(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のトレイが積み重なることなく独立して上下方向に収納される第１のトレイ収納部と、
第２のトレイが積み重なることなく独立して上下方向に収納される第２のトレイ収納部と、
前記第１のトレイ収納部と前記第２のトレイ収納部との問に昇降可能に設けられ、前記第１のトレイ収納部および前記第２のトレイ収納部との間で第１のトレイまたは第２のトレイの受け渡しを行う第１の昇降手段と、を備え、
前記第１のトレイ収納部には、試験前の電子部品基板が搭載されたトレイが収納され、
前記第２のトレイ収納部には、試験後の電子部品基板が搭載されたトレイが収納され、
前記第１のトレイ収納部の少なくとも一部に、試験後の電子部品基板が搭載されたトレイが収納されることを特徴とするトレイ移送装置。
【請求項２】
前記第１のトレイ収納部、前記第２のトレイ収納部および前記第１の昇降手段の上部に設けられ、これらの並設方向に移動可能とされて、前記第１の昇降手段との間で前記第１のトレイまたは前記第２のトレイの受け渡しを行う水平搬送手段と、
目的とするポジションに対して昇降可能とされ、前記水平搬送手段との間で前記第１のトレイまたは前記第２のトレイの受け渡しを行う第２の昇降手段と、をさらに備える請求項１記載のトレイ移送装置。
【請求項３】
前記第１のトレイ収納部に収納されたトレイに搭載される前記試験後の電子部品基板が、再試験をすべきカテゴリであることを特徴とする請求項１または２記載のトレイ移送装置。
【請求項４】
第１のトレイが積み重なることなく独立して上下方向に収納される第１のトレイ収納部と、
第２のトレイが積み重なることなく独立して上下方向に収納される第２のトレイ収納部と、
前記第１のトレイ収納部と前記第２のトレイ収納部との問に昇降可能に設けられ、前記第１のトレイ収納部および前記第２のトレイ収納部との間で第１のトレイまたは第２のトレイの受け渡しを行う第１の昇降手段と、を備え、
前記第１のトレイ収納部には、試験前の電子部品基板が搭載されたトレイが収納され、
前記第２のトレイ収納部には、試験後の電子部品基板が搭載されたトレイが収納され、
前記第２のトレイ収納部の少なくとも一部に、試験前の電子部品基板を受け渡した空のトレイが収納されることを特徴とするトレイ移送装置。
【請求項５】
前記第１のトレイ収納部、前記第２のトレイ収納部および前記第１の昇降手段の上部に設けられ、これらの並設方向に移動可能とされて、前記第１の昇降手段との間で前記第１のトレイまたは前記第２のトレイの受け渡しを行う水平搬送手段と、
目的とするポジションに対して昇降可能とされ、前記水平搬送手段との間で前記第１のトレイまたは前記第２のトレイの受け渡しを行う第２の昇降手段と、をさらに備える請求項４記載のトレイ移送装置。
【請求項６】
前記第１のトレイと前記第２のトレイは、同じ種類のトレイであることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のトレイ移送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえばメモリモジュールなどの電子部品基板を試験するための電子部品基板の試験装置およびトレイの移送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
メモリモジュールなどの電子部品基板の製造過程においては、最終的に製造されたメモリモジュールを試験する試験装置が必要となる。このような試験装置の一種として、常温よりも高いまたは低い温度条件で、メモリモジュールを試験するための装置が知られている。メモリモジュールの特性として、高温または低温でも良好に動作することが保証されるからである。
【０００３】
従来のメモリモジュール用試験装置にて高温試験または低温試験を行う場合には、試験前のメモリモジュールを試験装置内の予熱部または冷却部で加熱または冷却し、加熱または冷却されたメモリモジュールをピック・アンド・プレース機構を用いて測定部まで搬送し、メモリモジュールに加えられた予熱により高温試験または低温試験を行っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、メモリモジュールのような大きな電子部品基板を試験装置に搬入または搬出する場合、たとえば図５に示すようなトレイ２０２，２０４が用いられる。この種のトレイでは、電子部品基板１０を直立させて並べるため、複数のトレイを積み重ねることができない。
【０００５】
このため、試験装置の搬入部及び搬出部には、図７に示すように、トレイ２０２，２０４を一枚づつ収納する引き出し状のトレイ収納部２１２，２１４が設けられ、目的とするトレイがデバイス搬入ステージ２１６またはデバイス搬出ステージ２１８の高さに至るまでトレイ収納部自体を昇降させることで、こうしたトレイの出し入れ操作を行っていた。
【０００６】
しかしながら、トレイ収納部自体を昇降させる方式では、各トレイ収納部２１２，２１４の上にその昇降軌跡ぶんのデッドスペース（同図にＤＳで示す。）が必要となり、試験装置自体が大型になるといった問題があった。また、トレイ収納部自体を昇降させる方式では、試験前の電子部品基板１０を収納したトレイ２０２（以下、供給用トレイ）のトレイ収納部２１２と、試験を終えた電子部品基板１０を収納したトレイ２０４（以下、収納用トレイ）のトレイ収納部２１４とが独立した構造となり、たとえば空になった供給用トレイ２０２を収納用トレイ２０４として利用することができない。
【０００７】
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、試験装置の小型化を図るとともにトレイの汎用性を高めカテゴリ数を増加させることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
（１）上記目的を達成するために、第１の観点による本発明のトレイ移送装置は、第１のトレイが積み重なることなく独立して上下方向に収納される第１のトレイ収納部と、第２のトレイが積み重なることなく独立して上下方向に収納される第２のトレイ収納部と、前記第１のトレイ収納部と前記第２のトレイ収納部との間に昇降可能に設けられ、前記第１のトレイ収納部および前記第２のトレイ収納部との間で第１のトレイまたは第２のトレイの受け渡しを行う第１の昇降手段と、を備え、前記第１のトレイ収納部には、試験前の電子部品基板が搭載されたトレイが収納され、前記第２のトレイ収納部には、試験後の電子部品基板が搭載されたトレイが収納され、前記第１のトレイ収納部の少なくとも一部に、試験後の電子部品基板が搭載されたトレイが収納されることを特徴とする。
【０００９】
第１の観点による本発明のトレイ移送装置においては、前記第１のトレイ収納部、前記第２のトレイ収納部および前記第１の昇降手段の上部に設けられ、これらの並設方向に移動可能とされて、前記第１の昇降手段との間で前記第１のトレイまたは前記第２のトレイの受け渡しを行う水平搬送手段と、目的とするポジションに対して昇降可能とされ、前記水平搬送手段との間で前記第１のトレイまたは前記第２のトレイの受け渡しを行う第２の昇降手段と、をさらに備えることが好ましい。
【００１０】
また、前記第１のトレイ収納部に収納されたトレイに搭載される前記試験後の電子部品基板が、再試験をすべきカテゴリであることがより好ましい。
【００１２】
（２）上記目的を達成するために、第２の観点による本発明のトレイ移送装置は、第１のトレイが積み重なることなく独立して上下方向に収納される第１のトレイ収納部と、第２のトレイが積み重なることなく独立して上下方向に収納される第２のトレイ収納部と、前記第１のトレイ収納部と前記第２のトレイ収納部との問に昇降可能に設けられ、前記第１のトレイ収納部および前記第２のトレイ収納部との間で第１のトレイまたは第２のトレイの受け渡しを行う第１の昇降手段と、を備え、前記第１のトレイ収納部には、試験前の電子部品基板が搭載されたトレイが収納され、前記第２のトレイ収納部には、試験後の電子部品基板が搭載されたトレイが収納され、前記第２のトレイ収納部の少なくとも一部に、試験前の電子部品基板を受け渡した空のトレイが収納されることを特徴とする。
【００１３】
第２の観点による本発明のトレイ移送装置においては、前記第１のトレイ収納部、前記第２のトレイ収納部および前記第１の昇降手段の上部に設けられ、これらの並設方向に移動可能とされて、前記第１の昇降手段との間で前記第１のトレイまたは前記第２のトレイの受け渡しを行う水平搬送手段と、目的とするポジションに対して昇降可能とされ、前記水平搬送手段との間で前記第１のトレイまたは前記第２のトレイの受け渡しを行う第２の昇降手段と、をさらに備えることが好ましい。
【００１６】
また、第１の観点および第２の観点においては、前記第１のトレイと前記第２のトレイは、同じ種類のトレイであることがより好ましい。
【００１７】
【作用】
本発明のトレイ移送装置では、トレイ収納部自体を昇降させるのではなく、第１の昇降手段、水平搬送手段および第２の昇降手段によりトレイを移送するので、トレイ収納部の上部にデッドスペースが生じるといった問題がなくなり、少なくとも高さ方向に装置全体を小型化することができる。
【００１８】
また、第１の昇降手段をトレイ収納部の間に設けることで、両方のトレイ収納部にアクセスすることができ、トレイの移送が効率化されるとともに、トレイの移送シーケンスの自由度が増す。しかも、何れのトレイ収納部に対してもトレイを収納することができ、また何れのトレイ収納部に収納されたトレイをも取り出すことができるので、装置自体を変えることなく分類数の増加に対して柔軟に対処することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は本発明のトレイ移送装置が適用される電子部品基板の試験装置の一例を示す図であって（Ａ）は平面図、（Ｂ）はＢ−Ｂ線に沿う断面図である。図２（Ａ）は本発明のトレイ移送装置の実施形態を示す斜視図、図２（Ｂ）は本実施形態のトレイ収納部とエレベータの部分を示す斜視図、図３乃至図４は本実施形態におけるトレイの取り廻し方法を説明するための概念図、図５は本実施形態で用いられるトレイの一例を示す斜視図である。
【００２０】
以下の実施形態では、被試験物として図５に示すメモリモジュール１０を例に挙げる。こうしたメモリモジュール１０は、ハンドラ１に対して、その端子１２を下にした直立姿勢で、同図に示すトレイ２０２，２０４に搭載されて搬入され、また同じ荷姿で搬出される。同図に示す２０５はメモリモジュール１０を直立姿勢に保つための凸部である。
【００２１】
なお、試験前のメモリモジュール１０を搭載するための供給用トレイ２０２と、試験を終えたメモリモジュール１０を搭載するための収納用トレイ２０４は同一形状であっても異なる形状であっても良いが、少なくとも供給用トレイ２０２は、搭載されたメモリモジュール１０の位置決め機能を備えるものが望ましい。供給用トレイ２０２に搭載されたメモリモジュール１０は、これからハンドラ１内へ搬入されて複数のピックアップ装置によって載せ替え等の操作が行われるからである。
【００２２】
本実施形態のトレイ移送装置は、図１に示すハンドラ１のメモリモジュール格納部２００に設けられるものであり、一対のトレイ収納部２１２，２１４を有している。
【００２３】
図１および図２に示すように、一方のトレイ収納部２１２には、主としてこれから試験が行われるメモリモジュール１０が搭載された供給用トレイ２０２が、積み重ねることなく、互いに独立して上下方向に保持収納されている。これに対して他方のトレイ収納部２１４には、試験を終えたメモリモジュール１０が適宜に分類された収納用トレイ２０４が、同じく積み重ねることなく互いに独立して上下方向に保持収納されている。すなわち、トレイ２０２，２０４はこれらトレイ収納部２１２，２１４にたとえば引き出し棚状に収納される。
【００２４】
なお、これらトレイ収納部２１２，２１４に収納可能なトレイ枚数は特に限定されず、試験装置の大きさと分類能力等の関係で適宜決定することができる。図３乃至図４では、各トレイ収納部２１２，２１４に最大７枚づつのトレイ２０２，２０４を収納できるようになっている。
【００２５】
また詳細は後述するが、トレイ収納部２１２，２１４は互いに同じ構造とされているので、供給用トレイ２０２、収納用トレイ２０４の何れをも互いに収納することができる。つまり、試験結果の分類が、良品と不良品の別の外に、良品の中でも動作速度が高速のもの、中速のもの、低速のもの、あるいは不良の中でも再試験が必要なもの等々、多分類が必要とされる場合は、２つのトレイ収納部２１２，２１４を総合的に使用することで対処することができる。
【００２６】
一対のトレイ収納部２１２，２１４の間には、エレベータ２０６（本発明の第１の昇降手段に相当する）が昇降可能に設けられている。このエレベータ２０６は、図２（Ａ）に示すように、たとえばボールネジ駆動装置２０６ａによって、少なくとも各トレイ収納部２１２，２１４の最下段から最上段までの間を上下方向に移動制御される。
【００２７】
このエレベータ２０６は、各トレイ収納部２１２，２１４との間でトレイ２０２，２０４の受け渡しを行う。こうした動作は、たとえば図２（Ｂ）に示すように、トレイ２０２，２０４またはこれを載置するプレートに、流体圧シリンダ２０６ｂのロッドなどを引っかけ、流体圧シリンダ２０６ｂを進退駆動することで、トレイ２０２，２０４の出し入れ操作が実行される。
【００２８】
これらトレイ収納部２１２，２１４およびエレベータ２０６の直上には、トランアーム２０８（本発明の水平搬送手段に相当する。）が、図２に示す±Ｘ軸方向に移動自在に設けられている。このトランアーム２０８は、たとえばボールネジ駆動装置２０８ａによって±Ｘ軸方向の所望の位置に移動制御される。トランアーム２０８は、エレベータ２０６に載置されたトレイ２０２，２０４を受け取って後述するセットプレート２１０（本発明の第２の昇降手段に相当する。）に受け渡したり、逆にセットプレート２１０に載置されたトレイ２０２，２０４を受け取ってエレベータ２０６に受け渡す。この際に、トレイ２０２，２０４を保持および解放するためにフック機構２０８ｂ（図３（Ａ）参照）が開閉可能に設けられている。
【００２９】
なお、本実施形態ではトランアーム２０８の可動方向を±Ｘ軸方向にのみ設定しているが、±Ｚ軸方向に対しても昇降可能として、トレイ２０２，２０４の受け渡しの際に±Ｚ軸方向に昇降させても良い。また、±Ｙ軸方向に対しても可動とし、後述するセットプレート２１０の設定範囲に自由度を持たせても良い。
【００３０】
本実施形態のトレイ移送装置では、トランアーム２０８の直上に３つのセットプレート２１０が設けられている。これらセットプレート２１０は、たとえばボールネジ駆動装置２１０ａによって、それぞれ独立して±Ｚ軸方向に昇降可能とされ、少なくともトランアーム２０８よりも低い位置とトランアーム２０８よりも高い位置との間を昇降することができる。ここでいう下限位置が、トレイ２０２，２０４の受け渡しの際の位置であり、上限位置がトレイ２０２，２０４のセット位置（つまり、メモリモジュール１０を出し入れする位置）である。
【００３１】
なお、本例では３つのセットプレート２１０が設けられ、図２の左の一つがハンドラ１でいうローダ部３００のセットプレート２１０とされ、右の二つがハンドラ１でいうアンローダ４００のセットプレート２１０，２１０とされている。ただし、本発明はこれに何ら限定されず、２つであってもまた４つ以上であっても良い。
【００３２】
次に動作を説明する。
図３乃至図４では、試験前のメモリモジュール１０が満載された供給用トレイ２０２をトレイ収納部２１２の全ての段に収納し、これをハンドラ１のローダ部３００にセットする動作と、ハンドラ１のアンローダ部４００で試験済みメモリモジュール１０が満載となった収納用トレイ２０４をトレイ収納部２１４に移送する動作とを連続して説明する。
【００３３】
たとえばトレイ収納部２１２の最上段から供給用トレイ２０２を取り出すとすると、図３（Ａ）に示すようにまずエレベータ２０６をトレイ収納部２１２の最上段の高さ位置まで移動させ、図２（Ｂ）に示す流体圧シリンダ２０６ａにてトレイ収納部２１２の最上段の供給用トレイ２０２をエレベータ２０６に押し出す。これと相前後して、トランアーム２０８をエレベータ２０６の直上に移動させておく。
【００３４】
次に、供給用トレイ２０２が載置されたエレベータをトランアーム２０８との受け渡し位置まで上昇させ、トランアーム２０８のフック機構２０８ｂを閉じることにより供給用トレイ２０２を受け取ってこれを保持する。そして、目的のポジションであるローダ部３００の下部へトランアーム２０８を移動させる。この移動の前に、ローダ部３００のセットプレート２１０を下限位置まで下降させておく。
【００３５】
この状態を図３（Ｂ）に示すが、ここでセットプレート２１０を僅かに上昇させ（あるいはトランアーム２０８に±Ｚ軸方向の昇降機能が付加されているときはトランアーム２０８側を僅かに下降させ）、トランアーム２０８のフック機構２０８ｂを開いて供給用トレイ２０２をセットプレート２１０上に受け渡す。そして、トランアーム２０８をその位置から待避させたのち、図３（Ｃ）に示すようにセットプレート２１０を上限位置まで上昇させて供給用トレイ２０２をローダ部３００にセットする。以上で、試験前のメモリモジュール１０が満載された供給用トレイ２０２をローダ部３００にセットする動作が完了する。
【００３６】
図３（Ｃ）において、ローダ部３００の下部に位置していたトランアーム２０８は、試験を終えたメモリモジュール１０が満載された収納用トレイ２０４を受け取るため、アンローダ部４００の右側まで移動する。この移動の前に、アンローダ部４００の右側のセットプレート２１０は下限位置まで下降させておく。そして、セットプレート２１０を僅かに上昇させ（あるいはトランアーム２０８に±Ｚ軸方向の昇降機能が付加されているときはトランアーム２０８側を僅かに下降させ）、トランアーム２０８のフック機構２０８ｂを閉じて収納用トレイ２０４をトランアーム２０８へ受け渡し保持する。
【００３７】
次に図４（Ａ）に示すように、上昇位置で待機しているエレベータ２０６の上部までトランアーム２０８を移動させ、ここでトランアーム２０８のフック機構２０８ｂを開いて収納用トレイ２０４をエレベータ２０６上に受け渡す。そして、図４（Ｂ）に示すように、トレイ収納部２１４の所定の空き段（本例では上から３段目）までエレベータ２０６を下降させたのち、図２（Ｂ）に示す流体圧シリンダ２０６ｂを用いて収納用トレイ２０４をトレイ収納部２１４へ引き込む。以上で、試験済みメモリモジュール１０が満載された収納用トレイ２０４をアンローダ部４００からトレイ収納部２１４へ移送する動作が完了する。
【００３８】
このように、本実施形態のトレイ移送装置を用いると、トレイ収納部２１２，２１４そのものを昇降させる必要がないので、これらトレイ収納部２１２，２１４の上部に昇降軌跡のためのスペースを設ける必要もない。したがって、試験装置そのものが少なくとも高さ方向に小型化される。
【００３９】
ちなみに、上述したトレイ移送装置にてローダ部３００の窓部３０６にセットされた供給用トレイ２０２に満載された試験前のメモリモジュール１０は、図１に示すＸＹ搬送装置３０３にてメモリモジュールの試験用トレイ２０に移載されたのち、試験用トレイ２０に搭載された状態でチャンバ１００内に搬送される。このチャンバ１００においては、ソークチャンバ（恒温槽）１０１にてメモリモジュール１０は試験を行うべき温度（高温または低温）まで加熱または冷却され、測定部１０２にてテストヘッドに押し付けられる。このテストヘッドへの押し付けは、試験用トレイ２０に搭載された状態で行われ、幾つかのメモリモジュール２０が同時に押し付けられる。
【００４０】
次いで、試験用トレイ２０はアンソークチャンバ１０３に搬送され、試験を終えたメモリモジュール１０を室温近傍まで戻す。これは主として低温印加を行った場合の結露防止を目的として行われる。
【００４１】
室温まで戻されたメモリモジュール１０が満載された試験用トレイ２０は、アンローダ部４００へ搬送され、ここでＸＹ搬送装置４０３を用いて試験済みメモリモジュール１０を収納用トレイ２０４へ移載する。このとき、各メモリモジュール１０はそれぞれの試験結果に応じた収納用トレイ２０４へ移載される。図１に示す例では、たとえばアンローダ部４００の窓部４０６ａ，４０６ｂにセットされた２枚の収納用トレイ２０４，２０４に「合格」のメモリモジュール１０を移載し、「不合格」や「再試験」となったメモリモジュール１０はバッファステージ４０５へ順次移載される。そして、バッファステージ４０５が満杯になったら、「不合格」用の収納用トレイ２０４や「再試験」用の収納用トレイ２０４をアンローダ部４００の窓部４０６ａまたは４０６ｂへセットし、当該バッファステージ４０５に載置されたメモリモジュール１０をそれぞれの分類通りに移載する。以上の手順で、メモリモジュール１０の試験および試験結果による分類が行われる。
【００４２】
なお、図３乃至図４に示されたトレイの取り廻しシーケンスは、本発明のトレイ移送装置の単なる一例に過ぎず、本発明のトレイ移送装置によれば、エレベータ２０６が一対のトレイ収納部２１２，２１４に収納されたトレイ２０２，２０４の何れにもアクセスできる構造であるため、ローダ部３００およびアンローダ部４００とトレイ収納部２１２，２１４との間で、何れのトレイ２０２，２０４も出し入れすることができる。
【００４３】
たとえば、供給用トレイ２０２と収納用トレイ２０４が同じトレイである場合には、メモリモジュール１０が満載された供給用トレイ２０２を図３（Ａ）乃至（Ｃ）に示す手順でローダ部３００へ移送し、その後このローダ部３００の供給用トレイ２０２が空になったら、これを直接的または間接的にトランアーム２０８にてアンローダ部４００へ移送し、収納用トレイ２０４として用いることもできる。
【００４４】
また、アンローダ部４００でメモリモジュール１０が満載となった収納用トレイは、通常はトレイ収納部２１４の方へ収納されるが、トレイ収納部２１２の方の空の段をも用いることで、分類数の増加に対しても柔軟に対処することができる。
【００４５】
すなわち、供給用トレイ２０２と収納用トレイ２０４とをそれぞれ独立して使用すると、供給用トレイ数をＡ、収納用トレイ数をＢ、分類数をｎとしたときに、収納用トレイ２０４がＢ＝Ａ＋（ｎ−１）以上ないと連続して動作させることができないが、これらのトレイ２０２，２０４を共用化することで、ｎ＝Ｂ＋１まで連続的に分類動作を行うことができるようになる。
【００４６】
他の実施形態
本発明はさらに改変することができる。図６は本発明のトレイ移送装置の他の実施形態を組み込んだハンドラを示す（Ａ）概略平面図、（Ｂ）概略断面図（Ｂ−Ｂ線相当図）であり、まずメモリモジュール格納部２００の構造が相違している。
【００４７】
すなわち、供給用トレイ２０２を収納するトレイ収納部２１２と、収納用トレイ２０４を収納するトレイ収納部２１４は設けられているが、第１昇降手段であるエレベータ２０６Ａ，２０６Ｂは、これらの間ではなく、それぞれ単独に設けられている。また、ローダ部３００への供給トレイ２０２のセット位置は一カ所のみであり（窓部３０６にて示す。）、これに隣接する位置には供給用トレイ２０２ｚが手動で出し入れされるようになっている。
【００４８】
そして、エレベータ２０６Ａを用いてトレイ収納部２１２からメモリモジュール１０が満載された供給用トレイ２０２を取り出し、エレベータ２０６Ａをそのまま上昇させることでローダ部３００の窓部３０６にセットするとともに、全てのメモリモジュール１０を試験用トレイ２０に移し終えたら、エレベータ２０６Ａをそのまま下降させて空となった供給用トレイ２０２をトレイ収納部２１２へ戻す。
【００４９】
以上の動作によって試験前のメモリモジュール１０はハンドラ１内へ投入されるが、トレイ収納部２１２から供給用トレイ２０２を取り出したり、逆にトレイ収納部２１２へ空トレイ２０２を収納している間に、ＸＹ搬送装置３０３および試験用トレイ２０が待機状態になることも考えられる。そこで、こうした空き時間が生じたときは、手動により設置した供給用トレイ２０２ｚからＸＹ搬送装置３０３を用いて試験用トレイ２０へメモリモジュール１０を移し替える。これによりハンドラ１のスループットの低下が抑制できる。
【００５０】
一方、アンローダ部４００においては、トレイ収納部２１４から空の収納用トレイ２０４を一方の窓部（本例では右側の窓部４０６ｂ）にのみセットし、他方の窓部４０６ａに相当する位置には手動により空の収納用トレイ２０４ｚを設置しておく。また、この近傍に、空の供給用トレイ２０２を、一つ（２０２ｆ）は不合格のメモリモジュール用として、一つ（２０２ｒ）は再試験のメモリモジュール用として手動で設置しておく。
【００５１】
そして、試験を終了してアンローダ部４００へ搬送されてきた試験用トレイ２０から、ＸＹ搬送装置４０３を用いて、合格のメモリモジュール１０は主として右側の窓部４０６ｂにセットされた収納用トレイ２０４に移し替え、この収納用トレイ２０４が満杯になったらエレベータ２０６Ｂをそのまま下降させて、トレイ収納部２１４へ収納し、次の空の収納用トレイ２０４を窓部４０６ｂへセットする。この間においては、合格のメモリモジュール１０は左側に手動で設置した収納用トレイ２０４へ移し替える。
【００５２】
また、不合格のメモリモジュール１０は、手動で設置された左側の供給用トレイ２０２ｆへ移し替えられ、再試験のメモリモジュール１０は同じく右側の供給用トレイ２０２ｒへ移し替えられる。そして、これらの供給用トレイ２０２ｆ，２０２ｒが満杯になったら、手動で空の供給用トレイ２０２ｆ，２０２ｒと交換する。このとき、再試験を行うメモリモジュール１０が満載された供給用トレイ２０２ｒは、そのままトレイ収納部２１２またはローダ部３００の窓部３０６の右隣の位置にセットされる。
【００５３】
このように構成された本実施形態のハンドラ１によれば、スループットは劣るものの、トランアーム２０８やセットプレート２１０などが不要となり、そのぶんだけ装置自体が小型になるとともにコストダウンを図ることができる。
【００５４】
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【００５５】
たとえば、上述した実施形態では試験対象としてメモリモジュール１０を例に挙げたが、本発明のトレイ移送装置はメモリモジュールにのみ限定される意味ではなく、トレイを積み重ねてトレイ収納部へ収納できないような電子部品であれば全て含まれる趣旨である。
【００５６】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、トレイ収納部の上部にデッドスペースが生じるといった問題がなくなり、少なくとも高さ方向に装置全体を小型化することができる。また、両方のトレイ収納部にアクセスすることができるので、トレイの移送が効率化されるとともに、トレイの移送シーケンスの自由度が増す。しかも、何れのトレイ収納部に対してもトレイを収納することができ、また何れのトレイ収納部に収納されたトレイをも取り出すことができるので、装置自体を変えることなく分類数の増加に対して柔軟に対処することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のトレイ移送装置が適用される電子部品基板の試験装置の一例を示す概略平面図および概略断面図図である。
【図２】（Ａ）は本発明のトレイ移送装置の実施形態を示す斜視図、（Ｂ）はトレイ収納部とエレベータの部分を示す斜視図である。
【図３】トレイの取り廻し方法を説明するための概略断面図である。
【図４】図３の続きを示す概略断面図である。
【図５】本発明のトレイ移送装置で用いられるトレイの一例を示す斜視図である。
【図６】本発明の他の実施形態を示す概略平面図および概略断面図である。
【図７】従来のトレイ移送装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
１…ハンドラ（電子部品基板の試験装置）
１００…チャンバ
２００…メモリモジュール格納部
２０２…供給用トレイ（トレイ）
２０４…収納用トレイ（トレイ）
２０６…エレベータ（第１の昇降手段）
２０８…トランアーム（水平搬送手段）
２１０…セットプレート（第２の昇降手段）
２１２，２１４…トレイ収納部
３００…ローダ部
４００…アンローダ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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