(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光分岐回路と光結合回路と、これらを接続する干渉アームでマッハツェンダ干渉系を構成した光合分波器において、干渉アームを光ファイバで構成するとともに、少なくとも１本の光ファイバの一部が加熱延伸されて、光合分波の波長間隔が調整されてなることを特徴とする光合分波器。
【請求項２】
請求項１記載の光合分波器であって、光分岐回路または光結合回路が光ファイバカプラで構成されていることを特徴とする光合分波器。
【請求項３】
請求項２記載の光合分波器であって、干渉アームが光ファイバカプラを構成する光ファイバの一部であることを特徴とする光合分波器。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の光合分波器であって、光合分波の波長間隔が０．８０±０．０１ｎｍの範囲であることを特徴とする光合分波器。
【請求項５】
光分岐回路と、光結合回路と、これらを接続する干渉アームでマッハツェンダ干渉系を構成した光合分波器を製造する方法において、前記干渉アームを構成する光ファイバのうち、少なくとも１本の光ファイバの一部分を加熱延伸することによって、光合分波の波長間隔を調整することを特徴とする光合分波器の製造方法。
【請求項６】
請求項５記載の製造方法であって、干渉アームを構成する光ファイバのうち、少なくとも１本の光ファイバの一部分を、その長手方向に移動することによって引張力を付与しながら加熱、延伸することを特徴とする光合分波器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、波長多重光通信において光の合波、分波に用いられる光合分波器である。
【０００２】
【従来の技術】
光通信技術の発展に伴い、現在、広帯域大容量通信を目的とした波長多重光通信の技術開発が活発に進められている。異なる波長の光を１本の光ファイバで伝送するいわゆる波長多重光通信では、異なる波長の光を合波、分波する光合分波器が非常に重要な光部品である。
【０００３】
光合分波器は、図７に示すような光分岐回路５０と光結合回路５１と干渉アーム５２でアンバランスなマッハツェンダ型干渉系を構成して作成することができる。ここで、破線は分岐された２つの分岐光５３と分岐光５４の光路が異なるようすを示している。
光分岐回路５０において分岐された２つの光は光結合回路５１で結合されて出力されるが、このとき、分岐光５３と分岐光５４は結合回路５１で干渉する。分岐光５３と分岐光５４の干渉状態は、分岐光５３と分岐光５４の位相関係に応じて異なり、その位相関係は干渉アーム５２で決定されるので、干渉アーム５２で生じる位相関係に波長依存性があれば、結合回路５１から出力される干渉光は波長依存性をもったものとなる。
干渉アーム５２の長さの差をΔＬとすると、位相差ΔβはΔβ＝ΔＬ／λで表せる。すなわち、アンバランスなマッハツェンダ型干渉系を構成する干渉アーム５２は波長依存性を持ち、この回路は光合分波器として機能させることができる。
【０００４】
光ファイバカプラを用いた光合分波器を例にとり、さらに詳細に説明する。
図８に２つの光ファイバカプラ５５、５６を分岐回路と結合回路とに用い、マッハツェンダ型干渉系を構成した合分波器の構成例を示す。光ファイバカプラ５５、５６は使用波長域で波長依存性が小さい３ｄＢカプラ（等分岐等結合光カプラ）である。この例では光ファイバカプラは、それぞれ接続点５７、５８において融着接続されて補強されている。
この光合分波器は、２つの入力ポート５９、６０と２つの出力ポート６１、６２を有し、２つの光ファイバカプラ５５、５６を接続する２本の光ファイバ部分６３と６４が干渉アームとなっており、その長さが異なっていてアンバランスなマッハツェンダ型干渉系として作用している。
このような光ファイバカプラを用いた光合分波器は、低損失で光ファイバとの整合性が良いため接続損失が小さい利点を有している。
【０００５】
波長λ1とλ2の２つの光が図８に示される光合分波器で分波される原理を簡単に説明する。
入力ポート５９に波長の異なる２つの光λ1とλ2の多重光が入射すると、それぞれの光は光ファイバカプラ５５によって光ファイバ部分６３と６４に等分岐される。分岐された光は光ファイバ部分６３と６４の長さが異なるために、光ファイバカプラ５６における２つの分岐光の位相関係によって、出力ポート６１と出力ポート６２に出力される比率が異なる。
例えば、結合回路である光ファイバカプラ５６において、分岐された２つの光の位相差がλ1ではゼロ（位相差がない）であり、λ2ではπであるように、干渉アーム部である光ファイバ部分６３と６４の長さが調整されているときに、出力ポート６１からはλ1が出力され、出力ポート６２からはλ2が出力されるように構成される。このように構成した光合分波器では、図９に図示するようにλ1およびλ2の光をそれぞれポート６１およびポート６２から分離して取り出すことができ、この回路は光分波器として機能する。
なお、ポート５９にλ1を入射し、ポート６０にλ2をそれぞれ入射すると、ポート６１あるいはポート６２のいずれか一方から波長多重光が出射することになり、この回路は光合波器としても機能する。
【０００６】
このような光合分波器にあっては、２つの出力ポートの損失波長特性の周期の波長精度（前記例ではλ1とλ2）とその間隔（前記例ではλ1とλ2の間隔）の精度が特性上重要である。波長精度は図７における干渉アーム５２を形成する干渉系の長さ調整の精度によって定まる。
この長さ調整は、例えば、図８に示した光ファイバカプラを用いた例で図９に示す波長λ1の位置を任意の位置に調整するためには、干渉アームを構成する光ファイバ６３あるいは６４のいずれかの長さをこの光合分波器を使用する波長程度変化させれば良い。この例では、使用波長１．５５μｍ帯でおよそ１．５５μｍ程度の長さ調整を行えば良い。
【０００７】
図８に示した例では、光ファイバ６３あるいは６４のいずれかに加える張力を変化させることで制御でき、例えば、干渉アームが外径１２５μｍで長さ約１０ｍｍの光ファイバで構成されている場合は、約１４グラムの張力をかけることで、λ1の位置を図９に示したλ1’に移動させることができる。
すなわち、約１４グラムの張力範囲内でλ1の位置を任意に設定できる。１４グラムの張力は、光ファイバの機械的信頼性を劣化させることなく印加できる張力範囲である。
【０００８】
一方、波長間隔の制御は、波長位置の調整よりも大きな長さの変化が必要である。図８に示した例で、現在、波長多重通信で利用されている波長間隔０．８ｎｍの光合分波器を形成するには、干渉アームの長さの差は約１ｍｍ必要である。波長間隔の精度を５％、すなわち、０．０４ｎｍ以内となるように調整するには、５０μｍ程度の精度で光ファイバ６３と６４の長さを調節する必要がある。ものさしによる計尺で図８に示したような回路を５０μｍの精度で形成することは困難であり、その精度はせいぜい０．１ｍｍ程度である。前述した張力印加の手段で長さ調整を行おうとすると、外径１２５μｍで長さ１０ｍｍの光ファイバを仮に５０μｍ長くするために必要な張力は約４５０グラムであり、これは光ファイバを約０．５％引き延ばす力に相当する。この張力は、光ファイバの寿命を著しく劣化させるのに十分な張力である。このため、これまでは波長間隔を精度良く制御した図８に示したような光合分波器はなかった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明が解決しようとする課題は、合分波の波長間隔を高い精度で製造できる光合分波器を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明では光分岐回路と光結合回路と、これらを接続する干渉アームでマッハツェンダ干渉系を構成した光合分波器において、干渉アームを光ファイバで構成するとともに、少なくとも１本の光ファイバの一部を加熱延伸し、光合分波の波長間隔を調整した光合分波器とした。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明の実施の形態は、光分岐回路と光結合回路を光ファイバで結合して、その光ファイバの一部を加熱延伸することによって結合回路での干渉状態を制御するものである。結合される光分岐回路と光結合回路を光ファイバで形成すると、伝送路である光ファイバとの整合性が良く、低損失な光合分波回路を形成できる利点がある。特に、光分岐と光結合の両回路を光ファイバカプラで構成すると、２本の光ファイバで両回路を順次形成して光合分波器を作製することが可能となる。
また、接続された２つの光ファイバカプラの間は光ファイバの干渉アームとなるので、ここに加熱延伸部を設けると非常に効率的に光合分波回路を製造できる。また、干渉アームとなる光ファイバの部分であれば任意の位置に加熱延伸部を設けることができるので、光ファイバカプラの保護ケース内に加熱延伸部を設けると小型になるなどの利点がある。以下、実施例を用いて本発明について詳細に説明する。
【００１２】
（実施例１）
図１は本発明の第１の実施例を示す概略構成図である。
第１の光ファイバ１と第２の光ファイバ２は、それぞれ第１の融着延伸部３と第２の融着延伸部４を有しており、第１の融着延伸部３と第２の融着延伸部４はそれぞれ第１の保護ケース５と第２の保護ケース６に収納されていて、第１の光ファイバカプラ７と第２の光ファイバカプラ８が形成されている。第１の保護ケース５の内部には、第１の融着延伸部３と第２の融着延伸部４の間となる位置に加熱延伸部９が収納されている。
第１の光ファイバカプラ７と第２の光ファイバカプラ８は、それぞれ第１の保護ケース５と第２の保護ケース６に固定手段を用いて適宜固定されていて、第１の融着延伸部３と第２の融着延伸部４および加熱延伸部９に外力などによる影響が及ばないようになっている。
【００１３】
この第１の実施例の光合分波器の製造方法は、２本の光ファイバの長手方向の２箇所に融着延伸法によって光ファイバカプラを形成して、光学特性を計測しながら、いずれか一方の光ファイバの一部を加熱延伸することで、干渉アームを調整して光合分波器とするものである。このとき、加熱延伸する光ファイバの一部は、光ファイバカプラを収納した保護ケース内部となるようにする。２つの光ファイバカプラをひとつの保護ケースに一括収納するとなお好ましい。
【００１４】
この実施例１の光合分波器では、２本の光ファイバから光結合回路と光分岐回路と加熱延伸部を有する干渉アームを作製するので、効率よく光合分波器を製造することができ、また、加熱延伸によって損失波長特性の周期を精密に制御でき、加熱延伸部を光ファイバカプラの保護ケース内に収納するので小型で高性能な光合分波器を提供できる。
【００１５】
（実施例２）
図２は本発明の第２の実施例を示す概略構成図である。
実施例１と同一の構成部材には実施例１と同一の符号を付し説明を省略する。この第２の実施例の光合分波器が第１の実施例と異なる点は、第１の融着延伸部３と第２の融着延伸部４の間に位置する第１の光ファイバ１の一部に加熱延伸部２５が形成されており、加熱延伸部２５は第３の保護ケース２６に収納されている点である。
第１の光ファイバ１は、第３の保護ケース２６に適宜固定手段を用いて固定されており、外力などが加熱延伸部２５に及ばないようになっている。この実施例では加熱延伸部２５は第１の光ファイバ１に形成されているが、第１の光ファイバ１と第２の光ファイバ２いずれか一方でも、両方にあっても良い。
【００１６】
この実施例２の光合分波器の製造方法は、２本の光ファイバの長手方向の２箇所に融着延伸法によって第１の光ファイバカプラと第２の光ファイバカプラを形成してあらかじめ光合分波回器を製造して、その後に、光学特性を計測しながら、光合分波器の光学特性の調整をおこなうものである。
【００１７】
本実施例２の光合分波器では、干渉アーム部が光ファイバとなっているので、加熱延伸によって波長特性を精密に制御できる。第１の光ファイバカプラ７と第２の光ファイバカプラ８の製造工程と波長周期特性の調整を分離して行えるため、例えば、第１の光ファイバカプラ７と第２の光ファイバカプラ８を作製した中間製品を保管管理しておけば、顧客の特性要求に応じて波長特性を調整するだけで製品を完成することができるので、納期を短縮できるという利点がある。
【００１８】
（実施例３）
図３は本発明の第３の実施例を示す概略構成図である。
第１の光ファイバカプラ３３と第２の光ファイバカプラ３４とは、加熱延伸部３８を有する光ファイバ４０を介して第１の融着接続部３６と第２の融着接続部３７で融着接続されて補強されており、第３の融着接続部３５で接続されて補強されている。
加熱延伸部３８は保護ケース３９に収納されいて、外力などが加熱延伸部３８に及ばないように適宜固定手段によって固定されている。なお、第１の光ファイバカプラと第２の光ファイバカプラは複数の光ファイバを挿入して接続しても良い。
【００１９】
本実施例３の光合分波器の製造方法は、第１の光ファイバカプラ３３と第２の光ファイバカプラ３４を準備して、加熱延伸部３８が設けられる光ファイバ４０を介して第１の光ファイバカプラ３３と第２の光ファイバカプラ３４を第１の融着接続部３６と第２の融着接続部３７と第３の融着接続部３８で融着接続補強して光合分波器を形成した後に、挿入した光ファイバ４０の一部を加熱延伸して光合分波器の特性調整を行うものである。
【００２０】
本実施例３の光合分波器では、あらかじめ準備された光ファイバカプラを用いて光合分波器を製造できるので、多数の光ファイバカプラを保管管理して、組み合わせて利用することで製品とすることができる。この光ファイバカプラ単体はそれ自体が製品でもあるので、結果として光合分波器のコストを低減できるという利点がある。
【００２１】
以下、本発明の光分波器の製造例を示す。
（製造例１）
図４は、実施例１に示した光合分波器の製造方法を示す説明図である。
波長１．３μｍにおいて零分散特性を有するファイバ外径１２５μｍ、被覆外径２５０μｍの紫外線硬化樹脂被覆シングルモード光ファイバで、その長手方向での２箇所において間隔約４１．５ｍｍで第１の被覆除去部１１と第２の被覆除去部１２を設けた第１の光ファイバ１０と、被覆除去間隔４０．０ｍｍで第１の被覆除去部１４と第２の被覆除去部１５を設けた第２の光ファイバ１３とを準備した。
ついで、第１の光ファイバの第１の被覆除去部１１と第２の光ファイバの第１の被覆除去部１４が平行するように配置し、さらに、第１の光ファイバの第２の被覆除去部１２と第２の光ファイバの第２の被覆除去部１５が平行するように配置した。このとき、第１の光ファイバ１１と第２の光ファイバ１３は、第１の被覆除去部と第２の被覆除去部をはさむように配置された第１のクランプ１６と第２のクランプ１７で固定し、第１の被覆除去部と第２の被覆除去部の間に配置された第３のクランプ１８と第４のクランプ１９で、第１の光ファイバ１４と第２の光ファイバ１５をそれぞれ固定した。
図示してはいないが、第１の光ファイバ１０は被覆除去間隔が第２の光ファイバ１１の被覆除去間隔より約１．５ｍｍ長いので、曲率半径が約２０ｍｍとなるようにたるませて配置した。このようにして、第１の光ファイバ１０と第２の光ファイバ１１によって第１の被覆除去部合わせ部位２０と第２の被覆除去部合わせ部位２１が得られた。
【００２２】
次に、第１の被覆除去部合わせ部位２０の第１の光ファイバのクラッド部と第２の光ファイバのクラッド部を互いに接触させて、図示していないガスバーナーを用いて融着延伸することによって光等分岐回路となる光ファイバカプラを形成した（融着延伸法）。
このとき、第１の光ファイバ１０には波長１．５５μｍ付近で広帯域に発光する図示されていないＳＬＤ光源から発せられた光を入射し、第１の光ファイバ１０の他端と第２の光ファイバ１１から出射する光のスペクトルを図示していない光スペクトラムアナライザで観察して、波長１．５５μｍの分岐特性が約３ｄＢ（等分岐）となったところで融着延伸を終了し、第１の被覆除去部合わせ部位２０に３ｄＢ分岐機能を有する第１の融着延伸部２２を作製した。
融着延伸時のクランプの動きは、第３のクランプ１８と第４のクランプ１９が固定されて、第１のクランプ１６を第１の光ファイバ１０と第２の光ファイバ１３を延伸するように、光ファイバ長手方向に移動させた。
【００２３】
次に、第２の被覆除去部合わせ部位２１の第１の光ファイバクラッドと第２の光ファイバクラッドを互いに接触させて、ガスバーナーを用いて融着延伸した。融着延伸時のクランプの動きは、第３のクランプ１８と第４のクランプ１９が固定されて、第２のクランプ１７を第１の光ファイバ１０と第２の光ファイバ１３を延伸するように、光ファイバ長手方向に移動させた。
この時、第１の光ファイバ１０から出射する光のスペクトラムを観察し、干渉による光スペクトラムの波長依存の周期を測定しながら融着延伸を進め、損失波長特性の周期（光合分波器での波長間隔値の２倍）が、１．２５ｎｍとなった時点で融着延伸を終了し、第２の被覆除去部合わせ部位２１に第２の融着延伸部２３を作製した。
【００２４】
次に第１の融着延伸部２２から第２の融着延伸部２３の方向へ数ｍｍ離れた第１の光ファイバ１０の第１の被覆除去部１４の一部２４を、図示していないガスバーナーを用いて加熱しながら、干渉アーム部分を支える第３のクランプ１８を第４のクランプ１９から離れる方向へ移動させて加熱延伸を行った。
第１の光ファイバ１０からの出射光のスペクトルを光スペクトラムアナライザで観察しながら加熱延伸を進めたところ、損失波長特性の周期は短くなり、損失波長特性の周期が０．８０±０．０１ｎｍの範囲に入るように調整したところで加熱延伸を終了した。
【００２５】
最後に、第１の被覆除去合わせ部位２０と第２の被覆除去合わせ部位２１をそれぞれ図示しない保護ケースに収納して、第１の光ファイバ１０と第２の光ファイバ１３を紫外線硬化樹脂を用いて保護ケースに固定し、光合分波器を作製した。第１の被覆除去部合わせ部位２０と第２の被覆除去部合わせ部位２１の全体をさらに保護ケース等に収納したり、第１の被覆除去部合わせ部位２０と第２の被覆除去部合わせ部位をひとつの保護ケースに直接収納すると好ましい。
【００２６】
この製造例１では、２本の光ファイバから光結合回路と光分岐回路と加熱延伸部を有する干渉アームを作製したので、効率よく光合分波器を製造することができ、また、加熱延伸によって損失波長特性の周期を精密に制御でき、加熱延伸部を光ファイバカプラの保護ケース内に収納したので小型で高性能な光合分波器を提供できる。
【００２７】
なお、ここでは熱源としてガスバーナーを用いたが、干渉アームのどちらか一方を選択的に加熱するために小さな熱源であることが望ましい。例えば、小型のガストーチによる火炎、アーク放電、ＹＡＧや炭酸ガスなどのレーザーなどは数１００μｍから数ｍｍの狭い範囲での加熱が可能であるので適している。これらの熱源を用いて干渉アームの一部を加熱延伸し、光ファイバに張力を加えて長さを調節するが、干渉アームのいずれか一方あるいは両方を加熱延伸するのかは必要に応じて適宜選択されるべきである。加熱延伸によって光ファイバのコアおよびクラッド外径が変化するので、延伸の程度によっては損失の増加が問題になるので留意する必要がある。
本発明では、例えば２ｍｍの領域について加熱延伸し５００μｍの加熱延伸を行った場合では、コアおよびクラッドの直径は約１０％小さくなるが、加熱延伸による外径変化が緩やかであれば損失増加を招くことはない。
【００２８】
（製造例２）
図５は実施例２に示した光合分波器の製造方法を示す説明図である。製造例１と同じ手順で作製した部分は、図４と同一符号を用いてその説明を省略した。まず、製造例１の製造方法と同じ手順で、光合分波器の損失波長特性の周期（光合分波器での波長間隔値の２倍）が、１．２５ｎｍとなるように、第１の融着延伸部２２と第２の融着延伸部２４を順次作製し、第１の被覆除去部２０と第２の被覆除去部２１の部分を紫外線硬化樹脂を用いてそれぞれを第１の保護ケース２８と第２の保護ケース２９に収納し、外力などが融着延伸部に影響を及ぼさないように固定した。実施例１と異なり、第１の被覆除去部２０には、加熱延伸部２４を形成していない。
【００２９】
次に、第１の保護ケース２８と第２の保護ケース２９の間で、第１の光ファイバ１０の一部の被覆を除去して被覆除去部２７とし、被覆除去部２７の両側を第１のクランプ３０と第２のクランプ３１で固定した。その他の部分は、光ファイバへの過度の応力や、製造中の光学特性に影響がないように適宜固定するなど留意が必要である。
被覆除去部２７の一部を図示していないガスバーナーを用いて加熱しながら第１のクランプ３０と第２のクランプ３１の間隔が広がるように移動して加熱延伸して、損失波長特性の周期が０．８０±０．０１ｎｍの範囲にはいるように調整したところで加熱延伸を終了し、加熱延伸部３２を作製した。最後に、被覆除去部２７を図２に示す第３の保護ケース２６に収納して、紫外線硬化樹脂で固定して光合分波器を作製した。
【００３０】
（製造例３）
図６は、実施例３に示した光合分波器の製造方法を示す説明図である。
この製造例３の製造方法は、まず、波長１．３μｍにおいて零分散特性を有する光ファイバ外径１２５μｍ、被覆外径２５０μｍの紫外線硬化樹脂被覆シングルモード光ファイバで、中央付近に２．５ｍｍの被覆除去部４１を有する光ファイバ４２の被覆除去部分の両側を第１のクランプ４３と第２のクランプ４４で固定した。次に、光ファイバ４２と同じ光学特性と構造を有する光ファイバであらかじめ融着延伸法で作製された第１の光ファイバカプラ４５と第２の光ファイバカプラ４６を第１の光ファイバカプラ４５で分岐された光のひとつが光ファイバ４２に導光されて第２の光ファイバカプラ４６に入射するように融着接続し、補強して第１の接続補強部４８と第２の接続補強部４９とした。
次に、第１の光ファイバカプラ４５の残る分岐光を第２光ファイバカプラ４６に入射するように接続し、補強して第３の接続補強部４７とした。このとき、光ファイバ４２の長さは、第１の光ファイバカプラ４５で分岐された２つの分岐光の第２の光ファイバカプラ４６までの光路差が約１．５ｍｍとなるようにした。この状態で第１の光ファイバカプラ４５に図示していないＳＬＤ光源から出射された光を入射し、第２の光ファイバカプラ４６の出射光を図示していない光スペクトラムアナライザをもちいて損失波長特性の周期を測定したところ、約１．３４ｎｍの損失波長特性の周期が得られた。
次に、被覆除去部４１の一部を図示しないガスバーナーで加熱し、第１のクランプ４３と第２のクランプ４４の距離が離れるように移動して光ファイバ４２を加熱延伸した。損失波長特性の周期を測定しながら延伸を進め、損失波長特性の周期がが０．８０±０．０１ｎｍとなったところで延伸を終了して、光合分波器を作製した。
なお、この製造例では、加熱延伸部が設けられる光ファイバを一つとしたが、第１の光ファイバカプラからの分岐光をそれぞれ別の光ファイバを介して第２の光ファイバカプラに入射しても良い。
【００３１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では光分岐回路と光結合回路を接続する干渉アームを光ファイバで構成し、その光ファイバの一部を加熱延伸して光合分波器を形成するので、加熱延伸によって光合分波器の特性を精密に制御することができる。さらに光分岐回路と光結合回路を光ファイバカプラで構成すると、干渉アーム部が光ファイバとなって、その一部に加熱延伸部を形成でき、制御性良くかつ小型な光合分波器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例１を示す概略構成図である。
【図２】  本発明の実施例２を示す概略構成図である。
【図３】  本発明の実施例３を示す概略光製図である。
【図４】  本発明の実施例１の光合分波器の製造例１の方法を示す説明図である。
【図５】  本発明の実施例２の光合分波器の製造例２の方法を示す説明図である。
【図６】  本発明の実施例３の光合分波器の製造例３の方法を示す説明図である。
【図７】  従来技術のアンバランスなマッハツェンダ干渉系で構成された光合分波器の概略構成図である。
【図８】  従来技術の光ファイバカプラを用いた光合分波器の概略構成図である。
【図９】  従来技術である光ファイバカプラを用いた光合分波器の特性を示す概略図である。
【符号の説明】
１…第１の光ファイバ、２…第２の光ファイバ、３…第１の融着接続部、４…第２の融着接続部、５…第１の保護ケース、６…第２の保護ケース、７…第１の光ファイバカプラ、８…第２の光ファイバカプラ、９…加熱延伸部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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