(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に電子部品を圧着する電子部品圧着装置において、
支持体と、
前記支持体により支持される圧着ツールと、
前記支持体と前記圧着ツールとの間に設けられ、前記圧着ツールの圧着面の面平行度を調整する調整機構とを備え、
前記圧着ツールは、複数のヒータが長手方向に関して所定間隔で埋設されたヒータ保持ブロックと、前記ヒータ保持ブロックの長手方向に沿って取り付けられ、前記基板上に圧着される前記電子部品を加熱および加圧する圧着ヘッドとを有し、前記ヒータ保持ブロックと前記圧着ヘッドとの間には、前記各ヒータに対応して抜け部を形成するよう複数のスペーサが設けられていることを特徴とする電子部品圧着装置。
【請求項２】
前記各抜け部は、前記ヒータ保持ブロックのうち前記各ヒータと前記圧着ヘッドとの間に位置していることを特徴とする請求項１に記載の電子部品圧着装置。
【請求項３】
前記各抜け部は、前記ヒータ保持ブロックの長手方向に略直交する方向に延びることを特徴とする請求項１または２に記載の電子部品圧着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルに代表されるフラットパネルディスプレイ等を製造するための部品実装装置に係り、とりわけ、基板上に電子部品を圧着する電子部品圧着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、ガラス基板やプリント基板等の基板上にテープキャリア部品等の電子部品を実装する部品実装装置が知られている。このような部品実装装置においては例えば、ガラス基板上に異方性導電膜テープ（ＡＣＦ）を介してテープキャリア部品（ＴＣＰ）が圧着される。
【０００３】
図３(a)(b)(c)はこのような圧着工程を説明するための図である。図３(a)(b)(c)に示すように、まず、ガラス基板２１上に異方性導電膜テープ２２を貼付し（図３(a)参照）、次いで、テープ２４から打ち抜かれたテープキャリア部品２３を異方性導電膜テープ２２を介してガラス基板２１上に仮圧着する（図３(b)参照）。その後、テープキャリア部品２３が仮圧着されたガラス基板２１をバックアップ２５上に載置した後、圧着ツール２６により所定の圧力および熱を加えることによりガラス基板２１上にテープキャリア部品２３を本圧着する（図３(c)参照）。
【０００４】
ところで、圧着ツール２６によりガラス基板２１上にテープキャリア部品２３を本圧着する際には、テープキャリア部品２３に均一に圧力を加える必要がある。従って、圧着ツール２６の圧着面２６ａとテープキャリア部品２３との間の面平行度が重要となり、仮に圧着ツール２６の圧着面２６ａに歪みや傾き等が生じていると、テープキャリア部品２３に圧着不良が生じてしまうこととなる。
【０００５】
そこで、従来においては、図４(a)(b)に示すような電子部品圧着装置３０が提案されており、圧着ツール２６と支持剛体５との間に多数の調整ねじ６を配置し、これら調整ねじ６の押し引きにより、圧着ツール２６自体を傾けたり、変形させたりして、圧着ツール２６の圧着面２６ａの歪みや傾き等を取り除くようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、図４(a)(b)に示す電子部品圧着装置３０では、圧着ツール２６のヒータ保持ブロック２に埋設された複数のヒータ３により、ヒータ保持ブロック２の下面に取り付けられた圧着ヘッド４を加熱しているので、圧着ツール２６の長手方向に関して見ると、ヒータ保持ブロック２および圧着ヘッド４のうち各ヒータ３の下部に位置する領域が他の領域（各ヒータ３の下部に位置しない領域）と比べて特に高温となる。そして、このような熱により変形（熱膨張）が生じ、圧着ツール２６の圧着面２６ａのうちヒータ３の下部に位置する部分が凸となる（図４(c)の符号Ｐおよび図５参照）。
【０００７】
このような圧着ツール２６の圧着面２６ａの歪みや傾き等は調整ねじ６の押し引きにより取り除くことが可能であるが、熱膨張の程度によっては調整ねじ６をかなりの程度押し引きする必要があり、調整に多大な手間および時間がかかるという問題がある。
【０００８】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、ヒータの熱によるヒータ保持ブロックおよび圧着ヘッドの熱膨張に伴う圧着面の歪みや傾きを抑制することができる電子部品圧着装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、基板上に電子部品を圧着する電子部品圧着装置において、支持体と、前記支持体により支持される圧着ツールと、前記支持体と前記圧着ツールとの間に設けられ、前記圧着ツールの圧着面の面平行度を調整する調整機構とを備え、前記圧着ツールは、複数のヒータが長手方向に関して所定間隔で埋設されたヒータ保持ブロックと、前記ヒータ保持ブロックの長手方向に沿って取り付けられ、前記基板上に圧着される前記電子部品を加熱および加圧する圧着ヘッドとを有し、前記ヒータ保持ブロックと前記圧着ヘッドとの間には、前記各ヒータに対応して抜け部を形成するよう複数のスペーサが設けられていることを特徴とする電子部品圧着装置を提供する。
【００１１】
本発明において、前記各抜け部は、前記ヒータ保持ブロックのうち前記各ヒータと前記圧着ヘッドとの間に位置していることが好ましい。また、前記各抜け部は、前記ヒータ保持ブロックの長手方向に略直交する方向に延びる貫通孔として形成されていることが好ましい。
【００１３】
本発明によれば、各ヒータでの加熱により生じたヒータ保持ブロックの熱膨張分（変形分）を抜け部にて吸収し、またヒータ保持ブロックから圧着ヘッドへの熱の伝達を抜け部にて抑えているので、圧着ヘッドのうちヒータの下部に位置する圧着面の部分が凸となることを極力抑えて圧着ツールの圧着面をできるだけ平面に保つことができる。従って、圧着ツールの圧着面の歪みや傾き等を最小限に抑えることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００１５】
図１(a)(b)はそれぞれ本発明による電子部品圧着装置の参考の形態を示す正面図および側面図である。図１(a)(b)に示すように、電子部品圧着装置１０は、ガラス基板やプリント基板等の基板上にテープキャリア部品等の電子部品を圧着するためのものであり、支持剛体（支持体）５と、支持剛体５により支持される圧着ツール１とを備えている。圧着ツール１は、複数の調整ねじ（調整機構）６を介して支持剛体５に連結されており、これら調整ねじ６の押し引きにより、圧着ツール１の圧着面１ａの面平行度を調整することができるようになっている。
【００１６】
ここで、圧着ツール１は、複数のヒータ３が長手方向に関して所定間隔で埋設されたヒータ保持ブロック２と、ヒータ保持ブロック２の下面にて長手方向に沿って取り付けられた圧着ヘッド４とを有し、圧着対象となる基板および電子部品に対して圧着ヘッド４を介して所定の圧力および熱が加えられるようになっている。また、ヒータ保持ブロック２のうち各ヒータ３と圧着ヘッド４との間には、各ヒータ３に対応してその真下の位置に抜け部２ａが形成されている。なお、各抜け部２ａは、ヒータ保持ブロック２の横方向（長手方向に略直交する方向）に延びる貫通孔として形成されている。
【００１７】
次に、このような構成からなる参考の形態の作用について説明する。
【００１８】
図１(a)(b)に示す電子部品圧着装置１０では、圧着ツール１のヒータ保持ブロック２に埋設された複数のヒータ３により、ヒータ保持ブロック２の下面に取り付けられた圧着ヘッド４が加熱される。このとき、ヒータ保持ブロック２のうち各ヒータ３の下部に位置する領域は他の領域（各ヒータ３の下部に位置しない領域）と比べて特に高温となるが、各ヒータ３の真下の位置に抜け部２ａが形成されているので、各ヒータ３での加熱により生じたヒータ保持ブロック２の熱膨張分（変形分）が抜け部２ａにて吸収され、またヒータ保持ブロック２から圧着ヘッド４への熱の伝達も抜け部２ａにて抑えられる。
【００１９】
このように参考の形態によれば、各ヒータ３での加熱により生じたヒータ保持ブロック２の熱膨張分（変形分）を抜け部２ａにて吸収し、またヒータ保持ブロック２から圧着ヘッド４への熱の伝達を抜け部２ａにて抑えているので、圧着ヘッド４のうちヒータ３の下部に位置する圧着面１ａの部分が凸となることを極力抑えて圧着ツール１の圧着面１ａをできるだけ平面に保つことができる。従って、圧着ツール１の圧着面１ａの歪みや傾き等を調整するための調整ねじ６の押し引きを最小限に抑えることができ、このため、圧着ツール１の圧着面１ａの面平行度を容易かつ短時間に調整することができる。
【００２０】
なお、上述した参考の形態においては、ヒータ保持ブロック２自体に抜け部２ａが形成されているが、これに限らず、図２に示すように、ヒータ保持ブロック２と圧着ヘッド４との間に、各ヒータ３に対応して抜け部を形成するよう複数のシム（スペーサ）７を設けるようにしてもよく（本実施の形態）、また圧着ヘッド４の上部における各ヒータ３に対応する位置に抜け部を設けるようにしてもよい。
【００２１】
また、上述した実施の形態においては、圧着ツール１の圧着面１ａの面平行度を調整する調整機構として、調整ねじ６を用いているが、これに限らず、発熱量の変化や印加電圧の変化に応じて伸縮する伸縮ブロック等を用いるようにしてもよい。
【００２２】
さらに、上述した参考の形態においては、抜け部２ａをヒータ保持ブロック２の横方向（長手方向に略直交する方向）に延びる貫通孔として形成しているが、これに限らず、ヒータ保持ブロック２の下面に向けて開口したキャビティ状の孔として形成してもよい。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、ヒータの熱によるヒータ保持ブロックおよび圧着ヘッドの熱膨張に伴う圧着面の歪みや傾きを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明による電子部品圧着装置の参考の形態を示す図。
【図２】  本発明による電子部品圧着装置の実施の形態を示す図。
【図３】  基板上に電子部品を圧着する工程を説明するための図。
【図４】  従来の電子部品圧着装置を示す図。
【図５】  図４に示すＶ部分の拡大図。
【符号の説明】
１  圧着ツール
１ａ  圧着面
２  ヒータ保持ブロック
２ａ  抜け部
３  ヒータ
４  圧着ヘッド
５  支持剛体（支持体）
６  調整ねじ
７  シム（スペーサ）
１０  電子部品圧着装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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