(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の化学増幅型レジストを塗布したフォトマスクブランクを収容するための対向する溝を有する樹脂製のフォトマスクブランク収容容器の内部に配設されて薬剤を保持する薬剤保持具であって、
前記薬剤保持具は、前記溝に収容可能な外径寸法及び形状を有し、かつ、前記溝に収容したときに振動を防止しうるように前記対向する溝の少なくとも一部で挟持される厚さ、形状を有する係合部を両側部に有し、
前記薬剤は、前記化学増幅型レジストを塗布したフォトマスクブランクの機能あるいは品質を損なわせる化学汚染物質を吸着除去及び吸収除去、または吸着除去もしくは吸収除去する薬剤である
ことを特徴とする薬剤保持具。
【請求項２】
フォトマスクブランクと同一の外径寸法及び形状を有する形態としたことを特徴とする請求項１記載の薬剤保持具。
【請求項３】
前記薬剤保持具は中空部を備え、当該中空部に前記薬剤を収容し、かつ通気性を確保するための貫通孔を設けた蓋体を前記中空部に機械的にはめ込んで固定する構造を有することを特徴とする請求項１又は２記載の薬剤保持具。
【請求項４】
前記薬剤を収容した前記中空部に対応する薬剤保持容器の表裏両面に通気性を確保するための貫通孔を設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の薬剤保持具。
【請求項５】
前記薬剤保持具は、フォトマスクブランク用基板と同じガラス材料、ポリカーボネート、ポリ・エーテル・エーテル・ケトンから選ばれる材料で形成させることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の薬剤保持具。
【請求項６】
複数枚の化学増幅型レジストを塗布したフォトマスクブランクを収容するための対向する溝を有する樹脂製のフォトマスクブランク収容容器であって、前記溝に請求項１〜５のいずれかに記載の薬剤保持具を少なくとも１つ収容してなることを特徴とするフォトマスクブランク収容容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばフォトマスク（レチクルを含む）等の製造に用いられるフォトマスクブランクを収容、保管あるいは収容して輸送するための容器に関し、特に、当該フォトマスクブランクの機能あるいは品質を損なわせる化学汚染物質を吸収除去するための薬剤（例えば、乾燥剤、脱酸素剤、脱臭剤、等々）を保持（収容）する薬剤保持具及び該薬剤保持具を備えたフォトマスクブランク収容容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
フォトマスクブランク収容容器としては、規定の外形寸法及び形状からなるフォトマスクブランクを複数枚収容可能な、ポリプロピレン、ポリエチレン、ＡＢＳ（アクリルニトリル−ブタジエン−スチレン共重合樹脂）、アクリル系等の樹脂からなる収容容器が使用されている。図６は、フォトマスクブランク収容容器として広く一般に使用されている収容容器の一例を示す断面図、図７は中箱にフォトマスクブランクを収容する様子を説明するための斜視図である（特公平４−２９２１５号公報）。これらの図面において、フォトマスクブランク収容容器は、外箱底部３０、外箱の蓋４０及び内箱２０で構成され、内箱２０の対向する一対の溝２１にフォトマスクブランク１１が収容可能に構成されている。ブランク１１の側部端面１１ｂは内箱２０の溝２１に当接し、底部端面１１ｃは内箱２０の基板支持部２２に当接して保持される。さらに外箱の蓋４０には基板抑え具４１が設けられており、この基板抑え具４１における側部端面１１ｂ及び頭部端面１１ａと当接する部位には厚さ方向にブランク１１を保持する凹部（溝が）形成されており、あらゆる方向の振動や衝撃に対しブランク１１を完全に保持できるようになっている。このようにフォトマスクブランク収容容器は、輸送中の収容基板（即ち、フォトマスクブランク）の振動を抑え、収容容器との擦れによる発塵を抑えるべく、その形状は適当に工夫設計されている。また、フォトマスクブランク収容容器は、フォトマスクブランクの保管にも使用されている。なお、溝２１の底部には開口窓２３が、内箱２０の底部には開口部２４がそれぞれ設けられており、これらの部位にゴミ等が溜まるのを防ぐとともに洗浄によるゴミ等の除去を容易にしている。
【０００３】
ここで、近年特に、化学汚染物質等に弱いレジストである化学増幅型レジストを塗布したフォトマスクブランクの収容に関し、当該レジストの機能あるいは品質を劣化させる原因となる例えばアミン化合物等のアルカリ汚染源物質を除去し品質を維持する目的で、例えばシリカゲル等の吸着乾燥剤を、フォトマスクブランク収容容器内に備えることが広く一般に行われている。
上記、シリカゲル等の薬剤は、当該薬剤の粉末が異物となってフォトマスクブランク表面に付着することを防ぐため、通気性樹脂等からなる薬剤袋に収容されている。この薬剤袋をフォトマスクブランク収容容器の内部に接着テープや接着剤等で貼り付けて収容する方法や、あるいは、予めフォトマスクブランク収容容器の設計段階で前記薬剤袋を収容できるポケットを設けてこのポケットに前記薬剤袋を収容する方法が、従来一般に行われてきた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、薬剤袋を接着テープ等でフォトマスクブランク収容容器の内部に貼り付ける方法では、接着テープのテープ自体あるいは接着剤から化学汚染物質が発生し、レジストの機能あるいは品質を劣化させることがあった。また、予め設計段階で上記薬剤袋を収容できるポケットを設けたフォトマスクブランク収容容器を製作する方法では、フォトマスクブランク収容容器の製作に費用がかかり、また、薬剤袋の大きさ（容積）が変わる毎に新たにフォトマスクブランク収容容器を設計し直す必要があり、多大な経費、労力と時間を必要とした。
さらに、従来法では、薬剤袋が振動することによって発塵する恐れがあった。また、従来法では、フォトマスクブランク収容容器内に、薬剤袋等を収容するスペースを確保する必要があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するためなされたものであり、以下の構成を有する。（構成１）  薬剤を保持するための薬剤保持具であって、
複数枚のフォトマスクブランクを収容するための対向する溝を有するフォトマスクブランク収容容器における前記溝に収容可能な外径寸法及び形状を有し、かつ、前記薬剤保持具は、前記溝に前記薬剤保持具を収容したときに前記薬剤保持具の振動を防止しうる形態を有するとを特徴とする薬剤保持具。
【０００６】
（構成２）  フォトマスクブランクと略同一の外径寸法及び形状を有する形態としたことを特徴とする構成１記載の薬剤保持具。
【０００７】
（構成３）  前記薬剤保持具は中空部を備え、当該中空部に前記薬剤を収容し、かつ通気性を確保するために多数の貫通孔を設けた蓋体を前記中空部に機械的にはめ込んで固定する構造を有することを特徴とする構成１又は２記載の薬剤保持具。
【０００８】
（構成４）  前記薬剤を収容した前記中空部に対応する薬剤保持容器の表裏両面に通気性を確保するために多数の貫通孔を設けたことを特徴とする構成１〜３のいずれかに記載の薬剤保持具。
【０００９】
（構成５）  前記薬剤は、前記フォトマスクブランクの機能あるいは品質を損なわせる化学汚染物質を吸着除去及び／又は吸収除去するための薬剤であることを特徴とする構成１〜４のいずれかに記載の薬剤保持具。
【００１０】
（構成６）  複数枚のフォトマスクブランクを収容するための対向する溝を有するフォトマスクブランク収容容器の容器であって、前記溝に構成１〜５のいずれかに記載の薬剤保持具を少なくとも１つ収容してなることを特徴とするフォトマスクブランク収容容器。
【００１１】
【作用】
上記構成１に係る薬剤保持具は、フォトマスクブランク収容容器における複数枚のフォトマスクブランクを収容するための対向する溝に収納可能な外径寸法及び形状を有するので、フォトマスクブランク収容容器内に薬剤を収容するための他のスペースの確保が不要である。例えば、薬剤袋を貼り付けるスペースのない容器でも対応可能であり、複数枚のブランクを収納可能などのような容器にも対応可能である。つまり、既に広く一般に使用されているフォトマスクブランク収容容器に全くの変更を加えることなく、収容容器内に薬剤保持具を収容できる。また、上記構成１に係る薬剤保持具は、前記溝に前記薬剤保持具を収容したときに前記薬剤保持具の振動（がたつき）を防止しうる形態を有するので、薬剤保持具の振動によって生じる発塵を防止又は低減できる。ここで、薬剤保持具の振動を防止しうる形態とは、例えば図４に示すように、薬剤保持具１における溝２１との係合部１ｅが溝２１の少なくとも一部で挟持される厚さ、形状を有する形態をいう。前記薬剤保持具における前記溝との係合部が前記溝よりも薄いと、前記薬剤保持具が振動してしまい発塵が生じる。
【００１２】
上記構成２に係る薬剤保持具は、フォトマスクブランクと略同一の外径寸法（厚さ含む）及び形状（面取り形状含む）であるので、フォトマスクブランクと同一の保持機構で前記薬剤保持具を保持可能である。
具体的には、図５に示すように、薬剤保持具１の両側部に関しては、フォトマスクブランク１と略同一の外径寸法（厚さ含む）及び形状（面取り形状含む）であるので、面取り部ｄが溝２１の同じ位置に当接し溝の弾性で同じ力で保持される。また、薬剤保持具の上下方向の保持に関しては、例えば従来技術の欄で説明したのと同様に、薬剤保持具の底部端面は内箱の基板支持部２２に当接して保持され、薬剤保持具の頭部端面及び測部端面は基板抑え具４１に当接して保持され、ブランクと全く同一の保持機構によってあらゆる方向の振動や衝撃に対し薬剤保持具が完全に保持される。したがって、薬剤保持具の振動によって生じる発塵を完全に防止できる。なお、例えば、面取り部がなく溝との当接部が直角等であると、溝が削られて発塵する恐れがある。
薬剤保持具の厚さがフォトマスクブランクよりも薄いと、薬剤保持具が溝内で振動して発塵する。薬剤保持具の厚さがフォトマスクブランクよりも厚いと、薬剤保持具が溝に入らないか、あるいは溝に入っても容易に抜けない。薬剤保持具の上下方向の長さがフォトマスクブランクよりも短いと、上下方向には保持されず、薬剤保持具が上下方向に移動又は振動して発塵する。
また、前記薬剤保持具は、フォトマスクブランクと略同一の外径寸法（厚さ含む）及び形状（面取り形状含む）であるので、フォトマスクブランクと同様の要領で出し入れ可能である。
【００１３】
フォトマスクブランクと略同一の外径寸法（厚さ含む）及び形状（面取り形状含む）は、公差の範囲内であることが好ましい。但し、薬剤保持具における少なくとも左右の２辺、少なくとも上下左右の４辺、あるいは上下左右の４辺のうち保持に関わる部位（収容容器と当接する部位）の硬さが、フォトマスクブランク（ガラス基板）より軟らかい材質の場合、硬さを考慮して同等の機構・強度で保持できるような厚さとすることが可能である。薬剤保持具の硬さがフォトマスクブランク（ガラス基板）と同等の硬さであれば同じ機構・強度で保持可能である。
【００１４】
薬剤保持具の材質としては、薬剤保持具自身がガスを放出しない（脱ガスが少ない）材料が好ましい。また、薬剤を除く薬剤保持具への吸着の少ない材質が好ましい。これは、薬剤を除く薬剤保持具へ吸着された物質が放出されるのを防ぐためである。なお、薬剤保持具の材質が、フォトマスクブランク用基板と同じ材料（石英ガラス、無アルカリガラスなどのガラス材料）であるか、又は、フォトマスクブランク収容容器と同じ材質ならば、脱ガスや吸着の影響が同じで安心して使えるので好ましい。ポリカーボネートは脱ガスが少ないという観点から好ましい。
【００１５】
薬剤保持具の態様としては、フォトマスクブランクと略同一の外径寸法及び形状を有する容器内に、薬剤を収容してなる態様が第一に挙げられる。
薬剤保持具の他の態様としては、薬剤自体（固形、バインダー等で固めたものを含む）を、フォトマスクブランクと略同一の外径寸法及び形状とした態様も含まれる。この場合、通気性を有する防塵フィルム、セルロース、クリーンペーパー、等で薬剤を包むことが好ましい。また、板状に成形した固形薬剤をステンレスフレーム等で補強した態様も含まれる。
薬剤保持具のさらに他の態様としては、フォトマスクブランク又はそのガラス基板に薬剤を塗布した態様や、ガラス基板を加工（貫通孔形成や、凹部形成など）して薬剤収容部を設けた態様などが挙げられる。
【００１６】
上記構成３によれば、薬剤保持具は中空部を備え、蓋体を前記中空部に機械的にはめ込んで固定する構造を有し、蓋体を接着剤や接着テープ等を使用して固定する構造でないため、薬剤保持具から接着剤等に起因するガスが発生する恐れがない。つまり、接着剤等の、新たな化学汚染源となり得るものを全く必要とせずに、薬剤保持容器内に薬剤を収容できる。また、蓋体を脱着することによって薬剤の交換が可能である。
蓋体を前記中空部に機械的にはめ込んで固定する構造としては、例えば電池収容部の蓋体のように機械的にはめ込んで固定する公知の構造を利用できる。
なお、中空部に収容した薬剤袋等を、蓋体によって押さえ付ける等の構成とすることによって、薬剤袋が振動することによって生じる発塵の恐れを回避できるので好ましい。
【００１７】
上記構成４によれば、前記薬剤を収容した前記中空部に対応する薬剤保持容器（蓋体を含む）の表裏両面に通気性を確保するために多数の貫通孔を設けることによって、化学汚染物質等の吸着除去又は吸収除去の効率アップが可能である。
【００１８】
上記構成５によれば、前記薬剤は、前記フォトマスクブランクの機能あるいは品質を損なわせる化学汚染物質を吸着除去又は吸収除去するための薬剤であることによって、フォトマスクブランク、特に、化学増幅型レジストを塗布して作製したフォトマスクブランクの品質と機能性の維持の達成が可能となる。
ここで、化学汚染物質としては、フォトマスクブランクの収容容器内の雰囲気に含まれる化学汚染物質、あるいは収容容器自体または収容したフォトマスクブランクから発生する化学汚染物質、あるいはまた、フォトマスクブランク収容容器の外部から進入する化学汚染物質などが挙げられる。
また上記薬剤としては、これらの化学汚染物質を吸着除去又は吸収除去するための薬剤（例えば、吸着剤、乾燥剤、脱酸素剤、脱臭剤、等々）などが挙げられる。
シリカゲル吸着乾燥剤は、収容容器内の雰囲気に含まれる酸、アルカリ、有機物などのガスや、水分など何でも吸着、吸収するので好ましい。ゼオライトに関しても同様である。なお、乾燥剤は、収容容器内の雰囲気を乾燥させることによって、酸やアルカリの放出を抑制する作用があるので好ましい。これらの薬剤を適宜混合して使用することも可能である。
【００１９】
上記構成６のフォトマスクブランク収容容器は、フォトマスクブランク収容容器の溝に、上記構成１〜５のいずれかに記載の薬剤収容具を少なくとも１つ収容してなるので、薬剤保持具の振動によって生じる発塵を防止又は低減できるとともに、フォトマスクブランク収容容器内に薬剤を収容するための他のスペースの確保が不要である。したがって、例えば薬剤袋を貼り付けるスペースのない容器でも対応可能であり、複数枚のブランクを収納可能などのような容器にも対応可能である。つまり、既に広く一般に使用されているフォトマスクブランク収容容器に全くの変更を加えることなく、使用することができる。
薬剤収容具は、フォトマスクブランク収容容器における複数の溝のうち、中央部又は中央部付近の溝に入れると、薬剤による吸着等の効果が均一になるので好ましい。また薬剤収容具を複数入れることで吸着性能等の向上が可能であるので好ましい。例えば、化学増幅型レジストの品質と機能性の維持をより向上させるため薬剤の容量を増やす必要が生じた場合であっても、薬剤収容具の収容枚数を調整することで容易に対応可能である。この場合、フォトマスクブランクの収容枚数は減るものの、フォトマスクブランク収容容器はいわゆる通い箱として繰り返し使用されるものであり、新たなフォトマスクブランク収容容器を作製するよりは経済的である。なお、従来法だとスペース確保に限界があるので薬剤の容量を増やすことは難しい。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の一実施の形態に係る薬剤保持具の斜視図、図２は図１のＩＩ−ＩＩ線断図、図３は中箱に薬剤保持具を収容した状態を示す斜視図である。
図１及び図２に示すように、薬剤保持具１は、中空部４を備え、当該中空部４に薬剤５を収容し、かつ通気性を確保するために多数の貫通孔（小穴）３を設けた蓋体２によって薬剤５を保持する構造を有する。また、薬剤保持具１は、サイズ６インチ角、厚さ０．２５インチのフォトマクスブランクと全く同一の外形寸法及び形状（面取り形状・寸法を含む）で作製した。なお、蓋体２は少なくとも一方が脱着可能であればよい。図１においては面取り部の図示を省略してある。図３に示すように、薬剤保持具１は、中箱２０に形成された溝（フォトマクスブランクを収容するための溝）に収容される。なお、図３に示す中箱２０は厚さ０．２５インチの厚板用であるので中箱２０の溝は、図７に示す溝の幅に比べ、広く形成されている。
上記実施の形態によれば、既に広く一般に使用されているフォトマスクブランク収容容器に全くの変更を加えることなく、収容容器内に薬剤保持具１を収容できる。
また、フォトマスクブランクと全く同一の保持機構で薬剤保持具１を保持できる。
さらに、接着剤等の、新たな化学汚染源となり得るものを全く必要とせずに、収容容器内に薬剤保持具１を収容できる。
【００２１】
【実施例】
実施例１
薬剤５としては、薬剤の粉末が異物となってフォトマスクブランク表面に付着することを防ぐため通気性布（例えばクリーンペーパー等）からなる薬剤袋に収容されたものを使用した。具体的には、市販のシリカゲル乾燥剤（例えば富士化工（株）社製：ＣＰ３．７５）を使用した。この薬剤袋を上記図１及び図２に示す薬剤保持具１の中空部４に収容（装着）し、蓋体２で薬剤袋が振動しないように固定して、薬剤保持具１を準備した。
薬剤保持具１及び蓋体２の材質は、ポリ・エーテル・エーテル・ケトン（ＰＥＥＫ）とした。
また、フォトマスクブランク収容容器としては、上述した図６に示した容器と同様の構成を有する広く一般に使用されている容器であって、６インチ角、厚さ０．２５インチのフォトマスクブランクを５枚収容可能な収容容器を使用した。フォトマスクブランク収容容器の材料に関しては、ポリプロピレン樹脂にカーボンを練り込んだ樹脂を外箱底部３０と中箱２０に、アクリル系樹脂に赤色及び黄色顔料を練り込んだ樹脂を外箱の蓋４０に用いた。
なお、輸送中の発塵を更に抑えるため、外箱の蓋４０に中箱２０を抑える中箱抑え具を設けた。これは、６インチ角、厚さ０．２５インチのフォトマスクブランクのように重量が重くなると、個々のフォトマスクブランクを基板抑え具４１のみで、輸送時の振動を抑えただけでは、発塵を完全に抑えることは難しい。そこで、今回用いたフォトマスクブランク収容容器は、収容したフォトマスクブランクが一体となって動く中箱２０の動きを抑える中箱抑え具を設けた。
上記フォトマスクブランク収容容器を用い、上記で準備した薬剤保持具１を、１枚のフォトマスクブランクに代えて中箱２０の中央部に収容し、その両側に４枚の電子線露光用ポジ型化学増幅型レジストであるＦＥＰ−１７１（フジフィルムアーチ社製）を塗布して製作したフォトマスクブランク１１を２枚ずつ計４枚収容した（図３）。その後、中箱２０を外箱底部３０に入れた後、外箱の蓋４０で蓋をした。次いで、輸送中のフォトマスクブランクの振動による収容容器との擦れ、あるいは、収容容器からの脱離を防止するため、ビニールテープにより外箱の蓋４０と外籍底部３０をそれらの係合部に沿って固定した。次いで、外部との通気性あるいは透水性を可能な限り遮断し、また、外部からの異物の混入を防ぐために、上記のフォトマスクブランクを収容したフォトマスクブランク収容容器をアルミラミネート袋（例えば、旭化成ポリフレックス（株）社製：ＯＡＤ防湿袋）に入れ、その後、その袋を熱シールにより密封した後、４週間保管した（フォトマスクブランク１）。なお、従来、この形態により、フォトマスクブランクは出荷輸送され、あるいは、顧客にて使用されるまで保管される。
【００２２】
比較例１
実施例１と同じフォトマスクブランク収容容器を用い、実施例１と同じ電子線露光用ポジ型化学増幅型レジストであるＦＥＰ−１７１（フジフィルムアーチ社製）を塗布して製作したフォトマスクブランク４枚を中箱２０に収容し、この中箱２０を外箱底部３０に入れた後、外箱の蓋４０で蓋をした。次いで、実施例１と同様にビニールテープを巻いて外箱の蓋４０と外籍底部３０を固定し、このブランク収容容器をアルミラミネート袋に入れ、熱シールにより密封した。その後、４週間保管した（フォトマスクブランク２）。
【００２３】
４週間保管された上記のフォトマスクブランク１及び２を用いて、フォトマスクを作製し、所望のパターンの設計寸法に対する実寸法を測定し、実施例１と同じ電子線露光用ポジ型化学増幅型レジストを塗布して作製した直後の、即ち保管無しのフォトマスクブランク３を用いてフォトマスクを作製した場合に対する寸法差（即ち、上記電子線露光用ポジ型化学増幅型レジストであるＦＥＰ−１７１の保管による感度劣化）を求めたところ、フォトマスクブランク２は約１０ｎｍの寸法差を呈し、一方、フォトマスクブランク１は１ｎｍ以下の寸法差を示した。
上記の結果は、電子線露光用化学増幅型レジスト（例えば、ＦＥＰ−１７１（フジフィルムアーチ社製））を塗布して製作したフォトマスクブランクの保管とその機能維持における、シリカゲル乾燥剤の必要性を明示する。そして、本発明の薬剤保持具１及びこの薬剤保持具１を収容してなるフォトマスクブランクの収容容器は、フォトマスクブランク、特に、化学増幅型レジストを塗布して作製したフォトマスクブランクの品質と機能性の維持を達成できることを明示する。
【００２４】
比較例２
薬剤袋を収容できるポケットを設けたフォトマスクブランク収容容器を用い、このポケットに実施例１と同じ薬剤袋を収容し、更に実施例１と同じ電子線露光用ポジ型化学増幅型レジストであるＦＥＰ−１７１（フジフィルムアーチ社製）を塗布して製作したフォトマスクブランク４枚を収容して、実施例１と比較例２の振動試験を行い、パーティクルの個数を比較した。振動試験の条件は、一般車両環境（ＭＩＬＳＴＤ−８１０Ｄトラックモード、Ｘ−Ｙ−Ｚ方向各々２時間）で行った。パーティクル個数の比較は、フォトマスクブランクの主表面に付着した０．３μｍ以上の大きさのパーティクルの個数（フォトマスクブランク４枚の平均値）を比較した。パーティクルは、レーザー走査欠陥検査装置（レーザー光の散乱光、透過光強度を比較して欠陥を調べる検査装置）で検出した。その結果、実施例１の場合１２個であったのに対し、比較例２の場合４６６個であった。この結果から、本発明の薬剤保持具は、薬剤保持具の振動によって生じる発塵を防止又は低減できることがわかる。
【００２５】
本発明は上記実施の形態及び実施例に限定されない。
例えば、本発明の薬剤保持具１は、レジストを塗布して作製したフォトマスクブランクの収容容器以外に、レジストを塗布していないフォトマスクブランクやガラス基板、その他の基板の収容容器にも適用可能である。
また、本発明の薬剤保持具１は、正方形の基板の収容容器に限らず、他の形状の基板の収容容器にも薬剤保持具の形態を合わせることによって適用可能である。
また、薬剤保持具１の材質は、フォトマスクブランク用基板と同じガラス基板でも適用可能である。
また、化学増幅型レジストとして、電子線露光用化学増幅型レジストの他に、レーザー露光用化学増幅型レジストなどの化学増幅型レジストにも適用可能である。
【００２６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の薬剤保持具は、フォトマスクブランク収容容器の溝に薬剤保持具を収容したときに、薬剤保持具の振動を防止しうる形態を有するので、薬剤保持具の振動によって生じる発塵を防止又は低減できる。
特に、本発明の薬剤保持具がフォトマスクブランクと略同一の外径寸法及び形状である場合、フォトマスクブランクと同一の保持機構で薬剤保持具を保持できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る薬剤保持具の斜視図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図３】中箱に薬剤保持具を収容した状態を示す斜視図である。
【図４】薬剤保持具における溝との係合部の一形態を説明するための模式図である。
【図５】薬剤保持具における溝との係合部の他の形態を説明するための模式図である。
【図６】フォトマスクブランク収容容器を説明するための断面図である。
【図７】中箱にフォトマスクブランクを収容する様子を説明するための斜視図である。
【符号の説明】
１    薬剤保持具
２    蓋体
３    貫通孔
４    中空部
５    薬剤
２０    内箱
３０    外箱底部
４０    外箱の蓋
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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