(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体の片面に、活性エネルギーを受けて重合硬化する硬化型の粘着剤を活性エネルギーにより重合硬化させてなるクリーニング層がその表面が剥離フィルムで保護された状態で設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられてなる、複数のクリーニング用ラベルが、上記通常の粘着剤層を介して長尺のセパレータ上に間隔を隔てて連続的に剥離可能な状態で設けられてなるクリーニング機能付きラベルシートの製造方法において、ラベル形状とするためのシート打ち抜き工程をクリーニング層の粘着剤の重合硬化反応後に行うことを特徴とするクリーニング機能付きラベルシートの製造方法。
【請求項２】
シートのラベル形状への打ち抜き時のクリーニング層の引張弾性率（試験法ＪＩＳ  Ｋ７１２７に準ずる）が１０ＭＰａ以上であることを特徴とする請求
項１記載のクリーニング機能付きラベルシートの製造方法。
【請求項３】
クリーニング層が、感圧接着性ポリマーと分子内に不飽和二重結合を１個以上有する重合性不飽和化合物および重合開始剤を含んでなる硬化型の粘着剤を活性エネルギーにより重合硬化させてなるものであることを特徴とする請求項１記載のクリーニング機能付きラベルシートの製造方法。
【請求項４】
感圧接着性ポリマーが、（メタ）アクリル酸および／または（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主モノマーとしたアクリル系ポリマーであることを特徴とする請求項３記載のクリーニング機能付きラベルシートの製造方法。
【請求項５】
重合開始剤が光重合開始剤であって、クリーニング層が光硬化型の粘着剤を紫外線照射により重合硬化させてなる層であることを特徴とする請求項３記載のクリーニング機能付きラベルシートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種装置をクリーニングするラベルシートの製造方法に関し、例えば、半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板などの製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニング機能付きラベルシートの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
各種基板処理装置は、各搬送系と基板とを物理的に接触させながら搬送する。その際、基板や搬送系に異物が付着していると、後続の基板を次々に汚染することになり、定期的に装置を停止させ、洗浄処理をする必要があった。このため、稼働率低下や多大な労力が必要になるという問題があった。これらの問題を解決するため、粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する方法（例えば特開平１０−１５４６８６号など）が提案されている。
【０００３】
粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する方法は、前述の課題を克服する有効な方法である。しかしこの方法では粘着性物質と装置接触部とが強く接着しすぎて剥れない恐れがあり、基板を確実に搬送できなくなる恐れがあった。  特に、装置のチャックテーブルに減圧吸着機構が使われている場合はこの問題が顕著である。
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
また、上記のようなクリーニング機能付きの搬送部材の製造方法に関しては、例えば基板等の搬送部材にクリーニングシートを貼り合わせてクリーニング用搬送部材を製造する場合、搬送部材より大きなクリーニングシートを貼り付けた後、部材形状に沿ってクリーニングシートを切断する方式（以下、ダイレクトカット方式と称す）が知られているが、かかる方式ではシート切断時にクリーニング層などから切削屑が発生する恐れがあり、クリーニング部材や装置に付着してしまう恐れがある。  また、あらかじめ搬送部材形状に打ち抜き加工処理しておいたクリーニング用ラベルシートを搬送部材に貼り合わせてクリーニング用搬送部材を製造する方式（以下、プリカット方式と称す）では、シート打ち抜き加工時の切削屑の発生はダイレクトカット方式に比べて抑えられるが、シート打ち抜き加工時にクリーニング層粘着剤が打ち抜き面からはみ出し、ラベルの端部に粘着剤が付着してしまう恐れがあり、打ち抜き不良による外観不良や搬送トラブルを発生させる場合がある。  さらに、粘着剤に重合硬化型を用いた場合、シート打ち抜き後に硬化させようとすると、ラベル端部の粘着剤は酸素阻害による重合阻害により硬化不良を起こすため、基板処理装置の接触部位に対して粘着剤汚染の恐れがある。
本発明は、このような事情に照らし、基板処理装置内に基板を確実に搬送でき、装置内に付着している異物を簡便、確実に除去でき、さらにプリカット方式においてシート打ち抜き時に打ち抜き不良や粘着剤の硬化不良を発生させないクリーニング機能付きラベルシートの製造方法を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の目的を達成するために、鋭意検討した結果、プリカット方式によりクリーニング機能付きラベルシートを製造する方法において、クリーニング層を活性エネルギーを受けて重合硬化する硬化型の粘着剤とすると共に、ラベル形状とするためのシート打ち抜き工程をクリーニング層の粘着剤の重合硬化反応後に行うことにより、前記問題を生じることなく、さらに異物を簡便かつ確実に除去できるクリーニング機能付きラベルシートを製造できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００６】
即ち本発明は、支持体の片面に、活性エネルギーを受けて重合硬化する硬化型の粘着剤を活性エネルギーにより重合硬化させてなるクリーニング層がその表面が剥離フィルムで保護された状態で設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられてなる、複数のクリーニング用ラベルが、上記通常の粘着剤層を介して長尺のセパレータ上に間隔を隔てて連続的に剥離可能な状態で設けられてなるクリーニング機能付きラベルシートの製造方法において、ラベル形状とするためのシート打ち抜き工程をクリーニング層の粘着剤の重合硬化反応後に行うことを特徴とするクリーニング機能付きラベルシートの製造方法（請求項１）、シートのラベル形状への打ち抜き時のクリーニング層の引張弾性率（試験法ＪＩＳ  Ｋ７１２７に準ずる）が１０ＭＰａ以上であることを特徴とする請求項１記載のクリーニング機能付きラベルシートの製造方法（請求項２）、クリーニング層が、感圧接着性ポリマーと分子内に不飽和二重結合を１個以上有する重合性不飽和化合物および重合開始剤を含んでなる硬化型の粘着剤を活性エネルギーにより重合硬化させてなるものであることを特徴とする請求項１記載のクリーニング機能付きラベルシートの製造方法（請求項３）、感圧接着性ポリマーが、（メタ）アクリル酸および／または（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主モノマーとしたアクリル系ポリマーであることを特徴とする請求項３記載のクリーニング機能付きラベルシートの製造方法（請求項４）、重合開始剤が光重合開始剤であって、クリーニング層が光硬化型の粘着剤を紫外線照射により重合硬化させてなる層であることを特徴とする請求項３記載のクリーニング機能付きラベルシートの製造方法（請求項５）に係るものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明のクリーニング機能付きラベルシートの製造方法においては、クリーニング層を活性エネルギーを受けて重合硬化する硬化型の粘着剤とし、かつラベル形状とするためのシート打ち抜き工程をクリーニング層の粘着剤の重合硬化反応後に行うことが必要である。  シート打ち抜き時にクリーニング層を構成する粘着剤が重合硬化されていないと、クリーニング層を構成する粘着剤層がラベル端部からはみ出したり打ち抜き面に付着してしまうという問題や、粘着剤が糸引きしたり打ち抜き深さが不均一となったり、打ち抜き面が荒れてしまい最悪の場合打ち抜き不良となる。  さらにシート打ち抜き後に重合硬化反応させると打ち抜き部に面した粘着剤は酸素阻害により重合が阻害されてしまうため、基板処理装置への粘着剤汚染の原因となる。
【０００８】
本発明においては、上記シート打ち抜き時の問題を発生させないように、特にクリーニング層の引張弾性率（試験法ＪＩＳ  Ｋ７１２７に準ずる）が１０ＭＰａ以上、好ましくは１０〜２０００ＭＰａであることが望ましい。  引張弾性率をかかる特定値以上とすることにより、シート打ち抜き時のクリーニング層からの粘着剤はみ出しや打ち抜き不良をより抑えることができ、プリカット方式において粘着剤汚染のないクリーニング機能付きラベルシートが製造できる。  この引張弾性率が１０ＭＰａより小さいと、シート打ち抜き時の上記問題や搬送時に装置内の被クリーニング部位に接着して搬送トラブルとなる恐れがある。一方、この引張弾性率が大きすぎると、搬送系上の付着異物を除去する性能が低下する恐れがある。
【０００９】
本発明におけるクリーニング層としては、活性エネルギーを受けて重合硬化する硬化型の粘着剤が用いられる。  これによりクリーニング層の粘着性が実質的になくなり、クリーニング用部材を搬送する際に装置接触部と強く接着することがなく、確実に搬送できるクリーニング用部材を提供できるという効果が得られる。  かかる活性エネルギー源としては、紫外線、熱などが挙げられるが紫外線が好ましい。
かかるクリーニング層は、活性エネルギー源により硬化して分子構造が三次元網状化する性質を有する限り、その材質等は特に限定されないが、例えば感圧接着性ポリマーと分子内に不飽和二重結合を１個以上有する重合性不飽和化合物および重合開始剤を含んでなる硬化型の粘着剤が好ましい。
【００１０】
かかる感圧接着性ポリマーとしては、例えばアクリル酸、アクリル酸エステル、メタクリル酸、メタクリル酸エステルから選ばれる（メタ）アクリル酸及び／又は（メタ）アクリル酸エステルを主モノマーとしたアクリル系ポリマーが挙げられる。このアクリル系ポリマーの合成にあたり、共重合モノマーとして分子内に不飽和二重結合を２個以上有する化合物を用いるか、あるいは合成後のアクリル系ポリマーに分子内に不飽和二重結合を有する化合物を官能基間の反応で化学結合させるなどして、アクリル系ポリマーの分子内に不飽和二重結合を導入しておくことにより、このポリマー自体も活性エネルギーにより重合硬化反応に関与させるようにすることもできる。
【００１１】
ここで、分子内に不飽和二重結合を１個以上有する重合性不飽和化合物（以下、重合性不飽和化合物という）としては、不揮発性でかつ重量平均分子量が１００００以下の低分子量体であるのがよく、特に硬化時の粘着剤層の三次元網状化が効率よくなされるように、５０００以下の分子量を有しているのが好ましい。ここで重合性不飽和化合物としては、不揮発性でかつ重量平均分子量が１００００以下の低分子量体であるのがよく、特に硬化時のクリーニング層の三次元網状化が効率良くなされるように、５０００以下の分子量を有しているのが好ましい。  このような重合性不飽和化合物としては、例えば、フエノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、オリゴエステル（メタ）アクリレートなどが挙げられ、これらの中から１種または2種以上が用いられる。
【００１２】
また、粘着剤層に添加される重合開始剤は、特に限定されず公知のものを使用でき、例えば活性エネルギー源に熱を用いる場合は、ベンゾイルパーオキサイド、アゾビスイソブチロニトリルなどの熱重合開始剤、また光を用いる場合は、ベンゾイル、ベンゾインエチルエーテル、シベンジル、イソプロピルベンゾインエーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトンクロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、アセトフェノンジエチルケタール、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドルキシシクロヒキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシジメチルフェニルプロパン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノンなどの光重合開始剤が挙げられる。
【００１３】
上記クリーニング層は、活性エネルギー源により硬化されてその粘着力が低下したものであり、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力（ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じて測定）が０．２０Ｎ／１０ｍｍ以下、好ましくは０．０１０〜０．１０Ｎ／１０ｍｍ程度である。  この粘着力が、０．２０Ｎ／ｍｍを超えると、搬送時に装置内の被クリーニング部に接着して、搬送トラブルとなる恐れがある。  またクリーニング層の厚さは特に限定されないが、通常５〜１００μｍ程度である。
【００１４】
本発明のクリーニング機能付きラベルシートの製造方法では、支持体の片面に上記の特定の粘着剤からなるクリーニング層がその表面が剥離フィルムで保護された状態で設けられ、他面が通常の粘着剤層を介してセパレータ上に剥離可能な状態で設けられてなるクリーニングシートを、クリーニング層としての硬化型粘着剤を硬化後に、ラベル形状とするためセパレータ以外のシートの打ち抜き加工を行う。  この際、打ち抜き方法や加工形態は特に限定されないが、後述の搬送部材の形状に合わせて打ち抜き加工後、不要なシートを剥離除去してラベルを形成したり、またラベル周囲やシート端部にラベルと間隔を隔てて補強部としてシートを残した状態でラベル部と補強部以外の不要なシートを剥離除去してラベルを形成したりすることができる。
【００１５】
本発明によりクリーニング機能付きラベルシートの製造方法においては、支持体の片面に、上記の特定のクリーニング層が設けられ、他面側が通常の粘着剤層を介してセパレータ上に剥離可能な状態で設けられたクリーニングシートが用いられる。  この他面側の粘着剤層は、粘着機能を満たす限りその材質などは特に限定されず、通常の粘着剤（例えばアクリル系、ゴム系など）を用いることができる。  かかる構成により、クリーニング機能付きラベルを後述のセパレータから剥離して、通常の粘着剤層により各種基板などの搬送部材に貼り付けて、クリーニング機能付き搬送部材として装置内に搬送して、被洗浄部位に接触させてクリーニングすることができる。  また上記の基板などの搬送部材を再利用するために、クリーニング後に基板をかかる粘着剤層から剥がす場合は、かかる通常の粘着剤層の粘着力は、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力が０．２０〜０．９８Ｎ／１０ｍｍ、特に０．４０〜０．９８Ｎ／１０ｍｍ程度であれば、搬送中に剥離することなく、かつクリーニング後に容易に再剥離できるので特に好ましい。
【００１６】
また上記クリーニング層を支持する支持体としては特に限定されないが、例えばポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリイミド、ポリアミド、ポリカルボジイミドなどのプラスチックフィルムなどが挙げられる。  その厚みは通常１０〜１００μｍ程度である。
【００１７】
また本発明におけるセパレータは、クリーニング用ラベルを剥離できる限り特に限定されないが、例えばシリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、脂肪酸アミド系、シリカ系の剥離剤などで剥離処理されたポリエステル、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリウレタン、エチレン酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリスチレン、ポリカーボネートなどからなるプラスチックフィルムなどが挙げられる。  その厚みは特に限定されないが、通常１０〜１００μｍ程度である。
【００１８】
クリーニング用ラベルが貼り付けられる搬送部材としては特に限定されないが、例えば半導体ウエハ、ＬＣＤ、ＰＤＰなどのフラットパネルディスプレイ用基板、
その他コンパクトディスク、ＭＲヘッドなどの基板などが挙げられる。
【００１９】
以下、図面に基づいて本発明をより具体的に説明する。
図１は、本発明で得られるクリーニング機能付きラベルシートの一例を示す平面図であって、長尺のセパレータ１上に複数のクリーニング用ラベルＡが間隔を隔てて連続的に設けられている。  かかるラベルＡは、図２（図１のａ−ａ線の断面図）の如く支持体２の片面にクリーニング層３、その表面に剥離フィルム４、他面に通常の粘着剤層５が設けられてなり、この粘着剤層５を介してセパレータ１状に剥離可能な状態で設けられている、
使用時にはクリーニング用ラベルをセパレータ１から剥離して半導体ウエハ等の搬送部材に貼着し、さらに剥離フィルム４を剥離してから装置内に搬送することにより被洗浄部位をクリーニングすることができる。
【００２０】
またラベルＡの形状は何ら限定されず、貼り付ける基板などの搬送部材の形状に応じて、例えば円形状、ウエハ形状、フレーム形状、さらに例えばチャック部などのための突出部を有する形状などとすることができる。
【００２１】
【実施例】
以下、本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。  なお、以下、部とあるのは重量部を意味するものとする。
実施例
アクリル酸−２−エチルヘキシル７５部、アクリル酸メチル２０部、及びアクリル酸５部からなるモノマ―混合液から得たアクリル系ポリマー（重量平均分子量７０万）１００部に対して、ポリエチレングリコ―ル２００ジメタクリレ―ト（新中村化学社製：商品名：Ｎｋエステル４Ｇ）５０部、ウレタンアクリレ―ト（新中村化学社製：商品名：Ｕ−Ｎ−０１）５０部、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業製：商品名：コロネートＬ）３部、および光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール（チバ・スペシャリティケミカルズ製：商品名：イルガキュアー６５１）３部を均一に混合し、紫外線硬化型粘着剤溶液を調整した。
一方、上記粘着剤からベンジルジメチルケタールを除いた以外は、上記と同様にして通常の粘着剤溶液を得た。
【００２２】
片面がシリコーン系剥離剤にて処理された長尺ポリエステルフィルム（厚さ３８μｍ、幅２５０ｍｍ）からなるセパレータの剥離処理面に、上記通常の粘着剤溶液を乾燥後の厚みが１０μｍとなるように塗布し、その粘着剤層上に長尺ポリエステルフィルム（厚さ２５μｍ、幅２５０ｍｍ）を積層し、さらにそのフィルム上に紫外線硬化型の粘着剤溶液を乾燥後の厚みが４０μｍとなるように塗布してクリーニング層としての粘着剤層を設け、その表面に片面がシリコーン系剥離剤にて処理された長尺ポリエステルフィルム（厚さ３８μｍ、幅２５０ｍｍ）からなる剥離フィルムの剥離処理面を貼り合わせてシートを得た。
【００２３】
このシートに中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００ｍＪ／ｃｍ2照射して、紫外線硬化したクリーニング層を有するクリーニング用シートを得た。このクリーニング用シートのセパレータ以外の積層体である粘着フィルムに、直径２００ｍｍの円形状の打ち抜きによりシート切断を行い、不要な粘着フィルムを連続的に剥離除去して、図１のような本発明のクリーニング用ラベルシートを作製した。  このクリーニングシートの打ち抜き加工は、粘着剤の糸引きや切削屑が全く発生せず問題なく行うことができた。  また作製後、ラベルシートを観察したところ、ラベル端部での粘着剤のはみ出しやラベル上への粘着剤汚染も全く見られなかった。
またこのクリーニングシートのクリーニング層の紫外線照射による硬化後、すなわちシート打ち抜き時の引張弾性率は４９ＭＰａであった。  ここで引張弾性率は、試験法ＪＩＳ  Ｋ７１２７に準じて測定した。
【００２４】
得られたクリーニング機能付きラベルシートのセパレータからクリーニング用ラベルを剥がし、８ｉｎｃｈのシリコンウエハの裏面（ミラー面）にハンドローラで貼り付け、クリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハを作製した。  なお、通常の粘着剤層のシリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力は、０．２５Ｎ／１０ｍｍであった。
【００２５】
このクリーニング機能付きラベルシートを用いて、ラベルテープ貼付機（日東精機社製：商品名：ＮＥＬ−ＧＲ３０００）にて８インチシリコンウエハの裏面（ミラー面）へのラベルの貼付けを行った。  この操作を２５枚連続して行ったところ、全く問題なくウエハへのシート貼付けが行え、クリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハを作製することができた。  またクリーニング層を、シリコンウエハのミラー面に幅１０ｍｍで貼り付け、ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じてシリコンウエハに対する１８０°引き剥がし粘着力を測定した結果、０．０７８Ｎ／１０ｍｍであった。
【００２６】
一方、レーザー式異物測定装置で、新品の８インチシリコンウエハ２枚のミラー面の０．２μｍ以上の異物を測定したところ、１枚目は６個、２枚目は５個であった。  これらウエハを別々の静電吸着機構を有する基板処理装置にミラー面を下側にして搬送した後、レーザー式異物測定装置で０．２μｍ以上の異物を測定したところ、８インチウエハサイズのエリア内で１つ目は３３４５６個、２つ目は３６０９１個であった。
【００２７】
次いで前記で得た搬送用クリーニングウエハのクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、上記の３３４５６個の異物が付着していたウエハステージを持つ基板処理装置内に搬送したところ、支障なく搬送できた。  その後に新品の８インチシリコンウエハをミラー面を下側に向けて搬送し、レーザー式異物測定装置で０．２μｍ以上の異物を測定した。  この操作を５回実施し、異物除去率を表１に示した。
【００２８】
【表１】
0004173649.tif 000002
【００２９】
比較例
実施例において、クリーニングシートに中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００ｍＪ／ｃｍ2照射しなかった以外は、実施例と同様にしてクリーニングシートを作製し、このクリーニングシートを用いて、実施例と同様にして直径２００ｍｍの円形状の打ち抜きによりシート切断を行い、クリーニング機能付きラベルシートを作製した。  この際、クリーニング層が硬化していないためクッション材の働きをしてしまい、打ち抜き深さが均一にならずラベルの打ち抜き不良が多数発生した。  また作製できたラベルを観察したところ、ラベル端部で粘着剤がはみ出しており、またラベル上には打ち抜き時の粘着剤の糸引きにより粘着剤の汚染が多数見られた。  また、特にラベル端部のクリーニング層側の剥離フィルム上には粘着剤が回りこんで付着していた。  ラベル作製後、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００ｍＪ／ｃｍ2照射したが、ラベル端部の粘着剤は酸素阻害により硬化しておらず粘着性を有していた。  従って、このラベルシートを用いての搬送用クリーニングウエハの作製を中止した。
【００３０】
【発明の効果】
以上のように本発明のクリーニング機能付きラベルシートの製造方法によれば、ラベル形状とするためのシート打ち抜き時の打ち抜き不良がなく粘着剤汚染のないクリーニング用ラベルシートを製造できるとともに、基板処理装置内を確実に搬送でき、装置内に付着している異物を簡便かつ確実に除去できるクリーニング機能付きラベルシートを製造できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明で得られたクリーニング機能付きラベルシートの実例を示す一部平面図である。
【図２】  図１のａ−ａ線の断面図である。
【符号の説明】
１：セパレータ、Ａ：クリーニング機能付き用ラベル、２：支持体、３：クリーニング層、４：剥離フィルム、５：通常の粘着剤層
【図１】
0004173649.tif 000003
【図２】
0004173649.tif 000004