(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端に電気・機械変換素子が結合され、他端側がベース部材に固定される駆動部材と、該駆動部材に摩擦係合する被駆動部材とを備え、上記電気・機械変換素子の振動により上記駆動部材に振動を起こし、上記被駆動部材を上記駆動部材に沿って移動させる、電気・機械変換素子を用いた駆動装置において、
上記駆動部材の上記他端側は、上記ベース部材に直接圧接するように機械的に固定されることを特徴とする、電気・機械変換素子を用いた駆動装置。
【請求項２】
上記駆動部材の上記他端側と上記ベース部材の少なくとも一方は、溶融後に固着して固定されることを特徴とする、請求項１に記載の電気・機械変換素子を用いた駆動装置。
【請求項３】
上記電気・機械変換素子が、上記電気・機械変換素子と上記駆動部材とを結ぶ方向に振動し、該振動により上記駆動部材に縦振動を起こすことができることを特徴とする、請求項１又は２に記載の電気・機械変換素子を用いた駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気・機械変換素子を用いた駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電気・機械変換素子を振動子として用いた種々のタイプの駆動装置が提案されているが、いずれも、電気・機械変換素子の伸縮方向両端に駆動部材や固定部材が結合されるようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、電気・機械変換素子や駆動部材等の固定には、一般に接着剤が用いられる。しかし、接着剤はその厚さにより弾性が変化するなど特性が不安定であり、剛性も低い。そのため、駆動特性のばらつきが生じやすく、駆動特性の向上も困難である。また、接着剤の乾燥を待つ必要があるので、作業時間もかかる。
【０００４】
特に、本願出願人が開発中の新規な電気・機械変換素子を用いた駆動装置において、接着剤の弾性は無視することができない。
【０００５】
また、電気・機械変換素子を用いた駆動装置は、例えば培養操作などに用いるマイクロマニピュレータに応用した場合、シャーレの上で、湿気のある環境下で用いることになる。
【０００６】
しかし、電気・機械変換素子は、一般には、湿気や油等の付着を避け、また、衝撃が与えられないように注意して使用する必要である。
【０００７】
したがって、本発明が解決しようとする第１の技術的課題は、最適な駆動特性が得られ、製造も容易な電気・機械変換素子を用いた駆動装置を提供することである。また、本発明が解決しようとする第２の技術的課題は、電気・機械変換素子を使用環境から保護することができる電気・機械変換素子を用いた駆動装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段および作用・効果】
本発明は、上記第１の技術的課題を解決するために、以下の構成の電気・機械変換素子を用いた駆動装置を提供する。
【０００９】
電気・機械変換素子を用いた駆動装置は、一端に電気・機械変換素子が結合され、他端側がベース部材に固定される駆動部材と、該駆動部材に摩擦係合する被駆動部材とを備え、上記電気・機械変換素子の振動により上記駆動部材に振動を起こし、上記被駆動部材を上記駆動部材に沿って移動させるタイプのものである。上記駆動部材の上記他端側は、上記ベース部材に直接圧接するように機械的に固定されたり、あるいは駆動部材やベース部材の材料が溶融後に固着することにより固定される。
【００１０】
上記構成において、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電素子、磁歪素子、電歪素子、静電アクチュエータなどの電気・機械変換素子は、電気エネルギーを与えて振動させることができる。電気・機械変換素子の振動は、電気・機械変換素子が結合された駆動部材に伝わる。駆動部材は、その他端がベース部材に固定されているので巨視的には移動しないが、電気・機械変換素子からの振動で振動する。駆動部材に適宜な振動が生じるように電気・機械変換素子に電気エネルギーを与えると、駆動部材に摩擦力によって係合する被駆動部材が駆動部材に沿って移動するようにすることができる。
【００１１】
上記構成において、駆動部材の他端側は、接着剤を用いずに、ねじ、ピン、くさび、圧入、かしめ、溶接などの方法でベース部材に固定される。駆動部材の他端側はベース部材に直接接触し、接触面間に圧力が作用する状態、あるいは接触面で材料が溶融後に固着した状態で固定される。
【００１２】
上記構成によれば、駆動部材の他端側とベース部材との間には、厚さなどにより弾性特性が変化する接着剤が介在しないので、装置毎の駆動特性のばらつきを防ぐことができる。また、接着剤の厚さの管理が不要になり、接着剤が乾燥するまで待つ必要もないので、駆動部材の他端側をベース部材に固定する作業が容易になる。
【００１３】
したがって、最適な駆動特性が得られ、製造も容易である。
【００１４】
また、本発明は、上記第１の技術的課題を解決するために、以下の構成の電気・機械変換素子を用いた駆動装置を提供する。
【００１５】
電気・機械変換素子を用いた駆動装置は、一端に電気・機械変換素子が結合され、他端側がベース部材に固定される駆動部材と、該駆動部材に摩擦係合する被駆動部材とを備え、上記電気・機械変換素子の振動により上記駆動部材に振動を起こし、上記被駆動部材を上記駆動部材に沿って移動させるタイプのものである。上記電気・機械変換素子は、上記駆動部材の上記一端にインサート成形により結合される。
【００１６】
上記構成において、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電素子、磁歪素子、電歪素子、静電アクチュエータなどの電気・機械変換素子は、電気エネルギーを与えて振動させることができる。電気・機械変換素子の振動は、電気・機械変換素子が結合された駆動部材に伝わる。駆動部材は、その他端がベース部材に固定されているので巨視的には移動しないが、電気・機械変換素子からの振動で振動する。駆動部材に適宜な振動が生じるように電気・機械変換素子に電気エネルギーを与えると、駆動部材に摩擦力によって係合する被駆動部材が駆動部材に沿って移動するようにすることができる。
【００１７】
上記構成において、駆動部材の一端が電気・機械変換素子に直接接触し、接触面間に圧力が作用する状態で固定される。
【００１８】
上記構成によれば、駆動部材の一端と電気・機械変換素子との間には、厚さなどにより弾性特性が変化する接着剤が介在しないので、装置毎の駆動特性のばらつきを防ぐことができる。また、接着剤の厚さの管理が不要になり、接着剤が乾燥するまで待つ必要もないので、駆動部材の他端側をベース部材に固定する作業が容易になる。
【００１９】
したがって、最適な駆動特性が得られ、製造も容易である。
【００２０】
また、本発明は、上記第２の技術的課題を解決するために、以下の構成の電気・機械変換素子を用いた駆動装置を提供する。
【００２１】
電気・機械変換素子を用いた駆動装置は、一端に電気・機械変換素子が結合され、他端側がベース部材に固定される駆動部材と、該駆動部材に摩擦係合する被駆動部材とを備え、上記電気・機械変換素子の振動により上記駆動部材に振動を起こし、上記被駆動部材を上記駆動部材に沿って移動させるタイプのものである。電気・機械変換素子を用いた駆動装置は、上記電気・機械変換素子を覆う保護部材を備える。
【００２２】
上記構成において、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電素子、磁歪素子、電歪素子、静電アクチュエータなどの電気・機械変換素子は、電気エネルギーを与えて振動させることができる。電気・機械変換素子の振動は、電気・機械変換素子が結合された駆動部材に伝わる。駆動部材は、その他端がベース部材に固定されているので巨視的には移動しないが、電気・機械変換素子からの振動で振動する。駆動部材に適宜な振動が生じるように電気・機械変換素子に電気エネルギーを与えると、駆動部材に摩擦力によって係合する被駆動部材が駆動部材に沿って移動するようにすることができる。
【００２３】
上記構成において、電気・機械変換素子は、保護部材に覆われるので、湿気、油分、衝撃などから保護される。
【００２４】
したがって、電気・機械変換素子を使用環境から保護することができる。
【００２５】
なお、保護部材は、一定の形状を有する１又は２以上の部品により構成されるものとは限らない。例えば、一定の形状を有しないペースト状の材料を、電気・機械変換素子の周囲に塗布するようにしてもよい。
【００２６】
好ましくは、上記電気・機械変換素子が、上記電気・機械変換素子と上記駆動部材とを結ぶ方向に振動し、該振動により上記駆動部材に縦振動を起こすことができる。
【００２７】
上記構成によれば、駆動部材に生じた縦振動により、被駆動部材を良好に駆動することができる。
【００２８】
具体的には、以下のように、種々の態様で構成することができる。
【００２９】
上記電気・機械変換素子は、圧電素子である。上記保護部材は、上記圧電素子を覆う被覆部と、上記被覆部から外部に露出し、上記圧電素子に供給する電気エネルギーが入力される入力部と、上記被覆部の内部に配置され、上記入力部と上記圧電素子の電極とを電気的に接続する伝達部とを有する。該伝達部が上記圧電素子に接触し、上記圧電素子を保持する保持作用、又は上記圧電素子で発生した熱を外部に放射する放熱作用を有する。
【００３０】
上記構成によれば、伝達部は、圧電素子に電気エネルギーを供給するだけでなく、圧電素子を保持し、圧電素子を衝撃から保護する。あるいは、圧電素子で発生した熱を外部に逃がし、圧電素子の過熱を防止する。したがって、駆動装置が安定して駆動するようにすることができる。
【００３１】
好ましくは、上記電気・機械変換素子は磁歪素子である。上記保護部材は、上記磁歪素子を覆う被覆部と、上記被覆部から外部に露出し、上記磁歪素子に供給する電気エネルギーが入力される入力部と、上記被覆部の内部に配置され、上記磁歪素子に与える磁界を生じるコイル部とを有する。上記コイル部は、上記被覆部の内面に接する。
【００３２】
上記構成によれば、コイル部で発生した熱を、被覆部を介して外部に逃がすことができる。これにより、磁歪素子の過熱を防止して、駆動装置が安定して駆動するようにすることができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の各実施形態に係る電気・機械変換素子を用いた駆動装置について、図１〜図１４を参照しながら説明する。
【００３４】
まず、駆動装置の基本的な構成と動作原理について、図１を参照しながら説明する。
【００３５】
駆動装置１０は、駆動軸１２の一端がベース部材２に固定された駆動軸１２に沿って、スライダー１６が摺動するようになっている。スライダー１６にはねじ１７で板ばね１８が固定され、駆動軸１２が板ばね１８とスライダー１６との間に適宜な摩擦力で挟持されるようになっている。駆動軸１２の他端には、振動素子１４が固定される。振動素子１４を、矢印１９ａで示すように駆動軸１２の長手方向に適宜に振動させると、その振動が駆動軸１２に伝わり、スライダー１６を駆動軸１２に沿って移動させることができる。
【００３６】
例えば、振動素子１４が圧電素子の場合、図１（ｂ）に示した矩形波形の電圧６ａ，６ｂや、図１（ｃ）に示した鋸歯状波形の電圧７ａ，７ｂを印加すると、１μｍ以下の分解能とすることができる。この場合、６ａ，６ｂのようにデューティを反転したり、７ａ，７ｂのように逆向き波形とすることにより、スライダー１６を往復動させることができる。
【００３７】
また、図１（ｄ）に示したように、適宜な間隔を設けて少数の矩形パルス電圧８ａ，８ｂを印加すると、２０ｎｍ以下の分解能とすることができる。この場合、８ａ，８ｂのように矩形パルスのデューティを反転して、スライダー１６を往復動させることができる。
【００３８】
次に、本発明の実施形態に係る駆動装置２０について、図２〜図４を参照しながら説明する。
【００３９】
駆動装置２０は、図２の全体構成図に示すように、駆動軸２２の一端がベース部材２に固定され、他端には圧電素子２４が結合され、駆動軸２２には、図１のスライダー１６および板ばね１８と同様に構成されたスライダー２６および板ばね２８が摩擦力で係合し、駆動軸２２に沿って移動できるようになっている。
【００４０】
駆動軸２２は、炭素繊維強化樹脂で作られ、固定端には、めねじ部材２３がインサートされ、ベース部材２の貫通穴３に挿通される駆動軸固定ねじ２１で固定されている。駆動軸２２を、金属などタップを立てられる材料で作る場合は、駆動軸２２に、直接、めねじを切ってもよい。
【００４１】
従来の電気・機械変換素子を振動子として用いた駆動装置では、振動子をベース部材に固定するために、接着剤が使用さている。これに対し、駆動装置２０では、駆動軸２２をベース部材２に固定するので、駆動軸２２の固定端をねじで固定している。このような機械的な結合方法により、容易に強度の高い固定ができる。また、固定端での境界条件を安定させて、駆動装置の動作を安定させることもできる。接着剤の剛性の低さによる駆動軸２２の先端振れも防ぐことができる。
【００４２】
駆動軸２２の他端には、圧電素子２４が接着される。圧電素子２４の対向する側面には、給電用の電極が設けられている。
【００４３】
駆動軸２２の他端には、圧電素子２４を保護するためのケース３０が嵌め込まれている。
【００４４】
ケース３０は、プラスチック又はアルミ、チタン等の軽量な材料で作るのが望ましい。ケース３０には、ケース３０の壁を貫通するように、ばね性を有する薄板で作られた２つの給電コネクター３２，３４が取り付けられる。ケース３０が金属である場合は、給電コネクター３２，３４同士がショートしないように、ケース３０を貫通する部分は電気的に絶縁しておく。給電コネクター３２，３４のケース３０の外部に出ている端部には、給電用のリード線３６，３８が取り付けられる。給電コネクター３２，３４は、圧電素子２４の側面の電極と接触して圧電素子２４に電力を供給するとともに、圧電素子２４から発生する熱をケース３０の外に伝達する働きをする。
【００４５】
図３は、駆動軸２２にケース３０を嵌め込む途中の状態を示す。給電コネクター３２，３４のケース３０の内部にある部分は、矢印９０で示すように、圧電素子２４がケース３０内部に入ってくると、圧電素子２４によってケース３０の壁の方向に変位させられ、圧電素子２４の側面の電極に所定の接触圧で接触するようになる。ケース３０は、駆動軸２２と嵌合するように作られ、給電コネクター３２，３４の先端部が、駆動軸２２の圧電素子取り付け面２２ｘに当たると、嵌め込みが完了する。
【００４６】
図４は、嵌め込みが完了した状態を示す。給電コネクター３２，３４は、圧電素子２４の側面の電極に所定の接触圧で接触している。必要に応じてケース３０と駆動軸２２の間に接着剤や封止材を付けてもよい。
【００４７】
従来電気・機械変換素子を振動子として用いた駆動装置、例えば振動子（圧電素子）の伸縮方向一端にベース部材が固定され、他端に駆動軸が結合された駆動装置では、振動子をケースで覆おうとすると、駆動軸の往復運動を妨げないように駆動軸とケースの間に弾性的なシール部材を設けるなどの工夫が必要であり、さらに、ベース部材とケースの間も封止する必要がある。これに対し、駆動装置２０では、ケース３０を駆動軸２２の先端に嵌め込むだけで、圧電素子２４を簡単に覆い、保護することができる。
【００４８】
次に、ケースの変形例について、図５および図６を参照しながら説明する。
【００４９】
図５は、圧電素子２４の代わりに磁歪素子２５を使用する場合の例である。駆動軸２２には、磁歪素子２５が接着されている。ケース４０内には、磁歪素子２５の周囲を配置され、ケース４０の内面に接触するように、磁界発生コイル４１が収納されている。ケース４０には、２つの給電コネクター４２，４４が設けられ、ケース４０内部に配置される磁界発生コイル４１の両端にそれぞれ接続される。磁界発生コイル４１に所定の振動波形の電流を流すことにより磁界を発生させ、その磁界により磁歪素子２５に縦振動を発生させ、駆動軸２２に、スライダー２６を駆動する縦振動を発生させる。磁界発生コイル４１の最外部はケース４０の内面に接触させて、磁界発生コイル４１で発生する熱をケース４０に逃がすようになっている。
【００５０】
図６は、圧電素子２４を使用した場合の別の例である。圧電素子２４の振動振幅が１００〜２００ｎｍ程度であれば、カバー５０が圧電素子２４に多少接触していても、駆動軸２２に振動を伝達することができる。ケース５０は、圧電素子２４の縦振動を妨げない範囲で、圧電素子２４に近接する形状にし、圧電素子２４で発生する熱をケース５０に逃がすようにする。給電は、圧電素子２４の電極から引き出したリード線５６，５８を、ケース５０の穴５２，５４から外部に出して行う。リード線５６，５８を出す穴５２，５４には、封止材５３，５５をつける。圧電素子２４とケース５０の間に、熱伝達のよいペーストなどを入れてもよい。
【００５１】
次に、駆動軸をベース部材に固定する構成の変形例について、図７〜図１０、および図１６を参照しながら説明する。
【００５２】
図７は、駆動軸２２ａの固定端に、駆動軸ねじ２３ａを突出させて、ベース部材２ａのめねじ３ａと結合させた例である。駆動軸ねじ２３ａは、駆動軸２２ａと一体的に作っても、駆動軸２２ａとは別に作ってインサートなどで駆動軸２２ａに結合してもよい。
【００５３】
図８は、駆動軸２２ｂの固定端に駆動軸ピン２３ｂを突出させて、ベース部材２ｂの穴３ｂに圧入した例である。駆動軸ピン２３ｂは、駆動軸２２ｂと一体的に作っても、駆動軸２２ｂとは別に作ってインサートなどで駆動軸２２ｂに結合してもよい。
【００５４】
図９は、駆動軸ねじ２３ｃをベース部材２ｃの穴３ｃに通し、反対側で取り付けナット２１ｃにより取り付けた例である。
【００５５】
図１０は、駆動軸２２ｄの固定端に設けた駆動軸ピン２３ｄをベース部材２ｄの穴３ｄに通し、反対側で、駆動軸ピン２３ｄの小径部２３ｘに圧入板２１ｄを嵌め込んで固定した例である。圧入板２１ｄは、略Ｕ状の溝２１ｘが形成された板状の部品であり、圧入を容易にするため、溝２１ｘの開口側にテーパ部２１ｙが形成されている。圧入板２１ｄを、駆動軸ピン２３ｄの先端側の大径部とベース部材２ｄとの間に圧入することにより、駆動軸２２ｄをベース部材２ｄに引きつけ、これにより、駆動軸２２ｄをベース部材２ｄに固定する。
【００５６】
図１６は、駆動軸２２ｇを溶接または溶着により、ベース部材２ｇに固定した例である。図中、２２ｈは、溶接または溶着による固着部である。
【００５７】
次に、駆動軸に圧電素子や磁歪素子を取り付ける構成の変形例について、図１１および図１２を参照しながら説明する。
【００５８】
図１１は、圧電素子２４を、駆動軸２２ｅにインサート成形により取り付けた例である。駆動軸２２ｅには、圧電素子２４の耐熱温度を超えずにインサート成形可能な材料、例えばプラスチック材料を用いる。
【００５９】
図１２は、磁歪素子２５を駆動軸２２ｆにインサート成形により取り付けた例である。駆動軸２２ｆには、磁歪素子２５の耐熱温度を超えずにインサート成形可能な材料、例えばプラスチック材料を用いる。
【００６０】
次に、ケースの代わりに被覆部材を用いた変形例について、図１３および図１４を参照しながら説明する。
【００６１】
図１３は、磁歪素子２５と磁界発生コイル４１とを被覆部材６０で覆った例である。被覆部材６０には、磁歪素子２５の縦振動を妨げないように、弾力性のある高分子材料を使用できる。磁歪素子２５や磁界発生コイル４１からの発熱が大きいときには、熱伝導率のよい高分子材料を使用する。被覆部材６０は、成形で作成しても、駆動軸２２の端部と磁歪素子２５、磁界発生コイル４１の周りに塗布して形成してもよい。例えば、被覆部材６０として、シリコンゴムペーストを塗布する。
【００６２】
図１４は、予め成型した被覆部材６２を、駆動軸２２の圧電素子２４側の端部に嵌め込むことによって、圧電素子２４を覆った例である。リード線５６，５８は、被覆部材６２の内部に突出するように予め取り付けおき、被覆部材６２を駆動軸２２に嵌め込むと、リード線５６，５８の突出部分が、被覆部材６２と圧電素子２４の電極との間に挟まれるようにする。
【００６３】
以上説明したように、ケースや被覆部材を駆動軸の先端に嵌め込んだり塗布するだけで、圧電素子、磁歪素子や駆動軸の動きを妨げることなく、圧電素子や磁歪素子を保護することができる。
【００６４】
また、ねじや圧入などの機械的な結合方法により、駆動軸をベース部材に容易に固定することができ、強度の高い固定とすることができる。これにより、駆動軸の端面がベース部材に圧着し、固定端での境界条件を安定させ、駆動装置ーの動作を安定させることもできる。
【００６５】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施可能である。
【００６６】
【実施例】
具体的な構成、駆動条件の例を、以下に示す。
【００６７】
図１５に示した構成において、圧電素子２４には、太平洋セメント社製の積層ピエゾアクチュエーター（型名：ＰＡＣ−１３３１）を用いる。断面寸法は３×３ｍｍであり、伸縮方向の長さは５ｍｍである。
【００６８】
駆動軸２２には、三菱化学製の炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）ロッド（型名：リードライン  ＬＥＡＤＬＩＮＥ）を用いる。これは、高強度炭素繊維を、エポキシ樹脂をマトリックスとして引き抜き成形でロッド状に加工した緊張材・鉄筋代替材である。リードラインは、炭素繊維がスパイラル状ではなく直線状に配向しているため、炭素繊維の有する強度を無駄なく発現しており、ＰＣ鋼線を上回る引張強度を実現している。リードラインの標準物性は、次の通りである。
【００６９】
使用マトリックス：熱硬化型エポキシ樹脂
繊維含有率：６５％
引張強度：２６００ＭＰａ（２６５ｋｇｆ／ｍｍ２）
引張弾性係数：１５０ＧＰａ（１５×１０３ｋｇｆ／ｍｍ２）
破断時伸び：１．６％
熱膨張係数：０．６８×１０−６（／°Ｃ）
比重：１．６
【００７０】
駆動軸２２の断面寸法は、３．５×３．５ｍｍであり、一つの角２２ｒについては、半径Ｒが１〜３ｍｍで丸くなっている。軸長Ｌは、１２ｍｍ、２０ｍｍ、２５ｍｍ、３０ｍｍのものを用いた。
【００７１】
圧電素子２４には、パルス電圧を印加する。矩形波でデューティ比が２０％〜３５％で往動させ、その反転波形である８０％〜６５％の波形で復動させる。
【００７２】
各軸長Ｌについて、スライダー２６を動かすことができる周波数の例を以下に示す。この他にも、スライダー２６を動かすことができる周波数はある。
【００７３】
軸長Ｌ＝１２ｍｍ：７５ｋＨｚ、２４０ｋＨｚ
軸長Ｌ＝２０ｍｍ：１６０ｋＨｚ
軸長Ｌ＝２５ｍｍ：１３０ｋＨｚ
軸長Ｌ＝３０ｍｍ：１１０ｋＨｚ
【００７４】
なお、軸長Ｌが２０ｍｍ以上では、駆動軸２２の途中でスライダー２６が動かない駆動不能領域ができる。原因として、駆動軸２２の縦振動波形の非対称性が駆動軸２２の途中で少なくなり、スライダー２６が動けなくなると考えられる。この他に、駆動軸２２の途中に振動の節が来る場合も、スライダー２６は駆動軸２２の途中で動けなくなると考えられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の駆動装置の動作原理説明図である。
【図２】  本発明の駆動装置の全体構成図である。
【図３】  図２の駆動装置のケースの取り付け説明図である。
【図４】  図２の駆動装置のケースの取り付け説明図である。
【図５】  変形例の要部構成図である。
【図６】  変形例の要部構成図である。
【図７】  変形例の要部構成図である。
【図８】  変形例の要部構成図である。
【図９】  変形例の要部構成図である。
【図１０】  変形例の要部構成図である。
【図１１】  変形例の要部構成図である。
【図１２】  変形例の要部構成図である。
【図１３】  変形例の要部構成図である。
【図１４】  変形例の要部構成図である。
【図１５】  実施例の説明図である。
【図１６】  変形例の要部構成図である。
【符号の説明】
２  ベース部材
２２  駆動軸（駆動部材）
２４  圧電素子（電気・機械変換素子）
２５  磁歪素子（電気・機械変換素子）
２６  スライダー（被駆動部材）
３０  カバー（保護部材、被覆部）
３２，３４  給電コネクター（保護部材、入力部、伝達部）
４０  カバー（保護部材、被覆部）
４１  磁界発生コイル（保護部材、コイル部）
４２，４４  給電コネクター（保護部材、入力部）
５０  カバー（保護部材）
６０，６２  被覆部材（保護部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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