(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
開閉可能な蓋を備え、基板を収納する密閉型の収納器が載置される載置部と、
前記載置部に載置された前記密閉型の収納器の前記蓋を開閉する開閉手段と、
基板を収納する開放型の収納器が載置され、前記載置部に着脱自在に設けられたアダプタと、
前記アダプタ上に突出し、前記アダプタ上に前記開放型の収納器が載置されることにより押し下げられるアダプタ側ピン部と、
前記載置部上に突出し、前記載置部に前記アダプタが装着されることにより押し下げられる第１ピン部と、
前記第１ピン部が押し下げられたことを検出する第１センサと、
前記載置部上に突出し、前記載置部に前記アダプタが装着された状態では押し下げられず、前記載置部に前記アダプタが装着された状態で前記開放型の収納器が載置されて前記アダプタ側ピン部が押し下げられることにより押し下げられる第２ピン部と、
前記第２ピン部が押し下げられたことを検出する第２センサと、
前記載置部上に前記開放型の収納器が載置されているか否か判定する判定手段と、
を備え、
前記判定手段は、前記第１センサにより前記第１ピン部が押し下げられたことが検出され、かつ、前記第２センサにより前記第２ピン部が押し下げられたことが検出された場合に、前記載置部上に前記開放型の収納器が載置されていると判定することを特徴とする載置装置。
【請求項２】
前記アダプタを、前記載置部に解除自在に係合する係合機構を更に備え、
前記係合機構は、前記第１センサにより前記第１ピン部が押し下げられたことが検出された場合に前記アダプタを前記載置部に係合することを特徴とする請求項１に記載の載置装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板処理設備において、基板処理装置へ搬送される基板を一時載置する載置装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
基板処理設備において、基板処理装置へ基板を搬送する場合、複数の基板を収納したＦＯＵＰと呼ばれる密閉型の収納器や、オープンカセットと呼ばれる開放型の収納器が用いられている。ＦＯＵＰとは、一般に、開閉可能な蓋を備え、基板が収納される内部空間を気密に維持するように構成されたポッドであり、基板の受け渡し時には蓋が開放されることとなる。一方、オープンカセットは、一般に、基板を略等間隔で整列支持するスロットが複数設けられており、基板は周辺雰囲気に開放された状態となる。
【０００３】
そして、基板処理装置の近傍にはこのような収納器を一時載置する載置装置が設けられており、基板処理装置は、載置装置に載置された収納器から基板を取り出して処理を行い、処理後には再び収納器に戻すように構成されている。
【０００４】
近年では、基板の収納器としてＦＯＵＰを採用したものが主流となりつつあり、ＦＯＵＰ用の載置装置では、ＦＯＵＰの蓋を開閉する機構を備えたものが提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、基板のサイズは複数種類が存在し、ＦＯＵＰでは収納できないサイズの基板も存在する。この場合、ＦＯＵＰ用の載置装置を用いることはできず、例えば、オープンカセット用の載置装置に変更するといった措置を採る必要があり、面倒であった。
【０００６】
現在、基板処理設備におけるクリーンルーム環境が変化の過程にあり、今後の設備においては基板搬送に関し、オープンカセットを取り扱う場合とＦＯＵＰを取り扱う場合とが発生する。いずれにおいても、基板処理装置については、異サイズの基板に対応可能としておくことにより、そのような環境の変化にも対応できるが、オープンカセットとＦＯＵＰとはそれぞれ規格が異なるために、これが載置される載置装置を適宜変更することが余儀なくされる。
【０００７】
従って、本発明の目的は、各種サイズの基板を収納する各種の収納器に対応した載置装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、開閉可能な蓋を備え、基板を収納する密閉型の収納器が載置される載置部と、前記載置部に載置された前記密閉型の収納器の前記蓋を開閉する開閉手段と、基板を収納する開放型の収納器が載置され、前記載置部に着脱自在に設けられたアダプタと、前記アダプタ上に突出し、前記アダプタ上に前記開放型の収納器が載置されることにより押し下げられるアダプタ側ピン部と、前記載置部上に突出し、前記載置部に前記アダプタが装着されることにより押し下げられる第１ピン部と、前記第１ピン部が押し下げられたことを検出する第１センサと、前記載置部上に突出し、前記載置部に前記アダプタが装着された状態では押し下げられず、前記載置部に前記アダプタが装着された状態で前記開放型の収納器が載置されて前記アダプタ側ピン部が押し下げられることにより押し下げられる第２ピン部と、前記第２ピン部が押し下げられたことを検出する第２センサと、前記載置部上に前記開放型の収納器が載置されているか否か判定する判定手段と、を備え、前記判定手段は、前記第１センサにより前記第１ピン部が押し下げられたことが検出され、かつ、前記第２センサにより前記第２ピン部が押し下げられたことが検出された場合に、前記載置部上に前記開放型の収納器が載置されていると判定することを特徴とする載置装置が提供される。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施の形態について説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る載置装置Ａの外観図である。載置装置Ａは、ウエハ等の基板を処理する処理装置の近傍に配置され、その処理装置で処理される基板を収納した収納器が一時載置される装置である。本実施形態では、収納器としてＦＯＵＰ及びオープンカセットの双方を載置可能とする。
【００１０】
載置装置Ａは、本体１の棚部２上に設けられ、基板を収納する収納器が載置される載置プレート１０と、載置プレート１０上に着脱自在に設置可能なアダプタ２０と、を備える。
【００１１】
載置プレート１０には、収納器が載置されているか否かを検出するためのピン１１ａ乃至１１ｃが、その上面から突出するように設けられている。アダプタ２０には、アダプタ２０上に載置される収納器の位置決めのための４つの位置決めブロック２１がその上面に設けられている。この位置決めブロック２１は、例えば、樹脂から構成される。
【００１２】
また、アダプタ２０には、載置プレート１０との間隔を一定に保つスペーサ２２ａ乃至２２ｃが、その下面から突出するように設けられている。更に、アダプタ２０には、アダプタ２０上に収納器が載置されているか否かを検出するためのピン２３ａ及び２３ｂが、その上面から突出するように設けられている。ハンドル２４は、作業者がアダプタ２０を取り扱うための把持具である。
【００１３】
本体１の背部３には開口部３ａが設けられており、処理装置が備える基板搬送用のハンドは、この開口部３ａを通して載置プレート１０上に載置された収納器内の基板の受け渡しを行う。
【００１４】
本体１の背部３には、赤外線等の光線を発光する２つの発光器４ａが設けられており、また、本体１の棚部２には、発光器４ａからの光線を受光する２つの受光器４ｂが設けられている。これらの２組の発光器４ａ及び受光器４ｂは、載置プレート１０上にＦＯＵＰが載置された場合に、ＦＯＵＰが所定位置に載置されているか否かを検出するためのものである。
【００１５】
次に、載置装置ＡにＦＯＵＰ及びオープンカセットを載置した態様について説明する。図２は、載置装置ＡにＦＯＵＰ１００を載置した態様を示す図であり、図３は、載置装置Ａにオープンカセット２００を載置した態様を示す図である。ＦＯＵＰ１００は、開閉可能な蓋を備え、基板を収納する密閉型の収納器であり、例えば、３００ｍｍ用のものを想定している。オープンカセット２００は、基板を収納する開放型の収納器であり、例えば、２００ｍｍ用のものを想定している。ＦＯＵＰ１００は、蓋の閉鎖時に内部の気密性が保たれ、基板が周辺雰囲気に触れることはないが、オープンカセット２００は常時基板が周辺雰囲気に触れることとなる。
【００１６】
図２を参照して、ＦＯＵＰ１００を載置する場合、アダプタ２０は用いられず、ＦＯＵＰ１００は直接載置プレート１０上に載置される。なお、ＦＯＵＰ１００が載置される場合、発光器４ａから破線で示す光線が受光器４ｂへ向けて発光され、ＦＯＵＰ１００が所定位置に載置されているか否かが検出される（第２の検出手段）。
【００１７】
発光器４ａからの光線は、ＦＯＵＰ１００が所定位置に載置されている場合、ＦＯＵＰ１００の側面に衝突し、光線が遮断されるように発光される。すなわち、ＦＯＵＰ１００が所定位置に載置される場合、発光器４ａからの光線はＦＯＵＰ１００に遮断され、受光器４ｂまでは届かない。従って、２つの受光器４ｂがそれぞれ光線を受光しない場合には、ＦＯＵＰ１００が所定位置に載置されていると判定されることとなる。一方、いずれかの受光器４ｂが光線を受光した場合は、ＦＯＵＰ１００が傾いている等、所定位置に載置されていないと判定されることとなる。
【００１８】
図３を参照して、オープンカセット２００を載置する場合、アダプタ２０を載置プレート１０上に装着した上で、アダプタ２０上にオープンカセット２００が載置される。アダプタ２０は、載置プレート１０上に単に載置することにより装着することもできるが、アダプタ２０を本体１と解除自在に係合するような機構を設けてもよい。そのような機構を用いた一例を図１４及び図１５を参照して説明する。
【００１９】
図１４は、本体１と係合させる場合のアダプタ２０の構成例を示した外観図である。また、図１５は、アダプタ２０を載置プレート１０上に載置し、係合した態様を示す要部断面図である。なお、アダプタ２０のスペーサ２２ａ乃至２２ｃの存在により、載置時にはアダプタ２０の平板部分と載置プレート１０との間には一定の間隔がある。
【００２０】
図１４において、アダプタ２０の略中央部には、開口部２６ａと、薄肉部分２６ｂとが設けられている。図１５（ａ）を参照して、載置プレート１０には、開口部１０ａが設けられており、この開口部１０ａを通って、先端に爪部を有するクランプ１０ｂが設けられている。このクランプ１０ｂは、載置プレート１０の下側の軸１０ｃを介して棚部２内部に取り付けられており、軸１０ｃ回りに回動可能となっている。
【００２１】
そして、図１５（ａ）のように、クランプ１０ｂの先端をアダプタ２０の開口部２６ａに突出させるようにしてアダプタ２０を載置プレート１０上に載置した後、クランプ１０ｂをモータ等の図示しない付勢手段により回動させると、図１５（ｂ）の態様に至る。図１５（ｂ）の態様では、クランプ１０ｂの先端の爪部がアダプタ２０の棚部２６ｂに係止しており、これによりアダプタ２０を本体１に係合させ、固定することが可能である。
【００２２】
クランプ１０ｂを図１５（ａ）の態様から図１５（ｂ）の態様へ回動させる条件としては、例えば、アダプタ２０が載置プレート１０上に載置されたことが後述するセンサにより検出された場合、或いは、アダプタ２０上に更にオープンカセットが載置されたことが後述するセンサにより検出された場合、等が挙げられる。
【００２３】
なお、ＦＯＵＰ１００を本体１と係合させる場合も同様の構成が採用可能であり、この場合は、ＦＯＵＰ１００の底面に、クランプ１０ｂが係止するための窪み等を設けておくことになる。なお、ＦＯＵＰ１００の規格品にはこのような窪みが設けてある。
【００２４】
以上説明したとおり、本実施形態では、ＦＯＵＰ１００を載置する場合はアダプタ２０を用いずに直接載置プレート１０に載置する一方で、アダプタ２０を載置プレート１０に装着することにより、オープンカセット２００を載置することもできる。従って、一つの載置装置により、ＦＯＵＰとオープンカセットの双方に対応することができ、各種サイズの基板を収納する各種の収納器に対応することができる。
【００２５】
次に、載置装置ＡにおけるＦＯＵＰ１００の開閉機構について説明する。図４は、載置装置Ａの開閉機構を示した破断図である。
【００２６】
開閉保持ユニット３０は、ＦＯＵＰ１００の蓋１０１を開閉し、また、保持するものである。このために開閉保持ユニット３０は、蓋１０１とＦＯＵＰ１００の本体との係合又は解除を行う機構（図示せず）を備える。また、ＦＯＵＰ１００から取り外した蓋１０１を保持するため、例えば、吸着機構（図示せず）等も備える。
【００２７】
開閉保持ユニット３０は、支持部材３１を介してリニアガイド３２のスライダ３２ａに連結されている。リニアガイド３２は、エアシリンダ等の付勢によりスライダ３２ａを図４の左右方向にスライドさせる装置である。
【００２８】
リニアガイド３２は、ボールねじ３４に螺合するボールナット３３に連結されている。ボールナット３３は、モータ３７の出力軸に連結されたボールねじ３４を回転させることにより、図４の上下方向に昇降する。ボールナット３３には、レールガイド３５が連結されており、レールガイド３５を案内するレール３６に沿って安定して昇降する。
【００２９】
次に、ＦＯＵＰ１００の開閉動作について図５乃至図７を参照して説明する。図５乃至図７は、載置装置Ａの開閉機構の各動作態様を示した図である。
【００３０】
まず、図４の態様から、モータ３７によりボールねじ３４を回転させ、ボールナット３３を介して開閉保持ユニット３０を上昇させる。図５は、開閉保持ユニット３０を上昇させた態様を示している。
【００３１】
次に、リニアガイド３２のスライダ３２ａを移動させ、開閉保持ユニット３０をＦＯＵＰ１００の蓋１０１へ向けて前進させる。図６は、開閉保持ユニット３０を蓋１０１へ前進させた態様を示している。その後、開閉保持ユニット３０によりＦＯＵＰ１００本体と蓋１０１との係合を解除し、取り外した蓋１０１を開閉保持ユニット３０に保持させる。
【００３２】
次に、リニアガイド３２のスライダ３２ａを移動させ、蓋１０１を保持した開閉保持ユニット３０をＦＯＵＰ１００から後退させ、更に、モータ３７によりボールねじ３４を回転させ、ボールナット３３を介して開閉保持ユニット３０を下降させる。これによりＦＯＵＰ１００の前面が完全に開放したこととなる。その態様を示したのが図７であり、処理装置のハンド３００がＦＯＵＰ１００内に収納された基板を受け取ることとなる。
【００３３】
処理装置において基板の処理が終了すると、再びＦＯＵＰ１００内に基板が返送され、上述した手順と逆の手順により蓋１０１がＦＯＵＰ１００本体に取り付けられることとなる。なお、オープンカセットの場合、蓋の開閉という作業は必要とされないので、載置装置Ａにオープンカセットが載置されている場合上述した開閉動作は行われず、開閉保持ユニット３０は、図４の位置に維持されることとなる。
【００３４】
次に、載置装置Ａにおける収納器の載置検出機能について図８乃至図１１を参照して説明する。上述した蓋１０１の開閉動作や処理装置による基板の受け渡し動作は、収納器が載置装置Ａに載置されていることが前提となる。このため、載置装置Ａでは載置プレート１０上にＦＯＵＰやオープンカセットが載置されているか否かを検出する機能を備えている。図８は、載置装置Ａを正面方向から見た載置プレート１０周辺及びアダプタ２０の破断図（一部省略）である。
【００３５】
ピン１１ａ乃至１１ｃは、それぞれ載置プレート１０を貫通して上下に移動可能に設けられており、その上端が載置プレート１０の上面から突出する一方、その下端は載置プレート１０の裏面に取り付けられた板ばね１２ａ乃至１２ｃの中央部付近に接触し、それぞれ上方へ付勢されている。
【００３６】
板ばね１２ａ乃至１２ｃは、その上端が載置プレート１０の裏面に取り付けられ、その下端は開放されていると共に下方に向いた直線状部分を有する。板ばね１２ａ乃至１２ｃの下方には、載置プレート１０上にＦＯＵＰ又はオープンカセットが載置されているか否かを検出するフォトセンサ２ａ乃至２ｃ（第１の検出手段）が棚部２に設けられている。フォトセンサ２ａ乃至２ｃは、上方が開放したスリットを有するコ型をなし、スリットに物体が存在するか否かでＯＮ／ＯＦＦとなる。
【００３７】
一方、アダプタ２０の下面から突出したスペーサ２２ａ乃至２２ｃのうち、スペーサ２２ａは、アダプタ２０を載置プレート１０に装着する際に、載置プレート１０のピン１１ａの略真上に位置するように配置されている一方、スペーサ２２ｂ及び２２ｃは、載置プレート１０の表面に当接するように配置されている。
【００３８】
アダプタ２０のピン２３ａ及び２３ｂは、それぞれアダプタ２０を貫通して上下に移動可能に設けられており、その上端がアダプタ２０の上面から突出する一方、その下端は、アダプタ２０の下面と略面一になるように配置されている。また、ピン２３ａ及び２３ｂは、アダプタ２０の下面側を切り欠いて形成した凹部に取り付けられた板ばね２５の端部に取り付けられており、それぞれ上方へ付勢されている。更に、ピン２３ａ及び２３ｂは、アダプタ２０を載置プレート１０に装着する際に、載置プレート１０のピン１１ｂ及び１１ｃの略真上にそれぞれ位置するように配置されている
次に、収納器の載置検出手順について説明する。まず、アダプタ２０を介してオープンカセットを載置プレート１０上に載置する場合について説明する。
【００３９】
図８の態様から、アダプタ２０を載置プレート１０上に載置すると、スペーサ２２ａ乃至２２ｃが載置プレート１０に当接することとなる。この時、スペーサ２２ａは、載置プレート１０のピン１１ａの略真上に位置するように配置されているため、板ばね１２ａの付勢力に対抗しつつピン１１ａが下方へ押し込まれることとなる。その結果、板ばね１２ａは弾性変形して、その下端がフォトセンサ２ａのスリットへ侵入し、フォトセンサ２ａがこれを検出することとなる。この態様を示したのが図９である。図９において、ピン１１ａは下方へ押し込まれており、また、ピン１１ａに押されて板ばね１２ａが弾性変形し、その下端がフォトセンサ２ａのスリットへ侵入していることがわかる。一方、ピン１１ａ及び１１ｂは、下方へ押し込まれておらず、板ばね１２ｂ及び１２ｃの下端もフォトセンサ２ｂ及び２ｃのスリットに侵入していない。
【００４０】
すなわち、アダプタ２０を載置プレート１０に装着した時点では、フォトセンサ２ａのみがＯＮ（又はＯＦＦ）となり、アダプタ２０が装着されていることが確認される。
【００４１】
次に、アダプタ２０上へオープンカセットを載置すると、ピン２３ａ及び２３ｂが下方へ押し込まれることとなる。この時、ピン２３ａ及び２３ｂは、載置プレート１０のピン１１ｂ及び１１ｃの略真上に位置するようにそれぞれ配置されているため、板ばね１２ｂ及び１２ｃの付勢力に対抗しつつピン１１ｂ及び１１ｃが下方へ押し込まれることとなる。その結果、板ばね１２ｂ及び１２ｃは弾性変形して、その下端がフォトセンサ２ｂ及び２ｃのスリットへそれぞれ侵入し、フォトセンサ２ｂ及び２ｃがこれを検出することとなる。この態様を示したのが図１０である。板ばね１２ａ乃至１２ｃの下端が、フォトセンサ２ａ乃至２ｃのスリットへそれぞれ侵入していることが分かる。
【００４２】
以上により、フォトセンサ２ａ乃至２ｃが全てＯＮ（又はＯＦＦ）になった場合に、アダプタ２０及びオープンカセットが載置プレート１０上に載置されていることとなり、いずれかのフォトセンサ２ａ乃至２ｃがＯＮになっていない場合は、オープンカセットが載置されていないと判定されることとなる。
【００４３】
次に、ＦＯＵＰを載置プレート１０上に載置する場合について説明する。ＦＯＵＰを載置プレート１０上に載置する場合、アダプタ２０を用いずに直接ＦＯＵＰが載置プレート１０上に載置される。載置時の態様を示したのが図１１である。載置プレート１０のピン１１ａ乃至１１ｃは、いずれもＦＯＵＰにより下方へ押し込まれている。この結果、板ばね１２ａ乃至１２ｃはいずれも弾性変形して、その下端がフォトセンサ２ａ乃至２ｃのスリットへそれぞれ侵入し、フォトセンサ２ａ乃至２ｃがこれを検出することとなる。なお、全てのフォトセンサ２ａ乃至２ｃがＯＮ（又はＯＦＦ）になった場合にＦＯＵＰが載置されたと判定され、いずれか一つでもＯＦＦの場合には、ＦＯＵＰが載置されていないか、或いは、所定位置に載置されておらず、ずれて載置されていると判定されることとなる。
【００４４】
このように本実施形態では、ＦＯＵＰを載置する場合とオープンカセットを載置する場合とで、共通のフォトセンサ２ａ乃至２ｃ等を用いて載置の検出を行っており、部品削減、コスト低減が実現される。
【００４５】
なお、上記実施形態では、アダプタ２０のピン２３ａ及び２３ｂの上下動によりＦＯＵＰ又はオープンカセットの載置を検出したが、これに代えて図１６の構成を採用することもできる。図１６は、ピン２３ｂに代えてレバー２３ｂ’を採用した場合の載置プレート１０周辺及びアダプタ２０の一部を示す破断図であり、（ａ）は、オープンカセットの非載置時、（ｂ）は、その載置時の態様を示している。なお、ピン２３ａ側の構成も同様に以下の構成を採用できることはいうまでもない。
【００４６】
図１６において、レバー２３ｂ’は、アダプタ２０に設けたスリット内において、アダプタ２０に設けられた軸２３ｂ”回りに回動自在に設けられている。載置プレート１０を貫通して上下に移動可能に設けられたピン１１ｃ’が、板ばね１２ｃにより常時上方へ付勢されており、レバー２３ｂ’は、その下側の凸部がこのピン１１ｃ’の上端に当接、押圧されて、非載置時には、図１６（ａ）の態様となっている。図１６（ａ）の態様では、板ばね１２ｃの下端がフォトセンサ２ｃのスリットへ侵入していない。
【００４７】
そして、図１６（ａ）の態様から、アダプタ２０上にオープンカセットを載置すると、レバー２３ｂ’の上側の凸部がオープンカセットの下面に当接、押圧され、レバー２３ｂ’が軸２３ｂ”回りに回動する。この時、レバー２３ｂ’の下側の凸部が、板ばね１２ｃの付勢力に対抗しつつ、ピン１１ｃ’を下方へ押圧する。この結果、板ばね１２ｃが弾性変形して、その下端がフォトセンサ２ｃのスリットへ侵入し図１６（ｂ）の態様に至る。フォトセンサ２ｃが板ばね１２ｃの下端の侵入を検出し、オープンカセットの載置が検出されることとなる。
【００４８】
このように構成することで、オープンカセットは一般に重量が比較的軽いところ、その載置時にはレバー２３ｂ’が略確実に回動して、オープンカセットの載置を検出することができる。なお、本例の場合、ピン１１ｃ’の先端の形状を矢印型のよりもどし形状とすることにより、載置プレート１０からの脱落防止を図っている。  次に、載置装置Ａに対して収納器が搬送された場合の載置装置Ａの全体の制御処理の流れについて説明する。図１２は、載置装置Ａの制御ブロック図である。図１３は、載置装置Ａに対して収納器が搬送された場合の載置装置Ａの全体の制御処理を示すフローチャートである。
【００４９】
図１２において、制御回路５０は、載置装置Ａの制御全体を司る電子回路であり、例えば、プログラマブルコントローラである。制御回路５０は、フォトセンサ２ａ乃至２ｃ及び受光器４ｂの検出結果を参照して、所定の処理、例えば、ＦＯＵＰの開閉を行う上述した開閉機構の制御や処理装置に対して収納器が載置されていることの通知等を行う。なお、制御回路５０は載置装置Ａの内部に配置されてもよいし、外部に配置されてもよい。また、制御回路５０を独立して設けずに、その機能を処理装置の制御回路に負担させることも可能である。
【００５０】
次に、図１３を参照して、Ｓ１３１では、載置装置Ａに対して収納器が搬送されることの通知を受信する。この通知は、例えば、収納器を搬送する搬送装置により行われる。
【００５１】
Ｓ１３２では、載置装置Ａに設定されているモードが、ＦＯＵＰモードかオープンカセットモードかを判定する。このモードは、作業者が予め設定するもので、載置装置Ａを、ＦＯＵＰを載置するために使用する場合はＦＯＵＰモードに、オープンカセットを載置するために使用する場合はオープンカセットモードにされる。
【００５２】
オープンカセットモードの場合、Ｓ１３３へ進み、フォトセンサ２ａ乃至２ｃの検出状態をチェックする。Ｓ１３４では、フォトセンサ２ａ乃至２ｃの全てがＯＮ（又はＯＦＦ）か否かを判定し、全てＯＮの場合は、オープンカセットがアダプタ２０を介して載置プレート１０上に載置されていると判定してＳ１３６へ進む。Ｓ１３６では、処理装置に対して、オープンカセットが載置装置Ａに載置されており、基板の取り出しが可能であることを通知し、その後この処理を終了する。
【００５３】
一方、Ｓ１３４において、いずれか１つでもＯＮでないフォトセンサがあった場合は、オープンカセットが正常に載置されていないと判定してＳ１３５へ進み、エラー処理を行う。このエラー処理では、例えば、警告音による報知、搬送装置に対する動作停止命令等が挙げられる。
【００５４】
次に、Ｓ１３２でＦＯＵＰモードの場合、Ｓ１３７へ進み、フォトセンサ２ａ乃至２ｃ及び受光器４ｂの検出状態をチェックする。Ｓ１３８では、フォトセンサ２ａ乃至２ｃ及び２つの受光器４ｂの全てがＯＮ（又はＯＦＦ）か否かを判定し、全てＯＮの場合は、ＦＯＵＰが載置プレート１０上の所定位置に載置されていると判定してＳ１３９へ進む。Ｓ１３９では、上述した開閉機構を作動して、ＦＯＵＰの蓋を取り外す。そして、Ｓ１４１では、処理装置に対して、ＦＯＵＰが載置装置Ａに載置されており、基板の取り出しが可能であることを通知し、その後この処理を終了する。
【００５５】
一方、Ｓ１３８において、いずれか１つでもＯＮでないフォトセンサ又は受光器があった場合は、ＦＯＵＰが載置プレート１０上に載置されていないか、若しくは、載置されていたとしても、所定位置に載置されていないと判定してＳ１４０へ進み、エラー処理を行う。このエラー処理では、上述した開閉機構の動作を禁止した上で、警告音による報知、搬送装置に対する動作停止命令等を行う。以上により、図１３に示した処理が終了する。
【００５６】
なお、Ｓ１３５及びＳ１４０のエラー処理では、上述した処理の他にも、載置装置Ａの種々の動作を禁止することもできる。例えば、図１５を参照して説明したクランプ１０ｂの回動禁止や、或いは、マッピング動作の禁止等も挙げられる。マッピング動作とは、オープンカセットやＦＯＵＰに収納された基板が整列配置されているかを検出したり、これを整列配置させる動作であり、処理装置のハンドが収納された基板を正確に取り出すための動作である。
【００５７】
なお、このようなクランプ１０ｂによる係合動作や、マッピング動作は、正常時には、例えば、Ｓ１３６の処理装置への通知前、又は、Ｓ１３９の開閉機構の作動前に行われる。
【００５８】
【発明の効果】
以上述べてきたとおり、本発明によれば、各種サイズの基板を収納する各種の収納器に対応することができる。この結果、クリーンルーム環境の変化にも対応することができる。また、オープンカセットがアダプタを介して載置されていることを検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る載置装置Ａの外観図である。
【図２】載置装置ＡにＦＯＵＰ１００を載置した態様を示す図である。
【図３】載置装置Ａにオープンカセット２００を載置した態様を示す図である。
【図４】載置装置Ａの開閉機構を示した破断図である。
【図５】載置装置Ａの開閉機構の各動作態様を示した図である。
【図６】載置装置Ａの開閉機構の各動作態様を示した図である。
【図７】載置装置Ａの開閉機構の各動作態様を示した図である。
【図８】載置装置Ａを正面方向から見た載置プレート１０周辺及びアダプタ２０の破断図（一部省略）である。
【図９】図８の態様からアダプタ２０を載置プレート１０上に載置した態様を示す図である。
【図１０】図９の態様からオープンカセットをアダプタ２０上に載置した態様を示す図である。
【図１１】図８において、ＦＯＵＰを載置プレート１０上に載置した態様を示す図である。
【図１２】載置装置Ａの制御ブロック図である。
【図１３】、載置装置Ａに対して収納器が搬送された場合の載置装置Ａの全体の制御処理を示すフローチャートである。
【図１４】アダプタ２０の他の構成例を示す外観図である。
【図１５】アダプタ２０を載置プレート１０上に載置し、係合した態様を示す要部断面図であり、（ａ）は係合前、（ｂ）は係合後を示す。
【図１６】図１６は、ピン２３ｂに代えてレバー２３ｂ’を採用した場合の載置プレート１０周辺及びアダプタ２０の一部を示す破断図であり、（ａ）は、オープンカセットの非載置時、（ｂ）は、その載置時の態様を示している。
【図１】
0004082652.tif 000002
【図２】
0004082652.tif 000003
【図３】
0004082652.tif 000004
【図４】
0004082652.tif 000005
【図５】
0004082652.tif 000006
【図６】
0004082652.tif 000007
【図７】
0004082652.tif 000008
【図８】
0004082652.tif 000009
【図９】
0004082652.tif 000010
【図１０】
0004082652.tif 000011
【図１１】
0004082652.tif 000012
【図１２】
0004082652.tif 000013
【図１３】
0004082652.tif 000014
【図１４】
0004082652.tif 000015
【図１５】
0004082652.tif 000016
【図１６】
0004082652.tif 000017