(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに交差する複数本の信号線と複数本の走査線との各交点近傍にスイッチ素子を介して配置される画素電極を含むアレイ基板と、
この画素電極に対向する対向電極と、
前記画素電極と前記対向電極との間の電位差に基づいて制御される光変調層とを含む表示パネルと、
前記信号線に映像信号電圧を印加する映像信号供給手段と、
前記走査線に前記スイッチ素子をＯＮする第１電圧と前記スイッチ素子をＯＦＦする第２電圧を含む走査信号を供給する走査信号供給手段と、
前記対向電極に対向電極電圧を供給する対向電極駆動手段と、
を備えたアクティブマトリクス型表示装置において、
前記アレイ基板は、前記信号線を互いに電気的に第１非線形素子を介して接続すると共に前記対向電極駆動手段に電気的に接続されるショートリングの第１支線と、前記第１支線に印加される前記対向電極電圧を前記映像信号の平均電圧に調整する第１非線形抵抗回路と、
前記アレイ基板は、前記走査線を互いに電気的に第２非線形素子を介して接続すると共に前記対向電極駆動手段に電気的に接続される前記ショートリング第２支線と、前記第２支線に印加される前記対向電極電圧を前記第２電圧に調整する第２非線形抵抗回路と、
を備えたアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項２】
前記スイッチ素子は、前記信号線に接続されるドレイン電極、前記走査線に接続されるゲート電極、前記画素電極に接続されるソース電極を備えた薄膜トランジスタから構成され、
前記第２非線形抵抗回路は、ゲート電極とソース電極との間が短絡された二端子第１薄膜トランジスタと、ゲート電極とドレイン電極との間が短絡された二端子第２薄膜トランジスタとを含み、前記二端子第１薄膜トランジスタと前記二端子第２薄膜トランジスタとが互いに並列接続されて第１非線形抵抗体を含む、
請求項１記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項３】
前記薄膜トランジスタと前記第２非線形抵抗体とは、同一工程で形成されて成る、
請求項２記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項４】
前記第２非線形抵抗回路は、前記第２非線形抵抗体が互いに直列接続されて成る、
請求項２記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項５】
前記第２非線形抵抗回路は、前記第２非線形抵抗体が互いに並列接続されて成る、
請求項２記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項６】
前記第２支線及び前記第１支線は、互いに電気的に接続される、
請求項１記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項７】
前記第２非線形素子は、ゲート電極とソース電極との間が短絡された二端子第１薄膜トランジスタと、ゲート電極とドレイン電極との間が短絡された二端子第２薄膜トランジスタとを含み、前記二端子第１薄膜トランジスタと前記二端子第２薄膜トランジスタとが互いに並列接続された第１非線形スイッチを含む、
請求項１記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項８】
前記第２非線形素子は、前記第２非線形スイッチが互いに直列接続されて成る、
請求項７記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項９】
前記第２非線形素子は、前記第２非線形スイッチが互いに並列接続されて成る、
請求項７記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項１０】
前記スイッチ素子は、前記信号線に接続されるドレイン電極、前記走査線に接続されるゲート電極、前記画素電極に接続されるソース電極を備えた薄膜トランジスタから構成され、
前記第１非線形抵抗回路は、ゲート電極とソース電極との間が短絡された二端子第１薄膜トランジスタと、ゲート電極とドレイン電極との間が短絡された二端子第２薄膜トランジスタとを含み、前記二端子第１薄膜トランジスタと前記二端子第２薄膜トランジスタとが互いに並列接続されて第１非線形抵抗体を含む、
請求項１記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【請求項１１】
前記第１非線形抵抗素子は、ゲート電極とソース電極との間が短絡された二端子第１薄膜トランジスタと、ゲート電極とドレイン電極との間が短絡された二端子第２薄膜トランジスタとを含み、前記二端子第１薄膜トランジスタと前記二端子第２薄膜トランジスタとが互いに並列接続された第１非線形スイッチを含む、
請求項１記載のアクティブマトリクス型表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マトリクス配線を含む表示装置に係り、特に静電気対策が施されたアクティブマトリクス型表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
平面表示装置、中でも液晶表示装置は、薄型、軽量に加え低消費電力であることから、各種分野で利用されるようになってきた。中でも、各表示画素毎にスイッチ素子が設けられたアクティブマトリクス型液晶表示装置は、隣接画素間でクロストークを最小に抑えることができるため、特に高精細な表示画像が要求される分野で使用されている。
【０００３】
例えば、このアクティブマトリクス型液晶表示装置は、アレイ基板と対向基板の間に、配向膜を介してツイスト・ネマチック（ＴＮ）型液晶が保持されて成る。
【０００４】
アレイ基板は、複数本の信号線と複数本の走査線とが互いに絶縁膜を介してマトリクス状に配線され、各交点近傍にスイッチ素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等の能動素子を介して画素電極が配置されて成る。また、対向基板は、画素電極に対向する対向電極を含む。
【０００５】
ところで、このようなアレイ基板には、通常、ガラスや石英等の透明絶縁基板が用いられるが、絶縁基板であるが故に、製造途中で生じる静電気の影響を受ける。即ち、信号線と走査線との交差部に静電気の影響により高電圧が印加され、これにより絶縁不良が生じ、信号線と走査線とが短絡する、あるいは薄膜トランジスタの素子不良を招くといった不具合が生じる。
【０００６】
そこで、従来より、信号線や走査線にチャージされる電荷を、互いに共通な導体配線（ショートリング）で接続することで分配し、これにより局所的に高電圧が印加されることを防止する技術が知られている。しかしながら、このショートリングは最終行程で除去する必要があるため、その後に生じる静電気に基づく製造不良を低減することができない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
このような中、例えば、特開昭６３−２２０２８９号等に開示されるように、信号線や走査線を、ショートリングで直接接続するのではなく、例えば通常の動作電圧に基づく電位差以上の高電位差が生じた場合のみショートリングと接続されるように、スイッチ素子を介して信号線や走査線をショートリングに接続することが知られている。この構成によれば、ショートリングを除去する必要がないため、静電気に伴う製造不良を大幅に低減することができる。
【０００８】
しかしながら、本発明者等の鋭意研究の結果、上述した構成によれば、消費電流が増大することがわかった。
【０００９】
ところで、信号線の電圧の低下を抑制することができ、また、信号線に電圧を印加するための外部駆動回路の出力インピーダンスを、従来より高い値に設定できる液晶表示装置が提案されている（特開平９−９０４２８号）。
【００１０】
この液晶表示素子は、走査線との間に静電保護素子が接続され、信号線との間に静電保護素子が接続された保護素子配線が、抵抗素子を介して、コモン電圧が印加されるコモン配線に接続される。また、この抵抗素子は、配線の一部をエッチングして、線幅を他の部分よりも狭く、かつ、積厚を薄く形成して構成されるものである。このように構成することによって、コモン配線から静電保護素子を介して走査線に流れ込む電流は、抵抗素子により抑制され、コモン電圧の低下を防止することができる。
【００１１】
しかしながら、このような液晶表示素子においても、次のような問題点がある。
【００１２】
第１の問題点は、抵抗素子で配線を形成しているため、断線等の影響を受けやすいということである。
【００１３】
第２の問題点は、充分な抵抗値を実現するためには、配線を充分に細く、かつ、長く形成する必要がある。すなわち、このような形成は、露光の制約、ばらつきの影響を受け、安定な抵抗素子の形成が困難で、また、長く形成するには配置する場所の制約を受けるということになる。
【００１４】
そこで、本発明は、静電気の影響による製造歩留りの低下を抑え、しかも低消費電力化が達成されるアクティブマトリクス型表示装置を提供することを目的としている。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、互いに交差する複数本の信号線と複数本の走査線との各交点近傍にスイッチ素子を介して配置される画素電極を含むアレイ基板と、この画素電極に対向する対向電極と、前記画素電極と前記対向電極との間の電位差に基づいて制御される光変調層とを含む表示パネルと、前記信号線に映像信号電圧を印加する映像信号供給手段と、前記走査線に前記スイッチ素子をＯＮする第１電圧と前記スイッチ素子をＯＦＦする第２電圧を含む走査信号を供給する走査信号供給手段と、前記対向電極に対向電極電圧を供給する対向電極駆動手段と、を備えたアクティブマトリクス型表示装置において、前記アレイ基板は、前記信号線を互いに電気的に第１非線形素子を介して接続すると共に前記対向電極駆動手段に電気的に接続されるショートリングの第１支線と、前記第１支線に印加される前記対向電極電圧を前記映像信号の平均電圧に調整する第１非線形抵抗回路と、前記アレイ基板は、前記走査線を互いに電気的に第２非線形素子を介して接続すると共に前記対向電極駆動手段に電気的に接続される前記ショートリング第２支線と、前記第２支線に印加される前記対向電極電圧を前記第２電圧に調整する第２非線形抵抗回路と、を備えたアクティブマトリクス型表示装置である。
【００１７】
上記発明においては、非線型抵抗回路を設けることにより、第２支線を第２電圧に設定し、また、第１支線を映像信号電圧の平均電圧に設定することができ、電源電圧を増大させることなく、不所望な電流を抑え、低消費電力化が達成される。
【００２１】
【発明の実施の形態】
第１の実施例
以下、本発明の第１の実施例の液晶表示装置１について、図１から図６に基づいて詳細に説明する。
【００２２】
この液晶表示装置１は、図１に示す如く、対角７インチの有効表示領域３を持つカーナビゲーション用の光透過型のアクティブマトリクス型であって、バックライト１０からの光源光を用いて表示する光透過型の表示パネル２０を含む。この表示パネル２０は、後述する信号線に映像信号Ｖsig を、走査線に走査信号Ｖｇを、対向電極及びショートリングに対向電極電圧Ｖcom をそれぞれ供給する駆動回路部３０に接続される。
【００２３】
この表示パネル２０は、図２に示す如く、アレイ基板１００、対向基板２００、アレイ基板１００及び対向基板２００との間に配向膜４０１，４１１を介して配置される約５ミクロンの厚さのＴＮ型液晶３００を含む。
【００２４】
次に、図２及び図３を参照して詳細に説明する。
【００２５】
アレイ基板１００は、ガラス基板１０１上に配置される２４０本のモリブデン・タングステン合金からなる走査線１１１ａ及び１本のダミー走査線１１１ｂと、後述するＴＦＴ１２１のゲート絶縁膜１１３を兼ねる窒化シリコン膜（ＳｉＮｘ）を介して直交する４６０×３本のアルミニウムから成る信号線１１５とを含む。そして、走査線１１１ａと信号線１１５との交差部近傍には、走査線１１１ａ自体をゲート電極、信号線１１５をドレイン電極１２５とし、活性層として非晶質シリコン（ａ−Ｓｉ）膜１２３が、またａ−Ｓｉ膜１２３を保護するチャネル保護膜１２９、ドレイン電極１２５とａ−Ｓｉ膜１２３との間、ソース電極１２７とａ−Ｓｉ膜１２３との間にそれぞれ配置される低抵抗半導体層１２６，１２８を備えて成る逆スタガ構造のＴＦＴ１２１が配置されている。このＴＦＴ１２１のソース電極１２７は透明電極（ＩＴＯ）から成る画素電極１３１に電気的に接続されている。そして、この実施例では画素電極１３１は、前段の走査線１１１ａとゲート絶縁膜１１３を介して積層配置され、画素電極１３１と前段の走査線１１１ａとの間で補助容量Ｃｓが構成される。
【００２６】
対向基板２００も、ガラス基板２０１上に透明電極から成る対向電極２３１を含み、ガラス基板２０１と対向基板２３１との間には、遮光膜２１１、カラーフィルタ２２１等が配置される。
【００２７】
信号線１１５及び走査線１１１ａ，１１１ｂは、それぞれ外部の駆動回路と電気的に接続するためにガラス基板１０１の端に引き出され、それぞれ接続パッド１１２ａ，１１２ｂ，１１６に導かれる。
【００２８】
また、これら信号線１１５及び走査線１１１ａ，１１１ｂは、それぞれ有効表示領域３の周辺に配置されるショートリング１５１に電気的に接続されている。このショートリング１５１は、信号線１１５と交差する第１支線１５３及び走査線１１１ａ，１１１ｂと交差する第２支線１５５を含み、第１支線１５３は走査線１１１ａ，１１１ｂと同一材料、同一プロセスで作製され、第２支線１５５は信号線１１５と同一材料、同一プロセスで作製されている。第１支線１５３と第２支線１５５とは、その交差近傍で図示しないがスルーホールを介して互いに接続されている。ショートリング１５１は、上記のように金属配線で接続する他に、ＴＦＴ１２１を構成する半導体層等で構成してもよい。
【００２９】
また、第１支線１５３の一端側は外部の駆動回路と電気的に接続するために外方に引き出され接続パッド１５４に接続され、第２支線１５５の一端側も同様に外部の駆動回路と電気的に接続するために外方に引き出され接続パッド１５６に接続される。
【００３０】
それぞれの信号線１１５及び走査線１１１ａ，１１１ｂは、保護回路１６１を介してショートリング１５１の対応する支線１５３，１５５に接続されている。この保護回路１６１は、図５（ａ）に示すように、ゲート・ソース間が短絡されたＴＦＴ並列接続されて成るものであり、すなわち、一対のＴＦＴ５００，５０２のゲート・ソース間を短絡し、これら一対のＴＦＴ５００，５０２のゲートとドレインを互いに接続したものであり、この等価回路としては、図５（ｂ）に示すように、ダイオード６０４，５０６を向きを互いに逆にして直列に接続したものとなる。この保護回路１６１の働きは、通常の動作状態程度の電位差にあっては１．０×１０12Ωの高抵抗体として機能し、静電気等の影響による高電圧が印加されるとショートリング１５１と信号線１１５あるいは走査線１１１ａ，１１１ｂ間を導通させ、局所的な高電圧の印加を緩和する。この保護回路１６１を構成するＴＦＴ５００，５０２は、画素電極１３１に接続されるＴＦＴ１２１と同一プロセスで作成することができ、抵抗値の制御は、ＴＦＴの個数、チャネル長等を調整することにより制御することができる。
【００３１】
また、この実施例において特徴的なことは、第１支線１５３と第２支線１５５との間に非線型抵抗体１７１ａ，１７１ｂが介在されることにある。
【００３２】
この非線型抵抗体１７１ａ，１７１ｂは、保護回路１６１と同様に図５に示すようにゲート・ソース間が短絡されたＴＦＴが並列接続されて構成されるものであって、やはり画素電極１３１に接続されるＴＦＴ１２１と同一プロセスで作成することができ、抵抗値の制御は、ＴＦＴの個数、チャネル長等を調整することにより達成される。この実施例では、通常の動作状態程度の電位差にあっては約５×１０6 Ωの高抵抗体として機能するように設定されている。
【００３３】
このショートリング１５１は、製品完成後は、接続パッド１５４，１５６を介して外部回路に電気的に接続されるものであって、この実施例では、図４に示すように対向電極電圧Ｖcom と同電位に設定される。また、ショートリング１５１の位置は、シールパターン５５０の内側であり、接続パッド１１２ａ，１１２ｂ，１１６及び接続パッド１５４，１５６のみがシールパターン５５０の外側に位置する。
【００３４】
ところで、この液晶表示装置１は、図６に示すように、走査線１１１ａ，１１１ｂには、第１ＯＦＦレベルＶｇoff1が−２１Ｖ、 第２ＯＦＦレベルＶｇoff2が−１５Ｖ、ＯＮレベルＶｇonが１８Ｖの走査信号Ｖｇが印加され、信号線１１５には２．５Ｖの基準電圧Ｖref1に対して表示階調に応じて±２．５Ｖの振幅を持ち各水平走査期間毎に極性反転される映像信号Ｖsig が印加され、また、対向電極２３１には１．５Ｖの基準電圧Ｖref2に対して±３．０Ｖの振幅を持ち各水平走査期間毎に映像信号Ｖsig と逆位相で極性反転される対向電極電圧Ｖcom が印加され、ショートリング１５１の接続パッド１５４及び接続パッド１５６にも上記の対向電極電圧Ｖcom と同様の電圧Ｖcom が印加されるように駆動回路部３０に電気的に接続されている。走査信号Ｖｇが第１及び第２ＯＦＦレベルＶｇoff1，Ｖｇoff2を持つのは、対向電極電圧Ｖcom の変動に伴う画素電位の変動を抑えるためである。
【００３５】
上記の構成によれば、ショートリング１５１の第１支線１５３と各信号線１１５との間には、実効的に約１Ｖ程度の電圧が印加されるだけであって、表示する映像にもよるが映像信号Ｖsig の平均電圧とショートリング１５１の第１支線１５３に印加される電圧とは略等しい。
【００３６】
ここで、第１支線１５３に印加される電圧の平均値は映像信号Ｖsig の最大振幅範囲内であれば実効的に問題はないが、映像信号Ｖsig の中心電圧（基準電圧Ｖref1）であることが望ましい。
【００４０】
前記非線形抵抗体１７１ａ，１７１ｂが介挿されない場合では、保護回路１６１を構成するＴＦＴは常にＯＮ状態にあり、温度変化に対する抵抗変化が顕著であるため、表示パネル２０の温度上昇に伴い、消費電流が増大する。例えば表示パネル温度が２０℃〜４０℃に上昇した場合、３００μＡ程度の消費電流が増大していたが、この実施例の構成によれば、消費電流の温度依存性をほぼ完全に解消することができた。
【００４１】
そして、このようにＴＦＴよりなる非線形素子で保護回路１６１，非線型抵抗体１７１ａ，１７１ｂを形成する構造であれば、従来技術で示したように抵抗値を調整するために配線の太さや長さを調整する必要がなく、その抵抗値の制御を容易に行うことができる。
【００４２】
上述した実施例では、画素電極１３１と前段の走査線１１１ａとの間で補助容量Ｃｓを形成したが、図７の等価回路図の如く、走査線１１１ａと略平行な補助容量線１４１を設け、画素電極１３１を絶縁膜を介して補助容量線１４１と一部重複して配置することで補助容量Ｃｓを形成することもできる。この場合、走査信号ＶｇのＯＦＦレベルＶｇoff が一電圧に設定されるため、上記の駆動方法であれば、第２支線１５５に印加される電圧を所定の電圧に低減し、その平均電圧が走査信号ＶｇのＯＦＦレベルＶｇoff と一致するように調整することが有効である。
【００４３】
第２の実施例
以下、第２の実施例を図８に基づいて説明する。
【００４４】
第１の実施例では、ショートリング１５１の第１支線１５３と第２支線１５５との間に非線型抵抗体１７１ａ，１７１ｂを介挿することにより第１支線１５３と第２支線１５５との電圧を制御したが、図８に示す如く第１支線１５３と第２支線１５５とをそれぞれ独立したものとする。
【００４５】
そして、第１支線１５３には信号線１１５に印加される平均的な電圧３０ａ、例えば、対向電極電圧Ｖcom を供給し、また、第２支線１５５には走査線１１１ａ，１１１ｂに印加される電圧３０ｂ、例えば、走査信号ＶｇのＯＦＦレベルＶｇoff の電圧を供給するように構成してもよい。
【００４６】
また、第１支線１５３には、例えば端部の信号線１１５に印加される映像信号電圧Ｖsig を供給するように構成しても良い。この場合は、給電能力を増大させるようにバッファを介して接続しておくと良い。
【００４７】
このように構成すれば、特別な電源電圧を用意する必要もなく、上述したと同等の低消費電力化が達成される。但し、上述した実施例に比べて第１支線１５３と第２支線１５５とは電気的に独立しているため、静電気による影響の防止効果は若干低下する。
【００４８】
また、更に第１支線１５３あるいは第２支線１５５に第１の実施例の如く非線型抵抗体１７１ａ，１７１ｂを介在させることにより更に電圧を微調整することもできる。
【００４９】
第３の実施例
以下、第３の実施例を図９に基づいて説明する。
【００５０】
第３の実施例と第１の実施例の異なる点は、保護回路１６１と、非線型抵抗体１７１ａ，１７１ｂを、図５（ａ）の回路に代えて、図９に示すような回路５０８によって構成することにある。
【００５１】
この回路５０８は、ゲート・ソース間が短絡されたＴＦＴ並列接続されてなるものを直列接続したものであり、具体的には、一対のＴＦＴ５００，５０２のゲート・ソース間を短絡し、これら一対のＴＦＴ５００，５０２のゲートとドレインを互いに接続した非線形素子５１０を、互いにゲート間を直列に接続して構成されるものである。
【００５２】
この回路５０８であると、一方の非線形素子５１０のＴＦＴが仮に短絡しても、他方の非線形素子５１０によって依然として高い抵抗値が維持される。
【００５３】
第４の実施例
次に、図１０に基づいて第４の実施例を説明する。
【００５４】
本実施例においては、第１の実施例における保護回路１６１，非線型抵抗体１７１ａ，１７１ｂに代えて、図１０に示す回路５１２を設けるものである。
【００５５】
この回路５１２は、第３の実施例における回路５０８を並列に接続したものであり、具体的には、非線形素子５１０を直列に接続し、このように直列に接続した非線形素子５１０，５１０を並列に接続したものである。
【００５６】
この回路５１２であると、非線形素子５１０のうち１つの非線形素子が短絡しても、高い抵抗値を維持することができ、また、４つの非線形素子５１０のうち１つの非線形素子５１０が開放（オープン）になっても、断線することがなく、依然として高い抵抗値を維持することができる。
【００５７】
なお、第４の実施例では、回路５０８を並列接続したもので示したが、これに代えて非線形素子５１０を単に並列接続したものであっても、一方の非線形素子５１０がオープンした場合でも充分に高い抵抗値を得ることができる。
【００５８】
変  更  例
上述した実施例は、走査線１１１ａ，１１１ｂ、信号線１１５のそれぞれ片側にのみショートリング１５１を配置したが、両側に配置されても構わない。また、片側のみにショートリング１５１を配置する場合において、接続パッド１１２ａ，１１２ｂ及び１１６を設けた反対側の辺にショートリング１５１を設けてもよい。
【００５９】
また、ＴＦＴ１２１、保護回路１６１を構成するＴＦＴ、非線型抵抗体１７１ａ，１７１ｂを構成するＴＦＴは、いずれも活性層としてａ−Ｓｉ膜が用いられる場合に限られるものではなく、ｐ−Ｓｉ、マイクロクリスタル・シリコン等で構成されてもよく、また、スタガ構造であっても構わない。
【００６０】
また、上述の駆動回路部はアレイ基板上等に一体的に形成しても構わない。
【００６１】
更に、上述した実施例では互いに対向する画素電極を備えたアレイ基板と対向電極を備えた対向基板との間に液晶層を保持させたが、アレイ基板上に画素電極と対向電極とが配置され、画素電極と対向電極との間の横方向電界により液晶層が制御されるものであっても構わない。
【００６２】
更に、上述したＴＮ型液晶にかえて、種々の液晶層を用いることができることは言うまでもない。
【００６３】
【発明の効果】
本発明によれば、静電気の影響による製造歩留りの低下を抑え、しかも低消費電力化が達成されるアクティブマトリクス型表示装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の液晶表示装置の概略斜視図である。
【図２】表示パネルの一部概略断面図である。
【図３】表示パネルを構成するアレイ基板の概略正面図である。
【図４】この実施例の動作を説明するための図である。
【図５】（ａ）は、保護回路、または、抵抗体の回路図であり、（ｂ）は、その等価回路である。
【図６】この実施例の一駆動波形を説明するための図である。
【図７】変形例のアレイ基板の一表示画素の等価回路図である。
【図８】第２の実施例の動作を説明するための図である。
【図９】第３の実施例における保護回路、抵抗体の回路図である。
【図１０】第４の実施例における保護回路、抵抗体の回路図である。
【符号の説明】
１  液晶表示装置
２０  表示パネル
１５１  ショートリング
１５３  第１支線
１５５  第２支線
１６１  保護回路
１７１ａ，１７１ｂ  抵抗体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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