(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット記録装置に用いるインクジェット記録ヘッドにおいて、駆動部とノズル部材を貼り合わせてなるインクジェット記録ヘッドで貼り合わせ部とインクに接する部分が樹脂からなっていて、官能基を有する樹脂の表面に、ポリエチレンイミン、ポリアリルアミン及びポリビニルアミンから選ばれる少なくとも１つのカチオン性の高い樹脂層、さらにその上に、構造内に酸無水物を含む樹脂、構造内に複数のカルボキシル基を含む樹脂、アクリル系モノマーの重合反応物から選ばれる親水性有機物の層を順次重ねた樹脂で構成されることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記親水性有機物が構造内に酸無水物を含む樹脂であることを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記親水性有機物が構造内に複数のカルボキシル基を含む樹脂であることを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記親水性有機物がアクリル系モノマーの重合反応物であることを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記官能基は、−ＣＯＯＨ、−ＯＨ、−ＯＯＨから選ばれる少なくとも１つであることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
インクジェット記録装置に用いるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、駆動部とノズル部材を貼り合わせてなるインクジェット記録ヘッドで貼り合わせ部とインクに接する部分が樹脂からなっていて、官能基を有する該樹脂の表面にポリエチレンイミン、ポリアリルアミン及びポリビニルアミンから選ばれる少なくとも１つのカチオン性の高い樹脂を反応させて付け、さらにその上に、構造内に酸無水物を含む樹脂、構造内に複数のカルボキシル基を含む樹脂、アクリル系モノマーから選ばれる親水性有機物を反応させて造ることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記親水性有機物を反応させて後、アルカリ金属を含む液に漬け、純水で洗浄することを特徴とする請求項６記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記親水性有機物が構造内に酸無水物を含む樹脂であることを特徴とする請求項６または７記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記親水性有機物が構造内に複数のカルボキシル基を含む樹脂であることを特徴とする請求項６または７記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記親水性有機物がアクリル系モノマーであることを特徴とする請求項６または７記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記官能基は、−ＣＯＯＨ、−ＯＨ、−ＯＯＨから選ばれる少なくとも１つであることを特徴とする請求項６乃至１０の何れか１項記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記カチオン性の高い樹脂を反応させる前に、プラズマ、オゾン、及びコロナ放電から選ばれる少なくとも１つの表面処理により前記樹脂からなっているインクに接する部分の表面を処理することにより前記官能基を生成させることを特徴とする請求項６乃至１１の何れか１項記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェット記録装置に用いる樹脂製インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット記録ヘッドはインク流路を含むほとんどの部分に樹脂を用いることは、加工組立が容易で製造の低コスト化が出来るという点からガラス、金属に比べて有利である。
【０００３】
しかし、樹脂を用いたインクジェット記録ヘッドに水性インクを用いる場合、通常樹脂表面は撥水性が高いため、樹脂部が水性インクに触れる部分で濡れが悪くなるため、インク充填の際インク流路内に気泡を取り残してしまったり、流路内に発生した気泡に対して排出操作を行っても排出することが困難であり、斜め射出を起こしたりひどいときにはドット抜けを起こす。
【０００４】
そこで、インク流路内の樹脂表面を水性インクの濡れを良くするために特開昭６０−２４９５７号公報では酸処理・プラズマ処理等により樹脂表面に極性基を生成させて親水化処理をすることが提案されている。また、特公平２−５４７８４号公報では染料水溶液をインク流路面と接触させた状態で加湿し、あらかじめ流路面に染料を吸着または浸透させることにより濡れを良くする方法も提案されている。またインクと接する樹脂表面であるインク流路に親水性高分子を表面グラフトすることにより濡れを良くする方法も提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、これらの方法で前述前半の２つの樹脂表面の親水化処理はいずれも一時的なものであり持続性に乏しいため、インクジェット記録ヘッドにインクが充填されていない状態で放置すると、インク流路内の親水化処理の効果が失われる。
【０００６】
後半の１つは表面の極性基を大きくし埋没を防止しているため、親水化処理の効果に持続性は期待できるが、組み立て後にグラフト処理をすると複雑なインク流路すべてを処理することは非常に困難であり、またノズル面の濡れ性に影響を与え出射特性に影響がでることもある。また、組立前にグラフト処理をしても組立時に接着剤等を使用すればその接着剤の撥水性の影響を受けてしまう。
【０００７】
本発明は前記課題を解決するためのものであり、インクジェット記録ヘッドのインク流路内の親水性を恒久的に維持することにより、インク流路内における様々な気泡によるトラブルを未然に防げるとともに組み立ての工程を簡便にすることの出来るインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的は、下記構成を採ることにより達成される。
【０００９】
１．インクジェット記録装置に用いるインクジェット記録ヘッドにおいて、駆動部とノズル部材を貼り合わせてなるインクジェット記録ヘッドで貼り合わせ部とインクに接する部分が樹脂からなっていて、官能基を有する樹脂の表面に、ポリエチレンイミン、ポリアリルアミン及びポリビニルアミンから選ばれる少なくとも１つのカチオン性の高い樹脂層、さらにその上に、構造内に酸無水物を含む樹脂、構造内に複数のカルボキシル基を含む樹脂、アクリル系モノマーの重合反応物から選ばれる親水性有機物の層を順次重ねた樹脂で構成されることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
２．前記親水性有機物が構造内に酸無水物を含む樹脂であることを特徴とする１記載のインクジェット記録ヘッド。
３．前記親水性有機物が構造内に複数のカルボキシル基を含む樹脂であることを特徴とする１記載のインクジェット記録ヘッド。
４．前記親水性有機物がアクリル系モノマーの重合反応物であることを特徴とする１記載のインクジェット記録ヘッド。
５．前記官能基は、−ＣＯＯＨ、−ＯＨ、−ＯＯＨから選ばれる少なくとも１つであることを特徴とする１乃至４の何れか１記載のインクジェット記録ヘッド。
６．インクジェット記録装置に用いるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、駆動部とノズル部材を貼り合わせてなるインクジェット記録ヘッドで貼り合わせ部とインクに接する部分が樹脂からなっていて、官能基を有する該樹脂の表面にポリエチレンイミン、ポリアリルアミン及びポリビニルアミンから選ばれる少なくとも１つのカチオン性の高い樹脂を反応させて付け、さらにその上に、構造内に酸無水物を含む樹脂、構造内に複数のカルボキシル基を含む樹脂、アクリル系モノマーから選ばれる親水性有機物を反応させて造ることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
７．前記親水性有機物を反応させて後、アルカリ金属を含む液に漬け、純水で洗浄することを特徴とする６記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
８．前記親水性有機物が構造内に酸無水物を含む樹脂であることを特徴とする６または７記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
９．前記親水性有機物が構造内に複数のカルボキシル基を含む樹脂であることを特徴とする６または７記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
１０．前記親水性有機物がアクリル系モノマーであることを特徴とする６または７記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
１１．前記官能基は、−ＣＯＯＨ、−ＯＨ、−ＯＯＨから選ばれる少なくとも１つであることを特徴とする６乃至１０の何れか１記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
１２．前記カチオン性の高い樹脂を反応させる前に、プラズマ、オゾン、及びコロナ放電から選ばれる少なくとも１つの表面処理により前記樹脂からなっているインクに接する部分の表面を処理することにより前記官能基を生成させることを特徴とする６乃至１１の何れか１記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００１７】
この樹脂の表面処理は本インクジェット記録ヘッドの主たる構成要素の部材を組み立てる前に行っても良いし、処理できる範囲で組み立ててから行っても良い。
【００１８】
本発明のインクジェット記録ヘッドのインク射出原理は、図１の模式図に示す如く、駆動部分１の変位により加圧されたインク２がノズルプレート３のノズル４より射出されてインク滴５を形成するものである。尚、本発明のインクジェットヘッドはインク流路、インク流路にインクを供給するインク導入路、インク流路に対応した位置にノズルを有するノズルプレートを有し、その駆動部分は圧電性セラミック基体上に電極膜及び樹脂皮膜をこの順に設けたものである。
【００１９】
以下、本発明について更に述べる。
【００２０】
本発明において、インクジェット記録ヘッドの材料としては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ＡＢＳ樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリサルホン、ポリアミド、ポリアセタール、ポリカーボネート、ポリメチルメタアクリレート、ポリイミド、ポリアリレート、フッ素系ポリマー、ユリア樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、ポリウレタン、塩化ビニル、塩化ビニリデン、ポリ酢酸ビニル、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリパラキシリレン、クロロプレンゴム、ＳＢＲ、ＢＲ、ＮＢＲ、ウレタンゴム、シリコーンゴム等があげられる。
【００２１】
本発明において、これらの樹脂には、ヘッドの材料自体が上記の樹脂の場合、他の材質の材料の上に上記のごとき樹脂をコーティングしたもの、あるいは樹脂を含む構成部材からなるもの即ち構成部材の一部に上記のごとき疎水性樹脂が用いられているもので、その部分もインクに接するならいずれも含まれる。
【００２２】
これら樹脂の表面は、該ヘッドのインクと接する面の少なくとも一部が、カチオン性の高い樹脂を反応させる前に、プラズマ、オゾン、コロナ放電等の処理により活性化することが望ましい。
【００２３】
その代表的なものとしてプラズマ処理によるものは、例えば次の処理を具体例として挙げることができる。
【００２４】
（処理条件）
装    置：平行平板型反応装置
原料ガス：酸素
ガス流量：５０ｓｃｃｍ
圧    力：１０Ｐａ
放電方法：高周波（１３．５６ＭＨｚ、出力２００Ｗ）
処理時間：２分間
他に有効なプラズマ処理として、マイクロ波を用いた方法等が挙げられ、採用するガスも酸素に限らず、窒素、アルゴン、炭酸ガス、アンモニアや他のガス又は酸素と不活性ガスの混合ガス等が挙げられる。
【００２５】
本発明におけるカチオン性の高い樹脂とは水に溶解するとプラスに荷電するもので、特にこれに限定されるものではないが、例えばポリエチレンイミン、ポリアリルアミン、ポリビニルアミン等が挙げられる。分子量としてはＭｎで１００以上が好ましく、更に好ましくはＭｎで１０００〜１００，０００である。
【００２６】
カチオン性の高い樹脂はプラズマ処理、オゾン処理、コロナ放電処理等を行ったインクジェット記録ヘッドの樹脂部の表面に存在する官能基（−ＣＯＯＨ、−ＯＨ、−ＯＯＨなど）と反応して樹脂表面に固定される。
【００２７】
カチオン性の高い樹脂を反応させるには、代表的にはポリエチレンイミン、ポリアリルアミンの水溶液を塗布・乾燥し、４０℃以上に加熱処理する。もしくは４０℃以上にした上記水溶液に浸漬した後、純水で洗浄することにより行うことが出来る。この場合水溶液の濃度は、０．０１〜５％程度のものが良く用いられる。
【００２８】
次に親水性有機物とは、酸無水物を含む樹脂、カルボキシル基を含む樹脂もしくはカルボキシル基を含むアクリル系モノマーより合成される樹脂である。酸無水物を含む樹脂としては、メチルビニルエーテル／無水マレイン酸交互共重合体等の無水マレイン酸を含む共重合体、カルボキシル基を含む樹脂としてはポリアクリル酸、ポリメタクリル酸等、アクリル酸、メタクリル酸等のカルボキシル基を含むモノマーと他のアクリル酸系モノマーの共重合体、アクリル系モノマーとしてはアクリル酸、メタアクリル酸等が挙げられるがこれに限定されるものではない。共重合体に関しては、共重合比が（酸無水物を含む構成単位）：（その他の構成単位）もしくは（カルボキシル基を含む構成単位）：（その他の構成単位）が、１：９９〜１００：０が好ましく、更に好ましくは１０：９０〜１００：０である。
【００２９】
親水性有機物の分子量としてはＭｎで１０００〜１０，０００，０００であり、更に好ましくは１０，０００〜１，０００，０００である。
【００３０】
親水性有機物としてアクリル酸系モノマー重合体を用いる場合は、カチオン性の高い樹脂をＭｎ１０，０００以上にするのが好ましい。親水性有機物はその中に含む酸無水物やカルボキシル基、もしくはアクリル系モノマーの活性二重結合と、インクジェット記録ヘッドの樹脂部表面に存在するカチオン性の高い樹脂とが反応して樹脂表面に固定される。
【００３１】
親水性有機物を反応させるには、例えばメチルビニルエーテル−無水マレイン酸交互共重合体、カルボキシビニルポリマー、メタクリル酸の水溶液を塗布・乾燥し、４０℃以上に加熱処理する。もしくは４０℃以上にした上記水溶液に浸漬した後、純水で洗浄することにより行うことが出来る。
【００３２】
樹脂に親水性有機物を反応させた後は、アルカリ金属を含む液で洗浄し乾燥させると親水化処理がより確かなものとなり、その効果が長持ちするので好ましい。この時アルカリ金属を含む液は、アルカリ性であることがより好ましい。
【００３３】
インクジェット記録ヘッドにおいて、駆動部とノズル部材を貼り合わせる接着に際しては、その接着部は、十分洗浄の後、水分を十分に与えてから、圧着するのが好ましい。
【００３４】
また、樹脂表面にグラフト重合させて、親水性を得る場合においては、その記録ヘッドを形成する前述のごとき樹脂の上に、代表的にはアクリル酸、メタアクリル酸、アクリルアミド、メタクリル酸２−ヒドロキシエチル（ＨＥＭＡ）、メタクリル酸２−ヒドロキシプロピル（ＨＰＭＡ）等のモノマーをグラフトさせることもできる。
【００３５】
樹脂表面がグラフトされて親水性になっているかどうかは、液適法等で水接触角を測定して確認することが出来る。
【００３６】
本発明のインクジェット記録ヘッドに適用できるインクとして好ましくは、着色剤として色素染料、分散染料又は分散顔料を３〜２０重量％；多くの場合アニオン系、ノニオン系又はカチオン系の界面活性剤を０．０５〜５重量％（分散系の場合、分散助剤を着色剤に対して２０〜１２０重量％）；保湿剤として尿素又はアミン類を０．０１〜５重量％；溶媒として多価アルコール又はそれらのエーテル誘導体を５〜７０重量％含有する水系のものである。これらのうち界面活性剤としてアニオン系又はノニオン系のものを用い、溶媒として多価アルコール又はそれらのエーテル誘導体を用いることが、本発明のインクジェット記録ヘッドの射出性能を補完するのに有利である。
【００３７】
着色剤としては、特に限定無く公知のものを用いることが出来る。
【００３８】
【実施例】
以下、実施例を挙げて本発明を詳細に説明するが、本発明の態様はこれに限定されない。
【００３９】
実施例１
インク流路と貼り合わせ面のポリマー修飾処理は以下のように行った。
【００４０】
ポリマー修飾処理したくない部分にマスキングテープを貼って保護した駆動部とノズル穴の空いたノズルプレートにプラズマ処理（２００Ｗ、５ｍｉｎ）を行い、ポリエチレンイミン（商品名：エポミンＰ−１０００  日本触媒社製、以下同じ）１％水溶液を塗布・乾燥する。６０℃で５時間ベークした後１００℃の０．１Ｎ塩酸水溶液で洗浄し、純水で十分すすいだあと乾燥させた。
【００４１】
続いてメチルビニルエーテル−無水マレイン酸共重合体（商品名：ＧＡＮＴＲＥＺ  ＡＮ−１６９  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｓｐｅｃｉａｌｉｔｙ  Ｐｒｏｄｕｃｔｓ  Ｉｎｃ．，製、以下同じ）０．５％水溶液を塗布・乾燥した。６０℃で８時間ベークした後１００℃の純水で洗浄し乾燥させた。水接触角を液適法で測定し、部材の表面にポリマーが修飾され親水性が付与されたことを確認した。
【００４２】
その後、部材の貼付面を純水で濡らしポリマー修飾した表面に水分を含ませた状態で部材を合わせて圧力をかけながら乾燥させた。
【００４３】
実施例２
ポリマー修飾処理したくない部分にマスキングテープを貼って保護した駆動部とノズル穴の空いたノズルプレートにプラズマ処理（２００Ｗ、５ｍｉｎ）行い、ポリアリルアミン（商品名：ＰＡＡ−Ｈ  日東紡績社製、以下同じ）１％水溶液を塗布・乾燥させた。６０℃で５時間ベークした後１００℃の０．１Ｎ塩酸水溶液で洗浄し、純水で十分すすいだあと乾燥させた。
【００４４】
続いてメチルビニルエーテル−無水マレイン酸共重合体０．５％水溶液を塗布・乾燥した。６０℃で８時間ベークした後１００℃の純水で洗浄し乾燥させた。水接触角を液適法で測定し、部材の表面にポリマーが修飾され親水性が付与されたことを確認した。
【００４５】
その後、部材の貼付面を純水で濡らしポリマー修飾した表面に水分を含ませた状態で部材を合わせて圧力をかけながら乾燥させた。
【００４６】
実施例３
ポリマー修飾処理したくない部分にマスキングテープを貼って保護した駆動部とノズル穴の空いたノズルプレートにプラズマ処理（２００Ｗ、５ｍｉｎ）行い、８０℃のポリエチレンイミン１％水溶液に３０ｍｉｎ漬けた。
【００４７】
取り出し純水で十分すすぎ洗浄をした後、６０℃のメチルビニルエーテル−無水マレイン酸共重合体０．５％水溶液に３０ｍｉｎ漬けた。
【００４８】
取り出し純水で十分すすぎ洗浄をし乾燥した後、水接触角を液適法で測定し、部材の表面にポリマーが修飾され親水性が付与されたことを確認した。その後、部材の貼付面を純水で濡らしポリマー修飾した表面に水分を含ませた状態で部材を合わせて圧力をかけながら乾燥させた。
【００４９】
実施例４
ポリマー修飾処理したくない部分にマスキングテープを貼って保護した駆動部とノズル穴の空いたノズルプレートにプラズマ処理（２００Ｗ、５ｍｉｎ）行い、８０℃のポリアリルアミン１％水溶液に３０ｍｉｎ漬けた。
【００５０】
取り出しすすぎ洗浄後、６０℃のメチルビニルエーテル−無水マレイン酸共重合体０．５％水溶液に３０ｍｉｎ漬けた。取り出し純水で十分すすぎ洗浄をし乾燥した後、水接触角を液適法で測定し、部材の表面にポリマーが修飾され親水性が付与されたことを確認した。
【００５１】
その後、部材の貼付面を純水で濡らしポリマー修飾した表面に水分を含ませた状態で部材を合わせて圧力をかけながら乾燥させた。
【００５２】
実施例５
ポリマー修飾処理したくない部分にマスキングテープを貼って保護した駆動部とノズル穴の空いたノズルプレートにプラズマ処理（２００Ｗ、５ｍｉｎ）行い、８０℃のポリエチレンイミン１％水溶液に３０ｍｉｎ漬けた。
【００５３】
取り出し純水で十分すすぎ洗浄をした後、６０℃のカルボキシビニルポリマー（和光純薬社製、以下同じ）０．５％水溶液に３０ｍｉｎ漬けた。取り出し純水で十分すすぎ洗浄をし乾燥した後、水接触角を液適法で測定し、部材の表面にポリマーが修飾され親水性が付与されたことを確認した。
【００５４】
その後、部材の貼付面を純水で濡らしポリマー修飾した表面に水分を含ませた状態で部材を合わせて圧力をかけながら乾燥させた。
【００５５】
実施例６
ポリマー修飾処理したくない部分にマスキングテープを貼って保護した駆動部とノズル穴の空いたノズルプレートにプラズマ処理（２００Ｗ、５ｍｉｎ）行い、８０℃のポリエチレンイミン１％水溶液に３０ｍｉｎ漬けた。
【００５６】
取り出し純水で十分すすぎ洗浄をした後、６０℃のメタクリル酸１０％水溶液に３０ｍｉｎ漬けた。取り出し純水で十分すすぎ洗浄をし乾燥した後、水接触角を液適法で測定し、部材の表面にポリマーが修飾され親水性が付与されたことを確認した。その後、部材の貼付面を純水で濡らしポリマー修飾した表面に水分を含ませた状態で部材を合わせて圧力をかけながら乾燥させた。
【００５７】
実施例７〜１２
実施例１〜６それぞれに部材を合わせて乾燥したあと０．１Ｎ  ＮａＯＨ水溶液に２ｍｉｎ漬け、十分純水で洗浄し乾燥させた。
【００５８】
実施例１３・１４
実施例３・４それぞれに親水性有機物を反応させ洗浄したあとに、０．１Ｎ  ＮａＯＨ水溶液に２ｍｉｎ漬け、十分純水で洗浄し乾燥させた。部材の貼付面を純水で濡らしポリマー修飾した表面に水分を含ませた状態で部材を合わせて圧力をかけながら乾燥させた。
【００５９】
比較例１
ポリマー修飾処理したくない部分にマスキングテープを貼って保護した駆動部とノズル穴の空いたノズルプレートにプラズマ処理（２００Ｗ、５ｍｉｎ）を行い、ポリエチレンイミン１％水溶液を塗布・乾燥した。６０℃で５時間ベークした後１００℃の０．１Ｎ塩酸水溶液で洗浄し、純水で十分すすぎ乾燥した。
【００６０】
部材の貼付面を純水で濡らしポリマー修飾した表面に水分を含ませた状態で部材を合わせて圧力をかけながら乾燥させた。
【００６１】
比較例２
ポリマー修飾処理したくない部分にマスキングテープを貼って保護した駆動部とノズル穴の空いたノズルプレートにプラズマ処理（２００Ｗ、５ｍｉｎ）を行い、ポリアリルアミン１％水溶液を塗布・乾燥した。続いて６０℃で５時間ベークした後１００℃の０．１Ｎ塩酸水溶液で洗浄し、純水で十分すすぎ乾燥した。
【００６２】
部材の貼付面を純水で濡らしポリマー修飾した表面に水分を含ませた状態で部材を合わせて圧力をかけながら乾燥させた。
【００６３】
比較例３
ポリマー修飾処理したくない部分にマスキングテープを貼って保護した駆動部とノズル穴の空いたノズルプレートにプラズマ処理（２００Ｗ、５ｍｉｎ）を行い、６０℃のメチルビニルエーテル−無水マレイン酸共重合体０．５％水溶液に３０ｍｉｎ漬ける。部材を十分純水で洗浄し乾燥した。
【００６４】
部材の貼付面を純水で濡らし表面に水分を含ませた状態で部材を合わせて圧力をかけながら乾燥させた。
【００６５】
比較例４
ポリマー修飾処理したくない部分にマスキングテープを貼って保護した駆動部とノズル穴の空いたノズルプレートにプラズマ処理（２００Ｗ、５ｍｉｎ）を行い、８０℃のポリエチレンイミン１％水溶液に３０ｍｉｎ漬けた。
【００６６】
取り出し純水で十分すすぎ洗浄をした後、６０℃のアクリルアミド１０％水溶液に３０ｍｉｎ漬けた。次に部材を十分純水で洗浄し乾燥した。
【００６７】
部材の貼付面を純水で濡らしポリマー修飾した表面に水分を含ませた状態で部材を合わせて圧力をかけながら乾燥させた。
【００６８】
比較例５
プラズマ処理したくない部分にマスキングテープを貼って保護した駆動部とノズル穴の空いたノズルプレートにプラズマ処理（２００Ｗ、５ｍｉｎ）を行った。
【００６９】
部材の貼付面を純水で濡らし表面に水分を含ませた状態で部材を合わせて圧力をかけながら乾燥させた。
【００７０】
実施例、比較例ともに実装し記録ヘッドにインクタンクからインクを入れ出射可能になるまでに消費するインクの量で評価した。またノズルの接着力を見るために貼り付けたノズルプレートを引き剥がすのに要した力（ノズルプレート付着力）を評価した。
【００７１】
ノズルプレートの評価は以下の方法で行った。
【００７２】
0004092772.tif 000002
ノズルプレートを貼り付けたヘッドを、プルテスター上の台の上に固定する。ノズルプレートの片方の端部をはがし、持ち上げ荷重センサーと直結した「はさみ」ではさみこむ。荷重センサーユニットを持ち上げ、ノズルプレートをはがし、その時にかかる荷重を測定する。その時の値をノズルプレートの幅で割り単位幅（１ｍｍ）当たりの値に直し評価値とした。
【００７３】
【表１】
0004092772.tif 000003
【００７４】
表１を見れば明らかなごとく、本発明内の実施例１〜１４のものは、本発明外の比較例１〜５に比して、正常に射出可能になるまでの消費インク量が少ない場合が多い。更に特記すべきは１ヶ月間保管後の特性であり、この場合は例外なく、本発明内のものは、保存前と特性がほとんど変わらないのに比べ、本発明外のものは、保存前に特性が良いものは特性が大きく劣化していることがわかる。
【００７５】
付着力は、本発明内のものは例外なく５０ｇ／ｍｍ以上を示し、実用化可能範囲内であるが、本発明外のものは５０ｇ／ｍｍ以下のものが多く、この点でも問題がある。消費インク量と付着力を総合して特性の良いものは、本発明外の比較例１〜５にはないことがわかる。
【００７６】
特に、処理後０．１ＮのＮａＯＨ水溶液に漬け、純水で洗浄した実施例１３、１４は消費インク量特性が優れていることがわかる。
【００７７】
参考例１〜７
インク流路と貼り合わせ面のグラフト処理は以下のように行った。
【００７８】
モノマーもしくはモノマー溶液を容器に満たし十分真空脱気し溶存酸素を取り除く。グラフト処理したくない部分にマスキングテープを貼って保護した駆動部とノズル穴の開いたノズルプレートにプラズマ処理（２００Ｗ、５ｍｉｎ）を行い、耐真空容器に入れ真空脱気する。真空脱気して溶存酸素を取り除いたモノマーもしくはモノマー溶液をこの容器に部材が浸るぐらいまで入れる。この容器を真空封緘し使用モノマー、反応方法によってそれぞれ適した温度の恒温下で適した時間グラフト重合反応を進行させた。
【００７９】
駆動部とノズルプレートを十分洗浄後、水接触角を液適法で測定し、駆動部の表面および貼り付け面とノズルプレートの表面および貼付面にグラフト重合され親水性が付与されたことを確認した。その後、貼付面を純水で濡らしグラフトした表面に水分を含ませた状態で駆動部とノズルプレートを合わせて圧力をかけながら乾燥させる。その後実装しヘッドにインクタンクからインクを入れ射出可能になるまでに消費するインク量および１ヶ月間常温常圧の空気中に保管してあったヘッドにインクタンクからインクを入れ射出可能になるまでに消費するインクの量で評価した。又、貼り付けたノズルプレートを引き剥がすのに要した力(ノズルプレート付着力)を前記と同一の方法で評価した。
【００８０】
【表２】
0004092772.tif 000004
【００８１】
表２を見ると明らかなごとく、いずれも消費インク量、付着力ともに、充分な実用性ある特性を持っていることがわかる。
【００８２】
比較として以下の３種の記録ヘッドを作製し評価を行った。
【００８３】
比較例６
実施例１で用いた駆動部とノズルプレートをエポキシ系接着剤（商品名：エポテック３５３ＮＤ、以下同じ）で貼り合わせた。
【００８４】
比較例７
プラズマ処理したくない部分にマスキングテープを貼って保護した駆動部とノズル穴の開いたノズルプレートにプラズマ処理（２００Ｗ、５ｍｉｎ）行った。駆動部にエポキシ系接着剤を塗りノズルプレートを合わせて圧力をかけて密着し接着させる。
【００８５】
比較例８
駆動部とノズルプレートをエポキシ系接着剤で張り合わせた後、プラズマ処理したくない部分にマスキングテープを貼りプラズマで親水化処理した。
【００８６】
【表３】
0004092772.tif 000005
【００８７】
表３の結果をみると、接着剤を用いたものは付着力が充分でも消費インク量に問題があり、グラフト重合層のないものは１ヶ月保管後の消費インク量及び付着力に問題が出るため、いずれも実用性に乏しいことがわかる。
【００８８】
【発明の効果】
本発明により、インクジェット記録ヘッドのインク流路内の親水性を恒久的に維持することにより、インク流路内における様々な気泡によるトラブルを未然に防げるとともに組み立ての工程を簡便にすることの出来るインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のインクジェットヘッドのインク射出原理の模式図。
【符号の説明】
１  駆動部分
２  インク
３  ノズルプレート
４  ノズル
５  インク滴
【図１】
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