(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平坦なプレートとブレード（１２）との隙間にペーストを通過させることによりペースト膜（４１）を上記プレート（１１）上に形成し、
上記プレート上に上記ペースト膜が形成された状態で上記ペースト膜の膜厚を測定し、
上記ペースト膜が必要とする膜傾き及び膜厚でないとき、上記測定結果に基づき、上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整し、
上記プレート上から上記ペースト膜を取り外すことなく当該ペースト膜と上記ブレードとの隙間にペーストを通過させて、上記ペースト膜の膜傾き又は膜厚を調整するようにしたことを特徴とするペースト膜形成方法。
【請求項２】
上記ペースト膜を上記プレート上に形成するとき、
上記プレートと上記ブレードとの隙間に上記ペーストを通過させることにより上記ペースト膜の一部分を上記プレート上に形成し、
上記プレート上に上記ペースト膜の一部分が形成された状態で当該ペースト膜の一部分の膜厚を測定し、
上記測定結果に基づき、上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整し、
上記プレートと上記ブレードとの隙間にペーストを通過させて、上記ペースト膜の残りの部分を上記プレート上に形成するようにした請求項１に記載のペースト膜形成方法。
【請求項３】
上記ペースト膜（４１）の上記プレート（１１）に対する傾きの差は、｛（Ｔ1−Ｔ2）／Ｌ1｝−｛（ｔ1−ｔ2）／Ｌ3｝の式より求めるものであって、ここで、Ｔ1は上記ペースト膜が形成された上記プレートの上記ペースト膜近傍の任意の第１点での上記プレートの基準面から上記プレート表面までの距離、Ｔ2は上記ペースト膜の上記一端とは反対側の他端の近傍の任意の第２点での上記基準面から上記プレートの表面までの距離、ｔ1は上記任意の第１点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第３点での上記プレートの基準面から上記ペースト膜表面までの距離、ｔ2は上記任意の第２点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第４点での上記プレートの基準面から上記ペースト膜表面までの距離であり、Ｌ1は上記第１点から上記第２点までの距離であり、Ｌ3は上記第３点から上記第４点までの距離である一方、上記ペースト膜の厚みは、｛（ｔ1＋ｔ2）／２｝−｛（Ｔ1＋Ｔ2）／２｝の式より求めるようにした請求項１又は２に記載のペースト膜形成方法。
【請求項４】
上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき上記ペースト膜の膜傾きを算出し、算出された膜傾きに基づき、上記プレートに対して上記ブレードを、上記ブレードの移動方向に対する大略直交面内で回転させることにより、上記プレートに対する上記ブレードの傾きを調整するようにした請求項１〜３のいずれかに記載のペースト膜形成方法。
【請求項５】
上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき、上記プレートに対して上記ブレードを接離させることにより、上記ペースト膜の膜厚を調整するようにした請求項１〜４のいずれかに記載のペースト膜形成方法。
【請求項６】
平坦なプレートとブレードとを備え、上記プレートと上記ブレードの隙間にペーストを通過させることにより上記プレート上にペースト膜（４１）を形成するペースト膜形成ユニット（７０）と、
上記プレート上に上記ペースト膜が形成された状態で上記ペースト膜の膜厚を測定する膜厚測定ユニット（７１）と、
上記プレート及び上記ブレードを上記ペースト膜形成ユニットから取り外すことなく、上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整可能な調整ユニット（７２，７３）と、
上記膜厚測定ユニットの測定結果に基づき、上記ペースト膜形成ユニットと上記調整ユニットの駆動を制御して、上記ペースト膜の膜傾き又は膜厚を調整する制御装置と、
を備え、
上記制御装置は、
上記測定結果に基づいて上記ペースト膜が必要とする膜傾き及び膜厚であるか否かを自動的に判断し、上記ペースト膜が上記必要とする膜傾き及び膜厚でないとき、上記プレート上に上記ペースト膜が形成された状態のまま、上記調整ユニットにより上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整したのち、上記ペースト膜形成ユニットにより上記プレート上の上記ペースト膜と上記ブレードとの隙間にペーストを通過させて、上記ペースト膜の膜傾き又は膜厚を調整することを特徴とするペースト膜形成装置。
【請求項７】
上記制御装置は、上記ペースト膜形成ユニットが上記プレート上に上記ペースト膜を形成するとき、上記プレート上に上記ペースト膜の一部分が形成されるように上記ペースト膜形成ユニットの駆動を制御し、上記膜厚測定ユニットが測定した上記ペースト膜の一部分の膜厚の測定結果に基づき、上記調整ユニットにより上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整したのち、上記プレート上に上記ペースト膜の残りの部分が形成されるように上記ペースト膜形成ユニットの駆動を制御する請求項６に記載のペースト膜形成装置。
【請求項８】
上記膜厚測定ユニットにおいて、上記ペースト膜（４１）の上記プレート（１１）に対する傾きの差は、｛（Ｔ1−Ｔ2）／Ｌ1｝−｛（ｔ1−ｔ2）／Ｌ3｝の式より求めるものであって、ここで、Ｔ1は上記ペースト膜が形成された上記プレートの上記ペースト膜近傍の任意の第１点での上記プレートの基準面から上記プレート表面までの距離、Ｔ2は上記ペースト膜の上記一端とは反対側の他端の近傍の任意の第２点での上記基準面から上記プレートの表面までの距離、ｔ1は上記任意の第１点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第３点での上記プレートの基準面から上記ペースト膜表面までの距離、ｔ2は上記任意の第２点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第４点での上記プレートの基準面から上記ペースト膜表面までの距離であり、Ｌ1は上記第１点から上記第２点までの距離であり、Ｌ3は上記第３点から上記第４点までの距離である一方、上記ペースト膜の厚みは、｛（ｔ1＋ｔ2）／２｝−｛（Ｔ1＋Ｔ2）／２｝の式より求めるようにした請求項６又は７に記載のペースト膜形成装置。
【請求項９】
上記調整ユニットは、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき、上記プレートに対して上記ブレードを、上記ブレードの移動方向に対する大略直交面内で回転させることにより、上記プレートに対する上記ブレードの傾きを調整する膜傾き調整ユニット（７２）を備えるようにした請求項６〜８のいずれかに記載のペースト膜形成装置。
【請求項１０】
上記調整ユニットは、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき、上記プレートに対して上記ブレードを接離させることにより、上記ペースト膜の膜厚を調整する膜厚調整ユニット（７３）を備えるようにした請求項６〜９のいずれかに記載のペースト膜形成装置。
【請求項１１】
上記膜傾き調整ユニットは、上記プレートに固定された第１アクチュエータ（８１）と、上記第１アクチュエータの駆動により上記ブレードを支持するアーム（６２）を該アームの軸方向回りに回転させる回転部材（６１）とを備えて、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき上記第１アクチュエータを駆動して、上記プレートに対して上記回転部材を回転させ上記アームを介して上記ブレードを、上記ブレードの移動方向に対する大略直交面内で回転させることにより、上記プレートに対する上記ブレードの傾きを調整するようにした請求項９に記載のペースト膜形成装置。
【請求項１２】
上記膜厚み調整ユニットは、上記プレートに固定された第２アクチュエータ（８５）と、上記第２アクチュエータの駆動により上記アームを該アームの軸方向と大略直交する方向回りに回動させる回動支点とを備え、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき上記第２アクチュエータの駆動により、上記プレートに対して上記アームを回動させて上記プレートに対して上記ブレードを接離させることにより、上記ペースト膜の膜厚を調整するようにした請求項１０に記載のペースト膜形成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、銀ペーストや銀パラペーストなどの粘性物質からなるペースト膜を、必要とする膜傾きと膜厚に高精度に自動調整可能なペースト膜自動調整機能を有するペースト膜形成方法及び装置に関するものである。このペースト膜形成方法及び装置は、例えば、２段突起形状等のバンプを付けた半導体チップ等を導電性接着剤等で配線基板の電極に直接接続するスタッドバンプボンディング（ＳＢＢ）法によるフリップチップ実装などに使用することができる導電性ペーストの膜形成方法及び装置として適用することができるものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ペースト膜形成方法及び膜形成装置を図６〜８に示す。
【０００３】
図６の従来のペースト膜形成装置では、平坦なプレート１１１と、プレート１１１上にペースト膜を形成するブレード１１２の先端との間にギャップｇを設け、プレート１１１又はブレード１１２を回転又は直線方向に移動させることにより、ギャップｇに粘性物質１１３を通過させてプレート１１１上にペースト膜１１５を形成する図である。図６においては、必要なギャップｇを得るための調整は、ブレード１１２をプレート１１１上に支持するカラー１１４を異なる高さのカラー１１４と交換することによりカラー１１４の高さを変化させ、プレート１１１とブレード１１２との間のギャップｇを、ブレード１１２をプレート１１１に対して垂直方向に移動させることにより、行うようにしている。
【０００４】
また、図７は、ブレード１１２を、支点１１２ａ回りに回動可能なアーム１１２ｂの一端に支持し、アーム１１２ｂの他端にマイクロメータ１２１等の先端を接触させて、マイクロメータ１２１等の先端によりアーム１１２ｂの他端を支点１１２ａ回りに回動させることにより、ブレード１１２をプレート１１１に対して支点１１２ａ回りに円弧状に移動させて、ギャップｇを変化させるようにしている。
【０００５】
また、ペースト膜１１５の傾きは、図８に示すように、プレート１１１とブレード１１２との間の取付平行度によるため、ペースト膜１１５の傾きを調整するためには上記取付平行度を人手により調整する必要があった。
【０００６】
さらに、ペースト膜１１５が必要とする膜傾き及び膜厚であるか否かの確認には、プレートを膜形成装置から取り外して、プレート上に形成されたペースト膜を、膜形成装置とは別に配置された膜厚測定器により測定を行わなければならなかった。そして、測定器でペースト膜１１５の膜傾き及び膜厚測定を行い、必要とする膜傾きか否か、必要とする膜厚か否かを確認していた。必要とする膜傾き又は膜厚でない場合には、プレート１１１とブレード１１２の取付平行度を再度調整するとともに、ギャップｇの変更を行っていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の様な従来の構成では、プレート１１１とブレード１１２の間のギャップｇを変化させるためには、必要とする膜厚毎に、カラー１１４を用意する必要があり、また、プレート１１１とブレード１１２との取付平行度の調整は、高度な熟練作業を必要とする。
【０００８】
また、必要とする膜傾き及び膜厚であるか否かを確認する為、一旦、プレート１１１、ブレード１１２を膜形成装置から取り外し、ペースト膜１１５の膜傾き及び膜厚を測定器にて確認を行い、必要とする膜傾き及び膜厚でない場合には、再調整を必要とし、また、必要とする膜傾き膜厚であったとしても、再度、プレート１１１を装置に取付ける為、信頼性に欠け、調整確認作業に多大な時間を必要とするといった課題があった。
【０００９】
そこで、本発明は、上記課題を解決するものであって、プレートとブレードを膜形成装置から取り外すことなく、プレートとブレードとの間の取付平行度の調整に高度な熟練作業を必要とせず、また、必要とする膜傾き及び膜厚を短時間でかつ高信頼性にペースト膜を形成することができるペースト膜形成方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００１１】
本発明の第１態様によれば、平坦なプレートとブレードとの隙間にペーストを通過させることによりペースト膜を上記プレート上に形成し、
上記プレート上に上記ペースト膜が形成された状態で上記ペースト膜の膜厚を測定し、
上記ペースト膜が必要とする膜傾き及び膜厚でないとき、上記測定結果に基づき、上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整し、
上記プレート上から上記ペースト膜を取り外すことなく当該ペースト膜と上記ブレードとの隙間にペーストを通過させて、上記ペースト膜の膜傾き又は膜厚を調整するようにしたことを特徴とするペースト膜形成方法を提供する。
【００１２】
本発明の第２態様によれば、上記ペースト膜を上記プレート上に形成するとき、
上記プレートと上記ブレードとの隙間に上記ペーストを通過させることにより上記ペースト膜の一部分を上記プレート上に形成し、
上記プレート上に上記ペースト膜の一部分が形成された状態で当該ペースト膜の一部分の膜厚を測定し、
上記測定結果に基づき、上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整し、
上記プレートと上記ブレードとの隙間にペーストを通過させて、上記ペースト膜の残りの部分を上記プレート上に形成するようにした第１態様に記載のペースト膜形成方法を提供する。
【００１３】
本発明の第３態様によれば、  上記ペースト膜（４１）の上記プレート（１１）に対する傾きの差は、｛（Ｔ1−Ｔ2）／Ｌ1｝−｛（ｔ1−ｔ2）／Ｌ3｝の式より求めるものであって、ここで、Ｔ1は上記ペースト膜が形成された上記プレートの上記ペースト膜近傍の任意の第１点での上記プレートの基準面から上記プレート表面までの距離、Ｔ2は上記ペースト膜の上記一端とは反対側の他端の近傍の任意の第２点での上記基準面から上記プレートの表面までの距離、ｔ1は上記任意の第１点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第３点での上記プレートの基準面から上記ペースト膜表面までの距離、ｔ2は上記任意の第２点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第４点での上記プレートの基準面から上記ペースト膜表面までの距離であり、Ｌ1は上記第１点から上記第２点までの距離であり、Ｌ3は上記第３点から上記第４点までの距離である一方、上記ペースト膜の厚みは、｛（ｔ1＋ｔ2）／２｝−｛（Ｔ1＋Ｔ2）／２｝の式より求めるようにした第１又は２態様に記載のペースト膜形成方法。
【００１４】
本発明の第４態様によれば、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき上記ペースト膜の膜傾きを算出し、算出された膜傾きに基づき、上記プレートに対して上記ブレードを、上記ブレードの移動方向に対する大略直交面内で回転させることにより、上記プレートに対する上記ブレードの傾きを調整するようにした第１〜３のいずれかの態様に記載のペースト膜形成方法を提供する。
【００１５】
本発明の第５態様によれば、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき、上記プレートに対して上記ブレードを接離させることにより、上記ペースト膜の膜厚を調整するようにした第１〜４のいずれかの態様に記載のペースト膜形成方法を提供する。
【００１６】
本発明の第６態様によれば、平坦なプレートとブレードとを備え、上記プレートと上記ブレードの隙間にペーストを通過させることにより上記プレート上にペースト膜を形成するペースト膜形成ユニットと、
上記プレート上に上記ペースト膜が形成された状態で上記ペースト膜の膜厚を測定する膜厚測定ユニットと、
上記プレート及び上記ブレードを上記ペースト膜形成ユニットから取り外すことなく、上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整可能な調整ユニットと、
上記膜厚測定ユニットの測定結果に基づき、上記ペースト膜形成ユニットと上記調整ユニットの駆動を制御して、上記ペースト膜の膜傾き又は膜厚を調整する制御装置と、
を備え、
上記制御装置は、
上記測定結果に基づいて上記ペースト膜が必要とする膜傾き及び膜厚であるか否かを自動的に判断し、上記ペースト膜が上記必要とする膜傾き及び膜厚でないとき、上記プレート上に上記ペースト膜が形成された状態のまま、上記調整ユニットにより上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整したのち、上記ペースト膜形成ユニットにより上記プレート上の上記ペースト膜と上記ブレードとの隙間にペーストを通過させて、上記ペースト膜の膜傾き又は膜厚を調整することを特徴とするペースト膜形成装置を提供する。
【００１７】
本発明の第７態様によれば、上記制御装置は、上記ペースト膜形成ユニットが上記プレート上に上記ペースト膜を形成するとき、上記プレート上に上記ペースト膜の一部分が形成されるように上記ペースト膜形成ユニットの駆動を制御し、上記膜厚測定ユニットが測定した上記ペースト膜の一部分の膜厚の測定結果に基づき、上記調整ユニットにより上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整したのち、上記プレート上に上記ペースト膜の残りの部分が形成されるように上記ペースト膜形成ユニットの駆動を制御する第６態様に記載のペースト膜形成装置を提供する。
【００１８】
本発明の第８態様によれば、上記膜厚測定ユニットにおいて、上記ペースト膜の上記プレートに対する傾きの差は、｛（Ｔ1−Ｔ2）／Ｌ1｝−｛（ｔ1−ｔ2）／Ｌ3｝の式より求めるものであって、ここで、Ｔ1は上記ペースト膜が形成された上記プレートの上記ペースト膜近傍の任意の第１点での上記プレートの基準面から上記プレート表面までの距離、Ｔ2は上記ペースト膜の上記一端とは反対側の他端の近傍の任意の第２点での上記基準面から上記プレートの表面までの距離、ｔ1は上記任意の第１点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第３点での上記プレートの基準面から上記ペースト膜表面までの距離、ｔ2は上記任意の第２点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第４点での上記プレートの基準面から上記ペースト膜表面までの距離であり、Ｌ1は上記第１点から上記第２点までの距離であり、Ｌ3は上記第３点から上記第４点までの距離である一方、上記ペースト膜の厚みは、｛（ｔ1＋ｔ2）／２｝−｛（Ｔ1＋Ｔ2）／２｝の式より求めるようにした第６又は７態様に記載のペースト膜形成装置を提供する。
【００１９】
本発明の第９態様によれば、上記調整ユニットは、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき、上記プレートに対して上記ブレードを、上記ブレードの移動方向に対する大略直交面内で回転させることにより、上記プレートに対する上記ブレードの傾きを調整する膜傾き調整ユニットを備えるようにした第６〜８のいずれかの態様に記載のペースト膜形成装置を提供する。
【００２０】
本発明の第１０態様によれば、上記調整ユニットは、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき、上記プレートに対して上記ブレードを接離させることにより、上記ペースト膜の膜厚を調整する膜厚調整ユニットを備えるようにした第６〜９のいずれかの態様に記載のペースト膜形成装置を提供する。
【００２１】
本発明の第１１態様によれば、上記膜傾き調整ユニットは、上記プレートに固定された第１アクチュエータと、上記第１アクチュエータの駆動により上記ブレードを支持するアームを該アームの軸方向回りに回転させる回転部材とを備えて、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき上記第１アクチュエータを駆動して、上記プレートに対して上記回転部材を回転させ上記アームを介して上記ブレードを、上記ブレードの移動方向に対する大略直交面内で回転させることにより、上記プレートに対する上記ブレードの傾きを調整するようにした第９態様に記載のペースト膜形成装置を提供する。
【００２２】
本発明の第１２態様によれば、上記膜厚み調整ユニットは、上記プレートに固定された第２アクチュエータと、上記第２アクチュエータの駆動により上記アームを該アームの軸方向と大略直交する方向回りに回動させる回動支点とを備え、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき上記第２アクチュエータの駆動により、上記プレートに対して上記アームを回動させて上記プレートに対して上記ブレードを接離させることにより、上記ペースト膜の膜厚を調整するようにした第１０態様に記載のペースト膜形成装置を提供する。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施形態について図面に基づき説明する。
【００２４】
本発明の第１実施形態にかかるペースト膜形成方法及びその方法を実施するためのペースト膜形成装置は、図１に示すように、ペースト膜を形成するペースト膜形成ユニット７０と、膜厚を測定する測定ユニット７１と、膜傾き及び膜厚を変化させる自動調整ユニット７２，７３を備えるものであり、プレート１１及びブレード１２をペースト膜形成装置から取り外すことなく、また、プレート１１とブレード１２との間の取付平行度の高精度な調整を必要とせず、必要とするペースト膜傾き及び膜厚を短時間でかつ高信頼・高精度に得ることができるものである。以下に、詳細に説明する。
【００２５】
上記ペースト膜形成ユニット７０においては、円形のプレート１１の表面と大略平板状のブレード１２の下端との間にギャップを設けて、図１において支持台３９にアーム６２を介して支持されたブレード１２の右側のプレート１１上に粘性物質１３を載置し、プレート１１を時計方向に回転させて、上記ギャップに粘性物質１３を通過させることにより、ペースト膜４１を形成する。粘性物質１３を通過させるためには、ブレード１２を固定してプレート１１を直線又は回転移動させるか、プレート１１を固定してブレード１２を直線又は回転移動させることにより行う。図１の装置は、ブレード１２を固定しておき、モータ２１などによりプレート１１を回転させる。図１において、２２は一度形成したペースト膜を掻き取る掻き取りブレードを有する掻き取り装置、５１は膜厚測定器である。
【００２６】
図２は、上記ペースト膜形成装置のペースト膜４１の傾きと厚みを測定する測定ユニット７１を示す。例えば市販の公知のレーザ測定器から構成される膜厚測定器５１を固定として膜形成装置をロボットなどの移動装置により移動、又は、膜形成装置を固定とし膜厚測定器５１をロボットなどの移動装置により移動させることにより、レーザ光を利用して、プレート１１からのペースト膜４１の傾き及び厚みを測定する。
【００２７】
図３は、上記測定器５１を利用して、上記ペースト膜形成装置のペースト膜４１の傾き及び厚みの推定方法を示す。
【００２８】
まず、プレート１１上のポイント１，２及びペースト膜４１のポイント３，４での上記ペースト膜形成装置の基準面からの距離を膜測定器５１によりそれぞれ測定する。ペースト膜４１のプレート（１１）に対する傾きの差は、プレート１１の傾きとペースト膜４１の傾きの差を演算することにより、すなわち、
【００２９】
【数１】
傾きの差＝｛（Ｔ1−Ｔ2）／Ｌ1｝−｛（ｔ1−ｔ2）／Ｌ3｝
の式より求められる。ここで、Ｔ1はポイント１（上記ペースト膜が形成された上記プレートの上記ペースト膜近傍の任意の第１点）でのペースト膜形成装置の基準面からプレート１１の表面まで距離、Ｔ2はポイント２（上記ペースト膜の上記一端とは反対側の他端の近傍の任意の第２点）での上記基準面からプレート１１の表面までの距離、ｔ1はポイント３（上記任意の第１点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第３点）でのプレート１１の基準面からペースト膜表面までの距離、ｔ2はポイント４（上記任意の第２点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第４点）でのプレート１１の基準面からペースト膜表面までの距離である。ここで、図３に示すように、ポイント１からポイント２までの距離をＬ1とし、ポイント３からポイント４までの距離をＬ3とし、ポイント１とポイント２との間の中心線と、ポイント３とポイント４との間の中心線とが一致するようになっている。ただし、（ｔ1＋ｔ2）＞（Ｔ1＋Ｔ2）となっている。よって、ペースト膜４１の厚みは、
【００３０】
【数２】
ペースト膜厚＝｛（ｔ1＋ｔ2）／２｝−｛（Ｔ1＋Ｔ2）／２｝
の式より求められる。
【００３１】
図４は、上記ペースト膜形成装置のペースト膜４１の傾き及び厚みを自動調整する場合のフローチャートを示す。
【００３２】
まず、ステップＳ１で、初期のペースト膜４１の傾き及び厚さを膜測定器５１により測定する。次いで、ステップＳ２で、後記する傾き自動調整ユニット７２及び厚み自動調整ユニット７３により、プレート１１とブレード１２との平行度、及び、プレート１１とブレード１２との間のギャップをそれぞれ変化させたのち、ペースト膜形成ユニット７０によりペースト膜４１を再度形成する。ステップＳ３で、再度、膜測定器５１により、ステップＳ２で形成されたペースト膜４１の傾きと厚さを測定し、必要とする膜傾き及び膜厚であるか否かを自動的に確認する。すなわち、測定器５１からの測定値が後記する制御装置４０に入力され、制御装置４０に予め入力されていた必要とする傾きと厚みの値と上記入力された値とをそれぞれ比較し、許容範囲内か否か自動的に判断する。必要とする膜傾き及び膜厚が形成されていない場合は、再度、ステップＳ２に戻り、プレート１１とブレード１２平行度及びプレート１１とブレード１２との間のギャップを変化させてペースト膜を形成し、ステップＳ３で再度ペースト膜傾き及び厚さを測定するといった再調整を行う。この再調整を行うか否かの判断も制御装置４０で自動的に行う。このような動作を、必要とする膜傾き及び厚さが得られるまで、制御装置４０で自動的に続ける。ただし、所定回数続けても得られない場合には、この調整動作を中止するようにしてもよい。
【００３３】
図５は、図１のペースト膜形成装置のペースト膜４１の傾きの自動調整ユニット７２の部分を示す斜視図である。この傾き自動調整ユニット７２は、ペースト膜形成ユニット７０のプレート１１に対するブレード１２の支持機構に組み込まれたものである。この傾き自動調整ユニット７２は、ペースト膜４１の傾き測定の結果より、ブレード１２の傾きをピエゾ素子又はモータ等のアクチュエータ８１により変化させることによりペースト膜４１傾きを調整するものである。すなわち、傾き自動調整ユニット７２では、Ｌ字状部材と逆Ｌ字状部材とが一体的に組み合わせられた形状の支持部材６０がプレート１１の支持台３９に固定されている。支持部材６０には、その上端６０ａから下向きにアクチュエータ８１が取り付けられている。また、プレート１１を回転可能に支持する支持台３９には、支持部材６０の近傍に、回転ガイド８２により正逆回転可能に回転部材６１が取り付けられている。支持部材６０の上端６０ａより横方向に突出した突起６０ｂとこれに対向する回転部材６１の突起６１ｂとの間には、両突起６０ｂ，６１ｂを互いに接近するように付勢するスプリング８３が配置されて、スプリング８３の付勢力により、回転部材６１の一端６１ｄの上面に、支持部材６０に固定されたアクチュエータ８１の下端駆動部が常時接触するようにしている。なお、アーム６２の長手軸方向と上記回転部材６１の回転中心軸とは大略平行になっている。
【００３４】
また、アクチュエータ８１の駆動は制御装置４０により制御されている。この制御装置４０は、ブレード１２に対してプレート１１を回転させてペースト膜４１をプレート１１上で形成するときプレート１１を回転させるためのモータ３８の駆動を制御するとともに、測定器５１で測定された測定結果の情報が入力されるようになっている。また、この制御装置４０では、測定器５１から入力された測定結果情報に基づき、ペースト膜４１の傾き及び膜厚を上記２つの式で演算することも行うようにしている。
【００３５】
よって、測定器５１から入力された測定結果情報のペースト膜４１の厚み測定結果に基づき算出されたペースト膜の傾きに基づき、アクチュエータ８１の下端駆動部を上向きに移動させるように引き込むか（ピエゾ素子の場合には縮ませるか）又は下向きに移動させるように突出させる（ピエゾ素子の場合には伸ばす）と、スプリング８３の付勢力により回転部材６１の一端６１ｄがアクチュエータ８１の下端駆動部に追随するように移動するため、回転部材６１が矢印Ａで示すように回転ガイド８２回りに反時計方向に回転又は時計方向に回転する。この結果、回転部材６１の上部に回転ガイド６３を介して回動可能に支持されたアーム６２の先端のブレード１２が、矢印Ｂで示すように反時計方向に回転するか又は時計方向に回転することになり、ブレード１２下端のプレート１１に対する傾き言い換えれば平行度を調整することができる。
【００３６】
また、上記図５は、図１のペースト膜形成装置のペースト膜４１の厚みの自動調整ユニット７３の部分を示す斜視図でもある。この厚み自動調整ユニット７３もまた、ペースト膜形成ユニット７０のプレート１１に対するブレード１２の支持機構に組み込まれたものである。厚み自動調整ユニット７３では、回転部材６１の横方向に延びた支持部６１ｅの上面には、上向きにピエゾ素子又はモータ等のアクチュエータ８５が取り付けられている。アーム６２の後部６２ｅの後端の突起６２ｃとこれに対向する回転部材６１の突起６１ｃとの間には、両突起６２ｃ，６１ｃを互いに接近するように付勢するスプリング８４が配置されて、スプリング８４の付勢力により、アーム６２の後部６２ｅの下面に、回転部材６１の支持部６１ｅに固定されたアクチュエータ８５の上端駆動部が常時接触するようにしている。なお、アーム６２の長手軸方向とアーム６２の回動中心軸とは大略大略直交するようになっている。また、アクチュエータ８１の駆動は制御装置４０により制御されている。
【００３７】
よって、測定器５１から制御装置４０に入力されたペースト膜４１の厚み測定結果に基づき、アクチュエータ８５の上端駆動部を上向きに移動させるように突出させるか（ピエゾ素子の場合には伸ばすか）又は下向きに移動させるように引き込む（ピエゾ素子の場合には縮ませる）と、スプリング８４の付勢力によりアーム６２の後部６２ｅの下面がアクチュエータ８５の上端駆動部に追随するように移動するため、アーム６２が矢印Ｃで示すように回転ガイド８３回りに時計方向に回動又は反時計方向に回動する。この結果、アーム６２の先端のブレード１２が、矢印Ｄで示すように時計方向に回動又は反時計方向に回動することになり、ブレード１２下端のプレート１１に対するギャップを調整して、ペースト膜の厚さを調整することができる。
【００３８】
なお、本発明は、円環状のペースト膜を１枚完全に形成したのち、膜厚の測定を行い、調整作業を行ったのち、再び円環状の１枚のペースト膜を完全に形成するものに限定されるものではなく、円環状のうち一部分（例えば４分の１程度）のペースト膜を形成した時点で一時中断し、膜厚を測定して調整したのち、再び、円環状の残りの部分（４分の３程度）のペースト膜を形成し、その部分の膜厚を測定して所望の値が得られたならば、形成されたペースト膜は廃棄せずに、円環状の１枚のペースト膜を再形成するようにしてもよい。
【００３９】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、ペースト膜をプレート上に形成したのち、プレート上に形成されたままでペースト膜の膜厚を測定し、測定結果に基づき算出された膜厚又は傾きに基づき、プレートとブレードとのギャップ又はプレートとブレードとの平行度を調整して上記ペースト膜の膜厚又は傾きを調整することができる。よって、プレート及びブレードをペースト膜形成装置から取り外すことなく、また、プレートとブレードとの間のペースト膜形成装置に対する取付平行度に高精度な調整を必要とせず、必要とする膜傾き及び膜厚を短時間でかつ高信頼性・高精度に形成できるという有利な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態にかかるペースト膜形成装置のペースト膜形成ユニットの斜視図である。
【図２】  上記ペースト膜形成装置のペースト膜傾き及び厚み測定ユニットの斜視図である。
【図３】  上記ペースト膜形成装置のペースト膜傾き及び厚みの推定方法を示す説明図である。
【図４】  上記ペースト膜形成装置のペースト膜傾き及び厚み自動調整フローチャートである。
【図５】  上記ペースト膜形成装置のペースト膜形成ユニットの一部に組み込まれたペースト膜傾き自動調整ユニット及び厚み自動調整ユニットの斜視図である。
【図６】  従来のペースト膜形成装置を示す説明図である。
【図７】  従来の別のペースト膜形成装置を示す説明図である。
【図８】  従来のプレートとブレードの取付平行度調整を説明するための説明図である。
【符号の説明】
１１      平坦なプレート
１２      ペースト膜形成用ブレード
１３      粘性物質（ペースト）
２１      マイクロメータ
４１      ペースト膜
５１      膜厚測定器
７０      ペースト膜形成ユニット
７１      ペースト膜厚測定ユニット
７２      ペースト膜傾き自動調整ユニット
７３      ペースト膜厚み自動調整ユニット
８１，８５      アクチュエータ
８２      回転ガイド
８３，８４      スプリング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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