(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
コバルト濃度が５０〜９０ｇ／Ｌで、ＰＨが２〜４であって、硫酸コバルトを含む電解液からの電解採取によるコバルトの製造方法において、硫酸コバルト水溶液にアンモニア水を添加して又はアンモニアガスを吹き込むことにより作製した水酸化コバルトを用いて電解尾液のコバルト濃度を５０〜９０ｇ／Ｌに、ＰＨを２〜４に調整し、電解液または電解尾液中に存在するニッケル（Ｎｉ）、鉄（Ｆｅ）、マンガン（Ｍｎ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）を、電解時と調整時に生成する不溶性不純物として除去精製し、電解液として循環使用することを特徴とする高純度コバルトの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造用のコバルトスパッタリングターゲット材等として重要な電解採取による５Ｎレベルの高純度コバルトの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイスのゲート電極材料として近年コバルト（Ｃｏ）が検討されている。しかし、半導体デバイスはスパッタリング法により目的の電極、ゲート、配線その他を形成し製造するが、スパッタリング法に用いられるスパッタリングターゲットの材料としては５Ｎ以上の高純度Ｃｏが要求される。現在、５Ｎ以上の高純度Ｃｏの製造方法である電解法として、電解精製法、溶媒抽出法を組み合わせた方法及び電解採取法を挙げることができる。
電解精製法は、不純物を含むＣｏ金属をアノードとし、アノードを電解液中で溶解しながらカソードに精製したＣｏを電析するものである。しかし、標準電極電位がＣｏに近い不純物、例えばニッケル（Ｎｉ）や鉄（Ｆｅ）は分離が困難である。この問題点を解決するために、例えば特開平６−１９２８７９号公報には、電解精製法と溶媒抽出法を組み合わせ、電解精製で分離の困難な金属を溶媒抽出で除去する電解液を用いて高純度Ｃｏを得る方法が提案されている。
一方、電解採取法は、Ｃｏ水溶液に不溶性アノードを用いて、カソードに電解液中のＣｏを電析させる方法である。とくに、電解精製法と比較して、粗金属のような中間段階を経ないで一挙に高純度の金属を得ることができ、また電解液の循環利用ができる等の利点があるため金属Ｃｏの製造法として広く利用されている。しかし、Ｃｏを精製する場合、得られるＣｏの純度は３Ｎ程度であった。純度を上げるために高純度に精製された電解液を用いる必要がある。このため、例えば特開平７−３４８６号公報には電解の各段階でＮｉ、Ｆｅ等の不純物を段階的に溶媒抽出で除去する方法が提案されている。しかしながら、高純度のＣｏを安定して容易に製造するために、炭酸コバルトを添加して電解液のＣｏ濃度とＰＨの調整するなどの工夫が必要である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記提案の方法では、以下のような問題がある。
電解採取による高純度Ｃｏの製造工程中に、溶媒抽出工程を付加する、又は挿入することは工程が複雑であり、コストが高くなり実用性に乏しいものである。また、添加するための炭酸コバルトを作製するためには、炭酸コバルト形成剤としてこれまで炭酸アンモニウムが用いられている。炭酸アンモニウムを調整剤として用いる電解液により電解採取すると、一部アンモニウム錯体を形成し収率が下がる。一方、炭酸コバルト形成剤としてアンモニア水を用いる場合よりもより収率が高くなる。その反面、炭酸アンモニア使用の場合ＣＯ2 のぬけかたに時間を要し、液が不安定になり、さらに生成する炭酸コバルトの沈殿が微細で濾過が遅く生産効率が低くなるという問題がある。さらに使用薬品費が約１０倍となるため回収できるＣｏのコストが非常に高くなるという問題がある。従って、基本的に電解法で５Ｎ以上の高純度Ｃｏを製造することは困難であった。
【０００４】
本発明は、上記の問題点を鑑みてなされたものであり、その課題は、ターゲット材に適した５Ｎレベルの高純度Ｃｏの高い製造効率を得るために、電解尾液及び電解液を調整又精製する単純な工程を付加する電解採取による高純度Ｃｏの製造方法を提供することである。
更に、電解採取の過程で不純物が除去された電解液を用いて、電解尾液のＣｏ濃度とＰＨを調整し不純物の少ない電解液を作製し利用する電解採取による高純度Ｃｏの製造方法を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、コバルト濃度が５０〜９０ｇ／Ｌで、ＰＨが２〜４であって、硫酸コバルトを含む電解液からの電解採取によるコバルトの製造方法において、硫酸コバルト水溶液にアンモニア水を添加して又はアンモニアガスを吹き込むことにより作製した水酸化コバルトを用いて電解尾液のコバルト濃度を５０〜９０ｇ／Ｌに、ＰＨを２〜４に調整し、電解液または電解尾液中に存在するニッケル（Ｎｉ）、鉄（Ｆｅ）、マンガン（Ｍｎ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）を、電解時と調整時に生成する不溶性不純物として除去精製し、電解液として循環使用する高純度コバルトの製造方法である。本発明において、電解液及び電解尾液は硫酸等の酸性水溶液を用いることが好ましい。
【０００６】
本発明は、電解尾液に可溶性でＣｏ濃度及びＰＨを上げる調整剤として、炭酸コバルトの代わりに水酸化コバルトを用いるものである。電解槽より排出される電解尾液は連続的に注入される電解液に比べ、Ｃｏ濃度及びＰＨの低い液が排出されるが、この尾液は電解液として循環使用するためには元の注液と同じＣｏ濃度及びＰＨに調整する。
【０００７】
さらに、本発明は、Ｃｏとともに電析する主な元素としてＦｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃｄ及び電着（電析）せずに不溶物として電解液中に存在するものとしてＭｎ、Ａｌを除去精製するものである。Ｍｎ、Ａｌは、Ｃｏとともに電解槽及びアノードでＣｏＯＯＨとともに酸化されて不溶物として生成する又は電解尾液調整時に電解液中に不溶物として生成する。この不溶物を濾過して除去することができる。Ｆｅは、電解液中に生成する不溶物及び電解尾液を水酸化コバルトで調整するときに生ずる不溶物とともに濾過除去され、電解液中のＦｅ濃度を極微量まで低下することができる。Ｎｉは、電解中の生成物にＮｉＯＯＨとして、また電解尾液調整時にＮｉ（ＯＨ）2 として、また水酸化コバルト作製時に錯体として系外に出されるため電解液中のＮｉ濃度を極微量まで低下することができる。Ｃｕ、Ｃｄについては初期電解が起こり電解液は循環を繰り返すごとに精製されるため、電解液を循環使用することにより電解液中の濃度を低減することができる。
【０００８】
かくして電解液作製に用いた硫酸コバルト溶液にアンモニア水を添加して又はアンモニアガスを吹き込むことにより得られた水酸化コバルトを用い、電解尾液のＣｏ濃度及びＰＨを目標値に調整し、さらに電解中生成した不溶物及び水酸化コバルト中で一部酸化された少量の不溶物及びＰＨ調整時に生成する不溶物を濾過することにより高度に生成された電解循環液を得ることができ、これを電解することにより高純度Ｃｏを効率よく安定に製造することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明は、電解液のＣｏ濃度及びＰＨ調整のために用いる調整剤として水酸化コバルトを用いる。
水酸化コバルトを作成する方法として、苛性ソーダ等の苛性アルカリを使用する方法とアンモニア水又はアンモニアガスを使用する方法がある。苛性ソーダを用いた場合Ｃｏの収率は高いが、濾過性が悪く、洗浄に手間がかかりＮａの残留が問題となる。アンモニア水を直接添加する場合とアンモニアガスを酸性水溶液中に吹き込みアンモニア水を形成する場合と作用は同様で、Ｃｏの一部が錯体を形成し液中に溶解するためにＣｏの収率が悪くなるが、水酸化コバルトの濾過性は非常に良く、更にアンモニアと錯体を形成するＣｕ、Ｎｉ等を低減させる方向に作用する。
ここに用いられる調整剤はスタート時に電解液作製に用いられたコバルト塩の純度と同等以上であることが望まれる。これらの望まれる調整剤が得られない場合、電解液を作製したコバルト塩より水酸化コバルトを作製すること、または、電解尾液の一部を濾過した後に水酸化コバルトを作製することが好ましい。
【００１０】
さらに、本発明は、電解液が電解時と調整時に生成する不溶性不純物を除去精製するものである。Ｃｏともに電析する主な元素としてＦｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃｄ等があり、電着（電析）せずに不溶物として電解液中に生成するものとしてＭｎ、Ａｌがある。これのいずれについても除去精製しなければ高純度Ｃｏを製造することができない。Ｃｏの電着速度に対してＮｉは約１／１０、Ｆｅは約２倍の速度で電着する。Ｍｎ、Ａｌは電解槽及びアノードに少量酸化されて生成するＣｏＯＯＨとともに、液中に少量不溶物として生成し、また、電解尾液調整時に不溶物として生成するので、濾過除去することにより容易に精製することができる。ＦｅはＣｏと電着速度が近いために、製品中の割合は電解液のＣｏの濃度比とほぼ同じになるが、本法を用いることにより電解液中に生成する不溶物及び電解尾液を水酸化コバルトで調整するときに生ずる不溶物とともに濾過除去され、結果として電析Ｃｏ中には、０．６ｐｐｍ以下（検出限界以下）と極微量まで低下する。ＮｉはＣｏに対し約１／１０の電着速度であるために電解液の濃度比より電析Ｃｏ中の方が低くなる。Ｎｉは電解液中に濃縮されるために、水酸化コバルトで調整することによりＦｅと同じように電解中の生成物にＮｉＯＯＨとして、また電解尾液調整時にＮｉ（ＯＨ）2 として、また水酸化コバルト作製時に複錯体化合物として系外に出されるため電析Ｃｏ中のＮｉ濃度は一定に安定している。
【００１１】
さらに、Ｃｕ、ＣｄはＣｏの電着速度に対して７〜１０倍であり、電解液のＣｏの対する濃度比に対し、電析Ｃｏ中で７〜１０倍となる。Ｃｕ、Ｃｄは初期電析が起こり電解液は循環を繰り返すごとに精製されるため、電解液を循環使用することにより電析Ｃｏ中のＣｕ、Ｃｄの濃度を低下させることができる。これらのことから本発明により電解液を効率的に循環しながら高純度Ｃｏを安定して製造することができる。
【００１２】
（実施例）
電解槽は直方体でその壁上に共通の導体を置き、これに導電用棹につり下げた不溶性陽極と陰極を交互にを配置する。電解槽は鉄鋼材料で溶接したものに塩化ビニール、強化プラスチックで内張りをする。隔膜を電極間に使用するものであってもよい。
浸出した電解尾液を水酸化コバルト水溶液で調整し６時間静置させたものの上澄み液を電解液とし、Ｃｏの電解採取をする。また、ここで静置したものをフィルター濾過して電解液として使用してもよい。不純物は沈殿物又は濾過残渣中に濃縮されて、溢流は循環させて電解尾液として使用する。なお、ここで使用する水酸化コバルトは、Ｃｏ濃度が７０ｇ／Ｌの硫酸コバルト溶液１Ｌに対して、２９％のアンモニア水１４０ｇを添加することにより作製したものである。
電解条件は、陽極を不溶性に、陰極にＡｌ箔を巻いたＳＵＳ板を用いる。建浴時、電解液の主成分はＣｏＳＯ4 とＨ2 ＳＯ4 である。注入する水酸化コバルトの水溶液はＣｏ濃度は７０ｇ／Ｌ、ＰＨは３である。電解採取の電流密度は１５０〜３５０Ａ／ｍ2 、浴電圧２〜６Voltで、操業中の温度は４５〜６５℃でおこなう。得られたＣｏの主要な不純物の濃度を以下の表に示す。
【００１３】
【表１】
0004049886.tif 000002
なお、アンモニアガスの場合は、溶液１Ｌ当たり１００％のＮＨ3 ガスを１２０Ｌ／分で２５〜３０分吹き込むことにより作製されるものを用いることができる。いずれの水酸化コバルトを用いても同様の不純物濃度となる。
【００１４】
（比較例）
実施例１と同様の電解尾液を水酸化コバルトを含む水溶液で調整せず、さらに循環しないで、Ｃｏの電解採取をする。得られたＣｏの不純物濃度を表２に示す。
【表２】
0004049886.tif 000003
【００１５】
この電解採取中に、陽極表面に付着する黒色物を分離回収して分析した。また、電解槽底に沈降する黒色物を濾過分離して回収し同様に分析した。分析装置はＸ線回折装置を用いた。陽極付着物は、（Ｃｏ，Ｍｎ）ＯＯＨ、ＣｏＯＯＨである。また、電解槽沈殿黒色物は、（Ｃｏ，Ｍｎ）ＯＯＨ、ＣｏＯＯＨ、ＡｌＯＯＨである。これにより、Ｍｎ，Ａｌを不溶物として濾過により分離回収できることがわかる。
【００１６】
ここで、電解液は硫酸を使用する。Ｃｏ等の鉱石に酸化鉱、硫化鉱が多く、または硫酸等の酸浸出の方が反応が早く、さらに硫酸の入手が容易だからである。電解液中のＣｏ濃度は５０〜９０ｇ／Ｌがよい。５０ｇ／Ｌ以下及び９０ｇ／Ｌ以上では電流効率が低下するためである。とくに、６０〜８０ｇ／Ｌの範囲が好ましい。
電解液のＰＨは、２〜４の範囲がよい。ＰＨが２以下では電流効率が低下し、４以上ではＣｏの残渣ロスが大きくなるためである。とくに、２．５〜３．５の範囲が好ましい。
【００１７】
【発明の効果】
本発明は特殊な薬品を使用することなく、かつ精製のための特別な工程を経ることがないため設備的にも安価に、電解採取により高純度Ｃｏを製造することができる。さらに、電解液の循環使用により、高度に精製された電解液の電解採取により高純度Ｃｏを安定して製造することができる。