(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端を吸着口としたテーパ穴と上記テーパ穴の他端に連続された直線穴からなる管側通気路を有する中空のノズル管と、
上記管側通気路に連通される本体側通気路を有し且つこの本体側通気路に上記管側通気路を連通させた状態で上記ノズル管を保持するノズル本体と、
を備えた吸着ノズルにおいて、
上記ノズル管は、同一の断面形状が軸方向に連続され且つ上記直線穴が設けられた直管部と、上記直管部の一端に連続されると共に軸方向の他端に向かって断面形状が連続して縮小され且つ上記テーパ穴が設けられたテーパ管部と、を有し、
上記ノズル本体は、上記直管部を圧着支持する嵌合軸部を有し、上記嵌合軸部の上記直管部が圧入される嵌合穴を、上記ノズル管に偏心誤差が生じない深さに設定し、
上記管側通気路と上記本体側通気路との接続部を略同一の大きさとして両通気路を段差なく連通した
ことを特徴とする吸着ノズル。
【請求項２】
一端を吸着口としたテーパ穴からなる管側通気路を有する中空のノズル管と、
上記管側通気路に連通される本体側通気路を有し且つこの本体側通気路に上記管側通気路を連通させた状態で上記ノズル管を保持するノズル本体と、
を備えた吸着ノズルにおいて、
上記ノズル管は、同一の断面形状が軸方向に連続され且つ上記テーパ穴が設けられた直管部と、上記直管部の一端に連続されると共に軸方向の他端に向かって断面形状が連続して縮小され且つ上記テーパ穴が設けられたテーパ管部と、を有し、
上記ノズル本体は、上記直管部を圧着支持する嵌合軸部を有し、上記嵌合軸部の上記直管部が圧入される嵌合穴を、上記ノズル管に偏心誤差が生じない深さに設定し、
上記管側通気路と上記本体側通気路との接続部を略同一の大きさとして両通気路を段差なく連通した
ことを特徴とする吸着ノズル。
【請求項３】
上記ノズル本体に、照射された光を反射して前記ノズル管の先端部を照らす反射部材を設けた
ことを特徴とする請求項１又は２記載の吸着ノズル。
【請求項４】
一端を吸着口とした通気路を有する中空の吸着ノズルと、
上記通気路の他端に接続されると共に上記通気路内を負圧にして吸着対象物を上記吸着口に吸着させる負圧発生装置と、を備えた部品吸着装置において、
上記吸着ノズルは、
一端を吸着口としたテーパ穴と上記テーパ穴の他端に連続された直線穴からなる管側通気路を有する中空のノズル管と、
上記管側通気路に連通される本体側通気路を有し且つこの本体側通気路に上記管側通気路を連通させた状態で上記ノズル管を保持するノズル本体と、を備え、
上記ノズル管は、同一の断面形状が軸方向に連続され且つ上記直線穴が設けられた直管部と、上記直管部の一端に連続されると共に軸方向の他端に向かって断面形状が連続して縮小され且つ上記テーパ穴が設けられたテーパ管部と、を有し、
上記ノズル本体は、上記直管部を圧着支持する嵌合軸部を有し、上記嵌合軸部の上記直管部が圧入される嵌合穴を、上記ノズル管に偏心誤差が生じない深さに設定し、
上記管側通気路と上記本体側通気路との接続部を略同一の大きさとして両通気路を段差なく連通した
ことを特徴とする部品吸着装置。
【請求項５】
一端を吸着口とした通気路を有する中空の吸着ノズルと、
上記通気路の他端に接続されると共に上記通気路内を負圧にして吸着対象物を上記吸着口に吸着させる負圧発生装置と、を備えた部品吸着装置において、
上記吸着ノズルは、
一端を吸着口としたテーパ穴からなる管側通気路を有する中空のノズル管と、
上記管側通気路に連通される本体側通気路を有し且つこの本体側通気路に上記管側通気路を連通させた状態で上記ノズル管を保持するノズル本体と、を備え、
上記ノズル管は、同一の断面形状が軸方向に連続され且つ上記テーパ穴が設けられた直管部と、上記直管部の一端に連続されると共に軸方向の他端に向かって断面形状が連続して縮小され且つ上記テーパ穴が設けられたテーパ管部と、を有し、
上記ノズル本体は、上記直管部を圧着支持する嵌合軸部を有し、上記嵌合軸部の上記直管部が圧入される嵌合穴を、上記ノズル管に偏心誤差が生じない深さに設定し、
上記管側通気路と上記本体側通気路との接続部を略同一の大きさとして両通気路を段差なく連通した
ことを特徴とする部品吸着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＩＣ（集積回路）や抵抗等の微小な電子部品を吸着して搬送する吸着ノズル及び部品吸着装置に関し、特に、チップ部品のように極めて小さな部品を吸着して搬送する際に使用して好適な吸着ノズル及び部品吸着装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、一般に、ＩＣ（集積回路）や抵抗等の微小な電子部品を所定位置で把持してプリント配線基板等の実装位置まで搬送する装置としては、部品吸着装置が使用されている。この部品吸着装置は、電子部品を吸着して保持する吸着ノズルと、この吸着ノズルを保持するノズルホルダと、このノズルホルダを介して吸着ノズルに負圧を供給する負圧発生装置等を備えて構成されている。
【０００３】
この部品吸着装置に用いられる吸着ノズルとしては、例えば、図１２に示すようなものが知られている。この吸着ノズル１は、負圧発生装置に連通される中空管状のノズル本体２と、このノズル本体２の先端部に装着されて電子部品３が吸着されるノズル管４と、ノズル管４に装着されて取り付けられる反射部材５等から構成されている。そして、ノズル本体２とノズル管４とを貫通するように通気路が設けられている。
【０００４】
ノズル本体２の軸方向中途部には半径方向外側に拡径されたフランジ部２ａが設けられており、このフランジ部２ａより先端側に嵌合軸部２ｂが設定されている。ノズル本体２のフランジ部２ａには、半径方向外側に先端部が突出するようにガイドピン６が取り付けられている。このノズル本体２を軸方向に貫通する本体側通気路７は、負圧発生装置に連通される大径穴部７ａと、嵌合軸部２ｂ側に設けられた小径穴部７ｂとからなり、フランジ部２ａの内側において両穴部７ａ，７ｂが連通されて段部７ｃが設定されている。
【０００５】
ノズル管４は、ノズル本体２の嵌合軸部２ｂに取り付けられる取付軸部４ａと、この取付軸部４ａの軸方向一端に連続されたテーパ軸部４ｂとを有し、両軸部４ａ，４ｂ間に端面部４ｃが設けられている。この取付軸部４ａを嵌合軸部２ｂに圧入することにより、ノズル管４がノズル本体２に取り付けられている。このノズル管４のテーパ軸部４ｂを軸方向に貫通する管側通気路８は、本体側通気路７に連通される大径穴部８ａと、テーパ軸部４ｂの中途部に設定された中径穴部８ｂと、テーパ軸部４ｂの先端部に設定された小径穴部８ｃとを有している。このように隣合う穴部の直径を逐次的に小さくすることにより、隣合う穴部が連通する部位において、それぞれ段部８ｄ及び８ｅが設定されている。
【０００６】
反射部材５は、ノズル管４の取付軸部４ａに圧入することによって取り付けられている。この反射部材５の先端部には、回転する方向に力を加えるための治具が係合される一対の溝部５ａ，５ａが設けられている。この反射部材５は、照射された光を反射する材料によって形成されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような従来の部品吸着装置においては、吸着ノズル１の通気路が本体側通気路７と管側通気路８との組み合せからなり、その通気路の直径が軸方向に沿って段階的に変化する構成となっていたため、通気路の直径が急激に変化する段部７ｃ、８ｄ及び８ｅや端面部４ｃにおいて空気の流れが乱される。その結果、段部等における空気の流れの損失が大きくなり、通気路内に空気をスムースに流通させることができないという課題があった。
【０００８】
即ち、部品吸着装置を使用して電子部品をプリント配線基板の所定位置に装着する場合には、吸着ノズル１の先端に吸着している電子部品３をタイミング良く離す必要がある。この電子部品３を吸着ノズル１から離すタイミングがずれると、吸着ノズル１の後退動作に伴って電子部品３が浮き上がり、所定の装着位置からずれてしまうからである。このような不具合の発生を防止するためには、負圧発生装置から吸着ノズル１内に正圧を作用させて、吸着ノズル１の通気路内の真空状態をタイミング良く解除する必要がある。
【０００９】
ところが、最近の電子部品の小型化の傾向に伴って、その電子部品が吸着される吸着ノズル１の先端部の外径及び内径をともに小さくする必要がある。この場合、吸着ノズル１の先端部の内径を小さくすると空気の流量が少なくなるため、通気路内を流れる空気の流量を充分に確保することが困難になる。しかも、通気路内の空気の流れの損失が大きいと空気の流量が更に少なくなるため、正圧が電子部品に作用するまでの時間が長くなり、電子部品をタイミング良く離すことができずに装着ずれにつながることがある。
【００１０】
このような空気の流量不足の傾向は、吸着ノズル１の先端内径が小さいほど強くなる。従って、サイズが極めて小さな電子部品（例えば、「０６０３チップ部品：縦×横＝０．６ｍｍ×０．３ｍｍ」等）を実装するための吸着ノズルを開発するに際して、ノズル管内の真空状態をエアブローによって切る（真空破壊）動作の信頼性を確保することが非常に困難であった。また、実装対象となる部品のサイズが非常に小さいため、従来の小さな電子部品（例えば、「１００５チップ部品：縦×横＝１．０ｍｍ×０．５ｍｍ」等）の実装作業においては問題にならないようなレベルの吸着ノズルの偏心量であっても、装着精度に影響が与えられるようになった。そのため、微小サイズの部品用吸着ノズルにおいては、ノズル本体に対するノズル管の偏心量を極力少なくする構造とする必要もあった。
【００１１】
また、実装対象とされる電子部品の大きさに比べて吸着ノズル１の先端部の外径が大きいと、吸着ノズルに電子部品が吸着されているか否かの検出が困難になるという課題があった。この電子部品が吸着ノズルに吸着されているか否かの検出は、一般に、吸着ノズルの先端部に対向させて設置された撮影カメラによって行われている。この撮影カメラで電子部品と吸着ノズルの先端面とを撮影し、その映像情報に基づいて電子部品の有無が判断されている。
【００１２】
ところが、吸着ノズル１の先端部の外径が大きいために、その一部が電子部品の輪郭線からはみ出すと、そのはみ出した部分が電子部品の輪郭線と重畳されて撮影カメラによって撮影される。その結果、検出装置による画像処理の関係から吸着ノズルの先端面が電子部品の輪郭線と干渉し、その電子部品の輪郭線を明確に認識することができなくなるという課題があった。
【００１３】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、吸着ノズルの通気路の直径が変化する部分では、段部によって直径を急激に変化させるのではなく、直径を連続的に変化させてテーパ状の通気路とすることにより、空気の流れの損失を少なくして空気がスムースに流れる吸着ノズル及び部品吸着装置を提供することを目的としている。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上述したような課題を解決し、上記目的を達成するために、本発明の吸着ノズルは、一端を吸着口としたテーパ穴とそのテーパ穴の他端に連続された直線穴からなる管側通気路を有する中空のノズル管と、管側通気路に連通される本体側通気路を有し且つこの本体側通気路に管側通気路を連通させた状態でノズル管を保持するノズル本体と、を備えた吸着ノズルにおいて、ノズル管は、同一の断面形状が軸方向に連続され且つ直線穴が設けられた直管部と、その直管部の一端に連続されると共に軸方向の他端に向かって断面形状が連続して縮小され且つテーパ穴が設けられたテーパ管部と、を有し、ノズル本体は、直管部を圧着支持する嵌合軸部を有し、その嵌合軸部の直管部が圧入される嵌合穴を、ノズル管に偏心誤差が生じない深さに設定し、管側通気路と本体側通気路との接続部を略同一の大きさとして両通気路を段差なく連通したことを特徴としている。
【００１５】
本発明の吸着ノズルは、一端を吸着口としたテーパ穴からなる管側通気路を有する中空のノズル管と、管側通気路に連通される本体側通気路を有し且つこの本体側通気路に管側通気路を連通させた状態でノズル管を保持するノズル本体と、を備えた吸着ノズルにおいて、ノズル管は、同一の断面形状が軸方向に連続され且つテーパ穴が設けられた直管部と、その直管部の一端に連続されると共に軸方向の他端に向かって断面形状が連続して縮小され且つテーパ穴が設けられたテーパ管部と、を有し、ノズル本体は、直管部を圧着支持する嵌合軸部を有し、その嵌合軸部の直管部が圧入される嵌合穴を、ノズル管に偏心誤差が生じない深さに設定し、管側通気路と本体側通気路との接続部を略同一の大きさとして両通気路を段差なく連通したことを特徴としている。
【００１６】
本発明の吸着ノズルは、ノズル本体に、照射された光を反射してノズル管の先端部を照らす反射部材を設けたことを特徴としている。
【００１８】
本発明の部品吸着装置は、一端を吸着口とした通気路を有する中空の吸着ノズルと、通気路の他端に接続されると共に通気路内を負圧にして吸着対象物を吸着口に吸着させる負圧発生装置と、を備えた部品吸着装置において、吸着ノズルは、一端を吸着口としたテーパ穴とそのテーパ穴の他端に連続された直線穴からなる管側通気路を有する中空のノズル管と、管側通気路に連通される本体側通気路を有し且つこの本体側通気路に管側通気路を連通させた状態でノズル管を保持するノズル本体と、を備え、ノズル管は、同一の断面形状が軸方向に連続され且つ直線穴が設けられた直管部と、その直管部の一端に連続されると共に軸方向の他端に向かって断面形状が連続して縮小され且つテーパ穴が設けられたテーパ管部と、を有し、ノズル本体は、直管部を圧着支持する嵌合軸部を有し、その嵌合軸部の直管部が圧入される嵌合穴を、ノズル管に偏心誤差が生じない深さに設定し、管側通気路と本体側通気路との接続部を略同一の大きさとして両通気路を段差なく連通したことを特徴としている。
【００１９】
本発明の部品吸着装置は、一端を吸着口とした通気路を有する中空の吸着ノズルと、通気路の他端に接続されると共に通気路内を負圧にして吸着対象物を吸着口に吸着させる負圧発生装置と、を備えた部品吸着装置において、吸着ノズルは、一端を吸着口としたテーパ穴からなる管側通気路を有する中空のノズル管と、管側通気路に連通される本体側通気路を有し且つこの本体側通気路に管側通気路を連通させた状態でノズル管を保持するノズル本体と、を備え、ノズル管は、同一の断面形状が軸方向に連続され且つテーパ穴が設けられた直管部と、その直管部の一端に連続されると共に軸方向の他端に向かって断面形状が連続して縮小され且つテーパ穴が設けられたテーパ管部と、を有し、ノズル本体は、直管部を圧着支持する嵌合軸部を有し、その嵌合軸部の直管部が圧入される嵌合穴を、ノズル管に偏心誤差が生じない深さに設定し、管側通気路と本体側通気路との接続部を略同一の大きさとして両通気路を段差なく連通したことを特徴としている。
【００２２】
上述のように構成したことにより、本発明の吸着ノズルでは、ノズル管は直線穴が設けられた直管部とテーパ穴が設けられたテーパ管部とを有し、ノズル本体は直管部を圧着支持する嵌合軸部を有し、その嵌合軸部の直管部が圧入される嵌合穴を、ノズル管に偏心誤差が生じない深さに設定し、ノズル管とノズル本体との接続部において段差をなくし、管側通気路と本体側通気路とを連続させて連通したことにより、通気路内における空気の流れの損失を少なくして空気をスムースに流通させることができ、吸着対象物の吸着及びその解除を迅速に行うことができると共に、接続部にゴミや埃が付着し難くすることができる。
【００２３】
本発明の吸着ノズルでは、ノズル管はテーパ穴が設けられた直管部とテーパ穴が設けられたテーパ管部とを有し、ノズル本体は直管部を圧着支持する嵌合軸部を有し、その嵌合軸部の直管部が圧入される嵌合穴を、ノズル管に偏心誤差が生じない深さに設定し、ノズル管とノズル本体との接続部において段差をなくし、管側通気路と本体側通気路とを連続させて連通したことにより、通気路内における空気の流れの損失を少なくして空気をスムースに流通させることができ、吸着対象物の吸着及びその解除を迅速に行うことができると共に、接続部にゴミや埃が付着し難くすることができる。
【００２４】
本発明の吸着ノズルでは、ノズル本体に反射部材を設けたことにより、照射された光を反射してノズル管の先端部を照らし、ノズル先端部に吸着された電子部品を明るく照らすことができる。
【００２６】
本発明の部品吸着装置では、ノズル管とノズル本体からなる吸着ノズルと負圧発生装置とを備えた部品吸着装置において、ノズル管は直線穴が設けられた直管部とテーパ穴が設けられたテーパ管部とを有し、ノズル本体は直管部を圧着支持する嵌合軸部を有し、その嵌合軸部の直管部が圧入される嵌合穴を、ノズル管に偏心誤差が生じない深さに設定し、ノズル管とノズル本体との接続部において段差をなくし、管側通気路と本体側通気路とを連続させて連通したことにより、通気路内における空気の流れの損失を少なくして空気をスムースに流通させることができ、吸着対象物の吸着及びその解除を迅速に行うことができると共に、接続部にゴミや埃が付着し難くすることができる。
【００２７】
本発明の部品吸着装置では、ノズル管とノズル本体からなる吸着ノズルと負圧発生装置とを備えた部品吸着装置において、ノズル管はテーパ穴が設けられた直管部とテーパ穴が設けられたテーパ管部とを有し、ノズル本体は直管部を圧着支持する嵌合軸部を有し、その嵌合軸部の直管部が圧入される嵌合穴を、ノズル管に偏心誤差が生じない深さに設定し、ノズル管とノズル本体との接続部において段差をなくし、管側通気路と本体側通気路とを連続させて連通したことにより、通気路内における空気の流れの損失を少なくして空気をスムースに流通させることができ、吸着対象物の吸着及びその解除を迅速に行うことができると共に、接続部にゴミや埃が付着し難くすることができる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。図１〜図１１は本発明に係る吸着ノズル及び、その吸着ノズルを使用した部品吸着装置の実施例を示すものである。
【００３１】
即ち、図１は本発明に係る吸着ノズルの第１の実施例を示す分解斜視図、図２は図１の吸着ノズルの中央部を断面した斜視図、図３は本発明に係る吸着ノズルの第２の実施例を示す縦断面図である。図４は複数の吸着ノズルが取り付けられたノズルホルダを下方から見た斜視図である。図５は本発明に係る部品吸着装置を使用した部品実装装置の一実施例の概略構成を示す説明図、図６は図５の要部を拡大して示す説明図である。図７は部品認識装置による吸着対象物の認識状態を示す説明図、図８は図５に示す部品実装装置に使用される部品認識装置の一実施例を示す斜視図、図９は図８に示す部品認識装置の第１の使用例を正面側から見た説明図、図１０は図８に示す部品認識装置の第１の使用例を平面側から見た説明図、図１１は図８に示す部品認識装置の第２の使用例を正面側から見た説明図である。
【００３２】
図１及び図２に示すように、第１の実施例として示す吸着ノズル１１は、ノズル本体１２とノズル管１３と反射部材１４等を備えて構成されている。ノズル本体１２の軸方向の一端にノズル管１３が接合され、このノズル管１３に反射部材１４が嵌合されている。この吸着ノズル１１のノズル本体１２側には図示しない負圧発生装置が接続され、これとは反対のノズル管１３側の開口部が、吸着対象物の一具体例を示す電子部品が着脱可能に吸着される吸着口１５とされている。
【００３３】
ノズル本体１２は、軸心部分を軸方向に貫通した中空管状の部材によって形成されている。このノズル本体１２の軸方向中途部には半径方向外側に拡径されたフランジ部１２ａが設けられており、このフランジ部１２ａより先端側に嵌合軸部１２ｂが設定されている。ノズル本体１２のフランジ部１２ａには、半径方向外側に開口する半径方向穴１２ｃが設けられている。この半径方向穴１２ｃにはガイドピン１６が圧入固定されており、ガイドピン１６の先端はフランジ部１２ａの外周面より半径方向外側に突出されている。このガイドピン１６は、実装作業時における吸着ノズル１１の回転を防止して軸方向へ直線的に移動させるものである。このガイドピン１６は、後述するノズルホルダのガイド穴（図示せず）に摺動可能に係合され、そのガイド穴にガイドされて吸着ノズル１１がノズルホルダに対して軸方向へ直線運動可能に保持される。
【００３４】
ノズル本体１２の中央部を軸方向へ貫通する穴は、負圧発生装置に連通される軸方向穴１７ａと、この軸方向穴１７ａに連続され且つ嵌合軸部１２ｂ側に設けられた嵌合穴１７ｂとからなる。軸方向穴１７ａが本体側通気路とされ、この本体側通気路１７ａの一端に、直径が本体側通気路１７ａよりも大きく形成された嵌合穴１７ｂが連通されている。更に、嵌合軸部１２ｂの外周面にはローレット部１８が設けられている。このローレット部１８は、先細の三角突条とされた複数の突起からなり、各突起は周方向に略等間隔に配置されている。
【００３５】
ノズル管１３は、一定の直径が軸方向に連続された直管部１３ａと、この直管部１３ａの一端に連続されたテーパ管部１３ｂとを有している。ノズル管１３のテーパ管部１３ｂは、直管部１３ａと等しい直径を有する基部から連続し、先端に向って連続して縮径されている。このノズル管１３の中央部を軸方向へ貫通する穴は、直管部１３ａに形成された直線穴１９ａと、テーパ管部１３ｂに形成されたテーパ穴１９ｂとからなる。テーパ穴１９ｂは、直線穴１９ａの一端に連続していると共に、その直線穴１９ａと等しい直径を有する基部から連続して縮径され、最小径となるテーパ管部１３ｂの先端部１３ｃに吸着口１５として開口されている。
【００３６】
このノズル管１３の吸着口１５を有するテーパ管部１３ｂの先端部１３ｃの外径は、吸着対象物に合わせて設定されており、具体的には吸着対象物の短辺の長さの１．０〜１．２倍の範囲内とされている。例えば、吸着対象物の一具体例を示す電子部品２３のサイズが縦×横＝０．６ｍｍ×０．３ｍｍである場合（一般に「０６０３チップ部品」と呼ばれている。）、ノズル先端部１３ｃの外径Ｄは、０．３０ｍｍ〜０．３６ｍｍの範囲内にあるように設定する。このような範囲内の値（吸着対象物の短辺の長さの１．０〜１．２倍）にノズル先端部１３ｃの外径Ｄを設定するのは、次のような理由による。
【００３７】
図７は、部品認識装置による部品認識画像を示すもので、吸着ノズル１１によって吸着された電子部品２３を正面から撮影した状態を示す図である。電子部品２３は、適当な厚みを有する直方体からなり、この実施例では長辺ｘの長さが０．６ｍｍであって、短辺ｙの長さが０．３ｍｍとなっている。これに対して、吸着ノズル１１の先端部１３ｃの外径は、その許容範囲の最大値である０．３６ｍｍ（０．３ｍｍ×１．２倍）となっている。
【００３８】
この場合、図７から明らかなように、ノズル先端部１３ｃの外径Ｄ（＝０．３６ｍｍ）が電子部品２３の短辺ｙの長さ（＝０．３ｍｍ）よりも大きいために、ノズル先端部１３ｃの一部が電子部品２３の上下の長辺側からそれぞれ円弧状にはみだしている。そのため、電子部品２３の長辺側の輪郭線が若干不明確になっているが、左右の短辺に連続する部分が認識可能であるため、映像のシルエット全体から電子部品２３を認識することができる。
【００３９】
ところが、ノズル先端部１３ｃの外径Ｄが、図９に示す場合よりも大きくなると、電子部品２３の上下の長辺側から突出するノズル先端部１３ｃの面積が大きくなる。そのため、電子部品２３の左右の短辺に連続する部分が小さくなり、電子部品２３の輪郭線が不明瞭になって映像のシルエット全体から電子部品２３を認識することが困難になる。この認識の限度範囲を数値で現したものが、上述した短辺の長さの１．０〜１．２倍という値である。また、高密度実装を行った場合、ノズル先端部１３ｃの外径Ｄが大きいと、それだけ隣接する実装部品と干渉する機会が多くなる。このような理由を考慮してノズル先端部１３ｃの外径Ｄが導き出されたものであり、電子部品２３の短辺ｙの長さの１．２倍よりも大きくすることは好ましいものではない。
【００４０】
一方、吸着ノズル１１のノズル先端部１３ｃの外径Ｄが電子部品２３の短辺ｙの長さよりも小さいものであれば、上述した画像処理の関係で問題となることはない。従って、ノズル先端部１３ｃの外径Ｄの下限値は理論的には可及的に小さな値を取ることもできるが、吸着口１５を開口させる必要があり、この吸着口１５の開口面積が大きいほど電子部品２３を安定性良く保持することができる。従って、吸着口１５の内径は、ノズル先端部１３ｃの強度と吸着力のバランスを考慮して適当な大きさに設定する。
【００４１】
反射部材１４は、中央部に貫通穴２０ａを設けたリング状の部材からなり、貫通穴２０ａの軸方向一端には、貫通穴２０ａよりも直径の大きな嵌合穴２０ｂが連通されている。貫通穴２０ａの直径はノズル本体１２の嵌合軸部１２ｂの内径と略同一に設定されていると共に、嵌合穴２０ｂの直径は嵌合軸部１２ｂの外径と略同一に設定されている。この嵌合穴２０ｂに嵌合軸部１２ｂを圧入して嵌合することにより、上述したローレット部１８の働きを加えて反射部材１４がノズル本体１２に強固に固着される。
【００４２】
この反射部材１４をノズル本体１２の嵌合軸部１２ｂに圧入するため等の理由から反射部材１４の先端部には、回転する方向に力を加えることができる治具の一対のピンが係合される一対の溝部２１，２１が設けられている。この反射部材１４の主要な役割は、照射された光を反射してノズル先端部１３ｃに吸着された電子部品２３を明るく照らすことにある。この反射部材１４で照明光を反射して吸着されている電子部品２３の輪郭を明確にすることにより、ノズル先端部１３ｃに所定の電子部品２３が吸着されているか否かを部品認識装置によって容易に認識することができる。
【００４３】
そのため、反射部材１４の材質としては、照明光を良く反射することができるもの、例えば、ポリアセタール（ＰＯＭ）等の乳白色のプラスチックが好適である。しかしながら、それ自体では光を良く反射しないプラスチック、金属、その他の材料であっても、例えば、表面に鏡面加工等を施すことによって光を良く反射できるようにすることができるものであれば、反射部材１４の材質として適用することができる。また、ノズル本体１２、ノズル管１３及びガイドピン１６の材質としてはステンレス鋼が好適であるが、他の金属材料を使用できることは勿論のこと、金属以外にもエンジニアリングプラスチック等を使用することもできる。
【００４４】
また、ノズル管１３の直管部１３ａを圧着支持するノズル本体１２の嵌合穴１７ｂの深さは、図１２に示す従来の吸着ノズル１のノズル管４の取付軸部４ａを圧着支持するノズル本体２の嵌合軸部２ｂの長さに比べて、略２倍の大きさに設定されている。このように、ノズル本体１２に対するノズル管１３の支持部の長さを約２倍と長くすることにより、ノズル管１３の偏心誤差を極力少なくして、部品の装着精度を高めることができる。
【００４５】
従来のノズル管４の支持部の長さが短いために生じていた偏心誤差は、従来の「１００５サイズの部品」では比較的部品サイズが大きいために、その偏心誤差はあまり問題にならないレベルのものであった。ところが、この実施例の吸着対象物である「０６０３サイズの部品」のように非常に小さい部品の場合、従来のノズルの偏心誤差では大きすぎるものとなり、装着精度に影響が出やすいものとなっていた。そこで、上述したように嵌合穴１７ｂを深くして従来の略２倍の長さでノズル管４を支持することにより、ノズル本体１２に対するノズル管１３、特にノズル先端部１３ｃの偏心量を少なくして、部品の装着精度を向上させることができるようになった。
【００４６】
このようにして結合されたノズル本体１２の軸方向穴１７ａが本体側通気路を構成し、ノズル管１３の直線穴１９ａ及びテーパ穴１９ｂが管側通気路を構成している。軸方向穴１７ａの直径は直線穴１９ａの直径と略同一径とされており、従って、ノズル本体１２とノズル管１３との接合部には段差が生じておらず、その接合部は連続した円筒壁面とされている。
【００４７】
図３は、本発明の吸着ノズルの第２の実施例を示すもので、この吸着ノズル３１が第１の実施例に係る吸着ノズル１１と異なる点は、ノズル管３３の構造が異なるところである。即ち、吸着ノズル３１は、ノズル管３３の他にノズル本体１２と反射部材１４とを備えており、ノズル本体１２にはガイドピン１６が突設されている。ノズル管３３を除いて、ノズル本体１２及び反射部材１４の構成は上述した第１の実施例と同様であり、同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４８】
ノズル管３３は、一定の直径が軸方向に連続された直管部３３ａと、この直管部３３ａの一端に連続されたテーパ管部３３ｂとを有している。ノズル管３３のテーパ管部３３ｂは、その直径が直管部３３ａの直径よりも小さく形成されており、直管部３３ａの端面から先端に向って連続して縮径されている。従って、直管部３３ａとテーパ管部３３ｂとの間には段部３３ｃが設定されている。
【００４９】
このノズル管３３の中央部を軸方向へ貫通する穴は、直管部１３ａに形成されたテーパ穴３４ａと、テーパ管部３３ｂに形成されたテーパ穴３４ｂ及び直線穴３４ｃとからなる。テーパ穴３４ａの傾斜角度はテーパ穴３４ｂの傾斜角度よりも大きく設定されており、テーパ穴３４ａの小径側にテーパ穴３４ｂの大径側が連続されている。そして、テーパ穴３４ｂの小径側に直線穴３４ｃが連通され、この直線穴３４ｃの他端が吸着口１５としてテーパ管部３３ｂの先端部３３ｄに開口されている。
【００５０】
この吸着口１５を有するテーパ管部３３ｂの先端部３３ｄの外径も上述した第１の実施例と同様に、吸着対象物である電子部品の寸法に合わせて設定されており、具体的には直方体をなす電子部品の短辺の長さの１．０〜１．２倍の範囲内の値とされている。この実施例では、ノズル本体１２の軸方向穴１７ａが本体側通気路を構成し、ノズル管３３の２つのテーパ穴３４ａ，３４ｂと直線穴３４ｃとが管側通気路を構成している。外側に位置するテーパ穴３４ａの直径は軸方向穴１７ａの直径と略同一径とされており、従って、ノズル本体１２とノズル管３３との接合部の通気路内、及び管側通気路内には段差が生じておらず、連続して変化する円筒壁面とされている。
【００５１】
このような構成を有する吸着ノズル１１（又は３１）は、例えば、図５に示すように、部品実装装置４０に用いられる部品吸着装置の吸着ノズルとして使用される。この部品吸着装置は、複数個（この実施例では５個）の吸着ノズル１１（又は３１）と、これらの吸着ノズル１１（又は３１）を保持するノズルホルダ３６と、このノズルホルダ３６を介して各吸着ノズル１１（又は３１）に負圧を供給する負圧発生装置等を備えて構成されている。
【００５２】
図４に示すように、ノズルホルダ３６は、５個の吸着ノズル１１を同時に装着できる構成とされている。このノズルホルダ３６は、５個の吸着ノズル１１を保持することができる回転ドラム３７を有し、この回転ドラム３７は水平方向に回転可能に構成されている。この回転ドラム３７の下端面には、円周方向に等角度間隔に５つの軸受穴３７ａが設けられている。これら５つの軸受穴３７ａには、吸着ノズル１１のノズル本体１２がそれぞれ摺動可能に嵌合されている。５個の吸着ノズル１１ａ〜１１ｅは、それぞれ所定のストロークＳだけ軸方向へ移動可能に構成されている。このような状態において、各吸着ノズル１１ａ〜１１ｅの通気路が図示しない負圧発生装置に連通されている。この負圧発生装置で通気路内の空気を吸引することにより、通気路内を負圧にして電子部品２３を吸着口１５に吸着することができる。
【００５３】
また、吸着ノズル１１ａ〜１１ｅを軸方向へ所定ストロークＳだけ移動可能としたのは、部品のマウント時に各吸着ノズル１１ａ〜１１ｅをストロークＳだけ前進させて吸着している部品を所定位置に装着するためである。このとき、吸着ノズル１１に設けたガイドピン１６が、ノズルホルダ３６側に設けられる図示しないガイド溝にガイドされ、回転方向への動きが防止される。このガイドピン１６とガイド溝との係合により、各吸着ノズル１１ａ〜１１ｅが回動することなく軸方向へ直線的に移動される。
【００５４】
更に、回転ドラム３７の下端面の中央部には、照明光を反射する反射筒軸３８が設けられている。この反射筒軸３８は、間接照明と同様の役割をするもので、照明装置からは陰となる裏面側に反射光を照射して吸着ノズル１１の全体に照明光が当たるようにする。そのため、反射筒軸３８の表面は、例えば、鏡面加工を施す等して光を良く反射できるようにする。また、図４において符号３９は、吸着ノズル１１を保護するノズルカバーである。
【００５５】
このような部品吸着装置を有する部品実装装置４０は、図５に示すように、更に、部品供給装置を一定の軌跡上に回転移動させるロータリーヘッド４２と、実装の対象とされる電子部品２３を供給する部品供給装置４３と、吸着ノズル１１に所定の電子部品２３が吸着されているか否かを認識する部品認識装置４４と、電子部品が実装されるプリント配線基板４６を搬送する基板搬送装置４５等を備えて構成されている。
【００５６】
ロータリーヘッド４２は水平方向に回転可能とされていて、所定数のノズルホルダ３６が取り付けられている。このノズルホルダ３６は、ロータリーヘッド４２の回転位置に応じて図５及び図６に示すような位置に移動し、それぞれの位置において所要の作業、検査等が行われる。即ち、ロータリーヘッド４２の一回転を１２等分することによって１２の位置を設定し、基準位置である第１の位置には、電子部品２３を供給して吸着ノズル１１に吸着させる部品供給位置Ａが設定されている。この部品供給位置Ａには、部品供給装置４３が配設されている。
【００５７】
部品供給装置４３は、実装の対象となる複数の種類の電子部品が収納されたＺＡ軸４３ａ及びＺＢ軸４３ｂと、両軸４３ａ，４３ｂの中間部に設置された部品供給部４３ｃとを備えている。ＺＡ軸４３ａ及びＺＢ軸４３ｂに収納されている電子部品２３は、それぞれ個別に部品供給部４３ｃに搬送され、この部品供給部４３ｃから電子部品２３が部品供給位置Ａに供給される。この部品供給位置Ａにおいて、電子部品２３がノズルホルダ３６に保持されている５個の吸着ノズル１１（１番から５番まで）のうち、予め決定された所定の吸着ノズル１１（例えば１番）の先端部１３ｃに吸着される。この場合、５個の電子部品を連続して実装する場合には、５個の吸着ノズル１１ａ〜１１ｅに所定の電子部品がそれぞれ吸着される。
【００５８】
部品供給位置Ａでは、まず、部品供給部４３ｃがノズルホルダ４１の下方に入り込み、所定の電子部品２３を所定の吸着ノズル１１の下方に配置する。次に、吸着ノズル１１が所定ストロークＳ下降し、ノズル先端部１３ｃを電子部品２３の上面に接近させる。これと同時に又は前後して、負圧発生装置で空気を吸引して吸着ノズル１１内の通気路を負圧にする。これにより、負圧による吸引力が吸着口１５から電子部品２３に作用し、その電子部品２３がノズル先端部１３ｃに吸着される。
【００５９】
この場合、吸着ノズル１１内の通気路は、その中途部に段部のない軸方向穴１７ａ，直線穴１９ａ及びテーパ状に連続変化したテーパ穴１９ｂによって構成されているため、空気に対する管内抵抗を少なくして空気をスムース且つ迅速に流通させることができる。その結果、負圧発生装置の負圧を電子部品２３に対して迅速に作用させることができるため、電子部品２３が供給された状態に近い姿勢でその電子部品２３をノズル先端部１３ｃに吸着することができる。
【００６０】
吸着ノズル１１が電子部品２３を先端部１３ｃに吸着すると、ロータリーヘッド４２の回転によってノズルホルダ３６が第３の位置である厚み検査位置Ｂに移動する。この厚み検査位置Ｂでは、吸着ノズル１１に吸着されている電子部品２３の厚みが検査される。この厚み検査は、吸着されている電子部品２３が厚みの点から所定の電子部品２３と認められるか否かを検査するものである。この厚み検査において、その厚みが所定範囲内の値である場合には、以後の部品検査、部品装着作業が継続される。一方、厚み検査において、その厚みが所定範囲内にないと判断された場合には、第９の位置である不良品排出位置Ｅにおいて不良品として廃棄される。
【００６１】
次に、ロータリーヘッド４２の回転により、ノズルホルダ３６が第４の位置である部品認識位置Ｃに移動する。この部品認識位置Ｃでは、吸着ノズル１１に吸着されている電子部品２３が、その平面形状の点から所定の電子部品２３と認められるか否かを検査するものである。この部品認識位置Ｃには、部品認識装置４４が配設されている。この部品認識装置４４の構成及び作用については、後に詳細に説明する。尚、部品認識検査において、その平面寸法（縦×横）が所定範囲内にないと認識された場合には、所定の電子部品２３ではないものと判断されて第９の位置である不良品排出位置Ｅにおいて不良品として廃棄される。
【００６２】
次に、部品認識位置Ｃにおいて部品認識装置４４による認識の結果、その平面寸法（縦×横）が所定範囲内にあると認識された場合には、厚み検査における判断を加えて、吸着ノズル１１に吸着されている吸着対象物が所定の電子部品２３であるとの判断がなされる。その結果、吸着ノズル１１に吸着されている電子部品２３は、ロータリーヘッド４２の回転により第７の位置である部品装着位置Ｄに移動し、ここでプリント配線基板４６の所定位置に実装される。
【００６３】
この部品装着位置Ｄには、基板搬送装置４５が配設されている。この基板搬送装置４５は、ローディングユニット４５ａとＸ−Ｙテーブル４５ｂとアンローディングユニット４５ｃとを備えている。ローディングユニット４５ａは電子部品２３が実装されるプリント配線基板４６を供給するもので、部品実装前のプリント配線基板４６がローディングユニット４５ａからＸ−Ｙテーブル４５ｂに供給される。Ｘ−Ｙテーブル４５ｂは、供給された部品実装前のプリント配線基板４６を部品装着位置Ｄに搬送すると共に、電子部品２３が実装されたプリント配線基板４６をアンローディングユニット４５ｃに搬送する。アンローディングユニット４５ｃは、部品実装後のプリント配線基板４６を排出するものである。
【００６４】
この基板搬送装置４５のＸ−Ｙテーブル４５ｂにおいて、部品実装前のプリント配線基板４６の所定位置に電子部品２３が実装される。まず、Ｘ−Ｙテーブル４５ｂに保持されているプリント配線基板４６がノズルホルダ３６の下方に入り込み、吸着ノズル１１に吸着されている電子部品２３の下方にプリント配線基板４６の所定位置を合わせる。次に、吸着ノズル１１が所定ストロークＳ下降し、ノズル先端部１３ｃに吸着されている電子部品２３をプリント配線基板４６の所定位置に接触させる。これと略同時に、負圧発生装置で吸着ノズル１１の通気路内に空気を吹き付け、吸着ノズル１１内の負圧を解除して真空状態を切る（真空破壊）。これにより、吸着ノズル１１内の負圧による吸引力が解除され、電子部品２３がノズル先端部１３ｃから離れる。
【００６５】
この場合にも、吸着ノズル１１内の通気路が軸方向穴１７ａ，直線穴１９ａとテーパ状に連続変化したテーパ穴１９ｂとから構成されており、空気の流れを乱す段部が存在しないため、通気路内の空気流れの損失を少なくして空気をスムース且つ迅速に流通させることができる。その結果、吸着ノズル１１の先端部１３ｃから電子部品２３を迅速に離反させることができ、真空破壊の開始からノズル先端部１３ｃに電子部品２３が吸着されている時間を短くすることができる。そのため、吸着ノズル１１が後退動作を開始するまでの時間内にノズル先端部１３ｃから電子部品２３を確実に離反させて、電子部品２３をタイミング良く離すことができる。その結果、吸着ノズル１１の後退動作に伴う引張力が電子部品２３に作用しないようにすることができ、所定位置に装着された電子部品２３に装着ずれが生じるおそれをなくすことができる。
【００６６】
このような装着ずれの傾向は、吸着ノズル１１の先端部１３ｃの内径（吸着口１５の直径）が小さいほど強くなる。そのため、「０６０３チップ部品」等のように微小サイズの電子部品２３を対象とした吸着ノズルを開発する場合には、真空破壊の信頼性を確保することが重要であり、また、その信頼性の確保が困難であったが、この実施例の吸着ノズル１１（又は３１）によれば、かかる問題点を解決することができた。従って、この実施例の吸着ノズル１１（又は３１）によれば、部品装着後のノズル後退速度を速くすることができ、高速実装に対応した好適なタイミングで実装作業を行うことができる。
【００６７】
次に、部品装着位置Ｄにおいて電子部品２３を実装した後のノズルホルダ３６は、ロータリーヘッド４２の回転により第１０の位置であるノズル選択位置Ｆに移動する。このノズル選択位置Ｆでは、次の実装サイクルにおいて所定の電子部品２３を吸着するために必要とされる吸着ノズルが選択される。次に、ノズルホルダ３６は、ロータリーヘッド４２の回転により第１１の位置であるノズル原点戻し位置Ｇに移動する。このノズル原点戻し位置Ｇでは、前のノズル選択位置Ｆにおいて選択された吸着ノズル１１を原点（初期位置）に戻す作業が行われる。その後、ノズルホルダ３６が基準位置である部品供給位置Ａに戻され、これにより、次の実装作業か可能となる。
【００６８】
次に、部品認識装置４４について説明する。図８に示すように、部品認識装置４４は、吸着ノズル１１の先端部１１ｃに吸着されている電子部品２３を認識するための認識カメラ５０と、吸着ノズル１１及び電子部品２３に照明光を照射する側面照明器５１及び正面照明器５２とを備えている。認識カメラ５０は、ノズル先端部１１ｃに吸着されている電子部品２３を撮影し、その画像に写し出された電子部品２３のシルエットに基づいて電子部品２３の寸法（縦×横）を測定する。この認識カメラ５０で認識された電子部品２３の検出寸法に基づき部品の適否を判断し、その寸法の検出値が予め設定された所定範囲内の値であるときには、その電子部品２３は実装対象である所定の部品であると認識される。
【００６９】
この認識カメラ５０としては、例えば、ビデオカメラ、カメラ一体型ビデオテープレコーダ、電子スチルカメラその他の撮像装置を適用することができる。この認識カメラ５０は、図９及び図１１に示すように、そのレンズ部５０ａを下方へ向けた状態でノズルホルダ３６の側方へ位置するように配設される。この認識カメラ５０の側方には側面照明器５１が配設され、また、下方には正面照明器５２が配設されている。
【００７０】
図８に示すように、側面照明器５１は、認識カメラ５０のカメラ本体を挟むように左右両側部に取り付けられた一対の発光部５３ａ，５３ｂと、これら発光部５３ａ，５３ｂから放射された光を反射させて吸着ノズル１１及び電子部品２３に側方から光を集中的に照射する一対の反射ミラー５４ａ，５４ｂとを備えている。この側面照明器５１の発光部５３ａ，５３ｂとしては、例えば、ハロゲンランプ、蛍光灯ランプ等の各種の発光ランプを使用できることは勿論のこと、例えば、別個に設けた光源に光ファイバの一端を臨ませて他端から光を放射させるようにした光ファイバを使用した照明手段等を適用することもできる。
【００７１】
図１０に示すように、側面照明器５１の一対の反射ミラー５４ａ，５４ｂは、ある程度の大きさを有する平らな反射面を備え、これらの反射面で発光部５３ａ，５３ｂから放射された光の進行方向をそれぞれ内側に屈折させる。これにより、吸着ノズル１１及び電子部品２３の一側面に両側方から光を照射させ、その一側面に満遍なく照明光が当たるようにしている。
【００７２】
図８に示すように、正面照明器５２は、認識カメラ５０の下方に配置される屈折ボックス５５と、この屈折ボックス５５の内面に取り付けられた一対の屈折ミラー５６ａ，５６ｂと、屈折ボックス５５の外面に取り付けられた取付枠５７と、この取付枠５７に取り付けられた多数の発光素子（例えば、発光ダイオード：ＬＥＤ）５８等を備えている。屈折ボックス５５はプリズム状に形成された筐体からなり、上側を広くして互いに外向きに４５°傾斜させた斜面部の内面には、屈折面を互いに４５°傾斜させて対向させた一対の屈折ミラー５６ａ，５６ｂが取り付けられている。
【００７３】
更に、屈折ボックス５５の斜面部に隣合う二平面のうち上側に位置する上面部には、一対の屈折ミラー５６ａ，５６ｂに対応させて開口窓５９ａ，５９ｂが設けられている。第１の開口窓５９ａには認識カメラ５０のレンズ部５０ａが進退可能に挿入され、第２の開口窓５９ｂの外側には取付枠５７が固定されている。取付枠５７は四角形をなす枠体からなり、その四辺は内側に傾斜された斜面部とされている。この取付枠５７の４箇所の斜面部には、それぞれ多数の発光素子５８が取り付けられている。これら発光素子５８の全体で、図１１に示すように、吸着ノズル１１及びこれに吸着された電子部品２３に下方から照明光を当てて電子部品２３の正面から照明するようにしている。
【００７４】
このような構成を有する部品認識装置４４は、例えば、図９〜図１１に示すようにして使用することができる。図９及び図１０は、部品認識装置４４の第１の使用例を示すもので、この第１の使用例は、照明手段として側面照明器５１のみを使用するものである。この第１の使用例では、図から明らかなように、ノズルホルダ３６の回転ドラム３７には円筒状の反射筒軸３８が取り付けられている。吸着ノズル１１の側方に配置した側面照明器５１から放射された照明光は、吸着ノズル１１及びこれに吸着された電子部品２３の一面側にのみ照射され、反対側の面は陰となる。
【００７５】
ところが、吸着ノズル１１の後方に反射筒軸３８が存在するため、この反射筒軸３８の反射面によって照明光が反射され、この反射光が吸着ノズル１１及び電子部品２３の陰となった部分を照射する。この反射筒軸３８による間接照明が加えられることにより、吸着ノズル１１及び電子部品２３の全体に照明が満遍なく当てられる。
【００７６】
このような照明状態において、部品認識装置４４の認識カメラ５０で電子部品２３等を正面から見ると、電子部品２３等の像が第２の屈折ミラー５６ｂで９０°屈折されて横方向に進行方向が曲げられ、更に、第１の屈折ミラー５６ａで９０°屈折されて上方向に進行方向が曲げられる。そして、レンズ部５０ａから認識カメラ５０内に入り込み、図７に示すような画像として認識される。
【００７７】
図１１は、部品認識装置４４の第２の使用例を示すもので、この第２の使用例は、照明手段として側面照明器５１に加えて正面照明器５２を同時に使用したものである。この第２の使用例では、図から明らかなように、反射筒軸３８は不要であるためノズルホルダ３６の回転ドラム３７には反射筒軸が設けられていない。この場合にも、吸着ノズル１１の側方に配置した側面照明器５１から放射された照明光は、吸着ノズル１１及びこれに吸着された電子部品２３の一面側にのみ照射され、反対側の面は陰となる。
【００７８】
これと同時に、吸着ノズル１１の下方に配置した正面照明器５２が吸着ノズル１１及びこれに吸着された電子部品２３を正面側から照射する。これにより、吸着ノズル１１の側面照明器５１による照明側と反対側の陰となった部分が、正面照明器５２による照明光によって照らされる。その結果、側面照明器５１及び正面照明器５２によって吸着ノズル１１及び電子部品２３の全体に照明が満遍なく当てられる。そこで、認識カメラ５０で正面側から電子部品２３等を撮影することにより、その電子部品２３を図７に示すような画像として認識することができる。
【００７９】
以上説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、例えば、第１の実施例では、吸着ノズル１１のノズル管１３に設けた管側通気路を、直線穴１９ａとテーパ穴１９ｂとの組み合せによって構成したが、テーパ穴のみで形成して一端から他端までを一定の角度で縮径させる構成とすることもできる。このように、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更できるものである。
【００８０】
【発明の効果】
以上説明したように、本出願の吸着ノズルによれば、ノズル管は直線穴が設けられた直管部とテーパ穴が設けられたテーパ管部とを有し、ノズル本体は直管部を圧着支持する嵌合軸部を有し、その嵌合軸部の直管部が圧入される嵌合穴を、ノズル管に偏心誤差が生じない深さに設定し、ノズル管とノズル本体との接続部において段差をなくし、管側通気路と本体側通気路とを連続させて連通する構成としたため、通気路内における空気の流れの損失を少なくして空気をスムースに流通させることができ、吸着対象物の吸着及びその解除を迅速に行うことができると共に、接続部にゴミや埃が付着し難い吸着ノズルを提供することができるという効果が得られる。
【００８１】
本出願の吸着ノズルによれば、ノズル管はテーパ穴が設けられた直管部とテーパ穴が設けられたテーパ管部とを有し、ノズル本体は直管部を圧着支持する嵌合軸部を有し、その嵌合軸部の直管部が圧入される嵌合穴を、ノズル管に偏心誤差が生じない深さに設定し、ノズル管とノズル本体との接続部において段差をなくし、管側通気路と本体側通気路とを連続させて連通する構成としたため、通気路内における空気の流れの損失を少なくして空気をスムースに流通させることができ、吸着対象物の吸着及びその解除を迅速に行うことができると共に、接続部にゴミや埃が付着し難い吸着ノズルを提供することができるという効果が得られる。
【００８２】
本出願の吸着ノズルによれば、ノズル本体に反射部材を設けル構成としたため、照射された光を反射してノズル管の先端部を照らし、ノズル先端部に吸着された電子部品を明るく照らすことができる。
【００８４】
本発明の部品吸着装置によれば、ノズル管とノズル本体からなる吸着ノズルと負圧発生装置とを備えた部品吸着装置において、ノズル管は直線穴が設けられた直管部とテーパ穴が設けられたテーパ管部とを有し、ノズル本体は直管部を圧着支持する嵌合軸部を有し、その嵌合軸部の直管部が圧入される嵌合穴を、ノズル管に偏心誤差が生じない深さに設定し、ノズル管とノズル本体との接続部において段差をなくし、管側通気路と本体側通気路とを連続させて連通する構成としたため、吸着ノズルの通気路内における空気の流れの損失を少なくして空気をスムースに流通させることができ、吸着対象物の吸着及びその解除を迅速に行うことができて所定位置に高い精度で装着できると共に、実装作業の信頼性の向上を図ることができる部品吸着装置を提供することができるという効果が得られる。
【００８５】
本発明の部品吸着装置によれば、ノズル管とノズル本体からなる吸着ノズルと負圧発生装置とを備えた部品吸着装置において、ノズル管はテーパ穴が設けられた直管部とテーパ穴が設けられたテーパ管部とを有し、ノズル本体は直管部を圧着支持する嵌合軸部を有し、その嵌合軸部の直管部が圧入される嵌合穴を、ノズル管に偏心誤差が生じない深さに設定し、ノズル管とノズル本体との接続部において段差をなくし、管側通気路と本体側通気路とを連続させて連通する構成としたため、吸着ノズルの通気路内における空気の流れの損失を少なくして空気をスムースに流通させることができ、吸着対象物の吸着及びその解除を迅速に行うことができて所定位置に高い精度で装着できると共に、実装作業の信頼性の向上を図ることができる部品吸着装置を提供することができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る吸着ノズルの第１の実施例を示す分解斜視図である。
【図２】図１に示す吸着ノズルの中央部を断面した斜視図である。
【図３】本発明に係る吸着ノズルの第２の実施例を示す縦断面図である。
【図４】本発明の部品吸着装置に係るノズルホルダの一実施例を示すもので、複数の吸着ノズルを取り付けた状態を斜め下方から見た斜視図である。
【図５】本発明に係る部品吸着装置を使用した部品実装装置の一実施例の概略構成を示す説明図である。
【図６】図５に示す部品実装装置の要部を拡大して示す説明図である。
【図７】図６に示す部品認識装置による吸着対象物の認識状態を示す説明図である。
【図８】図５に示す部品実装装置に使用される部品認識装置の一実施例を示す斜視図である。
【図９】図８に示す部品認識装置の第１の使用例を正面側から見た説明図である。
【図１０】図８に示す部品認識装置の第１の使用例を平面側から見た説明図である。
【図１１】図８に示す部品認識装置の第２の使用例を正面側から見た説明図である。
【図１２】従来の吸着ノズルを示す縦断面図である。
【符号の説明】
１１，３１  吸着ノズル、  １２  ノズル本体、  １３，３３  ノズル管、  １３ａ，３３ａ  直管部、  １３ｂ，３３ｂ  テーパ管部、  １３ｃ，３３ｄ  先端部、  １４  反射部材、  １５  吸着口、  １７ａ  軸方向穴（本体側通気路）、  １７ｂ  嵌合穴、  １８  ローレット部、  １９ａ，３４ｃ  直線穴（管側通気路）、  １９ｂ，３４ａ，３４ｂ  テーパ穴（管側通気路）、  ２３  電子部品（吸着対象物）、  ３６  ノズルホルダ、  ３７  回転ドラム、  ３８  反射筒軸、  ４０  部品実装装置、  ４２  ロータリーヘッド、  ４３  部品供給装置、  ４４  部品認識装置、  ４５  基板搬送装置、  ４６  プリント配線基板、  ５０  認識カメラ、  ５１  側面照明器、  ５２  正面照明器
【図１】
0004099562.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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