(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターンが形成された基板の二値画像であって、前記パターンの面の輝度を第１論理値、前記基板の面の輝度を第２論理値とする二値画像が記憶された記憶手段により構成され、前記二値画像の画素の輝度を検出するセンサを配列してなる測長センサを使用して前記二値画像内のパターンの幅を測長するパターン測長方法であって、
前記パターンの任意の端部の画素に位置するセンサから測長方向に沿って順にセンサの出力を検出して第１論理値を出力するセンサ数及び第２論理値を出力するセンサ数を別々にカウントする工程と、
前記パターンの正常幅から前記パターンの許容幅を減じた幅を規定値とし、第２論理値を出力するセンサ数が前記規定値を越えない前に、第１論理値を出力するセンサを検出した時は、それまでにカウントした第２論理値を出力するセンサ数を第１論理値を出力するセンサのカウント数に含める工程と、
第２論理値を出力するセンサ数が前記規定値を越えた時は、前記パターンの幅の測長を終了し、それまでにカウントした第１論理値を出力するセンサ数を前記パターンの測長方向の測長値として出力する工程とを有していることを特徴とするパターン測長方法。
【請求項２】
パターンが形成された基板の二値画像であって、前記パターンの面の輝度を第１論理値、前記基板の面の輝度を第２論理値とする二値画像が記憶された記憶手段により構成され、前記二値画像の画素の輝度を検出するセンサを配列してなる測長センサを使用して前記二値画像内のパターンの幅を測長するパターン測長装置であって、
前記パターンの任意の端部の画素に位置するセンサから測長方向に沿って順に第１論理値を出力するセンサ数及び第２論理値を出力するセンサ数を別々にカウントする第１の手段と、
前記パターンの正常幅から前記パターンの許容幅を減じた幅を規定値とし、第２論理値を出力するセンサ数が前記規定値を越えない前に、第１論理値を出力するセンサを検出した時は、それまでにカウントした第２論理値を出力するセンサ数を第１論理値を出力するセンサのカウント数に含める第２の手段と、
第２論理値を出力するセンサ数が前記規定値を越えた時は、前記パターンの幅の測長を終了し、それまでにカウントした第１論理値を出力するセンサ数を前記パターンの測長方向の測長値として出力する第３の手段とを有していることを特徴とするパターン測長装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント板外観検査装置などに使用されるパターン測長方法及び装置に関する。
【０００２】
近年、プリント板は多層化、高密度化が進み、配線されるパターンも従来まで以上に微細なもの（たとえば、１００μｍ、あるいは、それ以下のパターン幅）となっており、更に微細になる傾向にある。このため、微細化するパターンに対応するためにパターン幅を柔軟な方法で、かつ、適正に測長するためのパターン測長装置が必要とされている。
【０００３】
このように、パターンが微細である製品はプリント板だけではなく、多品種にわたって存在しており、たとえば、フィルムに配線したものや印刷されたものなどもあり、これらも同様に、パターン幅を柔軟な方法で、かつ、適正に測長するためのパターン測長装置が必要とされている。
【０００４】
【従来の技術】
図６は従来のパターン測長装置の一例の概念図である。図６中、１は測長対象であるパターンが形成されているプリント板、２はプリント板１のパターン形成面を撮像する撮像手段、３は撮像手段２により撮像されたプリント板１の表面のアナログ画像を二値画像とする二値化手段、４は二値化手段３から出力される二値画像を格納する記憶手段、５は記憶手段４により構成される測長センサの出力を入力してパターンの測長を行う測長手段である。
【０００５】
図７は図６に示す従来のパターン測長装置の動作を説明するための概略的平面図である。図７中、６は測長対象であるパターン、７は記憶手段４により構成される放射状の測長センサであり、８は０°方向の測長を行うためのセンサ列、９は４５°方向の測長を行うためのセンサ列、１０は９０°方向の測長を行うためのセンサ列、１１は１３５°方向の測長を行うためのセンサ列である。
【０００６】
即ち、図６に示す従来のパターン測長装置は、記憶手段４により放射状の測長センサ７を構成し、この測長センサ７の各センサ列８、９、１０、１１のセンサが検出するパターンの画素数をカウントすることにより、パターン６の０°方向、４５°方向、９０°方向、１３５°方向の測長を行うというものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
図８は図６に示す従来のパターン測長装置が有する問題点を説明するための概略的平面図である。図８中、１２−１〜１２−１４はセンサ列１０を構成するセンサの一部、１３はパターン６に存在する穴であり、センサ１２−１〜１２−１４は、パターン面を検出した場合には論理１（以下、“１”と記す）を出力し、基板面を検出した場合には論理０（以下、“０”と記す）を出力するものとする。
【０００８】
図６に示す従来のパターン測長装置においては、例えば、パターン６の９０°方向の幅の測長を行う場合には、パターン６の端部に位置するセンサ１２−１を測長開始センサとし、センサ１２−１から順に９０°方向のセンサの出力を検出し、出力“０”のセンサが出現するまで、出力“１”のセンサの数をカウントし、そのカウント値が測長値とされる。
【０００９】
したがって、たとえば、パターン６の９０°方向の幅を矢印Ａ１で示す位置で測長する場合には、センサ１２−１〜１２−１０の出力は“１”となり、センサ１２−１１の出力は“０”となるので、パターン６の９０°方向の幅の測長値は１０とされる。
【００１０】
これに対して、パターン６の９０°方向の幅を矢印Ａ２で示す位置で測長する場合には、センサ１２−１〜１２−７、１２−９、１２−１０の出力は“１”となるが、センサ１２−８の出力は“０”となるので、パターン６の９０°方向の幅の測長値は７とされてしまう。
【００１１】
ここに、例えば、センサ１２−１〜１２−１４が検出する画素の大きさが１０μｍ×１０μｍの場合、パターン６の９０°方向の幅の測長値は、矢印Ａ１で示す位置の場合には１００μｍとなり、矢印Ａ２で示す位置の場合には７０μｍとなる。
【００１２】
そこで、パターン６の９０°方向の許容幅が、たとえば、８０μｍとされている場合であっても、測長位置が矢印Ａ２で示す位置である場合には、パターン６の９０°方向の実効幅は９０μｍであるにも関わらず、穴１３が存在するために、測長値は７０μｍとなってしまい、図６に示す従来のパターン測長装置を使用するプリント板外観検査装置においては、パターン６は、欠陥パターンと判断されてしまう。
【００１３】
このような二値画像とされたパターン６に存在する穴１３は、パターン６に実際に存在する穴の場合もあるが、大半は、パターン６を撮像手段２で画像として読み取る際の光の乱反射や、パターン６の表面状態等の影響によるものが多く、このほかには、微小なゴミ等による反射の影響等の場合も存在する。
【００１４】
そこで、たとえば、パターン６の９０°方向の幅を測長する場合には、パターン６の実効幅を許容幅以下としないような大きさの穴やごみは存在しないものとして無視し、パターン６の実効幅を許容幅よりも狭くしてしまうような大きさの穴やごみは適正に検出できるような測長を行うことが望ましいといえる。４５°方向、９０°方向、１３５°方向の測長を行う場合も同様である。
【００１５】
本発明は、かかる点に鑑み、パターンの実効幅を許容幅以下としないような大きさの穴やごみは存在しないものとして無視し、パターンの実効幅を許容幅よりも狭くしてしまうような大きさの穴やごみは適正に検出できるような測長を行うことができるようにし、これを、たとえば、プリント板外観検査装置に使用する場合には、過剰欠陥のない信頼性の高い検査を行うことができるようにしたパターン測長方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明のパターン測長方法は、パターンが形成された基板の二値画像であって、前記パターンの面の輝度を第１論理値、前記基板の面の輝度を第２論理値とする二値画像が記憶された記憶手段により構成され、前記二値画像の画素の輝度を検出するセンサを配列してなる測長センサを使用して前記二値画像内のパターンの幅を測長するパターン測長方法であって、前記パターンの任意の端部の画素に位置するセンサから測長方向に沿って順にセンサの出力を検出して第１論理値を出力するセンサ数及び第２論理値を出力するセンサ数を別々にカウントする工程と、前記パターンの正常幅から前記パターンの許容幅を減じた幅を規定値とし、第２論理値を出力するセンサ数が前記規定値を越えない前に、第１論理値を出力するセンサを検出した時は、それまでにカウントした第２論理値を出力するセンサ数を第１論理値を出力するセンサのカウント数に含める工程と、第２論理値を出力するセンサ数が前記規定値を越えた時は、前記パターンの幅の測長を終了し、それまでにカウントした第１論理値を出力するセンサ数を前記パターンの測長方向の測長値として出力する工程とを有しているというものである。
【００１７】
本発明のパターン測長方法によれば、パターンの正常幅からパターンの許容幅を減じた幅を規定値としているので、パターンの実効幅を許容幅以下としないような大きさの穴やごみは存在しないものとして無視し、パターンの実効幅を許容幅よりも狭くしてしまうような大きさの穴やごみは適正に検出できるような測長を行うことができる。
【００１８】
本発明のパターン測長装置は、パターンが形成された基板の二値画像であって、前記パターンの面の輝度を第１論理値、前記基板の面の輝度を第２論理値とする二値画像が記憶された記憶手段により構成され、前記二値画像の画素の輝度を検出するセンサを配列してなる測長センサを使用して前記二値画像内のパターンの幅を測長するパターン測長装置であって、前記パターンの任意の端部の画素に位置するセンサから測長方向に沿って順に第１論理値を出力するセンサ数及び第２論理値を出力するセンサ数を別々にカウントする第１の手段と、前記パターンの正常幅から前記パターンの許容幅を減じた幅を規定値とし、第２論理値を出力するセンサ数が前記規定値を越えない前に、第１論理値を出力するセンサを検出した時は、それまでにカウントした第２論理値を出力するセンサ数を第１論理値を出力するセンサのカウント数に含める第２の手段と、第２論理値を出力するセンサ数が前記規定値を越えた時は、前記パターンの幅の測長を終了し、それまでにカウントした第１論理値を出力するセンサ数を前記パターンの測長方向の測長値として出力する第３の手段とを有しているというものである。
【００１９】
本発明のパターン測長装置によれば、パターンの正常幅からパターンの許容幅を減じた幅を規定値としているので、パターンの実効幅を許容幅以下としないような大きさの穴やごみは存在しないものとして無視し、パターンの実効幅を許容幅よりも狭くしてしまうような大きさの穴やごみは適正に検出できるような測長を行うことができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図１は本発明のパターン測長方法の一実施形態を示すフローチャート、図２は本発明のパターン測長方法の一実施形態を説明するための概略的平面図であり、図２中、１５は二値画像、１６は二値画像１５内のパターン、１７Ａ、１７Ｂは二値画像１５内の基板面、１８は二値画像１５を記憶する記憶手段により構成される測長センサ、１９−１〜１９−１３は測長センサ１８を構成するセンサである。
【００２１】
なお、二値画像１５は、パターン１６面の輝度を“１”、基板面１７Ａ、１７Ｂの輝度を“０”とするものである。また、センサ１９−１〜１９−１３は、輝度“１”の画素を検出した時は“１”を出力し、輝度“０”の画素を検出したときは“０”を出力するものであり、その各々が検出する画素の大きさは１０μｍ×１０μｍとされている。
【００２２】
本発明のパターン測長方法の一実施形態は、測長センサ１８を使用して、パターン１６の９０°方向の幅を測長する場合を例にするものであり、パターン１６は、９０°方向の正常幅をセンサ数で１０（実際の長さで１００μｍ）、許容幅をセンサ数で８（実際の長さで８０μｍ）とし、規定値、即ち、［正常幅−許容幅］をセンサ数で２（実際の長さで２０μｍ）としている。なお、規定値は自由に設定することができるものである。
【００２３】
本発明のパターン測長方法の一実施形態においては、まず、パターン１６の下端部に位置するセンサ１９−１から測長を開始するものとし（ステップＳ１）、出力を“１”とするセンサの数ｔを１とする（ステップＳ２）。
【００２４】
次に、次のセンサ１９−２に進み（ステップＳ３）、センサ１９−２の出力が“１”であるか否かを判断し（ステップＳ４）、センサ１９−２の出力が“１”である場合には、ｔ＝ｔ＋１＝１＋１＝２とし（ステップＳ５）、ステップＳ３に戻り、以下、次のセンサの出力が“０”となるまで、ステップＳ５、Ｓ３、Ｓ４を繰り返す。
【００２５】
そして、センサ１９−（ｉ＋１）の出力が“０”となった場合には、出力を“０”とするセンサの数ｎを１とし（ステップＳ６）、ｎが規定値２を越えているか否かを判断し（ステップＳ７）、ｎが規定値２を越えていない場合には、次のセンサ１９−（ｉ＋２）に進み（ステップＳ８）、次のセンサ１９−（ｉ＋２）の出力が“１”であるか否かを判断する（ステップＳ９）。
【００２６】
センサ１９−（ｉ＋２）の出力が“１”の場合には、ｔ＝ｔ＋ｎ＝ｉ＋１とし（ステップＳ１０）、更に、ｔ＝ｔ＋１＝ｉ＋２とし（ステップＳ５）、次のセンサ１９−（ｉ＋３）に進む（ステップＳ３）。
【００２７】
これに対して、ステップＳ９において、センサ１９−（ｉ＋２）の出力が“０”の場合には、ｎ＝ｎ＋１＝２とし（ステップＳ１１）、ｎ＞２であるか否かを判断し（ステップＳ７）、この場合、ｎ＝２であるから、次のセンサ１９−（ｉ＋３）に進み、センサ１９−（ｉ＋３）の出力が“１”であるか否かを判断する（ステップＳ９）。
【００２８】
そして、センサ１９−（ｉ＋３）の出力が“１”である場合には、ｔ＝ｔ＋ｎ＝ｉ＋２とし（ステップＳ１０）、更に、ｔ＝ｔ＋１＝ｉ＋３とし（ステップＳ５）、次のセンサ１９−（ｉ＋４）に進む（ステップＳ３）。
【００２９】
これに対して、ステップＳ１１において、ｎ＝３になると、ステップＳ７においては、ｎは規定値２を越えたと判断され、この時点での出力を“１”とするセンサ数ｔの値を測長値とし（ステップＳ１２）、測長を終了する。
【００３０】
図３及び図４は本発明のパターン測長方法の一実施形態による測長例を説明するための概略的平面図であり、図３、図４において、２０〜２４はパターン１６に存在する穴であり、輝度を基板面と同様に“０”とする部分である。
【００３１】
たとえば、図３（Ａ）に示すようにパターン１６に穴が存在しない場合には、センサ１９−１〜１９−１０の出力は“１”となるので、センサ１９−１〜１９−１０の出力の値の判断が終了すると、ｔ＝１０となる。
【００３２】
次に、センサ１９−１１〜１９−１３の出力は“０”となるので、センサ１９−１１〜１９−１３の出力の値の判断が終了すると、ｎ＝３となり、測長は終了され、ｔ＝１０が測長値として出力される。
【００３３】
この場合には、パターン１６は、９０°方向の幅に欠陥のないパターンとして判断されることになるが、パターン１６の実際の幅は１０であるから、正確な判断がされることになる。
【００３４】
また、図３（Ｂ）に示すようにパターン１６に画素１個分の穴２０が存在する場合には、センサ１９−１〜１９−７の出力は“１”となるので、センサ１９−１〜１９−７の出力の値の判断が終了すると、ｔ＝７となる。
【００３５】
次に、センサ１９−８の出力は“０”となるので、センサ１９−８の出力の値の判断が終了すると、ｎ＝１となるが、センサ１９−９の出力は“１”となるので、センサ１９−９の出力の値の判断が終了すると、ｔ＝７＋ｎ＝７＋１＝８となり、更に、続いて、ｔ＝８＋１＝９となる。
【００３６】
次に、センサ１９−１０の出力は“１”となるので、センサ１９−１０の出力の値の判断が終了すると、ｔ＝９＋１＝１０となる。
【００３７】
次に、センサ１９−１１〜１９−１３の出力は“０”となるので、センサ１９−１１〜１９−１３の出力の値の判断が終了すると、ｎ＝３となり、測長は終了され、ｔ＝１０が測長値として出力される。
【００３８】
この場合には、パターン１６は、９０°方向の幅に欠陥のないパターンと判断されることになるが、パターン１６の実効幅は９であり、許容幅８よりも大きいので、適正な判断がされることになる。
【００３９】
また、図３（Ｃ）に示すようにパターン１６に９０°方向の長さを画素２個分とする穴２１が存在する場合には、センサ１９−１〜１９−６の出力は“１”となるので、センサ１９−１〜１９−６の出力の値の判断が終了すると、ｔ＝６となる。
【００４０】
次に、センサ１９−７、１９−８の出力は“０”となるので、センサ１９−７、１９−８の出力の値の判断が終了すると、ｎ＝２となるが、続いて、センサ１９−９の出力が“１”となるので、センサ１９−９の出力の値の判断が終了すると、ｔ＝６＋ｎ＝６＋２＝８となり、更に、続いて、ｔ＝８＋１＝９となる。
【００４１】
次に、センサ１９−１０の出力は“１”となるので、センサ１９−１０の出力の値の判断が終了すると、ｔ＝９＋１＝１０となる。
【００４２】
次に、センサ１９−１１〜１９−１３の出力は“０”となるので、センサ１９−１１〜１９−１３の出力の値の判断が終了すると、ｎ＝３となり、測長は終了され、ｔ＝１０が測長値として出力される。
【００４３】
この場合には、パターン１６は、幅に欠陥のないパターンとして判断されることになるが、パターン１６の実効幅は８であり、許容幅８と一致するので、適正な判断がされることになる。
【００４４】
また、図３（Ｄ）に示すように画素１個分の穴２２が存在し、かつ、穴２２を含めた９０°方向の幅が９とされている場合には、センサ１９−１〜１９−３の出力は“１”となるので、センサ１９−１〜１９−３の出力の値の判断が終了すると、ｔ＝３となる。
【００４５】
次に、センサ１９−４の出力は“０”となるので、センサ１９−４の出力の値の判断が終了すると、ｎ＝１となるが、続いて、センサ１９−５の出力は“１”となるので、センサ１９−５の出力の値の判断が終了すると、ｔ＝３＋ｎ＝３＋１＝４となり、更に、続いて、ｔ＝４＋１＝５となる。
【００４６】
次に、センサ１９−６〜１９−９の出力は“１”となるので、センサ１９−６〜１９−９の出力の値の判断が終了すると、ｔ＝９となる。
【００４７】
次に、センサ１９−１０〜１９−１２の出力は“０”となるので、センサ１９−１０〜１９−１２の出力の値の判断が終了すると、ｎ＝３となり、測長は終了され、ｔ＝９が測長値として出力される。
【００４８】
この場合には、パターン１６は、幅に欠陥のないパターンとして判断されることになるが、パターン１６の実効幅は８であり、許容幅８と一致するので、適正な判断がされることになる。
【００４９】
これに対して、図４（Ａ）に示すようにパターン１６に９０°方向の長さを画素３個分とする穴２３が存在する場合には、センサ１９−１、１９−２の出力は“１”となるので、センサ１９−１、１９−２の出力の値の判断が終了すると、ｔ＝２となる。
【００５０】
次に、センサ１９−３〜１９−５の出力は“０”となるので、センサ１９−３〜１９−５の出力の値の判断が終了すると、ｎ＝３となり、センサ１９−６の出力の値の判断をすることなく、測長は終了され、ｔ＝２が測長値として出力される。
【００５１】
この場合には、パターン１６は、９０°方向の幅に欠陥のあるパターンと判断されることになるが、パターン１６の実効幅は７であり、許容幅８以下であるから、適正な判断がされることになる。
【００５２】
また、図４（Ｂ）に示すようにパターン１６に９０°方向の長さを画素４個分とする穴２４が存在する場合には、センサ１９−１〜１９−３の出力は“１”となるので、センサ１９−１〜１９−３の出力の値の判断が終了すると、ｔ＝３となる。
【００５３】
次に、センサ１９−４〜１９−７の出力は“０”となるが、センサ１９−４〜１９−６の出力の値の判断が終了すると、ｎ＝３となり、センサ１９−７の出力の値を判断することなく、測長は終了され、ｔ＝３が測長値として出力される。
【００５４】
この場合には、パターン１６は、９０°方向の幅に欠陥のあるパターンと判断されることになるが、パターン１６の実効幅は６であり、許容幅８以下であるから、適正な判断がされることになる。
【００５５】
図５は本発明のパターン測長装置の一実施形態の概念図であり、本発明のパターン測長装置の一実施形態は、本発明のパターン測長方法の一実施形態を実施するものである。
【００５６】
図５中、２５は測長対象であるパターンが形成されているプリント板、２６はプリント板２５のパターン形成面を撮像する撮像手段、２７は撮像手段２６により撮像されたプリント板２５の表面のアナログ画像を二値画像とする二値化手段である。
【００５７】
また、２８は二値化手段２７から出力される二値画像を格納するための記憶手段、２９は記憶手段２８に格納された二値画像内のパターンの幅を測長する測長手段であり、本発明のパターン測長装置の一実施形態においては、記憶手段２８により、たとえば、図２に示す測長センサ１８が構成される。
【００５８】
また、測長手段２９において、３０は記憶手段２８により構成される測長センサ１８を構成するセンサ１９−１〜１９−１３の出力がセンサ１９−１の出力から順に入力されるシフトレジスタである。
【００５９】
また、３１はシフトレジスタ３０から出力されるセンサの出力を分配するためのスイッチ回路であり、３１Ａは入力端子、３１Ｂ、３１Ｃ、３１Ｄは出力端子である。
【００６０】
また、３２はシフトレジスタ３０の出力の“１”から“０”の変化点及び“０”から“１”の変化点を検出してスイッチ回路３１のスイッチ動作を制御するスイッチ制御回路であり、このスイッチ制御回路３２は、次のように動作する。
【００６１】
即ち、センサ１９−１から測長を開始後、シフトレジスタ３０の出力の“１”から“０”への変化点を検出しない間は、入力端子３１Ａを出力端子３１Ｂに接続させ、シフトレジスタ３０から出力される“１”を出力端子３１Ｂに出力させるようにスイッチ回路を制御する。
【００６２】
また、シフトレジスタ３０の出力の“１”から“０”への変化点を検出した時は、その後、シフトレジスタ３０の出力の“０”から“１”への変化点を検出するまでは、入力端子３１Ａを出力端子３１Ｃに接続させ、シフトレジスタ３０から出力される“０”を出力端子３１Ｃに出力させるようにスイッチ回路３１を制御する。
【００６３】
また、シフトレジスタ３０の出力の“０”から“１”への変化点を検出した時は、その後、シフトレジスタ３０の出力の“１”から“０”への変化点を検出するまでは、入力端子３１Ａを出力端子３１Ｄに接続し、シフトレジスタ３０から出力される“１”を出力端子３１Ｄに出力させるようにスイッチ回路３１を制御する。
【００６４】
また、３３はスイッチ回路３１の出力端子３１Ｂに出力される“１”の数をカウントするカウンタ、即ち、センサ１９−１から測長を開始後、センサ１９−１を含め、センサ１９−１から連続して出力を“１”とするセンサの数をカウントするカウンタである。
【００６５】
また、３４はスイッチ回路３１の出力端子３１Ｃに出力される“０”の数をカウントするカウンタ、即ち、出力を“０”とするセンサの数をカウントするカウンタである。
【００６６】
また、３５はスイッチ回路３１の出力端子３１Ｄに出力される“１”の数をカウントするカウンタ、即ち、センサ１９−１には連続しない出力を“１”とするセンサ数をカウントするカウンタである。
【００６７】
また、３６はカウンタ３４の出力値とカウンタ３５の出力値とを加算する加算器、３７は０又は加算器３６の出力値を選択して出力するセレクタ、３８はカウンタ３３の出力値とセレクタ３７の出力値とを加算してパターンの測長値を出力する加算器である。
【００６８】
また、３９はカウンタ３４の出力値とカウンタ３５の出力値とを監視し、カウンタ３３、３４、３５及びセレクタ３７の制御などを行うことにより測長動作を制御する測長制御回路であり、次のように動作する。
【００６９】
カウンタ３５の出力値が０で、カウンタ３４の出力値が０、１、２である場合、セレクタ３７に０を選択させる。
【００７０】
また、カウンタ３４の出力値が１、２で、かつ、カウンタ３５の出力値が０から１となった場合には、セレクタ３７に加算器３６の出力値を選択させ、加算器３８において、カウンタ３３の出力値と加算器３６の出力値との加算が行われた後、加算器３８の出力値をカウンタ３３にセットさせ、カウンタ３４、３５をリセットすると共に、その後、カウンタ３４の出力値が１となるまで、セレクタ３７に加算器３６の出力値を選択させる。
【００７１】
また、カウンタ３５の出力値に関わらず、カウンタ３４の出力値が１→２→３と変化する場合には、セレクタ３７に０を選択させ、カウンタ３４の出力値が３となった場合には、カウンタ３３、３４、３５によるカウントを終了させて測長動作を終了させ、その時の加算器３８の出力値を測長値として確定させる。
【００７２】
このように構成された本発明のパターン測長装置の一実施形態においては、初期状態時、スイッチ回路３１の入力端子３１Ａは出力端子３１Ｂに接続され、カウンタ３３、３４、３５の出力値＝０、加算器３６の出力値＝０、セレクタ３７は０を選択、加算器３８の出力値＝０となる。
【００７３】
そして、パターン１６について、幅の測長が開始されると、測長センサ１８においては、センサ１９−１が測長開始点のセンサとされ、センサ１９−１〜１９−１３の出力がセンサ１９−１の出力から順にシフトレジスタ３０に転送され、測長中は、シフトレジスタ３０からセンサ１９−１〜１９−１３の出力がセンサ１９−１の出力から順に出力される。
【００７４】
ここに、センサ１９−１は、パターン１６の端部に位置しているので、センサ１９−１の出力は“１”となるが、シフトレジスタ３０からセンサ１９−１の出力である“１”に続いて“１”が連続して出力される間は、シフトレジスタ３０から出力される“１”はカウンタ３４に転送され、加算器３８においては、カウンタ３３の出力値とセレクタ３７の出力値０との加算が行われる。
【００７５】
したがって、たとえば、シフトレジスタ３０からセンサ１９−１の出力を含めて“１”が連続してｍ個出力されると、即ち、センサ１９−１〜１９−ｍの出力が“１”であると、加算器３８の出力値はｍとなる。
【００７６】
その後、スイッチ制御回路３２がシフトレジスタ３０の出力に“１”から“０”への変化点を検出すると、入力端子３１Ａは出力端子３１Ｃに接続されるので、シフトレジスタ３０から出力される“０”はカウンタ３４に転送され、カウンタ３４は、シフトレジスタ３０から出力される“０”の数をカウントすると共に、測長制御回路３９は、カウンタ３４の出力値が２を越えない間は、セレクタ３７に０を選択させる。
【００７７】
そして、シフトレジスタ３０から“０”が１個又は連続して２個出力された後、スイッチ制御回路３２がシフトレジスタ３０の出力に“０”から“１”への変化点を検出すると、入力端子３１Ａは出力端子３１Ｄに接続されるので、シフトレジスタ３０から出力される“１”はカウンタ３５に転送され、カウンタ３５の出力値は１となる。
【００７８】
この場合、加算器３６においては、カウンタ３４の出力値１又は２とカウンタ３５の出力値１との加算が行われ、加算器３６の出力値は２又は３となると共に、測長制御回路３９は、セレクタ３７に加算器３６の出力を選択させるので、加算器３８においては、カウンタ３３の出力値ｍと加算器３６の出力値２又は３との加算が行われる。
【００７９】
そして、測長制御回路３９の制御によって、加算器３８の出力値がカウンタ３３にセットされると共に、カウンタ３４、３５がリセットされ、セレクタ３７は加算器３６の出力値を選択する状態を維持し、その後、シフトレジスタ３０から“１”が出力される間は、加算器３８においては、カウンタ３３の出力値と加算器３６の出力値との加算が行われる。
【００８０】
これに対して、カウンタ３５の出力値に関わらず、シフトレジスタ３０から“０”が連続して３個出力されると、即ち、カウンタ３４の出力値が３となった場合には、測長制御回路３９は、カウンタ３３、３４、３５によるカウントを終了させて測長動作を終了させ、その時の加算器３８の出力値を測長値として確定させる。
【００８１】
このように構成された本発明のパターン測長装置の一実施形態を使用して図３（Ａ）に示すパターン１６を測長すると、シフトレジスタ３０からセンサ１９−１〜１９−１０の出力“１”が連続して１０個出力され、カウンタ３３の出力値＝１０、加算器３８の出力値＝１０となる。
【００８２】
次に、シフトレジスタ３０からセンサ１９−１１〜１９−１３の出力“０”が連続して３個出力され、カウンタ３４の出力値＝３となり、測長は終了とされ、この時の加算器３８の出力値である１０が測長値とされる。
【００８３】
この場合には、パターン１６は、９０°方向の幅に欠陥のないパターンと判断されることになるが、パターン１６の実際の幅は１０であるから、正確な判断がされることになる。
【００８４】
また、図３（Ｂ）に示すパターン１６を測長すると、まず、シフトレジスタ３０からセンサ１９−１〜１９−７の出力“１”が連続して７個出力され、カウンタ３３の出力値＝７、加算器３８の出力値＝７となる。
【００８５】
次に、シフトレジスタ３０からセンサ１９−８の出力“０”が出力され、カウンタ３４の出力値＝１、加算器３６の出力値＝１となり、セレクタ３７の出力値は０が維持される。
【００８６】
次に、シフトレジスタ３０からセンサ１９−９の出力“１”が出力され、カウンタ３５の出力値＝１、加算器３６の出力値＝２、セレクタ３７の出力値＝２、加算器３８の出力値＝９となる。
【００８７】
そして、測長制御回路３９の制御により、加算器３８の出力値９がカウンタ３３にセットされると共に、カウンタ３４、３５がリセットされ、カウンタ３４の出力値＝０、カウンタ３５の出力値＝０、加算器３６の出力値＝０となり、セレクタ３７は、加算器３６の出力値を選択する状態を維持する。
【００８８】
次に、シフトレジスタ３０からセンサ１９−１０の出力“１”が出力され、カウンタ３５の出力値＝１、加算器３６の出力値＝１、セレクタ３７の出力値＝１、加算器３８の出力値＝１０となる。
【００８９】
次に、シフトレジスタ３０からセンサ１９−１１〜１９−１３の出力“０”が連続して３個出力され、カウンタ３４の出力値＝３となり、測長は終了され、この時の加算器３８の出力値である１０が測長値とされる。
【００９０】
この場合には、パターン１６は、９０°方向の幅に欠陥のないパターンと判断されることになるが、パターン１６の実効幅は９であり、許容幅８よりも大きいので、適正な判断がされることになる。
【００９１】
また、図３（Ｃ）に示すパターン１６を測長すると、まず、シフトレジスタ３０からセンサ１９−１〜１９−６の出力“１”が連続して６個出力され、カウンタ３３の出力値＝６、加算器３８の出力値＝６となる。
【００９２】
次に、シフトレジスタ３０からセンサ１９−７、１９−８の出力“０”が連続して２個出力され、カウンタ３４の出力値＝２、加算器３６の出力値＝２となり、セレクタ３７の出力値は０が維持される。
【００９３】
次に、シフトレジスタ３０からセンサ１９−９の出力“１”が出力され、カウンタ３５の出力値＝１、加算器３６の出力値＝３、セレクタ３７の出力値＝３、加算器３８の出力値＝９となる。
【００９４】
そして、測長制御回路３９の制御により、加算器３８の出力値９がカウンタ３３にセットされると共に、カウンタ３４、３５がリセットされ、カウンタ３４の出力値＝０、カウンタ３５の出力値＝０、加算器３６の出力値＝０となり、セレクタ３７は、加算器３６の出力値を選択する状態を維持する。
【００９５】
次に、シフトレジスタ３０からセンサ１９−１０の出力“１”が出力され、カウンタ３５の出力値＝１、加算器３６の出力値＝１、セレクタ３７の出力値＝１、加算器３８の出力値＝１０となる。
【００９６】
次に、シフトレジスタ３０からセンサ１９−１１〜１９−１３の出力“０”が連続して３個出力され、カウンタ３４の出力値＝３となり、測長は終了され、この時のカウンタ３３の出力値である１０が測長値とされる。
【００９７】
この場合には、パターン１６は、９０°方向の幅に欠陥のないパターンと判断されることになるが、パターン１６の実効幅は８であり、許容幅８と一致するので、適正な判断がされることになる。
【００９８】
また、図３（Ｄ）に示すパターン１６を測長すると、まず、シフトレジスタ３０からセンサ１９−１〜１９−３の出力“１”が連続して３個出力され、カウンタ３３の出力値＝３、加算器３８の出力値＝３となる。
【００９９】
次に、シフトレジスタ３０からセンサ１９−４の出力“０”が出力され、カウンタ３４の出力値＝１、加算器３６の出力値＝１となり、セレクタ３７の出力値は０が維持される。
【０１００】
次に、シフトレジスタ３０からセンサ１９−５の出力“１”が出力され、カウンタ３５の出力値＝１、加算器３６の出力値＝２、セレクタ３７の出力値＝２、加算器３８の出力値＝５となる。
【０１０１】
そして、測長制御回路３９の制御により、加算器３８の出力値５がカウンタ３３にセットされると共に、カウンタ３４、３５がリセットされ、カウンタ３４の出力値＝０、カウンタ３５の出力値＝０、加算器３６の出力値＝０となり、セレクタ３７は、加算器３６の出力値を選択する状態を維持する。
【０１０２】
次に、シフトレジスタ３０からセンサ１９−６〜１９−９の出力“１”が連続して４個出力され、カウンタ３５の出力値＝４、加算器３６の出力値＝４、セレクタ３７の出力値＝４、加算器３８の出力値＝９となる。
【０１０３】
次に、シフトレジスタ３０からセンサ１９−１０〜１９−１２の出力“０”が連続して３個出力され、カウンタ３４の出力値＝３となり、測長は終了され、この時の加算器３８の出力値である９が測長値とされる。
【０１０４】
この場合には、パターン１６は、９０°方向の幅に欠陥のないパターンと判断されることになるが、パターン１６の実効幅は８であり、許容幅８と一致するので、適正な判断がされることになる。
【０１０５】
これに対して、図４（Ａ）に示すパターン１６を測長すると、まず、シフトレジスタ３０からセンサ１９−１、１９−２の出力“１”が連続して２個出力され、カウンタ３３の出力値＝２、加算器３８の出力値＝２となる。
【０１０６】
次に、シフトレジスタ３０からセンサ１９−３〜１９−５の出力“０”が連続して３個出力され、カウンタ３４の出力値＝３となり、測長は終了され、この時の加算器３８の出力値である２が測長値とされる。
【０１０７】
この場合には、パターン１６は、９０°方向の幅に欠陥のあるパターンと判断されることになるが、パターン１６の実効幅は７であり、許容幅８以下であるから、適正な判断がされることになる。
【０１０８】
また、図４（Ｂ）に示すパターン１６を測長すると、まず、シフトレジスタ３０からセンサ１９−１〜１９−３の出力“１”が連続して３個出力され、カウンタ３３の出力値＝３、加算器３８の出力値＝３となる。
【０１０９】
次に、シフトレジスタ３０からセンサ１９−４〜１９−７の出力“０”が連続して３個出力され、カウンタ３４の出力値＝３となり、測長は終了され、この時の加算器３８の出力値である３が測長値とされる。
【０１１０】
この場合には、パターン１６は、９０°方向の幅に欠陥のあるパターンと判断されることになるが、パターン１６の実効幅は６であり、許容幅８以下であるから、適正な判断がされることになる。
【０１１１】
このように、本発明のパターン測長方法及び装置の一実施形態によれば、正常幅を１０、許容幅を８とするパターン１６の任意の端部に位置するセンサ１９−１から９０°方向に沿って順に出力を“１”とするセンサ数及び出力を“０”とするセンサ数を別々にカウントし、出力を“０”とするセンサ数が規定値２を越えない前に、出力を“１”とするセンサを検出した時は、それまでにカウントした出力を“０”とするセンサ数を出力を“１”とするセンサのカウント数に含め、出力を“０”とするセンサ数が規定値２を越えた時は、それまでにカウントした出力を“１”とするセンサ数をパターン１６の測長値とするとしているので、実効幅が許容幅８以上の場合には、測長値として８以上の値を得ることができ、実効幅が許容幅８未満の場合には、測長値として７以下の値を得ることができる。
【０１１２】
即ち、本発明のパターン測長方法及び装置の一実施形態によれば、たとえば、パターン１６の実効幅を許容幅８以下としないような大きさの穴やごみは存在しないものとして無視し、パターン１６の実効幅を許容幅８よりも狭くしてしまうような大きさの穴やごみは適正に検出できるような測長を行うことができるので、これを、たとえば、プリント板外観検査装置に使用する場合には、過剰欠陥のない信頼性の高い検査を行うことができる。
【０１１３】
なお、本発明のパターン測長方法及び装置の一実施形態においては、９０°方向の幅を測長する場合について説明したが、本発明は、任意の方向の幅を測長する場合について適用することができる。
【０１１４】
【発明の効果】
以上のように、本発明のパターン測長方法及び装置によれば、パターンの正常幅からパターンの許容幅を減じた幅を規定値としたことにより、パターンの実効幅を許容幅以下としないような大きさの穴やごみは存在しないものとして無視し、パターンの実効幅を許容幅よりも狭くしてしまうような大きさの穴やごみは適正に検出できるような測長を行うことができるので、これを、たとえば、プリント板外観検査装置に使用する場合には、過剰欠陥のない信頼性の高い検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のパターン測長方法の一実施形態を示すフローチャートである。
【図２】本発明のパターン測長方法の一実施形態を説明するための概略的平面図である。
【図３】本発明のパターン測長方法の一実施形態による測長例を説明するための概略的平面図である。
【図４】本発明のパターン測長方法の一実施形態による測長例を説明するための概略的平面図である。
【図５】本発明のパターン測長装置の一実施形態の概念図である。
【図６】従来のパターン測長装置の一例の概念図である。
【図７】図６に示す従来のパターン測長装置の動作を説明するための概略的平面図である。
【図８】図６に示す従来のパターン測長装置が有する問題点を説明するための概略的平面図である。
【符号の説明】
（図２）
１９−１〜１９−１３  センサ
（図３）
２０、２１、２２  穴
（図４）
２３、２４  穴
【図１】
0004032495.tif 000002
【図２】
0004032495.tif 000003
【図３】
0004032495.tif 000004
【図４】
0004032495.tif 000005
【図５】
0004032495.tif 000006
【図６】
0004032495.tif 000007
【図７】
0004032495.tif 000008
【図８】
0004032495.tif 000009