(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
剥離位置に向かって基板の搬送を開始する搬送開始位置へ、両面が基板の搬送幅方向に向けられた鉛直な姿勢で投入された、片面又は両面に対してフィルムが貼着された基板の搬送方向両端部を解除自在にチャッキングして鉛直な姿勢を維持しながら剥離位置へ搬送する基板搬送手段と、剥離位置に搬送された鉛直な姿勢の基板からフィルムを完全に剥離する剥離手段とを備え、
基板搬送手段は、該搬送開始位置に対して、該搬入幅方向の一側寄りの位置を該搬入方向に延在する支持フレームと、支持フレームにおける該搬入方向上流側に配設された上流側チャッキング機構であって、該搬送開始位置に位置付けられた基板の搬入方向後端部を解除自在にチャッキングする上流側チャッキング機構と、支持フレームにおける該搬入方向下流側において上流側チャッキング機構に対し間隔をおいて配設された下流側チャッキング機構であって、該搬送開始位置に移動させられた基板の搬入方向前端部を解除自在にチャッキングする下流側チャッキング機構と、支持フレームに作用して該チャッキング機構の各々を一体的に該搬送開始位置と剥離位置との間を選択的に移動させる基板搬送アクチュエータとを備えている、
ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置。
【請求項２】
相互に実質的に同じ構成を有しかつ該搬入方向に間隔をおいて相互に対称的に配設された該チャッキング機構の各々は、支持フレームに対し鉛直軸まわりに旋回自在に支持された第１の可動チャッキング体であって、鉛直面からなる被圧接面を有すると共に該被圧接面が該搬入幅方向の他側に向けられたチャッキング位置と、該被圧接面がチャッキング位置に対し該搬入幅方向の一側方向に退避させられたチャッキング解除位置との間を旋回自在な第１の可動チャッキング体と、第１の可動チャッキング体の、チャッキング解除位置からチャッキング位置への旋回をチャッキング位置で阻止するよう支持フレームに配設されたストッパと、第１の可動チャッキング体に対し鉛直軸まわりに旋回自在に支持された第２の可動チャッキング体であって、鉛直面からなる圧接面を有すると共に該圧接面が、チャッキング位置に位置付けられた第１の可動チャッキング体の該被圧接面に圧接されるチャッキング位置と、該圧接面がチャッキング位置に対し該搬入幅方向の一側方向に退避させられたチャッキング解除位置との間を旋回自在な第２の可動チャッキング体と、第２の可動チャッキング体と支持フレームとの間に配設されて第２及び第１の可動チャッキング体をチャッキング位置に常時付勢するばね手段と、第２の可動チャッキング体に作用して第２及び第１の可動チャッキング体をばね手段のばね力に抗してチャッキング位置からチャッキング解除位置へ旋回させるよう、支持フレームに配設されたチャッキングアクチュエータとを備えている、請求項１記載のフィルム剥離搬送装置。
【請求項３】
該チャッキング機構の各々の第１の可動チャッキング体には、第２の可動チャッキング体のチャッキング位置からチャッキング解除位置への旋回を途中で阻止するストッパが配設され、チャッキングアクチュエータを作動させると、第１の可動チャッキング体がばね手段のばね力により支持フレームに配設されたストッパにより阻止されてチャッキング位置に位置付けられた状態で、第２の可動チャッキング体は、ばね手段のばね力に抗して第１の可動チャッキング体のストッパにより阻止されるまで第１の可動チャッキング体に対して旋回させられて該圧接面が第１の可動チャッキング体の該被圧接面から実質的に該搬入幅方向の他側方向に離隔させられ、第２の可動チャッキング体の、第１の可動チャッキング体に対する旋回が第１の可動チャッキング体のストッパにより阻止された後には、第２の可動チャッキング体及び第１の可動チャッキング体は相対移動することなく一体的にばね手段のばね力に抗してチャッキング解除位置へ旋回させられる、請求項２記載のフィルム剥離搬送装置。
【請求項４】
上流側及び下流側チャッキング機構の各々のチャッキングアクチュエータを作動させて上流側及び下流側チャッキング機構の各々の第１及び第２の可動チャッキング体がチャッキング解除位置に位置付けられた状態で、搬送開始位置決め手段により基板が該鉛直な姿勢で搬送開始位置に位置付けられ、続いて、上流側及び下流側チャッキング機構の各々のチャッキングアクチュエータの作動を解除すると、上流側チャッキング機構においては、第１及び第２の可動チャッキング体がチャッキング解除位置からチャッキング位置に旋回させられ、第１の可動チャッキング体の該被圧接面は、基板の片面に対し、該搬入幅方向の一側方向に離隔した位置から旋回して、基板の、該一端部よりも下方位置における搬入方向後端部の、該搬入幅方向の一側方向に面した片面に当接ないし近接して対向させられ、第２の可動チャッキング体の該圧接面は、基板に対し、基板の搬入方向後端の後方を旋回して、基板の、該一端部よりも下方位置における搬入方向後端部の、該搬入幅方向の他側方向に面した他面を介して第１の可動チャッキング体の該被圧接面に圧接させられることにより、基板の該搬入方向後端部がチャッキングされ、下流側チャッキング機構においては、第１及び第２の可動チャッキング体がチャッキング解除位置からチャッキング位置に旋回させられ、第１の可動チャッキング体の該被圧接面は、基板に対し、該搬入幅方向の一側方向に離隔した位置から旋回して、基板の、該一端部よりも下方位置における搬入方向前端部の、該搬入幅方向の一側方向に面した片面に当接ないし近接して対向させられ、第２の可動チャッキング体の該圧接面は、基板に対し、基板の搬入方向前端の前方を旋回して、基板の、該一端部よりも下方位置における搬入方向前端部の、該搬入幅方向の他側方向に面した他面を介して第１の可動チャッキング体の該被圧接面に圧接させられることにより、基板の該搬入方向前端部がチャッキングされる、請求項３記載のフィルム剥離搬送装置。
【請求項５】
支持フレームには基板のサイズに対応するために上流側チャッキング機構を該搬送方向に往復移動させるアクチュエータが配設されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載のフィルム剥離搬送装置。
【請求項６】
片面又は両面に対してフィルムが貼着された基板を水平な姿勢で搬入位置に搬入する搬入手段と、搬入位置に搬入された基板を、両面が基板の搬入幅方向に向けられた鉛直な姿勢に変換する姿勢変換手段と、鉛直な姿勢に変換された基板を、搬入方向前方に設定された剥離位置へ向けて搬送するための搬送開始位置へ鉛直な姿勢を維持しながら移動させる搬送開始位置決め手段と、搬送開始位置へ移動させられた基板の搬送方向両端部を解除自在にチャッキングして鉛直な姿勢を維持しながら基板を剥離位置へ搬送する基板搬送手段と、剥離位置に搬送された鉛直な姿勢の基板からフィルムを完全に剥離する剥離手段とを備え、
基板搬送手段は、該搬送開始位置に対して、該搬入幅方向の一側寄りの位置を該搬入方向に延在する支持フレームと、支持フレームにおける該搬入方向上流側に配設された上流側チャッキング機構であって、該搬送開始位置に位置付けられた基板の搬入方向後端部を解除自在にチャッキングする上流側チャッキング機構と、支持フレームにおける該搬入方向下流側において上流側チャッキング機構に対し間隔をおいて配設された下流側チャッキング機構であって、該搬送開始位置に移動させられた基板の搬入方向前端部を解除自在にチャッキングする下流側チャッキング機構と、支持フレームに作用して該チャッキング機構の各々を一体的に該搬送開始位置と剥離位置との間を選択的に移動させる基板搬送アクチュエータとを備えている、
ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置。
【請求項７】
片面又は両面に対してフィルムが貼着された基板を、鉛直な姿勢で剥離位置へ搬送する基板搬送手段と、剥離位置に搬送された鉛直な姿勢の基板からフィルムを完全に剥離させる剥離手段とを備え、
剥離手段は、鉛直方向に昇降自在に配設された可動支持枠体と、可動支持枠体を昇降させる昇降アクチュエータと、基板の搬送幅方向に相互に対向して配置されかつ該搬送幅方向に移動自在に可動支持枠体に配設された一対のフィルムガイドクランプ部材と、可動支持枠体に配設されてフィルムガイドクランプ部材の各々を、剥離位置に搬送された基板の該一端部近傍の領域であって、フィルムの一端部よりも基板の他端方向に後退した基板の該一端部近傍の領域の両面をクランプするクランプ位置と、該一端部近傍の領域から該搬送幅方向外方に向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ解除位置との間を選択的に移動させる一対のフィルムガイドクランプアクチュエータと、フィルムガイドクランプ部材の各々の上面に圧接されるクランプ位置と、フィルムガイドクランプ部材の各々の上面から退避するクランプ解除位置との間を旋回自在にフィルムガイドクランプ部材の各々に支持された複数のフィルムクランプ部材と、フィルムクランプ部材の各々をクランプ位置に常時付勢するばね手段と、フィルムガイドクランプ部材の各々に配設されてフィルムクランプ部材の各々をばね手段のばね力に抗してクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させるフィルムクランプアクチュエータと、基板の該一端部の両面をクランプするクランプ位置と、該一端部から基板の搬送幅方向外方の上方に向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ解除位置との間を旋回自在に、剥離位置に搬送された基板の該一端部の上方に配設された複数対の基板クランプ部材対と、基板クランプ部材対を構成する基板クランプ部材の各々を常時クランプ位置に付勢するばね手段と、基板クランプ部材の各々をばね手段のばね力に抗してクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させる基板クランプアクチュエータと、基板の、少なくとも該一端部に含まれる一端に向けて上方から圧力気体を噴射する圧力気体噴射手段とを備えている、
ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置。
【請求項８】
フィルムガイドクランプ部材の各々がクランプ位置に位置付けられて基板がフィルムガイドクランプ部材の各々によりクランプされかつ基板クランプ部材対の各々がクランプ解除位置に位置付けられると共にフィルムクランプ部材の各々がクランプ解除位置に位置付けられた状態で、圧力気体噴射手段によって基板の、少なくとも該一端部に含まれる一端に向けて上方から圧力気体を噴射することにより基板の片面又は両面からフィルムの一端部を部分的に剥離させてフィルムガイドクランプ部材の一方又は両方の上面に押し付け、続いて圧力気体噴射手段から圧力気体を噴射しながらフィルムクランプアクチュエータの作動を解除してフィルムクランプ部材の各々をばね手段のばね力によりクランプ位置に旋回させてフィルムガイドクランプ部材の一方又は両方の上面に押し付けられたフィルムの一端部をフィルムガイドクランプ部材の一方又は両方の上面にクランプし、次に、基板クランプアクチュエータの作動を解除してばね部材のばね力により基板クランプ部材対の各々をクランプ位置に旋回させて基板の該一端部をクランプした後、フィルムガイドクランプアクチュエータを作動させてフィルムガイドクランプ部材の各々を、クランプ位置に位置付けられたフィルムクランプ部材の各々と共にクランプ解除位置に移動させ、続いて昇降アクチュエータにより可動支持枠体と共にフィルムガイドクランプ部材の各々及びフィルムクランプ部材の各々を下降させることにより基板の片面又は両面からフィルムを完全に剥離した後、フィルムクランプアクチュエータを作動させてフィルムクランプ部材の各々をクランプ解除位置に旋回させてフィルムガイドクランプ部材の各々の一方又は両方の上面に対するフィルムのクランプを解除する、請求項７記載のフィルム剥離搬送装置。
【請求項９】
基板から完全に剥離されたフィルムに向けて上方から圧力気体を噴射して該フィルムを下方に強制的に排出する圧力気体噴射手段を備えている、請求項８記載のフィルム剥離搬送装置。
【請求項１０】
剥離位置に向かって基板の搬送を開始する搬送開始位置へ、両面が基板の搬送幅方向に向けられた鉛直な姿勢で投入された、片面又は両面に対してフィルムが貼着された基板の搬送方向両端部を解除自在にチャッキングして鉛直な姿勢を維持しながら剥離位置へ搬送する基板搬送手段と、剥離位置に搬送された鉛直な姿勢の基板からフィルムを完全に剥離する剥離手段とを備え、
剥離手段は、鉛直方向に昇降自在に配設された可動支持枠体と、可動支持枠体を昇降させる昇降アクチュエータと、基板の搬送幅方向に相互に対向して配置されかつ該搬送幅方向に移動自在に可動支持枠体に配設された一対のフィルムガイドクランプ部材と、可動支持枠体に配設されてフィルムガイドクランプ部材の各々を、剥離位置に搬送された基板の該一端部近傍の領域であって、フィルムの一端部よりも基板の他端方向に後退した基板の該一端部近傍の領域の両面をクランプするクランプ位置と、該一端部近傍の領域から該搬送幅方向外方に向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ解除位置との間を選択的に移動させる一対のフィルムガイドクランプアクチュエータと、フィルムガイドクランプ部材の各々の上面に圧接されるクランプ位置と、フィルムガイドクランプ部材の各々の上面から退避するクランプ解除位置との間を旋回自在にフィルムガイドクランプ部材の各々に支持された複数のフィルムクランプ部材と、フィルムクランプ部材の各々をクランプ位置に常時付勢するばね手段と、フィルムガイドクランプ部材の各々に配設されてフィルムクランプ部材の各々をばね手段のばね力に抗してクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させるフィルムクランプアクチュエータと、基板の該一端部の両面をクランプするクランプ位置と、該一端部から基板の搬送幅方向外方の上方に向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ解除位置との間を旋回自在に、剥離位置に搬送された基板の該一端部の上方に配設された複数対の基板クランプ部材対と、基板クランプ部材対を構成する基板クランプ部材の各々を常時クランプ位置に付勢するばね手段と、基板クランプ部材の各々をばね手段のばね力に抗してクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させる基板クランプアクチュエータと、基板の、少なくとも該一端部に含まれる一端に向けて上方から圧力気体を噴射する圧力気体噴射手段とを備えている、
ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置。
【請求項１１】
片面又は両面に対してフィルムが貼着された基板を水平な姿勢で搬入位置に搬入する搬入手段と、搬入位置に搬入された基板を、両面が基板の搬入幅方向に向けられた鉛直な姿勢に変換する姿勢変換手段と、鉛直な姿勢に変換された基板を、搬入方向前方に設定された剥離位置へ向けて搬送するための搬送開始位置へ鉛直な姿勢を維持しながら移動させる搬送開始位置決め手段と、搬送開始位置へ移動させられた基板の搬送方向両端部を解除自在にチャッキングして鉛直な姿勢を維持しながら基板を剥離位置へ搬送する基板搬送手段と、剥離位置に搬送された鉛直な姿勢の基板からフィルムを完全に剥離する剥離手段とを備え、
剥離手段は、鉛直方向に昇降自在に配設された可動支持枠体と、可動支持枠体を昇降させる昇降アクチュエータと、基板の搬送幅方向に相互に対向して配置されかつ該搬送幅方向に移動自在に可動支持枠体に配設された一対のフィルムガイドクランプ部材と、可動支持枠体に配設されてフィルムガイドクランプ部材の各々を、剥離位置に搬送された基板の該一端部近傍の領域であって、フィルムの一端部よりも基板の他端方向に後退した基板の該一端部近傍の領域の両面をクランプするクランプ位置と、該一端部近傍の領域から該搬送幅方向外方に向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ解除位置との間を選択的に移動させる一対のフィルムガイドクランプアクチュエータと、フィルムガイドクランプ部材の各々の上面に圧接されるクランプ位置と、フィルムガイドクランプ部材の各々の上面から退避するクランプ解除位置との間を旋回自在にフィルムガイドクランプ部材の各々に支持された複数のフィルムクランプ部材と、フィルムクランプ部材の各々をクランプ位置に常時付勢するばね手段と、フィルムガイドクランプ部材の各々に配設されてフィルムクランプ部材の各々をばね手段のばね力に抗してクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させるフィルムクランプアクチュエータと、基板の該一端部の両面をクランプするクランプ位置と、該一端部から基板の搬送幅方向外方の上方に向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ解除位置との間を旋回自在に、剥離位置に搬送された基板の該一端部の上方に配設された複数対の基板クランプ部材対と、基板クランプ部材対を構成する基板クランプ部材の各々を常時クランプ位置に付勢するばね手段と、基板クランプ部材の各々をばね手段のばね力に抗してクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させる基板クランプアクチュエータと、基板の、少なくとも該一端部に含まれる一端に向けて上方から圧力気体を噴射する圧力気体噴射手段とを備えている、
ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、基板に貼着された保護フィルムを剥離するフィルム剥離搬送装置、特に、厚さが非常に薄い基板の片面又は両面に貼着されたフィルムの剥離及び該基板の搬送、あるいは、厚さが非常に薄い基板の片面又は両面に貼着された絶縁樹脂に貼着されたフィルムの剥離及び該基板の搬送などに適用しうるフィルム剥離搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント配線基板の製造においては、ガラス繊維強化エポキシ樹脂等から形成されたコア板の両面に銅はくを貼着して銅張積層板を形成し、銅張積層板の両面にフォトレジスト層及び保護フィルムを積層したプリント配線基板素材を使用している。そしてこのプリント配線基板素材の片面又は両面に回路パターンを照射してフォトレジスト層を露光し、その後において片面又は両面に存在する保護フィルム（以下単に「フィルム」と略称する）を剥離している。
【０００３】
プリント回路基板素材の如き基板から、その片面又は両面から保護フィルムの如きフィルム（本明細書にて使用する語句「フィルム」は比較的薄い帯状部材のみならず比較的厚い、いわゆるシートと称される帯状部材をも含む）を剥離するのに適用することができるフィルム剥離搬送装置は既に知られている（特許文献１参照）。
【０００４】
このフィルム剥離搬送装置は、基板搬送手段、クランプ手段、端部剥離手段及び剥離手段を備えている。基板搬送手段は、片面又は両面にフィルムが貼着された基板を実質上水平な状態で、その前端部が端部剥離位置に達するまで所定方向に搬送して一旦停止させ、そして更に上記所定方向に搬送する。基板搬送手段は、基板の搬送経路を規定する複数個の搬送ローラを含んでいる。クランプ手段は搬送経路を挟んで上下に間隔を置いて配置された一対のクランプ部材を備え、搬送経路上に解除自在にクランプできるよう構成されている。端部剥離手段は、搬送経路の幅方向に往復移動させられるよう構成された移動体と、搬送経路を挟んで上下に間隔を置いて配置された複数対の圧接ローラを備えている。複数対の圧接ローラは、搬送経路上の基板を解除自在に圧接できるよう構成されている。基板がクランプ手段により端部剥離位置にクランプされた状態で、圧接ローラの各対は、基板の一端部（搬送方向前端部）における片面又は両面のフィルムの表面に所定の圧力で圧接される。この状態で圧接ローラの各対は、移動体によって幅方向に往復移動させられ、基板のフィルムの一端部が部分的に剥離される。このように、端部剥離手段は上記端部剥離位置に位置付けられた基板の前端部に作用してフィルムの前端部を部分的に基板から剥離させる。前端部が部分的に剥離されたフィルムを基板から完全に分離させるための剥離手段は、搬送方向に移動させられている基板とフィルムの前端部との間に圧縮気体を噴射する気体噴射手段と、気体噴射手段によって前端部の分離が促進されたフィルムを基板の片面又は両面から剥離させて上方及び／又は下方に強制的に搬送するフィルム剥離搬送手段を含んでいる。気体噴射手段は、基板の幅方向に延在しかつ複数個の気体噴射孔が間隔をおいて形成された中空部材を備えている。静止部材であるこの中空部材は、適宜の連通手段を介して圧縮気体発生源に接続されている。フィルム剥離搬送手段は上側ベルト機構及び下側ベルト機構を備えている。
【０００５】
【特許文献１】
特開昭６２−８３９７４号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のフィルム剥離搬送装置において、搬送方向に移動させられている基板の前端部が端部剥離位置に到達すると、基板がクランプ手段により端部剥離位置にクランプされた状態で、端部剥離手段の圧接ローラの各対が、基板の一端部における片面又は両面のフィルムの表面に所定の圧力で圧接されて移動体によって幅方向に往復移動させられ、基板のフィルムの一端部が部分的に剥離される。上記した如くフィルムは、基板の片面又は両面に形成された銅張積層板に積層されたフォトレジスト層に貼着されており、その密着強度は比較的弱いので、上記した如き端部剥離手段による剥離作用、すなわちいわゆるナーリングによって部分的な剥離を遂行することができる。
【０００７】
ところで、電子機器の高密度化、高機能化に伴い、プリント配線基板についても高密度配線、微細化と共に機能の向上が要求されるようになってきている。このような背景から近年、ビルドアップ工法が注目されるようになった。ビルドアップ工法は、一例として、コア板の片面又は両面に、熱硬化性樹脂等の感光性絶縁樹脂（以下、単に「絶縁樹脂」と略称する）を積層し、これらの絶縁樹脂に露光・現像あるいはレーザ照射を遂行した後、電解銅めっきあるいは無電解銅めっきを施し、更に表面パターン作成等の工程を経て一つの層を完成し、更に層を重ねるために絶縁樹脂の積層以降の工程を繰り返すことによって所定のプリント配線基板を製造するものである。上記の如きビルドアップ工法により製造されるプリント配線基板においても、絶縁樹脂の表面を保護するために貼着されたフィルムをその製造工程のなかで剥離しなければならない。
【０００８】
そこで上記した如き従来の端部剥離手段によってナーリングを遂行したところ、十分確実に剥離することができなかった。本発明者等がその理由を究明したところ、ビルドアップ工法により製造されるプリント配線基板において、フィルムは上記絶縁樹脂に貼着されているため、この絶縁樹脂とフィルムとの密着強度は、先に述べたフォトレジスト層とフィルムとの密着強度よりも強力であることが判明した。これに対して上記した従来の端部剥離手段によるナーリングの遂行では十分確実な剥離効果が得られないのみならず、絶縁樹脂に縞模様の傷が大きく付いて不良基板となる、望ましくない現象も認められた。
【０００９】
ビルドアップ工法により製造されるプリント配線基板においてはまた、絶縁樹脂の表面に傷が発生するのを防止するため、絶縁樹脂が存在しない基板の幅方向両端部（両端から内側に向かってほぼ２．０ｍｍ〜３．０ｍｍの両端部領域）をローラで支持することにより水平方向に搬送していた。このような端面搬送によれば、基板の厚さが薄くなるほど、基板の安定した水平搬送が困難となる。しかも近年の技術の向上により、基板の厚さは更に薄くなることが予測される。現在のところ、一般的な基板の厚さは０．８ｍｍであるが、将来においては０．２ｍｍ〜５０μｍと、非常に薄くなるのではないかと予測される。なお、基板の安定した水平搬送の下限値は０．６ｍｍ程度である。基板の厚さが上記下限値を下方に越えて更に薄くなった場合には、基板の安定した水平搬送が困難となるので、水平方向に搬送される基板を所要のとおりに停止させ、所要のとおりにクランプして、基板の品質を損なうことなく、フィルムを円滑かつ確実に剥離することは、不可能ではないにしても著しく困難となることが予測される。特に、ビルドアップ工法により製造されるプリント配線基板においては、上記した事実に起因して、フィルムの剥離が一層困難となるものと推測される。他方、ビルドアップ工法により製造されるプリント配線基板以外のプリント配線基板においても、その厚さが上記下限値を下方に越えて更に薄くなった場合には、上記したと同様な技術的課題が発生するものと予測される。
【００１０】
本発明は上記事実に基づいてなされたものであり、その目的は、厚さが非常に薄い基板であっても、基板の品質を損なうことなく、基板の片面又は両面に貼着されているフィルムを円滑かつ確実に剥離することを可能にする、新規なフィルム剥離搬送装置を提供することである。
【００１１】
本発明の他の目的は、厚さが非常に薄い基板であっても、基板の片面又は両面に貼着されている絶縁樹脂に比較的強力な密着強度をもって貼着されているフィルムを、絶縁樹脂を実質的に傷めることなく、絶縁樹脂から十分確実に剥離することを可能にする、新規なフィルム剥離搬送装置を提供することである。
【００１２】
本発明の更に他の目的は、厚さが非常に薄い基板であっても、基板の品質を損なうことなく安定した搬送を可能にすると共に、基板の品質を損なうことなく基板の片面又は両面に貼着されているフィルムを円滑かつ確実に剥離することを可能にする、新規なフィルム剥離搬送装置を提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の一局面によれば、剥離位置に向かって基板の搬送を開始する搬送開始位置へ、両面が基板の搬送幅方向に向けられた鉛直な姿勢で投入された、片面又は両面に対してフィルムが貼着された基板の搬送方向両端部を解除自在にチャッキングして鉛直な姿勢を維持しながら剥離位置へ搬送する基板搬送手段と、剥離位置に搬送された鉛直な姿勢の基板からフィルムを完全に剥離する剥離手段とを備え、基板搬送手段は、該搬送開始位置に対して、該搬入幅方向の一側寄りの位置を該搬入方向に延在する支持フレームと、支持フレームにおける該搬入方向上流側に配設された上流側チャッキング機構であって、該搬送開始位置に位置付けられた基板の搬入方向後端部を解除自在にチャッキングする上流側チャッキング機構と、支持フレームにおける該搬入方向下流側において上流側チャッキング機構に対し間隔をおいて配設された下流側チャッキング機構であって、該搬送開始位置に移動させられた基板の搬入方向前端部を解除自在にチャッキングする下流側チャッキング機構と、支持フレームに作用して該チャッキング機構の各々を一体的に該搬送開始位置と剥離位置との間を選択的に移動させる基板搬送アクチュエータとを備えている、ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置、が提供される。
相互に実質的に同じ構成を有しかつ該搬入方向に間隔をおいて相互に対称的に配設された該チャッキング機構の各々は、支持フレームに対し鉛直軸まわりに旋回自在に支持された第１の可動チャッキング体であって、鉛直面からなる被圧接面を有すると共に該被圧接面が該搬入幅方向の他側に向けられたチャッキング位置と、該被圧接面がチャッキング位置に対し該搬入幅方向の一側方向に退避させられたチャッキング解除位置との間を旋回自在な第１の可動チャッキング体と、第１の可動チャッキング体の、チャッキング解除位置からチャッキング位置への旋回をチャッキング位置で阻止するよう支持フレームに配設されたストッパと、第１の可動チャッキング体に対し鉛直軸まわりに旋回自在に支持された第２の可動チャッキング体であって、鉛直面からなる圧接面を有すると共に該圧接面が、チャッキング位置に位置付けられた第１の可動チャッキング体の該被圧接面に圧接されるチャッキング位置と、該圧接面がチャッキング位置に対し該搬入幅方向の一側方向に退避させられたチャッキング解除位置との間を旋回自在な第２の可動チャッキング体と、第２の可動チャッキング体と支持フレームとの間に配設されて第２及び第１の可動チャッキング体をチャッキング位置に常時付勢するばね手段と、第２の可動チャッキング体に作用して第２及び第１の可動チャッキング体をばね手段のばね力に抗してチャッキング位置からチャッキング解除位置へ旋回させるよう、支持フレームに配設されたチャッキングアクチュエータとを備えている、ことが好ましい。
該チャッキング機構の各々の第１の可動チャッキング体には、第２の可動チャッキング体のチャッキング位置からチャッキング解除位置への旋回を途中で阻止するストッパが配設され、チャッキングアクチュエータを作動させると、第１の可動チャッキング体がばね手段のばね力により支持フレームに配設されたストッパにより阻止されてチャッキング位置に位置付けられた状態で、第２の可動チャッキング体は、ばね手段のばね力に抗して第１の可動チャッキング体のストッパにより阻止されるまで第１の可動チャッキング体に対して旋回させられて該圧接面が第１の可動チャッキング体の該被圧接面から実質的に該搬入幅方向の他側方向に離隔させられ、第２の可動チャッキング体の、第１の可動チャッキング体に対する旋回が第１の可動チャッキング体のストッパにより阻止された後には、第２の可動チャッキング体及び第１の可動チャッキング体は相対移動することなく一体的にばね手段のばね力に抗してチャッキング解除位置へ旋回させられる、ことが好ましい。
上流側及び下流側チャッキング機構の各々のチャッキングアクチュエータを作動させて上流側及び下流側チャッキング機構の各々の第１及び第２の可動チャッキング体がチャッキング解除位置に位置付けられた状態で、搬送開始位置決め手段により基板が該鉛直な姿勢で搬送開始位置に位置付けられ、続いて、上流側及び下流側チャッキング機構の各々のチャッキングアクチュエータの作動を解除すると、上流側チャッキング機構においては、第１及び第２の可動チャッキング体がチャッキング解除位置からチャッキング位置に旋回させられ、第１の可動チャッキング体の該被圧接面は、基板の片面に対し、該搬入幅方向の一側方向に離隔した位置から旋回して、基板の、該一端部よりも下方位置における搬入方向後端部の、該搬入幅方向の一側方向に面した片面に当接ないし近接して対向させられ、第２の可動チャッキング体の該圧接面は、基板に対し、基板の搬入方向後端の後方を旋回して、基板の、該一端部よりも下方位置における搬入方向後端部の、該搬入幅方向の他側方向に面した他面を介して第１の可動チャッキング体の該被圧接面に圧接させられることにより、基板の該搬入方向後端部がチャッキングされ、下流側チャッキング機構においては、第１及び第２の可動チャッキング体がチャッキング解除位置からチャッキング位置に旋回させられ、第１の可動チャッキング体の該被圧接面は、基板に対し、該搬入幅方向の一側方向に離隔した位置から旋回して、基板の、該一端部よりも下方位置における搬入方向前端部の、該搬入幅方向の一側方向に面した片面に当接ないし近接して対向させられ、第２の可動チャッキング体の該圧接面は、基板に対し、基板の搬入方向前端の前方を旋回して、基板の、該一端部よりも下方位置における搬入方向前端部の、該搬入幅方向の他側方向に面した他面を介して第１の可動チャッキング体の該被圧接面に圧接させられることにより、基板の該搬入方向前端部がチャッキングされる、ことが好ましい。
支持フレームには基板のサイズに対応するために上流側チャッキング機構を該搬送方向に往復移動させるアクチュエータが配設されている、ことが好ましい。
本発明の他の局面によれば、片面又は両面に対してフィルムが貼着された基板を水平な姿勢で搬入位置に搬入する搬入手段と、搬入位置に搬入された基板を、両面が基板の搬入幅方向に向けられた鉛直な姿勢に変換する姿勢変換手段と、鉛直な姿勢に変換された基板を、搬入方向前方に設定された剥離位置へ向けて搬送するための搬送開始位置へ鉛直な姿勢を維持しながら移動させる搬送開始位置決め手段と、搬送開始位置へ移動させられた基板の搬送方向両端部を解除自在にチャッキングして鉛直な姿勢を維持しながら基板を剥離位置へ搬送する基板搬送手段と、剥離位置に搬送された鉛直な姿勢の基板からフィルムを完全に剥離する剥離手段とを備え、基板搬送手段は、該搬送開始位置に対して、該搬入幅方向の一側寄りの位置を該搬入方向に延在する支持フレームと、支持フレームにおける該搬入方向上流側に配設された上流側チャッキング機構であって、該搬送開始位置に位置付けられた基板の搬入方向後端部を解除自在にチャッキングする上流側チャッキング機構と、支持フレームにおける該搬入方向下流側において上流側チャッキング機構に対し間隔をおいて配設された下流側チャッキング機構であって、該搬送開始位置に移動させられた基板の搬入方向前端部を解除自在にチャッキングする下流側チャッキング機構と、支持フレームに作用して該チャッキング機構の各々を一体的に該搬送開始位置と剥離位置との間を選択的に移動させる基板搬送アクチュエータとを備えている、ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置、が提供される。
本発明の更に他の局面によれば、片面又は両面に対してフィルムが貼着された基板を、鉛直な姿勢で剥離位置へ搬送する基板搬送手段と、剥離位置に搬送された鉛直な姿勢の基板からフィルムを完全に剥離させる剥離手段とを備え、剥離手段は、鉛直方向に昇降自在に配設された可動支持枠体と、可動支持枠体を昇降させる昇降アクチュエータと、基板の搬送幅方向に相互に対向して配置されかつ該搬送幅方向に移動自在に可動支持枠体に配設された一対のフィルムガイドクランプ部材と、可動支持枠体に配設されてフィルムガイドクランプ部材の各々を、剥離位置に搬送された基板の該一端部近傍の領域であって、フィルムの一端部よりも基板の他端方向に後退した基板の該一端部近傍の領域の両面をクランプするクランプ位置と、該一端部近傍の領域から該搬送幅方向外方に向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ解除位置との間を選択的に移動させる一対のフィルムガイドクランプアクチュエータと、フィルムガイドクランプ部材の各々の上面に圧接されるクランプ位置と、フィルムガイドクランプ部材の各々の上面から退避するクランプ解除位置との間を旋回自在にフィルムガイドクランプ部材の各々に支持された複数のフィルムクランプ部材と、フィルムクランプ部材の各々をクランプ位置に常時付勢するばね手段と、フィルムガイドクランプ部材の各々に配設されてフィルムクランプ部材の各々をばね手段のばね力に抗してクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させるフィルムクランプアクチュエータと、基板の該一端部の両面をクランプするクランプ位置と、該一端部から基板の搬送幅方向外方の上方に向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ解除位置との間を旋回自在に、剥離位置に搬送された基板の該一端部の上方に配設された複数対の基板クランプ部材対と、基板クランプ部材対を構成する基板クランプ部材の各々を常時クランプ位置に付勢するばね手段と、基板クランプ部材の各々をばね手段のばね力に抗してクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させる基板クランプアクチュエータと、基板の、少なくとも該一端部に含まれる一端に向けて上方から圧力気体を噴射する圧力気体噴射手段とを備えている、ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置、が提供される。
フィルムガイドクランプ部材の各々がクランプ位置に位置付けられて基板がフィルムガイドクランプ部材の各々によりクランプされかつ基板クランプ部材対の各々がクランプ解除位置に位置付けられると共にフィルムクランプ部材の各々がクランプ解除位置に位置付けられた状態で、圧力気体噴射手段によって基板の、少なくとも該一端部に含まれる一端に向けて上方から圧力気体を噴射することにより基板の片面又は両面からフィルムの一端部を部分的に剥離させてフィルムガイドクランプ部材の一方又は両方の上面に押し付け、続いて圧力気体噴射手段から圧力気体を噴射しながらフィルムクランプアクチュエータの作動を解除してフィルムクランプ部材の各々をばね手段のばね力によりクランプ位置に旋回させてフィルムガイドクランプ部材の一方又は両方の上面に押し付けられたフィルムの一端部をフィルムガイドクランプ部材の一方又は両方の上面にクランプし、次に、基板クランプアクチュエータの作動を解除してばね部材のばね力により基板クランプ部材対の各々をクランプ位置に旋回させて基板の該一端部をクランプした後、フィルムガイドクランプアクチュエータを作動させてフィルムガイドクランプ部材の各々を、クランプ位置に位置付けられたフィルムクランプ部材の各々と共にクランプ解除位置に移動させ、続いて昇降アクチュエータにより可動支持枠体と共にフィルムガイドクランプ部材の各々及びフィルムクランプ部材の各々を下降させることにより基板の片面又は両面からフィルムを完全に剥離した後、フィルムクランプアクチュエータを作動させてフィルムクランプ部材の各々をクランプ解除位置に旋回させてフィルムガイドクランプ部材の各々の一方又は両方の上面に対するフィルムのクランプを解除する、ことが好ましい。
基板から完全に剥離されたフィルムに向けて上方から圧力気体を噴射して該フィルムを下方に強制的に排出する圧力気体噴射手段を備えている、ことが好ましい。
本発明の更に他の局面によれば、剥離位置に向かって基板の搬送を開始する搬送開始位置へ、両面が基板の搬送幅方向に向けられた鉛直な姿勢で投入された、片面又は両面に対してフィルムが貼着された基板の搬送方向両端部を解除自在にチャッキングして鉛直な姿勢を維持しながら剥離位置へ搬送する基板搬送手段と、剥離位置に搬送された鉛直な姿勢の基板からフィルムを完全に剥離する剥離手段とを備え、剥離手段は、鉛直方向に昇降自在に配設された可動支持枠体と、可動支持枠体を昇降させる昇降アクチュエータと、基板の搬送幅方向に相互に対向して配置されかつ該搬送幅方向に移動自在に可動支持枠体に配設された一対のフィルムガイドクランプ部材と、可動支持枠体に配設されてフィルムガイドクランプ部材の各々を、剥離位置に搬送された基板の該一端部近傍の領域であって、フィルムの一端部よりも基板の他端方向に後退した基板の該一端部近傍の領域の両面をクランプするクランプ位置と、該一端部近傍の領域から該搬送幅方向外方に向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ解除位置との間を選択的に移動させる一対のフィルムガイドクランプアクチュエータと、フィルムガイドクランプ部材の各々の上面に圧接されるクランプ位置と、フィルムガイドクランプ部材の各々の上面から退避するクランプ解除位置との間を旋回自在にフィルムガイドクランプ部材の各々に支持された複数のフィルムクランプ部材と、フィルムクランプ部材の各々をクランプ位置に常時付勢するばね手段と、フィルムガイドクランプ部材の各々に配設されてフィルムクランプ部材の各々をばね手段のばね力に抗してクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させるフィルムクランプアクチュエータと、基板の該一端部の両面をクランプするクランプ位置と、該一端部から基板の搬送幅方向外方の上方に向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ解除位置との間を旋回自在に、剥離位置に搬送された基板の該一端部の上方に配設された複数対の基板クランプ部材対と、基板クランプ部材対を構成する基板クランプ部材の各々を常時クランプ位置に付勢するばね手段と、基板クランプ部材の各々をばね手段のばね力に抗してクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させる基板クランプアクチュエータと、基板の、少なくとも該一端部に含まれる一端に向けて上方から圧力気体を噴射する圧力気体噴射手段とを備えている、ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置、が提供される。
本発明の更に他の局面によれば、片面又は両面に対してフィルムが貼着された基板を水平な姿勢で搬入位置に搬入する搬入手段と、搬入位置に搬入された基板を、両面が基板の搬入幅方向に向けられた鉛直な姿勢に変換する姿勢変換手段と、鉛直な姿勢に変換された基板を、搬入方向前方に設定された剥離位置へ向けて搬送するための搬送開始位置へ鉛直な姿勢を維持しながら移動させる搬送開始位置決め手段と、搬送開始位置へ移動させられた基板の搬送方向両端部を解除自在にチャッキングして鉛直な姿勢を維持しながら基板を剥離位置へ搬送する基板搬送手段と、剥離位置に搬送された鉛直な姿勢の基板からフィルムを完全に剥離する剥離手段とを備え、剥離手段は、鉛直方向に昇降自在に配設された可動支持枠体と、可動支持枠体を昇降させる昇降アクチュエータと、基板の搬送幅方向に相互に対向して配置されかつ該搬送幅方向に移動自在に可動支持枠体に配設された一対のフィルムガイドクランプ部材と、可動支持枠体に配設されてフィルムガイドクランプ部材の各々を、剥離位置に搬送された基板の該一端部近傍の領域であって、フィルムの一端部よりも基板の他端方向に後退した基板の該一端部近傍の領域の両面をクランプするクランプ位置と、該一端部近傍の領域から該搬送幅方向外方に向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ解除位置との間を選択的に移動させる一対のフィルムガイドクランプアクチュエータと、フィルムガイドクランプ部材の各々の上面に圧接されるクランプ位置と、フィルムガイドクランプ部材の各々の上面から退避するクランプ解除位置との間を旋回自在にフィルムガイドクランプ部材の各々に支持された複数のフィルムクランプ部材と、フィルムクランプ部材の各々をクランプ位置に常時付勢するばね手段と、フィルムガイドクランプ部材の各々に配設されてフィルムクランプ部材の各々をばね手段のばね力に抗してクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させるフィルムクランプアクチュエータと、基板の該一端部の両面をクランプするクランプ位置と、該一端部から基板の搬送幅方向外方の上方に向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ解除位置との間を旋回自在に、剥離位置に搬送された基板の該一端部の上方に配設された複数対の基板クランプ部材対と、基板クランプ部材対を構成する基板クランプ部材の各々を常時クランプ位置に付勢するばね手段と、基板クランプ部材の各々をばね手段のばね力に抗してクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させる基板クランプアクチュエータと、基板の、少なくとも該一端部に含まれる一端に向けて上方から圧力気体を噴射する圧力気体噴射手段とを備えている、ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置、が提供される。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に従って構成されたフィルム剥離搬送装置の好適実施形態を詳細に説明する。
【００１６】
図１〜図３を参照して、本発明によるフィルム剥離搬送装置は、フィルムＦが貼着された基板Ｐ（後述する）を、基板Ｐの搬送幅方向における両端部を離脱自在に保持した状態で、受取位置Ｘ１から剥離位置Ｘ２へ、そして剥離位置Ｘ２から搬出位置Ｘ３まで搬送する基板搬送手段１００と、剥離位置Ｘ２においてフィルムＦを基板Ｐから完全に剥離させる剥離手段２００とを備えている。基板搬送手段１００によって剥離位置Ｘ２に搬送された基板Ｐは、鉛直な姿勢で剥離手段２００によりフィルムが完全に剥離される。基板搬送手段１００は、受取位置Ｘ１において基板Ｐをほぼ水平な姿勢で受け取り、受取位置Ｘ１で水平な姿勢で受け取った基板Ｐを、剥離位置Ｘ２において鉛直な姿勢となるよう剥離位置Ｘ２まで搬送し、剥離位置Ｘ２において鉛直な姿勢で剥離手段２００によりフィルムＦが完全に剥離された基板Ｐを、搬出位置Ｘ３において水平な姿勢となるよう搬出位置Ｘ３まで搬送する。
【００１７】
更に具体的に説明すると、フィルム剥離搬送装置は、載置面１上に載置された静止枠体１０を備えている。静止枠体１０は、平面から見てほぼ矩形をなす床枠体１２と、床枠体１２の４つの角部から垂下する４本の下支柱１４と、床枠体１２の４つの角部から直立する４本の上支柱１５と、上支柱１５の各々の上端間を連結するよう配設された４本の天井梁１６とを備えている。天井梁１６の下側には、天井枠体１８が配設されている。ほぼ水平に配設された床枠体１２の上面側には、後述する基板搬送手段１００及び剥離手段２００が配設されている。床枠体１２の下方における載置面１上には、後述するとおりにして基板Ｐから剥離されたフィルムＦを収容するための収容箱２が載置されている。収容箱２は上端に図示しない開口を有している。
【００１８】
床枠体１２の上面側には基板搬送手段１００が配設されている。次に、主として図４〜図７を参照して基板搬送手段１００について説明する。床枠体１２には、一対の静止側枠１０２が、基板Ｐの搬送幅方向に相互に間隔をおいて対向しかつ基板Ｐの搬送方向に相互に平行に延在するよう配設されている。なお、基板Ｐの搬送方向とは、図１及び図２において実質的に右から左に向かう方向、図３において実質的に紙面の表から裏に向かう方向を示し、また基板Ｐの搬送幅方向とは、基板Ｐの搬送方向に対し水平に直交する方向であって、図１において紙面の表裏方向、図２において上下方向、図３において左右方向を示すものである。静止側枠１０２の各々間には、複数の（実施形態においては２個の）それぞれ丸棒からなるガイド部材１０４が、基板Ｐの搬送方向に間隔をおいて配設されている。静止側枠１０２の各々間における基板Ｐの搬送方向一方側（実施形態においては図１及び図２において右方側であって、基板Ｐの搬送方向上流側）端部には、駆動軸１０６が回転自在に支持されている。また、静止側枠１０２の各々間における基板Ｐの搬送方向他方側（実施形態においては図１及び図２において左方側であって、基板Ｐの搬送方向下流側）端部には、被駆動軸１０８が回転自在に支持されている。駆動軸１０６は、図示しない動力伝達機構、例えば減速歯車機構を介して駆動源である電動モータＭ１に駆動連結されている。駆動軸１０６及び被駆動軸１０８はそれぞれスプラインシャフトから構成されている。
【００１９】
静止側枠１０２の各々の内側間において、ガイド部材１０４の各々には、一対の可動側枠１１０がガイド部材１０４の各々に沿って移動自在に支持されている。可動側枠１１０の各々は、静止側枠１０２の各々に平行に基板Ｐの搬送方向に延在するよう配置されている。可動側枠１１０の各々は、往復移動手段によって、ガイド部材１０４の各々に沿って基板Ｐの搬送幅方向に相互に接近及び離隔する方向に往復移動させられる。往復移動手段は、静止側枠１０２の各々間に回転自在に支持されたねじロッド部材１１２と、ねじロッド部材１１２に、図示しない動力伝達機構、例えば減速歯車機構を介して駆動連結された、駆動源である電動モータＭ２とを備えている。可動側枠１１０の各々は、ねじロッド部材１１２にねじ係合されている。駆動軸１０６、被駆動軸１０８、ガイド部材１０４の各々及びねじロッド部材１１２は、相互に平行であり、かつ各々の軸心は床枠体１２の上面から同じ高さに配置されている。なお、往復移動手段を流体圧シリンダ機構から構成する他の実施形態もある。
【００２０】
可動側枠１１０の各々の相互に対向する、基板Ｐの搬送幅方向内側であって、基板Ｐの搬送方向一方側には、それぞれ駆動輪である駆動スプロケット１１４が回転自在に支持されている。駆動スプロケット１１４は駆動軸１０６にスプライン結合されている。可動側枠１１０の各々の相互に対向する、基板Ｐの搬送幅方向内側であって、基板Ｐの搬送方向他方側には、それぞれ被駆動輪である被駆動スプロケット１１６が回転自在に支持されている。被駆動スプロケット１１６は、被駆動軸１１６にスプライン結合されている。駆動スプロケット１１４と被駆動スプロケット１１６は相互に同径である。駆動スプロケット１１４の各々と被駆動スプロケット１１６の各々間には、それぞれ無端部材であるチェーン１１８が巻き掛けられている。チェーン１１８の各々は、対応する駆動スプロケット１１４に巻き掛けられた、基板Ｐの搬送方向の上流側端に位置する上流側半円移動領域と、対応する被駆動スプロケット１１６に巻き掛けられた、基板Ｐの搬送方向の下流側端に位置する下流側半円移動領域と、上流側半円移動領域及び下流側半円移動領域の上端間を水平に基板Ｐの搬送方向に延在する上水平移動領域と、上流側半円移動領域及び下流側半円移動領域の下端間を水平に基板Ｐの搬送方向に延在する下水平移動領域とを備えている。チェーン１１８の各々を、基板Ｐの上水平移動領域に沿って実質的に水平に案内するため、対応する可動側枠１１０には、一対のガイド部材１１８ａ及び１１８ｂ（図７及び図１参照）が上下方向に間隔をおいて基板Ｐの搬送方向に実質的に水平にかつ平行に延在して、チェーン１１８の各々を該領域において上下方向から相対移動自在に挟むよう配設されている。またチェーン１１８の各々を、基板Ｐの下水平移動領域に沿って実質的に水平に案内するため、対応する可動側枠１１０には、ガイド部材１１８ｃ（図１参照）が基板Ｐの搬送方向に実質的に水平に延在して、チェーン１１８の各々を該領域において下方から支持するよう配設されている。なお、駆動スプロケット１１４の各々、被駆動スプロケット１１６の各々及びチェーン１１８の各々による駆動手段に代えて、歯付きプーリ、歯付きベルトの組合せからなる駆動手段とする他の実施形態もある。
【００２１】
図２及び図７を参照して、可動側枠１１０の各々の、基板Ｐの搬送方向上流側には、支持ブラケット１１１が配設されている。適宜の板部材からなる支持ブラケット１１１の各々は、対応する可動側枠１１０から、基板Ｐの搬送方向の上流に向かって水平に延び出す基部１１１ａと、基部１１１ａの先端から基板Ｐの幅方向内側に向かって水平に延び出す支持部１１１ｂとから構成されている。支持ブラケット１１１の各々の支持部１１１ｂの先端部には、それぞれ基板Ｐの幅方向端を検出するための基板幅検出センサＳ１が配設されている。基板幅検出センサＳ１の各々は、フィルム剥離搬送装置の上流側に配置された図示しない、基板Ｐの投入装置から後述する基板保持部材対１２０Ａに向かって投入される基板Ｐの両端を検出するためのセンサである。上記床枠体１２の、基板Ｐの搬送方向上流側であって基板Ｐの搬送幅方向の中央の上面には、適宜の帯状の板部材からなる支持ブラケット１３が配設されている。支持ブラケット１３は、基板Ｐの搬送方向に延在する基部１３ａと、基部１３ａの両端から直立する支持部１３ｂ及び１３ｃとから構成されている。基板Ｐの搬送方向上流端に位置する支持部１３ｂの頂部には、基板Ｐの投入装置から基板保持部材対１２０Ａに向かって投入される基板Ｐの縦方向の先端を検出するための基板先端検出センサＳ２が配設されている。基板Ｐの搬送方向下流端に位置する支持部１３ｃの頂部には、基板Ｐの投入装置から基板保持部材対１２０Ａに投入された基板Ｐの縦方向の先端を検出するための基板先端検出センサＳ３が配設されている。光学式反射型センサでよい、基板幅検出センサＳ１の各々は、後述するとおりにして受取位置Ｘ１において基板保持部材対１２０Ａに水平な姿勢で投入される基板Ｐの移動面の両端に下方から近接した位置に移動させられ、また基板先端検出センサＳ２及びＳ３の各々は、基板Ｐの移動面に下方から近接した位置に配置されている。
【００２２】
再び主として図４〜図７を参照して、チェーン１１８の各々の、相互に対向する内側であって、相互に整合された周方向位置には（正確には、ピンを介して相互に連結されて、チェーン１１８の各々を構成するリンク部材対のうち、チェーン１１８の各々間で、相互に整合された周方向位置で相互に対向する内側のリンク部材には）、それぞれ支持板１１９が相互に対向するよう一体に配設されている。相互に対向する支持板１１９は支持板対を構成し、支持板対を構成する支持板１１９の各々は実質的に鉛直面上に位置付けられる。支持板対はまた、少なくとも１対配設されるが、実施形態においては、チェーン１１８の各々に、周方向に間隔をおいて複数対配設されている。支持板対を構成する支持板１１９の各々には、基板保持部材１２０が相互に対向するよう配設されている。相互に対向する基板保持部材１２０は、基板保持部材対１２０Ａを構成する。なお、上記説明から明らかなように、基板搬送手段１００は、基板Ｐの搬送方向の一方側（上流側又は下流側）において相互に基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて配設された一対の駆動輪（実施形態においては一対の駆動スプロケット１１４）と、基板Ｐの搬送方向の他方側（下流側又は上流側）において相互に基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて配設された一対の被駆動輪（実施形態においては一対の被駆動スプロケット１１６）と、一対の駆動輪及び一対の被駆動輪の各々間にそれぞれ巻き掛けられた無端部材（実施形態においてチェーン１１８）とを備え、無端部材の各々は、対応する駆動輪又は被駆動輪（実施形態においては駆動輪）に巻き掛けられた、基板Ｐの搬送方向の一方側端（実施形態においては上流側端）に位置する一方側半円移動領域（実施形態においては上流側半円移動領域）と、対応する被駆動輪又は駆動輪（実施形態においては被駆動輪）に巻き掛けられた、基板Ｐの搬送方向の他方側端（実施形態においては下流側端）に位置する他方側半円移動領域（実施形態においては下流側半円移動領域）と、一方側半円移動領域及び他方側半円移動領域の上端間を水平に基板Ｐの搬送方向に延在する上水平移動領域と、一方側半円移動領域及び他方側半円移動領域の下端間を水平に基板Ｐの搬送方向に延在する下水平移動領域とを備えており、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々は、対応する無端部材に、基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて相互に対向するよう配設されている。したがって、基板保持部材対１２０Ａは、一方側半円移動領域、上水平移動領域、他方側半円移動領域及び下水平移動領域をこの順序で無端状に（ループ状に）循環移動せしめられる。後の説明から明らかなように、この実施形態において、基板Ｐの受取位置Ｘ１は、一方側半円移動領域である上流側半円移動領域に設定され、剥離位置Ｘ２は、上水平移動領域に設定され、また搬出位置Ｘ３は他方側半円移動領域である下流側半円移動領域に設定されている。
【００２３】
支持板対を構成する支持板１１９の各々の相互に対向する内側面には、矩形状の板部材からなる支持部材１３０ａが装着されている。支持部材１３０ａの各々は、基板Ｐの搬送幅方向に相互に対向するよう配置される。相互に対向する支持部材１３０ａは支持部材対を構成し、支持部材対を構成する支持部材１３０ａの各々は実質的に鉛直面上に位置付けられる。支持部材対を構成する支持部材１３０ａの各々には、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々を所定の保持位置に位置付けて基板Ｐを保持する保持手段１３０が、該基板保持部材１２０の各々に対応してそれぞれ備えられている。保持手段１３０の各々は、ロッド部材１３２と、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０と、ばね部材である圧縮コイルばね１３６とを備えている。支持部材対を構成する支持部材１３０ａの各々には、ロッド部材１３２が基板Ｐの搬送幅方向に（軸方向に）移動可能にかつ回転不可能に支持されている。軸方向に移動可能にかつ回転不可能な支持手段は、適宜の公知の手段、例えば支持部材１３０ａに配設された軸受部の支持孔とロッド部材１３２とを多角形の横断面とすればよい。ロッド部材１３２の各々は、基板Ｐの搬送幅方向に実質的に水平に延在する共通の軸線上に配置され、対応する支持部材１３０ａから基板Ｐの搬送幅方向内外に延び出している。ロッド部材１３２の各々の、相互に対向する一端には、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０がそれぞれ一体に装着され、かつ他端にはロッド部材１３２よりも大径の被係止大径部１３４が一体に配設されている。基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々と、基板保持部材１２０の各々に対応する支持部材１３０ａとの間には、圧縮コイルばね１３６が配設されている。基板保持部材１２０の各々は、それぞれ圧縮コイルばね１３６によって、ロッド部材１３２と共に相互に接近する方向に付勢させられて所定の保持位置に位置付けられている。なお、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々を所定の保持位置に位置付けるため、ロッド部材１３２の各々に適宜のストッパ手段、例えば大径部を形成し、大径部をを圧縮コイルばね１３６のばね力により対応する支持部材１３０ａないしはそれと一体の部材に当接させて、基板Ｐの搬送幅方向内側への移動を規制しておくことが好ましい。
【００２４】
基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々は、相互に間隔をおいて平行に延在する一対の側壁１２２と、側壁１２２の各々の一端間を連結する底壁１２４と、長手方向の一端を閉塞する端壁１２６とからなる、ほぼチャンネル形の横断面形状を有すると共に、チャンネル形の開放端が基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて対向せしめられている。後述するとおりにして基板保持部材対１２０Ａに基板Ｐを受け入れて保持するに際し、基板Ｐの受け入れを円滑にせしめるため、基板保持部材１２０の各々の一対の側壁１２２の各々の先端部を、先端に向かって相互に離隔する方向に広がるようなフレア形状ないしはテーパ付きの形状にしておくことが好ましい。また同じ理由から、基板保持部材１２０の各々の端壁１２６の先端部（底壁１２４と反対側の先端部）も、先端に向かって、対応する基板保持部材１２０の他端（端壁１２６が形成されていない開放された他端）に対し反対方向に広がるような形状ないしはテーパ付きの形状にしておくことが好ましい。このような構成は、後述するとおりにして保持解除位置に移動させられた、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々を、保持解除位置から相互に接近する方向に移動させて基板Ｐの搬送幅方向における両端部に嵌合させ、保持位置に位置付ける際の嵌合作動を円滑にする。
【００２５】
可動側枠１１０の各々において、上記剥離位置Ｘ２に対応する位置には、支持フレーム１１０ａがそれぞれ基板Ｐの搬送幅方向外方に実質的に水平に延び出すよう配設されている。支持フレーム１１０ａの各々上には、剥離位置Ｘ２に位置付けられた保持手段１３０の各々の、対応するロッド部材１３２を基板Ｐの搬送幅方向外方に移動させて、対応する基板保持部材１２０を所定の保持位置から圧縮コイルばね１３６のばね力に抗して保持解除位置に移動させて一時的に基板Ｐの保持を解除し、かつ対応するロッド部材１３２を保持解除位置から基板Ｐの搬送幅方向内方に移動させて圧縮コイルばね１３６のばね力と協働して、対応する基板保持部材１２０を所定の保持位置へ復帰させる保持解除手段１４０が、該基板保持部材１２０の各々に対応してそれぞれ備えられている。保持解除手段１４０の各々は、アクチュエータ、実施形態においては、シリンダ１４１、シリンダ１４１内に配設されたピストン１４２及びピストン１４２に連結されたピストンロッド１４３を備えた流体圧シリンダ機構であるエアシリンダ機構１４０Ａと、ピストンロッド１４３の先端に連結されて基板Ｐの搬送幅方向に往復移動させられる係止部材１４４とを備えている。なお、アクチュエータとしては、電動モータ機構を利用する他の実施形態もある。
【００２６】
係止部材１４４の各々は、上下方向に間隔をおいて基板Ｐの搬送方向に平行に延在する一対の側壁１４４ａと、側壁１４４ａの各々の一端間を連結する底壁１４４ｂと、側壁１４４ａの各々の他端から相互に接近する方向に延び出しかつ相互に上下方向に間隔をおいて対向する係止突部１４４ｃとを備えており、底壁１４４ｂが、対応するピストンロッド１４３の先端に一体に連結されている。係止部材１４４の各々はほぼチャンネル形状をなしている。係止部材１４４の各々は、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０が装着された、対応するロッド部材１３２における、被係止大径部１３４を含む他端部の、基板Ｐの搬送方向の移動軌跡上に位置付けられて該他端部の、基板Ｐの搬送方向への移動を許容する。該移動を許容するためかつ対応するロッド部材１３２の被係止大径部１３４を係止して基板Ｐの搬送幅方向外方へ移動させるため、係止部材１４４の各々の係止突部１４４ｃ間の間隔は、基板保持部材１２０が装着された、対応するロッド部材１３２の直径よりも大きくかつロッド部材１３２の被係止大径部１３４の直径よりも小さく規定されている。基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々が剥離位置Ｘ２に位置付けられた状態で、ロッド部材１３２の各々の被係止大径部１３４を含む他端部は、対応する係止部材１４４の内側に位置付けられる。そしてエアシリンダ機構１４０Ａの各々によって、係止部材１４４の各々を基板Ｐの搬送幅方向であって相互に離隔する方向に移動させると、係止部材１４４の各々の係止突部１４４ｃが、対応するロッド部材１３２の被係止大径部１３４を係止して基板Ｐの搬送幅方向外方へ移動させるので、基板保持部材対１０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々は、対応する被係止大径部１３４及びロッド部材１３２を介して圧縮コイルばね１３６のばね力に抗して相互に離隔する方向に保持解除位置まで移動させられ、基板Ｐの保持が解除される。またエアシリンダ機構１４０Ａの各々によって、ピストンロッド１４３及び係止部材１４４を介して、対応するロッド部材１３２を保持解除位置から基板Ｐの搬送幅方向内方に移動させると、圧縮コイルばね１３６のばね力と協働して、対応する基板保持部材１２０を所定の保持位置へ復帰させることができる。なお、上記可動側枠１１０の各々は、ロッド部材１１２及び電動モータＭ２を含む往復移動手段によって、基板Ｐの搬送幅方向における所定の待機位置に位置付けられている。
【００２７】
次に、基板保持部材対１２０Ａによって離脱自在に保持されて搬送される基板Ｐの実施形態について説明する。図９及び図１０を参照して、基板Ｐは、片面及び他面の両面にフィルムが貼着されかつビルドアップ工法により製造されたプリント配線基板から構成されている。更に具体的に説明すると、基板Ｐは、プリント配線基板の本体Ｐ１と、本体Ｐ１の片面又は両面、実施形態においては両面に貼着された絶縁樹脂Ｐ２と、絶縁樹脂Ｐ２の各々の表面に貼着されたフィルムＦとから構成されている。図１０に示されているように、平面形状が矩形をなす、プリント配線基板の本体Ｐ１は、縦方向長さ（図１０において上下方向長さ）が幅方向長さ（図１０において左右方向長さ）よりも短い。絶縁樹脂Ｐ２の各々は、例えばエポキシ樹脂から構成されている。フィルムＦは例えばＰＥＴから構成されている。絶縁樹脂Ｐ２の各々は、平面形状が相互に実質的に同じである矩形をなしかつ、縦方向長さは本体Ｐ１の縦方向長さよりも短く、また幅方向長さは本体Ｐ１の幅方向長さよりも短い。フィルムＦの各々は、平面形状が相互に実質的に同じである矩形をなしかつ、縦方向長さは本体Ｐ１の縦方向長さよりも短いが絶縁樹脂Ｐ２の各々の縦方向長さよりも長く、また幅方向長さは絶縁樹脂Ｐ２の各々の幅方向長さと実質的に同じである。
【００２８】
基板Ｐの本体Ｐ１の縦方向の一端部（図１０において上端部）において、絶縁樹脂Ｐ２の各々の一端（図１０において上端）Ｐ２ａは、基板Ｐ、更に具体的には本体Ｐ１の一端（図１０において上端）Ｐ１ａから所定の距離だけ他端方向（図１０において下端方向）に後退した位置に配置されている。また、フィルムＦの各々の一端部は、対応する絶縁樹脂Ｐ２の一端Ｐ２ａから基板Ｐの本体Ｐ１の一端Ｐ１ａ方向に基板Ｐの本体Ｐ１の表面に隙間Ｃをおいて張り出すよう構成されているが、フィルムＦの各々の一端Ｆａは、基板Ｐの本体Ｐ１の一端Ｐ１ａよりも他端方向に後退した位置にある。このようなフィルムＦの各々の張出部は剥離しろを構成する。上記基板Ｐにおいて、フィルムＦ及び絶縁樹脂Ｐ２の各々は、本体Ｐ１の片面又は両面に対して、実施形態においては両面に対して、幅方向の両端部Ｐ１ｂ及び縦方向の少なくとも一端部Ｐ１ｃを残した状態で貼着されている（図１０に示す実施形態においては、縦方向他端部Ｐ  ｄをも残した状態で貼着されている）。上記説明から明らかなように、本体Ｐ１を平面から見て、フィルムＦの幅方向両端と本体Ｐ１の幅方向端との間には、したがって本体Ｐ１の幅方向両端部Ｐ１ｂの両面には、フィルムＦ及び絶縁樹脂Ｐ２の各々が貼着されていない露呈面が、それぞれ実質的に同じ一定の幅で縦方向に延在し、また、フィルムＦの縦方向両端と本体Ｐ１の縦方向両端との間には、したがって本体Ｐ１の縦方向両端部Ｐ１ｃ及びＰ１ｄの両面には、フィルムＦ及び絶縁樹脂Ｐ２の各々が貼着されていない露呈面が、それぞれ実質的に同じ一定の幅で幅方向に延在する。なお、図１０において符号Ｐ１ｆは、本体Ｐ１の他端を示している。なお、図１〜図８及び図１１〜図２６に示されている本発明の実施形態において、図９及び図１０に示されている基板Ｐの縦方向の一端部Ｐ１ｃ及びフィルムＦの各々の縦方向の一端Ｆａを含む一端部は、基板Ｐが鉛直な姿勢に位置付けられたときに、それぞれ鉛直上方に位置させられ、また、基板Ｐの幅方向両端部Ｐ１ｂは、基板Ｐの搬送幅方向における両端部を規定する。図９及び図１０に示されている基板Ｐは、本発明によるいずれのフィルム剥離搬送装置においても、剥離位置又は端部剥離位置において鉛直な姿勢にせしめられた状態で、縦方向の一端部Ｐ１ｃが上方に位置するよう搬送されることが重要である。
【００２９】
次に、図１、図３及び図８〜図１０を参照して、剥離位置Ｘ２に配設された剥離手段２００の実施形態ついて説明する。可動側枠１１０の各々に配設された上記支持フレーム１１０ａには支持枠体１９が配設され、支持枠体１９の各々には、それぞれ剥離手段２００の一部を構成するクランプ手段２５０が配設されている。基板Ｐの一端部側における幅方向両端部Ｐ１ｂを解除自在にクランプするクランプ手段２５０の各々は、それぞれハウジング２５２を備えている。ハウジング２５２には、それぞれ一対のクランプ板部材２５４が閉位置と開位置との間を旋回自在に支持されている。クランプ板部材２５４の各対は、基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて位置付けられている。ハウジング２５２の各々内には、対応するクランプ板部材２５４の各々を、閉位置と開位置との間を旋回させる駆動手段、例えば図示しないエアシリンダ機構が配設されている。エアシリンダ機構の各々と、対応するクランプ板部材２５４の各々とは、図示しない適宜のリンク機構により連結されている。クランプ板部材２５４の各対が閉位置に位置付けられると、クランプ板部材２５４の各対を構成するクランプ板部材２５４の各々の片面同士が、基板Ｐの本体Ｐ１の一端部側における幅方向両端部Ｐ１ｂの搬送方向における移動軌跡上において、基板Ｐの搬送幅方向に延在する共通の鉛直面において相互に圧接され、開位置に位置付けられると、クランプ板部材２５４の各対を構成するクランプ板部材２５４の各々の該片面は、基板Ｐの幅方向両端の搬送方向における移動軌跡から基板Ｐの搬送幅方向外方に退避した位置において、それぞれ基板Ｐの搬送方向に延在する鉛直面に沿うように位置付けられる。なお、クランプ手段２５０の各々は、エアチャッキング機構、電動モータを駆動源とするクランプ機構などの他の実施形態もある。
【００３０】
天井枠体１８の下面には、横断面がチャンネル形状をなす支持枠２０が配設され、支持枠２０には他の支持枠２２が配設されている。他の支持枠２２には、昇降手段である流体圧シリンダ機構、実施形態においてはエアシリンダ機構２２０が配設されている。エアシリンダ機構２２０の軸線は鉛直方向に延在し、エアシリンダ機構２２０のピストンロッド２２０ａの下端には、基板Ｐの、少なくとも一端Ｐ１ａに向けて上方から圧力気体を噴射する圧力気体噴射手段、実施形態においては圧力エアを噴射する圧力エア噴射手段２６０が配設されている。エアシリンダ機構２２０及び圧力エア噴射手段２６０は、クランプ手段２５０と共に剥離手段２００を構成する。圧力エア噴射手段２６０は、枠体２６２と、枠体２６２に支持された、少なくとも１本の圧力気体供給パイプ、実施形態においては３本の圧力エア供給パイプ２６４、２６６及び２６８が配設されている。それぞれ横断面が円形の中空パイプからなる圧力エア供給パイプ２６４、２６６及び２６８は、基板Ｐの搬送方向に間隔をおいて基板Ｐの搬送幅方向に実質的に水平に延在するよう配置されている。圧力エア供給パイプ２６４、２６６及び２６８の下面には、軸方向に間隔をおいて複数の溝が形成され、該溝の各々には、それぞれ圧力気体噴射孔である圧力エア噴射孔２６４ａ、２６６ａ及び２６８ａが形成されている。圧力エア供給パイプ２６４、２６６及び２６８は、図示しない共通の圧力エア供給パイプを介して図示しない圧力エア供給源であるエアポンプに接続されている。図示しない共通の圧力エア供給パイプには図示しない電磁開閉弁が配設され、該電磁開閉弁を作動制御することにより、圧力エア供給パイプ２６４、２６６及び２６８の圧力エア噴射孔２６４ａ、２６６ａ及び２６８ａから圧力エアが噴射される。圧力エア供給パイプ２６４、２６６及び２６８を備えた枠体２６２は、エアシリンダ機構２２０によって鉛直方向の所定の待機位置に位置付けられている。
【００３１】
上記支持枠２０には、昇降手段である流体圧シリンダ機構、実施形態においてエアシリンダ機構２２２が配設され、鉛直軸線上に配置された、エアシリンダ機構２２２のピストンロッドの下端には、基板先端検出センサＳ４が配設されている。基板先端検出センサＳ４は、剥離位置Ｘ２に搬送されて位置付けられた基板Ｐの鉛直上端Ｐ１ａを検出するためのセンサであり、エアシリンダ機構２２２によって鉛直方向の所定の待機位置に位置付けられている。
【００３２】
上記のように構成されたフィルム搬送剥離装置は図示しないコントローラを備え、該コントローラによってその作動が制御される。コントローラは、マイクロコンピュータによって構成されており、制御プログラムに従って演算処理する中央処理装置（ＣＰＵ）、制御プログラムを格納するＲＯＭ、演算結果等を格納する読み書き可能なＲＡＭ、タイマ、カウンタ、入力インターフェース及び出力インターフェースなどを備えている。このように構成されたコントローラの入力インターフェースには、上記センサＳ１〜Ｓ４、その他の検出器などからの検出信号が入力され、出力インターフェースから電動モータＭ１、Ｍ２、エアシリンダ機構１４０Ａ、２２０及び２２２、圧力エア噴射手段２６０の図示しない電磁開閉弁などに制御信号を出力する。
【００３３】
次に上記フィルム搬送剥離装置の作動について説明する。主として図１〜図３、図９及び図１０を参照して、基板搬送手段１００における可動側枠１１０の各々は所定の待機位置に位置付けられている。チェーン１１８の各々の、基板Ｐの搬送方向上流端に位置する上流側半円移動領域の上下方向の中央位置に設定された受取位置Ｘ１には、基板保持部材対１２０Ａが実質的に水平な姿勢で位置付けられている。基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の端壁１２６（図７参照）は基板搬送方向下流側に位置付けられる。基板Ｐは、図示しない基板Ｐの投入装置により、その他端Ｐ１ｆ（図１０参照）を下流方向に向けて基板保持部材対１２０Ａに向かって水平に移動させられる。基板先端検出センサＳ２が基板Ｐの他端Ｐ１ｆを検出すると、投入装置による基板Ｐの投入動作が一旦停止させられ、基板Ｐは、基板保持部材対１２０Ａの直前でその移動が一旦停止される。
【００３４】
次いで、電動モータＭ２が回転駆動させられ、可動側枠１１０の各々は所定の待機位置から相互に接近する方向に移動させられる。可動側枠１１０の各々に支持された、駆動スプロケット１１４の各々、被駆動スプロケット１１６の各々、チェーン１１８の各々、基板保持手段１３０の各々に含まれる、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々、エアシリンダ機構１４０Ａの各々及びクランプ手段２５０の各々も、可動側枠１１０の各々と共に相互に接近する方向に移動させられる。基板Ｐの幅よりも広い待機位置に位置付けられていた基板幅検出センサＳ１の各々もまた、可動側枠１１０の各々と共に相互に接近する方向に移動させられる。基板幅検出センサＳ１の各々が、基板Ｐの幅方向両端を検出すると、電動モータＭ２の回転駆動が停止させられる。可動側枠１１０の各々と共に相互に接近する方向に移動させられた基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々は、基板Ｐに対応した所定の保持位置（基板保持部材１２０の各々の底壁１２４（図７参照）が基板Ｐの幅方向両端よりも若干広く位置付けられる所定の保持位置）に停止させられる。
【００３５】
再び投入装置による基板Ｐの投入動作が開始され、基板Ｐは更に前進させられて、基板Ｐの幅方向両端部Ｐ１ｂが、それぞれ基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々内に進入させられる。基板先端検出センサＳ３が基板Ｐの他端Ｐ１ｆを検出すると、投入装置による基板Ｐの投入動作が停止させられ、基板Ｐは、その他端Ｐ１ｆが、少なくとも基板保持部材１２０の各々の端壁１２６（図７参照）に当接する手前の位置で停止させられる。基板Ｐは、その幅方向両端部Ｐ１ｂの表裏が、対応する基板保持部材１２０の側壁１２２に離脱自在に挟まれる形態で、基板保持部材対１２０Ａによって水平な姿勢で受け取られて保持される。基板Ｐの一端部Ｐ１ｃ及び一端部Ｐ１ｃ側における幅方向両端部Ｐ１ｂを含む一端部領域は、基板保持部材対１２０Ａの長手方向の一端から突出せしめられる。
【００３６】
次いで、電動モータＭ１が回転駆動させられる。駆動スプロケット１１４の各々、チェーン１１８の各々及び被駆動スプロケット１１６の各々が図１において反時計方向に回転駆動させられる。基板保持部材対１２０Ａは、チェーン１１８の各々によって上流側半円移動領域から上水平移動領域に移動させられる。基板保持部材対１２０Ａが上水平移動領域に移動させられると、基板保持部材対１２０Ａは、水平な姿勢から鉛直な姿勢にせしめられる。すなわち、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々は、端壁１２６が下端に位置するように鉛直に位置付けられる。その結果、基板Ｐも水平な姿勢から鉛直な姿勢にせしめられる。基板Ｐは基板保持部材対１２０Ａ内を自重により若干落下せしめられ、その幅方向両端部Ｐ１ｂ及び幅方向両端部Ｐ１ｂにおける下端Ｐ１ｆが基板保持部材対１２０Ａによって保持される。また、基板保持部材対１２０Ａの長手方向一端から突出せしめられた基板Ｐの上記一端部領域は、鉛直上方に位置付けられる。このような姿勢で基板Ｐが基板保持部材対１２０Ａに保持されたまま、上水平移動領域のほぼ中央に設置された剥離位置Ｘ２まで搬送されると、電動モータＭの回転駆動が停止させられる。電動モータＭの回転駆動の停止は、例えば、剥離位置Ｘ２に配設された図示しない基板端検出センサからの検出信号に基づいて行なうことができる。あるいはまた、駆動軸１０６に配設された図示しないロータリエンコーダからの検出信号に基づいて行なうことができる。
【００３７】
上記したとおりにして基板Ｐが剥離位置Ｘ２まで搬送されて位置付けられると、図４に示されているように、保持手段１３０の各々の被係止大径部１３４が、それぞれ対応する保持解除手段１４０の係止部材１４４内に干渉することなく進入させられて位置付けられる。エアシリンダ機構２２２が作動させられて、基板先端検出センサＳ４が所定の待機位置から下降させられ、基板Ｐの鉛直上端Ｐ１ａの高さ位置が検出される。基板先端検出センサＳ４が該高さ位置を検出すると、エアシリンダ機構２２２によって所定の待機位置まで上昇させられる。基板先端検出センサＳ４の検出信号に基づいて、クランプ手段２５０の各々のクランプ板部材２５４がそれぞれ閉位置に旋回させられて位置付けられ、基板保持部材対１２０Ａに保持された基板Ｐの基板保持部材対１２０Ａの長手方向一端から突出せしめられた基板Ｐの両端部Ｐ１ｂをそれぞれクランプする（図８参照）。基板Ｐの両端部Ｐ１ｂがクランプ手段２５０の各々によってしっかりとクランプされた後、エアシリンダ機構１４０Ａが作動させられ、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々が保持位置から保持解除位置まで移動させられ、フィルムＦの剥離に支障がないように基板Ｐの幅方向両端から離される。基板Ｐは、クランプ手段２５０の各々によってのみ鉛直な姿勢で保持される。
【００３８】
次に、エアシリンダ機構２２０が作動され、圧力エア噴射手段２６０、すなわち枠体２６２及び枠体２６２に支持された３本の圧力エア供給パイプ２６４、２６６及び２６８が、所定の待機位置（図８において２点鎖線で示される位置参照）から圧力エア噴射位置（図８において実線で示される位置参照）まで下降させられる。圧力エア噴射位置は、基板先端検出センサＳ４の検出信号に基づいて規定される。中央の圧力エア噴射パイプ２６６は基板Ｐの一端Ｐ１ａの上方に接近して（例えば、０．９ｍｍ〜２．０ｍｍの隙間をおいて）一端Ｐ１ａに沿って延在するよう位置付けられると共に圧力エア噴射孔２６６ａの各々から基板Ｐの一端Ｐ１ａに向けて高圧エア（例えば、０．７〜０．９Ｍｐ）が噴射される。圧力エアの噴射は図示しない電磁開閉弁を開くことにより行なわれる。また、両側の２本の圧力エア供給パイプ２６４及び２６８の圧力エア噴射孔２６４ａ及び２６８ａの各々から基板Ｐの本体Ｐ１の一端部Ｐ１ｃの両面に向けて圧力エアが噴射される。なお、中央の圧力エア噴射パイプ２６６の圧力エア噴射孔２６６ａの軸線、すなわち噴射方向は、基板Ｐの本体Ｐ１の一端Ｐ１ａ（この場合は上端）に指向されているが、圧力エア供給パイプ２６４及び２６８の圧力エア噴射孔２６４ａ及び２６８ａの各々の軸線は、本体Ｐ１の一端部Ｐ１ｃの両面に指向されている。
【００３９】
更に詳細に説明すると、この高圧エアは、絶縁樹脂Ｐ２の各々の一端Ｐ２ａから基板Ｐの本体Ｐ１の一端Ｐ１ａ方向に張り出しているフィルムＦの各々の一端部と、本体Ｐ１の両面との間にそれぞれ形成されている隙間Ｃに向けて噴射される。この高圧エアのエアナイフ作用によって、フィルムＦの各々は、対応する絶縁樹脂Ｐ２の一端Ｐ２ａから後端に向かってしかも実質的に鉛直に上から下に向かって徐々にかつ迅速に剥離されてゆく。基板Ｐの一端部に形成されている上記フィルム剥離しろは、高圧エア噴射による最初の剥離作用の促進に寄与する。基板Ｐは、その上端部における両端部Ｐ１ｂがクランプ手段２５０の各々によって鉛直な姿勢でしっかりとクランプされているので、高圧エア噴射圧力の衝撃による基板Ｐの一端部Ｐ１ｃのぶれは少なく抑えられ、基板Ｐが損傷されることはない。また、噴射された高圧エアは、剥離されたフィルムＦの各々の剥離面と、対応する絶縁樹脂Ｐ２の被剥離面との隙間内を基板Ｐの両面に沿って実質的に鉛直に上から下に向かって指向されるので（ガイドされるので）、フィルムＦの各々の、対応する絶縁樹脂Ｐ２からの剥離作用を促進する。フィルムＦの各々は、基板Ｐの両面に貼着されている絶縁樹脂Ｐ２に比較的強力な密着強度をもって貼着されているにもかかわらず、絶縁樹脂Ｐ２を実質的に傷めることなく、一瞬にして絶縁樹脂Ｐ２から完全に剥離される。剥離されたフィルムＦの各々は、圧力エアにより下方に吹き飛ばされ、収容箱２内に落下せしめられる。このように、基板Ｐはクランプ手段２５０の各々によって鉛直な姿勢でクランプされていることに起因して、剥離されたフィルムＦを搬送する機構を別に設けることなく、収容箱２に収容することが可能となり、構成の簡略化が可能となる。
【００４０】
フィルムＦの各々が剥ぎ取られた後、すなわち圧力エアが噴射されてから所定時間経過後、圧力エアの噴射が停止される。圧力エアの噴射停止は、上記電磁開閉弁を閉じることにより行なわれる。なお、圧力エア噴射手段２６０の圧力エア供給パイプを、１本の圧力エア供給パイプ２６６のみで構成する他の実施形態も成立する。したがって、圧力エアの噴射時においては、圧力エア噴射手段２６０によって、基板Ｐの少なくとも一端Ｐ１ａに向けて上方から圧力気体を噴射することが重要である。これにより上記した如き剥離効果の達成は可能である。
【００４１】
圧力エア噴射手段２６０による圧力エアの噴射が停止された後、圧力エア噴射手段２６０がエアシリンダ機構２２０によって圧力エア噴射位置から所定の待機位置まで上昇させられる。エアシリンダ機構１４０Ａが作動させられ、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々が保持解除位置から保持位置まで移動させられ、再び基板Ｐを保持する。このとき基板Ｐが多少曲がっていても、先に述べたように、基板保持部材１２０の各々の側壁１２２の各々をフレア形状ないしはテーパ付きの形状とし、また端壁１２６の各々を下方（剥離位置に位置付けられた状態で下方）に広がる形状ないしはテーパ付きの形状とすることにより、基板保持部材１２０の各々は該基板Ｐを円滑に受け入れることが可能になる。基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々が保持位置に戻され、基板Ｐが保持された後、クランプ手段２５０の各々のクランプ板部材２５４がそれぞれ閉位置から開位置に旋回させられて基板Ｐの幅方向両端の搬送方向の移動軌跡上から退避させられ、基板Ｐのクランプが解除される。
【００４２】
基板Ｐのクランプが解除された後、電動モータＭ１が図１において反時計方向に回転駆動される。フィルムＦが剥離された基板Ｐを保持した基板保持部材対１２０Ａは、チェーン１１８の各々によって上水平移動領域から下流側半円移動領域に向かって移動させられる。保持手段１３０の各々のロッド部材１３２及び被係止大径部１３４は、保持解除手段１４０の係止部材１４４から抜け出す。基板保持部材対１２０Ａが下流側半円移動領域に移動させられて、下流側半円移動領域の中央位置に設定された搬出位置Ｘ３に達すると電動モータＭ１の回転駆動が停止される。上水平移動領域においては鉛直な姿勢で搬送される基板保持部材対１２０Ａは、下流側半円移動領域に設定された搬出位置Ｘ３に達すると水平な姿勢にせしめられる。すなわち、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々は、端壁１２６が基板搬送方向上流側に位置するように水平に位置付けられる。その結果、基板Ｐも鉛直な姿勢から水平な姿勢にせしめられる。基板Ｐは、図示しない受取装置（搬出装置）により基板保持部材対１２０Ａから次工程に向けて搬出させられる。基板Ｐが搬出された空の基板保持部材対１２０Ａは、下流側半円移動領域から下水平移動領域を経て、再び上流側半円移動領域に設定された受取位置Ｘ１まで移動させられる。以上の動作がコントローラの制御に従って繰り返されることにより、フィルム剥離搬送装置による基板Ｐの搬送及びフィルムＦの剥離作動が繰り返し遂行される。実施形態においては、基板保持部材対１２０Ａは、複数対配設されているので、基板保持部材対１２０Ａ毎に上記動作が行なわれるので、基板搬送手段１００の搬送動作は所定のタイミングで間欠的に行なわれる。
【００４３】
上記した如く、本発明によるフィルム剥離搬送装置は、フィルムＦが貼着された基板Ｐを、基板Ｐの搬送幅方向における両端部を離脱自在に保持した状態で、受取位置Ｘ１から剥離位置Ｘ２へ、そして剥離位置Ｘ２から搬出位置Ｘ３まで搬送する基板搬送手段１００と、剥離位置Ｘ２においてフィルムＦを基板Ｐから完全に剥離させる剥離手段２００とを備えている。基板Ｐは、受取位置Ｘ１において水平な姿勢で受け取られた後、剥離位置Ｘ２において鉛直な姿勢となるよう、受取位置Ｘ１から剥離位置Ｘ２まで搬送され、剥離位置Ｘ２において鉛直な姿勢で剥離手段２００によりフィルムＦが完全に剥離され、更に搬出位置Ｘ３において水平な姿勢となるよう搬出位置Ｘ３まで搬送される。なお、本発明において、鉛直な姿勢、水平な姿勢とは、それぞれ、幾何学的に完全な姿勢のみを意味するものではなく、わずかな角度のずれないし誤差があってもその範囲に含まれるものである。以上の構成により、基板Ｐは、絶縁樹脂Ｐ２が貼着された領域に外部から一切触れることなく搬送され、かつ剥離動作が遂行されるので、基板Ｐの品質は確実に保証される。したがって、厚さが非常に薄い基板Ｐであっても、基板Ｐの品質を損なうことなく安定した搬送を可能にする。また、フィルムＦの剥離は、鉛直な姿勢に保持された基板Ｐの本体Ｐ１の一端Ｐ１ａに向けて高圧エアを噴射することにより行なわれるので、基板Ｐの品質を損なうことなく、円滑かつ確実な剥離効果が達成される。すなわち、厚さが非常に薄い基板Ｐであっても、基板Ｐに貼着されている絶縁樹脂Ｐ２に比較的強力な密着強度をもって貼着されているフィルムＦを、絶縁樹脂Ｐ２を傷めることなく、絶縁樹脂Ｐ２から十分確実に剥離することを可能にするのである。特に、基板Ｐを鉛直な姿勢に保持した状態でフィルムＦを上方から下方に向かって剥離する動作は、基板Ｐを安定して保持することができると共に、基板ＰからのフィルムＦの剥離を、水平な姿勢で行なう場合に較べて、より安定してかつ効果的に遂行することを可能にし、実用上、きわめて有用である。
【００４４】
図１１には、剥離位置に配設されたクランプ手段の他の実施形態が示されている。先に述べたクランプ手段２５０の各々は、基板Ｐの一端部側における幅方向両端部Ｐ１ｂを解除自在にクランプするクランプ手段であるが、図１１に示されているクランプ手段２７０の各々は、基板Ｐの本体Ｐ１の一端部Ｐ１ｃの複数箇所、実施形態においては３箇所を解除自在にクランプするクランプ手段である。クランプ手段２７０の各々は、それぞれハウジング２７２を備えている。ハウジング２７２の各々は、先に述べた圧力エア噴射手段２６０の枠体２６２に、基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて配置されている。ハウジング２７２の各々には、それぞれ一対のチャック部材２７４を含むエアチャッキング機構が配設されている。クランプ手段２７０の各々において、チャック部材２７４の各対は、それぞれエアチャッキング機構によって、閉位置と開位置との間を移動可能である。なお、クランプ手段２７０の各々は、エアシリンダ機構、電動モータを駆動源とするクランプ機構などの他の実施形態もある。枠体２６２には圧力エア噴射手段２６０と基本的に同じ構成を有する圧力エア噴射手段が備えられている。この圧力エア噴射手段は、圧力エア供給パイプ２６４、２６６及び２６８を備えている。中央の圧力エア供給パイプ２６６は、基板Ｐの搬送幅方向の中央に位置するクランプ手段２７０及び該幅方向に位置するクランプ手段２７０との干渉を避けるため、中央に位置するクランプ手段２７０を、基板Ｐの搬送幅方向に挟んだ２本の圧力エア供給パイプ２６６Ａと２６６Ｂとに分割されて配置されている。両側の圧力エア供給パイプ２６４と２６８は、クランプ手段２７０の各々のチャック部材２７４の各対の、両側（基板Ｐの搬送方向両側）を基板Ｐの搬送幅方向に延在するよう配置されている。
【００４５】
圧力エア噴射手段は、先に述べたと同じ如く、エアシリンダ機構２２０によって、所定の待機位置と圧力エア噴射位置との間を昇降させられる。クランプ手段２７０の各々もそれと一体に所定の待機位置とクランプ位置との間を昇降させられる。クランプ位置に位置付けられたクランプ手段２７０の各々は、各々のチャック部材２７４の対によって、剥離位置Ｘ２に位置付けられた基板Ｐの一端部Ｐ１ｃにおける両端部と中央部の３箇所を解除自在にクランプすることができる。圧力エア噴射手段の作用は先に述べたのと実質的に同じであり、説明は省略する。クランプ位置に位置付けられた基板Ｐは、その一端部Ｐ１ｃにおける両端部と中央部の３箇所がクランプ手段２７０の各々によってクランプされてフィルムＦの剥離が行なわれるので、圧力エア噴射時における、基板Ｐの一端部Ｐ１ｃのぶれが一層少なく抑えられ、より安定した剥離作用が保証される。
【００４６】
図１２及び図１３には、本発明によるフィルム剥離搬送装置の他の実施形態が示されている。このフィルム剥離搬送装置は、基板Ｐを、基板Ｐの搬送幅方向における両端部を離脱自在に保持した状態で、受取位置Ｘ１から端部剥離位置Ｘ１Ａへ、端部剥離位置Ｘ１Ａから剥離位置Ｘ２へ、そして剥離位置Ｘ２から搬出位置Ｘ３まで搬送する基板搬送手段１００と、端部剥離位置Ｘ１Ａにおいてフィルムの、鉛直上方に位置する一端部を基板から部分的に剥離させる端部剥離手段３００と、剥離位置Ｘ２において一端部が剥離されたフィルムＦを基板Ｐから完全に剥離させる剥離手段４００とを備えている。基板搬送手段１００によって端部剥離位置Ｘ１Ａに搬送された基板Ｐは、鉛直な姿勢で端部剥離手段３００によりフィルムＦの、鉛直上方に位置する一端部が部分的に剥離させられ、基板搬送手段１００によって端部剥離位置Ｘ１Ａから剥離位置Ｘ２に搬送された基板Ｐは、鉛直な姿勢で剥離手段４００により、一端部が部分的に剥離させられたフィルムＦが完全に剥離される。基板搬送手段１００は、受取位置Ｘ１において基板Ｐを水平な姿勢で受け取り、端部剥離位置Ｘ１Ａにおいて基板Ｐが鉛直な姿勢となるよう、受取位置Ｘ１で受け取った基板Ｐを端部剥離位置Ｘ１Ａまで搬送し、端部剥離位置Ｘ１Ａにおいて鉛直な姿勢で端部剥離手段３００によりフィルムＦの、鉛直上方に位置する一端部が部分的に剥離された基板Ｐを鉛直な姿勢を維持しながら剥離位置Ｘ２まで搬送し、剥離位置Ｘ２において、該一端部が部分的に剥離されたフィルムＦが鉛直な姿勢で剥離手段４００により完全に剥離された基板Ｐを、搬出位置Ｘ３において水平な姿勢となるよう搬出位置Ｘ３まで搬送する。
【００４７】
このフィルム剥離搬送装置が先に説明したフィルム剥離搬送装置と相違する主要なところは、受取位置Ｘ１と剥離位置Ｘ２との間に端部剥離位置Ｘ１Ａが設定され、端部剥離位置Ｘ１Ａに端部剥離手段３００が配設されたこと、剥離手段４００の構成が剥離手段２００と異なること、剥離位置Ｘ２の下方にフィルム搬送手段５００が配設されていることなどであり、基板搬送手段１００は実質的に同じである。したがって同一部分は同一符号で示し、説明は省略する。また、このフィルム剥離搬送装置に適用される基板Ｐは、ビルドアップ工法により製造されたプリント配線基板から構成されているのではなく、それ以外の一般的なプリント配線基板、すなわちフォトレジスト層の表面にフィルムＦが貼着される形態の基板Ｐである。この基板Ｐは、例えば、図９及び図１０に示されている基板Ｐにおいて、絶縁樹脂Ｐ２の各々を、フォトレジスト層とみなし、フィルムＦの各々の一端Ｆａと、対応する絶縁樹脂Ｐ２の一端Ｐ２ａとが平面から見て重合された位置に存在する如き構成である。したがって、この基板Ｐにおいては、図９及び図１０に示されている基板Ｐにおける如き、フィルムＦの各々の張出部は形成されていない。
【００４８】
天井枠体１８には、昇降手段を介して支持枠３０２が配設されている。昇降手段は、天井枠体１８に配設された複数のガイド部材３０３に沿って鉛直方向に昇降自在に移動可能な複数の被ガイドロッド３０４と、天井枠体１８に配設されたハウジング３０６と、ハウジング３０６に回転可能にねじ係合されてハウジング３０６から鉛直下向に延び出すねじロッド部材３０８とを備えている。被ガイドロッド３０４の下端は支持枠３０２に連結され、ねじロッド部材３０８の下端は、支持枠３０２に相対回転自在に連結されている。ハウジング３０６内には、ねじロッド部材３０８を回転駆動させることにより昇降させる図示しない電動モータを含む駆動機構が配設されている。電動モータを正逆回転駆動すると、ねじロッド部材３０６が昇降させられて、支持枠３０２が昇降させられる。支持枠３０２に、端部剥離手段３００と剥離手段４００が支持されている。端部剥離手段３００は、上記昇降手段によって、所定の待機位置と端部剥離作動位置の間を昇降させられ、また、剥離手段４００は、端部剥離手段３００の所定の待機位置と一致する第１の待機位置と、端部剥離手段３００の端部剥離作動位置と一致する第２の待機位置との間を昇降させられる。
【００４９】
端部剥離手段３００は、基板Ｐの上記縦方向における一端部近傍の領域であって、フィルムＦの一端部よりも基板Ｐの他端方向に後退した基板Ｐの該一端部近傍の領域の両面を解除自在にクランプするクランプ手段３１０と、支持体３２０に配設されかつ基板Ｐの搬送方向に対向して基板Ｐの搬送幅方向に直列に配設された複数の圧接ローラ対３２２と、支持体３２０に作用して圧接ローラ対３２２の各々を基板Ｐの搬送幅方向に往復移動させる駆動手段であるエアシリンダ機構３３０とを含んでいる。
【００５０】
図１２〜図１４を参照して、クランプ手段３１０は、支持枠３０２に図示しない支持フランジ手段を介して回転自在に支持された一対のクランプ部材３１２と、クランプ部材３１２の各々をクランプ位置（図１３及び図１４において実線で示される位置）と、クランプ解除位置（図１４において２点鎖線で示される位置）とに選択的に旋回させる駆動手段である、一対のエアシリンダ機構３１４とを備えている。クランプ部材３１２の各々は、クランプ部材３１２の各々がクランプ位置に位置付けられた状態で、基板Ｐの搬送幅方向に延在するクランプ部３１２ａと、クランプ部３１２ａの両端から相互に平行に基板Ｐの搬送方向であって相互に離隔する方向に延び、更に各々の先端から上方にほぼ直角に延びる一対のアーム部３１２ｂとからなり、一対のアーム部３１２ｂの上端は、図示しない支持フランジ手段に回転自在に支持されている。クランプ部材３１２の各々の旋回軸線は相互に基板Ｐの搬送方向に間隔をおいて平行に基板Ｐの搬送幅方向に延在する。エアシリンダ機構３１４の各々は、図示しない支持部材を介して支持枠３０２に支持され、各々のピストンロッドは、対応するクランプ部材３１２のアーム部３１２ｂに連結されている。基板Ｐが端部剥離位置Ｘ１Ａに位置付けられた状態で、クランプ部材３１２の各々が、対応するエアシリンダ機構３１４によってクランプ位置に位置付けられると、クランプ部材３１２の各々のクランプ部３１２ａは、基板Ｐの上記一端部近傍の領域の両面を基板Ｐの搬送方向両側から挟んで（フィルムＦの各々の両面外側から挟んで）クランプし、また、クランプ解除位置に位置付けられると、基板Ｐの一端（上端）Ｐ１ａ（図１０参照）の搬送方向の移動軌跡上から上方に退避させられて該クランプを解除する。
【００５１】
上記支持枠３０２には、昇降手段である流体圧シリンダ機構、実施形態においてエアシリンダ機構３１６が図示しない支持ブラケットを介して支持されている。鉛直軸線上に配置された、エアシリンダ機構３１６のピストンロッドの下端には、基板先端検出センサＳ５が配設されている。基板先端検出センサＳ５は、端部剥離位置Ｘ１Ａに搬送されて位置付けられた基板Ｐの鉛直上端Ｐ１ａ（図１０参照）を検出するためのセンサであり、エアシリンダ機構３１６によって鉛直方向の所定の待機位置に位置付けられている。
【００５２】
エアシリンダ機構３３０は、実施形態においてはロッドレスエアシリンダ機構３３０から構成され、基板Ｐの搬送幅方向に延在するよう支持枠３０２の下面側に配設されている。ロッドレスエアシリンダ機構３３０の移動体３３２には支持体３２０が装着されている。複数の圧接ローラ対３２２が配設された支持体３２０は、基板Ｐの搬送方向の移動軌跡上から基板Ｐの搬送幅方向外方に退避した位置に待機させられている。
【００５３】
基板搬送手段１００によって、基板Ｐが鉛直な姿勢で端部剥離位置Ｘ１Ａに搬送され、停止させられると、エアシリンダ機構３１６が作動させられて、基板先端検出センサＳ５が所定の待機位置から下降させられ、基板Ｐの鉛直上端Ｐ１ａ（図１０参照）の高さ位置が検出される。基板先端検出センサＳ５が該高さ位置を検出すると、エアシリンダ機構３１６によって所定の待機位置まで上昇させられる。基板先端検出センサＳ５の検出信号に基づいて、端部剥離手段３００が、昇降手段によって、所定の待機位置から端部剥離作動位置まで下降させられる。次いで、クランプ部材３１２の各々が、対応するエアシリンダ機構３１４によってクランプ位置に位置付けられて、基板保持部材対１２０Ａに保持された基板Ｐの、上記一端部近傍の領域の両面を、基板Ｐの搬送方向両側から挟んでクランプする。次いでロッドレスエアシリンダ機構３３０の作動により、移動体３３２及び支持体３２０を介して複数の圧接ローラ対３２２が待機位置から、フィルムＦの一端部の両面に沿って基板Ｐの搬送幅方向に往復移動させられる。その結果、フィルムＦの一端部は、基板Ｐの両面から部分的に剥離させられる。複数の圧接ローラ対３２２が待機位置に復帰してフィルムＦの端部剥離動作が終了すると、クランプ部材３１２の各々が、対応するエアシリンダ機構３１４によってクランプ解除位置に戻される。フィルムＦの一端部が部分的に剥離された基板Ｐは、基板搬送手段１００によって、鉛直な姿勢に維持されて剥離位置Ｘ２に搬送される。
【００５４】
上記端部剥離手段３００において、圧接ローラ対３２２の各々を構成する圧接ローラは、支持軸に回転自在に支持された外輪を含み、圧接ローラの各々の該外輪の外周面には、粘着性を有するエラストマーが、全周にわたって、又は周方向に間隔をおいて複数個配設されている（いずれも図示せず）。フィルムＦの一端部は、圧接ローラの各々の外周面に配設されたエラストマーの粘着力によって剥ぎ取られれるので、圧接ローラの各々の外周面を従来装置におけるよりも小さな圧力をもって基板Ｐの表面に作用させるにもかかわらず、従来装置よりも優れた剥離効果が得られる。したがって基板Ｐの表面を傷める可能性がすくなくなる。もちろん、圧接ローラの各々の外輪を金属のみにより構成してもよい。この場合、外輪の周表面にローレット加工を施しておくことが、フィルムＦの剥離効果を向上させる上で好ましい。
【００５５】
次に剥離手段４００について説明する。図１２及び図１５を参照して、剥離手段４００は、支持枠３０２の下側に図示しない鉛直ガイド手段を介して上下動自在に支持された支持枠４０４と、支持枠３０２に配設されて支持枠４０４を鉛直方向に昇降させる昇降手段を備えている。昇降手段はエアシリンダ機構４０２により構成され、エアシリンダ機構４０２のピストンロッドの下端に支持枠４０４が連結されている。支持枠４０４における、基板Ｐの搬送幅方向中央には、基板Ｐの搬送方向に間隔をおいて一対のエアシリンダ機構４０６が鉛直方向に延在するよう配設されている。エアシリンダ機構４０６の各々のピストンロッド４０６ａの下端には、それぞれ駆動体であるエアシリンダ機構４０８が配設されている。したがって、エアシリンダ機構４０６の各々は、それぞれ駆動体であるエアシリンダ機構４０８を鉛直方向に昇降させる昇降手段を構成する。エアシリンダ機構４０８の各々は、基板Ｐの搬送幅方向の中心を通り基板Ｐの搬送方向に水平に延在する共通の軸線上に位置付けられている。エアシリンダ機構４０８の各々から相互に対向する方向に延び出すピストンロッド４０８ａの先端には、それぞれフィルムガイドクランプ部材４１０が支持されている。一対のフィルムガイドクランプ部材４１０は、基板Ｐの搬送方向に間隔をおいて対向しかつ基板Ｐの搬送幅方向に所定の長さ延在する。基板Ｐが剥離位置Ｘ２に位置付けられた状態で、エアシリンダ機構４０８の各々は、それぞれ、フィルムガイドクランプ部材４１０の各々の相互に対向する鉛直面を、フィルムＦの一端部を除く基板Ｐの一端部近傍の領域の両面であって、基板Ｐの幅方向中央領域を所定の幅方向（基板Ｐの幅方向）範囲をもってクランプするクランプ位置と、該一端部近傍の領域から基板Ｐの搬送方向上流及び下流に向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ解除位置との間を選択的に移動させる。
【００５６】
フィルムガイドクランプ部材４１０の各々には、フィルムクランプ手段がそれぞれ配設されている。フィルムクランプ手段の各々は、対応するフィルムガイドクランプ部材４１０に回転自在に支持されたフィルムクランプ部材４１２と、フィルムクランプ部材４１２に作用して、フィルムクランプ部材４１２を、フィルムガイドクランプ部材４１０の上面に圧接されるクランプ位置と、フィルムガイドクランプ部材４１０の上面から退避するクランプ解除位置との間を選択的に移動させる（回転させる）図示しない駆動手段を備えている。駆動手段は、例えばエアシリンダ機構、電動モータなどから構成される。支持枠４０４にはまた、基板Ｐの一端部Ｐ１ｃ（図１０参照）の幅方向の複数箇所、実施形態においては２箇所を解除自在にクランプする基板クランプ手段と、基板Ｐの、少なくとも一端Ｐ１ａ（図１０参照）に向けて上方から圧力気体を噴射する圧力気体噴射手段とが図示しない支持体を介して配設されている。基板クランプ手段は、基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて該支持体に回転自在に支持されたそれぞれ一対の基板クランプ部材４１４と、基板クランプ部材４１４の各対を、基板Ｐの一端部Ｐ１ｃの両面をクランプするクランプ位置と、基板Ｐの一端部Ｐ１ｃの両面から退避するクランプ解除位置との間を選択的に回転させる図示しない駆動手段（例えばエアシリンダ機構、電動モータなどから構成される）とを備えている。基板クランプ部材４１４の各対を含む基板クランプ手段は、一対のフィルムガイドクランプ部材４１０に対し、基板Ｐの搬送幅方向の両側方に間隔をおいて配置されている。圧力気体噴射手段、実施形態において圧力エア噴射手段は、先に述べた圧力エア噴射手段２６０と実質的に同じでよいが、実施形態においては、先の実施形態と実質的に同じ構成を有する１本の圧力エア供給パイプ２６６を備えている。
【００５７】
上記支持枠３０２には、昇降手段である流体圧シリンダ機構、実施形態においてエアシリンダ機構が支持ブラケットを介して支持されている。鉛直軸線上に配置された、エアシリンダ機構のピストンロッドの下端には、基板先端検出センサが配設されている。基板先端検出センサは、剥離位置Ｘ２に搬送されて位置付けられた基板Ｐの鉛直上端Ｐ１ａを検出するためのセンサであり、エアシリンダ機構によって鉛直方向の所定の待機位置に位置付けられている（いずれも図示せず）。
【００５８】
剥離位置Ｘ２の下方には、後述するとおりにして基板Ｐの両面から完全に剥離されたフィルムＦを下方に搬送するフィルム搬送手段５００が配設されている。それ自体は公知の構成を利用することでよいフィルム搬送手段５００は、上流側ベルト５０２と下流側ベルト５０４とを含むべルト機構から構成されている。基板Ｐの両面から完全に剥離されたフィルムＦは、上流側ベルト５０２と下流側ベルト５０４に挟持されて下方に強制的に搬送される。図面には示されていないが、フィルム搬送手段５００は、実施形態においては、基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて一対配設されている。先に述べたように、基板Ｐの搬送幅方向の中央には、フィルムガイドクランプ部材４１０、フィルムクランプ部材４１２が一体的に備えられたエアシンンダ機構４０８の対が昇降自在に配設されているので、フィルム搬送手段５００の各々は、これらの昇降部材に干渉することなく、フィルムＦの搬送を遂行するため、これらの昇降部材の昇降軌跡を、基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて挟むように配設されている。
【００５９】
次に図１２と共に図１５〜図２３を参照して、上記した剥離手段４００の作動について説明する。基板搬送手段１００によって、フィルムＦの一端部が部分的に剥離された基板Ｐが鉛直な姿勢で端部剥離位置Ｘ１Ａから剥離位置Ｘ２に搬送され、停止させられると、図示しないエアシリンダ機構が作動され、図示しない基板先端検出センサが所定の待機位置から下降させられ、基板Ｐの鉛直上端Ｐ１ａの高さ位置を検出する。基板先端検出センサが該高さ位置を検出すると、エアシリンダ機構によって所定の待機位置まで上昇させられる。基板先端検出センサの検出信号に基づいて、剥離手段４００が、エアシリンダ機構４０２によって、第２の待機位置（図１５参照）から剥離作動位置（図１６参照）まで下降させられる。次いでエアシリンダ機構４０８の各々によって、フィルムガイドクランプ部材４１０がクランプ位置に位置付けられ、フィルムＦの一端部を除く基板Ｐの一端部近傍の領域の両面であって、基板Ｐの幅方向中央領域を所定の該幅方向範囲をもってクランプする（図１７参照）。次に先に述べた保持解除手段１４０によって基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々を保持解除位置に移動させて基板Ｐの保持を解除する。基板Ｐの保持が解除された後、圧力エア供給パイプ２６６の圧力エア噴射孔２６６ａから、基板Ｐの一端Ｐ１ａに向けて上方から圧力エアを噴射する（図１８参照）。フィルムＦの各々の一端部は基板Ｐの両面からを部分的に剥離されて、フィルムガイドクランプ部材４１０の各々の平坦な上面に押し付けられる。次いで、圧力エア供給パイプ２６６の圧力エア噴射孔２６６ａから、圧力気体を噴射しながらフィルムクランプ部材４１２の各々をクランプ位置に位置付けて、フィルムガイドクランプ部材４１０の各々の上面に押し付けられたフィルムＦの一端部をフィルムガイドクランプ部材４１０の各々の上面にクランプする（図１９参照）。
【００６０】
フィルムガイドクランプ部材４１０の各々及びフィルムクランプ部材４１２の各々の協働により剥離されたフィルムＦの一端部をクランプした後、圧力エアの噴射を停止し、更に基板クランプ部材４１４の各対をクランプ位置に位置付けて、基板Ｐの一端部Ｐ１ｃの両面をクランプする（図２０参照）。基板クランプ部材４１４の各対により基板Ｐの一端部Ｐ１ｃの両面をクランプした後、エアシリンダ機構４０８の各々によって、フィルムガイドクランプ部材４１０の各々を、クランプ位置に位置付けられたフィルムクランプ部材４１２と共にクランプ解除位置に向けて移動させる（図２１参照）。フィルムＦは、基板Ｐの表面から更に剥離される。次いで、フィルムガイドクランプ部材４１０の各々がクランプ解除位置まで移動させられた後、エアシリンダ機構４０６の各々によって、エアシリンダ機構４０８の各々を下降させて、基板Ｐの両面からフィルムＦを下方に向かって引き剥がし、完全に剥離させる（図２２参照）。フィルムＦはきわめて効果的にかつ確実に基板Ｐから剥離される。フィルムクランプ部材４１２の各々をクランプ解除位置に移動させてフィルムガイドクランプ部材４１０の各々の上面に対するフィルムＦのクランプを解除する（図２３参照）。これにより、フィルムＦは収容箱２内に自由落下して収容されるが、図示の実施形態においては、基板Ｐの両面から完全に剥離されたフィルムＦの各々は、フィルム搬送手段５００の各々の上流側ベルト５０２と下流側ベルト５０４により挟持されて下方に強制的に搬送される。この構成により、フィルムＦの各々は、収容箱２内に確実に収容される。別の実施形態として、フィルムＦの一部が基板Ｐに貼着された状態で、フィルム搬送手段５００の各々の上流側ベルト５０２と下流側ベルト５０４により剥離された部分のフィルムＦを挟持して下方に強制的に引っ張って剥離しながら下方に搬送する方法もある。この実施形態においては、フィルムＦが完全に剥離される手前で、エアシリンダ機構４０６の各々による、エアシリンダ機構４０８の各々の下降を停止して、次いでフィルムクランプ部材４１２の各々をクランプ解除位置に移動させてフィルムガイドクランプ部材４１０の各々の上面に対するフィルムＦのクランプを解除してから、フィルム搬送手段５００の各々の上流側ベルト５０２と下流側ベルト５０４を駆動すればよい。
【００６１】
フィルムＦが基板Ｐの両面から完全に剥離された後、エアシリンダ機構４０６の各々によって、エアシリンダ機構４０８の各々を元の剥離作動位置まで上昇させる。また保持解除手段１４０によって基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々を保持位置に復帰させて基板Ｐを保持する。フィルムＦが完全に剥離された基板Ｐが基板保持部材対１２０Ａによって保持された後、基板クランプ部材４１４の各対をクランプ解除位置に復帰させ、基板Ｐのクランプを解除する。基板クランプ部材４１４の各対が基板Ｐのクランプを解除した後、エアシリンダ機構４０２により剥離手段４００を剥離作動位置から第２の待機位置まで上昇させる。次いでフィルムＦが両面から完全に剥離された基板Ｐは、基板搬送手段１００によって、鉛直な姿勢の状態で搬出位置Ｘ３に向かって搬送され、搬出位置Ｘ３において水平な姿勢にせしめられる。
【００６２】
図１２〜図２３を参照して説明したフィルム剥離搬送装置は、図１〜図１１を参照して説明したフィルム剥離搬送装置と共通の基本的な特徴ある構成を有しているので、共通の構成については実質的に同じ作用効果を得ることができる。また、剥離手段４００によれば、フィルムＦが部分的に剥離された基板Ｐの一端部Ｐ１ｃを鉛直な姿勢でクランプして、剥離されたフィルムＦの一端部を下方に向かって引き剥がすよう構成されているので、優れた剥離効果が得られるものである。この剥離手段４００それ自体は、ビルドアップ工法により製造されたプリント配線基板の剥離手段としても適用可能である。すなわち、剥離手段４００によれば、厚さが非常に薄い基板Ｐであっても、基板Ｐに貼着されている絶縁樹脂Ｐ２に比較的強力な密着強度をもって貼着されているフィルムＦを、絶縁樹脂Ｐ２を傷めることなく、絶縁樹脂Ｐ２から十分確実に剥離することを可能にするのである。
【００６３】
図２４及び図２５には本発明に従って構成されたフィルム剥離搬送装置の更に他の実施形態が示されている。このフィルム剥離搬送装置は、剥離位置Ｘ２に、先に述べた、端部剥離手段３００と剥離手段２００を共に配設してなるもので、その他の、基板搬送手段１００を含む基本的な構成は図１〜１１を参照して説明したフィルム剥離搬送装置と実質的に同じであるので、同一部分は同一符号で示し、説明は省略する。また、このフィルム剥離搬送装置に適用される基板Ｐは、ビルドアップ工法により製造されたプリント配線基板から構成されているのではなく、それ以外の一般的なプリント配線基板、すなわちフォトレジスト層の表面にフィルムＦが貼着される形態の基板Ｐである。図２４及び図２５に示されているフィルム剥離搬送装置においては、端部剥離手段３００によるフィルムＦの部分的な剥離が終了した後、圧力エア噴射手段２６０が、所定の待機位置に下降させられて、先に述べたとおりの剥離動作が遂行される。端部剥離手段３００のロッドレスエアシリンダ機構３３０は、圧力エア噴射手段２６０の昇降軌跡から基板Ｐの搬送方向上流側に退避した位置に配置されており、また、支持体３２０及び複数の圧接ローラ対３２２を含む移動体３３２は、待機位置に退避させられ、更にはまた、クランブ部材３１２の各々はクランプ解除位置に退避させられるので、圧力エア噴射手段２６０の昇降空間が確保されるのである。このフィルム剥離搬送装置は、図１２及び図１３に示すフィルム剥離搬送装置に較べて、全体の構成がコンパクトである。またこのフィルム剥離搬送装置は、図１〜図１１を参照して説明したフィルム剥離搬送装置と共通の基本的な特徴ある構成を有しているので、共通の構成については実質的に同じ作用効果を得ることができる。
【００６４】
図２６には、本発明によるフィルム剥離搬送装置の他の実施形態が示されている。このフィルム剥離搬送装置は、基板Ｐを、幅方向両端部を離脱自在に保持した状態で、受取位置Ｘ１から端部剥離位置Ｘ１Ａへ、端部剥離位置Ｘ１Ａから剥離位置Ｘ２へ、そして剥離位置Ｘ２から搬出位置Ｘ３まで搬送する基板搬送手段１００と、端部剥離位置Ｘ１ＡにおいてフィルムＦの一端部を基板Ｐから部分的に剥離させる端部剥離手段３００と、剥離位置Ｘ２において一端部が剥離されたフィルムＦを基板Ｐから完全に剥離させる剥離手段４００とを備えている。
【００６５】
図２６に示されているフィルム剥離搬送装置が先に図１２〜図２３を参照して説明したフィルム剥離搬送装置と相違する主要なところは、基板搬送手段１００が、受取位置Ｘ１において基板Ｐを鉛直な姿勢で受け取り、受取位置Ｘ１で鉛直な姿勢で受け取った基板Ｐを鉛直な姿勢を維持しながら端部剥離位置Ｘ１Ａまで搬送し、端部剥離位置Ｘ１Ａにおいて鉛直な姿勢で端部剥離手段３００によりフィルムＦの一端部が剥離された基板Ｐを、鉛直な姿勢を維持しながら剥離位置Ｘ２まで搬送し、剥離位置Ｘ２において、一端部が剥離されたフィルムＦが鉛直な姿勢で剥離手段４００により完全に剥離された基板Ｐを、鉛直な姿勢を維持しながら搬出位置Ｘ３まで搬送するよう構成されているところである。そして図２６に示されているフィルム剥離搬送装置の基板搬送手段１００の構成は、図１〜図１１を参照して説明したフィルム剥離搬送装置及び図１２〜図２３を参照して説明したフィルム剥離搬送装置における基板搬送手段１００と実質的に同じである。したがって、図２６に示されているフィルム剥離搬送装置において、図１〜図１１及び図１２〜図２３を参照して説明したフィルム剥離搬送装置と実質的に同一部分は同一符号で示し、説明は省略する。
【００６６】
図２６に示されているフィルム剥離搬送装置において、基板搬送手段１００は、受取位置Ｘ１において基板Ｐを基板投入装置６００Ａから鉛直な姿勢で受け取り、また、搬出位置Ｘ３において、基板Ｐを鉛直な姿勢の状態で基板受取装置６００Ｂにより受け取ってもらうため、受取位置Ｘ１及び搬出位置Ｘ３は、上記上水平移動領域における上流端領域及び下流端領域にそれぞれ配置されている。その結果、基板Ｐは、基板搬送手段１００により、受取位置Ｘ１から、端部剥離位置Ｘ１Ａ及び剥離位置Ｘ２を経て搬出位置Ｘ３まで、鉛直な姿勢に維持されて搬送される。受取位置Ｘ１において基板Ｐを基板投入装置６００Ａから鉛直な姿勢で受け取るため、また搬出位置Ｘ３において、基板Ｐを鉛直な姿勢の状態で基板受取装置６００Ｂにより受け取ってもらうため、上記上水平移動領域の上流端領域及び上流側半円移動領域と、上記上水平移動領域の下流端領域及び下流側半円移動領域は、それぞれ上記静止枠体１０の上流側端及び下流側端から、それぞれ上流方向及び下流方向に突出するよう配置されている。更に具体的に説明すると、静止枠体１０の上流側端には、突出枠１０Ａが上記静止枠体１０の上流側端から上流方向に突出するよう配設され、また、静止枠体１０の下流側端には、突出枠１０Ｂが静止枠体１０の下流側端から下流方向に突出するよう配設されている。突出枠１０Ａには駆動軸１０６及び駆動スプロケット１１４の対が配設され、また突出枠１０Ｂには被駆動軸１０８及び被駆動スプロケット１１６の対が配設され、これらの駆動スプロケット１１４の対及び被駆動スプロケット１１６の対に上記チェーン１１８がそれぞれ巻き掛けられている。
【００６７】
静止枠体１０の突出枠１０Ａに対し上方位置に配設された基板投入装置６００Ａは、静止枠体６１０と、静止枠体６１０に、移動手段６２０によって基板Ｐの搬送方向に水平に移動自在に支持された可動枠体６３０と、可動枠体６３０に昇降手段６４０によって昇降自在に支持されたチャックユニット６５０とを備えている。移動手段６２０は、静止枠体６１０に回転自在に支持されかつ基板Ｐの搬送方向に水平に延在するねじロッド部材６２２と、ねじロッド部材６２２を正逆回転駆動させる電動モータＭ３と、基板Ｐの搬送方向に水平に延在する図示しない１対のガイドロッド部材とを備えている。図示しないガイドロッド部材の各々は、ねじロッド部材６２２の、基板Ｐの搬送幅方向両側に間隔をおいてねじロッド部材６２２に平行に延在するよう配設されている。可動枠体６３０は、ねじロッド部材６２２及び図示しない１対のガイドロッド部材に相対回転できないようかつそれらに沿って基板Ｐの搬送方向に往復移動しうるよう支持されている。ガイドロッド部材の各々は、ねじロッド部材６２２の、基板Ｐの搬送幅方向両側に間隔をおいてねじロッド部材６２２に平行に延在するよう配設されている。昇降手段６４０は、可動枠体６３０に回転自在に支持されかつ鉛直方向に延在するねじロッド部材６４２と、ねじロッド部材６４２を正逆回転駆動させる電動モータＭ４と、鉛直方向に延在する図示しない１対のガイドロッド部材とを備えている。図示しないガイドロッド部材の各々は、ねじロッド部材６４２の、基板Ｐの搬送幅方向両側に間隔をおいてねじロッド部材６４２に平行に延在するよう配設されている。チャックユニット６５０は、ねじロッド部材６４２及び図示しない複数のガイドロッド部材に相対回転できないようかつそれらに沿って鉛直方向に往復移動しうるよう支持されている。チャックユニット６５０には、基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて１対のチャック機構６５２が配設されている。それ自体は周知の構成を利用することでよいチャック機構６５２は、基板Ｐの上端部における幅方向の両端部を解除自在にチャックすることができるよう、チャックユニット６５０に配置されている。
【００６８】
チャックユニット６５０には、基板Ｐの上端を検出するための基板上端検出センサＳ６がチャックユニット６５０と同期して昇降しうるよう配設されている。基板上端検出センサＳ６は、静止枠体１０の突出枠１０Ａの上流側に配設された基板ラック６６０に直立して収容された複数の基板Ｐの上端を検出するためのセンサである。静止枠体１０の突出枠１０Ａにおける、基板Ｐの搬送方向中央には、基板収納確認センサＳ７が支持フランジ１１を介して配設されている。基板収納確認センサＳ７は、受取位置Ｘ１において、基板投入装置６００から基板保持部材対１２０Ａに基板Ｐが投入されたか否かを検出するためのセンサであって、基板保持部材対１２０Ａに完全に収納（保持）される直前の基板Ｐの下端を検出することができる高さ位置に配置されている。なお、図２６においては、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々のうち、片方の基板保持部材１２０のみが図示されているが、基板搬送手段１００の構成は、先の実施形態における基板搬送手段１００と実質的に同じであるので、図２６に示されているフィルム剥離搬送装置に関する以下の説明において、基板保持部材対１２０Ａとは、先の実施形態において説明した基板保持部材対１２０Ａと、実質的に同じ構成を意味するものと理解されたい。
【００６９】
静止枠体１０の突出枠１０Ｂに対し上方位置に配設された基板受取装置６００Ｂは、基板Ｐを投入するか受け取るかの目的が相違するだけで、その構成は上記基板投入装置６００Ａと実質的に同じであるので、同一部分は同一符号で示し、説明は省略する。なお、基板受取装置６００Ｂにおいて、基板上端検出センサＳ６は、搬出位置Ｘ３に位置付けられた基板保持部材対１２０Ａに鉛直な姿勢で保持された基板Ｐの上端を検出するためのセンサである。なお、基板投入装置６００Ａ及び基板受取装置６００Ｂにおいて、可動枠体６３０に支持された電動モータＭ４は、可動枠体６３０と一体に移動させられる際に、それぞれの静止枠体６１０及び静止枠体６１０に配設されたねじロッド部材６２２などのいかなる部材に対しても干渉しない位置に配設されていることはいうまでもない。
【００７０】
基板Ｐの投入は次のようにして行なわれる。基板投入装置６００Ａの可動枠体６３０が図２６において右方の所定の位置まで移動させられてから、チャックユニット６５０が基板ラック６６０に向かって下降させられる。基板上端検出センサＳ６が基板ラック６６０に収納された所定の基板Ｐの上端を検出すると、該下降が停止させられる。次いでチャック機構６５２の各々により、基板Ｐの上端部における幅方向両端部がチャックされる。チャックユニット６５０が所定の位置まで上昇させられた後、可動枠体６３０が図２６において左方の待機位置まで移動させられる（図２６に示す位置）。他方、基板搬送手段１００においては、基板保持部材対１２０Ａの一つが受取位置Ｘ１に移動させられ、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々の端壁１２４（図７参照）が下端に位置するよう鉛直な姿勢で待機させられる。所定のタイミングでチャックユニット６５０が上記待機位置から下降させられる。基板Ｐの幅方向両端部は、基板保持部材１２０の各々内に沿って下方に向かって移動させられ、その下端が基板保持部材１２０の各々の端壁１２４の直前に達すると、基板収納確認センサＳ７が基板Ｐの下端を検出し、チャックユニット６５０の下降が停止させられる。次いでチャック機構６５２の各々による基板Ｐのチャックが解除され、基板Ｐは、わずかに自然落下させられてその下端が基板保持部材１２０の各々の端壁１２４上に載置させられる。基板Ｐは、鉛直な姿勢で基板保持部材対１２０Ａに幅方向両端部及び幅方向両端部における下端が保持される。チャックユニット６５０は所定の待機位置に上昇させられた後、基板ラック６６０から次の基板Ｐをチャックするため、先の動作を再び開始する。
【００７１】
上記したとおりにして受取位置Ｘ１において基板保持部材対１２０Ａに投入された基板Ｐは、基板搬送手段１００により鉛直な姿勢に維持されながら端部剥離位置Ｘ１Ａまで搬送され、先に述べたとおりにして端部剥離位置Ｘ１Ａにおいて鉛直な姿勢で端部剥離手段３００によりフィルムＦの一端部が剥離される。端部剥離位置Ｘ１Ａにおいて端部剥離手段３００によりフィルムＦの一端部が剥離された基板Ｐは鉛直な姿勢を維持しながら剥離位置Ｘ２まで搬送され、先に述べたとおりにして、剥離位置Ｘ２において、一端部が剥離されたフィルムＦが鉛直な姿勢で剥離手段４００により完全に剥離される。フィルムＦが完全に剥離された基板Ｐは、鉛直な姿勢を維持しながら搬出位置Ｘ３まで搬送され、搬出位置Ｘ３に待機させられる。所定のタイミングで、基板受取装置６００Ｂにおけるチャックユニット６５０が所定の待機位置から下降させられる。基板上端検出センサＳ６が、搬出位置Ｘ３において基板保持部材対１２０Ａに保持された基板Ｐの上端を検出すると、該下降が停止させられる。次いでチャック機構６５２の各々により、基板Ｐの上端部における幅方向両端部がチャックされる。チャックユニット６５０が所定の待機位置に向かって上昇させられると、基板Ｐは基板保持部材対１２０Ａから上方に離脱させられる。チャックユニット６５０は、所定の待機位置まで上昇させられた後、図２６において左方に移動させられ、チャック機構６５２の各々によりチャックされた基板Ｐは、鉛直な姿勢に維持されながら次の工程に向けて移動させられる。
【００７２】
図２６に示すフィルム剥離装置によれば、基板Ｐは、受取位置Ｘ１から、端部剥離位置Ｘ１Ａ及び剥離位置Ｘ２を経て搬出位置Ｘ３に至るまで、鉛直な姿勢で搬送されかつ端部剥離動作及び剥離動作が遂行されるので、厚さが非常に薄い基板Ｐであっても、基板Ｐの品質を損なうことなく安定した搬送を可能にすると共に、基板Ｐの品質を損なうことなく基板Ｐの片面及び両面に貼着されているフィルムＦを円滑かつ確実に剥離することを可能にするものである。図２６を参照して説明したフィルム剥離搬送装置は、図１〜図１１を参照して説明したフィルム剥離搬送装置と共通の基本的な特徴ある構成を有しているので、共通の構成については実質的に同じ作用効果を得ることができる。
【００７３】
なお、図２６に示すフィルム剥離装置における如く、基板搬送手段１００により基板Ｐを鉛直な姿勢で受取位置Ｘ１から搬出位置Ｘ３に搬送する過程で、フィルムＦを鉛直な姿勢で剥離するとの技術思想は、図１〜図１１を参照して説明したフィルム剥離搬送装置における如く、剥離位置Ｘ２に剥離手段２００を備えたフィルム剥離搬送装置にも適用可能であり、また、図２４及び図２４を参照して説明したフィルム剥離搬送装置における如く、剥離位置Ｘ２に端部剥離手段３００及び剥離手段２００を備えたフィルム剥離搬送装置にも適用可能であることはいうまでもない。
【００７４】
図１〜図２６を参照して説明した本発明においては、先の説明から容易に理解されるように、片面又は両面に対してフィルムＦが貼着された基板Ｐを、両面が基板Ｐの搬送方向に向けられた鉛直な姿勢で剥離位置Ｘ２へ搬送する基板搬送手段１００と、剥離位置Ｘ２においてフィルムＦを基板Ｐから完全に剥離させる剥離手段２００又は４００とを備え、基板搬送手段２００によって剥離位置Ｘ２に搬送された基板Ｐは、該鉛直な姿勢で剥離手段２００又は４００によりフィルムＦが完全に剥離される、ことが重要である。このような構成により、先に述べたとおり、厚さが非常に薄い基板Ｐであっても、基板Ｐの品質を損なうことなく、基板Ｐの片面又は両面に貼着されているフィルムＦを円滑かつ確実に剥離することを可能にするものである。したがって特に、基板Ｐの片面又は両面に貼着されている絶縁樹脂Ｐ２に比較的強力な密着強度をもって貼着されているフィルムＦを、絶縁樹脂Ｐ２を実質的に傷めることなく、絶縁樹脂Ｐ２から十分確実に剥離することを可能にするものであり、実用上有用である。
【００７５】
図１〜図２６を参照して説明した本発明の他の局面によれば、剥離位置Ｘ２においてフィルムＦの一端部を基板Ｐから部分的に剥離させる端部剥離手段３００を備え、基板搬送手段１００によって剥離位置Ｘ２に搬送された基板Ｐは、該鉛直な姿勢で端部剥離手段３００によりフィルムＦの、鉛直上方に位置する該一端部が部分的に剥離させられ、続いて該鉛直な姿勢で剥離手段４００により、該一端部が部分的に剥離させられたフィルムＦが完全に剥離される。この発明においては、ビルドアップ工法により製造されるプリント配線基板以外のプリント配線基板において、上記した優れた剥離効果が得られる。
【００７６】
図１〜図２６を参照して説明した本発明の更に他の局面によれば、片面又は両面に対してフィルムＦが貼着された基板Ｐを、両面が基板Ｐの搬送方向に向けられた鉛直な姿勢で端部剥離位置Ｘ１Ａへ、端部剥離位置Ｘ１Ａから剥離位置Ｘ１へ搬送する基板搬送手段１００と、端部剥離位置Ｘ１ＡにおいてフィルムＦの一端部を基板Ｐから部分的に剥離させる端部剥離手段３００と、剥離位置Ｘ１において、一端部が部分的に剥離されたフィルムＦを基板Ｐから完全に剥離させる剥離手段４００とを備え、基板搬送手段１００によって端部剥離位置Ｘ１Ａに搬送された基板Ｐは、該鉛直な姿勢で端部剥離手段３００によりフィルムＦの、鉛直上方に位置する該一端部が部分的に剥離させられ、基板搬送手段１００によって端部剥離位置Ｘ１Ａから剥離位置Ｘ１に搬送された基板Ｐは、該鉛直な姿勢で剥離手段４００により、該一端部が部分的に剥離させられたフィルムＦが完全に剥離される。この発明においても、ビルドアップ工法により製造されるプリント配線基板以外のプリント配線基板において、上記した優れた剥離効果が得られるものである。
【００７７】
図２７〜図５０には本発明に従って構成されたフィルム剥離搬送装置の更に他の実施形態が示されている。このフィルム剥離搬送装置に適用される基板Ｐは、ビルドアップ工法により製造されたプリント配線基板又はそれ以外の一般的なプリント配線基板、すなわちフォトレジスト層の表面にフィルムＦが貼着される形態の基板Ｐのいずれでもよい。なお、図２７〜図３０及び図３５において、大サイズの基板Ｐは実線で示され、また小サイズの基板Ｐは２点鎖線で示されている。
【００７８】
先ず、図２７〜図３０を参照して、図示のフィルム剥離搬送装置は、片面又は両面に対してフィルムＦが貼着された基板Ｐを水平な姿勢で搬入位置Ｙ１に搬入する搬入手段７０２と、搬入位置Ｙ１に搬入された基板Ｐを、両面が基板Ｐの搬入幅方向に向けられた鉛直な姿勢に変換する姿勢変換手段７０４と、該鉛直な姿勢に変換された基板Ｐを、搬入方向前方に設定された剥離位置Ｙ２へ向けて搬送するための搬送開始位置Ｙ１Ａへ該鉛直な姿勢を維持しながら移動させる搬送開始位置決め手段７０６と、搬送開始位置Ｙ１Ａへ移動させられた基板Ｐの搬送方向両端部を解除自在にチャッキングして該鉛直な姿勢を維持しながら剥離位置Ｙ２へ搬送する基板搬送手段７０８と、剥離位置Ｙ２に搬送された該鉛直な姿勢の基板ＰからフィルムＦを完全に剥離する剥離手段７１０と、フィルムＦが完全に剥離された基板Ｐを、剥離位置Ｙ２において搬送方向両端部を解除自在にチャッキングして搬入位置Ｙ１とは反対側の、剥離位置Ｙ２の前方に設定された搬出位置Ｙ３まで該鉛直な姿勢を維持しながら搬送する他の基板搬送手段７１２とを備えている。図示のフィルム剥離搬送装置は、先の実施形態におけるのと同様に、図示しないコントローラにより適宜に作動制御される。
【００７９】
なお、図示のフィルム剥離搬送装置において、基板Ｐの搬入方向又は搬送方向とは、図２７〜図２９においては左から右に向かう方向（図２７及び図２９においては矢印７１４で示されている方向）、図３０においては紙面の表から裏に向かう方向を示している。また、基板Ｐの搬入幅方向又は搬送幅方向とは、図２７においては紙面の表裏方向、図２８及び図２９においては上下方向、図３０においては左右方向をそれぞれ示している。また、基板Ｐの搬入幅方向の一側（他側）とは、図２８及び図２９においては上側（下側）、図３０においては左側（右側）をそれぞれ示している。また先に説明した図９及び図１０に示される形態の基板Ｐは、基板Ｐの縦方向の一端部Ｐ１ｃが基板Ｐの搬入幅方向の一側に向けられて搬入される。その結果、後の説明から容易に理解されるように、基板Ｐは剥離位置Ｙ２において鉛直な姿勢でフィルムＦが剥離される際、基板Ｐの一端部Ｐ１ｃが鉛直上方に位置付けられ、フィルムＦの剥離を容易かつ円滑に遂行せしめる。なお、フィルムＦが基板Ｐの全面を完全に覆うよう貼着されている場合には、基本的には基板Ｐのいずれの一端を基板Ｐの搬入幅方向の一側に向けて搬入させてもよい。このことは、先の実施形態においても同じである。
【００８０】
姿勢変換手段７０４は、基板Ｐを、水平な姿勢に維持しながら搬入手段７０２における搬入幅方向の一側方向に搬入幅方向所定位置まで移動させる幅寄せ手段７１６と、搬入幅方向所定位置に移動させられた基板Ｐの該搬入幅方向の一側領域に位置する一端部を解除自在にクランプして上方にかつ該搬入幅方向の他側まで旋回させて該鉛直な姿勢とする基板直立手段７１８とを備えている。搬送開始位置決め手段７０６は、基板直立手段７１８により該鉛直な姿勢とされた基板Ｐの該一端部を解除自在に把持して該搬入幅方向に搬送開始位置Ｙ１Ａまで該鉛直な姿勢を維持しながら移動させるハンガー７２０からなる。搬送開始位置Ｙ１Ａは該搬入幅方向の中間領域に設定されている。
【００８１】
更に具体的に説明すると、フィルム剥離搬送装置は、適宜の支柱、横梁などからなる静止枠体７２２を備えている。静止枠体７２２は載置面１上に設置され、ほぼ直方体の空間を形成している。静止枠体７２２の該空間内に、フィルム剥離搬送装置を構成する上記各手段が配設されている。
【００８２】
静止枠体７２２の該空間内の、図２７及び図２８において左右方向左端領域であって、上下方向中間領域に配設されている搬入手段７０２は、基板Ｐの搬入方向に間隔をおいて水平に配列されかつ基板Ｐの搬入幅方向に延在する複数の搬入ローラ体７２４と、搬入ローラ体７２４の各々を回転駆動するための駆動源である電動モータＭと、搬入ローラ体７２４の各々と電動モータＭとを駆動連結する動力伝達機構７２６とを備えている。搬入ローラ体７２４の各々は、軸７２８と、軸７２８に相互に間隔をおいて一体に配設された複数の搬入ローラ７３０とを備えている。軸７２８の各々は、静止枠体７２２において、該搬入幅方向に間隔をおいて相互に対向するよう配設された一対の側枠７３２間に回転自在に支持されている。軸７２８の各々は、該搬入幅方向の一側に位置する側枠７３２から側外方に延び出し、延び出した先端に傘歯車７３４がそれぞれ一体に配設されている。該搬入幅方向の一側に位置する側枠７３２の側外方には、電動モータＭの駆動軸７３６が該搬入方向に延在している。駆動軸７３６には相互に間隔をおいて複数の傘歯車７３８が一体に配設されている。傘歯車７３８の各々は、搬入ローラ体７２４の各々の軸７２８に配設された傘歯車７３４にそれぞれ噛み合わされている。以上の構成により、電動モータＭが作動されると、搬入ローラ体７２４の各々は、図２７において時計方向に回転駆動される。駆動軸７３６、傘歯車７３８及び傘歯車７３４などは、上記動力伝達機構７２６を構成する。また、搬入ローラ体７２４の各々における搬入ローラ７３０の各々により基板Ｐの搬入路が形成される。
【００８３】
静止枠体７２２には、搬入手段７０２により搬入された基板Ｐを停止させて所定の搬入位置Ｙ１に位置付けるためのストッパ７３９が備えられている。横断面がＬ形状をなす細長い板部材から形成されているストッパ７３９は、静止枠体７２２に配設された図示しない支持枠に支持されて、該搬入方向の最下流位置に配置された搬入ローラ体７２４の更に下流位置において、基板Ｐの搬送面から上方に突出させられている。なお、基板Ｐの搬送面は、搬入ローラ体７２４の搬入ローラ７３０の各々を軸方向に見て、上側を通る接線と一致する水平面により規定される。該搬入方向上流に配設された図示しない基板投入装置から水平な姿勢で搬入された基板Ｐは、電動モータＭにより回転駆動される搬入ローラ７３０の各々により基板Ｐの搬送面に沿って下流方向に搬入される。搬入された基板Ｐの搬入方向先端がストッパ７３９に当接して停止された直後に、電動モータＭの作動を停止することにより基板Ｐは所定の搬入位置Ｙ１に位置付けられる。
【００８４】
図２７〜〜図３０と共に図３１をも参照して、幅寄せ手段７１６は、複数の搬入ローラ体７２０の間に配置されかつ該搬入幅方向に延在する複数の支持部材７４２を含む支持ユニット７４０と、支持ユニット７４０を支持しかつ支持ユニット７４０に作用して支持部材７４２の各々を基板Ｐの搬送面よりも低い非支持位置と複数の搬入ローラ体７２０の間において基板Ｐの搬送面よりも上方に突出した支持位置との間を選択的に昇降させる昇降アクチュエータ７４４と、昇降アクチュエータ７４４を支持しかつ昇降アクチュエータ７４４に作用して支持部材７４２の各々を搬入幅方向待機位置と搬入幅方向待機位置よりも該搬入幅方向の一側寄りの一側寄り所定位置との間を選択的に往復移動させる幅寄せアクチュエータ７４６とを備えている。
【００８５】
支持ユニット７４０は、該搬入方向に延在する細長い矩形状の支持板７４８と、支持板７４８上に直交するよう配設された上記複数の支持部材７４２とを備えている。支持部材７４２の各々は細長い矩形状の板から形成され、各々の一側面が同一水平面上に位置付けられるよう支持板７４８上に配設されている。該搬送幅方向に水平に延在するロッドレスエアシリンダ機構から構成される幅寄せアクチュエータ７４６は支持ユニット７４０の下方における図示しない支持枠に配設され、その往復移動部が該搬入幅方向に往復移動するよう配設されている。エアシリンダ機構から構成される昇降アクチュエータ７４４は幅寄せアクチュエータ７４６の往復移動部から直立するよう配設されている。昇降アクチュエータ７４４のピストンロッドの先端は、支持板７４８の下面に連結されている。このような構成により、支持ユニット７４０は、昇降アクチュエータ７４４により鉛直方向に昇降自在に支持されると共に、幅寄せアクチュエータ７４６により該搬入幅方向に移動自在である。
【００８６】
幅寄せアクチュエータ７４６により所定の搬入位置Ｙ１から該搬入幅方向の一側方向に向かって移動させられた基板Ｐを停止させて搬入幅方向所定位置に位置付けるためのストッパ７４９が図示しない支持枠に配設されている。ストッパ７４９は、該搬入幅方向の一側領域に配置された複数の直立ピンからなり、直立ピンの各々は、後述するとおりにして支持位置に上昇させられた支持部材７４２の各々上に載置された基板Ｐよりも上方に突出させられている。
【００８７】
基板Ｐが所定の搬入位置Ｙ１に搬入された状態で、昇降アクチュエータ７４４を作動させて支持部材７４２の各々を非支持位置から支持位置に上昇させると、支持部材７４２の各々は、基板Ｐを相対的に載置して搬入ローラ７３０の各々の上方、すなわち基板Ｐの搬送面よりも上方に持ち上げて搬入ローラ７３０の各々から離隔させる。続いて幅寄せアクチュエータ７４６を作動させて支持部材７４２の各々を搬入幅方向待機位置から一側寄り所定位置に移動させると、支持部材７４２の各々上に載置された基板Ｐは所定の搬入位置Ｙ１から該搬入幅方向の一側方向に移動させられ、基板Ｐの該搬入幅方向の先端がストッパ７４９を構成する複数の直立ピンに当接して停止されることにより、搬入幅方向所定位置に位置付けられる。幅寄せアクチュエータ７４６の移動ストロークは、基板Ｐのサイズに応じて適宜に設定すればよい。上記幅寄せ手段７１６によれば、基板Ｐを搬入ローラ７３０の各々から離隔させて所定の搬入位置Ｙ１から搬入幅方向所定位置に移動させるとができるので、厚さが非常に薄い基板Ｐであっても、その品質を損なうことなく、安定した移動が保証される。
【００８８】
図２７、図２９及び図３０を参照して、基板直立手段７１８は、該搬入幅方向の他側において該搬入方向に水平に延在する旋回軸７５０と、該搬入方向に間隔をおいて配置されかつ一端部が旋回軸７５０に一体に連結されると共に他端部にクランプ機構７５２が配設された複数の旋回フレーム７５４と、旋回フレーム７５４の各々を、複数の搬入ローラ体７２４間において基板Ｐの搬送面の下方を該搬入幅方向に水平に延在する水平待機位置と、該搬入幅方向の他側において直立する直立位置との間を選択的に旋回させる旋回アクチュエータ７５６とを備えている。静止枠体７２２に回転自在に配設された旋回軸７５０の一端にはアーム７５８が半径方向外方に延び出すよう配設され、アーム７５８の先端には、エアシリンダ機構からなる旋回アクチュエータ７５６のピストンロッドの先端が連結されている。旋回アクチュエータ７５６は静止枠体７２２に鉛直方向に延在するよう配設されている。旋回フレーム７５４の各々は、水平待機位置に位置付けられた状態で、各々の上面が共通の水平面上であって基板Ｐの搬送面よりも下方の水平面上に位置付けられ、また各々の下面は支持ユニット７４０の支持板７４８の上方に隙間をおいて位置付けられる。
【００８９】
クランプ機構７５２の各々は、相互に実質的に同じ構成を有するので、そのうちの一つについて図３２及び図３３を参照して説明する。クランプ機構７５２は、旋回フレーム７５４が水平待機位置に位置付けられた状態において、水平な上面からなる被クランプ面７６０ａを有する静止クランプ部材７６０と、平坦なクランプ面７６２ａを有しかつクランプ面７６２ａが静止クランプ部材７６０の被クランプ面７６０ａに対し上方から圧接するクランプ位置と、該クランプ面７６２ａが静止クランプ部材７６０の被クランプ面７６０ａから上方にかつ該搬入幅方向の一側方向外側に離隔するクランプ解除位置との間を旋回軸７６３まわりに旋回自在な可動クランプ部材７６２と、可動クランプ部材７６２をクランプ位置に常時付勢するばね手段である一対の引張コイルばね７６４と、可動クランプ部材７６２を旋回させるクランプアクチュエータ７６６とを備えている。クランプアクチュエータ７６６は鉛直方向に延在するエアシリンダ機構から構成されている。旋回軸７６３は該搬入方向に水平に延在する軸線を有している。
【００９０】
旋回フレーム７５４が水平待機位置に位置付けられた状態において、可動クランプ部材７６２は、静止クランプ部材７６０に対し、該搬入幅方向の一側方向外方を鉛直に延在する本体部７６２Ａと、本体部７６２Ａの下端部近傍から該搬入幅方向の他側方向に突出した突出部７６２ｂと、本体部７６２Ａの上端から該搬入幅方向の他側に向かって静止クランプ部材７６０の上方に延び出す延出部７６２Ｂと、延出部７６２Ｂの下端面に配設されたクランプ部７６２Ｃとからなる。本体部７６２Ａの下端部は旋回軸７６３に回転自在に支持されている。引張コイルばね７６４の各々の一端は本体部７６２Ａの両側上端部近傍に係止され、他端は静止クランプ部材７６０の両側に係止されている。クランプ部７６２Ｃは矩形の横断面を有し、その下面がクランプ面７６２ａをなす。クランプアクチュエータ７６６の軸線は鉛直方向に延在し、そのピストンロッド７６６ａの上端は、可動クランプ部材７６２の突出部７６２ｂの下面に当接ないし近接して位置付けられている。
【００９１】
クランプアクチュエータ７６６を作動させると、可動クランプ部材７６２は引張コイルばね７６４の各々のばね力に抗してクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させられる。クランプアクチュエータ７６６の作動を解除すると、可動クランプ部材７６２は引張コイルばね７６４の各々のばね力によりクランプ解除位置からクランプ位置に旋回させられる。このような構成は、基板Ｐが該鉛直な姿勢でクランプされたとき、クランプアクチュエータ７６６に供給されるエア圧の低下による基板Ｐの落下を防止する。このような効果は、後述する同様なクランプないしチャッキング機構においても同様に得られる。
【００９２】
図３０及び図３２を参照して、旋回フレーム７５４の各々が水平待機位置に位置付けられかつ可動クランプ部材７６２がクランプ解除位置に位置付けられた状態で、上記幅寄せ手段７１６における昇降アクチュエータ７４４及び幅寄せアクチュエータ７４６を作動させて基板Ｐを所定の搬入位置から搬入幅方向所定位置に移動させると、基板Ｐの該一端部は、クランプ機構７５２の各々における静止クランプ部材７６０の被クランプ面７６０ａ上に位置付けられる。この状態でクランプアクチュエータ７６６の作動を解除して引張コイルばね７６４の各々のばね力により可動クランプ部材７６２をクランプ解除位置からクランプ位置に旋回させると、基板Ｐの該一端部は、静止クランプ部材７６０の被クランプ面７６０ａと可動クランプ部材７６２のクランプ面７６２ａとによりクランプされる。続いて旋回アクチュエータ７５６を作動させて旋回フレーム７５４の各々を水平待機位置から直立位置に旋回させると、基板Ｐは、該搬入幅方向の他側において、該一端部を上にした該鉛直な姿勢でクランプされる。
【００９３】
図２７、図３０及び図３４を参照して、ハンガー７２０は、該搬入方向に水平に延在する支持フレーム７７０と、支持フレーム７７０に間隔をおいて配置された複数の把持ユニット７７２と、支持フレーム７７０を支持しかつ支持フレーム７７０に作用して把持ユニット７７２の各々を上方待機位置と上方待機位置よりも下方の基板把持可能位置との間を選択的に昇降させる昇降アクチュエータ７７４と、昇降アクチュエータ７７４を支持しかつ昇降アクチュエータ７７４に作用して把持ユニット７７２の各々を該搬入幅方向の他側待機位置と該搬入幅方向の中間領域に設定された該搬送開始位置Ｙ１Ａとの間を選択的に移動させる搬送開始位置決めアクチュエータ７７６とを備えている。搬送開始位置決めアクチュエータ７７６は該搬入幅方向に水平に往復移動する往復移動部を備えたロッドレスエアシリンダ機構から構成され、静止枠体７２２の天井部に配設されている。昇降アクチュエータ７７４は、該ロッドレスエアシリンダ機構の該往復移動部から鉛直下方に延び出すよう該往復移動部に支持されている。昇降アクチュエータ７７４はエアシリンダ機構から構成され、鉛直下方に延び出すピストンロッドの下端に支持フレーム７７０が一体に連結支持されている。
【００９４】
把持ユニット７７２の各々は、それぞれ一端部が該搬入方向に延在する軸線、具体的には旋回軸７７８まわりに旋回自在な一対の把持部材７８０と、把持部材７８０の各々を、把持部材７８０の各々の他端部に配設された把持面７８０ａが各々の旋回軸７７８よりも下方位置において相互に該搬入幅方向に圧接される把持位置と、把持面７８０ａが該搬入幅方向外方の上方に離隔される把持解除位置との間を選択的に旋回させる把持アクチュエータ７８２とを備えている。把持アクチュエータ７８２は回動式のエアシリンダ機構から構成され、回動体が所定の角度範囲で選択的に回動させられることにより、把持部材７８０の各々を旋回作動させることができる。
【００９５】
把持ユニット７７２の各々が他側待機位置において上方待機位置に位置付けられかつ基板直立手段７１８の旋回フレーム７５４の各々が直立位置に位置付けられてクランプ機構７５２の各々により基板Ｐの該一端部がクランプされて基板Ｐが該鉛直な姿勢とされた状態で、昇降アクチュエータ７７４を作動させて把持ユニット７７２の各々を上方待機位置から基板把持可能位置に下降させてから、把持アクチュエータ７８２を作動させて把持ユニット７７２の各々における把持部材７８０の各々を把持解除位置から把持位置に旋回させると、基板Ｐの該一端部が把持部材７８０の各々により把持される。続いてクランプアクチュエータ７６６の作動を解除してクランプ機構７５２の各々の可動クランブ部材７６２をクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させて基板Ｐのクランプを解除する。次に旋回アクチュエータ７５６を作動させて旋回フレーム７５４の各々を直立位置から水平待機位置に旋回させた後、昇降アクチュエータ７７４を作動させて把持ユニット７７２の各々を基板把持可能位置から上方待機位置に上昇させる。続いて搬送開始位置決めアクチュエータ７７６を作動させて把持ユニット７７２の各々を他側待機位置から搬送開始位置Ｙ１Ａに移動させることにより、基板Ｐは該鉛直な姿勢が維持されながら搬送開始位置Ｙ１Ａに移動させられる。実施形態において、搬送開始位置Ｙ１Ａは、上記搬入路の上方であって搬入幅方向の中央に設定されている。上記した如く、旋回フレーム７５４の各々が直立位置に位置付けられた状態でクランプ機構７５２の各々の可動クランブ部材７６２をクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させたとき、静止クランブ部材７６０の被クランプ面７６０ａは、把持部材７８０の各々により把持された基板Ｐの該一端部の片面に対し、該搬送幅方向の一側方向側に位置し、また可動クランブ部材７６２クランプ面７６２ａは、被クランプ面７６０ａに対し上方に離隔するので、旋回フレーム７５４の各々が直立位置から水平待機位置に旋回させられても、クランプ機構７５２の各々が基板Ｐの該上端部に干渉することが防止される。
【００９６】
図２７、図２８、図３０、図３５及び図３６を参照して、上記搬入路の上方であって、搬送開始位置Ｙ１Ａよりも該搬送幅方向の他側寄りの位置には静止枠７８４が配設され、静止枠７８４には、基板搬送手段７０８が支持されている。基板搬送手段７０８は、搬送開始位置Ｙ１Ａに対して、該搬入幅方向の一側寄りの位置を該搬入方向に延在する支持フレーム７８６と、支持フレーム７８６における該搬入方向上流側に配設された上流側チャッキング機構８００であって、搬送開始位置Ｙ１Ａに位置付けられた基板Ｐの搬入方向後端部を解除自在にチャッキングする上流側チャッキング機構８００と、支持フレーム７８６における該搬入方向下流側において上流側チャッキング機構８００に対し間隔をおいて配設された下流側チャッキング機構８０２であって、搬送開始位置Ｙ１Ａに移動させられた基板Ｐの搬入方向前端部を解除自在にチャッキングする下流側チャッキング機構８０２と、支持フレーム７８６に作用して上流側及び下流側チャッキング機構８００及び８０２の各々を一体的に該搬送開始位置Ｙ１Ａと剥離位置Ｙ２との間を選択的に移動させる基板搬送アクチュエータ８０４とを備えている。基板搬送アクチュエータ８０４は該搬送方向に水平に延在するロッドレスエアシリンダ機構から構成され、ロッドレスエアシリンダ機構の往復移動部８０４ａに支持フレーム７８６が配設されている。図示の実施形態においては、支持フレーム７８６には、基板Ｐのサイズに対応するために上流側チャッキング機構８００を該搬送方向に下流側チャッキング機構８０２に対して接近又は離隔するように水平に往復移動させるアクチュエータ８０６が配設されている。アクチュエータ８０６はロッドレスエアシリンダ機構から構成され、ロッドレスエアシリンダ機構の往復移動部に上流側チャッキング機構８００が配設されている。
【００９７】
上流側及び下流側チャッキング機構８００及び８０２は、相互に実質的に同じ構成を有しかつ該搬入方向に間隔をおいて相互に対称的に配設されているので、以下、それらを代表して上流側チャッキング機構８００について説明する。なお、下流側チャッキング機構８０２を示す図４０において、上流側チャッキング機構８００と実質的に同一部分には同一符号を付し、説明は省略する。
【００９８】
図３７〜図３９を参照して、上流側チャッキング機構８００は支持板８０８に支持され、支持板８０８は、アクチュエータ８０６を構成するロッドレスエアシリンダ機構の往復移動部に配設されている。なお、下流側チャッキング機構８０２は支持板８０８に支持されているが、この支持板８０８は、支持フレーム７８６に直接配設されている（図３５参照）。上流側チャッキング機構８００は、第１の可動チャッキング体８１０と、第２の可動チャッキング体８１２と、ばね手段を構成する一対の引張コイルばね８１４と、エアシリンダ機構からなるチャッキングアクチュエータ８１６とを備えている。支持板８０８は該搬入方向に細長く延在する矩形状をなし、幅方向の側面が鉛直方向に向けられている。支持板８０８の該搬送方向下流側の端部には、該搬入幅方向に見て、該搬入方向における上流方向に開放されたチャンネル形状をなすフレーム８１８が該搬入幅方向の他側に向かって延び出すよう配設されている。鉛直方向に間隔をおいて対向する、フレーム８１８の一対の側壁８２０における中間位置であって、フレーム８１８の、該搬入幅方向の他側における先端寄りの中間位置には、側壁８２０の各々の、該上流側の先端面から該上流方向に突出する突出部８２０ａが形成されている。側壁８２０の各々の、該上流側の先端面であって、突出部８２０ａから該搬送幅方向の他側方向における先端までの間の先端面８２０ｂは、突出部８２０ａから該搬入幅方向の一側方向における先端までの間の先端面８２０ｃよりも、該搬入方向下流側に若干後退せしめられている。この先端面８２０ｂは第１の可動チャッキング体８１０の旋回を阻止するストッパとして機能するが、これについては後述する。
【００９９】
次に、第１の可動チャッキング体８１０を、後述するチャッキング位置に位置付けられた状態において説明する。第１の可動チャッキング体８１０は、該搬入方向に見て、該搬入幅方向の一側方向に開放されたチャンネル形状をなす板部材を備えている。第１の可動チャッキング体８１０は、第１の可動チャッキング体８１０の、鉛直方向に間隔をおいて対向する一対の側壁８２２における、該搬入幅方向の一側方向における先端面と該搬入方向下流側の端面とが交わる角部が、フレーム８１８の、側壁８２０の各々の突出部８２０ａの外側面に重合され、それぞれ鉛直軸８２４を介して水平方向に旋回自在に支持されている。第１の可動チャッキング体８１０の側壁８２２間を延在する鉛直壁８２６の外側面（該搬入幅方向の他側方向に面した外側面）には、横断面が矩形状をなす被圧接部材８２８が鉛直方向に延在するよう配設されている。被圧接部材８２８の外側面（該搬入幅方向の他側方向に面した外側面）は、被圧接面８２８ａを規定する。側壁８２２の各々の、該搬入幅方向の一側方向における先端領域には、該搬入幅方向に一定の幅で、該搬入方向上流側の端面から該搬入方向上流側に延び出す延出部８３０が形成されている。側壁８２２の各々の、該搬入幅方向の一側方向における先端領域であって、延出部８３０と鉛直軸８２４が配設された角部との間には、鉛直軸からなるストッパ８３２が配設されている。ストッパ８３２は、後の説明から容易に理解されるように、第２の可動チャッキング体８１２のチャッキング位置からチャッキング解除位置への旋回を途中で阻止する。
【０１００】
次に、第２の可動チャッキング体８１２を、後述するチャッキング位置に位置付けられた状態において説明する。第２の可動チャッキング体８１２は、鉛直方向に間隔をおいて対向しかつ一定の幅で該搬入幅方向に延在すると共に該搬入幅方向の他側方向における先端部において該搬入方向の下流側に比較的短く延び出すよう形成された一対の側壁８３４と、側壁８３４の各々の延出部における、該搬入幅方向の一側方向に面した端部間を一定の幅で鉛直方向に延在する鉛直壁８３６とを備えた板部材を備えている。鉛直壁８３６の内側面（該搬入幅方向の一側方向に面した内側面）には、横断面が矩形状をなす圧接部材８３８が鉛直方向に延在するよう配設されている。圧接部材８３８の内側面（該搬入幅方向の一側方向に面した内側面）は、圧接面８３８ａを規定する。側壁８３４の各々の、該搬入幅方向の一側方向の一端部間には、鉛直軸８４０が配設されている。鉛直軸８４０は、エアシリンダ機構から構成されるチャッキングアクチュエータ８１６のピストンロッド８１６ａの先端に配設された旋回作動部材８１６ｂに当接されて、ピストンロッド８１６ａの、該搬入方向への往復移動を受ける被旋回作動部を構成する。側壁８３４の各々の、該搬入幅方向の他側方向の他端部間には、補強用の鉛直軸８４２が配設されている。
【０１０１】
第２の可動チャッキング体８１２は、第２の可動チャッキング体８１２の側壁８３４の各々の、該搬入幅方向の一側方向の一端部近傍部位が、第１の可動チャッキング体８１０の側壁８２２の各々に形成された延出部８３０の内側に重合され、それぞれピンからなる鉛直軸８４４まわりに旋回自在に支持されている。第２の可動チャッキング体８１２の側壁８３４の各々の、鉛直軸８４４が存在する部分よりも該搬入幅方向の他側方向寄りの部位には、それぞればね係止ピン８４６が同一鉛直軸線上を相互に離隔する方向に延び出すよう配設されている。ばね係止ピン８４６に対し、該搬入方向下流側に間隔をおいた位置であって、フレーム８１８の側壁８２０の各々にも、それぞればね係止ピン８４８が同一鉛直軸線上を相互に離隔する方向に延び出すよう配設されている。係止ピン８４６の各々と、係止ピン８４８の各々との間には、それぞれ引張コイルばね８１４が配設されている。
【０１０２】
チャッキングアクチュエータ８１６が作動されていない状態において、第１の可動チャッキング体８１０は、引張コイルばね８１４の各々のばね力により鉛直軸８２４まわりに図３７において反時計方向に旋回するよう付勢されるが、鉛直壁８２６の、該搬入方向下流側の端面が、フレーム８１８における側壁８２０の各々の先端面８２６ｂに当接して該旋回が阻止されることにより、チャッキング位置に位置付けられる。第１の可動チャッキング体８１０がチャッキング位置に位置付けられると、被圧接面８２８ａが該搬入幅方向の他側に向けられる。他方、第２の可動チャッキング体８１２は、引張コイルばね８１４の各々のばね力により、第１の可動チャッキング体８１０との連結部である鉛直軸８４４まわりに図３７において反時計方向に旋回するよう付勢されるが、圧接面８３８ａが、チャッキング位置に位置付けられた第１の可動チャッキング体８１０の被圧接面８２８ａに圧接されることにより阻止されてチャッキング位置に位置付けられる。このように、引張コイルばね８１４の各々は、第１及び第２の可動チャッキング体８１０及び８１２をチャッキング位置に常時付勢する。
【０１０３】
第１及び第２の可動チャッキング体８１０及び８１２がチャッキング位置に位置付けられた状態において、チャッキングアクチュエータ８１６を作動させると、ピストンロッド８１６ａの旋回作動部材８１６ｂが該下流方向に移動させられて第２の可動チャッキング体８１２の鉛直軸８４０に当接され、第２の可動チャッキング体８１２を鉛直軸８４４まわりに図３７において時計方向に旋回するよう強制する。第２の可動チャッキング体８１２は、引張コイルばね８１４の各々のばね力に抗して第１の可動チャッキング体８１０のストッパ８３２により阻止されるまで鉛直軸８４４まわりに第１の可動チャッキング体８１０に対して図３７において時計方向に旋回させられる。この旋回作動により第２の可動チャッキング体８１２の圧接面８３８ａは、第１の可動チャッキング体８１０の被圧接面８２８ａから実質的に該搬入幅方向の他側方向にかつ該上流方向に離隔させられる。この間、第１の可動チャッキング体８１０は、引張コイルばね８１４の各々のばね力によりチャッキング位置に位置付けられている。
【０１０４】
第２の可動チャッキング体８１２の、第１の可動チャッキング体８１０に対する旋回が第１の可動チャッキング体８１０のストッパ８３２により阻止された後には、第２の可動チャッキング体８１２及び第１の可動チャッキング体８１０は相対移動することなく一体的に引張コイルばね８１４の各々のばね力に抗して図３７において時計方向にチャッキング解除位置まで旋回させられる。第１の可動チャッキング体８１０は、被圧接面８２８ａがチャッキング位置に対し該搬入幅方向の一側方向に退避させられたチャッキング解除位置に位置付けられ、第２の可動チャッキング体８１２は、圧接面８３８ａがチャッキング位置に対し該搬入幅方向の一側方向に退避させられたチャッキング解除位置に位置付けられる。チャッキングアクチュエータ８１６の作動を解除すると、前記と逆の旋回動作により、第１及び第２の可動チャッキング体８１０及び８１２は、引張コイルばね８１４の各々のばね力により、チャッキング解除位置からチャッキング位置に戻される。
【０１０５】
先に述べたように、図４０に示されている下流側チャッキング機構８０２も、上記した上流側チャッキング機構８００と実質的に同様に作動するが、上流側チャッキング機構８００に対し、該搬入方向に間隔をおいて相互に対称的に配設されているので、作動も対称的に行われる。
【０１０６】
図２７、図２８、図３０及び図３５〜図３７を参照して、上流側及び下流側チャッキング機構８００及び８０２の各々のチャッキングアクチュエータ８１６を作動させて上流側及び下流側チャッキング機構８００及び８０２の各々の第１及び第２の可動チャッキング体８１０及び８１２がチャッキング解除位置に位置付けられた状態（待機状態）で、ハンガー７２０により基板Ｐを該鉛直な姿勢で搬送開始位置Ｙ１Ａに位置付ける。第１及び第２の可動チャッキング体８１０及び８１２がチャッキング解除位置に位置付けられた状態（待機状態）で、第１及び第２の可動チャッキング体８１０及び８１２の全ては、該鉛直な姿勢の基板Ｐの鉛直面に対して、該搬送幅方向の一側方向に所定の間隔をおいて完全に退避せしめられるので、ハンガー７２０により搬送開始位置Ｙ１Ａに移動させられた基板Ｐに干渉することはない。続いて、上流側及び下流側チャッキング機構８００及び８０２の各々のチャッキングアクチュエータ８１６の作動を解除すると、上流側チャッキング機構８００においては、第１及び第２の可動チャッキング体８１０及び８１２がチャッキング解除位置からチャッキング位置に旋回させられ、第１の可動チャッキング体８１０の被圧接面８２８ａは、基板Ｐの片面に対し、該搬入幅方向の一側方向に離隔した位置から旋回して、基板Ｐの、該一端部よりも下方位置における搬入方向後端部の、該搬入幅方向の一側方向に面した片面に当接ないし近接して対向させられる。また第２の可動チャッキング体８１２の圧接面８３８ａは、基板Ｐに対し、基板Ｐの搬入方向後端の後方を基板Ｐに干渉しないように旋回して、基板Ｐの、該一端部よりも下方位置における搬入方向後端部の、該搬入幅方向の他側方向に面した他面を介して第１の可動チャッキング体８１０の被圧接面８２８ａに圧接させられることにより、基板Ｐの該搬入方向後端部がチャッキングされる。
【０１０７】
他方、下流側チャッキング機構８０２においては、第１及び第２の可動チャッキング体８１０及び８１２がチャッキング解除位置からチャッキング位置に旋回させられ、第１の可動チャッキング体８１０の被圧接面８２８ａは、基板Ｐの片面に対し、該搬入幅方向の一側方向に離隔した位置から旋回して、基板Ｐの、該一端部よりも下方位置における搬入方向前端部の、該搬入幅方向の一側方向に面した片面に当接ないし近接して対向させられる。また第２の可動チャッキング体８１２の圧接面８３８ａは、基板Ｐに対し、基板Ｐの搬入方向前端の前方を基板Ｐに干渉しないように旋回して、基板Ｐの、該一端部よりも下方位置における搬入方向前端部の、該搬入幅方向の他側方向に面した他面を介して第１の可動チャッキング体８１０の被圧接面８２８ａに圧接させられることにより、基板Ｐの該搬入方向前端部がチャッキングされる。上記したチャッキング機構８００及び８０２の各々によれば、チャッキング動作が基板Ｐに干渉することなく円滑かつ確実に遂行される。
【０１０８】
支持フレーム７８６には基板Ｐのサイズに対応するために上流側チャッキング機構８００を該搬送方向に往復移動させるアクチュエータ８０６が配設されているので、基板Ｐのサイズに適宜に対応することが可能である（図３５参照）。フィルムＦの剥離を行うべき基板Ｐのサイズが一定であるならば、アクチュエータ８０６は不要である。
【０１０９】
搬送開始位置Ｙ１Ａにおいて基板Ｐがチャッキング機構８００及び８０２の各々によりチャッキングされた状態で、ハンガー７２０の把持アクチュエータ７８２を作動させてハンガー７２０の把持ユニット７７２の各々における把持部材７８０の各々を把持位置から把持解除位置に旋回させて基板Ｐの該一端部の把持を解除する。続いて基板搬送アクチュエータ８０４を作動させてチャッキング機構８００及び８０２の各々を搬送開始位置Ｙ１Ａから剥離位置Ｙ２に移動させることにより、チャッキング機構８００及び８０２の各々にチャッキングされた基板Ｐは、搬送開始位置Ｙ１Ａから剥離位置Ｙ２に該鉛直な姿勢が維持された状態で搬送される。把持部材７８０の各々が把持解除位置に旋回させられた状態で、把持部材７８０の各々の全ては、チャッキング機構８００及び８０２の各々によりチャッキングされた基板Ｐの上端よりも上方に位置付けられるので、基板Ｐが搬送開始位置Ｙ１Ａに存在した状態においても、搬送開始位置Ｙ１Ａから他側待機位置に移動させることが可能であり、フィルム剥離搬送装置の効率向上に寄与する。
【０１１０】
次に剥離位置Ｙ２に配設された剥離手段７１０について説明する。主として図４１〜図４５を参照して、剥離手段７１０は、鉛直方向に延在するよう静止枠体７２２に配設された複数の（実施形態においては４本の）ガイドロッド８５０と、ガイドロッド８５０に沿って昇降自在に配設された可動支持枠体８５２と、可動支持枠体８５０をガイドロッド８５０に沿って昇降させる昇降アクチュエータ８５４とを備えている。昇降アクチュエータ８５４は鉛直方向に延在するロッドレスエアシリンダ機構から構成されている。可動支持枠体８５２は、ロッドレスエアシリンダ機構の往復移動部に支持され、ロッドレスエアシリンダ機構によって、最上方位置である剥離開始位置と、最下方位置であるフィルム排出位置との間を昇降させられる。可動支持枠体８５２には、一対のフィルムガイドクランプ部材８５６が、基板Ｐの搬送幅方向に相互に対向して該搬送幅方向に移動自在に配設されている。基板Ｐの搬送方向に相互に平行に延在するフィルムガイドクランプ部材８５６の各々は、該搬送幅方向に相互に対向して該搬送幅方向に水平に移動自在に配設された、それぞれ複数のスライドロッド８５８、実施形態におい＊はそれぞれ２個のスライドロッド８５８の先端に支持されている。可動支持枠体８５２にはまた、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々に対応して、一対のフィルムガイドクランプアクチュエータ８６０が配設されている。フィルムガイドクランプアクチュエータ８６０の各々はエアシリンダ機構から構成され、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々は、該搬送幅方向に延在する共通の水平軸線上に配置された、フィルムガイドクランプアクチュエータ８６０の各々のピストンロッド８６０ａの先端に、それぞれ連結されている。フィルムガイドクランプアクチュエータ８６０の各々は、それぞれフィルムガイドクランプ部材８５６の各々に作用して、剥離位置Ｙ２に搬送された基板Ｐの該一端部（上端部）近傍の領域であって、フィルムＦの一端部よりも基板Ｐの他端方向（下端方向）に後退した基板Ｐの該一端部近傍の領域の両面をクランプするクランプ位置と、該一端部近傍の領域から該搬送幅方向外方に向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ解除位置との間を選択的に移動させる。実施形態においては、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々は、相互に離隔する距離が微小であるクランプ解除位置（フィルムＦの剥離遂行時におけるクランプ解除位置）と、相互に離隔する距離が大きいクランプ解除位置（待機時におけるクランプ解除位置）との二つのクランプ解除位置を有している。基板Ｐが剥離位置Ｙ２に搬送されるとき、あるいは剥離位置Ｙ２から搬出位置Ｙ２に搬送されるときなどは、待機時におけるクランプ解除位置に位置付けられることが好ましい。
【０１１１】
主として図４１及び図４５を参照して、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々の上面には、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々の長手方向である、該搬送方向に間隔をおいて複数の（実施形態においてはそれぞれ５個の）被クランプ部材８６２が配設されている。被クランプ部材８６２の各々の平坦な上面の、該搬送幅方向の内側領域には複数の被クランプ溝が形成され、被クランプ部材８６２の各々の、該搬送幅方向の外側端部には、対応するフィルムガイドクランプ部材８５６の、該搬送幅方向の外側に突出する一対の支持フランジ部が形成されている。フィルムガイドクランプ部材８５６の各々にはフィルムクランプ部材８６４が旋回自在に支持されている。フィルムクランプ部材８６４の各々は、対応するフィルムガイドクランプ部材８５６における被クランプ部材８６２の支持フランジ部に、該搬送幅方向に延在する水平軸８６６を介して旋回自在に支持されている。フィルムクランプ部材８６４の各々は、対応するフィルムガイドクランプ部材８５６の、該搬送幅方向の外側面よりも更に該搬送幅方向の外側に延び出している。フィルムクランプ部材８６４の各々の平坦な下面の、該搬送幅方向の内側領域には複数のクランプ溝が形成されている。フィルムクランプ部材８６４の各々は、対応するフィルムガイドクランプ部材８５６の上面、実施形態においては被クランプ部材８６２の上面に形成された被クランプ溝に、各々のクランプ溝が圧接されるクランプ位置と、各々のクランプ溝が、対応するフィルムガイドクランプ部材８５６の被クランプ部材８６２の該被クランプ溝から上方に退避するクランプ解除位置との間を水平軸８６６まわりを旋回自在である。
【０１１２】
フィルムクランプ部材８６４の各々を旋回自在に支持する水平軸８６６には、ばね手段であるねじりコイルばね８６８が配設されている。ねじりコイルばね８６８の各々の一端部は、対応するフィルムクランプ部材８６４の下面（フィルムガイドクランプ部材８５６の、該搬送幅方向の外側面から更に外方に延び出した部分における下面）に圧接され、各々の他端は、対応するフィルムガイドクランプ部材８５６の該外側面に圧接されている。ねじりコイルばね８６８の各々は、対応するフィルムクランプ部材８６４をクランプ位置に常時付勢する。フィルムガイドクランプ部材８５６の各々の下面側には、フィルムクランプアクチュエータ８７０が鉛直方向に延在するよう配設されている。フィルムクランプアクチュエータ８７０の各々はエアシリンダ機構から構成され、ピストンロッド８７０ａが鉛直上方に延び出している。これに対応して、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々及び被クランプ部材８６２には、対応するピストンロッド８７０ａの鉛直方向の往復移動を許容するための貫通孔８５７が形成されている。貫通孔８５７の各々は、対応するフィルムクランプ部材８６４の下面に対向して開口する。フィルムクランプアクチュエータ８７０の各々は、対応するフィルムクランプ部材８６４をねじりコイルばね８６８のばね力に抗してクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させる。
【０１１３】
主として図４１及び図４４を参照して、剥離位置Ｙ２において該鉛直な姿勢で位置付けられる基板Ｐの上方位置には、該搬送方向に水平に延在する静止フレーム８７２が配設されている。静止フレーム８７２は、横断面が、上方に開放されたチャンネル形状をなし、静止枠体７２２の天井部に配設されている。静止フレーム８７２には、該搬送方向に間隔をおいて、それぞれ一対の基板クランプ部材８７４からなる基板クランプ部材対８７４Ａが、複数対（実施形態においては６対）配設されている。静止フレーム８７２において、基板クランプ部材対８７４Ａの各々を配設する部分には、それぞれ開口が形成され、基板クランプ部材対８７４Ａの各々の下方領域が該開口から下方に延び出している。剥離位置Ｙ２に搬送された基板Ｐの該一端部の上方に配設された基板クランプ部材対８７４Ａの各々において、基板クランプ部材対８７４Ａを構成する基板クランプ部材８７４の各々は、基板Ｐの該一端部の両面をクランプするクランプ位置と、該一端部から基板Ｐの搬送幅方向外方の上方に向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ解除位置との間を、水平軸８７６まわりに旋回自在に支持されている。水平軸８７６の各々は、該搬送幅方向に間隔をおいて該搬送方向に平行に延在する。基板クランプ部材対８７４Ａを構成する基板クランプ部材８７４の各々間には、基板クランプ部材８７４の各々を常時クランプ位置に付勢するばね手段である引張コイルばね８７８が配設されている。基板クランプ部材８７４の各々は、クランプ位置に位置付けられた状態において、図４４から容易に理解されるように、水平軸８７６に支持された部分から相互に該搬送幅方向に間隔をおいて平行に鉛直下方に延びる垂下部８７４ａと、垂下部８７４ａの各々の下端部において相互に対向する内側面に配設された圧接部８７４ｂと、水平軸８７６に支持された部分から相互に接近する方向に上方に傾斜して延び出す傾斜上部８７４ｃとを備え、傾斜上部８７４ｃの各々の頂部のみが相互に該搬送方向に重合して相対移動可能に構成されている。
【０１１４】
基板クランプ部材対８７４Ａの上方には、該搬送方向に間隔をおいて一対の基板クランプアクチュエータ８８０が鉛直方向に延在するよう、静止枠体７２２の天井部に配設されている。基板クランプアクチュエータ８８０の各々は、鉛直下方に延び出すよう配設されたピストンロッド８８０ａを有するエアシリンダ機構からなる。基板クランプアクチュエータ８８０の各々のピストンロッド８８０ａの下端間には、クランプ作動板８８２が一体に配設されている。クランプ作動板８８２は、一定の幅をもって該搬送方向に水平に延在する帯状の板からなり、基板クランプアクチュエータ８８０の各々の非作動時には、基板クランプ部材対８７４Ａの各々の上方に所定の間隔をおいて位置付けられている。基板クランプアクチュエータ８８０の各々を作動させると、クランプ作動板８８２が下降して基板クランプ部材対８７４Ａの各々を構成する基板クランプ部材８７４の各々の傾斜上部８７４ｃの各々の頂部を下方に強制するので、基板クランプ部材８７４の各々は引張コイルばね８７８のばね力に抗して水平軸８７６まわりにクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させられる。基板クランプアクチュエータ８８０の各々の作動を解除すると、クランプ作動板８８２は元の位置に上昇させられ、基板クランプ部材８７４の各々は引張コイルばね８７８のばね力によりクランプ解除位置からクランプ位置に旋回させられる。
【０１１５】
剥離手段７１０は、基板Ｐの、少なくとも該一端部に含まれる一端に向けて上方から圧力気体を噴射する圧力気体噴射手段、実施形態においては圧力エアを噴射する圧力エア噴射手段２６０を備えている。圧力気体噴射手段２６０は、先に述べたフィルム剥離搬送装置の実施形態に備えられた圧力エア噴射手段２６０と実質的に同じでよいが、この実施形態においては、先の実施形態と実質的に同じ構成を有する１本の圧力エア供給パイプ２６６を備えている。圧力エア供給パイプ２６６は、静止フレーム８７２の下方を該搬送方向に水平に延在するよう、静止フレーム８７２に配設されている。圧力エア供給パイプ２６６は、基板クランプ部材対８７４Ａの各々を構成する基板クランプ部材８７４の各々の間を、それらに干渉しないよう延在せしめられている。圧力エア供給パイプ２６６を含む圧力エア噴射手段２６０のその他の基本的な構成は先に詳細に説明されているので、更なる説明は省略する。
【０１１６】
図２７、図２８及び図４２〜図４５を参照して、上記可動支持枠体８５２が剥離開始位置に位置付けられ、かつフィルムガイドクランプ部材８５６の各々が待機時におけるクランプ解除位置に位置付けられると共に基板クランプ部材対８７４Ａの各々がクランプ解除位置に位置付けられた状態において、基板搬送手段７０８の基板搬送アクチュエータ８０４を作動させてチャッキング機構８００及び８０２の各々によりクランプした基板Ｐを搬送開始位置Ｙ１Ａから剥離位置Ｙ２に該鉛直な姿勢を維持しながら移動させる。チャッキング機構８００及び８０２の各々は、剥離手段７１０の可動支持枠体８５２に支持された各部材のうち最下方位置に存在するフィルムクランプアクチュエータ８７０の各々よりも下方に位置付けられる。次にフィルムガイドクランプアクチュエータ８６０の各々を作動させてフィルムガイドクランプ部材８５６の各々をクランプ位置に移動して基板Ｐの該一端部近傍の領域の両面をクランプする。この後、チャッキングアクチュエータ８１６の各々の作動を解除してチャッキング機構８００及び８０２の各々による基板Ｐのクランプを解除する。続いて基板搬送アクチュエータ８０４を作動させて、基板Ｐのクランプを解除したチャッキング機構８００及び８０２の各々を剥離位置Ｙ２から搬送開始位置Ｙ１Ａに復帰移動させる。以上の動作により、基板Ｐは剥離位置Ｙ２において剥離手段７１０のフィルムガイドクランプ部材８５６の各々により該鉛直な姿勢でクランプされる。なお、チャッキング機構８００及び８０２の各々の該復帰移動において、チャッキング機構８００及び８０２の各々における第１及び第２の可動チャッキング体８１０及び８１２は、先に述べたように全て該鉛直な姿勢の基板Ｐの鉛直面から、該搬送幅方向の一側方向に十分な間隔をおいて退避させられているので、基板Ｐに干渉することなく該移動が遂行される。
【０１１７】
次に、剥離手段７１０の剥離作動を説明する前に、剥離手段７１０の下流側に配設された他の基板搬送手段７１２について説明する。図２７及び図２８を参照して、他の基板搬送手段７１２は、昇降アクチュエータ８９０を備えている以外の構成は、先に述べた基板搬送手段７０８と実質的に同じであるので、同一部分には同一符号を付し、説明は省略する。ロッドレスエアシリンダ機構から構成されている基板搬送アクチュエータ８０４の往復移動部８０４ａに昇降アクチュエータ８９０が配設されている。鉛直方向に延在する昇降アクチュエータ８９０はロッドレスエアシリンダ機構から構成され、その昇降動部に支持フレーム７８６が配設され、支持フレーム７８６にチャッキング機構８００及び８０２が配設されている。チャッキング機構８００及び８０２は基板搬送アクチュエータ８０４により、搬出位置Ｙ３と剥離位置Ｙ２との間を選択的に水平に往復移動させられる。搬出位置Ｙ３に位置付けられたチャッキング機構８００及び８０２は、昇降アクチュエータ８９０により搬出位置Ｙ３と、搬出位置Ｙ３よりも下方の剥離ミス基板排出位置との間を昇降可能である。図２８から容易に理解されるように、基板Ｐの搬送開始位置Ｙ１Ａ、剥離位置Ｙ２及び搬出位置Ｙ３は、同一鉛直面上に存在するよう配置されている。また、図２７から容易に理解されるように、搬出位置Ｙ３において昇降アクチュエータ８９０により搬出位置Ｙ３に位置付けられた状態で、他の基板搬送手段７１２のチャッキング機構８００及び８０２は、搬送開始位置Ｔ１Ａに配設された基板搬送手段７０８のチャッキング機構８００及び８０２よりも若干低い位置に位置付けられる。
【０１１８】
次に、剥離手段７１０によるフィルムＦの剥離作動について説明する。図４３〜図４６を参照して、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々がフィルムガイドクランプアクチュエータ８６０によりクランプ位置に位置付けられて基板Ｐがフィルムガイドクランプ部材８５６の各々によりクランプされかつ基板クランプアクチュエータ８８０の各々の作動により基板クランプ部材対８７４Ａの各々がクランプ解除位置に位置付けられると共にフィルムクランプ部材８６４の各々がフィルムクランプアクチュエータ８７０の作動によりクランプ解除位置に位置付けられた状態で、圧力エア供給パイプ２６６によって基板Ｐの、少なくとも該一端部に含まれる一端に向けて上方から圧力エアを噴射する。圧力エアの噴射により、基板Ｐの片面又は両面（実施形態においては両面）からフィルムＦの一端部が部分的に剥離される。基板Ｐの両面から剥離されたフィルムＦの一端部はフィルムガイドクランプ部材８５６の各々の上面である被クランプ部材８６２の上面に押し付けられる（図４６参照）。
【０１１９】
続いて圧力エア供給パイプ２６６から圧力エアを噴射しながらフィルムクランプアクチュエータ８７０の作動を解除してフィルムクランプ部材８６４の各々をねじりコイルばね８６８のばね力によりクランプ位置に旋回させることにより、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々の上面である被クランプ部材８６２の上面に押し付けられたフィルムＦの一端部をそれぞれ該上面にクランプする（図４７参照）。フィルムガイドクランプ部材８５６の各々の上面である被クランプ部材８６２の上面には被クランプ溝が形成され、フィルムクランプ部材８６４の各々の下面にはクランプ溝が形成され、これらの溝同士が噛み合わされてフィルムＦの各々の一端部はしっかりとクランプされる。フィルムＦの各々の一端部が、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々と、対応するフィルムクランプ部材８６４によりクランプされた後、圧力エア供給パイプ２６６からの圧力エアの噴射を停止する。
【０１２０】
図４４、図４８及び図４９を参照して、上記した如く、圧力エア供給パイプ２６６からの圧力エアの噴射を停止した後、基板クランプアクチュエータ８８０の各々の作動を解除して引張コイルばね８７８のばね力により基板クランプ部材対８７４Ａの各々をクランプ位置に旋回させて基板Ｐの該一端部をクランプする（図４８参照）。続いて、フィルムガイドクランプアクチュエータ８６０の各々を作動させてフィルムガイドクランプ部材８５６の各々を、クランプ位置に位置付けられたフィルムクランプ部材８６４の各々と共にクランプ解除位置（フィルムＦの剥離遂行時におけるクランプ解除位置）に移動させる（図４９参照）。この移動ストロークは、後述するとおりにしてフィルムガイドクランプ部材８５６の各々がフィルムクランプ部材８６４の各々と共に下降させられたとき、基板Ｐに接触しない程度の微小な距離でよい。
【０１２１】
図４２及び図５０を参照して、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々を、クランプ位置に位置付けられたフィルムクランプ部材８６４の各々と共に上記クランプ解除位置に微小なストローク移＊させた後、昇降アクチュエータ８５４を作動させて可動支持枠体８５２を、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々及びフィルムクランプ部材８６４の各々と共に、剥離開始位置から一体に下降させる。基板Ｐの該一端部（上端部）は、基板クランプ部材対８７４Ａの各々によりクランプされて該鉛直な姿勢で静止フレーム８７２に吊り下げられ、基板Ｐの両面に貼着されたフィルムＦの各々の一端部が相互に離隔する方向に引き剥がされた後に強制的に下方に引っ張られるので、フィルムＦの各々は基板Ｐの両面から徐々に下方に向かって効果的に剥離される（図５０参照）。可動支持枠体８５２がフィルム排出位置まで下降させられると、フィルムＦの各々は基板Ｐの両面から完全に剥離される。続いて、フィルムクランプアクチュエータ８７０の各々を作動させてフィルムクランプ部材８６４の各々をクランプ解除位置に旋回させることにより、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々の上面である被クランプ部材８６２の上面に対するフィルムＦのクランプを解除すると共に、フィルムガイドクランプアクチュエータ８６０の各々を作動させてフィルムガイドクランプ部材８５６の各々をクランプ解除位置（待機時におけるクランプ解除位置）に移動させる。クランプが解除されたフィルムＦの各々は自由落下して下方に配設された収容箱２内に収容される。基板Ｐから完全に剥離されたフィルムＦに向けて上方から圧力気体である圧力エアを噴射して該フィルムＦを下方に強制的に排出する圧力気体噴射手段である圧力エア噴射手段８８８を備えることが好ましい。圧力エア噴射手段８８８を備えた場合には、剥離されたフィルムＦを一層確実に排出することが可能になる。
【０１２２】
図２７、図２８及び図４２を参照して、剥離位置Ｙ２において基板ＰからフィルムＦが完全に剥離された後、他の基板搬送手段７１２のチャッキング機構８００及び８０２における第１及び第２の可動チャッキング体８１０及び８１２をチャッキング解除位置に位置付けた状態で、基板搬送アクチュエータ８０４を作動させてチャッキング機構８００及び８０２を搬出位置Ｙ３から剥離位置Ｙ２まで移動させる。続いて、先に述べたと同様にして第１及び第２の可動チャッキング体８１０及び８１２をチャッキング解除位置に位置付けて該鉛直な姿勢の基板Ｐの該搬送方向後端部及び前端部の両面をクランプした後に、剥離手段７１０の基板クランプ部材対８７４Ａの各々をクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させ、基板Ｐのクランプを解除する。基板クランプ部材対８７４Ａの各々による基板Ｐのクランプを解除した後、他の基板搬送手段７１２の基板搬送アクチュエータ８０４を作動させてチャッキング機構８００及び８０２を剥離位置Ｙ２から搬出位置Ｙ３まで移動させる。基板Ｐは、該鉛直な姿勢に維持されながら剥離位置Ｙ２から搬出位置Ｙ３まで移動させられる。搬出位置Ｙ３に搬送された基板Ｐは、図示しない基板搬出装置により上端部をクランプされ、チャッキング機構８００及び８０２によるチャッキングを解除した後に該鉛直な姿勢に維持されながら図２７の上方に搬出される。基板Ｐに剥離ミスが発生した場合には、チャッキング機構８００及び８０２は、昇降アクチュエータ８９０により搬出位置Ｙ３から剥離ミス基板排出位置に下降させられて図示しないスットカーに収容される。基板Ｐが剥離位置Ｙ２から搬出位置Ｙ３まで移動させられた後、剥離手段７１０における基板クランプアクチュエータ８８０の各々の作動を解除し、引張コイルばね８７８のばね力により基板クランプ部材対８７４Ａの各々をクランプ位置に復帰させる。
【０１２３】
上記したとおりにして、基板ＰからフィルムＦが完全に剥離されかつ排出された後、フィルムクランプアクチュエータ８７０の各々の作動を解除してフィルムクランプ部材８６４の各々をねじりコイルばね８６８のばね力によりクランプ位置に戻し、剥離手段７１０の昇降アクチュエータ８５４を再び作動させて可動支持枠体８５２をフィルム排出位置から剥離開始位置まで上昇させる。
【０１２４】
図２７〜図５０を参照して説明した本発明においては、先の説明から容易に理解されるように、両面が基板Ｐの搬送幅方向に向けられた鉛直な姿勢で基板Ｐを剥離位置Ｙ２へ搬送する基板搬送手段７０８と、剥離位置Ｙ２に搬送された該鉛直な姿勢の基板ＰからフィルムＦを完全に剥離する剥離手段７１０とを備えていることが本質的に重要である。このような構成により、厚さが非常に薄い基板Ｐであっても、基板Ｐの品質を損なうことなく、基板Ｐの片面又は両面に貼着されているフィルムＦを円滑かつ確実に剥離することを可能にする。また、厚さが非常に薄い基板Ｐであっても、基板Ｐの片面又は両面に貼着されている絶縁樹脂Ｐ２に比較的強力な密着強度をもって貼着されているフィルムＦを、絶縁樹脂Ｐ２を実質的に傷めることなく、絶縁樹脂Ｐ２から十分確実に剥離することを可能にする。更にはまた、厚さが非常に薄い基板Ｐであっても、基板Ｐの品質を損なうことなく安定した搬送を可能にすると共に、基板Ｐの片面又は両面に貼着されているフィルムＦを円滑かつ確実に剥離することを可能にする。
【０１２５】
図２７〜図５０を参照して説明した本発明の他の局面によれば、フィルム剥離搬送装置は、剥離位置Ｙ２に向かって基板Ｐの搬送を開始する搬送開始位置Ｙ１Ａへ、両面が該搬送幅方向に向けられた鉛直な姿勢で投入された基板Ｐの搬送方向両端部を解除自在にチャッキングして該鉛直な姿勢を維持しながら基板Ｐを剥離位置Ｙ２へ搬送する基板搬送手段７０８と、剥離位置Ｙ２に搬送された該鉛直な姿勢の基板ＰからフィルムＦを完全に剥離する剥離手段７１０とを備えている。このような構成においても、上記したと実質的に同じ効果を達成することができる。基板Ｐを投入する装置は、基板Ｐの該一端部を把持して該鉛直な姿勢で搬送開始位置Ｙ１Ａに投入できる装置であれば、どのような装置であってもよい。例えば、上記ハンガー７２０の如き装置であっても、先の実施形態における基板投入装置６００Ａの如き装置であってもよい。剥離位置Ｙ２から、フィルムＦが完全に剥離された基板Ｐを搬出する場合においても、該鉛直な姿勢で搬出位置Ｙ３まで搬送することは容易であり、搬出位置Ｙ３から装置の外部に搬出する装置も、基板Ｐを投入する装置と同じ如く、種々の形態が想定される。なお、本発明のいずれの実施形態においても、フィルム搬送剥離装置に基板を投入する装置の形態及びフィルム搬送剥離装置から、フィルムが剥離された基板を搬出する装置の形態は、いずれも本発明の特徴をなすものではなく、周知の形態を利用すればよい。
【０１２６】
図２７〜図５０を参照して説明した本発明の他の局面によれば、フィルム剥離搬送装置は、片面又は両面に対してフィルムＦが貼着された基板Ｐを水平な姿勢で搬入位置に搬入する搬入手段７０２と、搬入位置７０２に搬入された基板Ｐを、両面が基板Ｐの搬入幅方向に向けられた鉛直な姿勢に変換する姿勢変換手段７０４と、該鉛直な姿勢に変換された基板Ｐを、搬入方向前方に設定された剥離位置Ｙ２へ向けて搬送するための搬送開始位置Ｙ１Ａへ該鉛直な姿勢を維持しながら移動させる搬送開始位置決め手段７０６と、搬送開始位置Ｙ１Ａへ移動させられた基板Ｐの搬送方向両端部を解除自在にチャッキングして該鉛直な姿勢を維持しながら基板Ｐを剥離位置Ｙ２へ搬送する基板搬送手段７０８と、剥離位置Ｙ２に搬送された該鉛直な姿勢の基板ＰからフィルムＦを完全に剥離する剥離手段７１０とを備えている。基板Ｐは水平な姿勢で搬入されるが、搬入された基板Ｐは、姿勢変換手段７０４により該鉛直な姿勢に変換され、搬送開始位置決め手段７０６により該鉛直な姿勢の状態で搬送開始位置Ｙ１Ａに移動されるので、剥離位置Ｙ２において該鉛直な姿勢でフィルムＦを剥離することは容易に可能となる。また、基板Ｐの姿勢変換及び搬送開始位置Ｙ１Ａまでの動作は容易かつ単純に遂行可能であるので、基板Ｐが損傷する可能性はほとんど無く、品質は十分確実に保証される。
【０１２７】
図２７〜図５０を参照して説明した本発明の実施形態において、剥離位置Ｙ２から搬出位置Ｙ３に搬送された基板Ｐは、該鉛直な姿勢の状態で搬出されるよう構成されているが、搬入位置Ｙ１におけると同様に、搬送開始位置決め手段７０６、姿勢変換手段７０４及び搬入ローラ体７２４と実質的に同じ機構を設置して、これらとは逆の動作を遂行することにより、基板Ｐを該鉛直な姿勢から水平な姿勢に変換して搬出させることも、必要に応じて容易に可能である。
【０１２８】
上記した説明から明らかなように、本発明においては、全ての実施形態において、基板Ｐを鉛直な姿勢にしてフィルムＦを剥離することが本質的に重要な特徴をなす。すなわち、図１〜図２６を参照して説明した実施形態においては、両面が基板Ｐの搬送方向に向けられた鉛直な姿勢でフィルムＦを剥離し、また、図２７〜図５０を参照して説明した実施形態においては、両面が基板Ｐの搬送幅方向に向けられた鉛直な姿勢でフィルムＦを剥離する。いずれの発明においても、上記したとおりの優れた剥離効果の達成が可能となるのである。もちろん、基板Ｐを鉛直な姿勢にしてフィルムＦを剥離するのであれば、基板Ｐの搬送時及び剥離時において、基板Ｐの両面がいずれの方向に向けられていてもよい。また、基板Ｐを鉛直な姿勢で剥離位置まで搬送する基板搬送手段は、上記実施形態に示されている手段に限定されることはなく、他の構成であっても、本願発明の実施は可能である。更にはまた、図２７〜図５０を参照して説明した実施形態において、基板Ｐのフィルムを剥離する手段として、図１〜図２６に示す実施形態において説明した剥離手段２００を使用することも可能であり、また、端部剥離手段３００と剥離手段４００とを組み合わせて使用することも可能であることはいうまでもない。
【０１２９】
以上、本発明によるフィルム剥離搬送装置の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形あるいは修正が可能である。例えば、上記実施形態において、基板Ｐの両面にフィルムＦが貼着されているが、基板Ｐの片面又は両面にフィルムＦが貼着された基板Ｐのいずれにも本発明が適用されることはいうまでもない。また、図１〜図２６を参照して説明した上記実施形態において、基板Ｐは受取位置Ｘ１において、水平な姿勢又は又は鉛直な姿勢で受け取るよう構成されているが、水平な姿勢と鉛直な姿勢との間の、適宜の傾斜した姿勢で他の図示しない基板投入装置から受け取ってもよい。同様に、図１〜図２６を参照して説明した上記実施形態において、基板Ｐは搬出位置Ｘ３において、水平な姿勢又は又は鉛直な姿勢で搬出されるよう構成されているが、水平な姿勢と鉛直な姿勢との間の、適宜の傾斜した姿勢で搬出されてもよい。図１〜図２６を参照して説明した本発明においては、何れの実施形態においても、端部剥離位置Ｘ１Ａ又は剥離位置Ｘ２において、基板Ｐが鉛直な姿勢に保持され、基板Ｐが鉛直な姿勢に保持された状態で、先に述べたとおりにしてフィルムＦの剥離が行なわれることが特に重要である。
【０１３０】
【発明の効果】
本発明に従って構成されたフィルム剥離搬送装置によれば、厚さが非常に薄い基板であっても、基板の品質を損なうことなく、基板の片面又は両面に貼着されているフィルムを円滑かつ確実に剥離することを可能にする。また、厚さが非常に薄い基板であっても、基板の片面又は両面に貼着されている絶縁樹脂に比較的強力な密着強度をもって貼着されているフィルムを、絶縁樹脂を実質的に傷めることなく、絶縁樹脂から十分確実に剥離することを可能にする。更にはまた、厚さが非常に薄い基板であっても、基板の品質を損なうことなく安定した搬送を可能にすると共に、基板の品質を損なうことなく基板の片面又は両面に貼着されているフィルムを円滑かつ確実に剥離することを可能にする。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるフィルム剥離搬送装置の実施形態の構成の一部を概略的に示す側面図。
【図２】図２に示すフィルム剥離搬送装置の構成の一部を示す平面概略図。
【図３】図１に示すフィルム剥離搬送装置の構成の一部を示す横断面概略図。
【図４】図３に示すフィルム剥離搬送装置の構成の一部を拡大して示す横断面概略図。
【図５】図１に示すフィルム剥離搬送装置の構成の他の一部を拡大して示す横断面概略図。
【図６】図１に示すフィルム剥離搬送装置に含まれる基板搬送手段の構成を説明するための斜視概念図。
【図７】図１に示すフィルム剥離搬送装置に含まれる基板搬送手段の構成の一部を詳細に示す斜視図。
【図８】図１に示すフィルム剥離搬送装置に含まれる剥離手段及び基板搬送手段の一部を示す斜視概略図。
【図９】図８に示す剥離手段に含まれる圧力エア供給パイプ及び基板の一端部の断面概略図。
【図１０】図９に示す基板の全体を示す平面概略図。
【図１１】図８に示す剥離手段の他の実施形態を示す斜視概略図。
【図１２】本発明によるフィルム剥離搬送装置の他の実施形態の構成の一部を概略的に示す側面図。
【図１３】図１２に示すフィルム剥離搬送装置の構成の一部を示す横断面概略図。
【図１４】図１２に示すフィルム剥離搬送装置に含まれる端部剥離手段及び基板搬送手段の一部を示す斜視概略図。
【図１５】図１２に示すフィルム剥離搬送装置に含まれる剥離手段の側面概略図。
【図１６】図１５に示す剥離手段の他の作動態様を示す側面概略図。
【図１７】図１５に示す剥離手段の更に他の作動態様を示す側面概略図。
【図１８】図１５に示す剥離手段の更に他の作動態様を示す側面概略図。
【図１９】図１５に示す剥離手段の更に他の作動態様を示す側面概略図。
【図２０】図１５に示す剥離手段の更に他の作動態様を示す側面概略図。
【図２１】図１５に示す剥離手段の更に他の作動態様を示す側面概略図。
【図２２】図１５に示す剥離手段の更に他の作動態様を示す側面概略図。
【図２３】図１５に示す剥離手段の更に他の作動態様を示す側面概略図であって、フィルム搬送手段の概略構成図と共に示す側面概略図。
【図２４】本発明によるフィルム剥離搬送装置の更に他の実施形態の構成の一部を概略的に示す側面図。
【図２５】図２４に示すフィルム剥離搬送装置の他の作動態様を概略的に示す側面図。
【図２６】本発明によるフィルム剥離搬送装置の更に他の実施形態の構成の一部を概略的に示す側面図。
【図２７】本発明によるフィルム剥離搬送装置の更に他の実施形態の構成の要部を概略的に示す側面図。
【図２８】図２７に示す装置の平面概略図。
【図２９】図２７に示す装置の搬入位置を平面から見た概略図。
【図３０】図２７に示す装置を左方から見た概略図。
【図３１】図３０に示す構成の一部を示す拡大図であって、二つの作動態様を概略的に示す拡大図。
【図３２】図３０に示す構成の他の一部を示す拡大図。
【図３３】図３２の平面概略図。
【図３４】図３０に示す構成の更に他の一部を示す拡大図。
【図３５】図３０に示す構成の更に他の一部を示す拡大図であって、二つの作動態様を概略的に示す拡大図。
【図３６】図３５に示す構成を図３５において下方から見た図。
【図３７】図３５に示す構成の更に他の一部を示す拡大図であって、複数の作動態様を概略的に示す拡大図。
【図３８】図３７に示す構成を図３７において下方から見た図。
【図３９】図３８に示す構成を図３８において左方から見た図であって、一部の構成を付加して示す図。
【図４０】図３５に示す構成の更に他の一部を示す拡大図であって、複数の作動態様を概略的に示す拡大図。
【図４１】図２８に示す構成の一部を示す拡大図。
【図４２】図２８に示す剥離位置を図２８において左方から見た概略図であって、二つの作動態様を概略的に示す図。
【図４３】図４２に示す構成に含まれる他の一部を示す拡大図。
【図４４】図４２に示す構成に含まれる更に他の一部を示す拡大図。
【図４５】図４２に示す構成に含まれる更に他の一部を示す拡大図。
【図４６】図４２に示す構成の一つの作動態様を示す概略図。
【図４７】図４２に示す構成の他の作動態様を示す概略図。
【図４８】図４２に示す構成の更に他の作動態様を示す概略図。
【図４９】図４２に示す構成の更に他の作動態様を示す概略図。
【図５０】図４２に示す構成の更に他の作動態様を示す概略図。
【符号の説明】
１００  基板搬送手段
１２０  基板保持部材
１２０Ａ  基板保持部材対
２００  剥離手段
２６０  圧力エア噴射手段
３００  端部剥離手段
４００  剥離手段
５００  フィルム搬送手段
６００Ａ  基板投入装置
６００Ｂ  基板受取装置
７０２  搬入手段
７０４  姿勢変換手段
７０６  搬送開始位置決め手段
７０８  基板搬送手段
７１０  剥離手段
７１２  他の基板搬送手段
７１６  幅寄せ手段
７１８  基板直立手段
７２０  ハンガー
Ｆ  フィルム
Ｐ  基板
Ｘ１  受取位置
Ｘ１Ａ  端部剥離位置
Ｘ２  剥離位置
Ｘ３  搬出位置
Ｙ１  搬入位置
Ｙ１Ａ  搬送開始位置
Ｙ２  剥離位置
Ｙ３  搬出位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0004148767.tif 000008
【図８】
0004148767.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0004148767.tif 000011
【図１１】
0004148767.tif 000012
【図１２】
0004148767.tif 000013
【図１３】
0004148767.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
0004148767.tif 000017
【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
0004148767.tif 000020
【図２０】
0004148767.tif 000021
【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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