(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺帯状の金属薄板を素材とし、金属薄板の整面を行なう工程と、金属薄板上にレジスト膜を形成する工程と、レジスト膜にパターン露光を行なう工程と、金属薄板に現像、硬膜処理を行い、所定のパターンに従って金属薄板を露出する開孔部を有したレジスト膜とする工程と、金属薄板にエッチングを行なう工程と、レジスト膜を剥膜する工程とを少なくとも有するエッチング部品の製造方法において、
隣室との雰囲気を遮断するための隔壁と、前記隔壁で隔てられた隣室への物品搬出入用に隔壁に設けた開口部と、隣室の気圧より高くなるよう清浄かつ所定の温湿度とした空気を隔壁で囲まれた空間内に供給する手段とを少なくとも有するクリーンルームであって、搬出入中の物品の周囲を囲むよう前記開口部に隔壁と連結して設けた、帯状に前記開口部より搬出入される金属薄板が接触しないよう金属薄板の周囲を囲む中空の筒状の小部屋と、クリーンルーム外より取り込み清浄とした空気を前記小部屋内に供給する、上記空気供給手段とは別途に設けた空気供給手段とを具備し、小部屋内の空気が、隔壁内からの空気の流出を妨げるよう、小部屋内の気圧と隔壁で囲まれた空間内の気圧を同一に設定したクリーンルーム内にレジスト膜形成工程を設置したことを特徴とするエッチング部品の製造方法。
【請求項２】
クリーンルームが、隔壁で囲まれた空間内と小部屋内との差圧、あるいは、隣室と小部屋内との差圧を検出する手段、もしくは、隔壁と小部屋との境界、あるいは、隣室と小部屋との境界における風向きを検出する手段と、前記検出手段から得られた検出結果に基づき、小部屋内に供給する清浄な空気の量を制御する手段とを具備したことを特徴とする請求項１に記載のエッチング部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、周辺雰囲気を遮断するための隔壁と、周辺雰囲気の気圧より高くなるよう清浄な空気を隔壁内に供給する手段と、前記隔壁に設けられた、物品搬出入用の開口部とを少なくとも有するクリーンルームを用いたエッチング部品の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
カラー受像管に用いられるシャドウマスク、または、半導体集積回路装置に用いられるリードフレーム等の電子部品は、鉄、鉄合金または銅等からなる金属薄板を素材とし、周知のフォトエッチング法にて製造することが主流となっている。
【０００３】
フォトエッチング法を用いて製造されるエッチング部品は、少なくとも以下の製造工程にて製造されるといえる。
すなわち、まず、金属薄板表面の洗浄と金属薄板表面の整面処理等を行う整面工程にて、金属薄板を洗浄、整面処理する。次いで、塗布ロールを用いたロールコーター法または浸漬法等による感光性樹脂（レジスト液）の塗布、乾燥等を行うフォトレジスト膜（以下単にレジスト膜と記す）形成工程にて、金属薄板の少なくとも一方の面にレジスト膜を形成する。
次いで、所定の遮光パターンを有する露光用パターンマスクを介しパターン露光を行うパターン露光工程にて、金属薄板上のレジスト膜にパターン露光を行う。次いで、パターン露光後のレジスト膜に現像、硬膜処理等を行う現像工程にて、パターン露光の際、未露光、未硬化となったレジスト膜部位を溶解除去し、所定のパターンに従って金属薄板を露出したレジスト膜を得る。
【０００４】
次いで、塩化第２鉄液等をエッチング液として用い、金属薄板にエッチング液を接触させるエッチング工程にて、レジスト膜より露出した金属薄板部位に選択的にエッチングを行い、金属薄板に所定のエッチングパターンを形成する。
【０００５】
次いで、エッチングの終了した金属薄板にアルカリ液等の剥膜液を接触させた後、水洗洗浄を行う剥膜工程にて、金属薄板上に形成されたレジスト膜の剥膜を行う。
【０００６】
しかる後、金型等を用いた金属薄板の断裁、不要部の除去等の断裁工程を行い、エッチング部品（フォトエッチング法にて製造した部品）を得るものである。
フォトエッチング法を用いたエッチング部品の製造においては、上記の工程を少なくとも有している。なお、エッチング部品がシャドウマスクであった場合には、エッチング工程を二段階に分け、第一段階目のエッチング後に、金属薄板の一方の面にエッチング防止ニスを塗布し、しかる後、第二段階目のエッチングを他方の面より行った後、剥膜工程を行う場合もある。
【０００７】
エッチング部品の製造においては、図３に示すように、巻きロール２より供給された長尺帯状の金属薄板１が素材として用い、搬送用ローラー10等の搬送手段上を略水平方向に搬送される長尺帯状の金属薄板１に、上述した例に記した各製造工程を流れ作業的に連続して行うことが主流となっている。
【０００８】
ここで従来より、エッチング部品の製造においては、製造工程の周辺雰囲気中に浮遊する異物が金属薄板１等に付着し、不良を発生させるという問題が生じていた。
例えば、金属薄板１にレジスト膜を塗布形成するレジスト膜形成工程４では、塗布された直後の生乾き状態のレジスト膜に、レジスト膜形成工程もしくは隣接する製造工程の雰囲気中に浮遊する異物が付着しやすいといえる。レジスト膜に異物が付着した場合、後工程のパターン露光で異物が影となり不要なレジストパターンが形成され、結果としてエッチング部品が不良となる。
また、パターン露光工程で用いられる露光用パターンマスクに、パターン露光工程もしくは隣接する製造工程の周辺雰囲気中に浮遊する異物が付着した、もしくは、金属薄板１に一旦付着した異物が、露光用パターンマスクに再付着した場合、露光用パターンマスクに不要なパターンが形成されたことになり、共通の不良を有するエッチング部品が多数製造されてしまう。
【０００９】
このため、エッチング部品の製造においては、所定の製造工程をクリーンルーム内に設置することが一般的となっている。
【００１０】
すなわち、所定の製造工程（例えばレジスト膜形成工程４、パターン露光工程５等）を、図２に示すように、クリーンルーム21内に設置するものである。図２の例では、製造工程の置かれた建屋の天井から床面まで届く隔壁22を設けており、建屋の天井、床面、壁面および、隔壁22にて、クリーンルーム21を構成している。隣接する製造工程との雰囲気は、隔壁22にて遮断している。クリーンルーム21内には、異物除去用フィルター等で異物の除去された清浄な空気23が空気供給手段26より供給されており、また、クリーンルーム21内の気圧を隔壁22で隔てられた隣室30の気圧より高くなるよう設定することが一般的である。なお、図２の例では、レジスト膜形成工程４（すなわち、レジスト膜形成に使用する各種機器）をクリーンルーム21内に設けた例を模式的に示している。また、図２の例では、空気の取り入れ口を建屋の外としているが、隣接する製造工程の空間より空気を取り入れることであっても構わない。クリーンルーム21内の気圧が隣室30の気圧より高くなるよう清浄な空気23でクリーンルーム21内を満たすことで、隣室30中に浮遊する異物がクリーンルーム21内に侵入することが防がれ、金属薄板１への異物付着を防止しようとするものである。
【００１１】
しかし、エッチング部品の製造に用いられるクリーンルーム21においては、図２の例に示すように、エッチング部品の素材であり帯状に連続して搬送される金属薄板１をクリーンルーム21内に搬出入するため、隔壁22に開口部24を設ける必要がある。
【００１２】
このため、従来のクリーンルーム21では、クリーンルーム21内の高圧とした空気が開口部24より常時、低圧である隣室30に流出していたものである。クリーンルーム21内の雰囲気は単に清浄とするだけでなく、所定の温度、湿度に維持する必要もある。例えば、クリーンルーム21内にレジスト膜形成工程４を設けた場合、レジスト液を所定の条件に保ちつつ所望する膜厚にて金属薄板１に塗布する等のため、クリーンルーム21内の室温、湿度を所定の条件に保つ必要がある。
そのため、クリーンルーム21内（例えばレジスト膜形成工程４内）に、異物除去フィルターを通した清浄かつ、所定の温度および湿度とした空気23を、空気供給手段26より供給していた。しかるに、クリーンルーム21内の空気が開口部24より隣室30に常時流出し続けた場合、クリーンルーム内の雰囲気を所定条件（所定の温度および湿度）に維持し続けるには、流出分を補うため所定条件に調節した空気を常時供給し続けねばならず、そのためには空気供給手段26等を運転維持する費用が膨大なものとなり、ひいては、エッチング部品の製造コストを上げる要因ともなるといえる。
【００１３】
さらに、クリーンルーム21を構成する隔壁22に設けた開口部24から、隣室30へ空気の流出が生じているため、金属薄板１に異物が付着するという問題も生じる。この点につき、レジスト膜形成工程４を例にとり、以下に説明する。
【００１４】
図２の例に示すように、レジスト膜形成工程４をクリーンルーム21内に設けた場合、隔壁22に設けた開口部24より、クリーンルーム21内の空気が隣室30に設置された整面工程３側に噴出することになる。整面工程３よりも清浄とはいえ、レジスト膜形成工程４の雰囲気中には、作業者の出す埃、機械装置から出た金属粉等の異物に加えて、金属薄板１にレジスト液が塗布された際に飛び散ったり、または、乾燥時に金属薄板１より剥がれ落ちたレジスト膜片等よりなる微細な異物25が浮遊している。このため、開口部 24aから整面工程３側にクリーンルーム21内の空気が流出する際、クリーンルーム内（レジスト膜形成工程４内）の異物25も高速で整面工程３側に噴出することとなる。すなわち、隔壁22に設けた開口部 24a近傍にて、整面工程３で洗浄された金属薄板１表面にレジスト膜形成工程４内の異物25を含む空気が接触し、清浄であるべきレジスト塗布前の金属薄板１表面に異物25が付着し汚染されることになる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述した問題に鑑みなされたものである。すなわち本発明は、隣室との雰囲気を遮断するための隔壁と、隣室の気圧より高くなるよう清浄な空気を隔壁内に供給する手段と、前記隔壁に設けられた物品搬出入用の開口部とを少なくとも有するクリーンルームであって、クリーンルーム内の空気が開口部から隣室に流出することを防止し、クリーンルーム内の雰囲気条件を容易に管理しうるクリーンルームを用いたエッチング部品の製造において、隔壁に設けた開口部からの異物の流出で生じる金属薄板の汚染を防止し、不良の無い品質の良いエッチング部品が得られる製造方法を提供しようとするものである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上述した課題に基づきなされたもので、請求項１においては、長尺帯状の金属薄板を素材とし、金属薄板の整面を行なう工程と、金属薄板上にレジスト膜を形成する工程と、レジスト膜にパターン露光を行なう工程と、金属薄板に現像、硬膜処理を行い、所定のパターンに従って金属薄板を露出する開孔部を有したレジスト膜とする工程と、金属薄板にエッチングを行なう工程と、レジスト膜を剥膜する工程とを少なくとも有するエッチング部品の製造方法において、隣室との雰囲気を遮断するための隔壁と、前記隔壁で隔てられた隣室への物品搬出入用に隔壁に設けた開口部と、隣室の気圧より高くなるよう清浄かつ所定の温湿度とした空気を隔壁で囲まれた空間内に供給する手段とを少なくとも有するクリーンルームであって、搬出入中の物品の周囲を囲むよう前記開口部に隔壁と連結して設けた、帯状に前記開口部より搬出入される金属薄板が接触しないよう金属薄板の周囲を囲む中空の筒状の小部屋と、クリーンルーム外より取り込み清浄とした空気を前記小部屋内に供給する、上記空気供給手段とは別途に設けた空気供給手段とを具備し、小部屋内の空気が、隔壁内からの空気の流出を妨げるよう、小部屋内の気圧と隔壁で囲まれた空間内の気圧を同一に設定したクリーンルーム内にレジスト膜形成工程を設置したことを特徴とするエッチング部品の製造方法としたものである。
【００１７】
また、請求項２においては、クリーンルームが、隔壁で囲まれた空間内と小部屋内との差圧、あるいは、隣室と小部屋内との差圧を検出する手段、もしくは、隔壁と小部屋との境界、あるいは、隣室と小部屋との境界における風向きを検出する手段と、前記検出手段から得られた検出結果に基づき、小部屋内に供給する清浄な空気の量を制御する手段とを具備したことを特徴とする請求項１に記載のエッチング部品の製造方法としたものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態の例を模式的に示す図面に基づき、以下に本発明の説明を行う。
【００２０】
＜実施例＞
図１中の金属薄板１は、巻きロール２より供給された鉄合金（例えば、ニッケル42％、残部鉄とした鉄−ニッケル合金等）からなる長尺帯状の素材（板厚0.12mm）である。帯状の金属薄板１は、搬送用ローラー10等の搬送手段上を略水平方向に図中右から左に搬送されている。図１中の金属薄板１は、整面工程３（図示せず）より搬送されてきたもので、整面工程３にて表面の洗浄、整面処理が行われている。
【００２１】
整面工程３にて表面の洗浄、整面処理が行われた金属薄板１は、レジスト膜形成工程４に搬入される。
レジスト膜形成工程４では、従来通り、塗布ロールを用いたロールコーター法または浸漬法等により、金属薄板１に感光性樹脂（レジスト液）を塗布した後、乾燥等を行い金属薄板１の少なくとも一方の面にレジスト膜を形成している。
次いで、レジスト膜が形成された金属薄板１は、レジスト膜形成工程４より搬出され、パターン露光工程５（図示せず）に搬送されている。
ここで本実施例では図１に示すように、レジスト膜形成工程４を、本発明に係わるクリーンルーム11内に設置している。レジスト膜形成工程４の前後に、製造工程の置かれた建屋の天井から床面まで届く隔壁12を設けており、建屋の天井、床面、壁面および、隔壁12にて、クリーンルーム11となる空間を構成している。また、クリーンルーム11は、クリーンルーム11内に清浄な空気を供給する手段（第一空気供給手段16）を有している。なお、以下の記述において、隔壁12内とは、建屋の天井、床面、壁面および、隔壁12で囲まれた空間領域を示している。
【００２２】
隔壁12には、隔壁12で隔てられた隣室 30aよりクリーンルーム11内に金属薄板１を搬入する、および、クリーンルーム11内より隣室 30bへ金属薄板１を搬出するための開口部14が設けられている。また、第一空気供給手段16は、従来のクリーンルームに設けられていたものと同様に、異物除去フィルター、送風ポンプ、空気を加熱冷却する装置、および、空気を加湿除湿する装置等から構成されている。第一空気供給手段16は、クリーンルーム外の周辺雰囲気から取り込み異物除去フィルターにて異物を除去した清浄な空気13を、必要により加熱冷却装置、および加湿除湿装置にて所定の温度、湿度としたうえで、隔壁12内の気圧が隣室30の気圧より高くなるよう、供給している。ちなみに本実施例では、隔壁12内の気圧は隣室30の気圧より０．５ｍｍ／Ｈ2 Ｏ高く設定した。
なお、本実施例の第一空気供給手段16は、建屋の外から空気を取り入れているが、クリーンルーム11と隣接する隣室30の空間より空気を取り入れることであっても構わない。
【００２３】
本発明に係るクリーンルームの特徴の一つは、図１に示すように、クリーンルーム11と隣室30とを隔てる隔壁12の開口部14（ 14aおよび 14b）に、隔壁12に連結した小部屋18（ 18aおよび 18b）を設けたことにある。小部屋18は、帯状に開口部14より搬出入される金属薄板１が接触しないよう金属薄板１の周囲を囲む中空の筒状としたもので、本実施例では小部屋18の断面形状を、開口部14の形状と略同一形状とした。また、金属薄板１が搬出入される小部屋18の開口部19は、小部屋18内からの空気の流出を少なくするため、搬送中の金属薄板１が接触しない範囲で小さくすることが望ましい。さらに、金属薄板１の搬送方向の小部屋18の長さも、後述する隔壁12内の空気の流出が防止できる範囲で短くすることが望ましい。
【００２４】
上記小部屋18には、第一空気供給手段16とは別途に設けた第二空気供給手段17より、清浄な空気33を供給している。なお本実施例では、第二空気供給手段17を各小部屋18毎に設けているが、第二空気供給手段17を兼用とし、各小部屋18に空気を分配することであっても構わない。
第二空気供給手段17は、異物除去フィルター、送風ポンプ等から構成され、金属薄板１が搬出入される隣室30から取り込み、異物除去フィルターにて異物除去し清浄とした空気33を、温湿度の調節を行なうこと無しに小部屋18内に供給している。すなわち後述するように、小部屋18内の空気は、開口部14からの空気の流出を妨げる役目を持たせるだけであり、隔壁12内の空気のようにエッチング部品の製造上所望される温湿度に調節する必要がない。しかし、小部屋18内空気に異物が有ると、小部屋18内空気が隔壁12内および隣室に侵入した場合、隔壁12内および隣室を異物で汚染することになる。このため、第二空気供給手段17は、清浄としただけで温湿度の調節を行っていない空気を小部屋18内に供給すれば、足りるものである。
【００２５】
ここで、小部屋18内の気圧は、隔壁12内の気圧と略同一に設定、または、隣室30の気圧より高く、かつ、隔壁12内より僅かに低くく設定している。すなわち、小部屋18内の気圧を隔壁12内の気圧より高く設定した場合、温湿度の調節を行っていない小部屋18内の空気が隔壁12内に流入することとなり、隔壁12内の温湿度条件が変動してしまうためである。
【００２６】
かかる構成のクリーンルームとすることで、隣接した製造工程側（本実施例では、整面工程３側およびパターン露光工程５側）に流出する隔壁12内の空気の量を、著しく減らすことが可能となるものである。
【００２７】
すなわち、小部屋18内の気圧を、隔壁12内の気圧と略同一した場合、隔壁12内の空気と小部屋18内の空気が平衡を保っているため、開口部14からの流出が減る。また、小部屋18内の気圧を隔壁12内より僅かに低くくした場合、隔壁12内の空気は小部屋18内に流入するが、気圧差が小さいためその流入量は少ないものとなる。すなわち、従来のクリーンルームでは、開口部14から、低圧である隣室30に一気に隔壁12内の空気が流出していたが、本発明のクリーンルームでは、隣室30の気圧より高めに設定した小部屋18を設けたことで、小部屋18内がバッファーとなるため、隔壁12内の空気の流出が減らせるものである。
【００２８】
所定の製造工程（本実施例では、レジスト膜形成工程４）を隔壁12で覆った空間は、内部容積を大きくせざるをえず、空気供給手段16の設備が大型となる。
このため、前述した（従来の技術）の項で記したように、開口部14より空気が隔壁外に直接に常時流出する従来のクリーンルームでは、大型の設備を常時稼働し容積の大きなクリーンルーム内部を所定の温湿度条件に維持するため、膨大な維持費用が掛かっていた。しかるに、本発明のクリーンルームでは、上述した小部屋18を設け隔壁12内の空気の流出を妨げており、製造工程の置かれたクリーンルーム内（隔壁12内）を所定の温湿度条件に維持することが容易となり、クリーンルーム内（隔壁12内）の温湿度条件の維持のための費用が安価ですむ。ここで、小部屋18の開口部19からは、小部屋18内の空気が流出し続けることになり、小部屋18内に清浄な空気33を供給し続ける費用は新たに発生するといえる。しかし、小部屋18は隔壁12の開口部14に設けるだけで内部容積は小さいものであり、第二空気供給手段17は小型なもので足りる。また、第二空気供給手段17は空気を清浄とするだけで温湿度の調整は行わないため、構造的にも簡略なもので足りる。そのため、第二空気供給手段17の稼働のための維持費用は、従来の内部容積の大きなクリーンルーム内を所定の温湿度条件に維持しつづけるよりは、はるかに安価ですむといえる。
【００２９】
また、小部屋18の開口部19からは小部屋18内の空気が隣室30に流出することになるが、空気とともに開口部19から流出し、搬送される金属薄板１に接触する異物の量は、従来より少なくなっている。すなわち、上述したように、異物を含む隔壁12内の空気は、清浄である小部屋18内の空気により妨げられ、開口部19方向への流出が減るためである。
このため、小部屋18の開口部19から流出した空気が金属薄板１と接触しても、金属薄板１への異物の付着は減る。
【００３０】
また、小部屋18内の空気は、隔壁12内からの空気の流出を妨げるだけで、小部屋18内を通過する金属薄板１の搬送をなんら妨げない。すなわち、本発明では、小部屋18内を搬送される金属薄板１が接触するのは小部屋18内の空気だけであり、小部屋18内を搬送中の金属薄板１に擦り傷や異物付着は生じない。
【００３１】
上述したように、本発明では、小部屋18内の気圧は隔壁12内の気圧と略同一、または、僅かに低めに設定するものである。このため、本実施例では、隔壁12の開口部14に、風向風力を検出する検出手段20を設けている。
【００３２】
検出手段20は開口部14における風向き、風力を検出するものである。すなわち本発明では、小部屋18内の気圧は隔壁12内の気圧と略同一、または、僅かに低めに設定する。このため、開口部14に生じる空気の流れは、流れが生じないか、または、開口部14から小部屋18に向かうことになる。風向きを検知し、開口部14に生じた空気の流れが小部屋18から開口部14の場合、小部屋18内の気圧が隔壁12内より高いためであり、その場合、別途設けた制御手段（図示せず）により第二空気供給手段17から供給する清浄な空気33の量を減らす。しかし、第二空気供給手段17から供給する空気33の量を減らしすぎた場合、開口部14より流出する隔壁12内の空気13の量が増えることとなる。このため、小部屋18内と隔壁12内とが所望される気圧差となったときに生じる風力を予め設定しておき、検出手段20で検出した風力が所定の風力となるよう制御手段（図示せず）にて第二空気供給手段17から供給する空気の量を調整すれば、開口部14より小部屋18側に流出する隔壁12内の空気の量を減らせ、第一空気供給手段16の稼働量を減らすことができる。
【００３３】
また、検出手段20が隔壁12内と小部屋18内との差圧を検出するものであった場合には、検出手段20にて検出した隔壁12内と小部屋18内との差圧が、所定の差圧となるよう制御手段（図示せず）にて第二空気供給手段17から供給する空気の量を適宜調整する。
【００３４】
本実施例では、上述した小部屋18を有するクリーンルーム11（レジスト膜形成工程４）より搬出された金属薄板１に対し、パターン露光工程５、エッチング工程６、剥膜工程７等の従来通りの製造工程を行いエッチング部品を得た。
【００３５】
以上、本発明の実施形態の一例につき説明したが、本発明の実施形態は、上述した説明および図面に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形を行っても構わないことはいうまでもない。
【００３６】
例えば上記実施例では、クリーンルームを構成する隔壁の一部を、製造工程の設置された建屋の一部（例えば、天井、床、壁面）で兼ねさせたが、建屋と独立した隔壁にて製造工程を覆い、隣接する製造工程から遮断された空間を形成することであって構わない。
【００３７】
また、上述した説明では、小部屋18を搬出入両側の開口部14に設けているが、隣接する製造工程で設定される気圧等に応じ、どちらか一方の開口部14に設けることであっても構わない。さらに、小部屋18の断面形状および、金属薄板１の搬送方向の小部屋18の長さも適宜選択して構わない。
さらに、エッチング部品の製造にあたり、レジスト膜形成工程４に限らず、パターン露光工程５やエッチング工程６等の他の製造工程も、適宜上述した構成としたクリーンルーム内に設けても構わない。
【００３８】
【発明の効果】
上述したように、本発明に係るクリーンルームにおいては、従来空気が流出しつづけていた物品搬出入用の開口部に小部屋を設けたものであり、所定の雰囲気としたクリーンルーム内空気流出を防止している。このため、異物を含むクリーンルーム内の空気が搬出入中の物品に接触することが減り、物品表面に異物が付着し汚染されること、および、高速で噴出する空気中の異物が接触し物品表面に傷が生じることを防止できる。また、容積の大きなクリーンルーム内からの空気の流出が無くなるため、クリーンルーム内の雰囲気を所定の雰囲気に維持する費用が低減でき、かつ、クリーンルーム内の雰囲気を所定の雰囲気に管理することも容易となる。さらにまた、本発明に係るクリーンルームをエッチング部品の製造に用いれば、隔壁に設けた開口部からのクリーンルーム内異物の流出が減らせるため、従来生じていた、クリーンルーム内に設置された製造工程からクリーンルーム外の製造工程に流出した異物の付着により生じるエッチング部品の不良が無くなる。すなわち、本発明のエッチング部品の製造方法によれば、品質の良いエッチング部品を低コストで得ることが可能となる。
【００３９】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わるクリーンルームの一実施例の要部を模式的に示す説明図。
【図２】従来のクリーンルームの一例の要部を示す説明図。
【図３】エッチング部品の製造工程の一例を示す説明図。
【符号の説明】
１            金属薄板
２            巻きロール
３            整面工程
４            レジスト膜形成工程
５            パターン露光工程
６            現像工程
７            エッチング工程
８            剥膜工程
９            断裁工程
10            搬送用ローラー
11、21        クリーンルーム
12、22        隔壁
13、23、33    空気
14、24        開口部
25            異物
16、26        空気供給手段
17            空気供給手段
18            小部屋
19            開口部
20            検出手段
30            隣室
【図１】
0004066532.tif 000002
【図２】
0004066532.tif 000003
【図３】
0004066532.tif 000004