(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品と放熱部材とを接着固定するための熱伝導性感圧接着シ―ト類であって、電気絶縁性プラスチツクフイルムの片面または両面に、セラミツクスまたはセラミツクス以外の金属酸化物の中から選ばれる無機材料の薄層を有し、この薄層上に（メタ）アクリル酸アルキルエステル系ポリマーをベースポリマーとした感圧接着剤組成物の層が設けられていることを特徴とする熱伝導性感圧接着シ―ト類。
【請求項２】
電気絶縁性プラスチツクフイルムがポリイミド（アミド）フイルムである請求項１に記載の熱伝導性感圧接着シ―ト類。
【請求項３】
電気絶縁性プラスチツクフイルムが充填剤を２〜５０容量％含有してなる請求項１または２に記載の熱伝導性感圧接着シ―ト類。
【請求項４】
無機材料の薄層が絶縁性材料からなる請求項１〜３のいずれかに記載の熱伝導性感圧接着シ―ト類。
【請求項５】
感圧接着剤組成物が、ベ―スポリマ―１００重量部あたり、熱伝導性充填剤を１０〜３００重量部含有してなる請求項１〜４のいずれかに記載の熱伝導性感圧接着シ―ト類。
【請求項６】
電子部品と放熱部材とを、請求項１〜５のいずれかに記載の熱伝導性感圧接着シ―ト類を介して、接着固定することを特徴とする電子部品と放熱部材との固定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品の固定、とくに電子部品と放熱部材との固定や、その他、建材、車輌、航空機、船舶などの各種分野での部材の固定などの用に供される、シ―ト状やテ―プ状などの熱伝導性感圧接着シ―ト類に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ハイブリツドパツケ―ジ、マルチモジユ―ル、あるいはプラスチツクや金属による密封型集積回路などの電子部品では、ＩＣ回路の高集積化などにともなつて発熱量が増大し、温度上昇のために電子部品が機能障害を生じるおそれがあることなどにより、電子部品にヒ―トシンクなどの放熱部材を付設して、機能障害などを予防する対策が講じられている。
【０００３】
従来、電子部品に放熱部材を付設する方法としては、重合性アクリル酸エステルモノマ―とフリ―ラジカル開始剤を含む組成物にアルミニウム粉などを加えた接着剤を用いて、電子部品と放熱部材を接着する方法が知られている（米国特許第４，７２２，９６０号明細書）。しかしながら、この方法は、上記接着剤を電子部品と放熱部材との一方または両方に塗設したのち、プライマ―を用いるか酸素を遮断して硬化処理する必要があり、その接着処理に多時間、多労力を要し、また硬化するまでの間、被着体を仮固定しておく必要があるなど、電子装置の製造効率に乏しいという問題があつた。
【０００４】
また、接着剤層中にその層厚より大きい粒径の銀粒子を含ませた接着シ―トを用いる方法も提案されている（米国特許第４，６０６，９６２号明細書）。しかし、銀粒子を含ませると、接着剤組成物の調製中に極端に粘度が上昇して流動性に欠け、取り扱い性、とくに塗工作業性が悪くなり、シ―ト化する場合に厚さ精度が出ず、ひどい場合にはシ―ト化できないという問題があつた。
【０００５】
さらに、極性モノマ―を含むアルキルアクリレ―ト系ポリマ―に熱伝導性電気絶縁粒子をランダム分散させた熱伝導性電気絶縁テ―プを用いる方法も提案されている（特開平６−８８０６１号公報：欧州特許ＥＰ−５６６０９３−Ａ１）。しかし、近年の部品実装の高集積化にともない、電子部品用途には電気絶縁性が強く必要とされている。これに対し、上記の熱伝導性電気絶縁テ―プは、支持体を有さないために、シ―ト中のピンホ―ルを管理できず、また電子部品の端子部分が感圧接着剤中に食い込むおそれがあるため、電気絶縁性（体積抵抗値、破壊電圧）を著しく損ねる結果となりやすい。このため、上記の熱伝導性電気絶縁テ―プは、信頼性が強く要求される部位には使用できない。
【０００６】
また、熱源と熱放散器との間に配置する熱伝導性境界面材料として、ナイロン、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミドなどのプラスチツクフイルム、またはこれらフイルムの内部に酸化アルミニウムや窒化硼素を含ませたプラスチツクフイルムを支持体とし、この支持体上に熱伝導性充填剤を含ませたアクリル系感圧接着剤の層を設け、これに熱源と熱放散器との間の空気を除去する貫通穴、エンボスまたは溝などを形成した熱伝導性材料が提案されている（特開平５−１９８７０９号公報：米国特許第５，２１３，８６８明細書）。しかしながら、この熱伝導性材料は、支持体と感圧接着剤の層との間の密着性が悪く、高温使用中に両者間で剥がれを生じる、投錨破壊の問題を有していた。
【０００７】
支持体と感圧接着剤の層との密着性を改良するため、両者間に１層または２層以上の下塗り層を設けることは、当業者間でよく行われている。これは、支持体が持つ極性と感圧接着剤の層が持つ極性との中間の極性を有する材料を下塗り材料とし、これを有機溶剤などに溶解させて、支持体上に塗布し乾燥するものである。しかし、この方法を上記熱伝導性材料などに適用すると、製造作業の煩雑、有機溶剤などの使用による環境悪化などの不具合を生じやすい。また、密着性を向上させる別の方法として、コロナ処理、スパツタ処理などのドライ方式も知られているが、この方式ではその処理効果が薄いか、または処理後経日的に効果が薄れてくるなどの問題があり、実用的とは言えなかつた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記事情に照らし、電子部品と放熱部材との固定などの用に供される、接着処理に多時間、多労力を必要とすることなく上記固定目的を達成できる熱伝導性感圧接着シ―ト類であつて、支持体と感圧接着剤組成物の層とを有し、感圧接着性および熱伝導性にすぐれ、しかも製造工程の煩雑さ、環境悪化という不具合を生じることなく、支持体と感圧接着剤組成物の層との密着性が良好で、高温下で長期放置しても両者間で投錨破壊を起こしにくい、耐熱性にすぐれる熱伝導性感圧接着シ―ト類を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の目的を達成するため、鋭意検討した結果、電気絶縁性プラスチツクフイルムからなる支持体上に特定の薄層を設け、その上に感圧接着剤組成物の層を設けることにより、感圧接着性および熱伝導性にすぐれ、かつ製造作業の煩雑さ、有機溶剤などの使用による環境悪化などの発生原因となる前記下塗り処理を施すことなく、支持体と感圧接着剤組成物の層との密着性が良好で、高温下で長期放置しても両者間で投錨破壊を起こしにくい、耐熱性にすぐれる熱伝導性感圧接着シ―ト類が得られることを知り、本発明を完成した。
【００１０】
すなわち、本発明は、電子部品と放熱部材とを接着固定するための熱伝導性感圧接着シ―ト類であって、電気絶縁性プラスチツクフイルムの片面または両面に、セラミツクスまたはセラミツクス以外の金属酸化物の中から選ばれる無機材料の薄層を有し、この薄層上に（メタ）アクリル酸アルキルエステル系ポリマーをベースポリマーとした感圧接着剤組成物の層が設けられていることを特徴とする熱伝導性感圧接着シ―ト類（請求項１〜５）と、電子部品と放熱部材とを上記の熱伝導性感圧接着シ―ト類を介して接着固定することを特徴とする電子部品と放熱部材との固定方法（請求項６）とに係るものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明における支持体としては、ポリイミド（アミド）、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレ―ト、ポリエチレンナフタレ―トなど）、フツ素樹脂（ポリテトラフルオロエチレンなど）、ポリエ―テルケトン、ポリエ―テルスルホン、ポリメチルペンテン、ポリエ―テルイミド、ポリスルフオン、ポリフエニレンサルフアイド、ポリエステルイミド、芳香族ポリアミド、ポリプロピレン、ポリエチレンなどの厚さが通常１２μｍ〜４mmの電気絶縁性プラスチツクフイルムが用いられる。これらの電気絶縁性プラスチツクフイルムの中でも、熱寸法安定性、長期耐熱信頼性の点より、ポリイミド（アミド）フイルム、フツ素樹脂フイルムが好ましく、とくにポリイミド（アミド）フイルム、つまりポリイミドフイルムまたはポリイミド・アミドフイルムが最も好ましい。
【００１２】
このような電気絶縁性プラスチツクフイルムには、無機材料の薄層を介した感圧接着剤組成物の層との密着性の向上のため、充填剤を含ませることができる。充填剤としては、ＳｉＯ2 、ＴｉＢ2 、ＢＮ、Ｓｉ3 Ｎ4 、ＴｉＯ2 、ＭｇＯ、ＮｉＯ、ＣｕＯ、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｆｅ2 Ｏ3 などが挙げられる。これらの中でも、絶縁性の充填剤として、熱伝導性や入手の容易さより、ＢＮ（窒化硼素）またはＡｌ2 Ｏ3 （酸化アルミニウム）が好ましい。これらの充填剤は、通常０．５〜２５０μｍ、好ましくは１〜１００μｍ、より好ましくは２〜１０μｍの粒子径を有しているがよい。形状は、球形、針状、フレ―ク状、スタ―状などのいかなる形状を有していてもよい。また、これら充填剤の含有量は、フイルム中、２〜５０容量％、好ましくは１０〜３５容量％であるのがよい。
【００１３】
本発明において、上記のような充填剤を含むか、または充填剤を含まない電気絶縁性プラスチツクフイルムは、公知のフイルム作製方法に準じて作製できる。また、市場に販売されている製品を入手して用いてもよい。たとえば、ポリイミドフイルム中にＡｌ2 Ｏ3 を含ませた電気絶縁性プラスチツクフイルムとして、東レ・デユポン社製の「カプトンＭＴ」があり、本発明の電気絶縁性プラスチツクフイルムとして、そのまま使用することができる。
【００１４】
本発明においては、このような電気絶縁性プラスチツクフイルムの片面または両面に、セラミツクスまたはセラミツクス以外の金属酸化物の中から選ばれる無機材料の薄層を形成する。この薄層の形成は、公知の薄膜形成技術、たとえば、スパツタリング法、真空蒸着法、分子線エピタキシ―法、イオン化蒸着法、レ―ザ―アプリケ―シヨン法、熱ＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法、有機金属気層成長法、放電重合法、液層エピタキシ―法、ＬＢ法、ゾルゲル法、メツキ法、塗布法などの堆積法や酸化法、拡散法、イオン注入法などの基板浸入法などの方法によつて、行うことができる。薄層の厚さは通常１０〜１，０００Åであるが、これに限定されることなく、薄膜形成材料の種類および薄膜形成技術に応じた適宜の層厚を選択することができる。また、薄層は単層構造に限らず、必要により２層以上を積層した積層構造とすることもできる。
【００１５】
薄層形成材料としては、ケイ素酸化物、ケイ素窒化物、酸化ジルコニア、チタン酸化物、チタン硼化物、窒化硼素、酸化アルミニウムなどの種々のセラミツクスや、金、銀、銅、白金、パラジウム、コバルト、ニツケル、アルミニウム、マグネシウム、インジウム、錫、カドミウム、亜鉛、アンチモン、ケイ素、チタンなどの金属の酸化物（セラミツクス以外の金属酸化物）、たとえば、酸化インジウム、酸化錫、酸化アンチモン、これらの混合物（混合酸化物を含む）などの無機材料が用いられる。これらの無機材料の中でも、絶縁信頼性の点より、絶縁性の無機材料を選択するのが好ましい。
【００１６】
本発明において、このような無機材料の薄層を介して感圧接着剤組成物の層を設けるようにすると、上記薄層の表面極性に起因するためか、支持体に対する感圧接着剤組成物の層の密着性が、従来のコロナ処理などのドライ方式に比べて、著しく改善され、また経日的な持続効果にもすぐれ、高温下で長期放置しても支持体と感圧接着剤組成物の層との間で投錨破壊を起こしにくい、すぐれた耐熱性が得られる。また、上記無機材料の薄層は、前記公知の薄膜形成技術などにより容易に形成できるため、従来の有機溶剤を用いた下塗り法のような工程上の煩雑さは少なく、有機溶剤の使用に起因した環境衛生上の問題もとくに起こらない。しかも、上記無機材料の薄層は、厚さ方向の熱の伝達以外に、面方向の熱の伝達にも好結果を与え、熱伝導性の向上にも寄与させることができる。
【００１７】
本発明における感圧接着剤組成物は、ゴム、合成樹脂、シリコ―ン系樹脂などの各種のベ―スポリマ―を用いた公知の感圧接着剤組成物が、いずれも使用可能である。支持体への密着性の点から、極性を容易に制御できる（メタ）アクリル酸アルキルエステル系ポリマ―をベ―スポリマ―としたものが最も好ましい。この種のポリマ―は、炭素数２〜１４のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルと必要により（メタ）アクリル酸、イタコン酸、アクリロニトリル、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレ―ト、酢酸ビニル、スチレンなどの共重合可能な改質用単量体を含む単量体の重合体ないし共重合体である。
【００１８】
このような（メタ）アクリル酸アルキルエステル系ポリマ―は、塊状重合法、溶液重合法、乳化重合法、懸濁重合法などにより合成できるが、紫外線や電子線などの放射線の照射により重合する塊状重合法を用いて合成するのが好ましい。この重合法によると、有機溶剤の残存による電子部品の腐食、高温での気化膨張による膨れ、剥がれ、ずれの心配がなく、また乳化剤のブリ―ドによる汚染、接着不良、耐湿性低下などの心配もなく、さらに比較的弱い強度の紫外線などを照射することで重合体の分子量を高くでき、高い架橋度と大きな凝集力を有する耐熱性にすぐれた感圧接着剤組成物の調製が可能となる。
【００１９】
本発明に用いる感圧接着剤組成物には、剪断強度を増加させるために、多官能イソシアネ―ト系架橋剤、エポキシ系架橋剤、メラミン樹脂系架橋剤などの架橋剤を、必要により含ませてもよい。また同様の目的で、ベ―スポリマ―の合成時に交叉結合剤として多官能（メタ）アクリレ―トを加えてもよい。さらに、感圧接着剤に通常配合される各種の添加剤、たとえば、顔料、充填剤、老化防止剤、粘着付与剤、難粘剤などを適宜配合することができる。
【００２０】
また、本発明に用いる感圧接着剤組成物には、熱伝導性をより高めるために、熱伝導性充填剤を含ませることができる。この熱伝導性充填剤としては、支持体を構成する電気絶縁性プラスチツクフイルム中に含ませうる前記の充填剤と同じものを使用でき、粒子径や形状についても前記と同様であるが、その純度は、感圧接着剤組成物の調製時の極端な粘度上昇を避けるために、９５重量％以上であるのが好ましい。使用量は、ベ―スポリマ―１００重量部に対して、通常１０〜３００重量部、好ましくは１０〜１２０重量部とするのがよい。
【００２１】
本発明の熱伝導性感圧接着シ―ト類は、上記の感圧接着剤組成物を、電気絶縁性プラスチツクフイルムの片面または両面に形成された前記の無機材料の薄層上に、転写または直接塗布して、片面で通常１０〜３００μｍの層厚の感圧接着剤組成物の層を設け、シ―ト状やテ―プ状の形態としたものである。
【００２２】
本発明の熱伝導性感圧接着シ―ト類を用いて、電子部品と放熱部材とを接着固定するには、電子部品と放熱部材との間に上記の感圧接着シ―ト類を介装して、その感圧接着性を利用して圧着処理すればよく、これにより両者を熱伝導性良好にして、かつ高温下でも良好な接着強度で固定できる。
【００２３】
接着固定の対象となる電子部品には、ＩＣチツプ、ハイブリツドパツケ―ジ、マルチチツプモジユ―ル、パワ―トランジスタ、プラスチツクや金属による密閉型の集積回路などが挙げられる。ＩＣ回路を高度に集積したもののように、発熱量の大きい電子部品の接着固定に有利に適用できる。接着固定の対象となる他方の放熱部材としては、金属の板やシ―ト状物からなるヒ―トシンク、その他の放熱器などが挙げられる。ヒ―トシンクの厚さは、１０μｍ〜１０mm、好ましくは１００μｍ〜３mmが一般的であるが、これに限定されない。放熱器は、冷却フアンを有する形態などの適宜な構造であつてもよい。
【００２４】
なお、本発明の熱伝導性感圧接着シ―ト類は、このような電子部品と放熱部材との接着固定に限られず、建材、車両、航空機、船舶などの各種部材の固定目的などの用に供することができ、これらの用途目的に用いたときでも、上記と同様の効果を奏することはいうまでもない。
【００２５】
【実施例】
つぎに、本発明の実施例を記載して、より具体的に説明する。なお、以下において、部とあるのはすべて重量部を意味するものである。
なお、以下に記載の「実施例１〜４」のうち、「実施例３，４」が本発明の特許請求の範囲に含まれる熱伝導性感圧接着シートの例を示したものであり、「実施例１，２」は本発明の特許請求の範囲には含まれない参考例としての熱伝導性感圧接着シートを示したものである。
【００２６】
実施例１
スパツタ装置の基板側に、支持体としてＡｌ2 Ｏ3 を約１７重量％含有する厚さが２５μｍのポリイミドフイルムを取り付け、スパツタ電極上にアルミタ―ゲツトを装着し、１×１０-3Ｐａまで真空引きを行つたのち、アルゴンガスを１５cc／分、酸素ガスを１００cc／分流入させ、装置内を１×１０-1Ｐａに保つた。この状態でスパツタ電極上に直流電圧４００Ｖを印加してグロ―放電させ３０秒間スパツタリングを行い、つまり反応性マグネトロンスパツタリングを行つて、上記Ａｌ2 Ｏ3 含有ポリイミドフイルムからなる支持体の片面に酸化アルミニウムからなる厚さが２００Åの薄層を形成した。つぎに、これと同じ操作を上記支持体の反対面にも行い、両面にそれぞれ酸化アルミニウムからなる厚さが２００Åの薄層を有する支持体を作製した。
【００２７】
ベ―スポリマ―として、分子量８０万のポリジメチルジフエニルシロキサンガム１００部とＭＱシリコ―ンレジン（Ｍ／Ｑ＝０．８）１２０部を使用し、これにベンゾイルパ―オキサイド２部、キシレン２００部を混合して、感圧接着剤組成物の溶液を調製した。この感圧接着剤組成物の溶液を、フツ素系剥離剤で剥離処理した剥離ライナ上に塗布し、熱風乾燥機中、９０℃で５分間乾燥後、１６０℃で１０分間乾燥処理し、厚さが５０μｍの感圧接着剤組成物の層を形成した。つぎに、この感圧接着剤組成物の層を、前記方法で作製した両面にそれぞれ酸化アルミニウムからなる２００Åの薄層を有する支持体の両面側に、貼り合わせ、熱伝導性感圧接着シ―トを作製した。
【００２８】
実施例２
スパツタ装置の基板側に、支持体として厚さが２５μｍのポリエチレンテレフタレ―トフイルムを取り付け、スパツタ電極上にインジウム９０重量％と錫１０重量％とからなる合金タ―ゲ―ツトを装着し、１×１０-3Ｐａまで真空引きを行つたのち、アルゴンガスを１００cc／分、酸素ガスを１５cc／分流入させ、装置内を４×１０-1Ｐａに保つた。この状態でスパツタ電極上に直流電圧４００Ｖを印加してグロ―放電させ３０秒間スパツタリングを行つて、ポリエチレンテレフタレ―トフイルムからなる支持体の片面に酸化インジウムと酸化錫との混合酸化物からなる厚さが２００Åの薄層を形成した。その後は、実施例１と同様の操作により、熱伝導性片面感圧接着シ―トを作製した。
【００２９】
実施例３
最大出力１６ＫＷのトランバ―ス２７０度偏向式の電子ビ―ム蒸発源を用い、１０-5Ｔｏｒｒまで真空引きを行い、水冷銅ハ―スにアルミの入つたるつぼをセツトして、加速電圧９ＫＶ、ビ―ム電流１．６Ａで、支持体としてＡｌ2 Ｏ3 を約１７重量％含有する厚さが２５μｍのポリイミドフイルム上に、酸化アルミニウムからなる厚さが１００Åの薄層を形成した。つぎに、これと同じ操作を上記支持体の反対面にも行い、両面にそれぞれ酸化アルミニウムからなる厚さが２００Åの薄層を有する支持体を作製した。
【００３０】
アクリル酸イソオクチル７５部、アクリル酸ブチル２０部、アクリル酸５部および２，２−ジメトキシ−２−フエニルアセトン（光重合開始剤）０．１部からなるプレミツクスを、窒素雰囲気中で紫外線に暴露して部分重合させ、粘度が約４０ポイズのコ―テイング処理可能なシロツプとした。このシロツプ１００部に対し、トリメチロ―ルプロパントリアクリレ―ト（交叉結合剤）０．２部と窒化ホウ素（ＢＮ）４０部を加えて、光重合用組成物とした。
【００３１】
この光重合用組成物を、前記方法で作製した両面にそれぞれ酸化アルミニウムからなる厚さが２００Åの薄層を有する支持体の片面側に、塗布し、窒素ガス雰囲気下、光強度５ｍＷ／cm2 の高圧水銀ランプにより、９００ｍｊ／cm2 の紫外線を照射して、光重合処理した。熱風循環乾燥機により、１３０℃で５分間乾燥処理して、厚さが５０μｍの感圧接着剤組成物の層を形成した。つぎに、これと同じ操作を上記支持体の反対面側にも行い、両面にそれぞれ厚さが５０μｍの感圧接着剤組成物の層を有する熱伝導性感圧接着シ―トを作製した。
【００３２】
実施例４
アクリル酸２−エチルヘキシル９５部とアクリル酸５部を、酢酸エチル２１０部を用いて、２，２−アゾビスイソブチロニトリル０．４部の共存下、かつ窒素置換下、６０〜８０℃で攪拌しながら溶液重合処理して、粘度約１２０ポイズ、重合率９９．２重量％、固形分３０重量％のポリマ―溶液を得た。このポリマ―溶液に、ベ―スポリマ―１００部に対して、多官能イソシアネ―ト系架橋剤３部とＳｉＯ2 ６０部を加えて、感圧接着剤組成物の溶液とした。
【００３３】
この感圧接着剤組成物の溶液を、剥離ライナ上に塗布し、熱風循環乾燥機により、４０℃で５分間乾燥後、１３０℃で５分間乾燥処理して、厚さが５０μｍの感圧接着剤組成物の層を形成した。つぎに、この層を、実施例１の方法で作製した両面にそれぞれ酸化アルミニウムからなる２００Åの薄層を有する支持体の両面側に、貼り合わせ、熱伝導性感圧接着シ―トを作製した。
【００３４】
比較例１
Ａｌ2 Ｏ3 含有ポリイミドフイルムからなる支持体の両面に酸化アルミニウムからなる厚さが２００Åの薄層を形成しなかつた以外は、実施例１と同様にして、熱伝導性感圧接着シ―トを作製した。
【００３５】
比較例２
ポリエチレンテレフタレ―トフイルムからなる支持体の片面に酸化インジウムと酸化錫との混合酸化物からなる厚さが２００Åの薄層を形成しなかつた以外は、実施例２と同様にして、熱伝導性感圧接着シ―トを作製した。
【００３６】
以上の実施例１〜４および比較例１，２の各熱伝導性感圧接着シ―トにつき、以下の方法により、耐熱剪断保持力試験および熱抵抗試験を行つた。これらの結果は、後記の表１に示されるとおりであつた。
【００３７】
＜耐熱剪断保持力試験＞
アルミニウム板（１２５mm×２５mm×０．４mm）の長尺方向の一端に、接着面積が２０mm×１０mmとなるように、熱伝導性感圧接着シ―ト（幅１０mm）を貼り合わせ、８０℃で３０分間放置したのち、８０℃で５００ｇの荷重をかけ、１２０分以上落下せずに保持するかどうかを評価した。○は１２０分以上保持したものを、×は１２０分以内で落下したものを、示している。
【００３８】
＜熱抵抗試験＞
ＴＯ−２２０パツケ―ジ中のトランジスタを、熱伝導性感圧接着シ―トを用いて、水に浸し一定温度になつたヒ―トシンクに、圧着圧力２Kg／cm2 で接着またはクリツプなどの治具で固定したのち、トランジスタに一定量の出力を供給し、トランジスタの温度（Ｔ２）と熱伝導性感圧接着シ―ト下側の表面温度（Ｔ１）の温度差（Ｔ２−Ｔ１）を測定した。この温度差より、下記の式にしたがつて、熱抵抗を算出した。
熱抵抗（℃・cm2 ／Ｗ）＝（Ｔ２−Ｔ１）×Ａ／Ｐ
Ａ：トランジスタの面積（cm2 ）
Ｐ：トランジスタの消費電力（Ｗ）
【００３９】
なお、トランジスタの温度（Ｔ２）は、トランジスタパツケ―ジの金属ベ―ス部分にスポツト溶接された熱電対により測定した。また、熱伝導性感圧接着シ―ト下側の表面温度（Ｔ１）は、ヒ―トシンクに微小の穴をあけ、熱電対を押し込むことにより測定した。その際、熱電対を熱伝導性感圧接着シ―トの接着面積に影響がないように極力近接して保持するようにした。
【００４０】
0004086946.tif 000002
【００４１】
上記表１の結果から、本発明の実施例３，４の各熱伝導性感圧接着シ―トは、耐熱剪断保持力試験で１２０分以上も落下せず、熱抵抗試験では材料構成に応じた良好な熱伝導性が得られていることがわかる。これに対し、比較例１，２の熱伝導性感圧接着シ―トは、耐熱剪断保持力試験で１２０分以内で落下し、その破壊モ―ドは支持体と感圧接着剤組成物の層との間の投錨破壊であつた。
【００４２】
【発明の効果】
以上のように、本発明は、熱伝導性および感圧接着性にすぐれ、かつ支持体と感圧接着剤組成物の層との密着性が良好で、両者間で投錨破壊を起こしにくい、耐熱性にすぐれた熱伝導性感圧接着シ―ト類を提供でき、電子部品の固定、中でも電子部品と放熱部材との固定や、その他、建材、車輌、航空機、船舶などの各種分野での部材の固定などの用途目的に幅広く利用できる。