(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学的異方性の溶融相を形成し得る熱可塑性ポリマー（以下、これを熱可塑性液晶ポリマーと称する）からフィルムを作製するにあたり、溶融させた熱可塑性液晶ポリマーを斜行マンドレルを経て環状ダイからチューブ状に押出し、内圧をかけることにより膨張させた後、冷却固化させて上記フィルムを得るインフレーション製膜装置において、
環状ダイの内周壁と外周壁を、同一方向かつ同一回転数で、溶融させた熱可塑性液晶ポリマーが斜行マンドレルを通過するときに発生する斜行流の流れ方向と逆方向に回転させることにより、溶融させた熱可塑性液晶ポリマー分子の斜行流によって斜め方向に配向した配向姿勢を垂直方向に矯正することを特徴とするインフレーション製膜装置。
【請求項２】
溶融させた熱可塑性液晶ポリマーを斜行マンドレルを経て環状ダイからチューブ状に押出し、内圧をかけることにより膨張させた後、冷却固化させて上記フィルムを得るインフレーション製膜方法において、
環状ダイの内周壁と外周壁を、同一方向かつ同一回転数で、溶融させた熱可塑性液晶ポリマーが斜行マンドレルを通過するときに発生する斜行流の流れ方向と逆方向に回転させることにより、溶融させた熱可塑性液晶ポリマー分子の斜行流によって斜め方向に配向した配向姿勢を垂直方向に矯正することを特徴とするインフレーション製膜方法。
【請求項３】
請求項２の製膜方法により得られる熱可塑性液晶ポリマーからなるフィルム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インフレーション製膜装置および製膜方法並びに光学的異方性の溶融相を形成し得る熱可塑性ポリマー（以下、これを熱可塑性液晶ポリマーと称する）からなるフィルム（以下、これを熱可塑性液晶ポリマーフィルムと称する）に関する。さらに詳しくは、本発明による熱可塑性液晶ポリマーフィルムは、熱可塑性液晶ポリマーを原料とし、これに由来する各種の優れた特性を発揮できるので、回路基板、特に精密回路基板の電気絶縁材料などとして有用なものである。
【０００２】
【従来の技術】
熱可塑性液晶ポリマーフィルムは、(1) 金属箔と直接熱接着できる、(2) 耐熱性である、(3) 低吸湿性である、(4) 熱寸法安定性に優れている、(5) 湿度寸法安定性に優れている、(6) 高周波特性に優れている、(7) 有毒なハロゲンや燐およびアンチモン等の難燃剤を含有しなくても難燃性である、(8) 耐放射線性に優れている、(9) 熱膨張係数を制御できる、(10)低温でもしなやかであるなどの特長を有するために、回路基板の電気絶縁材料として理想的な材料の一つとされている。したがって、熱可塑性液晶ポリマーフィルムを電気絶縁材料とする回路基板、特に精密回路基板の実現が要望されている。
【０００３】
ところが、熱可塑性液晶ポリマー分子は、製膜装置におけるダイのスリットから吐出させると、吐出方向に分子が配向し、そのままでは分子の大部分が殆ど同一方向（フィルムの長手方向、すなわちＭＤ方向）に配向する。したがって、得られるフィルムはＭＤ方向に裂け易いばかりでなく、ＭＤ方向とこれに直交する方向（ＴＤ方向）とで、熱膨張係数や熱寸法変化率などの物性の異なる熱可塑性液晶ポリマーフィルムとなる。つまり、ＭＤ方向とＴＤ方向とで物性が異なることを異方性、逆に殆ど等しいことを等方性と称すれば、上記の製膜装置のダイから溶融ポリマーを吐出して得られる熱可塑性液晶ポリマーフィルムは異方性である。
【０００４】
かかる異方性フィルムは、ＭＤ方向とＴＤ方向とで熱寸法変化率や熱膨張係数が異なるため、回路基板、特に精密回路基板の絶縁材料として用いるとき、回路基板の製造途中で、回路基板に反りや歪みが発生したり、回路基板上の回路配線が位置ずれを起したりする。
【０００５】
この異方性を緩和するため、従来より次のような種々の方法が提案されてきた。
（１）環状スリットの内外周壁が互いに反対方向に回転する可動ダイリップを用いて溶融液晶ポリマーを吐出させる、いわゆる回転ダイによるインフレーション製膜方法（特表平３−５０４９４８号公報、特表平４−５０６７７９号公報）。
（２）多層Ｔダイの各層の吐出方向を交差させる製膜方法（特開平２−８９６１７号公報、特開昭６３−２６４３２３号公報）。
（３）Ｔダイで横方向に磁場をかける製膜方法（特開昭６３−２４２５１３号公報）。
（４）Ｔダイなどを用いて得られる異方性液晶ポリマーフィルムを、合成樹脂フィルムとラミネートし、このラミネート体を横延伸（ＭＤ方向よりも大きい延伸倍率でＴＤ方向に延伸）する後加工方法（特開平７−３２３５０６号公報、特開平７−２５１４３８号公報、特開平９−１３１７８９号公報）。
（５）静止環状ダイを用いて、溶融液晶ポリマーをチューブ状に吐出させ、チューブ内に気体を吹き込んで内部から圧力をかけることにより膨張せしめて延伸させるインフレーション製膜方法（特開平２−３４３０号公報、特開平２−８８２１２号公報）などである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記（１）と（２）の方法は、フィルムの表面と裏面における熱可塑性液晶ポリマー分子の配向方向が交差するので、厚さ方向の全体としての配向バランスは保たれるが、特殊なダイから吐出された溶融液晶ポリマーは、ダイから吐出された直後の溶融状態から冷却固化され、半溶融状態を経てさらに冷却されて固化に至るフィルム形成過程において、バブルのネックとエクスパンドの表、裏面において収縮する方向が交差する。このため、表面と裏面で方向の異なる収縮応力が発生し、ネックとエクスパンドが捩れるように応力が作用し、形状が変わり易くて不安定となり、長時間安定した製膜が困難となるだけでなく、実用し得る均一膜厚のフィルムが得られ難い。
【０００７】
上記（３）の方法は、物理化学的には異方性緩和の効果が得られる可能性はあるが、磁場による作用は小さいので、ポリマー分子の配向角を効果的に変化させるためには長時間を必要とする。したがって、実際の製膜時における異方性緩和には適用困難で、実用可能な等方性フィルムを効果的に得ることは難しい。
【０００８】
上記（４）の方法は、異方性緩和という目的に対しては有効であり、実用可能な等方性フィルムを得ることができるが、生産効率の点で問題がある。
【０００９】
上記（５）の方法は、異方性をほぼ完全に解消するために、バブルの内圧を大きくして横方向の延伸倍率を大とすれば、環状ダイ吐出直後のネックに溶融液晶ポリマーの収縮作用によって捻じれが発生し、ネック形状が製膜方向に対し変化し易くなる。このため、バブルが不安定となり、得られるフィルムの膜厚分布が不均一になり易い。しかし、この方法は生産効率が高いので、安価で実用可能な熱可塑性液晶ポリマーフィルムを工業的に生産するのに適している。
【００１０】
そこで本発明者等は、上記（５）の方法を利用し、これの問題となっているネックの捻じれを解消してバブルの安定性を向上させ、得られるフィルムの膜厚分布を小さくすることについて鋭意研究した結果、新たな有効な手段を見出した。以下、このことについて、図面を挙げて詳細に説明する。
【００１１】
図１は、インフレーション製膜を行う場合の概略説明図である。図１（ａ）において、押出機１から押出された溶融させた熱可塑性液晶ポリマー（以下、これを溶融液晶ポリマーと称する）は、斜行マンドレル２を経て環状ダイ３からチューブ状に吐出され、内部に導入した気体の圧力で膨張してバブル４となる。そして、バブル４が冷却固化されて熱可塑性液晶ポリマーフィルム８となり、複数のガイドローラによりターレットワインダー９へと案内される。
【００１２】
また、前記バブル４は、図１（ｂ）のように、液晶ポリマーの流れ方向に沿って、ネック７、エクスパンド６、シリンダー５に分かれる。このネック７は、ダイ３の環状スリットより吐出された溶融液晶ポリマーが形成する径の比較的小さいシリンダー状部分である。バブル４に空気あるいは窒素などの気体を導入して内圧を高めることにより、バブル４は径方向外方に膨張して径を増大させる。実際に径が増大する領域をエクスパンド６と称する。高温の溶融液晶ポリマーは、ダイ３より吐出された直後より冷却され、ネック７の領域とエクスパンド６の領域において徐々に冷却されて固化する。冷却固化されてもはや径が変化しない領域をシリンダー５と称する。
【００１３】
上記の製膜装置による製膜時に、従来ではネック７の不安定な動きが見られ、この現象は、その形状の経時的変動による揺れや円周方向の回転などに起因するものと考えられていた。そこで、これを解消するために、溶融液晶ポリマーの温度分布、環状ダイ３の真円性、円周方向の温度の均一性、ダイスリット間隔の円周方向の均一性、ネック７およびエクスパンド６の領域において外周より接触する冷却風の温度、風速などの均一性を図り、バブル４の周囲の環境条件を徹底的に改善した。それにもかかわらず、ネック７の不安定な動きは解消されなかった。
【００１４】
本発明者らは、前記ネック７の動きを詳細に観察し、測定して分析した結果、ネック７は、実際には形状が経時的に変動しているのではなく、またネック７は円周方向に回転しているのでもないことを知り、ネック７の本当の捻じれ原因を見出した。このネック７の捻じれとは、図２の（ａ）に示すように、タオルを絞ったときに見られるような僅かな形状の捩れである。通常の製膜時において実際に観察されるネック７の形状は、図２（ｂ）のように、詳細に観察しない限り捻じれ形状であることが、判別できない程度のゆるやかな形状の歪みである。
【００１５】
このネック７の捻じれ形状は、下方から上方への移動７０に伴って、あたかも理容店の赤青白のしま模様の回転塔のように、ネック７が方向７２の向きに回転しているように錯覚されていたことが判明した。さらに詳しく言えば、理容店の回転塔は捻じれ縞模様が回転しており、縞模様が上方あるいは下方へ連続的に移動しているように見える。一方、インフレーション製膜時のネック７は、逆に捻じれ形状が上方に連続的に移動しているために、ネック７が回転しているように錯覚される。このことは、ネック長さを十分に大きくするような押出条件あるいはバブル内圧を低下させるなどの条件を採用することにより、捻じれ形状を激しく発生させれば、明瞭に観察できる。捻じれ形状の上方への移動を考慮すれば、ネック回転の錯覚の他に、ネック７の揺れ（幅方向７１の揺れ）の錯覚もあることが容易に理解される。
【００１６】
かかるネック７の捻じれは、熱可塑性液晶ポリマー特有の現象であって、ポリエチレン、ポリプロピレンなど通常のポリマーのインフレーション製膜時には観察されない。
【００１７】
そこで、何故に熱可塑性液晶ポリマーだけに捻じれが発生するかについて、さらに原因究明を行ったところ、溶融液晶ポリマーが斜行マンドレル２を流れるときに発生する斜行流に起因することを解明した。
斜行マンドレル２は、回転ダイ３における溶融液晶ポリマーの流れ方向の上流側に配置され、押出機１から押出される溶融液晶ポリマーを混合および整流またはその何れかを行って、この溶融液晶ポリマーの流れを均一化するために設けられる。その典型的なものは、いわゆるスパイラルマンドレルと称されるものであり、以下、このスパイラルマンドレル２に基づいて説明する。
【００１８】
このスパイラルマンドレル２は、図３に示すように、内子２１と外子２２を備え、この内子２１の外周壁には同方向に延びる複数条の螺旋状の溝２３を形成している。そして、内子２１の下方に設けた導入口２４から導入する溶融液晶ポリマーを、溝２３の内部またはその周りに沿って案内させながら、内子２１と外子２２の間に設けたギャップ２５の上端からダイ部３に導き、マンドレル部エア通路２６から導入された空気はダイ部エア通路２５を経て溶融液晶ポリマー内部に入って、バブル４を形成する。前記の各溝２３は、マンドレル２の下方から上方に行くに従って徐々に深さが浅くなるように形成されている。このとき、ギャップ２５における溶融液晶ポリマーの主たる流れは、溝２３の内部を流れる斜行流と、溝外を流れるか、溝２３を乗り越えまたは溝２３から溢れ出るかして、垂直方向上方へと流れる垂直流である。また、溝２３は、下方から上方に行くに従って深さが徐々に浅くなるので、溝２３内を斜行流として流れる溶融液晶ポリマーは、上方へ進むに従って溝外へ溢れ出して、垂直流となる。このように、マンドレル２においては、斜行流と垂直流が互いに接触し、また斜行流が垂直流に変わっていく過程で、溶融液晶ポリマーの混合・均一化が行われる。
【００１９】
また、斜行流は溝２３に沿って流れるとき、斜め方向の剪断力を受けるので、剪断力の方向に配向し易い液晶ポリマー分子は、斜めに配向する傾向にある。一方、垂直流においては、剪断力が垂直方向に作用するので、垂直流における液晶ポリマー分子は、垂直に配向する傾向にある。これらのことは、スパイラルマンドレルだけでなく、全ての斜行マンドレルに共通して起る。
【００２０】
しかしながら、溶融液晶ポリマーは剛直な長い分子であるため、分子の向きをすばやく瞬間的に変えることは難しい。このため、斜行流にある斜めに配向している分子が垂直流に侵入したとしても、斜めに配向したまま垂直に流れる傾向がある。むろん、しばらく垂直流に存在すれば、垂直流に沿って配向するように、剪断力が作用するので、いつまでも斜めに配向したままではなく、当初の傾きは緩和されて、より垂直方向に近い配向になる。
【００２１】
そして、垂直に配向した溶融液晶ポリマー分子と斜めに配向した溶融液晶ポリマー分子とが混在した垂直流が、マンドレル上端に達し、ダイ３を経て外部に吐出されて、バブル４のネック７を形成することになる。すなわち、ネック７を構成する溶融液晶ポリマー分子は、垂直に配向した分子と、斜め方向に傾いて配向した分子とからなり、ネック７の全体としては、平均して垂直方向よりも斜め方向に傾いて配向した分子の方が多い傾向にある。
【００２２】
さらに、溶融液晶ポリマーは、冷却されると、液晶ポリマー分子の配向方向よりも、配向方向に対し直交する方向に強い収縮が起こる。したがって、図４のように、液晶ポリマー分子の配向方向７３に対して直交する方向で、ネック７に対しては斜め向きの冷却収縮応力７４が発生する。そして、この冷却収縮応力７４がネック７に捻じれを与える原因となる。
【００２３】
つまり、ネック７の上端側は下部側に対し冷却されて固くなりつつあり、しかも上端はエクスパンド６に固定されて回転できないのに対し、下端側は高温溶融状態にあって柔らかいので、冷却収縮応力７４により円周方向への回転力を受ける。また、このとき溶融液晶ポリマーは、回転力に完全に追従するほどには軟らかくはないので、図２のように、ネック７には、タオルを絞ったときのように捩じれが発生する。そして、このネック７が捩じれたままの状態でエクスパンド６で膨張され、これが冷却固化されてシリンダー５となり、最終的に熱可塑性液晶ポリマーフィルム８となるので、フィルム８に捩れが残って、この捩れがフィルム８の膜厚分布を不均一にする。
【００２４】
そこで、製膜時にネックへの捻じれの発生を防止するための研究を行ったところ、環状ダイの内周壁と外周壁を、溶融液晶ポリマーが斜行マンドレルを通過するときに発生する斜行流の流れ方向と逆方向に、同方向かつ同回転数で回転させれば、斜行流にある斜め方向に配向した溶融液晶ポリマー分子の配向姿勢が垂直方向に矯正されて、ネックに発生する捻じれを解消できることを見出し、本発明をなすに至った。しかして、本発明の目的は、製膜時にネックに捻じれが発生するのを解消して、膜厚分布が均一な熱可塑性液晶ポリマーフィルムを得るようにすることにある。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明のインフレーション製膜装置は、溶融液晶ポリマーを斜行マンドレルを経て環状ダイからチューブ状に押出し、内圧をかけることにより膨張させた後、冷却固化させて熱可塑性液晶ポリマーフィルムを得るインフレーション製膜装置であって、環状ダイの内周壁と外周壁を、同一方向かつ同一回転数で、溶融させた熱可塑性液晶ポリマーが斜行マンドレルを通過するときに発生する斜行流の流れ方向と逆方向に回転させることにより、溶融させた熱可塑性液晶ポリマー分子の斜行流によって斜め方向に配向した配向姿勢を垂直方向に矯正することを特徴とする。
【００２６】
上記の製膜装置による製膜時に、環状ダイの内周壁と外周壁を、溶融液晶ポリマーが斜行マンドレルを通過するときに発生する斜行流の流れ方向と逆方向に、同方向かつ同回転数で回転させることにより、斜行流にある斜め方向に配向した溶融液晶ポリマー分子の配向姿勢が垂直方向に矯正されるので、バブルのネックに捻じれが発生しない。このため、得られる熱可塑性液晶ポリマーフィルムは、膜厚分布が均一となって良好なものとなる。
【００２７】
本発明に使用される熱可塑性液晶ポリマーの原料は特に限定されるものではないが、その具体例として、以下に例示する（１）から（４）に分類される化合物およびその誘導体から導かれる公知のサーモトロピック液晶ポリエステルおよびサーモトロピック液晶ポリエステルアミドを挙げることができる。但し、光学的に異方性の溶融相を形成し得るポリマーを得るためには、各々の原料化合物の組み合わせには適当な範囲があることは言うまでもない。
【００２８】
（１）芳香族または脂肪族ジヒドロキシ化合物（代表例は表１参照）
【００２９】
【表１】
0004060983.tif 000002
【００３０】
(２）芳香族または脂肪族ジカルボン酸（代表例は表２参照）
【００３１】
【表２】
0004060983.tif 000003
【００３２】
（３）芳香族ヒドロキシカルボン酸（代表例は表３参照）
【００３３】
【表３】
0004060983.tif 000004
【００３４】
（４）芳香族ジアミン、芳香族ヒドロキシアミンまたは芳香族アミノカルボン酸（代表例は表４参照）
【００３５】
【表４】
0004060983.tif 000005
【００３６】
これらの原料化合物から得られる熱可塑性液晶ポリマーの代表例として表５に示す構造単位を有する共重合体（ａ）〜（ｅ）を挙げることができる。
【００３７】
【表５】
0004060983.tif 000006
【００３８】
また、本発明に使用される熱可塑性液晶ポリマーとしては、フィルムの所望の耐熱性および加工性を得る目的においては、約２００〜約４００℃の範囲内、とりわけ約２５０〜約３５０℃の範囲内に融点を有するものが好ましいが、フィルム製造の観点からは、比較的低い融点のものが好ましい。したがって、より高い耐熱性や融点が必要な場合には、一旦得られたフィルムを加熱処理することによって、所望の耐熱性や融点にまで高めることが有利である。加熱処理の条件の一例を説明すれば、一旦得られたフィルムの融点が２８３℃の場合でも、２６０℃で５時間加熱すれば、融点は３２０℃になる。
【００３９】
さらに、以上の環状ダイには、溶融液晶ポリマーの流れ方向に複数に分割された分割回転部を設けて、これらの分割回転部を、同一方向かつ同一回転数で、溶融液晶ポリマーが斜行マンドレルを通過するときに発生する斜行流の流れ方向と逆方向に回転させ、このとき流れ方向の上流側に配置する分割回転部の回転数に対し、下流側の分割回転部の回転数を大とするようにしてもよい。このようにすれば、環状ダイの構成が若干複雑となるものの、バブルのネックに捻じれが発生するのを一層確実に防止できて、より良好な熱可塑性液晶ポリマーフィルムが得られる。
【００４０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図５は、本発明に用いる環状ダイ３の一例を示している。このダイ３は、図３に示すスパイラル（斜行）マンドレル２の溶融液晶ポリマー流れ方向の下流側に組付けるもので、内子３１と外子３２を備え、そのポリマー流れ方向の下流側には、本発明で言うところの内、外周壁を形成する回転部３３を配置している。この回転部３３は、内子３１に対向する円盤状の第１分割部３３ａ（内周壁）と、外子３２に対向するドーナツ状の第２分割部３３ｂ（外周壁）とからなる。前記の内子３１、外子３２と各分割部３３ａ、３３ｂの間には、スパイラルマンドレル２から供給される溶融液晶ポリマーが流れるギャップ３４を形成し、また内子３１と第１分割部３３ａの中心には、バブル４に内圧をかけるためのエア通路３５を貫通して形成している。さらに、各分割部３３ａ、３３ｂは、周方向に間隔を有して配置された複数の連結具３６により互いに結合して、第２分割部３３ｂに設けたギヤ３７により一体回転させる。このギヤ３７は、モータ３８に連結したモータギヤ３９で回転駆動させる。そして製膜時に、モータ３８により各分割部３３ａ、３３ｂを、同一方向かつ同一回転数で、溶融液晶ポリマーが斜行マンドレルを通過するときに発生する斜行流の流れ方向と逆方向に回転させる。
【００４１】
図６は、他の実施形態にかかる環状ダイ３を示している。このダイ３は、内子３１と外子３２を備え、その溶融液晶ポリマー流れ方向の上流側に第１回転部４１を、その下流側にさらに第２回転部４２を配置するとともに、これら各回転部４１、４２に第１および第２ギヤ４３、４４を設けている。そして、これらギヤ４３、４４をそれぞれ個別にモータに連結されたギヤ（図示せず）に連結して、この各ギヤにより各回転部４１、４２を、溶融液晶ポリマーがスパイラル（斜行）マンドレル２（図３）を通過するときに発生する斜行流と逆方向で同一方向に回転させ、このとき上流側の第１回転部４１に対して下流側の第２回転部４２の回転数を大とする。これにより、溶融液晶ポリマーの回転が２段階で円滑に抑制される。前記第１、第２回転部４１、４２は、図５の場合と同じく２つの分割部４１ａ、４１ｂおよび４２ａ、４２ｂ（何れも内、外周壁）に分割されており、これらを複数の連結具により互いに結合して、同一方向に回転させるものとする。この場合も、内、外子３１、３２と各回転部４１、４２の分割部４１ａ、４１ｂおよび４２ａ、４２ｂの間にギャップ４５を形成し、また内子３１と各回転部４１、４２の中心には、エア通路４６を貫通して形成する。
【００４２】
次に、以上の環状ダイ３を用いて製膜するときの具体的な実施例を挙げて説明する。
実施例１
まず、環状ダイ３を組付ける斜行マンドレル２としては、内子２１の最上端部外形４５ｍｍ、外子２２の内径５０ｍｍ、溝２３の本数４本、溝２３のヘリカル角度１８．５°、溝２３の最大深さ８ｍｍ、溝２３の最小深さ０ｍｍ、溝２３のピッチ１４ｍｍである（図３参照）。
【００４３】
また、環状ダイ３としては、図５のものを用いた。このダイ３は、回転部３３における第１分割部３３ａの外径３９ｍｍ、第２分割部３３ｂの内径４０ｍｍ、回転部３３の全体の厚み２０ｍｍである。これら各分割部３３ａ、３３ｂには、円周方向に等間隔に８個の連結用穴（直径６ｍｍ、深さ２ｍｍ）を形成し、これにステンレス製の連結具３６を介入して連結することにより、それぞれ一体回転可能に固定している。このとき、上記の斜行マンドレル２とダイ３を用いて、その回転部３３を回転させることなく、停止した状態で溶融液晶ポリマーを吐出させると、ポリマーが斜行マンドレル２を通過するとき、反時計回りの斜行流が発生する。そして、バブル４のネック７においては、斜行流にある斜め方向に配向したポリマー分子に対して直交する方向に強い収縮応力が作用するので、ネック７にはポリマーの流れ方向下流側（図の上方側）から見て時計回り方向の捩れが発生する（図４および後述の比較例１参照）。
【００４４】
次に、環状ダイ３に設けた回転部３３の各分割部３３ａ、３３ｂを、溶融液晶ポリマーが斜行マンドレル２を通過するときに発生する斜行流の流れ方向とは逆方向に、つまり同図の上方側から見て時計回り方向に、同一方向に毎分０．２５回転の同一回転数で回転させる。そして、ｐ−ヒドロキシ安息香酸と６−ヒドロキシ−２−ナフトエ酸の共重合物で、融点が２８０℃の熱可塑性液晶ポリマーを吐出量２０Ｋｇ／時で溶融押出し、エア通路３５からバブル４内にエアを吹き込むことにより、横延伸倍率４．７７倍、縦延伸倍率２．０９倍の条件でインフレーション製膜を行った。
【００４５】
実施例１によれば、バブル４のネック７に捻じれが発生することなく、安定した製膜ができ、平均膜厚５０μｍ、膜厚分布±７％で、均一膜厚の良好な熱可塑性液晶ポリマーフィルムが得られた。
【００４６】
比較例１
実施例１において、環状ダイ３の回転部３３を回転停止した以外は実施例１と同様にして、インフレーション製膜を行った。この結果、製膜時にバブル４のネック７に捻じれが観察され、得られた熱可塑性液晶ポリマーフィルムの膜厚分布は±１１％で膜厚が不均一となった。
【００４７】
実施例２
斜行マンドレル２として、実施例１と同じものを用いた。また、環状ダイ３としては、図６に示すものを用いた。このダイ３は、第１回転部４１の厚み１５ｍｍ、第２回転部４２の厚み５ｍｍである。そして、第１および第２回転部４１、４２を、それぞれ溶融液晶ポリマーの流れの下流側から見て時計回り方向に回転させた。このとき、第１回転部４１は毎分０．１５回転で、また第２回転部４２は毎分０．３回転の回転数で回転させた。それ以外は、実施例１と同様にしてインフレーション製膜を行った。
【００４８】
実施例２の製膜装置によれば、バブル４のネック７に捻じれが発生することなく、安定した製膜ができ、平均膜厚５０μｍ、膜厚分布±５％で、均一膜厚の良好な熱可塑性液晶ポリマーフィルムが得られた。
【００４９】
比較例２
実施例２において、環状ダイ３の各回転部４１、４２を回転停止した他は実施例２と同様にして、インフレーション製膜を行った。この結果、製膜時にバブル４のネック７に捻じれが観察され、得られた熱可塑性液晶ポリマーフィルムの膜厚分布は±１１％で膜厚が不均一となった。
【００５０】
【発明の効果】
本発明によれば、製膜時にバブルのネックに捻じれが発生するのを解消できて、膜厚分布が均一な熱可塑性液晶ポリマーフィルムを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】インフレーション製膜を行う場合の概略説明図で、（ａ）は同製膜装置の側面図、（ｂ）は得られるバブルを説明する側面図である。
【図２】従来の製膜時に発生するネックの捩じれ状態の説明図で、（ａ）は捩じれ状態の模式図、（ｂ）は製膜時に実際に観察される捩じれ状態図である。
【図３】スパイラルマンドレルの断面図である。
【図４】従来の製膜時にネックに発生する収縮応力を説明する側面図である。
【図５】本発明で用いる環状ダイの断面図である。
【図６】本発明で用いる別の環状ダイの断面図である。
【符号の説明】
２…斜行マンドレル、３…環状ダイ、４…バブル、７…ネック、８…熱可塑性液晶ポリマーフィルム。
【図１】
0004060983.tif 000007
【図２】
0004060983.tif 000008
【図３】
0004060983.tif 000009
【図４】
0004060983.tif 000010
【図５】
0004060983.tif 000011
【図６】
0004060983.tif 000012