(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
高さ略中央に設けられ、常に開いたままの物品出入れ口、下部に外気取入れ口を備えた前壁で、床、左右の壁、奥壁及び天井にて囲った物品収納空間の前面開口を閉じた物品収納ボックスと、
前記床に開けたエア排出孔と、
前記天井に開けた複数個のエア吐出孔と、
前記エア排出孔とエア吐出孔とを繋ぐエアダクトと、
このエアダクトに介在させたファン及びフィルタとを備え、
前記物品出入れ口からは常にエアを適量吹き出させ、前記外気取入れ口から同量の空気を取り入れるようにした、
ことを特徴とする無塵ストッカ。
【請求項２】
高さ略中央に設けられ、常に開いたままの物品出入れ口を備えた前壁で、床、左右の壁、奥壁及び天井にて囲った物品収納空間の前面開口を閉じた物品収納ボックスと、
前記床に開けたエア排出孔と、
前記天井に開けた複数個のエア吐出孔と、
前記エア排出孔とエア吐出孔とを繋ぐエアダクトと、
このエアダクトに介在させたファン及びフィルタと、
前記ファンの一次側において前記エアダクトに取付けた外気取入れ口とを備え、
前記物品出入れ口からは常にエアを適量吹き出させ、前記外気取入れ口から同量の空気を取り入れるようにした、
ことを特徴とする無塵ストッカ。
【請求項３】
前記床に開けたエア排出孔は、床の前縁近傍に設けたものであることを特徴とした請求項１又は請求項２記載の無塵ストッカ。
【請求項４】
エアカーテンを形成するスリットを、前記天井の前縁に設けたことを特徴とする請求項１，請求項２又は請求項３記載の無塵ストッカ。
【請求項５】
前記床、奥壁及び天井の外側に外床、外奥壁、外天井を間隔を置いて配置し、床と外床、奥壁と外奥壁及び天井と外天井とで前記エアダクトの要部を構成することにより、大きなボックスにエアダクトを内蔵したことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項記載の無塵ストッカ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はクリーンスーツを収納するのに好適な無塵ストッカに関する。ここで無塵は許容値を超える塵が存在しないこと、ストッカはロッカ、保管箱などの収納容器を意味する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造ラインにおけるクリーンルームやバイオ研究のためのクリーンルームに入るには、普通の衣服をクリーンスーツ（無塵服）に着替え、エアシャワー室で塵を除くことが義務付けられている。塵を持込むとクリーンルームのクリーン度が低下するからである。無塵化を進める上ではクリーンスーツの管理は重要であり、無塵処理済みのクリーンスーツを普通の環境に置くとたちまち汚れてしまうから、クリーンスーツはクリーンルームなみの無塵ストッカに入れておくことが望ましい。
【０００３】
この様な無塵ストッカに関する技術として、例えば実開昭６２−１４７８３５号公報「エアシャワー付きロッカー装置」が知られており、このロッカー装置のロッカー５（符号は公報のものを流用。）は、同公報の第１図によれば、エアシャワ室３に隣接した更衣室４内に配置したものであり、第１図のＩ−Ｉ線断面図である第２図によれば、更衣室４の一部を仕切って構成したものであり、更衣室４を強制循環するクリーンエアの一部を分岐して符号２６のパンチングメタルから吹込み、床のプレフィルタ１３を介して戻すことで、ロッカー５の内部をクリーンに保つことができると言うものである。
【０００４】
上記公報の第１図、第２図から明らかなように、ロッカー５はクリーンルームの付属備品として取扱われ、クリーンルームＣＲとともに設置するエアシャワ室３や更衣室４とともに設備する重要備品とされてきた。
更衣室４に一体形成したロッカー５は、当然のことながら数を変更したり、位置を変更することはできない。
クリーンルームで取扱う製品が変わることや生産量を増減するなどの理由により、クリーンルームに出入りする要員の数が変化することは大いにある。しかし、上記ロッカー５の構造では要員の数の変化には対応できない。そこで、運搬可能な無塵ストッカが必要となる。
【０００５】
図６は従来の代表的な無塵ストッカの外形図であり、無塵ストッカ１００は、底１０１、左・右壁１０２，１０３、奥壁１０４、天井１０５からなるボックスの前面開口を透明シート１０６，１０７で塞ぎ、天井１０５にファンフィルタユニット１１０（詳細は次図で説明する。）を取付けたものである。１０８はキャスタ、１０９はレベルアジャスタであり、キャスタ１０８にて無塵ストッカ１００を好みの場所まで移動し、レベルアジャスタ１０９を延ばすことで無塵ストッカ１００の水平出しと床への固定とを実施することができる。
【０００６】
図７は図６の断面図兼作用図であり、ファンフィルタユニット１１０はダクト１１１に布フィルタ１１２、モータ付きファン１１３、高性能フィルタ１１４を上から下へ順に配置したものである。
竿部材１１５にクリーンスーツ１１６を吊り下げておき、モータ付きファン１１３を運転すれば、外気は布フィルタ１１２及び高性能フィルタ１１４でクリーンになり、このクリーンなエアが無塵ストッカ１００の空間を満たした後、床１０１の通孔１１７を通じて無塵ストッカ１００外へ出る。この様に無塵ストッカ１００の収納空間をクリーンなエアで満たしておくことにより、クリーンスーツ１１６をクリーナ状態に保っておくことができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、クリーンスーツ１１６の出入れの度に、透明シート１０６，１０７を開けなければならず、その度に外気が無塵ストッカ１００内部に侵入する虞れがある。外気はクリーンな空気に比べて多くの塵を含むため無塵ストッカ１００内が汚れる。この対策として、ファンフィルタユニット１１０の能力を格段に大きくするしかなく、そうするとファンフィルタユニット１１０が大型になること及び消費電力が倍増することとなり、設備費用及び運転費用の双方が嵩むことになる。
そこで、本発明の目的の一つはクリーンスーツなどの物品の出入れに際し、外気が無塵ストッカへ侵入する心配のない無塵ストッカ構造を提供する。
【０００８】
また、透明シート１０６，１０７を人手で開けるため、この透明シート１０６，１０７に指紋などの汚れが着きやすく、この汚れが無塵ストッカ１００のクリーン度を劣化させる要因となる。
そこで、本発明の目的の一つは人手で開閉する透明シートを廃止することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために請求項１は、高さ略中央に設けられ、常に開いたままの物品出入れ口、下部に外気取入れ口を備えた前壁で、床、左右の壁、奥壁及び天井にて囲った物品収納空間の前面開口を閉じた物品収納ボックスと、床に開けたエア排出孔と、天井に開けた複数個のエア吐出孔と、エア排出孔とエア吐出孔とを繋ぐエアダクトと、このエアダクトに介在させたファン及びフィルタとを備え、物品出入れ口からは常にエアを適量吹き出させ、外気取入れ口から同量の空気を取り入れるようにしたことを特徴とする。
【００１０】
前壁の高さ略中央に開けた物品出入れ口は常に開いたままである。
クリーンスーツなどの物品はこの物品出入れ口を介して出入れする。
エアダクト及びファンの作用で、物品出入れ口からは常にエアが適量吹出し、同量の外気を外気取入れ口から取入れる。
従って、物品出入れ口から外気が侵入する心配はなく、物品収納空間が外気で汚染される心配はない。
【００１１】
請求項２は、高さ略中央に設けられ、常に開いたままの物品出入れ口を備えた前壁で、床、左右の壁、奥壁及び天井にて囲った物品収納空間の前面開口を閉じた物品収納ボックスと、床に開けたエア排出孔と、天井に開けた複数個のエア吐出孔と、エア排出孔とエア吐出孔とを繋ぐエアダクトと、このエアダクトに介在させたファン及びフィルタと、ファンの一次側において前記エアダクトに取付けた外気取入れ口とを備え、物品出入れ口からは常にエアを適量吹き出させ、外気取入れ口から同量の空気を取り入れるようにしたことを特徴とする。
【００１２】
請求項１と同様に、前壁の高さ略中央に開けた物品出入れ口は常に開いたままである。クリーンスーツなどの物品はこの物品出入れ口を介して出入れする。エアダクト及びファンの作用で、物品出入れ口からは常にエアが適量吹出し、同量の外気を外気取入れ口から取入れる。
従って、物品出入れ口から外気が侵入する心配はなく、物品収納空間が外気で汚染される心配はない。
【００１３】
請求項３は、床に開けたエア排出孔は、床の前縁近傍に設けたものであることを特徴とする。
これにより、外気取入れ口からの気流による床の塵の舞い上りを防ぐことができる。
【００１４】
請求項４は、エアカーテンを形成するスリットを、天井の前縁に設けたことを特徴とする。
ダクトを通るクリーンエアの一部をエア吐出孔を介して物品収納空間へ吹出し、残部をスリットを介して物品収納空間へ吹出す。ただし、スリットは前縁に設けてあるため、エアカーテンは前壁の背面に沿って流下し、物品出入れ口から外へ出ることになる。エア吐出孔からだけエアを物品収納空間へ吹出すものに比べ、エアをエアカーテンとエア吐出孔とに二分すれば、エアカーテンは遮断作用が大きいので少量のエアで外気の侵入を抑えることができる。従って、ファンの吐出エア量を抑えることができる。ファンの吐出エア量が少量になればファンを運転するために必要な電気エネルギーを節約することができる。
【００１５】
請求項５は、床、奥壁及び天井の外側に外床、外奥壁、外天井を間隔を置いて配置し、床と外床、奥壁と外奥壁及び天井と外天井とでエアダクトの要部を構成することにより、大きなボックスにエアダクトを内蔵したことを特徴とする。
二重壁構造を採用し、壁間空間をエア通路にしたので、エアダクトが露出すること無く、見栄えが良くなる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を添付図に基づいて以下に説明する。なお、請求項１及び請求項３に係る無塵ストッカ１０は図１〜図３で説明し、請求項２及び請求項３に係る無塵ストッカ１０Ｂ，１０Ｃは図５で説明する。
図１は本発明に係る無塵ストッカの断面図であり、無塵ストッカ１０は、高さ略中央に物品出入れ口２１、下部に外気取入れ口２２を備えた前壁２３で、床２４、左右の壁２５，２５（手前の壁２５は不図示）、奥壁２６及び天井２７にて囲った物品収納空間２８の前面開口２９を閉じた物品収納ボックス２０と、床２４の前縁近傍に開けたエア排出孔３１・・・（・・・は複数個を示す。以下同様。）と、天井２７に等間隔に開けた複数個のエア吐出孔３２・・・及び前縁に開けたスリット３３と、エア排出孔３１とエア吐出孔３２とを繋ぐエアダクト４０と、このエアダクト４０に介在させた第１次フィルタ４１、モータ付きファン４２及び第２次フィルタ４３と、からなる。
【００１７】
本例ではエアダクト４０は、床２４の下方に外床４４を配置し、奥壁２６の外側に外奥壁４６を配置し、天井２７の上方に外天井４７を配置し、相互の隙間をエア通路にしたものである。いわゆる２重壁構造体であるから、外寸法に比較して物品収納空間２８は小さくなるが、エアダクト４０を内蔵したことになるので、見栄えが良くなる。しかし、エアダクト４０を外置き独立ダクトにすることは差支えない。４８は竿部材、４９はハンガ、５０は物品の一例としてのクリーンスーツである。
【００１８】
第１次フィルタ４１は、捕集効率が重量法で４５〜９０％、圧損が１０〜５０Ｐａのものが好適である。
第２次フィルタ４３は、高性能フィルタと称するもので、捕集効率が計数法（０．３μｍ、Ｄ．Ｏ．Ｐエアロゾル）で９９．９７％、初期圧損１８ｍｍ水柱（１７５Ｐａ）のものが好適である。
第１・２次フィルタ４１，４３共にフィルタ面積が大きいほど寿命が長くなるので、図面表裏方向へも延ばした広面積のものを使用する。
【００１９】
天井２７は開口率｛（孔面積の総和／孔なし平板面積）×１００｝が２０〜４０％のパンチングメタルを採用すると良い。パンチングメタルは入手容易で安価である。しかし、孔なし平板に後から適当に孔を開けることは差支えない。
【００２０】
図２は本発明に係る無塵ストッカの斜視図であり、前壁２３の好適構成例を示す。
前壁２３は高さ略中央に物品出入れ口２１を設けるために、上部を樹脂シート５２で塞ぎ、下部をアコーデオンカーテン５３，５３で塞いだものであり、そのために横桁５４及び縦枠５５をＴ字状に取着け、横桁５４にカーテンレール５６を取着け、縦枠５５に固定側マグネット５７・・・を埋め込む。
【００２１】
アコーデオンカーテン５３，５３の上縁にカーテンランナ５８・・・を取付け、これらのカーテンランナ５８・・・を前記カーテンレール５６に嵌合し、左又は右端部をビスＢ・・・で固定することで、アコーデオンカーテン５３，５３を必要なときにのみ左右に開くことができる。ただし、通常はアコーデオンカーテン５３，５３は閉じ、マグネット片５９・・・を固定側マグネット５７・・・に吸着させておく。
前記樹脂シート５２及びアコーデオンカーテン５３，５３は、透明な帯電防止ビニルカーテンが好適である。
【００２２】
前壁２３の下部を塞ぐ部材として、アコーデオンカーテン５３，５３を採用したのは、床２４の清掃、点検若しくは大物の出入れを考慮したものである。しかし、頻度が小さいので、適当な平板を左右壁２５，２５の前縁にビス止めするものであってもよく、この意味からも前壁２３は物品出入れ口２１及び外気取入れ口２２（図１参照）を除いて全面的に塞ぐ壁であると言える。
ただし、物品出入れ口２１と外気取入れ口２２とを前壁２３にともに設けたので、双方の開口の様子を容易に観察することができ、特に外気取入れ口２２が異物で塞がれたとしても、そのことを察知し異物を除去する等の対策を容易に講じることができる。
【００２３】
以上に述べた無塵ストッカの作用を次に説明する。
図３（ａ），（ｂ）は本発明に係る無塵ストッカの作用説明図である。
（ａ）において、ファン４２を運転すると、ファン４２の吸引作用により、物品収納空間２８下部のＱ１のエアと、外気取入れ口２２を通じて進入するＱ２のエアとの合計（Ｑ１＋Ｑ２）がエア排出孔３１を通ってファン４２に至る。Ｑ１＋Ｑ２のエアをファン４２で昇圧し、第２次フィルタ４３を通じて下方へ流す。このクリーンエアはスリット３３を通って吹出すＱ３のエアカーテンとエア吐出孔３２・・・を通って吹出すＱ４のエアとに分れるが共に物品収納空間２８に吹出す。
【００２４】
但し、エアカーテンのＱ３は樹脂シート５２の背面に沿って流下し、物品出入れ口２１から流れ出る。従って物品出入れ口２１から漏れるエア量Ｑ５はエアカーテンのＱ３とほぼ等量にすることが望ましい。
また、エア量Ｑ２とエア量Ｑ５とは必然的に等しくなるため、Ｑ１＝Ｑ４となる。
【００２５】
ここで、本発明の無塵ストッカ１０の圧力、流速、寸法などの具体例を述べる。
物品収納空間２８はドラフト作用により、底２４と天井２７では圧力に差があるが、平均値で＋０．６Ｐａ（＋は正圧。外気を基準とする。）は確保したい。そのためには、スリット３３からのＱ３に係る流速を０．８〜１．１ｍ／ｓの範囲にする。０．８ｍ／ｓ未満ではカーテンの機能が乏しくなる。又、１．１ｍ／ｓを超えると乱流が発生し、外気を巻き込むなどしてクリーン度が低下するからである。
【００２６】
エア吐出孔３２・・・からのＱ４に係るエア流速は０．２〜０．４ｍ／ｓの範囲として整流にするとよい。０．２ｍ／ｓ未満では物品収納空間２８を正圧に保つことが困難になる。又、０．４ｍ／ｓを超えると整流が維持できなくなり、かつエネルギー消費が課題となって好ましくない。
【００２７】
樹脂シート５２の高さＨ１は、エアカーテンを安定的に形成する上で１００ｍｍ以上であればよいが、ここでは約６００ｍｍとする。
物品出入れ口２１の高さｈ１は、約６００ｍｍとする。
アコーデオンカーテン５３の高さＨ２は、約８００ｍｍとする。
そして、外気取入れ口２２の高さｈ２は、約５０ｍｍとする。
【００２８】
（ｂ）は、クリーンスーツ５０を白抜き矢印の如く物品出入れ口２１を通じて取り出すときの様子を示す。エアの流れは（ａ）と同一である。
物品出入れ口２１の高さ寸法を約６００ｍｍとすれば、原則として物品出入れ口２１のみでクリーンスーツ５０を出入れすることは可能である。取扱が雑で上方の樹脂シート５２にクリーンスーツ５０が触れたとしても、樹脂シート５２であれば可撓性に富むので図の様に撓みクリーンスーツ５０の出入れを妨げることはない。
【００２９】
樹脂シート５２が若干湾曲したとしても、エアカーテンＱ３が樹脂シート５２の背面に沿って流れ、物品出入れ口２１から吹出すため、クリーンスーツ５０の出入れに伴なって外気が物品出入れ口２１を介して物品収納空間２８に侵入する虞れはない。
また、下部のアコーデオンカーテン５３については、横桁５４がプロテクタとなっており、クリーンスーツ５０が横桁５４に触れることはあっても、アコーデオンカーテン５３に触れる虞れはない。
【００３０】
なお、底２４のエア排出孔３１の近傍は、外気Ｑ２を取込むために負圧となっている。しかし、この負圧の部分はごく限られており、物品収納空間２８の底のごく一部であるため、外気が物品収納空間２８に分散することはない。
また、床２４の前縁近傍にエア排出孔３１を設けことにより、外気取入れ口２２からの気流による床２４の塵の舞い上げを抑えることができる。
【００３１】
図４（ａ），（ｂ）は本発明に対する比較例図である。
図３（ａ）で示したとおりに、本発明の無塵ストッカ１０は、常時開放の物品出入れ口２１を設けたこと、同じく外気取入れ口２２を設けたこと、及びエアダクト４０でエアを循環させることを構造的な特徴とする。これらの特徴の意義を比較例を引用して説明する。
【００３２】
図４（ａ）はアコーデオンカーテン５３を下方へ延長して外気取入れ口を無くした比較例である。この比較例では物品出入れ口２１のみが外気に通じる開口であるため、物品出入れ口２１からＱ５だけエアが吹出すようにすれば、このＱ５と同量のエアＱ６が図の様に物品収納空間２８に侵入する。これでは外気でクリーンスーツ５０が汚染される虞れがある。従って、低い位置に設けた外気取入れ口は不可欠である。
【００３３】
図４（ｂ）は従来の技術で述べた無塵ストッカ１００の透明シート１０６，１０７の途中に物品出入れ口１２０を設けたところの比較例であり、勿論透明シート１０６，１０７は固定板に替えてもよい。
物品出入れ口１２０からのエアの吹出し量をＱ５、通孔１１７からのエア吹出し量をＱ７とすれば、ファン１１３及びフィルタ１１２，１１４を通るエア量はＱ５＋Ｑ７となり、特にＱ５が大きいため、フィルタ１１２，１１４、特にフィルタ１１４を頻繁に清掃若しくは交換しなければならずメンテナンスコストが大幅にアップする。
【００３４】
この点、図３（ａ）は、大量のクリーンエアＱ４（＝Ｑ１）に少量の外気Ｑ２が混じったものをフィルタ４３で処理するので、フィルタ４３のメンテナンスコストを抑えることができる。
従って、本発明のエア循環方式は、図４（ｂ）の構造（エア１パス方式＋物品出入れ口）より優れていると言える。
【００３５】
図５（ａ），（ｂ）は本発明の係る無塵ストッカの別実施例図である。
本発明は上述したとおりエア循環方式と外気取入れとを組合わせたものであり、ファン４２の１次側（吸込側）であれば、外気取入れ口を自由に設けることができる。
（ａ）の無塵ストッカ１０Ｂは、前壁の下部を比較的気密性のよいシャッタ５３Ｂで塞ぎ、外気取入れ口２２Ｂを床２４より下位で且つ外床４４より上位の範囲においてエアダクト４０に設けたものである。また、床２４のエア排出孔３１・・・は平均的に分散させた状態で開けるとよい。この結果、外気Ｑ２は物品収納空間２８に侵入する虞れが無く、物品収納空間２８のクリーン度を容易に高めることができる。
【００３６】
（ｂ）の無塵ストッカ１０Ｃは、ダクト４０の途中、具体的には外奥壁４６の高さ略中央に外気取入れ口２２Ｃを取付けたものであり、この外気取入れ口２２Ｃから外気Ｑ２を取入れればよい。ただし、ファン４２に接近しているため、Ｑ２が過大となり、エアＱ１が確保できない虞れがあるので、外気取入れ口２２Ｃに弁６１を取付け、流量を調整するようにすることが望ましい。そして、一般に、重い塵は床に溜まるため、この例の様に外気取入れ口２２Ｃを十分に高い位置に設ければ、比較的塵の含有率の少ない外気を取入れことができ、フィルタ４３の長寿命化を図ることができる。
【００３７】
加えて、外気取入れ２２Ｂ，２２Ｃをエアダクト４０の適当な位置に設けるようにしたので、構造設計の自由度が増し、構造の多様化が図れる。
【００３８】
上記（ａ），（ｂ）に示した例に対して、図１若しくは図３（ａ）で示した実施例は、エアＱ１と外気Ｑ２とをエア排出孔３１・・・で一括してエアダクト４０に取込むようにしたことを特徴とする。それだけに、図１若しくは図３（ａ）で示した実施例は構造が極めて簡単であり、使い勝手が良好である。
従って、無塵ストッカ１０，１０Ｂ，１０Ｃの何れを採用するかは、使用環境、使用条件、クリーン度などを考慮して決定すればよい。
【００３９】
尚、請求項１の無塵ストッカは、本実施例の様にエアダクト４０を内蔵したもの、エアダクト４０を外置きしたものの何れであってもよい。更に、エアカーテンのためのスリット３３を備えるもの、備えないものの何れであってもよい。
また、無塵ストッカにキャスタやレベルアジャスタを備えることは好ましいことである。
【００４０】
さらには、本発明の無塵ストッカにクリーンスーツ以外の物品（手袋、靴、ゴーグル）を入れることは可能であり、無塵処理した又はする物品であれば部品の種類、形状を限るものではない。
なお、この場合上記物品を整理する棚を設けても良く、その棚は奥壁２６の床２４付近に設置されることが好ましい。物品収納空間２８の気流を最も乱しにくい位置だからである。
【００４１】
【発明の効果】
本発明は上記構成により次の効果を発揮する。
請求項１では、前壁の高さ略中央に開けた物品出入れ口は常に開いたままとし、クリーンスーツ等の物品はこの物品出入れ口を介して出入れするようにし、エアダクト及びファンの作用で、物品出入れ口からは常にエアが適量吹出し、同量の外気を外気取入れ口から取入れるようにしたので、物品出入れ口から外気が侵入する心配はなく、物品収納空間が外気で汚染される心配はない。
物品の出入れの度に透明シート（カーテン）を開ける必要が無いので、指紋などの汚れで物品収納空間を汚染する心配はない。
【００４２】
加えて、物品出入れ口と外気取入れ口とを前壁にともに設けたので、双方の開口の様子を容易に観察することができ、特に外気取入れ口が異物で塞がれたとしても、そのことを察知し異物を除去する等の対策を容易に講じることができる。
【００４３】
請求項２も、前壁の高さ略中央に開けた物品出入れ口は常に開いたままとし、クリーンスーツ等の物品はこの物品出入れ口を介して出入れするようにし、エアダクト及びファンの作用で、物品出入れ口からは常にエアが適量吹出し、同量の外気を外気取入れ口から取入れるようにしたので、物品出入れ口から外気が侵入する心配はなく、物品収納空間が外気で汚染される心配はない。
物品の出入れの度に透明シート（カーテン）を開ける必要が無いので、指紋などの汚れで物品収納空間を汚染する心配はない。
【００４４】
加えて、外気取入れ口をエアダクトの適当な位置に設けるようにしたので、構造設計の自由度が増し、構造の多様化が図れる。
【００４５】
請求項３は、床に開けたエア排出孔は、床の前縁近傍に設けたものであることを特徴とする。これにより、外気取入れ口からの気流による床の塵の舞い上りを防ぐことができる。
【００４６】
請求項４は、エアカーテンを形成するスリットを、天井の前縁に設けたことを特徴とする。これにより、外気取入れ口から取入れる外気量とほぼ同量のクリーンエアをエアカーテンとして吹出すスリットを天井の前縁に設け、エアカーテンを前壁の背面に沿って流下させ、物品出入れ口から外へ出すことができるので、物品出入れ口から外気が侵入してくることを効果的に抑制することができる。この結果、エアを循環させるファンの容量を落とすことも可能であり、設備費及び運転費用の削減が可能となる。
【００４７】
請求項５は、大きなボックスにエアダクトを内蔵したので、無塵ストッカは単純なボックスとなり、突起物が無いので、見栄えが良くなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る無塵ストッカの断面図
【図２】本発明に係る無塵ストッカの斜視図
【図３】本発明に係る無塵ストッカの作用説明図
【図４】本発明に対する比較例図
【図５】本発明の係る無塵ストッカの別実施例図
【図６】従来の代表的な無塵ストッカの外形図
【図７】図６の断面図兼作用図
【符号の説明】
１０，１０Ｂ，１０Ｃ…無塵ストッカ、２０…物品収納ボックス、２１…物品出入れ口、２２，２２Ｂ，２２Ｃ…外気取入れ口、２３…前壁、２４…床、２５…壁、２６…奥壁、２７…天井、２８…物品収納空間、２９…前面開口、３１…エア排出孔、３２…エア吐出孔、３３…スリット、４０…エアダクト、４２…ファン、４３…フィルタ（第２次フィルタ）、４４…外床、４６…外奥壁、４７…外天井、４８…竿部材、５０…物品（クリーンスーツ）、５２…樹脂シート、５３…アコーデオンカーテン。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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