(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
−ＯＨ基、−ＯＭ基又は＝Ｒ基（但し、Ｍはアルカリ金属原子またはＭｇＸ（Ｘはハロゲン原子を示す。）、Ｒは２価の脂肪族炭化水素基である。）を有するアダマンタン誘導体をエステル化して得られた粗アルキルアダマンチルエステルを蒸留して高純度アルキルアダマンチルエステルを製造する方法において、該蒸留を酸素、硫黄、セレンおよびケイ素から選ばれる少なくとも１つのヘテロ原子を有する３〜５員環の飽和複素環を分子中に少なくとも１つ有する複素環化合物の存在下に行なうことを特徴とする高純度アルキルアダマンチルエステルの製造方法。
【請求項２】
アルキルアダマンチルエステル１００重量部、並びに酸素、硫黄、セレンおよびケイ素から選ばれる少なくとも１つのヘテロ原子を有する３〜５員環の飽和複素環を分子中に少なくとも１つ有する複素環化合物０．０００１〜１００重量部を含んでなることを特徴とするアルキルアダマンチルエステル組成物。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、不純物を含む粗アルキルアダマンチルエステルを蒸留精製することによって、高純度のアルキルアダマンチルエステルを製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、目的化合物が熱、触媒等の作用により分解しやすい化合物であり、目的化合物を含む被蒸留液に目的化合物の分解を促進する作用がある物質が含まれている場合には、蒸留中に目的化合物が容易に分解するため、蒸留精製により目的化合物を高純度で、あるいは高回収率で得るということは困難であった。一般に、分解促進作用を示す物質が極微量含まれていても、加熱時に目的化合物を分解する場合があるため、該物質を特定しかつ悪影響を及ぼさない量まで除去することは非常に困難であった。よって、このような場合、易分解性の目的化合物を再現良く高純度に精製するためには蒸留以外の精製方法を用いることが必要であった。
【０００３】
一方、製品に対する純度の要求は年々高まってきており、特に半導体製造プロセスに使用する製品には金属成分の低減が厳しく要求されている。金属成分を効率よく除去できる精製法としては、蒸留精製が適している。
【０００４】
近年、重合性基を有するアルキルアダマンチルエステルから得たポリマ−は、半導体製造プロセスにおけるドライエッチング耐性が高いことが報告され（例えば特開平５−２６５２１２号公報）、半導体用レジスト材料としての可能性が注目されている。これらアルキルアダマンチルエステルにおいても半導体用レジスト材料として使用する場合には金属成分が低減された高純度のものが要求される。
【０００５】
アルキルアダマンチルエステルは、一般にアダマンタンを出発原料として得られた２−アダマンタノンを経て、２−アルキル−２−アダマンタノール、２−アルキリデンアダマンタン、または２−アダマンタノンとメチルマグネシウムブロマイド等の有機金属試薬との反応にて得られた金属アルコキシド等と、カルボン酸エステル、酸無水物または酸ハロゲン化物等のカルボン酸誘導体、またはカルボン酸との反応により製造できることが知られている。
【０００６】
一般にアルキルアダマンチルエステルは酸、熱等の刺激により容易に分解する。例えば、触媒量の酸の共存下に加熱することによってカルボン酸等に分解することが知られている。このような性質を利用してアルキルアダマンチルエステルは、半導体製造プロセスにおいて、化学増幅型レジスト用材料として用いられている。従って、アルキルアダマンチルエステルを蒸留精製しようとする場合、酸成分を取り除くため前処理として水酸化ナトリウム水溶液等のアルカリ水溶液で洗浄するのが通常であった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、アルカリ水溶液で洗浄するなどの通常の前処理を行ない酸成分を除去した粗アルキルアダマンチルエステルを通常の方法で蒸留すると、何らかの原因により蒸留中にアルキルアダマンチルエステルが分解し、例えばカルボン酸や２−アルキリデンアダマンタン等の分解物が生成するため、高純度のアルキルアダマンチルエステルを収率良く得ることが出来なかった。
【０００８】
また、粗アルキルアダマンチルエステルまたは蒸留精製したアルキルアダマンチルエステルは、保存中に何らかの原因により分解が起こり着色等の問題が生じることが分かった。さらに、重合性基を有するアルキルアダマンチルエステルでは、保存中に着色が生じると、重合しても分子量が上がらないといった問題があることも分かった。
【０００９】
本発明は、以上のように効率的な蒸留精製方法が知られていなかった粗アルキルアダマンチルエステルについて、効率的な精製方法を採用して高純度のアルキルアダマンチルエステルを製造する方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記課題を解決すべく鋭意検討を行った。その結果、複素環化合物の存在下に粗アルキルアダマンチルエステルを蒸留することにより、アルキルアダマンチルエステルを効率よく精製できることを見出し、また、上記の化合物はアルキルアダマンチルエステルの保存安定性をも向上させる効果があることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１１】
即ち、本発明は、−ＯＨ基、−ＯＭ基又は＝Ｒ基（但し、Ｍはアルカリ金属原子またはＭｇＸ（Ｘはハロゲン原子を示す。）、Ｒは２価の脂肪族炭化水素基である。）を有するアダマンタン誘導体をエステル化して得られた粗アルキルアダマンチルエステルを蒸留して高純度アルキルアダマンチルエステルを製造する方法において、該蒸留を酸素、硫黄、セレンおよびケイ素から選ばれる少なくとも１つのヘテロ原子を有する３〜５員環の飽和複素環を分子中に少なくとも１つ有する複素環化合物の存在下に行なうことを特徴とする高純度アルキルアダマンチルエステルの製造方法である。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明において、蒸溜の対象となる粗アルキルアダマンチルエステルは、−OH基、−ＯＭ基又は＝Ｒ基（但し、Ｍはアルカリ金属原子またはＭｇＸ（Ｘはハロゲン原子を示す。）、Ｒは２価の脂肪族炭化水素基である。）を有するアダマンタン誘導体をエステル化して得られたものである。このような方法により得られた粗アルキルアダマンチルエステルには、アルキルアダマンチルエステルを分解するような不純物が含まれていると考えられる。この不純物が何であるかは現段階では不明であるが、本発明者らは蒸留条件下で分解して酸を生成するような不純物ではないかと推定している。
【００１３】
粗アルキルアダマンチルエステルの原料であるアダマンタン誘導体が有する−OH基、−ＯＭ基又は＝Ｒ基（但し、Ｍはアルカリ金属原子またはＭｇＸ（Ｘはハロゲン原子を示す。）、Ｒは２価の脂肪族炭化水素基である。）中、Ｍで示されるアルカリ金属原子はカリウム原子、ナトリウム原子等であり、Ｘで示されるハロゲン原子は塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等であり、Ｒで示される２価脂肪族炭化水素基はメチリデン基、エチリデン基、プロピリデン基、イソプロピリデン基等である。
【００１４】
−OH基、−ＯＭ基又は＝Ｒ基（但し、Ｍはアルカリ金属原子またはＭｇＸ（Ｘはハロゲン原子を示す。）、Ｒは２価の脂肪族炭化水素基である。）を有するアダマンタン誘導体としては、例えば、−OH基を有する２−アルキル−２−アダマンタノール、＝Ｒ基を有する２−アルキリデンアダマンタン、および下記一般式（１）
【００１５】
【化１】
0004171570.tif 000002
【００１６】
（式中、Ｒ1は水素原子又はアルキル基であり、Ｍはアルカリ金属原子またはＭｇＸ（Ｘはハロゲン原子を示す）である。）
で示される−ＯＭ基を有するアダマンタン誘導体を挙げることができる。
【００１７】
粗アルキルアダマンチルエステルの具体的な製造方法は、例えば、２−アダマンタノンをアルキルマグネシウムハライド等のグリニヤール試薬やアルキルリチウム等の有機金属試薬にてアルキル化し、続いて酸ハロゲン化物を用いてエステル化する方法、２−アダマンタノンを有機金属試薬を用いてアルキル化して２−アルキル−２−アダマンタノールを得、次いでカルボン酸、カルボン酸無水物またはカルボン酸エステル等でエステル化する方法、２−アダマンタノンを有機金属試薬を用いてアルキル化した後、金属アルコキシドを分解して得られたアルコール体を脱水して２−アルキリデンアダマンタンを得、次いでカルボン酸を用いて付加反応によりエステル化する方法を挙げることができる。
【００１８】
粗アルキルアダマンチルエステル中には、蒸留によって分離可能なものであれば、上記したアルキルアダマンチルエステルを分解する不純物以外の他の不純物が含まれていても良い。このような不純物としては、アルキルアダマンチルエステル合成時に原料として使用するアダマンタンや２−アダマンタノン、原料由来の不純物である１−アダマンタノール、合成時に副生する１−アダマンチルエステルや２−アルキリデンアダマンタン、合成時に溶媒として使用するテトラヒドロフランやヘキサン等を挙げることができる。
【００１９】
これら他の不純物の含有量は特に限定されないが、上記した方法で製造した場合、アルキルアダマンチルエステルの重量を１００重量部としたときに他の不純物の合計量は１〜５０重量部程度である。
【００２０】
本発明において精製されるアルキルアダマンチルエステルとしては、下記一般式（２）
【００２１】
【化２】
0004171570.tif 000003
【００２２】
（式中、Ｒ2は水素原子又は炭素数１〜６のアルキル基であり、Ｒ3は水素原子又はメチル基である。）
で示されるものを用いることが出来る。
【００２３】
前記一般式（２）において、Ｒ2で示される炭素数１〜６のアルキル基を具体的に例示すれば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基等の直鎖アルキル基；及びイソプロピル基、第３級ブチル基、ネオペンチル基等の分岐アルキル基を挙げることができる。特に、半導体用レジストの原料として有用であり、特に高純度化が重要であるという観点から、前記一般式（２）で示されるものの中でも、Ｒ2がメチル基、エチル基またはブチル基であり、Ｒ3が水素またはメチル基であるものが好適である。
【００２４】
本発明においては、上記した粗アルキルアダマンチルエステルは、酸素、硫黄、セレンおよびケイ素から選ばれる少なくとも１つのヘテロ原子を有する３〜５員環の飽和複素環を分子中に少なくとも１つ有する複素環化合物（以下、分解抑制物質ともいう。）の存在下に蒸留される。
【００２５】
本発明において、分解抑制物質の一つである複素環化合物としては、環構成原子の少なくとも一つが酸素、硫黄、セレン、ケイ素等のヘテロ原子である複素環を分子中に一つ以上有する化合物である。複素環化合物は、同一の環構造内に複数個のヘテロ原子を有していてもよく、また、分子内に同一または異なる種類の複数個の環構造を縮合してまたは独立して有していてもよい。
【００２６】
複素環化合物としては、下記に示す規定に合致するものであれば、公知のものを特に制限なく用いることができる。例えば、「複素環化合物の化学、改訂第３版」（科学技術出版社、１９８０年発行）に記載されているような化合物を用いることができる。
【００２７】
本発明における複素環化合物中に含まれる複素環は、飽和の３〜５員環である。このような複素環としては、オキシラン、オキセタン、オキソラン等の環状エーテル；チイラン、チエラン、チオラン等の環状チオエーテル；環状シロキサン；オキサジン等を挙げることができる。
【００２８】
これらの中で、アルキルアダマンチルエステルの分解抑制効果が高く、より高純度で目的物が得られる分解抑制物質として、環状エーテル構造を分子中に含む複素環化合物を挙げることができる。その中でも、オキシラン環やオキセタン環を含む複素環化合物を用いた場合には、一般に低い添加量で分解抑制効果が得られる。
【００２９】
環状エーテル構造を含む複素環化合物としては、公知のものを特に制限なく用いることができる。オキシラン環を有する複素環化合物としては、公知のものを特に制限なく用いることができ、例えば、「１３５９９の化学商品」（化学工業日報社、１９９９年発行）の第１４類（熱硬化性樹脂）の項、「エポキシ樹脂ハンドブック」（日刊工業新聞社、１９８７年発行）の第２章（エポキシ樹脂）の項、及び「新エポキシ樹脂」（昭晃堂、１９７５年発行）の第３章（特殊なエポキシ樹脂）の項に記載されているような化合物を用いることができる。
【００３０】
このような化合物を例示すれば、プロピレンオキシド、６，７−エポキシドデカン、α、α’−エポキシジベンジル等のアルキル基のオキシラン化合物；フェニルグリシジルエーテル、グリセロールジグリシジルエーテル、ジグリシジルビスフェノールＡ、臭素化ジグリシジルビスフェノールＡ、ジグリシジルビスフェノールＣ、テトラグリシジルベンゾフェノン、ジグリシジルビスフェノールＦ、トリグリシジル−ｐ−アミノフェノール、ジグリシジルシクロヘキサン１，３−ジカルボキシレート、ノボラック型エポキシ等の複数個のグリシジル基を有するエポキシ類（単量体、二量体以上のオリゴマーを含む）等のグリシジルエーテル化合物；フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸グリシジルエステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ジグリシジル−ｐ−オキシ安息香酸等のグリシジルエステル化合物；ビニルシクロヘキセンジオキシド、７−オキサビシクロ［４．１．０］ヘプタ−３−イルメチル−７−オキサビシクロ［４．１．０］ヘプタン−３−カルボキシレート等の環式脂肪族エポキシ化合物；テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジルパラアミノフェノール、ジグリシジルアニリン等のグリシジルアミン化合物；１，３−ジグリシジルヒダントイン、グリシジルグリシドオキシエチルヒダントイン、トリグリシジルイソシアヌレート等のオキシラン環の他にも複素環構造を有する複素環式エポキシ類等を挙げることができる。
【００３１】
また、オキセタン環を有する複素環化合物としては、例えば、３−エチル−３−ヒドロキシメチルオキセタン、１，４−ビス｛［（３−エチル−３−オキセニル）メトキシ］メチル｝ベンゼン等を挙げることができる。
【００３３】
目的化合物であるアルキルアダマンチルエステルを高純度に得るためには、これらの分解抑制物質は目的化合物と同時には留出しないか、または留出する目的化合物に含まれる場合でも目的物と容易に分離出来るものが好ましい。
【００３４】
分解抑制物質が目的化合物と同時には留出しないためには、分解抑制物質が蒸留において留出しない程度の高沸点を示すか、沸点および昇華点をもたないか、または目的化合物と同時に留出しない程度に低い沸点を示すことが好ましい。特に、目的化合物の蒸留終了後まで分解抑制効果を維持させるためには、分解抑制物質が蒸留において留出しない程度の高沸点を示すか沸点および昇華点をもたない化合物であることがより好ましい。
【００３５】
目的化合物との分離が容易な分解抑制物質を用いた場合には、蒸留が進んで目的化合物が留出して分解抑制物質と混合した場合でも、分解抑制物質が容易に取り除けるので目的物を高純度で得ることができる。例えば、目的化合物が分解抑制物質と相溶性がなければ、分液することにより容易に目的化合物を得ることができる。また、目的化合物が水に不溶の場合、水溶性の分解抑制物質を用いれば、留出液を水洗いすることにより容易に目的化合物を得ることができる。さらに、目的化合物が水、酸性水溶液、またはアルカリ性水溶液に易溶の場合、非水溶性の分解抑制物質を用いることにより、留出液をそれぞれ水、酸性水溶液、またはアルカリ性水溶液に溶解し、分液操作等により分解抑制物質を除いてから、必要に応じて中和操作をし、水を取り除くことにより容易に目的化合物を得ることができる。また、目的化合物が水に不溶で、酸またはアルカリに安定であれば、酸性またはアルカリ性の分解抑制物質を用いることもでき、この場合はアルカリ性水溶液または酸性水溶液で洗浄することにより容易に目的化合物を得ることができる。
【００３６】
分解抑制物質の添加量は、分解抑制効果を維持し目的化合物の分解を抑えるのに必要十分な量を加えればよく、分解促進物質の量等を勘案して加える量を決定すれば良いが、通常は、粗アルキルアダマンチルエステル１００重量部に対して０．０００１〜５００重量部の範囲である。
【００３７】
本発明の製造方法では、上記の分解抑制物質の存在下に粗アルキルアダマンチルエステルの蒸留が行われる。分解抑制物質を粗アルキルアダマンチルエステルに加える態様は特に制限されず、例えば、蒸留を開始する前に分解抑制物質を予め粗アルキルアダマンチルエステルと混合しても良いし、蒸留を開始してから蒸留釜に直接、或いは蒸留塔、蒸留管、還流ラインから分解抑制物質を供給してもよい。また、分解抑制物質として複数種類の化合物を併用することもできる。
【００３８】
本発明の製造方法において、分解抑制物質の存在下での蒸留方式は特に限定されず、単蒸留または分別蒸留が用いられ、分別蒸留の場合、分留管としては、ビグルー型、同心円筒型、回転バンド型、充填カラム等の薄膜式分留管や泡鐘型、多孔板型等のプレート式分留管が好適に用いられ、特に減圧蒸留を行う場合は圧力損失の少ない薄膜式分留管が好適に用いられる。また、クーゲルロールや薄膜蒸留等の公知の蒸留方式が何ら制限無く採用できる。
【００３９】
また、温度や圧力、還流比などの蒸留条件も特に限定されず、粗アルキルアダマンチルエステルの組成、分解抑制物質の種類及び添加量、最終的に得られる目的物の純度等に応じて適宜決定すればよい。
【００４０】
分解抑制物質の効果としては、前記した分解抑制効果の他に、例えば目的化合物が常温で固体である場合にも、分解抑制物質を添加して被精製物の粘度を下げたり、溶液化や懸濁液化したりすることにより取扱を容易にするという効果も期待できる。この様な効果を期待する場合には、目的化合物の沸点に近い沸点を持つ液体の分解抑制物質を第二の分解抑制物質として被精製物に添加するのが好適である。
【００４１】
また、本発明において、分解抑制物質はアルキルアダマンチルエステルの保存安定性を向上させる効果をも有する。このような効果の観点からは、分解抑制物質としては、前記した分解抑制物質の中でもオキシラン化合物が特に好ましい。
【００４２】
分解抑制物質の添加量は、保存中のアルキルアダマンチルエステルの分解を抑制できればよく、用いる分解抑制物質の効力、アルキルアダマンチルエステルへの溶解性やアルキルアダマンチルエステルの用途等を勘案して加える量を決定すれば良いが、通常は、アルキルアダマンチルエステル１００重量部に対して０．０００１〜１００重量部、好ましくは０．００１〜１０重量部の範囲である。
【００４３】
目的化合物の使用の際に分解抑制物質の残留が好ましくない際に、目的化合物を使用する前に適当な処理を行なうことにより分解抑制物質を容易に取り除くことができるように、目的化合物との分離が容易な分解抑制物質を用いることが好ましい。目的物と分解抑制物質との分離法としては、既述の方法と同様な方法を用いることが出来る。
【００４４】
【実施例】
以下に実施例および比較例を掲げて本発明をさらに詳細に述べるが、本発明はこれらの実施例によって何ら制限されるものではない。
【００４５】
合成例１
２−アダマンタノン３０ｇを無水テトラヒドロフラン中に溶かした後、室温にてメチルマグネシウムブロミドの１ｍｏｌ／ｌテトラヒドロフラン溶液２００ｍｌを添加し、３時間後にピリジン５ｇを加え、続いてメタクリル酸クロリド２６ｇを添加し、５０℃で３時間攪拌した。得られた反応混合物を濃縮後、ヘキサンおよび１Ｎ塩化アンモニウム水溶液を加えて振とうし、有機相を分離した後、該有機相を５％水酸化ナトリウム水溶液、水の順に洗浄し水相のｐＨが８であることを確認した。洗浄した有機相を濃縮し２−メチル−２−アダマンチルメタクリレートを９０重量％含む粗２−メチル−２−アダマンチルメタクリレートを得た。
【００４６】
合成例２
２−エチル−２−アダマンタノール７０ｇをトルエンに溶解し、ｐ−トルエンスルホン酸１ｇを加え、加熱下ディーンスターク脱水装置を用いて水を留去し、２−エチリデンアダマンタンを得た。得られた２−エチリデンアダマンタン５０ｇにメタクリル酸５００ｇ、濃硫酸０．１ｍｌを添加し、８０℃にて５時間加熱した。得られた反応混合物にヘキサンを加えた後、水、５％水酸化ナトリウム水溶液、水の順に洗浄し水相のｐＨが８であることを確認した。洗浄した有機相を濃縮したのち、未反応の２−エチリデンアダマンタンを一部昇華除去し、２−エチル−２−アダマンチルメタクリレートを８０重量％含む粗２−エチル−２−アダマンチルメタクリレートを得た。
【００４７】
実施例１
合成例１で得られた粗２−メチル−２−アダマンチルメタクリレート１００重量部に、分解抑制物質として３−エチル−３−ヒドロキシメチルオキセタンを０．０５重量部を加え、減圧下蒸留を行った。
【００４８】
蒸留は、５ｃｍのビグルー型分留管と全縮型還流分留装置を用い、ガラスキャピラリーで空気を導入しながら、真空度０．３ｍｍＨｇで減圧蒸留した。初留をカットし、２−メチル−２−アダマンチルメタクリレート純度が８０％を越えた時点で本留を取りはじめた。本留分を集めたところ２−メチル−２−アダマンチルメタクリレートを純度９５．３重量％で得ることができた。
【００４９】
実施例２
合成例１で得られた粗２−メチル−２−アダマンチルメタクリレート１００重量部に、分解抑制物質として０．０３重量部のジグリシジルビスフェノールＡ系エポキシ化合物［ジグリシジルビスフェノールＡ（８６重量％）およびジグリシジルビスフェノールＡの２量体（１４重量％）からなる混合物］を加え、減圧下蒸留を行った。
【００５０】
蒸留は、５ｃｍのビグルー型分留管と全縮型還流分留装置を用い、ガラスキャピラリーで純酸素を導入しながら、真空度０．３ｍｍＨｇで減圧蒸留した。初留をカットし、２−メチル−２−アダマンチルメタクリレート純度が８０％を越えた時点で本留を取りはじめた。本留分を集めたところ２−メチル−２−アダマンチルメタクリレートを純度９５．７重量％で得ることができた。
【００５１】
実施例３
実施例１において粗２−メチル−２−アダマンチルメタクリレート１００重量部に対して、分解抑制物質として３−エチル−３−ヒドロキシメチルオキセタン０．０５重量部の代わりに２−ヘキサデシルチイランを１重量部用いた他は実施例１に準じて蒸留を行った。初留をカットし、２−メチル−２−アダマンチルメタクリレート純度が８０％を越えた時点で本留を取りはじめた。本留分を集めたところ２−メチル−２−アダマンチルメタクリレートを純度９３．４重量％で得ることができた。
実施例４〜１０
表１に示したように、合成例１で得られた粗２−メチル−２−アダマンチルメタクリレート（表１中、粗メチル体という）１００重量部、または合成例２で得られた粗２−エチル−２−アダマンチルメタクリレート（表１中、粗エチル体という）１００重量部に、表１に示した分解抑制物質を一定量加え、減圧下蒸留を行った。
【００５２】
【表１】
0004171570.tif 000004
【００５３】
蒸留は、５ｃｍのビグルー型分留管と全縮型還流分留装置を用い、ガラスキャピラリーで空気を導入しながら、真空度０．１〜０．３ｍｍＨｇで減圧蒸留した。この際得られた本留分の純度を表１に示す。表１に示したように、本発明の分解抑制物質を用いることにより、高純度のアルキルアダマンチルエステルを得ることができる。
比較例１
合成例１で得られた粗２−メチル−２−アダマンチルメタクリレートをそのまま減圧下蒸留を行った。初留をカットし、２−メチル−２−アダマンチルメタクリレート純度が８０％を越えた時点で本留を取りはじめた。本留分を集めたところ２−メチル−２−アダマンチルメタクリレートの純度はわずか８５．３重量％であった。
実施例１１〜２０
表２に示したように、実施例１および比較例１で得られた２種類の精製２−メチル−２−アダマンチルメタクリレート（表２中、それぞれメチル体A、メチル体Bと示す）１００重量部に、分解抑制物質を添加して４０℃における保存安定性を検討した。
【００５４】
【表２】
0004171570.tif 000005
【００５５】
表２に示すように、本発明における分解抑制物質を用いることによりアルキルアダマンチルエステルの保存安定性が向上することが判った。
【００５６】
【発明の効果】
本発明により、これまで蒸留精製が困難であった、アルキルアダマンチルエステルを分解するような不純物を有する粗アルキルアダマンチルエステルを容易に蒸留精製することが可能になった。本発明の製造方法を採用することにより、半導体用レジスト材料としての用途が期待される高純度アルキルアダマンチルエステルを容易に得ることも可能である。また、アルキルアダマンチルエステルを長期間安定して保存することが可能である。