(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
低周波信号と高周波信号とを加算した加算励磁信号から成る励磁電流で励磁されて流体の流れ方向と直交方向に磁界を発生する磁界発生手段と、
前記磁界によって流体に発生する励起電圧を検出する励起電圧検出手段と、
前記励起電圧から低周波信号及び高周波信号の各奇数倍高調波成分を抽出する信号抽出手段と、
低周波信号の奇数倍高調波成分を合成する第１高調波信号合成手段と、
高周波信号の奇数倍高調波成分を合成する第２高調波信号合成手段と、
第１高調波信号合成手段の出力と第２高調波信号合成手段の出力とを加え合わせて流量演算する演算手段とを備えることを特徴とする電磁流量計。
【請求項２】
前記高周波信号の周波数を、流体ノイズの１／ｆ特性に従って決定する、請求項１に記載の電磁流量計。
【請求項３】
前記低周波信号の周波数を、前記低周波数信号におけるノイズ成分が減衰する減衰特性に従って決定する、請求項１又は２に記載の電磁流量計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電磁流量計に関し、より詳細には、２周波励磁方式を採用する電磁流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電磁流量計は、流体の直交方向に磁界を印加し、流体の流れ方向及び磁界の双方に直交する方向に発生する励起電圧に基づいて、液体の流速を計測することにより液体の流量を測定する。
【０００３】
電磁流量計は、管内の流れに全く影響を与えずに測定でき、メンテナンスの手間が少ない特長があるので、食品、薬品、化学、紙パルプ、及び、電力等の分野で広く使用されている。電磁流量計における磁界の発生には、ゼロ点の安定性及び耐ノイズ特性が良好な２周波励磁方式が採用される。
【０００４】
図９は、従来の電磁流量計が取り扱う各種の信号を示す。電磁流量計は、乗算２周波励磁信号Ｓ3となる励磁電流が流れるように、励磁コイルを制御して管内に磁界を発生する。乗算２周波励磁信号Ｓ3は、低周波側の励磁信号ＳL及び高周波側の励磁信号ＳHから乗算方式により生成される。低周波側の励磁信号ＳLは、周波数ＦLが６．２５Ｈｚであり、−１又は＋１の何れかをとる２値信号である。高周波側の励磁信号ＳHは、周波数ＦHが７５Ｈｚであり、０又は１の何れかをとる２値信号である。
【０００５】
乗算２周波励磁信号Ｓ3は、低周波側の励磁信号ＳLに高周波側の励磁信号ＳHが重畳し、−１、０、又は、＋１の何れかをとる３値信号である。
【０００６】
電磁流量計は、乗算２周波励磁信号Ｓ3から成る励磁電流で励磁されて磁界を発生する。液体は、磁界中を流れることにより、励起電圧を発生する。電磁流量計は、励起電圧を乗算流量信号Ｓ4として検出する。乗算流量信号Ｓ4は、乗算２周波励磁信号Ｓ3と相似な信号波形成分に微分ノイズ成分が重畳する。微分ノイズ成分は、乗算２周波励磁信号Ｓ3のレベルが変化するレベル変化点で振幅が最大となり、時間の経過に伴って減衰する。
【０００７】
電磁流量計は、高周波側のサンプリング区間ＫHで乗算流量信号Ｓ4の高周波成分をＡＤ変換し、ハイパスフィルタ（ＨＰＦ）を経由して、高周波側の２値データを求める。低周波側のサンプリング区間ＫLで乗算流量信号Ｓ4の低周波成分をＡＤ変換し、ロウパスフィルタ（ＬＰＦ）を経由して、低周波側の２値データを求める。
【０００８】
高周波側の励磁信号ＳHの１周期をＴHとすると、高周波側のサンプリング区間ＫHは、高周波側の励磁信号ＳHの半周期内で最後の１／４区間を示し、ＫH＝１／８×ＴHの関係がある。低周波側のサンプリング区間ＫLは、低周波側の励磁信号ＳLの半周期内で最後の１／２区間を示し、ＫL＝２×ＴHの関係がある。
【０００９】
流量信号の低周波成分は、定常成分にのみ応答するので、ゼロ点の補正に利用され、流量信号の高周波成分は、変化率にのみ応答するので、高速応答のために利用される。低周波成分及び高周波成分の双方を用いて流量演算すると、流量信号の良好な特性が再現できる。
【００１０】
ここで、励磁周波数と流量信号との関係では、励磁周波数が低いと、流体ノイズには弱いがゼロ点安定性が強く、励磁周波数が高いと、流体ノイズには強いがゼロ点安定性が弱いという特性がある。
【００１１】
２周波演算を行う電磁流量計は、低周波側及び高周波側の２値データを加え合わせ、流量演算を行い、流量信号の信号成分である出力信号を求めることにより、耐ノイズ性及びゼロ点の安定性から成る２周波励磁方式の特長が引き出される。
【００１２】
図１０は、乗算２周波励磁信号Ｓ3をＦＦＴ解析した結果である。乗算２周波励磁信号Ｓ3の解析結果は、複数の高調波成分になる。基本波ＦLの各奇数倍高調波成分は、独立して存在し、対応する周波数軸上の位置に示される。基本波ＦHの各奇数倍高調波成分は、点線内にある複数の基本波ＦLの奇数倍高調波成分の中に分散して存在する。
【００１３】
図１１は、従来の高周波側演算出力の周波数特性である。高周波側演算出力の周波数特性は、電磁流量計の耐ノイズ性能を調べるために測定される。高周波側演算出力は、流量信号に代えて、周波数を０〜１００Ｈｚにスイープさせたノイズ信号を入力して測定される。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の電磁流量計では、乗算２周波励磁信号Ｓ3が低周波成分に高周波成分が掛け合わされた特性を示し、低周波側と高周波側との間で独立性が弱い。乗算流量信号Ｓ4は、乗算２周波励磁信号Ｓ3に応じて発生し、相似な波形を有するので、乗算２周波励磁信号Ｓ3と同じ周波数特性を有し、２つの周波数成分の間に独立性が弱い。
【００１５】
図１１に示すように、高周波側演算出力の周波数特性は、低周波側及び高周波側の乗算流量信号Ｓ4は、振幅が０レベルの上下に揺動し、基本波ＦLの各高調波に対応する窓部分が複数存在する。
【００１６】
高周波側演算出力の周波数特性は、振幅が０レベルの上下に揺動することは、対応する周波数ノイズに対して弱いことを意味する。つまり、必要な周波数ＦH（１１ＦL）意外に、多くの窓部分の周波数（３ＦL，５ＦL，７ＦL等）が存在することは、これらの窓部分に等しい周波数のノイズが入力すると、出力信号の振幅が揺動して不安定となり、信号成分とノイズ成分との識別が難しいことを意味する。
【００１７】
また、微分ノイズは、レベル変化点で発生するので、流量信号と同相で除去し難い欠点を有する。低周波側のサンプリング区間ＫLでは、高周波側のサンプリング区間ＫHに比して大きく設定され、高周波側の微分ノイズ波形の上下対称性を利用することにより、区間内に含まれる高周波側の微分ノイズを除去する。
【００１８】
しかし、何らかの理由で高周波側の微分ノイズ波形に上下対称性が失われると、サンプリング区間ＫLのサンプリングデータに高周波側の微分ノイズ成分が残り、流量測定に影響を与える。
【００１９】
本発明は、上記したような従来の技術が有する問題点を解決するためになされたものであり、２周波励磁方式の特長であるゼロ点の安定性及び耐ノイズ特性が向上する電磁流量計を提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の電磁流量計は、低周波信号と高周波信号とを加算した加算励磁信号から成る励磁電流で励磁されて流体の流れ方向と直交方向に磁界を発生する磁界発生手段と、前記磁界によって流体に発生する励起電圧を検出する励起電圧検出手段と、前記励起電圧から低周波信号及び高周波信号の各奇数倍高調波成分を抽出する信号抽出手段と、低周波信号の奇数倍高調波成分を合成する第１高調波信号合成手段と、高周波信号の奇数倍高調波成分を合成する第２高調波信号合成手段と、第１高調波信号合成手段の出力と第２高調波信号合成手段の出力とを加え合わせて流量演算する演算手段とを備えることを特徴とする。
【００２１】
本発明の電磁流量計は、信号抽出手段が低周波信号及び高周波信号の奇数倍高調波成分を抽出することにより、流量演算に不要なノイズ成分を予め除去し、第１及び第２高調波信号合成手段が夫々低周波信号及び高周波信号の奇数倍高調波成分を合成し、演算手段が合成された双方の出力を演算することにより流量を演算するので、低周波励磁及び高周波励磁の双方の有利な特性が引き出され、２周波励磁方式のゼロ点の安定性及び耐ノイズ特性が向上する。
【００２２】
本発明の電磁流量計では、前記高周波信号の周波数を、流体ノイズの１／ｆ特性に従って決定することが好ましい。この場合、流体ノイズのレベルが高い周波数ほどが小さくなるので、高周波励磁の有利な特性である強い耐ノイズ特性が引き出される。
【００２３】
前記低周波信号の周波数を、前記低周波数信号におけるノイズ成分が減衰する減衰特性に従って決定することも本発明の好ましい態様である。この場合、流量演算の過程で高周波信号に基づくノイズ成分が相殺して減衰するので、低周波励磁の有利な特性である強いゼロ点の安定性が引き出される。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態例に基づいて、本発明の電磁流量計について図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形態例の電磁流量計のブロック図である。電磁流量計は、磁界発生部１、励起電圧検出部２、信号抽出部３、高調波信号合成部４、流量演算部５（加算手段）、及び、管内６で構成される。この電磁流量計は、加算方式による２周波励磁を行って流量を測定する。
【００２５】
図２は、図１の電磁流量計が取り扱う各種の信号を示す。磁界発生部１は、図示されない励磁コイルを制御して、加算２周波励磁信号Ｓ1から成る励磁電流を流し、管内６に磁界を発生させる。
【００２６】
加算２周波励磁信号Ｓ1は、低周波側の励磁信号ＳL及び高周波側の励磁信号ＳHから加算方式により生成される。低周波側の励磁信号ＳLは、周波数ＦLが６．２５Ｈｚであり、−０．５又は＋０．５の何れかをとる２値信号である。高周波側の励磁信号ＳHは、周波数ＦHが７５Ｈｚであり、−０．５又は＋０．５の何れかをとる２値信号である。
【００２７】
本実施形態例の電磁流量計は、励磁信号ＳLとＳHとを加算し、この加算値を加算２周波励磁信号Ｓ1の値として設定する。加算２周波励磁信号Ｓ1は、低周波側の励磁信号ＳLに高周波側の励磁信号ＳHが重畳され、−１、０、又は、＋１の何れかをとる３値信号である。
【００２８】
被測定対象の液体は、管内６を流れ、流速及び磁界に応じた励起電圧を発生する。励起電圧検出部２は、励起電圧に基づいて、加算流量信号Ｓ2を信号抽出部３に入力する。
【００２９】
加算流量信号Ｓ2は、加算２周波励磁信号Ｓ1と相似な信号波形であり、信号成分及び微分ノイズ成分を有し、信号成分に微分ノイズ成分が重畳する。加算流量信号Ｓ2の信号成分は、液体の流速に比例する振幅を有し、流量演算に必要である。微分ノイズ成分は、レベル変化点で振幅が最大となり、その後減衰する特性を有し、流量演算に不要である。
【００３０】
管内６に配置された一対の電極間には、磁界の方向又は大きさが変化すると、起電力が発生する。微分ノイズは、この起電力に基づいて生成され、時間の経過に伴って減衰するが、加算流量信号Ｓ2の信号成分と同相であるため、除去されることが難しい。
【００３１】
図３は、加算流量信号Ｓ2が処理される過程を示す。信号抽出部３は、基本波ＦH及びＦLの各高調波成分のみを通過させるフィルタ機能を有し、加算流量信号Ｓ2から基本波ＦH及びＦLの各高調波の信号成分を抽出し、流量演算に不要なノイズ成分を予め除去する。高調波信号合成部４は、基本波ＦH及びＦLの各高調波の信号成分から合成流量信号Ｓ2H及びＳ2Lを生成する。
【００３２】
図４は、合成流量信号とサンプリング区間との関係を示す。流量演算部５は、合成流量信号Ｓ2Hをサンプリング区間ＫHでＡＤ変換し、合成流量信号Ｓ2Lをサンプリング区間ＫLでＡＤ変換して、高周波側及び低周波側の２値データを夫々求める。
【００３３】
高周波側の励磁信号ＳHの１周期をＴHとすると、高周波側のサンプリング区間ＫHは、高周波側の励磁信号ＳHの半周期内で最後の１／４区間とした場合の例である。ＴHの区間は高周波の半周期以内であれば任意の値を取り得るものとする。低周波側のサンプリング区間ＫLは、低周波側の励磁信号ＳLの半周期内で後半のＫL＝２×ＴHとした場合の例である。ＫLの区間は低周波側で発生する微分ノイズが減衰しており、かつ区間ＴHの整数倍を満足するものであれば任意の値を取り得るものとする。
【００３４】
流量演算部５は、ＬＰＦを通過させた低周波側の２値データとＨＰＦを通過させた高周波側の２値データとを加え合わせて、被測定対象の液体の流速に比例した２値データである出力信号を求める。
【００３５】
図５は、流体ノイズ及び励磁信号の特性を示す。流体ノイズは、スラリノイズやフローノイズから成り、低周波領域で大きく高周波領域で小さくなる１／ｆ特性を有する。スラリノイズは、流体中の固形物が電極を擦るときに生ずるものであり、フローノイズは、低導電率の液体によって運ばれる電荷が、微視的な液体の乱れによりランダムなノイズを発生させるものである。
【００３６】
低い周波数ＦLの信号成分は、流体ノイズとの差が小さく、高い周波数ＦHの信号成分は、流体ノイズとの差が大きい。また、励磁信号の周波数を低くし、時定数を大きくすれば、安定したゼロ点成分が取り出せる。
【００３７】
励磁信号の周波数ＦHは、流量信号の信号成分及び流体ノイズに対するＳＮ比が大きくなるように、流体ノイズの１／ｆ特性に従って決定される。この場合、流体ノイズのレベルが高い周波数ほど小さくなるので、高周波励磁の有利な特性である強い耐ノイズ特性が引き出される。
【００３８】
励磁信号の周波数ＦLは、高周波励磁に基づく微分ノイズ成分の波形が上下対称であることにより、高周波側の微分ノイズ成分が相殺して減衰するように、この減衰特性に従って決定される。この場合、流量演算の過程で高周波側の微分ノイズ成分が相殺して減衰するので、低周波励磁の有利な特性である強いゼロ点の安定性が引き出される。
【００３９】
また、低周波数ＦL及び高周波数ＦHは、上記の条件が満されるように、夫々設定されるが、一般的には双方の関係を示す相対比が整数倍となるように互いの値が選択される。即ち、図２にあって、高周波側の励磁信号ＳHは、低周波側の励磁信号ＳLの奇数倍の周波数で、かつ互いに位相ずれなしの場合の２周波励磁信号Ｓ1を示しているが、この他にも、互いに位相ずれありの場合（Ａ）、または、高周波側の励磁信号ＳHが低周波側の励磁信号ＳLの偶数倍の周波数の場合（Ｂ）（位相ずれありなしに関係なく）の加算２周波励磁信号Ｓ1を生成するようにしてよい。
【００４０】
低周波数ＦLの励磁信号成分は、ゼロ点の安定性が強く、耐ノイズ特性が弱い。高周波数ＦHの励磁信号成分は、ゼロ点の安定性が弱く、耐ノイズ特性が強い。２周波励磁方式では、励磁信号の高周波側が低周波側に重畳することにより、夫々の短所を補い、長所を引き出すことができる。
【００４１】
図６は、２周波励磁方式の測定原理を示す。流量信号は、信号成分にノイズ成分が重畳するので、値Ａを基準として上下に揺動する。値Ａは、液体の流速に比例した値であり、流量信号の信号成分の振幅を示す。
【００４２】
流量信号は、低周波側及び高周波側の信号成分に分割される。低周波側の信号成分は、サンプリング区間ＫLでサンプリングされ、ＬＰＦを通過することで抽出され、流量信号の定常成分にのみ応答する。高周波側の信号成分は、サンプリング区間ＫHでサンプリングされ、ＨＰＦを通過することで抽出され、流量信号の変化率にのみ応答する。
【００４３】
２周波励磁方式では、低周波側及び高周波側の信号成分を加え合わせることで、
値Ａの振幅を有する出力信号を生成する。
【００４４】
図７は、加算２周波励磁信号Ｓ1のＦＦＴ解析結果である。加算２周波励磁信号Ｓ1の解析結果は、複数の高調波成分になり、基本波ＦL及びＦHの奇数倍の各高調波成分は、その殆どが独立して存在し、対応する周波数軸上の位置に示される。例えば、基本波ＦHの信号成分は、基本波ＦLの第１１高調波の信号成分に含まれる。
【００４５】
加算２周波励磁信号Ｓ1は、低周波成分に高周波成分が足し合わされた特性を示し、低周波側及び高周波側の各高調波成分の独立性が強いので、信号成分の分割、及び、低高周波側信号の生成が容易に行える。
【００４６】
信号成分の分割は、基本波ＦL及びＦHの奇数倍の各高調波成分として抽出することにより行われ、ノイズ成分が除去され信号成分が取り出される。低高周波側信号の生成は、基本波ＦLの各高調波成分を合成することで低周波側の信号成分を生成し、基本波ＦHの各高調波成分を合成することで高周波側の信号成分を生成できる。
【００４７】
加算流量信号Ｓ2は、加算２周波励磁信号Ｓ1に応じて発生され、相似な波形を有するので、加算２周波励磁信号Ｓ1と同様な特性を有する。加算流量信号Ｓ2は、加算２周波励磁信号Ｓ1と同様に、低周波側及び高周波側の各高調波成分の独立性が強く、信号成分の分割、及び、低高周波側信号の生成が容易に行える。
【００４８】
図８は、図１の高周波側演算出力の周波数特性を示す。高周波側演算出力の周波数特性は、電磁流量計の耐ノイズ性能を調べるために測定される。高周波側演算出力は、流量信号に代えて、周波数を０〜１００Ｈｚにスイープさせたノイズ信号を入力して測定される。
【００４９】
周波数６０Ｈｚ以下且つ９０Ｈｚ以上では、振幅が０レベルに維持され、周波数６０〜９０Ｈｚの範囲では、振幅が０レベル軸を上下に揺動し、基本波ＦLに対応する窓部分が１つ存在する。
【００５０】
高周波側演算出力の周波数特性では、振幅が０レベルを基準として上下に揺動すると、対応する周波数ノイズに対して弱いことを意味し、窓部分に対応する周波数ノイズが入力すると、出力信号の振幅が揺動し不安定になることを意味する。
【００５１】
図８の周波数特性は、図１１の周波数特性に比して、信号抽出部３が流量演算に不要なノイズ成分を予め除去し、流量演算が行われるので、振幅が０レベルを基準として上下に揺動する周波数範囲が狭く、出力信号が安定することを示す。
【００５２】
加算流量信号Ｓ2の信号成分は、振幅が流速に比例する方形波状の信号である。高調波信号合成部４は、奇数倍の各高調波成分から方形波状の合成流量信号Ｓ2H及びＳ2Lを生成する。信号抽出部３は、奇数倍の各高調波成分のみを通過させるので、流量演算に不要なノイズ成分が除去される。
【００５３】
何らかの理由で高周波側の微分ノイズ波形に上下対称性が失われても、流量演算部５は、予めノイズ成分が除去された合成流量信号Ｓ2H及びＳ2Lを、サンプリング区間ＫL及びＫHで独立にサンプリングするので、サンプリング区間ＫLのサンプリングデータに高周波側の微分ノイズ成分が残らず、流量測定に影響がない。
【００５４】
上記実施形態例によれば、信号抽出手段が低周波信号及び高周波信号の奇数倍高調波成分を抽出することにより、流量演算に不要なノイズ成分を予め除去し、第１及び第２高調波信号合成手段が夫々低周波信号及び高周波信号の奇数倍高調波成分を合成し、演算手段が合成された双方の出力によって流量を演算するので、低周波励磁及び高周波励磁の双方の有利な特性が引き出され、２周波励磁方式のゼロ点の安定性及び耐ノイズ特性が向上する。
【００５５】
以上、本発明をその好適な実施形態例に基づいて説明したが、本発明の電磁流量計は、上記実施形態例の構成にのみ限定されるものでなく、上記実施形態例の構成から種々の修正及び変更を施した電磁流量計も、本発明の範囲に含まれる。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の電磁流量計では、信号抽出手段が低周波信号及び高周波信号の奇数倍高調波成分を抽出することにより、流量演算に不要なノイズ成分を予め除去し、第１及び第２高調波信号合成手段が夫々低周波信号及び高周波信号の奇数倍高調波成分を合成し、加算手段が合成された双方の出力を加算することにより流量を演算するので、低周波励磁及び高周波励磁の双方の有利な特性が引き出され、２周波励磁方式のゼロ点の安定性及び耐ノイズ特性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態例の電磁流量計のブロック図である。
【図２】図１の電磁流量計が取り扱う各種の信号を示す。
【図３】加算流量信号Ｓ2が処理される過程を示す。
【図４】合成流量信号とサンプリング区間との関係を示す。
【図５】流体ノイズ及び励磁信号の特性を示す。
【図６】２周波励磁方式の測定原理を示す。
【図７】加算２周波励磁信号Ｓ1のＦＦＴ解析結果である。
【図８】図１の高周波側演算出力の周波数特性を示す。
【図９】従来の電磁流量計が取り扱う各種の信号を示す。
【図１０】乗算２周波励磁信号Ｓ3をＦＦＴ解析した結果である。
【図１１】従来の高周波側演算出力の周波数特性である。
【符号の説明】
１  磁界発生部
２  励起電圧検出部
３  信号抽出部
４  高調波信号合成部
５  流量演算部（加算手段）
６  管内
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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