(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送台車に搭載する搬送物の受渡位置より下方の搬送台車の片側又は両側の側面に、搬送台車の走行方向に水平に延びる同一断面形状の凹溝からなる空気流通溝を形成するとともに、搬送台車の下向きの傾斜面に構成した前面及び後面に吸気口を形成し、該吸気口から吸引した空気の少なくとも一部を空気流通溝に強制的に逃がすためのファンによって空気流通溝に逃がすようにしたことを特徴とする搬送台車。
【請求項２】
搬送物を搬送台車内に収容して搭載するようにしたことを特徴とする請求項１記載の搬送台車。
【請求項３】
搬送物を搬送台車上に露出して搭載するようにしたことを特徴とする請求項１記載の搬送台車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送台車に関し、特に、半導体ウエハ、液晶、磁気ディスク、光ディスク、コンパクトディスク等の製造工程等でこれら又はこれらを収納するカセット等の搬送物（本明細書において、単に「搬送物」という。）をクリーンな環境の下で搬送するのに適した搬送台車に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体ウエハ、液晶、磁気ディスク、光ディスク、コンパクトディスク等は、塵埃等の微細粒子が製品の精度、歩留まりに大きく影響するため、クリーンルーム内で製造するようにしている。
【０００３】
そして、この種の目的で使用されるクリーンルームには、一般に、天井から清浄空気を流下させ、床下から排気する、いわゆるダウンフローが形成されるように構成され、塵埃等の微細粒子は、このダウンフローによって速やかにクリーンルーム外に排出されるようにされている。
【０００４】
また、クリーンルームにおいて、搬送物を搬送するためには、搬送台車が使用されるが、クリーンルーム内の高度なクリーン度を保つために、搬送台車が走行することによって発生する乱流にてダウンフローが乱されないようにするために、搬送台車を低速で走行させるようにしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、限られた台数の搬送台車を用いて、搬送能力を向上するためには、搬送台車の走行速度を高める必要がある。
ところが、搬送台車を高速で走行させると、搬送台車の前面及び後面において乱流が発生し、この乱流にてダウンフローが乱され、床面、床下等から塵埃等の微細粒子が舞い上げられ、舞い上がった塵埃等の微細粒子により、搬送台車に搭載した搬送物や製造装置が汚染されるという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記従来の搬送台車の問題点に鑑み、搬送台車をクリーンルーム内で高速で走行させても乱流が生じたり、塵埃が舞い上がることがなく、搬送台車に搭載した搬送物や搬送路近傍に設置した製造装置が汚染されることなく、搬送能力を向上することができるようにした搬送台車を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の搬送台車は、搬送台車に搭載する搬送物の受渡位置より下方の搬送台車の片側又は両側の側面に、搬送台車の走行方向に水平に延びる同一断面形状の凹溝からなる空気流通溝を形成するとともに、搬送台車の下向きの傾斜面に構成した前面及び後面に吸気口を形成し、該吸気口から吸引した空気の少なくとも一部を空気流通溝に強制的に逃がすためのファンによって空気流通溝に逃がすようにしたことを特徴とする。
この場合、本発明は、クリーンルーム内を走行する搬送台車又はトンネル状の搬送路内を走行する搬送台車のいずれにも適用することができる。
【０００８】
この搬送台車は、搬送台車に搭載する搬送物の受渡位置より下方の搬送台車の片側又は両側の側面に、搬送台車の走行方向に水平に延びる同一断面形状の凹溝からなる空気流通溝を形成するとともに、搬送台車の下向きの傾斜面に構成した前面及び後面に吸気口を形成し、該吸気口から吸引した空気の少なくとも一部を空気流通溝に強制的に逃がすためのファンによって空気流通溝に逃がすようにしているので、搬送台車の走行時、搬送台車の前面及び後面の空気が、空気流通溝に吸引されるように流れ込むことにより、搬送台車を高速で走行させても、空気流通溝より上方に乱流が生じたり、塵埃が舞い上がることがなく、搬送台車に搭載した搬送物や製造装置が汚染されることを防止することができる。
そして、より具体的には、搬送台車が走行する搬送路の空気がクリーンルーム内に流入することを防止することができ、トンネル状の搬送路内を搬送台車が走行する場合に、搬送台車の前面及び後面のトンネル状の搬送路内の空気を、空気流通溝に逃がすようにすることができ、これにより、搬送台車の空気流通溝を形成した位置よりも上方に形成された、トンネル状の搬送路の製造装置側の搬送物の受渡口に特別な遮断装置を設けなくても、搬送物の受渡口から塵埃が侵入することを防止して、経済的にクリーンルームの清浄度を維持することができる。
【０００９】
そして、特に、搬送台車の前面及び後面に吸気口を形成し、吸気口から吸引した空気の少なくとも一部を空気流通溝に逃がすようにすることにより、搬送台車の前面に生じる不均一な空気の流れを減らし、後面にできた乱流を吸引することができ、搬送台車の前面及び後面の空気を、空気流通溝に円滑に逃がすようにすることができることと相俟って、空気流通溝より上方に乱流が生じたり、塵埃が舞い上がることがなく、搬送台車に搭載した搬送物や製造装置が汚染されることを確実に防止し、搬送台車の一層の高速化が可能となる。
【００１０】
また、吸気口から吸引した空気を空気流通溝に強制的に逃がすためのファンを配設することにより、搬送台車の前面及び後面の空気を、空気流通溝に確実に逃がすようにすることができ、搬送台車がクリーンルーム内を走行する場合はもちろん、特に、搬送台車をトンネル状の搬送路内を走行するように構成した場合に、空気流通溝より上方に乱流が生じたり、塵埃が舞い上がることを一層確実に防止することができる。
【００１１】
また、搬送台車に搭載する搬送物は、搬送台車内に収容して搭載することも、搬送台車上に露出して搭載することもできる。
【００１２】
これにより、搬送台車に搭載する搬送物の種類、形状、搬送台車が走行する搬送路のクリーン度等に応じて、搬送形態を選択することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の搬送台車の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１４】
図１〜図２に、本発明の搬送台車の第１実施例を示す。
この搬送台車２は、クリーンルームと区画したトンネル状の搬送路１内を走行するように構成したもので、搬送路１と搬送台車２とは、図１に示すように、搬送台車２が搬送路１の中を走行できるように、搬送路１の内幅Ｗ０は搬送台車２の本体部２１の横幅Ｗ１より大きく形成するとともに、必要に応じて、搬送台車２が走行する走行レールＲを敷設し、搬送路１の内部には所定のクリーン度を維持するために、ダウンフローを形成する。
【００１５】
また、搬送路１の適宜位置に、搬送台車２が停止するステーションを形成するとともに、ステーションに停止した搬送台車に搭載する搬送物の受渡位置には、製造装置側の搬送物の受渡口となる開口部１１を搬送路１のカバー１０に形成する。
【００１６】
搬送台車２は、本体部２１に、半導体ウエハ、液晶、磁気ディスク、光ディスク、コンパクトディスク等を直接又はこれらを収納したカセット等の搬送物を搭載する収容室２０を形成し、収容室２０には、必要に応じて、製造装置側の搬送物の受渡口との間で搬送物の受渡を行う移載装置等（図示省略）を配設するようにする。
この場合、収容室２０は、上下を天井２１ａ及び床２１ｂにより、また、搬送台車２の走行方向の前後を隔壁２１ｃ，２１ｄにより、それぞれ区画するとともに、搬送物の受渡を行うために本体部２１に形成した開口部（図示省略）に扉を設けることにより、収容室２０を閉鎖することができるようにし、これにより、搬送路１内を走行中に搬送台車２に搭載した搬送物が外部の塵埃等によって汚染されるのを確実に防止できるようにする。
【００１７】
そして、搬送台車２の両側面には、搬送物を搭載する収容室２０より下方位置に、搬送台車２の走行方向に延びる凹溝からなる空気流通溝２４，２４を形成し、これにより、搬送台車２を、本体部２１と、走行車輪２５を備えた台車部２２と、本体部２１と台車部２２とを接続する、本体部２１の横幅Ｗ１及び台車部２２の横幅Ｗ２よりも狭い横幅Ｗ３を有する中間連接部２３とからなる、縦断面形状を略横Ｈ字形になるように構成するようにする。
なお、搬送台車２の縦断面形状は、本実施例の略横Ｈ字形に限定されず、例えば、走行車輪２５を備えた台車部２２の形状を小形化して台車部２２の横幅Ｗ３と中間連接部２３の横幅Ｗ２を略等しく形成し、略Ｔ字形に構成することもできる。
また、製造装置側の搬送物の受渡口となる開口部１１が、搬送路１のカバー１０の一方側にのみ形成されている場合には、空気流通溝２４は、必ずしも搬送台車２の両側面に形成する必要はなく、開口部１１が形成されている側の側面に形成し、他方側の側面は平面状に形成することもできる。
【００１８】
また、搬送台車２の前面３及び後面４は、下向きの傾斜面に構成するととともに、吸気口５，６を形成し、吸気口５，６から吸引した空気を空気流通溝２４及び搬送台車２の下方に逃がすことができるように、本体部２１の空気流通溝２４に面する下面２１ｂ（ただし、収容室２０を形成した位置を除いてもよい。）の適宜位置、本実施例においては、搬送台車２の走行方向の前後２箇所に、合計４個の排気口８を、台車部２２の床２２ａの適宜位置、本実施例においては、搬送台車２の走行方向の前後２箇所に、合計２個の排気口９を形成し、排気口８及び排気口９には、吸気口５，６から吸引した空気を空気流通溝２４及び搬送台車２の下方に強制的に逃がすためのファン１０を、それぞれ配設するようにしている。
この場合、搬送台車２の前面３及び後面４の傾斜面の角度θは、搬送台車２が走行するとき、搬送台車２の前面３及び後面４の搬送路１内の空気ができるだけ下向きの気流ａ，ｂ，ｄ，ｅとなるようにして設定するようにするのが望ましい。
また、吸気口５，６には、ルーバ、網体等の空気が円滑に通過できる任意の部材を配設することができる。
なお、空気流通溝２４及び搬送台車２の下方に逃がすようにした空気は、搬送路１の内部にダウンフローが形成されている場合には、搬送路１の床を構成するグレーチィングから床下へ排気される。
また、本実施例においては、本体部２１と中間連接部２３の吸気口５，６の背部に形成した空間を本体部２１の下面２１ｂにより区画することにより連通しないように構成したが、両空間を区画する本体部２１の下面２１ｂに連通孔を形成することもできる。
【００１９】
ところで、本実施例においては、搬送物は、搬送台車２の収容室２０内に収容して搭載するようにしたが、これに限定されず、図３に示す本発明の搬送台車の第２実施例のように、半導体ウエハ、液晶等を収納するカセット等の搬送物Ｇを搬送台車２上に露出して搭載するように構成することもでき、これにより、搬送台車２に搭載する搬送物の種類、形状等に応じて、搬送形態を選択することができる。
なお、この第２実施例の搬送台車２のその他の基本構成は、上記第１実施例の搬送台車２と同様である。
【００２０】
次に、上記の搬送台車２の作用について説明する。
搬送台車２が、搬送物を搭載してトンネル状の搬送路１内を矢符Ｖ方向に走行すると、搬送路１内の空気の大部分は、搬送台車２の前面３及び後面４の傾斜面に沿う下向きの気流ａ，ｂ，ｄ，ｅとなって、搬送台車２の前面３及び後面４に形成した吸気口５，６から吸引されるとともに、吸引された空気は、本体部２１の下面２１ｂに形成した排気口８及び台車部２２の床２２ａに形成した排気口９を介して、空気流通溝２４及び搬送台車２の下方に流れる。
【００２１】
この場合、吸気口８及び排気口９には、吸気口５，６から吸引した空気を空気流通溝２４及び搬送台車２の下方に強制的に逃がすためのファン１０が、それぞれ配設されているため、搬送台車２の前面３及び後面４の空気を、空気流通溝２４及び搬送台車２の下方に逃がすことができる。
【００２２】
また、搬送台車２の前面３及び後面４の搬送路１内の空気の一部は、搬送台車２の本体部２１と搬送路１のカバー１０の狭い隙間に入り込み、従来の縦断面形状が略矩形の搬送台車においては、この空気の流れに乗って、さらには、この空気の流れに伴ってトンネル状の搬送路１の下部の空気が塵埃と共に舞い上げられることによって、搬送路１の搬送台車に搭載する搬送物の受渡位置に形成された製造装置側の搬送物の受渡口となる開口部１１から塵埃が侵入し、搬送路１と遮断されたクリーンルームが汚染されたり、搬送台車２に搭載した搬送物が汚染されるという問題があった。
【００２３】
これに対して、本実施例の搬送台車２においては、搬送台車２に搭載する搬送物の受渡位置より下方の搬送台車２の側面に、搬送台車２の走行方向に延びる凹溝からなる空気流通溝２４が形成されているため、搬送台車２の本体部２１と搬送路１のカバー１０の狭い隙間の気流ｃは、気流ｃの流速が空気流通溝２４を流れる気流の流速よりも小さくなることから、気流の動圧の差によって、空気流通溝２４に吸引されるように流れ込むようになり、空気流通溝２４より上方に乱流及び塵埃の舞い上がりを発生させず、搬送路１と遮断されたクリーンルームが汚染されたり、搬送台車２に搭載した搬送物が汚染されることを防止することができる。
【００２４】
このように、搬送台車２の走行時、搬送台車２の前面３及び後面４の空気が、空気流通溝２４及び搬送台車２の下方に吸引されるように流れ込むことにより、搬送台車２を高速で走行させても、空気流通溝２４より上方に乱流及び塵埃の舞い上がりを発生させず、搬送台車２に搭載した搬送物や製造装置が汚染されることを防止することができる。
【００２５】
なお、上記実施例においては、搬送台車２をクリーンルームと区画したトンネル状の搬送路１内を走行する場合について説明したが、これに限定されず、クリーンルームに直接形成した搬送路を走行する搬送台車にも、本発明の搬送台車の構成を適用することができ、これにより、同様の作用効果を得ることができる。
【００２６】
【発明の効果】
本発明の搬送台車によれば、搬送台車に搭載する搬送物の受渡位置より下方の搬送台車の片側又は両側の側面に、搬送台車の走行方向に水平に延びる同一断面形状の凹溝からなる空気流通溝を形成するとともに、搬送台車の下向きの傾斜面に構成した前面及び後面に吸気口を形成し、該吸気口から吸引した空気の少なくとも一部を空気流通溝に強制的に逃がすためのファンによって空気流通溝に逃がすようにしているので、搬送台車の走行時、搬送台車の前面及び後面の空気が、空気流通溝に吸引されるように流れ込むことにより、搬送台車を高速で走行させても、空気流通溝より上方に乱流が生じたり、塵埃が舞い上がることがなく、搬送台車に搭載した搬送物や製造装置が汚染されることを防止することができる。
これにより、クリーンルームの清浄度を維持するために、設備コスト及び維持コストを要することなく、搬送台車を高速で走行させることが可能となり、搬送能力を向上することができる。
そして、より具体的には、搬送台車が走行する搬送路の空気がクリーンルーム内に流入することを防止することができ、トンネル状の搬送路内を搬送台車が走行する場合に、搬送台車の前面及び後面のトンネル状の搬送路内の空気を、空気流通溝に逃がすようにすることができ、これにより、搬送台車の空気流通溝を形成した位置よりも上方に形成された、トンネル状の搬送路の製造装置側の搬送物の受渡口に特別な遮断装置を設けなくても、搬送物の受渡口から塵埃が侵入することを防止して、経済的にクリーンルームの清浄度を維持することができ、併せて、搬送物を搬送台車内に収容して搭載することにより、搬送路のクリーン度を下げることができ、空調設備に要するコストを大幅に低減することができる。
【００２７】
そして、特に、搬送台車の前面及び後面に吸気口を形成し、吸気口から吸引した空気の少なくとも一部を空気流通溝に逃がすようにすることにより、搬送台車の前面に生じる不均一な空気の流れを減らし、後面にできた乱流を吸引することができ、搬送台車の前面及び後面の空気を、空気流通溝に円滑に逃がすようにすることができることと相俟って、空気流通溝より上方に乱流が生じたり、塵埃が舞い上がることがなく、搬送台車に搭載した搬送物や製造装置が汚染されることを確実に防止し、搬送台車の一層の高速化が可能となる。
【００２８】
また、吸気口から吸引した空気を空気流通溝に強制的に逃がすためのファンを配設することにより、搬送台車の前面及び後面の空気を、空気流通溝に確実に逃がすようにすることができ、搬送台車がクリーンルーム内を走行する場合はもちろん、特に、搬送台車をトンネル状の搬送路内を走行するように構成した場合に、空気流通溝より上方に乱流が生じたり、塵埃が舞い上がることを一層確実に防止することができる。
【００２９】
また、搬送台車に搭載する搬送物は、その種類、形状、搬送台車が走行する搬送路のクリーン度等に応じて、搬送台車内に収容して搭載することも、搬送台車上に露出して搭載することもでき、これにより、搬送物の搬送形態の自由度を増すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の搬送台車の第１実施例を示す外観斜視図である。
【図２】  同搬送台車を示し、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図である。
【図３】  本発明の搬送台車の第２実施例を示し、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
１    搬送路
２    搬送台車
２１  本体部
２２  台車部
２３  中間連接部
２４  空気流通溝
３    前面
４    後面
５    吸気口
６    吸気口
８    排気口
９    排気口
１０  排気ファン
１１  開口部
Ｒ    走行レール
【図１】
0004067703.tif 000002
【図２】
0004067703.tif 000003
【図３】
0004067703.tif 000004