(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明又は半透明の第１部材と、該第１部材の内部又は外部に設けられた不透明な第２部材とを備えた検査対象物に対し、所定の光を照射可能な照射手段と、
前記照射手段にて光の照射された検査対象物を前記照射手段の反対側から撮像するための撮像手段と、
前記撮像手段にて撮像された画像データに基づき、所定の演算処理を実行可能な画像処理手段と
を備え、第１部材に対する第２部材の配置が適切であるか否かを検査するための検査装置であって、
前記照射手段は、略平行光を照射する第１照射と、多方向から光を照射する第２照射との間で照射パターンを切換可能となっていることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
透明又は半透明の第１部材と、該第１部材の内部又は外部に設けられた不透明な第２部材とを備えた検査対象物に関し、第１部材に対する第２部材の配置が適切であるか否かを検査するための検査装置であって、
前記検査対象物に対し略平行光を照射する第１照射と、多方向から光を照射する第２照射とを行いうる照射手段と、
前記照射手段とは反対側に配置され、前記照射手段にて第１照射の行われた前記検査対象物を撮像し、第２照射の行われた前記検査対象物を撮像するための撮像手段と、
前記撮像手段にて撮像された各画像データに基づき、所定の演算処理を実行可能な画像処理手段と
を備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項３】
透明又は半透明の第１部材と、該第１部材の内部又は外部に設けられた不透明な第２部材とを備えた検査対象物に対し、所定の光を照射可能な照射手段と、
前記照射手段にて光の照射された検査対象物を前記照射手段の反対側から撮像するための撮像手段と、
前記撮像手段にて撮像された画像データに基づき、所定の演算処理を実行可能な画像処理手段と
を備え、第１部材に対する第２部材の配置が適切であるか否かを検査するための検査装置であって、
前記照射手段は、略平行光を照射する第１照射と、多方向からの光を照射する第２照射との間で照射パターンを切換可能となっていることを特徴とする検査装置。
【請求項４】
前記照射手段は、略平行光を照射可能な第１照射手段と、非平行光を照射可能な第２照射手段と、切換手段とを備えており、前記切換手段は、前記第１照射を行うに際しては前記第１照射手段からの照射のみを許容し、前記第２照射を行うに際しては、前記第２照射手段からの照射のみを許容するよう構成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項５】
前記照射手段は、略平行光を照射可能な第１照射手段と、非平行光を照射可能な第２照射手段と、切換手段とを備えており、前記切換手段は、前記第１照射を行うに際しては前記第１照射手段からの照射のみを許容し、前記第２照射を行うに際しては、前記第１照射手段及び第２照射手段からの照射を許容するよう構成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項６】
前記第１照射手段は、面発光光源を有していることを特徴とする請求項４又は５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記第２照射手段は、検査対象物に対し、複数の角度から光を照射することができるよう構成されていることを特徴とする請求項４乃至６のいずれかに記載の検査装置。
【請求項８】
前記第２照射手段は、自身の光源からの光のみならず、その反射光をも前記検査対象物に照射できるよう反射体を備えていることを特徴とする請求項４乃至７のいずれかに記載の検査装置。
【請求項９】
前記第２照射手段は、自身の光源からの光のみならず、その拡散光をも前記検査対象物に照射できるよう拡散体を備えていることを特徴とする請求項４乃至８のいずれかに記載の検査装置。
【請求項１０】
前記第１部材はガラスよりなることを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の検査装置。
【請求項１１】
前記第２部材の少なくとも一部は、前記第１部材内に封入されていることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれかに記載の検査装置。
【請求項１２】
前記第１部材はガラスよりなるバルブであり、前記第２部材は少なくともその一部が前記バルブ内に封入された一対のリード線であって、前記検査対象物はランプであることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載の検査装置。
【請求項１３】
前記画像処理手段は、前記リード線間のピッチ、並びに、前記バルブのシール部の一方の端縁と前記一方の端縁の最寄りの前記リード線との間の距離を演算するようになっていることを特徴とする請求項１２に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハロゲン電球や高圧放電ランプ等の検査対象物を検査するための検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、図２，３に示すように、ハロゲン電球等のランプ１は、無色透明のガラスよりなるバルブ２と、バルブ２内に一部が封入されたリード線３とを備えている。バルブ２端部のシール部５は、例えばピンチ部と称されており、該部分における一対のリード線３の配置状態等が、製品の品質面で大きな影響を与える。
【０００３】
このため、従来では、該シール部分に関し、検査装置を用いて自動的な検査を行うことが行われている。かかる検査にあっては、ランプ１に対し、図３において側方から光を照射し、その反対側からＣＣＤカメラを用いて光の照射されたランプ１を撮像することが行われる。そして、ＣＣＤカメラにて撮像された画像データに基づき、画像処理装置では、バルブ２の端部からリード線３までの距離や、リード線３間のピッチ等が算出されたりする。
【０００４】
【発明が解決しょうとする課題】
ところが、上記シール部分において、凹凸部分が存在する場合、特に凹凸部分が前記リード線３に対応して存在する場合には、照射光が前記凹凸部分において屈折してしまうことが起こりうる。このため、所望の画像データが得られないおそれがあり、結果として検査に支障が生じたり、検査精度が低下してしまうおそれがあった。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、透明又は半透明の第１部材と、該第１部材の内部又は外部に設けられた不透明な第２部材とを備えた検査対象物を検査するための検査装置であって、凹凸部分の存在にかかわらず確実に、かつ、精度よく検査を行うことの可能な検査装置を提供することを主たる目的の一つとしている。
【０００６】
【課題を解決するための手段及びその効果】
上記目的を達成し得る特徴的手段について以下に説明する。また、各手段につき、特徴的な作用及び効果を必要に応じて記載する。但し、以下の検査装置は、第１部材に対する第２部材の配置が適切であるか否かを検査するためのものである。
【０００７】
手段１．透明又は半透明の第１部材と、該第１部材の内部又は外部に設けられた不透明な第２部材とを備えた検査対象物に対し、所定の光を照射可能な照射手段と、前記照射手段にて光の照射された検査対象物を前記照射手段の反対側から撮像するための撮像手段と、前記撮像手段にて撮像された画像データに基づき、所定の演算処理を実行可能な画像処理手段とを備えた検査装置であって、前記照射手段は、略平行光を照射する第１照射と、多方向から光を照射する第２照射との間で照射パターンを切換可能となっていることを特徴とする検査装置。
【０００８】
手段１によれば、透明又は半透明の第１部材と、該第１部材の内部又は外部に設けられた不透明な第２部材とを備えた検査対象物に対し、所定の光が照射手段によって照射される。また、光の照射された検査対象物が前記照射手段の反対側から撮像手段によって撮像される。そして、撮像手段にて撮像された画像データに基づき、所定の演算処理が画像処理手段によって実行される。上記照射手段では、略平行光を照射する第１照射と、多方向から光を照射する第２照射との間で照射パターンが切換えられる。ここで、第１照射に際しては、第１部材及び第２部材が共に画像データに映し出されるが、第２照射に際しては、第２部材のみが主として映し出され、透明性を有する第１部材は多方向からの光によって映し出されにくい。このため、仮に第１部材に凹凸部分が存在していたとしても、第２照射に際して第１部材が映し出されることなく第２部材が映し出されることから、第２部材と第１部材との位置関係を正確に把握することが可能となる。その結果、確実に、かつ、精度良く検査を行うことができる。
【０００９】
手段２．透明又は半透明の第１部材と、該第１部材の内部又は外部に設けられた不透明な第２部材とを備えた検査対象物を検査するための検査装置であって、前記検査対象物に対し略平行光を照射する第１照射と、多方向から光を照射する第２照射とを行いうる照射手段と、前記照射手段とは反対側に配置され、前記照射手段にて第１照射の行われた前記検査対象物を撮像し、第２照射の行われた前記検査対象物を撮像するための撮像手段と、前記撮像手段にて撮像された各画像データに基づき、所定の演算処理を実行可能な画像処理手段とを備えたことを特徴とする検査装置。
【００１０】
手段２によれば、照射手段によって、検査対象物に対し略平行光を照射する第１照射が行われ、また、多方向から光を照射する第２照射が行われる。また、照射手段とは反対側に配置された撮像手段によって、前記照射手段にて第１照射の行われた検査対象物が撮像され、第２照射の行われた検査対象物が撮像される。そして、撮像手段にて撮像された各画像データに基づき、画像処理手段では、所定の演算処理が実行される。このため、第１照射に際しては、略平行光によって第１部材及び第２部材が共に画像データに映し出されるが、第２照射に際しては、第２部材のみが主として映し出され、透明性を有する第１部材は多方向からの光によって映し出されにくい。このため、仮に第１部材に凹凸部分が存在していたとしても、第２照射に際して第１部材が映し出されることなく第２部材が映し出されることから、第２部材と第１部材との位置関係を正確に把握することが可能となる。その結果、確実に、かつ、精度良く検査を行うことができる。
【００１１】
手段３．透明又は半透明の第１部材と、該第１部材の内部又は外部に設けられた不透明な第２部材とを備えた検査対象物に対し、所定の光を照射可能な照射手段と、
前記照射手段にて光の照射された検査対象物を前記照射手段の反対側から撮像するための撮像手段と、
前記撮像手段にて撮像された画像データに基づき、所定の演算処理を実行可能な画像処理手段と
を備え、第１部材に対する第２部材の配置が適切であるか否かを検査するための検査装置であって、
前記照射手段は、略平行光を照射する第１照射と、多方向からの光を照射する第２照射との間で照射パターンを切換可能となっていることを特徴とする検査装置。
【００１２】
手段３によれば、照射手段によって、検査対象物に対し、所定の光が照射される。その照射手段にて光の照射された検査対象物が、撮像手段によって照射手段の反対側から撮像される。そして、撮像手段にて撮像された画像データに基づき、画像処理手段では、所定の演算処理が実行される。さて、照射手段は、第１照射と、第２照射との間で照射パターンを切換可能となっている。そして、第１照射に基づく光が照射された場合には、撮像手段によって第１部材及び第２部材が共に撮像される。また、第２照射に基づく光が照射された場合には、撮像手段にて主として第２部材のみが撮像される。このため、仮に第１部材に凹凸部分が存在していたとしても、第２照射に際して第１部材が映し出されることなく第２部材が映し出されることから、第２部材と第１部材との位置関係を正確に把握することが可能となる。その結果、確実に、かつ、精度良く検査を行うことができる。
【００１３】
手段４．前記照射手段は、略平行光を照射可能な第１照射手段と、非平行光を照射可能な第２照射手段と、切換手段とを備えており、前記切換手段は、前記第１照射を行うに際しては前記第１照射手段からの照射のみを許容し、前記第２照射を行うに際しては、前記第２照射手段からの照射のみを許容するよう構成されていることを特徴とする手段１乃至３のいずれかに記載の検査装置。
【００１４】
手段４によれば、照射手段の第１照射手段により、略平行光が照射され、第２照射手段により非平行光が照射される。また、切換手段によって、照射パターンが切換えられる。そして、第１照射が行われるに際しては前記第１照射手段からの照射のみが許容され、第２照射が行われるに際しては、第２照射手段からの照射のみが許容される。このため、切換手段における切換制御の簡素化が図られるとともに、第１照射手段、第２照射手段の各調整が行いやすいものとなる。
【００１５】
手段５．前記照射手段は、略平行光を照射可能な第１照射手段と、非平行光を照射可能な第２照射手段と、切換手段とを備えており、前記切換手段は、前記第１照射を行うに際しては前記第１照射手段からの照射のみを許容し、前記第２照射を行うに際しては、前記第１照射手段及び第２照射手段からの照射を許容するよう構成されていることを特徴とする手段１乃至３のいずれかに記載の検査装置。
【００１６】
手段５によれば、第２照射が行われるに際しては、第１照射手段及び第２照射手段からの照射が許容されるため、ランプに対し、照射手段を別途増設することなくより多くの方向から光を照射することができる。このため、第２照射に際して第１部材が映し出されることなく第２部材が映し出されるという作用がより確実に奏されることとなる。
【００１７】
手段６．前記第１照射手段は、面発光光源を有していることを特徴とする手段４又は５に記載の検査装置。
【００１８】
手段６によれば、比較的容易に略平行光を照射することができる。
【００１９】
手段７．前記第２照射手段は、検査対象物に対し、複数の角度から光を照射することができるよう構成されていることを特徴とする手段４乃至６のいずれかに記載の検査装置。
【００２０】
手段７によれば、上記各手段に関する作用効果が確実に奏される。
【００２１】
手段８．前記第２照射手段は、自身の光源からの光のみならず、その反射光をも前記検査対象物に照射できるよう反射体を備えていることを特徴とする手段４乃至７のいずれかに記載の検査装置。
【００２２】
手段８によれば、第２照射手段によって、自身の光源からの光のみならず、反射体にて反射した光も検査対象物に照射される。このため、より多くの方向から光を照射することができる。従って、第２照射に際して第１部材が映し出されることなく第２部材が映し出されるという作用がより確実に奏されることとなる。
【００２３】
手段９．前記第２照射手段は、自身の光源からの光のみならず、その拡散光をも前記検査対象物に照射できるよう拡散体を備えていることを特徴とする手段４乃至８のいずれかに記載の検査装置。
【００２４】
手段９によれば、第２照射手段によって、自身の光源からの光のみならず、拡散体にて拡散された光も検査対象物に照射される。このため、より多くの方向から光を照射することができる。従って、第２照射に際して第１部材が映し出されることなく第２部材が映し出されるという上記作用がより確実に奏されることとなる。
【００２５】
手段１０．前記第１部材はガラスよりなることを特徴とする手段１乃至９のいずれかに記載の検査装置。
【００２６】
手段１０によれば、透明又は半透明のガラスよりなる第１部材を備えた検査対象物につき、上記作用効果が奏される。
【００２７】
手段１１．前記第２部材の少なくとも一部は、前記第１部材内に封入されていることを特徴とする手段１乃至１０のいずれかに記載の検査装置。
【００２８】
手段１１によれば、第２部材のうち第１部材内に封入された部分については外部操作を行うことができないが、かかる場合であっても、第１部材及び第２部材の検査を正確に行うことができる。
【００２９】
手段１２．前記第１部材はガラスよりなるバルブであり、前記第２部材は少なくともその一部が前記バルブ内に封入された一対のリード線であって、前記検査対象物はランプであることを特徴とする手段１乃至１１のいずれかに記載の検査装置。
【００３０】
手段１２によれば、ガラスよりなるバルブ及び該バルブ内に一部が封入された一対のリード線によって構成されたランプの検査につき、上記各作用効果が奏される。
【００３１】
手段１３．  前記画像処理手段は、前記リード線間のピッチ、並びに、前記バルブのシール部の一方の端縁と前記一方の端縁の最寄りの前記リード線との間の距離を演算するようになっていることを特徴とする手段１２に記載の検査装置。
【００３２】
手段１３によれば、画像処理手段により、前記リード線間のピッチ、並びに、バルブのシール部の一方の端縁と前記一方の端縁の最寄りの前記リード線との間の距離が演算され、かかる演算結果に基づいて、検査対象物の適否の判定が的確に行われる。なお、「リード線の歪み具合が演算され」る構成となっていてもよい。
【００３３】
手段１４．透明又は半透明の第１部材と、該第１部材の内部又は外部に設けられた不透明な第２部材とを備えた検査対象物に対し、略平行光を照射し、反対側から前記照射された検査対象物を撮像する工程と、前記検査対象物に対し、多方向からの光を照射し、反対側から前記照射された検査対象物を撮像する工程と、前記各工程にて撮像された画像データに基づき、所定の演算処理を実行可能な画像処理工程とを備えたことを特徴とする検査方法。
【００３４】
手段１４によれば、透明又は半透明の第１部材と、該第１部材の内部又は外部に設けられた不透明な第２部材とを備えた検査対象物に対し、略平行光が照射され、反対側から前記照射された検査対象物が撮像される。また、前記検査対象物に対し、多方向からの光が照射され、反対側から前記照射された検査対象物が撮像される。そして、前記各工程にて撮像された画像データに基づき、所定の演算処理が実行される。このため、前者の撮像に際し第１部材及び第２部材が共に撮像され、後者の撮像に際しては、主として第２部材のみが撮像される。従って、仮に第１部材に凹凸部分が存在していたとしても、後者の撮像に際しては第１部材が映し出されることなく第２部材が映し出されることから、第２部材と第１部材との位置関係を正確に把握することが可能となる。その結果、確実に、かつ、精度良く検査を行うことができる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、一実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００３６】
図２，３は、本実施の形態における検査対象物を構成するランプ１を示す図である。これらの図に示すように、ランプ１は、無色透明のガラスよりなる第１部材としてのバルブ２と、該バルブ２内に一部が封入された第２部材としての一対のリード線３とを備えている。一対のリード線３は、バルブ２内において、コイル状に形成されたフィラメント４によって継線されている。前記バルブ２の端部においては、該バルブ２が軟化された状態で圧潰されることでシール部５が構成されている。このシール部５は、所謂ピンチシール法によって構成されてもよいし、シュリンクシール法によって構成されていてもよい。さらに、シール部５は、平面略矩形状をなしており、前記一対のリード線３に対応する部位には、それぞれ凹部６が形成されている。
【００３７】
次に、上記ランプ１を検査するための検査装置について説明する。図１は、検査装置１１を説明するための概略構成図である。同図に示すように、検査装置１１は、ランプ１を把持し、所定の検査位置に搬送するためのチャック１２を備えており、該チャック１２はアクチュエータ１３によって作動される。
【００３８】
また、検査装置１１は、前記ランプ１に対し、所定の光を照射するための照射手段１４を備えている。さらに、照射手段１４とは反対側の位置には、前記照射手段１４にて照射されたランプ１を撮像するための撮像手段を構成するＣＣＤカメラ１５が配置されている。
【００３９】
本実施の形態において、前記照射手段１４は、第１照射手段１６及び第２照射手段１７を備えている。第１照射手段１６は、面発光光源を有しており、前記ランプ１に対し平行光を照射可能となっている。また、第２照射手段１７は、リング照明装置１８及び反射体としての反射板１９を備えている。リング照明装置１８は、前記ランプ１に対し、多方向からの光を照射できるようになっている。
【００４０】
前記反射板１９は、略円錐台板形状をなし、その中央部分は開口形成されている。この開口の存在により、前記第１照射手段１６からの平行光の透過が許容されるようになっている。また、前記リング照明装置１８からの光の一部は、反射板１９に当たり、反射してランプ１に照射されるようになっている。つまり、反射板１９の存在により、リング照明装置１８からの光は、自身からの直接光のみならず、その反射光についてもランプ１に照射されるようになっている。これにより、ランプ１には、より一層多方向からの光が照射されるようになっている。
【００４１】
また、図１に示すように、前記アクチュエータ１３、照射手段１４等を駆動制御するとともに、ＣＣＤカメラ１５により撮像された撮像データに基づき種々の演算等を実行するための制御装置２１が設けられている。より詳しくは、制御装置２１は、チャック１２用のアクチュエータ１３を制御するチャック制御部２２、第１照射手段１６及び第２照射手段１７を制御する照射切換部２３、並びに、前記ＣＣＤカメラ１５にて撮像された画像データに基づき、所定の演算処理、判定処理を実行可能な画像処理手段を構成する画像処理部２４等を備えている。
【００４２】
次に、上記のように構成されてなる検査装置１１を用いてランプ１を検査する際の作用効果について説明する。すなわち、図４は、前記制御装置２１（主として照射切換部２３及び画像処理部２４）によって実行される「演算処理・判定処理ルーチン」を示すフローチャートである。
【００４３】
検査に際しては、チャック制御部２２によってアクチュエータ１３が駆動制御され、チャック１２が作動させられることにより、ランプ１が所定の検査位置にまで搬送される。そして、制御装置２１はまずステップＳ００１において、リング照明装置１８を消灯させ、第１照射手段１６を点灯させる（第１照射）。すると、第１照射手段１６からの平行光のみが反射板１９の開口部を通ってランプ１に照射される。このときの平行光は、シール部５に直交する方向に当てられる。
【００４４】
この状態で、制御装置２１はステップＳ００２において、ＣＣＤカメラ１５を作動させ、１回目の撮像を行う。ここで、１回目の撮像に基づく画像データは、図５に示すようなものとなる。同図に示すように、ランプ１には平行光が照射されるため、得られる画像データには、バルブ２の外縁及びリード線３等が比較的明瞭に写し出される。但し、凹部６に関しては、暗く（黒っぽく）写し出されるのみであって、該部分に対応するリード線３は映し出されない。これは、図１０（ａ）に示すように、平行光が、凹部６の傾斜面に当たると、その光路が曲げられ、該部分に相当する部分及びその近傍が暗く映し出されてしまうことによるものと考えられる。
【００４５】
そして、ステップＳ００３において、制御装置２１の画像処理部２４は、今回取り込んだ画像データに基づき、バルブ２のシール部５の両端縁部に相当する点ａ，ｂを計測する。すなわち、図６に示すように、撮像画像に対して、ウインドウＷ１，Ｗ２を配置し、各ウインドウＷ１，Ｗ２内にて、シール部５の両端縁部に相当する点ａ，ｂの座標（ａｘ及びｂｘ）を求めるのである。なお、点ａ，ｂの座標の求め方については特に限定されるものではなく、上記ウインドウＷ１，Ｗ２を配置する方法の外にも、ｘ軸方向にスキャニングの可能なラインセンサにて計測してもよいし、シール部５の両端縁の線を走査して、予め定めたｙ座標に対応するｘ座標を求めることとしてもよい。
【００４６】
さて、上記ステップＳ００３を経た後、制御装置２１の照射切換部２３は、リング照明装置１８を点灯させ、第１照射手段１６をも点灯させる（第２照射）。すると、第１照射手段１６からの平行光のみならず、リング照明装置１８からの光もランプ１に照射される。そればかりか、リング照明装置１８から照射された光が反射板１９にて反射し、その反射光もランプ１に照射されることとなる。つまり、該第２照射に際しては、ランプ１に対し、多方向からの光が照射されることとなる。
【００４７】
この状態で、制御装置２１はステップＳ００５において、ＣＣＤカメラ１５を作動させ、２回目の撮像を行う。ここで、２回目の撮像に基づく画像データは、図７に示すようなものとなる。同図に示すように、ランプ１には多方向からの光が照射されるため、得られる画像データには、透明なバルブ２の外縁が映し出されず、不透明なリード線３及びフィラメント４６のみが比較的明瞭に写し出される。これは次の理由によるものと考えられる。すなわち、図１０（ｂ）に示すように、凹部６の１点に着目した場合、複数の角度の光が照射されるために、屈折光も複数となる。このため、光の透過性が著しく高められ、暗くなってしまうことがない。むしろバルブ２を構成するガラスが透明であるため、あまりの明るさにバルブ２の端縁が写し出されにくいものとなる。
【００４８】
そして、ステップＳ００６において、制御装置２１の画像処理部２４は、今回取り込んだ画像データに基づき、一対のリード線３に相当する点ｃ，ｄを計測する。すなわち、図８に示すように、撮像画像に対して、ウインドウＷ３，Ｗ４を配置し、各ウインドウＷ３，Ｗ４内にて、各リード線３に相当する点ｃ，ｄの座標（ｃｘ及びｄｘ）を求めるのである。なお、点ｃ，ｄの座標の求め方についても上記同様、ウインドウＷ３，Ｗ４を配置する方法に何ら限定されるものではない。
【００４９】
さらに、続くステップＳ００７において、画像処理部２４は、上記計測した点ａ，ｂ，ｃ，ｄに基づき、一対のリード線３間のピッチｑ、並びに、シール部５の左端縁と左側のリード線３との距離ｐ及びシール部５の右端縁と右側のリード線３との距離ｒを算出する（図９参照）。
【００５０】
そして、最後に、制御装置２１は、今回算出した各距離ｐ，ｑ，ｒに基づき、ランプ１のバルブ２に対するリード線３の配置が適切であるか否かを判定し、その後の処理を一旦終了する。
【００５１】
このように、本実施の形態によれば、第１照射に基づく光が照射された場合には、バルブ２及びリード線３が共に撮像される。また、第２照射に基づく光が照射された場合には、主としてリード線３のみ（バルブ２が撮像されることなくの意）が撮像される。このため、本実施の形態の如くバルブ２のシール部５に凹部６が存在していたとしても、第２照射に際してバルブ２が映し出されることがなく、リード線３が明瞭に映し出されることから、リード線３とバルブ２との位置関係を正確に把握することが可能となる。その結果、算出される各距離ｐ，ｑ，ｒが正確なものとなり、ひいては確実に、かつ、精度良く検査を行うことができる。
【００５２】
特に、本実施の形態では、第２照射手段１７は反射板１９を備えており、リング照明装置１８からの光のみならず、その反射光をもランプ１に照射できるようにした。このため、より多くの方向から光を照射することができる。従って、第２照射に際してバルブ２が映し出されることなくリード線３が明瞭に映し出されるという作用効果がより確実に奏されることとなる。
【００５３】
尚、上述した実施の形態の記載内容に限定されることなく、例えば次のように実施してもよい。
【００５４】
（ａ）第１照射手段１６及び第２照射手段１７の配置関係を上記実施の形態とは逆にしてもよい。
【００５５】
（ｂ）上記実施の形態では円錐台板状の反射板を用いることとしたが、他の形状の反射板を用いてもよい。例えば、反射板の形状を略半球面状としてもよいし、ランプ照明装置１８（又はランプ１）に対し様々な角度を向いた多面体によって構成してもよい。また、必ずしも板状である必要はない。また、反射板を省略することとしてもよい。
【００５６】
（ｃ）また、反射板１９に代えて、又は、加えて、拡散体としての拡散体（例えば拡散板）を設ける構成としてもよい。例えば反射板１９に代えて拡散板を用いる場合には、第１照射手段１６とランプ照明装置１８との配置関係を逆にすればよい。
【００５７】
（ｄ）第２照射に際しては、第１照射手段１６及びランプ照明装置１８の双方を点灯することとしたが、ランプ照明装置１８のみを点灯させ、第１照射手段１６を消灯させてもよい。
【００５８】
（ｅ）上記実施の形態では各距離ｐ，ｑ，ｒを算出することとしたが、検査内容に関しては上記各距離ｐ，ｑ，ｒに限定されるものではない。例えば、上記各距離以外にも、リード線３の歪み（曲が）具合を測定することとしてもよいし、リード線３のバルブ２（シール部５）からの突出量等を測定することとしてもよい。
【００５９】
（ｆ）凹部６の代わりに凸部があってもよいし、凹凸があってもよい。また、凹凸部分の形状は何ら限定されるものではない。
【００６０】
（ｇ）バルブ２は厳密に透明でなくてもよく、半透明であってもよい。
【００６１】
（ｈ）検査対象物は、ランプに限定されるものではない。要するに、透明又は半透明な第１部材と、該第１部材の内部又は外部に設けられた不透明な第２部材とを備えたものであれば、検査対象物として採用しうる。
【００６２】
（ｉ）第１照射に関しては、厳密な意味での平行光を照射する必要はなく、平行に近い光を照射することとしてもよい。すなわち、第１部材及び第２部材（の少なくとも外縁）が撮像されるような照射であればよい。
【００６３】
（ｊ）上記実施の形態では、第２照射手段１７は、リング照明装置１８を備える構成となっているが、非平行光を照射可能な構成となっていれば、電球、ＬＥＤ（複数）、或いはこれらの組合せ等他の照明装置を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施の形態における検査装置を説明するための概略構成図である。
【図２】ランプを示す平面図である。
【図３】ランプを示す側面図である。
【図４】制御装置により実行される「演算処理・判定処理ルーチン」を示すフローチャートである。
【図５】１回目の撮像における撮像画像を模式的に示す図である。
【図６】１回目の撮像の撮像画像に関し計測の概要を示す図である。
【図７】２回目の撮像における撮像画像を模式的に示す図である。
【図８】２回目の撮像の撮像画像に関し計測の概要を示す図である。
【図９】リード線間のピッチ、並びに、シール部の端縁とリード線との距離等を示す説明図である。
【図１０】（ａ）は第１照射、（ｂ）は第２照射に際しての光の作用を説明する模式断面図である。
【符号の説明】
１…検査対象物としてのランプ、２…第１部材としてのバルブ、３…第２部材としてのリード線、５…シール部、６…凹部、１１…検査装置、１４…照射手段、１５…撮像手段としてのＣＣＤカメラ、１６…第１照射手段、１７…第２照射手段、１８…リング照明装置、１９…反射体としての反射板、２１…制御装置、２２…チャック制御部、２３…切換手段を構成する照射制御部、２４…画像処理手段を構成する画像処理部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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