(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
等間隔で並設された相互に同一形状の複数のパターンを撮像し、画像処理により得られた各パターンの画像データのうち、２個のパターンについての画像データを相互に比較し、両画像データの相違する部分をパターンの欠陥と認識する隣接比較検査法において、
上記パターンのピッチが画像処理の分解能の整数倍でない場合に、パターンのピッチと分解能の数値との最小公倍数を求める第１のステップと、
連続する複数のパターンを前記最小公倍数を単位としてグループ化する第２のステップと、
異なる２つのグループにおいて、２つのパターンの画像データを相互に比較して欠陥を認識する第３のステップと
を備えた隣接比較検査法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、等間隔で並設された相互に同一形状の複数のパターンの欠陥を検査するアルゴリズムである隣接比較検査法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記のパターンとして例えばプラズマディスプレイの電極では同一形状の線状の電極が２００〜３００μｍの間隔でガラス板の表面に被着することにより形成されている。該パターンはガラス板上に蒸着して形成されるが、蒸着する際に電極の一部が欠損したり、逆に正規のパターンから突出して電極が形成される場合がある。このような欠陥を有する電極が被着されたガラス板をそのまま使用すると、プラズマディスプレイの表示画面に正常に表示されない箇所が生じる。そこで、電極が被着されたガラス板の一方の面から光を照射し、他方の面側から電極のパターンをＣＣＤカメラで撮像して電極の欠陥の有無を検査している。該検査に使用されるアルゴリズムに隣接比較検査法がある。該隣接比較検査法は、ＣＣＤカメラで撮像された画像を画像処理し、図２に示すように、電極パターンに対応する等間隔かつ等ピッチで並ぶ相互に平行な画像データＰ１〜Ｐ６を得る。次に各画像データのうち相互に隣接する２つのパターンから得られる画像データを比較し、一方の画像データから他方の画像データを引いて合成データを求める。例えば相互に隣接する画像データＰ１と画像データＰ２とから求められる合成データＤ１２には画像データＰ１と画像データＰ２とが全く同一の形状であるため、残存データが生じない。ところが画像データＰ４のように欠損Ｃがあると合成データＤ３４と合成データＤ４５とに各々残存データＮＣが生じる。また、画像データＰ５のように突起Ｔがあると、合成データＤ４５及び合成データＤ５６の各々に残存データＮＴが生じる。そして、残存データＮＣや残存データＮＴが生じると電極パターンに欠陥が存在しているものと判断する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のものでは相互に比較する画像データを互いに隣接する２つの画像データを用いていたため、両画像データの基になる電極パターンの距離、すなわち電極パターンのピッチが画像処理の分解能の整数倍になっていないと相互に隣接する２つの画像データを完全に重ね合わせることができず、画像データに欠損や突起が無くても両画像データがずれることにより残存データが必ず生じ、検査範囲全体に欠陥が生じていると判断されるため検査できない。一方、分解能はＣＣＤカメラのＣＣＤ素子とレンズを含む光学系との距離等の機械的な条件により決定される。従って、電極パターンのピッチが分解能の整数倍になっていない場合には光学系とＣＣＤ素子との距離を調節して電極パターンのピッチが分解能の整数倍の関係になるようにしていた。但し、このように分解能を調節することはきわめて繁雑な作業になり、検査すべき電極パターンのピッチが変更される度に分解能の調節作業を行わなければならないため検査に多くの時間を要していた。
【０００４】
そこで本発明は、上記の問題点に鑑み、検査すべきパターンのピッチが画像処理の分解能の整数倍でない場合であっても速やかに検査を行い得る隣接比較検査法を提供することを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明は、等間隔で並設された相互に同一形状の複数のパターンを撮像し、画像処理により得られた各パターンの画像データのうち、２個のパターンについての画像データを相互に比較し、両画像データの相違する部分をパターンの欠陥と認識する隣接比較検査法において、上記パターンのピッチが画像処理の分解能の整数倍でない場合に、パターンのピッチと分解能の数値との最小公倍数を求める第１のステップと、連続する複数のパターンを前記最小公倍数を単位としてグループ化する第２のステップと、異なる２つのグループにおいて、２つのパターンの画像データを相互に比較して欠陥を認識する第３のステップとたことを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】
図１を参照して、・・・Ｐα１〜Ｐγ１・・・はプラズマディスプレイの電極パターンをＣＣＤカメラで撮像し、該撮像された画像を２値化した画像データである。本実施の形態では等間隔で配設された電極パターンのピッチは２１１μｍで、画像処理の分解能は５μｍである。従って、電極パターンのピッチは分解能の整数倍になっていない。そこで、２１１μｍと５μｍとの最小公倍数は１０５５μｍであることから、電極パターンを５個ずつグループ化した。そして、各グループの電極パターンに対応する画像データを同じく〔Ｐα１，Ｐα２，Ｐα３，Ｐα４，Ｐα５〕〔Ｐβ１，Ｐβ２，Ｐβ３，Ｐβ４，Ｐβ５〕〔Ｐγ１・・・のように５個ずつグループ化した。そして、Ｐα１と該Ｐα１から１０５５μｍ離れたＰβ１とを比較し、合成データＤαβ１を得るようにした。次に、Ｐα２と該Ｐα２から１０５５μｍ離れたＰβ２とを比較し、合成データＤαβ２を得る。そして順次、Ｐα３とＰβ３とから合成データＤαβ３を求め、Ｐα４とＰβ４とから合成データＤαβ４を求め、Ｐα５とＰβ５とから合成データＤαβ５を求める。更に続いてＰβ１とＰγ１とから合成データＤβγ１を求め、画像データの続く限り同様の処理を繰り返す。ここで、画像データＰα４に欠損Ｃがあれば合成データＤαβ４に残存データＮＣが生じ、画像データＰα５に突起Ｔがあれば合成データＤαβ５に残存データＮＴが生じる。このように、図１においてＤαβ１からＤβγ１まで例示した合成データに他の合成データとは相違する残存データが生じた場合には欠陥と判断する。
【０００７】
ところで、上記実施の形態では電極パターンを５個ずつグループ化したが、グループ化する個数はマニュアル操作により検査作業者が設定してもよい。あるいは、グループ化する個数の決定を自動化するために、グループ化する個数を順次増加させていき、パターンの欠陥の発生が一番減少する個数をグループ化する個数に決定してもよい。また、分解能の数値が比較的小さい場合には分解能の数値を係数として記憶しておき、該分解能の数値をグループ化する個数としてもよい。
【０００８】
ところで、上記実施の形態では本発明による隣接比較検査法をプラズマディスプレイの電極パターンの検査に用いた場合について説明したが、例えばリニアエンコーダやポテンショメータに用いられる連続した複数のスリットの検査等、その他の検査に用いることができる。
【０００９】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明は、一定のピッチで並設された相互に同一形状のパターンを画像処理により検査する際、ピッチが画像処理の分解能の整数倍でなくても、分解能を変更することなく検査することができ、そのため検査に要する時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の隣接比較検査法を説明するパターン図
【図２】従来の隣接比較検査法を説明するパターン図
【符号の説明】
Ｐα１〜Ｐγ１  画像データ
Ｄαβ１〜Ｄβγ１  合成データ
ＮＣ  残存データ
ＮＴ  残存データ
【図１】
0004082634.tif 000002
【図２】
0004082634.tif 000003