(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の収納ボックスを有するカセット棚を具備した半導体製造装置に於いて、前記各収納ボックスについて属性を定義付し、カセットの属性と収納ボックスの属性とが一致する位置にカセットを収納すると共に前記収納ボックスの少なくとも１つについては収納ボックスの属性を可変とし、カセットの投入時に投入される該カセットの属性に合わせて前記収納ボックスの属性を変更し、前記カセットの払出し完了後に前記収納ボックスの属性が前記カセット投入前の属性に復帰されることを特徴とする半導体製造方法。
【請求項２】
前記収納ボックスの属性は少なくともカセットに装填されるウェーハ種別のデータから成る請求項１の半導体製造方法。
【請求項３】
前記各収納ボックスについて属性を定義付し、該収納ボックスの少なくとも１つは属性が可変である属性可変ボックスとし、残りについては属性を固定した属性固定ボックスとし、投入されるカセットについて属性判断を行い、カセットの属性と一致する属性固定のボックスの空きがある場合はカセットの属性と一致する属性固定ボックスに収納させ、カセットの属性と一致する属性固定ボックスに空きがない場合は、前記属性可変ボックスの属性を前記カセットの属性に一致する様変更し、一致後の属性可変ボックスにカセットを収納する請求項１の半導体製造方法。
【請求項４】
複数の収納ボックスから構成されるカセット棚を有する半導体製造装置に於いて、各収納ボックスの属性を定義する属性定義手段と、投入すべきカセットの属性を入力するカセット属性入力手段と、属性定義手段とカセット属性入力手段とのデータに基づきカセット収納位置を決定する収納位置割当て手段と、カセットを収納ボックスに対して搬送するカセット搬送手段と、前記収納位置割当て手段からのデータに基づき属性の一致する収納ボックスにカセットを収納させる様前記カセット搬送手段を駆動する制御手段とを具備し、前記収納ボックスの少なくとも１つは属性が可変である属性可変ボックスであり、該属性可変ボックスは前記収納位置割当て手段で決定された投入カセットの属性に整合する様前記属性可変ボックスの属性のデータを変更すると共に前記カセットの払出し完了後に前記属性可変ボックスの属性のデータがカセット投入前のデータに復帰されることを特徴とする半導体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体製造方法及びその装置、特に半導体製造装置内にカセット収納棚を具備し、所要数のカセットを収納可能な半導体製造方法及び半導体製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置はウェーハに薄膜の生成、不純物の拡散、エッチング等各種表面処理を行い半導体素子を製造する。前記半導体製造装置に対するウェーハの搬送はカセットにウェーハを装填した状態で行われ、半導体製造装置内でのカセットの収納、保管は半導体製造装置内に具備したカセット棚に収納することで行われている。
【０００３】
先ず、図１６に於いて縦型の反応炉を具備する縦型半導体製造装置による半導体製造方法及びその装置について説明する。
【０００４】
筐体１の前面部には外部搬送装置（図示せず）との間でカセットの授受を行うカセットホルダ２が設けられ、該カセットホルダ２は後述するカセット移載機４の一部を構成している。
【０００５】
前記カセット移載機４は昇降可能なカセット授受ステージ３を具備し、前記カセットホルダ２は前記カセット授受ステージ３に前後方向に進退可能に設けられていると共に進退方向に直角な水平回転軸を中心に反転可能となっている。
【０００６】
前記カセット授受ステージ３の後方にウェーハカセット１１を２列４段の収納ボックス１２に収納するカセット収納棚５が設けられ、前記カセット移載機４は前記カセットホルダ２に受載されたウェーハカセット１１を前記カセット収納棚５の所定位置の収納ボックス１２に移載し、或は所定位置の収納ボックス内のウェーハカセット１１を前記カセットホルダ２に移載する様になっている。
【０００７】
前記カセット収納棚５の後方にウェーハ移載機６が設けられ、該ウェーハ移載機６の更に後方にはボートエレベータ７が設けられ、筐体１内の後部上方には縦型反応炉８が設けられている。
【０００８】
前記ボートエレベータ７はウェーハ９を水平姿勢で多段に保持するボート１０を前記縦型反応炉８に装入引出可能であり、前記ウェーハ移載機６は降下状態のボート１０とカセット収納棚５のウェーハカセット１１との間でウェーハ９を移載する様になっている。
【０００９】
半導体製造装置例えば、縦型拡散・ＣＶＤ装置では装置で処理するウェーハの種類は複数あり、ウェーハは種類毎に異なるウェーハカセットに装填されている。従って、ウェーハカセットについても複数種類が存在している。
【００１０】
従来の縦型拡散・ＣＶＤ装置では収納すべきウェーハカセットの属性、即ちカセット種別（製品ウェーハが装填されるウェーハカセット、モニタウェーハが装填されるウェーハカセット、サイドダミーウェーハが装填されるウェーハカセット、補充ダミーウェーハが装填されるウェーハカセット、モニタウェーハ回収用のウェーハカセット等のカセットの種別）、カセット番号、カセット内の収納するウェーハの枚数等のカセットについての情報を装置パラメータとして、前記カセット収納棚５の収納ボックス１２毎に固定的に定義し、投入されるウェーハカセットは属性の一致するボックスに収納されていた。
【００１１】
前記カセット収納棚５の各収納ボックス１２についての属性は、カセットアサインメントパラメータと呼ばれるデータファイルに記録されていた。
【００１２】
従来の前記カセットアサインメントパラメータ１３のデータ構造について、図１７に於いて説明する。
【００１３】
図示される様に、各収納ボックス１２毎にカセット属性が定義付され、カセット属性はカセット種別（製品ウェーハカセット、モニタウェーハカセット、サイドダミーウェーハカセット、補充ダミーウェーハカセット、モニタウェーハ回収用カセット）、カセット番号、カセット内ウェーハ枚数のデータから成る。ウェーハカセットを搬送する搬送装置は前記カセットアサインメントパラメータ１３のデータに基づき制御されていた。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
上記した従来の半導体製造方法及びその装置では、前記カセットアサインメントパラメータにより、各収納ボックスのカセット属性が固定的に決定されていたので、収納ボックスに空きがあったとしても収納ボックスとウェーハカセットの属性が一致していない場合には、ウェーハカセットをカセット収納棚５に収納することはできなかった。
【００１５】
この為、カセット収納棚５の運用効率が悪くなり、ひいてはカセット移載機４によるウェーハカセット移載時の待ち時間が多くなる等半導体製造装置の稼働率の低下の原因ともなっていた。
【００１６】
更に、収納ボックスのカセット属性を変更したい場合は、前記カセットアサインメントパラメータそのものを書換える必要があり、繁雑な作業を要求されていた。
【００１７】
本発明は斯かる実情に鑑み、カセット収納棚の収納ボックスの属性を固定することなく、収納ボックスの空き状態を少なくしてカセット収納棚の運用効率を高め、半導体製造装置の稼働率の向上を図るものである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、複数の収納ボックスを有するカセット棚を具備した半導体製造装置に於いて、前記各収納ボックスについて属性を定義付し、カセットの属性と収納ボックスの属性とが一致する位置にカセットを収納すると共に前記収納ボックスの少なくとも１つについてはカセットの属性に合わせて属性を可変とする半導体製造方法に係り、又前記属性は少なくともカセットに装填されるウェーハ種別のデータから成る半導体製造方法に係り、又前記各収納ボックスについて属性を定義付し、該収納ボックスの少なくとも１つは属性が可変である属性可変ボックスとし、残りについては属性を固定した属性固定ボックスとし、投入されるカセットについて属性判断を行い、カセットの属性と一致する属性固定のボックスの空きがある場合はカセットの属性と一致する属性固定ボックスに収納させ、カセットの属性と一致する属性固定ボックスに空きがない場合は、前記属性可変ボックスの属性を前記カセットの属性に一致する様変更し、一致後の属性可変ボックスにカセットを収納する半導体製造方法に係り、或は複数の収納ボックスから構成されるカセット棚を有する半導体製造装置に於いて、各収納ボックスの属性を定義する属性定義手段と、投入すべきカセットの属性を入力するカセット属性入力手段と、属性定義手段とカセット属性入力手段とのデータに基づきカセット収納位置を決定する収納位置割当て手段と、カセットを収納ボックスに対して搬送するカセット搬送手段と、前記収納位置割当て手段からのデータに基づき属性の一致する収納ボックスにカセットを収納させる様前記カセット搬送手段を駆動する制御手段とを具備し、前記属性定義手段は収納ボックス毎に属性が記録されたデータファイルであり、属性はデータの変更可能な可変属性、データの変更が不能な固定属性とに分れ、前記収納ボックスの少なくとも１つは可変属性と定義付された属性可変ボックスであり、該属性可変ボックスは前記収納位置割当て手段で決定された投入カセットの属性に整合する様前記属性可変ボックスの属性のデータを変更する半導体製造装置に係り、更に又前記属性に関するデータはバッチ名、カセットに装填されるウェーハ種別、カセット番号、カセットに装填されたウェーハの枚数等のデータから成る半導体製造装置に係るものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態を説明する。
【００２０】
先ず、図１、図２に於いて、本発明の実施の形態に係るハードウェアの構成を説明する。
【００２１】
半導体製造装置を統括的に制御する主制御部２０には、カセットアサインメントパラメータの入力等カセット搬送に必要なデータを設定する主操作部２１と、カセット移載機等搬送系の機器を制御する搬送系制御コントローラ２２が接続されている。
【００２２】
該搬送系制御コントローラ２２は前記主制御部２０に接続されたデータ送受信部２３と、該データ送受信部２３に接続されたＣＰＵ(Central Processing Unit）２４と、該ＣＰＵ２４にそれぞれ接続されたパラメータ解析部２５及び搬送制御データ作成部２６、Ｉ／Ｏデータ入出力部２７、第１記憶装置部２８、例えばＲＯＭ(Read Only Memory)、第２記憶装置部２９、例えばＲＡＭ(Random Access Memory)と、前記搬送制御データ作成部２６に接続された動作制御部３０とで構成されている。
【００２３】
前記第２記憶装置部２９には前記主操作部２１から前記主制御部２０、データ送受信部２３、ＣＰＵ２４を介して前記収納ボックス１２の属性に関するデータファイル、即ちカセットアサインメントパラメータ３１が設定入力される。該カセットアサインメントパラメータ３１には、図２に示される様に各収納ボックス１２毎の属性に関するデータ、即ち一度に処理するカセットのグループ（以下バッチと称す）の名称、カセット種別、カセット番号、カセット内ウェーハ枚数等を定義するデータが記録されている。
【００２４】
ここで、前記属性に関するデータの中で、カセット種別は装填されるウェーハの種別等に対応して種分けされ、ウェーハカセットの種類としては、サイドダミーウェーハ用、第１モニタウェーハ用、製品ウェーハ用、補充ダミーウェーハ用、第１モニタウェーハ回収用、第２モニタウェーハ用、第２モニタウェーハ回収用等であり、又装填されるウェーハの種類が特定されないカセットの種類としては、属性可変用、移載専用に使用されるカセット等である。
【００２５】
又、カセット番号のデータとしては、０：設定無し、１〜１０：設定あり、であり、又カセット内の収納するウェーハの枚数は、０〜３０の範囲で設定される。
【００２６】
更に、前記第１記憶装置部２８には前記カセットアサインメントパラメータ３１に基づき前記カセット収納棚５の各収納ボックス１２の属性を割付けし、又ウェーハカセットの種類のうち属性可変用の属性データについての書換えを行う為のプログラム、即ちカセット属性設定手段４７が設定入力されている。後述する様に前記ＣＰＵ２４は前記カセット属性設定手段４７に基づき収納ボックス１２の属性の決定、属性可変用の属性データの書換えを行う。
【００２７】
又、前記第２記憶装置部２９には投入されるカセットに関する属性を記録するカセット棚管理情報記録部３２が設けられ、前記カセットアサインメントパラメータ３１により定義付けられた収納ボックス１２毎の属性等の情報が記録されている。又、該カセット棚管理情報記録部３２にはカセットセンサ４５によるカセットの有無情報が前記ＣＰＵ２４を介して入力される。該カセット棚管理情報記録部３２のデータの記録状況は図３により示される。
【００２８】
前記動作制御部３０は動作シーケンス制御部３３と、該動作シーケンス制御部３３に接続されたモータ制御部３４及びＩ／Ｏデータ制御部３５とで構成されている。
【００２９】
前記モータ制御部３４には所要台数（図示では２台）のモータドライバ３６，３７が接続され、該各モータドライバ３６，３７にはカセット移載機等搬送系の機器を駆動するモータ３８，３９と、該各モータ３８，３９に機械的に連結されたエンコーダ４０，４１とがそれぞれ接続されている。
【００３０】
又、前記Ｉ／Ｏデータ制御部３５には前記Ｉ／Ｏデータ入出力部２７が接続され、該Ｉ／Ｏデータ入出力部２７には搬送系の機器を駆動するソレノイド４２と前記搬送系の機器の動作位置を検出する位置検出センサ４３と、前記カセット収納棚５の各収納ボックス１２毎に設けられウェーハカセットの有無を検出する前記カセットセンサ４５とが接続されている。
【００３１】
前記カセット収納棚５はカセットを収納する所要数（図７〜図１３では２列８段で１６個を示す）の収納ボックス１２を有し、該各収納ボックス１２の属性は前記カセットアサインメントパラメータ３１に基づき前記カセット属性設定手段４７にそれぞれよって決定される。前記した様にカセットアサインメントパラメータ３１には少なくとも１つの属性可変の収納ボックス１２が定義されており、従って、前記カセット属性設定手段４７はカセットアサインメントパラメータ３１のデータ基づき、前記カセット収納棚５の収納ボックス１２の少なくとも１個については、収納ボックス１２の属性として属性可変が割当てられる。
【００３２】
図４〜図１３を参照し、以下カセットの投入、払出し処理の作用を説明する。
【００３３】
先ず、カセットの投入処理について説明する。
【００３４】
前記主操作部２１により前記搬送系の機器（図示せず）に対するカセットの投入指示を行い、或は通信データによりカセットの投入指示がなされる。投入指示のデータにはこれから処理を行おうとしているバッチ名、カセット種別、カセット番号、カセット内ウェーハ枚数等のバッチに於けるカセットの構成のデータも含まれている。前記投入指示は投入指示信号として前記主制御部２０を経てデータ送受信部２３に入力される。該データ送受信部２３では信号のシリーズ化、時分割等所要の処理を行った後前記ＣＰＵ２４に送出する。
【００３５】
該ＣＰＵ２４は入力された指示信号が投入指示か払出指示かを判断し、入力された指示が投入指示の場合は、更に前記カセット属性設定手段４７を読込むと共にカセットアサインメントパラメータ３１を読込む。前記カセット属性設定手段４７は投入指示のデータと、前記カセットアサインメントパラメータ３１のデータに基づき前記収納ボックス１２の全てについて属性を認識し、投入しようとする番号のカセットをどこの収納ボックス１２に投入するかを割当てる。
【００３６】
以下、図５に於いて該カセット収納位置割当て処理を説明する。
【００３７】
前記カセット収納位置割当て処理は、投入を指示されたカセットと同じ属性が割当てられた固定属性収納ボックス１２の空きがあるかどうが判断され（Ｓ１０１）、存在する場合には前記カセットを該当する前記収納ボックス１２に割当てることを決定し（Ｓ１０２）、割当て処理を終了する。
【００３８】
又、投入を指示されたカセットと同じ属性が割当てられた収納ボックス１２の空きがない場合は、属性可変の収納ボックスの空きがあるかどうか判断し（Ｓ１０３）、存在する場合には前記カセットを該属性可変収納ボックスに割当てることを決定し（Ｓ１０４）、該属性可変収納ボックスの属性データを投入すべきカセットの属性と一致する様に書換え（Ｓ１０６）、割当て処理を終了する。
【００３９】
更に、前記カセット収納棚５に該当する固定属性の収納ボックスも、属性可変収納ボックスも存在しない場合には、投入可能な棚がないとして（Ｓ１０５）割当て処理を終了する。投入可能な棚がない場合には、前記固定属性の収納ボックス、可変属性の収納ボックスの空きが生ずる迄カセット投入作業は中止される。
【００４０】
前記カセット収納位置割当て処理が終了すると、前記ＣＰＵ２４はカセット投入要求信号を送出する。
【００４１】
以下、図６〜図１３に於いて該カセット投入処理を説明する。
【００４２】
前記ＣＰＵ２４はカセット属性設定手段４７、カセットアサインメントパラメータ３１に基づき、投入するカセットの属性データにより収納ボックスの位置を特定し（Ｓ２０１、Ｓ２０２）、更に前記特定された前記収納ボックス１２が属性可変収納ボックスか否かを判断し（Ｓ２０３）、前記収納ボックス１２が属性可変収納ボックスの場合には該属性可変収納ボックスの属性を投入されるカセットの属性と一致する様前記カセットアサインメントパラメータ３１を書換えて変更し（Ｓ２０４）、又、前記カセットを投入する収納ボックス１２が属性可変収納ボックスでない場合には前記収納ボックス１２のカセットの属性の変更は行わない（Ｓ２０５）。尚、図６のステップＳ２０２〜Ｓ２０５は、前述のカセット収納位置割当て処理を簡略化して表している。詳細なステップは、図５のＳ１０１〜Ｓ１０６となる。
【００４３】
例えば、前記カセットアサインメントパラメータ３１により前記各収納ボックス１２が図７に示す様にそれぞれａグループ用製品ウェーハカセット（ａＰ１〜ａＰ４）、ｂグループ用製品ウェーハカセット（ｂＰ１〜ｂＰ４）、ａグループ用モニタウェーハ１・回収カセット（ａＲ１）、ｂグループ用モニタウェーハ１・回収カセット（ｂＲ１）、モニタウェーハ収納カセット（Ｍ１）、サイドダミーウェーハカセット（Ｓ１）、補充ダミーウェーハカセット（Ｆ１〜Ｆ２）、属性可変ボックス（Ｖ１，Ｖ２）の属性に定義された状態で、前記補充ダミーウェーハカセットを４個必要とする場合には、図８に示す様に前記属性可変ボックス（Ｖ１，Ｖ２）の属性が補充ダミーウェーハカセット（Ｆ３，Ｆ４）に変更される。又、前記サイドダミーウェーハカセットを２個必要とする場合には、図９に示す様に前記属性可変ボックス（Ｖ１）の属性がサイドダミーウェーハカセット（Ｓ２）に変更され、前記モニタウェーハ収納カセットを２個、前記補充ダミーウェーハカセットを３個必要とする場合には、図１０示す様に前記属性可変ボックス（Ｖ１，Ｖ２）の属性がそれぞれ補充ダミーウェーハカセット（Ｆ３）、モニタウェーハ収納カセット（Ｍ２）に変更される。
【００４４】
而して、使用頻度の少ないカセットを前記属性可変ボックスに割当てることにより、前記使用頻度の少ないカセットの属性は事前に前記カセットアサインメントパラメータ３１に定義する必要がないので、前記収納ボックス１２の共有化が可能となり、該カセット収納棚５の利用効率を向上することができる。
【００４５】
又、例えば、前記カセットアサインメントパラメータ３１により前記各収納ボックス１２に図１１に示す様にそれぞれａグループ用製品ウェーハカセット（ａＰ１〜ａＰ４）、ｂグループ用製品ウェーハカセット（ｂＰ１〜ｂＰ４）、属性可変ボックス（Ｖ１，Ｖ２）、モニタウェーハ収納カセット（Ｍ１）、サイドダミーウェーハカセット（Ｓ１）、補充ダミーウェーハカセット（Ｆ１〜Ｆ４）の属性が定義された状態で、バッチ構成が図１２に示す様に変更され、ａグループ用モニタウェーハ１・回収カセット（ａＲ１）が追加された場合には、前記属性可変ボックス（Ｖ１）の属性が前記ａグループ用モニタウェーハ１・回収カセット（ａＲ１）に変更される。更に、バッチ構成が図１３に示す様に変更され、モニタウェーハ２収納カセット（ａＸ１）が追加された場合には、前記属性可変ボックス（Ｖ２）の属性が前記モニタウェーハ２収納カセット（ａＸ１）に変更される。而して、カセット構成が異なるバッチのカセットを前記カセット収納棚５に共有することができ、該カセット収納棚５の利用効率を向上することができる。
【００４６】
上記カセットアサインメントパラメータ３１の書換えが行われ、収納ボックス１２と投入すべきカセットの属性のマッチングが完了すると、前記ＣＰＵ２４からはカセット投入要求信号が発せられ、該カセット投入要求信号に基づき、前記パラメータ解析部２５に於いてカセット投入作業に必要なパラメータの解析が行われる。該解析に基づき前記搬送制御データ作成部２６ではモータ３８，３９、ソレノイド４２等のアクチュエイタの駆動順序、駆動量、駆動スピード等動作シーケンス制御に必要な搬送制御データが作成される。
【００４７】
又、前記ＣＰＵ２４から発せられるカセット投入要求信号は前記データ送受信部２３を介して、前記主制御部２０の表示部に投入すべきカセットを半導体製造装置のカセット授受ステージ３に置く様要求する表示をする（Ｓ２０６）。
【００４８】
作業者がカセットを前記カセット授受ステージ３に置くことで、カセットの投入作業が開始される。投入作業は前記搬送制御データ作成部２６からの搬送データに基づき前記動作シーケンス制御部３３がシーケンスプログラムに従って前記モータ３８，３９、ソレノイド４２等の搬送系の機器を制御し、前記授受ステージ３に載置されたカセットは割当てられた前記収納ボックス１２に投入され、所定の投入作業は完了される（Ｓ２０７）。
【００４９】
次に、カセット払出処理を説明する。
【００５０】
前記主操作部２１により払出し指示を行い、或は通信データによりカセットの払出し指示がなされる。
【００５１】
前記ＣＰＵ２４は入力された指示信号が投入指示か払出指示かを判断し、入力された指示が払出し指示の場合は、前記カセット棚管理情報記録部３２のデータを読込み、払出カセット位置割出し処理を行う。
【００５２】
以下、図１４に於いて該払出カセット位置割出し処理を説明する。
【００５３】
前記ＣＰＵ２４は前記カセット払出信号に基づき払出すカセットの属性を求め（Ｓ３０１）、該カセットの属性と前記カセット棚管理情報記録部３２に基づき該カセットが収納されている前記収納ボックス１２の位置を求める（Ｓ３０２）。前記ＣＰＵ２４は前記搬送データ作成部２６にカセット払出要求信号及び払出カセット位置割出し情報を入力する。
【００５４】
以下、図１５を参照して該カセット払出処理を説明する。
【００５５】
前記カセット払出要求信号及び前記払出カセット位置割出し情報に基づき、前記搬送制御データ作成部２６が払出し制御に必要な制御データを作成し、前記動作シーケンス制御部３３は該制御データを基にシーケンスプログラムに従って前記搬送系の機器を制御し、該搬送系の機器は前記割出された収納ボックス１２からカセットを払出し、前記カセット授受ステージ３上に前記カセットを移載する（Ｓ４０１）。
【００５６】
払出し作業後、前記カセットアサインメントパラメータ３１を基に前記割出された収納ボックス１２が前記属性可変収納ボックスであったか否かを判断し（Ｓ４０２）、前記収納ボックス１２が前記属性可変収納ボックスであった場合には、前記カセットアサインメントパラメータ３１の該当収納ボックスの属性データを書換え、前記収納ボックス１２の属性を属性可変収納ボックスに戻す（Ｓ４０３）。又、割出された前記収納ボックス１２の属性が前記属性可変収納ボックスでなかった場合には、前記収納ボックス１２の属性の変更は行われない（Ｓ４０４）。
【００５７】
カセット授受ステージ３へのカセットの移載が完了すると、次に、前記ＣＰＵ２４は前記データ送受信部２３を介して前記主制御部２０に信号を発し、該主制御部２０の表示部（図示せず）に前記カセット授受ステージ３上の前記カセットを取除くメッセージを表示する（Ｓ４０５）。作業者がこの表示に従い前記カセット授受ステージ３からカセットを取除いて一連のカセット払出し作業が完了する。
【００５８】
而して、払出し完了後は、前記カセットアサインメントパラメータ３１はカセット投入前の属性定義状態のデータに復帰し、カセット投入処理が要求される度に、投入されるカセットに応じて前記カセットアサインメントパラメータ３１の可変属性に定義付されている収納ボックス１２の属性データが書換えられ、前述した投入処理、払出し処理が繰返される。
【００５９】
【発明の効果】
以上述べた如く本発明によれば、カセット収納棚の少なくとも１つの収納ボックスは属性を任意に設定できる属性可変ボックスとすることができるので、使用頻度の少ない属性のカセットを前記属性可変ボックスに割当てることにより、前記使用頻度の少ない属性のカセットは事前にカセットアサインメントパラメータのデータファイルに属性を定義する必要がなく、又、カセットアサインメントパラメータのデータの書換えを事前に作業者が行うという作業なしに、カセット構成が異なるバッチのカセット収納棚に収納できる。従って、収納ボックスの空き状態を少なくしてカセット収納棚の運用効率を高め、半導体製造装置の稼働率の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に於けるハードウェアの構成図である。
【図２】該実施の形態に於けるカセットアサインメントパラメータの構成を示す説明図である。
【図３】該実施の形態に於けるカセット棚管理情報記録部のデータファイルの構成を示す説明図である。
【図４】該実施の形態に於けるカセット投入／払出処理の作動を示すブロック図である。
【図５】該実施の形態に於けるカセット収納位置割当て処理を示すフローチャート図である。
【図６】該実施の形態に於けるカセット投入処理を示すフローチャート図である。
【図７】該実施の形態に於ける収納ボックスに属性を設定した状態を示す説明図である。
【図８】図７に於ける収納ボックスの属性を変更した状態を示す説明図である。
【図９】図８に於ける収納ボックスの属性を更に変更した状態を示す説明図である。
【図１０】図９に於ける収納ボックスの属性を更に変更した状態を示す説明図である。
【図１１】該実施の形態に於ける収納ボックスに他の属性を設定した状態を示す説明図である。
【図１２】図１１に於ける収納ボックスの属性を変更した状態を示す説明図である。
【図１３】図１２に於ける収納ボックスの属性を更に変更した状態を示す説明図である。
【図１４】該実施の形態に於ける払出カセット位置割出し処理を示すフローチャート図である。
【図１５】該実施の形態に於けるカセット払出処理を示すフローチャート図である。
【図１６】従来例を示す斜視図である。
【図１７】従来例に於けるカセットアサインメントパラメータの構成を示す説明図である。
【符号の説明】
３          カセット授受ステージ
５          カセット収納棚
１１        ウェーハカセット
１２        収納ボックス
２０        主制御部
２５        パラメータ解析部
２６        搬送制御データ作成部
３０        動作制御部
３１        カセットアサインメントパラメータ
４７        カセット属性設定手段
【図１】
0004144970.tif 000002
【図２】
0004144970.tif 000003
【図３】
0004144970.tif 000004
【図４】
0004144970.tif 000005
【図５】
0004144970.tif 000006
【図６】
0004144970.tif 000007
【図７】
0004144970.tif 000008
【図８】
0004144970.tif 000009
【図９】
0004144970.tif 000010
【図１０】
0004144970.tif 000011
【図１１】
0004144970.tif 000012
【図１２】
0004144970.tif 000013
【図１３】
0004144970.tif 000014
【図１４】
0004144970.tif 000015
【図１５】
0004144970.tif 000016
【図１６】
0004144970.tif 000017
【図１７】
0004144970.tif 000018