(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
窒化珪素質材料が焼結された基材の表面に、硬質膜が被覆された窒化珪素質部材において、
前記硬質膜を被覆する前の強度を１００％とした場合に、前記硬質膜を被覆した後の強度が７０〜９５％であり、
更に、前記基材の中心部の粒界相量を１００体積％とした場合に、前記基材の表面から深さ３００μｍの位置近傍の粒界相量が５０〜７０体積％であることを特徴とする窒化珪素質部材。
【請求項２】
窒化珪素質材料が焼結された基材の表面に、硬質膜が被覆された窒化珪素質部材において、
前記基材の中心部の粒界相量を１００体積％とした場合に、前記基材の表面から深さ３００μｍの位置近傍の粒界相量が５０〜７０体積％であることを特徴とする窒化珪素質部材。
【請求項３】
前記基材の焼結前後の重量変化が、１.５〜３.５重量％であることを特徴とする前記請求項１又は２に記載の窒化珪素質部材。
【請求項４】
前記請求項３に記載の窒化珪素質部材の製造方法であって、
前記基材を焼結する際の条件を調節して、前記基材の焼結前後の重量変化を１.５〜３.５重量％としたことを特徴とする窒化珪素質部材の製造方法。
【請求項５】
前記基材を焼結する際の条件は、２〜６気圧の加圧窒素雰囲気下にて、１８００〜１９００℃の温度範囲で、６０〜１８０分間加熱した後に、１５５０〜１６５０℃の温度範囲まで降温し、１３ＫＰａ以下の減圧雰囲気下で、６０〜１８０分間保持することを特徴とする前記請求項４に記載の窒化珪素質部材の製造方法。
【請求項６】
前記請求項１〜３のいずれかに記載の窒化珪素質部材から構成されたことを特徴とする切削工具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、窒化珪素質材料が焼結された基材の表面に硬質膜が被覆された窒化珪素質部材及びその製造方法並びに切削工具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、セラミックスを始めとする焼結部材においては、その耐磨耗性を向上させる技術として、例えば窒化珪素質の焼結部材の基材の表面に、ＴｉＣＮ等の硬質成分からなる硬質膜を被覆する方法が知られている。
【０００３】
この被覆方法としては、例えば硬質成分を基材表面に蒸着することによって、基材表面に硬質膜を被覆するＣＶＤ法やＰＶＤ法が知られている。
そして、実際に、硬質膜を被覆した焼結部材を、例えば切削工具として用いた場合には、その切削工具（被覆工具）には耐磨耗性の著しい向上が見られた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、近年の被覆工具の使用用途は、より切削負荷の大きい重切削へと移行しつつあり、被覆工具においても、本来要求されてきた高い耐磨耗性以外にも、一定レベル以上の耐欠損性が要求されるようになっている。
【０００５】
ところが、上述したＣＶＤ法やＰＶＤ法の場合には、両方とも高温において硬質成分を蒸着させる方法であるので、硬質膜と基材の熱膨張率に起因する基材表面への応力の残留や、高温時における基材表面の改質が問題となり、基材そのものにおける強度と比較して、硬質膜を被覆した基材の強度が低下してしまうという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記の問題点を鑑みてなされたものであり、基材に硬質膜を被覆した場合でも強度低下が少なく、耐欠損性及び耐摩耗性に優れた窒化珪素質部材及びその製造方法並びに切削工具を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、窒化珪素質部材に関して、基材に硬質膜（コーティング膜）を被覆した状態においても、基材そのものの強度と比較して、強度低下を最小限とするための研究を行い、以下の知見を得た。
【０００８】
焼結によって得られる窒化珪素質部材（焼結部材）において、強度低下が生じる主たる要因は、基材表面への引張応力の残留である。これは、高温にて硬質膜を被覆した後、冷却する際に生じる硬質膜（熱膨張率大）と基材（熱膨張率小）の熱膨張率の相違によるものである。
【０００９】
また、窒化珪素質部材において、焼結技術の進歩や耐磨耗性改善を目的に、焼結助剤を減ずるのが近年の傾向となっており、特に基材表面の熱膨張率は低い値となっている。そのため、硬質膜として、一般的なＡｌ2Ｏ3やＴｉＣＮ等を被覆した場合には、基材と硬質膜の熱膨張率の相違は一層顕著となる。
【００１０】
つまり、基材と硬質膜の熱膨張率の相違が大きくなればなるほど、基材表面に残留する引張応力が大きくなって、強度が低下するので、基材と硬質膜の熱膨張差をできるだけ小さくすることが重要となる。
従って、基材と硬質膜の熱膨張差を可能な限り小さくするためには、窒化珪素質部材においては、焼結助剤を大量に添加した組成にするか、又は、前述の低焼結助剤系組成にて、その焼結条件を最適化することにより、図１に模式的に示す基材表面の粒界相（窒化珪素粒子の表面に形成された焼結助剤のガラス質相）を、極力揮発させないようにする対策が考えられる。
【００１１】
しかしながら、焼結助剤の大量の添加や粒界相の揮発抑制により、粒界相量を増加させると、熱膨張率差は低減するが、基材そのものの耐磨耗性が低下し、しいては、硬質膜を被覆しても良好な耐磨耗性が得られず、被覆本来の効果が得られない。
【００１２】
従って、硬質膜を被覆した窒化珪素質部材において、良好な耐磨耗性を維持しつつ、一定レベル以上の耐欠損性を維持するためには、基材を焼結する際に生じる基材表面の粒界相の揮発をコントロールし、適正な粒界相量とすることが重要であることが分かり、この知見に基づいて本発明を完成した。
【００１３】
以下、各請求項毎に説明する。
（１）請求項１の発明は、窒化珪素質材料が焼結された基材の表面に、硬質膜が被覆された窒化珪素質部材において、前記硬質膜を被覆する前の強度を１００％とした場合に、前記硬質膜を被覆した後の強度が７０〜９５％であり、更に、前記基材の中心部の粒界相量を１００体積％とした場合に、前記基材の表面から深さ３００μｍの位置近傍の粒界相量が５０〜７０体積％であることを特徴とする窒化珪素質部材を要旨とする。
【００１４】
本発明では、硬質膜を被覆する前の（基材の）強度を１００％とした場合に、硬質膜を被覆した後の（窒化珪素質部材の）強度が７０〜９５％である。つまり、硬質膜を被覆した後も、後の実験例で示す様に、曲げ強度は例えば８００ＭＰａ以上の高い値を有している。
【００１５】
つまり、本発明の窒化珪素質部材は、従来品と比べて高い強度を有しているので、耐欠損性に優れており、しかも、硬質膜を被覆しているので、耐磨耗性にも優れている。即ち、本発明では、耐磨耗性及び耐欠損性共に優れているので、例えば切削工具の材料として好適である。
また、本発明では、基材の中心部の粒界相量を１００体積％とした場合に、基材の表面（いわゆる焼結肌）から３００μｍの深さの位置近傍（即ち基材の表面部）における領域の粒界相量が、５０〜７０体積％である。尚、この粒界相量は深さ５００μｍ程度まで連続的に変化する傾向がある。
この構成を有する窒化珪素質部材は、従来品と比べて高い強度（従って高い耐欠損性）及び高い耐磨耗性を有しているので、例えば切削工具に用いると好適である。
尚、粒界相量は、例えば走査型電子顕微鏡写真（ＳＥＭ写真）に対する画像分析により、例えば画像全体に対する粒界相の割合などから求めることができる。
また、前記基材の中心部としては、例えば基材の重心から半径５００μｍの範囲（重心近傍）を採用できるが、基材の重心が望ましい。更に、基材の表面から深さ３００μｍの位置近傍としては、基材表面から深さ３００μｍの位置を中心に、±５０μｍの厚みの範囲を採用できるが、深さ３００μｍの位置が望ましい。
【００１８】
（２）請求項２の発明は、窒化珪素質材料が焼結された基材の表面に、硬質膜が被覆された窒化珪素質部材において、前記基材の中心部の粒界相量を１００体積％とした場合に、前記基材の表面から深さ３００μｍの位置近傍の粒界相量が５０〜７０体積％であることを特徴とする窒化珪素質部材を要旨とする。
【００１９】
本発明では、基材の中心部の粒界相量を１００体積％とした場合に、基材の表面（いわゆる焼結肌）から深さ３００μｍの位置近傍（即ち基材の表面部）における領域の粒界相量が、５０〜７０体積％である。尚、この粒界相量は深さ５００μｍ程度まで連続的に変化する傾向がある。
【００２０】
この構成を有する窒化珪素質部材は、前記請求項１に示す様に、従来品と比べて高い強度（従って高い耐欠損性）及び高い耐磨耗性を有しているので、例えば切削工具に用いると好適である。
尚、粒界相量は、例えば走査型電子顕微鏡写真（ＳＥＭ写真）に対する画像分析により、例えば画像全体に対する粒界相の割合などから求めることができる。
【００２１】
また、前記基材の中心部としては、例えば基材の重心から半径５００μｍの範囲（重心近傍）を採用できるが、基材の重心が望ましい。更に、基材の表面から深さ３００μｍの位置近傍としては、基材表面から深さ３００μｍの位置を中心に、±５０μｍの厚みの範囲を採用できるが、深さ３００μｍの位置が望ましい。
【００２２】
（３）請求項３の発明は、前記基材の焼結前後の重量変化が、１.５〜３.５重量％であることを特徴とする前記請求項１又は２に記載の窒化珪素質部材を要旨とする。
基材の焼結前後の重量変化が１.５重量％未満の領域では、強度低下はそれほど大きくは無いが、例えば実用的に望ましい耐磨耗性が得られないので、好ましくない。また、重量変化が３.５重量％を超える領域では、被覆後の強度低下が大きいので、好ましくない。
つまり、本発明では、基材の焼結前後の重量変化が１.５〜３.５重量％であるので、高い強度（従って高い耐欠損性）及び高い耐磨耗性を有しており、例えば切削工具として望ましいものである。
尚、前記基材の焼結前後の重量変化とは、いわゆる揮発率であり、ここでは、重量変化（揮発率）は、焼結前の脱脂体重量と１次焼結体重量の差を、１次焼結体重量で除したもので示される。
【００２３】
（４）請求項４の発明は、前記請求項３に記載の窒化珪素質部材の製造方法であって、前記基材を焼結する際の条件を調節して、前記基材の焼結前後の重量変化を１.５〜３.５重量％としたことを特徴とする窒化珪素質部材の製造方法を要旨とする。
【００２４】
本発明では、窒化珪素質材料からなる基材を焼結する際に、その焼結条件を調節して、焼結前後の重量変化を１.５〜３.５重量％としているので、その後、基材表面に硬質膜を被覆して窒化珪素質部材とした場合には、基材と硬質膜との熱膨張率の差が少ない。
【００２５】
よって、その窒化珪素質部材は、高い強度（従って高い耐欠損性）及び高い耐磨耗性を有しており、例えば切削工具として望ましいものである。
尚、焼結時の条件としては、焼結時の最高温度や、焼結時のガス圧（窒素ガスの圧力）が挙げられる。例えば焼結時の最高温度を高くすることにより、重量変化を大きくすることができ、また、ガス圧を大きくすることにより、重量変化を小さくすることができる。
【００２６】
（５）請求項５の発明は、前記基材を焼結する際の条件は、２〜６気圧の加圧窒素雰囲気下にて、１８００〜１９００℃の温度範囲で、６０〜１８０分間加熱した後に、１５５０〜１６５０℃の温度範囲まで降温し、１３ＫＰａ以下の減圧雰囲気下で、６０〜１８０分間保持することを特徴とする前記請求項４に記載の窒化珪素質部材の製造方法を要旨とする。
【００２７】
基材の焼結前後の重量変化（例えば揮発率で示される揮発の状態）を制御することは容易ではないが、例えば本発明の方法にて揮発を制御することにより、目的とする窒化珪素質部材を得ることができる。
つまり、本発明の様に、基材を焼結する際には、加圧窒素雰囲気下で緻密化させた後に、窒化珪素が分解しない温度まで降温し、減圧雰囲気下で熱処理することにより、窒化珪素を分解させずに、粒界相を適度に揮発させることができる。
【００２８】
本発明において、１５５０〜１６５０℃の温度範囲まで降温するのは、１５５０℃未満であると十分な揮発が得られず、１６５０℃を超えると窒化珪素が分解するからである。また、１３ＫＰａ以下としたのは、１３ＫＰａを超えると、（温度によらず）十分な揮発が得られないからである。
【００２９】
尚、前記窒化珪素質部材の製造工程としては、脱脂−１次焼結−ＨＩＰという工程が挙げられるが、本発明において各温度にて加熱する工程は、この１次焼結に該当するものである。
（６）請求項６の発明は、前記請求項１〜３のいずれかに記載の窒化珪素質部材から構成されたことを特徴とする切削工具を要旨とする。
【００３０】
上述した性質を有する窒化珪素質部材を用いて切削工具を製造したものは、耐磨耗性及び耐欠損性に優れているので、通常の切削だけでなく、より切削負荷の大きい重切削も好適に行うことができる。
・尚、上述した耐磨耗性及び耐欠損性に優れた窒化珪素質部材は、切削工具以外に、例えば自動車エンジン部品等の耐磨耗性部材や、ドリル、エンドミル等の機械工具として用いることができる。
【００３１】
・また、前記窒化珪素質材料としては、例えばα−Ｓｉ3Ｎ4などの窒化珪素に、例えばＭｇＯ、Ａｌ2Ｏ3、Ｙｂ2Ｏ3、Ｙ2Ｏ3、ＺｒＯ2、Ｈｆ2Ｏ3、Ｅｒ2Ｏ3などの焼結助剤等を添加したものを利用でき、また、サイアロンを利用できる。・更に、硬質膜の材料である硬質成分としては、Ａｌ2Ｏ3、ＴｉＣＮ、ＴｉＮ、ＴｉＣ等利用できる。
【００３２】
・この硬質膜としては、１種類の硬質成分からなる単独の１層、又は（異なる硬質成分又は同一の硬質成分からなる）複数層から形成することができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の窒化珪素質部材及びその製造方法並びに切削工具の実施の形態の例（実施例）を説明する。
（実施例）
ａ）まず、本実施例の窒化珪素質部材である切削工具について説明する。
【００３４】
図２に示す様に、本実施例の切削工具１は、ＩＳＯ規格でＳＮＧＮ１２０４１２の形状、すなわち略正方形の板状のセラミックチップである。
また、この切削工具１は、図３に示す様に、窒化珪素質材料を焼結して形成した基材３の表面に、複数の硬質成分の層からなる厚さ２．０μｍの硬質膜（コーティング膜）５が被覆されたものである。
【００３５】
特に、本実施例の切削工具１は、基材３の中心部として例えば重心における粒界相量を１００体積％とした場合に、基材３の表面（焼結肌）から深さ５００μｍまでの位置における粒界相量（体積％）が徐々に増加しているという特長がある。具体的には、基材３の表面から深さ１００μｍの位置における粒界相量は３０体積％未満であり、深さ２００μｍの位置における粒界相量は３０〜５０体積％であり、深さ３００μｍの位置における粒界相量は５０〜７０体積％であり、深さ４００μｍの位置における粒界相量は７０〜８５体積％であり、深さ５００μｍの位置における粒界相量は８５〜１００体積％の範囲にある。
【００３６】
また、硬質膜５を被覆する前の基材３の強度を１００％とした場合に、硬質膜を被覆した後の切削工具１の強度が７０〜９５％であり、更に、基材３の焼結前後の重量変化が、１.５〜３.５重量％であるという特長がある。
この特長により、本実施例の切削工具１は、高い耐磨耗性と高い強度（従って耐欠損性）を有する。
【００３７】
ｂ）次に、本実施例の切削工具１の製造方法について説明する。
まず、平均粒径１．０μｍ以下の主成分のα−Ｓｉ3Ｎ4を９７重量％、平均粒径１．０μｍ以下の焼結助剤のＭｇＯを０．５重量％、Ａｌ2Ｏ3を１．０重量％、Ｙｂ2Ｏ3を１．５重量％の割合で秤量する。
【００３８】
次に、この秤量した原料を、Ｓｉ3Ｎ4製内壁ポット、Ｓｉ3Ｎ4製ボールを用いて、エタノール溶媒にて９６時間混合してスラリーとする。
次に、このスラリーを３２５メッシュの篩に通し、エタノールを溶解したマイクロワックス系の有機バインダを５．０重量％添加しスプレードライする。
【００３９】
そして、得られた造粒粉末を、ＩＳＯ規格でＳＮＧＮ１２０４１２の形状にプレス成形した後に、加熱装置内において１気圧の窒素雰囲気中で６００℃にて６０分、脱脂を行う。
次に、この脱脂体の一次焼結を、下記の焼結条件にて実施する。
【００４０】
具体的には、まず、２〜６気圧の加圧窒素雰囲気下にて、１８００〜１９００℃の温度範囲で、６０〜１８０分間加熱し、その後、１５５０〜１６５０℃の温度範囲まで降温し、１３ＫＰａ以下の減圧雰囲気下で、６０〜１８０分間保持する。
【００４１】
つまり、本実施例では、上述した焼結を行う場合に、脱脂体重量と１次焼結後の重量（一次焼結体重量）の差を１次焼結体重量で除した揮発率（即ち１次焼結前後の重量変化）が、１.５〜３.５重量％の範囲に収まる様に、焼結条件を調節した。
【００４２】
尚、この際に、脱脂体重量及び１次焼結体重量を測定し、１次焼結前後の重量変化を算出した。
次に、ＨＩＰにより２次焼結を行う。２次焼結は、１次焼結体を、１０００気圧の窒素雰囲気下において、１６００〜１８００℃で１２０分加熱する。こうして、窒化珪素焼結体を得る。
【００４３】
次に、こうして得られた窒化珪素焼結体を、ＳＮＧＮ１２０４１２の切削工具の形状（詳しくは切削工具１の基材３の形状）に加工する。
次に、この基材３の表面に、ＣＶＤ法によって、硬質成分からなる硬質膜（コーティング膜）５を被覆する。
【００４４】
具体的には、基材３より、ＴｉＣＮ：０．２μｍ、Ａｌ2Ｏ3：０．５μｍ、ＴｉＣＮ：０．２μｍ、
Ａｌ2Ｏ3：０．５μｍ、ＴｉＣ：０．２μｍ、ＴｉＣＮ：０．２μｍ、ＴｉＮ：０．２μｍの各硬質成分からなる膜を順次形成し、厚さの合計が２．０μｍの硬質膜５を基材３の表面に被覆した。
【００４５】
これにより、基材３の表面に硬質膜５を有する窒化珪素質部材、即ち本実施例の切削工具１を完成した。
（実験例）
次に、本発明の効果を確認するために行った実験例について説明する。
【００４６】
まず、前記実施例に記載した製造方法により、本発明の範囲の実施例のNo.３、４、６、９、１２〜１４の試料を作成した。
具体的には、ＪＩＳ  Ｒ１６０１の３点曲げ試験に用いる曲げ試験形状の試料として、硬質膜を被覆しない試料と硬質膜を被覆した試料を、下記表１に示す熱処理条件（１次焼結の焼結条件）にて、それぞれ１０個作成した。更に、耐磨耗性の実験に用いるために、前記実施例１と同様な切削工具の試料も、同様にそれぞれ１０個作成した。
【００４７】
一方、本発明の範囲外の比較例として、No.１、２、５、７、８、１０、１１、１５〜１７の試料を作成した。
具体的には、前記曲げ試験形状の試料として、硬質膜を被覆しない試料と硬質膜を被覆した試料を、下記表１に示す熱処理条件（１次焼結の焼結条件）にて、それぞれ１０個作成した。更に、耐磨耗性の実験に用いるために、前記と同様にして切削工具の試料も、それぞれ１０個作成した。
【００４８】
(1)そして、前記実施例及び比較例の各試料を製造する際に、１次焼結前後の重量変化（揮発率）を測定し、その平均値を求めた。その結果を下記表２に記す。
(2)また、前記実施例及び比較例の各１０個の試料に対して、ＪＩＳ  Ｒ１６０１に基づき３点曲げ試験を行った。そして、各１０個の試料に対しする測定の平均値として、硬質膜の被覆前の試料の曲げ強度σfと、硬質膜の被覆後の試料の曲げ強度σfを算出した。その結果を同じく下記表２に示す。
【００４９】
(3)更に、硬質膜の被覆後強度を被覆前強度で除して百分率とすることで、強度比を求めた。その結果を同じく下記表２に示す。
(4)その上、実施例と比較例の切削工具を用い、刃先に０．２ｍｍ×２５°の面取り刃先加工を行った後に、下記条件にて切削加工を行った。
【００５０】
＜加工条件＞
被削材      ：ＪＩＳ  ＦＣ２００（普通鋳鉄）
切削速度    ：１００ｍ／ｍｉｎ
送り速度    ：０．１ｍｍ／ｒｅｖ
切り込み深さ：１．０ｍｍ
切削時間    ：６０ｍｉｎ
そして、切削による逃げ面磨耗量と境界磨耗量を測定した。その結果を同じく下記表２に示す。
【００５１】
(5)また、硬質膜を被覆する前の切削工具の試料において、その基材の表面及び中央切断面を、鏡面研磨加工し、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて、それぞれの位置に関して組織観察を行った。
具体的には、走査型電子顕微鏡にて得られた、基材の表面（無研磨の焼結体を研磨により深さ３００μｍを研磨加工除去して表面となった面）における６００００倍の組織写真（ＳＥＭ写真）（図４（ａ）参照）と、基材の中央切断面（詳しくは重心を通る切断面）における６００００倍の組織写真（図４（ｂ））参照を用い、その画像分析から粒界相量の測定を行った。
【００５２】
尚、前記基材の表面とは、焼結体を研磨加工してできたチップの表面をいう。通常、２００〜３００μｍを研磨除去した面をいう。
つまり、基材の表面部の粒界相量としては、基材の表面から深さ３００μｍの位置を中心とした半径１．５μｍの範囲内における粒界相の割合を、前記基材の表面のＳＥＭ写真の画像から求め、且つ、基材の中心部の粒界相量としては、基材の重心から半径１．５μｍの範囲における粒界相の割合を、前記基材の中心切断面のＳＥＭ写真の画像から求めた。そして、基材の表面部の粒界相量を基材の中心部の粒界相量で除して百分率とすることで、表面粒界相量（深さ３００μｍの粒界相量）を算出した。その結果を同じく下記表２に記す。
【００５３】
【表１】
0004070417.tif 000002
【００５４】
【表２】
0004070417.tif 000003
【００５５】
ｃ）前記表１及び表２から明らかな様に、本発明の範囲の実施例のNo.３、４、６、９、１２〜１４の試料は、揮発率が１.５〜３.５重量％の範囲であり、しかも、表面粒界相量が５０〜７０体積％の範囲である。
それにより、強度比は７０以上であり、硬質膜の被覆後の強度低下が少なく、また、逃げ面磨耗量が０.２ｍｍ以下で且つ境界磨耗量が０.２２ｍｍ以下と少ないことが分かる。従って、本実施例の切削工具は、耐欠損性及び耐磨耗性に優れており、通常の切削だけでなく例えば重切削にも好適である。
【００５６】
それに対して、比較例のNo.１、２、５、８、１１、１５の試料は、それぞれ、揮発率が１、１．１、１．３、１．３、１．３、１．３重量％で、表面粒界相量が９０、８９、８０、８０、８１、８６体積％である。
それにより、強度比は９４．６、９２．２、９２．７、９５、９３．３、９１．１と高いが、逃げ面磨耗量が０.３５、０．３５、０．３４、０．３３、０．３２、０．３３ｍｍで且つ境界磨耗量が０.３１、０．３９、０．３５、０．３５、０．３３、０．４ｍｍと大きいことが分かる。従って、この比較例の切削工具は、耐磨耗性が低く十分ではない。
【００５７】
また、比較例のNo.７、１０、１６の試料は、それぞれ、揮発率が３．７、４、４重量％で、表面粒界相量が４８、４０、４２体積％である。
それにより、逃げ面磨耗量が０．１２、０．１３、０.１３ｍｍで且つ境界磨耗量が０．１１、０．１３、０.１８ｍｍと小さいが、強度比は５５．５、５４．９、５１．３と低いことが分かる。従って、この比較例の切削工具は、曲げ強度が低いため、耐欠損性が低下する。
【００５８】
更に、比較例のNo.１７の試料は、加熱温度が高く、窒化珪素が分解してしまい、評価は不可能であった。
尚、本発明は前記実施例になんら限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
【００５９】
例えば本発明は、前記四角形の板状の切削工具だけでなく、例えば三角形の板状の切削工具などにも適用することができる。
【００６０】
【発明の効果】
以上詳述した様に、本発明の窒化珪素質部材は、硬質膜を被覆しても強度低下がわずかであり、よって高い耐磨耗性及び高い耐欠損性を備えている。
また、本発明の窒化珪素質部材の製造方法により、高い耐磨耗性及び高い耐欠損性を備えた窒化珪素質部材を容易に製造することができる。
【００６１】
従って、この様な窒化珪素質部材からなる切削工具は、高負荷な使用条件において、高寿命を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  窒化珪素質部材の内部の構造を模式的に示す説明図である。
【図２】  実施例の切削工具を示す斜視図である。
【図３】  実施例の切削工具の断面を拡大して示す説明図である。
【図４】  実施例の切削工具を示し、（ａ）はその基材の表面の走査電子顕微鏡写真、（ｂ）はその基材の中心の走査電子顕微鏡写真である。
【符号の説明】
１…切削工具
３…基材
５…硬質膜
【図１】
0004070417.tif 000004
【図２】
0004070417.tif 000005
【図３】
0004070417.tif 000006
【図４】
0004070417.tif 000007