(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を所定の方向に搬送する搬送駆動手段と、
前記搬送駆動手段の上方に配置されて前記ガラス基板の検査を行う検査機器と、
前記検査機器による検査位置の両側に位置する配置でガラス基板の下面側に設置されて前記ガラス基板の下面側に対する空気吐出及び空気吸引を行う前記所定の方向に沿った長さが前記ガラス基板の搬送方向の長さより短い一対の吐出吸引ユニットと、
前記搬送駆動手段の搬送制御、一対の吐出吸引ユニットの空気吐出、空気吸引の制御を行う制御部と、
を有するガラス基板の検査装置であって、
前記吐出吸引ユニットは、前記ガラス基板の搬送方向に直交する方向に２列平行に配置されて前記ガラス基板の下面側に対する空気吐出のための複数の吐出孔と、前記吐出孔列の配列方向に沿って前記２列平行に配置された吐出孔列間の中間位置に設けられた前記ガラス基板下面側に開口する凹溝と、この凹溝底部に設けられて前記ガラス基板の下面側に対する空気吸引を行うための複数の吸引孔と、を具備してなるものであることを特徴とするガラス基板の検査装置。
【請求項２】
前記搬送駆動手段は、ガラス基板を進行方向とこれに直交する方向の双方向に駆動することを特徴とする請求項１記載のガラス基板の検査装置。
【請求項３】
前記検査機器は、光反射型の撮像機器又は発光部及び受光部からなる光透過型の撮像機器であることを特徴とする請求項１又は２記載のガラス基板の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば集積回路等の製造の基になるガラス基板の検査装置に関するものである。
【従来の技術】
集積回路等の製造に使用されるフォトマスクに微細な回路パターンを焼き付ける際に用いられる原画パターンは、平坦で寸法変化が少ないガラス基板に焼き付け形成される。このようなガラス基板上の原画パターンの寸法、形状は、設計通りであるか否かを高精度に検査することが必要となる。
以下に、上述したようなガラス基板の検査装置の従来例について図面を参照して説明する。
図７、図８は第１の従来例を示すものであり、同図に示すガラス基板５１の検査装置は、空気吐出式の構成であり、チャック５５により保持され検査基台５０上を矢印方向に搬送されるガラス基板５１の下面側に、前記検査基台５０に設けた多数の空気吐出孔５２から空気を吐出し、ガラス基板５１の下面側に層流を形成してガラス基板５１を検査基台５０上に浮上させ、この状態で、ガラス基板５１の上方に配置した撮像カメラ５３によりガラス基板５１の原画パターンが付されている検査範囲５４を撮像し、検査を行うものである。
しかし、このガラス基板５１の検査装置の場合には、ガラス基板５１の下面側に安定した層流を形成することは難しく、特にガラス基板５１の寸法が１０００ｍｍ×１０００ｍｍというように大きい場合には、ガラス基板５１の下面側の空気流は乱流となってしまう。
この結果、ガラス基板５１が微少振動してしまい、撮像カメラ５３に焦点ボケ等の不都合が発生して検査範囲５４の検査精度が低下してしまうという問題がある。
図９は第２の従来例を示すものであり、同図に示すガラス基板５１の検査装置は、ローラ搬送式の構成であり、チャック５５により保持され矢印方向に搬送されるガラス基板５１の搬送に多数の所定間隔で列設配置のローラ６１を用いる構成である。ガラス基板５１の上方に配置した撮像カメラ５３によりガラス基板５１の原画パターンが付されている検査範囲５４を撮像し、検査を行うことは第２の従来例の場合と同様である。
しかし、このガラス基板５１の検査装置の場合には、ローラ６１を用いることからコスト的には低廉に構成可能であるものの、多数の所定間隔で列設配置のローラ６１上をガラス基板５１が乗り越えていく際に、ガラス基板５１の端縁がローラ６１に衝突する等してガラス基板５１が振動し、撮像カメラ５３に焦点ボケ等の不都合が発生して検査範囲５４の検査精度が低下してしまうという問題がある。
図１０は第３の従来例を示すものであり、同図に示すガラス基板５１の検査装置は、空気吐出及び吸引式の構成であり、チャック５５により保持され検査基台７０上を矢印方向に搬送される過程では、ガラス基板５１の下面側に、前記検査基台７０の両端側に設けた２列の多数の空気吐出孔７２から空気を吐出し、ガラス基板５１の下面側に層流を形成してガラス基板５１を検査基台７０上に浮上させる。
また、撮像カメラ５３によりガラス基板５１の原画パターンが付されている検査範囲５４を撮像し、検査を行う過程では、両端の２列の多数の空気吐出孔７２の中間位置に設けている多数の吸引孔７３から空気吸引を行いガラス基板５１を検査基台７０上面に吸着する。
しかし、このガラス基板５１の検査装置の場合には、検査範囲５４の検査精度を高めることが可能であるものの、空気の吐出及び吸引の双方を行う構成であるため装置価格が高くなってしまうという問題があり、更に、検査機器として光透過型の撮像機器しか使用できず、光反射型の撮像機器又は発光部、受光部からなる光透過型の撮像機器のどちらにも対応できないという問題があった。
【発明が解決しようとする課題】
上述したように従来装置の場合には、検査精度が低かったり、検査精度は高いものの装置価格が高くなるという問題があった。
そこで、本発明はガラス基板の検査精度が高く、しかも、装置価格も低廉とすることができ、光反射型の撮像機器又光透過型の撮像機器のどちらにも対応できるガラス基板の検査装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
本発明のガラス基板の検査装置は、ガラス基板を所定の方向に搬送する搬送駆動手段と、前記搬送駆動手段の上方に配置されて前記ガラス基板の検査を行う検査機器と、前記検査機器による検査位置の両側に位置する配置でガラス基板の下面側に設置されて前記ガラス基板の下面側に対する空気吐出及び空気吸引を行う前記所定の方向に沿った長さが前記ガラス基板の搬送方向の長さより短い一対の吐出吸引ユニットと、前記搬送駆動手段の搬送制御、一対の吐出吸引ユニットの空気吐出、空気吸引の制御を行う制御部と、を有するガラス基板の検査装置であって、前記吐出吸引ユニットは、前記ガラス基板の搬送方向に直交する方向に２列平行に配置されて前記ガラス基板の下面側に対する空気吐出のための複数の吐出孔と、前記吐出孔列の配列方向に沿って前記２列平行に配置された吐出孔列間の中間位置に設けられた前記ガラス基板下面側に開口する凹溝と、この凹溝底部に設けられて前記ガラス基板の下面側に対する空気吸引を行うための複数の吸引孔と、を具備してなるものであることを特徴とする。
前記搬送駆動手段は、ガラス基板を進行方向とこれに直交する方向の双方向に駆動する構成としている。
本発明によれば、低廉価格に構成できる分割小規模構成の一対の吐出吸引ユニットからガラス基板に向けて空気吐出を行うことでこのガラス基板は上面から浮上した状態で搬送でき、ガラス基板搬送時の下面保護を図れる。また、ガラス基板を一対の吐出吸引ユニットの上面に吸着した状態で検査機器による検査エリアの検査を高精度で行うことが可能となる。また、Ｘ方向、Ｙ方向に矩形ジグザグ状に搬送駆動することにより、検査機器による検査エリアの領域を拡大することができる。更に検査機器としても種類の多様化を図れる。
更に、前述のように構成した本発明によれば、前記検査機器として、光反射型の撮像機器又は発光部及び受光部からなる光透過型の撮像機器のいずれをも使用することができる。
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図１乃至図４を参照して説明する。
本実施の形態に係る検査装置１は、図１、図２に示すように後述する搬送駆動手段２１により図中の矢印Ｘ方向に搬送駆動される検査対象であるガラス基板１０と、ガラス基板１０の検査を行うために配置されている例えばＣＣＤカメラのような検査機器２と、前記ガラス基板１０の下面側で、かつ、検査機器２による検査位置の両側に位置する配置で例えば５０乃至１００ｍｍの間隔Ｌをもって並んで設置された各々小形箱型形状（直方体形状）の一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂとを有している。前記検査機器２は、図１に示すように、これを複数個構成としても良い。
一方の吐出吸引ユニット３Ａは、図２に示すように、ユニット本体４の下面から上面に貫通する多数の吐出孔５を矢印Ｘ方向と直交する矢印Ｙ方向に２列平行配置で、かつ、ユニット本体４の長辺に沿って穿設している。
また、上記２列平行配置の吐出孔５の中間位置には矢印Ｙ方向に凹溝６が設けられ、かつ、凹溝６からユニット本体４の下面に貫通する多数の吸引孔７を設けている。
他方の吐出吸引ユニット３Ｂも、前記一方の吐出吸引ユニット３Ａと同様に構成されている。
更に、前記一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂにおける各吐出孔５の下端には、図２に示すように、配管群１１を介してエア吐出系（エアレギュレータ）８、吐出用ポンプＰ１が接続され、また、一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂにおける各吸引孔７の下端には、配管群１２を介してエア吸引系（エアレギュレータ）９、吸引用ポンプＰ２が接続されている。
検査機器２としては、前記ガラス基板１０面からの光の反射光を受光して撮像を行う光反射型に構成しているＣＣＤカメラ、ＣＣＤラインセンサの他、図３に示すようにガラス基板１０の上下両側に配置される発光部１３及び受光部（ＣＣＤラインセンサ）１４からなる光透過型に構成している検査機器２’を用いることができる。
図４は、本実施の形態の検査装置１の制御系を示すものであり、搬送駆動手段２１の搬送制御、一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの空気吐出、空気吸引の制御を行う制御部２０を有している。搬送駆動手段２１は、ガラス基板１０をＸ方向に駆動するＸ方向駆動部２２と、ガラス基板１０をＹ方向に駆動するＹ方向駆動部２３とを有している。
また、前記制御部２０は、エアコントローラ２４を介して前記吐出用ポンプＰ１、吸引用ポンプＰ２の吐出、吸引制御を行うようになっている。
更に、制御部２０は検査機器２の動作制御をも行うようになっている。
次に、図５を参照して本実施の形態のガラス基板１０の検査装置１の動作について説明する。
前記ガラス基板１０を一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂ上においてＸ方向に搬送する場合には、図５左欄に図示するように、前記制御部２０によりエアコントローラ２４を介して吐出用ポンプＰ１を駆動し、一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの各吐出孔５からガラス基板１０の下面側に空気吐出を行う。
これにより、ガラス基板１０は一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの上面から浮上した状態で前記Ｘ方向駆動部２２により搬送されることになり、ガラス基板１０の下面側に傷等が付くことを防止でき、ガラス基板１０の下面保護を図ることができる。
また、前記ガラス基板１０の検査エリア１０ａを一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂ上において検査する場合には、図５右欄に図示するように、前記制御部２０によりエアコントローラ２４を介して吸引用ポンプＰ２を駆動し、一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの各吸引孔７から空気吸引を行う。
これにより、ガラス基板１０は一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの上面に吸着されて位置決め固定される状態となり、振動を極力排除した状態下で、検査機器２による検査エリア１０ａの検査を高精度で行うことが可能となる。
本実施の形態に係る検査装置１によれば、このような状態で検査機器２による検査エリア１０ａの領域範囲のみを高精度で検査することが可能となることから、この面からコスト安価となる。
また、本実施の形態に係る検査装置１は、前記ガラス基板１０の下面側で、かつ、検査機器２による検査位置の両側に位置する配置で例えば５０乃至１００ｍｍの間隔Ｌをもって並んで設置された一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂとを具備した構成としているので、検査機器２としては、前記ガラス基板１０面からの光の反射光を受光して撮像を行う光反射型に構成しているＣＣＤカメラ、ＣＣＤラインセンサの他、図３に示すようにガラス基板１０の上下両側に配置される発光部１３及び受光部（ＣＣＤラインセンサ）１４からなる光透過型に構成している検査機器２’を用いることができ、光反射型の撮像機器又光透過型の撮像機器のどちらにも対応できる。
図６は検査装置１におけるガラス基板１０の搬送形態の応用例を示すものであり、前記制御部２０によりＸ方向駆動部２２、Ｙ方向駆動部２３を所定のタイミングで交互に駆動し、ガラス基板１０をＸ方向、Ｙ方向に矩形ジグザグ状に搬送駆動する。
このようなガラス基板１０の搬送を行えば、Ｘ方向のみに搬送駆動する場合に比べ前記検査機器２により検査する検査エリア１０ａの領域を拡大することが可能となる。
なお、前記検査機器２として単独配置の構成の他、ガラス基板１０の寸法、検査エリア１０ａの寸法に応じて複数台の検査機器２をＹ方向に列設した構成とすることもできる。
また、前記一対の吐出吸引ユニット３Ａ、３Ｂの両外側に搬送補助用のローラ（図示せず）を配置した構成とすることもでき、この場合でもローラは検査エリア１０ａから離れた位置となるので、振動等の悪影響をガラス基板１０に与えることはない。
【発明の効果】
本発明によれば、低廉価格に構成でき、ガラス基板搬送時の下面保護を図ることができ、光反射型の撮像機器又光透過型の撮像機器のどちらにも対応できる高精度な検査を実現できるガラス基板の検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態のガラス基板の検査装置を示す概略斜視図である。
【図２】本実施の形態のガラス基板の概略断面図である。
【図３】本実施の形態の撮像機器の他例を示す説明図である。
【図４】本実施の形態のガラス基板の検査装置の制御系を示すブロック図である。
【図５】本実施の形態のガラス基板の検査装置の動作説明図である。
【図６】本実施の形態の検査装置におけるガラス基板の搬送形態の応用例を示す説明図である。
【図７】第１の従来例のガラス基板の検査装置を示す概略斜視図である。
【図８】第１の従来例のガラス基板の検査装置の断面図である。
【図９】第２の従来例のガラス基板の検査装置を示す概略斜視図である。
【図１０】第３の従来例のガラス基板の検査装置を示す概略斜視図である。
【符号の説明】
１    検査装置
２    検査機器
２’  検査機器
３Ａ  吐出吸引ユニット
３Ｂ  吐出吸引ユニット
４    ユニット本体
５    吐出孔
６    凹溝
７    吸引孔
１０    ガラス基板
１０ａ  検査エリア
１１    配管群
１２    配管群
１３    発光部
２０    制御部
２１    搬送駆動手段
２２    Ｘ方向駆動部
２３    Ｙ方向駆動部
２４    エアコントローラ
Ｐ１    吐出用ポンプ
Ｐ２    吸引用ポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0004130552.tif 000008
【図８】
0004130552.tif 000009
【図９】
0004130552.tif 000010
【図１０】
0004130552.tif 000011