(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク供給位置で保持されたディスクを間欠回転運動により円周上の複数の停止位置に順次、停止させる回転テーブルと、
前記ディスク供給位置で、磁気記録媒体またはクリーニング部材を選択的に供給するディスク供給手段と、
磁気記録媒体に磁気転写される記録データが形成される転写ディスクを該磁気記録媒体の磁性層に対し密着または離隔させて該記録データを磁気転写し、また、該転写ディスクを、該転写ディスクに付着した異物を除去するクリーニング部材に対し密着または離隔させる磁気転写部と、
前記ディスク供給手段により前記クリーニング部材が供給された場合、前記回転テーブルを前記複数の停止位置のうちの前記磁気転写部に対向する一箇所にのみ停止させる制御部と、
を具備して構成される磁気転写装置。
【請求項２】
前記クリーニング部材は、前記転写ディスクの表面の硬度に比して小なる硬度を有する被覆層を有する円板状部材であることを特徴とする請求項１記載の磁気転写装置。
【請求項３】
前記被覆層は、研磨されたニッケル燐めっき層であることを特徴とする請求項２記載の磁気転写装置。
【請求項４】
前記保持機構部は、所定の清浄度を有することが確認された前記クリーニング部材を選択的に保持することを特徴とする請求項１記載の磁気転写装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記磁気転写部に、前記クリーニング部材に対し該転写ディスクを密着または離隔させる動作を複数回繰り返し行わせることを特徴とする請求項１記載の磁気転写装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録媒体の磁性層に記録データを磁気転写する磁気転写装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気記録媒体に対しデータの読み出しまたは書き込み制御を行う外部記憶装置としてのハードディスクドライブ装置が、広く実用に供されている。ハードディスクドライブ装置における磁気記録媒体においては、一般に、記録／再生ヘッドの磁気記録媒体における各トラックに対する相対位置を検出するために各トラックに対応して所謂、サーボ情報等が書き込まれている。クリーンルームまたはクリーンベンチ内に磁気記録媒体が組み付けられたハードディスクドライブ装置が配されるもとで、そのサーボ情報等は、サーボライタと称されるデータ書込み装置が用いられてその磁気記録媒体に書き込まれる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上述のようにクリーンルーム内においてデータ書込み装置が用いられてそのサーボ情報等が、その磁気記録媒体の磁性層に書き込まれる場合、磁気記録媒体がクリーンルーム内に搬入されるとき、磁気記録媒体に付着した異物がクリーンルーム内に侵入することを防止するための対策として、磁気記録媒体に対し清浄な空気を吹き付け異物を除去するとともに、クリーンルーム内の清浄度を適正に維持することが行われている。
【０００４】
しかし、何らかの原因によりデータ書込み装置における磁気記録媒体に近接する部分に一旦付着した異物を除去しクリーンルーム内から排除することは、容易でない。このような異物が付着した状態を放置することは、記録されるべき磁気記録媒体の汚損にも繋がり妥当でない。
【０００５】
以上の問題点を考慮し、本発明は、磁気記録媒体の磁性層に記録データを磁気転写する磁気転写装置であって、データ書込み装置に付着した異物を確実に除去することができ、しかも、複雑な異物除去装置を付加することなく異物を除去することができる磁気転写装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明に係る磁気転写装置は、ディスク供給位置で保持されたディスクを間欠回転運動により円周上の複数の停止位置に順次、停止させる回転テーブルと、ディスク供給位置で、磁気記録媒体またはクリーニング部材を選択的に供給するディスク供給手段と、磁気記録媒体に磁気転写される記録データが形成される転写ディスクを該磁気記録媒体の磁性層に対し密着または離隔させて該記録データを磁気転写し、また、転写ディスクを、転写ディスクに付着した異物を除去するクリーニング部材に対し密着または離隔させる磁気転写部と、ディスク供給手段によりクリーニング部材が供給された場合、回転テーブルを複数の停止位置のうちの磁気転写部に対向する一箇所にのみ停止させる制御部と、を備えて構成される。
【０００７】
また、クリーニング部材は、転写ディスクの表面の硬度に比して小なる硬度を有する被覆層を有する円板状部材であってもよい。その被覆層は、研磨されたニッケル燐めっき層でもよい。
【０００８】
保持機構部は、所定の清浄度を有することが確認されたクリーニング部材を選択的に保持するものであってもよい。
【０００９】
さらに、制御部は、磁気転写部に、クリーニング部材に対し転写ディスクを密着または離隔させる動作を複数回繰り返し行わせるものであってもよい。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図２は、本発明に係る磁気転写装置の一例の全体構成を示す。
【００１１】
図２においては、磁気転写装置は、所定の清浄度が維持されるクリーンルーム２内に配置されている。
【００１２】
磁気転写装置は、例えば、磁気記録媒体としての未記録の磁気ディスク４または磁気転写済の磁気ディスク６を１枚づつ個別に収容するセルを複数有するカセットケース１２と、クリーニング部材としてのクリーニング用ディスク８または使用済みのクリーニング用ディスク１０を１枚づつ個別に収容するセルを複数有するカセットケース１４とが配置されるディスク供給／排出部１６と、ディスク供給／排出部１６からの各ディスクをそれぞれ順次、保持し後述する転写作業ステージ部２０に転送し、または、転写作業ステージ部２０からの各ディスクをディスク供給／排出部１６に転送するリフトハンドリング部１８と、リフトハンドリング部１８からの各ディスクに対し一連の工程を経て後述する磁気転写を行うとともに、転写ディスクに対しクリーニング作業を行う磁気転写ステージ２０とを主な要素として含んでいる。
【００１３】
ディスク供給／排出部１６におけるカセットケース１２および１４は、図１に示されるように、並設されており、それぞれ、複数のセル１２ａおよび１４ａを有している。カセットケース１２におけるリフトハンドリング部１８側の一方のカセットケース１２のセル１２ａには、それぞれ、１枚の未記録の磁気ディスク４が収容されている。また、他方のカセットケース１２のセル１２ａには、それぞれ、１枚の磁気転写済の磁気ディスク６が収容されている。磁気ディスク４および磁気ディスク６は、それぞれ、その透孔の中心軸線が共通直線上に配されるように収容されている。
【００１４】
カセットケース１４におけるリフトハンドリング部１８側の一方のカセットケース１４のセル１４ａには、それぞれ、１枚の未使用のクリーニング用ディスク８が収容されている。また、他方のカセットケース１４のセル１４ａには、それぞれ、１枚の使用済のクリーニング用ディスク１０が収容されている。
【００１５】
クリーニング用ディスク８は、例えば、図４に示されるように、その中央に透孔８ａを有する環状の板状部材とされる。クリーニング用ディスク８は、例えば、アルミニウム合金材料で作られる基材がメッキ処理された後、所定の表面粗さの表面部が形成されるように研磨加工が施されている。そのメッキ処理は、例えば、所定の膜厚のＮｉＰメッキとされる。クリーニング用ディスク８における後述する転写ディスクに密着する表面部分の硬度は、その転写ディスクの表面部の硬度に比して小とされる。なお、その基材は、プラスチック材料または他の合金材料であってもよい。
【００１６】
磁気ディスク６は、クリーニング用ディスク８の直径と同一の直径を有する環状の板状部材とされる。磁気ディスク６は、例えば、アルミニウム合金材料で作られる基材の表層部に保護層および記録データが磁気転写される磁性層が形成されるものである。
【００１７】
ディスク供給／排出部１６には、カセットケース１２および１４に隣接してキャリアロボット２２が設けられている。キャリアロボット２２は、例えば、多関節型のロボットとされ、１枚の磁気ディスク４および磁気転写済の磁気ディスク６、または、１枚のクリーニング用ディスク８および使用済のクリーニング用ディスク１０を、それぞれ、そのハンド部で保持し各カセットケースとリフトハンドリング部１８との相互間において後述する検査ステージ２４を経由して双方向に移送するものとされる。
【００１８】
キャリアロボット２２は、予め所定の動作プログラムに対応するティーチングがなされた後、後述する制御ユニットにより動作制御されることにより、そのハンド部で所定の動作経路に従い各ディスクを移送するものとされる。
【００１９】
検査ステージ２４には、既知の構造を有する異物検出装置としての外観検査装置が配されている。光学式の外観検査装置は、例えば、レーザ式外観検査装置とされ、１枚の磁気ディスク４またはクリーニング用ディスク８の表面部に所定量以上付着した粉塵等の異物を検出し、判定出力信号を後述する制御ユニットに送出するものとされる。レーザ式外観検査装置は、例えば、レーザビームを披検査面部に照射する検査光学系と、その披検査面部からの反射ビームの光量と基準となるビームの光量との比較により所定以上の異物の有無を判断し、判定出力信号を後述する制御ユニットに送出する観察光学系とを含むものとされる。
【００２０】
リフトハンドリング部１８は、例えば、キャリアロボット２２のハンド部により保持された１枚のディスクが載置される保持部を有するリフト機構ＬＦと、そのリフト機構の保持部によって所定の受け渡し位置まで上昇せしめられたディスクの透孔に係合することによりそのディスクを把持する一対のチャッキング部を有するハンドリング部ＨＤとを含んで構成されている。
【００２１】
リフト機構ＬＦの保持部は、各ディスクの外周縁部における所定の数箇所に係合されるＶ字状の溝を有している。その保持部に載置されたディスクは、その透孔の中心軸線の延在方向がカセットケース１２および１４内のディスクの配列方向に沿った方向となるように保持される。リフト機構ＬＦの保持部は、図示が省略される駆動機構により、所定のタイミングで所定の受け渡し位置と待機位置との間を昇降動せしめられる。
【００２２】
ハンドリング部ＨＤの一対のチャッキング部は、そのリフト機構ＬＦに対し進退するテーブル上に配されている。一対のチャッキング部は、リフト機構ＬＦまたは後述するインデックス機構に対向する所定位置で順方向または逆方向に１８０°回動可能に支持されている。ハンドリング部ＨＤのテーブルは、各ディスクの受け渡しに応じた所定のタイミングでリフト機構ＬＦ近傍とインデックス機構近傍との間を往復動せしめられる。
【００２３】
従って、ハンドリング部ＨＤの一対のチャッキング部は、リフト機構ＬＦ近傍位置において、インデックス機構からの各ディスクを、一方のチャッキング部でリフト機構ＬＦに対し受け渡すとともに、リフト機構ＬＦからのディスクを他方のチャッキング部で受け取る動作を行う。また、ハンドリング部ＨＤの一対のチャッキング部は、インデックス機構近傍において、インデックス機構からの各ディスクを一方のチャッキング部で受け取るとともに、リフト機構ＬＦからの各ディスクを他方のチャッキング部でインデックス機構に受け渡す動作を行う。
【００２４】
磁気転写ステージ２０は、回動可能に支持される回転テーブル２６の同一円周上に円周方向に沿って均等に９０°間隔で４箇所に配され１枚のディスクを選択的に吸着保持、または保持したものを離すハンド部２８Ａ、２８Ｂ、２８Ｃ、および、２８Ｄを含んで構成されている。
【００２５】
回転テーブル２６は、図示が省略される駆動部により図１の矢印の示す方向に９０°ごとに間欠的に回動せしめられる。
【００２６】
ハンド部２８Ｂに対向する外側となる周囲には、保持されたディスクの回転中心位置のハンド部２８Ｂ（把持部）中心位置に対する相対位置を検出し、検出出力信号を送出する位置センサ３０が配されている。なお、位置センサ３０は、例えば、ハンド部２８Ｂにおける紙面に垂直方向の座標軸と、保持されるディスクの平面内におけるそれに直交する座標軸とによる直交座標系において二次元相対的位置を検出するものとされる。
【００２７】
ハンド部２８Ｃに対向する外側となる周囲には、ハンド部２８Ｃに吸着保持される各ディスクの残留磁化を消磁させる磁石を有する消磁ユニット３２が配設されている。
【００２８】
ハンド部２８Ｄの対向する外側となる周囲には、ハンド部２８Ｄに保持される磁気ディスク４に対し磁気転写を行う転写ディスク３４を備える磁気転写ユニット４２が設けられている。
【００２９】
磁気転写ユニット４２は、図１に示されるように、転写ディスク３４を保持するスライドテーブル部３８と、スライドテーブル部３８全体を矢印Ｚの示す方向に進退させるべく案内するガイドベース３６とを含んで構成されている。
【００３０】
スライドテーブル部３８は、図１における矢印Ｘの示す方向（紙面に対し略垂直方向）または矢印Ｙの示す方向に移動可能に支持され、図示が省略される駆動用モータの出力側に連結されている。
【００３１】
その駆動用モータが作動状態とされる場合、スライドテーブル部３８は、転写ディスク３４を図１における矢印Ｘの示す方向または矢印Ｙの示す方向に移動させる。
【００３２】
ガイドベース３６には、スライドテーブル部３８全体を矢印Ｚの示す方向に進退させる駆動用モータ４０が設けられている。駆動用モータ４０の出力側は、例えば、ボールねじを介してスライドテーブル部３８に連結されている。
【００３３】
転写ディスク３４における磁気転写されるべき磁気ディスク４に対向する端面には、例えば、図３に示されるように、シリコンで作られた表層部３４ａに磁気ディスク４の記録データ領域に対応し放射状に設けられた複数の溝に埋設される転写層３４ｂｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは整数）が形成されている。転写層３４ｂｉは、例えば、コバルトで形成されている。なお、各溝および転写層３４ｂｉは、例えば、エッチング処理が利用されて形成されている。転写層３４ｂｉは、その半径方向に沿った所定の中心側寄りのトラック位置３４ＴＩから外側寄りのトラック位置３４ＴＯまでの範囲で形成されている。転写層３４ｂｉには、転写されるべきサーボ情報等を含む記録データが形成されている。
【００３４】
図１において、スライドテーブル部３８における矢印ＸおよびＹの示す方向の移動量は、後述する制御ユニットにより、上述の位置センサ３０からの検出出力信号に基づいて転写ディスク３４の中心位置と磁気ディスク４の中心位置とが一致するように制御される。
【００３５】
また、スライドテーブル部３８における矢印Ｚの示す方向の移動量は、予め設定された値に応じて制御ユニットにより、図１に二点鎖線で示されるように、転写ディスク３４の転写層３４ｂｉと磁気ディスク４の磁性層と、あるいは、クリーニング用ディスク８の表面とが密着するように制御される。また、スライドテーブル部３８は、転写ディスク３４の転写層３４ｂｉが密着した状態から磁気ディスク４の磁性層、あるいは、クリーニング用ディスク８に対し離隔し初期位置に戻るように制御される。
【００３６】
なお、その転写ディスク３４により、記録データが磁気ディスク４の磁性層に磁気転写される原理、転写方法および動作内容の詳細については、特開平１０−４０５４４号公報に記載された内容と同様とされる。
【００３７】
さらに、本発明に係る磁気転写装置の一例においては、キャリアロボット２２、スライドテーブル部３８、および、回転テーブル部２６の動作制御を行う制御ユニット５０が備えられている。
【００３８】
制御ユニット５０には、生産管理を行うホストコンピュータ５２からの磁気転写されるべき磁気ディスクの種類、枚数、および、クリーニング用ディスクの使用枚数をあらわすデータ、位置センサ３０からの検出出力信号に基づく位置ずれをあらわす偏差データ、磁気転写を行う磁気転写モード、または、転写ディスク３４をクリーニングするクリーニングモードをあらわすモードデータ、作業開始または終了をあらわすデータ等を含む制御データ群ＤＱが供給される。また、制御ユニット５０には、検査ステージ２４からの磁気ディスク４またはクリーニング用ディスク８が良品であることをあらわす判定信号Ｓｊが供給される。
【００３９】
制御ユニット５０は、上述のホストコンピュータ５２からの偏差データ、各ディスクに対応する判定信号Ｓｊがあらわすデータおよび、動作プログラムデータ等を記憶するメモリ部５０ｍを備えている。
【００４０】
制御ユニット５０は、制御データ群ＤＱに基づいて磁気転写モードであると判断する場合、キャリアロボット２２にカセットケース１２内の磁気ディスク４を取り出し、それを検査ステージ２４に移送させるべく、制御信号Ｃｎを形成しそれをキャリアロボット制御部５４に供給する。キャリアロボット制御部５４は、制御信号Ｃｎに基づいて所定の動作プログラムに従いキャリアロボット２２に作業を行わせるように制御信号を供給する。これにより、キャリアロボット２２は、１枚の磁気ディスク４を取り出しそれを検査ステージ２４に移送する。
【００４１】
検査ステージ２４は、その磁気ディスク４について所定の検査を行う。その磁気ディスク４が良品である場合,検査ステージ２４は、判定信号Ｓｊを送出する。一方、磁気ディスク４が不良品の場合、検査ステージ２４は、ホストコンピュータ５０に次の磁気ディスク４の移送を要求する。
【００４２】
制御ユニット５０は、判定信号Ｓｊに基づくデータに応じてキャリアロボット２２にその良品である磁気ディスク４を検査ステージ２４からリフトハンドリング部１８に移送させるべく、制御信号Ｃｎを形成しそれをキャリアロボット制御部５４に供給する。
【００４３】
これにより、磁気ディスク４は、リフトハンドリング部１８により、ハンド部２８Ａに対向する位置まで移送された後、ハンド部２８Ａにより吸着保持される。
【００４４】
次に、制御ユニット５０は、所定のタイミングで回転テーブル部２６を９０°ごと間欠的に矢印の示す方向に回動させるべく、制御信号Ｃｉｎを形成しそれをインデックス機構制御部５６に供給する。インデックス機構制御部５６は、所定の動作プログラムに従い所定のタイミングで回転テーブル２６を断続的に回転させ、位置センサ３０、消磁ユニット３２、および、スライドテーブル部３８に対向する位置を経た後、初期位置に戻すべく、制御信号を形成しそれを回転テーブル駆動部６０に供給する。なお、磁気ディスク４を保持したハンド部２８Ａが位置センサ３０に対向した位置に到達したとき、順次、続いて供給される４枚目までの磁気ディスク４がそれぞれ、ハンド部２８Ｄ、２８Ｃ，２８Ｂにより保持されることとなる。
【００４５】
その際、制御ユニット５０は、ハンド２８Ａに保持された磁気ディスク４がスライドテーブル部３８に対向する位置に到達し停止しているとき、スライドテーブル部３８に上述の偏差データに基づいて転写ディスク３４の中心位置とその磁気ディスク４の中心位置とが互いに一致するように位置調整を行わせ、かつ、駆動用モータ４０に、転写ディスク３４を磁気ディスク４に密着させるべく、制御信号Ｃｔｎを形成しそれを転写ステージ制御部５８に供給する。転写ステージ制御部５８は、制御信号Ｃｔｎに基づいて制御信号を形成しそれを駆動用モータ４０を含んでなるテーブル駆動部６２に供給する。これにより、所定の磁気転写された磁気ディスク６が得られることとなる。その得られた磁気ディスク６は、ハンド部２８Ａがさらに回転することによりリフトハンドリング部１８に対向する位置まで移動することとなる。
【００４６】
続いて、制御ユニット５０は、ハンド部２８Ａからリフトハンドリング部１８により保持された磁気ディスク６をカセットケース１２に収納すべく、キャリアロボット２２に制御信号Ｃｎｂを形成しそれをキャリアロボット制御部５４に供給する。これにより、磁気ディスク６がキャリアロボット２２によりカセットケース１２のセル１２ａに収納されることとなる。それ以降得られる磁気ディスク６は、キャリアロボット２２により同様に順次、カセットケース１２のセル１２ａに収納されることとなる。
【００４７】
一方、制御ユニット５０は、上述の磁気転写モードの前あるいは、終了直後、制御データ群ＤＱに基づいてクリーニングモードであると判断する場合、キャリアロボット２２にカセットケース１４内のクリーニング用ディスク８を取り出し、それを検査ステージ２４に移送させるべく、制御信号Ｃｃを形成しそれをキャリアロボット制御部５４に供給する。キャリアロボット制御部５４は、制御信号Ｃｃに基づいて所定の動作プログラムに従いキャリアロボット２２に作業を行わせるように制御信号を供給する。これにより、キャリアロボット２２は、１枚のクリーニング用ディスク８を取り出しそれを検査ステージ２４に移送する。
【００４８】
検査ステージ２４は、そのクリーニング用ディスク８について所定の検査を行う。そのディスク８が良品である場合,検査ステージ２４は、判定信号Ｓｊを送出する。一方、そのディスク８が不良品の場合、検査ステージ２４は、ホストコンピュータ５０に次のクリーニング用ディスク８の移送を要求する。
【００４９】
制御ユニット５０は、検査ステージ２４からの判定信号Ｓｊに基づくデータに応じてキャリアロボット２２にその良品であるクリーニング用ディスク８を検査ステージ２４からリフトハンドリング部１８に移送させるべく、制御信号Ｃｃを形成しそれをキャリアロボット制御部５４に供給する。これにより、クリーニングディスク８は、リフトハンドリング部１８により、ハンド部２８Ａに対向する位置まで移送された後、ハンド部２８Ａにより吸着保持される。
【００５０】
次に、制御ユニット５０は、所定のタイミングで回転テーブル部２６を所定角度、例えば、約２７０°だけ矢印の示す方向に回動させるべく、制御信号Ｃｉｃを形成しそれをインデックス機構制御部５６に供給する。インデックス機構制御部５６は、所定の動作プログラムに従い回転テーブル２６を回転させ位置センサ３０、消磁ユニット３２に対向する位置を通過した後、スライドテーブル部３８に対向した位置に停止させるべく、制御信号を形成しそれを回転テーブル駆動部６０に供給する。
【００５１】
その際、制御ユニット５０は、ハンド部２８Ａに保持されたクリーニング用ディスク８がスライドテーブル部３８に対向する位置に到達し停止しているとき、駆動用モータ４０に、転写ディスク３４をクリーニング用ディスク８に対し複数回、密着および離隔させることを繰り返すべく、制御信号Ｃｔｃを形成しそれを転写ステージ制御部５８に供給する。転写ステージ制御部５８は、制御信号Ｃｔｃに基づいて制御信号を形成しそれを駆動用モータ４０を含んでなるテーブル駆動部６２に供給する。これにより、転写ディスク３４において転写層３４ａと他の部分との境界部分に形成されるバリ等の異物が、クリーニング用ディスク８の表層部に食い込まれて保持され除去される。このように除去されるのは、クリーニング用ディスク８の表層部の硬度が転写ディスク３４の転写層３４ａおよびその他の部分の硬度に比して小であり、また、クリーニング用ディスク８の表層部の表面粗さが、転写ディスク３４の転写層３４ａおよびその他の部分の表面粗さに比して平滑にかつ精度よく仕上げられているので除去されるのである。
【００５２】
その使用されたクリーニング用ディスク１０は、ハンド部２８Ａがさらに回転することによりリフトハンドリング部１８に対向する位置まで移動することとなる。
【００５３】
続いて、制御ユニット５０は、ハンド部２８Ａからリフトハンドリング部１８により保持されたクリーニング用ディスク１０をカセットケース１４に収納すべく、キャリアロボット２２に制御信号Ｃｃｂを形成しそれをキャリアロボット制御部５４に供給する。これにより、クリーニング用ディスク１０がキャリアロボット２２によりカセットケース１４のセル１４ａに収納されることとなる。それ以降、使用済みのクリーニング用ディスク１０は，同様に順次，カセットケース１４のセル１４ａに収納されることとなる。
【００５４】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように，本発明に係る磁気転写装置によれば、磁気転写部が転写ディスクを、転写ディスクに付着した異物を除去するクリーニング部材に対し密着または離隔させるので磁気転写部に付着した異物を確実に除去することができ、しかも、複雑な異物除去装置を付加することなく異物を除去できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る磁気転写装置の一例の構成を模式的に示す構成図である。
【図２】本発明に係る磁気転写装置の一例の全体構成を概略的に示す斜視図である。
【図３】本発明に係る磁気転写装置の一例に用いられる転写ディスクの各転写層を示す平面図である。
【図４】本発明に係る磁気転写装置の一例に用いられるクリーニング用ディスクの外観を示す斜視図である。
【図５】本発明に係る磁気転写装置の一例に備えられる制御ユニットの構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
４    磁気ディスク
８    クリーニング用ディスク
２０    磁気転写ステージ
２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃ，２８Ｄ    ハンド部
３４    転写ディスク
３８    スライドテーブル部
５０    制御ユニット
【図１】
0004086454.tif 000002
【図２】
0004086454.tif 000003
【図３】
0004086454.tif 000004
【図４】
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【図５】
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