(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号光を伝達する光ファイバーを複数束ねたバンドル光ファイバーを真空容器内外に連通させるためのバンドル光ファイバーの真空容器導入装置において、
該真空容器導入装置は、
前記真空容器の所定の面に取り付けられ、前記真空容器内外のうちいずれか一方側の前記バンドル光ファイバーの端部を反対側に突出させて保持するための貫通孔が板面に貫設されたフランジと、
該フランジの前記反対側の面であって前記貫通孔の外側に取り付けられ、前記一方側の前記バンドル光ファイバーのうち前記反対側に突出した前記端部を内部に導入するとともに、前記真空容器内外のうち他方側の前記バンドル光ファイバーの端部と係合可能な係合部を備えた光伝送体ホルダーと、
前記貫通孔よりも大径に構成され、前記フランジの前記反対側の面であって前記貫通孔の外側に取り付けられ、前記光伝送体ホルダーに真空保持される板状の光伝送体とを備え、
前記光伝送体は、両面がそれぞれ前記一方側の前記バンドル光ファイバーと前記他方側の前記光ファイバーの端面に接するように前記バンドル光ファイバーの間に挿入されていることを特徴とするバンドル光ファイバーの真空容器導入装置。
【請求項２】
前記フランジは、該フランジを取付手段により前記真空容器に固定するための複数の取付孔と、複数の光伝送体ホルダーの取付孔と、前記真空容器内を真空に保つための密閉手段とを有することを特徴とする請求項１記載のバンドル光ファイバーの真空容器導入装置。
【請求項３】
前記フランジは、前記一方側の前記バンドル光ファイバーの端部を着脱可能に保持し、
前記光伝送体ホルダーは、前記他方側の前記バンドル光ファイバーの端部と着脱可能に係合することを特徴とする請求項１，２いずれか記載のバンドル光ファイバーの真空容器導入装置。
【請求項４】
前記フランジと前記光伝送体の間の前記バンドル光ファイバーの周りには、Ｏリングが設けられていることを特徴とする請求項１，２，３いずれか記載のバンドル光ファイバーの真空容器導入装置。
【請求項５】
前記光伝送体は、ガラス材からなることを特徴とする請求項１，２，３，４いずれか記載のバンドル光ファイバーの真空容器導入装置。
【請求項６】
前記バンドル光ファイバーを固定するナットを備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の真空容器導入装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光学的膜厚測定装置に係り、特に複数の光ファイバーを有するバンドル光ファイバーの修理・部品交換が容易である光学的膜厚測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
真空蒸着法により反射防止膜等の光学薄膜を基板に形成する場合に、蒸着過程中で基板に形成される薄膜の膜厚を監視して制御することが必要であり、これにより所望の特性を有する単層膜あるいは多層膜を形成することができる。
【０００３】
真空成膜装置の成膜制御を行う光学式モニターには、アルミニウム製等の反射鏡を用いたミラータイプと、光ファイバーを用いた光ファイバータイプの２種類がある。そのうち、光ファイバータイプは、ミラータイプよりも測光部分が小さいため、真空成膜装置内にミラータイプを置く場所がない場合に有用である。また、光ファイバーは一の光源から導いた微細なファイバーを束ねてバンドルとし、当該バンドルを分岐して用いることができるので、複数ヶ所を測光することができるという利点もある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、本発明者らは、この様な従来の光学式モニターのバンドル光ファイバーには、以下のような問題点があることを見出した。すなわち、従来の光学式モニターのバンドル光ファイバーは、投光系、反射測光系が一体となって１つのフィードスルーを共有したものであったため、複雑な構成を有しているという問題点があった。
【０００５】
また、複数の点で測光する場合には、１つの光源から導いたバンドル光ファイバーを複数の測光点へ分岐していたため、測光点の数が多い場合には、大気側（真空容器外部）、真空側（真空容器内部）の両側においてバンドル光ファイバーが多分岐となり、光学的膜厚測定装置が複雑かつ大規模なものとなってしまうという問題点があった。
【０００６】
更に、従来、光学的膜厚測定装置の各コンポーネント間の光ファイバーは、接合面の無い、連続したものを用いていた。真空容器内部の真空側では光ファイバーを束ねてフレキシブルチューブで覆い、当該フレキシブルチューブをフランジに溶接して接着していた。バンドル光ファイバーの端面は接着剤でシールして研磨を行っていた。
【０００７】
従って、前記接着剤の中に形成された気泡が連通する場合があり、このような場合にはシールが完全でなくなり、連通した気泡を通って真空容器の中に空気が入り込むという問題点があった。
【０００８】
かかる場合、すなわち失敗（リーク）した場合には更に、バンドル光ファイバー全体を交換して作り直さなくてはならないという問題点があった。また、フレキシブルチューブの表面に傷等の破損が生じてリークした場合もバンドル光ファイバー全体を交換して作り直さなくてはならず、修理する際に多大な手間、費用がかかるという問題点があった。
【０００９】
本発明の目的は、上記問題点に鑑み、バンドル光ファイバーがリークした場合に修理・部品交換が容易である光学的膜厚測定装置を提供することにある。また、本発明の他の目的は、形状が単純であるバンドル光ファイバーを用いた、制作が簡易である光学的膜厚測定装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、請求項１に係る発明によれば、信号光を伝達する光ファイバーを複数束ねたバンドル光ファイバーを真空容器内外に連通させるためのバンドル光ファイバーの真空容器導入装置において、該真空容器導入装置は、前記真空容器の所定の面に取り付けられ、前記真空容器内外のうちいずれか一方側の前記バンドル光ファイバーの端部を反対側に突出させて保持するための貫通孔が板面に貫設されたフランジと、該フランジの前記反対側の面であって前記貫通孔の外側に取り付けられ、前記一方側の前記バンドル光ファイバーのうち前記反対側に突出した前記端部を内部に導入するとともに、前記真空容器内外のうち他方側の前記バンドル光ファイバーの端部と係合可能な係合部を備えた光伝送体ホルダーと、前記貫通孔よりも大径に構成され、前記フランジの前記反対側の面であって前記貫通孔の外側に取り付けられ、前記光伝送体ホルダーに真空保持される板状の光伝送体とを備え、前記光伝送体は、両面がそれぞれ前記一方側の前記バンドル光ファイバーと前記他方側の前記光ファイバーの端面に接するように前記バンドル光ファイバーの間に挿入されていることにより解決される。
【００１１】
このとき、前記フランジは、該フランジを取付手段により前記真空容器に固定するための複数の取付孔と、複数の光伝送体ホルダーの取付孔と、前記真空容器内を真空に保つための密閉手段とを有するように構成すると好適である。
また、前記フランジは、前記一方側の前記バンドル光ファイバーの端部を着脱可能に保持し、前記光伝送体ホルダーは、前記他方側の前記バンドル光ファイバーの端部と着脱可能に係合する様にするとよい。
【００１２】
更に、前記フランジと前記光伝送体の間の前記バンドル光ファイバーの周りには、Ｏリングが設けられるように構成すると好適である。
更に、前記光伝送体は、ガラス材からなるように構成すると好適である。
【００１３】
また、前記バンドル光ファイバーを固定するナットを備えることが好ましい。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明に係る真空容器導入装置は、信号光を伝達する光ファイバーを複数束ねたバンドル光ファイバー２ａ〜２ｆを真空容器１内外に連通させるためのバンドル光ファイバーの真空容器導入装置である。当該装置は、真空容器１の所定の面に取り付けられ、バンドル光ファイバー２ａ〜２ｆを真空容器１の内外部分間で保持するフランジ３と、フランジ３に取り付けられるオプティカルロッドホルダー４と、オプティカルロッドホルダー４に真空保持される光伝送体５とを備える。
【００１５】
光伝送体５は、真空容器１の内外部分間でバンドル光ファイバー２ａ〜２ｆの間に挿入され、オプティカルロッドホルダー４の両端側に設けられたコネクター６によってバンドル光ファイバー２ａ〜２ｆと着脱可能に連結される。
【００１６】
真空容器１内では、真空蒸着法等により基板に薄膜が形成される。本発明に係るバンドル光ファイバー２ａ〜２ｆは、真空容器１内に設けられたモニター基板と平行にファイバー先端面を向けて設けられる。
【００１７】
フランジ３には、フランジ３を取付手段により真空容器１に固定するための複数の取付孔９と、複数のオプティカルロッドホルダー４の取付孔１０と、真空容器内を真空に保つための密閉手段１１とが設けられる。
【００１８】
コネクター６は光ファイバー２ａ〜２ｆを着脱可能に保持する。光伝送体５は、オプティカルロッドホルダー４に内設され、光伝送体５の両端においてコネクター６により光ファイバー２ａ〜２ｆと所定位置で密着される。
【００１９】
即ち、バンドル光ファイバーはフランジ３の前後で二分され、フランジ３にはガラス製等の板状，棒状等の光伝送体５が真空シールされた状態で取り付けられる。この様に、従来は一体として用いられていたバンドル光ファイバーを二分して光伝送体５で接続する構造とすることにより、バンドル光ファイバーの一部が破損，リークした際に、破損又はリークしたバンドル光ファイバー２ａ〜２ｆ又は光伝送体５のみを交換すればよいので、従来用いていた装置よりも破損，リーク時の修理が簡易になった。
【００２０】
また、フランジ３にオプティカルロッドホルダー４を真空シールした状態で取り付ける構成とすることにより、真空容器１内のバンドル光ファイバーを真空容器１にシールする必要がなくなり、バンドル光ファイバーの取付が容易になった。また、真空内ファイバーを接着剤でシ−ルする必要がなくなったため、接着剤中の連通した気泡を通って真空容器の中に空気が入り込むという問題が生じることがなくなった。更に、真空内ファイバーをシ−ルする必要がなくなったため、真空封入用フレキシブルチューブによる曲げ半径の制限がなくなり、バンドル光ファイバーを扱い易くなった。
【００２１】
モニター基板からの信号光（反射光又は透過光）はバンドル光ファイバー２ａ，２ｃが受光し、図示しない検知手段に送られて光学的に検知される。蒸着によりモニター基板の光学的特性が変化すると、薄膜形成の進行に伴う信号光の光量変化が検知手段により検出され、モニター基板に形成された薄膜の膜厚が検出される。実際の基板に形成された薄膜の膜厚と、モニター基板に形成された薄膜の膜厚は一定の相関を示すので、後者から実際の基板に形成された薄膜の膜厚を検出して監視することができる。
【００２２】
光伝送体５は、コア５ａとクラッド５ｂとからなる。クラッド５ｂは、コア５ａに周設される。コア５ａでは、光が伝達され、伝達された光はコア５ａとクラッド５ｂの境界面で全反射されるように構成される。このように構成することにより、光伝送体５はバンドル光ファイバー２ａ〜２ｆの間で光を伝達することができる。
【００２３】
また、本発明では、オプティカルロッドホルダー４に光伝送体５を充填し、オプティカルロッドホルダー４とフランジ３との間に空気が連通しないようにオプティカルロッドホルダー４をフランジ３に取着する。次にオプティカルロッドホルダー４の一端にバンドル光ファイバー２ａ〜２ｆの真空容器１内部分を光伝送体５に接するようにコネクター６により固着し、フランジ３を真空容器１に取付ける。
【００２４】
その後オプティカルロッドホルダー４の他端にバンドル光ファイバー２ａ〜２ｆの真空容器１外部分を光伝送体５に接するようにコネクター６により固着する。かかる操作を順次行うことにより、バンドル光ファイバー２ａ〜２ｆを真空容器に導入する。
【００２５】
【実施例】
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。なお、以下に説明する部材，配置等は本発明を限定するものでなく、本発明の趣旨の範囲内で種々改変することができるものである。
【００２６】
図１により、本発明に係る光学的膜厚測定装置の一例を説明する。本例測定装置は、真空槽１と、バンドル光ファイバー２ａ〜２ｆと、フランジ３と、オプティカルロッドホルダー４と、オプティカルロッド５と、から成る。
【００２７】
本例における真空槽１は、真空蒸着法において通常用いる真空容器を用い、真空槽１内は真空排気する。
【００２８】
本例におけるバンドル光ファイバー２ａ〜２ｆは、微細な光ファイバーを束ねたバンドルとする。各バンドルファイバーは、図１に示すように光源からフランジ３までの槽外部分と、フランジから測光部までの槽内（真空）部分に分けられる。
【００２９】
本例におけるバンドル光ファイバーは、一般的な光ファイバータイプ光学式膜厚測定モニターのバンドル光ファイバーと同様、投光系、反射測光系及び透過測光系から構成される。即ち、投光系とは、光源から真空内測光部までのバンドル光ファイバーの部分をいう。前記真空内測光部は、光源から導かれた光をモニター基板に投光する部分である。
【００３０】
反射測光系とは、真空内測光部の投光側から、真空内測光部の投光側から発せられモニター基板で反射した光を受光する受光部まで、及び当該受光部から検知手段までのバンドル光ファイバーの部分をいう。前記受光部は、真空内測光部の投光側から発せられモニター基板で反射された光を受光する部分である。
【００３１】
透過測光系とは、真空内測光部の投光側から受光部まで、及び当該受光部から検知手段までのバンドル光ファイバーの部分をいう。前記受光部とは、真空内測光部の投光側の反対側に位置し、真空内測光部の投光側から発せられモニター基板を透過した光を受光する部分である。
【００３２】
従って、本例におけるバンドル光ファイバーは、透過用槽外バンドルファイバー２ａ、投光用槽外バンドルファイバー２ｂ、反射光槽外バンドルファイバー２ｃ、透過用槽内バンドルファイバー２ｄ、投光用槽内バンドルファイバー２ｅ、反射光槽内バンドルファイバー２ｆの６つの部分から成る。
【００３３】
投光系、反射測光系、透過測光系の各バンドルファイバーについて、それぞれ異なる導入ポート（光伝送体５）を用いる。また、測定点ごとに異なる導入ポートを用いる。つまり、（系統数×測定点）の数の導入ポートを設けることとなる。系統毎、測定点毎に異なる導入ポートを用いることによって、クロストーク、導入端面の反射による迷光を避けることができる。
【００３４】
光源又は検出装置から延長された槽外バンドルファイバー２ａ〜２ｃは、オプティカルロッドホルダー４に導かれる。槽外バンドルファイバー２ａ〜２ｃの一端は、平目ローレット７及びロックナット８により、オプティカルロッドホルダー４の真空槽１外側に着脱可能に固定される。槽外バンドルファイバー２ａ〜２ｃには、ファイバー側凸部１７が設けられる。このファイバー側凸部１７はコネクター側凹部１８と嵌合され、槽外バンドルファイバー２ａ〜２ｃとオプティカルロッド５との間の位置決めがされる。
【００３５】
一方、モニター基板に先端部を対向させて設けられた槽内バンドルファイバー２ｄ〜２ｆもまた、オプティカルロッドホルダー４に導かれる。槽内バンドルファイバー２ｄ〜２ｆの一端は、平目ローレット７及びロックナット８により、オプティカルロッドホルダー４の真空槽１内側に着脱可能に固定される。
【００３６】
この際、オプティカルロッド５を挿んで対向する、槽外バンドルファイバー２ａと槽内バンドルファイバー２ｄ，槽外バンドルファイバー２ｂと槽内バンドルファイバー２ｄ，槽外バンドルファイバー２ｃと槽内バンドルファイバー２ｆのねじれ方向の位置関係は、以下のように決められる。
【００３７】
すなわち、槽内バンドルファイバー２ｄの端面をコネクター６によりオプティカルロッド５の一方の端面に当設させて固定する。槽内バンドルファイバー２ｄの端面を固定したまま、槽外バンドルファイバー２ａの端面を、オプティカルロッドホルダー４に内設されたオプティカルロッド５の他方の端面に当接させる。槽内バンドルファイバー２ｄの他方の先端は光源に接続する。槽外バンドルファイバー２ａの他方の先端は検出器に接続する。
【００３８】
槽外バンドルファイバー２ａの端面をオプティカルロッド５の端面に当接させたまま、槽外バンドルファイバー２ａをねじれ方向に回転させ、検出器で最も大きな光量が検出される角度を測定する。以上の操作を槽外バンドルファイバー２ｂと槽内バンドルファイバー２ｄ，槽外バンドルファイバー２ｃと槽内バンドルファイバー２ｆについても行う。なお、ここでは槽外バンドルファイバー２ａ〜２ｃを固定したが、当然のことながら槽内バンドルファイバー２ｄ〜２ｆを固定してもよい。
【００３９】
槽外バンドルファイバー２ａと槽内バンドルファイバー２ｄ，槽外バンドルファイバー２ｂと槽内バンドルファイバー２ｄ，槽外バンドルファイバー２ｃと槽内バンドルファイバー２ｆのねじれ方向の位置関係は、上記操作により検出器で最も大きな光量が検出される角度に設定される。
【００４０】
本例におけるフランジ３は、ＳＵＳ３０４製からなり、図２に示すように、厚さ１２ｍｍの円形板状体である。フランジ３には、真空槽１にフランジ３を固定するためのボルトの取付孔９が４箇所に設けられる。フランジ３には、オプティカルロッド５を取り付けるためのオプティカルロッド取付孔１０が設けられる。フランジ３と真空槽１が接する面にはＯリング１１が設けられる。かかるＯリング１１を設けることにより、真空槽１内部の真空を保つことができる。
【００４１】
本例におけるオプティカルロッドホルダー４は、ＳＵＳ３０３製からなり、図３に示すように、内部が空洞である円筒体からなる。オプティカルロッドホルダー４は、フランジ３に設けられたオプティカルロッド取付孔１０を貫いて通され、真空槽１内部側で六角ナット１３によりフランジ３に固定される。
【００４２】
オプティカルロッドホルダー４には、図３に示すようにオプティカルロッドホルダー４とフランジ３が接する面にＯリング１２が設けられる。かかるＯリング１２を設けることにより、光ファイバーを接着剤でシールして真空を保つ従来の装置よりも確実に、真空槽１内に空気が流れ込むことを防止することができる。
【００４３】
オプティカルロッドホルダー４の両端にはコネクター６が設けられる。コネクター６は内部が空洞である円筒体からなる。コネクター６には、コネクター６の断面である円の円周を３等分する位置に３つの止めネジ１４が設けられる。コネクター６は、３つの止めネジ１４によりオプティカルロッドホルダー４に固定される。コネクター６には、平目ローレット７及びロックナット８が螺合される。
【００４４】
平目ローレット７には図３に示すように平目ローレット側係合部１５が形成される。平目ローレット側係合部１５は、バンドルファイバー２ａ〜２ｆに設けられたファイバー側係止部１６に係合される。かかる構成により、オプティカルロッドホルダー４とバンドルファイバー２ａ〜２ｆが結合される。
【００４５】
オプティカルロッドホルダー４の内部にはオプティカルロッド５が収納される。本例のオプティカルロッド５には、コア／クラッド径が１．６／１．８ｍｍの棒状のガラス、５／５．５ｍｍの棒状のガラスの２種類を用いる。本例のオプティカルロッド５には、コア５ａおよびクラッド５ｂのＮＡ値が０．２以上のものを用いる。コア５ａにより伝達される光が、コア５ａとクラッド５ｂの境界で全反射するように、コア５ａおよびクラッド５ｂのＮＡ値を選定する。この際、少なくともクラッド５ｂのＮＡ値はコア５ａのＮＡ値よりも大きくなるように選定される。
【００４６】
オプティカルロッド５とオプティカルロッドホルダー４は接着剤（日電アネルバ製スーパーバックシール）により接着される。オプティカルロッド５は、オプティカルロッドホルダー４に保持された槽外バンドルファイバー２ａ〜２ｃの端面及び槽内バンドルファイバー２ｄ〜２ｆの端面にオプティカルロッド５の端面が接触するように配置される。
【００４７】
オプティカルロッド５及びバンドル光ファイバー２ａ〜２ｆをこの様に配置することにより、バンドル光ファイバーを二つに分割した構造とすることができ、バンドル光ファイバーの取り扱いが簡易になった。また、ファイバーの端面を接着剤でシールして真空槽１の真空を保つ方法と比較し、より確実に真空槽１の真空を保つことができるようになった。
【００４８】
尚、槽外バンドルファイバー２ａ〜２ｃ及び槽内バンドルファイバー２ｄ〜２ｆをオプティカルロッドホルダー４に接続する手段は平目ローレット側係合部１５及びファイバー側係止部１６の咬合による手段に限定するものでなく、ワンタッチジョイント、又は図４に示す装置を用いて接続してもよい。
【００４９】
図４には、槽外バンドルファイバー及び槽内バンドルファイバーを光伝送体に接続する装置について、図３に示すものとは異なる装置を示す。図４に示す接続装置は、フランジ３、槽外バンドルファイバー２４、槽内バンドルファイバー２５、ガラス材２６、ガラス材ホルダー２０、Ｏリング２１、六角ナット２２からなる。
【００５０】
本装置におけるガラス材ホルダー２０は、ＳＵＳ３０３製からなり、図４に示すように、内部が空洞であり、係合部２３を有する円筒体からなる。光源又は検出装置から延長された槽外バンドルファイバー２４は、ガラス材ホルダー２０に導かれる。槽外バンドルファイバー２４の一の端部は、ガラス材ホルダー２０の係合部２３と螺合され、真空槽１外側に着脱可能に固定される。
【００５１】
一方、モニター基板に先端部を対向させて設けられた槽内バンドルファイバー２５もまた、ガラス材ホルダー２０に導かれる。槽内バンドルファイバー２５は、フランジねじ切り部２７と螺合され、六角ナット２２に固定されて真空槽１内側に着脱可能に固定される。尚、本装置は、槽外バンドルファイバー２４と槽内バンドルファイバー２５とが左右逆に取り付けられた構成としてもよい。この場合は、図４の図面の左側が真空槽内、右側が真空槽外となる。
【００５２】
本装置におけるフランジ３は、ＳＵＳ３０４製からなり、図２に示すように、厚さ１２ｍｍの円形板状体である。フランジ３には、真空槽１にフランジ３を固定するためのボルトの取付孔９が４箇所に設けられる。フランジ３には、ガラス材２６を取り付けるためのオプティカルロッド取付孔１０が設けられる。
【００５３】
本装置におけるガラス材２６には、ＮＡ値が０．２以上の円形板状体のガラス板を用いる。ガラス材２６は、槽外バンドルファイバー２４と槽内バンドルファイバー２５の間に、ガラス材２６の両面がそれぞれ槽外バンドルファイバー２４と槽内バンドルファイバー２５の端面に接するように挿入される。ガラス材２６はガラス材ホルダー２０の係合部２３により槽内バンドルファイバー２５に圧着される。
【００５４】
本装置におけるＯリング２１は、ガラス材２６とフランジ３の間の槽内バンドルファイバー２５の周りに設けられる。かかるＯリング２１を設けることにより、バンドル光ファイバーを接着剤でシールして真空を保つ従来の装置よりも確実に、真空槽１内に空気が流れ込むことを防止することができる。
【００５５】
ガラス材２６及びバンドル光ファイバー２４，２５をこの様に配置することにより、バンドル光ファイバーを二つに分割した構造とすることができ、バンドル光ファイバーの取り扱いが簡易になった。また、ファイバーの端面を接着剤でシールして真空槽１の真空を保つ方法と比較し、より確実に真空槽１の真空を保つことができるようになった。
【００５６】
更に、図４に示す装置を用いることによって、従来一般に用いられていた装置を用いた場合と比較し、真空容器導入装置を非常に低原価で、簡易に制作できるようになった。
【００５７】
本発明には、図４に示す槽外バンドルファイバー及び槽内バンドルファイバーを光伝送体に接続する装置が含まれるものである。
【００５８】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、光ファイバーのいずれかの部分が破損又はリークした際に、破損又はリークしたバンドル光ファイバー又は光伝送体のみを交換すればよいので、従来用いていた装置よりも破損，リーク時の修理が簡易になった。
【００５９】
また、フランジにオプティカルロッドホルダーを真空シールした状態で取り付ける構成とすることにより、真空容器内のバンドル光ファイバーを真空容器にシールする必要がなくなり、バンドル光ファイバーの取付が容易になった。また、真空内ファイバーを接着剤でシ−ルする必要がなくなったため、接着剤中の連通した気泡を通って真空容器の中に空気が入り込むという問題が生じることがなくなった。
【００６０】
更に、真空内ファイバーをシールする必要がなくなったため、真空封入用フレキシブルチューブによる曲げ半径の制限がなくなり、光ファイバーの取扱いが容易になった。更に、バンドル光ファイバーを、接合面を有する分割された構造とすることにより、バンドル光ファイバーの形状が単純化され、光学的膜厚測定装置の制作が簡易になった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るバンドル光ファイバーの真空容器導入部の実施例を示すバンドル光ファイバーの系統図である。
【図２】本発明に係るバンドル光ファイバーの真空容器導入部の実施例を示すフランジ部分の説明図である。
【図３】本発明に係るバンドル光ファイバーの真空容器導入部の実施例を示すフランジ及びオプティカルロッドの断面説明図である。
【図４】本発明に係るバンドル光ファイバーの真空容器導入部の変形実施例を示すフランジ及びオプティカルロッドの断面説明図である。
【符号の説明】
１  真空槽
２ａ  透過用槽外バンドルファイバー
２ｂ  投光用槽外バンドルファイバー
２ｃ  反射光槽外バンドルファイバー
２ｄ  透過用槽内バンドルファイバー
２ｅ  投光用槽内バンドルファイバー
２ｆ  反射光槽内バンドルファイバー
３  フランジ
４  オプティカルロッドホルダー
５  オプティカルロッド
５ａ  コア
５ｂ  クラッド
６  コネクター
７  平目ローレット
８  ロックナット
９  取付孔
１０  オプティカルロッド取付孔
１１  Ｏリング
１２  Ｏリング
１３  六角ナット
１４  止めネジ
１５  平目ローレット側係合部
１６  ファイバー側係止部
１７  ファイバー側凸部
１８  コネクター側凹部
２０  ガラス材ホルダー
２１  Ｏリング
２２  六角ナット
２３  係合部
２４  槽外バンドルファイバー
２５  槽内バンドルファイバー
２６  ガラス材
２７  フランジねじ切り部
【図１】
0004082786.tif 000002
【図２】
0004082786.tif 000003
【図３】
0004082786.tif 000004
【図４】
0004082786.tif 000005