(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板をバックアップ部材で支持した状態で加圧ツールを用いて電子部品を前記基板に実装する電子部品実装装置において、前記バックアップ部材のバックアップ面を清掃する清掃装置を設け、前記清掃装置は、前記バックアップ部材の長手方向両端部に設けた回動アームの端部に清掃部材を設け、この回動アームを回動させることで前記清掃部材を前記バックアップ面の清掃位置に位置づけることを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項２】
前記清掃装置による前記バックアップ面の清掃は、前記バックアップ部材が前記基板をバックアップする前に行なわれることを特徴とする請求項１記載の電子部品実装装置。
【請求項３】
前記清掃装置による前記バックアップ面の清掃は、前記加圧ツールによる１回の実装動作ごとに毎回行なわれることを特徴とする請求項１記載の電子部品実装装置。
【請求項４】
基板をバックアップ部材で支持した状態で加圧ツールを用いて電子部品を前記基板に実装する電子部品実装方法において、前記実装動作の前に前記バックアップ部材の長手方向両端部に設けた回動アームの端部に清掃部材を設け、この回動アームを回動させることで前記清掃部材を前記バックアップ面の清掃位置に位置づける清掃装置を用いて、前記バックアップ部材のバックアップ面を清掃することを特徴とする電子部品実装方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶表示パネル等のフラットパネルディスプレイの製造に用いられ、フラットパネルに電子部品を実装するに用いて好適な電子部品実装装置および電子部品実装方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば液晶表示パネルを製造するにおいては、基板に相当するフラットパネル（以下「セル」という）に電子部品に相当するＴＣＰ（Ｔａｐｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｐａｃｋａｇｅ）を実装する電子部品実装装置が用いられる。
【０００３】
この電子部品実装装置について説明すると、この装置は大きく分けて、接合部材である異方性導電テープをセルに貼り付ける接合部材貼付装置、異方性導電テープを介してＴＣＰをセルに仮圧着する仮圧着装置、セルをバックアップ部材で支持した状態で加圧ツールによりＴＣＰを加圧してセルに本圧着する本圧着装置、そしてこれら装置間にてセルを搬送する搬送装置等から構成される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した電子部品実装装置において、図５に示すように、特に本圧着装置においては、ガラスよりなるセルの破片等が、バックアップツール５０のバックアップ面５１に異物５２として付着することがあり、このような状態下で加圧ツール５３を用いてＴＣＰ５４をセル５５に本圧着を行なうと、セル５５に傷がつき、製品不良が発生し、製品歩留まりの低下を招いていた。
【０００５】
本発明は、バックアップ部材が起因して発生していた製品不良を防止し、製品歩留まりを向上させることのできる電子部品実装装置および電子部品実装方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本願発明は、基板をバックアップ部材で支持した状態で加圧ツールを用いて電子部品を前記基板に実装する電子部品実装装置において、前記バックアップ部材のバックアップ面を清掃する清掃装置を設け、前記清掃装置は、前記バックアップ部材の長手方向両端部に設けた回動アームの端部に清掃部材を設け、この回動アームを回動させることで前記清掃部材を前記バックアップ面の清掃位置に位置づけることを特徴とする。
【０００７】
また、前記清掃装置による前記バックアップ面の清掃は、前記バックアップ部材が前記基板をバックアップする前に行なわれるようにすると良い。
【０００８】
また、前記清掃装置による前記バックアップ面の清掃は、前記加圧ツールによる１回の実装動作ごとに毎回行なわれるようにすると良い。
【００１１】
基板をバックアップ部材で支持した状態で加圧ツールを用いて電子部品を前記基板に実装する電子部品実装方法において、前記実装動作の前に前記バックアップ部材の長手方向両端部に設けた回動アームの端部に清掃部材を設け、この回動アームを回動させることで前記清掃部材を前記バックアップ面の清掃位置に位置づける清掃装置を用いて、前記バックアップ部材のバックアップ面を清掃することを特徴とする。
【００１２】
【作用】
本発明の実装装置及び実装方法によれば、バックアップ部材のバックアップ面の清掃が行われ、バックアップ部材が起因する製品不良が防止され、製品歩留まりを向上させることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図を参照して説明する。
【００１４】
図１は、本発明の電子部品実装装置を構成する本圧着装置の実施の形態の正面図、図２は図１の側面図、図３は図１にて用いられてなる清掃装置周辺部を示し、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は側面図である。
【００１５】
なお、図１に示す本圧着装置１の前段には、従来と同様に、接合部材である異方性導電テープ３を基板に相当するセル２に貼り付ける接合部材貼付装置、セルに貼り付けられた異方性導電テープ３を介して電子部品に相当するＴＣＰ４をセル２に仮圧着する仮圧着装置がそれぞれ配置され、異方性導電テープ３を介してＴＣＰ４の仮圧着されたセル２が、不図示の搬送装置によってこの本圧着装置１に搬入される。
【００１６】
さて図１において、２は前段から搬入されたセル、３はセル２とＴＣＰ４間に介在された異方性導電テープ、５は不図示の駆動手段で上下動され、後述する本圧着時には上昇位置にてセル２の特に本圧着箇所に相当する下面を支持し加圧力を受けるバックアップ部材、６はバックアップ部材５に対向してセル２の上方に配置され、不図示の駆動手段で上下動されるとともに、必要によりヒータにて加熱された加圧ツール、７は清掃装置をそれぞれ示す。
【００１７】
ここで清掃装置７について、図３を用いて説明する。
【００１８】
清掃装置７は、バックアップ部材５の長手方向両端部にそれぞれ一端が回動自在に支持され他端に清掃部材なる円柱状の弾性を有するブラシ７ｂを固定保持する回動アーム７ａと、一端をエアシリンダ８のロッド８ａに連結され、他端を回動アーム７ａの他端に連結された連結ロッド７ｃとを有する。これにより、エアシリンダ８の作動によりロッド８aが伸長すると、連結ロッド７ｃを介して回転アーム７aはその一端を支点として回動し、この回動により、ブラシ７ｂがバックアップ部材５のバックアップ面５aに接触しつつ移動するようになっている。なお、これらの動作制御は、不図示の制御装置によって達成される。
【００１９】
次に、この本圧着装置１の作動について説明する。
【００２０】
本圧着装置１においては、前述したように、前段に配置される仮圧着装置よりＴＣＰ４の仮圧着されたセル２が不図示の搬送装置により搬入され、本圧着されることとなるが、セル２の搬入に先立ち、清掃装置７によりバックアップ部材５のバックアップ面５ａの清掃が次のようにして行われる。
【００２１】
すなわち、エアシリンダ８を作動させてロッド８ａを伸長させる。すると回動アーム７ａは、その一端を支点として回動し、ブラシ７ｂを待機位置（図３の実線で示す位置）からバックアップ部材５のバックアップ面５aの清掃位置（同図の二点鎖線で示す位置）へと移動させる。そしてこの移動の過程において、バックアップ部材５のバックアップ面５aがブラシ７bにより清掃され、バックアップ面5ａに付着した異物等が取り除かれる。
【００２２】
なお前述した実施の形態による清掃装置７は、ブラシ７ｂの有する回動アーム７ａを回動させるものであったが、ブラシなどの清掃部材をバックアップ部材５のバックアップ面５ａに沿って水平移動させるさせるものであっても良い。
図４は、この水平移動タイプの清掃装置を示す。図４に示す清掃装置９において、１０はブラシ、１１はブラシ１０の保持アーム、１２は保持アーム１１を上下させるエアシリンダ、１３はシリンダ１２を保持するとともに、バックアップ部材５の長手方向に移動させる平行移動部をそれぞれ示す。
【００２３】
従ってこの実施の形態において、ブラシ１０の移動に着眼して説明すると、バックアップ部材５の一端側でしかもバックアップ部材５のバックアップ面５ａより下方位置にブラシ１０が位置づけられた状態（原点位置）で、まずエアシリンダ１２によって保持アーム１１を介してブラシ１０は上昇させられる。次に、平行移動部１３の作動で、ブラシ１０はバックアップ部材５のバックアップ面５ａに沿ってバックアップ部材５の一端側から他端側まで水平移動させられ、そして再度一端側まで水平移動して戻り、この両水平移動の際、ブラシ１０はバックアップ部材５のバックアップ面５ａを清掃し異物５２を取り除く。一端側に戻ったブラシ１０はエアシリンダ１２にて下降させられ、原点位置に戻る。
【００２４】
なお、１回の清掃ごとにブラシを往復動させて原点位置に戻す代わりに、上記でいえば、ブラシ１０がバックアップ部材５の他端側を越えて移動した後に下降させてその位置で待機させ、その後の清掃タイミングで上昇、バックアップ部材５の一端側への水平移動、そして下降させて原点位置に戻すという動作を行ない、このバックアップ部材５の他端側から一端側に向かう水平移動時にバックアップ部材５のバックアップ面５ａの清掃を行なうようにしても良い。
【００２５】
またいずれの場合であっても、清掃動作のタイミングとしては、本圧着装置に新たなセル２が前段装置より搬入される前や、加圧ツール６の下降動に伴う本圧着動作１回ごとに毎回、あるいは本圧着作業の終了したセル２の枚数や圧着回数をカウンタで数え、そのカウント数が予め設定した値に到達するごとなど、必要に応じて設定される。
【００２６】
さて、上述のようにしてバックアップ部材５の清掃作業が終了すると、ＴＣＰ４の仮圧着されたセル２が、前段よりその本圧着部分が加圧ツール６並びにバックアップ部材５に対向する位置となるように搬入位置決めされ、以後は従来と同様に、バックアップ部材５がセル２の下面を支持した状態で、加圧ツール６が下降して仮圧着状態のＴＣＰ４をセル２に本圧着する。
【００２７】
このように上記した実施の形態によれば、セル２に対するＴＣＰ４の本圧着工程に先立ち、バックアップ部材５のバックアップ面５aにおける異物５２を清掃して取り除くようにしたことから、加圧ツール６にてＴＣＰ４を基板２に本圧着したときに、従来のように異物５２によってセル２に傷がついたり、割れが生じたりする問題の発生を防止できることから、製品不良を防止し、製品歩留まりを向上させることができる。
【００２８】
なお、上記した実施の形態では、電子部品実装装置において、比較的大なる荷重にて行われる本圧着装置におけるバックアップの清掃について述べたが、仮圧着装置における異方性導電テープ等を介しての電子部品の仮圧着時にもバックアップ部材が存在する場合、この仮圧着装置に用いられるバックアップ部材に清掃装置を設けても良い。
【００２９】
【発明の効果】
本発明によれば、バックアップ部材が起因して発生していた製品不良を防止し、製品歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電子部品実装装置を構成する本圧着装置の実施の形態の正面図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】図１にて用いられてなる清掃装置周辺部を示し、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は側面図である。
【図４】本発明による清掃装置の別の実施の形態で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は側面図である。
【図５】従来の問題点を示す模式図である。
【符号の説明】
１      本圧着装置
２      セル（基板）
３      異方性導電テープ
４      ＴＣＰ（電子部品）
５      バックアップ部材
５ａ    バックアップ面
６      加圧ツール
７      清掃装置
７ａ    回動アーム
７ｂ    ブラシ（清掃部材）
７ｃ    連結ロッド
８      エアシリンダ
８ａ    ロッド
９      清掃装置
１０    ブラシ
１１    保持アーム
１２    エアシリンダ
１３    平行移動部
５２    異物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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