(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベッドとクラウンと複数の支柱とで形成された枠体と、
下端面に上型が取り付けられると共に支柱を自在に摺動する第１のスライダと、
クラウンと第１のスライダとの間に設けられ支柱を自在に摺動する第２のスライダと、
クラウンに設けられた第１のモータによって正回転・逆回転駆動される早送り用の第１のねじ軸を介し、第２のスライダを上下動させる第１の連結機構と、
第２のスライダに設けられた第２のモータによって正回転・逆回転駆動される第２のねじ軸を介し、第１のスライダを上下動させる第２の連結機構と、
第２のスライダと第１のねじ軸とを固定する第１のロック機構と、
上型に対応する位置にベッドに対応して設置された下型と、
上型と下型に載置された被加工物との接触位置を検出すると共に、上型の上限待機位置及び下限降下位置を検出する位置検出器と、
位置検出器が検出する位置信号を基に、上型が下型に載置された被加工物と接触する時点までは、少なくとも第２のスライダを介して上型を急速に降下させ、上型が被加工物と接触した時点あるいは接触する直前の時点で第１のロック機構を介して第２のスライダと第１のねじ軸とを固定させ、上型が被加工物と接触した時点あるいは接触する直前の時点から上型が予め定められた下限降下位置まで降下する時点までは、上型の降下を第１のスライダを介して減速し、第２のモータをトルク付加モードで上型が下型に載置された被加工物を押圧する制御を行わせ、上型が下限降下位置に到達後は第１のスライダ及び第２のスライダを介して上型を急速に上昇させる第１の制御装置とを備えると共に、
上記第１のロック機構は、スラスト荷重用のベアリングを中間に配した形態で、第１のねじ軸に対し上記第１の連結機構と組になってダブルナットを構成するロックナットと、ロックナットに固着されたクランプ片と、第１のねじ軸を固定・開放させるためクランプ片を介しロックナットを僅かに正・逆回転させるロックナットを制御する機構
を備えたことを特徴とする電動プレス加工機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電動プレス加工機、特に往復運動をするスライダの下端に取り付けられた上型とベッドに取り付けられた下型とで、モータを駆動源にしてプレス加工する電動プレス加工機において、上限待機位置にある上型が降下し下型に載置された被加工物と接触するまでの間あるいは接触する直前までの間、及び上型が下限位置から上昇し上限待機位置に戻るまでの間の各時間を高速で上型を移動させ、プレスの一工程（サイクル）を短縮化するようにした電動プレス加工機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、モータを駆動源にしてプレス加工する電動プレス加工機は、被加工物をプレス加工する上型の速度に合わせ、被加工物をプレス加工しない工程においても上型が被加工物をプレス加工する際の一定速度で往復運動させていた。またこの点を解決しようとする特許出願も行われている（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３参照。）が、具体化に当たっては、なお解決すべき問題があった。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−６２５９７号公報
【特許文献２】
特開２００１−７１１９４号公報
【特許文献３】
特許第３０５１８４１号
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来のように被加工物をプレス加工しない工程も、被加工物をプレス加工する際の上型の速度に合わせ、プレスの一工程を行っているため、プレスの一工程に時間が掛かる欠点があり、この点を解決するに当って、サーボモータを用いる電動プレス加工機においてはねじ軸をロックするなどの必要があることが分かった。
【０００５】
本発明は、上記の欠点を解決することを目的としており、被加工物をプレス加工しない工程の非プレス期間では上型を高速移動させるようにして、プレス加工の一工程に要する時間を短縮化することができる電動プレス加工機を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
そのため本発明の第１の電動プレス加工機は、ベッドとクラウンと複数の支柱とで形成された枠体と、下端面に上型が取り付けられると共に支柱を自在に摺動する第１のスライダと、クラウンと第１のスライダとの間に設けられ支柱を自在に摺動する第２のスライダと、クラウンに設けられた第１のモータによって正回転・逆回転駆動される早送り用の第１のねじ軸を介し、第２のスライダを上下動させる第１の連結機構と、第２のスライダに設けられた第２のモータによって正回転・逆回転駆動される第２のねじ軸を介し、第１のスライダを上下動させる第２の連結機構と、第２のスライダと第１のねじ軸とを固定する第１のロック機構と、上型に対応する位置にベッドに対応して設置された下型と、上型と下型に載置された被加工物との接触位置を検出すると共に、上型の上限待機位置及び下限降下位置を検出する位置検出器と、位置検出器が検出する位置信号を基に、上型が下型に載置された被加工物と接触する時点までは、少なくとも第２のスライダを介して上型を急速に降下させ、上型が被加工物と接触した時点あるいは接触する直前の時点で第１のロック機構を介して第２のスライダと第１のねじ軸とを固定させ、上型が被加工物と接触した時点あるいは接触する直前の時点から上型が予め定められた下限降下位置まで降下する時点までは、上型の降下を第１のスライダを介して減速し、第２のモータをトルク付加モードで上型が下型に載置された被加工物を押圧する制御を行わせ、上型が下限降下位置に到達後は第１のスライダ及び第２のスライダを介して上型を急速に上昇させる第１の制御装置とを備えると共に、上記第１のロック機構は、スラスト荷重用のベアリングを中間に配した形態で、第１のねじ軸に対し上記第１の連結機構と組になってダブルナットを構成するロックナットと、ロックナットに固着されたクランプ片と、第１のねじ軸を固定・開放させるためクランプ片を介しロックナットを僅かに正・逆回転させるロックナットを制御する機構を備えたことを特徴としている。
【０００８】
被加工物をプレス加工しない非プレス期間では上型が高速降下・上昇の高速移動をするので、プレス加工の一工程（サイクル）に要する時間を短縮化することができると共に、ロック機構によりプレス加工の効率を向上させることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１は本発明に係る第１の電動プレス加工機の一実施例概略説明図を示している。
【００１０】
図１において、ベッド１とクラウン２と複数の支柱３とで形成された枠体４の内部には、２つのスライダ（第１のスライダ）５、スライダ（第２のスライダ）６が設けられ、各スライダ５、６の四隅に、支柱３と係合し支柱３の軸方向にスライダ５、６が自在に摺動する摺動穴がそれぞれ設けられている。
【００１１】
クラウン２の上面には、複数個の、例えば４つの取り付け台８が設けられており、各取り付け台８には、エンコーダを内蔵したＡＣサーボモータ（第１のモータ）９が取り付けられている。
【００１２】
以下に説明する４つの取り付け台８に取り付けられた各ＡＣサーボモータ９に関連する構成・構成部品は全く同じものであるので、その一について説明することにする。
【００１３】
取り付け台８の内部においてＡＣサーボモータ９の軸に固着された早送り用のねじ軸（第１のねじ軸）１０は、回転自在にクラウン２に軸支されると共に、スライダ６に固定されためねじ送りナット（第１の連結機構）１１に螺合され、スライダ６の下方にさらに設けられているスライダ５を突出することが可能となっている。従って、上記４つのＡＣサーボモータ９の同期した正回転・逆回転により、スライダ６が上昇或いは下降し、ＡＣサーボモータ９の回転制御でスライダ６を往復運動させることができる。
【００１４】
スライダ６には、ねじ軸１０を当該スライダ６にクランプする、すなわち固定するロック機構（第１のロック機構）１４が設けられている。このロック機構１４が働くと、ねじ軸１０がスライダ６に固定され、ねじ軸１０とスライダ６とが一体化し、ねじ軸１０とスライダ６とは相互に移動することができないようになっている。
【００１５】
スライダ６の上面には、複数個の、例えば２、３又は４つの取り付け台１５が設けられおり、各取り付け台１５には、エンコーダを内蔵した減速機１６付のＡＣサーボモータ（第２のモータ）１７が取り付けられている。取り付け台１５に取り付けられた各ＡＣサーボモータ１７に関連する構成・構成部品も全く同じものであるので、以下の説明でもその１つについて説明することにする。
【００１６】
取り付け台１５の内部においてＡＣサーボモータ１７の軸に固着されたボールねじ軸（第２のねじ軸）１８は、内部にボールとナット部材とが設けられた作動機構付ボールねじ機構（第２の連結機構）１９と螺合し、スライダ６に回転自在に軸支されている。ボールねじ軸１８とスライダ５の上面に固定された当該作動機構付ボールねじ機構１９とで、２つのスライダ６とスライダ５とが連結された構造となっている。つまり、取り付け台１５に設けられた上記複数個のＡＣサーボモータ１７を同期した正回転或いは逆回転させることにより、スライダ５が上昇或いは下降し、ＡＣサーボモータ１７の回転制御でスライダ５を往復運動させることができる。
【００１７】
スライダ５の下端面には上型７が取り付けられ、またベッド１にはこの上型７に対応する位置に下型２０が設けられている。そしてベッド１とクラウン２との間に、スライダ５の位置を検出するパルススケール２１が４つの支柱３に沿ってそれぞれ取り付けられ、上型７と下型２０に載置された被加工物２２との接触位置を検出すると共に、上型７の上限待機位置及び下限降下位置を検出するようになっている。スライダ５などの平行制御は、上記４つのパルススケール２１を基準にして、図示されていないサドルなどで行われる。
【００１８】
それぞれ複数個（４つ）のＡＣサーボモータ９と、２ないし４個のＡＣサーボモータ１７との各回転を制御し、そしてねじ軸１０をスライダ６に固定させ或いはその解除をさせるロック機構１４を制御する制御装置（第１の制御装置）２３は、予め各種の設定値が入力されるようになっている他、スライダ５の位置検出をするための、すなわち上型７の位置検出をするためのパルススケール２１が検出する位置信号を基に、上限待機位置にある上型７が、下型２０に載置された被加工物２２と接触する時点あるいは接触する直前の時点までは、ＡＣサーボモータ９によって下降するスライダ６を介して上型７を急速に降下させ、ＡＣサーボモータ９の停止後、直ちにロック機構１４をロックさせ、上型７が被加工物２２と接触した時点あるいは接触する直前の時点から上型７が予め定められた下限降下位置（図１の上型７の想像線位置（７））まで降下する時点までは、上型７の降下をＡＣサーボモータ１７によって下降するスライダ５を介して、上記の急速降下速度に対して減速し、ＡＣサーボモータ１７をトルク付加モードにして、上型７が下型２０に載置された被加工物２２を押圧し、被加工物２２を所定の形状にプレス加工を行う制御を行わせ、上型７が下限降下位置に到達後は、ロック機構１４のロックを解除すると共に、ＡＣサーボモータ１７によるスライダ５とＡＣサーボモータ９によるスライダ６とを介して上型７を急速に上昇させる制御を行わせるようになっている。
【００１９】
ＡＣサーボモータ９の停止後ロック機構１４をロックしてねじ軸１０をスライダ６に固定させるのは、上型７が下型２０に載置された被加工物２２をプレスする際に生じる反力で、スライダ５、差動機構付ボールねじ機構１９及びボールねじ軸１８などを介してスライダ６を上向きに移動させようとする力が働いても、上記説明のねじ軸１０とスライダ６との一体化により、ねじ軸１０はその回転が阻止されるので、スライダ６は上向きに移動することはなく停止位置を維持させるためである。つまり上型７は被加工物２２に所定のプレス荷重を付与することができる。
【００２０】
図２は図１に用いられている上型の移動機構部の拡大説明図を示しており、図１と同じものは同一の符号が付されている。
【００２１】
図２において、クラウン２の上面に取り付けられた取り付け台８を貫通したＡＣサーボモータ９の出力軸２５は、ねじ軸１０の先端部にカップリング２６を介して連結されている。クラウン２に設けられた孔２７には、ベアリングホルダ２８を介してねじ軸１０に嵌め込まれたベアリング２９が取り付けられ、ＡＣサーボモータ９によって駆動されるねじ軸１０が回転自在にクラウン２に取り付けられている。
【００２２】
またスライダ６の上面に取り付けられた取り付け台１５を貫通したＡＣサーボモータ１７の減速機１６を介しての出力軸３０は、ボールねじ軸１８の先端部にカップリング３１を介して連結されている。スライダ６に設けられた孔３２には、ベアリングホルダ３３を介してボールねじ軸１８に嵌め込まれたベアリング３４が取り付けられ、ＡＣサーボモータ１７によって駆動されるボールねじ軸１８が回転自在にスライダ６に取り付けられている。
【００２３】
スライダ６に取り付けられたロック機構１４は、スラスト荷重用のベアリング３５、ロックナット３６、クランプ片３７及びロックナット弛緩機構３８で構成され、弛緩を容易にするベアリング３５を中間にして配置されためねじ送りナット１１とロックナット３６とのダブルナットでねじ軸１０を固定（ロックナット３６に対するねじ軸１０の回転停止）し、或いはねじ軸１０を開放（ロックナット３６に対するねじ軸１０の回転自由）するようになっている。このめねじ送りナット１１とロックナット３６とのダブルナットでのねじ軸１０の固定・開放は、当該ロックナット３６に固着されたクランプ片３７を介しロックナット３６を僅かに正・逆回転させるロックナット弛緩機構３８で行われるようになっている。
【００２４】
図３はロック機構がロック状態となっているときのねじ軸に対するめねじ送りナットとロックナットとの関係を表した一実施例部分拡大図を示している。
【００２５】
図３において、紙面上側から見てロックナット３６がクランプ片３７を介して時計周りに回転させられ、ロックナット弛緩機構３８がクランプの状態にある。このときロックナット３６のねじ溝の下側とねじ軸１０のねじ山の下側とが当接すると共に、めねじ送りナット１１のねじ溝の上側とねじ軸１０のねじ山の上側とが当接し、ねじ軸１０はロックナット３６に対し固定される。従ってロックナット３６、クランプ片３７、そしてスライダ６に固定されているロックナット弛緩機構３８を介してねじ軸１０はスライダ６に固定される。
【００２６】
図４はロック機構がアンロック状態となってスライダ６を下送りしているときのねじ軸に対するめねじ送りナットとロックナットとの関係を表した一実施例部分拡大図を示している。
【００２７】
図４において、紙面上側から見てロックナット３６がクランプ片３７を介して反時計周りに回転させられ、ロックナット弛緩機構３８がアンクランプの状態にある。このときロックナット３６のねじ溝とねじ軸１０のねじ山とが中立状態に位置され、紙面上側から見てねじ軸１０が時計周りに回転すると、ねじ軸１０のねじ山の下側がめねじ送りナット１１のねじ溝の下側と当接しながら、スライダ６を下送りする。
【００２８】
図５はロック機構がアンロック状態となってスライダ６を上送りしているときのねじ軸に対するめねじ送りナットとロックナットとの関係を表した一実施例部分拡大図を示している。
【００２９】
図５において、紙面上側から見てロックナット３６がクランプ片３７を介して反時計周りに回転させられ、ロックナット弛緩機構３８がアンクランプの状態にある。このときロックナット３６のねじ溝とねじ軸１０のねじ山とが中立状態に位置され、紙面上側から見てねじ軸１０が反時計周りに回転すると、ねじ軸１０のねじ山の上側がめねじ送りナット１１のねじ溝の上側と当接しながら、スライダ６を上送りする。
【００３０】
図６は差動機構付ボールねじ機構の一実施例構造説明断面図を示している。なお、差動機構付ボールねじ機構については、本出願人によるものが特開２００２−１４４０９８号公報として公開されている。
【００３１】
図１で用いられている差動機構付ボールねじ機構１９は、図６図示の構造を備えており、差動機構付ボールねじ機構１９は、ボールねじ軸１８と複数のボール５０とナット部材５１とからなるボール軸受を備え、更に可動部材５２と差動部材５３と受け部材５４とを有するボール軸受位置調整手段を備えている。
【００３２】
ナット部材５１は、ボール５０を介してボールねじ軸１８とボールねじ係合すべくその孔部にボール溝５５が設けられており、ボール５０を介してのボールねじ軸１８とナット部材５１とのボールねじ係合によって、上型７の正確で高精度な位置制御ができるようになっている。
【００３３】
ナット部材５１の下端部には、ボール軸受位置調整手段に属する所の、中心部にボールねじ軸１８を貫通させるための孔が設けられた可動部材５２が固定されている。当該可動部材５２と、中心部にボールねじ軸１８を貫通させるための孔が設けられ、かつ上端面に傾斜面５６が形成されている受け部材５４との間に、中心部にボールねじ軸１８を貫通させると共に自身の摺動を可能にするに足る孔を備えた差動部材５３が設けられている。そして当該差動部材５３はその下端面が受け部材５４に形成されている傾斜面５６と同じ傾斜角で逆向きの傾斜面が形成されていて、差動部材５３が、図面左右方向（図６のＡの矢印両方向）に摺動し、可動部材５２を介してナット部材５１が垂直方向（図６のＢの矢印両方向）にのみ移動するようになっている（図６ではナット部材５１が垂直方向にのみ移動する拘束機構は図示省略されている）。
【００３４】
差動部材５３を上記図面左右方向に移動させるためのねじ部５７をＡＣサーボモータや手動で回転させ、ナット部材５１を垂直方向に微小距離移動させることにより、ボールねじを構成するボール５０とボール溝５５との線接触又は点接触で係合するボールねじにあって、荷重時常に同一位置での線接触又は点接触で係合することから生じるボール５０やボール溝５５の局部的な磨耗を回避することができる。
【００３５】
即ち、上型７が最下点に達した時点で上型７を更に降下させようとする最大荷重が生じるが、同じ上型７及び同じ下型２０と、同じ被加工物２２とを用いてプレス加工を続けると、当該最大荷重におけるボールねじ軸１８とボール５０とナット部材５１のボール溝５５は、同じ決まった位置関係の下でボールねじ軸１８とボール５０とが局部的に接触し、この接触部に局部的に磨耗が生じる。当該差動機構付ボールねじ機構１９を用い、各プレス加工の都度、或いは所定回（例えば５回程度）の各プレス加工の都度、差動部材５３を矢印Ａ両方向に挿入し、或いは排出することによって、最大荷重での上述のボールねじ軸１８とボール５０とナット部材５１のボール溝５５との位置関係が僅かにズレてゆくことになり、磨耗が防止される。差動部材５３を挿脱する状況は、１回の挿入で、径１０ｍｍ程度のボール５０の大径上で上記の接触部が２μｍ程度ずつズレてゆくようなものである。このようにすれば、差動部材５３が約１５７００回挿入することによって、接触点がボール５０の大径上を一周する。
【００３６】
なお、図１に示された本発明の場合、２つのスライダ５、６を備えているので、スライダ６の停止位置、すなわち上型７が上限待機位置にあるときのスライダ５とスライダ６との間隔を極僅か変えることにより、上記ボールねじ軸１８とボール５０とナット部材５１のボール溝５５との位置関係を変えることができ、そしてプレス加工時の荷重時にナット部材５１のボール溝５５は、その加工開始位置が替わり、ナット部材５１の耐久性が確保されが、必ずしもボール軸受位置調整手段を必要とするものではない。
【００３７】
このように構成された本発明の第１の電動プレス加工機の動作を、図７の本発明に係る第１の電動プレス加工機の自動運転における一実施例サイクル線図を用いて説明する。
【００３８】
図７の縦軸は上から順に上型７、ＡＣサーボモータ９、ロック機構１４、ＡＣサーボモータ１７の各動作、横軸は時間をそれぞれ表しており、一番上の実線は上型７の軌跡を示している。なおＡＣサーボモータ９やＡＣサーボモータ１７に対応する図の部分で、「正回転」として示されている部分の基準線からの高さと、「逆回転」として示されている部分の基準線からの高さとは同じである。
【００３９】
時間軸のＴ０は、ＡＣサーボモータ９、ロック機構１４、ＡＣサーボモータ１７がそれぞれオフ状態、上型７が上限待機位置にある状態のサイクル開始時点を表している。
【００４０】
時間Ｔ１〜Ｔ２は、ＡＣサーボモータ９が正回転の通電がなされスライダ６が降下を開始し、それに伴いスライダ５も降下するという上型７の下降期間（高速アプローチ期間）を表している。
【００４１】
この時間軸のＴ２においては、上型７が下型２０に載置された平板の被加工物２２の表面と接触する時点を表すと共にＡＣサーボモータ９の回転停止、その直後のロック機構１４の作動でねじ軸１０とスライダ６との一体化及びＡＣサーボモータ１７の正回転の通電がなされスライダ５が降下を開始する時点を表す。
【００４２】
すなわち時間Ｔ１〜Ｔ２は、上型７の上限待機位置から下型２０に載置された被加工物２２に接触するまでの非プレス期間で、ＡＣサーボモータ９の急速なねじ軸１０の回転により上型７を急速に降下させている。
【００４３】
そして時間Ｔ２〜Ｔ３は、ＡＣサーボモータ１７がトルク付加モードとなり、スライダ５を介して上型７が下型２０に載置された被加工物２２をプレス加工するプレス期間（加圧ストローク期間）を表している。
【００４４】
この時間軸のＴ３においては、上型７の予め定められた下限降下位置到達時点を表すと共に、その直後ロック機構１４の解除でねじ軸１０とスライダ６との一体化の開放及びＡＣサーボモータ９とＡＣサーボモータ１７との逆回転の通電がなされることを表す。
【００４５】
また時間Ｔ３〜Ｔ４は、ねじ軸１０とスライダ６との一体化の開放の下で、ＡＣサーボモータ９とＡＣサーボモータ１７とが逆回転してスライダ６、スライダ５が共に上昇し、上型７が下限降下位置から急速に上昇して上限待機位置に復帰する上昇期間（高速リターン期間）を表わしている。
【００４６】
この時間軸のＴ４においては、ＡＣサーボモータ９の逆回転が停止し、スライダ６が下降開始時点の元の位置に復帰し、上型７の上限待機位置到達時点を表す。なお時間軸のＴ４に至る以前にＡＣサーボモータ１７の逆回転が停止し、スライダ５はスライダ６との元の位置関係、すなわち上型７が上限待機位置にある状態のサイクル開始時点での間隔に復帰し終わっている。
【００４７】
時間軸のＴ５は一サイクル完了時点をそれぞれ表している。このようにして時間Ｔ１〜Ｔ２と時間Ｔ３〜Ｔ４との非プレス期間においては、上型７を急速に降下・上昇させることにより、プレス加工の一工程（サイクル）に要する時間を短縮化させている。なお上記説明ではＡＣサーボモータ１７の正回転を時間軸のＴ２で開始するようにしているが、時間軸のＴ２の直前で開始するようにしてもよい。
【００８２】
【発明の効果】
以上説明した如く、本発明によれば、被加工物をプレス加工しない非プレス期間では上型が高速降下・上昇の高速移動をするので、プレス加工の一工程（サイクル）に要する時間を短縮化することができると共に、プレス加工の際ロック機構の動作でスライダ（第２のスライダ）とねじ軸（第１のねじ軸）が堅固に一体化され、プレス加工の高速化と共に高精度化を得る。また、ダブルナットの構成を用いているために、ねじ軸（第１のねじ軸）をロックするに当って、当該静止中のねじ軸が非所望に回動されることがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る第１の電動プレス加工機の一実施例概略説明図である。
【図２】  図１に用いられている上型の移動機構部の拡大説明図である。
【図３】  ロック機構がロック状態となっているときのねじ軸に対するめねじ送りナットとロックナットとの関係を表した一実施例部分拡大図である。
【図４】  ロック機構がアンロック状態となってスライダを下送りしているときのねじ軸に対するめねじ送りナットとロックナットとの関係を表した一実施例部分拡大図である。
【図５】  ロック機構がアンロック状態となってスライダを上送りしているときのねじ軸に対するめねじ送りナットとロックナットとの関係を表した一実施例部分拡大図を示している。
【図６】  差動機構付ボールねじ機構の一実施例構造説明断面図である。
【図７】  本発明に係る第１の電動プレス加工機の自動運転における一実施例サイクル線図である。
【符号の説明】
１  ベッド
２  クラウン
３  支柱
４  枠体
５  スライダ（第１のスライダ）
６  スライダ（第２のスライダ）
７  上型
９  ＡＣサーボモータ（第１のモータ）
１０  ねじ軸（第１のねじ軸）
１１  めねじ送りナット（第１の連結機構）
１４  ロック機構（第１のロック機構）
１７  ＡＣサーボモータ（第２のモータ）
１８  ボールねじ軸（第２のねじ軸）
１９  差動機構付ボールねじ機構（第２の連結機構）
２０  下型
２１  パルススケール
２２  被加工物
２３  制御装置（第１の制御装置）
【図１】
0004166119.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0004166119.tif 000008