(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚積み重ねられた通気性を有するシート状のワーク（以下、「通気性ワーク」）を一枚ずつ取り出して保持する通気性ワーク取り出し・保持装置において、
(ａ)積み重ねられた通気性ワークの上面側から通気性ワークに圧縮空気を吹き付けて、圧縮空気の噴出により発生する吸引力を利用して通気性ワークを非接触で吸着する、複数個の圧縮空気噴出ノズルと、
(ｂ)圧縮空気の噴出により発生する吸引力により非接触で取り出された通気性ワークを真空吸引して保持する、複数個の真空吸引ノズルと、
(ｃ)前記圧縮空気噴出ノズルからの圧縮空気の噴出と、前記真空吸引ノズルからの真空吸引を切り替える切替機構と、
(ｄ)前記圧縮空気噴出ノズル及び前記真空吸引ノズルのいずれもが、前記通気性ワークの上面に向くような態様で取り付けられているノズル取付プレートと
を具備し、
前記複数個の圧縮空気噴出ノズルが、非接触で吸着された通気性ワーク全体を持ち上げることにより取り出すことができるような態様で配設され、かつ、
前記複数個の真空吸引ノズルが、圧縮空気噴出ノズルからの圧縮空気の噴出による吸引力により非接触で吸着された通気性ワーク全体を、真空吸引により保持することができるような態様で配設されていること
を特徴とする通気性ワーク取り出し・保持装置。
【請求項２】
前記真空吸引ノズルにより複数枚の通気性ワークが真空吸引されて保持された場合に、２枚目以降の通気性ワークを振り落として、一枚の通気性ワークのみを保持することができるように、前記真空吸引ノズルが振り落とし動作可能に構成されていることを特徴とする請求項１記載の通気性ワーク取り出し・保持装置。
【請求項３】
前記真空吸引ノズルにより真空吸引を行う際の真空度を、２段階以上に切り替えることができるように構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の通気性ワーク取り出し・保持装置。
【請求項４】
(ａ)通気性ワークが積み重ねられた状態にある場合に、積み重ねられた通気性ワークから一枚の通気性ワークを取り出すことができるようにするために、
(ｂ)複数枚の通気性ワークが圧縮空気の噴出により発生する吸引力により非接触で取り出された場合に、２枚目以降の通気性ワークを振り落とすために、又は
(ｃ)複数枚の通気性ワークが真空吸引ノズルにより保持された場合に、２枚目以降の通気性ワークを振り落とすために
積み重ねられ、取り出され又は保持された複数枚の通気性ワークに空気を吹き付ける空気吹き付けノズルを備えていること
を特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の通気性ワーク取り出し・保持装置。
【請求項５】
自動機のロボットハンドに搭載され、通気性ワークを一枚ずつ取り出して搬送することができるように構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の通気性ワーク取り出し・保持装置。
【請求項６】
前記通気性ワークが、積層セラミック電子部品の製造工程においてセラミックブロックをカットする際に用いられるセラミックブロック用の下敷き用シートであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の通気性ワーク取り出し・保持装置。
【請求項７】
前記通気性ワークが、積層セラミック電子部品の製造工程において用いられるセラミックグリーンシートの、ビアホール形成用の貫通孔に電極ペーストを充填する際に用いられるセラミックグリーンシートの下敷き用シートであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の通気性ワーク取り出し・保持装置。
【請求項８】
積み重ねられた通気性ワークが、側壁を有するストッカーに収納されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の通気性ワーク取り出し・保持装置。
【請求項９】
ストッカーに複数枚積み重ねられた通気性ワークを一枚ずつ取り出して搬送し、所定の取り扱い設備に受け渡すための通気性ワークの取り扱い方法であって、
(ａ)ストッカーに積み重ねられた通気性ワークの上面側から通気性ワークに、複数個の圧縮空気噴出ノズルから圧縮空気を吹き付けて、圧縮空気の噴出により発生する吸引力を利用して通気性ワークを非接触で吸着し、非接触で吸着された通気性ワーク全体を持ち上げることにより取り出し、
(ｂ)前記複数個の圧縮空気噴出ノズルからの圧縮空気の噴出による吸引力によって非接触で取り出された通気性ワーク全体を、複数個の真空吸引ノズルにより真空吸引して保持し、
(ｃ)前記複数個の真空吸引ノズルにより真空吸引して保持した通気性ワークを所定の位置まで搬送して、所定の取り扱い設備に受け渡すこと
を特徴とする通気性ワークの取り扱い方法。
【請求項１０】
請求項１〜８のいずれかに記載の通気性ワーク取り出し・保持装置を用いることを特徴とする請求項９記載の通気性ワークの取り扱い方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はシート状のワークを搬送する場合などに、ワークを取り出し・保持するために用いられる、ワーク取り出し・保持装置に関し、詳しくは、通気性を有するシート状のワークを一枚ずつ取り出して保持する通気性ワーク取り出し・保持装置及び通気性ワークの取り扱い方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
従来、ストッカーなどに複数枚積み重ねられた、紙や多孔質シートなどの通気性を有するシート状のワーク（通気性ワーク）を一枚ずつ取り出して保持するための装置としては、例えば、図７に示すような装置が用いられている。
【０００３】
この通気性ワーク取り出し・保持装置は、段積みストッカー５１に複数枚積み重ねられた通気性ワーク５２を一枚ずつ取り出すための装置であり、コンプレッサーなどの圧縮空気供給装置５３と、圧縮空気供給装置５３から供給される圧縮空気を通気性ワーク５２に吹き付ける圧縮空気噴出ノズル５４と、圧縮空気噴出ノズル５４が取り付けられるノズル取付プレート５５とを備えており、ノズル取付プレート５５は、上下方向への昇降動作及び左右方向への搬送動作を行うことができるように構成されている。
【０００４】
この通気性ワーク取り出し・保持装置は、ベルヌーイの定理を利用したものであり、圧縮空気噴出ノズル５４から圧縮空気を通気性ワーク５２に吹き付け、圧縮空気（高速空気）の噴出によって発生する吸引力を利用して、通気性ワーク５２を非接触で（すなわち、圧縮空気噴出ノズル５４の下面と通気性ワーク５２の上面との間に、所定の隙間Ｇが形成されるような状態で）、一枚ずつ吸引して取り出すことができるように構成されている。
【０００５】
ところで、上記従来の通気性ワーク取り出し・保持装置は、通気性ワークに接触することなくピックアップとハンドリングを行なうことができるという特徴を有しているが、非接触であることから、ハンドリングの信頼性が必ずしも十分ではなく、例えば、高速移動や高速搬送を行うような場合には、通気性ワークの保持安定性が不十分になるという問題点があり、改善の余地があるのが実情である。
【０００６】
すなわち、通気性ワークをベルヌーイの定理を利用して、非接触で取り出し・保持する場合、噴出する高速空気の背圧によって通気性ワークが保持されており、図８に示すように、通気性ワーク５２を非接触の状態で取り出した後、その状態のまま搬送しようとすると、
(ａ)通気性ワークの保持位置が不安定で、上下、横方向にふらつき、場合によっては落下してしまう、
(ｂ)通気性ワークの形状が不安定で、そりやうねりなどを生じる、
(ｃ)圧縮空気を短時間で多量に使用するため、あるいは、通気性ワークの形状が変動するため長時間安定して保持することが困難である、
(ｄ)噴出する高速空気の流量や圧力の変動などにより、保持バランスや背圧バランスが崩れるため搬送スピードを上げることが困難である
というような問題点がある。
【０００７】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、通気性ワークを一枚ずつ確実に取り出すことが可能であるとともに、通気性ワークの保持信頼性が高く、高速移動や高速搬送などに十分に対応することが可能な通気性ワーク取り出し・保持装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明（請求項１）の通気性ワーク取り出し・保持装置は、
複数枚積み重ねられた通気性を有するシート状のワーク（以下、「通気性ワーク」）を一枚ずつ取り出して保持する通気性ワーク取り出し・保持装置において、
(ａ)積み重ねられた通気性ワークの上面側から通気性ワークに圧縮空気を吹き付けて、圧縮空気の噴出により発生する吸引力を利用して通気性ワークを非接触で吸着する、複数個の圧縮空気噴出ノズルと、
(ｂ)圧縮空気の噴出により発生する吸引力により非接触で取り出された通気性ワークを真空吸引して保持する、複数個の真空吸引ノズルと、
(ｃ)前記圧縮空気噴出ノズルからの圧縮空気の噴出と、前記真空吸引ノズルからの真空吸引を切り替える切替機構と、
(ｄ)前記圧縮空気噴出ノズル及び前記真空吸引ノズルのいずれもが、前記通気性ワークの上面に向くような態様で取り付けられているノズル取付プレートと
を具備し、
前記複数個の圧縮空気噴出ノズルが、非接触で吸着された通気性ワーク全体を持ち上げることにより取り出すことができるような態様で配設され、かつ、
前記複数個の真空吸引ノズルが、圧縮空気噴出ノズルからの圧縮空気の噴出による吸引力により非接触で吸着された通気性ワーク全体を、真空吸引により保持することができるような態様で配設されていること
を特徴としている。
【０００９】
本発明（請求項１）の通気性ワーク取り出し・保持装置は、通気性ワークの上面に向くようにノズル取付プレートに取り付けられた複数個の圧縮空気噴出ノズルから圧縮空気を噴出して、通気性ワークに空気を吹き付けることにより、圧縮空気の噴出によって発生する吸引力を利用して通気性ワークを非接触で吸着して取り出すとともに、取り出された通気性ワークを、通気性ワークの上面に向くようにノズル取付プレートに取り付けられた複数個の真空吸引ノズルにより真空吸引して保持するようにし、複数個の圧縮空気噴出ノズルを、非接触で吸着された通気性ワーク全体を持ち上げることにより取り出すことができるような態様で配設し、かつ、複数個の真空吸引ノズルを、圧縮空気噴出ノズルからの圧縮空気の噴出による吸引力により非接触で吸着された通気性ワーク全体を、真空吸引により保持することができるような態様で配設するようにしているので、圧縮空気噴出ノズルからの圧縮空気の噴出による吸引力を利用した通気性ワークの一枚ずつの取り出しと、真空吸引ノズルによる通気性ワークの確実な保持を実現することが可能になり、信頼性の高い通気性ワーク取り出し・保持装置を得ることが可能になる。
なお、本発明は、通気性ワークとして、ＪＩＳ Ｐ ８１１８の規格における密度が０．５〜２０ｇ／cm3（例えば、１．５ｇ／cm3）、ＪＩＳ Ｐ ８１１７の規格における透気度が４０〜５００sec（例えば、５５sec）というような物性を有するものを取り扱う場合に特に有意義である。
【００１０】
また、圧縮空気噴出ノズルと真空吸引ノズルを、それぞれ複数個備えた構成としているので、さらに確実に通気性ワークの取り出しと保持を行うことが可能になり、本発明をさらに実効あらしめることができる。
【００１１】
また、請求項２の通気性ワーク取り出し・保持装置は、前記真空吸引ノズルにより複数枚の通気性ワークが真空吸引されて保持された場合に、２枚目以降の通気性ワークを振り落として、一枚の通気性ワークのみを保持することができるように、前記真空吸引ノズルが振り落とし動作可能に構成されていることを特徴としている。
【００１２】
真空吸引ノズルを振り落とし動作可能に構成することにより、複数枚の通気性ワークが真空吸引されて保持された場合にも、２枚目以降の通気性ワークを振り落として、一枚の通気性ワークのみを保持することができるようになり、信頼性を向上させることが可能になる。
【００１３】
また、請求項３の通気性ワーク取り出し・保持装置は、前記真空吸引ノズルにより真空吸引を行う際の真空度を、２段階以上に切り替えることができるように構成されていることを特徴としている。
【００１４】
真空吸引ノズルにより真空吸引を行う際の真空度を、２段階以上に切り替えることができるようにした場合、圧縮空気噴出ノズルからの圧縮空気の噴出による吸引力を利用した通気性ワークの取り出しと、真空吸引ノズルからの真空吸引による保持の切り替えを円滑に行うことが可能になるとともに、通気性ワークの種類の変更などにも柔軟に対応することが可能になり、本発明をさらに実効あらしめることが可能になる。
【００１５】
また、請求項４の通気性ワーク取り出し・保持装置は、
(ａ)通気性ワークが積み重ねられた状態にある場合に、積み重ねられた通気性ワークから一枚の通気性ワークを取り出すことができるようにするために、
(ｂ)複数枚の通気性ワークが圧縮空気の噴出により発生する吸引力により非接触で取り出された場合に、２枚目以降の通気性ワークを振り落とすために、又は
(ｃ)複数枚の通気性ワークが真空吸引ノズルにより保持された場合に、２枚目以降の通気性ワークを振り落とすために
積み重ねられ、取り出され又は保持された複数枚の通気性ワークに空気を吹き付ける空気吹き付けノズルを備えていること
を特徴としている。
【００１６】
(ａ)通気性ワークが積み重ねられた状態にある場合に、積み重ねられた通気性ワークから一枚の通気性ワークを取り出すことができるようにするために、(ｂ)複数枚の通気性ワークが圧縮空気の噴出により発生する吸引力により非接触で取り出された場合に、２枚目以降の通気性ワークを振り落とすために、又は、(ｃ)複数枚の通気性ワークが真空吸引ノズルにより保持された場合に、２枚目以降の通気性ワークを振り落とすために、積み重ねられ、取り出され又は保持された複数枚の通気性ワークに空気を吹き付ける空気吹き付けノズルを備えた構成とした場合、通気性ワークの一枚のみの取り出し、保持をさらに確実に行うことが可能になり、信頼性を向上させることが可能になる。
【００１７】
また、請求項５の通気性ワーク取り出し・保持装置は、自動機のロボットハンドに搭載され、通気性ワークを一枚ずつ取り出して搬送することができるように構成されていることを特徴としている。
【００１８】
本発明の通気性ワーク取り出し・保持装置を自動機のロボットハンドに搭載することにより、通気性ワークを確実に一枚ずつ取り出して、高速移動や高速搬送を行ったりすることが可能になり、その用途を拡大することができる。
【００１９】
また、請求項６の通気性ワーク取り出し・保持装置は、前記通気性ワークが、積層セラミック電子部品の製造工程においてセラミックブロックをカットする際に用いられるセラミックブロック用の下敷き用シートであることを特徴としている。
【００２０】
本発明の通気性ワーク取り出し・保持装置を、積層セラミック電子部品の製造工程においてセラミックブロックをカットする際に用いられるセラミックブロック用の下敷き用シート（通気性ワーク）を取り出し、保持するのに用いた場合、セラミックブロック用の下敷き用シートを確実に一枚ずつ取り出して、高速移動や高速搬送を行ったりすることができるようになり、積層セラミック電子部品の生産性を向上させることが可能になる。
【００２１】
また、請求項７の通気性ワーク取り出し・保持装置は、前記通気性ワークが、積層セラミック電子部品の製造工程において用いられるセラミックグリーンシートの、ビアホール形成用の貫通孔に電極ペーストを充填する際に用いられるセラミックグリーンシートの下敷き用シートであることを特徴としている。
【００２２】
本発明の通気性ワーク取り出し・保持装置を、積層セラミック電子部品の製造工程において用いられるセラミックグリーンシートの、ビアホール形成用の貫通孔に電極ペーストを充填する際に用いられるセラミックグリーンシートの下敷き用シート（通気性ワーク）を取り出し、保持するのに用いた場合、該シートを確実に一枚ずつ取り出して、高速移動や高速搬送を行ったりすることができるようになり、積層セラミック電子部品の生産性を向上させることが可能になる。
【００２３】
また、請求項８の通気性ワーク取り出し・保持装置は、積み重ねられた通気性ワークが、側壁を有するストッカーに収納されていることを特徴としている。
【００２４】
また、本発明（請求項９）の通気性ワークの取り扱い方法は、
ストッカーに複数枚積み重ねられた通気性ワークを一枚ずつ取り出して搬送し、所定の取り扱い設備に受け渡すための通気性ワークの取り扱い方法であって、
(ａ)ストッカーに積み重ねられた通気性ワークの上面側から通気性ワークに、複数個の圧縮空気噴出ノズルから圧縮空気を吹き付けて、圧縮空気の噴出により発生する吸引力を利用して通気性ワークを非接触で吸着し、非接触で吸着された通気性ワーク全体を持ち上げることにより取り出し、
(ｂ)前記複数個の圧縮空気噴出ノズルからの圧縮空気の噴出による吸引力によって非接触で取り出された通気性ワーク全体を、複数個の真空吸引ノズルにより真空吸引して保持し、
(ｃ)前記複数個の真空吸引ノズルにより真空吸引して保持した通気性ワークを所定の位置まで搬送して、所定の取り扱い設備に受け渡すこと
を特徴としている。
【００２５】
ストッカーに積み重ねられた通気性ワークの上面側から通気性ワークに、複数個の圧縮空気噴出ノズルから圧縮空気を吹き付け、圧縮空気の噴出により発生する吸引力を利用して通気性ワークを非接触で吸着し、通気性ワーク全体を持ち上げることにより取り出した後、非接触で取り出された通気性ワークを、複数個の真空吸引ノズルにより真空吸引して保持し、真空吸引ノズルにより真空吸引して保持した通気性ワークを所定の位置まで搬送して、所定の取り扱い設備に受け渡すことにより、通気性ワークを確実に一枚ずつ取り出して、所定の取り扱い設備に確実に受け渡すことができるようになる。
なお、本発明における、所定の取り扱い設備とは、通気性ワークが、積層セラミック電子部品の製造工程においてセラミックブロックをカットする際に用いられるセラミックブロック用の下敷き用シートである場合における、該シートの供給テーブルや、積層セラミック電子部品の製造工程において用いられるセラミックグリーンシートの、ビアホール形成用の貫通孔に電極ペーストを充填する際に用いられるセラミックグリーンシートの下敷き用シートである場合における、該シートの供給テーブルなどが例示されるが、本発明における所定の取り扱い設備は、これらに限定されるものではなく、種々の取り扱い設備に受け渡す場合に、広く適用することが可能である。
【００２６】
また、本発明（請求項１０）の通気性ワークの取り扱い方法は、
請求項１〜８のいずれかに記載の通気性ワーク取り出し・保持装置を用いることを特徴としている。
【００２７】
請求項１〜８のいずれかに記載の通気性ワーク取り出し・保持装置を用いることにより、請求項９の発明を確実に実施して、通気性ワークを確実に一枚ずつ取り出して、所定の取り扱い設備に確実に受け渡すことができるようになる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
［実施形態１］
この実施形態１では、通気性ワークとして、積層セラミック電子部品の製造工程においてセラミックブロックをカットする際に用いられるセラミックブロック用の下敷き用シート（例えば紙や樹脂フィルム）を取り出し・保持するための通気性ワーク取り出し・保持装置を例にとって説明する。
【００２９】
図１は本発明の一実施形態にかかる通気性ワーク取り出し・保持装置の構成を示す図である。この通気性ワーク取り出し・保持装置は、図１に示すように、ストッカー１に複数枚積み重ねられた、通気性ワーク２を一枚ずつ取り出すための装置であり、コンプレッサーなどの圧縮空気供給装置３と、圧縮空気供給装置３から供給される圧縮空気を通気性ワーク２に吹き付ける複数個の圧縮空気噴出ノズル４と、真空ポンプなどの真空圧発生装置５と、真空圧発生装置５による真空吸引を行う複数個の真空吸引ノズル６と、圧縮空気噴出ノズル４からの圧縮空気の噴出と、真空吸引ノズル６からの真空吸引を切り替える切替機構８と、圧縮空気噴出ノズル４及び真空吸引ノズル６が取り付けられるノズル取付プレート９とを備えている。なお、ノズル取付プレート９は、ロボットハンド１２に接続されており、上下方向への昇降動作及び左右方向への搬送動作を行うことができるように構成されている。
【００３０】
また、切替機構８は、圧縮空気供給装置３と圧縮空気噴出ノズル４の間に配設された切替弁（開閉弁）１０と、真空圧発生装置５と真空吸引ノズル６の間に配設された切替弁（開閉弁）１１を備えており、所定のタイミングで切替弁１０及び１１の開閉状態を切り替えることにより、圧縮空気噴出ノズル４からの圧縮空気の噴出と、真空吸引ノズル６からの真空吸引を切り替えることができるように構成されている。
【００３１】
この通気性ワーク取り出し・保持装置は、ベルヌーイの定理を利用して、通気性ワーク２を一枚ずつ取り出すことができるように構成されており、圧縮空気噴出ノズル４から圧縮空気を通気性ワーク２に吹き付け、圧縮空気（高速空気）の噴出によって発生する吸引力を利用して、通気性ワーク２を非接触にて（すなわち、圧縮空気噴出ノズル４の下面と通気性ワーク２の上面との間に、所定の隙間Ｇ（図２）が形成されるような状態で）、一枚ずつ吸着して取り出すことができるように構成されている。
【００３２】
次に、上記のように構成された通気性ワーク取り出し・保持装置を用いて通気性ワークをストッカーから取り出し・保持する際の動作について説明する。
【００３３】
(１)まず、図２に示すように、ロボットハンド１２によりノズル取付プレート９を降下させ、圧縮空気噴出ノズル４を、ストッカー１に段積み収納された通気性ワーク２に接近させた後、圧縮空気供給装置３からの圧縮空気を、切替弁１０を経て、圧縮空気噴出ノズル４から噴出させ、圧縮空気噴出ノズル４からの圧縮空気（高速空気）の噴出により発生する吸引力によって、複数枚段積みされた通気性ワーク２のうちの最上層の一枚を吸引して取り出す。なお、この一枚の通気性ワーク２の取り出しは、圧縮空気噴出ノズル４から圧縮空気（高速空気）が噴出することにより発生した吸引力のみにより行うことも可能であるが、圧縮空気噴出ノズル４からの圧縮空気（高速空気）の噴出により発生する吸引力により吸引しつつ、ロボットハンド１２を移動させることによっても行うことが可能である。
【００３４】
(２)それから、切替機構８を構成する圧縮空気用の切替弁１０を閉じて圧縮空気の噴出を停止すると同時に、切替機構８を構成する真空圧用の切替弁１１を開いて真空吸引を開始することにより、圧縮空気の噴出と、真空吸引を切り替える。
なお、真空吸引開始後に通気性ワーク２が真空吸引ノズル６により吸着されたことを確認した後、圧縮空気噴出ノズル４からの圧縮空気の噴出を停止するように構成することも可能であり、かかる態様も、本発明における圧縮空気の噴出と真空吸引の切替の態様の一つであって、本発明の範囲に含まれるものである。
この圧縮空気の噴出から真空吸引への切替により、通気性ワーク２の保持状態が、圧縮空気の噴出による非接触での不安定な保持状態（図２）から、真空圧吸引による安定した保持状態（図３）に切り替わる。
【００３５】
(３)それから、ロボットハンド１２（図１）を移動させて、真空吸引ノズル６により安定して保持された通気性ワーク２を、図４に示すように持ち上げて搬送し、図５に示すように、供給テーブル１３上に受け渡す。
【００３６】
上述のように、切替機構８を構成する切替弁１０及び１１を作動させ、圧縮空気噴出ノズル４からの圧縮空気（高速空気）の噴出と、真空吸引ノズル６からの真空吸引を切り替えることにより、圧縮空気噴出ノズル４からの圧縮空気の噴出による通気性ワーク２の一枚ずつの取り出しと、真空吸引ノズル６による通気性ワーク２の確実な保持を実現することが可能になり、通気性ワーク２を確実に一枚ずつ取り出し、安定して保持することが可能になる。
【００３７】
なお、上記実施形態１では、通気性ワークが、積層セラミック電子部品の製造工程においてセラミックブロックをカットする際に用いられるセラミックブロック用の下敷き用シートである場合を例にとって説明したが、本発明は、積層セラミック電子部品の製造工程において用いられるセラミックグリーンシートの、ビアホール形成用の貫通孔に電極ペーストを充填する際に用いられるセラミックグリーンシートの下敷き用シートを取り出し・保持する場合にも適用することが可能である。さらに、本発明の通気性ワーク取り出し・保持装置において取り出し・保持の対象となる通気性ワークに特別の制約はなく、紙や多孔質シートなどの種々の通気性を有するワークを取り出し・保持する場合に広く本発明を適用することが可能である。
【００３８】
但し、通気性ワークとして、ＪＩＳ Ｐ ８１１８の規格における密度が０．５〜２０ｇ／cm3（例えば、１．５ｇ／cm3）、ＪＩＳ Ｐ ８１１７の規格における透気度が４０〜５００sec（例えば、５５sec）の範囲に入るような物性を有する通気性ワークを取り扱う場合、従来の取り扱い装置及び取り扱い方法を用いた場合には、信頼性が不十分になりやすいが、本発明の通気性ワーク取り出し・保持装置を用いた場合には、信頼性の高い取り扱いを行うことが可能になり特に有意義である。
【００３９】
［実施形態２］
図６は本発明の他の実施形態（実施形態２）にかかる通気性ワーク取り出し・保持装置を示す図である。
【００４０】
この通気性ワーク取り出し・保持装置においては、真空吸引ノズル６が、真空吸引を行う際の真空度を２段階に切り替えることができるように構成されている。
【００４１】
また、(ａ)通気性ワーク２が積み重ねられた状態にある場合に、積み重ねられた通気性ワーク２から一枚の通気性ワーク２を取り出すことができるようにする目的で、(ｂ)複数枚の通気性ワークが圧縮空気の噴出により発生する吸引力により非接触で取り出された場合に、２枚目以降の通気性ワーク２を振り落とす目的で、又は、(ｃ)複数枚の通気性ワーク２が真空吸引ノズル６により保持された場合に、２枚目以降の通気性ワーク２を振り落とす目的で、積み重ねられ、取り出され又は保持された複数枚の通気性ワーク２に空気を吹き付ける空気吹き付けノズル２１を備えている。
【００４２】
さらに、この通気性ワーク取り出し・保持装置においては、真空吸引ノズル６により複数枚の通気性ワーク２が真空吸引されて保持された場合に、２枚目以降の通気性ワーク２を振り落として、一枚の通気性ワーク２のみを保持することができるように、複数の真空吸引ノズル６のうちの所定の真空吸引ノズル６（図６では両端側の真空吸引ノズル６ａ，６ａ）が振り落とし動作可能に構成されている。なお、図６は、２枚目の通気性ワーク２（２ａ）が振り落とされた状態を示している。
【００４３】
その他の構成は、図１に示した実施形態１の通気性ワーク取り出し・保持装置と同様であることから、重複を避けるため、ここでは説明を省略する。
なお、図６において、図１と同一符号を付した部分は、同一又は相当する部分を示している。
【００４４】
この実施形態２の通気性ワーク取り出し・保持装置においては、空気吹き付けノズル２１から、通気性ワーク２の端部から通気性ワーク２間に向かって空気を吹き付けるようにしているので、通気性ワーク２の分離性を向上させて、通気性ワーク２を一枚ずつ確実に取り出すことが可能になる。
【００４５】
また、複数枚の通気性ワーク２が圧縮空気噴出ノズル４により非接触で取り出された場合にも、空気吹き付けノズル２１により、通気性ワーク２の端部から通気性ワーク２間に向かって空気を吹き付けることによって、通気性ワーク２の分離性を向上させ、２枚目以降の通気性ワーク２を振り落として、非接触で一枚の通気性ワーク２を保持することが可能になる。
【００４６】
また、複数枚の通気性ワーク２が真空吸引ノズル６により保持された場合にも、空気吹き付けノズル２１により、通気性ワーク２の端部から通気性ワーク２間に向かって空気を吹き付けることによって、通気性ワーク２の分離性を向上させ、２枚目以降の通気性ワーク２を振り落として、真空吸引ノズル６により、一枚の通気性ワーク２を確実に保持することが可能になる。
【００４７】
また、この実施形態２の通気性ワーク取り出し・保持装置においては、真空吸引ノズル６が、真空吸引を行う際の真空度を２段階に切り替えることができるように構成されているので、通気性ワーク２を取り出して保持する際には低真空圧とし、通気性ワーク２を一枚だけ吸着保持した後の保持の段階では、高真空圧に切替えて、通気性ワーク２の一枚ずつの取り出しと、その後の保持をより確実に行うことが可能になる。
【００４８】
さらに、この実施形態２の通気性ワーク取り出し・保持装置においては、真空吸引ノズル６が、複数枚の通気性ワーク２が真空吸引されて保持された場合に、２枚目以降の通気性ワーク２を振り落とすための振り落とし動作を行うことができるように構成されているので、２枚目以降の通気性ワーク２を振り落として、通気性ワーク２の一枚のみの保持をさらに確実に行うことが可能になる。
【００４９】
なお、本発明は、上記実施形態１及び２に限定されるものではなく、圧縮空気供給装置や真空圧発生装置の構造や種類、圧縮空気噴出ノズルや真空吸引ノズルの構成などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【００５０】
【発明の効果】
上述のように、本発明（請求項１）の通気性ワーク取り出し・保持装置は、通気性ワークの上面に向くようにノズル取付プレートに取り付けられた複数個の圧縮空気噴出ノズルから圧縮空気を噴出して、通気性ワークに空気を吹き付けることにより、圧縮空気の噴出によって発生する吸引力を利用して通気性ワーク全体を非接触で吸着して取り出すとともに、取り出された通気性ワークを、通気性ワークの上面に向くようにノズル取付プレートに取り付けられた複数個の真空吸引ノズルにより真空吸引して保持するようにし、複数個の圧縮空気噴出ノズルを、非接触で吸着された通気性ワーク全体を持ち上げることにより取り出すことができるような態様で配設し、かつ、複数個の真空吸引ノズルを、圧縮空気噴出ノズルからの圧縮空気の噴出による吸引力により非接触で吸着された通気性ワーク全体を、真空吸引により保持することができるような態様で配設するようにしているので、圧縮空気噴出ノズルからの圧縮空気の噴出による吸引力を利用した通気性ワークの一枚ずつの取り出しと、真空吸引ノズルによる通気性ワークの確実な保持を可能ならしめて、信頼性の高い通気性ワーク取り出し・保持装置を提供することが可能になる。
【００５１】
また、圧縮空気噴出ノズルと真空吸引ノズルを、それぞれ複数個備えた構成としているので、さらに確実に通気性ワークの取り出しと保持を行うことが可能になり、本発明をさらに実効あらしめることが可能になる。
【００５２】
また、請求項２の通気性ワーク取り出し・保持装置のように、真空吸引ノズルを振り落とし動作可能に構成した場合、複数枚の通気性ワークが真空吸引されて保持された場合にも、２枚目以降の通気性ワークを振り落として、一枚の通気性ワークのみを保持することができるようになり、信頼性を向上させることが可能になる。
【００５３】
また、請求項３の通気性ワーク取り出し・保持装置のように、真空吸引ノズルにより真空吸引を行う際の真空度を、２段階以上に切り替えることができるようにした場合、圧縮空気噴出ノズルからの圧縮空気の噴出による吸引力を利用した通気性ワークの取り出しと、真空吸引ノズルからの真空吸引による保持の切り替えを円滑に行うことが可能になるとともに、通気性ワークの種類の変更などにも柔軟に対応することが可能になり、本発明をさらに実効あらしめることができる。
【００５４】
また、請求項４の通気性ワーク取り出し・保持装置のように、(ａ)通気性ワークが積み重ねられた状態にある場合に、積み重ねられた通気性ワークから一枚の通気性ワークを取り出すことができるようにするために、(ｂ)複数枚の通気性ワークが圧縮空気の噴出により発生する吸引力により非接触で取り出された場合に、２枚目以降の通気性ワークを振り落とすために、又は、(ｃ)複数枚の通気性ワークが真空吸引ノズルにより保持された場合に、２枚目以降の通気性ワークを振り落とすために、積み重ねられ、取り出され又は保持された複数枚の通気性ワークに空気を吹き付ける空気吹き付けノズルを備えた構成とした場合、通気性ワークの一枚のみの取り出し、保持をさらに確実に行うことが可能になり、信頼性を向上させることができる。
【００５５】
また、請求項５のように、本発明の通気性ワーク取り出し・保持装置を自動機のロボットハンドに搭載することにより、通気性ワークを確実に一枚ずつ取り出して、高速移動や高速搬送を行ったりすることが可能になり、その用途を拡大することができる。
【００５６】
また、請求項６のように、本発明の通気性ワーク取り出し・保持装置を、積層セラミック電子部品の製造工程においてセラミックブロックをカットする際に用いられるセラミックブロック用の下敷き用シート（通気性ワーク）を取り出し、保持するのに用いた場合、セラミックブロック用の下敷き用シートを確実に一枚ずつ取り出して、高速移動や高速搬送を行ったりすることができるようになり、積層セラミック電子部品の生産性を向上させることができる。
【００５７】
また、請求項７のように、本発明の通気性ワーク取り出し・保持装置を、積層セラミック電子部品の製造工程において用いられるセラミックグリーンシートの、ビアホール形成用の貫通孔に電極ペーストを充填する際に用いられるセラミックグリーンシートの下敷き用シート（通気性ワーク）を取り出し、保持するのに用いた場合、該シートを確実に一枚ずつ取り出して、高速移動や高速搬送を行ったりすることができるようになり、積層セラミック電子部品の生産性を向上させることができる。
【００５８】
本発明（請求項９）の通気性ワークの取り扱い方法は、ストッカーに積み重ねられた通気性ワークの上面側から通気性ワークに、複数個の圧縮空気噴出ノズルから圧縮空気を吹き付けて、圧縮空気の噴出により発生する吸引力を利用して通気性ワークを非接触で吸着し、通気性ワーク全体を持ち上げることにより取り出した後、非接触で取り出された通気性ワークを、複数個の真空吸引ノズルにより真空吸引して保持し、真空吸引ノズルにより真空吸引して保持した通気性ワークを所定の位置まで搬送して、所定の取り扱い設備に受け渡すようにしているので、通気性ワークを確実に一枚ずつ取り出して搬送し、所定の取り扱い設備に確実に受け渡すことができるようになり、通気性ワークを効率よく、かつ確実に取り扱うことができる。
【００５９】
また、本発明（請求項１０）の通気性ワークの取り扱い方法は、請求項１〜８のいずれかに記載の通気性ワーク取り出し・保持装置を用いるようにしているので、請求項９の発明を確実に実施して、通気性ワークを確実に一枚ずつ取り出して搬送し、所定の取り扱い設備に確実に受け渡すことができるようになり、通気性ワークを効率よく、かつ確実に取り扱うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態（実施形態１）にかかる通気性ワーク取り出し・保持装置の構成を示す図である。
【図２】  本発明の実施形態１にかかる通気性ワーク取り出し・保持装置を用いて通気性ワークを非接触で取り出している状態を示す図である。
【図３】  本発明の実施形態１にかかる通気性ワーク取り出し・保持装置を用いて通気性ワークを真空吸引して保持した状態を示す図である。
【図４】  本発明の実施形態１にかかる通気性ワーク取り出し・保持装置を用いて通気性ワークを保持して持ち上げた状態を示す図である。
【図５】  本発明の実施形態１にかかる通気性ワーク取り出し・保持装置を用いて通気性ワークを搬送し、供給テーブル上に受け渡している状態を示す図である。
【図６】  本発明の他の実施形態（実施形態２）にかかる通気性ワーク取り出し・保持装置を示す図である。
【図７】  従来の通気性ワーク取り出し・保持装置の構成を示す図である。
【図８】  従来の通気性ワーク取り出し・保持装置を用いて通気性ワークを取り出して保持した状態を示す図である。
【符号の説明】
１          ストッカー
２          通気性ワーク
２ａ        ２枚目の通気性ワーク
３          圧縮空気供給装置
４          圧縮空気噴出ノズル
５          真空圧発生装置
６          真空吸引ノズル
６ａ        両端側の真空吸着ノズル
８          切替機構
９          ノズル取付プレート
１０，１１  切替弁（開閉弁）
１２        ロボットハンド
１３        供給テーブル
２１        空気吹き付けノズル
Ｇ          圧縮空気噴出ノズルの下面と通気性ワークの間の隙間
【図１】
0004030038.tif 000002
【図２】
0004030038.tif 000003
【図３】
0004030038.tif 000004
【図４】
0004030038.tif 000005
【図５】
0004030038.tif 000006
【図６】
0004030038.tif 000007
【図７】
0004030038.tif 000008
【図８】
0004030038.tif 000009