(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体を含む部材でチャネルを形成し、前記圧電体に設けられた電極に電圧を印加して、前記圧電体を駆動することにより、前記チャネルからインクを噴射するインクジェットプリントヘッドを製造する方法であり、
複数のチャネル用の溝を有するチャネルプレートの少なくとも溝に、触媒を吸着させてメッキ処理して電極を形成し、
前記チャネルプレートの複数のチャネル用の溝を覆うようにカバープレートを接着して基板を作成し、
前記基板を、チャネルの長手方向に垂直な方向で切断し、かつ、前記基板を３枚以上に短冊状に切断してヘッドチップを作成し、
前記ヘッドチップの溝のメッキ層電極に接続する電極を蒸着により形成し、
前記ヘッドチップの外周面に形成された電極の一部を除去することにより、前記複数のチャネルに対応した電極を前記ヘッドチップの外周面に形成することを特徴とするインクジェットプリントヘッドの製造方法。
【請求項２】
圧電体を含む部材でチャネルを形成し、前記圧電体に設けられた電極に電圧を印加して、前記圧電体を駆動することにより、前記チャネルからインクを噴射するインクジェットプリントヘッドを製造する方法であり、
複数のチャネル用の溝を有するチャネルプレートの少なくとも溝に、触媒を吸着させてメッキ処理して電極を形成し、
前記チャネルプレートの複数のチャネル用の溝を覆うようにカバープレートを接着して基板を作成し、
前記基板を、チャネルの長手方向に垂直な方向で切断し、かつ、前記基板を３枚以上に短冊状に切断してヘッドチップを作成し、
前記ヘッドチップの溝のメッキ層電極に接続する電極をレジストでパターニングをした上で蒸着により形成し、
前記ヘッドチップの外周面に形成された電極の一部をリフトオフにより、前記複数のチャネルに対応した電極を前記ヘッドチップの外周面に形成することを特徴とするインクジェットプリントヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記電極が、ニッケルまたは銅であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のインクジェットプリントヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ピエゾ素子を使用する、高画質、高速、高密度シエヤーモードインクジェットプリントヘッドの製造方法に関するものである。シエヤーモードインクジェットプリントヘッドは、分極した圧電基板に、インクチャネルを研削して、その溝の側壁に電極を形成し、この電極に電界を掛けると、溝の側壁が、くの字型に剪断変形して、溝の中のインクに圧力を掛けてインク滴を吐出する。
【０００２】
このインクジェットプリントヘッドには、溝内に駆動電極を、そして、溝の外に、この電極に信号を送る接続電極が必要になる。この発明は、接続電極には蒸着、溝内の駆動電極にはメッキを使用して、駆動電極と接続電極を形成する新しいインクジェットプリントヘッドの製造方法である。
【０００３】
【従来の技術】
従来技術による電極と接続電極の形成法とヘッドの組立法の概略を、図１０（ａ）、図１０（ｂ）を使用して説明する。
【０００４】
分極した圧電基板に複数のストレ−トな溝１１０を形成したヘッド基板１００に、天板１２０を接着して、インク溝をする。続いて、ヘッドの寸法にあわせて短冊状に切断した後、触媒を吸着させて、無電解メッキする。メッキ浴から取り出し、水洗、乾燥後、ヘッド基板１００の後端から裏面に掛けて、レ−ザ−光１３０を照射して、メッキ金属を取り除く。ヘッド基板１００の両端を研磨して、メッキ金属を取り除けば、各溝毎に独立した電極と立体的な引き出し配線を形成できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、高密度、高画質のインクジェットプリントヘッドでは、溝の高さと幅の比であるアスペクト比（＝高さ／幅）が大きく、蒸着で溝の奥まで電極を形成しようとすると表面の凹凸により影になる部分が生じ、被覆率が低減し（容量は低下）、駆動電極の機能を損ねる欠点があった。
【０００６】
一方、チャネルプレートとカバープレートとを接着してヘッドチップを形成し短冊状に切断した後、メッキによって電極を形成すると、ブロックが小さいことからメッキ浴への出し入れ等の作業性が悪い欠点があった。
【０００７】
この発明は、組み合わせにより蒸着とメッキのそれぞれの欠点を解消し、高密度、高画質なインクジェットプリントヘッドを安価に製造でき、かつ生産性の向上が可能なインクジェットプリントヘッドの製造方法を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前期課題を解消し、かつ目的を達成するために、この発明は、以下のように構成した。
【０００９】
請求項１に記載の発明は、圧電体を含む部材でチャネルを形成し、前記圧電体に設けられた電極に電圧を印加して、前記圧電体を駆動することにより、前記チャネルからインクを噴射するインクジェットプリントヘッドを製造する方法であり、
複数のチャネル用の溝を有するチャネルプレートの少なくとも溝に、触媒を吸着させてメッキ処理して電極を形成し、
前記チャネルプレートの複数のチャネル用の溝を覆うようにカバープレートを接着して基板を作成し、
前記基板を、チャネルの長手方向に垂直な方向で切断し、かつ、前記基板を３枚以上に短冊状に切断してヘッドチップを作成し、
前記ヘッドチップの溝のメッキ層電極に接続する電極を蒸着により形成し、
前記ヘッドチップの外周面に形成された電極の一部を除去することにより、前記複数のチャネルに対応した電極を前記ヘッドチップの外周面に形成することを特徴とするインクジェットプリントヘッドの製造方法である。
【００１０】
この請求項１に記載の発明によれば、溝の高さと幅の比であるアスペクト比が大きい場合でも、複数のチャネル用の溝を有するチャネルプレートの少なくとも溝に触媒を吸着させてメッキ処理して電極を形成し、チャネルプレートの複数のチャネル用の溝を覆うようにカバープレートを接着して基板を作成し、基板を、チャネルの長手方向に垂直な方向で切断し、かつ、基板を３枚以上に短冊状に切断してヘッドチップを作成し、その後、ヘッドチップのブロックにした状態では溝のメッキ層電極に接続する電極を蒸着し、外周面に形成された蒸着層の一部をレーザー光やエッチングで除去することにより、複数のチャネルに対応するようにパターニングして形成することで、高密度、高画質なインクジェットプリントヘッドを安価に製造でき、かつ生産性の向上が可能である。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、圧電体を含む部材でチャネルを形成し、前記圧電体に設けられた電極に電圧を印加して、前記圧電体を駆動することにより、前記チャネルからインクを噴射するインクジェットプリントヘッドを製造する方法であり、
複数のチャネル用の溝を有するチャネルプレートの少なくとも溝に、触媒を吸着させてメッキ処理して電極を形成し、
前記チャネルプレートの複数のチャネル用の溝を覆うようにカバープレートを接着して基板を作成し、
前記基板を、チャネルの長手方向に垂直な方向で切断し、かつ、前記基板を３枚以上に短冊状に切断してヘッドチップを作成し、
前記ヘッドチップの溝のメッキ層電極に接続する電極をレジストでパターニングをした上で蒸着により形成し、
前記ヘッドチップの外周面に形成された電極の一部をリフトオフにより、前記複数のチャネルに対応した電極を前記ヘッドチップの外周面に形成することを特徴とするインクジェットプリントヘッドの製造方法である。
【００１２】
この請求項２に記載の発明によれば、溝の高さと幅の比であるアスペクト比が大きい場合でも、複数のチャネル用の溝を有するチャネルプレートの少なくとも溝に触媒を吸着させてメッキ処理して電極を形成し、チャネルプレートの複数のチャネル用の溝を覆うようにカバープレートを接着して基板を作成し、基板を、チャネルの長手方向に垂直な方向で切断し、かつ、基板を３枚以上に短冊状に切断してヘッドチップを作成し、その後、ヘッドチップの溝のメッキ層電極に接続する電極をレジストでパターニングをした上で蒸着により形成し、この外周面に形成された電極の一部をリフトオフ（レジスト除去）により、複数のチャネルに対応した電極をヘッドチップの外周面に形成することで、高密度、高画質なインクジェットプリントヘッドを安価に製造でき、かつ生産性の向上が可能である。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、前記電極が、ニッケルまたは銅であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のインクジェットプリントヘッドの製造方法である。
【００１４】
この請求項３に記載の発明によれば、電極金属は、ニッケルまたは銅が好ましく、特に、耐食性に優れるニッケルが好ましい。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、この発明のインクジェットプリントヘッドの製造方法の実施の形態を図面に基づいて説明するが、この発明はこの実施の形態に限定されない。
【００１６】
この発明は、複数のチャネル用の溝を有するチャネルプレートの少なくとも溝に、触媒を吸着させてメッキ処理して電極を形成する。溝の高さと幅の比であるアスペクト比（＝高さ／幅）が大きい場合でも、複数のチャネル用の溝を有するチャネルプレートの少なくとも溝に、メッキ処理して被覆率の高い電極を形成することができる。
【００１７】
その後、チャネルプレートとカバープレートとを接着した基板を短冊状に切断してブロックにする。このブロックにした後、ブロックの溝のメッキ層電極に接続する電極を蒸着により形成することで、高密度、高画質なインクジェットプリントヘッドを安価に製造でき、かつ生産性の向上が可能である。
【００１８】
ここで、接続電極は、外周面に形成された蒸着層の一部をレーザー光やエッチングで除去することにより複数のチャネルに対応するようにパターニングしてもよいし、あるいは予めパターニングしたレジスト上に蒸着層を形成した後でリフトオフ（レジスト除去）をしてもよい。
【００１９】
次に、この実施の形態について説明する。
【００２０】
図１はインクジェットプリントヘッドの製造工程のフロー、図２はインクジェットプリントヘッドの製造工程を示す概略図、図３はレーザー光の照射を示す図、図４はヘッドブロックの分解斜視図、図５はインクジェットプリントヘッドの平面図、図６は図５のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図、図７は図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿う断面図、図８はインクジェットプリントヘッドの組付の斜視図である。
【００２１】
この実施の形態では、インクジェットプリントヘッドの製造が、チャネルプレート作製工程Ａ１、チャネルプレート溝加工工程Ａ２、触媒吸着無電解メッキ工程Ａ３、カバープレート作製工程Ａ４、チャネルプレートとカバープレート接着工程Ａ５、ブロック加工工程Ａ６、蒸着工程Ａ７、パターニング工程Ａ８、ノズルプレート接着工程Ａ９、絞り板接着工程Ａ１０、液室接着工程Ａ１１、基体接着工程Ａ１２、駆動制御基盤接合工程Ａ１３、基板固定工程Ａ１４、カプラー接着工程Ａ１５の順で行われる。
【００２２】
以下、このインクジェットプリントヘッドの製造工程について説明する。
［チャネルプレート作製工程Ａ１（図２（ａ））］
分極処理した、厚さ０．９ｍｍのＰＺＴの板材１と、厚さ０．１５５ｍｍのＰＺＴの板材２を、分極方向を所定の方向に合わせて１４〜２０Ｋｇ／ｃｍ2の荷重と９０〜１００℃の温度を掛けて、３０〜４０分接着することにより、接着剤層が約２μｍになるようにして、接着剤層を含む厚さ１．０５７ｍｍのチャネルプレート３を作製する。
【００２３】
このチャネルプレート３を作製する工程Ａ１は、接着面にゴミ等が付着しないよう、クリーンルームで作業し、また、接着ムラや気泡等が残留しないよう細心の注意を払うことが重要である。
【００２４】
２枚のＰＺＴの板材１，２を接着するのは、剪断モードインクジェットプリントヘッドのチャネルの側壁を２枚のＰＺＴで形成することにより、電圧を印加した際、側壁の変形を大きくするためである。
［チャネルプレート溝加工工程Ａ２（図２（ｂ））］
チャネルプレート３を研削して、インクチャネルとなる溝４を形成する。
【００２５】
この実施形態の場合、１２８個のノズルを形成するために、ほぼ溝幅に等しいブレードＢにより、チャネルプレート３の厚さ０．１５５ｍｍの板材２の側より、深さ０．３１ｍｍ、溝幅０．０７ｍｍ、壁幅０．０７１ｍｍ、ピッチ０．１４１ｍｍで合計２６３個の溝を、櫛歯状に加工する。
【００２６】
この実施形態の場合は、インクチャネルの両側に空気チャネルを設けるので、２５７個の溝が必要となり、その両側に各々４ｍｍの保持部を備え、その保持部に前記２５７個の溝に続けて予備の溝をそれそれぞれ３個設けているので合計２６３個の溝となる。
【００２７】
なお、両側のそれぞれ３個の溝は、ノズル板を接着する時、過剰の接着剤がノズル域に入り込まないように設けたグルーガードであるが、またノズル域にあるノズルに不測の事態が生じた場合など、予備ノズルとして機能させることができる。
［触媒吸着・無電解メッキＡ３（図２（ｃ））］
メッキ浴Ｃにおいて、チャネルプレート３に、触媒を吸着して適正メッキ膜厚２〜５μｍより、薄いメッキ皮膜を掛ける。例えば、ニッケル／燐またはニッケル／ボロンの１μｍ以下の薄膜メッキを施す。また、銅等で薄膜メッキを施す。
［カバープレート作製工程Ａ４（図２（ｄ））］
チャネルプレート３の溝の上面を塞ぐため、チャネルプレートと同じＰＺＴで、カバープレート１０を作製する。このカバー材は溝を加工する必要がなく、また、分極処理する必要もないので、材質はＰＺＴである必要はないが、カバー材とＰＺＴの機械物性が大幅に異なると、ＰＺＴの剪断力発生に悪影響するため、ヘッドの射出性能等に影響を及ぼしたり、接着後にソリや変形を生じることがあるので、カバー材は、機械的強度や線膨張係数等がＰＺＴと等しいか、きわめて近似していることが望ましく、この実施の形態ではチャネルプレート製作に用いた厚板を共用して、脱分極して用いる。
［チャネルプレートとカバープレート接着工程Ａ５（図２（ｅ））］
溝加工されたチャネルプレート３にカバープレート１０を接着する。それぞれ同寸法であるため、位置がずれないように治具等を使用して接着する。接着剤を加熱接着後に約２μｍになるように均一に塗布し、１４〜２０Ｋｇ／ｃｍ2、９０〜１００℃の温度で約３０〜４０分程度、加熱接着する。
［ブロック加工工程Ａ６（図２（ｆ））］
接着されたチャネルプレート３とカバープレート１０をダイシング加工により、幅２ｍｍ、長さ４４．１６６ｍｍの短冊状に数個に切断７０してヘッドチップ２０にする。
［蒸着工程Ａ７（図２（ｇ））］
ヘッドチップ２０のブロックの溝の電極に接続する電極を蒸着により形成し、この蒸着は、アルミニウム、ニッケル、銅等を用いて接続電極がそれぞれ形成される。ただし、ノズルプレート３０を接着する側のヘッドチップ端面には、蒸着は行なわない。
［パターニング工程Ａ８（図２（ｈ））］
ヘッドチップ２０のブロック６に蒸着層電極を形成した後、図９に示すように、不要箇所の蒸着層電極をレーザー光Ｄで除去することで、接続電極８１等の電極形成を完成する。
【００２８】
レーザー光での電極の除去は、図３に示す装置で行う。ヘリウム・ネオンレーザー発振器１５１からのレーザー光は、電極除去用のＹＡＧレーザー発振器１５４からのレーザー光の照射位置を定めるものである。Ｘ方向及びＹ方向に移動可能なＸＹテーブル１５０にチャネルプレート３からのブロック６を載置し、まず最初にヘリウム・ネオンレーザー発振器１５１からのレーザー光を反射鏡１５２、集光レンズ１５３を介して照射し、ＹＡＧレーザー発振器１５４からのレーザー光の照射位置を定め、その後ＹＡＧレーザー発振器１５４からのレーザー光を反射鏡１５５、集光レンズ１５３を介して照射し、レーザートリミングにより電極にパターンを形成する。
【００２９】
ここで、レーザー光による蒸着層電極のパターニング方法を示したが、エッチングやレジストのリフトオフ（レジスト除去）によるパターニングを用いてもよい。なお、レジストのリフトオフによる場合、蒸着前にパターニングしたレジスト層を形成し、蒸着後にリフトオフすることになる。
［ノズルプレート接着工程Ａ９（図２（ｉ））］
ヘッドチップ２０の端面にノズルプレート３０を接着する。ノズルプレート３０は、シート状の薄板にインク吐出のための開孔３０ａを複数個設けた、ステンレス材やポリイミド樹脂等で形成されている。ノズルプレート３０の開孔径（ノズル径）や厚み、幅や長さ等の形状諸元は、インクジェット装置の仕様で異なるが、この実施形態では、厚さ約１２５μｍのポリイミド樹脂シートに開口径約φ１８μｍで１２８個の開孔（ノズル）３０ａをエキシマレーザーで加工し、ノズルプレート表面は、飛散したインク滴が、ノズル開孔３０ａに影響を与えないよう撥水処理する。
【００３０】
ノズルプレート３０の所定の箇所あるいはヘッドチップ２０の所定の箇所に接着剤を塗布し、ヘッドチップ２０と接着後、加熱器内に挿入し、接着剤の種類や、被接着物等により変化するが、この実施の形態では、例えば約８０℃の温度で約４０分程度の加熱を行い、更に、約１００℃、２０分加熱を行うことで、接着強度を高める。
【００３１】
なお、ノズルプレート３０が平行平面を保持するように、且つ接着剤がインクチャネル内を埋めることがないように注意すると共に、インクを注入した時に漏れがないように、それぞれのインクチャネルが確実に、個々に独立した空間を形成するように接着しなければならない。ノズル開孔３０ａが接着剤で塞がれることがないように、接着剤の量や接着層の厚みを管理することが重要である。なお、ヘッドチップ２０にプラズマ処理を行い、接着層の濡れ性を促進しておくと、接着が容易に且つ確実に行える。ノズルプレート３０のみならず、絞り板の接着もあるので、ヘッドチップ２０をプラズマ処理する事が望ましい。
［絞り板の接着工程Ａ１０（図２（ｊ））］
ノズルプレート３０を接着したヘッドチップ２０の他端に、絞り板４０を接着して、ヘッドブロック５０を作製する。
【００３２】
なお、絞り板４０は、開孔（ノズル）４０ａを有するチャネルの両側の空気チャネルにインクが流入しないようにする機能と、インク吐出のためのチャネル内の圧力変動を所定の圧力に維持できるようにするための機能を有する。
【００３３】
この実施の形態では、ノズルプレート３０と同材質の１２５μｍ厚のポリイミド樹脂シートに、幅１１０μｍ長さ３５０μｍの長方形状の孔４０ａをピッチ２８２μｍで１２８個設けている。勿論、これらの形状諸元は、ノズルプレート３０と同様、インクジェット装置の仕様等に基づくもので、これに限定されないことは言うまでもない。
［液室接着工程Ａ１１］
ヘッドチップ２０にノズルプレート３０と絞り板４０とを接着すると、図４に示すように、ヘッドブロック５０が完成する。このヘッドブロック５０に、図５乃至図８に示すように、インクが供給できるように液室部材６０を接着剤で固着する。
［基体接着工程Ａ１２］
さらに、ヘッドブロック５０と液室部材６０とを接着したヘッドユニットを、基体６１に接着することにより液室が構成され、ヘッドユニットにインクが注入できる状態となる。ヘッドユニットの接着に際しては、基体６１に対してヘッドユニットのヘッドブロック５０が位置ズレや傾斜のないように注意すると共に基体６１に接着される液室部材６０周囲からのインク漏れが生じないように注意する必要がある。この工程では、組み込みの作業性を考慮して常温硬化タイプの接着剤を用いる。
【００３４】
なお、この実施の形態では、ヘッドブロック５０を固定する基体６１と一体的に液室を構成したが、これによらず、インクジェットヘッドの仕様や設計上の構成によっては液室を単独に構成しても良く、液室の形状や大きさ等の諸元は、インクジェットヘッドの仕様等に基づき設定され、特にインクがインクカートリッジやインク袋から円滑に流入し、ヘッドブロック５０のチャネルに円滑に侵入するようにする形状が重要で、また、インク内のゴミや気泡等を除去するためのフィルター等を組込んだり、別にフィルターを組込んだフィルター室を設け液室に連接することも可能である。
【００３５】
この実施の形態のように、ヘッドチップ２０を小型化すると、インクジェットヘッドの重量や容積が少なくてすむのでコスト的にも従来に比べ安価で、ヘッドユニット構成のための自由度が増し、更に慣性力も軽減できる機械的な利点の他に、インクを吐出するためのＰＺＴの剪断変形を低電圧で行えると共に、周波数が高速化できるので、印字速度を速くできる利点がある。
［駆動制御基板接合工程Ａ１３］
インクが注入できるまでに完成したヘッドユニットに、インクを吐出させる為に電圧を印加する駆動制御基板６２を結合する。
【００３６】
この第１の実施の形態では、ヘッドチップ２０のチャネルプレート３の裏面に形成された接続電極に、異方性導電性フィルム（ＡＣＦ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ）６３を用いることができ、約１７０℃で約２０秒程、約１４Ｋｇ程度の荷重を均一にかけて加熱押圧することで、駆動制御基板６２に設けられたフレキシブルプリント回路（ＦＰＣ）６４と電気的に結合する。
［基板固定工程Ａ１４］
ヘッドユニットと駆動制御基板６２とを基体６１に取り付け、インクジェットプリントヘッドを完成させる。この第１の実施の形態では、ヘッドユニットとフレキシブルプリント回路６４を介して駆動制御基板６２が電気的に結合された後に、駆動制御基板６２を基体６１にネジ等の締結部材６５で固定すると共に、ヘッドユニットを上蓋６６をネジ等の締結部材６７で固定することによりインクジェットプリントヘッドが完成する。
［カプラー接着工程Ａ１５］
このインクジェットプリントヘッドの基体６１にカプラー６８を接着し、別に設けたインク注入装置からカプラー６８を介して液室部材６０にインクを注入し、駆動制御基板６２に設けたコネクタ６９に電源を接続すると共に、インク吐出させるための制御を行うことによりインクジェットプリントヘッドのノズルからインクが吐出できることになる。
【００３７】
なお、この実施の形態においては、インク注入装置からインクをインクジェットヘッドに流入させるためにインク注入装置のチューブと液室を連係するためのカプラー６８を別途設けたが、これは基体や液室、あるいはフィルター室等を設けた場合はフィルター室と一体に構成しても良いことは言うまでもない。また、一般には、各工程毎に決められた項目での検査が行われ、次工程に流されるようになっており、インクジェットヘッドが完成した段階で、疑似インクによる吐出性能等が検査されて、合格品が出荷の運びとなるので、この実施の形態においても同様であり、検査に関しては省略した。なお、この発明の要旨を工程順に説明したが、工程の順序を作業の都合等で入れ替えたり、同時に作業を行えるようにする等の工程変更は、この発明の要旨から逸脱するものではない。
【００３８】
【発明の効果】
前記したように、請求項１に記載の発明では、溝の高さと幅の比であるアスペクト比が大きい場合でも、複数のチャネル用の溝を有するチャネルプレートの少なくとも溝に触媒を吸着させてメッキ処理して電極を形成し、チャネルプレートの複数のチャネル用の溝を覆うようにカバープレートを接着して基板を作成し、基板を、チャネルの長手方向に垂直な方向で切断し、かつ、前記基板を３枚以上に短冊状に切断してヘッドチップを作成し、その後、ヘッドチップのブロックにした状態では溝のメッキ層電極に接続する電極を蒸着し、外周面に形成された蒸着層の一部をレーザー光やエッチングで除去することにより、複数のチャネルに対応するようにパターニングして形成することで、高密度、高画質なインクジェットプリントヘッドを安価に製造でき、かつ生産性の向上が可能である。
【００３９】
請求項２に記載の発明では、溝の高さと幅の比であるアスペクト比が大きい場合でも、複数のチャネル用の溝を有するチャネルプレートの少なくとも溝に触媒を吸着させてメッキ処理して電極を形成し、チャネルプレートの複数のチャネル用の溝を覆うようにカバープレートを接着して基板を作成し、基板を、チャネルの長手方向に垂直な方向で切断し、かつ、前記基板を３枚以上に短冊状に切断してヘッドチップを作成し、その後、ヘッドチップの溝のメッキ層電極に接続する電極をレジストでパターニングをした上で蒸着により形成し、この外周面に形成された電極の一部をリフトオフ（レジスト除去）により、複数のチャネルに対応した電極をヘッドチップの外周面に形成することで、高密度、高画質なインクジェットプリントヘッドを安価に製造でき、かつ生産性の向上が可能である。
【００４０】
請求項３に記載の発明では、電極金属は、ニッケルまたは銅が好ましく、特に、耐食性に優れるニッケルが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【図１】インクジェットプリントヘッドの製造工程のフローである。
【図２】インクジェットプリントヘッドの製造工程を示す概略図である。
【図３】レーザー光の照射を示す図である。
【図４】ヘッドブロックの分解斜視図である。
【図５】インクジェットプリントヘッドの平面図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。
【図７】図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿う断面図である。
【図８】インクジェットプリントヘッドの組付の斜視図である。
【図９】ヘッドチップの斜視図である。
【図１０】レーザーにより蒸着層電極が除去されるチャネルプレートを示す図である。
【符号の説明】
３  チャネルプレート
６，１３  ブロック
１０  カバープレート
２０  ヘッドチップ
３０  ノズルプレート
４０  絞り板
５０  ヘッドブロック
６０  液室部材
６１  基体
【図１】
0004099753.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0004099753.tif 000006
【図６】
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【図７】
0004099753.tif 000008
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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