(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線領域が上下に連続するＭ層のそれぞれにＮ列（Ｍ，Ｎは２以上の整数）の単位領域が設けられており、２本以上（ＭＮ−１）本以下の複数の信号線が各単位領域に配置されている多層配線構造であって、
各信号線が、隣接する各単位領域に移動可能である、多層配線構造。
【請求項２】
前記複数の信号線のうちの特定の信号線を所望の単位領域に移動させて該特定の信号線の所望の位置に分岐配線が設けられている、請求項１に記載の多層配線構造。
【請求項３】
前記Ｍ層のうちの連続するＰ層（Ｐ≦Ｍ、Ｐは２以上の整数）のそれぞれにＮ列の単位領域が設けられており、｛（Ｐ−１）Ｎ＋１｝本以上、かつ、（ＰＮ−１）本以下の複数の信号線が各単位領域に配置されている、請求項１又は請求項２記載の多層配線構造。
【請求項４】
前記Ｍが２であり、前記Ｎが偶数であり、２本以上１．５Ｎ本以下の複数の信号線が各単位領域に配置されている、請求項１又は請求項２記載の多層配線構造。
【請求項５】
前記単位領域における前記信号線の占有率が小さい場合に、前記Ｍ層における上下各層に配置される信号線は、上下で重ならないように位置をずらして配置されている、請求項１又は請求項２に記載の多層配線構造。
【請求項６】
請求項２に記載の多層配線構造の製造方法であって、
前記複数の信号線のうちの特定の信号線を所望の単位領域に移動させることと、
該特定の信号線の所望の位置に分岐配線を設けることと
を包含する、製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は信号線を多層にして配線するための多層配線構造及び多層配線方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、情報処理装置が高機能化し取り扱う情報量も膨大なものとなっているため、各種の信号を電送するための配線の数も増大する傾向にある。このため、限られた領域で多数の配線を行う必要があり、信号線を多層にして配線する多層配線構造をとる場合がある。
【０００３】
配線を行う場合は一般に、図５に示すように、主方向ＸにＡ，Ｂ，Ｃの各信号線によるバスラインを形成し、従方向ＹにＡ，Ｂ，Ｃの各信号線に対する分岐配線ａ，ｂ，ｃを設ける構成をとる。
【０００４】
例えば、図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、信号線を２層にして配線する２層３列の配線構造をとり、２層目の主方向ＸにＡ，Ｂ，Ｃの各信号線によるバスラインを形成し、１層目の従方向ＹにＡ，Ｂ，Ｃの各信号線に対する分岐配線ａ，ｂ，ｃを適宜設ける構成をとる（従来例１）。この分岐配線ａ，ｂ，ｃは、図６（ａ）の平面図に示すように、Ａ，Ｂ，Ｃの各信号線から２層目と１層目をつなぐ各スルーホールＰ６１，Ｐ６２，Ｐ６３を通じて、１層目の配線により下の方向に引き出されている。
【０００５】
図６（ｃ）は、図６（ａ）において（６−１）〜（６−７）で示す各箇所における断面での、２層３列の単位領域Ｒ６２で構成された配線領域Ｒ６１に対する配線の占有状況を表わしている。例えば、（６−１）、（６−３）、（６−５）及び（６−７）では、２層目の各単位領域がＡ，Ｂ，Ｃの各信号線で占有されており、１層目の全ての単位領域が非占有の状態である。（６−２）では２層目の各単位領域がＡ，Ｂ，Ｃの各信号線で占有されており、１層目の全ての単位領域が信号線Ａの分岐配線ａで占有されている。（６−４）では２層目の各単位領域がＡ，Ｂ，Ｃの各信号線で占有されており、１層目の２つの単位領域が信号線Ｂの分岐配線ｂで占有されている。（６−６）では２層目の各単位領域がＡ，Ｂ，Ｃの各信号線で占有されており、１層目の１つの単位領域が信号線Ｃの分岐配線ｃで占有されている。
【０００６】
次に、例えば特開平５−２０６２７２号公報に開示されているように、信号線を３層にして配線する３層３列の配線構造について説明する。
【０００７】
図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、信号線を３層にして配線する３層３列の配線構造をとり、３層目の主方向ＸにＡ，Ｂ，Ｃの各信号線によるバスラインを形成すると共に、１層目の主方向ＸにＤ，Ｅ，Ｆの各信号線によるバスラインを形成し、２層目の従方向ＹにＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆの各信号線に対する分岐配線ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆを適宜設ける構成をとる（従来例２）。
【０００８】
図７（ａ）の平面図に示すように、分岐配線ａ，ｂ，ｃは、Ａ，Ｂ，Ｃの各信号線から３層目と２層目をつなぐ各スルーホールＰ７１，Ｐ７２，Ｐ７３を通じて、２層目の配線により下の方向に引き出されており、分岐配線ｄ，ｅ，ｆは、Ｄ，Ｅ，Ｆの各信号線から１層目と２層目をつなぐ各スルーホールＰ７４，Ｐ７５，Ｐ７６を通じて、１層目の配線により上の方向に引き出されている。
【０００９】
図７（ｃ）は、図７（ａ）において（７−１）〜（７−７）で示す各箇所における断面での、３層３列の単位領域Ｒ７２で構成された配線領域Ｒ７１に対する配線の占有状況を表わしている。例えば、（７−１）では、３層目の各単位領域がＡ，Ｂ，Ｃの各信号線で占有されており、２層目の全ての単位領域が非占有の状態であり、１層目の各単位領域がＤ，Ｅ，Ｆの各信号線で占有されている。（７−２）では３層目の各単位領域がＡ，Ｂ，Ｃの各信号線で占有されており、２層目の全ての単位領域が信号線Ａの分岐配線ａで占有されており、１層目の各単位領域がＤ，Ｅ，Ｆの各信号線で占有されている。（７−３）では３層目の各単位領域がＡ，Ｂ，Ｃの各信号線で占有されており、２層目の右側２つの単位領域が信号線Ｂの分岐配線ｂで占有されており、１層目の各単位領域がＤ，Ｅ，Ｆの各信号線で占有されている。（７−４）では３層目の各単位領域がＡ，Ｂ，Ｃの各信号線で占有されており、２層目の右端の１つの単位領域が信号線Ｃの分岐配線ｃで占有されており、１層目の各単位領域がＤ，Ｅ，Ｆの各信号線で占有されている。（７−５）では３層目の各単位領域がＡ，Ｂ，Ｃの各信号線で占有されており、２層目の全ての単位領域が信号線Ｄの分岐配線ｄで占有されており、１層目の各単位領域がＤ，Ｅ，Ｆの各信号線で占有されている。（７−６）では３層目の各単位領域がＡ，Ｂ，Ｃの各信号線で占有されており、２層目の右側２つの単位領域が信号線Ｅの分岐配線ｅで占有されており、１層目の各単位領域がＤ，Ｅ，Ｆの各信号線で占有されている。（７−７）では３層目の各単位領域がＡ，Ｂ，Ｃの各信号線で占有されており、２層目の右端の１つの単位領域が信号線Ｆの分岐配線ｆで占有されており、１層目の各単位領域がＤ，Ｅ，Ｆの各信号線で占有されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例１及び従来例２による場合には、信号線を２層、３層等の多層にして配線する多層配線構造において、信号線に対する分岐配線のために専用の層を設ける構成であるため、分岐配線がほとんどない場合にはその領域は活用されず無駄な領域として常に占有されることになり、配線領域を大きくしてしまうという問題がある。
【００１１】
また、信号線に対する分岐配線を専用の層からしか取り出すことができず、配線設計する上での自由度が制限され支障となる場合が生じる。
【００１２】
本発明は、こうした従来技術の課題を解決するものであり、多層配線構造の配線領域を小さくすることができると共に、分岐配線をどの層からでも自由に取り出すことができる多層配線構造及び多層配線方法を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の多層配線構造は、配線領域が上下に連続するＭ層のそれぞれにＮ列（Ｍ，Ｎは２以上の整数）の単位領域が設けられており、２本以上（ＭＮ−１）本以下の複数の信号線が各単位領域に配置されている多層配線構造であって、各信号線が、隣接する各単位領域に移動可能であり、そのことにより上記目的が達成される。
前記複数の信号線のうちの特定の信号線を所望の単位領域に移動させて該特定の信号線の所望の位置に分岐配線が設けられていてもよい。
前記Ｍ層のうちの連続するＰ層（Ｐ≦Ｍ、Ｐは２以上の整数）のそれぞれにＮ列の単位領域が設けられており、｛（Ｐ−１）Ｎ＋１｝本以上、かつ、（ＰＮ−１）本以下の複数の信号線が各単位領域に配置されていてもよい。
前記Ｍが２であり、前記Ｎが偶数であり、２本以上１．５Ｎ本以下の複数の信号線が各単位領域に配置されてもよい。
前記単位領域における前記信号線の占有率が小さい場合に、前記Ｍ層における上下各層に配置される信号線は、上下で重ならないように位置をずらして配置されていてもよい。
前記多層配線構造の製造方法であって、前記複数の信号線のうちの特定の信号線を所望の単位領域に移動させることと、該特定の信号線の所望の位置に分岐配線を設けることとを包含し、そのことにより上記目的が達成される。
【００１９】
以下に、本発明の作用について説明する。
【００２０】
上記構成によれば、Ｍ層Ｎ列（Ｍ，Ｎは２以上の整数）の単位領域で構成された配線領域に、（ＭＮ−１）本以内の信号線を配設するので、信号線に占有されていない単位領域を利用して、信号線を配線領域における各単位領域を自由に移動させることが可能となる。従って、特定の信号線を所望の単位領域に移動させて信号線の所望の位置に分岐配線を設けることが可能となる。
【００２１】
しかも、多層配線構造に分岐配線のための専用の層を設ける必要もないので、配線領域を小さくすることが可能となると共に、特定の信号線の分岐配線をどの層からでも取り出すことができ、又複数の層から取り出すことも可能となる。
【００２２】
また、Ｍ層における連続するＰ層（Ｐ≦Ｍ、Ｐは２以上の整数）とＮ列で構成された配線領域内に、信号線を｛（Ｐ−１）Ｎ＋１｝本以上、かつ、（ＰＮ−１）本以下で設ける構成にすると、Ｍ層における連続するＰ層内のみで、信号線を配線領域における各単位領域を自由に移動させることが可能となる。
【００２３】
更には、２層Ｎ列（Ｎは偶数）の配線領域に信号線を１．５Ｎ本以内で設ける構成にすると、Ｎ／２列からなる単位領域を１単位とし、この１単位に属する信号線を１グループとして、グループ単位での信号線の移動が可能となる。
【００２４】
加えて、単位領域における信号線の占有率が小さい場合に、多層における上下各層に配設される信号線を上下で重ならないように位置をずらして配置すると、近接する上下の信号線の間隔が大きくなり、上下の信号線における配線容量を減らすことが可能となる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を図面に基づいて具体的に説明する。
【００２６】
（実施形態１）
図１に、本発明の実施形態１による多層配線構造を示す。
【００２７】
この実施形態１は、Ｍ層Ｎ列（Ｍ，Ｎは２以上の整数）の単位領域で構成された配線領域に（ＭＮ−１）本以内の信号線を配設し、信号線を配線領域における各単位領域を移動可能としている。そして、特定の信号線を所望の単位領域に移動させて信号線の所望の位置に分岐配線を設ける構成としている。
【００２８】
具体的には、例えば図１に示すように、２層２列の単位領域Ｒ２で構成された配線領域Ｒ１に３本の信号線Ａ，Ｂ，Ｃを配設し、各信号線Ａ，Ｂ，Ｃを配線領域Ｒ１における各単位領域Ｒ２を移動可能としている。そして、３本の信号線Ａ，Ｂ，Ｃの内の特定の信号線を所望の単位領域Ｒ２に移動させて信号線Ａ，Ｂ，Ｃの所望の位置に分岐配線ａ、ｂ、ｃを設ける構成としている。
【００２９】
つまり、主方向Ｘの信号線Ａ，Ｂ，Ｃの配線において、従方向Ｙの分岐配線ａ、ｂ、ｃのための専用の層を設けずに、主方向Ｘの信号線Ａ，Ｂ，Ｃの配線領域Ｒ１の４つの単位領域Ｒ２の内の３つを占有させて、残りの１つの単位領域Ｒ２を主方向Ｘの信号線Ａ，Ｂ，Ｃの配線の位置を変化させるために用いている。従方向Ｙの分岐配線ａ、ｂ、ｃは、１層目からでも２層目からでも接続可能であり、主方向Ｘの信号線Ａ，Ｂ，Ｃの中で従方向Ｙの分岐配線ａ、ｂ、又はｃと接続すべき信号線Ａ，Ｂ，又はＣを従方向Ｙの分岐配線が可能な単位領域Ｒ２に移動させ、従方向Ｙの分岐配線ａ、ｂ、又はｃを接続可能とする。
【００３０】
尚、図１（ａ）の平面図に示すように、Ａ，Ｂ，Ｃの各信号線が１層目と２層目の間で移動する際の接続配線は、Ｐ１〜Ｐ６の位置で行われる。
【００３１】
この図１に示す実施形態１は、図６に示した従来例１に対応するものであって、従来例１では２層３列の配線領域を必要としていたのに対し、実施形態１では配線領域が２層２列であり、配線領域が従来に比較して小さくなっていることが分かる。
【００３２】
図１（ｃ）は、図１（ａ）において（１−１）〜（１−７）で示す各箇所における断面での、２層２列の単位領域Ｒ２で構成された配線領域Ｒ１に対する配線の占有状況を表わしている。
【００３３】
例えば、（１−１）では、２層目の２つの単位領域がＡ，Ｂの各信号線で占有されており、１層目の２つの単位領域の内の右側が信号線Ｃで占有され左側が非占有の状態である。この（１−１）の占有状況では、１層目に信号線Ｃの従方向Ｙに分岐配線ｃの接続が可能で、２層目には信号線Ｂの従方向Ｙに分岐配線ｂの接続が可能である。
【００３４】
（１−２）は、（１−１）の状態から２層目にある信号線Ａを１層目に移動した状態を示している。この（１−２）の占有状況では、（１−１）の場合と同様に、１層目に信号線Ｃの従方向Ｙに分岐配線ｃの接続が可能で、２層目には信号線Ｂの従方向Ｙに分岐配線ｂの接続が可能である。
【００３５】
（１−３）は、（１−２）の状態から２層目にある信号線Ｂを左側に移動した状態を示している。この（１−３）の占有状況では、１層目に信号線Ｃの従方向Ｙに分岐配線ｃの接続が可能で、２層目には信号線Ｂ又はＣの従方向Ｙに分岐配線ｂ又はｃの接続が可能である。
【００３６】
（１−４）は、（１−３）の状態から１層目にある信号線Ｃを２層目に移動した状態を示している。この（１−４）の占有状況では、１層目に信号線Ａ又はＣの従方向Ｙに分岐配線ａ又はｃの接続が可能で、２層目には信号線Ｃの従方向Ｙに分岐配線ｃの接続が可能である。
【００３７】
（１−５）は、（１−４）の状態から１層目にある信号線Ａを右側に移動した状態を示している。この（１−５）の占有状況では、１層目に信号線Ｃの従方向Ｙに分岐配線ｃの接続が可能で、２層目には信号線Ａの従方向Ｙに分岐配線ａの接続が可能である。
【００３８】
（１−６）は、（１−５）の状態から２層目にある信号線Ｂを１層目に移動した後に更に右側に移動し、２層目にある信号線Ｃを左側に移動し、１層目にある信号線Ａを２層目に移動した状態を示している。この（１−６）の占有状況では、１層目に信号線Ｂの従方向Ｙに分岐配線ｂの接続が可能で、２層目には信号線Ａの従方向Ｙに分岐配線ａの接続が可能である。
【００３９】
（１−７）は、（１−６）の状態から２層目にある信号線Ｃを１層目に移動した後に更に右側に移動し、２層目にある信号線Ａを左側に移動し、１層目にある信号線Ｂを２層目に移動した状態を示している。この（１−７）の占有状況では、１層目に信号線Ｃの従方向Ｙに分岐配線ｃの接続が可能で、２層目には信号線Ｂの従方向Ｙに分岐配線ｂの接続が可能である。
【００４０】
尚、（１−１）から（１−５）までの移動には、（１−２）〜（１−４）の状態を経由するので、（１−１）と（１−５）の両者の間隔には所定の制限が加えられる。この間隔は配線条件によって変わるが、具体的には、１層目から２層目につなぐ配線と他の配線の最低距離や、配線が斜めに引けるかどうか、配線は曲線でもよいか等の配線条件によってその間隔が変わることになる。
【００４１】
（実施形態２）
次に、本発明の実施形態２による多層配線構造を図２を用いて説明する。
【００４２】
この実施形態２は、２層Ｎ列（Ｎは偶数）の配線領域Ｒ３に、信号線を１．５Ｎ本以内で設ける構成とするものである。
【００４３】
具体的には、例えば図２に示すように、２層８列の単位領域Ｒ４で構成された配線領域Ｒ３に１２本の信号線Ａ１〜Ａ４，Ｂ１〜Ｂ４，Ｃ１〜Ｃ４を配設し、信号線Ａ１〜Ａ４，Ｂ１〜Ｂ４，Ｃ１〜Ｃ４の各組を隣接する４単位領域Ｒ４を１単位とするように配線領域Ｒ３における各単位領域Ｒ４を移動可能としている。そして、信号線Ａ１〜Ａ４，Ｂ１〜Ｂ４，Ｃ１〜Ｃ４の各組を所望の単位領域Ｒ２に移動させて信号線Ａ１〜Ａ４，Ｂ１〜Ｂ４，Ｃ１〜Ｃ４の所望の位置に分岐配線ａ１〜ａ４、ｂ１〜ｂ４、ｃ１〜ｃ４を設ける構成としている。
【００４４】
尚、図２（ａ）の平面図に示すように、Ａ１〜Ａ４，Ｂ１〜Ｂ４，Ｃ１〜Ｃ４の各信号線が１層目と２層目の間で移動する際の接続配線は、Ｐ２１〜Ｐ２４の位置で行われる。
【００４５】
図２（ｃ）は、図２（ａ）において（２−１）〜（２−１０）で示す各箇所における断面での、２層８列の単位領域Ｒ４で構成された配線領域Ｒ３に対する配線の占有状況を表わしている。
【００４６】
例えば、（２−１）では、２層目の８つの単位領域がＣ１〜Ｃ４，Ａ１〜Ａ４の各信号線で占有されており、１層目の８つの単位領域の内左側から４つの単位領域が信号線Ｂ１〜Ｂ４で占有され、残りの４つの単位領域が非占有の状態である。この（２−１）の占有状況では、（２−２）〜（２−５）に示すように、１層目に各信号線Ａ１〜Ａ４の従方向Ｙに各分岐配線ａ１〜ａ４の接続が可能である。
【００４７】
（２−６）は、（２−１）の状態から１層目の左側にある信号線Ｂ１〜Ｂ４を右側に移動した状態を示している。
【００４８】
（２−７）は、（２−６）の状態から２層目の左側にある信号線Ｃ１〜Ｃ４を１層目に移動した状態を示している。
【００４９】
（２−８）は、（２−７）の状態から２層目の右側にある信号線Ａ１〜Ａ４を左側に移動した状態を示している。この（２−８）の占有状況では、２層目に各信号線Ｂ１〜Ｂ４の従方向Ｙに各分岐配線ｂ１〜ｂ４の接続が可能である。
【００５０】
（２−９）は、（２−８）の状態から１層目の右側にある信号線Ｂ１〜Ｂ４を２層目に移動した状態を示している。この（２−９）の占有状況では、１層目に各信号線Ｂ１〜Ｂ４の従方向Ｙに各分岐配線ｂ１〜ｂ４の接続が可能である。
【００５１】
（２−１０）は、（２−９）の状態から２層目の左側にある信号線Ａ１〜Ａ４を１層目に移動し、２層目の右側にある信号線Ｂ１〜Ｂ４を左側に移動し、１層目の左側にある信号線Ｃ１〜Ｃ４を右側に移動した後に２層目に移動した状態を示している。この（２−１０）の占有状況では、１層目に各信号線Ｃ１〜Ｃ４の従方向Ｙに各分岐配線ｃ１〜ｃ４の接続が可能である。
【００５２】
上記したように、２層Ｎ列（Ｎは偶数）の配線領域に信号線を１．５Ｎ本以内で設ける構成にすると、Ｎ／２列からなる単位領域を１単位とし、この１単位に属する信号線を１グループとして、グループ単位での信号線の移動が可能となる。
【００５３】
尚、上記実施形態１の場合と同様に、（２−１）から（２−９）までの移動には、（２−２）〜（２−８）の状態を経由するので、（２−１）と（２−９）の両者の間隔には所定の制限が加えられる。
【００５４】
（実施形態３）
次に、本発明の実施形態３による多層配線構造を図３を用いて説明する。
【００５５】
この実施形態３は、Ｍ層における連続するＰ層（Ｐ≦Ｍ、Ｐは２以上の整数）とＮ列で構成された配線領域内に、信号線を｛（Ｐ−１）Ｎ＋１｝本以上、かつ、（ＰＮ−１）本以下で設ける構成とするものである。
【００５６】
例えば、連続する３層４列の単位領域Ｒ６で構成された配線領域Ｒ５に、１１本の信号線Ａ〜Ｋを設ける構成を示している。
【００５７】
上記した実施形態１及び実施形態２からも分かるように、各層において接続可能な従方向Ｙの分岐配線は、主方向Ｘの信号線の単位領域に直接接するように接続される場合と、他の信号線が占有していない単位領域を通して接続される場合とがある。従って、特定の信号線を所望の単位領域に移動させて信号線の所望の位置に分岐配線を設けるために、配線領域においてどのようにして信号線の占有領域を変化させるかということが問題となる。
【００５８】
図３の断面図は、３層４列の単位領域Ｒ６で構成された配線領域Ｒ５に対する１１本の信号線Ａ〜Ｋの占有状況を表わしている。
【００５９】
例えば、（３−１）は、３層目の４つの単位領域がＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの各信号線で占有されており、２層目の４つの単位領域がＥ，Ｆ，Ｇ，Ｈの各信号線で占有されており、１層目の４つの単位領域の内の左側から３つの単位領域が信号線Ｉ，Ｊ，Ｋで占有され、右端の１つの単位領域が非占有の状態である。この（３−１）の占有状況では、１層目に信号線Ｈ，Ｋの従方向Ｙに分岐配線ｈ，ｋの接続が可能であり、２層目には信号線Ｈの従方向Ｙに分岐配線ｈの接続が可能であり、３層目には信号線Ｄの従方向Ｙに分岐配線ｄの接続が可能である。
【００６０】
（３−２）は、（３−１）の状態から１層目の左側にある各信号線Ｉ，Ｊ，Ｋを１つ右の単位領域に移動した状態を示している。この（３−２）の占有状況では、１層目に信号線Ｋの従方向Ｙに分岐配線ｋの接続が可能であり、２層目には信号線Ｈの従方向Ｙに分岐配線ｈの接続が可能であり、３層目には信号線Ｄの従方向Ｙに分岐配線ｄの接続が可能である。
【００６１】
（３−３）は、（３−２）の状態から２層目の左端にある信号線Ｅを１層目に移動し、３層目の左端にある信号線Ａを２層目に移動した状態を示している。この（３−３）の占有状況では、１層目に信号線Ｋの従方向Ｙに分岐配線ｋの接続が可能であり、２層目には信号線Ｈの従方向Ｙに分岐配線ｈの接続が可能であり、３層目には信号線Ｄの従方向Ｙに分岐配線ｄの接続が可能である。
【００６２】
（３−４）は、（３−３）の状態から３層目の左端の信号線Ｄとそれに隣接する信号線Ｃ，Ｄをそれぞれ左側に１単位領域ずつ移動した状態を示している。この（３−４）の占有状況では、１層目に信号線Ｋの従方向Ｙに分岐配線ｋの接続が可能であり、２層目には信号線Ｈの従方向Ｙに分岐配線ｈの接続が可能であり、３層目には信号線Ｄ，Ｈの従方向Ｙに分岐配線ｄ、ｈの接続が可能である。
【００６３】
（３−５）は、（３−４）の状態から２層目の右端の信号線Ｈを３層目に移動した状態を示している。この（３−５）の占有状況では、１層目に信号線Ｋの従方向Ｙに分岐配線ｋの接続が可能であり、２層目には信号線Ｈ，Ｇ，Ｋの従方向Ｙに分岐配線ｈ、ｇ、ｋの接続が可能であり、３層目には信号線Ｈの従方向Ｙに分岐配線ｈの接続が可能である。
【００６４】
（３−６）は、（３−５）の状態から２層目の中央付近の信号線Ｆ，Ｇを１単位領域右側に移動した状態を示している。この（３−６）の占有状況では、１層目に信号線Ｋの従方向Ｙに分岐配線ｋの接続が可能であり、２層目には信号線Ｇの従方向Ｙに分岐配線ｇの接続が可能であり、３層目には信号線Ｈの従方向Ｙに分岐配線ｈの接続が可能である。
【００６５】
このように、連続する３層内のみで、信号線を配線領域における各単位領域を自由に移動させることが可能となる。
【００６６】
尚、上記実施形態１及び実施形態２の場合と同様に、信号線を移動するための間隔には所定の制限が加えられる。一般に、配線領域Ｒ３に対する主方向Ｘの信号線が占有する割合が少ない程、従方向Ｙの分岐配線の間隔に与えられる制限は少なくなる。つまり、主方向Ｘの信号線の占有率が小さい程、従方向Ｙの分岐配線の間隔を狭くすることができ、主方向Ｘの信号線の占有率が大きい程、従方向Ｙの分岐配線の間隔を広くしなければならなくなる。
【００６７】
（実施形態４）
次に、本発明の実施形態４による多層配線構造を図４を用いて説明する。
【００６８】
この実施形態４は、単位領域における信号線の占有率が小さい場合に、多層における上下各層に配設される信号線を上下で重ならないように位置をずらして配置するものである。
【００６９】
具体的には、例えば図４に示すように、２層８列の単位領域Ｒ８で構成された配線領域Ｒ７に、１２本の信号線を設ける構成とする場合に、実際に信号線が占有する配線占有領域Ｒ９が単位領域Ｒ８に対し小さい状況を想定している。
【００７０】
図４（ａ）は、上下の単位領域の位置を揃え、上下の信号線が重なった状態を示している。これに対し、図４（ｂ）は、上下の単位領域の位置を幅Ｗに対しＷ／２だけずらし、上下の信号線が上下で重ならないように位置をずらした状態を示している。図４（ａ）と図４（ｂ）の対比より明らかなように、近接する上下の信号線の間隔Ｌ２がＬ１に対し大きくなる。これにより、上下の信号線における配線容量を減らすことができる。
【００７１】
この実施形態４における信号線の移動は、図４（ａ）の状態で上記した実施形態１〜実施形態３の場合と同様にして行い、信号線が所望の配置となった段階で図４（ｂ）の状態とすればよい。
【００７２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の多層配線構造によれば、Ｍ層Ｎ列（Ｍ，Ｎは２以上の整数）の単位領域で構成された配線領域に、（ＭＮ−１）本以内の信号線を配設するので、信号線に占有されていない単位領域を利用して、信号線を配線領域における各単位領域を自由に移動させることができる。従って、特定の信号線を所望の単位領域に移動させて信号線の所望の位置に分岐配線を設けることができる。
【００７３】
しかも、多層配線構造に分岐配線のための専用の層を設ける必要もないので、配線領域を小さくすることができると共に、特定の信号線の分岐配線をどの層からでも取り出すことができ、又分岐配線を複数の層から取り出すこともできる。
【００７４】
また、Ｍ層における連続するＰ層（Ｐ≦Ｍ、Ｐは２以上の整数）とＮ列で構成された配線領域内に、信号線を｛（Ｐ−１）Ｎ＋１｝本以上、かつ、（ＰＮ−１）本以下で設ける構成にすると、Ｍ層における連続するＰ層内のみで、信号線を配線領域における各単位領域を自由に移動させることができる。
【００７５】
更には、２層Ｎ列（Ｎは偶数）の配線領域に信号線を１．５Ｎ本以内で設ける構成にすると、Ｎ／２列からなる単位領域を１単位とし、この１単位に属する信号線を１グループとして、グループ単位での信号線の移動をすることができる。
【００７６】
加えて、単位領域における信号線の占有率が小さい場合に、多層における上下各層に配設される信号線を上下で重ならないように位置をずらして配置すると、近接する上下の信号線の間隔が大きくなり、上下の信号線における配線容量を減らすことができる。
【００７７】
また、信号線の配線領域における単位領域の占有率を減らすことにより、信号線の分岐配線を取り出すことのできる間隔をより小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１による多層配線構造を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）斜視図、（ｃ）は断面図を表す。
【図２】本発明の実施形態２による多層配線構造を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）斜視図、（ｃ）は断面図を表す。
【図３】本発明の実施形態３による多層配線構造の断面図を示す図である。
【図４】本発明の実施形態４による多層配線構造の断面図を示す図である。
【図５】一般的な配線の説明図である。
【図６】従来例１による多層配線構造を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）斜視図、（ｃ）は断面図を表す。
【図７】従来例２による多層配線構造を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）斜視図、（ｃ）は断面図を表す。
【符号の説明】
Ａ〜Ｋ、Ａ１〜Ａ４、Ｂ１〜Ｂ４、Ｃ１〜Ｃ４  信号線
ａ〜ｋ、ａ１〜ａ４、ｂ１〜ｂ４、ｃ１〜ｃ４  分岐配線
Ｒ１、Ｒ３、Ｒ５、Ｒ７  配線領域
Ｒ２、Ｒ４、Ｒ６、Ｒ８  単位領域
Ｒ９  配線占有領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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