(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体試験装置によって半導体メモリを試験した結果を表示するフェイル解析装置であって、
前記半導体メモリに対応する試験結果を表す複数のフェイルビットマップ画像を生成するフェイルビットマップ作成手段と、
前記複数のフェイルビットマップ画像のそれぞれを複数のレイヤに対応させるとともに各レイヤ間の関連付けを行うレイヤ管理手段と、
前記レイヤ管理手段によって前記複数のレイヤ間の関連付けが行われた前記複数のフェイルビットマップ画像を重ね合わせる処理を行う画像重ね合わせ手段と、
前記画像重ね合わせ手段によって重ね合わされた画像を表示する表示手段と、
を備えることを特徴とするフェイル解析装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記レイヤ管理手段は、前記レイヤ毎に前記フェイルビットマップ画像の表示／非表示状態を管理することを特徴とするフェイル解析装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記レイヤ管理手段は、前記関連付けによって、前記複数のレイヤのそれぞれを対象とした論理演算の内容を設定することを特徴とするフェイル解析装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかにおいて、
前記フェイルビットマップの表示範囲の変更を指示する操作手段と、
前記操作手段によって前記表示範囲の変更が指示されたときに、前記レイヤ管理手段によって関連付けられた前記複数のレイヤに対応する前記複数のフェイルビットマップを対象に、前記表示範囲の変更を実行する表示範囲変更手段と、
をさらに備えることを特徴とするフェイル解析装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかにおいて、
前記レイヤ管理手段は、前記複数のフェイルビットマップ画像以外に前記試験結果に関連しない画像を含めて前記複数のレイヤのそれぞれに対応させるとともに前記関連付けを行うことを特徴とするフェイル解析装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体メモリの記憶セルのフェイル分布状態の測定結果を表示するフェイル解析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体試験装置は、被試験デバイス（ＤＵＴ）としての半導体メモリ（以下、単に「メモリ」と称する）内の各記憶セルに対してデータの読み書きを行うことにより、各記憶セルの不良を解析する。一般に、半導体試験装置は、ＤＵＴから読み出されたデータと所定の期待値データとを比較してパス・フェイルの判定を行い、この結果をフェイルメモリに格納する。このようにしてフェイルメモリに格納されたフェイル情報を、ワークステーション等によって構成されるフェイル解析装置によって収集してその内容を調べることにより、このＤＵＴに対する各種の不良解析が行われる。
【０００３】
例えば、フェイル解析装置は、所定のメモリデバイス評価ツールを用いることにより、大容量のＤＲＡＭのフェイル分布状態をフィジカルマップあるいはロジカルマップとして表示することができる。フィジカルマップは、物理アドレスＸ、Ｙを座標として用いる２次元のフェイルビットマップであり、メモリの不良記憶セルの物理的配置を確認するために用いられる。また、ロジカルマップは、論理アドレスＸ、ＹとＩ／Ｏ番号とを座標として用いる３次元のフェイルビットマップであり、論理アドレスＺを用いる場合には４次元になることもある。上述したフェイルメモリから読み出されるフェイル情報に基づいてこのロジカルマップが生成される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来のフェイル解析装置で生成されるロジカルマップやフィジカルマップは、フェイルの傾向を比べる場合等においては互いに重ね合わせることができれば便利である。このような複数のビットマップの重ね合わせは、従来のフェイル解析装置では不可能であるか、あるいは限られた制限の下で単なる重ね合わせを行うことのみが可能であった。例えば、２つのフェイルビットマップの重ね合わせが可能な場合であっても、これら２つのフェイルビットマップが関連付けられているわけではないため、再び表示倍率を変えて重ね合わせを行いたい場合には、２つのフェイルビットマップのそれぞれについて表示倍率を変更する必要がある。また、フェイルビットマップの表示領域を移動させたい場合も、２つのフェイルビットマップが連動して移動するわけではないため、２つのフェイルビットマップのそれぞれについて表示領域を移動させる必要がある。また、複数のフェイルビットマップの組合せを変えて重ね合わせを行う場合には、組合せを変える毎に重ね合わせの対象となる全てのフェイルビットマップについてデータの読み込みから繰り返すことになる。また、複数のフェイルビットマップを重ね合わせた場合に、重ねる順番のみを変更することができなかったため、結局順番を変えて再描画していた。このように、従来のフェイル解析装置を用いてフェイルビットマップの重ね合わせを行う場合には、何らかの変更を行う場合の操作が煩雑になるという問題があった。
【０００５】
また、例えば２つのフェイルビットマップを比べたときにフェイル箇所がどの程度一致しているか等を確かめるような場合には、重ね合わせたフェイルビットマップ同士の演算を行う必要があるが、従来のフェイル解析装置ではこのようなフェイルビットマップ同士の演算を行うことは不可能であった。
【０００６】
本発明は、このような点に鑑みて創作されたものであり、その目的は、フェイルビットマップ同士の重ね合わせに関連する操作を簡略化することができるフェイル解析装置を提供することにある。また、本発明の他の目的は、重ね合わせた複数のビットマップを用いて演算を行うことができるフェイル解析装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、本発明のフェイル解析装置は、半導体試験装置によって半導体メモリを試験した結果を表示する場合に、半導体メモリに対応する試験結果を表す複数のフェイルビットマップ画像を生成するフェイルビットマップ作成手段と、複数のフェイルビットマップ画像のそれぞれを複数のレイヤに対応させるとともに各レイヤ間の関連付けを行うレイヤ管理手段と、レイヤ管理手段によって複数のレイヤ間の関連付けが行われた複数のフェイルビットマップ画像を重ね合わせる処理を行う画像重ね合わせ手段と、画像重ね合わせ手段によって重ね合わされた画像を表示する表示手段とを備えている。重ね合わされた複数のフェイルビットマップ画像のそれぞれが複数のレイヤに対応しており、各レイヤ間の関連付けがなされているため、表示画像の内容変更を行う場合、例えば表示倍率を変更したり表示範囲を移動したりする場合に、各フェイルビットマップ画像の相互の関係を維持しながら表示内容を変更することができる。このため、各フェイルビットマップ画像に対して個別に移動指示を行ったり表示倍率の変更指示を行う必要がなく、操作を大幅に簡略化することができる。
【０００８】
また、上述したレイヤ管理手段は、レイヤ毎にフェイルビットマップ画像の表示／非表示状態を管理することが望ましい。これにより、重ね合わされた各フェイルビットマップ毎に表示を消したり再表示したりする際に、その都度データの読み込みや描画処理を繰り返すことが不要になり、処理および操作の簡略化が可能になる。
【０００９】
また、上述したレイヤ管理手段は、関連付けによって、複数のレイヤのそれぞれを対象とした論理演算の内容を設定することが望ましい。各レイヤ間の関連付けを行う際に論理演算の内容が設定されるため、この設定内容にしたがって各フェイルビットマップを対象にした論理演算が可能になる。
【００１０】
また、上述したフェイルビットマップの表示範囲の変更を指示する操作手段と、この操作手段によって表示範囲の変更が指示されたときにレイヤ管理手段によって関連付けられた複数のレイヤに対応する複数のフェイルビットマップを対象に表示範囲の変更を実行する表示範囲変更手段とをさらに備えることが望ましい。これにより、操作手段による１回の変更指示を行うことにより、複数のフェイルビットマップの表示範囲を同時に変更することができる。
【００１１】
また、上述したレイヤ管理手段は、複数のフェイルビットマップ画像以外に試験結果に関連しない画像を含めて複数のレイヤのそれぞに対応させて関連付けを行うことが望ましい。例えば、所定の枠や罫線あるいは文字等の画像を考えた場合に、重ね合わされた複数のフェイルビットマップ画像にこの画像をさらに付加することにより、表示内容の見やすさ等を向上させることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を適用した一実施形態のフェイル解析装置について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施形態のフェイル解析装置が接続される半導体試験装置の構成を示す図である。図１に示すように、半導体試験装置１００は、タイミング発生器１１０、パターン発生器１１２、波形整形器１１４、論理比較器１１６、ＡＦＭ（アドレスフェイルメモリ）１１８、ＣＦＭ（コンパクトフェイルメモリ）１２０、テスタ処理部１２２、通信制御部１２４、フィジカル変換部１２６を含んで構成されている。
【００１３】
パターン発生器１１２によって発生したアドレスとデータが波形整形器１１４により波形整形されてＤＵＴ１３０に入力される。論理比較器１１６は、ＤＵＴ１３０から読み出されたデータと、パターン発生器１１２から出力される期待値とを比較して、パス・フェイルの判定を行う。
【００１４】
ＡＦＭ１１８は、論理比較器１１６より出力されるフェイル信号と、パターン発生器１１２より出力されるアドレス信号により、各アドレス毎のフェイル情報を格納する。これらの一連の動作は全てタイミング発生器１１０から各部に入力されるシステムクロックに同期して行われる。このＡＦＭ１１８に格納されるフェイル情報は、論理フェイルビットマップデータであり、各Ｉ／Ｏ番号毎にＸアドレスとＹアドレスによって特定される各記憶セルについてパスかフェイルかを示すビットデータ（例えば、パスが“０”に、フェイルが“１”に対応する）が格納されている。
【００１５】
また、ＣＦＭ１２０は、ＡＦＭ１１８の内容を縮小したフェイル情報を格納する。例えば、各Ｉ／Ｏ番号毎に、Ｘアドレスがｎ分割、Ｙアドレスがｍ分割され、各分割領域に対応する１ビットデータが得られる。具体的には、この１ビットデータの値は、Ｘアドレスの該当分割領域およびＹアドレスの該当分割領域に対応するＡＦＭ１１８の複数のビットデータの論理和を演算することにより求められる。すなわち、各分割領域で特定される複数のビットデータの中に１つでもフェイルを示す“１”が含まれる場合には、ＣＦＭ１２０内の対応するビットデータがフェイルを示す“１”に設定され、各分割領域で特定される複数のビットデータの全てがパスを示す“０”である場合には、ＣＦＭ１２０内の対応するビットデータがパスを示す“０”に設定される。なお、以下の説明では、ＡＦＭ１１８から読み出されるデータを「ＡＦＭデータ」あるいは「詳細ロジカルデータ」、ＣＦＭ１２０から読み出されるデータを「ＣＦＭデータ」あるいは「縮小ロジカルデータ」と称して説明を行うものとする。
【００１６】
フィジカル変換部１２６は、ＡＦＭ１１８に格納されている詳細ロジカルデータに基づいてフィジカル変換処理を行うことにより、フィジカルフェイルビットマップデータ（以後、「詳細フィジカルデータ」と称する）を生成する。このフィジカル変換部１２６は、専用のハードウエアによって構成されており、フィジカル変換処理を高速に実行することができる。
【００１７】
また、テスタ処理部１２２は、オペレーティングシステム（ＯＳ）によってテストプログラムを実行して所定の試験を実施するために半導体試験装置１００の全体を制御する。例えば、ＡＦＭデータに基づいてＣＦＭデータを生成する処理はこのテスタ処理部１２２によって行われる。通信制御部１２４は、半導体試験装置１００に接続されたフェイル解析装置１０との間で各種データの送受信を行う。
【００１８】
図２は、本実施形態のフェイル解析装置１０の詳細構成を示す図である。図２に示すように、フェイル解析装置１０は、通信制御部１２、ロジカルマップ格納部１４、フィジカル変換部１６、フィジカルマップ格納部１８、縮小処理部２０、詳細データ取得部３０、縮小データ取得部４０、メインビューア作成部８０、ロジカルビューア作成部８２、フィジカルビューア作成部８４、レイヤ管理部８６、表示範囲変更部８７、画像合成部８８、表示制御部９０、表示装置９４、操作部９６、ＧＵＩ処理部９８を備えている。
【００１９】
通信制御部１２は、半導体試験装置１００との間で各種データの送受信を行う。ロジカルマップ格納部１４は、ＤＵＴ１３０に対する試験によって得られた詳細ロジカルデータおよび縮小ロジカルデータを格納する。
フィジカル変換部１６は、詳細ロジカルデータに基づいてフィジカル変換処理を行うことにより、フィジカルフェイルビットマップデータ（以後、「詳細フィジカルデータ」と称する）を生成する。フィジカルマップ格納部１８は、フィジカル変換部１６によるフィジカル変換処理によって得られた詳細フィジカルデータを格納する。縮小処理部２０は、詳細フィジカルデータの内容を縮小したビットマップデータ（以後、「縮小フィジカルデータ」と称する）を生成する縮小処理を行う。この縮小処理は、上述した半導体試験装置１００においてＡＦＭデータからＣＦＭデータを生成する場合の処理と同じである。
【００２０】
詳細データ取得部３０は、詳細ロジカルデータと詳細フィジカルデータを取得する。本実施形態のフェイル解析装置１０は、半導体試験装置１００から直接詳細ロジカルデータや縮小ロジカルデータを取得しながら各種の解析を行う「テスタモード」と、一旦保存した詳細ロジカルデータ等に基づいて各種の解析を行う「ファイルモード」の２種類の解析モードを有する。
【００２１】
具体的には、詳細ロジカルデータは、テスタモード時には半導体メモリ１００内のＡＦＭ１１８からＡＦＭデータを読み出すことによって取得され、ファイルモード時にはロジカルマップ格納部１４から該当するデータを読み出すことにより取得される。また、詳細フィジカルデータは、テスタモード時には半導体試験装置１００内のＡＦＭ１１８に格納されている詳細ロジカルデータに基づいてフィジカル変換部１２６によるフィジカル変換処理を行った結果を読み込むことにより取得され、ファイルモード時にはフィジカルマップ格納部１８から該当するデータを読み出すことにより取得される。
【００２２】
また、縮小データ取得部４０は、縮小ロジカルデータと縮小フィジカルデータを取得する。具体的には、縮小ロジカルデータは、テスタモード時には半導体試験装置１００内のＣＦＭ１２０からＣＦＭデータを読み出すことにより取得され、ファイルモード時にはロジカルマップ格納部１４から該当するデータを読み出すことにより行われる。また、縮小フィジカルデータは、テスタモード時にはフィジカル変換処理によって得られた詳細フィジカルデータに基づいて縮小処理部２０による縮小処理を行うことにより取得され、ファイルモード時にはフィジカルマップ格納部１８から読み出した詳細フィジカルデータに基づいて縮小処理部２０による縮小処理を行うことにより取得される。
【００２３】
メインビューア作成部８０は、表示装置９４にメインビューア・ウインドウを表示するために必要な描画データを作成する。このメインビューア・ウインドウには、試験対象となった複数個のＤＵＴ１３０の試験結果が一覧形式で含まれている。
【００２４】
ロジカルビューア作成部８２は、表示装置９４にロジカルビューア・ウインドウを表示するために必要な描画データを作成する。このロジカルビューア・ウインドウには、特定のＤＵＴ１３０およびＩ／Ｏ番号が指定されたときのロジカルフェイルビットマップが含まれる。
【００２５】
また、フィジカルビューア作成部８４は、表示装置９４にフィジカルビューア・ウインドウを表示するために必要な描画データを作成する。このフィジカルビューア・ウインドウには、特定のＤＵＴ１３０が指定されたときのフィジカルフェイルビットマップが含まれる。上述したメインビューア・ウインドウ、ロジカルビューア・ウインドウ、フィジカルビューア・ウインドウの具体例については後述する。
【００２６】
ところで、本実施形態のフェイル解析装置１０では、複数のロジカルマップ同士、あるいは複数のフィジカルマップ同士を重ね合わせて表示を行うことができ、このような画像の重ね合わせを行うためにレイヤの概念が導入されている。具体的には、重ね合わせの対象となるフェイルビットマップ画像のそれぞれを複数のレイヤのそれぞれに対応させ、各レイヤ間の関連付けを行っている。
【００２７】
レイヤ管理部８６は、各レイヤ毎の設定内容と各レイヤ間の関連付け内容を管理する。これらの管理情報の設定は、レイヤ管理部８６によって表示されるレイヤウインドウを用いて行われる。レイヤウインドウの具体例については後述する。
【００２８】
表示範囲変更部８７は、移動やズーム等の表示範囲の変更が指示されたときに、レイヤ管理部８６によって設定された管理情報に基づいて、表示対象となっている重ね合わされた全てのフェイルビットマップの表示範囲の変更を行う。具体的には、管理情報に基づいて、変更指示がなされた時点で重ね合わされているフェイルビットマップを認識するとともに、これらのフェイルビットマップの表示範囲の変更をロジカルビューア作成部８２あるいはフィジカルビューア作成部８４に指示する。
【００２９】
画像合成部８８は、レイヤ管理部８６によって設定された管理情報に基づいて、ロジカルマップ同士あるいはフィジカルマップ同士を重ね合わせた画像を表示するために必要な描画データを作成する。
表示制御部９０は、メインビューア作成部８０、ロジカルビューア作成部８２、フィジカルビューア作成部８４、画像合成部８８のそれぞれによって作成された描画データに基づいて、表示装置９４に出力する映像信号を生成する。この表示制御部９０にはＶＲＡＭ（ビデオＲＡＭ）９２が備わっており、画面上で一番上に表示したいウインドウの描画データが格納される。
【００３０】
操作部９６は、利用者が各種の指示入力を行うためのものであり、表示装置９４の表示画面の任意位置を指定するポインティングデバイスとしてのマウスや、テンキーやアルファベットキーあるいは各種の記号キーからなるキーボードが含まれている。ポインティングデバイスは、マウス以外のデバイス、例えば入力タブレットやタッチパネル等を用いるようにしてもよい。ＧＵＩ（グラフィカル・ユーザ・インタフェース）処理部９８は、操作部９６の操作状態に対応するＧＵＩ処理を実現するためのものである。例えば、メインビューア・ウインドウ等に含まれる各種のコマンドやボタンがマウスを用いてクリックされたときに、対応する処理を判定し、この処理の依頼を行う。
【００３１】
上述したメインビューア作成部８０、ロジカルビューア作成部８２、フィジカルビューア作成部８４がフェイルビットマップ作成手段に、レイヤ管理部８６がレイヤ管理手段に、表示範囲変更部８７が表示範囲変更手段に、画像合成部８８が画像重ね合わせ手段に、表示制御部９０、表示装置９４が表示手段に、操作部９６、ＧＵＩ処理部９８が操作手段にそれぞれ対応する。
【００３２】
本実施形態のフェイル解析装置１０はこのような構成を有しており、次にその動作を説明する。
図３は、フェイル解析装置の動作手順を示す流れ図であり、主にレイヤウインドウを用いて行った各種の設定内容を表示に反映させるとともに、重ね合わされた画像の表示範囲を変更する場合の動作手順が示されている。
【００３３】
フェイル解析装置１０が起動されると、レイヤ管理部８６は、ロジカルビューア・ウインドウあるいはフィジカルビューア・ウインドウが表示されているか否かを判定する（ステップ１００）。
例えば、ロジカルビューア・ウインドウやフィジカルビューア・ウインドウは、メインビューア・ウインドウを表示させた状態で所定の操作を行うことにより表示することができる。次に、メインビューア・ウインドウからロジカルビューア・ウインドウやフィジカルビューア・ウインドウを起動する場合の具体的な方法を説明する。
【００３４】
図４は、フェイル解析装置１０が起動された後に表示されるメインビューア・ウインドウの具体例を示す図である。
ＤＵＴデータ表示領域（ａ７）
試験対象となった複数のＤＵＴ１３０のそれぞれの試験結果を示す結果画像を表示するために用いられる。矩形で示されたそれぞれの結果画像に含まれる数字がＤＵＴ番号を示しており、このＤＵＴ番号によって特定されたＤＵＴ１３０がパスなのかフェイルなのかがこの矩形内の色によって表現されている。例えば、パスの場合（このＤＵＴ番号に対応する縮小ロジカルデータが全てパスである場合）には矩形の内部が緑色に着色され、フェイルの場合（このＤＵＴ番号に対応する縮小ロジカルデータに一つでもフェイルがある場合）には矩形の内部が赤色に着色される。なお、図４に示したＤＵＴデータ表示領域ａ７には、１〜１２８のＤＵＴ番号を示したが、半導体試験装置１００に実際に実装されたＤＵＴ１３０の数が１２８より少ない場合には、対応するＤＵＴ１３０が存在しない矩形内の数字が非表示あるいはシャドウ表示される。このＤＵＴ１３０の数や次に示すＩ／Ｏ番号は、例えば、半導体試験装置１００からフェイル解析装置１０に通知（Notify）が送られてきたときに、これらの数に関する情報が読み込まれて更新される。また、半導体試験装置１００に実際に実装されたＤＵＴ１３０の数が１２８を超える場合には、１２８個のＤＵＴ１３０の結果画像が含まれるページを切り替えて表示する。
【００３５】
Ｉ／Ｏデータ表示領域（ａ８）
ＤＵＴ番号が指定された特定のＤＵＴ１３０について、各Ｉ／Ｏ番号毎の試験結果を示す結果画像を表示するために用いられる。矩形で示されたそれぞれの結果画像に含まれる数字がＩ／Ｏ番号を示しており、このＩ／Ｏ番号によって指定されるロジカルフェイルビットマップがパスなのかフェイルなのかがこの矩形内の色によって表現されている。例えば、パスの場合（このＩ／Ｏ番号に対応する縮小ロジカルデータが全てパスである場合）には矩形の内部が緑色に着色され、フェイルの場合（このＩ／Ｏ番号に対応する縮小ロジカルデータに一つでもフェイルがある場合）には矩形の内部が赤色に着色される。なお、図４に示したＩ／Ｏデータ表示領域ａ８には、０〜１４３のＩ／Ｏ番号を示したが、半導体試験装置１００に実際に実装されたＤＵＴ１３０のＩ／Ｏ番号の最大値が１４３より小さい場合には、対応するＩ／Ｏ番号が存在しない矩形内の数字が非表示あるいはシャドウ表示される。また、ＤＵＴ番号の最大値が１４３を超える場合には、ページを切り替えて表示する。
【００３６】
表示切替オプションメニュー（ａ９）
上述したＤＵＴデータ表示領域ａ７あるいはＩ／Ｏデータ表示領域ａ８における表示内容を切り替えるために用いられる。ＤＵＴデータ表示領域ａ７について、「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」、「ＣＦＭ（Ａｌｌ）」、「ＣＦＭ（１６ＤＵＴ）」、「ＣＦＭ（３２ＤＵＴ）」の各表示オプションが用意されている。また、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８について、「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」、「ＣＦＭ（Ａｌｌ）」、「ＣＦＭ（１６ｏｒ１８Ｉ／Ｏ）」、「ＣＦＭ（３２ｏｒ３６Ｉ／Ｏ）」の各表示オプションが用意されている。
【００３７】
「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」は、試験結果がパスかフェイルかを示す上述した結果画像を表示するためのオプションである。図４に示したメインビューア・ウインドウの初期画面では、起動時のデフォルトとしてこの表示オプションが選択された状態が示されている。
【００３８】
また、「ＣＦＭ（Ａｌｌ）」、「ＣＦＭ（１６ＤＵＴ）」、「ＣＦＭ（３２ＤＵＴ）」、「ＣＦＭ（１６ｏｒ１８Ｉ／Ｏ）」、「ＣＦＭ（３２ｏｒ３６Ｉ／Ｏ）」のそれぞれは、縮小ロジカルデータに対応するロジカルフェイルビットマップ（以後、「縮小ロジカルマップ」と称する）を示す縮小画像を括弧内の数だけ表示するためのオプションである。縮小画像の具体的な表示例については後述する。
【００３９】
「Ｐｈｙｓｉｃａｌ」ボタン（ａ１０）
ＤＵＴ番号が指定された特定のＤＵＴ１３０に対応するフィジカルビューア・ウインドウの表示を指示するために用いられる。
図５は、縮小ロジカルマップを示す縮小画像の一覧が含まれるメインビューア・ウインドウの具体例を示す図である。例えば、ＤＵＴデータ表示領域ａ７に対応する表示オプションとして「ＣＦＭ（１６ＤＵＴ）」が、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８に対応する表示オプションとして「ＣＦＭ（１６ｏｒ１８Ｉ／Ｏ）」がそれぞれ選択された状態が示されている。
【００４０】
ＤＵＴデータ表示領域ａ７内において、数字が含まれる矩形領域は、表示オプションとして「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」が選択された場合と同じ内容であり、この番号で指定されるＤＵＴ１３０がパスなのかフェイルなのかを示す結果画像に対応する。その上部に位置する矩形領域は、ＤＵＴ１３０毎の縮小ロジカルマップの内容を示す縮小画像を示している。半導体試験装置１００内のＣＦＭ１２０からは、Ｉ／Ｏ番号毎のＣＦＭデータ（縮小ロジカルデータ）が読み出されるため、メインビューア作成部８０は、各ＤＵＴ１３０毎に全Ｉ／Ｏ番号の縮小ロジカルデータの各ビットの論理和を求めてこの縮小画像を生成する。
【００４１】
また、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８内において、数字が含まれる矩形領域は、表示オプションとして「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」が選択された場合と同じ内容であり、このＩ／Ｏ番号の縮小ロジカルデータがパスなのかフェイルなのかを示す結果画像に対応する。その上部に位置する矩形領域は、Ｉ／Ｏ番号毎の縮小ロジカルマップの内容を示す縮小画像を示している。
【００４２】
なお、図５に示した例では、ＤＵＴデータ表示領域ａ７とＩ／Ｏデータ表示領域ａ８の両方が表示されているが、いずれか一方を非表示状態にして他方の表示可能数を増やすこともできる。
上述したメインビューア・ウインドウが表示された状態で、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８に含まれるいずれかのＩ／Ｏ番号が指定されると、これはロジカルビューア・ウインドウの表示が指示されたことになる。
【００４３】
図６は、ロジカルビューア・ウインドウの具体例を示す図である。このウインドウには、縮小ロジカルマップａ１１とその一部あるいは全部に対応するロジカルフェイルビットマップａ１２が含まれている。このロジカルフェイルビットマップａ１２は、詳細データ取得部３０によって取得された詳細ロジカルデータに基づいて作成される。
【００４４】
また、メインビューア・ウインドウが表示された状態で、「Ｐｈｙｓｉｃａｌ」ボタンａ１０が選択されると、これはフィジカルビューア・ウインドウの表示が指示されたことになる。
図７は、フィジカルビューア・ウインドウの具体例を示す図である。このウインドウには、縮小フィジカルマップａ１３とその一部あるいは全部に対応するロジカルフェイルビットマップａ１４が含まれている。このロジカルフェイルビットマップａ１４は、詳細データ取得部３０によって取得された詳細ロジカルデータに基づいて作成される。
【００４５】
このようにしてロジカルビューア・ウインドウあるいはフィジカルビューア・ウインドウが表示されると、ステップ１００の判定で肯定判断が行われ、次に、ＧＵＩ処理部９８は、レイヤウインドウの表示が指示されたか否かを判定する（ステップ１０１）。例えば、表示中のロジカルビューア・ウインドウやフィジカルビューア・ウインドウの上部に表示されたメニューバーの中の「Ｖｉｅｗ」に対応するプルダウンメニューに、レイヤウインドウの表示を指示する項目「Ｌａｙｅｒｓ…」が含まれているものとする。ＧＵＩ処理部９８は、この項目「Ｌａｙｅｒｓ…」がマウスによってクリックされたりキーボードを使って指し示されたか否かを監視することにより、上述したステップ１０１の判定を行う。
【００４６】
レイヤウインドウの表示が指示されない場合にはステップ１０１の判定で否定判断が行われ、次に、ＧＵＩ処理部９８は、表示中のフェイルビットマップの表示範囲の変更が指示されたか否かを判定する（ステップ１０２）。表示範囲の変更が指示されない場合には、ステップ１００に戻って処理が繰り返される。
【００４７】
また、レイヤウインドウの表示が指示された場合にはステップ１０１の判定で肯定判断が行われ、次に、レイヤ管理部８６は、レイヤウインドウの画像を作成して表示装置９４に表示する（ステップ１０３）。
図８は、レイヤウインドウの具体例を示す図である。このウインドウには、レイヤ表示エリアｂ１とボタンエリアｂ２が含まれている。レイヤ表示エリアｂ１に含まれるレイヤ名（「Ｌａｙｅｒ０」等）をマウスを操作してクリックすると、このレイヤを示す部分が反転表示になり、このレイヤに対応するロジカルビューア・ウインドウあるいはフィジカルビューア・ウインドウが操作可能になる。フェイル色指定ボックスｃ１は、このレイヤに対応するフェイルビットマップのフェイル箇所が含まれている場合にこのフェイル箇所の色を指定するために用いられる。重ね合わせる各フェイルビットマップのフェイル箇所を全部同じ色にすると、各フェイルビットマップのフェイル分布がわからなくなるため、このフェイル色指定ボックスｃ１を用いてフェイル箇所の色を任意に設定することができるようになっている。チェックボタンｃ２は、ボタンエリアｂ１に含まれる各種のボタンに対応した処理を行う場合に処理対象となるレイヤを指定するためのものである。可視表示マークｃ３および不可視マークｃ４は、このレイヤに対応するロジカルマップあるいはフィジカルマップの表示状態を設定するとともに、設定された表示状態の内容を示している。マウスを操作してクリックする毎にこれらのマークの表示が切り替わる。
【００４８】
また、ボタンエリアｂ２は、各レイヤに対応するロジカルビューア・ウインドウ等に対する各種の処理内容を指示する複数のボタンを含んでいる。「Ｎｅｗ」ボタンは、新しいレイヤの追加を指示するために用いられる。追加されるレイヤの表示位置は一番上（最前部）になる。「Ｄｅｌ」ボタンは、選択されている（反転表示されている）レイヤを削除するために用いられる。「Ｏｒ」ボタンは、選択されたレイヤに対応する各種のフェイルビットマップを用いた論理和演算の実行を指示するためのものである。「Ａｎｄ」ボタンは、選択されたレイヤに対応する各種のフェイルビットマップを用いた論理積演算の実行を指示するためのものである。「Ｘｏｒ」ボタンは、２つのレイヤのそれぞれに対応したフェイルビットマップを用いた排他的論理和演算の実行を指示するためのものである。３つ以上のレイヤが選択されている場合には、上位にある２つのレイヤが自動的に選択される。「Ｎｏｔ」ボタンは、選択されたレイヤに対応する各種のフェイルビットマップのそれぞれに対して論理否定演算の実行を指示するためのものである。
【００４９】
上述したレイヤウインドウが表示された状態で、ＧＵＩ処理部９８は、レイヤウインドウに含まれるいずれかの項目内容が変更されたか否かを判定する（ステップ１０４）。何も変更されずにレイヤウインドウが閉じられた場合には否定判断が行われ、上述したステップ１００の判定処理が繰り返される。
【００５０】
また、レイヤウインドウ内の何らかの項目内容が変更された場合にはステップ１０４の判定において肯定判断が行われ、ロジカルビューア作成部８２あるいはフィジカルビューア作成部８４は、この変更された項目内容を反映した表示を行う（ステップ１０５）。この表示処理が行われた後、ステップ１００に戻って処理が繰り返される。
【００５１】
また、ロジカルビューア・ウインドウやフィジカルビューア・ウインドウが表示された状態で、マウスを使って表示範囲の変更が指示された場合にはステップ１０２の判定で肯定判断が行われる。例えば、ロジカルビューア・ウインドウに含まれる縮小ロジカルマップａ１１上においてマウスの左ボタンを押しながらドラッグすることにより、そのドラッグした範囲に対するズーム処理が指示される。あるいは、縮小ロジカルマップａ１１上においてマウスの中央ボタンを押しながらドラッグすることにより、表示倍率を変えずにそのドラッグした方向に表示範囲の移動処理が指示される。フィジカルビューア・ウインドウが表示された状態で表示範囲の変更を指示する場合も同様である。
【００５２】
次に、表示範囲変更部８７は、ロジカルビューア作成部８２あるいはフィジカルビューア作成部８４に指示を送って、現在の表示範囲の変更を行う（ステップ１０６）。その後、ステップ１００に戻って処理が繰り返される。
図９は、フェイルビットマップの重ね合わせの具体例を示す図である。例えば、レイヤ０、レイヤ１、レイヤ２のそれぞれに異なる内容のフェイルビットマップが対応付けられているものとする。なお、以下の説明では、ロジカルフェイルビットマップの重ね合わせを行う場合を例にとって説明するが、フィジカルフェイルビットマップについても同様である。
【００５３】
この場合に、図６に示したロジカルビューア・ウインドウの縮小ロジカルマップａ１１とロジカルフェイルビットマップａ１２の内容は、これら３つのレイヤ０、１、２に対応する３つのフェイルビットマップを重ね合わせたものとなる。このとき、レイヤウインドウのレイヤ表示エリアｂ１に含まれるフェイル色指定ボックスｃ１を用いて、各レイヤ毎に異なる色が設定されている場合には、それぞれのフェイルビットマップのフェイル箇所に異なる色が付される。また、レイヤウインドウのレイヤ表示エリアｂ１において不可視マークｃ４が設定されて非表示設定がなされているレイヤがある場合には、図１０に示すように、このレイヤに対応するフェイルビットマップは、画像の重ね合わせには使用されない。
【００５４】
なお、各レイヤに対応するフェイルビットマップの重ね合わせの順番は、レイヤ番号に対応している。例えば、レイヤ０が最も下層であり、レイヤ番号が大きいほど上層になり、最も大きなレイヤ番号が最前部に対応する。したがって、レイヤ番号を変更することにより、簡単に重ね合わせの順番を変更することができる。レイヤ番号の変更は、レイヤウインドウのボタンエリアｂ２の右端近傍に配置されたアローボタンをマウスによってクリックすることにより行われる。レイヤ表示エリアｂ１内で反転されたレイヤに対応するフェイルビットマップの重ね合わせの順番を１つ上あるいは下に変更したいときには、上向きのアローボタンあるいは下向きのアローボタンを１回クリックすればよい。
【００５５】
図１１は、フェイルビットマップの重ね合わせの他の具体例を示す図であり、ズーム処理を行って表示範囲を変更する場合の概略が示されている。レイヤウインドウのレイヤ表示エリアｂ１内で反転されたレイヤ（例えばレイヤ１）に対して、ロジカルビューア・ウインドウを用いた各種の操作が可能になる。しかし、本実施形態では、ロジカルビューア・ウインドウ内の縮小ロジカルマップａ１１を用いてズーム処理が指示された場合には、レイヤ１に対応するロジカルマップのみならず、レイヤウインドウを用いて関連付けられた他のレイヤ０、２に対応する各ロジカルマップについても同時にズーム処理が行われる。この結果、ズーム処理実行後のロジカルビューア・ウインドウには、レイヤ０、１、２のそれぞれに対応するロジカルマップを個別にズーム処理した画像を重ね合わせた画像が表示される。
【００５６】
図１２は、フェイルビットマップの重ね合わせの他の具体例を示す図であり、移動処理を行って表示範囲を変更する場合の概略が示されている。ロジカルビューア・ウインドウ内の縮小ロジカルマップａ１１を用いて移動処理が指示された場合には、レイヤ１に対応するロジカルマップのみならず、レイヤウインドウを用いて関連付けられた他のレイヤ０、２に対応する各ロジカルマップについても同時に移動処理が行われる。この結果、移動処理実行後のロジカルビューア・ウインドウには、レイヤ０、１、２のそれぞれに対応するロジカルマップを個別に移動処理した画像を重ね合わせた画像が表示される。
【００５７】
図１３は、フェイルビットマップの重ね合わせの他の具体例を示す図であり、いずれかのレイヤにフェイルビットマップ等の試験結果に関連しない画像を対応させて画像の重ね合わせを行った場合の概略が示されている。試験結果に関連しない画像としては、例えば所定の枠や罫線あるいは文字等の画像が考えられる。図１３に示した例では、最上部に配置されるレイヤ４に、枠と文字列「テスト結果」を含む画像が対応付けられており、この画像と各フェイルビットマップの画像が重ね合わされている。これにより、表示内容の見やすさ等を向上させることができる。
【００５８】
このように、本実施形態のフェイル解析装置では、重ね合わされた複数のフェイルビットマップ画像のそれぞれが複数のレイヤに対応しており、レイヤウインドウを用いて各レイヤ間の関連付けがなされているため、ズーム処理や移動処理を行う場合に、各フェイルビットマップ画像の相互の関係を維持しながら表示内容を変更することができる。このため、各フェイルビットマップ画像に対して個別にズーム処理や移動処理を指示する必要がなく、操作を大幅に簡略化することができる。
【００５９】
また、重ね合わされた各フェイルビットマップ毎に表示を消したり再表示したりする際に、レイヤウインドウ内の可視表示マークｃ３と不可視マークｃ４を切り替えるだけでよいため、その都度データの読み込みや描画処理を繰り返すことが不要になり、処理および操作の簡略化が可能になる。
【００６０】
さらに、レイヤウインドウを用いて各レイヤ間の関連付けを行う際に、論理演算の内容を設定することができるため、この設定内容にしたがって各フェイルビットマップを対象にした論理演算が可能になる。
【００６１】
【発明の効果】
上述したように、本発明によれば、重ね合わされた複数のフェイルビットマップ画像のそれぞれが複数のレイヤに対応しており、各レイヤ間の関連付けがなされているため、表示画像の内容変更を行う場合に、各フェイルビットマップ画像の相互の関係を維持しながら表示内容を変更することができる。このため、各フェイルビットマップ画像に対して個別に移動指示を行ったり表示倍率の変更指示を行う必要がなく、操作を大幅に簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施形態のフェイル解析装置が接続される半導体試験装置の構成を示す図である。
【図２】本実施形態のフェイル解析装置の詳細構成を示す図である。
【図３】フェイル解析装置の動作手順を示す流れ図である。
【図４】フェイル解析装置が起動された後に表示されるメインビューア・ウインドウの具体例を示す図である。
【図５】縮小ロジカルマップを示す縮小画像の一覧が含まれるメインビューア・ウインドウの具体例を示す図である。
【図６】ロジカルビューア・ウインドウの具体例を示す図である。
【図７】フィジカルビューア・ウインドウの具体例を示す図である。
【図８】レイヤウインドウの具体例を示す図である。
【図９】フェイルビットマップの重ね合わせの具体例を示す図である。
【図１０】フェイルビットマップの重ね合わせの他の具体例を示す図である。
【図１１】フェイルビットマップの重ね合わせの他の具体例を示す図である。
【図１２】フェイルビットマップの重ね合わせの他の具体例を示す図である。
【図１３】フェイルビットマップの重ね合わせの他の具体例を示す図である。
【符号の説明】
１０  フェイル解析装置
１４  ロジカルマップ格納部
１６  フィジカル変換部
１８  フィジカルマップ格納部
２０  縮小処理部
３０  詳細データ取得部
４０  縮小データ取得部
８０  メインビューア作成部
８２  ロジカルビューア作成部
８４  フィジカルビューア作成部
８６  レイヤ管理部
８７  表示範囲変更部
８８  画像合成部
９０  表示制御部
９４  表示装置
９６  操作部
９８  ＧＵＩ処理部
【図１】
0004146074.tif 000002
【図２】
0004146074.tif 000003
【図３】
0004146074.tif 000004
【図４】
0004146074.tif 000005
【図５】
0004146074.tif 000006
【図６】
0004146074.tif 000007
【図７】
0004146074.tif 000008
【図８】
0004146074.tif 000009
【図９】
0004146074.tif 000010
【図１０】
0004146074.tif 000011
【図１１】
0004146074.tif 000012
【図１２】
0004146074.tif 000013
【図１３】
0004146074.tif 000014