(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスク基板の洗浄装置において、該基板を洗浄水でスクラブするスポンジ状パッドが、洗浄水が底面中央部から分散するように拡がりつつ表面に達するように、内部構造に互いに連通した空隙部を有する格子状のもので、且つ裏面から表面に到る如何なる貫通孔をも有さず、シャフトに回転自在に取り付けたパッドプレートの側端部に設けられたカバー内に、該パッドの上端のみを残して側端面が前記カバーに覆われて取り付けられ、
前記パッドの表面に凹部が存在せず、
前記パッドが、前記カバー内面に設けられた周方向に亘る突起により保持されてなることを特徴とする磁気ディスク基板の洗浄装置。
【請求項２】
前記パッドが、パッドプレートに立設されたピンに刺されるようにして前記カバー内に収納されてなる請求項１に記載の磁気ディスク基板の洗浄装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の磁気ディスク基板の洗浄装置を用いて行なう磁気ディスク基板の洗浄方法において、洗浄開始前に予め洗浄水をパッド内に流してパッド内のゴミを除去する予備洗浄を行なう磁気ディスク基板の洗浄方法。
【請求項４】
請求項１または２に記載の磁気ディスク基板の洗浄装置を用いて行なう磁気ディスク基板の洗浄方法において、向い合った一対の前記洗浄装置のユニットで磁気ディスク基板の一部を挾み込み、パッドを回転させることにより基板の全体を両面同時に洗浄する磁気ディスク基板の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はアルミニウムもしくはアルミニウム合金（以下、これらを含めて単にアルミニウムという）およびガラス等からなる磁気ディスク基板の洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コンピューターの磁気記録媒体用等の磁気ディスク用基板はアルミニウムを用いる場合、通常、アルミニウム合金の圧延コイルを打ち抜いて円盤状のブランクを得、それを研削加工して基板の傷、うねり等を除去してサブストレートを得、次いでニッケルリンめっきを施し、仕上げ研磨加工することにより得られる。ガラス基板を用いる場合はガラス板から円盤状のブランクを得、それを研削加工して基板の傷、うねり等を除去してサブストレートを得、これに直接磁性膜を形成してもよいが、得られたサブストレートにアルミニウム基板と同様のニッケルリンめっきを施し、仕上げ研磨加工する場合がある。これら磁気ディスク用基板はその後、磁性体として鉄、クロム、ニッケル、モリブデン、コバルト、タングステン等の合金をスパッタして磁性膜を形成し、ヘッドとの潤滑性を持たせるためにカーボン等をスパッタしてスパッタリングメディアを得る工程を経た後、スピンモーター上に固定し、磁気記録の読み取りをするためのヘッドを装着することにより使用される。
【０００３】
上記磁気ディスク基板の製造工程において、研削工程や研磨工程は湿式の工程であり、加工後に表面の汚れを除去する洗浄工程が必要である。洗浄方法としては種々の手段が行われているが、加工後のディスクを回転させつつ表面を円盤状のパッドで擦るスクラブ洗浄を行うのが一般的である。スクラブ洗浄用のパッドとしてはスポンジ状の樹脂が使用される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来の洗浄装置を図２に示す。図２において洗浄パッド１はスポンジ状の樹脂が使用され、この洗浄パッド１はパッドプレート２に突起３を挿通することで保持され、さらにパッドプレート２はシャフト４が回転自在に保持されるようベアリングが組み込まれた座金５のボルト芯６を挿通することにより貫通保持されている。そして、座金５のボルト芯６はパッドプレート２を貫通して洗浄パッド１に洗浄パッド表面側からボルト７で取り付けられることにより全体が一体的に形成されている。従って、洗浄パッド１には、パッドプレート２の突起３の表面側突出部を避ける孔部３’と座金５のボルト芯６およびこのボルト芯に螺合させるボルト７の突出部を避ける孔部７’を有し、さらに洗浄パッド１の中心部には洗浄水を供給するための供給口９を有し、これらはいずれもパッドの裏面から表面に貫通する貫通孔として形成される。これら洗浄ユニットを用いて洗浄を行う場合、図５に示されるように向かい合った一対のユニットで回転自在に保持されたドーナツ状の磁気ディスク基板８の一部を挾み込み、パッド１をモーターで1000〜4000rpmで回転させることにより基板全体を両面同時に清浄にする。
【０００５】
しかしながら、従来の洗浄工程において、図３に示されるように、洗浄中は洗浄水がベース側のシャフト内からパッド１の中心孔からパッド表面に直接送られて基板表面の汚れを除去するが、この洗浄水は図３の矢印で示したように基板表面とパッドとの界面を外側へと排出され、洗浄水の一部はパッド表面からパッド内部へと吸い込まれる。従って、洗浄により洗い流される研磨滓やポリッシュの遊離砥粒等をパッド中に吸い込むことになり、パッドからこれらゴミを除去することはできなかった。この際、パッド１に穿かれた貫通孔である孔部３’および孔部７’の中に研磨滓やポリッシュの遊離砥粒等が溜りやすく、さらにはパッドの回転する遠心力ににより洗浄水の多くが側端面から吐出してしまい、無駄が多かった。パッド１内に研磨滓やポリッシュの遊離砥粒等が入り込んだ場合、かえって基板表面が疵つけられる虞がある。また新品のパッド中にもゴミが含まれることがあり、使用前にこれらのゴミを除去するとともに洗浄中にもこれらのゴミを除去していく必要があるが、これらを完全に除去するのは困難であった。
【０００６】
【問題点を解決するための手段】
本発明は研磨滓やポリッシュの遊離砥粒等のゴミを洗浄中に洗浄水で洗い流すスクラブ洗浄することができ、パッドが常に清浄にすることができる磁気ディスク基板用洗浄装置を提供することを目的とするものであって、パッドに穿かれる貫通孔を無くし、パッドをその上端部を残して側面部を覆うカバー内に収納した構成とすることにより前記課題を解決したものである。
【０００７】
【発明の実施の態様】
図１は本発明に係る洗浄ユニットの構成を示し、また図５は洗浄ユニットを一対設けてドーナツ状の磁気ディスク基板８を洗浄する場合の施工例を示すものであり、図２、図３と同一部材は同一の符号で示した。通常、パッド１はスポンジ状を呈する格子状の樹脂、例えば BSエバライト（(株)ブリヂストン社製、商品名）からなり、その内部構造は空隙部は連通しているものを用い、パッド１には貫通孔は全くないものを用いる。
【０００８】
パッド１はその上端部を残して側端面はパッドプレート２に一体的もしくは接合形成したカバー10で覆われ、カバー10内面に設けられ円周方向に亘る突起11等適宜の保持部材により保持されると共にパッドプレート２に立設されたピン12に刺されるようにしてカバー10内に収納される。その他、シャフト４、座金５、ボルト芯６は図２と同様である。またボルト７は図２と同様であるがその頭部は厚みのない平ボルトとすることが好ましい。
【０００９】
図１からも明らかなように、本発明装置は、シャフト４が回転自在に保持された座金５をそのボルト芯６をパッドプレート２を挿通させ、ボルト芯６にボルト７螺合させることにより座金５とパッドプレート２とを嵌合させ、次いで洗浄パッド１をパッドプレート２の側端部に設けられたカバー10内に嵌入させる。パッド１はカバー10内面に設けられた突起11およびピン12でしっかりと保持される。
【００１０】
上記のように構成される本発明装置において、スクラブ洗浄する場合の洗浄水の流れは図４の矢印に示すように、パッド１に底面中央部から上方に分散するように拡がりつつ表面に達し、磁気ディスク基板をスクラブ洗浄することになる。この際、パッド１の側面にはカバー10があるため、洗浄水は側面から流れ出ることがなく有効に洗浄に寄与することになる。それと共に、パッド底面から供給される洗浄水はパッド内のゴミ等を表面に流し出し、パッド内が常に清浄に保たれ、研磨された磁気ディスク基板表面を疵つけることや捕集したゴミの再付着が防止される。
【００１１】
本発明装置を用いる場合、洗浄開始前に予め洗浄水を流しておき、パッド内のゴミを除去しておくのが好ましい。また、洗浄に当たっては表面活性剤等洗剤を使用してもよく、その後水洗−乾燥が行われる。この一連の工程はターンテーブル上に各ステージを設け、テーブルを回転させることにより基板が各ステージを通過する方法を採ることができる。
【発明の効果】
以上のような本発明によれば、洗浄パッドを常に清浄な状態に保つことができ、磁気ディスク基板表面の疵つきやゴミの再付着を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明装置の一実施例を示す各部材分解説明図である。
【図２】従来装置の一例を示す各部材分解説明図である。
【図３】従来装置における洗浄パッドを用いた場合のパッド内の洗浄水の流れを示す説明図である。
【図４】本発明装置における洗浄パッドを用いた場合のパッド内の洗浄水の流れを示す説明図である。
【図５】本発明装置を用いて洗浄する場合の施工例を示す。
【符号の説明】
１  洗浄パッド
２  パッドプレート
３  突起
４  シャフト
５  座金
６  ボルト芯
７  ボルト
８  磁気ディスク基板
９  供給口
10  カバー
11  突起
12  ピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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