(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
トリミングした厚膜抵抗の電気的特性をシミュレーションにより検証可能とするコンピュータが実行する厚膜抵抗の電気的特性検証方法であって、
厚膜抵抗の幅と長さを単位長さで除算して得られる個数の抵抗素子を、幅方向と長さ方向にそれぞれ配置することにより、トリミング前の厚膜抵抗をモデル化したマトリックス状の抵抗回路に対応したネットリストを作成するリスト作成工程と、
前記リスト作成工程にて作成したネットリスト上で少なくとも厚膜抵抗のトリミング位置に対応して配置された抵抗素子を、制御電圧値に応じてオン／オフが切り替わり導通抵抗が抵抗素子の抵抗値と同一になる電圧制御スイッチモジュールであって、トリミング前に対応する制御電圧値ではオンとなる一方でトリミング後に対応する制御電圧値ではオフとなる電圧制御スイッチモジュールで置換した回路データを作成する回路データ作成工程と、
前記回路データ作成工程にて作成した回路データを編集し、厚膜抵抗のトリミング位置に対応して配置された複数の抵抗素子を置換した複数の電圧制御スイッチモジュールに対して、オンからオフに切り替わる制御電圧値の閾値を、互いに異なる電圧値に設定する回路データ編集工程と、
前記回路データ編集工程にて編集した回路データに示される電圧制御スイッチモジュールに印加する制御電圧値をトリミングプロセスの進行に合わせて段階的に設定するとともに、当該回路データに対応する回路方程式に基づく数値演算を実行して、当該回路データに示される所定のノードにおける電圧値を特定することにより、厚膜抵抗の電気的特性を検証する特性検証工程とを備える、
ことを特徴とする厚膜抵抗の電気的特性検証方法。
【請求項２】
前記リスト作成工程は、ネットリスト上で幅方向に配置した抵抗素子と長さ方向に配置した抵抗素子とが接続されるノードに対して付加するノード番号を、厚膜抵抗の幅方向を単位増加方向とし、厚膜抵抗の幅方向と長さ方向について昇順となるように配置する、
ことを特徴とする請求項１に記載の厚膜抵抗の電気的特性検証方法。
【請求項３】
前記リスト作成工程は、ネットリスト上で長さ方向に配置した抵抗素子のみが接続される２つのノードのうち、第１のノードに対して最小のノード番号を付し、第２のノードに対して最大のノード番号を付し、抵抗素子に対して付加する番号を、最小のノード番号が付されたノードに接続される抵抗素子の番号が、いずれも最大のノード番号が付されたノードに接続される抵抗素子の番号よりも大きくなるように配置する、
ことを特徴とする請求項２に記載の厚膜抵抗の電気的特性検証方法。
【請求項４】
電圧制御スイッチモジュールに制御電圧を印加するためのノードを、全て並列接続する、
ことを特徴とする請求項１、２又は３に記載の厚膜抵抗の電気的特性検証方法。
【請求項５】
前記特性検証工程は、前記所定のノードにおける電圧値として、前記回路データ編集工程にて編集した回路データに示されるノードのうち前記リスト作成工程にて作成したネットリスト上で長さ方向に配置した抵抗素子のみが接続された２つのノードにおける電圧値を特定する工程を含む、
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の厚膜抵抗の電気的特性検証方法。
【請求項６】
前記特性検証工程は、前記所定のノードにおける電圧値として、前記回路データ編集工程にて編集した回路データに示される全ノードにおける電圧値を特定する工程を含む、
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の厚膜抵抗の電気的特性検証方法。
【請求項７】
厚膜抵抗の電気的特性をシミュレーションにより検証するためのシミュレーションシステムであって、
厚膜抵抗の幅と長さを単位長さで除算して得られる個数の抵抗素子を、幅方向と長さ方向にそれぞれ配置することにより、トリミング前の厚膜抵抗をモデル化したマトリックス状の抵抗回路に対応したネットリストを作成するリスト作成手段と、
前記リスト作成手段により作成されたネットリスト上で少なくとも厚膜抵抗のトリミング位置に対応して配置された抵抗素子を、制御電圧値に応じてオン／オフが切り替わり導通抵抗が抵抗素子の抵抗値と同一になる電圧制御スイッチモジュールであって、トリミング前に対応する制御電圧値ではオンとなる一方でトリミング後に対応する制御電圧値ではオフとなる電圧制御スイッチモジュールで置換した回路データを作成する回路データ作成手段と、
前記回路データ作成手段により作成された回路データを編集し、厚膜抵抗のトリミング位置に対応して配置された複数の抵抗素子を置換した複数の電圧制御スイッチモジュールに対して、オンからオフに切り替わる制御電圧値の閾値を、互いに異なる電圧値に設定する回路データ編集手段と、
前記回路データ編集手段により編集された回路データに示される電圧制御スイッチモジュールに印加する制御電圧値をトリミングプロセスの進行に合わせて段階的に設定するとともに、当該回路データに対応する回路方程式に基づく数値演算を実行して、当該回路データに示される所定のノードにおける電圧値を特定することにより、厚膜抵抗における電気的特性を検証する特性検証手段とを備える、
ことを特徴とするシミュレーションシステム。
【請求項８】
コンピュータを、
厚膜抵抗の幅と長さを単位長さで除算して得られる個数の抵抗素子を、幅方向と長さ方向にそれぞれ配置することにより、トリミング前の厚膜抵抗をモデル化したマトリックス状の抵抗回路に対応したネットリストを作成するリスト作成手段と、
前記リスト作成手段により作成されたネットリスト上で少なくとも厚膜抵抗のトリミング位置に対応して配置された抵抗素子を、制御電圧値に応じてオン／オフが切り替わり導通抵抗が抵抗素子の抵抗値と同一になる電圧制御スイッチモジュールであって、トリミング前に対応する制御電圧値ではオンとなる一方でトリミング後に対応する制御電圧値ではオフとなる電圧制御スイッチモジュールで置換した回路データを作成する回路データ作成手段と、
前記回路データ作成手段により作成された回路データを編集し、厚膜抵抗のトリミング位置に対応して配置された複数の抵抗素子を置換した複数の電圧制御スイッチモジュールに対して、オンからオフに切り替わる制御電圧値の閾値を、互いに異なる電圧値に設定する回路データ編集手段と、
前記回路データ編集手段により編集された回路データに示される電圧制御スイッチモジュールに印加する制御電圧値をトリミングプロセスの進行に合わせて段階的に設定するとともに、当該回路データに対応する回路方程式に基づく数値演算を実行して、当該回路データに示される所定のノードにおける電圧値を特定することにより、厚膜抵抗における電気的特性をシミュレーションにより検証する特性検証手段、
として機能させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、厚膜抵抗の電気的特性をシミュレーションにより検証するためのシミュレーションシステム、及び厚膜抵抗の電気的特性検証方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
抵抗やトランジスタなどの回路素子を等価回路でモデル化し、数値演算を実行することで当該素子の電気的特性をシミュレーションによって検証可能としたシステムが知られている。
こうしたシミュレーションシステムでは、回路素子をモデル化した等価回路に対応する回路データを作成し、当該回路データに基づいた数値演算を実行することで、回路素子に関する各種の数値（例えば、電圧値、電流値、インピーダンス等）を特定可能とする。
【０００３】
他方、回路素子の一つとして、レーザートリミング等により抵抗値を調整可能な厚膜抵抗が知られている。この厚膜抵抗のトリミングによる電気的特性の変化をシミュレーションにより予め検証しておくことは、適切なトリミングプロセスを決定するために好ましいことである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のシミュレーションシステムでは、厚膜抵抗トリミングのシミュレーションによる電気的特性の検証を行う場合、トリミングプロセスの進行に合わせて多数の回路データを用意しなければならなかった。即ち、従来のシミュレーションシステムでは、トリミング溝の大きさに合わせて回路データを個別に作成する必要がある。ここで、厚膜抵抗の詳細な電気的特性を検証する場合には、厚膜抵抗をモデル化した等価回路が大規模なものとなる。このため、回路データの作成してシミュレーションによる検証を行うためには、多くの手間と時間がかかっていた。
【０００５】
この発明は、上記実状に鑑みてなされたものであり、厚膜抵抗の電気的特性を、シミュレーションにより簡単且つ迅速に検証することができるシミュレーションシステム、及び厚膜抵抗の電気的特性検証方法を、提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明の第１の観点に係る厚膜抵抗の電気的特性検証方法は、
トリミングした厚膜抵抗の電気的特性をシミュレーションにより検証可能とするコンピュータが実行する厚膜抵抗の電気的特性検証方法であって、
厚膜抵抗の幅と長さを単位長さで除算して得られる個数の抵抗素子を、幅方向と長さ方向にそれぞれ配置することにより、トリミング前の厚膜抵抗をモデル化したマトリックス状の抵抗回路に対応したネットリストを作成するリスト作成工程と、
前記リスト作成工程にて作成したネットリスト上で少なくとも厚膜抵抗のトリミング位置に対応して配置された抵抗素子を、制御電圧値に応じてオン／オフが切り替わり導通抵抗が抵抗素子の抵抗値と同一になる電圧制御スイッチモジュールであって、トリミング前に対応する制御電圧値ではオンとなる一方でトリミング後に対応する制御電圧値ではオフとなる電圧制御スイッチモジュールで置換した回路データを作成する回路データ作成工程と、
前記回路データ作成工程にて作成した回路データを編集し、厚膜抵抗のトリミング位置に対応して配置された複数の抵抗素子を置換した複数の電圧制御スイッチモジュールに対して、オンからオフに切り替わる制御電圧値の閾値を、互いに異なる電圧値に設定する回路データ編集工程と、
前記回路データ編集工程にて編集した回路データに示される電圧制御スイッチモジュールに印加する制御電圧値をトリミングプロセスの進行に合わせて段階的に設定するとともに、当該回路データに対応する回路方程式に基づく数値演算を実行して、当該回路データに示される所定のノードにおける電圧値を特定することにより、厚膜抵抗の電気的特性を検証する特性検証工程とを備える、
ことを特徴とする。
【０００７】
この発明によれば、少なくともトリミング位置に対応した抵抗素子を、制御電圧値に応じてオン／オフが切り替わる電圧制御スイッチモジュールで置換した回路データを作成し、その回路データに基づくシミュレーションにより厚膜抵抗の電気的特性を検証する。
これにより、トリミング溝の大きさに合わせて個別に回路データを作成する必要がなくなり、簡単且つ迅速に厚膜抵抗の電気的特性を検証することができる。
【０００８】
ここで、前記リスト作成工程は、ネットリスト上で幅方向に配置した抵抗素子と長さ方向に配置した抵抗素子とが接続されるノードに対して付加するノード番号を、厚膜抵抗の幅方向を単位増加方向とし、厚膜抵抗の幅方向と長さ方向について昇順となるように配置することが望ましい。
これにより、トリミング位置に対応する抵抗素子を容易に特定することができ、厚膜抵抗の電気的特性を簡単に検証することができる。
【０００９】
前記リスト作成工程は、ネットリスト上で長さ方向に配置した抵抗素子のみが接続される２つのノードのうち、第１のノードに対して最小のノード番号を付し、第２のノードに対して最大のノード番号を付し、抵抗素子に対して付加する番号を、最小のノード番号が付されたノードに接続される抵抗素子の番号が、いずれも最大のノード番号が付されたノードに接続される抵抗素子の番号よりも大きくなるように配置することが望ましい。
【００１０】
電圧制御スイッチモジュールに制御電圧を印加するためのノードを、全て並列接続することが望ましい。
【００１５】
前記特性検証工程は、前記所定のノードにおける電圧値として、前記回路データ編集工程にて編集した回路データに示されるノードのうち、前記リスト作成工程にて作成したネットリスト上で長さ方向に配置した抵抗素子のみが接続された２つのノードにおける電圧値を特定する工程を含んでもよい。
或いは、前記特性検証工程は、前記所定のノードにおける電圧値として、前記回路データ編集工程にて編集した回路データに示される全ノードにおける電圧値を特定する工程を含んでもよい。
【００１６】
この発明の第２の観点に係るシミュレーションシステムは、
厚膜抵抗の電気的特性をシミュレーションにより検証するためのシミュレーションシステムであって、
厚膜抵抗の幅と長さを単位長さで除算して得られる個数の抵抗素子を、幅方向と長さ方向にそれぞれ配置することにより、トリミング前の厚膜抵抗をモデル化したマトリックス状の抵抗回路に対応したネットリストを作成するリスト作成手段と、
前記リスト作成手段により作成されたネットリスト上で少なくとも厚膜抵抗のトリミング位置に対応して配置された抵抗素子を、制御電圧値に応じてオン／オフが切り替わり導通抵抗が抵抗素子の抵抗値と同一になる電圧制御スイッチモジュールであって、トリミング前に対応する制御電圧値ではオンとなる一方でトリミング後に対応する制御電圧値ではオフとなる電圧制御スイッチモジュールで置換した回路データを作成する回路データ作成手段と、
前記回路データ作成手段により作成された回路データを編集し、厚膜抵抗のトリミング位置に対応して配置された複数の抵抗素子を置換した複数の電圧制御スイッチモジュールに対して、オンからオフに切り替わる制御電圧値の閾値を、互いに異なる電圧値に設定する回路データ編集手段と、
前記回路データ編集手段により編集された回路データに示される電圧制御スイッチモジュールに印加する制御電圧値をトリミングプロセスの進行に合わせて段階的に設定するとともに、当該回路データに対応する回路方程式に基づく数値演算を実行して、当該回路データに示される所定のノードにおける電圧値を特定することにより、厚膜抵抗における電気的特性を検証する特性検証手段とを備える、
ことを特徴とする。
【００１７】
この発明の第３の観点に係るプログラムは、
コンピュータを、
厚膜抵抗の幅と長さを単位長さで除算して得られる個数の抵抗素子を、幅方向と長さ方向にそれぞれ配置することにより、トリミング前の厚膜抵抗をモデル化したマトリックス状の抵抗回路に対応したネットリストを作成するリスト作成手段と、
前記リスト作成手段により作成されたネットリスト上で少なくとも厚膜抵抗のトリミング位置に対応して配置された抵抗素子を、制御電圧値に応じてオン／オフが切り替わり導通抵抗が抵抗素子の抵抗値と同一になる電圧制御スイッチモジュールであって、トリミング前に対応する制御電圧値ではオンとなる一方でトリミング後に対応する制御電圧値ではオフとなる電圧制御スイッチモジュールで置換した回路データを作成する回路データ作成手段と、
前記回路データ作成手段により作成された回路データを編集し、厚膜抵抗のトリミング位置に対応して配置された複数の抵抗素子を置換した複数の電圧制御スイッチモジュールに対して、オンからオフに切り替わる制御電圧値の閾値を、互いに異なる電圧値に設定する回路データ編集手段と、
前記回路データ編集手段により編集された回路データに示される電圧制御スイッチモジュールに印加する制御電圧値をトリミングプロセスの進行に合わせて段階的に設定するとともに、当該回路データに対応する回路方程式に基づく数値演算を実行して、当該回路データに示される所定のノードにおける電圧値を特定することにより、厚膜抵抗における電気的特性をシミュレーションにより検証する特性検証手段、
として機能させる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して、この発明の実施の形態に係るシミュレーションシステムについて詳細に説明する。
【００１９】
図１は、この発明の実施の形態に係るシミュレーションシステムの構成を示す図である。このシミュレーションシステムは、例えば所定の動作プログラムを実行可能に設定されたコンピュータシステムから構成され、トリミングする厚膜抵抗における電気的特性を、数値演算の実行結果に基づくシミュレーションにより検証可能とする。図１に示すように、このシミュレーションシステムは、入力部１と、出力部２と、処理部３と、記憶部４とを備えている。
【００２０】
入力部１は、キーボード等から構成され、例えば厚膜抵抗の幅や厚さなどを示す情報を処理部３に入力可能とする。即ち、入力部１は、トリミングする厚膜抵抗における電気的特性をシミュレーションにより検証するための基礎となる情報を入力するための情報入力部である。
【００２１】
出力部２は、ＣＲＴ（Cathode Ray Tube）ディスプレイ等から構成され、処理部３が実行した数値演算の結果などを出力する結果出力部である。
【００２２】
処理部３は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などのマイクロプロセッサ等から構成され、このシミュレーションシステム全体の動作を制御すると共に、シミュレーションのための数値演算処理などを実行するためのものである。処理部３は、論理的構成として、ネットリスト作成部１０と、回路データ作成部１１と、回路データ編集部１２と、シミュレーション処理部１３とを備えている。こうした論理的構成は、処理部３が記憶部４の記憶されている動作プログラムを実行することにより実現される。
【００２３】
ネットリスト作成部１０及び回路データ作成部１１は、例えば処理部３がＯＳ（オペレーティングシステム）上で表計算ソフトウェアを実行することにより実現され、トリミングの対象となる厚膜抵抗をモデル化した抵抗回路を示すマトリックス状のネットリストを作成すると共に、当該ネットリストに所定の変換処理を施し、シミュレーション処理部１３による処理の対象となる回路データを作成するためのものである。
【００２４】
回路データ編集部１２は、例えば処理部３が起動したテキストエディタにより実現され、回路データ作成部１１により作成された回路データを出力部２が備えるディスプレイなどに表示させて出力すると共に、入力部１からの入力情報に応じて回路データの編集を可能とするものである。
【００２５】
シミュレーション処理部１３は、例えば処理部３がＳＰＩＣＥ（Simulation Program with Integrated Circuits Emphasis）シミュレータを実行することにより実現され、回路データ作成部１１により作成された回路データや回路データ編集部１２により編集された回路データに基づいた数値演算を実行する。これにより、厚膜抵抗のトリミングによる電気的特性の変化をシミュレーションにより検証可能とする。
【００２６】
記憶部４は、半導体メモリ、磁気ディスク装置等から構成され、このシミュレーションシステムの動作を規定する動作プログラムや処理部３が数値演算を実行した結果などを格納するためのものである。
【００２７】
以下に、この発明の実施の形態に係るシミュレーションシステムの動作を説明する。
このシミュレーションシステムにより厚膜抵抗の電気的特性を検証する場合には、まず、ネットリスト作成部１０によりシミュレーション対象の厚膜抵抗に対応したネットリストを作成する。即ち、ネットリスト作成部１０は、入力部１により入力された情報から、シミュレーション対象となる厚膜抵抗の幅と長さを特定し、厚膜抵抗をモデル化した抵抗回路を示すマトリックス状のネットリストを作成する。
【００２８】
この際、ネットリスト作成部１０は、シミュレーション対象の厚膜抵抗を、その幅と長さを所定の単位長さで除算して得られる個数の抵抗素子を幅方向と長さ方向にそれぞれ配置したマトリックス状の抵抗回路によってモデル化する。図２は、シミュレーション対象の厚膜抵抗をモデル化した抵抗回路の一例を示している。図２に示す抵抗回路は、幅方向に４個、長さ方向に３個の抵抗素子を配置した回路である。
【００２９】
ネットリスト作成部１０は、マトリックス状の抵抗回路を構成する抵抗素子と、抵抗回路内の各ノード（節点）とに番号を付し、厚膜抵抗をモデル化した抵抗回路に対応したネットリストを作成する。
一例として、ネットリスト作成部１０は、長さ方向に配置された抵抗素子に対して、幅方向を単位増加方向（１単位ずつ番号が増加する方向）とし、幅方向及び長さ方向について昇順となるように抵抗素子の番号を付す。続いて、ネットリスト作成部１０は、幅方向に配置された抵抗素子に対して、幅方向（長さ方向に配置された抵抗素子の番号の増加方向と同一の方向）を単位増加方向とし、幅方向及び長さ方向について昇順となるように抵抗素子の番号を付す。
【００３０】
ネットリスト作成部１０は、ノードの番号についても、例えば幅方向を単位増加方向とし、幅方向及び長さ方向について昇順となるように番号を付す。ここで、マトリックス状の抵抗回路の端部には、最小のノード番号（例えば、”０”）と、最大のノード番号とが付されるようにする。また、最小のノード番号が付されたノードに接続される抵抗素子の番号は、いずれも最大のノード番号が付されたノードに接続される抵抗素子の番号よりも大きくなるように配置する。図３は、以上の規則に従って、図２に示す抵抗回路の各抵抗素子と各ノードに番号を付した状態を示す図である。なお、抵抗素子に付した番号は丸囲みの数字で示している。また、図４（ａ）は、図３に示すような番号が付された抵抗回路に対応するネットリストを示す図である。図４（ａ）に示すように、このネットリストは、抵抗素子に付された番号（丸囲みの数字）と、ノードに付された番号とから構成されている。また、図４（ａ）中で星印を付して示した位置は、幅方向へのトリミング溝を形成可能な位置を示している。
【００３１】
こうして作成されたネットリストは、ネットリスト作成部１０から回路データ作成部１１に送られて、シミュレーション処理部１３による処理の対象となる回路データに変換される。この際、回路データ作成部１１は、各抵抗素子に対応させて電圧制御スイッチモジュールを配置し、ノードとの接続を示す回路データを作成する。電圧制御スイッチモジュールは、図４（ｂ）に示すように、２つのノードと２つのコントロールノードを有し、コントロールノード間に印加される電圧値に対応してオン／オフを切替可能なスイッチをモデル化した回路要素であり、例えば導通時（オン状態）の抵抗が１Ωに設定されている。ここで、各電圧制御スイッチモジュールが備える２つのコントロールノードには、それぞれ、抵抗回路内のノードに付けられた最小のノード番号と、最大のノード番号よりも１単位だけ大きいノード番号とが付けられる。このことは、厚膜抵抗をモデル化した回路に含まれる電圧制御スイッチモジュールのコントロールノードが全て並列に接続されていることと等価である。
【００３２】
こうして作成された回路データは、回路データ編集部１２により編集可能である。即ち、処理部３は、入力部１からの入力情報に応答して回路データ編集部１２を起動し、回路データ作成部１１により作成された回路データを編集するための処理を実行する。この際、入力部１から入力された情報により、各抵抗素子を置換した電圧制御スイッチモジュールの動作特性を設定することができる。例えば、電圧制御スイッチモジュールがオンからオフに切り替わる閾値となる制御電圧（オン／オフ切替電圧値）を設定したり、厚膜抵抗のトリミング位置に対応して、オフに切り替える電圧制御スイッチモジュールの挿入位置を設定したりすることができる。
【００３３】
ここで、電圧制御スイッチモジュールのオン／オフ切替電圧値を、制御電圧値の段階的な変化に応じて複数のトリミング状態における厚膜抵抗の電気的特性をシミュレーション可能に設定する。例えば、厚膜抵抗の幅方向外端から内部に向けてトリミングすることは、長さ方向に配置された抵抗素子を幅方向に向けて１つずつ切断していくことと等価である。そこで、各抵抗素子を置換した電圧制御スイッチモジュールのオン／オフ切替電圧値を、抵抗素子の配置位置とトリミングプロセス（トリミング位置）とによって決まる電圧値とし、コントロールノード間に印加する制御電圧値を段階的に変化させる。ここで、トリミング位置に対応する複数の電圧制御スイッチモジュールに対しては、互いに異なる電圧値をオン／オフ切替電圧値として設定する。
これにより、トリミングプロセスの進行に合わせて段階的に厚膜抵抗の電気的特性を検証可能とする。
【００３４】
例えば、図５に示すようにトリミングした厚膜抵抗における電気的特性のシミュレーションを行う場合、図３に示す番号”６”、”７”、”８”（ただし、図３では丸囲みで示されている）が付された抵抗素子に対応する電圧制御スイッチモジュールにおけるオン／オフ切替電圧値を、それぞれ０．０５Ｖ、０．１Ｖ、０．１５Ｖに設定する。なお、その他の抵抗素子に対応する電圧制御スイッチモジュールは、常にオンとなるように設定する。
また、各電圧制御スイッチモジュールのコントロールノード間に印加する制御電圧値は、０．０２５Ｖ、０．０７５Ｖ、０．１２５Ｖ、０．１７５Ｖと段階的に変化させる。これにより、厚膜抵抗のトリミングプロセスが進行するに従って電気的特性が変化する様子を、シミュレーションにより段階的に検証することができる。
【００３５】
こうして作成された回路データは、シミュレーション処理部１３に送られて、数値演算処理に供される。
シミュレーション処理部１３は、例えば、各ノードにおける電圧値を回路方程式に基づいた計算によって特定し、出力部２に出力させてもよい。また、例えば、コントロールノード間に印加する制御電圧値を横軸、抵抗回路の両端に相当するノード間の電圧値を横軸として、回路方程式に基づいた計算によって抵抗回路の両端に相当するノード間の電圧値を特定し、特定した電圧値をプロットして出力部２に出力させてもよい。
【００３６】
次に、上述のシミュレーションシステムによる処理を、図６に示すフローチャートを参照して説明する。
この発明の実施の形態に係るシミュレーションシステムは、入力部１により厚膜抵抗の幅と長さ（サイズ）が入力されると（ステップＳ１）、ネットリスト作成部１０が厚膜抵抗をモデル化した抵抗回路に対応するネットリストを作成する（ステップＳ２）。回路データ作成部１１は、ネットリスト作成部１０が作成したネットリストに基づいて、シミュレーション処理部１３による処理の対象となる回路データを作成する（ステップＳ３）。回路データ作成部１１によって作成された回路データには、回路データ編集部１２により、トリミングプロセスに応じた編集が施される（ステップＳ４）。シミュレーション処理部１３は、回路データ編集部１２によって編集された回路データに基づく数値演算を実行し（ステップＳ５）、実行結果を出力部２に出力させるなどして、厚膜抵抗の電気的特性をシミュレーションにより検証可能とする（ステップＳ６）。
【００３７】
この発明の実施の形態に係るシミュレーションシステムにおいて、ネットリストは、厚膜抵抗の幅と長さを入力部１により入力することで、ネットリスト作成部１０によって自動的に作成される。この際、ネットリスト作成部１０は、一例を前述したような一定の規則に従って、厚膜抵抗をモデル化した抵抗回路に含まれる抵抗素子と各ノードに番号を付ける。これにより、回路データ作成部１１がネットリストを回路データに変換した後、回路データ編集部１２により回路データを編集する際に、トリミング位置に対応する電圧制御スイッチモジュールを簡単に特定して動作特性を設定することができる。即ち、このシミュレーションシステムによれば、厚膜抵抗を多数の抵抗素子からなる抵抗回路でモデル化し、シミュレーションにより電気的特性を検証する処理を、簡単且つ迅速に実行することができる。
【００３８】
例えば、厚膜抵抗をトリミングする際の単位長さを５０μｍとし、厚膜抵抗の幅が３ｍｍ、長さが１．６ｍｍであるとする。この場合、ネットリスト作成部１０は、シミュレーション対象の厚膜抵抗を、幅方向に６０個、長さ方向に３２個の抵抗素子を配置したマトリックス状の抵抗回路によってモデル化する。ネットリスト作成部１０が作成したネットリストに基づいて回路データ作成部１１が作成する回路データは、ネットリスト作成部１０が付けた番号に基づいて抵抗素子との対応関係を特定可能な名前を有する電圧制御スイッチモジュールを示すものとなっている。この回路データは、例えば、電圧制御スイッチモジュールを、対応する抵抗素子に付けられた番号の昇順で並べて記載したテキストデータである。
この場合、長さ方向に配置された抵抗素子に付けられた番号は、厚膜抵抗の幅方向を単位増加方向としている。従って、厚膜抵抗の幅方向外端から内部に向かうトリミングプロセスに対応してオフに切り替える電圧制御スイッチモジュールは、回路データ内の隣接する位置（行）に記載されており、トリミング位置に対応する電圧制御スイッチモジュールを簡単に特定して動作特性を設定することができる。
【００３９】
シミュレーション処理部１３は、例えば、厚膜抵抗をモデル化した抵抗回路の両端に相当するノード間の電圧が、全ての電圧制御スイッチモジュールをオンとした状態で１Ｖとなるように、抵抗回路の両端に相当するノード間を流れる電流値を設定する。その後、シミュレーション処理部１３は、回路データ編集部１２により編集された回路データに基づいて、電圧制御スイッチモジュールのコントロールノード間に印加する制御電圧値を段階的に変化させながら、例えば、コントロールノード間に印加した制御電圧値を横軸、抵抗回路の両端に相当するノード間の電圧値を縦軸として、数値演算の結果をプロットする。
こうしてプロットされた数値は、トリミングが施されていない場合の抵抗値を１とした、厚膜抵抗における抵抗値のトリミングによる増加率（切り上げ倍率）を示すこととなる。
【００４０】
以上説明したように、この発明によれば、ネットリスト作成部１０により多数の抵抗素子からなる抵抗回路に対応したネットリストを自動的に作成し、回路データ作成部１１により回路データに変換し、回路データ編集部１２により電圧制御スイッチモジュールの動作特性を設定した後、シミュレーション処理部１３の処理に提供することができる。これにより、厚膜抵抗を多数の抵抗素子からなる抵抗回路でモデル化して、厚膜抵抗の電気的特性を、トリミングプロセスの進行に合わせて段階的に検証することができる。
即ち、厚膜抵抗のトリミング溝に合わせて個別に回路データを作成する必要がなくなり、トリミングされる厚膜抵抗の電気的特性を、詳細なシミュレーションにより、簡単且つ迅速に検証することができる。
【００４１】
この発明は、上記実施の形態に限定されず、様々な変形及び応用が可能である。
例えば、上記実施の形態では、回路データ作成部１１が全ての抵抗素子を電圧制御スイッチモジュールに置換した回路データを作成するものとして説明したが、これに限定されない。即ち、回路データ作成部１１は、トリミング位置とは異なる位置に配置された抵抗素子（切断されない抵抗素子）を電圧制御スイッチモジュールの導通抵抗と同一の抵抗値を有する抵抗モジュールに置換した回路データを作成してもよい。
この場合、ネットリスト作成部１０は、入力部１からの入力情報に基づいて、トリミング位置に対応する抵抗素子をネットリスト内で特定可能とする。例えば、ネットリスト作成部１０は、トリミング位置に対応する抵抗素子に所定のラベルを付けたネットリストを作成する。回路データ作成部１１は、ネットリスト作成部１０から受けたネットリスト内でラベルが付された抵抗素子を電圧制御スイッチモジュールに置換し、ラベルが付されていないものは抵抗モジュールとすることで、トリミング位置のみに電圧制御スイッチモジュールを配置した回路データを作成することができる。
【００４２】
また、上記実施の形態では、１つの処理部３がネットリスト作成部１０と、回路データ作成部１１と、回路データ編集部１２と、シミュレーション処理部１３とを備えるものとして説明したが、これに限定されず、複数の処理部に分散して設けるようにしてもよい。ネットリスト作成部１０、回路データ作成部１１及び回路データ編集部１２は、１つのアプリケーションソフトにより実現してもよい。
【００４３】
このシミュレーションシステムは、専用の装置によらず、通常のコンピュータを用いて実現可能である。即ち、記録媒体（ＣＤ−ＲＯＭ、ＭＯ、ＩＣメモリー等）に格納されたプログラムを配布してコンピュータにインストールした後、ＯＳ上で動作させることにより、コンピュータを上述のシミュレーションシステムとして機能させることが可能である。
【００４４】
【発明の効果】
この発明によれば、トリミングされる厚膜抵抗の電気的特性を、詳細なシミュレーションにより、簡単且つ迅速に検証することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態に係るシミュレーションシステムの構成を示す図である。
【図２】厚膜抵抗をモデル化した抵抗回路の一例を示す図である。
【図３】各抵抗素子と各ノードに番号を付した抵抗回路の一例を示す図である。
【図４】（ａ）は抵抗回路に対応したネットリストの一例を示す図であり、（ｂ）は抵抗素子と置換される電圧制御スイッチモジュールを示す図である。
【図５】トリミングした厚膜抵抗の一例を示す図である。
【図６】シミュレーションシステムによる処理を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
１    入力部
２    出力部
３    処理部
４    記憶部
１０    ネットリスト作成部
１１    回路データ作成部
１２    回路データ編集部
１３    シミュレーション処理部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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