(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力光を波長毎に異なる方向に出射するＶＩＰＡ素子を用いた角度分散手段と、
該角度分散手段から出射された光を反射して、再び該角度分散手段に入射するミラー手段とを有する波長分散補償手段と、
前記角度分散手段と前記ミラー手段との間に配置され、前記角度分散手段により角度分散された光が入射する面内において２次元的に変化する反射損失特性または透過損失特性を有し、該波長分散補償手段の挿入損失波長特性を最適化する最適化手段と、
を備えることを特徴とする分散補償器。
【請求項２】
前記最適化手段は、２次元的に変化する透過損失特性を有する空間フィルタであることを特徴とする請求項１に記載の分散補償器。
【請求項３】
前記最適化手段は、前記ミラー手段の反射面の反射率を２次元的に変化させることによって、該ミラー手段と一体化されていることを特徴とする請求項１に記載の分散補償器。
【請求項４】
前記最適化手段は、前記分散補償器が含まれる周辺機器、光通信システムあるいは、光通信ネットワークの透過チャネル帯域のイコライジングあるいは挿入損失波長特性の最適化も含めて最適化を行うことを特徴とする請求項１に記載の分散補償器。
【請求項５】
前記最適化手段は、エタロンフィルタであることを特徴とする請求項１に記載の分散補償器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信技術の分散補償器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
最近、ＶＩＰＡ素子と呼ばれる光素子を利用して、光通信における波長分散を補償する波長分散補償器が研究開発されている。
【０００３】
図１７は、ＶＩＰＡ素子を用いた波長分散補償器の基本構成を示す図である。
ＶＩＰＡ素子は、ガラスなどの平行平板の両面に反射面を形成し、反射面の一部に光を入射するための照射窓を設けたものである。典型的な構成においては、反射面は、一方は反射率が約１００％であり、他方が１００％以下、典型的には９５％などである。
【０００４】
光通信に使用される光信号は、シングルモードファイバからラインフォーカサに入力される。ラインフォーカサでは、シングルモードファイバから広がって出てくる光を一旦平行光にし、その後、シリンドリカルレンズなどによって、線状に集光するものである。ラインフォーカサによって集光された光は、ＶＩＰＡ素子の照射窓を通って、ＶＩＰＡ素子の内部に集光する。
【０００５】
ＶＩＰＡ素子にラインフォーカスされた光を入射すると、反対面から出射される光は、透過型グレーティングやプリズムのように角度分散を持った出射特性を持つ。すなわち、ＶＩＰＡ素子に入った光は、ＶＩＰＡ素子の反射面で反射され、ＶＩＰＡ素子内で多重反射を起こす。このとき、一方の反射面が反射率が１００％より小さいことから、多重反射している光がすこしづつこの反射面から出力される。そして、出力された光が干渉を起こすことによって、波長によって進行方向の異なるビームを生成する。ここで、ＶＩＰＡ素子の出力側から見ると、反射する毎に出射される光は、それぞれ、異なった虚像ＶＩから出力されているように見える。
【０００６】
このビームをフォーカシングレンズで集光し、ミラーに反射させ、フォーカシングレンズ、ＶＩＰＡ素子を通り、ラインフォーカサを形成する、シングルモードファイバに結合する。すなわち、ミラーから反射され、フォーカシングレンズを通って、再びＶＩＰＡ素子に光が入力される場合、１つの光線に着目したとき、この光線が出てきた虚像ＶＩとＶＩＰＡ素子に再び入射した、この光線が至る虚像ＶＩとが光線の波長によって異なるようにすると、図１７から分かるように、虚像ＶＩ間には、光学的距離の差分が生じているので、波長によって、光線が進む光学的距離が異なることになる。すなわち、光線の進む距離が波長によって異なるので、波長によって、光線がＶＩＰＡ素子から出力される場合に、伝搬遅延が与えられて出力されることになる。よって、波長の異なる光線は異なる波長分散（色分散）を受けて、ＶＩＰＡ素子から出力されるようになる。この現象を利用して、波長分散補償器を構成しようとするのが、ＶＩＰＡ素子を利用した波長分散補償器である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この波長分散補償器への光の結合損失を最小にすると、ＶＩＰＡ素子有する挿入損失透過特性は平坦ではないため、波長多重光のような光信号に、このような波長分散補償器を使用した場合、波長によって、光信号のレベルが異なって出力されてしまうと言う問題がある。
【０００８】
特に、近年実用化されつつある波長多重光通信システムにおいては、各波長の光は所定の光レベルを維持して伝送されることが望ましいので、光素子の透過チャネル帯域挿入損失波長特性の平坦化など最適化、ひいては、分散補償器周囲、システム及びネットワーク全体の透過チャネル帯域挿入損失平坦化などの最適化を行う必要がある。
【０００９】
本発明の課題は、光の透過帯域を平坦化、あるいは、所望の特性とすることのできる分散補償器を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の分散補償器は、入力光を波長毎に異なる方向に出射する角度分散手段と、該角度分散手段から出射された光を反射して、再び該角度分散手段に入射するミラー手段とからなる波長分散補償手段と、該波長分散補償手段の挿入損失波長特性を最適化する最適化手段とを備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明によれば、分散補償器の挿入損失波長特性を所望の特性に、特に、急峻な波長依存性を有する挿入損失波長特性を容易に平坦化することができる。また、分散補償器のみではなく、分散補償器を含む周辺装置や、これを含む光通信システム、光通信ネットワークなどの挿入損失波長特性も最適化手段によって所望の特性とすることができる。
【００１２】
従って、分散補償器、これの周辺機器、光通信システム、光通信ネットワークなどの挿入損失波長特性が、光信号の伝搬する帯域に渡って急峻に変化していても、光信号の伝搬に適した特性に補正することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態においては、以下のような構成とその作用を提供する。
ＶＩＰＡ板（あるいはＶＩＰＡ素子）とフォーカシングレンズ又はフォーカシングレンズとミラーとの間に透過率が２次元的に分布している空間フィルタを挿入する。あるいは、ミラー表面に、２次元の反射率を分布させる。更に、あるいは、ラインフォーカサにエタロンフィルタなどの透過損失特性が周期性を有している周期特性フィルタを挿入する。
【００１４】
空間フィルタあるいは、周期特性フィルタを挿入することにより、分散補償器挿入損失特性と空間フィルタあるいは周期特性フィルタの透過損失特性が重畳され、最適化された、透過チャネル帯域挿入損失波長特性が得られる。
【００１５】
また、ミラー反射率を２次元に分布させることにより、ミラー反射率特性と、本来の波長分散補償器挿入損失特性が重畳され、最適化された、透過チャネル帯域挿入損失波長特性が得られる。
【００１６】
更に、周期的な透過特性が得られるエタロンフィルタを挿入することにより、分散補償器挿入損失特性とエタロンフィルタの透過損失特性が重畳された最適化された、透過チャネル帯域挿入損失波長特性が得られる。
【００１７】
従って、波長分散補償器周囲、システム及びネットワーク全体の透過チャネル帯域挿入損失波長特性を平坦化等最適化が行える。
また、空間フィルタあるいは、ミラー反射率の制御は、以下のように行う。
【００１８】
光吸収性のある元素、イオンまたは化合物が、光を吸収するので、その濃度を２次元に分布させることにより、透過率が２次元に分布した空間フィルタを得る。なお、光の透過率が小さくなる原理が光の吸収なので、反射光は問題とならない。
【００１９】
金属反射膜は膜厚が薄いとき、膜厚によって反射率が変わるため、金属反射膜に２次元の膜厚分布を持たせることにより２次元の反射率分布を有するミラーを形成する。
【００２０】
金属反射膜に２次元の膜厚分布を持たせると、ミラー表面の形状が設計された形状と異なってしまい、分散や群遅延などの光学特性が劣化することがある。そこで、ミラー基板の形状を金属膜の膜厚分布を見込んで形成し、所望のミラー形状を得るようにすることにより、光学特性の劣化を防ぐ。
【００２１】
金属反射膜に２次元の膜厚分布を持たせると、ミラー表面の形状が設計された形状と異なってしまい、波長分散や群遅延などの光学特性が劣化することがある。
【００２２】
そこで、２次元の膜厚分布を有する金属反射膜を２層（以上）とし、光の入射側第１層の金属反射膜に２次元の膜厚分布を持たせることにより反射率分布を生じさせると共に、金属反射膜全体の膜厚が一定となるように、光の入射側第２層の金属膜または誘電体膜が該第１層の金属膜とは逆の膜厚分布を持たせることにより、ミラー基板の表面形状を、設計値のまま保持することができ、光学特性の劣化を防ぐ。
【００２３】
金属反射膜はスパッタや蒸着などの成膜手法により形成可能であるが、成膜粒子の進行を妨げるマスクを用いて、基板への成膜粒子の付着確率を変えることにより膜厚分布を形成する。
【００２４】
図１は、本発明の実施形態の空間フィルタを用いた第１の構成例を示す図である。
図１に示されるように、本実施形態においては、図１７で説明した角度分散補償器のＶＩＰＡ素子１０と、フォーカシングレンズ１１の間、あるいは、フォーカシングレンズ１１とミラー１２の間に空間フィルタ１３を設ける。
【００２５】
ここで、ミラー１２は一端が凹面で中央部が平面で他端が凸面に連続的に局面が変化するミラーである。
このミラー１２を紙面方向（ＶＩＰＡで角度分散を与えた方向）と直交する方向に曲面を連続的に変化させることで、波長分散量を任意の値に調整できる。
【００２６】
このとき、空間フィルタ１３はミラー１２に対応させて移動する。
図２は、空間フィルタの透過損失分布とミラーの関係を示す図である。
図２においては、透過損失はＬ０からＬ５に行くに従って、大きくなっている。これは、ＶＩＰＡ素子あるいは、波長分散補償器全体の挿入損失特性が、透過帯域の中心付近で小さい損失であり、中心から離れるに従い急激に損失が大きくなる場合を想定している。この場合、透過帯域の中心付近に対応する空間フィルタの中心付近のＬ５領域で最も損失が大きく、空間フィルタの周辺に行くに従い、次第に損失の量が小さくなっている。
【００２７】
ここで、空間フィルタ１３は、ミラー１２に対応させて移動するため、透過損失の分布は楕円形状に紙面左右方向に損失分布が集束するようにフィルタが構成されている。
【００２８】
これは、ミラー１２の移動した位置（矢印の方向に分散量に合わせて移動する）により角度分散を与えた光（ＶＩＰＡ素子からのビーム）に対して空間フィルタを通過する光の損失分布が異なるためである。
【００２９】
すなわち、ミラー１２の移動方向の端部は凸面及び凹面になっており、損失の分布がビームの角度分散する方向の外側に大きく分布しているため、空間フィルタ１３はミラー１２の曲面に対応して、ミラー１２の移動方向に対して、楕円の損失分布を有している。
【００３０】
損失の分布はミラーの曲面形状に対応して任意な損失の分布構成をとることができる。
図３は、本発明の実施形態の第２の構成例を示した図である。
【００３１】
図３の構成例においては、ミラー１２ａの表面の反射率を２次元的に変化させ、強い光が照射する面では損失を大きく、弱い光が照射する面では損失を小さくする。
【００３２】
図３においても、ミラー１２ａは、、図２と同様に紙面垂直方向に凹面から凸面に反射面が連続的に変化するミラーを移動させる。
図４は、２次元反射率分布ミラーの反射率分布を示している。
【００３３】
図４においては、反射率は、Ｒ５からＲ０に行くに従い、次第に大きくなるように構成されている。図４の場合も、想定しているＶＩＰＡ素子あるいは波長分散補償器の挿入損失特性は、図３の場合と同様である。従って、入射する光の強度が最も大きい透過帯域の中心付近であるＲ５領域で反射率が最も小さく、入射する光の強度が最も小さくなるＲ０領域で反射率は最大となっている。
【００３４】
この反射率は図２の空間フィルタ１３の透過損失の分布と同様に、反射面の曲面形状に対応して反射率の分布が構成される。
図５及び図６は、図１〜図４の実施形態の構成例の効果を説明する図である。
【００３５】
図５は、空間フィルタを使った場合の最適化された挿入損失波長特性を示している。
波長分散補償器の挿入損失波長特性は、図５に示すように、波長分散補償器の挿入損失波長特性が、空間フィルタ透過損失波長特性と重畳することにより最適化され、最適化された挿入損失波長特性になる。ここで、最適化とは、波長分散補償器の挿入損失波長特性において、平坦化された透過チャネル帯域が拡大できることに限らず、空間フィルタの透過率を調整することにより、波長分散補償器周囲（波長分散補償器を含む周辺機器）、これを含む光通信システム及びこれを含む光通信ネットワーク全体の透過チャネル帯域のイコライジング及び挿入損失波長特性最適化を行うことである。
【００３６】
図６は、ミラーの反射率を２次元的に変化させた場合の最適化された挿入損失波長特性を示す。
波長分散補償器の挿入損失波長特性は、図６に示すように、分散補償器の挿入損失波長特性が、２次元反射率分布ミラー反射率波長特性と重畳することにより最適化され、最適化された挿入損失波長特性になる。ここで、最適化とは、波長分散補償器の挿入損失波長特性において、平坦化された透過チャネル帯域が拡大できることに限らず、空間フィルタの透過率を調整することにより、波長分散補償器周囲（波長分散補償器を含む周辺機器）、これを含む光通信システム及びこれを含む光通信ネットワーク全体の透過チャネル帯域のイコライジング及び挿入損失特性最適化を行うことである。
【００３７】
以上のように、適切な透過損失特性を有する空間フィルタ、あるいは、適切な反射率を有するミラーによって、波長分散補償器の挿入損失波長特性を平坦化できる。なお、上記したように、本実施形態によれば、空間フィルタの透過損失あるいはミラーの反射率を変化させることによって、さまざまに波長分散補償器の挿入損失波長特性を制御することができ、必ずしも透過帯域の平坦化のみに限定されるものではない。
【００３８】
また、本実施形態の応用例としては、以下のようなものが考えられる。
（１）挿入損失−波長特性の波長周期特性を利用した光合分波器
米国特許５，８０９，１９０などの公知技術にあるような、図５に示す空間フィルタ透過損失波長特性が波長次元で周期的に繰り返す波長特性を有するデバイスを直列に接続し、図５に示す、最適化された挿入損失波長特性を実現することが可能である。
（２）波長透過率制御デバイス（エタロンなど）を用いた光信号波形劣化補償装置
特開平１１−７２７５６などの公知技術にあるような、エタロンなどによる、波長特性が波長次元で周期的に繰り返す波長特性を有するデバイスを直列に接続し、図５に示す、最適化された挿入損失波長特性を実現することが可能である。
【００３９】
図７は、２次元透過率分布空間フィルタの説明をする図である。
図２のような２次元の透過率分布を有する空間フィルタは、図７に断面図を示すように、透明な材質、例えばガラスからなる板の中に、光吸収のある元素として、例えば、遷移金属であるＣｏを分散させ、その濃度を２次元に分布させることにより得ることができる。なお、ガラスの代わりにプラスチックなどの透明な材質を用いたり、Ｃｏ以外の遷移金属元素であるＣｒ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｖなどや、そのイオン、または酸化物や有機金属などの化合物、典型金属元素であるＡｌ、希土類元素であるＥｒ、Ｎｄなどを用いても良い。
【００４０】
こうして得られた２次元の透過率分布を有する空間フィルタを図１のように分散補償器のＶＩＰＡ素子とミラーとの間に設置することにより、図５に示すような最適化された挿入損失波長特性を実現することが可能である。また、このとき、光ビームは空間フィルタを２回透過するので、その透過特性は２回の透過で図５の透過特性となるように設計しておく必要がある。なお、ＶＩＰＡ型分散補償器の原理上、図１のフォーカシングレンズ１１とミラー１２の間の位置で、なるべくミラー付近に該空間フィルタを設置した方が、波長によって空間フィルタを通過する位置が大きく異なるので、望ましい。
【００４１】
なお、光の透過率が小さくなる原理が光の吸収なので、反射光が生じず、反射光が分散補償器の光学特性を劣化させることはない。また、本実施形態では、ガラスなどの透明基板に光吸収のある物質を２次元的に分布させた例を説明したが、このような光吸収のある物質の濃度を２次元的に分布させた吸収率分布膜や、光吸収のある膜の膜厚を２次元的に分布させた吸収分布膜としても良い。
【００４２】
図８は、本発明の実施形態のエタロンフィルタを使用した別の構成例を示した図である。
図８に示すように、波長分散補償器のラインフォーカサ１５のコリメートレンズ１６とシリンドリカルレンズ１７の間を往復するコリメートビーム中に周期的な透過特性を有するエタロンフィルタを挿入しても、図５に示すような最適化された挿入損失波長特性を実現することが可能である。このとき、ビームは、シングルモードファイバから入射して、ミラーで反射した後再びシングルモードファイバに入射する間に、エタロンフィルタを２回透過するので、その透過特性は２回の透過で図５の透過特性となるように設計しておく必要がある。
【００４３】
ここで、例えば、図５のような分散補償器の挿入損失波長特性を平坦化する場合には、エタロンフィルタの透過率の低い部分を分散補償器の挿入損失波長特性の損失の小さいところに来るように調節する。
【００４４】
この実施形態に於いては、先の実施形態のように、ミラー１２の移動に対応してエタロンフィルタは移動せず固定である。
図９〜図１３は、反射率が２次元的分布を示すミラーの製造方法について説明する図である。
【００４５】
ミラーの金属反射膜に用いる金属としては、例えば、Ａｕを用いることができるが、図９のようにＡｕの膜厚が８０ｎｍ以下と薄い場合、膜厚と反射率に正の相関がある。よって、図１０のように８０ｎｍ以下の薄い範囲内でＡｕの膜厚分布を調整すれば、空間的に反射率が分布されたミラーとなる。図１０の例では、ミラー基板の上に、中央の膜厚が薄いＡｕの金属反射膜が取り付けられている。この場合、図１０の上段に示すように、Ａｕの金属膜が８０ｎｍ以内で膜厚の変化を示している場合には、ミラーの反射率に影響を与える。すなわち、Ａ膜の薄い中央付近の反射ロスが大きく、従って、反射率が小さく設定できる。更に、図１１のようにＡｕの膜厚分布を２次元的に分布させることにより、図４のように反射率を２次元に分布させることが可能である。
【００４６】
図１０のような膜厚分布は、例えば、図１２のように、成膜粒子（Ａｕの微粒子あるいは原子など）の進行を妨げるマスクを用いて、基板への成膜粒子の付着確率を変えることにより形成する事ができる。更に、図１３のような２次元のマスクを用いることにより、図１１のような２次元の膜厚分布を持たせることが可能である。
【００４７】
なお、本実施形態ではＡｕを用いた場合を説明したが、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｒなど他の金属を用いても良く、特に限定されるものではない。
こうして得られた２次元の反射率を有するミラーを図３のように波長分散補償器に用いることにより、図６に示すような最適化された挿入損失波長特性を実現することが可能である。
【００４８】
図１４は、反射率が２次元分布しているミラーの別の製造方法を説明する図である。
図９〜図１３のように金属膜を１層とした場合では、厳密に言えば、図１０のように、ミラーの形状が実質的に金属膜の表面となるため、金属膜の膜厚分布により、本来のミラー基板の表面形状と異なってしまうおそれがある。ＶＩＰＡ素子を使った波長分散補償器では、ミラーの形状で波長分散補償器が光に与える波長分散や群遅延などの光学特性が決まるので、本来のミラー基板の形状と異なることにより、波長分散や、群遅延などの光学特性が劣化することがある。
【００４９】
そこで、図１４に示すように、予め膜厚分布を見込んでミラーの形状を作っておくことにより、所望のミラー形状を得ることができ、光学特性の劣化を防ぐことができる。
【００５０】
図１５及び図１６は、反射率が２次元分布しているミラーの更に別の製造方法を説明する図である。
図１４の製造方法でも膜厚分布による光学特性の劣化を防ぐことができるが、ミラーの加工が複雑となるという問題がある。
【００５１】
そこで、図１５に示すように、２次元の膜厚分布を有する金属反射膜を２層とし、光の入射側第１層の金属反射膜に２次元の膜厚分布を持たせることにより反射率分布を生じさせると共に、金属反射膜全体の膜厚が一定となるように、光の入射側第２層の膜に該第１層の金属膜とは逆の膜厚分布を持たせても良い。これにより、ミラー基板の表面形状を、設計値のまま保持するようにすることができ、光学特性の劣化を防ぐことができる。
【００５２】
ここで、光の入射側第１層の金属反射膜として、反射率の高いＡｕを用いた場合、光の入射側第２層の膜としては反射率が低い（＜４％）ＳｉＯ2膜面からの反射は無視できるので、図９とほぼ同様のＡｕ膜厚と反射率の相関が得られる。なお、ＳｉＯ2以外にもＡｌ2Ｏ3、ＭｇＦ2、Ｌａ2Ｏ3など他の誘電体膜も用いることができる。
【００５３】
また、光の入射側第２層の膜として、反射率がやや高い（約６８％）Ｃｒなどの十分に厚い金属膜を用いることもできる。その場合、Ｃｒ膜面から反射が無視できないが、図１６のようにＡｕ膜厚と反射率には正の相関があり、設計することは可能である。
【００５４】
また、逆に、入射側第２層の膜として、反射率の高いＡｕを用い、光の入射側第１層として、反射率がやや低いＣｒなどの金属膜を用いて、１層目のＣｒに膜厚分布を持たせることにより、反射率分布を形成することも可能である。
【００５５】
なお、金属反射膜の上にＳｉＯ2などの誘電体膜の保護膜や、金属反射膜の下にＣｒやＮｉなどのアンダーコートなどを付け足しても良く、層数が２層以上となってもかまわない。
【００５６】
なお、上述した空間フィルタの透過損失、エタロンフィルタ、あるいは、ミラーの反射率の設計は、ＶＩＰＡ素子を使用した波長分散補償器の挿入損失特性と共に、コンピュータシミュレーションによって行うことができることは、当業者によれば容易に理解されるであろう。
【００５７】
（付記１）入力光を波長毎に異なる方向に出射する角度分散手段と、該角度分散手段から出射された光を反射して、再び該角度分散手段に入射するミラー手段とからなる波長分散補償手段と、
該波長分散補償手段の挿入損失波長特性を最適化する最適化手段と、
を備えることを特徴とする分散補償器。
【００５８】
（付記２）前記最適化手段は、２次元的に変化する透過損失特性を有する空間フィルタであることを特徴とする付記１に記載の分散補償器。
（付記３）前記最適化手段は、前記ミラー手段の反射面の反射率を２次元的に変化させることによって、該ミラー手段と一体化されていることを特徴とする付記１に記載の分散補償器。
【００５９】
（付記４）前記最適化手段は、前記分散補償器が含まれる周辺機器、光通信システムあるいは、光通信ネットワークの透過チャネル帯域のイコライジングあるいは挿入損失波長特性の最適化も含めて最適化を行うことを特徴とする付記１に記載の分散補償器。
【００６０】
（付記５）前記最適化手段は、エタロンフィルタであることを特徴とする付記１に記載の分散補償器。
（付記６）前記空間フィルタは、光吸収性のある元素、イオンまたは化合物の濃度が２次元的に変化するように添加されていることを特徴とする付記２に記載の分散補償器。
【００６１】
（付記７）前記ミラーは、膜厚分布が２次元的に変化する反射膜からなることを特徴とする付記３に記載の分散補償器。
（付記８）前記ミラーは、前記反射膜と、該反射膜を搭載するミラー基板とからなり、該ミラー基板は、該反射膜の膜厚の変化による反射面の形状のゆがみを補償するように構成されていることを特徴とする付記７に記載の分散補償器。
【００６２】
（付記９）前記反射膜は、少なくとも２層からなり、ある層が所望の反射率分布を提供するような膜厚を有し、他の層が該反射膜の全体の膜厚を一定にするように構成されていることを特徴とする付記７に記載の分散補償器。
【００６３】
（付記１０）前記他の層の膜厚分布は、前記ある層の膜厚分布の逆の分布をしていることを特徴とする付記９に記載の分散補償器。
（付記１１）前記反射膜は、少なくとも２層からなり、ある層の反射率分布と、他の層の反射率分布を合成することによって所望の反射率分布を得るように構成されていることを特徴とする付記７に記載の分散補償器。
【００６４】
（付記１２）前記反射膜の２次元的に変化する膜厚分布は、基板への成膜粒子の付着確率を変化させることにより形成されることを特徴とする付記７に記載の分散補償器。
【００６５】
【発明の効果】
波長分散補償器の挿入損失特性を最適化することによって、超高速、超大容量及び超長距離光波長多重伝送装置の特性改善が行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の空間フィルタを用いた第１の構成例を示す図である。
【図２】空間フィルタの透過損失分布のとミラーの関係を示した図である。
【図３】本発明の実施形態の第２の構成例を示した図である。
【図４】２次元反射率分布ミラーの反射率分布を示した図である。
【図５】空間フィルタを使った場合の最適化された挿入損失波長特性を示している。
【図６】ミラーの反射率を２次元的に変化させた場合の最適化された挿入損失波長特性を示す図である。
【図７】２次元透過率分布空間フィルタの説明をする図である。
【図８】本発明の実施形態のエタロンフィルタを使用した別の構成例を示した図である。
【図９】反射率が２次元的分布を示すミラーの製造方法について説明する図（その１）である。
【図１０】反射率が２次元的分布を示すミラーの製造方法について説明する図（その２）である。
【図１１】反射率が２次元的分布を示すミラーの製造方法について説明する図（その３）である。
【図１２】反射率が２次元的分布を示すミラーの製造方法について説明する図（その４）である。
【図１３】反射率が２次元的分布を示すミラーの製造方法について説明する図（その５）である。
【図１４】反射率が２次元分布しているミラーの別の製造方法を説明する図である。
【図１５】反射率が２次元分布しているミラーの更に別の製造方法を説明する図（その１）である。
【図１６】反射率が２次元分布しているミラーの更に別の製造方法を説明する図（その２）である。
【図１７】ＶＩＰＡ素子を用いた波長分散補償器の基本構成を示す図である。
【符号の説明】
１０      ＶＩＰＡ素子
１１      フォーカシングレンズ
１２、１２ａ      ミラー
１３      空間フィルタ
１５      ラインフォーカサ
１６      コリメートレンズ
１７      シリンドリカルレンズ
【図１】
0004030763.tif 000002
【図２】
0004030763.tif 000003
【図３】
0004030763.tif 000004
【図４】
0004030763.tif 000005
【図５】
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【図６】
0004030763.tif 000007
【図７】
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【図８】
0004030763.tif 000009
【図９】
0004030763.tif 000010
【図１０】
0004030763.tif 000011
【図１１】
0004030763.tif 000012
【図１２】
0004030763.tif 000013
【図１３】
0004030763.tif 000014
【図１４】
0004030763.tif 000015
【図１５】
0004030763.tif 000016
【図１６】
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【図１７】
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