(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を吸着保持して回動又は揺動する基板保持手段と、
前記基板保持手段に複数設けられ前記ガラス基板を吸着する吸着手段と、
前記各吸着手段に圧力センサを介して真空チューブにより連通される真空発生源と、
前記基板保持手段の一連の動作を制御し、前記圧力センサにより圧力異常が検出されたときに前記基板保持手段を前記ガラス基板が落下しない角度に姿勢を制御する制御部とを備えたことを特徴とする基板保持装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記圧力センサにより圧力異常が検出されたときに前記基板保持手段を水平になる角度に姿勢を制御することを特徴とする請求項１記載の基板保持装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記圧力センサにより圧力異常が検出されたときに前記基板保持手段をガラス基板が落下しない搬送速度に減速させることを特徴とする請求項１記載の基板保持装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記各吸着手段ごとに対応して設けられた各圧力センサからの検出信号に基づいて異常吸着手段を特定することを特徴とする請求項１記載の基板保持装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記吸着手段を数個を一組とした各組に対応させて設けられた各圧力センサからの検出信号に基づいて異常吸着手段を特定することを特徴とする請求項１記載の基板保持装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記圧力センサの検出信号に基づいて前記吸着手段の圧力を下げる方向に吸引圧力を制御することを特徴とする請求項１記載の基板保持装置。
【請求項７】
前記各吸着手段は、それぞれに前記圧力センサと電磁弁を有し、前記制御部は、前記各圧力センサの検出信号に基づいてリークの発生している前記吸着手段に対応する前記電磁弁を閉じるように制御することを特徴とする請求項１記載の基板保持装置。
【請求項８】
前記基板保持手段は、前記ガラス基板を目視観察するための照明装置を備えた検査位置に配置され、この照明装置下において前記ガラス基板を吸着保持した状態で水平から１８０°の角度範囲で回転するロボットアームからなることを特徴とする請求項１記載の基板保持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、半導体ウェハや液晶ガラス基板などの被検査基板を真空吸着により保持する基板保持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば、液晶ディスプレイのガラス基板の製造工程において、ガラス基板表面の傷や汚れなどのを目視検査するものとして、外観検査装置が用いられている。
【０００３】
図１４は、このような外観検査装置の一例を示すもので、装置本体１０１上に複数枚のガラス基板１０２を積層方向に収容したカセット１０３を載置するとともに、このカセット１０３に対応させてアーム支持部１０４に支持された搬送アーム１０５を設けていて、まず、搬送アーム１０５をカセット１０３内に挿入し、ガラス基板１０２を真空吸着して引き出し、この状態から、さらに搬送アーム１０５によりガラス基板１０２を検査位置まで移動するとともに、ガラス基板１０２に対して揺動や回転運動を与え、ガラス基板１０２表面の状態を多方面から目視検査できるようにしている。
【０００４】
この場合、搬送アーム１０５は、カセット１０３からのガラス基板１０２の取り出し動作に加えて、動揺や回転動作などを行なうための各種の動きを可能にする機構を備えているが、このときガラス基板１０２は、例えば、図１５（ａ）に示すように搬送アーム１０５の吸着パッド１０６に真空吸着された状態で、水平方向に保たれ、または、同図（ｂ）に示すようにアーム支持部１０４を支点として煽り方向に揺動され、あるいは、同図（ｃ）に示すように搬送アーム１０５の軸を中心に回転されるなど、様々な動きが与えられるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このように搬送アーム１０５の吸着パッド１０６にガラス基板１０２を真空吸着するとともに、搬送、揺動および回転などの動きを加えながらガラス基板１０２の目視検査を行なうものでは、ガラス基板１０２の搬送中やガラス基板１０２が所定角度傾いて保持されている状態で、何らかの原因により吸着パッド１０６にリークが発生し、この吸着パッド１０６にガラス基板１０２の重さからくる吸着能力以上の負荷がかかったような場合、ガラス基板１０２は、吸着パッド１０６から外れて搬送アーム１０５から落下し破損してしまうおそれがあった。このような吸着パッド１０６の吸着外れを事前に回避するため、従来では、吸着パッド１０６でのリークを作業者がリーク音から判断したり、あるいは、基板吸着前に吸着パット１０６表面に傷や劣化がないことを事前検査するなどしているが、これらは、いずれも作業者に緻密な経験が要求されるという問題があった。
【０００６】
また、吸着パッド１０６での真空吸着を確保する圧力が異常に上昇したような場合、装置は、現状の状態を維持したまま停止してしまうため、仮に、ガラス基板１０２が大きく傾いて保持されている状態で動作を停止した場合は、吸着パッド１０６の吸着が外れてガラス基板１０２が落下するという危険もあった。
【０００７】
さらに、搬送アーム１０５の移動速度、揺動速度および回転速度は、事前に設定された固定値であるため、実際に、吸着パッド１０６に加わる負荷と異なることがあり、これが原因で、吸着パッド１０６の吸着が外れてガラス基板１０２が落下するというおそれもあった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、被検査部材の落下を確実に防止することができる基板保持装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本願発明の基板保持装置は、
ガラス基板を吸着保持して回動又は揺動する基板保持手段と、前記基板保持手段に複数設けられ前記ガラス基板を吸着する吸着手段と、前記各吸着手段に圧力センサを介して真空チューブにより連通される真空発生源と、前記基板保持手段の一連の動作を制御し、前記圧力センサにより圧力異常が検出されたときに前記基板保持手段を前記ガラス基板が落下しない角度に姿勢を制御する制御部とにより構成している。
【００１１】
本発明によれば、吸着手段にリークが発生して場合も、基板保持手段をガラス基板が落下しない角度に姿勢制御することで、基板保持手段からガラス基板が落下するのを防止できる。また、吸着手段にリークが発生して場合も、基板保持手段を搬送速度に減速させることで、基板保持手段からガラス基板が落下するのを防止できる。
【００１２】
本発明によれば、リークが発生した吸着手段を簡単に特定することができる。また、リークが発生した吸着手段の吸着力を速やかに回復させ、ガラス基板の落下の可能性を回避できる。さらに、リークの発生している吸着手段に対応する電磁弁を閉じるように制御することで、リークの発生していない他の吸着手段での圧力上昇を防止できる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
（第１の実施の形態）
図１は、本発明が適用される外観検査装置の概略構成を示している。図において、１は外観検査装置本体で、この装置本体１上には、カセット２を搭載可能にしている。このカセット２は、液晶ディスプレイ用の、例えば、５９０ｍｍ×６７０ｍｍの板状ガラス基板３を積層方向に多数枚収容したものである。
【００１４】
このようなカセット２のガラス基板３の出し入れ開口部に対向させて基板保持装置としてロボットアーム支持部４に支持されたロボットアーム５を設けている。ロボットアーム５は、複数（図示例では４個）の吸着パッド６を有していて、これら吸着パッド６によりガラス基板３を真空吸着により保持可能にしている。
【００１５】
ロボットアーム支持部４は、装置本体１の正面パネルに配置された制御部７によりロボットアーム５の一連の動きを制御するもので、例えば、ロボットアーム５によるカセット２内のガラス基板３の出し入れ、ガラス基板３の検査位置までの搬送、ロボットアーム５の煽り方向の揺動、あるいは、ロボットアーム５の軸を中心とした回転などを行なうようになっている。
【００１６】
この場合、制御部７は、例えばディスプレイタッチパネル方式のパソコンのシステム制御部と操作部を兼用したものからなっている。また、この制御部７に隣接して警報装置７１を配置している。
【００１７】
一方、装置本体１の上方には、照明装置８を設けている。この照明装置８は、ガラス基板３表面の目視検査のためのもので、例えば、１５０Ｗのメタルハライドランプからの照明光を大型のフレネルレンズを介してロボットアーム５に吸着保持され検査位置に搬送されたガラス基板３面を照明するようになっている。
【００１８】
図２は、ロボットアーム支持部４とロボットアーム５の関係をさらに詳述するもので、この場合、ロボットアーム５は、ロボットアーム支持部４に接続されており、この接続点を支点として煽り方向の揺動動作、あるいは、アーム軸を中心とした回転動作およびカセット２よりガラス基板３を出し入れする搬送動作を可能にしている。
【００１９】
この場合、ロボットアーム５の揺動動作は、図３に示すようにロボットアーム支持部４を支点としてプラス方向揺動角度５０１、水平状態５０２、マイナス方向揺動角度５０３により可動範囲５０４を設定している。また、この時の吸着パッド６の揺動吸着限界は、図４に示すように横軸に吸着パッド６の圧力、縦軸に揺動角度を取って、これらの関係から求めている。
【００２０】
また、ロボットアーム５の回転動作は、図５（ａ）乃至（ｄ）に示すようにガラス基板３を吸着パッド６により真空吸着した状態で、０度、４５度、９０度、１８０度に制御される。また、この時の回転吸着限界は、図６に示すように横軸に吸着パッド６付近の圧力、縦軸にロボットアーム５の回転角度を取って、これらの関係から求めている。
【００２１】
なお、図７は、ガラス基板３をカセット２から出し入れする搬送動作の際の移動吸着限界を示すもので、横軸に吸着パッド６付近の圧力、縦軸にロボットアーム５の搬送速度を取って、これらの関係から求めている。
【００２２】
ロボットアーム５の複数の吸着パッド６は、バッファタンク１３を介して真空チューブ９により真空発生源１０に接続されている。また、ロボットアーム５とバッファタンク１３との間と、バッファタンク１３と真空発生源１０との間を連通する真空チューブ９には、圧力センサ１１と１２とが設けられている。この場合、圧力センサ１１は、ロボットアーム５の吸着パッド６側の圧力を検出するもので、ここでは、例えば、ロボットアーム５の回転角度や回転角度および搬送速度に応じて複数の圧力設定値が登録可能で、検出圧力が設定値を超えたとき検出信号１１１を出力するようになっている。また、圧力センサ１２は、真空発生源１０付近の圧力を検出するもので、ここでも、例えば、複数の圧力設定値が登録可能で、検出圧力が設定値を超えたとき検出信号１２１を出力するようになっている。さらに、バッファタンク１３は、真空発生源１０の圧力が急激に上昇したような場合に吸着能力が瞬時に低下しないように一定時間だけ吸着パッド６での真空吸着を保障する圧力を維持するためのものである。
【００２３】
そして、圧力センサ１１、１２からの検出出力１１１、１２１は、制御部７に送られるようになっている。
次に、このように構成した第１の実施の形態の動作を図８に示すフローチャートに従い説明する。
【００２４】
まず、ステップ８０１で、真空発生源１０側に設けられる圧力センサ１２と吸着パッド６側に設けられる圧力センサ１１の圧力設定値をそれぞれ登録する。圧力センサ１２は、異常圧力設定値として、例えば−４０ｋＰａ（キロパスカル）に設定している。また、圧力センサ１１は、複数の圧力設定値を登録できるので、例えば、正常吸着時の圧力設定値、つまり正常吸着判断用の第１の圧力設定値として−６０ｋＰａ、吸着パッド６に異常はあるが、ガラス基板３を例えば１８０度回転しても落下しない程度の第２の圧力設定値として−５５ｋＰａ、これ以上に圧力上昇するとガラス基板３が落下する可能性のある第３の圧力設定値として−４０ｋＰａを設定している。
【００２５】
この状態から、ステップ８０２で、ガラス基板３の外観検査が行なわれる。この場合、まず、ロボットアーム５をカセット２の基板出し入れ開口部より挿入し、複数の吸着パッド６によりガラス基板３を真空吸着により保持するとともに、照明装置８により照明される検査位置まで搬送し、この位置で、ロボットアーム支持部４によりロボットアーム５を揺動させたり、回転させながらガラス基板３表面もしくは裏面に対する目視による外観検査を行なう。この場合、吸着パッド６側および真空発生源１０側に圧力異常が発生しなければ、通常の外観検査が行なわれたガラス基板３は、再びロボットアーム５によりカセット２内に搬送され、元の位置に戻される。
【００２６】
次に、このガラス基板３の搬送途中および外観検査途中に、真空発生源１０の圧力が何らかの原因で異常上昇したような場合、ステップ８０３で、元圧異常が検出される。この場合、真空発生源１０の圧力上昇により、真空発生源１０側の圧力が設定値（−４０ＫＰａ）を超えると、圧力センサ１２より検出信号１２１が出力され、制御部７に送られる。
【００２７】
すると、制御部７は、ステップ８０４で、ディスプレイタッチパネルにその旨を表示するとともに、警報装置７１により警報を発生し、作業者に警告を与える。
【００２８】
同時に、ステップ８０５で、ロボットアーム５よりガラス基板３が落下しない角度、例えば、ロボットアーム５に真空吸着したガラス基板３面が水平になるようにロボットアーム５を動作させる。そして、ステップ８０６で、検査を中止し、その後、ステップ８０７で、原因調査を行なうことになる。
【００２９】
従って、このようにすれば、作業者が装置から離れた間に、真空発生源１０に圧力異常が発生した場合も、ロボットアーム５からガラス基板３が落下するのを確実に防止することができる。また、真空発生源１０に圧力異常が回復すれば、その時点から、再び、ガラス基板３の検査作業を開始することができる。
【００３０】
次に、ステップ８０３で、ガラス基板３の外観検査を行なっている状態から、ガラス基板３を真空吸着しているロボットアーム５の吸着パッド６の損傷や劣化に原因してリークが発生したり、あるいは、吸着パッド６とガラス基板３の間に異物が介在することにより、ガラス基板３吸着面との吸着度が低下してリークが発生したような場合は次の動作が実行される。
【００３１】
まず、ステップ８０８で、吸着パッド６側に設けられた圧力センサ１１での圧力検出値が第３の圧力設定値（−４０ｋＰａ）を超えているかを判断し、第３の圧力設定値を超えていなければ、ステップ８０９で、圧力センサ１１での圧力検出値が第２の圧力設定値（−５５ｋＰａ）を超えているかを判断する。ここでも、第２の圧力設定値を超えていなければ、ステップ８０２に戻って、上述した動作が繰り返される。一方、ステップ８０９で、第２の圧力設定値を超えていると、ステップ８１０で、圧力センサ１２より検出信号１２１が出力され、制御部７に送られる。
【００３２】
すると、制御部７は、ステップ８０４で、ディスプレイタッチパネルにその旨を表示するとともに、警報装置７１により警報を発生し、作業者に警告を与える。
【００３３】
そして、ステップ８１１で、検査を継続するか判断し、継続を断念するのであれば、ステップ８０６で、検査を中止し、その後、ステップ８０７で、原因調査を行なうようになる。
【００３４】
一方、吸着パッド６でのリークが酷く、ステップ８０８で、圧力センサ１１での圧力検出値が第３の圧力設定値（−４０ｋＰａ）を超えるような場合、圧力センサ１１より検出信号１１１が出力され、制御部７に送られる。
【００３５】
すると、制御部７は、ステップ８１２で、ディスプレイタッチパネルにその旨を表示するとともに、警報装置７１により警報を発生し、作業者に警告を与える。
【００３６】
また、ステップ８０５で、ロボットアーム支持部４によりガラス基板３が落下しない角度、例えば、ロボットアーム５に真空吸着したガラス基板３面が水平になるようにロボットアーム５を動作させる。そして、ステップ８０６で、検査を中止し、その後、ステップ８０７で、原因調査を行なうことになる。
【００３７】
従って、このようにすれば、ガラス基板３を真空吸着しているロボットアーム５の吸着パッド６にリークが発生した場合も、ロボットアーム５からガラス基板３が落下するのを確実に防止することができ、安全性の高い外観検査を実現できる。
【００３８】
なお、上述では、圧力センサ１１での圧力検出値が第２の圧力設定値（−５５ｋＰａ）を超える場合、作業者に警告を与えるのみとしたが、例えば、圧力検出値が第２の圧力設定値（−５５ｋＰａ）を超えた場合、図９に示すようにロボットアーム５に真空吸着したガラス基板３表面が水平の状態１３１のときの角度を０度とすると、ロボットアーム支持部４によるロボットアーム５の回転により生ずるガラス基板３の側面３１、３２の高低差から算出される角度（回転角度）１３２が、ガラス基板３の落下しない角度である、例えば４０度になると、この回転角度以上に回転しないようなインターロックを制御部７に設定することにより、その後、さらに吸着パッド６でのリークが続いても、ガラス基板３の落下を防止できるとともに、この回転角度１３２の設定範囲でガラス基板３の検査作業を続けることができる。
【００３９】
また、上述では、吸着パッド６でのリークが原因してガラス基板３がロボットアーム５から落下するのを防止する例を述べたが、圧力センサ１１での圧力検出値を利用してガラス基板３の搬送速度を制御することもできる。この場合、通常の搬送速度を１２０ｍ／ｍｉｎとし、搬送中に吸着パッド６側の圧力として−５５ｋＰａが検出された場合、ガラス基板３が落下もしくはロボットアーム５上でずれる可能性があるとすると、この時の−５５ｋＰａは、上述した設定では、ガラス基板３が回転動作にも落下しない第２の圧力設定値に登録され、対応する検出信号１１１が得られるので、検出信号１１１によりガラス基板３の搬送速度を１００ｍ／ｍｉｎ程度に減速する。こうすれば、ロボットアーム５からのガラス基板３の落下またはずれを防止できる。
【００４０】
さらに、カセット２は、図１０に示すようにガラス基板３を傾斜して収納するようなものを用いてもよい。このようなカセット２を用いる場合、カセット２からのガラス基板３の取り出し、収納の工程では、ロボットアーム５をガラス基板３の収納状態に応じた一定の角度回転させて行なう必要がある。ところが、ロボットアーム５がカセット２内に位置している状態で吸着パッド６に圧力異常が発生した場合に、真空吸着したガラス基板３面が水平になるようにロボットアーム５の回転角度を変更させると、ガラス基板３がカセット２にぶつかって破損してしまうことがある。このため、ロボットアーム５がカセット２内にある場合、ガラス基板３が落下する可能性は少ないので、ロボットアーム５を挿入時の状態で真空吸着を中止し、作業者に警告を与える。この場合、ガラス基板３の大型化にともなう撓みの影響を小さくするために、カセット２自体を、例えば６０°〜８０°に傾けた状態でガラス基板３をカセット２内から取り出す時に有効である。ガラス基板３をカセット２内に挿入する前に吸着異常が発生した場合には、ロボットアーム５に真空吸着したガラス基板３が落下しないようにロボットアーム５を水平状態に戻し、作業者に警告を与える。
（第２の実施の形態）
図１１は、本発明の第２の実施の形態の概略構成を示すもので、図２と同一部分には、同符号を付している。
【００４１】
この場合、ロボットアーム５の複数の吸着パッド６にそれぞれ連通する真空チューブ６ａ〜６ｄに圧力センサ１１ａ〜１１ｄが配置され、これら圧力センサ１１ａ〜１１ｄは、真空チューブ８を介して共通のバッファタンク１３に接続されている。また、これら圧力センサ１１ａ〜１１ｄについても、上述したと同様にして第１乃至第３の圧力設定値が設定され、それぞれ検出信号１１１ａ〜１１１ｄを出力するようにしている。
【００４２】
このような構成によると、ロボットアーム５の複数の吸着パッド６のいずれか１個または複数個に損傷や劣化によりリークが発生すると、この時の圧力検出値の大きさに応じて吸着パッド６に対応した圧力センサ１１ａ〜１１ｄより検出信号１１１ａ〜１１１ｄが出力され、上述したと同様にして、ディスプレイタッチパネルに、その旨を表示するとともに、警報装置７１より異常吸着パッド６を特定した警報が発生され作業者に警告を与え、さらに、圧力センサ１１ａ〜１１ｄのいずれか一つの圧力検出値が、ガラス基板１３の落下の可能性が生じる第３の圧力設定値（−４０ｋＰａ）を超えると、ロボットアーム支持部４の回転状態を中止し、ガラス基板３が落下する可能性のない角度、例えば、ロボットアーム５のガラス基板３の吸着面が水平になるように制御し、安全性が確保される。
【００４３】
この場合、圧力センサ１１ａ〜１１ｄがロボットアーム５の各吸着パッド６に対応して設けられているため、リークを発生した吸着パッド６を特定することができ、作業者は、特定された吸着パッド６の交換調整に速やかに取り掛かることができ、作業の迅速化を実現できる。
【００４４】
なお、上述した実施の形態では、吸着パッド６を４個にしているが、その数は、４個に限定されず、複数個であればよい。また、圧力センサ１１ａ〜１１ｄは、吸着パッド６と同数と定義したが、例えば、吸着パッド６を２個一組として、これら組みごとに圧力センサを設けるようにしてもよい。こうすれば、圧力センサが１個の場合よりも異常箇所の特定が容易になる。
（第３の実施の形態）
図１２は、本発明の第３の実施の形態の概略構成を示すもので、図２と同一部分には、同符号を付している。
【００４５】
この場合、バッファタンク１３と並列に開閉用電磁弁１４を接続している。この開閉用電磁弁１４は、例えば、圧力センサ１１での圧力検出値が、ガラス基板１３の落下の可能性が生じる第３の圧力設定値（−４０ｋＰａ）を超えた場合に開動作され、バッファタンク１３を経由することなく、真空発生源１０を直接複数の吸着パッド６に接続するためのものである。
【００４６】
このような構成によると、ロボットアーム５の複数の吸着パッド６に損傷や劣化によりリークが発生すると、この時の圧力検出値の大きさに応じて圧力センサ１１より検出信号１１１が出力されるので、上述したと同様に、ディスプレイタッチパネルにその旨を表示するとともに、警報装置７１により異常吸着パッド６を特定した警報を発生して作業者に警告を与えることができる。
【００４７】
また、吸着パッド６での圧力がさらに上昇し、圧力センサ１１での圧力検出値が、ガラス基板１３の落下の可能性が生じる第３の圧力設定値（−４０ｋＰａ）を超えると、開閉用電磁弁１４が開動作される。これにより、真空発生源１０がバッファタンク１３を経由することなく直接吸着パッド６に接続され、圧力を急激に下げるようにできるので、吸着パッド６での圧力を−４０ｋＰａ以下に回復させることができ、ガラス基板３の落下の可能性を回避できる。また、この状態から、さらにロボットアーム支持部４の回転状態を中止し、ガラス基板３が落下する可能性のない角度、例えば、ロボットアーム５のガラス基板３の吸着面が水平になるように制御することで、より安全性を向上させることができる。
（第４の実施の形態）
図１３は、本発明の第４の実施の形態の概略構成を示すもので、図１１と同一部分には、同符号を付している。
【００４８】
この場合、ロボットアーム５の複数の吸着パッド６に対応した圧力センサ１１ａ〜１１ｄと各吸着パッド６を接続する真空チューブ６ａ〜６ｄの途中に電磁弁１５ａ〜１５ｄを接続している。これら電磁弁１５ａ〜１５ｄは、リークを発生した吸着パッド６への真空ラインを切り離すためのものである。
【００４９】
なお、ここでは、複数の吸着パッド６のうち１個にリークが生じ真空吸着力が大幅に低下しても、残りの吸着パッド６の真空吸着力が正常であれば、ガラス基板３の落下は回避できるものとしている。
【００５０】
このような構成によっても、ロボットアーム５の複数の吸着パッド６のいずれか１個または複数個に損傷や劣化によりリークが発生すると、この時の圧力検出値の大きさに応じて吸着パッド６に対応した圧力センサ１１ａ〜１１ｄより検出信号１１１ａ〜１１１ｄが出力され、上述したと同様にして、ディスプレイタッチパネルに、その旨を表示するとともに、警報装置７１より異常吸着パッド６を特定した警報が発生され作業者に警告を与える。
【００５１】
また、圧力センサ１１ａ〜１１ｄのいずれか一つの圧力検出値がガラス基板１３の落下の可能性が生じる第３の圧力設定値（−４０ｋＰａ）を超えた場合、つまり、吸着パッド６の１個にリークが発生し、第３の圧力設定値（−４０ｋＰａ）を超えたような場合、このリークを発生している吸着パッド６に対応する電磁弁１５ａ〜１５ｄを閉じて、吸着パッド６への真空ラインを切り離すことにより、リーク箇所を取り除くことができるので、残りの３個の吸着パッド６での圧力上昇を防止することができ、これら吸着パッド６の真空吸着力によりガラス基板３の落下の可能性を回避できる。また、この状態から、さらにロボットアーム支持部４の回転状態を中止し、ガラス基板３が落下する可能性のない角度、例えば、ロボットアーム５のガラス基板３の吸着面が水平になるように制御すれば、より安全性を向上させることができる。
【００５２】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、基板保持手段の真空吸着手段にリークが発生した場合も、基板保持手段の姿勢を制御することで、基板保持手段から被検査基板が落下するのを防止できる。
【００５３】
また、リークを発生した真空吸着手段を簡単に特定することができるので、特定された真空吸着手段の交換調整に速やかに取り掛かることができ、作業の迅速化を実現できる。
【００５４】
さらに、リークを発生した真空吸着手段の真空吸着力を速やかに回復させ、被検査基板の落下の可能性を回避できるので、さらに安全性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す図。
【図２】第１の実施の形態の要部の概略構成を示す図。
【図３】第１の実施の形態のロボットアームの揺動動作を説明するための図。
【図４】第１の実施の形態の揺動吸着限界を示す図。
【図５】第１の実施の形態のロボットアームの回転動作を説明するための図。
【図６】第１の実施の形態の回転吸着限界を示す図。
【図７】第１の実施の形態の移動吸着限界を示す図。
【図８】第１の実施の形態の動作を説明するためのフローチャート。
【図９】第１の実施の形態のロボットアームの回転角度の定義を説明するための図。
【図１０】第１の実施の形態の傾斜した基板の搬送例を説明するための図。
【図１１】本発明の第２の実施の形態の要部の概略構成を示す図。
【図１２】本発明の第３の実施の形態の要部の概略構成を示す図。
【図１３】本発明の第４の実施の形態の要部の概略構成を示す図。
【図１４】従来の外観検査装置の概略構成を示す図、
【図１５】従来の外観検査装置の搬送アームの動きを説明するための図。
【符号の説明】
１…装置本体、
２…カセット、
３…ガラス基板、
４…ロボットアーム支持部、
５…ロボットアーム、
６…吸着パッド、
７…制御部、
７１…警報装置、
８…照明装置、
９…真空チューブ、
１０…真空発生源、
１１、１１ａ〜１１ｄ、１２…圧力センサ、
１３…バッファタンク、
１４…開閉用電磁弁、
１５ａ〜１５ｄ…電磁弁。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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