(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）ナノサイズ粒子の前駆物質から、当該ナノサイズ粒子に対して溶解能のない、又は低い溶解能しか有さない溶媒中であって、少なくとも１種の表面ブロッキング物質の存在下にて、アモルファス又は部分的に結晶質のナノサイズ粒子を含有するサスペンジョンを製造する、又は、
（ｂ）アモルファス又は部分的に結晶質のナノサイズ粒子を含有するすでに形成された粉末を（ａ）に挙げた溶媒中に、（ａ）に挙げた１又は２以上の表面ブロッキング物質の存在下に懸濁させる、又は、
（ｃ）アモルファス又は部分的に結晶質のナノサイズ粒子を含有するゾルを（ａ）に挙げた溶媒中に（ａ）に挙げた１又は２以上の表面ブロッキング物質の存在下に懸濁させる；及び
かくして得られたサスペンジョンをナノサイズ粒子の緻密化及び/又は結晶化に導く条件に供することを特徴とする、
弱く凝集し、緻密化された及び/又は結晶化されたナノサイズ粒子の製造方法であって、
（１）当該ナノサイズ粒子が、酸化物又は水和した酸化物であり、
（２）当該表面ブロッキング物質が、非イオン界面活性剤であり、
（３）当該緻密化及び／又は結晶化に導く条件が、１５０〜３５０℃の高温及び１０〜１００ｂａｒの高圧で行う条件である、
ことを特徴とする、ナノサイズ粒子の製造方法。
【請求項２】
酸化物又は水和した酸化物粒子が、ガラス及び/又はセラミックの製造に適した元素の酸化物又は水和した酸化物であることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
ガラス及び/又はセラミックの製造に適した元素が、典型金属及び遷移金属から選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項４】
選択肢（ａ）において、表面ブロッキング物質の存在下に、ｐＨを変化させることにより及び/又は水を加えることにより、酸化物又は水和した酸化物として沈殿できる少なくとも１種の元素を含有する溶液又はゾルから、ナノサイズの酸化物又は水和した酸化物を含有するサスペンジョンを製造することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の方法。
【請求項５】
酸化物又は水和した酸化物として沈殿できる元素を含有する溶液が、水溶液及び/又は水と混和できる有機溶媒であることを特徴とする請求項４記載の方法。
【請求項６】
酸化物又は水和した酸化物を沈殿できる元素が、水溶液の場合は、加水分解性塩として存在し、有機溶液の場合は、加水分解性有機金属化合物として存在することを特徴とする請求項５記載の方法。
【請求項７】
加水分解性塩が、硝酸塩、カルボン酸塩又はアンモニウム塩であることを特徴とする請求項６記載の方法。
【請求項８】
アンモニア、有機アミン及び/又は第４級アンモニウム塩又はＨＮＯ3及び/又は炭素数１〜３のカルボン酸により又は酸性若しくは塩基性イオン交換体により、酸化物又は水和した酸化物の沈殿に必要なｐＨを調整することを特徴とする請求項４〜７のいずれかに記載の方法。
【請求項９】
酸化物又は水和した酸化物の沈殿を
（ａ）少なくとも１種の酸性若しくは塩基性物質及び/又は水を酸化物又は水和した酸化物として沈殿できる単数又は複数の元素及び単数又は複数の表面ブロッキング物質を含有する溶液又はゾルに添加する；又は
（ｂ）酸化物又は水和した酸化物として沈殿できる単数又は複数の元素を含有する溶液又はゾルを沈殿に適したｐＨを有し単数又は複数の表面ブロッキング物質を含有する水溶液に添加する
のいずれかにより行うことを特徴とする請求項４〜８のいずれかに記載の方法。
【請求項１０】
粒子を溶解しない又はわずかにしか溶解しない溶媒が、水、アルコール類、グリコール類、アミン類、脂肪族、脂環式及び芳香族無置換又は置換炭化水素類並びにこれらの混合物から選択されることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の方法。
【請求項１１】
表面ブロッキング物質が、さらに、セルロース誘導体、炭素数８〜１５のアルコール類、カルボン酸類、アミン類、アミノ酸類、β−ジカルボニル化合物類、ポリビニルアルコール類及びこれらの混合物から選択される少なくとも１種を含有することを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載の方法。
【請求項１２】
非イオン界面活性剤が、脂肪酸のソルビタンエステル類、これらソルビタンエステルのポリエチレンオキサイド誘導体、脂肪酸ポリグリコールエステル類から選択されることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載の方法。
【請求項１３】
温度及び圧力の条件が、使用する溶媒の臨界データ未満であるように選択されることを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の方法。
【請求項１４】
工程の最後に表面ブロッキング物質の除去を行うことを特徴とする請求項１〜１３のいずれかに記載の方法。
【請求項１５】
表面ブロッキング物質の除去に、洗浄、化学反応及び/又は透析が含まれることを特徴とする請求項１４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
本発明は、弱く凝集し、緻密化された及び/又は結晶化されたナノサイズ粒子の製造方法に関する。
１次粒子径１００ｎｍ未満の粉末（ナノサイズ粉末）の製造方法は、これら粉末が、これら粉末を使用して、例えばセラミックス又は複合体等の全く新しい材料の開発を可能にする潜在的有用性を有しているため、近年大きな関心を集めている。すでに入手可能であるサブミクロン粉末（粒子径０．１〜１μｍ）の場合のように、ナノサイズ粉末への質に関して高い要求があるが、該要求は、材料及び用途により異なる。セラミック粉末のために重要な基準は、例えば：
−  高い化学的純度
−  相安定性
−  粉末密度
−  結晶化度
−  粒子径分布及び粒子形態
−  比表面積
−  凝集状態
である。
最後の点は、特に粉末冶金工程及び製造工程においてナノサイズ粉末を用いるために、極めて重要である。一般に、粉末粒子は、できるだけ高い密度を有する及び/又は結晶構造を有するべきである。必然的に存在する凝集体は、工程中にその一次粒子径に再び細かくなり得るような性質を有すべきである。ナノサイズ粒子の有用性は、これら必要条件を満足する場合にのみ、最適に用いることができる。これは、弱い凝集が必要とされることを意味する。従って、ナノサイズ粒子間の凝集状態を調整し得る粒子が必要となる。これは、合成中に直接又は後続のプロセスにおいて行われ得る。
ナノサイズ（セラミック）粉末の物理的及び化学的製造方法は、文献に記述されている。物理的方法は、３つのカテゴリー、即ち、真空、ガス相及び凝縮相合成法に分けられる。しかしながら、その実用化は、低い材料転化率のために、少量の粉末の製造に限られている。
化学反応を含む方法、例えば、水熱合成法、沈殿反応法、火炎加水分解法、プラズマ合成法、ゾル−ゲル法又はエマルジョン法が、粉末合成において益々重要となってきている。
水熱合成法においては、無機塩が、（溶媒の臨界データを越える）高圧且つ高温下での沈殿反応により、対応する酸化物、水和した酸化物又は水酸化物に転化される。最適の反応パラメーター（ｐＨ、出発化合物の種類及び濃度、圧力、温度）を設定することにより、約２０ｎｍの結晶子サイズを得ることが可能である。しかしながら、この方法における欠点は、粉砕できない凝集粒子が形成されることである。これら凝集粒子は、粒子表面上に存在する金属−ＯＨ基が、粉末の乾燥及び仮焼中に縮合反応をおこす結果として形成される。凝集体の形成は、一般的には不可逆的であるため、この技術の可能性は、現在のところ、制限された範囲においてしか用いることができない。
火炎加水分解法は、エアロジルを製造する標準方法である。この方法によれば、高い粉末収率が得られ、種々の材料に適用できる。この方法では、ＳｉＣｌ4、ＴｉＣｌ4又はＺｒＣｌ4のような揮発性化合物を、水素/酸素火炎中にて反応させ、非常に微細な酸化物粒子を得る。火炎加水分解法により、５〜５０ｎｍの粒子径の酸化物粉末が製造できるが、この方法の該反応の欠点は、粒径が小さくなるにつれて粒子間の付着が著しく増加するので、高度の粒子凝集が生ずることである。これら粉末のその１次粒子径への再分散は、可能であるとしても、一般にはごくわずかな範囲でのみ可能であるに過ぎない。
プラズマ合成法によれば、酸化物の粉末でけでなく、窒化物及び炭化物を製造することも可能である。この方法においては、例えば、金属粉末又は適した金属化合物を高周波誘導結合プラズマ中において気化し、アンモニアと反応させて窒化物を製造するか又はメタンと反応させて炭化物を製造する。この方法は、高純度で、極めて微細な球状の粉末を製造することを可能とし、また反応パラメーターを最適に調節すると、凝集してはいるが、粒子間にわずかな固体のブリッジを有するだけで、約５ｎｍの径を有する粒子が得られる。しかしながら、この方法は、装置の点で高い経費を伴うことと結びつく技術的に非常に複雑な方法である。
さらに他の方法は、ゾル−ゲル法である。この方法においては、反応性金属アルコキシドのような適した出発化合物を加水分解し、溶媒中で縮合させ、ゾル（可溶性オリゴマー若しくはポリマー又はコロイダルサスペンジョン）を形成させる。引き続く反応により、熱的後処理により結晶性粉末に転化できるゲル（固体）を形成する。特定のパラメータを調整することにより、５０ｎｍよりはるかに小さい粒子径を有するゲルを製造できるように反応を制御することができる。この方法の欠点は、熱的後処理により結晶性生成物に転化しなければならない無定形物質が形成されることである。粒子表面上のＯＨ基の高い密度のため、縮合反応によって加工中に１次粒子径まで粉末を分割することを不可能とする粒子間のネック（凝集＝強い凝集粒子）が形成される。
非常に微細なセラミック粉末の沈殿のための比較的新しい方法は、エマルジョン技術である。この方法においては、非常に微細な液滴の形状の水相を水と混和しない液体中に分散させる。液滴のサイズ及びエマルジョンの安定性の両方が種々因子に依存しており、これら因子は、粉末合成のために研究され始めたばかりである。
エマルジョン技術を用いた粉末の合成のために必要な条件は、分散された水相が沈殿又は縮合反応のような適当な化学的反応により固相に転化され得るということである。エマルジョンの形成において、表面活性物質（乳化剤）が、重要な役割を果たす。即ち、この物質の助けにより、塩溶液は、炭化水素中で乳化されて非常に微細な液滴を形成し得る。このようにして乳化された水滴は、肉眼で見える溶液と同じ性質を有する超顕微鏡的小型反応器とみなされる。金属水酸化物又は酸化物は、ｐＨを増すことにより沈殿される。これは、例えば、エマルジョン中にアンモニアガスを通過させることにより、又は、分散媒に溶解できる有機塩基を添加することにより、達成される。液相を固相に転化するためには、共沸蒸留により水を除去する。形成した粒子は、その結果緻密化される。粒子の凝集は、反応性表面を保護する乳化剤の存在により大部分防止される。
エマルジョンにより高品質のナノサイズ粉末を製造できるが、体積収率は、このようなエマルジョン法においてしばしば低いので、このような方法は、工業的な粉末製造に利用されない。エマルジョン法における低い体積収率の決定的な理由は、エマルジョンが、常に２相系を含むが、前駆物質は、一相を通じてのみ導入されるということである。
上記したように、極めて微細な粉末製造のための種々の異なる合成法がある。しかしながら、解決されていない問題は、凝集、特にナノサイズ粒子（径１〜１００ｎｍ）の緻密化及び/又は結晶化の制御である。
従って、本発明の目的は、ナノサイズの、高い粒子密度及び/又は結晶性構造を有する弱く凝集した粉末を提供することである。
本発明によれば、上記目的は、
（ａ）ナノサイズ粒子の前駆物質から、当該ナノサイズ粒子に対して溶解能のない、又は低い溶解能しか有さない溶媒中であって、少なくとも１種の表面ブロッキング物質の存在下にて、アモルファス又は部分的に結晶質のナノサイズ粒子を含有するサスペンジョンを製造する、又は、
（ｂ）アモルファス又は部分的に結晶質のナノサイズ粒子を含有するすでに形成された粉末を（ａ）に挙げた溶媒中に、（ａ）に挙げた１又は２以上の表面ブロッキング物質の存在下に懸濁させる、又は、
（ｃ）アモルファス又は部分的に結晶質のナノサイズ粒子を含有するゾルを（ａ）に挙げた溶媒中に（ａ）に挙げた１又は２以上の表面ブロッキング物質の存在下に懸濁させる；及び
かくして得られたサスペンジョンをナノサイズ粒子の緻密化及び/又は結晶化に導く条件に供することを特徴とする、
弱く凝集し、緻密化された及び/又は結晶化されたナノサイズ粒子の製造方法であって、
（１）当該ナノサイズ粒子が、酸化物又は水和した酸化物であり、
（２）当該表面ブロッキング物質が、非イオン界面活性剤であり、
（３）当該緻密化及び/又は結晶化に導く条件が、１５０〜３５０℃の高温及び１０〜１００ｂａｒの高圧で行う条件である、
ことを特徴とする、ナノサイズ粒子の製造方法により達成される。
ナノサイズ粒子は、酸化物又は水和した酸化物粒子である。
ガラス又はセラミックの製造に適した（水和した）酸化物が好ましい。特に、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｂｉ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｖ、Ｍｎ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｒｕ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｃｅ及びＹのような典型及び遷移金属の（水和した）酸化物から選ばれる。特に好ましいのは、Ｂａ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｆｅ、Ｙ、Ｓｃ、Ｒｕ、Ｚｎ及びＰｂの（水和した）酸化物である。
これら元素の酸化物の好ましい例としては、Ａｌ2Ｏ3、Ｆｅ2Ｏ3、ＺｒＯ2、ＴｉＯ2、Ｙ2Ｏ3、Ｙ2Ｏ3/ＺｒＯ2、Ｐｂ（ＺｒＴｉ）Ｏ3（ＰＺＴ）、ＢａＴｉＯ3、ＢａＲｕＯ3、ＺｕＯ及びＳｃ2Ｏ3/ＺｒＯ2が挙げられる。
上記の選択肢（ａ）において、表面ブロッキング物質の存在下に、ｐＨを変化させることにより及び/又は水を加えることにより、（水和した）酸化物として沈殿できる少なくとも１種の元素を含有する溶液若しくはゾルから、少なくとも１種の（水和した）酸化物が沈殿する。
（水和した）酸化物として沈殿できる単独又は複数の元素を含有する溶液又はゾルは、水性又は非水性（有機性）のいずれであってもよい。非水溶媒として好ましいものは、水と容易に混和できるもの、例えば、メタノール、エタノール、ｎ−及びｉ−プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコール及びグリセロールのような一価及び多価アルコール、アセトン及びブタノンのようなケトン、酢酸エチルのようなエステル、ジメチルホルムアミド及びジメチルアセトアミドのようなアミド並びにジメチルスルホキシドのようなスルホキシドが挙げられる。上記選択肢において使用する特に好ましい有機溶媒は、脂肪族アルコール、特に炭素原子数１〜３のものである。
出発溶液として水溶液を使用する場合は、該溶液は、ｐＨを変化させることにより（水和した）酸化物として沈殿し得る少なくとも１種の元素を溶解した形態で含有する。非水溶液も、ｐＨを変化させることなく（例えば、水を加えるだけで）、沈殿できる溶解された元素を含有する。
水性出発溶液中には、（水和した）酸化物として沈殿できる元素が、加水分解性塩の形態で存在することが好ましく、非水溶液中には、加水分解性有機化合物として存在することが好ましい。全ての場合に、濃度の上限は、使用される溶媒中での各々の化合物の溶解度により定まる。濃度の下限は、経済的な理由から（使用する加水分解性化合物を基準として）１０重量％以上である。
塩溶液を使用する場合は、容易に除去又は熱により分解できる対イオンを有する塩が好ましい。従って、特に適した塩は、硝酸塩又はカルボン酸の塩（例えば、ギ酸塩、酢酸塩及びプロピオン酸塩）並びにアンモニウム塩である。
このような単純な塩の溶液以外に、例えば、短鎖アルコール（例えばＣ1〜Ｃ3アルコール）に溶解した金属アルコキシドに水を加えて加水分解することにより得られる水溶性ゾルを用いることも可能である。しかしながら、水ガラスのような市販のゾルを使用することもできる。これらゾルは、上記の選択肢（ｃ）の出発原料としても利用できる。選択肢（ａ）〜（ｃ）において記載されたサスペンジョンを調製するのに適した溶媒は、一般的に、形成されるべき或いはすでに存在している粒子を溶解しない又は無視できる程度しか溶解しない全ての溶媒である。この特性は、もちろん、関連する粒子の性質に依存する。一般に、使用できる溶媒の好ましい例は、水、アルコール類、グリコール類、アミン類、アミド類、必要であれば置換、特にハロゲン化（好ましくは塩素化）されていてもよい脂肪族、脂環式及び芳香族炭化水素及びこれら溶媒の適当な混合物である。もちろん、特に上記選択肢（ａ）において、ナノサイズ粒子のin situでの生成後、その溶媒を緻密化及び/又は結晶化のために適した溶媒により、完全に又は部分的に置き換える（例えば、気化及び新たな溶媒の添加により）ことも可能である。これは、以下に詳述するように、特にサスペンジョンが溶媒の臨界データ以下の高温と必要ならば高圧条件下におかれた場合に有利になる。
表面ブロッキング物質として使用できるのは、粒子の表面と化学結合を形成し又は強い相互作用に寄与できる化合物であるが、本発明では、特に、表面ブロッキング物質として非イオン界面活性剤を使用することを必須とする。
なお、化学的に結合した表面ブロッカーのその他の参考例としては、（ポリ）カルボン酸類、ポリアミン類、特にジアミン類、β−ジケトン類及びβ−カルボニルカルボン酸類のようなβ−ジカルボニル化合物並びにアミノ酸類のような慣用されている錯化剤が挙げられる。さらに他の表面ブロッキング物質の例としては、（好ましくは８〜３０、特に好ましくは８〜１５の炭素原子を有する）長鎖アルコール及びセルロース誘導体も挙げられる。非イオン界面活性剤が、必要であれば他の表面ブロッキング物質との組み合わせが、本発明の表面ブロッキング物質として、特に選択肢（ａ）においては好ましい。
本発明に使用できる非イオン界面活性剤の具体例としては、脂肪酸のソルビタンエステル（例えば、商標「スパン（Span）▲Ｒ▼」として市販）、これらソルビタンエステルのポリエチレンオキサイド誘導体（例えば、商標「ツイーン▲Ｒ▼（Tween）」として市販）、脂肪酸ポリグリコールエステル（例えば、「エマルソゲン（Emulsogen）▲Ｒ▼」シリーズ）並びに「ブリジ（Brij）▲Ｒ▼」、「アルラセル▲Ｒ▼（Arlacel）▲Ｒ▼」、「エミュラン（Emulan）▲Ｒ▼」及び「マーロヴェット（Marlovet）▲Ｒ▼」等の商標名で市販の界面活性剤が例示できる。しかし、このリストは、本発明に使用できる非イオン界面活性剤のほんの抜粋に過ぎない。
しかしながら、本発明方法において２種以上の表面ブロッキング物質、例えば、少なくとも２種の非イオン界面活性剤の混合物を使用することもできる。さらに、例えば、１種又は２種以上の非イオン界面活性剤と少なくとも１種の比較的長鎖の脂肪族アルコール（好ましくは、炭素数８〜１５、例えば、オクタノール、デカノール、ウンデカノール、ドデカノール、トリデカノール及びペンタデカノール）の少なくとも１種との混合物を使用することもできる。２種の非イオン界面活性剤又は界面活性剤の１種と比較的長鎖の脂肪族アルコールの１種の混合物を使用するのが特に好ましい。界面活性剤の混合物を使用する場合は、特にその疎水性部分が同一又は類似の構造的特徴を有している表面活性剤の組合せ、例えば、疎水性部分がいずれもオレイン酸単位に由来するツイーン▲Ｒ▼８０/エマルソゲン▲Ｒ▼ＯＧの組合せを使用するのが有利であることが見出されている。
本発明方法に使用する表面ブロッキング物質の全濃度は、これから形成される又は既に存在する固体を基準として、２〜３０重量％、特に２〜２０重量％及び特に好ましくは５〜１０重量％である。
本発明において使用する表面ブロッキング物質は、沈殿中に形成する粒子の表面を改質し、不動態化する。特定の理論と結びつけられることは望まないが、表面ブロッキング物質が粒子表面と相互に作用し、従って、表面の熱力学的安定が生じると仮定される。相互作用の自由反応エンタルピーが、粒子の成長の結果として起こる自由表面エンタルピーの減少を補う。このことにより、抑制されない粒子の成長が抑えられ、非常に均一な粒子径分布を有する粒子が得られる。さらに、この表面改質は、凝集に対する球状のバリアーを形成することにより粒子を安定化させる。また、これは、炉中での単離された粒子の仮焼中に有利な効果を与える。これは、使用する表面ブロッキング物質は、４００℃を超える温度においてのみ完全に分解し、これら温度において、Ｈ2Ｏの除去による粒子表面の失活が既に実質的に進行しているので、この失活により、粒子の凝集を防ぐこと又は少なくとも最小限にすることができるからである。溶媒の臨界データ未満の高温及び高圧で、サスペンジョン中にて粒子の結晶化及び/又は緻密化を直接行う場合には、粒子の周りの表面改質層が完全に保持されるので、凝集体を含まない結晶性粒子が、得られることが見出された。
本発明方法の選択肢（ａ）において、特に水和した酸化物の場合に必要とされるであろうｐＨの変化、又は、沈殿に必要なｐＨの設定は、原則としてそれぞれの溶媒に溶解できる塩基性又は酸性化合物を用いることにより達成できる。必要であれば、形成した粒子の熱処理により再び容易に除去できる化合物を用いることが好ましい。
ｐＨを増加させるのに適当な化合物は、従って、例えば、アンモニア（溶液若しくは気体として）又はアミン若しくは第四級アンモニウム塩のような有機塩基であり、一方、ｐＨを低下させるのに適した化合物は、特にＨＮＯ3及び短鎖カルボン酸（好ましくは炭素原子数１〜３を有する、例えばギ酸、酢酸又はプロピオン酸）である。
塩溶液又はゾルからのナノサイズ粒子の製造において、ｐＨを変化させる特に好ましい方法は、酸性又は塩基性（有機又は無機）イオン交換樹脂を使用することである。この場合、ｐＨの変化は、イオン交換樹脂により、塩溶液中に存在する沈殿されるべき元素の対イオンをＨ+又はＯＨ-でそれぞれ置き換えることにより、達成される。この方法の長所は、沈殿後に、ナノサイズ粒子を含有するサスペンジョン中に、除去すべき無関係な塩が存在しないことである。実際問題として、このような交換は、例えば、適当な表面ブロッキング物質をも併せて溶解している、沈殿されるべき塩の溶液（又はゾル）を、カラム中の溶液の滞留時間を交換及び/又は沈殿が本質的に完了するような時間として、イオン交換カラム中を通すことにより行われる。他の手法として、ほぼ化学量論量のイオン交換樹脂と共に適当な塩溶液（又はゾル）を攪拌し、交換完了後、該樹脂を除去することも可能である。本発明によれば、全ての市販のイオン交換樹脂を使用することができるが、有機樹脂が好ましい。
実際の沈殿反応は、とりわけ沈殿がｐＨの変更によるか又は水の添加によるかに依存して、種々の方法により行うことができる。
しかしながら、沈殿には２つの態様が特に好ましい。第一の態様では、少なくとも１種の酸性又は塩基性物質及び/又は水を、例えば、（水和した）酸化物として沈殿できる単数又は複数の元素と（溶解又は乳化した）単数又は複数の表面ブロッキング物質とを含有する溶液又はゾルに添加する。
特に好ましい第二の態様においては、（水和した）酸化物として沈殿し得る元素又は複数の元素を含有する溶液又はゾルを、沈殿のために適当なｐＨを有し、少なくとも１種の表面ブロッキング物質を含有する水溶液に添加（例えば、滴下）する。
ナノサイズ粒子のサスペンジョンを上記選択肢（ａ）〜（ｃ）の１種により調製した後、本発明によれば、該サスペンジョンをナノサイズ粒子の緻密化及び/又は結晶化を導く条件に置く。
この目的のために、サスペンジョンは（好ましくは複数時間、例えば、１〜２４時間）高温、また必要ならば高圧にさらされることが好ましい。この処理は、存在する溶媒の臨界データ未満にて行うことが特に好ましい。もちろん、高温は、表面ブロッキング物質及び溶媒を分解しない、又はわずかしか分解しないことを保証しなければならない。
ここで、高温とは、特に約１５０〜３５０℃の温度であり、高圧とは、約１０〜１００ｂａｒの圧力をいう。たとえば、ナノサイズ粒子を含有し、選択肢（ａ）〜（ｃ）のようにして調製されたサスペンジョンは、好ましくは他の前処理をすることなく、圧力容器に収容され、適当な圧力と適当な温度にて処理される。それぞれの粒子の緻密化又は結晶化に必要なパラメータ（圧力、温度、処理時間）は、適当な試験によって容易に決定できる。
緻密化された又は結晶化された粒子は、液相又は溶媒を除去することにより（例えば、濾過及び/又は蒸留）、本発明方法により製造されたサスペンジョンから単離することができる。粒子は、続いて乾燥され（好ましくは高温状態で）、必要であれば仮焼される。
本発明により得られた緻密化された及び/又は結晶化された粒子を乾燥又は仮焼の前に当分野において慣用的な他の処理に供してもよい。例えば、表面ブロッキング物質を、粒子表面から除去しても良く、或いは必要であれば、表面改質物質と置き換えてもよい。
表面ブロッキング物質を除去するためには、粒子を例えば洗浄、表面改質物質を破壊する目的の化学反応及び/又は透析に供することができる。
ナノサイズ粒子の表面改質（例えば、カルボン酸、アミンなどを使用する）は、既に文献中に詳述されており、ここでさらに説明する必要はない。
本発明の方法は、ナノ結晶性で、弱く凝集し、緻密化した及び/又は結晶化した粒子（サイズは、一般的に５〜２０ｎｍ）を得ることを可能にする。
本発明により得られるナノサイズ粉末は、慣用されている方法によりさらに加工することができる。例えば、その後の焼結を伴う押型成形又は他の成形法（（圧力）鋳込成形、押出成形、スクリーン印刷、テープ成形等）により、成形体又は層状のものに変えたり、又は、好ましくはキャスティングにより好ましくは
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の厚さを有するシートに加工することができる。本発明により製造された粉末は、その小さな粒子径及びその良分散性により非常に高い焼結活性を有している。
以下の実施例により、本発明を説明するが、その範囲を制限するものではない。
実施例１
Ｙ（ＮＯ3）3・４Ｈ2Ｏ  １２．４ｇと酸化ジルコニウムｎ−プロポキシド２５５ｇの混合物をエタノール６４ｍｌに溶解した。得られた溶液を攪拌しながらエマルソゲン▲Ｒ▼ＯＧ及びツイーン▲Ｒ▼８０をそれぞれ２．１ｇ含有するアンモニア水溶液（ｐＨ＝１２）３２０ｍｌ中に滴下した。添加終了後、形成されたサスペンションを攪拌オートクレーブ中において２５０℃、７０ｂａｒにて３時間後処理した。続いて、溶媒を蒸留した。これによりナノ結晶性無凝集粒子（Ｙ  ８ｍｏｌ％により安定化され、平均サイズ７ｎｍの立方晶ＺｒＯ2）が得られた。
参考例２
Ｈ2Ｏ  ２００ｍｌ中Ａｌ（ＮＯ3）3２５ｇの溶液を攪拌しながら８０℃にてツイーン▲Ｒ▼８０及びオクタノールをそれぞれ０．２１ｇ含有するアンモニア水溶液中に滴下した。添加完了後、形成されたサスペンションを８０℃にて２４時間熟成させた。続いて、溶媒を蒸留し、得られた粉末を１０５０℃にて５分間焼成した。かくして粒径４０〜６０ｎｍであるナノ結晶性再分散性、α−Ａｌ2Ｏ3を得た。
実施例３
ジルコニウムｎ−プロポキシドのプロパノール７０％溶液（フルカ（Fluka））５５ｇをエタノール４００ｍｌに溶解し、その後ＨＮＯ3（６５重量％）１１ｍｌと水１２．５ｍｌの混合物を滴下した。溶媒を５０℃、２００ｍｂａｒにて除去した。Ｙ（ＮＯ3）3２ｇを溶解する水２３７ｍｌを添加することにより、Ｚｒ塩１０重量％を含有するゾルを得た。Ｙ塩の濃度は、Ｚｒとして約５ｍｏｌ％であった。
かくして得られたゾルをエマルソゲン▲Ｒ▼ＯＧ及びツイーン▲Ｒ▼８０それぞれ０．５ｇと混合した。アンモニアガスをゾル中に通過させることによりｐＨを高めることにより、固体が沈殿した。続いてサスペンションを３時間、２５０℃、７０ｂａｒにおける水熱後処理に供した。溶媒を蒸発させると、粒径５〜１０ｎｍのナノ結晶性、再分散性５−Ｙ−ＺｒＯ2を得た。
実施例４
ジルコニウムｎ−プロポキシドのプロパノール７０％溶液（フルカ）１５０ｇ及びＳｃ（ＮＯ3）3・６Ｈ2Ｏ  ７．３ｇをエタノール４００ｇに溶解した。該溶液をエマルソゲン▲Ｒ▼ＯＧ及びツイーン▲Ｒ▼８０をそれぞれ５ｇ有する溶液（ｐＨ＝１２）５００ｍｌに攪拌しながら滴下した。滴下終了後、かくして得られたサスペンションを高圧、高温（２５０℃、６５ｂａｒ、３ｈ）にて、攪拌オートクレーブ中において処理した。溶媒を蒸発させると、粒径５〜１０ｎｍの立方晶再分散性８−Ｓｃ−ＺｒＯ2を得た。