(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つのクリーンルーム内に設けられ、
エッチング工程、ウエットケミカル処理、拡散処理、並びに洗浄処理を実施するための多数の加工ユニット、
および／または、
ウェーハの導入および搬出のために搬送システムを介して連結されている工程の検査のための測定ユニット、
により構成されるウェーハ加工装置において、
ウェーハは、加工ユニット（１）、測定ユニット（２）および／または搬送システムのキャパシティに適合する、変更可能なロットサイズに集められており、搬送システムにおける搬送のためのウェーハは搬送ロットのロットサイズに集められ、加工ユニット（１）または測定ユニット（２）における加工のためのウェーハは加工ロットのロットサイズに集められ、
この装置では、複数のウェーハを自動的に加工制御機構により１つのロットに組合せ可能であり、
また、この装置では、加工制御機構には、加工ユニット（１）、測定ユニット（２）、および、搬送システムの各コンピュータユニット（１３）が接続されており、
また、この装置では、多数の加工ユニット（１）のうちの一つまたは測定ユニット（２）のコンピュータユニット（１３）による変更可能な加工ロットの解除のために、当該コンピュータユニット（１３）から制御命令が加工制御機構に伝達され、それに応じて、加工制御機構における加工ロットの標識は消去され、
また、この装置では、加工ユニット（１）または測定ユニット（２）のコンピュータユニット（１３）において生成される加工ロットの標識が、加工制御機構から搬送システムのコンピュータユニット（１３）に読み込まれ、
また、この装置では、搬送ロットのロットサイズに集めるために、加工制御機構から搬送システムのコンピュータユニット（１３）に制御命令が読み込まれるが、その制御命令の内容は、加工ユニット（１）または測定ユニット（２）のロットのロットサイズであり、
また、この装置では、搬送ロットは、目的場所に到達したのち、それぞれの加工ユニット（１）または測定ユニット（２）において解除され、そしてそのロットのウェーハは加工ロットに移され、
また、この装置では、加工ロットは加工ユニット（１）または測定ユニット（２）での処理のあと解除され、少なくとも１つの搬送ロットに移され、
また、この装置では、加工ユニット（１）または測定ユニット（２）のコンピュータユニット（１３）による加工ロットの解除のために、当該コンピュータユニット（１３）から制御命令が加工制御機構に伝達され、それに呼応して、回答として、加工制御機構からコンピュータユニット（１３）へ、少なくとも１つの搬送ロットのロットサイズに集めるための制御命令が伝達され、
また、この装置では、加工制御機構から加工ユニット（１）または測定ユニット（２）のコンピュータユニット（１３）に読み込まれる、１つの搬送ロットのロットサイズに集めるための制御命令は、標識、変更可能なロットサイズ、ならびに、加工ユニット（１）または測定ユニット（２）により形成されている目的場所を含んでいることを特徴とするウェーハ加工装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置において、搬送ロットと加工ロットとが相異なるロットサイズを有することを特徴とする装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の装置において、１つのロットサイズは少なくとも１枚のウェーハを含んでいることを特徴とする装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の装置において、ウェーハには、それらの個別識別のためのマークが付けられていることを特徴とする装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の装置において、それぞれ１つのロットが１つの搬送容器（６）に収められていることを特徴とする装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の装置において、ロットは標識により識別可能であることを特徴とする装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の装置において、搬送システムは、コンベアシステム（４）および少なくとも１つの保管庫（５）を備え、コンベアシステム（４）と保管システムとは、それぞれ少なくとも１つのコンピュータユニット（１３）を備えていることを特徴とする装置。
【請求項８】
請求項７に記載の装置において、コンピュータユニット（１３）には、ウェーハにおけるマークの読取りのための読取り器が接続されていることを特徴とする装置。
【請求項９】
請求項１から８までのいずれか一項に記載の装置において、制御命令が、搬送ロットの導入のための目的場所までの搬送に要する搬送時間を含むことを特徴とする装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、ウェーハ加工装置に関する。
【０００２】
このような装置は、ウェーハを加工するためのさまざまな工程を実施する多数の加工ユニットを備えている。それらの工程とは、特に、エッチング工程、ウエットケミカル処理、拡散処理、ならびに、さまざまな洗浄処理（例えば、ＣＭＰ処理（ケミカル・メカニカル・ポリッシング）のような処理）である。
【０００３】
各工程のそれぞれに対して、１つまたは複数の加工ユニットが設けられている。さらに、ウェーハ加工の仕上がりを検査できる測定ユニットが設けられている。そして、このような測定ユニットにより、加工ユニットで実施される全ての重要な工程が検査される。
【０００４】
また、全工程に課せられるきびしい清浄度要求基準のため、加工ユニットおよび測定ユニットは、クリーンルームに設けられるか、またはクリーンルーム内のシステムの一環として設けられる。
【０００５】
ウェーハは、それぞれ予め決められたロットサイズで、搬送システムを経て個々の加工ユニットおよび測定ユニットに導入される。そのために、ウェーハは、例えば、カセットの形態に形成されている搬送容器に入れて搬送される。搬送容器群は、それぞれ同数のウェーハを収納している。加工ユニットおよび測定ユニットでのウェーハ加工の後の搬出も、搬送システムによって行われるが、この場合、ウェーハは、同じ搬送容器に収められたままの状態で搬送される。それぞれ２５個のウェーハが、１つの搬送容器にワンロットとして集結される場合も代表的な形態である。
【０００６】
この搬送システムは、例えば、ローラコンベアの形態で構成されているコンベアシステムを有する。さらに、この搬送システムは、ウェーハの搬送容器を収めるための複数の保管庫をもつ保管システムを有する。
【０００７】
公知のウェーハ加工装置においては、搬送容器に集められるウェーハのロットは、搬送システムにより装置内の全加工ユニットおよび測定ユニットに導かれる。この場合、それぞれの搬送容器へのロットの所属は変わらない。このことは、異なるロット同士のウェーハが混じり合わないことを意味している。
【０００８】
この場合、ウェーハの加工のために、それぞれ１つの搬送容器が、ロットと共に、ローディング／アンローディングステーションを通って、加工ユニットまたは測定ユニットに導入される。加工ユニットまたは測定ユニットにおけるウェーハの加工が終わると、そのロットは、同じ搬送容器で再びローディング／アンローディングステーションを通り、搬送システムに送り出される。
【０００９】
この場合、ウェーハを入れた搬送容器は、個々の加工および測定のプロセスの結果にもよるが、順次個々の加工ユニットおよび測定ユニットに導入される。そこで問題となるのは、個々の加工ユニットおよび測定ユニットが、相異なるキャパシティ（容量）を持っていることである。
【００１０】
これは、特に、若干の加工ユニットおよび測定ユニットにおいては、多数のウェーハを平行して加工できるが、他の加工ユニットおよび測定ユニットでは、ひとつずつのウェーハしか加工できないためである。
例えば、加熱炉プロセスでは、多数のウェーハが同時に加工ユニットの加熱炉に導入される。一方、例えば、ウェーハの光学的検査が実施される測定ユニットでは、ウェーハは一枚ずつ処理されている。
【００１１】
それにもかかわらず、なるべく高い装置稼働率を得るためには、ウェーハ入り搬送容器を、なるべく多く搬送システムに送り出さねばならない。この場合、それによって大量のウェーハが装置内に集積することが難点である。装置内におけるこのような大量の材料集積は、著しくコストを圧迫するからである。しかも、そのような大量の搬送容器は、連続的に装置内を通過させられないので、搬送容器の中間保管のために多数の保管庫を設けなければならない。
【００１２】
そのような保管庫は、通常、ストッカとして形成されている。ストッカとは、その中にクリーンルーム条件のもとにウェーハを保管する保管システムのことである。そのようなストッカは構造コストが大きいため、コストを非常に圧迫する。しかも、ストッカはクリーンルームスペースを非常にとるので、装置コストをさらに押し上げることになる。
【００１３】
そうした対策を実施したとしても、相異なる加工キャパシティの故に、個々の加工ユニットおよび測定ユニットでの著しい待機時間と、それに伴う静止時間とを削減することはできない。このため、装置内のウェーハ通過時間は過大になる。ウェーハ加工装置における通常の処理時間は、４０日から６０日までの範囲にある。
【００１４】
ＤＥ３７３５４４９Ａ１には、交換可能な複数の搬送モジュール、プロセスモジュール、コントロールモジュールから構成されているウェーハ加工システムが記載されている。各プロセスモジュールは、それぞれ少なくとも１つのプロセスステーション、１つの貯留所、および１つのハンドリング機器を有する。
【００１５】
また、ウェーハは、第１カセットに入れられて、搬送モジュールを通じて供給される。ハンドリング機器は、ウェーハを第１カセットからとりだし、それをプロセスステーションおよび貯留所に導入する。コントロールモジュールでは、使用できないウェーハが検知され、場合によっては第２カセットに集められる。
【００１６】
第２カセットは、使えないウェーハの中間保管のために用いることができる。この代わりとしては、使えないウェーハはコントロールモジュールから放出される。欠陥のないウェーハはカセットに集められ、再び搬送モジュールに送り出される。
【００１７】
ＵＳ５，８０３，９３２には、ウェーハ加工のための加工システムが記載されている。この加工システムは、ローディング／アンローディングセクション、加工セクションおよびインターフェースセクションを有する。さらに、１つの搬送装置および少なくとも２つの待機セクションが設けられている。
【００１８】
搬送装置は、ローディング／アンローディングセクションとインターフェースセクションとの間に存在する。搬送装置の両側には、複数の加工セクションを形成しているプロセスユニットが設けられている。
ウェーハ加工装置は、搬送装置でローディング／アンローディングセクションの方向またはインターフェースセクションの方向に搬送される。
【００１９】
ＤＥ１９８１６１５１Ａ１は、半導体ウェーハカセット搬送装置における自動搬送機器の制御方法に関するものである。この搬送機器は、半導体ウェーハカセットを、ホストコンピュータの制御のもとに保管装置の入口ゲートに導くようになっている。
【００２０】
ＪＰ０８２６８５１２Ａは、基板を保管するための保管ユニットに関するものである。保管ユニットは、ソーターユニットを有し、このユニットにより、基板は自動的に分類され、保管ユニット内のカセットに装入されたり、あるいは送り出されたりする。
【００２１】
ＤＥ１９８２６３１４Ａ１には、集積回路（ＩＣ）の自動テストのためのテスト機器が記載されている。テストの実施のために、テストタブレットの複数のテストヘッドが設けられている。テストタブレットにおける個々のＩＣの搬送のために、搬送装置が設けられている。この搬送装置は、ＩＣを収納するためのグリップヘッドをもつ、レール上を動くアームを有する。
【００２２】
本発明の課題は、加工ユニットおよび測定ユニットの可能最大の稼働率において、なるべく短いウェーハ装置通過時間が達成されるように、冒頭に述べた様態の装置を形成することである。
【００２３】
この課題を解決するために、請求項１の特徴が提案される。好ましい実施例および本発明の適切な展開はサブクレームに記載されている。
【００２４】
本発明により、ウェーハは、加工ユニット、測定ユニットおよび／または搬送システムのキャパシティに適合する、変更可能（バリアブル）なロットサイズにて集結される。
【００２５】
このとき、ウェーハは、搬送システムによる搬送のために搬送ロットに、そして加工ユニットまたは測定ユニットでの処理のために、加工ロットに集められる。
【００２６】
すなわち、本発明の根本的な思想は、確定しているサイズの特定のロットによるウェーハの束縛を廃止することにある。
【００２７】
搬送システムを通じてのウェーハ搬送は、変化しうる（バリアブル）ロットサイズで行われる。この場合、個々のロットサイズは、ウェーハを導入しようとする先の加工ユニットまたは測定ユニットの加工キャパシティと瞬時稼働率（momentanen Auslastungsgrad）とに適合されている。
【００２８】
個々の加工ユニットおよび測定ユニットにおいては、搬送システムから供給されるウェーハロットは、ばらばらに解かれ、必要に応じて、そして加工ユニットまたは測定ユニットのキャパシティに応じて、新しいロットサイズに集約され、１つのロットにおいて同時に加工される。
【００２９】
ウェーハが、それぞれの加工ユニットまたは測定ユニットにおいて必要とされるロットサイズですでに搬送システムを通じて供給される場合、旧ロットの解除と新ロットの集結とを略すこともできる。
【００３０】
加工ユニットまたは測定ユニットにおけるロットの加工のあと、必要に応じてこのロットは再び解除され、そこから新しいウェーハロットが集結され、そのロットが搬送システムに導入される。そのあと、個々のロットは、全プロセスにおける加工順序に対応して、さらに別の加工ユニットまたは測定ユニットに導入される。
【００３１】
個々の加工ユニットおよび測定ユニットのキャパシティにもよるが、ロットサイズは３００枚までのウェーハを収容できる。しかし、同様に非常に小さいロットサイズも設けられるし、特に、１枚のロットサイズ（losgroBen eins）もそれに含まれている。
従って、本発明の装置では、個別のウェーハの加工もまた可能である。この場合、ウェーハにはマークが付けられる。そして、このマークにより、適切な識別システムによってウェーハを識別可能であるという点が優れている。
【００３２】
個々の加工ユニットおよび測定ユニットのキャパシティへのロットサイズの適合により、個々の加工ユニットおよび測定ユニットにおける充填量のバランスを効果的にとれる。
【００３３】
それにより、個々の加工ユニットおよび測定ユニットの待機時間および静止時間が大幅に減り、これにより、装置におけるウェーハ通過時間の短縮化を実現できる。さらに、加工ユニットおよび測定ユニットに対して必要なだけウェーハを導入することにより、搬送システムにおけるオーバーキャパシティを解消、あるいは少なく抑えられるので、ウェーハの中間保管数は少なくてすむ。
【００３４】
これにより、コストを圧迫する保管庫を節減でき、そしてまた、装置内のウェーハ滞留も著しく減らせる。
【００３５】
特に好ましい実施形態（実施型）では、個々のロットの集結と解除とが、中央の加工制御機構を通じて行われる。
この場合、搬送システムならびに個々の加工ユニットおよび測定ユニットは、加工制御機構に接続されているコンピュータユニットを有する。このため、ロットの集結および解除は、加工制御機構からコンピュータユニットへの制御命令の伝達により行われる。逆に、コンピュータユニットからは、情報が、搬送システム，加工ユニットおよび測定ユニットを通じて加工制御機構へ帰還される。
【００３６】
本発明を以下の図面により説明する。
図１は、複数の加工ユニットおよび測定ユニットを備えるウェーハ加工装置の概念図である。また、図２は、加工ユニットのためのローディング／アンローディングステーション(Be- und Entladestation)の概念図である。
【００３７】
図１に、あるウェーハ加工装置の実施例を示す。この装置は、ウェーハの加工に必要となる工程を実施するための複数の加工ユニット１を有する。この種の工程は、エッチングプロセス、ウエットケミカル処理、拡散処理ならびに洗浄処理における加工過程を含む。
【００３８】
これらの工程のために、それぞれ１つまたは複数の加工ユニット１を設けることができる。
そのために、この装置は、個々の工程の結果を検査する多数の測定ユニット２を有している。
【００３９】
加工ユニット１および測定ユニット２は、クリーンルーム３内に設けられる。代わりに、装置を、クリーンルーム３における１つのシステムを用いて、分散させて配置することもできる。
【００４０】
加工ユニット１および測定ユニット２は、搬送システムにより互いに結ばれている。搬送システムは、コンベアシステム４とストレージシステムとを有する。コンベアシステム４は、例えば、ローラーコンベアのシステムにより構成することができる。保管システムの保管庫５は、特に、ストッカとして形成されている。
【００４１】
ウェーハは、搬送容器６に収められ、コンベアシステム４により搬送される。搬送容器６は、カセットあるいは同類の形態に形成することができる。
【００４２】
本発明の装置においては、全工程が自動化されている。なお、個々のまたは複数の工程を手動で行うことも原則として可能である。
【００４３】
加工ユニット１、測定ユニット２、ならびに保管庫５は、導入および搬出のために、それぞれ少なくとも１つのローディング／アンローディングステーション７を備えている。
【００４４】
図２は、ウェーハの搬入および搬出のためのローディング／アンローディングステーション７をもつ加工ユニット１を示す。ローディング／アンローディングステーション７は、加工ユニット１のフロント側にローディング／アンローディングポート８を有している。そして、このポートを通じて、加工ユニット１にウェーハを装入可能であり、さらに、このポートを通じて、加工ユニット１からウェーハを搬出可能である。
【００４５】
原則的には、複数のローディング／アンローディングポート８を設けることもできる。さらに、ローディング／アンローディングステーション７は、搬送システムのコンベアシステム４を加工ユニット１のローディング／アンローディングポート８に連結する２基のコンベア９・１０を備えている。
【００４６】
コンベア９・１０はローラコンベアなどで構成することができる。第１コンベア９は、搬送容器６に入って搬送システムのコンベアシステム４に供給される、ウェーハの加工ユニット１への導入に用いられる。第２コンベア１０は、別の搬送容器６に入ってコンベアシステム４に送り出されるウェーハの搬出に用いられる。
【００４７】
各コンベア９・１０には、ウェーハのハンドリング（取り扱い）のためのハンドリング機器１１・１２が設けられている。優れた形態としては、各ハンドリング機器１１・１２には、図示されていないが、読み取り器が設けられていることである。この読み取り器により、ウェーハに付けられたマークを読取ることができ、これによりウェーハの個別識別が可能となる。マークは、特に、バーコードで形成できる。この場合、読み取り器は、バーコード読み取り器となる。
【００４８】
読み取り器を備えるハンドリング機器１１・１２は、コンピュータユニット１３に接続されている。このコンピュータユニット１３は、図示されていないが、それによって操作員が加工ユニット１を操作し、検査できるところの操作ユニットの一部である点が優れた形態である。
【００４９】
コンピュータユニット１３を備えるこの種のローディング／アンローディングステーション７は、優れた形態として、各加工ユニット１および各測定ユニット２に配備されている。さらに、この種のユニットは、保管システムの保管庫５にも設けられている。
【００５０】
終局的には、クリーンルーム３からの、ないしはクリーンルーム３へのウェーハ搬出入を検査するための、別のコンピュータユニット１３を、搬送システムのコンベアシステム４に設けることもできる。
【００５１】
図１に示す装置では、全てのコンピュータユニット１３は、図示されていないが、やはりコンピュータユニットにより構成できる中央の加工制御機構に接続されている。
【００５２】
本発明により、ウェーハは、加工ユニット１、測定ユニット２および／または搬送システムのキャパシティに適合した、変化しうるロットサイズにて集結される。
【００５３】
このロットサイズは、本装置の利用形態にもよるが、通常３００枚のウェーハを収めることができる。しかし、ロットサイズを１枚だけとすることも可能であるので、１枚ずつのウェーハが１つのロットを構成することもできる。なお、それらのロットは、個々の加工ユニット１および測定ユニット２のキャパシティに応じて、加工制御機構により自動的に集結または解除される。この場合、搬送ロットと加工ロットとの加工制御は異なる。また、この場合、ウェーハは、搬送ロットとなって搬送システムにおいて案内される。さらに、ウェーハは、加工ロットに集結されて、それぞれの加工ユニット１または測定ユニット２において加工される。とりわけ、ロットサイズは、搬送ロットと加工ロットとでは異なることがある。
【００５４】
１つのロットにおけるウェーハは、搬送容器６に収められている点が優れた形態である。搬送容器６の大きさは、場合に応じてさまざまなロットサイズに適合させることができる。
【００５５】
個々のロットは、標識により識別可能である。最も簡単なケースでは、ウェーハにマークの標識を付す。この種の標識の設定は、特に、１つのロットが１枚だけのウェーハを有する場合の、個別ウェーハ処理において有意義である。その代わりのケースとしては、１つのロットのウェーハを、１つの搬送容器６に集結させることができる。この場合、搬送容器６には、例えば、マークの形態で適切な標識が付けられる。
【００５６】
図１に示した装置におけるウェーハの進行は、中央の加工制御機構により制御され、監視される。加工ユニット１または測定ユニット２におけるウェーハの加工のために、ウェーハは、搬送システムを通り、それぞれの加工ユニット１または測定ユニット２に導入される。
【００５７】
加工プロセスが始まると、一定数のウェーハが、保管システムの保管庫５からとりだされ、例えば、図２に示すような加工ユニット１に導入される。それに代わる形態としては、ウェーハは、クリーンルーム３の外部から直接にコンベアシステム４に導入され、コンベアシステム４が、ウェーハを加工ユニット１に運ぶ。いずれの場合でも、加工ユニット１へのウェーハ導入は、搬送ロットによって行われる。また、搬送ロットのロットサイズは、加工ユニット１のキャパシティに応じて定められる。
【００５８】
そのために、加工ユニット１から、搬送システムの適切なコンピュータユニット１３に対し、制御命令が送り出される。この制御命令により、加工ユニット１のための搬送ロットの編成が開始される。この制御命令の内容は、目的場所を形成している加工ユニット１、ならびに、形成しようとする搬送ロットのロットサイズである。この場合、まず始めに、それぞれの加工ユニット１におけるウェーハの瞬間所要量（momentane Bedarf）が加工制御機構から問い合わせられ、ロットサイズが、加工ユニット１の瞬間所要量に適合される。
【００５９】
ハンドリング機器または操作員により、搬送容器６の搬送ロットのウェーハが、搬送システムに送り出される。搬送ロットの編成により、加工制御機構における搬送オーダー（搬送指示）がつくりだされ、この搬送オーダーにより、加工制御機構における搬送ロットが監視される。搬送オーダーの内容は、搬送ロットの標識、目的場所、場合によっては、その他の、例えば、それぞれの加工ユニット１への搬送ロットの供給時間のようなデータである。
【００６０】
図２には、それぞれの搬送ロットをもつ２つの搬送容器６が、加工ユニット１のコンベア９を通じてコンベアシステム４から導入されるケースが示されている。ここでは、搬送容器６の１つは、ハンドリング機器１１の領域に存在している。
【００６１】
ハンドリング機器１１に接続されているコンピュータユニット１３は、加工ユニット１への搬送ロットの到着を確認応答する。そのとき、搬送ロットは、標識により、ローディング／アンローディングステーション７のコンピュータユニット１３において認識され、標識は加工制御機構に読み込まれる。
【００６２】
これに呼応して、加工制御機構を通じて、搬送ロットは解除され、加工ロットに移される。そのために、対応の搬送オーダーは、加工制御機構における対応の標識により消去される。搬送オーダーの消去により、搬送ロットのウェーハは、装置の配送過程から取り消される。同時に、加工制御機構では、加工オーダーが発令され、これにより加工ユニット１における加工ロットの進行を検査可能である。
【００６３】
最も簡単なケースでは、搬送ロットのロットサイズは、加工ロットのロットサイズと同じである。これは、供給されるウェーハの個数が、加工ユニット１の瞬時所要量に正確に合致するときである。このケースでは、ウェーハは加工ロットの搬送容器６に残ったままであり、そして搬送容器６の標識により、加工制御機構において加工ロットとして登録される。
【００６４】
加工ユニット１の所要量が搬送ロットのロットサイズに正確に適合している場合は、ハンドリング機器１１により、複数の搬送ロットを１つの加工ロットに集約できる。この場合、加工ロットは別の標識をもつ別の搬送容器６に保管されるので、合理的である。同様に、また、搬送ロットのウェーハを、複数の加工ロットに分配することができ、それらの複数の加工ロットは、順次、加工ユニット１に導入されうる。この場合、各加工ロットは、他の標識と他の加工オーダーとを受け取る。
【００６５】
加工ロットが加工ユニット１において加工された後、この加工ロットは、ローディング／アンローディングポート８を通って第２のコンベア１０に送り出され、そして第２のハンドリング機器１２に達する。接続されているコンピュータユニット１３では、その加工ロットは、標識と加工オーダーとにより識別される。このために、加工ユニット１で加工される全加工ロットは、所属のコンピュータユニット１３に記憶される点が合理的である。
【００６６】
加工ロットが識別されたあと、この加工ロットは解除され、少なくとも１つの搬送ロットに移される。そのために、加工ユニット１のコンピュータユニット１３から加工制御機構へ制御命令が伝送される。回答として、加工制御機構は、１つまたは複数の搬送ロットの編成のための制御命令を発信する。
【００６７】
この搬送ロットの編成は、次に設けられている加工ユニット１および測定ユニット２のキャパシティに対応して行われる。このために、次に設けられている加工ユニット１および測定ユニット２は、加工制御機構により問い合わせを受ける。それぞれの加工ユニット１および測定ユニット２のキャパシティ基準に応じて、加工ロットから、１つまたは複数の搬送ロットが編成される。基本的には、複数の加工ロットを１つの搬送ロットに集約することも可能である。
【００６８】
ある加工ロットを複数の搬送ロットに移転させようとする場合は、ハンドリング機器１２によって、加工ロットのウェーハはさまざまな搬送容器６に装入される。いずれの場合でも、各搬送ロットは、再び、標識と搬送オーダーとにより加工制御機構において識別され、検査される。搬送オーダーの生成により、当該搬送ロットのウェーハは、装置の配分過程に再び受け入れられる。同時に、搬送オーダーの生成により、対応する加工オーダーの消去が行われる。しかるのち、さまざまな搬送ロットのウェーハは、次の目的場所に導入され、そこで図２に示される実施例と同じように、ウェーハのハンドリングが行われる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  複数の加工ユニットおよび測定ユニットを備えるウェーハ加工装置の概念図である。
【図２】  加工ユニットのためのローディング／アンローディングステーションの概念図である。
【図１】
0004094233.tif 000002
【図２】
0004094233.tif 000003