(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電セラミックと電極材とを交互に積層してなる圧電板を、それぞれその一端側を固定端とするとともに他端側を自由端として所定のピッチを以って配列し、上記自由端をノズル孔に連設されたインク圧力室を密閉する振動板にそれぞれ対向位置させてなるインクジェットプリンタ用ヘッド装置において、
上記各圧電板は、圧電セラミックと電極材とを交互に積層してなる圧電素子構体に分割溝を形成して下端面を基台に固定される連結部を介して固定部側を一体化し、それぞれが所定の幅を有して所定のピッチを以って形成されるとともに上記振動板と対向位置する自由端に凸部が形成されて他の部位よりも幅狭とされた多数個の短冊状圧電板部によって構成され、
最外側部に位置する圧電板部が、その外側面側にも圧電素子構体に対する分割溝形成を施して形成されることを特徴とするインクジェットプリンタ用ヘッド装置。
【請求項２】
上記最外側部に位置する圧電板部が、他の圧電板部の幅寸法よりも大きな幅寸法を以って分割形成されることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットプリンタ用ヘッド装置。
【発明の詳細な説明】
【０００２】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットプリンタ用のヘッド装置に関し、さらに詳しくは圧電セラミックと電極材とを交互に積層してなる圧電板の圧電歪みにより振動板を介してインク圧力室に容積変動を生じさせてインク滴を飛翔させるようにしたインクジェットプリンタ用ヘッド装置（本明細書においては、単にヘッド装置と称する。）に関する。
【０００４】
【従来の技術】
オンデマンド型インクジェットプリンタは、記録画像等の解像度や画質の飛躍的な向上を可能とするプリンタとして実用化されている。オンデマンド型インクジェットプリンタは、そのヘッド装置により所定のインク滴が所定の場所、時間の制御が行われて紙やフィルム等の適宜の記録媒体に飛翔されて着弾することによって画像等の記録が行われる。ヘッド装置には、インク滴を飛翔させる方法として、バブルジェット方式や圧電方式が採用されている。
【０００５】
バブルジェット方式は、インク滴を飛翔させるノズル孔の近傍に位置してインクを瞬間的に気化させるヒータが設けられ、このヒータによってインクが気化する際の膨張圧力によりインク滴を飛翔させる方式である。また、圧電方式は、ノズル孔の近傍に設けられたインキ溜まり部に圧電素子を設置し、この圧電素子に発生する歪み変形によりインク溜まり部に発生する容積変化に伴う圧力によりインク滴を飛翔させる方式である。
【０００６】
ヘッド装置には、種々の特性が要求されるが、最も基本的な特性としてインク滴の大きさを精度良くコントロール可能であること、インク滴をできるだけ短い時間の間隔で連続的に飛翔させるための周波数応答特性が挙げられる。また、ヘッド装置は、最近の傾向として、印字速度を上げるためにインク滴を飛翔させるための一色あたりのノズル数を増やす対応が図られるとともに、特に色再現性を改善する目的で色数も増える傾向になっている。さらに、ヘッド装置は、インク滴の大きさについて、そのサイズを小さくして単位面積当たりのインク滴数を増やすことによって記録画像等の解像度を上げる対応が図られている。
【０００７】
ところで、圧電型ヘッド装置においても、上述した基本特性の向上を図るために種々の対策が講じられている。圧電型ヘッド装置には、例えば圧電素子として、印加された電界と同方向に発生する歪み変形を利用してインク滴を飛翔させるようにした圧電素子や、印加された電界と直交する方向に発生する歪み変形を利用してインク滴を飛翔させるようにした圧電素子等が用いられている。例えば特開平４−１０５２号公報には、印加された電界と直交する方向に発生する歪み変形を利用してインク滴を飛翔させる圧電素子を備えた圧電型ヘッド装置が開示されている。
【０００８】
すなわち、この先願圧電型ヘッド装置１００は、図２０及び図２１に示すように、インク滴を飛翔させる多数個のノズル孔１０１が形成されたノズルプレート１０２と、各ノズル孔１０１に対応して多数個のインク圧力室１０３が形成されたインク溜めプレート１０４と、振動板１０５とが積層構成されてなるヘッド構体１０６と、このヘッド構体１０６に組み合わされた基台１０７と、多数個の圧電板１０８等を備えて構成される。
【０００９】
各圧電板１０８は、詳細を省略するが圧電セラミックと電極材とを交互に積層してなる圧電素子構体を基台１０７に接合した状態でダイヤモンドカッタ等によって所定幅に分割することにより形成される。各圧電板１０８は、図２１に示すように、それぞれその一方側面の基端部を基台１０７に接着固定してなる。各圧電板１０８は、基台１０７に接着される領域が、この基台１０７との間にせん断歪みの発生を防止するように圧電歪みを発生しないような内部電極構造となっている。各圧電板１０８は、基台１０７に固定された状態において、自由端が振動板１０５にそれぞれ接合される。
【００１０】
以上のように構成された圧電型ヘッド装置１００には、プリンタ本体より記録画像等に基づく制御信号が所定の圧電板１０８に印加される。圧電型ヘッド装置１００は、制御信号に基づいて圧電板１０８が選択的に駆動されて歪み変形動作が生じる。圧電型ヘッド装置１００は、この選択された圧電板１０８の歪み変形動作によって振動板１０５が駆動されて、対応するインク圧力室１０３に圧力を加える。圧電型ヘッド装置１００は、この圧力によってインク圧力室１０３からインクが押し出されて、ノズル孔１０１から飛翔させる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
圧電型ヘッド装置１００においては、上述したように各インク圧力室１０３に対応位置してそれぞれ多数個の圧電板１０８が設けられており、これら圧電板１０８に制御信号を印加してその印加方向と直交する方向の歪み変形を生じさせて振動板１０５を駆動するようにしている。したがって、圧電型ヘッド装置１００は、機械的強度を保持するために各圧電板１０８がある程度の幅寸法を以って構成されている。圧電型ヘッド装置１００は、各圧電板１０８がその幅寸法を大きく形成されることによって横振動の固有振動数が下がり、駆動振動数内での横振動が発生して振動板１０５の駆動効率が低下するといった問題が生じる。
【００１２】
また、圧電型ヘッド装置１００においては、動作インク滴が安定した状態でノズル孔１０１から飛翔されるために、振動板１０５が各圧電板１０８によって均一な状態で駆動される必要がある。圧電型ヘッド装置１００は、各圧電板１０８がその自由端部１０８ａを平坦に形成されて振動板１０５と接触されている。したがって、圧電型ヘッド装置１００は、圧電板１０８と振動板１０５とが接触面において互いに均一な状態で接触するためにそれぞれ高精度に形成されなければならない。
【００１３】
さらに、圧電型ヘッド装置１００は、上述したように各圧電板１０８が基台１０７との接着領域１０８ｂにおいて圧電歪みを発生することができないために、その長さに対する発生変位の効率が悪いといった問題がある。さらにまた、圧電型ヘッド装置１００は、基台１０７に接合した状態においてダイヤモンドカッタ等によって圧電板１０８を横方向に１個ずつ分割形成するために、その加工時間が長くなって生産効率が悪くなるとともに、各圧電板１０８がそれぞれ矩形の短冊状にしか形成することができないといった制約がある。
【００１４】
ところで、圧電型ヘッド装置１００においては、各圧電板１０８の振動板１０５に対する接触面積が分断後の幅×圧電素子厚みで決定されている。圧電型ヘッド装置１００は、振動板１０５の効率的な駆動或いはインク滴の吐出量の調整等を目的として各圧電板１０８の振動板１０５に対する接触面積を減らす場合に、各圧電板１０８の幅寸法を小さくして分断する必要がある。圧電型ヘッド装置１００は、このように各圧電板１０８を小幅に分断して構成した場合に機械的強度が劣化することから、分断幅に制約があるといった問題がある。
【００１５】
したがって、本発明は、各圧電板部がインク圧力室に精密に対応位置されてインク滴の飛翔が安定しかつ高精度に行われ加工効率の向上を図ったインクジェットプリンタ用ヘッド装置を提供することを目的に提案されたものである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成する本発明にかかるインクジェットプリンタ用ヘッド装置は、 圧電セラミックと電極材とを交互に積層してなる圧電板を、それぞれその一端側を固定端とするとともに他端側を自由端として所定のピッチを以って配列し、自由端をノズル孔に連設されたインク圧力室を密閉する振動板にそれぞれ対向位置させてなる。インクジェットプリンタ用ヘッド装置は、各圧電板が、圧電セラミックと電極材とを交互に積層してなる圧電素子構体に分割溝を形成して下端面を基台に固定される連結部を介して固定部側を一体化し、それぞれが所定の幅を有して所定のピッチを以って形成されるとともに振動板と対向位置する自由端に凸部が形成されて他の部位よりも幅狭とされた多数個の短冊状圧電板部によって構成される。インクジェットプリンタ用ヘッド装置は、最外側部に位置する圧電板部が、その外側面側にも圧電素子構体に対する分割溝形成を施して形成される。また、インクジェットプリンタ用ヘッド装置は、最外側部に位置する圧電板部が、他の圧電板部の幅寸法よりも大きな幅寸法を以って分割形成される。
【００１７】
以上のように構成された本発明にかかるインクジェットプリンタ用ヘッド装置によれば、最外側部に位置する圧電板部が、その外側面側にも圧電素子構体に対する分割溝形成を施して形成されることにより、内側の圧電板部との対称性やピットが精密に保持されるとともに振動板を均一な状態で振動動作させてインク圧力室の容積変動が安定して大きさが一定のインク滴をノズル孔から飛翔させ、画像等の正確かつ精密な記録が行われるようにする。
【００１８】
インクジェットプリンタ用ヘッド装置によれば、各圧電板の振動板との対向面を構成する自由端部に幅方向の凸部が形成されてそれぞれ幅狭に構成されることから、各圧電板と所定のピッチと大きさで形成された各インク圧力室との位置合わせが容易かつ正確に行われるとともに各圧電板が振動板に対して安定した状態で接触するようになる。したがって、インクジェットプリンタ用ヘッド装置は、各圧電板の歪み変位によって振動板を介して所定のインク圧力室の容積を変動させて高精度にインク滴の飛翔を行い、記録画像等の記録を行う。
【００１９】
インクジェットプリンタ用ヘッド装置によれば、圧電素子構体がその連結端部を介して片持ち状態で基台に固定されることで各圧電板部の全長の大半が歪み変形動作に寄与することから、各圧電板部によって振動板を駆動する駆動効率の向上が図られる。また、インクジェットプリンタ用ヘッド装置は、各圧電板部の振動板との接触面を構成する自由端部を他の部位に対してそれぞれ幅狭に構成することで、全体の機械的強度を保持されつつ横振動の固有振動数が上がって駆動振動数内での横振動が抑制されて駆動効率の向上が図られるようにする。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。本発明を適用した実施の形態として図面に示したヘッド装置１は、詳細を後述するが上述した従来の圧電型ヘッド装置１００と同様に、印加された電界と直交する方向に歪み動作が発生する多数個の圧電板部１１によって振動板８を駆動してインク滴をノズル孔２から飛翔させて紙やフィルム等の適宜の記録媒体に着弾させ画像等の記録を行う圧電型ヘッド装置である。
【００２１】
ヘッド装置１は、図１及び図２に示すように、インク滴を飛翔させる多数個のノズル孔２が形成されたノズルプレート３と、このノズルプレート３を一方主面に接合するとともに各ノズル孔２に連通するインク流路５ａを有するインク圧力室５及びインク溜め室６等が形成されたインク溜めプレート７と、このインク溜めプレート７の他方主面に接合された振動板８等とによって構成されたヘッド構体９を備える。また、圧電型ヘッド装置１は、基台１０と、この基台１０に支持されるとともに後述するように多数個の圧電板部１１を分割形成した圧電素子構体１２とによって、上述したヘッド構体９の振動板８を駆動する圧電駆動部が構成されている。また、圧電型ヘッド装置１には、ノズルプレート３に数個乃至数百個のノズル孔２が設けられるとともに、これらノズル孔２に対応してインク溜めプレート７に数個乃至数百個のインク圧力室５が形成され、また圧電素子構体１２に数個乃至数百個の圧電板部１１が分割形成されてなる。
【００２２】
圧電型ヘッド装置１は、インク溜め室６に供給されたインキが、このインク溜め室６から流路６ａを介してインク圧力室５内に供給されて溜められる。圧電型ヘッド装置１は、プリンタ本体より記録画像等に基づく制御信号が所定の圧電板部１１に印加されると、詳細を後述するようにこの圧電板部１１に歪み変形動作が生じて対応するインク圧力室５に圧力を加える。圧電型ヘッド装置１は、この圧力によってインク圧力室５内に容積変動が生じてインク圧力室５から流路５ａを介してインクが押し出され、ノズル孔２からインク滴を飛翔させる。
【００２３】
ノズルプレート３は、多数個の精密なノズル孔２の加工を可能とするとともにインク液に対する化学的な耐久性を有する適宜の金属或いはプラスチック材料によって形成されている。ノズルプレート３には、例えばレーザ加工、エッチング加工或いはプレス等の機械加工を施して、インク滴を飛翔させる多数個のノズル孔２が形成される。ノズル孔２は、インク滴の飛翔状態に大きな影響が生じることから精密に加工形成され、一般に数μｍ乃至数十μｍの内径を有する丸孔によって構成される。勿論、ノズル孔２は、丸孔に限定されるものではなく、インク滴の飛翔に適した形状であるとともに形成することが可能な形状であればよく、例えば楕円形、多角形、三日月形或いはハート形等の精密な加工が可能な適宜の形状に形成してもよい。
【００２４】
インク溜めプレート７は、上述したようにインク溜め室６に対して流路６ａを介して各ノズル孔２に対応する多数個のインク圧力室５が連通して形成されており、さらにこれらインク圧力室５が流路５ａを介して各ノズル孔２に連通されている。インク溜めプレート７は、インク滴を精密かつ正確に飛翔させるために、インク圧力室５や各流路５ａ、６ａがその形状や位置を精密に形成される。したがって、インク溜めプレート７は、精密な機械加工を可能とするとともにインク液に対する化学的な耐久性を有する適宜の金属或いはセラミック材、プラスチック材料等によって形成されている。
【００２５】
インク溜めプレート７は、図２に示すようにノズルプレート３が接合される一方主面７ａに複数個のインク溜め室６が凹設されるとともに、これらインク溜め室６が一方の主面７ａに接合したノズルプレート３によって閉塞されてなる。また、インク溜めプレート７は、同図に示すように他方の主面７ｂに開口する多数個のインク圧力室５が凹設されるとともに、これらインク圧力室５が他方の主面７ｂに接合された振動板８によって閉塞されてなる。
【００２６】
振動板８は、図２に示すようにインク溜めプレート７の他方主面７ｂにインク圧力室５を密閉するようにして接合される。振動板８は、後述するように圧電板部１１の歪み変形動作に基づいて振動動作してインク圧力室５内に容積変動を生じさせる。振動板８は、圧電板部１１の歪み変形動作に対して減衰をできるだけ小さくして振動動作するとともにインク液に対する化学的な耐久性を有する適宜の材料、例えばポリイミド系のフィルム材によって形成されている。
【００２７】
ヘッド装置１は、上述したヘッド構体９に対して基台１０の主面１０ａ上に片持ち支持された圧電素子構体１２が組み合わされる。基台１０は、図示しないヘッドシャーシに支持されており、図２に示すように支持部１０ｂを介してヘッド構体９をその主面１０ａと平行な状態で支持している。基台１０は、ヘッド構体９の支持部材を構成するとともに、後述するように電極部が形成されることによって圧電素子構体１２に対する給電部材としても機能する。
【００２８】
圧電素子構体１２は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛系の材料からなるペースト状圧電材料と、例えば銀パラジウムペーストからなる導電材料とを所定の厚みで交互に積層してこれを焼成することによって製作される。勿論、圧電素子構体１２は、他の適宜の圧電材料と導電材料とを用いて製作してもよい。また、圧電素子構体１２には、図２に示すように、スクリーン印刷法等によって第１の電極１３と第２の電極１４とが所定の部分に交互に積み重ねられるようにして成膜形成されている。第１の電極１３と第２の電極１４とは、互いに向かい合う電極間でそれぞれ絶縁を保持されている。
【００２９】
第１の電極１３は、詳細を後述するが、図３及び図４に示すようにその下方部が圧電素子構体１２の下端面１２ａ（図５参照）まで延長されるとともにその上方部が圧電板部１１の上端面１１ａに露呈されないようにしてそれぞれ形成されている。第１の電極１３は、圧電素子構体１２の下端面１２ａに形成される共通電極１３ａによって互いに共通接続されている。第１の電極１３は、圧電素子構体１２が基台１０に固定された状態において、共通電極１３ａがこの基台１０の主面１０ａ上に形成した共通表面電極１５と電気的に接続されて共通電極を構成する。第２の電極１４は、詳細を後述するが、図３に示すようにその上方部が圧電板部１１の上端面１１ａに露呈されて詳細を省略する個別電極１６と接続されている。また、第２の電極１４は、その下方部が連結部１９とほぼ同一高さ位置とされてそれぞれ形成されている。第２の電極１４は、後述するフレキシブル基板１７に接続されて各圧電板部１１に対応する個別電極を構成する。
【００３０】
圧電素子構体１２は、第１の電極１３と第２の電極１４とに所定の温度条件下で所定の向きの電圧を印加することによって、所定の向きに分極されて圧電特性が生成される。圧電素子構体１２は、電圧が印加されると、この電圧の向きと大きさに応じた所定の方向に振動変位が発生する。圧電素子構体１２においては、図２において向かい合う第１の電極１３と第２の電極１４とに直交する高さ方向の振動変位が発生する。
【００３１】
圧電素子構体１２は、各インク圧力室５に対して個別に容積変動を生じさせるために、詳細を後述するように所定のピッチと幅寸法を有する高さ方向の多数個の分割溝１８を形成する分割溝形成加工が施されて多数個の圧電板部１１が分割形成されてなる。分割溝１８は、それぞれ圧電素子構体１２の上端面１２ｂから所定の深さを以って形成されており、図３に示すように各圧電板部１１の基端部を連結部１９によって互いに一体的に連結する。したがって、圧電素子構体１２は、全体が櫛歯状を呈して形成されてなる。
【００３２】
圧電素子構体１２は、連結部１９の下端面を構成する下端面１２ａを基台１０の主面１０ａ上に接合することによって、この基台１０上に高さ方向に一体的に立設された状態で固定される。圧電素子構体１２は、この状態において、図２に示すように、各圧電板部１１の上端面１１ａが各インク圧力室５にそれぞれ対応して振動板８の底面に当接される。
【００３３】
圧電素子構体１２には、詳細を後述するように、各圧電板部１１の上端面１１ａに段部形成加工が施されることによって、図３に示すように幅方向の凸部２０がそれぞれ形成されている。また、圧電素子構体１２は、各圧電板部１１がある程度の断面寸法を以って形成されることによって機械的強度を付与されて構成されている。換言すれば、圧電素子構体１２は、各圧電板部１１が、充分な機械的強度を有するとともに振動板８を直接駆動する部位がそれぞれ小さな外形寸法を以って構成されている。
【００３４】
ヘッド装置１は、圧電素子構体１２の下端面１２ａが基台１０に固定されるとともに、この基台１０の支持部１０ｂにヘッド構体９が固定されている。したがって、ヘッド装置１は、インク溜めプレート７や圧電素子構体１２の寸法精度とともに、各部材の組立精度のバラツキによって各圧電板部１１と各インク圧力室５とに位置ズレが生じることがある。ヘッド装置１は、所定のピッチと大きさで形成された各インク圧力室５に対して各圧電板部１１が正確に位置合わせされなければならない。
【００３５】
ヘッド装置１においては、上述したように圧電素子構体１２に分割溝形成加工を施して形成した各圧電板部１１の上端面１１ａに段部形成加工を施してそれぞれ凸部２０を形成したことによって、多少の位置ズレがあった場合でもこの凸部２０が各インク圧力室５に対応した領域に正確に位置されて振動板８に接触されるようになる。また、ヘッド装置１は、振動板８に対して各圧電板部１１が、上端面１１ａの全体による接触では無く実質的に幅狭とされた凸部２０の端面によるより小さな接触面を以って接触することから安定した接触状態に保持されるようになる。ヘッド装置１は、かかる構成によって各圧電板部１１の振動変位が振動板８を介して対応する各インク圧力室５に安定かつ確実に伝達されることから、画像等の正確かつ精密な記録が行われるようになる。
【００３６】
圧電素子構体１２には、上述したように第２の電極１４に電圧を供給するためのフレキシブル基板１７が接合されている。フレキシブル基板１７には、詳細を省略するが分割溝形成加工を施して圧電素子構体１２に分割形成された多数個の各圧電板部１１の間隔と等しい間隔を以って露出導体部１７ａが印刷形成されている。フレキシブル基板１７は、図１に示すように圧電素子構体１２の連結部１９の側面にあてがわれ、各露出導体部１７ａが対応する各圧電板部１１と位置決めされた状態で例えば異方性導電膜等を介して第２の電極１４と接続される。
【００３７】
圧電素子構体１２は、上述したようにその内部に第１の電極１３と第２の電極１４とが交互に積層された状態で形成されており、これら第１の電極１３と第２の電極１４とに電界を発生させると、圧電効果によって高さ方向にΔｈの変位が発生する。この変位量Δｈは、圧電素子構体１２を形成する圧電材料の圧電常数がそれぞれ等しくかつ第１の電極１３と第２の電極１４との間の距離が等しくさらに電界の大きさが等しい条件下において、これら第１の電極１３と第２の電極１４の相対向する部位の長さ寸法Ｌｄに比例する。したがって、圧電素子構体１２は、必要な変位量Δｈをできるだけ少ない電界によって得るためには、相対向する第１の電極１３と第２の電極１４との長さ寸法Ｌｄ（図４参照）をできるだけ長くする必要がある。
【００３８】
圧電素子構体１２は、上述したように基台１０に対してその連結部１９の下端面を接合されて片持ち状態で支持されることから、図４に示すように変位方向の全長Ｌ、換言すれば高さ寸法Ｌ分に対して拘束される部位を持たない構成となっている。したがって、圧電素子構体１２は、その高さ寸法Ｌのほぼ全域において振動変位が可能となり、効率のよい電極長を得ることができる構成となっている。
【００３９】
圧電素子構体１２は、図４に示すように、全体の長さ（高さ）寸法をＬとされるとともに、その上端面１２ｂから多数個の分割溝１８を形成することによって長さ寸法がＬａの多数個の圧電板部１１が形成される。すなわち、圧電板部１１は、全長がＬａであり、その上端面１１ａにそれぞれ高さ寸法がＬｂの凸部２０が形成されてなる。圧電素子構体１２は、各圧電板部１１の基端部を連結する高さ寸法Ｌｃの連結部１９が形成されてなる。したがって、連結部１９の高さ寸法Ｌｃは、Ｌｃ＝Ｌ−（Ｌａ＋Ｌｂ）となり、圧電素子構体１２の非分割長さになる。
【００４０】
一方、第１の電極１３と第２の電極１４電極とは、上述したように相対向する長さ寸法がＬｄである。第１の電極１３は、上端側を凸部２０が形成された圧電板部１１の上端面１１ａに露呈されておらずまた下端側を共通表面電極１５とそれぞれ接続されることから、連結部１９の下端面、換言すれば圧電素子構体１２の下端面１２ａからの高さ寸法Ｌｄ１が、Ｌｄ１＜Ｌ−Ｌｂとなっている。また、第２の電極１４は、上端側を圧電板部１１の表面に露呈されて個別電極１６と接続されるとともに下端側を共通表面電極１５と接続されないことから、圧電板部１１の上端面１１ａからの高さ寸法Ｌｄ２が、Ｌｄ２＜Ｌａ＋Ｌｂとなっている。したがって、圧電素子構体１２は、実際の振動変位領域が第１の電極１３と第２の電極１４との長さ寸法の和から圧電素子構体１２の高さ寸法を差し引いた（Ｌｄ１＋Ｌｄ２）−Ｌとなって、変位量Δｈを生成する。
【００４１】
上述した圧電素子構体１２は、図５に示した段部形成加工と分割溝形成加工とが施されて製作される。圧電素子構体１２は、同図Ａー１及びＡー２に示すように上述した圧電材料と導電材料とが積層されて全体薄板形状を呈している。圧電素子構体１２には、基台１０の主面１０ａに固定される下端面１２ａに第１の電極１３の一端部がそれぞれ露呈されるとともに上端面１２ｂに第２の電極１４の一端部がそれぞれ露呈されている。
【００４２】
圧電素子構体１２には、図５（Ｂ）に示すように、上端面１２ｂに対して段部形成加工が施されて、所定のピッチ、幅及び深さを以って段部形成凹部２１が形成される。段部形成加工は、例えば適宜の砥石を用いた研削加工によって行われ、凸部２０の高さ寸法と等しい深さ寸法と、圧電板部１１のピッチと幅寸法とに等しい段部形成凹部２１を形成する。圧電素子構体１２は、これら段部形成凹部２１によって上端面１２ｂに露呈された第２の電極１４がそれぞれ分割される。
【００４３】
圧電素子構体１２には、図５（Ｃ）に示すように、上述した段部形成加工によって形成された段部形成凹部２１を対象として分割溝形成加工が施されることにより、分割溝１８を介して分割された多数個の圧電板部１１が形成される。この分割溝形成加工も、例えば適宜の砥石を用いた研削加工によって行われる。分割溝１８は、その中心軸が段部形成凹部２１の中心軸に一致され、左右に所定の幅寸法を有する圧電板部１１を分割形成する。分割溝１８は、圧電素子構体１２を厚み方向に対して貫通するとともに、高さ方向に対して各圧電板部１１を連結する連結部１９を構成する底付き溝とされる。圧電素子構体１２は、分割溝１８によって各圧電板部１１に対応して第１の電極１３と第２の電極１４とがそれぞれ分割される。
【００４４】
圧電素子構体１２は、図５（Ｄ）に示すように、その側面にフレキシブル基板１７が接合される基板接合工程が施されて個別電極の外部取り出しが行われる。フレキシブル基板１７は、上述したように各圧電板部１１のピッチとほぼ等しいピッチを有する露出導体部１７ａが印刷形成されており、位置決めされた状態で分割形成された各圧電板部１１の側面に異方性導電膜等を介して接合される。
【００４５】
圧電素子構体１２は、上述したフレキシブル基板１７を用いた個別電極の外部取り出しに代えて、例えば図６に示した外部取出し端子部材２２を用いて個別電極の外部取り出しを行うようにしてもよい。外部取出し端子部材２２は、多数個の端子板２３と、これらを各圧電板部１１のピッチと等しいピッチで保持する支持板２４とからなる。外部取出し端子部材２２は、各端子板２３が対応する各圧電板部１１に対して位置合わせされた状態で、異方性導電膜等を介して接合される。
【００４６】
以上の工程を経て製作された圧電素子構体１２は、連結部１９の下端面１２ａを基台１０の主面１０ａ上に接合されることによって組み合わされる。圧電素子構体１２は、下端面１２ａに形成した共通表面電極と電気的に接続される。
【００４７】
ところで、上述したヘッド装置１においては、圧電素子構体１２が、単体の状態で段部形成加工及び分割溝形成加工を施こされて多数個の圧電板部１１が形成された後に基台１０に固定される。ヘッド装置１は、基台１０が圧電素子構体１２を固定するとともに支持部１０ｂを介してヘッド構体９を組み立てている。本発明は、かかるヘッド装置１の構成に限定されるものではなく、例えば圧電素子構体１２が予め基台１０に固定された状態で上述した段部形成加工及び分割溝形成加工を施すようにしてもよい。
【００４８】
すなわち、本発明の他の実施の形態として図７に示したヘッド装置３０は、基台３１が圧電素子構体１２を支持する全体板状の圧電素子構体支持部材３２と、ヘッド構体９を支持するヘッド構体支持部材３３とによって構成されてなる。なお、ヘッド装置３０は、その他の構成が上述したヘッド装置１と同等とされることから、対応する部材については同一符号を付すことによってその説明を省略する。
【００４９】
圧電素子構体１２は、予め圧電素子構体支持部材３２の主面３２ａ上に接合された状態で、上述した段部形成加工及び分割溝形成加工が施される。これら段部形成加工及び分割溝形成加工は、圧電素子構体１２が板状の圧電素子構体支持部材３２に接合された構成によって可能とされる。圧電素子構体１２は、凸部２０或いは各圧電板部１１が形成された後に例えばフレキシブル基板１７を用いた個別電極の外部取り出し等の工程が施される。
【００５０】
ヘッド構体支持部材３３は、ヘッド構体９を支持する柱部３３ａと、この柱部３３ａの下端部に一体に形成されて圧電素子構体支持部材３２の側面に接合固定される基台部３３ｂとからなる略Ｌ字状を呈している。ヘッド構体支持部材３３は、上述した各加工を施された圧電素子構体支持部材３２に対して接合固定されるとともにヘッド構体９が固定される。
【００５１】
ヘッド装置３０は、柱部３３ａと基台部３３ｂとを組み合わせてヘッド構体支持部材３３を構成することから、圧電素子構体支持部材３２に接合された圧電素子構体１２の各圧電板部１１とヘッド構体９のインク溜めプレート７に形成されたインク圧力室５とに位置ズレが生じることがある。ヘッド装置３０は、かかる位置ズレがあった場合でも、上述したように上端面にそれぞれ凸部２０が形成されていることによって各圧電板部１１が各インク圧力室５に対応した領域に正確に位置されて振動板８に接触されるようになる。
【００５２】
圧電素子構体１２の製作工程については、上述したように図５を参照して説明した。この製作工程では、１個の圧電素子構体１２を対象として１列に配列されてなる多数個の圧電板部１１が形成される。ヘッド装置１は、マトリックス状に配列された多数個のノズル孔２に対応して圧電素子構体１２にそれぞれ圧電板部１１が分割形成されてなる。したがって、圧電素子構体１２の製造工程においては、図８（Ａ）に示すように、多数個の圧電素子構体１２ｎ１乃至１２ｎｎが厚み方向に対して対して互いに密着された状態で積層されて供給される。圧電素子構体１２の積層体には、この状態で同図（Ｂ）に示すように一括して段部形成加工と分割溝形成加工とが施されて凸部２０と圧電板部１１を構成する分割溝１８が形成される。
【００５３】
圧電素子構体１２は、その厚み寸法が全長Ｌに対して小さく構成されている。したがって、圧電素子構体１２の製作工程においては、図８に示すように各圧電素子構体１２ｎ１乃至１２ｎｎを厚み方向に積層した状態で上述した段部形成加工及び分割溝形成加工とを施すことによって、各圧電素子構体１２を長さ方向に並べてこれら加工を施す場合と比較して単位時間当たりの加工対象数を増やすことが可能となり、生産性の向上が図られる。また、圧電素子構体１２の製作工程においては、分割溝１８や凸部２０が砥石を用いた研削加工によって形成される。圧電素子構体１２は、例えば形状の異なる数種類の砥石により加工する方法や所定形状の砥石を用いることによって適宜の形状を呈する分割溝１８や凸部２０が形成される。
【００５４】
圧電素子構体１２の製作工程においては、例えば図９（Ａ）に示すように予め多数個の基台１０ｍ１乃至１０ｍｍ上に所定のピッチを以って多数個の圧電素子構体１２ｍ１乃至１２ｍｍをそれぞれ接合し、この組立体を供給するようにしてもよい。圧電素子構体１２には、上述した工程と同様に段部形成加工及び分割溝形成加工が施されて、同図（Ｂ）に示すように一括して分割溝１８や凸部２０が形成されて圧電板部１１が分割形成される。なお、圧電素子構体１２は、同図に示すように１個の基台１０に対してそれぞれ幅方向に離間して２個が接合されているが、ノズル孔２の配列状態に応じて基台１０に対する接合状態が適宜変更されることは勿論である。
【００５５】
圧電素子構体１２は、上述したように各圧電板部１１の上端面１１ａに凸字状の凸部２０が突設されている。圧電素子構体１２は、かかる圧電板部１１の構成に限定されるものではなく、適宜の砥石を用いることによって分割溝１８や凸部２０の形状を異にした圧電板部１１を分割形成するようにしてもよい。また、圧電素子構体１２は、分割溝１８によって分割形成される圧電板部１１の全体の幅寸法Ｗａに対して凸部２０の幅寸法Ｗｂを異にして形成してもよい。
【００５６】
図１０に示した圧電板部１１は、圧電素子構体１２に分割溝形成加工を施してして分割形成されるが、その上端面に幅方向の両側縁に沿って面取り研削を施すことにより中央部に台形形状の凸部２０を形成してなる。圧電板部１１は、全体の幅寸法Ｗａに対してやや小幅とされた幅寸法Ｗｂの凸部２０がその上端面に形成される。
【００５７】
図１１に示した圧電板部１１は、上述した図１０の圧電板部１１と同様にその上端面に幅方向の両側縁に沿って面取り研削を施して凸部２０を形成するが、同図に示すように円弧状の面取りを施してなる。圧電板部１１は、全体の幅寸法Ｗａに対してやや小幅とされた幅寸法Ｗｂの凸部２０がその上端面に形成される。圧電板部１１は、図１０の圧電板部１１の加工に用いる砥石に対して例えば小径の砥石が用いられる。
【００５８】
圧電素子構体１２は、各圧電板部１１が分割溝１８によってそれぞれ矩形形状を以って分割形成されるが、かかる形状に限定されるものではない。圧電素子構体１２は、上述した分割溝形成加工を施す際に適宜の砥石を用いて分割溝１８を形成することによって、各圧電板部１１がその固定部側の幅寸法Ｗｃに対して自由端側の幅寸法Ｗｄを変えた適宜の短冊形状として構成するようにしてもよい。圧電素子構体１２は、各圧電板部１１が固定部側の幅寸法Ｗｃと自由端側の幅寸法Ｗｄについて、Ｗｃ＞Ｗｄとなるように構成される。圧電素子構体１２は、かかる構成を採用することによって、各圧電板部１１の機械的強度の向上を図るとともにそれぞれの横振動の固有振動数を上げて駆動周波数内での横振動が抑制されるようになる。
【００５９】
圧電素子構体１２には、例えば図１２に示すように開口幅寸法を次第に大ならしめた略逆台形状の分割溝１８、換言すれば溝幅寸法が直線的に変化する分割溝１８を形成する分割溝形成加工を施すようにしてもよい。圧電素子構体１２は、かかる分割溝１８によって同図に示すように連結部１９から一体に立ち上がり形成される各圧電板部１１が、その基端部から上端面１１ａ側に向かって次第に幅寸法を小ならしめた略台形の短冊形状を以って形成される。各圧電板部１１は、同図に示すように、固定部側の幅寸法Ｗｃと自由端側の幅寸法ＷｄとがＷｃ＞Ｗｄとなるように構成される。勿論、各圧電板部１１には、上端面１１ａに凸部２０が一体に形成される。
【００６０】
また、圧電素子構体１２には、例えば図１３に示すように開口幅寸法を次第に大ならしめた略半楕円形状の分割溝１８、換言すれば溝幅寸法が曲線的に変化する分割溝１８を形成する分割溝形成加工を施すようにしてもよい。圧電素子構体１２は、かかる分割溝１８によって同図に示すように連結部１９から一体に立ち上がり形成される各圧電板部１１が、その両側縁部を基端部から上端面１１ａ側に向かって次第に幅寸法を小ならしめる円弧状とされた短冊形状を以って分割形成される。各圧電板部１１は、同図に示すように、固定部側の幅寸法Ｗｃと自由端側の幅寸法ＷｄとがＷｃ＞Ｗｄとなるように構成される。勿論、各圧電板部１１には、上端面１１ａに凸部２０が一体に形成される。
【００６１】
さらに、圧電素子構体１２には、例えば図１４に示すように固定部側を幅狭とした縦長の第１の分割溝部１８ａとこの第１の分割溝部１８ａに連続する自由端部側の幅広の第２の分割溝部１８ｂとからなる略逆凸字状の分割溝１８、換言すれば溝幅が不連続に変化する分割溝１８を形成する分割溝形成加工を施すようにしてもよい。なお、圧電素子構体１２は、溝幅寸法が上端側に向かって多段に幅広に変化される多段の分割溝１８によって多段の圧電板部１１を分割形成するようにしてもよい。
【００６２】
圧電素子構体１２は、かかる分割溝１８によって、同図に示すように各圧電板部１１が固定部側の幅広の部位と自由端部側の幅狭の部位とからなる略凸字状の段付き形状の短冊形状を以って分割形成される。すなわち、各圧電板部１１は、連結部１９から一体に立ち上がり形成される固定部側が第１の分割溝部１８ａを介して幅広とされるとともに、所定の高さ位置から上端側が第２の分割溝部１８ｂによって幅狭とされてなる。各圧電板部１１は、同図に示すように、固定部側の幅寸法Ｗｃと自由端側の幅寸法ＷｄとがＷｃ＞Ｗｄとなるように構成される。勿論、各圧電板部１１には、上端面１１ａに凸部２０が一体に形成される。
【００６３】
圧電素子構体１２には、上述したように種々の形状の分割溝１８によって各圧電板部１１がその幅寸法を固定部側の幅寸法Ｗｃと自由端側の幅寸法ＷｄについてＷｃ＞Ｗｄとなるような適宜の分割溝形成加工が施される。この場合、圧電素子構体１２は、多数個が互いに厚み方向に並べられて適宜の形状の砥石が用いられて分割溝１８が形成される。
【００６４】
圧電素子構体１２には、分割溝１８を形成する上述した各種の分割溝形成加工が施されて、基端部を連結部１９によって連結した多数個の圧電板部１１が分割形成される。各分割溝１８は、砥石の磨耗によって図１５に示すようにその底部１８ｃがＲ面を呈しており、精密な直角を以って各圧電板部１１を立ち上がり形成していない状態となっている。したがって、圧電素子構体１２においては、各分割溝１８によって分割形成される圧電板部１１が、両側に形成される圧電板部１１ｂと内側に形成される圧電板部１１ｃとで連結部１９からの立ち上がり部位の形状が異なった状態を呈することになる。換言すれば、両側の圧電板部１１ｂは、同図に示すように根元部位において左右方向の対称性が崩れて左右方向にΔｘの傾きが生じる。
【００６５】
圧電素子構体１２は、圧電板部１１ｂに傾きが生じた場合に、各圧電板部１１のピッチｐに対してこの圧電板部１１ｂと内側の圧電板部１１との間隔がｐ＋Δｘとなって対応するインク圧力室５との間に位置ズレが生じてしまう。したがって、圧電素子構体１２においては、両側の圧電板部１１ｂを形成する際に、これら圧電板部１１ｂが図１６に示すように連結部１９の端面からΔｐの内側位置において立ち上がり形成されるようにする。圧電素子構体１２は、かかる構成によって両側の圧電板部１１ｂと内側の各圧電板部１１ｃとがそれぞれ根元部位における左右方向の対称性が保持され、両側の圧電板部１１ｂの傾きが抑制される。
【００６６】
なお、圧電素子構体１２は、上述した各形状の圧電板部１１に対しても、その両側の圧電板部１１ｂをかかる構成によって形成してもよい。圧電素子構体１２は、両側の圧電板部１１ｂと内側の各圧電板部１１ｃとのピッチが精密に保持され、各圧電板部１１が各インク圧力室５にそれぞれ対応位置されるようになる。
【００６７】
ヘッド装置１は、上述したように基台１０に対してヘッド構体９のインク圧力室５と圧電素子構体１２の各圧電板部１１とが互いに精密に位置決めされた状態で組み合わされてなる。圧電素子構体１２は、各圧電板部１１の凸部２０が、ヘッド構体９を構成するインク溜めプレート７の各インク圧力室５に対応して振動板８に接触されてなる。ヘッド装置１は、図１７に示すように振動板８が各インク圧力室５を閉塞するようにしてインク溜めプレート７に接合されてなる。各インク圧力室５は、インク溜めプレート７の他方主面７ｂに各隔壁７ｃによって互いに等間隔を以って区割りされて凹設されている。ところが、最外側に凹設されたインク圧力室５ｂ１は、同図に示すようにインク溜めプレート７の外周部位７ｃ１と隔壁７ｃ２とによって区割りされる。
【００６８】
したがって、振動板８は、図１７に示すように内側に凹設された各インク圧力室５ｂ２乃至５ｂｎに対応する部位が各隔壁７ｃ２乃至７ｃｎによって支えられるのに対して、最外側に凹設されたインク圧力室５ｂ１に対応する部位が隔壁７ｃ２とインク溜めプレート７の外周部位７ｃ１とによって支えられる。振動板８は、各隔壁７ｃ２乃至７ｃｎに対して外周部位７ｃ１の剛性が大きいことから、最外側に凹設されたインク圧力室５ｂ１に対応する部位の剛性が他のインク圧力室５ｂ２乃至５ｂｎに対応する部位の剛性よりも大きくなる。
【００６９】
ヘッド装置１においては、所定の圧電板部１１が駆動されて発生する振動変位により対応するインク圧力室５に容積変動を生じさせてノズル孔２からインク滴が飛翔する。したがって、ヘッド装置１は、各圧電板部１１が同一の駆動力で駆動される場合に、最外側に凹設されたインク圧力室５ｂ１の容積変動が他のインク圧力室５ｂ２乃至５ｂｎの容積変動に対して小さくなる。ヘッド装置１においては、これによってノズル孔２から飛翔するインク滴の大きさが変わって記録画像等の記録精度が多少劣化するといった問題を生じさせる。
【００７０】
したがって、図１８に示したヘッド装置４０は、最外側に凹設されたインク圧力室５ｂ１に生じる容積変動と他のインク圧力室５ｂ２乃至５ｂｎに生じる容積変動とがほぼ同等となるように構成されてなる。ヘッド装置４０は、このためにインク溜めプレート７の最外側に凹設されたインク圧力室５ｂ１に対応する圧電板部４１が、その幅寸法Ｗｅを他のインク圧力室５ｂ２乃至５ｂｎに対応する圧電板部４２の幅寸法Ｗｆに対して大ならしめてなる圧電素子構体４３が備えられる。なお、ヘッド装置４０は、その他の構成について、上述したヘッド装置１と同様とすることから対応する部材等に対して同一符号を付すことによってその詳細な説明を省略する。
【００７１】
すなわち、圧電素子構体４３は、両側の圧電板部４１がその幅寸法Ｗｅを他の圧電板部４２の幅寸法Ｗｆに対して大ならしめられることで、より大きな振動変位が生じて振動板８を駆動するように構成される。勿論、圧電素子構体４３は、圧電板部４１の幅寸法Ｗｅと圧電板部４２の幅寸法Ｗｆとの差が、振動板８の振動抵抗の差を補正するに足るように設定されてなる。したがって、ヘッド装置４０においては、最外側に凹設されたインク圧力室５ｂ１と他のインク圧力室５ｂ２乃至５ｂｎにおいて生じる容積変動とがほぼ同等となり、ノズル孔２からほぼ均一な大きさのインク滴が飛翔されて記録画像等の精密な記録が行われるようになる。勿論、かかるヘッド装置４０の構成は、上述した各種の圧電板部１１を有する圧電素子構体１２を用いた場合にも適用されるものである。
【００７２】
ヘッド装置１においては、上述したように段部形成加工と分割溝形成加工とを施して種々の形状の圧電板部１１を分割形成した圧電素子構体１２が、図５或いは図６に示すようにフレキシブル基板１７や外部取出し端子部材２２と端子板２３を用いるとともに異方性導電接着材によって基台１０側の共通表面電極１５と接続するように構成してなる。これに対して図１９に他の実施の形態として示したヘッド装置５０においては、圧電素子構体１２の各圧電板部１１に形成された個別電極との接続が、振動板５１に形成された電極導体部５２によって行われるように構成したことを特徴とする。なお、ヘッド装置５０は、電極導体部５２が形成された振動板５１以外の基本的な構成を上述したヘッド装置１とほぼ同等とすることから、同一部材については同一符号を付すことによってその詳細な説明を省略する。
【００７３】
すなわち、ヘッド装置５０には、振動板５１の基台１０と対向する主面５１ａに、各インク圧力室５にそれぞれ対応位置して、換言すれば各圧電板部１１にそれぞれ対応位置して多数個の電極導体部５２が形成されてなる。各電極導体部５２は、例えば振動板８がベース材としてポリイミドやポリエステルを用いる場合にはこれに銅箔を接合して所定のパターンにエッチング処理を施して形成する。
【００７４】
各電極導体部５２は、同時にエッチング処理を施して形成したリード部５３を介して振動板８の外方へと引き出されてプリンタ本体側の制御部と接続される。なお、リード部５３は、ヘッド装置５０のサイズや振動板５１の主面５１ａ上における引き回し経路、数等によって適宜に設計される。振動板５１には、各圧電板部１１が対応する電極導体部５２に対して、その上端面１１ａに形成した凸部２０の端面を接着樹脂や導電接着剤等によって接合固定されてなる。
【００７５】
なお、圧電素子構体１２は、その第１の電極１３と第２の電極１４とが上述したヘッド装置１或いはヘッド装置４０の構成による接続に限定されるものではない。圧電素子構体１２は、振動板８と基台１０との両部材において第１の電極１３と第２の電極１４の接続が適宜行われるように構成してもよい。
【発明の効果】
【００７６】
以上詳細に説明したように、本発明にかかるインクジェットプリンタ用ヘッド装置によれば、各圧電板が、その振動板との対向面を構成する自由端部に凸部形成加工を施して幅方向の凸部を形成されて実質的に幅狭に構成されることから、各圧電板と所定のピッチと大きさで形成された各インク圧力室との位置合わせが容易かつ正確に行われるとともに各圧電板が振動板に対して安定した状態で接触するようになる。したがって、インクジェットプリンタ用ヘッド装置においては、各圧電板の歪み変位によって振動板を介して所定のインク圧力室の容積変動が正確に行われて安定した大きさのインク滴を極く狭ピッチで形成されたノズル孔から飛翔させて画像等の正確かつ精密な記録が行われるようになる。
【００７７】
また、インクジェットプリンタ用ヘッド装置においては、最外側部に位置する圧電板部が、その外側面側にも圧電素子構体に対する分割溝形成を施して形成されることにより、両側の圧電板部を内側の圧電板部に対して対称性やピットが精密に保持されるようにするとともに、当該圧電板部を幅広として振動板を均一な状態で振動動作させることが可能となる。インクジェットプリンタ用ヘッド装置においては、インク圧力室の容積変動が安定して大きさが一定のインク滴をノズル孔から飛翔させて画像等の正確かつ精密な記録が行われるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明にかかるインクジェットプリンタ用ヘッド装置の実施の形態として示す要部斜視図である。
【図２】  同インクジェットプリンタ用ヘッド装置の要部縦断面図である。
【図３】  同インクジェットプリンタ用ヘッド装置に備えられる圧電駆動部の構成を説明する要部斜視図である。
【図４】  同インクジェットプリンタ用ヘッド装置における各部の構成説明図である。
【図５】  同インクジェットプリンタ用ヘッド装置に備えられる圧電素子構体の製作工程の説明図である。
【図６】  他の圧電素子構体の説明図である。
【図７】  本発明にかかるインクジェットプリンタ用ヘッド装置の他の実施の形態として示す要部縦断面図である。
【図８】  他の圧電素子構体の製作工程の説明図である。
【図９】  他の圧電素子構体の製作工程の説明図である。
【図１０】  他の圧電体の構成を説明する要部側面図である。
【図１１】  他の圧電体の構成を説明する要部側面図である。
【図１２】  他の圧電素子構体の構成を説明する要部側面図である。
【図１３】  他の圧電素子構体の構成を説明する要部側面図である。
【図１４】  他の圧電素子構体の構成を説明する要部側面図である。
【図１５】  圧電素子構体の構成を説明する要部側面図である。
【図１６】  他の圧電素子構体の構成を説明する要部側面図である。
【図１７】  インクジェットプリンタ用ヘッド装置の要部縦断面図である。
【図１８】  他のインクジェットプリンタ用ヘッド装置の要部縦断面図である。
【図１９】  他のインクジェットプリンタ用ヘッド装置の要部斜視図である。
【図２０】  従来のインクジェットプリンタ用ヘッド装置の要部斜視図である。
【図２１】  同インクジェットプリンタ用ヘッド装置に備えられる圧電駆動部の構成を説明する要部斜視図である。
【符号の説明】
１  インクジェットプリンタ用ヘッド装置（ヘッド装置）、２  ノズル孔、３  ノズルプレート、５  インク圧力室、７  インク溜めプレート、８  振動板、９  ヘッド構体、１０  基台、１１  圧電板部、１２  圧電素子構体、１３  第１の電極、１４  第２の電極、１５  共通表面電極、１６  個別電極、１７  フレキシブル基板、１８  分割溝、１９  連結部、２０  凸部、２１  段部形成凹部、２２  端子部材、２３  端子板、２４  支持板、３０  ヘッド装置、３１  基台、３２  圧電素子構体支持部材、３３  ヘッド構体支持部材、４０  ヘッド装置、４１  圧電板部、４２  圧電板部、４３  圧電素子構体、５０  ヘッド装置、５１  振動板、５２  電極導体部、５３  リード部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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