(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
テスト圧源と、このテスト圧源に接続された共通のエア通路と、この共通エア通路から分岐されたマスタ側分岐エア通路およびワーク側分岐エア通路と、これら分岐エア通路を互いに連通させた状態で閉鎖する第１閉鎖手段と、これら分岐エア通路を互いに独立した状態で閉鎖する第２閉鎖手段と、上記独立状態で閉鎖された分岐エア通路の差圧を検出する差圧センサと、この差圧センサと別体をなし上記連通状態で閉鎖された分岐エア通路の圧力を検出する圧力センサと、制御手段とを備え、
この制御手段は、上記テスト圧源からのテスト圧を、共通エア通路を介してマスタ側，ワーク側の分岐エア通路に付与してから、第１閉鎖手段を駆動させて分岐エア通路を連通状態で閉鎖し、この閉鎖直後の所定時間における上記圧力センサでの検出圧力の変化に基づき放熱補償値を演算し、次に第２閉鎖手段を駆動させて分岐エア通路を独立状態で閉鎖し、この閉鎖直後に上記差圧センサで検出される差圧から上記放熱補償値を差し引いた値に基づき、ワークの漏れを検出することを特徴とするエアリークテスト装置。
【請求項２】
テスト圧源と、このテスト圧源に接続された共通のエア通路と、この共通エア通路から分岐されたマスタ側分岐エア通路およびワーク側分岐エア通路と、これら分岐エア通路を互いに独立した状態で閉鎖する閉鎖手段と、上記独立状態で閉鎖された２つの分岐エア通路の差圧を検出する差圧センサと、この差圧センサとは別体をなし上記独立状態で閉鎖されたワーク側分岐エア通路の圧力を検出する圧力センサと、制御手段とを備え、
この制御手段は、上記テスト圧源からのテスト圧を、共通エア通路を介してマスタ側，ワーク側の分岐エア通路に付与してから、閉鎖手段を駆動させて２つの分岐エア通路を独立状態で閉鎖し、この閉鎖直後の所定時間における上記圧力センサでの検出圧力の変化に基づき放熱補償値を演算し、その後、上記閉鎖状態で上記差圧センサにより分岐エア通路間の差圧を検出し、この検出差圧から上記放熱補償値を差し引いた値に基づき、ワークの漏れを検出することを特徴とするエアリークテスト装置。
【請求項３】
上記制御手段は、上記放熱補償値の演算後に一旦閉鎖手段を開いて２つの分岐エア通路を連通させてから再び閉鎖手段を閉じ、それから上記検出差圧と放熱補償値に基づく漏れ検出を行うことを特徴とする請求項２に記載のエアリークテスト装置。
【請求項４】
上記制御手段は、漏れのないワークをワーク側分岐エア通路に接続した状態で上記所定時間において上記圧力センサで検出される検出圧力の時間変化曲線を、マスターデータとして得、その後、検査対象のワークをワーク側分岐エア通路に接続した状態で上記所定時間において得られた上記圧力センサでの検出圧力の時間変化曲線を、上記マスターデータと比較し、上記マスターデータの曲線を時間軸に沿って移動させることにより上記検出圧力の変化曲線と重ならせて、圧力変化曲線を特定し、この特定された圧力変化曲線に基づいて、放熱補償値を演算することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のエアリークテスト装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エアリークテスト装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
平衡型と称される一般的な差圧式エアリークテスト装置を簡単に説明すると、テスト圧源から延びる共通エア通路にマスタ側、ワーク側の分岐エア通路が接続されている。マスタ側分岐エア通路にマスタ容器が接続され、ワーク側分岐エア通路にワークが接続される。マスタ容器はワークと同一の形状，容積，材質のものであり、漏れが確認されていないものである。
上記テスト圧源から２つの分岐エア通路にテスト圧を付与した後、これら分岐エア通路を遮断して互いに独立した閉鎖系にする。この後、閉鎖された２つの分岐エア通路間の差圧を監視して、ワークの漏れを検出する。
【０００３】
ところで、上記テスト圧の付与を開始してから分岐エア通路を閉鎖するまで、所定時間待っている。これはワークがテスト圧に達するのを待ち、さらに初期の大きな圧力変動を回避するためである。すなわち、分岐エア通路にテスト圧を付与すると、圧縮により一旦温度が高くなり、この後、放熱により周囲温度に落ち着く。この放熱量はテスト圧付与の初期段階で最も大きく、この段階で分岐エア通路を閉鎖すると、放熱に伴う圧力低下が大き過ぎ、マスタ容器とワークとの間に僅かな放熱特性の相違があっても、差圧が生じてしまうからである。
【０００４】
上記のように所定の待ち時間経過した時点で、分岐エア通路を閉鎖した後も、上記放熱が続き、閉鎖状態にある２つの分岐エア通路の圧力が低下する。この放熱による２つの分岐エア通路の圧力低下は、マスタ容器がワークの放熱特性が同じでしかも容積も同じため、互いに等しい。それ故、上記差圧は放熱による圧力低下の影響を受けず、ワークの漏れに相当する圧力低下分を確実に検出することができる。
【０００５】
しかし、上記のようにマスタ容器をワークと同一の形状，材質，容積にすると、多品種少量の生産ラインでは、多種類のマスタ容器が必要となり、設備コストや管理コストを上げる原因となっていた。
そこで、最近では、ワークが異なってもマスタ容器を変えずに所定の形状，容積，材質のマスタ容器を用いるようにした非平衡型の装置も開発されている。この装置でも、上記平衡型の装置と同様に、２つの分岐エア通路にテスト圧を付与し、所定の待ち時間経過した時点で、分岐エア通路を閉鎖し、その差圧を検出している。マスタ容器は、ワークと放熱特性が異なっており、それ故、たとえワークに漏れが無くてもこの放熱特性の相違に起因した差圧が検出される。
そのため、上記ワークの種類毎に放熱補償値のデータを記憶しておき、上記検出差圧からこの放熱補償値を差し引くことにより、ワーク漏れに対応する差圧を得ている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようなマスタ容器とワークとの間の放熱特性が異なる非平衡型の装置では、気温等の環境の変化に応じて放熱特性が変化するため、上記放熱補償が不正確になる欠点があった。
上記装置では、分岐エア通路の閉鎖後比較的長い時間を待てば放熱がなくなり、漏れに相当して差圧がリニアに変化する。そのため、上記放熱補償を行わずにこのリニアに変化する差圧に基づき漏れを検出することも考えられる。しかし、その場合、ワーク毎のテスト時間が長くなり、生産性が低下してしまう。
そこで、テスト時間を長くせずに、正確な放熱補償を行うことが、要求されていた。
【０００７】
上記の議論は、差圧式でない簡易型のエアリークテスト装置にも適用できる。この装置では、エア通路の上流端にテスト圧源が接続され、下流端にワークが接続されている。テスト圧付与後にエア通路を閉鎖し、閉鎖されたエア通路の圧力の変化に基づき、ワークの漏れを検出する。この装置でも、放熱による圧力変動の影響を排除するため、上記テスト圧付与から放熱が落ち着くまで待ってエア通路を閉鎖したり、エア通路閉鎖後、圧力がリニアに変化するまで待って圧力に基づく漏れを検出するので、テスト時間が長かった。また、テスト時間を短くしようとすると、上記と同様に放熱補償データを用いることになり、環境変化に対応できなくなってしまう。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の態様は、エアリークテスト装置において、テスト圧源と、このテスト圧源に接続された共通のエア通路と、この共通エア通路から分岐されたマスタ側分岐エア通路およびワーク側分岐エア通路と、これら分岐エア通路を互いに連通させた状態で閉鎖する第１閉鎖手段と、これら分岐エア通路を互いに独立した状態で閉鎖する第２閉鎖手段と、上記連通状態で閉鎖された分岐エア通路の圧力を検出する圧力センサと、上記独立状態で閉鎖された分岐エア通路の差圧を検出する差圧センサと、制御手段とを備え、
この制御手段は、上記テスト圧源からのテスト圧を、共通エア通路を介してマスタ側，ワーク側の分岐エア通路に付与してから、第１閉鎖手段を駆動させて分岐エア通路を連通状態で閉鎖し、この閉鎖直後に上記圧力センサでの検出圧力の変化に基づき放熱補償値を演算し、次に第２閉鎖手段を駆動させて分岐エア通路を独立状態で閉鎖し、この閉鎖直後に上記差圧センサで検出される差圧から上記放熱補償値を差し引いた値に基づき、ワークの漏れを検出することを特徴とする。
【０００９】
本発明の第２の態様は、エアリークテスト装置において、テスト圧源と、このテスト圧源に接続された共通のエア通路と、この共通エア通路から分岐されたマスタ側分岐エア通路およびワーク側分岐エア通路と、これら分岐エア通路を互いに独立した状態で閉鎖する閉鎖手段と、上記独立状態で閉鎖されたワーク側分岐エア通路の圧力を検出する圧力センサと、独立状態で閉鎖された２つの分岐エア通路の差圧を検出する差圧センサと、制御手段とを備え、
この制御手段は、上記テスト圧源からのテスト圧を、共通エア通路を介してマスタ側，ワーク側の分岐エア通路に付与してから、閉鎖手段を駆動させて２つの分岐エア通路を独立状態で閉鎖し、この閉鎖直後に上記圧力センサでの検出圧力の変化に基づき放熱補償値を演算し、その後、上記閉鎖状態で上記差圧センサにより分岐エア通路間の差圧を検出し、この検出差圧から上記放熱補償値を差し引いた値に基づき、ワークの漏れを検出することを特徴とする。
【００１１】
好ましくは、上記制御手段は、上記放熱補償値の演算後に一旦閉鎖手段を開いて２つの分岐エア通路を連通させてから再び閉鎖手段を閉じ、それから上記検出差圧と放熱補償値に基づく漏れ検出を行うことを特徴とする。
好ましくは、上記制御手段は、漏れのないワークをワーク側分岐エア通路に接続した状態で上記所定時間において上記圧力センサで検出される検出圧力の時間変化曲線を、マスターデータとして得、その後、検査対象のワークをワーク側分岐エア通路に接続した状態で上記所定時間において得られた上記圧力センサでの検出圧力の時間変化曲線を、上記マスターデータと比較し、上記マスターデータの曲線を時間軸に沿って移動させることにより上記検出圧力の変化曲線と重ならせて、圧力変化曲線を特定し、この特定された圧力変化曲線に基づいて、放熱補償値を演算する。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１の実施形態について、図１〜図４を参照しながら説明する。図１に示すエアリークテスト装置は、圧縮エア源１と、この圧縮エア源１に上流端が接続された共通エア通路２と、この共通エア通路２から分岐したマスタ側分岐エア通路３およびワーク側分岐エア通路４とを備えている。
【００１４】
上記共通エア通路２には、圧力調節手段５と電磁駆動式の常閉の二方弁６（以下、加圧弁と称す）が上流側から順に設けられている。圧力調節手段５は、圧力調節弁５ａとその下流に設けられた圧力センサ５ｂとを有している。この圧力センサ５ｂが所定のテスト圧になるように、圧力調節弁５ａが制御される。したがって、この圧縮エア源１と圧力調節手段５とで、テスト圧源を構成している。なお、この圧力調節手段５は、減圧弁（レギュレータ）であってもよい。上記加圧弁６は、特許請求の範囲における第１の閉鎖手段を構成している。
【００１５】
マスタ側分岐エア通路３には、空圧駆動式の常開の二方弁７（以下、遮断弁と称す）が設けられるとともに、その下流端にはマスタ容器８が接続されている。この遮断弁７は、上記加圧弁６と協働して、特許請求の範囲における第２の閉鎖手段を構成している。このマスタ容器８は、所定の形状，容積，材質からなり、後述するワークＷとは異なる。なお、マスタ容器８は、容積を小さくし、放熱フィンを付ける等により圧縮後の放熱が短時間で完了するように工夫されている。なお、マスタ容器自体を省略して、マスタ側分岐エア通路３の下流端を塞いでもよい。
【００１６】
ワーク側分岐エア通路４には、空圧駆動式の常開の二方弁９（以下、排気弁と称す）が設けられている。また、この分岐エア通路４の下流端には被検査対象となるワークＷが接続されるようになっている。
【００１７】
本実施形態のエアリークテスト装置は、さらに圧力センサ１１と差圧センサ１２と制御手段１０とを備えている。圧力センサ１１はマスタ側分岐エア通路３において、遮断弁７の上流側に接続されている。また差圧センサ１２の２つの入力ポート１２ａ，１２ｂは、マスタ側分岐エア通路３において、遮断弁７の上流側と下流側にそれぞれ接続されている。
なお、圧力センサ１１および差圧センサ１２の一方の入力ポート１２ａは、ワーク側分岐エア通路４に接続してもよい。
【００１８】
上記制御手段１０は、上記加圧弁６，遮断弁７，排気弁９を制御する。さらに、制御手段は、圧力センサ１１，差圧センサ１２からの検出信号を受けて、表示器１３、合格ランプ１４、不合格ランプ１５を制御する。
【００１９】
上記構成をなす装置の作用を、制御手段１０の作用を中心に、図２のタイムチャートを参照しながら説明する。まず、排気弁９をオンにして閉じ、その後で、加圧弁６をオンしてこれを開くことにより、圧力調節手段５からのテスト圧を分岐エア通路３，４に付与する。なお、本実施形態では、排気弁９の閉じと同時期に、ワーク側分岐エア通路４へのワークＷの接続工程が開始されるため、加圧弁６の閉じ動作を数秒遅らせているが、予めワークＷの接続工程が完了している場合には、排気弁９の閉じ動作から加圧弁６の開き動作までの時間は僅かで済む。
【００２０】
上記加圧弁６の開き時間は、ワークＷがテスト圧のエアで満たされるのに必要最低限の時間に相当し、ワークＷの容積に応じて変わるが、ここでは数秒とする。この開き時間は、従来装置でのテスト圧付与開始から分岐エア通路の閉鎖までの待ち時間より短い。後述するように放熱による比較的大きな圧力変動のデータを得るためである。
【００２１】
上記加圧弁６が開くと、これより下流側、すなわちマスタ容器８、ワークＷ，分岐エア通路３，４内の空気は大気圧からテスト圧となるため、その圧縮熱により温度が上昇する。
この加圧弁６の閉じ時点（またはそれから短時間経過時点）から所定時間を第１計測時間ΔＴａとする。この第１計測時間ΔＴａにおいて、圧力センサ１１からの検出圧力に基づいて、放熱補償のためのデータを得る。以下、詳述する。
【００２２】
上記加圧弁６が閉じると、その下流側は閉鎖系となる。この閉鎖系では分岐エア通路３，４は連通状態にある。この閉鎖系の圧力は、図３に示すように、内部温度が放熱により低下するのに伴ってエクスポーネンシャルの曲線Ｈを描いて低下する。ワークＷに漏れがない場合には、この曲線Ｈが圧力センサ１１で検出される圧力の変化と一致する。ワークＷに傷があって漏れが生じている場合には、この漏れに応じたリニアな圧力低下が生じる（直線Ｍ参照）。そのため、検出圧力は、放熱による圧力低下分と漏れによる圧力低下分を含んで図３の曲線Ｄを描いて低下する。
【００２３】
図３の直線Ｈから明らかなように放熱に起因した圧力低下は、加圧弁６を閉じた直後が最も大きく、時間の経過とともに落ち着く。上記第１計測時間Ｔａでは、放熱に起因した圧力低下が、漏れに起因した圧力低下より遥かに大きい（例えば１００：１）。そのため、検出圧力はほぼ放熱に起因した圧力低下を表している。その結果、検出圧力の変化から放熱特性を知ることができる。制御手段１０は、この検出出力の変化のデータ（曲線Ｄのデータ）と、記憶しているマスターデータに基づき、放熱補償データを演算する。
【００２４】
上記マスターデータは次のようにして得る。予め漏れのないワークを分岐エア通路４に接続して、上記と同様の動作により、第１計測時間ΔＴａでの検出圧力の時間変化データを得、これをマスターデータとする。この検出圧力の変化の仕方（換言すれば検出圧力を縦軸とし時間を横軸とした時の検出圧力の変化曲線の形状）は、ワークの材質、表面積，形状等に依存するワークの放熱特性によって、一義的に決定されるものであり、それ故、この変化データをマスターデータとするのである。周囲温度が異なってもワークＷを変えない限り、上記マスターデータの圧力変化曲線は変わらず、この圧力変化曲線を時間軸方向に移動させるだけで、異なる周囲温度での放熱による圧力変化曲線と一致するはずである。
実際のリークテストでは、検出圧力の変化データと上記マスターデータとを比較し、マスターデータの曲線を時間軸に沿って移動させて検出圧力の変化曲線と重なり合う範囲を、テスト時の周囲温度によって変動する、放熱に起因した圧力変化の曲線として特定する。この特定された圧力変化曲線（圧力変化データ）に基づいて、後述の第２計測時間ΔＴｂで予想される放熱による圧力変化を演算し、そのデータを放熱補償データとして記憶する。
上記放熱補償データを得るための第１計測時間ΔＴａは、従来装置では漏れ検出前の待ち時間に相当する時間であり、この第１計測時間ΔＴａの設定によって時間が長くなることがない。
【００２５】
上記制御手段１０は、加圧弁６を閉じてから所定時間（上記第１計測時間ΔＴａより長いがこれと同じでもよい）経過した時点で、遮断弁７をオンしてこれを閉じる。これによりマスタ側分岐通路３の下流側と上流側が遮断される。マスタ側分岐通路３の上流側はワーク側分岐通路４と連通状態にあるので、マスタ側分岐通路３の下流側の閉鎖系とワーク側分岐通路４を含む閉鎖系が互いに独立した閉鎖系となる。
【００２６】
遮断弁７の閉じ動作により、独立した２つの閉鎖系が得られた後も放熱が続いており、この放熱に伴う圧力低下がワーク側分岐エア通路４で続いている。なお、本実施形態では、マスタ側分岐エア通路３での放熱は、既に遮断弁７の閉じ動作の前に実質的に終了して安定した状態にあるので、この放熱の影響は差圧には現れない。
【００２７】
上記遮断弁７の閉じ時点では、上記放熱による圧力変動（低下）の程度は、漏れによる圧力変動（低下）とほぼ同レベルになっている。この閉じ時点から所定時間を第２計測時間ΔＴｂとし、差圧センサ７の検出差圧を監視する。図４に示すように、この検出差圧Ｄ’は、ワークＷの漏れによって生じる差圧Ｍ’とワークＷの放熱によって生じる差圧Ｈ’を加えたものである。そこで、この検出差圧Ｄ’から、放熱による差圧Ｈ’を差し引くことにより、漏れによる差圧Ｍ’を得ることができる。ここで差圧Ｈ’のデータとして、第１計測時間ΔＴａで得た放熱補償値のデータを用いる。この放熱補償値は、テスト時における周囲温度等の環境の影響を加味した放熱特性を現しているので、正確な漏れによる差圧を検出することができる。
【００２８】
本実施形態では、放熱補償データは、第２計測時間ΔＴｂにおける所定サンプリング周期毎の放熱補償値の集合からなり、上記検出圧力をこのサンプリング周期で読み込んでこの放熱補償値を差し引くことにより、経過時間に対応した漏れによる差圧の変化を演算することができる。この差圧変化データからリニアな線を演算して、正確な漏れに対応する差圧を演算することができる。この差圧データから、単位時間または所定時間における大気圧換算漏れ量を演算し、表示器１３に表示する。また、この大気圧換算漏れ量を閾値と比較し、閾値より低い場合には合格ランプ１４を点灯させ、閾値以上の場合には不合格ランプ１５を点灯させる。
上記漏れによる差圧検出が終了した時点で、遮断弁７を開くとともに、排気弁９を開いてテストを終了する。
【００２９】
なお、遮断弁７の閉じ時点から所定時間経過した時の差圧を１回だけ検出し、放熱補償値を差し引いて、漏れによる差圧を検出してもよい。この場合には、放熱補償データは、単一の放熱補償値を含むだけである。
【００３０】
上記放熱補償データの演算は、リークテスト毎に行う必要はなく、複数回のテスト毎に１回行ってもよい。また、予め放熱補償のマスターデータを記憶せず、第１計測時間での検出圧力変化に基づいて、直接放熱補償データを演算してもよい。
【００３１】
次に、本発明の第２の実施形態を、図５を参照して説明する。この実施形態ではワーク側分岐エア通路４に空圧駆動式の常開の二方弁１７（遮断弁）を追加して装備した点にある。この場合には、遮断弁１７の閉じ状態で、その下流側はマスタ側分岐エア通路３の上流側と遮断されている。差圧センサ１２の入力ポート１２ａは、この遮断弁１７の下流側に接続される。この実施形態では、加圧弁６が第１の閉鎖手段を構成し、遮断弁７，１７が第２の閉鎖手段を構成する。上記遮断弁１７は、マスタ側の遮断弁７と同期して駆動する。他の作用は第１実施形態と全く同じであるので説明を省略する。
【００３２】
次に，本発明の第３の実施形態について説明する。この第３実施形態では、圧力センサ１１が図５において想像線で示すように、遮断弁１７の上流側ではなく下流側の分岐エア通路４に接続されている点を除いて第２実施形態と構成上は同じである。この場合、図６のタイムチャートで示すように、遮断弁７，１７の閉じ時点又は若干遅れて第１計測時間ΔＴａが開始され、その後に第２計測時間ΔＴｂが設定される。なお、加圧弁６の閉じタイミングは、遮断弁７，１７の閉じ時点と同じでもよいし、これより遅れてもよい。
【００３３】
次に、本発明の第４の実施形態について説明する。この第４実施形態では、図５において圧力センサ１１が省かれている点を除いて、第２実施形態と構成上は同じである。また、弁６，７，９，１７の制御に関しては、第３実施形態と同じである（図６参照）。ただし、この第４実施形態では、圧力センサ１１の代わりに、差圧センサ１２で放熱によるワーク側分岐エア通路４の圧力低下を検出し、その差圧データから放熱補償データを演算する。
【００３４】
第３，第４実施形態では、加圧弁６と排気弁９の代わりに、２位置３方弁を用いてもよい。この場合、連通位置で分岐エア通路３，４にテスト圧付与が付与され、開放位置で分岐エア通路３，４を大気に開放する。
【００３５】
上記第３，第４実施形態では、図７に示すように、遮断弁７，１７を第１計測時間ΔＴａと第２計測時間ΔＴｂの間で一旦開き、分岐エア回路３，４を同圧にしてもよい。これにより、第２計測時間ΔＴｂでの差圧センサ１２による差圧検出をより正確に行うことができる。
【００３６】
次に、本発明の第５実施形態について、図８を参照しながら説明する。この実施形態は、差圧式ではなく簡易型のエアリークテスト装置に係わるものである。この装置では、エア通路２Ａの上流端に、圧縮空気源１と圧力調整手段５からなるテスト圧源が接続され、下流端にワークＷが接続されるようになっている。このエア通路２Ａには、上流側から順に加圧弁６（閉鎖手段）、圧力センサ１１（圧力検出手段）、排気弁９が接続されている。
【００３７】
上記装置では、加圧弁６を必要最小限の時間だけ開くことにより、テスト圧を加圧弁６の下流側のエア通路２ＡおよびワークＷに付与した後、この加圧弁６を閉じ、その直後の第１計測時間で圧力センサ１１の検出圧力の変化を読み込む。そして、この圧力変化データから、またはこの圧力変化データとマスターデータとから放熱補償データを演算する。そして、その後の第２計測時間での圧力センサ１１の検出圧力の変化から上記放熱補償データを差し引くことにより、ワークＷの漏れによる圧力低下を演算し、この演算値から漏れを検出する。
【００３８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の第１の態様によれば、検出差圧値から放熱補償値を差し引くことにより、ワークの漏れを短時間で検出できる。また、閉鎖直後の放熱による比較的大きな圧力変動に基づいて上記放熱補償値を演算することにより、正確な放熱補償値を得ることができ、ひいてはワークの漏れを正確に検出することができる。また、放熱による圧力変動をマスタ側、ワーク側の２つの分岐エア通路が連通して閉鎖された状態で検出するので、その後の差圧センサが実質的に差圧ゼロから差圧変化を検出することができ、より高精度の漏れ検出が可能である。
本発明の第２態様によれば、差圧検出を差圧ゼロから開始することを除いて、第１態様と同等の効果を奏することができる。
本発明の第３態様によれば、差圧検出前に２つの分岐エア通路を一旦連通させてから再び互いに独立させるので、差圧センサにより差圧検出を差圧ゼロから開始することができ、高精度の漏れ検出が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態をなすエアリークテスト装置の回路図である。
【図２】同装置で実行される弁制御のタイムチャートである。
【図３】加圧弁閉じ後の、検出圧力の低下、放熱による圧力低下、漏れによる圧力低下の様子を示す図である。
【図４】遮断弁閉じに伴う検出差圧の変化、放熱による差圧の変化、漏れによる差圧変化の様子を示す図である。
【図５】本発明の第２実施形態をなすエアリークテスト装置の回路図である。
【図６】本発明の第３実施形態をなすエアリークテスト装置で実行される弁制御のタイムチャートである。
【図７】本発明の第３，第４実施形態を若干変更した場合に実行される弁制御のタイムチャートである。
【図８】本発明の第５実施形態をなすエアリークテスト装置の回路図である。
【符号の説明】
２  共通エア通路
２Ａ  エア通路
３  マスタ側分岐エア通路
４  ワーク側分岐エア通路
６  加圧弁（閉鎖手段、第１の閉鎖手段）
７  遮断弁（第２の閉鎖手段）
１０  制御手段
１１  圧力センサ（圧力検出手段）
１２  差圧センサ（圧力検出手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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