ受け２６，２７の間隔は、第１アーム１８の先端部が第１エアロック室用ウェーハ受け１４の上方に到来したときに第１エアロック室用ウェーハ受け１４に形成された第１凸部１４ｂに遊嵌可能な間隔であって、しかも第１アーム１８の先端部がプラテン１６の上方に到来したときに３枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂに遊嵌可能な間隔であり、一対の第２アーム用ウェーハ受け２８，２９の間隔は、第２アーム１９の先端部がプラテン１６の上方に到来したときに３枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂに遊嵌可能な間隔であって、しかも第２アーム１９の先端部が第２エアロック室用ウェーハ受け１７の上方に到来したときに第２エアロック室用ウェーハ受け１７に形成された第２凸部１７ｂに遊嵌可能な間隔であるところにある。
【０００６】
この請求項１に記載されたウェーハ搬送装置では、所定の外径を有するウェーハ１１へのイオン注入作業から、外径の異なるウェーハ１２へのイオン注入作業に変換するためのインチコンバージョン作業において、比較的煩わしい作業である第１アーム用ウェーハ受け２６，２７及び第２アーム用ウェーハ受け２８，２９の交換を不要にできるので、インチコンバージョン作業時間を短縮できる。このため外径の異なるウェーハ１２に速やかにイオン注入できる。
【０００７】
また上記第１アーム用ウェーハ受け２６，２７及び第２アーム用ウェーハ受け２８，２９の交換を不要にできるとともに、プラテン用ウェーハ受け１６ｂの交換も不要にできるので、更にインチコンバージョン作業時間を短縮できる。
【０００８】
請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明であって、更に図１及び図１０に示すように、第１エアロック室用ウェーハ受け１４に直径の異なる複数種類のウェーハ１１，１２を収容可能であってかつ複数種類のウェーハ１１，１２の外径に相応する内径を有する複数の第１エアロック室用凹部１４ｃ，１４ｄがそれぞれ形成され、第２エアロック室用ウェーハ受け１７に直径の異なる複数種類のウェーハ１１，１２を収容可能であってかつ複数種類のウェーハ１１，１２の外径に相応する内径を有する複数の第２エアロック室用凹部１７ｃ，１７ｄがそれぞれ形成され、複数の第１エアロック室用凹部１４ｃ，１４ｄの底面は外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成され、複数の第２エアロック室用凹部１７ｃ，１７ｄの底面は外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成されたことを特徴とする。
この請求項２に記載されたウェーハ搬送装置では、上記第１アーム用ウェーハ受け２６，２７、第２アーム用ウェーハ受け２８，２９及びプラテン用ウェーハ受け１６ｂの交換を不要にできるとともに、第１エアロック室用ウェーハ受け１４及び第２エアロック室用ウェーハ受け１７の交換も不要にできるので、更にインチコンバージョン作業時間を短縮できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１及び図６〜図８に示すように、ウェーハ搬送装置１０は、ウェーハ１１，１２にイオン注入するために設けられた真空のエンドステーション１３と、エンドステーション１３に隣接してそれぞれ設けられた第１及び第２エアロック室と、ウェーハ１１，１２を大気中から第１エアロック室内を通ってエンドステーション１３内に搬入する第１エアロック室用ウェーハ受け１４と、ウェーハ１１，１２をエンドステーション１３内から第２エアロック室内を通って大気中に搬出する第２エアロック室用ウェーハ受け１７と、エンドステーション１３内に到来した第１エアロック室用ウェーハ受け１４及びエンドステーション１３内に到来した第２エアロック室用ウェーハ受け１７からそれぞれ所定の間隔をあけてエンドステーション１３内に設けられたプラテン１６とを備える。
【００１０】
ウェーハ１１，１２に注入されるイオンはボロン（Ｂ）、リン（Ｐ）又はヒ素（Ａｓ）であり、イオン注入装置（図示せず）はビーム電流量の最大値が０．５ｍＡ以上５ｍＡ未満の中電流イオン注入装置である。このイオン注入装置は、外径１５０ｍｍの第１ウェーハ１１と、外径１００ｍｍの第２ウェーハ１２にイオン注入可能に構成される。
【００１１】
第１エアロック室は、図示しないがエンドステーション１３への連通又は大気への連通のいずれかに切換え可能であって、ウェーハ１１，１２をエンドステーション１３に搬入するために設けられる。即ち、第１エアロック室は大気圧と真空を切換えることにより、エンドステーション１３の真空を破壊することなく、ウェーハ１１，１２を大気中から真空のエンドステーション１３内へ搬入するための機構である。また第２エアロック室は、図示しないがエンドステーション１３への連通又は大気への連通のいずれかに切換え可能であって、ウェーハ１１，１２をエンドステーション１３から搬出するために設けられる。即ち、第２エアロック室は大気圧と真空を切換えることにより、エンドステーション１３の真空を破壊することなく、ウェーハ１１，１２を真空のエンドステーション１３内から大気中へ搬出するための機構である。
【００１２】
プラテン１６は鉛直方向に延びるプラテン用支軸（図示せず）に固着されプラテン用支軸とともに回転可能かつ昇降可能なプラテン用円板１６ａと、このプラテン用円板１６ａの上面にその中心から放射状に延びかつ上方に突設された３枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂとを有する（図１、図７及び図１２）。３枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂのうち、２枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂは互いに近接して設けられ、残りの１枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂはプラテン用支軸を中心にして上記２枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂに対向するように設けられる。ウェーハ１１，１２は後述する第１アーム１８により第１エアロック室用ウェーハ受け１４からプラテン１６に搬送されて３枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂの上面に載ることにより、プラテン１６にて保持される。またプラテン１６が上昇することにより、ウェーハ１１，１２はイオン注入装置のイオン注入位置（図示せず）に移動するように構成される。
【００１３】
また第１エアロック室用ウェーハ受け１４は、鉛直方向に延びる第１支軸（図示せず）に固着されかつ第１支軸ととも回転可能な第１円板１４ａと、この第１円板１４ａの上面に略Ｕ字状に形成された第１凸部１４ｂとを有する（図１及び図６）。ウェーハ１１，１２は、エンドステーション１３内の第１エアロック室用ウェーハ受け１４に搬入されて第１凸部１４ｂの上面に載ることにより、第１エアロック室用ウェーハ受け１４にて保持される。
【００１４】
更に第２エアロック室用ウェーハ受け１７は、鉛直方向に延びる第２支軸（図示せず）に固着されかつ第２支軸ととも回転可能な第２円板１７ａと、この第２円板１７ａの上面に略Ｕ字状に形成された第２凸部１７ｂとを有する（図１及び図１０）。ウェーハ１１，１２は、後述する第２アーム１９によりプラテン１６から第２エアロック室用ウェーハ受け１７に搬送されてウェーハ１１，１２が第２凸部１７ｂの上面に載ることにより、第２エアロック室用ウェーハ受け１７にて保持される。
【００１５】
一方、エンドステーション１３には、第１エアロック室用ウェーハ受け１４により保持されたウェーハ１１，１２をプラテン１６に搬送する第１アーム１８が設けられる。この第１アーム１８は、第１エアロック室用ウェーハ受け１４とプラテン１６との間のエンドステーション１３に回動可能かつ昇降可能に立設された第１アーム用支軸２１と、基端がこの第１アーム用支軸２１に嵌着された第１アーム１８とを有する（図１）。
【００１６】
第１アーム１８の先端部にはウェーハ１１，１２を載せるための一対の第１アーム用ウェーハ受け２６，２７が取付けられる（図１及び図６）。一対の第１アーム用ウェーハ受け２６，２７は第１アーム１８の下面にその長手方向に所定の間隔をあけてそれぞれ取付けられる（図１及び図６）。また一対の第１アーム用ウェーハ受け２６，２７には直径の異なる第１及び第２ウェーハ１１，１２を収容可能であってかつこれらのウェーハ１１，１２の外径に相応する内径、即ち第１及び第２ウェーハ１１，１２の外径より僅かに大きな内径を有する外側第１凹部２６ａ，２７ａ及び内側第１凹部２６ｂ，２７ｂがそれぞれ形成される。外側第１凹部２６ａ，２７ａの内径は第１ウェーハ１１の外径より２〜３ｍｍ大きく形成され、内側第１凹部２６ｂ，２７ｂの内径は第２ウェーハ１２の外径より２〜３ｍｍ大きく形成されることが好ましい。更に外側第１凹部２６ａ，２７ａ及び内側第１凹部２６ｂ，２７ｂの底面は外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成される。即ち、内側第１凹部２６ｂ，２７ｂの底面は外側第１凹部２６ａ，２７ａの底面より低く形成される。
【００１７】
またエンドステーション１３には、プラテン１６により保持されたウェーハ１１，１２を第２エアロック室用ウェーハ受け１７に搬送する第２アーム１９が設けられる。この第２アーム１９は、プラテン１６と第２エアロック室用ウェーハ受け１７との間のエンドステーション１３に回動可能かつ昇降可能に立設された第２アーム用支軸２３と、基端がこの第２アーム用支軸２３に嵌着された第２アーム１９とを有する。
【００１８】
第２アーム１９の先端部にはウェーハ１１，１２を載せるための一対の第２アーム用ウェーハ受け２８，２９が取付けられる（図１及び図１０）。一対の第２アーム用ウェーハ受け２８，２９には直径の異なる第１及び第２ウェーハ１１，１２を収容可能であってかつこれらのウェーハ１１，１２の外径に相応する内径、即ち第１及び第２ウェーハ１１，１２の外径より僅かに大きな内径を有する外側第２凹部２８ａ，２９ａ及び内側第２凹部２８ｂ，２９ｂがそれぞれ形成される。外側第２凹部２８ａ，２９ｂの内径は第１ウェーハ１１の外径より２〜３ｍｍ大きく形成され、内側第２凹部２８ｂ，２９ｂの内径は第２ウェーハ１２の外径より２〜３ｍｍ大きく形成されることが好ましい。更に外側第２凹部２８ａ，２９ａ及び内側第２凹部２８ｂ，２９ｂの底面は外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成される。即ち、内側第２凹部２８ｂ，２９ｂの底面は外側第２凹部２８ａ，２９ａの底面より低く形成される。
【００１９】
なお一対の第１アーム用ウェーハ受け２６，２７の間隔は、第１アーム１８の先端部が第１エアロック室用ウェーハ受け１４の上方に到来したときに第１凸部１４ｂに遊嵌可能な間隔であって、しかも第１アーム１８の先端部がプラテン１６の上方に到来したときに３枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂに遊嵌可能な間隔である（図１、図６及び図７）。また一対の第２アーム用ウェーハ受け２８，２９の間隔は、第２アーム１９の先端部がプラテン１６の上方に到来したときに３枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂに遊嵌可能な間隔であって、しかも第２アーム１９の先端部が第２エアロック室用ウェーハ受け１７の上方に到来したときに第２凸部１７ｂに遊嵌可能な間隔である（図１、図８及び図１０）。
【００２０】
一方、３枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂには、直径の異なる第１及び第２ウェーハ１１，１２を収容可能であってかつこれらのウェーハ１１，１２の外径に相応する内径、即ち第１及び第２ウェーハ１１，１２の外径より僅かに大きな内径を有する外側プラテン用凹部１６ｃ及び内側プラテン用凹部１６ｄがそれぞれ形成される（図２、図５、図７、図１１及び図１２）。外側プラテン用凹部１６ｃの内径は第１ウェーハ１１の外径より２〜３ｍｍ大きく形成され、内側プラテン用凹部１６ｄの内径は第２ウェーハ１２の外径より２〜３ｍｍ大きく形成されることが好ましい。更に外側プラテン用凹部１６ｃ及び内側プラテン用凹部１６ｄの底面は外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成される。即ち、内側プラテン用凹部１６ｄの底面は外側プラテン用凹部１６ｃの底面より低く形成される。
【００２１】
また第１エアロック室用ウェーハ受け１４の第１凸部１４ｂには、直径の異なる第１及び第２ウェーハ１１，１２を収容可能であってかつこれらのウェーハ１１，１２の外径に相応する内径、即ち第１及び第２ウェーハ１１，１２の外径より僅かに大きな内径を有する外側第１エアロック用凹部１４ｃ及び内側第１エアロック室用凹部１４ｄがそれぞれ形成される。外側第１エアロック室用凹部１４ｃの内径は第１ウェーハ１１の外径より２〜３ｍｍ大きく形成され、内側第１エアロック室用凹部１４ｄの内径は第２ウェーハ１２の外径より２〜３ｍｍ大きく形成されることが好ましい。更に外側第１エアロック室用凹部１４ｃ及び内側第１エアロック室用凹部１４ｄの底面は外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成される。即ち、内側第１エアロック室用凹部１４ｄの底面は外側第１エアロック室用凹部１４ｄの底面より低く形成される。
【００２２】
更に第２エアロック室用ウェーハ受け１７の第２凸部１７ｂには、直径の異なる第１及び第２ウェーハ１１，１２を収容可能であってかつこれらのウェーハ１１，１２の外径に相応する内径、即ち第１及び第２ウェーハ１１，１２の外径より僅かに大きな内径を有する外側第２エアロック用凹部１７ｃ及び内側第２エアロック室用凹部１７ｄがそれぞれ形成される。外側第２エアロック室用凹部１７ｃの内径は第１ウェーハ１１の外径より２〜３ｍｍ大きく形成され、内側第２エアロック室用凹部１７ｄの内径は第２ウェーハ１２の外径より２〜３ｍｍ大きく形成されることが好ましい。更に外側第２エアロック室用凹部１７ｃ及び内側第２エアロック室用凹部１７ｄの底面は外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成される。即ち、内側第２エアロック室用凹部１７ｄの底面は外側第２エアロック室用凹部１７ｄの底面より低く形成される。
【００２３】
このように構成されたウェーハ搬送装置１０の動作を図１〜図１２に基づいて説明する。
先ず第１エアロック室用ウェーハ受け１４を第１エアロック室内に位置させ、第１エアロック室を大気に開放した状態で、外径１５０ｍｍの第１ウェーハ１１を第１エアロック室用ウェーハ受け１４の外側第１エアロック室用凹部１４ｃに載る。この状態で第１エアロック室から空気を排出して真空にした後に、第１エアロック室用ウェーハ受け１４をエンドステーション１３内に移動する。次いで第１アーム１８を第１アーム用支軸２１を中心に回転させ、その先端部を第１エアロック室用ウェーハ受け１４の上方に位置させる（図１及び図６（ａ））。このとき一対の第１アーム用ウェーハ受け２６，２７が第１凸部１４ｂを挟むように第１凸部１４ｂに遊嵌されるとともに、第１円板１４ａ及び第１ウェーハ１１間に遊挿される。
【００２４】
この状態で第１アーム１８を図６（ａ）の破線矢印で示す方向に上昇させると、第１ウェーハ１１は一対の第１アーム用ウェーハ受け２６，２７の外側第１凹部２６ａ，２７ａに載るとともに、第１エアロック室用ウェーハ受け１４から離脱する。次いで第１アーム１８を図１の実線矢印で示す方向に回転させ、その先端部をプラテン１６の上方に位置させた後に（図２及び図７（ａ））、第１アーム１８を図７（ａ）の破線矢印で示す方向に下降させると、第１ウェーハ１１は３枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂの外側プラテン用凹部１６ｃに載るとともに、一対の第１アーム用ウェーハ受け２６，２７から離脱する。
【００２５】
次に第１アーム１８を図２の実線矢印で示す方向に回転させ、その先端部を第１エアロック室用ウェーハ受け１４及びプラテン１６の中間位置に停止させる（図３）。この状態でプラテン用円板１６ａを上昇させて第１ウェーハ１１をイオン注入装置のイオン注入位置に搬送し、第１ウェーハ１１にイオン注入する。イオン注入終了後、プラテン用円板１６ａを第１ウェーハ１１とともに下降させた後に、第２アーム１９を図３の実線矢印で示す方向に回転させ、その先端部をプラテン１６の上方に位置させる（図４及び図８（ａ））。
【００２６】
このとき一対の第２アーム用ウェーハ受け２８，２９が、３枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂを挟むようにこれらのプラテン用ウェーハ受け１６ｂに遊嵌されるとともに、プラテン用円板１６ａ及び第１ウェーハ１１間に遊挿される。この状態で第２アーム１９を図８（ａ）の破線矢印で示す方向に上昇させると、第１ウェーハ１１は一対の第２アーム用ウェーハ受け２８，２９の外側第２凹部２８ａ，２９ａに載るとともに、プラテン用ウェーハ受け１６ｂから離脱する。更に第２アーム１９を図４の実線矢印で示す方向に回転させ、その先端部を第２エアロック室用ウェーハ受け１７の上方に位置させた後に（図５及び図１０（ａ））、第２アーム１９を図１０（ａ）の破線矢印で示す方向に下降させると、第１ウェーハ１１は外側第２エアロック室用凹部１７ｃに載るとともに、一対の第２アーム用ウェーハ受け２８，２９から離脱する。その後、第１ウェーハ１１は第２エアロック室用ウェーハ受け１７により真空の第２エアロック室内に搬送され、更に第２エアロック室が大気に開放された後にエアロック室外に搬出される。
【００２７】
一方、外径の異なるウェーハにイオン注入するとき、例えば直径１５０ｍｍの第１ウェーハ１１に替えて直径１００ｍｍの第２ウェーハ１２にイオン注入するときには、最後の第１ウェーハ１１をプラテン１６に搬送してこの第１ウェーハ１１へのイオン注入が終了した後に、イオン注入装置のウエハクランパやウエハアライメントカップ等を交換するという比較的簡単な作業を行うだけで、第２ウェーハ１２にイオン注入できる。換言すれば、第１アーム用ウェーハ受け２６，２７、第２アーム用ウェーハ受け２８，２９、プラテン用ウェーハ受け１６ｂ、第１エアロック室用ウェーハ受け１４及び第２エアロック室用ウェーハ受け１７を交換するという比較的煩わしい作業を行わずに済むので、インチコンバージョン作業時間を短縮でき、これにより第２ウェーハ１２をウェーハ搬送装置１０により速やかにイオン注入装置へ搬送してイオン注入できる。
【００２８】
上記インチコンバージョン作業終了後の第２ウェーハ１２のウェーハ搬送装置１０による搬送手順を次に示す。
先ず、第２ウェーハ１２を大気中から第１エアロック室を通ってエンドステーション１３内に搬入して第１エアロック室用ウェーハ受け１４の第１エアロック室用凹部１４ｄに載る（図２及び図３）。この状態で第１アーム１８を図３の破線矢印で示す方向に回転させ、その先端部を第１エアロック室用ウェーハ受け１４の上方に位置させる（図４）。このとき一対の第１アーム用ウェーハ受け２６，２７が、第１凸部１４ｂを挟むように第１凸部１４ｂに遊嵌されるとともに、第１円板１４ａ及び第２ウェーハ１２間に遊挿される。この状態で第１アーム１８を上昇させると、第２ウェーハ１２は一対の第１アーム用ウェーハ受け２６，２７の内側第１凹部２６ｂ，２７ｂに載るとともに、第１エアロック室用ウェーハ受け１４から離脱する。次いで第１アーム１８を図４の破線矢印で示す方向に回転させ、その先端部をプラテン１６の上方に位置させた後に（図５及び図９（ａ））、第１アーム１８を図９（ａ）の破線矢印で示す方向に下降させると、第２ウェーハ１２は３枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂの内側プラテン用凹部１６ｄに載るとともに、一対の第１アーム用ウェーハ受け２６，２７から離脱する。
【００２９】
次に第１アーム１８を図５の破線矢印で示す方向に回転させ、その先端部を第１エアロック室用ウェーハ受け１４及びプラテン１６の中間位置に停止させる。この状態でプラテン用円板１６ａを上昇させて第２ウェーハ１２をイオン注入装置のイオン注入位置に搬送し、第２ウェーハ１２にイオン注入する。イオン注入終了後、プラテン用円板１６ａを第２ウェーハ１２とともに下降させた後に、第２アーム１９を図５の実線矢印で示す方向に回転させ、その先端部をプラテン１６の上方に位置させる。このとき一対の第２アーム用ウェーハ受け２８，２９が３枚のプラテン用ウェーハ受け１６ｂを挟むようにこれらのプラテン用ウェーハ受け１６ｂに遊嵌されるとともに、プラテン用円板１６ａ及び第２ウェーハ１２間に遊挿される。この状態で第２アーム１９を上昇させると、第２ウェーハ１２は一対の第２アーム用ウェーハ受け２８，２９の内側第２凹部２８ｂ，２９ｂに載るとともに、プラテン用ウェーハ受け１６ｂから離脱する。更に第２アーム１９を回転させてその先端部を第２エアロック室用ウェーハ受け１７の上方に位置させた後に、第２アーム１９を下降させると、第２ウェーハ１２は内側第２エアロック室用凹部１７ｄに載るとともに、一対の第２アーム用ウェーハ受け２８，２９から離脱する。その後、第２ウェーハ１２は第２エアロック室用ウェーハ受け１７により真空の第２エアロック室内に搬送され、更に第２エアロック室が大気に開放された後にエアロック室外に搬出される。
【００３０】
なお、この実施の形態では、外径の異なる複数種類のウェーハとして、外径１５０ｍｍと外径１００ｍｍの２種類のウェーハを挙げたが、外径１２５ｍｍと外径１００ｍｍの２種類のウェーハでもよく、又は外径１５０ｍｍと外径１２５ｍｍと外径１００ｍｍの３種類のウェーハでもよく、或いは上記以外の外径のウェーハを２種類又は３種類以上組合せたものでもよい。これらの場合、第１凹部、第２凹部、プラテン用凹部、第１エアロック室用凹部及び第２エアロック室用凹部は上記ウェーハの外径に合せて、第１アーム用ウェーハ受け、第２アーム用ウェーハ受け、プラテン、第１エアロック室用ウェーハ受け及び第２エアロック室用ウェーハ受けにそれぞれ複数形成される。
【００３１】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、第１アーム用ウェーハ受けに複数種類のウェーハの外径に相応する内径を有する複数の搬入側凹部を形成し、第２アーム用ウェーハ受けに複数種類のウェーハの外径に相応する内径を有する複数の搬出側凹部を形成し、複数の搬入側凹部の底面を外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成し、更に複数の搬出側凹部の底面を外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成したので、外径の異なるウェーハにイオン注入するときに、第１及び第２アーム用ウェーハ受けの交換という煩わしい作業を不要にできる。この結果、インチコンバージョン作業時間を短縮できる。
【００３２】
またプラテンにウェーハを受ける複数のプラテン用ウェーハ受けを突設し、これらのプラテン用ウェーハ受けに複数種類のウェーハの外径に相応する内径を有する複数のプラテン用凹部を形成し、複数のプラテン用凹部の底面を外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成すれば、上記第１アーム用ウェーハ受け及び第２アーム用ウェーハ受けの交換を不要にできるとともに、プラテン用ウェーハ受けの交換という煩わしい作業も不要にできるので、更にインチコンバージョン作業時間を短縮できる。
【００３３】
更に第１及び第２エアロック室用ウェーハ受けに複数種類のウェーハの外径に相応する内径を有する複数の第１及び第２エアロック室用凹部をそれぞれ形成し、複数の第１エアロック室用凹部の底面を外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成し、複数の第２エアロック室用凹部の底面を外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成すれば、上記第１アーム用ウェーハ受け、第２アーム用ウェーハ受け及びプラテン用ウェーハ受けの交換を不要にできるとともに、第１及び第２エアロック室用ウェーハ受けの交換という煩わしい作業も不要にできるので、インチコンバージョン作業時間を更に短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明実施形態ウェーハ搬送装置の第１アームが第１エアロック室用ウェーハ受けから第１ウェーハを受取っている状態を示す平面図。
【図２】第１アームが第１ウェーハをプラテン用ウェーハ受けに載せている状態を示す平面図。
【図３】第１アームが第１ウェーハをプラテン用ウェーハ受けに載せた後に中立位置に戻った状態を示す平面図。
【図４】第２アームがプラテン用ウェーハ受けから第１ウェーハを受取り、かつ第１アームが第１エアロック室用ウェーハ受けから第２ウェーハを受取っている状態を示す平面図。
【図５】第２アームが第１ウェーハを第２エアロック室用ウェーハ受けに載せ、かつ第１アームが第２ウェーハをプラテン用ウェーハ受けに載せている状態を示す平面図。
【図６】図１のＡ−Ａ線断面図。
【図７】図１のＢ−Ｂ線断面図。
【図８】図４のＣ−Ｃ線断面図。
【図９】図４のＤ−Ｄ線断面図。
【図１０】図５のＥ−Ｅ線断面図。
【図１１】図５のＦ−Ｆ線断面図。
【図１２】プラテンの要部斜視図。
【符号の説明】
１０  ウェーハ搬送装置
１１，１２  ウェーハ
１３  エンドステーション
１４  第１エアロック室用ウェーハ受け
１４ｃ，１４ｄ  第１エアロック室用凹部
１７ｃ，１７ｄ  第２エアロック室用凹部
１６  プラテン
１６ｂ  プラテン用ウェーハ受け
１６ｃ，１６ｄ  プラテン用凹部
１７  第２エアロック室用ウェーハ受け
１８  第１アーム
１９  第２アーム
２６，２７  第１アーム用ウェーハ受け
２６ａ，２７ａ，２６ｂ，２７ｂ  第１凹部
２８，２９  第２アーム用ウェーハ受け
２８ａ，２９ａ，２８ｂ，２９ｂ  第２凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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