(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉容器の縦型筒部内に垂下されたワイヤーにより、縦型筒部下方に設置されたルツボ内の半導体融液から半導体単結晶を引き上げる単結晶引上装置内をクリーニングする装置であって、
前記縦型筒部内に挿入可能な主筒部と、
該主筒部の上部に、主筒部内に挿通される前記ワイヤーをクリーニングするワイヤークリーニング機構とを備え、
前記ワイヤークリーニング機構は、前記主筒部の内側に設けられた内側吹出口から半径方向内方に向けて空気を吹出可能な内方エア吹出機構を備えていることを特徴とする単結晶引上装置のクリーニング装置。
【請求項２】
請求項１に記載の単結晶引上装置のクリーニング装置において、
前記主筒部は、軸方向に伸縮可能であることを特徴とする単結晶引上装置のクリーニング装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の単結晶引上装置のクリーニング装置において、
前記内方エア吹出機構は、複数の前記内側吹出口を備えていることを特徴とする単結晶引上装置のクリーニング装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の単結晶引上装置のクリーニング装置において、
前記ワイヤークリーニング機構は、前記主筒部の内面に、主筒部内に配されるワイヤーに接触して振動を与える振動部材を備えていることを特徴とする単結晶引上装置のクリーニング装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の単結晶引上装置のクリーニング装置において、
該主筒部の上部に、前記縦型筒部の内面をクリーニングする内面クリーニング機構を備えていることを特徴とする単結晶引上装置のクリーニング装置。
【請求項６】
密閉容器の縦型筒部内に垂下されたワイヤーにより、縦型筒部下方に設置されたルツボ内の半導体融液から半導体単結晶を引き上げる単結晶引上装置内をクリーニングする装置であって、
前記縦型筒部内に挿入可能な主筒部と、
該主筒部の上部に、前記縦型筒部の内面をクリーニングする内面クリーニング機構とを備え、
前記内面クリーニング機構は、前記主筒部の外周面に、主筒部が前記縦型筒部内に挿入された状態で縦型筒部の内面に当接可能なワイパー部材を備え、
前記ワイパー部材は、前記縦型筒部の内周面に沿って環状に設けられていることを特徴とする単結晶引上装置のクリーニング装置。
【請求項７】
請求項６に記載の単結晶引上装置のクリーニング装置において、
前記内面クリーニング機構は、前記ワイパー部材を前記主筒部の半径方向に変形又は移動させるワイパー可変機構を備えていることを特徴とする単結晶引上装置のクリーニング装置。
【請求項８】
請求項７記載の単結晶引上装置のクリーニング装置において、
前記ワイパー可変機構は、前記ワイパー部材と前記主筒部の外周面との間に設けられた可撓性袋体を備え、
該可撓性袋体は、空気を注入して膨らませることが可能であることを特徴とする単結晶引上装置のクリーニング装置。
【請求項９】
請求項８記載の単結晶引上装置のクリーニング装置において、
前記可撓性袋体は、前記主筒部の外周面に沿って環状に設けられたゴムチューブであることを特徴とする単結晶引上装置のクリーニング装置。
【請求項１０】
請求項５から９のいずれかに記載の単結晶引上装置のクリーニング装置において、
前記内面クリーニング機構は、前記主筒部の外側に設けられた外側吹出口から半径方向外方に向けて空気を吹出可能な外方エア吹出機構を備えていることを特徴とする単結晶引上装置のクリーニング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワイヤーによりルツボ内の半導体融液からＣＺ法（チョクラルスキー法）を用いてシリコン単結晶等の半導体単結晶を引き上げる単結晶引上装置内を掃除する単結晶引上装置のクリーニング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、シリコン（Ｓｉ）やガリウムヒ素（ＧａＡｓ）等の半導体単結晶を成長する手段の一つとして、ＣＺ法を用いた単結晶引上装置が知られている。
この単結晶引上装置において引上成長を行うには、図８に示すように、まず密閉容器であるチャンバ１内部のカーボン製サセプタ２上に配設した石英ルツボ３内に半導体融液Ｌを貯留し、該半導体融液Ｌを石英ルツボ３の周囲に配置した円筒状のカーボン製ヒータ４で所定温度に加熱制御する。
【０００３】
次に、チャンバ１上部の縦型筒部１ａ内に垂下されたＷ（タングステン）等のワイヤーＷにより、縦型筒部１ａ下方に配置されたルツボ３内の半導体融液Ｌから半導体単結晶Ｃを引き上げる。
なお、図８中において、符号５は保温筒、６は保温筒５の内側面に支持板として設けられたカーボン板、７はフロー管、８はフロー管７を支持する円環状のアッパーリング８、９はサセプタ２を支持し上下動可能なシャフトである。
【０００４】
ところで、この単結晶引上装置は、半導体単結晶Ｃを引き上げるワイヤーＷの巻き上げ装置（図示略）を、縦型筒部１ａ上に回転可能に設けられたヘッド部１０内に設けている。すなわち、ワイヤーＷはヘッド部１０と縦型筒部１ａとを連通する孔であるセンターピース部１０ａを介してヘッド部１０から縦型筒部１ａ内へと垂下される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記単結晶引上装置において、引上成長中にＳｉのベイパー等の付着物が縦型筒部の内面に生じ、この付着物が粉塵として落下するおそれがある。また、ワイヤーが巻き上げ装置によって巻き上げられる際に、ワイヤー自体からＷ等の粉塵が発生する場合がある。これらの粉塵は、引上成長に影響して単結晶の有転位化を起こし、結晶引き上げ特性を悪化させるおそれがある。しかしながら、縦型筒部やワイヤーは、引上成長装置の上部にあって高所であるため、手作業等では縦型筒部やワイヤー表面の粉塵を除去する掃除が困難であった。
【０００６】
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、単結晶引上装置内の粉塵を除去するために、縦型筒部内面の掃除又は縦型筒部内に垂下されたワイヤーの掃除を容易に行うことができる単結晶引上装置のクリーニング装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。
すなわち、本発明の単結晶引上装置のクリーニング装置は、密閉容器の縦型筒部内に垂下されたワイヤーにより、縦型筒部下方に設置されたルツボ内の半導体融液から半導体単結晶を引き上げる単結晶引上装置内をクリーニングする装置であって、前記縦型筒部内に挿入可能な主筒部と、該主筒部の上部に、主筒部内に挿通される前記ワイヤーをクリーニングするワイヤークリーニング機構とを備えて、
前記ワイヤークリーニング機構は、前記主筒部の内側に設けられた内側吹出口から半径方向内方に向けて空気を吹出可能な内方エア吹出機構を備えていることを特徴とする。
本発明の単結晶引上装置のクリーニング装置は、密閉容器の縦型筒部内に垂下されたワイヤーにより、縦型筒部下方に設置されたルツボ内の半導体融液から半導体単結晶を引き上げる単結晶引上装置内をクリーニングする装置であって、前記縦型筒部内に挿入可能な主筒部と、該主筒部の上部に、主筒部内に挿通される前記ワイヤーをクリーニングするワイヤークリーニング機構又は前記縦型筒部の内面をクリーニングする内面クリーニング機構の少なくとも一方とを備えていることができる。
【０００８】
この単結晶引上装置のクリーニング装置では、縦型筒部内に挿入可能な主筒部と、該主筒部の上部に、主筒部内に挿通されるワイヤーをクリーニングするワイヤークリーニング機構又は縦型筒部の内面をクリーニングする内面クリーニング機構の少なくとも一方とを備えているので、縦型筒部が高所にあっても、主筒部を縦型筒部内に挿入することにより、主筒部上部のワイヤークリーニング機構又は内面クリーニング機構により、発塵のもとになるワイヤー又は縦型筒部の内面をクリーニングすることができる。
【０００９】
また、本発明の単結晶引上装置のクリーニング装置は、前記主筒部が、軸方向に伸縮可能であることが好ましい。すなわち、このクリーニング装置では、主筒部が軸方向に伸縮可能であるため、主筒部を伸ばすことにより縦型筒部の上部まで達して掃除を行うことができ、使用時以外では、縮めることにより運搬や収納等の取扱い性が向上する。
【００１０】
また、本発明の単結晶引上装置のクリーニング装置は、前記ワイヤークリーニング機構が、前記主筒部の内側に設けられた内側吹出口から半径方向内方に向けて空気を吹出可能な内方エア吹出機構を備えていることを特徴とする。
【００１１】
このクリーニング装置では、ワイヤークリーニング機構が、主筒部の内側に設けられた内側吹出口から半径方向内方に向けて空気を吹出可能な内方エア吹出機構を備えているので、主筒部を縦型筒部内に挿入させると共にワイヤーを主筒部内に垂下させ、さらに内方エア吹出機構により空気を内側吹出口から半径方向内方にあるワイヤーに吹き付けることにより、ワイヤー表面から粉塵を吹き飛ばして除去することができる。
【００１２】
また、本発明の単結晶引上装置のクリーニング装置は、前記内方エア吹出機構が、複数の前記内側吹出口を備えていることが好ましい。すなわち、このクリーニング装置では、例えば、周方向や軸方向に複数設けられた内側吹出口からワイヤーに向けて空気が吹き付けられるので、ワイヤー表面を周方向や軸方向の広い範囲で掃除することが可能になる。
【００１３】
また、本発明の単結晶引上装置のクリーニング装置は、前記ワイヤークリーニング機構が、前記主筒部の内面に、主筒部内に配されるワイヤーに接触して振動を与える振動部材を備えていることが好ましい。すなわち、このクリーニング装置では、主筒部内に配されるワイヤーに振動部材を接触させることにより、ワイヤーが振動して付着している粉塵をさらに落ち易くすることができる。
【００１４】
また、本発明の単結晶引上装置のクリーニング装置は、密閉容器の縦型筒部内に垂下されたワイヤーにより、縦型筒部下方に設置されたルツボ内の半導体融液から半導体単結晶を引き上げる単結晶引上装置内をクリーニングする装置であって、
前記縦型筒部内に挿入可能な主筒部と、
該主筒部の上部に、前記縦型筒部の内面をクリーニングする内面クリーニング機構とを備え、
前記ワイパー部材は、前記縦型筒部の内周面に沿って環状に設けられていることを特徴とする。
本発明の単結晶引上装置のクリーニング装置は、前記内面クリーニング機構が、前記主筒部の外周面に、主筒部が前記縦型筒部内に挿入された状態で縦型筒部の内面に当接可能なワイパー部材を備えていることができる。すなわち、このクリーニング装置では、主筒部を縦型筒部内に挿入した状態において、ワイパー部材が縦型筒部内面に当接するので、主筒部を挿入状態で上下させることにより、ワイパー部材が縦型筒部内面上を摺動して付着物を擦り落とすことができる。
【００１５】
さらに、本発明の単結晶引上装置のクリーニング装置は、前記ワイパー部材が、前記縦型筒部の内周面に沿って環状に設けられていることが好ましい。すなわち、このクリーニング装置では、ワイパー部材が縦型筒部の内周面に沿って環状に設けられていることにより、縦型筒部内面の全周方向にワイパー部材が当接して縦型筒部の内周面全体を容易に掃除することが可能になる。
【００１６】
さらに、本発明の単結晶引上装置のクリーニング装置は、前記内面クリーニング機構が、前記ワイパー部材を前記主筒部の半径方向に変形又は移動させるワイパー可変機構を備えていることが好ましい。すなわち、このクリーニング装置では、ワイパー可変機構によりワイパー部材を主筒部の半径方向に変形又は移動させることにより、ワイパー部材を縦型筒部内周面に当接させたり、離間させたりすることが自在にできるようになる。したがって、実際に掃除を行う場合以外は、ワイパー部材を縦型筒部内周面から離しておくことができ、主筒部を縦型筒部内に挿入してセットするときや縦型筒部内から抜き出すときにワイパー部材が邪魔にならず、スムーズに作業を行うことができる。
【００１７】
さらに、本発明の単結晶引上装置のクリーニング装置は、前記ワイパー可変機構が、前記ワイパー部材と前記主筒部の外周面との間に設けられた可撓性袋体を備え、該可撓性袋体が、空気を注入して膨らませることが可能であることが好ましい。すなわち、このクリーニング装置では、主筒部を縦型筒部内に挿入した状態において、可撓性袋体に空気を注入して膨らませることにより、可撓性袋体の外側に配されたワイパー部材が半径方向外方に移動又は変形して、ワイパー部材を縦型筒部内周面に当接させることができる。したがって、可撓性袋体を膨らませるという簡便な手段だけで容易にワイパー部材の変形又は移動を行うことができる。
【００１８】
さらに、本発明の単結晶引上装置のクリーニング装置は、前記可撓性袋体が、前記主筒部の外周面に沿って環状に設けられたゴムチューブであることが好ましい。すなわち、このクリーニング装置では、可撓性袋体が主筒部の外周面に沿って環状に設けられたゴムチューブであるので、主筒部外周全体にわたって容易に膨らませることができ、ワイパー部材を主筒部外周全体で変形又は移動させることができる。
【００１９】
また、本発明の単結晶引上装置のクリーニング装置は、前記内面クリーニング機構が、前記主筒部の外側に設けられた外側吹出口から半径方向外方に向けて空気を吹出可能な外方エア吹出機構を備えていることが好ましい。すなわち、このクリーニング装置では、主筒部を縦型筒部内に挿入した状態で外方エア吹出機構の外側吹出口から半径方向外方に向けて空気を吹き出させることにより、縦型筒部内面に空気が吹き付けられ、該内面の付着物を吹き飛ばして縦型筒部内を掃除することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る単結晶引上装置のクリーニング装置の第１実施形態を、図１から図６を参照しながら説明する。
これらの図にあって、符号１１はクリーニング装置、１２は主筒部、１３は内方エア吹出機構を示している。
【００２１】
図１は、本実施形態の単結晶引上装置のクリーニング装置１１を、チャンバ（密閉容器）１上部の縦型筒部１ａ内に挿入した状態を示すものであって、クリーニング装置１１は、縦型筒部１ａ内に挿入可能なかつワイヤーＷを内部に挿通可能な塩化ビニル製等の主筒部１２と、該主筒部１２の内側に設けられた複数（４つ）の内側ノズル（内側吹出口）１３ａから半径方向内方に向けて空気を吹出可能な内方エア吹出機構（ワイヤークリーニング機構）１３とを備えている。
【００２２】
前記主筒部１２は、軸方向に伸縮可能とされ、図２から図６に示すように、筒部下部１４と、該筒部下部１４内に挿入された筒部中間部１５と、該筒部中間部１５に挿入された筒部上部１６とからなる３分割構造を有している。筒部下部１４は、上下動可能な台車Ｄに下部が載置可能になっており、軸方向に第１スリット１４ａが形成されている。また、筒部中間部１５は、下部に半径方向外方に突出していると共に第１スリット１４ａに差し込まれた棒状係止部１５ａが設けられ、軸方向に第２スリット１５ｂが形成されている。
【００２３】
さらに、筒部上部１６は、下部に半径方向外方に突出していると共に第２スリット１５ｂに差し込まれた配管接続部１７が設けられている。すなわち、クリーニング装置１１は、使用時以外では、図２に示すように、筒部下部１４内に筒部中間部１５が下部まで挿入されると共に、筒部中間部１５内に筒部上部１６が下部まで挿入されて全体的に縮められてコンパクトになる。
【００２４】
また、使用時には、図３に示すように、筒部中間部１５を筒部上部１６の上部までスライドすると共に、第１スリット１４ａ上部に形成された第１係止部１４ｂに棒状係止部１５ａを引っかけて支持し、さらに筒部上部１６を筒部中間部１５の上部までスライドすると共に、第２スリット１５ｂ上部に形成された第２係止部１５ｃに配管接続部１７を引っかけて支持することにより、全体的に伸ばして高くされる。
【００２５】
筒部上部１６には、上部内周面に互いに周方向に等間隔に配置された４つの内側ノズル１３ａと、上部外周面に配され主筒部１２が縦型筒部１ａ内に挿入された状態で縦型筒部１ａの内面に当接可能なワイパー部材（内面クリーニング機構）１８とが設けられている。
前記内方エア吹出機構１３は、各内側ノズル１３ａに先端が接続された吹付けエア供給管１９を備え、該吹付けエア供給管１９には配管接続部１７を介して中間部分にパーティクルフィルタ２０及びミストオイルフィルタ２１が介在され、基端に清掃用のエア供給源（図示略）に接続するカップラー２２が設けられている。
【００２６】
また、このクリーニング装置１１は、ワイパー部材１８を主筒部１２の半径方向に変形又は移動させるワイパー可変機構２３を備えている。
前記ワイパー部材１８は、ポリエステル等で形成され、縦型筒部１ａの内周面に沿って環状に設けられている。
前記ワイパー可変機構２３は、ワイパー部材１８と筒部上部１６の外周面との間に設けられ筒部上部１６の外周面に沿って環状に設けられたゴムチューブ（可撓性袋体）２４を備えている。
【００２７】
前記ゴムチューブ２４は、筒部上部１６上端の２つのフランジ部１６ｂの間にはめ込まれ、前記ワイパー部材１８は、２つのフランジ部１６ｂに上下に弛ませた状態で取り付けられている。なお、ワイパー部材１８を直接ゴムチューブ２４の外周面に設けても構わない。
また、ゴムチューブ２４には、加圧配管２５が接続され、該加圧配管２５は、加圧エア供給源（図示略）に接続される。すなわち、ゴムチューブ２４は、加圧エア供給源から加圧配管２５を介して空気を注入することにより、任意に膨らませることが可能となっている。
【００２８】
なお、ワイヤーＷの下端には、種結晶Ｓを保持するチャックＳＣが取り付けられている。
また、ヘッド部１０には、ヘッド部１０内にクリーンエアを供給するヘッド部エア供給管１０ｂが接続されている。
【００２９】
次に、本実施形態のクリーニング装置１１による単結晶引上装置内（縦型筒部１ａ内面及びワイヤーＷ）の掃除方法について説明する。
【００３０】
まず、チャンバ１の本体部分と上部とを切り離し、台車Ｄ上に載置したクリーニング装置１１（短縮状態）をチャンバ１上部の縦型筒部１ａ下方に配置する。このとき、クリーニング装置１１は、図２に示すように、低く短縮された状態にしておく。次に、クリーニング装置１１を伸ばして縦型筒部１ａ内に挿入する。すなわち、筒部中間部１５及び筒部上部１６を、図３に示すようにスライドさせて、高く伸ばした状態にする。
【００３１】
次に、主筒部１２を上記挿入状態にしたまま、巻き上げ装置を駆動して主筒部１２内にワイヤーＷを挿通させる。さらに、カップラー２２と清掃用のエア供給源とを接続した後、該エア供給源から吹付けエア供給管１９に圧縮空気を供給し、該圧縮空気をパーティクルフィルタ２０及びミストオイルフィルタ２１を介して各内側ノズル１３ａからワイヤーＷに向けて吹き付ける。
【００３２】
このとき、各内側ノズル１３ａからワイヤーＷの全周にわたって空気が吹き付けられ、ワイヤーＷ表面の粉塵を吹き飛ばすことができる。特に、ワイヤーＷ下端のチャックＳＣが重りとなり、ワイヤーＷに吹き付ける空気によってワイヤーＷに振動が発生して、より粉塵が落ちやすくなる。なお、この際、巻き上げ装置によってワイヤーＷを何度か上下させることにより、ワイヤーＷ全体をクリーニングすることができる。
【００３３】
また、このとき、ヘッド部１０内にヘッド部エア供給管１０ｂからクリーンエアを導入することにより、ヘッド部１０内に供給されたクリーンエアがセンターピース部１０ａから縦型筒部１ａ内に流入する。このとき、センターピース部１０ａに付着している粉塵を同時にクリーンエアで落とすことができる。
【００３４】
さらに、加圧エア供給源から加圧配管２５を介してゴムチューブ２４に空気を送り込み、ゴムチューブ２４を膨らませる。このとき、膨らんだゴムチューブ２４によってワイパー部材１８が半径方向外方に押し出されるように変形し、縦型筒部１ａ内周面に押し付けられる。この状態で、筒部上部１６と縦型筒部１ａとを相対的に上下動させると、ワイパー部材１８が縦型筒部１ａの内周面を摺動して、付着物を擦り落とすことができる。
【００３５】
なお、実際に掃除を行う場合以外は、ゴムチューブ２４を萎ませておくことによりワイパー部材１８を縦型筒部１ａ内周面から離しておくことができ、主筒部１２を縦型筒部１ａ内に挿入してセットするときや縦型筒部１ａ内から抜き出すときにワイパー部材１８が邪魔にならず、スムーズに作業を行うことができる。
【００３６】
上記クリーニングを行うにあたって、周囲に粉塵がまき散らされるのを防ぐため、クリーニング装置１１の下部に排気ユニットを接続又は設置して、主筒部１２や縦型筒部１ａから落ちてくる粉塵を集塵することが望ましい。
また、筒部上部１６の上面に、縦型筒部１ａの上端内面に当接可能な上端用ワイパー部材を取り付けておいても構わない。この場合、主筒部１２を伸ばして縦型筒部１ａの上端内面に上端用ワイパー部材を押し付けることにより、この部分の付着物も落とすことが可能になる。
【００３７】
このように、本実施形態のクリーニング装置１１では、縦型筒部１ａ内に挿入可能な主筒部１２と、主筒部１２の外周面に主筒部１２が縦型筒部１ａ内に挿入された状態で縦型筒部１ａの内面に当接可能なワイパー部材１８と、主筒部１２の内側に設けられた内側ノズル１３ａから半径方向内方に向けて空気を吹出可能な内方エア吹出機構１３とを備えているので、縦型筒部１ａが高所であっても、主筒部１２を縦型筒部１ａ内に挿入させると共にワイパー部材１８で縦型筒部１ａの内周面を擦って付着物を擦り落とすことができると共に、内方エア吹出機構１３により空気を内側ノズル１３ａから主筒部１２内のワイヤーＷに吹き付けることにより、ワイヤーＷ表面から粉塵を吹き飛ばして除去することができる。
【００３８】
また、主筒部１２が軸方向に伸縮可能であるため、主筒部１２を伸ばすことにより縦型筒部１ａの上部まで達してワイヤーＷの掃除を行うことができ、使用時以外では、主筒部１２を縮めることにより運搬や収納等の取扱い性が向上する。
【００３９】
次に、本発明に係る単結晶引上装置のクリーニング装置の第２実施形態を、図７を参照しながら説明する。
【００４０】
第２実施形態と第１実施形態との異なる点は、第１実施形態では内側ノズル１３ａが筒部上部１６の周方向に配置されているのに対し、第２実施形態のクリーニング装置３１における内方エア吹出機構３２では、内側ノズル１３ａがさらに軸方向に複数配置されている点である。また、第１実施形態では、ワイヤーＷに空気を吹き付ける内側ノズル１３ａだけが設けられているのに対し、第２実施形態のクリーニング装置３１は、筒部上部１６の上部に設けられ半径方向外方に向けて空気を吹出可能な複数の外側ノズル（外側吹出口）３３を有する外方エア吹出機構３５を備えている。さらに、第２実施形態では、筒部上部１６の内面に、筒部上部１６内に配されるワイヤーＷに接触して振動を与える振動部材３４が設けられている。
【００４１】
なお、各外側ノズル３３は、内側ノズル１３ａと同様に吹付けエア供給管１９に接続されている。また、振動部材３４は、図示しないモータ等の振動源に接続された棒状部材であり、先端側がワイヤーＷに接触及び離間可能に筒部上部１６内を移動できるように設けられている。
【００４２】
すなわち、本実施形態でのクリーニング装置３１は、周方向だけでなく軸方向にも複数の内側ノズル１３ａを設置しているので、さらに軸方向に対して広い範囲でワイヤーＷのクリーニングが可能になる。また、外側ノズル３３から縦型筒部１ａの内周面に空気を吹き付けることにより、縦型筒部１ａ内面の付着物を吹き飛ばすことができる。さらに、ワイヤーＷに振動部材３４を接触させることにより、ワイヤーＷがより振動して付着している粉塵をさらに落ち易くすることができる。
【００４３】
【発明の効果】
本発明の単結晶引上装置のクリーニング装置によれば、縦型筒部内に挿入可能な主筒部と、該主筒部の上部に、主筒部内に挿通されるワイヤーをクリーニングするワイヤークリーニング機構又は縦型筒部の内面をクリーニングする内面クリーニング機構の少なくとも一方とを備えているので、縦型筒部が高所にあっても、主筒部を縦型筒部内に挿入することにより、主筒部上部のワイヤークリーニング機構又は内面クリーニング機構により、発塵のもとになるワイヤー又は縦型筒部の内面をクリーニングすることができる。したがって、手作業によらずに容易にワイヤー又は縦型筒部内面の少なくとも一方のクリーニングを行うことができ、これらからの粉塵による引上成長への影響（結晶の有転位化等）を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る単結晶引上装置のクリーニング装置の第１実施形態において、縦型筒部内にセットしたクリーニング装置を示す全体断面図である。
【図２】  本発明に係る単結晶引上装置のクリーニング装置の第１実施形態において、クリーニング装置を縮めた際の正面図である。
【図３】  本発明に係る単結晶引上装置のクリーニング装置の第１実施形態において、クリーニング装置を伸ばした際の正面図である。
【図４】  本発明に係る単結晶引上装置のクリーニング装置の第１実施形態において、筒部上部を示す正面図及び平面図である。
【図５】  本発明に係る単結晶引上装置のクリーニング装置の第１実施形態において、筒部中間部を示す正面図及び平面図である。
【図６】  本発明に係る単結晶引上装置のクリーニング装置の第１実施形態において、筒部下部を示す正面図及び平面図である。
【図７】  本発明に係る単結晶引上装置のクリーニング装置の第２実施形態において、縦型筒部内にセットしたクリーニング装置を示す全体断面図である。
【図８】  単結晶引上装置を示す全体断面図である。
【符号の説明】
１  チャンバ（密閉容器）
１ａ  縦型筒部
３  ルツボ
１１、３１  クリーニング装置
１３、３２  内方エア吹出機構（ワイヤークリーニング機構）
１２  主筒部
１３ａ  内側ノズル（内側吹出口）
１４  筒部下部
１５  筒部中間部
１６  筒部上部
１８  ワイパー部材（内面クリーニング機構）
２４  ゴムチューブ（可撓性袋体）
３３  外側ノズル（外側吹出口）
３４  振動部材
３５  外方エア吹出機構（内面クリーニング機構）
Ｃ  半導体単結晶
Ｌ  半導体融液
Ｗ  ワイヤー
【図１】
0004092859.tif 000002
【図２】
0004092859.tif 000003
【図３】
0004092859.tif 000004
【図４】
0004092859.tif 000005
【図５】
0004092859.tif 000006
【図６】
0004092859.tif 000007
【図７】
0004092859.tif 000008
【図８】
0004092859.tif 000009