(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平鏡面部からビームの照射開口部側へ末広がり状となる傾斜鏡面部を有する反射鏡内にヒータを内装し、該反射鏡の長手方向の両端開口部に反射鏡側板を着脱可能に取付けた平面加熱用ヒータにおいて、上記反射鏡側板（３０）の照射開口部側に形成された互いに他と対向する傾斜反射面（３２）と、該傾斜反射面（３２）上に蜜接して着脱可能に取付けられる傾斜鏡面部（７４）を設けたケースの蓋（７０）とを有し、加熱用ヒータ（１５、１６）から発光されるビームの一部が、該ヒータ（１５、１６）の長手方向と直交する方向に関しては反射鏡（２）の対向する傾斜鏡面部（４、５）間の照射開口幅（Ｗ１）よりも外側方向へ照射（８１）されると共にヒータ（１５、１６）の長手方向に関しては傾斜反射面（３２）及び傾斜鏡面部（７４）間の照射開口幅（Ｗ２）よりも外側方向へ照射（８２）されるように構成したことを特徴とする平面加熱用ヒータ。
【請求項２】
前記反射鏡（２）の水平鏡面部（３）の端縁には、該反射鏡（２）内に平行対峙して配設したヒータ（１５、１６）のリード線（１７、１８）を導出するための一対一組のＵ字状をなす切り込み凹所（１１、１２及び１３、１４）と反射鏡側板（３０）の水平頂部（３３）に設けたツメ（３４、３５）を係合するツメ穴（７、８及び９、１０）を設け、かつ傾斜鏡面部（４、５）には、反射鏡側板（３０）を係合する水平配置のツメ穴（１９、２０及び２３、２４）と傾斜配置のツメ穴（２１、２２及び２５、２６）を設け、かつまた傾斜鏡面部（４、５）の端縁には、反射鏡（２）を包囲するケース（５０）に係合するツメ（２７、２８）を設けてなる請求項１に記載の平面加熱用ヒータ。
【請求項３】
反射鏡側板（３０）の水平頂部（３３）には反射鏡（２）の水平鏡面部（３）に設けたツメ穴（７、８及び９、１０）に係合するツメ（３４、３５）を設け、かつ反射鏡（２）の傾斜鏡面部（４、５）に設けた水平配置のツメ穴（１９、２０及び２３、２４）に係合するツメ（３６、３７）及び傾斜配置のツメ穴（２１、２２及び２５、２６）に係合するツメ（３８、３９）を反射鏡側板（３０）に設け、かつまた、上記の傾斜反射面（３２）から垂直鏡面部（３１）にまたがってヒータ（１５、１６）の端子部を挿通する凸形端子挿通部（４０、４１）と傾斜反射面（３２）の端縁に前記のケース（５０）に係合されるツメ（４２、４３、４４）を設けてなる請求項１に記載の平面加熱用ヒータ。
【請求項４】
凹状ケース（５０）の天板（５１）には、ケース蓋（７０）のツメ（７５、７６）を係合するツメ穴（５６、５７及び５８、５９）とヒータリード線（１７、１８）を導出するリード線用孔（５４、５５）を設け、かつ側板（５２、５３）の端縁には水平折曲片（６１、６２）及び垂直折曲片（６５、６６）を設け、前記の水平折曲片（６１、６２）には前記反射鏡（２）の傾斜鏡面部（４、５）の先端縁に設けたツメ（２７、２８）を係合するツメ穴（７７、７８、７９）を設けてなる請求項１に記載の平面加熱用ヒータ。
【請求項５】
ケース蓋（７０）は上水平部（７１）に凹状ケース（５０）の天板（５１）に設けたツメ穴（７、８及び９、１０）に係合されるツメ（７５、７６）を設け、該ツメ（７５、７６）と反対側の端縁は、下水平部（７３）と傾斜鏡面部（７４）に形成され、下水平部（７３）には前記反射鏡側板（３０）のツメ（４２、４３、４４）が係合されるツメ穴（７７、７８、７９）を設けてなる請求項１に記載の平面加熱用ヒータ。
【請求項６】
水平鏡面部からビームの照射開口部側へ末広がり状となる傾斜鏡面部を有する反射鏡内にヒータを内装し、該反射鏡の長手方向の両端開口部に反射鏡側板を着脱可能に取付けた平面加熱用ヒータにおいて、上記反射鏡側板（３０）の照射開口部側に形成された互いに他と対向する傾斜反射面（３２）と、該傾斜反射面（３２）上に密接して着脱可能に取付けられる傾斜鏡面部（７４）を設けたケースの蓋（７０）とを有し、加熱用ヒータ（１５、１６）から発光されるビームの一部が、該ヒータ（１５、１６）の長手方向と直交する方向に関しては反射鏡（２）の対向する傾斜鏡面部（４、５）間の照射開口幅（Ｗ１）よりも外側方向へ照射（８１）されると共にヒータ（１５、１６）の長手方向に関しては傾斜反射面（３２）及び傾斜鏡面部（７４）間の照射開口幅（Ｗ２）よりも外側方向へ照射（８２）される平面加熱用ヒータ（１）の複数個を、被処理面（８５）に隣接して配列し、加熱用ヒータ（１５、１６）の長手方向と直交する方向の隣接部は互いに隣接するビーム（８１）が交差（８７）し、かつ加熱用ヒータ（１５、１６）の長手方向の隣接部は互いに隣接するビーム（８２）が交差（８９）して被処理面（８５）を照射するように構成したことを特徴とする平面加熱用ヒータユニット。
【請求項７】
前記反射鏡（２）の水平鏡面部（３）の端縁には、該反射鏡（２）内に平行対峙して配設したヒータ（１５、１６）のリード線（１７、１８）を導出するための一対一組のＵ字状をなす切り込み凹所（１１、１２及び１３、１４）と反射鏡側板（３０）の水平頂部（３３）に設けたツメ（３４、３５）を係合するツメ穴（７、８及び９、１０）を設け、かつ傾斜鏡面部（４、５）には、反射鏡側板（３０）を係合する水平配置のツメ穴（１９、２０及び２３、２４）と傾斜配置のツメ穴（２１、２２及び２５、２６）を設け、かつまた傾斜鏡面部（４、５）の端縁には、反射鏡（２）を包囲するケース（５０）に係合するツメ（２７、２８）を設けてなる請求項６に記載の平面加熱用ヒータ。
【請求項８】
反射鏡側板（３０）の水平頂部（３３）には反射鏡（２）の水平鏡面部（３）に設けたツメ穴（７、８及び９、１０）に係合するツメ（３４、３５）を設け、かつ反射鏡（２）の傾斜鏡面部（４、５）に設けた水平配置のツメ穴（１９、２０及び２３、２４）に係合するツメ（３６、３７）及び傾斜配置のツメ穴（２１、２２及び２５、２６）に係合するツメ（３８、３９）を反射鏡側板（３０）に設け、かつまた、上記の傾斜反射面（３２）から垂直鏡面部（３１）にまたがってヒータ（１５、１６）の端子部を挿通する凸形端子挿通部（４０、４１）と傾斜反射面（３２）の端縁に前記のケース（５０）に係合されるツメ（４２、４３、４４）を設けてなる請求項６に記載の平面加熱用ヒータ。
【請求項９】
凹状ケース（５０）の天板（５１）には、ケース蓋（７０）のツメ（７５、７６）を係合するツメ穴（５６、５７及び５８、５９）とヒータリード線（１７、１８）を導出するリード線用孔（５４、５５）を設け、かつ側板（５２、５３）の端縁には水平折曲片（６１、６２）及び垂直折曲片（６５、６６）を設け、前記の水平折曲片（６１、６２）には前記反射鏡（２）の傾斜鏡面部（４、５）の先端縁に設けたツメ（２７、２８）を係合するツメ穴（７７、７８、７９）を設けてなる請求項６に記載の平面加熱用ヒータ。
【請求項１０】
ケース蓋（７０）の上水平部（７１）には凹状ケース（５０）の天板（５１）に設けたツメ穴（７、８及び９、１０）に係合されるツメ（７５、７６）を設け、該ツメ（７５、７６）と反対側の端縁には、下水平部（７３）と反射鏡側板（３０）の傾斜反射面（３２）上に密接される傾斜鏡面部（７４）とが一体に形成され、下水平部（７３）には前記反射鏡側板（３０）のツメ（４２、４３、４４）が係合されるツメ穴（７７、７８、７９）を設けてなる請求項６に記載の平面加熱用ヒータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は種々の被処理面に赤外線ビームを照射して熱的処理を行う場合に好適であり、特に被処理面の形状、サイズ等の処理条件に適宜対応させて配列し、被処理面がムラなく均一処理できるようにした平面加熱用ヒータ及びそれのユニットヒータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
種々の被加工物の被処理面に加熱ヒータから発せられる赤外線ビームを照射させて例えば乾燥等の処理を行うことは既に行われている。この加熱ヒータは例えば特開平７−２１１４３５号公報に開示されるように、照射開口面を有する直線状の反射鏡を有し、該反射鏡はその内面が長手方向に沿ってわん曲反射面に形成され、かつまた、反射鏡の長手方向の両端開口部には反射鏡側板を取付け、わん曲反射面内にランプをセットして、その端子部分を反射鏡側板のランプ孔から突出させ、端子カバーで覆う構造であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
周知のように赤外線ビームは、急速な温度上昇、降下制御が可能で高エネルギーかつクリーン作業が可能であり、しかもコントロール等も容易であることから、あらゆる分野において利用されている。特に最近では、種々の被処理面のサイズが益々大形化する傾向にあるが、上記の加熱ヒータでは赤外ビームが反射鏡の大きさによって規制され、被処理面のサイズが自ずから制約される。加えて反射鏡側板から突出する端子部分を端子カバーで覆う構造であるため、全体の長大化の原因ともなる。
【０００４】
従って、被処理面が赤外線ビームの照射範囲よりも大きい処理の場合、ビーム照射範囲を被処理面に対応させるため、加熱ヒータの複数個を隣接して並列配置することが行われていた。しかしながら、各加熱ヒータは長手方向の両端部にそれぞれ非照射部を持つ構造であるため、加熱ヒータを隣接させた場合、隣接部分にかなり大きな非照射部いわゆるデッドスペースが必然的に形成され、被処理面への赤外線ビームの照射が実質的に不可能となり、全体を均一処理することができなかった。
【０００５】
そこで、上記の問題を解消するため、加熱ヒータを千鳥状に配列したり、或いは加熱ヒータを長尺に形成することが提案されたが、千鳥状配列の場合は、大きなスペースを必要とするばかりでなく、赤外線ビームが被処理面に対してランダム照射となり、均一照射が難しく処理ムラの原因となる。また、長尺加熱ヒータの場合は、ランプの長手方向に沿って歪みが発生し易く、心出しが難しくなる。更にまた、前記のヒータはアッセンブリの際は、いずれも多数の部品を結合するために特別の固定器具とかビス等の固定部品等が必要であった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明者らは、加熱ヒータの照射開口部の全周から発せられる赤外線ビームを末広がり状に照射することができれば、赤外線ビームの照射面積を拡張させることができ、更にこのような多数個の加熱ヒータを隣接させれば隣接部に赤外線ビームの交差部が形成されることに着目し、鋭意研究を行った結果、本発明を完成することに成功した。
即ち、本発明の目的は、被処理面に応じて加熱ヒータの配列を決定し、ビーム照射範囲を被処理面に対応させてムラのない均一処理が実現でき、更には加熱ヒータのアッセンブリは、特別の固定器具、固定部品等を不要にした軽量かつコンパクトな平面加熱用ヒータ及びそれのユニットヒータを提供するものである。
【０００７】
すなわち、本発明は、水平鏡面部と傾斜鏡面部を有する断面ほぼ山形状をなしかつ平行対峙してヒータを配設する反射鏡と、前記ヒータの長手方向における反射鏡の開口部にそれぞれ係合される垂直鏡面部と傾斜反射面を有するほぼ台形状をなす反射鏡側板と、上記の反射鏡の反射鏡側板からそれぞれ突出されたヒータリード線と、前記反射鏡の水平鏡面部及び傾斜鏡面部の全体を包囲して前記の反射鏡に係合される断面凹状ケースと、前記ヒータの長手方向における凹状ケースの開口部に係合されかつ前記の反射鏡側板の傾斜反射面上にそれぞれ密接される傾斜鏡面部を有するケース蓋と、からなる平面加熱用ヒータに関する。
【０００８】
更に本発明は、水平鏡面部と傾斜鏡面部を有する断面ほぼ山形状をなしかつ平行対峙してヒータを配設する反射鏡と、前記ヒータの長手方向における反射鏡の開口部にそれぞれ係合される垂直鏡面部と傾斜反射面を有するほぼ台形状をなす反射鏡側板と、上記の反射鏡の反射鏡側板からそれぞれ突出されたヒータリード線と、前記反射鏡の水平鏡面部及び傾斜鏡面部の全体を包囲して前記の反射鏡に係合される断面凹状ケースと、前記ヒータの長手方向における凹状ケースの開口部に係合されかつ前記の反射鏡側板の傾斜反射面上にそれぞれ密接される傾斜鏡面部を有するケース蓋とからなる平面加熱用ヒータの複数個を、被処理面に対応した形態に隣接して配列し、反射鏡と反射鏡側板とで囲まれた照射開口部において、ヒータと平行する方向に関しては反射鏡の傾斜鏡面部で赤外線ビームを反射させ、ヒータと直交する方向に関しては反射鏡側板の傾斜反射面及びケース蓋７０の傾斜鏡面部で赤外線ビームを反射させ、隣接するヒータ間で反射赤外線ビームが交差され、該赤外線ビーム交差部により処理を行う平面加熱用ユニットヒータに関する。
【０００９】
更に本発明は、前記反射鏡の水平鏡面部の端縁には、該反射鏡内に平行対峙して配設したヒータのリード線を導出するための一対一組のＵ字状をなす切り込み凹所と反射鏡側板の水平頂部に設けたツメを係合するツメ穴を設け、かつ傾斜鏡面部には、反射鏡側板を係合する水平配置のツメ穴と傾斜配置のツメ穴を設け、かつまた傾斜鏡面部の端縁には、反射鏡を包囲するケースに係合するツメを設けてなる平面加熱用ヒータ及びそれのユニットヒータに関する。
【００１０】
更に本発明は、反射鏡側板の水平頂部には反射鏡の水平鏡面部に設けたツメ穴に係合するツメを設け、かつ反射鏡の傾斜鏡面部に設けた水平配置のツメ穴に係合するツメ及び傾斜配置のツメ穴に係合するツメを反射鏡側板に設け、かつまた、上記の傾斜反射面から垂直鏡面部にまたがってヒータの端子部を挿通する凸形端子挿通部と傾斜反射面の端縁に前記のケースに係合されるツメを設けてなる平面加熱用ヒータ及びそれのユニットヒータに関する。
【００１１】
更に本発明は、凹状ケースの天板には、ケース蓋のツメを係合するツメ穴とヒータリード線を導出するリード線用孔を設け、かつ側板の端縁には水平折曲片及び垂直折曲片を設け、前記の水平折曲片には前記反射鏡の傾斜鏡面部の先端縁に設けたツメを係合するツメ穴を設けてなる平面加熱用ヒータ及びそれのユニットヒータに関する。
【００１２】
更に本発明は、ケース蓋は上水平部に凹状ケースの天板に設けたツメ穴に係合されるツメを設け、該ツメと反対側の端縁は、下水平部と傾斜鏡面部に形成され、下水平部には前記反射鏡側板のツメが係合されるツメ穴を設けてなる平面加熱用ヒータ及びそれのユニットヒータに関する。
【００１３】
更に本発明は、前記反射鏡の水平鏡面部の端縁には、該反射鏡内に平行対峙して配設したヒータのリード線を導出するための一対一組のＵ字状をなす切り込み凹所と反射鏡側板の水平頂部に設けたツメを係合するツメ穴を設け、かつ傾斜鏡面部には、反射鏡側板を係合する水平配置のツメ穴と傾斜配置のツメ穴を設け、かつまた傾斜鏡面部の端縁には、反射鏡を包囲するケースに係合するツメを設けてなる平面加熱用ヒータ及びそれのユニットヒータに関する。
【００１４】
更に本発明は、反射鏡側板の水平頂部には反射鏡の水平鏡面部に設けたツメ穴に係合するツメを設け、かつ反射鏡の傾斜鏡面部に設けた水平配置のツメ穴に係合するツメ及び傾斜配置のツメ穴に係合するツメを反射鏡側板に設け、かつまた、上記の傾斜反射面から垂直鏡面部にまたがってヒータの端子部を挿通する凸形端子挿通部と傾斜反射面の端縁に前記のケースに係合されるツメを設けてなる平面加熱用ヒータ及びそれのユニットヒータに関する。
【００１５】
更に本発明は、凹状ケースの天板には、ケース蓋のツメを係合するツメ穴とヒータリード線を導出するリード線用孔を設け、かつ側板の端縁には水平折曲片及び垂直折曲片を設け、前記の水平折曲片には前記反射鏡の傾斜鏡面部の先端縁に設けたツメを係合するツメ穴を設けてなる平面加熱用ヒータ及びそれのユニットヒータに関する。
【００１６】
更に本発明は、ケース蓋は上水平部に凹状ケースの天板に設けたツメ穴に係合されるツメを設け、該ツメと反対側の端縁には、下水平部と前記の反射鏡側板の傾斜反射面上に密接される傾斜鏡面部とが一体に形成され、かつ前記の下水平部には前記反射鏡側板のツメが係合されるツメ穴を設けてなる平面加熱用ヒータ及びそれのユニットヒータに関する。
【００１７】
【発明の実施の態様】
以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
図１ないし図３に示した本発明の加熱ヒータ１は反射鏡２を備えており、反射鏡２は図４ないし図７に詳細に示してある。反射鏡２は水平鏡面部３とその幅方向の両側に傾斜鏡面部４、５とを一体に有する断面がほぼ山形状に形成してある。水平鏡面部３の中央部には反射鏡２内の温度を検知するセンサーの挿入孔６が設けてある。水平鏡面部３の長手方向の端部には図４において水平配置の一対一組からなるツメ穴７、８及び９、１０がそれぞれ明けてある。反射鏡３の長手方向の一方の開口面には、ツメ穴７、８を利用して一方の反射鏡側板のツメが係合され、またそれとは反対方向の開口面にはツメ穴９、１０を利用して他方の反射鏡側板のツメが係合される。
【００１８】
水平鏡面部３と傾斜鏡面部４、５の境目のところには反射鏡２の縁部から対向する一対一組のＵ字状の切り込み凹所１１、１２及び１３、１４がそれぞれ形成してある。切り込み凹所１１ないし１４は反射鏡２内に平行対峙して配置されるヒータ１５、１６のリード線１７、１８を導出するために利用される。傾斜鏡面部４の長手方向端部には図４において水平配置のツメ穴１９、２０及び傾斜配置のツメ穴２１、２２がそれぞれ明けてある。同様に、傾斜鏡面部５の長手方向端部にも水平配置のツメ穴２３、２４及び傾斜配置のツメ穴２５、２６がそれぞれ明けてある。ツメ穴１９ないし２６を利用して反射鏡側板のツメが係合される。
【００１９】
前記の傾斜鏡面部４の端縁部には、その長手方向に適宜の間隔を保ってほぼＬ字状に折曲げたツメ２７（本例では３個及び図４参照）が設けてあり、該ツメ２７は凹状ケースの一方の側板に明けたツメ穴に係合される。同様に、前記の傾斜鏡面部５の端縁部にも、その長手方向に適宜の間隔を保ってほぼＬ字状に折曲げたツメ２８（本例では３個及び図４参照）が設けてあり、該ツメ２８は凹状ケースの他方の側板に明けたツメ穴に係合される。
【００２０】
図８ないし図１０には前記の反射鏡２の長手方向の両端部に係合される反射鏡側板３０が示してある。反射鏡側板３０は垂直鏡面部３１と傾斜反射面３２とを一体に有するほぼ台形状になってある（図８参照）。垂直鏡面部３１の端縁は水平頂部３３に形成され、該水平頂部３３から一対のツメ３４、３５が突出され、該ツメ３４、３５は反射鏡２の水平鏡面部３に設けたツメ穴７、８（図４参照）に係合する。垂直鏡面部３１の端縁にはツメ３６、３７が、傾斜反射面３２の傾斜縁にはツメ３８、３９がそれぞれ突出してある。
【００２１】
上記の反射鏡側板３０のツメ３６、３７は反射鏡２の傾斜鏡面部４、５に設けたツメ穴１９、２３に係合され、同様に反射鏡側板３０のツメ３８、３９は傾斜鏡面部４、５に設けたツメ穴２１、２５にそれぞれ係合される（図３及び図４参照）。同様にして、反射鏡２の水平鏡面部３に設けたツメ穴９、１０には反射鏡側板の水平頂部に設けたツメが係合され、同様に反射鏡側板３０の垂直鏡面部のツメは傾斜鏡面部４、５に設けたツメ穴２０、２４にそれぞれ係合され、反射鏡側板の傾斜反射面３２のツメは傾斜鏡面部４、５に設けたツメ穴２２、２６にそれぞれ係合される（図３及び図４参照）。
【００２２】
更に、傾斜鏡面部３２の端縁にはツメ４２、４３、４４が設けてあり、ツメ４２ないし４４はケース蓋５０のツメ穴に係合される。反射鏡側板３０には垂直鏡面部３１と傾斜反射面３２とにまたがり、かつ傾斜反射面３２の端縁から凸形状をした一対の端子挿通部４０、４１が図８において下方から上方へ切り込み形成してある。この切り込み凹所４０、４１を挟んで前記のツメ４２、４３、４４が傾斜反射面３２の端縁から突出して形成してある。
【００２３】
端子挿通部４０にはヒータ１５のシール部１５ａ及びセラミックベース１５ｂが挿入され、また、端子挿通部４１にはヒータ１６のシール部１６ａ及びセラミックベース１６ｂがそれぞれ挿入される。ヒータ１５は例えば図１１及び図１２に示されるように、熱源体を封入した石英ガラスチューブの長手方向の端部が扁平状状にシールされ、該シール部１５ａから導出された通電部をセラミックベース１５ｂで絶縁しリード線１７と接続する。好ましくはチューブは上半周面が適宜の塗料でコーテイングしてあって、ビームの照射方向が規制される。
【００２４】
前記の反射鏡２及び反射鏡側板３０を包囲する凹状ケース５０は図１３ないし図１５に示してある。凹状ケース５０は天板５１と対向する側板５２、５３を有し、天板５１には一対一組のリード線用孔５４、５５と、隅部に水平配置のツメ穴５６、５７及び５８、５９と、中心部にセンサー挿通孔６０がそれぞれ明けてある。上記のツメ穴５６、５７及び５８、５９にはケース蓋に設けたツメが係合される。
【００２５】
凹状ケース５０の側板５２、５３の端縁はそれぞれ外側へ水平に折り曲げられ、該水平部６１、６２には３個のツメ穴６３、６４（図１３参照）がそれぞれ形成され、そして水平部６１、６２の端縁はそれぞれ垂直片６５、６６に形成してある（図１４参照）。上記のツメ穴６３、６４には反射鏡２に設けた３個宛のツメ２７、２８（図４参照）がそれぞれ係合される。この場合、センサー挿通孔６、６０は合致される（図２及び図３参照）。
【００２６】
上記の凹状ケース５０に係合されるケース蓋７０の詳細は、図１６ないし図１９に示してある。ケース蓋７０は図１９に示されるように長さの短い上水平部７１と垂直部７２、長さの長い下水平部７３、及び傾斜鏡面部７４とを一体に有する断面ほぼＬ字状に形成してある。前記の上水平部７１にはその長手方向の端部に位置してその上縁から一対のツメ７５、７６が突出して形成してある（図１６及び図１７参照）。
【００２７】
上記のツメ７５、７６は前記の凹状ケース５０に設けたツメ穴５６、５７（図１３参照）に係合される。同様に凹状ケース５０のツメ穴５８、５９にも上記と同様にしてケース蓋のツメが係合される。下水平部７３にはツメ穴７７、７８、７９が設けてあって（図１８参照）、該ツメ穴７７〜７９には反射鏡側板３０のツメ４２〜４３が係合される（図３参照）。下水平部７３の端縁に形成した傾斜鏡面部７４の外面は鏡面仕上げされ、そして反射鏡側板３０の傾斜反射面３２上に密接され、反射鏡２の長手方向と直交する方向の反射面が形成される（図３参照）。
【００２８】
次に、本発明による平面加熱用ヒータのアッセンブリの一例について以下に説明する。
反射鏡２の長手方向の一方における開口部に反射鏡側板３０を取り付けるには、反射鏡２の水平鏡面部３に設けた水平配置のツメ穴７に反射鏡側板３０の水平頂部３３に設けたツメ３４を係合し、その先端縁を水平鏡面部３の外面上に折り曲げて結合する。同様に、水平鏡面部３に設けた水平配置のツメ穴８に反射鏡側板３０の水平頂部３３に設けたツメ３５を係合し、その先端縁を水平鏡面部３の外面上に折り曲げて結合する。
【００２９】
また、反射鏡２の傾斜鏡面部４に設けた水平配置のツメ穴１９に反射鏡側板３０に設けたツメ３６を係合し、その先端縁を傾斜鏡面部４の外面上に折り曲げて結合する。同様に、傾斜鏡面部５に設けた水平配置のツメ穴２３に反射鏡側板３０に設けたツメ３７を係合し、その先端縁を傾斜鏡面部４の外面上に折り曲げて結合する。更に反射鏡２の傾斜鏡面部４に設けた傾斜配置のツメ穴２１に反射鏡側板３０に設けたツメ３８を係合し、その先端縁を傾斜鏡面部４の外面上に折り曲げて結合する。同様に、傾斜鏡面部５に設けた傾斜配置のツメ穴２５に反射鏡側板３０に設けたツメ３９を係合し、その先端縁を傾斜鏡面部５の外面上に折り曲げて結合する。上記と同様にして、反射鏡２の長手方向の他方の開口部にも上記と同構造の反射鏡側板３０を結合する（図１及び図３参照）。
【００３０】
次にヒータ１５を加熱ヒータ１の照射開口部側から挿入して、その長手方向両端部のシール部１５ａを反射鏡側板３０に設けた端子挿通部４０に嵌め込むとともにセラミックベース１５ｂを端子挿通部４０の所定位置にセットする。ヒータ１５のリード線１７は反射鏡２の切り込み凹所１１から導出する。同様に、反射鏡側板３０に設けた端子挿通部４１にヒータ１６のシール部１６ａを嵌め込むとともにセラミックベース１６ｂを端子挿通部４１の所定位置にセットする。ヒータ１６のリード線１８は反射鏡２の切り込み凹所１２から導出する。このように、ヒータ１５、１６は反射鏡２内で平行対峙して配置されることになる。
【００３１】
次に反射鏡２の全体を凹状ケース５０で包囲し、凹状ケース５０の水平部６１に形成した３個のツメ穴６３に反射鏡２の傾斜鏡面部４の先端に設けた３個のツメ２７をそれぞれ係合させ、その先端縁を水平部６１の外面上に折り曲げて結合する。同様に、凹状ケース５０の水平部６２に形成した３個のツメ穴６４に反射鏡２の傾斜鏡面部５の先端に設けた３個のツメ２８をそれぞれ係合させ、その先端縁を水平部６２の外面上に折り曲げて結合する（図２参照）。この場合、反射鏡側板３０から突出されたシール部１５ａ、１６ａの端部に接続されたリード線１７、１８はそれぞれのリード線用孔５４、５９から凹状ケース５０外に導出される。
【００３２】
上記ヒータ１５、１６と直交する方向の凹状ケース５０の開口部には、ケース蓋７０が係合される。ケース蓋７０の上水平部７１に設けたツメ７５をケース５０の天板５１に設けたツメ穴５６にそれぞれ係合させ、その端縁を上水平部７１外面上に折り曲げる。同様に、上水平部７１に設けたツメ７６をケース５０の天板５１に設けたツメ穴５７に係合させて、その端縁を上水平部７１外面上に折り曲げて結合する。ケース蓋７０の下水平部７３に設けたツメ穴７７、７８、７９に反射鏡側板３０に設けたツメ４２、４３、４４をそれぞれ嵌め込み、端縁を下水平部７３の外面上に折り曲げて係止する。同様にして、凹状ケースの他方の開口部にも上記と同じ構造のケース蓋を係合すればよい。
【００３３】
本発明の平面加熱用ヒータ１は断面がほぼ山形状をなす反射鏡２と、この反射鏡２の両端開口部に配置される一対の反射鏡側板３０と、反射鏡２及び反射鏡側板３０を包囲する断面凹状のケース５０と、該ケースの開口部に配置される一対のケース蓋７０とが、それら自体に形成されたツメとツメ穴による係止のみで組立可能であるため、組み立てが簡単で、しかも固定部品とか固定器具等を一切用いる必要はなく、軽量な加熱ヒータをアッセンブリできる。そして、凹状ケース５０及び反射鏡２の挿通孔６０、６にシース熱電対８０を通せば本発明の加熱ヒータ１が完成する（図１〜図３参照）。
【００３４】
さて、上記のヒータ１５、１６に通電すると、それから発せられる赤外線ビームは反射鏡２および反射鏡側板３０に反射されて、被処理面へ通常のように照射せしめられる。この場合、本発明の加熱ヒータ１によれば、その照射開口部の全周において、赤外線ビームが末広がり状に照射されることが特徴である。赤外線ビームが拡張して照射されることにより、赤外線ビームの照射範囲を広範にできるため、より広い面積の被処理面を処理することが可能となる。
【００３５】
すなわち、平行対峙して配置したヒータ１５、１６と平行する方向に関しては、傾斜鏡面部４、５により反射された赤外線ビーム８１、８１は傾斜鏡面部４、５間の幅Ｗ１よりも更に外側方向に向かって照射される（図２０参照）。また、平行対峙して配置したヒータ１５、１６と直交する方向に関しては、反射鏡側板３０、３０の傾斜反射面３２、３２とケース蓋７０、７０の傾斜鏡面部７４、７４により反射された赤外線ビーム８２、８２は傾斜鏡面部７４、７４間の幅Ｗ２よりも更に外側方向に向かって照射される（図２１参照）。
【００３６】
従って、加熱ヒータ１の長手方向における照射開口部幅Ｗ１よりも例えば被処理面８５の寸法が大きい場合、その寸法に対応させて複数個の加熱ヒータ、本例では３個の加熱ヒータ１を図２２及び図２３に示すように隣接して配置する。即ち、平行対峙して配置したヒータ１５、１６が全て同じ方向を向くように３個の加熱ヒータ１を隣接して配列し、各加熱ヒータ１の凹状ケース５０の垂直片６５、６６をそれぞれ隣接する加熱ヒータ１の垂直片と密接させ、隣接する加熱ヒータ１を適宜の連結金具（図示せず）により連結する。隣接した加熱ヒータ１間は冷却空間部８６として形成される。
【００３７】
しかして、ヒータ１５、１６から発せられる赤外線ビームは反射鏡２及び反射鏡側板３０、３０により反射され、照射開口部から被処理面８５に対して照射される。この場合、加熱ヒータ１の長手方向の照射開口部における赤外線ビーム８１、８１の放射は、その照射開口部幅Ｗ１（図２０参照）より外側方向に向かって反射されて照射されるため、隣接した加熱ヒータ１間に赤外線ビーム８１、８１の交差する部分が形成される。それ故、赤外線ビーム交差部８７を用いて加熱ヒータの長手方向に関する被処理面８５を処理すればよい。
【００３８】
また、加熱ヒータ１の長手方向と直交する被処理面８５の処理に関しては、図２３に示される赤外線ビーム８２、８２を用いる。隣接して配置された加熱ヒータ１は凹状ケース５０に係合された隣接するケース蓋７０が互いに密接され、隣接する加熱ヒータ１間には隙間が形成されない。従って、加熱ヒータ１の長手方向と直交する方向に関しての隣接は隙間を介在させることなく、隣接配列できるため、スペースの省略化が可能となる。
【００３９】
しかるに、上記の加熱ヒータ１５、１６から発せられる赤外線ビームは反射鏡２及び反射鏡側板３０、３０及びケース蓋７０、７０の傾斜反射面７４、７４により反射され、照射開口部より被処理面８５に対して照射される。この場合、加熱ヒータ１の長手方向と直交する照射開口部における赤外線ビーム８２、８２の照射は、その照射開口部幅Ｗ２（図２１参照）より外側方向に向かって反射される。従って、隣接した加熱ヒータ１間に赤外線ビーム８１、８１の交差する部分が形成され、該赤外線ビーム交差部８９を用いて加熱ヒータの長手方向に関する被処理面８５を処理すればよい。
【００４０】
前記の実施例においては、加熱ヒータ１を長手方向に関してのみ図示し、かつ説明したが、本発明はこの配列形態に限定されるものではなく、例えば被処理面の形態、サイズ等の処理条件に応じて加熱ヒータの配列形態を適宜に変更し得ることは勿論である。加熱ヒータ１の隣接配置に関して重要なことは、隣接する加熱ヒータから発せられる赤外線ビームを交差させ、該赤外線ビーム交差部を利用して被処理面を処理し得る構造であれば、如何なる配列形態であってもよい。更に、加熱ヒータ１を構成する各部品の係合を行うツメとツメ穴との関係を実施例の場合と逆に形成してもよい。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明したように、水平鏡面部と傾斜鏡面部を有する断面がほぼ山形状の反射鏡の対向する開口部に係脱可能に取り付けられる反射鏡側板に垂直鏡面部と傾斜反射面を設け、反射鏡の水平鏡面部および傾斜鏡面部の全体を断面凹状のケースで包囲し、この凹状ケースの開口部に取り付けられるケース蓋に反射鏡側板の傾斜反射面上に密接される傾斜鏡面部を設けたから、照射開口部の一方に関しては、該照射開口部幅よりも外側方向に反射鏡の傾斜鏡面部で赤外線ビームが照射され、かつ照射開口部の他方に関しては、該照射開口部幅よりも外側方向に反射鏡側板の傾斜鏡面部及びケース蓋の傾斜反射面で赤外線ビームが照射される。従って、照射開口部の全体から該照射開口部幅よりも大きな末広がり状の反射形態となる赤外線ビームが得られる。更に加熱ヒータは特別の固定器具、固定部品等を用いずにアッセンブリできるため、組立作業も簡単となる。更にまた、加熱ヒータを被処理面に応じて隣接配列した際、各加熱ヒータからの赤外線ビームは末広がり状となって照射され、隣接するヒータ間で交差される。従って、赤外線ビーム交差部により被処理面の全体をムラなく均一処理ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】平行対峙して配列した一対のヒータを反射鏡内に配列し、全体を凹状ケースで包囲して上側から見た略図的平面図である。
【図２】ヒータと該ヒータの長手方向と直交する方向の反射鏡と該反射鏡を包囲するケースとの関係を説明するために図１のＡ−Ａ線に沿って切断した断面図である。
【図３】ヒータと該ヒータの長手方向と直交する方向の反射鏡と該反射鏡の長手方向の端部に配置される反射鏡側板と前記反射鏡を包囲するケースとの関係を説明するために図１のＢ−Ｂ線に沿って切断した断面図である。
【図４】凹状のケース内に配置される水平鏡面部と傾斜鏡面部とを有する反射鏡を外側から見た拡大平面図である。
【図５】反射鏡と反射鏡側板と係合及び反射鏡と凹状ケースと係合するツメ穴の形成位置及び全体の形状を説明するために図４のＣ−Ｃ線に沿って切断した断面図である。
【図６】反射鏡と反射鏡側板と係合及び反射鏡と凹状ケースと係合するツメ穴の形成位置及び全体の形状を説明するために図４のＤ−Ｄ線に沿って切断した断面図である。
【図７】反射鏡と反射鏡側板との係合及び反射鏡と凹状ケースと係合するツメ穴の形成位置及び全体の形状を説明するために図４のＥ−Ｅ線に沿って切断した断面図である。
【図８】反射鏡と反射鏡側板との係合及び反射鏡側板とケース蓋との係合及び全体の形状を説明するためにヒータの長手方向側からみた拡大端面図である。
【図９】反射鏡と反射鏡側板との係合及び反射鏡側板とケース蓋との係合及び全体の形状を説明するために図８のＦ−Ｆ線に沿って切断した端面図である。
【図１０】反射鏡と反射鏡側板との係合及び反射鏡側板とケース蓋との係合及び全体の形状を説明するために図８の上側から見た平面図である。
【図１１】反射鏡側板に設けた凸状の端子挿通部に挿入される赤外線ビームの熱源となるヒータとそれのリード線とを説明する平面図である。
【図１２】反射鏡側板に設けた凸状の端子挿通部に挿入される赤外線ビームの熱源となるヒータとそれのリード線とを説明するためにヒータの長手方向と直交する方向から見た説明図である。
【図１３】反射鏡と反射鏡側板とを包囲しかつ反射鏡及びケース蓋に係合されるツメ穴を有する凹状ケースを外側から見た拡大平面図である。
【図１４】反射鏡と反射鏡側板とを包囲しかつ反射鏡及びケース蓋に係合されるツメ穴を有する凹状ケースの全体形状を説明するために図１３のＧ−Ｇ線に沿って切断した断面図である。
【図１５】反射鏡と反射鏡側板とを包囲しかつ反射鏡及びケース蓋に係合されるツメ穴を有する凹状ケースの全体形状を説明するために図１３のＨ−Ｈ線に沿って切断した断面図である。
【図１６】凹状ケースに係合されるツメと反射鏡の傾斜鏡面部上に密接される傾斜鏡面部を持ちかつ反射鏡側板と係合されるツメ穴を有するケース蓋を説明するための平面図である。
【図１７】凹状ケースに係合されるツメと反射鏡の傾斜鏡面部上に密接される傾斜鏡面部を持ちかつ反射鏡側板と係合されるツメ穴を有するケース蓋を端面側から見た端面図である。
【図１８】凹状ケースに係合されるツメと反射鏡の傾斜鏡面部上に密接される傾斜鏡面部を持ちかつ反射鏡側板と係合されるツメ穴を有するケース蓋を下側から見た底面図である。
【図１９】凹状ケースに係合されるツメと反射鏡の傾斜鏡面部上に密接される傾斜鏡面部を持ちかつ反射鏡側板と係合されるツメ穴を有するケース蓋の全体形状を説明するために図１７のＩ−Ｉ線に沿って切断した断面図である。
【図２０】反射鏡内に平行対峙して配設したヒータの長手方向と直交する方向の照射開口部から反射鏡の傾斜鏡面部により反射して照射されるヒートビームを説明するための拡大断面図である。
【図２１】反射鏡内に平行対峙して配設したヒータの長手方向の照射開口部から反射鏡の傾斜鏡面部とケース蓋の傾斜鏡面部とにより反射して照射される赤外線ビームを説明するための拡大断面図である。
【図２２】加熱ヒータのヒータ長手方向と直交する方向に３個の加熱ヒータを隣接して配置し、隣接する反射鏡の傾斜反射面により反射される赤外線ビームの照射形態を説明するための概略的説明図である。
【図２３】加熱ヒータのヒータ長手方向と直交する方向に３個の加熱ヒータを隣接して配置し、隣接する反射鏡の傾斜反射面とケース蓋の傾斜鏡面部により反射される赤外線ビームの照射形態を説明するための概略的説明図である。
【符号の説明】
２・・・反射鏡
３・・・水平鏡面部
４・・・傾斜鏡面部
１５、１６・・・ヒータ
３０・・・反射鏡側板
３２・・・傾斜反射面
５０・・・凹状ケース
７０・・・ケース蓋
７４・・・傾斜鏡面部
８５・・・被処理面
８１、８２・・・赤外線ビーム
８７、８９・・・赤外線ビーム交差部
Ｗ１・・・ヒータの長手方向と直交する反射鏡の照射開口部幅
Ｗ２・・・ヒータの長手方向の反射鏡側板の照射開口部幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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