(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、
金属粉末と有機バインダーを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷でパターン印刷する方法、もしくは金属粉末および感光性有機成分を主成分とする感光性金属ペーストを塗布した後に、フォトマスクを用いてパターン露光し、不要な部分を現像工程で溶解除去し、さらに焼成して金属パターンを形成する感光性ペースト法を用いてアドレス電極を形成し、
ガラス粉末と有機バインダーを主成分とするガラスペーストでアドレス電極を覆う形で塗布した後に焼成することにより誘電体層を形成し、
無機微粒子と感光性有機成分を主成分とする感光性ペーストを塗布、乾燥し、破線状のストライプのパターンを有するフォトマスクを、アドレス電極と破線状スリットが垂直、かつスリットが途切れる区間の中央部にアドレス電極が位置するように配置し、露光し、次いで無機微粒子と感光性有機成分を主成分とする感光性ペーストを塗布、乾燥し、直線状のストライプのパターンを有するフォトマスクを、アドレス電極と直線状スリットが平行、かつ隣り合うスリット間の中央にアドレス電極が位置するようにフォトマスクを配置し、露光し、現像し、焼成することによって隔壁および頂部に隔壁と平行方向に貫通する溝を有し、かつ隔壁と垂直な補助隔壁を形成し、
蛍光体粉末、有機バインダーおよび有機溶媒を主成分とする蛍光体ペーストを、スクリーン印刷版を用いてパターン印刷するスクリーン印刷法、吐出ノズルの先端から蛍光体ペーストをパターン吐出するディスペンサー法、もしくは蛍光体ペーストの有機バインダーとして感光性を有する有機成分を用いた感光性ペースト法により所定の隔壁間に塗着させ、乾燥し、必要に応じて焼成して蛍光体層を形成することを特徴とするプラズマディスプレイ用部材の製造方法。
【請求項２】
基板上に、
金属粉末と有機バインダーを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷でパターン印刷する方法、もしくは金属粉末および感光性有機成分を主成分とする感光性金属ペーストを塗布した後に、フォトマスクを用いてパターン露光し、不要な部分を現像工程で溶解除去し、さらに焼成して金属パターンを形成する感光性ペースト法を用いてアドレス電極を形成し、
ガラス粉末と有機バインダーを主成分とするガラスペーストでアドレス電極を覆う形で塗布した後に焼成することにより誘電体層を形成し、
無機微粒子と感光性有機成分を主成分とする感光性ペーストを塗布、乾燥し、破線状のストライプと直線状のストライプが直交するパターンを有するフォトマスクを、アドレス電極と直線状スリットが平行、かつ破線状スリットが途切れる区間の中央部にアドレス電極が位置するように配置し、露光し、現像し、焼成することによって隔壁および頂部に隔壁と平行方向に貫通する溝を有し、かつ隔壁と垂直な補助隔壁を形成し、
蛍光体粉末、有機バインダーおよび有機溶媒を主成分とする蛍光体ペーストを、スクリーン印刷版を用いてパターン印刷するスクリーン印刷法、吐出ノズルの先端から蛍光体ペーストをパターン吐出するディスペンサー法、もしくは蛍光体ペーストの有機バインダーとして感光性を有する有機成分を用いた感光性ペースト法により所定の隔壁間に塗着させ、乾燥し、必要に応じて焼成して蛍光体層を形成することを特徴とするプラズマディスプレイ用部材の製造方法。
【請求項３】
露光において、基板上に塗布した感光性ペーストの塗布膜の表面とフォトマスクとの距離が５０〜５００μｍであることを特徴とする請求項１または２記載のプラズマディスプレイ用部材の製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかの方法により得たプラズマディスプレイ用部材を背面板として用い、前面板と封着後、前背面の基板間隔に形成された空間に、ヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される放電ガスを封入後、駆動回路を装着するプラズマディスプレイの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、壁掛けテレビや大型モニターに用いられるプラズマディスプレイ用部材およびプラズマディスプレイ用部材の製造方法に係り、特にプラズマディスプレイパネルの輝度を向上し、パネルの表示品位を高めたプラズマディスプレイ用部材およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
薄型・大型テレビに使用できるディスプレイとして、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと略す）が注目されている。ＰＤＰは、例えば、表示面となる前面板側のガラス基板には、対をなす複数のサステイン電極が銀やクロム、アルミニウム、ニッケル等の材料で形成されている。さらにサステイン電極を被覆してガラスを主成分とする誘電体層が２０〜５０μｍ厚みで形成され、誘電体層を被覆してＭｇＯ層が形成されている。一方、背面板側のガラス基板には、複数のアドレス電極がストライプ状に形成され、アドレス電極を被覆してガラスを主成分とする誘電体層が形成されている。誘電体層上に放電セルを仕切るための隔壁が形成され、隔壁と誘電体層で形成された放電空間内に蛍光体層が形成されてなる。フルカラー表示が可能なＰＤＰにおいては、蛍光体層は、ＲＧＢの各色に発光するものにより構成される。前面板側のガラス基板のサステイン電極と背面板側のアドレス電極が互いに直交するように、前面板と背面板が封着され、それらの基板の間隙内にヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される希ガスが封入されＰＤＰが形成される。スキャン電極とアドレス電極の交点を中心として画素セルが形成されるので、ＰＤＰは複数の画素セルを有し、画像の表示が可能になる。
【０００３】
ＰＤＰにおいて表示を行う際、選択された画素セルにおいて、発光していない状態からサステイン電極とアドレス電極との間に放電開始電圧以上の電圧を印加すると電離によって生じた陽イオンや電子は、画素セルが容量性負荷であるために放電空間内を反対極性の電極へと向けて移動してＭｇＯ層の内壁に帯電し、内壁の電荷はＭｇＯ層の抵抗が高いために減衰せずに壁電荷として残留する。
【０００４】
次に、スキャン電極とサステイン電極の間に放電維持電圧を印加する。壁電荷のあるところでは、放電開始電圧より低い電圧でも放電することができる。放電により放電空間内のキセノンガスが励起され、１４７ｎｍの紫外線が発生し、紫外線が蛍光体を励起することにより、発光表示が可能になる。
【０００５】
このようなＰＤＰにおいては蛍光面を発光させた場合の輝度を高めることが重要となっている。この輝度を高めるための手段として、特開平１０−３２１１４８号公報には、隔壁の他に補助隔壁を設け、補助隔壁の表面にも蛍光面を形成することにより蛍光面の発光面積を大きくし、紫外線を効率よく蛍光面に作用させ、輝度を高めることが提案されている。
【０００６】
しかしこのような補助隔壁を形成した場合蛍光体層の形成が困難になり、特に隔壁と補助隔壁の高さが近似するほど、通常の蛍光体層の形成方法、例えば線状に塗布するスクリーン印刷法やディスペンサー法などでは、補助隔壁上で蛍光体ペーストがあふれてしまい、隣の隔壁と隔壁間（セル）に形成された他の色の蛍光体と混色してしまうという問題、あるいは、補助隔壁の頂部に蛍光体ペーストが付着する箇所と付着しない箇所のばらつきによる、蛍光体の塗着むらによる表示品位の低下という問題がある。
【０００７】
この問題に対し、例えば格子状隔壁パターンに対応したドット状パターンが形成された蛍光体印刷用スクリーン版を用いることも考えられるが、このような方法ではスクリーン版の寸法精度、印刷位置合わせ精度に限界があり、プラズマディスプレイの高精細化には対応できない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明は、隔壁の垂直方向に補助隔壁を形成したプラズマディスプレイ用部材において、補助隔壁の頂部への蛍光体の付着を抑制し、他の色との混色を防ぐプラズマディスプレイ用部材およびその製造方法ならびに高輝度かつ高品位な表示が可能なプラズマディスプレイを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
すなわち本発明は、
基板上に、
金属粉末と有機バインダーを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷でパターン印刷する方法、もしくは金属粉末および感光性有機成分を主成分とする感光性金属ペーストを塗布した後に、フォトマスクを用いてパターン露光し、不要な部分を現像工程で溶解除去し、さらに焼成して金属パターンを形成する感光性ペースト法を用いてアドレス電極を形成し、
ガラス粉末と有機バインダーを主成分とするガラスペーストでアドレス電極を覆う形で塗布した後に焼成することにより誘電体層を形成し、
無機微粒子と感光性有機成分を主成分とする感光性ペーストを塗布、乾燥し、破線状のストライプのパターンを有するフォトマスクを、アドレス電極と破線状スリットが垂直、かつスリットが途切れる区間の中央部にアドレス電極が位置するように配置し、露光し、次いで無機微粒子と感光性有機成分を主成分とする感光性ペーストを塗布、乾燥し、直線状のストライプのパターンを有するフォトマスクを、アドレス電極と直線状スリットが平行、かつ隣り合うスリット間の中央にアドレス電極が位置するようにフォトマスクを配置し、露光し、現像し、焼成することによって隔壁および頂部に隔壁と平行方向に貫通する溝を有し、かつ隔壁と垂直な補助隔壁を形成し、
蛍光体粉末、有機バインダーおよび有機溶媒を主成分とする蛍光体ペーストを、スクリーン印刷版を用いてパターン印刷するスクリーン印刷法、吐出ノズルの先端から蛍光体ペーストをパターン吐出するディスペンサー法、もしくは蛍光体ペーストの有機バインダーとして感光性を有する有機成分を用いた感光性ペースト法により所定の隔壁間に塗着させ、乾燥し、必要に応じて焼成して蛍光体層を形成することを特徴とするプラズマディスプレイ用部材の製造方法である。
【００１０】
また本発明は、
基板上に、
金属粉末と有機バインダーを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷でパターン印刷する方法、もしくは金属粉末および感光性有機成分を主成分とする感光性金属ペーストを塗布した後に、フォトマスクを用いてパターン露光し、不要な部分を現像工程で溶解除去し、さらに焼成して金属パターンを形成する感光性ペースト法を用いてアドレス電極を形成し、
ガラス粉末と有機バインダーを主成分とするガラスペーストでアドレス電極を覆う形で塗布した後に焼成することにより誘電体層を形成し、
無機微粒子と感光性有機成分を主成分とする感光性ペーストを塗布、乾燥し、破線状のストライプと直線状のストライプが直交するパターンを有するフォトマスクを、アドレス電極と直線状スリットが平行、かつ破線状スリットが途切れる区間の中央部にアドレス電極が位置するように配置し、露光し、現像し、焼成することによって隔壁および頂部に隔壁と平行方向に貫通する溝を有し、かつ隔壁と垂直な補助隔壁を形成し、
蛍光体粉末、有機バインダーおよび有機溶媒を主成分とする蛍光体ペーストを、スクリーン印刷版を用いてパターン印刷するスクリーン印刷法、吐出ノズルの先端から蛍光体ペーストをパターン吐出するディスペンサー法、もしくは蛍光体ペーストの有機バインダーとして感光性を有する有機成分を用いた感光性ペースト法により所定の隔壁間に塗着させ、乾燥し、必要に応じて焼成して蛍光体層を形成することを特徴とするプラズマディスプレイ用部材の製造方法である。
【００１１】
また本発明は、上述のいずれかの方法により得たプラズマディスプレイ用部材を背面板として用い、前面板と封着後、前背面の基板間隔に形成された空間に、ヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される放電ガスを封入後、駆動回路を装着するプラズマディスプレイの製造方法である。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明をＰＤＰの作製手順に沿って説明する。
【００１３】
本発明のＰＤＰ用部材としての背面板に用いる基板としては、ソーダガラスの他にＰＤＰ用の耐熱ガラスである旭硝子社製の“ＰＤ２００”や日本電気硝子社製の“ＰＰ８”を用いることができる。
【００１４】
ガラス基板上に銀やアルミニウム、クロム、ニッケルなどの金属によりアドレス電極を形成する。形成する方法としては、これらの金属の粉末と有機バインダーを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷でパターン印刷する方法や、有機バインダーとして感光性有機成分を用いた感光性金属ペーストを塗布した後に、フォトマスクを用いてパターン露光し、不要な部分を現像工程で溶解除去し、さらに、４００〜６００℃に加熱・焼成して金属パターンを形成する感光性ペースト法を用いることができる。また、ガラス基板上にクロムやアルミニウム等の金属をスパッタリングした後に、レジストを塗布し、レジストをパターン露光・現像した後にエッチングにより、不要な部分の金属を取り除くエッチング法を用いることができる。電極厚みは１〜１０μｍが好ましく、２〜５μｍがより好ましい。電極厚みが薄すぎると抵抗値が大きくなり正確な駆動が困難となる傾向にあり、厚すぎると材料が多く必要になり、コスト的に不利な傾向にある。アドレス電極の幅は好ましくは２０〜２００μｍ、より好ましくは３０〜１００μｍである。アドレス電極の幅が細すぎると抵抗値が高くなり正確な駆動が困難となる傾向にあり、太いすぎると隣合う電極間の距離が小さくなるため、ショート欠陥が生じやすい傾向にある。さらに、アドレス電極は表示セル（画素の各ＲＧＢを形成する領域）に応じたピッチで形成される。通常のＰＤＰでは１００〜５００μｍ、高精細ＰＤＰにおいては１００〜４００μｍのピッチで形成するのが好ましい。
【００１５】
次いで誘電体層を好ましく形成する。誘電体層はガラス粉末と有機バインダーを主成分とするガラスペーストをアドレス電極を覆う形で塗布した後に、４００〜６００℃で焼成することにより形成できる。誘電体層に用いるガラスペーストには、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛、酸化リンの少なくとも１種類以上を含有し、これらを合計で１０〜８０重量％含有するガラス粉末を好ましく用いることができる。１０重量％以上とすることで、６００℃以下での焼成が容易になり、８０重量％以下とすることで、結晶化を防ぎ透過率の低下を防止する。これらのガラス粉末と有機バインダーと混練してペーストを作製できる。用いる有機バインダーとしては、エチルセルロース、メチルセルロース等に代表されるセルロース系化合物、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、メチルアクリレート、エチルアクリレート、イソブチルアクリレート等のアクリル系化合物等を用いることができる。また、ガラスペースト中に、溶媒、可塑剤等の添加剤を加えても良い。溶媒としては、テルピネオール、ブチロラクトン、トルエン、メチルセルソルブ等の汎用溶媒を用いることができる。また、可塑剤としてはジブチルフタレート、ジエチルフタレート等を用いることができる。ガラス粉末以外にフィラー成分を添加することにより、反射率が高く、輝度の高いＰＤＰを得ることができる。フィラーとしては、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム等が好ましく、粒子径０．０５〜３μｍの酸化チタンを用いることが特に好ましい。フィラーの含有量はガラス粉末：フィラーの比で、１：１〜１０：１が好ましい。フィラーの含有量をガラス粉末の１０分の１以上とすることで、輝度向上の実効を得ることができる。また、ガラス粉末の等量以下とすることで、焼結性を保つことができる。また、導電性微粒子を添加することにより駆動時の信頼性の高いＰＤＰを作製することができる。導電性微粒子は、ニッケル、クロムなどの金属粉末が好ましく、粒子径は１〜１０μｍが好ましい。１μｍ以上とすることで十分な効果を発揮でき、１０μｍ以下とすることで誘電体上の凹凸を抑え隔壁形成を容易にすることができる。これらの導電性微粒子が誘電体層に含まれる含有量としては、０．１〜１０重量％が好ましい。０．１重量％以上とすることで実効を得ることができ、１０重量％以下とすることで、隣り合うアドレス電極間でのショートを防ぐことができる。誘電体層の厚みは好ましくは３〜３０μｍ、より好ましくは３〜１５μｍである。誘電体層の厚みが薄すぎるとピンホールが多発する傾向にあり、厚すぎると放電電圧が高くなり、消費電力が大きくなる傾向にある。
【００１６】
本発明のプラズマディスプレイ用部材は、基板上もしくは誘電体層上に、放電セルを仕切るための隔壁および隔壁（あるいはアドレス電極）と垂直方向の補助隔壁を形成する。図１は本発明で形成する隔壁および補助隔壁の形状の一例を示す斜視図である。図１において、１Ａ、１Ｂ、１Ｃは隔壁、２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄは補助隔壁、３は誘電体層、４はアドレス電極、５はガラス基板である。隔壁１Ａ、１Ｂ、１Ｃは、アドレス電極と平行方向に形成する。
【００１７】
隔壁の断面形状は台形や矩形に形成することができる。隔壁の高さは、８０μｍ〜２００μｍが適している。８０μｍ以上とすることで蛍光体とスキャン電極が近づきすぎるのを防ぎ、放電による蛍光体の劣化を防ぐことができる。また、２００μｍ以下とすることで、スキャン電極での放電と蛍光体の距離を近づけ、十分な輝度を得ることができる。またピッチ（Ｐ）は、１００μｍ≦Ｐ≦５００μｍのものがよく用いられる。また、高精細プラズマディスプレイとしては、隔壁のピッチ（Ｐ）が、１００μｍ≦Ｐ≦２５０μｍである。１００μｍ以上とすることで放電空間を広くし十分な輝度を得ることができ、５００μｍ以下とすることで画素の細かいきれいな映像表示ができる。２５０μｍ以下にすることにより、ＨＤＴＶ（ハイビジョン）レベルの美しい映像を表示することができる。ＲＧＢのうち、比較的輝度の低い青色に相当する隔壁間のピッチを他の色よりも広くすることも好ましい。線幅（Ｌ）は、半値幅で１０μｍ≦Ｌ≦５０μｍであることが好ましい。１０μｍ以上とすることで強度を保ち、前面板と背面板を封着する際に破損が生じるのを防ぐことができる。また、５０μｍ以下とすることで蛍光体の形成面積を大きくとることができ高い輝度を得ることができる。
【００１８】
補助隔壁を形成することにより、補助隔壁の壁面にも蛍光体層を形成することができ、発光面積を大きくとることができる。従って、紫外線が効率よく蛍光面に作用するため輝度を高めることが可能である。また、補助隔壁が存在することで、隔壁全体の結合面積が広くなり、部材の構造的強度が得られる。その結果、隔壁や補助隔壁の幅を小さくすることができ、表示セル部における放電容積を大きくすることができ、放電効率をさらによくすることができる。
【００１９】
また、補助隔壁は、ＲＧＢ各色の蛍光体層を形成するそれぞれのセルに対して、選択的に形成しても良い。つまり、プラズマディスプレイはＲＧＢのうち赤色の発色が比較的強く青色の発色が比較的弱いので、例えば、ＧＢに相当する隔壁間のみ、あるいはＢに相当する隔壁間にのみ補助隔壁を形成することも好ましい。
【００２０】
補助隔壁の断面形状も、台形や矩形に形成することができる。
【００２１】
補助隔壁の高さは、隔壁の高さの１／３〜１／１であることが好ましい。補助隔壁の高さを隔壁の高さの１／３以上とすることで、発光面積を大きくとることによる輝度向上の効果を得ることができる。また、蛍光体層の形成の際の混色や、プラズマディスプレイの表示の際の他色間のクロストークの発生を考慮すると、補助隔壁の高さは隔壁の高さの１／１以下とすることが好ましい。
【００２２】
補助隔壁を形成する位置とピッチは、前面板と合わせてプラズマディスプレイとした際に画素を区切る位置に形成することが、ガス放電と蛍光体層の発光の効率の点から好ましい。
【００２３】
補助隔壁の線幅は、頂部幅で、３０μｍ〜３００μｍが好ましい。補助隔壁の頂部幅を３０μｍ以上とすることで、補助隔壁の形成工程や後工程に耐える強度を得ることができる。また３００μｍ以下とすることで、均質で強固な焼成を行うことができる。
【００２４】
本発明のプラズマディスプレイ用部材は、補助隔壁の頂部に、隔壁と平行方向に貫通する溝を有することが必要である。図１において、６は補助隔壁頂部に形成した溝であり、この溝は隔壁と平行方向に貫通している。このような溝を有することにより、ディスペンサー法やスクリーン印刷法により隔壁間に線状に蛍光体ペーストを塗布した際にも、補助隔壁の頂部に乗った蛍光体層ペーストは速やかに補助隔壁の側壁面に流れ落ち、補助隔壁の頂部への蛍光体の残存を防ぐことができる。
【００２５】
補助隔壁の頂部の溝は、アドレス電極の真上に相当する部位を含むこと、すなわち隣り合う隔壁間の中央部に形成されていることが、蛍光体ペースト塗着を均一に行う点で好ましい。というのは、ディスペンサー法やスクリーン印刷法において、通常は隔壁間の距離よりも小さい口径のノズルや狭い幅のスリットのスクリーン版を用い、それらノズルやスリットの中心は隔壁間の中心に位置した状態で塗布を行うからである。
【００２６】
補助隔壁の頂部の溝の最大幅は、隔壁のピッチの１／２０〜１／３であることが好ましい。隔壁頂部の溝の最大幅を１／２０以上とすることにより、補助隔壁頂部に乗った蛍光体ペーストを速やかに流し落とすことができる。また１／３以下とすることにより、補助隔壁の効果を阻害しない程度の溝の深さで補助隔壁頂部への蛍光体付着の抑制の実効を得ることができる。
【００２７】
補助隔壁の頂部の溝の最大深さは、補助隔壁の高さの１／８〜１／２、さらには１／７〜１／２であることが好ましい。溝の深さを補助隔壁の高さの１／８、さらには１／７以上とすることによって、補助隔壁頂部に乗った蛍光体ペーストを速やかに流し落とすことができる。また１／２以下とすることによって、蛍光体を補助隔壁の壁面に保持することによる輝度向上の実効を得ることができる。
【００２８】
また、隔壁頂部の溝の幅や深さは、ＲＧＢの各蛍光体ペーストの粘度等の特性や、発光輝度に応じて、色ごとにその寸法を調整しても良い。
【００２９】
隔壁と補助隔壁の他に、接合補助壁なるものを形成することも好ましい。接合補助壁とは、補助隔壁の並列パターンの両側部の外側であり隔壁の端部である箇所に、隔壁と垂直方向に形成するものであり、これにより隔壁端部の剥がれを防ぐことができる。隔壁が接合補助壁に対して突出する端部の長さは０．５ｍｍ以下とすることが、剥がれ防止の実効を得る上で好ましい。
【００３０】
次に、本発明における隔壁および補助隔壁の形成方法について説明する。隔壁および補助隔壁は、基板上に絶縁性無機成分と有機成分からなるペーストを、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、感光性ペースト法（フォトリソグラフィー法）、金型転写法、リフトオフ法等公知の技術により隔壁および補助隔壁パターンを形成し、焼成することで形成されるが、溝の形状制御、均一性等の理由から、中でも感光性ペーストを基板上に塗布、乾燥し感光性ペースト膜を形成し、フォトマスクを介して露光・現像するいわゆる感光性ペースト法（フォトリソグラフィー法）が本発明では好ましく適用される。
【００３１】
以下に本発明で適用する感光性ペースト法について、詳述する。
【００３２】
本発明で用いる感光性ペーストは、無機微粒子と感光性有機成分を主成分とするものである。
【００３３】
感光性ペーストの無機微粒子としては、ガラス、セラミック（アルミナ、コーディライトなど）などを用いることができる。特に、ケイ素酸化物、ホウ素酸化物、または、アルミニウム酸化物を必須成分とするガラスやセラミックスが好ましい。
【００３４】
無機微粒子の粒子径は、作製しようとするパターンの形状を考慮して選ばれるが、体積平均粒子径（Ｄ５０）が、１〜１０μｍであることが好ましく、より好ましくは、１〜５μｍである。Ｄ５０を１０μｍ以下とすることで、表面凸凹が生じるのを防ぐことができる。また、１μｍ以上とすることで、ペーストの粘度調整を容易にすることができる。さらに、比表面積０．２〜３ｍ2／ｇのガラス微粒子を用いることが、パターン形成において、特に好ましい。
【００３５】
隔壁および補助隔壁は、好ましくは熱軟化点の低いガラス基板上にパターン形成されるため、無機微粒子として、熱軟化温度が３５０℃〜６００℃のガラス微粒子を６０重量％以上含む無機微粒子を用いることが好ましい。また、熱軟化温度が６００℃以上のガラス微粒子やセラミック微粒子を添加することによって、焼成時の収縮率を抑制することができるが、その量は、４０重量％以下が好ましい。
【００３６】
用いるガラス粉末としては、焼成時にガラス基板にそりを生じさせないためには線膨脹係数が５０×１０-7〜９０×１０-7、更には、６０×１０-7〜９０×１０-7のガラス微粒子を用いることが好ましい。
【００３７】
隔壁を形成する素材としては、ケイ素および／またはホウ素の酸化物を含有したガラス材料が好ましく用いられる。
【００３８】
酸化ケイ素は、３〜６０重量％の範囲で配合されていることが好ましい。３重量％以上とすることで、ガラス層の緻密性、強度や安定性が向上し、また、熱膨脹係数を所望の範囲内とし、ガラス基板とのミスマッチを防ぐことができる。また、６０重量％以下にすることによって、熱軟化点が低くなり、ガラス基板への焼き付けが可能になるなどの利点がある。
【００３９】
酸化ホウ素は、５〜５０重量％の範囲で配合することによって、電気絶縁性、強度、熱膨脹係数、絶縁層の緻密性などの電気、機械および熱的特性を向上することができる。５０重量％以下とすることでガラスの安定性を保つことができる。
【００４０】
さらに、酸化ビスマス、酸化鉛、酸化亜鉛のうちの少なくとも１種類を合計で５〜５０重量％含有させることによって、ガラス基板上にパターン加工するのに適した温度特性を有するガラスペーストを得ることができる。特に、酸化ビスマスを５〜５０重量％含有するガラス微粒子を用いると、ペーストのポットライフが長いなどの利点が得られる。ビスマス系ガラス微粒子としては、次の組成を含むガラス粉末を用いることが好ましい。
酸化ビスマス    ：１０〜４０重量部
酸化ケイ素      ：  ３〜５０重量部
酸化ホウ素      ：１０〜４０重量部
酸化バリウム    ：  ８〜２０重量部
酸化アルミニウム：１０〜３０重量部。
【００４１】
また、酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウムのうち、少なくとも１種類を３〜２０重量％含むガラス微粒子を用いてもよい。アルカリ金属酸化物の添加量は、２０重量％以下、好ましくは、１５重量％以下にすることによって、ペーストの安定性を向上することができる。上記３種のアルカリ金属酸化物の内、酸化リチウムがペーストの安定性の点で、特に好ましい。リチウム系ガラス微粒子としては、例えば次に示す組成を含むガラス粉末を用いることが好ましい。
【００４２】
この場合の具体的なガラス微粒子としては、次に示す組成を含むガラス粉末を用いることが好ましい。
酸化リチウム    ：  ２〜１５重量部
酸化ケイ素      ：１５〜５０重量部
酸化ホウ素      ：１５〜４０重量部
酸化バリウム    ：  ２〜１５重量部
酸化アルミニウム：  ６〜２５重量部。
【００４３】
また、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛のような金属酸化物と酸化リチウム，酸化ナトリウム、酸化カリウムのようなアルカリ金属酸化物の両方を含有するガラス微粒子を用いれば、より低いアルカリ含有量で、熱軟化温度や線膨脹係数を容易にコントロールすることができる。
【００４４】
また、ガラス微粒子中に、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウムなど、特に、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化亜鉛を添加することにより、加工性を改良することができるが、熱軟化点、熱膨脹係数の点からは、その含有量は、４０重量％以下が好ましく、より好ましくは２５重量％以下である。
【００４５】
感光性有機成分としては、感光性モノマー、感光性オリゴマー、感光性ポリマーのうちの少なくとも１種類から選ばれた感光性成分を含有することが好ましく、更に、必要に応じて、光重合開始剤、光吸収剤、増感剤、有機溶媒、増感助剤、重合禁止剤を添加する。
【００４６】
感光性モノマーとしては、炭素−炭素不飽和結合を含有する化合物で、その具体的な例として、単官能および多官能性の（メタ）アクリレート類、ビニル系化合物類、アリル系化合物類などを用いることができる。これらは１種または２種以上使用することができる。
【００４７】
感光性オリゴマー、感光性ポリマーとしては、炭素−炭素２重結合を有する化合物のうちの少なくとも１種類を重合して得られるオリゴマーやポリマーを用いることができる。重合する際に、これらのモノマの含有率が、１０重量％以上、さらに好ましくは３５重量％以上になるように、他の感光性のモノマと共重合することができる。ポリマーやオリゴマーに不飽和カルボン酸などの不飽和酸を共重合することによって、感光後の現像性を向上することができる。不飽和カルボン酸の具体的な例として、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、または、これらの酸無水物などが挙げられる。こうして得られた側鎖にカルボキシル基などの酸性基を有するポリマ、もしくは、オリゴマーの酸価（ＡＶ）は、５０〜１８０の範囲が好ましく、７０〜１４０の範囲がより好ましい。以上に示したポリマーもしくはオリゴマーに対して、光反応性基を側鎖または分子末端に付加させることによって、感光性をもつ感光性ポリマや感光性オリゴマーとして用いることができる。好ましい光反応性基は、エチレン性不飽和基を有するものである。エチレン性不飽和基としては、ビニル基、アリル基、アクリル基、メタクリル基などが挙げられる。
【００４８】
光重合開始剤の具体的な例として、ベンゾフェノン、Ｏ-ベンゾイル安息香酸メチル、４，４−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４−ジクロロベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４−メチルフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、２，３−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニル−２−フェニルアセトフェノンなどが挙げられる。これらを１種または２種以上使用することができる。光重合開始剤は、感光性成分に対し、好ましくは０．０５〜１０重量％の範囲で添加され、より好ましくは、０．１〜５重量％の範囲で添加される。重合開始剤の量が少な過ぎると、光感度が低下する傾向にあり、光重合開始剤の量が多すぎると、露光部の残存率が小さくなり過ぎる傾向にある。
【００４９】
光吸収剤を添加することも有効である。紫外光や可視光の吸収効果が高い化合物を添加することによって、高アスペクト比、高精細、高解像度が得られる。光吸収剤としては、有機系染料からなるものが好ましく用いられる、具体的には、アゾ系染料、アミノケトン系染料、キサンテン系染料、キノリン系染料、アントラキノン系染料、ベンゾフェノン系染料、ジフェニルシアノアクリレート系染料、トリアジン系染料、ｐ−アミノ安息香酸系染料などが使用できる。有機系染料は、焼成後の絶縁膜中に残存しないので、光吸収剤による絶縁膜特性の低下を少なくできるので好ましい。これらの中でも、アゾ系およびベンゾフェノン系染料が好ましい。有機染料の添加量は、０．０５〜５重量％が好ましく、より好ましくは、０．０５〜１重量％である。添加量が少なすぎると、光吸収剤の添加効果が減少する傾向にあり、多すぎると、焼成後の絶縁膜特性が低下する傾向にある。
【００５０】
増感剤は、感度を向上させるために添加される。増感剤の具体例としては、２，４−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，３−ビス（４−ジエチルアミノベンザル）シクロペンタノン、２，６−ビス（４−ジメチルアミノベンザル）シクロヘキサノンなどが挙げられる。これらを１種または２種以上使用することができる。増感剤を感光性ペーストに添加する場合、その添加量は、感光性成分に対して通常０．０５〜１０重量％、より好ましくは０．１〜１０重量％である。増感剤の量が少な過ぎると光感度を向上させる効果が発揮されない傾向にあり、増感剤の量が多過ぎると、露光部の残存率が小さくなる傾向にある。
【００５１】
有機溶媒としては、例えば、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、γ−ブチルラクトン、Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、ジブロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安息香酸、クロロ安息香酸などやこれらのうちの１種以上を含有する有機溶媒混合物が用いられる。
【００５２】
感光性ペーストは、通常、上記の無機微粒子や有機成分を所定の組成になるように調合した後、３本ローラーや混練機で均質に混合分散し作製する。
【００５３】
次いで感光性ペーストの塗布、乾燥、露光、現像等を行うが、これらの一連の工程の説明に先立ち、本発明で適用する感光性ペースト法において、露光で用いるフォトマスクには、破線状のストライプのパターンか、または破線状のストライプと直線状のストライプの組み合わせからなるパターンを有するものを用いることが重要である。破線状あるいは直線状とは、有限の長さと幅を有する断続的あるいは連続的なスリットを指す。通常は、連続的に延在する直線状のスリットから頂部が平坦な隔壁等を得ることができるのだが、本発明者等は、断続的に延在する破線状のスリットから、頂部に切り欠き、すなわち延在方向と交わり貫通する溝を形成できることを見出した。
【００５４】
つまり、フォトリソグラフィーにおいて露光光はフォトマスク以降完全に鉛直方向に直進するわけではなく、フォトマスクの遮光部の陰になる部分にも若干露光光がまわり込む。従って、光硬化型の感光性ペーストを用い、破線状のスリットが途切れる間隔や露光条件を調節すると、スリットが途切れる遮光部の直下は硬化されないが、塗布膜の深さ方向に進んだ箇所では露光光のまわり込みにより硬化する。かくして所望の寸法の溝を形成することができるのである。
【００５５】
溝の諸寸法（深さ、幅等）は、前記破線状のスリットが途切れる区間（遮光部）の大きさ、露光光源の平行度、露光量、フォトマスクと感光性ペーストの塗布膜の表面との距離（ギャップ量）等を調整することで設定できる。
【００５６】
例えば、遮光部分の大きさを大きくすることで溝の最大幅を大きくすることができ、逆に遮光部分の大きさを小さくすることで溝の最大幅を小さくすることができる。
【００５７】
また、露光光源の平行度を高くしたり、露光量を小さくすることで溝の最大深さを大きくすることができ、また逆に露光光源の平行度を低くしたり、露光量を大きくすることで溝の最大深さを小さくすることができる。
【００５８】
さらに、ギャップ量を大きくすることで溝の深さを小さくすることができ、またギャップ量を小さくすることで溝の深さを小さくすることができる。
【００５９】
以下に、隔壁と補助隔壁の高さ関係に応じて好ましく適用する、塗布から露光までの２種類の一連の形成工程を示す。
【００６０】
第１の形成工程は補助隔壁の高さがアドレス電極と平行方向に形成される隔壁高さより低い場合に好ましく適用される。まず乾燥・焼成による収縮分を考慮した補助隔壁高さに相当する厚みの感光性ペーストを塗布、乾燥し、破線状のストライプのパターンを有するフォトマスクを、アドレス電極と破線状スリットが垂直となるように配置する。その際、スリットの途切れる区間の中央部にアドレス電極の中心が位置するようフォトマスクを配置することが好ましい。また、破線状のストライプの並列方向の両側部の外側に、破線状のスリットと平行に、接合補助壁を形成する目的で一本乃至数本ずつの直線状あるいは破線状のスリットを有するフォトマスクを用いても良い。次いでパターン露光する。
【００６１】
次いで、乾燥・焼成による収縮分を考慮した残りの隔壁の高さに相当する厚みとなるように、前記補助隔壁パターンが露光された膜上に感光性ペーストを塗布、乾燥し、直線状のストライプのパターンを有するフォトマスクをアドレス電極と直線状スリットが平行となるように配置する。その際、隣り合うスリット間の中央にアドレス電極が位置するようにフォトマスクを配置することが好ましい。次いで再び露光する。
【００６２】
第２の形成工程は、補助隔壁と隔壁の高さが同じ場合に好ましく適用される。まず収縮分を考慮した隔壁・補助隔壁の高さに相当する厚みの感光性ペーストを塗布、乾燥し、破線状のストライプと直線状のストライプが直交するパターンを有するフォトマスクを、アドレス電極と直線状スリットが平行となるように配置する。その際、破線状スリットのスリットが途切れる区間の中央部にアドレス電極の中心が位置するようフォトマスクを配置することが好ましい。また、破線状のストライプの並列方向の両側部の外側に、破線状のスリットと平行に、接合補助壁を形成する目的で一本乃至数本ずつの直線状あるいは破線状のスリットを有するフォトマスクを用いても良い。次いで露光する。
【００６３】
これらの一連の形成工程において、感光性ペーストを塗布する方法としては、スクリーン印刷法、バーコーター、ロールコーター、ダイコーター、ブレードコーターなどを用いることができる。塗布厚みは、塗布回数、スクリーンのメッシュ、ペーストの粘度を選ぶことによって調整できる。
【００６４】
また、塗布後の乾燥は、通風オーブン、ホットプレート、ＩＲ炉などを用いることができる。
【００６５】
露光で使用される活性光源は、例えば、可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、Ｘ線、レーザ光などが挙げられる。これらの中で紫外線が最も好ましく、その光源として、例えば、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、殺菌灯などが使用できる。これらのなかでも超高圧水銀灯が好適である。露光条件は、塗布厚みによって異なるが、１〜１００ｍＷ／ｃｍ2の出力の超高圧水銀灯を用いて０．１〜１０分間露光を行う。
【００６６】
ここで、フォトマスクと感光性ペーストの塗布膜表面との距離、すなわちギャップ量は５０〜５００μｍ、さらには７０〜４００μｍに調整することが好ましい。ギャップ量を５０μｍ以上さらには７０μｍ以上とすることにより、感光性ペースト塗布膜とフォトマスクの接触を防ぎ、双方の破壊や汚染を防ぐことができる。また５００μｍ以下さらには４００μｍ以下とすることにより、適度にシャープなパターニングが可能となる。
【００６７】
現像は、露光部分と非露光部分の現像液に対する溶解度差を利用して、現像を行う。現像は、浸漬法やスプレー法、ブラシ法等で行うことができる。
【００６８】
現像液は、感光性ペースト中の溶解させたい有機成分が溶解可能である溶液を用いる。感光性ペースト中にカルボキシル基などの酸性基をもつ化合物が存在する場合、アルカリ水溶液で現像できる。アルカリ水溶液としては、水酸化ナトリウムや炭酸ナトリウム、炭酸ナトリウム水溶液、水酸化カルシウム水溶液などが使用できるが、有機アルカリ水溶液を用いた方が焼成時にアルカリ成分を除去しやすいので好ましい。有機アルカリとしては、一般的なアミン化合物を用いることができる。具体的には、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド、トリメチルベンジルアンモニウムヒドロキサイド、モノエタノールアミン、ジエタノールアミンなどが挙げられる。アルカリ水溶液の濃度は、通常、０．０１〜１０重量％、より好ましくは０．１〜５重量％である。アルカリ濃度が低過ぎれば可溶部が除去されない傾向にあり、アルカリ濃度が高過ぎれば、パターン部を剥離したり、また、非可溶部を腐食させる傾向にある。また、現像時の現像温度は、２０〜５０℃で行うことが工程管理上好ましい。
【００６９】
次に、現像により得られた隔壁・補助隔壁のパターンは焼成炉にて焼成される。焼成雰囲気や温度は、ペーストや基板の種類によって異なるが、空気中、窒素、水素などの雰囲気中で焼成する。焼成炉としては、バッチ式の焼成炉やローラーハース式の連続型焼成炉を用いることができる。焼成温度は、４００〜８００℃で行うと良い。ガラス基板上に直接隔壁を形成する場合は、４５０〜６２０℃の温度で１０〜６０分間保持して焼成を行うと良い。
【００７０】
次いで所定のアドレス電極と平行方向に形成された隔壁間に、Ｒ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）各色に発光する蛍光体層を形成する。蛍光体層は、蛍光体粉末、有機バインダーおよび有機溶媒を主成分とする蛍光体ペーストを所定の隔壁間に塗着させ、乾燥し、必要に応じて焼成することにより形成することができる。
【００７１】
蛍光体ペーストを所定の隔壁間に塗着させる方法としては、スクリーン印刷版を用いてパターン印刷するスクリーン印刷法、吐出ノズルの先端から蛍光体ペーストをパターン吐出するディスペンサー法、また、蛍光体ペーストの有機バインダーとして前述の感光性を有する有機成分を用いた感光性ペースト法により各色の蛍光体ペーストを所定の場所に塗着させることができるが、コストの理由からスクリーン印刷法、ディスペンサー法が本発明では好ましく適用される。
【００７２】
本発明のように補助隔壁頂部に溝が存在し、かつその溝がアドレス電極と平行方向に形成された隔壁と平行方向に貫通している場合、前記蛍光体ペースト塗着方法であっても均一に塗着でき、さらに補助隔壁とアドレス電極と平行方向に形成された隔壁の高さが同じである場合でも、補助隔壁上への蛍光体ペースト塗着、および他の色との混色を抑制することができる。
【００７３】
Ｒ蛍光体層の厚みをＴｒ、Ｇ蛍光体層の厚みをＴｇ、および、Ｂ蛍光体層の厚みをＴｂとしたとき、好ましくは、
１０μｍ≦Ｔｒ≦Ｔｂ≦５０μｍ
１０μｍ≦Ｔｇ≦Ｔｂ≦５０μｍ
なる関係を有することにより、より本発明の効果を発揮できる。つまり、発光輝度の低い青色について、厚みを緑色、赤色よりも厚くすることにより、より色バランスに優れた（色温度の高い）プラズマディスプレイを作製できる。蛍光体層の厚みとしては、１０μｍ以上とすることで十分な輝度を得ることができる。また、５０μｍ以下とすることで放電空間を広くとり高い輝度を得ることができる。この場合の蛍光体層の厚みは、隣り合う隔壁の中間点での形成厚みとして測定する。つまり、放電空間（セル内）の底部に形成された蛍光体層の厚みとして測定する。
【００７４】
塗着させた蛍光体層を必要に応じて、４００〜５５０℃で焼成する事により、本発明のプラズマディスプレイ用部材を作製することができる。
【００７５】
このプラズマディスプレイ用部材を背面板として用いて、前面板と封着後、前背面の基板間隔に形成された空間に、ヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される放電ガスを封入後、駆動回路を装着してプラズマディスプレイを作製できる。前面板は、基板上に所定のパターンで透明電極、バス電極、誘電体、保護膜（ＭｇＯ）を形成した部材である。背面板上に形成されたＲＧＢ各色蛍光体層に一致する部分にカラーフィルター層を形成しても良い。また、コントラストを向上するために、ブラックストライプを形成しても良い。
【００７６】
【実施例】
以下に、本発明を実施例を用いて、具体的に説明する。ただし、本発明はこれに限定はされない。なお、実施例、比較例中の濃度（％）は重量％である。
【００７７】
（実施例１）
まず前面板を作製した。
旭硝子社製ガラス基板ＰＤ２００上に、ＩＴＯを用いて、ピッチ３７５μｍ、線幅１５０μｍのスキャン電極を形成した。また、その基板上に感光性銀ペーストを塗布した後に、フォトマスクを介したマスク露光、０．３％炭酸ナトリウム水溶液を用いた現像、５８０℃１５分間の焼成工程を経て、線幅５０μｍ、厚み３μｍのバス電極を形成した。
【００７８】
次に、酸化鉛を７５重量％含有する低融点ガラスの粉末を７０％、エチルセルロース２０％、テルピネオール１０％を混練して得られたガラスペーストをスクリーン印刷により、表示部分のバス電極が覆われるように５０μｍの厚みで塗布した後に、５７０℃１５分間の焼成を行って誘電体を形成した。
【００７９】
誘電体を形成した基板上に電子ビーム蒸着により保護膜として、厚み０．５μｍの酸化マグネシウム層を形成して前面板を作製した。
【００８０】
次に、背面板を作製した。
ガラス基板ＰＤ２００上に感光性銀ペースト用いてアドレス電極を作製した。感光性銀ペーストを塗布、乾燥、露光、現像、焼成工程を経て、線幅５０μｍ、厚み３μｍ、ピッチ２５０μｍのアドレス電極を形成した。
【００８１】
次に、酸化ビスマスを７５重量％含有する低融点ガラスの粉末を６０％、平均粒子径０．３μｍの酸化チタン粉末を１０重量％、エチルセルロース１５％、テルピネオール１５％を混練して得られたガラスペーストをスクリーン印刷により、表示部分のバス電極が覆われるように２０μｍの厚みで塗布した後に、５７０℃１５分間の焼成を行って誘電体層を形成した。
【００８２】
誘電体層上に、１層目の感光性ペーストを塗布した。感光性ペーストはガラス粉末と感光性成分を含む有機成分から構成され、ガラス粉末としては、酸化リチウム１０重量％、酸化珪素２５重量％、酸化硼素３０重量％、酸化亜鉛１５重量％、酸化アルミニウム５重量％、酸化カルシウム１５重量％からなる組成のガラスを粉砕した平均粒子径２μｍのガラス粉末を用いた。感光性成分を含む有機成分としては、カルボキシル基を含有するアクリルポリマー３０重量％、トリメチロールプロパントリアクリレート３０重量％、光重合開始剤である“イルガキュア３６９”（チバガイギー社製）１０重量％、γ−ブチロラクトン３０重量％からなるものを用いた。
【００８３】
感光性ペーストは、これらのガラス粉末と感光性成分を含む有機成分をそれぞれ７０：３０の重量比率で混合した後に、ロールミルで混練して作製した。
【００８４】
次にこの感光性ペーストをダイコーターを用いて乾燥後厚み１７０μｍになるように塗布した。乾燥は、クリーンオーブン（ヤマト科学社製）で行った。
【００８５】
乾燥後、ピッチ３００μｍ、線幅３０μｍであり、透光部２００μｍ／遮光部５０μｍのパターンが等間隔に配列された破線状ストライプパターンを有するフォトマスクを用いて、アドレス電極と垂直方向に露光した。なおこのとき破線状パターンの遮光部がアドレス電極の真上になるように位置合わせをし、ギャップ量を１５０μｍとした。
【００８６】
露光後、上記感光性ペーストをさらに前記露光膜上に塗布し、合計厚みが２００μｍの塗布膜を得た。
【００８７】
次に、ピッチ２５０μｍ、線幅３０μｍのストライプパターンを有するフォトマスクを用いて、アドレス電極と平行方向に露光した。
【００８８】
露光後、０．５重量％のエタノールアミン水溶液中で現像し、さらに、５６０℃で１５分間焼成することにより、ピッチ２５０μｍ、線幅３０μｍ、高さ１４０μｍの隔壁とピッチ３００μｍ、線幅３０μｍ、高さ１２０μｍ、前記隔壁とそれと隣あう隔壁の間に、最大幅Ｅが５０μｍ最大深さｈが４０μｍの、隔壁と平行方向に貫通する溝を頂部に有する補助隔壁を形成した。
【００８９】
次に、隣り合う隔壁間に蛍光体を塗布した。蛍光体の塗布は、２５６カ所の穴（口径：１３０μｍ）が形成されたノズル先端から蛍光体ペーストを吐出するディスペンサー法により形成した。蛍光体は隔壁側面に焼成後厚み２５μｍ、誘電体上に焼成後厚み２５μｍになるように塗布した後に、５００℃で１０分間の焼成を行った。
かくしてＰＤＰ用部材として、背面板を作製した。補助隔壁の頂部には蛍光体の付着はなかった。また、隣り合う蛍光体の混入、すなわち混色もなかった。
【００９０】
さらに、作製した前面基板と背面基板を封着ガラスを用いて封着して、Ｘｅ５％含有のＮｅガスを内部ガス圧６６５００Ｐａになるように封入した。さらに、駆動回路を実装してＰＤＰを作製した。ＰＤＰのスキャン電極に電圧を印加して発光させた。その輝度計を用いて輝度を測定したところ、２５０ｃｄ／ｍ2であり、高い輝度の表示特性を得ることができた。また、混色によるコントラストの低下や色スジや余点の発生も無かった。
【００９１】
（実施例２）
実施例１において、破線状のパターンを有するフォトマスクを透光部１５０μｍ／遮光部長１００μｍ、露光のギャップ量を７５μｍに変更した他は同一の手法により、補助隔壁頂部に最大幅１００μｍ、深さ４５μｍの溝を有する格子状の隔壁パターンを形成し、実施例１と同一手法でＰＤＰを作製した。
【００９２】
背面板の補助隔壁の頂部には蛍光体の付着はなかった。また混色もなかった。
【００９３】
ＰＤＰのスキャン電極に電圧を印加して発光させ、輝度計を用いて輝度を測定したところ、２２０ｃｄ／ｍ2であり、高い輝度の表示特性を得ることができ、得られたＰＤＰには混色によるコントラストの低下や色スジや余点の発生は無かった。
【００９４】
（実施例３）
実施例１と同一の基板上に、感光性ペーストを誘電体上に２００μｍ塗布した。次いで、ピッチ２５０μｍ、線幅３０μｍのストライプ状パターンと、それと垂直方向に形成されたピッチ３００μｍ、線幅３０μｍ、さらに前記ストライプ状パターン間中央部に長さ５０μｍの遮光部を有する破線状ストライプ状パターンを有するフォトマスクを介して、前記破線状ストラープパターンがアドレス電極と垂直になるように、ギャップ量１００μｍで露光した他は、実施例１と同一の手法でピッチ２５０μｍ、線幅３０μｍの隔壁、高さ２００μｍの隔壁および補助隔壁、補助隔壁頂部に最大幅Ｅが５０μｍ、最大深さＨが４３μｍの隔壁と平行方向に貫通する溝を有する格子状隔壁を形成した。補助隔壁および隔壁の頂部には蛍光体の付着はなかった。また混色もなかった。
【００９５】
次いで実施例１と同一の手法で蛍光体層を形成、焼成、封着することで背面板、ＰＤＰを作製した。
【００９６】
かくして得られたＰＤＰを実施例１同様発光させ、輝度を測定したところ、２８０ｃｄ／ｍ2であり、高い輝度の表示特性を得ることができ、また混色によるコントラストの低下や色スジや余点の発生は無かった。
【００９７】
（比較例１）
実施例３において、ピッチ２５０μｍ、線幅３０μｍおよびピッチ３００μｍ、線幅３０μｍのストライプ状パターンが直交する格子状フォトマスクを用い、ピッチ３００μｍのパターンがアドレス電極と垂直になるように露光した他は同一手法により背面板を得た。尚、このとき得られた背面板の補助隔壁頂部には溝は形成されていない。
【００９８】
本比較例の蛍光体ペースト塗着工程で、補助隔壁に相当する部位ではペーストがあふれていまい、隣の色と混色した。また補助隔壁の頂部に蛍光体の付着が見られた。
【００９９】
実施例１と同様にＰＤＰを作製し、発光させたところ、全体的に色合いが悪く、コントラストも低いものであった。また色スジと余点の発生が見られた。
【０１００】
【発明の効果】
本発明によれば、補助隔壁の頂部に特定の溝を形成することで、補助隔壁の頂部への蛍光体の付着を抑制し、他の色との混色を防ぐプラズマディスプレイ用部材およびその製造方法、ならびに高輝度かつ高品位な表示が可能なプラズマディスプレイを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明で形成する隔壁および補助隔壁の形状の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１Ａ、１Ｂ、１Ｃ  隔壁
２Ａ、２Ｂ、２Ｃ  補助隔壁
３  誘電体層
４  アドレス電極
５  ガラス基板
６  溝
【図１】
0004161479.tif 000002