(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
粗塵除去用のエアフィルタ用濾材と、ロール状に巻かれた該エアフィルタ用濾材を巻き出すための巻き出し部と、集塵後の該エアフィルタ用濾材を自動的に巻き取るための巻取り部と、これらを収納する本体ケースと、を備えた自動巻取り型フィルタ装置において、該本体ケースの少なくとも内側に無機質材料による表面処理がなされている自動巻取り型フィルタ装置であって、前記エアフィルタ用濾材の構成繊維の平均繊度が３〜５０デシテックスであり、該エアフィルタ用濾材がＡＳＨＲＡＥ ５２.１−１９９２に準じた試験方法において質量法による粒子捕集平均効率が５０〜９９％である粗塵除去用のエアフィルタ用濾材であって、しかも前記エアフィルタ用濾材は構成繊維が熱接着性繊維によって、熱接着性繊維同士、又は熱接着性繊維と他の繊維が、該熱接着性繊維の融点以上の温度で加熱処理されることにより結合しているエアフィルタ用素材をさらに８０℃以上で、且つ該熱接着性繊維の融点より１０℃以下の温度の気体中で加熱処理することによって得られたエアフィルタ用濾材であって、該エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を下記に示す発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に該エアフィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊維の面密度１００ｇ／ｍ２あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上４（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であることを特徴とする自動巻取り型フィルタ装置。
記
ダイナミックヘッドスペース法により、試験条件を６０℃および８０℃の高温下に設定して、試料から発生する有機物質の量を定性定量的に測定した結果から、試験温度と発生ガスの関係を示す下記の式（１）を用いて定数C１およびC２を求めた後、室温２３℃での結果を推測する。
lｎ（M/A・h）＝−C１／T＋C２・・・式（１）
M；トルエン換算の発生ガス量（μｇ）
A；測定試料面積（ｍ2）
h；捕集に要した時間（ｈ）
T；試験温度（絶対温度K）
C１およびC２；定数
【請求項２】
前記本体ケースが亜鉛メッキ鋼板からなり、前記本体ケースの内側より発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１００（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であることを特徴とする請求項１に記載の自動巻取り型フィルタ装置。
【請求項３】
前記本体ケースが溶融５５％アルミニウム−亜鉛合金メッキ鋼板からなることを特徴とする請求項１または２に記載の自動巻取り型フィルタ装置。
【請求項４】
前記本体ケースの目止めのために使用するシーリング材より発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上５００（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の自動巻取り型フィルタ装置。
【請求項５】
前記自動巻取り型フィルタ装置に備えられる巻き出し部又は／及び巻取り部に用いる、ポリオレフィン系の樹脂または耐熱性樹脂によって被覆された被覆電線より発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上２０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の自動巻取り型フィルタ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体や液晶の生産施設などのクリーンルームなどにおいて、主に該クリーンルーム内に流入する外気中に含まれる粗塵を除去する自動巻取り型フィルタ装置であり、主として中性能フィルタやＨＥＰＡフィルタ（高性能フィルタ）の前段や、該クリーンルーム内のガス状汚染物質を除去するケミカルフィルタの前段で用いる、アウトガス発生の少ない自動巻取り型フィルタ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体や液晶の生産施設、または半導体や液晶の周辺技術関連で用いるクリーンルーム等においては、該生産施設内または該クリーンルーム内の空気や雰囲気に対して高い清浄度が要求される。しかし、これら空気や雰囲気中には粉塵や有機系ガス状汚染物質や無機系ガス状汚染物質が含まれているのみならず、クリーンルーム構成部材や作業員等からも粉塵や有機系ガス状汚染物質や無機系ガス状汚染物質が発生するため、このような粉塵やガス状汚染物質を除去するフィルタシステムが図１に例示するように設置されている。外気空気は外調機１の粗塵除去用のプレフィルタ２、中性能フィルタ３、エアワッシャー４、ＨＥＰＡフィルタ（高性能フィルタ）６の順に通過した後、さらに循環系のＨＥＰＡフィルタ８を通過して、空気中の塵埃が除去される。また、クリーンルーム内に流入するガス状汚染物質は必要に応じて循環系に設置されたケミカルフィルタ７によって除去される。特に、外気中にガス状汚染物質が多く含まれる場合は、外調機１のＨＥＰＡフィルタ６と中性能フィルタ３の間に更にケミカルフィルタ５が設置されている。粗塵除去用のプレフィルタ２としては、粗塵除去用のエアフィルター用濾材がパネル状やユニット状のフィルター枠に装着されエアフィルターユニットの形態のものがある。しかし、このようなユニットの場合エアフィルター用濾材が目詰まりするごとに交換する必要があり、手間がかかりメンテナンスに要する費用が多くかかってしまう。そこで、このような手間やメンテナンスの費用がかからなくても済む方法として、また特に外気中の塵埃濃度が多い場合に有効な方法として、図３や図４に例示するような自動巻取り型フィルタ装置が利用されている。
【０００３】
前記ガス状汚染物質には、有機系ガス状汚染物質や、無機系ガス状汚染物質が含まれるが、特に有機系ガス状汚染物質は、半導体基板であるシリコンウェハ表面上に付着すると、シリコンウェハ表面上に形成される絶縁酸化膜の絶縁耐圧が低下したり、空気中に浮遊する微粒子が静電吸着し易くなり、絶縁破壊が起こり易くなる等、半導体や液晶の製造に悪影響を及ぼす。これら、有機系ガス状汚染物質のウェハ表面への吸着を防止するには、クリーンルーム雰囲気中の該有機物質の濃度をできるだけ低いレベルで管理しなければならない。このような管理濃度は次のようにして求めることができる。すなわち、１９９９年版ＳＩＡ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｉｎｄｕｓｔｒｙ  Ａｓｓｏｃｉａｔｉｏｎ）ロードマップによれば、西暦２０００年のウェハ表面上での有機物質管理レベルは６．６×１０１３Ｃａｔｏｍｓ／ｃｍ２と言われている。これをトルエン換算すると１４．４μｇ／ｍ２となる。これらウェハ表面上での管理レベルの値と、一般に知られている付着確率から、下記の算出式１によりクリーンルーム空気中での管理レベルの推定値を算出すると、総有機物質は４１．７μｇ／ｍ３の管理濃度となる。
算出式１：Ｎ＝Ａｓ／（ｖ・ｔ・γ）
Ｎ；空気中の汚染物質濃度（空気中の管理濃度）（μｇ／ｍ３）
Ａｓ；ウェハ表面の汚染物質濃度（ウェハ表面上での管理レベル）
（μｇ／ｍ２）
ｖ；クリーンルーム空気の流速（０．４ｍ／ｓｅｃ）
ｔ；ウェハの空気中暴露時間（８６４００ｓｅｃ）
γ；付着確率  （芳香族炭化水素類の付着確率１×１０-５）
【０００４】
このような汚染物質を吸着除去するケミカルフィルタには、例えば活性炭、活性炭繊維、ゼオライト、イオン交換樹脂、その他化学吸着材等の吸着材が利用されており、これら吸着材が単独で用いられたり、ネット状物や不織布等の基材に吸着材等が担持されている。そして該ケミカルフィルタは前記フィルタシステム中の循環系に設置され、また必要に応じて外調機にも設置されている。
【０００５】
しかし、ガス状汚染物質の中でも有機系のガス状汚染物質は、外気中のみならず、ケミカルフィルタの下流位置に配置されるＨＥＰＡフィルタ自体からも発生していることが判ってきた。しかもＨＥＰＡフィルタはクリーンルームでは多用され、濾材の使用面積が非常に多いため、特にＨＥＰＡフィルタからの発生ガスの防止が課題とされてきた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
これに対して、ＨＥＰＡフィルタやケミカルフィルタや外調機の上流位置に配置される、大量の外気を取り入れるための、粗塵除去を目的とした自動巻取り型フィルタ装置については、ＨＥＰＡフィルタと比較して濾材や濾材を収納する本体ケースの使用面積が少なく、また該自動巻取り型フィルタ装置よりの発生ガスがケミカルフィルタによって除去されるため大きな問題とは考えられていなかった。しかし、本発明者によって、このような自動巻取り型フィルタ装置であっても該自動巻取り型フィルタ装置から多量の有機系のガス状汚染物質が発生していることが新たに判り、その原因を追求したところ、該自動巻取り型フィルタ装置の内部に配された有機系樹脂塗装鋼板からも有機質のガス状汚染物質が多く発生していることを見出した。
【０００７】
すなわち、従来の自動巻取り型フィルタ装置では、粗塵除去用のプレフィルタは大容量の外気を処理するため、他の装置である外気処理フィルタユニットのフィルタ枠よりも大きな容積をもつ本体ケースに収納されている。例えば、外気処理フィルターユニットのフィルター枠としては、一般的に５００ｍｍ角や６００ｍｍ角の枠が使用されているが、一般的な自動巻取り型フィルタ装置では、容積の小さい横型のものでも、例えば本体ケースの横巾が１３００ｍｍで、高さ（縦巾）が７３５ｍｍで、奥行きが４７０ｍｍの大容積のものが使用されている。また、容積の小さい縦型のものでも、例えば本体ケースの横巾が９５０ｍｍで、高さ（縦巾）が１３００ｍｍで、奥行きが４７０ｍｍの大容積のものが使用されている。このため自動巻取り型フィルタ装置の本体ケースは、加工のし易さや、錆が多く発生しないこと、価格の安いことを考慮して、鉄板にメラミン樹脂やエポキシ樹脂などの樹脂で塗装による表面処理を行ったメラミン塗装鋼板やエポキシ樹脂鋼板などの有機系樹脂塗装鋼板を組み立てて使用していた。しかし、このような有機系樹脂の塗装による表面処理を行った樹脂塗装鋼板から有機質のガス状汚染物質が多く発生していることを見出したのである。
【０００８】
しかも、クリーンルーム内の管理基準は年々厳しくなる一方であり、上記のように自動巻取り型フィルタ装置から有機系のガス状汚染物質が多量に発生すると、クリーンルーム内に有機質のガス状汚染物質が多量に進入したり、その後段にケミカルフィルタが設置されている場合はケミカルフィルタの寿命を縮めてしまい、クリーンルーム等のフィルタシステムの運転経費が大きくかかってしまうという問題があることを見出した。そこで、有機質のガス状汚染物質の発生量が少ない自動巻取り型フィルタ装置を検討することを課題とした。
【０００９】
すなわち、本発明は、クリーンルーム等のフィルタシステムの外気取り入れ口に配置される粗塵除去用の自動巻取り型フィルタ装置であり、主として中性能フィルタやＨＥＰＡフィルタやケミカルフィルタの前段で用いるアウトガス発生の少ない粗塵除去用の自動巻取り型フィルタ装置を提供することによって、該中性能フィルタや該ＨＥＰＡフィルタのみならず該ケミカルフィルタの塵埃に対する負担を少なくして寿命を延ばしつつクリーンルーム等への汚染ガスの進入を軽減し、また該ケミカルフィルタの汚染ガス除去に関する負担を少なくして寿命を延ばし、クリーンルームなどのフィルタシステムの運転維持経費の削減に寄与することを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための手段は、請求項１の、粗塵除去用のエアフィルタ用濾材と、ロール状に巻かれた該エアフィルタ用濾材を巻き出すための巻き出し部と、集塵後の該エアフィルタ用濾材を自動的に巻き取るための巻取り部と、これらを収納する本体ケースと、を備えた自動巻取り型フィルタ装置において、該本体ケースの少なくとも内側に無機質材料による表面処理がなされている自動巻取り型フィルタ装置であって、前記エアフィルタ用濾材の構成繊維の平均繊度が３〜５０デシテックスであり、該エアフィルタ用濾材がＡＳＨＲＡＥ ５２.１−１９９２に準じた試験方法において質量法による粒子捕集平均効率が５０〜９９％である粗塵除去用のエアフィルタ用濾材であって、しかも前記エアフィルタ用濾材は構成繊維が熱接着性繊維によって、熱接着性繊維同士、又は熱接着性繊維と他の繊維が、該熱接着性繊維の融点以上の温度で加熱処理されることにより結合しているエアフィルタ用素材をさらに８０℃以上で、且つ該熱接着性繊維の融点より１０℃以下の温度の気体中で加熱処理することによって得られたエアフィルタ用濾材であって、該エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を下記に示す発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に該エアフィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊維の面密度１００ｇ／ｍ２あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上４（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であることを特徴とする自動巻取り型フィルタ装置による。
記
ダイナミックヘッドスペース法により、試験条件を６０℃および８０℃の高温下に設定して、試料から発生する有機物質の量を定性定量的に測定した結果から、試験温度と発生ガスの関係を示す下記の式（１）を用いて定数C１およびC２を求めた後、室温２３℃での結果を推測する。
lｎ（M/A・h）＝−C１／T＋C２・・・式（１）
M；トルエン換算の発生ガス量（μｇ）
A；測定試料面積（ｍ2）
h；捕集に要した時間（ｈ）
T；試験温度（絶対温度K）
C１およびC２；定数
【００１１】
また、請求項２の、前記本体ケースが亜鉛メッキ鋼板からなり、前記本体ケースの内側より発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１００（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であることを特徴とする請求項１に記載の自動巻取り型フィルタ装置による。
【００１２】
また、請求項３の、前記本体ケースが溶融５５％アルミニウム−亜鉛合金メッキ鋼板からなることを特徴とする請求項１または２に記載の自動巻取り型フィルタ装置による。
【００１３】
また、請求項４の、前記本体ケースの目止めのために使用するシーリング材より発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上５００（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の自動巻取り型フィルタ装置による。
【００１４】
また、請求項５の、前記自動巻取り型フィルタ装置に備えられる巻き出し部又は／及び巻取り部に用いる、ポリオレフィン系の樹脂または耐熱性樹脂によって被覆された被覆電線より発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上２０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の自動巻取り型フィルタ装置による。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明にかかる自動巻取り型フィルタ装置の好ましい実施の形態について詳細に説明する。
【００１６】
本発明の自動巻取り型フィルタ装置は、粗塵除去用のエアフィルタ用濾材と、ロール状に巻かれた該エアフィルタ用濾材を巻き出すための巻き出し部と、集塵後の該エアフィルタ用濾材を自動的に巻き取るための巻取り部と、これらを収納する本体ケースと、を備えた自動巻取り型フィルタ装置において、該本体ケースの少なくとも内側に無機質材料による表面処理がなされていることを特徴とする自動巻取り型フィルタ装置である。
【００１７】
前記自動巻取り型フィルタ装置の構造としては、粗塵除去用のエアフィルタ用濾材と、ロール状に巻かれた該エアフィルタ用濾材を巻き出すための巻き出し部と、集塵後の該エアフィルタ用濾材を自動的に巻き取るための巻取り部と、これらを収納する本体ケースと、を備えている限り特に限定されない。
【００１８】
図３はこのような本発明の自動巻取り型フィルタ装置の一実施例である。図３の正面図（ａ）、側面図（ｂ）、上面図（ｃ）に例示するように、本発明の自動巻取り型フィルタ装置２０は、ロール状に巻かれたエアフィルタ用濾材２１と、集塵のため該エアフィルタ用濾材を巻き出すための巻き出し部２２と、集塵後の該エアフィルタ用濾材２１を自動的に巻き取るための巻取り部２３と、これらを収納する本体ケース２４と、を備えている。
【００１９】
前記巻き出し部２２は、未使用のエアフィルタ用濾材を集塵に具するため、ロール状に巻かれたエアフィルタ用濾材をスムーズに自動的に巻き出すための部材を有している。このような部材としては、例えばロール状のエアフィルタ用濾材２１の巻き芯を支持する支持金具２５、ガイドロール２６、濾材押さえ板２７、停止位置スイッチ２８、濾材終了スイッチ２９等の部材が含まれる。
【００２０】
前記巻き出し部２２より巻き出された未使用のエアフィルタ用濾材は、次に平板状に伸ばされた状態に支持され、外気が通過した際に外気中の粗塵の集塵が行われる。平板状に伸ばされた状態に支持するため、例えば本体ケース２４の端に取り付けられた濾材たれ防止歯車３０を使用すれば、より確実に支持できるので好ましい。
【００２１】
一定量の集塵が行われた後、集塵後のエアフィルタ用濾材は、巻取り部２３によって自動的に巻き取られるようになっている。巻取り部２３は、集塵後のエアフィルタ用濾材を自動的にロール状に巻き取るための部材を有している。このような部材としては、例えばロール状の使用済みエアフィルタ用濾材３１の巻き芯を支持する支持金具３２、ガイドロール３３、モータ３４等の部材が含まれる。また、一定量の集塵が行われた時に自動的に巻取り機構が働くようにするため、本体ケース２４の外側には、例えば差圧計３５、制御盤３６、表示灯３７等が取り付けられている。
【００２２】
前記本体ケース２４は、４枚の外板と、濾過処理後の空気を室内へ送風するための間口３８として金属製のフェンスからなっている。本体ケース２４の外板は、例えば金属の板や合成樹脂の板など剛性のある板から作られているが、このような板から作られた本体ケースの外板の少なくとも内側に、無機質材料による表面処理がなされている。本発明では、このように、本体ケースの外板の内側に、無機質材料による表面処理を行うことによって、本体ケースの外板より発生して処理すべき外気の中に混入するところの有機質のガス状汚染物質の量を極めて少なくすることができる。このような表面処理の例としては、鋼鈑に亜鉛をメッキした亜鉛メッキ鋼板や、溶融金属メッキ鋼板のうちの一種である溶融亜鉛メッキ鋼板などがある。また、溶融亜鉛メッキ鋼板のうちでも２５〜７５重量％のアルミニウムと、該アルミニウム重量の０．５％以上の重量％のケイ素と、残りの重量％の亜鉛からなる溶融亜鉛メッキで表面処理されたアルミニウム−亜鉛合金メッキ鋼板は特にガス状汚染物質の量を更に少なくすることができ、また錆も出にくいため好適に使用することができる。また、アルミニウム−亜鉛合金メッキ鋼板のうちでも、アルミニウム５５重量％、亜鉛４３．４重量％、ケイ素１．６重量％の、溶融５５％アルミニウム−亜鉛合金メッキ鋼板であればさらに好適に使用することができる。
【００２３】
図４は本発明の自動巻取り型フィルタ装置の別の一実施例である。図３の実施例ではエアフィルタ用濾材が横方向に巻き出されるのに対して、図４の実施例ではエアフィルタ用濾材が縦方向に巻き出される。図４に例示するように、本発明の自動巻取り型フィルタ装置４０は、ロール状に巻かれたエアフィルタ用濾材４１と、集塵のため該エアフィルタ用濾材を巻き出すための巻き出し部４２と、集塵後のエアフィルタ用濾材を自動的に巻き取るための巻取り部４３と、これらを収納する本体ケース４４と、を備えている。
【００２４】
前記巻き出し部４２は、未使用のエアフィルタ用濾材を集塵に具するため、ロール状に巻かれたエアフィルタ用濾材をスムーズに巻き出すための部材を有している。このような部材としては、例えばロール状のエアフィルタ用濾材の巻き芯を支持する支持金具４５、ガイドロール４６、濾材押さえ板４７、停止位置スイッチ４８、濾材終了スイッチ４９等の部材が含まれる。
【００２５】
前記巻き出し部４２より巻き出された未使用のエアフィルタ用濾材は、次に複数のガイドロール４６’によってジグザグ状に支持され、外気が通過した際に外気中の粗塵の集塵が行われる。
【００２６】
一定量の集塵が行われた後、集塵後のエアフィルタ用濾材は、巻取り部４３によって自動的に巻き取られるようになっている。巻取り部４３は、集塵後のエアフィルタ用濾材を自動的にロール状に巻き取るための部材を有している。このような部材としては、例えばロール状の使用済みエアフィルタ用濾材５１の巻き芯を支持する支持金具５２、ガイドロール５３、モータ５４等の部材が含まれる。また、一定量の集塵が行われた時に自動的に巻取り機構が働くようにするため、本体ケース４４の外側には、例えば差圧計５５、制御盤５６、表示灯５７等が取り付けられている。
【００２７】
本発明の自動巻取り型フィルタ装置では、図３、図４以外にも、図３の横型構造に対して、縦と横とを逆にして、エアフィルタ用濾材が縦方向に巻き出されるようにした縦型構造の装置とすることも、或いは図４の縦型構造に対して、縦と横とを逆にして、エアフィルタ用濾材が横方向に巻き出されるようにした横型構造の装置とすることも可能である。また、本発明の自動巻取り型フィルタ装置では、本体ケースの寸法は特に限定されないが、横型構造では、少なくとも本体ケースの横巾が８３５ｍｍで、高さ（縦巾）が６８５ｍｍで、奥行きが４２０ｍｍの寸法をもつものを使用することが好ましい。また、一般的に使用される例えば本体ケースの横巾が１２５０ｍｍ以上で、高さ（縦巾）が６８５ｍｍ以上で、奥行きが４２０ｍｍ以上の寸法をもつものを使用することが更に好ましい。また、縦型構造では、少なくとも本体ケースの横巾が４４０ｍｍで、高さ（縦巾）が９５０１ｍｍで、奥行きが４２０ｍｍの寸法をもつものを使用することが好ましい。また、一般的に使用される例えば本体ケースの横巾が９００ｍｍ以上で、高さ（縦巾）が１２５０ｍｍ以上で、奥行きが４２０ｍｍ以上の寸法をもつものを使用することが更に好ましい。
【００２８】
本発明では、前記本体ケースの内側に、無機質材料による表面処理を行うことによって、好ましくは前記本体ケースの内側より発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１００（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下とすることができる。より好ましくは、該総有機物質の量を１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上５０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下とすることができる。また、更に好ましくは、該総有機物質の量を１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上２５（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下とすることができる。また、最も好ましくは、該総有機物質の量を１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１５（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下とすることができる。尚、無機質材料による表面処理といっても、表面処理工程などで多少の有機質物質の混入は避けられず発生する該総有機物質の量を０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）とすることは困難と考えられる。
【００２９】
また、本発明の自動巻取り型フィルタ装置においては、本体ケースと、エアフィルタ用濾材と、その他の部材が本体ケースの内側で外気と接する面積をそれぞれ求め、更にその面積比率を計算すると、本体ケースは２５〜６５％、エアフィルタ用濾材は２５〜７０％、その他の部材は１〜１５％である。その他の部材としては、前記巻き出し部や前記巻取り部に用いる被覆電線などの各部材や、本体ケースの目止めのために使用するシーリング材等がある。このような巻き出し部や巻取り部に用いる各部材とシーリング材の内で有機質のものに対しては、有機質のガス状汚染物質の発生が少ないものを選択して使用することが望ましい。
【００３０】
前記巻き出し部や巻取り部に用いる、前記被覆電線は面積比率が０．５〜５％であるが、この被覆電線として、従来の一般用途として使用されるポリ塩化ビニル樹脂によって被覆された被覆電線の代わりに、例えばポリオレフィン系の樹脂や、耐熱性樹脂によって被覆された被覆電線などを選択すれば、該被覆電線より発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上２０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であり、好ましくは１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１５（μｇ／ｍ２・ｈｒ）とすることができる。
【００３１】
また前記シーリング材は面積比率が０．１〜１．５％であるが、このシーリング材として、従来の一般用途として使用されるシリコーンシーリング材の代わりに、例えば低分子シロキサンなどの低分子物質の揮散が少ないシリコーンシーリング材などを選択すれば、該シーリング材より発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上５００（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であり、好ましくは１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上３００（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であり、より好ましくは１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上２００（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下とすることができる。
【００３２】
本発明の自動巻取り型フィルタ装置で使用する粗塵除去用のエアフィルタ用濾材は、外気中の粗塵を捕捉して、その後段に配置する中性能フィルタやＨＥＰＡフィルタの濾過寿命を長く保つことができるが、質量法によって測定評価される濾過性能を有する粗塵用のエアフィルタ用濾材を用いることが好ましい。尚、前記中性能フィルタは主として比色法によって測定評価される濾過性能を有するエアフィルタ用濾材を、例えばプリーツ折りに加工するなど通風面積を増やしてからフィルタ枠に装着したものであり、外気中の微塵を捕捉して、その後段に配置する主として計数法によって測定評価される濾過性能を有するＨＥＰＡフィルタの濾過寿命を長く保つことを主目的としている。
【００３３】
また、前記エアフィルタ用濾材は、ＡＳＨＲＡＥ  ５２.１−１９９２に準じた試験方法において、質量法による粒子捕集平均効率が５０〜９９％であり、好ましくは粒子捕集平均効率が７０〜９５％であることがさらに好ましい。粒子捕集平均効率が５０％未満である場合は粗塵除去が不十分であり、下流位置に配置される中性能フィルタやＨＥＰＡフィルタやケミカルフィルタの寿命を延ばすよりも、むしろ設置の費用が掛かり過ぎるため使用できない場合がある。また、粒子捕集平均効率が９９％を超える場合は、濾材の開孔径が細かくなり過ぎるため、すぐに濾材前後の圧力損失が限界に達して寿命が短くなり粗塵用のフィルタとして使用できない場合がある。また、前記エアフィルタ用濾材の圧力損失は面風速が１ｍ／ｓｅｃのとき１００Ｐａ以下であることが好ましい。また、前記エアフィルタ用濾材の圧力損失は面風速が２．５ｍ／ｓｅｃのとき１００Ｐａ以下であることが更に好ましい。
【００３４】
前記粗塵除去用濾材は、その下流に位置するプレフィルタや、中性能フィルタや、ＨＥＰＡフィルタや、ケミカルフィルタが空気中の塵埃によって、すぐに目詰まりするのを防ぐため設置されるが、特に低い圧力損失で多量の塵埃を保持できるよう、嵩高なマット状の不織布が好ましい。このような不織布は、例えば乾式法、エアレイ法、スパンボンド法等によって得ることができる。このうち乾式法による不織布は、厚み方向に繊維が配向しているので、厚みが大きく、且つ厚みがつぶれ難いため、嵩高な構造を必要とする粗塵用のエアフィルタ用濾材として特に適している。また、このような嵩高な不織布は繊維を３次元的に配向させた後、繊維間を接着して作られているが、その接着のために接着剤を使用すると有機質のガス状汚染物質が著しく発生するため、接着剤ではなく、熱接着性の有機質繊維によって繊維間を熱接着することが好ましい。しかし、これら接着性の有機質繊維から、特に有機質のガス状汚染物質が多く発生するため、前記接着性の有機質繊維を特定の温度条件下で加熱処理することによって、有機質のガス状汚染物質の発生を低減させたエアフィルタ用濾材を用いることが更に好ましい。
【００３５】
上述のように、有機質のガス状汚染物質の発生を低減させたエアフィルタ用濾材としては、下記に示すものが好ましい。すなわち、前記エアフィルタ用濾材の繊維としては、不織布の製造で一般的に用いられる合成繊維、半合成繊維、無機繊維、天然繊維等を用いることができる。また、熱接着性繊維には、例えば他の繊維よりも融点が低く他の繊維を熱接着することのできる単一樹脂成分からなる繊維や、他の繊維よりも融点が低く他の繊維を熱接着することのできる低融点成分を繊維表面に有する複合繊維を用いることができる。このような複合繊維には、その横断面形状が例えば、低融点成分を繊維表面に有する芯鞘型やサイドバイサイド型等の複合繊維があり、またその材質は例えば、共重合ポリエステル／ポリエステル、共重合ポリプロピレン／ポリプロピレン、ポリプロピレン／ポリアミド、ポリエチレン／ポリプロピレン、ポリプロピレン／ポリエステル、ポリエチレン／ポリエステルなどの繊維形成性重合体の組み合わせからなる複合繊維がある。
【００３６】
また、該熱接着性繊維の全体の繊維に占める割合は好ましくは１００〜５重量％であり、更に好ましくは１００〜５０重量％であり、最も好ましくは１００〜７５重量％である。熱接着性繊維の割合が５重量％未満であると熱接着による結合力が弱く、エアフィルタ用濾材として使用しても、風圧で容易に厚みがつぶれてしまい、不具合を生じる場合がある。また、前記エアフィルタ用濾材の繊維の平均繊度は、３〜５０デシテックスが好ましく、１０〜３０デシテックスが更に好ましい。
【００３７】
前記エアフィルタ用濾材は上記の熱接着性繊維によって、熱接着性繊維同士、又は熱接着性繊維と他の繊維が、該熱接着性繊維の融点以上の温度で加熱処理されることにより結合している。この加熱接着処理には、例えば熱風吹き出し型乾燥機を用いるか、エアスルー型の乾燥機を用いる方法がある。
【００３８】
前記エアフィルタ用濾材の面密度は５０〜１０００ｇ／ｍ２が好ましい。また、前記エアフィルタ用濾材の厚さは、５〜５０ｍｍであることが好ましく、１０〜３０ｍｍが更に好ましい。５ｍｍ以下である場合は塵埃の保持容量が少なくなり濾過寿命が短くなってしまう場合がある。また、５０ｍｍ以上の場合は圧力損失が高くなり過ぎるため、やはり濾過寿命が短くなってしまう場合がある。
【００３９】
前記エアフィルタ用濾材は、エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に該エアフィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊維の面密度１００ｇ／ｍ２あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上４（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であることが好ましい。更に好ましくは該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上２（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下である。最も好ましくは該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下である。このように、エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量を少なくするには、例えば前記熱接着性繊維によって、熱接着性繊維同士、又は熱接着性繊維と他の繊維が、該熱接着性繊維の融点以上の温度で加熱処理されることにより結合しているエアフィルタ用素材をさらに８０℃以上で、且つ該熱接着性繊維の融点より１０℃以下の温度の気体中で加熱処理することによって得ることができる。
【００４０】
また、前記エアフィルタ用濾材は上記のエアフィルタ用濾材と同じもの又は異なるものが複数積層していても構わない。また、上記のエアフィルタ用濾材と他の通気性を有するシート状物が積層していても構わない。このような通気性を有するシート状物には、例えば織物、編物、ネット、不織布、ろ紙等があるが、ガス状汚染物質を多く発生しないものが好ましい。
【００４１】
本発明では、有機質ガス状汚染物質の定量には、ダイナミックヘッドスペース法によって、加熱状態で促進試験を行ない、発生ガス量を定量した後、その値を発生ガス推測法によって、室温時の値に換算した値を使用している。
【００４２】
次に、ダイナミックヘッドスペース法を説明する。図２はこの方法に用いる発生ガス捕集装置（ジーエルサイエンス(株)製  ＭＳＴＤ−２５８Ｍ）の説明図である。まず、測定したい素材を直径７ｃｍの円形に切り、試料１４を作成する。試料１４をチャンバー１０内の中央のガス吹き出し口１３の上に設置するか、或いはガス吹き出し口１３の上に浮かせた状態で支持する。次に、清浄なヘリウムガス１１をチャンバー内に流速１２０ｍｌ／ｍｉｎで連続的に流通させながら所定の温度（６０℃または８０℃）で加熱する。ヘリウムガス１１は試料１４と接触する際、試料１４から発生する汚染物質がヘリウムガス中に混入するので、気体濃度が平衡になった後、捕集速度１００ｍｌ／ｍｉｎで固体吸着材１２（成分；2,6-diphenylene  oxide）に捕集する。次いで、固体吸着材１２に捕集した物質をガスクロマトグラフ質量分析計で分析する。（(株)島津製作所製  ＱＰ−５０５０を使用）加熱の温度は６０℃と８０℃の２条件で測定する。
【００４３】
次に、発生ガス推測法とは、高温下で発生ガスの促進試験を行ない、実験式を用いて、室温での結果を推測する方法であり、以下、発生ガス推測法について具体的に説明する。実際のクリーンルームの室温２３℃での発生ガスは極微量なので実測では分析感度の点で長時間の測定が必要になるなど、現実的には測定困難なため、前述のダイナミックヘッドスペース法により、試験条件を例えば６０℃、８０℃の高温下に設定して、試料から発生する有機物質の量を定性定量的に測定した結果から下記の式を用いて室温２３℃での結果を推測する。（株）住化分析センターの竹田らによれば、試験温度と発生ガスの関係については、経験則として下記の式が成り立つことがわかっている。（平成１１年第１７回コンタミネーションコントロール研究大会予稿集などに記載）
lｎ（M/A・h）＝−C１／T＋C２
M；トルエン換算の発生ガス量（μｇ）
A；測定試料面積（ｍ2）
h；捕集に要した時間（ｈ）
T；試験温度（絶対温度K）
C１およびC２；定数
【００４４】
次に、本発明の請求項４に係る自動巻取り型フィルタ装置を用いてクリーンルーム内に流入する外気中に含まれる粗塵を除去する場合の効果を示す。例えば、図３に示す自動巻取り型フィルタ装置の本体ケースに設けられた間口を通過する風速を２．５ｍ／ｓｅｃに設定し、更に本体ケースの内側より発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると１００（μｇ／ｍ２・ｈｒ）である場合、そして本体ケースの内側の面積が１．９２ｍ２であり、自動巻取り型フィルタ装置の間口の面積が、０．８ｍ２である場合、間口１ｍ２あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量は１００μｇ／ｍ２・ｈｒ×１．９２ｍ２÷０．８ｍ２＝２４０μｇ／ｍ２・ｈｒとなる。すると、空気中の汚染物質濃度は２４０μｇ／ｍ２・ｈｒ÷２．５ｍ／ｓｅｃ＝２．７×１０−２μｇ／ｍ３となり、前述の管理基準値の４１．７μｇ／ｍ３を十分に満足できる。また、本発明の自動巻取り型フィルタ装置は、ケミカルフィルタの前に設置するので自動巻取り型フィルタ装置から発生する有機物質は、該ケミカルフィルタによって除去されるので、クリーンルーム中の空気中の汚染物質濃度は実質的に０μｇ／ｍ３であるが、後述の実施例で示すように、本発明による自動巻取り型フィルタ装置からの発生ガス量は、従来タイプの自動巻取り型フィルタ装置からの発生ガス量と比較して、極めて少なく、ケミカルフィルタへの負担を格段に軽減して、ケミカルフィルタの寿命を大きく延ばすことができる。尚、このように本発明の自動巻取り型フィルタ装置からの発生ガスは従来タイプより極めて少ないため、例えばケミカルフィルタ等を配置しなくても良いような管理基準のあまり厳しくない室内用途にも用いることができる。
【００４５】
次に、上記の請求項４に係る自動巻取り型フィルタ装置をクリーンルーム内に流入する外気中に含まれる粗塵を除去する自動巻取り型フィルタ装置として使用した場合と同じ条件で、更に本発明の請求項５に係るエアフィルタ用濾材を使用した場合の効果を示す。このエアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に該濾材に含まれる熱接着性繊維の面密度１００ｇ／ｍ２あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると４（μｇ／ｍ２・ｈｒ）である場合、そして該エアフィルタ用濾材が熱接着性繊維１００重量％からなり、該エアフィルタ用濾材の面密度が２００ｇ／ｍ２であり、該エアフィルタ用濾材の面積が１．３２ｍ２である場合、間口１ｍ２あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量は４μｇ／ｍ２・ｈｒ×２００ｇ／ｍ２÷１００ｇ／ｍ２×１．３２ｍ２＝１１μｇ／ｍ２・ｈｒとなる。すると、空気中の汚染物質濃度は（２４０＋１１）μｇ／ｍ２・ｈｒ÷２．５ｍ／ｓｅｃ＝２．８×１０−２μｇ／ｍ３となり、前述の管理基準値の４１．７μｇ／ｍ３を十分に満足できる。また、本発明の自動巻取り型フィルタ装置は、ケミカルフィルタの前に設置するので自動巻取り型フィルタ装置から発生する有機物質は、該ケミカルフィルタによって除去されるので、クリーンルーム中の空気中の汚染物質濃度は実質的に０μｇ／ｍ３であるが、後述の実施例で示すように、本発明による自動巻取り型フィルタ装置からの発生ガス量は、従来タイプの自動巻取り型フィルタ装置からの発生ガス量と比較して、極めて少なく、ケミカルフィルタへの負担を格段に軽減して、ケミカルフィルタの寿命を大きく延ばすことができる。尚、このように本発明の自動巻取り型フィルタ装置からの発生ガスは従来タイプより極めて少ないため、例えばケミカルフィルタ等を配置しなくても良いような管理基準のあまり厳しくない室内用途にも用いることができる。
【００４６】
以下、本発明の実施例につき説明するが、これは発明の理解を容易とするための好適例に過ぎず、本願発明はこれら実施例の内容に限定されるものではない。
【００４７】
（実施例１）
図３に示すように、粗塵除去用のエアフィルタ用濾材２１と、ロール状に巻かれた該エアフィルタ用濾材２１を巻き出すための巻き出し部２２と、集塵後の該エアフィルタ用濾材を自動的に巻き取るための巻取り部２３と、これらを収納する本体ケース２４と、を備えた自動巻取り型フィルタ装置２０を製作するに際して、該本体ケース２４に、アルミニウム５５重量％、亜鉛４３．４重量％、ケイ素１．６重量％の溶融５５％アルミニウム−亜鉛合金メッキ鋼板を用いた。また、本体ケース２４の寸法は、横巾が１３００ｍｍで、高さ（縦巾）が７３５ｍｍで、奥行きが４７０ｍｍの寸法であり、本体ケース２４の濾過前の外気と接触する面積は１．９２ｍ２であり、この面積は濾過前の外気と接触する部材の全表面積に対する面積比率は５４．５％であった。この溶融５５％アルミニウム−亜鉛合金メッキ鋼板から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると１２．２（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であった。また、粗塵除去用のエアフィルタ用濾材２１が濾過前の外気と接触する面積は１．３２ｍ２（面積比率３７．５％）であり、本体ケース２４の目止めのために用いたシーリング材が濾過前の外気と接触する面積は０．０２５６ｍ２（面積比率０．７％）であり、巻き出し部２２や巻取り部２３に用いる各部材の内有機質材料である被覆電線が外気と接触する面積は０．０９６ｍ２（面積比率２．７％）であり、巻き出し部２２や巻取り部２３に用いる各部材の内無機質材料である金属製モータカバーなどが部材の外気と接触する面積は０．１６２ｍ２（面積比率４．６％）であった。また、本体ケース２４に設けられた間口３８の間口面積は０．８ｍ２であった。
【００４８】
（実施例２）
実施例１の自動巻取り型フィルタ装置２０において、粗塵除去用のエアフィルタ用濾材２１として、以下に述べる方法で作製したエアフィルタ用濾材を用いた。芯成分が融点１６０℃のポリプロピレン、鞘成分が融点１３０℃のポリエチレンからなる、繊度が２０デシテックス、繊維長が７６ｍｍの複合繊維である熱接着性繊維１００％からなる繊維原料を開繊した後、カード機にかけてウェブを形成した。このウェブに１４５℃の乾燥機で３分間加熱接着処理を行ない、鞘成分のポリエチレンを溶融して、そのウェブの繊維交点で繊維接着を行ない、その後空冷して面密度２００ｇ／ｍ２、厚さ２０ｍｍのエアフィルタ用素材を作製した。次に、このエアフィルタ用素材に、１１０℃の乾燥機で１０分間加熱除去処理を行ない、面密度２００ｇ／ｍ２、厚さ２０ｍｍのエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に該エアフィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊維の面密度１００ｇ／ｍ２あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると０．１５（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であった。次に、このエアフィルタ用濾材をロール状に巻いた後に、自動巻取り型フィルタ装置２０に装着した。この自動巻取り型フィルタ装置２０は、ＡＳＨＲＡＥ  ５２.１−１９９２に準じた試験方法によると風速２．５ｍ／ｓｅｃの試験条件で、質量法による粒子捕集平均効率が８０％であり、圧力損失が面風速が１ｍ／ｓｅｃのとき１５Ｐａであり、粗塵用フィルタとしての性能を満足するものであって、クリーンルーム内に流入する外気中に含まれる粗塵を除去する性能に優れていた。
【００４９】
（実施例３）
実施例２において、エアフィルタ用素材に１００℃で５分間加熱除去処理を行なったこと以外は実施例２と同様にしてエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を実施例１と同様にして算出すると、０．４８（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であった。その後、このエアフィルタ用濾材を実施例２と同様にして、自動巻取り型フィルタ装置２０に装着した。
【００５０】
（実施例４）
実施例２の自動巻取り型フィルタ装置２０において、シーリング材として、低分子シロキサンの揮散が少ないシリコーンシーリング材を用いた。このシーリング材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると１４０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であった。
【００５１】
（実施例５）
実施例４の自動巻取り型フィルタ装置２０において、被覆電線として、ポリエチレン系の樹脂によって被覆された被覆電線を用いた。この被覆電線から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると１２．０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であった。また、巻き出し部２２や巻取り部２３に用いる各部材の内無機質材料である金属製モータカバーなどから発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）は実質的に０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であった。また、実施例５の自動巻取り型フィルタ装置全体から発生する総有機物質の量を算出すると２８．５５（μｇ／ｈｒ）であり、間口面積１ｍ２あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると３５．７（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であった。実施例５の結果を表−１に示す。
【００５２】
（実施例６）
実施例５の自動巻取り型フィルタ装置２０において、本体ケース２４の寸法を、横巾が１８５０ｍｍで、高さ（縦巾）が２５００ｍｍで、奥行きが４７０ｍｍの寸法とし、本体ケース２４の濾過前の外気と接触する面積を４．０９ｍ２（面積比率３９．２％）とし、粗塵除去用のエアフィルタ用濾材２１が濾過前の外気と接触する面積を５．９２ｍ２（面積比率５６．７％）とし、シーリング材が濾過前の外気と接触する面積を０．０２５６ｍ２（面積比率０．２％）とし、被覆電線が外気と接触する面積を０．２３ｍ２（面積比率２．２％）とし、金属製モータカバーなどが部材の外気と接触する面積を０．１６８ｍ２（面積比率１．６％）とし、本体ケース２４に設けられた間口３８の間口面積を４．２８ｍ２としたこと以外は実施例４と同様にして、自動巻取り型フィルタ装置を製作した。実施例６の結果を表−１に示す。
【００５３】
（実施例７）
実施例５の自動巻取り型フィルタ装置２０において、本体ケース２４として電気亜鉛メッキからなる亜鉛メッキ鋼板を用いて、本体ケース２４の寸法を、横巾が３７００ｍｍで、高さ（縦巾）が３７００ｍｍで、奥行きが４７０ｍｍの寸法とし、本体ケース２４の濾過前の外気と接触する面積を１０．４３ｍ２（面積比率３８．６％）とし、粗塵除去用のエアフィルタ用濾材２１が濾過前の外気と接触する面積を１５．８９ｍ２（面積比率５８．８％）とし、シーリング材が濾過前の外気と接触する面積を０．０５１２ｍ２（面積比率０．２％）とし、被覆電線が外気と接触する面積を０．４１２ｍ２（面積比率１．５％）とし、金属製モータカバーなどが部材の外気と接触する面積を０．２３７ｍ２（面積比率０．９％）とし、本体ケース２４に設けられた間口３８の間口面積を１３．１０ｍ２としたこと以外は実施例４と同様にして、自動巻取り型フィルタ装置を製作した。尚、実施例６で用いた亜鉛鋼板から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると２０．６（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であった。実施例７の結果を表−１に示す。
【００５４】
（比較例１）
実施例５の自動巻取り型フィルタ装置２０において、本体ケース２４としてメラミン塗装鋼板を用いたこと、及びエアフィルタ用素材に加熱除去処理を行なわなかったエアフィルタ用濾材を用いたこと、及びシーリング材として従来の一般用途として使用されるシリコーンシーリング材を用いたこと、及び被覆電線として従来の一般用途として使用されるポリ塩化ビニル樹脂によって被覆された被覆電線を用いたこと以外は実施例５と同様にして、自動巻取り型フィルタ装置を製作した。尚、比較例１で用いたメラミン塗装鋼板から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると１２８．５（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であった。また、比較例１で用いたエアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に該エアフィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊維の面密度１００ｇ／ｍ２あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると５．１３（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であった。また、比較例１で用いたシーリング材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると５７６（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であった。また、比較例１で用いた被覆電線から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると２２．８（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であった。また、実施例７の自動巻取り型フィルタ装置全体から発生する総有機物質の量を算出すると２７７．２４（μｇ／ｈｒ）であり、間口面積１ｍ２あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると３４６．６（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であった。比較例１の結果を表−１に示す。
【００５５】
（比較例２）
比較例１において、エアフィルタ用素材に１５０℃で３分間加熱除去処理を行なったこと以外は比較例１と同様にしてエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を比較例１と同様にして算出すると、１２．８（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であった。その後、このエアフィルタ用濾材を比較例１と同様にして、自動巻取り型フィルタ装置２０に装着した。
【００５６】
【表１】
0004132906.tif 000002
【００５７】
以上のように、実施例１〜７では、本体ケースの少なくとも内側に無機質材料による表面処理がなされているので、該本体ケースから発生する総有機物質の量が１２．２〜２０．６（μｇ／ｍ２・ｈｒ）と少ない。これに対して比較例１〜２では総有機物質の量が１２８．５（μｇ／ｍ２・ｈｒ）と多くなっている。このように、本発明の自動巻取り型フィルタ装置は自動巻取り型フィルタ装置自体から発生する総有機物質の量が少ないので、クリーンルームなどに流入する外気中に含まれる粗塵を除去する自動巻取り型フィルタ装置として優れていた。
【００５８】
また、実施例２〜７では、加熱除去処理を行うことによって得られた１００ｇ／ｍ２のエアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量は０．１５〜０．４８（μｇ／ｍ２・ｈｒ）である。これに対して、加熱接着処理しか行わなかった従来タイプのエアフィルタ用濾材は、比較例１に示されるように５.１３（μｇ／ｍ２・ｈｒ）である。また、熱接着性繊維の融点以上で加熱処理した比較例２では１２．８（μｇ／ｍ２・ｈｒ）である。このように本発明の自動巻取り型フィルタ装置に実施例２〜７に示す総有機物質の発生量が少ないエアフィルタ用濾材を装着すれば、自動巻取り型フィルタ装置自体から発生する総有機物質の量を更に少なくすることができる。
【００５９】
また、実施例４〜７では、シーリング材として、低分子シロキサンの揮散が少ないシリコーンシーリング材を用いたので、シーリング材から発生する総有機物質の量は１４０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）である。これに対して従来タイプのシーリング材は、比較例１に示されるように５７６（μｇ／ｍ２・ｈｒ）である。このように本発明の自動巻取り型フィルタ装置に実施例４〜７に示す総有機物質の発生量が少ないシーリング材を装着すれば、自動巻取り型フィルタ装置自体から発生する総有機物質の量を更に少なくすることができる。
【００６０】
また、実施例５〜７では、被覆電線として、ポリエチレン系の樹脂によって被覆された被覆電線を用いたので、被覆電線から発生する総有機物質の量は１２．０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）である。これに対して従来タイプの被覆電線は、比較例１に示されるように２２．８（μｇ／ｍ２・ｈｒ）である。このように本発明の自動巻取り型フィルタ装置に実施例５〜７に示す総有機物質の発生量が少ない被覆電線を装着すれば、自動巻取り型フィルタ装置自体から発生する総有機物質の量を更に少なくすることができる。
【００６１】
また、実施例５〜７では、総有機物質の発生量が少ない部材を使用しているので、自動巻取り型フィルタ装置の間口１ｍ２当たりから発生する総有機物質の量は、１３．６〜３５．７（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であり、これに対して従来タイプのシーリング材は、比較例１に示されるように３４６．６（μｇ／ｍ２・ｈｒ）である。このように本発明の自動巻取り型フィルタ装置では実施例５〜７に示す総有機物質の発生量が少ない部材を装着しているので、自動巻取り型フィルタ装置自体から発生する総有機物質の量を少なくすることができる。
【００６２】
【発明の効果】
本発明の自動巻取り型フィルタ装置によって、クリーンルーム等のフィルタシステムの外気取り入れ口に配置される、主として中性能フィルタやＨＥＰＡフィルタやケミカルフィルタの前段で用いるアウトガス発生の少ない粗塵除去用の自動巻取り型フィルタ装置を提供することができ、該中性能フィルタや該ＨＥＰＡフィルタのみならず該ケミカルフィルタの塵埃に対する負担を少なくして寿命を延ばしつつクリーンルーム等への汚染ガスの進入を軽減し、また該ケミカルフィルタの汚染ガス除去に関する負担を少なくして寿命を延ばし、クリーンルームなどのフィルタシステムの運転維持経費の削減に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】クリーンルームなどのフィルタシステム
【図２】ダイナミックヘッドスペース法に用いる発生ガス捕集装置の説明図
【図３】本発明の自動巻取り型フィルタ装置の一実施例の（ａ）正面図、（ｂ）側面図、（ｃ）上面図
【図４】本発明の自動巻取り型フィルタ装置の一実施例の（ａ）正面図、（ｂ）側面図
【符号の説明】
１    外調機
２    プレフィルタ
３    中性能フィルタ
４    エアワッシャ−
５    ケミカルフィルタ
６    ＨＥＰＡフィルタ
７    ケミカルフィルタ
８    ＨＥＰＡフィルタ
９    クリーンルーム
１０  チャンバー
１１  ヘリウムガス
１２  固体吸着剤
１３  ガス吹出し口
１４  試料
２０、４０  自動巻取り型フィルタ装置
２１、４１  エアフィルタ用濾材
２２、４２  巻き出し部
２３、４３  巻取り部
２４、４４  本体ケース
２５、４５  支持金具
２６、４６、４６’  ガイドロール
２７、４７  濾材押さえ板
２８、４８  停止位置スイッチ
２９、４９  濾材終了スイッチ
３０        濾材たれ防止歯車
３１、５１  使用済みエアフィルタ用濾材
３２、５２  支持金具
３３、５３  ガイドロール
３４、５４  モータ
３５、５５  差圧計
３６、５６  制御盤
３７、５７  表示灯
３８、５８  間口
【図１】
0004132906.tif 000003
【図２】
0004132906.tif 000004
【図３】
0004132906.tif 000005
【図４】
0004132906.tif 000006