(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
公称厚さが７０μｍ以下のアラミド繊維又はガラス繊維を用いた不織布、あるいは、公称厚さが３０μｍ以下のガラスクロスからなる骨格材に熱硬化性樹脂を含浸させたプリント配線板製造に用いるプリプレグの製造方法であって、以下に示す（１）〜（５）の各工程を備えたことを特徴とする薄型のプリプレグの製造方法。
（１）  溶剤を含む液体状の熱硬化性樹脂を用いて、平坦なワーク平面の上に所定厚さの被膜として液体樹脂層を形成する液体樹脂被膜形成工程。
（２）  ワーク平面上にある液体樹脂層を、そのままの状態で乾燥させることで乾燥樹脂層とする予備乾燥工程。
（３）  ワーク平面上にある前記乾燥樹脂層の表面に、骨格材を重ね合わせ、予備加熱して圧着することで、骨格材を乾燥樹脂層表面に張り合わせた骨格材付乾燥樹脂層とする骨格材予備接着工程。
（４）  ワーク平面上に骨格材付乾燥樹脂層を載置したまま、樹脂が再流動可能な温度で加熱し、当該骨格材に熱硬化性樹脂成分を含浸させる樹脂含浸工程。
（５）  樹脂含浸が終了すると、熱硬化性樹脂を完全硬化させることなく、直ちに降温操作を行い、骨格材に含浸させた熱硬化性樹脂の半硬化状態を維持してプリプレグ状態となるようにする冷却工程。
【請求項２】
無限軌道をもってエンドレス走行するメタルベルト、熱硬化性の液体樹脂層を前記メタルベルト上に形成するための樹脂供給手段、前記液体樹脂層を乾燥樹脂層とするための予備乾燥手段、公称厚さが７０μｍ以下のアラミド繊維又はガラス繊維を用いた不織布、あるいは、公称厚さが３０μｍ以下のガラスクロスからなる骨格材を製造ライン内に連続供給する骨格材供給手段、前記骨格材を前記乾燥樹脂層に予備的に圧着する骨格材予備接着手段、前記骨格材を前記乾燥樹脂層に予備的に圧着した部位を加熱し樹脂含浸を行う樹脂含浸手段、樹脂含浸の終了後に降温操作を行いプリプレグの状態とする降温手段、及び完成したプリプレグの採取手段を組みあわせて一つの製造ラインとした請求項１に記載のプリプレグの製造方法を実施するために用いる製造装置であって、
メタルベルトは、工程内を一次側から二次側に向けて、樹脂供給手段から降温手段までを、少なくとも一貫して走行するものであり、
樹脂供給手段は、溶剤を含む液体状の熱硬化性樹脂を前記メタルベルト上に連続供給し前記メタルベルト上に均一な所定厚さの液体樹脂層を形成させることのできる樹脂ディスペンサを、当該メタルベルトの一次側の起端部に配し、
前記樹脂供給手段の二次側に、前記メタルベルト上の前記液体樹脂層を乾燥樹脂層とするための予備乾燥手段として加熱乾燥又は風乾を行うための乾燥ゾーンを配し、
前記予備乾燥手段の二次側に、骨格材原料ロールから当該メタルベルトの走行速度と同期して連続的に骨格材を繰り出す骨格材供給手段を配し、
前記骨格材供給手段の二次側に、前記メタルベルト上の前記乾燥樹脂層の表面に、骨格材供給手段より供給された骨格材を加熱ロールを用いて加熱圧着し、骨格材を乾燥樹脂層表面に張り合わせた骨格材付乾燥樹脂層の状態にする骨格材予備接着手段を配し、
前記骨格材予備接着手段の二次側に、骨格材を予備接着した乾燥樹脂層の部位を樹脂の硬化温度以下の温度で加熱し、熱硬化性樹脂の再流動化を行わせ、流動化した樹脂を張り合わせた骨格材に含浸させる加熱ゾーンを樹脂含浸手段として設け、
前記樹脂含浸手段の二次側に、樹脂含浸の終了後に降温操作を行いプリプレグの状態とする放冷又は強制冷却することで、骨格材に含浸させた熱硬化性樹脂の半硬化状態を維持してプリプレグの状態とする冷却ゾーンを降温手段として配し、
前記降温手段の２次側に完成したプリプレグをロール状にするための巻き取り器又はカットシートとするカット装置をプリプレグの採取手段として配したことを特徴とする骨格材に熱硬化性樹脂を含浸させたプリント配線板製造に用いるプリプレグの連続製造装置。
【請求項３】
公称厚さが７０μｍ以下のアラミド繊維又はガラス繊維を用いた不織布、あるいは、公称厚さが３０μｍ以下のガラスクロスからなる骨格材に熱硬化性樹脂を含浸させた絶縁層を片面に備えた絶縁層付銅箔の製造方法であって、以下に示す（１）〜（５）の各工程を備えたことを特徴とする絶縁層付銅箔の製造方法。
（１）  溶剤を含む液体状の熱硬化性樹脂を用いて、銅箔の片面上に所定厚さの被膜として液体樹脂層を形成する液体樹脂被膜形成工程。
（２）  銅箔の片面上にある液体樹脂層を、そのままの状態で乾燥させることで乾燥樹脂層とする予備乾燥工程。
（３）  銅箔の片面上にある前記乾燥樹脂層の表面に、骨格材を重ね合わせ、予備加熱して圧着することで、骨格材を乾燥樹脂層表面に張り合わせた骨格材付乾燥樹脂層とする骨格材予備接着工程。
（４）  銅箔の片面上に骨格材付乾燥樹脂層を載置したまま、樹脂が再流動可能な温度で加熱し、当該骨格材に熱硬化性樹脂成分を含浸させる樹脂含浸工程。
（５）  樹脂含浸が終了すると、熱硬化性樹脂を完全硬化させることなく、直ちに降温操作を行い、骨格材に含浸させた熱硬化性樹脂の半硬化状態を維持して絶縁層付銅箔の状態する冷却工程。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリプレグの製造方法及びプリプレグの製造装置並びにその製造方法で得られたプリプレグに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、プリプレグは、電気、電子産業の分野で用いられるプリント配線板の層間絶縁材料として用いられてきた。そして、このプリプレグには、フェノール系樹脂を骨格材である紙に含浸させた紙−フェノール  プリプレグ、エポキシ系樹脂を骨格材であるガラスクロスに含浸させたガラス−エポキシ  プリプレグ、ポリイミド系樹脂を骨格材であるガラスクロスに含浸させたガラス−ポリイミド  プリプレグ等種々の製品がある。そして、近年、プリント配線板の薄層化の流れから、プリント配線板の層間絶縁層の構成材料であるプリプレグの厚さも薄く信頼性の高いものが求められる様になってきている。
【０００３】
プリプレグの製造方法は、各製造メーカー毎に特徴のある製造方法が採用されている。一般的なプリプレグの製造装置のアキュムレータ等の付属設備を除いた基本的構成を説明すると、図５に示したような製造方法が最も広く採用されていると言える。即ち、骨格材に含浸させる樹脂組成物は、種々の特性が付与されたフォーミュレーションでワニス反応釜１７を用いてワニスが製造される。このワニスは循環槽１８に送られ、このワニスは循環槽１８から骨格材に樹脂を含浸させる工程の含浸バット２０に送られ循環することとなる。
【０００４】
骨格材に樹脂を含浸させる工程では、骨格材ロールを軸支して、骨格材５を連続的に繰り出す手段を備え、ここから送り出された骨格材５は、一般的に予備浸漬バット１９を経て、含浸バット２０内でディップ方式若しくはキスコート方式のいずれかにより骨格材５に樹脂含浸を行わせ、含浸バッド２０を出ると、熱風循環方式或いは熱輻射方式等の加熱方法を採用して、含浸させた樹脂を乾燥させ半硬化状態（Ｂステージ）にするため、縦型に配置された乾燥塔２１内を走行させ、最終的に冷却し、プリプレグロール２２として巻き取り採取するのである。
【０００５】
このような方法で製造されるプリプレグは、ガラスクロスのように織りのある骨格材を用いる場合には、クロスの折れ等の問題はあるものの２０μｍ厚さ程度のものを使用して３０μｍ厚さのプリプレグを製造することも可能となり、広く市場に受け入れられるようになってきた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ガラスクロスのように織りのあるクロスタイプの骨格材を用いたプリプレグを用いると、銅張積層板にした後に炭酸ガスレーザー穴明け加工を必要とするバイアホール形成の際に問題が生じていた。即ち、炭酸ガスレーザーを用いて銅張積層板の穴明け加工を行おうとすると、層間絶縁層にあるガラスクロスの加工性が悪く、穴明け後のバイアホールの内壁部の形状悪化を引き起こすのである。
【０００７】
このような問題を解決しようとして、クロスタイプの骨格材に替えて、ガラス不織布やアラミド不織布等の不織布タイプの骨格材が使用されるようになってきた。確かに、骨格材を不織布タイプとすることで、炭酸ガスレーザーを用いて形成されたバイアホール等の内壁面の形状は格段に優れたものとなり、大きな技術進歩を果たすことになった。
【０００８】
ところが、不織布は、クロスタイプのように縦糸と横糸とを交互に織り込んだものではなく、いわばフェルト生地のようにガラス繊維若しくはアラミド繊維等を押し固めてシート状にしたと捉えられるものである。従って、クロスタイプの骨格材に比べ、不織布タイプの骨格材自体の強度が低下することになり、引張り等の外的応力負荷に対する抵抗力が小さくなる。
【０００９】
この結果、上述したような縦型の乾燥塔を用いる方法で、不織布に樹脂含浸を行い乾燥させようとすると、必要量の樹脂を含浸させた不織布が乾燥塔を走行する際に、含浸した樹脂分の重量が不織布にかかることになり、不織布が薄くなればなるほど、含浸させた樹脂が半硬化状態となる前に乾燥塔内で破断し工程が止まることになり、生産歩留まりを著しく低下させることになっていた。この様な現象は、骨格材として用いる不織布が公称厚さ７０μｍ以下になると非常に起こりやすく、公称厚さ３０μｍ以下の不織布を骨格材として用いることは、ほぼ不可能と言われてきた。
【００１０】
以上に述べてきたような通常の樹脂含浸法は、例え骨格材にガラスクロスのような織布を用いる場合にも、当然に２０μｍ以下の織布に樹脂を含浸乾燥させようとすると、縦型の乾燥塔内で破断し易くなり、工程の安全繊が確保できないと言うのは当然のことである。ただ、織布を用いる場合が、不織布を用いる場合に比べて、より破断しにくいと言うだけに過ぎず、厚い織布を用いる場合と比べれば格段に信頼性のおけるものではない。
【００１１】
以上のことから、市場では、上述した炭酸ガスレーザー穴明け性を確保できるプリプレグとして、不織布若しくは不織布を骨格材として用い、従来にない薄さのプリプレグの安定生産可能な製造方法の確立が待たれてきたのである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明に係る発明者等は鋭意研究の結果、以下に示すようなプリプレグの製造方法を用いれば、７０μｍ以下の不織布を骨格材として用いたプリプレグの安定生産及び３０μｍ以下の極薄ガラスクロスを骨格材として用いたプリプレグの安定生産が可能となることに想到したのである。
【００１３】
請求項には、骨格材に熱硬化性樹脂を含浸させたプリント配線板製造に用いるプリプレグの製造方法であって、以下に示す（１）〜（５）の各工程を備えたことを特徴とする薄型のプリプレグの製造方法としている。図１〜図３を参照しつつ、各工程の順を追って説明することとする。
【００１４】
工程（１）は、液体状の熱硬化性樹脂を用いて、図１（１）に模式的に示したように、平坦なワーク平面２の上に所定厚さの被膜として液体樹脂層３を形成する液体樹脂被膜形成工程である。ここで液体状の熱硬化性樹脂とは、エポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤等と溶剤とを混合して得られるエポキシ樹脂化合物等のことであり、ワーク平面２に塗工可能な程度に低い粘度を持った状態のものである。この液体状の熱硬化性樹脂が、骨格材に含浸させる樹脂となるのである。
【００１５】
そして、ワーク平面２とは、主に銅、チタン、アルミニウム、ステンレス等の金属材で構成した平面であり、以下の製造方法から明らかなように、樹脂を半硬化状態にするために行う加熱操作での熱に対する耐熱性を備えたもので有ればよい。例えば、アルミニウムの表面にフッ素樹脂加工等して２００℃以上の温度に耐えるものでも構わないのである。
【００１６】
ここで、液体状の熱硬化性樹脂を用いて、平坦なワーク平面の上に所定厚さの被膜として液体樹脂層３を形成する方法には、特段の限定を要しない。塗工機を用いて均一な厚さに塗工する方法でも、当該ワーク平面２上に置いた一定量の樹脂をスキージのような治具で均一な厚さに延ばす方法であっても構わない。また、「所定厚さの被膜として・・・」と表現しているのは、従来用いられてきたプリプレグでは骨格材として用いる骨格材の単位重量当たり同重量の樹脂を含浸させるのが一般的であるが、骨格材である不織布若しくは織布の厚さ、骨格材の種類により含浸させる樹脂量が異なるため、この段階で明確な数値として定義することが困難だからである。現段階で明らかとなっていることを、ここに記載しておくと、アラミド不織布を用いた場合にはプリプレグ中のアラミド不織布の重量が２０ｗｔ％〜４０ｗｔ％、ガラス不織布を用いた場合にはプリプレグ中のガラス不織布の重量が２０ｗｔ％〜５０ｗｔ％、となるように調整することが銅箔を張り付けた場合の銅張積層板の引き剥がし強度、耐マイグレーション性能等の品質安定化の点では好ましい。
【００１７】
工程（２）は、ワーク平面２上に形成した液体樹脂層３を、図１（２）に模式的に示したように、そのままの状態で乾燥させることで乾燥樹脂層４とする予備乾燥工程である。この工程は、本件発明においては非常に重要な技術的な意味合いを持つ工程となる。この工程自体は、ワーク平面２上に形成した液体樹脂層３を、そのままの状態で乾燥させることで乾燥樹脂層４とするのであるから、液体樹脂層３を短時間加熱するか、大気中に一定時間暴露する風乾処理を行うか、これらの双方の手法を組みあわせるかして、液体状の熱硬化性樹脂を調整する際に用いた溶剤の除去を行っておくのである。従って、この乾燥樹脂層４は、溶剤が除去された状態であり、風乾のみを行えば硬化の進行していない未硬化の状態であり、加熱して乾燥を行えば半硬化の状態となるものである。このときの液体状の熱硬化性樹脂の溶剤を除去したときの減少重量を意味する加熱減量は、０ｗｔ％〜１０ｗｔ％の範囲とすることが好ましい。この加熱減量の値が大きいほど、含有する溶剤量が多くなり、粘度の低い状態になることを意味している。そして、ここで加熱減量０ｗｔ％を含めているのは、全く溶剤を用いることのない液体状の熱硬化性樹脂を調整することも可能だからである。従って、厳密に区別して言えば、溶剤を用いる場合には、加熱減量は０．１ｗｔ％〜１０ｗｔ％の範囲とすることが好ましい。
【００１８】
仮に、溶剤を用いた液体樹脂層３を乾燥状態とすることなく、ワーク平面２上の液体樹脂層３の表面に骨格材を直接重ね、骨格材に樹脂を含浸させ、加熱して樹脂乾燥を行おうとすると、溶剤の除去に伴って発生するバブルが、骨格材の繊維間にトラップされたようにしてプリプレグ内に残留し、良好なプリプレグを得ることが出来ないこととなるのである。従って、加熱減量が１０ｗｔ％以上の場合には、風乾を用いて溶剤除去を行うのに長時間を要し、十分な溶剤除去を行うことが困難となりバブル発生が見られる確率が高くなるのである。これに対して、加熱減量が０．１ｗｔ％以下の場合には、加熱した場合の硬化の進行が進みやすく、以下に述べる樹脂を再流動化させた後に、プリプレグに適した半硬化状態として残すことが困難となるのである。
【００１９】
液体樹脂層３を乾燥樹脂層４とした後に行う工程（３）は、図２（３）として模式的に示したように、ワーク平面２上にある前記乾燥樹脂層４の表面に、骨格材５を重ね合わせ、予備加熱して圧着することで骨格材付乾燥樹脂層７とする骨格材予備接着工程である。この骨格材予備接着工程は、ワーク平面２上にある前記乾燥樹脂層４の表面に、骨格材である不織布若しくは織布５を張り合わせる工程であるが、「予備加熱して圧着する」とあるように、単に前記乾燥樹脂層４の表面に、骨格材である不織布若しくは織布５を張り合わせるのみであり、樹脂含浸までは行わない。
【００２０】
予備加熱して圧着するためには、加熱ロール６を用いて乾燥樹脂層４の表面に骨格材５をシワ等の不良の無きように平面的に均一に張り付けるか、乾燥樹脂層４の表面に骨格材である不織布若しくは織布５を載置して低圧力で瞬間的に加熱プレス板等で押さえて均一に張り付け加工する等して行うものである。ここで得られたものを、本明細書における説明の都合上、「骨格材付乾燥樹脂層」と称しているのである。このように一旦、半硬化状態とした樹脂層に骨格材を張り付けることで、骨格材のシワ、折れ等のない良好な平面状態を形成することが容易であり、しかも、加熱ロール又は加熱プレス板で押さえつけた状態で樹脂含浸させないことから、これらの加工装置の樹脂付着を防止し、繰り返しての連続操業を可能とするのである。
【００２１】
ここで用いる骨格材５の厚さは、特に限定を要するものではないが、本件発明の目的を考えれば、公称厚さが７０μｍ以下の不織布、公称厚さが３０μｍ以下の織布を用いることになる。また、当該不織布若しくは織布の種類も、アラミド繊維、ガラス繊維等のプリント配線板のプリプレグに使用できる材質である限り使用することが可能である。特に、織布の場合には、織布を構成する繊維が平面的に開繊し、縦横のストランドの断面形状が扁平化したＳＰクロスを用いることが、レーザー穴明け加工性を考慮すれば、より好ましい物となる。更に、これらの骨格材を構成する繊維の表面は、樹脂との濡れ性を向上させるため、アミノ系シランカップリング剤塔によるシランカップリング剤処理を施しておくことが、ボイド発生防止、界面剥離の観点から好ましいのである。
【００２２】
そして、工程（４）は、図３（４）に模式的に示したように、ワーク平面２上に骨格材付乾燥樹脂層７を載置したまま、乾燥樹脂層４の樹脂が再流動可能となる温度で加熱し、当該骨格材５に熱硬化性樹脂成分を含浸させる樹脂含浸工程である。ここに至るまでの工程から明らかなように、たとえ薄い骨格材を用いても、骨格材自体に、余分な負荷をかけることは行っていない。そして、この樹脂含浸工程でも、ワーク平面２上に骨格材付乾燥樹脂層７を載置したまま、樹脂が再流動可能な温度で加熱し、当該骨格材５に熱硬化性樹脂成分を含浸させるのである。そのため、含浸した樹脂重量が骨格材自体に負荷を与えることがないため、骨格材が樹脂重量で引っ張られることが無くなり、例え薄くとも破断することも無くなるのである。
【００２３】
樹脂含浸工程では、骨格材付乾燥樹脂層７の乾燥樹脂層を構成する樹脂を、再流動させるだけで硬化することのない温度で加熱することになる。再流動化した樹脂は、骨格材５の繊維間の隙間に進入し、毛細管現象により骨格材によって吸い上げられることになる。そして、本件発明者等が確認する限り、再流動化した樹脂は、骨格材５を透過して骨格材５の全体を包み込むようになり、従来のプリプレグと同様の含浸状態を得ることが出来るのである。
【００２４】
樹脂含浸が終了すると、工程（５）として、図３（５）に模式的に示したように、含浸した熱硬化性樹脂の完全硬化を防止するため、直ちに降温操作を行い、骨格材５に含浸させた熱硬化性樹脂の半硬化状態を維持してプリプレグ状態となるようにする降温工程を設けるのである。ここでは、降温工程と称しているが、放冷を行っても、図３（５）に示した如きエアブロワ装置１０を用いて衝風冷却を行ってもよい。特に、室温以下に冷却した冷気を出すことのできるような装置を用いての降温操作を要するというものではない。
【００２５】
降温操作が完了すると、骨格材５が熱硬化性樹脂を含浸した状態で、当該熱硬化性樹脂が半硬化状態にあるプリプレグ１が得られることとなるのである。以上のように骨格材５に対する樹脂含浸を、樹脂含浸作業台の平面上に載置した状態のまま行えるため、含浸させた樹脂重量が骨格材自体に負荷されることがなくなる。この結果、骨格材５の厚さが極めて薄くなっても、骨格材５が樹脂重量で引っ張られて破断するという工程不良を解消できるようになるのである。
【００２６】
上述してきたプリプレグの製造方法を実施するに当たっては、以下に述べるような連続製造方法を用いることが非常に生産効率を高める観点から望ましいものである。この連続製造方法を実施するための製造ラインを模式的に示したのが図４である。以下この図を参照しつつ、説明する。
【００２７】
即ち、「無限軌道をもってエンドレス走行するメタルベルト、熱硬化性の液体樹脂層を前記メタルベルト上に形成するための樹脂供給手段、前記液体樹脂層を乾燥樹脂層とするための予備乾燥手段、骨格材を製造ライン内に連続供給する骨格材供給手段、前記骨格材を前記乾燥樹脂層に予備的に圧着する骨格材予備接着手段、前記骨格材を前記乾燥樹脂層に予備的に圧着した部位を加熱し樹脂含浸を行う樹脂含浸手段、樹脂含浸の終了後に降温操作を行いプリプレグの状態とする降温手段、及び完成したプリプレグの採取手段を組みあわせて一つの製造ラインとした請求項１に記載のプリプレグの製造方法を実施するために用いる製造装置であって、メタルベルトは、工程内を一次側から二次側に向けて、樹脂供給手段から降温手段までを、少なくとも一貫して走行するものであり、樹脂供給手段は、溶剤を含む液体状の熱硬化性樹脂を前記メタルベルト上に連続供給し前記メタルベルト上に均一な所定厚さの液体樹脂層を形成させることのできる樹脂ディスペンサを、当該メタルベルトの一次側の起端部に配し、前記樹脂供給手段の二次側に、前記メタルベルト上の前記液体樹脂層を乾燥樹脂層とするための予備乾燥手段として加熱乾燥又は風乾を行うための乾燥ゾーンを配し、前記予備乾燥手段の二次側に、骨格材原料ロールから当該メタルベルトの走行速度と同期して連続的に骨格材を繰り出す骨格材供給手段を配し、前記骨格材供給手段の二次側に、前記メタルベルト上の前記乾燥樹脂層の表面に、骨格材供給手段より供給された骨格材を加熱ロールを用いて加熱圧着する骨格材予備接着手段を配し、前記骨格材予備接着手段の二次側に、骨格材を予備接着した乾燥樹脂層の部位を樹脂の硬化温度以下の温度で加熱し、熱硬化性樹脂の再流動化を行わせ、流動化した樹脂を張り合わせた骨格材に含浸させる加熱ゾーンを樹脂含浸手段として設け、前記樹脂含浸手段の二次側に、樹脂含浸の終了後に降温操作を行いプリプレグの状態とする放冷又は強制冷却することで、骨格材に含浸させた熱硬化性樹脂の半硬化状態を維持してプリプレグの状態とする冷却ゾーンを降温手段として配し、前記降温手段の２次側に完成したプリプレグをロール状にするための巻き取り器又はカットシートとするカット装置をプリプレグの採取手段として配したことを特徴とする骨格材に熱硬化性樹脂を含浸させたプリント配線板製造に用いるプリプレグの連続製造装置。」である。
【００２８】
この連続製造装置１１の中心には、無限軌道をもってエンドレス走行するメタルベルト１２が配置される。このメタルベルト１２は、工程内を一次側から二次側に向けて、樹脂供給手段から降温手段までを、少なくとも一貫して走行するものである。「少なくとも一貫して」としているのは、装置の設計によってはメタルベルトの走行領域が変動しうるからである。ここで言うメタルベルト１２とは、ベルトコンベアのような無限軌道をもってエンドレス走行することのできる柔軟性を持つ金属製帯である。従って、２００℃以上の耐熱性を備えていれば銅、銅合金、アルミニウム、ステンレス、特にメタルベルトを構成する金属材の種類は限定しない。しかし、柔軟性を持つためには、ある程度厚さの薄い金属条、金属箔の如き物であり、均一な平面を作り出す観点からすれば５０μｍ〜４００μｍの厚さのものが使用されることになる。
【００２９】
また、メタルベルト１２の表面は、滑らかな平滑面であっても、ある程度の凹凸のあるものであっても構わない。ある程度の凹凸とは、電解銅箔の基材樹脂と張り付ける面として使用する接着面の粗さ程度、具体的には、表面粗さ（Ｒｚ）が５．０μｍ〜２４．０μｍ程度のものが好ましい。ある程度の凹凸があると、以下に述べる液体状の熱硬化性樹脂を前記メタルベルト１２上に連続供給し、メタルベルト１２上に液体樹脂層３を形成する際に、当該液体樹脂の粘度が低くなっても、メタルベルト１２上での樹脂の横流れを防止でき、形成した液体樹脂層３の形状維持性能に優れることになるのである。メタルベルト１２表面の凹凸の粗さがＲｚ＝２４．０μｍとなると、以下に述べる液体樹脂層３の厚さを均一にすることはできず、メタルベルト１２表面の凹凸の粗さがＲｚ＝５．０μｍとなると、液体樹脂層３の形状維持性能が鏡面の場合同等になるのである。
【００３０】
まず、このメタルベルト１２の一次側の起端部に、樹脂供給手段を配するのである。本件明細書では、この樹脂供給手段を、液体状の熱硬化性樹脂を前記メタルベルト１２上に連続供給し、前記メタルベルト１２上に均一な所定厚さの液体樹脂層３を形成させることのできる樹脂ディスペンサ１３としている。ここで言う樹脂ディスペンサ１３とは、メタルベルト１２上に液体状の熱硬化性樹脂を連続的に供給する機能、及び、メタルベルト１２上で均一な所定厚さの液体樹脂層３を形成する機能を同時に果たすことの出来るエッジコータ又はリップコータの如き一体の装置でも、これらの機能を分離した部位それぞれ行う一つのユニットとして捉えられる装置の双方を含む概念として記載しているのであり、同様の機能を果たすことの出来る装置であれば問題なく使用可能なものである。
【００３１】
そして、メタルベルト１２上で、均一な所定厚さの液体樹脂層３となった部位は、前記樹脂供給手段の二次側に、予備乾燥手段として乾燥ゾーン１４を配することで、前記メタルベルト１２上の前記液体樹脂層３を乾燥樹脂層４とするのである。この乾燥ゾーンでは、ライン速度が早い場合には、図４に示したように加熱乾燥を採用し素早く乾燥させ、ライン速度が十分に遅い場合には風乾を採用することが可能となる。ここで言う風乾とは、単に大気中に放置した状態か、ファンで送り出した風を衝風するか等の意味で使用している。
【００３２】
次に、前記予備乾燥手段の二次側に、骨格材５を製造ライン内に連続供給する骨格材供給手段を配する。この骨格材供給手段は、骨格材原料ロール１５から連続的に繰り出された骨格材５を、前記メタルベルト１２上の前記乾燥樹脂層４となった表面に連続的に供給し、重ね合わせるものである。このとき、骨格材原料ロール１５からの骨格材５の繰り出し速度とメタルベルト１２の走行速度とを一致させ、同期するようにする。骨格材を平面的に均一且つシワの発生無きように張り付けるためである。
【００３３】
そして、その骨格材供給手段の２次側には、骨格材予備接着手段を配する。この骨格材予備接着手段は、加熱ロール６を用いて、骨格材供給手段より供給された骨格材５を、乾燥樹脂層４の表面に連続的に加熱圧着し、骨格材付乾燥樹脂層７の状態にするものである。この加熱ロール６による骨格材５の圧着は、加熱ロール６の熱により乾燥樹脂層４の表層の樹脂のみが再流動化し、骨格材５が問題なく張り付くが、骨格材５を通して流動化した乾燥樹脂層４の樹脂が滲み出してこない程度の低圧力を採用して行う。いわゆる仮接着を行うが如きものである。樹脂が滲み出すと加熱ロール６の表面に付着し、連続製造が不可能となるからである。
【００３４】
次には、前記骨格材予備接着手段の二次側に、骨格材付乾燥樹脂層７の状態になった部位を樹脂の硬化温度以下の温度で加熱し、熱硬化性樹脂の再流動化を行わせ、流動化した樹脂を張り合わせた骨格材５に含浸させる加熱ゾーン１６を樹脂含浸手段として設けるのである。ここでは、樹脂含浸を行うのであるから、乾燥樹脂層４を構成する熱硬化性樹脂の全体が再流動化することが必要である。従って、樹脂含浸手段は、所謂加熱炉を採用し、その加熱方式は特に問わない。この樹脂含浸手段の加熱ゾーン１６内で十分な樹脂の再流動化が起こると、短時間の内に骨格材５が再流動化した樹脂を吸い上げることとなり、含浸が行えるのである。
【００３５】
骨格材５への樹脂含浸の終了した部位は、樹脂含浸手段として加熱ゾーン１６を出ると、直ちに降温操作を行いプリプレグの状態となる。従って、この降温操作を行うための降温手段は、前記樹脂含浸手段の二次側に配するものであり、放冷又はファンを用いて衝風する等して強制冷却するものである。図４の中には、エアブロワ装置１０を例示的に記載している。
【００３６】
最後に、前記降温手段の２次側に、完成したプリプレグ１をロール状とするための巻き取り機又はカットシートとするカット装置をプリプレグ１の採取手段として配するのである。以上のようにして、骨格材５に熱硬化性樹脂を含浸させたプリント配線板製造に用いるプリプレグ１の連続製造が可能となるのである。この装置を用いることで、骨格材５に対する樹脂含浸を、メタルベルト１２の平面上に載置した状態のままで行えるため、含浸させた樹脂重量が骨格材自体に負荷されることがなく、骨格材の厚さが極めて薄くなっても、骨格材が樹脂重量で破断するという工程不良は解消でき、従来使用不可能であった薄い骨格材を骨格材に用いたプリプレグ１の安定生産が可能となるのである。
【００３７】
以上に述べてきた製造方法を採用することで、従来、プリプレグに使用不可能であった７０μｍ以下の厚さの不織布及び３０μｍ以下の厚さの織布を骨格材に用いることが可能となり、結果として極めて薄い骨格材を用いた薄いプリプレグを用いて銅張積層板を製造できる。そして、この銅張積層板は、その層間絶縁層内の骨格材が不織布、若しくは極めて薄い織布であることから、炭酸ガスレーザーによる穴明け加工性が良好となるのである。
【００３８】
そして、上述してきた製造方法を応用して、ワーク平面上で行った操作を銅箔の表面上で行うことで、簡単に絶縁層付銅箔の状態の製品を得ることが出来るのである。即ち、請求項には、「骨格材に熱硬化性樹脂を含浸させた絶縁層を片面に備えた絶縁層付銅箔の製造方法であって、以下に示す（１）〜（５）の各工程を備えたことを特徴とする絶縁層付銅箔の製造方法。（１）溶剤を含む液体状の熱硬化性樹脂を用いて、銅箔の片面上に所定厚さの被膜として液体樹脂層を形成する液体樹脂被膜形成工程。（２）銅箔の片面上にある液体樹脂層を、そのままの状態で乾燥させることで乾燥樹脂層とする予備乾燥工程。（３）銅箔の片面上にある前記乾燥樹脂層の表面に、骨格材を重ね合わせ、予備加熱して圧着することで骨格材付乾燥樹脂層とする骨格材予備接着工程。（４）銅箔の片面上に骨格材付乾燥樹脂層を載置したまま、樹脂が再流動可能な温度で加熱し、当該骨格材に熱硬化性樹脂成分を含浸させる樹脂含浸工程。（５）樹脂含浸が終了すると、熱硬化性樹脂を完全硬化させることなく、直ちに降温操作を行い、骨格材に含浸させた熱硬化性樹脂の半硬化状態を維持して絶縁層付銅箔の状態する冷却工程。」としている。この工程は、敢えて図６〜図８に、そのフローを示したが、図１〜図３のワーク平面を銅箔Ｃに置き換えただけで表せるものである。従って、各工程の説明は重複する物となるため、ここでの説明は省略する。この製造方法により、図８（５）に示した模式断面の状態そのままの絶縁層付銅箔１８が得られるのである。
【００３９】
このような製造方法で得られた絶縁層付銅箔の絶縁層は、骨格材を含む物ではあるが、その骨格材は、従来のプリプレグに用いるものに比べ、非常に薄いものを用いることが可能であり、結果して薄い絶縁層とすることが出来るのである。従って、この絶縁層付銅箔を用いた銅張積層板は、その厚さを薄くすることができ、しかも骨格材の折れ、割れ等の不良が殆ど無いものとなるのである。。
【００４０】
【発明の実施の形態】
以下、本件発明に係るプリプレグの製造方法について、最良と思われる実施形態について説明する。
【００４１】
第１実施形態：  本実施形態では、バッジ方式で、骨格材である３０μｍ厚さのアラミド繊維を用いた不織布にエポキシ系の熱硬化性樹脂を含浸させたプリント配線板製造に用いるプリプレグ１の製造方法について述べる。以下、図１〜図３を参照しつつ、各工程の順を追って説明することとする。
【００４２】
最初に図１（１）に示したように液体樹脂被膜形成工程で、液体状のエポキシ系の熱硬化性樹脂を用いて、平坦な５５ｃｍ×５５ｃｍサイズのワーク平面２の上に約１６μｍ厚さの被膜として、５０ｃｍ×５０ｃｍの領域に液体樹脂層３を形成した。ここで用いた液体状のエポキシ系の熱硬化性樹脂は、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（商品名：ＹＤ−１２８、東都化成社製）３０重量部、ｏ−クレゾール型エポキシ樹脂（商品名：ＥＳＣＮ−１９５ＸＬ８０、住友化学社製）５０重量部、エポキシ樹脂硬化剤として固形分２５％のジメチルホルムアルデヒド溶液の形でジシアンジアミド（ジシアンジアミドとして４重量部）を１６重量部、硬化促進剤として２−エチル４−メチルイミダゾール（商品名：キャゾール２Ｅ４ＭＺ、四国化成社製）を０．１重量部をメチルエチルケトンとジメチルホルムアルデヒドとの混合溶剤（混合比：メチルエチルケトン／ジメチルホルムアルデヒド＝４／６）に溶解して固形分６０重量％としたエポキシ樹脂組成物とした。
【００４３】
そして、図１（２）に示した予備乾燥工程では、この前記ワーク平面２の上にある液体樹脂層３を、室温で３０分間放置して、熱風乾燥機を用いて１５０℃の温風を２分間衝風することで、半硬化状態に乾燥させ乾燥樹脂層４とした。このときの乾燥樹脂層４の塗布量は、乾燥後の樹脂厚として４０μｍとなるようにした。ここで用いたワーク平面は、表面を光沢仕上げした１ｃｍ厚さの銅板を用いた。
【００４４】
次に、乾燥樹脂層４の上に、公称厚さ３０μｍ厚の５０ｃｍ×５０ｃｍサイズのアラミド繊維の不織布５を張り合わせた。この張り合わせは、図２（３）に示したように形成した乾燥樹脂層４の表面に当該不織布５を重ね合わせて、１５０℃の温度で、６ｋｇ／ｃｍ２のラミネート圧力を掛けることの出来るようにした加熱ロール６を、２０ｃｍ／分の速度で押し当てることにより、不織布付乾燥樹脂層７とした。
【００４５】
以上のようにして得られた不織布付乾燥樹脂層７をワーク平面２に乗せたまま、図３（４）に示すように加熱炉８内に入れ、ヒータ９で加熱して、乾燥樹脂層４の構成樹脂を再流動化させ、不織布５に含浸させた。加熱炉内の温度１５０℃で３分間加熱することとした。
【００４６】
樹脂含浸が含浸が終了すると、図３（５）に示すように、降温工程として、樹脂含浸した不織布５をワーク平面２に乗せたまま加熱炉８から取り出し、清浄化した空気の吹き出し口を複数備えたエアブロワ１０により、衝風降温を行った。このようにして、厚さ５０μｍのプリプレグ１を製造した。このときのプリプレグ１の重量内、不織布重量は２５ｗｔ％であった。以上の製造過程において、工程上の問題は見られず、不織布５が破断するという現象も当然になかった。
【００４７】
そして、このプリプレグ１を用いて、その片面に公称厚さ３μｍの電解銅箔層を備えたキャリア箔付電解銅箔をプレス加工し、キャリア箔を除去することで、片面銅張積層板１０を製造した。このときのプレス加工条件は、プレス温度１８０℃、プレス圧力２０ｋｇ／ｃｍ２、硬化時間９０分とした。
【００４８】
以上のようにして得られた片面銅張積層板の３μｍの電解銅箔層を、電解メッキ法で約１８μｍの厚さとなるようにメッキアップし、プリプレグ１が硬化した基材側に１００μｍ厚の硬化したＦＲ−４基板を接着剤を用いて張り付け補強して、引き剥がし強度測定用試料とした。この状態で、０．２ｍｍの回路をエッチング法にて形成し、引き剥がし強度を測定した結果、常態引き剥がし強度１．６６ｋｇｆ／ｃｍ、半田後引き剥がし強度１．５８ｋｇｆ／ｃｍと非常に良好な値を示していた。
【００４９】
また、この銅張積層板の３μｍ厚の銅箔層を残したまま、炭酸ガスレーザー穴明け加工機を用いて、直径１００μｍのブラインドバイアホールを２００穴あける試験を行った。このときの炭酸ガスレーザー照射条件は、周波数２０００Ｈｚ、マスク径５．０ｍｍ、パルス幅６０μｓｅｃ．、パルスエネルギー１６．０ｍＪ、オフセット０．８、レーザー光径１３０μｍとし、１００μｍの加工径の穴を形成することを予定して行ったものである。その結果、２００穴全てが良好に穴明け可能であり、平均穴径が１０８μｍであった。
【００５０】
第２実施形態：  本実施形態では、図４に模式的に示した連続製造装置１１を用いてプリプレグ１の製造を行った。連続製造装置１１の、無限軌道をもってエンドレス走行するメタルベルト１２には、幅５２ｃｍ、厚さ２００μｍで片側走行長さ１０ｍとなる鏡面仕上げしたステンレスベルトを採用した。このメタルベルト１２は、図４に示したように工程内を一次側から二次側に向けて、樹脂供給手段から降温手段までを、少なくとも一貫して走行するようにした。
【００５１】
そして、このメタルベルト１２の一次側の起端部に、樹脂供給手段としてエッジコータータイプの樹脂ディスペンサ１３を配し、第１実施形態で用いたと同様の液体状の熱硬化性樹脂を当該樹脂ディスペンサ１３の貯留槽に入れ、樹脂吐き出し部より、前記メタルベルト１２上に連続供給し、前記メタルベルト１２上に４０μｍの均一な厚さで液体樹脂層３を形成させた。
【００５２】
そして、メタルベルト１２上に形成した液体樹脂層３は、前記樹脂供給手段の二次側に配した予備乾燥手段として、１．５ｍの距離を自然乾燥する状態で走行させ、その後、乾燥ゾーン１４で５秒間の短時間加熱を行うことで、前記メタルベルト１２上の前記液体樹脂層３を半硬化状態の乾燥樹脂層４としたのである。
【００５３】
一方、前記予備乾燥手段の二次側に、不織布５を製造ライン内に連続供給する骨格材供給手段を配した。この骨格材供給手段は、骨格材原料ロール１５から連続的に繰り出された幅５０ｃｍ、厚さ７０μｍの不織布５を、前記メタルベルト１２上の前記乾燥樹脂層４となった部位の表面に連続的に供給し、重ね合わせるた。このとき、骨格材原料ロール１５からの不織布５の繰り出し速度とメタルベルト１２の走行速度とは、２０ｃｍ／分として一致させ、不織布５を平面的に均一且つシワの発生無きよう張り付けた。
【００５４】
そして、その骨格材供給手段の２次側には、不織布予備接着手段を配した。この不織布予備接着手段の加熱ロール６を用い、骨格材供給手段より供給された不織布５を、乾燥樹脂層４の表面に連続的に加熱圧着した。この加熱ロール６による不織布５の圧着は、１５０℃に加熱し、６ｋｇ／ｃｍ２のラミネート圧力を掛けるようにした加熱ロール６により乾燥樹脂層４の表層の樹脂のみを再流動化させ、不織布付乾燥樹脂層７の状態とした。このとき、不織布５を通して流動化した乾燥樹脂層４の樹脂の滲み出しはなかった。
【００５５】
前記不織布予備接着手段の二次側には、樹脂含浸手段としての６０ｃｍ長さの加熱ゾーン１６を設けた。不織布付乾燥樹脂層７の状態になった部位を、ヒータ９を用いて樹脂の硬化温度以下の１５０℃の温度で３分間加熱し、熱硬化性樹脂の再流動化を行わせ、流動化した樹脂を張り合わせた不織布５に吸い上げさせ含浸させた。
【００５６】
不織布５への樹脂含浸の終了した部位は、加熱ゾーン１６を出ると、図４の中に示したエアブロワ装置１０で、３ｍ距離の間を空気を衝風することにより降温操作を行い９０μｍ厚のプリプレグの状態とした。
【００５７】
最後に、前記降温手段の２次側に、完成したプリプレグ１をロール状とするための巻き取り機１７をプリプレグ１の採取手段として配した。以上のようにして、不織布５に熱硬化性樹脂を含浸させたプリント配線板製造に用いる幅５０ｃｍのプリプレグ１の連続製造を行った。このときのプリプレグ１の重量内、不織布重量は２５ｗｔ％であった。この装置を用いることで、不織布５に対する樹脂含浸を、メタルベルト１２の平面上に載置した状態で行ったため、含浸させた樹脂重量が不織布自体に負荷されることがなく、不織布５の厚さが７０μｍであっても、不織布５が樹脂重量で破断するという工程不良は起きず、連続的に薄い不織布を骨格材に用いたプリプレグ１の安定生産が可能であった。
【００５８】
ここで得られたプリプレグ１を用いて、第１実施形態と同様の方法で、その片面に公称厚さ３μｍの電解銅箔層を備えたキャリア箔付電解銅箔をプレス加工し、キャリア箔を除去することで、片面銅張積層板１０を製造し、引き剥がし強度の測定を行った。その結果、常態引き剥がし強度１．６３ｋｇｆ／ｃｍ、半田後引き剥がし強度１．６０ｋｇｆ／ｃｍと非常に良好な値を示していた。また、この銅張積層板を、炭酸ガスレーザー穴明け加工機により、第１実施形態と同様の穴明け試験を行ったところ、２００穴全てが良好に穴明け可能であり、平均穴径が１０９μｍであった。
【００５９】
第３実施形態：  本実施形態では、バッジ方式で、骨格材に１５μｍ厚さの織布であるＳＰガラスクロスを用い、それにエポキシ系の熱硬化性樹脂を含浸させたプリント配線板製造に用いるプリプレグ１の製造方法について述べる。以下、図１〜図３を参照しつつ、各工程の順を追って説明することとする。なお、骨格材であるＳＰガラスクロスは、上記の不織布と共通する符号を用い、その他説明の都合上共通の性質を持つ用語に関しては第１実施形態と共通する符号を用いている。
【００６０】
最初に第１実施形態と同様に、図１（１）に示したように液体樹脂被膜形成工程で、液体状のエポキシ系の熱硬化性樹脂を用いて、平坦な５５ｃｍ×５５ｃｍサイズのワーク平面２の上に約１６μｍ厚さの被膜として、５０ｃｍ×５０ｃｍの領域に液体樹脂層３を形成した。ここで用いた液体状のエポキシ系の熱硬化性樹脂は、第１実施形態と同じであるため、ここでの詳細な説明は省略する。
【００６１】
そして、図１（２）に示した予備乾燥工程では、この前記ワーク平面２の上にある液体樹脂層３を、室温で３０分間放置して、熱風乾燥機を用いて１５０℃の温風を２分間衝風することで、半硬化状態に乾燥させ乾燥樹脂層４とした。このときの乾燥樹脂層４の塗布量は、乾燥後の樹脂厚として１５μｍであった。ここで用いたワーク平面は、表面を光沢仕上げした１ｃｍ厚さの銅板を用いた。
【００６２】
次に、乾燥樹脂層４の上に、公称厚さ１５μｍ厚の５０ｃｍ×５０ｃｍサイズのＳＰガラスクロス５を張り合わせた。この張り合わせは、図２（３）に示したように形成した乾燥樹脂層４の表面に当該ＳＰガラスクロス５を重ね合わせて、１５０℃の温度で、６ｋｇ／ｃｍ２のラミネート圧力を掛けることの出来るようにした加熱ロール６を、２０ｃｍ／分の速度で押し当てることにより、ＳＰガラスクロス付乾燥樹脂層７とした。
【００６３】
以上のようにして得られたＳＰガラスクロス付乾燥樹脂層７をワーク平面２に乗せたまま、図３（４）に示すように加熱炉８内に入れ、ヒータ９で加熱して、乾燥樹脂層４の構成樹脂を再流動化させ、ＳＰガラスクロス５に含浸させた。加熱炉内の温度１５０℃で３分間加熱することとした。
【００６４】
樹脂含浸が含浸が終了すると、図３（５）に示すように、降温工程として、樹脂含浸したＳＰガラスクロス５をワーク平面２に乗せたまま加熱炉８から取り出し、清浄化した空気の吹き出し口を複数備えたエアブロワ１０により、衝風降温を行った。このようにして、厚さ２０μｍのプリプレグ１を製造した。このときのプリプレグ１の重量内、不織布重量は２８ｗｔ％であった。以上の製造過程において、工程上の問題は見られず、１５μｍと非常に薄いＳＰガラスクロス５が破断するという現象も当然になかった。
【００６５】
そして、このプリプレグ１を用いて、その片面に公称厚さ３μｍの電解銅箔層を備えたキャリア箔付電解銅箔をプレス加工し、キャリア箔を除去することで、片面銅張積層板１０を製造した。このときのプレス加工条件は、プレス温度１８０℃、プレス圧力２０ｋｇ／ｃｍ２、硬化時間９０分とした。
【００６６】
以上のようにして得られた片面銅張積層板の３μｍの電解銅箔層を、電解メッキ法で約１８μｍの厚さとなるようにメッキアップし、プリプレグ１が硬化した基材側に１００μｍ厚の硬化したＦＲ−４基板を接着剤を用いて張り付け補強して、引き剥がし強度測定用試料とした。この状態で、０．２ｍｍの回路をエッチング法にて形成し、引き剥がし強度を測定した結果、常態引き剥がし強度１．６３ｋｇｆ／ｃｍ、半田後引き剥がし強度１．６１ｋｇｆ／ｃｍと非常に良好な値を示していた。
【００６７】
また、第１実施形態と同様の方法で炭酸ガスレーザー穴明け加工機を用いて、レーザー加工性を評価したが、２００穴全てが良好に穴明け可能であり、平均穴径が１０１μｍであった。
【００６８】
第４実施形態：  本実施形態では、バッジ方式で、骨格材である３０μｍ厚さのアラミド繊維を用いた不織布にエポキシ系の熱硬化性樹脂を含浸させた絶縁層を備えた絶縁層付銅箔の製造方法について述べる。以下、図６〜図８を参照しつつ、各工程の順を追って説明することとする。
【００６９】
最初に図６（１）に示したように液体樹脂被膜形成工程で、液体状のエポキシ系の熱硬化性樹脂を用いて、平坦な面上に置いた５５ｃｍ×５５ｃｍサイズの１８μｍ厚さの銅箔Ｃの接着面の上に被膜として、５０ｃｍ×５０ｃｍの領域に液体樹脂層３を形成した。ここで用いた液体状のエポキシ系の熱硬化性樹脂は、第１実施形態で用いたものと同様であるため、説明を省略する。
【００７０】
そして、図６（２）に示した予備乾燥工程では、この前記ワーク平面２の上にある液体樹脂層３を、室温で３０分間放置して、熱風乾燥機を用いて１５０℃の温風を２分間衝風することで、半硬化状態に乾燥させ乾燥樹脂層４とした。このときの乾燥樹脂層４の塗布量は、乾燥後の樹脂厚として４０μｍとなるようにした。ここで用いたワーク平面は、表面を光沢仕上げした１ｃｍ厚さの銅板を用いた。
【００７１】
次に、乾燥樹脂層４の上に、公称厚さ３０μｍ厚の５０ｃｍ×５０ｃｍサイズのアラミド繊維の不織布５を張り合わせた。この張り合わせは、図７（３）に示したように形成した乾燥樹脂層４の表面に当該不織布５を重ね合わせて、１５０℃の温度で、６ｋｇ／ｃｍ２のラミネート圧力を掛けることの出来るようにした加熱ロール６を、２０ｃｍ／分の速度で押し当てることにより、不織布付乾燥樹脂層７とした。
【００７２】
以上のようにして得られた不織布付乾燥樹脂層７を銅箔Ｃ上に乗せたまま、図８（４）に示すように加熱炉８内に入れ、ヒータ９で加熱して、乾燥樹脂層４の構成樹脂を再流動化させ、不織布５に含浸させた。加熱炉内の温度１５０℃で３分間加熱することとした。
【００７３】
樹脂含浸が含浸が終了すると、図８（５）に示すように、降温工程として、清浄化した空気の吹き出し口を複数備えたエアブロワ１０により、衝風降温を行い、厚さ５０μｍの絶縁層を備える絶縁層付銅箔１８が製造出来たのである。このときの絶縁層内の不織布重量は２５ｗｔ％であった。
【００７４】
【発明の効果】
本件発明に係るプリプレグの製造方法を用いることで、従来のプリプレグの製造方法では量産使用することのできなかった７０μｍ以下の厚さの不織布、又は３０μｍ以下の織布を用いたプリプレグの安定生産が可能となる。従って、不織布を骨格材に用いることで得られる優れたレーザー穴明け加工性を確保し、従来になく薄い不織布若しくは織布を用いたプリプレグの提供ができることになるのである。また、更に、このプリプレグの製造方法を応用することで、容易に非常に薄い絶縁層を備えた絶縁層付銅箔の供給が可能になり、薄物プリント配線板の製造が容易になるのである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本件発明に係るプリプレグの製造方法のフローを説明するための模式図。
【図２】本件発明に係るプリプレグの製造方法のフローを説明するための模式図。
【図３】本件発明に係るプリプレグの製造方法のフローを説明するための模式図。
【図４】本件発明に係るプリプレグの連続製造装置のレイアウト概念を説明するための側面模式図。
【図５】従来のプリプレグの製造方法を表す模式図。
【図６】本件発明に係るプリプレグの製造方法のフローを説明するための模式図。
【図７】本件発明に係るプリプレグの製造方法のフローを説明するための模式図。
【図８】本件発明に係るプリプレグの製造方法のフローを説明するための模式図。
【符号の説明】
１    プリプレグ
２    ワーク平面
３    液体樹脂層
４    乾燥樹脂層
５    不織布
６    加熱ロール
７    不織布付乾燥樹脂層
８    加熱炉
９    ヒータ
１０  エアブロワ
１１  連続製造装置
１２  メタルベルト
１３  樹脂ディスペンサ
１４  乾燥ゾーン
１５  骨格材原料ロール
１６  加熱ゾーン
１７  巻き取り機
１８  絶縁層付銅箔
Ｃ  銅箔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0004136509.tif 000007
【図７】
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【図８】
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