(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
カウント動作を行うことにより基準信号に対する被測定信号の位相差を測定するアップダウンカウンタと、測定が完了したとき、測定したデータを一時的に保持する手段と、前記基準信号に対する前記被測定信号の位相差が−９０度から９０度までの間にあるか９０度から２７０度までの間にあるかを判定する位相判定手段と、この位相判定手段により前記位相差が−９０度から９０度までの間にあると判定された場合は、前記基準信号の立上りで前記被測定信号が低レベルの場合にアップカウントを開始し前記被測定信号が低レベルの間アップカウント動作を行うとともに、前記基準信号の立下りで前記被測定信号が高レベルの場合にアップカウントを開始し前記被測定信号が高レベルの間アップカウント動作を行い、前記被測定信号の立上りで前記基準信号が低レベルの場合にダウンカウントを開始し前記基準信号が低レベルの間ダウンカウント動作を行うとともに、前記被測定信号の立下りで前記基準信号が高レベルの場合にダウンカウントを開始し前記基準信号が高レベルの間ダウンカウント動作を行うように前記アップダウンカウンタを制御し、前記位相判定手段により前記位相差が９０度から２７０度までの間にあると判定された場合は、前記基準信号の立上りで前記被測定信号が高レベルの場合にアップカウントを開始し前記被測定信号が高レベルの間アップカウント動作を行うとともに、前記基準信号の立下りで前記被測定信号が低レベルの場合にアップカウントを開始し前記被測定信号が低レベルの間アップカウント動作を行い、前記被測定信号の立上りで前記基準信号が高レベルの場合にダウンカウントを開始し前記基準信号が高レベルの間ダウンカウント動作を行うとともに、前記被測定信号の立下りで前記基準信号が低レベルの場合にダウンカウントを開始し前記基準信号が低レベルの間ダウンカウント動作を行うように前記アップダウンカウンタを制御する制御手段とを備えたことを特徴とする位相測定器。
【請求項２】
測定対象液を流すための配管と、この配管をはさんで互いに対向配置された送信アンテナおよび受信アンテナと、前記送信アンテナに供給するためのマイクロ波を発振するマイクロ波発振手段と、前記送信アンテナから送信されて前記配管内の測定対象液を伝播して前記受信アンテナにて受信された被測定信号の、前記マイクロ波発振手段から出力される基準信号に対する位相差θ２を測定する位相測定手段と、この位相測定手段で測定された位相差θ２と、予め前記配管内に基準用液体を充満させて測定対象液と同じ条件で前記位相測定手段により測定したときの位相差θ１とを比較し、その位相差△θ＝（θ２−θ１）を測定する位相差測定手段と、この位相差測定手段により測定された△θおよび前記測定対象液の種類毎に対応する検量線Ｘ＝ａ・△θ＋ｂに基づいて、測定対象液の濃度Ｘを算出する濃度算出手段とを備えたマイクロ波濃度計であって、前記位相測定手段として請求項１に記載の位相測定器を用いたことを特徴とするマイクロ波濃度計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は電気信号の位相測定器、およびマイクロ波により伝送路中の位相特性を測定し、測定対象液の濃度を演算するマイクロ波濃度計に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図７は基準信号と被測定信号との位相差を測定する従来方式の位相測定器の一例である。同図に示すように、セットリセットフリップフロップ（ＳＲ−ＦＦ）５１と、イネーブル付きカウンタ５２と、Ｄフリップフロップ（Ｄ−ＦＦ）５３で構成され、図９（ａ）に示す基準信号ＲＥＦの立上りでカウンタ５２のカウント許可信号ＣＮＴを作り出してカウンタ５２を動作させた後、図９（ｂ）に示す被測定信号ＭＥの立上りでカウント許可信号ＣＮＴをクリアすることによりカウンタ５２を停止させる。その後、Ｄフリップフロップ（Ｄ−ＦＦ）５３にカウント値を保持して外部にカウント値を出力する。
【０００３】
図９（ｃ）に示すように、この間のカウント値が位相差に対応する。従って、カウンタ５２のカウントクロックＣＬＫは基準信号ＲＥＦや被測定信号ＭＥと比べ非常に高い周波数の信号が用いられ、このカウントクロック周波数が高いほど分解能が高い。例えば、基準クロックＲＥＦや被測定信号ＭＥの周波数の３６０倍のカウントクロック周波数を用いて測定を行ったとすると、０〜３６０度までの位相差を１／３６０の１度まで分解できる。
【０００４】
高精度の位相測定を行う場合、カウントクロック周波数を可能な限り高めて行くが、位相測定器を構成する電子部品の動作周波数や電子部品を接続する配線等での遅延により、使用可能なカウントクロック周波数の上限が決まってしまう。また、高い周波数のカウントクロックを用いると消費電力が増大するとともに、機器自身が発熱することにより機器の寿命を低下させる。
【０００５】
図８は、図７の構成に改良を加え、セットリセットフリップフロップ（ＳＲ−ＦＦ）５１の代わりに排他的論理和回路６１を用いて基準信号ＲＥＦと被測定信号ＭＥとの排他的論理和（ＥＸ−ＯＲ：Ｅｘｃｌｕｓｉｖｅ  ＯＲ）を取り、その信号をカウンタ５２のカウント許可信号ＣＮＴに用いることにより、１周期内でのカウンタ５２のカウント時間を２倍に伸ばしている。したがって、カウントクロックＣＬＫの周波数が同じであっても、２倍の分解能が得られる。図９（ｄ）はそのカウント許可信号ＣＮＴに基づくカウントタイミングを示したものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
図８の構成では、基準信号ＲＥＦと被測定信号ＭＥとの位相差が１８０度未満の場合は前述したような効果が得られるが、１８０度を越えると正常な位相測定が出来ない。図１０は基準信号ＲＥＦと被測定信号ＭＥとの位相差が１８０度以上となったときの位相測定の様子である。図１０（ａ）に示す基準信号ＲＥＦと図１０（ｂ）に示す被測定信号ＭＥのような１８０度以上の位相差を測定すると、図７の構成による測定では図１０（ｃ）のように位相差に応じた測定が行われるのに対して、図８の構成ではカウンタ５２に対するカウント許可信号ＣＮＴを基準信号ＲＥＦと被測定信号ＭＥとの排他的論理和により作り出しているため図１０（ｄ）に示すような結果となり正しい測定が行えない。このように位相測定範囲が小さな場合は効果的に機能するが、位相測定範囲が広範囲にわたる場合は利用できないという課題があった。
【０００７】
本発明は、従来のこのような点に鑑み為されたもので、高精度の位相測定が可能で、かつ位相測定範囲を広範囲とした位相測定器、およびこれを用いたマイクロ波濃度計を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の本発明に係る位相測定器は、カウント動作を行うことにより基準信号に対する被測定信号の位相差を測定するアップダウンカウンタと、測定が完了したとき、測定したデータを一時的に保持する手段と、基準信号に対する被測定信号の位相差が−９０度から９０度までの間にあるか９０度から２７０度までの間にあるかを判定する位相判定手段と、この位相判定手段により位相差が−９０度から９０度までの間にあると判定された場合は、基準信号の立上りで被測定信号が低レベルの場合にアップカウントを開始し被測定信号が低レベルの間アップカウント動作を行うとともに、基準信号の立下りで被測定信号が高レベルの場合にアップカウントを開始し被測定信号が高レベルの間アップカウント動作を行い、被測定信号の立上りで基準信号が低レベルの場合にダウンカウントを開始し基準信号が低レベルの間ダウンカウント動作を行うとともに、被測定信号の立下りで基準信号が高レベルの場合にダウンカウントを開始し基準信号が高レベルの間ダウンカウント動作を行うようにアップダウンカウンタを制御し、位相判定手段により位相差が９０度から２７０度までの間にあると判定された場合は、基準信号の立上りで被測定信号が高レベルの場合にアップカウントを開始し被測定信号が高レベルの間アップカウント動作を行うとともに、基準信号の立下りで被測定信号が低レベルの場合にアップカウントを開始し被測定信号が低レベルの間アップカウント動作を行い、被測定信号の立上りで基準信号が高レベルの場合にダウンカウントを開始し基準信号が高レベルの間ダウンカウント動作を行うとともに、被測定信号の立下りで基準信号が低レベルの場合にダウンカウントを開始し基準信号が低レベルの間ダウンカウント動作を行うようにアップダウンカウンタを制御する制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００１１】
これにより、カウントクロックが同一であっても、従来方式と比べ、２倍の分解能が得られ、かつ０〜３６０度の位相測定範囲で、誤測定を生じることなく、位相測定が可能である。
【００１２】
請求項２に記載の本発明に係るマイクロ波濃度計は、測定対象液を流すための配管と、この配管をはさんで互いに対向配置された送信アンテナおよび受信アンテナと、送信アンテナに供給するためのマイクロ波を発振するマイクロ波発振手段と、送信アンテナから送信されて配管内の測定対象液を伝播して受信アンテナにて受信された被測定信号の、前記マイクロ波発振手段から出力される基準信号に対する位相差θ２を測定する位相測定手段と、この位相測定手段で測定された位相差θ２と、予め配管内に基準用液体を充満させて測定対象液と同じ条件で位相測定手段により測定したときの位相差θ１とを比較し、その位相差△θ＝（θ２−θ１）を測定する位相差測定手段と、この位相差測定手段により測定された△θおよび測定対象液の種類毎に対応する検量線Ｘ＝ａ・△θ＋ｂに基づいて、測定対象液の濃度Ｘを算出する濃度算出手段とを備えたマイクロ波濃度計であって、位相測定手段として請求項１に記載の位相測定器を用いたことを特徴とする。
【００１３】
これにより、マイクロ波濃度計の濃度測定性能である分解能の向上が可能であり、従って、測定時間の短縮が可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。
【００１５】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る位相測定器の構成を示すブロック図である。同図に示すように、この位相測定器は、基準信号ＲＥＦと被測定信号ＭＥから各種制御信号ＣＴＲを作り出すカウント制御回路１と、カウントクロックＣＬＫが供給され、基準信号ＲＥＦと被測定信号ＭＥの位相差を測定するアップダウンカウンタ２と、測定値を一時的に保持するＤフリップフロップ（Ｄ−ＦＦ）３とで構成される。
【００１６】
次に、この実施形態の動作を説明する。カウント制御回路１により基準信号ＲＥＦと被測定信号ＭＥの立上り立下りエッジと信号レベルの高低（Ｌ／Ｈ）から、位相差が０度以上〜１８０度未満の時は位相差に応じた所定の時間のアップカウントを、位相差が１８０度以上〜３６０度（０度）未満の時は位相差に応じた所定の時間のダウンカウントをアップダウンカウンタ２にさせることにより、０〜３６０度の位相測定を行う。１回の測定が完了すると測定データを一時的に保持するＤフリップフロップ（Ｄ−ＦＦ）３に記憶し、測定データＤＴとして出力する。
【００１７】
図２は、図１に示す位相測定器の動作状態を示すタイミングチャートおよび概念図である。図２（ａ）に示す基準信号ＲＥＦ、および図２（ｂ）に示す被測定信号ＭＥの位相差が１８０度未満の状態でカウント制御回路１に入ると、基準信号ＲＥＦの立上りエッジで被測定信号ＭＥがＬ（低）レベルの時はアップダウンカウンタ２においてアップカウントが開始され、この状態で基準信号ＲＥＦと被測定信号ＭＥが同じ信号レベルになった時点でアップカウント終了となる。さらに基準信号ＲＥＦの立下りエッジで被測定信号ＭＥがＨ（高）レベルの時はアップダウンカウンタ２においてアップカウントが開始され、この状態で基準信号ＲＥＦと被測定信号ＭＥとが同じ信号レベルになった時点でアップカウント終了となる。従って、アップダウンカウンタ２においては、図２（ｃ）のタイミングでアップカウントが行われる。
【００１８】
一方、図２（ｄ）に示す基準信号ＲＥＦ、および図２（ｅ）に示す被測定信号ＭＥの位相差が１８０度以上の状態でカウント制御回路１に入ると、被測定信号ＭＥの立下がりエッジで基準信号ＲＥＦがＨ（高）レベルの時はアップダウンカウンタ２においてダウンカウントが開始され、この状態で基準信号ＲＥＦと被測定信号ＭＥが同じ信号レベルになった時点でダウンカウント終了となる。さらに被測定信号ＭＥの立上りエッジで基準信号ＲＥＦがＬ（低）レベルの時はアップダウンカウンタ２においてダウンカウントが開始され、この状態で基準信号ＲＥＦと被測定信号ＭＥが同じ信号レベルになった時点でダウンカウント終了となる。したがって、アップダウンカウンタ２においては、図２（ｆ）のタイミングでダウンカウントが行われる。
【００１９】
図２（ｇ）は、アップダウンカウンタ２におけるこれらの動作を図示したものである。
【００２０】
図２（ｃ）および図２（ｆ）から明らかなように、図７に示す従来方式の位相測定器と比べ１周期内でのカウンタのカウント時間を２倍に伸ばしている。したがって、カウントクロックの周波数が同じであっても、２倍の分解能が得られる。しかも、図８に示す従来方式の位相測定器とは異なり、２倍の分解能が０〜３６０度の位相測定範囲で得られる。
【００２１】
以上説明したように、この実施形態の位相測定器では、同一の周波数のカウントクロックを用い、基準信号ＲＥＦと被測定信号ＭＥの立上り間の時間を測定する従来方式の位相測定器と比べ、２倍の分解能が０〜３６０度の位相測定範囲で得られる。また、分解能が同一の場合データ収集時間は半分にすることができる。
【００２２】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。図３は、本発明の第２の実施形態に係る位相測定器の構成を示すブロック図である。また、図４は、第２の実施形態の動作状態を示すタイミングチャートおよび概念図である。
【００２３】
この第２の実施形態は、上述の第１の実施形態の位相測定器を更に改良し、特に位相測定範囲が１８０度近傍で変化している場合の誤測定を解消するようにしたものである。
【００２４】
即ち、図１に示す構成の第１の実施形態の位相測定器を、図２のタイミングで動作させた場合、位相が０度から１８０度まではアップカウントで、３６０度（０度）から１８０度まではダウンカウントで位相測定を行うことができる。しかし、図４の（ｂ）に示すように被測定信号の位相が変化した場合、１８０度を越えたところで正常な位相測定が出来ない。このように位相測定範囲が１８０度をまたがない時は、第１の実施形態の位相測定器は効果的に機能するが、位相測定範囲が１８０度近傍で変化している場合は、誤測定が生じることがある。
【００２５】
この第２の実施形態は、これを解消するように構成したもので、図３に示すように、基準信号ＲＥＦと被測定信号ＭＥの位相差を予め測定し、その位相差により測定信号ＭＥの位相を制御する位相判定器６と、被測定信号ＭＥの位相を変化させるインバータ４と、被測定信号ＭＥと位相が変化した被測定信号ＭＥとの選択を行うセレクタ５と、基準信号ＲＥＦとセレクタ５から出力される被測定信号ＭＥとから、カウント許可信号、カウント値のアップダウン信号などの各種制御信号ＣＴＲを作り出すカウント制御回路１と、カウント制御回路１からの信号にもとづき位相測定を行うアップダウンカウンタ２と、測定データを一時的に保持するＤフリップフロップ（Ｄ−ＦＦ）とで構成される。
【００２６】
次に、この実施形態の動作を説明する。位相判定器６は、基準信号ＲＥＦと被測定信号ＭＥの位相差を測定する。この位相差測定は現在の位相差がどの位にあるかを検知するためのもので分解能は粗くて良い。測定された位相値から被測定信号ＭＥの位相制御を確定する。例えば、図４（ｅ）に示すように位相値が９０度と−９０度を境にして位相０度側の場合即ち基準信号ＲＥＦに対する被測定信号ＭＥの位相差が−９０度から９０度までの間の場合には被測定信号ＭＥの位相を変化させず、位相値が９０度と２７０度（−９０度）を境にして位相１８０度側の場合即ち基準信号ＲＥＦに対する被測定信号ＭＥの位相差が９０度から２７０度までの間の場合には被測定信号ＭＥを反転させて位相を１８０度変化させるように制御信号（ノーマル・スペシャル判定信号）ＳＥＬを出力する。位相判定器６から出力される制御信号（ノーマル・スペシャル判定信号）ＳＥＬに応じて被測定信号ＭＥをインバータ４で反転した信号とそうでない信号とにセレクタ５で切替える。基準信号ＲＥＦとセレクタ５から出力される被測定信号ＭＥは、カウント制御回路１に入力され、以下のようにアップダウンカウンタ２が動作し、位相測定が行われる。
【００２７】
位相値が９０度と−９０度を境にして位相０度側の場合即ち基準信号ＲＥＦに対する被測定信号ＭＥの位相差が−９０度から９０度までの間の場合には、従来通り普通（ノーマル）で、被測定信号ＭＥは位相制御せずにカウント制御回路１に入力され、基準信号ＲＥＦの立上りで被測定信号ＭＥが低レベルの場合または基準信号ＲＥＦの立下りで被測定信号ＭＥが高レベルの場合にアップカウントされ、被測定信号ＭＥの立上りで基準信号ＲＥＦが低レベルの場合または被測定信号ＭＥの立下りで基準信号ＲＥＦが高レベルの場合にダウンカウントされる。
【００２８】
位相値が９０度と２７０度（−９０度）を境にして位相１８０度側の場合即ち基準信号ＲＥＦに対する被測定信号ＭＥの位相差が９０度から２７０度までの間の場合には、特別(スペシャル)で、被測定信号ＭＥは位相反転してカウント制御回路１に入力され、基準信号ＲＥＦの立上りで被測定信号ＭＥが高レベルの場合または基準信号ＲＥＦの立下りで被測定信号ＭＥが低レベルの場合にアップカウントされ、被測定信号ＭＥの立上りで基準信号ＲＥＦが高レベルの場合または被測定信号ＭＥの立下りで基準信号ＲＥＦが低レベルの場合にダウンカウントされる。
【００２９】
このようにして、アップダウンカウンタ２のカウント動作により位相測定が行われるが、図４（ｂ）に示すように被測定信号の位相が変化した場合、第１の実施形態の方式で測定した場合は同図（ｃ）に示すように誤測定が生じるが、この第２の実施形態の方式により測定した場合は同図（ｄ）に示すように誤測定が解消される。
【００３０】
そして、１回の測定が完了すると測定データを一時的に保持するＤフリップフロップ（Ｄ−ＦＦ）３に記憶し、測定データＤＴとして、位相判定器６からの制御信号（ノーマル・スペシャル判定信号）ＳＥＬとともに出力する。
【００３１】
このように、この実施形態においては、位相判定器６により基準信号ＲＥＦと被測定信号ＭＥの位相差を予め測定しておき、その位相差から１８０度に近づきつつあると判定された場合は、被測定信号ＭＥの位相を制御する制御信号（ノーマル・スペシャル判定信号）ＳＥＬを出力する。また、インバータ４は被測定信号ＭＥの位相を１８０度付近から離れた位相値に変化させる。セレクタ５には直接入力された被測定信号ＭＥとインバータを通過してくる被測定信号ＭＥが入力されており、位相判定器６の出力に応じて２つの被測定信号ＭＥを選択して出力する。従って、カウント制御回路１に入力される被測定信号ＭＥの位相は１８０度近傍に近づくことは無い。
【００３２】
なお、上述の説明では、位相判定器６では位相値が９０度と−９０度（２７０度）を境にして、位相０度側の場合には普通（ノーマル）、位相１８０度側の場合には特別（スペシャル）と切替えるように制御する制御信号（ノーマル・スペシャル判定信号）ＳＥＬを出力したが、切替えを行う位相値については、これに限らず、１８０度近辺としてもよい。
【００３３】
以上説明したように、この第２の実施形態の位相測定器では、同一の周波数のカウントクロックを用い、基準信号ＲＥＦと被測定信号ＭＥの立上り間の時間を測定する従来方式の位相測定器と比べ、２倍の分解能が得られ、しかも０〜３６０度の位相測定範囲で誤測定無く動作する。
【００３４】
（第３の実施形態）
次に、図５は、本発明の第３の実施形態に係る、位相測定器を用いたマイクロ波濃度計の構成を示すブロック図である。マイクロ波濃度計は基準信号と被測定物質中を伝播してくる被測定信号の位相差を測定し、その位相差から濃度を演算する装置である。図５中の位相測定器１４に、上述の第１または第２の実施形態の位相測定器を用いて構成されている。
【００３５】
このマイクロ波濃度計は、図５に示すように、マイクロ波を発振するマイクロ波発振器９と、マイクロ波を分割するパワースプリッタ１０と、測定対象液を流すための配管１２と、この配管１２をはさんで互いに対向配置された送信アンテナ１１および受信アンテナ１３と、送信アンテナ１１から送信されて配管１２内の測定対象液を伝播して受信アンテナ１３にて受信されたマイクロ波即ち被測定信号ＭＥの、パワースプリッタ１０から供給されるマイクロ波即ち基準信号ＲＥＦに対する位相差θ2を測定する位相測定器１４と、この位相測定器１４で測定された位相差θ2と、予め配管１２内に基準用液体を充満させて測定対象液と同じ条件で位相測定器１４により測定したときの位相差θ1とを比較し、その位相差△θ＝（θ2−θ1）を測定するとともに、この△θおよび測定対象液の種類毎に対応する検量線Ｘ＝ａ・△θ＋ｂに基づいて、測定対象液の濃度Ｘを算出する濃度演算回路とで構成されている。そして、位相測定器１４に、上述の第１または第２の実施形態の位相測定器を用いる。
【００３６】
マイクロ波発振器９で生成したマイクロ波はパワースプリッタ１０で分割され、一方は基準信号ＲＥＦとして直接位相測定器１４に入力される。もう一方は送信アンテナ１１、配管１２（配管中には被測定物質が充満している）、受信アンテナ１３を経由して被測定信号ＭＥとして位相測定器１４に入力される。位相測定器１４では基準信号ＲＥＦと被測定信号ＭＥの位相差θ2を測定している。
【００３７】
濃度演算回路１５では、この位相差θ2を、予め配管１２内に基準用液体を充満させて同じ条件で位相測定器１４により測定したときの位相差θ1と比較し、その位相差△θ＝（θ2−θ1）を測定して、図６に示すような、測定対象液の種類毎に対応する検量線Ｘ＝ａ・△θ＋ｂに基づいて、測定対象液の濃度Ｘを算出する。
【００３８】
このように、位相測定器１４として、第１の実施形態の位相測定器を用いることにより、従来方式の位相測定器と比べ２倍の分解能が０〜３６０度の位相測定範囲で得られるので、マイクロ波濃度計の濃度測定性能である分解能の向上が可能であり、従って、測定時間の短縮が可能となる。
【００３９】
また、位相測定器１４として、第２の実施形態の位相測定器を用いることにより、従来方式の位相測定器と比べ２倍の分解能が得られ、しかも０〜３６０度の位相測定範囲で誤測定なく動作させることができるので、マイクロ波濃度計の濃度測定性能である分解能の向上が可能であり、従って、測定時間の短縮が可能となる。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の位相測定器によれば、カウントクロックが同一であっても、従来方式と比べ、２倍の分解能が得られ、かつ０〜３６０度の広範囲にわたる位相測定が可能である。
【００４１】
また、本発明のマイクロ波濃度計によれば、濃度測定性能である分解能の向上が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施形態に係る位相測定器の構成を示すブロック図。
【図２】  第１の実施形態の動作状態を示すタイミングチャートおよび概念図。
【図３】  本発明の第２の実施形態に係る位相測定器の構成を示すブロック図。
【図４】  第２の実施形態の動作状態を示すタイミングチャートおよび概念図。
【図５】  本発明の第３の実施形態に係るマイクロ波濃度計の構成を示すブロック図。
【図６】  本発明の第３の実施形態における位相差と濃度との関係を表わす検量線を示す図。
【図７】  従来方式の位相測定器の一例を示すブロック図。
【図８】  従来方式の位相測定器の他の例を示すブロック図。
【図９】  図７及び図８に示す位相測定器の動作状態（位相差が１８０度未満の場合）を示すタイミングチャート。
【図１０】図７及び図８に示す位相測定器の動作状態（位相差が１８０度以上の場合）を示すタイミングチャート。
【符号の説明】
１…カウント制御回路
２…アップダウンカウンタ
３…Ｄフリップフロップ（Ｄ−ＦＦ）
４…インバータ
５…セレクタ
６…位相判定器
９…マイクロ波発振器
１０…パワースプリッタ
１１…送信アンテナ
１２…配管
１３…受信アンテナ
１４…位相差測定器
１５…濃度演算回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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