(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下面側に補強リブを設けた床パネルにおいて、
前記補強リブに金属製の薄板を一文字状に貼付することにより、前記補強リブを前記金属製の薄板で連結して成る
ことを特徴とする床パネル。
【請求項２】
下面側に補強リブを設けた床パネルにおいて、
前記補強リブに金属製の薄板を十文字状に貼着することにより、前記補強リブを前記金属製の薄板で連結して成る
ことを特徴とする床パネル。
【請求項３】
下面側に補強リブを設けた床パネルにおいて、
前記補強リブに金属製の薄板を格子状に貼着することにより、前記補強リブを前記金属製の薄板で連結して成る
ことを特徴とする床パネル。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れか記載の床パネルにおいて、
前記金属製の薄板は、前記補強リブの内、床パネルの対向する辺各々最外周の補強リブに隣接する補強リブの外側壁面に、少なくとも両端のみを貼着されている
ことを特徴とする床パネル。
【請求項５】
請求項４に記載の床パネルにおいて、
前記金属製の薄板は、両端に前記最外周の補強リブに隣接する補強リブの外側壁面に当接する折曲することにより形成された舌片を有し、両舌片は接着剤を介して前記最外周の補強リブに隣接する補強リブの外側壁面に貼着されている
ことを特徴とする床パネル。
【請求項６】
請求項１乃至請求項３の何れか記載の床パネルにおいて、
前記金属製の薄板は、前記補強リブの内、床パネルの対向する辺に平行な補強リブの外側壁面に、少なくとも両端のみを貼着されている
ことを特徴とする床パネル。
【請求項７】
請求項６に記載の床パネルにおいて、
前記金属製の薄板は、両端に床パネルの対向する辺に平行な補強リブの外側壁面に当接する折曲することにより形成された舌片を有し、両舌片は接着剤を介して前記床パネルの対向する辺に平行な補強リブの外側壁面に貼着されている
ことを特徴とする床パネル。
【請求項８】
請求項５又は請求項７に記載の床パネルにおいて、
前記舌片は、前記補強リブを跨ぐ切り込み部を有する
ことを特徴とする床パネル。
【請求項９】
請求項５又は請求項７に記載の床パネルにおいて、
前記舌片の高さは、接着剤を介して貼着する対象の補強リブの高さの１／３である
ことを特徴とする床パネル。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９の何れか記載の床パネルを敷設して成ることを特徴とする床。
【請求項１１】
下面側に補強リブを設けた床パネルを敷設して成る床において、
前記各床パネルの補強リブには、搬送車の進行方向と直行する方向に金属製の薄板が貼着されている
ことを特徴とする床。
【請求項１２】
請求項１１記載の床において、
前記金属製の薄板は、隣接する前記床パネルに近接する補強リブに貼着されている
ことを特徴とする床。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、床パネル及びこれを用いた床に係り、特に、クリーンルームやコンピュータ室の床材に用いられるアルミダイキャスト製床パネルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
クリーンルームは、半導体、精密電子部品、バイオ関連品等の生産環境を形成する特殊環境の室内である。クリーンルームは、完全に近い防塵、防脂、清浄な環境が要求され、ロボットや自走車が床面を走行しても、その高度な室内環境が維持できる床面構造が要求されている。
【０００３】
従来、クリーンルームは、例えば、建物床面に多数配設した支柱脚上に、床パネルを敷設し、敷設された床パネルの床面側にクリーンルームとなる室を形成し、床パネルの下面側と建物床面との間をクリーンルームの換気通路等として活用する空間を形成することにより構築されている。
このように構成されたクリーンルームでは、空調装置により空調された空気をクリーンルームの天井側に設置したＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等の高性能フィルタで清浄化した後、取り込む。そして、クリーンルームから排出された空気は、床下の換気通路を介して再び高性能フィルタで清浄化された後、クリーンルームに戻る循環空気とされる。
【０００４】
床パネルは、一般に、優れた耐食性、耐錆性等の特性を有するアルミダイキャスト製のものが使用されている。
そして、図１２，１３に示すように、床パネル１は、例えば、６００×６００ｍｍ又は５００×５００ｍｍの正方形状をなし、補強リブ２が床パネル基板１ａの下面側から突出するように一体的に設けられている。尚、床パネル１には、クリーンルームを形成するための多数の小穴が穿設されている。
【０００５】
床パネル１を敷設した床構造を有するクリーンルームとしては、例えば、図１４に示すようにベイ型構造をしたものが知られている。
自動搬送装置等の搬送車が矢印で示す走路を走行し、生産装置５の設置位置において、ウエハ等の出し入れを行う。
又、クリーンルーム内に設置される生産装置は、例えば、図１５に示す搬送路６を介して搬入される。
【０００６】
一方、コンピュータ室においても同様の床パネルを敷設することによって、二重床構造を形成している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
最近、床パネル上に設置される生産装置や自動化に伴う自動搬送装置の重量が重くなっている。
【０００８】
然し、このような従来の床パネルでは、床パネルを敷設する構造であるから、例えば、図１６，１７に示すように、生産装置の搬入時や自動搬送装置の移動時に、床パネル１が点線で示すように撓んだり、変形したりすることにより、製造装置が水平に保たれなくなったり、室内環境に悪影響を与えたり、或いは床パネル１を破壊する等の不具合が発生し、改善が要求されている。
【０００９】
これらの不具合は、特開平７−９４３７５号公報、実開平６−１０８６号公報等において指摘されている。
然し、特開平７−９４３７５号公報に開示の解決方法では、装置が大掛かりとなり、施工性、経済性に難点があるという問題がある。
又、実開平６−１０８６号公報に開示の搬送台車では、既存の床パネルが使用できず、施工性、経済性に難点があるという問題がある。
【００１０】
本発明は、かかる従来の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、撓みや変形量の減少及び破壊強度の増大を図ることが可能な床パネルを提供することにある。
本発明の別の目的は、大きな耐荷重性能要求に応えることが可能な床を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、下面側に補強リブを設けた床パネルにおいて、前記補強リブに金属製の薄板を一文字状に貼付することにより、前記補強リブを前記金属製の薄板で連結して成ることを特徴とする。
請求項２に係る発明は、下面側に補強リブを設けた床パネルにおいて、前記補強リブに金属製の薄板を十文字状に貼着することにより、前記補強リブを前記金属製の薄板で連結して成ることを特徴とする。
【００１２】
請求項３に係る発明は、下面側に補強リブを設けた床パネルにおいて、前記補強リブに金属製の薄板を格子状に貼着することにより、前記補強リブを前記金属製の薄板で連結して成ることを特徴とする。
請求項４に係る発明は、請求項１乃至請求項３の何れか記載の床パネルにおいて、前記金属製の薄板は、前記補強リブの内、床パネルの対向する辺各々最外周の補強リブに隣接する補強リブの外側壁面に、少なくとも両端のみを貼着されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項５に係る発明は、請求項４に記載の床パネルにおいて、前記金属製の薄板は、両端に前記最外周の補強リブに隣接する補強リブの外側壁面に当接する折曲することにより形成された舌片を有し、両舌片は接着剤を介して前記最外周の補強リブに隣接する補強リブの外側壁面に貼着されていることを特徴とする。
請求項６に係る発明は、請求項１乃至請求項３の何れか記載の床パネルにおいて、前記金属製の薄板は、前記補強リブの内、床パネルの対向する辺に平行な補強リブの外側壁面に、少なくとも両端のみを貼着されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項７に係る発明は、請求項６に記載の床パネルにおいて、前記金属製の薄板は、両端に床パネルの対向する辺に平行な補強リブの外側壁面に当接する折曲することにより形成された舌片を有し、両舌片は接着剤を介して前記床パネルの対向する辺に平行な補強リブの外側壁面に貼着されていることを特徴とする。
請求項８に係る発明は、請求項５又は請求項７に記載の床パネルにおいて、前記舌片は、前記補強リブを跨ぐ切り込み部を有することを特徴とする。
【００１５】
請求項９に係る発明は、請求項５又は請求項７に記載の床パネルにおいて、前記舌片の高さは、接着剤を介して貼着する対象の補強リブの高さの１／３であることを特徴とする。
請求項１０に係る発明は、請求項１乃至請求項９の何れか記載の床パネルを敷設して成ることを特徴とする。
【００１６】
請求項１１に係る発明は、下面側に補強リブを設けた床パネルを敷設して成る床において、前記各床パネルの補強リブには、搬送車の進行方向と直行する方向に金属製の薄板が貼着されていることを特徴とする。
請求項１２に係る発明は、請求項１１記載の床において、前記金属製の薄板は、隣接する前記床パネルに近接する補強リブに貼着されていることを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す実施形態に基づいて説明する。
【００１９】
図１、図２は、本発明の第一実施形態に係る床パネルを示す（請求項２に対応）。
本実施形態において、床パネル１０は、従来と同様の形状をなす床パネル本体１１と、補強リブ１２ｂを連結する金属製の薄板２０とで構成されている。
床パネル本体１１は、従来のアルミダイキャスト製床パネルと同様に、例えば、６００×６００ｍｍの正方形状をなし、補強リブ１２が床パネル基板１１ａの下面側から突出するように一体的に設けられている。
【００２０】
この補強リブ１２は、最外周に形成された幅７ｍｍ程度の矩形状の補強リブ１２ａと、補強リブ１２ａの内側に碁盤の目状に形成された補強リブ１２ｂとで構成されている。
補強リブ１２ｂは、図２に示すように、４種類の高さ１２ｂ１，１２ｂ２，１２ｂ３，１２ｂ４，１２ｂ５を有する。そして、補強リブ１２ａ、１２ｂ１，１２ｂ４は、同じ高さになっている。
【００２１】
尚、床パネル本体１１には、クリーンルームを形成するための多数の小穴が穿設されている。
本実施形態において、最外周に形成された内側に碁盤の目状に形成された補強リブ１２ｂ，１２ｂは、金属製の薄板２０を介して連結している。
金属製の薄板２０は、図３，図４に示すように、長方形状の平板部２１と、この平板部２１の両端部を同一方向に折曲することにより形成された舌片２２，２２と、両舌片２２，２２に形成された補強リブ１２ｂ１，１２ｂ１を跨ぐための切り込み部２３，２３とを有する。
【００２２】
金属製の薄板２０は、例えば、アルミダイキャスト製床パネルと同等の引っ張り強度を有するもので、ステンレス板、鉄板等がある。厚さは、１〜３ｍｍ程度である。
又、本実施形態では、補強リブ１２ｂ１の高さは４０ｍｍ、舌片２２の高さは１３ｍｍとした。舌片２２の高さは、補強リブ１２ｂ１の外側壁面１２ｂ１ａに対する舌片２２の接着力を考慮して、補強リブ１２ｂ１の高さの１／３程度が好適である。従って、補強リブ１２ｂ１の高さは、１１〜１５ｍｍである。
【００２３】
更に、金属製の薄板２０の取付位置は、床面として使用される場合の搬送車の進行方向と直交する方向に設けることが望ましい。特に、図１に示すように、床パネル本体１１の外周部に近い箇所に設けることが望ましい。
その理由を説明する。床パネル本体１１は、補強リブ１２を碁盤の目状に配設することによって強固な構造体となっている。そのため、床パネル本体１１の中央部においては、床面に掛かる荷重が均等に分散し、所定の荷重に耐えるように構成されている。処が、床パネル本体１１の最外周においては、荷重を分散するのに十分な面積を確保することができないので、同じ荷重を受けても数ミリ程度の撓み、変形が生じてしまう。特に、アルミニウムは引っ張り荷重、ヤング率が小さいために、ステンレス等に比して顕著である。
【００２４】
このような不具合のある床パネルにおいて、図１に示すように、床面として使用される場合の搬送車の進行方向と直交する方向（矢印で示す）で、且つ、床パネル本体１１の外周部に近い箇所に、金属製の薄板２０を設けることにより、補強リブ１２がＴ型断面構造材からＩ型断面構造材に剛構造体に強化され、撓み、変形が生じやすい箇所が解消される。
【００２５】
本実施形態においては、金属製の薄板（幅１００ｍｍ、長さ５２０ｍｍ、厚み１３ｍｍのステンレス板）２０の両舌片２２，２２の内側に接着剤（例えば、二液性のアクリル系接着剤）を塗布した後、補強リブ１２ｂ１の外側壁面１２ｂ１ａ，１２ｂ１ａに圧接し、硬化させる。これによって、例えば、２００ｋｇ／ｃｍ2程度の接着強度を得ることができる。
【００２６】
以上のように構成された床パネル１０によれば、床面１３に従来の床パネルでは撓みや変形を起こす程度の荷重が掛かっても、金属製の薄板２０の舌片２２と補強リブ１２ｂ１の外側壁面１２ｂ１ａ，１２ｂ１ａとの接着力により、補強リブ１２をＴ型断面構造体からＩ型断面構造体に剛構造体に変化して強度を向上させ、対抗力を付与することが可能となる。その結果、従来のような撓みや変形を起こすことが無くなる。
【００２７】
又、本実施形態では、強度向上材として金属製の薄板２０を貼着するものであるから、市販の床パネルがそのまま使用できると共に、貼着作業が容易である。勿論、敷設された床パネルに適用することも可能である。従って、現場において容易に対応することが可能となる。
加えて、貼着される金属製の薄板２０は軽量であるから、床パネル１０の重量は従来の床パネルと殆ど変わらず、従来の床パネルと同様に取り扱うことができる。
【００２８】
図５は、図１，図２に示す床パネル１０を敷設した床３０を示す（請求項１０，１１，１２に対応）。
本実施形態に係る床３０によれば、クリーンルーム内に設置される生産装置の搬入時や、自動化に伴う重量のある自動搬送装置が走行しても、各床パネル１０が撓んだり、変形したりすることがないので、製造装置が水平に保たれなくなったり、室内環境に悪影響を与えたりする等の不具合を発生することがない。
【００２９】
尚、上記各実施形態においては、金属製の薄板２０を２カ所において設置した場合について説明したが、更に中央部に１カ所追加したり、或いは何れか一方を取り除いて１カ所としても良い。
又、金属製の薄板２０を補強リブ１２ｂ１と１２Ｂ１との間に配設した場合について説明したが、これに限らず、例えば、補強リブ１２ｂ４と１２ｂ４との間に配設しても良い。勿論、補強リブ１２ｂ１から１２ｂ１の間（補強リブ１２ａから１２ａの間）に局部的に配設することも可能である。
【００３０】
又、金属製の薄板２０が、舌片２２に２つの切り込み部２３を設けた場合について説明したが、図６，図７に示すように、１つの切り込み部２３であっても良い。勿論、３つの切り込み部としても良いし、切り込み部を設けないものであっても良い。
又、金属製の薄板２０の舌片２２を補強リブ１２との接着部としたが、これに限らず、補強リブ１２との接触部の全て又は一部に接着剤を塗布することも可能である。
【００３１】
又、接着剤として、二液性のアクリル系接着剤を使用したが、耐薬品性、耐候性を考慮しなくとも良いクリーンルームにおいては、その他の接着剤でも良い。又、床パネル１０として、６００×６００ｍｍを用いた場合について説明したが、５００×５００ｍｍであっても良い。
又、床３０の形状は、床パネル１０を敷設することによって構成するものであれば特に限定するものではなく、任意である。
【００３２】
図８，図９は、本発明の第二実施形態に係る床パネルを示す（請求項３に対応）。
本実施形態では、金属製の薄板２０を十文字状に貼着した点に特徴がある。その他の構成は、図１、図２に示す第一実施形態と同様である。
【００３３】
本実施形態に係る床パネル１０Ａでは、面中央に６０００Ｎ（６１２ｋｇｓ）の荷重を掛けると、０．９６ｍｍの撓みが生じた。又、破壊試験を行ったところ、４２，４３５Ｎ（４，３３０ｋｇｓ）であった。
これに対し、図１２，図１３に示す金属製の薄板２０を貼着しない従来の床パネル１では、面中央に６０００Ｎ（６１２ｋｇｓ）の荷重を掛けると、１．２９ｍｍの撓みが生じた。又、破壊試験を行ったところ、２３，４７９Ｎ（２，３９６ｋｇｓ）であった。
【００３４】
以上のように、本実施形態によれば、従来の床パネルに比して撓み、変形をきわめて小さくすることが可能となる。又、破壊強度が大幅に向上した。
本実施形態に係る床パネル１０Ａでも図５に示す床を構成することが可能である。又、同様の作用効果を奏することができる。
図１０，図１１は、本発明の第三実施形態に係る床パネルを示す（請求項４に対応）。
【００３５】
本実施形態では、金属製の薄板２０を格子状に貼着した点に特徴がある。その他の構成は、図１、図２に示す第一実施形態と同様である。
本実施形態に係る床パネル１０Ｂでは、面中央に６０００Ｎ（６１２ｋｇｓ）の荷重を掛けると、０．７８ｍｍの撓みが生じた。又、破壊試験を行ったところ、４８，７０５Ｎ（４，９６９ｋｇｓ）であった。
【００３６】
これに対し、図１２，図１３に示す金属製の薄板２０を貼着しない従来の床パネル１では、面中央に６０００Ｎ（６１２ｋｇｓ）の荷重を掛けると、１．２９ｍｍの撓みが生じた。又、破壊試験を行ったところ、２３，４７９Ｎ（２，３９６ｋｇｓ）であった。
以上のように、本実施形態によれば、従来の床パネルに比して撓み、変形をきわめて小さくすることが可能となる。又、破壊強度が大幅に向上した。
【００３７】
本実施形態に係る床パネル１０Ｂでも図５に示す床を構成することが可能である。又、同様の作用効果を奏することができる。
【００４０】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係る床パネルによれば、補強リブに薄い金属板を貼り付けることによって、Ｔ型構造で耐強度を持たせてある補強リブを、Ｉ型形状に変えて補強リブの耐曲げ荷重耐力を増大させたものであるから、従来のように補強リブの撓み、変形が大幅に減少できる。
【００４１】
又、本発明に係る床によれば、床面の撓み、変形がきわめて少ないので、搬送車が移動しても製造装置の水平が保たれ、室内環境に悪影響を与えることが無くなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第一実施形態に係る床パネルを示す背面図である。
【図２】  図１に示す床パネルの断面図である。
【図３】  図１に用いた金属製の薄板の斜視図である。
【図４】  図１に示す金属製の薄板の端面図である。
【図５】  図１に示す床パネルを用いた床の側面図である。
【図６】  図１に用いた金属製の薄板の変形例を示す斜視図である。
【図７】  図６に示す金属製の薄板の端面図である。
【図８】  本発明の第二実施形態に係る床パネルを示す背面図である。
【図９】  図８に示す床パネルの断面図である。
【図１０】  本発明の第三実施形態に係る床パネルを示す背面図である。
【図１１】  図１０に示す床パネルの断面図である。
【図１２】  従来の床パネルを示す背面図である。
【図１３】  図１２に示す床パネルの断面図である。
【図１４】  半導体製造用のクリーンルームを示す説明図である。
【図１５】  半導体製造用のクリーンルームを示す説明図である。
【図１６】  従来の半導体製造用のクリーンルームの床を示す説明図である。
【図１７】  図１６に示す床パネルの説明図である。
【符号の説明】
１０，１０Ａ，１０Ｂ  床パネル
１１  床パネル本体
１１ａ  床パネル基板
１２，１２ａ，１２ｂ，１２ｂ１，１２ｂ２，１２ｂ３，１２ｂ４，１２ｂ５  補強リブ
１２ｂ１ａ  外側壁面
１３  床面
２０  金属製の薄板
２２  舌片
２３  切り込み部
【図１】
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【図２】
0004139005.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
0004139005.tif 000012
【図１２】
0004139005.tif 000013
【図１３】
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【図１４】
0004139005.tif 000015
【図１５】
0004139005.tif 000016
【図１６】
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【図１７】
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