(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の振動体を励振手段で励振させて、振動体からの音波の放射圧により振動体の表面上において物体を所定位置に浮揚保持する物体浮揚装置であって、
前記複数の振動体の少なくとも一部の振動体を、該振動体に縦振動の他に振動面を揺動させる振動を加える振動子に連結し、前記縦振動の他に振動面を揺動させる振動が加えられる振動体は矩形状に形成され、矩形状をなす前記物体を所定位置に浮揚保持すべく、該矩形状に形成された振動体は、保持すべき物体の四隅と対応する位置であって保持すべき物体の中心に対して対称に配置されるとともに振動体の外側の２つのエッジそれぞれが前記物体の隅部における異なるエッジの近傍で該物体のエッジに沿って延びるように配置され、前記物体の四隅と対応する位置の振動体は、物体の各エッジにおけるその両端と対応する位置の振動体同士が反対方向に向かって円を描く進行波を形成するように振動子によって振動が加えられる物体浮揚装置。
【請求項２】
複数の振動体を励振手段で励振させて、振動体からの音波の放射圧により振動体の表面上において物体を所定位置に浮揚保持する物体浮揚装置であって、
前記複数の振動体の少なくとも一部の振動体を、該振動体に縦振動の他に振動面を揺動させる振動を加える振動子に連結し、前記縦振動の他に振動面を揺動させる振動が加えられる振動体は矩形状に形成され、矩形状をなす前記物体を所定位置に浮揚保持すべく、該矩形状に形成された振動体は、保持すべき物体の四隅と対応する位置であって保持すべき物体の中心に対して対称に配置されるとともに振動体の外側の２つのエッジそれぞれが前記物体の隅部における異なるエッジの近傍で該物体のエッジに沿って延びるように配置され、前記物体の四隅と対応する位置の振動体は、それら全てが振動体と物体との間に物体の中心と対応する位置に向かって直線状に移動する気流を発生させるように振動子によって振動が加えられる物体浮揚装置。
【請求項３】
複数の振動体を励振手段で励振させて、振動体からの音波の放射圧により振動体の表面上において物体を所定位置に浮揚保持する物体浮揚装置であって、
前記複数の振動体の少なくとも一部の振動体を、該振動体に縦振動の他に振動面を揺動させる振動を加える振動子に連結し、前記縦振動の他に振動面を揺動させる振動が加えられる振動体は矩形状に形成され、矩形状をなす前記物体を所定位置に浮揚保持すべく、該矩形状に形成された振動体は、保持すべき物体の四隅と対応する位置であって保持すべき物体の中心に対して対称に配置されるとともに振動体の外側の２つのエッジそれぞれが前記物体の隅部における異なるエッジの近傍で該物体のエッジに沿って延びるように配置され、前記物体の四隅と対応する位置の振動体は、それら全てが振動体と物体との間に物体の中心と対応する位置から振動体と対応する位置に向かって直線状に移動する気流を発生させるように振動子によって振動が加えられる物体浮揚装置。
【請求項４】
前記物体の四隅と対応する位置の振動体は、内側に向いて傾斜するように配置されている請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の物体浮揚装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば音波等の放射圧を用いて物体を浮揚させる物体浮揚装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
物体を空中に浮揚させる物体浮揚装置として、振動手段により振動される振動体の音波の放射圧により、振動体の表面上において物体を浮揚させる物体浮揚装置が特開平７−２４４１５号公報、特開平７−１３７８２４号公報等に開示されている。この装置では平板状の振動体を使用し、浮揚させるべき物体の前記平板状の振動体の表面と対向する面を平面とし、振動体の振動による音波の放射圧により物体が浮揚する。また、浮揚した物体に空気を噴射したり、前記振動体で進行波を発生させて浮揚した物体を移動させる物体搬送装置も提案されている。
【０００３】
また、物体を浮揚状態で搬送する方法として、台車に前記浮揚装置を装備して浮揚装置を移動させる方法がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
浮揚させる物体が板状で面積が広い場合、物体を安定した状態で浮揚させるには、複数の振動板で物体に放射圧を作用させるのが好ましい。しかし、単純に複数の振動板に縦振動を発生させた場合、物体を所定の位置に保持する作用が不十分で、横方向から僅かな力が作用するだけで物体の位置ずれが発生するという問題がある。
【０００５】
本発明は前記の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的は複数の振動体を使用して物体を浮揚させる場合、物体を所定位置に保持する保持力を向上させることができる物体浮揚装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するため請求項１に記載の発明では、複数の振動体を励振手段で励振させて、振動体からの音波の放射圧により振動体の表面上において物体を所定位置に浮揚保持する物体浮揚装置であって、前記複数の振動体の少なくとも一部の振動体を、該振動体に縦振動の他に振動面を揺動させる振動を加える振動子に連結し、前記縦振動の他に振動面を揺動させる振動が加えられる振動体は矩形状に形成され、矩形状をなす前記物体を所定位置に浮揚保持すべく、該矩形状に形成された振動体は、保持すべき物体の四隅と対応する位置であって保持すべき物体の中心に対して対称に配置されるとともに振動体の外側の２つのエッジそれぞれが前記物体の隅部における異なるエッジの近傍で該物体のエッジに沿って延びるように配置され、前記物体の四隅と対応する位置の振動体は、物体の各エッジにおけるその両端と対応する位置の振動体同士が反対方向に向かって円を描く進行波を形成するように振動子によって振動が加えられる。
前記の目的を達成するため請求項２に記載の発明では、複数の振動体を励振手段で励振させて、振動体からの音波の放射圧により振動体の表面上において物体を所定位置に浮揚保持する物体浮揚装置であって、前記複数の振動体の少なくとも一部の振動体を、該振動体に縦振動の他に振動面を揺動させる振動を加える振動子に連結し、前記縦振動の他に振動面を揺動させる振動が加えられる振動体は矩形状に形成され、矩形状をなす前記物体を所定位置に浮揚保持すべく、該矩形状に形成された振動体は、保持すべき物体の四隅と対応する位置であって保持すべき物体の中心に対して対称に配置されるとともに振動体の外側の２つのエッジそれぞれが前記物体の隅部における異なるエッジの近傍で該物体のエッジに沿って延びるように配置され、前記物体の四隅と対応する位置の振動体は、それら全てが振動体と物体との間に物体の中心と対応する位置に向かって直線状に移動する気流を発生させるように振動子によって振動が加えられる。
前記の目的を達成するため請求項３に記載の発明では、複数の振動体を励振手段で励振させて、振動体からの音波の放射圧により振動体の表面上において物体を所定位置に浮揚保持する物体浮揚装置であって、前記複数の振動体の少なくとも一部の振動体を、該振動体に縦振動の他に振動面を揺動させる振動を加える振動子に連結し、前記縦振動の他に振動面を揺動させる振動が加えられる振動体は矩形状に形成され、矩形状をなす前記物体を所定位置に浮揚保持すべく、該矩形状に形成された振動体は、保持すべき物体の四隅と対応する位置であって保持すべき物体の中心に対して対称に配置されるとともに振動体の外側の２つのエッジそれぞれが前記物体の隅部における異なるエッジの近傍で該物体のエッジに沿って延びるように配置され、前記物体の四隅と対応する位置の振動体は、それら全てが振動体と物体との間に物体の中心と対応する位置から振動体と対応する位置に向かって直線状に移動する気流を発生させるように振動子によって振動が加えられる。
【０００７】
従って、請求項１〜３に記載の発明では、励振手段で励振される複数の振動体からの音波の放射圧により、振動体の表面上において物体が所定位置に浮揚保持される。そして、少なくとも一部の振動体は、振動子から縦振動の他に振動面を揺動させる振動が加えられる。振動板は振動子の軸方向に対して直交する状態で単純に往復動するのではなく、振動面が揺動するように振動される。従って、浮揚物体と振動板との間に空気の流が発生し、物体を横方向に移動させるには空気の流れによる力に抗して物体を移動させる必要があり、従来の単純な縦振動のみで物体を浮揚保持する構成に比較して、物体を所定位置に保持する保持力が向上する。また、物体は浮揚状態においてそのエッジが振動体のエッジと対向する位置より外側へ移動し難くなるため、物体は各振動体の外側のエッジと対応する位置で、より安定した状態で保持される。また、浮揚物体は保持力の向上した複数の振動体から対称位置において保持力が作用するため、物体に小さな水平方向の外力が作用した程度では物体は所定位置により安定した状態でとどまる。
【０００９】
請求項４に記載の発明では、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の発明において、前記物体の四隅と対応する位置の振動体は、内側に向いて傾斜するように配置されている。この発明では、前記振動体と物体との間に発生する空気流の作用により、物体には互いに向かい合う水平方向の力が存在する状態となり、物体に小さな水平方向の外力が作用した程度では物体は所定位置により安定した状態でとどまる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
以下、本発明を矩形状の平板を浮揚保持するのに適した物体浮揚装置に具体化した第１の実施の形態を図１〜図３に従って説明する。図１（ａ）は物体浮揚装置の模式平面図である。
【００１３】
図１（ａ）に示すように、物体浮揚装置１は矩形板状に形成された複数（この実施の形態では５個）の振動体２ａ〜２ｄ，３を備えている。各振動体２ａ〜２ｄ，３は同じ大きさに形成されている。４個の振動体２ａ〜２ｄは矩形板状の物体４（鎖線で図示）の四隅と対応する位置に配設され、１個の振動体３は４個の振動体２ａ〜２ｄから等距離の位置に配設されている。各振動体２ａ〜２ｄ，３には励振手段を構成するホーン５が、それぞれその先端において図示しないネジにより締結されている。図１（ｂ）に示すように、ホーン５は円錐台の上部に円柱部が連続する形状に形成され、各振動体２ａ〜２ｄ，３の中央において各振動体２ａ〜２ｄ，３と直交する状態で取付けられている。
【００１４】
図１（ｂ）に示すように、振動体３はその表面が水平に配置されている。物体４の長手方向に沿って配設された各一対の振動体２ａ，２ｃ、２ｂ，２ｄは、その表面が物体４の底面に対して逆方向に内側に向かって傾斜した状態に、かつ物体４に作用する放射圧が釣り合うように配置されている。各振動体２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの水平面と成す角度θは、物体４の質量、振動体２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの面積などによって適正値は変化するが、例えば、ほぼ１°前後であり、通常３°以下である。
【００１５】
図１（ｂ）に示すように、各ホーン５は振動体２ａ〜２ｄ，３が締結される面の反対側の面において振動子６ａ，６ｂに固定されている。ホーン５の先端面は振動子６ａ，６ｂの軸方向と直交する平面に形成され、ホーン５及び振動子６ａ，６ｂの中心軸が鉛直方向に対して、水平面と振動体２ａ〜２ｄ，３との成す角度θと同じ角度傾斜した状態で配置されている。
【００１６】
振動体３を駆動する振動子６ｂには所謂ランジュバン形振動子が使用され、一対のリング状のピエゾ素子７ａ，７ｂと、ピエゾ素子７ａ，７ｂ間に配置されたリング状の電極板８と、ピエゾ素子７ａ，７ｂの外側面と当接する位置に配置された金属ブロック９ａ，９ｂとを、図示しないボルトによって締め付け固定することにより構成されている。ボルトは金属ブロック９ａに形成された図示しないねじ穴に、金属ブロック９ｂ側から螺合されている。両金属ブロック９ａ，９ｂはボルトを介して互いに導通された状態となっている。
【００１７】
図２（ａ）に示すように、振動体２ａ〜２ｄを駆動する振動子６ａには単純なランジュバン形振動子ではなく、複合振動子が使用されている。振動子６ａは縦振動を励起させるための一対のリング状のピエゾ素子７ａ，７ｂと、起振部が円周上を移動する作用を為す４対一組のピエゾ素子１０ａ，１０ｂとを備えている。図２（ｃ）に示すようにピエゾ素子７ａ，７ｂが円環状であるのに対して、図２（ｂ）に示すように、ピエゾ素子１０ａ，１０ｂはそれぞれ四半円弧状に形成されている。ピエゾ素子１０ａ，１０ｂはそれぞれ四半円弧状に形成された電極板１１ａ〜１１ｄ（図３に図示）を挟持するように電極板１１ａ〜１１ｄに固定されている。
【００１８】
そして、図２（ａ）に示すように、共通の円環状の接地用電極板１２を挟んで上側にピエゾ素子７ａ，７ｂが配置され、下側に４対のピエゾ素子１０ａ，１０ｂが配置された状態で、金属ブロック９ａ，９ｂにより各ピエゾ素子７ａ，７ｂ、電極板８、接地用電極板１２、ピエゾ素子１０ａ，１０ｂ及び電極板１１ａ〜１１ｄが締め付け固定されている。なお、各ピエゾ素子１０ａ，１０ｂ及び各ピエゾ素子１０ａ，１０ｂ間に配置された各電極板１１ａ〜１１ｄは互いに干渉しないように、それぞれ同一平面上で９０°ずつ位置的に位相をずらした状態で間隔をあけて配置されている。両金属ブロック９ａ，９ｂはボルトを介して互いに導通された状態となっている。
【００１９】
図１（ｂ）に示すように、物体浮揚装置１は台車としての搬送車１３上に支持ブラケット１４を介して取り付けられている。各振動子６ａ，６ｂは各振動体２ａ〜２ｄ，３が所定の角度θ又は水平となるように支持ブラケット１４に固定されている。
【００２０】
図１（ａ）に示すように、振動子６ａ，６ｂは発振器１５，１６に接続されている。ホーン５、振動子６ｂ、発振器１５により振動体３を励振させる励振手段が構成され、ホーン５、振動子６ａ、発振器１５，１６により振動体２ａ〜２ｄを励振させる励振手段が構成されている。
【００２１】
図１（ｂ）に示すように、電極板８は配線１７ｂを介して発振器１５と接続され、発振器１５の接地端子が配線１７ａを介して金属ブロック９ａに接続されている。４対のピエゾ素子１０ａ，１０ｂに挟持された各電極板１１ａ〜１１ｄは、図３に示すように、発振器１６にそれぞれ配線１８及び切換スイッチ１９を介して接続されている。切換スイッチ１９は所定周期（例えば、５０ミリ秒間隔）で順次各電極板１１ａ〜１１ｄと発振器１６とを接続させるように構成されている。なお、図１（ｂ）では発振器１６、配線１８及び切換スイッチ１９等の図示を省略している。
【００２２】
次に前記のように構成された装置の作用を説明する。
物体浮揚装置１は、搬送すべき板状の物体４を浮揚状態に保持しつつ搬送車１３の移動により目的位置まで搬送される。
【００２３】
図１（ａ），（ｂ）に示すように、物体４は各エッジ４ａが各振動体２ａ〜２ｄの外側のエッジ２０に揃うように各振動体２ａ〜２ｄ，３上に載置される。その状態で発振器１５，１６の駆動により、振動子６ａ，６ｂが所定の共振周波数（例えば、２０ｋＨｚ前後）で励振され、ホーン５を介して振動体２ａ〜２ｄ，３が励振される。振動体２ａ〜２ｄ，３が励振されると、振動体２ａ〜２ｄ，３から音波が放射され、その音波の放射圧によって物体４は振動体２ａ〜２ｄ，３の表面から浮揚する。浮揚距離は数１０〜数１００μｍである。
【００２４】
発振器１５に接続されたピエゾ素子７ａ，７ｂにのみ電圧が印加されて振動子６ａ，６ｂが励振されると、ホーン５は縦振動のみを行う。従って、振動体３が接続された振動子６ｂは縦振動のみを行う。
【００２５】
一方、振動子６ａに装備された４対の四半円弧状のピエゾ素子１０ａ，１０ｂには、発振器１６により切換スイッチ１９、電極板１１ａ〜１１ｄ等を介して所定周期で所定時間ずつ順次電圧が印加され、各ピエゾ素子１０ａ，１０ｂが順次縦振動を行う。４対のピエゾ素子１０ａ，１０ｂは９０°ずつ位相がずれた状態にあるため、各ピエゾ素子１０ａ，１０ｂが順次縦振動することにより、振動体２ａ〜２ｄには図１（ａ）に矢印で示すように、一方向へ回転する進行波が発生するような振動が励起される。その結果、振動子６ａの振動に伴って振動体２ａ〜２ｄが単純な縦振動ではなく一方向へ旋回するような揺動運動を行い、物体４と振動体２ａ〜２ｄとの間に、物体４を所定位置に保持する保持力を増す旋回空気流が発生する。そのため、物体４は振動体２ａ〜２ｄの表面から安定に浮揚する。
【００２６】
振動体２ａ〜２ｄのエッジ２０と物体４のエッジ４ａとが揃った状態に配置された状態では、振動体２ａ〜２ｄのエッジ２０からはみ出そうとした物体４が、振動体２ａ〜２ｄが放射する音波の作用によって内側に引き戻される作用があるため、物体４が所定の位置に安定した状態で保持される。
【００２７】
この実施の形態では以下の効果を有する。
（１）  複数の振動体２ａ〜２ｄ，３の一部の振動体２ａ〜２ｄを、該振動体２ａ〜２ｄに縦振動の他に振動面を揺動させる振動を加える振動子６ａに連結した。そのため、振動体２ａ〜２ｄの振動時に、物体４と各振動体２ａ〜２ｄとの間に物体４の保持力を増す空気流が発生し、簡単な構成で物体浮揚装置１の保持力が向上する。
【００２８】
（２）  振動子６ａは四半円弧状の４対のピエゾ素子１０ａ，１０ｂを備え、４対のピエゾ素子１０ａ，１０ｂが順次振動されて振動体２ａ〜２ｄに一方向に回転する進行波が発生するため、物体４と振動体２ａ〜２ｄとの間に渦状の空気流が発生して保持力が大きくなる。
【００２９】
（３）  矩形板状の物体４の四隅と対応する位置に配置された状態で物体４を浮揚保持するため、物体４に対して水平方向においていずれの側から外力が作用した場合でも、その力に抗する放射圧により物体４の移動が抑制され、物体４を所定位置に保持する保持力がより向上する。
【００３０】
（４）  各振動体２ａ〜２ｄからほぼ等距離の位置に、縦振動される振動体３が配設されているため、物体４の面積が大きな場合でも振動体３からの放射圧によりその撓みが抑制されて、物体４が安定した状態で浮揚する。
【００３１】
（５）  浮揚すべき物体４は底面がフラットで、直線状のエッジ４ａを有し、振動体２ａ〜２ｄは物体４を浮揚状態で保持する際、その外側のエッジ２０が物体４の直線状のエッジ４ａの近傍で該エッジ４ａに沿って延びるように配置されている。従って、物体４を所定位置により安定した状態で保持できる。
【００３２】
（６）  物体４の四隅と対応する位置に配置される振動体２ａ〜２ｄを水平面に対して所定角度θ傾斜した状態に配設しているため、各振動体２ａ〜２ｄを水平に配置した場合より、物体４を所定位置に保持する効果が向上する。
【００３３】
（７）  物体浮揚装置１は搬送車１３上に装備されている。従って、搬送車１３の移動により物体４を浮揚状態で所定の位置まで確実に搬送することができる。
【００３４】
（８）  物体４に音波を放射する振動体として物体４の底面積全体と対応する大きさの振動体を使用せずに、複数の振動体２ａ〜２ｄ，３を使用するとともに、その面積の合計が物体４の底面積より小さいため、振動体２ａ〜２ｄ，３を軽量化でき、ひいては物体浮揚装置１全体の軽量化を図ることができる。
【００３５】
（第２の実施の形態）
次に第２の実施の形態を図４に従って説明する。この実施の形態では２個の振動体２１ａ，２１ｂで物体４を浮揚保持する点と、振動体２１ａ，２１ｂの振動面を揺動させる振動子６ａの構成と、ホーン５の形状とが前記実施の形態と大きく異なっている。前記実施の形態と同一部分は同一符号を付して詳しい説明を省略する。なお、搬送車１３、支持ブラケット１４、発振器１６等は図示を省略した。
【００３６】
一対の振動体２１ａ，２１ｂの外側同士の距離は物体４の幅と同じに形成されている。振動子６ａを構成する金属ブロック９ａがホーン５を兼用している。振動子６ａは図４（ｂ），（ｃ）に示すような半円弧状の２対のピエゾ素子２２ａ，２２ｂと、それに対応する２個の半円弧状の電極板２３ａ，２３ｂとを備えている。電極板２３ａ，２３ｂは切換スイッチ（図示せず）を介して発振器１６に接続されている。
【００３７】
この実施の形態では振動体２１ａ，２１ｂには、ピエゾ素子７ａ，７ｂを介して縦振動が加えられ、ピエゾ素子２２ａ，２２ｂを介して振動体２１ａ，２１ｂの中央をそれぞれ挟んで図４の左右両側が交互に昇降する揺動運動が励起される。そして、振動体２１ａ，２１ｂの表面（上面）と物体４の底面との間に図４の左右方向へ往復移動する空気流が発生する。その結果、ピエゾ素子７ａ，７ｂを介して縦振動が加えられるだけの構成に比較して、物体４の保持力が向上する。
【００３８】
この実施の形態では前記実施の形態の（１），（５），（７）及び（８）と同様な効果の他に次の効果を有する。
（９）  振動体２１ａ，２１ｂに縦振動の他に振動面を揺動させる振動を加えるための振動子６ａの構成が簡単になる。
【００３９】
実施の形態は前記に限定されるものではなく、例えば次のように構成してもよい。
○  第１の実施の形態のように物体４の四隅と対応する位置に、振動面が揺動される振動体２ａ〜２ｄを配置する構成において、振動体２ａ〜２ｄの振動時に振動体２ａ〜２ｄの表面と物体４の底面との間に、図５（ｂ）に示す矢印方向の気流が発生する構成としてもよい。例えば、振動子６ａとして第２の実施の形態の振動子６ａと同じもの、即ち、円環状のピエゾ素子７ａ，７ｂと、一対の半円弧状のピエゾ素子２２ａ，２２ｂとを備えた構成とする。そして、例えば図５（ａ）に示すように、ピエゾ素子２２ａ，２２ｂの直線部が振動体２ａ〜２ｄの対角線とほぼ直交する状態に振動子６ａを配置する。この場合、各振動子６ａの駆動により物体４の底面と振動体２ａ〜２ｄの表面との間に物体４の対角線に沿った気流が発生するため、縦振動が加えられるだけの構成に比較して、物体４に対する保持力が向上する。
【００４０】
○  円環状のピエゾ素子７ａ，７ｂと，半円弧状のピエゾ素子２２ａ，２２ｂとを備えた振動子６ａを、振動体２ａ〜２ｄの振動時に振動体２ａ〜２ｄの表面と物体４の底面との間に、図６（ｂ）に示す矢印方向の気流が発生するように配置してもよい。各振動子６ａのピエゾ素子２２ａ，２２ｂが図６（ａ）に示すように、直線部が物体４の長手方向（図６（ｂ）の左右方向）と直交するように、振動子６ａが配置される。
【００４１】
○  各振動子６ａ毎に発振器１５，１６を設ける代わりに、各１個の発振器１５，１６及び切換スイッチ１９を各振動子６ａで共用してもよい。この場合、構成が簡単になるとともに製造コストを低減できる。
【００４２】
○  矩形状の物体４を所定位置に浮揚保持する物体浮揚装置において、各振動体２ａ〜２ｄの配設位置は、物体４の四隅と対応する位置に限らず、各辺の中央と対応する位置に配置してもよい。また、振動体２ａ〜２ｄ，３の数は５個に限らず、中央に配置される振動体３を省略して４個としたり、物体４の大きさにより適宜変更してもよい。
【００４３】
○  全ての振動体２ａ〜２ｄ，３を水平に配置してもよい。
○  物体浮揚装置１は搬送車１３のような移動体に装備されて使用されるとは限らず、所定位置に配設されて物体４を一時浮揚状態で保持する用途に使用してもよい。
【００４４】
○  浮揚保持する物体４の形状は矩形等の四角形に限らず、三角形や他の多角形あるいは円形等任意の形状としてよい。
○  ホーン５の形状は円柱状、円錐台状、両者を組み合わせた形状に限らず、例えば扁平な直方体状としてもよい。
【００４５】
○  各振動体２ａ〜２ｄ等のエッジ２０の一部が物体４のエッジ４ａと対応せず、物体４がエッジ２０からはみ出す大きさのものに適用してもよい。
○  底面がフラットな物体を浮揚保持する装置に限らず、特開平７−１３７８２４号公報に開示された装置のように、物体の底面がＶ字状の物体を浮揚させる装置に適用してもよい。
【００４６】
○  振動体２ａ〜２ｄ，３，２１ａ，２１ｂのホーン５への固定はネジによる締結に限らず、接着剤を使用したり、ロウ付けや溶接で固着してもよい。
○  振動子６ａ，６ｂはランジュバン形振動子に限らず他の振動子を使用してもよい。
【００４７】
前記実施の形態から把握される発明（技術思想）について、以下に記載する。
（１）  前記物体は矩形又は正方形の板状であり、少なくとも前記物体の四隅と対応する位置に、縦振動の他に振動面を揺動させる振動を加える振動子に連結された前記振動体が配置されている。
【００４８】
（２）  前記振動子は前記振動体が所定方向に向かって円を描く進行波を形成するように、該振動体を振動させる。
【００４９】
（３）  前記振動子は前記振動体と物体の底面との間に直線状に移動するとともにその移動方向が逆転する気流を発生させるように、該振動体を振動させる。
【００５０】
【発明の効果】
以上詳述したように、各請求項１〜４に記載の発明によれば、複数の振動体を使用した複合振動により物体を浮揚させる場合、物体を所定位置に保持する保持力を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  （ａ）は第１の実施の形態の物体浮揚装置の模式平面図、（ｂ）は物体浮揚装置を装備した搬送車の模式側面図。
【図２】  （ａ）は同じく振動体と励振手段を示す模式斜視図、（ｂ），（ｃ）はピエゾ素子の模式平面図。
【図３】  電極板の発振器への接続状態を示す模式図。
【図４】  （ａ）は第２の実施の形態の物体浮揚装置の模式平面図、（ｂ）は模式側面図、（ｃ）はピエゾ素子及び電極板の形状を示す模式平面図。
【図５】  （ａ）は別の実施の形態のピエゾ素子及び電極板の形状を示す模式平面図、（ｂ）は物体浮揚装置の振動体と物体との関係を示す模式平面図。
【図６】  （ａ）は別の実施の形態のピエゾ素子及び電極板の形状を示す模式平面図、（ｂ）は物体浮揚装置の振動体と物体との関係を示す模式平面図。
【符号の説明】
１…物体浮揚装置、２ａ〜２ｄ，３，２１ａ，２１ｂ…振動体、４…物体、４ａ，２０…エッジ、５…励振手段を構成するホーン、６ａ，６ｂ…同じく振動子、１５，１６…励振手段を構成する発振器。
【図１】
0004055341.tif 000002
【図２】
0004055341.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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