(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定プローブから延びた少なくとも１個のプロービング・チップを有する上記測定プローブ用のプローブ・チップ・アダプタであって、
一端にボアを有し、他端にプロービング接点が形成された少なくとも１個の導電性要素と、
該導電性要素の上記ボア内に配置され、上記導電性要素を上記測定プローブのプロービング・チップに反復的に固定できるように、引っ張り強度、圧縮ひずみ、硬度、たわみ力、伸び及び回復率が充分である導電性エラストマとを具え、
該導電性エラストマの引っ張り強度が２．０７Ｍｐａのレンジであり、最大圧縮ひずみ率が２５％であり、硬度が４５ショア硬さのレンジであり、２５％たわみ力が０．７１Ｋｇ／ｃｍのレンジであり、５０％たわみ力が２．１４Ｋｇ／ｃｍのレンジであり、伸びが２５０％のレンジであり、２５％の圧縮ひずみにおける回復率が９３．７５％であることを特徴とする測定プローブ用プローブ・チップ・アダプタ。
【請求項２】
上記プロービング接点は、一端から尖端に細くなったシャフトを有するプロービング・チップを有することを特徴とする請求項１の測定プローブ用プローブ・チップ・アダプタ。
【請求項３】
上記プロービング接点は、上記導電性要素に形成されてスプリング接点を受けるボアを有することを特徴とする請求項１の測定プローブ用プローブ・チップ・アダプタ。
【請求項４】
上記導電要素は、上記導電要素のボア端と関連した第１導電性部材と、上記導電要素のプロービング接点端と関連した第２導電性部材とを有し、上記第１導電性部材及び上記第２導電性部材が互いに接合していることを特徴とする請求項１の測定プローブ用プローブ・チップ・アダプタ。
【請求項５】
上記測定プローブは、上記測定プローブから伸びた第１及び第２プロービング・チップを有する差動プローブであって、上記プローブ・チップ・アダプタは、上記ボア内に配置された導電性エラストマを有する第２導電要素を更に具えたことを特徴とする請求項１の測定プローブ用プローブ・チップ・アダプタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般に、測定プローブ用のプローブ・アダプタに関し、特に、超高周波のシングル・エンド型及び差動型の測定プローブと共に使用できるプローブ・チップ・アダプタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
プローブ・チップ・アダプタは、種々の形式の電気部品をプロービング（信号検出）できるように、測定プローブ用に開発されたアクセサリである。これらアダプタにより、回路基板に設けられた矩形ピン、回路基板上の接地点、表面実装集積回路素子のリード線などとの接続が可能になる。本願特許出願人であるアメリカ合衆国オレゴン州ビーバートンのテクトロニクス・インコーポレイテッドが製造販売しているＰ６２４３型能動プローブ１０は、図８に示す構成であり、ソケット型プローブ・チップ１２と、接地ソケット１４とを具えている。なお、かかる従来の能動プローブは、例えば、本願出願人に譲渡されたアメリカ合衆国意匠特許第３５４９２３号に示されている。ソケット型プローブ・チップ１２の全長は、０．２５５インチ（６．４７７ｍｍ）であり、その直径は、０．０６５インチ（１．６５１ｍｍ）である。このプローブ・チップ１２に設けられたボア（穴）の直径は、０．０３８インチ（０．９６５２ｍｍ）であり、その長さは、０．２２５インチ（５．７１５ｍｍ）である。種々の形式のプローブ・チップ・アダプタをソケット型プローブ・チップ１２に挿入して、種々の形式のプロービングが可能となる。
【０００３】
位置決め援助型プローブ・チップ・アダプタ１６は、例えば、本願出願人に譲渡されたアメリカ合衆国特許第５３８７８７２号（日本特許第２７０９５７０号に対応）に記載されており、中央ボア２０を有するハウジング１８を有し、このボア２０にプロービング・チップ２２を受ける。すなわち、ハウジング１８内のボア２０を介して、プロービング・チップ２２が伸びる。なお、本明細書では、プローブ・チップ及びプロービング・チップという用語を用いるが、これら用語の使い分けは便宜的であり、厳密に区別するものではない。よって、本明細書では、同じ構成要素をプロービング・チップと呼んだり、プローブ・チップと呼んだりする場合もある。ハウジング１８は、複数のスロット２４を一端に有するように歯の形状に形成され、これらスロットを集積回路素子の複数のリードの間に位置決め可能である。ボア２０は、これらスロット２４の１個に伸びており、その露出した部分にプロービング・チップ２２がくる。プロービング・チップ２２の他端は、ハウジング１８の他端から伸びて、ソケット型プローブ・チップ１２に挿入される。標準プロービング・チップ２６は、シャフト２８を有し、その一端が尖端３０に向かって細くなり、集積回路素子のリードなどをプロービングする。シャフト２８の他端は、ソケット型プローブ・チップ１２に挿入される。このプロービング・チップ２６は、ソケット型プローブ・チップ１２と接触するように、円錐形状の突出部３２をシャフト２８に形成してもよい。アダプタ３４は、導電性シャフト３８に取り付けられた可撓性の導電性リード３６を有するアセンブリであり、導電性シャフト３８がソケット型プローブ・チップ１２に挿入される。アダプタ４０は、一端が矩形ピン・ソケット４２であり（図では、ボア部が円形に示めしている）、他端がプローブ・チップ１２に挿入される接触シャフト４４である。これらアダプタ１６、２６、３４及び４０の接触シャフト（プローブ・チップ１２と接触するシャフト）の長さは、０．２５０インチ（６．３５ｍｍ）のレンジである。これらアダプタは、選択的にプローブ・チップ１２に挿入して取り付けられる。
【０００４】
上述のプローブ・チップ・アダプタは、本願出願人のテクトロニクス・インコーポレイテッドが製造販売しているＰ６２４６型差動プローブの如き差動型プローブと一緒にも使用できる。差動プローブと共に使用するときは、一般的に、２個のアダプタが使用しやすいように互いに取り付けられている。例えば、２個の可撓性の導電性リード・アダプタを台形ハウジングに位置決めし、これら可撓性導電性リードをハウジングの一端から伸ばし、接触シャフトをハウジングの他端から伸ばす。可撓性導電性リードの幾何学的ピッチは、表面実装集積回路素子リードと両立性があり、接点シャフトの幾何学的ピッチは、測定プローブのソケット型プローブ・チップと両立性がある。複数の標準プロービング・チップをプラスチックの如き絶縁材料に取り付けて、接点シャフト端の幾何学的ピッチがプロービング・チップと両立性のあるようにし、各プロービング・チップ・シャフトを曲げて、プロービング・チップが表面実装集積回路素子の種々の幾何学的ピッチと一致するようにできる。曲がったシャフトのプロービング・チップは、絶縁材料内で回転可能にして、集積回路素子の幾何学的ピッチに合うように、プロービング・チップの幾何学的ピッチを変更してもよい。差動矩形ピン・アダプタは、一端から伸びた複数の接触シャフトを有するハウジングを具えるが、これら接触シャフトは、差動プローブ・チップ接点の幾何学的ピッチと両立性がある。ハウジングの他端から伸びたワイヤは、矩形ピン・アダプタに取り付けられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
プローブ・チップの静電容量（以下、単に容量という）及びインダクタンスは、測定プローブで単一又は複数のソケット型プローブ・チップを用いる際の最大の欠点である。チップの容量及びインダクタンスは、プローブの入力帯域幅を制限する。益々高い周波数で動作する集積回路及びハイブリッド回路を絶えず開発している電子工業分野では、プローブ・チップの容量及びインダクタンスを著しく低下させる新たな形式の測定プローブの開発が求められている。これには、プローブ・チップの長さ及び直径を短くする必要がある。同様に、これら低容量プローブ用に長さ及び直径を短くしたプローブ・チップ・アダプタが求められている。
【０００６】
よって、低容量測定プローブと両立性のあるプローブ・チップ・アダプタが必要とされている。かかるアダプタは、種々の形式構造に適用可能であり、これらアダプタの長さ及び直径を短くして、付加的なプローブ・チップの容量及びインダクタンスをできるだけ小さくしなければならない。このアダプタは、物理的又は電気的接続性を損なうことなく、測定プローブの低容量プローブ・チップに繰り返し取り付け可能でなければならない。
【０００７】
したがって、本発明は、低容量測定プローブと両立性があり、種々の形式構造に適用可能であり、プローブ・チップの容量及びインダクタンスが小さく、測定プローブの低容量プローブ・チップに繰り返し取り付け可能である測定プローブ用プローブ・チップ・アダプタの提供にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、測定プローブ用プローブ・チップ・アダプタであり、かかるプローブ（５０）は、この測定プローブから伸びた少なくとも１個のプロービング・チップ（５４）を有する。プローブ・チップ・アダプタ（７０〜７６）は、少なくとも１個の導電性要素（８０）を具えており、一端にボア（８２）を有し、他端にプロービング接点（８４）が形成されている。導電性要素のボア内には、導電性エラストマ（９０）が配置されており、導電性要素を測定プローブのプローブ・チップに反復的に固定できるように、この導電性エラストマの引っ張り強度、圧縮ひずみ、硬度、たわみ力、伸び及び回復率が充分である。また、導電性エラストマの引っ張り強度が２．０７Ｍｐａのレンジであり、最大圧縮ひずみ率が２５％であり、硬度が４５ショア硬さのレンジであり、２５％たわみ力が０．７１Ｋｇ／ｃｍのレンジであり、５０％たわみ力が２．１４Ｋｇ／ｃｍのレンジであり、伸びが２５０％のレンジであり、２５％の圧縮ひずみにおける回復率が９３．７５％である。プロービング接点は、一端から尖端に細くなったシャフト（８６）を有するプロービング・チップとして、又は、０．０２５インチ（０．６３５ｍｍ）の矩形ピンと両立性のあるスプリング接点（１１６）を受ける導電性要素内に形成されたボアとして構成できる。プロービング接点の異なる構成は、ある角度に折り曲がったプロービング・チップのシャフト（１５８）を有する構成となる。導電性要素は、好ましくは、単一の部品として機械加工により作製される。代わりに、導電性要素は、かかる要素のボア端に関連した第１導電部材（１２４）と、導電要素のプロービング接点端に関連した第２導電部材（１２６）とから構成し、これら第１及び第２導電部材を互いに連結してもよい。
【０００９】
プローブ・チップ・アダプタは、シングル・エンド測定プローブ及び差動測定プローブの両方と一緒に使用できる。差動プローブと共に用いる場合、導電性要素がある角度で折れ曲がったプローブ・チップは、第１幾何学的ピッチの少なくとも第１位置から、第２幾何学的ピッチの第２位置に向かって横方向に移動可能である。
【００１０】
本発明の目的、利点及び新規な特徴は、添付図を参照した以下の詳細な説明から一層明らかになろう。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明によるプローブ・チップ・アダプタと共に使用可能な測定プローブ５０の斜視図である。この測定プローブ５０は、高い帯域幅の回路をプロービングするのに設計された広帯域高周波数測定プローブである。測定プローブ５０は、プローブ・ヘッド５２を有し、このプローブ・ヘッド５２は、その一端から伸びるプロービング・チップ５４を有する。同軸ケーブル５６は、プローブ・ヘッド５２の他端から伸びて、このプローブ・ヘッド５２を、オシロスコープ、スペクトラム・アナライザ、ロジック・アナライザなどの測定機器に接続する。プローブ・ヘッド５２は、導電性筒状ハウジング５８を有し、このハウジング５８内に基板が含まれている。能動素子及び受動素子が基板上に設けられ、プローブ入力回路を形成する。プロービング・チップ５４及び同軸ケーブル５６は、基板に電気的に接続される。絶縁材料が、筒状ハウジング５８と、同軸ケーブル５６の一部とを包囲する。
【００１２】
広帯域及びギガヘルツの周波数レンジを達成するために、プローブ・チップの容量及びインダクタを最小に維持する必要がある。この点を達成するために、プロービング・チップ５４の長さ及び直径を、できる範囲で最小にする。さらに、基板が筒状ハウジング５８の端部から先に延びて、この基板と、プローブ入力における筒状ハウジングとの間の浮遊容量を最小にする。プローブ・チップ・ホルダ６０は、筒状ハウジング５８の端部に接続され、このホルダ６０の空洞が基板を受ける。ホルダ６０内にボアを形成してプロービング・チップ５４を受けるので、このプロービング・チップ５４の一端がホルダ６０から伸び、プロービング・チップ５４の他端が基板に接続する。このボアの直径は、０．０１９インチ（０．４８２６ｍｍ）のレンジであり、その長さは、０．０６０インチ（１．５２４ｍｍ）のレンジである。プロービング・チップ５４の直径は、約０．０１８インチ（０．４５７２ｍｍ）であり、その全長は、０．２０４インチ（５．２７５ｍｍ）のレンジである。また、このプロービング・チップ５４は、ホルダ６０の端部から０．１０７インチ（２．７１８ｍｍ）のレンジで伸びる。測定プローブ・ヘッド５２及びプローブ・チップ・ホルダ６０は、例えば、本願出願人に譲渡され２０００年６月２９日出願のアメリカ合衆国特許出願第０９／６０７５７４号（日本特許公開２００２−３１６４９に対応）にも記載されている。
【００１３】
本発明のプローブ・チップ・アダプタは、プローブ・チップ・アダプタ７０、７２、７４及び７６で代表的に示すように、任意の数のプロービング接点と一緒に構成することができる。例として、プローブ・ポイント型プローブ・チップ・アダプタ７０と、図１の線Ａ−Ａ’に沿った断面図である図２を参照する。アダプタ７０は、導電性要素８０を有し、この導電性要素８０は、一端に形成されたボア８２と、他端に形成されたプロービング接点８４とを有する。好ましくは、ベベル（斜面）８３がボアの開口部に形成されて、プロービング・チップ５４にアダプタ７０を配置するのを容易にする。この特定実施例において、プロービング接点８４は、尖端８８に向かって先細りになっている。導電性要素８０の全長は、約０．２３５インチ（５．９６９ｍｍ）である。導電性要素８０のボア８２側の端部の外径は、約０．０６０インチ（１．５２４ｍｍ）であり、このボア８２の内径は、約０．０４０インチ（１．０１６ｍｍ）である。ボア８２の深さ（奥行き）は、約０．１１５インチ（２．９２１ｍｍ）である。プローブ接点シャフト８６の直径は、約０．０１８インチ（０．４５７ｍｍ）であり、そのチップ（尖端）までの全長は、約０．１００インチ（２．５４ｍｍ）である。
【００１４】
ボア８２内に導電性エラストマ９０を配置し、プローブ・ポイント型プローブ・チップ・アダプタ７０を測定プローブ５０のプロービング・チップ５４に固定する。導電性エラストマ９０は、特定の特性を有する。これら特性は、プロービング・チップ５４にプローブ・チップ・アダプタを反復的に固定できるようにするのに充分な引っ張り強度、圧縮ひずみ、硬度、たわみ力、伸び、回復率（Percent Recovery）などである。好ましくは、エラストマ９０の引っ張り強度が３００ＰＳＩ（Pounds Per Square Inch absolute:ボンド／平方インチ絶対圧力）、即ち、２．０７Ｍｐａ（パスカル：ニュートン／平方メートル）のレンジであり、最大圧縮ひずみ率が２５％であり、硬度が４５ショア硬さのレンジであり、２５％たわみ力が４ｌｂ／ｉｎ（ポンド／インチ）、即ち、０．７１Ｋｇ／ｃｍのレンジであり、５０％たわみ力が１２ｌｂ／ｉｎ、即ち、２．１４Ｋｇ／ｃｍのレンジであり、伸びが２５０％のレンジである。圧縮ひずみは、２５％のたわみにおけるたわみの百分率で表される。回復率は、１００％から、圧縮ひずみ値の４分の１を減算した圧縮ひずみから求まる。圧縮ひずみが２５％の場合、回復率は、９３．７５％である。銀・銅導電フィラー（充填剤）は、好適には、０．００８オーム／ｃｍのレンジの体積抵抗率のエラストマに使用される。上述の条件に合う導電性エラストマの一例は、アメリカ合衆国マサチューセッツ州ウォバーンのパーカー・ハニフィン（Parker Hannifin）の一部門であるチョメリクス（Chomerics）が製造販売しているチョ・フォーム（Cho-Form）２．１である。本発明の要旨を逸脱することなく、同様な特性の他の形式の導電性エラストマを用いてもよい。
【００１５】
図３は、図１に示す位置決め援助型プローブ・チップ・アダプタ７２の線Ｂ−Ｂ’に沿う側面の断面図である。位置決め援助型プローブ・チップ・アダプタ７２の導電性要素８０は、プローブ・ポイント型プローブ・チップ・アダプタ７０の基本的な構成要素を含んでいる。導電性要素８０は、その一端に、傾斜したボア８２を有し、他端には、先細になったプロービング接点８４が形成されている。ボア８２は、上述と同様に導電性エラストマ９０で埋まっている。非導電性ハウジング９４は、その一端に形成された歯９６を有し、スロット９８ができる。歯９６は、集積回路素子の複数のリードの間に位置決めされる。ボア１００は、スロット９８の１つからハウジング９４の他端に伸びて、このハウジング９４内に形成される。導電性要素８０の先細のプロービング接点８４は、ボア１００内に位置決めされ、プロービング・チップ８８がスロット９８内に伸びる。導電性要素８０のボア側の端部は、ハウジング９４から外側に伸びて、プロービング・チップ５４の位置にくる。
【００１６】
図４は、図１に示した可撓性リード型プローブ・チップ・アダプタ７４の線Ｃ−Ｃ’に沿った平面の断面図である。この可撓性リード型プローブ・チップ・アダプタ７４は、導電性要素８０を具えており、構造的に上述と類似した傾斜ボア８２を一端に有する。ボア８２は、上述の如く、導電性エラストマ９０で埋まっている。導電性要素８０のプロービング接点８４の一部が変更されており、平坦部分１０６を有し、先細の指部１０８が平坦部分１０６から上方に伸びている。可撓性の導電性リード１１０が平坦部分１０６に位置決めされ、先細指部１０８が可撓性導電性リード１１０に圧着されて、このリード１１０を平坦部分１０６に固定する。
【００１７】
図５は、図１に示した矩形ピン型プローブ・チップ・アダプタ７６の線Ｄ−Ｄ’に沿った側部の断面図である。この矩形ピン型プローブ・チップ・アダプタ７６は、導電性要素８０を有し、その一端に、構造的に上述と同様の傾斜ボア８２を有する。このボア８２は、上述と同様に、導電性エラストマ９０が充填されている。プローブ接点８４側の端部にはボア１１４が形成され、その直径は、スプリング接点１１６を受けるに充分な大きさである。このスプリング接点１１６は、円形リング１１８と共に形成してもよく、このリング１１８から伸びた可撓性指部１２０の内側に配置される。第２ボア１２２の直径は、第１ボア１１４よりも小さい。第２ボア１２２は、第１ボアの近傍に形成され、矩形ピンを受ける大きさである。この好適実施例において、ボア１１４及び１２２並びにスプリング接点１１６の大きさは、０．０２５インチ（０．６３５ｍｍ）の矩形ピンを受けることができるようになっている。導電性要素８０の全長は、約０．２７０インチ（６．８５８ｍｍ）である。導電性要素８０の接点側の端部の直径は、約０．０７２インチ（１．８２９ｍｍ）であり、ボア１１４の直径は、約０．０５１インチ（１．２９５ｍｍ）であり、その深さは、約０．０８９インチ（２．２６１ｍｍ）である。ボア１２２の直径は、約０．０３７インチ（０．９３９ｍｍ）であり、その長さは、０．０４６インチ（１．１６８ｍｍ）であり、２個のボアを組み合わせた全長は、約０．１３５インチ（３．４２９ｍｍ）である。スプリング接点１１６の一例は、ニューヨーク州オイスタ・ベイのミル・マックス・インコーポレイテッドが製造している部品番号コンタクト４７番である。これらボア１１４、１２２及びスプリング接点１１６の寸法は、０．０２５インチ（０．６３５ｍｍ）の矩形ピン用のみに限定されず、本発明の要旨を逸脱することなく、異なる寸法の矩形ピンに対して異なる寸法のボア及びスプリング接点を用いてもよい。
【００１８】
導電性要素８０は、好ましくは、真鍮、ベリリウム銅、又は類似の導電性材料から機械加工される。ボア８２は、ブランク（素材）の一端に機械加工により形成する。このブランクの他端を機械加工して、導電性要素８０のプロービング接点端部を形成する。このブランクを、旋盤や類似の機械装置、例えば、研削盤などで回転させて、プローブ・ポイント型プローブ・チップ・アダプタ７０用のプロービング接点を形成する。可撓性の導電性リード型プローブ・チップ・アダプタ７４にとって、ブランクのプローブ接点端部を打ち抜き加工して、平坦部分及び先細指部を形成する。矩形ピン型プローブ・チップ・アダプタ７６では、旋盤や類似の機械装置で回転させて、ブランクのボア側の端部の材料を除去する。プローブ接点の端部にボアを形成して、スプリング接点を受ける。各プローブ・チップ・アダプタ構造に対して準備した導電性要素ブランクを加熱処理し、スルファメート・ニッケルの鍍金層の上を金鍍金する。代わりに、導電性要素８０は、側部断面図に示すように、第１及び第２導電性部材１２４及び１２６で形成してもよい。第１導電性部材１２４は、導電性要素８０のボア８２側の端部と関連し、第２導電性部材１２６は、導電性要素８０のプローブ接点８４側の端部と関連する。導電性部材１２４及び１２６を加熱処理し、上述の如く鍍金して、鑞付け合金や接着などの既知の接合技術を導電性接着剤などと一緒に用いて一体にして、種々のプローブ・チップ・アダプタを作成する。ブランク用に用いた材料の形式に応じて、熱処理が不要になる。例えば、矩形ピン型プローブ・チップ・アダプタのブランクを真鍮で形成してもよい。これは、充分な硬度を有するが、熱処理からの利点がない。一方、プローブ・ポイント型プローブ・チップ・アダプタのブランクは、ベリリウム銅から形成されるが、硬度を増すために熱処理が必要である。
【００１９】
図６は、図１に示した測定プローブと類似の設計特性を有する広帯域高周波数差動測定プローブ１３０の斜視図を示す。差動測定プローブ１３０は、プローブ・ヘッド１３２を有し、その一端から第１及び第２プロービング・チップ１３４及び１３６が伸びている。同軸ケーブル１３８が他端から伸びて、プローブ・ヘッドを、オシロスコープ、スペクトラム・アナライザ、ロジック・アナライザなどの測定機器に接続する。プローブ・ヘッド１３２は、導電性筒状ハウジング１４０を有し、このハウジング内に基板を収容する。能動素子及び受動素子を基板上に設けて、プローブ入力回路を形成する。プローブ・チップ１３４及び１３６並びに同軸ケーブル１３８は、基板に電気的に接続される。絶縁材料が、筒状ハウジング１４０と、同軸ケーブル１３８の一部分とを包囲する。プローブ・チップ・ホルダ１４２は、筒状ハウジング１４０の端部に結合され、基板を有する空洞を有する。第１及び第２ボアは、ホルダ１４２内に形成され、プロービング・チップ１３４及び１３６を受けるので、これらプロービング・チップの一端がハウジングから伸びて、他端が基板に接触する。上述の如く、これらボアの直径は、０．０１９インチ（０．４８３ｍｍ）のレンジであり、長さが０．０６０インチ（１．５２４ｍｍ）のレンジであり、これらボアの中心から中心の距離が０．１００インチ（２．５４０ｍｍ）である。これらプロービング・チップは、全体の直径及び長さが上述のプロービング・チップと同じであり、ホルダの端部からの伸びる長さも上述と同じである。
【００２０】
矩形ピン型プローブ・チップ・アダプタ１５０及び可撓性の導電性リード型プローブ・チップ・アダプタ１５２は、上述と同じ設計である。図１のプローブ・ポイント型プローブ・チップ・アダプタ７０を変更して、ある角度で折れ曲がったプローブ・ポイント型プローブ・チップ・アダプタ１５４及び１５６を形成する。このプローブ・チップ・アダプタ１５４及び１５６の詳細を、図６の線Ｅ−Ｅ’に沿った側部断面図である図７に示す。折れ曲がったプローブ・ポイント型プローブ・チップ・アダプタ１５４及び１５６の各々は、導電性要素８０を有し、その一端にボア８２が形成される。上述の如き導電性エラストマ９０がボア８２内に配置される。導電性要素８０のプローブ接点８４側の端部は、ある角度で折れ曲がったシャフト１５８を有するが、このシャフト１５８は、導電性要素８０のボア側の端部から伸びている。好適な実施例において、この導電性要素の中心線からのプロービング・チップ８８のたわみ距離は、寸法１６０で表すと約０．０４０インチ（１．０１６ｍｍ）である。ある角度で折れ曲がったプローブ・ポイント型プローブ・チップ・アダプタ１５４及び１５６のたわみ距離により、プローブ・チップ８８がプロービング・チップ１３４及び１３６の回りで横方向に回転して、これらプローブ・チップ８８の間の幾何学的ピッチを種々の寸法にして、異なる幾何学的リード・ピッチで試験点又は素子をプロービングできる。
【００２１】
一端にボアを有し、他端にプロービング接点が形成された導電性要素を具えた測定プローブ用のプローブ・チップ・アダプタについて上述した。導電性エラストマを導電性要素のボア内に配置する。導電性要素を測定プローブのプロービング・チップに反復的に固定できるように、この導電性エラストマは、引っ張り強度、圧縮ひずみ、硬度、たわみ力、伸び及び回復率が充分である。プロービング接点は、その一端にて先細になったシャフトを有するプロービング・チップとして構成してもよいし、ボアを導電性要素内に形成して、０．０２５インチ（０．６３５ｍｍ）の矩形ピンと両立性のあるスプリング接点を受ける。差動構成のプロービング接点では、プロービング・チップのシャフトがある角度で折れ曲がった構造となる。導電性要素は、好ましくは、単一の部品として機械加工される。代わりに、導電性要素は、この導電性要素のボア側の端部と関連した第１導電性部材と、導電性要素のプロービング接点側の端部と関連した第２導電性部材とで形成し、これら第１及び第２部材を互いに結合したものでもよい。このプローブ・チップ・アダプタは、シングル・エンド測定プローブ及び差動測定プローブの両方と一緒に使用可能である。
【００２２】
本発明の要旨を逸脱することなく、本発明の上述の実施例の細部において種々の変形変更が可能なことが当業者には理解できよう。
【００２３】
【発明の効果】
上述の如く、本発明の測定プローブ用プローブ・チップ・アダプタによれば、低容量測定プローブと両立性があり、種々の形式構造に適用可能であり、プローブ・チップの容量及びインダクタンスが小さく、測定プローブのプローブ・チップに繰り返し取り付け可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるプローブ・チップ・アダプタと共に使用可能な測定プローブの斜視図である。
【図２】本発明によるプローブ・チップ・アダプタであり、図１の線Ａ−Ａ’に沿った側面の断面図である。
【図３】本発明によるプローブ・チップ・アダプタであり、図１の線Ｂ−Ｂ’に沿った側面の断面図である。
【図４】本発明によるプローブ・チップ・アダプタであり、図１の線Ｃ−Ｃ’に沿った側面の断面図である。
【図５】本発明によるプローブ・チップ・アダプタであり、図１の線Ｄ−Ｄ’に沿った側面の断面図である。
【図６】本発明によるプローブ・チップ・アダプタと共に使用可能な差動プローブの斜視図である。
【図７】本発明によるプローブ・チップ・アダプタであり、図６の線Ｅ−Ｅ’に沿った側面の断面図である。
【図８】ソケット型プローブ・チップ及び関連したプローブ・チップ・アダプタを有する従来の測定プローブを示す斜視図である。
【符号の説明】
１０  能動プローブ
１２  ソケット型プローブ・チップ
１４  接地ソケット
１６  位置決め援助型プローブ・チップ・アダプタ
２６  標準プロービング・チップ
３４  プローブ・チップ・アダプタ
４０  プローブ・チップ・アダプタ
５０  測定プローブ
５２  プローブ・ヘッド
５４  プロービング・チップ
５６  同軸ケーブル
５８  導電性筒状ハウジング
６０  プローブ・チップ・ホルダ
７０  プローブ・ポイント型プローブ・チップ・アダプタ
７２  位置決め援助機型プローブ・チップ・アダプタ
７４  可撓性の導電性リード型プローブ・チップ・アダプタ
７６  矩形ピン型プローブ・チップ・アダプタ
８０  導電性要素
８２  ボア
８３  ベベル（斜面）
８４  プロービング接点
８６  プローブ接点シャフト
８８  プロービング・チップ
９０  導電性エラストマ
９４  ハウジング
９６  歯
９８  スロット
１００  ボア
１０６  平坦部分
１０８  先細の指部
１１０  可撓性導電性リード
１１６  スプリング接点
１１８  円形リング
１２０  可撓性指部
１２４、１２６  導電性部材
１３０  差動測定プローブ
１３２  プローブ・ヘッド
１３４、１３６  プロービング・チップ
１３８  同軸ケーブル
１４０  筒状ハウジング
１５０  矩形ピン型プローブ・チップ・アダプタ
１５２  可撓性の導電性リード型プローブ・チップ・アダプタ
１５４、１５６  プローブ・ポイント型プローブ・チップ・アダプタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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