(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造装置と、通信回線を介して前記半導体製造装置を制御するホストコンピュータとから構成される半導体製造システムにおいて、
前記半導体製造装置は、
処理する各プロセスにおいて消費された各化学薬品の消費量を各プロセス毎にメモリに格納するとともに、前記ホストコンピュータに報告する生産情報報告手段と、
前記半導体製造装置で消費された各化学薬品の消費量をそれら通過する前記半導体製造装置の構成部分に対応して算出し、前記消費量が予め定められた閾値に達すると前記構成部分が保守すべきタイミングにある旨を表示する保守情報管理手段と、
を有する半導体製造システム。
【請求項２】
半導体製造装置と、通信回線を介して前記半導体製造装置を制御するホストコンピュータとから構成される半導体製造システムにおいて、
前記半導体製造装置は、
各化学薬品の消費量を各化学薬品等の種別毎にメモリに格納するとともに、前記ホストコンピュータに報告する生産情報報告手段と、
前記半導体製造装置で消費された各化学薬品の消費量をそれら通過する前記半導体製造装置の構成部分に対応して算出し、前記消費量が予め定められた閾値に達すると前記構成部分が保守すべきタイミングにある旨を表示する保守情報管理手段と、
を有する半導体製造システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体製造装置と、通信回線を介して前記半導体製造装置を制御するホストコンピュータとから構成される半導体製造システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の半導体製造システムにおいて半導体製造装置は、各プロセスを構成する複数のステップに対して、使用する各化学薬品の流量に関する制御用のパラメータを設定しているが、各プロセスで実際に使用される各化学薬品の消費量を測定すること、あるいは、測定したデータを総合的に収集することは行っていない。また、各化学薬品が流れる配管や調整装置の保守のために、各部に流れた各化学薬品の量を検出することを行っていない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の半導体製造システムにおいては、各ステップに対して、使用する各化学薬品の流量に関するパラメータを設定しているが、各プロセスで実際に使用される各化学薬品の消費量を測定し、それを総合的に収集していないために、半導体製造システムにおける化学薬品の在庫状況等が正確に把握できず、ひいては、化学薬品等の資源を効率よく利用できないという問題がある。また、各配管や調整装置に流れる各化学薬品の量を検出することを行っていないので、流れる化学薬品によって付着する化学反応物質の量を検知できずに、それの除去等の保守タイミングを正確に判断するのが容易でないという問題がある。
【０００４】
この発明は、上記問題に鑑み、各プロセスで実際に使用される各化学薬品等の流量データを利用してそれらの消費量を総合的に収集し、化学薬品等の資源を効率よく利用でき、かつ、各部の保守にも役立てることができる半導体製造システムを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前述した課題を解決するために、この発明は、半導体製造装置と、通信回線を介して前記半導体製造装置を制御するホストコンピュータとから構成される半導体製造システムにおいて、前記半導体製造装置が、処理する各プロセスにおいて消費される各化学薬品の消費量を各プロセス毎にメモリに格納するとともに、前記ホストコンピュータに報告する生産情報報告手段と、前記消費される各化学薬品の流量をそれらが通過する前記半導体装置の構成部分に対応して算出し、前記流量が予め定められた閾値に達すると前記構成部分が保守すべきタイミングにある旨を示す警報を与える保守情報管理手段とを有する。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について添付した図面に基づいて説明する。図１は、この発明に係わる半導体製造システムの実施の形態の一例を示すブロック図、図２は、各プロセスにおけるレシピに従って消費される化学薬品の量が計算され生産情報として格納される動作を説明するフローチャート、図３は、各配管あるいは調節装置等に対応して、それらを通過した各化学薬品等の消費流量が計算され保守情報として格納される動作を説明するフローチャート、図４は、ホストコンピュータと半導体製造装置とがオフライン時にデータの授受を行うのを説明する図である。
【０００７】
図１の半導体製造システム１００は、生産情報を格納する生産情報メモリ２０および保守情報を格納する保守情報メモリ３０を具備している半導体製造装置１０と、半導体製造装置１０が通信回線４０によって接続されたホストコンピュータ５０とから構成されている。この半導体製造装置１０においては、各種のガスや化学薬品（以降、化学薬品と略称する）の流量等を制御する複数のサブコントローラ１１1 ，１１2 ，〜，１１n を備えている。メインコントローラ１２は、これらのサブコントローラ１１1 ，１１2 ，〜，１１n から必要な種々のデータ（例えば、化学薬品の流量）をを収集するとともに、これらのデータや所定のプログラムに従ってこれらのサブコントローラ１１1 ，１１2 ，〜，１１n に制御メッセージを送りこれらを制御している。
【０００８】
メインコントローラ１２は、図２に示されるように、これらのサブコントローラ１１1 ，１１2 ，〜，１１n からのデータに基づき、これらのサブコントローラ１１1 ，１１2 ，〜，１１n が制御しているプロセスのレシピにおける各化学薬品等の各時点の流量を検出し、各化学薬品が流されている時間に対応して加算（積分）を行い（ステップＳ２１）、そのレシピが終了したか否かを判断し（ステップＳ２２）、そのレシピが終了していなければ、ステップＳ２１に戻り、終了していれば、そのレシピに従って処理したプロセスにおける各化学薬品の消費量を各化学薬品等の種別毎に生産情報として生産情報メモリ２０にロギングする（ステップ２３）。この場合、複数のステップからなるプロセスにおける化学薬品の消費量の計算としては、そのプロセスが実質的に開始されるまでに無駄に消費される立ち上がり消費量と、各ステップにおいてそれぞれ使用される消費量との加算により算出されている。
【０００９】
さらに、メインコントローラ１２は、図３に示されるように、各配管あるいは調節装置等に対応して、それらを通過した各化学薬品等の消費流量を累加算し（ステップＳ３１）、保守情報メモリ３０に格納するとともに、累加算値が各化学薬品等の消費流量に対応して予め保守情報メモリ３０に設定された警報を示すアラートリミット値あるいはアラートリミット値より大きい重度の障害を示すアラームリミット値に到達したか否かを判断する（ステップＳ３２）。もしも、いずれのリミット値にも到達していなければステップＳ３１にもどり、もしも、到達していれば、該当する警報あるいは重度の障害の表示を行う（ステップＳ３３）。
【００１０】
ステップＳ３３の警報あるいは重度の障害の表示を行った後に、メインコントローラ１２は、オペレータに対して、その表示に基づいてメンテナンスを開始することを了解するか否かを問い合わせる（ステップＳ３４）。了解した旨の応答がないとステップＳ３１に戻り、了解した旨の応答があると、半導体製造装置１０をメンテナンス待ちの状態にし、メンテナンス作業実施が完了するのを待つ（ステップＳ３５）。ステップＳ３５においてメンテナンス作業実施が完了した旨の報告を受けると、保守情報メモリ３０の累加算値（アキューム）を消去する（ステップＳ３６）。もちろん、ステップＳ３６では、累加算値を消去しないで処理済みのデータとして保管し、新たな累加算値は、新しいメモリ領域にロギングしてもよい。もちろん、これらの保守情報は、逐次ホストコンピュータ５０に報告するようにしてもよい。
【００１１】
上述した半導体製造装置１０は、ホストコンピュータ５０から通信回線４０を介して制御されるオンライン時においては、制御されたプロセスが終了する毎に生産情報および保守情報をそれぞれ生産情報メモリ２０と保守情報メモリ３０とに格納するとともに、生産情報（および必要であれば保守情報）をホストコンピュータ５０に伝送する。他方、半導体製造装置１０は、ホストコンピュータ５０から通信回線４０を介して制御されていないオフライン時においては、生産情報および保守情報をそれぞれ生産情報メモリ２０と保守情報メモリ３０とに一旦格納しておく。
【００１２】
オフライン時において、生産情報および保守情報をそれぞれ生産情報メモリ２０と保守情報メモリ３０とに格納しておいた半導体製造装置１０は、ホストコンピュータ５０から通信回線４０を介して制御されるオンライン時において、ホストコンピュータ５０より、例えば図４に示すように、格納しておいた生産情報（または保守情報）を要求するデータ要求メッセージＳｘＦｘを受けると、そのデータ要求メッセージＳｘＦｘに該当する生産情報（または保守情報）に関する応答データＳｘＦｘ＋１，・・・をホストコンピュータ５０に伝送する。
【００１３】
上述の図１においては、ホストコンピュータ５０が扱う半導体製造装置１０は、理解しやすいように、一台のみ示されているが、ホストコンピュータ５０は、複数の半導体装置１０に関して同様な処理を行うように配置できることは明らかである。また、上述の例では、半導体製造装置１０は、オンライン時に各プロセスが終了次第、生産情報および保守情報をホストコンピュータ５０に伝送するようにしているが、各プロセスが終了後にホストコンピュータ５０から要求があったときに、伝送するようにしてもよいし、半導体製造装置１０から適宜なタイミングでホストコンピュータ５０にアクセスしてホストコンピュータ５０の応答に応じて、未伝送の生産情報および保守情報をホストコンピュータ５０に伝送するようにしてもよい。
【００１４】
このように、ホストコンピュータ５０は、オンライン時あるいはオフライン時に適宜に各半導体製造装置１０およびその各プロセスに関する生産情報および保守情報を収集できるので、各半導体製造装置１０およびその各プロセス毎に化学薬品の消費量を細かく算出することができるとともに、システム全体の消費量も正確に算出できる。また、その算出結果に基づいて、システム全体における各化学薬品の消費量の把握や在庫管理および追加発注の要不要等を迅速かつ正確に決定できる。さらに、各プロセス処理毎に、配管や制御部品等を流通する各化学薬品等の消費流量を保守情報として検出できるので、配管や制御部品等から化学反応物質を取り除くなどの保守作業のタイミングを正確に把握でき、事故等を未然に防止できる。
【００１５】
【発明の効果】
以上に詳述したように、この発明に係わる半導体製造システムは、半導体製造装置と、通信回線を介して前記半導体製造装置を制御するホストコンピュータとから構成されており、この場合、前記半導体製造装置は、処理する各プロセスにおいて消費される各化学薬品の消費量を各プロセス毎にメモリに格納するとともに、前記ホストコンピュータに報告する生産情報報告手段と、前記消費される各化学薬品の流量をそれらが通過する前記半導体装置の構成部分に対応して算出し、前記流量が予め定められた閾値に達すると前記構成部分が保守すべきタイミングにある旨を示す警報を与える保守情報管理手段とを有することにより、ホストコンピュータは、前記生産情報報告手段から伝送された各プロセスで実際に使用される各化学薬品等の流量データを利用してそれらの消費量を総合的に収集し、システム全体における化学薬品等の在庫管理等のように資源を効率よく利用でき、かつ、保守情報管理手段の情報により各部の保守をタイミングよく決定できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係わる半導体製造システムの実施の形態の一例を示すブロック図である。
【図２】各プロセスにおけるレシピに従って消費される化学薬品の量が計算され生産情報として格納される動作を説明するフローチャートである。
【図３】各配管あるいは調節装置等に対応して、それらを通過した各化学薬品等の消費流量が計算され保守情報として格納される動作を説明するフローチャートである。
【図４】ホストコンピュータと半導体製造装置とがオフライン時に通信回線を介してデータの授受を行うのを説明する図である。
【符号の説明】
１０    半導体製造装置
１１1 ，１１2 ，〜，１１n     サブコントローラ
１２    メインコントローラ
２０    生産情報メモリ
３０    保守情報メモリ
４０    通信回線
５０    ホストコンピュータ
１００    半導体製造システム
Ｓ２１，〜，Ｓ３６    ステップ
【図１】
0004176855.tif 000002
【図２】
0004176855.tif 000003
【図３】
0004176855.tif 000004
【図４】
0004176855.tif 000005