(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
交互に極性が異なるように界磁極を構成する複数の永久磁石を直線状に並べて配置した界磁ヨークと、前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して対向するように配置した電機子とを備え、
前記電機子は、主ティースとスロットを有する電機子コアと、前記電機子コアのスロットにコイルを巻回した電機子巻線と、前記電機子コアの両端に配置した補助ティースより構成してあり、
前記補助ティースの中心間の距離τｐと前記界磁極のピッチτｍとの関係が、τｐ＝（２ｎ−１）×τｍ／２  （ｎは正の整数）であり、
前記界磁極と前記電機子との何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁極と前記電機子を相対的に走行するようにした永久磁石型同期リニアモータにおいて、
前記補助ティースが前記永久磁石の磁石列と直交する方向の長さをＨｄ、前記主ティースが永久磁石の磁石列と直交する方向の長さをＨｔとした時に、前記補助ティースの長さを０＜Ｈｄ＜Ｈｔの範囲に設定したことを特徴とする永久磁石型同期リニアモータ。
【請求項２】
前記補助ティースが前記永久磁石の磁石列の長手方向に沿う幅Ｂｄを、前記主ティースが前記永久磁石の磁石列の長手方向に沿う幅Ｂｔよりも狭くしたことを特徴とする請求項１記載の永久磁石型同期リニアモータ。
【請求項３】
前記補助ティースの長さＨｄと、前記主ティースの長さＨｔとの比Ｈｄ／Ｈｔを、０．５≦Ｈｄ／Ｈｔ＜１に設定したことを特徴とする請求項１または２記載の永久磁石型同期リニアモータ。
【請求項４】
前記電機子コアは、複数の分割コアで構成されると共に、前記分割コアを構成する継鉄部の一方側面に凸状の係合部を、他方側面に凹状の係合部を設け、隣り合う各々の係合部を嵌合させて結合したことを特徴とする請求項１から３までの何れか１項に記載の永久磁石型同期リニアモータ。
【請求項５】
交互に極性が異なるように界磁極を構成する複数の永久磁石を直線状に並べて配置した界磁ヨークと、前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して対向するように配置した電機子とを備え、
前記電機子は、主ティースとスロットを有する電機子コアと、前記電機子コアのスロットにコイルを巻回した電機子巻線と、前記電機子コアの両端に配置した補助ティースより構成してあり、
前記補助ティースの中心間の距離τｐと前記界磁極のピッチτｍとの関係がτｐ≠（２ｎ−１）×τｍ／２  （ｎは正の整数）であり、
前記界磁極と前記電機子との何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁極と前記電機子を相対的に走行するようにした永久磁石型同期リニアモータにおいて、
前記補助ティースが永久磁石の磁石列と直交する方向の長さをＨｄ、前記主ティースが永久磁石の磁石列と直交する方向の長さをＨｔとした時に、前記補助ティースの長さを０＜Ｈｄ≦Ｈｔの範囲に設定したことを特徴とする永久磁石型同期リニアモータ。
【請求項６】
前記補助ティースの長さＨｄと、前記主ティースの長さＨｔとの比Ｈｄ／Ｈｔを、０．５≦Ｈｄ／Ｈｔ≦１に設定したことを特徴とする請求項５記載の永久磁石型同期リニアモータ。
【請求項７】
前記電機子コアは、複数の分割コアで構成されると共に、前記分割コアを構成する継鉄部の一方側面に凸状の係合部を、他方側面に凹状の係合部を設け、隣り合う各々の係合部を嵌合させて結合したことを特徴とする請求項５または６に記載の永久磁石型同期リニアモータ。
【請求項８】
交互に極性が異なるように界磁極を構成する複数の永久磁石を直線状に並べて配置した界磁ヨークと、前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して対向するように配置した電機子とを備え、
前記電機子は、主ティースとスロットを有する電機子コアと、前記電機子コアのスロットにコイルを巻回した電機子巻線と、前記電機子コアの両端に配置した補助ティースより構成してあり、
前記界磁極と前記電機子との何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁極と前記電機子を相対的に走行するようにした永久磁石型同期リニアモータにおいて、
界磁極ピッチτｍと補助ティースの中心間距離τｐとの関係が
（２ｎ−１）τｍ／８≦τｐ≦（２ｎ−１）τｍ／２  （ｎは正の整数）であり、
前記補助ティースが前記永久磁石の磁石列と直交する方向の長さをＨｄ、前記主ティースが前記永久磁石の磁石列と直交する方向の長さをＨｔとした時に、前記補助ティースの長さを０＜Ｈｄ≦Ｈｔの範囲に設定したことを特徴と永久磁石型同期リニアモータ。
【請求項９】
前記補助ティースが前記永久磁石の磁石列の長手方向に沿う幅Ｂｄを、前記主ティースが前記永久磁石の磁石列の長手方向に沿う幅Ｂｔよりも狭くしたことを特徴とする請求項８記載の永久磁石型同期リニアモータ。
【請求項１０】
前記電機子コアは、複数の分割コアで構成されると共に、前記分割コアを構成する継鉄部の一方側面に凸状の係合部を、他方側面に凹状の係合部を設け、隣り合う各々の係合部を嵌合させて結合したことを特徴とする請求項８または９に記載の永久磁石型同期リニアモータ。
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明は、コギング推力が小さく高性能な永久磁石型同期リニアモータに関する。
［背景技術］
従来、工作機械の送り機構や半導体製造装置の位置決め装置などに利用されると共に、界磁極を構成する永久磁石と、永久磁石の磁極面に空隙を介して対向し、電機子コアのスロット内に電機子巻線を巻回してなる電機子を備えた永久磁石型同期リニアモータが知られている。
このような構成のリニアモータの電機子巻線に通電しない状態で、永久磁石との電磁作用により電機子を永久磁石の磁石列の長手方向に移動させる際、電機子コア両端部の端効果によりコギング推力が発生する。このコギング推力を低減するためには、電機子コアの両端に補助ティースを備えたものが以下の従来技術として提案されている。
図５は第１の従来技術を示す永久磁石型同期リニアモータの側断面図であって、８ポール、９スロットのギャップ対向形の例を用いたものである（例えば、実公平７−０５３４２７号公報）。
図５において、１は平板状の界磁ヨーク、２は界磁ヨーク１に極性が交互に異なるように複数個取付けた永久磁石、１０は永久磁石２の磁極面に空隙を介して対向する電機子、１１は電機子コアであって、電磁鋼板を櫛歯状に打ち抜き、スロット１１ａを形成する主ティース１１ｂと、主ティース１１ｂを連結する継鉄部１１ｃとを有する電機子鉄板を積層固定したものである。１２はスロット１１ａに巻回収納した電機子巻線である。１３は電機子コア１１の両端に備えた補助ティースであって、主ティース１１ｂの長さＨｔと補助ティース１３の長さＨｄは同じ長さである。このリニアモータは、界磁ヨーク１に設けた永久磁石２を固定子とし、電機子１０を可動子とし、電機子１０を界磁ヨーク１の長手方向に対して走行するものである。
この構成のリニアモータでは、電機子両端に設けられた補助ティースの中心間の距離をτｐｏとし、界磁極ピッチをτｍとした場合、補助ティースの中心間の距離τｐｏは、界磁極ピッチの半ピッチの奇数倍、すなわちτｐｏ＝（２ｎ−１）×τｍ／２という関係になっている。なお、図５はｎ＝９とした例を示している。
その他、第２の従来技術として、特公昭６０−３０１９５号公報に開示されたリニアモータが上げられる。
このリニアモータは、電機子両端に設けられた補助ティースの中心間の距離τｐｏを界磁極ピッチτｍの奇数倍としたものであり、τｐｏ＝（２ｎ−１）×τｍという関係となっている。
ところが、従来技術では、電機子コアの端部の端効果を打ち消す対策として、上記のような補助ティースの中心間距離を規定しているものの、リニアモータの用途に応じて高性能化を図ろうとすると逆に設計の自由度が小さくなるため、コギング推力を小さくすることはできず、リニアモータの高性能化を図る上で支障をきたすという問題があった。
また、従来技術が規定している補助ティースの中心間距離は、１磁極ピッチに対して１周期分の変化する一次成分を考慮して求められたものである。したがって一次成分に対しては大きな低減効果があるが、コギング波形に２次成分や高次成分が含まる場合には、高次成分に対する低減効果が小さく、コギングを小さくできない場合があった。
また、電機子のティース間のスロット形状などの影響等により、コギング低減効果が最大となる補助ティース間ピッチが上記の従来技術で規定したピッチからずれる場合がある。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、コギング推力が小さく高性能な永久磁石型同期リニアモータを提供することを目的とする。
［発明の開示］
上記問題を解決するために、請求項１の本発明は、交互に極性が異なるように界磁極を構成する複数の永久磁石を直線状に並べて配置した界磁ヨークと、前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して対向するように配置した電機子とを備え、前記電機子は、主ティースとスロットを有する電機子コアと、前記電機子コアのスロットにコイルを巻回した電機子巻線と、前記電機子コアの両端に配置した補助ティースより構成してあり、前記補助ティースの中心間の距離τｐと前記界磁極のピッチτｍとの関係がτｐ＝（２ｎ−１）×τｍ／２（ｎは正の整数）であり、前記界磁極と前記電機子との何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁極と前記電機子を相対的に走行するようにした永久磁石型同期リニアモータにおいて、前記補助ティースの永久磁石の磁石列と直交する方向の長さをＨｄ、前記主ティースの永久磁石の磁石列と直交する方向の長さをＨｔとした時に、前記補助ティースの長さを０＜Ｈｄ＜Ｈｔの範囲に設定したものである。
請求項２の本発明は、請求項１に記載の永久磁石型同期リニアモータにおいて、前記補助ティースの永久磁石の磁石列の長手方向に沿う幅Ｂｄを、前記主ティースの永久磁石列の長手方向に沿う幅Ｂｔよりも狭くしたものである。
請求項３の本発明は、請求項１または２に記載の永久磁石型同期リニアモータにおいて、前記補助ティースの長さＨｄと、前記主ティースの長さＨｔとの比Ｈｄ／Ｈｔを、０．５≦Ｈｄ／Ｈｔ＜１に設定したものである。
請求項４の本発明は、請求項１から３までの何れか１項に記載の永久磁石型同期リニアモータにおいて、前記電機子コアは、複数の分割コアで構成されると共に、前記分割コアを構成する継鉄部の一方側面に凸状の係合部を、他方側面に凹状の係合部を設け、隣り合う各々の係合部を嵌合させて結合したものである。
請求項５の本発明は、交互に極性が異なるように界磁極を構成する複数の永久磁石を直線状に並べて配置した界磁ヨークと、前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して対向するように配置した電機子とを備え、前記電機子は、主ティースとスロットを有する電機子コアと、前記電機子コアのスロットにコイルを巻回した電機子巻線と、前記電機子コアの両端に配置した補助ティースより構成してあり、前記補助ティースの中心間の距離τｐと前記界磁極のピッチτｍとの関係がτｐ≠（２ｎ−１）×τｍ／２（ｎは正の整数）であり、前記界磁極と前記電機子との何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁極と前記電機子を相対的に走行するようにした永久磁石型同期リニアモータにおいて、前記補助ティースの永久磁石の磁石列と直交する方向の長さをＨｄ、前記主ティースの永久磁石列と直交する方向の長さをＨｔとした時に、前記補助ティースの長さを０＜Ｈｄ≦Ｈｔの範囲に設定したものである。
請求項６の本発明は、請求項５記載の永久磁石型同期リニアモータにおいて、前記補助ティースの長さＨｄと、前記主ティースの長さＨｔとの比Ｈｄ／Ｈｔを、０．５≦Ｈｄ／Ｈｔ≦１に設定したものである。
請求項７の本発明は、請求項５または６に記載の永久磁石型同期リニアモータにおいて、前記電機子コアは、複数の分割コアで構成されると共に、前記分割コアを構成する継鉄部の一方側面に凸状の係合部を、他方側面に凹状の係合部を設け、隣り合う各々の係合部を嵌合させて結合したものである。
請求項８の本発明は、交互に極性が異なるように界磁極を構成する複数の永久磁石を直線状に並べて配置した界磁ヨークと、前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して対向するように配置した電機子とを備え、
前記電機子は、主ティースとスロットを有する電機子コアと、前記電機子コアのスロットにコイルを巻回した電機子巻線と、前記電機子コアの両端に配置した補助ティースより構成してあり、
前記界磁極と前記電機子との何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁極と前記電機子を相対的に走行するようにした永久磁石型同期リニアモータにおいて、
界磁極ピッチτｍと補助ティースの中心間距離τｐとの関係が
（２ｎ−１）τｍ／８≦τｐ≦（２ｎ−１）τｍ／２（ｎは正の整数）であり、前記補助ティースが前記永久磁石の磁石列と直交する方向の長さをＨｄ、前記主ティースが前記永久磁石の磁石列と直交する方向の長さをＨｔとした時に、前記補助ティースの長さを０＜Ｈｄ≦Ｈｔの範囲に設定したものである。
請求項９の本発明は、請求項８の永久磁石型同期リニアモータにおいて、前記補助ティースが前記永久磁石の磁石列の長手方向に沿う幅Ｂｄを、前記主ティースが前記永久磁石の磁石列の長手方向に沿う幅Ｂｔよりも狭くしたものである。
請求項１０の本発明は、請求項９の永久磁石型同期リニアモータにおいて、前記電機子コアは、複数の分割コアで構成されると共に、前記分割コアを構成する継鉄部の一方側面に凸状の係合部を、他方側面に凹状の係合部を設け、隣り合う各々の係合部を嵌合させて結合したものである。
［発明を実施するための最良の形態］
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
（第１実施例）
図１は本発明の実施例を示す永久磁石型同期リニアモータであって、第１〜第３実施例における主ティースと補助ティースの関係を説明する上で共通なリニアモータの側面図である。
本発明が従来と同じ構成要素については同一符号を付して説明を省略し、異なる点のみ説明する。なお、本リニアモータは、従来技術と同様に８ポール、９スロットのギャップ対向形の例を示している。
図１において、３は電機子、４は電機子コア、４ａはスロット、４ｂは主ティース、４ｃは継鉄部、５は電機子巻線、６は補助ティースである。
本実施例では、リニアモータが界磁極となる永久磁石２より構成される固定子と、スロット４ａおよび主ティース４ｂを有し，かつ、電機子巻線５を巻回した電機子コア４の両端に補助ティース６を備えた電機子３とより構成される可動子を備えたものとなっており、従来技術と基本的には同じ構成である。
次に、本実施例において、補助ティース６の中心間の距離をτｐ、図４の従来技術で示した補助ティース６の中心間の距離をτｐｏとしたときに、補助ティース６の中心間距離τｐと補助ティース６の長さＨｄをパラメータとして、コギング推力を有限要素法を用いた数値解析により計算した。なお、補助ティース６が永久磁石２の磁石列と直交する方向の長さをＨｄ、主ティース４ｂが永久磁石２の磁石列と直交する方向の長さをＨｔとしたものである。
図２は、補助ティース６の中心間距離τｐと補助ティース６の長さＨｄをパラメータとして、コギング推力を数値解析より計算した解析結果を示したものである。
縦軸はコギング推力であり、横軸には図１に示す補助ティース６の中心間の距離τｐと図４で示した補助ティース６の中心間の距離τｐｏの比τｐ／τｐｏ、および補助ティース６の長さＨｄと主ティース４ｂの長さＨｔの比Ｈｄ／Ｈｔである。各計算点を格子状に結び、コギング推力値が等しい等高線を表示している。図２ではコギング推力の向きを考慮して、コギング推力に正負の符号を加えて表示している。
図２の例では、τｐ／τｐｏが約０．９８以上の範囲において、補助ティース６の長さＨｄを適切に設定することでコギン推力がほぼゼロとなる点が存在し、設計では従来に比べ設計の自由度を増やすことができる。
この例ではτｐ／τｐｏが約０．９８以上でコギン推力がほぼゼロとなる点が存在したが、界磁極のピッチや電機子のティース幅・形状などによって変わる。図２のような変化は数値解析や実験により知ることができる。
またこの例において、実公平７−０５３４２７号公報で示している補助ティース６の長さと主ティース４ｂの長さが等しく、補助ティース６の中心間距離τｐｏという条件下では、コギング推力が若干発生している。これは主ティース４ｂの先端形状による影響であり、最適点が実公平７−０５３４２７号公報で規定したピッチτｐｏよりもずれる場合があることを示している。
このような場合でも本発明では、補助ティース６の中心間の距離τｐと界磁極のピッチτｍとの関係を、τｐ＝（２ｎ−１）×τｍ／２（ｎは正の整数）とした条件のもとで、補助ティース６の長さＨｄを、０＜Ｈｄ＜Ｈｔの範囲に適切に設定することで、コギング推力をほぼゼロの数値まで低減することができる。
次に、補助ティース６の働きについて説明する。リニアモータのコギング推力Ｆは主ティースに働く推力をＦ１、補助ティース６に働く推力をＦ２とすると次式で表される。
Ｆ＝Ｆ１＋Ｆ２                                          （１）
図３は電機子の補助ティース６と主ティース４ｂの長さ比に対するコギング推力との関係を模式的に示した図である。
横軸は電機子の補助ティース６の長さと主ティース４ｂの長さ比、縦軸はコギング推力である。図２と同様に図３ではコギング推力の向きを考慮して、コギング推力に正負の符号を加えて表示している。
図３から分かるように、補助ティース６に働くコギング推力Ｆ２と電機子３に働く推力Ｆ１は、補助ティース６の長さによって変化する。補助ティース６の長さを適切にすることにより主ティース４ｂに働く推力を打ち消すことができ、全体のコギング推力Ｆ（＝Ｆ１＋Ｆ２）をゼロとすることができる。
コギング推力がゼロとなる補助ティース６の長さの最適値は補助ティース６の中心間の距離、界磁極ピッチ、電機子コア４の長さ、補助ティース６の幅等によって異る。その最適値は図３の解析結果から、補助ティースの長さＨｄと、主ティースの長さＨｔとの比Ｈｄ／Ｈｔを、０．５≦Ｈｄ／Ｈｔ≦１に設定すると、コギング推力をほぼゼロまで低減することができる。また、上記の条件のもとで、補助ティース６が永久磁石２の磁石列の長手方向に沿う幅をＢｄとし、主ティース４ｂが永久磁石の磁石列の長手方向に沿う幅をＢｔとしたときに、ＢｄをＢｔより狭くするようにすると、更にコギング推力低減に、効果があることが検証された。
したがって、本リニアモータは、補助ティース６の中心間の距離τｐと界磁極のピッチτｍとの関係を、τｐ＝（２ｎ−１）×τｍ／２（ｎは正の整数）とした条件のもとで、補助ティース６の長さＨｄと主ティース４ｂの長さＨｔとの関係を、０＜Ｈｄ＜Ｈｔの範囲に適宜設定するようにしたので、コギング推力をほぼゼロにすることができ、コギング推力が小さく高性能な永久磁石型同期リニアモータを提供することができる。
さらに、上記の数値解析では、上記の条件の他に次のようなコギング推力低減に効果があることがわかった。
（第２実施例）
次に、第２実施例について図１を用いて説明する。
すなわち、補助ティース６の中心間の距離τｐと界磁極のピッチτｍとの関係をτｐ≠（２ｎ−１）×τｍ／２（ｎは正の整数）とした条件のもとで、補助ティース６が永久磁石２の磁石列と直交する方向の長さをＨｄ、主ティース４ｂが永久磁石２の磁石列と直交する方向の長さをＨｔとした時に、補助ティース６の長さを０＜Ｈｄ≦Ｈｔの範囲に設定した点である。
また、上記構成で、補助ティース６の長さＨｄと、主ティース４ｂの長さＨｔとの比Ｈｄ／Ｈｔを、０．５≦Ｈｄ／Ｈｔ≦１に設定したものである。
第２の実施例は、主ティース４ｂの長さＨｔと補助ティース６の長さＨｄとの関係を上記のように設定すると、第１の実施例のごとくコギング推力をほぼゼロまで低減することができ、高性能な永久磁石型同期リニアモータを提供することができる。
（第３実施例）
続いて、第３実施例について図１を用いて説明する。
従来技術でも述べたように、リニアモータのコギング波形には磁極ピッチに対して１次成分の他、二次成分以上の高次成分が含まれている。次数が小さいほど振幅が大きくなる。そこで、コギング低減には主に一次成分と二次成分を低減する必要がある。
次に、補助ティース６による一次成分や二次成分を低減効果について説明する。まず補助ティース６の中心間距離とコギングとの関係を説明する。
一次成分を低減するには、実公平７−０５３４２７号に示されているように補助ティース６の中心間距離を
τｐ＝（２ｎ−１）・τｍ／２
とすれば良い。
二次成分を打ち消す補助ティース６の中心間距離は次のようになる。
左右の補助ティース６に働く力をＦＬ、ＦＲとすれば、それぞれ次のように表わされる。
ＦＬ＝Ｆｏｓｉｎ［（２ｘ／τｍ）２π］
ＦＲ＝Ｆｏｓｉｎ［（２ｘ／τｍ）２π＋（２τｐ／τｍ）２π］
ここでＦｏは２次成分の振幅、ｘは電機子コア４の位置である。
ＦＬとＦＲの合力がゼロになればよいので、
Ｆｓ＝Ｆｏｓｉｎ［（２ｘ／τｍ）２π］＋Ｆｏｓｉｎ［（２ｘ／τｍ）２π＋（２τｐ／τｍ）２π］＝０
すなわち（２τｐ／τｍ）２π＝（２ｎ−１）π／２を満たせばよい
したがって、τｐ＝（２ｎ−１）τｍ／８となる。
このように一次成分と二次成分を最小化する補助ティース６の中心間距離が異なるが、補助ティース６の長さを調整して一次成分と二次成分を同時に最小化することができる。
これは補助ティース６の長さは一次成分への影響が大きく、任意の補助ティース６の中心間距離でも、補助ティース６の長さを適切に設定することにより、一次成分を低減できる。このとき補助ティース６の長さにより二次成分の大きさも変化する。有限要素法を用いた解析結果では、
（２ｎ−１）τｍ／８≦τｐ（２ｎ−１）τｍ／２
の範囲において、二次成分も同時に最小となる位置が存在することを確認した。
すなわち一次成分と二次成分を同時に小さくするには、補助ティース６の中心間距離を（２ｎ−１）τｍ／８≦τｐ（２ｎ−１）τｍ／２の設定すればよい。これより、最適な補助ティース６の中心間距離は有限要素法などの数値解析や実験により求めることができる。
第３の実施例は、界磁極ピッチτｍと補助ティースの中心間距離τｐとの関係を上記のように設定すると、コギング波形の一次成分と二次成分を同時に小さくすることができることから、第１、第２の実施例と同様にコギング推力をほぼゼロまで低減することができると共に、高性能な永久磁石型同期リニアモータを提供することができる。
（第４実施例）
第４実施例について説明する。
第１〜第３実施例では電機子コアを一体型とした例を示したが、一体型の電機子コアに替えて複数の分割コアで構成するようにしても良い。図４は分割コアを有する永久磁石型同期リニアモータの側断面図を示したものである。
具体的には、このリニアモータの電機子３は、電機子コア４を複数のコアブロックに分割し、分割されたコアブロックを構成する継鉄部４ｃの一方側面に凸状の係合部４ｄを設け、また、他方側面に凹状の係合部３ｅを設けると共に、コアブロックのスロット４ａに電機子巻線５を整列巻きして収納し、ブロックコアの隣り合う各々の係合部４ｄ，４ｅを嵌合させて結合し、最後に、結合されたブロックコアを移動子７の下面に固定するようにしたものである。
第４実施例は、リニアモータの仕様に応じて電機子の長さを自在に増減することができるので、第４実施例を第１〜第３実施例における構成の特徴と組み合わせることで、リニアモータの長ストローク化の要求がある際に、設計の自由度を増やしコギング推力を低減することができる。
なお、本実施例による補助ティースの中心間の距離τｐと、従来技術で示した補助ティースの中心間の距離τｐｏとの関係をτｐ＝τｐｏ×０．９９とすると良い。
また、本実施例では、ティースをオープンスロットとしたが、例えば図４に示すようにセミオープンスロットとしても構わず、補助ティースを適切に設定することによりコギング推力を低減することができる。
また、本リニアモータは、ギャップ対向型の例を用いて説明したが、電機子の両側に磁気的空隙を介して２列からなる界磁極を配設して、磁束貫通型のものに替えても構わない。
また、補助ティースの材質は電機子部と異なっていても構わず、適宜選択するようにしても良い。
また、本発明は、電機子コアの両端に設けた補助ティースを適宜最適な形状に設定することにより、電機子巻線間のインピーダンス不平衡を抑える効果がある。
［産業上の利用可能性］
以上のように本発明にかかる、永久磁石型同期リニアモータは、ＦＡ機器の搬送システム、例えば工作機のテーブル送りや半導体製造装置のステッパ駆動機構などに利用されるものとして有用である。
【図面の簡単な説明】
図１は、本発明の実施例を示す永久磁石型同期リニアモータであって、第１〜第３実施例における主ティースと補助ティースの関係を説明する上で共通なリニアモータの側断面図である。図２は、補助ティースの中心間距離τｐと補助ティースの長さをパラメータとして、コギング推力を数値解析より計算した解析結果を示す。図３は、電機子の補助ティースと主ティースの長さ比に対するコギング推力との関係を模式的に示した図である。図４は、本発明の第４の実施例を示す永久磁石型同期リニアモータであって、分割コアを有するリニアモータの側断面図である。図５は、第１の従来技術を示す永久磁石型同期リニアモータの側断面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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