(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ溶接装置による溶接時に被溶接物の溶接部から発生するＡＥ波をＡＥセンサによって検出し、このＡＥセンサの検出信号に基づき溶接品質を評価する装置であって、
被溶接物の溶接部近傍を押圧する加圧ローラであって、前記レーザ溶接装置の構造部材に対して取り付けられた加圧ローラを備え、
前記ＡＥセンサをこの加圧ローラ又は前記構造部材に設け、前記溶接部近傍から前記加圧ローラに伝搬したＡＥ波を前記ＡＥセンサで検出することを特徴とするレーザ溶接品質評価装置。
【請求項２】
前記ＡＥセンサはその加圧ローラの回転軸部材に取り付けられることを特徴とする請求項１記載のレーザ溶接品質評価装置。
【請求項３】
前記被溶接物の溶接部に向けて音波を照射し、該音波の音圧により前記溶接部の溶接池の波立ちを抑制する音波照射手段を備えることを特徴とする請求項１記載のレーザ溶接品質評価装置。
【請求項４】
前記ＡＥセンサとして、実質的に５００ｋＨｚを感度中心とする検出能力を持つものを用いることを特徴とする請求項１記載のレーザ溶接品質評価装置。
【請求項５】
レーザトーチから発したレーザ光により被溶接物の溶接部を溶接するレーザ溶接装置であって、溶接時に被溶接物の溶接部から発生する音をＡＥセンサによって検出し、このＡＥセンサの検出信号に基づきレーザ溶接処理の処理パラメータを制御するレーザ溶接装置であって、
被溶接物の溶接部近傍を押圧する加圧ローラであって、前記レーザ溶接装置の構造部材に対して取り付けられる加圧ローラを備え、
前記ＡＥセンサをこの加圧ローラ又は前記構造部材に設け、前記溶接部近傍から前記加圧ローラに伝搬したＡＥ波を前記ＡＥセンサで検出することを特徴とするレーザ溶接装置。
【請求項６】
前記ＡＥセンサはその加圧ローラの回転軸部材に取り付けられることを特徴とする請求項５記載のレーザ溶接装置。
【請求項７】
前記被溶接物の溶接部に向けて音波を照射し、該音波の音圧により前記溶接部の溶接池の波立ちを抑制する音波照射手段を備えることを特徴とする請求項５記載のレーザ溶接装置。
【請求項８】
前記ＡＥセンサとして、実質的に５００ｋＨｚを感度中心とする検出能力を持つものを用いることを特徴とする請求項５記載のレーザ溶接装置。
【請求項９】
前記加圧ローラのｚ座標を検出するセンサと、
前記加圧ローラをｘｙ方向に移動させる移動手段と、
前記センサが検出した前記加圧ローラのｚ座標及び前記移動手段から得られる前記加圧ローラのｘ及びｙ座標と、被溶接物の３次元形状を表す設計形状データと、に基づき前記加圧ローラのｚ方向位置の制御を行うローラ制御手段と、
を含む請求項５記載のレーザ溶接装置。
【請求項１０】
レーザトーチから発したレーザ光により被溶接物の溶接部を溶接するレーザ溶接装置による溶接方法であって、
被溶接物の溶接部近傍を押圧するために前記レーザ溶接装置に設けられた加圧ローラの回転軸部材に対して取り付けられたＡＥセンサにより、前記溶接部近傍から前記加圧ローラに伝搬したＡＥ波を検出し、
このＡＥセンサの検出信号に基づき前記レーザ溶接装置による溶接処理の処理パラメータを制御する、
レーザ溶接方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ溶接装置に関し、特にレーザ溶接状態をＡＥセンサにより検出し、評価や制御に用いる装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、レーザ溶接装置での溶接時に生じるＡＥ（アコースティックエミッション）波を検出し、この検出信号から溶接状態を評価し、溶接の制御を行う技術が提案されている。
【０００３】
例えば特開平１−２１０１８５号公報には、被溶接物を保持する治具にＡＥセンサを取り付け、溶接時に被溶接物に生じるＡＥ波を治具を介して検出し、製品の良否を判別する装置が提案されている。
【０００４】
また、特開平６−１５５０５６号公報には、レーザ溶接ヘッド（トーチ）にＡＥセンサを取り付け、溶接部で生じたＡＥ波を溶接ヘッドを介して検出し、最適溶接制御を行う装置が提案されている。
【０００５】
また、溶接に関するものではないがそれに類するものとして、特開昭６４−４０１９２号公報には、被加工物に固着した１個もしくは複数個のＡＥセンサを介して被加工物のレーザ加工に伴うＡＥ信号を検知し、このＡＥ信号を演算処理してレーザ加工状態を監視しつつリアルタイムに制御する加工制御法が提案されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
特開平６−１５５０５６号公報の装置では、被溶接物で発生したＡＥ波は、空気層を介して溶接ヘッドに伝搬し、ＡＥセンサで検出されることになる。ＡＥ波は空気層により大幅に減衰するため、ＡＥセンサでの検出においてＳ／Ｎ比が劣化するなどの問題がある。
【０００７】
特開平１−２１０１８５号公報及び特開昭６４−４０１９２号公報に記載の技術では、ＡＥ波の発生源からＡＥセンサまでのＡＥ波伝搬経路に空気層が介在しないので、上述の問題は基本的にない。しかしながら、ＡＥセンサの位置が被溶接物に対して固定的なので、比較的大型の被溶接物を溶接する場合、溶接部の位置が変わると、ＡＥセンサまでの距離やＡＥ波伝搬経路が変わってくる。このため、溶接状態をどの場所についても正しく評価しようとすると、ＡＥセンサまでの距離やＡＥ波伝搬経路の違いを補償する処理や機構が必要になるという問題がある。
【０００８】
本発明は、このような従来装置の問題を解決するためになされたものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るレーザ溶接品質評価装置は、レーザ溶接装置による溶接時に被溶接物の溶接部から発生するＡＥ波をＡＥセンサによって検出し、このＡＥセンサの検出信号に基づき溶接品質を評価する装置であって、被溶接物の溶接部近傍を押圧する加圧ローラであって、前記レーザ溶接装置の構造部材に対して取り付けられた加圧ローラを備え、前記ＡＥセンサをこの加圧ローラ又は前記構造部材に設け、前記溶接部近傍から前記加圧ローラに伝搬したＡＥ波を前記ＡＥセンサで検出することを特徴とする。
【００１０】
本発明の好適な態様では、前記ＡＥセンサはその加圧ローラの回転軸部材に取り付けられる。
【００１１】
本発明の別の好適な態様では、レーザ溶接品質評価装置は、前記被溶接物の溶接部に向けて音波を照射し、該音波の音圧により前記溶接部の溶接池の波立ちを抑制する音波照射手段を備える。
【００１２】
本発明の別の好適な態様では、前記ＡＥセンサとして、実質的に５００ｋＨｚを感度中心とする検出能力を持つものを用いる。
【００１３】
本発明に係るレーザ溶接装置は、  レーザトーチから発したレーザ光により被溶接物の溶接部を溶接するレーザ溶接装置であって、溶接時に被溶接物の溶接部から発生する音をＡＥセンサによって検出し、このＡＥセンサの検出信号に基づきレーザ溶接処理の処理パラメータを制御するレーザ溶接装置であって、被溶接物の溶接部近傍を押圧する加圧ローラであって、前記レーザ溶接装置の構造部材に対して取り付けられる加圧ローラを備え、前記ＡＥセンサをこの加圧ローラ又は前記構造部材に設け、前記溶接部近傍から前記加圧ローラに伝搬したＡＥ波を前記ＡＥセンサで検出することを特徴とする。
【００１４】
本発明の好適な態様では、前記ＡＥセンサはその加圧ローラの回転軸部材に取り付けられる。
【００１５】
本発明の別の好適な態様では、レーザ溶接装置は、前記被溶接物の溶接部に向けて音波を照射し、該音波の音圧により前記溶接部の溶接池の波立ちを抑制する音波照射手段を備える。
【００１６】
本発明の別の好適な態様では、前記ＡＥセンサとして、実質的に５００ｋＨｚを感度中心とする検出能力を持つものを用いる。
【００１７】
また本発明の別の好適な態様では、レーザ溶接装置は、前記加圧ローラのｚ座標を検出するセンサと、前記加圧ローラをｘｙ方向に移動させる移動手段と、前記センサが検出した前記加圧ローラのｚ座標及び前記移動手段から得られる前記加圧ローラのｘ及びｙ座標と、被溶接物の３次元形状を表す設計形状データと、に基づき前記加圧ローラのｚ方向位置の制御を行うローラ制御手段と、を含む。
【００１８】
また本発明に係る方法は、レーザトーチから発したレーザ光により被溶接物の溶接部を溶接するレーザ溶接装置による溶接方法であって、被溶接物の溶接部近傍を押圧するために前記レーザ溶接装置に設けられた加圧ローラの回転軸部材に対して取り付けられたＡＥセンサにより、前記溶接部近傍から前記加圧ローラに伝搬したＡＥ波を検出し、このＡＥセンサの検出信号に基づき前記レーザ溶接装置による溶接処理の処理パラメータを制御するものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態（以下実施形態という）について、図面に基づいて説明する。
【００２０】
図１は、本発明に係るレーザ溶接装置の全体構成を示す模式図である。この図では、図の紙面に垂直な方向をｘ軸方向、図の左右方向をｙ軸方向、上下方向をｚ軸方向とする。また、図２はこのレーザ溶接装置のレーザトーチ１０の正面方向断面（ａ）、側面方向断面（ｂ）、及びそのレーザ出力口側を下側から見た様子（ｃ）、を模式的に示す図である。以下、これらの図を参照して、この実施形態のレーザ溶接装置の構成を説明する。
【００２１】
これらの図において、レーザトーチ１０は、溶接用のレーザビームを出力する装置である。レーザ１０２から発せられたレーザビームはレンズ１０４ａ、１０４ｂにより集束される。その集束の焦点では、重ね合わせた２枚の板などの被溶接物３０がレーザビームにより熱せられて溶融する。このようにして溶接される部分のことを溶接部３２と呼ぶことにする。なお、レンズ１０４ｂの下側には、溶融部３２からの飛沫からレンズ等を保護するために、レーザビームを透過させる保護板１０６が設けられる。
【００２２】
レーザトーチ１０は、油圧駆動部１２にて上下（すなわちｚ軸方向）に駆動される支持構造体１４に固定されている。油圧駆動部１２は、油圧装置１６からの油供給により支持構造体１４を上下させることができる。油圧駆動部１２は、溶接ロボット（図示省略）に対して取り付けられている。溶接ロボットは、レーザトーチ１０をｘ方向及びｙ方向に移動させるのに用いられる。これに対し、油圧駆動部１２は、レーザトーチ１０をｚ方向に移動させるのに用いられる。これら両者の組合せにより、凹凸等を含んだある程度複雑な形状の被溶接物を溶接することができる。なお、溶接ロボットに対するレーザトーチ１０の相対的な高さ（ｚ軸方向位置）は、油圧駆動部１２のシリンダの高さを検出する高さセンサ１３によって検出することができる。
【００２３】
支持構造体１４の下端には軸支持部１８が設けられ、この軸支持部１８により加圧ローラ２０の回転軸が支持されている。加圧ローラ２０は、被溶接物３０を押圧するための部材である。加圧ローラ２０は、溶接部３２の近傍部を押圧することにより、溶接部３２の位置での、被溶接物３０である複数枚の板の密着性を高める。加圧ローラ２０及び軸支持部１８は、共に金属等の音波を伝搬しやすい材料で形成されている。また、加圧ローラ２０と軸支持部１８との界面での音波の反射を極力少なくするため、両者はできるだけ音響インピーダンスの近い材料を用いて製作する。
【００２４】
駆動制御部２６は、溶接ロボットによるｘ、ｙ方向の動きや油圧駆動部１２によるｚ方向の動きを制御する制御プロセッサである。この駆動制御部２６は、トーチ１０の現在のｘｙ座標の情報を含んだロボットデータを溶接ロボットから、トーチ１０の現在の高さ（ｚ座標）の情報を含んだ高さデータを高さセンサ１３から、被溶接物の３次元形状を示す設計データを記憶装置（図示省略）から、それぞれ受け取る。そして、前二者が示す現在のトーチ１０の３次元位置と、設計データが示す３次元形状とに基づき、溶接ロボットに対する駆動指示データと油圧駆動部１２に対する駆動指示データを計算し、それらに対して各指示データを供給する。
【００２５】
この駆動指示に基づいた油圧駆動部１２の油圧駆動により、支持構造体１４が（被溶接物３０の形状に対して）相対的に下方向に付勢されることで、加圧ローラ２０により被溶接物３０が押圧されることになる。
【００２６】
本実施形態では、加圧ローラ２０の回転軸を支持する軸支持部１８に対してＡＥセンサ２２を取り付けている。このＡＥセンサ２２は、その検出面が軸支持部１８に密着するように取り付けられる。したがって、被溶接物３０の溶接部３２で発生したＡＥ波は、加圧ローラ２０及び軸支持部１８を介してＡＥセンサ２２に到達する。
【００２７】
金属である被溶接物３０と空気とでは、音響インピーダンスが大きく異なるため、被溶接物３０で発生したＡＥ波は空気層に伝搬しにくいが、加圧ローラ２０は被溶接物３０に音響インピーダンスが近いので、ＡＥ波は効率よく加圧ローラ２０に伝搬する。また、加圧ローラ２０内では空気層よりもＡＥ波の減衰が少ない。また、軸支持部１８も加圧ローラ２０に近い音響インピーダンスを持つので、この両者間でもＡＥ波は効率よく伝搬する。したがって、ＡＥ波は、空気層を介する場合よりも遙かに少ない減衰で、ＡＥセンサ２２まで到達する。この結果、ＡＥセンサ２２の検出信号のＳ／Ｎ比を向上させることができる。
【００２８】
また、軸支持部１８にＡＥセンサ２２を取り付けた場合、溶接ロボットや油圧駆動部１２により溶接部の位置がどう変わっても、その溶接部に対するＡＥセンサ２２の相対的な位置関係は一定であるので、常に一定の条件で検出を行うことができるという利点がある。
【００２９】
なお、ＡＥセンサ２２を軸支持部１８に取り付ける代わりに、支持構造体１４やレーザトーチ１０などに取り付けることとしても、空気層を介してＡＥ波を検出するよりは大幅にＳ／Ｎ比を向上させることができる、しかし、軸支持部１８は、溶接部３２に対する相対的な位置関係が変化しない場所としては、溶接部３２に最も近い位置なので、ここにＡＥセンサ２２を設けることは最も好適であるといえる。
【００３０】
ＡＥセンサ２２としては、約５００ｋＨｚを感度中心とする検出能力のものを用いることが好適である。これは本発明の発明者らによる実験に基づくものである。
【００３１】
この実験では、良好な溶接ができた場合や割れ等の不良が発生した場合など、さまざまなケースについてのＡＥセンサの検出信号を集めた。その結果、ＡＥセンサの検出信号のうち約２００ｋＨｚ以下の部分は、溶接の状態・品質にあまり関係なく類似した信号が得られ、この部分は、機械の振動や溶接用のシールドガスによる雑音などに対応するノイズ部分であることが分かった。逆に２００ｋＨｚを超える周波数成分が、溶接の状態・品質を示す信号である。
【００３２】
図３は、この実験において、溶接部から発せられるＡＥ波を、１５０ｋＨｚを感度中心とするＡＥセンサで検出したときの検出信号を周波数分析したものである。この図に示すように、２００ｋＨｚ以上の範囲では、６００ｋＨｚ近くまで信号が存在している。ここで、約５００ｋＨｚを感度中心とするＡＥセンサを用いると、２００ｋＨｚ近傍から感度がよくなり、５００ｋＨｚ近傍で最高感度となり、１ＭＨｚ程度まで感度のある感度分布が得られる。これは、溶接品質を表す信号の検出に好適な感度分布である。なお、この例では、１５０ｋＨｚのセンサを用いたため、高い周波数についての感度が低くなっているが、実際の溶接の様々なケースを考えると、１ＭＨｚ程度までの信号を検出できることが好適である。
【００３３】
このようなＡＥセンサ２２の検出信号は、溶接評価処理部２４に入力される。溶接評価処理部２４は、この検出信号に基づき、溶接部３２の品質・状態を評価する。
【００３４】
溶接評価処理部２４の評価処理としては、例えば、検出信号のレベルが所定の良品レベル範囲にある場合は溶接結果が良品、その範囲から外れた場合は不良品と評価する処理が考えられる。良品レベル範囲としては、溶接品質が良好な場合の検出信号のレベル範囲を予め実験等により定め、これを評価処理部２４に登録しておけばよい。
【００３５】
図４は、この良品レベル範囲を求めるための実験結果の一例であり、同じ材質、厚さ（３．００ｍｍ）の被溶接物に対しレーザ出力を何段階かに変えて溶接を行った場合の、検出信号（ＡＥ信号）のレベルの実効値の変化を、各場合の溶接結果の溶込み深さと合わせて表したものである。この例では、レーザ出力が０．５ｋＷの時は溶込み深さ０．３５ｍｍで溶込み不足であり、２．０ｋＷの時は溶込み深さ２．６５ｍｍで比較的良好な溶込み状態であり、４．０ｋＷの時は溶込み深さ３．００ｍｍで被溶接物の裏面まで完全に溶けているが、若干溶かしすぎとなっている。そして、この間のＡＥセンサの検出信号は、良好な溶込み状態を示しているレーザ出力２．０ｋＷの近傍をピークとする山なりの変化を示していることが分かる。この実験結果から、例えば検出信号の実効値レベルが２５以上２８以下を良品レベル範囲とするなどの判断ができる。
【００３６】
図４の例はもちろん一例に過ぎない。溶接における被溶接物の溶込み方は、被溶接物である複数の部材の材質の組合せと、その被溶接物に対する単位時間当たりの入熱量に依存する。また、単位時間当たりの入熱量は、レーザ出力と被溶接物の送り速度に依存する。したがって、これらの条件（材質及び入熱量）を様々に変えて実験を行い、各条件での良品レベル範囲を予め求めて登録しておけばよい。入熱量については、代表的なレーザ出力と送り速度の組合せでいくつか実験すれば、他の部分については補間が可能である。
【００３７】
本実施形態では、この評価処理の他にも、例えば前述の特開平６−１５５０５６号公報に開示された評価処理など、従来の様々なＡＥ信号評価手法を利用することができる。
【００３８】
溶接評価処理部２４による上述のような溶接品質評価の結果に基づき溶接不良品を自動的に選り分けたり、あるいはその評価結果を後工程に提供したりすることができる。後者の場合、後工程では、各被溶接物の評価結果に基づき、必要に応じて手直しを行うなどの処置が可能となる。
【００３９】
以上は１つの被溶接物（ワーク）単位での評価とその利用法であったが、１つの被溶接物を溶接する場合でも、ＡＥセンサ２２のリアルタイムの検出信号からその時点の溶接状態を判定し、その判定に応じてレーザ溶接装置の各種処理パラメータを制御することで、良好な溶接がなされるように溶接装置をフィードバック制御することもできる。制御対象の処理パラメータとしては、レーザ出力、送り速度（溶接速度）、シールドガスの流量、アシストガスの流量等が挙げられる。これらのうちの１つ又は複数をＡＥセンサ２２の検出信号に基づき制御することで、溶接処理の最適制御を行う。
【００４０】
以上、本実施形態の基本的な装置構成とその作用効果を説明したが、更に本実施形態では、付加的な構成として、図２に示すように、レーザトーチ１０に３つの発振器１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃを設けることも好適である。これら発振器１１０ａ〜１１０ｃは、被溶接物の３０の溶接部３２の溶融池（溶接の熱により金属が溶融した部分）表面の波立ちを抑制するためのものである。
【００４１】
すなわち、レーザ溶接において、溶融池の表面が１〜２ｋＨｚ程度の周波数で波立っていることが従来の研究で分かっている（レーザ溶接の現状と将来技術」レーザ熱加工研究会（現  レーザ加工学会）、E.Beyer,A.Gasser,W.Gatzweiler  and W.Sokolowski,"Plasma fluctuation in laser welding with CW-CO2 lasers,"ICALEO,1987,pp.17-23.）。
【００４２】
ここに示す発振器１１０ａ〜１１０ｃは、この波立ちを音波による音圧で低減しようとするものである。溶融池表面の波立ちを抑えることで、溶接の効率や品質を向上させることができると共に、ＡＥセンサ２２の検出信号のＳ／Ｎ比の更なる向上も見込める。
【００４３】
各発振器１１０ａ〜１１０ｃは、同一周波数の音波を発するものである。例えば、前述の１〜２ｋＨｚの溶融池表面波動に対し、各発振器１１０ａ〜１１０ｃからは約１０ｋＨｚ程度の正弦波の音波を照射する。それら発振器１１０ａ〜１１０ｃは、すべて被溶接物３０の溶接部３２に向けて配設する。そして、各発振器１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃは、図５に示す駆動信号２００ａ、２００ｂ、２００ｃのように、相互に１／３周期ずつ位相の異なる駆動信号で駆動する。このような各発振器の発振により、溶接部３２には常にほぼ一定に近い音圧が加わることになる。この音圧の作用により、溶融池表面の波動が抑圧される。
【００４４】
なお、厳密には、発振器１１０ａ〜１１０ｃは、溶接部３２の表面で図５に例示したような等位相間隔となるように音波を出力すればよい。したがって、この要件を満足するよう、各発振器１１０ａ〜１１０ｃの配設位置と溶接部３２の距離の関係に基づき、各発振器に与える駆動信号の位相差を決めればよい。
【００４５】
なお、発振器１１０ａ〜１１０ｃの発振周波数は、例示した１０ｋＨｚ程度に限るものではない。ただし、ＡＥセンサ２２へのノイズの混入を極力避けるために、ＡＥセンサ２２の感度分布（上述の例では約５００ｋＨｚを中心とする分布）において、十分に低感度となる低い周波数を用いることが好適である。好適な周波数は、予め実験等により求めておけばよい。
【００４６】
また、上述の例では３個の発振器を用いたが、それ以上の数（ｎ個とする）の発振器を設け、それらにより溶融池表面に１／ｎ周期ずつ位相がずれた音波を照射するようにすれば、溶融地表面に作用する音圧をより一定に近づけることができる。
【００４７】
以上説明したように、本実施形態の装置によれば、加圧ローラ２０を介してＡＥ波を検出することができるので、被溶接物の部材同士を密着させて好適な溶接を行いつつ、高いＳ／Ｎ比でかつ常にほぼ一定の検出条件でＡＥ波を検出することができ、溶接品質・状態の判定の精度を向上させることができる。また、本実施形態では、加圧ローラ２０の３次元位置を被溶接物の設計形状データに従って制御することができるので、凹凸等がある比較的複雑な設計形状でも、その形状に従って溶接することができる。また、本実施形態では、レーザトーチ１０と加圧ローラ２０とが共に共通の支持構造体１４に固定されているので、トーチ１０と被溶接物３０の溶接部３２との距離は常に一定とすることができる。また、本実施形態では、約５００ｋＨｚを中心感度としたＡＥセンサを用いることで、約２００ｋＨｚ以下のノイズ成分の検出を大幅に低減し、溶接品質に関わるＡＥ信号を効率よく検出することができる。また本実施形態では、溶接部３２に向けて音波を照射する発振器１１０ａ〜１１０ｂを設けたことにより、溶接部３２の表面の波立ちを抑制することができ、ひいては溶接効率の向上やＡＥ信号検出の更なるＳ／Ｎ比向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係るレーザ溶接装置の全体構成を模式的に示す図である。
【図２】  本発明に係るレーザ溶接装置の構成の細部を説明するための図である。
【図３】  溶接時に発生したＡＥ波のＡＥセンサによる検出信号の周波数分析結果の一例を示す図である。
【図４】  実験で求めたレーザ出力とＡＥ信号の実効値レベルとの関係の一例を示す図である。
【図５】  ３つの発振器に対して与える駆動信号の例を示す図である。
【符号の説明】
１０  レーザトーチ、１２  油圧駆動部、１３  高さセンサ、１４  支持構造体、１６  油圧装置、１８  軸支持部、２０  加圧ローラ、２２  ＡＥセンサ、２４  溶接評価処理部、２６  駆動制御部、３０  被溶接物、３２  溶接部。
【図１】
0004120254.tif 000002
【図２】
0004120254.tif 000003
【図３】
0004120254.tif 000004
【図４】
0004120254.tif 000005
【図５】
0004120254.tif 000006