(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
機台上でテーブルを駆動モータにより往復動させて該テーブルを作業位置に臨ませて作業を行う作業装置において、前記機台上に前記テーブルの移動方向に沿って複数位置に隣合うマーク同士の間隔が異なるように付された位置検出マークを検出するマーク検出センサと、前記位置検出マークとは別個に機台に前記テーブルの移動方向に付された位置検出用目盛数を読み取る目盛検出センサと、該目盛検出センサの読み取った目盛数に応じて前記テーブルの移動距離を算出する移動距離算出手段と、前記位置検出マーク間の最短の距離を記憶する記憶手段と、前記目盛検出センサで読み取った目盛数に応じて前記算出手段が算出した前記位置検出マーク間の距離と前記記憶手段に記憶された最短の距離とを比較する比較手段と、該比較手段による比較結果が前記記憶手段に記憶された最短の距離より短い場合に報知する報知装置とからなることを特徴とする作業装置。
【請求項２】
前記比較手段による比較結果が前記記憶手段に記憶された最短の距離より短い場合には運転を停止するように制御する制御装置を設けたことを特徴とする請求項１に記載の作業装置。
【請求項３】
機台上でテーブルを駆動モータにより往復動させて該テーブルを作業位置に臨ませ作業を行う作業装置において、前記機台上に前記テーブルの移動方向に沿って複数位置に隣合うマーク同士の間隔が異なるように付された位置検出マークを検出するマーク検出センサと、前記位置検出マークとは別個に機台に前記テーブルの移動方向に付された位置検出用目盛数を読み取る目盛検出センサと、該目盛検出センサの読み取った目盛数に応じて前記テーブルの移動距離を算出する移動距離算出手段と、前記位置検出マーク間の最長の距離を記憶する記憶手段と、前記目盛検出センサで読み取った目盛数に応じて前記算出手段が算出した前記位置検出マーク間の距離と前記記憶手段に記憶された最長の距離とを比較する比較手段と、該比較手段による比較結果が前記記憶手段に記憶された最長の距離より長い場合に報知する報知装置とからなることを特徴とする作業装置。
【請求項４】
前記比較手段による比較結果が前記記憶手段に記憶された最長の距離より長い場合には運転を停止するように制御する制御装置を設けたことを特徴とする請求項３に記載の作業装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、機台上でテーブルを往復動させて該テーブルを作業位置に臨ませて作業を行う作業装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種、電子部品装着装置は、特開２００１−１６８５７９号公報等に開示されている。このような従来技術によれば、機台上で部品供給テーブルをリニアモータにより往復動させる場合にオープンスケール型のスケールの位置検出用目盛やエンコーダが汚れていて、パルスが読み取りできない場合には、もともとパルス変動が発生していないのか、それともパルスを読み取れない状態になっていてパルス変動を感知していなのか分らなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このため、上記従来技術では、部品供給テーブルを往復動させるべく本来１０００パルス分の移動を行なおうとしたときに、前記汚れにより２００パルス分読み取れないと、実際には１２００パルス分の距離を移動してしまうこととなり、吸着ノズルが部品供給ユニットより電子部品を吸着して取出すことができないという危険性があった。
【０００４】
そこで本発明は、前述した汚れを原因としたパルス抜けを検出して、前記部品供給テーブルを本来の位置まで確実に移動させるようにすることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
このため第１の発明は、機台上でテーブルを駆動モータにより往復動させて該テーブルを作業位置に臨ませて作業を行う作業装置において、前記機台上に前記テーブルの移動方向に沿って複数位置に隣合うマーク同士の間隔が異なるように付された位置検出マークを検出するマーク検出センサと、前記位置検出マークとは別個に機台に前記テーブルの移動方向に付された位置検出用目盛数を読み取る目盛検出センサと、該目盛検出センサの読み取った目盛数に応じて前記テーブルの移動距離を算出する移動距離算出手段と、前記位置検出マーク間の最短の距離を記憶する記憶手段と、前記目盛検出センサで読み取った目盛数に応じて前記算出手段が算出した前記位置検出マーク間の距離と前記算出手段が算出した移動距離と前記記憶手段に記憶された最短の距離とを比較する比較手段と、該比較手段による比較結果が前記記憶手段に記憶された最短の距離より短い場合に報知する報知装置とからなることを特徴とする。
【０００７】
また第２の発明では、第１の発明の作業装置において、前記比較手段による比較結果が前記記憶手段に記憶された最短の距離より短い場合には運転を停止するように制御する制御装置を設けたことを特徴とする。
【０００８】
また第３の発明では、機台上でテーブルを駆動モータにより往復動させて該テーブルを作業位置に臨ませ作業を行う作業装置において、前記機台上に前記テーブルの移動方向に沿って複数位置に隣合うマーク同士の間隔が異なるように付された位置検出マークを検出するマーク検出センサと、前記位置検出マークとは別個に機台に前記テーブルの移動方向に付された位置検出用目盛数を読み取る目盛検出センサと、該目盛検出センサの読み取った目盛数に応じて前記テーブルの移動距離を算出する移動距離算出手段と、前記位置検出マーク間の最長の距離を記憶する記憶手段と、前記目盛検出センサで読み取った目盛数に応じて前記算出手段が算出した前記位置検出マーク間の距離と前記記憶手段に記憶された最長の距離とを比較する比較手段と、該比較手段による比較結果が前記記憶手段に記憶された最長の距離より長い場合に報知する報知装置とからなることを特徴とする。
【０００９】
さらに第４の発明では、第３の発明の作業装置において、前記比較手段による比較結果が前記記憶手段に記憶された最長の距離より長い場合には運転を停止するように制御する制御装置を設けたことを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による電子部品装着装置の一実施形態を添付の図面に基づいて説明する。図１は電子部品装着装置の側面図であり、図２はその供給系廻りの外観斜視図である。両図に示すように、この電子部品装着装置１は、装置本体２を挟んで相互に平行に、電子部品Ｄを供給する供給系と、電子部品Ｄを基板Ｐに装着する装着系４とを配して構成されており、供給系は電子部品供給装置３で構成されている。
【００１１】
前記装置本体２には、駆動系の主体を為すインデックスユニット６と、これに連結された回転テーブル７と、該回転テーブル７の外周部に搭載した複数個（１２個）の装着ヘッド８とが設けられており、前記回転テーブル７はインデックスユニット６により装着ヘッド８の個数に対応する間欠ピッチで間欠回転される。回転テーブル７が間欠回転すると、各装着ヘッド８に搭載した部品取出具としての吸着ノズル９が電子部品供給装置３及び装着系４に適宜臨み、電子部品供給装置３から供給された電子部品Ｄを吸着した後、装着系４に回転搬送し、装着系４に導入したプリント基板Ｐにこれを装着する。
【００１２】
前記供給系を構成する電子部品供給装置３は、前後方向に長い機台１１と、機台１１上にスライド自在に搭載した４つのスライドベース（部品供給テーブル）１２と、各スライドベース１２に着脱自在に装着した多数のテープカセット（部品供給ユニット）１３と、機台１１と各スライドベース１２との間に組み込んだリニアモータ１４とを備えている。４つのスライドベース１２は、その２つを一組として機台１１の前後に配置され、各組のスライドベース１２、１２を介して２組のテープカセット１３群を交互に装置本体２に臨ませるようにしている。すなわち、それぞれ多数のテープカセット１３を搭載した片側２つのスライドベース１２、１２が、装置本体２の位置に移動（スライド）して部品供給動作している間に、ホーム位置にある他方の２つのスライドベース１２、１２上では、次の作業に向けてテープカセット１３の交換作業が行われる。
【００１３】
図２及び図３に示すように、各テープカセット１３は薄手に形成され、この薄手に形成された多数のテープカセット１３は、スライドベース１２の上面に狭い間隙を存して横並び搭載されている。この場合、各テープカセット１３は、スライドベース１２の上面に位置決めされ、且つレバー操作により着脱自在に装着されている。そして、スライドベース１２に装着されたテープカセット１３の先端部には、電子部品Ｄを吸着すべく、装置本体２の装着ヘッド８（吸着ノズル９）が臨むようになっている。テープカセット１３には、所定のピッチで電子部品Ｄが装填されたキャリアテープＴが、テープリール１６に巻回された状態で搭載されており、電子部品Ｄは、テープリール１６から繰り出されたキャリアテープＴから随時、吸着ノズル９により吸着されてゆく。
【００１４】
スライドベース１２は、左右の接合部材２１ａ、２１ｂを介して位置決め固定された上側のベースブロック２２と下側のスライドブロック２３とで構成されている。ベースブロック２２の上面には、上記のテープカセット１３が装着され、スライドブロック２３の下面には左右一対のスライダ２４ａ、２４ｂが設けられている。ベースブロック２２は、水平部２６と傾斜部２７とで一体に形成され、水平部２７に装着されたテープカセット１３に対し傾斜部２７は、テープリール１６を逃げた位置に配設されている。
【００１５】
スライドブロック２３は上水平部２９と垂直部３０と下水平部３１とで、断面クランク状に一体に形成され、また垂直部３０から下水平部３１にかけてその外側には、適宜リブ部３２が形成されている。上水平部２９は一方の接合部材２１ａを介してベースブロック２２の水平部２６を支持し、リブ部３２は他方の接合部材２１ｂを介してベースブロック２２の傾斜部２７を支持している。また、上水平部２９の外端部下面には上記の第１のスライダ２４ａが固定されると共に、下水平部３１の外端部下面には上記の第２のスライダ２４ｂが固定されている。
【００１６】
更に、上水平部２９の外端部下面には、機台１１に取り付けたスケール３４との間にリニアエンコーダ３５を構成する検出ヘッド３６が垂設されている。また、下水平部３１の外端部上面には、ブラケット３７を介してリニアモータ１４に制御信号や電力を供給するケーブルベア３８の端部が連結されている。なお、図中の符号３９は、フォトインタラプタであり、このフォトインタラプタ３９は、各スライドベース１２がホーム位置をオーバーランした場合に、これを検出する。
【００１７】
前記機台１１は機台本体４１と鉛直ブロック４２とで構成され、鉛直ブロック４２の端部上面には、第１のスライダ２４ａが係合する第１のスライドレール４３ａが取り付けられ、機台本体４１の端部上面には、第２のスライダ２４ｂが係合する第２のスライドレール４３ｂが取り付けられている。また、鉛直ブロック４２の上面には水平に延びる上マグネットベース４４が取り付けられ、この上マグネットベース４４に対応して機台本体４１の上面には下マグネットベース４５が取り付けられている。
【００１８】
前記リニアモータ１４は、機台１１に固定された上下一対の固定子４７ａ、４７ｂと、スライドベース１２に固定された可動子４８とを備えている。上下一対の固定子４７ａ、４７ｂのうち上固定子４７ａは、上マグネットベース４４の下面に下向きに固定され、下固定子４７ｂは、下マグネットベース４５の上面に上向きに固定されている。一方、可動子４８は、スライドベース１２とほぼ同じ長さを有しており、スライドブロック２３の垂直部３０の側面に固定されている。この状態で、可動子４８の上面は上固定子４７ａに、下面は下固定子４７ｂにそれぞれ間隙（エアーギャップ）を存して対峙している。すなわち、可動子４８と上下両固定子４７ａ、４７ｂとは上下に対峙し、全体としてリニアモータ１４を構成している。
【００１９】
各スライドブロック２３に固定された可動子４８は、ヨークに励磁コイルを巻回して構成される（図示省略）一方、上下各固定子４７ａ、４７ｂは、図４に示すように、機台（上下各マグネットベース４４，４５）１１の長手方向に多数のマグネット４９を列設して構成されている。この場合、多数のマグネット４９は、相互に微小な間隙５０を存して等間隔に列設されており、且つ各間隙５０には、合成樹脂５１がモールドされている。すなわち、上下各固定子４７ａ、４７ｂの表面は、面一になるように、多数のマグネット４９の各間隙５０が合成樹脂５１でモールドされている。
【００２０】
次に、オープンスケール型のスケール３４及び検出ヘッド３６について図５及び図６に基づいて説明する。機台１１の一部である鉛直ブロック４２上にはスライドブロック２３の移動方向に長尺のスケール３４が貼られている。即ち、スケール３４は部品供給テーブルであるスライドベース１２の移動方向に延びている。上水平部２９に固定された検出ヘッド３６はスライドブロック２３の移動に伴い、このスケール３４に対峙しながら移動することになる。検出ヘッド３６には上下に図６に示すようにマーク検出センサ５３及び目盛検出センサ５４が、その検出位置がブロック２３の移動方向に対して直交する上下方向に並んで固定されている。
【００２１】
また、スケール３４には目盛検出センサ５４が対峙する位置にスケール３４の長手方向に向かって細かな間隔で位置検出用目盛５５が付されている。またスケール３４でその上側のマーク検出センサ５３が対峙する位置には複数の位置検出マーク５６が目盛５５の間隔に比較して大きな間隔で長手方向に付されている。図６で、位置検出マーク５６は黒色のものと白抜きのもので表示されているが、表示を分かりやすくするためであり、実際には同一の構造のマークである。センサ５３、５４は光センサであり、ＬＥＤ等の光を発して反射光を受光素子で受光し、位置検出マーク５６または位置検出用目盛５５を検出する。目盛５５は細かく付され、ミクロン単位で位置検出が可能である。また、位置検出マーク５６についても同等の精度で位置の検出が可能である。
【００２２】
位置検出マーク５６の配設間隔は図６に示すように、黒く表示されたマーク５６の間隔は同一のＡとされているが、その間の白抜きのマーク５６はその位置に応じて少しづつ隣り合うマーク５６との間隔が異なるばかりか、全て異なるように付されている。即ち、図６の最左側のブロックでは隣り合う間隔がＡ／２＋ＢとＡ／２−Ｂと異なっており、その隣のブロックでは隣り合う間隔がＡ／２＋２ＢとＡ／２−２Ｂとされている。このように位置検出マーク５６の全ての隣り合う間隔は相違しており、この間隔を把握することにより、検出している位置検出マーク５６に応じたスライドブロック２３の機台１１上での位置を把握することができる。
【００２３】
次に、図７に基づいて電子部品装着装置１の制御ブロック図を説明する。電子部品装着装置１の動作はＣＰＵ６０により統括制御されるが、該ＣＰＵ６０にはバスライン６１を介して、ＲＯＭ６２及びＲＡＭ６３が接続されている。ＲＡＭ６３内にはスライドブロック１１、即ちスライドベース１２の現在位置を記憶するテーブル位置記憶手段としての位置カウントメモリ６４が内蔵されており、バスライン６１及びインターフェース６５を介して接続されている目盛検出センサ５４が検出した目盛数に応じて現在位置が絶えず更新されて記憶され、また各位置検出マーク５６間の距離も記憶すると共に各マーク間の最短の距離（Ａ／２−ｎ）及び最長（Ａ／２＋ｎ）の距離を記憶している。
【００２４】
また、マーク検出センサ５３もインターフェース６６及びバスライン６１を介してＣＰＵ６０に接続されている。更には、ＣＰＵ６０はインターフェース６７及び駆動回路６８を介してリニアモータ１４の駆動を制御する。
【００２５】
また、ＲＡＭ６３には、隣り合う位置検出マーク５６の間隔がその対応する位置検出マーク５６の機台１１上における絶対的な位置と共に記憶されている。例えば、マーク５６の絶対的な位置に対応してその同一方向の側のマーク５６間の間隔が記憶される。
【００２６】
また、ＲＡＭ６３には、図６に示すようなマシン基準から一番近い特定の位置検出マーク５６までの距離Ｃが記憶されており、マシン固有のオフセット値としてスライドベース１２の位置決め時の補正に用いられる。マシン基準とは装置の設計上のスライドベース１２の位置決めの基準となる位置である。
【００２７】
７０は作業者が視覚又は聴覚で認識できるランプ、ブザーその他の報知装置であり、該報知装置７０もインターフェース７１及びバスライン６１を介してＣＰＵ６０に接続されている。
【００２８】
以下、スライドベース１２の絶対位置の検出動作、即ち一般に原点検出動作と言われる動作について説明する。電源投入時または、停電等何らかのトラブルで現在のスライドベース１２の位置が分からなくなった場合、即ち位置カウントメモリ６４に現在位置が記憶されていない場合、スライドベース１２がいずれかの方向に移動して、位置検出マーク５６を検出する。この検出時から更にスライドベース１２を移動させ、次の位置検出マーク５６を検出した時の目盛検出センサ５４がカウントして読み取った目盛５５の数から移動距離を移動距離算出手段としてのＣＰＵ６０が算出する。
【００２９】
ＣＰＵ６０はこの距離から、ＲＡＭ６３内のデータを参照して現在の位置検出マーク５６を検出したスライドベース１２の位置を把握して、この位置を位置カウントメモリ６４に記憶させる。
【００３０】
このようにして、記憶された後は、マーク検出センサ５３が検出した位置から目盛検出センサ５４が移動をして横切った目盛数に相当する距離だけメモリ６４の位置が更新されていく。即ち、所望のテープカセット１３を吸着ノズル９の吸着取出位置に位置決めする際には、この位置カウントメモリ６４の位置が所望の位置となるように制御される。
【００３１】
しかし、位置検出用目盛５５やリニアエンコーダ３５が汚れているために、実際にはスライドベース（部品供給テーブル）１２が余分に移動してしまうことがあり、取出すべき電子部品Ｄを吸着ノズル９により取出せないという事態が発生する場合があるが、本発明はかかる事態が発生した場合には、作業者に報知装置７０により報知するものであり、以下説明する。
【００３２】
即ち、図８のフローチャートに基づいて、位置検出用目盛５５やリニアエンコーダ３５の汚れを原因としたパルス抜けを検出して、前記スライドベース（部品供給テーブル）１２を本来の位置まで確実に移動させる動作について説明する。
【００３３】
先ず電子部品装着装置１の動作方法が生産運転であれば、前記ＲＡＭ６３に格納された装着データに基づいて、所定のテープカセット１３が吸着取出ステーションに位置するように、スライドベース１２をリニアモータ１４の駆動により移動させる。従って、インデックスユニット６により回転テーブル７は、装着ヘッド８の個数に対応する間欠ピッチで間欠回転され、各装着ヘッド８に搭載した部品取出具としての吸着ノズル９が前記所定のテープカセット１３に適宜臨み、所定のテープカセット１３から供給された電子部品Ｄを吸着した後、装着系４に回転搬送し、装着系４に導入したプリント基板Ｐにこれを装着する。
【００３４】
このとき、図８に示すように、リニアモータ１４によるスライドベース１２の移動に伴い、１個目の位置検出マーク５６をマーク検出センサ５３が検出した後、位置検出マーク５６間の距離が最短の距離（Ａ／２−ｎ）以内で２個目の位置検出マーク５６を検出した場合には、ＣＰＵ６０は報知装置７０により作業者に報知すると共に電子部品装着装置１を停止するように制御する。
【００３５】
即ち、現在の位置から移動する過程で、２個目の位置検出マーク５６を検出したときに、例えば１個目の位置検出マーク５６と２個目との距離がＡ／２＋Ｂであるべきところ、最短距離Ａ／２−ｎより小さい場合には、位置検出用目盛５５やリニアエンコーダ３５に汚れがあって検出できない事態が発生したものと判断して、前述の如く、作業者に報知すると共に電子部品装着装置１は停止する。
【００３６】
前述の１個目の位置検出マーク５６をマーク検出センサ５３が検出した後、位置検出マーク５６間の距離が最短の距離（Ａ／２−ｎ）以内で２個目の位置検出マーク５６を検出せずに、最長の距離（Ａ／２＋ｎ）以内で２個目の位置検出マーク５６を検出しない場合にも、同様に、ＣＰＵ６０は報知装置７０により作業者に報知すると共に電子部品装着装置１を停止するように制御する。
【００３７】
言い換えると、２個目の位置検出マーク５６を検出したときに、１個目の位置検出マーク５６と２個目との距離が最長の距離（Ａ／２＋ｎ）より長い場合にも、位置検出用目盛５５やリニアエンコーダ３５に汚れがあって検出できない事態が発生したものと判断するものである。
【００３８】
そして、上記いずれの場合にも該当しないで、２個目の位置検出マーク５６を検出した後、位置検出マーク５６間の距離が最短の距離（Ａ／２−ｎ）以内で３個目の位置検出マーク５６を検出した場合や、最長の距離（Ａ／２＋ｎ）以内で３個目の位置検出マーク５６を検出しない場合にも、汚れがあって検出できない事態が発生したものと判断し、前述したように、報知装置７０により作業者に報知すると共に電子部品装着装置１を停止するように制御する。
【００３９】
更に、３個目の位置検出マーク５６を検出したときに、１個目と３個目との間隔が、例えばＡ／２＋Ｂ、Ａ／２−Ｂの和であるＡとなるべきところ、そうでない場合には、報知装置７０により作業者に報知すると共に電子部品装着装置１を停止するように制御する。尚、スライドベース１２が移動する過程で、位置検出マーク５６によっては、１個目と３個目との間隔が、Ａ＋Ｂとなるべき場合もあり、例えばＡ／２−Ｂ、Ａ／２＋２Ｂの和であるＡ＋Ｂ、あるいはＡ／２−２Ｂ、Ａ／２＋３Ｂの和であるＡ＋Ｂなどの場合もあり、Ａ＋Ｂとなるべきところ、そうでない場合にも同様に報知すると共に停止する。
【００４０】
従って、１個目と３個目の間隔がＡ（もしくはＡ＋Ｂ）であった場合には、２個目と４個目の間隔はＡ＋Ｂ（もしくはＡ）となり、ＡとＡ＋Ｂが交互に発生することで、精度及び連続性が確保される。
【００４１】
以上のような動作を、繰り返すこととなるものであり、前記汚れがなければ、所定のテープカセット１３が吸着取出ステーションに位置するように、スライドベース１２をリニアモータ１４の駆動により移動させるものである。
【００４２】
次に、電子部品装着装置１の動作方法がパルス抜け確認動作であれば、先ず各スライドベース１２を原点復帰動作する。次いで、リニアモータ１４によるスライドベース１２の移動に伴い、１個目の位置検出マーク５６をマーク検出センサ５３が検出した後、２個目の位置検出マーク５６を検出したら、ＣＰＵ６０は両マーク間の距離とＲＡＭ６３に格納された両マーク間の距離とを比較し、合致しなければ、ＣＰＵ６０は汚れがあって検出できない事態が発生したものと判断し、ＣＰＵ６０は報知装置７０により作業者に報知する。
【００４３】
そして、更にリニアモータ１４によりスライドベース１２が移動して、３個目の位置検出マーク５６を検出すると、ＣＰＵ６０は２個目のマーク５６と３個目のマーク５６間の距離とＲＡＭ６３に格納された両マーク間の距離とを比較し、合致しなければ、ＣＰＵ６０は報知装置７０により作業者に報知する。
【００４４】
以下同様に、順次次々と最後の（ｎ個目の）位置検出マーク５６を検出するまでスライドベース１２が移動しながら、前述のように比較判定動作を行なうものである。尚、この動作は、全ての位置検出マーク５６を検出するまで行なわれるものである。
【００４５】
以上のように、汚れがある場合には、前記報知装置７０により報知されるので、作業者は前記汚れを清掃して除去することにより、本来の位置に所定のテープカセット１３を停止させることができるものである。従って、確実に所定のテープカセット１３から電子部品Ｄを吸着ノズル９が吸着して取出すことができる。
【００４６】
尚、以上本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【００４７】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、スケールの位置検出用目盛等の汚れを原因としたパルス抜けを検出して、テーブルを本来の位置まで確実に移動させることができるから、作業を確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用せる電子部品装着装置の側面図である。
【図２】電子部品装着装置を構成する電子部品供給装置の外観斜視図である。
【図３】実施形態に係る電子部品装着装置の拡大断面図である。
【図４】実施形態に係る電子部品供給装置の固定子廻りの断面図である。
【図５】実施形態に係る機台のスケールが貼りつけられた正面図である。
【図６】スケールの拡大図である。
【図７】電子部品装着装置の制御ブロック図である。
【図８】フローチャートを示す図である。
【符号の説明】
１          電子部品装着装置（電子部品装着装置）
１１        機台
１２        スライドベース（部品供給テーブル）
１３        テープカセット（部品供給ユニット）
１４        リニアモータ
２３        スライドブロック
３４        スケール
３６        検出ヘッド
５３        マーク検出センサ（検出手段）
５４        目盛検出センサ（検出手段）
５５        位置検出用目盛（検出手段）
５６        位置検出マーク
６０        ＣＰＵ（検出手段）
６３        ＲＡＭ
６４        位置カウントメモリ（テーブル位置記憶手段）
７０        報知装置
【図１】
0004077203.tif 000002
【図２】
0004077203.tif 000003
【図３】
0004077203.tif 000004
【図４】
0004077203.tif 000005
【図５】
0004077203.tif 000006
【図６】
0004077203.tif 000007
【図７】
0004077203.tif 000008
【図８】
0004077203.tif 000009