(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
紙葉類を搬送する搬送路に設けられ、搬送される紙葉類がその上を接触して通過する回転自在に支持された固定ローラと、
この固定ローラの上に接触状態で設けられた変位自在な可動ローラと、
先端が自由端で当該先端に前記可動ローラが回転自在に取着され、後端が固定された剛体構成の支持部材と、
この支持部材の後端と当該支持部材の後端と相対向して設けられた固定ベースとの間に介在され、前記支持部材を介して前記可動ローラに対し所望の押圧力を与えるとともに当該可動ローラの振動を押さえる防振ばねと、
前記支持部材の近傍に当該支持部材とほぼ平行に設けられ、先端が自由端で前記支持部材の先端に対応し、後端が前記支持部材の固定側に対応した状態で固定されたカンチレバーと、
前記支持部材の先端に固定され、先端が前記カンチレバーの先端に接触していて、前記可動ローラの変位を前記カンチレバーの先端に伝えるほぼ円錐形状の接触子と、
前記カンチレバーに固定され、前記固定ローラと可動ローラとの間を前記搬送される紙葉類が通過する際に、その紙葉類の厚さに応じて生じる前記可動ローラの変位に伴う前記カンチレバーの歪み量を検知する歪み検知素子と、
この歪み検知素子の出力信号を前記紙葉類の厚さに応じた厚さ信号に変換する信号処理手段と、
この信号処理手段の出力に基づいて紙葉類の厚さを検知する厚さ検知手段と、
を具備したことを特徴とする紙葉類の厚さ検知装置。
【請求項２】
紙葉類を搬送する搬送路に設けられ、搬送される紙葉類がその上を接触して通過する回転自在に支持された固定ローラと、
この固定ローラの上に接触状態で設けられた変位自在な可動ローラと、
先端が自由端で当該先端に前記可動ローラが回転自在に取着され、後端が固定された剛体構成の支持部材と、
この支持部材の後端と当該支持部材の後端と相対向して設けられた固定ベースとの間に介在され、前記支持部材を介して前記可動ローラに対し所望の押圧力を与えるとともに当該可動ローラの振動を押さえる防振ばねと、
前記支持部材の近傍に当該支持部材とほぼ平行に設けられ、先端が自由端で前記支持部材の先端に対応し、後端が前記支持部材の固定側に対応した状態で固定されたカンチレバーと、
前記支持部材の先端に固定され、先端が前記カンチレバーの先端に接触していて、前記可動ローラの変位を前記カンチレバーの先端に伝えるほぼ円錐形状の接触子と、
前記カンチレバーに固定され、前記固定ローラと可動ローラとの間を前記搬送される紙葉類が通過する際に、その紙葉類の厚さに応じて生じる前記可動ローラの変位に伴う前記カンチレバーの歪み量を検知する歪み検知素子と、
この歪み検知素子の出力信号を前記紙葉類の厚さに応じた厚さ信号に変換する信号処理手段と、
前記搬送路の前記固定ローラよりも上流側に設けられ、前記搬送されてくる紙葉類を検知する検知手段と、
この検知手段が前記搬送されてくる紙葉類を検知すると、その直前の前記信号処理手段の出力信号を前記検知手段が紙葉類を検知している間保持する保持手段と、
この保持手段で保持された信号と前記信号処理手段の出力信号との差を増幅する差動増幅手段と、
この差動増幅手段の出力に基づいて紙葉類の厚さを検知する厚さ検知手段と、
を具備したことを特徴とする紙葉類の厚さ検知装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば、有価証券などの紙葉類処理装置において、搬送される有価証券などの紙葉類の厚さを検知する紙葉類の厚さ検知装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、たとえば、ベルトに挟持して搬送される有価証券などの紙葉類の厚さを検知する厚さ検知装置では、軸を固定した固定ローラと上下移動が可能な支持構造の可動ローラとを対向させて配設し、両ローラ間を紙葉類が通過するときの可動ローラの変位量を厚さとして検知している。
【０００３】
なお、紙葉類の搬送方向と直角方向の厚さの分布を検知する場合、上記構成の厚さ検知装置を紙葉類の搬送方向と直角方向に複数並設している。
【０００４】
また、光学式距離計を搬送される紙葉類の上下に対向して配設し、紙葉類までの各距離をそれぞれ測定して、両測定結果の差を厚さとして検知するものもある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来の可動ローラの変位によって厚さを検知する方式では、可動ローラの変位をローラ支持部の回転角として検出する第１の方法、ローラ支持部の変位をローラ近くの支持部材を金属などの導電体構成として過電流やインダクタンスの変化として非接触で検出するセンサを適用する第２の方法などがある。
【０００６】
しかし、第１の方法では、被測定物としての紙葉類は厚さが０．１ｍｍ前後と薄いため、ローラ支持体の回転角も小さく、この小さな回転角を精度良く検出するには、回転支持部の軸受けや軸はがたを小さく、精密に加工することが必要であり、また、回転検出センサも安定度や感度がよいものが必要であるため高価となる。
【０００７】
また、第２の方法では、センサは数百ＫＨｚから数ＭＨｚの交流電流を用いるため、センサ回路が複雑となる。また、信号変位量とセンサの出力信号とは非線形であるため、線形化の信号処理を必要とするとともに、センサの設置ではローラ支持体との間隙を初期設定の定められた値にする必要があるなど、回路、取付けともに高価となる問題がある。
【０００８】
さらに、光学式距離計を用いて厚さを検知する方式では、被測定物としての紙葉類の色彩によって光の反射光量が異なるため測定結果に誤差を生じ、厚さ検知の誤差になる。また、色彩による影響のない光学式距離計は高価で外形寸法が大きいため、設置場所が限られるなどの問題がある。
【０００９】
そこで、本発明は、紙葉類の厚さを安価な方法で検出するとともに、取付け調整が容易であり、また、紙葉類の色彩に影響を受けない安価な紙葉類の厚さ検知装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の紙葉類の厚さ検知装置は、紙葉類を搬送する搬送路に設けられ、搬送される紙葉類がその上を接触して通過する回転自在に支持された固定ローラと、この固定ローラの上に接触状態で設けられた変位自在な可動ローラと、先端が自由端で当該先端に前記可動ローラが回転自在に取着され、後端が固定された剛体構成の支持部材と、この支持部材の後端と当該支持部材の後端と相対向して設けられた固定ベースとの間に介在され、前記支持部材を介して前記可動ローラに対し所望の押圧力を与えるとともに当該可動ローラの振動を押さえる防振ばねと、前記支持部材の近傍に当該支持部材とほぼ平行に設けられ、先端が自由端で前記支持部材の先端に対応し、後端が前記支持部材の固定側に対応した状態で固定されたカンチレバーと、前記支持部材の先端に固定され、先端が前記カンチレバーの先端に接触していて、前記可動ローラの変位を前記カンチレバーの先端に伝えるほぼ円錐形状の接触子と、前記カンチレバーに固定され、前記固定ローラと可動ローラとの間を前記搬送される紙葉類が通過する際に、その紙葉類の厚さに応じて生じる前記可動ローラの変位に伴う前記カンチレバーの歪み量を検知する歪み検知素子と、この歪み検知素子の出力信号を前記紙葉類の厚さに応じた厚さ信号に変換する信号処理手段と、この信号処理手段の出力に基づいて紙葉類の厚さを検知する厚さ検知手段とを具備している。
【００１１】
また、本発明の紙葉類の厚さ検知装置は、紙葉類を搬送する搬送路に設けられ、搬送される紙葉類がその上を接触して通過する回転自在に支持された固定ローラと、この固定ローラの上に接触状態で設けられた変位自在な可動ローラと、先端が自由端で当該先端に前記可動ローラが回転自在に取着され、後端が固定された剛体構成の支持部材と、この支持部材の後端と当該支持部材の後端と相対向して設けられた固定ベースとの間に介在され、前記支持部材を介して前記可動ローラに対し所望の押圧力を与えるとともに当該可動ローラの振動を押さえる防振ばねと、前記支持部材の近傍に当該支持部材とほぼ平行に設けられ、先端が自由端で前記支持部材の先端に対応し、後端が前記支持部材の固定側に対応した状態で固定されたカンチレバーと、前記支持部材の先端に固定され、先端が前記カンチレバーの先端に接触していて、前記可動ローラの変位を前記カンチレバーの先端に伝えるほぼ円錐形状の接触子と、前記カンチレバーに固定され、前記固定ローラと可動ローラとの間を前記搬送される紙葉類が通過する際に、その紙葉類の厚さに応じて生じる前記可動ローラの変位に伴う前記カンチレバーの歪み量を検知する歪み検知素子と、この歪み検知素子の出力信号を前記紙葉類の厚さに応じた厚さ信号に変換する信号処理手段と、前記搬送路の前記固定ローラよりも上流側に設けられ、前記搬送されてくる紙葉類を検知する検知手段と、この検知手段が前記搬送されてくる紙葉類を検知すると、その直前の前記信号処理手段の出力信号を前記検知手段が紙葉類を検知している間保持する保持手段と、この保持手段で保持された信号と前記信号処理手段の出力信号との差を増幅する差動増幅手段と、この差動増幅手段の出力に基づいて紙葉類の厚さを検知する厚さ検知手段とを具備している。
【００１７】
本発明によれば、紙葉類の厚さに応じて生じる可動ローラ（あるいは、接触子）の変位をカンチレバーに伝達し、このカンチレバーに生じる歪み量を、カンチレバーに固定した歪み検知素子により検知することにより、紙葉類の厚さを検知することで、紙葉類の厚さを安価な方法で検出するとともに、取付け調整が容易であり、また、紙葉類の色彩に影響を受けない安価な紙葉類の厚さ検知装置を実現できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１９】
まず、第１の実施の形態について説明する。
【００２０】
図１および図２は、第１の実施の形態に係る厚さ検知装置の構成を示すものである。図１および図２において、１はベルトなどからなる搬送路で、被測定物としての紙葉類Ｐをその搬送方向と直交する方向の両端部を挟持して図示矢印Ｂ方向に搬送する。搬送路１に対して、搬送される紙葉類Ｐがその上を接触して通過するように、固定ローラ２が設けられている。固定ローラ２は、軸３を介して支持部材４に回転自在に支持されているとともに、この支持部材４はベース５に固定されている。
【００２１】
固定ローラ２上には、可動ローラ６が接触状態で上下方向に変位自在に設けられている。可動ローラ６は、軸７を介して支持部材８に回転自在に支持されているとともに、この支持部材８は、弾力性のある板状のカンチレバー９の先端に取着されている。カンチレバー９の後端は、図示しないボルトねじなどを介してホルダ１０に固定されている。なお、支持部材８は、カンチレバー９と一体的に形成されていてもよい。
【００２２】
ホルダ１０は、軸１１を介して支持部材１２に回転自在に支持されているとともに、この支持部材１２は、ベース５と一体的に形成されたベース１３に固定されている。ホルダ１０には、ストッパ１４が一体的に形成されていて、このストッパ１４には、ベース１３に固定されたストッパベース１５に保持された調整ねじ１６の先端が当接している。このような構成により、調整ねじ１６の位置により、可動ローラ６に対して所望の押圧力を与えるようになっている。
【００２３】
カンチレバー９のホルダ１０側の表面および裏面には、それぞれ歪み検知素子としての板状の歪みゲージ１７ａ，１７ｂが貼付固定されている。歪みゲージ１７ａ，１７ｂは、可動ローラ６の変位に伴ってカンチレバー９に生じる歪み量を検知し、それを抵抗値の変化に変換するものである。
【００２４】
搬送路１の固定ローラ２よりも上流側には、搬送されてくる紙葉類Ｐを検知する検知手段としての光学的な検知器１８が設けられている。検知器１８は、搬送路１を挟んで相対向配設された発光器１８ａと受光器１８ｂとからなり、紙葉類Ｐによって発光器１８ａからの光が遮断されたとき検知信号を出力するようになっている。
【００２５】
図３は、歪みゲージ１７ａ，１７ｂの出力信号を処理する信号処理回路の構成を示すものである。図３において、歪みゲージ１７ａ，１７ｂおよび抵抗器２１，２２によってブリッジ回路２０を構成しているとともに、このブリッジ回路２０には調整用の可変抵抗器２３が接続されている。ブリッジ回路２０の各出力端は、それぞれ差動増幅器２４の各入力端に接続されている。可変抵抗器２３の摺動子２３ａとブリッジ回路２０の電源端子との間には、直流電源２６から所定の直流電圧が印加されている。差動増幅器２４の出力信号は、直流増幅器２５で増幅された後、厚さ信号として直流信号で出力される。
【００２６】
図４は、信号処理回路から出力される厚さ信号に対して零点補償を行なう零点補償回路を示すものである。図４において、入力端子２７には図３の信号処理回路から出力される厚さ信号（直流増幅器２５の出力）が入力され、入力端子２８には前記検知器１８からの紙葉類検知信号が入力される。入力端子２７に入力された厚さ信号は、差動増幅手段としての差動増幅器２９の一方の入力端に供給されるとともに、保持手段としてのサンプルーホールド回路３０に供給される。サンプルーホールド回路３０の出力は、差動増幅器２９の他方の入力端に供給される。
【００２７】
サンプルーホールド回路３０は、アナログスイッチ３１、キャパシタ３２、および、演算増幅器３３によって構成されている。すなわち、アナログスイッチ３１の一端は入力端子２７に接続されるとともに、アナログスイッチ３１の他端は演算増幅器３３の入力端に接続され、このアナログスイッチ３１と演算増幅器３３との接続点はキャパシタ３２を介して所定の電位に接続されている。演算増幅器３３の出力端は、差動増幅器２９の他方の入力端に接続されている。
【００２８】
入力端子２７に入力された検知器１８からの紙葉類検知信号は、遅延手段としての遅延回路３４に供給される。遅延回路３４は、検知器１８からの紙葉類検知信号を、検知器１８と厚さ検知用口一ラ２，６との間の距離に対応した所定の時間遅延させるものである。
【００２９】
遅延回路３４の出力信号は、サンプルーホールド回路３０のアナログスイッチ３１に供給される。これにより、アナログスイッチ３１は、遅延回路３４の出力信号（遅延された紙葉類検知信号）によってオン、オフ制御されるようになっている。
【００３０】
次に、上記のような構成において作用を説明する。
【００３１】
まず、図１において、固定ローラ２と可動ローラ６とを接触状態にするため、調整ねじ１６によりホルダ１０のストッパ１４の部分を押して、ホルダ１０を軸１１廻りに回動させることにより、カンチレバー９の弾力性を利用して、支持部材８および軸７を介して可動ローラ６に所望の押圧力が印加されるように調整する。なお、この押圧力は、後述するように、歪みゲージ１７ａ，１７ｂの歪み量から知ることができる。
【００３２】
さて、紙葉類Ｐは搬送路１により挟持されて図示矢印Ｂの方向に搬送されてくる。搬送される紙葉類Ｐが固定ローラ２と可動ローラ６との間に入ると、固定ローラ２および可動ローラ６はそれぞれの軸３，７上で回転するとともに、可動ローラ６は紙葉類Ｐの厚さ分だけ上側に持ち上げられる。可動ローラ６が持ち上げられると、それに伴いカンチレバー９が曲げられて歪み量が変化する。この歪み量を歪みゲージ１７ａ，１７ｂにより検知することにより、紙葉類Ｐの厚さを知ることができる。以下、それについて具体的に説明する。
【００３３】
いま、カンチレバー９の長さ（可動ローラ６の中心部とホルダ１０の固定端との間の距離）をｌ、カンチレバー９の幅をｄ、カンチレバー９の厚さをｈ、可動ローラ６の中心部から歪みゲージ１７ａ，１７ｂの中心部までの長さをａとし、紙葉類Ｐの厚さをｔとすると、歪みゲージ１７ａ，１７ｂ部での歪み量ｅは簡略下記式（１）で求めることができる。
【００３４】
ｅ＝３ａｔｈ／（ａ3 −３ｌ2   ａ＋２ｌ3 ）……（１）
また、可動ローラ６の押圧力ｗは、可動ローラ６部分の自重を無視すると、概略下記式（２）で求めることができる。
【００３５】
ｗ＝（６ｙＥｄｈ2 ／１２）／（ａ3 −３ｌ2   ａ＋２ｌ3 ）……（２）
ここで、ｙはカンチレバー９が曲げられて可動ローラ６の中心部が変位した量、ｈはカンチレバー９の厚さ、ｄはカンチレバー９の幅、Ｅはカンチレバー９のヤング率である。
【００３６】
上記式（１）から、紙葉類Ｐの厚さｔによってカンチレバー９の歪み量が変化することから、この歪みを歪みゲージ１７ａ，１７ｂによって検知すれば、紙葉類Ｐの厚さを知ることができる。
【００３７】
また、上記式（２）から、調整ねじ１６により可動ローラ６の押圧力を調整することができる。
【００３８】
いま、上記式（１）から、ｌ＝２５ｍｍ、ａ＝１５ｍｍ、ｈ＝０．５ｍｍ、ｔ＝０．１ｍｍとすると、歪みゲージ１７ａ，１７ｂの歪みの変化量は、
３．４６×１０-4である。
【００３９】
ただし、歪みゲージ１７ａ側には圧縮歪みが生じ、歪みゲージ１７ｂ側には引っ張り歪みが生じる。したがって、歪みゲージ１７ａ，１７ｂの各抵抗値はそれぞれ増、減する。
【００４０】
いま、図３の信号処理回路において、ブリッジ回路２０の抵抗器２１，２２をＲ１＝Ｒ２＝１２０Ωとする。歪みゲージ１７ａ，１７ｂの各抵抗値を１２０Ω、ゲージ率を「２」とすると、３．４６×１０-4の歪みのとき、歪みゲージ１７ａ，１７ｂの各抵抗値は２×０．０４１Ω変化する。
【００４１】
ブリッジ回路２０の可変抵抗器２３の抵抗値を１０Ωとし、可変抵抗器２３の摺動子２３ａに５Ｖ（ボルト）の直流電圧を加えると、差動増幅器２４の入力端子間の電圧は０．００３３Ｖである。差動増幅器２４の増幅度を「１０」、直流増幅器２５の増幅度を「１００」とすると、直流増幅器２５の出力端の電圧変化量は３．３２Ｖとなる。
【００４２】
次に、図４の零点補償回路の作用について、図５に示すタイミングチャートを参照して説明する。
【００４３】
従来、歪みゲージは搬送される紙葉類の厚さ検知に適用されなかった。紙葉類の厚さ検知に適用されなかった理由の１つに、歪みゲージの出力を増幅する演算増幅器などが高価であるということがあった。しかし、最近、演算増幅器用ＩＣの性能向上により、簡単な回路構成で充分適用が可能であり、また、零点のドリフトも、紙葉類の短時間の走行中であれば、零点クランプ回路などにより充分補正が可能である。この零点補償法について説明する。
【００４４】
前述したように、検知器１８は、紙葉類Ｐの有無を検知するもので、発光器１８ａからの光を遮断したときに検知信号を出力する。サンプルーホールド回路３０において、アナログスイッチ３１は通常はオン状態にあって、オン状態にあるときは、演算増幅器３３の出力は入力端子２７の信号（直流増幅器２５の出力）と同一である。
【００４５】
この状態で、検知器１８が紙葉類Ｐを検知すると、アナログスイッチ３１はオフ状態となり、オフ状態になると、オフに切換わる直前の入力端子２７の電圧が、アナログスイッチ３１がオフ状態の間、キャパシタ３２に保持され、演算増幅器３３の出力電圧も保持される。
【００４６】
遅延回路３４は、前述したように、検知器１８からの紙葉類検知信号を、検知器１８と厚さ検知用口一ラ２，６との間の距離に対応した所定の時間遅延させる。したがって、図５（ａ）に示すように、図３に示した信号処理回路の出力（直流増幅器２５の出力）がｃの零点ずれ値がある状態で、紙葉類Ｐの厚さを検知した場合（ａ，ｂ間）、図５（ｂ）に示す紙葉類検知信号は、図５（ｃ）に示すように遅延され、この間は零点ずれ値ｃが差動増幅器２９で引き去られて、差動増幅器２９の出力は零点補償され、図５（ｄ）に示すようになる。すなわち、図５（ａ）に示す零点ずれのある厚さ信号は、零点補償されて、図５（ｄ）に示すような零点ずれのない厚さ信号となる。
【００４７】
なお、上述した第１の実施の形態では、紙葉類Ｐの移動速度が速く、可動ローラ６が急激に変位すると、カンチレバー９が振動することがある。この振動を防止するために、カンチレバー９を薄い構造材（たとえば、薄いステンレス板）を複数枚、接着積層して構成することにより、接着剤層の粘性特性を振動の減衰に利用することもできる。なお、接着剤層としては、たとえば、高粘着性の両面テープなどを用いてもよい。
【００４８】
次に、第２の実施の形態について説明する。
【００４９】
図６は、第２の実施の形態に係る厚さ検知装置の構成を示すものである。なお、前述した第１の実施の形態（図１）と同一部分には同一符号を付して説明は省略し、異なる部分についてだけ説明する。
【００５０】
第２の実施の形態は、可動ローラ６を剛体構成の支持アーム４１に固定し、可動ローラ６とは独立にカンチレバー９を設置したものである。すなわち、可動ローラ６の支持部材８は、剛体構成で板状の支持アーム４１の先端に取着されているとともに、この支持アーム４１の後端は、図示しないボルトねじなどを介してホルダ１０に固定されている。なお、支持部材８は、支持アーム４１と一体的に形成されていてもよい。
【００５１】
ホルダ１０に形成されたストッパ１４とストッパベース１５との間には、図１における調整ねじ１６の代りに防振ばね４２が介在されている。このような構成により、防振ばね４２は、可動ローラ６に対して所望の押圧力を与えるとともに、可動ローラ６の振動を押さえるようになっている。
【００５２】
可動ローラ６の支持部材８上には、接触手段としての、たとえば、円錐形状の接触子４３が固定されている。接触子４３の先端は、支持アーム４１とほぼ平行に設置されたカンチレバー９の先端に当接されている。カンチレバー９の後端は、ベース１３に固定された支持台４４に固定されている。このような構成により、可動ローラ６の変位を接触子４３を介してカンチレバー９に伝えるようになっている。
【００５３】
次に、第３の実施の形態について説明する。
【００５４】
図７は、第３の実施の形態に係る厚さ検知装置の構成を示すものである。なお、前述した第１の実施の形態（図１）と同一部分には同一符号を付して説明は省略し、異なる部分についてだけ説明する。
【００５５】
第３の実施の形態は、固定ローラ２上に可動ローラ６の代りに、接触手段としての接触子４５を直接押し付けるとともに、この接触子４５をカンチレバー９の先端に固定したものである。なお、接触子４５は耐摩耗性の材料で形成し、カンチレバー９は前述したような防振構造とする。
【００５６】
以上説明したような構成であれば、歪みゲージは直流電流により作動するため、信号処理回路も簡単化することが可能である。また、厚さを検知する可動ローラ（あるいは、接触子）の支持部材であるカンチレバーは固定するため、精密な軸受けなどが不要となり、構造が非常に簡単となる。さらには、可動ローラの変位とカンチレバーの歪み量とはほぼ直線関係にあるため、従来のような直線化処理が不要となり、また、歪みゲージの信号処理回路も比較的に安価な演算増幅器が利用できるなど、構造が簡単で安価な厚さ検知装置が得られる。
【００５７】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、紙葉類の厚さを安価な方法で検出するとともに、取付け調整が容易であり、また、紙葉類の色彩に影響を受けない安価な紙葉類の厚さ検知装置を提供を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る厚さ検知装置の構成を概略的に示す側面図。
【図２】図１において矢印Ａ方向から見た平面図。
【図３】信号処理回路の構成を示す構成図。
【図４】零点補償回路の構成を示す構成図。
【図５】零点補償回路の作用を説明するためのタイミングチャート。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係る厚さ検知装置の構成を概略的に示す側面図。
【図７】本発明の第３の実施の形態に係る厚さ検知装置の構成を概略的に示す側面図。
【符号の説明】
Ｐ……紙葉類（被測定物）
１……搬送路
２……固定ローラ
４……支持部材
６……可動ローラ
８……支持部材
９……カンチレバー
１０……ホルダ
１７ａ，１７ｂ……歪みゲージ（歪み検知素子）
１８……検知器（検知手段）
２０……ブリッジ回路
２４……差動増幅器
２５……直流増幅器
２９……差動増幅器（差動増幅手段）
３０……サンプルーホールド回路（保持手段）
３４……遅延回路（遅延手段）
４１……支持アーム
４２……防振ばね
４３……接触子（接触手段）
４４……支持台
４５……接触子（接触手段）
【図１】
0004128696.tif 000002
【図２】
0004128696.tif 000003
【図３】
0004128696.tif 000004
【図４】
0004128696.tif 000005
【図５】
0004128696.tif 000006
【図６】
0004128696.tif 000007
【図７】
0004128696.tif 000008