(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
端面が揃うように上下に積み重ねられた実質的に同形状でそれぞれ厚さがｔである複数の基板を載置するための載置台と、載置台上の各基板をｔよりも大きいピッチＤで上下方向に互いに隔てて保持するための分離・保持手段と、ピッチＤで互いに隔てて保持された該基板を分離・保持手段から基板収納手段へと移すための移載手段と、複数の基板をピッチＤで互いに隔てて収納するための基板収納手段とを具備し、
該分離・保持手段は、
それぞれ長手軸を上下にして基板の端面に沿って移動できるように吊下げられ、上端および下端を有するピッチＤの螺旋山部が側面に設けられた複数のロッドと、
１つの基板の周縁部分の裏面側を各ロッドの螺旋山部で支えるために、各ロッドの螺旋山部の下端が該周縁部分の裏面の下をくぐるように各ロッドを長手軸の回りに一回転させるための回転手段と、
各ロッドを基板の厚さｔだけ下方に移動させることが可能な移動手段と、
１つの基板の周縁部分の裏面側を各ロッドの螺旋山部で支えながら各基板を上下方向にピッチＤで互いに隔てて保持するために、最上位の基板から始めて回転手段と移動手段とをこの順に交互に繰り返して駆動させるための駆動手段と
を有することを特徴とする基板分離収納装置。
【請求項２】
該載置台を水中に配置するための水槽をさらに具備することを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項３】
基板間にスペーサーを介してピッチｄで上下に積み重ねられた実質的に同形状で端面が揃っている複数の基板を載置するための載置台と、載置台上の各基板をｄよりも大きいピッチＤで上下方向に互いに隔てて保持するための分離・保持手段と、ピッチＤで互いに隔てて保持された該基板の間に残されたスペーサーを取り出すためのスペーサー取出し手段と、ピッチＤで互いに隔てて保持された該基板を分離・保持手段から基板収納手段へと移すための移載手段と、複数の基板をピッチＤで互いに隔てて収納するための基板収納手段とを具備し、
該分離・保持手段は、
それぞれ長手軸を上下にして基板の端面に沿って移動できるように吊下げられ、上端および下端を有するピッチＤの螺旋山部が側面に設けられた複数のロッドと、
１つの基板の周縁部分の裏面側を各ロッドの螺旋山部で支えるために、各ロッドの螺旋山部の下端が該周縁部分の裏面の下をくぐるように各ロッドを長手軸の回りに一回転させるための回転手段と、
各ロッドをｄだけ下方に移動させることが可能な移動手段と、
１つの基板の周縁部分の裏面側を各ロッドの螺旋山部で支えながら各基板を上下方向にピッチＤで互いに隔てて保持するために、最上位の基板から始めて回転手段と移動手段とをこの順に交互に繰り返して駆動させるための駆動手段と
を有することを特徴とする基板分離収納装置。
【請求項４】
該載置台およびスペーサー取出し手段を水中に配置するための水槽をさらに具備することを特徴とする請求項３記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、上下に積み重ねられた複数の基板、例えばシリコンウェハー、を所定のピッチで上下方向に互いに隔てて収納するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体プロセスにおいては、必要な処理を施したのちに上下に積み重ねられた複数のシリコンウェハーを、ウェハーカセットのようなウェハー収納装置へ移し替える作業がたびたび行われる。
【０００３】
処理後のシリコンウェハーとしては、シリコンのインゴッドから切り出しされた直後のウェハー、水中で端面処理された直後のウェハーなどである。前者は未研磨のウェハーを直積みした状態となっており、後者は研磨済みのウェハーをスペーサーを介して積み重ねた状態となっている。
【０００４】
ウェハー収納装置には、ウェハーは所定のピッチで互いに隔てて収納される。そのため、直積みされたウェハーは一枚づつ互いに離して移し替える必要があり、また、スペーサーを介して積み重ねられたウェハーについては、ウェハーを一枚づつ離すだけでなくウェハー間のスペーサーを取り除く必要がある。
【０００５】
従来、積み重ねられたウェハーをウェハー収納装置へ移し替えることは、もっぱらピンセットなどの器具を用いた手作業によって行なわれていた。しかし、手作業による移し替えは、作業が煩雑となって時間がかかる、またウェハーを破損する恐れがあるなどのほか、水中で処理されたウェハーについては作業中に大気中の汚れが付着するという問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、上下に積み重ねられた複数の基板を破損することなく迅速に収納用のピッチで上下方向に互いに分離し収納することが可能な基板分離収納装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明においては、基板を収納するピッチで螺旋山部が設けられたロッドを用いた分離・保持手段によって基板を互いに隔てて分離し、分離された基板を基板間の間隔を変えずに基板収納手段へ移すようにしている。
【０００８】
上記分離・保持手段においては、複数のロッドを基板の端面に沿って配置し、各ロッドの螺旋山部の先端が重なる２枚の基板の間をくぐるように各ロッドを自転させる。自転の結果、上側の基板は螺旋山部に沿って上昇するため２枚の基板は互いに隔てられる。自転ののち、各ロッドを基板の厚みだけ下降させる。自転と下降を繰り返せば、それぞれの基板を各ロッドの螺旋山部で支えながら各基板を上下方向に収納用のピッチで互いに隔てて保持することができる。こうして隔てられた基板を、基板間の間隔を変えずにそのまま収納手段へ移せば、破損することなく迅速に基板を収納することができる。
【０００９】
すなわち、本発明によれば、端面が揃うように上下に積み重ねられた実質的に同形状でそれぞれ厚さがｔである複数の基板を載置するための載置台と、載置台上の各基板をｔよりも大きいピッチＤで上下方向に互いに隔てて保持するための分離・保持手段と、ピッチＤで互いに隔てて保持された該基板を分離・保持手段から基板収納手段へと移すための移載手段と、複数の基板をピッチＤで互いに隔てて収納するための基板収納手段とを具備し、該分離・保持手段は、それぞれ長手軸を上下にして基板の端面に沿って移動できるように吊下げられ、上端および下端を有するピッチＤの螺旋山部が側面に設けられた複数のロッドと、１つの基板の周縁部分の裏面側を各ロッドの螺旋山部で支えるために、各ロッドの螺旋山部の下端が該周縁部分の裏面の下をくぐるように各ロッドを長手軸の回りに一回転させるための回転手段と、各ロッドを基板の厚さｔだけ下方に移動させることが可能な移動手段と、１つの基板の周縁部分の裏面側を各ロッドの螺旋山部で支えながら各基板を上下方向にピッチＤで互いに隔てて保持するために、最上位の基板から始めて回転手段と移動手段とをこの順に交互に繰り返して駆動させるための駆動手段とを有することを特徴とする基板分離収納装置が提供される。
【００１０】
本発明においては、該載置台を水中に配置するための水槽をさらに具備することが好ましい。
【００１１】
また、本発明によれば、基板間にスペーサーを介してピッチｄで上下に積み重ねられた実質的に同形状で端面が揃っている複数の基板を載置するための載置台と、載置台上の各基板をｄよりも大きいピッチＤで上下方向に互いに隔てて保持するための分離・保持手段と、ピッチＤで互いに隔てて保持された該基板の間に残されたスペーサーを取り出すためのスペーサー取出し手段と、ピッチＤで互いに隔てて保持された該基板を分離・保持手段から基板収納手段へと移すための移載手段と、複数の基板をピッチＤで互いに隔てて収納するための基板収納手段とを具備し、該分離・保持手段は、それぞれ長手軸を上下にして基板の端面に沿って移動できるように吊下げられ、上端および下端を有するピッチＤの螺旋山部が側面に設けられた複数のロッドと、１つの基板の周縁部分の裏面側を各ロッドの螺旋山部で支えるために、各ロッドの螺旋山部の下端が該周縁部分の裏面の下をくぐるように各ロッドを長手軸の回りに一回転させるための回転手段と、各ロッドをｄだけ下方に移動させることが可能な移動手段と、１つの基板の周縁部分の裏面側を各ロッドの螺旋山部で支えながら各基板を上下方向にピッチＤで互いに隔てて保持するために、最上位の基板から始めて回転手段と移動手段とをこの順に交互に繰り返して駆動させるための駆動手段とを有することを特徴とする基板分離収納装置が提供される。
【００１２】
本発明においては、載置台およびスペーサー取出し手段を水中に配置するための水槽をさらに具備することが好ましい。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面を参照して詳細に説明する。
【００１４】
＜本発明に係る基板分離収納装置の構成＞
本発明に係る基板分離収納装置の構成を、図１および図２を参照しながら説明する。
【００１５】
図１および図２は、本発明に係る基板分離収納装置の構成の一例を示す図である。図１は装置の概略側面図であり、図２は装置の概略上面図である。
【００１６】
本発明に係る基板分離収納装置は、（１）載置台１０、（２）分離・保持手段３０、（３）移載手段７０、（４）基板収納手段９０の各構成要素を備えている。
【００１７】
各構成要素について、以下説明する。
【００１８】
（１）本発明に係る載置台１０は、端面が揃うように上下に直積みされた実質的に同形状でそれぞれ厚さがｔである複数の基板１１を載置するほか、基板間にスペーサーを介してピッチｄで上下に積み重ねられた実質的に同形状で端面が揃っている複数の基板１１を載置するためのものである。
【００１９】
基板１１としては、例えばシリコンウェハーなどの円形の基板１１のほか、ガラスマスク等のフォトマスクなどの矩形の基板１１などが挙げられる。
【００２０】
基板１１の厚みｔとしては、例えば、基板１１が２００ｍｍ径のシリコンウェハーであるときには０．７ｍｍであり、基板１１がフォトマスクであるときには２．７ｍｍである。
【００２１】
載置する基板１１の枚数としては、例えば、基板１１がシリコンウェハーであるときには、シリコンウェハーを収納するウェハーカセットの収納枚数である２５枚ないしウェハーカセット６カセット分に相当する１５０枚などである。また、基板１１がフォトマスクであるときには、２０枚ないし２５枚である。
【００２２】
スペーサーとしては、各基板１１の周縁部分がスペーサーの周囲に露出する程度に、基板１１よりも小さい大きさのものを用いる。例えば、基板１１が２００ｍｍ径のシリコンウェハーなどであるときには、スペーサーの径は１９７．５ｍｍである。スペーサーを形成する材料としては、例えば塩化ビニル樹脂などが挙げられる。
【００２３】
ピッチｄとしては、例えば、基板１１が２００ｍｍ径のシリコンウェハーであるときには１．２ｍｍであり、基板１１がフォトマスクであるときには３．２ｍｍである。
【００２４】
載置台１０は、図１に示したように、例えば、基板１１を置くための下プレート１２、および基板１１を周囲から支えて固定するための複数の棒状の基板固定ガイド１３からなる。基板固定ガイド１３は基板１１の端面に沿うように下プレート１２上に立てられている。図１および図２に示した載置台においては、一例として４本の基板固定ガイド１３が下プレート１２上に立てられている。
【００２５】
載置台１０に基板１１を載置する仕方としては、例えば、載置台１０を装置の外部に取り出して、基板固定ガイド１３に沿って基板１１を下プレート１２上に直積みするかまたはスペーサーを介して積み重ねたのち、載置台１０を装置内に戻すことなどが挙げられる。
【００２６】
（２）本発明に係る分離・保持手段３０は、載置台１０上の各基板１１を互いに分離して、基板収納手段９０で基板１１を収納するピッチで上下方向に互いに隔てて保持するためのものである。
【００２７】
以下、基板収納手段９０で基板１１を収納するピッチをＤとする。Ｄは、基板１１の厚さｔまたはスペーサーを介して積み重ねられた基板１１のピッチｄよりも大きい値である。
【００２８】
分離・保持手段３０は載置台１０の上方に配置されており、複数のロッド３１、各ロッド３１を回転させるための回転手段、各ロッド３１を上下方向に移動させるための移動手段、これら回転手段および移動手段をそれぞれ駆動させるための駆動手段を有している。
【００２９】
なお、図２においては、分離・保持手段３０としてロッド３１および後述するクランパー５５およびクランパーシリンダー５６のみを示している。
【００３０】
ロッド３１の形状としては、例えば円柱体などが挙げられる。円柱体であるロッド３１の径としては、例えば３０ｍｍなどである。
【００３１】
複数のロッド３１は、それぞれ長手軸を上下にして複数の基板１１の端面に沿って移動できるように載置台１０の上方に吊下げられるように配置されている。ロッド３１の数としては、例えば４本などが挙げられる。ロッド３１の配置の仕方としては、例えば複数のロッド３１を基板１１の周囲に沿って等間隔に配置することなどが挙げられる。
【００３２】
ロッド３１の長手軸に沿った側面には、上端および下端を有するピッチＤの螺旋山部３２が設けられている。螺旋山部３２のロッド３１の長手軸に沿う数としては、例えば、ウェハーカセット１個の収納枚数に対応して、２０ないし２５である。
【００３３】
ロッド３１を形成する材料としては、例えば高分子樹脂材料などが挙げられる。高分子樹脂材料としては、例えば、ジュラコンなどの硬質プラスチック等が挙げられる。高分子樹脂材料から形成されたロッド３１は、駆動中にシリコンウェハーなどの基板１１と擦れてもパーティクルが発生しにくいという利点を有する。
【００３４】
ロッド３１および螺旋山部３２は、例えば、上述のロッド３１を形成する材料からなるブロックから一体物として切出して作製する。
【００３５】
回転手段は、複数のロッド３１をそれぞれ長手軸の回りに一回転させて、各ロッド３１の螺旋山部３２の下端を基板１１の周縁部分の裏面の下をくぐらせるためのものである。各ロッド３１の螺旋山部３２の下端を基板１１の下をくぐらせることによって、基板１１の周縁部分の裏面側を各ロッド３１の螺旋山部３２で支えることができる。
【００３６】
移動手段は、分離・保持手段３０を上下方向に移動させて載置台１０に向かって下降させることおよび載置台１０から上昇させることを可能にするものである。
また、分離・保持手段３０を移動させることで、各ロッド３１を基板１１の厚さｔだけまたは積み重ねられた基板１１のピッチｄだけ下方に移動させることを可能にするためのものである。
【００３７】
駆動手段は、最上位の基板１１から始めて回転手段と移動手段とをこの順に交互に繰り返して駆動させるためのものである。
【００３８】
以上の各手段によって、１つの基板１１の周縁部分の裏面側を各ロッド３１の螺旋山部３２で支えながら、各基板１１を上下方向にピッチＤで互いに隔てて保持することが可能となる。
【００３９】
図３を参照して、分離・保持手段３０の動作について説明する。
【００４０】
最初に、端面が揃うように上下に直積みされた厚さがｔの複数の基板１１を分離、保持する動作について説明する。
【００４１】
図３（ａ）に示したように、基板１１の上方に位置する各ロッド３１を移動手段によって同時に下降させて、ロッド３１の側面の螺旋山部３２の下端を最上位の基板１１と最上位から２番目の基板１１との間の境目と同じ高さにする。ここで、最上位から２番目の基板１１とは、最上位の基板１１のすぐ下にある基板１１のことである。
【００４２】
回転手段によって各ロッド３１を長手軸のまわりに同時に一回転させて、各ロッド３１の螺旋山部３２の下端を最上位の基板１１の周縁部分の裏面の下を同時にくぐらせる。ここで、螺旋山部３２の下端が基板１１の周縁部分の裏面の下をくぐるとは、螺旋山部３２の下端が基板１１の周縁部分の裏面の下、すなわち基板１１と基板１１との間の境目に挿入されたのちに周縁部分の裏面の下を通過して周縁部分の裏面の下から基板１１の外へ出ることをいう。
【００４３】
通常、シリコンウェハーなどの基板１１の周縁部分はテーパ状などに加工されている。そのため、端面が揃うように基板１１を上下に積み重ねたときには、基板１１と基板１１の間の境目には溝が生じる。この溝から螺旋山部３２の下端を挿入させて基板１１の周縁部分の裏面の下をくぐらせる。
【００４４】
図３（ｂ）に示したように、各ロッド３１の螺旋山部３２の下端が基板１１の周縁部分の裏面の下を同時にくぐると、基板１１の周縁部分は各ロッド３１の螺旋山部３２に沿って上昇し、基板１１全体が持ち上がる。持ち上がった基板１１の周縁部分の裏面側は、各ロッド３１の螺旋山部３２で支えられている。
【００４５】
こうしてロッド３１が一回転して最上位の基板１１が持ち上がったのちに、移動手段によって各ロッド３１を同時に基板１１の厚さｔだけ下方に移動させる。厚さｔだけ下降させることで、各ロッド３１の螺旋山部３２の下端は最上位から２番目の基板１１と最上位から３番目の基板１１との間の境目と同じ高さになる。
【００４６】
再び回転手段によって各ロッド３１を長手軸のまわりに同時に一回転させて、各ロッド３１の螺旋山部３２の下端を最上位から２番目の基板１１の周縁部分の裏面の下を同時にくぐらせる。螺旋山部３２の下端が２番目の基板１１の裏面の下を同時にくぐる結果、２番目の基板１１が螺旋山部３２に沿って上昇するとともに、螺旋山部３２で支えられた最上位の基板１１は螺旋山部３２に沿ってさらに上昇する。こうして両基板１１が上昇する結果、両基板１１はそれぞれ各ロッド３１の螺旋山部３２で支えられながら上下方向にピッチＤだけ隔てて保持される。
【００４７】
以上のような各ロッド３１の回転および下方への移動を、駆動手段によって複数の基板１１の最上位の基板１１から始めて下の基板１１に向かって繰り返す。繰り返しは、例えばウェハーカセット収納枚数の数だけ行う。こうして、一枚の基板１１の周縁部分の裏面側を各ロッド３１の螺旋山部３２で支えながら、載置台１０上の基板１１をそれぞれ上下方向にピッチＤで互いに隔てて保持することができる。
【００４８】
次に、基板１１間にスペーサーを介してピッチｄで上下に積み重ねられた複数の基板１１を分離、保持する動作について説明する。
【００４９】
この場合は、まず各ロッド３１を基板１１の上方から同時に下降させて、ロッド３１側面の螺旋山部３２の下端を最上位の基板１１と最上位から２番目の基板１１との間のスペーサーと同じ高さにする。そして、各ロッド３１の螺旋山部３２の下端が基板１１の周縁部分の裏面の下、すなわち基板１１間のスペーサーの部分に挿入されるように各ロッド３１を一回転させる。
【００５０】
前述したように、スペーサーの大きさは各基板１１の周縁部分がスペーサーの周囲に露出する程度に基板１１よりも小さい。そのため、螺旋山部３２を基板１１間のスペーサーの部分に挿入することができる。
【００５１】
各ロッド３１が一回転して最上位の基板１１が持ち上がったのちに、各ロッド３１をｄだけ下方に移動させる。これらの回転と移動を繰り返すことによって、各基板１１をそれぞれ上下方向にピッチＤで互いに隔てて保持することができる。
【００５２】
なお、螺旋山部３２の下端がスペーサーの部分に挿入されるだけでスペーサーを介した２枚の基板１１が押し広げられて分離する程度に、螺旋山部３２の幅は広い方が良い。このようにすることで、スペーサーを介して積み重ねられた基板１１の分離をより容易に行うことができる。
【００５３】
図４および図５に、分離・保持手段３０の具体的な構成の一例を示す。図４は側面図を示し、図５は上面図を示す。なお、説明を容易にするために、図４においては後述するケース４１の内部が見えるように示してある。また、図５においてはこのケース４１を省略してある。
【００５４】
図４および図５において、分離・保持手段３０は、板状のベースプレート３３、ベースプレート３３の下面にベースプレート３３に対して回転可能に取り付けられた２本の細長いアームプレート３４を備えている。
【００５５】
各アームプレート３４は、回転伝達軸３５を介してベースプレート３３に回転可能に取付けられている。回転伝達軸３５の下部は、軸受け３６を介してアームプレート３４に接合されている。回転伝達軸３５の中央部は、軸受け３７を介してベースプレート３３に接合されている。ベースプレート３３の下面には、アームプレート３４の軸受け３６の上部を収容するための凹部３８が設けられている。軸受け３６と軸受け３７によって、回転伝達軸３５はアームプレート３４およびベースプレート３３の両方に対して独立に回転することができる。
【００５６】
回転伝達軸３５の上部にはプーリー３９が取付けられている。プーリー３９の上にさらに回転伝達用のギア４０が設けられている。
【００５７】
前述の回転手段である回転用モーターＭ１が、ケース４１から吊下げられている。ケース４１はベースプレート３３に接合されている。回転用モーターＭ１の回転軸４２の下部には、プーリー４３が取付けられている。
【００５８】
図４に示したように、回転軸４２のプーリー４３と各回転伝達軸３５のプーリー３９との間には、回転を伝達するためのベルト４４が巻き掛けられている。
【００５９】
各アームプレート３４には、回転伝達軸３５のほかに第１ロッド３１ａおよび第２ロッド３１ｂが配置されている。第１ロッド３１ａおよび第２ロッド３１ｂは、回転伝達軸３５とアームプレート３４の一方の端部との間に並んで配置されている。
【００６０】
第１および第２ロッド３１ａ、３１ｂの中央部は、軸受け４５、４６を介してそれぞれアームプレート３４に接合されている。第１および第２ロッド３１ａ、３１ｂのアームプレート３４から下の部分には、それぞれ螺旋山部３２が設けられている。第１および第２ロッド３１ａ、３１ｂの上部は、ベースプレート３３に設けられた孔４７、４８を通して、それぞれベースプレート３３の上側に出ている。
【００６１】
ベースプレート３３の上側に出ている第１ロッド３１ａの上部には、プーリー４９が取付けられている。プーリー４９の上にさらに回転伝達用のギア５０が設けられている。前述の回転伝達軸３５のギア４０と第１ロッド３１ａのギア５０とは、回転が伝達可能に噛み合っている。
【００６２】
ベースプレート３３の上側に出ている第２ロッド３１ｂの上部にはプーリー５１が取付けられている。上述の第１ロッド３１ａのプーリー４９と第２ロッド３１ｂのプーリー５１との間には、回転を伝達するためのベルト５２が巻き掛けられている。
【００６３】
以上のような構成において、回転用モーターＭ１が回転することで、プーリー４３および３９ならびにベルト４４によって、各回転伝達軸３５が回転用モーターＭ１の回転方向と同じ方行に同時に回転する。それとともに、第１および第２ロッド３１ａ、３１ｂが、ギア４０および５０ならびにプーリー４９および５１ならびにベルト５２によって、回転用モーターＭ１の回転方向と反対の方向に同時に回転する。
【００６４】
２つのアームプレート３４は、それぞれのアームプレートのロッド３１ａ、３１ｂの両方の長手軸を含む面が、２本の回転伝達軸３５の両方の長手軸を含む面に直交するように、それぞれ配置されている。
【００６５】
各アームプレート３４のロッド３１ａ、３１ｂが配置されていない側の端部には、それぞれ接合用部材５３を介してシリンダー５４の一端が接合されている。シリンダー５４の他端はベースプレート３３の下面に固定されている。
【００６６】
シリンダー５４を駆動することで、アームプレート３４のシリンダー５４と接合された端部同士はお互いに近づく。それと同時に、シリンダー５４と接合されていない側の端部同士、つまりロッド３１ａ、３１ｂが配置されている側の端部同士は、お互いに離れる。こうして、２本のアームプレート３４は、それぞれ回転伝達軸３５を中心にして角度θだけ互いに反対方向に回転する。角度θとしては、例えば１５度である。
【００６７】
以下、シリンダー５４が駆動していないときをアームプレート３４が「閉じている」状態といい、シリンダー５４が駆動しているときをアームプレート３４が「開いている」状態という。
【００６８】
前述したように、回転伝達軸３５はアームプレート３４およびベースプレート３３の両方に対して独立に回転することができる。従って、回転用モーターＭ１によって各ロッド３１を回転させながら、同時にシリンダー５４によって各アームプレート３４を閉じたり開いたりすることが可能となっている。
【００６９】
アームプレート３４が閉じているときには、各ロッド３１ａ、３１ｂはそれぞれ載置台１０上の基板１１の側面に沿って移動することができる。そして、各ロッド３１ａ、３１ｂの螺旋山部３２によってそれぞれの基板１１を保持することができる。アームプレート３４が開いているときには、各ロッド３１ａ、３１ｂは基板１１の側面から離れており、螺旋山部３２によって基板１１は保持されない。
【００７０】
複数のクランパー５５が、ベースプレート３３の下面側に吊下げられるように配置されている。クランパー５５は、複数の基板１１の側面を外から押さえて基板１１を固定するためのものである。アームプレート３４が開いているときには、螺旋山部３２の代わりにクランパー５５によって基板１１を保持する。
【００７１】
なお、基板１１がスペーサーを介して積み重ねられているときには、クランパー５５によって基板１１を固定・保持したときに、基板１１よりも小さい大きさのスペーサーは基板１１の間に固定されずに残される。
【００７２】
各クランパー５５はロッド３１ａ、３１ｂとほぼ同じ長さを有し、それぞれクランパシリンダ５６によって駆動される。クランパー５５は、例えば、前述のジュラコンなどによって形成される。図４および図５においては、互いに対向する位置に配置された２つのクランパー５５を示している。
【００７３】
ベースプレート３３の一つの側面には上下スライド用の板５７が接合されている。上下スライド用板５７は、ベースプレート３３に対して垂直に接合されている。上下スライド用板５７は、ボールナット５８を介してネジ軸５９に取付けられているとともに、スライダー６０を介して案内レール６１に取付けられている。ネジ軸５９の一端は、上下移動用モーターＭ２に接続されている。案内レール６１は、支持板６２を介して支持部材６３に接合されている。なお、図４においては、ボールナット５８、ネジ軸５９、および上下移動用モーターＭ２を省略してある。
【００７４】
前述の移動手段である上下移動用モーターＭ２を駆動してネジ軸５９が正逆に回転することによって、ベースプレート３３は、スライダー６０および案内レール６１からなるリニアガイド６４によって支持されながら、ネジ５９軸に沿って上下に移動することができる。上下に移動する結果、前述したように、分離・保持手段３０は載置台１０に対して上昇および下降することができる。また、上下移動用モーターＭ２の回転量を調整することによって、ベースプレート３３とともに各ロッド３１ａ、３１ｂを基板１１の厚さｔだけ下方に移動させることもできる。
【００７５】
上述の回転手段および移動手段を駆動させるための駆動手段（図示せず）が、分離・保持手段３０に備えられている。駆動手段（図示せず）は、例えばシーケンサーなどからなる。
【００７６】
なお、図１および図２に示すように、基板分離収納装置が後述するスペーサー取出し手段１１０をさらに備えているときには、分離・保持手段３０を載置台１０の上方とスペーサー取出し手段１１０の上方との間で水平移動させるための水平移動手段（図示せず）が、支持部材６３に取付けられている。水平移動手段（図示せず）は、例えば水平移動用モーターおよびボールネジなどからなる。
【００７７】
水平移動手段（図示せず）を駆動することによって、分離・保持手段３０が、載置台１０の上方からスペーサー取出し手段１１０の上方に向かって移動すること（図１および図２に示す装置において、分離・保持手段３０が「右行する」という）、およびスペーサー取出し手段１１０の上方から載置台１０の上方に向かって移動すること（図１、２に示す装置において、分離・保持手段３０が「左行する」という）が可能となる。
【００７８】
（３）本発明に係る移載手段７０は、ピッチＤで互いに隔てて保持された複数の基板１１を分離・保持手段３０から基板収納手段９０へと移すためのものである。
【００７９】
移載手段７０は、分離・保持手段３０と同じ高さに配置され、例えば基板保持部７１、第１スライド部７２、回転部７３、第２スライド部７４からなる。移載手段７０においては、例えば、図１に示したように、基板保持部７１の上に第１スライド部７２が設けられ、第１スライド部７２の上に回転部７３が設けられ、回転部７３の上に第２スライド部７４が設けられている。
【００８０】
基板保持部７１は、複数の基板１１をピッチＤのまま互いに隔てて保持するためのものである。基板保持部７１は、図１に示したように、例えば、パッド駆動部７５、パッド駆動部７５の側面にピッチＤで上下に隔てられてそれぞれ水平に取付けられた複数のハンド７６からなる。
【００８１】
各ハンド７６はその上に基板１１を載せて保持するためのものである。ハンド７６の数としては、例えばシリコンウェハーを収納するウェハーカセットの収納枚数２５枚に対応して２５本などである。各ハンド７６には基板１１を真空吸着するための吸着パッド（図示せず）が設けられており、この吸着パッド（図示せず）によってハンド７６上に載せられた基板１１を真空吸着して保持することができる。
【００８２】
パッド駆動部７５は、各吸着パッド（図示せず）を駆動するためのものである。
【００８３】
第１スライド部７２は、移載手段７０を分離・保持手段３０に対して水平移動させるため、または、基板分離収納装置が後述するスペーサー取出し手段１１０をさらに備えているときには、このスペーサー取出し手段１１０の上方との間で水平移動させるためのものである。
【００８４】
第１スライド部７２によって、移載手段７０は、分離・保持手段３０に向かってまたはスペーサー取出し手段１１０の上方に向かって水平移動すること（図１および図２に示す装置において、移載手段７０が「左行する」という）、および、分離・保持手段３０から離れるようにまたはスペーサー取出し手段１１０の上方から離れるように水平移動すること（図１、２に示す装置において、移載手段７０が「右行する」という）が、可能となる。
【００８５】
第１スライド部７２は、図１に示したように、例えば、基板保持部７１の上面に接合された第１スライド板７７、第１スライド板７７の上面に取付けられた第１固定板７８、第１スライド板７７の側面に取付けられたスライド用第１モーターＭ３からなる。第１スライド板７７は第１固定板７８との間でスライド可能となっている。スライド用第１モーターＭ３は、第１スライド板７７を第１固定板７８に対してスライドさせるためのものである。このように第１スライド板７７をスライドさせることによって、前述したように、移載手段７０を分離・保持手段３０の上方またはスペーサー取出し手段１１０の上方との間で水平移動させることができる。
【００８６】
回転部７３は、移載手段７０を分離・保持手段３０の位置する方向と後述する基板収納手段９０の位置する方向との間で回転させるためのものである。このように回転する結果、移載手段７０は、分離・保持手段３０の方向から基板収納手段９０の方向に向かって回転すること（図１、２に示す装置において、「左旋する」という）、および、逆に基板収納手段９０の方向から分離・保持手段３０の方向へと回転すること（図１、２に示す装置において、「右旋する」という）が可能となる。
【００８７】
回転部７３は、図１に示したように、例えば、第１固定板７８の上面に接合された回転テーブル７９、回転テーブル７９の上面に取付けられた固定枠８０、回転テーブル７９の側面に取付けられた回転用モーターＭ４からなる。回転テーブル７９は固定枠８０に対して水平面内で回転可能となっている。回転用モーターＭ４は、回転テーブル７９を固定枠８０に対して回転させるためのものである。このように回転テーブル７９を回転させることによって、前述したように、移載手段７０を分離・保持手段３０の位置の方向と基板収納手段９０の位置の方向との間で回転させることができる。回転させる角度は、分離・保持手段３０の位置と基板収納手段９０の位置との間の角度によるが、例えば、図２に示したように９０度である。
【００８８】
第２スライド部７４は、移載手段７０を基板収納手段９０との間で水平移動させるためのものである。このように水平移動する結果、移載手段７０は、前述したように左旋したのち基板収納手段９０に向かって移動すること（図１、２に示す装置において、「前進する」という）、および基板収納手段９０から戻るように移動すること（図１、２に示す装置において、「後退する」という）が可能となる。
【００８９】
第２スライド部７４は、図１に示したように、例えば固定枠８０の上面に接合された第２スライド板８１、第２スライド板８１の上面に取付けられた第２固定板８２、第２スライド板８１の側面に取付けられたスライド用第２モーターＭ５からなる。第２スライド板８１は第２固定板８２との間でスライド可能となっている。スライド用第２モーターＭ５は、第２スライド板８１を第２固定板８２に対してスライドさせるためのものである。このように第２スライド板８１をスライドさせることによって、前述したように、移載手段７０を基板収納手段９０との間で水平移動させることができる。第２固定板８２は、吊下げ用部材８３を介して支持枠（図示せず）に吊下げられて固定されている。
【００９０】
（４）本発明に係る基板収納手段９０は、複数の基板１１を所定のピッチ、すなわちピッチＤで上下方向に互いに隔てて収納するためのものである。
【００９１】
ピッチＤは、前述したように載置台１０上の基板１１の厚さｔまたはスペーサーを介して積み重ねられた基板１１のピッチｄよりも大きい値である。ピッチＤとしては、例えば、基板１１が８インチのシリコンウェハーであるときには、このウェハーを収納するウェハーカセットのピッチ６ｍｍである。また、基板１１がフォトマスクであるときにはフォトマスクを収納するフォトマスクカセットのピッチ８ｍｍである。
【００９２】
基板収納手段９０が収納する基板１１の数は、例えば載置台１０上の基板１１の数と同じである。すなわち、収納する基板１１の数としては、例えば、ウェハーカセット１カセット分に対応するウェハー２５枚ないし６カセット分に相当するウェハー１５０枚などである。
【００９３】
基板収納手段９０としては、例えばシリコンウェハーを収納するための１または複数のウェハーカセットを有するものなどが挙げられる。
【００９４】
図２には、一例として、第１および第２の２つのウェハーカセットケース９１ａ、９１ｂを収容する構造のキャビネット９３からなる基板収納手段９０を示す。各ウェハーカセットケース９１ａ、９１ｂは、それぞれウェハーカセット９２を上下に３カセット収納できる。従って、図２の基板収納手段９０は、合計で６カセットのウェハーカセット９２、すなわち１５０枚のウェハー１１を収納することができる。各ウェハーカセットケース９１ａ、９１ｂとの間でのウェハーカセット９２の出し入れは、キャビネット９３の背面に設けられた扉９４を開けて行う。
【００９５】
図６は、図２に示した基板収納手段９０を前述の移載手段７０側から見た概略側面図である。
【００９６】
第１および第２のウェハーカセットケース９１ａ、９１ｂは、それぞれ上下移動用エレベーター９５によって移動用ガイド９６に沿ってキャビネット９３内を上下に移動することが可能となっている。また、キャビネット９３全体は、水平移動用モーター（図示せず）によって、水平に移動することが可能となっている。
【００９７】
次に、図２および図６に示した基板収納手段９０が移載手段７０からウェハー１１を受け取る動作の一例について説明する。
【００９８】
最初、第１および第２のウェハーカセットケース９１ａ，９１ｂは、それぞれキャビネット９３の上段に配置されている。背面の扉９４を開けて、各ウェハーカセットケース９１ａ，９１ｂにそれぞれ３つの空のウェハーカセット９２を配置したのち、扉９４を閉める。
【００９９】
移載手段７０からのウェハー１１の受け取りは、まず、第１のウェハーカセットケース９１ａの３つのウェハーカセット９２のうち一番上のカセット９２に対して行われる。つまり、上下移動用エレベーター９５および水平移動用モーター（図示せず）によって、第１のウェハーカセットケース９１ａの一番上のカセット９２をウェハー１１の受け取り位置に移動させる。ウェハー１１の受け取り位置は、移載手段７０と同じ高さに位置している。一番上のカセット９２を移動させたのち、移載手段７０からの２５枚のウェハー１１をこの一番上のウェハーカセット９２に収納する。
【０１００】
２５枚のウェハー１１を収納したのち、上下移動用エレベーター９５によって第１のウェハーカセットケース９１ａを上昇させて、上下に積んだ３つのウェハーカセット９２の中央のカセット９２をウェハー受け取り位置に移動させる。そして、移載手段７０からの２５枚のウェハー１１をこの中央のカセット９２に収納したのち、再びウェハーカセットケース９１ａを上昇させて一番下のカセット９２をウェハーカセット受け取り位置に移動させる。そして、再び移載手段７０からの２５枚のウェハー１１をこのカセット９２に収納する。
【０１０１】
こうして、３つのカセット９２のすべてにウェハー１１を収納したのち、上下移動用エレベーター９５によって第１のウェハーカセットケース９１ａを上昇させてウェハー１１を受け取る前の元の位置に戻す。
【０１０２】
次に、水平移動用モーター（図示せず）によってキャビネット９３全体を水平に動かして、第２のウェハーカセットケース９２ｂを第１のウェハーカセットケース９１ａの位置に移動させる。そして、上下移動用エレベーター９５によって第２のウェハーカセットケース９１ｂの３つのカセット９２のうち一番上のカセット９２をウェハー受け取り位置に移動させる。第１のウェハーカセットケース９１ａの場合と同様にして３つのウェハーカセット９２のすべてにウェハー１１を収納したのち、上下移動用エレベーター９５によって、第２のウェハーカセットケース９１ｂをキャビネット９３の上段の位置に戻す。
【０１０３】
以上のようにして、６つのウェハーカセット９２のすべてにウェハー１１が収納される。ウェハー１１が収納されたのち、キャビネット９３の背面の扉９４を開けて、ウェハー１１が収納されたウェハーカセット９２を各ウェハーカセットケース９１ａ、９１ｂから取り出す。
【０１０４】
本発明に係る基板分離収納装置は、図１および図２に示したように、載置台１０を水１０２の中に配置するための水槽１００をさらに備えていても良い。図１および図２に示した載置台１０は、一例として、水槽１００の中に設けられた支持板１０１の上に配置されている。
【０１０５】
載置台１０を水１０２の中に配置することで、載置台１０上の基板１１を水１０２の中で分離することが可能となる。水１０２の中での基板１１の分離は大気中での基板１１の分離よりも容易であるため、基板１１の分離をより迅速にかつ破損することなく行うことができる。また、大気中で処理されたあとの基板１１を水１０２の中で分離することにより、大気中で基板１１に付着した汚れを除去することができる。さらに、水１０２の中で研磨されたあとの基板１１をそのまま水１０２の中で分離することが可能となるため、基板１１が大気にさらされて汚れることを防ぐことができる。
【０１０６】
また、前述したように基板１１が基板１１間にスペーサーを介して積み重ねられているときには、図１および図２に示したように、分離・保持手段３０によって分離された基板１１の間に残されたスペーサー１１１を取り出すためのスペーサー取出し手段１１０を、さらに備えていることが好ましい。スペーサー１１１を取出すことによって、分離した基板１１だけを移載手段７０によって基板収納手段９０へと移すことができる。
【０１０７】
スペーサー取出し手段１１０としては、例えば、大気のような気体もしくは水のような液体の噴流１１２を、分離・保持手段３０によって分離された基板１１の側面から吹き付けて、スペーサー１１１を外部へ押し出す手段などが挙げられる。このような手段は、図１および図２に示したように、例えば、水平に複数の噴流１１２を吹き付けるための噴流ノズル１１３によって構成される。噴流ノズル１１３は、図１に示したように、例えば前述の支持板１０１の上に配置されている。
【０１０８】
噴流ノズル１１３の横に、分離した基板１１および基板１１の間に残されたスペーサー１１１を有する分離・保持手段３０を配置すれば、噴流ノズル１１３からの噴流１１２によって、スペーサー１１１を押出すことができる。
【０１０９】
また、スペーサー取出し手段１１０を備えているときには、取出したスペーサー１１１を回収するためのスペーサー回収手段１２０をさらに備えていることが好ましい。
【０１１０】
スペーサー回収手段１２０としては、図１および図２に示したように、例えば、取り出したスペーサー１１１を受け取るための受け取り板１２１、この受け取り板１２１を載せておくためのバケット１２２から構成される。受け取り板１２１には、この受け取り板１２１を外部へ取り出すための取っ手部１２３が取付けられている。スペーサー１１１は、基板１１の間から押出されたのち、例えば前述の支持板１０１に接合された傾斜部材１２４を滑ってバケット１２２上の受け取り板１２１の上に溜まる。受け取り板１２１の上のスペーサー１１１が所定の数になったときに、取っ手部１２３を用いて受け取り板１２１を水槽１００から引き上げて、スペーサー１１１を回収する。回収されたスペーサー１１１は、基板１１を積み上げるために再び利用することができる。
【０１１１】
なお、スペーサー取出し手段１１０およびスペーサー回収手段１２０を備えているときには、図１および図２に示したように、これらも水槽１００を用いて水１０２の中に配置しても良い。
【０１１２】
水１０２の中でスペーサー１１１を取り出すことは大気中でスペーサー１１１を取り出すことよりも容易に行うことができるため、スペーサー１１１の取り出しをより早く安全に行うことができる。また、水１０２の中でスペーサー１１１を取り出すことにより、大気中で基板１１に付着した汚れを除去することもできる。さらに、水１０２の中で研磨されたあとの基板１１について、基板１１の分離だけでなくスペーサー１１１の取出しも水１０２の中で行うことによって、基板１１が大気にさらされて汚れることを防ぐことができる。
【０１１３】
また、図１および図２に示したように、載置台１０およびスペーサー取出し手段１１０およびスペーサー回収手段１２０を、同じ水槽１００を用いて水１０２の中に配置しても良い。
【０１１４】
＜本発明に係る基板分離収納装置の動作＞
次に、本発明に係る基板分離収納装置の動作の一例について、図７を参照しながら説明する。なお、図７に記入されている数値は、各動作において要する時間の一例である。
【０１１５】
本発明に係る基板分離収納装置は、基板１１の積み重ね状態によって例えば以下の２つの動作を行う。
【０１１６】
すなわち、（１）基板がスペーサーを介して積み重ねられているときの装置動作は、（Ａ）基板分離・保持動作、（Ａ’）スペーサー取り出し動作、（Ｂ）基板移載動作、（Ｃ）基板収納動作からなる。
【０１１７】
また、（２）基板が直積みされているときの装置動作は、（Ａ）基板分離・保持動作、（Ｂ）基板移載動作、（Ｃ）基板収納動作からなる。
【０１１８】
各動作について、以下、説明する。
【０１１９】
（１）基板がスペーサーを介して積み重ねられているときの装置動作
装置の初期状態として、分離・保持手段３０はスペーサー取出し手段１１０の上方（図１のＡの位置）に待機している。また、分離・保持手段３０のアームプレート３４は開じており、クランパー５５は基板１１から離れている。
【０１２０】
（Ａ）基板分離・保持動作
まず、分離・保持手段３０を左行させて載置台１０の上方（図１のＢの位置）に移動させる。
【０１２１】
次に、分離・保持手段３０を載置台１０の上方から載置台１０へと下降させる。そして、各ロッド３１の螺旋山部３２の下端が最上位の基板１１と最上位から２番目の基板１１との間の境目と同じ高さになったときに下降を止めてアームプレート３４を閉じ、各ロッド３１の螺旋山部３２の下端をこの基板１１間の境目に位置させる。
【０１２２】
次に、前述したように、ロッド３１の回転／下降を繰り返して載置台１０の基板１１を分離・保持する。この分離・保持に要する時間は、図７に記載したように、例えば１枚の基板１１あたり約２秒であり、従って２５枚の基板１１に対しては約５０秒である。
【０１２３】
すべての基板１１について分離・保持が完了したときに、分離・保持手段３０を上昇させるとともに、分離・保持手段３０のクランパー５５を駆動させて基板１１を固定する（クランプする）。クランパー５５によって基板１１を固定したのち、アームプレート３４を開けて各ロッド３１の螺旋山部３２を基板１１の外へ出す。
【０１２４】
（Ａ’）スペーサー取り出し動作
（Ａ）の最後において、アームプレート３４を開けるとともに、分離・保持手段３０を載置台１０の上方（図１のＢの位置）からスペーサー取り出し手段１１０の上方（図１のＡの位置）へと右行させる。
【０１２５】
次に、分離・保持手段３０をスペーサー取り出し手段１１０の上方からスペーサー取り出し手段１１０へと下降させる。下降させたのち、例えば、分離・保持手段３０を揺動させながら噴流ノズル１１３から水などの噴流１１２を噴出させて、基板１１の間に残されたスペーサー１１１を押し出す。揺動の仕方としては、例えば分離・保持手段３０を上下に２ｍｍづつ揺動させる等である。噴流１１２を出す時間としては、図７に記載したように、例えば１０秒間である。押し出されたスペーサー１１１は、スペーサー回収手段１２０へと流れて回収される。
【０１２６】
スペーサー１１１を押し出したのち、分離・保持手段３０を上昇させてスペーサー取り出し手段１１０の上方（図１のＡの位置）へと戻す。
（Ｂ）基板移載動作
移載手段７０を左行させて、分離・保持手段３０によって保持されている各基板１１の下に各ハンド７６を挿入する。ハンド７６を挿入するとともに、各ハンド７６の吸着パッドを駆動して真空引きを行う。
【０１２７】
ハンド７６を挿入したのちに、分離・保持手段３０を少しだけ下降させて各基板１１をそれぞれのハンド７６の上に載せ、各基板１１を吸着パッドにより真空吸着して固定する。
【０１２８】
各基板１１が吸着パッドにより固定されたのち、分離・保持手段３０のクランプ５５の駆動を停止して基板１１から離す（アンクランプする）とともに、移載手段７０を右行させて、各基板１１を分離・保持手段３０から引き出す。
【０１２９】
基板１１が引き出された分離・保持手段３０は、左行して載置台１０の上方へと移動し、再び（Ａ）の動作を行う。分離・保持手段３０が再び（Ａ）の動作を行う間に、以下の（Ｃ）の動作が行われる。
【０１３０】
（Ｃ）基板収納動作
基板１１を載せた移載手段７０を左旋させて基板収納手段９０の方向へ向け、基板収納手段９０に向かって前進させる。そして、例えば、図６に示したウェハカセットケース９１ａの一番上のカセット９２（ウェハー受け取り位置にある）の中へ、シリコンウェハーなどの基板１１を載せた各ハンド７６を進ませる。具体的には、カセットケース９２内にピッチＤで設けられたウェハー保持用の溝に各シリコンウェハー１１が挿入されるように、ハンド７６を進ませる。
【０１３１】
基板１１が挿入されたのち、移載手段７０の各ハンド７６の吸着パッドを排気して基板１１の固定を解除する。基板１１の固定を解除するとともに、例えば、上下移動用エレベーター９５によってウェハーカセット９２を少しだけ上昇させて、各基板１１をウェハーカセット９２の各溝の上に保持して各ハンド７６から浮かせる。
【０１３２】
基板１１がウェハーカセット９２の各溝によって保持されたのちに、移載手段７０を後退させてハンド７６を基板収納手段９０から外へ出す。こうして、基板１１は基板収納手段９０の中へ収納される。
【０１３３】
移載手段７０を後退させたのちに、例えば、前述したようにウェハーカセットケース９１ａを上昇させて、中央のカセット９２をウェハー受け取り位置に移動させる。基板収納手段９０を上昇させるとともに、後退した移載手段７０を右旋させて分離・保持手段３０の方向に向け、待機させる。
【０１３４】
以上の（Ａ）、（Ａ’）、（Ｂ）および（Ｃ）の動作によって、載置台１０上の基板１１を分離してスペーサー１１１を取り出したのちに基板収納手段９０へ収納することができる。
【０１３５】
前述したように、（Ｂ）の動作を終了した分離・保持手段３０は引き続いて（Ａ）の動作を行う。そして、（Ａ）の動作が行われる間に（Ｃ）の動作が行われる。こうして、（Ａ）、（Ａ’）、（Ｂ）および（Ｃ）の動作サイクルは連続して行われる。
【０１３６】
（２）基板が直積みされているときの装置動作
装置の初期状態として、分離・保持手段３０は載置台１０の上方（図１のＢの位置）に待機している。また、分離・保持手段３０のアームプレート３４は開じており、クランパー５５は基板１１から離れている。
【０１３７】
「（１）基板がスペーサーを介して積み重ねられているときの装置動作」で述べた、（Ａ）基板分離・保持動作、（Ｂ）基板移載動作、および（Ｃ）基板収納動作を、この順に行う。
【０１３８】
これら（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）の動作によって、載置台１０上に直積みされた基板１１を分離して基板収納手段９０へ収納することができる。
【０１３９】
（Ｂ）の動作を終了した分離・保持手段３０は引き続いて（Ａ）の動作を行い、（Ａ）の動作が行われる間に（Ｃ）の動作が行われる。こうして、（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）の動作サイクルは連続して行われる。
【０１４０】
以上、説明したように、（１）基板がスペーサーを介して積み重ねられているとき、および（２）基板が直積みされているときの両方において、本発明に係る基板分離収納装置は連続して動作することができる。
【０１４１】
本発明に係る基板分離収納装置は、基板収納手段９０にこの手段９０に収納可能な枚数の基板１１が収納されるまで、連続して動作する。収納可能な枚数の基板１１が収納されたのち、基板分離収納装置の動作を一時停止して、基板収納手段９０から基板１１を取り出す。基板収納手段９０からの基板１１の取り出しは、前述したように、例えばシリコンウェハー１１が収納されたウェハカセット９２を取り出すなどのようにして行う。
【０１４２】
今、スペーサーを介して積み重ねられた基板を分離・収納するのに要する時間を計算する。ウェハーカセット６カセット分に相当する１５０枚の基板を、１カセット分に対応する２５枚づつ分離・収納する場合を考える。
【０１４３】
図７に記載したように、（Ａ）、（Ａ’）および（Ｂ）の動作サイクルに必要な時間は、基板２５枚に対して約８０秒である。（Ｃ）の動作サイクルに必要な時間は、約１１秒である。
【０１４４】
（Ａ）、（Ａ’）および（Ｂ）の動作は６回行われる。従って、所用時間は約８０秒×６＝約４８０秒となる。（Ｃ）の動作も同じように６回行われるが、１〜５回目の動作は前述したように（Ａ）の動作の間に行われるため、装置の所用時間の中には入ってこない。６回目のみが所要時間として加算される。従って、（Ｃ）の動作の所用時間は約１１秒×１＝約１１秒となる。
【０１４５】
以上より、所用時間の合計は（約８０秒×６）＋約１１秒＝約４９１秒、すなわち約８．５分となる。
【０１４６】
【発明の効果】
以上、詳述したように、本発明に係る基板分離収納装置によって、上下に積み重ねられた複数の基板１１を破損することなく迅速に収納用のピッチで上下方向に互いに分離して収納することが可能となる。その結果、基板１１としてシリコンウェハーを用いた半導体プロセスにおいて、シリコンウェハー上に作製するデバイスの生産性および歩留まりが向上する等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板分離収納装置の一例を示す概略側面図。
【図２】本発明に係る基板分離収納装置の一例を示す概略上面図。
【図３】本発明に係る分離・保持手段の動作を説明するための概略側面図。
【図４】本発明に係る分離・保持手段の一例を示す概略側面図。
【図５】本発明に係る分離・保持手段の一例を示す概略上面図。
【図６】本発明に係る基板収納手段の一例を示す概略側面図。
【図７】本発明に係る基板分離収納装置の動作の一例を示す図。
【符号の説明】
１０…載置台
１１…基板
１２…下プレート
１３…基板固定ガイド
３０…分離・保持手段
３１…ロッド
３１ａ…第１ロッド
３１ｂ…第２ロッド
３２…螺旋山部
３３…ベースプレート
３４…アームプレート
３５…回転伝達軸
３６、３７…軸受け
３８…凹部
３９、４３、４９…プーリー
４０…ギア
４１…ケース
４２…回転軸
４４…ベルト
４５、４６…軸受け
４７、４８…孔
５０…ギア
５１…プーリー
５２…ベルト
５３…接合用部材
５４…シリンダー
５５…クランパー
５６…クランパーシリンダー
５７…上下スライド用板
５８…ボールナット
５９…ネジ軸
６０…スライダー
６１…案内レール
６２…支持板
６３…支持部材
６４…リニアガイド
７０…移載手段
７１…基板保持部
７２…第１スライド部
７３…回転部
７４…第２スライド部
７５…パッド駆動部
７６…ハンド
７７…第１スライド板
７８…第１固定板
７９…回転テーブル
８０…固定枠
８１…第２スライド板
８２…第２固定板
８３…吊下げ用支持部材
９０…基板収納手段
９１…ウェハーカセットケース
９２…ウェハーカセット
９３…キャビネット
９４…扉
９５…上下移動用エレベーター
９６…移動用ガイド
１００…水槽
１０１…支持板
１０２…水
１１０…スペーサー取出し手段
１１１…スペーサー
１１２…噴流
１１３…噴流ノズル
１２０…スペーサー回収手段
１２１…受け取り板
１２２…バケット
１２３…取っ手部
１２４…傾斜部材
Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３、Ｍ４、Ｍ５…モーター
【図１】
0004191834.tif 000002
【図２】
0004191834.tif 000003
【図３】
0004191834.tif 000004
【図４】
0004191834.tif 000005
【図５】
0004191834.tif 000006
【図６】
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【図７】
0004191834.tif 000008