(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板上に設けられたブラックマトリックスと前記ブラックマトリックスの所定の位置に設けられた着色部とを有するカラーフィルタにおいて、前記ブラックマトリクスに前記着色部表面とが接する部分の接線と前記ブラックマトリックスの上端面とのなす角度が１０〜２５°であることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項２】
透明基板上に設けられたブラックマトリックスと前記ブラックマトリックスの所定の位置に設けられた複数の着色部とを有するカラーフィルタにおいて、前記ブラックマトリックスの側面と前記透明基板の表面とのなす角度が２０〜５５°であり、且つ前記ブラックマトリクスに前記着色部表面とが接する部分の接線と前記ブラックマトリックスの上端面とのなす角度が１０〜２５°であることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項３】
着色するためのインクをインクジェットヘッドから吐出することにより前記着色部を形成することを特徴とする請求項１乃至請求項２のいずれかに記載のカラーフィルタ。
【請求項４】
請求項１乃至請求項２のいずれかに記載のカラーフィルタを用いて構成されたことを特徴とする液晶表示素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネル等に用いられるカラーフィルタ及びブラックマトリクス、特にインクジェット方式を用いるカラーフィルタ製造方法に用いられるブラックマトリクス、該カラーフィルタを具備した液晶素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年パーソナルコンピューターの発達、特に携帯用のパーソナルコンピューターの発達に伴い液晶ディスプレイ、特にカラー液晶ディスプレイの需要が増加する傾向にある。しかしながら更なる普及のためにはコストダウンが必要であり、特にコスト的に比重の高いカラーフィルタのコストダウンに対する要求が高まっている。
【０００３】
カラーフィルタの主な製造方法としては、印刷法、電着法、染色法または顔料分散法があるが、これらの方法に共通している問題はＲ、Ｇ、Ｂを形成するために同一工程を３回行う必要があり、必然的にコスト的に高くなると共に工程が多ければ多いほど歩留りが低下することである。  この問題を改良するために特開昭５９−７５２０５号公報、特開昭６３−２３５９０１号公報、特開平１−２１７３０２号公報、特開平４−１２３００５号公報、特開平７−１４６４０６号公報等には、インクジェット方式を用いてカラーフィルタを製造する方法が開示されている。
【０００４】
これらは前記従来方法とは異なり、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色素を含有する着色液（以下インクという）をフィルタ基板にノズルより吐出し、該インクをフィルタ基板上で乾燥させて着色部を形成させる。この方法によればＲ、Ｇ、Ｂの各着色部の形成を一度に行なうことができ、更に着色液の使用量にも無駄が生じないため大幅な生産性の向上、コストダウン等の効果が期待できる。
従来のカラーフィルタに用いられてきたブラックマトリクスは、金属クロム膜を酸化クロム膜などの酸化物層でサンドイッチ構造とすることにより可視光に対する吸収係数が大きく、また光学濃度が高い材料を、スパッタ法や、イオンプレーティング法などの真空成膜法により薄膜で形成していた。
【０００５】
しかしながらインクジェット法では、ブラックマトリクスをインク保持枠体として使用するため、カラーフィルタの色特性を満足する着色部の厚みを得るためには、少なくとも１μｍ以上の厚みが必要となるため、真空成膜による金属ブラックマトリクスによる枠体化は現実的に形成が不可能であり、樹脂ブラックマトリクスが用いられている。
また、この樹脂ブラックマトリクスは、遮光特性としての光学濃度を、成分中に含有させる黒色顔料で得るためにも、少なくとも１μｍ以上の厚みが必要とされる。
【０００６】
一般的な樹脂ブラックマトリクスはアルカリ溶解タイプのネガレジストにカーボンブラックに代表される黒色顔料や、または赤、緑、青、黄色、紫などの顔料を混ぜてなる混色黒色顔料を単独もしくは混合で分散させて構成されたものが用いられる。
【０００７】
このようなネガレジストタイプのフォトリソグラフィー法によるパターニング工程は、まずブラックマトリクスとする所望のパターンを形成したフォトマスクを介して紫外線露光を行う。ネガレジストは露光部が光のエネルギーで架橋反応を起こし光硬化することにより現像液に対しての溶解性が未露光部より低下する。その後、炭酸ナトリウムなどの希アルカリ系の現像液を用いて未露光部を選択的に溶解除去後、現像液を洗浄することにより所望のパターンを形成する。
【０００８】
しかしながら、樹脂ブラックマトリクスは、黒色顔料を含有するため、露光時にレジスト材料の下部まで光エネルギーが到達しづらく、従って、露光による光硬化部分はレジスト層の表層部に留まる。そのため、図１（ａ）に示すように現像時に光硬化が不十分な透明基板側がサイドエッチングされる。また現像・リンス後の熱硬化工程であるポストベークでは２００℃前後の熱に数分から数十分曝されるため、サイドエッチング上部のオーバーハング部分が熱ダレにより脱落した、図１（ｂ）のようなテーパー形状となる場合が一般的である。
【０００９】
また、高耐熱性材料を使用した場合やポストベーク条件の緩やかな場合には現像後の逆テーパー状態が維持される場合もあるが、どちらの場合も、表層面側肩形状は、現像液に曝されている間は僅かにではあるが等方的にエッチングされるため、完全なる矩形とはならず曲面的形状となる。また、その後の熱硬化工程ではこの傾向は少なくとも増長される。特にこれらの傾向は膜が厚く、また光学濃度が高いほど顕著となる。
【００１０】
インクジェット法においては、使用されるインクはヘッドの吐出安定性を考慮して一般的には５ｃｐｓ以下程度の低粘度インクが用いられている。そのためインク中の固形分量は色材が染料及び顔料に関わらず数重量％〜十数重量％程度しか含有させられず、乾燥後のインクの厚み即ち着色部の厚みは乾燥前の数分から数十分の一程度となる。このためカラーフィルタの色特性を満足する着色部の厚みを得るためには、着色部の体積に対して数倍から数十倍以上の容量のインクを充填する必要がある。この方法としては、枠体となるブラックマトリクスを撥インク性とし凸状のインクメニスカスを保持させることにより高さの低い枠体で必要量のインクを充填する方法が例えば特開平７−３５９１５号公報、特開平７−８４１２２号公報などで提案されている。その後、充填されたインクは、乾燥及び硬化され、着色部となる。
【００１１】
図２にブラックマトリクスの断面形状と、充填されたインクが乾燥により平坦となる着色部膜厚の関係を示す。インク乾燥メカニズムは、ブラックマトリクスの断面形状に影響され、より矩形に近いほど表層面に近い面で平坦な着色部となる。しかし、樹脂ブラックマトリクスでは曲面を持たない理想的な矩形とはなりえないため、平坦な着色部を形成するためには必ずブラックマトリクスより着色部が薄くなり、ブラックマトリクスと着色部の間で段差が生ずる。このために、後工程の液晶素子製造工程で、ブラックマトリクスと着色部の段差部近傍において配向処理であるラビングが不完全となり、液晶分子の非配向やまたリバースチルトドメインによるディスクリネーションライン等の配向異常を生じさせ、液晶表示素子として光漏れやコントラストの低下等の重大な表示欠陥が発生する問題があった。
【００１２】
そのためには、着色部形成面上に平坦化膜であるオーバーコートの形成が必要となり、インクジェット法の最大の長所である低価格化を阻害することとなっていた。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、樹脂ブラックマトリクスと着色部の段差部近傍において完全なラビング処理が行え、配向異常を生じさせない構成を提供することである。これにより、オーバーコートなしの構成で配向異常のない高品質なカラーフィルタ基板を提供し、およびこのカラーフィルタ基板を用いて、低価格で表示特性に優れた液晶表示素子を提供することを目的とする。
【００１５】
本発明のカラーフィルタは、透明基板上に、樹脂ブラックマトリクスと、前記樹脂ブラックマトリクス間に設けられた着色部とを有するもので、前記樹脂ブラックマトリクスの上端面部と着色部とのなす角度が１０〜２５°であることを特徴とする。さらに、透明基板上に、樹脂ブラックマトリクスと、前記樹脂ブラックマトリクス間に設けられた着色部とを有するもので、前記樹脂ブラックマトリクスの側面と前記透明基板とのなす角度が２０〜５５°であり、且つ前記樹脂ブラックマトリクスの上端面部と着色部とのなす角度が１０〜２５°であることを特徴とする。さらに、本発明のカラーフィルタの製造方法は、前記樹脂ブラックマトリクス間にインクジェット方式でインクを付与して着色部を形成することを特徴とする。
【００１６】
さらに、本発明の液晶表示素子は、前記カラーフィルタと一対となる対向基板間に液晶を挟持してなることを特徴とする。
【００１８】
本発明の請求項１に記載のカラーフィルタは、透明基板上に設けられたブラックマトリックスと前記ブラックマトリックスの所定の位置に設けられた着色部とを有するカラーフィルタにおいて、前記ブラックマトリクスに前記着色部表面とが接する部分の接線と前記ブラックマトリックスの上端面とのなす角度が１０〜２５°であることを特徴とするカラーフィルタであることを特徴としたものであり、後工程の液晶素子製造工程で、ブラックマトリクスと着色層の段差部近傍においても配向処理であるラビングが良好に行え、各画素の隅々まで液晶分子の規則正しく配列が実現できる。
【００１９】
次に、本発明の請求項２に記載のカラーフィルタでは、透明基板上に設けられたブラックマトリックスと前記ブラックマトリックスの所定の位置に設けられた複数の着色部とを有するカラーフィルタにおいて、前記ブラックマトリックスの側面と前記透明基板の表面とのなす角度が２０〜５５°であり、且つ前記ブラックマトリクスに前記着色部表面とが接する部分の接線と前記ブラックマトリックスの上端面とのなす角度が１０〜２５°であることを特徴としたものであり、後工程の液晶素子製造工程で、ブラックマトリクスと着色層の段差部近傍においても配向処理であるラビングが良好に行え、各画素の隅々まで液晶分子の規則正しく配列が実現できるとともに、液晶素子製造工程のプロセスマージンの拡大による高い歩留まりが達成でき、更には液晶材料や配向膜材料などに代表される液晶素子製造工程使用材料の選択範囲が広がるため、材料の低価格化など、カラーフィルタの低価格化に大きく貢献できる。
【００２０】
次に、本発明の請求項３に記載のカラーフィルタの製造方法では、着色するためのインクをインクジェットヘッドから吐出することにより前記着色部を形成することを特徴とする請求項１乃至請求項２のいずれかに記載のカラーフィルタを特徴としたものであり、低価格で、且つ混色や色むらのないカラーフィルタの製造に好適である。
【００２１】
次に、本発明の請求項４に記載の液晶表示素子では、請求項１乃至請求項２のいずれかに記載のカラーフィルタを用いて構成されたことを特徴とする液晶表示素子を特徴としたものであり、コントラストの低下や光漏れ等の表示欠陥のない液晶表示素子が実現できる。
【００２２】
本発明で用いるブラックマトリクス材料は、樹脂成分と黒色の顔料及びまたは、赤、緑、青、黄、紫などの顔料を混ぜてなる混色黒色顔料と、これらの成分を分散溶解させるための溶媒を含む感光性樹脂である。
【００２３】
樹脂材料としては、一般的な黒色感光性樹脂用として用いられているアクリル樹脂のような感光性樹脂であればネガ型でもポジ型でもよい。
【００２４】
また黒色の顔料成分としては、カーボンブラックや、赤、緑、青、黄、紫などの顔料を混ぜてなる混色黒色顔料としての有機顔料等を用いることができる。
【００２５】
感光性樹脂を用いて透明基板上に仕切り部を形成するには、例えばスピンコート等によって１〜３μｍ程度の厚みを持った薄膜を全面に形成した後、露光、現像、洗浄、ポストベークすることで形成することができる。
【００２６】
ここで、前記露光、現像、洗浄、ポストベーク等のパターニング条件をコントロールすることで、ブラックマトリクスの形状及びその後の着色部形状をコントロールすることができる。
【００２７】
本発明で用いられる着色部材料は、顔料や染料等と適当な樹脂、その他添加剤からなり、これらを分散・溶解させるための有機溶剤を含む非水性材料が好適であるが、これに限定されるものではない。
【００２８】
着色部の形成方法としては、インクジェット印刷機を用いるインクジェット印刷法が好適であるが、本発明の構成をなし得るものであればなんでもよい。
【００２９】
本発明で用いる透明基板は、例えばガラスが多く用いられるが、プラスチックフィルムやプラスチックシートでもかまわない。また必要に応じて、透明基板と仕切り部及び着色インクとの密着性を向上させるために、透明基板上にあらかじめ密着性を向上させるような薄膜を形成しておくこともできる。
【００３０】
以下、本発明の請求項１乃至請求項５に記載された発明の実施の形態について、図を用いて説明する。なお、ここで示す実施の形態はあくまでも一例であって、必ずしもこの実施の形態に限定されるものではない。
【００３１】
図３は、本実施の形態に係わるカラーフィルタの断面構成を示す。図３に示すブラックマトリクス２は、スピンコーターにより黒色顔料等を分散したノボラック樹脂系ネガレジストを３．５μｍの厚さで形成した。その後フォトリソグラフィー法を用いて露光、現像、リンスを行いパターン形成した。現像工程において基板全面において均一な現像が可能なスプレー現像を用いた。現像工程のパラメータとしては、現像液の種類、濃度、温度、スプレーの圧力、基板の送り速度であり、これらの条件とその後のポストベークの条件により、ブラックマトリクス２の断面テーパー形状と表層面側肩形状をコントロールした。ポストベークは水平層流熱風循環方式乾燥炉を用いて行い、膜厚はポストベークにより減少し最終的には２．５μｍとなった。その後、ブラックマトリクス２間に、インクジェット印刷機を用いて赤、緑、青の三原色着色インク吐出し、乾燥、硬化することにより平坦な着色部３を形成した。
【００３２】
図３に示すブラックマトリクス２の側面中央部から底面にかけて引いた接線と透明基板１とのなす角度θ１をもって上記側面と透明基板１とのなす角度とする。また、着色部３表層面の前記ブラックマトリクス２の接部から前記ブラックマトリクス２の上端面にかけて引いた接線のなす角度θ２をもってブラックマトリクス２の上端面部と着色部３とのなす角度とする。
【００３３】
角度θ１は、角度が大きくなるとブラックマトリクス２と着色部３が平坦となる膜厚の段差は小さくなるが、従来技術で説明したように樹脂ブラックマトリクスでは理想的な矩形とはなり得ず、着色部３が平坦化となる膜厚は最終的にはブラックマトリクス２の表層面側肩形状に影響され、ブラックマトリクス２の表層面と着色部３の表層面が同一高さの面にはならない。角度θ１は５５°以上で着色部３が平坦となる厚みの増加が飽和し、約０．７μｍの段差となった。
【００３４】
角度θ１は、現像時のサイドエッチングにより溶解した側壁部分の上部がポストベークによる熱で軟化脱落することにより形成され、また樹脂材料の耐熱特性による熱ダレの影響も加味されることにより発生する。このような形成プロセスのために、角度θ１をより小さくしようとした場合、サイドエッチングの量を大きくする必要がある。これは現像時にブラックマトリスク２の透明基板１側との接触面積を小さくし、ブラックマトリクス２の表層面側を大きくオーバーハングさせることになり、この結果、現像後の一般的な洗浄工程で行われる純水の高圧スプレー洗浄でブラックマトリクスパターン欠落やオーバーハング部の欠けを容易に生じさせてしまう。特にカラーフィルタ製造に用いられる透明基板１は、３００ｍｍ×４００ｍｍ以上のサイズが用いられるため全面において欠陥のないパターン形成は極度に困難である。
【００３５】
表１に角度θ１とブラックマトリクスパターンの欠落及び部分的な欠けに代表されるパターン欠陥の関係を示す。ここで、安定して高い歩留まりで形成可能な角度θ１は２０°以上であった。
【００３６】
【表１】
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【００３７】
角度θ１をパラメータとしたブラックマトリクスに、インクジェット法で着色部を形成したカラーフィルタを用いて作製した液晶表示素子の配向特性を確認したところ、角度θ１が５５°以上では液晶分子の非配向やリバースチルトドメインに起因する配向異常が発生し、液晶表示素子としてはコントラストの低下や表示部からの光漏れによる表示欠陥が発生した。これは、液晶表示素子の配向工程であるラビング工程でブラックマトリクスと着色層境界の段差部角度に阻害され、液晶分子を配向させることのできる十分なラビング処理が行えていないためであった。
【００３８】
図４にラビング工程の概念図を示す。ラビング処理は、液晶分子を規則正しく配列させ且つ基板に対して一定角度で液晶分子を傾斜させるために、カラーフィルタ上に形成されたポリイミド樹脂に代表される配向膜（図示しない）をバフなどのラビング用布１０１をローラー１０２に巻き付けて回転させることで配向膜を擦って行われる。そのパラメータとしては、配向膜の種類、ラビング用布の種類、ローラーの回転数、ローラー下を通過する基板の送り速度、ニップ幅で表されるラビング用布の押付圧力等である。
【００３９】
また、ブラックマトリクス２の上端面部と着色部３とのなす角度θ２は、ブラックマトリクスの表層面側肩形状に影響され、これはブラックマトリクスの材料特性と作製工程での熱履歴により決定される。したがって角度θ２を小さくすることは材料の耐熱性を低下させるか高温の熱履歴を与えることである。
【００４０】
表２に、角度θ２とカラーフィルタ特性の関係を示す。角度θ２が１０°より小さくなるとブラックマトリクス表層面の平坦な部分が減少し、インクジェット法でインクを吐出して着色部を形成する場合に安定的なインク保持が困難となり、いわゆる隣接画素へのインクの流出が発生し、画素間での混色となるため表示欠陥となった。
【００４１】
【表２】
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【００４２】
また、角度θ２を２５°より大きくすると前述したラビング工程で同様に十分な処理が行えず液晶分子の配向異常が発生した。
【００４３】
また、角度θ１が２０〜５５°であり且つ角度θ２が１０〜２５°のカラーフィルタでは、表３に示す通りラビング条件の各パラメータのマージンが広がり、高い歩留まりで安定した液晶表示素子の生産が行えた。
【００４４】
【表３】
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【００４５】
【実施例】
以下、図５を用いて本発明の実施例について詳細に説明する。
（実施例１）ブラックレジストとして東京応化工業社製「ＣＦＰＲ  Ｂｋ−６１０Ｓ」を用い、透明基板１としては、３２０ｍｍ×４００ｍｍ×０．７ｍｍのコーニング１７３７ガラス基板を用いた。
【００４６】
先ず、前記ガラス基板に水洗を施し、乾燥後、東京応化工業社製のスピンコーターによって前記ブラックレジストを当該ガラス基板１上に塗布した。この時のスピン条件は６００ｒｐｍで１５秒間回転させた。スピンコート後、９０℃のホットプレート上で１８０秒間、乾燥プリベークを行い、得られたブラックレジスト層の膜厚は３．５μｍであった。その後、日立電子エンジニアリング社製露光機で、ネガ型マスクを介して、露光条件を積算露光量が９０ｍＪ／ｃｍ２、プロキシギャップを１００μｍで露光を行った。
【００４７】
以上の条件で得られた露光済みの基板の現像を行った。現像液は東京応化工業社製「ＣＦＰＲ現像液  Ｎ−Ａ３Ｋ」を２０倍希釈して用いた。現像装置はスプレー洗浄装置を用いて、６０秒行った後、直ちに純水高圧スプレー洗浄を行い現像液のリンスを行った。
【００４８】
次に、タバイエスッペック社製乾燥ベーク炉を用いてポストベークを行った。ポストベークの条件は、２１０℃で２０分間行いブラックマトリクス２を形成した。
【００４９】
次に、インクジェット印刷機を用いて、赤、緑、青の着色インクをブラックマトリクス２間に吐出後、タバイエスッペック社製乾燥炉で着色部３が平坦になるようにインクの溶媒を蒸発させた。
【００５０】
次に、アイグラフィック社製のメタルハライドランプを用いた紫外線硬化装置により着色部３のインクを光重合させ、最後に２３０℃の熱ベークを中央システムエンジニアリング社製ホットプレートで３分間行った。
【００５１】
このカラーフルタ基板の一部を、日立製作所社製走査電子顕微鏡Ｓ−４３００にて断面形状観察を行ったところ、ガラス基板１とブラックマトリクス２の側面のなす角度は４０°であり、ブラックマトリクス２の上端面部と着色部３とのなす角度が３０°であった。
【００５２】
前記カラーフィルタ基板１２上にＩＴＯ膜４を０．１４μｍの膜厚でスパッタリング法により全面に形成し、さらに、ポリイミドの配向膜５を０．１０μｍの膜厚でオフセット印刷法により全面に形成し、ラビングして第１の基板を形成した。次いで、ＴＦＴを画素毎に形成したアクティブマトリクス基板１１を用いて、ポリイミドの配向膜５を０．１０μｍの膜厚でオフセット印刷法により全面形成し、ラビングして第２の基板を形成した。この該第１基板と該第２基板とを電極面が相対向するように配置して、基板周辺をシール６して空セルを形成した。この該空セル内にネマチック液晶７を注入し、注入口（図示しない）を封止して液晶セルを作製した。この該液晶セルの両側に偏光板８を配置してアクティブマトリクス型の液晶表示素子を作製した。
【００５３】
この該液晶表示素子を用いて、ネマチック液晶７に電圧を印可し、その液晶の配向状態を観察したところ、画素の隅々まで液晶が規則正しく配列し、コントラスト低下等の表示欠陥なく美しいカラー表示が可能であった。
（実施の形態２）
ブラックレジスト材料と現像条件以外は、実施の形態１と全く同じ方法で、カラーフィルタ基板を作製した。
【００５４】
ブラックレジストとしては東京応化工業社製「ＣＦＰＲ  Ｂｋ−６２０Ｓ」を用いた。この材料は、前述のＣＦＰＲ  Ｂｋ−６１０Ｓの組成を変更して耐熱特性を多少低下させたものであり、ブラックマトリクスの上端面部と着色部とのなす角度のコントロールに有効であった。
【００５５】
また、前記材料を用いて現像時のサイドエッチングをコントロールするために、５５秒の現像時間とした。
【００５６】
このカラーフルタ基板の一部を、日立製作所社製走査電子顕微鏡Ｓ−４３００にて断面形状観察を行ったところ、ガラス基板とブラックマトリクスの側面のなす角度は６０°であり、ブラックマトリクスの上端面部と着色部とのなす角度が１８°であった。
【００５７】
このカラーフィルタ基板を用いて、該液晶表示素子を作製した。
【００５８】
この該液晶表示素子を用いて、ネマチック液晶に電圧を印可し、その液晶の配向状態を観察したところ、画素の隅々まで液晶が規則正しく配列し、コントラスト低下等の表示欠陥なく美しいカラー表示が可能であった。
（実施の形態３）
現像条件及びポストベーク条件以外は、実施の形態１と全く同じ方法で、カラーフィルタ基板を作製した。
【００５９】
前記材料を用いて現像時のサイドエッチングをコントロールするために、６５秒の現像時間とし、更に、ブラックマトリクスの上端面部と着色部とのなす角度をコントロールするために、ポストベークを、２３０℃で２５分で行った。
【００６０】
このカラーフルタ基板の一部を、日立製作所社製走査電子顕微鏡Ｓ−４３００にて断面形状観察を行ったところ、ガラス基板とブラックマトリクスの側面のなす角度は３５°であり、ブラックマトリクスの上端面部と着色部とのなす角度が２２°であった。
【００６１】
このカラーフィルタ基板を用いて、該液晶表示素子を作製した。
【００６２】
この該液晶表示素子を用いて、ネマチック液晶に電圧を印可し、その液晶の配向状態を観察したところ、画素の隅々まで液晶が規則正しく配列し、コントラスト低下等の表示欠陥なく美しいカラー表示が可能であった。
【００６３】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、樹脂ブラックマトリクスと着色部の段差部近傍において完全なラビング処理が行え、配向異常を生じさせない構成を提供することができる。
【００６４】
これにより、オーバーコートなしの構成で配向異常のない高品質なカラーフィルタ基板を実現し、およびこのカラーフィルタ基板を用いて、低価格で表示特性に優れた液晶表示素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）樹脂ブラックマトリクスにおける現像時の一般的な断面形状図
（ｂ）樹脂ブラックマトリクスにおけるポストベーク時の一般的な断面形状図
【図２】樹脂ブラックマトリクスの断面形状と着色部膜厚の関係図
【図３】本発明の実施の形態におけるカラーフィルタの断面形状図
【図４】液晶表示素子におけるラビング処理の模式図
【図５】本発明の液晶表示素子の一例を示す断面形状図
【符号の説明】
１  透明基板
２  ブラックマトリクス
３  着色部
４  ＩＴＯ膜
５  配向膜
６  シール
７  ネマチック液晶
８  偏光板
１１  アクティブマトリクス基板
１２  カラーフィルタ基板
１０１  ラビングローラー
１０２  ラビング用布
【図１】
0004069615.tif 000005
【図２】
0004069615.tif 000006
【図３】
0004069615.tif 000007
【図４】
0004069615.tif 000008
【図５】
0004069615.tif 000009