(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハーをバー状に劈開した半導体レーザーバーの所定面に所定の反射率を有する反射膜をデポアップ方式の蒸着又はスパッタリングにより形成するために用いる半導体レーザーバーの固定用治具であって、
レーザーバーを挟持して保持する複数本の保持用バーと、
保持用バーを並列に設置させる設置面を有する支持台と、
保持用バーのレーザーバーを保持する保持面を押圧する押圧部と、
支持台の設置面を挟むように対向して設けられた押え固定部と、
押え固定部に固定され、保持用バーの両端部を覆って、保持用バーの支持台からの落下を防止する押え用覆部とを具え、
保持用バーは、長手方向の長さがレーザーバーの長手方向長さよりも長く、保持面の幅方向の長さがレーザーバーの幅方向長さよりも短くなっており、
この保持用バーの保持面の摩擦係数μaを、半導体レーザーバーの表面の摩擦係数μbに対して、
0.9μb≦μa≦1.1μb
の範囲内とし、
押え用覆部は、押え固定部に取り外し可能に固定されることを特徴とする半導体レーザーバーの固定用治具。
【請求項２】
半導体レーザーバーの固定用治具に半導体レーザーバーを設置する方法であって、
半導体レーザーバーの固定用治具は、請求項１に記載の半導体レーザーバーの固定用治具であり、
複数の保持用バーと半導体レーザーバーを支持台の設置面に設置する前は、押え用覆部を押え固定部から取り外しておき、
複数の保持用バーと半導体レーザーバーを設置した後、保持用バーの両端部を覆うように、押え用覆部を押え固定部に固定することを特徴とする半導体レーザーバーを設置する方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハーをバー状に劈開した半導体レーザーバーの所定面に所定の反射率を有する反射膜を蒸着又はスパッタリングにより形成するために用いる半導体レーザーバーの固定用治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体レーザー素子の多くは、レーザーチップの光射出端面に、所定の反射率を有する反射膜が形成されて構成されている。
【０００３】
この反射膜を形成するには、まず、図５(A)に示すように、半導体ウエハー100に多数の電極101を形成し、これら電極101の間に、劈開部102を形成する。
【０００４】
そして、図５(B)に示すように、半導体ウエハー100を棒状に劈開して複数のレーザーバー100a（複数の電極101が一列に並んだバー状のもの）に分割する。
これら分割されたレーザーバー100aは、従来では、１本のレーザーバー100aを一つの固定用治具にセットして、このレーザーバー100aが取り付けられた固定用治具を蒸着装置のチャンバー内のホルダーにセットする。チャンバー内の上部には固定用治具を固定するためのホルダーが具えつけられ、チャンバー内下部には蒸発源が具えつけられている。
【０００５】
蒸着処理は、例えば真空蒸着を行う場合、チャンバー内を所定の真空度にした後、蒸発源に入れられた蒸着材料を電子ビーム等で加熱して蒸発させて、レーザーバー100aの端面に反射膜を蒸着することにより行う。この蒸着処理により、レーザーバー100aの端面に蒸着膜からなる反射膜が形成される。
【０００６】
しかしながら、以上の蒸着処理方法では、１本のレーザーバー100aを一つの固定用治具に固定するようにしているため、レーザーバーの固定用治具への取付作業が煩雑となる問題があった。
そこで、例えば特許文献１に開示されているように、複数本のレーザーバーを一つの固定用治具に取り付けて蒸着処理を行う手段が提案されている。
【０００７】
特許文献１に開示されている蒸着処理では、図６に示す固定用治具Aに、複数本のレーザーバー100aを、電極101の面が積層されていくように重ねてセットするようになっている。固定用治具Aは、一方が開放した三辺を有する枠状体からなる。対向する二辺の内面側には、溝Bが形成されており、これら溝Bにレーザーバー100aの長手方向端部を嵌め合わせて、固定用治具Aの底部にレーザーバー100aを積み重ねていく。
【０００８】
このように、レーザーバー100aが固定用治具Aに取り付けられると、レーザーバー100aは、その両端部を除き、側面が露出された状態になる。
そして、複数のレーザーバー100aが取り付けられた固定用治具Aを蒸着装置のチャンバー内にセットして蒸着処理を行う。
【０００９】
【特許文献１】
特開2002-164609号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献１の蒸着装置では、複数のレーザーバー100aを固定用治具Aに取り付けて一度に蒸着処理が行える。
しかしながら、固定用治具Aに取り付けられた複数のレーザーバー100aは、その長手方向両端部が固定用治具Aの溝Bに嵌め込まれた状態で蒸着処理が行われる。そのため、レーザーバー100aの両端部においては、蒸着がなされず、反射膜が形成できないため、この部分のチップだけ製品としての価値がなくなるという不具合が生ずる。
【００１１】
また、固定用治具Aは、溝Bの深さおよび二つの溝間の長さが決まっているため、レーザーバー100aの長さが異なる場合には固定用治具Aにレーザーバー100aを固定できない場合が生ずる。その結果、レーザーバー100aの長さに応じて固定用治具Aを作る必要があり汎用性に欠ける。そして、このような固定用治具Aでは、劈開する際に折れてしまったレーザーバー100aに対しては固定用治具に固定できず対応できない。
【００１２】
さらに、レーザーバー100aが固定用治具Aに装着後に折れてしまい、蒸着装置のホルダーへの取付作業時などに固定用治具Aから落下してしまった場合には、積層したレーザーバーの間に隙間ができてしまう。そのため、レーザーバーが傾くなどの不具合が生じ、レーザーバーの端面に正確な膜厚の反射膜を形成できないという問題が生じる。
【００１３】
さらに、固定用治具Aは、溝Bにレーザーバー100aを取り付けるようにしているため、固定用治具Aへの装着作業中にレーザーバー100aの両端部が溝Bの角部に接触して傷が付いてしまうと、この両端部のチップは製品としての価値がなくなってしまう。
【００１４】
また、前記固定用治具Aは、図６に示すような一方が開放した三辺の枠状をしているため、熱による影響でねじれなどの変形が起き易い。そのため、固定用治具Aが変形してしまうと、レーサーバーも変形してしまうという不具合が生じる。
【００１５】
さらに、レーザーバー100aの表面（電極形成面）の縁部に蒸着が回り込むようにしなければ、レーザーバー100aの端面の縁部において蒸着されない部分ができる可能性がある。そのため、確実に均一な反射膜が形成できるようにレーザーバー100aの表面側への回り込み量を制御する必要がある。しかし、前記固定用治具Aでは、同じ幅のレーザーバー100aをそのまま積層していくため、レーザーバー100aの表面側への蒸着の回り込みがなされない部分が生じ、回り込み量の制御ができない。
【００１６】
本発明は、複数のレーザーバーの長さが異なっても一つの固定用治具で各レーザーバーを保持して、損傷、変形が起こることなく一度に多数のレーザーバーの蒸着が行えながら、レーザーバーの長手方向端部まで確実に反射膜が形成できる半導体レーザーバーの固定用治具を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体レーザーバーの固定用治具とは、半導体ウエハーをバー状に劈開したレーザーバーの所定面に所定の反射率を有する反射膜を蒸着により形成するために用いる半導体レーザーバーの固定用治具である。
【００１８】
この固定用治具は、蒸着装置のチャンバー内に設置する回転ドームに取り付けられるようになっている。この回転ドームにレーザーバーの蒸着被覆面が蒸着源に向くように固定用治具が取り付けられて、回転ドームを回転させながら、固定用治具にセットされているレーザーバーに蒸着材料を蒸着する。
【００１９】
そして、本発明に係る固定用治具は、レーザーバーを挟持して保持する複数本の保持用バーと、保持用バーを並列に設置させる設置面を有する支持台と、保持用バーのレーザーバーを保持する保持面を押圧する押圧部と、保支持台の設置面を挟むように対向して設けられた押え固定部と、この押え固定部に固定され、保持用バーの両端部を覆って、保持用バーの支持台からの落下を防止する押え用覆部とを具えている。
【００２０】
保持用バーは、長手方向の長さがレーザーバーの長手方向長さよりも長く、保持面の幅方向の長さがレーザーバーの幅方向長さよりも短くなっている。保持面は、長尺な面のうち一対の表裏両面に形成される。
【００２１】
本発明では、保持用バーを支持台の設置面にレーザーバーを保持する保持面が互いに対向するように並べて設置させながら、レーザーバーと保持用バーが交互となるようにこれら保持用バーの間にレーザーバーを配置させるようにしている。そして、複数の保持用バーについて保持面をレーザーバーの電極形成面に接触させ、２本の保持用バーでレーザーバーを挟持する。さらに、レーザーバーを保持用バーの間に配置させるとき、レーザーバーを保持用バーの長手方向中心部に配置させる。
【００２２】
そして、保持用バーでレーザーバーを挟持した状態で、前記押圧部により保持用バーの保持面を押圧する。押圧部には、ばねネジや、クランプ板を用いることができる。
【００２３】
次に、押え固定部に取り外し可能に固定される押え用覆部により、保持用バーの両端部を覆い、保持用バーが支持台の設置面から落ちないように支持する。押え用覆部には、長尺板状部材や棒状部材を用いて、保持用バーの一端部を一度に覆うようにすることが好ましい。
【００２４】
本発明では、保持用バーの長手方向の長さおよび幅方向の長さを前記した長さとしていることから、レーザーバーを保持用バーの長手方向中心部に位置させるように保持用バーの間に配置させることにより、保持用バーの両端部が押え用覆部で覆われてもレーザーバーの端部は覆われないようにすることができる。しかも、保持用バーの端面からレーザーバーの蒸着被覆面側を突出させた状態にすることもできる。
【００２５】
このようにレーザーバーを保持用バーの間に配置させることにより、レーザーバーの蒸着被覆面の全面を露出させた状態で保持用バーでレーザーバーを保持することができるので、蒸着被覆面の全面に反射膜を形成できる。
【００２６】
しかも、本発明によれば、レーザーバーの電極を有する表面において、蒸着被覆面である端面から保持用バーから突出させた部分に蒸着を回り込ませることができる。このようにレーザーバーの電極側表面へ蒸着を回り込ませて行うことにより、蒸着被覆面全体を均一に蒸着材料で被覆することができる。さらに、蒸着の回り込ませ量は、保持用バーの保持面の幅方向長さの設定を変えるだけで所望の量に制御することができる。
【００２７】
しかも、複数のレーザーバーは長さが異なっても一つの固定用治具で保持でき、一度に多数のレーザーバーの蒸着が行える。特に、一部のレーザーバーが折れた場合でも、この折れたレーザーバーを他のレーザーバーとともに蒸着処理を行うことができる。このように、レーザーバーの長さに関係なく複数のレーザーバーの蒸着処理を一度に行えるので固定用治具としての汎用性が高くなる。
【００２８】
さらに、レーザーバーを保持する保持用バーが棒状であるため、蒸着中に保持用バーが熱によって変形（捻れ）する量が小さく、レーザーバーの変形は起こりにくい。
【００２９】
また、本発明の固定用治具は、保持用バーの保持面の摩擦係数μaを、半導体レーザーバーの表面の摩擦係数μbに対して、
0.9μb≦μa≦1.1μb
の範囲内とする。即ち、摩擦係数μaは摩擦係数μbと実質的に等しい値とすることが好ましい。
【００３０】
このように保持用バーの保持面の摩擦係数を、レーザーバーの表面摩擦係数とほぼ同等の摩擦係数にすることにより、レーザーバーが保持用バーの間から抜け落ちることなく、保持用バーでレーザーバーを保持できる。保持用バーは、このような範囲の摩擦係数を有するようにするためSiで形成することが好ましい。
【００３１】
さらに本発明では、押圧部を具えていることから、この押圧部による保持用バーの押圧により、保持用バーとレーザーバーとの接触面圧を大きくできるので、保持用バーによってレーザーバーを確実に保持することができる。
【００３２】
しかも、レーザーバーの一部が支持体から落下して、保持用バーの間に隙間が生じても、押圧部による押圧で保持用バーの間の隙間を無くすことができるので、他のレーザーバーが傾くことなく保持用バーで保持することができる。その結果、レーザーバーの一部が落下しても、レーザーバーの端面に正確な膜厚の反射膜を形成できる。
【００３３】
また、本発明では押え用覆部を具えていることから、この押え用覆部により保持用バーの両端部のみを覆い、レーザーバーの蒸着被覆面となる端面全面を露出させた状態で保持用バーが支持台から落ちないようにすることができる。
【００３４】
以上のように、本発明の固定用治具を用いることにより、レーザーバーに損傷、変形が起こることなくレーザーバーの蒸着が行えながら、レーザーバーの長手方向端部まで確実に反射膜を形成できる。
【００３５】
さらに、本発明の固定用治具を用いることにより、一度に多数のレーザーバーの蒸着が行えるので、レーザーバーの固定用治具への取り付け、取り外し作業が容易となる。
【００３６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図１に基づいて説明する。図１は、本発明に係る半導体レーザーバーの固定用治具の平面図を示す。図２は、図１の固定用治具のX-X断面図を示す。図３は、本発明の固定用治具が取り付けられる真空蒸着装置の全体構成図であり、図４は、真空蒸着装置の回転ドームに固定用治具を取り付けた状態を示す部分断面図である。
【００３７】
本実施形態にかかる固定用治具は、図５に示すように、GaAsやInを含む材料からなる半導体ウエハー100をバー状に劈開した半導体レーザーバー100aの所定面に所定の反射率を有する反射膜を真空蒸着により形成するために用いられる。
【００３８】
レーザーバー100aは、図３に示す真空蒸着装置1のチャンバー11内に設ける回転ドーム12に取り付けられて蒸着処理が行われる。そのため、レーザーバー100aをまず本実施形態に係る固定用治具10に固定させておいて、レーザーバー100aが固定されている固定用治具10を回転ドーム12に取り付けることにより、レーザーバー100aの回転ドーム12への取り付けが行われる。
【００３９】
本実施形態に係る固定用治具10は、図１および図２に示すように、レーザーバー100aを保持する複数本の保持用バー2と、保持用バー2を設置させる支持台3と、保持用バー2を押圧する押圧部4と、保持用バー2の両端部を支持台3に支持させるための押え用覆部5とを具える。
【００４０】
保持用バー2は、Siで形成され、レーザーバー100aを保持する保持面21を有する長尺物から構成される。保持面21は、長尺な面のうち一対の表裏両面に形成されている。
【００４１】
保持用バー2は、複数本用いられ、保持用バー2とレーザーバー100aが交互になるように各保持用バー2の間にレーザーバー100aを配置させる。このとき、保持用バー2の保持面21をレーザーバー100aに対向させ、それぞれの保持用バー2の保持面21をレーザーバー100aの電極形成面に接触させることにより、２本の保持用バー2で１本のレーザーバー100aを挟持するようにしている。
【００４２】
さらに、保持用バー2は、長手方向の長さがレーザーバー100aの長手方向長さよりも長く、保持面21の幅方向の長さがレーザーバー100aの幅方向長さ（電極形成面の幅方向長さ）よりも短くなるように形成されている。
【００４３】
例えば、レーザーバー100aは、長手方向長さを6.5mm、幅方向長さ（電極形成面の幅方向長さ）を0.35mm、厚みを0.1mmとしている。保持用バー2は、長手方向長さを18mm、保持面の幅方向長さを0.3mm、厚みを0.7mmとする。
【００４４】
さらに、保持用バー2のレーザーバー100aと接触する保持面21の摩擦係数μaは、レーザーバー100aの表面の摩擦係数μbと実質的に等しくしており、レーザーバー100aの摩擦係数μbを0.54とし、保持用バー2の摩擦係数μaを0.58としている。
【００４５】
本実施形態を示す図１および図２の固定用治具10では、９本のレーザーバー100aを固定用治具10で固定するために１０本の保持用バー2が用いられた状態が示されている。なお、図１および図２に示す実施形態では、説明の便宜上、レーザーバーの本数を少なくしているが、本発明の固定用治具は、50本近くの保持用バー2を具えつけて、50本近くのレーザーバーを固定することが可能である。
【００４６】
支持台3は、円板状の取付板31と、この取付板31の中心部に設ける長方形状の支持板32と支持枠体33とを具える。取付板31は、真空蒸着装置1の回転ドーム12に取り付けられる。
【００４７】
支持板32は、保持用バー2を設置させる設置面321を有し、この設置面321を支持枠体33の枠内に位置させるようにしている。設置面321は複数のレーザーバー100aとこれらを挟持するための複数の保持用バー2の全てを設置面321からはみ出さないように載せることができる面積を有する。
【００４８】
支持枠体33は、枠の一辺を保持用バー2の保持面21と当接する当接部331とし、この当接部331と対向する辺を押圧部4のばねネジ41を支持する支持壁部332とし、他の二辺を押え用覆部5が固定される押え固定部333としている。
【００４９】
当接部331には、設置面321に設置された保持用バー2のうち、一番外側に配置される保持用バー2の保持面21を当接させる。本実施形態では、一番外側に配置される保持用バー2を当接部331に当接させた状態で、レーザーバー100aと他の保持用バー2を設置面321に設置させていく。
【００５０】
支持壁部332には、ばねネジ41と螺合されるネジ孔42が貫通形成されている。
押え固定部333には、押え用覆部5をねじ止めにより固定できるようなっている。これら押え固定部333は、支持枠体33の対向する二辺で構成されるので、前記当接部331と支持壁部332との間で、設置面321を挟むように２箇所設けられた状態になる。
【００５１】
押圧部4は、ネジの先端部をばねで伸縮させるばねネジ41と支持壁部332のネジ孔42とから構成されている。このばねネジ41を、支持壁部332の外方からネジ孔42に螺合させていくことにより、レーザーバー100aを挟持した保持用バー2の保持面21を押圧するようになっている。
【００５２】
押え用覆部5は、２箇所の押え固定部333に取り外し可能に固定される長尺板状部材51で構成される。一方の長尺板状部材51は、設置面321上に設置された保持用バー2の一端部を覆った状態で押え固定部333にネジ止めにより固定される。他方の長尺板状部材51も、設置面321上に設置された保持用バー2の他端部を覆った状態で押え固定部333に固定される。２枚の長尺板状部材51で保持用バー2の両端部を覆うことにより、保持用バー2を設置面321から落ちないように支持させるようになっている。
【００５３】
本実施形態では、保持用バー2とレーザーバー100aを設置面321に設置する前に、押圧部4であるばねネジ41を支持壁部332のネジ孔42に対して弛めておき、２枚の長尺板状部材51も押え固定部333から外しておく。
【００５４】
そして、複数の保持用バー2を、支持台3の設置面321に保持面21が互いに対向するように並べて設置させるとともに、これら保持用バー2の間にレーザーバー100aを配置させていく。このとき、レーザーバー100aは保持用バー2の長手方向中心部に配置させ、長尺板状部材51を押え固定部333に固定したときに、長尺板状部材51によってレーザーバー100aの端部が覆われないようにする。保持用バー2とレーザーバー100aを設置面321に設置させたとき、図２に示すように保持用バー2の上部端面からレーザーバー100aの蒸着被覆面が突出した状態となる。
【００５５】
保持用バー2とレーザーバー100aの設置面321への設置がなされた後、ばねネジ41のネジ孔42への押し込み動作によりばねネジ41の先端部を保持用バー2の保持面21に圧接させる。このばねネジ41によって保持用バー2を当接部331側に押圧することにより、保持用バー2とレーザーバー100aとの接触面圧を上げて、保持用バー2でレーザーバー100aを挟持する。
【００５６】
次に、一方の長尺板状部材51を、設置面321上に設置された保持用バー2の一端部を覆った状態で押え固定部333にネジ止めにより固定する。他方の長尺板状部材51も、設置面321上に設置された保持用バー2の他端部を覆った状態で押え固定部333に固定する。これら２枚の長尺板状部材51により、全ての保持用バー2の両端部が覆われて、保持用バー2を設置面321から落ちないように支持させ、レーザーバー100aの固定用治具10への取付が完了する。
【００５７】
そして、レーザーバー100aが取り付けられた固定用治具10を真空蒸着装置1の回転ドーム12に取り付ける。
真空蒸着装置1は、図３に示すように、チャンバー11内の上部に円盤状の回転ドーム12とモニタ基板13が設けられ、チャンバー11内の下部にルツボ14とイオンビームガン（EBガン）15とイオンガン16と光学式膜厚モニタ部17が設けられている。
【００５８】
チャンバー11内は排気口18から真空引きを行うことにより、内部を所定の真空度にできるようになっている。
回転ドーム12は、チャンバー11の天井部に回転可能に取り付けられており、複数の固定用治具10が取り付けられるように、治具固定用の取付孔121が複数設けられている。
【００５９】
固定用治具10は、図４に示すように、支持枠体33と支持板32が回転ドーム12の天井側から取付孔121に挿入されるように取付孔121に装着される。
回転ドーム12の下面側中心部には、前記モニタ基板13が設けられている。このモニタ基板13に光学式膜厚モニタ部17から出される光を当てて反射させるようにしている。光学式膜厚モニタ部17は、モニタ基板13から反射されてきた光を受け入れて光量の変化を測定するようになっている。
【００６０】
レーザーバー100aへの蒸着処理を行うに当たっては、まず、回転ドーム12にレーザーバー100aの蒸着被覆面が蒸着源に向くように固定用治具10を取り付ける。また、ルツボ14に、蒸着材料となるたとえばAl2O3,Siを装填する。
そして、チャンバー11内を排気口18から排気して真空引きを行い所定の真空度にする。
【００６１】
次に、光学式膜厚モニタ部17から光を出して、モニタ基板13に当てる。モニタ基板13から反射した光を光学式膜厚モニタ部17で受光して、光量の変化を測定していく。
【００６２】
以上の準備が整ったら、回転ドーム12を回転させながら、EBガン15の出力を徐々に大きくしていき、ルツボ14内の蒸着材料にEBガン15からイオンビームを照射して蒸着材料を蒸発させてドーム側に飛ばし、レーザーバー100aに反射膜を成膜していく。なお、回転ドーム12を回転させるのは、均一な反射膜を形成するためである。
【００６３】
また、EBガン15の照射と同時にイオンガン16の照射も行う。イオンガン16は、ドーム側に飛んでいる蒸発した蒸着材料をレーザーバー端面に付着しやすくし、かつ、着いた膜が剥がれにくくするために照射している。
【００６４】
そして、光学式膜厚モニタ部17で測定している光量の変化が任意の変化量となったところでEBガン15の出力を停止し、回転ドーム12の回転を停止させる。そして、チャンバー11内を冷却した後、チャンバー11内の真空状態を解除し、チャンバー11内から固定用治具10を取り出すことによりレーザーバー100aの蒸着処理が完了する。
【００６５】
以上のように、本実施形態によれば、レーザーバー100aを保持用バー2の間に配置させて、レーザーバー100aを保持用バー2で保持するようにしているので、レーザーバー100aの蒸着被覆面となる端面の一部が他の部材で覆われることなく、端面全面に反射膜を形成することができる。
【００６６】
しかも、複数のレーザーバー100aの長さが異なっても一つの固定用治具10で各レーザーバー100aを保持して、一度に多数のレーザーバーの蒸着が行える。特に、一部のレーザーバーが折れた場合でも、この折れたレーザーバーを他のレーザーバーとともに蒸着処理を行うことができる。このように、レーザーバーの長さに関係なく複数のレーザーバーの蒸着処理を一度に行えるので固定用治具としての汎用性が高くなる。
【００６７】
特に、保持用バー2の保持面21を、レーザーバー100aの表面摩擦係数とほぼ同等の摩擦係数にしているので、保持用バー2によるレーザーバー100aの保持を良好に行える。
しかも、一度に多数のレーザーバーの蒸着が行えるので、レーザーバーの固定用治具への取り付け、取り外し作業が容易となる。
【００６８】
さらに、本実施形態では、レーザーバー100aを保持する保持用バー2が棒状であるため、蒸着中に保持用バー2が熱によってほとんど変形（捻れ）せず、レーザーバー100aの変形も起こりにくい。
【００６９】
しかも、レーザーバー100aの蒸着被覆面である端面から電極を有する表面の一部、即ち、保持用バー2から突出した部分だけ回り込ませて蒸着を行うようにしているので、レーザーバー100aの端面全面に均一な反射膜を形成することができる。
【００７０】
また、押圧部4のばねネジ41で保持用バー2を押圧するようにしているので、保持用バー2とレーザーバー100aとの接触面圧を大きくでき、保持用バー2によってレーザーバー100aを確実に保持することができる。
【００７１】
さらに、本実施形態では、押圧部4で保持用バー2を押圧するようにしているので、レーザーバー100aの一部が支持台3から落下して、保持用バー2の間に隙間が生じても、保持用バー2の間の隙間を無くすことができる。その結果、レーザーバー100aの一部が落下しても、他のレーザーバー100aが傾くことなく保持用バー2で保持することができ、レーザーバー100aの端面に正確な膜厚の反射膜を形成できる。
【００７２】
また、本実施形態では、押え用覆部5により保持用バー2の両端部を覆って支持台3から落ちないように支持しているので、レーザーバー100aの蒸着被覆面となる端面全面を露出させた状態で保持用バー2が支持台3から落ちないようにすることができる。
なお、前記実施形態では、蒸着によりレーザーバーに反射膜を形成した場合について説明したが、本発明の固定用治具はスパッタリングにより反射膜を形成する場合にも適用できる。
【００７３】
【発明の効果】
本発明の固定用治具は、レーザーバーを保持用バーの間に配置させて、レーザーバーを保持用バーで保持するようにしているので、レーザーバーの蒸着被覆面となる端面の一部が他の部材で覆われることなく、端面全面に確実に反射膜を形成することができる。しかも、レーザーバーに損傷、変形が起こることなくレーザーバーの蒸着が行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明にかかる半導体レーザーバーの固定用治具の平面図である。
【図２】  図１に示す固定用治具のX-X断面図である。
【図３】  半導体レーザーバーの固定用治具が装着される蒸着装置の全体概略構成図である。
【図４】  固定用治具を蒸着装置内のホルダーに取り付けた状態を示す部分断面図である。
【図５】  半導体ウエハーを劈開してバー状にする工程を示す説明図であって、(A)は劈開する前の状態を示し、(B)は劈開してレーザーバーが形成された状態を示す。
【図６】  従来の固定用治具を示す斜視図である。
【符号の説明】
1  真空蒸着装置      11  チャンバー      12回転ドーム      121取付孔
13  モニタ基板      14  ルツボ      15  イオンビームガン(EBガン)
16  イオンガン      17  光学式膜厚モニタ部      18  排気口
10  固定用治具
2  保持用バー      21  保持面
3  支持台          31  取付板      32  支持板      321設置面
33  支持枠体    331  当接部      332  支持壁部      333  押え固定部
4  押圧部          41  ばねネジ      42  ネジ孔
5  押え用覆部      51  長尺板状部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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