(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
励振される振動体と前記振動体に当接する移動体とを加圧して両者に摩擦力を生じさせる加圧手段を備え、前記摩擦力により前記移動体を駆動させる超音波モータにおいて、
前記加圧手段は、主に加圧力を加える主加圧手段と、前記主加圧手段に接続されたばね部材で構成され一部を切断することにより前記加圧手段の加圧力を調整可能な加圧力調整手段と、を有することを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】
前記加圧手段は板ばねであり、前記加圧力調整手段は、前記板ばねにスリット部と前記スリット部の間に短冊部を有することを特徴とする請求項１記載の超音波モータ。
【請求項３】
前記加圧手段は放射状に伸びた腕を有し、前記主加圧手段は前記腕のうち所定の幅の主加圧腕部であり、前記加圧力調整手段は前記腕のうち前記主加圧腕部より幅の狭い加圧力調整腕部であることを特徴とする請求項１記載の超音波モータ。
【請求項４】
前記加圧力調整手段は、前記振動体、前記移動体、前記加圧手段を組み立てた後に、加工されて前記加圧力を調整することを特徴とする請求項１記載の超音波モータ。
【請求項５】
前記加圧手段と前記移動体とを一体にしたことを特徴とする請求項１から請求項４の何れかに記載の超音波モータ。
【請求項６】
請求項１から請求項５の何れかに記載の超音波モータを備えたことを特徴とする超音波モータ付き電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動体と移動体とを加圧手段により加圧する超音波モータに係り、特に、加圧手段の加圧力を振動体、移動体等の組み立て前後で調整する超音波モータおよび超音波モータ付き電子機器の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近時、マイクロモータの分野で、圧電素子の圧電効果を利用した超音波モータが注目されている。
この超音波モータの一例として、装置を支持する支持板と、支持板に固定された中心軸と、中心軸に固定された振動体と、振動体の下面に接合された圧電素子と、振動体に設けた突起に当接された移動体と、移動体に圧接する加圧手段とを備えたタイプが知られている。
【０００３】
これによれば、圧電効果により圧電素子を励振させ、この圧電素子の励振により振動体を弾性振動させ、この弾性振動により振動体の突起を周期的に移動体に当接させる一方、加圧手段は移動体と振動体の突起とに加圧力を加えて、移動体と振動体とに摩擦力を発生させ、この摩擦力により移動体を駆動する。
ここで、加圧手段の種類としては、図１１（ａ）に示すような板ばね１０１、または、図１１（ｂ）に示すような皿形状のばね１０２と、皿形状のばねの加圧力を調整するスペーサからなるものが知られている（特開平２−２８７２８１号公報、特開昭６３−３０５７７０号公報参照）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記板ばね１０１の場合、加圧力は、板ばねの形状、厚みのばらつき、振動体、移動体等の各部品の厚みのばらつき、およびこれらの組み立てばらつきにより、加圧力のばらつきが生じてしまう。この加圧力のばらつきは、振動体と移動体との摩擦力、移動体の駆動力を変化させ、超音波モータの個々の特性をばらつかせるという問題を有していた。
【０００５】
一方、上記皿形状のばね１０２、スペーサを用いる場合、皿形状のばね、振動体、移動体等の各部品のばらつきをスペーサの厚みで調整して加圧力を調整するものの、加圧力の調整は、組み立て前に部品の厚み選別による組み合わせ、または、組み立て後のモータ特性検査による組み外し、例えば、スペーサの枚数を変更する等の煩雑な作業が必要になる。さらに、スペーサでの調整は、わずかな厚みの相違で加圧力が大きく変化するため、精度の高い加圧力の調整は困難であり、ひいては、装置の大型化、低効率化という問題を有していた。
【０００６】
本発明の目的は、以上の問題を鑑み、振動体、移動体等の組み立て前後における加圧力のばらつきを防止し、組み立て後に煩雑な作業なしに加圧力を調整するとともに、小型で高効率かつ安定な超音波モータおよび超音波モータ付き電子機器を提供する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
図１は、本発明の概念を示したブロック図である。
本発明は、図１に示すように、励振される振動体１と前記振動体１に当接する移動体２とを加圧して両者に摩擦力を生じさせる加圧手段３を備え、前記摩擦力により前記移動体２を駆動させる超音波モータにおいて、
前記加圧手段３は、主に加圧力を加える主加圧手段３ａと前記主加圧手段３ａの加える加圧力を調整する加圧力調整手段３ｂを有することを特徴とする。
【０００８】
以上の手段にあって、加圧手段３には、弾性部材を用いる方式、荷重部材により加圧力を加える方式、さらには磁力等の吸引反発により加圧力を加える方式の何れも含まれる。また、弾性部材には、ばね、ゴムが含まれ、さらに、ばねには、板ばね、放射状の腕を有するばね、コイルばね等が含まれる。
図２は、本発明に係わる原理を等価的に表した図である。
【０００９】
加圧手段３は、主加圧手段３ａを大きい弾性係数Ｋ１のばねとし、加圧力調整手段３ｂを小さい弾性係数Ｋ２の３つのばねとし、両ばねを並列に接続したものに置き換えられる。
そして、一定のたわみ量のもとでは、加圧力調整手段３ｂの３つのばねを接続、切断することにより、全体の弾性係数をＫ１＋３Ｋ２、Ｋ１＋２Ｋ２、Ｋ１＋Ｋ２、Ｋ１から選択し、加圧力を調整する。
【００１０】
即ち、本発明によれば、加圧力調整手段３ｂにより、組み立て前のみならず組み立て後においても主加圧手段３ａの加える加圧力は調整される。したがって、振動体１、移動体２、加圧手段３の寸法のばらつきに基づいた加圧力のばらつきは防止されるとともに、振動体１、移動体２、加圧手段３の寸法精度の管理は容易になる。
【００１１】
また、組み立て後に、組み外し作業の必要なしに加圧力は調整される。したがって、組み立て後の加圧力の調整は容易になる。
また、組み立て後に、加圧力調整手段３ｂの接続、切断により、精度の高い加圧力の調整を行う。したがって、小型で高効率且つ安定なモータが実現される。
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の超音波モータにおいて、前記加圧手段は板ばねであり、前記加圧力調整手段は前記板ばねにスリット部と前記スリット部の間に短冊部を有することを特徴とする。
【００１２】
これによれば、組み立て前、スリット部により加圧力を調整するとともに、組み立て後、スリット部間の短冊部を切断、接続することにより、精度の高い加圧力の調整を行う。
また、請求項３記載の発明は、請求項１記載の超音波モータにおいて、前記加圧手段は放射状に伸びた腕を有し、前記主加圧手段は前記腕のうち所定の幅の主加圧腕部であり、前記加圧力調整手段は前記腕のうち前記主加圧腕部より幅の狭い加圧力調整腕部であることを特徴とする。
【００１３】
これによれば、組み立て前、加圧力調整腕部により主加圧腕部の加える加圧力を調整するとともに、組み立て後、加圧力調整腕部の一部を切断、曲げることにより、精度の高い加圧力の調整を行う。
また、請求項４記載の発明は、請求項１記載の超音波モータにおいて、前記加圧力調整手段は、前記振動体、前記移動体、前記加圧手段を組み立てた後に、加工されて前記加圧力を調整することを特徴とする。
【００１４】
ここで、加工法には、切断、曲げ加工、溶融等の方法による。
これによれば、振動体等を組み立て後、加圧力調整手段は加工されて精度の高い加圧力の調整を行う。
また、請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４の何れかに記載の超音波モータにおいて、前記加圧手段と前記移動体とを一体にしたことを特徴とする。
【００１５】
これによれば、加圧手段と移動体とを一体にしたことで、加圧手段を設置する部材を不要にする。したがって、装置構成の簡略化が図られる。
また、請求項６記載の発明は、超音波モータ付き電子機器において、請求項１から請求項５の何れかに記載の超音波モータを備えたことを特徴とする。
ここで、電子機器には、電子時計、計測器、カメラ、プリンタ、印刷機、工作機械、ロボット、移動装置が含まれる。
【００１６】
これによれば、本発明を適用した超音波モータ付き電子機器が実現される。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図３〜図１０を参照して本発明に係わるの実施の形態を詳細に説明する。
｛実施の形態１｝
図３は、本発明を適用した実施の形態１に係わる超音波モータの断面構造を示し、図４は、超音波モータに係わる加圧ばね１６の平面構造を示す。
【００１８】
本実施の形態は、超音波モータを支持する支持板１１と、支持板１１に基端を固定した中心軸１２と、中心軸１２の中央に固定された振動体１３と、振動体１３の下面に接合された圧電素子１４と、振動体１３の突起１３ａに当接する移動体１５と、移動体１５に圧接した本発明の加圧手段としての加圧ばね１６と、移動体１５の下面に固定した摩擦板１７を備える。
【００１９】
ここで、中心軸１２は、剛性材料からなる略柱状体であり、振動体１３を固定支持し、また、移動体１５を回動自在に支持する。
振動体１３は、例えばアルミ合金、ステンレス、黄銅等の弾性材料からなる円盤状である。また、後述する圧電素子１４の分割部の境界に対応する位置に等間隔で、柱状の突起１３ａを設けている。
【００２０】
圧電素子１４は、チタン酸ジルコン酸鉛、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム等で作製され、略円盤状に成形されている。また、周方向へ扇形状に１２等分に分割され、１つおきの分割部を１組の分極処理部として、２組の分極処理部を設ける。分極処理は、各組の分極処理部の分割部が交互に分極処理の方向を反対となるように施す。ここで、分極処理の方向は、正方向として、振動体１３との接合面に向かって正の電界を印加し、逆方向として振動体１３との接合面に向かって負の電界を印加した。
【００２１】
圧電素子１４の接合面に対向する面には、各分割部に対応した略扇形状の電極パターンを蒸着、スパッタ、印刷、ＣＶＤ等の手段で形成し、各組の分極処理部ごとに短絡し、２組の電極パターンを形成している。そして、一方の電極パターンは第１リード線に結線し、他方の電極パターンは第２リード線に結線されている。一方、振動体１３との接合面には、全面に電極を形成している。そして、一方の電極パターンと他方の電極パターンのそれぞれに９０゜位相の異なる励振信号を入力して、それぞれの分極処理部を９０゜位相をずらして励振させ、振動体１３の周方向に進行波を発生させる。
【００２２】
なお、定在波方式を用いる場合、突起１３ａを分割部の境界について１つおきに、即ち、定在波を周方向へ３波長生じさせた場合の節と腹の中間に配置する。そして、正方向へ駆動させるときは、一方の分極処理部に励振信号を入力して励振させ、振動体１３の周方向に３波長分の定在波を発生させる。また、逆方向へ駆動させるときは、他方の分極処理部に同位相の励振信号を入力して励振させ、振動体１３に前記定在波と９０゜位相の異なる定在波を発生させる。
【００２３】
移動体１５は、例えば、剛性材料を用いた円盤状であり、下部の中心には中心軸１２をはめ込む凹状穴１５ａを設け、上面にはピボット１５ｂを設けている。本発明の加圧手段としての加圧ばね１６は、図４（ａ）に示すように、例えば、ステンレス、ばね鋼等の金属を用いた板ばね状であり、図示しない設置部材に固定するベース部１６ａと、ベース部１６ａに連続する本発明の加圧力調整手段としての加圧力調整ばね１６ｂと、加圧力調整ばね１６ｂに連続する本発明の主加圧手段としての主加圧ばね１６ｃから構成されている。
【００２４】
ここで、ベース部１６ａは矩形体であり、矩形体の中心に円形の取付孔１６１ａを形成している。
加圧力調整ばね１６ｂは、板ばねの長手方向に直線状のスリット部１６２ａ，１６２ｂ，１６２ｃを形成し、スリット部１６２ａ，１６２ｂ，１６２ｃ間に短冊部１６３ａ，１６３ｂ，１６３ｃ，１６３ｄを形成している。
【００２５】
主加圧ばね１６ｃは、本体部１６４ａと、６角形状の６角形部１６４ａからなる。
そして、主加圧ばね１６ｃは移動体１５のピボット１５ｂに主なる加圧力を加える。一方、加圧力調整ばね１６ｂは、スリット部１６２ａ，１６２ｂ，１６２ｃにより、加圧ばね１６の剛性および弾性係数を下げて、主加圧ばね１６ｃの加える加圧力を調整する。
【００２６】
さらに、図４（ｂ）に示すように、装置全体を組み立て後に、例えば、加圧力調整ばね１６ｂの短冊部１６３ａ，１６３ｄをレーザー、切断機により切断して、板ばねの弾性係数をさらに下げ、加圧力を微調整する。
次に、図３、図４に基づいて、本実施の形態の動作について説明する。
先ず、圧電素子１４の一方の電極パターンと他方の電極パターンに９０゜位相の異なる励振信号を入力すると、各分極処理部はそれぞれ９０゜位相の異なる励振を行う。
【００２７】
圧電素子１４に接合する振動体１３は、屈曲振動するとともに周方向の進行波を生じる。振動体１３の突起１３ａは楕円運動を行い、楕円運動の縦方向について原点位置から頂点位置までの間に移動体１５に当接する。
一方、加圧ばね１６は、移動体１５のピボット１５ｂに圧接して加圧力を加える。
【００２８】
このとき、主加圧ばね１６ｃは主に加圧力を加えるとともに、加圧力調整ばね１６ｂのスリット部１６２ａ，１６２ｂ，１６２ｃにより加圧力を調整され、移動体１５に適正な加圧力を加える。
そして、この加圧力は、移動体１５と楕円運動の原点位置から頂点位置の間にある突起２２ａとを圧接する。移動体１５は周方向へ摩擦力を加えられ、所定の方向へ回転される。
【００２９】
また、加圧力が大きすぎた場合、図４（ｂ）に示すように、加圧力調整ばね１６ｂの短冊部１６３ａ，１６３ｄを切断する加工を行えばよい。
このとき、加圧ばね１６の弾性係数は、切断された短冊部１６３ａ，１６３ｄにより、さらに下げられ、加圧力は微調整される。また、組み立てた状態のままで装置の組み外し作業を行う必要もない。
【００３０】
そして、移動体１３は適正な範囲の回転数で回転され、所定のトルクが得られる。
なお、上記加工で、加圧力が下がりすぎた場合、再び、短冊部１６３ａ，１６３ｄを接続する加工を行えばよい。
以上より、本実施の形態によれば、主加圧ばね１６ｃの加える加圧力を加圧力調整ばね１６ｂにより組み立ての前後で調整するようにしたので、振動体１３、移動体１５、加圧ばね１６等の寸法のばらつきに基づいた加圧力のばらつきは防止されるとともに、振動体１３、移動体１５、加圧ばね１６の寸法精度の管理は容易になる。
【００３１】
また、装置を組み立ててた後、組み外し作業の必要なしに加圧力は調整されるようにしたので、組み立て後の加圧力の調整は容易になる。
また、組み立て後、加圧力調整ばね１６ｂの短冊部１６３ａ，１６３ｂ，１６３ｃ，１６３ｄの切断、接続により、精度の高い加圧力の調整をするようにしたので、小型で高効率且つ安定なモータが実現される。
【００３２】
図５は、本実施の形態に係わる加圧ばね１６の変形の態様についての平面構造を示す。
この加圧ばね１６の加圧力調整ばね１６ｂは、同図（ａ）に示すように、板ばねの幅方向にスリット部１６５ａ，１６５ｂ，１６５ｃ，１６５ｄ，１６５ｅを形成するとともに、スリット部１６５ａ，１６５ｂ，１６５ｃ，１６５ｄ，１６５ｅの間に短冊部１６６ａ，１６６ｂ，１６６ｃ，１６６ｄを形成した。
【００３３】
本構造によれば、装置の組み立て後に、加圧力を調整する場合、同図（ｂ）に示すように、短冊部の一部１６６ｃを例えば、溶融して取り除き、加圧力を微調整する。
｛実施の形態２｝
図６は、本発明を適用した実施の形態２に係わる超音波モータの断面構造を示す図であり、図７は、超音波モータに係わる加圧ばね２３の平面構造を示す図である。
【００３４】
この超音波モータは、図６に示すように、移動体２２の上方に突出する中心軸２１と、中心軸２１に支持され、且つ移動体２２の上面に圧接された加圧ばね２３を設けた点に特徴を有する。
なお、実施の形態１と同様の構成については同一符号を付して説明を省略する。
【００３５】
ここで、中心軸２１は、剛性材料からなる略柱状体であり、上部に側方へ突出する鍔部２１ａを設けている。そして、この鍔部２１ａにより、加圧ばね２３を支持する。また、移動体２２の中心部には、中心軸２１を挿通させる挿通孔２２２ａを設けている。
加圧ばね２３は、図７（ａ）に示すように、円環状部２３ｂと、円環状部２３ｂの外縁から四方に放射状に伸びた主加圧腕部２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆと、主加圧腕部２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆの間に設けた加圧力調整腕部２３ｇ，２３ｈ，２３ｉ，２３ｊ，２３ｋ，２３ｌ，２３ｍ，２３ｎからなる。
【００３６】
詳細には、円環状部２３ｂは、中心に中心軸２１を挿通させる挿通孔２３ａを設けるとともに、中心軸２１に対して回動自在にする図示しないボールベアリング等の軸受を有する。
主加圧腕部２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆは、所定の腕の幅を有し、移動体２２に主なる加圧力を加える。
【００３７】
また、加圧力調整腕部２３ｇ，２３ｈ，２３ｉ，２３ｊ，２３ｋ，２３ｌ，２３ｍ，２３ｎは、主加圧腕部２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆより腕の幅を狭くし成形し、移動体２２に主加圧腕部２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆより小さい加圧力を加える。
そして、加圧力調整腕部２３ｇ，２３ｈ，２３ｉ，２３ｊ，２３ｋ，２３ｌ，２３ｍ，２３ｎは、主加圧腕部２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆの移動体２２に加える加圧力を増加方向へ調整する。
【００３８】
一方、装置を組み立てた後に加圧力を微調整する場合、同図（ｂ）に示すように、加圧力調整腕部２３ｈ，２３ｊを溶融または切断して、移動体２２から離反させ、また、加圧力調整腕部２３ｋ，２３ｍを上方へ曲げ加工して移動体２２から離反させる。したがって、移動体２２から離反させた加圧力調整腕部２３ｈ，２３ｊ，２３ｋ，２３ｍは、移動体２２に加圧力を加えないため、全体の加圧力が減少方向へ微調整される。
【００３９】
以上より、本実施の形態によれば、主加圧腕部２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆの移動体２２に加える加圧力を、加圧力調整腕部２３ｇ，２３ｈ，２３ｉ，２３ｊ，２３ｋ，２３ｌ，２３ｍ，２３ｎにより調整するようにし、さらに、装置の組み立て後、加圧力調整腕部２３ｈ，２３ｊ，２３ｋ，２３ｍを移動体２２から離反するように加工し、加圧力を微調整するようにしたので、実施の形態１と同様な効果が得られる。
｛実施の形態３｝
図８は、本発明を超音波モータに適用した実施の形態３の断面構造を示す図であり、図９は、超音波モータに係わる加圧ばね３４の平面構造を示す図である。
【００４０】
この超音波モータは、図８に示すように、移動体２２の上方に突出する中心軸３１と、中心軸３１の上部に固定された鍔部材３２と、振動体１３の突起１３ａに当接させた移動体３３と、移動体３３と一体に設けるとともに鍔部材３２の下部に当接させた加圧ばね３４から構成されている。なお、実施の形態１と同様の構成については同一符号を付して説明を省略する。
【００４１】
ここで、図９（ａ）に示すように、移動体３３は円環状である。
加圧ばね３４は、中心に中心軸３１を挿通させる挿通孔３４ａを設けた円環状のボールベアリング部３４ｂと、ボールベアリング部３４ｂの外縁から三方へ放射状に伸びた主加圧腕部３４ｃ，３４ｄ，３４ｅと、主加圧腕部３４ｃ，３４ｄ，３４ｅの間に放射状に伸びた加圧力調整腕部３４ｆ，３４ｇ，３４ｈ，３４ｉ，３４ｊ，３４ｋとからなる。
【００４２】
詳細には、主加圧腕部３４ｃ，３４ｄ，３４ｅは、所定の腕の幅を有し、移動体３３に主なる加圧力を加える。
また、加圧力調整腕部３４ｆ，３４ｇ，３４ｈ，３４ｉ，３４ｊ，３４ｋは、主加圧腕部３４ｃ，３４ｄ，３４ｅより腕の幅を狭くし成形し、移動体３３に主加圧腕部３４ｃ，３４ｄ，３４ｅより小さい加圧力を加える。
【００４３】
そして、加圧力調整腕部３４ｆ，３４ｇ，３４ｈ，３４ｉ，３４ｊ，３４ｋは、主加圧腕部３４ｃ，３４ｄ，３４ｅの移動体３３に加える加圧力を増加方向へ調整する。
一方、装置を組み立てた後に加圧力を微調整する場合、同図（ｂ）に示すように、加圧力調整腕部３４ｆ，３４ｈ，３４ｊを溶融または切断して、移動体３３から離反させる。したがって、移動体３３から離反させた加圧力調整腕部３４ｆ，３４ｈ，３４ｊは、移動体３３に加圧力を加えないため、全体の加圧力を減少方向へ微調整される。
【００４４】
以上より、本実施の形態によれば、主加圧腕部３４ｃ，３４ｄ，３４ｅにより移動体３３に加える加圧力を、加圧力調整腕部３４ｆ，３４ｇ，３４ｈ，３４ｉ，３４ｊ，３４ｋにより調整するようにし、さらに、装置の組み立て後、加圧力調整腕部３４ｆ，３４ｈ，３４ｊを移動体３３から離反するように加工し、加圧力を微調整するようにしたので、実施の形態１と同様な効果が得られる。
【００４５】
また、移動体３３と加圧ばね３４を一体にすることで、加圧ばね設置用の部材点数を減少するようにしたので、装置構成の簡略化が図られる。
｛実施の形態４｝
図１０は、本発明に係わる超音波モータを適用した超音波モータ付き電子機器のブロック図である。
【００４６】
本電子機器は、励信信号により励振される圧電素子４１と、圧電素子４１の励振により弾性振動される振動体４２と、振動体４２により可動される移動体４３と、移動体４３と振動体４２とを加圧する加圧手段４４と、移動体４３と連動して可動する伝達機構４５と、伝達機構４５の動作に基づいて運動する出力機構４６を備えることにより実現する。
【００４７】
ここで、超音波モータ付電子機器としては、例えば、電子時計、計測器、カメラ、プリンタ、印刷機、工作機械、ロボット、移動装置である。
伝達機構４５には、例えば、歯車、摩擦車等の伝達車を用いる。
出力機構４６には、例えば、カメラにおいてはシャッタ駆動機構、レンズ駆動機構を、電子時計においては指針駆動機構、カレンダ駆動機構を、工作機械においては刃具送り機構、加工部材送り機構等を用いる。
【００４８】
また、移動体４３に出力軸を取り付け、出力軸からトルクを伝達する動力伝達機構を有する構成にして、伝達機構４５、出力機構４６を用いずに、超音波モータ自体で駆動機構を実現してもよい。
【００４９】
【発明の効果】
以上より、本発明によれば、主加圧手段の加える加圧力を組み立ての前後で調整するようにしたので、振動体、移動体、加圧手段の寸法のばらつきに基づいた加圧力のばらつきは防止されるとともに、振動体、移動体、加圧手段の寸法精度の管理は容易になる。
【００５０】
また、振動体等の組み立て後に、組み外し作業の必要なしに加圧力は調整されるようにしたので、組み立て後の加圧力の調整は容易になる。
また、組み立て後、加圧力調整手段の切断、接続により、精度の高い加圧力の調整をするようにしたので、小型で高効率且つ安定なモータが実現される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の概念を示したブロック図である。
【図２】本発明の原理を等価的に表した図である。
【図３】本発明を適用した実施の形態１に係わる超音波モータの断面構造を示す図である。
【図４】（ａ）は、図３に係わる加圧ばねの平面構造を示す、（ｂ）は、組み立て後に加工した平面構造を示す図である。
【図５】（ａ）は図４に係わる変形の態様の加圧ばねの平面構造を示し、（ｂ）は組み立て後に加工した平面構造を示す図である。
【図６】本発明を適用した実施の形態２に係わる超音波モータの断面構造を示す図である。
【図７】（ａ）は、図６に係わる加圧ばねの平面構造を示し、（ｂ）は組み立て後に加工した平面構造を示す図である。
【図８】本発明を超音波モータに適用した実施の形態３の断面構造を示す図である。
【図９】（ａ）は図８に係わる加圧ばねの平面構造を示し、（ｂ）は組み立て後に加工した平面構造を示す図である。
【図１０】本発明に係わる超音波モータを適用した実施の形態４に係わる超音波モータ付き電子機器のブロック図である。
【図１１】（ａ）、（ｂ）は従来技術に係わる超音波モータの加圧部材の平面構造を示す説明図である。
【符号の説明】
１１    支持板
１２    中心軸
１３    振動体
１３ａ  突起
１４    圧電素子
１５    移動体
１６    加圧ばね
１６ａ  主加圧ばね
１６ｂ  加圧力調整ばね
１６２ａ，１６２ｂ，１６２ｃ  スリット部
１６３ａ，１６３ｂ，１６３ｃ，１６３ｄ  短冊部
【図１】
0004053646.tif 000002
【図２】
0004053646.tif 000003
【図３】
0004053646.tif 000004
【図４】
0004053646.tif 000005
【図５】
0004053646.tif 000006
【図６】
0004053646.tif 000007
【図７】
0004053646.tif 000008
【図８】
0004053646.tif 000009
【図９】
0004053646.tif 000010
【図１０】
0004053646.tif 000011
【図１１】
0004053646.tif 000012