(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の薄板を略垂直状態で整列した状態で仮受けして、略垂直に一斉に収納容器に収納したり、複数枚の薄板を略垂直状態で整列した状態で収納する収納容器からこれらの薄板を略垂直に一斉に取り出して、略垂直状態で整列した状態で仮受けしたりする薄板収納・取出し装置が、
複数枚の前記薄板を略垂直状態で整列した状態に仮置きする仮置き台と、
複数枚の前記薄板を略垂直状態で整列した状態に保持する保持ガイドと、
前記仮置き台を前記収納容器の収納空間を通り越して昇降させる昇降手段と
を備え、
前記仮置き台が複数枚の前記薄板の各底面を仮受けして支持する部分、前記保持ガイドが複数枚の前記薄板の各右側端面と左側端面のうちのいずれか一方の端面を仮受けして保持する部分は、それぞれ溝構造にされ、複数枚の前記薄板の各々がそれぞれの溝構造の溝に同時に嵌入することができるようにされており、
前記各部分の溝構造は、いずれか一の部分の溝構造もしくは両方の部分の溝構造が転動可能に構成され、
前記収納容器は、複数枚の前記薄板の各々を受け入れて略垂直状態で整列した状態に保持するための、前記各部分の溝構造に合致する溝構造を備えている
ことを特徴とする薄板収納・取出し装置。
【請求項２】
略垂直状態で整列した状態で仮受けされる複数枚の前記薄板を前記保持ガイドに押し当てるための押し当て機構をさらに備え、
前記押し当て機構は、複数枚の前記薄板の各左側端面と右側端面のうちのいずれか一方の端面を押して、複数枚の前記薄板を前記保持ガイドに押し当てるようにされている
ことを特徴とする請求項１に記載の薄板収納・取出し装置。
【請求項３】
前記押し当て機構が複数枚の前記薄板の各左側端面と右側端面のうちのいずれか一方の端面を押す部分は、溝構造にされ、複数枚の前記薄板の各々がそれぞれの溝構造の溝に同時に嵌入することができるようにされており、
前記各部分の溝構造は、いずれか一の部分の溝構造もしくは二以上の部分の溝構造が転動可能に構成され、
前記収納容器は、複数枚の前記薄板の各々を受け入れて略垂直状態で整列した状態に保持するための、前記各部分の溝構造に合致する溝構造を備えている
ことを特徴とする請求項２に記載の薄板収納・取出し装置。
【請求項４】
略垂直状態で整列した状態で仮受けされる複数枚の前記薄板の各々は、前記保持ガイドにより保持されるいずれか一方の端面側が低くなるように傾けられていることを特徴とする請求項１に記載の薄板収納・取出し装置。
【請求項５】
１枚毎に前記薄板を搬入する薄板搬入装置と、
複数枚の前記薄板を仮受けして、収納容器に収納する薄板収納・取出し装置と、
前記薄板搬入装置により搬入された前記薄板を１枚ずつ受け取って、前記薄板収納・取出し装置に受渡しする移載装置と、
前記薄板収納・取出し装置に前記収納容器を搬入、搬出する収納容器搬入出装置と
を備えてなる薄板収納搬送システムにおいて、
前記薄板収納・取出し装置は、
複数枚の前記薄板を略垂直状態で整列した状態に仮置きする仮置き台と、
複数枚の前記薄板を略垂直状態で整列した状態に保持する保持ガイドと、
前記仮置き台を前記収納容器の収納空間を通り越して昇降させる昇降手段と
を備え、
前記移載装置より受け取った複数枚の前記薄板を略垂直状態で整列した状態で仮受けして、略垂直に一斉に前記収納容器に収納するようにされているとともに、
前記仮置き台が複数枚の前記薄板の各底面を仮受けして支持する部分、前記保持ガイドが複数枚の前記薄板の各右側端面と左側端面のうちのいずれか一方の端面を仮受けして保持する部分は、それぞれ溝構造にされ、複数枚の前記薄板の各々がそれぞれの溝構造の溝に同時に嵌入することができるようにされており、
前記各部分の溝構造は、いずれか一の部分の溝構造もしくは両方の部分の溝構造が転動可能に構成され、
前記収納容器は、複数枚の前記薄板の各々を受け入れて略垂直状態で整列した状態に保持するための、前記各部分の溝構造に合致する溝構造を備えている
ことを特徴とする薄板収納搬送システム。
【請求項６】
複数枚の薄板を略垂直状態で整列した状態で収納する収納容器を搬入、搬出する収納容器搬入出装置と、
前記収納容器搬入出装置により搬入された前記収納容器から複数枚の前記薄板を仮置き位置に取り出して、仮受けする薄板収納・取出し装置と、
前記仮置き位置に取り出された複数枚の前記薄板を一枚ずつ受け取って、薄板搬出装置に移載する移載装置と
を備えてなる薄板取出し搬送システムにおいて、
前記薄板収納・取出し装置は、
複数枚の前記薄板を略垂直状態で整列した状態に仮置きする仮置き台と、
複数枚の前記薄板を略垂直状態で整列した状態に保持する保持ガイドと、
前記仮置き台を前記収納容器の収納空間を通り越して昇降させる昇降手段と
を備え、
前記収納容器から複数枚の前記薄板を略垂直に一斉に前記仮置き位置に取り出して、略垂直状態で整列した状態で仮受けして、前記移載装置に受け渡すようにされているとともに、
前記仮置き台が複数枚の前記薄板の各底面を仮受けして支持する部分、前記保持ガイドが複数枚の前記薄板の各右側端面と左側端面のうちのいずれか一方の端面を仮受けして保持する部分は、それぞれ溝構造にされ、複数枚の前記薄板の各々がそれぞれの溝構造の溝に同時に嵌入することができるようにされており、
前記各部分の溝構造は、いずれか一の部分の溝構造もしくは両方の部分の溝構造が転動可能に構成され、
前記収納容器は、複数枚の前記薄板の各々を受け入れて略垂直状態で整列した状態に保持するための、前記各部分の溝構造に合致する溝構造を備えている
ことを特徴とする薄板取出し搬送システム。
【請求項７】
前記移載装置は、そのヘッド部分に、前記薄板の端面を把持する把持機構を備え、そのヘッド部分側から、把持した前記薄板にブロー圧を付与するブロー圧付与機構をさらに備えていることを特徴とする請求項５に記載の薄板収納搬送システムまたは請求項６に記載の薄板取出し搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本願の発明は、各種処理装置による処理後または加工後もしくは処理前または加工前の複数枚の薄板を一斉に収納容器に収納したり、収納容器から取り出したりして搬送するための薄板収納・取出し装置および薄板収納・取出し搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、複数枚の薄板を収納容器に収納するときには、特開平１１−５６２７号公報や特開平１１−７７５６６号公報に開示されているように、ロボットの薄板を把持する把持機構を有するヘッド部が、収納容器の溝に接触しないようにしながら該溝に沿って収納容器内に進入し、薄板を溝と平行にして収納容器に収納する。そして、収納後、ヘッド部は、薄板を解放して後退するようになっている。
【０００３】
また、収納容器から複数枚の薄板を取り出すときには、ヘッド部が、収納されている薄板に接触しないようにしながら薄板の面側の薄板を保持できる位置まで収納容器内に進入し、薄板を把持してから、その姿勢を保ちながら、薄板が収納容器に接触しないようにして進入方向とは逆方向に薄板の取出し動作を行ない、収納容器から薄板を取り出すようになっている。
【０００４】
その他、収納容器から複数枚の薄板を取り出す方法としては、特開平１０−１２６９７号公報に開示されているように、収納容器を挟んでロボットのヘッド部が配置される側と反対側から取出し補助具を収納容器の中に入り込ませて、薄板を背後から押し、薄板を収納容器から押し出しながら収納容器の直前に待機しているヘッド部に押し当て、これに薄板を受け取らせて、薄板を収納容器から取り出す方法がとられる場合もある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、いずれの方法にあっても、薄板を収納容器に収納するときには、ロボットのヘッド部が、薄板を把持したまま、収納容器の溝に接触しないようにして収納容器の中に入り込むので、ヘッド部が収納容器に入り込む際に、慎重にならざるを得ない。また、薄板を収納容器から取り出すときも同様に、収納容器の中にヘッド部や取出し補助具が入り込むので、薄板や収納容器にヘッド部や取出し補助具が接触しないように、慎重にならざるを得ない。
【０００６】
本願の発明は、複数枚の薄板を収納容器に収納したり、複数枚の薄板を収納容器から取り出したりする場合において、ロボットのヘッド部や該ヘッド部に把持される薄板、取出し補助具が収納容器の溝や薄板に接触する虞が全くなく、迅速且つ確実に複数枚の薄板の収納容器への収納や取り出しを行なうことができる薄板収納・取出し装置、および該薄板収納・取出し装置を使用した薄板収納・取出し搬送システム提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段および効果】
本願の発明は、前記のような課題を解決した薄板収納・取出し装置および薄板収納・取出し搬送システムに係り、その請求項１に記載された発明は、複数枚の薄板を略垂直状態で整列した状態で仮受けして、略垂直に一斉に収納容器に収納したり、複数枚の薄板を略垂直状態で整列した状態で収納する収納容器からこれらの薄板を略垂直に一斉に取り出して、略垂直状態で整列した状態で仮受けしたりする薄板収納・取出し装置が、複数枚の前記薄板を略垂直状態で整列した状態に仮置きする仮置き台と、複数枚の前記薄板を略垂直状態で整列した状態に保持する保持ガイドと、前記仮置き台を前記収納容器の収納空間を通り越して昇降させる昇降手段とを備え、前記仮置き台が複数枚の前記薄板の各底面を仮受けして支持する部分、前記保持ガイドが複数枚の前記薄板の各右側端面と左側端面のうちのいずれか一方の端面を仮受けして保持する部分は、それぞれ溝構造にされ、複数枚の前記薄板の各々がそれぞれの溝構造の溝に同時に嵌入することができるようにされており、前記各部分の溝構造は、いずれか一の部分の溝構造もしくは両方の部分の溝構造が転動可能に構成され、前記収納容器は、複数枚の前記薄板の各々を受け入れて略垂直状態で整列した状態に保持するための、前記各部分の溝構造に合致する溝構造を備えていることを特徴とする薄板収納・取出し装置である。
【０００８】
請求項１に記載された発明は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
薄板収納・取出し装置を薄板収納装置として使用する場合には、収納容器に収納される前に、仮置き台と保持ガイドとにより略垂直状態で整列した状態に保持されて仮受けされた複数枚の薄板を、昇降手段の下降作動により仮置き台を収納容器の収納空間を通り越して下降させることにより、略垂直に一斉に収納容器に収納することができ、複数枚の薄板を直接収納容器に収納しなくて済むので、複数枚の薄板の収納容器への迅速、確実な整列した状態での収納が可能になる。
【０００９】
また、仮置き台が下降することにより、薄板自体は自重により下降するので、薄板が収納容器に収納されるとき、余分な負荷が薄板にかかることがなく、割れる虞もない。しかも、可動部が収納容器の溝や薄板に接触する虞も全くないので、製品の歩留りの向上と収納容器の耐久性の向上とを図ることができる。
【００１０】
薄板収納・取出し装置を薄板取出し装置として使用する場合には、収納容器に略垂直状態で整列した状態で収納された複数枚の薄板を、昇降手段の上昇作動により仮置き台を収納容器の収納空間を通り越して上昇させることにより、保持ガイドにガイド・保持させつつ、略垂直に一斉に収納容器から取り出して、仮置き台と保持ガイドとにより略垂直状態で整列した状態で仮受けすることができる。これにより、迅速、確実な複数枚の薄板の収納容器からの取出しが可能になる。
【００１１】
また、仮受け位置に取り出された複数枚の薄板は、略垂直状態で整然と整列した状態に置かれているので、そこから薄板を１枚ずつ取り出すことが容易であり、しかも、迅速に取り出すことが可能である。さらに、複数枚の薄板を収納容器から取り出す過程において、可動部が収納容器の溝や薄板に接触する虞が全くなく、収納容器の耐久性の向上と製品の歩留りの向上とを図ることができる。
【００１２】
また、その仮置き台が、複数枚の薄板の各底面を仮受けして支持し、保持ガイドが、複数枚の薄板の各右側端面と左側端面のうちのいずれか一方の端面を仮受けして保持するようにされているので、複数枚の薄板を仮受けして収納容器に収納するに際して、仮置き台と保持ガイドとに薄板を１枚ずつ略垂直状態で整列した状態に保持させて仮受けさせるときのアクセスが容易になる。また、複数枚の薄板を略垂直状態で整列した状態で収納する収納容器からこれらの薄板を仮置き位置に取り出した後、仮置き台と保持ガイドとに略垂直状態で整列した状態に保持されて仮受けされた薄板を１枚ずつ取り出すときのアクセスが容易になる。
【００１３】
さらに、仮置き台および保持ガイドの各溝構造の溝の中心と収納容器の溝構造の溝の中心とを合わせることで、仮受け側の溝は多少余裕を持った間隔をとることができるので、複数枚の薄板を略垂直状態で整列させるときに、慎重にならずに、素早く整列させることができるとともに、仮置き台が下降することにより、複数枚の薄板をスムースに収納容器に収納することができる。
【００１４】
また、複数枚の薄板を収納容器から取り出すに際しては、仮置き台が上昇することにより、収納容器に収納された複数枚の薄板は、収納容器の上方にある保持ガイドの溝構造の溝に沿って整列状態を保持したまま収納容器から押し出されるが、このとき、仮置き台および保持ガイドの各溝構造の溝の中心と収納容器の溝構造の溝の中心とを合わせることで、複数枚の薄板の押し出しがスムースに行なわれるとともに、この押し出しが完了したと同時に、これらの薄板を略垂直状態で整列した状態に保持することができる。
【００１５】
さらに、複数枚の薄板を収納容器に収納するに際して、また、複数枚の薄板を収納容器から取り出して仮受けするに際して、さらに、複数枚の薄板を収納容器から取り出して仮受けした後、１枚ずつ取り出して搬出するに際して、各薄板の左右端面や底面と仮置き台および保持ガイドの各溝構造の溝との間に摩擦が生ずるが、この摩擦を、それらの溝構造が転動することにより、軽減することができる。
【００１６】
また、その請求項２に記載された発明は、請求項１に記載の薄板収納・取出し装置において、その薄板収納・取出し装置が、略垂直状態で整列した複数枚の薄板を保持ガイドに押し当てるための押し当て機構をさらに備え、該押し当て機構は、複数枚の薄板の各左側端面と右側端面のうちのいずれか一方の端面を押して、複数枚の薄板を保持ガイドに押し当てるようにされていることを特徴としている。
【００１７】
この結果、仮置き台と保持ガイドとによる複数枚の薄板の略垂直状態で整列した状態での仮受けを安定、確実に行なうことができる。
特に、複数枚の薄板の各々を仮置き台と保持ガイドとが備える溝構造の溝に確実に嵌入させて位置を出すことにより、それらの溝構造の溝の中心を一致させることができて、複数枚の薄板を略垂直状態で整然と整列した状態で仮受けすることができ、これにより、それらの溝構造の溝の中心と収納容器の溝の中心との一致も容易になり、複数枚の薄板の収納容器への収納、複数枚の薄板の収納容器からの取出しがさらに迅速、確実に行なえるようになる。とりわけ、複数枚の薄板を収納容器から取り出す場合において、薄板が収納容器より少し押し出された後に、押し当て機構により薄板を保持ガイドの溝構造の溝側に押し当てるようにすることができ、より一層整然と複数枚の薄板を略垂直状態で整列した状態で収納容器から取り出すことができる。
【００１８】
また、押し当て機構は、保持ガイドが複数枚の薄板の各右側端面と左側端面のうちのいずれか一方の端面を仮受けして保持する側と反対側の端面を押して、複数枚の薄板を保持ガイドに押し当てるようにするので、押し当て機構による複数枚の薄板の保持ガイドへの押し当てが最も効率的に行なわれる。
【００１９】
また、その請求項３に記載された発明は、請求項２に記載の薄板収納・取出し装置において、押し当て機構が複数枚の薄板の各左側端面と右側端面のうちのいずれか一方の端面を押す部分が、溝構造にされ、複数枚の薄板の各々がそれぞれの溝構造の溝に同時に嵌入することができるようにされており、各部分の溝構造は、いずれか一の部分の溝構造もしくは二以上の部分の溝構造が転動可能に構成され、収納容器は、複数枚の薄板の各々を受け入れて略垂直状態で整列した状態に保持するための、前記各部分の溝構造に合致する溝構造を備えていることを特徴としている。
【００２０】
この結果、押し当て機構、仮置き台および保持ガイドの各溝構造の溝の中心と収納容器の溝構造の溝の中心とを合わせることで、仮置き台が下降することにより、複数枚の薄板をスムースに収納容器に収納することができる。
また、複数枚の薄板を収納容器から取り出すに際しては、仮置き台が上昇することにより、収納容器に収納された複数枚の薄板は、収納容器の上方にある保持ガイドの溝構造の溝に沿って整列状態を保持したまま収納容器から押し出されるが、このとき、押し当て機構、仮置き台および保持ガイドの各溝構造の溝の中心と収納容器の溝構造の溝の中心とを合わせることで、複数枚の薄板の押し出しがスムースに行なわれるとともに、この押し出しが完了したと同時に、これらの薄板を押し当て機構により保持ガイドに押し当て、略垂直状態で整列した状態にさらに良く保持することができる。
【００２１】
さらに、その請求項４に記載された発明は、請求項１に記載の薄板収納・取出し装置において、薄板収納装置または薄板取出し装置により仮受けされる複数枚の薄板の各々が、保持ガイドにより保持されるいずれか一方の端面側が低くなるように傾けられていることを特徴としている。
【００２２】
この結果、薄板収納・取出し装置により略垂直状態で仮受けされる複数枚の薄板の各々は、その自重により、保持ガイド側に滑落することができるので、その保持ガイドにより保持されるいずれか一方の端面は、保持ガイドの溝構造の溝にさらに確実に嵌入して、複数枚の薄板の略垂直状態での整列をさらに完全に行なうことができ、略垂直状態での仮受けを安定に行なうことができる。
【００２３】
また、その請求項５に記載された発明は、１枚毎に前記薄板を搬入する薄板搬入装置と、複数枚の前記薄板を仮受けして、収納容器に収納する薄板収納・取出し装置と、前記薄板搬入装置により搬入された前記薄板を１枚ずつ受け取って、前記薄板収納・取出し装置に受渡しする移載装置と、前記薄板収納・取出し装置に前記収納容器を搬入、搬出する収納容器搬入出装置とを備えてなる薄板収納搬送システムにおいて、前記薄板収納・取出し装置は、複数枚の前記薄板を略垂直状態で整列した状態に仮置きする仮置き台と、複数枚の前記薄板を略垂直状態で整列した状態に保持する保持ガイドと、前記仮置き台を前記収納容器の収納空間を通り越して昇降させる昇降手段とを備え、前記移載装置より受け取った複数枚の前記薄板を略垂直状態で整列した状態で仮受けして、略垂直に一斉に前記収納容器に収納するようにされているとともに、前記仮置き台が複数枚の前記薄板の各底面を仮受けして支持する部分、前記保持ガイドが複数枚の前記薄板の各右側端面と左側端面のうちのいずれか一方の端面を仮受けして保持する部分は、それぞれ溝構造にされ、複数枚の前記薄板の各々がそれぞれの溝構造の溝に同時に嵌入することができるようにされており、前記各部分の溝構造は、いずれか一の部分の溝構造もしくは両方の部分の溝構造が転動可能に構成され、前記収納容器は、複数枚の前記薄板の各々を受け入れて略垂直状態で整列した状態に保持するための、前記各部分の溝構造に合致する溝構造を備えていることを特徴とする薄板収納搬送システムである。
【００２４】
請求項５に記載された発明は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
薄板搬入装置により１枚毎に搬入されてきた薄板を移載装置が１枚ずつ受け取って、迅速に薄板収納・取出し装置に受渡し、薄板収納・取出し装置は、受け取った複数枚の薄板を略垂直状態で仮受けして、迅速に略垂直に一斉に収納容器に収納し、複数枚の薄板が略垂直状態で整列して収納された収納容器を収納容器搬入出装置が迅速に次の作業ステーションに搬送することができる薄板収納搬送システムを提供することができる。
また、請求項１に記載の薄板収納・取出し装置が奏する前記のような効果を奏することができる。
【００２５】
また、その請求項６に記載された発明は、複数枚の薄板を略垂直状態で整列した状態で収納する収納容器を搬入、搬出する収納容器搬入出装置と、前記収納容器搬入出装置により搬入された前記収納容器から複数枚の前記薄板を仮置き位置に取り出して、仮受けする薄板収納・取出し装置と、前記仮置き位置に取り出された複数枚の前記薄板を一枚ずつ受け取って、薄板搬出装置に移載する移載装置とを備えてなる薄板取出し搬送システムにおいて、前記薄板収納・取出し装置は、複数枚の前記薄板を略垂直状態で整列した状態に仮置きする仮置き台と、複数枚の前記薄板を略垂直状態で整列した状態に保持する保持ガイドと、前記仮置き台を前記収納容器の収納空間を通り越して昇降させる昇降手段と
を備え、前記収納容器から複数枚の前記薄板を略垂直に一斉に前記仮置き位置に取り出して、略垂直状態で整列した状態で仮受けして、前記移載装置に受け渡すようにされているとともに、前記仮置き台が複数枚の前記薄板の各底面を仮受けして支持する部分、前記保持ガイドが複数枚の前記薄板の各右側端面と左側端面のうちのいずれか一方の端面を仮受けして保持する部分は、それぞれ溝構造にされ、複数枚の前記薄板の各々がそれぞれの溝構造の溝に同時に嵌入することができるようにされており、前記各部分の溝構造は、いずれか一の部分の溝構造もしくは両方の部分の溝構造が転動可能に構成され、前記収納容器は、複数枚の前記薄板の各々を受け入れて略垂直状態で整列した状態に保持するための、前記各部分の溝構造に合致する溝構造を備えていることを特徴とする薄板取出し搬送システムである。
【００２６】
請求項６に記載された発明は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
収納容器搬入出装置により搬入された、複数枚の薄板を略垂直状態で整列した状態で収納する収納容器から薄板収納・取出し装置が複数枚の薄板を略垂直に一斉に、迅速に仮置き位置に取り出して、仮受けし、仮受けされた略垂直状態で整列する複数枚の薄板を移載装置が一枚ずつ受け取って、迅速に薄板搬出装置に移載し、次の作業ステーションに搬送することができる薄板取出し搬送システムを提供することができる。
また、請求項１に記載の薄板収納・取出し装置が奏する前記のような効果を奏することができる。
【００２７】
さらに、その請求項７に記載された発明は、請求項５に記載の薄板収納搬送システムまたは請求項６に記載の薄板取出し搬送システムにおいて、その移載装置が、そのヘッド部分に、薄板の端面を把持する把持機構を備え、そのヘッド部分側から、把持した薄板にブロー圧を付与するブロー圧付与機構をさらに備えていることを特徴としている。
【００２８】
これにより、その移載装置は、薄板の表面および裏面に触れることなしに薄板の移載が可能になり、薄板の損傷が防がれる。また、把持機構が把持した薄板は、移載装置と反対側に撓むので、薄板の表面および裏面が移載装置と接触する虞が完全に払拭されて、この面からも、薄板の損傷が防がれる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
次に、図１ないし図３１に図示される本願の請求項１ないし請求項７に記載された発明の一実施形態について説明する。
図１は、本実施形態における薄板収納・取出し装置を使用した薄板収納・取出し搬送システムの概略斜視図である。
【００３０】
この薄板収納・取出し搬送システムは、薄板が順方向に搬送されるとき、薄板収納搬送システムとして使用される。また、薄板が逆方向に搬送されるとき、薄板取出し搬送システムとして使用される。そして、薄板収納・取出し搬送システムが薄板収納搬送システムとして使用されるとき、薄板収納・取出し装置は薄板収納装置として作動し、薄板収納・取出し搬送システムが薄板取出し搬送システムとして使用されるとき、薄板収納・取出し装置は薄板取出し装置として作動する。
【００３１】
以下においては、薄板収納・取出し搬送システムが薄板収納搬送システムとして使用され、薄板収納・取出し装置が薄板収納装置として作動する場合を中心にして説明をするが、薄板収納・取出し搬送システムが薄板取出し搬送システムとして使用され、薄板収納・取出し装置が薄板取出し装置として作動する場合は、薄板および複数枚の薄板を収納する収納容器が前者の場合と逆方向の流れとなるように、各搬入出装置および薄板収納・取出し装置が逆の動きになるものとして理解されればよく、その構造および作用は、当業者に明らかであろう。
【００３２】
本実施形態における薄板収納搬送システム１は、半導体基板や液晶基板等の薄板を複数枚収納容器に収納して、次の作業工程に搬送したり、同様の薄板が複数枚収納された収納容器からそれらの薄板を取り出して、１枚毎に次の作業工程に搬送したりするために使用され、その全体構成の概要は、図１に図示されるように、薄板搬入部10、移載部30、薄板収納部50、薄板収納容器搬入出部とからなっている。ここで、薄板収納容器搬入出部は、薄板収納部50との間で薄板収納容器の搬入出を直接行なう第１の薄板収納容器搬入出部70と、該第１の薄板収納容器搬入出部70と外部装置やステ−ションとの間で薄板収納容器の搬入出を行なう第２の薄板収納容器搬入出部80とに分かれている。
【００３３】
以下、これら各部の構造と作用もしくは作動を、順を追って説明する。
先ず、薄板搬入部10について説明する。
薄板２は、図２（ｂ）に図示されるように、平面視略矩形状をなし、その一角が直線状に切り落とされて、オリエンテーション・フラット２a を形成している。そして、図２（ａ）に図示されるように、１枚毎に分離された状態で、図示されない上流装置からコンベア11（薄板搬入装置）により搬送されて、薄板搬入部10に同じ姿勢で搬入される。コンベア11は、表面摩擦力の高いベルトコンベアからなり、薄板２を擦れ合うことなく、静粛に搬送することができる。もちろん、同様の効果を奏するのであれば、このタイプのコンベアに限定されない。薄板２は、通常、水平の姿勢で搬送されるが、垂直や斜めの姿勢で搬送されることもある。
【００３４】
薄板搬入部10は、搬送路の両側に縦列に配された一対の単位ローラコンベアからなるローラコンベア12を備えており、薄板２がコンベア11からローラコンベア12上に移送されると、図示されない突き上げ装置が薄板２を搬送面より所定高さだけ突き上げ、後述する移載部30のロボット31の把持機構（チャック）33が薄板２の四辺の端面を把持し易い姿勢にする。また、このとき、薄板２の中央部が下方に反らないように、下方からブロー圧を付与して、薄板２を支持するエアバー13が形成されている。ローラコンベア12は、一対の単位ローラコンベア間の幅を自動的に変更することができるように構成されており、各ローラの表面には、摩擦力を上げるために、Ｏリングが装着されている。
【００３５】
ローラコンベア12への入口部には、割れ検出センサ14が設けられており、搬入される薄板２の割れは、このセンサ14により検出される。そして、検出された割れのある不良品は、不良品トレイ15に自動的に搬出される。また、上流部から送られてくる製品情報により不良品であることが判明している薄板は、ローラコンベア12に搬入された後、後述するロボット31により把持されて、不良品トレイ16に自動的に排出される。さらに、詳細には図示されないが、ローラコンベア12の近くには、ローラコンベア12上に載置された薄板２から各種情報を読み取るための情報読取装置が配備されている。
【００３６】
次に、移載部30について説明する。
移載部30は、コンベア11により薄板搬入部10に搬入されてきた薄板２を１枚ずつ受け取って、薄板収納部50に受渡しする機能を担う。薄板収納搬送システム１が薄板取出し搬送システムとして使用される場合には、この逆に受渡しされる。移載部30は、多関節ロボット（移載装置）31により構成され、その多関節ロボット31のアーム40の末端のヘッド部分32には、図３に図示されるように、薄板２の四辺の端面をそれぞれ把持することができる４本の爪34からなる把持機構（チャック）33が備えられている。
【００３７】
爪34は、図４に図示されるように、ヘッド部分32から突出して前方に伸びる棒（板棒）状部材の先端部の内側面に、薄板２の側方から接近してその各辺の端面を掴むことができるように、略薄板２の厚さの幅を有する凹入部35が形成されている。４本の爪34は、それぞれ薄板２の各辺の側方から薄板２の中心部に向かって前進して、互いに接近しながら、各辺の端面を凹入部35内に嵌入させて、薄板２を把持する。このとき、各辺の端面が凹入部35内に嵌入し易いようにガイドする逃げ部36を有するガイド嘴37が、凹入部35よりも先端側の棒状部材の先端部に内方に向けて突出形成されている。４本の爪34が反対に互いに離反する方向に後退するとき、薄板２の把持が解かれる。このように、把持機構33が薄板２の四辺の端面を把持することにより、薄板２の表面および裏面に触れることなしに薄板
２の移載が可能になり、薄板２の損傷が防がれる。
【００３８】
爪34の棒状部材の先端面は、把持機構33により把持されて搬送される薄板２が順次整列した状態に仮置きされるとき、すでに仮置きされた直近の薄板２と干渉しないように、また、その他の物体と干渉しないように、その内方寄りと外方寄りとに、それぞれ逃げ部38、39が形成されるのがよい。凹入部35は、図４（ａ）に図示されるように、断面Ｕ字状に形成されてもよく、また、図４（ｂ）に図示されるように、断面Ｖ字状に形成されてもよい。
【００３９】
ロボット31の把持機構33は、薄板搬入部10に搬入されてくる１枚の薄板２を略そのままの水平姿勢で受け取る。次いで、上昇し（図３（ａ））、薄板２が略垂直の姿勢になるように起立し（図３（ｂ））、把持機構33が薄板収納部50の薄板仮置き位置に来るまでアーム40が回転し（図３（ｃ）、図５）、薄板仮置き位置において、すでに仮置きされて略垂直状態に保持された直近の薄板２に隣り合う位置に把持する薄板２を略垂直状態に位置させて（図３（ｄ））、その把持を解除し、後退する（図６）。このようにして、１枚の薄板２の移載（薄板収納部50への受渡し）を終了する。
【００４０】
把持機構33が薄板２を把持するとき、薄板２がヘッド部分32側に撓んで接触することのないように、ロボット31は、詳細には図示されないが、そのヘッド部分32側から把持した薄板２にブロー圧（図３（ｂ）矢印Ａ参照）を付与するブロー圧付与機構を備えている。これにより、薄板２の広い面がヘッド部分32と接触する虞が完全に払拭されて、薄板２の損傷が防がれる。
【００４１】
また、把持機構33が把持した薄板２を開放して、これを仮置き位置に仮置きするとき、すでに仮置きされた薄板２が新たに仮置きされる薄板２側に倒れて新たに仮置きされる薄板２や把持機構33と接触することのないように、すでに仮置きされた薄板２は、新たに仮置きされる薄板２が受渡しされる側と反対の側にわずかに傾けられるのが望ましい。このために、本実施形態においては、図６に図示されるように、すでに仮置きされた薄板２の上部に新たに仮置きされる薄板２が受渡しされる側（図６において左方）からブロー圧（図６矢印Ｂ参照）が送気管を通じて付与されるようになっている。このようにすることにより、新たに仮置きされる薄板２の受渡しが安定、確実に行なわれるとともに、薄板２の損傷が防がれる。
【００４２】
次に、薄板収納部50について説明する。
薄板収納部50は、図５および図６に図示されるように、２台の薄板収納装置51を並列に備えている。このように、薄板収納装置51が２台並設されることにより、後述する収納容器57の入替時間を短縮することができ、また、薄板収納装置51を修理するときに、作業を中止しなくても修理が可能になるので、生産性を大きく向上させることができる。
【００４３】
各薄板収納装置51は、図７および図８に図示されるように、ロボット31により搬入される薄板２を１枚ずつ受け取って仮置き位置に仮受けする仮受け部53と、仮受けされた複数枚の薄板２を一斉に収納容器57に収納する機構とを備えている。収納容器57は、後述するように、仮受け部53の下方に仮受け部53と所定の位置関係でセットされ、保持手段66により側方から支持されて、位置ずれが生じないようにされている。
【００４４】
仮受け部53は、受け取った複数枚の薄板２を略垂直状態で整列した状態に仮置きする仮置き台54と、同複数枚の薄板２を略垂直状態で整列した状態に保持する保持ガイド55と、同複数枚の薄板２を保持ガイド55に押し当てるための押し当て機構56とからなっている。
【００４５】
仮置き台54は、薄板収納装置51の基体部52に該基体部52から横方向に突出し、上下方向に指向して昇降可能に設けられた板状部材からなり、その上端部に棒状部材が水平方向に指向して配されており、実際には、この棒状部材が略垂直状態の薄板２の底面を受けるようになっている。そして、薄板２の底面の前方部分（図６において左下方部分）と後方部分（図６において右上方部分）との２個所を各別に受けることができるように、２台の仮置き台54が用意されている。これら２台の仮置き台54は、一体に連結されていて、一体的に昇降動する。
【００４６】
保持ガイド55は、水平方向に指向して固定的に配置された棒状部材からなり、略垂直状態の薄板２の後端面を保持して、薄板２をその状態に保持する。また、押し当て機構56は、その先端部に水平方向に指向して進退可能に配置された棒状部材56a を備え、略垂直状態で整列した状態に保持される複数枚の薄板２の各前端面（図８において左側端面）を同時に押して、これらの薄板２を保持ガイド55に押し当てるように作動する。
【００４７】
したがって、ロボット31により薄板収納装置51の仮受け部53に搬入される薄板２は、１枚毎に仮置き台54と保持ガイド55とにより受けられて、略垂直状態で整列した状態で仮受けされる。そして、押し当て機構56により保持ガイド55に押し当てられることにより、より確実にその状態に保持される（図８、図９参照）。なお、このように、仮置き台54と保持ガイド55とが薄板２を受ける部分、および押し当て機構56が薄板２を押す部分は、いずれも溝構造にされており、薄板２の各対応する底面もしくは前後（図８において左右）端面は、それらの溝構造の溝にそれぞれ嵌入していて、薄板２が確実に保持されるようになっている。それらの溝構造については、後で詳細に説明される。
【００４８】
ここで、薄板収納装置51の仮受け部53により仮受けされる複数枚の薄板２（これは、前記した、仮置き位置に仮置きされる複数枚の薄板２と同義である。）の各々は、図１０に図示されるように、保持ガイド55により保持される後端面（図１０において右側端面）側が低くなるように傾けられるのがよい。このようにすることによって、複数枚の薄板２の各々は、その自重により、保持ガイド55側に滑落することができるので、保持ガイド55により保持される薄板２の端面は、保持ガイド55によりさらに確実に保持されて、複数枚の薄板２の略垂直状態での整列をさらに完全に行なうことができ、略垂直状態での仮受けを安定に行なうことができる。なお、薄板２を傾ける代わりに、仮受け部53全体を傾けるようにしてもよい（図１１参照）。
【００４９】
仮置き台54を昇降可能にする機構（昇降手段）が、薄板収納装置51の基体部52に内蔵されており、２台の仮置き台54を包囲するようにして収納容器57が薄板収納装置51にセットされると、該昇降機構が仮置き台54を収納容器57の薄板収納空間を通って下降させる。そうすると、仮置き台54上に仮置きされ、保持ガイド55により略垂直状態で整列した状態に保持された複数枚の薄板２（仮受け部53に仮受けされた複数枚の薄板２）は、保持ガイド55によりその状態に保持されつつ、仮置き台54とともに略垂直に一斉に下降して、収納容器57に収納される。
【００５０】
ここで、収納容器57は、図８、図１７ないし図１９に図示されるように、底壁と天井壁とを有さず、周囲４壁のみからなる直方体形状の容器からなり、その内部収納空間の上方の前方部分と後方部分（図１９において左方部分と右方部分）との２個所に薄板２の前後端面（図８、図１９において左右端面。また、薄板２を正面視して左右端面）を受けることができる棒状部材58、58が対向側壁間に渡架され、また、下方の中間部分の２個所に薄板２の底面の２個所を受けることができる棒状部材59、59が対向側壁間に渡架されている。
【００５１】
そこで、仮受け部53に略垂直状態で整列した状態に仮受けされた複数枚の薄板２は、仮置き台54の下降とともに、保持ガイド55によりその状態に保持されつつ、収納容器57の棒状部材58、58によってもガイドされながら、略垂直に一斉に下降して、収納容器57の棒状部材59、59により受けられて止まる。このようにして、複数枚の薄板２は、略完全にその状態を保持して収納容器57に収納される。
【００５２】
図１６ないし図１９には、薄板収納装置51の詳細構造が図示されている。
薄板収納装置51の基体部52には、連結フレーム60により一体化された２台の仮置き台54が、該連結フレーム60を介して昇降可能に支持されている。各仮置き台54は、その上端部に仮置き台54の幅方向に伸びる棒状部材54a を備えていて、実際には、この仮置き用の棒状部材54a が複数枚の薄板２の底面を受けて、これらの薄板２を仮置きするようになっている。仮置き台54の昇降駆動源は、基体部52に内蔵されている。
【００５３】
薄板収納装置51を囲む薄板収納部50に共通の架台61上には、収納容器57を下部において支持するブラケット62が前後左右４個所に立設されており、その上部のＶ字溝に、収納容器57が突子を乗せて支持されている（図１８参照）。また、架台61上には、薄板収納装置51の後方部分（図１８において右方部分）に、縦フレーム63を介して保持ガイド55が固定的に取り付けられており、その前方部分に、屈曲した縦フレーム64を介して押し当て機構56が取り付けられている。押し当て機構56の先端部の棒状部材56a は、その基体部56b に対して進退自在であり、前記のとおり、複数枚の薄板２の各前端面を同時に押して、これらの薄板２を保持ガイド55に押し当てる。保持ガイド55は、実際には、図１８に図示されるように、上下２段に保持ガイド棒55a を備えたものから構成されている。図１８では、薄板２のサイズが各種に異なる場合が２点鎖線により示されている。
【００５４】
仮置き台54が複数枚の薄板２の各底面を仮受けして支持する部分である棒状部材54a 、保持ガイド55が複数枚の薄板２の各後端面（正面視して右端面）を仮受けして保持する部分である上下２段の保持ガイド棒55a 、押し当て機構56が複数枚の薄板２の各前端面（正面視して左端面）を押す部分である棒状部材56a は、それぞれ溝構造にされ、各溝構造の溝の中心は合致していて、複数枚の薄板２の各々がそれぞれの溝構造の溝に同時に嵌入することができるようになっている。しかも、これら各部分の溝構造は、いずれも転動可能に構成されている。但し、これら各部分の溝構造の全てが転動可能に構成される必要はなく、少なくとも保持ガイド棒55a の溝構造が転動可能に構成されればよい。
【００５５】
収納容器57の上下の棒状部材58、59も、これら各部分の溝構造の溝の中心に合致する中心を有する溝構造を備えていて、複数枚の薄板２の各々の端面および底面を受け入れて、前記のとおり、これらの薄板２を略垂直状態で整列した状態に保持して収納する。
【００５６】
仮置き台54の棒状部材54a 、保持ガイド55の保持ガイド棒55a 、収納容器57の上下の棒状部材58、59の各溝構造の溝の中心が合致していて、複数枚の薄板２の各々がそれぞれの溝構造の溝に同時に嵌入することができるようになっている様子が、図１７に図示されている。同図には、押し当て機構56の棒状部材56a の溝構造（図１６参照）が図示されていないが、この溝構造の溝の中心も、他の溝構造の溝の中心と合致している。
【００５７】
このように、各溝構造の溝の中心が合致しているので、仮置き台54が下降することにより、複数枚の薄板２をスムースに収納容器57に略垂直状態で整列した状態に収納することができる。また、薄板収納装置51が薄板取出し装置として使用されるときには、逆に、仮置き台54が上昇することにより、収納容器57に収納された複数枚の薄板２をスムースに仮置き位置に取り出して、仮受け部53に仮受けさせることができる。そして、複数枚の薄板２の押し出しが完了したと同時に、これらの薄板２を押し当て機構56により保持ガイド55に押し当て、略垂直状態で整列した状態に仮受け保持することができる。
【００５８】
なお、この場合において、保持ガイド55の保持ガイド棒55a の溝構造の溝をやや大きめに形成しておくことにより、仮受け部53に仮受けされる薄板２をブロー圧により一定方向（仮受け部53に薄板２が搬入される側と反対側の方向）に傾け易くなるので、ロボット31が薄板２を１枚毎に仮受け部53に移載するとき、ロボット31の把持機構33や新たに仮受け部53に移載される薄板２が、すでに仮受け部53に移載された薄板２と接触することが防がれて、好都合である。また、同様の効果を奏させるために、保持ガイド棒55a の溝構造の位相および押し当て機構56の棒状部材56a の溝構造の位相を、仮置き台54の棒状部材54a の溝構造の位相に対して同じ方向にわずかにずらすようにしてもよく（図１２参照）、あるいは、薄板２を傾ける代わりに、仮受け部53全体を傾けるようにしてもよい（図１３参照）。
【００５９】
さらに、同様の効果を奏させるために、保持ガイド55と押し当て機構56のうちのいずれか一方もしくは両方が、それぞれの溝構造の溝に嵌入する複数枚の薄板２の各々を挟むか（図１４参照）、もしくはそれぞれの溝構造の溝に嵌入する複数枚の薄板２を嵌入する順に１枚毎に挟んで、順次新たに嵌入してくる薄板２側に移動するか（図１５参照）、する薄板挟み機構65を備えるようにしてもよく、このようにすれば、複数枚の薄板２の略垂直状態で整列した状態での仮受けを安定、確実に行なうことができ、隣接する薄板２間の間隔を一定に保つことができて、薄板２同志の接触および把持機構33と薄板２との接触を完全に防ぐことができ、薄板２の損傷が完全に防がれる。
【００６０】
なお、複数枚の薄板２を収納容器57に収納するに際して、また、複数枚の薄板２を収納容器57から取り出して仮受けするに際して、さらに、複数枚の薄板２を収納容器57から取り出して仮受けした後、１枚ずつ取り出して次工程に搬出するに際して、各薄板２の左右端面や底面と前記各溝構造の溝との間に摩擦が生ずるが、前記のとおり、仮置き台54の棒状部材54a 、保持ガイド55の保持ガイド棒55a 、押し当て機構56の棒状部材56a の各溝構造は、いずれも転動可能に構成されているので、この摩擦を、それらの溝構造が転動することにより、軽減することができる。
【００６１】
加えて、複数枚の薄板２を仮受け部53に仮受けした後、押し当て機構56が複数枚の薄板２の一方の端面を押して、これらの薄板２を保持ガイド55に押し当てるようにするときには、各薄板２の底面と仮置き台54の溝構造の溝との間に摩擦が生ずるが、この摩擦を、仮置き台54の棒状部材54a の溝構造が転動することにより、軽減することができる。
【００６２】
次に、薄板収納容器搬入出部について説明する。
前記のようにして、所定の複数枚の薄板２が収納容器57に収納されると（図２０参照）、次いで、図２１に図示されるように、第１の薄板収納容器搬入出部70において収納容器57を搬入出するために使用される第１の搬送装置71が、そのフォーク72を伸ばして、収納容器57の下方から薄板収納装置51の内部に進入し、収納容器57を持ち上げて、これを薄板収納装置51から搬出する。そして、この収納容器57を第２の薄板収納容器搬入出部80における収納容器搬出エリア81に搬送し、そこに搬出する。搬出された収納容器57は、次いで、コンベア等からなる図示されない第２の搬送装置により、次の作業工程もしくはステーションに搬送される（図２２参照）。
【００６３】
複数枚の薄板２が収納された収納容器57を収納容器搬出エリア81に搬出すると、第１の搬送装置71は、次いで、コンベア等からなる図示されない第２の搬送装置により収納容器搬入エリア82に搬入されて集積された複数の空の収納容器57群の最前部の位置に移動し、最前部の空の収納容器57を持ち上げて、先に複数枚の薄板２が収納された収納容器57を収納容器搬出エリア81に搬送したときとは逆に移動して、これを、収納容器57のために用意された薄板収納装置51内の空いたスペースに搬入する。そうすると、２台の仮置き台54が一体に収納容器57の収納空間を上方に移動して、その上端部の棒状部材54a が薄板２の仮置き位置に達すると、次の薄板２が仮受け部53に搬入される準備がなされる。
【００６４】
この間、隣接するもう１台の薄板収納装置51側においては、以上に説明してきたと同様の、ロボット31による１枚毎の薄板２の仮受け部53への移載、仮受けされた複数枚の薄板２の収納容器57への収納、複数枚の薄板２が収納された収納容器57の収納容器搬出エリア81への搬出、収納容器搬入エリア82からの空の収納容器57の搬入の各動作が連続して行なわれている。
【００６５】
なお、本実施形態における薄板収納搬送システム１が薄板取出し搬送システムとして使用される場合には、第２の薄板収納容器搬入出部80における収納容器搬出エリア81に搬出されるものは、空の収納容器57であり、また、第２の薄板収納容器搬入出部80における収納容器搬入エリア82に搬入されて集積されるものは、所定の複数枚の薄板２が収納された収納容器57である。
【００６６】
図２３ないし図３１には、本実施形態における薄板収納搬送システム１のシステム構成の例が図示されている。
図２３は、仮置き台54を含む薄板収納装置51が１台設置される本薄板収納搬送システム１の基本構成例を示す。図２４は、本実施形態の説明の中で使用された、薄板収納装置51が２台並設される例である。図２５は、薄板搬入装置（コンベア）11が３台並設される例、図２６は、薄板搬入装置11と移載装置（ロボット）31との組合せが２セット並設される例、図２７は、薄板搬入装置11と移載装置31と薄板収納装置51との組合せが３セット並設される例、図２８は、第１の収納容器搬入出部70と第２の収納容器搬入出部80との組合せが２セット並設される例、図２９は、第２の収納容器搬入出部80が２台並設される例、図３０は、移載装置31と薄板収納装置51と第１の収納容器搬入出部70と第２の収納容器搬入出部80との組合せが２セット並設される例、図３１は、移載装置31と薄板収納装置51との組合せが２セット並設され、且つ、第２の収納容器搬入出部80が並設される例である。
【００６７】
これらのシステム構成例は、それぞれのシステム構成装置の処理能力、隣接するそれぞれのシステム構成装置間を流れるワークの多少に応じて、最適に選択される。そして、このようにして、それぞれのシステム構成装置の処理能力を最大限に引き出して、最高の生産効率を上げることができる。
薄板取出し搬送システムについても、同様に、各種のシステム構成が考えられるが、それらは、以上の説明から当業者には自ずと明らかであるので、詳細な説明を省略する。
【００６８】
本実施形態における薄板収納装置51および薄板収納搬送システム１は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
薄板収納容器57に収納される前に、仮置き台54と保持ガイド55とにより略垂直状態で整列した状態に保持されて仮受けされた複数枚の薄板２を、昇降手段の下降作動により仮置き台54を収納容器57の収納空間を通り越して下降させることにより、略垂直に一斉に収納容器57に収納することができ、複数枚の薄板２を直接収納容器57に収納しなくて済むので、複数枚の薄板２の収納容器57への迅速、確実な整列した状態での収納が可能になる。
【００６９】
また、仮置き台54が下降することにより、薄板２自体は自重により下降するので、薄板２が収納容器57に収納されるとき、余分な負荷が薄板２にかかることがなく、割れる虞もない。しかも、可動部が収納容器57の溝や薄板２に接触する虞も全くないので、製品の歩留りの向上と収納容器57の耐久性の向上とを図ることができる。
【００７０】
また、本実施形態における薄板収納装置51および薄板収納搬送システム１が薄板取出し装置および薄板取出し搬送システムとして使用される場合には、収納容器57に略垂直状態で整列して収納された複数枚の薄板２を、昇降手段の上昇作動により仮置き台54を収納容器57の収納空間を通り越して上昇させることにより、保持ガイド55にガイド・保持させつつ、略垂直に一斉に収納容器57から取り出して、仮置き台54と保持ガイド55とにより略垂直状態で整列した状態で仮受けすることができる。これにより、迅速、確実な複数枚の薄板２の収納容器57からの取出しが可能になる。
【００７１】
さらに、仮受け位置に取り出された複数枚の薄板２は、略垂直状態で整然と整列した状態に置かれているので、そこから薄板２を１枚ずつ取り出すことが容易であり、しかも、迅速に取り出すことが可能である。さらに、複数枚の薄板２を収納容器57から取り出す過程において、可動部が収納容器57の溝や薄板２に接触する虞が全くなく、収納容器57の耐久性の向上と製品の歩留りの向上とを図ることができる。
その他、本実施形態の説明の中で述べたような、種々の効果を奏することができる。
【００７２】
本実施形態における薄板収納装置51および薄板収納搬送システム１が薄板取出し装置および薄板取出し搬送システムとして使用される場合に奏されるその他の効果も、これらの説明により、当業者には自ずと理解されてくるであろう。
なお、本実施形態は、本願の発明の要旨を逸脱しない範囲において種々に変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本願の請求項１ないし請求項７に記載された発明の一実施形態における薄板収納・取出し装置を使用した薄板収納・取出し搬送システムの概略斜視図である。
【図２】  同薄板収納・取出し搬送システムの薄板搬入出部の概略斜視図である。
【図３】  同薄板収納・取出し搬送システムの移載部の概略斜視図であって、同移載部の動きを順を追って示す図である。
【図４】  同移載部のロボットヘッドに使用される爪を示す図である。
【図５】  同薄板収納・取出し搬送システムの薄板収納・取出し部の概略斜視図であって、同移載部により薄板を移載しているところを示す図である。
【図６】  同薄板収納・取出し部の概略斜視図であって、同移載部により薄板を移載し終わったところを示す図である。
【図７】  同薄板収納・取出し部における薄板収納・取出し装置の概略斜視図である。
【図８】  同薄板収納・取出し装置の仮受け部の概略斜視図である。
【図９】  同仮受け部の概略側面図である。
【図１０】  同仮受け部の変形例の概略側面図である。
【図１１】  同仮受け部の他の変形例の概略側面図である。
【図１２】  同仮受け部のさらに他の変形例の概略側面図である。
【図１３】  同仮受け部のさらに他の変形例の概略側面図である。
【図１４】  同仮受け部のさらに他の変形例の概略側面図である。
【図１５】  同仮受け部のさらに他の変形例の概略側面図である。
【図１６】  同薄板収納・取出し装置の詳細構造を示す平面図である。
【図１７】  同薄板収納・取出し装置の詳細構造を示す正面図である。
【図１８】  同薄板収納・取出し装置の詳細構造を示す側面図である。
【図１９】  同薄板収納・取出し装置に使用される薄板収納容器の詳細構造を示す平面図である。
【図２０】  同薄板収納・取出し部の概略斜視図であって、薄板収納容器に薄板が収納され終わった状態を示す図である。
【図２１】  同薄板収納・取出し部と薄板収納容器搬入出部との概略斜視図であって、薄板収納容器が搬出されるところを示す図である。
【図２２】  同薄板収納・取出し部と薄板収納容器搬入出部との概略斜視図であって、薄板収納容器が搬出、搬入されるところを示す図である。
【図２３】  本実施形態における薄板収納搬送システムの一構成例を示す図である。
【図２４】  本実施形態における薄板収納搬送システムの他の構成例を示す図である。
【図２５】  本実施形態における薄板収納搬送システムのさらに他の構成例を示す図である。
【図２６】  本実施形態における薄板収納搬送システムのさらに他の構成例を示す図である。
【図２７】  本実施形態における薄板収納搬送システムのさらに他の構成例を示す図である。
【図２８】  本実施形態における薄板収納搬送システムのさらに他の構成例を示す図である。
【図２９】  本実施形態における薄板収納搬送システムのさらに他の構成例を示す図である。
【図３０】  本実施形態における薄板収納搬送システムのさらに他の構成例を示す図である。
【図３１】  本実施形態における薄板収納搬送システムのさらに他の構成例を示す図である。
【符号の説明】
１…薄板収納・取出し搬送システム、２…薄板、２a …オリエンテーション・フラット、10…薄板搬入出部、11…コンベア、12…ローラコンベア、13…エアバー、14…割れ検出センサ、15…不良品トレイ、16…不良品トレイ、30…移載部、31…多関節ロボット（移載装置）、32…ヘッド部分、33…把持機構（チャック）、34…爪、35…凹入部、36…逃げ部、37…ガイド嘴、38、39…逃げ部、40…アーム、50…薄板収納・取出し部、51…薄板収納取出し装置、52…基体部、53…仮受け部、54…仮置き台、54a …棒状部材、55…保持ガイド、55a …保持ガイド棒、56…押し当て機構、56a …棒状部材、56b …基体部、57…収納容器、58、59…棒状部材、60…連結フレーム、61…架台、62…ブラケット、63…縦フレーム、64…屈曲縦フレーム、65…薄板挟み機構、66…保持手段、70…第１の薄板収納容器搬入出部、71…第１の搬送装置、72…フォーク、80…第２の薄板収納容器搬入出部、81…収納容器搬出エリア、82…収納容器搬入エリア。
【図１】
0004126086.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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