(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に平滑面を備えた基台に導電箔を配置し、この導電箔上に所定の位置に設けられた貫通孔に未硬化状態の導電ペーストが充填されたプリプレグを配置し、部分的に熱圧着し、さらにこのプリプレグ上に導電箔を配置して、先に上記プリプレグの樹脂成分を硬化させた位置を避けて、部分的に熱圧着することにより、各層間が固着され後工程の本熱圧着まで各層間の積層位置を損なうことなく維持できる積層板の製造方法。
【請求項２】
上面に平滑面を備えた基台上に導電箔を配置し、この導電箔上に所定の位置に設けられた貫通孔に未硬化状態の導電ペーストが充填されたプリプレグを配置し、部分的に熱圧着し、さらにこのプリプレグ上に両面に導電パターンを施した内層材を位置決めして配置し、先に上記プリプレグの樹脂成分を硬化させた位置を避けて、部分的に熱圧着し、この内層材の上に上記と同様に形成されたプリプレグを位置決めして配置し、先に上記内層材にプリプレグを熱圧着させた位置を避けて、上記プリプレグの樹脂成分を硬化させて部分的に熱圧着し、この内層材と同プリプレグの配置を必要に応じて繰り返しながら各層毎に部分的に熱圧着した後、上記プリプレグの上に導電箔を配置し、先に上記プリプレグの樹脂成分を硬化させた位置を避けて、部分的に熱圧着することにより、各層間が固着され、各層間の積層精度を後工程の本熱圧着まで損なわずに維持できる積層板の製造方法。
【請求項３】
部分的に熱圧着する場所を各層毎に位置をずらせるようにした請求項１または請求項２に記載の積層板の製造方法。
【請求項４】
熱圧着する際に剥離性に優れた剥離用手段を介して熱圧着する請求項３に記載の積層板の製造方法。
【請求項５】
プリプレグが乾燥された状態で供給するようにした請求項１または請求項２に記載の積層板の製造方法。
【請求項６】
上面に平滑面を備えた基板積層用の基台を定間隔で備えて間欠搬送される基台搬送部と、導電箔を供給して前記基台上に載置する第１の導電箔供給部と、プリプレグ供給部から供給されたプリプレグを前記基台上に載置された導電箔上に載置する積層部と、上下移動自在に配設された上下アンカーポンチにより、前記導電箔とプリプレグとを部分的に熱圧着する熱圧着部と、導電箔を供給して前記導電箔上に載置されたプリプレグ上に載置する第２の導電箔供給部と、先に導電箔、プリプレグを部分的に熱圧着した位置とは異なる別の所定の位置で、前記導電箔、プリプレグ、導電箔を部分的に熱圧着する第２の導電箔供給部に配置され、上下移動自在の加熱機構が内蔵された上下対のアンカーポンチと、これらの積層された積層板を取り出す取り出し部とからなる積層板の製造装置。
【請求項７】
両面に導電パターンを形成した内層材を供給する内層材供給部を設けると共に積層部に位置決め機構を設け、プリプレグ供給部から供給されたプリプレグを基台上に載置された導電箔上に位置決めして載置し、熱圧着部の上下アンカーポンチを上下移動自在とし、さらに左右移動自在に配設し、前記導電箔、プリプレグを部分的に熱圧着し、このプリプレグ上に前記内層材を位置決めして載置し、前記熱圧着部により、前記プリプレグ、内層材を部分的に熱圧着し、更に、この内層材上に再びプリプレグを位置決めして載置し、前記熱圧着部により、前記内層材、プリプレグを部分的に熱圧着するようにした請求項６に記載の積層板の製造装置。
【請求項８】
第１の導電箔供給部が第２の導電箔供給部を兼ねたものである請求項６または請求項７に記載の積層板の製造装置。
【請求項９】
基台として積層板周辺部分に対応する位置に部分的に熱圧着するための抜き孔を設けたものを用いた請求項６〜８のいずれか一つに記載の積層板の製造装置。
【請求項１０】
基台の相対向する両辺にこの基台の上面に載置される導電箔を常に圧接するように付勢されたワーク押さえを設けた請求項６〜９のいずれか一つに記載の積層板の製造装置。
【請求項１１】
ワーク押さえを回転軸に取り付け、この回転軸をワーク押さえが常に基台の上面に圧接するように回転付勢するとともに、この回転軸に固着したアームに対向して回転軸の回転付勢方向と逆方向に回転制御して、ワーク押さえを一時的に基台上からの圧接を解除するワーク押さえ解除手段を設けた請求項１０に記載の積層板の製造装置。
【請求項１２】
基台の上面に載置される導電箔を吸着により基台上に位置決めするための真空吸着孔を基台に設けた請求項６〜９のいずれか一つに記載の積層板の製造装置。
【請求項１３】
基台を定間隔で備えた基台搬送部の間欠停止位置に、基台の一辺を基準位置に位置決めするストッパと、このストッパに基台を圧接する付勢部材を一組とした位置決め機構をＸ、Ｙ方向にそれぞれ設けるとともに、上記Ｘ、Ｙ方向のそれぞれのストッパと基台の当接状態をそれぞれ検知する検知手段を設けた請求項６〜１２のいずれか一つに記載の積層板の製造装置。
【請求項１４】
少なくともプリプレグを搬送供給する移動台車として、上面に凹部もしくは貫通孔を持ち、周辺部にワーク保持手段を設け、かつワーク保持手段の解除手段を持ったもので構成した請求項６〜８のいずれか一つに記載の積層板の製造装置。
【請求項１５】
積層部として、認識カメラによる認識部を有する請求項６〜８のいずれか一つに記載の積層板の製造装置。
【請求項１６】
認識部を、粗認識カメラによる粗認識部と、本認識カメラによる本認識部を有するものとした請求項１５に記載の積層板の製造装置。
【請求項１７】
積層部として、ベース上に配置された大Ｙ軸レール上に走行可能に配置された大Ｙテーブルを設け、この上に微細ｙ軸レールを設け、この微細ｙ軸レール上にｙテーブルをＹ方向に移動可能に設け、このｙテーブル上に微細ｘ軸レールを設け、この微細ｘ軸レール上にｘテーブルをＸ方向に移動可能に設け、このｘテーブル上にθテーブルを介してスイングボデイを設け、このスイングボデイ上にプリプレグまたは内層材をチャッキングするチャックをＺ方向に移動自在に設けて構成した請求項６〜８のいずれか一つに記載の積層板の製造装置。
【請求項１８】
積層部としてプリプレグの略中心部を弛ませるようにして位置決めする、相対向する一対のチャックを備え、少なくとも一つのチャックにテンションを加えるようにした請求項６〜１２のいずれか一つに記載の積層板の製造装置。
【請求項１９】
積層部として、プリプレグの略中心部を弛ませるようにして位置決めする、少なくとも４個のチャックを備え、この４個のチャックの内１個のチャックを固定チャックとし、隣接するチャックをＹ方向にテンションを加えるチャックとし、相対する側の一方のチャックをＸ方向にテンションを加えるＸテンションチャックとし、残りの１個のチャックをＸ−Ｙ方向にテンションを加えるＸ−Ｙテンションチャックもしくは固定チャックと対角方向にテンションを加える対角テンションチャックとした請求項６〜８のいずれか一つに記載の積層板の製造装置。
【請求項２０】
チャックに保持されてテンションを加えられたワークの略中心部を貼り付け部材に当接するための当接部を積層部に設けた請求項１８もしくは請求項１９に記載の積層板の製造装置。
【請求項２１】
少なくともワークの一部に食い込んでワークを保持するためのピンをチャックに設けた請求項１８〜２０のいずれか一つに記載の積層板の製造装置。
【請求項２２】
導電箔上にプリプレグまたは内層材を積層する基台の停止位置に、基台の抜き孔を通って上下動する下アンカーと、この下アンカーとの間に積層板の周辺部の一部を加圧して加熱されて積層体の一部を部分的に熱圧着する上アンカーを設けた請求項６〜８のいずれか一つに記載の積層板の製造装置。
【請求項２３】
積層板の取り出し部として、ベッド上のレールにガイドされて移動する移動体の内側両側面にキャリアプレートを走行させるローラを一定間隔をもって複数個設け、この移動体にキャリアプレートの一端に当接する固定板とキャリアプレートの内側面に当接して固定板とで位置決めする揺動可能な引っ掛け爪とを設け、このキャリアプレートを移動させてキャリアプレート上に並列に積層板を収納するようにした請求項６〜８いずれか一つに記載の積層板の製造装置。
【請求項２４】
導電箔上に載置されたプリプレグ、もしくはプリプレグと内層材とを介して載置された導電箔上を押圧して熱圧着する熱圧着機構を、第２の導電箔供給部から供給された導電箔が載置される基台搬送部の間欠停止位置に設けた請求項６〜８いずれか一つに記載の積層板の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種電子機器などに用いられる積層板の製造方法およびその製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、各種電子機器などに用いられる積層板は、電子機器の小型、軽量化にともない、接続あるいは配線用の導電パターンの狭ピッチ化が進み、積層板を構成する各材料間の積層精度の高精度化と生産性の向上が求められている。
【０００３】
図１４は従来の積層板の製造装置の要部構成を示す斜視図であり、図１４において、５はプリプレグであり、ガラスエポキシ、アラミドエポキシ、紙エポキシなどの基材でなり、レーザやドリル加工などの手段により設けた所定箇所の所定数の孔に、スキージなどの手段による導電性ペーストを充填（図示せず）しており、片面あるいは両面の所定箇所に複数の認識マーク１３８ａを設けている。
【０００４】
１２は内層材であり、前記プリプレグ５の両面に銅箔などの導電箔（図示せず）を積層し、熱プレスなどにより加熱、加圧した後、エッチングなどにより所定のパターンを形成しており、片面あるいは両面の所定箇所に複数の認識マーク１３８を設けている。
【０００５】
そして、１２３，１２３ａは開閉自在な連結した固定チャック、１２４，１２４ａは開閉自在な連結したＸテンションチャックであり、固定チャック１２３，１２３ａとＸテンションチャック１２４，１２４ａはプリプレグ５あるいは内層材１２のほぼ幅寸法で対向しており、それらにＸ方向のテンションを印加するものであり、これらでチャック部１２５を構成している。
【０００６】
１２８はチャック部１２５を搭載したｘθテーブルであり、金属材などでなるベース１３１の上面に設置された一対のｙ軸レール１２９にＹ方向に移動自在に載置されており、これらでアライメント部１３０を構成している。
【０００７】
１３７はチャック部１２５の上流に隣接した積層部であり、プリプレグ５あるいは内層材１２の認識マーク１３８ａ，１３８を認識する一対の認識カメラ１２６でなる認識部１２７、同側帯部の所定箇所に位置決め用などの孔加工を行う一対の孔加工部１３２、その加工された孔に基準位置決めのために挿入するガイドピン１３３を設置した位置決めプレート１３４、上下に対向して複数配設されＺ方向に移動自在なヒータなどを内蔵したアンカーポンチ１３５でなる熱圧着部１３６などにより構成されている。
【０００８】
次に、動作について説明すると、まず、ワークであるプリプレグ５、あるいは内層材１２を作業者が指定方向にてチャック部１２５にセットし、固定チャック１２３，１２３ａとＸテンションチャック１２４，１２４ａにより所定のテンションを印加して均一かつ平面度を出して維持している。
【０００９】
その後、Ｙ方向の移動および位置決めを兼ねたｘθテーブル１２８のｙ軸レール１２９の移動により積層部１３７まで移動し、認識部１２７の認識カメラ１２６で認識マーク１３８、あるいは１３８ａを認識後、ｘθテーブル１２８のｙ軸レール１２９を移動することにより位置決めを行う。
【００１０】
そして、ワークの所定箇所に孔加工部１３２で孔加工を行い、その孔を基準にして位置決めプレート１３４上に配置されたガイドピン１３３により、プリプレグ５、内層材１２、そして新規のプリプレグ５ａ（図示せず）の順に挿入し、上下に配置されたアンカーポンチ１３５からなる熱圧着部１３６でプリプレグ５，５ａと内層材１２の所定箇所を熱圧着を行い、それを作業者が別個の取り出し工程の先に設置された第１の導電箔上に位置決めして置き、その上に第２の導電箔（以上図示せず）を供給する。
【００１１】
続いて、別工程の樹脂硬化部などにおける熱プレスなどにより加熱、加圧して積層体が製造されるものである。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら前記従来の方法では、作業者がプリプレグ５，５ａあるいは内層材１２をチャック部１２５にセットするために認識部１２７の認識カメラ１２６の視野に入らず、再度チャック部１２５へのセットあるいは調整を行う必要があり、生産性が悪く、また、位置合わせのためのガイドピン用の孔がガイドピン１３３の挿入時に変形したり、一対のガイドピン１３３間で積層した基材すなわち材料がたるんだ状態で熱圧着されることもあり、各材料間の積層精度の保証が困難であった。
【００１３】
さらに、ガイドピン用の孔の加工により、塵、屑あるいは粉が発生し製造工程のクリーン度を低下させて製品の信頼性を損なう恐れがあるなどの課題を有していた。
【００１４】
本発明はこのような従来の課題を解決しようとするものであり、積層板製作の積層工程において、積層精度の向上と生産性の向上を図り、発塵が少なく信頼性の高い生産手段である積層板の製造方法およびその製造装置を提供することを目的とするものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために本発明は、上面に平滑面を備えた基台上に導電箔を配置し、この導電箔上に所定の位置に設けられた貫通孔に未硬化状態の導電性ペーストが充填されたプリプレグを配置し、さらにこのプリプレグの上に導電箔を配置するようにしたものであり、さらにまた、同様にしてパレット上に導電箔を配置し、この導電箔上にプリプレグを位置決めして配置し、さらにこのプリプレグの上に前記同様に形成された両面に導電パターンを施した内層材を位置決めして配置し、この内層材の上にプリプレグを位置決めして配置し、このプリプレグの上に導電箔を配置するようにしたものである。
【００１６】
この本発明により、積層板製作の積層工程において、積層精度の向上と生産性の向上が図れ、発塵が少なく、信頼性の高い生産手段を得ることが可能になる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、上面に平滑面を備えた基台に導電箔を配置し、この導電箔上に所定の位置に設けられた貫通孔に未硬化状態の導電ペーストが充填されたプリプレグを配置し、部分的に熱圧着し、さらにこのプリプレグ上に導電箔を配置して、先に上記プリプレグの樹脂成分を硬化させた位置を避けて、部分的に熱圧着することにより、各層間が固着され後工程の本熱圧着まで各層間の積層位置を損なうことなく維持できる積層板の製造方法としたものであり、上面に平滑面を備えた基台上で導電箔、プリプレグ、導電箔を積層でき、かつ、たるみなどがなく基台上に保持できて、積層板が１つの工程で生産できるので、ペーストのにじみなどの不具合の発生が削減できるという作用を有する。
【００１８】
請求項２に記載の発明は、上面に平滑面を備えた基台上に導電箔を配置し、この導電箔上に所定の位置に設けられた貫通孔に未硬化状態の導電ペーストが充填されたプリプレグを配置し、部分的に熱圧着し、さらにこのプリプレグ上に両面に導電パターンを施した内層材を位置決めして配置し、先に上記プリプレグの樹脂成分を硬化させた位置を避けて、部分的に熱圧着し、この内層材の上に上記と同様に形成されたプリプレグを位置決めして配置し、先に上記内層材にプリプレグを熱圧着させた位置を避けて、上記プリプレグの樹脂成分を硬化させて部分的に熱圧着し、この内層材と同プリプレグの配置を必要に応じて繰り返しながら各層毎に部分的に熱圧着した後、上記プリプレグの上に導電箔を配置し、先に上記プリプレグの樹脂成分を硬化させた位置を避けて、部分的に熱圧着することにより、各層間が固着され、各層間の積層精度を後工程の本熱圧着まで損なわずに維持できる積層板の製造方法としたものであり、ガイドピンを使用せずにプリプレグ、内層材、プリプレグが平面上で積層でき、たるみなどがなく導電箔、プリプレグ、内層材、プリプレグを保持できるとともに、導電箔も１つの工程で貼り合わせることができるという作用を有する。
【００１９】
請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の発明において、部分的に熱圧着する場所を各層毎に位置をずらせるようにした製造方法としたものであり、各層間を固着する際に常に未使用の面どうしを貼り合わせることができ、規定の固着強度を維持しながら積層位置を損なわずに保持できるという作用を有する。
【００２０】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の発明において、部分的に熱圧着する際に剥離性手段を介して熱圧着する製造方法としたものであり、熱圧着時のアンカーポンチへのプリプレグあるいは内層材の吸着を防止でき、積層精度を損なわずに熱圧着できるという作用を有する。
【００２１】
請求項５に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の発明において、プリプレグが乾燥された状態で供給するようにした製造方法としたものであり、長時間製造装置や工程内にストックできるという作用を有する。
【００２２】
請求項６に記載の発明は、上面に平滑面を備えた基板積層用の基台を定間隔で備えて間欠搬送される基台搬送部と、導電箔を供給して前記基台上に載置する第１の導電箔供給部と、プリプレグ供給部から供給されたプリプレグを前記基台上に載置された導電箔上に載置する積層部と、上下移動自在に配設された上下アンカーポンチにより、前記導電箔とプリプレグを部分的に熱圧着する熱圧着部と、導電箔を供給して前記導電箔上に載置されたプリプレグ上に載置する第２の導電箔供給部と、先に前記導電箔、プリプレグを部分的に熱圧着した位置とは異なる別の所定の位置で、前記導電箔、プリプレグ、導電箔を部分的に熱圧着する第２の導電箔供給部に配置され、上下移動自在の加熱機構が内蔵された上下対のアンカーポンチと、これらの積層された積層体を取り出す取り出し部からなる構成の積層板の製造装置としたものであり、各動作工程が並列処理できるという作用を有する。
【００２３】
請求項７に記載の発明は、請求項６記載の発明において、両面に導電パターンを形成した内層材を供給する内層材供給部を設けると共に積層部に位置決め機構を設け、プリプレグ供給部から供給されたプリプレグを基台上に配置された導電箔上に位置決めして載置し、熱圧着部の上下アンカーポンチを上下移動自在とし、さらに左右移動自在に配設し、前記導電箔、プリプレグを部分的に熱圧着し、このプリプレグ上に前記内層材を位置決めして載置し、前記熱圧着部により、前記プリプレグ、内層材を部分的に熱圧着し、更に、この内層材上に再びプリプレグを位置決めして載置し、前記熱圧着部により、前記内層材、プリプレグを部分的に熱圧着する構成の製造装置としたものであり、平面上に積層することができ、積層精度向上および各動作工程が並列処理できるという作用を有する。
【００２４】
請求項８に記載の発明は、請求項６または請求項７に記載の発明において、第１の導電箔供給部が第２の導電箔供給部を兼ねたものである構成の製造装置としたものであり、導電箔供給部が１つになり、製造装置の面積を小さくすることができるという作用を有する。
【００２５】
請求項９に記載の発明は、請求項６〜８のいずれか一つに記載の発明において、基台として積層体周辺部分に対応する位置に部分的に熱圧着するための抜き孔を設けたものを用いた構成の製造装置としたものであり、基台の停止位置で上下からアンカーにより熱圧着できて各層間を固着できるという作用を有する。
【００２６】
請求項１０に記載の発明は、請求項６〜９のいずれか一つに記載の発明において、基台の相対向する両辺にこの基台の上面に常に載置される導電箔を常に圧接するように付勢されたワーク押えを設けた構成の製造装置としたものであり、基台上に供給された導電箔の姿勢を基台搬送時および積層部で導電箔上にプリプレグ、または導電箔上にプリプレグ、さらに内層材を積層する際にも保持できるという作用を有する。
【００２７】
請求項１１に記載の発明は、請求項１０に記載の発明において、ワーク押えを回転軸に取り付けこの回転軸をワーク押えが常に基台の上面に圧接するように回転付勢するとともに、この回転軸に固着したアームに対向して回転軸の回転付勢方向と逆方向に回転制御してワーク押えを一時的に基台上からの圧接を解除するワーク押え解除手段を設けた構成の製造装置としたものであり、導電箔供給時にワーク押えを自動で解除できるという作用を有する。
【００２８】
請求項１２に記載の発明は、請求項６〜９のいずれか一つに記載の発明において、基台の上面に載置される導電箔を吸着により基台上に位置決めするための真空吸着孔を基台に設けた構成の製造装置としたものであり、導電箔を吸着することにより基台平面上に導電箔が、しわが無く均一に保持することができるという作用を有する。
【００２９】
請求項１３に記載の発明は、請求項６〜１２のいずれか一つに記載の発明において、基台を定間隔で備えた基台搬送部の間欠停止位置に、基台の一辺を基準位置に位置決めするストッパと、このストッパに基台を圧接する付勢部材を一組とした位置決め機構をＸ、Ｙ方向にそれぞれ設けるとともに、上記Ｘ、Ｙ方向のそれぞれのストッパと基台の当接状態をそれぞれ検知する検知手段を設けた構成の製造装置としたものであり、積層中における基台位置決め確認およびその精度が向上するという作用を有する。
【００３０】
請求項１４に記載の発明は、請求項６〜８のいずれか一つに記載の発明において、少なくともプリプレグを搬送供給する移動台車として、上面に凹部もしくは貫通孔を持ち、周辺部にワーク保持手段を設け、かつワーク保持手段の解除手段を持ったもので構成した製造装置としたものであり、孔に充填された導電ペーストに触れることなく、かつ搬送時の少なくともプリプレグのずれもないという作用を有する。
【００３１】
請求項１５に記載の発明は、請求項６〜８のいずれか一つに記載の発明において、積層部として、認識カメラによる認識部を有する構成の製造装置としたものであり、認識カメラによる認識マークの認識で、精度良く確実に位置決めすることができるという作用を有する。
【００３２】
請求項１６に記載の発明は、請求項１５に記載の発明において、認識部を、粗認識カメラによる粗認識部と、本認識カメラによる本認識部を有するものとした構成の製造装置としたものであり、粗認識カメラでプリプレグまたは内層材の認識マークが本認識カメラ視野に入る範囲に位置決めし、次に粗認識より倍率の高い本認識カメラで認識し位置決めすることにより、請求項１５に記載の発明による作用より、より高い位置決め精度や、積層精度の向上が図れるという作用を有する。
【００３３】
請求項１７に記載の発明は、請求項６〜８のいずれか一つに記載の発明において、積層部として、ベース上に配置された大Ｙ軸レール上に走行可能に配置された大Ｙテーブルを設け、この上に微細ｙ軸レールを設け、この微細ｙ軸レール上にｙテーブルをＹ方向に移動可能に設け、このｙテーブル上に微細ｘ軸レールを設け、この微細ｘ軸レール上にｘテーブルをＸ方向に移動可能に設け、このｘテーブル上にθテーブルを介してスイングボデイを設け、このスイングボデイ上にプリプレグまたは内層材をチャッキングするチャックをＺ方向に移動自在に設けて構成した製造装置としたものであり、長ストローク移動用大Ｙ軸レールと微小距離高精度位置決め用ｙ軸レールを分離して生産性と積層精度の向上を両立させ、かつスイングボデイ上に配置されたチャックでプリプレグまたは内層材をチャッキングしたままの姿勢で認識後、位置決めし、積層することができ積層精度が向上するという作用を有する。
【００３４】
請求項１８に記載の発明は、請求項６〜１２のいずれか一つに記載の発明において、積層部として、プリプレグの略中心部を弛ませるようにして位置決めする、相対向する一対のチャックを備え、少なくとも一つのチャックにテンションを加えるようにした構成の製造装置としたものであり、プリプレグまたは内層材のしわ、たるみをとることが可能で、精度良く認識マークを認識でき、積層精度の向上が図れるという作用を有する。
【００３５】
請求項１９に記載の発明は、請求項６〜８のいずれか一つに記載の発明において、積層部として、プリプレグの略中心部を弛ませるようにして位置決めする、少なくとも４個のチャックを備え、この４個のチャックの内１個のチャックを固定チャックとし、隣接するチャックをＹ方向にテンションを加えるチャックとし、相対する側の一方のチャックをＸ方向にテンションを加えるＸテンションチャックとし、残りの１個のチャックをＸ−Ｙ方向にテンションを加えるＸ−Ｙテンションチャックもしくは固定チャックと対角方向にテンションを加える対角テンションチャックとした構成の製造装置としたものであり、プリプレグまたは内層材のしわ、たるみをとることができ、積層精度の向上が図れるという作用を有する。
【００３６】
請求項２０に記載の発明は、請求項１８もしくは１９に記載の発明において、チャックに保持されてテンションを加えられたワークの略中心部を貼り付け部材に当接するための当接部を積層部に設けた構成の製造装置としたものであり、ワークの略中心部を貼り付け部材に当接することにより、その後の熱圧着完了までワークの状態を保持できるという作用を有する。
【００３７】
請求項２１に記載の発明は、請求項１８〜２０のいずれか一つに記載の発明において、少なくともワークの一部に食い込んでワークを保持するためのピンをチャックに設けた構成の製造装置としたものであり、チャックに対するワークの滑りを防止して、安定してワークを保持することができ、積層精度の向上が図れるという作用を有する。
【００３８】
請求項２２に記載の発明は、請求項６〜８のいずれか一つに記載の発明において、導電箔上にプリプレグまたは内層材を積層する基台の停止位置に、基台の抜き孔を通って上下動する下アンカーと、この下アンカーとの間に積層板の周辺部の一部を加圧して加熱されて積層板の一部を部分的に熱圧着する上アンカーを設けた構成の製造装置としたものであり、各層間の固着を容易にし、固着強度を保持でき、積層精度を損なわずに積層できるという作用を有する。
【００３９】
請求項２３に記載の発明は、請求項６〜８のいずれか一つに記載の発明において、積層板の取り出し部として、ベッド上のレールにガイドされて移動する移動体の内側両側面にキャリアプレートを走行させるローラを一定間隔をもって複数個設け、この移動体にキャリアプレートの一端に当接する固定板とキャリアプレートの内側面に当接して固定板とで位置決めする揺動可能な引っ掛け爪とを設け、このキャリアプレートを移動させてキャリアプレート上に並列に積層板を収納するようにした構成の製造装置としたものであり、自動で積層板の取り出しが可能になるという作用を有する。
【００４０】
請求項２４に記載の発明は、請求項６〜８のいずれか一つに記載の発明において、導電箔上に載置されたプリプレグ、もしくはプリプレグと内層材とを介して載置された導電箔上を押圧して熱圧着する熱圧着機構を、第２の導電箔供給部から供給された導電箔が載置される基台搬送部の間欠停止位置に設けた構成の製造装置としたものであり、少なくとも導電箔とプリプレグと導電箔、もしくは導電箔とプリプレグと内層材とプリプレグと導電箔とを一度に熱圧着することができ、ずれの発生が無く次工程まで積層精度を損なわずに維持できるという作用を有する。
【００４１】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００４２】
（実施の形態１）
図１は本発明の第１の実施の形態における２層の積層板の製造方法を説明する製造工程図であり、図１において、１は基台であるところの金属材あるいは樹脂材などでなるパレットであり、金属材あるいはセラミック材でなり、内部にニクロム線などのヒータ、電磁誘導、赤外線などによる加熱機構を埋設し上下移動自在な複数の対のアンカーポンチ９、および、下アンカーポンチ７が挿通するアンカー抜き孔２を複数設けている。
【００４３】
３，３ａは銅箔などでなる導電箔、５は従来の技術の項で説明したプリプレグ、４は導電性ペーストであり、導電材料や混合材および溶剤などでなり、スキージなどの手段により、プリプレグ５の所定箇所における所定数の孔に充填されている。
【００４４】
６は下アンカーポンチ７に対向した同じく上下移動自在の上アンカーポンチ、８は剥離性に優れた剥離手段としてのフッ素樹脂テープ、そして１０は完成した２層の積層板である。
【００４５】
次に、製造方法について説明すると、まず、図１（ａ）に示すように、上、下アンカーポンチ６，７、およびアンカーポンチ９が上下に待避したパレット１の上面に導電箔３を載置する。
【００４６】
次に、図１（ｂ）に示すように、導電箔３の上に導電性ペースト４が充填され、導電箔３よりやや小さいサイズのプリプレグ５を位置決めして載置する。
【００４７】
次に、図１（ｃ）に示すように、パレット１の上面の導電箔３およびプリプレグ５の所定位置を、パレット１に設けられたアンカー抜き孔２を挿通して上昇させた下アンカーポンチ７と、下降させた上アンカーポンチ６とプリプレグ５の間にフッ素樹脂テープ８を介在させて上アンカーポンチ６のプリプレグ５へのくっつきを防止し、導電箔３とプリプレグ５を加熱、加圧してプリプレグ５の樹脂成分を硬化させて導電箔３と部分的に熱圧着する。
【００４８】
次に、図１（ｄ）に示すように、上、下アンカーポンチ６，７を再び元の位置に復帰させて待機させた後、プリプレグ５上にプリプレグ５よりやや大きいサイズの導電箔３ａを載置する。
【００４９】
次に、図１（ｅ）に示すように、パレット１上の導電箔３、プリプレグ５、導電箔３ａの前記導電箔３とプリプレグ５を熱圧着した位置とは異なる別の所定の位置で、上下に設けたアンカーポンチ９を上昇および下降させて加熱、加圧し、プリプレグ５の樹脂成分を硬化させて、導電箔３、導電箔３ａを部分的にプリプレグ５と熱圧着して、図１（ｆ）に示すような２層の積層板１０を形成するものである。
【００５０】
なお、上、下アンカーポンチ６，７、およびアンカーポンチ９の本数あるいは形状により、部分的でなく全面の熱圧着を行う方法としてもよい。
【００５１】
（実施の形態２）
図２は本発明の第２の実施の形態における４層の積層板の製造方法を説明する製造工程図であり、図２において、１１ａおよび１１ｂは前記積層板１０の両面の導電箔３，３ａをエッチングなどにより形成した導電パターンであり、１２は前記導電パターン１１ａ，１１ｂが導電性ペースト４により電気的に接続されてなる基材としての内層材である。
【００５２】
次に、製造方法について説明すると、まず図２（ａ）に示すように、上、下アンカーポンチ６，７、およびアンカーポンチ９が上下に待避したパレット１の上面に導電箔３を載置する。
【００５３】
次に、図２（ｂ）に示すように、導電箔３上に導電性ペースト４が充填された導電箔３よりやや小さいサイズのプリプレグ５を位置決めして載置する。
【００５４】
次に、図２（ｃ）に示すように、パレット１の上面の導電箔３およびプリプレグ５の所定位置を、パレット１に設けられたアンカー抜き孔２を挿通して上昇させた下アンカーポンチ７と、下降させた上アンカーポンチ６とプリプレグ５の間にフッ素樹脂テープ８を介在させて上アンカーポンチ６のプリプレグ５へのくっつきを防止し、導電箔３とプリプレグ５を加熱、加圧してプリプレグ５の樹脂成分を硬化させて導電箔３と部分的に熱圧着する。
【００５５】
次に、図２（ｄ）に示すように、上、下アンカーポンチ６，７を再び元の位置に復帰して待機させた後、プリプレグ５上に両面に導電パターン１１ａ，１１ｂを形成した内層材１２を位置決めして載置する。
【００５６】
次に、図２（ｅ）に示すように、再びパレット１に設けられたアンカー抜き孔２を挿通して上昇させた下アンカーポンチ７と、下降させた上アンカーポンチ６とプリプレグ５の間にフッ素樹脂テープ８を介在させて上アンカーポンチ６のプリプレグ５へのくっつきを防止し、導電箔３、プリプレグ５、内層材１２を加熱、加圧してプリプレグ５の樹脂成分を硬化させて部分的にそれぞれ熱圧着するが、この際、接着力を保つために、先に樹脂成分を硬化させた位置を避けるようにしている。
【００５７】
次に、図２（ｆ）に示すように、上、下アンカーポンチ６，７を再々度元の位置に復帰させて待機させた後、内層材１２の上にプリプレグ５ａを位置決めして載置する。
【００５８】
次に、図２（ｇ）に示すように、再々度パレット１に設けられたアンカー抜き孔２を挿通して上昇させた下アンカーポンチ７と、下降させた上アンカーポンチ６とプリプレグ５ａの間にフッ素樹脂テープ８を介在させて上アンカーポンチ６のプリプレグ５ａへのくっつきを防止し、導電箔３、プリプレグ５、内層材１２、プリプレグ５ａを積層し、先に樹脂成分を硬化させた位置を避けるようにして、加圧、加熱して、プリプレグ５ａの樹脂成分を硬化させて部分的に内層材１２とプリプレグ５ａを熱圧着させる。
【００５９】
次に、図２（ｈ）に示すように、上、下アンカーポンチ６，７を元の位置に復帰して待機させた後、プリプレグ５ａの上にプリプレグ５ａよりやや大きいサイズの導電箔３ａを載置する。
【００６０】
次に、図２（ｉ）に示すように、パレット１上の導電箔３、プリプレグ５、内層材１２、プリプレグ５ａを熱圧着した位置とは異なる別の所定の位置を、上下に設けたアンカーポンチ９を上昇および下降させて加熱、加圧して導電箔３、プリプレグ５、内層材１２、プリプレグ５ａ、そして導電箔３ａを積層してプリプレグ５および５ａの樹脂成分を硬化させて全面あるいは部分的に熱圧着することにより、図２（ｊ）に示すような４層の積層板１０ａが形成されるものである。
【００６１】
なお、４層以上の積層数の積層板を形成するには、図２（ｄ）〜（ｇ）の工程を必要回数繰り返すことにより可能となるものである。
【００６２】
（実施の形態３）
図３は本発明による積層板の製造装置の全体構成を示す概念図、図４は同パレットの要部斜視図、図５は同パレット位置決め部の要部斜視図、図６は同積層部の要部斜視図、図７は同チャック部の要部断面図、図８は同他の構成のチャック部の要部斜視図、図９は同熱圧着部の要部構成を示す概念図、図１０（ａ）〜（ｆ）は同積層部における製造工程を説明する製造工程図、図１１（ａ）〜（ｆ）は同他の製造工程を説明する製造工程図、図１２は同移動台車の要部斜視図、そして図１３は同取り出し部の要部斜視図である。
【００６３】
図３において、１３は基台の例としての複数のアンカー抜き孔２を設けた金属材などでなり、表面を平滑にしたパレット１を間欠搬送させるパレット搬送部、１４はパレット搬送部１３の移送経路に配置された第１の停止位置、同じく１７は第２の停止位置、そして２３は第３の停止位置である。
【００６４】
１５は第１の停止位置１４の延長線近傍に配置した導電箔３をパレット１に移載供給する第１の導電箔供給部、１６は搬送経路上で第２の停止位置１７に配置した積層部であり、上、下アンカーポンチ６，７などでなる熱圧着部２４、複数の粗認識カメラ５３などでなる粗認識部１９、複数の本認識カメラ５４などでなる本認識部２０、パレット位置決め部１８（図示せず）などで構成されている。
【００６５】
２５は第３の停止位置２３の延長線近傍に設置された導電箔３ａをパレット１の上に移載供給する第２の導電箔供給部、そして９は前記で説明したが、搬送経路上の第２の導電箔供給部２５に配設され、上下移動自在の加熱機構が内蔵されたアンカーポンチであり、上下の対でありその上下先端には耐熱性の金属あるいはセラミック材のキャップ（図示せず）を被せている。
【００６６】
２６は取り出し部であり、積層板１０を載置するため配置されたキャリアプレート１２２などにより構成されている。そして、２８は一端が第２の停止位置１７に隣接している移動台車搬送部であり、プリプレグ５，５ａ、内層材１２を載置して搬送する移動台車２７が移動する。
【００６７】
そして、３１は除湿室であり、プリプレグ５，５ａの乾燥あるいは乾燥を維持して保管および移動台車２７に移載供給するプリプレグ供給部２９，２９ａと、同じく内層材１２の乾燥あるいは乾燥を維持して保管および移載供給する内層材供給部３０により構成されている。
【００６８】
次に、動作について説明すると、まず、パレット搬送部１３において基台であるパレット１が間欠搬送され、まず最初にパレット１の第１の停止位置１４において、第１の導電箔供給部１５により、導電箔３がパレット１の上に載置される。
【００６９】
次に、前記のパレット１は第２の停止位置１７に搬送されてパレット位置決め部１８にて位置決めされ、同時にプリプレグ５がプリプレグ供給部２９から移動台車２７により積層部１６に移載供給される。
【００７０】
そして、積層部１６においてプリプレグ５が位置決めされ、パレット１の上に載置された導電箔３の上に積層され、熱圧着部２４の上、下アンカーポンチ６，７の上昇および下降により導電箔３とプリプレグ５が部分的に熱圧着される。
【００７１】
続いて、前記パレット１は第３の停止位置２３に搬送され、導電箔３ａがプリプレグ５の上に第２の導電箔供給部２５から移載供給され、アンカーポンチ９の上昇および下降により導電箔３、プリプレグ５、および導電箔３ａが前記導電箔３とプリプレグ５を熱圧着した位置とは異なる別の所定の位置で、部分的あるいは全面で熱圧着されて積層板１０を形成する。
【００７２】
その後、前記パレット１はパレット搬送部１３を間欠搬送されてパレット搬送部１３の先端であるところの最終停止位置で位置決めされ、パレット１の上から積層板１０は取り出され、取り出し部２６のキャリアプレート１２２に収納される。
【００７３】
なお、導電箔３ａの移載供給は、第２の導電箔供給部２５を省略して、パレット１を第１の導電箔供給部１５の位置に戻して導電箔３を移載供給してもよい。
【００７４】
また、同様にしてパレット１の上に導電箔３を載置し、第２の停止位置１７における積層部１６で除湿室３１から供給されるプリプレグ５、内層材１２、プリプレグ５ａを必要回数繰り返し位置決めして積層し、加熱、加圧することにより多層の積層板１０を製造することが可能である。
【００７５】
以下、各部について説明する。
【００７６】
まず、図４を用いてパレット１について説明する。図４において、３２は両側帯に切欠き部を設けたパレットプレートであり、積層板１０の周辺部分に対応する位置に部分的に熱圧着するためのアンカー抜き孔２、および導電箔３，３ａや積層板１０などを吸着保持するための真空吸着孔３９を設け、載置面を平滑にした金属材あるいはセラミック材との混合構造などでなっている。
【００７７】
３３は保持手段の例としての金属材でなる複数の対のワーク押えであり、両側帯の切欠き部の両端に設置した軸受け３６に回転自在に支持された回転軸３４に一端が結合されており、他端を積層板１０などのワークを押圧し保持するために、コイルバネ３５により回転付勢している。
【００７８】
３７は一端が回転軸３４の中央部分に結合された金属材などでなるアームであり、他端は切込部３２ａ内に通常時位置しており、解除手段の例として、パレット１の停止位置に配置されたシリンダ３８の駆動により先端が当接して揺動され、回転軸３４を回動させてワーク押え３３の他端によるワークへの押え力を一時的に解除するものである。
【００７９】
次に、このように構成されたパレット１の動作について図３，図４を用いて説明すると、まず、パレット１は搬送された第１の停止位置１４で位置決めされた後、ワーク押え３３の押圧をシリンダ３８の駆動により解除し、第１の導電箔供給部１５で位置決めされた導電箔３がパレット１の上に移載供給された後、ワーク押え３３がシリンダ３８の駆動による解除を停止し、コイルバネ３５の回転付勢により導電箔３を押圧し保持する。
【００８０】
次に、前記のパレット１は第２の停止位置１７に搬送されて位置決めされ、移動台車搬送部２８を移動台車２７により搬送されたプリプレグ５，５ａあるいは内層材１２が積層部１６において位置決めされてパレット１の上の導電箔３の上に移載供給される。
【００８１】
この際、導電箔３よりプリプレグ５，５ａおよび内層材１２をやや小さいサイズのものを使用することにより、ワーク押え３３が導電箔３を押さえたままの状態でプリプレグ５，５ａおよび内層材１２を導電箔３の上に積層することができる。
【００８２】
次に、前記のパレット１は第３の停止位置２３に搬送されて位置決めされた後、ワーク押え３３の押圧をシリンダ３８の駆動により解除し、第２の導電箔供給部２５より導電箔３ａがパレット１の上に移載供給され、続いてワーク押え３３がシリンダ３８の駆動による解除を停止し、コイルバネ３５の回転付勢により導電箔３ａを押圧し保持する。
【００８３】
次に、パレット搬送部１３の先端におけるパレット停止位置でワーク押さえ３３の押圧をシリンダ３８の駆動により解除し、パレット１上の熱圧着されて形成された積層板１０は、取り出し部２６のキャリアプレート１２２に移載され収納される。
【００８４】
次に、図５により位置決め機構であるパレット位置決め部１８を説明する。図５において、４０は金属材などでなり、少なくとも２個が配設された位置決めブロックであり、パレット搬送部１３の第２の停止位置１７に配置され、パレット１の停止位置の一辺に取り付けられており、その上部にブロック４０と電気的に絶縁されたカムフォロア４１が設置されている。
【００８５】
４２はストッパーとしての位置決めピンであり、前記の一辺の隣接する一方の辺の中央部に、上下駆動用のシリンダ４４の先端に一端を結合した軸受け４３の他端に電気的に絶縁されて取り付けられている。
【００８６】
４６はレバーであり、前記の辺に対向した辺に支点ピン４７で回動自在に設置されており、上端にパレット１の側端に当接するカムフォロア４８を、そして下端には駆動用のシリンダ４５の一端を連結しており、シリンダ４５の駆動によりパレット１をカムフォロア４８により押圧して上流、すなわち先端側の側端を位置決めピン４２に押し当てるものである。
【００８７】
４９はブロック５０に取り付けられ、パレット１の移動に対応して移動するカムフォロア、５１は一端にブロック５０を結合したシリンダであり、カムフォロア４９をパレット１の側端に当接させて押圧し、対向する側端をカムフォロア４１に押し当てて位置決めを行うものである。
【００８８】
５２は検知手段としての検知用の導線であり、位置決めピン４２、２個のカムフォロア４１と検知部（図示せず）間を配線しており、周辺部が金属材などの導体でなるパレット１の位置決め状態を導通により検出するようにしたものである。
【００８９】
次に、このように構成されたパレット位置決め部１８の動作について説明すると、まず、パレット１が間欠搬送されて第２の停止位置１７のパレット位置決め部１８で停止するとシリンダ４４により位置決めピン４２が上昇し、次にカムフォロア４９がシリンダ５１の駆動により移動してカムフォロア４１にパレット１の側端を当接させ、続いてカムフォロア４８がレバー４６を介してシリンダ４５の駆動により移動し、位置決めピン４２にパレット１の側端を当接させる。
【００９０】
以上の動作によりパレット１は位置決めされ、カムフォロア４１および位置決めピン４２に導線５２を経由して電流を流し、検知部により導通を検知することによって位置決め状態の検出を行うものである。
【００９１】
次に、図６により積層部１６について説明する。積層部１６は、粗認識部１９、本認識部２０、アライメント部２１、チャック部２２、および図９に示す熱圧着部２４により構成されている。
【００９２】
また、複数の粗認識カメラ５３による粗認識部１９と、複数の粗認識カメラ５３より倍率および解像度の優れた本認識カメラ５４による本認識部２０、そしてアライメント部２１は、大Ｙテーブル５９、微細ｙテーブル６３、微細ｘテーブル６７、θテーブル６８を含んで構成されている。
【００９３】
大Ｙテーブル５９は金属材でなるベース５５上に配置された一対の大Ｙ軸レール５６上に走行自在に配置され、モータ５７に連結されて回転駆動されるボールネジ５８から水平移動の駆動を与えられている。
【００９４】
微細ｙテーブル６３は、大Ｙテーブル５９上に設置された一対の微細ｙ軸レール６０上をＹ方向に走行自在に配置され、モータ６１に連結されて回転駆動されるボールねじ６２からＹ方向の精密な水平移動の駆動を与えられている。
【００９５】
微細ｘテーブル６７は、微細ｙテーブル６３上に設置された一対の微細ｘ軸レール６４上をＸ方向に走行自在に配置され、モータ６５に連結されて回動駆動されるボールネジ６６からＸ方向の精密な水平移動の駆動を与えられている。
【００９６】
スイングボデイ６９は、微細ｘテーブル６７の上にθテーブル６８を介してθ方向に回転自在に配置され、以上によりアライメント部２１が構成されている。
【００９７】
次に、図６、図７を用いてチャック部２２について説明する。７０はスイングボデイ６９の両端側に配置された軸受けであり、一対のスライドＺ軸７１が摺動自在に挿通しており、そのスライドＺ軸７１の上端にはプレート７２を固着し、上下方向すなわちＺ方向に移動自在としている。
【００９８】
プリプレグ５，５ａまたは内層材１２をチャッキングするチャックはチャック押え７７に内蔵され、先端が下面に突出してワークに当接して食い込み保持する固定のピン８４の逃がし孔８５を設けたチャックプレート７６、チャック押え７７を上下駆動するチャック開閉シリンダ７８、ピン８４より先端に埋設されたストリッパ８６、ピン８４の先端が食い込んだワークから離脱し易くするようにストリッパ８６を付勢する圧縮バネ８７と、その上部を固定するフタ８８から構成されており、そして、少なくとも４個の前記チャックを備えており、この４個のチャックの内１個のチャックを固定チャック７９とし、８０のＹテンションチャックの下とプレート７２の間に設けられたＹテンション用シリンダ７５によりＹ方向にテンションを印加するようにしている。
【００９９】
８１はＸテンションチャックであり、相対する側に配置され、そのチャックの下とプレート７２の間に設けられたＸテンション用シリンダ７３によりＸ方向にテンションを印加するようにしている。
【０１００】
８２はＸ−Ｙテンションチャックであり、その残りのチャックの下とプレート７２の間に設けられたＸ−Ｙテンション用シリンダ７４によりＸ−Ｙ方向にテンションを印加するようにしているものである。
【０１０１】
なお、図８に示すようにプリプレグ５，５ａまたは内層材１２の相対向する辺のほぼ全てをチャッキングするように、固定チャック７９ａとＸテンションチャック８１ａにより構成してもよい。
【０１０２】
次に、図９を用いて熱圧着部２４について説明する。図９において、６，７は前記で説明した上、下アンカーポンチであり、パレット１のアンカー抜き孔２を挿通して上下移動自在とし、さらに各層毎の熱圧着に対して位置がずらせるように左右移動自在に配設されている。
【０１０３】
剥離性に優れた材料であるフッ素樹脂テープ８がたるまないように配設されたテープロール９６に連結されたテンション用モータ９２、フッ素樹脂テープ８の上面を上アンカーポンチ６が二度打ちしないように、フッ素樹脂テープ８を押えローラ９１と共に挟持して移送する送りローラ８９を配設している。
【０１０４】
９０は送りローラ８９に回転駆動を与える送り用モータ、９３は使用後のフッ素樹脂テープ８を巻き取る巻き取りロール９５に回転駆動を与える巻き取りモータ、９４はフッ素樹脂テープ８を規制しガイドするローラ、そして９７は上下移動自在に配置され、金属材あるいはセラミック材などでなり、先端が角形状の当接部であり、以上により熱圧着部２４が構成されている。
【０１０５】
熱圧着部２４は、パレット１上に位置決めされたプリプレグ５，５ａあるいは内層材１２が供給される毎に、熱圧着部２４に配置された上アンカーポンチ６およびアンカー抜き孔２を挿通して上昇する下アンカーポンチ７で挟持し、加熱、加圧して熱圧着する。
【０１０６】
フッ素樹脂テープ８は、上アンカーポンチ６により一度加熱、加圧された位置に再度上アンカーポンチ６が当接しないように、送りローラ８９、押えローラ９１で挟持され、送り用モータ９０の駆動により定間隔で移送される。
【０１０７】
以下、図６〜図９を用いて積層部１６の動作について説明する。
【０１０８】
まず、移動台車２７により供給されたプリプレグ５，５ａあるいは内層材１２は、チャック部２２に配置された固定チャック７９、Ｙテンションチャック８０、Ｘテンションチャック８１、およびＸ−Ｙテンションチャック８２によりチャッキングされ、ピン８４の先端がプリプレグ５，５ａまたは内層材１２に食い込み、テンションを各方向に印加して均一な平面にする。
【０１０９】
次に、テンションを印加された状態で粗認識部１９の粗認識カメラ５３によりあらかじめ各々にマーキングされた認識マーク８３を認識し、本認識カメラ５４の視野に入るようにアライメント部２１により位置決めされながら大Ｙテーブル５９の移動によりパレット１の上に載置し、積層できる位置まで移動する。
【０１１０】
そして、本認識カメラ５４からなる本認識部２０により認識マーク８３を認識して、アライメント部２１により所定の位置になるように調整し位置決めされた後、熱圧着部２４により加熱、圧着されて積層板が形成されるものである。
【０１１１】
次に、パレット１の上でプリプレグ５を熱圧着により貼り合わせる工程を例にして図１０を用いて説明する。
【０１１２】
まず、図１０（ａ）は、前記本認識部２０でプリプレグ５が位置決めされた時の状態を示しており、次に図１０（ｂ）に示すように、位置決め完了後、チャック部２２はプリプレグ５をチャッキングし、テンションを各方向に印加した状態で、Ｚ方向である降下を行い、チャック部２２はパレット１上の導電箔３とは最小限の隙間を保持して停止する。
【０１１３】
次に、図１０（ｃ）に示すように、当接部９７が下降してプリプレグ５の略中心部を貼り付け部材である導電箔３に当接させる。
【０１１４】
次に、図１０（ｄ）に示すように、フッ素樹脂テープ８を介して上アンカーポンチ６と下アンカーポンチ７を下降および上昇させ、パレット１の上の導電箔３とプリプレグ５を挟持して部分的に加熱、加圧して熱圧着する。
【０１１５】
次に、図１０（ｅ）に示すように、当接部９７およびフッ素樹脂テープ８を介した上アンカーポンチ６と下アンカーポンチ７を、その状態のままでパレット１の上で導電箔３の上のプリプレグ５を挟持しているチャック部２２の駆動を解除してプリプレグ５への固定チャック７９、Ｘテンションチャック８１などによるチャッキングを開放する。
【０１１６】
この時、前記ストリッパ８６の動作により、ピン８４からプリプレグ５を離脱し易くしている。
【０１１７】
次に、図１０（ｆ）に示すように、熱圧着終了後、当接部９７、上アンカーポンチ６、フッ素樹脂テープ８、下アンカーポンチ７の順に、パレット１上の導電箔３あるいはプリプレグ５から離脱し、元の位置に復帰する。
【０１１８】
なお、パレット１の上の導電箔３、プリプレグ５の上に内層材１２を貼り合わせる時、あるいはパレット１の上の導電箔３、プリプレグ５、内層材１２の上にプリプレグ５ａを貼り合わせる時も同様である。
【０１１９】
また、図１１は他の貼り合わせの工程を示したものであり、図１１（ａ）〜（ｃ）に示すように、プリプレグ５の略中心部を弛ませるようにしてチャック部２２によりテンションをかけて位置決めを行い、この位置決め完了後、チャック部２２はプリプレグ５をチャッキングし、かつ必要なテンションを各方向に印加した状態のままで、Ｚ方向である降下を行う。
【０１２０】
その際、プリプレグ５の略中心部を貼り付け部材である導電箔３に当接部９７により当接させても、プリプレグ５に新たに不具合となるテンションは発生しないものであり、この後、図１０で説明した工程と同じ工程により貼り合わせを行うものである。
【０１２１】
次に、図１２を用いて移動台車２７について説明する。図１２において、９８は上面に凹部を設け、外周辺部に真空吸着孔１０６を複数有した金属材などでなる凹プレート、１０４は凹プレート９８の移動方向の両端に取り付けられ、移動などの駆動を伝達するスチールベルト、９９はワーク押え、１０１はコイルバネ、１００は回転軸、１０２は軸受け、１０３はアーム、１０５は移動台車搬送部２８に移動台車２７の停止位置に配置されたシリンダであり、以上から構成されており、前記において図４を用いて説明したパレット１と同様の構成であり、詳細な説明は省略する。
【０１２２】
次に、動作について説明すると、移動台車２７は除湿室３１のプリプレグ供給部２９，２９ａあるいは内層材供給部３０から、プリプレグ５，５ａあるいは内層材１２の供給位置で停止し、ワーク押え９９を移動台車搬送部２８に配置されたシリンダ１０５の駆動により解除された凹プレート９８の上に、プリプレグ５，５ａあるいは内層材１２が移載供給される。
【０１２３】
その後、ワーク押え９９の解除を停止し、ワーク押え９９により凹プレート９８の上のプリプレグ５，５ａあるいは内層材１２を押圧し保持した状態で積層部１６の供給位置まで移動し、再び、ワーク押え９９をシリンダ１０５の駆動により解除し、凹プレート９８の上のプリプレグ５，５ａあるいは内層材１２を積層部１６の所定位置に移載供給する。
【０１２４】
なお、ワーク押え９９によるワークの押圧、保持の代わりに真空吸着孔１０６を用いた真空吸着によるワークの吸着保持を行うようにしてもよい。
【０１２５】
次に、図１３を用いて取り出し部２６について説明する。図１３において、１０７は金属材でなり、上面に一対のレール１０８を設置したベース、１１１は金属材などでなるプレートであり、駆動用のモータ１０９に連結したボールネジ１１０の回転駆動によりレール１０８上を走行自在に設置されている。
【０１２６】
１１２はガイドプレートであり、プレート１１１の上面の側帯にキャリアプレート１２２のガイド用として設置されており、内面側の上部にローラ１１３が一定間隔をもって回転自在に取り付けられている。
【０１２７】
また、１１５はプレートであり、プレート１１１の上面中央部に設置したりシリンダ１１４上にプレート１１１と同方向に移動自在として配設されており、そのプレート１１５上の一端には、シリンダ１２０の一端に取り付けられキャリアプレート１２２の一端側に片面が当接する固定板１２１が設置されている。
【０１２８】
１１９は一対の引っ掛け爪であり、キャリアプレート１２２の内側面に先端部を引っ掛け、同側面の外面に当接する固定板１２１の片面により位置決めする。また、引っ掛け爪１１９は、ブラケット１１７に連結されており、支点ピン１１８を支点にシリンダ１１６の駆動により回動するブラケット１１７により揺動自在となっている。
【０１２９】
次に、動作について説明すると、取り出し部２６は、パレット１の上から真空吸着などの手段により取り出され移送された積層板１０を、取り出し移送毎にプレート１１１の位置を移動させ変更させることにより位置設定した、引っ掛け爪１１９と固定板１２１で保持されたキャリアプレート１２２内の所定箇所に並列に整理して収納するものである。
【０１３０】
以上のように本発明によれば、積層板の製造において、導電箔や内層体、プリプレグなどの各層を、ガイドピンなどを挿入することなく部分的に熱圧着させて積層するので、発塵が少なく信頼性および生産性を高めることができる。さらに、部分的に熱圧着させる場所を、各層でずらすことで、積層板の積層精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態における２層の積層板の製造方法を説明する製造工程図
【図２】本発明の第２の実施の形態における４層の積層板の製造方法を説明する製造工程図
【図３】本発明による積層板の製造装置の全体構成を示す概念図
【図４】同パレットの要部斜視図
【図５】同パレット位置決め部の要部斜視図
【図６】同積層部の要部斜視図
【図７】同チャック部の要部断面図
【図８】同他の構成のチャック部を示す要部斜視図
【図９】同熱圧着部の要部を示す概念図
【図１０】同積層部の工程を説明する製造工程図
【図１１】同他の工程を説明する製造工程図
【図１２】同移動台車の要部斜視図
【図１３】同取り出し部の要部斜視図
【図１４】従来の積層板の製造装置を示す要部斜視図
【符号の説明】
１  パレット
２  アンカー抜き孔
３，３ａ  導電箔
４  導電性ペースト
５，５ａ  プリプレグ
６  上アンカーポンチ
７  下アンカーポンチ
８  フッ素樹脂テープ
９  アンカーポンチ
１０  積層板
１１ａ，１１ｂ  導電パターン
１２  内層材
１３  パレット搬送部
１４  第１の停止位置
１５  第１の導電箔供給部
１６  積層部
１７  第２の停止位置
１８  パレット位置決め部
１９  粗認識部
２０  本認識部
２１  アライメント部
２２  チャック部
２３  第３の停止位置
２４  熱圧着部
２５  第２の導電箔供給部
２６  取り出し部
２７  移動台車
２８  移動台車搬送部
２９，２９ａ  プリプレグ供給部
３０  内層材供給部
３１  除湿室
３２  パレットプレート
３２ａ  切込部
３３  ワーク押え
３４  回転軸
３５  コイルバネ
３６  軸受け
３７  アーム
３８  シリンダ
３９  真空吸着孔
４０  位置決めブロック
４１  カムフォロア
４２  位置決めピン
４３  軸受け
４４  シリンダ
４５  シリンダ
４６  レバー
４７  支点ピン
４８  カムフォロア
４９  カムフォロア
５０  ブロック
５１  シリンダ
５２  導線
５３  粗認識カメラ
５４  本認識カメラ
５５  ベース
５６  大Ｙ軸レール
５７  モータ
５８  ボールネジ
５９  大Ｙテーブル
６０  微細ｙ軸レール
６１  モータ
６２  ボールネジ
６３  微細ｙテーブル
６４  微細ｘ軸レール
６５  モータ
６６  ボールネジ
６７  微細ｘテーブル
６８  θテーブル
６９  スイングボデイ
７０  軸受け
７１  スライドＺ軸
７２  プレート
７３  Ｘテンション用シリンダ
７４  Ｘ−Ｙテンション用シリンダ
７５  Ｙテンション用シリンダ
７６  チャックプレート
７７  チャック押え
７８  チャック開閉シリンダ
７９，７９ａ  固定チャック
８０  Ｙテンションチャック
８１，８１ａ  Ｘテンションチャック
８２  Ｘ−Ｙテンションチャック
８３  認識マーク
８４  ピン
８５  逃がし孔
８６  ストリッパ
８７  圧縮バネ
８８  フタ
８９  送りローラ
９０  送り用モータ
９１  押えローラ
９２  テンション用モータ
９３  巻き取りモータ
９４  ローラ
９５  巻き取りロール
９６  テープロール
９７  当接部
９８  凹プレート
９９  ワーク押え
１００  回転軸
１０１  コイルバネ
１０２  軸受け
１０３  アーム
１０４  スチールベルト
１０５  シリンダ
１０６  真空吸着孔
１０７  ベース
１０８  レール
１０９  モータ
１１０  ボールネジ
１１１  プレート
１１２  ガイドプレート
１１３  ローラ
１１４  シリンダ
１１５  プレート
１１６  シリンダ
１１７  ブラケット
１１８  支点ピン
１１９  引っ掛け爪
１２０  シリンダ
１２１  固定板
１２２  キャリアプレート
１２３，１２３ａ  固定チャック
１２４，１２４ａ  Ｘテンションチャック
１２５  チャック部
１２６  認識カメラ
１２７  認識部
１２８  ｘθテーブル
１２９  ｙ軸レール
１３０  アライメント部
１３１  ベース
１３２  孔加工部
１３３  ガイドピン
１３４  位置決めプレート
１３５  アンカーポンチ
１３６  熱圧着部
１３７  積層部
１３８，１３８ａ  認識マーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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