(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材のワークを保持して搬送する板状部材の搬送装置であって、
一対の保持ハンド部と、
前記一対の保持ハンド部が間隔を隔てて対向するように構成された搬送ハンドと、
前記搬送ハンドを水平軸周りに回動自在に構成する回動手段と、
前記回動手段の回動軸と垂直方向に直交する軸周りに、前記搬送ハンドを回転自在に取り付けた第１アームと、
前記第１アームを垂直軸周りに回転自在に取り付けた第２アームと、
前記第２アームを垂直軸周りに回転自在に取り付けた基台と、
を有し、
前記一対の保持ハンド部は、前記回動手段に接続された基部と、前記基部から伸びている保持アームと、で構成され、
前記保持アームには、前記基部側および前記保持アーム先端側を除いて前記ワークから離反するように凹部状に設けられた内面と、
前記保持アームの先端側および前記基部には、前記ワークの外縁に係合するように構成された係合内面部と、
前記基部および前記保持アームとの間には、前記ワークの端面に対向する係止部と、を備え、
前記係止部は前記ワークの突き当たり面を構成し、前記係止部の内縁は平面視で凹形状であり、
前記内面の間隔および前記係合内面部の間隔は、前記ワークの厚さよりも大きいことを特徴とする板状部材の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は板状部材の搬送方法及び搬送装置に係り、特に、搬送ロボットなどに用いられる搬送ハンドの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、電子デバイスの製造工程においては、半導体や圧電体のウエハ、液晶パネル用基板、その他の各種基板のような板状部材を搬送する必要があり、この搬送手段としては、板状部材の板面を真空吸着等により吸着保持する吸着手段を備えた板状のハンドを備えた搬送用ロボットが通常用いられている。
【０００３】
また、上記の製造工程においては、例えば、一対の液晶パネル用基板を相互に貼り合せる段階などの板状部材の処理途中で、板状部材の表裏を反転させる場合がある。板状部材の表裏を反転させる装置としては、上記の搬送用ロボットの場合、ハンドを水平軸周りに回転させる回転軸を備えたものが知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の搬送用ロボットにおいては、板状部材を吸着する吸着手段を備えたハンドを用いていたことから、真空装置内で板状部材を反転させることが不可能であるという問題点がある。
【０００５】
また、上記のような状況では、公知の静電チャックを用いて板状部材を吸着保持することが考えられるが、静電チャックは板状部材に導電体が設けられている必要があり、絶縁体のみからなるガラス基板等の絶縁物には適用できないとともに、ハンド構造も複雑化するという問題点がある。
【０００６】
さらに、２つのハンドを用いて板状部材を受け渡すことにより板状部材の表裏を反転させることも考えられるが、この場合には、機構的に複雑になるとともに搬送能力を高めることが困難になり、また、板状部材の表面に触れないように搬送する必要がある場合には、特殊な形状のハンドを用いなければならないため、汎用の搬送手段として構成することが難しいという問題点がある。
【０００７】
そこで本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、真空吸着機構や静電チャックなどの吸着手段を設けなくても、板状部材の表裏を反転させることのできる搬送方法及び搬送装置を提供することにある。また、簡易な構造で板状部材を反転させることができる搬送方法及び搬送装置を提供することにある。さらに、従来よりも迅速に板状部材を受け渡しできる搬送方法及び搬送装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明の板状部材の搬送方法は、板状部材を保持して搬送する方法であって、前記板状部材の表裏両側に、搬送ハンドに設けられた一対の保持部が前記板状部材の厚さよりも大きな隙間を隔てて配置された状態で、前記搬送ハンドに保持された前記板状部材が搬送されることを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、板状部材の表裏両側に一対の保持部が配置されることによって、真空吸着機構や静電チャックなどを具備した吸着手段を設けなくても板状部材を表裏いずれが上方に向いた姿勢であっても支障なく保持することが可能になるとともに、板状部材に挟圧力を加えることなく保持することができる。
【００１０】
ここで、前記板状部材の外縁が前記保持部に係合された状態で一対の保持部によって保持されることが望ましい。これによれば、板状部材を任意の姿勢で保持することが可能になるとともに、板状部材の外縁以外の表面に接触することなく保持することができる。
【００１１】
本発明において、前記搬送ハンドを反転させることにより前記板状部材の表裏を反転させる反転動作が行われることが好ましい。
【００１２】
この発明によれば、上記構成において搬送ハンドを反転させることによって板状部材の表裏を反転させることができるが、板状部材の表裏両側に保持部が配置されているために支障なく板状部材を保持し続けることができる。
【００１３】
また、本発明の別の板状部材の搬送方法は、板状部材を保持して搬送する方法であって、搬送ハンドに設けられた一対の保持部により表裏両側から前記板状部材が保持され、前記搬送ハンドとともに前記板状部材が反転されることを特徴とする。
【００１４】
この発明によれば、板状部材が一対の保持部により表裏両側から保持された状態で、搬送ハンドとともに板状部材が反転されるため、真空吸着機構や静電チャックなどを具備した吸着手段を設けなくても板状部材の表裏を反転させることができる。
【００１５】
本発明において、前記搬送ハンドが回動され、前記板状部材が垂直姿勢若しくは傾斜姿勢となった状態で、前記板状部材が前記搬送ハンドに設けられた係止部で受け止められることにより、前記板状部材の前記搬送ハンドに対する位置決めがなされることが好ましい。
【００１６】
この発明によれば、板状部材が垂直姿勢若しくは傾斜姿勢となった状態で、板状部材が搬送ハンドに設けられた係止部で受け止められることにより位置決めがなされることにより、複雑な位置決め機構を用いなくても、係止部の形状を板状部材に適合させるだけで、板状部材の自重によって容易に位置決めを行うことができる。
【００１７】
本発明において、前記一対の保持部が離反した状態で前記板状部材が前記一対の保持部の間に出し入れされるとともに、前記一対の保持部が接近した状態で前記板状部材が搬送されることが好ましい。
【００１８】
この発明によれば、一対の保持部が離反した状態で板状部材が搬送ハンドに出し入れされ、一対の保持部が接近した状態で板状部材が搬送されることにより、板状部材を搬送ハンドと他の場所との間で受け渡しする場合に、搬送ハンドに対する板状部材の導入方向や導入態様の自由度を高めることができるとともに、他の場所が狭い空間であっても一方の保持部のみを挿入して板状部材の受け渡しを行うことも可能になる。
【００１９】
本発明において、一方の前記保持部上に一の板状部材が載置された状態で、前記一方の保持部と離反された他方の前記保持部上に別の前記板状部材が給材され、その後、前記一方の保持部上から前記一の板状部材が除材されることが好ましい。
【００２０】
この発明によれば、一方の保持部上に一の板状部材が載置された状態で、他方の保持部上に別の板状部材が給材され、その後、一方の保持部上から一の板状部材が除材されることによって、一時的に二つの板状部材を保持部上に支持して板状部材を受け渡すことができるため、板状部材の受け渡しを迅速に行うことができる。例えば、或る場所から他方の板状部材を取り出し、同じ場所に一の板状部材を供給することが可能になるから、その或る場所において板状部材を迅速に交換することが可能になる。
【００２１】
次に、本発明の板状部材の搬送装置は、板状部材を保持して搬送する搬送用ロボットであって、一対の保持部を備えた搬送ハンドと、前記搬送ハンドを移動させる移動手段とを有し、前記一対の保持部は、その閉鎖状態において、前記板状部材の表裏両側に隙間を隔てて配置されるとともに、前記板状部材の外縁に係合することを特徴とする。
【００２２】
本発明において、前記搬送ハンドを反転可能に構成された反転手段を有することが好ましい。
【００２３】
また、本発明の別の板状部材の搬送装置は、板状部材を保持して搬送する搬送用ロボットであって、一対の保持部を備えた搬送ハンドと、前記搬送ハンドを移動させる移動手段とを有し、前記板状部材を保持した前記搬送ハンドを前記板状部材の表裏が反転するように回動させる反転手段を有することを特徴とする。
【００２４】
本発明において、前記板状部材の外縁に係合する前記保持部の係合部位が前記板状部材の周囲に複数分散配置されていることが板状部材の保持状態の安定性を得るために好ましい。
【００２５】
本発明において、前記一対の保持部は相互に開閉可能に構成され、前記一対の保持部を開閉駆動する開閉駆動手段を有することが好ましい。
【００２６】
本発明において、前記板状部材の外縁に係合する前記保持部の係合部位が前記板状部材の板面に対する傾斜面となっていることが好ましい。
【００２７】
この発明によれば、傾斜面によって板状部材の外縁に係合することによって、板状部材の表裏両面に接触することなく板状部材の外縁角部を線接触若しくは点接触で係合保持することが可能になる。
【００２８】
本発明において、前記搬送ハンドには、前記板状部材が垂直姿勢若しくは傾斜姿勢となったときに当接する係止部を有することが好ましい。
【００２９】
本発明において、前記一対の保持部を開閉可能に構成するヒンジ部を有することが好ましい。
【００３０】
この発明によれば、一対の保持部を開閉可能に構成するヒンジ部を有することにより、一対の保持部を簡単な構造で開閉可能に構成できるとともに、それらの内面側が共に斜め上方に向くように構成すれば、後述するように、一対の保持部により２つの板状部材を同時に支持することが可能になる。
【００３１】
本発明において、前記ヒンジ部の側に前記板状部材を係止する係止部を有することが好ましい。
【００３２】
この発明によれば、ヒンジ部の側に板状部材を係止する係止部を有することにより、ヒンジ部が下になるように搬送ハンドを垂直姿勢若しくは傾斜姿勢にしたときに係止部によって板状部材が係止され、保持される。
【００３３】
本発明において、前記係止部は、前記板状部材が垂直姿勢若しくは傾斜姿勢となったときに前記板状部材を前記搬送ハンドに対して位置決め可能に構成されていることが好ましい。
【００３４】
本発明において、前記一対の保持部の内面側が共に上方若しくは斜め上方を向いた状態に開くことができるように構成されていることが好ましい。
【００３５】
この発明によれば、一対の保持部により同時に２つの板状部材を支持することが可能になる。この場合、一対の保持部が共に上方若しくは斜め上方を向いた状態にてそれぞれ板状部材を支持するときに、上記係止部によって板状部材が係止されるように構成されていることが望ましい。
【００３６】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面を参照して本発明に係る板状部材の搬送方法及び搬送装置の実施形態について詳細に説明する。
【００３７】
図１乃至図３は、本発明に係る第１実施形態の板状部材の搬送方法及び搬送装置を示す概略斜視図であり、図４は、第１実施形態のハンド部分の断面構造を示す断面図である。
【００３８】
本実施形態の搬送装置１０は、一対の保持ハンド部１１，１２が間隔を隔てて対向するように構成された搬送ハンドと、この搬送ハンドを回動自在に構成するモータ等の回動手段１３と、この回動手段１３の回動軸と直交する軸周りに上記の搬送ハンドを回転自在に取り付けた第１アーム１５と、第１アーム１５を回転自在に取り付けた第２アーム１６と、第２アーム１６を回転自在に取り付けた基台１７とを有している。すなわち、上記構造により一対の保持ハンド部１１，１２を有する搬送ハンドは、上記回動手段１３によって回動軸（図示例では水平軸）周りに回動可能に構成されているとともに、その回動軸と直交する軸（図示例では垂直軸）周りに回転自在に構成されている。
【００３９】
搬送ハンドの一対の保持ハンド部１１，１２には、図４に示すように、回動手段１３に接続された基部１１ａ，１２ａが設けられ、この基部１１ａ，１２ａから保持アーム１１ｂ，１２ｂが伸びている。この保持アーム１１ｂ，１２ｂは、好ましくはそれぞれ複数設けられ、図示例では一対の保持アームがほぼ平行に設けられている。また、保持ハンド部１１，１２の保持アーム１１ｂ，１２ｂには、基部１１ａ，１２ａ側と先端側を除いてワークＷから離反するように凹部状に設けられた内面１１ｃ，１２ｃを備えている。
【００４０】
一方、保持アーム１１ｂ，１２ｂの基部１１ａ，１２ａ側には、ワークＷの外縁に係合するように構成された係合内面部１１ｄ，１２ｄが上記内面１１ｃ，１２ｃよりワークＷ側に近づくように（内面との間に段差を有するように）設けられている。また、保持アーム１１ｂ，１２ｂの先端側には、ワークＷの外縁に係合するように構成された係合内面部１１ｅ，１２ｅが上記内面１１ｃ，１２ｃよりワークＷ側に近づくように（内面との間に段差を有するように）設けられている。
【００４１】
また、一対の保持ハンド部１１，１２の基部１１ａ，１２ａと保持アーム１１ｂ，１２ｂとの間には、ワークＷの端面に対向する係止部１１ｆ，１２ｆを備えている。これらの係止部１１ｆ，１２ｆはワークＷの突き当たり面を構成する。また、これらの係止部１１ｆ，１２ｆの内縁（輪郭）は、図１乃至図３に示すように、平面視で凹形状に、例えば図示例ではＶ字状に構成されている。
【００４２】
ここで、内面１１ｃと１２ｃとの間隔はワークＷの厚さよりも大きくなるように構成される。また、本実施形態の場合、係合内面部１１ｄと１２ｄとの間隔及び係合内面部１１ｅと１２ｅとの間隔も、ワークＷの厚さよりも大きくなるように構成される。これらの係合内面部はワークＷの外縁を支持するために係合する部分であり、これらの係合内面部の存在によってワークＷの外縁のみが保持部に接触するため、ワークＷの外縁を除く表面部分は保持部に触れないことにより保護される。
【００４３】
本実施形態では、上記一対の保持ハンド部１１と１２とが図４に示す断面構造を有するように相互に固定された状態で一つの搬送ハンドを構成する。ここで、保持ハンド部１１と１２は相互に直接固定されていてもよく、また、回動軸などの第３の部材を介して間接的に固定されていてもよい。さらに、一対の保持ハンド部１１と１２は互いに着脱自在に取り付けられていてもよい。また、この例では、搬送ハンドの先端部において一対の保持ハンド部１１と１２との間に、ワークＷを挿入可能な間隔（開口）Ａが設けられている。
【００４４】
本実施形態においては、上記のように構成された搬送装置１０により、以下のようにして、ワークＷが搬送される。まず、図１に示すように、ワークＷを配置した図示しない第１位置（例えばマガジン、処理装置、一時的なワーク載置部など）からワークＷを受け取ることにより、上記保持ハンド部１１と１２の間にワークＷが挿入される。このとき、保持ハンド部１１，１２の保持アーム１１ｂ，１２ｂの先端はワークＷが挿入可能な間隔Ａ（図４参照）を備えているため、例えば、板状部材であるワークＷの両側端のみが支持された状態でマガジン等に格納されたワークＷが保持アーム１１ｂと保持アーム１２ｂとの間に挿入されるように搬送ハンドを突出させるだけで、図示のようにワークＷが挿入され保持される。なお、図示例では、搬送ハンドにおいてワークＷは下方に配置された保持ハンド部１２に支持された状態となっている。
【００４５】
次に、第１アーム１５及び第２アーム１６を用いて搬送ハンドを適宜に搬送した後に、回動手段１３を用いて、図２に示すように搬送ハンドに保持されたワークＷが基部１１ａ，１２ａの上方に配置されるように保持ハンド部１１，１２を立てた状態とする。これによって、ワークＷは搬送ハンドの基部１１ａ，１２ａ側に移動し、図４に示す係止部１１ｆ，１２ｆに当接する。係止部１１ｆ，１２ｆは上述の如く平面視で凹形状に構成されているので、ワークＷが係止部１１ｆ，１２ｆに当接することによって、自重によりワークＷは保持ハンド部１１，１２の幅方向（一対の保持アームが並列している方向）の中心位置に位置決め（センタリング）される。
【００４６】
次に、そのまま搬送ハンドを反対側に倒すことによって、図３に示すように、今度は保持アーム１１が下方に配置され、この保持アーム１１によってワークＷが支持された状態となる。このようにしてワークＷは最初に第１位置から受け取った状態とは表裏が反転した姿勢となる。その後、例えば、搬送ハンドを第２位置（例えばマガジン、処理装置、一時的なワーク載置部など）へ移動し、ワークＷを第２位置へ引き渡す。ここで、上記の第１位置と第２位置とは同一の位置であってもよく、全く異なる位置であってもよい。
【００４７】
本実施形態では、一対の保持ハンド部１１，１２がワークＷの両側に配置されるようにしてワークＷが保持されるため、搬送ハンドを反転させることによって、簡単にワークＷの表裏を反転させることができる。
【００４８】
また、本実施形態の搬送ハンドにおいては、一対の保持ハンド部が対向配置されていることにより、ワークＷを表裏両側で支持可能であるため、真空吸着構造や静電チャックを用いることなく、ワークＷの表裏を反転させることができる。
【００４９】
さらに、ワークＷを保持した状態で搬送ハンドが垂直姿勢若しくは傾斜姿勢になったときに、ワークＷの外縁に係止部が当接し、この係止部の凹形状によってワークＷが搬送ハンドに対して位置決めされるように構成されているため、この位置決めによってワークＷの位置を修正することにより、ワークＷの受け渡し精度を高めることができる。
【００５０】
なお、本実施形態のように凹形状の係止部によって２方向（すなわち、基部１１ａ，１２ａ側に向かう方向と、当該方向と直交する回動軸方向）に位置決めされ得るワークＷとしては、図示例のように略円板状のワークＷが代表例として挙げられるが、このような略円板状のワークに限らず、略長円状、略楕円状、略角形状のワークが挙げられる。例えば、略角形状のワークについても、そのワークの当接方向（本実施形態では搬送ハンドの先端から基部１１ａ，１２ａに向かう方向）に対して相互に逆方向に傾斜したワークＷの外縁２箇所が凹形状の係止部に共に当接する姿勢で保持されるならば、本実施形態と同様の位置決めが行われ得る。
【００５１】
また、係止部としては、上記のように２方向に位置決めされるものではなく、１方向（すなわち当接方向）にのみワークを位置決め可能な単なる当接部であってもよい。さらに、このように係止部が１方向にのみワークを位置決め可能な場合には、当該１方向とは異なる別の方向にワークを係止する機構（例えばワークを両サイドから挟み付けるように押える機構）を別途設けてもよい。
【００５２】
［第２実施形態］
次に、図５乃至図１２を参照して、本発明に係る第２実施形態について説明する。この実施形態の搬送装置２０は、一対の保持ハンド部２１，２２を有する搬送ハンドと、これらの保持ハンド部２１，２２をそれぞれ独立に回動させることの可能な回動手段２３，２４とを備えている。また、上記第１実施形態と同様の第１アーム２５、第２アーム２６及び基台２７を有する。
【００５３】
本実施形態の搬送ハンドは、一対の保持ハンド部２１，２２がそれぞれ独立に回動できるように構成されている。各保持ハンド部２１，２２を回動させる回動手段２３，２４は、保持ハンド部２１と２２の双方を、すなわち搬送ハンド全体を一体に回動させることが可能であり、例えば搬送ハンドを水平軸周りに反転させる反転手段として機能するとともに、保持ハンド部２１と２２とが閉じた状態（図６、図１０、図１２に示す状態）と、開いた状態（図５、図７、図８、図９、図１１に示す状態）との間を開閉させる開閉手段としても機能する。
【００５４】
図１２は、上記搬送ハンドによりワークＷを保持した状態を示す断面図である。搬送ハンドの一対の保持ハンド部２１，２２には、図１２に示すように、回動手段２３，２４に接続された基部２１ａ，２２ａが設けられ、これらの基部２１ａ，２２ａから保持アーム２１ｂ，２２ｂが伸びている。この保持アーム２１ｂ，２２ｂは、好ましくはそれぞれ複数設けられ、図示例では一対の保持アームがほぼ平行に設けられている。また、保持ハンド部２１，２２の保持アーム２１ｂ，２２ｂには、基部２１ａ，２２ａ側と先端側を除いてワークＷから離反するように凹部状に設けられた内面２１ｃ，２２ｃを備えている。
【００５５】
一方、保持アーム２１ｂ，２２ｂの基部２１ａ，２２ａ側には、ワークＷの外縁に係合するように構成された係合内面部２１ｄ，２２ｄが上記内面２１ｃ，２２ｃよりワークＷ側に近づくように設けられている。これらの保持アームの基部側に設けられた係合内面部２１ｄ，２２ｄは、先端側（保持されたワークＷ側）に斜めに向かう傾斜面を備えている。また、保持アーム２１ｂ，２２ｂの先端側には、ワークＷの外縁に係合するように構成された係合内面部２１ｅ，２２ｅが上記内面２１ｃ，２２ｃよりワークＷ側に近づくように設けられている。これらの保持アームの先端側に設けられた係合内面部２１ｅ，２２ｅは、基部側（保持されたワークＷ側）に斜めに向かう傾斜面を備えている。
【００５６】
また、一対の保持ハンド部２１，２２の基部２１ａ，２２ａと保持アーム２１ｂ，２２ｂとの間には、ワークＷの端面に対向する係止部２１ｆ，２２ｆを備えている。これらの係止部２１ｆ，２２ｆはワークＷの突き当たり面を構成する。また、これらの係止部２１ｆ，２２ｆの内縁（輪郭）は、図５、図７乃至図１１に示すように、平面視で凹形状に、例えば図示例ではＶ字状に構成されている。
【００５７】
なお、この例においては、一対の保持ハンド部２１と２２とが閉じられた状態の搬送ハンドの先端部において、一対の保持ハンド部２１と２２との間の間隙（開口部）が小さいか、或いは間隙（開口部）が形成されておらず、ワークＷを出し入れできないように構成されている。これによって、図１２に示す保持状態において、搬送ハンドの姿勢に拘わらず、ワークＷが脱出しないように構成されている。ただし、この例においても、第１実施形態と同様に、一対の保持ハンド部が閉じられた状態の搬送ハンドの先端部にワークＷを挿入可能な間隙（開口部）が設けられるように構成しても構わない。
【００５８】
ここで、内面２１ｃと２２ｃとの間隔はワークＷの厚さよりも大きくなるように構成される。また、本実施形態の場合、係合内面部２１ｄと２２ｄとの間隔及び係合内面部２１ｅと２２ｅとの間隔も、ワークＷの厚さよりも大きくなるように構成される。これらの係合内面部はワークＷの外縁を支持するために係合する部分であり、これらの係合内面部の存在によってワークＷの外縁のみが保持部に接触するため、ワークＷの外縁を除く表面部分は保持部に触れないことにより保護される。
【００５９】
本実施形態では、上述のように、一対の保持部２１，２２が相互に開閉可能に構成されているため、係合内面部２１ｄ，２２ｄ，２１ｅ，２２ｅによってワークＷが挟持されるように構成されていてもよい。これは、本実施形態のように係合内面部が傾斜面である場合に限らず、第１実施形態のように平坦面として構成されている場合やその他任意の形状に構成されている場合でも同様である。
【００６０】
本実施形態においては、上記のように構成された搬送装置２０により、以下のようにして、ワークＷが搬送される。まず、図５に示すように、搬送ハンドの一対の保持ハンド部２１と２２とが相互に開いた状態にされて相互に離反され、そのうちの一方、例えば図示例のように保持ハンド部２２が、ワークＷＡを配置した図示しない第１位置（例えばマガジン、処理装置、一時的なワーク載置部など）からワークＷＡを受け取ることにより、保持ハンド部２２上にワークＷＡが載置される。
【００６１】
次に、図５に示す状態から、図６に示すように、もう一方の保持ハンド部２１を回動させて保持ハンド部２２上に閉じ、搬送ハンド全体を回動させてワークＷＡを垂直姿勢若しくは傾斜姿勢とし、第１実施形態と同様にワークＷＡを係止部２１ｆ，２２ｆに当接させて位置決めする。
【００６２】
その後、搬送ハンドをさらに回動させて反転させ、ワークＷＡが保持ハンド部２１上に載置された状態としてから、保持ハンド部２２を回動させて開き、保持ハンド部２１から離反させ、図７に示すように、この保持ハンド部２２上に、図示しない第２位置（例えばマガジン、処理装置、一時的なワーク載置部など）からワークＷＢを受け取る。このとき、一対の保持ハンド部２１，２２は共に上方若しくは斜め上方を向いており、これら保持ハンド部２１，２２の双方にワークＷＡ，ＷＢが載置された状態となっている。
【００６３】
さらに、図８に示すように、搬送ハンドを回動手段２３，２４の回動軸と直交する軸周り（図示例では垂直軸周り）に例えば１８０度回転させ、その後、図９に示すように、保持ハンド部２１上に載置されているワークＷＡを上記の第２位置へと渡す。そして、図１０に示すように、ワークＷＢを支持している保持ハンド部２２上に向けて空になった保持ハンド部２１を回動させて搬送ハンドを閉じ、上記と同様に、搬送ハンドの反転動作を、必要に応じて上記と同様の係止部２１ｆ，２２ｆによる位置決めとともに行う。最後に、図１１に示すように、保持ハンド部２１上から保持ハンド部２２を回動させて搬送ハンドを開いた状態にさせ、保持ハンド部２１上のワークＷＢを上記の第１位置へと渡す。
【００６４】
上記方法では、ワークＷＡ，ＷＢをそれぞれ反転させた姿勢で受け渡すことが可能になるとともに、一つのワークＷＡを保持した状態で或る場所から別のワークＷＢを受け取り、同じ場所へワークＷＡを渡すことが可能になるため、或る場所に配置されたワークを別のワークに交換する作業を高速に行うことが可能になる。例えば、或る処理装置の処理位置から処理済みのワークを除材し、未処理のワークを同じ処理位置へ供給するといったことをきわめて迅速に行うことができる。
【００６５】
上記のように、本実施形態では、一対の保持ハンド部２１，２２を個別に（独立に）ワークを支持するために用いることが可能になるため、簡単な構造にも拘わらず、ダブルハンドロボットに近いワークの取り扱い能力或いは搬送能力を付与することが可能になる。例えば、ワークの両面に所定の処理を順次施す必要がある場合に、上記のようなワークの取り扱い方法によりワークの表裏を反転させて迅速に供給することができる。また、真空槽の内部において上記のようにワークを反転供給したり、ワークを受け渡したりすることができるので、処理の効率化に大きく寄与し得る。
【００６６】
本実施形態では、一対の保持ハンド部２１，２２が開閉可能に構成されていることによって、一対の保持ハンド部２１，２２を個別にワークの受け渡しに用いることができる。また、ワークを導入する際にワークの導入方向に制限がなくなるため、より自由度の高い受け渡し方法を実現でき、受け渡し元や受け渡し先におけるワークの配置方法などにも柔軟に対応できる。
【００６７】
例えば、マガジンやパレット等のワーク格納部に複数のワーク（ウエハや基板）が配列されている場合、ワーク格納部内においてワークを取り出すためのスペースが十分に存在しない場合が多い。例えば、ワーク格納部において上下方向に複数のワークが僅かな隙間で配列されている場合には、ワーク間に保持部を挿入して僅かに上昇させてワークを保持部上に支持させ、この状態でそのままワーク格納部からワークを引き出すように取り出す方法が一般的である。この場合には、本実施形態のように一対の保持ハンド部２１，２２のうちの一方の保持ハンド部のみをワーク格納部に挿入してワークを取り出すことが可能になるので、ワーク格納部において十分なスペースが存在しない場合でも対応可能となる。
【００６８】
この実施形態においても、第１実施形態と同様に、一対の保持ハンド部２１，２２を相互に閉じた状態のまま用いることも可能である。この場合、上述のように一対の保持ハンド部２１と２２とが閉じた状態でそのままワークを出し入れできるように構成されているときには、上記第１実施形態と全く同様の動作や手順でワークの受け渡しが可能である。また、図１２に示すように一対の保持ハンド部２１と２２とが閉じた状態ではワークが出し入れできないときには、ワークの受け渡し時において保持ハンド部２１と２２とを多少でも開いて相互に離反させた状態とすればよい。
【００６９】
さらに、本実施形態では、ワークに係合する係合内面部２１ｄ，２２ｄ，２１ｅ，２２ｅをワークの板面に対して傾斜した傾斜面で構成することにより、ワークの表裏両面に接触しないでもワークの外縁角部に係合して保持することが可能になるため、ワークの表面に損傷を与え難くすることができる。すなわち、本実施形態では、ワークの外縁が傾斜面に接触することにより係合保持されるので、ワークと搬送ハンドとが線接触若しくは点接触となり、ワーク外縁の角部のみが搬送ハンドに接触するようになる。したがって、ワークの表裏両面に実質的に触れることなく搬送を行うことが可能になる。
【００７０】
尚、本発明の板状部材の搬送方法及び搬送装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【００７１】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明によれば、真空吸着機構や静電チャックなどの吸着手段を設けなくても、板状部材の表裏を反転させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る搬送方法及び搬送装置の第１実施形態における一段階を示す概略斜視図である。
【図２】  第１実施形態における一段階を示す概略斜視図である。
【図３】  第１実施形態における一段階を示す概略斜視図である。
【図４】  第１実施形態の搬送装置における搬送ハンドの断面図である。
【図５】  本発明に係る搬送方法及び搬送装置の第２実施形態における一段階を示す概略斜視図である。
【図６】  第２実施形態における一段階を示す概略斜視図である。
【図７】  第２実施形態における一段階を示す概略斜視図である。
【図８】  第２実施形態における一段階を示す概略斜視図である。
【図９】  第２実施形態における一段階を示す概略斜視図である。
【図１０】  第２実施形態における一段階を示す概略斜視図である。
【図１１】  第２実施形態における一段階を示す概略斜視図である。
【図１２】  第２実施形態の搬送装置における搬送ハンドの断面図である。
【符号の説明】
１０，２０・・・搬送装置
１１，１２，２１，２２・・・保持ハンド部
１１ａ，１２ａ，２１ａ，２２ａ・・・基部
１１ｂ，１２ｂ，２１ｂ，２２ｂ・・・保持アーム
１１ｃ，１２ｃ，２１ｃ，２２ｃ・・・内面
１１ｄ，１２ｄ，２１ｄ，２２ｄ，１１ｅ，１２ｅ，２１ｅ，２２ｅ・・・係合内面部
１１ｆ，１２ｆ，２１ｆ，２２ｆ・・・係止部
１３，２３，２４・・・回動手段
１５，２５・・・第１アーム
１６，２６・・・第２アーム
１７，２７・・・基台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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