(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学素子基材の表面にエネルギー硬化型の樹脂層を載置した複合型光学素子において、
前記光学素子基材は、前記樹脂層を載置する面の光学有効径よりも外側が前記面の光学有効径内の曲率半径を延長した形状に対して前記基材の体積が減少するように基材の一部を除去した形状であるとともに、前記基材の一部を除去した後に露呈する面の少なくとも樹脂層を載置する部分が鏡面であり、該鏡面部分に前記樹脂層を広げたことを特徴とする複合型光学素子。
【請求項２】
光学素子基材の表面にエネルギー硬化型の樹脂を供給し、前記基材と金型とを相対的に接近させることにより樹脂を押し広げて金型と基材との間に所望の樹脂層を形成した後、エネルギーの照射により樹脂層を硬化させ、硬化した樹脂層と金型を剥離して所望の樹脂層を有する複合型光学素子を製造する複合型光学素子の製造方法において、
前記光学素子基材において、前記樹脂層を載置する面の光学有効径よりも外側が、前記面の光学有効径内の曲率半径を延長した形状に対して前記基材の体積が減少するように基材の一部を除去した形状であるとともに、前記基材の一部を除去した後に露呈する面を鏡面とし、該鏡面部分に前記樹脂層が広がるようにしたことを特徴とする複合型光学素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学素子基材上に樹脂層を載置した複合型光学素子およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来技術としては、特開平５−３３７９５９号公報に記載されている技術がある。一般に、複合型光学素子を製造する際には、金型と基材により形成される樹脂層に隙間ができないように樹脂供給量を僅かに多くし、基材からはみ出した樹脂を拭き取っている。しかし、この拭き取り作業は、作業性が悪く、量産性に不具合がある。そのため、特開平５−３３７９５９号公報の技術は、複合型光学素子製造時に金型と基材により形成される空間を広げるように、金型または基材の光学有効径よりも外側に樹脂溜りを設け、この樹脂溜りに樹脂を流入させるようにしている。このため、樹脂供給量にバラツキがあっても樹脂が基材からはみ出すことがなく、また樹脂の拭き取り作業も不要であり、連続して大量に複合型光学素子を製造することができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来技術には次のような欠点がある。基材の有効径外の部分は、心取り加工により形成するため、基材に樹脂溜りを設ける場合も、心取り加工により一体的に加工するのが一般的である。つまり、基材の樹脂溜り部分の表面状態は、研磨面のような鏡面ではなく、光線透過率の悪いスリ面となる。ところが、このスリ面は光学有効径外にあるものの、スリ面で光線の乱反射を引き起こすと、その影響は光学有効径外だけではなく、光学有効径内にも及ぶ。このため、ゴーストやフレア等の光学性能の劣化が発生するという問題点がある。
【０００４】
また、金型に樹脂溜りを設ける場合は、光線の乱反射等が発生しないため、光学性能の劣化はないが、樹脂溜りを設けた部分に流入した樹脂が突起となり、製造した複合型光学素子の光軸方向の厚さが増す。従って、製品のコンパクト化を妨げるという問題点につながる。
【０００５】
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、樹脂供給量のバラツキがあっても、樹脂が基材からはみ出すことがなく、かつゴーストやフレア等の光学性能の劣化がなく、さらに製品をコンパクトにすることができる複合型光学素子およびその製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、第１の発明に係る複合型光学素子は、光学素子基材の表面にエネルギー硬化型の樹脂層を載置した複合型光学素子において、
前記光学素子基材は、前記樹脂層を載置する面の光学有効径よりも外側が前記面の光学有効径内の曲率半径を延長した形状に対して前記基材の体積が減少するように基材の一部を除去した形状であるとともに、前記基材の一部を除去した後に露呈する面の少なくとも樹脂層を載置する部分が鏡面であり、該鏡面部分に前記樹脂層を広げたことを特徴とする。
【０００７】
また、第２の発明に係る複合型光学素子の製造方法は、光学素子基材の表面にエネルギー硬化型の樹脂を供給し、前記基材と金型とを相対的に接近させることにより樹脂を押し広げて金型と基材との間に所望の樹脂層を形成した後、エネルギーの照射により樹脂層を硬化させ、硬化した樹脂層と金型を剥離して所望の樹脂層を有する複合型光学素子を製造する複合型光学素子の製造方法において、前記光学素子基材において、前記樹脂層を載置する面の光学有効径よりも外側が、前記面の光学有効径内の曲率半径を延長した形状に対して前記基材の体積が減少するように基材の一部を除去した形状であるとともに、前記基材の一部を除去した後に露呈する面を鏡面とし、該鏡面部分に前記樹脂層が広がるようにしたことを特徴とする。
【０００８】
すなわち、第１の発明に係る複合型光学素子の光学素子基材は、前記樹脂層を載置する面の光学有効径よりも外側を、前記面の光学有効径内の曲率半径を延長した形状に対して前記基材の体積が減少するように基材の一部を除去した形状にするとともに、前記基材の一部を除去した後に露呈する面を鏡面とし、該鏡面部分に前記樹脂層が広がるようにしている。
【０００９】
また、第２の発明に係る複合型光学素子の製造方法は、樹脂層を載置する面の光学有効径よりも外側が、前記面の光学有効径内の曲率半径を延長した形状に対して前記基材の体積が減少するように基材の一部を除去した形状であるとともに、前記基材の一部を除去した後に露呈する面を鏡面とし、該鏡面部分に前記樹脂層が広がるようにした光学素子基材の前記鏡面上に樹脂を供給する。前記光学素子基材と金型とを相対的に接近させることにより樹脂を押し広げて所望の樹脂層を形成した後、エネルギーの照射により樹脂層を硬化させ、硬化した樹脂層と金型を剥離させて所望の樹脂層を有する複合型光学素子を製造する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の複合型光学素子およびその製造方法を図１に基づいて説明する。
図１に示すように、基材２は、樹脂層を載置する面２ａの光学有効径Ｄよりも外側が、前記樹脂層を載置する面２ａ側の光学有効径Ｄ内の曲率半径をそのまま延長した形状とは異なる形状となっている。ここでは、基材２の中心軸Ｏに対して垂直方向に基材２の外縁部を除去（図に示す鎖線部２ｄを除去）して、平面２ｂを形成している。従って、基材２の体積は、基材２の光学有効径Ｄ内の曲率半径をそのまま延長した形状（鎖線部２ｄを含む基材２の形状）に対して、減少している。つまり、基材２の面２ａに供給する樹脂の樹脂供給量にバラツキがあっても、光学有効径Ｄ外においてバラツキを吸収することができ、樹脂が基材２からはみ出すことを防止することができる。また、樹脂供給量のバラツキを吸収するためのスペースを広げる際に、金型の樹脂押圧面（光学面）１ａの形状を変更していないので、複合型光学素子自体の体積が増加することはない。従って、製品のコンパクト化を妨げるようなことはない。
【００１１】
また、本発明の複合型光学素子およびその製造方法は、光学有効径Ｄ外において図１に示すように、基材２の樹脂層を載置する面２ａ側の形状を変更し、かつ形状変更後に露呈する面、すなわち平面２ｂを鏡面等の光線が規則的に透過する面に仕上げている。従って、形状変更後に露呈する面、すなわち平面２ｂにおいて、光線の乱反射は発生せず、光学有効径Ｄ内において光学性能の劣化につながるゴーストやフレアは発生しない。
【００１２】
［発明の実施の形態１］
本発明の実施の形態１を図２〜図６に基づいて説明する。図２および図３は複合型光学素子の光学素子基材を示す図、図４〜図６は複合型光学素子の製造工程を示す図である。
【００１３】
本発明の実施の形態１では、図２に示すように、光学素子基材として両面に凹面を形成したガラス製の基材１２を用い、片面にエネルギー硬化型樹脂としての紫外線硬化型樹脂（以下、樹脂と称する）１５からなる樹脂層を硬化させて複合型光学素子を構成する。基材１２は、直径Ｒが２５ｍｍ、光学有効径Ｄが１９．５ｍｍで、直径２０ｍｍまでは曲率半径１５ｍｍの凹面とした樹脂層を載置する研磨面（以下、成形面と称する）１２ａが片面（図において上面）に形成され、直径２０ｍｍよりも外側（外縁部）に基材１２の中心軸Ｏに対して垂直な平面１２ｂが形成されている。この平面１２ｂは、図３に示すように、成形面１２ａの曲率半径を基材１２の外周部まで延長して得られる形状部分である鎖線部１２ｄを除去して形成したものであり、従って基材１２の体積は減少している。つまり、基材１２の直径Ｒまで成形面１２ａを形成する場合と比較して、光学有効径Ｄ外において、基材１２の体積減少分だけ樹脂１５を充填する空間が増大するので、平面１２ｂにまで樹脂１５を広げることができ、樹脂供給量のバラツキに対して有利である。また、平面１２ｂは研磨により粗さＲａ＝０．０２０μｍの鏡面に仕上げられており、平面１２ｂの外観は、光源と観察者の間に基材１２を置いて観察した場合に、スリ面のように光源の形状を認識できないものではなく、光源の形状をはっきりと認識できるレベルとなっている。従って、基材１２の樹脂層１３（図４〜図６参照）が載置される成形面１２ａおよび平面１２ｂの一部を透過する光線は、光学有効径Ｄ内の成形面１２ａのみならず、平面１２ｂにおいても乱反射を起こすことはない。
【００１４】
一方、基材１２の成形面１２ａの反対面（図において下面）は、凹状の非成形面（樹脂層１３を載置しない面）１２ｃで、基材１２の外周部まで形成された曲率半径１００ｍｍの研磨面となっており、また基材１２の中心軸Ｏ上の厚さは３ｍｍである。なお、基材１２は予め公知の方法によりシランカップリング剤により基材１２と樹脂層１３の密着性を向上するための処理がなされている。さらに、成形面１２ａ上に供給する樹脂１５の供給量は、その供給量にバラツキが生じた場合においても、樹脂層１３の最外周部が光学有効径Ｄ以上に到達し、かつ基材１２の外周部からはみ出さないように予め設定されている。
【００１５】
次に、図２および図４〜図６を用いて複合型光学素子の製造方法を説明する。複合型光学素子の製造には、図４に示すような所望の樹脂層１３の表面１３ａを形成するための光学面１１ａを有し、直径が２２ｍｍで、かつ中心軸が基材２の中心軸Ｏと同一で上下動自在に保持された金型１１を用いる。
【００１６】
まず、図２に示すように、樹脂１５を基材１２の成形面１２ａ上に必要量（前記した予め設定された量）供給する。次に、金型１１を下降させて基材１２の成形面１２ａに近づけ、金型１１の光学面１１ａで成形面１２ａ上の樹脂１５を外周方向に押し広げる。そして、図４に示すように、基材１２の成形面１２ａと金型１１の光学面１１ａとの間で広げられた樹脂１５が所望の厚さの樹脂層１３を形成する位置で金型１１の下降を停止する。このときの樹脂層１３の形状は、中心軸Ｏ上の厚さが０．１ｍｍ、表面１３ａの曲率半径が１３ｍｍ、光学有効径Ｄが１９．５ｍｍである。そして、樹脂層１３の最外周部は、基材１２の成形面１２ａよりも外側に到達して、基材１２の平面１２ｂ上にある。つまり、基材１２と金型１１により形成される空間を広げるように、基材１２の光学有効径Ｄ外の形状を変更しているので、樹脂１５が基材１２の直径Ｒよりもはみ出さないのである。
【００１７】
次に、基材１２の下方から不図示の紫外線照射手段により紫外線を樹脂層１３の全面に照射して樹脂層１３の硬化を開始する。その結果、エネルギーの照射が完了した時点では金型１１、基材１２および硬化した樹脂層１３が一体となった密着体が形成される。
【００１８】
その後、前記密着体を上昇させると、図５に示すように、予め基材１２の平面１２ｂの一部の上方に設けられていた剥離用の部材１４の先端が基材１２の平面１２ｂに面接触する。ここで、平面１２ｂに接触する剥離用の部材１４の下部は、基材１２の平面１２ｂと平行な平面１４ａに形成されている。そして、基材１２の平面１２ａ上の剥離用の部材１４の平面１４ａが接触した部分にまず荷重が集中し、その後荷重が基材１２全体に分散する。さらに、前記密着体の上昇を続けると、図６に示すように、容易かつ瞬時に金型１１から基材１２と樹脂層１３とが一体となった複合型光学素子１６が剥離されて、所望の複合型光学素子１６が得られる。
【００１９】
本発明の実施の形態１によれば、樹脂１５の供給量にバラツキがあっても、樹脂１５が光学有効径Ｄ以上に到達し、かつ基材１２の外周部からはみ出すことがなく、また光線の乱反射によるゴーストやフレア等の光学性能の劣化につながるような不具合が発生しない複合型光学素子１６を得ることができる。さらに、樹脂供給量のバラツキを吸収するためのスペースを確保することによる、複合型光学素子自体の体積増加がなく、製品をコンパクトにすることができる。
【００２０】
［発明の実施の形態２］
本発明の実施の形態２を図７〜図９に基づいて説明する。図７は本実施の形態２の複合型光学素子の光学素子基材を示す図、図８は複合型光学素子製造の一工程を示す図、図９は複合型光学素子を示す図である。
【００２１】
本発明の実施の形態２では、図７に示すように、光学素子基材として一方が凹面、他方が凸面に形成されたガラス製の基材２２を用い、凹面にエネルギー硬化型樹脂としての紫外線硬化型樹脂（以下、樹脂と称する）２５からなる樹脂層を硬化させて、図９に示す複合型光学素子２６を構成する。
【００２２】
基材２２は、直径Ｒが２０ｍｍ、光学有効径Ｄが１６．５ｍｍで、直径１７ｍｍまでは曲率半径７０ｍｍの凹面からなる樹脂層２３を載置する研磨面（以下、成形面と称する）２２ａが形成されるとともに、直径１７ｍｍよりも外側（外縁部）は基材２２の中心軸Ｏに対して垂直な平面２２ｂが形成されている。この平面２２ｂは、前記実施の形態１と同様に、成形面２２ａの曲率半径を基材２２の外周部まで延長して得られる形状部分（図３の鎖線部１２ｄと同様）を除去して形成してある。従って、基材２２の直径Ｒまで成形面２２ａを形成する場合と比較して、光学有効径Ｄ外において、基材２２の体積減少分だけ樹脂２５を充填する空間が増大するので、樹脂供給量のバラツキに対して有利である。また、平面２２ｂは＃１２００の砥石で研削することにより粗さＲａ＝０．０５０μｍの鏡面に仕上げられており、平面２２ｂの外観は、光源と観察者の間に基材２２を置いて観察した場合に、スリ面のように光源の形状を認識できないものではなく、光源の形状をはっきりと認識できるレベルとなっている。従って、基材２２の樹脂層２３を載置する成形面２２ａおよび平面２２ｂの一部を透過する光線は、光学有効径Ｄ内の成形面２２ａのみならず、平面２２ｂにおいても乱反射を起こすことはない。
【００２３】
一方、基材２２の成形面２２ａの反対面（図において下面）は、凸状の非成形面（樹脂層２３を載置しない面）２２ｃに形成され、基材２２の外周部まで形成された曲率半径３０ｍｍの研磨面となっている。この基材２２の中心軸Ｏ上の厚さは５ｍｍである。なお、基材２２は予め公知の方法によりシランカップリング剤により基材２２と樹脂層２３の密着性を向上するための処理がなされている。さらに、成形面２２ａ上に供給する樹脂２５の供給量は、供給量にバラツキが生じた場合においても、樹脂層２３の最外周部が光学有効径Ｄ以上に到達し、かつ基材２２の外周部からはみ出さないように予め設定されている。
【００２４】
次に、図７〜図９を用いて複合型光学素子の製造方法を説明する。
複合型光学素子の製造には、図８に示すように、所望の樹脂層２３表面２３ａを形成するための光学面２１ａを有し、直径が１９ｍｍで、かつ中心軸が基材２２の中心軸Ｏと同一で上下動自在に保持された金型２１を用いる。
【００２５】
まず、図７に示すように、樹脂２５を基材２２の成形面２２ａ上に必要量供給する。次に、金型２１を下降させて光学面２１ａを成形面２２ａに近づけ、光学面２１ａで成形面２２ａ上の樹脂２５を外周方向に押し広げる。そして、図８に示すように、基材２２の成形面２２ａと金型２１の光学面２１ａとの間で広げられた樹脂２５が所望の厚さの樹脂層２３を形成する位置で金型２１の下降を停止する。このときの樹脂層２３の形状は、中心軸Ｏ上の厚さが０．２ｍｍ、表面２３ａの曲率半径が５０ｍｍ、光学有効径Ｄが１６．５ｍｍである。そして、樹脂層２３の最外周部は、基材２２の成形面２２ａよりも外側に到達して、基材２２の平面２２ｂ上にある。つまり、基材２２と金型２１により形成される空間を広げるように、基材２２の光学有効径Ｄ外の形状を変更しているので、樹脂２５が基材２２の直径Ｒよりもはみ出さないのである。
【００２６】
以後、エネルギーを樹脂層２３の全面に照射して金型２１と基材２２および硬化した樹脂層２３が一体となった密着体を形成する工程、および金型２１から基材２２と樹脂層２３とが一体となった図９に示すような複合型光学素子２６を剥離する工程は、実施の形態１と同じである。
【００２７】
本発明の実施の形態２の製造方法によると、樹脂２５の供給量にバラツキがあっても、樹脂２５が光学有効径Ｄ以上に到達し、かつ基材２２の外周部から樹脂２５がはみ出すことがなく、また光線の乱反射によるゴーストやフレア等の光学性能の劣化につながるような不具合が発生しない複合型光学素子２６を得ることができる。さらに、樹脂供給量のバラツキを吸収するためのスペースを確保することによる、複合型光学素子自体の体積増加がなく、製品をコンパクトにすることができる。
【００２８】
なお、本発明の実施の形態２では、平面２２ｂを＃１２００の砥石で研削することにより鏡面に仕上げているが、本実施の形態はこれに限定するものではなく、＃１０００〜＃２０００の砥石で研削すれば、鏡面を得ることができる。
【００２９】
また、前記本発明の実施の形態１，２では、基材１２，２２の外縁部の形状を平面１２ｂ、２２ｂに形成した場合を説明したが、光学有効径Ｄ外において樹脂１５，２５を充填する空間が増大する形状であれば、平面に限られず、例えば凹面であってもよい。
【００３０】
さらに、前記各実施の形態１，２では、光学素子基材としてガラス製の基材、エネルギー硬化型樹脂として紫外線硬化型樹脂を用いた場合を説明したが、これに限られず、プラスチック製の基材や熱硬化型樹脂または他の電子線硬化型樹脂を用いても同様な効果が得られる。
【００３１】
また、基材１２，２２の光学有効径Ｄ外における平面１２ａ，２２ａを鏡面に作成する方法として、研磨、研削を用いているが、本発明はこれに限定するものではなく、ガラスプレス等、他の方法を用いて鏡面を作成しても同様な効果が得られる。
【００３２】
［比較例］
比較例では、図１０に示す基材３２を用いて、複合型光学素子を製造した。基材３２は、実施の形態２と同様な形状の成形面３２ａを有し、樹脂３５を押し広げて形成した樹脂層を載置する成形面３２ａの光学有効径Ｄ外には、基材３２の中心軸Ｏに対して垂直な平面３２ｂが＃８００の砂による砂摺り加工により、粗さＲａ＝０．２００μｍのスリ面に仕上げられている。ここで、平面３２ｂの外観は、光源と観察者の間に基材３２を置いて観察した場合に、光源の形状を認識できないレベルである。
【００３３】
次に、本発明の実施の形態２と同様の工程により、基材３２を用いて複合型光学素子を製造し、実施の形態２で製造した複合型光学素子２６と光学性能を比較した。その結果、実施の形態２の場合よりフレアが多く、実用上に問題があるレベルであった。
【００３４】
なお、上記した具体的実施の形態から次のような構成の技術的思想が導き出される。
（１）光学素子基材の表面にエネルギー硬化型の樹脂層を載置した複合型光学素子において、前記光学素子基材は、前記樹脂層を載置する面の光学有効径よりも外側が前記面の光学有効径内の曲率半径を延長した形状に対して前記基材の体積が減少するように基材の一部を凹ませた形状であるとともに、この凹ませて露呈した面の少なくとも樹脂層を載置する部分が鏡面であることを特徴とする複合型光学素子。
【００３５】
（２）光学素子基材の表面にエネルギー硬化型の樹脂層を載置した複合型光学素子において、前記光学素子基材は、前記樹脂層を載置する面の光学有効径よりも外側が前記面の光学有効径内の曲率半径を延長した形状に対して前記基材の体積が減少するように基材の一部を除去した形状であるとともに、前記基材の一部を除去した後に露呈する面の少なくとも樹脂層を載置する部分が粗さＲａ＝０．０２０〜０．０５０μｍの鏡面であることを特徴とする複合型光学素子。
【００３６】
（３）前記鏡面は、光学素子基材の中心軸に対して垂直な平面としたことを特徴とする複合型光学素子。
【００３７】
（４）光学素子基材の表面にエネルギー硬化型の樹脂を供給し、前記基材と金型とを相対的に接近させることにより樹脂を押し広げて金型と基材との間に所望の樹脂層を形成した後、エネルギーの照射により樹脂層を硬化させ、硬化した樹脂層と金型を剥離して所望の樹脂層を有する複合型光学素子を製造する複合型光学素子の製造方法において、前記樹脂層を載置する面の光学有効径よりも外側が、前記面の光学有効径内の曲率半径を延長した形状に対して前記基材の体積が減少するように基材の一部を除去した形状であるとともに、前記基材の一部を除去した後に露呈する面の少なくとも樹脂層を載置する部分が粗さＲａ＝０．０２０〜０．０５０μｍの鏡面である光学素子基材を用いることを特徴とする複合型光学素子の製造方法。
【００３８】
前記（２）〜（４）によれば、鏡面は光源の形状をはっきりと認識できる粗さであり、樹脂層を載置する面および鏡面を透過する光線は乱反射を起こすことがなくなり、光線の乱反射によるゴーストやフレア等の光学性能の劣化がない複合型光学素子を得ることができる。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る請求項１の複合型光学素子によれば、樹脂層の形成の際に光学有効径内から出た樹脂が基材の一部を除去した面に載置されるため、光学素子基材から樹脂がはみ出すことなく、また基材の一部を除去した後に露呈する面の少なくとも樹脂層を載置る部分を鏡面にし、該鏡面部分に樹脂層を広げたので光線の乱反射によるゴーストやフレア等の光学性能の劣化がなくなる効果を奏する。
【００４０】
また、本発明に係る請求項２の複合型光学素子の製造方法によれば、基材の一部を除去した後に露呈する面を鏡面とし、該鏡面部分に前記樹脂層が広がるようにした光学素子基材から樹脂がはみ出すことなく光学有効径以上に到達し、光線の乱反射によるゴーストやフレア等の光学性能の劣化がなくなる複合型光学素子を得ることができる効果を奏する。
【００４１】
さらに、樹脂供給量のバラツキを吸収するためのスペースを確保することによる複合型光学素子自体の体積増加がないため、製品をコンパクトにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の複合型光学素子に用いる光学素子基材を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態１に用いる光学素子基材を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態１に用いる光学素子基材を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態１における樹脂層を形成する工程を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態１における金型と複合型光学素子を剥離する工程を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態１における金型と複合型光学素子を剥離した状態を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態２に用いる光学素子基材を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態２における樹脂層を形成する工程を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態２の複合型光学素子を示す図である。
【図１０】比較例に用いる光学素子素材を示す図である。
【符号の説明】
１，１１  金型
１ａ，１１ａ  光学面
２，１２，２２  光学素子基材
２ａ  樹脂層を載置する面
２ｂ，１２ｂ，２２ｂ  平面
１２ａ，２２ａ  成形面
１３，２３  樹脂層
１５，２５  樹脂
１６，２６  複合型光学素子
【図１】
0004060902.tif 000002
【図２】
0004060902.tif 000003
【図３】
0004060902.tif 000004
【図４】
0004060902.tif 000005
【図５】
0004060902.tif 000006
【図６】
0004060902.tif 000007
【図７】
0004060902.tif 000008
【図８】
0004060902.tif 000009
【図９】
0004060902.tif 000010
【図１０】
0004060902.tif 000011