(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工装置に連通し使用された加工水を排出する廃水経路と、この廃水経路に連通し廃水を濾過して加工水を再生する廃水リサイクル装置と、この廃水リサイクル装置に連通し生成された加工水を適宜の温度に調整する加工水調整装置と、この加工水調整装置に連通し定温に生成された加工水を前記加工装置に供給する加工水供給経路と、から構成される加工水コントロールシステムであって、
前記廃水リサイクル装置は、前記廃水経路から排出された廃水を貯水する廃水貯水タンクと、この廃水貯水タンクの廃水をセラミックフィルターに送り込む第１のポンプと、セラミックフィルターを通過して濃縮された廃水を適宜の割合で濃縮廃水経路と循環経路とに分岐する流量調整弁と、からなる廃水部と、前記セラミックフィルターによって生成された加工水を貯水する加工水貯水タンクと、この加工水貯水タンクの加工水を紫外線照射手段に送り込む第２のポンプと、紫外線照射手段を通過した加工水のイオンを調整するイオン交換手段と、このイオン交換手段を通過した加工水から微細なコンタミを排除する超フィルターと、からなる再生部と、から構成されている加工水コントロールシステム。
【請求項２】
前記循環経路に流れた廃水が、少なくとも前記第１のポンプと前記セラミックフィルターと前記流量調整弁とでクロスフローを形成する請求項１記載の加工水コントロールシステム。
【請求項３】
前記廃水リサイクル装置の加工水貯水タンクには外部から加工水が適宜補給される請求項１又は２記載の加工水コントロールシステム。
【請求項４】
前記加工装置はダイシング装置である請求項１、２又は３記載の加工水コントロールシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイシング装置等の加工装置から排出された廃水を加工水に再生して再利用する加工水コントロールシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
加工装置例えばダイシング装置、研磨装置、ポリッシング装置等が設置されている製造ラインにおいては、一般的に加工水が一括供給され且つ一括処理されるシステムが導入されている。即ち、市水から純水を生成する純水生成設備、その純水生成設備から各種加工装置に直接的に又は加工装置固有の加工水を生成する加工水調整装置を介して加工水を供給する供給経路、その供給経路から各種加工装置に供給され使用済みとなった廃水を回収する廃水処理設備といった設備から構成されているシステムである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなシステムにおいては、大量の廃水が捨てられることから自然環境を著しく汚染するという問題、及び市水から純水を生成するには相当のコスト高となることから不経済であるという問題があった。
又、廃水処理設備において廃水を純水に再生して循環することも考えられるが、加工水調整装置で調整された固有の加工水を純水に戻す必要があり、純度の面で問題があることから循環システムとして完成されたものは従来存在しない。
【０００４】
本発明は、上記従来の問題を全て解消するためになされ、自然環境を汚染することなく、純水生成を低コストで行え、加工水の純度の面でも問題がなく、加工水の廃水処理と再利用を図れるようにした加工水コントロールシステムを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するための技術的手段として、本発明は、加工装置に連通し使用された加工水を排出する廃水経路と、この廃水経路に連通し廃水を濾過して加工水を再生する廃水リサイクル装置と、この廃水リサイクル装置に連通し生成された加工水を適宜の温度に調整する加工水調整装置と、この加工水調整装置に連通し定温に生成された加工水を前記加工装置に供給する加工水供給経路と、から構成される加工水コントロールシステムであって、
前記廃水リサイクル装置は、前記廃水経路から排出された廃水を貯水する廃水貯水タンクと、この廃水貯水タンクの廃水をセラミックフィルターに送り込む第１のポンプと、セラミックフィルターを通過して濃縮された廃水を適宜の割合で濃縮廃水経路と循環経路とに分岐する流量調整弁と、からなる廃水部と、前記セラミックフィルターによって生成された加工水を貯水する加工水貯水タンクと、この加工水貯水タンクの加工水を紫外線照射手段に送り込む第２のポンプと、紫外線照射手段を通過した加工水のイオンを調整するイオン交換手段と、このイオン交換手段を通過した加工水から微細なコンタミを排除する超フィルターと、からなる再生部と、から構成されている加工水コントロールシステムを要旨とする。
又、前記循環経路に流れた廃水が、少なくとも前記第１のポンプと前記セラミックフィルターと前記流量調整弁とでクロスフローを形成すること、
前記廃水リサイクル装置の加工水貯水タンクには外部から加工水が適宜補給されること、
前記加工装置はダイシング装置であること、
を特徴とするものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳説する。
図１は、クリーンルーム等に複数の加工装置１（例えば３台のダイシング装置）が並置された状態を示すもので、各加工装置１は切削手段２を有し、スピンドルユニット３の先端部には回転ブレード４が装着され、加工水５を供給しながら半導体ウェーハ等の被加工物Ｗを切削する。
【０００７】
前記加工水５は、クリーンルーム内に設置された加工水調整装置６から供給経路７を経て各加工装置１にそれぞれ送られる。その際、加工水調整装置６は、前記被加工物Ｗの種類に応じて温度を調整した固有の加工水を送るようにしてある。
【０００８】
加工装置１で使用された加工水は、各加工装置１に連通した廃水経路８に排水されると共に、この廃水経路８を経て図２に示す廃水リサイクル装置９における廃水部９ａの廃水貯水タンク１０に送り込まれる。廃水リサイクル装置９は、廃水部９ａと再生部９ｂとから構成され、前記廃水経路８から送り込まれた廃水を濾過して加工水を再生する機能を有する。
【０００９】
前記廃水貯水タンク１０に貯水された廃水は、第１のポンプ１１の作動によりセラミックフィルター１２に送り込まれ、このセラミックフィルター１２により濾過される。濾過により生成された加工水は、前記再生部９ｂの加工水貯水タンク１３に送り込まれる一方、セラミックフィルター１２を通過して濃縮された廃水は、流量調整弁１４を介して適宜の割合で濃縮廃水経路１５と循環経路１６とに分岐させられる。
【００１０】
循環経路１６側に流された濃縮廃水は、前記廃水貯水タンク１０とセラミックフィルター１２とを接続する管路に合流すると共に、前記第１のポンプ１１によって廃水貯水タンク１０からの廃水と共に再度セラミックフィルター１２に送り込まれて濾過される。従って、クロスフローされることになる。前記濃縮廃水経路１５側に流された少量の濃縮廃水は外部に捨てられる。
【００１１】
前記クロスフローについて説明すると、例えば廃水貯水タンク１０から第１のポンプ１１によって１０リットルの廃水がセラミックフィルター１２に送り込まれた場合、セラミックフィルター（０．１μｍメッシュ）で２リットルの加工水が作られ、この加工水は前記加工水貯水タンク１３に送られる一方、セラミックフィルター１２を通過した８リットルの濃縮廃水は、前記流量調整弁１４で分岐されて０．５リットルが濃縮廃水経路１５側に流され、残りの７．５リットルが循環経路１６側に流される。そして、廃水貯水タンク１０からは新たに２．５リットルの廃水が流れ込んで７．５リットルの濃縮廃水と合流して１０リットルとなり、この１０リットルの廃水が第１のポンプ１１によってセラミックフィルター１３に送り込まれる。このような動作を続けることをクロスフローという。
尚、図２に鎖線で示す如く、経路１６′によって循環経路１６に流れた廃水を廃水貯水タンク１０に戻し、この廃水貯水タンク１０、第１のポンプ１１、セラミックフィルター１２、流量調整弁１４でクロスフローを形成しても良い。
【００１２】
このようなクロスフローによって生成され且つ前記加工水貯水タンク１３に送られた加工水は、再生部９ｂに設置された第２のポンプ１７により紫外線照射手段１８に送り込まれて紫外線（ＵＶ）が照射され殺菌される。次いでイオン交換手段１９によりｐＨ等のイオンが調整され、更に超フィルター２０により微細なコンタミ等の混合物が排除された後に前記加工水調整装置６に送り込まれ、加工水として再利用されるのである。この加工水は純度の面で何ら問題はない。
【００１３】
図２において、２１は純水補給部であって前記加工水貯水タンク１３に接続され、その管路の途中には開閉弁２２が設けられ、この開閉弁２２を開くと純水補給部２１から加工水貯水タンク１３に純水が適量補給される。リサイクルにより減量した加工水を補うためである。
【００１４】
このようにして、複数の加工装置１と廃水リサイクル装置９とを組み合わせることで、加工水を循環し再生することができ、加工水の有効利用が図れると共に、外部への廃水量を極少に抑えることができる。
【００１５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る加工水コントロールシステムによれば、加工装置において使用された加工水を循環して再利用するように構成したので、加工水の消耗が著しく減少し、常に純水等の加工水を製造する必要がなく経済性に優れている。加工水が不足した場合には、外部から僅かに補給するだけで充分な加工水を加工装置に供給することができる。
又、廃水は濃縮されているので廃水量が著しく減少し、しかも広範囲に広がることはなく環境汚染を最小限に抑えることができると共に、廃水処理のコストが抑えられることからきわめて経済的である。
更に、例えばダイシング装置のように被加工物の種類によって又はユーザー固有の理由により加工水のｐＨ等に個性を有している場合においては、加工水が循環していることからその個性を失うことが少なく、従来の如く使い捨ての場合に比べ加工水の調整コストを著しく低減できる等の優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る加工水コントロールシステムの実施形態を示すもので、加工装置への加工水の供給及び廃水状態の説明図。
【図２】廃水リサイクル装置のブロック図。
【符号の説明】
１…加工装置
２…切削手段
３…スピンドルユニット
４…回転ブレード
５…加工水
６…加工水調整装置
７…供給経路
８…廃水経路
９…廃水リサイクル装置
１０…廃水貯水タンク
１１…第１のポンプ
１２…セラミックフィルター
１３…加工水貯水タンク
１４…流量調整弁
１５…濃縮廃水経路
１６…循環経路
１７…第２のポンプ
１８…紫外線照射手段
１９…イオン交換手段
２０…超フィルター
２１…純水補給部
２２…開閉弁
【図１】
0004107528.tif 000002
【図２】
0004107528.tif 000003