(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
縁部に複数個の電極を列設して搬送される基板と、
この搬送される基板の前記電極の列設方向に、前記電極とは相対的に移動しつつに接触して電極面の汚れを取り除くシートと、
このシートの前記電極への接触前にシート面に向け溶剤を滴下するノズルと、
このノズルから滴下される溶剤の有無または単位時間当たりの溶剤の滴下量を検出する検出手段とを具備し、
前記シートは、同一の前記電極に対して複数回接触してクリーニングを行うように構成され、前記電極に先に接触するシートに対して滴下される前記溶剤の量が、その後に接触してクリーニングを行うシートに対して滴下する前記溶剤の量よりも多くなるように構成されたことを特徴とする基板のクリーニング装置。
【請求項２】
前記検出手段は、前記ノズルの開口部から滴下する直前の前記溶剤の有無を検出するように構成されたことを特徴とする請求項１記載の基板のクリーニング装置。
【請求項３】
前記検出手段は、前記滴下する溶剤の方向に向け光を照射する発光部を中心に配置するとともに、前記溶剤からの反射光を受光する受光部を前記発光部を囲むように外側に配置して構成されたセンサであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の基板のクリーニング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、基板面に形成された電極をクリーニングする基板のクリーニング装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶パネル等の基板は、その基板縁部に沿って電極が複数個列設され、この電極上にＴＣＰ（Ｔａｐｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｐａｃｋａｇｅ）あるいはフリップチップ等により電子部品が接合搭載されるように構成されている。
【０００３】
電極と電子部品とは、例えば電極面上に異方性導電膜が貼付され、両者はその異方性導電膜を介して接合されるが、その接合部において電気的に良好な導通状態が得られるためには、予め電極面にごみが付着していたり汚れていないことが必要とされる。そこで従来から、異方性導電膜の貼付に先立ち、基板電極面の拭き取り清掃を行うクリーニング装置が使用されている。
【０００４】
従来の基板のクリーニング装置は、ノズルからシート上に洗浄液であるエタノール等の揮発性溶剤を滴下させつつシートを順次スライドさせ、電極面との間の相対的な接触移動により汚れやごみを取り除くように構成されていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、従来の基板のクリーニング装置は、電極面の汚れ等を取り除くためシートに揮発性の溶剤を滴下させて染み込ませ、相対的な接触移動により、基板の電極面を拭き取るように構成されていた。
【０００６】
しかしながら、溶剤は先端部が細いノズルから滴下されるのでしばしば目詰まりを起こしたり、溶剤内に気泡が混入して、溶剤が適正に滴下されない状態が発生した。
【０００７】
シート面に溶剤が滴下されず、乾いた状態のシートが基板電極面と接触した場合は、基板面とその乾いたテープとの間の摩擦により静電気が発生し、この静電気が電極を介して基板内に形成された回路素子を破壊してしまう恐れがあった。
【０００８】
特に、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）等の回路素子を搭載した液晶表示パネルでは、静電気の帯電には弱く、破壊され易いので改善が要望されていた。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この発明は、上記従来の課題を解決するためになされたもので、基板のクリーニング装置において、縁部に複数個の電極を列設して搬送される基板と、この搬送される基板の前記電極の列設方向に、前記電極とは相対的に移動しつつに接触して電極面の汚れを取り除くシートと、このシートの前記電極への接触前にシート面に向け溶剤を滴下するノズルと、このノズルから滴下される溶剤の有無または単位時間当たりの溶剤の滴下量を検出する検出手段とを具備し、前記シートは、同一の前記電極に対して複数回接触してクリーニングを行うように構成され、前記電極に先に接触するシートに対して滴下される前記溶剤の量が、その後に接触してクリーニングを行うシートに対して滴下する前記溶剤の量よりも多くなるように構成されたことを特徴とする。
【００１０】
このように、本発明による基板のクリーニング装置は、検出手段を備え、溶剤の滴下の有無または単位時間当たりの滴下量を検出し、溶剤の適正な滴下がされない状態となったときには、これを直ちに検知してクリーニングを停止させることができるので、静電気発生により基板内回路が破壊されるのを未然に防止することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、この発明による基板のクリーニング装置の一実施の形態を図１ないし図６を参照して詳細に説明する。
【００１２】
図１はこの発明による基板のクリーニング装置の第１の実施の形態を示す正面図、図２は図１に示した装置の右側面図、図３は図２においてＡ−Ａ線から矢視方向を見た断面図である。
【００１３】
すなわち、図１ないし図３に示すように、Ｘ−Ｙテーブルからなる位置決め搬送テーブル１上には基板２が吸着保持され、基板２は矢印Ｘ方向に搬送される。基板２の端縁部には、複数個の電極が列設して設けられており、装置本体３の前面には、その搬送されてくる基板２の端縁部をそれぞれ上下方向から挟むように低発塵性の布で形成されたテープ状のシート４ａ，４ｂが、それぞれ供給リール５ａ，５ｂから、第１ないし第３の各中継ローラ６１ａ，６１ｂ、６２ａ，６２ｂ、６３ａ，６３ｂ、及び巻取ローラ７ａ，７ｂを介して、巻取リール８ａ，８ｂに巻装されており、これらが基板２を中心に上下対称に位置するよう配置されている。なお、供給リール５ａ，５ｂと巻取リール８ａ，８ｂの各回転中心軸にはシート４ａ，４ｂに適度なテンション（ｔｅｎｔｉｏｎ）を与えるためのモータ５ａａ，５ｂａ，８ａａ，８ｂａがそれぞれ連結され、また、巻取ローラ７ａ，７ｂの各回転中心には、巻取ローラ７ａ，７ｂを駆動させるための駆動モータ７ａａ，７ｂａが連結され、それぞれ装置本体３内に設置されている。
【００１４】
図４の一部拡大図にも示したように、第２と第３の中継ローラ６２ａ，６３ａ及び６２ｂ，６３ｂ間には、矢印Ｚ方向に上下動可能な押付けローラ９ａ，９ｂを配置し、シート４ａ，４ｂを搬送されてくる基板２の電極面に向け適当な押圧力を加えて接触させるように構成されている。
【００１５】
押付けローラ９ａ，９ｂはそれぞれ押し当て上下シリンダ９ａａ，９ｂａに連結されており、上側の押付けローラ９ａは下（下降）方向に、下側の押付けローラ９ｂは上（上昇）方向への押し出し操作により、基板２の不図示電極面及びその背面へ、シート４ａ，４ｂをそれぞれ押し当て接触させるように作動する。
【００１６】
また、装置本体３上には、エタノール等の揮発性の溶剤１０を貯留した容器１１が載置されており、その溶剤１０はポンプを内蔵したディスペンサ１２を介してパイプ１３によりノズル１４ａ，１４ｂに供給されるように構成されている。
【００１７】
ノズル１４ａ，１４ｂは、図４の一部拡大図にも示すように押付けローラ９ａ，９ｂと第２の中継ローラ６２ａ，６２ｂとの間で、かつ搬送されてくるシート４ａ，４ｂ面上に溶剤を滴下すべく配置され、上記押付けローラ９ａ，９ｂがシート４ａ，４ｂを基板２に押し当てる前には、溶剤１０がシート４ａ，４ｂ上に滴下されるように構成されている。
【００１８】
シート４ａ，４ｂは、次の押付けローラ９ａ，９ｂの下降（９ａ）及び上昇  （９ｂ）動作にともない間欠搬送されて、溶剤１０が滴下された部分が押付けローラ９ａ，９ｂと基板２面との間に位置付けられ、Ｘ−Ｙテーブル１上の基板２搬送による相対移動によって、溶剤１０が揮発する前に、基板２の電極面及びその背面のクリーニングを行うものである。
【００１９】
また、この実施の形態では、各ノズル１４ａ，１４ｂの先端部近傍には、検出手段としてのセンサ１５ａを設けている。
【００２０】
なお、各ノズル１４ａ，１４ｂに対して設けたセンサ１５は同一構成であるので、ノズル１４ａに対して設けたセンサ１５ａについてのみ説明し、他のセンサについては説明を省略する。図４及び図５に示したように、センサ１５ａはノズル１４ａから離れて滴下する直前の溶剤１０を、その滴下方向とは略直交する方向から捕らえて検出するように構成されている。
【００２１】
この実施の形態で、センサ１５ａを、光電変換部を有する光センサで構成し、図５（ａ）（ｂ）に示したように、発光部１５ａａを中心に、受光部１５ａｂをその外側に配置するよう同軸状に構成した。
【００２２】
すなわち、図５（ａ）に破線で示したように、ノズル１４ａから滴下される溶剤１０は、ノズル１４ａ先端部から雫状になって落下するものであるが、良く観察すると、ノズル１４ａ先端部から離れる寸前の雫状溶剤１０の形状が最も円球に近い形状に膨らみ、このとき雫状溶剤１０の腹部（最もふくらんだ部分）がセンサ１５ａにより最も検出しやすい状態となることが分かり、センサ１５ａをノズル１４ａの端部から滴下する直前の雫状溶剤１０の腹部に対向するように構成した。
【００２３】
またこの実施の形態では、センサ１５ａに、光センサを採用したが、対象物である雫状の溶剤１０は球状体をなしているから、発光部１５ａａは中心部Ｐに向け凸面状の表面に向け照射され、その反射光はやや外側に向け反射されることから、受光部１５ａｂを発光部１５ａａの外側に配置し、溶剤１０を効率良く検出できるように構成した。
【００２４】
上記構成によって、センサ１５ａは、順次落下する滴下溶剤１０の反射光から、パルス状に受光信号が得られるので、これを光電変換により電気信号に変換し、ケーブル１６を介して装置本体３上に取り付けられた信号処理装置１７に供給される。信号処理装置１７は、パルス状反射信号の有無を検出するとともに、そのパルス信号を内蔵した計数演算回路により計数し、単位時間当たりの滴下数、すなわち滴下量を算出表示する。
【００２５】
従って作業員は、信号処理装置１７の処理結果の表示を見て、ノズル１４ａ  （１４ｂ）から溶剤１０の滴下が適正に行われているかどうかを知ることができる。その結果、例えば詰まりや気泡の混入等により、シート４ａ（４ｂ）上に溶剤１０が適正に滴下されないことによる不具合、すなわち乾いたシート４ａ（４ｂ）が基板２の電極に接触し、発生した静電気により回路素子を損傷してしまうという事故を未然に回避することができる。
【００２６】
なお、上記説明において、溶剤１０は基板２の上下両面のシート４ａ，４ｂに滴下されるように説明したが、電極が基板２のいずれか一方の面にのみ形成された場合には、その面に対してのみ溶剤１０を滴下し、センサ１５を取り付けるようにしても良い。
【００２７】
次に、上記第１の実施の形態では、基板２面に対するクリーニングは、シート４ａ，４ｂにより一回行われるが、基板２面を複数回クリーニングを行い、清浄効果をより高めることができる。
【００２８】
すなわち、基板２面を複数回クリーニングを行うように構成した本発明による基板のクリーニング装置の第２の実施の形態を図６を参照して説明する。
【００２９】
図６は第２の実施の形態を示した要部拡大正面図で、基板２の上下で、それぞれ第２の中継ローラ６２ａ，６２ｂを挟んだ両側に、上下シリンダ９１ａａ，９２ａａ、９１ｂａ，９２ｂａにより駆動される一対の押付けローラ９１ａ，９２ａ、９１ｂ，９２ｂをそれぞれ設け、これら押付けローラ９１ａ，９２ａ、９１ｂ，９２ｂを周回するシート４ａ，４ｂにより、基板２が荒拭きと仕上げ拭きの２回、拭き取られるように構成した。
【００３０】
すなわち、基板２の搬送移動（Ｘ）方向に押付けローラ９２ａ，９２ｂと押付けローラ９１ａ，９１ｂを配置したので、押付けローラ９２ａ，９２ｂで先にクリーニングした基板２部分を後で押付けローラ９１ａ，９１ｂによって拭き取ることとなり、いわゆる２度拭きにより、基板２面の清浄度を高めることができる。
【００３１】
従って、この実施の形態では、各押付けローラ９１ａ，９２ａ，９１ｂ，９２ｂの設置に対応して、それぞれ揮発性の溶剤１０を滴下するノズル１４１ａ，１４２ａ、１４１ｂ，１４２ｂ、及び図示しないが各ノズル１４１ａ，１４２ａ、１４１ｂ，１４２ｂに対応したセンサ（１５）が配置されている。
【００３２】
またこの実施の形態では、ノズル１４２ａ，１４２ｂにより滴下される溶剤１０の単位時間当たりの滴下量を、その後に滴下されるノズル１４１ａ，１４１ｂからの溶剤１０の滴下量よりも多くなるようにディスペンサ１２がコントロールし、汚れの程度に比例した溶剤１０の滴下を行い、効果的な清浄とともに、溶剤１０が効率的に消費されるように配慮した。
【００３３】
またそのとき、シート４ａ，４ｂのスライド速度や各押付けローラ９１ａ（９２ａ），９２ａ（９２ｂ）との間の距離を調整し、シート４ａ，４ｂのクリーニング位置が前後（すなわち押付けローラ９１ａ，９１ｂと、押付けローラ９２ａ，９２ｂ）では互いに異なるように設定し、クリーニングを行うシート４ａ，４ｂ部分が重ならないようにすることができる。
【００３４】
さらにまた、後方の押付けローラ９１ａ，９１ｂの押圧力を、前方の押付けローラ９２ａ，９２ｂの押圧力より弱めつつ、同時にノズル１４１ａ，１４１ｂからの溶剤１０の滴下を停止させていわゆる空拭きを行わしめ、仮に静電気が発生しても回路素子が損傷を受けない程度に拭き取り、後段での乾燥工程の省略あるいは簡易化を図るように構成することもできる。
【００３５】
なお、図６に示した実施の形態でも、第１の実施の形態と同様に、電極が基板２面のいずれか一方にのみ形成された場合には、その面に対してのみ溶剤１０が滴下されるように構成し、他方面は単にごみ等の付着を除去するように機能させても良い。
【００３６】
また、上記実施の形態において、溶剤１０の滴下が適正に行われなかったときの対応では、装置の停止と警報の発令または表示を行うようにしても良く、またセンサ１５に代えカメラ等の撮像手段を採用することができる。また、基板２のクリーニング中に、シート４ａ，４ｂの送り及び溶剤１０の滴下を停止させるようにしても、あるいは所定量の溶剤１０を滴下させつつシート４ａ，４ｂを所定速度で搬送するようにしも良い。
【００３７】
いずれにしても、本発明による基板のクリーニングによれば、センサを設けシート上に滴下される溶剤を監視し、最適な滴下状態を維持できるので、基板の電極面に静電気が生じ、回路素子が破損するような不具合を解消することができる。
【００３８】
【発明の効果】
この発明は、基板のクリーニングに際し、不用意に回路素子が損傷することを防止でき、実用に際して顕著な効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による基板のクリーニング装置の第１の実施の形態を示す正面図である。
【図２】図１に示す装置の右側面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図４】図１に示す装置の要部拡大図である。
【図５】図５（ａ）は図４に示すセンサの拡大図側面図、図５（ｂ）は図５（ａ）に示すセンサの正面図である。
【図６】この発明による基板のクリーニング装置の第２の実施の形態を示す要部拡大正面図である。
【符号の説明】
１  Ｘ−Ｙテーブル
２  基板
３  装置本体
４ａ，４ｂ  シート
５ａ，５ｂ  供給リール
６１ａ，６２ａ，６３ａ，６１ｂ，６２ｂ，６３ｂ  中継ローラ
７ａ，７ｂ  巻取ローラ
８ａ，８ｂ  巻取リール
９ａ，９ｂ，９１ａ，９２ａ，９１ｂ，９２ｂ  押付けローラ
１０  溶剤
１２  ディスペンサ
１４ａ，１４ｂ，１４１ａ，１４２ａ，１４１ｂ，１４２ｂ  ノズル
１５ａ  センサ
１５ａａ  発光部
１５ａｂ  受光部
１６  ケーブル
１７  信号処理装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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