(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に測定対象部を収納した、真空の測定用容器もしくは大気と異なる雰囲気を充填した測定用容器と、
前記測定用容器中に配置される密閉容器と、
前記密閉容器に少なくとも光学系の構成部品が備えられるとともに、前記測定用容器の外部に表示装置又は記録回路部を備えた撮像機構と、
を備えた撮像装置において、
前記密閉容器内に当該容器内の温度を計測する温度計並びにこの容器内に備えられていて容器内の温度を表示する温度表示具が設けられており、
前記密閉容器と前記測定用容器の外部とを連通する配管が設けられていて、この配管を通じて冷却又は加温媒体を該密閉容器内に送ることが可能であり、
更に前記温度表示具は、シール型のものであって温度によりシール色彩が変化するものであることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記配管は吸入用配管と排気用配管であり、これらの配管には開閉バルブが設けられていることを特徴とする請求項１記載の撮像装置。
【請求項３】
前記密閉容器が移動可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載の撮像装置。
【請求項４】
前記密閉容器に備えられた光学系の構成部品が移動可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載の撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空の測定用容器や、大気と異なる雰囲気を充填した測定用容器の内部に測定対象部を収納して、例えば蒸着、熱処理、Ｘ線放射、電子ビーム照射等を行い、その過程ないしその終了時における測定対象部を測定するにあたり、当該測定対象部を測定用容器内において撮像することの可能な撮像装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、一定の測定対象物に蒸着、熱処理、Ｘ線放射、電子ビーム照射等を行う場合に、酸化を回避したり必要気圧を得るため、真空容器や大気と異なる雰囲気を充填した容器の内部に測定対象部を収納して行うことが知られている。
【０００３】
前記測定用容器は、一般には内部を観察するための窓部を備えており、前記蒸着、熱処理、Ｘ線放射、電子ビーム照射等を行った際、その過程ないしその終了時における測定対象部を窓部から観察し、また、必要によりＣＣＤ（ｃｈａｒｇｅ  ｃｏｕｐｌｅｄ  ｄｅｖｉｃｅ：電荷結合デバイス）カメラ等で測定対象部を撮像することが行われている。尚、ＣＣＤカメラは、ＣＣＤを光検出素子と組み合わせて走査型の固体撮像デバイスとして用いるカメラである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
測定用容器内部の測定対象物をＣＣＤカメラ等で撮像する場合は、前述したように、測定用容器の窓部から撮像するものであるため、カメラを窓部に接近させても内部を撮影するには限界がある。すなわち、ＣＣＤカメラのレンズを窓部に当接させて撮像する場合は勿論、レンズに広角のものを使用しても、容器の外側から撮影する点においては変りがなく、また、広角レンズを使用する場合は、その広角の故に正規の画像との間に不一致が生じるので、正確を期するにはこれを修正する等の事後処理を必要とする不都合がある。
【０００５】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、測定対象部を測定するにあたり、当該測定対象部を測定用容器内において撮像することの可能な撮像装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本願第１請求項に記載した発明は、内部に測定対象部を収納した、真空の測定用容器もしくは大気と異なる雰囲気を充填した測定用容器と、前記測定用容器中に配置される密閉容器と、前記密閉容器に少なくとも光学系の構成部品が備えられるとともに、前記測定用容器の外部に表示装置又は記録回路部を備えた撮像機構と、を備えた撮像装置において、前記密閉容器内に当該容器内の温度を計測する温度計並びにこの容器内に備えられていて容器内の温度を表示する温度表示具が設けられており、前記密閉容器と前記測定用容器の外部とを連通する配管が設けられていて、この配管を通じて冷却又は加温媒体を該密閉容器内に送ることが可能であり、更に前記温度表示具は、シール型のものであって温度によりシール色彩が変化する構成の撮像装置である。
【０００７】
このように、測定用容器中に密閉容器を配置して、測定用容器の内部において撮像するものであり、従って、従来の場合に比べ、測定対象部に対し接近して撮像することができるので、高分解能の撮像を行うことができる。すなわち、当該密閉容器は密閉であるが故に測定用容器内の真空あるいは所定雰囲気に影響されることがなく、そして、この密閉容器には少なくとも撮像機構の光学系の構成部品が備えられており且つ測定用容器の外部に表示装置又は記録装置を備えているので、測定用容器内の測定対象物を測定容器内において撮像できるとともに、これを外部の表示装置で見ることができ又は記録回路部で保存することができる。本発明は、更に前記密閉容器内に当該容器内の温度を計測する温度計並びにこの容器内に備えられていて容器内の温度を表示する温度表示具が設けられているので、測定用容器内が高温或いは低温である場合に、前記温度計や温度表示具にて密閉容器内の温度を知ることができ、そして耐熱温度を超えるような場合に測定を中止する等の処置を講ずることにより、撮像機構の光学系の構成部品等で耐高温性能或いは耐低温性能の乏しい構成要素を保護することができる。また、温度表示具に例えばシール型のもので温度によりシール色彩が変化するものを用いると、測定終了後において密閉容器を測定用容器から取り出したときに、その測定で当該密閉容器内がどの程度の温度であったかが判明する。撮像機構を備えた密閉容器の製造者が当該密閉容器のギャランティ温度を設定するような場合に、これを超えたか否かがシール型温度表示具を用いることにより一目瞭然となる。
【０００８】
更に本発明は、前記密閉容器と前記測定用容器の外部とを連通する配管が設けられている構成の撮像装置である。
【０００９】
このように構成すると、測定用容器内が高温或いは低温である場合に、前記配管を通じて、冷却或いは加温空気又は冷却或いは加温液体等の、冷却或いは加温媒体を密閉容器内に送ることができ、これにより撮像機構の光学系の構成部品等で耐高温性能或いは耐低温性能の乏しい構成要素を保護することができる。
【００１２】
本願第３請求項に記載した発明は、前記請求項１の発明において、前記密閉容器が移動可能に設けられている構成の撮像装置である。
【００１３】
密閉容器が移動可能に設けられている場合は、これに備えられた撮像機構とりわけ光学系の構成部品が移動でき、これにより測定対象物を異なる位置、異なる角度から撮像することができ、更に、正確且つ高分解能の撮像を行うことができる。
【００１４】
本願第４請求項に記載した発明は、前記請求項１の発明において、前記密閉容器に備えられた光学系の構成部品が移動可能に設けられている構成の撮像装置である。
【００１５】
撮像機構の光学系の構成部品が移動可能に設けられている場合は、密閉容器が固定のものであっても、前記第４請求項の場合と同様に、測定対象物を異なる位置、異なる角度から撮像することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。
【００１７】
図１は、本発明の一具体例を示す撮像装置である。この例の撮像装置１は、内部に測定対象部２を収納した測定用容器３と、この測定用容器３の中に配置される密閉容器４と、この密閉容器４に少なくとも光学系の構成部品が具備されるとともに、前記測定用容器３の外部に表示装置又は記録装置を備えた撮像機構１０と、を有する構成の撮像装置である。
【００１８】
前記測定用容器３は、真空もしくは大気と異なる雰囲気を充填した容器であり、複数の容器構成体３ａ，３ｂはＯリング３ｃを介して密閉連結されている。
【００１９】
同様に、測定用容器３の中に配置される密閉容器４も、複数の容器構成体４ａ，４ｂがＯリング４ｃを介して密閉連結されている。
【００２０】
また、この例では、密閉容器４は、支持部材５により測定用容器３に固定設置されている。
【００２１】
撮像機構１０は、本例の場合、ＣＣＤカメラを用いている。すなわち、レンズ１１、図示を省略した光学フィルタや防着シャッタ、イメージセンサ１２等の光学系の構成部品と、イメージセンサ１２に駆動信号を付与する駆動回路及び該イメージセンサ１２からアンプを介して送出される出力信号を受ける信号処理回路等を有する回路部１３と、電源回路部１４と、記録回路部１５及びモニタを備えた表示装置１６を有している。
【００２２】
そして、前述したように、この例では、密閉容器４に少なくともレンズ１１、イメージセンサ１２等の光学系の構成部品が具備されるほか、更に、回路部１３を密閉回路４内に設置している。また、回路部１３からのリード線が測定用容器３に導出されて、容器外の電源回路部１４、記録回路部１５及び表示装置１６に接続されている。
【００２３】
このように、本例の撮像装置１においては、測定用容器３中に密閉容器４を配置して、測定用容器３の内部において撮像するものであり、従って、従来の場合に比べ、測定対象部２に対し接近して撮像することができるので、高分解能の撮像を行うことができる。すなわち、当該密閉容器４は密閉であるため測定用容器３内の真空あるいは所定雰囲気に影響されることがなく、そして、この密閉容器４には少なくとも撮像機構の光学系の構成部品が備えられており、且つ測定用容器３の外部に表示装置及び記録回路部を備えているので、測定用容器内の測定対象物を測定容器内において撮像できるとともに、これを外部の表示装置１６で見たり記録回路部１５で保存することができる。
【００２４】
また、図１において、密閉容器４と測定用容器３の外部との間には、密封容器４へ達する配管２１，２２が設けられている。吸入用配管２１にはバルブ２３が設けられており、排気用配管２２にも図示を省略した排気用バルブが配置されている。
【００２５】
このように構成すると、測定用容器３内が高温或いは低温である場合に、前記配管２１，２２を通じて冷却或いは加温空気又は冷却或いは加温液体等の、冷却或いは加温媒体を密閉容器４内に送ることができ、これにより撮像機構の光学系の構成部品等で耐高温性能或いは耐低温性能の乏しい構成要素を保護することができる。
【００２６】
更に、本例では、密閉容器４内に当該容器内の温度を計測する温度計２４や温度表示具２６が設けられている。温度計２４は、リード線２５を経由して回路部１３や記録回路部１５に導通される。また、温度表示具２６は、例えばシール型のもので温度によりシール色彩が変化するものを用いるとよい。
【００２７】
このように温度計２４や温度表示具２６を用いると、測定用容器３内が高温或いは低温である場合に、温度計２４や温度表示具２６にて密閉容器４内の温度を知ることができ、そして耐熱温度を超えるような場合に測定を中止する等の処置を講ずることにより、撮像機構の光学系の構成部品等で耐高温性能或いは耐低温性能の乏しい構成要素を保護することができる。また、前記シール型のもので温度によりシール色彩が変化する温度表示具２６を用いると、測定終了後において密閉容器４を測定用容器３から取り出したときに、その測定で当該密閉容器内がどの程度の温度であったかが判明する。撮像機構を備えた密閉容器の製造者が当該密閉容器のギャランティ温度を設定するような場合に、これを超えたか否かがシール型温度表示具を用いることにより一目瞭然となる。
【００２８】
尚、図１において、密閉容器４は、支持部材５により測定用容器３に固定設置されている場合を例に採って説明したが、支持部材５に可動型のものを用いることにより、密閉容器４を移動可能に設けるように構成してもよい。すなわち、密閉容器４が移動可能に設けられている場合は、これに備えられた撮像機構とりわけ光学系の構成部品が移動でき、これにより測定対象物２を異なる位置、異なる角度から撮像することができ、更に、正確且つ高分解能の撮像を行うことができる。
【００２９】
図２は、本発明の他の例に係る撮像装置を示すもので、この例の場合は、密閉容器４に撮像機構の光学系の構成部品（ここではレンズ１１、イメージセンサ１２）を設置し、測定用容器３の容器構成体３ｂ，３ｂにベローズ６を介して支持部材５を設けて構成したものである。支持部材５は、その基部５ａを外側から把持することができ、そして、支持部材５はベローズ６に取付けられているので、基部５ａを動かすことにより密閉容器４従って撮像機構のレンズ１１等の光学系の構成部品を測定用容器３内において自在に移動させることができるものである。尚、アンプ１７は、配管１８を設けて大気が通流できるように固定している。
【００３０】
図２に示す例の場合は、前例同様、測定用容器３の外部に表示装置及び記録回路部を備えている。このようにして、測定用容器３内の測定対象物２を測定用容器内において撮像できるとともに、これを外部の表示装置１６で見たり記録回路部１５で保存することができる。従って、従来の場合に比べ、測定対象部２に対し接近して撮像することができるので、高分解能の撮像を行うことができる。
【００３１】
尚、撮像機構の光学系の構成部品が移動可能に設けられている場合は、密閉容器が固定のものであっても、測定対象物を異なる位置、異なる角度から撮像することができるものである。
【００３２】
更に、本例のように、撮像機構の光学系の構成部品を移動可能に設ける場合は、真空乃至所定雰囲気に適合する適宜構成の搬送機構を用いることができる。
【００３３】
また、前述した各例では、撮像機構にＣＣＤカメラを用いて説明したが、カメラは密閉容器内に収納できるので、これに限られることなく、他のＴＶ及びビデオカメラ、赤外線カメラ等、適宜のものを必要に応じて用いることができるものである。
【００３４】
【発明の効果】
本願第１請求項に記載した発明は、内部に測定対象部を収納した、真空の測定用容器もしくは大気と異なる雰囲気を充填した測定用容器と、前記測定用容器中に配置される密閉容器と、前記密閉容器に少なくとも光学系の構成部品が備えられるとともに、前記測定用容器の外部に表示装置又は記録回路部を備えた撮像機構と、を備えた撮像装置において、前記密閉容器内に当該容器内の温度を計測する温度計並びにこの容器内に備えられていて容器内の温度を表示する温度表示具が設けられており、前記密閉容器と前記測定用容器の外部とを連通する配管が設けられていて、この配管を通じて冷却又は加温媒体を該密閉容器内に送ることが可能であり、更に前記温度表示具は、シール型のものであって温度によりシール色彩が変化する構成の撮像装置である。
【００３５】
このように、測定用容器中に密閉容器を配置して、測定用容器の内部において撮像するものであり、従って、従来の場合に比べ、測定対象部に対し接近して撮像することができるので、高分解能の撮像を行うことができる。すなわち、当該密閉容器は密閉であるが故に測定用容器内の真空あるいは所定雰囲気に影響されることがなく、そして、この密閉容器には少なくとも撮像機構の光学系の構成部品が備えられており且つ測定用容器の外部に表示装置又は記録装置を備えているので、測定用容器内の測定対象物を測定容器内において撮像できるとともに、これを外部の表示装置で見ることができ又は記録回路部で保存することができる。本発明は、更に前記密閉容器内に当該容器内の温度を計測する温度計並びにこの容器内に備えられていて容器内の温度を表示する温度表示具が設けられているので、測定用容器内が高温或いは低温である場合に、前記温度計や温度表示具にて密閉容器内の温度を知ることができ、そして耐熱温度を超えるような場合に測定を中止する等の処置を講ずることにより、撮像機構の光学系の構成部品等で耐高温性能或いは耐低温性能の乏しい構成要素を保護することができる。また、温度表示具はシール型のもので温度によりシール色彩が変化するものを用いているので、測定終了後において密閉容器を測定用容器から取り出したときに、その測定で当該密閉容器内がどの程度の温度であったかが判明する。撮像機構を備えた密閉容器の製造者が当該密閉容器のギャランティ温度を設定するような場合に、これを超えたか否かがシール型温度表示具を用いることにより一目瞭然となる。更に本発明は前記密閉容器と前記測定用容器の外部とを連通する配管が設けられていて、この配管を通じて冷却又は加温媒体を該密閉容器内に送ることが可能であり、従って、測定用容器内が高温或いは低温である場合に、前記配管を通じて、冷却或いは加温空気又は冷却或いは加温液体等の、冷却或いは加温媒体を密閉容器内に送ることができ、これにより撮像機構の光学系の構成部品等で耐高温性能或いは耐低温性能の乏しい構成要素を保護することができる。
【００３６】
本願第２請求項に記載した発明は、前記請求項１の発明において、前記密閉容器と前記測定用容器の外部とを連通する配管が設けられている構成の撮像装置である。
【００３７】
このように構成すると、測定用容器内が高温或いは低温である場合に、前記配管を通じて、冷却或いは加温空気又は冷却或いは加温液体等の、冷却或いは加温媒体を密閉容器内に送ることができ、これにより撮像機構の光学系の構成部品等で耐高温性能或いは耐低温性能の乏しい構成要素を保護することができる。
【００４０】
本願第３請求項に記載した発明は、前記請求項１の発明において、前記密閉容器が移動可能に設けられている構成の撮像装置である。
【００４１】
密閉容器が移動可能に設けられている場合は、これに備えられた撮像機構とりわけ光学系の構成部品が移動でき、これにより測定対象物を異なる位置、異なる角度から撮像することができ、更に、正確且つ高分解能の撮像を行うことができる。
【００４２】
本願第４請求項に記載した発明は、前記請求項１の発明において、前記密閉容器に備えられた光学系の構成部品が移動可能に設けられている構成の撮像装置である。
【００４３】
撮像機構の光学系の構成部品が移動可能に設けられている場合は、密閉容器が固定のものであっても、前記第４請求項の場合と同様に、測定対象物を異なる位置、異なる角度から撮像することができる。
【００４４】
このように、本発明によれば、測定対象部を測定するにあたり、当該測定対象部を測定用容器内において撮像することの可能な撮像装置を得ることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る撮像装置を示す構成図である。
【図２】本発明の他の例に係る撮像装置を示す構成図である。
【符号の説明】
１    撮像装置
２    測定対象部
３    測定用容器
３ａ    容器構成体
３ｂ    容器構成体
３ｃ    Ｏリング
４    密閉容器
４ａ    容器構成体
４ｂ    容器構成体
４ｃ    Ｏリング
５    支持部材
５ａ    基部
６    ベローズ
１０    撮像機構
１１    レンズ
１２    イメージセンサ
１３    回路部
１４    電源回路部
１５    記録回路部
１６    表示装置
１７    アンプ
１８    配管
２１    吸入用配管
２２    排出用配管
２３    バルブ
２４    温度計
２５    リード線
２６    温度表示具
【図１】
0004161139.tif 000002
【図２】
0004161139.tif 000003