(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線管と２次元Ｘ線検出器とが被検体を挟んで対向配置されているＸ線撮像手段と、被検体の周囲からＸ線が照射されてゆくように被検体とＸ線撮像手段とを相対的に回転させる回転駆動手段と、Ｘ線管によるＸ線照射に伴って２次元Ｘ線検出器から出力されるＸ線検出データに基づき断層画像を再構成するよう構成された非破壊Ｘ線検査装置において、断層画像のための撮影を行う前において被検体とＸ線撮像手段との間の相対的な回転を止めた状態でＸ線を照射するのに伴ってＸ線検出器から出力されるＸ線検出データに基づき得られる透視画像を記憶する透視画像記憶手段と、前記透視画像における走査ラインのうち、断層画像のスライス断面に対応する走査ラインを注目走査ラインとして含むようにして予め設定された注目走査ラインの画像信号を透視画像記憶手段から読み出すとともに、注目走査ラインの画像信号の信号強度をプロファイルのかたちで表示モニタに表示する画像信号強度表示手段と、透視画像記憶手段から読み出された注目走査ラインの画像信号の信号強度に基づいて、信号強度の分布における広がりが所定未満であれば、画像信号の信号強度が適正範囲に納まるよう被検体に照射するＸ線の強度を調整するＸ線強度調整手段とを備えていることを特徴とする非破壊Ｘ線検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の非破壊Ｘ線検査装置において、注目走査ラインの画像信号の信号強度の適正範囲を示す適正強度範囲指示用マークを表示モニタに重畳表示する適正強度範囲表示手段を備えている非破壊Ｘ線検査装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の非破壊Ｘ線検査装置において、１回の断層撮影で得られる複数の断層画像に対応する複数個のスライス断面を予め設定するスライス断面設定手段と、スライス断面設定手段により設定された各スライス断面に対応する透視画像での走査ラインを全て注目走査ラインとして予め設定する注目ライン設定手段を備えているとともに、画像信号強度表示手段が、各注目走査ラインの画像信号の信号強度プロファイルを表示モニタに重畳表示する構成となっている非破壊Ｘ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体デバイスなどの被検体（検査対象物）の内部を非破壊で検査するためのＸ線ＣＴ撮影（コンピュータ断層撮影）を行う非破壊Ｘ線検査装置に係り、特に撮影対象の被検体に照射するＸ線の強度調整を正確に行えるようにするための技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１２は従来の非破壊Ｘ線検査装置（以下、適宜「Ｘ線検査装置」と略記）の要部構成を示すブロック図である。図１２のＸ線検査装置では、Ｘ線照射用のＸ線管５１とＸ線検出用のイメージインテンシファイア（Ｉ・Ｉ管）５２とが被検体Ｍを挟んで対向配置されているＸ線撮像部５３と、Ｘ線管５１から照射されるＸ線が被検体Ｍの周囲から周方向に沿って照射されてゆくように被検体Ｍを回転させる回転駆動部５４とを備えており、被検体Ｍは回転駆動部５４により回転されられるとともに、Ｘ線管５１により被検体ＭにＸ線が照射されるのに伴ってＩ・Ｉ管５２の後部に一体的に取り付けられたＴＶカメラ（ＣＣＤカメラ）５２ａからＸ線検出データとして映像信号が出力される構成となっている。また、従来のＸ線検査装置の場合、ＴＶカメラ５２ａの後段に設けられた制御・処理用のコンピュータ（ＣＰＵ）５５において映像信号に基づきＣＴ画像（Ｘ線コンピュータ断層画像）作成用の再構成処理が行われた後、最終的に作成されるＣＴ画像が表示モニタ５６の画面に映し出されるよう構成されている。
【０００３】
ただ、表示モニタ５６の画面に映し出される断層画像が適正画像であるためには、映像信号の信号強度が適切な範囲になければならない。そして、映像信号の信号強度はＸ線の強度に比例するので、Ｘ線ＣＴ撮影を行う前に被検体に照射するＸ線の強度を予め調整して、映像信号の信号強度が適切な範囲となるようにする必要がある。
従来のＸ線検査装置では、Ｘ線の強度を調整する場合は次のようにして行われている。すなわち、被検体Ｍの回転を停止させた状態でＸ線を照射して透視画像を得るいわゆるＸ線透視撮影を行いながら、ＣＴ画像作成対象のスライス断面と対応する走査ラインや、Ｘ線が被検体Ｍを通らずに直にＩ・Ｉ管５２に到達する走査ラインの映像信号の信号強度が、図１２に示すように、表示モニタ５６とは別のオシロスコープ５７の画面に信号強度プロファイルのかたちで映し出されるようにしておいて、信号強度プロファイルを観察しながら信号強度が適切な範囲となるようＸ線管５１の管電圧や管電流を変えてＸ線の強度調整をしているのである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のＸ線検査装置の場合、Ｘ線の強度調整を正確には行えないという問題がある。すなわち従来装置では、オシロスコープ５７の画面にＴＶカメラ５２ａから出力された映像信号の全体（具体的には、１フレームを構成する走査ライン群の映像信号）の信号強度プロファイルを映し出し、その信号強度が適切な範囲になるようにＸ線の強度を調整している。つまり、映像信号の平均的なレベルが適切な範囲になるように調整しているだけであるので、断層画像のスライス断面に対応する走査ラインの映像信号が必ずしも適正な範囲に入っていないこともあり、断層画像の画質を低下させる要因になっている。
【０００５】
この発明は、上記の事情に鑑み、Ｘ線ＣＴ撮影の実行に先立って行うＸ線の強度調整を正確に行うことができる非破壊Ｘ線検査装置を提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を達成するため、請求項１の発明の非破壊Ｘ線検査装置は、Ｘ線管と２次元Ｘ線検出器とが被検体を挟んで対向配置されているＸ線撮像手段と、被検体の周囲からＸ線が照射されてゆくように被検体とＸ線撮像手段とを相対的に回転させる回転駆動手段と、Ｘ線管によるＸ線照射に伴って２次元Ｘ線検出器から出力されるＸ線検出データに基づき断層画像を再構成するよう構成された非破壊Ｘ線検査装置において、断層画像のための撮影を行う前において被検体とＸ線撮像手段との間の相対的な回転を止めた状態でＸ線を照射するのに伴ってＸ線検出器から出力されるＸ線検出データに基づき得られる透視画像を記憶する透視画像記憶手段と、前記透視画像における走査ラインのうち、断層画像のスライス断面に対応する走査ラインを注目走査ラインとして含むようにして予め設定された注目走査ラインの画像信号を透視画像記憶手段から読み出すとともに、注目走査ラインの画像信号の信号強度をプロファイルのかたちで表示モニタに表示する画像信号強度表示手段と、透視画像記憶手段から読み出された注目走査ラインの画像信号の信号強度に基づいて、信号強度の分布における広がりが所定未満であれば、画像信号の信号強度が適正範囲に納まるよう被検体に照射するＸ線の強度を調整するＸ線強度調整手段とを備えている。
【０００７】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の非破壊Ｘ線検査装置において、注目走査ラインの画像信号の信号強度の適正範囲を示す適正強度範囲指示用マークを表示モニタに重畳表示する適正強度範囲表示手段を備えている。
【０００９】
また、請求項３の発明は、請求項１または２に記載の非破壊Ｘ線検査装置において、１回の断層撮影で得られる複数の断層画像に対応する複数個のスライス断面を予め設定するスライス断面設定手段と、スライス断面設定手段により設定された各スライス断面に対応する透視画像での走査ラインを全て注目走査ラインとして予め設定する注目ライン設定手段を備えているとともに、画像信号強度表示手段が、各注目走査ラインの画像信号の信号強度プロファイルを表示モニタに重畳表示する構成となっている。
【００１０】
〔作用〕
次に、この発明のＸ線検査装置においてＸ線ＣＴ撮影の前にＸ線の強度調整を行う際の作用を説明する。
この発明のＸ線検査装置では、Ｘ線ＣＴ撮影の前にＸ線の強度調整を行う場合、被検体およびＸ線撮像手段の間の相対的な回転を止めた状態でＸ線管からＸ線を照射するとともに、Ｘ線照射に伴って２次元Ｘ線検出器から出力されるＸ線検出データに基づき得られる透視画像を透視画像記憶手段に記憶する。つまり、Ｘ線ＣＴ撮影に先立って被検体およびＸ線撮像手段が静止した状態で先ずＸ線透視撮影を行うのである。そして、透視画像記憶手段への透視画像の記憶が済むと、画像信号強度表示手段によって、透視画像の走査ラインをうち、断層画像のスライス断面に対応する走査ラインを注目走査ラインとして含むようにして予め設定された注目走査ラインの画像信号が透視画像記憶手段から読み出されるとともに、読み出された注目走査ラインの画像信号の信号強度がプロファイルのかたちで表示モニタに直ちに表示される。
【００１１】
一方、オペレータ（検査員）は、表示モニタの画面の信号強度プロファイルを見ながら、Ｘ線管の管電圧や管電流を変えてＸ線の強度調整を行う。Ｘ線管の管電圧や管電流の変化に伴って撮影・記憶される透視画像も変化し信号強度プロファイルの状態が調整状況に応じて変化するので、表示モニタの画面の信号強度プロファイルがちょうど適切な状態となったところでＸ線の強度調整操作が完了することになる。
このように、この発明のＸ線検査装置においては、スライス断面に対応する走査ライン（注目走査ライン）の画像信号の信号強度プロファイルが表示モニタの画面に自動的に表示されるので、Ｘ線の強度調整を正確に行うことができる。
また、オペレータの代わりにＸ線強度調整手段が注目走査ラインの画像信号の信号強度に基づき、画像信号の信号強度が適正範囲に納まるよう被検体に照射するＸ線管の管電圧や管電流を変えてＸ線の強度を調整する。具体的には、信号強度の分布における広がりが所定未満であれば、Ｘ線の強度を調整する。つまり、Ｘ線の強度調整が自動的に行われるので、オペレータは殆ど操作をせずに表示モニタの画面の信号強度プロファイルの状態を監視する程度のことで事足りる。
【００１２】
また、請求項２の発明のＸ線検査装置の場合、オペレータは、適正強度範囲表示手段で表示モニタに重畳表示された適正強度範囲指示用マークによって示される信号強度の適正範囲の中に信号強度プロファイルが納まるように、Ｘ線管の管電圧や管電流を変える。つまり、表示モニタの画面の適正強度範囲指示用マークが調整の目安となるので、Ｘ線の強度調整は一層正確になる。
【００１４】
また、請求項３の発明のＸ線検査装置の場合、スライス断面設定手段により、１回の断層撮影で得られる複数の断層画像に対応する複数個のスライス断面が予め設定されるのに伴って、注目ライン設定手段により各スライス断面に対応する透視画像での走査ラインが全て注目走査ラインとして予め設定される。そして、Ｘ線透視撮影が実行されるのに伴って、画像信号強度表示手段により、各注目走査ラインの画像信号の信号強度プロファイルが表示モニタに重畳表示される。オペレータは、表示モニタの画面の各信号強度プロファイルを見ながら、表示モニタの画面の全信号強度プロファイルが適切な状態となるようにＸ線管の管電圧や管電流を変えてＸ線の強度調整を行う。
１回のＣＴ撮影で複数の断層画像を得る場合であっても、全スライス断面の信号強度プロファイルが表示モニタの画面に重畳表示されることから、全ての断層画像について適正にＸ線強度を調整することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
続いて、この発明の一実施例を図面を参照しながら説明する。図１は第１実施例に係る非破壊Ｘ線検査装置の全体構成を示すブロック図である。
第１実施例のＸ線検査装置は、図１に示すように、Ｘ線照射用のＸ線管１とＸ線検出用の２次元Ｘ線検出器（面状Ｘ線検出器）であるイメージインテンシファイア（Ｉ・Ｉ管）２とが被検体Ｍを挟んで対向配置となるようにして固定的に設置されているＸ線撮像部３と、被検体Ｍの周囲から周方向に沿ってＸ線が照射されてゆくように被検体Ｍを回転させる回転駆動部４と、Ｘ線管１によるＸ線照射に伴ってＩ・Ｉ管２の後部に一体的に取り付けられたＴＶカメラ（ＣＣＤカメラ）２ａからＸ線検出データとして映像信号が出力される構成となっている。さらに、第１実施例装置の場合、ＴＶカメラ２ａの後段に設けられた制御・処理用のコンピュータ（ＣＰＵ）５において、増幅器６およびＡＤ変換器７を経てディジタル化された映像信号に基づきＣＴ画像（コンピュータ断層画像）作成用の再構成処理が行われた後、最終的に作成されるＣＴ画像が表示モニタ８の画面に映し出されるよう構成されている。
以下、第１実施例装置の各部の構成を具体的に説明する。
【００１６】
Ｘ線管１は、焦点５μｍ程度のマイクロフォーカス式のＸ線管であって、高電圧発生器などを含む照射制御部９のコントロールにより、管電圧・管電流等の設定照射条件に応じたコーン状のＸ線を被検体Ｍに照射する構成となっている。
また、回転駆動部４は、撮影対象の被検体Ｍが載せられる載置テーブル４ａと、載置テーブル４ａの中心を通る垂直軸４ｂを回転軸として載置テーブル４ａを回転させる電動モータ４ｃとを備え、回転制御部１０のコントロールにより電動モータ４ｃが回転して載置テーブル４ａが回転するのに伴い載置テーブル４ａの上の被検体Ｍが回転することにより、Ｘ線が被検体Ｍの周囲から周方向に沿って順に照射されてゆく構成となっている。なお、実施例の場合、被検体Ｍは、図１に示すように、中央に貫通孔Ｍａを有する円筒体であるとする。
なお、照射制御部９や回転制御部１０によるコントロールは、いずれも、操作卓１１などからの入力操作等に伴ってコンピュータ５から適時に送出される指令信号に従って行われる。
【００１７】
一方、第１実施例のＸ線検査装置は、装置全体の稼働を司る制御プログラムを記憶するプログラムメモリ１２の他に、被検体Ｍの回転を止めて被検体ＭおよびＸ線撮像部３の両方が停止した状態でＸ線を照射するのに伴ってＴＶカメラ２ａから出力される映像信号に基づき得られる透視画像を記憶するフレームメモリタイプの透視画像メモリ１３を備えている。すなわち、透視画像メモリ１３には、図２に示すような被検体Ｍの透視画像ＰＡの画像信号が記憶されるのである。また第１実施例の装置では、１秒毎に透視画像メモリ１３の記憶内容（透視画像）が更新される構成となっている。
【００１８】
そして、第１実施例のＸ線検査装置において一つの特徴的な構成として、図２に示すように、透視画像ＰＡを構成する走査ライン群のうち、ＣＴ画像作成対象のスライス断面と対応する中央走査ラインＬａと、被検体Ｍの上端より上方でＸ線が被検体Ｍによる吸収を受けずに直にＩ・Ｉ管２に入射する位置に対応する上方走査ラインＬｂと、被検体Ｍの下端より下方でＸ線が被検体Ｍによる吸収を受けずに直にＩ・Ｉ管２に入射する受けない位置に対応する下方走査ラインＬｃとが、Ｘ線の強度調整に必要な注目走査ラインとして予め設定された３本の各注目走査ラインの画像信号を透視画像メモリ１３から読み出すとともに、読み出した各注目走査ラインの画像信号の信号強度を、図３に示すように、プロファイルのかたちで表示モニタ８の画面に重畳表示する画像信号強度表示手段を備えている。
なお、一見すると、Ｘ線が被検体Ｍを外れる位置の走査ラインは考慮する必要がないようとも思われるのであるが、ＣＴ画像作成用の画像再構成の処理ではＸ線の吸収率を算出する際に吸収度０の信号強度も普通使われるので、Ｘ線が被検体Ｍを外れる位置に対応する走査ラインも考慮に入れるのである。
【００１９】
ＣＴ画像作成対象のスライス断面は、図１に示すように、画像再構成処理方式に従って、照射Ｘ線の中心Ｘａを通る水平断面ＭＡになり、これに対応する中央走査ラインＬａは透視画像ＰＡの真ん中を左右に走るラインとなる。また、上方・下方の両走査ラインＬｂ，Ｌｃの位置は被検体Ｍの大きさに応じて決まる。各注目走査ラインの設定は、垂直方向のアドレスを指定することにより行われる。指定された垂直方向のアドレスをもつ画像信号が各注目走査ラインの画像信号として透視画像メモリ１３から読み出されることになる。
各注目走査ラインの画像信号の信号強度プロファイルＰａ〜Ｐｃは、勿論、横軸（左右）方向が各走査ラインのメモリの水平方向アドレスに対応し、縦軸（上下）方向が対応する水平方向アドレスの画像信号の強度に対応していることになる。
【００２０】
さらに、第１実施例のＸ線検査装置において、もう一つの特徴的な構成として、図３に示すように、各注目走査ラインの画像信号の信号強度の適正範囲を示す上下限界レベルライン（適正強度範囲指示用マーク）ＬＡ，ＬＢを表示モニタ８に重畳表示する適正強度範囲表示手段を備えている。勿論、上限界レベルラインＬＡと下限界レベルラインＬＢの間が信号強度の適正範囲ということになる。ここでは、表示モニタ８の縦軸が０〜１０２３段階の信号強度の有効範囲（画像再構成可能な信号強度の範囲）に一致しており、上限界レベルラインＬＡは最大１０２３段目の１０％減の８９９段目の信号強度に相当する高さを水平に走り、下限界レベルラインＬＢは最低０段目の１０％増の１２３段目の信号強度に相当する高さを水平に走ることになる。有効範囲より若干狭く、上下限界レベルラインＬＡ，ＬＢを余裕を持たせて設定すれば、ＣＴ画像が暗すぎたり、逆に明るすぎたりする心配がなくなる上に、信号変動の影響も心配する必要がなくなる。
【００２１】
なお、第１実施例装置の場合、各走査ラインＬａ〜Ｌｃのアドレスや上下限界レベルラインＬＡ，ＬＢに対応する信号強度は、制御プログラムに組み込むことにより予め設定されている。また、実施例の場合、信号強度プロファイルＰａ〜Ｐｃや上下限界レベルラインＬＡ，ＬＢは異なる色で表示モニタ８の画面に表示される構成となっている。したがって、上述の画像信号強度表示手段や適正強度範囲表示手段は、コンピュータ５およびプログラムメモリ１２に格納される制御プログラムを中心に構成されることになる。
【００２２】
続いて、上述した構成を有する実施例の非破壊Ｘ線検査装置において、本番のＸ線ＣＴ撮影の前に行うＸ線の強度調整の際の装置動作を、図面を参照しながら説明する。図４および図５は、注目走査ラインの画像信号の信号強度プロファイル表示中の表示モニタの画面例を示す正面図、図６はＸ線の強度調整の進行状況を示すフローチャートである。
〔ステップＳ１〕撮影対象である被検体Ｍを載置テーブル４ａの上に置く。
【００２３】
〔ステップＳ２〕載置テーブル４ａを回転させない状態で撮影（Ｘ線透視撮影）を開始する。
【００２４】
〔ステップＳ３〕透視画像メモリ１３に得られた透視画像の画像信号が記憶される。なお、以後、透視画像メモリ１３の記憶画像は１秒ごとに更新（リフレッシュ）される。
【００２５】
〔ステップＳ４〕各注目走査ラインの画像信号の信号強度プロファイルＰａ〜Ｐｃ、および、上下限界レベルラインＬＡ，ＬＢが、全て表示モニタ８の画面に重畳表示される。
【００２６】
〔ステップＳ５〕信号強度プロファイルＰａ〜Ｐｃが、図２に示すように、全て上下限界レベルラインＬＡ，ＬＢの内側に適当な状態で納まっていれば、ステップＳ７へ飛ぶ。しかし、図３あるいは図４に示すように、信号強度プロファイルＰａ〜Ｐｃの少なくとも一つが、上限界レベルラインＬＡ又は下限界レベルラインＬＢの外側に外れている場合は、次のステップＳ６に進む。
【００２７】
〔ステップＳ６〕オペレータが操作卓１１からの入力操作を行ってＸ線管１の管電圧や管電流を変化させることにより、図３あるいは図４の状態から、図２に示すように、信号強度プロファイルＰａ〜Ｐｃを全て上下限界レベルラインＬＡ，ＬＢの内側に適当な状態で納まっているようにする。
なお、Ｘ線管１の管電圧や管電流を変化させるとＸ線の強度が変わるので、透視画像の画像信号が全て変化する結果、上下限界レベルラインＬＡ，ＬＢを外れている強度プロファイル以外の強度プロファイルも連動して変化するが、全信号強度プロファイルＰａ〜Ｐｃが表示モニタ８の画面に表示されており、全信号強度プロファイルＰａ〜Ｐｃの状況が一目で把握できるので調整は全く容易に行うことができる。
【００２８】
〔ステップＳ７〕Ｘ線の強度調整は完了となり、Ｘ線透視撮影を終え、次の本番のＸ線ＣＴ撮影に移行する。
【００２９】
第１実施例のＸ線検査装置の場合、ＣＴ画像を構成する上で必要な注目走査ラインの画像信号の信号強度プロファイルが自動的に表示されるので、Ｘ線強度の調整を正確に行うことができる。さらに、表示モニタ８の画面に重畳表示される上下限界レベルラインＬＡ，ＬＢが調整の際の目安となるので、Ｘ線の強度調整を一層正確に行うことができる。また、実施例装置では、従来のように別途にオシロスコープが必要となることもない。
【００３０】
次に、この発明の第２実施例に係る非破壊Ｘ線検査装置について説明する。第１実施例装置では、オペレータが操作卓１１からの入力操作を行うことによりＸ線管１の管電圧や管電流を変化させてＸ線の強度を調整する構成であったが、第２実施例のＸ線検査装置は、透視画像メモリ１３から読み出された注目走査ラインの画像信号の信号強度に基づいて、画像信号の信号強度が適正範囲に納まるよう被検体Ｍに照射するＸ線の強度を調整するＸ線強度調整手段を備えている他は第１実施例装置と同様の装置であるので、相違する部分のみを説明し、共通する部分の説明は省略する。
【００３１】
Ｘ線強度調整手段は、コンピュータ５およびプログラムメモリ１２に格納される制御プログラムを中心に構成されており、以下のようなプロセスでＸ線の強度調整を実行する。図７は、第２実施例のＸ線検査装置におけるＸ線強度の自動調整の進行状況を示すフローチャートである。
〔ステップＦ１〕コンピュータ５により、注目走査ラインの画像信号の信号強度が上下限界レベルラインＬＡ，ＬＢの内にある否かがチェックされ、上下限界レベルラインＬＡ，ＬＢの内にあれば、ステップＦ３に飛ぶ。上下限界レベルラインＬＡ，ＬＢを外れていれば、ステップＦ２に進む。
【００３２】
〔ステップＦ２〕注目走査ラインの画像信号の信号強度が上限界レベルラインＬＡを越えていれば、Ｘ線管１の管電圧や管電流を下げることによりＸ線の強度を弱めて、注目走査ラインの画像信号の信号強度を上下限界レベルラインＬＡ，ＬＢの内に納め、注目走査ラインの画像信号の信号強度が下限界レベルラインＬＢを下回っていれば、Ｘ線管１の管電圧や管電流を上げることによりＸ線の強度を強めて、注目走査ラインの画像信号の信号強度を上下限界レベルラインＬＡ，ＬＢの内に納める。勿論、Ｘ線管１の管電圧や管電流の上げ下げは、コンピュータ５から照射制御部９を通じて行われる。
【００３３】
〔ステップＦ３〕コンピュータ５により注目走査ラインの中の中央走査ラインＬａの画像信号の信号強度の分布が適当か否かがチェックされる。具体的には、図８に示すように、信号強度の分布における画像強度の中央値の高さでの広がりＷａが所定以上であればＸ線強度が適正であると判断して、ステップＦ５へ飛び、そうでなければ（所定未満であれば）、ステップＦ４へ進む。
なお、広がりＷａの代わりに、信号強度の平均値や、最大強度と最低強度との差を用いて、中央走査ラインＬａの画像信号の信号強度の適否を判定するようにしてもよい。
【００３４】
〔ステップＦ４〕Ｘ線管１の管電圧や管電流を上げるか下げるかしてＸ線の強度を変え、信号強度の分布における画像信号の中央値の高さでの広がりＷａが所定以上になったら、ステップＦ１に戻る。
【００３５】
〔ステップＦ５〕Ｘ線の強度調整は完了となり、Ｘ線透視撮影を終え、本番のＸ線ＣＴ撮影に移行する。
【００３６】
第２実施例のＸ線検査装置の場合、Ｘ線の強度調整が自動的に行われるので、オペレータは殆ど操作をせずに表示モニタ８の画面の信号強度プロファイルの状態を監視する程度のことで事足りるので、Ｘ線の強度調整操作は非常に簡単になる。
【００３７】
続いて、この発明の第３実施例に係る非破壊Ｘ線検査装置について説明する。第１，第２実施例装置では、１回のＸ線ＣＴ撮影におけるＣＴ画像作成対象のスライス断面が１個であったが、第３実施例装置の場合、１回のＸ線ＣＴ撮影におけるＣＴ画像作成対象のスライス断面として複数個の断面を予め設定することが可能である他は第１，第２実施例装置と同様の装置であるので、相違する部分のみを説明し、共通する部分の説明は省略する。
【００３８】
すなわち、第３実施例のＸ線検査装置は、１回のＸ線ＣＴ撮影で得られる複数の断層画像に対応する複数個のスライス断面を予め設定するスライス断面設定手段と、スライス断面設定手段により設定された各スライス断面に対応する透視画像での走査ラインを全て注目走査ラインとして予め設定する注目ライン設定手段を備えているとともに、画像信号強度表示手段は、各注目走査ラインの画像信号の信号強度プロファイルを表示モニタに重畳表示するよう構成されている。
以下、特徴的な構成について、図面を参照しながら具体的に説明する。図９は被検体ＭにおけるＸ線ＣＴ撮影対象の３個のスライス断面の位置を示す正面図である。
【００３９】
ＣＴ画像作成対象のスライス断面として複数個（今は例えば３個として説明）の断面を予め設定する場合、図９に示すように、中央のスライス断面ＧＡの他に上下に二つのスライス断面ＧＢ，ＧＣを設定する場合、中央のスライス断面ＧＡと各スライス断面ＧＢ，ＧＣの距離Ｄａ，Ｄｂを操作卓１１より入力してレジスタ等の一時メモリに保持する。通常、距離Ｄａ，Ｄｂは例えば３ｍｍといった、中央のスライス断面ＧＡからあまり離れていない範囲内で設定される。
【００４０】
一方、各スライス断面ＧＢ，ＧＣと対応する透視画像での走査ラインは、図１０に示すように、Ｉ・Ｉ管５における被検体Ｍの拡大率に従って中央走査ラインＬａから距離Ｄａ，Ｄｂに対応する距離だけ離れた走査ラインＬｄ，Ｌｅの垂直方向アドレスをコンピュータ５が演算で割り出して、これを注目走査ラインとしてレジスタ等の一時メモリに保持する。
【００４１】
そして、図１１に示すように、走査ラインＬａの場合と同様、走査ラインＬｄ，Ｌｅの画像信号の信号強度プロファイルＰｄ，Ｐｅも表示モニタ８に重畳表示される。Ｘ線の強度調整は、信号強度プロファイルＰａ〜Ｐｅが上下限界レベルラインＬＡ，ＬＢの内に納まるように行われることになる。
なお、スライス断面設定手段や注目ライン設定手段も、やはりコンピュータ５およびプログラムメモリ１２に格納される制御プログラムを中心に構成されることになる。
【００４２】
第３実施例のＸ線検査装置の場合、１回のＣＴ撮影におけるＣＴ画像作成対象のスライス断面が複数個あっても、全スライス断面の信号強度プロファイルが表示モニタ８の画面に重畳表示されるので、各ＣＴ画像についてＸ線強度を正確に調整することができる。
【００４３】
この発明は上記実施の形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
（１）上記実施例では、注目走査ラインが制御プラグラムに予め組み込まれて設定されている構成であったが、表示モニタ８の上に透視画像を映し出しておいて、画面上で注目走査ラインを予め設定してから、注目走査ラインの画像信号の読み出し・信号強度プロファイルの表示を行う構成の装置が、変形例として挙げられる。
【００４４】
（２）第３実施例において、第２実施例と同様に、注目走査ラインの画像信号の信号強度に基づいて、画像信号の信号強度が適正範囲に納まるよう被検体に照射するＸ線の強度を調整するＸ線強度調整手段を備えている構成の装置が、変形例として挙げられる。
【００４５】
（３）上記実施例では、Ｘ線撮像部３の方が固定されていて、被検体Ｍの方が回転する構成であったが、逆に被検体Ｍの方が固定されていて、Ｘ線撮像部３の方が被検体Ｍの周りを回転する構成の装置が、変形例として挙げられる。
【００４６】
（４）上記実施例では、Ｘ線管１のＸ線の強度だけを調整する構成であったが、Ｘ線管１のＸ線の強度調整に加えて、必要に応じて増幅器６の増幅率の調整も行う構成の装置が、変形例として挙げられる。
【００４７】
（５）上記実施例では、Ｘ線の検出をイメージインテンシファイアで行う構成であったが、半導体式Ｘ線検出素子が縦横に配列されているパネル型Ｘ線センサによりＸ線を検出する構成の装置が、変形例として挙げられる。
【００４８】
【発明の効果】
以上に詳述したように、請求項１の発明に係る非破壊Ｘ線検査装置によれば、Ｘ線断層撮影に先立って被検体およびＸ線撮像手段が静止した状態で行われるＸ線透視撮影による透視画像が透視画像記憶手段に記憶されるとともに、画像信号強度表示手段により、透視画像における走査ラインのうち、断層画像のスライス断面に対応する走査ラインを注目走査ラインとして含むようにして予め設定された注目走査ラインの画像信号の信号強度プロファイルを表示モニタに自動的に表示させているので、１フレーム内の画像信号の平均的レベルに着目していた従来装置と比べて、Ｘ線の強度調整を正確に行うことができる。
また、Ｘ線強度調整手段が注目走査ラインの画像信号の信号強度に基づきＸ線の強度調整を自動的に行う構成を備えていて、オペレータは表示モニタの画面の信号強度プロファイルの状態を監視する程度のことで事足りることから、Ｘ線の強度調整は正確で、かつ非常に簡単なものとなる。
【００４９】
また、請求項２の発明に係る非破壊Ｘ線検査装置によれば、適正強度範囲表示手段によって画像信号の信号強度の適正な範囲を示す適正強度範囲指示用マークが表示モニタに重畳表示される構成を備えていて、オペレータは、適正強度範囲指示用マークを目安にすることにより、Ｘ線の強度調整を一層正確に行うことができる。
【００５１】
また、請求項３の発明のＸ線検査装置によれば、１回の断層撮影において複数の断層画像を得る場合であっても、全スライス断面の信号強度プロファイルが表示モニタの画面に重畳表示される構成を備えているので、各断層画像について適正にＸ線強度を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例のＸ線検査装置の全体構成を示すブロック図である。
【図２】第１実施例装置における透視画像と注目走査ラインを示す模式図である。
【図３】第１実施例での信号強度プロファイルの表示画面の一例を示す図である。
【図４】第１実施例での信号強度プロファイルの表示画面の他の例を示す図である。
【図５】第１実施例での信号強度プロファイルの表示画面の他の例を示す図である。
【図６】第１実施例でのＸ線の強度調整の進行状況を示すフローチャートである。
【図７】第２実施例でのＸ線強度の自動調整の進行状況を示すフローチャートである。
【図８】第２実施例の中央走査ラインの画像信号の信号強度分布を示すグラフである。
【図９】第３実施例の被検体における撮影対象の３個のスライス断面の位置を示す正面図である。
【図１０】第３実施例装置における透視画像と注目走査ラインを示す模式図である。
【図１１】第３実施例での信号強度プロファイルの表示画面例を示す図である。
【図１２】従来のＸ線検査装置の要部構成を示す模式図である。
【符号の説明】
１          …Ｘ線管
２          …イメージインテンシファイア
３          …Ｘ線撮像部
４          …回転駆動部
５          …コンピュータ
８          …表示モニタ
９          …照射制御部
１０        …回転制御部
１１        …操作卓
１２        …プログラムメモリ
１３        …透視画像メモリ
ＬＡ        …上限界レベルライン
ＬＢ        …下限界レベルライン
Ｌａ〜Ｌｄ  …走査ライン（注目走査ライン）
Ｐａ〜Ｐｄ  …信号強度プロファイル
Ｍ          …被検体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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