(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶パネルの欠陥画素の部分にレーザ光を照射することにより、前記欠陥画素を修正する液晶パネルの画素欠陥修正方法において、
前記液晶パネルが液晶パネル設置手段に保持され、かつ加熱された状態で、透過照明手段によって前記液晶パネルを裏面側から照明することで前記液晶パネルを通過した光像を生成し、得られた光像を用いて前記欠陥画素の検出を行う検査工程と、
検出された前記欠陥画素の位置とレーザ光の照射位置とが対応するように、前記液晶パネルの位置合わせを行った後、レーザ光を照射して前記液晶パネルの前記欠陥画素の修正を行う修正工程と、
修正が行われた前記液晶パネルが前記液晶パネル設置手段に保持され、かつ加熱された状態で、前記検査工程と同一の前記透過照明手段によって前記液晶パネルを裏面側から照明することで前記液晶パネルを通過した光像を生成し、得られた光像を用いて修正が行われた前記欠陥画素の再検査を行う再検査工程と、を備え、
前記検査工程、前記修正工程及び前記再検査工程の全工程は、前記液晶パネルが前記液晶パネル設置手段に保持された状態で行われることを特徴とする液晶パネルの画素欠陥修正方法。
【請求項２】
前記検査工程において、検出された前記欠陥画素の位置の登録をさらに行うことを特徴とする請求項１記載の液晶パネルの画素欠陥修正方法。
【請求項３】
検出された前記欠陥画素の位置をそれぞれ登録して、前記液晶パネル全体について継続して検査を行って、前記液晶パネルのすべての前記欠陥画素の位置を検出・登録するように前記検査工程を行い、
次に、前記検査工程において検出された１個または複数個の前記欠陥画素のそれぞれについて、登録されたそれぞれの位置に基づいて前記修正工程と前記再検査工程とを行うことを特徴とする請求項２記載の液晶パネルの画素欠陥修正方法。
【請求項４】
前記検査工程の前記欠陥画素の検出と、前記修正工程の前記液晶パネルの位置合わせと、前記再検査工程の修正された前記欠陥画素の再検査とは、前記液晶パネルを撮像する撮像手段と、撮像された前記液晶パネルの像を表示する表示手段とを用いて行うことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の液晶パネルの画素欠陥修正方法。
【請求項５】
前記修正工程の前記液晶パネルの位置合わせは、前記検査工程において検出された前記欠陥画素の位置の近傍を拡大して前記表示手段に表示して行うことを特徴とする請求項４記載の液晶パネルの画素欠陥修正方法。
【請求項６】
前記透過照明手段は、前記検査工程及び前記再検査工程において前記液晶パネルを加熱する加熱手段を兼ねる赤外線照射手段であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載の液晶パネルの画素欠陥修正方法。
【請求項７】
液晶パネルの欠陥画素の部分にレーザ光を照射することにより、前記欠陥画素を修正する液晶パネルの画素欠陥修正装置において、
前記液晶パネルを固定し、所定の位置に位置決めさせる液晶パネル設置手段と、
前記液晶パネルの前記欠陥画素の検査時、及び修正が行われた前記欠陥画素の再検査時のそれぞれにおいて、前記液晶パネルを裏面側から照明する透過照明手段と、
前記透過照明手段によって裏面側から照明された前記液晶パネルを通過した光像を撮像して検査を行って前記欠陥画素を検出する欠陥画素検査手段と、
前記液晶パネルの前記欠陥画素の修正時において、前記液晶パネルの前記欠陥画素にレーザ光を照射して前記欠陥画素の修正を行うレーザ光照射手段と、
前記液晶パネルの前記欠陥画素の検査時、及び修正が行われた前記欠陥画素の再検査時のそれぞれにおいて、前記液晶パネルを加熱する加熱手段と、を有し、
前記液晶パネルの前記欠陥画素の検査、前記液晶パネルの前記欠陥画素の修正、及び修正が行われた前記欠陥画素の再検査は、前記液晶パネルが前記液晶パネル設置手段に保持された状態で行われることを特徴とする液晶パネルの画素欠陥修正装置。
【請求項８】
検出された前記欠陥画素の位置を登録する位置登録手段をさらに有することを特徴とする請求項７記載の液晶パネルの画素欠陥修正装置。
【請求項９】
前記欠陥画素検査手段は、前記液晶パネルを撮像する撮像手段と、撮像された前記液晶パネルの像を表示する表示手段とを有することを特徴とする請求項７または８記載の液晶パネルの画素欠陥修正装置。
【請求項１０】
前記加熱手段は、気体を加熱して温風として前記液晶パネル及びその周辺に供給することによって、前記液晶パネルを加熱する温風供給手段であることを特徴とする請求項７〜９のいずれか一項記載の液晶パネルの画素欠陥修正装置。
【請求項１１】
前記加熱手段は、赤外線を前記液晶パネルに照射することによって前記液晶パネルを加熱する赤外線照射手段であることを特徴とする請求項７〜９のいずれか一項記載の液晶パネルの画素欠陥修正装置。
【請求項１２】
前記赤外線照射手段は、前記透過照明手段を兼ねることを特徴とする請求項１１記載の液晶パネルの画素欠陥修正装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄型平面表示装置等として用いられる液晶パネルに発生した画素欠陥の修正方法及び修正装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶パネルの製造工程において、画素欠陥の発生を皆無にすることは極めて困難であり、歩留まりを向上させるためには、わずかな個数の欠陥画素が存在するからといって液晶パネルを不良品として廃棄してしまうのではなく、その欠陥画素を修正加工（修理）して良品とする技術が重要である。
【０００３】
従来のそのような画素欠陥修正方法及び修正装置として、例えば特開平９−９０３０４号によるものが知られている。この装置では特に白画素欠陥について、ＣＣＤビデオカメラで撮像された画像によって液晶パネルの欠陥画素を検出し、その欠陥画素に第１のレーザ光を照射することによって欠陥画素を含む液晶層中に気泡を発生させ、さらに第２のレーザ光を照射することによって欠陥画素の構成材を気泡内に飛散させ対向電極に付着させて、白画素欠陥を修正する。
【０００４】
また、欠陥画素を検出する方法として、温風によって液晶パネルを加熱した状態で検出を行う検査方法（特開平８−２２０１７４号）及び検査装置（特開平９−１９６８１６号）が知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記したように検査時に液晶パネルを加熱することによって、欠陥画素の検出が容易になり、欠陥画素の検出効率及び精度を向上させることができる。しかしながら、特開平９−９０３０４号に示された方法及び装置では、画素欠陥の検査及び修正を単一の装置によって行うことが可能であるが、検査時に液晶パネルの加熱を行うことができず、そのため欠陥画素の検出の効率に問題があった。また、特開平８−２２０１７４号及び特開平９−１９６８１６号に示された方法及び装置は液晶パネルを加熱可能なものであるが、これらは検査装置であって、画素欠陥の修正を行うことができなかった。
【０００６】
したがって、従来の方法及び装置によって、液晶パネルを加熱して効率良く欠陥画素の検査を行い、検出された欠陥画素を修正して、さらに加熱を行いつつ再検査を行って修正を確認するには、（ａ）液晶パネルを、加熱手段を有した検査装置において、加熱された状態で検査して欠陥画素の位置を検出し、（ｂ）液晶パネルを修正装置に移動・設置して、検査装置において検出された欠陥画素の位置に基づいて修正を行い、（ｃ）液晶パネルを再度加熱手段を有した検査装置に移動・設置して、加熱された状態で再検査して欠陥画素が修正されているかどうかを確認する、という手順によらなければならない。このような方法では、各工程ごとに液晶パネルの移動・設置を行わなければならないので、作業の効率上問題があった。
【０００７】
また、例えばレーザ光によって修正を行う場合、検査工程から修正工程への移行において、別に設けられた検査装置によって検出された欠陥画素の位置情報のみによって、修正装置におけるレーザ光照射の位置決めを行うので、欠陥画素以外の画素にレーザ光を照射してしまう可能性がある。特に液晶パネルを加熱して欠陥画素を検査した場合、熱によって液晶パネルに微少な歪みが生じ、それによって欠陥画素の位置にずれが生じてしまう可能性が高い。このようなずれの問題は、修正工程から再検査工程への移行においても同様であり、修正対象である欠陥画素を正しく再検査できない可能性がある。
【０００８】
本発明は、液晶パネルの検査時に加熱を行う修正方法において、効率的かつ確実に欠陥画素の検査、修正及び再検査の工程を行うことができる液晶パネルの画素欠陥修正方法及び画素欠陥修正装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明による液晶パネルの画素欠陥修正方法は、液晶パネルの欠陥画素の部分にレーザ光を照射することにより、欠陥画素を修正する液晶パネルの画素欠陥修正方法において、液晶パネルが液晶パネル設置手段に保持され、かつ加熱された状態で、透過照明手段によって液晶パネルを裏面側から照明することで液晶パネルを通過した光像を生成し、得られた光像を用いて欠陥画素の検出を行う検査工程と、検出された欠陥画素の位置とレーザ光の照射位置とが対応するように、液晶パネルの位置合わせを行った後、レーザ光を照射して液晶パネルの欠陥画素の修正を行う修正工程と、修正が行われた液晶パネルが液晶パネル設置手段に保持され、かつ加熱された状態で、検査工程と同一の透過照明手段によって液晶パネルを裏面側から照明することで液晶パネルを通過した光像を生成し、得られた光像を用いて修正が行われた欠陥画素の再検査を行う再検査工程と、を備え、検査工程、修正工程及び再検査工程の全工程は、液晶パネルが液晶パネル設置手段に保持された状態で行われることを特徴とする。
【００１０】
また、検査工程において、検出された欠陥画素の位置の登録をさらに行うことを特徴としても良い。
【００１１】
さらに、検出された欠陥画素の位置をそれぞれ登録して、液晶パネル全体について継続して検査を行って、液晶パネルのすべての欠陥画素の位置を検出・登録するように検査工程を行い、次に、検査工程において検出された１個または複数個の欠陥画素のそれぞれについて、登録されたそれぞれの位置に基づいて修正工程と再検査工程とを行っても良い。
【００１２】
上記のように、画素欠陥修正方法を検査、修正及び再検査の３つの工程を備える構成とし、そのうち検査及び再検査の工程において液晶パネルを加熱して欠陥画素の検出効率及び精度を高めて検査を行う修正方法を、液晶パネルの移動・再設置を行うことなく単一の液晶パネル設置手段に保持された状態で行うことによって、液晶パネルの欠陥画素の検出、修正と修正後の再検査を効率的に、また位置のずれなどを生じることなく行うことができる。また特に、最初に検査工程において液晶パネル全体について検査を行って、検出した欠陥画素の位置をそれぞれ登録しておき、次に登録されたそれぞれの欠陥画素について、修正工程及び再検査工程を行うことによって、さらに各工程の効率を高めることができる。
【００１３】
また、検査工程の欠陥画素の検出と、修正工程の液晶パネルの位置合わせと、再検査工程の修正された欠陥画素の再検査とは、液晶パネルを撮像する撮像手段と、撮像された液晶パネルの像を表示する表示手段とを用いて行うことも可能である。
【００１４】
さらに、修正工程の液晶パネルの位置合わせは、検査工程において検出された欠陥画素の位置の近傍を拡大して表示手段に表示して行っても良い。
【００１５】
検査工程において、液晶パネルの像を撮像して表示し、表示された液晶パネル像によって液晶パネルの検査を行うことによって、効率良く欠陥画素の検出を行うことができる。また、そのように液晶パネル全体について検査を行って全欠陥画素を検出した後、修正工程においてそれぞれの欠陥画素の位置合わせを行うときに、検査工程において検出された位置のみに基づいて位置合わせを行うのではなく、検査時と同様の手段によって位置の確認を行いつつ位置合わせを行うことによって、位置のずれが生じることを防ぐことができる。またさらに、検査工程において検出された欠陥画素の位置の近傍を拡大して表示して行うことによって、さらに正確な位置決め及び位置合わせを行うことができる。
【００１６】
また、本発明による液晶パネルの画素欠陥修正装置は、液晶パネルの欠陥画素の部分にレーザ光を照射することにより、欠陥画素を修正する液晶パネルの画素欠陥修正装置において、液晶パネルを固定し、所定の位置に位置決めさせる液晶パネル設置手段と、液晶パネルの欠陥画素の検査時、及び修正が行われた欠陥画素の再検査時のそれぞれにおいて、液晶パネルを裏面側から照明する透過照明手段と、透過照明手段によって裏面側から照明された液晶パネルを通過した光像を撮像して検査を行って欠陥画素を検出する欠陥画素検査手段と、液晶パネルの欠陥画素の修正時において、液晶パネルの欠陥画素にレーザ光を照射して欠陥画素の修正を行うレーザ光照射手段と、液晶パネルの欠陥画素の検査時、及び修正が行われた欠陥画素の再検査時のそれぞれにおいて、液晶パネルを加熱する加熱手段と、を有し、液晶パネルの欠陥画素の検査、液晶パネルの欠陥画素の修正、及び修正が行われた欠陥画素の再検査は、液晶パネルが液晶パネル設置手段に保持された状態で行われることを特徴とする。
【００１７】
また、検出された欠陥画素の位置を登録する位置登録手段をさらに有することを特徴としても良い。
【００１８】
このように、検査及び再検査を行うための欠陥画素検査手段と、修正を行うためのレーザ光照射手段とを備え、かつ検査及び再検査工程や、修正工程で欠陥画素検査手段を用いて位置合わせを行う場合など必要なときに液晶パネルを加熱する加熱手段を有する構成とすることによって、単一の修正装置において効率的かつ確実に検査、修正及び再検査の３つの工程を行う上記の画素欠陥修正方法を実現することができる。さらに、位置登録手段を備えることによって、位置合わせの効率及び精度を上げることができる。
【００１９】
欠陥画素検査手段は、液晶パネルを撮像する撮像手段と、撮像された液晶パネルの像を表示する表示手段とを有する構成としても良い。
【００２０】
液晶パネルを加熱するための加熱手段については、気体を加熱して温風として液晶パネル及びその周辺に供給することによって、液晶パネルを加熱する温風供給手段であっても良い。
【００２１】
また、加熱手段は、赤外線を液晶パネルに照射することによって液晶パネルを加熱する赤外線照射手段であっても良い。この場合、この赤外線照射手段は、照明手段を兼ねることも可能である。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、図面と共に本発明による液晶パネルの画素欠陥修正方法及び画素欠陥修正装置の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。また、図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。
【００２３】
図１は、本発明に係る画素欠陥修正装置の一実施形態の構成を示すブロック図である。本実施形態では、検査及び修正の対象である液晶パネル１を載置するためのＸＹステージ２が、液晶パネル設置手段として備えられている。このＸＹステージ２は、制御部４からの駆動制御信号にしたがって作動するステッピングモータを備える駆動機構６によってＸＹ座標のいずれの方向へも移動され、これによって液晶パネル１を任意の位置へ移動・位置決め調整することができる。なお、液晶パネル１の動作は、液晶パネル駆動回路１ａによって駆動制御される。
【００２４】
ＸＹステージ２の中央部には、Ｚ方向（ＸＹ座標に直交する方向）に向けて貫通した開口部２ａが形成され、開口部２ａの下側には、偏光フィルタ８を介して照明手段である透過照明装置１０が設けられている。制御部４からの照明制御信号によって透過照明装置１０が点灯されると、偏光フィルタ８を通過した照明光が開口部２ａを通過して液晶パネル１の裏面側を照明し、液晶パネル１のいわゆるバックライトと同様の機能が発揮される。
【００２５】
また、液晶パネル１と、透過照明装置１０及び偏光フィルタ８と、の間に位置するように、ＸＹステージ２内に光拡散板９が設置されている。この光拡散板９は、液晶パネル１の全体を観察する場合と一部を拡大して観察する場合に、どちらかの場合で透過照明光の光量不足によって液晶パネル１の光像が暗くならないようにする光量調整機能を有している。光拡散板９としては、スリガラスやオパールガラスなどの光を拡散・散乱させるものを用いる。
【００２６】
ＸＹステージ２の上方には、Ｚ座標方向に沿って、結像レンズ１２、ダイクロイックミラー１４、偏光フィルタ１６、カメラレンズ１８及びＣＣＤビデオカメラ２０が、同一の光軸に合致する光学系を構成するように設けられている。なお、偏光フィルタ８及び１６は、相互に直交状態に配置されている。
【００２７】
ダイクロイックミラー１４に対向する位置には、上記光学系と光軸合わせされたレーザ発振器２２が設けられ、さらに、ダイクロイックミラー１４とレーザ発振器２２との間には、所定部分にのみ光透過パターンを有する遮光マスク２４と、所定の光透過率を有する減光フィルタ２６とが設けられている。遮光マスク２４及び減光フィルタ２６に対しては、駆動のための駆動モータ２８及び３０がそれぞれ設置されており、レーザ発振器２２、駆動モータ２８及び３０は、それぞれ制御部４からの制御信号によって駆動・制御される。
【００２８】
ＣＣＤビデオカメラ２０によって撮像された液晶パネル１の映像信号は、画像処理部３２へ出力される。画像処理部３２は、液晶パネル１の光像をＣＲＴモニタ等の表示部３４に再生表示させるとともに、適時にレーザ発振器２２のレーザ発光を停止させるための発光停止信号を制御部４へ出力する。
【００２９】
このような構成からなる画素欠陥修正装置によって、液晶パネルの他の装置への移動及び再設置等を行うことなく、単一の装置によって液晶パネルの欠陥画素の検査、修正及び再検査の全工程を行うことができる。すなわち、ＸＹステージ２及び駆動機構６からなる液晶パネル設置手段上に配置された液晶パネル１に対して、欠陥画素の検査及び再検査を行うための、撮像手段であるＣＣＤビデオカメラ２０、画像処理部３２及び表示手段である表示部３４を有する欠陥画素検査手段と、欠陥画素の修正を行うための、レーザ発振器２２、遮光マスク２４及び減光フィルタ２６を有するレーザ光照射手段と、欠陥画素検査手段及びレーザ光照射手段による検査・再検査工程及び修正工程を効率良く行わせるための適当な光学系とを設けることによって、全工程を単一の装置によって行うことができる画素欠陥修正装置を実現することができる。
【００３０】
なお、各工程を制御する制御部４及び画像処理部３２は、マイクロコンピュータシステム等によって実現される。また、制御部４には位置登録手段として、メモリを含む位置登録部４ａが接続されており、これによって検出された欠陥画素のそれぞれの位置が登録される。また例えば、これらのマイクロコンピュータシステム等は、操作者が操作することによって、修正装置全体を制御することができる構成としても良い。
【００３１】
本実施形態における特徴として、液晶パネル１を加熱するための温風供給手段として、温風供給器４０が設置されている。温風供給器４０の温風生成部４０ａには内部に電熱ヒータなどの気体加熱の手段が設置されており、気体入力部４０ｂから入力された空気などの気体は、温風生成部４０ａを通過することによって所定の温度まで加熱され、温風出力部４０ｃから出力されて液晶パネル１に供給される。
【００３２】
液晶パネル１及びＸＹステージ２の周囲には、液晶パネル１への加熱を効率良く行うため、保温ケース４６及び４８が設置されている。本実施形態においては、温風供給器４０から出力された温風は、ＸＹステージ２の下側に設置された保温ケース４６の通気路４６ｂ及びＸＹステージ２に設けられた通気路２ｂを通過して、ＸＹステージ２の上側に設置された保温ケース４８の内部に導入される。保温ケース４８は内部に液晶パネル１が配置されるように設置されており、これによって液晶パネル１が表面から加熱される。保温ケース４８の上部中央には、例えばガラス製などの光を透過する透過板４８ａが設置されており、液晶パネル１の光像の出射及びレーザ光の入射はこの透過板４８ａを介して行われる。
【００３３】
保温ケース４８内には、温度センサ５０が設置されている。温度センサ５０によって測定された温度データは、温度制御部４４に入力されている。温度制御部４４は、この温度データに基づいて、加熱制御部４２を介して温風供給器４０が生成する温風の温度を制御する。例えば温風の生成が電熱ヒータによって行われている場合、加熱制御部４２はヒータ電源を含んで構成しても良い。
【００３４】
保温ケース４８に供給された温風は、さらに通気路２ｃ及び４６ｃを通過して保温ケース４６の内部に供給される。これによって液晶パネル１が裏面から加熱される。保温ケース４６の下部中央には、例えばガラス製などの光を透過する透過板４６ａが設置されており、液晶パネル１への透過照明の照射はこの透過板４６ａを介して行われる。なお、保温ケース４６の所定の位置には、温風を排気するための排気口（図示していない）が設けられている。また、保温ケース４６、４８及び温風供給器４０は、ＸＹステージ２に対して固定されており、したがってＸＹステージ２と連動して移動する。
【００３５】
温風供給による液晶パネルの加熱方法を用いた画素欠陥修正装置による画素欠陥修正方法を、図２に示すフローチャートとともに図１に示した装置について説明する。なお、本発明による画素欠陥修正方法が有する検査、修正及び再検査の３つの工程について、本フローチャートにおいてはステップ１０２〜１０６が検査工程、ステップ１０８〜１１４が修正工程、ステップ１１６が再検査工程に相当する。
【００３６】
まず、ステップ１００において、操作者が被修正対象である液晶パネル１をＸＹステージ２上に装着する。続いて、ステップ１０２において、温風供給器４０をＯＮにして温風の供給を開始し、温度センサ５０からの温度データによって、液晶パネル１が所定の温度となるように温度調節を行う。なお、温風供給器４０の温風生成部４０ａ内部に設置された電熱ヒータなどの気体加熱の手段については、ステップ１０２での温風供給開始の以前に、あらかじめ所定の温度に昇温しておいても良い。
【００３７】
次に、ステップ１０４において、液晶パネル駆動回路１ａによって液晶パネル１の動作をＯＮにして、液晶パネル１を均一輝度の表示状態に設定するとともに、透過照明装置１０を点灯させることにより、液晶パネル１の裏面を照明させる。これにより、ＣＣＤビデオカメラ２０が、液晶パネル１を通過した光像を結像レンズ１２、ダイクロイックミラー１４、偏光フィルタ１６及びカメラレンズ１８を介して撮影を開始する。
【００３８】
次に、ステップ１０６において、液晶パネル１の欠陥画素の位置検索を行う。例えば、操作者が表示部３４に表示される液晶パネル１の再生映像を見ながら、ＸＹステージ２の位置を適宜に移動させることにより、液晶パネル１中の欠陥画素を検索し、検出した欠陥画素の位置を位置登録部４ａに登録する。この欠陥画素の位置の検索・登録は、液晶パネル１の全領域について連続して行われ、これによって、液晶パネル１に存在するすべての欠陥画素の位置が、位置登録部４ａに登録される。
【００３９】
続くステップ１０８〜１１６については、ステップ１０６において検出・登録された１個または複数個の欠陥画素に関してそれぞれ行われる。まず、ステップ１０８において、登録された欠陥画素の所定の１個について、登録された位置とその周辺をさらに拡大して表示部３４に表示して検索・確認し、欠陥画素の正確な位置決めを行う。さらに、その欠陥画素を結像レンズ１２の光軸に合致させるようにＸＹステージ２の位置合わせ操作を行う。液晶パネルの位置合わせが終了したら、ステップ１１０において、液晶パネル１の動作をＯＦＦにする。
【００４０】
次に、ステップ１１２において、ステップ１０８で位置合わせされた欠陥画素に対してレーザ光の照射を行って、その欠陥画素の修正を行う。なお、具体的なレーザ光による欠陥画素の修正方法については、例えば特開平９−９０３０４号に示されている方法を用い、ここでは詳細な説明を省略する。欠陥画素の修正を終了したら、ステップ１１４において、再び液晶パネル１の動作をＯＮにする。
【００４１】
なお、透過照明装置１０については、欠陥画素の修正を行うステップ１１２においてはＯＦＦとしても良い。その場合、ステップ１１０において、液晶パネル１をＯＦＦにするとともに透過照明装置１０をもＯＦＦとし、ステップ１１２において修正が終了した後、ステップ１１４において、液晶パネル１をＯＮにするとともに透過照明装置１０をもＯＮとする。また、温風供給による液晶パネル１の加熱についても、同様にステップ１１２においてはＯＦＦとして加熱を停止しても良い。その場合同様に、ステップ１１０において、温風供給器４０をＯＦＦにして温風の供給を停止し、ステップ１１４において、温風供給器４０をＯＮにして温風の供給を開始する。
【００４２】
次にステップ１１６において、表示部３４に表示される液晶パネル１の再生画像によって、欠陥画素の再検査を行い、所定の欠陥画素がレーザ光の照射による修正工程によって修正されていることを確認する。
【００４３】
修正されていることが確認されたら、ステップ１１８において、さらに登録された未修整の欠陥画素があるかどうかを調べ、修正されていない欠陥画素がある場合には、ステップ１０８にもどって、次の欠陥画素についての工程を開始する。ステップ１０６において登録されたすべての欠陥画素について修正を終了した場合には、ステップ１２０において、温風供給をＯＦＦにして、液晶パネル１の画素欠陥修正の全工程を終了する。
【００４４】
図３は、本発明に係る画素欠陥修正装置の他の実施形態の構成を示すブロック図である。本実施形態における特徴として、透過照明装置１０に代わって、液晶パネル１を加熱するための赤外線照明装置１０ａが設置されている。すなわち、赤外線照明装置１０ａは、液晶パネル１の光像を得るための照明手段と、加熱手段としての赤外線照射手段との両方の機能を有して設置されている。このような赤外線照明装置１０ａとしては、例えば金蒸着反射板付ハロゲンランプが用いられる。この場合、ハロゲンランプは通常の透過照明としても機能するが、さらに金蒸着反射板を有することによって、その出射光に通常のハロゲンランプよりも多くの赤外線成分を有しており、これによって、透過照明と赤外線照明とを同時に行うことができる。赤外線照明装置１０ａは、透過照明装置１０とは別にさらに設置する構成としても良い。なお、本実施形態においても必要があれば、図１に示した実施形態のものと同様に、光拡散板を設置した構成としても良い。
【００４５】
また、液晶パネル１の温度データについては、液晶パネル１からの透過光の一部をハーフミラー５２を介して放射温度計５４に入射させて温度を測定し、その温度データは、制御部４に入力されている。制御部４は、この温度データに基づいて、赤外線照明装置１０ａを制御する。この場合、赤外線光量によって温度制御が行われるので、高速応答で高精度な温度制御を行うことが可能である。
【００４６】
赤外線照射による液晶パネルの加熱方法を用いた画素欠陥修正装置による画素欠陥修正方法を、図４にフローチャートとして示す。本修正方法は、温風供給と赤外線照射との相違を除いて、図２に示した温風供給による加熱方法を用いた修正方法と同様のものであり、本発明による画素欠陥修正方法が有する検査、修正及び再検査の３つの工程について、本フローチャートにおいてはステップ２０２〜２０６が検査工程、ステップ２０８〜２１４が修正工程、ステップ２１６が再検査工程に相当する。
【００４７】
ただし、図３に示した実施形態のように、赤外線照明装置１０ａが透過照明をも兼ねる場合には、ステップ２０２における赤外線照射の開始によって透過照明も開始されているので、ステップ２０４において透過照明をＯＮにする必要はない。また、欠陥画素の修正を行うステップ２１２においては、赤外線照明装置１０ａはＯＦＦとしても良い。その場合、ステップ２１０において、液晶パネル１をＯＦＦにするとともに赤外線照明装置１０ａをもＯＦＦとし、ステップ２１２において修正が終了した後、ステップ２１４において、液晶パネル１をＯＮにするとともに赤外線照明装置１０ａをもＯＮとする。
【００４８】
【発明の効果】
本発明による液晶パネルの画素欠陥修正方法及び画素欠陥修正装置は、以上詳細に説明したように、次のような効果を得る。すなわち、液晶パネルの検査及び再検査時に液晶パネルを加熱手段によって加熱することによって、より効率的に欠陥画素の検出を行うことが可能となる。
【００４９】
特に、液晶パネルの光像を撮影するＣＣＤビデオカメラ等からなる欠陥画素検査手段と、欠陥画素を修正するためのレーザ光照射手段とを備え、かつ検査及び再検査時に液晶パネルを加熱することができる加熱手段を有して画素欠陥修正装置を構成することによって、検査、修正及び再検査の３つの工程からなる修正方法の全行程を、液晶パネルの移動・再設置等することなく、単一の装置によって効率良くかつ確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る画素欠陥修正装置の一実施形態の構成を示すブロック図である。
【図２】図１に示す画素欠陥修正装置による画素欠陥修正方法を説明するフローチャートである。
【図３】本発明に係る画素欠陥修正装置の他の実施形態の構成を示すブロック図である。
【図４】図３に示す画素欠陥修正装置による画素欠陥修正方法を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
１…液晶パネル、１ａ…液晶パネル駆動回路、２…ＸＹステージ、２ａ…開口部、２ｂ、２ｃ…通気路、４…制御部、４ａ…位置登録部、６…駆動機構、８…偏光フィルタ、９…光拡散板、１０…透過照明装置、１０ａ…赤外線照明装置、１２…結像レンズ、１４…ダイクロイックミラー、１６…偏光フィルタ、１８…カメラレンズ、２０…ＣＣＤビデオカメラ、２２…レーザ発振器、２４…遮光マスク、２６…減光フィルタ、２８、３０…駆動モータ、３２…画像処理部、３４…表示部、４０…温風供給器、４０ａ…温風生成部、４０ｂ…気体入力部、４０ｃ…温風出力部、４２…加熱制御部、４４…温度制御部、４６、４８…保温ケース、４６ａ、４８ａ…透過板、４６ｂ、４６ｃ…通気路、５０…温度センサ、５２…ハーフミラー、５４…放射温度計。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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