(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上段部材(7)取付けの基準となる孔(114)が上面にそれぞれ少なくとも１つ設けられている複数の下段部材(31)(32)(33)(34)を左右に並ぶようにねじ部材(110)により支持部材(108)に固定するにさいし、所定数の下段部材(31)(32)(33)が左右に並んで固定された支持部材(108)に、未固定の下段部材(34)およびこれの左右に隣り合う固定済みの下段部材(33)の左右に並ぶ基準孔(114)間の距離が設定値となるように未固定の下段部材(34)を固定する方法であって、基準孔(114)間距離の設定値に等しい間隔で左右に並ぶ突起(122)が下面に設けられた間隔保持治具(121)を使用し、未固定の下段部材(34)およびこれに隣り合う固定済みの下段部材(33)の基準孔(114)に間隔保持治具(121)の各突起(122)をそれぞれ嵌め合わせた状態でねじ部材(110)を締め付けて固定することを特徴とする下段部材の固定方法。
【請求項２】
上段部材(7)取付けの基準となる孔(114)が上面にそれぞれ少なくとも１つ設けられている複数の下段部材(33)(34)としての複数の継手を左右に並ぶようにねじ部材(110)により支持部材(108)に固定するとともに、複数の継手にまたがるように開閉弁やマスフローコントローラのような機能部材を上段部材(7)として固定するにさいし、複数の下段部材(33)(34)のうちの左右に並ぶ２以上の所定数の下段部材(33)(34)をこれらの下段部材(33)(34)の左右に並ぶ基準孔(114)間の距離が設定値となるように固定する方法であって、基準孔(114)間距離の設定値に等しい間隔で左右に並ぶ突起(122)が下面に設けられた間隔保持治具(121)を使用し、各下段部材(33)(34)の基準孔(114)に間隔保持治具(121)の各突起(122)をそれぞれ嵌め合わせた状態でねじ部材(110)を締め付けて固定することを特徴とする下段部材の固定方法。
【請求項３】
上段部材(7)取付けの基準となる孔(106)(114)が上面にそれぞれ少なくとも１つ設けられている複数の下段部材(33)(34)を左右に並ぶようにねじ部材(110)により支持部材(108)に固定するにさいし、複数の下段部材(33)(34)のうちの左右に並ぶ２以上の所定数の下段部材(33)(34)をこれらの下段部材(33)(34)の左右に並ぶ基準孔(106)(114)間の距離が設定値となるように固定する方法であって、基準孔(106)(114)として、上段部材(7)に設けられたボルト挿通孔に対応して設けられる上段部材固定用ねじ孔(106)および流体通路の開口(114)のいずれか一方または両方を使用し、基準孔(114)間距離の設定値に等しい間隔で左右に並ぶ突起(122)が下面に設けられた間隔保持治具(121)を使用し、各下段部材(33)(34)の基準孔(114)に間隔保持治具(121)の各突起(122)をそれぞれ嵌め合わせた状態でねじ部材(110)を締め付けて固定することを特徴とする下段部材の固定方法。
【請求項４】
上段部材(7)取付けの基準となる孔(106)が上面の前後にそれぞれ少なくとも１つずつ設けられている複数の下段部材(31)(32)(33)を前後方向に対して直交する方向の左右に並ぶようにねじ部材(110)により支持部材(108)に固定するにさいし、所定数の下段部材(31)(32)が左右に並んで固定された支持部材(108)に、未固定の下段部材(33)およびこれの左右に隣り合う固定済みの下段部材(32)の左右に並ぶ基準孔(106)間の距離が設定値となるように未固定の下段部材(33)を固定する方法であって、未固定の下段部材(33)およびこれの左右に隣り合う固定済みの下段部材(32)の前側の基準孔(106)に第１の間隔保持治具(81)(91)の各突起(82)(92)を、同後側の基準孔(106)に第２の間隔保持治具(81)(91)の各突起(82)(92)をそれぞれ嵌め合わせた状態で未固定の下段部材(33)のねじ部材(110)を締め付けて固定することを特徴とする下段部材の固定方法。
【請求項５】
上段部材(7)取付けの基準となる孔(106)が上面の前後にそれぞれ少なくとも１つずつ設けられている複数の下段部材(31)(32)(33)としての複数の継手を左右に並ぶようにねじ部材(110)により支持部材(108)に固定するとともに、複数の継手にまたがるように開閉弁やマスフローコントローラのような機能部材を上段部材(7)として固定するにさいし、複数の下段部材(31)(32)(33)のうちの左右に並ぶ２以上の所定数の下段部材(31)(32)(33)をこれらの下段部材(31)(32)(33)の左右に並ぶ基準孔(106)間の距離が設定値となるように固定する方法であって、基準孔(106)間距離の設定値に等しい間隔で左右に並ぶ突起(82)(92)が下面に設けられた２つの間隔保持治具(81)(91)を使用し、各下段部材(31)(32)(33)の前側の基準孔(106)に第１の間隔保持治具(81)(91)の各突起(82)(92)を、同後側の基準孔(106)に第２の間隔保持治具(81)(91)の各突起(82)(92)をそれぞれ嵌め合わせた状態でねじ部材(110)を締め付けて固定することを特徴とする下段部材の固定方法。
【請求項６】
上段部材(7)取付けの基準となる孔(106)が上面の前後にそれぞれ少なくとも１つずつ設けられている複数の下段部材(31)(32)(33)をねじ部材(110)により支持部材(108)に固定するにさいし、複数の下段部材(31)(32)(33)のうちの左右に並ぶ２以上の所定数の下段部材(31)(32)(33)をこれらの下段部材(31)(32)(33)の左右に並ぶ基準孔(106)間の距離が設定値となるように固定する方法であって、基準孔(106)として、上段部材(7)に設けられたボルト挿通孔に対応して設けられる上段部材固定用ねじ孔(106)を使用し、基準孔(106)間距離の設定値に等しい間隔で左右に並ぶ突起(82)(92)が下面に設けられた２つの間隔保持治具(81)(91)を使用し、各下段部材(31)(32)(33)の前側の基準孔(106)に第１の間隔保持治具(81)(91)の各突起(82)(92)を、同後側の基準孔(106)に第２の間隔保持治具(81)(91)の各突起(82)(92)をそれぞれ嵌め合わせた状態でねじ部材(110)を締め付けて固定することを特徴とする下段部材の固定方法。
【請求項７】
第１および第２の間隔保持治具(81)(91)の各突起(82)(92)を各下段部材(31)(32)(33)の基準孔(106)に嵌め合わせた状態で、第１および第２の各間隔保持治具(81)(91)における突起(82)(92)同士を結ぶ線と両間隔保持治具(81)(91)の前後に対応する突起(82)(92)同士を結ぶ線とが直角になるように直角度調整することを特徴とする請求項４から６までの下段部材の固定方法。
【請求項８】
各間隔保持治具(81)(91)の本体(81a)(91a)の形状を略直方体状とするとともに、第１の間隔保持治具(81)(91)の前側面、第２の間隔保持治具(81)(91)の後側面および両間隔保持治具(81)(91)の左右両側面にそれぞれ接する内側面が設けられた方形枠状の直角保持治具(84)(94)を２つの間隔保持治具(81)(91)の本体(81a)(91a)に嵌め合わせることにより直角度調整することを特徴とする請求項７の下段部材の固定方法。
【請求項９】
請求項１から７までのいずれかの方法において用いられる治具であって、下段部材(31)(32)(33)(34)の基準孔(106)(114)間の距離の設定値に等しい間隔で左右に並ぶ突起(82)(92)(122)が下面に設けられている間隔保持治具。
【請求項１０】
間隔保持治具(121)の左右両端部に、間隔保持治具(121)が下段部材(31)(32)(33)(34)に嵌め合わされたさいに、下段部材(31)(32)(33)(34)に設けられているボルト挿通孔(107)を塞いでしまわないようにする切欠き(124)が設けられている請求項９の間隔保持治具。
【請求項１１】
請求項８の方法において用いられる治具であって、第１の間隔保持治具(81)(91)の前側面、第２の間隔保持治具(81)(91)の後側面および両間隔保持治具(81)(91)の左右両側面にそれぞれ接する内側面を有する方形枠状の直角保持治具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、上段部材取付けの基準となる孔を有する複数の下段部材を支持部材に固定するさいに有用な下段部材の固定方法に関する。
【０００２】
この明細書において上段・下段とは、支持部材に近いほうを下段、遠いほうを上段というものとする。
【０００３】
【従来の技術】
例えば、半導体製造装置用の流体制御装置においては、基板（支持部材）に複数の継手（下段部材）を固定し、これらの継手にまたがるように開閉弁やマスフローコントローラのような機能部材（上段部材）を固定することにより、流体制御装置を組み立てることが行われている。
【０００４】
上記流体制御装置の組立てにさいしては、従来、基板にねじ孔を設けるとともに、基板のねじ孔にねじ合わされる継手固定用ボルトの挿通孔と機能部材取付用ボルトがねじ込まれるねじ孔とを継手に、機能部材取付用ボルトの挿通孔を機能部材に、それぞれ設けておき、継手固定用ボルトにより基板に継手を固定すれば、これらの継手のねじ孔に機能部材取付用ボルトを容易にねじ合わすことができ、継手と機能部材との間のシール性も確保されるものとされていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、継手固定用ボルトと継手のボルト挿通孔との間に遊びが存在していることにより、この遊びの分だけ継手同士のねじ孔間の距離が短くなったり長くなったりすることがあるため、上記従来の方法では、機能部材を継手間に取り付けるさいに、機能部材のボルト挿通孔と各継手のねじ孔とが一致せず、継手間への機能部材の取付けが困難になるという問題があった。
【０００６】
また、継手の流体通路と機能部材の流体通路とが基準通りに突き合わされないことによるシール性の低下が問題となることもあった。
【０００７】
この発明の目的は、固定後の継手（下段部材）への弁等（上段部材）の取付けが容易であり、下段部材および上段部材がともに流体通路を有する場合に、下段部材に上段部材を確実に流体密に取り付けることが可能な下段部材の固定方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
請求項１の発明による下段部材の固定方法は、上段部材取付けの基準となる孔が上面にそれぞれ少なくとも１つ設けられている複数の下段部材を左右に並ぶようにねじ部材により支持部材に固定するにさいし、所定数の下段部材が左右に並んで固定された支持部材に、未固定の下段部材およびこれの左右に隣り合う固定済みの下段部材の左右に並ぶ基準孔間の距離が設定値となるように未固定の下段部材を固定する方法であって、基準孔間距離の設定値に等しい間隔で左右に並ぶ突起が下面に設けられた間隔保持治具を使用し、未固定の下段部材およびこれに隣り合う固定済みの下段部材の基準孔に間隔保持治具の各突起をそれぞれ嵌め合わせた状態でねじ部材を締め付けて固定することを特徴とするものである。
【０００９】
請求項２の発明による下段部材の固定方法は、上段部材取付けの基準となる孔が上面にそれぞれ少なくとも１つ設けられている複数の下段部材としての複数の継手を左右に並ぶようにねじ部材により支持部材に固定するとともに、複数の継手にまたがるように開閉弁やマスフローコントローラのような機能部材を上段部材として固定するにさいし、複数の下段部材のうちの左右に並ぶ２以上の所定数の下段部材をこれらの下段部材の左右に並ぶ基準孔間の距離が設定値となるように固定する方法であって、基準孔間距離の設定値に等しい間隔で左右に並ぶ突起が下面に設けられた間隔保持治具を使用し、各下段部材の基準孔に間隔保持治具の各突起をそれぞれ嵌め合わせた状態でねじ部材を締め付けて固定することを特徴とするものである。
【００１０】
請求項３の発明による下段部材の固定方法は、上段部材取付けの基準となる孔が上面にそれぞれ少なくとも１つ設けられている複数の下段部材を左右に並ぶようにねじ部材により支持部材に固定するにさいし、複数の下段部材のうちの左右に並ぶ２以上の所定数の下段部材をこれらの下段部材の左右に並ぶ基準孔間の距離が設定値となるように固定する方法であって、基準孔として、上段部材に設けられたボルト挿通孔に対応して設けられる上段部材固定用ねじ孔および流体通路の開口のいずれか一方または両方を使用し、基準孔間距離の設定値に等しい間隔で左右に並ぶ突起が下面に設けられた間隔保持治具を使用し、各下段部材の基準孔に間隔保持治具の各突起をそれぞれ嵌め合わせた状態でねじ部材を締め付けて固定することを特徴とするものである。
【００１１】
上記請求項１から３までの発明において、基準孔は、例えば上段部材に設けられたボルト挿通孔に対応して設けられる上段部材固定用ねじ孔とされる。下段部材および上段部材が互いに連通する流体通路を有する場合には、基準孔を流体通路の開口としてもよい。
【００１２】
上記請求項１から３までの発明の下段部材の固定方法によると、各下段部材の基準孔間の距離が設定値に保たれるから、上段部材を取り付けるにさいして、例えば上段部材のボルト挿通孔と下段部材のねじ孔とのように互いに対応するもの同士が確実に一致するので、固定後の下段部材への上段部材の取付けが容易となる。また、下段部材および上段部材がともに流体通路を有する場合には、下段部材の流体通路と上段部材の流体通路とが基準通りに突き合わさることになり、シール性が確保される。
【００１３】
例えば下段部材が４つの場合、３つの下段部材を請求項２または３の発明の方法により固定し、残る１つの下段部材を請求項１の発明の方法により固定する方法、または、２つの下段部材を請求項２または３の発明の方法により固定し、第３の下段部材を請求項１の発明の方法により固定し、さらに、第４の下段部材も請求項１の発明の方法により固定する方法などが可能である。
【００１４】
請求項４の発明による下段部材の固定方法は、上段部材取付けの基準となる孔が上面の前後にそれぞれ少なくとも１つずつ設けられている複数の下段部材を前後方向に対して直交する方向の左右に並ぶようにねじ部材により支持部材に固定するにさいし、所定数の下段部材が左右に並んで固定された支持部材に、未固定の下段部材およびこれの左右に隣り合う固定済みの下段部材の左右に並ぶ基準孔間の距離が設定値となるように未固定の下段部材を固定する方法であって、未固定の下段部材およびこれの左右に隣り合う固定済みの下段部材の前側の基準孔に第１の間隔保持治具の各突起を、同後側の基準孔に第２の間隔保持治具の各突起をそれぞれ嵌め合わせた状態で未固定の下段部材のねじ部材を締め付けて固定することを特徴とするものである。
【００１５】
請求項５の発明による下段部材の固定方法は、上段部材取付けの基準となる孔が上面の前後にそれぞれ少なくとも１つずつ設けられている複数の下段部材としての複数の継手を左右に並ぶようにねじ部材により支持部材に固定するとともに、複数の継手にまたがるように開閉弁やマスフローコントローラのような機能部材を上段部材として固定するにさいし、複数の下段部材のうちの左右に並ぶ２以上の所定数の下段部材をこれらの下段部材の左右に並ぶ基準孔間の距離が設定値となるように固定する方法であって、基準孔間距離の設定値に等しい間隔で左右に並ぶ突起が下面に設けられた２つの間隔保持治具を使用し、各下段部材の前側の基準孔に第１の間隔保持治具の各突起を、同後側の基準孔に第２の間隔保持治具の各突起をそれぞれ嵌め合わせた状態でねじ部材を締め付けて固定することを特徴とするものである。
【００１６】
請求項６の発明による下段部材の固定方法は、上段部材取付けの基準となる孔が上面の前後にそれぞれ少なくとも１つずつ設けられている複数の下段部材をねじ部材により支持部材に固定するにさいし、複数の下段部材のうちの左右に並ぶ２以上の所定数の下段部材をこれらの下段部材の左右に並ぶ基準孔間の距離が設定値となるように固定する方法であって、基準孔として、上段部材に設けられたボルト挿通孔に対応して設けられる上段部材固定用ねじ孔を使用し、基準孔間距離の設定値に等しい間隔で左右に並ぶ突起が下面に設けられた２つの間隔保持治具を使用し、各下段部材の前側の基準孔に第１の間隔保持治具の各突起を、同後側の基準孔に第２の間隔保持治具の各突起をそれぞれ嵌め合わせた状態でねじ部材を締め付けて固定することを特徴とするものである。
【００１７】
上記請求項４から６までの発明において、基準孔は、上段部材に設けられたボルト挿通孔に対応して設けられる上段部材固定用ねじ孔とすることが好ましい。
【００１８】
上記請求項４から６までの発明の下段部材の固定方法によると、２つの間隔保持治具により各下段部材の基準孔間の距離が設定値に保たれるから、例えば上段部材のボルト挿通孔と下段部材のねじ孔とのように互いに対応するもの同士が確実に一致するので、固定後の下段部材への上段部材の取付けが容易となる。また、下段部材および上段部材がともに流体通路を有する場合には、下段部材の流体通路と上段部材の流体通路とが基準通りに突き合わさることになり、シール性が確保される。
【００１９】
例えば下段部材が４つの場合、３つの下段部材を請求項５または６の発明の方法により固定し、残る１つの下段部材を請求項４の発明の方法により固定する方法、または、２つの下段部材を請求項５または６の発明の方法により固定し、第３の下段部材を請求項４の発明の方法により固定し、さらに、第４の下段部材も請求項４の発明の方法により固定する方法などが可能である。
【００２０】
請求項７の発明は、第１および第２の間隔保持治具の各突起を各下段部材の基準孔に嵌め合わせた状態で、第１および第２の各間隔保持治具における突起同士を結ぶ線と両間隔保持治具の前後に対応する突起同士を結ぶ線とが直角になるように直角度調整することを特徴とするものである。このようにすると、上段部材取付けの基準となる孔が上面の前後にそれぞれ少なくとも１つずつ設けられている場合、すなわち、基準孔が隣り合う下段部材同士で方形の頂点となるように設けられている場合に、基準孔間の距離の調整だけでなく、直角度調整を行うことにより、基準孔が隣り合う下段部材同士で方形（平行四辺形ではなくて）の頂点となることが保証されるので、固定後の下段部材への上段部材の取付けがより一層容易となり、シール性もより一層確実に保持される。
【００２１】
請求項８の発明は、各間隔保持治具の本体の形状を略直方体状とするとともに、第１の間隔保持治具の前側面、第２の間隔保持治具の後側面および両間隔保持治具の左右両側面にそれぞれ接する内側面が設けられた方形枠状の直角保持治具を２つの間隔保持治具の本体に嵌め合わせることにより直角度調整することを特徴とする請求項７の下段部材の固定方法である。すなわち、各間隔保持治具の本体の形状および直角保持治具の形状については、種々の変更が可能であるが、間隔保持治具の本体の形状を略直方体状に、直角保持治具の形状を方形枠状とすることにより、直角度調整を容易にかつ確実に行うことができる。
【００２２】
請求項１から８までのいずれかの方法において、間隔保持治具の各突起を各下段部材の基準孔に嵌め合わせる前に、ねじ部材を１回転程度支持部材のねじ孔にねじ合わせることにより、各下段部材を支持部材から外れない程度に仮止めしておくことが好ましい。これにより、間隔保持治具の各突起を各下段部材の基準孔に嵌め合わせる作業がしやすくなる。
【００２３】
請求項９の発明は、請求項１から７までのいずれかの方法において用いられる治具であって、下段部材の基準孔間の距離の設定値に等しい間隔で左右に並ぶ突起が下面に設けられている間隔保持治具である。
【００２４】
請求項１０の発明は、間隔保持治具の左右両端部に、間隔保持治具が下段部材に嵌め合わされたさいに、下段部材に設けられているボルト挿通孔を塞いでしまわないようにする切欠きが設けられている請求項９の間隔保持治具である。
【００２５】
間隔保持治具の本体の形状は、板状または直方体状とすることが好ましい。そして、作業をしやすくするために、棒状の把手部を設けることが好ましい。
【００２６】
請求項１１の発明は、請求項８の方法において用いられる治具であって、第１の間隔保持治具の前側面、第２の間隔保持治具の後側面および両間隔保持治具の左右両側面にそれぞれ接する内側面を有する方形枠状の直角保持治具である。
【００２７】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、図１の左右を左右というものとする。また、同図の紙面表側を前、紙面裏側を後というものとする。
【００２８】
図１から図３までは、この発明の下段部材の固定方法を用いて組み立てられる流体制御装置を示している。流体制御装置(4)は、半導体製造装置等において用いられるもので、マスフローコントローラ(3)と、マスフローコントローラ(3)の左方および右方に設けられ遮断開放器(1)(2)とよりなる。
【００２９】
左方の遮断開放器(1)は、左方に配置された第１開閉弁(6)および右方に配置された第２開閉弁(7)と、第１開閉弁(6)および第２開閉弁(7)が取り付けられている第１弁取付基部(28)とを備えている。第１弁取付基部(28)は、後述する複数の継手(30)(31)(32)(33)により形成されている。左方の遮断開放器(1)の左方には、第１逆止弁(5)が設けられている。
【００３０】
また、右方の遮断開放器(2)は、左方に配置された第３開閉弁(8)、中間に配置された第４開閉弁(9)および右方に配置された第５開閉弁(10)と、第３開閉弁(8)、第４開閉弁(9)および第５開閉弁(10)が取り付けられている第２弁取付基部(29)とを備えている。第２弁取付基部(29)は、後述する複数の継手(34)(35)(36)(37)(38)(39)により形成されている。右方の遮断開放器(2)の右方には、第２逆止弁(11)が設けられている。
【００３１】
各開閉弁(6)(7)(8)(9)(10)は、それぞれ、弁本体(12)(14)(16)(18)(20)およびこれに上方から取り付けられて弁本体(12)(14)(16)(18)(20)内の通路を遮断開放するアクチュエータ(13)(15)(17)(19)(21)よりなる。各開閉弁(6)(7)(8)(9)(10)の弁本体(12)(14)(16)(18)(20)の下端部には、上から見て方形のフランジ部(12a)(14a)(16a)(18a)(20a)が設けられている。
【００３２】
各逆止弁(5)(11)は、それぞれ、下面に入口が設けられた左側弁本体(22)(25)と、左側弁本体(22)(25)とボルトで接続された中央弁本体(23)(26)と、中央弁本体(23)(26)とボルトで接続されかつ下面に出口が設けられた右側弁本体(24)(27)とを備えている。
【００３３】
マスフローコントローラ(3)の下部左面には、下面に入口が設けられた直方体状左方張出部(49)が設けられ、同右面には、下面に出口が設けられた直方体状右方張出部(50)が設けられている。
【００３４】
マスフローコントローラ(3)の左方にある各弁本体(22)(23)(24)(12)(14)の下面およびマスフローコントローラ(3)の左方張出部(49)の下面は、すべて面一となされており、マスフローコントローラ(3)の右方張出部(50)およびマスフローコントローラ(3)の右方にある各弁本体(16)(18)(20)(25)(26)(27)の下面も、すべて面一となされている。
【００３５】
図３に拡大して示すように、第１逆止弁(5)は、いずれも下向きに開口した流入通路(77a)および流出通路(77b)を有している。また、第１開閉弁(6)は、２ポート弁であり、これらの弁本体(12)には、弁本体(12)の下面のほぼ中央に位置する入口(62)と、同右寄りに位置する出口(63)とが設けられており、弁本体(12)内に、入口(62)から弁室(66)に通じている流入通路(64)と、出口(63)から弁室(66)に通じている流出通路(65)とが形成されている。第１開閉弁(6)の弁アクチュエータ(13)は、ダイヤフラムの弁体(67)を作動させるもので、弁アクチュエータ(13)の操作により、流入通路(64)が弁体(67)により遮断開放されるようになされている。また、第２開閉弁(7)は、３ポート弁であり、弁本体(14)には、弁本体(14)の下面の左寄りに位置する入口(68)と、同右寄りに位置する出口(69)と、同ほぼ中央に位置しており他の流体の入口または出口とされる副出入口(70)とが設けられており、弁本体(14)内に、入口(68)から弁室(74)に通じている流入通路(71)と、副出入口(70)から弁室(74)に通じている副通路(73)と、出口(69)から弁室(74)に通じている流出通路(72)とが形成されている。第２開閉弁(7)の弁アクチュエータ(15)は、ダイヤフラムの弁体(75)を作動させるもので、弁アクチュエータ(15)の操作により、副通路(73)が弁体(75)により遮断開放されるようになされている。第２開閉弁(7)の入口(68)に通じる流入通路(71)と出口(69)に通じる流出通路(72)とは、弁室(74)を介して常時連通するようになされている。
【００３６】
第１逆止弁(5)の左側弁本体(22)の入口には、直方体状ブロック(40)およびこれに保持されたＬ型通路形成部材(41)よりなり、パージガス導入ラインに接続されているパージガス導入用継手(80)が設けられている。
【００３７】
第１逆止弁(5)の右側弁本体(24)の出口と第１開閉弁(6)の弁本体(12)の入口とは、左方の遮断開放器(1)に流体を導入する第１流入通路形成用継手(30)により接続されている。第１流入通路形成用継手(30)は、２つの直方体状本体ブロック(42)(44)およびこれらに保持されたＵ字状連通路形成部材(46)よりなる。また、Ｕ字状連通路形成部材(46)は、２つのＬ型通路形成部材(43)(45)同士が接合さることにより形成されている。
【００３８】
第１開閉弁(6)の弁本体(12)の右寄り部分下面と第２開閉弁(7)の弁本体(14)の左寄り部分下面とにまたがって、第１開閉弁(6)の出口と第２開閉弁(7)の入口とを連通するＶ字状通路(31a)を有する直方体状第１連通路形成用ブロック継手(31)が設けられている。
【００３９】
第２開閉弁(7)の弁本体(14)の副出入口には、直方体状ブロック(47)およびこれに保持されたＩ型通路形成部材(48)よりなる第１副通路形成用継手(32)が設けられている。第１副通路形成用継手(32)の下端部には、プロセスガス導入ラインに接続されている公知のＬ型継手(78)が接合されている。
【００４０】
第２開閉弁(7)の弁本体(14)の右寄り部分下面とマスフローコントローラ(3)の左方張出部(49)下面とにまたがって、第２開閉弁(7)の出口から流体を排出してマスフローコントローラ(3)に送り込むＶ字状通路(33a)を有する直方体状第１流出通路形成用ブロック継手(33)が設けられている。
【００４１】
マスフローコントローラ(3)の右方張出部(50)下面と第３開閉弁(8)の弁本体(16)の左寄り部分下面とにまたがって、マスフローコントローラ(3)から排出された流体を右方の遮断開放器(2)に導入するＶ字状通路(34a)を有する直方体状第２流入通路形成用ブロック継手(34)が設けられている。
【００４２】
第３開閉弁(8)の弁本体(16)の副出入口には、直方体状本体ブロック(51)およびこれに保持されたＬ型通路形成部材(52)よりなり、真空引きラインに接続されている第２副通路形成用継手(35)が設けられている。
【００４３】
第３開閉弁(8)の弁本体(16)の右寄り部分下面と第４開閉弁(9)の弁本体(18)の左寄り部分下面とにまたがって、第３開閉弁(8)の出口と第４開閉弁(9)の入口とを連通するＶ字状通路(36a)を有する直方体状第２連通路形成用ブロック継手(36)が設けられている。
【００４４】
第４開閉弁(9)の弁本体(18)の副出入口には、直方体状本体ブロック(53)およびこれに保持されたＬ型通路形成部材(54)よりなり、プロセスガス送り込みラインに接続されている第３副通路形成用継手(37)が設けられている。
【００４５】
第４開閉弁(9)の弁本体(18)の出口と第５開閉弁(10)の弁本体(20)の入口とは、２つの直方体状本体ブロック(55)(57)およびこれらに保持されたＵ字状連通路形成部材(59)よりなる第３連通路形成用継手(38)により連通されている。Ｕ字状連通路形成部材(59)は、２つのＬ型通路形成部材(56)(58)同士が接合されることにより形成されている。
【００４６】
第５開閉弁(10)の弁本体(20)の右寄り部分下面と第２逆止弁(11)の左側弁本体(25)の下面とにまたがって、第５開閉弁(10)の出口と第２逆止弁(11)の入口とを連通するＶ字状通路(39a)を有する直方体状第２流出通路形成用ブロック継手(39)が設けられている。
【００４７】
第２逆止弁(11)の右側弁本体(27)の出口には、直方体状本体ブロック(60)およびこれに保持されたＬ型通路形成部材(61)よりなり、パージガス排出ラインに接続されているパージガス排出用継手(79)が設けられている。
【００４８】
マスフローコントローラ(3)の左方にある第１流入通路形成用継手(30)、第１連通路形成用継手(31)、第１副通路形成用継手(32)および第１流出通路形成用継手(33)により、左方の遮断開放器(1)の第１弁取付基部(28)が形成されている。また、マスフローコントローラ(3)の右方にある第２流入通路形成用継手(34)、第２副通路形成用継手(35)、第２連通路形成用継手(36)、第３副通路形成用継手(37)、第３連通路形成用継手(38)および第２流出通路形成用継手(39)により、右方の遮断開放器(2)の弁取付基部(29)が形成されている。
【００４９】
こうして、左方の遮断開放器(1)には、逆止弁(5)を経て導入されたパージガスが、第１流入通路形成用継手(30)、第１開閉弁(6)の弁本体(12)、第１連通路形成用継手(31)、第２開閉弁(7)の弁本体(14)および第１流出通路形成用継手(33)を通ってマスフローコントローラ(3)へと排出されるパージガス用通路と、第１副通路形成用継手(32)の下面より導入されたプロセスガスが、第１副通路形成用継手(32)、第２開閉弁(7)の弁本体(14)および第１流出通路形成用継手(33)を通って排出されるプロセスガス用通路とが形成されている。また、右方の遮断開放器(2)には、マスフローコントローラ(3)を経て導入されたパージガスが、第２流入通路形成用継手(34)、第２連通路形成用継手(36)、第３連通路形成用継手(38)、第２流出通路形成用継手(39)および第２逆止弁(11)を通って排出されるパージガス用通路と、マスフローコントローラ(3)を経て導入されたプロセスガスが、第２流入通路形成用継手(34)、第２連通路形成用継手(36)および第３副通路形成用継手(37)を通ってプロセスチャンバーに送り込まれるプロセスガス用通路と、パージガス用およびプロセスガス用通路内のガスが第２副通路形成用継手(35)から抜き出される真空引き用通路とが形成されている。
【００５０】
各弁本体(22)(23)(24)(12)(14)(16)(18)(20)(25)(26)(27)とこれらに突き合わされている各継手(80)(30)(31)(32)(33)(34)(35)(36)(37)(38)(39)(79)との間には、図３に示すようなシール部(76)がそれぞれ設けられている。また、逆止弁(5)(11)および開閉弁(6)(7)(8)(9)(10)とこれらに対応する継手(80)(30)(31)(32)(33)(34)(35)(36)(37)(38)(39)(79)とは、すべて弁本体(22)(23)(24)(12)(14)(16)(18)(20)(25)(26)(27)の上方からねじ込まれた本体固定ボルト(113)（図３参照）により接続されており、これらの本体固定ボルト(113)を外すことにより、逆止弁(5)(11)および開閉弁(6)(7)(8)(9)(10)を上方に取り外すことができる。なお、第２逆止弁(11)は第１逆止弁(5)と同じ構成であり、第５開閉弁(10)は第１開閉弁(6)と同じ構成であり、第３開閉弁(8)および第４開閉弁(9)は第２開閉弁(7)と同じ構成とされている。
【００５１】
この流体制御装置(4)によると、第１開閉弁(6)を閉、第２開閉弁(7)を開、第３開閉弁(8)を閉、第４開閉弁(9)を開、第５開閉弁(10)を閉として、左方の遮断開放器(1)の第１副通路形成用継手(32)にプロセスガスを導入すると、プロセスガスは、第２開閉弁(7)の弁本体(14)および第１流出通路形成用継手(33)を通ってマスフローコントローラ(3)に至り、ここでその流量を調整されて、右方の遮断開放器(2)に導入される。そして、第２流入通路形成用継手(34)、第３開閉弁(8)の弁本体(16)、第２連通路形成用継手(36)、第４開閉弁(9)の弁本体(18)および第３副通路形成用継手(37)を通ってプロセスチャンバーに送り込まれる。この後、第１開閉弁(6)を開、第２開閉弁(7)を閉、第３開閉弁(8)を閉、第４開閉弁(9)を閉、第５開閉弁(10)を開として、第１逆止弁(5)からパージガスを導入すると、パージガスは、第１流入通路形成用継手(30)、第１開閉弁(6)の弁本体(12)、第１連通路形成用継手(31)、第２開閉弁(7)の弁本体(14)および第１流出通路形成用継手(33)を通ってマスフローコントローラ(3)に至り、さらに、第２流入通路形成用継手(34)、第３開閉弁(8)の弁本体(16)、第２連通路形成用継手(36)、第４開閉弁(9)の弁本体(18)、第３連通路形成用継手(38)、第５開閉弁(10)の弁本体(20)、第２流出通路形成用継手(39)および第２逆止弁(11)を流れて排出される。このとき、パージガスは、自身の圧力によって第２開閉弁(7)の弁本体(14)、第１流出通路形成用継手(33)、第２流入通路形成用継手(34)および第２連通路形成用継手(36)に残っているプロセスガスを追い出し、これにより、短時間でパージガスだけが流れるようになる。
【００５２】
上記の左方および右方の遮断開放器(1)(2)において、第１流入通路形成用継手(30)および第３連通路形成用継手(38)が共通の部材とされ、また、第１連通路形成用ブロック継手(31)、第１流出通路形成用ブロック継手(33)、第２流入通路形成用ブロック継手(34)、第２連通路形成用ブロック継手(36)および第２流出通路形成用ブロック継手(39)が共通の部材とされ、各副通路形成用継手(32)(35)(37)も共通の部材とされている。すなわち、左方の遮断開放器(1)に３ポートの開閉弁を１つ付加するとともに、その弁取付基部(28)に、第１連通路形成用継手(31)および第１副通路形成用継手(32)と同じものを付加するだけで、右方の遮断開放器(2)が得られている。ここで、付加する開閉弁が２ポートのものであるときは、右方の遮断開放器(2)の第４開閉弁(9)を２ポートの弁に置き換えるとともに、その取付基部(29)から第３副通路形成用継手(37)を除去すればよい。このように、上記の左方および右方の遮断開放器(1)(2)は、種々の仕様変更に対応しやすいものとなっている。
【００５３】
なお、図１で示した例では、左方の遮断開放器(1)は、２つの開閉弁(6)(7)を有し、右方の遮断開放器(2)は、３つの開閉弁(8)(9)(10)を有しているが、これらの開閉弁の数は適宜変更可能である。そして、適当な数の開閉弁を有する遮断開放器がマスフローコントローラの左方および右方に設けられるとともに、これがさらに並列状に配置されて、半導体製造装置用の流体制御装置が構成される。
【００５４】
この流体制御装置は、基板(108)に継手(80)(30)(31)(32)(33)(34)(35)(36)(37)(38)(39)(79)を継手固定ボルト(110)で取り付け、これらの継手(80)(30)(31)(32)(33)(34)(35)(36)(37)(38)(39)(79)を連結するように、逆止弁(5)(11)、開閉弁(6)(7)(8)(9)(10)およびマスフローコントローラ(3)等の流体制御器を本体固定ボルト(113)で取り付け、基板(108)を所定位置に固定することにより設置される。
【００５５】
次いで、図４から図１２までを参照して、流体制御装置を組み立てる手順について説明する。
【００５６】
図４は、２つのブロック継手(31)(33)とこれらの間にある副通路形成用継手(32)とを示している。同図に示すように、各ブロック継手(31)(33)上面には、Ｖ字状通路(31a)(33a)の両端の通路開口部(114)が左右に並んで露出しており、左右の通路開口部(114)をそれぞれ挟むようにして開閉弁(7)等を取り付けるための前後一対ずつのねじ孔(106)が設けられている。各ブロック継手(31)(33)には、さらに、これらのブロック継手(31)(33)を基板(108)に固定する継手固定ボルト(110)を挿通するためのボルト挿通孔(107)があけられている。このボルト挿通孔(107)は、左右の通路開口部(114)と前側のねじ孔(106)とに囲まれる位置と左右の通路開口部(114)と後側のねじ孔(106)とに囲まれる位置とにそれぞれ１つずつ設けられている。副通路形成用継手(32)上面には、副通路の通路開口部(114)が露出しており、この通路開口部(114)を挟むようにして開閉弁(7)を取り付けるための前後一対のねじ孔(106)が設けられている。副通路形成用継手(32)には、さらに、この継手(32)を基板(108)に固定する継手固定ボルト(110)を挿通するためのボルト挿通孔(107)があけられている。このボルト挿通孔(107)は、通路開口部(114)と前側のねじ孔(106)との間に１つだけ設けられている。各継手(31)(32)(33)の前側のねじ孔(106)、前側のボルト挿通孔(107)、通路開口部(114)、後側のボルト挿通孔(107)および後側のねじ孔(106)は、それぞれ左右に一直線状に並べられ、ねじ孔(106)は隣り合う継手(31)(32)(33)同士で方形の頂点となるように配されている。また、各継手(31)(32)(33)間には、継手(31)(32)(33)取付け時に左右移動可能なように若干の隙間があけられている。
【００５７】
そして、図５に示すように、上記継手(31)(32)(33)をねじ孔(109)が設けられた基板(108)に継手固定ボルト(110)により固定した後、各継手(31)(32)(33)を連結するように開閉弁(7)が取り付けられる。
【００５８】
図５において、各継手(31)(32)(33)のボルト挿通孔(107)は、継手固定ボルト(110)のボルト頭部(110a)の径より大きい径を有する大径部(107a)と、これに段部(107c)を介して連なりかつボルト頭部(110a)の径とボルト軸部(110b)の径との中間の径を有する小径部(107b)とよりなる。ボルト挿通孔(107)の小径部(107b)に、上端が大径部(107a)内にある円筒状スペーサ(111)が嵌め入れられており、スペーサ(111)下端が基板(108)に受け止められている。スペーサ(111)は、ボルト軸部(110b)の径より大きい内径を有しかつボルト頭部(110a)の径よりも小さい外径を有している。このスペーサ(111)に、継手固定ボルト(110)の軸部(110b)が嵌め入れられ、ボルト頭部(110a)がスペーサ(111)の上端面で受け止められている。スペーサ(111)は、継手固定ボルト(110)の締付量を規定するもので、継手固定ボルト(110)をボルト挿通孔(107)に挿通して基板(108)のねじ孔(109)にねじ込んでいくと、スペーサ(111)が頭部(110a)と基板(108)との間に突っ張らせられ、それ以上の締付けができないようになっている。スペーサ(111)の上端部には、継手固定ボルト(110)の頭部(110a)の径とほぼ等しい外径の円環状のゴムワッシャ(112)が嵌め被せられている。ゴムワッシャ(112)は、継手固定ボルト(110)の頭部(110a)とボルト挿通孔(107)の段部(107c)とにより挟まれている。ゴムワッシャ(112)の上下方向の長さは、図５に示す締付完了状態において、ゴムワッシャ(112)に圧縮力がかかるように設定されている。したがって、各継手(31)(32)(33)はゴムワッシャ(112)によって基板(108)方向に付勢されている。ゴムワッシャ(112)は弾性を有しているので、これをさらに圧縮変形させることが可能であり、各継手(31)(32)(33)を基板(108)から離れる方向に動かすことができる。したがって、各継手(31)(32)(33)の上面が面一になっていない状態であっても、これらの継手(31)(32)(33)に開閉弁(7)を継手固定ボルト(110)で取り付けていくと、継手(31)(32)(33)が開閉弁(7)に接近していくので、継手固定ボルト(110)の締付けを簡単に行うことができる。これにより、すべてのシール部(76)に適正な押圧力を掛けることができ、シール性が確保される。
【００５９】
ところで、基板(108)のねじ孔(109)への継手固定ボルト(110)のねじ合わせを容易にするために、継手固定ボルト(110)とスペーサ(111)との間には、遊びが設けられる。そして、例えば、遊びが０．５ｍｍあると、２つの継手(31)(32)(33)間の間隔は、最も接近したときと最も離れたときとで、１ｍｍ違ってくる。このずれによって、開閉弁(7)が継手(31)(32)(33)にまたがって取り付けられたさい、開閉弁(7)の通路開口部と各継手(31)(32)(33)の通路開口部(114)とが基準通りに突き合わされず、そのため、シール性が阻害される可能性が出てくる。
【００６０】
以下に、間隔保持治具(81)(91)(121)および直角保持治具(84)(94)を使用することにより、上記ずれを生じさせない継手（下段部材）(31)(32)(33)(34)の固定方法を示す。
【００６１】
図６において、間隔保持治具(81)は、直方体状本体(81a)を有しており、本体(81a)下面に左右に並ぶ３つの突起(82)が設けられ、本体(81a)上面に棒状の把手部(83)が設けられている。各突起(82)は、左のブロック継手(31)の右側のねじ孔(106)と、副通路形成用継手(32)のねじ孔(106)と、右のブロック継手(33)のねじ孔(106)とにそれぞれ嵌め合わされるもので、隣り合う継手(31)(32)(33)のねじ孔(106)間の距離の設定値に等しい間隔で設けられている。直角保持治具(84)は、正方形の枠状であり、その内のりが、間隔保持治具(81)の直方体状本体(81a)の左右の長さに等しくされている。この内のりは、前後のねじ孔(106)間の距離に間隔保持治具(81)の直方体状本体(81a)の前後の長さを加えたものにも等しくなされており、直角保持治具(84)の内面輪郭形状は、突起(32)が対応するねじ孔(106)に嵌め合わせられた２つの間隔保持治具(81)の直方体状本体(81a)をちょうど納め得るようになっている。
【００６２】
継手(31)(32)(33)を基板(108)に固定するには、まず、各継手(31)(32)(33)のボルト挿通孔(107)に、スペーサ(111)およびゴムワッシャ(112)とともに継手固定ボルト(110)を挿通し、これを基板(108)のねじ孔(109)に少しだけねじ合わせて、基板(108)から外れない程度に各継手(31)(32)(33)を仮止めしておく。次いで、間隔保持治具(81)を使用して、その各突起(82)を各継手(31)(32)(33)の後側のねじ孔(106)にそれぞれ嵌め合わせる（図６（ａ）参照）。次いで、間隔保持治具(81)をもう１つ使用し、その各突起(82)を各継手(31)(32)(33)の前側のねじ孔(106)にそれぞれ嵌め合わせる（図６（ｂ）参照）。これにより、各継手(31)(32)(33)のねじ孔(109)間の距離が設定値に一致させられる。ただし、各継手(31)(32)(33)のねじ孔(109)間の距離が設定値に一致させるだけでは、各継手(31)(32)(33)が前後方向へ移動して、左右に並ぶねじ孔(106)の中心同士を結ぶ線と前後に並ぶねじ孔(106)の中心同士を結ぶ線とのなす角が直角からずれる可能性が残っている。この角度のずれを解消するため、次いで、方形枠状の直角保持治具(84)を２つの間隔保持治具(81)の直方体状本体(81a)に嵌め被せる（図６（ｃ）（ｄ）参照）。これにより、各間隔保持治具(81)の直方体状本体(81a)の左右端面が、それぞれ直角保持治具(84)の左右内面に当接し、左右に並ぶねじ孔(106)の中心同士を結ぶ線と前後に並ぶねじ孔(106)の中心同士を結ぶ線とが直角になる。この状態では、図７に示すように、各継手固定ボルト(110)の六角孔(110c)は、間隔保持治具(81)および直角保持治具(84)に隠されることなく露出しており、六角レンチによる締付けが可能である。そこで、継手固定ボルト(110)を六角レンチによりきつく締め付けることにより、本締めが完了する。各治具(81)(84)は、上方に抜き取ることができる。こうして、３つの継手(31)(32)(33)がそれぞれ設定値通りの間隔で基板(108)に固定される。したがって、これらの継手(31)(32)(33)に開閉弁(7)を取り付けると、開閉弁(7)の通路開口部と各継手(31)(32)(33)の通路開口部(114)とが確実に基準通りに突き合わされることとなり、シール性低下の問題が生じることがない。
【００６３】
なお、図６および図７に示した３つの突起(82)付きの間隔保持治具(81)に代えて、２つの突起(92)付きの間隔保持治具(91)を使用しても同様の効果を有する組立てを行うことができる。これを図８に示す。同図において、間隔保持治具(91)は、直方体状本体(91a)を有しており、本体(91a)下面に左右に並ぶ２つの突起(92)が設けられ、本体(91a)上面に棒状の把手部(93)が設けられている。突起(92)は、隣り合う継手(31)(32)(33)のねじ孔(106)間の距離の設定値に等しい間隔で設けられている。この間隔保持治具(91)は、上記の間隔保持治具(81)に比べて、突起(92)(82)の数の分だけ左右長が短くなっており、これに応じて、直角保持治具(94)は、左右の長さが短い長方形枠状とされている。
【００６４】
これらの治具(91)(92)を使用する場合には、まず、左のブロック継手(31)と副通路形成用継手(32)とを先に固定する。すなわち、これらの継手(31)(32)のボルト挿通孔(107)に、スペーサ(111)およびゴムワッシャ(112)とともに継手固定ボルト(110)を挿通し、これを基板(108)のねじ孔(109)に少しだけねじ合わせて、基板(108)から外れない程度に各継手(31)(32)を仮止めしておく。次いで、間隔保持治具(91)を使用して、その各突起(92)を各継手(31)(32)の後側のねじ孔(106)にそれぞれ嵌め合わせる（図８（ａ）参照）。次いで、間隔保持治具(91)をもう１つ使用し、その各突起(92)を各継手(31)(32)の前側のねじ孔(106)にそれぞれ嵌め合わせる（図８（ｂ）参照）。次いで、方形枠状の直角保持治具(94)を２つの間隔保持治具(91)の直方体状本体(91a)に嵌め被せる（図８（ｃ）（ｄ）参照）。これにより、各継手(31)(32)のねじ孔(109)間の距離が設定値に一致するとともに、左右に並ぶねじ孔(106)の中心同士を結ぶ線と前後に並ぶねじ孔(106)の中心同士を結ぶ線とが直角になる。この状態で継手固定ボルト(110)を六角レンチによりきつく締め付けることにより、各継手(31)(32)の本締めが完了する。次いで、右の継手ブロック(33)のボルト挿通孔(107)に、スペーサ(111)およびゴムワッシャ(112)とともに継手固定ボルト(110)を挿通し、これを基板(108)のねじ孔(109)に少しだけねじ合わせて、基板(108)から外れない程度に仮止めし、間隔保持治具(91)を使用して、その各突起(92)を副通路形成用継手(32)および右のブロック継手(33)の後側のねじ孔(106)にそれぞれ嵌め合わせる。以後は、図８の（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）と同様の順序により、副通路形成用継手(32)を基準にして、各継手(32)(33)のねじ孔(109)間の距離が設定値に一致するとともに、左右に並ぶねじ孔(106)の中心同士を結ぶ線と前後に並ぶねじ孔(106)の中心同士を結ぶ線とが直角になるように、右のブロック継手(33)を基板(108)に固定することができる。この２つの突起(92)付きの間隔保持治具(91)によると、隣り合う継手の左右の長さが異なる場合でも、すなわち、ブロック継手(31)(33)同士を連結する場合でも、ブロック継手(31)(33)と副通路形成用継手(32)とを連結する場合でも同じ治具(91)(94)を使用して継手(31)(32)(33)の固定を行うことができる。
【００６５】
図９から図１２までには、約１００ｍｍ離されて配置されマスフローコントローラ(3)により連結される左右のブロック継手（下段部材）(33)(34)の固定方法を示す。この方法では、１つの間隔保持治具(121)だけが使用される。
【００６６】
左右のブロック継手(33)(34)は、Ｖ字状通路(33a)(34a)の両端の通路開口部(114)と、これらの継手(33)(34)にマスフローコントローラ(3)を取り付けるためのねじ孔(106)と、これらの継手(33)(34)を基板(108)に固定する継手固定ボルト(110)を挿通するためのボルト挿通孔(107)とを有している。間隔保持治具(121)は、長方形板状であり、その下面には、左の継手(33)の通路開口部(114)に嵌め合わされる突起(122)と、右の継手(34)の通路開口部(114)に嵌め合わされる突起(122)とが設けられている。突起(122)同士の間隔は、両継手(33)(34)の通路開口部(114)の間の距離の設定値に等しくされている。また、間隔保持治具(121)の四隅には、間隔保持治具(121)が両継手(33)(34)に嵌め合わされたさいに、左の継手(33)の右側のねじ孔(106)に位置する貫通孔(123)と、右の継手(34)の左側のねじ孔(106)に位置する貫通孔(123)とが設けられている。また、間隔保持治具(121)の左右両端部には、間隔保持治具(121)が両継手(33)(34)に嵌め合わされたさいに、これが継手(33)(34)のボルト挿通孔(107)を塞いでしまわないようにするための半円状の切欠き(124)が設けられている。
【００６７】
この間隔保持治具(121)を使用して両継手(33)(34)を固定するには、まず、各継手(33)(34)のボルト挿通孔(107)に、スペーサ(111)およびゴムワッシャ(112)とともに継手固定ボルト(110)を挿通し、これを基板(108)のねじ孔(109)に少しだけねじ合わせて、基板(108)から外れない程度に各継手(33)(34)を仮止めしておく。次いで、間隔保持治具(121)を使用して、その各突起(122)を各継手(33)(34)の後側の通路開口部(114)に嵌め合わせる。これにより、図１２に示すように、両継手(33)(34)の通路開口部(114)間の間隔が保持されるとともに、継手固定ボルト(110)の六角孔(110c)が露出される。この状態で、間隔保持治具(121)を本体固定ボルト(113)で固定し、さらに、継手固定ボルト(110)を六角レンチによりきつく締め付けることにより、本締めが行える。
【００６８】
上記方法では、左右に並ぶねじ孔(106)の中心同士を結ぶ線と前後に並ぶねじ孔(106)の中心同士を結ぶ線とのなす角が直角となることは、確保されないが、シール性にとって重要な通路開口部(114)間の間隔を保持して、継手(33)(34)を固定することができる。この方法は、マスフローコントローラ(3)により連結される左右のブロック継手(33)(34)の固定に限られるものではなく、図４に示した継手(31)(32)(33)の固定のために用いてもよい。また、上記方法において、間隔保持具(121)に設けられる突起(122)を通路開口部(114)に対応させているが、継手(33)(34)のねじ孔(106)に対応させてもよい。すなわち、貫通孔(123)が設けられている位置に、下方に突出する突起を設けるようにしてもよい。この場合には、左右に並ぶねじ孔(106)の中心同士を結ぶ線と前後に並ぶねじ孔(106)の中心同士を結ぶ線とのなす角が直角になることが確保される。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明による下段部材の固定方法を用いて組み立てられる流体制御装置を示す正面図である。
【図２】  同分解斜視図であり、一部はその断面を示している。
【図３】  流体制御装置を構成する遮断開放器の拡大斜視図であり、一部はその断面を示している。
【図４】  流体制御装置を構成する継手（下段部材）を示す斜視図である。
【図５】  継手（下段部材）と開閉弁（上段部材）を示す正面図である。
【図６】  この発明による下段部材の固定方法の手順の一例を示す斜視図である。
【図７】  同方法の最終段階を示す平面図である。
【図８】  この発明による下段部材の固定方法の手順の他の例を示す斜視図である。
【図９】  この発明による下段部材の固定方法の手順のさらに他の例を示す斜視図である。
【図１０】  同方法で使用される間隔保持治具の底面図である。
【図１１】  同治具の一部を切欠いた正面図である。
【図１２】  同方法の最終段階を示す平面図である。
【符号の説明】
(31)     ブロック継手（下段部材）
(32)     副通路形成用継手（下段部材）
(33)     ブロック継手（下段部材）
(34)     ブロック継手（下段部材）
(81)     間隔保持治具
(81a)    直方体状本体
(82)     突起
(84)     直角保持治具
(106)    ねじ孔（基準孔）
(107)    ボルト挿通孔
(108)    基板
(110)    継手固定ボルト
(114)    通路開口部（基準孔）
(121)    間隔保持治具
(122)    突起
【図１】
0004066004.tif 000002
【図２】
0004066004.tif 000003
【図３】
0004066004.tif 000004
【図４】
0004066004.tif 000005
【図５】
0004066004.tif 000006
【図６】
0004066004.tif 000007
【図７】
0004066004.tif 000008
【図８】
0004066004.tif 000009
【図９】
0004066004.tif 000010
【図１０】
0004066004.tif 000011
【図１１】
0004066004.tif 000012
【図１２】
0004066004.tif 000013