(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数階に亘って設けられ、複数枚の液晶ガラス基板又は半導体ウエハを収容した複数個のカセットを立体的に保管する保管棚を備え、前記カセットを無人搬送台車との間で入庫及び出庫する取合口を形成し、入庫取合口に位置するカセットをカセット保管装置に取り入れるスライドフォーク付入庫台及びカセット保管装置からカセットを出庫取合口に払い出すスライドフォーク付出庫台を各階に設けるとともに、前記入庫台から、あるいは前記出庫台へ、カセットを移載するために複数階の間を昇降する移載機付リフタを固定設置し、カセットを保管棚間で移動するために複数階の間を昇降する移載機付スタッカクレーンを水平移動可能に、それぞれカセット保管装置の吹抜部に設け、スタッカクレーンがカセットを保管棚に取り入れ、あるいは払い出すカセット仮置き台を所定の階に設け、入庫台又は出庫台とカセット仮置き台との間でカセットを水平に移載するようにしたことを特徴とするカセット保管装置。
【請求項２】
天井階に、他のカセット保管装置との間でカセットを搬送する無人搬送台車設備を設置したことを特徴とする請求項１記載のカセット保管装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カセット保管装置に関し、特に、複数階に亘って設けられ、複数枚の液晶ガラス基板又は半導体ウエハを収容した複数個のカセットを立体的に一時保管する保管棚を備えたカセット保管装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液晶や半導体を製造する工場は、液晶ガラス基板や半導体ウエハを収容したカセットを製造装置間で搬送する際の効率等を考慮して、工場の建て屋を１階建てとすることが多かった。
【０００３】
近年、液晶ガラス基板や半導体ウエハが大形化するに伴って、無人搬送台車が走行する走行路を含む、製造装置が設置されるクリーンルームの面積が大きくなり、このため、工場の建て屋を２階建て以上とする要請が出てきた。
【０００４】
この場合、液晶ガラス基板や半導体ウエハを収容したカセットを、各階間で搬送するために、複数階の間を昇降する移載機付リフタを設けるようにしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、液晶や半導体を製造する工場においては、複数の製造工程を経て液晶や半導体を製造する関係上、液晶ガラス基板や半導体ウエハを収容したカセットを一時保管する保管棚を備えたカセット保管装置を設置する必要があるが、工場の建て屋を２階建て以上とした場合、カセット保管装置を各階に個別に設置するようにしていた。
【０００６】
このため、工場の建て屋の階数が増加するに従って、カセット保管装置の設置数が増加し、これに伴い、スタッカクレーンの台数が増大し、設備費が高くなるととともに、制御が複雑化するという問題があった。
また、液晶ガラス基板や半導体ウエハを収容したカセットを、各階間で搬送する移載機付リフタを、各階に設置したカセット保管装置とは独立して配設するようにしているため、各階に設置したカセット保管装置を各階で相互に利用することが困難で、各階で相互に利用するようにすると、作業効率が低下するという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記従来のカセット保管装置の有する問題点に鑑み、工場の建て屋の階数が増加しても、カセット保管装置の設置数が増加せず、設備費を低廉にでき、かつ制御も容易で、作業効率が低下することなく効率的に使用することができるようにしたカセット保管装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のカセット保管装置は、複数階に亘って設けられ、複数枚の液晶ガラス基板又は半導体ウエハを収容した複数個のカセットを立体的に保管する保管棚を備え、前記カセットを無人搬送台車との間で入庫及び出庫する取合口を形成し、入庫取合口に位置するカセットをカセット保管装置に取り入れるスライドフォーク付入庫台及びカセット保管装置からカセットを出庫取合口に払い出すスライドフォーク付出庫台を各階に設けるとともに、前記入庫台から、あるいは前記出庫台へ、カセットを移載するために複数階の間を昇降する移載機付リフタを固定設置し、カセットを保管棚間で移動するために複数階の間を昇降する移載機付スタッカクレーンを水平移動可能に、それぞれカセット保管装置の吹抜部に設け、スタッカクレーンがカセットを保管棚に取り入れ、あるいは払い出すカセット仮置き台を所定の階に設け、入庫台又は出庫台とカセット仮置き台との間でカセットを水平に移載するようにしたことを特徴とする。
【０００９】
このカセット保管装置は、複数階に亘って設けられ、複数枚の液晶ガラス基板又は半導体ウエハを収容した複数個のカセットを立体的に保管する保管棚を備えるようにし、入庫取合口に位置するカセットをカセット保管装置に取り入れるスライドフォーク付入庫台及びカセット保管装置からカセットを出庫取合口に払い出すスライドフォーク付出庫台を各階に設けるとともに、入庫台から、あるいは出庫台へ、カセットを移載するために複数階の間を昇降する移載機付リフタを固定設置し、カセットを保管棚間で移動するために複数階の間を昇降する移載機付スタッカクレーンを水平移動可能に、それぞれカセット保管装置の吹抜部に設け、スタッカクレーンがカセットを保管棚に取り入れ、あるいは払い出すカセット仮置き台を所定の階に設け、入庫台又は出庫台とカセット仮置き台との間でカセットを水平に移載するようにしているため、工場の建て屋の階数が増加しても、１つのカセット保管装置を各階で共用することができ、カセット保管装置の設置数が増加せず、かつ制御も容易で、作業効率を低下させることなくカセット保管装置を効率的に使用することができる。
【００１０】
そして、特に、スタッカクレーンがカセットを保管棚に取り入れ、あるいは払い出すためのカセット仮置き台を所定の階に設け、入庫台又は出庫台とカセット仮置き台との間でカセットを水平に移載するようにすることにより、カセットの移載作業を並行して行うことができ、作業効率が低下することなくカセット保管装置を一層効率的に使用することができる。
【００１１】
また、天井階に、他のカセット保管装置との間でカセットを搬送する無人搬送台車設備を設置することができる。
【００１２】
これにより、カセットの搬送能力を向上することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のカセット保管装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図４に、本発明のカセット保管装置の一実施例を示す。
【００１４】
このカセット保管装置Ａは、建て屋を２階建て以上（本実施例は、天井階３Ｆを含めて３階建てを示している。）とした液晶や半導体を製造する工場の各階１Ｆ，２Ｆ，３Ｆに亘って設けられ、複数枚の液晶ガラス基板又は半導体ウエハを収容した複数個のカセットＫを立体的に保管する保管棚１０を備え、カセット１０を、各階に形成した走行路（図示省略）を走行する無人搬送台車１との間で入庫及び出庫する取合口２，３を形成し、この入庫取合口２に位置するカセットＫをカセット保管装置Ａに取り入れるスライドフォーク付入庫台４及びカセット保管装置ＡからカセットＫを出庫取合口３に払い出すスライドフォーク付出庫台５を各階１Ｆ，２Ｆ（本実施例においては、天井階３Ｆを除く。）に設けるとともに、入庫台４から、あるいは出庫台５へ、あるいは、後述の天井階３Ｆを走行する天井搬送台車１３に対して、カセットＫを移載するために複数階１Ｆ，２Ｆ，３Ｆの間を昇降するスライドフォーク付移載機６を備えたリフタ７を固定設置し、また、カセットＫを保管棚１０間で移動するために複数階１Ｆ，２Ｆ，３Ｆの間を昇降するスライドフォーク付移載機１１を備えたスタッカクレーン１２を水平移動可能に、それぞれカセット保管装置Ａの吹抜部Ａ１，Ａ２に設けて構成するようにする。
【００１５】
この場合において、スタッカクレーン１２がカセットＫを保管棚１０に取り入れ、あるいは払い出すカセット仮置き台８，９を所定の階（特に限定されるものではないが、本実施例においては、最下位の階１Ｆ。）に設け、入庫台４又は出庫台５とカセット仮置き台８，９との間でカセットＫを水平に移載することができるようにしている。
これにより、カセットＫの移載作業を並行して行うことができ、作業効率が低下することなくカセット保管装置Ａを効率的に使用することができるものとなる。
なお、カセット仮置き台８，９は、例えば、複数の階に設けるようにしたり、入庫側カセット仮置き台８と出庫側カセット仮置き台９を、異なる階に設けるようにすることができる。
【００１６】
なお、所定の階の入庫台４及び出庫台５を水平移動可能に配設することにより、この入庫台４及び出庫台５を、スタッカクレーン１２がカセットＫを保管棚１０に取り入れ、あるいは払い出す位置に、配置できるようにすることができる（参考構造）。
これにより、入庫台４及び出庫台５に、カセットＫを保管棚１０に取り入れ、あるいは払い出すためのカセット仮置き台８，９の機能を持たせ、本実施例において設けるようにしたカセット仮置き台８，９を省略することができ、設備費を低廉にできる。
【００１７】
また、本実施例においては、天井階３Ｆに、他のカセット保管装置（図示省略）との間でカセットＫを搬送する天井搬送台車１３からなる無人搬送台車設備を設置することができる。
これにより、カセットＫの搬送能力を向上することができる。
なお、本実施例においては、カセットＫを搬送する無人搬送台車を、２台の天井搬送台車１３で以て構成し、直線状のレール上をタクト走行するように構成しているが、ループ状のレール上を循環走行するように構成することもできる。
【００１８】
このカセット保管装置Ａは、無人搬送台車１に積載されたカセットＫを、入庫取合口２においてスライドフォーク付入庫台４のスライドフォークにより、また、天井搬送台車１３に積載されたカセットＫを、移載機付リフタ７の移載機６のスライドフォークにより、カセット保管装置Ａ内に取り入れるようにする。
スライドフォーク付入庫台４に載置されたカセットＫは、移載機付リフタ７の移載機６のスライドフォークにより、移載機６へ移載された後、リフタ７により所定の階１Ｆに運ばれ、移載機６のスライドフォークにより、その階１Ｆのスライドフォーク付入庫台４へ移載される。
スライドフォーク付入庫台４へ移載されたカセットＫは、スライドフォーク付入庫台４より入庫側カセット仮置き台８へスライドすることにより載置され、その後、管理用コンピュータ（図示省略）の指示により、スタッカクレーン１２により所定の保管棚１０に運ばれ、一時保管される。
【００１９】
一方、管理用コンピュータの指示により、所定の保管棚１０より払い出し指示を受けたカセットＫは、スタッカクレーン１２により所定の階１Ｆの出庫側カセット仮置き台９へ運ばれる。
出庫側カセット仮置き台９に載置されたカセットＫは、スライドフォーク付出庫台５へスライドすることにより載置され、その後、スライドフォーク付出庫台５のスライドフォークにより出庫取合口３へ移され、無人搬送台車１により搬出されるか、あるいは、移載機付リフタ７の移載機６のスライドフォークにより、移載機６へ移載された後、リフタ７により所定の階２Ｆに運ばれ、移載機６のスライドフォークにより、スライドフォーク付出庫台５に載置され、その後、スライドフォーク付出庫台５のスライドフォークにより出庫取合口３へ移され、無人搬送台車１により搬出されるか、あるいは、リフタ７により天井階３Ｆに運ばれ、移載機６のスライドフォークにより、天井搬送台車１３に積載され、搬出される。
【００２０】
このカセット保管装置Ａにおいては、所定の階１Ｆの入庫側カセット仮置き台８、あるいは出庫側カセット仮置き台９を介してスタッカクレーン１２がカセットＫを入出庫するようにしているので、移載機付リフタ７の移載機６が、スライドフォーク付入庫台４、あるいはスライドフォーク付出庫台５で移載作業中であっても、入出庫が可能となり、移載機付スタッカクレーン１２の入出庫能力の向上を図ることができる。
【００２１】
【発明の効果】
本発明の保管装置によれば、カセット保管装置は、複数階に亘って設けられ、複数枚の液晶ガラス基板又は半導体ウエハを収容した複数個のカセットを立体的に保管する保管棚を備えるようにし、入庫取合口に位置するカセットをカセット保管装置に取り入れるスライドフォーク付入庫台及びカセット保管装置からカセットを出庫取合口に払い出すスライドフォーク付出庫台を各階に設けるとともに、入庫台から、あるいは出庫台へ、カセットを移載するために複数階の間を昇降する移載機付リフタを固定設置し、カセットを保管棚間で移動するために複数階の間を昇降する移載機付スタッカクレーンを水平移動可能に、それぞれカセット保管装置の吹抜部に設け、入庫台又は出庫台とカセット仮置き台との間でカセットを水平に移載するようにしているため、工場の建て屋の階数が増加しても、１つのカセット保管装置を各階で共用することができ、カセット保管装置の設置数が増加せず、かつ制御も容易で、作業効率を低下させることなくカセット保管装置を効率的に使用することができる。
【００２２】
そして、特に、スタッカクレーンがカセットを保管棚に取り入れ、あるいは払い出すためのカセット仮置き台を所定の階に設け、入庫台又は出庫台とカセット仮置き台との間でカセットを水平に移載するようにすることにより、カセットの移載作業を並行して行うことができ、作業効率が低下することなくカセット保管装置を一層効率的に使用することができる。
【００２３】
また、天井階に、他のカセット保管装置との間でカセットを搬送する無人搬送台車設備を設置することにより、カセットの搬送能力を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のカセット保管装置の一実施例を示す正面図である。
【図２】  同平面図である。
【図３】  同側面図（図１のＩ−Ｉ線断面図）である。
【図４】  同要部を示し、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は天井階に設置した無人搬送台車設備を示す説明図（（Ａ）のＩＩ−ＩＩ線断面図）である。
【符号の説明】
Ｋ    カセット
Ａ    カセット保管装置
Ａ１，Ａ２  吹抜部
１    無人搬送台車
２    入庫取合口
３    出庫取合口
４    スライドフォーク付入庫台
５    スライドフォーク付出庫台
６    移載機
７    移載機付リフタ
８    入庫側カセット仮置き台
９    出庫側カセット仮置き台
１０  保管棚
１１  移載機
１２  移載機付スタッカクレーン
１３  天井搬送台車
１４  手動入庫取合口
１５  手動出庫取合口
【図１】
0004030672.tif 000002
【図２】
0004030672.tif 000003
【図３】
0004030672.tif 000004
【図４】
0004030672.tif 000005