(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
二以上の光学界面を持つ異方性物質の光学リターデーションを測定する方法であって、
光のビームを物質のサンプルに向けるステップと、
物質の光学界面から反射した光の一部を収集するステップと、
収集した光を干渉計に向けるステップと、
収集した光に対応する干渉信号を生成するステップと、
干渉信号を分析しリターデーションの大きさを測定するステップと、
を含み、
前記リターデーションの大きさを測定するステップにおいては、
零交差位置に対応する、干渉信号の第一のピーク、第二のピーク、及び第三のピークが測定され、
第二のピークと第一のピークとの間の距離であってη1ｔ（ここでｔは厚さ、η1は第一の方向の屈折率である）に対応する第一の距離が測定され、
第三のピークと第一のピークとの間の距離であってη２ｔ（ここでｔは厚さ、η２は第一の方向に垂直な第二の方向の屈折率である）に対応する第二の距離が測定され、
この第一の距離と第二の距離との差を測定し、リターデーションの大きさが測定される、
ことを特徴とする光学リターデーションの測定方法。
【請求項２】
二以上の光学界面を持つ異方性物質の光学リターデーションを測定する方法であって、
光のビームを複数の波長光源から物質のサンプルに向けるステップと、
物質の光学界面から反射した光の一部を収集するステップと、
収集した光を干渉計に向けるステップと、
収集した光に対応する干渉信号を生成するステップと、
干渉信号を分析しリターデーションの大きさを測定するステップと、
を含み、
前記リターデーションの大きさを測定するステップにおいては、
零交差位置に対応する、干渉信号の第一のピーク、第二のピーク、及び第三のピークが測定され、
第二のピークと第一のピークとの間の距離であってη1ｔ（ここでｔは厚さ、η1は第一の方向の屈折率である）に対応する第一の距離が測定され、
第三のピークと第一のピークとの間の距離であってη２ｔ（ここでｔは厚さ、η２は第一の方向に垂直な第二の方向の屈折率である）に対応する第二の距離が測定され、
この第一の距離と第二の距離との差を測定し、リターデーションの大きさが測定される、
ことを特徴とする光学リターデーションの測定方法。
【請求項３】
二以上の光学界面を持つ等方性高分子材料の光学リターデーションを測定する方法であって、
光のビームを物質のサンプルに向けるステップと、
物質の光学界面から反射した光の一部を収集するステップと、
収集した光を干渉計に向けるステップと、
収集した光に対応する干渉信号を生成するステップと、
干渉信号を分析しリターデーションの大きさを測定するステップと、
を含み、
前記リターデーションの大きさを測定するステップにおいては、
零交差位置に対応する、干渉信号の第一のピーク、第二のピーク、及び第三のピークが測定され、
第二のピークと第一のピークとの間の距離であってη1ｔ（ここでｔは厚さ、η1は第一の方向の屈折率である）に対応する第一の距離が測定され、
第三のピークと第一のピークとの間の距離であってη２ｔ（ここでｔは厚さ、η２は第一の方向に垂直な第二の方向の屈折率である）に対応する第二の距離が測定され、
この第一の距離と第二の距離との差を測定し、リターデーションの大きさが測定される、
ことを特徴とする光学リターデーションの測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、物質の光学的特性に関し、特に光学的異方性物質の光学リターデーション（光学遅延）の測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
等方性物質は、全ての軸に沿って同等の物理特性を有し、複屈折性ではない。このため、等方性物質に入った光波が、違う速度の複数の光の波に分割されることはない。従って、等方性物質は、単一の屈折率ηを有する。
【０００３】
これに対して異方性物質は、異なる軸に沿って、同等でない物理特性を有する。光学的異方性物質は、典型的に複屈折性である。すなわち光波は、異方性物質に入射する際に、異なる速度および、これにより異なる屈折率（例えば、η1及びη2）を有する二つの波に分割される。光学的異方性物質の例としては、等方性のポリエステルポリマーフィルムが挙げられる。
【０００４】
異方性物質の光学特性の一つに光学リターデーションがある。光学リターデーションは、厚さと複屈折の積として定義される。
【０００５】
【数１】
Ｒ＝ｔ＊ｂ
その代わりに
【０００６】
【数２】
Ｒ＝ｔ＊（η1−η2）
と表わしてもよい。
【０００７】
ここで、Ｒはリターデーション、ｔは厚さ、ｂは複屈折、η1は第一の方向の屈折率、η2は第一の方向に垂直な第二の方向の屈折率である。
【０００８】
米国特許第５，６５９，３９２号及び米国特許第５，５９６，４０９号（マーカス他（Marcus and others））は、一般に譲渡され、ここに参照のために編入するが、物質の物理的な性質を計測する装置及び方法を記載する。この物質の物理的な性質は、厚さ、集合屈折率、表面までの距離等である。この装置は、非コヒーレント光干渉計をコヒーレント光干渉計と関連して含む。
【０００９】
非コヒーレント光干渉法は、物質の物理的な性質を計測するために使われてきた。例えば、米国特許第５，６１０，７１６号（ソリン他（Sorin and others））は、干渉計を使って等方性物質の膜厚を計測する装置及び方法に関する。干渉計の出力の二つのパケット間の距離を測定し膜厚が取得される。ソリンによって「集合屈折率がηと等しい」として参照されることからもわかるように、ソリン他の装置及び方法は、等方性物質に向けられるものである。これに加え、ソリンは厚さの計測方法についてのみ言及している。このためソリン他は、光学リターデーションの計測については述べていない。なぜならソリン他は、異方性物質に向けられたものではないからである。
【００１０】
物質の複屈折を測定するための装置及び方法は存在する。例えば、ドイツ特許第ＤＥ ２３ ３８ ３０５ Ｃ３号（フランゲン（Frangen））は、特にプロセス制御に使用するために適切な形での物質の線形複屈折を測定する方法を記載する。フランゲンは、透過を用い、第一の偏光子を物質の上流に、第一の偏光子とは偏光面が垂直な第二の偏光子を物質の下流に有する構成を記載する。第二の偏光子の下流に位置する光電受信装置が波長を検波し複屈折を測定する。別個の厚さ計測器も設けられている。しかしながら、厚さおよび／または複屈折の特定の値ではなくリターデーションのみを測定することが望まれる場合もある。よって、ドイツの装置はある程度の成功を収めているが、リターデーションの計測に関しては複雑な解決法を与える。更に、偏光部を使わないリターデーションの測定が望まれる場合もある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
このため、異方性物質の光学リターデーションを測定する方法が引き続き望まれている。リターデーションは直接的、すなわち厚さ及び複屈折の特定の値を測定せずに、計測されるべきである。本発明の目的は、異方性物質の光学リターデーションを測定する方法を提供することである。本発明のもう一つの目的は、直接的にリターデーションを測定する方法を提供することである。本発明の更にもう一つの目的は、偏光部を使わないこのような方法を提供することである。本発明の更にもう一つの目的は高信頼性で矛盾のないこのような方法を提供することである。これらの目的は、実例としてのみ記載する。従って、記載される本発明に内在し達成できる他の望ましい目的及び利点が、当業者に生ずる又は明確になる場合もある。本発明は、付属する請求項によって定義される。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の一つの態様によれば、二以上の光学界面を持つ異方性物質の光学リターデーションの測定方法を提供する。光のビームが物質のサンプルに向けられる。次に、物質の光学界面から反射した光が収集され干渉計に向けられる。干渉信号が生成され、この干渉信号は収集された光を表わす。この干渉信号が分析され、リターデーションの大きさを測定する。もう一つの実施形態では、光のビームが複数の波長光源から物質のサンプルに向けられる。
【００１３】
干渉信号を分析しリターデーションの大きさを測定するために、干渉信号の第一のピークが測定され、この第一のピークは、零交差位置（ｚｅｒｏ ｃｒｏｓｓｉｎｇ ｐｏｓｉｔｉｏｎ）に対応する。次に、第二のピークと第一のピークとの間の第一の距離が測定され、この第一の距離は、η1ｔに対応し、ここでｔは厚さ、η1は第一の方向の屈折率である。次に、第三のピークと第一のピークとの間の距離である第二の距離が測定され、この第二の距離はη2ｔに対応し、ここでη2は第一の方向に垂直な第二の方向の屈折率である。この第一の距離と第二の距離との差を測定し、リターデーションの大きさが測定される。
【００１４】
本発明は、厚さ及び複屈折の特定の値を測定することなしに異方性物質のリターデーションを測定する方法を提供する。この方法は高信頼性で、矛盾がなく、分析結果を迅速に提供する。また本発明は、設計容易な、かつ移動可能、小型、かつ偏光部を有しない装置による、異方性物質の光学リターデーションの測定方法を提供する。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下は、図面を参照にした本発明の好適な実施形態の詳細な説明であり、この図面では、同一の符号は数個の図面のそれぞれの中で同一の構成要素を表わす。
【００１６】
図１に、本発明による異方性物質のリターデーションの測定方法に使用するために適切な装置１０を示す。
【００１７】
論考を容易にするために、二つの光学界面（前表面１２ａ及び後表面１２ｂ）を有する厚さｔの単一層異方性物質としてサンプル１２を示す。単一層を有するサンプルと同様に、複数の層を有するサンプルに対しても本発明による方法を用いることができることを、当業者は理解するであろう。更に、図１はサンプル１２を静止した物質として示しているが、サンプル１２は、動いている織布状物質（ｗｅｂ  ｍａｔｅｒｉａｌ）等の静止していない物質であってもよい。
【００１８】
装置１０は、発光ダイオード（ＬＥＤ）等の低コヒーレンス光源１４によって生成された低コヒーレント光でサンプル１２を照らす。光源１４からの光は、光ファイバ１６及び１７、レンズ１８、オプティカルカプラ２２を使ってサンプル１２に伝達される。詳細には、光源１４からの光は光ファイバ１７に沿って伝わり、オプティカルカプラ２２を通り、光ファイバ１６に沿って伝わり、レンズ１８を通り抜ける。レンズ１８は、この光をサンプル１２上に焦点を合わせ、サンプル１２の光学界面から反射された光の一部を収集し、この光の一部は、ファイバ１６に再びカプラによってつながれる。図１に示すようにファイバ１６及びレンズ１８は、取付装置１９（光学プローブ等）に光学的にカプラでつながれてもよい。収集した光の一部は、オプティカルカプラ２２及び光ファイバ２４を使ってマイケルソン干渉計２０（又は、変更可能な差動時間遅延を有する他の光学自己相関器又は干渉計）に向けられる。
【００１９】
マイケルソン干渉計は、当業者には知られるように、違う実施形態を包含することができる。例えば、図１に示すマイケルソン干渉計２０の実施形態は、固定された逆反射体２６（例えば鏡）、移動可能な逆反射体２８、ビームスプリッタ３０、レンズ３２を含む。図２に示す装置１０’を含むその他の実施形態では、マイケルソン干渉計２０’は二つの移動可能な逆反射体２５及び２７を含み、これらは反対の方向に同期し移動する。当業者に知られるように、逆反射体は干渉計の二つの腕（ａｒｍ）（分岐（ｂｒａｎｃｈ）とも呼ばれる）の間の光学行路の遅延を変化させるために用いることができる。非コヒーレント光の場合、干渉計の二つの腕の間の光学行路の遅延がサンプルの一対の光学界面間の対応する光学行路差と等しい時に、構造的干渉が起きる。また、構造的干渉は、干渉計の二つの腕の間の光学行路の遅延が実質上０の時にも起きる。これは通常、零交差位置と呼ばれる。構造的干渉のピークの幅は、光源の可干渉距離に関係する。可干渉距離が短ければピークは狭くなる。従って、単一層の異方性サンプル１２（二つの屈折率、η1及びη2を有し、よって二つの光学行路を有する）が装置１０内に設けられた時、構造的干渉は、光学行路遅延が０、η1ｔ、η2ｔの時に起きる。
【００２０】
図１において、干渉計２０に向けられた光信号は、二つの光学界面（前表面ｆ及び後表面ｂ）から反射された光を含む。向けられた光は、ビームスプリッタ３０によって二つのビームに分割され、この二つのビームは違う行路を通り抜ける。第一の行路は、固定された逆反射体２６に向けられ、第二の行路は移動可能な逆反射体２８に向けられる。第一及び第二の行路を通り抜けた後、光はビームスプリッタ３０によって再び結合され、光の強度を計測するフォトダイオード３４に向けられる。干渉信号が提供され、この干渉信号は、逆反射体の相対的な移動距離の関数として強度を表わす。干渉信号は、データプロセッサ３６によって下記の様に処理され、リターデーションの大きさおよび／または光学行路を測定する。
【００２１】
位置Ｘ（すなわち距離）の関数である干渉信号の例を、図３及び図４にサンプル１２の干渉信号として示す。図３及び図４に示されたデータは、６０ナノメートル（ｎｍ）の帯域幅及び１２．５マイクロメートル（μｍ）の可干渉距離を有する１３００ナノメートルＬＥＤ光源に関係する。二つの水平の尺度を図３及び図４に示す。第一の尺度は光学行路遅延尺度で、Ｘ＝０は零交差位置を表わし、第二の尺度は、干渉計内で生じた累積光学行路差を表わす。この強度関数は、図３に４０から４２として示される３つの干渉縞の「パケット」又は「バースト」を有する。最大のパケット４０の中心は、干渉計２０の零交差位置に対応する。零交差位置は、干渉計の光学行路遅延差が０．０位置単位（例えばマイクロメートル）の位置に生じる。他の言葉で述べると、干渉計の二つの光学行路の長さが等しく、従って各々の反射面（サンプル１２の前表面及び後表面）からの光が、自身とコヒーレント干渉（ｃｏｈｅｒｅｎｔｌｙ ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｓ）する結果、零交差位置が生じる。サンプル１２のリターデーションの結果、二つの小さなパケット４１及び４２が生じる。より詳しくは、サンプル１２の二つの表面で生成された反射光の間の交差干渉の結果、これらのより小さなパケット４１及び４２が生じる。
【００２２】
出願人は、二つの小さなパケット４１及び４２の中心間の距離がリターデーションの直接的な計測結果であることを把握した。詳細には、最大のピーク４０の中心と二つの小さなピーク４１及び４２の中心との間の距離が、それぞれｔ＊η1、ｔ＊η2である。よって、大きなパケットと二つの小さなパケットとの間の距離の差異を測定することにより、リターデーションの計測を行うことができる。換言すれば、η1ｔ及びη2ｔのそれぞれに対応する構造的干渉の二つの位置関係の間における光学行路遅延の差から、リターデーションを直接的に測定することができる。
【００２３】
例えば、リターデーションを測定するために、干渉信号が最初に分析され、零交差位置に対応する第一のピークを測定する。図５は、図３及び図４の干渉計データに対して計算されたピークの位置を示す。図５は、零交差位置が、光学行路遅延の計測の開始からおよそ１００マイクロメートルの位置にあることを示す。第二のピークは、およそ７００の位置にあると測定され、第三のピークは、およそ７３０の位置にあると測定される。第一のピークと第二のピークの間の距離は６００（すなわち７００−１００）であり、第一のピークと第三のピークとの間の距離は６３０（すなわち７３０−１００）である。従って、リターデーションは３０マイクロメートル（６３０−６００）と測定される。
【００２４】
もし干渉計の光学行路遅延の方向が、約９００マイクロメートルの位置で逆にされ、逆方向に同じ距離だけ移動した場合、図６に示すようなピークパターンの繰返しが観察される。図示するように、前方向の移動の鏡像が、およそ９００マイクロメートルの位置から存在する。よってリターデーション値は、干渉計の移動方向に依存せずになおも約３０マイクロメートルと測定される。パケットの干渉縞の幅は、光源の有効可干渉距離によって決定され、このパケットの幅は、図４に示すようにとても大きい場合があることに留意したい。この図４はより小さなパケット４１及び４２の拡張図である。よって、リターデーションの正確さは、パケットの中心の間の距離をどれだけ正確に測定できるかに依存する。パケットの中心を測定するために数々の方法を用いることができる。一つの方法は米国特許第５，６５９，３９２号（マーカス他）及び米国特許第５，５９６，４０９号（マーカス他）に記載され一般に譲渡され、ここに参照のために編入する。もう一つの方法は、米国特許第５，６１０，７１６号（ソリン他）に記載され、ヒューレットパッカード社（Hewlett-Packard Company）に譲渡され、ここに参照のために編入する。この二つ目の方法は、干渉信号のフーリエ変換の位相の傾きを周波数の関数として測定することに関する。
【００２５】
もし光学的な厚さ及びリターデーションの両方を計測したいのであれば、干渉計により３つのパケット全てを観察するのに十分な距離を、計測することが必要である。このためには、零交差位置よりも下から他の二つのピークを越えて計測する必要がある。図５においてこれは、１００マイクロメートルよりも下から７３０マイクロメートル（計測距離の単位において）を越えて走査することを意味する。
【００２６】
サンプル１２の厚さが繰返し可能の範囲内で既知の範囲内であれば、計測を零交差位置よりも上の位置から開始し、他の二つのピークを越えて計測するだけで十分な場合もある。この時、リターデーションは二つの走査されたピークの間の距離として直接的に計測できる。図５において、これは７００から７３０マイクロメートル（計測距離の単位において）の間を計測することを意味し、リターデーションを７３０−７００＝３０マイクロメートルと測定することを意味する。
【００２７】
特に複数のサンプルが検査される場合や、製造環境でサンプルが連続的に検査される場合等に、反復計測が望まれる場合がある。例えば、一軸又は二軸の等方性高分子物質の製造過程においては、連続的にサンプルのリターデーションの監視をすることは製造処理の均一性を評価するために便利である。等方性物質の例としては、共重合体、ポリエステル、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）、ポリフッ化ビニリデン、ポリウレタン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアミド、ポリエチレンナフタラート（ＰＥＮ）、ポリクロロトリフルオロエチレン、及び他の結晶又は半晶質重合体等がある。長手方向及び幅方向の両方の均一性を監視することができる。長手方向の計測は、図７に示すように行うことができ、ここでサンプル１２は、矢印Ａの方向に動く織布状物質（ｗｅｂ  ｍａｔｅｒｉａｌ）であり、織布状物質（ｗｅｂ  ｍａｔｅｒｉａｌ）の長手方向に沿ってリターデーションの計測を行うことができる。その他の方法として、図８に示すように、光学プローブ１９（レンズ１８を含む）を当業者に知られる手段（例えば運搬ステージ走査フレーム）によって取付け、サンプル１２の幅方向に沿って矢印Ｂに示される方向に動かすことにより、幅方向のリターデーションの測定を行うこともできる。
【００２８】
ライン上での製造計測のためには、干渉計の光学行路遅延は、対象物の計測に十分な距離間隔で反復的に変化する。逆反射体は、前方向及び逆方向へ振幅Ａと周波数ｆで交互に移動する。連続的な計測のために、干渉計の二つの腕（ａｒｍ）の間の相対的な光学行路遅延は、リターデーションを表わす一連の干渉信号を発生させるために十分な距離で交互に単調に増加及び単調に減少する。稼働中は、最初のデータポイントを原点「０」の距離と定義する連続的なデータファイルに、干渉信号が保存される。累積した計測距離の合計をｘ軸として、距離ファイルが作成される。図５に示すように、零交差点は、計測の開始から１００マイクロメートル（μｍ）の距離に位置する。
【００２９】
反復計測の例をここに示す。この例で、サンプルの光学的な厚さは、５５０と６００の間と知られており、リターデーションは２０と４０の間と知られている。最初に図９において、もし光学的な厚さとリターデーションの両方を計測するのであれば、３つのパケット全てを観察するために十分な相対的な光学行路遅延の差異分の距離を、干渉計が移動する必要がある。即ち、計測は零交差ピークよりも下から始まり、増加して距離η1ｔ及びη2ｔを越える。その後、移動する方向が逆にされる。しかるに、光学行路遅延シーケンスは、零交差よりも下（例えば、零交差より５０マイクロメートル下）から始まり、零交差よりも上に６４０マイクロメートル（６４０＝６００＋４０＝最大の光学的な厚さに最大リターデーションを加えたもの）を越える（例えば、５０マイクロメートル分を越えて６９０マイクロメートル）。干渉計の移動モータはその後、逆転され同じ距離を移動する。繰返された干渉信号のピークのパターンを図９に示す。その他の方法として、距離η1ｔ及びη2ｔについて計測を行うこともできる。移動の方向が、ピークの各組の間で変わり、その結果、図１０に示すような干渉信号が生じる。隣り合う各々のη1ｔとη2ｔのピークの間の距離がサンプルのリターデーションを表わす。図１１は、この結果生じた特定のサンプルの幅方向のリターデーションプロフィールを示す。
【００３０】
もしサンプル１２が複数の層を含む場合、本発明の方法を用いることができる。この場合、干渉信号には追加のパケットが含まれ、この追加のパケットも分析を必要とする。追加の各パケットは、層のうちの一つを表わし、各パケットと複層サンプルの各層とを対応させる必要がある。一般に譲渡されている米国特許第５，７５７，４８５号（マーカス他）及び米国特許第５，７５７，４８６号（マーカス他）を参照し、ここに参考として編入する。
【００３１】
中心波長１３００ナノメートル、帯域幅６０ナノメートルの単一の広帯域ＬＥＤ光源１４を用いて、本発明の方法はピークの間隙が２０マイクロメートルよりも大きいサンプルに対して０．０５０マイクロメートル以内の計測再現性を提供した。単一波長のＬＥＤ光源の可干渉距離はおよそ１２．５マイクロメートルであり、リターデーションの大きさが減少するに従って、特に約２０マイクロメートルよりもリターデーションが小さい時、干渉同士の重複が起きる。複数の光源は、より短い可干渉距離の光源により、計測の空間解像度を向上させる。異なる中心波長を持つ広帯域ＬＥＤを組合わせて実質上、より短い可干渉距離の光源を提供することができる。図１２は、表１に示す特徴を備えた４つの広帯域光源１４ａから１４ｄの組合わせを示す。この４つの波長源は、ほぼ３マイクロメートルの有効可干渉距離を持つ。図１３は、この４つの波長広帯域光源のための零交差干渉を示し、図１４は単一の１３１０ナノメートル、１２．５マイクロメートル可干渉距離光源を使った際の零交差干渉を示す。
【００３２】
図１５は、７マイクロメートルのリターデーションを持つサンプルを複数の波長光源を用いて計測したリターデーション干渉を示す。複数の光源を用いることによって、狭い中心のピークは、低い強度の側帯波の一組と共に現われる。リターデーションの大きさが低い場合、一対の干渉ピークが、低コヒーレンス光源の低い可干渉距離の区間内に現われる。複数の光源構成は、２０Ｈｚの標準の計測速度を用いた場合にピークの間隙が３マイクロメートルよりも大きいサンプルに対して０．０５０マイクロメートル以内の計測再現性を提供した。
【００３３】
【表１】
0004187354.tif 000002
【発明の効果】
本発明によれば、異方性物質の光学リターデーションを厚さ及び複屈折を測定せずに直接測定することができる為、高精度、かつ迅速に物性を把握することができる。
【００３４】
上述及びその他の、本発明の目的、特徴、利点は、付随する図面に示される後述の本発明の好適な実施形態のより詳細な説明によって明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明による物質のリターデーション測定方法に使うために適切な第一の装置を示すブロック図である。
【図２】  本発明による物質のリターデーション測定方法に使うために適切な第二の装置を示すブロック図である。
【図３】  本発明を示すための干渉信号を示す図である。
【図４】  図３に示す干渉信号の一部の拡大図である。
【図５】  図３に示す干渉信号の平均化された絶対値を示す図であり、干渉ピークの中心位置を示す。
【図６】  第一及び第二の計測の干渉信号の平均化された絶対値を示す図であり、ここで第二の計測は、第一の計測とは反対の方向である。
【図７】  図１に示す装置のブロック図であり、サンプルが移動する織布状物質（ｗｅｂ  ｍａｔｅｒｉａｌ）であることを示す。
【図８】  サンプルを横切っての幅方向の移動のために取付けられたレンズを示す図である。
【図９】  反復計測の際の干渉信号の平均化された絶対値を示す図である。
【図１０】  反復計測の際の干渉信号の平均化された絶対値を示す図である。
【図１１】  特定のサンプルの幅方向のリターデーションプロフィールを示す図である。
【図１２】  図１の装置のブロック図であり、複数の光源を備えるものを示す。
【図１３】  ４つの波長広帯域光源を用いた場合の零交差干渉を示す図である。
【図１４】  標準器械光源を用いた場合の零交差干渉を示す図である。
【図１５】  低いリターデーションを持つ物質のために複数の波長光源を用いたリターデーション干渉を示す図である。
【符号の説明】
１０，１０’  装置、１２  サンプル、１２ａ  前表面、１２ｂ  後表面、１４  低コヒーレンス光源、１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ  広帯域ＬＥＤ、１６，１７  光ファイバ、１８  レンズ、１９  取付装置（光学プローブ）、２０，２０’  干渉計、２２  オプティカルカプラ、２４  光ファイバ、２５，２７，２８  移動可能な逆反射体、２６  固定逆反射体、３０  ビームスプリッタ、３２  レンズ、３４  フォトダイオード、３６  データプロセッサ、４０  最大パケット、４１，４２  小さなパケット。
【図１】
0004187354.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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