(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージに保持されたワークに、ヘッドに保持されたテープを貼り付けるテープ貼付装置において、
前記ワークの表面に平行な方向に前記ヘッドを前記ステージに対して移動させる駆動機構を有し、
前記ヘッドは、
前記ワークの表面に対して傾斜し、前記テープを保持するテーパ面と、
前記テープを前記ワークに押し当て可能な弾性体とを有し、
前記テーパ面は前記テープを真空吸着する吸着孔を有し、
前記ヘッドによって保持された前記テープを前記テーパ面において位置決めするテープ位置決め部を有し、
前記テープ位置決め部は前記テープが突き当てられて直交する二方向で前記テープを整列する一対のブロックを有し、
前記ステージは前記ワークと前記テープを位置合わせするために前記ワークの表面と垂直な方向に対して回転可能に構成され、
前記テーパ面に保持された前記テープの一部を前記ワークに接着した状態で前記ヘッドが前記平行な方向に移動して前記弾性体が前記テープの残りを前記ワークに貼り付けることを特徴とするテープ貼付装置。
【請求項２】
前記ヘッドは、前記弾性体の前記ワークに対する押圧力を一定に維持する緩衝手段を更に有することを特徴とする請求項１記載のテープ貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークの表面を保護する保護テープを当該ワークに貼り付けるためのテープ貼付装置に係り、特に小型のワーク、例えば半導体チップに対して気泡やしわを入れることなく保護テープを貼り付けるためのテープ貼付装置に好適である。
【０００２】
【従来の技術】
電子機器に使用される半導体チップを製造するプロセスは、リソグラフィ技術によって半導体ウェハ上に回路を形成する前工程と、かかる半導体ウェハから半導体チップを製造する後工程とを含む。後工程は、例えば、ダイシング工程やダイボンディング工程などを含み、これらの工程を経て個片化された半導体チップが製造される。これら製造された半導体チップは電子機器等に搭載され使用されるが、例えばＣＣＤ素子などは電子機器への組立実装前にその撮像表面に粉塵などが付着したり、当該粉塵が撮像表面に外傷をもたらしたりすることで、撮像性能を劣化させてしまうことがある。
【０００３】
そこで、従来から、電子機器への組立実装されるまでの半導体チップなどのワーク表面に保護テープを貼り付けることで、これらの半導体チップを粉塵や外傷から保護することが行われている。一般的に、このような保護テープの貼り付け方法としては、吸着ヘッドで真空吸着された保護テープをワークに対して押圧し、かかる押圧作用を利用してワークへ保護テープを貼り付けたり、真空吸着された保護テープを回転可能な貼り付けローラで押し付けることによりワークへ保護テープを貼り付けたりしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
近年の電子機器の小型化により搭載される半導体チップも小型化が進んでおり、それに伴い、小型のワークに保護テープをスループットよく貼り付けることが望まれている。また、これらのワークに保護テープを貼り付ける際には、保護テープとワークの間に気泡やしわが入ることで保護テープに接着されている糊が気泡やしわの跡としてワーク表面に残ってしまうことがある。例えば、これらの糊の跡が、例えば、ＣＣＤ素子の撮像表面に残ると撮像性能を劣化させてしまうため好ましくない。従って、これらの保護テープは気泡やしわなど無く、ワーク表面に均一に貼り付けられる必要がある。
【０００５】
しかしながら、このような要求を満たしつつも近年の小型ワークに対応したテープ貼付方法は提案されておらず、また、ワークが小型化するとその分保護テープのサイズも小さくなるため従来の手法を用いたのでは小さいサイズのワークに保護テープを貼り付けることが困難であるという問題を有している。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、小さいサイズのワークに気泡やしわなどを発生させずワーク表面にテープ貼り付けることを可能にするテープ貼付装置に関する。
【０００８】
本発明の一側面としてのテープ貼付装置は、ステージに保持されたワークに、ヘッドに保持されたテープを貼り付けるテープ貼付装置において、前記ワークの表面に平行な方向に前記ヘッドを前記ステージに対して移動させる駆動機構を有し、前記ヘッドは、前記ワークの表面に対して傾斜し、前記テープを保持するテーパ面と、前記テープを前記ワークに押し当て可能な弾性体とを有し、前記テーパ面は前記テープを真空吸着する吸着孔を有し、前記ヘッドによって保持された前記テープを前記テーパ面において位置決めするテープ位置決め部を有し、前記テープ位置決め部は前記テープが突き当てられて直交する二方向で前記テープを整列する一対のブロックを有し、前記ステージは前記ワークと前記テープを位置合わせするために前記ワークの表面と垂直な方向に対して回転可能に構成され、前記テーパ面に保持された前記テープの一部を前記ワークに接着した状態で前記ヘッドが前記平行な方向に移動して前記弾性体が前記テープの残りを前記ワークに貼り付けることを特徴とする。かかるテープ貼付装置によれば、テープを弾性体によってワーク表面に押し当てたままヘッドをワーク表面に平行に移動させると弾性体がテープをワーク表面に貼り付ける。これにより、小型のワーク表面にしわや気泡入れることなくテープを貼り付けることができる。また、テープを貼り付ける際に、弾性体がクッションの役目をし、貼付面にかかる衝撃を吸収することができる。ワーク表面に貼り付けられたテープにはしわや気泡が入らず、また、貼付動作に伴いワーク表面を傷付けることが防止されるので、テープが貼付された高品位なワークを提供することができる。更に、ワーク表面に貼り付けられたテープにはしわや気泡が入ることがないので、テープをワークから剥がした場合であっても、糊の跡がワーク表面に残ることがない。
【００１２】
本発明の他の目的及び更なる特徴は、以下添付図面を参照して説明される好ましい実施例によって明らかにされるであろう。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の例示的一態様であるテープ貼付装置１０を説明する。ここで、図１は、本発明のテープ貼付装置１０を示す概略正面図である。図２及び図３は、図１に示すテープ貼付装置１０を示す概略側面図である。図４は、図１に示すテープ貼付装置１０を示す概略上面図である。図５は、テープ貼付装置１０を示す概略ブロック図である。
【００１４】
本発明のテープ貼付装置１０は、ワークＷ表面を保護する保護テープ１を当該ワークＷに貼り付けるための装置である。例えば、本実施形態においては、ワークＷは半導体チップであり、テープ貼付装置１０は電子機器へ組立実装されるまでの半導体チップ、例えば、ＣＣＤ素子や偏光板等の表面を保護するための保護テープ１を半導体チップに貼り付けることができる。
【００１５】
テープ貼付装置１０は、図５に示すように、ワーク供給系１００と、テープ貼付系２００と、ステージ３００と、監視系４００と、制御系５００とを有する。なお、テープ貼付装置１０は、表示系６００や入力系７００を更に有し、オペレータは表示系６００を見ながら保護テープ１やワークＷの位置を確認し、入力系７００を操作しながら保護テープ１をワークＷに貼り付けることができる。図１に良く示されるように、ワーク供給系１００とテープ貼付系２００はステージ３００を介して相対するように配置され、また、監視系４００はステージ３００近傍に配置されている。
【００１６】
ワーク供給系１００は、ワークＷをステージ３００へ供給すると共に保護テープ１が貼り付けられたワークＷを収納する。ワーク供給系１００は、トレイテーブル１１０と、搬送ピックアップ部１２０とを有する。図１によく示されるように、搬送ピックアップ部１２０はトレイテーブル１１０の上方に配置されて、当該トレイテーブル１１０からワークＷを取り出したり／ワークＷを収納したりすることができる。
【００１７】
トレイテーブル１１０はワークＷが収納される及びワークＷが収納されたトレイを載置するための紙面表裏方向（ｙ方向）に移動可能なテーブルである。トレイテーブル１１０は、本実施例においては、例示的に、供給トレイ１１２と収納トレイ１１４とを載置している。供給トレイ１１２には保護テープ１が貼り付けられる前のワークＷが収納されており、一方収納トレイ１１４には保護テープ１が貼り付けられた後のワークＷが収納される。図４に示されるように、供給トレイ１１２及び収納トレイ１１４はマトリクス状に載置可能とされており、複数のワークＷを効率よく配置及び収納することができる。
【００１８】
搬送ピックアップ部１２０は、ワークＷを供給トレイ１１２から取り出しステージ３００へ搬送し、更にはステージ３００からワークＷを取り出し収納トレイ１１４へ搬送する。搬送ピックアップ部１２０は供給ヘッド１２２と収納ヘッド１２４とを有し、駆動機構により水平方向（図中のｘ方向）にトレイテーブル１１０からステージ３００までの間を移動することができる。かかる駆動機構は当該周知の技術を適用することができるのでここでの詳細な説明は省略する。例えば、このような駆動機構としては、回転可能な一対のプーリに無端ベルトを掛回し、一端のプーリにはモータ等の回転可能な駆動装置が接続されており、この無端ベルトに搬送ピックアップ部１２０を接続し、駆動装置を回転駆動させることで無端ベルトが回転して当該搬送ピックアップ部１２０をｘ方向（図１左右方向）に移動させることができる。
【００１９】
供給ヘッド１２２及び収納ヘッド１２４は、トレイ１１２及び１１４とステージ３００間での搬送に際してワークＷを保持する。供給ヘッド１２２はトレイテーブル１１０に載置された供給トレイ１１２からステージ３００までワークＷを搬送する際に当該ワークＷを保持するヘッドであり、一方収納ヘッド１２４はステージ３００から収納トレイ１１４まで保護テープ１が貼り付けられたワークＷを搬送する際に当該ワークＷを保持するヘッドである。供給ヘッド１２２及び収納ヘッド１２４は、図示しない真空源に接続された図示しない吸着孔が設けられており、各ヘッド１２２及び１２４は当該吸着孔によりワークＷを吸着保持することができる。なお、供給ヘッド１２２及び収納ヘッド１２４は搬送ピックアップ部１２０に設けられた駆動装置によりｚ方向（図１上下方向）にリニア駆動することができる。但し、本実施形態においては、かかる駆動装置は搬送ピックアップ部１２０に設けられて供給ヘッド１２２及び収納ヘッド１２４をｚ方向にリニア駆動させるものであっても良いが、上述した搬送ピックアップ部１２０をｘ方向へ駆動させる駆動機構を相対的にｚ方向（図１中、上下方向）に移動させることで搬送ピックアップ部１２０全体を上下させてよいし、その他の手法を用いて各ヘッド１２２及び１２４をｚ方向に移動させてもよい。
【００２０】
テープ貼付系２００は、保護テープ１をワークＷ表面に貼り付ける。テープ貼付系２００は、テープ供給部２１０と、テープピックアップ部２２０と、テープ位置決め部２３０とを有する。
【００２１】
ここで、保護テープ１はワーク表面に貼り付けられて当該ワークを保護するためのテープである。保護テープ１は、ワークＷの貼り付け面（即ち保護される面）より若干大きめに形成されており、例えば略矩形形状を有するテープである。なお、保護テープ１は必ずしも貼り付け面よりも大きく形成される必要は無いが（即ち、貼り付け面と同等の大きさであってもよいが）、かかる保護テープ１を大きく形成することで余分なテープ部分が保護テープ１を剥ぎ取るための取手として利用することができるために好ましいという長所を有する。保護テープ１は、例えば、ナイロンや塩化ビニルなどの材料を使用することができるが、かかる材料以外にもワークＷ表面を保護するいかなる部材をも使用することができる。保護テープ１には片面に粘着層が施されており、かかる粘着層によりワークＷに接着することができる。しかしながら、かかる接着層の形態は例示的であり、例えば紫外線硬化を利用するＵＶシートから構成される保護テープ１を利用した貼り付け方法などを排除するものではない。
【００２２】
本実施形態において、保護テープ１はロール状に巻かれた帯状シート２に所定のピッチで貼付されており、ロール状に巻かれた帯状シート２を引き出すことで順次と新たな保護テープ１を利用可能にすることができる。
【００２３】
テープ供給部２１０は、テープピックアップ部２２０に対して保護テープ１を供給する。本実施形態においてはテープ供給部２１０は上述した帯状シート２に貼付された保護テープ１をテープピックアップ部２２０に供給するための機構として実現されており、シート取り付け部２１２と、テンション部２１４ａ及び２１４ｂと、折り返し部２１６と、シート巻き取り部２１８とを有する。図１に良く示されるように、テープ供給部２１０は、シート取り付け部２１２に取り付けられて引き出された帯状シート２がテンション部２１４ａ、折り返し部２１６、テンション部２１４ｂを順次経由してシート巻き取り部２１８に取り付けられように構成されており、保護テープ１が折り返し部２１６に位置する際にかかる保護テープ１をテープピックアップ部２２０にて吸着することができる。
【００２４】
シート取り付け部２１２は、ロール状に巻かれた帯状シート２が取り付けられる。シート取り付け部２１２はロール状の帯状シート２が引き出し可能となるように回転可能（又はシート取り付け部２１２に取り付けられたロール状の帯状シート２が回転可能）に構成されている。図１に示されるように、シート取り付け部２１２は、シート巻き取り部２１８に巻き取られることで時計回り方向に回転し、帯状シート２を順次繰り出すことができる。
【００２５】
テンション部２１４ａ及び２１４ｂは、互いに押圧力を有する一対のローラより構成されており、当該一対のローラに帯状シート２を挟み込むことで帯状シート２の延在方向に所定のテンションを与えている。かかるテンション部２１４ａ及び２１４ｂは、帯状シート２にテンションを加えることでシートの弛みをなくすと共に、後述する折り返し部２１６と協働して作用することで保護テープ１を帯状シート２から剥がれ易くする効果を有する。本実施形態においては、テンション部２１４ａはシート取り付け部２１２と折り返し部２１６との間に設けられ、一方テンション部２１４ｂは折り返し部２１６とシート巻き取り部２１８との間に設けられている。
【００２６】
折り返し部２１６は、シート取り付け部２１２から延在する帯状シート２をシート巻き取り部２１８方向へ偏向させる。図６に示すように、折り返し部２１６が帯状シート２を変更させることは、帯状シート２が当該折り返し部２１６に沿って屈曲するので、保護テープ１が帯状シート２から部分的に剥離される。これにより後述するテープピックアップ部２２０が保護テープ１を吸着することができる。ここで、図６は、テープ貼付装置１０におけるテープ貼付系２００の折り返し部２１６の近傍を示す概略拡大図である。なお、かかる剥離動作において、上述したテンション部２１４ａ及び２１４ｂによって生じる帯状シート２へのテンションが、保護テープ１の剥離を助長させている。
【００２７】
シート巻き取り部２１８は、帯状シート２が取り付けられて当該帯状シート２を引き出すために回転可能な部材であって、更には保護テープ１が剥離された帯状シート２を回収する。シート巻き取り部２１８は、図示しない回転機構（例えば、モータなど）に接続されて、回転駆動することできる。
【００２８】
テープピックアップ部２２０は、テープ供給部２１０から供給された保護テープ１を取得してワークＷに貼り付ける。テープピックアップ部２２０は、テープ貼付ヘッド２２２と、緩衝部２２８とを有する。図７に良く示されるように、テープ貼付ヘッド２２２と緩衝部２２８はボールスプライン２２６を介して接続されており、テープピックアップ部２２０は緩衝部２２８を介して駆動機構に接続されている。ここで、図７は、図１に示すテープピックアップ部２２０を示す拡大平面図である。テープピックアップ部２２０はかかる駆動機構により水平方向（図中ｘ方向）に平行移動することで、テープ供給部２１０からステージ３００まで保護テープ１を搬送し、またその保護テープ１をワークＷに貼り付けることができる。
【００２９】
テープ貼付ヘッド２２２は、保護テープ１を保持し当該保護テープ１をワークＷへ貼り付けるための部材である。本実施形態においては、テープ貼付ヘッド２２２は、ヘッド本体２２３と、弾性体２２５とを有している。
【００３０】
ヘッド本体２２３は、本実施形態においては、直方体形状を有し、その直方体の底面２２３ａにおいて保護テープ１を保持することができる。より詳細には、底面２２３ａには図示しない真空源に接続される吸着孔２２４が形成されている。ヘッド本体２２３は、かかる吸着孔２２４により真空吸着することで保護テープ１を保持することができる。また、底面２２３ａは、保護テープ１が保持される領域にテーパが施されており、後述する動作の説明から明らかとなるようにテープピックアップ部２２０が貼付のために移動を行った際に、保護テープ１が弾性体２２５側に位置する側から順次貼り付けられるような加工となっている。
【００３１】
弾性体２２５は、吸着孔２２４によって吸着された保護テープ１をワークＷに貼り付けるために当該保護テープをワークＷに対して押し当てるための押し当て部材である。弾性体２２５はヘッド本体２２３の底面２２３ａに設けられて、その一部を底面２２３ａより突出させている。本実施形態においては、弾性体２２５はヘッド本体２２３に対して固着的に取り付けられている。より詳細には、弾性体２２５は底面２２３ａに形成されたテーパの延長上、即ち、保護テープ１が吸着孔によって吸着された際に当該保護テープ１の延長上に位置するように設けられている。（即ち、吸着された保護テープ１は弾性体２２５に当接されることになる。）弾性体２２５は、本実施形態においては、円筒形状を有し、例えば、ウレタンやナイロンなどの弾性部材より構成されている。
【００３２】
後述する動作の説明から明らかとなるようにテープ貼付ヘッド２２２の弾性体２２５が保護テープ１を介してワークＷに押し当てられた状態で、テープピックアップ部２２０を水平移動させれば、弾性体２２５が保護テープ１を介してワークＷ表面を押圧しながら移動し、ワークＷに対して保護テープ１を貼り付けることができる。また、ワークＷに保護テープ１を貼る際には、かかる弾性体２２５がクッション材として機能するので、貼り付け表面にかかる衝撃を吸収している。これにより本発明のテープ貼付装置１０によれば、小型のワークＷ（例えば、５ｍｍ以下のワークＷ）であっても気泡やしわなどを入れることなくワークＷ表面に保護テープ１を貼り付けることを可能にしている。また、本発明の構成によれば、従来のテープ貼付装置のようにヘッド本体２２３に対して保護テープ１をワークＷに貼り付けるためのローラなどの部材を組み込む必要がなくなるため、ローラや軸受などの構成が不要となり製造コストを低減させている。
【００３３】
緩衝部２２８は、テープ貼付ヘッド２２２の上下方向（図中ｚ方向）の衝撃を吸収する緩衝機構である。かかる緩衝部２２８は、テープ貼付ヘッド２２２をワークＷに対して適度な押圧力で押し当てることができる。緩衝部２２８は、本実施例においては、スプリングを介して上下方向の衝撃を緩和している。但し、本明細書に示す緩衝部２２８の構成は例示的であり、例えば、油圧式のダンパなど当該周知の緩衝機構を適用することができる。
【００３４】
テープ位置決め部２３０は、テープ貼付ヘッド２２２によって真空吸着される保護テープ１の所定の位置に矯正する。テープ位置決め部２３０は、ヘッド本体２２３の底面２２３ａの直行する２辺と保護テープ１の２辺とが一致するように保護テープ１が吸着された状態で当該保護テープ１の位置を整合する。後述する動作の説明から明らかとなるように、テープ貼付ヘッド２２２が吸着する保護テープ１をワークＷ表面に張り付けるためには、テープ貼付ヘッド２２２が吸着する保護テープ１の向きと、ワークＷの向きが正確に位置決めされている必要がある。即ち、ワークＷの向きに対してテープ貼付ヘッド２２２が吸着した保護テープ１の向きがずれている場合には、どちらかの一方の向きを補正させ貼付しなければならず、作業効率上好ましくない。即ち、テープ貼付ヘッド２２２が吸着する保護テープ１は当該テープ貼付ヘッド２２２に対して正確に位置決めされて吸着されることが好ましい。しかしながら、小型のワークＷに貼付される保護テープ１はその形状も小さく、テープ貼付ヘッド２２２でその向きなど位置を正確に把握して吸着することは困難である。また、これをオペレータに要求することは、作業効率を低下させ、結果としてスループットを落としてしまう。そこで、本実施形態においては、テープ貼付ヘッド２２２によって吸着された保護テープ１はその向きがテープ位置決め部２３０によって整合される。換言すれば、オペレータは保護テープ１の向きなどを気にせずに保護テープ１を取得しても、かかる位置決め部２３０により保護テープ１がテープ貼付ヘッド２２２の所定位置に機械的に整合される。
【００３５】
図８に示すように、本実施形態において、位置決め部２３０は、テープ貼付ヘッド２２２によって吸着保持された保護テープ１をｙ方向に整列させる第１の位置決めブロック２３２（図８（ｂ）参照）と、かかる保護テープ１をｘ方向に整列させる第２の位置決めブロック２３４（図８（ａ）参照）とを有する。ここで、図８（ａ）及び（ｂ）は、位置決め部２３０を示す概略側面図と概略正面図である。
【００３６】
図８に良く示されるように、第１の位置決めブロック２３２は、回転可能なアーム２３３に接続されて、ヘッド本体２２３の底面２２３ａのｙ方向に延在する端部に突き当て可能に構成されている。一方、第２の位置決めブロック２３４はｙ方向に摺動可能であり、ヘッド本体２２３の底面２２３ａのｘ方向に延在する端部に突き当て可能に構成されている。かかる位置決め部２３０により、テープ貼付ヘッド２２２に真空吸着された保護テープ１はその位置を底面２２３ａの直行する２辺と保護テープ１の直行する２辺とが一致されるように整合させられる。
【００３７】
ステージ３００は、保護テープ１が貼り付けられるワークＷを載置する。ステージ３００には、ワークＷとほぼ同等の大きさの凹部（ワーク保持部）３１０が設けられており、かかる凹部によりワークＷを保持することができる。なお、ワーク保持部３１０の凹面には図示しない真空源に接続する吸着孔が設けられている。ワーク保持部３１０はかかる吸着孔と協働することで、ワークＷを保持することができる。更に、ステージ３００は、図中ｚ方向（即ち、紙面に対して垂直方向）に移動可能であり、また載置されるワークＷを中心に軸回転（θ方向に回転）することができる。
【００３８】
監視系４００は、ワークＷの位置状態を監視する。本実施形態においては、監視系４００は、搬送ピックアップ部１２０の供給ヘッド１２２が保持するワークＷの位置状態（即ち、ｘ−ｙ方向の位置ずれ）を監視するための第１の監視部４１０と、テープピックアップ部２２０のテープ貼付ヘッド２２２が保持する保護テープ１の位置状態（即ち、ｘ−ｙ方向の位置ずれ）を監視する第２の監視部４２０とを有する。第１及び第２の監視部４１０及び４２０は、例えば、当該周知の撮影装置（ビデオ又はＣＣＤカメラ等）より構成されており、撮影装置によって撮影された映像は後述する表示系６００に出力される。かかる監視系４００により出力される映像を表示系６００で確認することができるので、オペレータはワークＷや保護テープ１の位置状態を確認しながら、入力系７００を操作することでステージ３００の位置を移動させたりして保護テープ１をワークＷに貼り付けることができる。
【００３９】
制御系５００は、ＣＰＵ、ＭＰＵなど名称の如何を問わない処理装置を広く含み、テープ貼付装置１０の各部を制御する。制御系５００は、後述する入力系７００より入力される情報を取得して、取得した情報を反映すべくワーク供給系１００、テープ貼付系２００、ステージ３００に接続される各駆動機構を制御することができる。
【００４０】
表示系６００は、監視系４００より出力された映像を表示する。表示系６００は、例えば、ＣＲＴやＬＣＤなどの当該周知の表示装置を備えることができる。また、特に詳述しないが、表示系６００は、その他にもテープ貼付装置１０の各種状態を表示させるライトやＬＣＤなどの機構を含む。かかるライトやＬＣＤは、例えば、装置１０が正常に動作している場合は青を点灯し、異常を示している場合は赤を点灯させるなどである。
【００４１】
入力系７００は、オペレータからの指示をテープ貼付装置１０に入力する。入力系７００は、キーボード、マウス、液晶タッチパネル、ポインティングデバイスなど当該周知の入力装置を適用することができる。また、入力系７００は、ボタンやスイッチなどの入力機構を広く含むものである。
【００４２】
以下、本発明のテープ貼付装置１０を利用した保護テープの貼付動作について説明する。
【００４３】
まず、ワーク供給系１００において、オペレータは入力系７００を操作して、トレイテーブル１１０に載置された供給トレイ１１２に格納されたワークＷをステージ３００に搬送する。より詳細には、オペレータは入力系７００を操作して、搬送ピックアップ部１２０の供給ヘッド１２２を供給トレイ１１２に格納された所望とするワークＷ上に移動させる。なお、このときの供給ヘッド１２２のｚ方向の位置（高さ）を初期ポジションと定義する。次に、供給ヘッド１２２を初期ポジションから下方に移動させる。供給ヘッド１２２はワークＷと当接するまで下方に移動し、供給ヘッド１２２がワークＷに当接することで移動を停止する。このとき、ワークＷは供給ヘッド１２２の吸着孔により真空吸着される。供給ヘッド１２２がワークを吸着保持すると、供給ヘッド１２２はワークＷを吸着保持したまま初期ポジションに復帰すべく、供給ヘッド１２２を上方に移動させる。そして、供給ヘッド１２２が初期ポジションに復帰すると搬送ピックアップ部１２０は水平方向に移動し、供給ヘッド１２２に保持されたワークＷはステージ３００上まで搬送される。
【００４４】
ステージ３００上に供給ヘッド１２２が位置すると、オペレータは監視系４００によって撮影された映像を表示系６００で確認し、供給ヘッド１２２が保持するワークＷの位置状態を把握することができる。そして、オペレータは入力系７００を操作して、ステージ３００をθ及びｙ方向に微調整し、供給ヘッド１２２に保持されたワークＷとステージ３００のワーク保持部３１０との位置関係がｘｙ平面上で一致するように補正する。
【００４５】
供給ヘッド１２２に保持されたワークＷに対してステージ３００のワーク保持部３１０の位置関係が調整されると、供給ヘッド１２２はワークＷがステージ３００のワーク保持部３１０に当接するまで下方に移動する。そして、ワークＷがステージ３００に当接することによりワークＷはステージ３００の吸着孔により真空吸着される。例えば、このとき供給ヘッド１２２の吸着力を３００の吸着力より小とすることで、ワークＷは供給ヘッド１２２から分離されてステージ３００に載置される。そして、供給ヘッド１２２は初期ポジションに復帰する。
【００４６】
一方、テープ貼付系２００においては、オペレータは入力系７００を操作して、テープ供給部２１０から供給される保護テープ１を取得させ、ワークＷに保護テープ１を貼り付けさせる。より詳細には、まず、テープ供給部２１０のシート巻き取り部２１８を駆動させる。これにより、シート巻き取り部２１８が回転駆動することにより、シート取り付け部２１２に取り付けられた帯状シート２が順次引き出される。このとき、帯状シート２に貼付された保護テープ１も同期して移動し、折り返し部２１６に向かって搬送される。そして、帯状シート２に貼付された保護テープ１が折り返し部２１６まで搬送されると、図６に示すように、帯状シート２は折り返し部２１６により屈曲させられているため、保護テープ１は接着力が弱められて帯状シート２が屈曲させられた部分を境に保護テープ１が部分的に剥離する。これにともない、シート巻き取り部２１８の駆動を停止させる。
【００４７】
次に、テープ供給部２１０の折り返し部２１６上方に位置するテープピックアップ部２２０を下降させる。なお、下降させる前のテープピックアップ部２２０のｚ方向の位置（高さ）を初期ポジションと定義する。テープピックアップ部２２０を初期ポジションから下降させると、テープ貼付ヘッド２２２が保護テープ１に当接する。テープ貼付ヘッド２２２が保護テープ１に当接すると、保護テープ１はテープ貼付ヘッド２２２の吸着孔２２４により真空吸着される。テープ貼付ヘッド２２２が保護テープ１を吸着保持すると、テープピックアップ部２２０は保護テープ１を吸着保持したまま初期ポジションに復帰する。
【００４８】
かかる動作を経て、つぎに保護テープ１の位置決め動作を実行する。より詳細には、まず位置決め部２３０のアーム２３３を図中反時計回りに回転させる。これによりアーム２３３に接続された第１の位置決めブロック２３２も同期して回転し、かかる第１の位置決めブロック２３２がヘッド本体２２３の底面２２３ａの端部に突き当たる。これにより、テープ貼付ヘッド２２２に吸着保持された保護テープ１がヘッド本体２２３の底面２２３ａの端部に沿ってｙ方向に整列される。次に、第２の位置決めブロック２３４がｙ方向に摺動して、ヘッド本体２２３の底面２２３ａの端部に突き当たる。これにより、テープ貼付ヘッド２２２に吸着保持された保護テープ１がヘッド本体２２３の底面２２３ａの端部に沿ってｘ方向に整列される。かかる両位置決めブロック２３２及び２３４により、ヘッド本体２２３の底面２２３ａの直行する２辺と保護テープ１の２辺とが一致するように保護テープ１がその位置を整合される。
【００４９】
なお、本実施形態においては、第１の位置決めブロック２３２を先に動作させて次に第２の位置決めブロック２３４を動作させたが、両者の順番は逆であってもよい。即ち、第２の位置決めブロック２３４を動作させて保護テープ１をｘ方向に整列した後に、第１の位置決めブロック２３２を動作させて保護テープをｙ方向に整列させても良い。また、第１の位置決めブロック２３２及び第２の位置決めブロック２３４を同時に動作させて、保護テープ１をｘ及びｙ方向に同時に整列させても良い。
【００５０】
この位置決め動作が終了すると、テープピックアップ部２２０が水平移動されて、テープ貼付ヘッド２２２に保持された保護テープ１はステージ３００上まで搬送される。
【００５１】
ステージ３００上にテープピックアップ部２２０が位置すると、オペレータは監視系４００によって撮影された映像を表示系６００で確認し、テープ貼付ヘッド２２２が吸着保持する保護テープ１の位置状態を把握することができる。そして、オペレータは入力系７００を操作して、ステージ３００をθ方向に微調整し、図９（ａ）に示すように、テープ貼付ヘッド２２２に吸着保持された保護テープ１とワーク保持部３１０上に配置されたワークＷとの位置関係がｘｙ平面上で一致するように調整する。ここで、図９は保護テープ１の貼付動作を説明するための動作説明図である。
【００５２】
テープ貼付ヘッド２２２に吸着保持された保護テープ１とワーク保持部３１０に保持されたワークＷとの位置関係が調整されると、テープ貼付ヘッド２２２がワークＷに押し当てられるまでテープピックアップ部２２０が下方に移動させられる（図９（ｂ））。より詳細には、まず、テープ貼付ヘッド２２２が下方に移動することで、ワークＷの端部に保護テープ１が当接する。そして、なおもテープピックアップ部２２０が下方に移動させられると、保護テープ１を挟み弾性体２２５がワークＷに当接される。そして、テープピックアップ部２２０は、弾性体２２５が保護テープ１を適当な押し当て力で押し当てるまで押し下げて、下方向への駆動を停止させる。かかる状態において、弾性体２２５によって押し当てられた保護テープ１はその接着力によりワークＷに接着している。
【００５３】
次に、図９（ｃ）に示すように、弾性体２２５が保護テープ１をワークＷに押し当てた状態で、テープピックアップ部２２０をｘ方向に移動させる。このとき、保護テープ１はワークＷに対する接着力により接着されており、保護テープ１の表面を弾性体２２５が滑るように移動する。これにより、弾性体２２５は、保護テープ１をワークＷに順次押し当てられていき、弾性体２２５がワークＷの端から端まで移動することで、保護テープ１はワークＷ表面に貼り付けられる。
【００５４】
ワークＷに対しての保護テープ１の貼付動作が終了すると、テープピックアップ部２２０は、初期ポジションへと移動する。
【００５５】
次に、ワーク供給系１００において、オペレータは入力系７００を操作して、保護テープ１の貼り付けられたワークＷを収納トレイ１１４に搬送する。より詳細には、搬送ピックアップ部１２０の収納ヘッド１２４をステージ３００のワーク保持部３１０に保持されたワークＷ上に移動させる。なお、このときの収納ヘッド１２４のｚ方向の位置（高さ）を初期ポジションと定義する。そして、収納ヘッド１２４を初期ポジションから下方に移動させる。これにより、収納ヘッド１２４はワークＷと当接するまで下方に移動し、収納ヘッド１２４がワークＷに当接することによりワークＷは収納ヘッド１２４の吸着孔により真空吸着される。例えば、このときステージ３００の吸着力を収納ヘッド１２４の吸着力より小とすることで、ワークＷはステージ３００のワーク保持部３１０から分離されて収納ヘッド１２４に吸着される。
【００５６】
収納ヘッド１２４がワークＷを吸着保持すると、収納ヘッド１２４はワークＷを吸着保持したまま初期ポジションに復帰する。そして、搬送ピックアップ部１２０が水平移動されて、収納ヘッド１２４に保持されたワークＷは収納トレイ１１４上まで搬送される。
【００５７】
搬送ピックアップ部１２０が収納トレイ１１４上まで移動すると、収納ヘッド１２４はワークＷが収納トレイ１１４に当接するまで下方に移動する。そして、ワークＷが収納トレイ１１４に当接する。そして、収納ヘッド１２４の吸着を停止させることで、ワークＷは収納トレイ１１４に収納される。そして、供給ヘッド１２２は初期ポジションに復帰する。
【００５８】
以上の動作を繰り返すことで、順次繰り返しワークＷに保護テープ１を貼り付けることができる。
【００５９】
かかるテープ貼り付け方法によれば、真空吸着された保護テープ１を弾性体２２５によってワークＷ表面に押し当てたまま、テープピックアップ部２２０をワークＷ表面に沿って移動させることで、弾性体２２５が保護テープ１をワークＷ表面に貼り付けることができる。これにより、小型のワークＷ表面にしわや気泡入れることなく保護テープ１を貼り付けることができる。また、保護テープ１を貼り付ける際に、かかる弾性体２２５がクッションの役目をし、貼付面にかかる衝撃を吸収することができる。よって、ワークＷ表面に貼り付けられた保護テープ１にはしわや気泡が混入せず、また、貼付動作に伴いワークＷ表面を傷付けることが防止されるので、保護テープ１でその表面が保護された高品位なワークＷを提供することができる。更に、ワークＷ表面に貼り付けられた保護テープ１にはしわや気泡が混入していないので、かかる保護テープ１をワークＷから剥がした場合であっても、糊の跡がワークＷ表面に残ることがない。なお、各工程を手動にて操作するものを記述したが、全てを全自動で行ってもよい。
【００６０】
以上、本発明の好ましい実施例を説明したが、本発明はその要旨の範囲内で様々な変形や変更が可能である。例えば、本発明のテープ貼付装置１０が貼付可能なワークＷは半導体チップに限定されず、種種のワークＷの保護テープ１を貼り付けることができる。また、テープ貼付装置１０が貼付可能なテープも上述したような保護テープ１に限定されず、ワークＷに所定の文字やデザインを施すためのテープを適用することができる。
【００６１】
【発明の効果】
本発明のテープ貼付装置によれば、真空吸着された保護テープを弾性体によってワーク表面に押し当てたまま、テープ貼付部をワーク表面に沿って移動させることで、所定のテープをワーク表面に貼り付けることができる。これにより、小型のワーク表面にしわや気泡入れることなく保護テープを貼り付けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のテープ貼付装置を示す概略正面図である。
【図２】  図１に示すテープ貼付装置を示す概略側面図である。
【図３】  図１に示すテープ貼付装置を示す概略側面図である。
【図４】  図１に示すテープ貼付装置を示す概略上面図である。
【図５】  テープ貼付装置を示す概略ブロック図である。
【図６】  テープ供給系の折り返し部の近傍を示す概略拡大図である。
【図７】  図１に示すテープピックアップ部を示す拡大平面図である。
【図８】  位置決め部を示す概略平面図である。
【図９】  テープの貼付動作を説明するための動作説明図である。
【符号の説明】
１０          テープ貼付装置
１００        ワーク供給系
２００        テープ貼付系
３００        ステージ
４００        監視系
５００        制御系
６００        表示系
７００        入力系
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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