(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部及び下部に分割され、内部に収納用チャンバーを形成し、水平な記録媒体設置部及びヘッドを備えるスピンスタンドを収納する気密箱型のスピンスタンド用真空容器であって、少なくとも上部容器は透明材料からなり、下部容器はコネクタパネルを少なくとも含む、他機器とのインターフェース用接続部をその側面に有し、前記上部容器と前記下部容器の接合部にはシール部材を有し、前記下部容器の高さが前記記録媒体設置部の高さよりも低い、スピンスタンド用真空容器であって、
前記コネクタパネルは、シリコーン樹脂と、該シリコーン樹脂を覆うエポキシ樹脂とでシールされることを特徴とするスピンスタンド用真空容器。
【請求項２】
前記他機器とのインターフェース用接続部は、機械的接続部及び電気的接続部を含み、前記下部容器の一側面のみに配置されていることを特徴とする請求項１に記載のスピンスタンド用真空容器。
【請求項３】
前記コネクタパネルは、前記スピンスタンドのコネクタと同種のピンを配列した同種のコネクタを有し、該コネクタの背面方向に延在するコネクタピンをシリコーン樹脂で覆い、さらにその内側をエポキシ樹脂で覆うことでシールし、前記コネクタはケーブルを介してスピンスタンドのコネクタと接続するコネクタをさらに備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のスピンスタンド用真空容器。
【請求項４】
前記コネクタパネルは、前記コネクタピンが前記コネクタの背面方向に延在する部分を収容する凹部をその中に有し、該凹部に前記シリコーン樹脂及び前記エポキシ樹脂が充填されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のスピンスタンド用真空容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハードディスクインターフェース試験用スピンスタンド及び真空容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ハードディスクの記録密度は、年率１００％の勢いで増加しており、ヘッドの浮上量は減少の一途をたどっている。このような状況下でＨＤＩ（ハードディスクインターフェース）の試験を行う場合、将来の低浮上ヘッドを入手することが困難なため、減圧によって低浮上化を実現させることがある。また、ハードディスクが高所で使われることを想定して、減圧によるＨＤＩ信頼性試験を行うこともある。
【０００３】
このような場合、従来はＨＤＩ試験装置であるスピンスタンドのケース回りをシールする改造オプションを選択して装置を購入するか、汎用の真空容器にスピンスタンドを収納して試験を実施していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のスピンスタンド自体をシールするオプション方式の場合、シールはスピンスタンド固有のものであるので、スピンスタンドが故障すると、緊急に他のものに交換することができなかった。また、スピンスタンドは、数日〜数週間という長期にわたる試験を繰り返して使い続けることが多く、故障の頻度が高い。さらに、この真空オプションは高額であるため、大量に導入・試験する企業において、減圧しないものにまで予備で付けておくことは非効率的である。また故障が無いにしても、スピンスタンドには、他にＡＥセンサ、ストレインセンサ、レーザードップラー振動振動計、ランプロード機構、等様々なオプションがあり、試験ごとに必要なオプションの付いたスピンスタンドを使い分けるため、それら全てに真空オプションを一緒に付けておかなければならず、やはり高額になってしまう。
【０００５】
一方、汎用の廉価な市販真空容器にスピンスタンドを入れて使うことがあるが、汎用品は、容器に扉がついていたり、スピンスタンドを設置する周りの側壁が邪魔で細かなセッティングがしにくいのが通例である。
【０００６】
周知のように、スピンスタンドのセッティングには、上方・側面より目視し、ヘッドの状態などを確認しながらの非常に微細な調整が必要な上、セッティングする媒体やヘッドに手や物がふれることが許されないため、広く整然とした環境が必要である。大きな容器内でセッティングを行うことも考えられるが、試験にはｎｍオーダーの振動測定などもあるため、汎用防振台に載る大きさでなければならない。また他にも、シール性を高めた金属を溶接した真空容器があるが、外部からの光学的観察がし易いところに窓が無く、使いにくい。
【０００７】
このような観点から、適度な大きさと形状の汎用容器を探し出すことは難しい。更に汎用品は、シールを保ったままケーブルを導入することが困難であるため、結局改造が必要になる。
【０００８】
そこで本発明の目的は、かかる従来の問題に鑑み、真空シールオプションを持たない安価なスピンスタンドの内部収容が可能で、防振台に載る程度の適度な大きさで、セッティング時に容器が邪魔にならない形状であり、外部からの光学的観察がし易い真空容器を安価に提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明のスピンスタンド用真空容器は、上部及び下部に分割され、内部に収納用チャンバーを形成し、水平な記録媒体設置部及びヘッドを備えるスピンスタンドを収納する気密箱型のスピンスタンド用真空容器であって、少なくとも上部容器は透明材料からなり、下部容器はコネクタパネルを少なくとも含む、他機器とのインターフェース用接続部をその側面に有し、前記上部容器と前記下部容器の接合部にはシール部材を有し、前記下部容器の高さが前記記録媒体設置部の高さよりも低い、スピンスタンド用真空容器であって、前記コネクタパネルは、シリコーン樹脂と、該シリコーン樹脂を覆うエポキシ樹脂とでシールされることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明のスピンスタンド用真空容器は、前記他機器とのインターフェース用接続部が、前記下部容器の一側面のみに配置されていることを特徴とする。さらに、本発明のスピンスタンド用真空容器は、前記コネクタパネルが、前記スピンスタンドのコネクタと同種のピンを配列した同種のコネクタを有し、該コネクタの背面方向に延在するコネクタピンをシリコーン樹脂で覆い、さらにその内側をエポキシ樹脂で覆うことでシールし、前記コネクタはケーブルを介してスピンスタンドのコネクタと接続するコネクタをさらに備えることを特徴とする。
【００１１】
さらにまた、本発明のスピンスタンド用真空容器は、前記コネクタパネルが、前記コネクタピンが前記コネクタの背面方向に延在する部分を収容する凹部をその中に有し、該凹部に前記シリコーン樹脂及び前記エポキシ樹脂が充填されていることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態においては、上記課題を解決するために、内部に収納用チャンバーを形成する真空容器をスピンスタンドと同規模で且つ収納できる程度の大きさの気密箱型ケースとし、このケースが、スピンスタンドの水平な媒体取り付け面より下の位置で上下２つに完全分離し、少なくとも上部ケースは透明材料とし、下部ケースの一側面には、電気的接続部であるシールされた着脱可能なコネクターパネル、機械的接続部である吸気口、排気口、必要に応じて圧力計を備えるようにする。その際、コネクターパネルのコネクタは、スピンスタンドのコネクタと同じ規格（互換性がある）のものにする。
【００１３】
［実施例］
図１は、本発明のスピンスタンド用真空容器の一実施形態の構成である。
【００１４】
容器は、上部ケース１と下部ケース２に完全に分割され、分離部には、溝が掘ってあり、シールゴム（Ｏリング）３がはめ込まれる。下部ケース２には、吸排気ポート４と真空計７及びＯリングを挟んでコネクターパネル５が装備される。コネクターパネル５には、ケーブルを介してスピンスタンドのコネクタと係合するコネクター６が取り付けられる。
【００１５】
図２は、本発明のスピンスタンド用真空容器にスピンスタンド２１を入れた状態である。このように、真空容器の分割面がスピンスタンド２１の媒体２２やＨＧＡ（ヘッド）２３のセットする水平面より下にあり、且つ上部ケースが完全に分離されているので細かな調整が真空容器を使わないときと同様に行える。
【００１６】
図３は、真空容器にスピンスタンド２１、真空ホース３１、配線ケーブル３２をセットし、上部ケース１をかぶせた状態である。このように、配管、配線類が全て下部ケース２の一側面に配置されているため、狭い防振台上に数台並べてセットすることも可能である。
【００１７】
なお、例えば図５乃至図７に示すように、下部が平板で、上部ケースに配管類が全て搭載されるものが市販されている。
【００１８】
図５は扉前開きタイプの汎用真空チャンバーを示し、図６は上部扉タイプの汎用真空チャンバー、図７は上部取り外しタイプの汎用真空チャンバーの形状例を示すものである。
【００１９】
図５に示す扉前開きタイプにおいては、ケース内にスピンスタンドを取りつける際等のセッティングの作業性が悪く、ヘッドの平行度調整等の際のヘッド部と媒体取り付け部との直接観察も前方からに限られ視認性に問題が生じる。
【００２０】
図６に示す上部扉タイプにおいては、ケース内に手を入れてスピンスタンドを取りつけるため、同様に作業性が悪く、側方から直接ヘッド部を観察できない等視認性に問題が生じる。
【００２１】
図７に示す扉前開きタイプにおいては、配管類を取り付けたままケースを持ち運ばなければならないため、作業性が大変悪い。さらに、スピンスタンドを収納しているときは、この上部ケースからスピンスタンドにケーブルが伸びることになるため、ケースを持ち上げつつケーブルを外さなければ、ケースの完全分離ができないという問題が生じる。
【００２２】
したがって、下部ケース側面に全ての配管・配線を備えるようにすることにより、初めて上部ケースと下部ケースとの完全分離が可能となる。
【００２３】
図４は、本発明のスピンスタンド用真空容器に用いたコネクターパネル５の模式図である。スピンスタンドを収納する際には、多数の配線を通しながらシールしなければならないという難しさが生じる。また、ハーメチックシールされた市販の真空用コネクターは、シール性能は良いが、寸法が大きい上、スピンスタンド側も専用コネクターに配線しなおさなければならない。
【００２４】
そこで、本発明においては、スピンスタンドのコネクタと同じコネクターを用い、図４のようなコネクターパネルをＯリング４６を介して取り付ける方式を採用した。
【００２５】
ここで、パネルに単にコネクターを取り付けただけでは、全くシール性がなく、コネクターに単純にエポキシ樹脂などを流し込むと、樹脂が端子に回りこんで導通不良を起こすことがある。そのため、まずシリコーン樹脂を塗布して、さらにその上からエポキシ樹脂をかぶせる。
【００２６】
一般にシリコーン樹脂は、あまりシール性がよくないが、粘度が高いので、コネクター内部にしみこむことが少ない。しかし、ささくれなどが出来易く、あまりきれいに仕上がらないため、これが剥れてダストとなる可能性があり、クリーン環境には問題がある。さらに、Ｓｉが酸化するとＳｉＯ２になってヘッドや媒体の磨耗を促進させるというＨＤＩ特有の問題が生じる恐れもある。
【００２７】
そこで、本発明の一実施形態においては、コネクターパネル内に設けた凹部である掘り込み部４７を作って樹脂を流し込むことで、まずコネクタの背面方向に延在するピンの部分をシリコーン樹脂で覆い、さらにその内側にエポキシ樹脂をかぶせることで、エポキシ樹脂４４がきれいに且つ非常に簡単な作業でシリコーン樹脂４３をカバーでき、クリーン環境のＨＤＩ試験に適用できるようになった。
【００２８】
本発明の一実施形態においては、シリコン樹脂層の厚さを２〜５ｍｍとし、エポキシ樹脂層の厚さを２〜５ｍｍとすることで良好なシール性能を得られた。
【００２９】
なお、図４で樹脂を配線接続部が埋まらない程度にしか充填していないのは、修理・再配線をし易くするためであり、コネクターのピンが中空であるならば、当然、配線接続部まで埋め込まなければならない。
【００３０】
このような通常コネクターを改造したシールの場合、１ｋＰａを下回る高真空を作り出すことは難しいこともあるが、５ｋＰａ程度は十分到達可能である。
【００３１】
通常のＨＤＩ試験においては、１０〜３０ｋＰａ程度まで減圧すれば、ヘッドが墜落したり、地表のどの位置よりも低圧になるため本発明によるコネクタのシール性能で十分である。
【００３２】
逆に全く漏れがない構造では、リーク制御機構の付いた真空コントローラを使わなければ、排気し過ぎた場合に調整できなくなるため、減圧システム自体が高価になる。この意味においても、本発明のコネクタのシール性能は、十分適当である。
【００３３】
本発明の真空容器においては、ケースがスピンスタンドの媒体取り付け面より下部で分離できるので、作業面が開放され、セッティングが容易となる。
【００３４】
また、下部ケース側に配管や配線が全て付くので、上部ケースを簡単に取り外して自由に運べる。配管や配線は下部ケースの１つの側面にあり、ケースも小型なので、防振台などの上に容器を数台並べて置くことができる。
【００３５】
また、少なくとも上部ケースが透明であるので、外部から光学的測定器による観察が可能である。
【００３６】
さらに、コネクターパネルには、スピンスタンドと同一コネクターが付くので、配線の改造が不要であり、手持ちのスピンスタンドを適宜セットできる。コネクターパネルは、着脱可能なので、スピンスタンドの機種・メーカーに合わせて変えることができ、汎用性がある。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、スピンスタンドの収容が可能な適度な大きさ及びスピンスタンドのコネクタと互換性のあるコネクターを有し、上部が完全分離する透明真空容器が実現できる。
【００３８】
これにより、汎用（シールなし）スピンスタンドを使って、減圧ＨＤＩ試験を安価に実現でき、さらに、適宜スピンスタンドの交換が可能となり、故障や実験内容の変更に随時対応でき、ＨＤＩの開発スピードの向上に寄与する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の真空容器を示す図である。
【図２】本発明の真空容器の下部ケースにスピンスタンドをセットした図である。
【図３】本発明の真空容器にスピンスタンドをセットした図である。
【図４】本発明の真空容器のコネクタパネルを示す図である。
【図５】従来の扉前開きタイプの汎用真空チャンバーを示す図である。
【図６】従来の上部扉タイプの汎用真空チャンバーを示す図である。
【図７】従来の上部取り外しタイプの汎用真空チャンバーを示す図である。
【符号の説明】
１    上部ケース
２    下部ケース
３    シールゴム
４    吸排気ポート
５    コネクタパネル
６    コネクタ
７    真空計
２１  スピンスタンド
２２  媒体
２３  HGA（ヘッド）
３１  真空ホース
３２  ケーブル
４１  ケース側壁
４２  コネクタ
４３  シリコン樹脂
４４  エポキシ樹脂
４５  内部配線
４６  Oリング
４７  掘り込み部
４８  従来ケース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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