(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
左右方向に間隔をおいて前後方向に延在する複数の配線を電気絶縁性フィルムに形成したプローブシートと、
前記プローブシートが装着された下面を有する取付部を前部に備えるプローブホルダであって前後方向に延在する凸部及び該凸部を受け入れるべく前後方向に延在する凹所のいずれか一方を上面に備えるプローブホルダと、
該プローブホルダが配置された板状のプローブベースであって前記凸部及び前記凹所の他方を下側に備える板状のプローブベースと、
前記プローブホルダを前記プローブベースの下側に解除可能に組み付ける１以上のねじ部材を備える組み付け手段とを含み、
前記プローブホルダは、さらに、上方及び後方に開放する溝であって凸字状の断面形状を有しかつ前後方向に延在する溝を備え、
前記ねじ部材は、前記プローブベースを厚さ方向に貫通する第１のねじ部材であってフランジ状の頭部を下端に有しかつ下端部を前記溝に該溝の長手方向へ相対的に移動可能に受け入れられた第１のねじ部材と、前記プローブベースの上側にあって前記第１のねじ部材に螺合された第２のねじ部材とを備える、プローブ装置。
【請求項２】
前記組み付け手段は、さらに、前記第２のねじ部材を常時下方へ付勢する弾性部材を備える、請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項３】
前記プローブホルダ及び前記プローブベースは、さらに、前記凸部が前記凹所に受け入れられた状態で前記プローブホルダを前記プローブベースに対し後方へ移動させたとき互いに当接するストッパ部を備える、請求項１及び２のいずれか１項に記載のプローブ装置。
【請求項４】
さらに、前記プローブホルダを前記プローブベースに対し前記左右方向の一方側へ付勢する１以上のプランジャを含む、請求項１から３のいずれか１項に記載のプローブ装置。
【請求項５】
前記プローブシートはその前端縁を前方に突出させており、プローブ装置は、さらに、前部及び後部を有するアームであって前記後部が前記プローブベースの上側となる状態に及び左右方向に延在する軸線の周りに枢軸運動可能に前記後部において前記プローブベースに結合されたアームと、前記アームの前端部に配置されて前記プローブシートの前端部を下方へ押する押圧機構と、該押圧機構が前記プローブシートを押圧している状態に解除可能に前記アームを維持する第３のねじ部材とを含む、請求項１から４のいずれか１項に記載のプローブ装置。
【請求項６】
前記押圧機構は、左右方向に延在するベース部材であって前記アームの先端部に上下方向へ移動可能に配置されたベース部材と、前記プローブシートの前端部に対する前記ベース部材の高さ位置を調整すべく前記アームの前端部を上下方向に貫通して前記ベース部材に螺合する１以上の調整ねじと、前記アームと前記ベース部材との間に配置されて前記ベース部材を前記アームに対し下方へ付勢する１以上の第１の弾性体と、前記ベース部材に配置されて前記プローブシートの前端部上面に接触する第２の弾性体とを備える、請求項６に記載のプローブ装置。
【請求項７】
前記押圧機構は、さらに、左右方向に間隔をおいて上下方向へ伸びる複数のガイドピンを含み、該ガイドピンは前記アーム及び前記ベース部材のいずれか一方に支持されていると共に前記アーム及び前記ベース部材の他方に上下方向へ相対的移動可能に受け入れられており、また前記第１の弾性体を貫通して延在している、請求項６に記載のプローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネル、集積回路等の平板状被検査体の検査に用いるプローブ装置に関する。
【０００２】
本発明においては、被検査体と平行な面内における一方向及び他方向をそれぞれ前後方向（第１の方向）及び左右方向（第２の方向）といい、被検査体に垂直な方向を上下方向（第３の方向）という。
【０００３】
【従来の技術】
集積回路、液晶パネル等の平板状被検査体は、一般に、プローブカードのようなプローブ装置を用いて検査される。この種のプローブ装置の１つとして、互いに平行に伸びる複数の配線を電気絶縁性フィルムの一方の面に形成し、各配線の一部をプローブ要素として利用するプローブシートを用いるものがある。
【０００４】
そのようなプローブシートを用いたプローブ装置は、金属細線から形成されたプローブを用いたニードルタイプのプローブ装置、ブレード状のプローブを用いたブレードタイプのプローブ装置に比べ、針立て作業が不要であることから、製作が容易で、廉価になる。
【０００５】
プローブシートを用いたプローブ装置は、種々提案され、実用に供されている。そのようなプローブ装置は、一般に、１以上のプローブシートを共通の基板に組み付けている。しかし、被検査体の大きさ、電極数、電極の配置ピッチ等は被検査体の種類に応じて異なるから、従来のプローブ装置では、検査すべき被検査体の種類が変更されるたびに、その被検査体に応じたプローブ装置に交換しなければならない。
【０００６】
そのようなプローブ装置の交換作業は、プローブ装置が大きくなるほど、困難になる。特に、液晶パネル用のプローブ装置においては、液晶パネル自体が大きいから、プローブ装置自体が大型になり、交換作業がより難しい。
【０００７】
【解決しようとする課題】
ニードルタイプのプローブ装置のように、プローブシートをプローブホルダに配置した複数のプローブブロックをプローブベースに取り外し可能に組み付けることにより、プローブ要素を複数の要素群に分けることが考えられる。
【０００８】
そのようなプローブ装置においては、プローブベースへの各プローブブロックの着脱を容易にすることが重要である。
【０００９】
【解決手段、作用及び効果】
本発明に係るプローブ装置は、左右方向に間隔をおいて前後方向に延在する複数の配線を電気絶縁性フィルムに形成したプローブシートと、前記プローブシートが装着された下面を有する取付部を前部に備えるプローブホルダであって前後方向に延在する凸部及び該凸部を受け入れるべく前後方向に延在する凹所のいずれか一方を上面に備えるプローブホルダと、該プローブホルダが配置された板状のプローブベースであって前記凸部及び前記凹所の他方を下側に備える板状のプローブベースと、前記プローブホルダを前記プローブベースの下側に解除可能に組み付ける１以上のねじ部材を備える組み付け手段とを含む。
【００１０】
プローブシートは、プローブ装置と被検査体とが上下方向に相対的に移動されることにより、各配線の先端部の接触部を被検査体の電極に押圧される。その状態で各配線に通電されて、被検査体の検査が行われる。
【００１１】
検査すべき被検査体の種類が変更されたとき、プローブシートが破損したときには、プローブシート及びプローブホルダの交換作業が行われる。この交換作業は、以下のように行われる。
【００１２】
先ず、組み付け手段のねじ部材が緩められる。これにより、プローブベースへのプローブホルダの組み付けが解除される。
【００１３】
次いで、プローブホルダが、これに装着されたプローブシートと共に、プローブベースから前方へ引き出される。これにより、プローブホルダがプローブベースから取り外される。
【００１４】
次いで、被検査体の種類に応じたプローブシートを装着している新たなプローブホルダがプローブベースに配置される。この際、プローブホルダ及びプローブベースのいずれか一方に形成された凸部が他方に形成された凹所に嵌合された状態で、プローブホルダがプローブベースに対し前方から後方へ移動される。
【００１５】
次いで、プローブホルダが組み付け手段のねじ部材によりプローブベースに移動不能に組み付けられる。
【００１６】
上記のように本発明によれば、ねじ部材の締め緩めをすると共に、プローブホルダをプローブベースに対し前後方向へ移動させることにより、プローブホルダをプローブベースに対し着脱することができるから、プローブベースへのプローブホルダの着脱作業が容易になる。
【００１７】
本発明に係るプローブ装置において、前記プローブホルダは、さらに、上方及び後方に開放する溝であって凸字状の断面形状を有しかつ前後方向に延在する溝を備え、前記ねじ部材は、前記プローブベースを厚さ方向に貫通する第１のねじ部材であってフランジ状の頭部を下端に有しかつ下端部を前記溝に該溝の長手方向へ相対的に移動可能に受け入れられた第１のねじ部材と、前記プローブベースの上側にあって前記第１のねじ部材に螺合された第２のねじ部材とを備える。このため、本発明によれば、さらに、プローブホルダの溝の上面を形成している部位を第１のねじ部材の頭部とプローブベースとに挟み込むことにより、プローブホルダをプローブベースに移動不能に組み付けることができる。また、第１及び第２のねじ部材の螺合を緩めることにより、プローブホルダの溝の上面を形成している部位を第１のねじ部材の頭部とプローブベースとによる挟持から解除して、プローブベースへのプローブホルダの組み付けを解除することができる。その結果、プローブベースに対するプローブホルダの組み付け及びその解除が容易になる。
【００１８】
前記組み付け手段は、さらに、前記第２のねじ部材を常時下方へ付勢する弾性部材を備えることができる。そのようにすれば、第１及び第２のねじ部材の螺合を緩めることにより、第１のねじ部材の頭部とプローブベースとの間隔が自然に大きくなるから、プローブホルダをプローブベースに対して前後方向へ移動させるだけで、プローブホルダをプローブベースに配置することができる。
【００１９】
前記プローブホルダ及び前記プローブベースは、さらに、前記凸部が前記凹所に受け入れられた状態で前記プローブホルダを前記プローブベースに対し後方へ移動させたとき互いに当接するストッパ部を備えることができる。そのようにすれば、両ストッパが当接すると、後方へのプローブホルダの移動が阻止されるから、プローブホルダはプローブベースに対し前後方向の位置決めをされる。
【００２０】
プローブ装置は、さらに、前記プローブホルダを前記プローブベースに対し前記左右方向の一方側へ付勢する１以上のプランジャを含むことができる。そのようにすれば、左右方向における凹所の１つの側壁と、左右方向における凸部の１つの側壁とが当接することにより、プローブホルダはプローブベースに対し左右方向の位置決めをされる。
【００２１】
好ましい実施例においては、プローブシートは、その前端部をプローブホルダから前方へ突出させている。しかし、プローブシートは、その前端部をプローブホルダから前方へ突出させていなくてもよい。
【００２２】
プローブ装置は、さらに、前部及び後部を有するアームであって前記後部が前記プローブベースの上側となる状態に及び左右方向に延在する軸線の周りに枢軸運動可能に前記後部において前記プローブベースに結合されたアームと、前記アームの前端部に配置されて前記プローブシートの前端部を下方へ押する押圧機構と、該押圧機構が前記プローブシートを押圧している状態に解除可能に前記アームを維持する第３のねじ部材とを含むことができる。そのようにすれば、プローブベースに対するプローブホルダの着脱時、アームをプローブホルダの着脱の妨げにならない位置に変位させることができる。また、プローブシートの接触部が被検査体の電極に押圧されたとき、プローブシートの前端部がその後方の部位に対し大きく曲げられることが防止される。
【００２３】
前記押圧機構は、左右方向に延在するベース部材であって前記アームの先端部に上下方向へ移動可能に配置されたベース部材と、前記プローブシートの前端部に対する前記ベース部材の高さ位置を調整すべく前記アームの前端部を上下方向に貫通して前記ベース部材に螺合する１以上の調整ねじと、前記アームと前記ベース部材との間に配置されて前記ベース部材を前記アームに対し下方へ付勢する１以上の第１の弾性体と、前記ベース部材に配置されて前記プローブシートの前端部上面に接触する第２の弾性体とを備えることができる。そのようにすれば、ベース部材への調整ねじのねじ込み量を調整することにより、プローブベースに対する押圧機構の高さ位置をねじ部材により調整することができる。また、プローブシートの接触部が被検査体の電極に押圧されたとき、第２の弾性体が弾性変形するから、接触部と電極との間の接触圧（針圧）が大きくなる。
【００２４】
前記押圧機構は、さらに、左右方向に間隔をおいて上下方向に延在する複数のガイドピンを含み、該ガイドピンは前記アーム及び前記ベース部材のいずれか一方に支持されていると共に前記アーム及び前記ベース部材の他方に上下方向へ相対的移動可能に受け入れられており、また前記第１の弾性体を貫通して延在していてもよい。
【００２５】
好ましい実施例においては、前記取付部の前記下面は左右方向に長い長方形の形状を有する。また、プローブシートは、各配線の先端部に突起電極を有し、この突起電極を接触部としている。さらに、プローブシートは、隣り合う配線の間を前後方向へ伸びるスリットを接触部の配置位置に対応する前記フィルムの箇所に有する。
【００２６】
プローブ装置は、さらに、互いに並列的に伸びる複数の第２の配線を電気絶縁性フィルムの一方の面に有する接続シートであってプローブホルダに装着された接続部材を含み、前記プローブシートの後部を接続シートの側に曲げ又は上側に折り返し、各配線を折り曲げた箇所又は折り返した箇所において第２の配線に個々に接続してもよい。また、プローブ装置は、さらに、第２の配線に個々に接続された複数の第３の配線を有する接続部材を含んでいてもよい。
【００２７】
前記プローブシートの前端縁を前記取付部より前方に突出させ、前記フィルムのうち、少なくとも前記取付部より前方の部位を透明又は半透明とすることができる。このようにすれば、プローブシートの配線と被検査体の電極との位置関係を取付部より前方のフィルムの透明又は半透明の箇所を通して確認することができるから、プローブシートの配線と被検査体の電極との位置合わせが容易になる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
図１から図８を参照するに、プローブ装置１０は、一部を図５に示す液晶パネル１２の検査装置、特に点灯すなわち通電検査装置に用いられる。液晶パネル１２は、長方形の形状をしており、また複数の電極１４を長方形の隣り合う２つの辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。
【００２９】
プローブ装置１０は、プローブブロック１６を含む。プローブブロック１６は、図示の例では、プローブシート１８と、プローブシート１８に接続されたシート状の第１の接続シート２０と、第１の接続シート２０に接続された第２の接続シート２２と、それらシート１８，２０及び２２が装着されたプローブホルダ２４とにより形成されている。
【００３０】
プローブシート１８は、その前端部を図６に示すように、互いに並列的に前後方向へ伸びる複数の配線２６を印刷配線技術によりポリイミドのような電気絶縁性フィルム２８の一方の面に形成したフィルム状プローブユニットである。プローブシート１８は、平面的にみて配線２６の配列方向（左右方向）に長い長方形の形状を有する。各配線２６は、フィルム２８の前端から後端まで伸びている。配線２６の配列ピッチは、液晶パネル１２の電極１４の配列ピッチと同じである。
【００３１】
プローブシート１８は、また、突起電極３０を各配線２６の前端部に有する。各突起電極３０は、ニッケルのような導電性金属材料から形成されており、また半球状の形状を有する。しかし、突起電極３０は、短い円柱状、短い多角柱状、直方体状、リング状等、他の形状を有していてもよい。
【００３２】
プローブシート１８は、さらに、隣り合う配線２６の間を伸びるスリット３２を前端部、特に突起電極３０の形成位置に対応する箇所に有する。各スリット３２は、フィルム２８を貫通している。そのようなスリット３２は、レーザ加工、エッチング加工等の適宜な加工技術によりフィルム２８に形成される。
【００３３】
第１の接続シート２０は、図２に示すように、複数の配線３４及び３６を印刷配線技術によりポリイミドのような電気絶縁性フィルム３８の一方の面に形成したタブ（ＴＡＢ）であり、また配線３４，３６に電気的に接続された駆動用集積回路４０を一方の面に有する。
【００３４】
第１の接続シート２０の各配線３４は、プローブシート１８の配線２６に一対一の形に対応されており、対応する配線２６に電気的に接続されている。集積回路４０は、液晶パネル１２の駆動に用いられ、駆動用制御信号を配線３６から受けて、駆動信号を配線３４に出力する。
【００３５】
第２の接続シート２２は、図２に示すように、複数の配線４２を印刷配線技術によりポリイミドのような電気絶縁性フィルム４４の一方の面に形成したフラットケーブル（ＦＰＣ）である。第２の接続シート２２の各配線４２は、第１の接続シート２０の配線３６に一対一の形に対応されており、対応する配線３６に電気的に接続されている。
【００３６】
プローブホルダ２４は、図３に示すように、ほぼ水平の板状部４６と、その前端から下方へ伸びる板状の取付部４８とにより、逆Ｌ字状の形状をしており、また電気絶縁材料により形成されている。板状部４６及び取付部４８の下面は、いずれも平坦面とされている。
【００３７】
板状部４６の後端上部には、上方及び後方に開口するＬ字状の断面形状を有する段部５０が形成されている。この段部５０には、円形の断面形状を有する棒状の弾性体５２が配置されている。弾性体５２は、シリコーンゴムのようなゴムで形成することができる。
【００３８】
プローブシート１８は、その前端部が取付部４８の前方へ突出しかつ配線２６がフィルム２８より下方となる状態に、フィルム２８において取付部４８の下面に接着剤のような適宜な手段により装着されている。接続シート２０及び２２は、配線３６及び４２が下側となる状態に、フィルム３８において板状部４６の下面に接着のような適宜な手段により装着されている。
【００３９】
各配線２６の前端部、その前端部に対応するフィルム２８の部位及び突起電極３０は、プローブ要素として作用する。したがって、プローブシート１８の前端部、特に突起電極３０及びスリット３２が形成された領域は、プローブ領域として作用する。フィルム２８の少なくとも前端部は、透明又は半透明とすることができる。
【００４０】
プローブシート１８の後端部は上側に折り返されている。各配線２６は、折り返された箇所において接続シート２０の対応する配線３４に、加熱圧着（又は半田のような導電性接着剤）により電気的に接続されている。接続シート２０及び２２の配線３６及び４２は、接続シート２０及び２２が板状部４６に取り付けられる前に、導電性のスルーホールや半田のような適宜な手段により電気的に接続しておくことができる。
【００４１】
図３，図４及び図５に示すように、プローブホルダ２４は、また、左右方向の中央を前後方向へ伸びる凸部５４を板状部４６の上面に備えていると共に、上方及び後方に開口する溝５６を凸部５４に備えており、さらに上下方向へ伸びる棒状のストッパ５８を凸部５４の前端部上面に有している。凸部５４は直方体状の形状をしており、また溝５６は凸字状（逆Ｔ字状）の断面形状をしている。
【００４２】
プローブ装置１０は、また、プローブホルダ２４が結合された板状のブロックホルダすなわちプローブベース６０と、複数のねじ部材によりプローブベース６０の下側に結合された配線部材６２と、プローブベース６０に連結されたアーム６４と、アーム６４の前端部に配置されてプローブシート１８の前端部を下方へ押する押圧機構６６と、押圧機構６６がプローブシート１８を押圧している状態に解除可能にアーム６４を維持するねじ部材６８とを含む。
【００４３】
プローブベース６０は、一対のガイド７０をプローブブロック１６毎に前部下面に取り付けていると共に、１以上のプランジャ７２をプローブブロック１６毎に一方のガイド７０に設けている。両ガイド７０は、プローブホルダ２４の凸部５４を受け入れる凹所を形成するように、左右方向へ間隔をおいて前後方向へ平行に伸びている。
【００４４】
プランジャ７２は、止め具、ボール、及び、止め具とボールとの間にあってボールを止め具と反対の側に押す弾性体を中空のシリンダ内に配置した市販のものであり、プローブホルダ２４の凸部５４を他方のガイド７０に向けて付勢するように、一方のガイド７０に組み付けられている。
【００４５】
図４に示すように、プローブホルダ２４をプローブベース６０の下側に解除可能に組み付ける組み付け手段は、プローブベース６０を厚さ方向に移動可能に貫通する第１のねじ部材７４と、プローブベース６０の上側にあって第１のねじ部材７４に螺合された第２のねじ部材７６と、第１のねじ部材７４の上部が貫通するキャップ７８とを備える。
【００４６】
第１のねじ部材７４は、フランジ状の頭部７４ａを下端に有しており、また下端部を溝５６に該溝５６の長手方向へ相対的に移動可能に受け入れられている。第２のねじ部材７６は、第１のねじ部材７４に形成されたねじ穴に上方から螺合されている。
【００４７】
第１のねじ部材７４の長手方向中間部には、止めリング８０が組み付けられている。止めリング８０とキャップ７８との間には、弾性部材８２が第１のねじ部材７４を常時下方へ付勢するように配置されている。弾性部材８２は、図示の例では圧縮コイルばねであるが、ゴムのような他の部材であってもよい。
【００４８】
第１のねじ部材７４が弾性部材８２により常時下方へ付勢されているため、プローブベース６０の下面と第１のねじ部材７４の頭部７４ａとの間隔は、第１のねじ部材７４に対する第２のねじ部材７６のねじ込み量を調整することにより、調整することができる。溝５６の上面を形成している部位５４ａは、プローブベース６０と第１のねじ部材７４の頭部７４ａとに挟まれている。
【００４９】
配線部材６２は、図２に示すように、複数の配線８４を印刷配線技術のような適宜な手法により電気絶縁性基板８６の一方の面に平行に形成した接続基板である。配線部材６２は、図３に示すように、配線８４が下方となる状態にプローブベース６０の下面にスペーサ８８を介して組み付けられている。
【００５０】
配線部材６２の各配線８４は、第２の接続シート２２の後端部が上側に折り返されて、弾性体５２によって第２の接続シート２２に押圧されていることにより、第２の接続シート２２の対応する配線４２に電気的に接続されている。
【００５１】
アーム６４は、前部及び後部によりほぼへ字状の形をしており、また左右方向へ伸びる枢軸９０により、後部がプローブベース６０の上側となりかつ前部がプローブホルダ２４及びプローブベース６０の前側を斜め下方へ伸びる状態に後部においてプローブベース６０に結合されている。
【００５２】
アーム６４は、第２のねじ部材７６を操作する六角レンチのような工具を通す穴と、ねじ部材６８が貫通する穴とを後部に有する。ねじ部材６８は、プローブベース６０に形成されたねじ穴に螺合されている。
【００５３】
押圧機構６６は、アーム６４の先端部下側に配置されたベース部材９２と、アーム６４の前端部を上下方向に貫通してベース部材９２に螺合する１以上の調整ねじ９４と、アーム６４とベース部材９２との間に配置されてベース部材９２をアーム６４に対し下方へ付勢する１以上の第１の弾性体９６と、ベース部材９２に配置されてプローブシート１８の前端部上面に接触する第２の弾性体９８と、調整ねじ９４を間にして左右方向に間隔をおいて上下方向へ伸びる複数のガイドピン１００とを備える。
【００５４】
ベース部材９２は、左右方向へ伸びており、また調整ねじ９４及びガイドピン１００によりアーム６４に上下方向へ移動可能に組み付けられている。ガイドピン１００は、アーム６４及びベース部材９２のいずれか一方に支持されていると共にアーム６４及びベース部材９２の他方に上下方向へ相対的移動可能に受け入れられており、また第１の弾性体９６を貫通して伸びている。
【００５５】
第１の弾性体９６は、図示の例では圧縮コイルばねであるが、ゴムのような他の部材であってもよい。第２の弾性体９８は、シリコーンゴムのような弾性材料により蒲鉾型に形成されており、またベース部材９２の下面に左右方向へ伸びる状態に配置されている。
【００５６】
図９〜図１３に示すように、複数のプローブブロック１６と、複数の配線部材６２と、複数のアーム６４と、複数の押圧機構６６とが共通のプローブベース６０に左右方向に組み付けられている。プローブベース６０の前端面は、複数のストッパ５８が共に当接するストッパ面６０ａとして作用するように、平坦面とされている。
【００５７】
検査時、プローブ装置１０と液晶パネル１２とは、相寄る方向へ相対的に移動される。これにより、先ず各突起電極３０が液晶パネル１２の電極１４に接触され、次いでオーバードライブがプローブシート１８の先端部すなわちプローブ領域に作用する。その状態で各配線に通電されて、液晶パネル１２の検査が行われる。その結果、プローブシート１８の前端部は、弾性体９６の力に抗して弾性変形するが、プローブ装置１０と液晶パネル１２との相対的な押圧が解除されることにより、元の形状に戻る。
【００５８】
プローブシート１８の突起電極３０が液晶パネル１２の電極１４に押圧されたとき、アーム６４及び押圧機構６６は、プローブシート１８の前端部がその後方の部位に対し大きく曲げられることを防止する。また、プローブシート１８の突起電極３０が液晶パネル１２の電極１４に押圧されたとき、弾性体９８が弾性変形するから、突起電極３０と電極１４との間の接触圧（針圧）が大きくなる。
【００５９】
プローブシート１８のプローブ領域が弾性変形するとき、各プローブ領域はスリット３２により独立して変形する。この際、各プローブ要素は、弾性体９８の対応する箇所を圧縮変形させつつ、弾性変形するから、プローブ要素の左右方向への変位を、隣り合うプローブ要素の先端が切り離されていないことと相まって、弾性体９８により阻止される。
【００６０】
プローブシート１８のフィルム２８がポリイミドのような透明材料製又は他のフィルムのような半透明材料製であると、図５に示すように、液晶パネル１２の電極１４とプローブシート１８の突起電極３０とを接触させるとき、プローブシート１８の配線２６と液晶パネル１２の電極１４との位置関係を、取付部４８より前方に突出するプローブシート１８の前端部を通して確認することができる。
【００６１】
プローブブロック１６をプローブベース６０に組み付けるとき、図９及び図１０に示すように、ねじ部材６８がプローブベース６０から外されてアーム６４が立ち上げられていると共に、第２のねじ部材７６が緩められて第１のねじ部材７４が下方へ移動されている。
【００６２】
この状態でストッパ５８がプローブベース６０の前端面すなわちストッパ面６０ａに当接するまで、プローブブロック１６の凸部５４を前方から両ガイド７０の間に差し込まれる。これにより、プローブブロック１６は図１１に示すようにプローブベース６０に配置される。
【００６３】
前後方向におけるプローブブロック１６の位置決めは、ストッパ５８がプローブベース６０のストッパ面６０ａに当接することにより行われる。左右方向におけるプローブブロック１６の位置決めは、図１３に示すように、凸部５４がプランジャ７２によりそれと反対側のガイド７０に押し当てられることにより行われる。このため、プローブブロック１６の位置決めをワンタッチで行うことができる。
【００６４】
プローブブロック１６をプローブベース６０に装着するとき、第１のねじ部材７４が弾性部材８２により押し下げられているから、溝５６の上面を形成している部位５４ａはプローブベース６０と第１のねじ部材７４の頭部７４ａとの間に確実に受け入れられる。
【００６５】
プローブブロック１６がプローブベース６０に上記のように装着された状態において、第２のねじ部材７６が第１のねじ部材７４に強く螺合されて、溝５６の上面を形成している部位５４ａがプローブベース６０と第１のねじ部材７４の頭部７４ａとの間に強く挟み込まれる。これにより、プローブブロック１６は、図３及び図４に示すようにプローブベース６０に移動不能に及び解除可能に強く組み付けられる。
【００６６】
次いで、アーム６４が図１２に示すように所定の位置に変位され、ねじ部材６８がプローブベース６０のねじ穴に螺合される。これにより、アーム６４及び押圧機構６６が所定の位置に維持される。この状態において、押圧機構６６の第２の弾性体９８は、プローブシート１８の先端部に当接している。
【００６７】
その後、押圧機構６６によるプローブシート１８の押圧力が調整ねじ９４により調整調整される。
【００６８】
プローブブロック１６をプローブベース６０から外すときは、ねじ部材６８をプローブベース６０から外してアーム６４を上げ、第２のねじ部材７６を緩めてプローブホルダ２４の部位５４ａを第１のねじ部材７４の頭部７４ａとプローブベース６０とによる挟持から解除し、その後プローブブロック１６を前方へ引き出せばよい。
【００６９】
プローブブロックを交換するときは、プローブベース６０に組み付けられているプローブブロックを上記のように取り外し、次いで新たなプローブブロックをプローブベース６０に上記のように組み付ければよい。
【００７０】
上記のようにプローブ装置１０によれば、第１及び第２のねじ部材７４，７６の締め緩めをすると共に、プローブブロック１６をプローブベース６０に対し前後方向へ移動させることにより、プローブブロック１６をプローブベース６０に対し着脱することができるから、プローブベース６０へのプローブブロック１６の着脱作業が容易になる。
【００７１】
また、プローブブロック１６の凸部５４をプローブベース６０のガイド７０の間に差し込むだけで、左右方向及び前後方向におけるプローブブロック１６の位置決めが行われるから、プローブブロック１６の交換作業がより容易になる。
【００７２】
さらに、アームを上げた状態で、プローブベース６０に対するプローブブロック１６の着脱作業を行うことができるから、アーム６４及び押圧機構６６はプローブホルダ１６の着脱の妨げにならない。
【００７３】
図１４は、上記した構造を有する複数のプローブ装置１０を用いて、液晶パネル１２を検査するプローブカード１１０の一実施例を示す。ベース板１１２は、長方形の開口１１４を中央に有しており、４つのプローブ装置１０を組み付けたプローブベース６０を長方形の長辺に対応する箇所に配置し、３つのプローブ装置１０を組み付けたプローブベース６０を長方形の短辺に対応する箇所に配置している。両プローブベース６０は、各プローブ装置１０の少なくともプローブシート１８が開口１１４に突出する状態にベース板１１２に配置されている。
【００７４】
上記実施例においては、プローブシート１８の前端部を押圧機構６６から前方へ突出させているが、プローブシート１８の前端部を押圧機構６６から前方へ突出させていなくてもよい。
【００７５】
本発明は、液晶パネルの検査装置に用いるプローブ装置に適用すると、シート状部材としてタブ（ＴＡＢ）を用いることができることから好適である。しかし、本発明は、集積回路のような他の平板状被検査体の検査に用いるプローブ装置にも適用することができる。
【００７６】
本発明は、水平に配置された被検査体用のプローブ装置のみならず、斜めに傾斜された被検査体用のプローブ装置にも適用することができる。本発明においては、被検査体と平行な面内における一方向及び他方向をそれぞれ前後方向及び左右方向といい、被検査体に垂直な方向を上下方向というから、後者の場合、上下方向は斜めの方向となる。
【００７７】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るプローブ装置の一実施例を示す平面図
【図２】図１に示すプローブ装置の底面図
【図３】図１の３−３線に沿って得た断面図
【図４】図３の４−４線に沿って得た断面図
【図５】プローブブロックの一実施例を示す斜視図
【図６】図１に示すプローブ装置の先端部分を上下逆にして示す斜視図
【図７】プローブブロックの後端部の拡大断面図
【図８】押圧機構の拡大断面図
【図９】プローブブロックをプローブベースに装着する状態を示す断面図
【図１０】プローブブロックをプローブベースに装着する状態を示す斜視図
【図１１】プローブブロックをプローブベースに装着した状態を示す斜視図
【図１２】アームをプローブベースに正しく組み付けた状態を示す斜視図
【図１３】左右方向におけるプローブブロックの位置決め状態を説明するための図
【図１４】複数のプローブ装置を用いたプローブカードの一実施例を示す平面図
【符号の説明】
１０  プローブ装置
１２  液晶パネル
１４  液晶パネルの電極
１６  プローブブロック
１８  プローブシート
２０，２２  接続シート
２４  プローブホルダ
２６  プローブシートの配線
２８  プローブシートのフィルム
３０  突起電極
３２  スリット
３４，３６，４２  接続シートの配線
３８，４４  接続シートのフィルム
４６  プローブホルダの平板部
４８  プローブホルダの取付部
５４  凸部
５６  溝
５８  ストッパ
６０  プローブベース
６０ａ  ストッパ面
６２  配線部材
６４  アーム
６６  押圧機構
６８  ねじ部材
７０  ガイド
７２  プランジャ
７４  第１のねじ部材
７４ａ  第１のねじ部材の頭部
７６  第２のねじ部材
８２  弾性部材
９２  ベース部材
９４  調整ねじ
９６，９８  第１及び第２の弾性体
１００  ガイドピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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