(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
グリーンシートが表面に形成されたキャリアフィルムを支持台に載置し、前記グリーンシート上に所定パターンの導体をスクリーン印刷するスクリーン印刷装置において、
前記支持台の表面を摩擦係数が小さいなめらかな多孔質体で形成するとともに、この多孔質体を介してキャリアフィルムを支持台方向に吸引する吸引手段を備え、
前記支持台の内側には前記多孔質体が少なくとも一部の壁を構成する気室が形成されており、前記吸引手段は該気室内の空気を吸引し、
前記支持台の気室内に多孔質体の歪みを防止する補強部材を設け、
前記支持台の気室を複数の小気室に分割するとともに、前記吸引手段は各小気室の空気をそれぞれ独立して吸引可能とし、
多孔質体表面の吸引領域が時間を追って広がるように各小気室の吸引開始時に時間差を設けて前記吸引手段を制御する制御手段を備えた
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
グリーンシートが表面に形成されたキャリアフィルムを支持台に載置し、前記グリーンシート上に所定パターンの導体をスクリーン印刷するスクリーン印刷装置において、
前記支持台の表面を多孔質体で形成するとともに、この多孔質体を介してキャリアフィルムを支持台方向に吸引する吸引手段を備え、
前記支持台の内側には前記多孔質体が少なくとも一部の壁を構成する複数の小気室からなる気室が形成され、前記吸引手段は各小気室内の空気をそれぞれ独立に吸引するとともに、
多孔質体表面の吸引領域が時間を追って広がるように各小気室の吸引開始時に時間差を設けて前記吸引手段を制御する制御手段を備えた
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項３】
前記支持台の気室内に多孔質体の歪みを防止する補強部材を設けた
ことを特徴とする請求項２記載のスクリーン印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、グリーンシートに所定パターンの導体を印刷するスクリーン印刷装置にするものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種のスクリーン印刷装置としては図１９に示すようなものが知られている。図１９は従来のスクリーン印刷装置の概略構成図である。このスクリーン印刷装置は、予め表面にセラミックグリーンシート１０１を形成した帯状のキャリアフィルム１０２と、このキャリアフィルム１０２を収容した供給リール１０３と、供給リール１０３から引き出したキャリアフィルム１０２を巻き取る巻き取りリール１０４と、引き出したキャリアフィルム１０２に形成されているセラミックグリーンシート１０１に対して導電性ペースト１０５をスクリーン印刷するスクリーン１０６・スキージ１０７・支持台１０８と、セラミックグリーンシート１０１に印刷された導電性ペースト１０５を乾燥させる乾燥装置１０９とを備えている。
【０００３】
支持台１０８はキャリアフィルム１０２を挟んでスクリーン１０６と対向した位置に配置されている。支持台１０８は、内側に気室１１０ａが形成された支持台本体１１０と、キャリアフィルム１０２を支持するとともにキャリアフィルム１０２の移動とともに回転するベルト１１１とを備えている。ベルト１１１はメッシュ状の部材により形成されている。気室１１０ａにはエアポンプ１１２が接続されており、このエアポンプ１１２により気室１１０ａに負圧・正圧を作用させることができる。
【０００４】
このようなスクリーン印刷装置は制御装置１１３の制御により以下のように動作する。まず、エアポンプ１１２が気室１１０ａに負圧を作用させることによりメッシュ状のベルト１１１を介してキャリアフィルム１０２を支持台１０８に吸引する。これによりキャリアフィルム１０２が支持台１０８に保持される。そして、この状態でスクリーン１０６及びスキージ１０７を用いてセラミックグリーンシート１０１に導電性ペースト１０５を印刷する。印刷が終了すると、エアポンプ１１２は気室１１０ａに対する負圧の作用を解除するとともに正圧をわずかに作用させ、支持台１０８へのキャリアフィルム１０２の吸着を解除する。この後に、巻き取りリール１０４及び供給リール１０３を回転させキャリアフィルム１０２を所定距離移動させる。このとき、キャリアテープ１０２の損傷等を防止するため、ベルト１１１はキャリアフィルム１０２の移動とともに該移動方向に回転移動させる。以上の動作を連続して行うことにより、セラミックグリーンシート１０１の表面に導電性ペースト１０５が印刷される。
【０００５】
一方、キャリアフィルム１０２は巻き取りリール１０４で巻き取られるより前に乾燥装置１０９内を通過する。この乾燥装置１０９内においてセラミックグリーンシート１０１に印刷された導電性ペースト１０５が乾燥される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このスクリーン印刷装置では、ベルト１１１の耐久性が十分に確保できず、このため煩雑なベルト１１１の交換作業を頻繁に行う必要があるという問題があった。これは、ベルト１１１がキャリアフィルム１０２とともに回転移動するためであると考えられる。しかし、ベルト１１１には通気性を持たす必要があるため、ベルト１１１の材質変更によって問題解決を図るには至らなかった。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、耐久性が高くメンテナンス頻度を低減できるスクリーン印刷装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１では、グリーンシートが表面に形成されたキャリアフィルムを支持台に載置し、前記グリーンシート上に所定パターンの導体をスクリーン印刷するスクリーン印刷装置において、前記支持台の表面を摩擦係数が小さいなめらかな多孔質体で形成するとともに、この多孔質体を介してキャリアフィルムを支持台方向に吸引する吸引手段を備え、前記支持台の内側には前記多孔質体が少なくとも一部の壁を構成する気室が形成されており、前記吸引手段は該気室内の空気を吸引し、前記支持台の気室内に多孔質体の歪みを防止する補強部材を設け、前記支持台の気室を複数の小気室に分割するとともに、前記吸引手段は各小気室の空気をそれぞれ独立して吸引可能とし、多孔質体表面の吸引領域が時間を追って広がるように各小気室の吸引開始時に時間差を設けて前記吸引手段を制御する制御手段を備えたことを特徴とするものを提案する。
【０００９】
本発明によれば、支持台表面が摩擦係数が小さいなめらかな多孔質体で形成されているので、吸引手段により該多孔質体を介してキャリアフィルムを支持台表面に吸引及び保持することができる。ここで、キャリアフィルムと接する支持台表面が多孔質体で形成されているので、耐久性の高いものとなる。また、前記支持台の内側には、前記多孔質体が少なくとも一部の壁を構成する気室が形成され、該気室の空気を吸引するので、多孔質体表面の吸引力を均一にすることができる。特に、前記気室が複数の小気室に分割されているので、多孔質体表面の吸引力分布を任意に設定することができる。さらに、キャリアテープの吸引が多孔質体表面で同時に行われないので、キャリアテープの吸引時に多孔質表面との間に気泡等を閉じ込めたり、キャリアテープのずれや皺を発生させることなく、安定した吸引及び保持を実現できる。さらに、本発明によれば、吸引手段により気室が負圧となり多孔質体に圧力がかかっても、補強部材により歪みの発生を防止できる。これにより、支持台表面を安定した面に保てるので、キャリアテープにずれや皺が生じることがない。特に、生産性向上のために印刷面積を大きくすると多孔質体のひずみが大きくなり印刷精度が悪化しやすいが、本発明では補強部材を設けたので当該印刷精度の悪化を防止することができる。また、補強部材を用いることにより、例えば低硬度のものや薄型形状のものなど多様な多孔質体を用いることができる。
【００１４】
また、請求項２では、グリーンシートが表面に形成されたキャリアフィルムを支持台に載置し、前記グリーンシート上に所定パターンの導体をスクリーン印刷するスクリーン印刷装置において、前記支持台の表面を多孔質体で形成するとともに、この多孔質体を介してキャリアフィルムを支持台方向に吸引する吸引手段を備え、前記支持台の内側には前記多孔質体が少なくとも一部の壁を構成する複数の小気室からなる気室が形成され、前記吸引手段は各小気室内の空気をそれぞれ独立に吸引するとともに、多孔質体表面の吸引領域が時間を追って広がるように各小気室の吸引開始時に時間差を設けて前記吸引手段を制御する制御手段を備えたことを特徴とするものを提案する。
【００１５】
本発明によれば、支持台表面が多孔質体で形成されているので、吸引手段により該多孔質体を介してキャリアフィルムを支持台表面に吸引及び保持することができる。ここで、キャリアフィルムと接する支持台表面が多孔質体で形成されているので、耐久性の高いものとなる。また、前記支持台の内側には、前記多孔質体が少なくとも一部の壁を構成する気室が形成され、該気室の空気を吸引するので、多孔質体表面の吸引力を均一にすることができる。これにより、吸引力の不均一から生じるキャリアテープのずれや皺を発生させることなく、安定した吸引及び保持を実現できる。キャリアテープの吸引が多孔質体表面で同時に行われないので、キャリアテープの吸引時に多孔質表面との間に気泡等を閉じ込めたり、キャリアテープのずれや皺を発生させることなく、安定した吸引及び保持を実現できる。
【００１６】
また、請求項３では、請求項２記載のスクリーン印刷装置において、前記記支持台の気室内に多孔質体の歪みを防止する補強部材を設けたことを特徴とするものを提案する。
【００１７】
本発明によれば、吸引手段により気室が負圧となり多孔質体に圧力がかかっても、補強部材により歪みの発生を防止できる。これにより、支持台表面を安定した面に保てるので、キャリアテープにずれや皺が生じることがない。特に、生産性向上のために印刷面積を大きくすると多孔質体のひずみが大きくなり印刷精度が悪化しやすいが、本発明では補強部材を設けたので当該印刷精度の悪化を防止することができる。また、補強部材を用いることにより、例えば低硬度のものや薄型形状のものなど多様な多孔質体を用いることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態に係るスクリーン印刷装置について図１及び図２を参照して説明する。図１は第１の実施の形態に係るスクリーン印刷装置の構成図、図２は第１の実施の形態に係る支持台の分解斜視図である。
【００１９】
このスクリーン印刷装置は、例えば積層セラミックコンデンサ・積層セラミックインダクタ・セラミック多層基板などの製造工程において用いるセラミックグリーンシートの上面に、これら積層部品等の内部電極や導体パターン形成用の導電性ペーストを印刷する装置である。
【００２０】
このスクリーン印刷装置は、図１に示すように、予め表面にセラミックグリーンシート１を形成した帯状のキャリアフィルム２と、このキャリアフィルム２を収容した供給リール３と、供給リール３から引き出したキャリアフィルム２を巻き取る巻き取りリール４とを備えている。キャリアフィルム２は例えばポリエチレンテフタレート（ＰＥＴ）を主成分としたものが用いられる。セラミックグリーンシート１は、ドクターブレード法などによりキャリアフィルム２上に予め形成されている。
【００２１】
供給リール３と巻き取りリール４との間には、供給リール３から巻き取りリール４へと移動するセラミックグリーンシート１の表面に導電性ペースト５をスクリーン印刷するスクリーン６・スキージ７・支持台８が配置されている。また、スクリーン６に対して巻き取りリール４側には、セラミックグリーンシート１に印刷された導電性ペースト５を乾燥させる乾燥装置９が配置されている。
【００２２】
支持台８は、キャリアフィルム２を介してスクリーン６と対向する位置に配置されており、スクリーン印刷の際にセラミックグリーンシート１が平面となるようにキャリアフィルム２を支持する。
【００２３】
支持台８は、上面開口した箱状の支持台本体１０と、支持台本体１０の上面開口を閉鎖する平板状の多孔質板１１とを備えている。多孔質板１１は支持台本体１０の内壁面に段差を設けることによって形成した支持部１０ａにより周縁部が支持されている。多孔質板１１の上面は支持台本体１０の上面と面一となっている。支持台８の内側には、この支持台本体１０と多孔質板１１とにより気室１２が形成されている。すなわち、気室１２の壁の一部は多孔質板１１からなる。
【００２４】
前記多孔質板１１は、例えばセラミック焼結体、例えばジルコニア焼結金属体などの通気性を有する多孔質部材からなり、例えば気孔率が６０〜８０％程度、気孔径が１０〜２００μｍ程度のものが用いられる。また、多孔質板１１の表面は、キャリアフィルム２が上面を擦動しても多孔質板１１及びキャリアフィルム２の双方に損傷が発生しなように、摩擦係数の小さい滑らかなものが好ましい。
【００２５】
支持台本体１０の底面には通気口１０ｂが形成されている。通気口１０ｂにはパイプ１３を介してエアポンプ１４が接続されている。このエアポンプ１４は制御装置１５により駆動制御され、気室１２に正圧及び負圧を作用可能としている。これにより、エアポンプ１４の駆動により気室１２に負圧を作用させると、多孔質板１１を介してキャリアフィルム２が多孔質板１１の上面方向に吸引され、多孔質板１１の上面に保持される。また、この状態で気室１２への負圧の作用を解除すれば、キャリアフィルム２の多孔質板１１への吸着が解除される。さらに気室１２に正圧を作用させれば、多孔質板１１への吸着が積極的に解除され、キャリアフィルム２と多孔質板１１との間に僅かな間隙を形成することができる。
【００２６】
このようなスクリーン印刷装置は、制御装置１５の制御により以下のように動作する。まず、エアポンプ１４が気室１２に負圧を作用させることにより多孔質板１１を介してキャリアフィルム２を支持台８に吸引する。これによりキャリアフィルム２が支持台８に固定される。そして、この状態でスクリーン６及びスキージ７を用いてセラミックグリーンシート１に導電性ペースト５を印刷する。印刷が終了すると、エアポンプ１４は気室１２に対する負圧の作用を解除するとともに正圧をわずかに作用させる。これにより、支持台８へのキャリアフィルム２の吸着が解除され、支持台８とキャリアフィルム２との間に僅かな間隙が生じる。この後に、巻き取りリール４及び供給リール３を回転させキャリアフィルム２を所定距離移動させる。このキャリアフィルム２の移動中は、気室１２に対する正圧の作用を維持しておく。以上の動作を連続して行うことにより、セラミックグリーンシート１の表面に所定パターンの導電性ペースト５が印刷される。
【００２７】
一方、キャリアフィルム２は巻き取りリール４で巻き取られる前に乾燥装置９内を通過する。この乾燥装置９内においてセラミックグリーンシート１に印刷された導電性ペースト５が乾燥される。
【００２８】
このように、本実施の形態にかかるスクリーン印刷装置は、支持台８の上面が多孔質板１１で構成されているので、従来のメッシュベルトを用いたものと比較して高い耐久性を有している。したがって、支持台のメンテナンス頻度が低減した利便性の高いものとなる。
【００２９】
（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態に係るスクリーン印刷装置について図３を参照して説明する。図３は第２の実施の形態に係る支持台の分解斜視図である。
【００３０】
本実施の形態と第１の実施の形態に係るスクリーン印刷装置の相違点は、支持台の構造にあり、他の構成については同様である。そこで、ここでは支持台の構成のみについて説明し、他の構成については説明を省略する。
【００３１】
本実施の形態にかかる支持台２０は、上面開口した箱状の支持台本体２１と、支持台本体２１の上面開口を閉鎖する平板状の多孔質板２２と、多孔質板２２に歪みが生じることを防止するための補強板２３を備えている。
【００３２】
補強板２３は、少なくとも多孔質板２２よりも剛性の高い材質からなる。例えば鉄板などである。この補強板２３には多数の通気孔２３ａが形成されている。補強板２３は、支持台本体２１の内壁面に段差を設けることによって形成した支持部２１ａにより周縁部が支持されている。多孔質板２２は、補強板２３の上に重ねて配置されている。多孔質板２２の上面は支持台本体２１の上面と面一となっている。支持台８の内側には、この支持台本体２１と多孔質板２２及び補強板２３とにより気室２４が形成されている。すなわち、気室２４の壁の一部は、補強板２３の通気孔２３ａから露出した多孔質板２２からなる。なお、多孔質板２２の材質等は第１の実施の形態と同様である。
【００３３】
支持台本体２１の底面には通気口２１ｂが形成されている。通気口２１ｂにはパイプ（図示省略）を介してエアポンプ（図示省略）が接続されている。このエアポンプは制御装置（図示省略）により駆動制御され、気室２４に正圧及び負圧を作用可能としている。これにより、エアポンプの駆動により気室２４に負圧を作用させると、多孔質板２２の上方にあるキャリアフィルムが多孔質板２２の上面方向に吸引され、該多孔質板２２の上面に保持される。また、この状態で気室２４への負圧の作用を解除すれば、キャリアフィルムの多孔質板２２への吸着が解除される。さらに気室２４に正圧を作用させれば、多孔質板２２への吸着が積極的に解除され、キャリアフィルムと多孔質板２２との間に僅かな間隙を形成することができる。
【００３４】
このように本実施の形態にかかる支持台２０では、多孔質板２２の気室２４側に補強板２３が配置されているので、スクリーン印刷の際にスキージが押し当てられても多孔質板２２の歪み・変形を防止できる。また、同様に、気室２４が負圧となることによる多孔質板２２の歪み・変形を防止できる。したがって、多孔質板２２の歪み・変形によるセラミックグリーンシートのずれや皺の発生を防止できるので、確実にスクリーン印刷を行うことができる。このことは、生産性向上のために印刷面積を大きくしたときに特に有効である。すなわち、一般に印刷面積の拡大とともに多孔質板２２の歪み・変形が生じやすく、このため印刷精度が悪化するが、本実施の形態にかかる支持台２０では当該歪み・変形が生じにくいので、印刷精度を低下させることなく印刷面積を拡大することができる。他の効果については第１の実施の形態と同様である。
【００３５】
（第３の実施の形態）
本発明の第３の実施の形態にかかるスクリーン印刷装置について図４を参照して説明する。図４は第３の実施の形態に係る支持台の分解斜視図である。
【００３６】
本実施の形態と第１の実施の形態に係るスクリーン印刷装置の相違点は、支持台の構造にあり、他の構成については同様である。そこで、ここでは支持台の構成のみについて説明し、他の構成については説明を省略する。
【００３７】
本実施の形態にかかる支持台３０は、上面開口した箱状の支持台本体３１と、支持台本体３１の上面開口を閉鎖する平板状の多孔質板３２とを備えている。支持台本体３１は、内壁面に段差を設けることにより形成した第１支持部３１ａと、第１支持部３１ａと上面が同一であり対向する壁面に亘って架設された第２支持部３１ｂとを備えている。多孔質板３２は、支持台本体３１の第１支持部３１ａによる周縁部が支持され、第２支持部３１ｂにより中央部が支持されている。多孔質板３２の上面は支持台本体３１の上面と面一となっている。支持台３０の内側には、この支持台本体３１と多孔質板３２とにより気室３３が形成されている。すなわち、気室３３の壁の一部は多孔質板３２からなる。なお、多孔質板２２の材質等は第１の実施の形態と同様である。
【００３８】
支持台本体３１の底面には通気口３１ｃが形成されている。通気口３１ｃにはパイプ（図示省略）を介してエアポンプ（図示省略）が接続されている。このエアポンプは制御装置（図示省略）により駆動制御され、気室３３に正圧及び負圧を作用可能としている。これにより、エアポンプの駆動により気室３３に負圧を作用させると、多孔質板３２の上方にあるキャリアフィルムが多孔質板３２の上面方向に吸引され、該多孔質板３２の上面に保持される。また、この状態で気室３３への負圧の作用を解除すれば、キャリアフィルムの多孔質板３２への吸着が解除される。さらに気室３３に正圧を作用させれば、多孔質板３２への吸着が積極的に解除され、キャリアフィルムと多孔質板３２との間に僅かな間隙を形成することができる。
【００３９】
このように本実施の形態にかかる支持台３０では、多孔質板３２の気室３３側に補強部材である第２支持部３１ｂが多孔質板３２の中央部を支持するように形成されているで、スクリーン印刷の際にスキージが押し当てられても多孔質板３２の歪み・変形を防止できる。また、同様に、気室３３が負圧となることによる多孔質板３２の歪み・変形を防止できる。したがって、多孔質板３２の歪み・変形によるセラミックグリーンシートのずれや皺の発生を防止できるので、確実にスクリーン印刷を行うことができる。このことは、生産性向上のために印刷面積を大きくしたときに特に有効である。すなわち、一般に印刷面積の拡大とともに多孔質板３２の歪み・変形が生じやすく、このため印刷精度が悪化するが、本実施の形態にかかる支持台３０では当該歪み・変形が生じにくいので、印刷精度を低下させることなく印刷面積を拡大することができる。他の効果については第１の実施の形態と同様である。
【００４０】
（第４の実施の形態）
本発明の第４の実施の形態にかかるスクリーン印刷装置について図５及び図６を参照して説明する。図５は第４の実施の形態に係る支持台の分解斜視図、図６は図５にかかる支持台のＡＡ’線矢視方向断面図である。
【００４１】
本実施の形態と第１の実施の形態に係るスクリーン印刷装置の相違点は、支持台の構造にあり、他の構成については同様である。そこで、ここでは支持台の構成のみについて説明し、他の構成については説明を省略する。
【００４２】
本実施の形態にかかる支持台４０は、上面に４つの矩形の開口部を形成した箱状の支持台本体４１と、支持台本体４１の各開口部を閉鎖する平板状の４つの多孔質板４２とを備えている。支持台本体４１は、対向する壁面に亘って懸架された枠４１ａにより上面が４分割されている。枠４１ａの下縁部及び支持台本体４１の内壁面には開口部の内側に向かって形成された支持部４１ｂが形成されている。各多孔質板４２は各開口部において該支持部４１ｂにより周縁部が支持される。多孔質板４２の上面は支持台本体４１の上面と面一となっている。支持台４０の内側には、この支持台本体４１と多孔質板４２とにより一つの気室４３が形成されている。すなわち、気室４３の壁の一部は多孔質板４２からなる。なお、多孔質板４２の材質等は第１の実施の形態と同様である。
【００４３】
支持台本体４１の底面には通気口４１ｃが形成されている。通気口４１ｃにはパイプ４４を介してエアポンプ（図示省略）が接続されている。このエアポンプは制御装置（図示省略）により駆動制御され、気室４３に正圧及び負圧を作用可能としている。これにより、エアポンプの駆動により気室４３に負圧を作用させると、多孔質板４２の上方にあるキャリアフィルムが多孔質板４２の上面方向に吸引され、該多孔質板４２の上面に保持される。また、この状態で気室４３への負圧の作用を解除すれば、キャリアフィルムの多孔質板４２への吸着が解除される。さらに気室４３に正圧を作用させれば、多孔質板４２への吸着が積極的に解除され、キャリアフィルムと多孔質板４２との間に僅かな間隙を形成することができる。
【００４４】
このように本実施の形態にかかる支持台４０では、上面に４つの多孔質板４２が配置されている。これにより、第１の実施の形態と比較して多孔質板４２の面積が小さくなるので、多孔質板４２の歪み・変形を防止できる。したがって、多孔質板４２の歪み・変形によるセラミックグリーンシートのずれや皺の発生を防止できるので、確実にスクリーン印刷を行うことができる。このことは、生産性向上のために印刷面積を大きくしたときに特に有効である。他の効果については第１の実施の形態と同様である。
【００４５】
（第５の実施の形態）
本発明の第５の実施の形態にかかるスクリーン印刷装置について図７乃至図９を参照して説明する。図７は第５の実施の形態に係る支持台の分解斜視図、図８は図７にかかる支持台のＢＢ’線矢視方向断面図、図９は第５の実施の形態にかかる支持台の吸引構造を説明する図である。
【００４６】
本実施の形態と第１の実施の形態に係るスクリーン印刷装置の主な相違点は、支持台の構造及び吸引構造にあり、他の構成については同様である。そこで、ここでは支持台の構成及び吸引構造のみについて説明し、他の構成については説明を省略する。
【００４７】
本実施の形態にかかる支持台５０は、上面に４つの矩形の開口部を形成した箱状の支持台本体５１と、支持台本体５１の各開口部を閉鎖する平板状の４つの多孔質板５２とを備えている。支持台本体５１は、対向する壁面に亘って形成された仕切壁５１ａが設けられている。仕切壁５１ａの上面は支持台本体５１の上面と面一になっている。支持台本体５１の内壁面及び仕切壁５１ａには段差を設けることにより支持部５１ｂが形成されている。各多孔質板５２は、各開口部において該支持部５１ｂにより周縁部が支持される。多孔質板５２の上面は支持台本体５１の上面と面一となっている。支持台５０の内側には、この支持台本体５１及び仕切壁５１ａ並びに多孔質板５２により仕切られた４つの気室５３が形成されている。すなわち、各気室５３の壁の一部は多孔質板５２からなる。なお、多孔質板５２の材質等は第１の実施の形態と同様である。
【００４８】
支持台本体５１の各気室５３の底面にはそれぞれ通気口５１ｃが形成されている。通気口５１ｃにはそれぞれパイプ５４が接続されている。図９に示すように、各パイプ５４は、主パイプ５５に合流するように接続されており、主パイプ５５を介してエアポンプ５６が接続されている。エアポンプ５６は制御装置５７により駆動制御され、各気室５３に対して同時に正圧及び負圧を作用可能としている。これにより、エアポンプ５６の駆動により各気室５３に負圧を作用させると、多孔質板５２の上方にあるキャリアフィルムが多孔質板５２の上面方向に吸引され、多孔質板５２の上面に保持される。また、この状態で各気室５３への負圧の作用を解除すれば、キャリアフィルムの多孔質板５２への吸着が解除される。さらに気室５３に正圧を作用させれば、多孔質板５２への吸着が積極的に解除され、キャリアフィルムと多孔質板５２との間に僅かな間隙を形成することができる。
【００４９】
このように本実施の形態にかかる支持台５０では、上面が４つの多孔質板５２が配置されている。これにより、第１の実施の形態と比較して多孔質板５２の面積が小さくなるので、多孔質板５２の歪み・変形を防止できる。このことは、生産性向上のために印刷面積を大きくしたときに特に有効である。また、支持台５０の内側には複数の気室５４が形成されているので、第１の実施の形態と比較して、多孔質板５２の上面において吸引力のムラを防止できる。したがって、セラミックグリーンシートのずれや皺の発生を防止できるので、確実にスクリーン印刷を行うことができる。他の効果については第１の実施の形態と同様である。
【００５０】
なお、本実施の形態では、パイプ５４を１つの主パイプ５５に合流させ一つのエアポンプ５６により各気室５３の吸引等を行っていたが、図１０に示すように、各パイプ５４にそれぞれエアポンプ５６を接続するようにしてもよい。また、図１１に示すように、各パイプ５４にバルブ５８を設け、該バルブ５８を制御装置５７により吸引等のオン・オフを制御するようにしてもよい。図１０及び図１１で示した例では、各気室５３に対する吸引等のオン・オフの制御をそれぞれ独立に行うことができるが、この場合には当該オン・オフのタイミングを各気室５３で同時に行っても、時間差を設けて行ってもよい。
【００５１】
（第６の実施の形態）
本発明の第６の実施の形態にかかるスクリーン印刷装置について図１２及び図１３を参照して説明する。図１２は第６の実施の形態に係る支持台の分解斜視図、図１３は図１２にかかる支持台のＣＣ’線矢視方向断面図である。
【００５２】
本実施の形態と第１の実施の形態に係るスクリーン印刷装置の主な相違点は、支持台の構造及び吸引構造にあり、他の構成については同様である。そこで、ここでは支持台の構成及び吸引構造のみについて説明し、他の構成については説明を省略する。
【００５３】
本実施の形態にかかる支持台６０は、上面開口の箱状の支持台本体６１と、支持台本体６１の開口部を閉鎖する平板状の多孔質板６２とを備えている。支持台本体６１は、対向する壁面に亘って形成された仕切壁６１ａが設けられている。仕切壁６１ａの上面は、支持台本体６１の内壁面に段差をもうけることによって形成された支持部６１ｂの上面と面一になっている。多孔質板６２は、支持部６１ｂにより周縁部が支持され、仕切壁６１ａにより中央部が支持される。多孔質板６２の上面は支持台本体６１の上面と面一となっている。支持台６０の内側には、この支持台本体６１及び仕切壁６１ａ並びに多孔質板６２により仕切られた４つの気室６３が形成されている。すなわち、各気室６３の壁の一部は多孔質板６２からなる。なお、多孔質板６２の材質等は第１の実施の形態と同様である。
【００５４】
支持台本体６１の各気室６３の底面にはそれぞれ通気口６１ｃが形成されている。通気口６１ｃにはそれぞれパイプ６４が接続されている。各パイプ６４は、第５の実施の形態と同様に、主パイプ（図示省略）に合流するように接続されており該主パイプを介してエアポンプ（図示省略）が接続されている。このエアポンプは制御装置（図示省略）により駆動制御され、各気室６３に対して同時に正圧及び負圧を作用可能としている。これにより、エアポンプの駆動により各気室６３に負圧を作用させると、多孔質板６２の上方にあるキャリアフィルムが多孔質板６２の上面方向に吸引され、上面に保持される。また、この状態で各気室６３への負圧の作用を解除すれば、キャリアフィルムの多孔質板６２への吸着が解除される。さらに気室６３に正圧を作用させれば、多孔質板６２への吸着が積極的に解除され、キャリアフィルムと多孔質板６２との間に僅かな間隙を形成することができる。
【００５５】
このように本実施の形態にかかる支持台６０では、多孔質板６２の中央部が仕切壁６１ａにより支持されているので、スクリーン印刷の際にスキージが押し当てられても多孔質板６２の歪み・変形を防止できる。また、同様に、各気室６３が負圧となることによる多孔質板６２の歪み・変形を防止できる。このことは、生産性向上のために印刷面積を大きくしたときに特に有効である。すなわち、一般に印刷面積の拡大とともに多孔質板６２の歪み・変形が生じやすく、このため印刷精度が悪化するが、本実施の形態にかかる支持台６０では当該歪み・変形が生じにくいので、印刷精度を低下させることなく印刷面積を拡大することができる。さらに、支持台６０の内側には複数の気室６４が形成されているので、第１の実施の形態と比較して、多孔質板６２の上面において吸引力のムラを防止できる。したがって、セラミックグリーンシートのずれや皺の発生を防止できるので、確実にスクリーン印刷を行うことができる。他の効果については、第１の実施の形態と同様である。
【００５６】
なお、本実施の形態では、パイプ６４を１つの主パイプに合流させ一つのエアポンプにより各気室６３の吸引等を行っていたが、第５の実施の形態において図１０及び図１１を参照して説明したように、各パイプ６４にそれぞれエアポンプを接続したり、各パイプ６４にバルブ（図示省略）を設け、該バルブを制御装置により吸引等のオン・オフを制御するようにしてもよい。
【００５７】
（第７の実施の形態）
本発明の第７の実施の形態にかかるスクリーン印刷装置について図１４乃至図１８を参照して説明する。図１４は第７の実施の形態に係る支持台の多孔質板を取り除いた上面平面図、図１５〜図１８は第７の実施の形態に係る支持台における吸引方法を説明する図である。
【００５８】
本実施の形態と第６の実施の形態に係るスクリーン印刷装置の主な相違点は、支持台の構造及び吸引制御にあり、他の構成については同様である。そこで、ここでは支持台の構成及び吸引制御のみについて説明し、他の構成については説明を省略する。
【００５９】
本実施の形態にかかる支持台７０が、第６の実施の形態にかかる支持台６０と相違する主な点は、内側に形成される気室の数にある。すなわち、支持台７０は、上面開口の支持台本体７１と、支持台本体７１の開口部を閉鎖する平板状の多孔質板（図１４では図示省略）とを備えている。支持台本体７１は、対向する壁面に亘って形成された多数の仕切壁７１ａが設けられている。仕切壁７１ａの上面は、支持台本体７１の内壁面に段差をもうけることによって形成された支持部（図示省略）の上面と面一になっている。多孔質板は、支持部により周縁部が支持され、仕切壁７１ａにより中央部が支持される。多孔質板の上面は支持台本体７１の上面と面一となっている。支持台７０の内側には、この支持台本体７１及び仕切壁７１ａ並びに多孔質板により仕切られた多数（図１４では８１個）の気室７３が形成されている。すなわち、各気室７３の壁の一部は多孔質板７２からなる。なお、多孔質板の材質等は第１の実施の形態と同様である。
【００６０】
支持台本体７１の各気室７３の底面にはそれぞれ通気口７１ｃが形成されている。通気口７１ｃにはそれぞれパイプ（図示省略）が接続されている。各パイプは、第５の実施の形態において図１１を参照して説明したように、バルブ（図示省略）を介して主パイプ（図示省略）に合流し、該主パイプを介してエアポンプ（図示省略）が接続されている。このエアポンプ及び各バルブは制御装置（図示省略）により駆動制御され、各気室７３に対して個別に正圧及び負圧を作用可能としている。これにより、エアポンプの駆動により各気室７３に負圧を作用させると、多孔質板の上方にあるキャリアフィルムが多孔質板の上面方向に吸引され、上面に保持される。また、この状態で各気室７３への負圧の作用を解除すれば、キャリアフィルムの多孔質板への吸着が解除される。さらに気室７３に正圧を作用させれば、多孔質板への吸着が積極的に解除され、キャリアフィルムと多孔質板７２との間に僅かな間隙を形成することができる。
【００６１】
ここで、キャリアフィルムの吸引時の動作について詳述する。本実施の形態では、図１５〜図１８に示すように、キャリアフィルム７４を吸引する際には、多孔質板７２の上面における吸引領域が時間とともに増大するように制御する。なお、図１５〜図１８においてハッチング（斜線）を付した領域は、エアポンプの駆動により負圧が作用して吸引が行われている領域を示している。
【００６２】
例えば、図１５では、キャリアフィルム７４の進行方向に対して前方から後方に向かって吸引領域が増大するように、各気室７３に接続しているパイプに対応するバルブを制御している。また、図１６では、キャリアフィルム７４の進行方向に直交する方向に向かって吸引領域が増大するように、各気室７３に接続しているパイプに対応するバルブを制御している。さらに、図１７では、キャリアフィルム７４の進行方向に関係なく、多孔質板７２の中心部から周縁部に向かって吸引領域が増大するように、各気室７３に接続しているパイプに対応するバルブを制御している。さらに、図１８では、キャリアフィルム７４の進行方向に対して前方端部から斜め後方に向かって吸引領域が増大するように、各気室７３に接続しているパイプに対応するバルブを制御している。
【００６３】
このように本実施の形態にかかる支持台７０では、キャリアフィルム７４を吸引する際には、多孔質板７２の上面における吸引領域が時間とともに増大するように制御しているので、キャリアフィルム７４と多孔質板７２との間に気泡が閉じ込められることない。したがって、キャリアフィルム７４のずれや皺の発生を防止できるので、確実にスクリーン印刷を行うことができる。他の効果については第６の実施の形態と同様である。
【００６４】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、支持台表面が多孔質体で形成されているので、吸引手段により該多孔質体を介してキャリアフィルムを支持台表面に吸引及び保持することができる。ここで、キャリアフィルムと接する支持台表面が多孔質体で形成されているので、耐久性の高いものとなる。したがって、支持台のメンテナンス頻度が低減した利便性の高いものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係るスクリーン印刷装置の構成図
【図２】第１の実施の形態に係る支持台の分解斜視図
【図３】第２の実施の形態に係る支持台の分解斜視図
【図４】第３の実施の形態に係る支持台の分解斜視図
【図５】第４の実施の形態に係る支持台の分解斜視図
【図６】図５にかかる支持台のＡＡ’線矢視方向断面図
【図７】第５の実施の形態に係る支持台の分解斜視図
【図８】図７にかかる支持台のＢＢ’線矢視方向断面図
【図９】第５の実施の形態にかかる支持台の吸引構造を説明する図
【図１０】第５の実施の形態にかかる支持台の他の例の吸引構造を説明する図
【図１１】第５の実施の形態にかかる支持台の他の例の吸引構造を説明する図
【図１２】第６の実施の形態に係る支持台の分解斜視図
【図１３】図１２にかかる支持台のＣＣ’線矢視方向断面図
【図１４】第７の実施の形態に係る支持台の多孔質板を取り除いた上面平面図
【図１５】第７の実施の形態に係る支持台における吸引方法を説明する図
【図１６】第７の実施の形態に係る支持台における吸引方法を説明する図
【図１７】第７の実施の形態に係る支持台における吸引方法を説明する図
【図１８】第７の実施の形態に係る支持台における吸引方法を説明する図
【図１９】従来のスクリーン印刷装置の概略構成図
【符号の説明】
１…セラミックグリーンシート、２…キャリアテープ、３…供給リール、４…巻き取りリール、５…導電性ペースト、６…スクリーン、７…スキージ、８，２０，３０，４０，５０，６０，７０…支持台、９…乾燥装置、１０，２１，３１，４１，５１，６１，７１…支持台本体、１１，２２，３２，４２，５２，６２，７２…多孔質板、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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