(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部および下部が開口したシリンダーケースの内部にコアが配置され、上記シリンダーケースと上記コアとの間に、この両者の上下方向の相対移動を妨げることのない小シール部材が介設され、上記コアと上記シリンダーケースとの間に、この両者の上下方向の相対移動を妨げることのない、かつ上記小シール部材よりも大きい有効受圧面積を有する大シール部材が介設され、上記小シール部材と上記大シール部材との間に単一の小空間が形成され、上記小空間に加圧流体を供給し、この小空間内の流体を排出させる流体流路が接続された流体アクチュエータと、
上下方向に伸縮可能に形成された振動アクチュエータと、
少なくとも上下方向に弾性を有する弾性部材と
を上下方向に結合して形成したことを特徴とするハイブリッドアクチュエータ。
【請求項２】
上部および下部が開口したシリンダーケースの内部にコアが配置され、上記シリンダーケースと上記コアとの間に、この両者の上下方向の相対移動を妨げることのない小シール部材が介設され、上記コアと上記シリンダーケースとの間に、この両者の上下方向の相対移動を妨げることのない、かつ上記小シール部材よりも大きい有効受圧面積を有する大シール部材が介設され、上記小シール部材と大シール部材とが交互に並び、上記小シール部材と上記大シール部材との間に上下に隣接する少なくとも三つの小空間が形成され、互いに連通させた下から奇数段の上記小空間に加圧流体を供給し、この小空間内の流体を排出させる流体流路が接続され、下から偶数段の上記小空間が大気に連通するように形成された流体アクチュエータと、
上下方向に伸縮可能に形成された振動アクチュエータと、
少なくとも上下方向に弾性を有する弾性部材と
を上下方向に結合して形成したことを特徴とするハイブリッドアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば高精度測定機器、半導体製造装置の除振に好適なハイブリッドアクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、空気ばね、エアシリンダ、油圧シリンダ等の流体アクチュエータは周知である。これらの流体アクチュエータの場合、内圧と有効受圧面積で決定される支持荷重、或いは作動力を有する一方、供給される流体の圧力に制限がある。このため、この流体アクチュエータを高負荷に適用できるようにすれば、上記有効受圧面積を大きくするしかない。
例えば、特公平第７−７６５７６号公報、特開平第３−２１９１４１号公報に振動を抑制するために空気ばねを用いた装置が開示されている。これらの空気ばねによる力を増大させるには空気ばねの数を増大させる必要がある。
【０００３】
また、精密機器の微振動制御においては、アクティブ制御が盛んに利用されるようになってきており、このアクティブ制御に圧電素子や超磁歪素子などの固体素子やボイスコイルモータ（ＶＣＭ）のようなリニアーモータを用いた研究や開発も既に多く行われている。そして、負荷に対して十分な支持力を発生しないこれらの固体素子およびリニアーモータ（以下、固体素子等という）を振動制御用アクチュエータとして用いる場合、上記固体素子等に対して弾性材を並列に用いることが一般に行われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
精密加工の分野では、クリーンな環境の維持コストの上昇を低減させるために、精密加工に悪影響を及ぼすことなく設備の集約度を高めることが求められている。一方、機器の大型化、高速化の要求があり、機器に対する単位面積当りの支持能力および制御力の向上が益々必要となっている。即ち、如何にして、小さなスペースで大きな制御力を発生させ、周波数の広い範囲で振動制御能力を向上させるかが重要な課題になっている。
【０００５】
特に、負荷に対して十分な支持力を発生しない固体素子等を用いたアクティブ制御装置の場合、このアクティブ制御装置にその支持装置が付帯するため、二重のスペースを必要とするという問題がある。
一般に、各種の機械および機器の占有スペースは縮小し、それらの構成部品の密度は高くなる傾向にある。このため、流体アクチュエータの数を増やして有効受圧面積を増大させることができないという問題がある。
上記制御用アクチュエータの場合、大きな外力が作用すると弾性材の劣化が早まり、弾性をなくしてゆき易いという問題がある。また、固体素子はアクチュエータとしてのストロークが小さく、大きな振幅外乱が作用すると追従できず、制御が行えないという問題があった。
【０００６】
本発明は、斯る従来の問題をなくすことを課題としてなされたもので、小さいスペースで高負荷に適用することを可能とし、上述した固体素子等の欠点を補い、さらに高度な振動制御を可能とするハイブリッドアクチュエータを提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、第１発明は、上部および下部が開口したシリンダーケースの内部にコアが配置され、上記シリンダーケースと上記コアとの間に、この両者の上下方向の相対移動を妨げることのない小シール部材が介設され、上記コアと上記シリンダーケースとの間に、この両者の上下方向の相対移動を妨げることのない、かつ上記小シール部材よりも大きい有効受圧面積を有する大シール部材が介設され、上記小シール部材と上記大シール部材との間に単一の小空間が形成され、上記小空間に加圧流体を供給し、この小空間内の流体を排出させる流体流路が接続された流体アクチュエータと、上下方向に伸縮可能に形成された振動アクチュエータと、少なくとも上下方向に弾性を有する弾性部材とを上下方向に結合して形成した。
【０００８】
また、第２発明は、上部および下部が開口したシリンダーケースの内部にコアが配置され、上記シリンダーケースと上記コアとの間に、この両者の上下方向の相対移動を妨げることのない小シール部材が介設され、上記コアと上記シリンダーケースとの間に、この両者の上下方向の相対移動を妨げることのない、かつ上記小シール部材よりも大きい有効受圧面積を有する大シール部材が介設され、上記小シール部材と大シール部材とが交互に並び、上記小シール部材と上記大シール部材との間に上下に隣接する少なくとも三つの小空間が形成され、互いに連通させた下から奇数段の上記小空間に加圧流体を供給し、この小空間内の流体を排出させる流体流路が接続され、下から偶数段の上記小空間が大気に連通するように形成された流体アクチュエータと、上下方向に伸縮可能に形成された振動アクチュエータと、少なくとも上下方向に弾性を有する弾性部材とを上下方向に結合して形成した。
【００１０】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
図１は、第１発明の第１実施形態に係るハイブリッドアクチュエータ１Ａを示し、このハイブリッドアクチュエータ１Ａは大略、流体アクチュエータ１１、振動アクチュエータ１２およびこの両者の間に介設された弾性部材１３とから形成されている。
流体アクチュエータ１１は、上部および下部が開口し、支持部Ｘ上に配置されたシリンダーケース２１およびこの内部に配置されたコア２２を有している。このコア２２は中空体であってもよい。
【００１１】
シリンダーケース２１の内周部には単一の環状突部２３が横方向に張出しており、コア２２の外周部には単一のディスク２４が横方向に張出している。環状突部２３とコア２２との間には、この両者の上下方向の相対移動を妨げることなく小シール部材２５が介設され、ディスク２４とシリンダーケース２１の内周部との間には大シール部材２６が介設されている。
【００１２】
そして、小シール部材２５と大シール部材２６との間に小空間２７が形成され、この小空間２７の大シール部材２６の有効受圧面積が小シール部材２５の有効受圧面積よりも大きくなるように形成されている。また、シリンダーケース２１には、制御弁２８が介設された流体流路２９が接続されており、これにより小空間２７に加圧流体を供給し、この小空間２７内の流体を排出させるようになっている。
小シール部材２５、大シール部材２６は、例えば環状の薄板からなるダイヤフラム或はＯリングで、その内側および外側の両係合部の上下方向の相対移動を妨げることなく上下の空間部を仕切る部材であればよい。なお、このＯリングを用いる場合は、Ｏリングの内周側と外周側の内の一方はこれと係合する部材に形成された溝内に嵌挿され、他方の側はこれと係合する部材の表面上を摺動できるように配置される。
【００１３】
振動アクチュエータ１２は、印加される電圧により歪が生じる圧電素子、或は磁界の作用を受けて歪が生じる超磁歪素子等の固体素子を内蔵した固体素子アクチュエータの他に、ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）のようなリニアモータを含み、上下方向に歪が生じるように配置されている。また、この振動アクチュエータ１２は、横方向の剪断力に対しては極めて剛性が小さく、その上下の面に係合する両部材間の横方向に微小な相対移動を妨げない特性を有している。
弾性部材１３は、例えばエラストマやゴム、或はばね等からなり、上下方向における撓み量に比例した反力を生じ、一種類の材料から形成してもよく、複数の材料の組合せでもよい。また、複数の材料を用いる場合は、これらを積層して弾性部材１３を形成してもよい。
【００１４】
流体アクチュエータ１１のコア２２の上部には被駆動体Ｏが配置されており、この被駆動体Ｏには、その振動状態を検出する振動センサ３１が取付けられている。この振動センサ３１による振動状態を示す検出信号はバルブコントローラ３２に入力され、このバルブコントローラ３２から制御弁２８を作動させるバルブドライバ３３に制御信号が出力される。
制御弁２８は、図示しない加圧流体供給源に連通する給気ポート、小空間２７に連通する制御ポートおよび大気に連通する排気ポートを有する三方切換弁の一種で、上記加圧流体供給源から小空間２７に導かれる加圧流体、例えば給気の流量と小空間２７から排出される流体、例えば排気の流量を調節する。
【００１５】
そして、制御弁２８が上記給気の流量を最大にする第一の状態にある場合は、加圧流体源から小空間２７に導かれた加圧流体の圧力によりディスク２４は環状突部２３から離れる方向に作動する。一方、制御弁２８が上記排気の流量を最大にする第二の状態にある場合は、小空間２７内の流体が流出してゆく結果、上述した圧力の作用はなくなり、ディスク２４は第一の状態の場合とは逆方向に作動する。
なお、制御弁２８を介して流体アクチュエータ１１の制御に用いられる流体には、空気、窒素、二酸化炭素やヘリウム等の気体の他に、油がある。
【００１６】
また、シリンダーケース２１、環状突部２３およびディスク２４は小空間２７内に加圧流体が導かれた際に、ディスク２４が環状突部２３から離れる方向に作動するのに十分な剛性を有する部材からなっている。
上述した振動センサ３１からの検出信号はまた、アクチュエータコントローラ３４にも入力され、ここからアクチュエータドライバ３５に制御信号が送られ、このアクチュエータドライバ３５により振動アクチュエータ１２が上下方向に伸縮するように作動させられる。流体アクチュエータ１１の作動に加えて振動アクチュエータ１２の上下方向の伸縮により被駆動体Ｏに上向き或は下向きの力が作用する。
【００１７】
このハイブリッドアクチュエータ１Ａは、圧電素子等からなる振動アクチュエータ１２をパッシブな特性を有する弾性部材１３と直列に用いる技術を改良したものであって、振動アクチュエータ１２、例えば駆動電圧に比例した変位を発生する固体素子アクチュエータと弾性部材１３とを直列に配置し、固体素子アクチュエータと弾性部材１３とを相互に作用させることにより、固体素子アクチュエータに印加する操作電圧の周波数が変化しても、電圧が一定であれば一定の力を生じる力発生要素として用いることができる。即ち、固体素子アクチュエータが変形し、この変形量に応じて弾性部材１３に駆動力を生じさせる。原理的には弾性部材のばね定数が大きい方が大きな力を発生できることになる。しかし、このハイブリッドアクチュエータ１Ａを除振機構に用いることを考えると高い周波数においてパッシブな除振性能が得られる方が有利である。このときの除振性能は弾性部材１３が柔らかい方が大きくなる。よって弾性部材の選択は発生力とパッシブの除振性能との兼ね合いとなる。このハイブリッドアクチュエータ１Ａは柔らかい支持機構を与えるのに有利であり、支持荷重の変動に対しても流体アクチュエータ１１における流体圧の操作で簡単に対応することができる。
【００１８】
また、振動アクチュエータ１２は当然、位置制御か振動制御に用いられることを前提にしている。この場合、ハイブリッドアクチュエータ１Ａの剪断方向にも制御力が作用されると考えられるが、このハイブリッドアクチュエータ１Ａに上述したように剪断方向の動きを許容するように構成することは、公知の方法で可能であり、これにより他の軸方向における力の干渉を避けるようにすることができる。
【００１９】
図２は、第１発明の第２実施形態に係るハイブリッドアクチュエータ１Ｂを示し、上述したハイブリッドアクチュエータと共通する部分については、互いに同一番号を付して説明を省略する。
このハイブリッドアクチュエータ１Ｂでは、流体アクチュエータ１１のコア２２に代えてシリンダーケース２１に弾性部材１３および振動アクチュエータ１２が直列に結合され、コア２２に代えてシリンダーケース２１の上端面が被駆動体Ｏに当接させられている。また、振動アクチュエータ１２とコア２２の双方が支持部Ｘ上に配置されている。この場合、弾性部材１３および振動アクチュエータ１２は環状とするのが好ましいが、この形状に限定されるものではない。
【００２０】
図３は、第１発明の第３実施形態に係るハイブリッドアクチュエータ１Ｃを示し、上述したハイブリッドアクチュエータと共通する部分については、互いに同一番号を付して説明を省略する。
このハイブリッドアクチュエータ１Ｃでは、図１に示すハイブリッドアクチュエータ１Ａにおける弾性部材１３が、振動アクチュエータ１２と被駆動体Ｏとの間にも介設されている。この弾性部材１３は、流体アクチュエータ１１および振動アクチュエータ１２と直列に配設されている限り、その数は何等限定されるものではない。
【００２１】
図４は、第２発明に係るハイブリッドアクチュエータ２を示し、上述したハイブリッドアクチュエータと共通する部分については、互いに同一番号を付して説明を省略する。
このハイブリッドアクチュエータ２では、シリンダーケース２１の内周部に横方向に張出した複数、例えば二つの環状突部２３が設けられるとともに、コア２２の外周部に横方向に張出した二つ、即ち環状突部２３と同数のディスク２４が設けられている。上記同様、環状突部２３とコア２２との間には、小シール部材２５が介設され、ディスク２４とシリンダーケース２１との間には、大シール部材２６が介設されている。そして、コア２２に形成された貫通孔４１により互いに連通させた下から奇数段の小空間２７、例えば第１段の小空間２７に流体流路２９が接続されている。また、この奇数段の小空間２７の間に位置する小空間２７はシリンダーケース２１の側壁部に形成された貫通孔４２により大気に連通している。
【００２２】
なお、第２発明は、小空間２７の数を限定するものではなく、図４に示すハイブリッドアクチュエータ２の小空間２７よりも多くの小空間２７を設けてもよい。この場合、下から奇数段の小空間２７を互いに連通させ、これらの小空間２７のいずれかの位置に流体流路２９を接続するとともに、下から偶数段の小空間２７を大気に連通させればよい。
そして、このように小空間２７の数を増すことにより、流体アクチュエータ１１は高負荷に耐え得るようになる。
【００２３】
図５は、第３発明の第１実施形態に係るハイブリッドアクチュエータ３Ａを示し、上述したハイブリッドアクチュエータと共通する部分については、互いに同一番号を付して説明を省略する。
このハイブリッドアクチュエータ３Ａでは、シリンダーケース２１の内周部に横方向に張出した複数、例えば二つの環状突部２３が設けられるとともに、コア２２の外周部に横方向に張出した単一のディスク２４が設けられている。上記同様、環状突部２３とコア２２との間には、小シール部材２５が介設され、ディスク２４とシリンダーケース２１との間には、大シール部材２６が介設されている。そして、小シール部材２５の両側に形成された各小空間２７は、それぞれ別個に設けられた流体流路２９Ａ，２９Ｂのそれぞれに連通している。流体流路２９Ａ，２９Ｂの各々には制御弁２８が設けられており、バルブコントローラ３２により制御されるバルブドライバ３３により別個に作動させられるようになっている。また、上記同様に、小シール部材２５と大シール部材２６との間に形成された小空間２７の大シール部材２６の有効受圧面積が小シール部材２５の有効受圧面積よりも大きくなるように形成されている。
なお、図中、二つの※印は互いに連通していることを表している。
【００２４】
図６は、第３発明の第２実施形態に係るハイブリッドアクチュエータ３Ｂを示し、上述したハイブリッドアクチュエータと共通する部分については、互いに同一番号を付して説明を省略する。
このハイブリッドアクチュエータ３Ｂでは、シリンダーケース２１の内周部に横方向に張出した複数、例えば二つの環状突部２３が設けられるとともに、コア２２の外周部に横方向に張出した複数、例えば二つのディスク２４が設けられている。上記同様、環状突部２３とコア２２との間には、小シール部材２５が介設され、環状ディスク２４とシリンダーケース２１との間には、大シール部材２６が介設されている。そして、小シール部材２５と大シール部材２６との間に小空間２７が形成されている。また、下から奇数段の小空間２７はコア２２に形成された貫通孔４１Ａにより互いに連通し、下から偶数段の小空間２７はシリンダーケース１２に形成された貫通孔４１Ｂにより互いに連通している。さらに、この奇数段の小空間２７に連通する第１流体流路２９Ａが接続され、偶数段の小空間２７に連通する第２流体流路２９Ｂが接続されている。
【００２５】
図５および図６に示すハイブリッドアクチュエータ３Ａ，３Ｂについてさらに詳述すれば、流体流路２９Ａおよび流体流路２９Ｂから供給される流体の圧力には静的圧力成分と動的圧力成分とが含まれている。流体流路２９Ａと流体流路２９Ｂの動的圧力成分が逆位相の場合、流体流路２９Ａの流体の圧力に基づく力と流体流路２９Ｂの流体の圧力に基づく力とが加算され、加算された力がコア２２に作用する。これに対して、流体流路２９Ａと流体流路２９Ｂの動的圧力成分が同位相の場合、流体流路２９Ａの流体の圧力に基づく力と流体流路２９Ｂの流体の圧力に基づく力とが打消し合い、両者の差として残る力がコア２２に作用する。したがって、流体流路２９Ａと流体流路２９Ｂを用いた流体アクチュエータ１１では、コア２２を流体流路２９Ａと流体流路２９Ｂのそれぞれの圧力に基づく力がバランスした位置に保つことができるのに加えて、流体流路２９Ａと流体流路２９Ｂのそれぞれの静的圧力成分に基づく力を互いに打消させ、それぞれの動的圧力成分のみを被駆動体Ｏに作用させることができる。
なお、この流体アクチュエータ１１についても必要な設置面積は一個の小空間２７に対応する上述した単一の流体アクチュエータに要する設置面積と変わらない。
【００２６】
図１に示すハイブリッドアクチュエータ１Ａと同様に、上述した各実施形態のいずれにおいても、小空間２７の大シール部材２６の有効受圧面積が小シール部材２５の有効受圧面積よりも大きくなるように形成されている。
ところで、図１〜６に示す各実施形態では、下から第１段の小空間２７が上方の大シール部材２６と下方の小シール部材２５との間に形成された構造を有する流体アクチュエータ１１を示したが、流体アクチュエータ１１は下から第１段の小空間２７を形成する大シール部材２６が下方に位置し、小シール部材２５が上方に位置する構造を有してもよい。即ち、環状突部２３とディスク２４との上下関係は図示する実施形態とは逆であってもよい。
【００２７】
また、第２，第３発明において下から奇数段の小空間２７のそれぞれ、或は偶数段の小空間２７のそれぞれを連通させる手段は、コア２２に形成された貫通孔或は溝、シリンダーケース２１に形成された貫通孔或は溝のいずれでもよく、或は配管により小空間２７の各々を連通させてもよく、これらを適宜組合せて小空間２７の各々を連通させてもよい。
さらに、第３発明における流体アクチュエータ１１では、小空間２７の数を限定するものではなく、第１流体流路２９Ａに直接的或は間接的に連通する小空間２７の数と、第２流体流路２９Ｂに直接的或は間接的に連通する小空間２７の数とを図示する実施形態のように必ずしも同一にする必要はない。
【００２８】
この他、以下に列挙するように、第１発明に関する図２，３に示す構成は、即ち図１とは異なる構成は、第２，第３発明にも適用される。
（１） シリンダーケース２１とコア２２のいずれか一方を被駆動体Ｏに当接させればよい。
（２） シリンダーケース２１とコア２２の内の少なくとも一方が支持部Ｘにより保持されていればよい。
（３） 流体アクチュエータ１１、振動１２および弾性部材１３は上下方向に結合されていればよく、それらの結合順序は何等限定されるものではない。
（４） 弾性部材１３は一つである必要はなく、複数の弾性部材１３が設けられてもよい。
（５） コア２２に振動アクチュエータ１２および弾性部材１３を上下方向に結合してもよく、シリンダーケース２１に振動アクチュエータ１２および弾性部材１３を上下方向に結合してもよい。
（６） 上述した各実施形態では振動センサ３１からバルブコントローラ３２およびアクチュエータコントローラ３４に信号を入力しているが、制御弁２８を作動させるための制御系と振動アクチュエータ１２を作動させるための制御系を分離してもよい。例えば、振動センサ３１からアクチュエータコントローラ３４にのみ信号を入力し、振動センサ３１とは別個に被駆動体Ｏの振動状態を検出するセンサを設けて、これによる検出信号をバルブコントローラ３２に入力するようにしてもよい。
【００２９】
この他、本明細書において、上下方向は、各ハイブリッドアクチュエータの構成を明確にするために定められてものであって、各ハイブリッドアクチュエータの配置方向とは無関係である。即ち、図示する各ハイブリッドアクチュエータは、横方向に配置されることもあり、上下逆にして配置されることもある。したがって、図示する支持部Ｘは各ハイブリッドアクチュエータの下方に位置する場合、側方に位置する場合、上方に位置する場合があり、上述したハイブリッドアクチュエータを傾斜させて使用することもできる。
なお、図３に示すハイブリッドアクチュエータ１Ｃを図示する状態とは上下を逆にして用いる場合には、即ち支持部Ｘが上方に位置し、この支持部Ｘに流体アクチュエータ１１および振動アクチュエータ１２が吊持された状態で用いる場合には、コア２２に上向きの力を作用させるために、大シール部材２６が上方に位置し、小シール部材２５が下方に位置するようにディスク２４および環条突部２３は形成されねばならない。
【００３０】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、第１発明によれば、上部および下部が開口したシリンダーケースの内部にコアが配置され、上記シリンダーケースと上記コアとの間に、この両者の上下方向の相対移動を妨げることのない小シール部材が介設され、上記コアと上記シリンダーケースとの間に、この両者の上下方向の相対移動を妨げることのない、かつ上記小シール部材よりも大きい有効受圧面積を有する大シール部材が介設され、上記小シール部材と上記大シール部材との間に単一の小空間が形成され、上記小空間に加圧流体を供給し、この小空間内の流体を排出させる流体流路が接続された流体アクチュエータと、上下方向に伸縮可能に形成された振動アクチュエータと、少なくとも上下方向に弾性を有する弾性部材とを上下方向に結合して形成してある。
【００３１】
また、第２発明によれば、上部および下部が開口したシリンダーケースの内部にコアが配置され、上記シリンダーケースと上記コアとの間に、この両者の上下方向の相対移動を妨げることのない小シール部材が介設され、上記コアと上記シリンダーケースとの間に、この両者の上下方向の相対移動を妨げることのない、かつ上記小シール部材よりも大きい有効受圧面積を有する大シール部材が介設され、上記小シール部材と大シール部材とが交互に並び、上記小シール部材と上記大シール部材との間に上下に隣接する少なくとも三つの小空間が形成され、互いに連通させた下から奇数段の上記小空間に加圧流体を供給し、この小空間内の流体を排出させる流体流路が接続され、下から偶数段の上記小空間が大気に連通するように形成された流体アクチュエータと、上下方向に伸縮可能に形成された振動アクチュエータと、少なくとも上下方向に弾性を有する弾性部材とを上下方向に結合して形成してある。
【００３２】
このため、小さいスペースで高負荷に適用することが可能となり、全体として大きなストロークが得られ、大きな振幅外乱が作用しても、これに追従して駆動体を駆動することができ、長期間にわたり安定して性能を維持し、固体素子等の振動アクチュエータの欠点を補い，高度な振動制御が可能になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 第１発明の第１実施形態に係るハイブリッドアクチュエータの全体構成を示す図である。
【図２】 第１発明の第２実施形態に係るハイブリッドアクチュエータの全体構成を示す図である。
【図３】 第１発明の第３実施形態に係るハイブリッドアクチュエータの全体構成を示す図である。
【図４】 第２発明に係るハイブリッドアクチュエータの全体構成を示す図である。
【図５】 第３発明の第１実施形態に係るハイブリッドアクチュエータの全体構成を示す図である。
【図６】 第３発明の第２実施形態に係るハイブリッドアクチュエータの全体構成を示す図である。
【符号の説明】
１Ａ〜１Ｃ，２，３Ａ，３Ｂ  ハイブリッドアクチュエータ
１１  流体アクチュエータ      １２  振動アクチュエータ
１３  弾性部材                ２１  シリンダーケース
２２  コア                    ２３  環状突部
２４  ディスク                ２５  小シール部材
２６  大シール部材            ２７  小空間
２８  制御弁                  ２９，２９Ａ，２９Ｂ  流体流路
３１  振動センサ              ３２  バルブコントローラ
３３  バルブドライバ          ３４  アクチュエータコントローラ
３５  アクチュエータドライバ  ４１，４２，４２Ａ，４２Ｂ  貫通孔
Ｏ  被駆動体                  Ｘ  支持部
【図１】
0004198853.tif 000002
【図２】
0004198853.tif 000003
【図３】
0004198853.tif 000004
【図４】
0004198853.tif 000005
【図５】
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【図６】
0004198853.tif 000007