(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコンインゴットをワイヤソーに搬入する前処理工程において、複数のシリコンインゴットを同一種類の搬送用トレーに支持された状態で搬送路に沿って搬送し、その搬送途中で各シリコンインゴットの結晶方位を測定する工程、この測定結果に基づいてシリコンインゴットの外周面に中間ステーを接着する工程及びこの中間ステーに前記ワイヤソーへ取り付けるための取付ステーを接着する工程を行うようにしたシリコンインゴットのステー接着方法において、
前記搬送用トレーには、中間ステー接着前のシリコンインゴットをシリコンインゴットの外周面にて支持する第１支持部と、中間ステー接着後のシリコンインゴットを中間ステーにて支持する第２支持部と、取付ステー接着後のシリコンインゴットを取付ステーにて支持する第３支持部とを設けるとともに、各搬送用トレー毎に絶対番地が設定された識別子を付し、
シリコンインゴットの搬送路中と前記各工程での搬入側及び搬出側に、前記搬送用トレーに付された識別子から絶対番地を読み取る読取センサを設け、
前記各搬送用トレーに対応する絶対番地をメモリ内に設定し、前記絶対番地で指定される記憶領域には書き込み領域が設けられ、支持したシリコンインゴットの長さ寸法を含む固有データと、シリコンインゴットの各工程終了時にこの書き込み領域に工程済を示すデータ及びそれに付随するデータよりなる処理データとが書き込まれ、
前記各搬送用トレーの識別子から前記読取センサによって読み取られた絶対番地で指定される記憶領域のデータに基づいて前記各工程を制御することを特徴とするシリコンインゴットのステー接着方法。
【請求項２】
前記取付ステー接着工程において、短いシリコンインゴットが他のシリコンインゴットとともに１つの取付ステーに移し替えられて、１つの搬送用トレーに支持される場合には、その移し替えられたシリコンインゴットに関する移し替え以前の搬送用トレーの絶対番地で指定される記憶領域に記憶されていたデータが、その絶対番地の記憶領域から、新たに支持される搬送用トレーで指定される記憶領域に転送され、シリコンインゴットが撤去された搬送用トレーの絶対番号に対応する前記シリコンインゴットのデータが消去されることを特徴とする請求項１に記載のシリコンインゴットのステー接着方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のシリコンインゴットのステー接着方法の実施に使用されるシリコンインゴットの搬送用トレーであって、
一対の支持バーが平行に延長配置され、両支持バーの上端面には、傾斜面状の第１支持部、段差状の第２支持部及び平面状の第３支持部が内側から外側にかけて形成されていることを特徴とするシリコンインゴットの搬送用トレー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えばシリコンインゴットをワイヤソーに搬入する場合の前処理工程として、シリコンインゴットの結晶方位を測定すると共に、その測定結果に基づいてシリコンインゴットの外周面に中間ステー及び取付ステーを接着する際に具体化されるシリコンインゴットのステー接着方法及び搬送用トレーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種のシリコンインゴットのステー接着方法としては、例えば特開平１０−３２９１３３号公報に開示されるような方法が知られている。この従来方法では、シリコンインゴットが搬送台車に支持された状態で搬送されて、方位測定装置と対応する測定基準位置に位置決め固定される。この状態で、方位測定装置によりシリコンインゴットの端面にＸ線が照射され、その反射Ｘ線にてシリコンインゴットの結晶方位が測定される。そして、この結晶方位の測定データに基づいて、各々第１及び第２の方位調整が行われ、中間ステー接着装置及び取付ステー接着装置により、シリコンインゴットにカーボン製の中間ステーを介して金属製の取付ステーが接着されるようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この従来のシリコンインゴットのステー接着方法においては、シリコンインゴットが測定基準位置に位置決め固定された状態で、シリコンインゴットの方位測定、第１の方位調整及びシリコンインゴットに対する中間ステーの接着、第２の方位調整及び中間ステーに対する取付ステーの接着の各工程が順に行われるようになっている。このため、ひとつのシリコンインゴットに対する前記一連の工程が終了するまでは、次のシリコンインゴットに対する同様な一連の工程を実施できないという問題があった。
【０００４】
このような問題点に対処するために、方位測定装置、第１の方位調整を含む中間ステー接着装置及び第２の方位調整を含む取付ステー接着装置等を搬送路に沿って配列する。そして、シリコンインゴットを搬送路にて搬送しながら、その搬送途中で各装置によりインゴットに対して、中間ステー接着及び取付ステー接着等の工程を順次施すようにすることも考えられる。このようにすれば、インゴットに対して各種の工程を順次施すことができるため、全体としての効率が向上する。
【０００５】
しかしながら、このようにした場合には、方位測定、中間ステー接着及び取付ステー接着等の工程が、異なった位置で各別に、かつ同時に行われるため、シリコンインゴットに対する工程順序等の制御が繁雑になるとともに、工程処理状況の把握も困難になるという問題が生じた。従って、生産計画の管理や日報の記録も面倒であるという問題があった。
【０００６】
さらに、シリコンインゴットには、その搬送途中で中間ステーや取付ステー等が付設されるため、全体形状が変化する。この場合、その形状変化に応じてシリコンインゴットを専用の搬送用トレーに移し換えて搬送していると、トレーの種類や数が多くなって、その管理も面倒になるという問題があった。
【０００７】
この発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その主たる目的は、シリコンインゴットに対するステー接着の制御を容易に行うことができるとともに、各工程処理状況の把握も簡単に行うことができるシリコンインゴットのステー接着方法を提供することにある。
【０００８】
また、この発明のその他の目的は、加工システム全体の生産計画の管理や日報の記録を容易に行うことができるシリコンインゴットのステー接着方法を提供することにある。
【０００９】
さらに、この発明のその他の目的は、シリコンインゴットを支持して搬送するための搬送用トレーの種類や数が多くなるのを抑制することができて、その管理を簡単に行うことができるシリコンインゴットの搬送用トレーを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、シリコンインゴットをワイヤソーに搬入する前処理工程において、複数のシリコンインゴットを同一種類の搬送用トレーに支持された状態で搬送路に沿って搬送し、その搬送途中で各シリコンインゴットの結晶方位を測定する工程、この測定結果に基づいてシリコンインゴットの外周面に中間ステーを接着する工程及びこの中間ステーに前記ワイヤソーへ取り付けるための取付ステーを接着する工程を行うようにしたシリコンインゴットのステー接着方法において、前記搬送用トレーには、中間ステー接着前のシリコンインゴットをシリコンインゴットの外周面にて支持する第１支持部と、中間ステー接着後のシリコンインゴットを中間ステーにて支持する第２支持部と、取付ステー接着後のシリコンインゴットを取付ステーにて支持する第３支持部とを設けるとともに、各搬送用トレー毎に絶対番地が設定された識別子を付し、シリコンインゴットの搬送路中と前記各工程での搬入側及び搬出側に、前記搬送用トレーに付された識別子から絶対番地を読み取る読取センサを設け、前記各搬送用トレーに対応する絶対番地をメモリ内に設定し、前記絶対番地で指定される記憶領域には書き込み領域が設けられ、支持したシリコンインゴットの長さ寸法を含む固有データと、シリコンインゴットの各工程終了時にこの書き込み領域に工程済を示すデータ及びそれに付随するデータよりなる処理データとが書き込まれ、前記各搬送用トレーの識別子から前記読取センサによって読み取られた絶対番地で指定される記憶領域のデータに基づいて前記各工程を制御することを特徴とするものである。
【００１１】
従って、この請求項１に記載の発明によれば、シリコンインゴットを支持する搬送用トレーごとに設定された絶対番地のデータに基づいて、シリコンインゴットに対する加工の制御を行うことができる。このため、その加工制御をシリコンインゴットごとに誤りなく、かつ容易に行うことができるとともに、加工状況の把握も簡単に行うことができる。また、各搬送用トレーの絶対番地のデータに基づいて、加工システム全体の生産計画の管理や日報の記録を容易に行うこともできる。
【００１２】
また、前記搬送用トレーは構造が簡単であるとともに同一種類のものが使用されるため、搬送用トレーの種類や数が多くなるのを抑制することができて、その管理を簡単に行うことができる。
【００１３】
しかも、絶対番地が搬送用トレーごとに設定されるため、シリコンインゴットを支持しない空の状態の搬送用トレー管理も行うことができる。従って、例えば、休止状態の搬送用トレー数の把握が可能になり、システム全体を円滑に管理できる。さらに、シリコンインゴットを支持した搬送用トレーの搬送途中において、搬送用トレー上の識別子から絶対番地を容易に検出することができる。また、インゴットに識別子が設けられることがないため、そのインゴットに対する加工において識別子が加工の邪魔になるようなことがない。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記取付ステー接着工程において、短いシリコンインゴットが他のシリコンインゴットとともに１つの取付ステーに移し替えられて、１つの搬送用トレーに支持される場合には、その移し替えられたシリコンインゴットに関する移し替え以前の搬送用トレーの絶対番地で指定される記憶領域に記憶されていたデータが、その絶対番地の記憶領域から、新たに支持される搬送用トレーで指定される記憶領域に転送され、シリコンインゴットが撤去された搬送用トレーの絶対番号に対応する前記シリコンインゴットのデータが消去されることを特徴とするものである。
【００１５】
従って、この請求項２に記載の発明によれば、シリコンインゴットが短い場合、他の短いシリコンインゴットとともに１つの取付ステーに接着して、１つの搬送用トレーで容易に搬送等の処理することができる。つまり、２つのシリコンインゴットを同一搬送用トレー上でひとつとして取り扱うことができ、取り扱いが容易になるとともに、誤処理を未然に防止できる。
【００１６】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のシリコンインゴットのステー接着方法の実施に使用されるシリコンインゴットの搬送用トレーであって、一対の支持バーが平行に延長配置され、両支持バーの上端面には、傾斜面状の第１支持部、段差状の第２支持部及び平面状の第３支持部が内側から外側にかけて形成されていることを特徴とするものである。
【００１７】
従って、この請求項３に記載の発明によれば、第１〜第３支持部において、中間ステー接着前のシリコンインゴット、中間ステー接着後のシリコンインゴット、及び取付ステー接着後のシリコンインゴットを確実に支持することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下に、この発明の一実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１に示すように、この実施形態のシリコンインゴットのステー接着システムにおいては、工場等の床面に複数のラック２１が設置され、その各ラック２１にはそれぞれ複数の棚２１ａが水平方向及び垂直方向に区画形成されている。そして、これらの棚２１ａ内には空の搬送用トレー２２、ステー接着前のシリコンインゴット２３を支持した搬送用トレー２２、及びステー接着後のシリコンインゴット２３を支持した搬送用トレー２２が収納されるようになっている。
【００２３】
前記ラック２１の両側には、第１搬送装置２４及び第２搬送装置２５が敷設され、その第２搬送装置２５の両端には第３搬送装置２６及び第４搬送装置２７が連設されている。そして、これらの搬送装置２４〜２７によって構成される搬送路に沿って、空の搬送用トレー２２、ステー接着前のシリコンインゴット２３を支持した搬送用トレー２２、またはステー接着後のシリコンインゴット２３を支持した搬送用トレー２２が搬送されるようになっている。
【００２４】
前記第１搬送装置２４の端部にはインゴット搬入装置２８が配設され、このインゴット搬入装置２８にはパーソナルコンピュータ（以下、パソコンという）よりなるデータ入力装置２９が付設されている。そして、前記ラック２１の所定の棚２１ａから空の搬送用トレー２２が取り出されて、第１搬送装置２４によりインゴット搬入装置２８に搬送され、その搬送用トレー２２上にシリコンインゴット２３が搬入支持される。この場合、作業者により操作されるデータ入力装置２９から図１０に示すホストコンピュータよりなる制御装置３０に対して、シリコンインゴット２３の種類及び長さ寸法等の固有データが出力される。また、シリコンインゴット２３を支持した搬送用トレー２２は、第１搬送装置２４によりラック２１の所定の棚２１ａに戻されるようになっている。
【００２５】
前記第３搬送装置２６の往路２６ａには、シリコンインゴット２７を、後述するワイヤソー３７に搬入する前処理工程を行うために、方位測定装置３１、中間ステー接着装置３２、第１取付ステー接着装置３３及び第２取付ステー接着装置３４が長手方向に沿って適当な間隔おきに配列されている。そして、ステー接着前のシリコンインゴット２３を支持した搬送用トレー２２がラック２１の所定の棚２１ａから取り出され、第２搬送装置２５を介して第３搬送装置２６の往路２６ａ上に搬入されて、その第３搬送装置２６により搬送される。さらに、このシリコンインゴット２３の往路２６ａ搬送途中において、シリコンインゴット２３が前記各装置３１〜３４内に引き込まれる。そして、前記各装置３１〜３４により、シリコンインゴット２３の結晶方位を測定する工程と、この測定結果に基づいてシリコンインゴット２３の外周面に中間ステー３５を接着する工程と、この中間ステー３５に前記ワイヤソー３７へ取り付けるための取付ステー３６を接着する工程が行われるようになっている。シリコンインゴット２３に対してこれらの工程が行われる場合、シリコンインゴット２３は、各装置３１〜３４に搬入される際に、搬送用トレー２２から離脱されるが、各工程終了後の各装置３１〜３４からの搬出時には、搬入時と同じトレー２２上に再び支持される。
【００２６】
すなわち、方位測定装置３１においては、シリコンインゴット２３の結晶方位が測定される。中間ステー接着装置３２においては、前記方位測定装置３１による測定結果に基づいてシリコンインゴット２３の円周方向の第１の方位調整を行った後、図６に示すように、シリコンインゴット２３の周面に対してカーボン又はレジンプレート等の中間ステー３５が接着される。さらに、第１ステー接着装置３３または第２ステー接着装置３４においては、前記方位測定装置３１による測定結果に基づいてシリコンインゴット２３の水平方向の第２の方位調整を行った後、図７に示すように、中間ステー３５に対して取付ステー３６が接着される。この取付ステー３６は、シリコンインゴット２３をワイヤソー３７に装着保持するために用いられ、ワイヤソー３７の支持部に対し、所定角度位置に取り付けられる取付金具でなる。
【００２７】
この場合、シリコンインゴット２３は同一の種類（大きさ及び形状が同一）の搬送用トレー２２に支持された状態で、各装置３１〜３４との対応位置へ順に搬送される。また、中間ステー３５及び取付ステー３６のステー接着後のシリコンインゴット２３を支持した搬送用トレー２２が第３搬送装置２６にて復路２６ｂ上を搬送される途中で、再度方位測定装置３１に引き込まれる。そして、この方位測定装置３１によりシリコンインゴット２３の結晶方位が取付ステー３６を基準にして再測定される。その後、ステー接着後のシリコンインゴット２３を支持した搬送用トレー２２は、第２搬送装置２５を介してラック２１の所定の棚２１ａに戻されるようになっている。
【００２８】
前記第４搬送装置２７には複数のワイヤソー３７が所定の間隔おきに並設されている。そして、ステー接着後のシリコンインゴット２３を支持した搬送用トレー２２がラック２１の所定の棚２１ａから取り出され、第２搬送装置２５及び第４搬送装置２７を介して各ワイヤソー３７に搬入される。各ワイヤソー３７においては、シリコンインゴット２３がトレー２２上から取り外されて、ステー３６を介して所定の加工位置に装着保持され、シリコンインゴット２３に対して切断加工が施される。また、空になった搬送用トレー２２は、第４搬送装置２７及び第２搬送装置２５を介してラック２１の所定の棚２１ａに戻されるようになっている。
【００２９】
次に、前記第３搬送装置２６に沿って配列された各装置３１〜３４について詳細に説明する。
図２に示すように、前記方位測定装置３１には、トレー搬入出位置３９、インゴット旋回位置４０、及び方位測定位置４１が設けられている。そして、ステー接着前またはステー接着後のシリコンインゴット２３を支持した搬送用トレー２２が第３搬送装置２６往路２６ａまたは復路２６ｂからトレー搬入出位置３９に搬入される。その後、搬送用トレー２２をトレー搬入出位置３９に留め置いた状態で、シリコンインゴット２３がインゴット旋回位置４０を介して方位測定位置４１に移送される。この方位測定位置４１においては、回転可能なＸ線測定器３１ａからシリコンインゴット２３の端面にＸ線が照射され、その反射Ｘ線にてシリコンインゴット２３の結晶方位が測定されて、その方位測定データが前記制御装置３０に対して出力される。そして、この方位測定データに基づいて前記制御装置３０において、シリコンインゴット２３の円周方向の方位調整データと水平方向の方位調整データが演算され格納される。また、この方位測定後のシリコンインゴット２３は、トレー搬入出位置３９の搬送用トレー２２上に支持されて、その搬送用トレー２２とともに第３搬送装置２６の往路２６ａまたは復路２６ｂに搬出されるようになっている。
【００３０】
この方位測定装置３１において、ステー接着前のシリコンインゴット２３については、図示しない位置決め手段により、シリコンインゴット２３の外周に形成されたノッチ２３ａの位置を所定の向きに位置決めした状態で、Ｘ線測定を行っている。
【００３１】
なお、図９に示すように、１つの取付ステー３６に対し２つの短いシリコンインゴット２３が接着された後の各シリコンインゴット２３の結晶方位を再測定する場合には、一方のシリコンインゴット２３の結晶方位の測定後に、インゴット旋回位置４０においてターンテーブル４０ａにより、シリコンインゴット２３が１８０度旋回される。この旋回により、他方のシリコンインゴット２３の端面がＸ線測定器３１ａに対向配置され、この状態で方位測定位置４１に移送されて、他方のシリコンインゴット２３の結晶方位が測定されるようになっている。
【００３２】
前記中間ステー接着装置３２には、トレー搬入位置４２、方位調整位置４３、中間ステー接着位置４４、２つのインゴット待機位置４５，４６、及びトレー搬出位置４７が設けられている。そして、方位測定後のシリコンインゴット２３を支持した搬送用トレー２２が第３搬送装置２６からトレー搬入位置４２に搬入される。そして、トレー搬入位置４２で、シリコンインゴット２３がトレー２２上から離脱されるとともに、空になった搬送用トレー２２はトレーストッカ４７ａに送られて一時保管される。トレー２２上から離脱されたシリコンインゴット２３は方位調整位置４３に移送されるようになっている。
【００３３】
前記方位調整位置４３においては、図２及び図６に示すように、回転ローラ４３ａによりシリコンインゴット２３が自身の軸線周りに回転されて、その外周のノッチ２３ａを基準にして、前記制御装置３０から送られる円周方向の方位調整データにより、第１の方位調整が行われる。また、中間ステー接着位置４４においては、第１の方位調整後のシリコンインゴット２３の周面に中間ステー３５が接着される。そして、中間ステー３５の接着後のシリコンインゴット２３は、各インゴット待機位置４５，４６において所定時間ずつ、例えば１０分間ずつ待機状態で養生される。その後、トレー搬出位置４７において、シリコンインゴット２３は、トレーストッカ４７ａから送り出されて来た搬送用トレー２２上に再度支持されて、第３搬送装置２６に搬出されるようになっている。
【００３４】
前記各取付ステー接着装置３３，３４には、トレー搬入出位置４８及び方位調整・取付ステー接着位置４９が設けられている。そして、中間ステー接着後のシリコンインゴット２３を支持した搬送用トレー２２が第３搬送装置２６から両取付ステー接着装置３３，３４に交互に搬入される。すなわち、トレー２２が一方の取付ステー接着装置３３，３４の搬送用トレー搬入出位置４８に搬入されるとともに、インゴット２３がトレー２２から離脱されて、トレー２２が同位置４８で留め置かれる。その後、シリコンインゴット２３が方位調整・取付ステー接着位置４９に移送されるようになっている。
【００３５】
この方位調整・取付ステー接着位置４９においては、図８に示すように、前記制御装置３０から送られる水平方向の方位調整データにより、シリコンインゴット２３が取付ステー３６の上面位置で中間ステー３５とともに上下方向に延びる所定の軸線を中心に回動されて、第２の方位調整が行われる。そして、この状態で、シリコンインゴット２３は、所定時間、例えば２０分間だけ待機状態で養生された後、トレー搬入出位置４８において、同じ搬送用トレー２２上に再度支持されて、第３搬送装置２６に搬出されるようになっている。
【００３６】
一方、図９に示すように、シリコンインゴット２３が短い場合には、トレー搬入出位置４８に搬入された搬送用トレー２２上からシリコンインゴット２３が方位調整・取付ステー接着位置４９に移送された後、空の搬送用トレー２２が第３搬送装置２６に搬出される。この状態で、後続する短いシリコンインゴット２３を支持した搬送用トレー２２がトレー搬入出位置４８に搬入され、その後続のシリコンインゴット２３が方位調整・取付ステー接着位置４９に移送されるようになっている。
【００３７】
その後、両シリコンインゴット２３がそれぞれの水平方向の方位調整データによってそれぞれ前述した上下軸線を中心にして水平方向に回動され、第２の方位調整が行われる。この状態で、それらのシリコンインゴット２３は中間ステー３５において１枚の取付ステー３６上に接着される。そして、一定時間待機上他で養生された後、トレー搬入出装置４８の後続インゴット用の搬送用トレー２２上に支持されて、第３搬送装置２６に搬出されるようになっている。
【００３８】
次に、前記シリコンインゴット２３のステー接着システムで使用されるトレー２２の構成について詳細に説明する。
図３〜図５に示すように、搬送用トレー２２の基板５２上には、ナイロン等の合成樹脂よりなる一対の支持バー５３が複数の取付脚５４を介して平行に延長配置されている。両支持バー５３の上端面には、傾斜面状の第１支持部５３ａ、段差状の第２支持部５３ｂ、及び平面状の第３支持部５３ｃが内側から外側にかけて形成されている。また、第１支持部５３ａ、第２支持部５３ｂ及び第３支持部５３ｃは、外側のものほど高所に位置している。両支持バー５３の一対の第１支持部５３ａは、その両傾斜面でＶ字状の支持面を形成している。
【００３９】
そして、図５に示すように、搬送用トレー２２上に中間ステー３５の接着前のシリコンインゴット２３を支持する場合には、そのシリコンインゴット２３の外周面が両支持バー５３の第１支持部５３ａに受けられる。また、図６に示すように、トレー２２上に中間ステー３５の接着後のシリコンインゴット２３を支持する場合には、中間ステー３５の両端縁が両支持バー５３の第２支持部５３ｂに係合される。さらに、図７に示すように、搬送用トレー２２上に取付ステー３６の接着後のシリコンインゴット２３を支持する場合には、取付ステー３６の両端部が両支持バー５３の第３支持部５３ｃに受けられるようになっている。
【００４０】
前記基板５２の両側面には、ゴム等よりなる各一対の緩衝部材５５が取り付けられている。そして、空の搬送用トレー２２あるいはシリコンインゴット２３を支持した搬送用トレー２２が前記各搬送装置２４〜２７を介して各装置３１〜３４，３７に搬送される際に、これら緩衝部材５５により、搬送用トレー２２が他の部材との衝突によって衝撃を受けるのが緩和されるようになっている。
【００４１】
図３及び図４に示すように、前記複数の取付脚５４のうちの中央の取付脚５４の外側に位置する側面には識別子としてのバーコード５６が付設されている。また搬送用トレー２２の前後側の側面においても同じバーコード５６が付設され、従って搬送用トレー２２の４方向においてバーコード５６の読み取りを可能としている。そして、このバーコード５６により、各シリコンインゴット２３に対してトレー２２ごとに絶対番地が設定されている。
【００４２】
図１及び図２に示すように、前記方位測定装置３１、中間ステー接着装置３２、取付ステー接着装置３３，３４の搬入側及び搬出側、インゴット搬入装置２８、及び各搬送装置２４〜２７の適所４７には、バーコード読取センサ５７が配置されている。そして、方位測定装置３１、中間ステー接着装置３２、取付ステー接着装置３３，３４に搬入されるシリコンインゴット２３、及び各装置おいて方位測定やステー接着等の工程処理を終了したシリコンインゴット２３の搬送用トレー２２上のバーコード５６がこのバーコード読取センサ５７により読み取られる。この読み取りに基づいて、各加工の有無、現在位置等を示すデータが制御装置３０に対して出力される。
【００４３】
また、空の搬送用トレー２２、ステー接着前のシリコンインゴットを支持した搬送用トレー２２あるいはステー接着後のシリコンインゴット２３を支持した搬送用トレー２２が搬送装置２４〜２７に沿って搬送される際に、前記各搬送装置２４〜２７の適所のバーコード読取センサ５７から、搬送用トレー２２の搬送位置等を示すデータが制御装置３０に対して出力されるようになっている。
【００４４】
さらに、前記ラック２１の各棚２１ａにもバーコード読取センサ５７がそれぞれ配設されている。そして、これらのバーコード読取センサ５７により搬送用トレー２２のバーコード５６が読み取られて、搬送用トレー２２の収納棚位置を示すデータが制御装置３０に出力されるようになっている。
【００４５】
次に、前記のように構成されたシリコンインゴットの加工システムの回路構成について説明する。
図１０に示すように、前記制御装置３０にはメモリ６１が接続され、このメモリ６１には各種の諸データが記憶されるようになっている。すなわち、図１１に示すように、メモリ６１には前記各搬送用トレー２２ごとの絶対番地で指定される記憶領域６２が確保され、各記憶領域６２にはトレー番号及びインゴット個数のための書き込み領域６３，６４が設けられるとともに、支持した１つまたは２つのシリコンインゴット２３に対応する書き込み領域６５，６６が設けられている。この書き込み領域６５，６６には、支持したインゴット２３の種類，長さ寸法等の固有データ及び方位測定データ、中間ステー接着済みのデータ、取付ステー接着済みのデータ、ラック２１内の搬送用トレー収納位置のデータ等の処理データを書き込むための各領域６５ａ〜６５ｅ，６６ａ〜６６ｅが設けられている。
【００４６】
そして、前記制御装置３０は、データ入力装置２９、方位測定装置３１及びバーコード読取センサ５７からデータを入力したとき、それらのデータをメモリ６１の所定の書き込み領域６３〜６６に書き込むようになっている。また、制御装置３０は、このメモリ６１の書き込み領域６３〜６６に書き込まれたデータに基づいて、前記中間ステー接着装置３２、取付ステー接着装置３３，３４及び各搬送装置２４〜２７の動作を制御するようになっている。また、前記ステー接着装置３３，３４において短いインゴット２３が他のインゴット２３とともにひとつのステー３６に移し替えられて、ひとつの搬送用トレー２２に支持される場合には、その移し替えられたインゴット２３に関するデータが転送処理される。すなわち、移し替え以前の搬送用トレー２２の絶対番号で指定される領域に記憶されていたインゴット２３のデータが、その絶対番号の領域から、新たに支持されるトレー２２で指定される領域に転送される。インゴット２３が撤去された搬送用トレー２２の絶対番号に対応するインゴット２３のデータは消去される。
【００４７】
次に、前記のように構成されたシリコンインゴットの加工システムの動作について説明する。
さて、空の搬送用トレー２２上にシリコンインゴット２３を搬入支持する場合には、前記制御装置３０の制御により、図１２に示すフローチャートに従ってシリコンインゴット２３の搬入動作が行われる。
【００４８】
すなわち、図示しないキーボード等の指令装置から制御装置３０に搬入動作の指令が入ると、ラック２１の指定された棚２１ａから空の搬送用トレー２２が取り出されて、第１搬送装置２４を介してインゴット搬入装置２８に搬送される（ステップＳ１）。そして、インゴット搬入装置２８において作業者により、搬送用トレー２２上にシリコンインゴット２３が搬入支持されるとともに、インゴット搬入装置２８においてバーコード読取りセンサ５７により搬送用トレー２２のバーコード５６が読みとられる。従って、バーコード５６で表されている絶対番地とそれに付随する記憶領域６２が制御装置３０によりメモリ６１内に設定される。
【００４９】
また、作業者によりデータ入力装置２９から制御装置３０に、シリコンインゴット２３の種類や長さ寸法等の固有データが入力される（ステップＳ２）。すると、制御装置３０により、メモリ６１に搬送用トレー２２の絶対番地で指定される記憶領域６２内の所定の書き込み領域６３，６４，６５ａに前記入力データが書き込まれる。
【００５０】
その後、シリコンインゴット２３を支持した搬送用トレー２２が第１搬送装置２４を介して、ラック２１の指定された棚２１ａに戻される（ステップＳ３）。この状態において、バーコード読取センサ５７により搬送用トレー２２上のバーコード５６が検出される。そして、その搬送用トレー２２の収納棚位置を示す検出データが制御装置３０に出力されて、メモリ６１の書き込み領域６５の該当箇所６５ｅに書き込まれる（ステップＳ４）。
【００５１】
さらに、搬送用トレー２２上のシリコンインゴット２３に対して、方位測定，中間ステー接着，取付ステー接着等の工程の場合には、前記制御装置３０の制御により、図１３に示すフローチャートに従ってシリコンインゴット２３に対する処理動作が行われる。
【００５２】
すなわち、前記指令装置から制御装置３０に処理動作の指令が入ると、ラック２１の所定の棚２１ａからステー接着前のシリコンインゴット２３を支持した図５の状態の搬送用トレー２２が取り出され、第２搬送装置２５を介して第３搬送装置２６上を搬送される（ステップＳ５）。
【００５３】
そして、この搬送途中において、まず方位測定装置３１により、シリコンインゴット２３の結晶方位が測定され、その測定データが制御装置３０に対して出力される。すると、制御装置３０により、結晶方位の測定データがメモリ６１の書き込み領域６５の該当箇所６５ｂに書き込まれるとともに、第１及び第２方位調整のための、円周方向及び水平方向のそれぞれの方位調整データが演算されて書き込まれる。このデータは、中間ステー接着装置３２及び取付ステー接着装置３３，３４の制御部（図示しない）に転送される。また、バーコード読取センサ５７により搬送用トレー２２上のバーコード５６が検出され、方位測定済みを示す検出データが制御装置３０に出力されて、メモリ６１の書き込み領域６５の該当箇所（図示しない）に書き込まれる（ステップＳ６）。
【００５４】
その後、シリコンインゴット２３が搬送用トレー２２とともに中間ステー接着装置３２に搬送される。そして、この中間ステー接着装置３２により、シリコンインゴット２３が搬送用トレー２２上から離脱されて、円周方向の方位調整データにより自身の軸線の周りに回転調整され、第１の方位調整が行われるとともに、そのシリコンインゴット２３の周面に中間ステー３５が接着される。また、バーコード読取センサ５７により搬送用トレー２２上のバーコード５６が検出され、中間ステー接着済みを示す検出データが制御装置３０に出力されて、メモリ６１の書き込み領域６５の該当箇所６５ｃに書き込まれる（ステップＳ７）。
【００５５】
続いて、いずれか一方の取付ステー接着装置３３，３４により、シリコンインゴット２３が水平方向の方位調整データにより垂直軸線に沿った面内で回動調整されて、そのシリコンインゴット２３上の中間ステー３５の下面にステー３６が接着される。また、バーコード読取センサ５７により搬送用トレー２２上のバーコード５６が検出され、取付ステー接着済みを示す検出データが制御装置３０に出力されて、メモリ６１の書き込み領域６５の該当箇所６５ｄに書き込まれる（ステップＳ８）。
【００５６】
なお、この取付ステー接着装置３３，３４において、シリコンインゴット２３が短い場合には、そのシリコンインゴット２３が後続する他の短いシリコンインゴット２３とともに、１つの取付ステー３６に接着された後、搬送用トレー２２を捨てて他のシリコンインゴット２３の搬送用トレー２２に支持される。そして、捨てられた搬送用トレー２２の絶対番地で指定される領域６２のデータがクリアされるとともに、後続する搬送用トレー２２の絶対番地で指定される領域６２内の書き込み領域６６に転写される。
【００５７】
さらに、ステー接着後のシリコンインゴット２３が第３搬送装置２６に沿って復動搬送される途中で、方位測定装置３１により、取付ステー３６を基準にしたシリコンインゴット２３の結晶方位が再測定される。そして、その測定データが制御装置３０に出力されて、メモリ６１の書き込み領域６５の該当箇所６５ｂにすでに書き込まれたデータと比較され、両者が相違する場合には、旧データが新たなデータの書き換えられる（ステップＳ９）。
【００５８】
その後、ステー接着後のシリコンインゴット２３を支持した搬送用トレー２２が第３搬送装置２６及び第２搬送装置２５を介して、ラック２１の所定の棚２１ａに戻される（ステップＳ１０）。この状態で、バーコード読取センサ５７によりトレー２２上のバーコード５６が検出され、その搬送用トレー２２の収納棚位置を示す検出データが制御装置３０に出力されて、メモリ６１の書き込み領域６５の該当箇所６５ｅに書き込まれる（ステップＳ１１）。
【００５９】
従って、この実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）  このシリコンインゴットのステー接着方法においては、搬送装置２６による搬送途中で、各シリコンインゴット２３に方位測定と各ステーの接着工程が行われるようになっている。そして、各シリコンインゴット２３を支持する搬送トレー２２には絶対番地が設定され、絶対番地に指定される領域６２には書き込み領域６３〜６６が設けられている。そして、支持したシリコンインゴット２３の長さ寸法を含む固有データと、シリコンインゴット２３の各工程終了時にこの書き込み領域６３〜６６に工程済を示すデータ及びそれに付随するデータよりなる処理データとが書き込まれ、この書き込まれたデータをもとに各種の制御が行われる。
【００６０】
このため、搬送用トレー２２、すなわちシリコンインゴット２３ごとに設定された絶対番地の書き込みデータに基づいて、シリコンインゴット２３に対する方位測定、各ステー接着の制御を容易かつ確実に行うことができるとともに、工程処理状況の把握も簡単に行うことができる。また、各シリコンインゴット２３の絶対番地のデータに基づいて、加工システム全体の生産計画の管理や日報の記録を容易に行うこともできる。従って、後工程における対応が容易になる。
【００６１】
（２）  このシリコンインゴットのステー接着方法においては、前記シリコンインゴット２３が同一の搬送用トレー２２に支持された状態で搬送され、前記絶対番地が搬送用トレー２２ごとに設定されている。このため、シリコンインゴット２３を支持するための搬送用トレー２２の種類や数が多くなるのを抑制することができて、その管理を簡単にかつ誤りなく行うことができる。また、絶対番地が搬送用トレー２２ごとに設定されるため、ラック２１内等の空の搬送用トレー２２であっても、それの管理を行うことができる。このため、空の搬送用トレー２２に対するシリコンインゴット２３の搭載や空の搬送用トレー２２数のカウント等の各種の制御及び管理を円滑かつ正確に実行できる。
【００６２】
（３）  このシリコンインゴットのステー接着方法においては、前記絶対番地のデータが搬送用トレー２２に付されたバーコード５６から得られるようになっている。このため、シリコンインゴット２３を支持した搬送用トレー２２の搬送途中において、搬送用トレー２２上のバーコード５６から絶対番地を容易に検出することができ、加工途中における管理等も的確に行うことができる。
【００６３】
（４）  このシリコンインゴットのステー接着方法においては、前記シリコンインゴット２３が短い場合、そのシリコンインゴット２３が他の短いシリコンインゴット２３とともに取付ステー３６に接着された後、トレー２２を捨てて他のシリコンインゴット２３の搬送用トレー２２に支持されるようになっている。そして、捨てられた搬送用トレー２２の絶対番地で指定される領域６２のデータが新たな絶対番地で指定される領域に転送されて、もとの絶対番地で指定されたデータはクリアされるようになっている。このため、シリコンインゴット２３が短い場合、他の短いシリコンインゴット２３とともに１つの取付ステー３６に接着して、１つの搬送用トレー２２で容易に搬送等の処理することができる。つまり、２つのシリコンインゴット２３を同一搬送用トレー２２上でひとつとして取り扱うことができ、取り扱いが容易になるとともに、誤処理を未然に防止できる。
【００６４】
（５）  このシリコンインゴットの搬送用トレー２２においては、中間ステー接着前のシリコンインゴット２３を外周面にて支持する第１支持部５３ａと、中間ステー接着後のシリコンインゴット２３を中間ステー３５にて支持する第２支持部５３ｂと、取付ステー接着後のシリコンインゴット２３を取付ステー３６にて支持する第３支持部５３ｃとが設けられている。このため、搬送用トレー２２の構造が簡単であるとともに、シリコンインゴット２３を支持するための搬送用トレー２２の種類や数が多くなるのを抑制することができて、その管理を簡単に行うことができる。また、第１〜第３支持部５３ａ，５３ｂ，５３ｃにおいて、中間ステー接着前のシリコンインゴット２３、中間ステー接着後のシリコンインゴット２３、及び取付ステー接着後のシリコンインゴット２３を確実に支持することができる。
【００６５】
（変更例）
なお、この実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
・  前記実施形態において、シリコンインゴット２３の端面等に識別子としてのバーコード５６を直接に付設して、このバーコード５６によりシリコンインゴット２３の固有データをで読み取り、搬送する搬送用トレー２２の絶対番地に転写するようにすること。
【００６６】
・  前記実施形態において、方位測定装置３１、中間ステー接着装置３２、及び取付ステー接着装置３３，３４を任意に変更して構成すること。例えば、中間ステー接着装置３２のインゴット待機位置４６，４７を１箇所にするとともに、取付ステー接着装置３３，３４を１箇所にすること。このようにすれば、シリコンインゴット２３のタクトタイムが長くなるが、構成が簡単になる。
【００６７】
・  前記実施形態において、シリコンインゴット２３をワイヤソー３７に搬入する前処理工程とは異なった加工工程においても実施すること。例えば、シリコンインゴット２３の出荷の前処理工程において具体化すること。
【００６８】
【発明の効果】
以上、実施形態で例示したように、この発明においては、シリコンインゴットに対する方位測定、中間ステー接着、取付ステー接着の各工程の制御を容易に行うことができるとともに、各工程処理状況の把握も簡単に行うことができる。また、この発明においては、システム全体の生産計画の管理や日報の記録を容易に行うことができる。さらに、この発明においては、シリコンインゴットを支持するための搬送用トレーの種類や数が多くなるのを抑制することができて、その管理を簡単に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  一実施形態のステー接着システムを示す概略平面図。
【図２】  図１のシステムの一部を拡大して示す要部平面図。
【図３】  システムに使用される搬送用トレーを示す拡大平面図。
【図４】  同じく縦断面図。
【図５】  同じく横断面図。
【図６】  搬送用トレーに中間ステー接着後のシリコンインゴットを支持した状態を示す断面図。
【図７】  搬送用トレーに取付ステー接着後のシリコンインゴットを支持した状態を示す断面図。
【図８】  取付ステーに１つの長いシリコンインゴットを接着した状態を示す平面図。
【図９】  取付ステーに２つの短いシリコンインゴットを接着した状態を示す平面図。
【図１０】  図１のステー接着システムの回路構成を示すブロック図。
【図１１】  メモリにおける絶対番地の書き込み領域を示す説明図。
【図１２】  空トレー上にシリコンインゴットを載置する場合の動作を示すフローチャート。
【図１３】  搬送用トレー上のインゴットにステー接着を施す場合の動作を示すフローチャート。
【符号の説明】
２１…ラック、２１ａ…棚、２２…搬送用トレー、２３…シリコンインゴット、２４，２５，２６，２７…搬送路を構成する搬送装置、２９…データ入力装置、３０…制御装置、３１…方位測定装置、３２…中間ステー接着装置、３３，３４…取付ステー接着装置、３５…中間ステー、３６…取付ステー、３７…ワイヤソー、５２…基板、５３…支持バー、５３ａ…第１支持部、５３ｂ…第２支持部、５３ｃ…第３支持部、５６…識別子としてのバーコード、５７…バーコード読取センサ、６１…メモリ、６２…絶対番地に指定される領域、６３〜６６…書き込み領域。
【図１】
0004058272.tif 000002
【図２】
0004058272.tif 000003
【図３】
0004058272.tif 000004
【図４】
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【図５】
0004058272.tif 000006
【図６】
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【図７】
0004058272.tif 000008
【図８】
0004058272.tif 000009
【図９】
0004058272.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
0004058272.tif 000012
【図１２】
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【図１３】
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