(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被コーティング物を収容するバレル本体と回転軸を具備するバレルを蒸着装置内の支持枠に支持すると共に、このバレルをモータの稼動で軸回転させながら、上記被コーティング物の表面に、真空中で有機の蒸着膜を形成する蒸着装置に用いるバレルの取付構造であって、さらに、上記バレルの回転軸の先端部を、モータに連動した軸の受理部に取付け、または、受理部から取り外しするためのバレルの取付構造において、上記モータに連動した軸の受理部の、バレルに対向する正面に、その中心点を通って横断する係合溝が形成されており、上記バレルの回転軸のモータ側の先端部に、この係合溝と係合する係合片が形成されており、上記係合片を係合溝の挿入口から係合溝に摺動させて、上記バレルの回転軸の先端部を受理部に取付け、または、上記係合片を係合溝に摺動させて取り外しするとともに、上記バレルの回転軸を搬入装置の支持片で支持し、上記支持片を上下に可動することで、バレルを蒸着装置に搬入搬出することを特徴とする蒸着装置用バレルの取付構造。
【請求項２】
上記モータの稼動を停止したときに、上記受理部に形成した係合溝の溝方向が上下方向に設けられる状態で停止するようになしたことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置用バレルの取付構造。
【請求項３】
上記蒸着装置で形成した有機の蒸着膜は、その後に、加熱処理が施されるものであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の蒸着装置用バレルの取付構造。
【請求項４】
上記支持枠に形成された断面視Ｖの字状の支持溝に、バレルの回転軸を支持することを特徴とする請求項１乃至請求項３いずれか記載の蒸着装置用バレルの取付構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品等の被コーティング物の表面に真空中で蒸着膜を形成する蒸着装置にあって、被コーティング物を収納するバレルの回転軸をモータに連動した軸の受理部に取付け、または、受理部から取り外しするためのバレルの取付構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置等の電子部品の表面に、絶縁性、耐熱性が良好なポリイミド被膜等の有機被膜をコーティングするため、真空中で蒸着膜を形成する蒸着装置が利用されている。上記蒸着装置として、図６に示すような装置が挙げられる。上記蒸着装置は、２種類の原料物質１１としてテトラカルボン酸二無水物及びジアミンをそれぞれ加熱蒸発させて電子部品等の被コーティング物１に真空中で蒸着し、重合させるものであり、被コーティング物１を収容するバレル本体１２と回転軸１３を具備するバレル２０、及び、このバレル２０を収納する蒸着槽１０を備えている。この蒸着装置を用いた蒸着膜の形成方法は、先ず上記バレル２０の回転軸１３を蒸着装置内の支持枠１４に支持すると共に、上記回転軸１３の先端部をモータ１６に連動した受理部１７に取付ける。次いで、上記蒸着槽１０内を真空ポンプ１５を稼動させて、所定の真空度にすると共に、モータ１６の稼動で回転軸１３を回転することによってバレル２０を軸回転させる。その後、蒸発管４に投入された原料物質１１をヒータで加熱し、導入管５を介して原料物質１１の原料蒸気を蒸着槽１０内に導入すると、被コーティング物１の表面に、上記原料蒸気が蒸着し、重合することでポリアミック酸被膜からなる蒸着膜が形成される。さらに、ポリアミック酸被膜を形成した被コーティング物１は、この蒸着装置から取出され、さらに、ポリアミック酸被膜を加熱処理することにより、上記被コーティング物の表面に、ポリイミドの有機被膜が形成される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記蒸着装置のバレル２０は、図７（ａ）に示すように、鉄芯等の被コーティング物１を収容する、形状が円筒形で網状のバレル本体１２と、回転軸１３を備えるものである。上記バレル２０の回転軸１３の先端は、矩形状の係合部１８を有しており、上記回転軸１３は、図７（ｂ）に示すようなモータに連動した軸２２の受理部１７の設けられた上記係合部１８を係合する矩形の孔１９に先端部を挿入して取付けられる。また、蒸着膜を形成した被コーティング物１は、その後に加熱処理を行うので、高温の状態でバレル２０ごと蒸着装置から取出されることが多い。そのため、バレルの取付けや取り外しを人手によることなく、機械化することが試みられている。しかし、従来のバレル２０は、係合部１８が矩形の孔１９に入り難いものであったため、取付け及び取り外しに時間を要するものであった。
【０００４】
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、バレルに収容した被コーティング物の表面に真空中で蒸着膜を形成する蒸着装置にあって、バレルの取付け取り外し作業が容易な、蒸着装置用バレルの取付構造を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の蒸着装置用バレルの取付構造は、被コーティング物を収容するバレル本体と回転軸を具備するバレルを蒸着装置内の支持枠に支持すると共に、このバレルをモータの稼動で軸回転させながら、上記被コーティング物の表面に、真空中で有機の蒸着膜を形成する蒸着装置に用いるバレルの取付構造であって、さらに、上記バレルの回転軸の先端部を、モータに連動した軸の受理部に取付け、または、受理部から取り外しするためのバレルの取付構造において、上記モータに連動した軸の受理部の、バレルに対向する正面に、その中心点を通って横断する係合溝が形成されており、上記バレルの回転軸のモータ側の先端部に、この係合溝と係合する係合片が形成されており、上記係合片を係合溝の挿入口から係合溝に摺動させて、上記バレルの回転軸の先端部を受理部に取付け、または、上記係合片を係合溝に摺動させて取り外しするとともに、上記バレルの回転軸を搬入装置の支持片で支持し、上記支持片を上下に可動することで、バレルを蒸着装置に搬入搬出することを特徴とする。上記によって、係合片を受理部の正面から差し込むことなく、係合溝の挿入口から係合溝に摺動させて受理部に係合することができるものであり、また、この係合溝に係合片を摺動させることで、受理部から取り外しができるものである。
【０００６】
また、支持片で支持したバレルを、蒸着装置のバレルを取付ける個所の上方に搬送し、搬入装置の支持片を下降することで、バレルの係合片を、挿入口から挿入し、係合溝内に摺動させて受理部に取付けることができ、また、蒸着終了後に上記支持片で支持したバレルを上昇させることで、受理部から取り外しすることができるものである。その結果、搬入装置を用いて、被コーティング物を収容したバレルの取付け取り外し作業が容易にできるものである。
【０００７】
請求項２記載の蒸着装置用バレルの取付構造は、請求項１記載の蒸着装置用バレルの取付構造において、上記モータの稼動を停止したときに、上記受理部に形成した係合溝の溝方向が上下方向に設けられる状態で停止するようになしたことを特徴とする。上記によって、バレルの回転軸の係合片を、係合溝に沿って上下方向に摺動することによって、上記係合片の取付け取り外しができるものである。その結果、バレルの取付け取り外し作業が容易にできるものである。
【０００８】
請求項３記載の蒸着装置用バレルの取付構造は、請求項１または請求項２に記載の蒸着装置用バレルの取付構造において、上記蒸着装置で形成した有機の蒸着膜は、その後に、加熱処理が施されるものであることを特徴とする。
【０００９】
請求項４記載の蒸着装置用バレルの取付構造は、請求項１乃至請求項３いずれか記載の蒸着装置用バレルの取付構造において、上記支持枠に形成された断面視Ｖの字状の支持溝に、バレルの回転軸を支持することを特徴とする。上記によって、繰り返し蒸着を行った際に、バレルの回転軸に蒸着膜が付着しても、支持溝の上方の空間が広いため、バレルを取り外す作業が容易にできるものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図１、２は、請求項１〜４記載のバレルの取付構造の実施の形態の一例を示し、図１（ａ）は要部を説明した斜視図、（ｂ）は蒸着装置の概略図、図２（ａ）はバレルを支持枠に支持した説明図、（ｂ）は搬入装置の支持片の斜視図である。
【００１１】
先ず、本発明が実施される蒸着装置を、有機被膜としてポリイミド被膜を形成する場合に基づいて説明する。図１（ｂ）に示す如く、上記蒸着装置は、原料物質１１としてテトラカルボン酸二無水物である粉末状の無水ピロメリット酸及びジアミンである粉末状のジアミノジフェニルエーテルをそれぞれ加熱蒸発させて、鉄芯、電子部品等の被コーティング物１の表面に真空中で蒸着し、重合させて有機の蒸着膜であるポリアミック酸被膜を形成するものである。上記蒸着装置は、被コーティング物１を収容するバレル本体１２と回転軸１３を具備するバレル２、及び、このバレル２を収納する蒸着槽１０を備えている。また、上記蒸着装置は、上記バレル２の回転軸１３を蒸着装置内で支持する支持枠１４、上記バレル２を軸回転するモータ１６、及び、モータ１６に連動して回転軸１３の先端部が取り付けられる受理部１７を備えている。
【００１２】
上記蒸着装置は、蒸発管４に投入された原料物質１１をヒータ６で加熱し、蒸着槽１０の側面部に取付けられた導入管５を介して原料物質１１の原料蒸気を蒸着槽１０内に導入している。上記導入管５は、上記蒸着槽１０内に、複数個の導入口５ａが管の長手方向にそれぞれ列設され、この導入口５ａから原料蒸気を蒸着槽１０内に導入している。
【００１３】
上記蒸着装置は、被コーティング物１を収容したバレル２を、蒸着槽１０内に収納し、このバレル２を軸回転させながら、蒸着槽１０内を真空ポンプ１５を稼動させて、所定の真空度にした後に、蒸発管４に投入された原料物質１１をヒータで加熱し、導入管５を介して原料物質１１の原料蒸気を蒸着槽１０内に導入し、被コーティング物１の表面に、ポリアミド酸被膜を形成する。なお、ポリアミック酸被膜を形成した被コーティング物１は、この蒸着装置から取出された後に、さらに、ポリアミック酸被膜を加熱処理することにより、ポリイミドの有機被膜が形成される。
【００１４】
なお、本発明を用いて形成する有機被膜としては、上記ポリイミドの被膜以外にも、例えば、ポリパラキシレン、ポリ尿素等の被膜を例示することができる。
【００１５】
本発明においては、図１（ａ）に示す如く、上記バレル２は、被コーティング物１を収容する、形状が円筒形で網状のバレル本体１２と、回転軸１３を備えるものである。上記バレル２の回転軸１３は、蒸着の際に、モータ１６に連動した軸２２の受理部１７に取付けられ、蒸着終了後に、この受理部１７から取り外される。上記モータに連動した受理部１７は、形状が円筒状であり、回転軸１３と対面する円形の正面に、その中心点を通って横断する係合溝２３が形成されている。この係合溝２３は、モータ１６の稼動を停止したときに、溝方向が上下方向に貫通する状態で停止するように設けられている。上記バレル２の回転軸１３は、そのモータ側の先端部に、上記円筒状の受理部１７と略直径を同じとする円板２５が設けられ、上記受理部１７と対面する円形の面に、中心点を通って横断して、上記係合溝２３に係合する係合片２１が形成されている。
【００１６】
上記バレル２は、バレルの取付けや取り外しに搬入装置が用いられる。上記バレル２の搬送には図２（ｂ）に示すような回転軸１３を支持する支持溝２７を形成した支持片２６を有する装置が用いられる。
【００１７】
上記バレル２の回転軸１３を受理部１７に取付ける操作を説明する。図１（ｂ）及び図２（ａ）に示す如く、上記バレル本体１２に被コーティング物１を収容した後に、上記回転軸１３を搬入装置の支持片２６で支持する。この際、上記バレル２の係合片２１は、長手方向が上下になるように支持される。上記バレル２は、蒸着装置のバレル２を取付ける個所の上方に搬送し、搬入装置の支持片２６を下降する。上記バレル２の回転軸１３は、蒸着装置内の支持枠１４の所定個所に支持される。そのとき、上記バレル２の係合片２１は、受理部１７に形成された係合溝２３の上方の搬入口２４より搬入されて、この係合溝２３を摺動し、上記回転軸１３の円板２５の面と受理部１７の正面が重なる位置で停止し、係合溝２３に取付けられる。また、上記バレル２の回転軸１３を受理部１７から取り外す際は、モータ１６が停止したときに、係合溝２３の溝方向が上下方向に貫通する状態で停止するので、搬入装置の支持片２６で上記回転軸１３を支持し、上昇させると、上記バレル２の係合片２１は、受理部１７に形成された係合溝２３を摺動し、受理部１７から取り外される。上述の如く、上記バレルの取付構造であると、搬入装置を用いて、バレルの取付け取り外し作業が容易にできる。上記バレルの取付構造は、機械により自動取付け、また、取外しが可能な構造のものである。また、上記バレルの取付構造は、特に、被コーティング物１の表面に、ポリアミド酸被膜を形成する場合、その後にポリアミック酸被膜を加熱処理行うため、例えば１６０〜２００℃程度に加温された状態で、蒸着装置から取り外すことができるので、好適である。
【００１８】
図３は、請求項４記載のバレルの取付構造の実施の形態の一例を示し、（ａ）はバレルを支持枠に支持した説明図、（ｂ）は支持枠と回転軸の説明図である。上記バレルの取付構造と異なる点のみ説明する。
【００１９】
上記バレルの取付構造においては、上記蒸着装置に設けられた支持枠１４は、断面視Ｖの字状の支持溝２８が形成されたものであり、この支持溝２８に上記バレル２の回転軸１３を設置するものである。上記支持溝２８が、断面視Ｖの字状であると、繰り返し蒸着を行った際に、回転軸１３に蒸着膜が付着しても、支持溝２８の上方の空間が広いため、バレル２を取り外す作業が容易にできるものである。
【００２０】
また、本発明を利用した蒸着装置で、蒸着終了の際に軸回転しているバレル２を停止する場合、バレル２の取り外し作業を容易にするため、バレル本体１２内の被コーティング物１が偏らないようにすることが大切である。被コーティング物１が鉄芯等の小物である場合、軸回転しているときは、図５（ａ）に示すように、被コーティング物１は、バレル本体１２内において巻き上げられた状態となっている。そのため、この被コーティング物１が、巻き上げられた状態で軸回転を停止すると、被コーティング物１が回転していた方向とは逆側の方向に戻る力が生じるために、図５（ｂ）に示すように、上記係合溝２３の溝方向に対し、係合片２１の長手方向が傾いてしまう恐れがある。係合片２１が傾いた状態であると、上記係合片２１が係合溝２３に接触して、取外しに支障をきたす。そこで、図４（ａ）に示すように、軸回転しているバレル２を停止する場合、係合溝２３の溝方向が上下方向に貫通する状態を超えた状態にまで一旦オーバーランさせて、逆回転させてから停止することで、図４（ｂ）に示すように、係合片２１が、その長手方向を上記係合溝２３の溝方向に沿った状態で停止することができる。
【００２１】
【発明の効果】
請求項１記載の蒸着装置用バレルの取付構造は、係合溝の挿入口から係合溝に摺動させて受理部に係合することができるものであり、また、この係合溝に係合片を摺動させることで、受理部から取り外しができるものであるので、バレルの取付け取り外し作業が容易である。
【００２２】
また、バレルの回転軸を搬入装置の支持片で支持し、支持片を上下に可動することで搬入装置を用いて、取付け取り外し作業が容易にできるものである。
【００２３】
さらに、請求項２記載の蒸着装置用バレルの取付構造は、特に、バレルの回転軸の係合片を、係合溝に沿って上下方向に摺動することによって、上記係合片の取付け取り外しができるものである。その結果、バレルの取付け取り外し作業が容易にできる。
【００２４】
さらに、請求項３記載の蒸着装置用バレルの取付構造は、特に、加温された状態で、蒸着装置から取り外すことができるので、顕著な効果が得られるものである。
【００２５】
さらに、請求項４記載の蒸着装置用バレルの取付構造は、特に、繰り返し蒸着を行った際に、バレルの回転軸に蒸着膜が付着しても、支持溝の上方の空間が広いため、バレルを取り外す作業が容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の一例を示し、（ａ）は要部を説明した斜視図、（ｂ）は蒸着装置の概略図である。
【図２】本発明の実施の形態の一例を示し、（ａ）はバレルを支持枠に支持した説明図、（ｂ）は搬入装置の支持片の斜視図である。
【図３】本発明の他の実施の形態を示し、（ａ）はバレルを支持枠に支持した説明図、（ｂ）は支持枠と回転軸の説明図である。
【図４】（ａ）は回転しているバレル本体を停止するときの動作を説明した説明図、（ｂ）は停止状態の係合溝と係合片の状態を示した説明図である。
【図５】（ａ）は回転しているバレル本体を停止するときの動作を説明した説明図、（ｂ）は停止状態の係合溝と係合片の状態を示した説明図である。
【図６】従来の蒸着装置の概略図である。
【図７】（ａ）は従来のバレルの要部を説明した斜視図、（ｂ）はその受理部を説明した斜視図である。
【符号の説明】
１        被コーティング物
２        バレル
１０      蒸着槽
１２      バレル本体
１３      回転軸
１４      支持枠
１６      モータ
１７      受理部
２１      係合片
２３      係合溝
【図１】
0004069566.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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