(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
非架橋性単量体と架橋性単量体を含む単量体混合物を重合して得られる架橋有機球状微粒子（分子中にアミノ基、ピリジル基およびアクリルアミド基を有さない）と分散媒を含み、
上記架橋有機球状微粒子が、非架橋性単量体（１）50〜90重量％と共重合可能な架橋性単量体（２）10〜50重量％とを含む単量体混合物をアニオン性乳化剤の存在下で乳化重合して得られる架橋有機球状微粒子であって、
上記架橋有機球状微粒子の、重量平均粒子径（Dw）と数平均粒子径（Dn）の商（Dw／Dn）で表される粒子径分布が、1.0〜1.2であることを特徴とする研磨剤組成物。
【請求項２】
上記架橋有機球状微粒子の重量平均粒子径が、0.005〜0.20μｍの範囲である事を特徴とする請求項１記載の研磨剤組成物。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の研磨剤組成物の製造方法であって、上記架橋有機球状微粒子を、非架橋性単量体（１）50〜90重量％と共重合可能な架橋性単量体（２）10〜50重量％とを含む単量体混合物をアニオン性乳化剤の存在下で乳化重合して得ることを特徴とする研磨剤組成物の製造方法。
【請求項４】
上記乳化重合は、過酸化水素に、アスコルビン酸、酒石酸およびエルソルビン酸から選ばれる少なくとも１種の還元剤を組み合わせてなるレドックス系重合開始剤を用いる請求項３に記載の研磨剤組成物の製造方法。
【請求項５】
上記乳化重合を、プレエマルジョン法またはモノマー滴下法により行う請求項３または４に記載の研磨剤組成物の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は研磨剤に関し、具体的には、架橋有機球状微粒子と分散媒を含む研磨剤に関してである。さらに具体的には、積層回路等に好適な研磨剤に関してである。
【０００２】
【従来技術】
最近、多層配線技術が、積層回路（ＩＣ）の集積度を高めるために重要になっている。この多層配線技術において、層間絶縁膜の平坦化が特に重要である。層間絶縁膜を平坦化するために、従来からＣＶＤ、スパッタリング等の種々の方法があるが、近年、ＣＭＰ法（Chemical Mechanical Polishing）と呼ばれる研磨方法が注目を浴びている。ＣＭＰ法に用いられる研磨剤として、コロイダルシリカ、ヒュームドシリカ、酸化セリウム等の研磨粒子を含む水分散液がある（特開平8-3540号公報、特開平8-3541号公報等参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ＣＭＰ法などで使用される上記研磨剤は、いずれもその研磨粒子が形状不定形かつ粒度分布不均一であり、絶縁膜と比較して上記研磨粒子の硬度が高いため、研磨されて平坦になっていく絶縁膜からなる研磨面に引っかき傷（スクラッチ）等を与えやすい。また、この研磨剤は、研磨面である絶縁膜との親和性が強いため研磨面に付着残存しやすいので、使用後の研磨剤を洗浄で除去することは極めて困難であるという問題がある。また、それら課題に対しては、有機質無機質複合体粒子により効果が認められている（特開平9-324174）がしかし、多層配線で今後使用される可能性が高い銅配線等では、より高い研磨精度や制御が求められており課題として残っている。また、これら公知技術による研磨剤では比較的柔らかい基材の研磨面での研磨性等にまだ解決する課題が残っていた。
【０００４】
具体的には、比較的柔らかい基材の研磨面であっても余分な研磨傷をつけない研磨剤が求められていた。また、研磨剤の原料として、一概に柔らかい粒子を使用しても今度は十分に研磨できない、あるいは、当該粒子の製造条件によっては、使用後の研磨剤が基材表面に残りやすい等の問題点がありまだまだ解決すべき課題は多数残されていた。
【０００５】
また、架橋有機球状微粒子についてであるが、特開H01-182323号等には架橋微粒子重合体の製造方法という内容で開示されているが、磁気テープの滑り性付与剤やフィルムやシートの表面改質剤等の用途しか開示されていない。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の研磨剤は、上記問題点を解決する事のできる研磨剤である。本発明者らは、種々の観点より、研磨剤としての原料となる架橋有機球状微粒子の種類、架橋度合い、粒子成分、平均粒子径、粒子の分布状態および重合形態等を種々検討した。その結果、適度な強度を有する架橋有機球状微粒子と、水および／またはアルコールを含む分散媒とを含有する研磨剤組成であれば、比較的柔らかい基材の研磨面であっても余分な研磨傷をつけないで、かつ十分な精度で研磨面を作成できる研磨剤になることを見出したのである。適度な強度とは、有機架橋粒子における原料の重合性単量体の成分と架橋度合い、つまり架橋性単量体の使用量を工夫することで達成できることを見出したのである。
【０００７】
具体的には、本発明の構成は、非架橋性単量体と架橋性単量体とを含む単量体混合物を重合して得られる、平均粒子径が0.005〜0.20μｍの範囲である架橋有機球状微粒子と分散媒を含む研磨剤組成物である。
【０００８】
また、上記架橋有機球状微粒子の、重量平均粒子径（Dw）と数平均粒子径（Dn）の商（Dw／Dn）で表される粒子径分布が、1.2以下である事は、好ましい研磨剤組成物の形態である。また、上記架橋有機球状微粒子が、非架橋性単量体（１）50〜90部と共重合可能な架橋性単量体（２）10〜50部とを含む単量体混合物を用いて重合して得られる架橋有機球状微粒子である事は、好ましい研磨剤組成物の形態である。また、本発明の架橋有機球状微粒子を、研磨剤の原料として好ましい条件である、架橋微粒子形状が整った形態あるいは、該架橋微粒子の平均粒子径やその分布が整った状態で得るためには、乳化重合方法を採用することは好ましい形態である。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下さらに詳細を説明する。
【００１０】
［架橋有機球状微粒子］
本発明で用いられる架橋有機球状微粒子は、適度な硬度を有しているが、それら粒子を含む研磨剤を、シリコン、シリコン酸化物等の素材からなる研磨面に適用して研磨した場合、適度な研磨性と研磨面への付着防止性とが得られる。架橋密度及び縮合度が十分でないと十分な研磨効果が得られず、架橋密度が高い場合、架橋粒子硬度が高くなりすぎたり、重合時にゲル化しやすく良好な物性の架橋有機球状微粒子になりにくい。また不必要に架橋密度を高めても製造コストがあがるだけで、使用する架橋性単量体の量に見合った効果が得られにくくなる。
【００１１】
上記、架橋有機球状微粒子は、有機ポリマー骨格の特徴である基材に対する小さな親和性すなわち小さな表面張力に由来する研磨面への付着防止作用とを有している。無機質と比較して硬度が低く、球状であり、小粒子径かつ粒度分布が狭いため、引っかき傷を生じず、均一な研磨性と、有機ポリマーの特徴である研磨面への付着防止性とを併せ持つことが可能である。
【００１２】
本発明で用いられる架橋有機球状微粒子は、非架橋性単量体（１）50〜90重量％、及び共重合可能な架橋性単量体（２）10〜50重量％とを含む単量体混合物を乳化重合して得られる。
【００１３】
該単量体混合物100重量部に対して0.05〜５重量部のアニオン性乳化剤を用い、過酸化水素にアスコルビン酸、酒石酸およびエルソルビン酸から選ばれる少なくとも１種の還元剤を組合わせてなるレドックス系重合開始剤により、重合終了時における不揮発分濃度が５〜30重量％となる水媒体中で乳化重合することを特徴とする、平均粒子径が0.005〜0.20μｍの範囲で重量平均粒子径（Dw）と数平均粒子径（Dn）の商（Dw／Dn）で表される粒子径分布が1.2以下であることを特徴とする架橋有機微粒子に関するものである。研磨剤としてさらに好ましくは、上記平均粒子径が、0.01〜0.20μｍの範囲である場合である。さらに好ましくは0.01〜0.15μｍである。さらに好ましくは0.01〜0.10μｍである。
【００１４】
本発明における単量体混合物は前記の通りであるが、非架橋単量体（１）としては、重合性二重結合を分子内に一つ有する重合性単量体であり、たとえば、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸イソプロピル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸ターシャリブチル、メタクリル酸アミル、メタクリル酸イソアミル、メタクリル酸オクチル、メタクリル酸２−エチルヘキシル、メタクリル酸デシル、メタクリル酸ラルリル、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸２−フェノキシエチル、メタクリル酸３−フェニルプロピル等のアルキル基の炭素数１〜18を有するメタクリル酸エステル酸；アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸イソプロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸ターシャリブチル、アクリル酸アミル、アクリル酸イソアミル、アクリル酸オクチル、アクリル酸２−エチルヘキシル、アクリル酸デシル、アクリル酸ラウリル、アクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸ベンジル等のアルキル基の炭素数１〜18を有するアクリル酸エステル類；スチレン、α−メチルスチレン、パラメチルスチレン、ビニルトルエン、イソプロペニルスチレン、クロルスチレン等のビニル芳香族類；アクリロニトリル、メタクリロニトリル、エタクリロニトリル、フェニルアクリロニトリル等の不飽和ニトリル類；ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート等のヒドロキシ基含有（メタ）アクリレート類；グリシジルアクリルレート、アリルグリシジルエーテル等エポキシ基含有単量体；更にはアクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸もしくはそれらの半エステル化合物等の官能性単量体類が挙げられこれらの１種又は２種以上を使用することができる。上記の内メタクリル酸エステル類および／またはアクリル酸エステル類を主成分として含む単量体混合物を使用する事が好ましい。
【００１５】
また、これら共重合可能な官能基を有する重合性単量体は、本発明の架橋有機球状微粒子に官能基を導入したり、粒子の親水性、親油性をコントロールする目的で、必要により単量体混合物中０〜30重量％の範囲で使用される。非架橋単量体（１）は特定の粒子径と硬度を与えるために使用する。その使用量は単量体混合物中50〜90重量％であり、この範囲をはずれた量を用いた場合は、研磨効果が得られなくなる。
【００１６】
さらに具体的には、メタクリル酸エステル類および／またはアクリル酸エステル類を単量体混合物中50〜90重量％含有する単量体混合物を重合して得られる架橋有機球状微粒子であることは、研磨剤原料として使用した場合、適度な硬度の架橋有機微粒子が得られるので、また、比較的柔らかい研磨基材表面における研磨性や、研磨基材表面への研磨粒子の付着を防止することができるので好ましい形態である。さらに具体的には、上記非架橋単量体（１）として、（メタ）アクリル酸メチルを使用する形態が好ましい。
【００１７】
本発明における架橋性単量体（２）としては、たとえばジビニルベンゼン、エチレングリコールジアクリレート又はメタクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート又はメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ジアリルフタレートトリアリルシアヌレート等を挙げることができ、これらの１種又は２種以上を使用することができる。これらは、重合性二重結合を少なくとも２つ以上有する化合物である。特にこれらのうちジビニルベンゼンが最も好ましい。
【００１８】
上記架橋性単量体（２）は本発明の架橋有機球状微粒子（架橋重合体）に特定の平均粒子径と粒子硬度を与える為に用いるもので、単量体混合物中10〜50重量％の範囲内で使用する。架橋性単量体（２）の使用量が10重量％未満では本発明で規定された平均粒子径を満足せず、基材の硬さによって研磨効果も期待できなくなる場合がある。又、架橋有機球状微粒子を分散させるのに使用する溶剤の種類によっては架橋有機球状微粒子に、溶解や膨潤が生じ、やはり粒子形状を保つことができなくなる。また、硬度が出ないので十分に研磨性が得ることができない事や、上記膨潤等により、研磨基材表面で粒子が付着しやすくなる等の問題がある。
【００１９】
一方、架橋性単量体（２）の使用量が50重量％を超える量では、共重合性が悪くなるので好ましくない。具体的には重合中にゲル化物や凝集物が発生し、均一な状態架橋有機球状微粒子が得られにくくなり、上記のゲル化物や凝集物は、研磨傷の原因となる。また、これ以上の架橋性単量体（２）の使用量では、得られる架橋有機球状微粒子の硬度が高くなり過ぎ、研磨剤として使用した場合、研磨基材への傷つきが発生しやすくなる。
【００２０】
本発明で使用される乳化剤はアニオン性乳化剤であることが好ましい。ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル等で代表されるノニオン性乳化剤では、本目的とする、平均粒子径0.005〜0.20μｍの範囲でかつ粒子径分布の狭い微粒子重合体は得られない場合がある。アニオン性乳化剤としては、例えばラウリル硫酸ナトリウム、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム等を挙げることができる。乳化剤量は所望する平均粒子径により、単量体混合物100重量部に対し、0.05〜５重量部の範囲で決められるが、５重量部を超えて多すぎると重合中に分散物が発泡しやすくなり、0.05重量部未満の量では平均粒子径が0.005〜0.20μｍの範囲の架橋有機球状微粒子が得られない場合がある。乳化剤量は、より好ましくは0.05〜２重量部で使用する。
【００２１】
本発明で用いる重合開始剤は過酸化水素にアスコルビン酸、酒石酸、およびエルソルビン酸から選ばれる少なくとも１種の還元剤を組合わせてなるレドックス系重合開始剤を用いることが必要である。この組合せによるレドックス系開始剤を用いることによって、本発明の研磨剤で好ましく使用できる、平均粒子径と粒子径分布を有する架橋有機球状微粒子を製造することができる。また、過硫酸アンモニアに代表される無機過酸化物を開始剤として用いた場合、本発明の目的とする0.20μｍ以下の平均粒子径を得ようとすると重合時に多量の凝固物が生じるため好ましくない。
【００２２】
上記、重合開始剤は過酸化水素及び還元剤のそれぞれを水溶液とし、これらを連続的もしくは断続的に反応系に添加する方法でもよく、又過酸化水素の全量を反応系に前もって加えておき、還元剤を連続的に添加する方法でもよい。乳化重合は、重合反応が終了した時点の不揮発分濃度が５〜30重量％となる水媒体中で行なう。５重量％未満の濃度では不経済であり、逆に30重量％を超える濃度では重合反応時の安定性に問題が生じる。又、前記規定の範囲からはずれた濃度での乳化重合は、所定の平均粒子径の架橋有機球状微粒子とするのが困難でもある。乳化重合するに当っては周知の乳化重合法によればよく、例えばモノマー滴下法、プレエマルジョン法、もしくは一括仕込み重合法によって行なうことができるが、モノマー滴下法を用いた場合、特に
粒子径分布の狭い架橋有機球状微粒子が得られるので好ましい。
【００２３】
上記製造方法によって得られる研磨剤用に適した架橋有機球状微粒子は、平均粒子径0.005〜0.20μｍの範囲で重量平均粒子径（Dw）と数平均粒子径（Dn）の商（Dw／Dn）で表される粒子径分布が1.2以下である。この様な架橋有機球状微粒子は、前記の如く本発明で規定された特定の条件下、即ち特定の単量体混合物を特定の乳化剤及び特定の重合開始剤を用いて特定の濃度で乳化重合することにより得られるのであり、これら条件のを満たされなかった場合は本発明の目的を達成することが困難になる。上記平均粒子径は透過型電子顕微鏡写真からの測定や動的光散乱粒子径測定機により求めることが出来る。
【００２４】
［分散媒］
本発明で用いられる分散媒は、水および／またはアルコール、すなわち、水およびアルコールの内の一方または、両方を含む。しかしながら、水が好ましくは80wt%以上、さらに好ましくは90wt%以上、最も好ましくは95wt%以上であると、研磨性能が向上する。
【００２５】
上記アルコールとしては、メタノール、エタノール、ｎ−プロピルアルコール、２−プロピルアルコール等の低級アルコール；メチルセルソルブ、エチルセルソルブ、ブチルセルソルブ等のセルソルブ類；エチレングリコール等のグリコール類等から選ばれる少なくとも１種が上げられる。これらの中でも、メタノール、エタノール、２−プロピルアルコール、エチルセロソルブ、エチレングリコール等から選ばれる少なくとも１種が、研磨粒子を分散させやすくなるため好ましい。尚、アルコールは１種のみを用いても良いし、２種以上を適宜組み合わせて用いてもよい。
【００２６】
［研磨剤］
本発明の研磨剤は、上記で説明した架橋有機微粒子と分散媒とを含有する分散液からなる。分散液中の架橋有機微粒子の配合割合は、特に限定されないが、たとえば、研磨効率高くし、研磨面への付着防止及び傷つけ防止の観点から、分散液全体に対して、好ましくは１〜５０ｗｔ％、より好ましくは５〜４０ｗｔ％、最も好ましくは７〜３０ｗｔ％である。分散液は、酸性、中性、アルカリ性のいずれであっても良く、特に限定されるわけではないが、たとえば、研磨効率を上げるためには、アルカリ性（好ましくはｐＨ７超かつ１１以下、より好ましくはｐＨ８以上かつ１０以下）であることが好ましい。たとえば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム等のアルカリ金属水酸化物：アンモニア；エタノールアミンなどのアルカノールアミン：ヒドラジン等のアルカリ性物質から選ばれる少なくとも１種、又は２種以上を添加して分散液をアルカリ性にすることが出来る。中でも、アルカリ性物質が水酸化カリウムであると、研磨効率が向上するため好ましい。
【００２７】
分散液中には、必要に応じて、従来の研磨剤に使用する添加剤、たとえば、研磨粒子を分散させる界面活性剤などが含まれていても良い。分散液を製造する方法としては、特に限定されないが、たとえば、上記製造方法Ａで示すように、反応によって得られた架橋有機微粒子を含む懸濁液をそのまま分散液として使用したり、得られた懸濁液中の溶媒を蒸留して、水及び／またはアルコールと置換したり、アルカリ性にする方法や、懸濁液から架橋有機微粒子を単離して（場合によっては熱処理して）、分散媒に分散させる方法などが挙げられる。これらの中でも、反応によって得られた架橋有機微粒子を含む懸濁液中の溶媒を蒸留して、水および／またはアルコールと置換したり、アルカリ性にする方法が、簡単で複雑な工程を必要とせず、架橋有機微粒子の凝集などが抑制されるため好ましい。
【００２８】
本発明の研磨剤は、たとえば、積層回路（ＩＣ）等の半導体装置や、液晶表示板（ＬＣＤ）、各種ディスク等の精密微細研磨加工などに用いられる。研磨剤が用いられる研磨面の種類、素材等についても、限定されないが、特に、本発明の研磨剤をシリコン酸化物などの素材からなる積層回路（ＩＣ）の層間絶縁膜の平坦化に用いると、研磨剤に含まれる架橋有機微粒子の適度な硬度による研磨作用と、有機ポリマー骨格の特徴である基材に対する小さな親和性すなわち小さな表面張力に由来する研磨面への付着防止作用とが十分に発揮されるため、研磨面に生じる引っかき傷をなくし、研磨面に研磨剤を付着残存させないことが容易に実現出来る。
【００２９】
また、本発明の研磨剤の用途として上述した以外の基材として、成型材料、具体的にはアクリル人工大理石、またそれ以外の熱硬化性樹脂成型品、熱可塑性樹脂成型品、各種塗料による塗装面（具体的には自動車塗装面、さらに具体的にはアクリルトップコート）等も上げられる。これらは、通常コンパウンドと呼ばれる研磨クリーナーで表面を研磨するものであり、樹脂なので比較的傷つきやすい表面を持つ基材である。また、本発明の架橋有機微粒子を洗浄液と共に分散状態とすることで、通常の洗浄液に比べ良好な洗浄を有する洗浄クリーナーとすることができる。
【００３０】
【実施例】
以下に、本発明の実施例および参考比較例を示すが、本発明は下記実施例に限定されない。
【００３１】
−実施例１−
攪拌機、温度計、及び冷却管を備えたガラス製１Ｌ反応釜に脱イオン水400部及びドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム0.25部を入れ内温を75℃に保った。反応釜内を窒素置換した後、メタクリル酸メチル75部、ジビニルベンゼン（80%濃度）25部からなる単量体混合物の10%と過酸化水素(30%濃度)0.1部、アスコルビン酸0.1部を各々25部の水に溶解したレドックス系開始剤を添加し反応を開始した。次いで、反応釜の内温を75℃に保ったまま単量体混合物の残量、0.5%の過酸化水素水溶液225部および0.5%アスコルビン酸水溶液225部を２時間にわたって均一に滴下した。更に80℃に昇温し２時間反応した後冷却した。この分散液にＫＯＨ水溶液を添加することでｐＨを９に調整することにより、粒子分が１０ｗｔ％のアルカリ性の架橋有機微粒子の分散液（１）を得た。
【００３２】
この分散液（１）中に分散している架橋有機微粒子の平均粒子径は0.05μｍ、Dw／Dn＝1.03であった。次に、シリコンウェハー上にＣＶＤ法によりＳｉ０2膜を約２μｍの厚さに製膜した基板をもちいて分散液（１）の研磨性試験を行った。以下、この分散液の形態は本発明における研磨剤組成物の一つの形態である。その結果、良好な研磨が出来た。
【００３３】
［研磨条件］
研磨装置  ：  枚葉式片面研磨機
研磨圧力  ；  １５０ｇ／ｃｍ2
回転数    ；  ８０ｒｐｍ
研磨パッド；  硬質ポリウレタンパッド
研磨速度  ；  ０．２μｍ／分
［研磨面の傷や付着物の有無］
研磨面を水洗後、顕微鏡で傷や付着物の有無を観察した。その結果、傷や付着物があり、かつこれらが多い場合は、そのことも合わせて表示した。
【００３４】
以下、参考実施例として、上記の実施例１および本文で説明した、本願の架橋有機球状微粒子の好ましい形態をさらに詳しく説明するための例を示す。
【００３５】
−参考実施例１−
実施例１において、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム０．２５部に代えてポリオキシエチレンラウリルエーテル０．４部を使用した以外は、実施例１と同様の操作を繰り返して重合をおこない分散液を得た。この分散液にＫＯＨ水溶液を添加することでｐＨを９に調整することにより、粒子分が１０ｗｔ％のアルカリ性の架橋有機球状微粒子の分散液（３）を得た。この分散液（３）中に分散している架橋有機球状微粒子の平均粒子径は０．２５μｍ、Ｄｗ／Ｄｎ＝１．８２であった。次に、この分散液（３）について、実施例１と同様の研磨性試験を行った。研磨面を観察した結果、実施例１よりも、平均粒子径が大きく、粒度分布が広いため、研磨面に傷が観察された。
【００３６】
−参考実施例２−
実施例１において、メタクリル酸メチル４０部、ジビニルベンゼン６０部からなる組成に変更した以外は、実施例１と同様の操作を繰り返して重合をおこない分散液を得た。この分散液にＫＯＨ水溶液を添加することでｐＨを９に調整することにより、粒子分が１０ｗｔ％のアルカリ性の架橋有機球状微粒子の分散液（４）を得た。この分散液（４）中に分散している架橋有機球状微粒子の平均粒子径は０．０７μｍ、Ｄｗ／Ｄｎ＝１．１８であり、一部に凝集物が認められた。次に、この分散液（４）について、実施例１と同様の研磨性試験を行った。研磨面を観察した結果、粒子硬度が増したことと一部に凝集物が形成されたことにより研磨面に傷が観察された。
【００３７】
−参考実施例３−
実施例１において、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム量を０．２５部から０．７部に増量し、尚かつ重合開始剤を過硫酸アンモニア１部に変更し、実施例１と同様の操作を繰り返して重合をおこない分散液を得た。この分散液にＫＯＨ水溶液を添加することでｐＨを９に調整することにより、粒子分が１０ｗｔ％のアルカリ性の架橋有機球状微粒子の分散液（５）を得た。この分散液（５）中に分散している架橋有機球状微粒子の平均粒子径は０．０６μｍ、Ｄｗ／Ｄｎ＝１．５２であり、一部に凝集物が認められた。次に、この分散液（５）について、実施例１と同様の研磨性試験を行った。研磨面を観察した結果、粒度分布が広がり、粗大粒子、粗大凝集物が増したことが理由で研磨面に傷が観察された。
−参考実施例４−
実施例１において、単量体混合物をメタクリル酸メチル95部、ジビニルベンゼン５部からなる組成に変更した以外は、実施例１と同様の操作を繰り返して重合をおこない分散液を得た。この分散液にＫＯＨ水溶液を添加することでｐＨを９に調整することにより、粒子分が１０ｗｔ％のアルカリ性の架橋有機球状微粒子の分散液（２）を得た。
【００３８】
この分散液（２）中に分散している架橋有機球状微粒子の平均粒子径は0.04μｍ、Dw／Dn＝1.05であった。次に、この分散液（２）について、実施例１と同様の研磨性試験を行った。その結果、本参考実施例４にて得られた架橋有機球状微粒子は、実施例１記載の架橋有機球状微粒子に比べ、架橋度合いが低い粒子であるので、実施例１に比べると十分な研磨性が得られなかった。また、実施例１に比べて若干ではあるが、付着物が観測された。しかし、実施例１に比べると、若干研磨性が低下するが、傷の発生が少なかった。
【００３９】
また、図１として実施例１の製造方法で製造した、架橋有機球状微粒子の電子顕微鏡写真を示す。これは、スキャナーで当該写真を読み込んだ電子データである。
またこれは、得られた架橋有機微粒子の分散液を、ＴＥＭの試料膜上で乾燥させ、ＴＥＭにて観察する事によって得られた写真である。この写真で示す様に、乳化重合を採用することで形状が均一でその平均粒子系や粒子の分布が安定的にそろっている状態の架橋有機球状微粒子が得られる。また、上記乾燥時に、架橋有機球状微粒子同士が接触し、一部粒子同士が接合している状態で観察される場合もある。この様な本発明における架橋有機球状微粒子を使用した研磨剤であれば、研磨が必要な基材と研磨用おさえパッドの隙間がそろった状態で研磨を行う事ができ、良好な状態で研磨工程を実施する事ができる。
【００４０】
【発明の効果】
上記の様に、研磨剤としての原料となる架橋有機球状微粒子の種類、架橋度合い、粒子成分、平均粒子径、粒子の分布状態および重合形態等を種々検討した結果、適度な強度を有する架橋有機球状微粒子と、水および／またはアルコールを含む分散媒とを含有する研磨剤組成であれば、比較的柔らかい基材の研磨面であっても余分な研磨傷をつけないで、かつ十分な精度で研磨面を作成できる研磨剤になることを見出した。また、当該架橋有機球状微粒子の製造方法としては、乳化重合方法を採用する事が好ましい結果であった。乳化重合を採用する事で、得られる当該架橋有機球状微粒子の形状が非常に形のそろった球状になり、かつ、該架橋有機球状微粒子の分布もそろった物が得られる。また、架橋剤の量を工夫する事で、乳化重合時に、研磨剤の原料
微粒子としては好ましくはない凝集物の発生を抑える事ができることも見出した。よって、本発明の研磨剤用の架橋有機球状微粒子を得るため乳化重合を採用し、また合わせて、使用する架橋性単量体の量を特定量範囲とする形態は好ましい形態となる。また、該架橋有機球状微粒子の粒子径分布が特定範囲内である架橋有機球状微粒子を原料として含み形成される研磨剤は良好な実施形態である。
【００４１】
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は、本発明における実施例１の架橋有機球状微粒子の電子顕微鏡写真である。これ
は実施例１の処方で作製した粒子を８万倍でＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）撮影したものである。
【図１】
0004171207.tif 000002