(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
台車フレームの上部に、所定の摺動方向に摺動可能なスライドテーブルが、前記摺動方向に沿って複数のキャリアが列をなすように載置可能な状態で支持され、前記スライドテーブルの前記摺動方向と交叉する方向及び上下方向に移動可能であると共に、前記摺動方向に対して固定された単一の移載アームが前記台車フレームに設けられ、該移載アームに前記キャリアの係合部に係止する係止部が設けられ、前記キャリアを搬出入する装置の所定のキャリアセット位置と前記移載アームとの前記摺動方向における位置を一致させる位置決め部が前記台車フレームに設けられていることを特徴とする半導体キャリアの移載装置。
【請求項２】
前記係止部は、前記移載アームを前記摺動方向と交叉する方向に移動させることで、前記キャリアの前記係合部に係止可能であることを特徴とする請求項１に記載の半導体キャリアの移載装置。
【請求項３】
前記スライドテーブルには、操作ハンドルが取り付けられ、前記移載アームは、ハンドルを介して前記スライドテーブルの前記摺動方向と交叉する方向に移動可能に構成され、かつ、ペダルを介して昇降するように構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の半導体キャリアの移載装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体キャリアの移載装置に係り、特に、キャリアの搬出入を効率良く行うことができる半導体キャリアの移載装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ウェーハが大型化する傾向にある中で、３００ｍｍをこえる大きさのウェーハを取り扱う必要が生じてきている。このような大きさのウェーハを取り扱う場合に、一般には複数のウェーハをキャリアに収納して搬送している。
したがって、このようなウェーハの大型化により、例えば、３００ｍｍを越えるウェーハが収納されたキャリアの重量は７Ｋｇにもなってしまうため、人手での搬送は困難となっており、各種ロボット等の自動機によって行われることが多い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、パイロット生産時や搬送の自動化を行うことができないような場合、あるいは、搬送装置の不具合時には、キャリアの搬送は人手に頼らざるを得ないため、作業者に大きな負担を強いないよう手搬送の補助となる台車が必要となってくる。
とりわけ、女性作業者が多い半導体生産ラインにおいては、小柄で非力な女性の負担を軽減する必要がある。
したがって、このような人手によるキャリアの搬送を補助して作業者にかかる負担を最小限に抑えることができ、かつ、女性作業者でも簡単に操作できる台車が要望されている。
そこで、この発明は、キャリアの搬出入の際の作業者にかかる負荷を軽減し、キャリアの搬出入を短時間で行うことができ、さらに、操作も簡単な半導体キャリアの移載装置を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、この発明においては、台車フレームの上部に、所定の摺動方向に摺動可能なスライドテーブルが、前記摺動方向に沿って複数のキャリアが列をなすように載置可能な状態で支持され、前記スライドテーブルの前記摺動方向と交叉する方向及び上下方向に移動可能であると共に、前記摺動方向に対して固定された単一の移載アームが前記台車フレームに設けられ、該移載アームに前記キャリアの係合部に係止する係止部が設けられ、前記キャリアを搬出入する装置の所定のキャリアセット位置と前記移載アームとの前記摺動方向における位置を一致させる位置決め部が前記台車フレームに設けられていることを特徴とする。
また、前記係止部は、前記移載アームを前記摺動方向と交叉する方向に移動させることで、前記キャリアの前記係合部に係止可能であることを特徴とする。
【０００５】
例えば、キャリアを搬出入する装置（以下、単に装置という）から、処理済みのウェーハを収納したキャリアを回収して、同じステージに新たに未処理のウェーハが収納されたキャリアを投入する場合について説明する。
移送装置のスライドテーブル上に未処理の単数あるいは複数のキャリアを載置し、同数のキャリア載置スペースを空けた状態で、移載装置を装置の近傍まで搬送して停止させ、ここで位置決め部を介して装置に位置決めする。次に、移載アームを装置に向かって前進させ移載アームの係止部を装置内の処理済みキャリアの係合部に係止した後上昇させ、移載アームを待機位置まで後退させる。そして、移載アームを下降させキャリアをスライドテーブル上に載置する。そして、この動作を繰り返し、装置内のキャリアを全てスライドテーブル上に回収する。
【０００６】
次に、スライドテーブルを摺動させ未処理のキャリアを移載アームに対応する位置まで移動する。そして、ここで移載アームの係止部をキャリアの係合部に係止した後上昇させ、前記と同様に移載アームを前進させて、装置の所定位置にキャリアを搬入し、その後、移載アームを待機位置まで後退させる。そして、この動作を繰り返し、スライドテーブル上の未処理のキャリアを全て装置に投入する。
【０００８】
また、例えば、移送装置のスライドテーブル上にウェーハが収納されたキャリアを１つ載置し、キャリア載置スペースを１つ空けた状態で、この移載装置を装置の近傍まで搬送して停止させ、ここで位置決め部を介して装置に位置決めする。次に、移載アームを装置に向かって前進させ移載アームの係止部を装置内のキャリアの係合部に係止した後上昇させ、移載アームを待機位置まで後退させる。そして、移載アームを下降させキャリアをスライドテーブル上に載置して回収する。次に、スライドテーブルを摺動させキャリアを移載アームに対応する位置まで移動する。そして、ここで移載アームの係止部をスライドテーブル上のキャリアの係合部に係止した後上昇させ、前記と同様に移載アームを前進させて、装置の所定位置にキャリアを搬入し、その後、移載アームを待機位置まで後退させる。
【０００９】
前記スライドテーブルには、操作ハンドルが取り付けられ、前記移載アームは、ハンドルを介して前記スライドテーブルの前記摺動方向と交叉する方向に移動可能に構成されていることを特徴とする。
上記スライドテーブルの操作は操作ハンドルを押すことで行い、移載アームの装置に対する進退動操作はハンドルによって行い、移載アームの上昇動作はペダルによって行い、下降動作は、例えば、自重でなされる。したがって、これら操作ハンドル、ハンドル、および、ペダルの単純な操作によりキャリアの搬出入を行うことが可能となる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の一実施形態を図面と共に説明する。
図１は、この発明の一実施形態の移載装置１を示すものである。
移載装置１は台車フレーム２を備えている。台車フレーム２は下部に４つのキャスタ３を備えた平面視長方形状のもので、走行ハンドル４によって作業者が所望の場所まで移動させる手押しタイプの台車である。
台車フレーム２の上部にはスライドテーブル３が、台車フレーム２の平面視における長辺に沿う方向（以下Ｙ方向という）に沿って摺動可能に支持されている。また、スライドテーブル３には操作ハンドル３ａが取り付けれられ、作業者がこの操作ハンドル３ａを押すことでスライドテーブル３を台車フレーム２に対してスライド操作するものである。なお、このスライドテーブル３は台車フレーム２に対して、レール、スライダ等の周知の機構によって摺動できるようになっている。
【００１１】
このスライドテーブル３の上部には、このスライドテーブル３の摺動方向に沿って並ぶ２つのキャリア５が隣接して載置可能にされている。ここで、キャリア５はスライドテーブル３上に設けられた図示しない位置決め部により、スライドテーブル３の所定の位置にセットされるようになっている。キャリア５には複数枚のウェーハ６が収納可能にされ、キャリア５の上部には後述する移載アーム７に係合するフランジ部５ａが設けられている。
【００１２】
台車フレーム２には、スライドテーブル３が摺動するＹ方向と交叉する方向（以下Ｘ方向という）に移動可能で、かつ、上下方向に移動可能な単一の移載アーム７が設けられている。この移載アーム７は略Ｌ字形の部材で上部延出端が水平に延びる形状のもので、台車フレーム２の側壁に設けたれたガイド孔８に沿って移動するハンドル９に連係され、ハンドル９をガイド孔８に沿って操作すると、図示しない溝に沿ってＸ方向に進退動するようになっている。また、移載アーム７は台車フレーム２の下部に設けたペダル１０を踏むことによりエアー（油圧またはメカリンクでも良い）によって上昇し、図示しないバルブコックを開放して自重（バネで引っ張っても良い）で下降する。
なお、これらスライドテーブル３の操作ハンドル３ａ、走行ハンドル４、ハンドル９、および、ペダル１０は、いずれも台車フレーム２の作業者の立つ側に配置されている。
【００１３】
上記移載アーム７の延出端の下壁にはＸ方向に向かう所定長さのスリットを備えたスリット部材（係止部）７ａが取り付けられ、上記キャリア５のフランジ部（係合部）５ａを受け入れるようになっている。
具体的には上記移載アーム７は図１の右側のキャリア５に対応する位置を待機位置としており、そのままの高さで前進するとキャリア５のフランジ部５ａに移載アーム７のスリット部材７ａが挿入されるようになっている。また、上記スライドテーブル３がスライドした状態では、今度は図１の左側のキャリア５が移載アーム７にマッチングするようになっている。
【００１４】
そして、上記台車フレーム２の下部には、キャリア５を前記装置に対する位置決め部１１が設けられている。具体的に位置決め部１１は、プレート１２に、台車フレーム２のＸ方向に対する位置決めを行うフック１３と、台車フレーム２のＹ方向の位置決めを行うホルダ１４とが設けられてもので、これらフック１３とホルダ１４とが装置側に設けられた位置決めプレート１５の上辺と側辺とに係止することで、移送装置１と装置との位置決めをおこなうものである。
【００１５】
次に、作用について説明する。
移送装置１のスライドテーブル３上（図１中左側の載置部）にウェーハ６が収納されたキャリア５を１つ載置し、図１右側のキャリア５載置スペースを１つ空けた状態で、この移載装置１を走行ハンドル４を押しながら、装置の近傍まで搬送して停止させる。ここで位置決め部１１のフック１３とホルダ１４を位置決めプレート１５に係止させれば、簡単、かつ、正確に移載装置１を装置に位置決めできる。
【００１６】
次に、移載アーム７をハンドル９を用いて装置に向かって前進させ、移載アーム７のスリット部材７ａを、図示しない装置内の処理済みのウェーハが収納されたキャリア５のフランジ部５ａに係止させ、その後、ペダル１０によって移載アーム７を上昇させ、ハンドル９の操作により待機位置まで後退させ、ペダル１０のエアーをバルブコックで開放して移載アーム７を下降させる。
これにより、キャリア５はスライドテーブル３の明きスペースに載置回収される。そして、ハンドル９によって移載アーム７をさらに後退させるとキャリア５は移載アーム７から開放される。
【００１７】
次に、スライドテーブル３を操作ハンドル３ａを押すことによりＹ方向に摺動させ、未処理のウェーハ６が収納されたキャリア５を移載アーム７に対応する位置まで移動させる。そして、移載アーム７をハンドル９を用いて装置に向かって前進させ、移載アーム７のスリット部材７ａをスライドテーブル３上のキャリア５のフランジ部５ａに係止させ、その後、ペダル１０によって移載アーム７を上昇させ、ハンドル９の操作により装置の所定のキャリアセット位置まで前進させ、ペダル１０のエアーをバルブコックで開放して移載アーム７を下降させる。これにより、キャリア５は装置の所定位置に載置投入される。
【００１８】
そして、ハンドル９によって移載アーム７を後退させれば移載アーム７はキャリア５を開放し、さらに、移載アーム７を待機位置まで後退させ、スライドテーブル３を定位置に戻せば、キャリア５の交換作業は終了する。
したがって、移載装置１による一度の搬送でキャリア５の回収と投入を行うことができるため作業効率をアップすることができる。
また、スライドテーブル３の操作は操作ハンドル３ａを押すだけでよく、移載アーム７の装置に対する進退動操作はハンドル９によって簡単に行うことができ、移載アーム７の昇降動作はペダル１０によって簡単に行うことができるため、キャリア５の搬出入の際の作業者にかかる負荷は大幅に軽減され、キャリア５の交換作業を短時間で行うことができる。その結果、難しい操作を嫌い体力的にも不利な女性作業者でも容易に作業ができる。
【００１９】
なお、この発明の上記実施形態では移載装置のスライドテーブル上に設けるキャリアの載置スペースを２つ設けた場合について説明したが、交換対象となるキャリアが２つの場合には４つ、３つの場合には６つというように、その個数に合わせて載置スペースを増加させることができる。
また、上記位置決め部１１は上記構成に限られず、様々な構成のものが採用可能である。
【００２０】
【発明の効果】
以上説明してきたように、請求項１に記載した発明によれば、複数の処理済みキャリアを回収して、未処理の新たな同数のキャリアを投入することができるため、複数のキャリアの回収と投入の２つの作業を、作業者にかかる負担を軽減して行うことができるという効果がある。
請求項２に記載した発明によれば、１つのキャリアを回収して、別の１つのキャリアを投入することができるため、搬出入の際の作業者にかかる負荷を軽減しつつ、キャリアの交換作業を短時間で行うことができるという効果がある。
請求項３に記載した発明によれば、上記スライドテーブルの操作は操作ハンドルを押すことで行い、移載アームの装置に対する進退動操作はハンドルによって行い、移載アームの昇降動作はペダルによって行うことができる。したがって、これら操作ハンドル、ハンドル、および、ペダルの単純な操作によりキャリアの搬出入を行うことが可能となるため、キャリアの搬出入の際の作業者にかかる負荷を軽減でき、キャリアの搬出入を短時間で行うことができ、操作を簡単に行うことができるため、女性作業者でも容易にキャリア交換作業を行なうことができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施の形態の斜視図である。
【符号の説明】
２  台車フレーム
３  スライドテーブル
３ａ  操作ハンドル
５  キャリア
５ａ  フランジ部（係合部）
７  移載アーム
７ａ  スリット部材（係止部）
９  ハンドル
１０  ペダル
１１  位置決め部
【図１】
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