(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁束を発生する検出対象用磁性体に対して離間されて配備される磁気センサにより該検出対象用磁性体が接近したときに生じる該磁束分布の変化を検出して磁場検出することで該検出対象用磁性体の距離及び形状を検出可能な磁性体検出装置において、
装置本体に固定されて磁束を発生する装置付き磁性体を備え、
前記磁気センサは、
前記装置付き磁性体によって形成される磁束線の本来の方向とほぼ垂直方向の磁場を検出するために装置本体に少なくとも一つが配設されると共に、前記検出対象用磁性体が接近したときの磁束変動の検出を行うものであり、
前記装置付き磁性体によって形成される磁束の湧き出し部付近に配置された第１の磁気センサと、
前記装置付き磁性体によって形成される磁束の吸い込み部付近に配置された第２の磁気センサと、
を含み、
前記第１の磁気センサの出力と前記第２の磁気センサの出力との差動出力を取得して前記磁束変動の検出を補正することを特徴とする磁性体検出装置。
【請求項２】
請求項１記載の磁性体検出装置において、前記磁気センサは、細長い磁性体の高周波インピーダンスが該細長い磁性体の長さ方向の磁場成分によって変化することを利用した磁気インピーダンスセンサであることを特徴とする磁性体検出装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２のいずれかに記載の磁性体検出装置において、
前記磁気センサは、
前記検出対象用磁性体の接近に伴って出力が増加する少なくとも一つの第３の磁気センサと、
前記検出対象用磁性体の接近に伴って出力が減少する少なくとも一つの第４の磁気センサと、
を含み、
前記第３の磁気センサ及び前記第４の磁気センサは、外的要因による一様な磁場に対して何れも出力が増加するか、或いは減少するもので、前記第３の磁気センサの出力又は出力差と前記第４の磁気センサの出力又は出力差との差分値を検出して前記磁束変動の検出に供することを特徴とする磁性体検出装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の磁性体検出装置において、
前記磁気センサは、
前記装置付き磁性体によって形成される磁束線の本来の方向と斜めに交わる方向に検出軸を持つように配置された固定磁気バイアスが必要な第５の磁気センサと、
前記装置付き磁性体によって形成される磁束線の本来の方向に対して前記第５の磁気センサとほぼ対称に検出軸を持つように配置された第６の磁気センサと、
を含み、
前記第５の磁気センサの出力と前記第６の磁気センサの出力との差分値を検出して前記磁束変動の検出に供することを特徴とする磁性体検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、主として磁気センサにより磁束を発生する検出対象用磁性体の距離及び形状を検出する磁性体検出装置であって、詳しくは磁束を発生する装置付き磁性体を備えて複数の磁気センサにより高感度で高性能な検出を可能にした磁性体検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の磁性体検出装置による検出対象用磁性体の距離及び形状を検出するための原理としては、主として以下に述べる２つの方法が知られている。
【０００３】
第１の方法は、検出対象用磁性体が発生する磁束又は磁場を利用し、それらを印加して磁束の乱れを検出するものであり、何れの場合も磁束分布の変化（単に磁束の変化とみなすことができる）を静磁場検出用の磁気センサを用いて検出する。磁束の変化の検出は、磁束密度の変化の検出、即ち、磁場の大きさを検出することを示しており、高感度な磁気センサを用いれば一層遠距離から検出対象用磁性体までの距離を検出することができる。
【０００４】
第２の方法は、検出対象用磁性体の透磁率が低く、且つ導電率が高い場合に適用されるもので、コイル等により交流磁場を発生した条件下で導電性を持つ検出対象用磁性体に生じる誘導起電力に伴う渦電流によりコイルの交流磁場と逆方向の磁場が発生し、これがコイルの交流磁場を阻害することによりコイルのインダクタンスが変化する様子を検出するもので、一般的な金属探知器に汎用的に適用されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の磁性体検出装置による検出対象用磁性体の距離及び形状を検出する原理の場合、より遠い距離からでも検出可能とする高性能化が要求されているにも拘らず、第１の方法や第２の方法の何れの場合にも出力が絶対量として大きな信号における微小変化を検出することになるため、オフセットの安定性及び信号／雑音比（Ｓ／Ｎ比）を高めるには限界があり、こうした要因により検出対象用磁性体までの距離を検出するときの磁気センサにおける感度が或る程度までしか確保されず、結果として検出対象用磁性体をより遠い距離からでも充分に高感度で検出可能とする高性能化を具現し難いという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような問題点を解決すべくなされたもので、その技術的課題は、簡素な構成で検出対象用磁性体の距離及び形状をより遠い距離からでも高感度で検出可能な高性能な磁性体検出装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、磁束を発生する検出対象用磁性体に対して離間されて配備される磁気センサにより該検出対象用磁性体が接近したときに生じる該磁束分布の変化を検出して磁場検出することで該検出対象用磁性体の距離及び形状を検出可能な磁性体検出装置において、装置本体に固定されて磁束を発生する装置付き磁性体を備え、前記磁気センサは、前記装置付き磁性体によって形成される磁束線の本来の方向とほぼ垂直方向の磁場を検出するために装置本体に少なくとも一つが配設されると共に、前記検出対象用磁性体が接近したときの磁束変動の検出を行うものであり、前記装置付き磁性体によって形成される磁束の湧き出し部付近に配置された第１の磁気センサと、前記装置付き磁性体によって形成される磁束の吸い込み部付近に配置された第２の磁気センサと、を含み、前記第１の磁気センサの出力と前記第２の磁気センサの出力との差動出力を取得して前記磁束変動の検出を補正することを特徴とする磁性体検出装置が得られる。
【０００８】
又、本発明によれば、上記磁性体検出装置において、磁気センサは、細長い磁性体の高周波インピーダンスが該細長い磁性体の長さ方向の磁場成分によって変化することを利用した磁気インピーダンスセンサである磁性体検出装置が得られる。
【０００９】
さらに、本発明によれば、上記いずれかに記載の磁性体検出装置において、前記磁気センサは、前記検出対象用磁性体の接近に伴って出力が増加する少なくとも一つの第３の磁気センサと、前記検出対象用磁性体の接近に伴って出力が減少する少なくとも一つの第４の磁気センサと、を含み、前記第３の磁気センサ及び前記第４の磁気センサは、外的要因による一様な磁場に対して何れも出力が増加するか、或いは減少するもので、前記第３の磁気センサの出力又は出力差と前記第４の磁気センサの出力又は出力差との差分値を検出して前記磁束変動の検出に供することを特徴とする磁性体検出装置が得られる。
【００１０】
また、本発明によれば、前記磁気センサは、上記いずれかに記載の磁性体検出装置において、前記装置付き磁性体によって形成される磁束線の本来の方向と斜めに交わる方向に検出軸を持つように配置された固定磁気バイアスが必要な第５の磁気センサと、前記装置付き磁性体によって形成される磁束線の本来の方向に対して前記第５の磁気センサとほぼ対称に検出軸を持つように配置された第６の磁気センサと、を含み、前記第５の磁気センサの出力と前記第６の磁気センサの出力との差分値を検出して前記磁束変動の検出に供することを特徴とする磁性体検出装置が得られる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１３】
最初に、本発明の磁性体検出装置の技術的概要を簡単に説明する。この磁性体検出装置は、磁束を発生する検出対象用磁性体に対して離間されて配備される磁気センサにより検出対象用磁性体が接近したときに生じる磁束分布の変化を検出して磁場検出することで検出対象用磁性体の距離及び形状を検出可能なもので、基本構成として、装置本体に固定されて磁束を発生する装置付き磁性体を備える他、磁気センサは、装置付き磁性体によって形成される磁束線の本来の方向とほぼ垂直方向の磁場を検出するために装置本体に少なくとも一つが配設されると共に、検出対象用磁性体が接近したときの磁束変動の検出を行う構成となっており、磁束の絶対量でなく磁束線の本来の方向、換言すれば、検出対象用磁性体がない場合の磁束線の方向からのずれ成分を検出して余分な信号を除去することで高性能な検出を可能とすることができる。
【００１４】
また、ここでの磁気センサを、装置付き磁性体によって形成される磁束の湧き出し部付近に配置された第１の磁気センサと、装置付き磁性体によって形成される磁束の吸い込み部付近に配置された第２の磁気センサと、を含むものとし、第１の磁気センサの出力と第２の磁気センサの出力との差動出力を取得して磁束変動の検出を補正することにより、これらの磁気センサの出力による差動出力を取得して既存の磁気センサによる磁束変動の検出を補正するように構成しているので、こうした場合には検出対象用磁性体の距離及び形状の検出をより高性能に行うことができるようになる。
【００１５】
さらに、ここでの磁気センサを、細長い磁性体の高周波インピーダンスが細長い磁性体の長さ方向の磁場成分によって変化することを利用した磁気インピーダンスセンサとすれば、高感度で非常に小型の磁気検出部を持たせた上でセンサ自身による磁束の乱れを最小限とし、磁気検出部を多数配列した場合にも相互干渉を最小限に抑制できるので、高感度な検出が可能となる。
【００１６】
さらに、磁気センサとして、検出対象用磁性体の接近に伴って出力が増加する少なくとも一つの第３の磁気センサと、検出対象用磁性体の接近に伴って出力が減少する少なくとも一つの第４の磁気センサとを含むものとし、これらの第３の磁気センサ及び第４の磁気センサが外的要因による一様な磁場に対して何れも出力が増加するか、或いは減少するものとした上、第３の磁気センサの出力又は出力差と第４の磁気センサの出力又は出力差との差分値を検出して磁束変動の検出に供する構成とすれば、磁束のずれ成分のうち、外的要因による信号を差分値検出によって除去することで高精度な検出を行うことができる。
【００１７】
加えて、磁気センサとして、装置付き磁性体によって形成される磁束線の本来の方向と斜めに交わる方向に検出軸を持つように配置された固定磁気バイアスが必要な第５の磁気センサと、装置付き磁性体によって形成される磁束線の本来の方向に対して第５の磁気センサとほぼ対称に検出軸を持つように配置された第６の磁気センサとを含むものとし、これらの第５の磁気センサの出力と第６の磁気センサの出力との差分値を検出して磁束変動の検出に供する構成とすれば、自装置に備える既存の磁束を利用して磁気バイアスを印加しながら同時に既存の（本来の）磁束線の方向が検出対象用磁性体によってずれるのを差分値検出した上で不要な信号を除去することで高精度な検出を行うことができる。尚、固定磁気バイアスを要する第５の磁気センサとしては、磁気抵抗効果を利用したＭＲセンサや磁気インピーダンス効果を利用したＭＩセンサ等が挙げられる。
【００１８】
以下は、本発明の磁性体検出装置における実施の形態について、具体的に説明する。
【００１９】
図１は、本発明の一つの実施の形態に係る車両用磁性体検出装置の基本構成を示した上面方向からの平面図である。この車両用磁性体検出装置は、道路の地面や道路脇の壁等に埋め込まれて使用され、通過中の自動車の下部に相当する鉄板を検出対象用磁性体とみなしてその距離及び形状を検出するもので、長さ寸法ｌで長さ方向の両端にＳ極，Ｎ極を有する装置付き磁性体としての略帯板状の磁石１と、この磁石１の長さ方向に沿って磁石１の両端から互いに一定間隔Ｇ離れると共に、磁性コアの長手方向が磁石１の長さ方向に対してそれぞれ綴じ込むように４５度を成す角度で斜交し、且つ互いに向かい合う一対の組み合わせで９０度の角度を成すように配置されて検出対象用磁性体がない場合に磁石１により形成される磁束線の本来の方向とほぼ垂直方向の磁場を検出する一対２組で総計４個の磁気インピーダンスセンサ１０，１１，１２，１３とを備えて構成されている。
【００２０】
このうち、各磁気インピーダンスセンサ１０，１１，１２，１３には、薄膜形成されたものを用いれば、ばらつきの少なさや小型化の実施の面で望ましく、その検出部（感磁部）は細長い長方形をしており、ここで用いられる磁性体膜を細長い長方形に形成する場合、第１の方法としてフォトレジストによるマスキング後にスパッタ法，蒸着法，メッキ等による製膜を行う場合と、第２の方法として上述した製膜後のフォトレジストによるマスキングを行った後に化学エッチング、イオンエッチングを選択的に行う場合とが挙げられる。細長い形状に形成された磁性体膜は、不活性化雰囲気中で磁性体の幅方向に磁場を印加して熱処理を行うことで零磁場中で磁性体の幅方向に磁化を整列させる。この処理の後、磁性体の長手方向に磁場を印加すると磁化が長手方向に数ガウス程度の磁場で整列するようになる。
【００２１】
図２は、この車両用磁性体検出装置に備えられる各磁気インピーダンスセンサ１０，１１，１２，１３の検出部における磁性体膜の印加磁場に対するインピーダンス特性を示したものである。
【００２２】
ここでは、磁性体膜の磁化が長手方向に数ガウスの磁場で整列するに伴って１ＭＨｚ以上の高周波インピーダンスが一旦２００〜３００（μＴ）を超過するまで増加して飽和した後に減少する特性を持ち、この結果として長手方向に指向性を持つ磁気センサとなることを示している。
【００２３】
又、略帯板状の磁石１には寸法が縦２０ｍｍ×横（長さ寸法ｌを示す）１００ｍｍ×厚さ２０ｍｍのもので、両端面の磁束密度が２５ｍＴのものを用い、この場合に磁気インピーダンスセンサ１０，１１，１２，１３は磁石１の端面からの間隔Ｇをそれぞれ４０ｍｍ，８０ｍｍ，１２０ｍｍという具合に離した位置に各２個ずつ用いた構成とすると共に、磁気検出方向を磁石１の長手方向に綴じ込むように４５度を成す角度で斜交して互いに９０度を成す角度となるように配置することにより、磁石１の一方の端面には２つの磁気インピーダンスセンサ１０，１１が斜めに向かい合う組み合わせで９０度の角度を成すように配置され、磁石１の他方の端面には同様に２つの磁気インピーダンスセンサ１２，１３が斜めに向かい合う組み合わせで９０度の角度を成すように配置されている。
【００２４】
ここで磁気インピーダンスセンサ１０の出力をＶ１０、磁気インピーダンスセンサ１１の出力をＶ１１、磁気インピーダンスセンサ１２の出力をＶ１２、磁気インピーダンスセンサ１３の出力をＶ１３とし、センサ出力を磁石１の両端のそれぞれの組での２つの磁気インピーダンスセンサ１０，１１の出力差Ｖ１１−Ｖ１０と２つの磁気インピーダンスセンサ１２，１３の出力差Ｖ１２−Ｖ１３とで得るものとすれば、磁石１の長手方向と垂直方向の磁場出力を得ることができると同時に各磁気インピーダンスセンサ１０，１１，１２，１３に固定磁気バイアスを印加することができる。固定磁気バイアスが磁石１の劣化や特性ばらつきにより変化する場合にも、図２に示したような一定感度領域の広いインピーダンス特性を有するものを各磁気インピーダンスセンサ１０，１１，１２，１３に用いれば、２つの磁気インピーダンスセンサ１０，１１の出力差Ｖ１１−Ｖ１０と２つの磁気インピーダンスセンサ１２，１３の出力差Ｖ１２−Ｖ１３とを取ることによって固定磁気バイアスの変動分がキャンセルされる。
【００２５】
このような構成の車両用磁性体検出装置に対して図３に示すように磁石１の長手方向と垂直方向で鉄板３が距離ｄを変化して接近する場合、各磁気インピーダンスセンサ１０，１１，１２，１３にあっての磁石１の端面からの間隔Ｇを異なる構成（Ｇ＝４０ｍｍ，８０ｍｍ，１２０ｍｍ）とした場合における距離ｄの変化に対するセンサ出力の特性は図４に示されるようなる。
【００２６】
図４からは、２つの磁気インピーダンスセンサ１０，１１の出力差Ｖ１１−Ｖ１０と２つの磁気インピーダンスセンサ１２，１３の出力差Ｖ１２−Ｖ１３とで示されるセンサ出力について、間隔ＧがＧ＝４０ｍｍの場合のように狭ければ、距離ｄの変化に対して高い値を維持して高感度になり、かなり離れた距離ｄの鉄板３の位置を検出することができるが、Ｇ＝８０ｍｍ，Ｇ＝１２０ｍｍという具合に間隔Ｇが広がると、所定値を維持できずに次第に低感度になり、余り離れた距離ｄの鉄板３の位置は検出できないことが判る。因みに、Ｇ＝１００ｍｍの条件下では数１００ｎＴ程度の弱い信号となる。従って、各磁気インピーダンスセンサ１０，１１，１２，１３にあっての磁石１の端面からの間隔Ｇは、磁石１の長さ寸法ｌが一定（ｌ＝１００ｍｍ）であれば、Ｇ＝１００ｍｍ未満にして狭くすることが望ましい。
【００２７】
これに対し、各磁気インピーダンスセンサ１０，１１，１２，１３にあっての磁石１の端面からの間隔Ｇを一定（例えばＧ＝４０ｍｍとする）にして磁石１の長さ寸法ｌを異なる構成（ｌ＝１００ｍｍ，５０ｍｍ，１０ｍｍ）とした場合における距離ｄの変化に対するセンサ出力の特性は図５に示されるようなる。
【００２８】
図５からは、２つの磁気インピーダンスセンサ１０，１１の出力差Ｖ１１−Ｖ１０と２つの磁気インピーダンスセンサ１２，１３の出力差Ｖ１２−Ｖ１３とで示されるセンサ出力について、磁石１の長さ寸法ｌがｌ＝１００ｍｍの場合のように長ければ、距離ｄの変化に対して高い値を維持して高感度になり、かなり離れた距離ｄの鉄板３の位置を検出することができるが、ｌ＝５０ｍｍ，ｌ＝１０ｍｍという具合いに磁石１の長さ寸法ｌが短ければ、所定値を維持できずに次第に低感度になり、余り離れた距離ｄの鉄板３の位置は検出できないことが判る。従って、磁石１の長さ寸法ｌは、各磁気インピーダンスセンサ１０，１１，１２，１３にあっての磁石１の端面からの間隔Ｇが一定（Ｇ＝４０ｍｍ）であれば、ｌ＝１００ｍｍ程度以上にして長くすることが望ましい。
【００２９】
特に、離れた距離ｄの検出対象用磁性体である鉄板３を検出するためには、微小磁場の検出が不可欠となり、地磁気や装置本体（ボディ）に着磁した磁場等の影響で不確定なオフセット磁場を検出してしまうことになるが、各磁気インピーダンスセンサ１０，１１，１２，１３は何れも一様な磁場を検出するものであるため、一様磁場が磁石１の長手方向に垂直で鉄板３が近付く方向に平行に加わった場合、磁石１の両端部の各磁気インピーダンスセンサ１０，１１，１２，１３の出力に与える影響は、図６（ａ）に示されるように磁気インピーダンスセンサ１１の出力Ｖ１１及び磁気インピーダンスセンサ１２の出力Ｖ１２が何れも増加（但し、Ｖ１１＞Ｖ１２とする）し、磁気インピーダンスセンサ１０の出力Ｖ１０及び磁気インピーダンスセンサ１３の出力Ｖ１３が何れも減少（但し、Ｖ１０＞Ｖ１３とする）となり、鉄板３の接近に対して図６（ｂ）の実線で示されるように２つの磁気インピーダンスセンサ１０，１１の出力差Ｖ１１−Ｖ１０は増加し、同図（ｂ）の点線で示されるように２つの磁気インピーダンスセンサ１２，１３の出力差Ｖ１２−Ｖ１３も増加するため、これらの２つの磁気インピーダンスセンサ１０，１１の出力差Ｖ１１−Ｖ１０から２つの磁気インピーダンスセンサ１２，１３の出力差Ｖ１２−Ｖ１３を減じた値（Ｖ１１−Ｖ１０）−（Ｖ１２−Ｖ１３）を差動出力とすれば不確定なオフセット磁場をキャンセルすることができる。
【００３０】
一方、一様磁場が磁石１の長手方向に平行に加わった場合、磁石１の両端部の各磁気インピーダンスセンサ１０，１１，１２，１３の出力に与える影響は、図７（ａ）に示されるように磁気インピーダンスセンサ１１の出力Ｖ１０及び磁気インピーダンスセンサ１１の出力Ｖ１１が何れも増加（但し、Ｖ１１＞Ｖ１０とする）し、磁気インピーダンスセンサ１２の出力Ｖ１２及び磁気インピーダンスセンサ１３の出力Ｖ１３が何れも減少（但し、Ｖ１２＞Ｖ１３とする）となり、この場合は鉄板３の接近に対して図７（ｂ）の実線で示されるように２つの磁気インピーダンスセンサ１０，１１の出力差Ｖ１１−Ｖ１０は零のままとなり、同図（ｂ）の点線で示されるように２つの磁気インピーダンスセンサ１２，１３の出力差Ｖ１２−Ｖ１３も零のままとなるため、これらの２つの磁気インピーダンスセンサ１０，１１の出力差Ｖ１１−Ｖ１０から２つの磁気インピーダンスセンサ１２，１３の出力差Ｖ１２−Ｖ１３を減じた値（Ｖ１１−Ｖ１０）−（Ｖ１２−Ｖ１３）を差動出力とすれば不確定なオフセット磁場をキャンセルすることができる。
【００３１】
ところで、上述した車両用磁性体検出装置に備えられる各磁気インピーダンスセンサ１０，１１，１２，１３の出力特性は、磁石１の発生磁場の変化に対して図８に示されるように何れも増加する（但し、Ｖ１２＞Ｖ１３＞Ｖ１１＞Ｖ１０とする）ものを用いるものとする（尚、図８に示される出力特性はあくまで一例であり、これに限定されない）が、こうした出力特性のものを用いれば２つの磁気インピーダンスセンサ１０，１１の出力差Ｖ１１−Ｖ１０から２つの磁気インピーダンスセンサ１２，１３の出力差Ｖ１２−Ｖ１３を減じた値（Ｖ１１−Ｖ１０）−（Ｖ１２−Ｖ１３）を差動出力とする差動出力特性が零のままとなり、不確定なオフセット磁場をキャンセルすることができる。
【００３２】
尚、上述した車両用磁性体検出装置では、４つの磁気インピーダンスセンサ１０，１１，１２，１３を用いた場合の構成を説明したが、この他に磁石１によって形成される磁束の湧き出し部付近に配置された磁気インピーダンスセンサと、磁石１によって形成される磁束の吸い込み部付近に配置された磁気インピーダンスセンサとを増設するようにし、これらの増設された磁気インピーダンスセンサの出力による差動出力を取得して既存の磁気インピーダンスセンサによる磁束変動の検出を補正するように構成すれば、鉄板３の距離及び形状をより遠い距離からでも高感度で検出可能な高性能なものとなる。
【００３３】
【発明の効果】
以上に述べた通り、本発明の磁性体検出装置によれば、装置本体に固定されて磁束を発生する装置付き磁性体を備え、検出対象用磁性体がない場合に磁気センサを装置付き磁性体によって形成される磁束線の本来の方向とほぼ垂直方向の磁場を検出するために装置本体に少なくとも一つが配設されて検出対象用磁性体が接近したときの磁束変動の検出を行う構成とし、ているので、磁束の絶対量でなく磁束線の本来の方向（検出対象用磁性体がない場合の磁束線の方向）からのずれ成分を検出して余分な信号を除去することができるようになり、これによって簡素な構成で検出対象用磁性体の距離及び形状をより遠い距離からでも高感度で検出可能な高性能なものとなる。又、磁気センサを装置付き磁性体によって形成される磁束の湧き出し部付近に配置されたものと磁束の吸い込み部付近に配置されたものとを含むように増設し、これらの増設された磁気センサの出力による差動出力を取得して既存の磁気センサによる磁束変動の検出を補正するように構成しているので、こうした場合には検出対象用磁性体の距離及び形状の検出をより高性能に行うことができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一つの実施の形態に係る車両用磁性体検出装置の基本構成を示した上面方向からの平面図である。
【図２】図１に示す車両用磁性体検出装置に備えられる各磁気インピーダンスセンサの検出部における磁性体膜の印加磁場に対するインピーダンス特性を示したものである。
【図３】図１に示す車両用磁性体検出装置に対して磁石の長手方向と垂直方向で鉄板が距離を変化して接近する場合の様子を模式的に示した平面図である。
【図４】図３に示す条件下での各磁気インピーダンスセンサにあっての磁石の端面からの間隔を異なる構成とした場合における距離の変化に対するセンサ出力の特性を模式的に示したものである。
【図５】図３に示す条件下での各磁気インピーダンスセンサにあっての磁石の端面からの間隔を一定にして磁石の長さ寸法を異なる構成とした場合における距離の変化に対するセンサ出力の特性を模式的に示したものである。
【図６】図３に示す条件下での各磁気インピーダンスセンサに一様磁場が磁石の長手方向に垂直で鉄板が近付く方向に平行に加わった場合の出力特性であり、（ａ）は各磁気インピーダンスセンサ毎の出力に関するもの，（ｂ）は２つの磁気インピーダンスセンサの出力差及びそれによる差動出力に関するものである。
【図７】図３に示す条件下での各磁気インピーダンスセンサに一様磁場が磁石１の長手方向に平行に加わった場合の出力特性であり、（ａ）は各磁気インピーダンスセンサ毎の出力に関するもの，（ｂ）は２つの磁気インピーダンスセンサの出力差に関するものである。
【図８】図１に示す車両用磁性体検出装置に備えられる各磁気インピーダンスセンサの磁石の発生磁場の変化に対する２つの磁気インピーダンスセンサの出力差による差動出力特性を示したものである。
【符号の説明】
１  磁石
３  鉄板
１０〜１３  磁気インピーダンスセンサ
【図１】
0004142870.tif 000002
【図２】
0004142870.tif 000003
【図３】
0004142870.tif 000004
【図４】
0004142870.tif 000005
【図５】
0004142870.tif 000006
【図６】
0004142870.tif 000007
【図７】
0004142870.tif 000008
【図８】
0004142870.tif 000009