(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズルが列設されたインクジェットヘッドと、
吐出される数種の液滴が混合されないよう仕切るバンクが複数設けられた被記録媒体に対して、前記ノズルから液滴を吐出する液滴吐出手段と、
前記インクジェットヘッドと前記被記録媒体との間に主走査方向へ相対移動を発生させる主走査方向移動手段と、
入力された、主走査方向における液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように前記主走査方向移動手段を制御する主走査方向移動制御手段と、
当該主走査方向移動制御手段の制御に基づいて、前記インクジェットヘッドが前記液滴吐出位置の間隔分、主走査方向へ相対移動された場合に行われる前記液滴吐出手段の液滴吐出が、入力された主走査方向における液滴吐出位置の数の分だけ繰り返し行われるように制御する液滴吐出制御手段と、
前記インクジェットヘッドと前記被記録媒体との間に前記主走査方向と直交する副走査方向へ相対移動を発生させる副走査方向移動手段と、
前記液滴吐出制御手段による前記被記録媒体上の１ライン分の走査が行われる毎に、入力された、前記インクジェットヘッドの前記ノズルの列設間隔と個数によって決まる液滴吐出幅のデータに基づいて、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する副走査方向移動制御手段と、
前記インクジェットヘッドの副走査方向に対する回転角であるスラント角に基づいて、前記インクジェットヘッドは回転可能であり、入力された前記スラント角に関連するデータに基づいて、前記インクジェットヘッドが副走査方向に対して回転するように制御するインクジェットヘッドスラント手段と、
前記インクジェットヘッドのノズルの列設間隔の誤差によって前記スラント角を補正するスラント角補正手段とを備え、
前記インクジェットヘッドスラント手段は、前記補正されたスラント角に基づいて、副走査方向に関して前記個々のノズルの列設間隔と前記被記録媒体上の前記各バンクの間隔とが同じになるように、前記インクジェットヘッドを回転することを特徴とするインクジェット装置。
【請求項２】
前記液滴吐出制御手段は、入力された、主走査方向の１走査分の各液滴吐出位置における液滴吐出の有無を示したパターンのデータに基づいて、前記液滴吐出手段が各液滴吐出位置で液滴を吐出するか否かを制御する液滴パターン吐出制御手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット装置。
【請求項３】
前記液滴吐出制御手段は、入力された、前記被記録媒体上の同一の液滴吐出位置での液滴吐出の回数に基づいて、前記液滴吐出手段が各液滴吐出位置で液滴を複数回吐出する制御を行う液滴重複吐出制御手段を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット装置。
【請求項４】
前記液滴吐出制御手段は、入力された、前記被記録媒体上の同一の液滴吐出位置での液滴吐出の回数に基づいて、前記インクジェットヘッドが同一走査ライン上で同一パターンの液滴の吐出を複数回繰り返す制御を行う液滴重複走査吐出制御手段を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット装置。
【請求項５】
前記主走査方向移動制御手段は、入力された、前記バンク内での液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように前記主走査方向移動手段を制御する主走査方向バンク内移動制御手段と、
入力された、前記バンク間隔のデータに基づいて、前記バンクの間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように前記主走査方向移動手段を制御する主走査方向バンク間移動制御手段と
を備え、
前記液滴吐出制御手段は、前記主走査方向バンク内移動制御手段の制御に基づく前記インクジェットヘッドの相対移動と、前記液滴吐出手段の液滴吐出とを、入力された主走査方向における前記バンク内での液滴吐出位置の数の分だけ、繰り返し行うように制御するバンク内液滴吐出制御手段と、
前記インクジェットヘッドの、前記バンク内液滴吐出制御手段の制御に基づく前記バンク内での液滴吐出と、前記主走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを、入力された主走査方向における前記バンクの数の分だけ、繰り返し行うように制御するバンク液滴吐出制御手段と
を備えたことを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載のインクジェット装置。
【請求項６】
前記被記録媒体上には複数のバンクに仕切らた複数の吐出作業エリアが設けられ、
前記主走査方向移動制御手段は、入力された、前記吐出作業エリア間隔のデータに基づいて、前記吐出作業エリアの間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように前記主走査方向移動手段を制御する主走査方向吐出作業エリア間移動制御手段を備え、
前記液滴吐出制御手段は、前記インクジェットヘッドの、前記バンク内液滴吐出制御手段の制御に基づく前記バンク内での液滴吐出と、前記主走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを、入力された主走査方向における前記吐出作業エリア内の前記バンクの数の分だけ、繰り返し行うように制御する吐出作業エリア内液滴吐出制御手段と、
前記インクジェットヘッドの、前記主走査方向吐出作業エリア間移動制御手段の制御に基づく相対移動と、前記吐出作業エリア内液滴吐出制御手段の制御に基づく前記吐出作業エリア内での液滴吐出とを、入力された主走査方向における前記吐出作業エリアの数の分だけ、繰り返し行うように制御する吐出作業エリア液滴吐出制御手段と
を備えたことを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載のインクジェット装置。
【請求項７】
前記ノズルの列設間隔の誤差を複数の範囲に区分した複数のランクとして管理する管理手段を備え、
前記スラント角補正手段は、前記ランク毎の誤差の上限値と下限値とから求まる誤差中心値によって前記スラント角を補正することを特徴とする請求項１乃至６の何れかに記載のインクジェット装置。
【請求項８】
前記副走査方向移動制御手段は、入力された、前記バンク内での副走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する副走査方向バンク内移動制御手段と、
入力された副走査方向における前記バンク内での液滴吐出位置の数の分だけ、前記副走査方向バンク内移動制御手段の制御に基づく相対移動を繰り返し行うように制御する副走査方向バンク内移動回数制御手段と、
入力された、副走査方向の前記バンク間隔のデータに基づいて、前記バンクの間隔分と前記液滴吐出幅の分、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する副走査方向バンク間移動制御手段と、
入力された副走査方向における前記バンクの数の分だけ、前記副走査方向バンク内移動回数制御手段の制御に基づく相対移動と、前記副走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御する副走査方向バンク移動制御手段と
を備えたことを特徴とする請求項１乃至７の何れかに記載のインクジェット装置。
【請求項９】
前記副走査方向移動制御手段は、入力された副走査方向における前記吐出作業エリア内の前記バンクの数の分だけ、前記副走査方向バンク内移動回数制御手段の制御に基づく相対移動と、副走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御する副走査方向吐出作業エリア内移動制御手段と、
入力された、副走査方向の前記吐出作業エリア間隔のデータに基づいて、前記吐出作業エリアの間隔の分、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する副走査方向吐出作業エリア間移動制御手段と、
入力された副走査方向における前記吐出作業エリアの数の分だけ、前記副走査方向吐出作業エリア内移動制御手段の制御に基づく相対移動と、前記副走査方向吐出作業エリア間移動制御手段に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御する副走査方向吐出作業エリア移動制御手段と
を備えたことを特徴とする請求項１乃至８の何れかに記載のインクジェット装置。
【請求項１０】
前記スラント角が最小のスラント角のとき、前記ノズルの列設間隔が副走査方向のバンク間隔より小さいか、前記スラント角が最大のスラント角のとき、スラントした前記インクジェットヘッドの副走査方向の前記ノズルの列設間隔が前記バンク間隔より大きいかの少なくとも何れか一方の場合、インクジェットヘッドスラント手段は、スラント角を最小に戻すとともに、液滴吐出制御手段は、インターレスを１走査分いれて液滴吐出手段による液滴吐出が行われるように制御することを特徴とする請求項１乃至９の何れかに記載のインクジェット装置。
【請求項１１】
主走査方向における液滴吐出位置の間隔のデータを入力する主走査方向液滴吐出位置間隔データ入力手段と、
主走査方向における液滴吐出位置の数を入力する主走査方向液滴吐出位置数データ入力手段と
を備えたことを特徴とする請求項１乃至１０の何れかに記載のインクジェット装置。
【請求項１２】
主走査方向の１走査分の、各液滴吐出位置における液滴吐出の有無を記したパターンのデータを入力する液滴吐出パターンデータ入力手段を備えたことを特徴とする請求項２乃至１１の何れかに記載のインクジェット装置。
【請求項１３】
前記被記録媒体上の同一の液滴吐出位置における液滴吐出の回数を入力する同位置液滴吐出回数データ入力手段を備えたことを特徴とする請求項３乃至１２の何れかに記載のインクジェット装置。
【請求項１４】
前記バンク内での主走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータを入力する主走査方向バンク内液滴吐出位置間隔データ入力手段と、
主走査方向における前記バンク内での液滴吐出位置の数を入力する主走査方向バンク内液滴吐出位置数データ入力手段と、
主走査方向における前記バンク間隔のデータを入力する主走査方向バンク間隔データ入力手段と、
主走査方向における前記バンクの数を入力する主走査方向バンク数データ入力手段と
を備えたことを特徴とする請求項５乃至１３の何れかに記載のインクジェット装置。
【請求項１５】
主走査方向における前記吐出作業エリア間隔のデータを入力する主走査方向吐出作業エリア間隔データ入力手段と、
主走査方向における前記吐出作業エリア内の前記バンクの数を入力する主走査方向吐出作業エリア内バンク数データ入力手段と、
主走査方向における前記吐出作業エリアの数を入力する主走査方向吐出作業エリア数データ入力手段と
を備えたことを特徴とする請求項６乃至１４の何れかに記載のインクジェット装置。
【請求項１６】
前記インクジェットヘッドの前記ノズルの列設間隔と個数によって決まる液滴吐出幅のデータを入力する液滴吐出幅データ入力手段を備えたことを特徴とする請求項７乃至１５の何れかに記載のインクジェット装置。
【請求項１７】
前記バンク内での副走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータを入力する副走査方向液滴吐出位置間隔データ入力手段と、
副走査方向における前記バンク内での液滴吐出位置の数を入力する副走査方向バンク内液滴吐出位置数データ入力手段と、
副走査方向の前記バンク間隔のデータを入力する副走査方向バンク間隔データ入力手段と、
副走査方向における前記バンクの数を入力する副走査方向バンク数データ入力手段と
を備えたことを特徴とする請求項８乃至１６の何れかに記載のインクジェット装置。
【請求項１８】
副走査方向における前記吐出作業エリア内の前記バンクの数を入力する副走査方向吐出作業エリア内バンク数データ入力手段と、
副走査方向の前記吐出作業エリア間隔のデータを入力する副走査方向吐出作業エリア間隔データ入力手段と、
副走査方向における前記吐出作業エリアの数を入力する副走査方向吐出作業エリア数データ入力手段と
を備えたことを特徴とする請求項９乃至１７の何れかに記載のインクジェット装置。
【請求項１９】
前記インクジェットヘッドの副走査方向に対する回転角である前記スラント角に関連するデータを入力するスラント角データ入力手段を備えたことを特徴とする請求項１０乃至１８の何れかに記載のインクジェット装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、主走査方向及び副走査方向における液滴吐出間隔のデータと、主走査方向における液滴吐出個数のデータに基づいて印刷を行うインクジェット装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、携帯電話、携帯情報端末機器、テレビ、パーソナルコンピュータ、ワープロなど、種々の電子機器に液晶ディスプレイが利用されており、電子機器の小型化にともない、益々その需要が高まってきている。また、最近では、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイが、液晶ディスプレイに変わる次世代のディスプレイとして実用化されつつある。この有機ＥＬディスプレイのＥＬ基板は、例えば、ガラス基板等の表面に、陽極膜（アノード）、正孔輸送層、ＥＬ発光層、陰極膜（カソード）を形成したもので、アノード・カソード間に電流を流した場合、アノードから発せられた正孔とカソードから発せられた電子とが発光層で結合し、この時発生したエネルギーが有機材料を励起することで発光が起きる。発光層には発光色に応じた種々の発光性有機化合物が利用される。カラーの有機ＥＬディスプレイのＥＬ基板の発光層では、赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の３色の発光性有機化合物からなる発光画素が規則的なドットパターンとして形成されている。このドットパターンの形成に、インクジェット装置が利用されている。
【０００３】
ガラス基板上に形成された陽極膜の上に、正孔輸送層形成用の液滴をインクジェット装置のインクジェットヘッドからガラス基板上に吐出させ、真空中または不活性ガス中で加熱して定着させる。次に、ＥＬ発光層形成用のＲ，Ｇ，Ｂ各色に対応する３種類の液滴を正孔輸送層の上に３つのインクジェットヘッドからそれぞれ吐出してドットパターンを形成し、さらに、そのドットパターンを真空加熱した後、ＥＬ発光層の上に陰極膜を形成する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このドットパターンの形成を行う場合、従来のインクジェット装置では発光画素の吐出パターンをビットマップ形式の画像データとして処理していた。以下、図面を参照して説明する。図３２，図３３は、従来のインクジェット装置で吐出した液滴の吐出位置と所望する吐出位置との比較を示した模式図である。図３２に示すように、例えば、インクジェット装置に吐出させる液滴のドットパターンの解像度が２４００ｄｐｉである場合、液滴の吐出位置の間隔は約１０μｍとなる。この２４００ｄｐｉドットパターン９００において、図中、マル印で示す部分が液滴吐出可能位置９０３である。図中、バツ印で示す部分、すなわち所望する吐出位置９０２の間隔がこのインクジェット装置の液滴吐出可能位置９０３の間隔の倍数でない場合、例えば、約２３μｍであった場合、吐出位置にズレが生じる。２４００ｄｐｉドットパターン９００においてはこれ以上細かい間隔での吐出はしないため、このビットマップ形式の画像データは、所望する吐出位置９０２にもっとも近い液滴吐出位置９０３ａ（図中、黒マル印）で液滴を吐出するというデータと、それ以外の液滴非吐出位置９０３ｂ（図中、白マル印）では液滴を吐出しないというデータとを有することになる。
【０００５】
さらに、図３３に示すように、例えば、インクジェット装置に吐出させる液滴のドットパターンの解像度を４８００ｄｐｉとした場合、液滴の吐出位置の間隔は約５μｍとなる。この４８００ｄｐｉドットパターン９０１では、２４００ｄｐｉドットパターン９００よりもさらに細かな液滴の吐出が可能である。図中、マル印で示す部分が液滴吐出可能位置９０４である。上記の場合と同様に、このビットマップ形式の画像データは、所望する吐出位置９０２にもっとも近い液滴吐出位置９０４ａ（図中、黒マル印）で液滴を吐出するというデータと、それ以外の液滴非吐出位置９０４ｂ（図中、白マル印）では液滴を吐出しないというデータとを有することになる。この場合、液滴吐出位置９０４ａはほぼ所望する液滴吐出位置９０２に液滴を吐出することが可能となるが、ドットパターンの解像度が倍になることで必要とされるビットマップ形式のデータの量は４倍となり、インクジェット装置において、インクジェットヘッドを液滴吐出位置に移動させるためのドットパターンのデータ処理にかかる時間や、その処理に必要とされるメモリの容量が増加し、大きいガラス基板に対する液滴の吐出が現実的であるとはいえない。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、Ｘ軸方向及びＹ軸方向における液滴吐出位置の間隔のデータと、Ｘ軸方向のそれぞれの吐出位置において液滴を吐出するか否かのデータとに基づいてインクジェット装置を駆動させ、液滴の吐出を行わせることで、液滴吐出に必要とするデータの量を減らして処理を高速化し、所望する液滴吐出位置に対して正確な液滴の吐出を行うことができるインクジェット装置を実現することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に係る発明のインクジェット装置は、液滴を吐出する複数のノズルが列設されたインクジェットヘッドと、吐出される数種の液滴が混合されないよう仕切るバンクが複数設けられた被記録媒体に対して、前記ノズルから液滴を吐出する液滴吐出手段と、前記インクジェットヘッドと前記被記録媒体との間に主走査方向へ相対移動を発生させる主走査方向移動手段と、入力された、主走査方向における液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように前記主走査方向移動手段を制御する主走査方向移動制御手段と、当該主走査方向移動制御手段の制御に基づいて、前記インクジェットヘッドが前記液滴吐出位置の間隔分、主走査方向へ相対移動された場合に行われる前記液滴吐出手段の液滴吐出が、入力された主走査方向における液滴吐出位置の数の分だけ繰り返し行われるように制御する液滴吐出制御手段と、前記インクジェットヘッドと前記被記録媒体との間に前記主走査方向と直交する副走査方向へ相対移動を発生させる副走査方向移動手段と、前記液滴吐出制御手段による前記被記録媒体上の１ライン分の走査が行われる毎に、入力された、前記インクジェットヘッドの前記ノズルの列設間隔と個数によって決まる液滴吐出幅のデータに基づいて、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する副走査方向移動制御手段と、前記インクジェットヘッドの副走査方向に対する回転角であるスラント角に基づいて、前記インクジェットヘッドは回転可能であり、入力された前記スラント角に関連するデータに基づいて、前記インクジェットヘッドが副走査方向に対して回転するように制御するインクジェットヘッドスラント手段と、前記インクジェットヘッドのノズルの列設間隔の誤差によって前記スラント角を補正するスラント角補正手段とを備え、前記インクジェットヘッドスラント手段は、前記補正されたスラント角に基づいて、副走査方向に関して前記個々のノズルの列設間隔と前記被記録媒体上の前記各バンクの間隔とが同じになるように、前記インクジェットヘッドを回転する。
【０００８】
この構成のインクジェット装置では、インクジェットヘッドに液滴を吐出する複数のノズルが列設され、液滴吐出手段が、吐出される数種の液滴が混合されないよう仕切るバンクが複数設けられた被記録媒体に対して、ノズルから液滴を吐出し、主走査方向移動手段が、インクジェットヘッドと被記録媒体との間に主走査方向へ相対移動を発生し、主走査方向移動制御手段が、入力された、主走査方向における液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように主走査方向移動手段を制御し、液滴吐出制御手段が、主走査方向移動制御手段の制御に基づいて、インクジェットヘッドが液滴吐出位置の間隔分、主走査方向へ相対移動された場合に行われる液滴吐出手段の液滴吐出が、入力された主走査方向における液滴吐出位置の数の分だけ繰り返し行われるように制御することができる。また、副走査方向移動手段は前記インクジェットヘッドと前記被記録媒体との間に前記主走査方向と直交する副走査方向へ相対移動を発生させる。副走査方向移動制御手段は前記液滴吐出制御手段による前記被記録媒体上の１ライン分の走査が行われる毎に、入力された、前記インクジェットヘッドの前記ノズルの列設間隔と個数によって決まる液滴吐出幅のデータに基づいて、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する。さらに、前記インクジェットヘッドの副走査方向に対する回転角であるスラント角に基づいて、前記インクジェットヘッドは回転可能であり、インクジェットヘッドスラント手段は、入力された前記スラント角に関連するデータに基づいて、前記インクジェットヘッドが副走査方向に対して回転するように制御する。さらに、スラント角補正手段は、前記インクジェットヘッドのノズルの列設間隔の誤差によって前記スラント角を補正し、前記インクジェットヘッドスラント手段は、前記補正されたスラント角に基づいて、副走査方向に関して前記個々のノズルの列設間隔と前記被記録媒体上の前記各バンクの間隔とが同じになるように、前記インクジェットヘッドを回転する。
【０００９】
また、請求項２に係る発明のインクジェット装置は、請求項１に記載の発明の構成に加え、前記液滴吐出制御手段は、入力された、主走査方向の１走査分の各液滴吐出位置における液滴吐出の有無を示したパターンのデータに基づいて、前記液滴吐出手段が各液滴吐出位置で液滴を吐出するか否かを制御する液滴パターン吐出制御手段を備えている。
【００１０】
この構成のインクジェット装置では、請求項１に係る発明の作用に加え、液滴パターン吐出制御手段が、入力された、主走査方向の１走査分の各液滴吐出位置における液滴吐出の有無を示したパターンのデータに基づいて、液滴吐出手段が各液滴吐出位置で液滴を吐出するか否かを制御することができる。
【００１１】
また、請求項３に係る発明のインクジェット装置は、請求項１又は２に記載の発明の構成に加え、前記液滴吐出制御手段は、入力された、前記被記録媒体上の同一の液滴吐出位置での液滴吐出の回数に基づいて、前記液滴吐出手段が各液滴吐出位置で液滴を複数回吐出する制御を行う液滴重複吐出制御手段を備えている。
【００１２】
この構成のインクジェット装置では、請求項１又は２に係る発明の作用に加え、液滴重複吐出制御手段が、入力された、被記録媒体上の同一の液滴吐出位置での液滴吐出の回数に基づいて、液滴吐出手段が各液滴吐出位置で液滴を複数回吐出する制御を行うことができる。
【００１３】
また、請求項４に係る発明のインクジェット装置は、請求項１又は２に記載の発明の構成に加え、前記液滴吐出制御手段は、入力された、前記被記録媒体上の同一の液滴吐出位置での液滴吐出の回数に基づいて、前記インクジェットヘッドが同一走査ライン上で同一パターンの液滴の吐出を複数回繰り返す制御を行う液滴重複走査吐出制御手段を備えている。
【００１４】
この構成のインクジェット装置では、請求項１又は２に係る発明の作用に加え、液滴重複走査吐出制御手段が、入力された、被記録媒体上の同一の液滴吐出位置での液滴吐出の回数に基づいて、インクジェットヘッドが同一走査ライン上で同一パターンの液滴の吐出を複数回繰り返す制御を行うことができる。
【００１５】
また、請求項５に係る発明のインクジェット装置は、請求項１乃至４の何れかに記載の発明の構成に加え、前記主走査方向移動制御手段は、入力された、前記バンク内での液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように前記主走査方向移動手段を制御する主走査方向バンク内移動制御手段と、入力された、前記バンク間隔のデータに基づいて、前記バンクの間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように前記主走査方向移動手段を制御する主走査方向バンク間移動制御手段とを備え、前記液滴吐出制御手段は、前記主走査方向バンク内移動制御手段の制御に基づく前記インクジェットヘッドの相対移動と、前記液滴吐出手段の液滴吐出とを、入力された主走査方向における前記バンク内での液滴吐出位置の数の分だけ、繰り返し行うように制御するバンク内液滴吐出制御手段と、前記インクジェットヘッドの、前記バンク内液滴吐出制御手段の制御に基づく前記バンク内での液滴吐出と、前記主走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを、入力された主走査方向における前記バンクの数の分だけ、繰り返し行うように制御するバンク液滴吐出制御手段とを備えている。
【００１６】
この構成のインクジェット装置では、請求項１乃至４の何れかに係る発明の作用に加え、被記録媒体上には、吐出される数種の液滴が混合されないよう仕切るバンクが複数設けられ、主走査方向バンク内移動制御手段が、入力された、バンク内での液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように主走査方向移動手段を制御し、主走査方向バンク間移動制御手段が、入力された、バンク間隔のデータに基づいて、バンクの間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように主走査方向移動手段を制御し、バンク内液滴吐出制御手段が、主走査方向バンク内移動制御手段の制御に基づくインクジェットヘッドの相対移動と、液滴吐出手段の液滴吐出とを、入力された主走査方向におけるバンク内での液滴吐出位置の数の分だけ、繰り返し行うように制御し、バンク液滴吐出制御手段が、インクジェットヘッドの、バンク内液滴吐出制御手段の制御に基づくバンク内での液滴吐出と、主走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを、入力された主走査方向におけるバンクの数の分だけ、繰り返し行うように制御することができる。
【００１７】
また、請求項６に係る発明のインクジェット装置は、請求項１乃至５の何れかに記載の発明の構成に加え、前記被記録媒体上には複数のバンクに仕切らた複数の吐出作業エリアが設けられ、前記主走査方向移動制御手段は、入力された、前記吐出作業エリア間隔のデータに基づいて、前記吐出作業エリアの間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように前記主走査方向移動手段を制御する主走査方向吐出作業エリア間移動制御手段を備え、前記液滴吐出制御手段は、前記インクジェットヘッドの、前記バンク内液滴吐出制御手段の制御に基づく前記バンク内での液滴吐出と、前記主走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを、入力された主走査方向における前記吐出作業エリア内の前記バンクの数の分だけ、繰り返し行うように制御する吐出作業エリア内液滴吐出制御手段と、前記インクジェットヘッドの、前記主走査方向吐出作業エリア間移動制御手段の制御に基づく相対移動と、前記吐出作業エリア内液滴吐出制御手段の制御に基づく前記吐出作業エリア内での液滴吐出とを、入力された主走査方向における前記吐出作業エリアの数の分だけ、繰り返し行うように制御する吐出作業エリア液滴吐出制御手段とを備えている。
【００１８】
この構成のインクジェット装置では、請求項１乃至５の何れかに係る発明の作用に加え、被記録媒体上には複数のバンクに仕切らた複数の吐出作業エリアが設けられ、主走査方向吐出作業エリア間移動制御手段が、入力された、吐出作業エリア間隔のデータに基づいて、吐出作業エリアの間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように主走査方向移動手段を制御し、吐出作業エリア内液滴吐出制御手段が、インクジェットヘッドの、バンク内液滴吐出制御手段の制御に基づくバンク内での液滴吐出と、主走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを、入力された主走査方向における吐出作業エリア内のバンクの数の分だけ、繰り返し行うように制御し、吐出作業エリア液滴吐出制御手段が、インクジェットヘッドの、主走査方向吐出作業エリア間移動制御手段の制御に基づく相対移動と、吐出作業エリア内液滴吐出制御手段の制御に基づく吐出作業エリア内での液滴吐出とを、入力された主走査方向における吐出作業エリアの数の分だけ、繰り返し行うように制御することができる。
【００１９】
また、請求項７に係る発明のインクジェット装置は、請求項１乃至６の何れかに記載の発明の構成に加え、前記ノズルの列設間隔の誤差を複数の範囲に区分した複数のランクとして管理する管理手段を備え、前記スラント角補正手段は、前記ランク毎の誤差の上限値と下限値とから求まる誤差中心値によって前記スラント角を補正することを特徴とする。
【００２０】
この構成のインクジェット装置では、請求項１乃至６の何れかに係る発明の作用に加え、管理手段が前記ノズルの列設間隔の誤差を複数の範囲に区分した複数のランクとして管理し、前記スラント角補正手段は、前記ランク毎の誤差の上限値と下限値とから求まる誤差中心値によって前記スラント角を補正する。
【００２１】
また、請求項８に係る発明のインクジェット装置は、請求項１乃至７の何れかに記載の発明の構成に加え、前記副走査方向移動制御手段は、入力された、前記バンク内での副走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する副走査方向バンク内移動制御手段と、入力された副走査方向における前記バンク内での液滴吐出位置の数の分だけ、前記副走査方向バンク内移動制御手段の制御に基づく相対移動を繰り返し行うように制御する副走査方向バンク内移動回数制御手段と、入力された、副走査方向の前記バンク間隔のデータに基づいて、前記バンクの間隔分と前記液滴吐出幅の分、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する副走査方向バンク間移動制御手段と、入力された副走査方向における前記バンクの数の分だけ、前記副走査方向バンク内移動回数制御手段の制御に基づく相対移動と、前記副走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御する副走査方向バンク移動制御手段とを備えている。
【００２２】
この構成のインクジェット装置では、請求項１乃至７の何れかに係る発明の作用に加え、副走査方向バンク内移動制御手段が、入力された、バンク内での副走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、副走査方向への相対移動を発生させるように副走査方向移動手段を制御し、副走査方向バンク内移動回数制御手段が、入力された副走査方向におけるバンク内での液滴吐出位置の数の分だけ、副走査方向バンク内移動制御手段の制御に基づく相対移動を繰り返し行うように制御し、副走査方向バンク間移動制御手段が、入力された、副走査方向のバンク間隔のデータに基づいて、バンクの間隔分と液滴吐出幅の分、副走査方向への相対移動を発生させるように副走査方向移動手段を制御し、副走査方向バンク移動制御手段が、入力された副走査方向におけるバンクの数の分だけ、副走査方向バンク内移動回数制御手段の制御に基づく相対移動と、副走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御することができる。
【００２３】
また、請求項９に係る発明のインクジェット装置は、請求項１乃至８の何れかに記載の発明の構成に加え、前記副走査方向移動制御手段は、入力された副走査方向における前記吐出作業エリア内の前記バンクの数の分だけ、前記副走査方向バンク内移動回数制御手段の制御に基づく相対移動と、副走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御する副走査方向吐出作業エリア内移動制御手段と、入力された、副走査方向の前記吐出作業エリア間隔のデータに基づいて、前記吐出作業エリアの間隔の分、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する副走査方向吐出作業エリア間移動制御手段と、入力された副走査方向における前記吐出作業エリアの数の分だけ、前記副走査方向吐出作業エリア内移動制御手段の制御に基づく相対移動と、前記副走査方向吐出作業エリア間移動制御手段に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御する副走査方向吐出作業エリア移動制御手段とを備えている。
【００２４】
この構成のインクジェット装置では、請求項１乃至８の何れかに係る発明の作用に加え、副走査方向吐出作業エリア内移動制御手段が、入力された副走査方向における吐出作業エリア内のバンクの数の分だけ、副走査方向バンク内移動回数制御手段の制御に基づく相対移動と、副走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御し、副走査方向吐出作業エリア間移動制御手段が、入力された、副走査方向の吐出作業エリア間隔のデータに基づいて、吐出作業エリアの間隔の分、副走査方向への相対移動を発生させるように副走査方向移動手段を制御し、副走査方向吐出作業エリア移動制御手段が、入力された副走査方向における吐出作業エリアの数の分だけ、副走査方向吐出作業エリア内移動制御手段の制御に基づく相対移動と、副走査方向吐出作業エリア間移動制御手段に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御することができる。
【００２５】
また、請求項１０に係る発明のインクジェット装置は、請求項１乃至９の何れかに記載の発明の構成に加え、前記スラント角が最小のスラント角のとき、前記ノズルの列設間隔が副走査方向のバンク間隔より小さいか、前記スラント角が最大のスラント角のとき、スラントした前記インクジェットヘッドの副走査方向の前記ノズルの列設間隔が前記バンク間隔より大きいかの少なくとも何れか一方の場合、インクジェットヘッドスラント手段は、スラント角を最小に戻すとともに、液滴吐出制御手段は、インターレスを１走査分いれて液滴吐出手段による液滴吐出が行われるように制御することを特徴とする。
【００２６】
この構成のインクジェット装置では、請求項１乃至９の何れかに係る発明の作用に加え、前記スラント角が最小のスラント角のとき、前記ノズルの列設間隔が副走査方向のバンク間隔より小さいか、前記スラント角が最大のスラント角のとき、スラントした前記インクジェットヘッドの副走査方向の前記ノズルの列設間隔が前記バンク間隔より大きいかの少なくとも何れか一方の場合、インクジェットヘッドスラント手段は、スラント角を最小に戻すとともに、液滴吐出制御手段は、インターレスを１走査分いれて液滴吐出手段による液滴吐出が行われるように制御することができる。
【００２７】
また、請求項１１に係る発明のインクジェット装置は、請求項１乃至１０の何れかに記載の発明の構成に加え、主走査方向における液滴吐出位置の間隔のデータを入力する主走査方向液滴吐出位置間隔データ入力手段と、主走査方向における液滴吐出位置の数を入力する主走査方向液滴吐出位置数データ入力手段とを備えている。
【００２８】
この構成のインクジェット装置では、請求項１乃至１０の何れかに係る発明の作用に加え、主走査方向液滴吐出位置間隔データ入力手段によって、主走査方向における液滴吐出位置の間隔のデータを入力でき、主走査方向液滴吐出位置数データ入力手段によって、主走査方向における液滴吐出位置の数を入力することができる。
【００２９】
また、請求項１２に係る発明のインクジェット装置は、請求項２乃至１１の何れかに記載の発明の構成に加え、主走査方向の１走査分の、各液滴吐出位置における液滴吐出の有無を記したパターンのデータを入力する液滴吐出パターンデータ入力手段を備えている。
【００３０】
この構成のインクジェット装置では、請求項２乃至１１の何れかに係る発明の作用に加え、液滴吐出パターンデータ入力手段によって、主走査方向の１走査分の、各液滴吐出位置における液滴吐出の有無を記したパターンのデータを入力することができる。
【００３１】
また、請求項１３に係る発明のインクジェット装置は、請求項３乃至１２の何れかに記載の発明の構成に加え、前記被記録媒体上の同一の液滴吐出位置における液滴吐出の回数を入力する同位置液滴吐出回数データ入力手段を備えている。
【００３２】
この構成のインクジェット装置では、請求項３乃至１２の何れかに係る発明の作用に加え、同位置液滴吐出回数データ入力手段によって、被記録媒体上の同一の液滴吐出位置における液滴吐出の回数を入力することができる。
【００３３】
また、請求項１４に係る発明のインクジェット装置は、請求項５乃至１３の何れかに記載の発明の構成に加え、前記バンク内での主走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータを入力する主走査方向バンク内液滴吐出位置間隔データ入力手段と、主走査方向における前記バンク内での液滴吐出位置の数を入力する主走査方向バンク内液滴吐出位置数データ入力手段と、主走査方向における前記バンク間隔のデータを入力する主走査方向バンク間隔データ入力手段と、主走査方向における前記バンクの数を入力する主走査方向バンク数データ入力手段とを備えている。
【００３４】
この構成のインクジェット装置では、請求項５乃至１３の何れかに係る発明の作用に加え、主走査方向バンク内液滴吐出位置間隔データ入力手段によって、バンク内での主走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータを入力でき、主走査方向バンク内液滴吐出位置数データ入力手段によって、主走査方向におけるバンク内での液滴吐出位置の数を入力でき、主走査方向バンク間隔データ入力手段によって、主走査方向におけるバンク間隔のデータを入力でき、主走査方向バンク数データ入力手段によって、主走査方向におけるバンクの数を入力することができる。
【００３５】
また、請求項１５に係る発明のインクジェット装置は、請求項６乃至１４の何れかに記載の発明の構成に加え、主走査方向における前記吐出作業エリア間隔のデータを入力する主走査方向吐出作業エリア間隔データ入力手段と、主走査方向における前記吐出作業エリア内の前記バンクの数を入力する主走査方向吐出作業エリア内バンク数データ入力手段と、主走査方向における前記吐出作業エリアの数を入力する主走査方向吐出作業エリア数データ入力手段とを備えている。
【００３６】
この構成のインクジェット装置では、請求項６乃至１４の何れかに係る発明の作用に加え、主走査方向吐出作業エリア間隔データ入力手段によって、主走査方向における吐出作業エリア間隔のデータを入力でき、主走査方向吐出作業エリア内バンク数データ入力手段によって、主走査方向における吐出作業エリア内のバンクの数を入力でき、主走査方向吐出作業エリア数データ入力手段によって、主走査方向における吐出作業エリアの数を入力することができる。
【００３７】
また、請求項１６に係る発明のインクジェット装置は、請求項７乃至１５の何れかに記載の発明の構成に加え、前記インクジェットヘッドの前記ノズルの列設間隔と個数によって決まる液滴吐出幅のデータを入力する液滴吐出幅データ入力手段を備えている。
【００３８】
この構成のインクジェット装置では、請求項７乃至１５の何れかに係る発明の作用に加え、液滴吐出幅データ入力手段によって、インクジェットヘッドのノズルの列設間隔と個数によって決まる液滴吐出幅のデータを入力することができる。
【００３９】
また、請求項１７に係る発明のインクジェット装置は、請求項８乃至１６の何れかに記載の発明の構成に加え、前記バンク内での副走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータを入力する副走査方向液滴吐出位置間隔データ入力手段と、副走査方向における前記バンク内での液滴吐出位置の数を入力する副走査方向バンク内液滴吐出位置数データ入力手段と、副走査方向の前記バンク間隔のデータを入力する副走査方向バンク間隔データ入力手段と、副走査方向における前記バンクの数を入力する副走査方向バンク数データ入力手段とを備えている。
【００４０】
この構成のインクジェット装置では、請求項８乃至１６の何れかに係る発明の作用に加え、副走査方向液滴吐出位置間隔データ入力手段によって、バンク内での副走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータを入力でき、副走査方向バンク内液滴吐出位置数データ入力手段によって、副走査方向におけるバンク内での液滴吐出位置の数を入力でき、副走査方向バンク間隔データ入力手段によって、副走査方向のバンク間隔のデータを入力でき、副走査方向バンク数データ入力手段によって、副走査方向におけるバンクの数を入力することができる。
【００４１】
また、請求項１８に係る発明のインクジェット装置は、請求項９乃至１７の何れかに記載の発明の構成に加え、副走査方向における前記吐出作業エリア内の前記バンクの数を入力する副走査方向吐出作業エリア内バンク数データ入力手段と、副走査方向の前記吐出作業エリア間隔のデータを入力する副走査方向吐出作業エリア間隔データ入力手段と、副走査方向における前記吐出作業エリアの数を入力する副走査方向吐出作業エリア数データ入力手段とを備えている。
【００４２】
この構成のインクジェット装置では、請求項９乃至１７の何れかに係る発明の作用に加え、副走査方向吐出作業エリア内バンク数データ入力手段によって、副走査方向における吐出作業エリア内のバンクの数を入力でき、副走査方向吐出作業エリア間隔データ入力手段によって、副走査方向の吐出作業エリア間隔のデータを入力でき、副走査方向吐出作業エリア数データ入力手段によって、副走査方向における吐出作業エリアの数を入力することができる。
【００４３】
また、請求項１９に係る発明のインクジェット装置は、請求項１０乃至１８の何れかに記載の発明の構成に加え、前記インクジェットヘッドの副走査方向に対する回転角である前記スラント角に関連するデータを入力するスラント角データ入力手段を備えている。
【００４４】
この構成のインクジェット装置では、請求項１０乃至１８の何れかに係る発明の作用に加え、スラント角データ入力手段によって、インクジェットヘッドの副走査方向に対する回転角であるスラント角に関連するデータを入力することができる。
【００４５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化したインクジェット装置の一実施の形態について、図面を参照して説明する。まず、本発明に係るインクジェット装置１の構造について、図１〜図１２，図１４，図１７，図２３，図２４，図２７〜図２９を参照して説明する。図１は、本発明の一実施の形態のインクジェット装置１の正面図である。図２は、インクジェット装置１の要部拡大正面図である。図３は、インクジェット装置１の平面図である。図４は、検査調整装置９の要部拡大平面図である。図５は、媒体保持移動装置５、基板受台２１及びガラス基板４等の平面図である。図６は、媒体保持移動装置５とインクジェットヘッド８との位置関係を示す図である。図７は、ヘッド保持装置７、回動駆動機構８０、及び検出用エンコーダ８１の平面図である。図８は、図７における矢視方向Ａからみた、ヘッド保持装置７、回動駆動機構８０、及び検出用エンコーダ８１の背面図である。図９は、図７における矢視方向Ｂからみた、ヘッド保持装置７、回動駆動機構８０、及び検出用エンコーダ８１の右側面図である。図１０は、図８に示す２点鎖線Ｃ−Ｃ’における矢視方向から見たヘッド保持装置７の部分断面図である。図１１は、ヘッド保持装置７の要部拡大断面図である。図１２は、インクジェットヘッド８のノズル５５の配列を示す図である。図１４は、液滴供給装置１２の側面図である。図１７は、位置調整駆動機構１１３とヘッド保持装置７の構成図である。図２３は、ヘッドメンテナンス機構１２３の斜視図である。図２４は、ガラス基板４に液滴のパターニングを行う場合の、ガラス基板４とインクジェットヘッド８との相対位置を示す図である。図２７は、インクジェット装置１の制御系のブロック図である。図２８は、インクジェット装置１の制御系のブロック図である。図２９は、信号出力回路１８６（図２７参照）に設けられた、液滴吐出の信号を生成する液滴吐出信号生成回路３１０を示す図である。
【００４６】
図１に示すように、インクジェット装置１は、装置の土台となるベースフレーム２と、装置を外装するケーシング３と、ガラス基板４を保持し主走査方向と副走査方向に独立に移動駆動可能な媒体保持移動装置５と、インクジェットヘッド８を上下方向に昇降するＺ軸スライド機構６と、このＺ軸スライド機構６に昇降可能に保持されたヘッド保持装置７と、インクジェットヘッド８からの液滴の吐出状態を検査したりインクジェットヘッド８の保守や調整を行うための検査調整装置９（図４参照）と、３色のＥＬ発光層を形成するための吐出溶液１０や、インクジェットヘッド８を洗浄するための溶剤のフラッシング液１１等を供給する液滴供給装置１２と、これらの装置や機器を制御する制御装置１３（図２７，図２８参照）となどで構成されている。尚、図１に示す、インクジェット装置１の正面図において、Ｚ軸方向が上下方向、Ｘ軸方向が左右方向、紙面表裏方向（図３に示す、Ｙ軸方向）が前後方向である。また、本発明における、主走査方向が左右方向（Ｘ軸方向）、副走査方向が前後方向（Ｙ軸方向）、被記録媒体がガラス基板４である。
【００４７】
インクジェット装置１のベースフレーム２の上に直方体状のケーシング３が形成され、このケーシング３の内部空間は、中段位置の水平な仕切板１４により、１Ｆのパターニングルーム１５と２Ｆのメンテナンスルーム１６とに仕切られ、仕切板１４には、ヘッド保持装置７が通過可能な開口部１４ａ（図４参照）が形成されている。この仕切板１４はパターニングルーム１５とメンテナンスルーム１６とを仕切るものであればよく、必ずしも水平に配設される必要はない。パターニングルーム１５内のパターン処理ステージにおいてガラス基板４に多数の３色の微細な画素部からなるドットパターンを形成する吐出記録（パターニング）処理が行われ、メンテナンスルーム１６内の検査調整ステージ４４においてインクジェットヘッド８に対する検査や調整が行われる。また、ケーシング３の側面には、ガラス基板４上に吐出してＥＬ発光層を形成するための赤，緑，青の３色の吐出溶液１０や、ヘッド洗浄用のフラッシング液１１を供給するための液滴供給装置１２が設けられている。
【００４８】
次に、図２に示すように、１Ｆのパターニングルーム１５は、例えば１５００×１５００×５００ｍｍの大きさに形成され、その内部には、ベースフレーム２の上面に大理石のベース台１７が設置されており、このベース台１７の４隅からそれぞれ支柱１８が立ち上がっている。また、ベース台１７の上には媒体保持移動装置５が設けられている。尚、パターニングルーム１５内の空気を圧縮窒素ガスで置換し、室内の水蒸気濃度及び酸素濃度を所定レベル以下にしてパターニングが行われる。
【００４９】
この媒体保持移動装置５は、外部システム（図示外）の搬送ローダＨから搬送されてくるガラス基板４を所定の受け渡し位置（待機位置）（図３に２点鎖線で図示）で受け取り、吐出開始位置に移動させ、ガラス基板４を初期設定位置（原点位置）にアライメント調整し、パターニング時にはそのガラス基板４をＸ軸，Ｙ軸方向へそれぞれ移動駆動し、パターニング終了後にはガラス基板４を待機位置へ移動させて搬送ローダＨへ受け渡すものである。
【００５０】
また、２Ｆのメンテナンスルーム１６は、例えば１５００×１５００×７００ｍｍのの大きさに形成され、その内部には、インクジェットヘッド８をパターニングルーム１５の吐出位置（下降位置）ＤＰ（図６参照）や、メンテナンスルーム１６の検査調整位置（上昇位置）ＵＰに移動駆動させるＺ軸スライド機構６の大部分と、インクジェットヘッド８の取り付け位置を調整する位置調整駆動機構１１３と、媒体保持移動装置５と連動してガラス基板４の位置調整を行う自動アライメント調整機構３６と、インクジェットヘッド８を検査維持するための検査調整装置９となどが配設されている。
【００５１】
尚、検査調整装置９は、インクジェットヘッド８のメンテナンスを行うヘッドメンテナンス機構１２３と、インクジェットヘッド８からの液滴の吐出状態を検査する吐出検査機構１２１とで構成されている。インクジェットヘッド８はＺ軸スライド機構６によりその位置を、仕切板１４の開口部１４ａ（図３参照）を通して検査調整位置ＵＰに切り換えられてから、インクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂ（インクジェットヘッド８）の複数のノズル５５（図１２参照）の吐出状態が吐出検査機構１２１により検査され、また、ヘッドメンテナンス機構１２３によりヘッド保持装置７自体のメンテナンスが行われる。
【００５２】
次に、媒体保持移動装置５の構成について説明する。図５，図６に示すように、媒体保持移動装置５には、ベース台１７上に装備されたＹ軸スライド機構１９と、このＹ軸スライド機構１９の出力部材１９ａに装備されたＸ軸スライド機構２０と、このＸ軸スライド機構２０の出力部材２０ａに装備された、ガラス基板４を載置するための基板受台２１とが設けられている。これらＸ，Ｙ軸スライド機構１９，２０によって、ガラス基板４は、Ｘ軸，Ｙ軸方向にそれぞれ独立に移動可能となっている。また、この基板受台２１は、アライメント調整のためにピン２２を中心として鉛直軸心回りに回転可能となっている。
【００５３】
この基板受台２１は、合成樹脂製の多孔材、あるいは焼結金属製の多孔材などで構成され、基板受台２１上に載せたガラス基板４に多孔材を介して負圧を作用させ、吸着可能となっている。尚、基板受台２１は、ガラス基板４よりも左右に幅広に形成され、基板受台２１にはフラッシング液１１（ヘッド洗浄用溶剤）を受けるための左右一対のトレイ２１ａが一体的に形成されている。また、ガラス基板４を搬出入する場合、ガラス基板４を基板受台２１から所定小距離リフトさせる４本のリフトバー２３ａと、これらリフトバー２３ａを昇降させるエアシリンダを含む基板リフト機構２３も設けられている。
【００５４】
基板受台２１とその上に載置したガラス基板４は、Ｘ軸スライド機構２０により主走査方向（Ｘ軸方向）へ移動駆動可能であり、また、Ｙ軸スライド機構１９により副走査方向（Ｙ軸方向）へ移動駆動可能である。インクジェット装置１は、ガラス基板４へのパターンを形成する場合、Ｚ軸スライド機構６に支持されたヘッド保持装置７を所定の下降位置に停止させた状態で、Ｘ，Ｙ軸スライド機構１９，２０により、ガラス基板４と、ヘッド組取付台２５に装着されたヘッド保持装置７の複数のインクジェットヘッド８との間に、主走査方向と副走査方向とにそれぞれ相対移動を発生させながらパターニングを行う。
【００５５】
次に、Ｚ軸スライド機構の構成について説明する。図２に示すように、Ｚ軸スライド機構６は、ヘッド保持装置７を支持して昇降させるためのものであり、このＺ軸スライド機構６をベース台１７に支持する構造として、２Ｆのメンテナンスルーム１６において仕切板１４上の左右両側には、前後方向に延びる一対のボックスフレーム３７が支柱１８で支持されている。そして、これらボックスフレーム３７には支持フレーム３８が架設され、この支持フレーム３８にＺ軸スライド機構６が取り付けられている。このＺ軸スライド機構６は、支持フレーム３８に固定されたスライドケース３９、このスライドケース３９に昇降自在に案内された出力部材４０（スライド部材）、この出力部材４０を昇降する電動シリンダ４１、この電動シリンダ４１のＺ軸エンコーダ４２等で構成されている。
【００５６】
また、Ｚ軸スライド機構６の出力部材４０の下端部には、支持基板４７が複数のボルト等で固定され、ヘッド組取付台２５の一部を構成している。このヘッド組取付台２５にはヘッド保持装置７が着脱可能に取り付けられており、図６に示すように、Ｚ軸スライド機構６は、ヘッド保持装置７のインクジェットヘッド８を、仕切板１４よりも下側の基板受台２１においてガラス基板４に対してパターン形成を行う吐出位置ＤＰと、検査調整ステージ４４においてインクジェットヘッド８に対して検査調整を行う検査調整位置ＵＰと、この位置よりもわずかに上昇させたホーム位置ＨＰにわたって昇降可能となっている。
【００５７】
次に、ヘッド保持装置７の構成について説明する。図７〜図１０に示すように、ヘッド保持装置７は、フレーム部材４６、４節平行リンク機構４９、３つのヘッドホルダ５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂ（ヘッドホルダ５１）、一対の回動支点５０ａ，５０ｂ、２組の案内機構５２ａ，５２ｂ、移動機構５３ａ，５３ｂ、回動駆動機構８０などを有し、ヘッド保持装置７のフレーム部材４６が、ヘッド組取付台２５の支持基板４７に対して着脱可能に装着されるようになっている。また、支持基板４７にはエンコーダ８１が設けられており、４節平行リンク機構４９によって傾斜されるインクジェットヘッド８の傾斜角度が検出される。
【００５８】
図７に示す、フレーム部材４６は、左右方向に延びる本体部４６ａと、この本体部４６ａの左端部から前方へ延びた左腕部４６ｂと、本体部４６ａの右端付近から斜めに前方へ延びた右腕部４６ｃとを有し、左腕部４６ｂと右腕部４６ｃとに、４節平行リンク機構４９の傾斜回動、すなわちスラントのための一対の回動支点５０ａ，５０ｂが支持されている。
【００５９】
図１０に示す、４節平行リンク機構４９は、一対の第１リンク部材５６ａ，５６ｂを回動可能に連結する一対の第２リンク部材５７ａ，５７ｂと、一対の押さえプレート５８ａ，５８ｂなどとを有する。一対の第１リンク部材５６ａ，５６ｂは、前後に所定間隔開けて主走査方向（Ｘ軸方向）と平行に配設され、一対の第２リンク部材５７ａ，５７ｂは、第１リンク部材５６ａ，５６ｂの端部にほぼ対応する位置に副走査方向（Ｙ軸方向）に平行に配設されており、一対の第２リンク部材５７ａ，５７ｂの両端部は一対の第１リンク部材５６ａ，５６ｂの上面に当接する状態に配設されている。尚、後側の第１リンク部材５６ｂには、右側の第２リンク部材５７ｂよりも所定の長さ突出する突出部６０が形成されている。また、第１リンク部材５６ａ，５６ｂと第２リンク部材５７ａ，５７ｂとは４つの連結部６１によって連結され、鉛直軸心回りに回動可能になっている。
【００６０】
図７，図１０に示す、ヘッドホルダ５１は、副走査方向（Ｙ軸方向）にそれぞれ細長く形成され、初期設定状態において副走査方向と平行に、右側からヘッドホルダ５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂの順に配設されている。３つのヘッドホルダ５１は、一対の第１リンク部材５６ａ，５６ｂに一対の抑えプレート５８ａ，５８ｂを介して着脱可能に装着され、各ヘッドホルダ５１の両端部は、一対の第１リンク部材５６ａ，５６ｂに鉛直軸心回りに回動可能に支持されている。また、ヘッドホルダ５１には、副走査方向に細長いインクジェットヘッド８が取り外し可能に固定されている。インクジェットヘッド８は、ＥＬ発光有機物質などの有機物質を溶剤で液化した溶液（吐出液）を吐出するために、例えば、セラミック材料などの対溶剤性材料で形成されている。
【００６１】
また、各インクジェットヘッド８には、例えば６４個の微小径のノズル５５（図１２参照）が副走査方向（Ｙ軸方向）に微少ピッチで一列状をなすように形成されている。赤色溶液と緑色溶液と青色溶液とをそれぞれ吐出するインクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂは、主走査方向に所定の間隔をあけて平行に設けられたヘッドホルダ５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂにそれぞれ装着される。各インクジェットヘッド８の、例えば６４個のノズル５５は、最も後端側（支持基板４７側）のものから順に、Ｎｏ．１，Ｎｏ．２，・・・Ｎｏ．６４とされ、Ｎｏ．１のノズル５５が基準ノズルである。
【００６２】
図１０に示す、一対の回動支点５０ａ，５０ｂは、一対の第２リンク部材５７ａ，５７ｂの途中部であって、基準インクジェットヘッドであるインクジェットヘッド８ＲのＮｏ．１のノズル５５（基準ノズル）に対応する途中部が回動中心となるように、４節平行リンク機構４９をスラントさせるための回動支点であり、一対の第１リンク部材５６ａ，５６ｂ間の一対の第２リンク部材５７ａ，５７ｂの途中部を、連結部６１の軸心と平行な軸回りに回動可能に支持するものである。
【００６３】
尚、前記途中部は、第２リンク部材５７ａ，５７ｂの後端から約１／３の長さの位置であり、一対の回動支点５０ａ，５０ｂの軸心を結ぶ面ＢＦ上に、インクジェットヘッド８Ｒの基準ノズル５５が位置している。（図１７参照）。また、インクジェットヘッド８Ｇ，８Ｂの基準ノズル５５は、前記軸心を結ぶ面ＢＦ上に配置される場合もあるし、それぞれ必要に応じて副走査方向へ微少距離移動させた位置に配置される場合もある。このインクジェット装置１は、４節平行リンク機構４９の一対の第２リンク部材５７ａ，５７ｂを０〜６０度の範囲内で副走査方向に対して所望の角度だけスラントさせることにより、パターン形成時の副走査方向の解像度、すなわちドットピッチを変更可能になっている。
【００６４】
図１１に示す、案内機構５２ａは、インクジェットヘッド８Ｂを一対の第１リンク部材５６ａ，５６ｂに対して副走査方向（Ｙ軸方向）に移動可能に案内支持するように設けられており、前端案内機構１００と後端案内機構１０１とを有する。前端案内機構１００は、ローラ部材１０２、凹部１０３、案内面１０４、押圧部材１０５、及び圧縮コイルバネ１０６等で構成されている。インクジェットヘッド８Ｂが固定されたヘッドホルダ５１Ｂの下面側には、ローラ部材１０２が支軸１０７を介して鉛直軸心回りに回動可能に取り付けられている。また、第１リンク部材５６ａ，５６ｂに形成された凹部１０３には、ローラ部材１０２と押圧部材１０５が収容され、凹部１０３の右側面には案内面１０４が形成され、回動可能に支持された押圧部材１０５を圧縮コイルバネ１０６で付勢し、押圧部材１０５でローラ部材１０２を案内面１０４に当接させ、ローラ部材１０２を介してヘッドホルダ５１Ｂの前端部を副走査方向に平行に移動可能にしてある。
【００６５】
また、後端案内機構１０１も、ローラ部材１０２、凹部１０３、案内面１０４、押圧部材１０５、及び圧縮コイルバネ１０６等で構成されており、前端案内機構１００と同様に、回動可能に支持された押圧部材１０５を圧縮コイルバネ１０６で付勢し、押圧部材１０５でローラ部材１０２を案内面１０４に当接させ、ローラ部材１０２を介してヘッドホルダ５１Ｂの後端部を副走査方向に平行に移動可能にしてある。尚、押圧部材１０５は、ローラ部材１０２を後方かつ右方へ押し、後述の移動機構５３ａとしてのマイクロメータ機構のスピンドル１０８の先端にローラ部材１０２を当接させている。
【００６６】
さらに、案内機構５２ｂも案内機構５２ａと同様の構造となっており、ヘッドホルダ５１Ｇに取り付けられたインクジェットヘッド８Ｇを一対の第１リンク部材５６ａ，５６ｂに対して副走査方向（Ｙ軸方向）に移動可能に案内支持するように設けられている。また、ヘッドホルダ５１Ｒの両端部に設けられた一対のローラ部材１０２は一対の第１リンク部材５６ａ，５６ｂのガイド穴にそれぞれ係合されており、ヘッドホルダ５１Ｒに装着されるインクジェットヘッド８Ｒは、副走査方向へ移動不能となる。
【００６７】
図１１に示す、移動機構５３ｂとしてマイクロメータ機構が後側の第１リンク部材５６ｂの後面に固定されたブラケット１１２（図８，図９参照）に取り付けられ、このマイクロメータ機構の先端部のスピンドル１０８が、前記の後端案内機構１０１の凹部１０３に部分的に突入し、スピンドル１０８の先端がローラ部材１０２に後方から当接している。マイクロメータ機構の後端部には、後述の位置調整駆動機構１１３からの回転駆動力を入力するための入力部１１４が形成されており、入力部１１４の回転角度（φ）に比例する微少距離だけ、回転方向で決まる方向へ、スピンドル１０８が進退移動するのでヘッドホルダ５１Ｂを副走査方向（Ｙ軸方向）へ位置調整できるようになっている。尚、マイクロメータ機構の制止側部材（図示外）が回転しないように規制する回動規制部１１５も設けられている。また、移動機構５３ａも移動機構５３ｂと同様の構造となっており、ヘッドホルダ５１Ｇを副走査方向へ微少距離移動させることができる。
【００６８】
図７〜図９に示す、回動駆動機構８０は、スラント用サーボモータ（減速機付きサーボモータ）８２と、レバー部材８３と、回動力入力軸８４とからなる。このスラント用サーボモータ８２は、右側の回動支点５０ｂとほぼ同軸心となるように、Ｚ軸スライド機構６の出力部材４０に固定されたモータ支持板８５に立向き姿勢に装着されている。また、スラント用サーボモータ８２の出力軸８２ａがレバー部材８３を介して回動力入力軸８４に連結され、第２リンク部材５７ａ，５７ｂが回動支点５０ａ，５０ｂを中心に回動されるように構成されている。
【００６９】
図７〜図９に示す、傾斜角度検出用のエンコーダ８１は、高分解能のロータリエンコーダからなり、このエンコーダ８１は、支持基板４７の張出し部４７ａに立向き姿勢に固定され、エンコーダ８１の入力軸の軸心は、一対の回動支点５０ａ，５０ｂの軸心を結ぶ面と同一面上に位置している。このエンコーダ８１の入力軸８１ａに固定されたアーム９５の前端部には、ピン９４にてローラ９５ａが回動自在に取り付けられ、アーム９５は、弾性部材９３により図７にて反時計回りに弾性付勢され、ローラ９５ａが、４節平行リンク機構４９の後側の第１リンク部材５６ｂの右端側の突出部６０の右側面に弾性的に当接している。尚、支持基板４７のストッパ溝９６は、ヘッド保持装置７が取り外されているとき、アーム９５を適正な位置に保持するためのストッパ溝であって、ヘッド保持装置７を支持基板４７に取り付ける際のアーム９５の干渉を防止するようになっている。
【００７０】
次に、位置調整駆動機構１１３の構成について説明する。図４，図２，図１７に示すように、位置調整駆動機構１１３は、ヘッド組取付台２５に装着されたヘッド保持装置７の移動機構５３ａ，５３ｂに着脱可能に択一的に連結し、移動機構５３ａ，５３ｂを介してインクジェットヘッド８Ｂ，８Ｇを副走査方向に移動させる機構である。この位置調整駆動機構１１３は、２Ｆのメンテナンスルーム１６に開口部１４ａよりも後側に配設されている。
【００７１】
この位置調整駆動機構１１３は、エアーシリンダからなるＹ軸方向駆動機構１１６、このＹ軸方向駆動機構１１６によってＹ軸方向へ移動駆動可能なエアーシリンダからなるＸ軸方向駆動機構１１７、このＸ軸方向駆動機構１１７によってＸ軸方向へ移動駆動可能な位置調整用サーボモータ１１８、移動機構５３ａ，５３ｂの入力部１１４にモータ駆動力を伝達するための出力部１１９などで構成されている。位置調整用サーボモータ１１８の出力部１１９は、前方向けに配設されている。Ｚ軸スライド機構６によりヘッド組取付台２５に装着されたヘッド保持装置７を検査調整位置ＵＰ（図６参照）に切り換えた状態において、この出力部１１９をインクジェットヘッド８Ｇ，８Ｂのうちの所望のインクジェットヘッドのための移動機構５３ａ，５３ｂの入力部１１４に対して同心になるように左右方向（Ｘ軸方向）に位置調節後、Ｙ軸方向駆動機構１１６により前方移動させ、出力部１１９を入力部１１４に係合させ、位置調整用サーボモータ１１８によりマイクロメータ機構のスピンドル１０８を副走査方向に微調整することにより、ローラ部材１０２を介してインクジェットヘッド８を副走査方向に前方へまたは後方へ所望の微少距離移動させ得るように構成されている。
【００７２】
次に、自動アライメント調整機構３６の構成について説明する。図５，図６に示す、１Ｆのパターニングルーム１５の媒体保持移動装置５のＸ軸スライド機構２０のＸ軸方向駆動部２６は、Ｘ軸エンコーダ２７を含むＸ軸サーボモータ２８により、Ｘ軸方向案内部材（図示外）に対して出力部材２０ａを移動駆動するものであり、Ｙ軸スライド機構１９のＹ軸方向駆動部２９はＹ軸エンコーダ３０を含むＹ軸サーボモータ３１により、Ｙ軸方向案内部材（図示外）に対して出力部材１９ａを移動駆動するものである。また、Ｘ，Ｙ軸スライド機構２０，１９には、それぞれの出力部材２０ａ，１９ａの移動量を精密に検出可能なＸ軸リニアスケール１８９，Ｙ軸リニアスケール１９８（図２７参照）がそれぞれ設けられている。
【００７３】
また、図２４に示すように、ガラス基板４の後端側の左右の隅部には、大小のアライメントマークＡＭ１，ＡＭ２，ＡＭ３，ＡＭ４が印されており、これらのアライメントマークＡＭ１〜ＡＭ４を撮像し、後述の制御装置１３が、その画像情報を解析し、ガラス基板４の原点位置からのズレ量を求めてガラス基板４を原点位置に設定するようになっている。
【００７４】
図４に示すように、前記の左側のアライメントマークＡＭ１，ＡＭ３をそれぞれ撮像するため、２Ｆの検査調整ステージ４４において、開口部１４ａの左側には、仕切板１４に設けたガラス窓（図示外）から下方のアライメントマークＡＭ１，ＡＭ３をそれぞれ撮像する低倍率のＣＣＤカメラ３２ａと高倍率のＣＣＤカメラ３２ｃとが設けられている。これらのＣＣＤカメラ３２ａ，３２ｃは、共通の支持板１４５に取り付けられ、ガラス基板４の厚さが変わった場合にエアシリンダ１４６により高さ位置調整可能であり、手動操作によりそれぞれフォーカス調整可能となっている。
【００７５】
同様に、右側のアライメントマークＡＭ２，ＡＭ４をそれぞれ撮像するため、開口部１４ａの右側には、仕切板１４に設けたガラス窓（図示外）から下方のアライメントマークＡＭ２，ＡＭ４をそれぞれ撮像する低倍率のＣＣＤカメラ３２ｂと高倍率のＣＣＤカメラ３２ｄとが設けられている。これらのＣＣＤカメラ３２ｂ，３２ｄは、共通の支持板１４７に取り付けられ、ガラス基板４の厚さが変わった場合にエアシリンダ１４８により高さ位置調整可能であり、手動操作によりそれぞれフォーカス調整可能になっている。さらに、ガラス基板４の搬入位置誤差が大きい場合や、ガラス基板４のサイズが変わった場合に、左右方向や前後方向へ位置が変動する右側のアライメントマークＡＭ２，ＡＭ４を検出可能にするために、支持板１４７と２つのＣＣＤカメラ３２ｂ，３２ｄとをＸ，Ｙ軸方向に独立に精密に移動駆動可能なＸ軸方向移動駆動機構１４９とＹ軸方向移動駆動機構１５０も設けられている。
【００７６】
次に、検査調整装置９の構成について説明する。図４に示すように、検査調整装置９は、インクジェットヘッド８のメンテナンスを行うヘッドメンテナンス機構１２３と、インクジェットヘッド８からの液滴の吐出状態を検査する吐出検査機構１２１とで構成されている。ヘッドメンテナンス機構１２３は、吐出検査機構１２１によりインクジェットヘッド８の副走査方向に列設された複数のノズル５５からの吐出状態を検査する際に、吐出検査機構１２１と協働するようになっている。
【００７７】
ヘッドメンテナンス機構１２３は、メンテナンスルーム１６において仕切板１４の開口部１４ａよりやや前側に設けられている。このヘッドメンテナンス機構１２３は、電動シリンダ１２４、吸取り紙送り機構１２５、紙送り駆動機構１２６、加圧パージ用のトレイ１２７、及びワイプ用のゴムパッド１２８などを有する。ゴムパッド１２８は３つのゴムパッド１２８Ｒ，１２８Ｇ，１２８Ｂからなる。
【００７８】
また、図２３に示すように、可動テーブル１２９上には、吸取り紙送り機構１２５とトレイ１２７とゴムパッド１２８とが一体的に支持され、電動シリンダ１２４により可動テーブル１２９が前後方向（Ｙ軸方向）に移動駆動される。そして、Ｚ軸スライド機構６により検査調整位置ＵＰ（図６参照）にされたヘッド保持装置７のインクジェットヘッド８に対して、吸取り紙送り機構１２５、トレイ１２７、ゴムパッド１２８がそれぞれ下方に位置するように位置切り換え可能となっている。
【００７９】
吸取り紙送り機構１２５は、紙送り駆動機構１２６からの機動力を伝達可能なワンウェイクラッチ式の駆動ローラ１３０、駆動ローラ１３０との間に掛装されたベルト１３１を含み巻き取り方向の逆向きに一定の張力を付与するためのバックテンション機構１３２、従動ローラ１３３，１３４、支持板１３５等で構成されている。吸取り紙１３６は、バックテンション機構１３２のローラ部分にセットされ、紙送り駆動機構１２６により駆動される駆動ローラ１３０に従動ローラ１３３，１３４を介して巻き取られるようになっている。
【００８０】
紙送り駆動機構１２６は、摩擦係数の高いゴムが外装固着された出力軸１３７ａを有する吸取り紙巻取用サーボモータ１３７と、吸取り紙巻取用サーボモータ１３７がＸ軸方向に自在にスライド移動できるように支持するＸ軸方向スライド機構１３８と、吸取り紙巻取用サーボモータ１３７の出力軸１３７ａを駆動力伝達位置と非伝達位置とにわたって移動駆動するスライド駆動用エアシリンダ１３９とを有する。
【００８１】
加圧パージ用のトレイ１２７には３つの凹部１２７Ｒ，１２７Ｇ，１２７Ｂが形成され、Ｚ軸スライド機構６により検査調整位置ＵＰ（図６参照）にされたヘッド保持装置７のインクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂとそれぞれ対抗する位置に、それぞれの凹部１２７Ｒ，１２７Ｇ，１２７Ｂが位置するように配設されている。
【００８２】
また、図４に示すように、吐出検査機構１２１は、２Ｆのメンテナンスルーム１６内において、仕切板１４の開口部１４ａの左右両側付近に対向状にかつヘッドメンテナンス機構１２３の付近に配設されている。吐出検査機構１２１は、Ｙ軸方向移動駆動機構１４０ａ，１４０ｂ、撮影ポジション切り替え機構１４１ａ，１４１ｂ、液滴の吐出状態を撮像する撮像手段としてのＣＣＤカメラ１４２と、このＣＣＤカメラ１４２に投光する投光手段としてのストロボ投光器１４３などを有する。
【００８３】
ＣＣＤカメラ１４２は左側に配置され、このＣＣＤカメラ１４２を副走査方向（Ｙ軸方向）に移動させるためのＹ軸方向移動駆動機構１４０ａと、ＣＣＤカメラ１４２を主走査方向に２段階に移動させるための上下２段のエアシリンダ１４４からなる撮影ポジション切り替え機構１４１ａとが配設されている。また、ストロボ投光器１４３は右側に配設され、このストロボ投光器１４３を副走査方向に移動させるためのＹ軸方向移動駆動機構１４０ｂと、前記と同様の上下２段のエアシリンダ１４４からなる撮影ポジション切り替え機構１４１ｂとが配設されている。
【００８４】
次に、液滴供給装置１２の構成について説明する。図１、図３、図１４に示すように、インクジェット装置１のケーシング３の側面には、ヘッドホルダ５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂに赤，緑，青用の吐出溶液１０やヘッド洗浄用のフラッシング液１１を供給するための液滴供給装置１２が設けられている。赤，緑，青用の吐出溶液１０をそれぞれ収容した液容器１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２ＢがＺ軸スライド機構６の昇降動作に連動して昇降するように装備され、廃液回収用容器１５３、フラッシング液１１の容器１５４、バルブユニット１５５等も設けられている。
【００８５】
また、ヘッドメンテナンス機構１２３の加圧パージ用のトレイ１２７の各凹部１２７Ｒ，１２７Ｇ，１２７Ｂにはチューブが接続され、バルブユニット１５５を経由して廃液回収用容器１５３に接続されている。また、チューブ１５６は、バルブユニット１５５を介して図示外のミスト分離用タンクへ接続されている。さらに、チューブ１５７，１５８，１５９，１６０は、バルブユニット１５５を介して図示外の圧縮窒素ガスラインへ接続されている。
【００８６】
また、液滴供給装置１２の支持フレーム１６１には、可動フレーム１６２（保持台）が設けられ、この可動フレーム１６２に金属ベローズ付きの電動シリンダ１６４のロッドの先端部が連結され、この電動シリンダ１６４を有する液容器昇降機構１６３により支持フレーム１６１は昇降可能に設けられている。また、３つの液容器１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂにおける液消費に追従して液容器１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂ内の液面の高さを基準高さ位置に維持する３つの液面位置維持機構１６６が設けられ、各液面位置維持機構１６６にはロック機構１６７が付設されている。
【００８７】
この液面位置維持機構１６６は、上下方向向きに配設された円筒状のケーシング１６８、軸状部材１６９、弾性部材としての圧縮コイルバネ１７０、スリーブ１７１、及び各液容器１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂを保持する各保持体１６５Ｒ，１６５Ｇ，１６５Ｂ等で構成されている。可動フレーム１６２に、ケーシング１６８の上端部に形成されたフランジ１６８ａが着脱可能に連結され、ケーシング１６８内部には、軸状部材１６９がケーシング１６８と一体的に固着されている。
【００８８】
さらに、ケーシング１６８内部において、軸状部材１６９の上端部が保持体１６５に連結されている。ボールスプラインからなるスリーブ１７１はケーシング１６８に打ち込まれている。ケーシング１６８、軸状部材１６９、及びスリーブ１７１で囲われた環状空間に、圧縮コイルバネ１７０が備えられている。
【００８９】
また、ロック機構１６７は、電動シリンダ１６４により可動フレーム１６２が上下動される場合、圧縮コイルバネ１７０による弾性支持に起因する上下動が生じないようにロックする機構であって、図示外の小型のエアシリンダとそのロッドの先端部に固着されたロック用パッドとを有する。このシリンダ本体は、ケーシング１６８の上半部の側面に横向きに固着され、ロッドの先端部がケーシング１６８内部に挿通され、ロック用パッドで軸状部材１６９を押圧してロック可能になっている。尚、これら液容器１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂ、廃液回収用容器１５３、及びフラッシング液１１の容器１５４は、グローブボックス１７２に収容され、図示外のハッチを介して取り替え可能となっている。
【００９０】
次に、制御装置１３を含む制御系の構成について説明する。図２７，図２８に示すように、制御装置１３のホスト制御ユニット１７３は、ＣＰＵ１７３ａとＲＯＭ１７３ｂとＲＡＭ１７３ｃとを含むコンピュータを有し、そのＲＯＭ１７３ｂにはインクジェット装置１の種々のモータや撮像機やストロボ発光器やその他の種々の機器を制御するためのＣＰＵ１７３ａが実行する制御プログラムが記憶されている。このホスト制御ユニット１７３には操作パネル１７４と外部記憶装置１７５と電源回路１７６と、ＣＡＤデータ等の入力を行うためのフロッピー（登録商標）ディスク３０５ａの読み書きを行うフロッピー（登録商標）ディスクドライブ（ＦＤＤ）３０５とが接続されている。外部記憶装置１７５には、ガラス基板４に形成する後述のドットパターンのデータや、インクジェット装置１のシステム定数、生産管理情報などが記憶されている。
【００９１】
ホスト制御ユニット１７３は、入出力ライン１７７を介して、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）１７８、多軸送りパルス発生回路１７９、多軸送りパルス発生回路１８０、出力レジスタ１８１、入力レジスタ１８２、アライメントコントローラ１８３、吐出検査コントローラ１８４、及びローダ用インターフェース（Ｉ／Ｆ）１８５などに接続されている。ＤＳＰ１７８は、信号出力回路１８６と駆動回路１８７を介して３つのインクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂに接続されている。ＤＳＰ１７８は、ＣＰＵとＲＯＭとＲＡＭを有し、そのＲＯＭにはインクジェットヘッド８を駆動してパターニングを行う吐出記録用制御プログラムが記憶されている。
【００９２】
信号出力回路１８６には吐出記録用制御プログラムの処理に従ってＤＳＰ１７８から伝達される信号に基づき、タイミング調整を行って液滴吐出の信号を生成する液滴吐出信号生成回路３１０を有する。図２９に示すように、液滴吐出信号生成回路３１０には、ＤＳＰ１７８を介して伝達されるＸ軸リニアスケール１８９からの信号をもとに信号開始点，パネル数，パネル間隔，バンク数，バンクピッチ，複数回打ち回数，複数回打ちピッチの各パラメータについてカウントを行うカウンタ３１０ａ，３１０ｂ，３１０ｃ，３１０ｄ，３１０ｅ，３１０ｆ，３１０ｇ、ラッチ回路３１１及び論理回路等が設けられている。この液滴吐出信号生成回路３１０は、インクジェットヘッド８の各ノズル５５毎に、インクジェットヘッド８の主走査時における＋Ｘ方向用の回路と−Ｘ方向用の回路をそれぞれ有し、さらに、全てのノズル５５に対応する数の分、それぞれ設けられている。例えば、インクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂがそれぞれ６４個のノズル５５を備えていれば、信号出力回路１８６には３×６４×２個の液滴吐出信号生成回路３１０が設けられている。
【００９３】
また、駆動回路１８７は、多数のノズル駆動用圧電素子を駆動する駆動パルスを発生させる発生回路を有する。前記の駆動パルスの波形を、インクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂに共通に設定することもあるし、インクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂ別に異ならせて設定する場合もあるが、前記の駆動パルスを表示させるための波形モニタ１８８が駆動回路１８７に接続されている。
【００９４】
ＤＳＰ１７８は、多軸送りパルス発生回路１７９にも接続され、ガラス基板４のＸ軸方向への移動に同期させてパターニングを行うためにＸ軸サーボモータ２８で駆動されるＸ軸スライド機構２０の移動量を精密に検出するＸ軸リニアスケール１８９の検出信号がアンプＡＭＰを介してＤＳＰ１７８に供給されている。また、ＤＳＰ１７８には、吐出記録用データや位相データ（吐出のタイミングを設定するデータ）を記録するデータ記憶装置１９０が接続され、このデータ記憶装置１９０はホスト制御ユニット１７３から供給されたデータを記憶しておき、パターニング時にはそのデータをＤＳＰ１７８に出力する。
【００９５】
多軸送りパルス発生回路１７９には、ガラス基板４をＸ軸方向に送るＸ軸スライド機構２０のＸ軸サーボモータ２８のための駆動回路（Ｘ）１９１、Ｙ軸スライド機構１９のＹ軸サーボモータ３１のための駆動回路（Ｙ）１９２、スラント用サーボモータ８２のための駆動回路（θ）１９３、スラント角θを検出するエンコーダ８１の検出信号を増幅するアンプＡＭＰ、ヘッドホルダ５１Ｇ，５１Ｂの副走査方向位置を調整する位置調整用サーボモータ１１８のための駆動回路（φ）１９４、ヘッド保持装置７を昇降させる電動シリンダ４１を駆動するＺ軸スライドサーボモータ４１ａのための駆動回路（Ｚ）１９５、及び液滴供給装置１２の可動フレーム１６２を昇降させる電動シリンダ１６４のＺ１スライドサーボモータ１９６のための駆動回路（Ｚ１）１９７などが接続されている。
【００９６】
ここで、Ｘ軸サーボモータ２８のための駆動回路１９１は、Ｘ軸サーボモータ２８に内蔵のＸ軸エンコーダ２７の検出信号と、Ｘ軸リニアスケール１８９の検出信号とに基づいてモータ制御を行う。同様に、Ｙ軸スライド機構１９のＹ軸方向移動量を精密に検出するためのＹ軸リニアスケール１９８も設けられており、Ｙ軸サーボモータ２８のための駆動回路１９２は、Ｙ軸サーボモータ４２８に内蔵のＹ軸エンコーダ３０の検出信号と、Ｙ軸リニアスケール１９８の検出信号とに基づいてモータ制御を行う。従って、Ｘ，Ｙ軸スライド機構２０，１９によって、ガラス基板４をＸ，Ｙ軸方向に独立に精密に移動駆動して、ガラス基板４のＸ，Ｙ軸方向の位置を精密に制御できるように構成してある。
【００９７】
多軸送りパルス発生回路１８０には、ガラス基板４を原点位置にアライメント調整するためにガラス基板４を回動させるアライメント調整用サーボモータ１９９のための駆動回路（α）２００、吐出検査用ＣＣＤカメラ移動用サーボモータ２０１のための駆動回路（Ｃ）２０２、吐出検査用ストロボ移動用サーボモータ２０３のための駆動回路（Ｓ）２０４、ヘッドメンテナンス機構１２３の電動シリンダ１２４を駆動させるヘッドメンテナンス機構１２３用サーボモータ２０５のための駆動回路（Ｍ）２０６、及びヘッドメンテナンス機構１２３の吸取り紙巻取用サーボモータ１３７のための駆動回路（Ｆ）２０７などが接続されている。
【００９８】
また、図２８に示すように、ホスト制御ユニット１７３に接続された入出力ライン１７７には、液滴供給装置１２のバルブユニット１５５の複数のソレノイドバルブ（ＳＯＬ１，ＳＯＬ２等）２０８を駆動するリレー回路２０９に接続された出力レジスタ１８１、複数の検出用スイッチ（ＬＳ１，ＬＳ２等）に接続されたＩ／Ｆ２１０に接続された入力レジスタ１８２、ガラス基板４のアライメント調整のための４つのＣＣＤカメラ３２ａ〜３２ｄに接続されたアライメントコントローラ１８３、吐出検査用のＣＣＤカメラ１４２とストロボ投光器１４３を駆動する吐出検査コントローラ１８４、及び外部のガラス基板４の搬送のためのローダＨとの間で信号を授受するローダ用Ｉ／Ｆ１８５などが接続されている。尚、前記のアライメントコントローラ１８３には、モニタ２１１ａやキーボード２１１ｂも接続されている。
【００９９】
次に、本実施の形態のインクジェット装置１の各部の動作について、図面を参照して説明する。まず、ガラス基板４を原点位置（初期設定位置）に設定するための自動アライメント調整機構３６の動作について、図面を参照して説明する。図２２は、ガラス基板４と自動アライメント調整機構３６の構成を示す図である。
【０１００】
図２２に示すように、インクジェット装置１では、基板受台２１上に載置されたガラス基板４を原点位置にアライメント調整する場合、２Ｆのメンテナンスルーム１６に装備した４つのＣＣＤカメラ３２ａ〜３２ｄによりガラス基板４の４つのアライメントマークＡＭ１〜ＡＭ４を撮像してガラス基板４の位置を検出し、その検出位置情報に基づいて、Ｘ軸，Ｙ軸スライド機構２０，１９により基板受台２１をＸ軸，Ｙ軸方向へそれぞれ位置調整するとともに、基板受台２１の下面に摩擦係合したカム片３３とこのカム片３３をＸ軸方向へ微動可能な電動シリンダ３４とを含む回動調整装置３５により、基板受台２１を、ピン２２を中心に角度（α）を調整し、ガラス基板４を原点位置にアライメント調整するようになっている。
【０１０１】
まず、自動アライメント調整機構３６では、左右の低倍率のＣＣＤカメラ３２ａ，３２ｂで大きい方のアライメントマークＡＭ１，ＡＭ２を撮像した画像情報が制御装置１３に供給される。制御装置１３は、その画像情報を所定の制御プログラムで解析処理して、ガラス基板４の原点位置からのＸ，Ｙ軸方向のズレ量ΔＸ，ΔＹと、ピン２２の回りの回動角ズレ量Δαを求める。そして、そのズレ量ΔＸ，ΔＹ，Δαが解消するように、制御装置１３は、Ｘ，Ｙ軸スライド機構２０，１９と、回動調整装置３５を駆動制御してガラス基板４を原点位置に粗位置決めする。
【０１０２】
次に、左右の高倍率のＣＣＤカメラ３２ｃ，３２ｄで小さい方のアライメントマークＡＭ３，ＡＭ４を撮像した画像情報が制御装置１３に供給される。制御装置１３は、前述の場合と同様に、画像情報を解析処理してガラス基板４の原点位置からのズレ量ΔＸ，ΔＹ，Δαを求め、そのズレ量ΔＸ，ΔＹ，Δαが解消するように、Ｘ，Ｙ軸スライド機構２０，１９と、回動調整装置３５を駆動制御して、ガラス基板４を原点位置に精密に位置決めする。従って、自動アライメント調整機構３６は、ガラス基板４の厚さやサイズが変化した場合にも、ガラス基板４を原点位置に精密に確実に位置決めすることができる。
【０１０３】
次に、検査調整装置９の動作について説明する。まず、検査調整装置９のヘッドメンテナンス機構１２３の各部の動作について説明する。図２３に示すように、紙送り駆動機構１２６は、電動シリンダ１２４が可動テーブル１２９を待機位置（吸取り紙巻取り位置）に移動駆動し、スライド駆動用エアシリンダ１３９が吸取り紙巻取用サーボモータ１３７の出力軸１３７ａを駆動力伝達位置に切り換え、吸取り紙巻取用サーボモータ１３７の回転駆動力を駆動ローラ１３０の入力軸に伝達し、吸取り紙１３６を矢印Ｄの方向に紙送りを行う。
【０１０４】
また、加圧パージ用のトレイ１２７は、その上方に相対移動された３つのインクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂを３つの凹部１２７Ｒ，１２７Ｇ，１２７Ｂに対向させ、３つのインクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂに液滴供給装置１２からフラッシング液１１を供給してノズル５５から吐出させ、その廃液を吸引することでノズル５５を洗浄する。
【０１０５】
吐出検査が行われる場合には、インクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂを凹部１２７Ｒ，１２７Ｇ，１２７Ｂの上方に相対移動させたうえで、インクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂそれぞれに対して行われる。従って、吐出検査機構１２１による吐出検査の場合に、インクジェットヘッド８から吐出される液滴は、飛散することなく回収される。３つのインクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂはゴムパッド１２８Ｒ，１２８Ｇ，１２８Ｂの上方に相対移動され、インクジェット装置１が休止中のときに、３つのインクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂは、３つのゴムパッド１２８Ｒ，１２８Ｇ，１２８Ｂでそれぞれキャップされ、ノズル５５の乾燥が防止されるようになっている。
【０１０６】
次に、検査調整装置９の吐出検査機構１２１の動作について、図面を参照して説明する。図１９は、吐出検査機構１２１の構成を示す図である。図２０は、吐出検査機構１２１のＣＣＤカメラ１４２の撮像領域を示す図である。図２１は、観測窓１５１と、表示される液滴を示す図である。図１９に示すように、３つのインクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂの吐出状況の検査は各インクジェットヘッド８毎に実行されるが、各インクジェットヘッド８にはそれぞれ６４個のノズル５５が副走査方向（Ｙ軸方向）に一列に形成されており（図１２参照）、Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１６ノズルを第１群のノズル、Ｎｏ．１７〜Ｎｏ．３２ノズルを第２群のノズル、Ｎｏ．３３〜Ｎｏ．４８ノズルを第３群のノズル、Ｎｏ４９〜Ｎｏ６４ノズルを第４群のノズルとして、１６個のノズルを一群とするノズル群別に吐出検査が行われる。この場合、ＣＣＤカメラ１４２とストロボ投光器１４３が副走査方向の初期位置に設定され、第１群のＮｏ．１〜Ｎｏ．１６ノズルの吐出状態が検査され、次にＣＣＤカメラ１４２とストロボ投光器１４３が前方へ移動されて、第２群のＮｏ．１７〜Ｎｏ．３２ノズルの吐出状態が検査され、以下同様に、第３群、第４群のノズルの吐出検査が行われる。
【０１０７】
Ｙ軸方向移動駆動機構１４０ａ，１４０ｂは、それぞれＣＣＤカメラ１４２，ストロボ投光器１４３を副走査方向（Ｙ軸方向）へノズル１６個分の距離ずつ移動駆動するための機構である。また、インクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂのノズル５５の吐出検査を同一条件で行うために、常にＣＣＤカメラ１４２とストロボ投光器１４３間の中間位置に液滴を吐出させて撮像が行われる。そのため、３つのインクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂのうち検査対象のインクジェットヘッドに応じて、撮影ポジション切り替え機構１４１ａ，１４１ｂが、ＣＣＤカメラ１４２、ストロボ投光器１４３をＸ軸方向の３段階に位置切り換えることが可能となっている。
【０１０８】
インクジェットヘッド８Ｒを検査する場合、左側の撮影ポジション切り替え機構１４１ａでは、２段のエアシリンダ１４４が最大限伸張され、右側の撮影ポジション切り替え機構１４１ｂでは、２段のエアシリンダ１４４が最も収縮される。また、インクジェットヘッド８Ｇを検査する場合、左側の撮影ポジション切り替え機構１４１ａでは、２段のエアシリンダのうちの１つのみが収縮され、右側の撮影ポジション切り替え機構１４１ｂでは、２段のエアシリンダの内の１つのみが伸張される。さらに、インクジェットヘッド８Ｂを検査する場合、左側の撮影ポジション切り替え機構１４１ｂでは、２段のエアシリンダが最大限伸張される。このように、吐出検査機構１２１は、撮影ポジション切り替え機構１４１ａ，１４１ｂにより、検査対象のインクジェットヘッド８に対するＣＣＤカメラ１４２とストロボ投光器１４３との相対位置を常に一定に保持した状態で撮像することができるので、吐出検査の信頼性を高めることができる。
【０１０９】
次に、吐出検査機構１２１による吐出検査の詳細について説明する。前述のように、ノズル５５からの吐出状況を検査する吐出検査はインクジェットヘッド８別に行われ、各インクジェットヘッド８のノズル群別に行われる。さらに、吐出検査機構１２１は、ヘッド保持装置７をＺ軸スライド機構６の出力部材４０に装備したままヘッド保持装置７を２Ｆの検査調整ステージ４４、すなわち上昇位置へ上昇させれば吐出検査を行うことができるので、この吐出検査機構１２１による吐出検査は、ガラス基板４へのパターンを形成する処理の停止時間中に実行されるようになっている。このため、インクジェット装置１の稼働率を格段に高めることができる。
【０１１０】
ここで、吐出検査時にノズル５５の吐出の良否を判定する技術について説明する。図２０に示すように、ＣＣＤカメラ１４２の撮像領域ＰＡ（約６．５×５ｍｍ）に、１６個のノズル５５に対応する１６個の観測窓１５１が副走査方向（Ｙ軸方向）に一定間隔おきに設定され、図２１に示すように、各観測窓１５１はノズル５５の下端から下方向きに約１．５ｍｍの位置に設定され、縦６０画素、横１０画素の矩形状になっている。
【０１１１】
ノズル群の１６個のノズル５５から液滴を、例えば速度約７ｍ／ｓでそれぞれ吐出させ、観測窓１５１に撮像される液滴を撮影する。このとき、ＣＣＤカメラ１４２のシャッタースピードは、例えば約０．１ｍｓ、ストロボ発光時間は約１μｓとする。こうして撮像した画像信号が制御装置１３に供給され、所定の画像処理プログラムにより画像処理される。この画像処理において、例えばインクジェットヘッド８からの液滴の画像の大部分が観測窓１５１に入っていれば正常と判定され、観測窓１５１から外れていれば異常と判定される。吐出異常の原因としては、吐出速度の異常、不吐出、ノズル表面への異物（主にＥＬポリマーが凝着）堆積等が考えられる。
【０１１２】
次に、インクジェットヘッド８の傾斜回動、すなわちスラントの動作、及び吐出の動作について、図面を参照して説明する。図１３は、ランク付けしたノズル間寸法誤差と中心誤差を示す図表である。図１５は、４節平行リンク機構４９とインクジェットヘッド８の初期位置における状態の構成図である。図１６は、４節平行リンク機構４９とインクジェットヘッド８をスラントさせた状態の構成図である。図１８は、吐出されるＲ，Ｇ，Ｂそれぞれの液滴のドット配置例を示す図である。図２５は、インクジェットヘッド８を１走査分ずつ移動させてパターンを形成する移動経路を示す図である。図２６は、インクジェットヘッド８を１走査分毎にインターレースを行ってパターンを形成する移動経路を示す図である。
【０１１３】
まず、図７〜図９に示すように、Ｚ軸スライド機構６に支持されたヘッド保持装置７において、４節平行リンク機構４９をスラントさせるための回動駆動機構８０のスラント用サーボモータ８２の出力軸８２ａが回動すると、レバー部材８３を介して回動力入力軸８４に回動力が伝達される。すると、第２リンク部材５７ｂが、出力軸８２ａの回動角と同角度だけスラントし、４節平行リンク機構４９の一対の第２リンク部材５７ａ，５７ｂと３つのヘッドホルダ５１が連動して前記と同角度だけスラントする。
【０１１４】
エンコーダ８１は、この回動駆動機構８０によって回動された４節平行リンク機構４９のスラント量を検出する。図１５に示すように、４節平行リンク機構４９がスラントされていない場合、ヘッドホルダ５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂは、副走査方向（Ｙ軸方向）に平行に支持されている。このとき、すなわち初期状態において、アーム９５の中心線は副走査方向に向いている。次に、図１６に示すように、４節平行リンク機構４９が一対の回動支点５０ａ，５０ｂを中心として時計回り方向へスラントされると、第１リンク部材５６ｂが右方向へ移動するため、エンコーダ８１はスラント量を検出することができる。すなわち、４節平行リンク機構４９がスラントするとき、アーム９５は一対の第２リンク部材５７ａ，５７ｂと平行にスラントするので、エンコーダ８１は、４節平行リンク機構４９のスラント角θを精密に検出することができる。
【０１１５】
こうして、第２リンク部材５７ａ，５７ｂと３つのヘッドホルダ５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂがスラントする場合に、副走査方向に対するインクジェットヘッド８の検出したスラント角θをフィードバックしながら所望のスラント角となるようにスラント用サーボモータ８２の回動角を制御する。制御装置１３は、パターン形成の解像度、すなわち副走査方向における所望のドットピッチに基づいて、回動駆動機構８０によるインクジェットヘッド８の回動角を制御する。
【０１１６】
また、所望される吐出パターンによって、赤，緑，青の各色のそれぞれの吐出位置にズレを必要とする場合、移動機構５３ａ，５３ｂによってインクジェットヘッド８Ｇ，８Ｂの副走査方向の位置を調整することで対応することができる。図４に示す、位置調整駆動機構１１３のスピンドル１０８を、図１１に示す、凹部１０３内に突入させれば、後側のローラ部材１０２はローラ用の付勢手段（圧縮コイルバネ１０６はその一例）に抗して前方側に移動される。また、スピンドル１０８を凹部１０３から退出させれば、後側のローラ部材１０２はローラ用の付勢手段によりスピンドル先端に追従して後方移動される。このとき、前側のローラ部材１０２もリンク部材５６ａの凹部１０３内を前後方向に移動する。そして、前側後側のローラ部材１０２は、それぞれ案内面１０４に沿って前後移動されるため、ヘッドホルダ５１Ｂは４節平行リンク機構４９の回動付勢にかかわらず、副走査方向（Ｙ軸方向）へ移動される。また、ヘッドホルダ５１Ｇも同様に、４節平行リンク機構４９の回動付勢にかかわらず、副走査方向へ移動される。ヘッドホルダ５１Ｒは副走査方向へ移動不能となっているが、ヘッドホルダ５１Ｇ，５１Ｂがそれぞれ独立に副走査方向へ移動されることで、ヘッドホルダ５１Ｒは相対的に副走査方向へ移動されたのと同様の効果となる。
【０１１７】
ヘッド保持装置７に装備した３つのインクジェットヘッド８は、所定の複数色で発光するＥＬ発光層を吐出形成するための前記複数色用の液滴をそれぞれ吐出する。本実施の形態では、３つのインクジェットヘッド８は、フルカラーのＥＬ発光層を吐出形成するためのＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）用の液滴をそれぞれ吐出するインクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂであり、後述の液滴供給装置１２（図１４参照）からチューブを介して３種類の液滴が対応するインクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂにそれぞれ供給され、複数のノズル５５から液滴を吐出可能になっている。
【０１１８】
例えば、図１８（ａ）〜（ｆ）は、ＥＬ発光層における１組の画素を構成するＲ，Ｇ，Ｂのドットの配置の一例を示すものであり、Ｒドットに対してＧドットまたはＢドットのみが副走査方向へシフトする場合があるし、Ｒドットに対してＧドットとＢドットの両方が副走査方向にシフトする場合があるので、前記のようにインクジェットヘッド８Ｇ，８Ｂをそれぞれ副走査方向へ位置調整可能にしてある。
【０１１９】
また、図１２，図１３に示すように、インクジェットヘッド８における前後両端のノズル間寸法Ｌの設計理論値に対するノズル間寸法誤差は、ランク１，２，３，４，５の５段階にランク付けされ、１つのインクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂをノズル間寸法誤差が同ランクのインクジェットヘッド８で構成している。そして、０〜６０度の範囲から何れかの回動角だけ、回動駆動機構８０により４節平行リンク機構４９をスラントさせる場合には、３つのインクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂのノズル間寸法誤差にランクにおける中心誤差に基づいてスラント角θに補正を施すようになっている。
【０１２０】
４節平行リンク機構４９をスラントさせるスラント角を演算する場合、ランク１〜５に中心誤差（＋１０，＋５，０，−５，−１０）のうちの対応する１つの中心誤差を用いてスラント角θを補正する補正処理を施す補正処理用プログラムが、制御装置１３にあらかじめ記憶されている。ただし、ノズル間寸法誤差の代わりに、隣接するノズル同士の間隔の誤差（つまり、前記の誤差をノズル間間隔数で割った値）を採用してもよい。
【０１２１】
次に、このインクジェット装置１により種々の記録解像度（吐出解像度）にてガラス基板４にＲ，Ｇ，Ｂのドットパターンのパターニングを行う制御について説明する。尚、この制御は制御装置１３のホスト制御ユニット１７３により実行される。例えば、各インクジェットヘッド８に一列状のノズル５５の副走査方向のノズル間隔が７５ｄｐｉであるとすると、１インチは約２５．４ｍｍであるので、そのノズル間隔Ｐは、Ｐ＝（２５．４／７５）ｍｍである。そして、回動駆動機構８０により４節平行リンク機構４９の一対の第２リンク部材５７ａ，５７ｂと３つのヘッドホルダ５１を、副走査方向に対して角度θだけ、図１６に示すようにスラントさせた場合には、副走査方向のノズル間隔ＰθはＰ×ｃｏｓθとなるので、角度θを０〜６０度の範囲で変化させることで、ノズル間隔をＰ×（１．０）〜Ｐ×（０．５）の範囲で連続的に小さくすることができる。
【０１２２】
例えば、副走査方向の所望の解像度、すなわちドットピッチが７５〜１５０ｄｐｉの場合（図２４，図２５参照）、インクジェットヘッド８のスラント角θを０〜６０度の範囲内で副走査方向に所望のｄｐｉとなる角度に設定し、１走査分、主走査方向に吐出を行う毎に、ガラス基板４を６４×Ｐ×ｃｏｓθだけ後方（副走査方向と反対方向）へステップ送りする。例えば、７５ｄｐｉのときはθ＝０°、１５０ｄｐｉのときはθ＝６０°となる。
【０１２３】
また、副走査方向の所望のドットピッチが１５０〜３００ｄｐｉの場合（図２６参照）、例えばドットピッチが１５０ｄｐｉの場合のパターニングは、ドットピッチを７５ｄｐｉとしたパターニング後に、１点鎖線で図示するように、ヘッドホルダ５１をドットピッチの半分の距離だけ副走査方向にずらし、インターレースでパターニングを行うことで達成できる。従って、インクジェットヘッド８のスラント角θを前記と同様に０〜６０度の範囲内で副走査方向へ所望のｄｐｉの半分のｄｐｉとなる角度に設定し、１走査分、主走査方向に吐出記録後、ガラス基板４を０．５×Ｐ×ｃｏｓθだけ後方へ微動送りをして１走査分、吐出記録し、次に６３．５×Ｐ×ｃｏｓθだけガラス基板４を後方へステップ送りする。例えば、１５０ｄｐｉのときはθ＝０°、３００ｄｐｉのときはθ＝６０°となる。
【０１２４】
また、副走査方向の所望のドットピッチが３７．５〜７５ｄｐｉの場合、インクジェットヘッド８のスラント角θを０〜６０度の範囲内で副走査方向へ所望の解像度の２倍の解像度となる角度に設定し、例えば、Ｎｏ．１，３，５・・・の奇数ノズルのみに吐出させ、１走査分、主走査方向に吐出記録後、６４×Ｐ×ｃｏｓθだけ後方へステップ送りする。例えば、３７．５ｄｐｉのときはθ＝０°、７５ｄｐｉのときはθ＝６０°となる。
【０１２５】
尚、上記は解像度設定の数例を示すものに過ぎず、インターレースをさらに細かく行うことにより、２２５〜４５０ｄｐｉ、３００〜６００ｄｐｉの解像度、またはその他の解像度で吐出記録することも可能である。このように、回動駆動機構８０は、制御装置１３の制御に基づいてインクジェットヘッド８の回動角を０〜６０度の範囲内で制御することができる。
【０１２６】
ここで、ノズル間隔の制作誤差をスラント角θにより補正する補正制御について説明する。尚、この制御は制御装置１３のホスト制御ユニット１７３により実行される。隣接するノズル間のノズル間隔をＰ０、ノズル数をｎとすると、前後両端のノズル間寸法Ｌ０は次式で表される。
Ｌ０＝Ｐ０・（ｎ−１）
前後両端のノズル間寸法をＬとすると、その誤差ΔＬは、
ΔＬ＝（Ｌ−Ｌ０）
となる。製作された複数のインクジェットヘッド８のノズル間寸法Ｌがそれぞれ測定され、図１３に示す、ノズル間寸法誤差のランク１〜５のいずれかに分類される。
【０１２７】
吐出記録を行う目標の副走査方向における解像度をＲ、スラント角をθ、ノズル間隔をＰ１とすると、ノズル間隔は次式で表される。
Ｐ１＝Ｌ／（ｎ−１）＝（ΔＬ＋Ｌ０）／（ｎ−１）
＝［ΔＬ＋Ｐ０・（ｎ−１）］／（ｎ−１）＝ΔＬ／（ｎ−１）＋Ｐ０
スラント角θのときの副走査方向のノズル間隔はＰ１・ｃｏｓθであるから、
２５．４／Ｒ＝Ｐ１・ｃｏｓθ＝［ΔＬ／（ｎ−１）＋Ｐ０］・ｃｏｓθ
θ＝ｃｏｓ−１（２５．４／Ｒ）／［ΔＬ／（ｎ−１）＋Ｐ０］
【０１２８】
つまり、スラント角θは解像度Ｒにより理論上は演算決定できるが、実際にはノズル間隔の誤差の存在によりΔθだけ余分に回動されることとなる。スラントに先立って解像度とノズル間隔の誤差を指定すれば、実際のスラント角θ’が演算される。ノズル間隔の誤差の指定方法としては、複数のインクジェットヘッドのノズル間隔の誤差が全て同一であれば、その値を直接指定してもよい。一般的には、複数のインクジェットヘッドが全く同じノズル間隔の誤差になる場合は少なく、かつノズル間隔の誤差を管理する際にはピッチ誤差を複数（例えば、５つ）に範囲分けしてそれぞれをランク分けすれば管理しやすい。このため、ランク毎のノズル間隔の誤差の上限値と下限値とからランク毎に誤差中心値が求まるので、この誤差中心値（中心誤差）をノズル間隔の誤差として指定してもよい。こうすれば、多数のインクジェットヘッドの中から、同じ誤差ランクのインクジェットヘッドを使用し、解像度と中心誤差とから実際の回動角を求めれば、おおむね正確な補正が行えるのである。
【０１２９】
上式により、０≦θ≦６０°、すなわち０．５≦ｃｏｓθ≦１を満たす範囲内でスラント角θだけスラントさせることにより、ノズル間隔の誤差を解消するように補正することができる。ただし、Ｐ１・ｃｏｓθ＝２５．４／Ｒ＝Ｐ０のとき、本来θ＝０°でよいはずであるが、ノズル間寸法Ｌが短い場合には、Ｐ１≦Ｐ０となり、ｃｏｓθ≧１となって、Ｐ１・ｃｏｓθ＝２５．４／Ｒ＝Ｐ０が成立しない。また、２５．４／Ｒ＝Ｐ０／２のとき、本来θ＝６０°でよいはずであるが、ノズル間寸法Ｌが長い場合には、Ｐ０≦Ｐ１となり、ｃｏｓθ≦０．５となって、２５．４／Ｒ＝Ｐ０／２＝Ｐ１・ｃｏｓθが成立しない。この場合には、スラント角θを０°付近に戻し、インターレースを１走査分入れて吐出記録することになる。
【０１３０】
ところで、図２４に示すように、ガラス基板４上には吐出される各色の液滴が混合されないように仕切るための複数のバンク３００と、この複数のバンク３００が整列され形成されたパネル３０１が設けられている。本発明において上記解像度は、副走査方向（Ｙ軸方向）におけるそれぞれのバンク３００の間の距離（バンクピッチ）に相当する。また、パネル３０１が、本発明における吐出作業エリアである。
【０１３１】
次にパターニングを行う場合のインクジェットヘッド８とガラス基板４との相対移動、及び液滴の吐出の動作について、図２７，図２９を参照して説明する。尚、液滴吐出信号生成回路３１０は全てのノズル５５について、また±Ｘ軸方向用にそれぞれ独立に設けられており、各ノズル５５のそれぞれの動作は同様であるので、以降の動作はインクジェットヘッド８Ｒの基準ノズル５５の＋方向用の液滴吐出信号生成回路３１０について説明する。
【０１３２】
図２７，図２９に示すように、インクジェット装置１でパターニングが行われる場合、まず、後述の図２７のＳ１において入力された各データに基づいて、カウンタ３１０ａ〜ｇに設定値がそれぞれ書き込まれる。そして、前述の自動アライメント調整機構３６によるアライメント調整が完了する、すなわち印刷開始の基準位置に基準ノズル５５が位置すると、ＤＳＰ１７８からリセット信号が伝達され、各カウンタ３１０ａ〜ｇのリセットが行われる。
【０１３３】
次に、パターニングが開始されると、ホスト制御ユニット１７３のＣＰＵ１７３ａは、駆動回路１９１，１９２に信号を伝達し、それぞれＸ，Ｙ軸サーボモータ２８，３１を駆動する駆動電圧を発生させる。ＲＯＭ１７３ｂに記憶されたパターニングのためのプログラムに従ってＸ，Ｙ軸サーボモータ２８，３１が駆動されることで、ガラス基板４はインクジェットヘッド８に対して主走査方向及び副走査方向へ相対移動される。
【０１３４】
まず、ガラス基板４は、＋Ｘ方向に相対移動される。そして、ガラス基板４を吸着した基板受台２１のＸ軸方向の移動を検出するＸ軸リニアスケール１８９からのリニアスケール信号に基づいて、印刷開始点カウンタ３１０ａのカウントが開始される。そして、リニアスケール信号のカウント方向が＋方向であり、かつカウンタ３１０ａがカウントアップしてカウンタ３１０ａの設定値とカウントしたカウント値が同じとなると、すなわち印刷を主走査方向における一番最初のバンク３００（以下、「１のバンク３００」とする。）内の一番最初の吐出位置に基準ノズル５５が位置すると、カウンタ３１０ａから信号が出力されることで液滴吐出信号生成回路３１０から最初の液滴吐出信号が出力され、基準ノズル５５から最初の吐出位置に液滴が吐出される。同時にカウンタ３１０ａの出力信号はラッチ回路３１１でラッチされ、ラッチ信号が継続的に出力されるようになる。このラッチ信号とリニアスケール信号とのＡＮＤが成立することで、パネル間隔カウンタ３１０ｃ，バンクピッチカウンタ３１０ｅ，複数回打ちピッチカウンタ３１０ｇにリニアスケール信号が伝達されるようになり、カウンタ３１０ｃ，３１０ｅ，３１０ｇのカウントが開始される。
【０１３５】
そして、複数回打ちピッチカウンタ３１０ｇがカウントアップする毎、すなわち１のバンク３００内における複数の吐出位置に基準ノズル５５が移動される毎に、液滴吐出信号生成回路３１０から液滴吐出信号が出力される。同時に複数回打ち回数カウンタ３１０ｆのカウントが開始され、３１０ｇのカウントアップ毎にカウンタ値が１インクリメントされ、カウンタ３１０ｆがカウントアップするまで、すなわち１つのバンク内における所望の吐出位置の数の分のカウントがなされるまで、カウンタ３１０ｇのカウントアップにともなう液滴の吐出が繰り返される。そして、カウンタ３１０ｆがカウントアップされると、カウンタ３１０ｇのカウントが停止される。尚、カウンタ３１０ｇの設定値を０とすれば、３１０ｇがカウントアップされないので、１のバンク３００内における液滴の吐出は初回の１回のみとなる。
【０１３６】
また、バンクピッチカウンタ３１０ｅがカウントアップする毎に、すなわち１のバンク３００内の最初の吐出位置から次のバンク３００（以下、「２のバンク３００」とする。）の最初の吐出位置に基準ノズル５５が移動される毎に、液滴吐出信号生成回路３１０から液滴吐出信号が出力される。同時にカウンタ３１０ｆ，３１０ｇがリセットされることによって、前記と同様に２のバンク３００内における液滴の吐出が行われる。さらに、同時に、バンク数カウンタ３１０ｄのカウントが開始され、３１０ｅのカウントアップ毎にカウンタ値が１インクリメントされ、カウンタ３１０ｄがカウントアップするまで、すなわち１つのパネル３０１内におけるバンク３００の数の分のカウントがなされるまで、カウンタ３１０ｄのカウントアップ毎に基準ノズル５５が次のバンク３００に移動され、それぞれのバンク３００内での液滴の吐出が繰り返される。そして、カウンタ３１０ｄがカウントアップされると、すなわち１つのパネル３０１内の全てのバンク３００に対する液滴の吐出が完了すると、カウンタ３１０ｅ，３１０ｇのカウントが停止される。
【０１３７】
さらに、パネル間隔カウンタ３１０ｃがカウントアップする毎に、すなわち最初のパネル３０１内の１のバンク３００内の最初の吐出位置から、次のパネル３０１内の１のバンク３００内の最初の吐出位置に基準ノズル５５が移動される毎に、液滴吐出信号生成回路３１０から液滴吐出信号が出力される。同時にカウンタ３１０ｄ〜３１０ｇがリセットされることによって、前記と同様に次のパネル３０１内の１のバンク３００内における液滴の吐出が行われる。さらに、同時に、パネル数カウンタ３１０ｂのカウントが開始され、３１０ｃのカウントアップ毎にカウンタ値が１インクリメントされ、カウンタ３１０ｂがカウントアップするまで、すなわちガラス基板４のパネル３０１の数の分のカウントがなされるまで、ガラス基板４に対する基準ノズル５５からの液滴の吐出が継続される。そして、カウンタ３１０ｂがカウントアップされると、すなわちガラス基板４の主走査方向への１走査分の液滴の吐出が完了すると、カウンタ３１０ｃ，３１０ｅ，３１０ｇのカウントが停止される。
【０１３８】
そして、往復印刷が行われる場合、すなわち−Ｘ方向へのインクジェットヘッド８の移動時の印刷が行われる場合には、−方向用の液滴吐出信号生成回路３１０によって前記と同様の基準ノズル５５からの液滴の吐出が行われる。また、１回の液滴の吐出のタイミングにおいて複数回液滴が吐出される場合には、ＤＳＰ１７８のＣＰＵが、液滴吐出信号生成回路３１０から出力されたそれぞれの信号に対し設定された回数分の液滴が吐出されるように制御を行うようになっている。また、基準ノズル５５の１走査において、液滴の吐出を行う位置と行わない位置とがある場合、ＤＳＰ１７８のＣＰＵが、後述の図２７のＳ１において入力され、データ記憶装置１９０に記憶された液滴吐出のパターンのデータに基づいて、液滴吐出信号生成回路３１０に発生された液滴吐出信号のＯＮ，ＯＦＦを行うようになっている。
【０１３９】
このように、各カウンタ３１０ａ〜３１０ｇのカウントアップが完了すると、カウンタ３１０ａを除くカウンタ３１０ｂ〜３１０ｇにリセット信号が伝達され、基準ノズル５５は、ＤＳＰ１７８のＣＰＵの制御に従って−Ｙ方向に相対移動される。相対移動距離は、後述の図２７のＳ１において入力される副走査方向（Ｙ軸方向）における各バンク３００，各パネル３０１の数や距離のデータに基づいてＤＳＰ１７８のＣＰＵに制御される。
【０１４０】
尚、液滴吐出信号生成回路３１０で発生され、液滴吐出パターンのデータや複数回吐出のためのデータとマージされ、信号出力回路１８６から出力された液滴吐出信号が、駆動回路１８７に伝達されると、駆動回路１８７は、液滴吐出信号が伝達される毎に、データ記憶装置１９０に記憶されている基準ノズル５５の駆動のための駆動波形にあわせ、基準ノズル５５の圧電アクチュエータ（図示外）を駆動するための駆動電圧を発生してインクジェットヘッド８Ｒの基準ノズル５５に印加する。基準ノズル５５の圧電アクチュエータが駆動波形にあわせて変化される駆動電圧に従って駆動され、基準ノズル５５から液滴が吐出される。そして、全てのノズル５５に対して同様の処理が行われ、液滴の吐出が行われることで、インクジェット装置１によるガラス基板４へのパターニングが行われる。
【０１４１】
次に、液滴供給装置１２の動作について、図１４を参照して説明する。インクジェット装置１では、ガラス基板４への吐出が行われる場合、液容器１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂの吐出溶液１０が、バルブユニット１５５等を経由してインクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂへ供給され、各ヘッドホルダ５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂの複数のノズル５５から液滴が吐出される。また、インクジェットヘッド８の洗浄が行われる場合には、フラッシング液１１の容器１５４の溶剤もバルブユニット１５５等を経由してインクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂへ供給され、複数のノズル５５から加圧パージが行われる。廃液は、これらチューブから負圧によって吸引され、バルブユニット１５５を経由して廃液回収用容器１５３に回収される。尚、前記負圧は、図示外の真空ポンプあるいはエジェクタ等により発生され、その排気は工場の有機排気ダクトへ放出される。
【０１４２】
また、液容器昇降機構１６３は、Ｚ軸スライド機構６の昇降作動に連動して電動シリンダ１６４を昇降作動させ、液容器１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂを保持する保持体１６５Ｒ，１６５Ｇ，１６５Ｂを液容器１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂの液面がインクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂの高さ位置に対して所定の高さ関係となるように昇降させる。
【０１４３】
さらに、各液面位置維持機構１６６により、各液容器１５２Ｒ，１５２Ｇ，１５２Ｂの液面の高さがノズル位置よりも低くなる基準高さ位置（例えば５０ｍｍ）に常に補正される。すなわち、圧縮コイルバネ１７０により吐出溶液１０を収容した液容器１５２と保持体１６５が弾性支持されて、液面の高さが一定に保持される。液消費に追従して液面レベルが下がると、その分圧縮コイルバネ１７０により液容器１５２と保持体１６５を押し上げられて補正が行われる。
【０１４４】
次に、本実施の形態のインクジェット装置１でガラス基板４に吐出記録を行い有機ＥＬディスプレイのＥＬ基板の生産を行う場合の印刷動作の詳細について、図３０，図３１に示すフローチャートに従って説明する。図３０，図３１は、インクジェット装置１で有機ＥＬディスプレイのＥＬ基板の生産を行う処理のフローチャートである。以下、フローチャートの各ステップを「Ｓ」略記する。
【０１４５】
図３０，図３１に示すように、インクジェット装置１では、まず、インクジェット装置１を駆動するための「各種データの入力」が行われる（Ｓ１）。入力は、図２７に示す、操作パネル１７４から、例えば対話形式によって行われ、入力されたデータは、外部記憶装置１７５の所定の記憶エリアに記憶される。また、例えばガラス基板４の設計のＣＡＤデータ等から必要なデータ等が入力されるようにすることも可能である。この場合、ＣＡＤデータがフロッピー（登録商標）ディスク３０５ａに保存され、ＦＤＤ３０５を介してホスト制御ユニット１７３のＲＡＭ１７３ｃの所定の記憶エリアに転送され記憶される。ＣＰＵ１７３ａが、ＲＯＭ１７３ｂに記憶されたデータ解析プログラムに従ってこのＣＡＤデータを解析し、必要なデータを抽出して外部記憶装置１７５の所定の記憶エリアに記憶させ、以降の処理において利用する。
【０１４６】
まず、各インクジェットヘッド８について、ガラス基板４のアライメントマークから印刷開始点までの距離のデータである印刷開始点データと、テスト印刷が行われた場合にその結果と前記印刷開始点データとのズレが生じた場合に補正するための印刷開始点補正データと、Ｘ軸，Ｙ軸方向において同色の隣り合うドットのピッチを入力するＸ，Ｙ軸ドットピッチデータと、Ｘ軸，Ｙ軸方向において印刷されるドット数を入力するＸ，Ｙ軸ドット数データとが入力される。
【０１４７】
また、ガラス基板４のＸ軸，Ｙ軸方向におけるＸ，Ｙ軸パネル間ピッチデータが入力される。パネル間ピッチデータとは、ガラス基板４上に吐出される各色の液滴が混合されないように仕切るための複数のバンク３００が整列されて形成されたパネル３０１（図２４参照）同士の間の距離のデータである。さらに、Ｘ軸，Ｙ軸方向におけるそれぞれのパネルの数のデータ、印刷されないパネルがあればその印刷されないパネルを指定するためのデータが入力される。
【０１４８】
そして、ヘッドの位置の情報が入力される。すなわち、基準ヘッドであるインクジェットヘッド８Ｒのノズル５５のうち基準ノズルであるＮｏ．１のノズル５５と、カメラ３２ａ〜３２ｄのうち基準となる所定のカメラで撮影された画像の中心位置との位置関係の情報である。また、３色の液滴のうち、吐出されないものがあれば、それに対応するインクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂを動作させないためのデータも入力される。さらに、ノズル間隔のデータ、インクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂのそれぞれの間隔のデータも入力される。これらデータは、それぞれのインクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂがもつ個体差を補正して、インクジェットヘッド８が交換された場合でも同じ吐出結果が得られるようにするためのデータである。また、ギャップデータ、すなわちインクジェットヘッド８のノズル５５の設けられた側の面とガラス基板４の上面との間の間隔のデータが入力される。さらに、インクジェットヘッド８Ｒを基準としてヘッドのスラントを行った場合に、図１８に示す、Ｒ，Ｇ，Ｂのドットの配置パターンに適合させて吐出記録が行われるように、インクジェットヘッド８Ｇ，８Ｂそれぞれを副走査方向（Ｙ軸方向）へずらすためのデータ（位置調整駆動機構１１３を駆動させるためのデータ）も入力される。
【０１４９】
また、主走査方向（Ｘ軸方向）において、印刷を一方向（＋Ｘ方向または−Ｘ方向）のみについて行うか、往復方向（±Ｘ方向）について行うかを指定するデータや、往復印刷時における着弾誤差のデータが入力される。往復印刷が行われる場合、基板受台２１の移動速度、インクジェットヘッド８とガラス基板４とのギャップ、ノズル５５から吐出される液滴の吐き出しの速度などによって、＋Ｘ方向と−Ｘ方向の印刷時に誤差が生じる。この誤差について、テスト印刷等の結果に基づく着弾誤差のデータが入力される。
【０１５０】
さらに、印刷が行われる場合の駆動周波数のデータが入力される。このデータは、吐出記録を行う速度を初期値と変更する場合に入力され、駆動周波数が高いほど高速に印刷を行うことができる。しかし、駆動周波数が高くなればノズル５５とガラス基板４との間の相対速度も速くなり、ガラス基板４に液滴が着弾する際の衝突速度が大きくなるので、吐出される液滴の量が多いと着弾時に飛散する場合がある。従って、安定した液滴の吐出が行われるために、このデータに基づいて吐出される液滴の量も調整される。
【０１５１】
また、１つのバンク３００内に複数回液滴を吐出させる場合の、その方法や回数を指定するためのデータが入力される。１つのバンク内で１つのノズル５５から複数回の液滴の吐出が行われてからノズル５５が相対移動されるか、それとも１つのバンク内に複数回の液滴の吐出が行われるため同じ走査線上をその回数分インクジェットヘッド８を走査させるか、また、１つのバンク内においてノズル５５を主走査、あるいは副走査方向に微少移動させ、液滴の吐出される位置をずらして吐出記録を行うか、などを指定するためのデータが入力される。さらに、インクジェットヘッド８の１走査時において、液滴の吐出を行う位置と行わない位置とがある場合のための液滴吐出のパターンのデータも入力される。
【０１５２】
そして、フラッシングに関するデータも入力される。フラッシングとは、インクジェットヘッド８が主走査方向（Ｘ軸方向）に印刷を行った場合、基板受台２１に設けられたトレイ２１ａの位置で、ノズル５５から液滴を吐出する、いわゆる「捨て打ち」を行って、インクジェットヘッド８のリフレッシュを行う動作である。インクジェットヘッド８からの液滴の吐出は常に全てのノズル５５から行われているとは限らず、このフラッシングが行われることによって、しばらく使用されないノズル５５の吐出状態が劣化しないように、定期的に全てのノズル５５から液滴の吐出を行わせる機会が与えられる。従って、パターニングの処理に先立って行うフラッシング動作において液滴を吐出させる回数、パターニング中にフラッシング動作を行うためのインクジェットヘッド８の走査回数、及びその場合の液滴吐出回数に関するデータが入力される。また、２つのトレイ２１ａのそれぞれについて使用するか否かに関するデータ、及びフラッシングを行う場合にインクジェットヘッド８と基板受台２１との相対位置に関するデータも入力される。
【０１５３】
その他、後述のノズル５５の代替可否の条件に関するデータ、印刷時の温度等の条件によってガラス基板４が伸縮しても同一の印刷結果を得られるようにするためのガラス基板４の伸縮率に関するデータ、前述のギャップを調整するためのガラス基板４の厚みのデータ、及び生産する有機ＥＬディスプレイのＥＬ基板の生産個数のデータなどが入力される。
【０１５４】
各種データの入力が完了すると、「ヘッド情報の演算」が行われる（Ｓ２）。入力されたＹ軸方向の各色のドットピッチデータに基づいて各ノズル５５のノズル間隔の調整を行うため、前述のようにスラント角θの演算が行われる。そして、Ｓ１で入力された各種データやＳ２で演算されたスラント角θのデータは、外部記憶装置１７５の所定の記憶エリアに記憶される。このＳ１、Ｓ２のステップはガラス基板４のロット変更時などに行われ、ガラス基板４のロットの変更が行われない場合は、以降のＳ３〜Ｓ６８の処理が繰り返されて、ＥＬ基板の連続的な生産が行われる。
【０１５５】
次に、インクジェット装置１では、ケーシング３の背面の搬入出ゲート（図示外）より挿入された搬送ローダＨによる、「ガラス基板４の装てん」が行われる（Ｓ３）。ガラス基板４が、搬送ローダＨによって図示外の外部システムから待機位置（図２で示す２点鎖線部分）に搬送され、基板受台２１に設けられた基板リフト機構２３がリフトバー２３ａを上昇させ、突出された４つのリフトバー２３ａの上にガラス基板４が載置される。次に、「搬送ローダＨの退避」が行われ（Ｓ４）、搬送ローダＨがケーシング３から＋Ｙ軸方向に退避させられる。そして、搬送ローダＨの挿入口である「搬入出ゲートの閉鎖」が行われ、ケーシング３は密閉状態となる（Ｓ５）。さらに、基板リフト機構２３のエアシリンダが動作され、「リフトバー２３ａの下降」が行われた後（Ｓ６）、基板受台２１に密着したガラス基板４に負圧が作用され、「ガラス基板４の吸着」が行われることによって、ガラス基板４は基板受台２１に固定される（Ｓ７）。
【０１５６】
次に、低倍率のＣＣＤカメラ３２ａ，３２ｂで大きい方のアライメントマークＡＭ１，ＡＭ２を撮像し、その画像情報に基づいてガラス基板４の粗位置調整が行われる「第１自動アライメント調整」が実行され（Ｓ８）、その後、高倍率のＣＣＤカメラ３２ｃ，３２ｄで小さい方のアライメントマークＡＭ３，ＡＭ４を撮像し、その画像情報に基づいてガラス基板４の精密な位置調整が行われる「第２自動アライメント調整」が実行される（Ｓ９）。Ｓ６，Ｓ７の処理によって、前述のようにガラス基板４が原点位置に精密にセットされることになる。
【０１５７】
次に、インクジェットヘッド８がヘッドメンテナンス機構１２３のゴムパッド１２８から離隔されることで「ヘッドのキャップの解放」が行われ、ノズル５５が露出される（Ｓ２０）。また、Ｓ２２で行われるヘッドのメンテナンスにおいて異常が発生した場合の反復処理の回数がセットされる。すなわち、ホスト制御ユニット１７３のＣＰＵ１７３ａは、「パージ回数ｎに「３」を設定」して、制御装置１３のホスト制御ユニット１７３のＲＡＭ１７３ｃの所定の記憶エリアに記憶する（Ｓ２１）。
【０１５８】
そして、ヘッドメンテナンス機構１２３による「ヘッドのメンテナンス」が行われる（Ｓ２２）。前述のように、検査調整装置９のヘッドメンテナンス機構１２３によってインクジェットヘッド８のメンテナンスが実行される。そして、吐出検査機構１２１によって、「吐出は正常か？」の検査が行われる（Ｓ２３）。吐出検査機構１２１では、インクジェットヘッド８Ｒ，８Ｇ，８Ｂの各ノズル５５からの液滴の吐出状況をＣＣＤカメラ１４２で撮像し、制御装置１３のホスト制御ユニット１７３における画像処理によって吐出が正常に行われているかが判断される。ホスト制御ユニット１７３で吐出が正常に行われていないノズル５５があると判断された場合（Ｓ２３：ＮＯ）、ＣＰＵ１７３ａはＲＡＭ１７３ｃの所定の記憶エリアに記憶したパージ回数の減算、すなわち「パージ回数ｎ−１」を行い（Ｓ２４）、「ｎ＝０か？」の判断を行う（Ｓ２５）。
【０１５９】
パージ回数ｎが０でない場合（Ｓ２５：ＮＯ）、ＣＰＵ１７３ａは、Ｓ２２の処理に戻り、インクジェットヘッド８のメンテナンスを再度行い、吐出状態の正常化を図る。また、パージ回数ｎが０である場合（Ｓ２５：ＹＥＳ）、ＣＰＵ１７３ａは、インクジェットヘッド８の不吐出ノズル５５の吐出状態の回復が不可能であると判断し、この「不吐出ノズル５５は代替可能か？」の判断を行う（Ｓ２６）。尚、Ｓ２１でパージ回数ｎに「３」がセットされたので、インクジェットヘッド８の吐出状態が異常と判断された場合には、その正常化のためのメンテナンスは最大３回まで反復継続的に行われることになる。
【０１６０】
ところで、インクジェット装置１は、例えば、インクジェットヘッド８Ｒの全６４ノズル５５のうち、Ｎｏ．３のノズル５５が不吐出であった場合、Ｎｏ．３のノズル５５を除く正常なノズル５５を用いてガラス基板４に通常の吐出記録を行った後、例えばＮｏ．２のノズル５５の吐出位置をＮｏ．３のノズル５５の吐出位置に置き換えて、Ｎｏ．２のノズル５５のみで吐出記録を行うことで、不吐出ノズル５５の代替吐出、いわゆるリカバーを行うことができる。しかし、不吐出ノズル５５の数が多かったり、あるいは代替不能な位置のノズル５５が不吐出となった場合など、不吐出ノズル５５の代替吐出を行うことが難しい場合がある。このため、代替可否の条件の判断のためのデータがあらかじめＳ１において入力されており、ＣＰＵ１７３ａが不吐出ノズル５５をそのデータに照合して、代替不可であれば後述のＳ６０以降の処理を行う（Ｓ２６：ＮＯ）。
【０１６１】
不吐出ノズル５５が代替可能であるとＣＰＵ１７３ａが判断した場合（Ｓ２６：ＹＥＳ）、「不吐出ノズル５５の記録」が行われる（Ｓ２７）。すなわち、ＣＰＵ１７３ａは、その不吐出ノズル５５がどれであるかの情報をＲＡＭ１７３ｃの所定の記憶エリアに記憶し、Ｓ４０の処理に進む。
【０１６２】
Ｓ２３で、全てのインクジェットヘッド８が正常に吐出を行うことができると判断された場合（Ｓ２３：ＹＥＳ）、及びＳ２６で不吐出ノズル５５が代替可能と判断され印刷が行われる場合、まず、「ヘッドのスラント」が行われる（Ｓ４０）。ＲＡＭ１７３ｃの所定の記憶エリアにはＳ２で演算された内容に基づいてインクジェットヘッド８のスラント角θのデータが記憶されており、ＣＰＵ１７３ａはそのデータに基づいてスラント用サーボモータ８２、及びエンコーダ８１を制御してインクジェットヘッド８のスラントを行う。さらに、Ｚ軸スライド機構６によって「ヘッドの降下」が行われ（Ｓ４１）、インクジェットヘッド８が１Ｆのパターニングルーム１５に位置されるように降下される。そして、インクジェットヘッド８ＲのＮｏ．１のノズル５５（基準ノズル）がガラス基板４上の所定の位置（初期位置）と対向する位置にセットされる。
【０１６３】
そして、「フラッシング」（Ｓ４２）、及び「パターニング」（Ｓ４３）が行われる。Ｓ１で入力された初期回数分のフラッシング動作に続いてパターニングが開始され、Ｓ１で入力された回数分のインクジェットヘッド８の走査が行われる毎に、ＣＰＵ１７３ａによって「パターニング終了か？」の確認が行われる（Ｓ４４）。パターニングが継続される場合には（Ｓ４４：ＮＯ）、Ｓ４２の処理に戻り、Ｓ１で入力された回数分のフラッシング動作が行われてパターニングが継続される。
【０１６４】
ＣＰＵ１７３ａが、ガラス基板４のパターニングを終了したと判断した場合（Ｓ４４：ＹＥＳ）、次に、「リカバーが必要か？」を判断する（Ｓ４５）。インクジェットヘッド８のノズル５５の吐出異常が発生していない状態で吐出記録が完了した場合、生産されたＥＬ基板には不吐出ノズル５５によるドット抜けは発生していないので、ＣＰＵ１７３ａはリカバー不要と判断してＳ６０の処理に進み、このガラス基板４に対する吐出記録処理を終了させる準備を行う（Ｓ４５：ＮＯ）。
【０１６５】
Ｓ２７で不吐出ノズル５５の記録が行われ、ＣＰＵ１７３ａがリカバーが必要と判断した場合（Ｓ４５：ＹＥＳ）、Ｓ４２，Ｓ４３での処理と同様の処理手順に従って、代替ノズル５５でのリカバーが行われる。すなわち、Ｓ１で入力された初期回数分の「フラッシング」動作（Ｓ４６）に続いて「リカバー」が開始され（Ｓ４７）、Ｓ１で入力された回数分のインクジェットヘッド８の走査が行われる毎に、ＣＰＵ１７３ａによって「リカバー終了か？」の確認が行われる（Ｓ４８）。リカバーが継続される場合には（Ｓ４８：ＮＯ）、Ｓ４６の処理に戻り、Ｓ１で入力された回数分のフラッシング動作が行われてリカバーが継続される。
【０１６６】
ＣＰＵ１７３ａが、ガラス基板４のリカバーを終了したと判断した場合（Ｓ４８：ＹＥＳ）、及びＳ２６の処理において不吐出ノズル５５の代替が不可能と判断された場合（Ｓ２６：ＮＯ）、インクジェット装置１は、印刷終了処理の動作に入る。まず、Ｚ軸スライド機構６による「ヘッドの上昇」が行われ、インクジェットヘッド８が２Ｆのメンテナンスルーム１６内に位置されるように上昇される（Ｓ６０）。そして、「ヘッドキャップの閉蓋」が行われ、インクジェットヘッド８がヘッドメンテナンス機構１２３のゴムパッド１２８に覆われてノズル５５の乾燥防止、及び保護がなされる（Ｓ６１）。
【０１６７】
次に、ガラス基板４をインクジェット装置１から排出させるために、搬送ローダＨの挿入口である「搬入出ゲートの開放」が行われる（Ｓ６２）。そして、「ガラス基板４の解放」が行われる（Ｓ６３）。すなわち、基板受台２１に密着したガラス基板４への負圧の作用が停止され、基板受台２１に吸着されていたガラス基板４は、その固定から解放される。そして、基板リフト機構２３のエアシリンダが動作され「リフトバー２３ａの上昇」が行われた後（Ｓ６４）、ケーシング３の背面の搬入出ゲートより「搬送ローダＨの挿入」が行われ、搬送ローダＨが、リフトバー２３ａに持ち上げられたガラス基板４と、基板受台２１との間に挿入される（Ｓ６５）。さらに、再度「リフトバー２３ａの下降」が行われることで、ガラス基板４が搬送ローダＨ上に搭載され（Ｓ６６）、搬送ローダＨの搬送ベルト（図示外）が動作されることで「ガラス基板４の排出」が行われる（Ｓ６７）。
【０１６８】
次に、ＣＰＵ１７３ａによって「生産終了か？」の確認が行われる。ＥＬ基板の生産は、同じロットのガラス基板４であれば同条件での吐出記録が可能であるので、Ｓ１で入力された生産個数のデータと照合され、生産終了と判断されればインクジェット装置１はＥＬ基板の生産処理を終了する（Ｓ６８：ＹＥＳ）。また、ＥＬ基板の生産を継続する場合には（Ｓ６８：ＮＯ）、Ｓ３の処理に戻り、次のガラス基板４の装てんを開始する。尚、Ｓ２６の処理において、ＣＰＵ１７３ａが、不吐出ノズル５５の代替は不可能と判断した場合、インクジェットヘッド８の取り替えが必要であるため、Ｓ６８の処理において生産終了として判断されることになる。
【０１６９】
以上説明したように、本実施の形態のインクジェット装置１では、ガラス基板４に設けられたパネル３０１を構成するバンク３００内の所望の吐出位置に、入力された各種データに基づいた液滴の吐出を行うことができる。パターニングを行うために入力されるデータはビットマップ形式等の画像データではなく、主走査方向、及び副走査方向における、パネル３０１の数と間隔のデータ、バンク３００の数と間隔のデータ、ドットピッチのデータ、吐出回数のデータ、吐出パターンのデータなどであり、少ないデータ量で同様以上の精密なパターニングを行うことができる。また、前記データ量を減らすことができるので、サイズの大きいガラス基板４を利用してＥＬ基板の生産を行うことができる。
【０１７０】
また、インクジェットヘッド８をスラントさせることにより、副走査方向におけるバンク３００の間隔がガラス基板４のロットによって異なる場合でも調整でき、ロット毎に異なるインクジェットヘッド８に取り替えなくてもパターニングを行うことができる。また、同一の液滴吐出位置に複数回液滴の吐出を行うことができるので、吐出される液滴によって形成されるＥＬ層の厚みを調整することができる。また、ガラス基板４とノズル５５との間のギャップ、主走査方向への相対速度、及びデータ記憶装置１９０に記憶させる吐出波形を変更しての吐出速度等の調整ができるので、液滴の性質に合わせた最適なタイミングでの吐出を行うことができ、吐出された液滴の乾燥時のひけによって生ずる印刷濃度の濃さ等のばらつきを低減することができる。
【０１７１】
尚、本発明は各種の変形が可能なことはいうまでもない。例えば、インクジェット装置１は、有機ＥＬディスプレイのＥＬ基板の生産のためのパターニングを行うだけではなく、カラーＬＣＤのカラーフィルタの生産のためのパターニングを行ってもよい。また、ガラス基板４とインクジェットヘッド８との間の相対移動を発生させる手段は、媒体送り機構２４に限定されるものではなく、インクジェットヘッド８とガラス基板４との間にＸ，Ｙ方向に相対移動を発生させるものであればよい。例えば、インクジェットヘッド８を主走査方向に移動できるように構成し、基板受台２１を副走査方向に移動できるように構成してもよい。
【０１７２】
また、各種データの入力手段として、ＦＤＤ３０５以外の装置を利用してもよい。また、信号出力回路１８６に設けた液滴吐出信号生成回路３１０の代わりに、ＤＳＰ１７８のＲＯＭに記憶された制御プログラムに従ってＣＰＵが処理を行うことで液滴の吐出を行ってもよい。また、インクジェット装置１の制御のための各種プログラムは、ホスト制御ユニット１７３のＲＯＭ１７３ｂやＤＳＰ１７８のＲＯＭに記憶されず、外部記憶装置１７５やデータ記憶装置１９０に記憶させて、ガラス基板４のロットに合わせて自由に変更できるようにしてもよい。
【０１７３】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１に係る発明のインクジェット装置では、インクジェットヘッドに液滴を吐出する複数のノズルが列設され、液滴吐出手段が、吐出される数種の液滴が混合されないよう仕切るバンクが複数設けられた被記録媒体に対して、ノズルから液滴を吐出し、主走査方向移動手段が、インクジェットヘッドと被記録媒体との間に主走査方向へ相対移動を発生し、主走査方向移動制御手段が、入力された、主走査方向における液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように主走査方向移動手段を制御し、液滴吐出制御手段が、主走査方向移動制御手段の制御に基づいて、インクジェットヘッドが液滴吐出位置の間隔分、主走査方向へ相対移動された場合に行われる液滴吐出手段の液滴吐出が、入力された主走査方向における液滴吐出位置の数の分だけ繰り返し行われるように制御することができる。また、副走査方向移動手段は前記インクジェットヘッドと前記被記録媒体との間に前記主走査方向と直交する副走査方向へ相対移動を発生させる。副走査方向移動制御手段は前記液滴吐出制御手段による前記被記録媒体上の１ライン分の走査が行われる毎に、入力された、前記インクジェットヘッドの前記ノズルの列設間隔と個数によって決まる液滴吐出幅のデータに基づいて、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する。さらに、前記インクジェットヘッドの副走査方向に対する回転角であるスラント角に基づいて、前記インクジェットヘッドは回転可能であり、インクジェットヘッドスラント手段は、入力された前記スラント角に関連するデータに基づいて、前記インクジェットヘッドが副走査方向に対して回転するように制御する。さらに、スラント角補正手段は、前記インクジェットヘッドのノズルの列設間隔の誤差によって前記スラント角を補正し、前記インクジェットヘッドスラント手段は、前記補正されたスラント角に基づいて、副走査方向に関して前記個々のノズルの列設間隔と前記被記録媒体上の前記各バンクの間隔とが同じになるように、前記インクジェットヘッドを回転することができる。従って、主走査方向における液滴吐出位置の間隔、及び液滴吐出位置の数に関するデータのみに基づいた液滴の吐出を行うことができるので、液滴吐出に関するデータの量を減らすことができ、また、所望する液滴吐出位置に正確に液滴を吐出することができる。また、インクジェットヘッドと被記録媒体との間に主走査方向と、その直交する副走査方向とへの相対移動を発生することができるので、被記録媒体の平面上に液滴を吐出することができる。さらに、インクジェットヘッドスラント手段が、入力されたスラント角に関連するデータに基づいて、インクジェットヘッドを副走査方向に対して回転するように制御することができる。従って、個々のノズルの列設間隔と、被記録媒体上の副走査方向の各バンクの間隔とが同じとなるように調整することができるので、被記録媒体によってバンクの大きさが異なる場合にも液滴の吐出を行うことができる。
【０１７４】
また、請求項２に係る発明のインクジェット装置では、請求項１に係る発明の効果に加え、液滴パターン吐出制御手段が、入力された、主走査方向の１走査分の各液滴吐出位置における液滴吐出の有無を示したパターンのデータに基づいて、液滴吐出手段が各液滴吐出位置で液滴を吐出するか否かを制御することができる。従って、各液滴吐出位置での液滴の吐出または非吐出ができるので、液滴吐出位置が等間隔でない場合においても液滴の吐出を行うことができる。
【０１７５】
また、請求項３に係る発明のインクジェット装置では、請求項１又は２に係る発明の効果に加え、液滴重複吐出制御手段が、入力された、被記録媒体上の同一の液滴吐出位置での液滴吐出の回数に基づいて、液滴吐出手段が各液滴吐出位置で液滴を複数回吐出する制御を行うことができる。従って、各液滴吐出位置に吐出する液滴の量を増やすことができる。
【０１７６】
また、請求項４に係る発明のインクジェット装置では、請求項１又は２に係る発明の効果に加え、液滴重複走査吐出制御手段が、入力された、被記録媒体上の同一の液滴吐出位置での液滴吐出の回数に基づいて、インクジェットヘッドが同一走査ライン上で同一パターンの液滴の吐出を複数回繰り返す制御を行うことができる。従って、各液滴吐出位置に吐出する液滴の量を増やすことができる。
【０１７７】
また、請求項５に係る発明のインクジェット装置では、請求項１乃至４の何れかに係る発明の効果に加え、主走査方向バンク内移動制御手段が、入力された、バンク内での液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように主走査方向移動手段を制御し、主走査方向バンク間移動制御手段が、入力された、バンク間隔のデータに基づいて、バンクの間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように主走査方向移動手段を制御し、バンク内液滴吐出制御手段が、主走査方向バンク内移動制御手段の制御に基づくインクジェットヘッドの相対移動と、液滴吐出手段の液滴吐出とを、入力された主走査方向におけるバンク内での液滴吐出位置の数の分だけ、繰り返し行うように制御し、バンク液滴吐出制御手段が、インクジェットヘッドの、バンク内液滴吐出制御手段の制御に基づくバンク内での液滴吐出と、主走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを、入力された主走査方向におけるバンクの数の分だけ、繰り返し行うように制御することができる。従って、液滴の吐出間隔が異なる場合においてもインクジェットヘッドを相対移動させることができ、被記録媒体に設けられたバンク内の所望する液滴吐出位置に正確に液滴を吐出することができる。
【０１７８】
また、請求項６に係る発明のインクジェット装置では、請求項１乃至５の何れかに係る発明の効果に加え、被記録媒体上には複数のバンクに仕切らた複数の吐出作業エリアが設けられ、主走査方向吐出作業エリア間移動制御手段が、入力された、吐出作業エリア間隔のデータに基づいて、吐出作業エリアの間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように主走査方向移動手段を制御し、吐出作業エリア内液滴吐出制御手段が、インクジェットヘッドの、バンク内液滴吐出制御手段の制御に基づくバンク内での液滴吐出と、主走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを、入力された主走査方向における吐出作業エリア内のバンクの数の分だけ、繰り返し行うように制御し、吐出作業エリア液滴吐出制御手段が、インクジェットヘッドの、主走査方向吐出作業エリア間移動制御手段の制御に基づく相対移動と、吐出作業エリア内液滴吐出制御手段の制御に基づく吐出作業エリア内での液滴吐出とを、入力された主走査方向における吐出作業エリアの数の分だけ、繰り返し行うように制御することができる。従って、液滴の吐出間隔が異なる場合においてもインクジェットヘッドを相対移動させることができ、被記録媒体に設けられた複数のバンクに仕切らた複数の吐出作業エリア内の所望する液滴吐出位置に正確に液滴を吐出することができる。
【０１７９】
また、請求項７に係る発明のインクジェット装置では、請求項１乃至６の何れかに係る発明の効果に加え、管理手段が前記ノズルの列設間隔の誤差を複数の範囲に区分した複数のランクとして管理し、前記スラント角補正手段は、前記ランク毎の誤差の上限値と下限値とから求まる誤差中心値によって前記スラント角を補正することができる。
【０１８０】
また、請求項８に係る発明のインクジェット装置では、請求項１乃至７の何れかに係る発明の効果に加え、副走査方向バンク内移動制御手段が、入力された、バンク内での副走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、副走査方向への相対移動を発生させるように副走査方向移動手段を制御し、副走査方向バンク内移動回数制御手段が、入力された副走査方向におけるバンク内での液滴吐出位置の数の分だけ、副走査方向バンク内移動制御手段の制御に基づく相対移動を繰り返し行うように制御し、副走査方向バンク間移動制御手段が、入力された、副走査方向のバンク間隔のデータに基づいて、バンクの間隔分と液滴吐出幅の分、副走査方向への相対移動を発生させるように副走査方向移動手段を制御し、副走査方向バンク移動制御手段が、入力された副走査方向におけるバンクの数の分だけ、副走査方向バンク内移動回数制御手段の制御に基づく相対移動と、副走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御することができる。従って、副走査方向で液滴の吐出間隔が異なる場合においてもインクジェットヘッドを相対移動させることができ、被記録媒体に設けられたバンク内の所望する液滴吐出位置に正確に液滴を吐出することができる。
【０１８１】
また、請求項９に係る発明のインクジェット装置では、請求項１乃至８の何れかに係る発明の効果に加え、副走査方向吐出作業エリア内移動制御手段が、入力された副走査方向における吐出作業エリア内のバンクの数の分だけ、副走査方向バンク内移動回数制御手段の制御に基づく相対移動と、副走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御し、副走査方向吐出作業エリア間移動制御手段が、入力された、副走査方向の吐出作業エリア間隔のデータに基づいて、吐出作業エリアの間隔の分、副走査方向への相対移動を発生させるように副走査方向移動手段を制御し、副走査方向吐出作業エリア移動制御手段が、入力された副走査方向における吐出作業エリアの数の分だけ、副走査方向吐出作業エリア内移動制御手段の制御に基づく相対移動と、副走査方向吐出作業エリア間移動制御手段に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御することができる。従って、副走査方向で液滴の吐出間隔が異なる場合においてもインクジェットヘッドを相対移動させることができ、被記録媒体に設けられた複数のバンクに仕切らた複数の吐出作業エリア内の所望する液滴吐出位置に正確に液滴を吐出することができる。
【０１８２】
また、請求項１０に係る発明のインクジェット装置では、請求項１乃至９の何れかに係る発明の効果に加え、前記スラント角が最小のスラント角のとき、前記ノズルの列設間隔が副走査方向のバンク間隔より小さいか、前記スラント角が最大のスラント角のとき、スラントした前記インクジェットヘッドの副走査方向の前記ノズルの列設間隔が前記バンク間隔より大きいかの少なくとも何れか一方の場合、インクジェットヘッドスラント手段は、スラント角を最小に戻すとともに、液滴吐出制御手段は、インターレスを１走査分いれて液滴吐出手段による液滴吐出が行われるように制御を行うことができる。
【０１８３】
また、請求項１１に係る発明のインクジェット装置では、請求項１乃至１０の何れかに係る発明の効果に加え、主走査方向液滴吐出位置間隔データ入力手段によって、主走査方向における液滴吐出位置の間隔のデータを入力でき、主走査方向液滴吐出位置数データ入力手段によって、主走査方向における液滴吐出位置の数を入力することができる。従って、インクジェット装置に液滴吐出のためのデータを直接入力できる。
【０１８４】
また、請求項１２に係る発明のインクジェット装置では、請求項２乃至１１の何れかに係る発明の効果に加え、液滴吐出パターンデータ入力手段によって、主走査方向の１走査分の、各液滴吐出位置における液滴吐出の有無を記したパターンのデータを入力することができる。従って、インクジェット装置に液滴吐出のためのデータを直接入力できる。
【０１８５】
また、請求項１３に係る発明のインクジェット装置では、請求項３乃至１２の何れかに係る発明の効果に加え、同位置液滴吐出回数データ入力手段によって、被記録媒体上の同一の液滴吐出位置における液滴吐出の回数を入力することができる。従って、インクジェット装置に液滴吐出のためのデータを直接入力できる。
【０１８６】
また、請求項１４に係る発明のインクジェット装置では、請求項５乃至１３の何れかに係る発明の効果に加え、主走査方向バンク内液滴吐出位置間隔データ入力手段によって、バンク内での主走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータを入力でき、主走査方向バンク内液滴吐出位置数データ入力手段によって、主走査方向におけるバンク内での液滴吐出位置の数を入力でき、主走査方向バンク間隔データ入力手段によって、主走査方向におけるバンク間隔のデータを入力でき、主走査方向バンク数データ入力手段によって、主走査方向におけるバンクの数を入力することができる。従って、インクジェット装置に液滴吐出のためのデータを直接入力できる。
【０１８７】
また、請求項１５に係る発明のインクジェット装置では、請求項６乃至１４の何れかに係る発明の効果に加え、主走査方向吐出作業エリア間隔データ入力手段によって、主走査方向における吐出作業エリア間隔のデータを入力でき、主走査方向吐出作業エリア内バンク数データ入力手段によって、主走査方向における吐出作業エリア内のバンクの数を入力でき、主走査方向吐出作業エリア数データ入力手段によって、主走査方向における吐出作業エリアの数を入力することができる。従って、インクジェット装置に液滴吐出のためのデータを直接入力できる。
【０１８８】
また、請求項１６に係る発明のインクジェット装置では、請求項７乃至１５の何れかに係る発明の効果に加え、液滴吐出幅データ入力手段によって、インクジェットヘッドのノズルの列設間隔と個数によって決まる液滴吐出幅のデータを入力することができる。従って、インクジェット装置に液滴吐出のためのデータを直接入力できる。
【０１８９】
また、請求項１７に係る発明のインクジェット装置では、請求項８乃至１６の何れかに係る発明の効果に加え、副走査方向液滴吐出位置間隔データ入力手段によって、バンク内での副走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータを入力でき、副走査方向バンク内液滴吐出位置数データ入力手段によって、副走査方向におけるバンク内での液滴吐出位置の数を入力でき、副走査方向バンク間隔データ入力手段によって、副走査方向のバンク間隔のデータを入力でき、副走査方向バンク数データ入力手段によって、副走査方向におけるバンクの数を入力することができる。従って、インクジェット装置に液滴吐出のためのデータを直接入力できる。
【０１９０】
また、請求項１８に係る発明のインクジェット装置では、請求項９乃至１７の何れかに係る発明の効果に加え、副走査方向吐出作業エリア内バンク数データ入力手段によって、副走査方向における吐出作業エリア内のバンクの数を入力でき、副走査方向吐出作業エリア間隔データ入力手段によって、副走査方向の吐出作業エリア間隔のデータを入力でき、副走査方向吐出作業エリア数データ入力手段によって、副走査方向における吐出作業エリアの数を入力することができる。従って、インクジェット装置に液滴吐出のためのデータを直接入力できる。
【０１９１】
また、請求項１９に係る発明のインクジェット装置では、請求項１０乃至１８の何れかに係る発明の効果に加え、スラント角データ入力手段によって、インクジェットヘッドの副走査方向に対する回転角であるスラント角に関連するデータを入力することができる。従って、インクジェット装置に液滴吐出のためのデータを直接入力できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態のインクジェット装置１の正面図である。
【図２】図２は、インクジェット装置１の要部拡大正面図である。
【図３】図３は、インクジェット装置１の平面図である。
【図４】図４は、検査調整装置９の要部拡大平面図である。
【図５】図５は、媒体保持移動装置５、基板受台２１及びガラス基板４等の平面図である。
【図６】図６は、媒体保持移動装置５とインクジェットヘッド８との位置関係を示す図である。
【図７】図７は、ヘッド保持装置７、回動駆動機構８０、及び検出用エンコーダ８１の平面図である。
【図８】図８は、図７における矢視方向Ａからみた、ヘッド保持装置７、回動駆動機構８０、及び検出用エンコーダ８１の背面図である。
【図９】図９は、図７における矢視方向Ｂからみた、ヘッド保持装置７、回動駆動機構８０、及び検出用エンコーダ８１の右側面図である。
【図１０】図１０は、図８に示す２点鎖線Ｃ−Ｃ’における矢視方向から見たヘッド保持装置７の部分断面図である。
【図１１】図１１は、ヘッド保持装置７の要部拡大断面図である。
【図１２】図１２は、インクジェットヘッド８のノズル５５の配列を示す図である。
【図１３】図１３は、ランク付けしたノズル間寸法誤差と中心誤差を示す図表である。
【図１４】図１４は、液滴供給装置１２の側面図である。
【図１５】図１５は、４節平行リンク機構４９とインクジェットヘッド８の初期位置における状態の構成図である。
【図１６】図１６は、４節平行リンク機構４９とインクジェットヘッド８をスラントさせた状態の構成図である。
【図１７】図１７は、位置調整駆動機構１１３とヘッド保持装置７の構成図である。
【図１８】図１８は、吐出されるＲ，Ｇ，Ｂそれぞれの液滴のドット配置例を示す図である。
【図１９】図１９は、吐出検査機構１２１の構成を示す図である。
【図２０】図２０は、吐出検査機構１２１のＣＣＤカメラ１４２の撮像領域を示す図である。
【図２１】図２１は、観測窓１５１と、表示される液滴を示す図である。
【図２２】図２２は、ガラス基板４と自動アライメント調整機構３６の構成を示す図である。
【図２３】図２３は、ヘッドメンテナンス機構１２３の斜視図である。
【図２４】図２４は、ガラス基板４に液滴のパターニングを行う場合の、ガラス基板４とインクジェットヘッド８との相対位置を示す図である。
【図２５】図２５は、インクジェットヘッド８を１走査分ずつ移動させてパターンを形成する移動経路を示す図である。
【図２６】図２６は、インクジェットヘッド８を１走査分毎にインターレースを行ってパターンを形成する移動経路を示す図である。
【図２７】図２７は、インクジェット装置１の制御系のブロック図である。
【図２８】図２８は、インクジェット装置１の制御系のブロック図である。
【図２９】図２９は、信号出力回路１８６（図２７参照）に設けられた、液滴吐出の信号を生成する液滴吐出信号生成回路３１０を示す図である。
【図３０】図３０は、インクジェット装置１で有機ＥＬディスプレイのＥＬ基板の生産を行う処理のフローチャートである。
【図３１】図３１は、インクジェット装置１で有機ＥＬディスプレイのＥＬ基板の生産を行う処理のフローチャートである。
【図３２】図３２は、従来のインクジェット装置で吐出した液滴の吐出位置と所望する吐出位置との比較を示した模式図である。
【図３３】図３３は、従来のインクジェット装置で吐出した液滴の吐出位置と所望する吐出位置との比較を示した模式図である。
【符号の説明】
１    インクジェット装置
４    ガラス基板
５    媒体保持移動装置
７    ヘッド保持装置
８    インクジェットヘッド
１９    Ｙ軸スライド機構
２０    Ｘ軸スライド機構
２１    基板受台
２４    媒体送り機構
４９    ４節平行リンク機構
５５    ノズル
８０    回動駆動機構
１８６    信号出力回路
３００    バンク
３０１    パネル
【図１】
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【図２】
0004036016.tif 000003
【図３】
0004036016.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
0004036016.tif 000020
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
0004036016.tif 000029
【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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