(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の端部のみを残して片面に金属箔を接着又は金属を蒸着したガスバリアー性のテープ状の高分子有機フイルムを、重ね貼り横巻接着シール法により前記片面を配線ケーブル側にして前記金属箔を接着又は金属を蒸着した他方の端部を覆うように横方向に重ね合わせながら配線ケーブルの表面に巻き付けることにより、前記配線ケーブルの表面を前記高分子有機フイルムで包み覆い、前記配線ケーブルからのアルファーメチルスチレン、アセトフェノン、ベンゼンメタノールを主成分とする有機ガスの発生を抑えるようにしたことを特徴とするクリーンルーム用配線ケーブル。
【請求項２】
金属箔を接着又は金属を蒸着した有機フイルムで配線ケーブルの表面を包み覆った後、更に接着剤を片面に塗布したガスバリアー性の高分子有機フイルムで横方向に重ね合わせながら巻き付ける重ね貼り横巻接着シール法により前記配線ケーブルの表面を包み覆い、前記配線ケーブルからのアルファーメチルスチレン、アセトフェノン、ベンゼンメタノールを主成分とする有機ガスの発生を抑えるようにしたことを特徴とするクリーンルーム用配線ケーブル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体工場や液晶工場などのクリーンルーム及び製造装置において電力ケーブルや情報用ケーブルとして用いるクリーンルーム用配線ケーブルに関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
半導体工場や液晶工場などでは、加工中のシリコンウエハやガラス基板に有機ガスその他の不純物が吸着すると、製品の歩留りが低下するため、塵埃やガスを除去した清浄空気を供給するクリーンルームとしている。製品の高品質化の要求と共にクリーンルームにもより高い清浄度が要求されるようになり、そのため、クリーンルームでは、ガスが発生するような化学建材の使用を排除するなど、さらに様々な配慮がなされている。
【０００３】
空気清浄装置による空気の清浄化にしても、使用建材による発生ガスの抑制にしても、より高い清浄度の要求に対して限界がある。かかる状況にあって、最近クリーンルーム内で使用されている配線ケーブルも無視できないガス発生源であることが判明した。半導体工場や液晶工場などでは、製造装置に電力を供給するために多量の電力ケーブルが布設されている。さらに、製造装置の中においても電力ケーブル、情報用ケーブルが多量に使用されている。これらのうち、電力ケーブルには、ＣＶケーブル（架橋ポリエチレン絶縁ビニルシースケーブル）、ＣＥケーブル（架橋ポリエチレン絶縁ポリエチレンシースケーブル）などが、また、装置内では難燃架橋ポリエチレンケーブルなどが使用されている。そのため、これらの電線からは、微量の有機ガスが常時発生しクリーンルームを循環する空気に搬送されて拡散するため、加工中のシリコンウエハやガラス基板に有機ガスが吸着し、製品の歩留りを低下させている。
【０００４】
図６はＣＶケーブルから発生する有機ガスの事例を示す図である。６００Ｖ、ＣＶケーブル単芯、断面２００ｍｍ2 で長さ１０ｃｍのケーブルを脱ガス測定用デシケータに入れて清浄空気を供給し、出口側の空気を分析して得られるガスクロマトグラムを示したのが図６である。この図６によればケーブルから発生している有機ガスの主成分は、アルファーメチルスチレン（１）、アセトフェノン（２）、ベンゼンメタノール（３）であり、その他２ーエチルー１ーヘキサノール（４）等を含んでいる。成分（１）、（２）、（３）はポリエチレンの架橋剤に由来する分解物であり、（４）は表面被覆材である塩化ビニル樹脂の可塑剤ジオクチルフタレートの分解物である。このケーブルの表面積１ｍ2 、１時間当たりの発生量は、炭素の質量で代表させて表示すると、後述する図５に示すように６６５．５μｇＣ／（ｍ2 ・ｈ）である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するものであって、配線ケーブルからの発生ガス量を抑え、クリーンルームの清浄度の向上を図るものである。
【０００６】
そのために本発明は、一方の端部のみを残して片面に金属箔を接着又は金属を蒸着したガスバリアー性のテープ状の高分子有機フイルムを、重ね貼り横巻接着シール法により前記片面を配線ケーブル側にして前記金属箔を接着又は金属を蒸着した他方の端部を覆うように横方向に重ね合わせながら配線ケーブルの表面に巻き付けることにより、前記配線ケーブルの表面を前記高分子有機フイルムで包み覆い、前記配線ケーブルからのアルファーメチルスチレン、アセトフェノン、ベンゼンメタノールを主成分とする有機ガスの発生を抑えるようにしたことを特徴とするものである。
【０００７】
また、金属箔を接着又は金属を蒸着した有機フイルムで配線ケーブルの表面を包み覆った後、更に接着剤を片面に塗布したガスバリアー性の高分子有機フイルムで横方向に重ね合わせながら巻き付ける重ね貼り横巻接着シール法により前記配線ケーブルの表面を包み覆い、前記配線ケーブルからのアルファーメチルスチレン、アセトフェノン、ベンゼンメタノールを主成分とする有機ガスの発生を抑えるようにしたことを特徴とするものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。図１は本発明に係るクリーンルームの配線処理法及びクリーンルーム用配線ケーブルの実施の形態を示す図、図２はフイルムの実施の形態及び配線処理の他の実施の形態を示す図である。図中、１は配線ケーブル、２、３、２１はフイルム、４は溶着機、１１、１３は高分子有機フイルム、１２はアルミ、２２はフイルム端部、２３は金属端部、２４は接着材付有機フイルムを示す。
【０００９】
図１において、配線ケーブル１は、クリーンルーム内に布設され、製造装置の中に使用される電力ケーブルや情報用ケーブルである。フイルム２、３は、接着剤付きの高分子有機フイルムを用いたものであり、図１（Ａ）に示すようにテープ状の接着剤付きフイルム２を横方向に重ね合わせながら巻き付ける重ね貼り横巻接着シール法、図１（Ｂ）に示すようにテープ状の接着剤付きフイルム３を縦方向に巻付ける縦巻接着シール法により電線から発生するガスの漏出がないように包み覆うものである。縦巻接着シール法による場合には、図１（Ｃ）に示すように端部を重ね合わせて接着し、さらに図１（Ｄ）に示すように接着面フイルムを折り重ねて接着するなどの端部処理を行う。また、図１（Ｅ）、（Ｆ）に示すように溶着機４を用いて端部及び折り曲げ部を接着、あるいはヒートシーラーなどの溶着機４を用いて熱溶着してもよい。
【００１０】
フイルムとしては、例えば高分子有機フイルムの中で有機ガスを透過しないガスバリアー性のフイルム、例えばエチレンビニルアルコール共重合フイルムを用いることができ、また、図２（Ａ）に示すようにポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル等の高分子有機フイルム１１の片面にアルミ１２等の金属箔を接着したフイルムや、図２（Ｂ）に示すように高分子有機フイルム１１の片面にアルミ１２を接着したそのアルミ１２にさらに高分子有機フイルム１３をラミネートした金属箔接着両面有機フイルムを用いることができる。なお、片面金属箔接着有機フイルムは、接着剤付き面を高分子有機フィルム１１と反対側のアルミ１２の表面、アルミ１２の接着面と反対側の高分子有機フィルム１１の表面のいずれでもよい。
【００１１】
また、アルミ１２等からなる金属箔を接着し、又は金属を蒸着して場合においては、金属が露出していると、その露出した金属部に他の隣接する裸線が接触したり、金属と反応しやすい薬品が接することなどに伴って種々の問題が生じる。例えば露出した金属部に他の隣接する裸線が接触すると、金属面に電流が流れるなどの障害が生じ、金属と反応しやすい薬品が露出した金属部に接すると、金属が反応して腐食し、金属のガス透過を遮蔽する性能を低下させ、さらには外観を悪くする。
【００１２】
図２（Ａ）、（Ｂ）に示すフイルムにおいて、アルミ１２等の金属箔を高分子有機フイルム１１の幅と同じにすると、端部で金属部が露出するので、上記問題は、図２（Ｃ）、（Ｄ）に示すように高分子有機フイルム１１の幅より小さい幅で金属箔を接着し、又は金属を蒸着することにより金属箔又は金属蒸着面が高分子有機フイルム１１の全面に形成されず、少なくとも片側に高分子有機フイルム１１のみの部分が残るようにすることにより解決することができる。つまり、有機フイルムだけのスペースを作り、図２（Ｅ）に示すようにこのフイルム２１で配線ケーブルの表面を包み覆うようにして、有機フイルムのみが残っているフイルム端部２２で金属箔又は金属蒸着面からなる金属端部２３が露出しないようにすることである。
【００１３】
また、高分子有機フイルム１１の全面に金属箔又は金属蒸着面を形成したフイルムの場合には、図２（Ｆ）に示すように金属箔を接着し、又は金属を蒸着したフイルム２１の上を更に、高分子有機フイルムのみからなる接着材付有機フイルム２４で包み覆うようにしてもよい。このようにすることにより、フイルムの金属端部を完全に高分子有機フイルムで覆うことができ、電気的な安全性、薬品に対する耐薬品性及び表面の摩擦に対する強度などの向上を図ることができる。当然、脱ガス防止性能も向上することは勿論である。
【００１４】
次に、裸ケーブル、高分子有機フイルム、フイルム巻付けケーブルのそれぞれから発生する有機ガスの測定結果に基づきフイルム巻付けケーブルによる効果を説明する。図３はアルミ蒸着ポリエステルフイルムで熱シールしたＣＶケーブルから発生する有機ガスのガスクロマトグラムを示す図、図４はアルミ蒸着ポリエステルフイルムから発生する有機ガスのガスクロマトグラムを示す図、図５は種々の環境温度における有機ガス発生速度を示す図である。
【００１５】
６００Ｖ、ＣＶケーブル単芯、断面２００ｍｍ2 で長さ１０ｃｍのケーブルをアルミ蒸着した片面ポリエステルフイルムで、図１（Ｅ）に示すように縦巻溶着シール法によりアルミ蒸着面を外側にしてポリエステルフイルム面で包み覆い、脱ガス測定用デシケータに入れ、常温で１日置き昇温させて発生ガス量を測定したときのガスクロマトグラムを示したのが図３である。
【００１６】
ＣＶケーブルの耐熱温度は、架橋ポリエチレン絶縁体の温度で規定されており、９０℃である。架橋ポリエチレン絶縁体の温度が９０℃の時、外部の空気に接しているシース部の塩化ビニル樹脂は、約５０〜６０℃になるものと考えられる。ここでは塩化ビニル樹脂が最高温度になった場合を模擬するために、ＣＶケーブルの環境温度を６０℃にして発生ガスを測定した。図３のガスクロマトグラムによれば、先に図６で示した裸ＣＶケーブルから発生する有機ガスに比べて、裸ケーブルから発生する主成分の発生量が極微量に抑えられていることが判る。
【００１７】
また、アルミ蒸着したポリエステルフイルム単体からの発生ガス量を温度６０℃において測定したときのガスクロマトグラムを示したのが図４であり、フイルムからの発生ガスも極微量である。
【００１８】
各温度における有機ガス発生速度を示したのが図５である。裸ＣＶケーブルのガス発生速度は、常温で６６５．５μｇＣ／（ｍ2 ・ｈ）であるが、ＣＶケーブルの温度が高くなるほどガス発生速度は大きくなるので、温度が４０℃以上では、常温の６６５．５μｇＣ／（ｍ2 ・ｈ）より高いガス発生速度になる。一方、フイルムで覆ったＣＶケーブルのガス発生速度は、１６．０〜２６．７μｇＣ／（ｍ2 ・ｈ）である。また、フイルム単体からのガス発生速度は、０〜２７．２μｇＣ／（ｍ2 ・ｈ）であり、フイルムで覆ったＣＶケーブルからのガス発生速度は、フイルム単体からのガス発生速度と同等であることから、ＣＶケーブルから発生するガスは、完全に遮断されて外側の空気に透過していないことが理解できる。
【００１９】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば上記実施の形態では、テープ状のフイルムを横方向あるいは縦方向に巻付け電線を包み覆うようにしたが、フイルムを電線の径より少し太い径の筒状の袋に加工し、この袋に電線を通しながら包み、余分のフイルム部を図１（Ｃ）〜（Ｆ）に示すように接着し、あるいは溶着して一体化するような処理を行ってもよい。また、単線を束ねた複数の電線も同様に適用してもよいことはいうまでもない。
【００２０】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、エチレンビニルアルコール共重合、ポリエチレン、ポリプロピレン、又はポリエステルなどの高分子有機フイルムの片面に接着剤を塗布しクリーンルームで使用される配線ケーブルを包み覆うようにするので、クリーンルームにおいて、微量の有機ガスが常時発生するＣＶケーブルやＣＥケーブル、難燃架橋ポリエチレンケーブルなどを使用しても、有機ガスの発生を抑えることができる。また、高分子有機フイルムの片面に金属箔を接着し、金属の上面に高分子有機フイルムをラミネートすることにより有機ガスの発生の抑制効果をより高めることができる。
【００２１】
さらに、有機フイルムの幅より小さい幅で有機フイルムに接着又は蒸着された金属箔又は金属蒸着面を有し、少なくとも片側に有機フイルムのみの部分が残っているフイルムで包み覆い、あるいは金属箔を接着又は金属を蒸着した有機フイルムで包み覆った後、更に接着材を片面に塗布した高分子有機フイルムで包み覆うことにより、フイルムの金属端部を完全に高分子有機フイルムで覆うことができ、電気的な安全性、薬品に対する耐薬品性及び表面の摩擦に対する強度などの向上を図り、脱ガス防止性能の向上を図ることができる。
【００２２】
したがって、半導体工場や液晶工場などのクリーンルームにおいて、加工中のシリコンウエハやガラス基板に電線から発生した有機ガスが吸着し、製品の歩留りを低下させるのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係るクリーンルームの配線処理法及びクリーンルーム用配線ケーブルの実施の形態を示す図である。
【図２】  フイルムの実施の形態を示す図である。
【図３】  アルミ蒸着ポリエステルフイルムで熱シールしたＣＶケーブルから発生する有機ガスのガスクロマトグラムを示す図である。
【図４】  アルミ蒸着ポリエステルフイルムから発生する有機ガスのガスクロマトグラムを示す図である。
【図５】  種々の環境温度における有機ガス発生速度を示す図である。
【図６】  ＣＶケーブルから発生する有機ガスの事例を示す図である。
【符号の説明】
１…配線ケーブル、２、３、２１…フイルム、４…溶着機、１１、１３…高分子有機フイルム、１２…アルミ、２２…フイルム端部、２３…金属端部、２４…接着材付有機フイルム。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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