(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動を検出し振動検出信号を出力する振動検出部と、この振動検出部に供給される基準電圧を発生する基準電圧発生部と、振動検出信号の静止時出力がドリフトする影響を除去するために振動検出信号の直流成分を阻止するハイパスフィルタ部と、このハイパスフィルタ部を通過した振動検出信号と基準電圧とを差動増幅することにより振動信号を出力する差動増幅部と、振動信号を検知するための振動検知部とからなる振動検出装置において、
前記ハイパスフィルタ部を、前記振動検出信号が入力されて前記作動増幅部の一方の入力端子に出力するコンデンサと、該一方の入力端子と前記基準電圧に接続される抵抗とで構成し、
前記コンデンサの前もしくは後に振動検出信号の伝達を切断するスイッチ部を備え、切断した状態において前記振動検出部に振動がない場合の静止時出力を検知するようにしたことを特徴とする振動検出装置。
【請求項２】
前記ハイパスフィルタ部を構成する抵抗の前段、および前記ハイパスフィルタ部を構成する前記コンデンサの後段に前記スイッチ部を備えたことを特徴とする請求項１項記載の振動検出装置。
【請求項３】
振動を検出し振動検出信号を出力する振動検出部と、この振動検出部に供給される基準電圧を発生する基準電圧発生部と、振動検出信号の静止時出力がドリフトする影響を除去するために振動検出信号の直流成分を阻止する第１ハイパスフィルタ部と、第１ハイパスフィルタ部を通過した振動検出信号と基準電圧とを差動増幅することで振動信号を出力する第１差動増幅部と、振動信号の直流成分を阻止する第２ハイパスフィルタ部と、この第２ハイパスフィルタ部を通過した振動信号と基準電圧とを差動増幅することにより第２振動信号を出力する第２差動増幅部と、第２振動信号を検知するための振動検知部とからなる振動検出装置において、
前記第１ハイパスフィルタ部を、前記振動検出信号が入力されて前記第１作動増幅部の一方の入力端子に出力するコンデンサと、該一方の入力端子と前記基準電圧に接続される抵抗とで構成し、
前記第２ハイパスフィルタ部を、前記第１作動増幅部の出力信号が入力されて前記第２作動増幅部の一方の入力端子に出力するコンデンサと、該一方の入力端子と前記基準電圧に接続される抵抗とで構成し、
前記第２ハイパスフィルタ部を構成するコンデンサの後段で振動検出信号の伝達を切断するスイッチ部を備え、切断した状態において振動検出部に振動がない場合の静止時出力を検知するようにしたことを特徴とする振動検出装置。
【請求項４】
前記第２ハイパスフィルタ部を構成する前記コンデンサの前段、あるいは後段において振動検出信号の伝達を切断するスイッチ部と、前記第１ハイパスフィルタ部および前記第２ハイパスフィルタ部の時定数を可変制御する起動回路部を備えたことを特徴とする請求項３項記載の振動検出装置。
【請求項５】
前記基準電圧を振動検出部に振動がない場合の静止時出力とすることを特徴とする請求項３項記載の振動検出装置。
【請求項６】
前記スイッチ部の開閉を制御する制御部を備えたことを特徴とする請求項１〜４項記載の振動検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転角速度の大きさに応じた出力電圧を発生する角速度センサの静止時出力電圧を判定するための振動検出装置に係り、特にデジタルカメラ，アナログカメラにおける手振れ補正に使用する振動検出回路の静止時出力を判定するための装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
特開平７−２１８９５３号公報に記載された手振れ検出装置は、角速度センサ，ＨＰＦ（ハイパスフィルタ），増幅回路，ＣＰＵからなり、レリーズボタンが半押しされると、角速度センサに電源供給し、アナログスイッチをオンすることで、増幅器に入力される振れ信号を強制的に（直流の）ゼロレベル信号に置き換え、その後、アナログスイッチをオフし、増幅回路の出力をＡ／Ｄ変換して角速度ゼロ検出を行うものであり、そして、増幅回路の出力が角速度ゼロ検出値になると、ＣＰＵがアナログスイッチを、一旦オンしてオフセット値を低減した後、アナログスイッチをオフにして、以後は継続して角速度ゼロ検出を行って角速度ゼロ検出値を算出し、Ａ／Ｄ変換出力から角速度ゼロ検出値を引いて、真の角速度すなわち手振れ量を求める構成のものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記特開平７−２１８９５３号公報に記載された発明は、アナログスイッチをオンすることで、増幅器に入力される振れ信号を強制的に（直流の）ゼロレベル信号に置き換えるようにしているが、このアナログスイッチとゼロレベル信号系のインピーダンスに比べ、増幅器前段の信号系もインピーダンスが低く、振動検出信号が重畳したゼロレベル信号となり、正確な角速度ゼロ検出を行えないという不都合がある。
【０００４】
また、ＨＰＦ後段の直流レベルを強制的にゼロレベルに設定するため、アナログスイッチのオフ後、しばらくの間は、ＨＰＦを構成するコンデンサの充放電動作となり、振れ検出が行えない構成になっている。
【０００５】
本発明の目的は、前記従来の課題を解決し、正確な角速度ゼロ検出が行え、スイッチ切り換え後のデッドタイムをなくした振動検出装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、請求項１記載の発明は、振動を検出し振動検出信号を出力する振動検出部と、この振動検出部に供給される基準電圧を発生する基準電圧発生部と、振動検出信号の静止時出力がドリフトする影響を除去するために振動検出信号の直流成分を阻止するハイパスフィルタ部と、このハイパスフィルタ部を通過した振動検出信号と基準電圧とを差動増幅することにより振動信号を出力する差動増幅部と、振動信号を検知するための振動検知部とからなる振動検出装置において、前記ハイパスフィルタ部を、前記振動検出信号が入力されて前記作動増幅部の一方の入力端子に出力するコンデンサと、該一方の入力端子と前記基準電圧に接続される抵抗とで構成し、前記コンデンサの前もしくは後に振動検出信号の伝達を切断するスイッチ部を備え、切断した状態において前記振動検出部に振動がない場合の静止時出力を検知するようにしたことを特徴とし、この構成によって、振動検出部に振動がない状態の静止時出力が振動検知部で正確に、簡単な回路構成で検知できることになる。
【０００７】
請求項２記載の発明は、請求項１項記載の振動検出装置において、ハイパスフィルタ部を構成する抵抗の前段、およびハイパスフィルタ部を構成するコンデンサの後段にスイッチ部を備えたことを特徴とし、この構成によって、ハイパスフィルタ部を構成するフィルタコンデンサを充放電しないため、短時間に静止時出力を検知できる。
【０００８】
請求項３記載の発明は、振動を検出し振動検出信号を出力する振動検出部と、この振動検出部に供給される基準電圧を発生する基準電圧発生部と、振動検出信号の静止時出力がドリフトする影響を除去するために振動検出信号の直流成分を阻止する第１ハイパスフィルタ部と、第１ハイパスフィルタ部を通過した振動検出信号と基準電圧とを差動増幅することで振動信号を出力する第１差動増幅部と、振動信号の直流成分を阻止する第２ハイパスフィルタ部と、この第２ハイパスフィルタ部を通過した振動信号と基準電圧とを差動増幅することにより第２振動信号を出力する第２差動増幅部と、第２振動信号を検知するための振動検知部とからなる振動検出装置において、前記第１ハイパスフィルタ部を、前記振動検出信号が入力されて前記第１作動増幅部の一方の入力端子に出力するコンデンサと、該一方の入力端子と前記基準電圧に接続される抵抗とで構成し、前記第２ハイパスフィルタ部を、前記第１作動増幅部の出力信号が入力されて前記第２作動増幅部の一方の入力端子に出力するコンデンサと、該一方の入力端子と前記基準電圧に接続される抵抗とで構成し、前記第２ハイパスフィルタ部を構成するコンデンサの後段で振動検出信号の伝達を切断するスイッチ部を備え、切断した状態において振動検出部に振動がない場合の静止時出力を検知するようにしたことを特徴とし、この構成によって、振動検出部に振動がない状態の静止時出力が振動検知部で正確に、簡単な回路構成で検知できることになる。さらにハイパスフィルタを構成するフィルタコンデンサを充放電しないため、短時間に静止時出力を検知でき、また交流２段増幅回路の構成としたため、差動増幅器のオフセット電圧に伴う出力ドリフトをキャンセルできる。オフセット調整回路を削除できるため、オフセット調整回路の電源電圧変動あるいは温度変動による第２振動信号の出力変動をなくすことができる。しかも、調整に伴う時間あるいは工数を削除することができる。
【０００９】
請求項４記載の発明は、請求項３項記載の振動検出装置において、第２ハイパスフィルタを構成するコンデンサの前段、あるいは後段において振動検出信号の伝達を切断するスイッチ部と、第１ハイパスフィルタ部および第２ハイパスフィルタ部の時定数を可変制御する起動回路部を備えたことを特徴とし、この構成によって、通常に常備される起動回路部を流用することで、振動検出部に振動がない状態の静止時出力が振動検知部で正確に、短時間に簡単な回路構成で検知できる。また交流２段増幅回路の構成としたため、差動増幅器のオフセット電圧に伴う出力ドリフトをキャンセルできる。さらに、オフセット調整回路を削除できるため、オフセット調整回路の電源電圧変動あるいは温度変動による第２振動信号の出力変動をなくすことができる。また調整に伴う時間や工数を削除することができる。
【００１０】
請求項５記載の発明は、請求項３項記載の振動検出装置において、基準電圧を振動検出部に振動がない場合の静止時出力とすることを特徴とし、この構成によって、振動検出部に振動がない状態の静止時出力を基準電圧とすることで、別途スイッチ部を設けることなく、簡単な回路構成で静止時出力を検知できることになり、またハイパスフィルタを構成するフィルタコンデンサの充放電に依存しないため、短時間に静止時出力を検知できる。また、交流２段増幅回路の構成としたため、差動増幅器のオフセット電圧に伴う出力ドリフトをキャンセルできる。オフセット調整回路を削除できるため、オフセット調整回路の電源電圧変動あるいは温度変動による第２振動信号の出力変動をなくすことができる。また調整に伴う時間あるいは工数を削除することができる。
【００１１】
請求項６記載の発明は、請求項１〜４項記載の振動検出装置において、スイッチ部の開閉を制御する制御部を備えたことを特徴とし、この構成によって、スイッチ部の開閉を制御する制御部を設けることで、任意の時点で振動検出部に振動がない状態の静止時出力が振動検知部で検知できるようになり、基準電圧あるいは差動増幅器のオフセット電圧の電源電圧変動，温度変動，経年変化などに起因する静止時出力の変動を補償できるようになり、常に正確な静止時出力を検知できるようになる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１は本発明に係る手振れ補正機能付き撮影装置の実施形態を説明するための外観斜視図であって、撮影装置１において、２は撮像レンズ、３は撮像光学系、４はレリーズスイッチであり、図１に示すようにＸＹ軸をとった場合、レリーズスイッチ４の押下などに伴い、Ｘ軸回り振れと、それに直交するＹ軸回り振れが発生する。
【００１３】
図２は撮影装置における基本的な振れ補正方法を実現するための構成の要部を示す説明図であって、５，６は振動角速度センサなどの振動検出部であり、一方の振動検出部５は撮影装置のＸ軸回りの振れを検出し、他方の振動検出部６は撮影装置のＹ軸回りの振れを検出する。８は振動検出部５，６からの振動検出信号の直流成分を阻止するハイパスフィルタ部、９は振動検出信号を増幅する差動増幅部、１４はＣＣＤなどの撮像素子７を含む撮像手段、１５は位置規制用の与圧ばねを示す。
【００１４】
差動増幅部９の出力である振動信号はＡＤ変換器などの後述する振動検知部を有する演算処理手段１０に送られる。演算処理手段１０は出力インターフェイス，入力インターフェイス，メモリ，ＣＰＵ（中央演算処理ユニット）などにより構成され、差動増幅部９からの出力に応じて、ＸＹ振れ量を検知し、手振れ補正量を算出する。この算出された手振れ補正量に対応した信号が補正駆動手段１１に送られ、それにより補正駆動手段１１を通じた振れ補正手段１２，１３が駆動され、撮像素子７を手振れを軽減させる方向へ変位させる。振れ補正手段１２はＸ軸廻り方向の振れを補正する方向へ駆動、また振れ補正手段１３はＹ軸廻り方向の振れを補正する方向へ駆動される。この一連の手振れ補正動作は露光中に繰り返し行われ、手振れ状態で露光されても手振れのない画像が撮像手段１４から得られる。
【００１５】
なお、ＡＤ変換器などの振動検出部５，６は、演算処理手段１０に含まれるようにしても、また別途外部に設けてもその効果は同じである。また、振動検出部５，６と、ハイパスフィルタ部８と、差動増幅部９と、振動検知部を含む演算処理手段１０とから本発明における振動検出装置を構成する。
【００１６】
図３は振動検出系の具体的な回路構成を示す第１実施形態の回路図であって、Ｘ軸回りとＹ軸回りの振れを検出する回路構成は同一になるため、図３以降の説明においては一方のＸ軸廻りの振動検出のみについて説明する。
【００１７】
第１実施形態の振動検出系は、Ｘ軸廻りの振れを検出する振動検出部５、振動検出部５の出力である振動検出信号に含まれるドリフト成分を除去するハイパスフィルタ部８Ｘ、振動検出信号と基準電圧Ｖｒｅｆを差動増幅する差動増幅部９Ｘ、差動増幅部９Ｘの出力である振動信号を検知するＡＤ変換器などの振動検知部２０を有する演算処理手段１０、振動検出信号の伝達を切断するスイッチ部ＳＷＡおよびＳＷＢから構成される。
【００１８】
なお、図３では基準電圧発生部（Ｖｒｅｆ）を振動検出部５に内蔵したものとしたが、外部に別途設けてもその効果作用は同じあり、振動検出部５のＶｏｕｔは振動検出信号の出力端子、Ｖｒｅｆは振動検出部５に供給される電源電圧の約１／２の電圧を発生し、差動増幅用の基準電圧を出力する端子であり、また、ハイパスフィルタ８ＸはコンデンサＣ１０および抵抗Ｒ１０から構成される公知の回路である。
【００１９】
差動増幅部９Ｘは、差動増幅器ＯＰ１０，ゲイン設定抵抗Ｒ１１，帰還抵抗Ｒ１２，抵抗Ｒ１２と共にローパスフィルタを構成するフィルタコンデンサＣ１１から構成され、その増幅率は抵抗Ｒ１１とＲ１２の抵抗値より（１＋Ｒ１２／Ｒ１１）で表される。手振れに伴う振動検出信号は、通常、１ｍＶｐｐ程度の出力電圧であり、振動検知部の感動範囲を３.３Ｖｏｐ、入力ダイナミックレンジの余裕を６倍取るとすれば、差動増幅部９Ｘの増幅率は約２７５となる。ここで、電源Ｖｃｃとグランド間に接続された可変抵抗器ＶＲ１０と抵抗Ｒ１３とで公知のオフセット調整回路を構成し、差動増幅器ＯＰ１０の＋／−入力端子間に存在するオフセット電圧を補正するものである。オフセット電圧が４ｍＶの差動増幅器ＯＰ１０を使用した場合、このオフセット電圧が増幅率倍されたものが基準電圧との差分として差動増幅器ＯＰ１０から出力される。すなわち、３.３／２±０．００４×２７５＝１．６５±１．１Ｖとなり、振動検出部５に振動がない場合の静止時出力が０．５５Ｖ〜２．７５Ｖの間を変動することになる。
【００２０】
オフセット調整回路は前記オフセット電圧を補正し、前記静止時出力を略１．６５Ｖに設定するものである。図３に示す例では、オフセット調整回路を可変抵抗器ＶＲ１０と抵抗Ｒ１３とで構成したが、演算処理手段１０などに制御されたＤＡ変換器あるいはデジタルポテンショメータなどでオフセット調整を行っても良い。
【００２１】
差動増幅器ＯＰ１０の増幅率が低い場合、あるいは振動検知部のダイナミックレンジが広い場合はオフセット調整は不用であり、オフセット調整を行うことは本発明の範疇外である。なお、図３に示す例ではスイッチ部ＳＷＡおよびＳＷＢをコンデンサＣ１０の前後２箇所に設けたが、その位置を例示するためであり、そのどちらか一方を設置すればよい。
【００２２】
図３に示す例では、スイッチ部をジャンパ端子あるいは回路基板パターンなどとしたが、ジャンパ線あるいは機械接点でもよく、特に限定したものではない。これらスイッチを工場における初期調整時に、振動検出信号の伝達を切断した状態でオフセット調整を行い、振動検知部２０で振動検出部５に振動がない状態の静止時出力を検知し、図示しない記憶部に検知電圧を記憶する。この切断した状態で検知することで、工場などにおいて存在する振動要因を排除した静止時出力を検知することができる。工場出荷時このスイッチ部を接続し、実使用時は検知された振動信号と記憶された静止時出力電圧の差分を取ることにより、手振れの実振れ量を算出できることになる。
【００２３】
図４は振動検出系の具体的な回路構成を示す第２実施形態の回路図であり、スイッチ部ＳＷＡおよびＳＷＢをアナログスイッチなどで構成し、その開閉制御を演算処理手段１０に含まれる制御部２１で行う回路構成になっている。なお、以下の説明において、図３にて説明した部材と同一部材には同一符号を用いて示し、その説明も省略する。
【００２４】
図４において、スイッチ部ＳＷＡおよびＳＷＢをコンデンサＣ１０の前後２箇所に設けたが、これは、スイッチ部の設置位置を例示するためであり、そのどちらか一方を設置すればよい。またスイッチ部ＳＷＡおよびＳＷＢをアナログスイッチなどで構成するものとしたが、リレーなどの機械接点でもよく、特に限定されない。
【００２５】
これらスイッチを手振れ補正動作の初期時および／または補正動作中に、振動検出信号の伝達を切断した状態で、振動検知部２０で振動検出部５に振動がない状態の静止時出力を検知し、図示しない記憶部に検知電圧を記憶する。この切断した状態で検知することにより、カメラ本体などに印加される振動要因を排除した静止時出力を検知することができる。振動検出時はこのスイッチ部を接続し、検知された振動信号と記憶された静止時出力電圧の差分を取ることにより、手振れの実振れ量を算出できることになる。手振れ補正動作中に、このスイッチ切断と静止時出力の検知、および静止時出力電圧の更新記憶を定期的に行うようにすれば、差動増幅器ＯＰ１０が有するオフセット電圧の温度変動などを除外できることになり、安価な差動増幅器を使用しても正確な手振れ量を検出できることになる。
【００２６】
図５は振動検出系の具体的な回路構成を示す第３実施形態の回路図であり、図３および図４で示したハイパスフィルタ８Ｘと差動増幅部９Ｘとを２段直列接続した回路構成を示し、第１ハイパスフィルタ８Ｘ１はコンデンサＣ１０および抵抗Ｒ１０から、また第２ハイパスフィルタ８Ｘ２はコンデンサＣ２０および抵抗Ｒ２０から構成される公知の回路である。第１差動増幅部９Ｘ１は、差動増幅器ＯＰ１０，ゲイン設定抵抗Ｒ１１，帰還抵抗Ｒ１２，この抵抗Ｒ１２と共にローパスフィルタを構成するフィルタコンデンサＣ１１から構成され、同様に第２差動増幅部９Ｘ２は、差動増幅器ＯＰ２０，ゲイン設定抵抗Ｒ２１，帰還抵抗Ｒ２２，この抵抗Ｒ２２と共にローパスフィルタを構成するフィルタコンデンサＣ２１から構成される。スイッチＳＷ１およびＳＷ２は演算処理手段１０に含まれる制御部により開閉制御され、それらにより起動回路部を構成する。スイッチＳＷ１およびＳＷ２は、図５に示す回路に電源投入された一瞬に閉成し、ハイパスフィルタ回路８Ｘを急速充電することにより、ハイパスフィルタ回路が有する長時定数に伴う起動遅延を補償するものである。スイッチ部ＳＷＡは図４におけるスイッチ部ＳＷＡおよびＳＷＢと同一の構成機能である。
【００２７】
図５において、第１差動増幅部９Ｘ１の増幅率≫第２差動増幅部９Ｘ２の増幅率に設定され、例えば前記の総増幅率２７５の場合、第１差動増幅部９Ｘ１の増幅率＝５５，第２差動増幅部９Ｘ２の増幅率＝５に設定される。この場合、差動増幅器ＯＰ１０の前記オフセット電圧４ｍＶが増幅率倍（５５倍）されたものが基準電圧との差分として差動増幅器ＯＰ１０から出力される。すなわち、３．３／２±０．００４×５５＝１．６５±０．２２Ｖとなり、振動検出部５に振動がない場合の静止時出力が１．４３Ｖ〜１．８７Ｖの間を変動することになる。
【００２８】
この静止時出力変動１．４３Ｖ〜１．８７Ｖに手振れに伴う第１振動信号が重畳されるが、通常の手振れに伴う振動検出信号を１ｍＶｐｐとすれば、第１振動信号は、その５５倍すなわち５５ｍＶｐｐとなり、かなりの余裕を見込んでも差動増幅器ＯＰ１０の出力を飽和させるものではなく、この静止時出力変動は次段の第２ハイパスフィルタ８Ｘ２で直流成分をカットされることから、図４に示すオフセット調整回路は図５の第１差動増幅部９Ｘ１からは削除することができることになる。
【００２９】
同様に、第２差動増幅部９Ｘ２では、前記オフセット電圧４ｍＶが増幅率倍（５倍）されたものが基準電圧との差分として差動増幅器ＯＰ２０から出力される。すなわち、３．３／２±０．００４×５＝１．６５±０．０２Ｖとなり、振動検出部５に振動がない場合の静止時出力が１．６３Ｖ〜１．６７Ｖの間を変動することになる。この静止時出力変動１．６３Ｖ〜１．６７Ｖは手振れに伴う第２振動信号が２７５ｍＶｐｐであり、前記と同様、差動増幅器ＯＰ２０の出力を飽和させるものではないことから、やはり第２差動増幅部９Ｘ２からもオフセット調整回路が削除できることになる。スイッチ部ＳＷＡを使用した、振動検知部２０で振動検出部５に振動がない状態の静止時出力を検知する手法は図４に示す例と同じである。
【００３０】
なお、図５に示すスイッチ部ＳＷＡは、図４に示したアナログスイッチ構成と同様の記載としたが、図３に示した例におけるスイッチ部の構成と同じにしてもよい。
【００３１】
図６は振動検出系の具体的な回路構成を示す第４実施形態の回路図であり、この第４実施形態では図５に示したスイッチ部ＳＷＡを削除し、前記基準電圧を演算処理手段１０に含まれるＡＤ変換器などの振動検知部２０で検知する回路構成を示し、図６に示す例では基準電圧を、振動検知部で振動検出部５に振動がない状態の静止時出力として取り扱う。すなわち、検知された基準電圧と第２振動信号との差分で手振れ補正動作を行うものである。これは前述したように、第２振動信号に含まれるオフセット電圧が２０ｍＶであり、第２振動信号の手振れ成分が２７５ｍＶｐｐであることから、第２振動信号に含まれるオフセット電圧が無視できるレベルであるからである。
【００３２】
なお、振動検知部２０の前段に切り換えスイッチ部を設け、第２振動信号と前記基準電圧を時分割切り換えて読み取り検知すれば、ＡＤ変換器などを節約する構成にすることができる。
【００３３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、振動検出部に振動がない状態の静止時出力が振動検知部で正確に、簡単な回路構成で検知することができる振動検出装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を説明するための撮影装置の外観斜視図
【図２】撮影装置における基本的な振れ補正方法を実現するための構成の要部を示す説明図
【図３】振動検出系の具体的な回路構成を示す本発明の第１実施形態の回路図
【図４】振動検出系の具体的な回路構成を示す本発明の第２実施形態の回路図
【図５】振動検出系の具体的な回路構成を示す本発明の第３実施形態の回路図
【図６】振動検出系の具体的な回路構成を示す本発明の第４実施形態の回路図
【符号の説明】
５  振動検出部（Ｘ軸回り）
６  振動検出部（Ｙ軸回り）
７  撮像素子
８  ハイパスフィルタ部
９  差動増幅部
１０  演算処理手段
１１  補正駆動手段
１２  振れ補正手段（Ｘ軸回り）
１３  振れ補正手段（Ｙ軸回り）
１４  撮像手段
２０  振動検知部
２１  制御部
ＳＷＡ，ＳＷＢ  スイッチ部
【図１】
0004058283.tif 000002
【図２】
0004058283.tif 000003
【図３】
0004058283.tif 000004
【図４】
0004058283.tif 000005
【図５】
0004058283.tif 000006
【図６】
0004058283.tif 000007