(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測流体が流通する管路に取付けられるケーシングと、該ケーシングから前記管路内に突出して設けられ基板収容凹部が形成された基板取付体と、該基板取付体の基板収容凹部内に取付けられ裏面側に凹窪部が形成された基板と、前記凹窪部に対応する位置で該基板の表面側に設けられ被測流体の流れと接触することにより流体の流量を検出する検出素子と、前記ケーシング内に設けられた電子回路部品をケーシング内に封入するため該ケーシング内に充填して設けられた絶縁性の充填剤とを備えてなる流量計測装置において、
前記基板取付体の基板収容凹部内には、前記基板の凹窪部と前記ケーシングとの間に位置し前記ケーシング内の充填剤が前記基板の凹窪部側に流込むのを遮断する充填剤遮断壁を設ける構成としたことを特徴とする流量計測装置。
【請求項２】
前記基板収容凹部の底部側には、前記基板の裏面を取付けるための取付台座と、該取付台座を外側から取囲む溝部とを設け、前記充填剤遮断壁は前記取付台座の両側に位置して前記溝部に配設してなる請求項１に記載の流量計測装置。
【請求項３】
前記基板収容凹部の底部側には、前記基板の裏面側が接着剤を用いて取付けられる取付台座と、該取付台座よりも前記ケーシングから離れた位置に配置され前記基板の凹窪部側を支持する支持台座と、前記取付台座と支持台座とを外側から取囲むように略日の字状をなして延びた溝部とを設け、前記充填剤遮断壁は前記溝部のうち前記取付台座を取囲む部位に配設してなる請求項１に記載の流量計測装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば自動車用エンジン等の吸入空気流量を検出するのに用いて好適な流量計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、自動車用エンジン等では、吸入空気と燃料とを混合して適切な空燃比の混合気を形成するため、流量計測装置によってエンジンの吸入空気流量を検出し、その検出値に応じて燃料の噴射量等を定める構成としている。
【０００３】
この種の従来技術による流量計測装置は、エンジンの吸気管に取付けられるケーシングと、該ケーシングから前記吸気管内に突出して設けられ、流量センサの基板を収容するための基板収容凹部が形成された基板取付体とを備えている。
【０００４】
ここで、流量センサは、例えばシリコン材料に蒸着処理等を施すことによって形成され、裏面側が基板取付体の基板収容凹部内に取りつけられた基板と、該基板の表面側に白金等の金属薄膜を用いて形成され、吸気管内を流通する吸入空気の流量を検出する検出素子としての感温抵抗体とから構成されている。
【０００５】
また、基板には、裏面側にエッチング処理等を施すことによって凹窪部が形成されている。そして、基板のうち凹窪部に対応する表面側の部位は周囲の厚肉部位から熱的に絶縁された薄肉部となり、この薄肉部上には、感温抵抗体と、外部から通電されることによって感温抵抗体を加熱するヒータとが設けられている。
【０００６】
この場合、薄肉部は、基板のうちケーシングから離れた部位に配置され、基板のうちケーシングに近い部位には、ケーシング内に収容された電子回路に対して薄肉部上の感温抵抗体とヒータとを接続するための電極パッドが設けられている。そして、この電極パッドは、ボンディングワイヤ等を介してケーシング内の電子回路と接続されている。
【０００７】
また、電子回路は、絶縁性の充填剤を用いてケーシング内に封入され、この充填剤は、電子回路だけでなく、ボンディングワイヤや基板上の電極パッド等も覆っている。この場合、充填剤は、例えば高粘度のシリコンゲル等を含んだゲル材料からなり、このゲル材料をケーシング内に予め充填した状態で固化させることによって形成されたものである。
【０００８】
そして、流量計測装置の作動時には、基板上のヒータが電子回路から給電されることによって感温抵抗体を加熱すると、この加熱状態で感温抵抗体が吸入空気の流れと接触して冷却される。これにより、流量計測装置は、感温抵抗体の温度（抵抗値）の変化を吸入空気の流量として検出し、流量センサからケーシング内の電子回路を介して検出信号を出力するものである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来技術では、例えばシリコンゲル等のゲル材料からなる充填剤をケーシング内に充填して固化させることにより、ケーシング内の電子回路、ボンディングワイヤ、ボンディングワイヤと電極パッドとの接続部位等を充填剤によって封入し、これらを塵埃、水分等から保護する構成としている。
【００１０】
しかし、充填剤はゲル材料からなり、流動性をもった状態でケーシング内に充填されるため、その一部が基板の電極パッド側に達するときには、ゲル材料が基板と基板収容凹部との間の隙間等を介して基板の裏面側に廻込み、このゲル材料は基板の凹窪部内に流込んで薄肉部の裏面側に付着することがある。
【００１１】
この結果、流量計測装置の作動中においては、ヒータからの熱が薄肉部を介して感温抵抗体に伝わるときには、薄肉部の裏面側に付着した充填剤によって感温抵抗体への熱伝導特性が変動することがあり、これによって感温抵抗体の温度、即ち抵抗値の変化に誤差が生じ、信頼性が低下するという問題がある。
【００１２】
本発明は上述した従来技術の問題に鑑みなされたもので、本発明の目的は、ケーシング内の充填剤が基板の凹窪部側に流込むのを防止でき、感温抵抗体によって被測流体の流量を安定的に検出できると共に、信頼性を向上できるようにした流量計測装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために本発明は、被測流体が流通する管路に取付けられるケーシングと、該ケーシングから前記管路内に突出して設けられ基板収容凹部が形成された基板取付体と、該基板取付体の基板収容凹部内に取付けられ裏面側に凹窪部が形成された基板と、前記凹窪部に対応する位置で該基板の表面側に設けられ被測流体の流れと接触することにより流体の流量を検出する検出素子と、前記ケーシング内に設けられた電子回路部品をケーシング内に封入するため該ケーシング内に充填して設けられた絶縁性の充填剤とを備えてなる流量計測装置に適用される。
【００１４】
そして、請求項１の発明が採用する構成の特徴は、基板取付体の基板収容凹部内には、前記基板の凹窪部と前記ケーシングとの間に位置し前記ケーシング内の充填剤が前記基板の凹窪部側に流込むのを遮断する充填剤遮断壁を設ける構成としたことにある。
【００１５】
このように構成することにより、充填剤となるゲル材料をケーシング内に充填するときには、このゲル材料が基板収容凹部内に流入して基板の裏面側に廻込んだ場合でも、ゲル材料が基板の凹窪部側に流込むのを充填剤遮断壁によって遮断でき、基板のうち検出素子を配置した部位の裏面側に充填剤が付着するのを防止することができる。
【００１６】
また、請求項２の発明によると、基板収容凹部の底部側には、基板の裏面を取付けるための取付台座と、該取付台座を外側から取囲む溝部とを設け、前記充填剤遮断壁は前記取付台座の両側に位置して前記溝部に配設する構成としている。
【００１７】
これにより、基板収容凹部内の取付台座に基板の裏面側を取付けたときには、基板の裏面側と基板収容凹部の底部側との間に、溝部によって取付台座を取囲む隙間が形成される。そして、充填剤遮断壁は、例えばこの隙間を取付台座の両側で遮断でき、基板の裏面側に流入した充填剤が取付台座の周囲に形成された隙間を通じて基板の凹窪部側に流込むのを防ぐことができる。
【００１８】
また、請求項３の発明によると、基板収容凹部の底部側には、前記基板の裏面側が接着剤を用いて取付けられる取付台座と、該取付台座よりも前記ケーシングから離れた位置に配置され前記基板の凹窪部側を支持する支持台座と、前記取付台座と支持台座とを外側から取囲むように略日の字状をなして延びた溝部とを設け、前記充填剤遮断壁は前記溝部のうち前記取付台座を取囲む部位に配設する構成としている。
【００１９】
これにより、基板収容凹部内でケーシング寄りに配置された取付台座に基板を取付け、この状態で基板のうちケーシングから離れた凹窪部側の部位を支持台座によって支持することができる。そして、充填剤遮断壁は、取付台座と支持台座とを取囲んで形成された溝部のうち取付台座を取囲む部位を遮断でき、基板の裏面側に流入した充填剤が取付台座の周囲に位置する溝部を通じて基板の凹窪部側に流込むのを防ぐことができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態による流量計測装置を、添付図面に従って詳細に説明する。
【００２１】
１はエンジンの吸気管（図示せず）等の途中に接続される管路で、該管路１の内部は、被測流体となるエンジンの吸入空気が図１中の矢示Ａ方向に流通する吸気通路２となっている。
【００２２】
３は流量計測装置の本体部分を構成するケーシングで、該ケーシング３は、図２、図３に示す如く、一側が開口する略箱形状に形成されたケース本体３Ａと、該ケース本体３Ａの開口側に設けられた蓋板３Ｂとを含んで構成されている。そして、ケース本体３Ａは基端側が管路１に取付けられ、先端側が吸気通路２内に配置されると共に、この先端側には後述する取付板４のセンサ基板取付部８が挿通される切欠き３Ａ1 が設けられている。
【００２３】
４はケース本体３Ａを用いて管路１内に設けられた取付板で、該取付板４は、図２に示す如く、例えば金属板等によって形成され、後述の回路基板取付部５とセンサ基板取付部８とを含んで構成されている。
【００２４】
５は取付板４のうちケース本体３Ａ内に取付けられた回路基板取付部で、該回路基板取付部５はケーシング３の一部を構成し、電子回路部品６，６，…等を搭載した回路基板７をケース本体３Ａ内で保持するものである。また、回路基板７上の各電子回路部品６は、後述の流量センサ１０にボンディングワイヤ１６等を用いて接続されるものである。
【００２５】
８は回路基板取付部５の先端側からケーシング３の切欠き３Ａ1 を介して吸気通路２に突出した基板取付体としてのセンサ基板取付部で、該センサ基板取付部８は、図３ないし図６に示す如く、例えば１枚の金属板をプレス加工等により折曲げて重合わせることにより形成され、表板８Ａと裏板８Ｂとを有している。
【００２６】
ここで、表板８Ａには、図７、図９に示す如く、後述する基板収容凹部９の周壁を形成する略四角形状の開口８Ａ1 が設けられている。また、表板８Ａには、開口８Ａ1 の４辺に位置して基板収容凹部９内に突出した上，下の突起部８Ａ2 ，８Ａ2 と左，右の側壁部８Ａ3 ，８Ａ3 とが設けられ、これらの突起部８Ａ2 と側壁部８Ａ3 とは、流量センサ１０を基板収容凹部９内で位置合わせするものである。
【００２７】
また、裏板８Ｂは基板収容凹部９の底部側をなし、その表面側には、プレス加工等の手段によって後述の取付台座１７、支持台座１９、通気溝２０、充填剤遮断壁２１，２１が設けられている。
【００２８】
９はセンサ基板取付部８の表面側に開口して設けられた略四角形状の基板収容凹部で、該基板収容凹部９は、センサ基板取付部８の表板８Ａと裏板８Ｂとの間に形成され、その内部には流量センサ１０が収容されている。
【００２９】
１０は例えばエッチング処理等の微細加工技術によって形成された流量センサで、該流量センサ１０は、図８に示す如く、後述の基板１１、感温抵抗体１４，１４、ヒータ１５等を含んで構成されている。
【００３０】
１１は例えばシリコン材料等によって略四角形状に形成された基板で、該基板１１の表面側には、図３、図４に示す如く、酸化シリコン等の絶縁膜１１Ａが形成されている。また、基板１１の裏面側には、エッチング処理等によって凹窪部１２が形成され、絶縁膜１１Ａのうち凹窪部１２に対応する部位は、感温抵抗体１４等を周囲の厚肉部位から熱的に絶縁する薄肉部１３となっている。
【００３１】
また、基板１１は、図１１に示す如く、センサ基板取付部８の突起部８Ａ2 と側壁部８Ａ3 とによって位置合わせされた状態で基板収容凹部９内に収容され、その裏面側のうちケーシング３に近い部位は取付台座１７に接着され、ケーシング３から離れた部位は支持台座１９によって支持されている。そして、このように接着された状態では、基板１１の端面と基板収容凹部９の周壁との間には、後述の通気溝２０に連通する隙間Ｓが形成されている。
【００３２】
１４，１４は基板１１の薄肉部１３上に設けられた検出素子としての感温抵抗体で、該各感温抵抗体１４は、例えば白金等の金属膜を用いてヒータ１５と共に形成され、ヒータ１５の両側に配置されている。また、感温抵抗体１４とヒータ１５とは、それぞれの電極パッド１４Ａ，１５Ａがボンディングワイヤ１６，１６，…等を用いてケーシング３内の回路基板７に接続されている。
【００３３】
そして、流量センサ１０の作動時には、回路基板７を介してヒータ１５が通電されると、その両側の感温抵抗体１４，１４は、ヒータ１５により加熱されつつ、吸入空気の流れと接触して冷却される。この結果、各感温抵抗体１４には、吸入空気の流れ方向と流量とに応じた温度差が生じ、流量センサ１０は、この温度差（抵抗値の差）を吸入空気の流量として検出する構成となっている。
【００３４】
１７は流量センサ１０を取付けるため基板収容凹部９の底部側に突設された略四角形状の取付台座で、該取付台座１７は、図３ないし図６に示す如く、センサ基板取付部８の裏板８Ｂに形成され、基板収容凹部９内でケーシング３寄りの位置に配置されている。また、取付台座１７の表面側は、基板収容凹部９の底部側から裏板８Ｂの表面とほぼ等しい位置まで突出するか、または裏板８Ｂの表面よりも僅かに突出した状態となっている。そして、取付台座１７の表面側には、例えば図１０中に示す接着剤１８等を用いて基板１１の裏面側が接着されている。
【００３５】
１９は取付台座１７との間に間隔をもってセンサ基板取付部８の裏板８Ｂに突設された略四角形状の支持台座で、該支持台座１９は、基板収容凹部９内で取付台座１７よりもケーシング３から離れた位置に配置され、その表面側は基板収容凹部９の底部側から取付台座１７とほぼ等しい位置まで突出すると共に、基板１１の凹窪部１２側を裏面側から支持するものである。
【００３６】
２０は基板収容凹部９の底部側に設けられた溝部としての通気溝で、該通気溝２０は、図７、図９に示す如く、取付台座１７と支持台座１９とを外側から取囲むように略日の字状（略８の字状）に延びて形成され、基板１１の裏面側と基板収容凹部９の底部側との間に通気用の隙間を形成するものである。
【００３７】
ここで、通気溝２０は、取付台座１７の左，右両側に位置して吸入空気の流れ方向に対してほぼ直交するように図７中の上，下方向に延びた取付台座側縦溝部２０Ａ，２０Ａと、支持台座１９の左，右両側に位置して上，下方向に延びた支持台座側縦溝部２０Ｂ，２０Ｂと、上，下方向に間隔をもって左，右方向に延設され、左，右の縦溝部２０Ａ，２０Ａ間または縦溝部２０Ｂ，２０Ｂ間を接続した３個の横溝部２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅとから構成されている。
【００３８】
そして、通気溝２０は、基板１１の裏面側に侵入する吸入空気を整流状態で流通させることにより、この空気流が凹窪部１２内に流入して感温抵抗体１４等を裏面側から冷却するのを防止し、その検出精度を安定させるものである。
【００３９】
２１，２１は基板収容凹部９内に位置してセンサ基板取付部８の裏板８Ｂに突設された充填剤遮断壁で、該各充填剤遮断壁２１は、図３ないし図６に示す如く、基板収容凹部９の底部側から基板１１の裏面側に向けて突出し、取付台座１７とほぼ等しい突出寸法をもって形成されている。
【００４０】
そして、充填剤遮断壁２１は、通気溝２０のうち取付台座１７を取囲む取付台座側縦溝部２０Ａ，２０Ａの途中部位に配設され、取付台座１７の左，右両側に位置して通気溝２０をケース本体３Ａ（切欠き３Ａ1 ）側と基板１１の凹窪部１２側との間で遮断するものである。
【００４１】
これにより、後述する流量計測装置の組立時には、図１２に示す如く、充填剤２２となるゲル材料２３が基板１１と基板収容凹部９との間の隙間Ｓから通気溝２０内に流入すると、充填剤遮断壁２１は、このゲル材料２３が通気溝２０に沿って取付台座１７側から支持台座１９側に流通するのを阻止し、ゲル材料２３が基板１１の凹窪部１２内に流込むのを遮断する構成となっている。
【００４２】
２２は例えばシリコンゲル等によって形成された充填剤で、該充填剤２２は、ケーシング３内に予め充填された高粘度のゲル材料２３が固化したものであり、回路基板７およびボンディングワイヤ１６の接続部位を塵埃、水分等の異物から保護するものである。
【００４３】
本実施の形態による流量計測装置は、上述の如き構成を有するもので、次にその作動について説明する。
【００４４】
まず、エンジンの運転時には、図１に示す如く、その吸入空気が吸気通路２を矢示Ａ方向に流れると、流量センサ１０は吸入空気の流量を検出し、ボンディングワイヤ１６、回路基板７等を介して検出信号を外部に出力する。
【００４５】
また、流量計測装置の組立時には、図９に示す如く、まず金属板等をプレス加工して折曲げることにより、センサ基板取付部８を有する取付板４を形成する。
【００４６】
次に、図１０に示すように、センサ基板取付部８の基板収容凹部９内に流量センサ１０を配置し、その基盤１１の裏面側を接着剤１８によって取付台座１７に接着する。このとき、基板収容凹部９内の支持台座１９と充填剤遮断壁２１とは、その端面側が基板１１の裏面にほぼ接触した状態となる。
【００４７】
そして、図１１に示すように、感温抵抗体１４とヒータ１５の電極パッド１４Ａ，１５Ａを各ボンディングワイヤ１６によって回路基板７に接続し、取付板４を回路基板７と共にケーシング３のケース本体３Ａ内に取付ける。
【００４８】
次に、充填剤２２となるゲル材料２３を図１２に示す如くケーシング３内の基板取付部５上に充填し、このゲル材料２３が回路基盤７、ボンディングワイヤ１６、電極パッド１４Ａ，１５Ａ等を覆った状態でゲル材料２３を徐々に固化させる。
【００４９】
この場合、ケース本体３Ａの切欠き３Ａ1 の位置には、仕切板（図示せず）を取外し可能に配置し、ゲル材料２３が切欠き３Ａ1 からセンサ基板取付部８の基板収容凹部９内に流込んでくるのを防止する。しかし、ゲル材料２３はある程度の流動性をもっているため、その一部は基板１１と基板収容凹部９との間の隙間Ｓから通気溝２０の取付台座側縦溝部２０Ａ等に流入することがある。
【００５０】
そこで、本実施の形態にあっては、基板収容凹部９内に位置して取付台座側縦溝部２０Ａの途中部位に充填剤遮断壁２１を設け、縦溝部２０Ａ内に流入したゲル材料２３が、基板１１の凹窪部１２側に流込むのを充填剤遮断壁２１によって遮断する構成としている。
【００５１】
即ち、取付板４のセンサ基板取付部８には、基板収容凹部９内に位置して充填剤２２がケーシング３側から基板１１の凹窪部１２側に流込むのを遮断する充填剤遮断壁２１を設ける構成としたので、流量計測装置の組立時には、ゲル材料２３が基板１１と基板収容凹部９との間の隙間Ｓから通気溝２０の取付台座側縦溝部２０Ａに流入した場合でも、充填剤遮断壁２１は、このゲル材料２３が通気溝２０を介して基板１１の凹窪部１２側に流込むのを確実に遮断でき、このゲル材料２３が基板１１の凹窪部１２側に侵入するのを阻止することができる。
【００５２】
従って、充填剤２２が基板１１の薄肉部１３の裏面側等に付着するのを防止でき、ヒータ１５からの熱を感温抵抗体１４に安定的に伝えることができる。この結果、感温抵抗体１４による空気流量の検出精度を良好に保持でき、信頼性を向上させることができる。
【００５３】
また、基板収容凹部９の底部側には、取付台座１７、支持台座１９および通気溝２０を設け、充填剤遮断壁２１は、取付台座１７の両側に位置して通気溝２０の各取付台座側縦溝部２０Ａの途中部位にそれぞれ突設したので、基板１１を取付台座１７と支持台座１９とによって基板収容凹部９内に安定させて位置決めすることができる。
【００５４】
そして、充填剤遮断壁２１は、通気溝２０内に流入したゲル材料２３を支持台座側縦溝部２０Ｂ側に流通させることなく、充填剤遮断壁２１によって取付台座側縦溝部２０Ａの途中位置で止めることができ、ゲル材料２３が支持台座１９と基板１１との間から基板１１の凹窪部１２内に流込むのを確実に阻止することができる。
【００５５】
なお、実施の形態では、基板収容凹部９の底部側に取付台座１７と支持台座１９とを設ける構成としたが、本発明はこれに限らず、基板収容凹部内の支持台座を省略して取付台座と該取付台座を取囲む溝部とを設け、取付台座の両側に位置して溝部に充填剤遮断壁を設ける構成としてもよい。
【００５６】
また、実施の形態では、取付板４を金属板等によって構成したが、本発明はこれに限らず、樹脂成形した取付板を用いる構成としてもよい。
【００５７】
また、実施の形態では、流量センサ１０に対してヒータ１５の両側に２個の感温抵抗体１４を配置する構成としたが、本発明はこれに限らず、流量センサのヒータを省略し、感温抵抗体が自己発熱しつつ吸入空気の流れと接触して冷却される構成としてもよい。
【００５８】
【発明の効果】
以上詳述した通り、請求項１の発明によれば、基板収容凹部内には、ケーシング内の充填剤が基板の凹窪部側に流込むのを遮断する充填剤遮断壁を設ける構成としたので、流量計測装置の組立時には、充填剤となるゲル材料が基板収容凹部内に流入して基板の裏面側に廻込んだ場合でも、このゲル材料が基板の凹窪部側に流込むのを充填剤遮断壁によって確実に遮断することができる。従って、充填剤が凹窪部内で検出素子の裏面近傍に付着するのを防止でき、その検出精度を安定化して信頼性を向上させることができる。
【００５９】
また、請求項２の発明によれば、充填剤遮断壁は、基板収容凹部の底部側に設けた取付台座の両側に位置して溝部に配置する構成としたので、基板を取付台座に安定的に取付けることができると共に、充填剤が基板の裏面側で溝部に流入する場合でも、この充填剤が基板の凹窪部側に流込むのを充填剤遮断壁によって確実に遮断することができる。
【００６０】
さらに、請求項３の発明によれば、基板収容凹部の底部側には、取付台座、支持台座および溝部を設け、充填剤遮断壁は溝部のうち取付台座を取囲む部位に配設する構成としたので、基板を取付台座と支持台座とによって基板収容凹部内に安定的に位置決めすることができる。そして、充填剤遮断壁は、溝部内に流入した充填剤を支持台座側に流通させることなく、取付台座側となる溝部の途中部位で止めることができ、充填剤が支持台座と基板との間から凹窪部内に流込むのを阻止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による流量計測装置を管路に取付けた状態で示す縦断面図である。
【図２】図１中の矢示II−II方向からみた流量計測装置の部分断面図である。
【図３】図１中のａ部を拡大して示す流量センサ等の正面図である。
【図４】図３中の矢示IV−IV方向からみた流量センサとセンサ基板取付部の断面図である。
【図５】図３中の矢示Ｖ−Ｖ方向からみた流量センサとセンサ基板取付部等の断面図である。
【図６】図３中の矢示VI−VI方向からみた流量センサとセンサ基板取付部の断面図である。
【図７】センサ基板取付部を示す正面図である。
【図８】流量センサを単体で示す正面図である。
【図９】センサ基板取付部の表板と裏板とを折重ねる前の状態を示す展開図である。
【図１０】流量センサを基板収容凹部内に接着する状態を示す断面図である。
【図１１】流量センサをワイヤボンディングによってセンサ基板取付部側に接続した状態を示す正面図である。
【図１２】充填剤となるゲル材料が基板の裏面側に流入する状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１  管路
２  吸気通路
３  ケーシング
３Ａ  ケース本体
３Ａ1   切欠き
４  取付板
５  回路基板取付部
６  電子回路部品
７  回路基板
８  センサ基板取付部（基板取付体）
８Ａ  表板
８Ａ1   開口
８Ｂ  裏板
９  基板収容凹部
１０  流量センサ
１１  基板
１１Ａ  絶縁膜
１２  凹窪部
１３  薄肉部
１４  感温抵抗体（検出素子）
１５  ヒータ
１６  ボンディングワイヤ
１７  取付台座
１８  接着剤
１９  支持台座
２０  通気溝（溝部）
２０Ａ  取付台座側縦溝部
２１  充填剤遮断壁
２２  充填剤
２３  ゲル材料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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