(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための検査器具であって、
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された少なくとも１個の接触子群とからなり、
前記定板における前記検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して１０〜３０％程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設されてなることを特徴とする電気特性検査用検査器具。
【請求項２】
前記接触子群の少なくとも一部が、前記検査対象に対向する領域内に位置してなる請求項１記載の電気特性検査用検査器具。
【請求項３】
前記開口部の幅が、３〜１５ｃｍ程度の寸法に規定されてなる請求項１または２記載の電気特性検査用検査器具。
【請求項４】
電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための検査器具であって、
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とからなり、
前記検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して１０〜３０％程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設され、
前記複数の接触子群が、ブロック用固定部材に連結されることにより、少なくとも１個の接触ブロックを形成し、
前記接触ブロックが、前記検査対象の端子に並ぶ方向に沿うように、前記定板に着脱自在に固定されてなることを特徴とする電気特性検査用検査器具。
【請求項５】
電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための検査器具であって、
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とからなり、
前記検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して１０〜３０％程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設され、
前記検査対象のコーナー部付近の接触子群のうちの少なくとも１個が、前記定板の表面から突設された橋状固定部材に固定されることにより、隣接する他の接触子群との干渉が防止されてなる電気特性検査用検査器具。
【請求項６】
電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための検査器具であって、
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とからなり、
検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して１０〜３０％程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設され、
前記複数の接触子群が、ブロック用固定部材に連結されることにより、少なくとも１個の接触ブロックを形成し、
前記接触ブロックが、前記検査対象の端子に並ぶ方向に沿うように、前記定板に着脱自在に固定され、
前記検査対象のコーナー部付近の接触子群のうちの少なくとも１個が、前記定板の表面から突設された橋状固定部材に固定されることにより、隣接する他の接触子群との干渉が防止されてなる電気特性検査用検査器具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気特性検査用検査器具に関するものである。さらに詳しくは大型の検査対象に対応し得る電気特性検査用検査器具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、液晶表示装置用アレイ基板などの検査対象の電気特性を検査するために、複数の接触子を有する検査器具を用いて、電気的特性の検査を行なっている。
【０００３】
従来の検査方法を図６に示す。従来の検査方法は、検査対象であるパネルＰのサイズより大きな開口部１４を大型の金属定板１３（１０００ｍｍ×１０００ｍｍ程度）に設け、その開口部１４周辺に複数の接触子１１の集合構造物である接触子群１２を配置し、パネルの端子に接触子１１を全端子同時に接触して電気信号を供給することにより、パネルを電気的に駆動させ、電気的特性の検査を実施している。
【０００４】
検査可能なパネルのサイズは、前記開口部１４の寸法で決定される。かかる開口部１４の寸法は、定板１３の寸法から、接触子群１２の取付領域を除いた残りの領域の寸法で決定される。
【０００５】
通常の検査においては、パネルはチャックトップなどの固定手段（図示せず）に固定された状態で検査されるため、開口部１４の寸法は、パネルの外形寸法よりも充分に大きく形成される必要がある。なお、被測定物の寸法により固定手段の寸法は決定される。被測定物上に複数のパネルが製造されている場合には固定手段の寸法は、パネルサイズより大きくなるのが通常である。つまり、寸法関係は、パネルサイズ＜被測定物（ガラス基板）＜固定手段（チャックトップサイズ）となる。
【０００６】
また、従来の検査方法では、検査対象の機種を変更する場合には、定板を含む検査器具全体を変更する必要がある。
【０００７】
さらに、検査対象のパネルの水平方向側（以下、単にＨ側という）の端子と垂直方向側（以下、単にＶ側という）の端子とが近接している機種の場合、Ｈ側端子とＶ側端子のコーナー部分で、図６におけるＨ側の接触子群１２とＶ側の接触子群１２とが干渉し、検査対象の端子に接触子１１が接触できず、検査ができない場合があるため、パネルの設計の障害になっていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
以上のような従来の検査方法では、検査対象の機種が変更した場合、定板ごとの変更が必要であり重量物である定板を移動する作業が必要になる。さらに、検査対象可能なパネルのサイズは、定板１３の開口部１４の寸法によって決定される。したがって、大型パネルの検査をするときには開口部を充分に広く取れない。しかも、同一のパネルのサイズであっても、解像度の異なる機種の場合でも前記金属製の定板１３ごと新規に作成する必要がある。
【０００９】
また、パネルの全体を覆う大きさで開口部１４が形成されているため、検査中にゴミなどの異物などが検査対象のパネルの表示領域に付着する可能性がある。しかも、パネルの表示領域に検査室の環境の光が侵入し、正確な検査ができない場合がある。この防止策として、従来では別部品である遮光カバーを付加する必要がある。
【００１０】
さらに、遮光カバーの取付け時に、位置合わせ機構または接触子群に前記遮光カバーが接触することによって悪影響を与える可能性がある。
【００１１】
また、パネル全体を覆う寸法で定板１３に開口部１４を形成するときに発生する不要な金属材料が産業廃棄物になるという問題がある。
【００１２】
本発明はかかる問題を解消するためになされたものであり、大型の液晶パネルなどの検査対象に対応し得る電気特性検査用検査器具を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の電気特性検査用検査器具（以下、単に検査器具という）は、検査器具の小型化または接触子群のブロック化によって大型の液晶パネルなどの検査対象に容易に対応し得るものである。
【００１４】
すなわち、本発明の請求項１にかかわる検査器具は、検査器具の小型化を可能にするものであり、電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための検査器具であって、
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された少なくとも１個の接触子群とからなり、
前記定板における前記検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して１０〜３０％程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設されてなることを特徴とする。
【００１５】
前記接触子群の少なくとも一部が、前記検査対象に対向する領域内に位置してなるのが好ましい。
【００１７】
また、寸法で規定する場合、前記開口部の幅が、３〜１５ｃｍ程度の寸法に規定されてなるのが好ましい。
【００１８】
また、本発明の請求項４にかかわる検査器具は、接触子群のブロック化を可能にするものであり、電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための検査器具であって、
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とからなり、
前記検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して１０〜３０％程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設され、
前記複数の接触子群が、ブロック用固定部材に連結されることにより、少なくとも１個の接触ブロックを形成し、
前記接触ブロックが、前記検査対象の端子に並ぶ方向に沿うように、前記定板に着脱自在に固定されてなることを特徴とする。
【００１９】
さらに、本発明の請求項５にかかわる電気特性検査用検査器具は、検査器具の小型化を可能にするものであり、電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための検査器具であって、
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とからなり、
前記検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して１０〜３０％程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設され、
前記検査対象のコーナー部付近の接触子群のうちの少なくとも１個が、前記定板の表面から突設された橋状固定部材に固定されることにより、隣接する他の接触子群との干渉が防止されてなることを特徴とする。
【００２０】
さらに、本発明の請求項６にかかわる検査器具は、前記請求項１、４および５記載の発明を組み合わせることにより、検査器具の小型化および接触子群のブロック化を両方可能にするものであり、電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための検査器具であって、
定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とからなり、
検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、
前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対して１０〜３０％程度に設定され、
前記接触子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設され、
前記複数の接触子群が、ブロック用固定部材に連結されることにより、少なくとも１個の接触ブロックを形成し、
前記接触ブロックが、前記検査対象の端子に並ぶ方向に沿うように、前記定板に着脱自在に固定され、
前記検査対象のコーナー部付近の接触子群のうちの少なくとも１個が、前記定板の表面から突設された橋状固定部材に固定されることにより、隣接する他の接触子群との干渉が防止されてなることを特徴とする。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の検査器具をさらに詳細に説明する。図１は本発明の請求項１にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図、図２は本発明の請求項４にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図、図３は本発明の請求項５にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図、図４は図３の接触子群および橋状固定部材の位置関係を説明するための要部拡大斜視図および図５は本発明の請求項６にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図である。
【００２２】
請求項１にかかわる検査器具の一実施の形態として、図１に示される検査器具は、金属定板３と、複数の接触子１の集合構造物であり、前記定板３に固定された複数の接触子群２とから構成されている。複数の接触子群２は、定板３の下側に配置される検査対象、具体的には液晶表示装置のアレイ基板用パネルＰのＨ側およびＶ側にそれぞれ直線状に並んで配置されている。金属定板３におけるパネルＰの端子（図示せず）付近の位置には、開口部４が部分的に形成されている。接触子１の先端部分は、前記開口部４内部にのびている。
【００２３】
本実施の形態では、開口部４が従来よりも大幅に小さいため、接触子群２の取付可能領域を充分に確保できる。しかも、金属定板３の剛性の低下に基づく定板の精度の低下もほとんど生じない。
【００２４】
図１に示される検査器具では、パネルＰの表示領域の上にも定板３が存在するので、接触子群２の少なくとも一部を、図２のようにパネルＰに対向する領域内に取り付けることができる。したがって、従来の検査器具（図６参照）と比較して、検査器具全体を小型化することができる。したがって、従来における定板と同一の外形寸法の定板を用いても、より大型のパネルを検査することができる。また、検査器具の小型化に伴って重量も軽くなるため、検査器具の交換作業も楽になる。
【００２５】
開口部４の形状は、図１に示されるようにスリット状でもよいし、各接触子群２に対応する部分だけ開口させて、小さい矩形の開口部を多数（または接触子群の数だけ）形成したものであってもよい。
【００２６】
開口部４の大きさは、従来の検査器具と比較して大幅に小さくなるため、定板３に開口部４を形成するときに発生する切りくずなどの不要材料を少なくすることができる。
【００２７】
金属定板３は、鉄またはステンレス鋼などの金属材料から作製され、接触子１は、タングステン、またはタングステンと銅との合金、または該合金材料の表面に金メッキしたものなどの金属材料から作製されている。
【００２８】
開口部４の寸法は、接触子１がパネルＰの端子に接触可能な寸法となっていればよく、前記開口部４の幅Ｗ２が、前記パネルＰの幅Ｗ１に対して１０〜３０％程度に設定されているのが好ましい。なお、この幅Ｗ１とＷ２とのあいだの寸法関係は、Ｈ側およびＶ側のいずれの場合についても適用される。
【００２９】
また、Ｈ側およびＶ側の開口部Ｗ２の寸法は、接触子先端または接触子群が被測定物の端子に接触可能な寸法だけあればよいので被測定物によらずほぼ一定となることも考えられる。よってパネルのサイズＷ１は変動が大きいが、開口部Ｗ２は変動が小さい。Ｗ２の寸法を規定するならば３ｃｍ〜１５ｃｍ程度が良好である。
【００３０】
しかも、図１に示される検査器具は、パネルＰの表示領域を金属定板３が覆っているため、遮光カバーが不要になる。
【００３１】
つぎに、請求項４にかかわる検査器具の一実施の形態として、図２に示される検査器具は、ブロック用固定部材５によって複数個の接触子群２を連結することにより、接触ブロックを構成している点で、図１に示される検査器具と構成が異なっており、その他の点では構成が共通している。
【００３２】
すなわち、図２に示される検査器具は、金属定板３と、複数の接触子１の集合構造物であり、前記定板３に固定された複数の接触子群２とから構成されている。複数の接触子群２は、定板３の下側に配置されるパネルＰのＨ側およびＶ側にそれぞれ直線状に並んで配置されている。金属定板３におけるパネルＰの端子（図示せず）付近の位置には、開口部４が部分的に形成されている。接触子１の先端部分は、前記開口部４内部にのびている。
【００３３】
接触子群２は、前記ブロック用固定部材５によって、Ｈ側およびＶ側でそれぞれ定板３に着脱自在に固定されることにより、着脱自在の接触ブロックを構成している。したがって、重量物である金属定板３を移動させることなく、接触ブロックを変更するだけでパネルＰのサイズの大型化（または小型化）によるサイズの変更または解像度などの仕様の変更に容易に対応することができる。
【００３４】
ブロック用固定部材５は、定板３に対して、ねじ止めまたはカンチレバーなどによって所定の位置に精度よく着脱自在に固定することができる。
【００３５】
つぎに、請求項５にかかわる検査器具の一実施の形態として、図３〜４に示される検査器具は、金属定板３と、複数の接触子１の集合構造物であり、定板３に固定された少なくとも１個の接触子群２とからなり、パネルＰのコーナー部付近の接触子群２のうちの少なくとも１個が、前記定板３の表面から突設された橋状固定部材６に吊り下げられた状態で固定されることにより、隣接する他の接触子群２との干渉が防止されている。
【００３６】
したがって、パネルＰのコーナー部付近の接触子群２を近接して配置できるため、検査器具の小型化が可能になる。
【００３７】
請求項５記載の発明では、開口部８の大きさについてはとくに限定するものではなく、図３に示されるように従来と同様の大きさでも、橋状固定部材６によってＨ側の接触子群２をすべて開口部８の上方に配置することができ、検査器具をさらに小型化できる。
【００３８】
つぎに、請求項６にかかわる検査器具の一実施の形態として、図５に示される検査器具は、前記請求項１、４および５記載の発明を組み合わせた実施の形態であり、前記パネルの端子付近に部分的に形成されたＬ字形の開口部４、複数のＶ側の接触子群２を連結して金属定板３に着脱自在に固定するブロック用固定部材５、および複数のＨ側接触子群２を吊り下げて配設する橋状固定部材６を有している。したがって、図１〜４に示される検査器具の効果をすべて有しているため、大型パネルの検査に好適に使用することができる。
【００３９】
以上、本実施の形態では電気的特性のための検査対象として、液晶表示装置のアレイ基板用パネルを例にあげて説明したが、その他の検査対象、たとえば半導体装置用のウエハ、または半導体装置を実装した基板（たとえばコンピュータの各種ボードやメモリカードなど）などに対しても本発明の検査器具を適用することができる。
【００４０】
【発明の効果】
本発明の請求項１ないし６記載の発明によれば、定板の開口部を検査対象の端子付近に部分的に形成しているため、比較的小型の検査器具で大型の検査対象を検査することが可能になる。
【００４１】
しかも、検査対象の表面（パネルの表示領域など）への異物または光の侵入を、別部品のカバーなどを設けることなく防止することができる。また、開口部が従来と比較して大幅に小さいため、開口部を加工する際に発生する不要な材料が大幅に少なくなる。
【００４２】
本発明の請求項４または６記載の発明によれば、複数の接触子群をブロック用固定部材によって固定して接触ブロックを構成することにより、定板を変更する必要がなく、接触ブロックを適宜変更することにより、大型の検査対象の検査が可能になる。また、同一サイズの検査対象で仕様（解像度など）のみ変更した場合でも、接触ブロックの変更で対応することができる。したがって、比較的重量物である定板の移動作業が不要になる。
【００４３】
さらに、従来では個々の検査対象に対応する検査器具を製造する必要があったが、本発明の検査器具では複数の検査対象に対応することができるため、検査器具の製造費用を大幅に低減することができる。
【００４４】
本発明の請求項５または６記載の発明によれば、検査対象のコーナー部付近の接触子群を橋状固定部材に固定して隣接する他の接触子群との干渉が防止されているため、比較的小型の検査器具で大型の検査対象を検査することが可能になる。
【００４５】
しかも、接触子群の干渉が防止されることによって、検査精度が向上し、それとともに検査対象の設計自由度も向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の請求項１にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図である。
【図２】  本発明の請求項４にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図である
【図３】  本発明の請求項５にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図である。
【図４】  図３の接触子群および橋状固定部材の位置関係を説明するための要部拡大斜視図である。
【図５】  本発明の請求項６にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図である。
【図６】  従来の検査器具の平面図である。
【符号の説明】
１  接触子
２  接触子群
３  金属定板
４  開口部
【図１】
0004132363.tif 000002
【図２】
0004132363.tif 000003
【図３】
0004132363.tif 000004
【図４】
0004132363.tif 000005
【図５】
0004132363.tif 000006
【図６】
0004132363.tif 000007