(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１枚の枚葉搬送物を格納する収納ボックスを備え、該収納ボックス内に枚葉搬送物を格納した状態で枚葉搬送物を搬送するようにしたクリーン搬送車において、前記収納ボックスの底部カバーを、収納ボックスの上部本体に対して昇降可能に構成して、該底部カバーに枚葉搬送物を載置するようにし、底部カバーの外縁に、移載点において収納ボックスの下方に設置した置き台に形成された枚葉搬送物の支持片が通過する切欠を形成し、底部カバーを降下させることによって底部カバー側から置き台に、また、底部カバーを上昇させることによって置き台側から底部カバーに、枚葉搬送物の受け渡しを行うようにしたことを特徴とするクリーン搬送車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体や液晶の製造ラインにおいて使用されるクリーン搬送車に関し、特に、基板等の枚葉搬送物を１枚ずつ搬送する枚葉搬送方式に好適に使用されるクリーン搬送車に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体や液晶の製造ラインでは、基板等をカセットに格納して搬送するカセット搬送方式が主として採用されてきた。
しかしながら、このカセット搬送方式は、カセット収納場所が大きくなり、また、カセットが重いため、例えば、ＡＧＶ（無人搬送車）が巨大化するとともに、搬送路のスペースが大きくなり、タクトタイムの短縮が困難になる等の問題があった。
【０００３】
これに対して、基板等の枚葉搬送物を１枚ずつ搬送する枚葉搬送方式は、工程内の搬送路のスペースを小さくすることができ、タクトタイムを短縮することができるという利点がある。
この枚葉搬送方式の具体例として、例えば、図６に示すように、工程間搬送路１１を走行する搬送車１２が、カセット１３を搬送してストッカ１４に届けると、カセット１３内から移載機１５が基板１を１枚ずつ取り出し、工程内の枚葉搬送車５がこの基板１を受け取った後、工程内搬送路１６を高速走行して、必要なタイミングで所定の移載点１７に基板１を送り届けるようにしたものがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、工程内搬送をカセット搬送方式から枚葉搬送方式に変更すると、枚葉搬送方式では１回に搬送できる基板１の枚数が１枚となるため、必然的に、カセット搬送方式の場合の数倍の高速搬送をする必要性が生じる。
このようにクリーンルーム内で移載機１５が高速走行すると、移載機１５の車体の前後に乱流が発生し、この乱流によってクリーンルーム内のダウンフロー状態が乱され、その結果、枚葉搬送中の基板１にダストが付着し、製品の歩留まりを低下させる要因となる。
また、走行中の空気との摩擦によって静電気が発生して基板１が帯電し、これによって、基板１にダストが付着しやすくなるという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記従来の枚葉搬送方式の問題点に鑑み、高速搬送時の基板等をダストの付着のない清浄な状態に保つことができるクリーン搬送車を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のクリーン搬送車は、１枚の枚葉搬送物を格納する収納ボックスを備え、該収納ボックス内に枚葉搬送物を格納した状態で枚葉搬送物を搬送するようにしたクリーン搬送車において、前記収納ボックスの底部カバーを、収納ボックスの上部本体に対して昇降可能に構成して、該底部カバーに枚葉搬送物を載置するようにし、底部カバーの外縁に、移載点において収納ボックスの下方に設置した置き台に形成された枚葉搬送物の支持片が通過する切欠を形成し、底部カバーを降下させることによって底部カバー側から置き台に、また、底部カバーを上昇させることによって置き台側から底部カバーに、枚葉搬送物の受け渡しを行うようにしたことを特徴とする。
【０００７】
このクリーン搬送車は、収納ボックスの底部カバーに枚葉搬送物を載置して搬送できることから、枚葉搬送による高速搬送時でも枚葉搬送物をダストの付着のない清浄な状態に保つことができる。
そして、収納ボックスの底部カバーに枚葉搬送物を載置することにより、収納ボックスの構成を簡単にするとともに、底部カバーを昇降させることによって簡単に枚葉搬送物の受け渡しを行うことができる。
【０００８】
特に、底部カバーの外縁に、移載点に設置した置き台に形成された枚葉搬送物の支持片が通過する切欠を形成することにより、底部カバーを降下させるだけで置き台に枚葉搬送物を受け渡すことができ、また、逆に、底部カバーを上昇させるだけで置き台から枚葉搬送物を受け取ることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００１０】
図１〜図３に本発明のクリーン搬送車の一実施例を示す。
【００１１】
このクリーン搬送車５は、枚葉搬送物として基板１を格納する収納ボックス３を備え、収納ボックス３内に基板１を格納した状態で、後述する製造ラインで枚葉搬送を行うことができるように構成されている。
【００１２】
そして、具体的には、図１に示すように、収納ボックス３の底部カバー２を、収納ボックス３の上部本体に対して昇降可能に構成し、底部カバー２の上面に基板１を載置できるようにしている。
【００１３】
収納ボックス３の本体は、底面のみが開口する箱状を呈し、図１に示すように、逆Ｌ字状の固定アーム４によって搬送車５に固定されている。
【００１４】
また、底部カバー２は、収納ボックス３の上部本体の開口部を塞ぐ形状を呈し、固定アーム４に対して上下方向に摺動可能に設けられた逆Ｌ字状の可動アーム６に固定されている。
すなわち、底部カバー２は、シリンダ７によって可動アーム６を上下方向に摺動させることにより、図２及び図３に示す収納ボックス３の底部壁を構成する位置から、図１に示す下降位置まで昇降することができるようにされている。
【００１５】
そして、搬送車５が移載点１７に停車すると、底部カバー２を、図５に示すように基板１を載せた状態で下降させ、基板１を、図１に示すように置き台８に載せて受け渡すようにする。
置き台８は、特にこれ限定されるものではないが、図４に示すように、８箇所に支持片９を有し、これらの支持片９によって基板１を載せて支持することができるようにされている。
【００１６】
一方、底部カバー２は、置き台８の上方から下方又は逆に下方から上方に移動することから、置き台８の支持片９と干渉しないように、切欠１０が支持片９に対応する位置に８箇所設けられている。
【００１７】
これにより、底部カバー２を降下させるだけで置き台８の支持片９に基板１を受け渡すことができ、また、逆に、底部カバー２を上昇させるだけで置き台８の支持片９から基板１を受け取ることができる。
【００１８】
このクリーン搬送車５は、例えば、図６に示すような液晶の製造ラインにおいて枚葉搬送を行うために使用される。
枚葉搬送は、工程間搬送路１１を走行する搬送車１２がカセット１３を搬送してストッカ１４に届けると、カセット１３内から移載機１５が基板１を１枚ずつ取り出し、工程内のクリーン搬送車５がこの基板１を受け取った後、工程内搬送路１６を高速走行して、必要なタイミングで所定の移載点１７に基板１を送り届けるようになっている。
【００１９】
このようにすれば、工程内搬送路の搬送路スペースを小さくすることが可能となり、さらに工程内のタクトタイムの短縮が可能となるが、枚葉搬送ではより高速搬送する必要が生じる。
例えば、従来のカセット搬送方式では、例えば、工程内のＡＧＶが走行速度を最高で４０ｍ／分を運用されている場合、これを枚葉搬送方式に変更すると、最高で１５０ｍ／分の走行速度を必要とする。
【００２０】
このようにクリーンルーム内で搬送車５が高速走行すると、搬送車５の車体の前後に乱流が発生し、クリーンルーム内のダウンフロー状態が乱され、また、走行中の空気との摩擦により静電気が発生して基板１が帯電し、枚葉搬送中の基板１にダストが付着しやすくなるが、このクリーン搬送車５においては、収納ボックス３の底部カバー２に基板１を載置することによって、基板１を収納ボックス３に格納した状態で搬送できることから、高速搬送によっても基板１にダストが付着することを防止し、清浄な状態に保つことができる。
そして、収納ボックス３の底部カバー２に基板１を載置することにより、収納ボックス３の構成を簡単にするとともに、底部カバー２を昇降させることによって簡単に基板１の受け渡しを行うことができる。
【００２１】
【発明の効果】
本発明のクリーン搬送車によれば、収納ボックスの底部カバーに枚葉搬送物を載置して搬送できることから、枚葉搬送による高速搬送時でも枚葉搬送物をダストの付着のない清浄な状態に保つことができ、枚葉搬送方式における製品の歩留まりを向上させることができる。
そして、収納ボックスの底部カバーに枚葉搬送物を載置することにより、収納ボックスの構成を簡単にするとともに、底部カバーを昇降させることによって簡単に枚葉搬送物の受け渡しを行うことができ、作業効率を向上することができる。
【００２２】
特に、底部カバーの外縁に、移載点に設置した置き台に形成された枚葉搬送物の支持片が通過する切欠を形成することにより、底部カバーを降下させるだけで置き台に枚葉搬送物を受け渡すことができ、また、逆に、底部カバーを上昇させるだけで置き台から枚葉搬送物を受け取ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のクリーン搬送車の一実施例を示し、基板を置き台に載置した状態を示す側面図である。
【図２】  同基板を置き台に載置する状態を示す側面図である。
【図３】  同基板を搬送する状態を示す正面図である。
【図４】  底部カバーと置き台を示す平面図である。
【図５】  底部カバーと収納ボックスを示す一部断面平面図である。
【図６】  枚葉搬送の一例を示す概要図である。
【符号の説明】
１    基板（枚様搬送物）
２    底部カバー
３    収納ボックス
４    固定アーム
５    クリーン搬送車
６    可動アーム
７    シリンダ
８    置き台
９    支持片
１０  切欠
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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