(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
バフロールとこれと対向するバックアップローラとを備え、一対の搬送ピンチローラに挟んだワークを、前記バフロールとバックアップローラとの間に送り込んで前記ワークを研磨するバフ研磨機であって、
前記バフロール及びバックアップローラと前記搬送ピンチローラとの間に、前記ワークの搬送路を両側から挟むワーク保持部材を設けたものにおいて、
前記ワーク保持部材は、前記ワークを前記バフロール及びバックアップローラの間の進入位置にガイドするべく、前記ワークの送出側ほどその対向距離が短くなるように傾きをもって設けられているとともに、
前記ワーク保持部材のうち少なくとも前記バフロール側に位置するものには、前記ワークの進入側ほど毛足が長く、ワークの送出側ほど毛足が短くなるように設けられてその先端部全体がワークに接するブラシ部が設けられていることを特徴とするバフ研磨機。
【請求項２】
前記ブラシ部は、ブラシ毛が前記ワーク表面に向かい、かつワークの送出側に向かって延びるように傾斜していることを特徴とする請求項１記載のバフ研磨機。
【請求項３】
前記ワーク保持部材は、水密チャンバーと、その水密チャンバーの前記ワークと対向する面に形成されたブラシ部とからなると共に、その水密チャンバーの前記ワークと対向する面には、前記水密チャンバー内に供給された水を、ワークの進入側に向けて吐出する注水孔が設けられていることを特徴とする請求項１または２記載のバフ研磨機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント配線基板等の表面をバフ研磨するバフ研磨機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
プリント配線基板では、銅箔表面の酸化物やその他汚染物の除去、突起物（バリ）やヒゲの除去、印刷やフィルムのラミネート前の表面粗化等の目的で、バフ研磨が行われる。
【０００３】
例えば図４に示すように、従来のバフ研磨機では、プリント配線基板１は一対の搬送ピンチローラ４，４から送出されて、バフロール２とこれに対向しているバックアップローラ３との間に進入し、図中左側に進行しつつバフロール２に含まれた研磨材によって研磨される。
【０００４】
この時、搬送ピンチローラ４，４から送出された基板１に反りや撓みが生じている場合でも、基板１がバフロール２とバックアップローラ３との間に正しく進入できるようにするため、バフロール２及びバックアップローラ３と搬送ピンチローラ４，４との間には、金属或いはプラスチック製で板状の、一対の挿入ガイド５，５が設けられている。この挿入ガイド５，５は、搬送ピンチローラ４，４から送出された基板１の先端部が上下方向にずれている場合に、基板１に当接してその先端部をバフロール２とバックアップローラ３との隙間の進入位置付近にガイドするように構成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述した従来の構成であると、撓み等が生じている基板１は、その先端部が進入位置にガイドされる際に挿入ガイド５，５に直接当接して押し戻されることになり、その表面に傷が付いてしまう場合があるという問題がある。
【０００６】
ところで、バフ研磨機では、バフロール２はバックアップローラ３及び搬送ピンチローラ４，４よりも直径が大きい上、その回転速度が高速であるため、基板１に対する周速度が他のローラと比較して著しく大きい。このため、そのことが原因で、搬送中の基板１には波のような大きな撓みが生ずることがある（図５参照）。このように、搬送中の基板１に大きな撓みが生じた場合には、基板１が上記挿入ガイド５に接触して、基板１の表面に傷が付いてしまうという問題がある。
【０００７】
なお、このような基板１の挿入ガイド５への接触を防止するには、挿入ガイド５，５間の距離を大きくすることが考えられるが、そのようにすると、基板１の先端部を進入位置にガイドするという挿入ガイド５，５の本来の機能を損なうことになる。
【０００８】
また、研磨時には基板１に注水を行うが、従来の構造では挿入ガイド５，５が搬送路を覆う構成となっているためこれらが邪魔になって、その注水をバフロール２と挿入ガイド５との間の僅かな隙間から行わざるを得ない。ところがそのようにすると、脱落砥粒や切削屑等の異物を、研磨位置に押し込むことになり、きれいに研磨が行えないという問題がある。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、ワークに傷を付けることなくこれを安定的に平坦に保持して搬送することが可能であり、また注水及び洗浄を効率よく行うことができるバフ研磨機を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、バフロールとこれと対向するバックアップローラとを備え、一対の搬送ピンチローラに挟んだワークを、バフロールとバックアップローラとの間に送り込んでワークを研磨するバフ研磨機であって、バフロール及びバックアップローラと搬送ピンチローラとの間に、ワークの搬送路を両側から挟むワーク保持部材を設けたものにおいて、ワーク保持部材は、ワークをバフロール及びバックアップローラの間の進入位置にガイドするべく、ワークの送出側ほどその対向距離が短くなるように傾きをもって設けられているとともに、ワーク保持部材のうち少なくともバフロール側に位置するものには、ワークの進入側ほど毛足が長く、ワークの送出側ほど毛足が短くなるように設けられてその先端部全体がワークに接するブラシ部が設けられているところに特徴を有する。
【００１１】
請求項２の発明に係るバフ研磨機は、請求項１記載のバフ研磨機であって、ブラシ部は、ブラシ毛がワーク表面に向かい、かつワークの送出側に向かって延びるように傾斜しているところに特徴を有する。
【００１２】
請求項３の発明に係るバフ研磨機は、 請求項１または２記載のバフ研磨機であって、ワーク保持部材は、水密チャンバーと、その水密チャンバーのワークと対向する面に形成されたブラシ部とからなると共に、その水密チャンバーのワークと対向する面には、水密チャンバー内に供給された水を、ワークの進入側に向けて吐出する注水孔が設けられているところに特徴を有する。
【００１４】
【発明の作用・効果】
請求項１の発明によれば、ワークは搬送ピンチローラから送出された後、ワーク保持部材によって両側から挟み付けられる構成となっている。したがって、バフ研磨時にローラの周速度の違いによってワークに撓みを生じさせる傾向となっても、ワーク保持部材が両側からワークに接して保持しているため、ワークは平坦な状態に保たれて撓みの発生は抑制される。しかも、少なくとも研磨の行われるワークの銅箔面に接するのは、容易に撓んで圧力を逃がすことができるブラシ部であるから、ワークの表面に傷が付きにくいという効果を奏する。
【００１５】
また、ワークはブラシ部の毛足の長い方から進入する構成であるため、ワークを両側から挟み付けるブラシ部の保持圧は始めは弱い。ワークが前方に進行するに従って、ブラシ部の毛足が短くなっていくため、それに従ってブラシ部の保持圧も徐々に高くなる。すなわち、ワークはブラシ部の保持圧によってその先端部ほど安定的に平坦な状態に保持されて送出され、精度良くバフロールとバックアップローラとの間に進入できるという効果を奏する。
【００１６】
請求項２の発明によれば、ブラシ部は送出側に向かって傾斜して延びる構成であるため、ワークがブラシ部に進入する際には、ワークの先端はブラシの毛に沿ってスムースに上下方向の中央位置にガイドされるという効果を奏する。
【００１７】
請求項３の発明によれば、ワークがワーク保持部材間を移動している間に注水が行われる構成であるため、従来のように研磨部に異物を押し込んでしまうことがなくなる。しかも、注水をワークの進行方向と反対側に向けて行う構成であるから、より研磨部に異物が入り込みにくい。さらにワーク保持部材にはブラシ部が設けられており、これがブラッシング作用を呈するため、基板表面の砥粒や切削屑等が注水された水とブラシ部とで効率的に洗浄されるという効果を奏する。
【００１８】
【実施形態】
以下、本発明を例えばフレキシブルプリント配線基板への研磨機に適用した一実施形態について、図１ないし図３を参照して説明する。
図１は本実施形態のバフ研磨機１０の概略図である。バフロール１１は例えば円形に切り取られた研磨剤入りの不織布を複数枚重ね合わせ、両側からプレスして円筒形に仕上げたものであり、その中心に回転軸を通して高速回転させて、フレキシブルプリント配線基板（以下ワーク）２０を研磨する構成となっている。バフロール１１の、ワーク２０を挟む反対側には、バックアップローラ１２が設けられており、これがバフロール１１よりも遅い一定速度で回転してワーク２０を支持する。また、バフロール１１及びバックアップローラ１２の右方（ワーク２０の進入側）には、所定の距離を介して一対の搬送ピンチローラ１３，１３が設けられている。これらの搬送ピンチローラ１３，１３は、ワーク２０を両側から挟んでバフロール１１よりも遅い一定速度で回転し、ワーク２０をバフロール１１及びバックアップローラ１２の間に送出する。
【００１９】
そして、上記バフロール１１及びバックアップローラ１２と、搬送ピンチローラ１３，１３との間には、搬送路を挟んで一対のワーク保持部材１４，１４が設けられている。このワーク保持部材１４は、図２に示すように、扁平な箱形に構成した水密チャンバー１５と、そのワーク２０と対向する面に形成されたブラシ部１６とから構成されている。また、水密チャンバー１５のうちワーク２０と対向する面には、搬送ピンチローラ１３側に向けて複数の注水孔１７が形成されているとともに、その背面側の一部には給水路（図示せず）に連なる給水口１８が形成されている。また上記ブラシ部１６は、例えばナイロン等の合成樹脂製の多数のブラシ毛の端部を金属リング１９にて束ね、その金属リング１９を埋め込むように固定して構成されている。このブラシ部１６のブラシ毛は、ワーク２０の進入側（図中右側）ほど毛足が長く、送出側ほど毛足が短くなっているとともに、その毛足はやや送出側に向かって傾斜するように取り付けられてる。またブラシ部１６の毛足の先端側は、全体が平面状となるように切りそろえられており、その平面状の先端部においてワーク２０に当接して、これを両側から挟み付けるようにして保持する構成となっている。
【００２０】
上記構成のバフ研磨機１０にてワーク２０の研磨が行われる場合には、まず、ワーク２０が一対の搬送ピンチローラ１３，１３から送出されて、ワーク保持部材１４，１４間に進入する。この時、ワーク２０に反りや撓みが生じていて、その進行側先端部が上下方向にずれている場合でも、その先端部はワーク保持部材１４のブラシ部１６に当接して、送出側に向かって延びている毛足に沿って上下方向の中央位置にスムースにガイドされつつ進入するので、その形状は徐々に平坦に保持されてゆく（図３参照）。ワーク２０が前方に進むに従ってブラシ部１６の毛足は短くなり、その保持圧は高くなっていくので、ワーク２０は平坦状により安定的に保持されつつ搬送される。
【００２１】
そしてワーク保持部材１４，１４から送出されたワーク２０の先端部は、バフロール１１とこれに対向しているバックアップローラ１２との間の隙間に精度良く進入し、ワーク２０はバフロール１１に含まれた研磨材によって研磨される。この時、バフロール１１とバックアップローラ１２との周速度の差によって、ワーク２０に撓みが生じそうになっても、ワーク２０はワーク保持部材１４，１４によって両側から挟み込まれる構造となっているため、撓みの発生は防止される。しかもワーク２０に接するのはワーク保持部材１４のブラシ部１６であり、これは容易に撓むことができるため、ワーク２０が傷つくことがない。
【００２２】
また、ワーク２０がワーク保持部材１４，１４間を通過中には、水密チャンバー１５内の水が注水孔１７から斜め後方に向かってワーク２０に注水される。これにより、研磨時に必要な水分をワーク２０に供給することができるとともに、洗浄も同時に行うことができる。しかもブラシ部１６はワーク２０に当接してこれを保持する構成となっているので、洗浄時にはブラッシングを兼ねることになり、より効率的にワーク２０を洗浄することが可能である。
【００２３】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
【００２５】
（１）上記実施形態では、ワーク保持部材１４に水密チャンバー１５を設ける構成としたが、これに限らず、ブラシ部１６のみを設けて、注水や洗浄は他の方法で行ってもよい。
【００２６】
（２）上記実施形態では、ワーク保持部材１４，１４の両側を水密チャンバー１５とブラシ部１６とで構成したが、これに限らず、例えば片側プリント基板の場合には、研磨の行われる銅箔面側のワーク保持部材を水密チャンバーとブラシ部とで構成し、もう一方のワーク保持部材をローラで構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態のバフ研磨機を示す概略図
【図２】同じくワーク保持部材の部分拡大断面図
【図３】同じくワークの進入過程を示す側面図
【図４】従来のバフ研磨機を示す概略図
【図５】同じく概略図
【符号の説明】
１０…バフ研磨機
１１…バフロール
１２…バックアップローラ
１３…搬送ピンチローラ
１４…ワーク保持部材
１５…水密チャンバー
１６…ブラシ部
１７…注水孔
２０…ワーク
【図１】
0004049894.tif 000002
【図２】
0004049894.tif 000003
【図３】
0004049894.tif 000004
【図４】
0004049894.tif 000005
【図５】
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