(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
エネルギー線重合性基と酸性基とを含有する重合体（Ａ）と、中和剤（Ｂ）とからなるエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物であって、
前記重合体（Ａ）が、官能基含有モノマー単位を有するアクリル系共重合体（A1）と該官能基に反応する置換基を有するエネルギー線重合性基含有化合物（A2）とを反応させて得られる、側鎖にエネルギー線重合性基を有する重合体であって、かつ前記官能基の全部または一部が酸性基であり、（A1）と（A2）との反応後も酸性基の少なくも一部が重合体（Ａ）中に残存している重合体であり、
前記官能基含有モノマー単位を有するアクリル系共重合体（A1）が、酸性基含有重合性モノマー（a1）と該モノマーと共重合可能な他のモノマー（a2）とを重合することにより得られる重合体であり、
前記共重合可能な他のモノマー（a2）が、下記式にて示される化合物であり；
【化１】
0004053656.tif 000005
（式中、Ｘ1、Ｘ2およびＸ3はそれぞれ独立に水素またはメチル基であり、Ｒ1は炭素数２〜１２の二価の炭化水素基であり、Ｒ2は炭素数１〜１０の炭化水素基であり、ｎは１〜
１０である。）、
前記中和剤（Ｂ）が、前記重合体（Ａ）中に残留している酸性基１モルに対して、０．０００１〜１モルの割合で用いられる
ことを特徴とするエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物。
【請求項２】
（Ｃ）光重合開始剤をさらに含有することを特徴とする請求項１に記載のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物。
【請求項３】
請求項１または２に記載のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物が、基材上に塗布されてなることを特徴とする粘着シート。
【請求項４】
ウエハ加工用粘着シートとして用いられることを特徴とする請求項３に記載の粘着シー
ト。
【請求項５】
ウエハ表面保護用粘着シートとして用いられることを特徴とする請求項３に記載の粘着シート。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の技術分野】
本発明はエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法に関し、さらに詳しくはウエハの裏面の研摩中に、ウエハ表面の回路パターンを切削屑などから保護するために使用されるウエハ表面保護用粘着シートに好適に用いられる粘着剤組成物に関する。
【０００２】
【発明の技術的背景】
シリコン、ガリウムヒ素などの半導体ウエハの表面には、エッチングあるいはリフトオフ法などによってパターンが形成される。次いで表面にパターンが形成されたウエハは、通常、その表面に粘着シートが貼着された状態で、その裏面にグラインダーなどにより研摩処理が加えられる。パターンが形成されたウエハの裏面に研摩を加える目的は、第１にエッチング工程時にウエハ裏面に酸化物被膜が形成されることがあるため、この酸化物被膜を除去することにあり、第２にパターンが形成されたウエハの厚みを調節することにある。
【０００３】
ところで、表面にパターンが形成されたウエハの裏面に研摩処理を加えるに際しては、生ずる研摩屑を除去するため、そして研摩時に発生する熱を除去するために、精製水によりウエハ裏面を洗いながらウエハの裏面研摩処理を行なっている。このようなウエハの裏面研摩処理を行なうに際して、研磨屑、切削水からウエハ表面に形成されたパターンを保護するためにウエハ表面に粘着シート（表面保護シート）が貼付される。
【０００４】
このような粘着シートとしては、特開昭６２−１０１６７８号公報に記載されているような非イオン系界面活性剤を含む粘着剤を用いた粘着シート、あるいは特公平５−７７２８４号公報に記載された水膨潤性粘着剤を用いた粘着シート等の、研磨が完了した後、そのまま該シートを剥離し、ウエハ表面の粘着剤成分による汚染を、純水を用いた洗浄で容易に除去できるようにした親水性タイプのものと、
特開平８−２７２３９号公報に開示されているように、裏面研磨完了後、エネルギー線を照射し、ウエハに対する接着力を激減させることにより、シートを剥離しても粘着剤の痕跡を残さないようにしたエネルギー線硬化タイプのものとがある。
【０００５】
上記２種類のタイプのウエハ裏面研磨用粘着シートは、各々の特徴を生かし、条件にあわせて適宜に使用されてきたが、今後はウエハの大口径化、薄型化に伴い、粘着シートの剥離時に剥離抵抗が小さく、ウエハを破損することが無いエネルギー線硬化型の粘着シートが要望されてくる。
【０００６】
しかし、このようなエネルギー線硬化型の粘着剤では、水洗浄性を有していないため、何らかの事由（例えばエネルギー線照射時の光量不足；過剰照射による異常高温；ウエハ裏面研削時に発生する研削屑がシート表面に付着することによるエネルギー線の照射不良、粘着剤の凝集力不足、粘着剤の組成の不均一等）によりウエハ表面に粘着剤が残留した場合には、該残留粘着剤を水洗浄によっては除去できないという問題がある。したがって、従来のエネルギー線硬化型粘着剤がウエハ表面に残留した場合には、有機溶剤による洗浄が行われていたが、環境保全等の点からも改善の必要があった。
【０００７】
【発明の目的】
本発明は、ウエハ裏面の研摩時に、ウエハ表面の回路パターンを切削屑などから保護するために用いられるウエハ表面保護シートに好適な粘着剤組成物を提供することを目的としている。
【０００８】
また本発明は、粘着シート剥離後に粘着剤がウエハ表面に残存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留粘着剤を除去することができるような、ウエハ表面保護シートに好適な粘着剤組成物を提供することを目的としている。
【０００９】
【発明の概要】
本発明に係るエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物は、
エネルギー線重合性基と酸性基とを含有する重合体（Ａ）と、中和剤（Ｂ）とからなることを特徴としている。
【００１０】
ここで、前記重合体（Ａ）は、官能基含有モノマー単位を有するアクリル系共重合体（A1）と該官能基に反応する置換基を有するエネルギー線重合性基含有化合物（A2）とを反応させて得られる、側鎖にエネルギー線重合性基を有する重合体であって、かつ前記官能基の全部または一部が酸性基であり、（A1）と（A2）との反応後も酸性基の少なくも一部が重合体（Ａ）中に残存している重合体である。
【００１１】
官能基含有モノマー単位を有するアクリル系共重合体（A1）は、酸性基含有重合性モノマー（a1）と該モノマーと共重合可能な他のモノマー（a2）とを重合することにより得られる重合体である。
【００１２】
ここで、前記共重合可能な他のモノマー（a2）は、下記式にて示される化合物である。
【００１３】
【化２】
0004053656.tif 000002
【００１４】
（式中、Ｘ1、Ｘ2およびＸ3はそれぞれ独立に水素またはメチル基であり、Ｒ1は炭素数２〜１２の二価の炭化水素基であり、Ｒ2は炭素数１〜１０の炭化水素基であり、ｎは１〜
１０である。）
前記中和剤（Ｂ）は、前記重合体（Ａ）中に残留している酸性基１モルに対して、０．０００１〜１モルの割合で用いられる。
また本発明に係るエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物は、上記成分に加え、さらに（Ｃ）光重合開始剤を含有することが好ましい。
【００１５】
本発明に係る粘着シートは、基材上に、上記の粘着剤組成物からなる粘着剤層が形成されてなることを特徴とし、特にウエハ加工に好ましく用いられる。
このような粘着シートは、該粘着シートを、パターンが形成されたウエハ表面に貼着し、
水をウエハ裏面に供給しながらウエハ裏面を研摩する工程を含むウエハ裏面の研摩方法に好ましく使用される。
【００１６】
本発明の粘着剤組成物は、エネルギー線硬化性と親水性とを併せ持つ。このため、エネルギー線照射によって接着力が激減し、被着体からの粘着シートの剥離を容易に行うことができる。しかも、粘着剤の組成が均一であり、また凝集力にも優れるため、粘着シートを剥離しても、粘着剤が被着体表面に残存することはない。さらに、何らかの事由で、粘着剤が被着体表面に残存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留粘着剤を除去することができる。
【００１７】
【発明の具体的説明】
以下、本発明に係るエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法について、具体的に説明する。
【００１８】
本発明に係るエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物は、（Ａ）エネルギー線重合性基と酸性基とを含有する重合体と、（Ｂ）中和剤とからなることを特徴としている。各成分について、以下に具体例を挙げて説明する。
【００１９】
（Ａ）エネルギー線重合性基と酸性基とを含有する重合体
重合体（Ａ）は、エネルギー線重合性基を含む繰り返し単位と、酸性基を含む繰り返し単位とを含有する重合体である。エネルギー線重合性基としては、炭素−炭素二重結合基、炭素−炭素三重結合基、エポキシ基等が存在するが、好ましくは炭素−炭素二重結合が選択される。また酸性基としては、カルボキシル基等があげられる。なお、カルボキシル基は、酸無水物から誘導されるものであってもよい。さらに、重合体（Ａ）には、上記の繰り返し単位のみならず、本発明の目的に反しない範囲で、種々の繰り返し単位を含ませることができる。
【００２０】
重合体（Ａ）中において、エネルギー線重合性基を含む繰り返し単位と、酸性基を含む繰り返し単位と、他の繰り返し単位との総和１００モル％に対して、エネルギー線重合性基を含む繰り返し単位は、好ましくは０．１〜６０モル％、さらに好ましくは０．５〜５０モル％、特に好ましくは１．０〜３０モル％の割合で含有され、酸性基を含む繰り返し単位は、好ましくは０．０５〜５０モル％、さらに好ましくは０．１〜４０モル％、特に好ましくは０．５〜２０モル％の割合で含有され、他の繰り返し単位は、好ましくは０〜９９．８５モル％、さらに好ましくは０〜９９．４モル％、特に好ましくは５０〜９８．５モル％の割合で含有されている。
【００２１】
上記のような重合体（Ａ）は、たとえば官能基含有モノマー単位を有するアクリル系共重合体（A1）と、該官能基に反応する置換基を有するエネルギー線重合性基含有化合物（A2）とを反応させて得られる。なお、官能基含有モノマー単位の全部または一部は、官能基として酸性基を含んでおり、（A1）と（A2）との反応後にも、酸性基の少なくとも一部が重合体（Ａ）中に残留している。
【００２２】
官能基として酸性基を含む官能基含有モノマー（a1）は、重合性の二重結合と、カルボキシル基等の酸性基を分子内に有するモノマーであり、好ましくはカルボキシル基含有不飽和化合物が用いられる。
【００２３】
カルボキシル基含有不飽和化合物のさらに具体的な例としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、モノアルキルイタコン酸、モノアルキルマレイン酸、モノアルキルフマル酸等があげられ、また、無水マレイン酸を用いて重合し、これを加水分解することで、重合体（Ａ）中にカルボキシル基を導入することもできる。
【００２４】
上記の官能基含有モノマーは、１種単独で、または２種以上を組み合わせて用いてもよい。
アクリル系共重合体（A1）は、上記酸性基含有モノマー（a1）から導かれる構成単位を必須単位とし、これに加え、該酸性基含有重合性モノマーと共重合可能な他のモノマー（a2）から導かれる構成単位を含んでいてもよい。
【００２５】
上記酸性基含有重合性モノマーと共重合可能な他のモノマー（a2）としては、重合性の炭素−炭素二重結合を１個以上有する化合物であれば、特に制限されることなく種々のモノマーが用いられうるが、特に下記式にて示される化合物が好ましい。
【００２６】
【化３】
0004053656.tif 000003
【００２７】
式中、Ｘ1、Ｘ2およびＸ3はそれぞれ独立に水素またはメチル基であり、好ましくは水素である。
ｎは、１〜１０であり、好ましくは１〜４である。
【００２８】
Ｒ1は炭素数２〜１２の二価の炭化水素基であり、好ましくはエチレン、n-プロピレン、iso-プロピレン、n-ブチレン、iso-ブチレン、tert-ブチレン、sec-ブチレン、n-ペンチレン等の炭素数２〜５のアルキレン基である。
【００２９】
これらの中でも、Ｒ1としては特に、エチレン、n-プロピレン、n-ブチレン、tert-ブチレンが好ましい。
Ｒ2は炭素数１〜１０の炭化水素基であり、好ましくはメチル、エチル、n-プロピル、iso-プロピル、n-ブチル、iso-ブチル、tert-ブチル、sec-ブチル、n-ペンチル、iso-ペンチル、ネオペンチル、n-ヘキシル等の炭素数１〜６のアルキル基である。
【００３０】
これらの中でも、Ｒ2としては特に、エチル、n-プロピル、iso-プロピル、n-ブチル、iso-ブチル、tert-ブチルが好ましい。
したがって、本発明において用いられるモノマー（a2）としては、特に2-メトキシエチル（メタ）アクリレート、2-エトキシエチル（メタ）アクリレート、3-メトキシブチル（メタ）アクリレート、2-ブトキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート等のアルコキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルが特に好ましい。
【００３１】
このようなアルコキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルは、一種単独で、または二種以上を組み合わせて用いることができる。
さらに、モノマー（a2）としては、上記アルコキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルの他にも、アルキル基の炭素数が１〜１８である（メタ）アクリル酸エステルを用いることができる。また、モノマー（a2）の中でも、酸性基以外の官能基を含有するモノマーを用いると、共重合体（A1）中に酸性基以外の官能基を導入することができる。これらの酸性基以外の官能基は、後述するエネルギー線重合性基含有化合物（A2）との反応に用いることができる。酸性基以外の官能基を含む官能基含有モノマーは、重合性の二重結合と、ヒドロキシル基、アミノ基、置換アミノ基、エポキシ基等の官能基を分子内に有するモノマーであり、好ましくはヒドロキシル基含有不飽和化合物、エポキシ基含有不飽和化合物が用いられる。
【００３２】
ヒドロキシル基含有不飽和化合物の具体的な例としては、2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート、2-ヒドロキシプロピルアクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタクリレート等があげられる。
【００３３】
アミノ基または置換アミノ基含有不飽和化合物の具体的な例としては、２−アミノエチル（メタ）アクリレート、２−アミノエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ−メチルアミノエチル（メタ）アクリルアミド等があげられる。
【００３４】
エポキシ基含有不飽和化合物の具体的な例としては、グリシジル（メタ）アクリレート、脂環式エポキシ含有（メタ）アクリレート等があげられる。
さらに、共重合体（A1）には、上記モノマーの他にも少量（たとえば１０重量％以下、好ましくは５重量％以下）の割合で、蟻酸ビニル、酢酸ビニル、スチレン、アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリルアミド、アクリロニトリル等が共重合されていてもよい。
【００３５】
本発明で用いる共重合体（A1）中における酸性基含有重合性モノマー（a1）と、（a1）と共重合可能なモノマー（a2）との比（（a1）／（a2）モル比）は、好ましくは１／５０００〜５／１、特に好ましくは１／１０００〜２／１である。また共重合体（A1）の重量平均分子量は、好ましくは２万〜２００万であり、特に好ましくは５万〜１５０万である。
【００３６】
本発明で用いる共重合体（A1）は、上記した酸性基含有重合性モノマー（a1）と、該モノマーと共重合可能な他のモノマー（a2）とを所定の比となるように共重合することに得られる。この共重合は好ましくは溶液重合にて行われる。
【００３７】
溶液重合は、上記モノマー（a1）と（a2）との混合物に、酢酸エチル等の溶媒とアゾビスイソブチロニトリル等の重合開始剤を適量添加し、窒素気流下室温で３０分程度攪拌した後、４０〜１００℃で４〜１０時間程度反応させて行う。このような溶液重合によれば、乳化重合に比して、乳化剤や増粘剤が不要になるため、不純物イオンを低減でき、また重合条件の制御および得られる重合体の組成変更を容易に行えるという利点がある。さらに、溶液重合による重合体は、乳化重合による重合体に比して、剪断方向の作用に強いという驚くべき効果も得られる。
【００３８】
上記の共重合体（A1）は、１種単独で用いることもできるし、また２種以上を組み合わせて用いることもできる。
上記の共重合体（A1）と、該共重合体（A1）中に含まれる酸性基等の官能基に反応する置換基を有するエネルギー線重合性基含有化合物（A2）とを反応させることによって重合体（Ａ）が得られる。
【００３９】
エネルギー線重合性基含有化合物（A2）には、アクリル系共重合体（A1）中の官能基（酸性基等）と反応しうる置換基が含まれている。この置換基は、前記官能基の種類により様々である。たとえば、官能基がヒドロキシル基またはカルボキシル基の場合、置換基としてはイソシアナート基、エポキシ基等が好ましく、官能基がアミノ基または置換アミノ基の場合、置換基としてはイソシアナート基等が好ましく、官能基がエポキシ基の場合、置換基としてはカルボキシル基またはヒドロキシル基が好ましい。このような置換基は、エネルギー線重合性基含有化合物（A2）１分子毎に一つずつ含まれている。
【００４０】
またエネルギー線重合性基含有化合物（A2）には、エネルギー線重合性基が、１分子毎に１〜５個、好ましくは１〜２個含まれている。
エネルギー線重合性基としては、前述したように、炭素−炭素二重結合基、炭素−炭素三重結合基、エポキシ基等が存在するが、好ましくは炭素−炭素二重結合が選択される。
【００４１】
このようなエネルギー線重合性基含有化合物（A2）の具体例としては、たとえばメタクリロイルオキシエチルイソシアナート、メタ−イソプロペニル−α，α−ジメチルベンジルイソシアナート、メタクリロイルイソシアナート、アリルイソシアナート；
ジイソシアナート化合物またはポリイソシアナート化合物と、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとの反応により得られるアクリロイルモノイソシアナート化合物；
ジイソシアナート化合物またはポリイソシアナート化合物と、ポリオール化合物と、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとの反応により得られるアクリロイルモノイソシアナート化合物；
グリシジル（メタ）アクリレート；
脂環式エポキシ基含有（メタ）アクリレート；
エポキシ基含有ウレタン（メタ）アクリレート；
ヒドロキシル基含有（メタ）アクリレート；および
（メタ）アクリル酸等が挙げられる。
【００４２】
アクリル系共重合体（A1）とエネルギー線重合性基含有化合物（A2）との反応は、アクリル系共重合体（A1）に含まれる酸性基等の官能基および、エネルギー線重合性基含有化合物（A2）に含まれる置換基の反応性を考慮して適宜に選択される。
【００４３】
たとえば、ヒドロキシル基とイソシアナート基との反応は、通常室温程度の温度で常圧にて２４時間程度で行われる。この反応はたとえば酢酸エチル等の溶液中で、ジブチル錫ラウレート、トリエチルアミン、N,N,N',N'-テトラメチル-1,3-ブタンジアミン、1,4-ジアザビシクロ[2,2,2]オクタン等の触媒を用いて行う。
【００４４】
また、カルボキシル基とエポキシ基との反応は、通常室温から１２０℃程度の温度範囲で常圧にて２４時間程度で行われる。このときの触媒としては三級アミン、アンモニウム塩、金属触媒等を用いる。
【００４５】
この結果、アクリル系共重合体（A1）中の側鎖に存在する官能基と、エネルギー線重合性基含有化合物（A2）中の置換基とが反応し、エネルギー線重合性基がアクリル系共重合体（A2）中の側鎖に導入され、重合体（Ａ）が得られる。
【００４６】
重合体（Ａ）の分子量（重量平均）は、好ましくは２万〜３００万であり、さらに好ましくは５万〜２００万であり、特に好ましくは６万〜１８０万である。また重合体（Ａ）のガラス転移温度は、通常２０℃以下、好ましくは−７０〜０℃程度になり、常温（２３℃）においては粘着性を有する。
【００４７】
このような重合体（Ａ）中には、エネルギー線重合性基が含まれているので、エネルギー線照射により、重合硬化し、粘着性を失う。また、重合体（Ａ）中には、前述した量の酸性基が残留している。
【００４８】
（Ｂ）中和剤
中和剤（Ｂ）は、上記の重合体（Ａ）中に残留するカルボキシル基等の酸性基の一部または全部を中和し、重合体（Ａ）に親水性あるいは水溶性を付与するために用いられる。
【００４９】
中和剤（Ｂ）としては、ウエハ等の被着体に悪影響を及ぼすイオン性不純物のことを踏まえると、分子中に金属、ハロゲンを含まない化合物を用いるのが好ましく、種々の塩基性化合物が使用されうるが、本発明においては、特にアミン類、置換アミン類が好ましく用いられ、これらの中でも、水溶性アミン化合物が好ましい。
【００５０】
このようなアミン化合物としては、具体的にはアンモニア、アルカリ性を示すアンモニウム塩およびモノエチルアミン、モノエタノールアミンなどの１級アミン、ジエチルアミン、ジエタノールアミンなどの２級アミン、トリエチルアミン、トリエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドジエチルアセタール、Ｎ，Ｎ，Ｎ’−トリメチルエチレンジアミン、Ｎ−メチルジエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルヒドロキシルアミンなどの３級アミン、ジアミン、ポリエチレンイミンなどの１分子中に複数のＮを有するアミノ化合物、ピリジンなどの環式アミノ化合物などのごときアルカリ性を示す有機アミノ化合物が用いられる。
【００５１】
本発明のおいては、特にトリエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドジエチルアセタールが好ましく用いられる。
これらの中和剤は、１種単独で、または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００５２】
中和剤（Ｂ）は、前記重合体（Ａ）中に残留している酸性基１モルに対して、好ましくは０．０００１〜１モル、特に好ましくは０．００１〜０．７５モルの割合で用いられる。
【００５３】
重合体（Ａ）と中和剤（Ｂ）との混合は、たとえば、中和剤（Ｂ）をそのまま、あるいは溶剤（アルコール、アセトン等）で希釈し、室温下で重合体（Ａ）に加え、その後、５〜４０℃にて２５分以上攪拌することにより行われる。
【００５４】
この結果、重合体（Ａ）中に残留した酸性基（カルボキシル基等）と、中和剤（Ｂ）とが反応し、重合体（Ａ）中に中和剤（Ｂ）が取り込まれ、中和剤に由来する親水性が付与される。
【００５５】
かくして、本発明のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物が得られる。
（Ｃ）光重合開始剤
また、本発明のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物には、光照射によって硬化を行う場合には、光重合開始剤（Ｃ）を混入することができる。光重合開始剤を混入することにより、光照射による重合硬化時間ならびに光照射量を少なくすることができる。
【００５６】
このような光重合開始剤としては、具体的には、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ジベンジル、ジアセチル、β−クロールアンスラキノンなどが挙げられる。
【００５７】
光重合開始剤（Ｃ）の使用量は、前記重合体（Ａ）１００重量部に対して、好ましくは０．０５〜１５重量部、さらに好ましくは０．１〜１０重量部、特に好ましくは０．５〜５重量部である。
【００５８】
その他の成分
また、本発明のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物には、架橋剤（Ｄ）を添加することもできる。架橋剤（Ｄ）は、前記重合体（Ａ）を部分架橋させるために用いられる。架橋剤（Ｄ）としては、具体的には、分子内にグリシジル基を含む化合物、たとえばネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、ビスフェノールＦジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸ジグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレート、ジグリセロールトリグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジルｍ−キシレンジアミン、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジルジアミノジフェニルメタンなどのエポキシ系架橋剤、分子内にイソシアナート基を含む化合物、たとえばトリレンジイソシアナート、ジフェニルメタンジイソシアナートなどのイソシアナート系架橋剤、メラミン、フェノールなどのメチロール系架橋剤、キレート系架橋剤あるいはアジリジン系架橋剤などが用いられる。
【００５９】
重合体（Ａ）を架橋剤（Ｄ）で部分架橋することにより、得られる粘着剤組成物の剥離強度を適当な強さに調節することができ、水に溶解せずに膨潤する粘着剤が得られる。
【００６０】
架橋剤（Ｄ）は、エネルギー線重合性基を前記重合体（Ａ）中に導入し、中和剤を添加した後に最終的に残留する官能基１モルに対して、好ましくは０．００１〜１．０モル、特に好ましくは０．０１〜０．７５モルの割合で用いられる。
【００６１】
架橋剤（Ｄ）をそのまま、あるいは溶剤（トルエン、酢酸エチル、イソプロピルアルコール等）で希釈し、上記粘着剤組成物に室温下で配合し、５〜４０℃にて５分以上攪拌することにより、重合体（Ａ）を部分架橋できる。
【００６２】
さらに本発明の粘着剤組成物には、水溶性有機化合物（Ｅ）を添加することもできる。水溶性有機化合物（Ｅ）としては、ポリオレフィングリコール系界面活性剤や非イオン系界面活性剤が好ましく用いられる。
【００６３】
ポリオレフィングリコール系界面活性剤としては、たとえばポリエチレングリコールアルキルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールアルキルエーテル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ポリプロピレングリコールポリエチレングリコールエーテルなどが用いられ、特にＨＬＢ８〜１８のものが好ましく用いられる。ポリオレフィングリコール系界面活性剤の配合量は、粘着剤組成物１００重量部に対して０．１〜１０重量部程度、好ましくは０．５〜８重量部が適当である。
【００６４】
また非イオン系界面活性剤としては、たとえばポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテル、アルカノールアミド、ポリオキシエチレンノニルフェノールエーテル、ポリエチレングリコール、ポリエチレンオキシラウリルエーテル等である。
【００６５】
また、上記の他にも、水溶性有機化合物としては、例えばジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート等が挙げられ、このうち好ましくは沸点が１００℃以上、さらに好ましくは１５０℃以上のものが好適である。
【００６６】
さらに、水溶性有機化合物としては、水溶性ポリマーを用いることもできる。水溶性ポリマーとして、種々のものを用いうるが、就中ポリプロピレングリコールの如く界面活性剤作用や可塑剤作用を有するものが好ましく用いられる。特にジオール型やトリオール型のポリプロピレングリコールが好ましい。
【００６７】
このような水溶性有機化合物（Ｅ）の配合量は、粘着剤組成物１００重量部に対して０．０１〜５０重量部、好ましくは０．０２〜２０重量部、さらに好ましくは０．０５〜１０重量部が好適である。
【００６８】
上記のような水溶性有機化合物（Ｅ）は、１種単独で用いてもよく、また２種以上を併用して用いてもよい。
さらに、本発明の粘着剤組成物には、エネルギー線重合性化合物（Ｆ）を添加することもできる。エネルギー線重合性化合物（Ｆ）を添加することで、エネルギー線照射による接着力の低下をさらに促進できる。エネルギー線重合性化合物（Ｆ）は、分子内にエネルギー線重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも１つ有し、その重量平均分子量は通常１０００００以下、好ましくは１００〜５００００、さらに好ましくは５００〜３００００、特に好ましくは１０００〜２５０００であり、エネルギー線照射によって重合しうる化合物である。
【００６９】
このようなエネルギー線重合性化合物（Ｆ）としては、たとえば特開昭６０−１９６，９５６号公報および特開昭６０−２２３，１３９号公報に開示されているようなエネルギー線重合性化合物が広く用いられ、具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートあるいは１，４−ブチレングリコールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、市販のオリゴエステルアクリレートなどが用いられる。
【００７０】
さらにエネルギー線重合性化合物として、上記のようなアクリレート系化合物のほかに、ウレタンアクリレート系オリゴマーを用いることもできる。ウレタンアクリレート系オリゴマーは、ポリエステル型またはポリエーテル型などのポリオール化合物と、多価イソシアナート化合物たとえば２，４−トリレンジイソシアナート、２，６−トリレンジイソシアナート、１，３−キシリレンジイソシアナート、１，４−キシリレンジイソシアナート、ジフェニルメタン４，４−ジイソシアナートなどを反応させて得られる末端イソシアナートウレタンプレポリマーに、ヒドロキシル基を有するアクリレートあるいはメタクリレートたとえば２−ヒドロキシエチルアクリレートまたは２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレートなどを反応させて得られる。
【００７１】
このようなウレタンアクリレート類の中でも、特に、親水性を有するウレタンアクリレート化合物が好ましく、具体的には、分子内に少なくとも１個の水酸基を含有する（メタ）アクリル酸エステルと、有機ポリイソシアナート類と、１個の水酸基を含有するポリエチレングリコールモノアルキルエーテルとの反応生成物が好適に用いられる。
【００７２】
ここで、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテルは、Ｈ−（ＯＣＨ2ＣＨ2）n−ＯＲ（式中Ｒは低級アルキル基であり、ｎは３〜４０の整数を示す）であらわされる化合物である。
【００７３】
このような特に好ましいウレタンアクリレート化合物の詳細は、特開平６−２８７２６０号公報等に記載されている。
本発明の粘着剤組成物におけるエネルギー線重合性化合物（Ｆ）の配合割合は、重合体（Ａ）１００重量部に対して、好ましくは１５０重量部以下、さらに好ましくは１２０重量部以下、特に好ましくは１００重量部以下である。この場合には、得られる粘着剤の初期接着力が大きく、しかもエネルギー線照射後には粘着力は大きく低下し、被着体との剥離が容易になり、しかも粘着剤が被着体表面に残留することもない。
【００７４】
さらに、本発明の粘着剤組成物には、上記以外の他の粘着成分（Ｇ）を配合することもでき、具体的にはアクリル系粘着剤やゴム系粘着剤など従来より公知の粘着剤や、前述したアクリル系共重合体（A1）を添加することもできる。公知のアクリル系粘着剤やアクリル系共重合体（A1）には、エネルギー線重合性基が含まれておらず、それ自体は重合活性を有しない。このような粘着成分（Ｇ）としては、前述したアクリル系共重合体（A1）が特に好ましく用いられる。
【００７５】
アクリル系共重合体（A1）は、前述したように、（a1）酸性基含有重合性モノマーと（a2）該モノマーと共重合可能な他のモノマーとを重合することにより得られる重合体である。モノマー（a2）としては、アルキル基の炭素数が１〜１８である（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましく用いられる。また、これら単量体の他にも、酢酸ビニル、スチレン、塩化ビニル等が共重合されていてもよい。本発明においては、特にカルボキシル基含有アクリル系共重合体が好ましく用いられる。
【００７６】
他の粘着成分（Ｇ）として用いられるアクリル系共重合体（A1）の分子量は、５万以上であり、好ましくは１０万〜２００万であり、特に好ましくは１５万〜１５０万である。またアクリル系共重合体（A1）のガラス転移温度は、通常２０℃以下、好ましくは−７０〜０℃程度になり、常温（２３℃）においては粘着性を有する。
【００７７】
また、アクリル系共重合体（A1）中の酸性基を中和剤（Ｂ）で中和することで、親水性が付与される。
このような他の粘着成分（Ｇ）の配合割合は、重合体（Ａ）１００重量部に対して、好ましくは２００重量部以下、さらに好ましくは１５０重量部以下、特に好ましくは１２０重量部以下である。粘着成分（Ｇ）の配合割合が多過ぎると、放射線硬化性を損ない、放射線照射後も粘着力が低下しないことがある。
【００７８】
さらに本発明のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物には、必要に応じて、本発明の目的を損なわない範囲で、粘着剤の粘着力、凝集力、タック、分子量、分子量分布、弾性率、ガラス転移点、親水性、耐水性等の調整のため、水溶性多価アルコールなどの親水性可塑剤、粘着付与性樹脂、顔料、染料、消泡剤、防腐剤などを添加することもできる。
【００７９】
このような他の成分は、それぞれの成分を添加する目的により様々であるが、重合体（Ａ）１００重量部に対して、好ましくは０．０１〜１００重量部程度の割合で用いられる。
【００８０】
エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物
本発明のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物は、上記のような重合体（Ａ）、中和剤（Ｂ）、所望により光重合開始剤（Ｃ）および前述した他の成分とを、常法にて混合することにより得られる。
【００８１】
このようなエネルギー線硬化型感圧接着剤組成物は、エネルギー線照射により、剥離後の被着体への粘着剤の残留を極めて少なくすることができる程の硬化が得られる。
【００８２】
エネルギー線としては、具体的には、紫外線、電子線等が用いられる。また、その照射量は、粘着剤の組成およびエネルギー線の種類によって様々であり、たとえば紫外線を用いる場合には、４０〜２００Ｗ／cm程度が好ましく、電子線を用いる場合には、１０〜１０００krad程度が好ましい。このようなエネルギー線の照射により、粘着力は激減する。たとえば、半導体ウエハ鏡面に対する粘着力は、エネルギー線の照射前には１００〜１０００ｇ／25mm程度であるのに対し、照射後には、照射前の０．５〜５０％程度にコントロールできる。
【００８３】
しかも、本発明の粘着剤組成物は、エネルギー線により硬化した後でも、親水性を維持する。
たとえば、重合体（Ａ）として、部分架橋型重合体を用いた場合には、水と接触すると架橋した状態で有限に膨潤する。エネルギー線照射後も、粘着ポリマーが膨潤するため、粘着剤がウエハ面に残っても洗浄できる。
【００８４】
なお、粘着剤の親水性は以下のようにして評価する。すなわち、粘着剤のみを被着体（ミラーウエハ）に貼付し、２３℃の水に浸漬する。粘着剤が水に溶解あるいは膨潤して被着体から完全に剥離するまでの時間を測定する。
【００８５】
通常、研磨されたウエハを研磨屑の除去等のため水で洗浄する工程がある。
工程適性を考えると、本発明の粘着剤組成物は３０分以内に剥離することが好ましく、１０分以内に剥離することがさらに好ましい。３０分を超えると、生産性が悪くなることがある。
【００８６】
このように、本発明の粘着剤組成物は、エネルギー線により硬化した後でも親水性を有するため、硬化後に被着体表面に粘着剤が残留したとしても、簡単な水洗浄によって残留粘着剤を除去することができる。
【００８７】
粘着シート
本発明に係る粘着シートは、上記粘着剤組成物からなる粘着剤層と、基材とからなる。
【００８８】
基材としては、特に限定はされないが、たとえば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン酢ビフィルム、アイオノマー樹脂フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等ならびに、これらの架橋フィルムが用いられる。さらにこれらの積層フィルムであってもよい。さらに必要に応じ、上記フィルムを着色したフィルム、フッ素樹脂フィルム等を用いることができる。また、基材の厚さは、通常は５０〜５００μｍ、好ましくは８０〜３００μｍ程度であり、基材の厚さが薄くなると表面保護機能が低下するおそれがある。
【００８９】
本発明の粘着シートは、上記粘着剤組成物をコンマコーター、グラビアコーター、ダイコーター、リバースコーターなど一般に公知の方法にしたがって各種の基材上に適宜の厚さで塗工して乾燥させて粘着剤層を形成し、次いで必要に応じ粘着剤層上に離型シートを貼り合わせることによって得られる。
【００９０】
粘着剤層の厚さは、用途によって様々であるが、通常は５〜５０μｍ、好ましくは１０〜４０μｍ程度であり、粘着剤層の厚さが薄くなると表面保護機能が低下するおそれがある。
【００９１】
本発明に係る粘着シートの形状は、テープ状、ラベル状などあらゆる形状をとりうる。
このような本発明に係る粘着シートは、ウエハ加工時に好ましく用いられ、特にウエハ等の表面保護に好ましく用いられる。
【００９２】
すなわち、上記のような各成分を含む粘着シートは、ウエハ加工工程中には、粘着剤層と被着体表面との間に研摩屑、切削屑等が入り込むことがなく、ウエハ表面を充分に保護することができる。しかも所要の加工工程終了後には、ウエハから粘着シートを容易に剥離することができ、しかもウエハ表面に粘着剤が付着残存したとしても容易に水で洗い落すことができる。
【００９３】
利用方法
このような本発明に係る粘着シートは、特にウエハ加工時の表面保護シートとして好適に用いられる。次に本発明に係る粘着シートを用いたウエハ裏面の研摩方法について説明する。
【００９４】
粘着シートの上面に剥離性シートが設けられている場合には、剥離性シートを除去し、次いでこの粘着剤層に、裏面を研摩処理をすべきウエハを貼着する。この際粘着剤層上に、パターンが形成されたウエハ表面が接するようにして貼着する。
【００９５】
この状態で、ウエハ裏面をグラインダーなどによって研摩して、ウエハ裏面に形成された酸化物被膜などを除去するとともに、ウエハの厚みを所望の厚さに調節する。この際精製水をウエハに吹き付けるなどしてウエハ研摩屑を洗い去るとともに、研摩時に発生する熱を除去する。
【００９６】
次に研摩が終了した後に、ウエハから粘着シートを剥離する。本発明の粘着シートによれば、前述したように、エネルギー線照射によって粘着力を非常に低レベルとすることができるので、ウエハ表面から容易に粘着シートを剥離することができる。また粘着シートの剥離後に、ウエハ表面に粘着剤が残留したとしても、この残留した粘着剤は精製水で簡単に洗い去ることができる。
【００９７】
このように本発明に係る粘着シートでは、粘着剤層が特定の成分を含有する粘着剤組成物から形成されているため、エネルギー線照射によって粘着力を激減させ、剥離を容易に行うことができる。また、たとえウエハ表面に粘着剤が付着しても、該粘着剤をトリクレンなどの有機溶剤を用いずに精製水によって洗浄することによって除去することができ、したがって、人体に悪影響を与えたり、環境を汚染したりするという危険性が全くない。しかも従来では、粘着剤が付着したウエハ表面をトリクレンなどの有機溶剤で洗浄した後、精製水で洗浄するという２工程が必要であったが、本発明では、粘着剤が付着したウエハ表面を精製水でたとえば超音波洗浄装置などを用いて洗浄すればよいため、洗浄を１工程で行うことができる。さらに、本発明に係る粘着シートは、ウエハ裏面の研摩時には、ウエハに対して充分な接着力を有して貼着されているため、ウエハ表面と粘着シートとの間にウエハ研摩屑が入り込んでウエハ表面に形成されたパターンが破壊されることがない。
【００９８】
なお、本発明の粘着シートは、上記のような使用方法の他、半導体化合物、ガラス、セラミックス、金属などの加工時における表面保護あるいは固定のために使用することもでき、たとえば、半導体ウエハをチップ毎にダイシングする際のウエハ固定用シートとして使用することもできる。
【００９９】
【発明の効果】
本発明の粘着剤組成物は、エネルギー線硬化性と親水性とを併せ持つ。このため、エネルギー線照射によって接着力が激減し、被着体からの粘着シートの剥離を容易に行うことができる。しかも、粘着剤の組成が均一であり、また凝集力にも優れるため、粘着シートを剥離しても、粘着剤が被着体表面に残存することはない。さらに、何らかの事由で、粘着剤が被着体表面に残存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留粘着剤を除去することができる。
【０１００】
【実施例】
以下本発明を実施例により説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【０１０１】
なお、以下の実施例および比較例において、「残留パーティクル」、「水洗浄性」および「粘着力」は次のようにして評価した。
残留パーティクル測定
実施例あるいは比較例において得られた粘着シートを２３℃、６５％ＲＨの雰囲気下で、４インチシリコンウエハ鏡面に２kgゴムローラーを往復させることにより貼り付け、６０分間放置した後、基材フィルム側から高圧水銀灯（８０Ｗ／cm）で照射距離１０cm、ラインスピード５ｍ／分で紫外線照射した後、その後、粘着シートを剥離した。水洗浄性試験を行う前に、ウエハ表面に残留した粒径０．２７μｍφ以上のパーティクルの数をレーザー表面検査装置（ＬＳ５０００、日立電子エンジニアリング製）により測定した。
水洗浄性
実施例および比較例で作成した粘着剤のみを厚さ５０μｍに塗布乾燥し、これを２０mm角に切断してミラーウエハに貼付した。２０分間放置した後、粘着剤層に高圧水銀灯（８０Ｗ／cm）で照射距離１０cm、ラインスピード５ｍ／分で紫外線照射した。その後、常温で純水中に浸漬し、剥離までの時間を測定した。
【０１０２】
なお、実施例１６では、紫外線照射に代えて、低エネルギー電子線加速器を用いて加速電圧２００ｋＶ、ビーム電流５ｍＡの設定で線量が８０ｋＧｙになるように電子線照射を行った。
【０１０３】
表中の判定基準は以下のとおりである。
良：＜１０分、可：１０〜３０分、不可：＞３０分
粘着力
実施例あるいは比較例において得られた粘着シートを２３℃、６５％ＲＨの雰囲気下で、半導体ウエハ鏡面に２kgゴムローラーを往復させることにより貼り付け、２０分間放置した後、万能型引張試験機（株式会社オリエンテック製、商品名：TENSILON / UTM-4-100）を用いて剥離速度３００mm／分で１８０°剥離粘着力（ｇ／25mm）を測定した。また、同様の条件で貼付、放置後、基材フィルム側から高圧水銀灯（８０Ｗ／cm）で照射距離１０cm、ラインスピード５ｍ／分で紫外線照射した後、同様に１８０°剥離粘着力を測定した。なお、実施例１６では、上記と同様に、紫外線照射に代えて電子線照射を行った。
【０１０４】
なお、略号は以下のものを示す。
〔粘着剤主剤〕
Ａ：エネルギー線重合性基含有重合体
Ａ（１）：2-メトキシエチルアクリレート(a2)９０重量部，アクリル酸(a1)１０重量部からなる重量平均分子量２５００００の共重合体(A1)の２５％酢酸エチル溶液１００重量部とグリシジルメタクリレート(A2)４重量部との反応物（二重結合を含む単位１３．６モル％、酸性基を含む単位３．４モル％）。
Ａ（２）：2-メトキシエチルアクリレート(a2)８０重量部，メタクリル酸(a1)５重量部、脂環式エポキシ基含有メタクリレート(a2)（ダイセル化学工業社製サイクロマーＭ−１００）１５重量部からなる重量平均分子量１０００００の共重合体(A1)の２５％酢酸エチル溶液１００重量部とメタクリル酸(A2)１．３重量部との反応物（二重結合を含む単位６．９モル％、酸性基を含む単位７．７モル％）。
Ａ（３）：2-メトキシエチルアクリレート(a2)８０重量部，アクリル酸(a1)５重量部、2-ヒドロキシエチルアクリレート(a2)１５重量部からなる重量平均分子量２５００００の共重合体(A1)の２５％酢酸エチル溶液１００重量部とメタクリロイルオキシエチルイソシアナート(A2)３．５重量部との反応物（二重結合を含む単位１１．２モル％、酸性基を含む単位８．５モル％）。この反応は主としてＯＨ基とＮＣＯ基との間で進行する。
Ａ（４）：ブチルアクリレート(a2)８０重量部，アクリル酸(a1)５重量部、2-ヒドロキシエチルアクリレート(a2)１５重量部からなる重量平均分子量２５００００の共重合体(A1)の２５％酢酸エチル溶液１００重量部とメタクリロイルオキシエチルイソシアナート(A2)３．５重量部との反応物（二重結合を含む単位１０．９モル％、酸性基を含む単位８．４モル％）。この反応は主としてＯＨ基とＮＣＯ基との間で進行する。
Ａ（５）：2-メトキシエチルアクリレート(a2)６７重量部、脂環式エポキシ基含有メタクリレート(a2)（ダイセル化学工業社製サイクロマーＭ−１０１）３０重量部、アクリル酸(a1)３重量部からなる重量平均分子量２０００００の共重合体(A1)の２５％酢酸エチル溶液１００重量部とヒドロキシメタクリレート(A2)２．５重量部との反応物（二重結合を含む単位１１．８モル％、酸性基を含む単位６．４モル％）。
Ｇ：他の粘着成分（エネルギー線重合性基不含有重合体）
Ｇ（１）：2-メトキシエチルアクリレート９０重量部，アクリル酸１０重量部からなる重量平均分子量２５００００の共重合体の２５％酢酸エチル溶液。
Ｇ（２）：ブチルアクリレート８０重量部，アクリル酸５重量部、2-ヒドロキシエチルアクリレート１５重量部からなる重量平均分子量２５００００の共重合体の２５％酢酸エチル溶液。
Ｇ（３）：ブチルアクリレート７０重量部，2-ヒドロキシエチルアクリレート３０重量部からなる重量平均分子量２５００００の共重合体の２５％酢酸エチル溶液。〔中和剤〕
Ｂ：トリエタノールアミン
〔光重合開始剤〕
Ｃ：1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（商品名：イルガキュアー１８４、チバ・ガイギー社製）
〔架橋剤〕
Ｄ：エポキシ系架橋剤（テトラッドＣ）
〔界面活性剤〕
Ｅ：トリエチレングリコールモノメチルエーテル
〔エネルギー線重合性化合物〕
Ｆ（１）：ヘキサメチレンジイソシアナート三量体（商品名：コロネートＨＸ、日本ポリウレタン（株）製）３４３．５部、ヒドロキシプロピルアクリレート１６６．３部、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル１９０．３部の反応生成物（８０％酢酸エチル溶液）（重量平均分子量：２５０００）
Ｆ（２）：ヘキサメチレンジイソシアナート５２．８部、ペンタエリスリトール１０．７部、2-ヒドロキシエチルアクリレート３６．５部の反応生成物（８０％酢酸エチル溶液）（重量平均分子量：２０００）
【０１０５】
【実施例および比較例】
上記各成分を表１に記載の処方にしたがって配合し、粘着剤組成物を得た。
上記で得られた粘着剤組成物を、厚さ１１０μｍのポリエチレンフィルムのコロナ処理面上に、乾燥後の塗布厚が２０μｍになるように塗布し、総厚が１３０μｍの粘着シートを得た。
【０１０６】
得られた粘着シートを用いて上記の手法により「残留パーティクル」、「水洗浄性」および「粘着力」の評価を行った。結果を表１に示す。
【０１０７】
【表１】
0004053656.tif 000004