(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送されるシート状透明体に存在する、光学歪みを伴う欠点を検出する欠点検査装置において、
前記シート状透明体の一方の側に設けられた１次元の撮像手段と、
前記シート状透明体の他方の側に設けられた照明手段とを備え、
前記照明手段は明部と暗部を有し、前記照明手段の明部と暗部は、直線状の光源と、前記光源と前記シート状透明体の間に設けられ、前記光源の長手方向に平行に延びるエッジ部を有し、前記エッジ部を含む側が前記光源の一部分を長手方向に沿って覆うように配置された第１の遮光板とで形成され、前記明部と暗部との境界部は、前記直線状の光源に平行な直線状をなし、前記第１の遮光板のエッジ部は、前記撮像手段の光軸に位置するように配置され、前記撮像手段の観察範囲を前記境界部とし、
前記光源と前記シート状透明体との間に設けられ、前記第１の遮光板のエッジ部に平行に延びるエッジ部を有し、前記光源からの暗視野照明となる間接光を調整して欠点が乱反射光を発生することを抑制するための第２の遮光板を、前記照明手段がさらに備え、
前記シート状透明体が、前記直線状の境界部と直交する方向に搬送されるときに、前記撮像手段は前記境界部を観察し、前記撮像手段の１次元出力から２次元の画像データを作成し、画像データを３値化処理した画像データに変換し、３値化画像データに基づく表示画像を形成する画像処理手段を備え、前記表示画像中に、前記シート状透明体の搬送方向に順次表れる明部，暗部よりなる欠点パターンを表示することを特徴とする欠点検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の欠点検査装置において、
前記欠点の種類の識別は、前記欠点パターンを構成する明部，暗部が前記シート状透明体の搬送方向に表れる順序、および明部，暗部の組合わせにより行うことを特徴とする欠点検査装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の欠点検査装置において、
前記１次元の撮像手段は、レンズとラインセンサカメラとにより構成されることを特徴とする欠点検査装置。
【請求項４】
請求項１，２または３に記載の欠点検査装置において、
前記直線状の光源は直管の蛍光灯であることを特徴とする欠点検査装置。
【請求項５】
請求項４に記載の欠点検査装置において、
前記蛍光灯は、３０ｋＨｚ以上で高周波点灯させることを特徴とする欠点検査装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の欠点検査装置において、
前記第１および２の遮光板は、黒色であることを特徴とする欠点検査装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の欠点検査装置において、
前記シート状透明体は、ガラス板であることを特徴とする欠点検査装置。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれかに記載の欠点検査装置において、
前記シート状透明体は、透明膜が被覆されたガラス板であることを特徴とする欠点検査装置。
【発明の詳細な説明】
技  術  分  野
本発明は、ガラス板等の透明板、あるいは透明膜が被覆された透明板のようなシート状透明体に存在する光学歪みを伴う欠点の検査方法および欠点検査装置に関する。
背  景  技  術
透明板、例えばガラス板に存在する欠点には、表面に存在する凹凸，表面に落下した異物による欠点である落下異物、落下異物跡に存在するクレータ状の凹凸、内部に存在する異物，泡等がある。また、表面に透明膜が被覆されたガラス板の場合、透明膜の欠点には、ピンホールなどがある。これら欠点が光学歪みを伴うと、光学歪みにより光が屈折する。このため、光学歪みを伴うガラス板等は、光学基板として欠陥品となり利用できないため検査により除く必要がある。
ガラス板等の光学歪みを検査して評価する光学歪みの測定方法が、特開平８−２４７９５４号公報に開示されている。この公報に記載の測定方法では、光源および撮像素子に対する被測定物の位置を相対的に変化させながら、被測定物が拡散光部と遮光部の境界のエッジ部を通過する前の画像情報と後の画像情報との差の絶対値を用いて光学歪みを測定している。しかし、エッジ部を通過する前の画像情報と後の画像情報との差の絶対値では、光学歪みを持った欠点、例えば異物と泡を区別することができない。
また、日本国特許第３１７８６４４号（ＵＳ  ５６９１８１１Ａ，ＥＰ  ０７２６４５７Ａ２）公報には、光源からの光を光源近くに設けた複数の微小な遮光部と透光部が交互に形成されたスリット板を通して透明板状体に投光し、透明板状体を挟んで光源とは反対側に設けた１次元カメラにより、濃淡の変化を撮像し、画像処理装置により欠点を検出する際に、カメラの焦点をスリット板より離れる方向に移動させたときに、スリット板の遮光部の黒（暗部）と透光部の白（明部）とが重なった灰色状態、つまり濃淡レベルの合成波形の最大値と最小値の差が最初にゼロとなる位置近傍を欠点検出用の焦点位置とし、得られた画像信号がフラッグ状で構成される場合を欠点と判定して、埃や汚れと区別できるようにした透明板状体の欠点検出方法が開示されている。
しかし、この欠点検出方法では、光学歪みを持たない埃や汚れと、光学歪みを持った欠点とを区別して検出することは可能であるが、共に光学歪みを持った異なる欠点、例えば異物と泡を区別することはできない。なぜならば、投光部と遮光部が線状で一方向に平行に設置された複数の線列スリット、あるいは線列スリットを二方向に設置しクロスさせた格子状スリット、あるいはチェッカー模様状に複数の微小な遮光部と透光部が交互に形成されたチェッカー状スリットでは、遮光部と透光部が複数であるが故に、それらの間隔や光学歪み欠点の屈折率の違いで、欠点の明部と暗部のパターンは、同じ種別の欠点であっても、同じパターンになるとは限らないし、別の種別の欠点同士が同じパターンになることもある。例えば、透明板状体の搬送方向にある異物が、「明暗明暗明」のパターンを、別の異物が「暗明暗明」のパターンを持ち、ある泡が「暗明暗明」のパターンを持つことが考えられる。
発  明  の  開  示
本発明の目的は、シート状透明体における光学歪みを有する欠点を、その種類を区別可能に検査する方法および装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、さらに、シート状透明体における光学歪みを有する欠点を、シート状透明体の表面に付着し光学歪みを有しない埃とを区別可能に検査する装置を提供することにある。
本発明の第１の態様は、搬送されるシート状透明体に存在する、光学歪みを伴う欠点を検出する欠点検査方法である。この欠点検査方法では、シート状透明体の一方の側に照明手段を設け、シート状透明体の他方の側に１次元の撮像手段を設ける。照明手段は明部と暗部を有し、明部と暗部の境界部を実質的に１次元の撮像手段に平行な直線状とし、前記撮像手段の視野を前記境界部とする。撮像手段の１次元出力から２次元の画像データを作成し、画像データを３値化処理した画像データに変換し、３値化画像データに基づく表示画像中に、シート状透明体の搬送方向に順次表れる明部，暗部よりなる欠点パターンにより欠点を検出し且つ欠点の種類を識別する。
本発明の第２の態様は、搬送されるシート状透明体に存在する、光学歪みを伴う欠点を検出する欠点検査装置である。この欠点検査装置は、シート状透明体の一方の側に設けられた１次元の撮像手段と、シート状透明体の他方の側に設けられた照明手段とを備える。照明手段は明部と暗部を有し、明部と暗部の境界部を実質的に前記１次元の撮像手段に平行な直線状とし、撮像手段の視野を前記境界部とする。さらに、撮像手段の１次元出力から２次元の画像データを作成し、画像データを３値化処理した画像データに変換し、３値化画像データに基づく表示画像を形成する画像処理手段を備え、表示画像中に、シート状透明体の搬送方向に順次表れる明部，暗部よりなる欠点パターンを表示する。
本発明の検査方法および装置では、前記欠点の種類の識別は、前記欠点パターンを構成する明部，暗部が前記シート状透明体の搬送方向に表れる順序、および明部，暗部の組合わせにより行う。このようにして識別される欠点の種類は、異物欠点，泡欠点，凸部欠点，凹部欠点，落下異物欠点，落下異物跡欠点のうちの少なくともいずれか１つである。
発明を実施するための最良の形態
（実施例１）
図１に、本発明による欠点検査装置１の第１の実施例の構成を示す。この欠点検出装置は、照明手段２と撮像手段４と画像処理手段６とを備えている。照明手段２は、照明手段の暗部を構成する遮光板２２と、照明手段の明部を構成する光源２１とから構成されている。撮像手段４は１次元走査を繰り返すラインセンサ（分解能５０μｍ）であり、ラインセンサカメラ４１とレンズ４２とから構成されている。以上のような照明手段２と撮像手段４との間を、ガラス板３は搬送手段５によって搬送される。搬送方向は矢印で示すように、図において左方向である。ラインセンサ４からの１次元出力信号は、画像処理手段６へ送られ、画像処理手段では、１次元出力信号により画像データを形成し、この画像データを３値化処理し、３値化処理画像データに基づく画像を表示し、欠点を表す「明部」，「暗部」パターンを観察できるようにする。
照明手段２の明部を構成する光源２１としては、直管の蛍光灯を用いた。通常の商用電源による点灯では、光量むらが大きいので、高周波点灯とした。なお、駆動周波数は３０ｋＨｚ以上とした。このように蛍光灯を高周波で点灯させる照明は安価であり、光量むらが少ないので好ましい。特に長さの長い光源が必要な場合に、蛍光灯を用いると有効である。
蛍光灯２１の上方に、照明手段２の暗部を構成する遮光板２２を配置した。配置する位置としては、ラインセンサ４の光軸７に遮光板のエッジが一致するようにして、光軸７に対してガラス板の搬送方向下流側である。遮光板２２は、明部とのコントラストを大きくするために、黒色とするのが好ましく、艶消しとなっているとさらに好ましい。さらには、明部の明るさを大きくするには、図１に示すように、蛍光灯２１の中心がラインセンサ４の光軸７に対して、右側へずれるように配置するのが望ましい。
図２は、ラインセンサ４の位置から照明手段側を見た図である。遮光板２２が暗部を構成し、遮光板２２で隠されていない蛍光灯２１の発光表面が明部を構成している。明部と暗部の境にある×印の位置がラインセンサの視野中心である。そして、ラインセンサは、明部と暗部の境界部を１次元に走査して観察する。
照明手段の上方には、被検査対象物であるガラス板３を搬送するための搬送手段５が設けられている。図１においては、ローラによって矢印方向へ搬送を行っている。すなわち、照明手段２における明部と暗部の境界部の長さ方向が、搬送方向と直交している。
搬送手段の上方には、ラインセンサカメラ４１およびレンズ４２より構成されるラインセンサ４を設置している。このとき、ラインセンサカメラの観察範囲は、前述したように照明手段２の明部と暗部の境界部に合わせている。なお、ラインセンサカメラの観察可能な長さは決まっているので、被検査対象物の幅に合わせて、適宜設置台数を決めることができる。なお、ラインセンサカメラ４２の焦点位置は、透明板近傍とする。好ましくは、透明板の表面とする。
画像処理手段６としては、例えばコンピュータを利用できる。ラインセンサの出力がアナログ信号の場合は、コンピュータにはデジタル信号に変換して取り込む必要があるので、画像出力手段６は、少なくともアナログ／デジタル変換機能を有する画像入力装置をさらに有することが要求される。ラインセンサカメラがデジタルカメラである場合には、アナログ／デジタル変換は不要である。
以上の欠点検出装置において、ガラス板３に欠点がある場合に、表示画像において欠点を表す「明部」，「暗部」よりなる欠点パターンを観察できる原理を、以下に説明する。
図１において、ラインセンサ４の位置から、ガラス板の表面上にある光学歪みを伴う凸部欠点を、目視して観察したときの照明手段の見え方を、模式的に図に示す。図３Ａは、ガラス板に凸部欠点が無い場合を示す。左半分の黒地部分は照明手段の暗部である遮光板２２を表し、右半分の白地部分は照明手段の明部である光源２１の発光部分を表している。黒地部分と白地部分との境の上方にガラス板の凸部欠点があると、凸部欠点のレンズ作用によって光が屈折し、図３Ｂに１０で示すように、明部２１と暗部２２との境の明部２１背景中に暗部が、暗部２２背景中に明部が表れる。図３Ａ，図３Ｂは、あくまでも人間が目視により観察した場合であるが、焦点距離をガラス板表面に合わせたラインセンサで観察した場合には、明部２１と暗部２２との境がぼやけて見え、明部と暗部の明るさの比率により中間の明るさとなる。なお、この中間の明るさを、正確に明部の明るさと暗部の明るさとの中間の明るさに設定するためには、まず遮光板２２を設けない状態でラインセンサの出力を求め、この出力を１００とする。つぎに遮光板を設置して、ラインセンサの出力が５０となるように、遮光板２２の配置位置を調整することにより行う。
そして、ガラス板は搬送されているので、後述するように、ラインセンサはまず欠点１０による光の屈折の結果、明部２１を検出し、続いて暗部２２を検出することになる。ラインセンサの出力信号を、画像処理手段で画像データにし、この画像データを３値化処理して画像表示すると、画像上には「明部」と「暗部」よりなるパターンが観察される。この「明暗」パターンが観察されれば、欠点は少なくとも凸部欠点であることが推定される。
以上は凸部欠点について、観察される欠点パターンについて説明したが、凸部欠点について、「明暗」パターンが発生する原理をさらに詳述すると共に、併せて泡欠点の場合に観察される欠点パターンについても説明する。
図４は、図３Ａ，図３Ｂにおいて説明したと同様に、ガラス板の表面に凸部が存在する場合を説明するための図である。図４Ａは、ラインセンサ４が、搬送されてくるガラス板３の表面の凸部３１の前半部分を観察している状態を示す。ラインセンサ４に主として入射する光の光軸は、凸部３１のレンズ作用により、遮光板２２のエッジから蛍光灯２１の発光面側へ偏移している。このため、光学歪みのない正常な部分を観察している場合に比べて、ラインセンサに入射する光量が増加する。
図４Ｂは、ラインセンサ４が、搬送されてくるガラス板の表面の凸部３１の後半部分を観察している状態を示す。ラインセンサ４に主として入射する光の光軸は、凸部３１のレンズ作用により、遮光板２２のエッジから遮光板の内側へ偏移している。このため、光学歪みのない正常な部分を観察している場合に比べて、ラインセンサに入射する光量が減少する。
上述のような表面に凸部が存在するガラス板を移動させながらラインセンサで観察した場合、ラインセンサの出力１（明るさを表している）は図４Ｃのようになる。なお、図４Ｃは、ラインセンサの１画素における出力を示しており、横軸Ｌは、ガラス板の移動距離である。
図４Ｃにおいて、出力Ｉ０は、図３Ａにおいて明部２１と暗部２２との境のぼやけた部分を観察している場合のラインセンサの前記画素の出力のレベルを示している。凸部欠点が移動してくると、ラインセンサの出力はまずレベルＩ０より大きくなり、続いてレベルＩ０より小さくなる。
ラインセンサの出力は、画像入力装置によりコンピュータに取り込まれ、画像データが形成される。この画像データは、３値化処理されて、３値化画像がディスプレイ上に表示される。ディスプレイ上には、凸部欠点の存在に対応して、「明部」と「暗部」がこの順で現れ、「明部」と「暗部」とよりなる「明暗」パターンが表示される。
なお光学歪みを伴う異物欠点の場合も、凸部欠点と同様に「明暗」パターンとして現れることが確かめられた。
また、ガラス板の表面に存在する凹部欠点の場合、３値化画像には、凸部欠点とは逆に、「暗明」パターンが現れることは、容易に理解できるであろう。さらに、ガラス板の表面に被覆された膜のピンホール欠点も、「暗明」パターンが現れることを確認している。
つぎに、ガラス板内に泡欠点が存在する場合の例を説明する。図５Ａは、ラインセンサ４が、搬送されてくるガラス板内の泡欠点３２の前半部を観察している状態を示す図である。ラインセンサ４に主として入射する光の光軸は、泡欠点のレンズ作用により、遮光板２２のエッジから遮光板の内側へ偏移している。このため、正常な部分を観察している場合に比べて、ラインセンサに入射する光量が減少する。
図５Ｂは、ラインセンサ４が、搬送されてくるガラス板内の泡欠点３２の後半部を観察している状態を示す。ラインセンサ４に主として入射する光の光軸は、泡欠点のレンズ作用により、遮光板２２のエッジから蛍光灯２１の発光面側へ偏移している。このため、正常な部分を観察している場合に比べて、ラインセンサに入射する光量が増加する。
上述のような泡欠点が存在するガラス板を移動させながらラインセンサで観察した場合、ラインセンサの１画素の出力Ｉは図５Ｃのようになる。泡部欠点が移動してくると、出力はまずレベルＩ０より小さくなり、続いてレベルＩ０より大きくなる。ラインセンサの出力は、コンピュータに取り込まれ、画像データが形成され、３値化処理される。泡欠点の存在に対応して、３値化画像上に「暗部」と「明部」がこの順で現れ、「暗部」と「明部」よりなる「暗明」パターンが表示される。
以上のように、欠点の種類によって、つまり光を屈折させる性質の違いによって、ガラス板の搬送方向に「明部」と「暗部」の現れる順序が決まり、「明部」と「暗部」とで構成される欠点パターンに違いが生じる。この欠点パターンの違いによって、欠点の種類を識別することができる。なおこのような欠点の種類の識別は、［発明の背景］で述べたように、日本国特許第３１７８６４４号公報に記載の遮光部と透光部が複数であるスリット板では困難であり、本発明の１次元の撮像手段に平行な直線状の透光部が１つしかない、言い換えれば複数でないスリット照明でのみ可能である。なお実際の欠点では、搬送方向以外も含めると「明部」と「暗部」よりなる複雑な欠点パターンを形成する場合が多いが、そのような欠点は、各種の欠点がまざり合った複合欠点と見なすことも可能である。
上述した検査装置によって、具体的にガラス板に存在する泡欠点を観察した例を示す。図６は、ラインセンサカメラ４１からの信号を、画像入力装置にてコンピュータに取り込んで画像データを形成し、３値化処理を行うことなくディスプレイ上に表示した画像である。また、画面上の縦カーソルＣ１および横カーソルＣ２上における濃淡プロファイルも併せて示している。画像において、横方向はガラス板の搬送方向であり、縦方向はラインセンサの走査方向である。この画像では、画像の濃淡が不鮮明であり、したがって「明部」，「暗部」よりなる欠点パターンは不明瞭である。
本発明では、コンピュータにおいて、この２次元画像データについて、３値化処理を行い、明部と暗部とのコントラストを大きくする。３値化処理は、まず２次元画像データの全体の平均した明るさを求める。それを基準にして、＋側と−側のしきい値を適宜設定して、＋側のしきい値以上の画素データの部分を「明部」とし、−側のしきい値以下の画素データの部分を「暗部」とし、＋側と−側のしきい値の間の範囲を「灰部」とする。なお、前記平均した明るさは、２次元画像データの全体から求めたが、これに限られるものではない。例えば、２次元画像の周辺部のみに対応する画像データから求めてもよい。
３値化された画像データをディスプレイに表示した画像を図７に示す。画像の濃淡がより鮮明になっている。このように３値化処理を行うと、「明部」，「暗部」よりなる欠点パターンを明瞭に表示することができる。
泡欠点の場合、ガラス板の搬送にしたがって、搬送方向にまず「暗部」が、続いて「明部」が現れ、「暗明」パターンを形成していることがわかる。図７に示した例では、「明部」パターンの後方ににさらに「暗部」が現れている。これは、泡欠点が大きく光学歪みが大きな場合に、観察している視野が蛍光灯の範囲から外れることによって起こる現象である。以上のことから、「暗明」パターンはラインセンサの分解能の整数倍を基準にして小さい泡欠点を示し、「暗明暗」パターンはラインセンサの分解能の整数倍を基準にして大きい泡欠点を示すことがわかる。
図８は、単純な凸部を伴う異物欠点を観察した場合の３値化処理前の画像データによる画像である。同様に３値化処理を行い、３値化された画像データによる画像を図９に示す。このような異物欠点の場合、ガラス板の進行にしたがって、まず「明部」が、続いて「暗部」が現れ、「明暗」パターンを形成していることがわかる。
以上、図１に示した欠点検査装置では、少なくとも異物欠点と泡欠点を区別することができる。
なお図１に示した欠点検査装置において、ガラス板３の搬送方向を逆にすれば、欠点パターンを構成する明部，暗部がガラス板の搬送方向に表れる順序は逆になることは、当業者には容易に理解できるであろう。
（実施例２）
上述した実施例１では、遮光板２２を１枚用いた例であったが、この実施例ではさらに他の遮光板を追加して用いる。図１０は、この例を示す図である。この他の遮光板２３は、光源である蛍光灯２１からの暗視野照明となる間接光を調整して、欠点からの乱反射光の発生を抑制するために設けている。このような遮光板２３は、ラインセンサの視野に入らない範囲で、その位置を調整することができる。
図１１は、図１０の検査装置において、ラインセンサ４の位置から照明手段側を見た図である。遮光板２２，２３が暗部を構成し、遮光板２２，２３で隠されていない蛍光灯２１の発光表面が明部２１を構成している。明部２１と暗部２２の境にある×印の位置がラインセンサの視野中心である。
この検査装置を用いて、ラインセンサの分解能の整数倍を基準にして大きな泡欠点を検出すると、図６に示した様な「暗部」，「明部」，「暗部」が続く「暗明暗」パターンが発生しやすくなる。図１２Ａ，図１２Ｂ，図１２Ｃ，図１２Ｄに、図５Ａ，図５Ｂ，図５Ｃに対応した図を示し、「暗明暗」パターン発生の原理を示す。図１２Ａでは、泡欠点の先端部付近を観察しており、図１２Ｄに示すようにラインセンサの出力がレベルＩ０より小さくなる。図１２Ｂでは、泡欠点の中央部よりやや後方を観察しており、出力がレベルＩ０より大きくなり、図１２Ｃでは、泡欠点の後端部付近を観察しており、出力がレベルＩ０より小さくなる。
つぎに、ガラス板上に存在する落下異物，落下異物の跡に存在するクレータ状の凹凸（この凹凸を落下異物跡という）の検査について説明する。
図１３Ａ，図１３Ｂは、ガラス板３上に存在する、周りに盛り上がりを伴う落下異物と、クレータ状の凹凸である落下異物跡を示す。図１３Ａに示すように異物６２が付着したままの落下異物欠点６３は周りに盛り上がりを伴っており、３値化画像では凸部欠点と同様の「明暗」パターンを示した。この「明暗」パターンの例を、図１４Ａに示す。また、図１３Ｂに示すようにクレータ状の落下異物跡欠点６４は、３値化画像では「明暗明暗」パターンを示した。これらパターンを図１４Ｂに示す。また、ラインセンサの分解能の整数倍を基準にして小さな落下異物跡は、「明暗」パターンになることを確かめた。
つぎに、図１０に示した検査装置を用いて、ラインセンサの焦点位置をガラス板表面にし、ガラス板表面に付着した埃を観察した場合のパターンを図１５に示す。図より明らかなように、埃では「暗部」しか観察されていないことがわかる。これは、付着している埃では、光を屈折することがないので、埃の存在によって遮光されることによって、入射光量が低下することのみを観察しているためである。
したがって、ラインセンサの焦点をガラス板表面にし、さらに遮光板２３により乱反射光の発生を抑制することにより、３値化画像の「明部」，「暗部」のパターンを判断することで、光学歪みを伴う欠点と埃を区別することが可能である。
なお図１０に示した欠点検査装置において、ガラス板３の搬送方向を逆にすれば、欠点パターンを構成する明部，暗部がガラス板の搬送方向に表れる順序は逆になることは、当業者には容易に理解できるであろう。
上記した埃と同様に、ガラス板表面に付着するものとして、ガラス板を切断したときの切断屑がある。このような切断屑は、光を屈折するので、光学歪みを伴う欠点と同様に検出することが可能である。ただし、切断屑の場合には、切断屑の大きさや形状に基づいて、「明部」および／または「暗部」よりなる複雑な欠点パターンを形成する場合が多い。
以上の実施例１，２では、照明手段２における明部と暗部の境界部の長さ方向と、透明板の搬送方向とは９０°の角度をなしているが、９０°に近い角度であってもよい。なお、ガラス製造における流れ方向の欠点を特に検出したい場合には、適宜斜めに交わらせるとよい。
（変形例）
上述した実施例１では、照明手段を、１本の蛍光灯と、１枚の遮光板により構成したが、これに限るものではない。例えば、図１６に示すように、２本の蛍光灯２１を設けてもよい。
また、図１７に示すように、複数本の蛍光灯２１を配置し、上方に遮光板２４と散乱板２５とを設けた照明手段としてもよい。
また、図１８に示すように、１本の蛍光灯２１の表面に遮光膜２６を直接形成して、照明手段としての明部と暗部を構成してもよい。
なお、以上の実施例および変形例では、光源として蛍光灯を用いたが、光源としては蛍光灯のほかに、例えばハロゲンランプを光源とし、ハロゲンランプからの光をファイバにて導いたファイバ照明でもよい。また棒状のＬＥＤ照明を用いてもよい。
なお、本発明による検査方法が適用可能な透明板は、必ずしも平板に限られるものではなく、パネルなどのように、ゆるやかな曲率を有している板でもよい。また透明板は、適宜切断された板材でも、連続的に供給される板材でもよい。さらに本発明による検査方法は、透光性を有していれば半透明な板にも適用可能である。
産業上の利用可能性
以上詳細に説明してきたように本発明による検査方法および装置では、光学歪みを伴う欠点を、コントラストがはっきりした「明部」と「暗部」よりなるパターンとして観察することができ、さらには上記パターンの状態、すなわち「明部」と「暗部」とがシート状透明体の搬送方向に表れる順序，およびその組合せによって、欠点の種類を識別することが可能である。
また本発明による検査方法および装置では、透明板の表面に付着した除去可能で、欠点とならない埃も検出することが可能であるので、透明板の表面に存在する凹凸や透明板に内在する異物、泡等の欠点と区別して処理することができる。このため、特に清浄な空間において検査をする必要がなく、クリーンブース等の新たな設備を必要としないので、検査にかかるコストを抑えることができる。さらには、例えばハンドリングによる埃の付着が多いといった情報も得ることができる。この情報をもとに、工程の改善を図ることも可能である。
【図面の簡単な説明】
図１は、発明による検査装置の基本的構成を説明する概略図である。
図２は、図１においてラインセンサの位置から照明手段側を見た図である。
図３Ａおよび図３Ｂは、照明手段を目視した場合に、その見え方を模式的に示す図である。
図４Ａ，図４Ｂ，図４Ｃは、ガラス板の表面に凸部が存在する場合を説明する図である。
図５Ａ，図５Ｂ，図５Ｃは、ガラス板内に泡欠点が存在する場合を説明する図である。
図６は、泡欠点を観察した画像データに基づく画像を示す図である。
図７は、泡欠点を観察した画像データを３値化処理し、３値化画像データに基づく画像を示す図である。
図８は、異物欠点を観察した画像データに基づく画像を示す図である。
図９は、異物欠点を観察した画像データを３値化処理し、３値化画像データに基づく画像を示す図である。
図１０は、さらに他の遮蔽板を用いた検査装置を示す図である。
図１１は、図１０においてラインセンサの位置から照明手段側を見た図である。
図１２Ａ，図１２Ｂ，図１２Ｃ，図１２Ｄは、図１０の検査装置において、ガラス板内に泡欠点が存在する場合を説明する図である。
図１３Ａ，図１３Ｂは、ガラス板上に存在する落下異物と、落下異物跡に存在するクレータ状の凹凸を示す図である。
図１４Ａ，図１４Ｂは、落下異物欠点およびクレータ状欠点に対応する「明部」，「暗部」のパターンを示す図である。
図１５は、埃を観察した画像データを３値化処理し、３値化画像データに基づく画像を示す図である。
図１６は、他の照明手段を示す図である。
図１７は、他の照明手段を示す図である。
図１８は、さらに他の照明手段を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１２Ｃ】
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【図１２Ｄ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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