(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
入出力部と、
テスタ本体部と、
複数のテストステーションを有し、
前記テスタ本体部は、
所望のテストプログラムに対応させてテストフローの分岐を制御するための制御条件を設定するフラグ設定手段と、
試験開始時に、前記テストプログラムの中に前記制御条件を参照するフラグ参照命令が使用されているか否かを確認し、前記フラグ参照命令が使用されている場合に、前記制御条件の有無を確認し、無い場合はアラームを発生して前記テストプログラムの実行を停止し、有る場合は前記制御条件に基づいて前記テストプログラムの分岐を制御するフラグ参照命令実行手段と、
を少なくとも備えることを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
前記テスタ本体部は、
前記テストプログラムを実行する際に当該テストプログラムを記憶する第１記憶手段と、
前記テストプログラムを前記第１記憶手段から削除する際に、対応する前記制御条件も合わせて削除するフラグ削除手段を、
更に備える請求項１記載の半導体試験装置。
【請求項３】
前記テストプログラムの分岐の制御を実行する際に、対応する前記制御条件を表示するフラグ表示手段を更に有する請求項１又は２に記載の半導体試験装置。
【請求項４】
所定の半導体デバイスを試験するためのテストプログラムを半導体試験装置に装填する第１工程と、
前記テストプログラムが当該テストプログラムのテストフローの分岐処理を含むとき、前記半導体デバイスを試験する前記半導体試験装置のテストステーションと前記テストプログラムとに対応させて、前記分岐処理を制御するための制御条件を設定する第２工程と、
前記半導体デバイスの試験を実行する第３工程を少なくとも有し、
該第３工程は、
当該半導体デバイスの試験の実行過程で、前記制御条件を参照するフラグ参照命令を処理する際に、前記制御条件の設定の有無を確認する条件設定確認ステップと、
前記制御条件が設定されていない場合は、アラームを発生して前記テストプログラムの実行を停止するアラーム発生ステップと、
前記制御条件が設定されている場合は、前記制御条件に基づいて前記テストプログラムの分岐を制御する分岐処理ステップと、
を少なくとも含み、
前記第１工程が、予め前記半導体デバイスを試験する前記半導体試験装置のテストステーションを指定する情報を入力し、当該テストステーションと前記テストプログラムとに対応する当該テストプログラムのテストフローの分岐を制御するための制御条件を削除するフラグクリアステップを含むことを特徴とする半導体デバイスの試験方法。
【請求項５】
所定の半導体デバイスを試験するためのテストプログラムを半導体試験装置に装填する第１工程と、
前記テストプログラムが当該テストプログラムのテストフローの分岐処理を含むとき、前記半導体デバイスを試験する前記半導体試験装置のテストステーションと前記テストプログラムとに対応させて、前記分岐処理を制御するための制御条件を設定する第２工程と、
前記半導体デバイスの試験を実行する第３工程を少なくとも有し、該第３工程は、試験開始時に、前記テストプログラムの中に前記制御条件を参照するフラグ参照命令が使用されているか否かを確認する参照命令確認ステップと、
前記フラグ参照命令が使用されている場合に、前記制御条件の設定の有無を確認する条件設定確認ステップと、
前記制御条件が設定されていない場合は、アラームを発生して前記テストプログラムの実行を停止するアラーム発生ステップと、前記制御条件が設定されている場合は、前記テストプログラムの実行を開始するテスト実行ステップ
を少なくとも備え、
前記テスト実行ステップが、前記制御条件に基づいて前記テストプログラムの分岐を制御する分岐処理ステップを含むことを特徴とする半導体デバイスの試験方法。
【請求項６】
前記制御条件に基づいて前記テストプログラムの分岐を制御するときに、並行して当該制御条件をフラグ表示手段に表示する表示処理サブステップを更に含む請求項５に記載の半導体デバイスの試験方法。
【請求項７】
前記半導体試験装置に装填された前記テストプログラムを前記半導体試験装置から削除する際に、当該テストプログラムに対応させて設定された前記制御条件も同時に当該半導体試験装置から削除する第４工程を更に含む請求項５乃至６いずれか１項に記載の半導体デバイスの試験方法。
【請求項８】
前記第１工程が、予め前記半導体デバイスを試験する前記半導体試験装置のテストステーションを指定する情報を入力し、当該テストステーションと前記テストプログラムとに対応する当該テストプログラムのテストフローの分岐を制御するための制御条件を削除するフラグクリアステップを含む請求項５または６に記載の半導体デバイスの試験方法。
【請求項９】
前記制御条件に基づいて前記テストプログラムの分岐を制御するときに、並行して当該制御条件をフラグ表示手段に表示する表示処理サブステップを更に含む請求項４に記載の半導体デバイスの試験方法。
【請求項１０】
前記半導体試験装置に装填された前記テストプログラムを前記半導体試験装置から削除する際に、当該テストプログラムに対応させて設定された前記制御条件も同時に当該半導体試験装置から削除する第４工程を更に含む請求項４または９に記載の半導体デバイスの試験方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体デバイスを試験する半導体試験装置（以下、ＬＳＩテスタとする）及び半導体デバイスの試験方法に関し、特に外部からフラグに設定された制御条件（以下、フラグ情報とする）に基づいてテストフローの分岐制御を行うテストフロー制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
まず、従来のＬＳＩテスタの構成について説明する。図６は従来のＬＳＩテスタ５００の概略構成を示すブロック図である。図６を参照すると、従来のＬＳＩテスタ５００は、入出力部５１０と、テスタ本体部５２０と、各被試験デバイス（以下、ＤＵＴとする）を搭載するテストステーションである第１ステーション５３０及び第２ステーション５４０とから構成され、第１ステーション５３０は制御フラグ設定部５３２を、第２ステーション５４０は制御フラグ設定部５４２をそれぞれ備えている。又、テスタ本体部５２０は、中央演算処理部（以下、ＣＰＵとする）５２１、記憶部（以下、メモリとする）５２２、テスト資源発生部５２４及び分配部５２６を備えている。このように構成された従来のＬＳＩテスタ５００の動作は、概略次のようになる。
【０００３】
先ず、ＣＰＵ５２１は入出力部５１０からテストプログラムをロードしてメモリ部５２２に記憶する。次にＣＰＵ５２１は、第１ステーション５３０又は第２ステーション５４０からオペレータにより入力されたテスト開始指令を受けて、テスト資源発生部５２４でテスト資源を発生する。さらに分配部５２６を介して第１ステーション５３０のＤＵＴ１または第２ステーション５４０のＤＵＴ２にテスト資源を分配供給しながら試験を行う。尚、制御フラグ設定部５３２と制御フラグ設定部５４２は、それぞれ該当するステーションで実行するテストプログラムのフロー制御のための分岐条件であるフラグ情報を設定し、通常トグルスイッチで構成されている。
【０００４】
次に、このＬＳＩテスタ５００による半導体デバイスの試験方法について、フラグ情報に基づくテストフローの分岐処理を中心に説明する。図７は、ＬＳＩテスタ５００による半導体デバイスの試験方法の概略フローチャートであり、図８は図７の第３工程Ｐ１０３の要部（テストフロー分岐部）を中心に示す詳細フローチャートである。以下、図６乃至図８を参照して説明する。
【０００５】
試験開始にあたりオペレータはテストプログラムＰ１をＬＳＩテスタ５００にロードし、ステーション毎に独立した分岐条件であるフラグ情報をそれぞれの制御フラグ設定部５３２，５４２により設定する。図８の例では、トグルスイッチのオン、オフをそれぞれ“１”、“０”に対応させて、“Ｆ１＝１”、“Ｆ２＝０”、“Ｆ３＝１”と設定した例である。更にオペレータは該当する例えば第１ステーション５３０からテスト開始命令を入力する。テストの開始指令を受けたＣＰＵ５２１はテストプログラムＰ１を実行する。ＣＰＵ５２１はテストプログラムＰ１のフラグ参照命令ＦＬＧｎにおいて、第１ステーション５３０の制御フラグ設定部５３２により設定したフラグＦｎの情報を確認して（ステップＳ101n）、Ｆｎの情報に応じた分岐処理を行なう（ステップＳ102n）。図８のフラグ参照命令ＦＬＧ１の例では、Ｆ１＝１と設定してあるのでＣＰＵ５２１は“Ｄｏ１１（Ｙ）”の命令を選択実行し、またフラグ参照命令ＦＬＧ２の例では、Ｆ２＝０となっているのでＣＰＵ５２１は“Ｄｏ１２（Ｎ）”の命令を選択実行する。同様にフラグ参照命令ＦＬＧ３の例では、Ｆ３＝１に設定してあるのでＣＰＵ５２１は“Ｄｏ１３（Ｙ）”の命令を選択実行してテストプログラムを終了する。この様なテストフロー制御方法は、Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３の値を設定することで、オペレータが自由にテスト条件を変更でき、テスト水準毎の評価を行うためには非常に有効である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述した従来技術には、テストプログラムの実行において、誤ったテストフローを実行する可能性があるという問題点があった。以下、具体的に説明する。
【０００７】
先ず、従来のＬＳＩテスタの制御フラグ設定部では、トグルスイッチ等により“１”、“０”のフラグ情報を設定する方法を採っており、設定無しという状態を識別するようになっていないので、設定を怠ると前回の設定情報でテストを実施する場合がある。例えば、技術調査や試験装置の保守などでフラグ情報を設定した後で、別の装置使用者が別のテストプログラムを用いてテストを開始する場合である。すなわち、そのテストプログラムにフラグ情報によるフラグ参照命令が採用されていて、且つ別の装置使用者がフラグ情報の設定を怠ると前使用者が設定したフラグ情報でテストが実施され、結果的に誤ったテストフローで実行したことになる。
【０００８】
また、ステーション毎の制御フラグ設定部が偶発的な変更から保護されないので、誤ったフラグ情報設定でテストを実施する可能性もあった。例えば、制御フラグ設定部のトグルスイッチが人の手や体或いは治工具等に触れて装置使用者が気づかないままフラグ情報の設定が変更され、誤ったテストフローで実行する可能性もあった。
【０００９】
本発明の目的は、ＬＳＩテスタにより半導体デバイスの試験を実施する際に、試験実施ステーションのフラグ情報を設定し、このフラグ情報に基づいてテストフローの分岐制御を行うテストプログラムを用いる場合に、テストフローの分岐制御を任意に且つ正しく実行することができるＬＳＩテスタ及び半導体デバイスの試験方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
そのため、本発明によるＬＳＩテスタは、入出力部と、テスタ本体部と、複数のテストステーションを有し、このテスタ本体部は、
所望のテストプログラムに対応させてテストフローの分岐を制御するための制御条件を設定するフラグ設定手段と、
前記制御条件の有無を確認し、無い場合はアラームを発生して前記テストプログラムの実行を停止し、有る場合は前記制御条件に基づいて前記テストプログラムの分岐を制御するフラグ参照命令実行手段と、を少なくとも備えることを特徴とする。
【００１１】
このとき、前記テスタ本体部は、前記テストプログラムを実行する際に当該テストプログラムを記憶する第１記憶手段と、
前記テストプログラムを前記第１記憶手段から削除する際に、対応する前記制御条件も合わせて削除するフラグ削除手段を、更に備えることが望ましい。
【００１２】
又、前記テストプログラムの分岐の制御を実行する際に、対応する前記制御条件を表示するフラグ表示手段を更に有することもできる。
【００１３】
又、本発明による半導体デバイスの試験方法は、
所定の半導体デバイスを試験するためのテストプログラムをＬＳＩテスタに装填する第１工程と、
前記テストプログラムが当該テストプログラムのテストフローの分岐処理を含むとき、前記半導体デバイスを試験する前記ＬＳＩテスタのテストステーションと前記テストプログラムとに対応させて、前記分岐処理を制御するための制御条件を設定する第２工程と、
前記半導体デバイスの試験を実行する第３工程を少なくとも有し、
該第３工程は、
当該半導体デバイスの試験の実行過程で、前記制御条件を参照するフラグ参照命令を処理する際に、前記制御条件の設定の有無を確認する条件設定確認ステップと、
前記制御条件が設定されていない場合は、アラームを発生して前記テストプログラムの実行を停止するアラーム発生ステップと、
前記制御条件が設定されている場合は、前記制御条件に基づいて前記テストプログラムの分岐を制御する分岐処理ステップと、
を少なくとも含むことを特徴とする。
【００１４】
又、本発明による他の半導体デバイスの試験方法は、
所定の半導体デバイスを試験するためのテストプログラムをＬＳＩテスタに装填する第１工程と、
前記テストプログラムが当該テストプログラムのテストフローの分岐処理を含むとき、前記半導体デバイスを試験する前記ＬＳＩテスタのテストステーションと前記テストプログラムとに対応させて、前記分岐処理を制御するための制御条件を設定する第２工程と、
前記半導体デバイスの試験を実行する第３工程を少なくとも有し、
該第３工程は、
試験開始時に、前記テストプログラムの中に前記制御条件を参照するフラグ参照命令が使用されているか否かを確認する参照命令確認ステップと、
前記フラグ参照命令が使用されている場合に、前記制御条件の設定の有無を確認する条件設定確認ステップと、
前記制御条件が設定されていない場合は、アラームを発生して前記テストプログラムの実行を停止するアラーム発生ステップと、
前記制御条件が設定されている場合は、前記テストプログラムの実行を開始するテスト実行ステップを少なくとも備え、
前記テスト実行ステップが、前記制御条件に基づいて前記テストプログラムの分岐を制御する分岐処理ステップを含むことを特徴とする。
【００１５】
このとき、前記制御条件に基づいて前記テストプログラムの分岐を制御するときに、並行して当該制御条件をフラグ表示手段に表示する表示処理サブステップを更に含むことができる。
【００１６】
又、前記ＬＳＩテスタに装填された前記テストプログラムを前記ＬＳＩテスタから削除する際に、当該テストプログラムに対応させて設定された前記制御条件も同時に当該ＬＳＩテスタから削除する第４工程を更に含むことが好ましい。
【００１７】
又、前記第１工程が、予め前記半導体デバイスを試験する前記ＬＳＩテスタのテストステーションを指定する情報を入力し、当該テストステーションと前記テストプログラムとに対応する当該テストプログラムのテストフローの分岐を制御するための制御条件を削除するフラグクリアステップを含むようにすることもできる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
次に、本発明について図面を参照して説明する。
図１は、本発明のＬＳＩテスタの一実施形態の概略ブロック図である。図１を参照すると、本実施形態のＬＳＩテスタ１は、入出力部１０と、テスタ本体部２０と、ＤＵＴを搭載するテストステーションである第１テストステーション３０及び第２テストステーション４０とを有し、更にテスタ本体部２０は、ＣＰＵ２１と、テストプログラムを実行する際に当該テストプログラムを記憶する第１記憶手段であるメモリ部２２と、テスト資源発生部２４と、分配部２６と、所望のテストプログラムに対応させて所定のフラグにテストフローの分岐を制御するための制御条件であるフラグ情報を設定するフラグ設定手段２１１と、フラグ情報の有無を確認し、無い場合はアラームを発生してテストプログラムの実行を停止し、有る場合は設定されたフラグ情報に基づいてテストプログラムの分岐を制御するフラグ参照命令実行手段２１３と、テストプログラムの分岐の制御を実行する際に対応するフラグの設定情報を表示するフラグ表示手段２１５と、テストプログラムをメモリ部２２から削除する際に対応するフラグ情報も合わせて削除するフラグ削除手段２１７と、を備えている。
【００１９】
このように構成された本実施形態のＬＳＩテスタ１の動作は概略次のようになる。先ず、ＣＰＵ２１は入出力部１０からテストプログラムをロードしてメモリ部２２に記憶する。次にＣＰＵ２１は、第１ステーション３０又は第２ステーション４０から図示しないテスト開始指令を受けて、テスト資源発生部２４でテストプログラムの各命令に応じた電圧の電源や、所定のタイミング、電圧レベルの入力信号等のテスト資源を発生する。さらに分配部２６を介して第１ステーション３０のＤＵＴ１または第２ステーション４０のＤＵＴ２にテスト資源を分配供給しながら試験を行う。尚、フラグ設定手段２１１、フラグ参照命令実行手段２１３、フラグ表示手段２１５及びフラグ削除手段２１７は、例えばＣＰＵ２１、メモリ部２２、及び入出力部１０の構成に含まれる制御プログラムとして実現することができる。
【００２０】
具体的には、フラグ設定手段２１１は、オペレータが意図的に設定するものであり、テストプログラムをロードした後に、試験を実施するステーションと当該テストプログラムとを対応させて、当該テストプログラムのテストフローにおける分岐条件となるフラグ情報を設定する手段である。すなわち、オペレータが入出力部１０を介してＣＰＵ２１によるプログラム制御で該当の分岐条件であるフラグ情報を設定しメモリ部２２に記憶する。なお、オペレータが意図的に設定しなければ、該当するフラグは生成記憶されない。また、テストプログラムを削除すると生成されたフラグ情報も削除される。
【００２１】
フラグ参照命令実行手段２１３は、オペレータがテストを開始してＣＰＵ２１がフラグ参照命令を実行すると、該当するフラグ情報を読み出し、フラグ情報に応じた分岐を行なう。尚、ＣＰＵ２１がフラグ参照命令を実行して、該当するフラグ情報を読み出すことができなければ（フラグ情報が未指定で生成記憶されていなければ）、アラームを発生して実行を停止する。
【００２２】
或いは、フラグ参照命令実行手段２１３は、オペレータがテスト開始命令を入力すると、先ず各テストプログラムがフラグ参照命令を使用しているか判定すると共にフラグ参照命令を使用していれば対応するステーションのフラグ情報が設定されているか判定する。そして、フラグ参照命令を使用していて且つフラグ情報の設定がされていない場合は、アラームを出力してテストプログラムの実行を停止し、フラグが設定されていれば、テストプログラムを実行し、各フラグ参照命令で該当するフラグ情報を確認し、フラグ情報に応じたテストプログラムの分岐制御を行うようにしてもよい。
【００２３】
フラグ表示手段２１５は、オペレータがテストを開始してＣＰＵ２１がフラグ参照命令を実行する際に、該当するフラグ情報を表示する。尚、特別に指定すれば、表示を禁止することができるようにしてもよい。
【００２４】
フラグ削除手段２１７は、例えば試験終了後等にテストプログラムをメモリ部２２から削除する際、対応するフラグ情報も併せて削除する。
【００２５】
本実施形態のＬＳＩテスタ１においては、先ずテストプログラムをロードした後、試験を実施するステーションと当該テストプログラムとを対応させてフラグ情報を設定する。この後で当該テストプログラムによる試験を開始すると、ＬＳＩテスタ１は分岐処理を制御するフラグ情報を取得するフラグ参照命令において、対応するフラグに設定された情報を取得してフラグ情報を表示しながら分岐処理を制御する。尚、フラグ参照命令においてフラグの情報が“未指定”である場合は、アラームを出力してテストプログラムの実行を中断する。このようにして、当該テストプログラムのテストフローを任意に且つ正しく実行することを可能にする。
【００２６】
次に、本発明の半導体デバイスの試験方法の第１の実施形態についてテストフロー制御方法を中心に説明する。本実施形態の半導体デバイスの試験方法は、ＬＳＩテスタ１で試験するのに好適な方法となっている。図２は、ＬＳＩテスタ１を用いた本実施形態の半導体デバイスの試験方法を示すフローチャート、図３は図２の第３工程の詳細を示すフローチャート、図４は図３のフラグ参照処理ステップＳ１ｋ（但し、ｋは１≦ｋ≦３の整数）の処理内容を模式的に示すフローチャートである。
【００２７】
図２乃至図４を参照すると、本実施形態の半導体デバイスの試験方法は、所望の半導体デバイスを試験するためのテストプログラムをＬＳＩテスタ１に装填する第１工程Ｐ１と、
テストプログラムが当該テストプログラムのテストフローの分岐処理を含むとき、半導体デバイスを試験するＬＳＩテスタ１のテストステーションとテストプログラムとに対応させて、この分岐処理を制御するための制御条件であるフラグ情報を設定する第２工程Ｐ２と、
半導体デバイスの試験を実行する第３工程Ｐ３と、
ＬＳＩテスタ１に装填されたテストプログラムをＬＳＩテスタ１から削除する際に、当該テストプログラムに対応させて設定されたフラグ情報も同時に当該ＬＳＩテスタから削除する第４工程と、を少なくとも有し、
第３工程Ｐ３は、
当該半導体デバイスの試験の実行過程で、フラグ情報Ｆｎを参照するフラグ参照命令ＦＬＧｎが有る場合に、フラグ参照命令実行手段２１３によりフラグ参照命令を処理するフラグ参照処理ステップＳ１ｎと、フラグ情報Ｆｎに基づいてテストプログラムの分岐を制御する分岐処理ステップＳ２ｎと、を少なくとも備え、更に、フラグ参照処理ステップＳ１ｎは、
フラグ情報Ｆｎの設定の有無を確認する条件設定確認サブステップＳ11ｎと、
フラグ情報Ｆｎが設定されている場合は、フラグ情報Ｆｎを取得する情報取得サブステップＳ12ｎと、
フラグ情報Ｆｎが設定されていない場合は、アラームを発生してテストプログラムの実行を停止するアラーム発生サブステップＳ13ｎと、
取得したフラグ情報Ｆｎをフラグ表示手段２１５に表示する情報表示サブステップＳ14ｎと、を含んでいる。
【００２８】
以下、被試験半導体デバイスＤＵＴ１をテストプログラムＰ１によりＬＳＩテスタ１の第１ステーション３０で試験する場合を例として、図１乃至図４を参照して、より具体的に説明する。
【００２９】
先ず、試験開始にあたりオペレータはテストプログラムＰ１をＬＳＩテスタ１にロードしてメモリ部２２に記憶させ（第１工程Ｐ１）、フラグ設定手段２１１により第１ステーション３０とテストプログラムＰ１に対応するフラグ情報を設定し、メモリ部２２に記憶させる（第２工程Ｐ２）。ここでは、フラグ情報は“Ｆ１＝１”、“Ｆ２＝０”、“Ｆ３＝１”に設定されたものとする。次に、オペレータは第１ステーション３０からテスト開始命令を入力する。テストの開始指令を受けたＣＰＵ２１は、テストプログラムＰ１に基づいて、順次命令処理を施していく。フラグ参照命令ＦＬＧ１については、フラグ参照命令実行手段２１３により、フラグ参照処理ステップＳ１１を行う。詳細には、先ず条件設定確認サブステップＳ11１で、第１ステーション３０とテストプログラムＰ１に対応する該当フラグＦ１の設定の有無を確認し、次に情報取得サブステップＳ12１で、フラグＦ１は設定されているのでフラグ情報Ｆ１＝１を取得し、情報表示サブステップＳ14１で、フラグ情報Ｆ１＝１をフラグ表示手段２１５に表示する。
【００３０】
次に、分岐処理ステップＳ２１でフラグ情報Ｆ１に基づいてテストプログラムの分岐を処理する。図３の例では、Ｆ１＝１に設定されているので、ＣＰＵ２１は“Ｄｏ１１（Ｙ）”の命令を選択実行する。
【００３１】
同様にして、フラグ参照命令ＦＬＧ２では、Ｆ２＝０に設定されているのでＣＰＵ２１は“Ｄｏ１２（Ｎ）”の命令を選択実行し、フラグ参照命令ＦＬＧ３では、Ｆ３＝１に設定されているので、ＣＰＵ２１は“Ｄｏ１３（Ｙ）”の命令を選択実行してテストプログラムを終了する。
【００３２】
尚、フラグ参照命令ＦＬＧｋ（但し、ｋは１≦ｋ≦３の整数）において、ＣＰＵ２１が該当するフラグ情報Ｆｋの設定無しを検出すれば、その時点でアラーム発生サブステップＳ13ｋを実施し、アラームを発生してテストプログラムの実行を停止する。アラームを発生して実行を停止する。
【００３３】
第３工程Ｐ３を終了すると、次に第４工程Ｐ４で、ＬＳＩテスタ１のメモリ部２２に記憶したテストプログラムＰ１をメモリ部２２から削除すると共に、第１ステーション３０とテストプログラムＰ１とに対応させて設定したフラグ情報Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３も同時にメモリ部２２から削除する。
【００３４】
以上説明したとおり、ＬＳＩテスタ１を用いた本実施形態の半導体デバイスの試験方法では、オペレータが入出力部１０を介して、使用するステーションと、テストプログラムとに対応したフラグ情報を意図的に設定しなければ、該当するフラグ情報が生成記憶されず、又テストプログラムを削除すると当該テストプログラムに対応して生成されたフラグ情報も削除されるので、テストフローの分岐を制御するフラグ情報が偶発的に変更されることによる誤ったテストフローの実行を回避することができる。
【００３５】
又、使用するステーションとテストプログラムに対応させてフラグ情報を設定して分岐処理を制御すると共に、フラグ参照命令を実行して該当するフラグ情報を読み出すことができなければ、即ち分岐処理を制御するフラグ情報が未指定で生成記憶されていなければ、アラームを発生してテストプログラムの実行を停止するようにしているので、フラグ情報の設定漏れによる誤ったテストフローの実行を回避することができる。
【００３６】
次に、本発明の半導体デバイスの試験方法の第２の実施形態についてテストフロー制御方法を中心に説明する。本実施形態の半導体デバイスの試験方法も、ＬＳＩテスタ１を用いて実施するのに好適な方法となっている。図５は、ＬＳＩテスタ１を用いた本実施形態の半導体デバイスの試験方法を示すフローチャートである。
【００３７】
図５を参照すると、本実施形態の半導体デバイスの試験方法は、所望の半導体デバイスを試験するためのテストプログラムをＬＳＩテスタ１に装填する第１工程Ｐ１と、
テストプログラムが当該テストプログラムのテストフローの分岐処理を含むとき、半導体デバイスを試験するＬＳＩテスタ１のテストステーションとテストプログラムとに対応させて、この分岐処理を制御するためのフラグ情報を設定する第２工程Ｐ２と、
半導体デバイスの試験を実行する第３工程Ｐ３Ａと、
ＬＳＩテスタ１に装填されたテストプログラムをＬＳＩテスタ１から削除する際に、当該テストプログラムに対応させて設定されたフラグ情報も同時に当該ＬＳＩテスタから削除する第４工程と、を少なくとも有し、
第３工程Ｐ３Ａは、
試験開始時に、テストプログラムの中にフラグ情報を参照するフラグ参照命令が使用されているか否かを確認する参照命令確認ステップＳ１と、
フラグ参照命令が使用されている場合に、フラグ情報の設定の有無を確認する条件設定確認ステップＳ２と、
フラグ情報が設定されている場合は、テストプログラムの実行を開始するテスト実行ステップＳ３と、
フラグ情報が設定されていない場合は、アラームを発生してテストプログラムの実行を停止するアラーム発生ステップＳ４とを少なくとも備え、
テスト実行ステップＳ３は、フラグ情報に基づいてテストプログラムの分岐を制御する分岐処理ステップを含み構成されている。
【００３８】
本実施形態の半導体デバイスの試験方法は、第１工程Ｐ１第２工程Ｐ２及び第４工程Ｐ４は第１の実施形態のそれらと同様であるが、第３工程Ｐ３Ａの構成が第１の実施形態の第３工程Ｐ３の構成と異なっている。以下、第３工程Ｐ３Ａについて、第１の実施形態の場合と同様に、被試験半導体デバイスＤＵＴ１をテストプログラムＰ１によりＬＳＩテスタ１の第１ステーション３０で試験する場合を例として、図１、図３、図５を参照して、より具体的に説明する。
【００３９】
オペレータが該当するステーションからテスト開始命令を入力すると、テスト開始指令を受けたＣＰＵ２１は、先ず参照命令確認ステップＳ１でテストプログラムＰ１がフラグ参照命令を使用しているか確認する。
【００４０】
テストプログラムＰ１はフラグ参照命令を使用しており、且つ第１ステーション３０でＤＵＴ１の試験を実施するので、次に条件設定確認ステップＳ２でフラグ参照命令実行手段２１３によりテストプログラムＰ１と第１ステーション３０とに対応する第１フラグ情報が設定されているか確認する。上記の通り、第１フラグ情報は設定済みであるので、フラグ表示手段２１５により第１フラグ情報を取得して表示する。図３の例では、“Ｆ１＝１”、“Ｆ２＝０”、“Ｆ３＝１”であることを表示する。
【００４１】
次にテスト実行ステップＳ３でテストプログラムＰ１を実行する。上記の通り、第１フラグ情報が設定されていることは確認済みであるので、テストプログラムの実行過程におけるフラグ参照命令ＦＬＧｎの処理の際に、第１の実施形態の場合のようにフラグ参照命令実行手段２１３によ条件設定確認サブステップＳ11ｎの処理は不要であり、直ちに第１フラグ情報の該当フラグＦｎの情報を取得して、Ｆｎの情報に応じた分岐処理を行なうことができる。即ち、本実施形態のテスト実行ステップＳ３は、図８に示す従来の第３工程Ｐ１０３と全く同様に処理することができる。
【００４２】
具体的には、ＣＰＵ２１はテストプログラムＰ１の実行過程において、フラグ参照命令ＦＬＧｎを検出すると、フラグ参照命令実行手段２１３により、第１ステーション３０とテストプログラムＰ１に対応する該当フラグＦｎの情報を取得して、Ｆｎの情報に応じた分岐処理を行なう。図３のフラグ参照命令ＦＬＧ１の例では、Ｆ１＝１であるのでＣＰＵ２１は“Ｄｏ１１（Ｙ）”の処理を選択実行し、またフラグ参照命令ＦＬＧ２の例では、Ｆ２＝０であるのでＣＰＵ２１は“Ｄｏ１２（Ｎ）”の処理を選択実行する。同様にフラグ参照命令ＦＬＧ３の例では、Ｆ３＝１であるのでＣＰＵ２１は“Ｄｏ１３（Ｙ）”の処理を選択実行してテストプログラムＰ１を終了する。
【００４３】
ＬＳＩテスタ１を用いた本実施形態の半導体デバイスの試験方法でも、第１の実施形態の場合と同様、テストフローの分岐を制御するフラグ情報が偶発的に変更されることによる誤ったテストフローの実行を回避できると共に、フラグ情報の設定漏れによる誤ったテストフローの実行を回避することもできる。
【００４４】
尚、本発明は上記実施形態の説明に限定されるものでなく、その要旨の範囲内で種々変更が可能であることは言うまでもない。
【００４５】
例えば、上記半導体デバイスの試験方法では、第４工程Ｐ４でＬＳＩテスタ１に装填されたテストプログラムをＬＳＩテスタ１から削除する際に、当該テストプログラムに対応させて設定されたフラグ情報も同時に当該ＬＳＩテスタから削除する例で説明したが、第１工程Ｐ１で、所望の半導体デバイスを試験するためのテストプログラムをＬＳＩテスタ１にロードする際に、使用するステーションの情報を入力して当該テストプログラムとステーションに対応するフラグ情報をリセットするようにしてもよい。
【００４６】
又、テストステーションは、２台の例で説明したが、これに限定されず何台であってもよい。
【００４７】
又、テストプログラムＬＳＩテスタに供給する方法については特に触れていないが、ハードディス装置等の外部記憶装置（図示せず）から供給する方法や、通信回線を介して供給する方法等周知の方法を用いることができる。
【００４８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のＬＳＩテスタ及び半導体デバイスの試験方法によれば、テストフローの分岐を制御するフラグ情報が偶発的に変更されることによる誤ったテストフローの実行を回避できるという効果が得られる。又、フラグ情報の設定漏れによる誤ったテストフローの実行を回避することができるという効果も得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＬＳＩテスタの一実施形態の概略ブロック図である。
【図２】本発明の半導体デバイスの試験方法の第１の実施形態を示すフローチャートである。
【図３】図２の第３工程の詳細を示すフローチャートである。
【図４】図３のフラグ参照処理ステップの処理内容を模式的に示すフローチャートである。
【図５】本発明の半導体デバイスの試験方法の第２の実施形態を示すフローチャートである。
【図６】従来のＬＳＩテスタの概略構成を示すブロック図である。
【図７】従来のＬＳＩテスタによる半導体デバイスの試験方法の概略フローチャートである。
【図８】図７の第３工程の要部を中心に示す詳細フローチャートである。
【符号の説明】
１    ＬＳＩテスタ
１０    入出力部
２０    テスタ本体部
２１    ＣＰＵ
２２    メモリ部
２４    テスト資源発生部
２６    分配部
３０    第１ステーション
４０    第２ステーション
２１１    フラグ設定手段
２１３    フラグ参照命令実行手段
２１５    フラグ表示手段
２１７    フラグ削除手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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