(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定ドラムとこの固定ドラムに対して回転可能に設けられた回転ドラムとを有する装置本体と、
この装置本体の回転ドラム側に取り付けられた再生用磁気ヘッドとを備える回転型磁気ヘッド装置を製造するに際し、
上記再生用磁気ヘッドとして、一対のガード材の接合面間に一対の磁気シールド薄膜を介してシールド間ギャップが形成され、このシールド間ギャップ内に磁気抵抗効果素子とこの磁気抵抗効果素子の幅方向の両端部に接続された強磁性膜とが配設され、これら磁気抵抗効果素子及び強磁性膜の一部が、磁気記録媒体に対する摺動面から外部に露出するようになされた磁気抵抗効果型磁気ヘッドであって、上記一対の磁気シールド薄膜のうちの少なくとも一方の磁気シールド薄膜の上記摺動面から露出する部分の幅が、上記磁気抵抗効果素子の上記摺動面から露出する部分の幅と上記強磁性膜の上記摺動面から露出する部分の幅との和よりも小さくされている磁気抵抗効果型磁気ヘッドを作製し、
上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドを、上記磁気抵抗効果素子の上記摺動面から露出する部分の幅と上記強磁性膜の上記摺動面から露出する部分の幅との和よりも小さい幅とされた上記磁気シールド薄膜をマーカーとして用いて、上記装置本体の回転ドラム側に取り付けることを特徴とする回転型磁気ヘッド装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気抵抗効果を利用して磁気記録媒体に記録された信号を読み取る磁気抵抗効果型磁気ヘッドを用いた回転型磁気ヘッド装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、磁気記録の分野では、記録密度の高密度化が益々進んでおり、このような高密度記録に適した磁気ヘッドとして、バルクヘッドに変えて、薄膜ヘッドが広く使用されるようになってきている。この薄膜ヘッドは、半導体集積回路の分野における製造技術、具体的には、蒸着やスパッタリング等の成膜技術や、写真製版、エッチング等のフォトリソグラフィ技術等を用いて製造されるため、微細な形状も精度良く形成でき、且つ、大量生産が可能であるといった利点を有している。このような利点を有する薄膜ヘッドは、ハードディスクドライブやテープストリーマ等の高密度記録再生システムにおける磁気ヘッドとして、現在主流となっている。
【０００３】
このような薄膜ヘッドとしては、磁気抵抗効果を利用して信号の読み出しを行う磁気抵抗効果型磁気ヘッド（以下、ＭＲヘッドという。）が、ハードディスクドライブ等における再生用磁気ヘッドとして、一般的に用いられるようになってきている。
【０００４】
このＭＲヘッドは、磁気抵抗効果を発揮する磁気抵抗効果素子（以下、ＭＲ素子という。）がギャップ中に薄膜形成されてなるものであり、薄膜形成されるＭＲ素子の幅によりトラック幅が決定されるので、狭トラック化が容易であると共に、巻き線を用いたタイプのインダクティブヘッドに比べて再生感度が高く、また、インダクタンスの影響がないことから、高周波での信号転送が可能であるという特徴を有しており、今後の高密度記録再生システムにおいて必須のデバイスになるものと考えられている。
【０００５】
ここで、従来、ハードディスクドライブで用いられていた磁気ヘッドの一構成例を図１１乃至図１３を参照して説明する。この磁気ヘッド１００は、再生用のＭＲヘッドと記録用のインダクティブヘッドとが積層されてなる、いわゆる複合型の磁気ヘッドとして構成されている。そして、この磁気ヘッド１００は、磁気ディスク上を浮上する浮上スライダ２００に搭載され、感磁部が、この浮上スライダ２００の空気潤滑面（ＡＢＳ：Air Bearing Surface）２０１から、磁気ディスクの信号記録面に臨むようになされている。
【０００６】
具体的には、この磁気ヘッド１００は、Ａｌ２Ｏ３等の下地膜１０１が形成されたＡｌＴｉＣ等よりなる基板１０２を備えている。この下地膜１０１が形成された基板１０２上には、センダスト等の軟磁性薄膜が形成され、下部磁気シールド薄膜１０３とされている。基板１０２上の下部磁気シールド薄膜１０３が形成されない部分は、Ａｌ２Ｏ３等の非磁性非導電性膜１０４が下部磁気シールド薄膜１０３と同じ厚みで成膜されている。
【０００７】
下部磁気シールド膜１０３及び非磁性非導電性膜１０４上には、更に、Ａｌ２Ｏ３等の非磁性非導電性膜が形成され、下部シールドギャップ膜１０５とされている。そして、この下部シールドギャップ膜１０５上に、ＳＡＬバイアス層、中間層、ＭＲ層が積層されてなるＭＲ素子１０６が形成されている。このＭＲ素子１０６は、その一端部が、浮上スライダ２００の空気潤滑面２０１から外部を臨むように、当該磁気ヘッド１００の一方の端面（媒体対向面）側に位置して設けられている。
【０００８】
また、このＭＲ素子１０６のトラック方向の両端部には、このＭＲ素子１０６の磁区を単磁区化してバルクハウゼンノイズを抑制するための一対の強磁性膜１０７，１０８が形成されており、この強磁性膜１０７，１０８上に、ＭＲ素子１０６及びＭＲ素子１０６に電気的に接続される部分の抵抗値を低くするための一対の低抵抗化膜１２４，１２５が形成されている。
【０００９】
また、下部シールドギャップ膜１０５上には、ＭＲ素子１０６にセンス電流を供給するための一対の導体部１０９，１１０が、一方の端部が一対の強磁性膜１０７，１０８と接続された形で設けられている。この一対の導体部１０７，１０８は、一対の強磁性膜１０７，１０８を介してＭＲ素子１０６に電気的に接続されている。
【００１０】
また、この一対の導体部１０９，１１０の他方の端部上には、外部回路と接続される外部接続端子１１１，１１２が設けられている。この外部接続端子１１１，１１２は、端面が外部に露呈して、この端面にリード線等が接続されるようになされている。
【００１１】
ＭＲ素子１０６や強磁性膜１０７，１０８、導体部１０９，１１０等が形成された下部シールドギャップ膜１０５上には、これらを覆うようにＡｌ２Ｏ３等の非磁性非導電性膜が形成され、上部シールドギャップ膜１１３とされている。そして、この上部シールドギャップ膜１１３上には、パーマロイ等の軟磁性薄膜が形成され、上部磁気シールド薄膜１１４とされている。
【００１２】
この磁気ヘッド１００においては、以上説明した部分で、再生用のＭＲヘッドが構成されている。また、この磁気ヘッド１００においては、上部磁気シールド薄膜１１４としての軟磁性薄膜に、記録用のインダクティブヘッドの下層コアとしての機能を持たせている。すなわち、上部シールドギャップ膜１１３上に形成されたパーマロイ等の軟磁性薄膜は、ＭＲヘッドの上部磁気シールド薄膜としての機能と、インダクティブヘッドの下層コアとしての機能を併せ持っている。
【００１３】
インダクティブヘッドの下層コアとしての機能を有する軟磁性薄膜上には、Ａｌ２Ｏ３等の非磁性非導電性膜が形成され、記録ギャップ膜１１５とされている。この記録ギャップ膜１１５上には、媒体対向面から離間した位置に、絶縁膜１１６中に埋め込まれたかたちで、巻き線コイル１１７が薄膜形成されている。この巻き線コイル１１７には、図１１に示すように、一対の導体部１１８，１１９及び外部接続端子１２０，１２１が接続されており、これらを介して駆動電流が供給されるようになされている。
【００１４】
また、記録ギャップ膜１１５上には、媒体対向面側から、この媒体対向面から離間した位置に亘って、パーマロイ等の軟磁性薄膜が形成され、上層コア１２２とされている。
【００１５】
すなわち、この磁気ヘッド１００においては、媒体対向面側では、下層コア１１４と上層コア１２２とが記録ギャップ膜１１５を挟んで対向配置されており、媒体対向面から離間した位置では、下層コア１１４と上層コア１２２との間に、巻き線コイル１１７が配設された構造とされている。また、この磁気ヘッド１００において、上層コア１２２となる軟磁性薄膜は、媒体対向面から最も離間した位置では、下部コア１１４となる軟磁性薄膜と接続されている。
【００１６】
この磁気ヘッド１００においては、以上説明した部分で、記録用のインダクティブヘッドが構成されている。そして、この磁気ヘッド１００では、最上層にＡｌ２Ｏ３等の非磁性非導電性膜が形成され、保護層１２３とされている。
【００１７】
以上のように構成される磁気ヘッド１００は、媒体対向面が浮上スライダ２００の空気潤滑面２０１側に位置するように、浮上スライダ２００の側面に形成されている。そして、この磁気ヘッド１００は、浮上スライダ２００が磁気ディスク状を浮上したときに、感磁部となるＭＲヘッドのＭＲ素子５の一部及びインダクティブヘッドの記録ギャップ膜１１５の一部が磁気ディスクの信号記録面に対向して、この磁気ディスクに対する信号の書き込み及び読み出しを行う。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、記録媒体として磁気テープを用いたテープ系のシステムでは、ヘリカルスキャン（Helical Scan：斜め走査）方式と呼ばれる記録再生方式が用いられる場合がある。ヘリカルスキャン方式は、固定ドラムとこの固定ドラムに対して回転可能に設けられた回転ドラムとを有し、回転ドラムに磁気ヘッドが取り付けられてなる回転型磁気ヘッド装置を用い、この回転型磁気ヘッド装置の外周面に磁気テープを斜めに巻き付けて、回転ドラムの回転に伴って移動する磁気ヘッドを磁気テープ上に斜めに摺動させて、この磁気テープに対する信号の記録又は再生を行う方式である。
【００１９】
このヘリカルスキャン方式では、磁気ヘッドが、走行する磁気テープ上を高速で摺動して信号の記録及び再生を行うので、磁気テープと磁気ヘッドとの相対摺動速度が速く、データ転送レートの向上が実現されている。
【００２０】
近年、このヘリカルスキャン方式のテープ系システムにおいて、再生用ヘッドとしてＭＲヘッドを用い、記録トラックの狭トラック化を実現して、より高密度で信号の記録再生を行う技術が提案されている。
【００２１】
ヘリカルスキャン方式のテープ系システムにおいては、磁気ヘッドが磁気テープ上を高速で摺動するため、磁気ヘッドの摩耗に対する対策を講じる必要がある。このため、ヘリカルスキャン方式のテープ系システムにおいて再生用ヘッドとしてＭＲヘッドを用いる場合、ＭＲヘッドは、図１４及び図１５に示すように、ＭＲ素子１０６等が一対のガード材１３１，１３２により挟持され、これらガード材１３１，１３２により保護された構造とされる。
【００２２】
また、ヘリカルスキャン方式のテープ系システムにおいては、記録媒体として、高保磁力で且つ磁気記録層の膜厚が磁気ディスクに比べて厚い磁気テープが用いられるので、記録用ヘッドとしては、高飽和磁束密度を有するコア材を使用したバルク型の磁気ヘッドを用いる必要がある。このため、再生用のＭＲヘッドは、記録ヘッドとは分離した独立のヘッド素子として構成されることになる。
【００２３】
ところで、ＭＲヘッドを以上のような独立のヘッド素子として構成した場合、このＭＲヘッドを回転ドラムに取り付ける際の位置合わせが困難であるとの問題があった。すなわち、ヘリカルスキャン方式のテープ系システムにおいて再生用ヘッドとしてＭＲヘッドを用いる場合、このＭＲヘッドを、感磁部となるＭＲ素子１０６が最適な位置になるように位置合わせしながらヘッド支持板に正確に取り付け、また、ＭＲヘッドが取り付けられたヘッド支持板を、ＭＲ素子１０６が最適な位置になるように位置合わせしながら回転ドラムに正確に取り付ける必要がある。
【００２４】
しかしながら、ＭＲ素子１０６は、その膜厚が０．１μｍ程度と極めて薄いので、このＭＲ素子１０６を直接画像認識して、これを基準に位置合わせを行うのは非常に困難である。ここで、上述した複合型の磁気ヘッド１００では、図１２に示したように、ＭＲ素子１０６の直上に位置して、記録用ヘッドの上層コア１２２が比較的厚膜で形成されているので、この上層コア１２２をマーカーとして用い、この上層コア１２２を基準にして位置合わせを行うことができる。しかしながら、ヘリカルスキャン方式のテープ系システムにおいて再生用ヘッドとして用いられるＭＲヘッドは、上述したように、記録ヘッドとは分離した独立のヘッド素子として構成されているので、複合型の磁気ヘッド１００のように記録用ヘッドの上層コア１２２をマーカーとして用いることができない。
【００２５】
そこで、このようなＭＲヘッドにおいては、比較的厚膜に形成される下部磁気シールド薄膜１０３や上部磁気シールド薄膜１１４をマーカーとして用い、これらを基準にして位置合わせを行うことが考えられる。すなわち、これら下部磁気シールド薄膜１０３や上部磁気シールド薄膜１１４をその幅方向の中心部がＭＲ素子１０６の幅方向の中心部と一致するように形成しておけば、下部磁気シールド薄膜１０３や上部磁気シールド薄膜１１４の幅方向の中心部をＭＲ素子１０６の幅方向の中心部、すなわち、トラックの中心として認識し、正確な位置合わせを行うことができる。
【００２６】
しかしながら、このＭＲヘッドにおいては、図１５に示すように、下部磁気シールド薄膜１０３の幅Ｗ１００や上部磁気シールド薄膜１１４の幅Ｗ１０１があまり大きいと、画像認識の際の視野との関係から、下部磁気シールド薄膜１０３や上部磁気シールド薄膜１１４の幅方向の両端部を同時に確認することができない。したがって、このような場合は、下部磁気シールド薄膜１０３や上部磁気シールド薄膜１１４の幅方向の一方の端部からの距離を測長して、下部磁気シールド薄膜１０３や上部磁気シールド薄膜１１４の幅方向の中心部、すなわち、ＭＲ素子１０６の幅方向の中心部を認識する必要があるが、下部磁気シールド薄膜１０３や上部磁気シールド薄膜１１４の幅方向の端部はテーパ形状となっていること、測長距離が長いこと等の理由から、このような測長によってＭＲ素子１０６の幅方向の中心部を正確に割り出すことは困難であり、位置合わせ精度の劣化を招いてしまっていた。
【００２７】
本発明は、以上のような実情に鑑みて創案されたものであり、ヘッド支持板や回転ドラムに対する位置合わせ精度を向上させることが可能で、ヘリカルスキャン方式の再生用ヘッドとして好適なＭＲヘッドを用いた回転型磁気ヘッド装置の製造方法を提供することを目的とする。
【００２８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る回転型磁気ヘッド装置の製造方法は、固定ドラムとこの固定ドラムに対して回転可能に設けられた回転ドラムとを有する装置本体と、この装置本体の回転ドラム側に取り付けられた再生用磁気ヘッドとを備える回転型磁気ヘッド装置を製造するに際し、上記再生用磁気ヘッドとして、一対のガード材の接合面間に一対の磁気シールド薄膜を介してシールド間ギャップが形成され、このシールド間ギャップ内に磁気抵抗効果素子とこの磁気抵抗効果素子の幅方向の両端部に接続された強磁性膜とが配設され、これら磁気抵抗効果素子及び強磁性膜の一部が、磁気記録媒体に対する摺動面から外部に露出するようになされた磁気抵抗効果型磁気ヘッドであって、上記一対の磁気シールド薄膜のうちの少なくとも一方の磁気シールド薄膜の上記摺動面から露出する部分の幅が、上記磁気抵抗効果素子の上記摺動面から露出する部分の幅と上記強磁性膜の上記摺動面から露出する部分の幅との和よりも小さくされている磁気抵抗効果型磁気ヘッドを作製し、この磁気抵抗効果型磁気ヘッドを、上記磁気抵抗効果素子の上記摺動面から露出する部分の幅と上記強磁性膜の上記摺動面から露出する部分の幅との和よりも小さい幅とされた上記磁気シールド薄膜をマーカーとして用いて、上記装置本体の回転ドラム側に取り付けることを特徴としている。
【００２９】
この本発明に係る回転型磁気ヘッド装置の製造方法によれば、再生用磁気ヘッドとしての磁気抵抗効果型磁気ヘッドを回転ドラムに正確に取り付けることができる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００３１】
第１の実施の形態
本発明の回転型磁気ヘッド装置の製造方法により製造される回転型磁気ヘッド装置に搭載される磁気抵抗効果型磁気ヘッドの一例を図１及び図２に示す。この図１及び図２に示す磁気抵抗効果型磁気ヘッド（以下、ＭＲヘッド１という。）は、いわゆる薄膜シールドタイプのＭＲヘッドとして構成されている。そして、このＭＲヘッド１においては、接合一体化された一対の基板２，３により一対のガード材が構成されており、これら一対の基板２，３の接合面間に、一対の軟磁性薄膜（下部磁気シールド薄膜４及び上部磁気シールド薄膜５）に挟持されたかたちで、第１のギャップ膜６、ＭＲ素子７、第２のギャップ膜８がそれぞれ設けられている。このＭＲヘッド１では、下部磁気シールド薄膜４と上部磁気シールド薄膜５との間に設けられた第１のギャップ膜６及び第２のギャップ膜８によりシールド間ギャップが構成されており、このシールド間ギャップ内にＭＲ素子７が配設されている。
【００３２】
また、このＭＲヘッド１には、ＭＲ素子７の幅方向の両端部に隣接して、このＭＲ素子７を単磁区化してバルクハウゼンノイズの発生を抑えるための一対の強磁性膜９，１０が設けられている。また、この一対の強磁性膜９，１０上には、ＭＲ素子７及びこのＭＲ素子７に電気的に接続される部分の抵抗値を低くするための一対の低抵抗化膜１１，１２が設けられている。
【００３３】
さらに、このＭＲヘッド１には、一対の強磁性膜９，１０を介してＭＲ素子７に接続されるように、ＭＲ素子７にセンス電流を供給するための一対の導体部１３，１４が設けられている。この導体部１３，１４は、その一端部が、一方の基板３に設けられた開口部３ａから外部に露出するようになされており、この外部に露出する導体部１３，１４の一端部上に、外部回路に接続される接続端子部１５，１６が形成されている。
【００３４】
このＭＲヘッド１は、その上部端面が記録媒体としての磁気テープに摺動するテープ摺動面１ａとされている。このテープ摺動面１ａは、所定の曲率を有する円弧状に成形されて、磁気テープに対する良好な当たり特性が得られるようになされている。また、このＭＲヘッド１においては、このテープ摺動面１ａから、ＭＲ素子７の端面が外部に露出するようになされており、テープ摺動面１ａから外部に露出するＭＲ素子７の端面により感磁部が構成されている。そして、このテープ摺動面１ａから外部に露出するＭＲ素子７の端面の幅がトラック幅ＴＷとされている。
【００３５】
また、このＭＲヘッド１では、ＭＲ素子７の幅方向の両端部に形成された一対の強磁性膜９，１０や一対の低抵抗化膜１１，１２の端面、更には、下部磁気シールド薄膜４や上部磁気シールド薄膜５の端面も、テープ摺動面１ａから外部に露出するようになされている。
【００３６】
このＭＲヘッド１においては、下部磁気シールド薄膜４のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅Ｗ１が、ＭＲ素子７のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅と一対の強磁性膜９，１０のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅との和Ｗ２よりも小さくされている。
【００３７】
また、このＭＲヘッド１においては、下部磁気シールド薄膜４のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅方向の中心部と、ＭＲ素子７のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅方向の中心部とが、当該ＭＲヘッド１の幅方向に関してほぼ一致した位置とされている。すなわち、このＭＲヘッド１においては、下部磁気シールド薄膜４のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅方向の中心部のヘッド側面からの距離と、ＭＲ素子７のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅方向の中心部のヘッド側面からの距離とがほぼ等しくなるようになされている。
【００３８】
なお、図１は本発明の回転型磁気ヘッド装置の製造方法により製造される回転型磁気ヘッド装置に搭載されるＭＲヘッド１を示す斜視図であり、図２は図１におけるＡ部をテープ摺動面１ａ側から見た図である。これら図１及び図２では、特徴を分かり易く示すために、上記ＭＲヘッド１の各部を実際のものとは異なる比率で示している。
【００３９】
以上のように構成されるＭＲヘッド１は、図３に示すように、一方の側面を接着面として、紫外線硬化樹脂等の接着剤により、ヘッド支持板３０に取り付けられる。そして、ＭＲヘッド１は、ヘッド支持板３０に取り付けられた状態で、図４に示すような回転型磁気ヘッド装置４０に搭載される。
【００４０】
この図４に示す回転型磁気ヘッド装置４０は、ヘリカルスキャン方式により磁気テープＴに対して信号の記録再生を行うように構成された記録再生装置に用いられ、テープ走行系に案内されてこの記録再生装置内を所定の経路で走行する磁気テープＴの記録面上に磁気ヘッドを摺動させ、この磁気テープＴに対して信号を書き込み、また、信号が書き込まれた磁気テープＴの記録面上に磁気ヘッドを摺動させ、この磁気テープＴに書き込まれた信号を読み出すものである。
【００４１】
この回転型磁気ヘッド装置４０は、記録再生装置内に固定されて設けられる固定ドラム４１と、この固定ドラム４１と同軸上に設けられ、モータの駆動により回転操作される回転ドラム４２とを備え、全体略円柱状に形成されている。
【００４２】
固定ドラム４１は、アルミニウム等の金属材料が所定の厚みを有する略円盤状に成形されてなり、その外周面には、磁気テープＴの巻き付きを案内して、その姿勢を維持するためのテープガイド溝４３が設けられている。このテープガイド溝４３は、固定ドラム４１の中心軸と垂直な方向に対して所定の角度で傾斜して形成されている。磁気テープＴは、この固定ドラム４１の外周面に設けられたテープガイド溝４３に下端部を支持された状態で、この回転型磁気ヘッド装置４０の外周面に斜めに巻き付けられることになる。
【００４３】
回転ドラム４２は、固定ドラム４１と同様にアルミニウム等の金属材料が所定の厚みを有する略円盤状に成形されてなる。そして、回転ドラム４２は、その中心部にモータの軸部が挿通され、モータの駆動により回転操作されるようになされている。
【００４４】
また、回転ドラム４２には、磁気テープＴに対して信号を書き込む記録用の磁気ヘッドとしてインダクティブ型の磁気ヘッド４４が取り付けられ、また、磁気テープＴに書き込まれている信号を読み出す再生用の磁気ヘッドとして上述したＭＲヘッド１が取り付けられている。これらの磁気ヘッドは、ヘッド支持基板３０に支持された状態で、その先端部（テープ摺動面１ａ）が回転型磁気ヘッド装置４０の外周面から外方を臨むように、回転ドラム４２に取り付けられている。
【００４５】
以上のように構成される回転型磁気ヘッド装置４０は、ヘリカルスキャン方式の記録再生装置内に配設される。そして、この回転型磁気ヘッド装置４０の外周面には、テープ走行系に案内されて図４中矢印Ｂで示す方向へと走行する磁気テープＴが、例えば１８０度の巻き付け角で巻き付けられる。このとき、磁気テープＴは、固定ドラム４１の外周面に形成されたテープガイド溝４３に沿って巻き付けられることにより、回転型磁気ヘッド装置４０の外周面に斜めに巻き付けられることになる。
【００４６】
回転型磁気ヘッド装置４０は、その外周面に磁気テープＴが巻き付けられた状態で回転ドラム４２が回転操作される。そして、この回転ドラム４２の回転に伴って、回転ドラム４２に取り付けられた記録用の磁気ヘッド４４や再生用のＭＲヘッド１が、回転型磁気ヘッド装置４０の外周面に沿って図４中矢印Ｃ方向へ移動し、回転型磁気ヘッド装置４０の外周面に巻き付けられた磁気テープＴの記録面上を斜めに摺動する。これにより、この磁気テープＴの信号記録面に信号が書き込まれ、また、信号が書き込まれた磁気テープＴの記録面から信号が読み出される。
【００４７】
ところで、回転型磁気ヘッド装置４０の再生用ヘッドとしてＭＲヘッド１を用いる場合、このＭＲヘッド１を、感磁部となるＭＲ素子７が最適な位置になるように位置合わせしながらヘッド支持板３０に正確に取り付け、また、ＭＲヘッド１が取り付けられたヘッド支持板３０を、ＭＲ素子７が最適な位置になるように位置合わせしながら回転ドラム４２に正確に取り付ける必要がある。
【００４８】
ここで、ＭＲヘッド１においては、上述したように、下部磁気シールド薄膜４のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅Ｗ１が、ＭＲ素子７のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅と一対の強磁性膜９，１０のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅との和Ｗ２よりも小さくされているので、この下部磁気シールド薄膜４のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面をマーカーとして利用し、ヘッド支持板３０への取り付け、及び回転ドラム４２への取り付けを適切に行うことができる。
【００４９】
すなわち、ＭＲヘッド１においては、下部磁気シールド薄膜４のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅Ｗ１が小さくされているので、この下部磁気シールド薄膜４のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面全体を画像認識の際の視野内に収めることが可能となる。したがって、この下部磁気シールド薄膜４とＭＲ素子７との位置関係を予め把握しておけば、ＭＲ素子７の位置を容易に認識することができる。
【００５０】
特に、このＭＲヘッド１においては、上述したように、下部磁気シールド薄膜４のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅方向の中心部と、ＭＲ素子７のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅方向の中心部とが、当該ＭＲヘッド１の幅方向に関してほぼ一致した位置とされているので、下部磁気シールド薄膜４のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅方向の中心部の位置を検出すれば、この位置をＭＲ素子７のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅方向の中心部、すなわち、トラックの中心として認識することができ、この位置を基準として、正確な位置合わせを行うことができる。
【００５１】
このとき、下部磁気シールド薄膜４のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面全体が画像認識の際の視野内に収められ、その幅方向の両端部を同時に確認することができるので、この両端部がテーパ形状となっていても、その影響をキャンセルして適切に測長を行い、トラックの中心位置を検出することができる。また、測長距離も短くなるので、測長誤差を減少させて精度良く測長を行い、正確な位置合わせを行うことが可能となる。
【００５２】
以上のような特徴を有するＭＲヘッド１は、以下に示すような工程を経て製造される。すなわち、ＭＲヘッド１を製造する際は、先ず、Ａｌ−ＴｉＣ等よりなる基板２が用意される。この基板２上には、Ａｌ２Ｏ３等の非磁性非導電性膜１７が数μｍの膜厚で成膜され、表面の平坦化が図られる。
【００５３】
そして、非磁性非導電性膜１７が成膜された基板２上に、センダスト等の軟磁性薄膜がスパッタリング等により成膜され、所定の形状にエッチング加工されて下部磁気シールド薄膜４が形成される。このとき、軟磁性薄膜は、最終的にＭＲヘッド１が完成したときに、下部磁気シールド薄膜４のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅Ｗ１が、ＭＲ素子７のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅と一対の強磁性膜９，１０のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅との和Ｗ２よりも小さくなるようにエッチング加工される。
【００５４】
次に、非磁性非導電性膜１７が成膜された基板２上の下部磁気シールド薄膜４が形成されない箇所、すなわち、エッチング加工により軟磁性薄膜が除去された箇所に、Ａｌ２Ｏ３等の非磁性非導電性膜１８が、下部磁気シールド薄膜４と同じ膜厚で埋め込み形成される。
【００５５】
ここで、非磁性非導電性膜１８の膜厚が下部磁気シールド薄膜４の膜厚と完全に一致しないときは、非磁性非導電性膜１８と下部磁気シールド薄膜４との境界部分に段差が形成されることになる。このように、非磁性非導電性膜１８と下部磁気シールド薄膜４との境界部分に段差が形成されると、下部磁気シールド薄膜４と一対の強磁性膜９，１０との間で電気的短絡が生じてしまう場合がある。このような下部磁気シールド薄膜４と一対の強磁性膜９，１０との間での電気的短絡を防止するためには、図５に示すように、非磁性非導電性膜１８を埋め込み形成した後に、この非磁性導電性膜１８と下部磁気シールド薄膜４との境界部分を覆うように、非磁性非導電性膜１９を別途形成することが有効である。
【００５６】
次に、下部磁気シールド薄膜４及び非磁性非導電性膜１８が形成された基板２上に、第１のギャップ膜６となるＡｌ２Ｏ３等の非磁性非導電性膜がスパッタリング等により成膜される。
【００５７】
次に、第１のギャップ膜６となるＡｌ２Ｏ３等の非磁性非導電性膜上に、例えば、ＳＡＬ（Soft Adjacent Layer）バイアス方式のＭＲ素子７が形成される。このＳＡＬバイアス方式のＭＲ素子７は、ＳＡＬバイアス層と中間層とＭＲ層とが積層形成されてなるものである。なお、ＭＲ素子７の構成は、以上のＳＡＬバイアス方式によるものに限定されるものではない。
【００５８】
また、第１のギャップ膜６となるＡｌ２Ｏ３等の非磁性非導電性膜上には、ＭＲ素子７の幅方向の両端部に位置して、このＭＲ素子７を単磁区化してバルクハウゼンノイズの発生を抑えるための一対の強磁性膜９，１０が形成される。また、この一対の強磁性膜９，１０上には、ＭＲ素子７及びこのＭＲ素子７に電気的に接続される部分の抵抗値を低くするための一対の低抵抗化膜１１，１２が形成される。
【００５９】
さらに、第１のギャップ膜６となるＡｌ２Ｏ３等の非磁性非導電性膜上には、一対の強磁性膜９，１０を介してＭＲ素子７に接続されるように、ＭＲ素子７にセンス電流を供給するための一対の導体部１３，１４が形成される。
【００６０】
次に、これらＭＲ素子７、強磁性膜９，１０、低抵抗化膜１１，１２及び導体部１３，１４を覆うように、第２のギャップ膜８となるＡｌ２Ｏ３等の非磁性非導電性膜がスパッタリング等により成膜される。
【００６１】
次に、第２のギャップ膜８となるＡｌ２Ｏ３等の非磁性非導電性膜上に、アモルファス合金膜等の軟磁性薄膜がスパッタリング等により成膜され、所定の形状にエッチング加工されて上部磁気シールド薄膜５が形成される。
【００６２】
次に、上部磁気シールド薄膜５を覆うように、Ａｌ２Ｏ３等の非磁性非導電性膜が成膜され、ダイヤラップ等により表面が平坦化されて保護膜２０とされる。
【００６３】
次に、一対の導体部１３，１４のＭＲ素子７と接続される側とは逆側の端部上に形成された第２のギャップ膜８及び保護膜２０がエッチング加工により除去される。そして、外部に露出した一対の導体部１３，１４の端部上に、Ｃｕ等が数十μｍの厚みでメッキ等により形成され、一対の接続端子部１５，１６が形成される。
【００６４】
そして、以上の各部が形成された基板２上に、Ａｌ−ＴｉＣ等よりなる基板３が接着剤等により接合され、一体化される。そして、テープ摺動面１ａとなる上部端面に円筒研磨加工が施され、ＭＲヘッド１が完成する。
【００６５】
以上のように製造されたＭＲヘッド１は、下部磁気シールド薄膜４のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面をマーカーとして用いて、感磁部となるＭＲ素子７が最適な位置になるように位置合わせしながらヘッド支持板３０に取り付けられる。
【００６６】
また、ＭＲヘッド１が取り付けられたヘッド支持板３０は、ＭＲヘッド１の下部磁気シールド薄膜４のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面をマーカーとして用いて、ＭＲヘッド１のＭＲ素子７が最適な位置になるように位置合わせしながら回転ドラム４２に取り付けられる。
【００６７】
なお、以上は、下部磁気シールド薄膜４のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅Ｗ１を、ＭＲ素子７のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅と一対の強磁性膜９，１０のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅との和Ｗ２よりも小さくし、この下部磁気シールド薄膜４のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面をマーカーとして用いるようにした例について説明したが、以上の例に限定されるものではなく、例えば、図６に示すように、上部磁気シールド薄膜５のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅Ｗ３を、ＭＲ素子７のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅と一対の強磁性膜９，１０のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅との和Ｗ２よりも小さくし、この上部磁気シールド薄膜５のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面をマーカーとして用いるようにしてもよい。
【００６８】
また、図７に示すように、下部磁気シールド薄膜４のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅Ｗ１及び上部磁気シールド薄膜５のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅Ｗ３を、ＭＲ素子７のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅と一対の強磁性膜９，１０のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面の幅との和Ｗ２よりも小さくし、これら下部磁気シールド薄膜４のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面及び上部磁気シールド薄膜５のテープ摺動面１ａから外部に露出する端面を選択的にマーカーとして用いるようにしてもよい。
【００６９】
第２の実施の形態
本発明の回転型磁気ヘッド装置の製造方法により製造される回転型磁気ヘッド装置に搭載される磁気抵抗効果型磁気ヘッドの他の例を図８に示す。この図８に示す磁気抵抗効果型磁気ヘッド（以下、ＭＲヘッド５０という。）は、基本構成を上述した第１の実施の形態のＭＲヘッド１と同様とし、いわゆる薄膜シールドタイプのＭＲヘッドとして構成されている。そして、このＭＲヘッド５０は、下部磁気シールド薄膜４に、この下部磁気シールド薄膜４をマーカーとして利用するための一対の切り欠き部５１，５２が形成されていることを特徴としている。なお、以下の説明においては、第１の実施の形態と同じ部分については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００７０】
下部磁気シールド薄膜４をマーカーとして利用するための一対の切り欠き部５１，５２は、以下のようにして形成される。すなわち、先ず、基板２上に非磁性非導電性膜１７を介して形成された下部磁気シールド薄膜４上に、開口部を有するフォトレジスト層が形成される。そして、このフォトレジスト層をマスクとして用いてイオンミリング等を行うことにより、フォトレジスト層の開口部が形成された箇所の下部磁気シールド薄膜４がエッチングされる。これにより、深さが０．２μｍ以上の一対の切り欠き部５１，５２が形成される。
【００７１】
なお、一対の切り欠き部５１，５２内には、Ａｌ2Ｏ3等の非磁性非導電性材料５３，５４が充填される。ここで、非磁性非導電性材料５３，５４と下部磁気シールド薄膜４との境界部分に段差が形成され、下部磁気シールド薄膜４と一対の強磁性膜９，１０との間で電気的短絡が問題となる場合には、図５に示したＭＲヘッド１と同様に、非磁性導電性材料５３，５４と下部磁気シールド薄膜４との境界部分を覆うように、非磁性非導電性膜を別途形成することが有効である。
【００７２】
ところで、一対の切り欠き部５１，５２が形成される箇所は、フォトレジスト層の開口部形成箇所により決定される。このＭＲヘッド５０においては、最終的にＭＲヘッド５０が完成したときに、一対の切り欠き部５１，５２がテープ摺動面から外部に露出し、それらの間の距離Ｌ１が、ＭＲ素子７のテープ摺動面から外部に露出する端面の幅と一対の強磁性膜９，１０のテープ摺動面から外部に露出する端面の幅との和Ｗ２よりも小さくなるように、これら一対の切り欠き部５１，５２が形成されている。
【００７３】
また、このＭＲヘッド５０においては、一対の切り欠き部５１，５２間に位置する下部磁気シールド薄膜４の幅方向の中心部と、ＭＲ素子７の幅方向の中心部とが、当該ＭＲヘッド５０の幅方向に関してほぼ一致した位置となるように、一対の切り欠き部５１，５２が形成される。すなわち、このＭＲヘッド５０においては、一対の切り欠き部５１，５２間に位置する下部磁気シールド薄膜４の幅方向の中心部のヘッド側面からの距離と、ＭＲ素子７の幅方向の中心部のヘッド側面からの距離とがほぼ等しくなるようになされている。
【００７４】
以上のように構成されるＭＲヘッド５０は、第１の実施の形態のＭＲヘッド１と同様に、一方の側面を接着面として、紫外線硬化樹脂等の接着剤により、ヘッド支持板３０に取り付けられる。そして、ＭＲヘッド５０は、ヘッド支持板３０に取り付けられた状態で、図４に示すような回転型磁気ヘッド装置４０に搭載される。
【００７５】
ここで、ＭＲヘッド５０においては、上述したように、下部磁気シールド薄膜４に形成された一対の切り欠き部５１，５２間の距離Ｌ１が、ＭＲ素子７のテープ摺動面から外部に露出する端面の幅と一対の強磁性膜９，１０のテープ摺動面から外部に露出する端面の幅との和Ｗ２よりも小さくされているので、これら一対の切り欠き部５１，５２間に位置する下部磁気シールド薄膜４の端面をマーカーとして利用し、ヘッド支持板３０への取り付け、及び回転ドラム４２への取り付けを適切に行うことができる。
【００７６】
すなわち、ＭＲヘッド５０においては、下部磁気シールド薄膜４に形成された一対の切り欠き部５１，５２間の距離Ｌ１が小さくされているので、これら一対の切り欠き部５１，５２間に位置する下部磁気シールド薄膜４の端面全体を画像認識の際の視野内に収めることが可能となる。したがって、一対の切り欠き部５１，５２とＭＲ素子７との位置関係を予め把握しておけば、ＭＲ素子７の位置を容易に認識することができる。
【００７７】
特に、このＭＲヘッド５０においては、上述したように、一対の切り欠き部５１，５２間に位置する下部磁気シールド薄膜４の幅方向の中心部と、ＭＲ素子７の幅方向の中心部とが、当該ＭＲヘッド５０の幅方向に関してほぼ一致した位置とされているので、一対の切り欠き部５１，５２間に位置する下部磁気シールド薄膜４の幅方向の中心部の位置を検出すれば、この位置をＭＲ素子７の幅方向の中心部、すなわち、トラックの中心として認識することができ、この位置を基準として、正確な位置合わせを行うことができる。
【００７８】
なお、以上は、下部磁気シールド薄膜４に一対の切り欠き部５１，５２を形成し、これら一対の切り欠き部５１，５２間に位置する下部磁気シールド薄膜４の端面をマーカーとして用いるようにした例について説明したが、本発明は、以上の例に限定されるものではなく、例えば、図９に示すように、上部磁気シールド薄膜５に一対の切り欠き部５５，５６を形成し、これら一対の切り欠き部５５，５６間の距離Ｌ２が、ＭＲ素子７のテープ摺動面から外部に露出する端面の幅と一対の強磁性膜９，１０のテープ摺動面から外部に露出する端面の幅との和Ｗ２よりも小さくなるようにして、これら一対の切り欠き部５５，５６間に位置する上部磁気シールド薄膜５の端面をマーカーとして用いるようにしてもよい。
【００７９】
また、図１０に示すように、下部磁気シールド薄膜４に一対の切り欠き部５１，５２を形成し、これら一対の切り欠き部５１，５２間の距離Ｌ１が、ＭＲ素子７のテープ摺動面から外部に露出する端面の幅と一対の強磁性膜９，１０のテープ摺動面から外部に露出する端面の幅との和Ｗ２よりも小さくなるようにすると共に、上部磁気シールド薄膜５に一対の切り欠き部５５，５６を形成し、これら一対の切り欠き部５５，５６間の距離Ｌ２が、ＭＲ素子７のテープ摺動面から外部に露出する端面の幅と一対の強磁性膜９，１０のテープ摺動面から外部に露出する端面の幅との和Ｗ２よりも小さくなるようにして、一対の切り欠き部５１，５２間に位置する下部磁気シールド薄膜４の端面及び一対の切り欠き部５５，５６間に位置する上部磁気シールド薄膜５の端面を選択的にマーカーとして用いるようにしてもよい。
【００８０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る回転型磁気ヘッド装置の製造方法によれば、再生用磁気ヘッドとしての磁気抵抗効果型磁気ヘッドを回転ドラムに正確に取り付けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の回転型磁気ヘッド装置の製造方法により製造される回転型磁気ヘッド装置に搭載されるＭＲヘッドの一例を示す斜視図である。
【図２】  図１におけるＡ部をテープ摺動面から見た様子を拡大して示す平面図である。
【図３】  上記ＭＲヘッドがヘッド支持板に取り付けられた状態を示す斜視図である。
【図４】  本発明に係る回転型磁気ヘッド装置の製造方法により製造される回転型磁気ヘッド装置の一例を示す斜視図である。
【図５】  本発明の回転型磁気ヘッド装置の製造方法により製造される回転型磁気ヘッド装置に搭載される他のＭＲヘッドをテープ摺動面側から見た様子を拡大して示す平面図である。
【図６】  本発明の回転型磁気ヘッド装置の製造方法により製造される回転型磁気ヘッド装置に搭載される更に他のＭＲヘッドをテープ摺動面側から見た様子を拡大して示す平面図である。
【図７】  本発明の回転型磁気ヘッド装置の製造方法により製造される回転型磁気ヘッド装置に搭載される更に他のＭＲヘッドをテープ摺動面側から見た様子を拡大して示す平面図である。
【図８】  本発明の回転型磁気ヘッド装置の製造方法により製造される回転型磁気ヘッド装置に搭載される更に他のＭＲヘッドをテープ摺動面側から見た様子を拡大して示す平面図である。
【図９】  本発明の回転型磁気ヘッド装置の製造方法により製造される回転型磁気ヘッド装置に搭載される更に他のＭＲヘッドをテープ摺動面側から見た様子を拡大して示す平面図である。
【図１０】  本発明の回転型磁気ヘッド装置の製造方法により製造される回転型磁気ヘッド装置に搭載される更に他のＭＲヘッドをテープ摺動面側から見た様子を拡大して示す平面図である。
【図１１】  ハードディスクドライブで用いられていた従来の複合型磁気ヘッドの一例を示す図であり、この複合型磁気ヘッドが浮上スライダに搭載された状態を示す斜視図である。
【図１２】  従来の複合型磁気ヘッドの一例を示す図であり、浮上スライダに搭載された複合型磁気ヘッドを空気潤滑面側から見た様子を拡大して示す平面図である。
【図１３】  従来の複合型磁気ヘッドの一例を示す図であり、図１１におけるＸ１−Ｘ２線断面図である。
【図１４】  ヘリカルスキャン方式のテープ系システムにおける再生用ヘッドとして構成されたＭＲヘッドの一例を示す斜視図である。
【図１５】  上記ＭＲヘッドをテープ摺動面側から見た様子を拡大して示す平面図である。
【符号の説明】
１，５０  ＭＲヘッド、２，３  基板、４  下部磁気シールド薄膜、５  上部磁気シールド薄膜、６  第１のギャップ膜、７  ＭＲ素子、８  第２のギャップ膜、９，１０  強磁性膜、３０  ヘッド支持板、４０  回転型磁気ヘッド装置、４１  固定ドラム、４２  回転ドラム、５１，５２，５５，５６  切り欠き部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
0004081937.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
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