(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被メッキ面である表面２を下向きにした長尺のリードフレーム１を、駆動ローラで引っ張って各処理工程を順次に移行させ、前処理・メッキ処理・後処理等を行う部分メッキ装置において、上記後処理の工程を行う装置の一つであり、
給電部５で給電されたリードフレーム１を通過させて不要メッキを剥離する電解剥離槽４内に、外周面２０がゴム製のシール用ローラ６を、前ローラ７と後ローラ８との三角形状の頂点となる位置に配置して、
下部寄りの送入口９から送入されたリードフレーム１が、前ローラ７の下部外周面を経て、メッキされた表面２をシール用ローラ６の外周面に面当接状態で巻き掛けられ、その後に後ローラ８の下部外周面を経て下部寄りの送出口１０から送出されるようにし、
上記シール用ローラ６の上方位置に陰極板１１を横設すると共に、
リードフレーム１が送入口９から前ローラ７を経てシール用ローラ６に達するまでと、シール用ローラ６を経た後に後ローラ８を経て送出口１０へ達するまでの各ルートに、メッキされた表面２を覆う如くカバー板１２，１３を設けた、不要メッキ剥離装置。
【請求項２】
被メッキ面である表面２を下向きにした長尺のリードフレーム１を、駆動ローラで引っ張って各処理工程を順次に移行させ、前処理・メッキ処理・後処理等を行う部分メッキ装置において、上記後処理の工程を行う装置の一つであり、
給電部５で給電されたリードフレーム１を通過させて不要メッキを剥離する電解剥離槽４内に、前ローラ７と後ローラ８と外周面２０がゴム製のシール用ローラ６とを、シール用ローラ６が頂点となる三角形状の位置に配置し、
上記前ローラ７は、下部寄りの送入口９から送入されたリードフレーム１が、外周下部面を経て上昇するように設け、シール用ローラ６は、上昇してきたリードフレーム１の表面２が、ゴム製外周面２０に面当接状に巻き掛けられた後に降下するように設け、後ローラ８は、下降してきたリードフレーム１が、外周下部面を経て下部寄りの送出口１０から送出されるように設け、
上記シール用ローラ６の上方位置に陰極板１１を横設し、
かつ、槽４の前側壁１８の送入口９近傍から前ローラ７の外側周部を経てシール用ローラ６近傍までと、シール用ローラ６近傍から後ローラ８を経て後側壁１９の送出口１０近傍までとに、リードフレーム１のメッキされた表面２を覆う如くカバー板１２，１３を設けてなる、不要メッキ剥離装置。
【請求項３】
被メッキ面である表面２を下向きにした長尺のリードフレーム１を、駆動ローラで引っ張って各処理工程を順次に移行させ、前処理・メッキ処理・後処理等を行う部分メッキ装置において、上記後処理の工程を行う装置の一つであり、
給電部５で給電されたリードフレーム１を通過させて不要メッキを剥離する電解剥離槽４内に、外周面２０がゴム製のシール用ローラ６を、前ローラ７と後ローラ８との三角形状の頂点となる位置に配置して、
下部寄りの送入口９から送入されたリードフレーム１が、前ローラ７の下部外周面を経て、メッキされた表面２をシール用ローラ６の外周面に面当接状態で巻き掛けられ、その後に後ローラ８の下部外周面を経て下部寄りの送出口１０から送出されるようにし、
上記シール用ローラ６の上方位置に陰極板１１を横設すると共に、
リードフレーム１が送入口９から前ローラ７を経てシール用ローラ６に達するまでと、シール用ローラ６を経た後に後ローラ８を経て送出口１０へ達するまでの各ルートに、メッキされた表面２を覆う如くカバー板１２，１３を設け、
かつ給電部５として、外周面が金属製の給電用ローラ１４を、前ローラ１５と後ローラ１６との三角形状の頂点となる位置に配置して、リードフレーム１が前ローラ１５の下部外周面を経て、給電用ローラ１４に面当接状態で巻き掛けられ、その後に後ローラ１６の下部外周面を経て次へ移行するようにした、不要メッキ剥離装置。
【請求項４】
被メッキ面である表面２を下向きにした長尺のリードフレーム１を、駆動ローラで引っ張って各処理工程を順次に移行させ、前処理・メッキ処理・後処理等を行う部分メッキ装置において、上記後処理の工程を行う装置の一つであり、
給電部５で給電されたリードフレーム１を通過させて不要メッキを剥離する電解剥離槽４内に、前ローラ７と後ローラ８と外周面２０がゴム製のシール用ローラ６とを、シール用ローラ６が頂点となる三角形状の位置に配置し、
上記前ローラ７は、下部寄りの送入口９から送入されたリードフレーム１が、外周下部面を経て上昇するように設け、シール用ローラ６は、上昇してきたリードフレーム１の表面２が、ゴム製外周面２０に面当接状に巻き掛けられた後に降下するように設け、後ローラ８は、下降してきたリードフレーム１が、外周下部面を経て下部寄りの送出口１０から送出されるように設け、
上記シール用ローラ６の上方位置に陰極板１１を横設し、
かつ、槽４の前側壁１８の送入口９近傍から前ローラ７の外側周部を経てシール用ローラ６近傍までと、シール用ローラ６近傍から後ローラ８を経て後側壁１９の送出口１０近傍までとに、リードフレーム１のメッキされた表面２を覆う如くカバー板１２，１３を設け、
かつ、かつ給電部５として、前ローラ１５と後ローラ１６と外周面が金属製の給電用ローラ１４とを、給電用ローラ１４が頂点となる三角形状の位置に配置して、リードフレーム１が前ローラ１５の下部外周面を経て、給電用ローラ１４に面当接状態で巻き掛けられ、その後に後ローラ１６の下部外周面を経て移行するようにした、不要メッキ剥離装置。
【請求項５】
被メッキ面である表面２を下向きにした長尺のリードフレーム１を、駆動ローラで引っ張って各処理工程を順次に移行させ、前処理・メッキ処理・後処理等を行う部分メッキ装置において、上記後処理の工程を行う装置の一つであり、
リードフレーム１を通過させて不要メッキを剥離する無電解の剥離槽４内に、外周面２０がゴム製のシール用ローラ６を、前ローラ７と後ローラ８との三角形状の頂点となる位置に配置して、
下部寄りの送入口９から送入されたリードフレーム１が、前ローラ７の下部外周面を経て、メッキされた表面２をシール用ローラ６の外周面に面当接状態で巻き掛けられ、その後に後ローラ８の下部外周面を経て下部寄りの送出口１０から送出されるようにし、
かつ、送入口９のある前側壁１８から前ローラ７の外側周部を経てシール用ローラ６近傍までと、シール用ローラ６近傍から後ローラ８の外側周部を経て送出口１０のある後側壁１９までとに、リードフレーム１のメッキされた表面２を覆う如く各々カバー板１２，１３を設けた、不要メッキ剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、部分メッキ装置において、部分メッキ工程で被メッキ物のメッキ不要箇所に付着した不要メッキを、後処理工程の一つとして剥離する装置に関するものである。特に長尺のリードフレーム表面のメッキ必要箇所に施され部分メッキを害することなく、メッキ不要箇所に付着した不要メッキを効率よく剥離・除去する装置に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
リードフレームへの部分メッキは、リードフレーム表面のアイランド部やインナーリード先端部等のメッキ必要箇所に、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｓｎまたはそれらの合金等の部分メッキを施しているが、その際にメッキ不要箇所に付着した不要メッキを、電解または無電解で剥離・除去している。
【０００３】
リードフレームで不要メッキの剥離を必要とするのは、部分メッキ処理時にメッキ不要箇所をシールをしていても、シール部材との間にメッキ液が侵入して、例えば図７で示す如く、リードフレーム１裏面や側面等のメッキ不要箇所に不要メッキ２４が付着するからである。これを除去しないと、密着力の弱い不要メッキは剥がれ易く、リード間（ピン間）が狭いと接触して機能的な不具合発生の原因となる。
【０００４】
特に近時の如く、半導体チップの高密度化でリードフレームも多ピン化・細密化してくると、不要メッキの剥離・除去は不可欠になっており、すでに幾つかの不要メッキ剥離装置が提案されている。
【０００５】
例えば、ａ）短尺リードフレーム用についてであるが、特許第２９４４９６３号公報の図１１に記載のものがある。これは、リードフレームの被メッキ面である表面を下向きしてメッキ処理槽を通過させ、部分メッキされた該リードフレームを不要メッキ剥離槽へ送り、剥離液内の上部寄りに設けた給電用ローラと、槽の底部寄りに設けた陰極板との間を移行させて、リードフレームの裏面等の不要メッキを剥離・除去させるものである。
【０００６】
また、ｂ）長尺のリードフレームについては、特開昭６１−１３４０４８号公報や実開平４−１３０４５０号公報に記載のものがある。前者は上記と同様に、リードフレームのメッキされた表面とは反対側にのみ陰極板を設けた不要メッキ剥離槽内を移行させて、剥離・除去するものである。後者は、リードフレームのメッキされた表面だけでなく、裏面にも対応して各々陰極板を設けた不要メッキ剥離槽内を移行させるが、その陰極板の位置をリードフレームの表面からは間隔を離し、裏面とは間隔を近づけて配置させてある。
【０００７】
さらに、ｃ）上記特許第２９４４９６３号に係る発明がある。これも、リードフレーム表面を下向きにして、メッキ処理槽や不要メッキ剥離槽等を移行させるものであるが、剥離槽内ではリードフレームを平ベルト上に乗せて移行させることで、下向きになった表面の部分メッキを該ベルト上面に当接させてシールし、上向きである裏面の不要メッキを剥離・除去している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし上記ａ）のものでは、不要メッキ剥離槽内で底部寄りの陰極板に近くかつそれと対面状態となるのが、リードフレームの下側を向いた表面であり、裏面の不要メッキよりも表面の必要な部分メッキの方が剥離され易い条件にある。そのため、不要メッキの剥離を十分に行おうとすると、必要なメッキ膜厚が薄くなったり、メッキにムラが生じたりする等の問題点がある。
【０００９】
また上記ｂ）のものは、リードフレーム裏面等に付いた不要メッキは剥離されるが、同時に表面の必要な部分メッキも剥離されてしまう。不要メッキを十分に剥離・除去しようとすると、必要な部分メッキもかなりが剥離されてしまう、という問題点がある。
【００１０】
他方、上記ｃ）のものは、リードフレームが短尺のものに関するが、長尺のものにも適用可能な技術であって、コイル状に巻かれたものを解きながら、ｃｏｉｌ  ｔｏ  ｃｏｉｌでメッキ処理槽・不要メッキ剥離槽内を移行させればよい。その場合にも、剥離槽内では下向きになった表面の必要な部分メッキを平ベルト上面で受けてシールすることになるから、それ以前の不要メッキ剥離手段に比べると、必要な部分メッキが保護され不要メッキを効率良く剥離・除去できることになる。
【００１１】
本発明は、上記ｃ）のものとも異なる構成にて、長尺リードフレーム表面の部分メッキ箇所を確実かつ十分にシールし、メッキ必要箇所に施した部分メッキに影響を与えずに、メッキ不要箇所に付着した不要メッキを効率良く剥離・除去でき、かつ設置面積も小さくできる、不要メッキ剥離装置の提供を目的としたものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
Ｉ  本発明の不要メッキ剥離装置の第１は、電解剥離槽に特徴を有するものである。
即ち、被メッキ面である表面２を下向きにした長尺のリードフレーム１を、駆動ローラで引っ張って各処理工程を順次に移行させ、前処理・メッキ処理・後処理等を行う部分メッキ装置において、上記後処理の工程を行う装置の一つであって、
給電部５で給電されたリードフレーム１を通過させて不要メッキを剥離する電解剥離槽４内に、外周面２０がゴム製のシール用ローラ６を、前ローラ７と後ローラ８との三角形状の頂点となる位置に配置して、
下部寄りの送入口９から送入されたリードフレーム１が、前ローラ７の下部外周面を経て、メッキされた表面２をシール用ローラ６の外周面に面当接状態で巻き掛けられ、その後に後ローラ８の下部外周面を経て下部寄りの送出口１０から送出されるようにし、
上記シール用ローラ６の上方位置に陰極板１１を横設すると共に、
リードフレーム１が送入口９から前ローラ７を経てシール用ローラ６に達するまでと、シール用ローラ６を経た後に後ローラ８を経て送出口１０へ達するまでの各ルートに、メッキされた表面２を覆う如くカバー板１２，１３を設けたものである。
【００１３】
ＩＩ  本発明の不要メッキ剥離装置の第２は、上記第１のものの特徴に加えて給電部にも特徴を有するものである。
即ち、被メッキ面である表面２を下向きにした長尺のリードフレーム１を、駆動ローラで引っ張って各処理工程を順次に移行させ、前処理・メッキ処理・後処理等を行う部分メッキ装置において、上記後処理の工程を行う装置の一つであって、
給電部５で給電されたリードフレーム１を通過させて不要メッキを剥離する電解剥離槽４内に、外周面２０がゴム製のシール用ローラ６を、前ローラ７と後ローラ８との三角形状の頂点となる位置に配置して、
下部寄りの送入口９から送入されたリードフレーム１が、前ローラ７の下部外周面を経て、メッキされた表面２をシール用ローラ６の外周面に面当接状態で巻き掛けられ、その後に後ローラ８の下部外周面を経て下部寄りの送出口１０から送出されるようにし、
上記シール用ローラ６の上方位置に陰極板１１を横設すると共に、
リードフレーム１が送入口９から前ローラ７を経てシール用ローラ６に達するまでと、シール用ローラ６を経た後に後ローラ８を経て送出口１０へ達するまでの各ルートに、メッキされた表面２を覆う如くカバー板１２，１３を設け、
かつ給電部５として、外周面が金属製の給電用ローラ１４を、前ローラ１５と後ローラ１６との三角形状の頂点となる位置に配置して、リードフレーム１が前ローラ１５の下部外周面を経て、給電用ローラ１４に面当接状態で巻き掛けられ、その後に降下して後ローラ１６の下部外周面を経て次へ移行するようにしたものである。
【００１４】
ＩＩＩ  本発明の不要メッキ剥離装置の第３は、無電解剥離槽に特徴を有するものである。
即ち、被メッキ面である表面２を下向きにした長尺のリードフレーム１を、駆動ローラで引っ張って各処理工程を順次に移行させ、前処理・メッキ処理・後処理等を行う部分メッキ装置において、上記後処理の工程を行う装置の一つであって、
リードフレーム１を通過させて不要メッキを剥離する無電解の剥離槽４内に、外周面２０がゴム製のシール用ローラ６を、前ローラ７と後ローラ８との三角形状の頂点となる位置に配置して、
下部寄りの送入口９から送入されたリードフレーム１が、前ローラ７の下部外周面を経て、メッキされた表面２をシール用ローラ６の外周面に面当接状態で巻き掛けられ、その後に後ローラ８の下部外周面を経て下部寄りの送出口１０から送出されるようにし、
かつ、送入口９のある前側壁１８から前ローラ７の外側周部を経てシール用ローラ６近傍までと、シール用ローラ６近傍から後ローラ８の外側周部を経て送出口１０のある後側壁１９までとに、リードフレーム１のメッキされた表面２を覆う如く各々カバー板１２，１３を設けたものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
上記いずれの構成においても、長尺のリードフレーム１とはコイル状に巻かれている長いもので、コイルを解きながらメッキの各処理槽での処理を経た後に再びコイル状に巻いていくものである。また部分メッキとは、リードフレーム１の表面２のインナーリード部やアイランド部の所定のメッキ必要箇所に、Ａｇメッキ、Ａｕメッキ、Ｐｄメッキ、Ｓｎ、その他これらの合金メッキを施すことをいう。
【００１６】
この部分メッキ工程での部分メッキは、公知の部分メッキと同様に、リードフレーム１の表面２を下向きにして、上記の如く駆動ローラ（図示略）に巻き掛けて引っ張り、前処理槽・部分メッキ処理槽・後処理槽等を順次に通過させて部分メッキ処理するものであり、そこでの後処理の一つとして不要メッキを電解または無電解で剥離・除去する不要メッキ剥離装置を設けてある。
【００１７】
不要メッキの剥離槽４内に設けた前ローラ７と後ローラ８とシール用ローラ６は、少なくともシール用ローラ６は平形である。ここでローラが平形とは、平ベルトを巻き付けるプーリのように、円筒状のローラをいう。また該各ローラ６，７，８は、いずれも耐剥離液性と絶縁性をもつように、例えば塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、テフロン、フッ化樹脂等の合成樹脂製のものとしてある。
【００１８】
また前ローラ７と後ローラ８は、剥離槽４内の下部寄り位置に設けてあるが、その各周面の下部が他の処理槽での搬送レベルｌとほぼ同一位置になるように、前側壁１８の下部寄りに設けた送入口９や、後側壁１９の下部寄りに設けた送出口１０の高さに対応させてある。
【００１９】
シール用ローラ６は、外周面２０がシール用に弾性をもつように、例えばシリコンゴムの如きゴム製として、上記前ローラ７と後ローラ８との間で三角形状の頂点となるように、上方中央位置に配置してある（例えば図１・図２・図３等参照）。これらの各ローラ６，７，８は接触しない程度に接近させて配置しておくのがよい。
【００２０】
これで、前ローラ７の下部外周面を経て上昇したリードフレーム１が、部分メッキの付いた表面２を該シール用ローラ６の外周面２０に巻き掛けられて、面当接でシールされながら移行し、湾曲して下降して後ローラ８の下部外周を経るようになる。上記で、リードフレーム１がシール用ローラ６の外周面２０に巻き掛けられる角度は、できるだけ大きい方がよいが、少なくとも１８０度以上になるように、各ローラ６，７，８の外径や配置を設定しておく（例えば上記図１，図２，図３参照）。
【００２１】
各カバー板１２，１３は、電解剥離の場合も無電解剥離の場合にも、剥離槽４内へ送入されたリードフレーム１がシール用ローラ６に達するまでと、シール用ローラ６を経た後に送出されるまでとに、リードフレーム１の部分メッキされた表面２を覆う如くに設けてある（例えば上記図，図２，図３，図７参照）。
【００２２】
即ち、各カバー板１２，１３は、電解剥離の剥離槽４には、該剥離槽４の前側壁１８の送入口９近傍から前ローラ７の外側周部を経てシール用ローラ６近傍までと、シール用ローラ６近傍から後ローラ８を経て後側壁１９の送出口１０近傍までとに設けておく（例えば上記図１，図２参照）。
【００２３】
無電解剥離の場合には、送入口９のある槽４の前側壁１８に近接または接続して、そこから前ローラ７の外側周部を経てシール用ローラ６近傍までと、シール用ローラ６近傍から後ローラ８の外側周部を経て送出口１０のある後側壁１９に近接または接続するまでとに設けておけばよい（例えば上記図３参照）。上記各カバー１２，１３の材質は上記各ローラ６，７，８と同様に、例えば塩化ビニルその他の耐剥離液性をもつ合成樹脂製とすればよい。
【００２４】
また電解剥離の場合には、剥離槽４内に陰極板１１を設けてあるが、上記シール用ローラ６の上方に設けてあり、材質は従来のものと同様に、ステンレス、Ｐｔ、またはＣ（カーボン）製とすればよい。またその形状は、該シール用ローラ６の外周に沿う湾曲状にしておくことが望ましいが、水平状のものでもよい。
【００２５】
同じく電解剥離の場合には給電部５を設けてあるが、それは剥離槽４の前・後方の少なくとも一方の位置に設けてあり、上記剥離槽４内の前ローラ７、後ローラ８、シール用ローラ６に似て、前ローラ１５と後ローラ１６と給電用ローラ１４からなり、給電用ローラ１４が三角形状の頂点となる位置に配置してある（例えば上記図２参照）。該各ローラ１４，１５，１６は、少なくとも給電用ローラ１４が平形状で、また該給電用ローラ１４の外周面を例えばステンレス、Ｃｕ、またはＴｉ等の金属製としてある。
【００２６】
本発明の不要メッキ剥離装置で、メッキ工程を経て部分メッキされた長尺リードフレーム１から不要メッキの剥離を行う場合は次のようになる。
この剥離装置には、電解剥離の場合も無電解剥離の場合も、駆動ローラで引っ張られた長尺のリードフレーム１が、メッキされた表面２を下向きにして移行してくる。電解剥離の場合には、無電解剥離の場合と異なり、剥離槽４の前・後方の少なくとも一方に設けた給電部５で給電されて移行している。
【００２７】
剥離槽４内に達した上記リードフレーム１は、前側壁１８下部寄りの送入口９から送入され、剥離液２１内で前ローラ７の下部外周面に上向きの裏面３を当接させながら、外周面に沿って上方へ湾曲して、シール用ローラ６へ向かう。
【００２８】
上記リードフレーム１は次に、メッキされた表面２がシール用ローラ６の片側下部寄りの外周面に面当接し、密着した状態で巻き掛けられて上部寄りへ移行した後に、湾曲して他側下部寄り外周面を経て下方へ向かい、その後は後ローラ８の下部外周面に沿って湾曲し、後側壁１９の送出口１０へ向かう。
【００２９】
上記の場合に、シール用ローラ６の外周部では、リードフレーム１のメッキされた表面２が、該シール用ローラ６のゴム製外周面２０に面当接で密着し、シールされた状態で剥離液２１中を移行している。そのため、リードフレーム１表面２の必要な部分メッキ２３は、剥離液２１中に露呈しないから剥離されず、剥離液２１中に露呈している裏面３等の不要メッキ２４だけが、電解または無電解で剥離・除去されることになる。
【００３０】
特にこの不要メッキ剥離装置では、剥離槽４内のシール用ローラ６が三角形の頂点位置に有り、リードフレーム１の内で該ローラ６の外周面２０に巻き掛けられた部分の前方や後方の部分は、下方の後ローラ８や前ローラ７の下部外周面に掛かった状態にあり、かつ該リードフレーム１には駆動ローラによる引張り力Ｆが加わっている。
【００３１】
そのため、リードフレーム１の内でシール用ローラ６に巻き掛けられた部分には、該シール用ローラ６の軸心方向への力ｓまたは下方への力が働いており、メッキされた表面２がゴム製外周面２０に強く押し付けられ、面当接で密着状態にある（例えば図５参照）。これで、剥離槽４内を移行時にリードフレーム１の表面２の必要な部分メッキ２３は、従来のものよりも確実かつ十分にシールされており、剥離されることがない。裏面３等に付着した不要メッキ２４だけが、電解または無電解で剥離・除去される。
【００３２】
上記で電解剥離の場合には、シール用ローラ６上方の陰極板１１に最も近い位置を通過するのは、リードフレーム１の露呈した裏面３であるから、裏面を中心とした不要メッキ２４が、効率良く剥離・除去されることになる。
【００３３】
他面で、この不要メッキ剥離装置には、不要メッキ剥離槽４内へ送入されたリードフレーム１がシール用ローラ６に達する迄と、シール用ローラ６を経た後に槽４外へ送出される迄の各ルートに、リードフレーム１の表面２を覆う如くカバー板１２，１３を各々設けてある。
【００３４】
そのため、剥離槽４内でのリードフレーム１の表面２は、シール用ローラ６に面当接してシールされている以外の箇所も覆われてた状態にある。電解剥離の場合には、該カバー板１２，１３によりリードフレーム１の表面２が陰極板１１から遮蔽され、電気的に隔離されているから、必要な部分メッキ２３が剥離されることがない。
【００３５】
無電解剥離の場合には、上記カバー板１２，１３が、送入口９のある前側壁１８に近接または接続してシール用ローラ６近傍までと、シール用ローラ６近傍から送出口１０のある後側壁１９に近接または接続するまでとに設けてある。
【００３６】
そのため、該カバー板１２，１３の内側の剥離液２１は、循環・交換が行われ難いから、リードフレーム１は表面２がシール用ローラ６に面当接してシールされている以外の箇所も、同様に剥離液中を通過中に必要な部分メッキ２３が剥離されることがほとんど無い。
【００３７】
さらに電解剥離の場合に、給電部５として、給電用ローラ１４を、前ローラ１５と後ローラ１５との三角形状の頂点となる位置に配置してあれば、リードフレーム１は上記不要メッキ剥離槽４内での各ローラ６，７，８と同様に、給電用ローラ１４の外周面に巻き掛けられ、かつ引張り力Ｆを受けている。
【００３８】
そのため、リードフレーム１の内で給電用ローラ１４に巻き掛けられている部分は、該ローラ１４の軸心方向への力ｔまたは下方への力で強く面当接状態となって移行する（例えば図６参照）。これで、該リードフレーム１への給電が確実かつ十分に行われて、一層効率良く不要メッキ２４の電解剥離が行われている。
【００３９】
しかも上記剥離槽４内は、電解剥離の場合でも無電解剥離の場合でも、上記の如く内部にシール用ローラ６を、前ローラ７と後ローラ８との三角形状の頂点となる位置に配置したものである。そのため、該剥離槽４の長さは、内部に設けた上記各ローラ６，７，８の直径の２乃至３個分程度に短くすることができ、従来のものと比較して設置面積が小さくものになっている（例えば上記図１，図２，図３参照）。
【００４０】
なお、上記不要メッキ剥離槽４の送出口１０から出たリードフレーム１は、その後の処理を受けてコイル状に巻き取られていくようにしてある。
【００４１】
【実施例】
図１ないし図７は、本発明の不要メッキ剥離装置の実施例を示す。いずれも、長尺のリードフレーム１を駆動ローラ（図示略）で引っ張って移行させ、前処理・メッキ処理・後処理の各工程を順次に通過させるものであるが、ここではＡｇの部分メッキ処理槽の後方に、後処理の一つとしてこの不要メッキ剥離装置を設けてある。
【００４２】
まず、図１・図２・図４ないし図７は、電解剥離の場合の不要メッキ剥離装置を示している。電解剥離槽４は、前・後側壁１８，１９を含む各側壁の背を高くして、内部に電解剥離液２１を上部まで入れてあり、前側壁１８と後側壁１９の下部寄り位置には、横長状のスリット状の送入口９と送出口１０を、他の各処理槽と同じ搬送レベルｌになるように設けてある。
【００４３】
図１・図２・図３で示す如く、上記剥離槽４内に、塩化ビニル製の前ローラ７と後ローラ８とシール用ローラ６とを、該シール用ローラ６が頂点となる三角形状位置に配置してある。
【００４４】
即ち、前ローラ７は、剥離槽４内で前側壁１８の送入口９の内方に、その下部外周面が上記搬送レベルｌと一致するように横設してあり、その下部外周面を、リードフレーム１が上向きの裏面３を当接して移行し、上方のシール用ローラ６へ向かうようにしてある。
【００４５】
また後ローラ８は、後側壁１９の送出口１０の内方に設けてあり、その下部外周面を、シール用ローラ６から下降してきたリードフレーム１が上向きの裏面３を当接して移行し、送出口１０へ向かうようにしてある。
【００４６】
上記シール用ローラ６は、外周面２０にシール用のシリコンゴム板をラミネートしてあり、前ローラ７と後ローラ８との中央上部寄り位置に設けてある。各ローラ６，７，８は、ここではいずれも同径の大きさとして、互いに接触しない程度の近い位置に横設してある。
【００４７】
これで、前ローラ７の下部外周面を経たリードフレーム１が上昇して、直ぐにシール用ローラ６片側の下部寄り外周面に当接し、図１・図２・図５で示す如く強く面当接状態で巻き掛けられて移行し、その後に他側の下部寄り外周面から直ぐに後ローラ８の下部外周面へ向かうことになる。
【００４８】
上記で、リードフレーム１がシール用ローラ６の外周面２０に面当接して巻き掛けられている間は、部分メッキされた表面２が確実にシールされている。リードフレーム１がシール用ローラ６の外周面２０に巻き掛けられている角度は、少なくとも１８０度以上であることがよいが、ここでは約２６０度程度になるように設定してあり、小さい設置面積の剥離槽４でありながら、面当接の範囲が広く十分なシール面積が得られている。
【００４９】
１１は陰極板を示し、剥離槽４内で上記シール用ローラ６外周部の上方位置に設けてあるが、ここでは上記図１・図２・図３で示す如く、ステンレス製の横長板を、側方から見て円弧状に湾曲させた形状に形成して設置してある。
【００５０】
１２，１３はカバー板を示し、剥離槽４内へ送入されたリードフレーム１が、シール用ローラ６に達するまでと、シール用ローラ６を経た後に槽４外へ送出されるまでの間を、該リードフレーム１のメッキされた表面２を電気的に遮蔽するものである。
【００５１】
ここでは、耐剥離液性をもつ塩化ビニル製板で、図７で示す如く、断面コ字形状で両内側に折返し縁部１７をもつカバー板１２，１３を、図１・図２で示すように、剥離槽４の前側壁１８の送入口９近傍から前ローラ７の下方周部を経てシール用ローラ６の片側の下部外周面近くまでと、シール用ローラ６の他側の下部寄り外周面近くから後ローラ８の下方周部を経て後側壁１９の送出口１０近傍までとに各々設けてある。
【００５２】
５は給電部を示すが、ここでの給電部５は図３で示す如く、上記剥離槽４内での位置関係に似て、前ローラ１５と後ローラ１６と給電用ローラ１４とからなるもので、給電用ローラ１４を頂点とする三角形状の位置関係に配置してある。該給電用ローラ１４は外周面を導電性のあるステンレス板にして、リードフレーム１に当接するようにしてある。
【００５３】
この給電部５でも、リードフレーム１が給電用ローラ１４に巻き掛けられている角度は、少なくとも１８０度以上であることがよいが、ここでは約２６０度程度になるように設定してあり、小さい設置面積の給電部５でありながら、十分な給電面積を得られるようにしてある。
【００５４】
これで該給電部５では、図２・図６で示す如く、長尺リードフレーム１が給電用ローラ１４の外周面に巻き掛けられて、強くかつ広い面積で面当接した状態で移行する間に十分な給電を受け、その後に下方の後ローラ１６へ向かい、下部外周面を経て次へ移行するようになっている。
【００５５】
なお剥離液２１には、例えばシアン系剥離浴を液温２０℃にしたものの如く、従来公知のものを用いればよい。
【００５６】
次に図３で示したものは、上記が電解剥離であるのに対して、無電解剥離（化学剥離）である場合の不要メッキ剥離装置である。ここでの無電解の剥離槽４内にも、上記と同様に塩化ビニル製の前ローラ７と後ローラ８とシール用ローラ６とを、該シール用ローラ６が頂点となる三角形状位置に配置してある。
【００５７】
即ち、前ローラ７は、剥離槽４内で前側壁１８の送入口９の内方に、その下部外周面が上記搬送レベルｌと一致するように横設して、その下部外周面を、リードフレーム１が上向きの裏面３を当接して移行し、上方のシール用ローラ６へ向かうようにしてある。
【００５８】
また後ローラ８は、後側壁１９の送出口１０の内方に設けて、その下部外周面を、シール用ローラ６から下降してきたリードフレーム１が上向きの裏面３を当接して移行し、送出口１０へ向かうようにしてある。
【００５９】
上記シール用ローラ６は、シール用にシリコンゴム製の外周面２０を有し、前ローラ７と後ローラ８との中央上部寄り位置に設けてある。各ローラ６，７，８は、ここでも同径の大きさとして、互いに接触しない程度の近い位置に横設してある。
【００６０】
この無電解の剥離槽４内にも、リードフレーム１が通過するルートにカバー板１２，１３を設けてあるが、ここでは一側端が送入口９のある前側壁１８に接続させて、そこからシール用ローラ６までと、シール用ローラ６から、送出口１０のある後側壁１９に一側端が接続するまでとの各ルートに設けてある。
【００６１】
そのため、該カバー板１２，１３の内側では剥離液２１の循環・交換が行われ難いから、リードフレーム１の表面２がシール用ローラ６に面当接してシールされている以外の部分も、無電解剥離液中を通過中に必要な部分メッキ２３が剥離されることはほとんど無い。
【００６２】
なお、上記不要メッキ剥離槽４の送出口１０から出たリードフレーム１は、次に仕上げ用剥離槽２２へ移行して、残っている不要メッキ２４はさらに剥離・除去されて、必要な部分メッキ２３だけが残ったリードフレーム１となり、その後の処理を受けてコイル状に巻き取られていくようにしてある。
【００６３】
【発明の効果】
以上で明らかな如く、本発明に係る不要メッキ剥離装置では、剥離槽内を通過するリードフレームが、部分メッキされた表面をより確実かつ十分にシールされて、電解または無電解の剥離を受けるので、必要な部分メッキを剥離することなく、より効率良く不要メッキを剥離・除去することができる。また特に電解剥離の場合に、本発明に係る給電部としてあれば、広い面接触で確実かつ十分に給電しながら電解剥離を行うので、より一層効率良く剥離することができる。さらに剥離装置自体の設置面積をより小さいものにすることもできる。
【００６４】
即ち、１）この不要メッキ剥離装置では、電解剥離または無電解剥離の場合にも、リードフレームのメッキされた表面が、三角形の頂点位置のシール用ローラ外周面に面当接してシールされがら剥離槽内を移行する。その際に該シール用ローラに巻き掛けられた部分以外の前方や後部方は、下方の後ローラや前ローラに掛かっており、かつ該リードフレームには駆動ローラによる引っ張り力が加わっている。
【００６５】
そのため、電解剥離の場合も無電解剥離の場合も、リードフレームの内でシール用ローラ外周面に面当接している部分には、該ローラの軸心方向または下方へ向かう力が働いており、リードフレームの表面はゴム製外周面に強く押し付けられて密着状態にある。したがって、剥離液中を移行するリードフレームは、必要な部分メッキのある表面が、従来のものより確実かつ十分にシールされているから、必要な部分メッキが影響を受けること無しに、裏面等の不要メッキだけをより効率良く剥離・除去することができる。
【００６６】
２）またこの不要メッキ剥離装置では、剥離槽内をリードフレームが移行するルートに、カバー板を設けてある。即ち、電解剥離の場合には、電解剥離槽の前側壁の送入口近傍からシール用ローラ近傍迄と、シール用ローラを経た後で後側壁の送入口近傍までとの各ルートに、リードフレームの表面を被覆する如くカバー板を設けてある。
【００６７】
そのため、電解剥離液中のリードフレームの表面は、シール用ローラに面当接してシールされている前・後方の部分も、該カバー板によって陰極板から遮蔽され、電気的に隔離されることになるから、剥離槽内を移行中に表面の部分メッキは影響を受けず、不要メッキだけを電解剥離することができる。
【００６８】
３）同様のカバー板を、無電解剥離の場合には、剥離槽の送入口のある前側壁からシール用ローラ近傍までと、シール用ローラ近傍から送出口のある後側壁までとの各ルートに、リードフレームの表面を被覆する如くに設けてある。
【００６９】
そのため、無電解剥離液中のリードフレームの表面は、シール用ローラに面当接してシールされている前・後方の部分も、該カバー板の内側にあって剥離液の循環・交換が行われ難い状態にあるから、剥離槽内を移行中に同様に表面の部分メッキはほんんど影響を受けず、不要メッキの剥離だけを行うことができる。
【００７０】
４）さらに、電解剥離の場合での給電部は、電解剥離槽の前・後方の少なくとも一方に、給電用ローラと前ローラと後ローラとで構成し、給電用ローラを三角形状の頂点となる位置に配置して、リードフレームが該給電用ローラに巻き掛けられて移行するようにしてある。
【００７１】
この給電部によれば、電解剥離槽内を移行リードフレームは、給電用ローラの外周面に強く巻き掛けられて、かつ広い面当接状態で給電されながら移行することになり、給電を従来のものより確実かつ十分に行うことができるから、不要メッキの電解剥離を一層効率良く行うことができる。
【００７２】
５）しかも、本発明の不要メッキ剥離装置では、電解剥離の場合も無電解剥離の場合も、剥離槽内に上記の如くシール用ローラを、前ローラと後ローラとの三角形状の頂点となる位置に配置したものである。そのため、該剥離槽の長さは、上記各ローラの直径の２乃至３個分程度に短縮することができるから、従来のものと比較して装置自体の設置面積を小さくができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の不要メッキ剥離装置の第１ものの実施例を示す縦断正面図である。
【図２】  本発明の不要メッキ剥離装置の第２のものの実施を示す縦断正面図である。
【図３】  本発明の不要メッキ剥離装置の第３のものの実施例を示す縦断正面図である。
【図４】  図１・図２で示した不要メッキ剥離装置の電解剥離槽の実施例を示す縦断斜視図である。
【図５】  図４で示した電解剥離槽内でリードフレームがシールされている状態を示す縦断正面図である。
【図６】  図２で示した不要メッキ剥離装置の給電部で、リードフレームが給電されている状態を示す縦断正面図である。
【図７】  図１でのＡ−Ａ拡大断面図である。
【図８】  電解剥離処理前のインナーリード部の一部拡大斜視図である。
【符号の説明】
１−リードフレーム
２−表面
３−裏面
４−剥離槽
５−給電部
６−シール用ローラ
７−前ローラ
８−後ローラ
９−送入口
１０−送出口
１１−陰極板
１２−カバー板
１３−カバー板
１４−給電用ローラ
１５−前ローラ
１６−後ローラ
１７−折返し縁部
１８−前側壁
１９−後側壁
２０−外周面
２１−剥離液
２２−仕上げ用剥離槽
２３−部分メッキ
２４−不要メッキ
Ｆ−引張り力
ｌ−搬送レベル
ｓ−軸心方向への力
ｔ  軸心方向への力
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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