(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
底板の外周部から起立する複数の支持柱で天板を支持させたカセット本体と、
前記底板と前記天板との間に、左右の面の少なくとも一方の面に前後方向への係合溝を複数列形成した棚板を左右方向に摺動自在に複数設け、
前記底板と前記天板の少なくとも一方に、左右方向へ長い複数の長孔からなる長孔群を形成し、各長孔を介して前記棚板を締結自在に設けた基板用カセットであって、
２以上の前記長孔を前後方向へ配列して形成した長孔列を左右方向へ複数列配置し、かつ左右に隣接する該長孔列の長孔を前後方向へずらして、一方の長孔列の長孔の端部を他方の長孔列の長孔間へ位置させて前記長孔群を形成し、
前記棚板は、前記長孔列毎に、該長孔列の２以上の前記長孔で締結され、
前記係合溝は、前記前後方向に関する前部と後部をそれぞれ端部に向かって溝を深く形成していることを特徴とする基板用カセット。
【請求項２】
前記底板又は前記天板の少なくとも一方の前端面に嵌合突部を、かつ後端面に該嵌合突部が嵌合自在な嵌合穴部を、それぞれ形成したことを特徴とする請求項１に記載の基板用カセット。
【請求項３】
前記支持柱は、該支持柱に対して進退可能に係合する取手と、該取手に対して該支持柱側に付勢力を与える弾性体と、を有し、後退時の該取手は前記天板及び前記底板の外周よりも突出しないことを特徴とする請求項２に記載の基板用カセット。
【請求項４】
前記棚板の前面側には、同一基板を収納する前記係合溝に対応する部分に基板を収納時の段違い収納を防止するためのマークを設けたことを特徴とする請求項３に記載の基板用カセット。
【請求項５】
前記棚板に前記係合溝を形成するための凸部は、基板進入方向奥側に位置して基板の進入を停止する基板受け部と離間していることを特徴とする請求項４に記載の基板用カセット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示用ガラス基板やプラズマ表示用ガラス基板等の基板の輸送や保管のために基板を収納する基板用カセットに関し、さらに詳しくは、基板を複数列収納可能なカセットに関し、また種々の寸法の基板を複数列収納可能な基板用カセットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の基板用カセットとして、例えば図１４乃至図１６に示すように、矩形状の底板１の４つの角部から支持柱２を起立して、該支持柱で前記底板１と同一形状の天板３を支持させ、かつこれら底板１と天板３との間へ、内側面に水平方向に延びる係合溝４を上下方向に複数形成した棚板５を対向して設け、該棚板５の上下両端の固定面５ａ（図１５）を底板１と天板３とのそれぞれへ２つの雄ネジ６を雌ネジ６ａへ螺合させると共に、係合溝４の一端面側を基板受け用の端板７（図１６）で閉塞させ、他端面側を開口し、図示しない基板を対向する係合溝４−４間へ挿入させて支持するものが知られている。また、収納する基板のサイズが異なる場合は、それぞれの基板に適合するサイズのカセットを使用し、基板を収容したカセット又は使用後のカセットの保管は棚等に並べて保管していた。
【０００３】
また、カセットを持つ為の取手を兼ねる支持柱２3は、基板及び棚板５より取手兼支持柱２3を握るために必要な間隙分、離れた位置に設けている。
また、手動にて基板をカセットに収納する場合は、基板が棚板５の同じ段の対向する係合溝４に収納されるよう位置を確認しながら基板収納を行っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例では、基板を上下に一列だけしか収納することができない単列収納であるため、多数の基板を輸送したり、保管したりするときには作業時間および保管場所の効率が悪いものとなっていた。
【０００５】
また、基板の寸法に応じたカセットが必要となるためコストがかさみ、その上、管理に要する労力や保管スペースの増大をも招いていた。
さらに、棚板５の係合溝４の一端が閉塞されているため、例えば洗浄工程で使用した洗浄水が係合溝４から排出されにくく、乾燥時における水切れが悪いという問題があった。
さらに、係合溝４の前端部を除く部分は直線状に形成されて基板の角部に接触しているため、輸送時の振動に起因して基板に割れが生ずるという問題があった。
さらに、複数のカセットを段積みにすると不安定になってくずれ易いため、棚などに並べて保管をする必要があり、スペースを要するものとなっていた。
【０００６】
又、作業者がカセットを持ち運びする場合、取手兼支持柱２3を握るための隙間が棚板５と取手兼支持柱２3との間に必要であり、その為、カセットが大きくなり、さらにカセットの輸送の労力、広い保管場所が必要であった。
又、作業者が基板を収納する際、棚板の基板挿入部には同一形状の溝が複数形成されている為、棚板５の同じ段の対向する係合溝４の確認ミスにより段違いの係合溝４に収納する場合があり、基板ワレの問題や収納し直し等を含め収納作業性が悪いという問題があった。
【０００７】
本発明は、前記の問題点を解消するためなされたものであって、異なるサイズの基板を複数列に収納可能にすると共に、水切れを良好にし、基板割れを防止し、さらにカセットの段積みを可能にし、カセットを大きくすることなく持ち運びしやすくする基板用カセットを提供することを目的とする。
また、基板をカセットに収納する場合の段違い溝への収納ミスを防止する基板用カセットをも提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の目的を達成するため、次の構成を有する。
要旨１の発明は、底板の外周部から起立する複数の支持柱で天板を支持させたカセット本体と、前記底板と天板との間に、左右の面の少なくとも一方の面に前後方向への係合溝を複数列形成した棚板を、左右方向に摺動自在に複数設け、前記底板と天板の少なくとも一方に、左右方向へ長い複数の長孔からなる長孔群を形成し、各長孔を介して前記棚板を締結自在に設けたことを特徴とする基板用カセットである。
【０００９】
要旨２の発明は、２以上の長孔を前後方向へ配列して形成した長孔列を左右方向へ複数列配置し、かつ左右に隣接する長孔列の長孔を前後方向へずらして、一方の長孔列の長孔の端部を他方の長孔列の長孔間へ位置させて前記長孔群を形成したことを特徴とする要旨１記載の基板用カセットである。
【００１０】
要旨３の発明は、前記係合溝の後端面の一部を開口して水抜き部を形成したことを特徴とする要旨１又は２記載の基板用カセットである。
【００１１】
要旨４の発明は、前記棚板は係合溝の前部と後部における横断面が先端に向かって幅を狭くすることを特徴とする要旨１又は２記載の基板用カセットである。
【００１２】
要旨５の発明は、前記底板又は天板の少なくとも一方の前端面に嵌合突部を、かつ後端面に該嵌合突部が嵌合自在な嵌合穴部を、それぞれ形成したことを特徴とする要旨１又は２記載の基板用カセットである。
【００１３】
要旨６の発明は、前記支持柱には、該支持柱に対して進退自在に係合する取手を設け、後退時の該取手は天板及底板の外周よりも突出しないことを特徴とする要旨１又は２記載の基板用カセットである。
【００１４】
要旨７の発明は、前記棚板の前面側には、同一基板を収納する係合溝に対応する部分に基板の収納時の段違い収納を防止するためのマークを設けたことを特徴とする要旨１又は２記載の基板用カセットである。
【００１５】
要旨８の発明は、前記棚板の係合棚が、基板進入方向奥側に位置して基板の進入を停止する基板受け部と離間していることを特徴とする請求項１又は２記載の基板用カセットである。
【００１６】
要旨１及び２の発明によれば、底板と天板とのそれぞれに、左右方向へ長い長孔を形成して棚板を任意の位置に締着可能とすることで、棚板の間隔を任意に変更でき、同一形状の基板を１つのカセットに複数列収納することができる。さらに、種々の寸法の基板を１つのカセットに複数列収納することもできる。この構成により、基板寸法の種類だけ基板用カセットを用意する必要がなくなり、また、１つのカセットに収納される基板の数が増加することから、基板用カセットを減らしてコストが削減されると共に、保管場所の省スペース化が図れる。カセットの寸法が共通化されるので保管の効率もよくなる。また、カセットの基板収納数が増加するので、輸送効率が向上し、作業時間効率が向上する。
【００１７】
要旨３の発明によれば、係合溝の後端面側に開口した水抜き部を形成したので例えば、洗浄後等の基板に付着した水分の排出が容易になり乾燥効率が向上する。
【００１８】
要旨４の発明によれば、棚板は係合溝の前部と後部における横断面を先端に向かって幅を狭くするよう形成したので、係合溝の開口部が広くなり基板挿入が容易となるとともに基板の角部が棚板に接触することを防止できるので破損を防ぐことができる。また、輸送時においても基板の角部は棚板に接触しないのでさらに割れ防止が可能となる。
【００１９】
要旨５の発明によれば、底板又は天板の少なくとも一方の前端面に嵌合突部を、かつ後端面に該嵌合突部が嵌合自在な嵌合穴部を、それぞれ形成したので、カセットを安定に積み重ねることが可能になり、このためカセット保管箇所の省スペース化が可能となる。
【００２０】
要旨６によれば、取手が基板カセットサイズよりも内部に設けた支持柱に設けるとともに後退時の取手は天板及底板の外周よりも突出しないことで、カセットを大きくすることなく輸送作業性と保管効率の向上が可能となる。
【００２１】
要旨７によれば、マークの区別により、同一の段の係合溝を容易に確認でき、段違いの係合溝への基板の挿入ミスを減らすことができ、基板誤挿入による基板ワレを防止することができるとともに、基板収納作業性の向上を図ることができる。
【００２２】
要旨８によれば、基板に付着した水分の排出が容易になり、また、基板の角部が棚板に接触しないので、基板割れ防止が可能となる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
図１は第１の実施形態に係る基板カセットの全体斜視図を示し、図２は図１において矢印Ａ方向から見た棚板１７の側面図であり、図３は図２において矢印Ｂ方向から見た棚板１７の平面図であり、底板１１と天板１３との固定面の説明図であり、図４は図２の矢視Ｃ−Ｃ断面図であり、図５は図２の矢視Ｃ−Ｃ断面から見た説明図であり、図６は図２の矢視Ｄ−Ｄ断面から見た説明図である。
【００２４】
図１において、１０はカセット本体で、矩形状の底板１１の角部のそれぞれから支持柱１２を起立して、これら支持柱１２の上端に天板１３を載置してネジ１４で固定している。なお、同図において、左側に位置する２本の支持柱は天板のネジ１４に対応する位置に右側同様に配置されている。
【００２５】
底板１１と天板１３には、左右方向（基板を挿入する向きに直角方向、以下同様）に長い長孔１５を前後方向（基板を挿入方向、以下同様）に平行に設けた一対の長孔列１６を左右方向へ複数組列配している。これら左右に隣接する長孔列１６の長孔１５を前後方向へずらして、一方の長孔列１６の長孔１５の端部を他方の長孔列１６の長孔１５間へ位置させている。
【００２６】
なお、図示例では、強度を向上させるため天板１３（底板１１も同様）の左右両端部を除く左右方向全長にわたって長孔１５を不連続的に形成しているが、これに限らずこれら長孔１５を連続させて左右に長い長孔に形成することも可能である。この場合には、天板１３には左右に長い２本の長孔が形成されることになる。また、図１では、長孔列１６は２つの長孔１５からなるが、２以上の長孔１５で形成してもよい。さらに、長孔のないところに、特定位置に固定穴１５ｂを設けておいてもよい。その固定穴１５ｂは１つの基板又は複数の異なる基板サイズに対応した位置に設けておく。また、棚板の所望の取付位置を取り得る場合は、一方の長孔列１６の長孔１５の端部を他方の長孔列１６の長孔１５間に孔部が平面的に重なり部を持つように形成しなくてもよい。
【００２７】
１７は棚板で、起立した状態で底板１１と天板１３との間に移動可能に締着されている。
棚板１７は、板体１７ａの左右両面に前後方向への係合溝１８を上下方向に複数形成するものであり、板体１７ａの上下両端に形成した固定面１７ｂに、図３に示すように４つの雌ネジ１９（１９ａを２個と、１９ｂを２個）を形成し、さらに、雄ネジ２０が長孔１５を介して雌ネジ１９へ螺合させることにより底板１１と天板１３とのそれぞれに締着する。
固定面１７ｂの前部（基板挿入側）は左右外方へ傾斜させて傾斜部１７ｃを形成している。
尚、雌ネジ１９を４カ所設けたのは、２種類の長孔列１６に対応可能とするものであり、使用に際しては１９ａ或いは１９ｂの何れか一方を用いる。
また、板体１７ａと底板１１、天板１３との締結手段としては、螺合部材以外に、圧接部材や機械的な嵌着部材等により可能である。
【００２８】
また、図４に示すように、係合溝１８の側面の前部と後部をそれぞれ端部に向かって徐々に溝が深くなるように傾斜面２１ａ、２１ｂを形成している。又、その傾斜面は曲面でもよい。
【００２９】
また、係合溝１８を形成する凸部の形状は、前記固定面１７ｂと同様に先端（基板挿入口側）に向けてに横断面を細くする傾斜部２２を形成すると共に、後端部を切除してその切除面を端部に向けて細くする傾斜部２３を形成し、さらに該傾斜部２３の後方に、底板１１から起立する柱状の基板受け部２４を設け、かつ該基板受け部２４と係合溝１８の左右側面との間に水抜き口２５を形成する。
また、傾斜部２３と基板受け部２４は切り離されている。
【００３０】
なお、通常、底板１１、天板１３はステンレス鋼またはアルミニウムで、支持柱１２はステンレス鋼で、棚板１７は合成樹脂で、それぞれ形成するが、これらに限らず使用条件に応じて適宜選択することができる。
【００３１】
次に本実施形態の作用について説明する。
図１では、棚板１７はほぼ等間隔に配置され、基板が複数列収納されるよう固定されているが、これらの間隔を変更して異なる寸法の基板を収納するには、雄ネジ２０をゆるめて棚板１７を対応する長孔１５の左右の長さの範囲内で摺動させて所望の間隔に設定した後、雄ネジ２０を締め付けて棚板１７を固定することにより、収納される基板サイズの変更を可能とする。また、固定穴１５ｂを利用することにより、棚板１７の所定位置への固定、例えば特定基板サイズの変更が容易になる。
【００３２】
基板２６を収納するには、対向する棚板１７の一対の係合溝１８間に前面から基板を挿入して、図５及び図６に示すように、その端が基板受け部２４へ当接するまで挿入する。
【００３３】
係合溝１８の左右の側面の前部を先端に向けて細くする傾斜面２１ａを形成しているので、基板２６の挿入口が広くなり基板２６の挿入が容易となる。また、基板２６の角部と係合溝１８の衝突を無くすることができ、基板輸送時の損傷を回避できる。
【００３４】
基板２６の挿入時には、基板角部が傾斜面２１ａに沿って徐々に進入し、先端部が基板受け部２４へ当接した時には基板２６の側辺中央付近が対向する係合溝１８間に少しの隙間をもって載置される。
傾斜面２１ａ、２１ｂを設けたことで、損傷し易い基板２６の角部が係合溝１８の側面に接触、衝突しない（図５、６参照）ので、基板２６の割れ等の発生を抑えることができる。また、傾斜部２３と基板受け部２４が切り離されていることにより、基板２６の角部が係合溝１８に接触しないので基板２６の割れ等の発生を抑えることができる。
【００３５】
また、支持柱１２は、底板１１と天板１３を支持すると共に、カセット本体１０を搬送する場合には取手としても用いられる。
【００３６】
また、基板受け部２４と係合溝１８の左右側面との間に水抜き口２５を設けたことで例えば、カセットが基板の洗浄工程で用いられる場合、基板に付着した洗浄液の排出が容易になり、さらに、水抜き口２５及び傾斜面２１ｂにより、また、傾斜部２３と基板受け部２４が切り離されていることにより乾燥時の乾燥（水切れ）がよくなる。
【００３７】
以上説明したように、第１実施形態によれば、底板１１と天板１３とのそれぞれに、左右方向へ長い長孔１５を形成して棚板１７を任意の位置に締着可能とすることで、棚板１７の間隔を任意に変更でき、同一形状の基板をカセット１０に複数列収納することが可能となる。さらに、種々の寸法の基板をカセット１０に複数列収納することもできる。この構成により、基板寸法の種類だけ基板用カセットを用意する必要がなくなり、また、１つのカセットに収納される基板の数が増加することから、基板用カセット１０を減らしてコストが削減されると共に、保管場所の省スペース化が図れる。また、カセットの寸法が共通化されるので保管の効率もよくなる。さらに、カセットの基板収納数が増加するので、輸送効率が向上し、作業時間効率が向上する。なお、棚板の係合溝は、棚板の片面に形成することも考えられるが、棚板の両面に形成する場合は、使用する部品数を減らすことができる。また、基板を収納するスペースを有効に利用できる。また、樹脂の成型性がよい。
【００３８】
次に、図７を参照して本発明の第２の実施形態を説明する。尚、前記した構成と同一部分には同一符号を付して説明を省略する。
前記第１の実施形態との相違は、底板１１の前端面に例えばピンからなる嵌合突部２７を、かつ後端面に該嵌合突部が嵌合自在な嵌合穴部２８を、それぞれ形成したことにある。
この場合、カセット本体１０2を積み重ねる場合には、図１に示す状態からカセット１０2を後方へ倒して基板挿入口を上向きにして、他のカセット１０2をその上へと載置して嵌合突部２７を嵌合穴部２８へ嵌合させる。これにより、段積みしたカセット１０2の位置ズレを防止して段積み保管ができるので保管場所の効率がよくなる。
なお、嵌合突部２７と嵌合穴部２８とは本実施形態では底板１１に形成したが、天板１３又は双方に形成することも可能である。
【００３９】
次に、図８から図１２を参照して本発明の第３の実施形態を説明する。図８は基板カセット１０3の全体斜視図であり、図９は取手兼支柱１２3を作用的に説明する側面図であり、図１０は図９の矢印Ｅ方向の作用的説明図である。図１１、１２は図９、１０の取手３０にコイルバネ３２を設けた説明図である。尚、前記した構成と同一部分には同一符号を付して説明を省略する。
【００４０】
本実施形態の特徴部分は、前記した支柱１２3に２ヵ所の孔を設けて取手３０を取り付けた構成にある。取手３０は略コ字型をしており、両端には支柱１２3 の穴からの抜け防止機構であるストッパ３１を設け、略コ字状部分３１ａを基板カセット１０3の正面側とし、基板挿入方向に進退可能に支柱１２3に架設している。
【００４１】
抜け防止機構であるストッパ３１としては、カシメ、曲げ及びネジ締め等による別部品の組み立て等の方法がある。
【００４２】
また、前記第２実施形態で示したように、カセット本体を積み重ね可能とするため、図９、１０に示すように取手３０が支柱１２3に退避状態では略コ字状部分３１ａがカセット１２3の前面に突出しない位置に支柱１２3を設けている。
【００４３】
さらに、図１０に示すように取手３０を引き出してカセット本体１０を搬送することができるので、該棚板１７を支持柱１２に接近して設けることができ、支柱１２3と棚板１７との間に支持柱１２3を握るために必要な間隙が不要となるためによりコンパクトなカセット本体１０3を提供できる。
【００４４】
また、図１１、１２に示すように取手３０にコイルバネ３２を設けてもよい。
すなわち、取手３０には図１１に示すようにストッパ３１と支柱１２3間に、中心を取手３０が貫通するとともに、取手３０の略コ字状部分３１ａが常に支柱１２3側に付勢力を受けるようにコイルバネ３２を設けている。
この場合、該バネ３２の作用により取手３０は使用しない時はカセットの外に出ないように退避可能となる。
尚、取手３０が支柱１２3側へ付勢力を受けるようにする構成は前記したバネ３２に限定せず、弾性体であるゴム等によってもよい。
【００４５】
前記した本実施形態の構成により、カセットサイズを大きくすることなく、カセット輸送作業の労力低減が図れる。又、前記第２実施形態の段積み機構もカセットサイズを大きくすることなく実施できることを含め、保管場所の効率がよくなる。
なお、支柱１２3と棚板１７との距離が支柱１２3を握り手として使用できる程度にある場合は、取手３０と支柱１２3を一緒に握って取手として使用してもよいし、取手３０を除いた構成にしてもよい。
【００４６】
また、図示しないが、取手３０が支柱１２3に退避状態での略コ字状部分３１ａがカセット１０3の前面に突出するように設けると共に、後ろ側の支柱１２等に該略コ字状部分３１ａを受け入れ可能な溝を設けることで、カセット１０3を積み重ねる場合の嵌合突部、嵌合穴部として代用することも可能となる。この場合には、第２実施形態で説明した嵌合突部２７と嵌合穴部２８を別途設ける必要がなくなる。
【００４７】
次に、図１３を参照しつつ本発明の第４の実施形態を説明する。図１３は、基板カセット１０4の正面図であり、前記した構成と同一部分には同一符号を付して説明を省略する。
基板カセット１０4の特徴部分は、板体１７ａの連続する凹凸形状をなす前端面１７ｄ（傾斜部２２を含む）に、同一段の係合溝１８には隣接する段とは異なる同一マークＭを形成する。尚、前記実施形態と同一構成には同一符号を付して説明を省略する。
【００４８】
マークＭの形成手段としては、例えば貼付、印刷、刻印、成形等いずれでもよく、形態は、文字でも、記号でも、数字でも、無印（隣接する段に印がある場合）でもよい。又、同一マークでもよいし、数種類のマークでもよい。
図１３では、中心の係合溝１８に対応して丸マークＭ１とし、１段の係合溝１８を空けた上下に四角マークＭ２をそれぞれ設け、さらに１段ずれた係合溝１８に三角マークＭ３を張り付けている。又、同一マークでもよいし、数種類のマークでもよい。
【００４９】
各種マークＭは、ランダムに設けてもよいが、規則的に設けるのが望ましい。また、板体１７ａが上下対象に使用可能な場合には、マークＭも上下対象に設けることが望ましい。また、マークＭの位置は図１３に示したように、係合溝１８の横に限られるものではなく、係合溝１８との対応が分かる位置であればよい。
前記の構造により、基板２６の両側が前端面１７ｄの同じマークＭの係合溝１８に収納されるようにすることにより、段違い基板収納が防止され、基板ワレ防止及び基板収納作業でのロス低減ができる。さらに、マークＭを規則的に設けることにより、基板収納枚数の確認も容易になる。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明した通り、要旨１及び２によれば、棚板の間隔を任意に変更でき、同一形状の基板を１つのカセットに複数列収納できる。さらに、種々の寸法の基板を１つのカセットに複数列収納可能となった。このため、異なる基板寸法の種類だけ基板用カセットを用意する必要がなくなり、またカセットの基板収納数が増加するので、基板用カセットの数を減らしてコストが削減されると共に、保管場所の省スペース化が可能となった。
また、カセットの基板収納数が増加するので１つのカセットによる基板の輸送数が増加し、作業時間効率が向上する。
【００５１】
また、要旨３の発明によれば洗浄後等の基板に付着した水分の排出が容易になり乾燥効率の向上を図ることができ、また、請求項４の発明により係合溝への基板挿入が容易になるとともに、挿入時、輸送時における基板の破損を防ぐ基板カセットとできた。
【００５２】
また、要旨５記載の発明によれば、カセットを安定に積み重ね可能となるので、基板カセット保管箇所の省スペース化が可能となった。
【００５３】
また、要旨６の発明によれば、輸送作業性と保管効率の向上が可能となり、要旨７の発明によれば、マークの区別により基板を収納すべき同一段の係合溝を簡単に確認でき、段違いの係合溝への基板の挿入ミスを減らすことができ、基板誤挿入による基板ワレを防止することができるとともに、基板収納作業性の向上を図ることができた。
【００５４】
また、要旨８の発明により基板に付着した水分の排出が容易になり、また、輸送時における基板の破損を防ぐ。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る基板カセットの斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る棚板１７の側面図の部分図である。
【図３】図２の矢印Ｂ方向から見た平面図である。
【図４】図２の矢視Ｃ−Ｃ断面図である。
【図５】図２の矢視Ｃ−Ｃ断面から見た説明図である。
【図６】図２の矢視Ｄ−Ｄ断面から見た説明図である。
【図７】本発明の第２の実施形態に係る基板カセットの作用的説明図である。
【図８】本発明の第３の実施形態に係る基板カセットの斜視図である。
【図９】本発明の第３の実施形態に係る取手機構の作用的説明図である。
【図１０】図８の矢印Ｅ方向からの正面図である。
【図１１】本発明の第３の実施形態のその他の取手機構の作用的説明図である。
【図１２】図１１の矢印Ｅ方向からの正面図である。
【図１３】本発明の第４の実施形態に係る基板カセットの正面図である。
【図１４】従来の基板カセットの斜視図である。
【図１５】従来の棚板５の固定面５ａの正面図である。
【図１６】従来の棚板５の溝４における横断面図である。
【符号の説明】
１１  底板
１２、１２3  支持柱
１３  天板
１５  長孔
１５ｂ  固定穴
１６  長孔列
１７  棚板
１７ａ  板体
１７ｄ  前端面
２１ａ、２１ｂ  傾斜面
２２  傾斜部
２５  水抜き口
２６  基板
２７  嵌合突部
２８  嵌合穴部
３０  取手
Ｍ１〜Ｍ３  マーク
【図１】
0004082825.tif 000002
【図２】
0004082825.tif 000003
【図３】
0004082825.tif 000004
【図４】
0004082825.tif 000005
【図５】
0004082825.tif 000006
【図６】
0004082825.tif 000007
【図７】
0004082825.tif 000008
【図８】
0004082825.tif 000009
【図９】
0004082825.tif 000010
【図１０】
0004082825.tif 000011
【図１１】
0004082825.tif 000012
【図１２】
0004082825.tif 000013
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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