(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空圧を付与される密閉室を形成し、この密閉室の壁面にダイシングフレームに適合させた細長状の透孔を設けると共に、ダイシングフレームを前記透孔の存在箇所を通過するように搬送する搬送部を設け、ダイシングフレームが前記透孔の存在箇所を通過するとき、このダイシングフレームに付着した水分が前記真空圧の生じさせた密閉室外方からその内方へ向かう空気流により流動飛散され前記真空圧の影響する環境下で蒸発される構成を特徴とするダイシングフレーム乾燥装置。
【請求項２】
真空圧を付与される密閉室を形成し、この密閉室の前壁面と後壁面とにダイシングフレームの厚さと直径とに適合させた細長状の透孔を設けると共に、ダイシングフレームを前記２つの透孔を通じて密閉室を通過するように搬送する搬送部を設け、ダイシングフレームが各透孔を通過するとき、このダイシングフレームに付着した水分が前記真空圧の生成させた密閉室外方からその内方へ向かう空気流により流動飛散され密閉室内で真空圧下で蒸発される構成を特徴とするダイシングフレーム乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイシングフレーム乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ダイサーでウエハをダイシングする際、予めステンレス材などの略円板状の金属板からなる図に示すような厚さ数ｍｍ程度のダイシングフレームの上面に糊剤を介してウエハを接着するのであり、ダイサーはこのように接着されたウエハを切刃で切り込むように作動する。
このように使用されるダイシングフレームは、ダイシングの終了した後、その上面からウエハを取り除かれ、上面の糊剤を洗浄除去された後、再使用される。
【０００３】
上記糊剤の洗浄除去は、現状では、溶剤の一種であるエヌメチルピィロリドン（ＮＭＰ）液にウエハを取り除かれたダイシングフレームを浸漬して糊剤をゼリー状に軟化させた後、手作業により一枚毎その糊剤をダイシングフレームから水で洗い流すように行っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記ダイシングフレームの糊剤除去を行うことのできるダイシングフレーム洗浄機に使用して有益であるダイシングフレーム乾燥装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載したダイシングフレーム乾燥装置では、真空圧を付与される密閉室を形成し、この密閉室の壁面にダイシングフレームに適合させた細長状の透孔を設けると共に、ダイシングフレームを前記透孔の存在箇所を通過するように搬送する搬送部を設け、ダイシングフレームが前記透孔の存在箇所を通過するとき、このダイシングフレームに付着した水分が前記真空圧の生じさせた密閉室外方からその内方へ向かう空気流により流動飛散され前記真空圧の影響する環境下で蒸発される構成となす。
さらに詳細には、請求項２に記載したように、真空圧を付与される密閉室を形成し、この密閉室の前壁面と後壁面とにダイシングフレームの厚さと直径とに適合させた細長状の透孔を設けると共に、ダイシングフレームを前記２つの透孔を通じて密閉室を通過するように搬送する搬送部を設け、ダイシングフレームが各透孔を通過するとき、このダイシングフレームに付着した水分が前記真空圧の生成させた密閉室外方からその内方へ向かう空気流により流動飛散され密閉室内で真空圧下で蒸発される構成となす。
【０００８】
これによれば、各透孔箇所に真空圧による高速の空気流が生成されるのであり、この空気流はダイシングフレームの表面に付着した水分をダイシングフレームを傷付けることなく飛散させて下流側へ流動させると同時に、水分を真空圧下で効果的に蒸発させるものとなる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１は本発明に係るダイシングフレーム洗浄機の側面図、図２は前記洗浄機の平面図、図３は前記洗浄機の乾燥装置の使用状況を示す斜視図、図４は前記乾燥装置周辺を示す側面図、図５はダイシングフレームを示す平面図である。
【００１０】
図１及び図２において、１は搬送部であり、この搬送部１の搬送経路途中に前側から順にブラシ装置２、注水ノズル部３及び乾燥要部４が設けてある。
【００１１】
搬送部１はローラ搬送部５とロープ搬送部６からなっている。
先ずローラ搬送部５について説明すると、次のとおりである。即ち、機体フレーム７の左右側部間の前後方向の複数箇所に左右向きとなされた上下一対の挟持搬送ローラ８ａ、８ｂからなる挟持搬送ローラ組９を図５に示すダイシングフレームｇの直径に関連した適当間隔に並設すると共に、各挟持搬送ローラ組９の下側の挟持搬送ローラ８ｂに回転動力を付与し、上側の挟持搬送ローラ８ａを図示しないスプリングの弾力で下側の挟持搬送ローラ８ｂに向け付勢している。各挟持搬送ローラ８ａ、８ｂは直円筒形状となされ、少なくとも円筒状の周面をゴムとか合成樹脂のような弾性に富み摩擦係数が大きくて耐水性に優れた材料で形成したものとなされている。複数の挟持搬送ローラ組９の前後配列間の特定の箇所には断面形状が半円形状の支持条部材１０が左右向きの上下一対となされて固定されており、上下の支持条部材１０、１０はダイシングフレームｇの厚さ寸法よりも少し大きい距離だけ離して配置される。各支持条部材１０、１０の対向側円弧表面は摩擦係数が小さくて弾性変形し難く耐水性に優れた材料で形成されている。
【００１２】
ロープ搬送部６は、ローラ搬送部５の後方に連続して配置されており、機体フレーム７の左右側部間の後部に一対の案内ローラ１１ａ、１１ｂを前後方向で対向するように配設すると共に、各案内ローラ１１ａ、１１ｂの周面の中心線方向の適当間隔箇所に環状ベルト溝を形成し、一対の案内ローラ１１ａ、１１ｂの対応した環状ベルト溝間に無端状のゴム質材からなる搬送ロープ１２を掛け回したものとなされている。
【００１３】
上記ローラ搬送部５とロープ搬送部６の駆動装置１３について説明すると、各挟持搬送ローラ組９の下側の挟持搬送ローラ８ｂの回転中心軸の一端にスプロケット１４を固定すると共に、前側の案内ローラ１１ａの回転中心軸の一端にもスプロケット１５を固定し、また機体フレーム７の中間高さ位置に搬送用モータｍ１を固設し、このモータｍ１の出力軸にスプロケット１６を固定し、またこれらスプロケット１４、１５、１６間の適当箇所にテンションスプロケット１７とアイドルスプロケット１８を装着し、これらスプロケット１４、１５、１６、１７、１８に無端状の駆動チェーン１９を掛け回している。この際、テンションスプロケット１７は、駆動チェーン１９を図示しないスプリングの弾力で下方へ押圧するものとなされている。
【００１４】
上記ブラシ装置２について説明すると、前から二番目の挟持搬送ローラ組９と三番目の挟持搬送ローラ組９との間に左右向きとなされた上下一対の円筒形回転ブラシ２０ａ、２０ｂを設け、各回転ブラシ２０ａ、２０ｂの回転軸の端部にプーリ２１ａ、２１ｂを固設し、一方では機体フレーム７の中間高さ箇所に二つのブラシ用モータｍ２を設け、このモータｍ２で駆動される一対の駆動軸２２ａ、２２ｂの端部にプーリ２３ａ、２３ｂを固設し、プーリ２０ａとプーリ２３ａとの間、及び、プーリ２０ｂとプーリ２３ｂとの間に無端状の伝動ベルト２４ａ、２４ｂを掛け回し、モータ２２の作動により一対の回転ブラシ２０ａ、２０ｂが、これらの対向部位が後方へ移動するように回転する構成としている。
【００１５】
上記注水ノズル部３は、前から三番目の挟持搬送ローラ組９と四番目の挟持搬送ローラ組９との間に形成してあり、搬送部１の搬送経路の上側と下側のそれぞれの左右方向箇所に、水を噴射するものとした複数の注水ノズル２５を列設して形成してある。
【００１６】
上記乾燥要部４は乾燥装置２６の一部をなすものであり、この乾燥装置２６は前記乾燥要部４のほか、機体フレーム７の下部に設けられた気水分離タンク２７及び空気吸引部２８を備えている。
【００１７】
ここに、乾燥要部２６は次のようなものとなされるのであって、即ち、図３及び図４に示すように、真空圧を付与される箱形の密閉室２９を形成し、この密閉室２９の一部をなす左右向き突状部２９ａを最後の２つの挟持搬送ローラ組９、９の間に位置させ、この突状部２９ａの前壁面３０ａと後壁面３０ｂとにダイシングフレームｇの厚さと直径とに適合させた左右向き細長状の透孔３１を設けると共に、密閉室２９底面に密閉室２９内から空気や水を排除するための流出口３２を設けている。
【００１８】
気水分離タンク２７は密閉状の容器となされており、密閉室２９の流出口３２と密閉室２９の内部とを傾斜状の連通管３３を介して連通させると共に、密閉室２９の上面壁に密閉室２９内の空気を吸引するための吸引孔３４を形成するほか、既遂分離タンク２７内の水を外方へ排出するための適宜な手段を形成している。
【００１９】
空気吸引部２８はブロア３５と消音器３６からなり、ブロア３５の空気吸引口３５ａと気水分離タンク２７の吸引孔３４とを連通管３６１を介して連通させると共に、ブロア３５の空気排出口と消音器３６の空気流入口とを連通させ、消音器３６の空気流出口３６ａは大気に開放させている。
【００２０】
３７は機体フレーム７の上部に設けたドレン受けであり、搬送部１の前部とブラシ装置２を取り囲むものとした前室３７ａと、搬送部１の後部と乾燥要部４を取り囲むものとした後室３７ｂとからなり、各室３７ａ、３７ｂ内に落下した水を外方の特定箇所へ流出させるようになされている。
【００２１】
前室３７ａと後室３７ｂとを隔てた左右向き縦壁面３７ｃには図３に示すように、搬送部１で搬送されるダイシングフレームｇを前室３７ａ側から後室３７ｂ側へ移行させるための透孔ｃを設けており、この透孔ｃにダイシングフレームｇ用の水切り手段３８が組み付けてある。
この水切り手段３８は縦壁面３７ｃに四角枠３９を介して固定された上下一対の軟らかいゴム板（スポンジ板でもよい）４０ａ、４０ｂを備え、各ゴム板４０ａ、４０ｂが搬送装置１で搬送されるダイシングフレームｇの上下各面に摺接するものとなしてある。
【００２２】
４１はダイシングフレームｇを搬送部１の搬送始端に投入するための投入支持台であり、４２はダイシングフレームｇを搬送部１の搬送終端から取り出すための取出支持台である。
【００２３】
次に上記のように構成した本発明の洗浄機の使用例及び作用について説明する。公知のダイサーで使用した多数のダイシングフレームｇを溶剤の一種であるエヌメチルピィロリドン（ＮＭＰ）液などに浸漬してその上面に付着した糊剤をゼリー状に軟化させるのであり、この後、溶剤から引き揚げて投入支持台４１の近傍に移動し積み上げておく。
【００２４】
そして、各部を作動状態となす。具体的には、搬送用モータｍ１を始動させてスプロケット１６を回転させるのであり、スプロケット１６の回転は駆動チェーン１９を介して他のスプロケット１４などを回転させ、各挟持搬送ローラ組９の下側の挟持搬送ローラ８ｂや前側の案内ローラ１１ａを回転させ、さらに下側の挟持搬送ローラ８ｂの回転はその上側の挟持搬送ローラ８ａを従動回転させ、また前側の案内ローラ１１ａは搬送ロープ１２を周回移動させると共に後側の案内ローラ１１ｂを従動回転させる。
【００２５】
またブラシ用モータｍ２を始動させてプーリ２３ａ、２３ｂを回転させるのであり、これらプーリ２３ａ、２３ｂの回転は伝動ベルト２４ａ、２４ｂを介してプーリ２１ｂ、２１ａを回転させると共に上下の各回転ブラシ２０ａ、２０ｂをその対向部位が前方へ移動するように回転させる。
【００２６】
またブロアー３５を始動させ、連通管３６１を通じて気水分離タンク２７内の空気を吸引させるのであり、これにより乾燥要部４の前後の透孔３１、３１から空気が流入し連通管３３、気水分離タンク２７及び連通管３６１を経てブロア３５の空気吸引口３５ａに達し、この後、消音器３６を経て消音された状態で流出口３６ａから大気に排出される。
さらに各注水ノズル２５には水が供給されてその噴射口から搬送部１の搬送経路へ向けて噴射される。
【００２７】
作業者はこの状態の下でダイシングフレームｇの一枚づつを投入支持台４１上に適当間隔で送り込むのである。この送込み処理は手作業により行ってもよいし或いは搬入ロボットにより自動的に行わせるも任意である。
【００２８】
このように送り込まれた各ダイシングフレームｇは挟持搬送ローラ組９の上下の挟持搬送ローラ８ａ、８ｂに挟み付けられたり上下の左右向き支持条部材１０、１０間を経るなどして搬送経路を下流側へ搬送されるのであり、この搬送中に、上下の回転ブラシ２０ａ、２０ｂがダイシングフレームｇの上下各面をそのブラシ毛で摺擦して、ゼリー状に付着した糊剤をダイシングフレームｇの表面から剥離させ、次に注水ノズル２５から噴射された水がダイシングフレームｇの上下表面に剥離状態で存在している糊剤を洗い流しドレン受け３７の底面上に落下し、次に上下一対のゴム板４０ａ、４０ｂがダイシングフレームｇの上下面に付着した水滴を軽く掻き落として水切りを行い、ここで掻き落とされた水はドレン受け３７の前室３７ａや後室３７ｂ内の底面上に落下する。
【００２９】
この後、ダイシングフレームｇは図３及び図４に示すように乾燥要部４の前後の透孔３１、３１内を通過するようになり、この通過中、ブロア３５の作動により、各透孔３１、３１を経て勢いよく密閉室２９内に流入する空気流がダイシングフレームｇの上下面に残存している水滴を飛散分離させて密閉室２９内に流入させると共にダイシングフレームｇの上下面の水分を積極的に蒸発させてダイシングフレームｇを乾燥させる。この際、前側の透孔３１を通過する空気流がダイシングフレームｇを十分に乾燥させることができなくても、後側の透孔３１を通過する空気流がさらにダイシングフレームｇを乾燥させるようになる。
【００３０】
上記空気流による乾燥処理においては、ダイシングフレームｇは上下面に布などの有形物を押し付けられることなく水分を除去されて乾燥されるため、その表面を、繊維片などの付着の生じることなく清浄に保持されるのである。また密閉室２９内ではダイシングフレームｇの上下面に付着した微細な水分が効果的に蒸発される。
【００３１】
密閉室２９内の底面には空気流の運んだ水分が存在するものとなるが、この水分は空気と共に気水分離タンク２７内に流下し、ここで水分は、その比重が大きいことから空気流の存在にも拘わらず落下して気水分離タンク２７内に蓄積され、一方、空気は気水分離タンク２７内の上部から連通管３６１を経てブロア２７に至り大気に排出され、空気と水分が分離されるのである。
【００３２】
前後の透孔３１、３１を通過した後のダイシングフレームｇはロープ搬送部６に到達し、ここでは複数の搬送ロープ１２がダイシングフレームｇの下面の極狭い部分を支持して送出支持台４２上に払い出す。従って、ダイシングフレームｇはロープ搬送部６においてその下面を汚染されることなく搬送されるのである。この払い出された各ダイシングフレームｇは手作業により特定位置に取り出したり或いは搬出ロボットなどにより自動的に特定位置に取り出すようになされる。
【００３３】
【発明の効果】
上述した本発明によれば、次のような効果が得られる。即ち、ダイシングフレームをこれの表面に不純物の付着しないように高速で乾燥させることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るダイシングフレーム洗浄機の側面視断面図である。
【図２】前記洗浄機の平面図である。
【図３】前記洗浄機の乾燥要部の作動状態を示す図である。
【図４】前記乾燥要部の透孔にダイシングフレームが入っている状況を示す図である。
【図５】ダイシングフレームを示す平面図である。
【符号の説明】
１  搬送部
２  ブラシ装置
３  注水ノズル部
４  乾燥要部
２６  乾燥装置
２９  密閉室
３０ａ  前面壁
３０ｂ  後面壁
３１  透孔
ｇ  ダイシングフレーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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