(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定側部と、少なくとも光学素子または光学要素を有する可動側部と、この可動側部を上記の固定側部に対して変位可能に支持する支持機構と、この可動側部を変位させる駆動手段と、上記の固定側部と可動側部との間に介在され上記の固定側部に対する上記の可動側部の変位に対して減衰力を与えるための流動性および粘性を有するダンピング材とを備えた支持装置において、
上記の固定側部と上記の可動側部との相互に対向した２つの面，上記の固定側部に形成された相互に対向する２つの面，そして上記の可動側部に形成された相互に対向する２つの面の中の少なくともいずれかの２つの面の間に形成されて上記のダンピング材を保持するダンピング材保持間隙を備え、上記のダンピング材保持間隙は間隔が狭くなった狭隘部と上記の狭隘部よりも間隔が広い部分とを有しており、上記のダンピング材保持間隙に保持された上記のダンピング材は自由表面の表面張力の作用により上記のダンピング材保持間隙の所定の位置に保持される、ことを特徴とする光学素子または光学要素の支持装置。
【請求項２】
前記のダンピング材保持間隔において前記の狭隘部は前記の２つの面に沿った方向の中央部に形成されている、ことを特徴とする請求項１の光学素子または光学要素の支持装置。
【請求項３】
前記のダンピング材保持間隔において前記の狭隘部は前記の２つの面に沿った方向の端部に形成されている、ことを特徴とする請求項１の光学素子または光学要素の支持装置。
【請求項４】
前記のダンピング材保持間隔において前記の狭隘部は前記の２つの面に沿った方向の複数個所に形成されている、ことを特徴とする請求項１の光学素子または光学要素の支持装置。
【請求項５】
前記のダンピング材保持間隙は前記の固定側部と前記の可動側部との相互に対向した２つの面の間に形成されており、また前記の支持機構は前記の可動側部に固定された一端部と前記の固定側部に固定された他端部とを有していて弾性変形により前記の可動側部を変位可能に支持するバネを備えており、このバネの上記一端部と上記他端部の間の少なくとも一部は上記のダンピング材保持間隙内に配置され、このダンピング材保持間隙内に保持されたダンピング材内に埋没されている、ことを特徴とする請求項１の光学素子または光学要素の支持装置。
【請求項６】
前記のダンピング材保持間隙は、前記の固定側部に形成された相互に対向する２つの面そして前記の可動側部に形成された相互に対向する２つの面の中の少なくともいずれかの２つの面の間に形成されており、また前記の支持機構は前記の可動側部に固定された一端部と前記の固定側部に固定された他端部とを有していて弾性変形により前記の可動側部を変位可能に支持するバネを備えており、このバネの上記一端部と上記他端部の少なくともいずれかが上記のダンピング材保持間隙内に配置され、このダンピング材保持間隙内に保持されたダンピング材内に埋没されている、ことを特徴とする請求項１の光学素子または光学要素の支持装置。
【請求項７】
前記の支持機構は、弾性変形により前記の可動側部を変位可能に支持するバネを備えており、前記のダンピング材保持間隙は、このバネが弾性変形する際に互いに相対的に変位する少なくとも２つのバネの部分の間に形成されていることを特徴とする請求項１の光学素子または光学要素の支持装置。
【請求項８】
前記のダンピング材保持間隙は、前記の固定側部と可動側部との相互に対向した２つの面の間に形成されており、また前記の支持機構はこのダンピング材保持間隙の外側に配置されていることを特徴とする請求項１の光学素子または光学要素の支持装置。
【請求項９】
前記の狭隘部は、前記の２つの面またはバネのうちの少なくともいずれか１つに形成された突部により形成されていることを特徴とする請求項５または請求項６の光学素子または光学要素の支持装置。
【請求項１０】
前記の狭隘部は、前記のバネの一部に突設された突部により形成されていることを特徴とする請求項７の光学素子または光学要素の支持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学装置、たとえば光磁気ディスクドライブ、追記形ディスクドライブ、相変化形ディスクドライブ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ、光カード等の光記録媒体等に対して情報を記録および／または再生する情報記録再生装置や、光スキャナー等の光学装置に使用する対物レンズ等の支持装置や、ガルバノミラー等の光学素子の支持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記のような各種の光学装置には、内部に可動部分を有する光学素子や、または移動自在に支持された光学素子が使用されている。たとえばガルバノミラー等の光学素子では、内部のミラー等の光学要素が回転自在に支持されており、またフォーカス制御をなす対物レンズ等の光学素子は所定の方向に移動自在に支持されている。
【０００３】
小形の光学要素または光学素子を移動自在に支持する装置としては、バネによる支持装置が多く使用されている。このような支持装置は、可動部分をバネにより支持し、このバネの変形によりこの可動部分を所定の軸まわりに回転自在または所定の方向に移動自在に支持するものである。しかし、このようなバネによる支持装置では、可動部分が回動または移動するとバネの変形による復元力が生じ、このためこの可動部分が所定の固有振動数で振動し、この可動部分の駆動の際に共振が発生する不具合がある。
【０００４】
このような不具合を防止するために、この可動部分の振動に対して減衰力を与えるダンピング機構が設けられている。小形の光学素子等では、このダンピング機構としてゲル状のダンピング材が使用される。このようなゲル状のダンピング材の例としては、特開平６−３１４４３２号公報に開示されている。
【０００５】
図２０および図２１には、上記のような従来のゲル状のダンピング材を使用した減衰機構の基本的な構成を示す。すなわち、図中の２０１は固定側の部材であり、この固定側部材２０１の取付部２０３にはワイヤをＵ字状に形成したバネ２０２が取付けられている。このバネ２０２は一対の脚部２０２ａ，２０２ｂを有しており、一方の脚部２０２ａの先端部に図示しない可動部材が支持されている。そして、たとえばこの脚部２０２ａがねじりまたは曲げ変形することにより、可動部材が回動自在または移動自在に支持される。また、他方の脚部２０２ｂは変形せず、固定側部材２０１と一体的なものである。
【０００６】
そして、たとえば上記の一方の脚部２０２ａと他方の脚部２０２ｂの間には、ゲル状のダンピング材Ｄが保持されている。このダンピング材Ｄとしては、たとえば熱硬化シリコーンゲル材が使用される。このダンピング材Ｄを保持させるには、未硬化の液状で流動性を有するシリコーンゲル材を所定量だけ上記の一対の脚部２０２ａ，２０２ｂの間に注入し、その表面張力によりこの液状のシリコーンゲル材の液塊Ｄをこれらの脚部の間の隙間に保持させる。そして、その後にオーブン等により全体を加熱してこのシリコーンゲル材を硬化させ、ゲル状のシリコーンゲル材Ｄを形成する。
【０００７】
このようなゲル状のシリコーンゲル材Ｄの内部に上記の一対の脚部２０２ａ，２０２ｂが埋め込まれるので、可動部材の回動または移動により一方の脚部２０２ａと他方の脚部２０２ｂとが相対的に変位すると、このシリコーンゲル材Ｄの粘性により減衰力が発生する。
【０００８】
ところで、上記のような未硬化の液状のシコーンゲル材Ｄを脚部の間に保持させる場合には、このシリコーンゲル材の液塊はその表面張力により自由表面が最小となるようにな凝集力が働く。よって、これらの脚部２０２ａ，２０２ｂの長手方向と直交する方向については、このシリコーンゲル材の液塊はこれら脚部の間の隙間の中心に対して対称な位置および形状で安定して保持される。しかし、これらの脚部の長手方向については、これら脚部の断面形状や間隔が一定であるため、この液塊がこの長手方向に移動してもその自由表面の面積は一定となる。したがって、この隙間に注入された未硬化のシリコーンゲル材Ｄは、これらの脚部の長手方向の任意の位置に保持可能となり、この液塊の保持位置が不安定となる。
【０００９】
このため、このシリコーンゲル材Ｄの液塊が図２１の（ａ）のように他方の脚部２０２ｂの先端部側に位置したり、また同図（ｂ）に示すように脚部２０２ｂの中間部に位置したり、あるいは同図（ｃ）に示すように固定側部材２０１側に移動し、これら脚部２０２ａ，２０２ｂと固定側部材２０１との間の隙間に保持されたりする。したがって、このような未硬化のシリコーンゲル材を硬化させて形成したゲル状のシリコーンゲル材Ｄの位置も一定しない。このため、このような光学素子または光学要素の支持装置の減衰特性にばらつきが発生し、その制御精度が低下する等の不具合が発生する。このような不具合は、この光学素子や光学要素が小形化し、かつ高精度化する程顕著に現れる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は以上の事情に基づいてなされたもので、たとえば液塊状のゲル状等のダンピング材を使用する光学素子または光学要素の支持装置において、このダンピング材を所定の位置に正確に保持させることができる支持装置を提供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載された本発明は、固定側部と、少なくとも光学素子または光学要素を有する可動側部と、この可動側部を上記の固定側部に対して変位可能に支持する支持機構と、この可動側部を変位させる駆動手段と、上記の固定側部と可動側部との間に介在され上記の固定側部に対する上記の可動側部の変位に対して減衰力を与えるための流動性および粘性を有するダンピング材とを備えた支持装置において、上記の固定側部と上記の可動側部との相互に対向した２つの面，上記の固定側部に形成された相互に対向する２つの面，そして上記の可動側部に形成された相互に対向する２つの面の中の少なくともいずれかの２つの面の間に形成されて上記のダンピング材を保持するダンピング材保持間隙を備え、上記のダンピング材保持間隙は間隔が狭くなった狭隘部と上記の狭隘部よりも間隔が広い部分とを有しており、上記のダンピング材保持間隙に保持された上記のダンピング材は自由表面の表面張力の作用により上記のダンピング材保持間隙の所定の位置に保持される、ことを特徴とする光学素子または光学要素の支持装置である。
【００１２】
したがって、このダンピング材保持間隙内に注入された未硬化のダンピング材がこの隙間内を移動しようとした場合に、この狭隘部においてこのダンピング材の自由表面の面積が変化する。したがって、このダンピング材は、この狭隘部によって移動を制限されるので、このダンピング材は所定の位置に保持され、その減衰力にばらつきが生じることがなく、高い精度の支持装置を提供することができる。
【００１３】
また、請求項２に記載の本発明は、前記のダンピング材保持間隔において前記の狭隘部は前記の２つの面に沿った方向の中央部に形成されている。したがって、このダンピング材が移動すると、その両側の自由表面の面積に差が発生し、この差による表面張力の差により、このダンピング材はこの狭隘部の中心に戻され、所定の位置に保持される。
【００１４】
また、請求項３に記載の本発明は、前記のダンピング材保持間隔において前記の狭隘部は前記の２つの面に沿った方向の端部に形成されている。したがって、このダンピング材の端部の自由表面は、常に最小の面積となる傾向によってこの狭隘部の位置に保持され、これによってダンピング材は所定の位置に保持される。
また、請求項４に記載の本発明は、前記のダンピング材保持間隔において前記の狭隘部は前記の２つの面に沿った方向の複数個所に形成されている。したがって、このダンピング材を所定位置により確実に保持することができるとともに、注入するダンピング材の量を変更しても、これら複数の狭隘部のいずれかの箇所でこのダンピング材を保持することができる。
【００１５】
また、請求項５に記載の本発明は、前記のダンピング材保持間隙は前記の固定側部と前記の可動側部との相互に対向した２つの面の間に形成されており、また前記の支持機構は前記の可動側部に固定された一端部と前記の固定側部に固定された他端部とを有していて弾性変形により前記の可動側部を変位可能に支持するバネを備えており、このバネの上記一端部と上記他端部の間の少なくとも一部は上記のダンピング材保持間隙内に配置され、このダンピング材保持間隙内に保持されたダンピング材内に埋没されている。
【００１６】
したがって、このダンピング材により、互いに変位する２つの面の間、および弾性変形により変位するバネの一部に減衰力が与えられ、より確実な減衰力を与えることができる。
【００１７】
また、請求項６に記載の本発明は、前記のダンピング材保持間隙は、前記の固定側部に形成された相互に対向する２つの面そして前記の可動側部に形成された相互に対向する２つの面の中の少なくともいずれかの２つの面の間に形成されており、また前記の支持機構は前記の可動側部に固定された一端部と前記の固定側部に固定された他端部とを有していて弾性変形により前記の可動側部を変位可能に支持するバネを備えており、このバネの上記一端部と上記他端部の少なくともいずれかが上記のダンピング材保持間隙内に配置され、このダンピング材保持間隙内に保持されたダンピング材内に埋没されている。
【００１８】
したがって、このダンピング材により、弾性変形により変位するバネの一部に減衰力を与えることができる。また、ダンピング材保持間隙は、固定側部または可動側部に形成されるので、たとえばこの間隙を奥壁を備えた凹部状のものとすることもでき、ダンピング材をより確実に所定の位置に保持できる。
【００１９】
また、請求項７に記載の本発明は、前記の支持機構は、弾性変形により前記の可動側部を変位可能に支持するバネを備えており、前記のダンピング材保持間隙は、このバネが弾性変形する際に互いに相対的に変位する少なくとも２つのバネの部分の間に形成されているものである。したがって、より簡単な構造とすることができる。
【００２０】
また、請求項８に記載の本発明は、前記のダンピング材保持間隙は、前記の固定側部と可動側部との相互に対向した２つの面の間に形成されており、また前記の支持機構はこのダンピング材保持間隙の外側に配置されている。よって、この支持機構とダンピング材保持間隙の配置関係が自由であり、設計の自由度が向上するとともに、この支持機構がたとえばピボット軸受のようにダンピング材中に埋没させることが好ましくない支持機構の場合にも適用することができる。
【００２１】
また、請求項９に記載の本発明は、前記の狭隘部は、前記の２つの面またはバネのうちの少なくともいずれか１つに形成された突部により形成されているものである。よって、より簡単な構造でこの狭隘部を形成することができる。
【００２２】
また、請求項１０に記載の本発明は、前記の狭隘部は、前記のバネの一部に突設された突部により形成されているものである。したがって、より簡単な構造でこの狭隘部を形成することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、図１ないし図１２を参照して本発明の第１の実施形態を説明する。この実施形態のものは、光磁気ディスクを記録媒体とする情報記録再生装置の光ピックアップ装置に使用されるガルバノミラーのミラーを含む可動部を支持する装置に本発明を適用した場合のものである。
【００２４】
まず、図１を参照してこの光ピックアップ装置の光学素子の概略的な配置を説明する。図中の１は光磁気ディスクであって、この光磁気デイスク１の記録面に沿ってアーム状のキヤリッジ２が設けられている。このキヤリッジ１内には、後述する光学系が設けられ、この光学系により光磁気ディスク１の記録面上に光スポットＰを結び、情報の書き込みおよび読み出しを行う。
【００２５】
上記のキヤリッジ２は、回転軸３を中心として図示しない駆動機構により回動され、その先端部を機械的に移動させて粗アクセスを行う。また、上記の光学系には、後述するガルバノミラー２０が設けられ、上記の光スポットＰを光学的に移動させて微トラッキングを行う。
【００２６】
上記のキヤリッジ２は、具体的な構造は図示していないが、たとえばマグネシウム合金のダイキャストまたはプラスチックのモールド成型により形成したもので、その内部に上述の光学系が内蔵されている。なお、このキヤリッジ２は、上記のようなマグネシウム合金のダイキャスト以外にも、アルミニウム合金のダイキャスト、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、液晶プラスチック（ＬＣＰ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）等のプラスチックの成形でもよい。
【００２７】
この光学系は、光源であるレーザダイオード１１を備え、ここから出射した光はビームスプリッタ１２の表面で一部の光が反射され、この反射光はコリメートレンズ１３に入射して平行光となる。そして、この平行光はリレーレンズ１４で集光される。また、この光学系には、後述するガルバノミラー２０が設けられ、上記のリレーレンズ１４で集光された光はその焦点位置の少し手前でこのガルバノミラー２０のミラー２１で反射され、コンバージョンレンズ１５により再び平行光とされる。この平行光は上記のキヤリッジ２のアーム部分内をその長手方向に沿って進み、このアーム部分の先端部に設けられた固定ミラー１６で反射される。この反射光は対物レンズ１７に入射し、前述の光磁気ディスク１の記録面上に前記の光スポットＰを結ぶ。
【００２８】
また、光磁気デイスク１の記録面からの反射の戻り光の一部は、前記のビームスプリッタ１２を透過し、フォトディテクター１８に入射する。そして、このフォトディテクター１８からの出力により、情報再生信号、フオーカシングエラー信号、トラッキングエラー信号等の信号が得られる。そして、たとえば上記のフオーカシングエラー信号、トラッキングエラー信号等は、この光ピックアップ装置の制御回路（図示せず）に送られ、この制御回路からの制御信号により上記のガルバノミラー２０のミラー２１がそのミラー回転軸まわりに回転し、これにより前記の光スポットＰの位置を光学的にトラッキング方向に移動させて前述の微トラッキングを行う。また、この制御回路からの制御信号により、上記のリレーレンズ１４が図示しない駆動機構によりその光軸方向に駆動され、前記の光磁気ディスク１上の光スポットＰの焦点制御を行う。
【００２９】
なお、この実施形態のものは、上記のレーザダイオード１１から上記の固定ミラー１６、およびフォトディテクター１８に至る光路は、いずれも上記のキヤリッジ２の回転面と平行な面内に配置されている。
【００３０】
次に、この実施形態の光ピックアップ装置に使用される上記のガルバノミラー２０の構成について説明する。図２はこの実施形態のガルバノミラーを前方側から見た斜視図、図３は後方側から見た斜視図、図４は分解斜視図である。
【００３１】
図中の２２はベース部材であって、このベース部材２２はたとえば鋼板材をプレス成型して形成され、全体の形状は略有底円筒状をなしている。このベース部材２２の底壁部２３の中央部には孔が形成されてリング状をなしており、この底壁部２３の下面は球面状に形成されてこのガルバノミラーを取付け調整するための支承面２４に形成されている。この支承面２４の球面の中心は、図１１に示すように、上記のミラー２１の反射面上の入射光の光軸の位置Ｏと一致している。また、このベース部材２２の周壁のうち、前記のミラー２１の前面側は切り欠かれており、光が通過するための光路開口２５が形成されている。
【００３２】
上記のようなガルバノミラー２０は、図１１および図１２に示すように、上記のキヤリッジ２に形成されたガルバノミラー収容部２８内に収容される。このガルバノミラー収容部２８は、上記のようなガルバノミラー２０の外形と略対応した形状、すなわち円形の凹部である。また、このガルバノミラー収容部２８は、このキヤリッジ２内の光路が配置される平面と垂直な方向、たとえば上方に向けて開口されている。このガルバノミラー収容部２８の開口方向は、このキヤリッジ２をダイカスト成型する際の金型の抜き方向でもある。
【００３３】
そして、このガルバノミラー収容部２８の底部には、リング状の支承座面２９が形成されている。この支承座面２９は、このキヤリッジ２をダイカストにより成型する際に、一体的に形成されたもので、円錐面状をなしている。そして、このガルバノミラー収容部２８内に挿入されたガルバノミラー２０は、その底部の支承面２４がこの支承座面２９に当接した状態で傾き等が調整され、所定の傾き位置に固定されている。
【００３４】
上記のガルバノミラー２０の支承面２４の中心軸線Ｓ、および上記の支承座面２９の中心軸線Ｓ´は、いずれも上記のミラー２１の回転中心軸線であるミラー回転軸Ｒと平行に配置されている。また、これらの支承面２４と支承座面２９の中心軸線Ｓ，Ｓ´は、上記のミラー２１の反射面内に含まれ、またこの反射面上の入射光の光軸の位置を通過するように配置されている。
【００３５】
そして、このベース部材２２内には、バネアセンブリ３０が収容されている。このバネアセンブリ３０は、合成樹脂材料で形成され片持梁状をなした固定側の部材である固定部材３１と、この固定部材３１の前面側に回動自在に支持された合成樹脂材料からなる可動側の部材である可動部材３２とから構成されている。この可動部材３２は、上記の固定部材３１に対して、後に詳述するバネ３３，３４により図２に示すようなＹ軸と平行なミラー回転軸線Ｒまわりに回転自在に支承されている。
【００３６】
また、この可動部材３２の前面には、ミラー２１が取付けられており、またこのミラー２１の周囲を囲んで略四角形の可動コイル３７が取付けられており、これら可動部材３２、ミラー２１および可動コイル３７等により可動部が形成されている。なお、このミラー２１に入射する入射光および反射した反射光の光路は、前記の図２のＸ軸およびＺ軸を含む平面内に配置されている。上記のミラー回転軸Ｒは、上記のようにＹ軸と平行で、かつこれら可動部材３２、ミラー２１および可動コイル３７等からなる可動部全体の重心点を通過しており、このミラー回転軸Ｒはこの可動部の慣性主軸と一致している。
【００３７】
なお、上記の可動部材３２の前面には、左右一対、上下一対の合計４個の位置決突部３５，３６が一体に突設されている。そして、上記のミラー２１の左右側面および上下面は、これらの位置決突部３５，３６の内側面に嵌合し、このミラー２１がこの可動部材３２の前面に所定位置に位置決めされている。また、前記の可動コイル３７は、その左右、上下の内周面が上記の位置決突部３５，３６の外側面に嵌合し、この可動コイル３７が所定位置に位置決めされている。よって、上記のミラー２１の外周と可動コイル３７の内周との間には、上記の各位置決突部３５，３６が介在しており、これらの間に所定の隙間が形成されている。
【００３８】
そして、上記の可動部材３２、ミラー２１、可動コイル３７は、上記の隙間内に充填された接着材により互いに一体的に接着されている。したがって、これらの部品からなる可動部は、全体の形状が四角形のブロック状となり、かつ接着材で互いに一体的に接合されているので、この可動部自身の固有振動数が極めて高くなり、この可動部が回動する際の共振が確実に防止される。
【００３９】
なお、上記の固定部材３１、可動部材３２はガラス繊維で強化された非導電性の合成樹脂材料、たとえば液晶プラスチック（ＬＣＰ）、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリカーボネート（ＰＣ）等で形成されている。また、上記のミラー２１は平面状のガラス基板の前面に反射率の高い反射膜を形成したものである。また、上記の可動コイル３７は直径０．０５ｍｍの導線を４層に巻回したもので、その上下部からはそれぞれリード線３８が導出されている。なお、この可動コイル３７への給電構造については後に説明する。
【００４０】
また、上記のバネアセンブリ３０の平面形状は、前述のごとく略四角形をなしており、このバネアセンブリ３０が円筒状のベース部材２２内に挿入されることにより、このバネアセンブリ３０の両側に空間が形成される。なお、このバネアセンブリ３０の固定部材３１の背面には、図３に示すように嵌合突部４６が形成されている。また、上記のベース部材２２の周壁部の背面側の上縁部には、上記の嵌合突部４６に対応して嵌合凹部４７が形成されている。そして、上記の嵌合突部４６がこの嵌合凹部４７内に嵌合することにより、このバネアセンブリ３０が位置決めされてこのベース部材２２内に嵌合される。
【００４１】
また、このバネアセンブリ３０の両側の空間内には、略四角形ブロック状の固定側の永久磁石３９が異極を対向させてそれぞれ収容されている。なお、このベース部材３２の周壁のうちこれら永久磁石３９が収容される部分は平面状の平面部２６に形成され、これら永久磁石３９を安定して収容するように構成されている。
【００４２】
なお、上記のベース部材２２の平面形状は略円形であり、また上記のバネアセンブリ３０および永久磁石３９の平面形状は四角形である。したがって、これらが上記のようにこのベース部材２２内に嵌合して収容されることにより、これら永久磁石３９の後側には隙間がそれぞれ形成される。これらの隙間は、後述するように、このガルバノミラー２０を調整して取付ける際の取付工具の位置決ピンが挿入される隙間として使用される。
【００４３】
次に、上記のバネアセンブリ３０および可動部材３２を支持する装置の構成について説明する。図５には、このバネアセンブリ３０の斜視図を示す。前記の固定部材３１は、ビーム状の梁部４１と、この梁部４１の上下両端部から前方に突出したアーム部４２，４３とを有している。また、上記の可動部材３２の上下両端部には、それぞれバネ取付部４４が一体に突設されている。そして、上記のアーム部４２，４３とバネ取付部４４との間は前述のバネ３３，３４により前記のミラー回転軸Ｒまわりに回転自在に連結されている。そして、これらのバネ３３，３４、固定部材３１、可動部材３２の連結構造は以下のように構成されている。
【００４４】
図６には、これらのバネ３３，３４の形状、および固定部材３１、可動部材３２との配置関係を示し、また図７にはこれらのバネ３３，３４を固定部材３１や可動部材３２に組み込む前の打抜きブランク材の状態を示す。これらのバネ３３，３４は、上記の可動部材３２を回転自在に支持するための部材と、上記の固定部材３１等の補強をなす補強部材と、前記の可動コイル３７に給電をなす導電部材とを兼用している。
【００４５】
これらのバネ３３，３４は、たとえばベリリウム銅合金の厚さ０．０３ｍｍの薄板材をエッチング等に所定の形状に加工したもので、その表面には耐蝕性および半田付け性を向上させるために０．２ミクロン程度の厚さの金メッキが施されている。そして、これらのバネ３３，３４は、たとえばＳ字状に屈曲したＳ字状バネ部５１と、このＳ字状バネ部５１の一端部に連続して形成された端子部５２と、このＳ字状バネ部５１の他端部に連続して形成された補強導電部５４，５５と、これらの補強導電部５４，５５の先端部に形成された端子部５６とを有している。上記の端子部５２の先端部には、前述した可動コイル３７のリード線３８が係合されるＶ字状の係合切欠５３がそれぞれ形成されている。なお、下側のバネ３４の補強導電部５５は、略Ｌ字状に形成されている。
【００４６】
そして、上記のバネ３３，３４は、図２および図５のＹ−Ｚ面と平行に配置され、その端子部５２および補強導電部５４，５５は、これらの固定部材３１および可動部材３２内の中心面かつ対称面に一体的に埋設されている。上記の補強導電部材５４，５５は金属板材であり、その面方向における曲げや剪断変形については高い剛性を有している。したがって、これらが固定部材３１の梁部４１やアーム部４２，４３内に一体的に埋設されていることにより、これらの部分の剛性を高め、荷重による変形、この固定部材３１を射出成型した場合の変形や、温度変化に伴う熱膨張による変形等を防止し、バネアセンブリ３０の精度を高める。また、これら端子部５２や補強導電部５４，５５等はこれら固定部材３１や可動部材３２の中心面内に埋設されているので、バネアセンブリ３０は中心面に対して左右対称の構造となり、不規則な変形をより効果的に防止し、精度をより高くする。
【００４７】
上方のバネ３３は、その端子部５２が可動部材３２の上側のバネ取付部４４内に一体的に埋設されており、またこの端子部５２の先端部はこのバネ取付部４４の先端面から突出している。そして、この先端部の係合切欠５３に可動コイル３７の一方のリード線３８の先端部が係合し、さらに半田付けにより接合されている。また、このバネ３３の補強導電部５４は、固定部材３１の上側のアーム部４２内に一体的に埋設されている。そして、この補強導電部５４の先端の端子部５６は、図３に示すように固定部材３１の背面に突出している。そして、この図３および図１１に示すように、この端子部５４にはプリント配線板６０の端子部が半田付けされている。したがって、このプリント配線板６０、バネ３３の補強導電部５４、Ｓ字状バネ部５１、端子部５２、リード線３８を介してこの可動コイル３７に給電がなされる。
【００４８】
また、下方のバネ３４は、上記と同様にその端子部５２が可動部材３２の下側のバネ取付部４４内に埋設され、また係合切欠５３には可動コイル３７の他方のリード線３８が係合して半田付けされている。また、このバネ３４のＬ字状の補強導電部５５は、固定部材３１の下側のアーム部４３および梁部４１内に連続して一体に埋設されている。そして、この補強導電部５５の先端の端子部５６は固定部材３１の背面部に突出し、前記と同様にプリント配線板６０の他方の端子部に半田付けされており、前記と同様にこれらの部材を介して可動コイル３７に給電がなされる。
【００４９】
このようなバネアセンブリ３０は以下のようにして組み立てられる。まず、前述したようなベリリウム銅合金等の薄板材をエッチング加工して図７に示すようなバネのブランク材６０を製造する。このブランク材６０は、枠状のフレーム部６１を有しており、このフレーム部６１内に前記のようなバネ３３，３４が所定の配置関係で一体に形成されている。なお、これらバネ３３，３４とフレーム部６１とは組み立て後に切断する切断予定線Ｃの部分で連続している。また、このフレーム部６１のたとえば４隅には、位置決めのための位置決孔６３がそれぞれ形成されている。
【００５０】
そして、このようなブランク材６０を一対の金型（図示せず）の間に挟んでこれらの金型を衝合し、この金型のキャビテイ内に樹脂材料を射出して前述の固定部材３１および可動部材３２を形成し、これと同時に上記のバネ３３，３４の部分をこれらの固定部材３１や可動部材３２の金型衝合面である中心面に一体的に埋設する。
【００５１】
なお、この樹脂材料と上記のバネ３３，３４の表面との間の接着力は非常に小さいので、これら埋設されたバネ３３，３４が一体化されず、かつこれらの部分で固定部材３１および可動部材３２が左右に割れてしまうことがある。これを防止するために、これらバネ３３，３４の適宜箇所には透孔６２が形成されており、たとえば図８に示すようにこれらの透孔６２内に射出された樹脂が充填され、これら固定部材３１や可動部材３２の左右の部分を連結するとともに、これらバネ３３，３４を一体化している。
【００５２】
また、上記の金型のキャビテイ内に樹脂材料を射出する際に、その射出圧力によりバネ３３，３４の各部がキャビテイ内で変形し、これらバネ３３，３４の各部が中心からずれたり、変形したりすることがある。このような不具合を防止するために、上記のバネ３３，３４の適宜の部分、たとえば端子部５２の先端部、補強導電部５４，５５の縁部、端子部５６等を金型の間で挟圧し、これらの部分がキヤビテイ内で移動、変形するのを防止するように構成されている。したがって、上記の金型の間に挟圧された部分は、図８および図９に示すように上記の固定部材３１、可動部材３２の表面から突出している。
【００５３】
なお、上記の補強導電部５５は、固定部材３１の梁部４１のほぼ全長に亘って埋設され、かつその縁部がこの梁部４１のほぼ全長にわたって突出している。したがって、この補強導電部５５の埋設部分では、この梁部４１が左右に分割され、強度、剛性が低下する。このような不具合を防止するには、この補強導電部５５に前述したような透孔を形成してこの透孔内に充填された樹脂材料でこの梁部の左右の部分を連結すればよいが、このような透孔を形成すると、この補強導電部５５の強度、剛性が低下する。このため、この梁部４１の中央部には、これを横断する方向に連結リブ部６４が一体に突設されている。この連結リブ部６４は、補強導電部５５の突出した縁部を跨いでこの梁部４１の左右の部分を連結している。したがって、この補強導電部５５に透孔を形成することなくこの梁部４１の左右を連結することができる。
【００５４】
なお、この連結リブ部６４は、上記の可動部材３２の背面に対向しており、この可動部材３２の最大回動角度を規制するストッパを兼用している。
【００５５】
そして、上述のようにしてこれらバネ３３，３４を固定部材３１や可動部材３２内に一体に埋設した後に、上述したような切断予定線Ｃの部分を切断し、フレーム部６１からこれらバネ３３，３４を分離し、このバネアセンブリ３０を完成する。
【００５６】
次に、上記のＳ字状バネ部５１について説明する。これらのＳ字状バネ部５１は、前述のように図２および図５のＹ−Ｚ面と平行に配置されており、可動部材３２を図２および図５のＹ軸と平行なミラー回転軸Ｒまわりに回転自在に支承し、かつこれ以外の他の方向については可動部材３２の移動を可能なかぎり防止する支持部材として作用するものである。
【００５７】
図１０は、このＳ字状バネ部５１を拡大して示したもので、一対の略半円形の湾曲部５１ａと、これらの一端部の端部５１ｂと、これらの湾曲部５１ａの他端部を互いに連結する略直線状の直線部５１ｃとが一体に形成されているものである。そして、上記の端部５１ｂは、前述のように固定部材３１側、および可動部材３２側に固定されている。
【００５８】
このＳ字状バネ部５１は、上記のような支持部材としての作用を達成するために、以下のような薄板の変形の特性を利用している。一般に、薄板材は、その板厚に対して面方向の寸法が大であるため、その面方向と直交する方向の単純な曲げ変形に対しては剛性が最も小さく、ねじれ変形に対してはある程度剛性が高く、面方向に沿う曲げ変形やせん断変形に対しては最も高い剛性を示す。可動部材３２が固定部材３１に対してミラー回転軸Ｒまわりに回動した場合には、このミラー回転軸Ｒの近傍部分、すなわちこのＳ字状バネ部５１の端部５１ｂの根元部、直線部５１ｃの中央部に生じる変形は面方向と直交する方向の単純な曲げ変形である。したがって、このＳ字状バネ部５１は、このミラー回転軸Ｒを中心として回動するように可動部材３２を支持し、このミラー回転軸Ｒまわりの回転に伴う弾性力は小さい。
【００５９】
一方、上記の可動部材３２がＹ軸方向、Ｚ軸方向、およびＸ軸まわりに傾くように移動する場合には、上記のＳ字状バネ部５１にその面方向の曲げ変形や剪断変形が生じる。このＳ字状バネ部５１は、このような面方向の曲げ変形や剪断変形に対しては前述のように剛性が高く、よってこれらの方向についての可動部材３２の支持剛性は高い。特に、Ｚ軸方向の移動、およびＸ軸まわりの傾動は、この可動部材３２に取付けられたミラー２１で反射された光の焦点のずれ、光軸の傾き等の光学的な誤差の原因となるが、これらの方向の支持剛性は上記のように高いので、このような光学的な誤差を効果的に排除することができる。
【００６０】
なお、この可動部材３２がＸ軸の方向に移動する場合、およびＺ軸まわりに傾動する場合には、上記のＳ字状バネ部５１の端部５１ｂおよび直線部５１ｃにねじれ変形が生じ、湾曲部５１ａの中央部に単純な曲げ変形が発生し、比較的剛性が低くなるが、これらの方向の移動は、ミラー２１がその反射面に平行な方向に移動するだけであり、実質的な反射面の変位は生じないので、光学的な誤差は発生しない。
【００６１】
さらに、上記のように可動部材３２が光学的な誤差の原因となるＺ軸方向への移動およびＸ軸まわりの傾動、すなわちＳ字状バネ５１の面方向の曲げ変形や剪断変形のが可能な限り小さくなるように、上記のＳ字状バネ部５１は以下のような形状に形成されている。図１０に示すように、このＳ字状バネ部５１は、その端部５１ｂおよび直線部５１ｃの幅Ｗ２，Ｗ３が狭く、湾曲部５１ａの幅Ｗ１が広くなるように設定されている。たとえばこの実施形態では、上記の端部５１ｂおよび直線部５１ｃの幅Ｗ２，Ｗ３はいずれも０．０８ｍｍ、湾曲部５１ａの幅Ｗ１は０．１６ｍｍに設定されている。
【００６２】
このＳ字状バネ部５１の面方向の曲げ変形や剪断変形の剛性を高くするには、このＳ字状バネ部５１の各部の幅を広くすればよい。しかし、この幅を一様に広くすると、この端部５１ｂや直線部５１ｃの部分の面方向と直交する方向の単純な曲げの剛性も高くなり、ミラー回転軸Ｒまわりの変形の剛性も高くなってしまう。しかし、上記のように湾曲部５１ａの部分の幅Ｗ１を広くすれば、端部５１ｂや直線部５１ｃの部分の面方向と直交する方向の単純な曲げ変形の剛性はほとんど変わらないが、この湾曲部５１ａの部分の面方向の曲げ変形や剪断変形の剛性は高くなり、このＳ字状バネ部５１全体の面方向における曲げ変形や剪断変形の剛性は高くなる。一方で、上記のミラー回転軸Ｒまわりの変形の際には、このミラー回転軸Ｒの近傍の端部５１ｂおよび直線部５１ｃが主に曲げ変形し、この軸Ｒから離れた位置にある湾曲部５１ａの部分の変形は少ない。したがって、この場合のミラー回転軸Ｒ回りの変形の剛性の増大はわずかである。
【００６３】
上記のＳ字状バネ部５１は、前述のようにミラー回転軸Ｒまわりに回転自在な支承をなす部材として作用するものであるから、その特性としては、この軸Ｒまわりの変形の際の剛性ＧＲに対して、それ以外の方向すなわち図５のＺ軸方向の変形の際の剛性ＧＺが大きいこと、すなわちＧＺ／ＧＲが大きい程好ましいものである。
【００６４】
次に、上記のような効果を確認するために行った試験の結果を説明する。この場合に、上記のＳ字状バネ部５１は、寸法が小さいものであるので、このＳ字状バネ部５１の各方向の剛性を直接測定するのは困難でかつ精度が低い。このような条件を考慮して、以下のような方法により上記のＧＺ／ＧＲの剛性の比を間接的に測定した。
【００６５】
まず、比較例として、バネの板厚が０．０３ｍｍ、Ｓ字状バネ部５１の全体が０．０８ｍｍの均一な幅のものと、上述のように端部５１ｂおよび直線部５１ｃの幅がいずれも０．０８ｍｍ、湾曲部５１ａの幅Ｗ１が０．１６ｍｍの実施形態のバネを試作し、これらを同じ固定部材３１や可動部材３２と一体化してバネアセンブリ３０を製造した。
【００６６】
そして、上記の可動部材３２の各方向の固有振動数を測定した。まず、均一な幅の比較例のものは、ミラー回転軸Ｒまわりの可動部材３２の固有振動数ｆＲと、この可動部材３２のＺ軸方向の固有振動数ｆＺを測定した結果、ｆＲ＝１２８Ｈｚ、ｆＺ＝７１８Ｈｚであった。一方、上記の実施形態のものについても同様に可動部材の固有振動数を測定した結果、ｆＲ＝１５９Ｈｚ、ｆＺ＝１４１４Ｈｚであった。そして、これらの比を算出した結果、均一な幅の参考例のものは、そのｆＺ／ｆＲが５．６であるのに対して、実施形態のものは、このｆＺ／ｆＲが８．９であった。そして、このＳ字状バネ部の剛性の比は、（ｆＺ／ｆＲ）２であるから、上記の参考例のものは、上記の（ｆＺ／ｆＲ）２すなわちミラー回転軸まわりの剛性とＺ軸方向の剛性の比ＧＺ／ＧＲが約３１であるのに対して、この実施形態のものは、ＧＺ／ＧＲが約７９であった。したがって、この実施形態のものは、このＧＺ／ＧＲが参考例の約２．６倍である。よって、この実施形態のものは、ミラー回転軸Ｒまわりの剛性をＧＲを参考例と等しく設定すれば、Ｚ軸方向の剛性ＧＺは２．６倍となる。つまり、たとえば共振や振動によって可動部分３２が移動する量、すなわちミラー２１で反射される光のずれは１／２．６となり、より高精度のガルバノミラーと安定したトラッキング特性が得られる。
【００６７】
また、上記の支持部材の形状として、上記のようなＳ字状バネ５１を用いている。ガルバノミラー２０の支持部材であるバネは、消費電力を小さくし、支持部材に発生する最大応力を小さくして支持部材の信頼性を向上させるために、そのバネの有効長は長い方が好ましい。しかし、支持部材ミラー回転軸Ｒ方向に長くすると、ガルバノミラー２０の寸法が非常に大きくなり、装置の小形化の障害となってしまう。そのために本実施形態では、支持部材であるバネをＳ字状とし、バネの両端の端部５１ｂ、５１ｂの間のバネ長を長くし、２つの端部５１ｂ，５１ｂの間の直線距離を短くしている。
【００６８】
さらに、本実施形態においては、端部５１ｂの固定部材３１への取付け、および端部５１ｂの可動部材３２への取付けをミラー回転軸Ｒ方向に対して垂直方向であるＺ方向に位置させた。そのため、支持部材であるＳ字状バネ５１の取付部を含めたミラー回転軸Ｒ方向の寸法を非常に小さく構成することができる。そのため、ガルバノミラー２０のミラー回転軸Ｒ方向の寸法を小さくし、消費電力を低減し、かつ支持部材に発生する最大応力を小さくして信頼性を向上させることができる。
【００６９】
また、上記のように可動部材３２はバネ３３，３４のＳ字状バネ部５１の変形により、ミラー回転軸Ｒまわりに回転自在に支承されており、このＳ字状バネ部５１はこのミラー回転軸Ｒまわりの変形に対して所定のバネ定数を有しているため、この可動部材３２はこのミラー回転軸Ｒまわりに振動する。そして、このような可動部材３２の振動を減衰するために、以下のような減衰機構が設けられている。
【００７０】
すなわち、図５ないし図６に示すように、上記の固定部材３１のアーム部４２，４３の先端部には、前記のバネ３３，３４のＳ字状バネ部５１の一方の端部５１ｂを囲むようにして上下１対ずつの突部７１，７２がそれぞれ突設されている。また、上記の可動部材３２のバネ取付部４４にも、それぞれ突部７３が突設されてこのバネ取付部４４がＵ字状に形成され、Ｓ字状バネ部５１の他方の端部５１ｂを囲むように構成されている。また、上記の突部７２と７３とにより、このＳ字状バネ部５１の直線部５１ｃを囲むように構成されている。
【００７１】
そして、これらの突部７１，７２の間に形成された凹部、および上記の突部７２，７３の間の間隙には、それぞれダンピング材７４，７５が充填されており、上記のＳ字状バネ部５１の端部５１ｂはこのダンピング材７４内に埋没され、またＳ字状バネ部５１の直線部５１ｃは上記のダンピング材７５内に埋没されている。これらのダンピング材７４，７５は、たとえば未硬化の液状で流動性を有する熱硬化シリコーンゲル材をこれらの凹部および隙間内に所定量ずつ注入保持させた後に、このバネアセンブリ３０全体をオーブン内でたとえば７０°Ｃで３０分間加熱し、この未硬化のゲル材を硬化させて所定の粘性を有するシリコーンゲル材としたものである。
【００７２】
したがって、上記の可動部材３２がミラー回転軸Ｒまわりに回転した場合に、このＳ字状バネ部５１の端部５１ｂおよび直線部５１ｃがこれらのダンピング材７４，７５中で変形することにより、その粘性抵抗により所定の減衰力が発生し、この可動部材３２の振動を減衰する。
【００７３】
上記の未硬化のダンピング材７４，７５を注入保持させる際には、その表面張力により自由表面が最小となるような凝集力が働く。したがって、上記の未硬化のダンピング材７４の液塊は、一対の突部７１，７２の間に形成される凹部の奥部に保持され、Ｓ字状バネ部５１の端部５１ｂを中心部に埋没させた所定の位置に保持される。また、上記の未硬化のダンピング材７５の液塊も、突部７２，７３の間に保持されるとともに、Ｓ字状バネ部５１の直線部５１ｃをその中心に埋没させるように保持される。
【００７４】
上記の一対の突部７１，７２の互いに対向する２つの面の間に形成された間隙は上記のようにこのダンピング材７４を保持するダンピング材保持間隙Ｇとして形成されるものである。この場合、このダンピング材保持間隙Ｇは、固定部材３１に形成された一対の突部７１，７２の間に形成されているので、このダンピング材保持間隙Ｇは任意の形状とすることができる。したがって、たとえばこの実施形態のように、このダンピング保持間隙Ｇを奥壁部を有するＵ字状の凹部とすることができ、注入された未硬化のダンピング材をその表面張力により上記のように奥部に確実に保持させることができ、このダンピング材７４を正確な位置に確実に保持させることができる。なお、可動部材３２のバネ取付け部４４の突部７３で形成されたダンピング材保持間隙Ｇも同様である。
【００７５】
また、突部７２，７３の間にも、これらの対向する２つの面の間にダンピング材保持間隙Ｇが形成される。この場合には、可動部材３２の回転により、これらの２つの面が相対的に移動するとともに、Ｓ字状バネ部５１も変形するため、これらの両方に対してダンピング材７５が減衰力を与え、より大きな減衰力を得ることができる。
【００７６】
ただし、この突部７２，７３の互いに対向する面が平行な平面であると、このダンピング材７５の液塊が図６の左右方向すなわち図５のＺ方向に移動しても、上記の直線部５１ｃの断面形状はＺ軸方向に一定であるので、その自由表面は変化しない。このため、このダンピング材７５の液塊は、このＺ方向の任意の位置に移動可能となり、その保持位置が一定しない。このような不具合を防止するため、この実施形態では、これら突部７２，７３の互いに対向する面には、Ｘ軸方向に連続する断面山形の突条部７６がそれぞれ形成されており、これらの突条部７６が対向する部分では、このダンピング材保持間隙Ｇの幅が狭くなっており、狭隘部Ｎが形成されている。したがって、このダンピング材７５の液塊がＺ軸方向に移動すると、この液塊の両側の自由表面の面積に差が生じて表面張力に差が発生し、この液塊は両側の自由表面の表面張力が釣合う位置まで、すなわちこの断面山形の突条部７６に対してＺ軸方向に対称の位置まで移動し、この位置、すなわち狭隘部Ｎで安定して保持される。よって、このダンピング材７５を所定の位置に正確に保持させることができる。
【００７７】
なお、上記のダンピング材７４，７５としては、前記のような材料の他に、たとえば紫外線硬化シリコーンゲル、アクリルゲル、溶剤により液状になったブチルゴム、シリコーンオイル等、その他の減衰特性のある任意の材料を使用することができる。
【００７８】
次に、上述したような構成のガルバノミラー２０を前記の固定部材すなわちキヤリッジ２のガルバノミラー収容部２８内に装着するとともに、その傾き等を調整して所定の位置に取付ける取付装置の作用を図１１および図１２を参照して説明する。
【００７９】
まず、前述のように、ガルバノミラー２０のベース２２の底面に形成されている球面状の支承面２４は、その中心軸線Ｓが前記のミラー回転軸Ｒと平行でかつミラー２１の反射面内に含まれている。また、この支承面２４の球面の中心点は、上記のミラー２１の反射面上の入射光の光軸の位置Ｏと一致している。また、上記のキヤリッジ２のガルバノミラー収容部２８の底部に形成されている円錐面状の支承座面２９は、その中心軸線Ｓ´が前記のミラー回転軸Ｒと平行でかつミラー２１の反射面内に含まれており、かつ上記のミラー２１の反射面上の入射光の光軸の位置Ｏを通過している。
【００８０】
そして、図１２に示すように、まずこのガルバノミラー２０を取付工具８０により保持する。この取付工具８０は、その下端部が倒立Ｕ字状をなし、その荷担部にはたとえば４本の位置決ピン８１が突設されている。また、この取付工具８０内には、図示しない電磁石が内蔵されている。
【００８１】
このような取付工具８０は、このガルバノミラー２０の上方からこれに近接して嵌合し、上記の電磁石を励磁することにより、このガルバノミラー２０を磁気的に吸着保持する。この場合に、上記の位置決ピン８１は、このガルバノミラー２０の永久磁石３９の後側に形成された隙間内と前側に挿入され、これらの位置決ピン８１によりこれら永久磁石３９の前後面が挟まれて保持される。これによって、このガルバノミラー２０はこの取付工具８０に対して所定の位置に位置決めして保持される。
【００８２】
次に、この取付工具８０に保持されたガルバノミラー２０を、ガルバノミラー収容部２８内にその上端開口部から挿入する。この挿入方向は、上記のミラー回転軸Ｒと平行な方向、すなわち支承面２４の中心軸線Ｓおよび支承座面２９の中心軸線Ｓ´と平行な方向である。このようにして挿入されたガルバノミラー２０は、図１１に示すようにその支承面２４が支承座面２９に着座して当接し、これらの中心軸線Ｓ，Ｓ´が一致する。
【００８３】
この状態で、このガルバノミラー２０を取付工具８０により下方に所定の押圧力たとえば１００ｇｆ程度の押圧力で押圧し、支承面２４と支承座面２９とを当接させた状態に維持し、これらを摺動させつつこのガルバノミラー２０の傾き、たとえば上記のミラー回転軸ＲまわりすなわちＹ軸まわり、および前記のＸ軸まわりに回動させ、光学系の光軸に対してミラー２１の反射面と平行なＺ軸まわりの傾きを調整する。なお、このような調整は、このガルバノミラー２０のミラー２１にレーザーダイオード１１からの光を入射し、キヤリッジ２の基準面に対する固定ミラー１ｂからの出射光の傾きをオートコリメータによって検出し、図示しない制御装置等により、上記の取付工具８０の傾きを自動的に制御して行われる。
【００８４】
そして、上記のような傾きの調整作業が終了したら、このガルバノミラー２０をその位置に保持し、このガルバノミラー２０とガルバノミラー収容部２８の内面との間、たとえばベース部材２２の前縁部および両側面部とガルバノミラー収容部２８の内面との間、または支承面２４と支承座面２９との間に接着剤Ａを注入して硬化させ、このガルバノミラー２０をキヤリッジ２に対して所定の取付位置に固定する。そして、この後に、上記の取付工具８０を上方に抜き去る。
【００８５】
なお、本発明は上記の第１の実施形態には限定されない。たとえば図１３には本発明の第２の実施形態を示す。このものは、突部７１，７２の互いに対向する２つの面で形成される凹部状のダンピング材保持間隙Ｇ、突部７３の面とこれに対向する面と２つの面の間に形成されるダンピング材保持間隙Ｇの開口端部に狭隘部Ｎ１を形成したものである。これらの狭隘部Ｎ１は、突部７１、７２の対向する面に形成された突起部１７６の間、および突部７３とこれに対向する面に形成された突起部１７６の間に形成される。
【００８６】
このような狭隘部Ｎ１では、このダンピング材保持間隙Ｇの幅が狭くなっているため、ダンピング材７４の自由表面はその面積を最小とする傾向のため、これらの狭隘部Ｎに移動する傾向が生じる。したがって、このダンピング材７４の自由表面は、これらの狭隘部Ｎ１において安定し、これによってこのダンピング材７４をより確実に所定の位置に保持することができる。
【００８７】
このような構成の為に、ダンピング材７４の一端の位置が狭隘部Ｎ１となる為、このダンピング材７４のバネ部５１に作用する長さ寸法が安定する。よって、安定したダンピング特性、バネ特性が得られる。
【００８８】
なお、この実施形態のものは、上記の点以外は前記の第１の実施形態と同様の構成であり、図１３中第１の実施形態と対応する部分には同じ符号を付してその説明を省略する。
【００８９】
また、図１４には本発明の第３の実施形態を示す。このものは、Ｓ字状バネ部５１のうち、前記の突起部１７６および突条部７６に対向した部分に、それぞれこのＳ字状バネ部５１から一体に突起部１７７を突設したものである。このものは、上記の突起部１７６と突起部１７７との間、および突条部７６と突起部１７７との間にそれぞれ狭隘部Ｎが形成される。このような狭隘部Ｎは、より幅が狭くなっており、前述したようなダンピング材７４，７５をより確実に所定の位置に保持することができる。
【００９０】
なお、この実施形態のものは、上記の点以外は前述の第２の実施例形態と同様の構成であり、図１４中第２の実施形態と対応する部分には同じ符号を付してその説明は省略する。
【００９１】
また、図１５および図１６には本発明の第４の実施形態を示し、このものはバネに直接ダンピング材保持間隙を形成したものである。すなわち、図中の１３３は支持装置を構成するバネである。このバネ１３３は、薄板材から形成され、支持バネ部１５１と、バネ端部１５４とを備えており、このバネ端部１５４が図示しない固定側の部材に取付けられる。そして、上記の支持バネ部１５１の他端部には、図示しない可動側の部材が支持されており、この支持バネ部１５１がたとえば湾曲およびねじれ変形することにより、この可動側の部材が所定方向に移動自在または所定の回転軸まわり回転自在に支持される。
【００９２】
上記のバネ端部１５４は、全体として略Ｕ字状をなし、このＵ字状のバネ端部１５４の内縁面と支持バネ部１５１の端部の両縁面とで構成されるダンピング材保持間隙Ｇが形成されており、このダンピング材保持間隙Ｇ内にはダンピング材１７４が保持されている。また、上記のＵ字状のバネ端部１５４の内縁には、複数対の突部１７８が一体に形成されており、互いに対向する突部１７８の間が狭隘部Ｎに形成されている。そして、上記のダンピング材１７４の自由表面は、たとえばこのダンピング材保持間隙Ｇの最先端部の突部１７８間の狭隘部Ｎに保持され、このダンピング材１７４を所定の位置に安定して保持している。
【００９３】
この実施形態のものは、上記の複数対の突部１７８の間に複数の狭隘部Ｎが形成されているので、このダンピング材１７４の長い保持部への保持がより確実である。また、この実施形態のものは、上記のように複数の狭隘部Ｎが形成されているので、保持させるダンピング材１７４の量を変更した場合に、たとえば図１６に示すように先端部から２番目等、任意の対をなす突部１７８の間の狭隘部Ｎにダンピング材１７４の自由表面を保持させることもできる。
【００９４】
なお、このような実施形態のものは、前述した特開平６−３１４４３２号公報に開示されているような対物レンズ支持装置の支持部材にも適用できる。
【００９５】
また、図１７および図１８には、本発明の第５の実施形態を示す。この実施形態のものは、可動側部材の支持機構がたとえばピボット軸受の場合等に適するものである。すなわち、図中の１８１は固定側部材であり、また１８２は可動側部材である。そして、この可動側部材１８２は、たとえばピボット軸受１８３によりこの固定側部材１８１に回転自在に支承されている。そして、このピボット軸受１８３から離れた位置にある固定側部材１８１と可動側部材１８５の互いに対向する面１８４，１８５の間にダンピング材保持間隙Ｇが形成されおり、このダンピング材保持間隙Ｇ内にダンピング材１７４が保持されている。
【００９６】
そして、これらの面１８４，１８５には、互いに対向した位置に一対の突部１８６が突設されている。これらの突部１８６は、図１８に示すように円錐台形をなしており、これら突部１８６の間が狭隘部Ｎに形成されている。上記のように、これらの突部１８６は円錐台形をなしているので、これらの間に形成される狭隘部Ｎは、全ての方向に対して幅の狭まった形状となる。したがって、この狭隘部Ｎには、全ての方向にわたって安定した所定の位置にダンピング材１７４が保持される。
【００９７】
また、この実施形態のものは、上記のようにピボット軸受１８３が使用されており、このようなピボット軸受１８３はダンピング材１７４内に埋没されることは好ましくない。しかし、この実施形態のものは、このピボット軸受１８３から離れた位置にダンピング材保持間隙Ｇが配置され、このピボット軸受１８３がダンピング材１７４中に埋没はされていないので、このピボット軸受１８３の作動不良等を生じることがない。
【００９８】
また、図１９には本発明の第６の実施形態を示す。図中の１９１は固定側部材１９１であって、この固定側部材１９１は略Ｕ字状に形成され、その内面の互いに対向する一対の面１９３の間にダンピング材保持間隙Ｇが形成されている。そして、このダンピング材保持間隙Ｇ内には、直線状のバネ部１９２の端部が挿入され、このバネ部１９２の一端はこのダンピング材保持間隙Ｇの奥部に取付けられている。また、このバネ部１９２の他端部には、図示しない可動側部材が取付けられ、たとえば所定方向に変位自在または所定の軸まわりに回転自在に支承されている。
【００９９】
そして、このダンピング材保持間隙Ｇを構成する一対の面１９３には、互いに対向した２対の凹部１９４が所定の間隔をもって形成されている。したがって、これら凹部１９４の間の部分は、これら凹部１９４より突出した実質的な突部１９５に形成され、これら突部１９５の間の部分が狭隘部Ｎに形成されている。そして、この狭隘部Ｎにはダンピング材１７４が所定の位置に安定して保持されている。このものは、凹部１９４の間に実質的な突部１９５が形成されたもので、本明細書においては、このような態様のものも突部と称する。
【０１００】
さらに、本発明は上述した各実施形態のものにも限定されない。たとえば、可動側部材の支持機構としては、上述したようなバネまたはピボット軸受には限定されず、その他任意の支持機構を採用することが可能である。また、前記の実施形態で支持機構にバネを用いたものは、変形するバネの一部をダンピング材に埋没させて減衰作用をおこなっているが、バネを用いたものであっても、前述の第５の実施形態のように、このバネを埋没させない位置にダンピング材を保持させるような構造のものでも良い。
【０１０１】
上記のダンピング材としては、たとえば熱硬化シリコーンゲル、紫外線硬化シリコーンゲル、アクリルゲル、溶剤によって液状となったブチルゴム、シリコーンオイル等がある。なお、このシリコーンオイルは、未硬化状態でそのまま使用されるものである。
【０１０２】
さらに、このダンピング材としては、上記に例示した熱硬化シリコーンゲル等にも限定されず、ダンピング材保持部にダンピング材を保持させる時に表面張力によって保持される流動性を有するものであれば、任意のものを使用することができる。また、このダンピング材の流動性は、このダンピング材を注入保持させる時のみ有ればよく、注入保持させた後に硬化させた時には、流動性はなくても良い。
【０１０３】
また、本発明は上記のようなガルバノミラーのミラーを支持する装置には限らず、その他、たとえば前述の特開平６−３１４４３２号公報に開示されているような対物レンズの支持装置等、任意の光学素子または光学要素を移動または回動自在に支持する装置に適用可能であることはもちろんである。
【０１０４】
【発明の効果】
上述の如く本発明の光学素子または光学要素の支持装置は、ダンピング保持間隙内に注入された未硬化のダンピング材がこの隙間内を移動しようとした場合に、この狭隘部においてこのダンピング材の自由表面の面積が変化する。よって、このダンピング材はこの狭隘部によって移動が規制されるので、このダンピング材は所定の位置に保持され、その減衰力のばらつきが生じることがなく、高い精度の支持装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態の光ピックアップ装置の構成を示す概略的な斜視図。
【図２】第１の実施形態のガルバノミラーを前方から見た斜視図。
【図３】第１の実施形態のガルバノミラーを後方から見た斜視図。
【図４】第１の実施形態のガルバノミラーの分解斜視図。
【図５】第１の実施形態のガルバノミラーのバネアセンブリの斜視図。
【図６】第１の実施形態のガルバノミラーのバネアセンブリの概略的な側面図。
【図７】第１の実施形態のバネのブランク材の平面図。
【図８】図６の８−８線に沿う断面図。
【図９】図６の９−９線に沿う断面図。
【図１０】バネのＳ字状バネ部の概略的な側面図。
【図１１】ガルバノミラー収容部とその内部に収容されたガルバノミラーの縦断面図。
【図１２】ガルバノミラーの取付状態を示す分解斜視図。
【図１３】第２の実施形態の支持装置の側面図。
【図１４】第３の実施形態の支持装置の側面図。
【図１５】第４の実施形態の支持装置の側面図。
【図１６】別の状態の第４の実施形態の支持装置の側面図。
【図１７】第５の実施形態の支持装置の側面図。
【図１８】第５の実施形態の支持装置の突部の斜視図。
【図１９】第６の実施形態の支持装置の側面図。
【図２０】従来の支持装置の斜視図。
【図２１】（ａ），（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ異なる状態の従来の支持装置の平面図。
【符号の説明】
２  キヤリッジ
２０  ガルバノミラー
２１  ミラー
３０  バネアセンブリ
３１  固定部材
３２  可動部材
３３，３４  バネ
５１  Ｓ字状バネ部
７４  ダンピング材
７６  突条部
Ｇ  ダンピング材保持間隙
Ｎ、Ｎ１  狭隘部
１７４  ダンピング材
１７６  突起部
１７７  突部
１７８  突部
１８６  突部
１９５  突部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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