(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基板上に形成された光起電力モジュールと、このモジュールの出力端子に連通するように前記基板に設けられた穴と、この穴を介して前記出力端子と電気接続するように前記基板の裏面側に配置された導電材料と、前記基板の裏面側を被う保護層とを備え、前記保護層において、前記導電材料と対向する位置に、前記導電材料の裏面側形状より大きい開口を有し、前記導電材料は前記保護層よりも深さ方向に内側にあることを特徴とする光起電力装置。
【請求項２】
絶縁基板上に形成された光起電力モジュールと、前記モジュールの出力端子と電気接続され、前記基板の表面側に配置された導電材料と、前記モジュールの表面側を被う保護層とを備え、前記保護層において、前記導電材料と対向する位置に、前記導電材料の表面側形状より大きい開口を有し、前記導電材料は前記保護層よりも深さ方向に内側にあることを特徴とする光起電力装置。
【請求項３】
絶縁基板上に形成された光起電力モジュールと、前記モジュールの出力端子と電気接続され、前記基板の一方の面側に配置された導電材料と、前記モジュールの前記面側を被う保護層とを備え、前記保護層において、前記導電材料と対向する位置に、前記導電材料の前記面側形状より大きい開口を有し、前記導電材料は前記保護層よりも深さ方向に内側にあることを特徴とする光起電力装置。
【請求項４】
前記基板は樹脂材料よりなり、前記保護層は樹脂フィルムであることを特徴とする請求項１、２又は３の光起電力装置。
【請求項５】
絶縁基板上に形成された光起電力モジュールの出力端子に連通する穴を前記基板に形成する工程と、この穴を介して前記出力端子と電気接続するように前記基板の裏面側に導電材料を配置する工程と、前記基板の裏面側において、前記導電材料と対向する位置に、前記導電材料の裏面側形状より大きい開口を有し、前記導電材料よりも深さ方向に外側にある保護層を形成する工程と、を備えることを特徴とする光起電力装置の製造方法。
【請求項６】
絶縁基板上に形成された光起電力モジュールの出力端子と電気接続する導電材料を、前記基板の表面側に配置する工程と、前記基板の表面側において、前記導電材料と対向する位置に、前記導電材料の表面側形状より大きい開口を有し、前記導電材料よりも深さ方向に外側にある保護層を形成する工程と、を備えることを特徴とする光起電力装置の製造方法。
【請求項７】
前記基板は樹脂材料よりなり、前記保護層は樹脂フィルムであることを特徴とする請求項５又は６の光起電力装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光起電力装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１２に示す従来の光起電力装置においては、ポリイミド等の絶縁樹脂基板１１０上に、第1電極層２０、半導体光活性層３０及び透明導電層４０を積層した発電領域Ａ〜Ｄをその外周部で直列に電気接続した光起電力モジュール２００を備えている。モジュール２００の裏面及び表面には、ＰＥＴ等の保護樹脂フィルム１８１、１８２を、ＥＶＡ等の接着層１８３、１８４を介して、設置している。
【０００３】
光起電力モジュール２００の出力は、導電ペースト等からなる出力端子１５０ａ、１５０ｄに導かれている。そして、光起電力装置の裏面側においては、出力端子１５０ａ、１５０ｄに連通する保護樹脂フィルム１８２及び基板１１０に設けられた開口１８５ａ、１８５ｄを備え、開口１８５ａ、１８５ｄ内部及びこの開口１８５ａ、１８５ｄ外周の保護樹脂フィルム１８２上に配置された導電ペースト等からなる導電材料１５２、１５２を配置している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記の従来の光起電力装置において、完成後に、裏面側の導電材料１５２より、出力がない又は低い不良が発生することがあった。これら不良の光起電力装置においては、導電材料１５２の内部で、断線状態であることが判明した。
【０００５】
このような断線の原因は、以下と考えられる。導電材料１５２は、導電ペーストからなるものであり、ポリイミド、フェノール又はエポキシ系のバインダーに銀、ニッケル、カーボン又はアルミニウム等の導電性粉末を含む原材料を、スクリーン印刷によりパターニングされた後、約１５０℃で熱乾燥して形成している。
【０００６】
そして、熱膨張の異なる材料である基板１１０、接着層１８４、保護樹脂フィルム１８２を通過して、導電材料１５２が配置されている。従って、熱乾燥の加熱時において、各材料が膨張し、常温に戻ったとき、各材料が収縮するので、導電材料１５２にストレスが加わることになり、導電材料１５２において部分的にクラックのような亀裂が入って、導電性粉末間での導電が断たれ、断線状態になると考えられる。
【０００７】
また、光起電力装置の使用時においても、太陽光下での加熱状態、夜間等の太陽光がないときの低温状態での各材料の膨張、収縮によっても、導電材料１５２にストレスが加わり、断線状態になる。
【０００８】
本発明はこのような問題点を解決するために成されたものであり、出力を外部に導く導電材料が断線することが少ない光起電力装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の主要な構成は、絶縁基板上に形成された光起電力モジュールと、前記モジュールの出力端子と電気接続され、前記基板の一方の面側に配置された導電材料と、前記モジュールの前記面側を被う保護層とを備え、前記保護層において、前記導電材料と対向する位置に、前記導電材料の前記面側形状より大きい開口を有することである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明である光起電力装置の構造及び製造方法の第1実施例を、図１〜８を用いて詳細に説明する。まず、図１〜６を用いて、基板上に形成される光起電力モジュールの構造、製造方法を説明し、図７、８を用いて、本発明の特徴である導電材料、開口を有する保護層である保護樹脂フィルムについて説明をする。
【００１１】
図１は、本実施例に用いる基板１０を表し、図１（ａ）に示されるように、基板１０は、矩形状の可撓性を有するポリイミド等の樹脂からなるフィルムの基板である。図1（ａ）において、一点鎖線で囲まれた１１、１１・・・は、各々、光起電力装置が形成される基板領域である。図１（ｂ）は、基板１０の左下コーナー近傍を示し、２点鎖線でで区分されたＡ〜Ｄは、後述する第１電極層、半導体光活性層及び透明電極層の積層体で構成される発電領域である。また、ＡＴは正極端子領域、ＤＴは負極端子領域である。
【００１２】
以下の図２〜８に示す工程においては、基板１０の左下コーナー近傍の光起電力装置の製造方法を開示し、他の光起電力装置の製造方法はこれと同一なため、説明を省略する。
【００１３】
図２に示す工程において、発電領域Ａ〜Ｄに対応した第１電極層２０ａ〜２０ｄが分割配置される。これら第１電極層２０ａ〜２０ｄは、各々中心角が略９０°の扇形の形を有し、これらは相互の間に所定間隔を隔てて全体として円形をなすように配置されている。更に、第１電極層２０ａ〜２０ｃの各々は、これらに隣接する発電領域Ｂ〜Ｄの外方に延在する接続部２０ａｅ、２０ｂｅ、２０ｃｅを有している。ここで、第１電極層２０ａ〜２０ｄは、厚さ約０．１〜１．０μｍで、タングステン、アルミニウム、チタン、ニッケル、銅等の金属膜からなる。また、負極端子領域ＤＴにおいては、第1電極層２０ｄが延出して配置される。一方、正極端子領域ＡＴにおいては、第1電極層は配置されない。
【００１４】
次に、図３の工程において、基板１０上の略全面に、アモルファスシリコン、アモルファスシリコンカーバイド、アモルファスシリコンゲルマニウム等をｐｎまたはｐｉｎに積層した半導体光活性層３０（厚さ約０．３〜１．０μｍ）を形成する。その後、半導体光活性層３０上の略全面に、後述する透明電極層を構成する透明電極膜４０を形成する。この透明導電膜４０は、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化錫（ＳｎＯ2）等の透明導電膜（厚さ約０．３〜１．０μｍ）からなる。
【００１５】
そして、第1電極層の接続部２０ａｅ、２０ｂｅ、２０ｃｅ上に位置する透明導電膜４０上より、ＹＡＧレーザ光（波長１．０６μｍ）を、基板１０の辺に沿って、直線的に走査して、第1電極層の接続部２０ａｅ、２０ｂｅ、２０ｃｅと透明導電膜４０とを、各々、溶着して電気接続する。溶着された部分は、直径約５０〜８０μmのスポット形状であり、図３において、点線１５で示される。ここで、基板１０上において、図１で説明した基板領域１１、１１・・・の位置に、本実施例の製造途中の光起電力装置が配置されることになるので、上述の如くＹＡＧレーザ光を直線的に走査することにより、他の製造途中の光起電力装置においても、第1電極層の接続部と透明導電膜４０とが電気接続される。ここにおいては、ＹＡＧレーザ光を直線的に走査しているが、これに代わって、第1電極層の接続部２０ａｅ、２０ｂｅ、２０ｃｅ上にのみ、スポット照射が可能なレーザ装置を用いて、溶着して電気接続することもできる。
【００１６】
更に、基板１０の表面側より、ＹＡＧレーザ等のエネルギービームを照射することにより、基板１０、半導体光活性層３０、透明導電層４０等を貫通する円形穴１０ａ、１０ｄ（直径約０．１ｍｍ）を形成する。
【００１７】
次に、図４に示す工程において、透明導電膜４０上において、正極端子領域ＡＴに、光起電力モジュールの出力端子である導電ペースト端子５０ａ、負極端子領域ＤＴに、光起電力モジュールの出力端子である導電ペースト端子５０ｄを、各々、形成する。これら導電ペースト端子５０ａ、５０ｄは、次のようなスクリーン印刷方法により形成されたものである。この導電性ペーストは、ポリイミド、フェノール又はエポキシ系のバインダーに銀、ニッケル又はアルミニウム等の粉末を含むもので、スクリーン印刷によりパターニングされた後、１５０℃で乾燥され、高さ約１０〜２０μｍに形成される。また、このようにスクリーン印刷方法を用いることにより、図に示すように、穴１０ａ、１０ｄの内部にも、導電ペースト材料を配置することができる。
【００１８】
次に、透明導電膜４０上、各発電領域Ａ〜Ｄに対応した形状の可視光を透過し紫外光を透過しない透光性保護膜６０ａ〜６０ｄを配置する。また、端子領域ＡＴにおいては、透光性保護膜６０ａが延長して存在しており、更に、端子領域ＤＴにおいては、透光性保護膜６０ｄとは分離して、略円形の透光性保護膜６０ｄｔが配置される。この透光保護膜は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂の原材料をスクリーン印刷してパターニングされ、熱乾燥して形成される（膜厚約３〜６μｍ）。ここで、各透光性保護膜の間は、約０．２ｍｍ以上にすることが望ましく、実施例では、約０．４mmに設定した。
【００１９】
次に、図５に示す工程においては、基板１０上の略全面に、シートビーム状の紫外光レーザ光であるエキシマレーザ光（ＫｒＦレーザ光）を走査することにより、基板１０上の略全面にエキシマレーザ光を照射する。
【００２０】
この工程により、可視光を透過し紫外光を透過しない透光性保護膜６０ａ〜６０ｄ、６０ｄｔに覆われていない、露出した透明導電膜４０が除去される。これにより、透光性保護膜６０ａ〜６０ｄ、６０ｄｔの各々に対応した透明導電層４０ａ〜４０ｄ、４０ｄｔが形成される。ここで、エキシマレーザ光の条件は、露出する透明導電膜４０が十分除去できるように、走査スピード、シートビームの幅等を考慮して、決定される。実施例では、透明導電膜４０が７００ÅのＩＴＯを用いて、ＫｒＦレーザ光の条件を、出力１．０〜１．６J／パルス、シート長１５０ｍｍ、シート幅０．４ｍｍ、３０Hzのパルス、走査スピード１２ｍｍ／秒として、露出する透明導電膜４０であるＩＴＯを十分に除去できた。
【００２１】
そして、これら透明導電層４０ｂ、４０ｃ、４０ｄは、第１電極層の接続部２０ａｅ、２０ｂｅ、２０ｃｅと半導体光活性層３０を挟んで対向する接続部４０ｂｅ、４０ｃｅ、４０ｄｅを有し、各々、図３の工程において溶着されて、隣接する第1電極層と電気接続されている。
【００２２】
次に、図６に示す工程においては、発電領域Ａ〜Ｄの外周部、各発電領域間、端子領域ＡＴ、ＤＴ上に、保護部材７０、７１、７０ａｔ、７０ｄｔを、スクリーン印刷法を用いて、配置する。この樹脂部材の材料として、アクリル樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂等が利用でき、膜厚約２〜１０μｍに形成される。なお、保護部材は、透明または着色したものが利用でき、茶色に着色された保護部材を利用するなら、アモルファスシリコンの半導体光活性層３０と同系色となり、光起電力装置の受光面での色のコントラストが少なくなるので、これを時計の電源として利用したとき等に、外観を良好にすることができる。
【００２３】
以上の工程により、基板１０上に光起電力モジュールが形成されたことになる。
【００２４】
次に、図７、８を用いて、本発明、本実施例の特徴である導電材料、開口を有する保護層である保護樹脂フィルムについて説明する。図７に示す工程において、まず、基板１０の表面上に、保護層としてフィルム状の透明な表面側保護樹脂フィルム８１を形成する。保護樹脂フィルム８１は、ポリエチレンテレフタレ−ト（＝ＰＥＴ、熱膨張係数１７×１０-6cm／cm／℃）等からなる厚さ約２５〜１０００μｍのフィルム体であり、エチレン−酢酸ビニル共重合体（＝ＥＶＡ、熱膨張係数１１０〜２２０×１０-6cm／cm／℃）等の熱可塑性樹脂からなる接着層８３（厚み約２０〜１００μｍ）が片面に被着されており、熱ローラ間を通過させることによって、表面側保護樹脂フィルム８１をラミネ−トして形成する。具体的には、表面側保護樹脂フィルム８１に厚さ５０μｍのＰＥＴを利用している。
【００２５】
その後、裏面側より、穴１０ａ、１０ｄ上及びその外周の基板１０裏面上に、導電性ペーストからなる導電材料５２を配置する。導電材料５２は、ポリイミド、フェノール又はエポキシ系のバインダーに銀、ニッケル、カーボン又はアルミニウム等の導電性粉末を含む原材料を、スクリーン印刷によりパターニングされた後、約１５０℃で熱乾燥して形成している。裏面側より見たとき、導電材料５２は直径約１．２ｍｍの円形である。
【００２６】
そして、基板１０の裏面上全面に、保護層としてフィルム状の透明な裏面側保護樹脂フィルム８２を形成する。この保護樹脂フィルム８２は、ポリエチレンテレフタレ−ト（＝ＰＥＴ、熱膨張係数１７×１０-6cm／cm／℃）等からなる厚さ約２５〜１０００μｍのフィルム体であり、エチレン−酢酸ビニル共重合体（＝ＥＶＡ、熱膨張係数１１０〜２２０×１０-6cm／cm／℃）等の熱可塑性樹脂からなる接着層８４（厚み約２０〜１００μｍ）が片面に被着されており、熱ローラ間を通過させることによって、裏面側保護樹脂フィルム８２をラミネ−トして形成する。具体的には、裏面側保護樹脂フィルム８２に厚さ２５μｍのＰＥＴを利用している。
【００２７】
そして、裏面側保護樹脂フィルム８２においては、予め、裏面側形状が直径約１．２ｍｍの導電材料５２に対向する位置に、この導電材料５２より大きい円形の開口８５ａ、８５ｄ（直径約３ｍｍ）が設けられている。よって、開口８５ａ、８５ｄ内部に、導電材料５２が配置されることになる。
【００２８】
その後、図８に示すように、発電領域Ａ〜Ｄの外周部に配置された樹脂部材７０の外周近傍にて、本実施例の光起電力装置をトムソンタイプカッター法等により打ち抜くことにより、基板１０より、個々の光起電力装置を完成することができる。同時に、光起電力装置の中央部の開穴１２を打ち抜くことにより、この光起電力装置が時計用の電源として用いられるとき、時計の針の軸が通る開穴として利用できる。
【００２９】
以上の第1実施例の光起電力装置及び製造方法においては、熱膨張の異なる材料である基板１０、接着層８４、保護樹脂フィルム８２を利用しているにも係わらず、保護樹脂フィルム８２の開口８５ａ、８５ｄ内に、導電材料５２が配置されることになるので、光起電力装置の使用時において、膨張、収縮が発生する場合でも、保護樹脂フィルム８２、接着層８４の膨張、収縮によるストレスが、導電材料５２に加わることがないので、導電材料５２が断線することが少ない。また、第1実施例の製造方法においては、保護樹脂フィルム８２の形成に先立ち、導電ペーストを印刷、熱乾燥して導電材料５２を形成しているので、上記従来の技術の問題点のような、導電材料の形成時の熱により、保護樹脂フィルム８２が膨張、収縮し、導電材料が断線する問題が発生しない。
【００３０】
次に本発明の第2実施例を説明する。上記第1実施例においては、裏面側より出力を取り出すように導電材料５２を配置しているが、第２実施例においては、表面側より出力を取り出す構造であり、図９〜１０を用いて説明する。本第2実施例は、上記第1実施例の図３に示す工程において円形穴１０ａ、１０ｄを設けることなく、図６までは略同じ構造、製造方法を採用している。
【００３１】
但し、以下の構造において、第1実施例と異なっており、図9に示す中間体が製造される。図に示すように、透光性保護膜６０aは、導電ペースト端子５０ａ上に開口６０ｈ（直径約１ｍｍ）を有し、透光性保護膜６０ｄｔは、導電ペースト端子５０ｄ上に開口６０ｈ（直径約１ｍｍ）を有している。そして、これら開口６０ｈに連通するように、保護部材７０ａｔは、開口７０ｈを有し、保護部材７０ｄｔは開口７０ｈを有している。従って、導電ペースト端子５０ａ、５０ｄは、基板１０の上側に露出することになる。また、導電ペースト端子５０ｄの形成に先立ち、負極端子領域ＤＴにおいて、半導体光活性層３０を介して対向して配置された第1電極層２０ｄと透明導電層４０ｄｔとはＹＡＧレーザ等のエネルギービームを用いて溶着されている。
【００３２】
その後、表面側より、穴６０ｈ、７０ｈ内、及びその穴外周の保護部材７０ａｔ、７０ｄｔ上に、導電性ペーストからなる導電材料５３を配置する。導電材料５３は、ポリイミド、フェノール又はエポキシ系のバインダーに銀、ニッケル、カーボン又はアルミニウム等の導電性粉末を含む原材料を、スクリーン印刷によりパターニングされた後、約１５０℃で熱乾燥して形成している。表面側より見たとき、導電材料５３は直径約１．２ｍｍの円形で、このようなスクリーン印刷工程を用いることにより、、穴６０ｈ、７０ｈ内にも導電材料５３を配置することができる。
【００３３】
次に、図１０に示す工程において、基板１０の表面上に、保護層としてフィルム状の透明な表面側保護樹脂フィルム８１を形成する。保護樹脂フィルム８１は、ポリエチレンテレフタレ−ト（＝ＰＥＴ、熱膨張係数１７×１０-6cm／cm／℃）等からなる厚さ約２５〜１０００μｍのフィルム体であり、エチレン−酢酸ビニル共重合体（＝ＥＶＡ、熱膨張係数１１０〜２２０×１０-6cm／cm／℃）等の熱可塑性樹脂からなる接着層８３（厚み約２０〜１００μｍ）が片面に被着されており、熱ローラ間を通過させることによって、表面側保護樹脂フィルム８１をラミネ−トして形成する。具体的には、表面側保護樹脂フィルム８１に厚さ５０μｍのＰＥＴを利用している。
【００３４】
そして、表面側保護樹脂フィルム８１においては、予め、表面側形状が直径約１．２ｍｍの導電材料５３に対向する位置に、この導電材料５３より大きい円形の開口８１ａ、８１ｄ（直径約２ｍｍ）が設けられている。よって、開口８１ａ、８１ｄ内部に、導電材料５３が配置されることになる。次に、基板１０の裏面上全面に、保護層としてフィルム状の透明な裏面側保護樹脂フィルム８２を形成する。この保護樹脂フィルム８２は、ポリエチレンテレフタレ−ト（＝ＰＥＴ、熱膨張係数１７×１０-6cm／cm／℃）等からなる厚さ約２５〜１０００μｍのフィルム体であり、エチレン−酢酸ビニル共重合体（＝ＥＶＡ、熱膨張係数１１０〜２２０×１０-6cm／cm／℃）等の熱可塑性樹脂からなる接着層８４（厚み約２０〜１００μｍ）が片面に被着されており、熱ローラ間を通過させることによって、裏面側保護樹脂フィルム８２をラミネ−トして形成する。具体的には、裏面側保護樹脂フィルム８２に厚さ２５μｍのＰＥＴを利用している。その後、第1実施例の図８と同様に、発電領域Ａ〜Ｄの外周部に配置された樹脂部材７０の外周近傍にて、本第2実施例の光起電力装置をトムソンタイプカッター法等により打ち抜くことにより、基板１０より、個々の光起電力装置を完成することができる。同時に、光起電力装置の中央部の開穴１２を打ち抜くことにより、この光起電力装置が時計用の電源として用いられるとき、時計の針の軸が通る開穴として利用できる。
【００３５】
以上の第２実施例の光起電力装置及び製造方法においては、熱膨張の異なる材料である基板１０、接着層８３、保護樹脂フィルム８１を利用しているにも係わらず、保護樹脂フィルム８１の開口８１ａ、８１ｄ内に、導電材料５３が配置されることになるので、光起電力装置の使用時において、膨張、収縮が発生する場合でも、保護樹脂フィルム８１、接着層８３の膨張、収縮によるストレスが、導電材料５３に加わることがないので、導電材料５３が断線することが少ない。また、第２実施例の製造方法においては、保護樹脂フィルム８１の形成に先立ち、導電ペーストを印刷、熱乾燥して導電材料５３を形成しているので、上記従来の技術の問題点のような、導電材料の形成時の熱により、保護樹脂フィルムが膨張、収縮し、導電材料が断線する問題が発生しない。
【００３６】
次に、本発明で完成した光起電力装置の包装形態の利点を説明する。図１１に示すように、本発明の完成した複数の光起電力装置１、１・・・（図１１（ｂ）参照）を、底を有する円筒状容器２に収納して、輸送、保管する場合に、利点がある。第1実施例の光起電力装置１であるなら、図１２（ｂ）に示すように、保護樹脂フィルム８２の開口８５内に、導電材料５２が配置されているので、複数の光起電力装置１を重ねて収納しても、略鉛直にまっすぐに重ねることができる。また、第2実施例の光起電力装置においても、同様に、略鉛直にまっすぐに重ねることができる。
【００３７】
一方、図１１（ａ）に示すように、従来の光起電力装置３、３・・・においては、保護樹脂フィルム１８２の裏面上に、盛り上がって導電材料１５２が配置されているので、複数の光起電力装置３を重ねると傾斜し、安定して、容器２の中に収納することが困難である。
【００３８】
【発明の効果】
以上の説明のように、本発明においては、熱膨張の異なる材料である基板、保護層を利用しているにも係わらず、保護層の開口内に、導電材料が配置されることになるので、光起電力装置の使用時において、膨張、収縮が発生する場合でも、保護層の膨張、収縮によるストレスが、導電材料に加わることがないので、導電材料が断線することが少ない。
【００３９】
また、本発明の製造方法においては、保護層の形成に先立ち、導電材料を形成している。従って、例えば、導電材料に導電ペーストを利用する場合、印刷、熱乾燥する工程を利用するが、保護層の形成に先立ち導電材料を形成しているので、上記従来の技術の問題点のような、導電材料の形成時の熱により、保護層である保護樹脂フィルムが膨張、収縮し、導電材料が断線する問題が発生しない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に用いる基板を示す平面図である。
【図２】本発明の第1実施例における第１工程を示す平面図である。
【図３】本発明の第1実施例における第２工程を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【図４】本発明の第1実施例における第３工程を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【図５】本発明の第1実施例における第４工程を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【図６】本発明の第1実施例における第５工程を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【図７】本発明の第1実施例における第６工程を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【図８】本発明の第1実施例における第７工程を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【図９】本発明の第2実施例における一工程を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【図１０】本発明の第2実施例における次工程を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【図１１】光起電力装置の包装形態を示す要部断面図であり、（ａ）は従来の光起電力装置の包装形態、（ｂ）は本発明の光起電力装置の包装形態である。
【図１２】従来の光起電力装置を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【符号の説明】
Ａ〜Ｄ  発電領域
１０  基板
２０ａ〜２０ｄ  第１電極層
３０  半導体光活性層
４０  透明導電膜
４０ａ〜４０ｄ  透明導電層
６０ａ〜６０ｄ  透光性保護膜
８１、８２  保護樹脂フィルム（＝保護層）
８１ａ、８１ｄ、８５ａ、８５ｄ  開口
５２、５３  導電材料
５０ａ、５０ｄ  導電ペースト端子（＝出力端子）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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