(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
可搬式装置の側面下端部の複数箇所に取付けられて、床面の突出物との当接を回避すべく、当該床面に対する前記可搬式装置の底面部の高さを前記突出物の高さよりも高くして当該可搬式装置を搬送させるためのキャスタ装置であって、
前記可搬式装置の側面下端部に取付けられる取付台と、
前記取付台の下方に配置されるキャスタ支持台に支持されて、当該キャスタ支持台に対して回転可能に支持されると共に、前記取付台に螺合されて、前記突出物との当接を回避できる長さを有するねじロッドを介して前記取付台に対して相対的に昇降可能に支持されるキャスタとから成り、
前記キャスタを支持するキャスタ支持台の上面には、前記ねじロッドと所定間隔をおいて前記取付台に貫設されたガイド孔に挿通されて、前記ねじロッドと同等長さを有するガイドロッドが設けられて、前記キャスタは、前記ねじロッドと前記ガイドロッドとの２本のロッド部材を介して前記取付台に支持されていることを特徴とする可搬式装置搬送用のキャスタ装置。
【請求項２】
前記ガイドロッドは、キャスタのほぼ直上に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の可搬式装置搬送用のキャスタ装置。
【請求項３】
前記取付台は、可搬式装置の側面下端部に対して着脱可能に取付けられることを特徴とする請求項１又は２に記載の可搬式装置搬送用のキャスタ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、可搬式装置の側面下端部の複数箇所に取付けられて、該装置を搬送するためのキャスタ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
可搬式装置は、搬送用のキャスタと、該装置を定置させるための複数本の据付ボルトとを備えている。この可搬式装置を据え付ける場合、前記キャスタを利用して据付位置まで装置を搬送して、位置決めを行った後に、前記据付ボルトを回転させて、床面に対して装置を上昇させることにより、キャスタを床面から僅かに離した状態で据え付けられる。このとき、可搬式装置全体は、複数本の据付ボルトにより支持されている。
【０００３】
本明細書では、可搬式装置の一例として、半導体製造装置におけるウェハ移載装置のローダモジュールを搬送する場合について説明する。ここで、ウェハ移載装置とは、ロードポート装置に設置されたウェハキャリアからウェハを取り出し、ウェハ処理装置の側に移載するための装置である。そして、ウェハ移載装置に、別のウェハ移載装置を増設して使用する場合がある。このような場合、それぞれの単体のユニットを「ローダモジュール」と称している。ここでは、標準ユニットのローダモジュールＭについて説明する。図６に示されるように、ローダモジュールＭのフレーム１の底面部１ａには、該ローダモジュールＭを搬送させるためのキャスタ２と、ローダモジュールＭが据付位置に据え付けられた後、前記キャスタ２を床面Ｆから僅かに離して、該ローダモジュールＭを定置させるための据付ボルト（アジャスターフット）３が取付けられている。このローダモジュールＭの正面側には、３基のロードポート装置Ｌが装着されている。
【０００４】
このローダモジュールＭが据え付けられる床面Ｆには、予め、「テンプレート４」と称される位置決め用部材が設けられていて、該ローダモジュールＭはテンプレート４によっておよその据付位置が定められる。前記テンプレート４にエア、ガス、水等を供給するための供給口（図示せず）が設けられている場合、該テンプレート４を介してローダモジュールＭに、エア、ガス、水等が供給される。ところが、このテンプレート４が床面Ｆから突出して設けられていて、しかも、その高さが床面ＦからローダモジュールＭのフレーム１の底面部１ａまでの高さよりも高い場合がある。このような場合、ローダモジュールＭを搬送する際に、そのフレーム１がテンプレート４に当接して、所定の据付位置まで搬送することができないという不具合がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記した不具合に鑑み、可搬式装置にキャスタ装置を取付けて、床面と可搬式装置のフレームの底面部との間隔を自在に調整して、床面に設けられた突出物と当接せずに装置を搬送できるようにすることを課題としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための請求項１の発明は、可搬式装置の側面下端部の複数箇所に取付けられて、床面の突出物との当接を回避すべく、当該床面に対する前記可搬式装置の底面部の高さを前記突出物の高さよりも高くして当該可搬式装置を搬送させるためのキャスタ装置であって、前記可搬式装置の側面下端部に取付けられる取付台と、前記取付台の下方に配置されるキャスタ支持台に支持されて、当該キャスタ支持台に対して回転可能に支持されると共に、前記取付台に螺合されて、前記突出物との当接を回避できる長さを有するねじロッドを介して前記取付台に対して相対的に昇降可能に支持されるキャスタとから成って、前記キャスタを支持するキャスタ支持台の上面には、前記ねじロッドと所定間隔をおいて前記取付台に貫設されたガイド孔に挿通されて、前記ねじロッドと同等長さを有するガイドロッドが設けられて、前記キャスタは、前記ねじロッドと前記ガイドロッドとの２本のロッド部材を介して前記取付台に支持されていることを特徴ととしている。
【０００７】
請求項１の発明によれば、可搬式装置の側面下端部に取付けられる取付台に対して、キャスタが相対的に昇降可能に支持されているので、床面と可搬式装置の底面部との間隔を自在に調整することができる。このため、可搬式装置の搬送途中に突出物があっても、床面と可搬式装置のフレームの底面部との間隔を、前記突出物よりも高くさせることにより、突出物に当接することなく、装置の据付位置まで搬送させることができる。また、キャスタを支持するキャスタ支持台の上面には、前記ねじロッドと所定間隔をおいて前記取付台に貫設されたガイド孔に挿通されるガイドロッドが設けられて、キャスタは、ねじロッドとガイドロッドとの２本のロッド部材を介して取付台に支持されているので、キャスタを直上の取付台に対して相対的に昇降させる際に、ねじロッドの部分に偏荷重が作用しなくなる。この結果、取付台に対してキャスタを相対的に昇降させるための操作、即ち、ねじロッドを回転させる操作をスムーズに行うことができると共に、取付台に対するキャスタの支持状態が安定する。このように、搬送途中の可搬式装置と床面の突出物との当接を回避するために、キャスタと取付台との間隔を大きくした場合でも、取付台に対するキャスタの支持状態が安定しているために、可搬式装置を安定して搬送できる。
【０００８】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記ガイドロッドは、キャスタのほぼ直上に配置されているので、取付台に対するキャスタの支持状態が最も安定する。
【０００９】
また、請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、前記取付台は、可搬式装置の側面下端部に対して着脱可能に取付けられるので、複数本の据付ボルトによって可搬式装置が据え付けられて、キャスタが床面から離れた状態において、キャスタ装置そのものを可搬式装置から取り外して、別の装置に取付けて、該装置を搬送する。このように、多数の可搬式装置に対してキャスタ装置を共用することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明する。図１は本発明に係るキャスタ装置Ａの斜視図、図２は同じく正面図、図３は同じく側面断面図である。本発明に係るキャスタ装置Ａは、ローダモジュールＭの側面下端部に取付けられる取付台１１と、前記取付台１１の下方に配置されて、該取付台１１に対して昇降可能に支持されるキャスタ７とから成る。図１ないし図３に示されるように、本発明に係るキャスタ装置Ａを構成するキャスタ支持台６の底面部には、キャスタ７が取付けられていて、同じく上面部のほぼ中央部には、ガイドロッド８が立設されていると共に、一端部には、台形ねじロッド９が立設されている。そして、キャスタ支持台６の上方には、取付台１１が配置されていて、該取付台１１は前記ガイドロッド８と前記台形ねじロッド９に装着されている。キャスタ７について説明する。このキャスタ７は、キャスタ支持台６の底面部に取付けられたキャスタブラケット７ａに、キャスタ輪７ｂが回転可能にして支承された構成である。そして、前記キャスタブラケット７ａは、床面Ｆに垂直な直線（回転中心線ＣＬ）に対し、その周方向に回転可能である。
【００１１】
図３に示されるように、前記キャスタ支持台６の上面部で、前記キャスタ７のほぼ直上にはガイドロッド８が立設されている。また、前記キャスタ支持台６の上面部の一端部には、スラスト軸受１２が埋設されていて、該スラスト軸受１２に台形ねじロッド９が装着されている。この台形ねじロッド９のほぼ全長に亘る部分には、台形ねじ部９ａが形成されていると共に、台形ねじロッド９の下端部が段付き形状を呈していて、この段付軸部９ｂがキャスタ支持台６の底面部から突出されている。そして、該段付軸部９ｂの下端部に設けられた雄ねじ部９ｃに、座金１３を介して六角ナット１４が螺合されている。キャスタ支持台６の底面部と座金１３との間には、僅かな隙間が設けられているため、前記台形ねじロッド９は、その軸心を中心にして回転可能である。
【００１２】
上記したガイドロッド８と台形ねじロッド９には、昇降可能にして取付台１１が装着されている。この取付台１１において、ローダモジュールＭに取付けられる側の端部は下方に延設されていて、図３に示されるように、側面視において略Ｌ字状を成している。そして、このＬ字状の部分の先端部が、ローダモジュールＭのフレーム１の底面部１ａに引っ掛けて支持するための爪部１１ａとなっている。また、該キャスタ支持台６において台形ねじロッド９が装着される部分には、その台形ねじ部９ａに対応する台形ねじナット１５が取付けられている。この台形ねじナット１５は、キャスタ支持台６の底面部から上方に向かって嵌着されている。また、キャスタ支持台６においてガイドロッド８が装着される部分には、該ガイドロッド８に対して取付台１１をスムーズに相対昇降させるためのすべり軸受１６が取付けられている。
【００１３】
前記台形ねじロッド９の上端部には、ソケットレンチ１７のソケット１７ａを嵌め込むための六角ナット状のソケット嵌着部材１８が固着されている。作業者は、前記ソケット嵌着部材１８にソケットレンチ１７のソケット１７ａを嵌め込み、該ソケットレンチ１７を所定方向に回転させることによって、台形ねじロッド９を回転させることができる。台形ねじロッド９が所定方向に回転されると、ガイドロッド８と台形ねじロッド９との２本のロッドにガイドされてキャスタ７が昇降する。その結果、相対的に取付台１１が昇降する。このため、取付台１１の爪部１１ａに荷重（ローダモジュールＭの重量）が作用していても、台形ねじロッド９に偏荷重が作用しなくなり、キャスタ７を昇降させる操作をスムーズに行うことができると共に、取付台１１に対するキャスタ７の支持状態が安定する。
【００１４】
次に、図４ないし図１０を参照しながら、本発明に係るキャスタ装置Ａの作用について説明する。図４に示されるように、床面Ｆに仮設されたローダモジュールＭにおけるフレーム１の側面下端部の複数箇所に、本発明に係るキャスタ装置Ａが取付けられる。本実施例の場合、キャスタ装置Ａが取付けられるのは、図７に示されるように、ローダモジュールＭのフレーム１の四隅の４箇所である。図４に示されるように、取付台１１の爪部１１ａが、ローダモジュールＭのフレーム１の下端縁に引っ掛けられて取付けられる。このとき、各キャスタ装置Ａのキャスタ７は、予め取付台１１の底面部に接する程度まで上昇されており、しかも、ローダモジュールＭのフレーム１の底面部１ａと床面Ｆとの間隔が、各据付ボルト３によって調整されているため、前記取付台１１は、キャスタ輪７ｂが床面Ｆから離れた状態で取付けられる。取付台１１の爪部１１ａが、ローダモジュールＭのフレーム１の下端縁に引っ掛けられると、該取付台１１が取付ボルト１９によってフレーム１に固定される。前記取付ボルト１９が１本のみであっても、取付台１１の爪部１１ａが、ローダモジュールＭのフレーム１の下端縁に引っ掛けられているため、該取付台１１が回動することはない。こうすることによって、ローダモジュールＭの搬送中に、各キャスタ装置Ａが外れたり、ローダモジュールＭに対して回動したりすることが防止される。
【００１５】
次に、図４及び図５に示されるように、台形ねじロッド９の上端に固着されたソケット嵌着部材１８に、ソケットレンチ１７のソケット１７ａを嵌着させて、該ソケットレンチ１７を所定方向に回転させる。台形ねじロッド９が取付台１１に装着された台形ねじナット１５と螺合されていて、しかも、該取付台１１はローダモジュールＭのフレーム１に固定されているため、キャスタ７が下降する。キャスタ７のキャスタ輪７ｂを床面Ｆに設置させた後、更に台形ねじロッド９を回転させると、相対的に取付台１１が上昇する。この結果、ローダモジュールＭが上昇される。
【００１６】
図５ないし図７に示されるように、床面ＦとローダモジュールＭのフレーム１の底面部１ａとの間隔を、テンプレート４の高さよりも高くして、該ローダモジュールＭを据付位置まで搬送させる。ローダモジュールＭにおけるキャスタ２と据付ボルト３は、フレーム１の四隅に設けられているため、テンプレート４と当接することはない。続いて、図８に示されるように、テンプレート４とローダモジュールＭとを対応させて配置し、図９に示されるように、各キャスタ装置Ａの台形ねじロッド９を逆回転させてローダモジュールＭを降下させる。このようにして、ローダモジュールＭは、およその位置決めがされた状態で所定の据付位置に据え付けられる。
【００１７】
そして、およその位置決めがされた状態で据え付けられたローダモジュールＭは、自身の据付ボルト３によって定置される。この後、図１０に示されるように、各取付ボルト１９が取り外されて、各キャスタ装置Ａが取り外される。取り外された各キャスタ装置Ａは、別の装置を搬送する際に使用することも可能である。
【００１８】
上記したように、本発明に係るキャスタ装置Ａによって搬送されたローダモジュールＭは、所定の据付位置に据え付けられる際に、テンプレート４によっておよその位置決めが成される。このとき、該ローダモジュールＭはキャスタ７によって支持されているため、テンプレート４の上端部のみがフレーム１に入り込んだ状態（仮据付状態）で、該ローダモジュールＭを僅かに前後左右に移動させたり、傾けたりすることが容易にできる。即ち、ローダモジュールＭの据付位置を微調整しながら据え付けることができるという利点がある。例えば、図１１に示されるように、ローダモジュールＭ（標準ユニット）に別のローダモジュールＭ’（増設ユニット）を増設させる場合、それぞれのガイドレール（図示せず）を接続させるための作業が必要である。このとき、増設側のローダモジュールＭ’をキャスタ装置Ａに支持させておき、その状態で増設側のローダモジュールＭ’の据付位置、傾き等を微調整することができる。この結果、標準側のローダモジュールＭと増設側のローダモジュールＭ’とのガイドレール（図示せず）を接続させるための作業が容易である。
【００１９】
本発明に係るキャスタ装置Ａは、可搬式装置だけでなく、各種の装置、重量物等を床面から上方に配置させた状態で搬送させる場合においても使用可能である。
【００２０】
【発明の効果】
本発明によれば、可搬式装置の側面下端部に取付けられる取付台に対して、キャスタが相対的に昇降可能に支持されているので、床面と可搬式装置の底面部との間隔を自在に調整することができるので、可搬式装置の搬送途中に突出物があっても、床面と可搬式装置のフレームの底面部との間隔を、前記突出物よりも高くさせることにより、突出物に当接することなく、装置の据付位置まで搬送させることができる。また、キャスタを支持するキャスタ支持台の上面には、ねじロッドと所定間隔をおいて取付台に貫設されたガイド孔に挿通されるガイドロッドが設けられて、キャスタは、ねじロッドとガイドロッドとの２本のロッド部材を介して前記取付台に支持されているので、キャスタを直上の取付台に対して相対的に昇降させる際に、ねじロッドの部分に偏荷重が作用しなくなる。この結果、取付台に対してキャスタを相対的に昇降させるための操作、即ち、ねじロッドを回転させる操作をスムーズに行うことができると共に、取付台に対するキャスタの支持状態が安定する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係るキャスタ装置Ａの斜視図である。
【図２】  同じく正面図である。
【図３】  同じく側面断面図である。
【図４】  ローダモジュールＭのフレーム１の側面下端部に、キャスタ装置Ａを取付ける状態の作用説明図である。
【図５】  各キャスタ装置Ａの台形ねじロッド９を回転させることによって、ローダモジュールＭが所定の高さに上昇された状態の正面図である。
【図６】  各キャスタ装置ＡによってローダモジュールＭが搬送される状態の正面図である。
【図７】  同様な状態の平面図である。
【図８】  テンプレート４の直上に配置されたローダモジュールＭが、降下される状態の正面図である。
【図９】  ローダモジュールＭが据え付けられた状態の正面図である。
【図１０】  各据付ボルト３によって定置されたローダモジュールＭから、各キャスタ装置Ａが取り外される状態の作用説明図である。
【図１１】  ローダモジュールＭ（標準ユニット）に別のローダモジュールＭ’（増設ユニット）を増設させる状態の作用説明図である。
【符号の説明】
Ａ：キャスタ装置
Ｆ：床面
Ｍ，Ｍ’：ローダモジュール（可搬式装置）
１：フレーム（側面下端部）
６：キャスタ支持台
７：キャスタ
８：ガイドロッド
９：台形ねじロッド（ねじロッド）
９ｂ：段付軸部（台形ねじロッドの下端部）
１１：取付台
１５：台形ねじナット
１６：すべり軸受（ガイド孔）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0004094193.tif 000009
【図９】
0004094193.tif 000010
【図１０】
0004094193.tif 000011
【図１１】
0004094193.tif 000012