(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部に開口部を有する容器本体と、
この容器本体の開口部を閉鎖する蓋とを備え、
容器本体に設けられた係合部または被係合部と、蓋に設けられた被係合部または係合部とが複数箇所で係合することで、容器本体と蓋の間のシール面に挟持されるガスケットにより内部が気密状態に保持される気密容器において、
容器本体の底板部とこの蓋の前記底板部に対面する部分との少なくとも一方に、
係合部または被係合部側から、容器本体または蓋の周壁に沿って、対向する係合部または被係合部側の方向に延びて、
容器本体と蓋の間のシール面の浮き上がりを防止する浮き上がり防止リブが設けられていることを特徴とする気密容器。
【請求項２】
容器本体が底板部と該底板部を囲む側壁部とを有し、
浮き上がり防止リブが前記容器本体の底板部および側壁部に一体に形成されている
請求項１記載の気密容器。
【請求項３】
蓋が天板部と該天板部を囲む側壁部とを有し、
浮き上がり防止リブが前記蓋の天板部および側壁部に一体に形成されている
請求項１または請求項２に記載の気密容器。
【請求項４】
浮き上がり防止リブが、気密容器に収納される収容物の、容器内での移動を規制するようになっている請求項１乃至請求項３の何れかに記載の気密容器。
【請求項５】
浮き上がり防止リブに着脱自在で、
該浮き上がり防止リブへの装着状態で気密容器に収納された収容物を、浮き上がり防止リブに対面する容器本体の底板部側または蓋の天板部側に付勢して、
容器内での収容物の移動を規制する付勢手段を備えている
請求項１乃至請求項４の何れかに記載の気密容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、半導体ウエハー等の部材を破損・汚染することなく気密状に収納するための気密容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体ウエハーを気密状に収納する気密容器は、図１７に示すように、複数の半導体ウエハーを収納させたウエハーキャリヤー１１とウエハー押圧部材１２を収納する、有底筒状の容器本体２および該容器本体２を閉鎖する蓋３から構成されている。
【０００３】
そして、容器本体２の開口部近くの２個所に、対面するように被係合部４２を一体成形により設け、蓋３の周面部に前記容器本体２の被係合部４２に係合する係合部４１を一体成形により設けている。
さらに、容器本体２の開口部上面と、該容器本体２の開口部上面に対向する蓋３の周縁部に、ガスケットを挿入するためのガスケット挿入溝２３，３３を形成して、これらガスケット挿入溝２３，３３で挟持するようにガスケット５をガスケット挿入溝２３，３３に挿入している。
【０００４】
以上の構成により、容器本体２の開口部上面に設けられたシール面（ガスケット挿入溝２３）と蓋３の周縁部に設けられたシール面（ガスケット挿入溝３３）とをガスケット５を介して接合し、係合部４１と被係合部４２との係合によりシール面同士を当接する方向に押圧し、ガスケット５をこの押圧力により弾性変形させて各ガスケット挿入溝間の気密を保持し、容器内部を気密状態に保持するようにしている。
【０００５】
【課題が解決しようとする課題】
しかし、上記従来の気密容器は、複数の係合部４１及び被係合部４２で固定しても、その気密性は不完全なものであり、特に、航空機などでの輸送時、容器外部の気圧の変化が著しく、容器外部の気圧が容器内部の気圧よりも低圧になった場合は、圧力差により容器が著しく変形し、シール面間での浮きが生じて、気密性が著しく低下する問題があった。
【０００６】
即ち、容器の変形は、図１８に示すように、容器本体の開口面（図１８ではＸ線とＹ線で囲まれる面）に対し、垂直方向への変形が著しく、係合部４１間のシール面の浮き上がりによる気密性の低下が問題となる。さらにこれに伴い、ガスケットも、開口面に対する水平方向の弾性変形の変化量は少ないが、垂直方向への変化量が大きくなることとなり、ガスケットによる気密性が低下する。
【０００７】
ここで、容器の垂直方向への変形を、材料力学の板曲げの解析に対応付けて解析すると、容器の垂直方向への最大変形量（Ｙｖ）は、以下の式１に示される関係が成り立つ。
Ｙｖ  ∽  （Ｌ1 4 ・Ｌ2 ）／（Ｅ・ｔ・ｈ3 ）  ・・・・  １）
なお、Ｌ1 ：板長，Ｌ2 ：周長，ｔ：板厚，Ｅ：縦弾性係数，ｈ：高さを示す。
【０００８】
即ち、容器の垂直方向への最大変形量（Ｙｖ）は、容器の側壁の高さ（ｈ）の３乗に反比例し、容器の側壁の高さを高くすれば急激に垂直方向の変形量が小さくなり、気密性が上がることがわかる。
従って、容器本体または蓋の側壁部の高さを高くすれば、確かに容器の図１８の矢印方向（垂直方向）への最大変形量を少なくすることができるのであるが、この手段では、容器全体が大きくなり、形状の自由度が著しく損なわれる問題が生じる。
【０００９】
そこで本発明は、容器内外で圧力差が生じても、容器の全体が大きくなることなく、容器の気密性を向上できる気密容器を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
以上の目的を達成するため、本発明は、上部に開口部を有する容器本体と、この容器本体の開口部を閉鎖する蓋とを備え、容器本体に設けられた係合部または被係合部と、蓋に設けられた被係合部または係合部とが複数箇所で係合することで、容器本体と蓋の間のシール面に挟持されるガスケットにより内部が気密状態に保持される気密容器において、
容器本体の底板部とこの蓋の前記底板部に対面する部分との少なくとも一方に、係合部または被係合部側から、容器本体または蓋の周壁に沿って、対向する係合部または被係合部側の方向に延びて、
容器本体と蓋の間のシール面の浮き上がりを防止する浮き上がり防止リブを設けたものである。
【００１１】
また、気密容器の変形をより低減して気密性を向上させるために、容器本体が底板部と該底板部を囲む側壁部とを有する構成の場合には、浮き上がり防止リブを前記容器本体の底板部および側壁部に一体に形成することが好ましく、蓋が天板部と該天板部を囲む側壁部とを有する構成の場合にも、浮き上がり防止リブを前記蓋の天板部および側壁部に一体に形成することが好ましい。
【００１２】
さらに、浮き上がり防止リブで、気密容器に収納される収容物の、容器内での移動を規制するようにしてもよい。
また、浮き上がり防止リブに着脱自在で、該浮き上がり防止リブへの装着状態で気密容器に収納された収容物を、浮き上がり防止リブに対面する容器本体の底板部側または蓋の天板部側に付勢して、容器内での収容物の移動を規制するようになっている付勢手段を備えるようにすることにより、気密容器に収納される収容物を弾性的に支持しながら、収容物の容器内での移動を規制できる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態を図に基づいて説明する。
図１は、例えば、保管、移動、輸送をする際に、気密性を要求される半導体ウエハーを収容するための気密容器をあらわしている。
図１に示す気密容器１は、図１７に示すような６インチの半導体ウエハーを複数枚収容したウエハーキャリヤー１１およびウエハー押圧部材１２を収納するものであって、概略直方体をしている。
【００１４】
気密容器１は、上部が開放され、底板部２１と、該底板部２１を囲む側壁部２２を有する有底筒状の容器本体２、および、該容器本体２を閉鎖し、天板部３１と、該天板部３１を囲む側壁部３２を有する蓋３とにより構成される。
容器本体２は、ポリプロピレンから形成されると共に、蓋３は、ポリカーボネートから形成されている。なお、容器本体２および蓋３の材質は、ポリプロピレン、ポリカーボネートに限らず、ポリエステル、ＡＢＳ樹脂、ポリブチレンテレフタレート、フッ素樹脂、熱硬化性樹脂等でも差し支えない。
【００１５】
そして、蓋３の側壁部３２には、図１に示すように、該蓋３の側壁部３２に一体成形され、弾性変形する係合部４１が形成され、容器本体２の側壁部２２には、該容器本体２の側壁部２２に一体成形され、前記係合部４１と係合する被係合部４２が形成されており、これら係合部４１と被係合部４２との係合により、容器本体２と蓋３とが連結されて固定されるようになっている。
【００１６】
なお、各係合部４１と被係合部４２は、対面する側壁部の中央部に設けられている。
また、容器本体２の開口部上面と、この容器本体２の開口部上面に対向する蓋３の開口部下面とには、図１および図１７に示すように、全周にわたり、シール面となるガスケット挿入溝２３，３３が形成されており、該ガスケット挿入溝２３，３３間でリング状のガスケット５が挟持されるようになっている。
【００１７】
そして、前記ガスケット５は、揮発性成分が非常に少ない樹脂で成形されることが好ましく、ポリエステル樹脂等が採用されると共に、気密性が要求されることから、各ガスケット挿入溝２３，３３に挿入されたとき、これらガスケット挿入溝２３，３３の深さの和よりも大きい高さを有するように形成されている。
そして、容器本体２の開口部上面に設けたガスケット挿入溝２３と、蓋３の開口部下面に設けたガスケット挿入溝３３とをガスケット５を介在させた状態で突き合わせて、容器本体２に蓋３を強く押しつけ、蓋３に設ける前記係合部４１を弾性変形させながら、容器本体２に設ける前記被係合部４２に係合させて、係合部４１の弾性復元力によって、容器本体２のガスケット挿入溝２３と蓋３のガスケット挿入溝３３とを互いにガスケット５に押圧させて、蓋３を容器本体２に固定するようにしている。
【００１８】
また、この係合部４１の被係合部４２への係合により、各ガスケット挿入溝２３，３３（シール面）で挟持されるガスケット５が圧縮されて弾性変形し、容器本体２と蓋３とにより構成される気密容器１内に気密空間が形成されるようになっている。
以上の構成からなる気密容器１において、容器本体２の底板部３１に対面する部分、即ち、蓋３の天板部３１の天井面に、一方の係合部４１側から、蓋３の側壁部周壁に沿って隣り合う係合部４１側に向かって延びて、係合部４１間のシール面（ガスケット挿入溝）の浮き上がりを防止する浮き上がり防止用リブ６ａが形成されている。
【００１９】
第１の実施の形態の浮き上がり防止用リブ６ａは、図１に示すように、一方の係合部４１の端部側から、蓋３の側壁部周壁に沿って隣合う他方の係合部４１の端部側に向かって直線的に延びるように天井面から２箇所立設されている。
第１の実施の形態では、浮き上がり防止用リブ６ａを、一方の係合部４１の端部側から、蓋３の開口部周壁に沿って隣合う他方の係合部４１の端部側に向かって直線的に延びるように形成したが、この形態に限らず図２〜図６に示すような形態のものでも良く、さらに、図７及び図８に示すように、浮き上がり防止用リブを蓋３の側壁部３２内部に連続するように一体に形成するようにしてもよい。
【００２０】
また、以上の実施の形態では、係合部４１および被係合部４２を２箇所設けたものについて挙げたが、図９〜図１２に示すように４個所に設ける場合にも適用できるのは言うまでもない。
以下、図２〜図１２に示す他の実施の形態について説明する。
図２は、第２の実施の形態で、蓋３の天板部３１の天井面に、容器本体２と蓋３のそれぞれの開口部周壁に沿って一方の係合部４１の端部側からその周壁に沿って隣合う他方の係合部４１の端部側に向かって上面視コ字状に延びるように浮き上がり防止用リブ６ｂを２本形成したものである。
【００２１】
図３は、第３の実施の形態で、蓋３の天板部３１の天井面に、一方の係合部４１の端部側から、容器本体２と蓋３の開口部周壁に沿って隣合う他方の係合部４１の端部側に向かって延び、周壁に沿う円弧状の浮き上がり防止用リブ６ｃを２本形成したものである。
図４は、第４の実施の形態で、蓋３の天板部３１の天井面の側壁部３２近くに、容器本体２と蓋３のそれぞれの開口部周壁に沿う、連続した上面視四角形の浮き上がり防止用リブ６ｄを形成したものである。
【００２２】
図５は、第５の実施の形態で、蓋３の天板部３１の天井面に、一方の係合部４１側から、他方の係合部４１側に向かって直線状に延びる３本の浮き上がり防止用リブ６ｅを形成したものである。
図６は、第６の実施の形態で、第１の実施の形態の浮き上がり防止用リブ６ａを変形させたものであって、蓋３の天板部３１の天井面に、一方の係合部４１の端部側から、容器本体２と蓋３の開口部周壁に沿って隣合う他方の係合部４１の端部側に向かって直線状に延びる２本の浮き上がり防止用リブ６ｆを形成したものであり、各リブ６の下面が、円弧状をしている。
【００２３】
図７は、第７の実施の形態で、浮き上がり防止用リブ６ｇを、蓋３の天板部３１の天井面および側壁部３２の内面に連続するように一体に形成したものであり、具体的には、図７に示すように、ハットの断面形状のような、２本の浮き上がり防止用リブ６ｇを、ハットの開口部が対面するように所定間隔を開けて設けると共に、各浮き上がり防止用リブ６ｇの端部を係合部４１が設けられる側壁部３２の内面に一体に設けている。
【００２４】
図８は、第８の実施の形態で、第７の実施の形態と同様、浮き上がり防止用リブ６ｈを、蓋３の天板部３１の天井面および側壁部３２の内面に連続するように一体に形成したものであり、蓋３の天井面に、４本の直線状のリブを井ゲタ状に一体に形成している。
以上、第７及び第８の実施の形態によれば、浮き上がり防止用リブ６ｇ，６ｈを、蓋３の天板部３１の天井面および側壁部３２の内面に連続するように一体に形成しているので、該浮き上がり防止用リブ６ｇ，６ｈが天板部３１および側壁部３２を同時に支持することとなり、容器の変形量をより少なくできるばかりか、容器の強度も向上できる。尚、本実施の形態は、容器本体２側に形成しても同様の効果が得られる。
【００２５】
図９は、第９の実施の形態で、４つの係合部４１を設ける場合の浮き上がり防止用リブ６ｉであって、蓋３の天板部３１の天井面に、各係合部４１の端部側から、容器本体２と蓋３の開口部周壁に沿って、該周壁に沿って隣合う係合部４１の端部側に延びる上面視Ｌ字状の浮き上がり防止用リブ６ｉを４本形成したものである。
【００２６】
図１０は、第１０の実施の形態で、浮き上がり防止用リブ６ｊの形状を、第９の実施の形態の浮き上がり防止用リブ６ｉの４本のＬ字状の形状を開口部周壁に沿う円弧状に形成したものである。
図１１は、第１１の実施の形態で、浮き上がり防止用リブ６ｋの形状を、第９の実施の形態の浮き上がり防止用リブ６ｉの４本のＬ字状の形状を各係合部４１の端部側から、隣合う係合部４１の端部側に延びる直線状に形成したものである。
【００２７】
図１２は、第１２の実施の形態で、浮き上がり防止用リブ６ｌを第４の実施の形態のものとし、４つの係合部４１を設けたものである。
なお、上記各実施の形態は、蓋３にのみ浮き上がり防止用リブを形成したが、本発明の浮き上がり防止用リブは、容器本体２側に形成してもよいし、双方に形成するようにしてもよい。さらに、上記実施の形態のように、容器の内部に浮き上がり防止用リブを設けるだけでなく、容器の外部に形成するようにしてもよい。
【００２８】
また、上記実施の形態は、気密容器を概略直方体に形成したものであるが、本発明は、円筒状のものにも適用できことはいうまでもなく、さらに、気密容器の蓋は、上記実施の形態のように、筒状のものに限らず、平板状のものでも本発明を適用できる。しかも、本発明は、容器本体と蓋との間にガスケットを介在させることなく、容器本体の開口部と蓋の周縁部とを直接圧接させるものにおいても適用できる。
【００２９】
ところで、気密容器１は、副数枚の半導体ウエハーを収納支持するウエハーキャリヤー１１（図１７に示す）を収容するようになっているとともに、ウエハーキャリヤー１１を、半導体ウエハーと共に容器本体２側に押圧してウエハーキャリヤー１１および半導体ウエハーの気密容器１内での移動を規制するウエハー押圧部材１２（図１７に示す）を備えている。
【００３０】
また、図１３に示す第１３の実施の形態では、蓋３の天板部３１の天井面に、一方の係合部４１側から、他方の係合部４１側に向かって直線状に延びる２枚の薄板部６１，６２で一対となっている４対の浮き上がり防止用リブ６ｐが形成されており、浮き上がり防止用リブ６ｐが、ウエハー押圧部材１２（図１７に示す）を支持するための挟着リブを兼ねるようになっている。
【００３１】
即ち、これら浮き上がり防止用リブ６ｐは、二枚の薄板部６１，６２でウエハー押圧部材１２の枠部を挟着するように構成されている。
本実施の形態よれば、浮き上がり防止リブ６ｐで、気密容器１に収納される収容物（半導体ウエハーキャリヤー１１）をウエハー押圧部材１２を介して弾性的に支持すると共に、該収容物の容器内での移動を規制することができる。
【００３２】
尚、前記ウエハー押圧部材１２は、浮き上がり防止リブ６ｐに着脱自在にされており、かつ、該浮き上がり防止リブ６ｐへの装着状態で気密容器１に収納された収容物（半導体ウエハーキャリヤー１１）を、浮き上がり防止リブ６ｐに対面する容器本体２の底板部２１側に付勢して、容器内での収容物の移動を規制する付勢手段の役割をなしている。
【００３３】
以上、第１３の実施の形態では、前記ウエハー押圧部材１２が、浮き上がり防止リブ６ｐに対し着脱自在にされており、さらに、浮き上がり防止リブ６ｐが４箇所設けられていることから、ウエハー押圧部材１２の大きさが変更されても、その大きさに合わせて、浮き上がり防止リブ６ｐを選択して、該ウエハー押圧部材１２を装着することができるので、同じ蓋３でありながらウエハー押圧部材１２の適用範囲が拡大される。
【００３４】
なお、第１３の実施の形態の浮き上がり防止リブ６ｐは、容器本体２側に形成してもよいし、さらに、浮き上がり防止リブ６ｐで半導体ウエハーまたはウエハーキャリヤーを直接支持して、容器内での移動を規制するようにしてもよい。
【００３５】
【実施例】
次に、本発明の浮き上がり防止用リブ６を採用した気密容器を比較例と対比させることにより気密性の効果を実証する。
図１４は、本発明の浮き上がり防止用リブ６を採用した気密容器を示しており、蓋３の天板部３１の天井面に、一方の係合部４１側から、蓋３の側壁部周壁に沿って隣り合う係合部４１側に向かって延びて、係合部４１間のシール面（ガスケット挿入溝）の浮き上がりを防止し、２枚の薄板部６３，６４を有する浮き上がり防止用リブ６が２本形成されたものである。そして、一方のリブ６は、薄板部６３，６４の各肉厚が２ｍｍで、高さ１１ｍｍのものを２枚近接させた状態で、他方のリブ６は、薄板部６３，６４の各肉厚が２ｍｍで、高さ１３ｍｍのものを２枚近接させた状態で立設させたものである。
【００３６】
また、比較例は、図１５に示すように、リブＡの形状は実施例の形態と同じであるが、リブＡと係合部４１との位置関係が異なる。
即ち、比較例のリブＡは、２つの係合部４１を結ぶ線に対して直交する方向に延びるように立設させており、図１５では、係合部４１の位置が実施例の形態と異なる点以外は、容器本体２、蓋３、リブＡの材質、大きさは、実施例と同じである。
【００３７】
以下、実施例と比較例とを容器の内外圧力差が０．２気圧の場合の蓋３のガスケット挿入溝３３における変位量について比較した結果を示すと、実施例と比較例のそれぞれの蓋のガスケット挿入溝の最大変位量（ｍｍ）を測定したところ、
実施例        ０．２８３ｍｍ
比較例        ０．３４０ｍｍ
となり、実施例が比較例よりも最大変位量が少なく、容器内外圧力差による変位量が低減されていることがわかる。
【００３８】
さらに、実施例と比較例について、容器内部にポンプで圧縮空気を充填し、容器内部の圧力変化を測定したところ、図１６に示すグラフのような結果が出た。図１６によれば、実施例の気密容器の方が、比較例の気密容器よりも時間が経過した後でも、容器内部の圧力が高く、空気の漏れが少ないことがわかる。なお、初期の容器内部の圧力は、気密性が悪く空気の漏れが大きい程小さくなる。
【００３９】
図１６によってもわかるように、浮き上がり防止用リブ６を、一方の係合部４１側から、蓋３の側壁部周壁に沿って隣り合う係合部４１側に向かって延びるように形成することにより、気密容器の気密性の向上が図れるのである。
【００４０】
【発明の効果】
本発明によれば、上部に開口部を有する容器本体と、この容器本体の開口部を閉鎖する蓋とを備え、容器本体に設けられた係合部または被係合部と、蓋に設けられた被係合部または係合部とが複数箇所で係合することで、容器本体と蓋の間のシール面に挟持されるガスケットにより内部が気密状態に保持されるようになっている気密容器において、
容器本体の底板部とこの蓋の前記底板部に対面する部分との少なくとも一方に、係合部または被係合部側から、容器本体または蓋の周壁に沿って、対向する係合部または被係合部側の方向に延びて、
容器本体と蓋の間のシール面の浮き上がりを防止する浮き上がり防止リブを設けたので、気密容器における容器本体と蓋との間の浮き上がりよる変形を軽減することができるので、気密容器の気密性を向上できる。
【００４１】
また、容器本体が底板部と該底板部を囲む側壁部とを有する構成の場合に、浮き上がり防止リブを、前記容器本体の底板部および側壁部に一体に形成したり、または、蓋が天板部と該天板部を囲む側壁部とを有する構成の場合に、浮き上がり防止リブを、前記蓋の天板部および側壁部に一体に形成するときには、気密容器の強度を上げ、かつ、気密容器の変形をより低減して気密性を向上させることができる。
【００４２】
さらに、浮き上がり防止リブで、気密容器に収納される収容物の、容器内での移動を規制するように構成する場合には、収容物の保持ができながら、容器の変形を低減して気密性を向上することができる。
また、浮き上がり防止リブに着脱自在で、該浮き上がり防止リブへの装着状態で気密容器に収納された収容物を、浮き上がり防止リブに対面する容器本体の底板部側または蓋の天板部側に付勢して、容器内での収容物の移動を規制するようになっている付勢手段を備えるようにすることにより、気密容器に収納される収容物を弾性的に支持しながら、収容物の容器内での移動を規制できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる気密容器の第１の実施の形態の浮き上がり防止用リブの配設位置を示す気密容器の概略斜視図と蓋の下面図である。
【図２】本発明にかかる気密容器の第２の実施の形態の浮き上がり防止用リブの配設位置を示す蓋の概略斜視図と下面図である。
【図３】本発明にかかる気密容器の第３の実施の形態の浮き上がり防止用リブの配設位置を示す蓋の概略斜視図と下面図である。
【図４】本発明にかかる気密容器の第４の実施の形態の浮き上がり防止用リブの配設位置を示す蓋の概略斜視図と下面図である。
【図５】本発明にかかる気密容器の第５の実施の形態の浮き上がり防止用リブの配設位置を示す蓋の概略斜視図と下面図である。
【図６】本発明にかかる気密容器の第６の実施の形態の浮き上がり防止用リブの配設位置を示す蓋の概略斜視図と下面図である。
【図７】本発明にかかる気密容器の第７の実施の形態の浮き上がり防止用リブの配設位置を示す蓋の概略斜視図と下面図である。
【図８】本発明にかかる気密容器の第８の実施の形態の浮き上がり防止用リブの配設位置を示す蓋の概略斜視図と下面図である。
【図９】本発明にかかる気密容器の第９の実施の形態の浮き上がり防止用リブの配設位置を示す蓋の概略斜視図と下面図である。
【図１０】本発明にかかる気密容器の第１０の実施の形態の浮き上がり防止用リブの配設位置を示す蓋の概略斜視図と下面図である。
【図１１】本発明にかかる気密容器の第１１の実施の形態の浮き上がり防止用リブの配設位置を示す蓋の概略斜視図と下面図である。
【図１２】本発明にかかる気密容器の第１２の実施の形態の浮き上がり防止用リブの配設位置を示す蓋の概略斜視図と下面図である。
【図１３】本発明にかかる気密容器の第１３の実施の形態の浮き上がり防止用リブの配設位置を示す蓋の下面図である。
【図１４】実施例の気密容器の一部切欠断面斜視図である。
【図１５】比較例の気密容器の一部切欠断面斜視図である。
【図１６】実施例と比較例との気密性を比較したグラフである。
【図１７】一般的に使用される気密容器の分解斜視図である。
【図１８】容器内外の圧力差で容器が変形した状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１    気密容器
２    容器本体
２１    底板部
３    蓋
４１  係合部
４２  被係合部
６    浮き上がり防止用リブ
【図１】
0004161098.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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