(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状被駆動体の駆動装置において、
（ａ）誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させる、固定部材に設けられる空気圧浮上手段と、
（ｂ）前記固定部材の表面に形成され、前記板状被駆動体に静電力を与えて駆動するとともに、前記板状被駆動体の安定直進駆動のための拘束力を発生する搬送用ドット状電極とを備え、
（ｃ）前記板状被駆動体を、前記空気圧浮上手段により浮上させ、前記搬送用ドット状電極で静電力により搬送することを特徴とする板状被搬送体の駆動装置。
【請求項２】
板状被駆動体の駆動装置において、
（ａ）誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させる、振動板に設けられる近距離音波浮上手段と、
（ｂ）前記振動板の表面に形成され、前記板状被駆動体に静電力を与えて駆動するとともに、前記板状被駆動体の安定直進駆動のための拘束力を発生するための搬送用ドット状電極とを備え、
（ｃ）前記板状被駆動体を、前記近距離音波浮上手段により浮上させ、前記搬送用ドット状電極で静電力により搬送することを特徴とする板状被搬送体の駆動装置。
【請求項３】
板状被駆動体の駆動装置において、
（ａ）誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させる、固定部材に設けられる空気圧浮上手段と、
（ｂ）前記固定部材の表面に形成され、前記板状被駆動体を回転する、前記板状被駆動体の安定回転駆動のための拘束力を発生する、円形状の電極面に形成される回転用ドット状電極とを備え、
（ｃ）前記板状被駆動体を、前記空気圧浮上手段により浮上させ、前記回転用ドット状電極で静電力により回転させることを特徴とする板状被搬送体の駆動装置。
【請求項４】
板状被駆動体の駆動装置において、
（ａ）誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させる、振動板に設けられる近距離音波浮上手段と、
（ｂ）前記振動板の表面に形成され、前記板状被駆動体を回転する、前記板状被駆動体の安定回転駆動のための拘束力を発生する、円形状の電極面に形成される回転用ドット状電極とを備え、
（ｃ）前記板状被駆動体を、前記近距離音波浮上手段により浮上させ、前記回転用ドット状電極で静電力により回転させることを特徴とする板状被搬送体の駆動装置。
【請求項５】
請求項１、２、３又は４記載の板状被駆動体の駆動装置において、前記板状被駆動体は平板状体であることを特徴とする板状被搬送体の駆動装置。
【請求項６】
請求項５記載の板状被駆動体の駆動装置において、前記平板状被駆動体はガラス板であることを特徴とする板状被搬送体の駆動装置。
【請求項７】
請求項５記載の板状被搬送体の駆動装置において、前記平板状被駆動体はセラミックス板であることを特徴とする板状被搬送体の駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、板状被駆動体の駆動装置に係り、特に、空気圧浮上手段や近距離音波浮上手段によって浮上させ、その後、静電力により駆動する技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この分野の技術としては、本願の発明者により提案された、例えば、特願平８−２６１７０８号「誘電体や絶縁体からなる物体の静電浮上搬送装置」に開示されたものがある。
【０００３】
図９は従来の静電浮上搬送装置のシステム構成図、図１０はその静電浮上搬送装置の電極配置を示す平面図である。
【０００４】
図９において、１０は被駆動体に静電力による浮上力と搬送力を与えるための固定子、２０は被搬送体、３１〜３６は被搬送体の浮上位置及び姿勢を検出するための変位センサ、４０は制御器、５０は浮上用高電圧アンプ、５１は駆動用高電圧アンプ、６０は高電圧切換器、６５は駆動信号発生器、７１〜９１は被搬送体の搬送位置を検出するためのオン・オフ機能を有する近接センサである。
【０００５】
図１０において、被搬送体を非接触に支持するための浮上用電極１０１ａ〜１２０ａ、１０１ｂ〜１２０ｂ、１０１ｃ〜１２０ｃ、１０１ｄ〜１２０ｄ、１２５、１２６と、被搬送体に搬送力を発生させるための搬送用電極１３１〜１５４を有する固定子を示す。なお、図１０において、１６１〜１６６は変位センサ用穴、１７１〜１９１は近接センサ用穴である。
【０００６】
被搬送体２０の浮上位置及び姿勢は、変位センサ３１〜３６により検出され、制御器４０に入力される。制御器４０では、この入力された信号と目標値とを比較し、被搬送体２０を安定浮上させるための電圧を作り出し、浮上用高電圧アンプ５０に出力する。
【０００７】
搬送用電極１３１〜１５４に３相電圧を印加して移動電場を生成させ、この生成された移動電場と、被搬送体に誘導される誘電電荷との間に発生する位相遅れを利用して、浮上された被搬送体に搬送力を作用させる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来の静電浮上搬送装置では、以下のような問題があった。
【０００９】
（ａ）一つの固定子の上に浮上用電極と搬送用電極とを別々に構成するため、固定子の表面の大部分は浮上のために使われ、搬送用電極の総面積は小さくなるため搬送力はかなり限られる。
【００１０】
（ｂ）浮上体を安定浮上させるために、被駆動体と固定子間のギャップをフィードバックし、浮上用電極に適当な電圧を印加する必要があり、また、浮上しながらの搬送となると、搬送経路上に一定間隔においてそのギャップを測定する変位センサを設置する必要があり、システムの構成費が高くなる。
【００１１】
（ｃ）固定子上の電極が被駆動体に対して発生する静電力は、被駆動体を浮上させるための垂直方向の作用力と、搬送するための搬送方向の作用力が主である。しかし、偏心無しで安定して被駆動体を回転させること、又は左右のゆれが無く指定した搬送方向に安定して搬送するには、何らかの拘束力を回転トルク又は直進駆動力と同時に被駆動体に作用させる必要がある。
【００１２】
この点において、従来の静電浮上搬送装置が発生する当該拘束力はエッジ効果によるもののみであり、拘束力は非常に小さく、被駆動体を安定して高速に回転させることや、搬送することは実現されていないのが現状である。
【００１３】
本発明は、上記問題点を解決するために、静電力による駆動力は、他の駆動手段と簡単に組み合わされることに注目し、浮上力を得るために空気圧浮上手段や近距離音波浮上手段を用いるとともに、引き続き、静電力による駆動を行うことにより、駆動力を高めるとともに、システムのコスト低減と、安定化を図ることができる板状被駆動体の駆動装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、
〔１〕板状被駆動体の駆動装置において、誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させる、固定部材に設けられる空気圧浮上手段と、前記固定部材の表面に形成され、前記板状被駆動体に静電力を与えて駆動するとともに、前記板状被駆動体の安定直進駆動のための拘束力を発生する搬送用ドット状電極とを備え、前記板状被駆動体を、前記空気圧浮上手段により浮上させ、前記搬送用ドット状電極で静電力により搬送することを特徴とする。
【００１５】
〔２〕板状被駆動体の駆動装置において、誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させる、振動板に設けられる近距離音波浮上手段と、前記振動板の表面に形成され、前記板状被駆動体に静電力を与えて駆動するとともに、前記板状被駆動体の安定直進駆動のための拘束力を発生するための搬送用ドット状電極とを備え、前記板状被駆動体を、前記近距離音波浮上手段により浮上させ、前記搬送用ドット状電極で静電力により搬送することを特徴とする。
【００１６】
〔３〕板状被駆動体の駆動装置において、誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させる、固定部材に設けられる空気圧浮上手段と、前記固定部材の表面に形成され、前記板状被駆動体を回転する、前記板状被駆動体の安定回転駆動のための拘束力を発生する、円形状の電極面に形成される回転用ドット状電極とを備え、前記板状被駆動体を、前記空気圧浮上手段により浮上させ、前記回転用ドット状電極で静電力により回転させることを特徴とする。
【００１７】
〔４〕板状被駆動体の駆動装置において、誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させる、振動板に設けられる近距離音波浮上手段と、前記振動板の表面に形成され、前記板状被駆動体を回転する、前記板状被駆動体の安定回転駆動のための拘束力を発生する、円形状の電極面に形成される回転用ドット状電極とを備え、前記板状被駆動体を、前記近距離音波浮上手段により浮上させ、前記回転用ドット状電極で静電力により回転させることを特徴とする。
【００１８】
〔５〕上記〔１〕、〔２〕、〔３〕又は〔４〕記載の板状被駆動体の駆動装置において、前記板状被駆動体は平板状体であることを特徴とする。
【００１９】
〔６〕上記〔５〕記載の板状被駆動体の駆動装置において、前記平板状被駆動体はガラス板であることを特徴とする。
【００２０】
〔７〕上記〔５〕記載の板状被搬送体の駆動装置において、前記平板状被駆動体はセラミックス板であることを特徴とする。
【００２１】
上記したように、本発明によれば、静電力は他の空気圧浮上手段や近距離音波浮上手段と簡単に組み合わされることに注目し、それらの浮上手段で被駆動体を浮上させ、浮上した被駆動体を静電力により駆動することができる。
【００２２】
このように、静電力は、浮上した被駆動体を駆動することのみに用いるように設計できるので、大きな駆動力を発生することができる。
【００２３】
また、本発明の電極のパターンは、被駆動体の安定駆動のために、被駆動体に拘束力と駆動力とを同時に生成できるように構成しており、誘電体や絶縁体からなる被駆動体を非接触で、かつ、高速に駆動することができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００２５】
図１は本発明の第１の実施例を示す板状被駆動体の駆動装置の構成図であり、図１（ａ）はその板状被駆動体の駆動装置の全体模式図、図１（ｂ）はその板状被駆動体の駆動装置の要部断面図、図２はその板状被駆動体の駆動装置の電極配置を示す図である。
【００２６】
図１において、２０１は固定部材、２０２は固定部材の表面となる電極面、２０３は固定部材の表面に形成される板状被駆動体２０５に静電力を与えて駆動するための搬送用ドット状電極、２０４は板状被駆動体２０５を浮上させる空気圧、２１０は固定部材に形成される空気室、２１１は電極面２０２と同じ面に形成される微小空気孔、２２０は３相交流電圧発生器、２２１は搬送用ドット状電極２０３に接続される高電圧アンプである。
【００２７】
以下、図２を参照しながら固定部材の表面となる電極面に形成される搬送用ドット状電極について説明する。
【００２８】
図２において、固定部材の表面となる電極面２０２には、搬送用ドット状電極２０３が形成され、その搬送用ドット状電極２０３は、例えば、中央線上に配置されるドット状電極２０３ａ、そのドット状電極２０３ａの両外側に配置されるドット状電極２０３ｂ，そのドット状電極２０３ｂの両外側に配置されるドット状電極２０３ｃ，そのドット状電極２０３ｃの両外側に配置されるドット状電極２０３ｄ、そのドット状電極２０３ｄの両外側に配置されるドット状電極２０３ｅを備え、それらドット状電極２０３は、板状被駆動体２０５の進行方向に向かってドット状電極間配線２３１によってＶ字形状になるよう配線している。
【００２９】
最外側のドット状電極２０３ｅには３相配線２３２が設けられ、３相の高電圧アンプ２２１に接続される。また、上記した各ドット状電極間には微小空気孔２１１が形成されており、空気室２１０から送り出される空気圧２０４により、板状被駆動体２０５が浮上する。
【００３０】
誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体２０５が浮上すると、上記した搬送用ドット状電極２０３に印加される３相高電圧により、浮上された板状被駆動体２０５に、直進搬送駆動力と安定直進駆動のための拘束力とが同時に発生する。
【００３１】
この点について詳細に説明すると、図２に示す電極パターンは、直進搬送駆動力と、板状被駆動体の表面上の各所から板状被駆動体表面上にあり、電極パターンの中心線の真上にある平行直線に垂直に作用する拘束力とを同時に板状被駆動体に発生する。この電極パターンは、搬送方向に平行して９列の電極群が等間隔に配置されている。２電極間の間隔は０．７ｍｍである。
【００３２】
各列上の各々の電極は隣合う列上の電極と斜めに細いドット状電極間配線２３１で連結され、中央の列を中心にＶ字を成す。これらＶ字型に連結されている電極群を同電位電極群と呼ぶことにする。隣合う３個の同電位電極群を一組にし、ＶP-P 値は同じで互いに１２０°の位相差を持つ交流電圧を搬送方向に、位相の大きい順でそれぞれに印加する。
【００３３】
この電極配置に前述した３相交流電圧を印加することにより、搬送方向に働く作用力と、前項で述べた拘束力とを同時に板状被駆動体に発生することができる。搬送時、その拘束力はガイドの働きをなし、搬送方向に働く作用力は板状被駆動体を搬送する。よって、板状被駆動体を左右ゆれ無しで直線的に搬送することができる。
【００３４】
このリニア型電極パターンの電極配置はもう一つの働きを持つ。電極パターン内の任意の電極を取っても、その電極の電圧位相はその周りの４つの電極のそれと違い、電界の強さが大きく、板状被駆動体に素早く電荷を誘導できるため印加電圧の周波数を比較的高く上げられる。そのため高速な直進搬送駆動が可能である。
【００３５】
次に、本発明の第２実施例について説明する。
【００３６】
図３は本発明の第２の実施例を示す板状被駆動体の駆動装置の構成図であり、図３（ａ）はその板状被駆動体の駆動装置の全体模式図、図３（ｂ）はその板状被駆動体の駆動装置の要部断面図、図４はその板状被駆動体の駆動装置の電極配置を示す図である。
【００３７】
図３において、３０１は固定部材、３０２は固定部材の表面となる電極面、３０３は固定部材の表面に形成される板状被駆動体３０５に静電力を与えて回転するための回転用ドット状電極、３０４は板状被駆動体３０５を浮上させる空気圧、３１０は固定部材に形成される空気室、３１１は電極面３０２と同じ面に形成される微小空気孔、３２０は３相交流電圧発生器、３２１は回転用ドット状電極３０３に接続される高電圧アンプである。
【００３８】
このように構成したので、板状被駆動体３０５は、微小空気孔３１１を介して空気室３１０から送り出される空気圧３０４により浮上され、その後、後述する回転用電極の静電力により回転駆動される。
【００３９】
以下、図４を参照しながら固定部材の表面となる電極面に形成される回転用電極について説明する。
【００４０】
図４において、固定部材の表面となる円形状の電極面３０２には、回転用ドット状電極３０３が形成され、その回転用ドット状電極３０３は、例えば、一番内側にリング状に配置されるドット状電極３０３ａ、そのドット状電極３０３ａの外側にリング状に配置されるドット状電極３０３ｂ，そのドット状電極３０３ｂの外側にリング状に配置されるドット状電極３０３ｃ，そのドット状電極３０３ｃの外側にリング状に配置されるドット状電極３０３ｄ、そのドット状電極３０３ｄの外側にリング状に配置されるドット状電極３０３ｅ、そのドット状電極３０３ｅの外側にリング状に配置されるドット状電極３０３ｆ、そのドット状電極３０３ｆの外側にリング状に配置されるドット状電極３０３ｇ、そのドット状電極３０３ｇの外側にリング状に配置される最外側のドット状電極３０３ｈを備え、それらの回転用ドット状電極３０３は、中心から外側に向かって斜行するドット状電極間配線３３１によって配線されている。
【００４１】
最外側のリング状に配置されるドット状電極３０３ｈには３相配線３３２が接続され、その３相配線３３２は３相の高電圧アンプ３２１に接続される。
【００４２】
そこで、微小空気孔３１１を介して空気室３１０から送り出される空気圧３０４により誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体３０５が浮上されると、上記した回転用ドット状電極３０３に印加される３相高電圧により、浮上された誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体３０５に回転トルクと安定回転のための拘束力とが同時に発生する。
【００４３】
次に、本発明の第３実施例について説明する。
【００４４】
図５は本発明の第３実施例を示す板状被駆動体の駆動装置の構成図であり、図５（ａ）はその板状被駆動体の駆動装置の全体模式図、図５（ｂ）はその板状被駆動体の駆動装置の要部断面図、図６はその板状被駆動体の駆動装置の電極配置を示す図である。
【００４５】
図５において、４０１は振動板、４０２は振動板の表面となる電極面、４０３は振動板の表面に形成される板状被駆動体４０５に静電力を与えて駆動するための搬送用ドット状電極、４０４は板状被駆動体４０５を浮上させる音波浮揚力、４１１は発振器、４１２はその発振器４１１に接続される振動子であり、この振動子４１２により、振動板４０１を振動させる。また、４２０は３相交流電圧発生器、４２１は搬送用ドット状電極４０３に接続される高電圧アンプである。
【００４６】
そこで、振動子４１２により、振動板４０１が振動すると、音波浮揚力４０４が発生して、板状被駆動体４０５は浮上する。すると、後述するように静電力を生じる電極により、板状被駆動体４０５を搬送駆動することができる。
【００４７】
以下、図６を参照しながら固定部材の表面となる電極面に形成される搬送用ドット状電極について説明する。
【００４８】
図６において、振動板の表面となる電極面４０２には、搬送用ドット状電極４０３が形成され、その搬送用ドット状電極４０３は、例えば、中央線上に配置されるドット状電極４０３ａ、そのドット状電極４０３ａの両外側に配置されるドット状電極４０３ｂ，そのドット状電極４０３ｂの両外側に配置されるドット状電極４０３ｃ，そのドット状電極４０３ｃの両外側に配置されるドット状電極４０３ｄ、そのドット状電極４０３ｄの両外側に配置されるドット状電極４０３ｅを備え、それらの搬送用ドット状電極４０３は、板状被駆動体４０５の進行方向に向かってドット電極間配線４３１によってＶ字形状になるよう配線している。最外側のドット状電極４０３ｅには３相配線４３２が設けられ、３相の高電圧アンプ４２１に接続されている。
【００４９】
そこで、振動子４１２により、振動板４０１が振動すると、音波浮揚力４０４が発生して、板状被駆動体４０５は浮上する。すると、上記した搬送用ドット状電極４０３に印加される３相高電圧により、浮上された板状被駆動体４０５に直進搬送駆動力と安定直進駆動のための拘束力とが同時に発生する。
【００５０】
このように、振動子４１２の超音波振動がホーンで増幅され振動板４０１に伝わる。この振動により、振動板４０１の表面に音波浮揚力４０４が発生し、板状被駆動体４０５を被接触で浮上させる。ここでは、浮上ギャップを約１００μｍにしている。しかし、この音波浮揚力４０４は板状被駆動体４０５に対して振動板４０１面に垂直な作用力しか発生せず、板状被駆動体４０５の板面方向上で板状被駆動体４０５を駆動することはできない。
【００５１】
そこで、振動板４０１の上面に電極パターンを構成し静電力による作用力で、浮上された板状被駆動体４０５を板状被駆動体４０５の板面方向上で駆動する。静電力による作用力を得るために、振動板４０１の上面に特定の電極パターンを構成し、３相交流電圧を印加して移動電場を形成させる。この移動電場と、板状被駆動体４０５に誘導される誘導電荷との間に生じる位相遅れにより、静電力が生じ板状被駆動体４０５を左右ふれ無く安定して直進駆動することができる。
【００５２】
次に、本発明の第４実施例について説明する。
【００５３】
図７は本発明の第４の実施例を示す板状被駆動体の駆動装置の構成図であり、図７（ａ）はその板状被駆動体の駆動装置の全体模式図、図７（ｂ）はその板状被駆動体の駆動装置の要部断面図、図８はその板状被駆動体の駆動装置の電極配置を示す図である。
【００５４】
図７において、５０１は振動板、５０２は振動板の表面となる電極面、５０３は振動板の表面に形成される板状被駆動体５０５に静電力を与えて回転するための回転用ドット状電極、５０４は板状被駆動体５０５を浮上させる音波浮揚力、５１１は発振器、５１２はその発振器５１１に接続される振動子であり、この振動子５１２により、振動板５０１を振動させる。５２０は３相交流電圧発生器、５２１は回転用ドット状電極５０３に接続される高電圧アンプである。
【００５５】
そこで、振動子５１２により、振動板５０１が振動すると、音波浮揚力５０４が発生して、板状被駆動体５０５は浮上する。すると、後述するように静電力を生じる電極により、板状被駆動体５０５を回転駆動することができる。
【００５６】
以下、図８を参照しながら振動板の表面となる電極面に形成される回転用ドット状電極について説明する。
【００５７】
図８において、振動板の表面となる円形状の電極面５０２には、回転用ドット状電極５０３が形成され、その回転用ドット状電極５０３は、例えば、一番内側にリング状に配置されるドット状電極５０３ａ、そのドット状電極５０３ａの外側にリング状に配置されるドット状電極５０３ｂ，そのドット状電極５０３ｂの外側にリング状に配置されるドット状電極５０３ｃ，そのドット状電極５０３ｃの外側にリング状に配置されるドット状電極５０３ｄ、そのドット状電極５０３ｄの外側にリング状に配置されるドット状電極５０３ｅ、そのドット状電極５０３ｅの外側にリング状に配置されるドット状電極５０３ｆ、そのドット状電極５０３ｆの外側にリング状に配置されるドット状電極５０３ｇ、そのドット状電極５０３ｇの外側にリング状に配置される最外側のドット状電極５０３ｈを備え、それら回転用ドット状電極５０３は、中心から外側に向かって斜行するドット状電極間配線５３１によって配線されている。
【００５８】
最外側のリング状に配置されるドット状電極５０３ｈには３相配線５３２が接続され、その３相配線５３２は３相の高電圧アンプ５２１に接続される。
【００５９】
そこで、振動板５０１が振動し、音波浮揚力５０４が発生して、誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体５０５が浮上されると、上記した回転用ドット状電極５０３に印加される３相高電圧により、浮上された誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体３０５に回転トルクと安定回転のための拘束力とが同時に発生する。
【００６０】
以下、この点について詳細に説明すると、上記した電極パターンは、回転トルクと、板状被駆動体５０５の表面上の各所から電極パターンの円心軸に垂直に作用する力とを同時に板状被駆動体５０５に生成することができる。この電極パターンは上記した８つの同心円を成すドット状電極群から構成されている。２電極間の間隔は０．７ｍｍである。各リング状の各々の電極は、右下の電極と細い電極間の配線５３１で連結されている。
【００６１】
これら斜めに連結されている電極群を同電位電極群と呼ぶことにする。各リングには７８個の電極を有するため、この電極パターンは７８個の同電位電極群で構成されている。また、隣合う３個の同電位電極群を一組にし、ＶP-P は同じで互いに１２０°の位相差を持つ交流電圧を時計方向に、位相の大きい順でそれぞれに印加する。
【００６２】
この電極配置に前述した３相交流電圧を印加することにより、電極パターンの円心を中心とした回転電場と、各電極から電極パターンの円心に向く移動電場とが同時に形成される。この回転電場と移動電場の同時形成により、回転トルクと板状被駆動体の表面上の各所から電極パターンの円心軸に垂直に向く拘束力とが同時に板状被駆動体に発生する。
【００６３】
回転トルクの作用により回転する板状被駆動体は、偏心により回転中心が電極パターンの中心軸からずれようとする時に、その拘束力が働き、回転中心を電極パターンの中心軸上に引き戻す。この拘束力の働きにより、板状被駆動体を安定して拘束し回転させることができる。
【００６４】
この電極配置はもう一つの働きを持つ。電極パターン内のどの電極を取っても、その電極の電圧位相はその周りの４つの電極のそれと違い、電界の強さが大きく、板状被駆動体に素早く電荷を誘導することができて、高周波な交流電圧を印加できるため、高速な回転が得られる。
【００６５】
一例として、直径１００ｍｍ、厚み０．７ｍｍ、質量１７．６ｇのガラス板を浮上し回転させた。浮上ギャップは１００μｍ、印加する３相交流電圧のＶP-P は１ｋＶであった。この場合の最大回転角速度は約２０００ｒｐｍであった。
【００６６】
本発明は、大型化が進んでいる液晶パネルの非接触搬送や位置決めへの応用が大きく期待できる。
【００６７】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【００６８】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、以下のような効果を奏することができる。
【００６９】
（１）請求項１記載の発明によれば、浮上力を得るために空気圧浮上手段を用いるとともに、引き続き、静電力による搬送駆動を行うことにより、搬送駆動力を高めるとともに、システムのコスト低減と、安定化を図ることができる。さらに、搬送用ドット状電極は、板状被駆動体の安定直進駆動のための拘束力を発生させ、安定かつ高速駆動することができる。
【００７０】
（２）請求項２記載の発明によれば、浮上力を得るために近距離音波浮上手段を用いるとともに、引き続き、静電力による搬送駆動を行うことにより、搬送駆動力を高めるとともに、システムのコスト低減と、安定化を図ることができる。さらに、搬送用ドット状電極は、板状被駆動体の安定直進駆動のための拘束力を発生させ、安定かつ高速駆動することができる。
【００７１】
（３）請求項３記載の発明によれば、浮上力を得るために空気圧浮上手段を用いるとともに、引き続き、静電力による回転駆動を行うことにより、回転駆動力を高めるとともに、システムのコスト低減と、安定化を図ることができる。さらに、回転用ドット状電極は、板状被駆動体の安定回転駆動のための拘束力を得ることができ、安定、かつ高速回転駆動することができる。
【００７２】
（４）請求項４記載の発明によれば、浮上力を得るために近距離音波浮上手段を用いるとともに、引き続き、静電力による回転駆動を行うことにより、回転駆動力を高めるとともに、システムのコスト低減と、安定化を図ることができる。さらに、回転用ドット状電極は、板状被駆動体の安定回転駆動のための拘束力を得ることができ、安定、かつ高速回転駆動することができる。
【００７３】
（５）請求項５記載の発明によれば、浮上力を得るために空気圧浮上手段又は近距離音波浮上手段により、平板状体を浮上させるとともに、静電力により、平板状体の駆動力を高めることができる。
【００７４】
（６）請求項６記載の発明によれば、浮上力を得るために空気圧浮上手段又は近距離音波浮上手段により、ガラス板を浮上させるとともに、静電力により、ガラス板の駆動力を高めることができる。
【００７５】
（７）請求項７記載の発明によれば、浮上力を得るために空気圧浮上手段又は近距離音波浮上手段により、セラミックス板を浮上させるとともに、静電力により、セラミックス板の駆動力を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１実施例を示す板状被駆動体の駆動装置の構成図である。
【図２】  本発明の第１実施例を示す板状被駆動体の駆動装置の電極配置を示す図である。
【図３】  本発明の第２実施例を示す板状被駆動体の駆動装置の構成図である。
【図４】  本発明の第２実施例を示す板状被駆動体の駆動装置の電極配置を示す図である。
【図５】  本発明の第３実施例を示す板状被駆動体の駆動装置の構成図である。
【図６】  本発明の第３実施例を示す板状被駆動体の駆動装置の電極配置を示す図である。
【図７】  本発明の第４実施例を示す板状被駆動体の駆動装置の構成図である。
【図８】  本発明の第４実施例を示す板状被駆動体の駆動装置の電極配置を示す図である。
【図９】  従来の静電浮上搬送装置のシステム構成図である。
【図１０】  従来の静電浮上搬送装置の電極配置を示す平面図である。
【符号の説明】
２０１，３０１    固定部材
２０２，３０２，４０２，５０２    電極面
２０３，４０３    搬送用ドット状電極
２０４，３０４    空気圧
２０５，３０５，４０５，５０５    板状被駆動体
２１０    空気室
２１１，３１１    微小空気孔
２２０，３２０，４２０，５２０    ３相交流電圧発生器
２２１，３２１，４２１，５２１    高電圧アンプ
２０３ａ，２０３ｂ，２０３ｃ，２０３ｄ，２０３ｅ，３０３ａ，３０３ｂ，３０３ｃ，３０３ｄ，３０３ｅ，３０３ｆ，３０３ｇ，３０３ｈ，４０３ａ，４０３ｂ，４０３ｃ，４０３ｄ，４０３ｅ，５０３ａ，５０３ｂ，５０３ｃ，５０３ｄ，５０３ｅ，５０３ｆ，５０３ｇ，５０３ｈ    ドット状電極
２３１，３３１，４３１，５３１    ドット状電極間配線
２３２，３３２，４３２，５３２    ３相配線
３０３，５０３    回転用ドット状電極
４０１，５０１    振動板
４０４，５０４    音波浮揚力
４１１，５１１    発振器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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