(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行レールに沿って配設した高周波電流を流す給電線と、無人搬送車側に設けた給電コイルを介し、電磁誘導により非接触で無人搬送車に給電するようにした無人搬送装置において、無人搬送車に、該無人搬送車の走行方向と直交して水平に給電コイル支持軸を設け、該給電コイル支持軸に、給電コイルに突設したクランプを軸方向に沿って摺動可能に貫通させ、セットボルトにて締結できるようにして、給電コイルを給電線から後退させることができるようにしたことを特徴とする無人搬送装置。
【請求項２】
走行レールのカバーを、Ｌ字形に屈曲形成し、その垂片下端を走行レールの外側面に形成した挿入溝に挿入して係止するようにしたことを特徴とする請求項１記載の無人搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、無人搬送装置に関し、特に、給電コイルを給電線から後退可能とすることにより、故障した無人搬送車を走行レールの任意位置から吊り上げ撤去することができる無人搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体等の製造ラインにおいては、部品等の必要部材を搬送するために、無人搬送車をクリーンルーム内の製造ラインに沿って自力走行するように配置している。
この際、無人搬送車が走行するときの発塵を可能な限り抑制するために、無人搬送車に対し電磁誘導によって非接触で給電するようにしている。
【０００３】
また、この非接触給電を効率的に行うため、図４に示すように、走行レール１に沿って配設した給電線２に可及的に近接した状態で、給電コイル４を無人搬送車３側に固定している。
具体的には、無人搬送車３下部の両側で、走行レール１から側方に突出するように支持された給電線２が、給電コイル４のＥ型コアの溝を挿通するように位置決めされている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このような無人搬送装置においては、無人搬送車が走行中に故障した場合、給電コイル４のコア内部を挿通する給電線がコアと干渉することから、その位置で走行レールから無人搬送車を上方に吊り上げて撤去することができず、故障した無人搬送車を待避位置まで移動させた後、走行レールから撤去して修理を行う必要がある。
このため、修理に必要以上の手数を要するとともに、故障した無人搬送車を撤去するまでは他の無人搬送車の走行ができないことから、搬送装置全体が停止するという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記従来の無人搬送装置が有する問題点に鑑み、給電コイルを給電線から後退可能とすることにより、故障した無人搬送車を走行レールの任意位置から吊り上げ撤去することができる無人搬送装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の無人搬送装置は、走行レールに沿って配設した高周波電流を流す給電線と、無人搬送車側に設けた給電コイルを介し、電磁誘導により非接触で無人搬送車に給電するようにした無人搬送装置において、無人搬送車に、該無人搬送車の走行方向と直交して水平に給電コイル支持軸を設け、該給電コイル支持軸に、給電コイルに突設したクランプを軸方向に沿って摺動可能に貫通させ、セットボルトにて締結できるようにして、給電コイルを給電線から後退させることができるようにしたことを特徴とする。
【０００７】
この無人搬送装置は、無人搬送車が故障した場合でも、給電コイルを給電線から後退させられることから、給電線と給電コイルが干渉することなく、その場で故障した無人搬送車を走行レールから吊り上げて撤去することができ、これにより、他の無人搬送車に影響を与えることなく、安定した搬送作業を継続することができる。
【０００８】
また、走行レールのカバーを、Ｌ字形に屈曲形成し、その垂片下端を走行レールの外側面に形成した挿入溝に挿入して係止するようにすることができる。
【０００９】
これにより、故障した無人搬送車を走行レールから吊り上げて撤去する際に支障となる走行レールのカバーを、走行レールから簡単に取り外すことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の無人搬送装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１１】
図１〜図３に、本発明の無人搬送装置の一実施例を示す。
この無人搬送装置は、図１〜図２に示すように、走行レール１に沿って配設した高周波電流を流す給電線２と、無人搬送車３側に設けた給電コイル（図示省略）を介し、電磁誘導により非接触で無人搬送車３に給電するように構成されている。
【００１２】
この無人搬送装置の走行レール１は箱形をしており、この走行レール１の空洞内に給電線２が張架配設されている。
給電線２は、走行レール１の左側面と右側面にそれぞれ相対するように配設することにより、図３に示すように、走行レール１が分岐するような場合でも、その分岐点において、電力が中断されることなく左右いずれかの給電線２、２より、継続的に給電することができる。
そして、この左右に相対する給電線２、２間の幅Ｗを、無人搬送車３のガイド車輪３２、３２間の幅Ｗｏよりも大となるように設定し、無人搬送車の吊り上げ撤去時においても、ガイド車輪３２が給電線２、２に接触しないようにする。
【００１３】
なお、走行レール１には、走行レール内で発生する塵埃がクリーンルーム内へ漏洩しないように、カバー１３が配設されている。
このカバー１３は、Ｌ字形に屈曲形成され、その垂片下端を走行レール１の外側面に形成した挿入溝１４に落とし込むように挿入して係止し、これによりカバー１３を走行レール１から簡単に取り外し、取り付けが行えるようにしている。
【００１４】
一方、無人搬送車３は、下部に、走行車輪３１とガイド車輪３２とを備え、前記箱形の走行レール１の内底面に沿って配設されたレール１１に走行車輪３１が接触するようにしている。
また、走行レール１の左右の内側面１２でガイド車輪３２を接触させ、これにより無人搬送車３が走行レール１に沿って安定して走行できるようにしている。
【００１５】
無人搬送車３の下部両側には、給電コイル４がそれぞれ配設されている。
これらの給電コイル４、４はＥ型を呈し、給電コイル支持軸４１によって、溝が側方に開口するように支持されている。
そして、無人搬送車３の両側で、走行レール１から側方に突出するように支持された給電線２、２が、給電コイル４、４のＥ型コアの溝をそれぞれ挿通するように位置決めされている。
【００１６】
この場合、この無人搬送装置では、給電コイル４、４を給電線２、２から後退させる後退機構を設けている。
この後退機構は、各給電コイル４、４を、走行方向と直交して水平に設けた給電コイル支持軸４１に対し、その軸方向に沿って摺動可能とし、所定位置にて固定できるようにしている。
具体的には、図１に示すように、給電コイル４のフレーム４２にクランプ４３を突設し、このクランプ４３に給電コイル支持軸４１を摺動可能に貫通させ、セットボルト４４にて締結できるようにしている。
これにより、図２に示すように、給電コイル４、４を、給電線２、２と上下に重ならない位置まで後退させることができ、給電線２と給電コイル４が干渉することなく、その場で故障した無人搬送車３を走行レール１から吊り上げることができる。
【００１７】
以下、本実施例の無人搬送装置の作用について説明する。
走行レール１に沿って無人搬送車３が自動走行する際、走行レール１の内側面に張架された給電線２、２から無人搬送車３側の給電コイル４、４に電磁誘導により非接触で給電される。
通常走行時においては、左右に相対する給電線２、２より給電されるが、図３に示すような走行レール１の分岐点７においては、左右の給電線２、２のいずれか一方から給電され、安定した走行が行われる。
そして、無人搬送車３は自動走行し、目的地に到着すると停車し、停車位置の上にあるカセット５は、移載機６により持ち上げられ指定の位置に移動される。
【００１８】
ところで、この搬送作業時に無人搬送車３に故障が生じる場合がある。
この場合、無人搬送車３が故障した位置で、無人搬送車３の吊り上げ撤去時に支障となる箇所のカバー１３を取り外す。このカバー１３の取り外しは、カバー１３を挿入溝１４内より持ち上げることにより、簡単に行うことができる。
【００１９】
次に、この取り外したカバー１３の開口部からセットボルト４４を弛め、給電コイル４、４を、給電コイル支持軸４１に沿って給電線２、２と反対側に後退させ、この後退位置で再びセットボルト４４を締結し、給電コイル４、４を給電コイル支持軸４１に固定する。
これにより、左右に相対する給電コイル４、４の出幅が、左右に相対して配設した給電線２、２間の幅Ｗよりも小となり、その結果、故障した無人搬送車３を、走行レールから給電線２、２と接触させることなく吊り上げて、撤去することができる。
【００２０】
そして、故障した無人搬送車３を所定の保守点検位置まで搬送し、この位置で修理する。これにより、後行する他の無人搬送車３の走行に支障を与えないようすることができる。
また、故障した無人搬送車３は、修理が完了した時点で、上記と逆の手順により、再び走行レール１に復帰させることができる。
【００２１】
以上、本発明の無人搬送装置について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、例えば、給電コイルの後退機構を、ボールナット、エアシリンダ、ピニオンラック等を用いて構成することにより動作を自動化する等、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【００２２】
【発明の効果】
本発明の無人搬送装置によれば、無人搬送車が故障した場合でも、給電コイルを給電線から後退させられることから、給電線と給電コイルが干渉することなく、その場で故障した無人搬送車を走行レールから吊り上げて撤去することができ、これにより、他の無人搬送車に影響を与えることなく、安定した搬送作業を継続することができ、また、給電コイルを給電線から後退させる機構を簡易に構成することができる。
【００２３】
また、走行レールのカバーを、Ｌ字形に屈曲形成し、その垂片下端を走行レールの外側面に形成した挿入溝に挿入して係止するようにすることにより、故障した無人搬送車を走行レールから吊り上げて撤去する際に支障となる走行レールのカバーを、走行レールから簡単に取り外すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の無人搬送装置の一実施例を示し、（Ａ）は無人搬送車と走行レールの拡大断面図、（Ｂ）は給電コイルの取付部を示す部分拡大図である。
【図２】  同実施例において故障した無人搬送車の撤去順序を示す説明図である。
【図３】  同実施例の無人搬送装置を示す部分斜視図である。
【図４】  従来の無人搬送装置の断面図である。
【符号の説明】
１    走行レール
１１  レール
１２  走行レール内側面
１３  カバー
１４  挿入溝
２    給電線
３    無人搬送車
３１  走行車輪
３２  ガイド車輪
３３  下部フレーム
４    給電コイル
４１  給電コイル支持軸
４２  フレーム
４３  クランプ
４４  セットボルト
５    カセット
６    移載機
７    分岐点
【図１】
0004049976.tif 000002
【図２】
0004049976.tif 000003
【図３】
0004049976.tif 000004
【図４】
0004049976.tif 000005