(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のパラメータに基づいてプログラムにより制御される露光装置において、
前記プログラムのバージョンアップの処理を実施する、ＣＰＵおよびディスプレイを含むコンソールを有し、
前記コンソールは、前記プログラムのバージョンアップを行い、前記バージョンアップにより前記複数のパラメータのうち設定可能な値が変わったパラメータを抽出して、そのパラメータ名、パラメータ値および新入力範囲をファイルに記録し、抽出された前記パラメータが存在すれば、そのパラメータを編集するためのエディタを起動して前記ファイルに記録された内容を前記ディスプレイに表示し、入力された値にしたがって前記パラメータ値を変更することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記設定可能な値は、パラメータの取り得る数値範囲であることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
バージョンアップ後のプログラムを起動した後に、抽出された前記パラメータが存在すれば、前記エディタを起動することを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記コンソールは、前記新入力範囲の値のみ入力できるようになっていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の露光装置。
【請求項５】
前記コンソールは、前記パラメータ値の変更されたパラメータのみを前記ファイルから削除するものであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の露光装置。
【請求項６】
複数のパラメータに基づいてプログラムにより制御される露光装置であって、前記プログラムのバージョンアップの処理を実施する、ＣＰＵおよびディスプレイを含むコンソールを有する露光装置における前記プログラムをバージョンアップしたときの前記パラメータを変更する方法において、
前記バージョンアップにより前記複数のパラメータのうち設定可能な値が変わったパラメータを抽出して、そのパラメータ名、パラメータ値および新入力範囲をファイルに記録し、抽出された前記パラメータが存在すれば、そのパラメータを編集するためのエディタを起動して前記ファイルに記録された内容を前記ディスプレイに表示し、入力された値にしたがって前記パラメータ値を変更することを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は露光装置およびそのパラメータを変更する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体露光装置には、装置を制御する為に必要な膨大なパラメータがあり、データベース化され管理されている。また、このパラメータに基づき装置を動作するためのソフトウェアのバージョンアップ時に、新バージョンで幾つもの機能追加、変更が行われることで、パラメータも追加、変更されるため、ソフトウェアのバージョンアップ時に、パラメータも旧データベースから新データベースへのコンバート処理（バージョンアップ）がなされる。このパラメータが正しく更新されなかった場合、装置が正しく動作しない。このため、新バージョンでパラメータ値の有効範囲等が変更になった場合、パラメータデータベースのバージョンアップ後、該当パラメータに適切な値を再入力しなければならない。
【０００３】
図２は、従来のバージョンアップ時の処理を示すフローチャートである。
まず、ステップ２０１で露光プログラムのバージョンアップを行い、次いでステップ２０２でパラメータデータベースのバージョンアップを行う。その後、ステップ２０３で露光プログラムを起動し、ステップ２０４でパラメータ編集を行うエディタを起動する。ステップ２０５ではバージョンアップ手順書等に記載された変更すべきパラメータを参照し、ステップ２０６で未修正パラメータが存在すると判断した場合、ステップ２０７でそのパラメーターの修正作業を行う。
【０００４】
このように、従来の半導体露光装置においては、有効範囲等が変更になったパラメータを自動的に判別、修正する手段がない為バージョンアップ手順書等に、それらのパラメータを列挙し、オペレータがバージョンアップ後にパラメータエディタを用いて手順書を参照しながら修正をしなければならなかった。
【０００５】
【発明が解決しようとしている課題】
しかしながら、オペレータが手順書を参照しながらパラメータの修正を行うことにより、作業効率の低下、塵の発生、入力ミスによる装置誤動作の要因が増加する。また、パラメータ修正ミスによる装置誤動作の原因にもなる。
【０００６】
本発明は、パラメータ変更作業の効率を向上させることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明の露光装置は、複数のパラメータに基づいてプログラムにより制御される露光装置において、前記プログラムのバージョンアップの処理を実施する、ＣＰＵおよびディスプレイを含むコンソールを有し、前記コンソールは、前記プログラムのバージョンアップを行い、前記バージョンアップにより前記複数のパラメータのうち設定可能な値が変わったパラメータを抽出して、そのパラメータ名、パラメータ値および新入力範囲をファイルに記録し、抽出された前記パラメータが存在すれば、そのパラメータを編集するためのエディタを起動して前記ファイルに記録された内容を前記ディスプレイに表示し、入力された値にしたがって前記パラメータ値を変更することを特徴とする。
【０００８】
上記目的を達成するための本発明のパラメータ変更方法は、複数のパラメータに基づいてプログラムにより制御される露光装置であって、前記プログラムのバージョンアップの処理を実施する、ＣＰＵおよびディスプレイを含むコンソールを有する露光装置における前記プログラムをバージョンアップしたときの前記パラメータを変更する方法において、前記バージョンアップにより前記複数のパラメータのうち設定可能な値が変わったパラメータを抽出して、そのパラメータ名、パラメータ値および新入力範囲をファイルに記録し、抽出された前記パラメータが存在すれば、そのパラメータを編集するためのエディタを起動して前記ファイルに記録された内容を前記ディスプレイに表示し、入力された値にしたがって前記パラメータ値を変更することを特徴とする。
【００１２】
【実施例】
以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。
図１は本発明の特徴を最もよく表す露光装置の構成図である。同図において、１０１は装置全体の制御を司る本体ＣＰＵであり、マイクロコンピュータまたはミニコンピュータ等の中央演算装置からなる。１０２はウエハステージ駆動装置、１０３はオフアクシス顕微鏡等のアライメント検出系、１０４はレチクルステージ駆動装置、１０５は光源装置等の照明系、１０６はシャッタ駆動装置、１０７はフォーカス検出系、１０８はΖ駆動装置であり、これらは本体ＣＰＵ１０１により制御されている。１０９は、レチクル搬送装置、ウエハ搬送装置等の搬送系である。１１０は、コンソールＣＰＵ１１１、補助記憶装置１１２、ディスプレイ１１３、キーボード１１４および外部記憶装置１１５を有するコンソールユニットであり、本体ＣＰＵ１０１にこの露光装置の動作に関する各種のコマンドやパラメータを与えるためのものである。すなわち、コンソールユニット１１０は、オペレータとの間で情報の授受を行うためのものである。
【００１３】
補助記憶装置１１２は、例えばハードディスクであり、内部にデータベースが構築されており、各種パラメータおよびその管理データ等が記録されている。外部記憶装置１１５はＦＤＤ（フロッピーディスクドライブ）やＭＯＤ（光磁気ディスクドライブ）といったものが考えられる。
【００１４】
本発明において、プログラムおよびデータは、外部記憶装置１１５からメディアに格納したデータを読みだして補助記憶装置１１２に保存される。
【００１５】
図３は、本実施例でのバージョンアップの処理を示すフローチャートである。この処理は図１のコンソールユニット１１０内で実施するものである。
まず、ステップ３０１で露光プログラムのバージョンアップを行い、次いでステップ３０２でパラメータデータベースのバージョンアップ（コンバート処理）を行う。その後、ステップ３０３（パラメータ自動抽出手段）で有効範囲等が変更になったパラメータを抽出する。ステップ３０４で露光プログラムを起動し、ステップ３０５（簡易編集起動手段）においてステップ３０３で抽出されたパラメータが存在すれば、ステップ３０６（簡易編集手段）で、抽出されたパラメータ専用の編集エディタを起動し、該当パラメータの編集を行う。
【００１６】
本実施例では、ステップ３０３のパラメータ自動抽出手段とステップ３０５のパラメータ簡易編集画面自動起動手段とステップ３０６のパラメータ簡易編集手段を設けることで、手順書を排除し、効率向上、塵の低下、入力ミス防止効果が得られる。
【００１７】
図４は、図３のステップ３０３（パラメータ自動抽出手段）の処理を詳細に示すフローチャートである。
データベースのバージョンアップが終了すると、まずステップ４０１で旧バージョンのパラメータと対応する新バージョンのパラメータの入力範囲を比較し、ステップ４０２で入力範囲が異っていれば、ステップ４０３で該当パラメータ情報をファイルに記録して、ステップ４０４に進む。一方、ステップ４０２で比較した入力範囲が同じと判断した場合には、そのままステップ４０４に進む。ステップ４０４では、未チェックのパラメータがあるかどうかを判断し、ある場合はステップ４０１に戻り処理を繰り返す。また、ステップ４０４で全てのパラメータチェックが終わったと判断した場合は処理を終了する。
【００１８】
これら一連の処理により、入力範囲が異なる全てのパラメータがファイルに記録される。
【００１９】
入力範囲を変更したパラメータを記録するファイルは、図７に示すように、パラメータ名７０１、パラメータ値７０２および新入力範囲７０３で構成される。例えば、Ａというパラメータは旧バージョンからの値が“３０”であり、新バージョンでは入力範囲が０〜２０になった場合、パラメータ名７０１には“Ａ”、パラメータ値７０２には“３０”、新入力範囲７０３には“０〜２０”と記録される。この場合、パラメータＡは０〜２０の範囲の適切な値に変更する必要があり、変更しなければ装置誤動作の原因となる。
【００２０】
図５は、図３におけるステップ３０５（簡易編集起動手段）とステップ３０６（簡易編集手段）の処理を詳細に示すフローチャートである。
まず、ステップ５０１で、図４におけるパラメータ自動抽出手段の４０３で作成されたファイルが存在するかどうかを判断し、存在しなければ、処理を終了する。ステップ５０１でファイルが存在すると判断した場合、ステップ５０２に進みそのファイルをロードし、ステップ５０３に進む。ステップ５０３では、ファイルに記録されたパラメータをディスプレイに表示し（図６参照）、次のステップ５０４では表示されたパラメータ値６０１の再入力を行い、入力が完了したら入力完了ボタン６０２を押下する。ステップ５０５で、パラメータ編集終了ボタン６０４が押下されれば、ステップ５０６で表示されたパラメータ全てが修正されていれば（全てのパラメータの入力完了ボタン６０２が押されていれば）ステップ５０７で表示していたファイルを削除し処理を終了する。ステップ５０６で未修正の（入力完了ボタン６０２が押されていない）パラメータがあれば、ステップ５０８で未修正のパラメータだけを新らしくファイルに上書きする。
【００２１】
すなわち、ステップ４０３のバージョンアップ時に算出記録されたファイル内のパラメータ全てが修正されなければ、ステップ４０３で作成したファイルは削除されず、露光プログラム起動時にステップ５０１の判断で常にパラメータ修正画面が表示されパラメータの修正し忘れによる装置誤動作を防止できる。
【００２２】
図６は、簡易編集画面であり、ステップ４０３で作成したファイルに記憶されたパラメータを表示し、パラメータ値を修正（変更）するものである。同図において、６０１は、パラメータ値を表示および入力するフィールドであり、画面起動時には、ステップ４０３で作成したファイルに記憶されているパラメータ値が表示されているので、ここに修正値を入力し、入力が完了後入力完了ボタン６０２を押すことで、該当パラメータ値の変更が確定される。６０３は、該当パラメータの現在の入力範囲を表示し、入力フィールド６０１には入力範囲６０３内の値しか入力できない。６０４は編集修正ボタンであり、このボタン６０４を押下すると編集画面は終了する。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、パラメータ変更作業の効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施例に係わる半導体露光装置の概略構成図である。
【図２】  従来のパラメータチェック方法の動作を簡単に表した概略フローチャートである。
【図３】  本発明のパラメータチェック方法の動作を簡単に表した概略フローチャートである。
【図４】  パラメータ自動抽出手段の処理を示すフローチャートである。
【図５】  簡易編集起動手段と簡易編集手段の処理を示すフローチャートである。
【図６】  簡易編集画面を示す図である。
【図７】  パラメータ記録ファイルのフォーマットを示す図である。
【符号の説明】
１０１：本体ＣＰＵ、１０２：ウエハステージ駆動装置、１０３：アライメント検出系、１０４：レチクルステージ駆動装置、１０５：照明系、１０６：シャッタ駆動装置、１０７：フォーカス検出系、１０８：Ζ駆動装置、１０９：搬送系、１１０：コンソールユニット、１１１：コンソールＣＰＵ、１１２：補助記憶装置、１１３：ディスプレイ、１１４：キーボード、１１５：外部記憶装置、６０１：パラメータ値表示，入力フィールド、６０２：入力完了ボタン、６０３：入力範囲表示フィールド、６０４：編集修正ボタン、７０１：パラメータ名、７０２：パラメータ値、７０３：新入力範囲。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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