(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴噴射ノズルのアレイを有するインクジェットカートリッジの製造方法であって、
（ａ）硬質基板上に、フォトパターン形成可能でインク耐性を有する材料の層を、予め定められた厚みに形成する工程と、
（ｂ）各々がオリフィスアレイを有する複数のノズルプレートを形作る予め定められた光透過パターンを有するマスクを提供する工程と、
（ｃ）前記マスクを用いて前記基板上に前記インク耐性材料層をリソグラフィにより所定のパターンに形成し、これによって複数のノズルプレートを形作る、インク耐性材料の所定のパターンが形成された層を生成する工程であって、前記各ノズルプレートは、相互に連結された角部および前記カートリッジの前記ノズルを含む前面におけるノズルアレイのノズルと同数および同間隔のオリフィスアレイを有するものである工程と、
（ｄ）相互に連結されたノズルプレートを一枚のシートとして硬質基板からインク耐性材料のパターン形成された層を除去する工程と、
（ｅ）ノズルプレートのオリフィスアレイがカートリッジ前面においてノズルと位置合わせされた状態で、ノズルプレートの前記相互に連結されたシートの複数のノズルプレートのうち少なくとも一つをカートリッジ前面に結合する工程と、を有するインクジェットカートリッジの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はインクジェットプリントヘッドに関し、特にインクジェットプリントヘッド用のノズルプレートおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット業界が６００ｄｐｉ（ドットパーインチ）以上等のより高いプリンティング解像度のインクジェットプリントヘッドを開発・生産するに連れて、プリントヘッドノズルから噴射されるインク滴が向かう方向の誤差が画像品質の限界を定めるようになる。インク滴の方向およびその誤差は指向性と呼ばれる。指向性は、いくつかの事象の影響を受ける。２、３の例を挙げると、ノズルの形状、ノズル前面の表面エネルギおよびノズル近辺のノズル前面に集まるインク等が指向性に影響を与える。この問題の１つの解決方法は、ノズルプレートを使用することである。ノズルプレートのその他の利点は、保守場所が密封かつ清掃に関して一様な表面を有することである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
プリントヘッドノズルの面積は小さく、特にサイズが１ノズル当たり０．０３３２ｃｍ2の範囲にある高解像度プリントヘッドの場合には、典型的な高分子ノズルプレートのノズル開口は非常に小さいのでその開口は一般にレーザアブレーションによって製作される。こうしたレーザアブレーションの工程は時間がかかりかつ高価であるばかりでなく、破片や残留物も生じさせる。これらの破片や残留物をたとえば回収したり管理して、プリントヘッドに進入しないようにしなければならない。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的は、バッチ式のフォトリソグラフ工程を用いてオリフィスすなわちノズルが形成されるノズルプレートを提供することである。薄膜として積層させ、その後に標準的な精密電子リソグラフィ手法および処理を用いて、所定のパターンを形成することができる材料が数多く知られている。このような材料には、ポリマ、金属、酸化物および窒化物が挙げられる。また、これらの材料は、個々にまたは層状積層体として使用してノズルプレートを形成することができる。
【０００５】
本発明の一面において、一連のインク滴噴射ノズルをその中に有するインクジェットカートリッジのノズル包含する前面を製作する方法は、次の工程を有する。すなわち、硬質基板上にフォトパターン形成可能なインク耐性材料の、予め定められた厚みの層を提供する工程と、それぞれがオリフィスのアレイを有する複数のノズルプレートを形作る予め定められた光透過パターンを有するマスクを提供する工程と、前記マスクを用いて前記硬質基板上に前記インク耐性材料層をリソグラフィにより所定のパターンに形成する工程であって、この工程はさらに各ノズルプレートがカートリッジの前記ノズルを含む前面のノズルアレイ中のノズルと同数かつ同間隔のオリフィスのアレイとを有するようにし、また相互に連結された角部を有するようにするものであり、相互に連結されたノズルプレートを一枚のシートとして硬質基板からインク耐性材料のパターン形成された層を除去する工程、およびノズルプレートのオリフィスアレイがカートリッジ前面においてノズルと位置合わせされた状態で、ノズルプレートの前記相互連結されたシートの複数のノズルプレートのうち少なくとも一つをカートリッジ前面に結合する工程と、を有している。
【０００６】
本発明の別の側面において、インク溜および一端で開放し他端で溜との通路となるチャネルアレイを有するチャネルプレートと、加熱素子アレイおよび電気パルスを加熱素子に個々にかけるアドレシング電極をその１つの面上に有するヒータプレートと、プリントヘッドの平らな前面に存在する液滴噴射ノズルとして機能するチャネルの開放端が形成された、所定のパターンが形成された挟持状態の高分子の厚膜と、を有する形式のプリントヘッドであって、前記プリントヘッドは、フォトリソグラフィにより所定パターンが形成され、プリントヘッド前面に結合したノズルプレートを含み、さらにこのノズルプレートは、プリントヘッドノズルと同じ間隔でそれと位置合わせがなされた同数のオリフィスを有し、硬質基板上にフォトパターン形成が可能なインク耐性の薄膜形成性高分子材料をスピンコータにより被覆し、予め定められた厚みを有する薄膜に高分子材料を乾燥し、マスクによって高分子材料の薄膜を露光すると共に露光した薄膜を現像して非露光部分を除去して相互に連結された角部および前記オリフィスを有する複数のノズルプレートを形成し、プリントヘッド前面にノズルプレートの１つを整列かつ結合する前に複数のノズルプレートを硬化させることにより製作されているものである、プリントヘッドが提供される。
【０００７】
一つの実施態様において、各ノズルプレートは、ノズルプレートが相互に連結された角部と共にまだ硬質基板上にあるときに、対応するプリントヘッド前面に位置合わせされて結合している。ノズルプレート角部を相互に連結する材料の量は非常に少ないので、ノズルプレートは、その上にそれらが作られる基板から除去されて後、互いに容易にばらばらにされる。剥離層は、高分子材料の膜層を含んでいる硬質基板表面に任意に加えられ、ノズルプレートを除去しやすくすることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１には、シリコンウエハ等の硬質基板１０の平面図が示されている。硬質基板１０は、その上部表面上に適切なポリマ、金属、酸化物、窒化物およびそれらの層状積層体等の光学的にパターン形成可能な材料の膜または層１２を有している。この膜または層１２は、複数のノズルプレート１４を作製するためにフォトリソグラフィにより所定のパターンに形成されている。図１の部分拡大概略平面図が図２に示されている。ここには数枚のノズルプレートが示されており、それぞれのノズルプレートはオリフィス２２のアレイを有している。また、隣接するノズルプレートの角部が互いにノズルプレート連結部材１８によって結合されている。このノズルプレート連結部材１８は、パターン形成フォトリソグラフィ工程において使用されたマスク（図示せず）の形状によってエッチングされずに残った部分である。連結された角部は、パターン付けされたノズルプレートを十分に丈夫にして、連結されたノズルプレートが個々のノズルプレートに望ましくない時点で分離することを防止するが、比較的弱い力で容易に分離する。こうして相当数のノズルプレートを同時に加工できると共に、ノズルプレートの連結された角部１６は、多くのノズルプレートを同時に扱うことを可能にする。ノズルプレートを連結させる少量の高分子材料は非常に少ないので、オリフィスの重要な特性を損なうおそれなくノズルプレートを分離できる。ノズルプレートの角部を連結する材料の連結幅は、概ね約１０から２０ｍｉｌ（０．２５から０．５０ｍｍ）である。分かりやすくするために、各ノズルプレートには少数のオリフィスだけを示しているが、実際のノズルプレートにおいては、１インチ（２５．４ｍｍ）当たり３００以上配置されている。所定の形状のノズルプレートを形成するための材料はフォトリソグラフィ工程で除かれて、下にある硬質基板１０の表面を露出させる。
【０００９】
好ましい実施態様において、ポリアリレンエーテル等の高分子材料は、スピンコータ（図示せず）により、回転するシリコンウエハ１０（図１参照）上に被覆され、高分子材料１２の層または膜を形成し、この層または膜は乾燥して約１０から１００μｍおよび好ましくは約２０から５０μｍの厚みとなる。高分子材料の層は、複数のノズルプレートの輪郭を明確にする予め定められた光透過パターンを有するマスク（図示せず）を用いて露光される。高分子材料の露光された層は現像されて、非露光部分が除去され、高分子材料の層が所定のパターンに形成される。このパターン形成された層は、複数のノズルプレート１４を含み、各ノズルプレート１４は、図２で示した通りその角部で相互に連結される。各ノズルプレート１４は、インクジェットカートリッジ５０（図１１参照）にあるプリントヘッド３０（図５参照）中のノズル３９と同数かつ同間隔のオリフィス２２からなるアレイを有する。互いに連結されたノズルプレートのパターン形成された高分子層は硬化されると共に、接着剤７０の層が塗布される（図３および図４参照）。互いに連結されたノズルプレートは、一枚のシートとしてシリコンウエハから除去される。複数のノズルプレートのうち少なくとも一つが、インクジェットカートリッジの前面に結合されている。そして、結合された状態において、ノズルプレートのオリフィスは、カートリッジのノズルに対して揃えられた配置となっている。別案の実施態様において、多数の相互連結されたノズルプレートは、同数のインクジェットカートリッジ前面に同時に結合される。接着剤７０の層は、相互連結されたノズルプレートがウエハから除去される前にそのシート上に積層させると共に、接着促進剤を任意に含めてもよく、または接着促進剤は接着層７０上に別の層（図示せず）として任意に添加してもよい。接着層は、約１から５μｍの均一な厚みで当該技術において周知の方法により相互連結されたノズルプレートのシート上に均一に積層させる。適切な接着剤塗布手法の一つが米国特許第４，６７８，５２９号に開示されている。
【００１０】
インク耐性を有する材料が金属である別案の実施態様において、シリコンウエハ上の金属の蒸着は、例えば電鋳またはスパッタリング等の周知の方法によって行ってもよい。金属層は標準的な精密電子リソグラフィを用いて所定のパターンに形成される。
【００１１】
図３において、オリフィス列の長さ方向、すなわち図２中に示した破断線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿った断面図が示されている。この断面図において、パターン形成されたオリフィス２２は、オリフィスの側壁２３が硬質基板の表面を基準にして垂直から若干傾斜していることが示されている。ノズルプレートを除去しやすくする任意の剥離層２０も示した。便利な一つの剥離層は空気中で自然に生成する酸化シリコンであるか、または酸化シリコン層を半導体工業において周知の方法によって酸素雰囲気中で予め定めた厚みに明確に成長させてもよい。剥離層２０の適切なひとつの深さは２０Å（２ｎｍ）から１０μｍである。
【００１２】
ノズルプレート構成の別案の実施態様を図４に示した。それは図２の破断線ＩＶ−ＩＶに沿った断面図であって、ここで硬質基板１０の表面はエッチングされて、例えば、オリフィス２２のアレイ付近に線状共面の隆起面または凸状面２４を形成する。別の方法として、硬質基板上に隆起層を直接積層させることにより隆起面を形成することができる。硬質基板表面上の隆起面２４によって、図９にも示す通り、ノズルプレート外面２６から窪んだ窪み２８中にオリフィス２２を有するノズルプレート１４が作製される。このノズルプレート構成の１つの利点は、クリーニングブレード等によるクリーニング操作においてオリフィス自体に接触しないことである。更なる利点は、ノズルプレートが、オリフィス近辺の厚みを小さくしてプリントヘッドを効率的に操作すると同時に、取扱および結合を便利にするのに十分な厚みにできることである。硬質基板表面上の窪み２８の代表的な深さまたは隆起面の高さは、５から５０μｍの範囲である。
【００１３】
図５を参照すれば、破線で示したインク溜３６およびインク入口３５を有するチャネルプレート３２と所定のパターンが形成された厚膜層３８をその上に有するヒータプレート３４とからなるサーマルインクジェットプリントヘッド３０を示している。厚膜層は米国特許第４，７７４，５３０号で開示されている通りチャネルプレートとヒータプレートとの間に挟まれている。同特許において、インクチャネルは非等方にエッチングされて、このため三角形の断面を有している。一つの実施態様（図示せず）において、チャネルの一端はプリントヘッドの前面に到達し、よって三角形状のノズルを与える。図示しないが、本発明のノズルプレート１４は、プリントヘッド前面と結合しており、オリフィスは三角形状のノズルと対応して配列されている。ノズルプレートのオリフィスが前述のような形状をしているため、プリントヘッドノズルの形状がこのオリフィスの形状へと変わる。図５で示したプリントヘッドは、図６および１０に示した通りかつ米国特許第４，９９４，８２６号で開示された通り、エッチングされたチャネルが両端で閉じられていると共に、加熱素子４０からプリントヘッド前面２９までの流路を設けるために厚膜層に所定のパターンが形成されている点で米国特許第４，７７４，５３０号において開示されたプリントヘッドと異なっている。パターン形成された厚膜層を用いてプリントヘッドノズルを設けることは、液滴噴射ノズルの形状を三角形から矩形に変える。図１１において示した通り、後述するが、本発明のノズルプレート１４の寸法は、これをノズルプレート上の接着剤層７０を用いてカートリッジ前面プレート５２に位置を合わせて結合する時に、インクカートリッジ５０のカートリッジ前面プレート５２の表面全体を覆うように定められている。こうしてノズルプレートオリフィス２２は、プリントヘッド３０の前面２９にあるノズル３９と位置合わせされ、またこれらを覆う。プリントヘッド前面と同一平面の前面プレート表面を有する代表的なインクカートリッジの場合、米国特許第５，５１９，４２５号を参照する。プリントヘッド３０の厚膜層３８は、ノズルプレートと同一の材料とすることもできる。たとえば、ポリイミドまたはポリアリレンエーテル（ＰＡＥ）等のインク耐性があると共に十分な機械的完全性を有する適切ないずれのフォトパターン処理可能かつ膜形成性高分子材料をノズルプレートとして使用してもよい。その他の適切なノズル材料は、金属薄膜、金属被覆高分子膜、酸化金属積層体およびベンゾシクロブテンである。
【００１４】
図６には、図５の破断線ＶＩ−ＶＩに沿ったプリントヘッドの断面図が示されている。この構成において、厚膜層３８には所定のパターンが形成されており、プリントヘッドの各加熱素子４０から前面２９まで延びる第１トレンチ４６の底部に同一または類似材料の薄膜層３７が備えられる。厚膜層３８中の第２トレンチ４２は、溜３６に近接したチャネルエンド４５を超える位置と加熱素子との間に延びる同一材料の薄膜層３７を有する。こうして、第１トレンチ４６は加熱素子４０で始まり、前面２９で終わって同様にノズル３９に達する。第２トレンチ４２は、チャネル４４を溜との流体通路として配置させる。エッチングされたチャネル４４は両端で閉じており、一端４５は溜に近接し、他端４３は前面２９に対して間隔をもって近接している。加熱素子４０は、プリントヘッド前面２９から予め定められた距離に置かれたピット中の第１トレンチと第２トレンチとの間に配置される。一つの実施態様において、厚膜層３８は、ポリイミド等高分子材料の２種からなる層の積層体であって、１層は薄膜層３７である。図説のために、プリントヘッドノズルプレート１４のオリフィス２２から噴出後に軌跡１７をたどるインク滴１５を図５で示す。チャネルプレート３２はヒータプレート３４上の、所定のパターンが形成された厚膜層３８に恒久的に結合している。チャネルプレートはその一表面から、方向依存エッチング（ＯＤＥ）とも呼ばれる、非等方にエッチングされて、先に記載した米国特許第４，９９４，８２６号で開示された通り、インク溜３６およびチャネル４４を備えている。ヒータプレート３４は、図５において破線でのみ示したアドレシング電極４８を有する複数の加熱素子４０をその表面上に収容しており、この電極は加熱素子を電気パルスで選択的にアドレスすることを可能にして、インク滴を噴射するインク蒸気バブルを一瞬に生じさせる。米国特許第４，７７４，５３０号で開示された通り、チャネルおよびヒータプレートはチャネルウェハおよびヒータウェハ中でそれぞれ大量に生産される。チャネルウェハおよびヒータウェハが結合されると、それらはダイシングされて複数の個々のプリントヘッド３０ができる。
【００１５】
別案の実施態様を図１０で示したが、この実施態様は、厚膜層が所定のパターンに形成されてプリントヘッドの上記の各加熱素子４０から前面２９まで、および溜３６に近接するチャネルエンド４５と溜との間の厚膜層３８を除去し、よって加熱素子４０で始まり前面２９で終わって同様にノズル３９に達する第１トレンチ４６を形成すると共に、チャネルを溜との流体通路として配置させる第２トレンチ４２を形成するという点で図６と異なる。
【００１６】
図７は、図６の破断線ＶＩＩ−ＶＩＩに沿って破断したヒータープレート３４の部分平面図である。この図は、厚膜層２８において所定のパターンに形成された第１および第２トレンチ４６，４２を示しており、ノズルプレート１４のオリフィス２２と位置が合わせられているノズル３９から予め定められた距離「ｔ」だけ離れたピット中の加熱素子もあわせて示している。第１および第２トレンチの底部は薄膜層３７で覆われている。図３および図４に関して先に図説かつ説明した通り、ノズルプレートオリフィスは、ノズルプレートの表面を基準にして傾斜した壁を有しており、このためオリフィスの外方向部分は最も狭い部分となり、噴出インク滴の指向性を向上させる。図８は、図７の第１および第２トレンチ４６，４２の別案の実施態様である。図８において、第１トレンチ４６は異なった形状を有しており、前面２９に隣接した部分４７は絞りが付けられて、小さくなったオリフィス２２’のサイズまたは幅にまでトレンチ４６を狭めており、よってノズル３９’を小さくしている。
【００１７】
図１１を参照すれば、カートリッジ５０の前面プレート５２と寸法が類似のノズルプレート１４を示している。米国特許第５，５１９，４２５号で開示され更に詳しく記載されている通り、カートリッジ前面プレートは開口部を有し、この開口部には、プリントヘッド３０とヒートシンク５８を含むプリントヘッドアセンブリ５６が取付けられているカートリッジハウジング５４の一部が入る。また、カートリッジハウジング５４に対するプリントヘッドアセンブリ５６の固定は、型押しされた、または打ち込まれたハウジング固定ピン６０により恒久的になされている。プリントヘッド前面２９、ヒートシンク先端５９および写真枠形状カートリッジ前面プレートの表面５５がすべて実質的に同一平面である。ノズルプレート１４は、その上の接着剤層７０を用いて前面プレート５２全体に、およびプリントヘッドアセンブリの共通の表面に結合され、ノズルプレートオリフィス２２はプリントヘッドノズル３９と位置合わせされている。
【００１８】
ノズルプレートオリフィス２２のアレイがプリントヘッドノズル３９に対して位置合わせされるように、カートリッジ前面プレート５２とノズルプレート１４を位置合わせして結合させる多くの手法がある。これらの適切ないずれの手法も満足のいくものである。たとえば、複数のノズルプレートは一枚のシートとして硬質基板から除去されて取扱が容易にでき、その後にリールテープ（図示せず）上に配置されて、アセンブリ取付具（図示せず）によりカートリッジ前面プレートに自動的に位置合わせして結合できる。
【００１９】
先に記載した通り、剥離層２０を硬質基板１０からのノズルプレートのシート剥離を容易にするために使用してもよい。ノズルプレート角部１６を連結するノズルプレート連結部材１８は、一枚のシートとして複数のノズルプレートを連結して維持するが、個々のノズルプレートを所望する場合にはオリフィス２２付近のノズルプレートを損傷させることなく容易に破断する。
【００２０】
別案として、複数のノズルプレートは、相互連結されたノズルプレートの所定のパターンが形成された単一のシートとして硬質基板から除去でき、そのノズルプレートの一つは、アセンブリツール（図示せず）の使用により、または普通の拡大鏡または顕微鏡を利用して手動操作により、接着剤層７０および任意に接着促進剤を用いて単一プリントヘッド前面に位置を合わせて結合できる。再び述べるが、ノズルプレート角部１６を連結する少量の相互連結ノズルプレート連結部材１８は、そのシート中の他のノズルプレートまたはプリントヘッド前面に結合したノズルプレートを破損することなく容易に破断する。それでも、ノズルプレートの相互に連結された角部は、ノズルプレートのシートを十分に丈夫にして、ノズルプレートが偶発的に分離することを防止する。別のアセンブリ手法において、個々のノズルプレートは、パターンが形成されたノズルプレートのシートから分離できると共に、拡大鏡または顕微鏡を利用して手動操作により、または小型真空ピックアッププローブ（図示せず）等のアセンブリツールにより個々にプリントヘッド前面に位置を合わせて結合できる。
【００２１】
一つの実施態様において、相互に連結されたノズルプレートのシートは、複数のインクジェットカートリッジに同時に接合させることができる。カートリッジ（図示せず）は、縦横または一方のみの列に配置され、こうして多数のノズルプレートは、その角部でまだ相互に連結されている状態で、カートリッジ前面上方で整列させることができる。連結されたノズルプレートを下げて、ノズルプレートオリフィスをカートリッジノズルと位置合わせをし、そのノズルプレートをカートリッジ前面と接触かつ結合させる。結合後にカートリッジを除去すれば、ノズルプレートを破損させることなくノズルプレート間の相互連結部材が破壊される。
【００２２】
別の実施態様において、相互に連結されたノズルプレートのシートは、複数のインクジェットプリントヘッドに同時に接合させることができる。プリントヘッド（図示せず）は、縦横または一方のみの列に配置され、こうして多数のノズルプレートは、その可動部でまだ相互に連結されている状態で、ノズルを含むプリントヘッド前面上方で整列させることができる。連結されたノズルプレートを下げて、ノズルプレートオリフィスをプリントヘッドノズルと位置合わせをし、そのノズルプレートをプリントヘッド前面と接触かつ結合させる。結合後にプリントヘッドを移動させて、オリフィス付近の結合したノズルプレートを変化させることなくノズルプレート間の相互連結部材を破壊する。
【００２３】
一つの実施態様において、硬質基板としてシリコンウエハを使用する場合、ＰＡＥ膜を空気中で硬化させる共に接着促進剤を用いないならば、個々に除去するかまたは多くのノズルプレートからなる単一シートとして除去するかを問わず、困難を伴うことなくかつノズルプレートを損傷することもなくＰＡＥ膜を除去または剥離できることが分かった。ウエハ上で自然に発生する酸化シリコン層が補助的役割を果たすこの除去の容易さを測定した結果、このシリコン酸化層が厚ければ厚いほど、ウェハからのＰＡＥ膜の剥離が容易であった。経験した一つの問題は、ＰＡＥでノズルプレートのフォトリソグラフィによるパターン形成中にＰＡＥ膜が偶発的に剥がれることであった。この問題は、一つの実施態様において、接着促進剤を適用し、酸化シリコンをエッチングして除去し、こうして酸化シリコン層をノズルプレート製作工程における犠牲層として利用することにより解決した。別の解決は、パターンが形成されたＰＡＥ膜の除去を促進する溶媒により攻撃され得る接着促進剤を利用することであった。好ましい実施態様において、パターン形成されたＰＡＥを有するウエハの取扱いにおける通常の注意により、自然に発生する酸化シリコン層のみを有するウェハからＰＡＥが分離されないよう概ね保護されることが分かったと共に、パターン形成されたノズルプレートのシートの高い収率が維持された。
【００２４】
プリントヘッド前面へのノズルプレートの結合性は、ヒータプレート上の厚膜層もノズルプレートと同一材料である場合に向上する。大部分の材料が、ノズルプレートがプリントヘッド前面と結合する時に自己接着する傾向であるからである。したがって、プリントヘッドの厚膜層とノズルプレート双方が同じ場合には接着促進剤を用いるか用いないかに関係なく接着剤を少なくすることが必要であり、よって接着剤は概ね枠状カートリッジ前面プレートに対してのみ必要である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  フォトリソグラフィにより所定のパターンが形成された高分子ノズルプレートを含む硬質基板の平面図である。
【図２】  各ノズルプレートが一連のオリフィスを有すると共に、その各角部で相互に連結されている複数のノズルプレートのいくつかを示す図１の部分拡大概略平面図である。
【図３】  図２の線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿った硬質基板上のノズルプレートの部分断面図である。
【図４】  図２の線ＩＶ−ＩＶに沿った硬質基板上のノズルプレートを示す本発明の別案による実施態様の断面図であり、その表面上に隆起部分を有している。
【図５】  プリントヘッド前面上に位置合わせされて結合された本発明のノズルプレートを有するインクジェットプリントヘッドの拡大概要等角投影図である。
【図６】  図５の線ＶＩ−ＶＩに沿ったプリントヘッドの断面図である。
【図７】  １つの加熱素子に対するパターンが形成された厚膜層を示すと共に、断面図におけるノズルプレートオリフィスを示す図６の線ＶＩＩ−ＶＩＩに沿ったヒータプレートの部分平面図である。
【図８】  加熱素子に対するパターン形成された厚膜層の別案による実施態様を示す図７の類似図である。
【図９】  断続線で示されたノズルジェットの別案による実施態様を有する、インクジェットプリントヘッドの拡大概要等角投影図である。
【図１０】  図６で示したプリントヘッドの別案による実施態様の部分断面図である。
【図１１】  部分的に破断されて本発明のプリントヘッドとノズルプレートを表している内蔵プリントヘッドを有するインクジェットカートリッジの概略側面図である。
【符号の説明】
１０  硬質基板、１２  高分子材料の膜または層、１４  ノズルプレート、１６  ノズルプレート角部、１８  ノズルプレート連結部材、２０  剥離層、２２オリフィス、２３  オリフィス側壁、２９  プリントヘッド前面、３０  サーマルインクジェットプリントヘッド、３２  チャネルプレート、３４  ヒータプレート、３７  薄膜層、３８  厚膜層、３９  プリントヘッド前面ノズル、４０加熱素子、４２  第２トレンチ、４４  チャネル、４６  第１トレンチ、５０インクジェットカートリッジ、５２  カートリッジ前面プレート、５６  プリントヘッドアセンブリ、７０  接着剤層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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