(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の面上にＡＢＳを構成する第２の面が形成されるとともに前記第１の面の角部にＲ形状が付与されてなるスライダの製造方法において、
複数のアルミナからなるスライダローを共通の治具上に並設し固定する工程、
前記スライダローの上面に個々のスライダに対応する前記ＡＢＳ面を形成する工程、
個々のスライダに切断される前の状態にある前記スライダローに同切断のための溝を形成する工程、
各溝の角部を露出させた状態にて、各ＡＢＳ面上を、感光剤であるドライフィルムをパターン露光・現像して形成した保護膜にて覆う工程、
複数のスライダローが固定された前記治具をバレル内の円柱状のアルミナ粒子を液体に分散したスラリーに浸漬させてバレル加工を施し、これにより前記角部に前記Ｒ形状を付与する工程、
前記保護膜を除去する工程、
各スライダローの溝部から個々のスライダに切断する工程、
を有することを特徴とするスライダの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハードディスク装置等に用いられる磁気ヘッド或は光磁気ヘッド等のヘッド用スライダの製造方法に係り、特に、情報記録媒体の対向面の角部にＲ形状を有するスライダの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ハードディスク装置等に搭載される情報記録媒体（磁気記録媒体）に情報を記録したり或は情報記録媒体に記録された情報を再生するヘッド装置は、再生・記録用の素子部（デバイス）を備えたスライダをサスペンションで支持する構造を有している。このような素子部を備えたスライダは、情報記録媒体の回転に伴って浮上し、この状態にて情報の記録或は再生を行うように、同情報記録媒体と対向する面に所定パターンのＡＢＳ（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ＝空気ベアリング面）を設けている。
【０００３】
ところで、スライダに大きな機械的衝撃が加わったとき、スライダの角部が情報記録媒体に接触し、同媒体を破損したり、同媒体上に廃物（コンタミネーション）を残す場合があるため、これを防止するべくスライダの角部にはＲ形状が付与されている。係るＲ形状を付与する加工は、図２４〜図３０に示した手順で行われる。
【０００４】
即ち、先ず、図２４（Ａ）に示した多数のヘッド素子（この場合は、薄膜の磁気抵抗効果素子）が上面に形成されたスライダ材ウエハ５０を図２４（Ｂ）に示したように切断用の治具６１にホットメルト樹脂６２で接着する。続いて、図２５（Ａ）に示したように、ウエハ５０を切断ブレード６３により切断し、例えば１３３本のスライダロー５１に分離する。その各スライダロー５１を治具６１から取外して図２５（Ｂ）に示した状態とする。
【０００５】
次いで、各切断したスライダロー５１を、図２６（Ａ）に示したように、研削研磨用の治具６４に接着する。その後、治具６４に接着したスライダロー５１を研削及び研磨して各磁気ヘッドのスロートハイトなどを調整し、治具６４から取外す。次に、研削研磨されたスライダロー５１を図２６（Ｂ）に示したようにＡＢＳ形成用の治具６５に固定し、図２６（Ｃ）に示すようにスライダロー５１の上にホトリソグラフィ用のドライフィルム６６をラミネート（または、ホトレジストなどをコーティング）する。
【０００６】
その後、ドライフィルム６６をパターン露光・現像して、図２７（Ａ）及びその拡大図である図２７（Ｂ）に示したように、ＡＢＳパターンのマスク５２を形成する。次いで、スライダロー５１のイオンミリング、ドライフィルムの剥離などの工程を経て、図２８（Ａ）及びその拡大図である図２８（Ｂ）に示したように、スライダロー５１の上面に各スライダのＡＢＳ（レールパターン）５３を形成する。
【０００７】
次に、かかるＡＢＳ５３が形成された図２９（Ａ）に示すスライダロー５１のＡＢＳが形成されている面に対し、後に個々のスライダとするために切断されるラインに沿って溝５４を入れ、図２９（Ｂ）に示したスライダロー５１を得る。次いで、図２９（Ｃ）に示したようにＡＢＳが形成されている面上にラッピングテープ６８を載せ、図２９（Ｄ）に示したように、ゴム６９などの柔らかい物体で圧搾（スクイーズ）する。これにより、スライダロー５１の溝５４の角部が角取りされる。
【０００８】
次に、角取りの終了したスライダーロー５１を図３０（Ａ）に示したように支持基板７０に載置し、個々のスライダに分離するための切断を前記ラインに沿って行う。最後に、各スライダを治具７０から取外し、図３０（Ｂ）に示したように角取りがなされた個々のスライダ５５を得る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
このようなラッピングテープによる機械的な加工では加工精度に限界がある。特に、最近では、情報記録密度の向上に伴いスライダの小型化が進んで来たため、スライダの角部に狙いどおりのＲ形状を付与することが困難になってきた。この対策として、個々のスライダを治具に取付けて個別に機械加工する方法も考えられるが、これでは生産効率が低く、しかも小型化が進んだスライダ（例えば、ピコスライダ）のＡＢＳは、例えば１×０．３ｍｍと極めて小さいため、機械加工の際にＡＢＳに傷をつけてしまうという問題がある。また、小型のスライダを研磨に耐えうるに十分な強度をもって治具に取付けることは困難であるという問題もある。従って、本発明の目的は、ＡＢＳ等を傷つけることなくスライダの角部に所望のＲ形状を付与することが可能な生産効率の高い製造方法を提供することにある。
【００１０】
【発明の概要】
上記課題を解決するための本発明の特徴は、第１の面上にＡＢＳを構成する第２の面が形成されるとともに前記第１の面の角部にＲ形状が付与されてなるスライダの製造方法において、
第１の面上にＡＢＳを構成する第２の面が形成されるとともに前記第１の面の角部にＲ形状が付与されてなるスライダの製造方法において、
複数のアルミナからなるスライダローを共通の治具上に並設し固定する工程、
前記スライダローの上面に個々のスライダに対応する前記ＡＢＳ面を形成する工程、
個々のスライダに切断される前の状態にある前記スライダローに同切断のための溝を形成する工程、
各溝の角部を露出させた状態にて、各ＡＢＳ面上を、感光剤であるドライフィルムをパターン露光・現像して形成した保護膜にて覆う工程、
複数のスライダローが固定された前記治具をバレル内の円柱状のアルミナ粒子を液体に分散したスラリーに浸漬させてバレル加工を施し、これにより前記角部に前記Ｒ形状を付与する工程、
前記保護膜を除去する工程、
各スライダローの溝部から個々のスライダに切断する工程、
を有することを特徴とするものである。
この製造方法によれば、一度に大量の加工が可能である。また、スライダが小型であっても、バレル加工の条件（砥粒の大きさ、材質、形状、及び加工時間など）を適切にすれば、所望のＲ形状を付与することが可能となる。更に、バレル加工ではスライダの角部が優先的に削られるため、ＡＢＳを傷つける可能性を低下させることができる。
【００１６】
なお、本発明における「バレル加工」とは、「被加工物と砥粒を容器に入れ、同容器を回転又は揺動することによって被加工物と砥粒とを衝突させ、被加工物の表面を仕上げる加工方法」である。
【００１７】
【発明の実施の形態】
＜第１参考例＞第１参考例は、図１〜図１１に示した工程からなっている。第１参考例においては、情報記録媒体に対向するスライダの第１の面上に形成したＡＢＳ（第２の面）を保護膜により覆った後、個々のスライダに分割した状態にてバレル加工を施してスライダの第１の面の角部（以下、「角部」は「略長方形をなす第１の面の四隅部、及び同長方形の各辺に位置するスライダの角部＝糸面」」を含む。）にＲ形状を付与するものである。なお、本明細書において、「Ｒ形状」とは、いわゆる「角が取れた形状」、或は「丸みを帯びた形状」のことを言い、従って、「Ｒ形状を付与する」とは、「角を取ること」或は、「丸みをつける」ことを意味する。
【００１８】
第１参考例においては、先ず、多数のヘッド素子（この場合は、磁気抵抗効果薄膜磁気ヘッド素子であるが図示は省略している。）が上面に形成されている図１（Ａ）に示すアルミナ等からなるスライダ材ウエハ１０を、図１（Ｂ）に示したように切断用の治具３１にホットメルト樹脂３２で接着する。続いて、図１（Ｃ）に示したようにウエハ１０を切断ブレード３３により切断し、図２（Ａ）に示したように例えば１３３本のスライダロー（後に個々のスライダとなる複数のスライダが隣接接続された状態にあるウエハの一列）１１に分離する。その各スライダロー１１を治具３１から取外して図２（Ｂ）に示した状態とする。
【００１９】
次いで、各切断したスライダロー１１を、図３（Ａ）に示したように、後にＡＢＳが形成される面を上面にして研削研磨用の治具３４に接着する。その後、図３（Ｂ）に示したように、治具３４に接着したスライダロー１１を研削及び研磨してヘッド素子のスロートハイト及びエレメントハイトなどを調整する。続いて、研削研磨されたスライダロー１１を治具３４から取外し、図４（Ａ）に示したようにレール形成用の治具３５に固定する。次いで、図４（Ｂ）に示したように、並べられたスライダロー１１の上面にホトリソグラフィ用のドライフィルム３６をラミネート（または、ホトレジストなどをコーティング）する。
【００２０】
その後、ドライフィルム３６をパターン露光・現像して、図５（Ａ）及びその拡大図である図５（Ｂ）に示したように、スライダロー１１上にＡＢＳパターンのマスク１２を形成する。なお、図５（Ｂ）には、マスク１２に覆われたスライダロー１１の上面（後に形成されるＡＢＳ）に先端が露呈するよう形成された磁気抵抗効果薄膜磁気ヘッド素子１３、及び同素子１３と接続されスライダーロー１１の端面に形成された複数の端子１４が示されている。続いて、スライダロー１１をマスク１２の上からイオンミリングし、次いで、マスク１２を剥離する。この結果、図６（Ａ）及びその拡大図である図６（Ｂ）に示したように、スライダロー１１の上面（第１の面）に各スライダのＡＢＳ（第２の面）１５が形成される。
【００２１】
次に、図７（Ａ）及びその拡大図である図７（Ｂ）に示したように、スライダロー１１のＡＢＳをドライフィルム等の感光剤により覆い、これをパターン現像・露光して保護膜１６を形成する。この保護膜１６が形成されたスライダーロー１１の上面を示した図７（Ｃ）からも解るように、保護膜１６は、個々のスライダを形成するべく後の工程にて切断されるライン（同図中に破線にて示す）に対し所定の幅だけ離れ、個々のスライダとなったときの同スライダの第１の面の角部に対応する部位（四隅部Ｃを含む）が露出するようにパターンニングされる。
【００２２】
続いて、図８（Ａ）に示したように、このスライダロー１１を切断ブレード３３により図７（Ｃ）に示した破線に沿って切断し、図８（Ｂ）に示したように保護膜を備えた個々のスライダ１７を得る。
【００２３】
次に、図９に示したように、個々のスライダ１７に対して「バレル加工」を施す。具体的には、個々のスライダ１７を複数個（例えば、数千個）、バレル３７内に投入する。このバレル３７は、図示しない駆動装置により揺動する揺動台３８に載置されている。また、バレル３７内には、硬質の粒子（例えば、直径が約８０μｍで高さが９０μｍの円柱状アルミナ粒子＝砥粒）を水等の液体に分散させたスラリー（固体が混入している液体）３８を貯留させておく。次いで、バレル３７を揺動台３８により図９に示すＸ及びＹ方向に所定の時間（例えば、１２時間）だけ揺動し、スライダ１７が投入されたスラリー３９を攪拌する。
【００２４】
係る攪拌によりスライダ１７の角部が硬質の粒子により削られ、図１０に示した角部ＣにＲ形状が付与されたスライダ１７が得られる。なお、保護膜１６はアルミナからなるスライダ本体１７ａに比べて柔らかいために、バレル加工を施しても殆ど削られない。最後に、保護膜１６を除去し、図１１に示したような角部Ｃが丸みを帯びているスライダ１７を得る。
【００２５】
この第１参考例によれば、図２３に示したスライダ１７の第１の面の４つの角部Ｃが同図のｘ方向に１３０μｍ、ｙ方向に１２０μｍ、ｚ方向に３５μｍだけ削られ、同角部ＣにＲ形状が付与されることが確認された。また、第１参考例によれば、一度に数万個のスライダに対しＲ形状を付与することができた。以上から理解されるように、第１参考例によれば所望の径のＲ形状（丸み）を角部に有するスライダを、極めて効率的に得ることができる。
【００２６】
また、第１参考例は、第２の面であるＡＢＳと、同ＡＢＳに先端を露呈している磁気抵抗効果薄膜磁気ヘッド素子１３を保護膜１６にて被覆し、その状態にてバレル加工を施すので、バレル加工によりＡＢＳ及び素子１３に傷等を与えることは皆無であるという利点を有している。
＜実施形態＞次に、本発明の実施形態について説明すると、実施形態はスライダーローの状態にてバレル加工を施す点で参考例と異なるが、初期工程から途中の工程までは図１から図６に示した第１参考例と同一の工程を実施するものである。即ち、先ず、多数のヘッド素子が上面に形成されている図１（Ａ）に示すスライダ材ウエハ１０を、図１（Ｂ）に示したように切断用の治具３１にホットメルト樹脂３２で接着する。続いて、図１（Ｃ）に示したようにウエハ１０を切断ブレード３３により切断し、図２（Ａ）に示したように複数のスライダロー１１に分離する。その各スライダロー１１を治具３１から取外して図２（Ｂ）に示した状態とする。
【００２７】
次いで、各切断したスライダロー１１を、図３（Ａ）に示したように、後にＡＢＳが形成される面を上面にして研削研磨用の治具３４に接着する。その後、図３（Ｂ）に示したように、治具３４に接着したスライダロー１１を研削及び研磨してヘッド素子のスロートハイト及びエレメントハイトなどを調整する。続いて、研削研磨されたスライダロー１１を治具３４から取外し、図４（Ａ）に示したようにレール形成用の治具３５に並べて固定する。次いで、図４（Ｂ）に示したように、スライダロー１１の上にホトリソグラフィ用のドライフィルム３６をラミネートする。
【００２８】
次に、ドライフィルム３６をパターン露光・現像して、図５（Ａ）及びその拡大図である図５（Ｂ）に示したように、スライダロー１１上にＡＢＳパターンのマスク１２を形成する。続いて、スライダロー１１をマスク１２の上からイオンミリングし、次いで、マスク１２を剥離する。この結果、図６（Ａ）及びその拡大図である図６（Ｂ）に示したように、スライダロー１１の上面（第１の面）に各スライダのＡＢＳ（第２の面）１５が形成される。ここまでは、第１参考例と同一である。
【００２９】
次に、図１２（Ａ）に示したように、個々のスライダを形成するために後の工程にて切断されるラインに沿って、切断ブレード３３（ここでは図示せず）によって所定の幅及び深さを有する溝１８を作る（溝入れする）。この状態にて、図１２（Ｂ）及びその拡大図である図１２（Ｃ）に示したように、スライダロー１１の上面をドライフィルム等の感光剤により覆い、これをパターン露光・現像して保護膜１６を形成してＡＢＳを覆う。保護膜１６は、同保護膜１６が形成されたスライダーロー１１の上面を示した図１２（Ｄ）からも解るように、溝１８に対し所定の幅を隔てていて溝１８の角部を露出させるとともに、個々のスライダとなったときの同スライダの第１の面の角部（四隅部Ｃ）を露出させるようにパターンニングされる。
【００３０】
続いて、図１３に示したように、溝入れされたスライダロー１１を治具３５に固定した状態にて同治具３５ごとバレル３７内のスラリー３９に浸漬させる。次いで、揺動台３８によってバレル３７をＸ及びＹ方向に所定の時間（例えば、１２時間）だけ揺動してスラリー３９を攪拌する「バレル加工」を施す。なお、スラリー３９は、第１実施形態と同様に、硬質の粒子（例えば、直径が約８０μｍで高さが９０μｍの円柱状アルミナ粒子）を水等の液体に分散させたものである。
【００３１】
このバレル加工の後に保護膜１６を除去し、図１４（Ａ）に示したように、溝１８の角部及び後に切断される個々のスライダの第１の面の四隅部にＲ形状が付与されたスライダロー１１を得る。次いで、図１４（Ｂ）に示したように、切断ブレード３３により前記溝１８に沿ってスライダロー１１を切断して個々のスライダとし、図１４（Ｃ）に示したような第１の面の角部にＲ形状を有したスライダ１７を得る。なお、保護膜１６は個々のスライダ１７に切断した後に除去するようにしてもよい。
【００３２】
この実施形態によれば、スライダロー１１のままバレル加工を施すことが可能であり、一度に数万個のスライダに対してその角部にＲ形状を付与することができるため、生産効率を極めて高くすることができる。また、第１参考例と同様に、バレル加工中においてＡＢＳが保護膜１６により保護されているので、ＡＢＳや磁気抵抗効果薄膜磁気ヘッド素子１３を損傷することが皆無である。
＜第２参考例＞次に、第２参考例について説明すると、第２参考例は、保護膜１６にてＡＢＳを被覆することなくバレル加工を施す点において第１参考例，実施形態と異なっている。これは、バレル加工中に保護膜１６が脱落する場合があることの対策として考えられたものである。
【００３３】
具体的には、先ず第２参考例においても、多数のヘッド素子が上面に形成されている図１（Ａ）に示すスライダ材ウエハ１０を、図１（Ｂ）に示したように切断用の治具３１にホットメルト樹脂３２で接着する。続いて、図１（Ｃ）に示したようにウエハ１０を切断ブレード３３により切断し、図２（Ａ）に示したように複数のスライダロー１１に分離する。その各スライダロー１１を治具３１から取外して図２（Ｂ）に示した状態とする。この段階までは、第１参考例と同様である。
【００３４】
次に、図１５（Ａ）に示したように、後にＡＢＳが形成される面を上にして各切断したスライダロー１１を研削研磨用の治具３４に接着し、同スライダロー１１を研削及び研磨する。このとき、各磁気抵抗効果薄膜磁気ヘッド素子１３（図１５（Ｃ）参照）を、同磁気ヘッド素子１３が最終的に有するべき所定の寸法（スロートハイトなどの長さ）より０．１〜１０μｍ程度大きい寸法となるまで切削・研磨する。そして、図１５（Ｂ）に示したように、スライダロー１１を後にＡＢＳが形成される面を上にして並べ、この状態で治具３５に固定する。なお、図１５（Ｃ）は図１５（Ｂ）に示したスライダロー１１の拡大図である。
【００３５】
次いで、このスライダロー１１に溝１８を形成する。具体的には、図１６（Ａ）及びその拡大図である図１６（Ｂ）に示したように、個々のスライダを形成するために後の工程にて切断されるラインに沿って、切断ブレード３３（ここでは図示せず）により所定の幅及び深さを有する溝１８を作る。
【００３６】
続いて、図１７に示したように、溝入れされたスライダロー１１を治具３５に固定した状態にて同治具３５ごとバレル３７内のスラリー３９に浸漬させる。次いで、揺動台３８によって、バレル３７をＸ及びＹ方向に所定の時間（例えば、１２時間）だけ揺動してスラリー３９を攪拌する「バレル加工」を施す。なお、スラリー３９は、第１参考例，実施形態と同様なものである。このバレル加工により、図１８（Ａ）及びその拡大図である図１８（Ｂ）に示したように、溝１８の角部及び後に個々に切断されるスライダの四隅部ＣにＲ形状が付与されたスライダロー１１が得られる。
【００３７】
次に、図１９（Ａ）に示したように治具３５から取外し、図１９（Ｂ）に示したように、個々のスライダロー１１を再び研削研磨用の治具３４にＡＢＳが形成される面を上にして接着する。その後、図１９（Ｃ）に示したようにスライダロー１１を研削及び研磨して各磁気抵抗効果薄膜磁気ヘッド素子１３のスロートハイト、エレメントハイトなどの寸法の最終調整（スロートハイト，エレメントハイトの狙い値への追込み）を行う。その後、研削研磨されたスライダロー１１を治具３４から取外し、図１９（Ｄ）に示したように研削研磨工程を終了したスライダロー１１を得る。
【００３８】
続いて、このスライダロー１１を、図２０（Ａ）に示したように研磨面（ＡＢＳが形成される面）を上にして再び治具３５に並べて固定する。次いで、図２０（Ｂ）に示したように、スライダロー１１の上にホトリソグラフィ用のドライフィルム３６をラミネートする。その後、ドライフィルム３６をパターン露光・現像してＡＢＳパターンのマスクを形成し、このマスクの上からイオンミリングした後、マスクを剥離して、図２１（Ａ）及びその拡大図である図２１（Ｂ）に示したように、スライダロー１１の上面（第１の面）に各スライダのＡＢＳ（第２の面）１５を形成する。
【００３９】
次いで、図２２（Ａ）に示したように、切断ブレード３３により前記溝１８に沿ってスライダロー１１を切断して個々のスライダとし、図２２（Ｂ）に示したような角部が丸みを帯びたスライダ１７を得る。
【００４０】
この第２参考例によれば、スライダロー１１のままバレル加工を施すことが可能であり、一度に数万個のスライダに対してその角部にＲ形状を付与することができるため、生産効率を極めて高くすることができる。また、第２参考例は、バレル加工中においてスライダロー１１を保護膜にて被覆しておく必要がないので、保護膜形成工程を省略することができるとともに、保護膜の脱落に起因する不具合を未然に防止し得るという利点を有している。
【００４１】
なお、バレル加工前に行う研削研磨において、各磁気抵抗効果薄膜磁気ヘッド素子１３を、同磁気ヘッド素子１３が最終的に有するべき所定の寸法より０．１〜１０μｍ程度大きい寸法となるまで切削・研磨するのは、仮にバレル加工中にスロートハイトなどが変化してもバレル加工後の切削・研磨においてこれを調整し得るようにするためである。また、これにより、バレル加工開始時のスライダ形状が最終的に得るべきスライダ形状に近しいため、角部に付与されるＲ形状の精度を向上するとともに、バレル加工時間を短縮し得るものとなっている。
【００４２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらに限られることはなく、例えば光磁気ヘッド装置を有するスライダにも適用可能である。また、バレル加工はバレルを回転させる方式のものでもよく、砥粒やバレル加工時間は加工すべきスライダに応じて適宜調整され得るものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第１参考例の工程を示す図である。
【図２】  第１参考例の工程を示す図である。
【図３】  第１参考例の工程を示す図である。
【図４】  第１参考例の工程を示す図である。
【図５】  第１参考例の工程を示す図である。
【図６】  第１参考例の工程を示す図である。
【図７】  第１参考例の工程を示す図である。
【図８】  第１参考例の工程を示す図である。
【図９】  第１参考例の工程を示す図である。
【図１０】  第１参考例の工程を示す図である。
【図１１】  第１参考例の工程を示す図である。
【図１２】  本発明に係る製造方法の実施形態の工程を示す図である。
【図１３】  本発明に係る製造方法の実施形態の工程を示す図である。
【図１４】  本発明に係る製造方法の実施形態の工程を示す図である。
【図１５】  第２参考例の工程を示す図である。
【図１６】  第２参考例の工程を示す図である。
【図１７】  第２参考例の工程を示す図である。
【図１８】  第２参考例の工程を示す図である。
【図１９】  第２参考例の工程を示す図である。
【図２０】  第２参考例の工程を示す図である。
【図２１】  第２参考例の工程を示す図である。
【図２２】  第２参考例の工程を示す図である。
【図２３】  第１参考例により得られたスライダの斜視図である。
【図２４】  従来のスライダ製造方法の工程を示す図である。
【図２５】  従来のスライダ製造方法の工程を示す図である。
【図２６】  従来のスライダ製造方法の工程を示す図である。
【図２７】  従来のスライダ製造方法の工程を示す図である。
【図２８】  従来のスライダ製造方法の工程を示す図である。
【図２９】  従来のスライダ製造方法の工程を示す図である。
【図３０】  従来のスライダ製造方法の工程を示す図である。
【符号の説明】
１１…スライダロー、１２…ＡＢＳパターンのマスク、１３…磁気ヘッド素子、１４…端子、１５…レールパターン、１６…保護膜、１７…スライダ、１８…溝、３１…切断用治具、３２…ホットメルト樹脂、３３…切断ブレード、３４…研削研磨用治具、３５…治具、３６…ドライフィルム、３７…バレル、３８…揺動台、３９…スラリー。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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