(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円周上の保持位置で第１の保持手段によって保持されたディスクの中心位置を中心とする中心穴が形成された第１のディスクを間欠回転運動により順次円周上の停止位置に停止させた後、円周上の密着位置に移動させ、密着位置に配設された中心位置に中心マークを設けた第２のディスクに対面配置し、両ディスクの中心位置を一致させて第２のディスクを第１のディスク方向に移動させて両ディスクを密着させるディスクの位置決め方法であって、
第２の保持手段によって保持された前記第２のディスクの前記第２の保持手段に対する所定の位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出し、前記保持位置から密着位置に至る任意の停止位置において、前記中心穴を透過した前記第１のディスクの一方面側に配置した光源からの光を他方面側に配置したリニアフォトセンサにより９０度異なる角度又は方向で検出して前記第１のディスクの前記第１の保持手段に対する所定の位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出し、この第１のディスクが密着位置に移動したとき、検出された第１及び第２の各ディスクそれぞれの位置ずれ量及び位置ずれ方向に応じて前記第２のディスクをその移動方向と直交する面内で移動させ、第１のディスクと第２のディスクの中心位置を一致させた後、第２のディスクを第１のディスク方向に移動させることを特徴とするディスクの位置決め方法。
【請求項２】
前記第１のディスクの所定の位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出する停止位置における前記第１の保持手段の位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出し、
前記位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出した第１のディスクが密着位置に移動したときの前記第１の保持手段の密着位置における位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出し、
検出された第１及び第２の各ディスクそれぞれの位置ずれ量及び位置ずれ方向と前記第１の保持手段の停止位置及び密着位置における位置ずれ量及び位置ずれ方向とに応じて第２のディスクをその移動方向と直交する面内で移動させることを特徴とする請求項１記載のディスクの位置決め方法。
【請求項３】
前記第１のディスクの一方面側に配置した光源と他方面側に配置したリニアフォトセンサとを９０度回動させた前後の各位置で前記中心穴を透過した光源からの光をリニアフォトセンサで検出することを特徴とする請求項１記載のディスクの位置決め方法。
【請求項４】
前記保持位置から密着位置に至るまでの任意の第１の停止位置及び第２の停止位置において、前記第１のディスクの一方面側に配置した光源と他方面側に配置したリニアフォトセンサとにより、中心穴を透過した光源からの光を第１の停止位置と第２の停止位置とで９０度異なるラインでリニアフォトセンサによって検出することを特徴とする請求項１記載のディスクの位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスク、磁気ディスク等の製造工程において、ディスクどうしを密着させる工程における正確な位置決めを行うためのディスクの位置決め方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光ディスク、磁気ディスクなどの製造工程においては２枚のディスクをそれぞれの中心位置を一致させて密着させる工程がある。従来、この２枚のディスクを密着させるために、図４または図５に示す位置決め装置が用いられている。
【０００３】
図４において、マスターディスク２はＺ軸移動手段１５上に支持された保持具１４に位置決め保持されてＺ軸方向に移動できるように配置されている。このマスターディスク２に対してステージ１２に吸引保持されたワークディスク１を対面配置させ、Ｚ軸移動手段１５によりマスターディスク２をＺ軸方向、即ちワークディスク１の方向に移動させることにより、マスターディスク２とワークディスク１とを密着させることができる。
【０００４】
また、図５に示す装置では、間欠回転手段１６に等間隔に設けられた複数のアームの先端にそれぞれ配設されたステージ２２によりワークディスク１を保持させ、間欠回転手段１６の間欠回転によりステージ２２に保持したワークディスク１をＡ〜Ｄの各停止位置に移動させる。この各停止位置は、ワークディスクセット、クリーニング、初期化、マスターディスク密着等の工程に設定される。停止位置Ｄには、マスターディスク２がＺ軸移動手段１５上に支持された保持具１４に位置決め保持されてＺ軸方向に移動できるように配置されており、間欠回転手段１６の回転により停止位置Ｄに移動したワークディスク１に対し、Ｚ軸移動手段１５により保持具１４を移動させることによりマスターディスク２をワークディスク１に密着させることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ワークディスク１とマスターディスク２との貼り合わせは、両者の中心位置を一致させる必要があるため、位置決めにより各ディスクは保持具１４またはステージ１２、２２に取り付けられる。しかし、動作の繰り返しにより位置ずれが生じることがあり、正確に位置合わせされた密着状態が得難い問題点があった。
【０００６】
また、間欠回転手段１６を用いた装置では、間欠回転手段１６の停止位置の位置決め精度にばらつきが生じると、両ディスク間に位置ずれ問題点があった。
【０００７】
本発明が目的とするところは、両ディスク間の位置ずれ検出に基づいて位置ずれの補正動作を行うことにより、両ディスクの中心位置を一致させて密着させるディスクの位置決め方法を提供することにある。
【０００８】
【０００９】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本願第１の発明は、円周上の保持位置で第１の保持手段によって保持されたディスクの中心位置を中心とする中心穴が形成された第１のディスクを間欠回転運動により順次円周上の停止位置に停止させた後、円周上の密着位置に移動させ、密着位置に配設された中心位置に中心マークを設けた第２のディスクに対面配置し、両ディスクの中心位置を一致させて第２のディスクを第１のディスク方向に移動させて両ディスクを密着させるディスクの位置決め方法であって、第２の保持手段によって保持された前記第２のディスクの前記第２の保持手段に対する所定の位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出し、前記保持位置から密着位置に至る任意の停止位置において、前記中心穴を透過した前記第１のディスクの一方面側に配置した光源からの光を他方面側に配置したリニアフォトセンサにより９０度異なる角度又は方向で検出して前記第１のディスクの前記第１の保持手段に対する所定の位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出し、この第１のディスクが密着位置に移動したとき、検出された第１及び第２の各ディスクそれぞれの位置ずれ量及び位置ずれ方向に応じて前記第２のディスクをその移動方向と直交する面内で移動させ、第１のディスクと第２のディスクの中心位置を一致させた後、第２のディスクを第１のディスク方向に移動させることを特徴とするもので、第２のディスクの第２の保持手段に対する所定の位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出すると共に、間欠回転移動する第１のディスクの保持位置から密着位置に至る任意の停止位置において、中心穴を透過した第１のディスクの一方面側に配置した光源からの光を他方面側に配置したリニアフォトセンサにより９０度異なる角度又は方向で検出して第１のディスクの第１の保持手段に対する所定の位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出して、この第１のディスクが密着位置に移動したとき、第１及び第２の各ディスクの位置ずれ量及び位置ずれ方向に対応して第２のディスクをその移動方向と直交する面内で移動させ、その中心位置を第１のディスクの中心位置に一致させるので、両ディスクを中心位置で一致させた状態で密着させることができる。
【００１１】
より具体的には、回転テーブルの周囲に等間隔に複数の第１の保持手段を設けた間欠回転手段を一方向に間欠回転させて各第１の保持手段を順次所定の保持位置に停止させ、保持位置に停止した第１の保持手段により第１のディスクを保持し、この第１のディスクを密着位置に移動させて密着位置に配設された第２のディスクに対面配置し、両ディスクの中心位置を一致させてＺ軸移動手段により第２のディスクを第１のディスク方向に移動させて両ディスクを密着させるディスクの位置決め方法であって、前記第２のディスクを前記Ｚ軸移動手段による移動方向と直交するＸ軸及びＹ軸方向に移動するＸＹ軸移動手段上に設けた第２の保持手段に保持し、このＸＹ軸移動手段をＺ軸移動手段上に搭載し、第２のディスクの第２の保持手段に対する所定の位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向を第２の位置ずれ検出手段によって検出し、間欠回転移動する第１のディスクの保持位置から密着位置に至る任意の停止位置において、前記第１のディスクの第１の保持手段に対する所定の位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向を第１のディスクの一方面側に配置した光源と他方面側に配置したリニアフォトセンサからなる２組の第１の位置ずれ検出手段により互いに９０度異なる角度又は方向で検出し、この第１のディスクが密着位置に移動したとき、第１及び第２の各位置ずれ検出手段によって検出された第１及び第２の各ディスクそれぞれの位置ずれ量及び位置ずれ方向に応じて前記ＸＹ軸移動手段を制御して第１のディスクと第２のディスクの中心位置を一致させた後、Ｚ軸移動手段により第２のディスクを第１のディスク方向に移動させることを特徴として構成でき、第２の位置ずれ検出手段によって第２のディスクの第２の保持手段に対する所定の位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出すると共に、第１の位置ずれ検出手段によって第１のディスクの第１の保持手段に対する所定の位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出して、この第１のディスクが密着位置に移動したとき、第１及び第２の各ディスクの位置ずれ量及び位置ずれ方向に対応して第２のディスクをＸＹ軸移動手段により移動させ、その中心位置を第１のディスクの中心位置に一致させるので、両ディスクを中心位置で一致させた状態で密着させることができる。
【００１２】
また、上記本発明において、前記第１のディスクの所定の位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出する停止位置における前記第１の保持手段の位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出し、前記位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出した第１のディスクが密着位置に移動したときの前記第１の保持手段の密着位置における位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出し、検出された第１及び第２の各ディスクそれぞれの位置ずれ量及び位置ずれ方向と前記第１の保持手段の停止位置及び密着位置における位置ずれ量及び位置ずれ方向とに応じて第２のディスクをその移動方向と直交する面内で移動させることを特徴とするもので、第１のディスクの所定の位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出する停止位置における第１の保持手段の位置ずれ量及び位置ずれ方向と、第１のディスクが密着位置に移動したときの前記第１の保持手段の密着位置における位置ずれ量及び位置ずれ方向とを検出して、この第１のディスクが密着位置に移動したとき、第１及び第２の各ディスクそれぞれの位置ずれ量及び位置ずれ方向と前記第１の保持手段の停止位置及び密着位置における位置ずれ量及び位置ずれ方向に対応して第２のディスクをその移動方向と直交する面内で移動させると、第２のディスクの中心位置を第１の中心位置に一致させることができるので、両ディスクを中心位置で一致させた状態で密着させることができる。
【００１３】
より具体的には、回転テーブルの周囲に等間隔に複数の第１の保持手段を設けた間欠回転手段を一方向に間欠回転させて各第１の保持手段を順次所定の保持位置に停止させ、保持位置に停止した第１の保持手段により第１のディスクを保持し、この第１のディスクを密着位置に移動させて密着位置に配設された第２のディスクに対面配置し、両ディスクの中心位置を一致させてＺ軸移動手段により第２のディスクを第１のディスク方向に移動させて両ディスクを密着させるディスクの位置決め方法であって、前記第２のディスクを前記Ｚ軸移動手段による移動方向と直交するＸ軸及びＹ軸方向に移動するＸＹ軸移動手段上に設けた第２の保持手段に保持し、このＸＹ軸移動手段をＺ軸移動手段上に搭載し、第２のディスクの第２の保持手段に対する所定の位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向を第２の位置ずれ検出手段によって検出し、間欠回転移動する第１のディスクの保持位置から密着位置に至る任意の停止位置において、前記第１のディスクの第１の保持手段に対する所定の位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向を第１のディスクの一方面側に配置した光源と他方面側に配置したリニアフォトセンサからなる２組の第１の位置ずれ検出手段により互いに９０度異なる角度又は方向で検出すると共に、前記第１のディスクの所定の位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出する停止位置における前記第１の保持手段の位置ずれ量及び位置ずれ方向及び前記位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出した第１のディスクが密着位置に移動したときの前記第１の保持手段の密着位置における位置ずれ量及び位置ずれ方向を第３の位置ずれ検出手段により検出し、前記第２の位置ずれ検出手段によって検出された第２のディスクの第２の保持手段に対する位置ずれ量及び位置ずれ方向と、前記第１の位置ずれ検出手段によって検出された第１のディスクの第１の保持手段に対する位置ずれ量及び位置ずれ方向と、前記第３の位置ずれ検出手段によって検出された第１の保持手段の停止位置及び密着位置における位置ずれ量及び位置ずれ方向とに応じて前記ＸＹ軸移動手段を制御して第１のディスクと第２のディスクとの中心位置を一致させた後、Ｚ軸移動手段により第２のディスクを第１のディスク方向に移動させることを特徴として構成でき、第１の位置ずれ検出手段による第１のディスクの第１の保持手段に対する所定の位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向と、第３の位置ずれ検出手段による第１の保持手段の停止位置及び密着位置における所定位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向と、第２の位置ずれ検出手段による第２のディスクの第２の保持手段に対する所定の位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向とを検出して、第１及び第２の各ディスクそれぞれの位置ずれ量及び位置ずれ方向と前記第１の保持手段の停止位置及び密着位置における位置ずれ量及び位置ずれ方向に対応して第２のディスクをＸＹ軸移動手段により移動させると、第２のディスクの中心位置を第１のディスクの中心位置に一致させることができるので、両ディスクを中心位置で一致させた状態で密着させることができる。
【００１４】
また、上記本発明において、前記第１のディスクの一方面側に配置した光源と他方面側に配置したリニアフォトセンサとを９０度回動させた前後の各位置で前記中心穴を透過した光源からの光をリニアフォトセンサで検出することを特徴とするもので、第１のディスクの中心穴を透過した光を少なくとも９０度の角度方向でリニアフォトセンサによって検出することにより、第１のディスクの保持手段による保持位置の位置ずれ量及び位置ずれ方向が算出できるので、この位置ずれ量及び位置ずれ方向に応じて第２のディスクをその移動方向と直交する面内で移動させることにより、第１のディスクと第２のディスクとは中心位置を一致させて位置決めすることができる。
【００１５】
【００１６】
また、上記本発明において、前記保持位置から密着位置に至るまでの任意の第１の停止位置及び第２の停止位置において、前記第１のディスクの一方面側に配置した光源と他方面側に配置したリニアフォトセンサとにより、中心穴を透過した光源からの光を第１の停止位置と第２の停止位置とで９０度異なるラインでリニアフォトセンサによって検出することを特徴とするもので、任意の第１の停止位置及び第２の停止位置において、第１のディスクの中心穴を透過した光を９０度異なる方向でリニアフォトセンサによって検出することにより、第１のディスクの第１の保持手段に対する所定の位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向が算出できるので、この位置ずれ量及び位置ずれ方向に応じて第２のディスクをその移動方向と直交する面内で移動させることにより、第１のディスクと第２のディスクとは中心位置を一致させて位置決めすることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態および参考例について説明し、本発明の理解に供する。尚、以下に示す実施形態は本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【００１８】
以下に示す各実施形態は、マスターディスク（第２のディスク）２にワークディスク（第１のディスク）１をそれぞれの中心位置を一致させて密着する例を示すもので、光ディスクや磁気ディスクの製造工程において多く必要とされる２枚のディスクを密着させる工程に適用することができる。
【００１９】
図１は、第１の参考例に係るディスクの位置決め方法を適用した装置構成を示すもので、マスターディスク２は、ＸＹ軸移動手段５に取り付けられた保持具３（第２の保持手段）に保持され、前記ＸＹ軸移動手段５はＺ軸移動手段４上に搭載されている。従って、マスターディスク２はＺ軸方向への移動に加えて、Ｚ軸に直交するＸＹ軸方向への移動が可能である。このマスターディスク２に対して、ステージ６（第１の保持手段）に吸引保持されたワークディスク１を対面配置する。
【００２０】
前記マスターディスク２の中心位置には予め中心マーク１０が付与される。また、前記ワークディスク１はその中心位置を中心とする中心穴９が形成されている。前記ステージ６は中心穴９を通してマスターディスク２が見通せるように、その中央部に貫通穴１１が形成されている。マスターディスク２と対面する位置に配置されたワークディスク１に対し、図示するようにＣＣＤカメラ７により、ステージ６の貫通穴１１及びワークディスク１の中心穴９を通してマスターディスク２の中心マーク１０を撮像する。この撮像画像から中心穴９に対する中心マーク１０の位置を検出し、中心穴９の中心と中心マーク１０との間の位置ずれ量と位置ずれ方向とを算出する。算出された位置ずれ量及び位置ずれ方向は位置補正制御部８に入力されるので、位置補正制御部８は位置ずれ量及び位置ずれ方向に基づいて前記ＸＹ軸移動手段５を制御する。ＸＹ軸移動手段５の動作によりマスターディスク２は位置ずれ方向に位置ずれ量だけ移動するので、中心穴９の中心に中心マーク１０が位置する状態となる。
【００２１】
この制御動作により、保持具３によるマスターディスク２の保持位置のずれ、あるいはステージ６によるワークディスク１の保持位置のずれが発生したときにも、それらの位置ずれは補正され、ワークディスク１の中心をマスターディスク２の中心に一致させることができる。この中心位置を一致させる補正動作の後、Ｚ軸移動手段４によりマスターディスク２をワークディスク１の方向に移動させることにより両ディスクは中心を一致させた状態に密着させることができる。
【００２２】
図２は、第２の参考例に係るディスクの位置決め方法を適用した装置構成を示すもので、ワークディスク１を間欠回転手段２８により順次マスターディスク２との密着位置に移動させ、作業効率を向上させるように構成されている。
【００２３】
前記間欠回転手段２８は、その周囲に複数（ここでは４本）のアーム２９が等間隔に取り付けられ、各アーム２９の先端には保持手段２０がそれぞれ配設され、各保持手段２０を所定の停止位置に停止させ、アーム２９の配設間隔で間欠回転する。各停止位置Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄは、例えばワークディスクセット、クリーニング、初期化、マスターディスク密着のように設定し、停止位置毎に所定の工程が実施される。停止位置Ａにおいて保持手段２０にワークディスク１が保持され、このワークディスク１が停止位置Ｂ、停止位置Ｃを経て停止位置Ｄに移動したとき、ワークディスク１にマスターディスク２を密着させる工程が実施される。マスターディスク２は、第１の参考例の構成と同様に、Ｚ軸移動手段４上にＸＹ軸移動手段５が搭載され、このＸＹ軸移動手段５に取り付けられた保持具３に保持されているので、Ｘ−Ｙ−Ｚの各軸方向への移動が可能である。
【００２４】
この構成においても、保持具３によるマスターディスク２の保持位置の位置ずれ、保持手段２０によるワークディスク１の保持位置の位置ずれが発生する恐れがある。そこで、本参考例においては、マスターディスク２の所定の保持位置からの位置ずれを図示しない第２の位置ずれ検出手段により検出する。更に、停止位置Ａにおいて保持手段２０に保持されたワークディスク１が停止位置Ｄに移動するまでの任意位置において所定の保持位置からの位置ずれを検出する。ここでは停止位置Ｂに移動したワークディスク１に対し、測長器２５により位置検出を行う。停止位置ＢにおいてＸＹ軸方向からワークディスク１の位置を測長器２５により測定し、所定の保持位置に保持されている状態からの位置ずれ量及び位置ずれ方向を検出する。
【００２５】
前記第２の位置ずれ検出手段によるマスターディスク２の所定位置からの位置ずれ量及び位置ずれ方向と、測長器２５によるワークディスク１の位置ずれ量及び位置ずれ方向とは位置補正制御部２６に入力されるので、停止位置Ｂで保持位置検出されたワークディスク１が停止位置Ｄに移動したとき、位置補正制御部２６は位置ずれ量及び位置ずれ方向に基づいて前記ＸＹ軸移動手段５を制御する。
【００２６】
いま、マスターディスク２の位置誤差をｄＸ２、ｄＹ２とし、ワークディスク１の位置誤差をｄＸ１、ｄＹ１とすると、位置補正制御部２６はＸ−Ｙ方向の補正量ΔＸ、ΔＹを下式のように演算し、この補正量によりＸＹ軸移動手段５を駆動制御する。
【００２７】
ΔＸ＝ｄＸ２−ｄＸ１ΔＹ＝ｄＹ２−ｄＹ１この制御動作によりＸＹ軸移動手段５はマスターディスク２をΔＸ、ΔＹだけ移動させるので、ワークディスク１の中心位置とマスターディスク２の中心位置とを一致させることができ、この制御動作の後にＺ軸移動手段４によりマスターディスク２をＺ軸方向に移動させると、中心位置を一致させてワークディスク１にワークディスク２を密着させることができる。
【００２８】
上記のように間欠回転手段２８を用いて順次ワークディスク１をマスターディスク２に密着させるようにすると作業効率が向上する。しかし、間欠回転手段２８の間欠回転の角度を精度よく維持する必要があり、各停止位置Ａ〜Ｄでの停止位置に誤差が生じるとワークディスク１とマスターディスク２との密着位置に位置ずれが生じることになる。これを解決する構成を本発明の実施形態として以下に説明する。
【００２９】
図３は、本発明に係る位置決め方法を適用した装置構成を示すもので、上記第２の参考例に示した構成に加えて、間欠回転手段２８の停止位置における位置ずれを補正することができるように構成したものである。
【００３０】
間欠回転手段２８の停止位置Ｂ及び停止位置Ｄに移動したアーム２９に対して第１及び第２の各測長器３０ａ、３０ｂにより停止位置Ｂ、Ｄでの位置ずれが検出される。この位置ずれ検出は、Ｘ軸方向（回転方向）とＹ軸方向（回転軸方向）とで行うとより精密な位置ずれ検出が可能であるが、Ｙ軸方向の誤差は少ないので、ここではＸ軸方向の位置ずれのみを検出している。更に、先の参考例と同様に停止位置Ｂにおけるワークディスク１（第１のディスク）の保持手段２０（第１の保持手段）により所定の保持位置からの位置ずれが第３の測長器２５によって検出される。
【００３１】
停止位置Ｂにおいて第１の測長器３０ａにより検出されたＸ軸方向の停止位置誤差をｄＸ３、停止位置Ｄにおいて第２の測長器３０ｂにより検出されたＸ軸方向の停止位置誤差をｄＸ４、停止位置Ｂにおいて第３の測長器２５により検出されたワークディスク１の保持位置の位置誤差をｄＸ２、ｄＹ２、マスターディスク２（第２のディスク）の保持具３（第２の保持手段）による保持位置の位置誤差をｄＸ１、ｄＹ１とすると、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の位置ずれの補正量ΔＸ、ΔＹは下式により演算できる。尚、各検出値は間欠回転手段２８が回転移動して停止する毎に検出されるが、ｄＸ１、ｄＹ１、ｄＸ３の値は２回前のものを用いて演算される。
【００３２】
ΔＸ＝ｄＸ１−ｄＸ２＋ｄＸ３−ｄＸ４ΔＹ＝ｄＹ１−ｄＹ２位置補正制御部２７は、この補正量ΔＸ、ΔＹを演算して、この値によりＸＹ移動手段５を制御するので、マスターディスク２の中心位置は停止位置Ｄに停止したワークディスク１の中心位置に一致する。この後、Ｚ軸移動手段４によりマスターディスク２をＺ軸方向に移動させると、ワークディスク１とマスターディスク２とは中心位置を一致させて密着する。
【００３３】
次に、本発明の第１の実施形態に係るディスクの位置決め方法について図６を参照して説明する。本実施形態の構成は、第１の参考例（図１参照）で示したステージ６（第１の保持手段）に保持されたワークディスク１の保持位置の位置ずれを検出する別態様を示すものである。
【００３４】
図６において、ワークディスク１を真空吸引によって保持したステージ６は、光源３６とリニアフォトセンサ３７とが対向配置された間に配置される。光源３６とリニアフォトセンサ３７とは連結され、モータ３９により回動できるように構成されている。また、光源３６は円筒状に光を放射させてもよいが、リニアフォトセンサ３７のライン方向に帯状の光を放射するように構成するのが好適である。
【００３５】
光源３６から放射された光は、ステージ６に形成された貫通穴１１、ワークディスク１の中心穴９を透過してリニアフォトセンサ３７で捕らえられるので、リニアフォトセンサ３７は中心穴９のＸ軸切断径とその位置とを検出する。次に、光源３６及びリニアフォトセンサ３７をモータ３９によって９０度回動させ、中心穴９を透過した光源３６からの光をリニアフォトセンサ３７によって検出すると、中心穴９のＹ軸切断径とその位置とが検出される。このＸ軸及びＹ軸方向に検出された切断径とその位置とから、中心穴９の中心位置を基準としてステージ６に保持されたワークディスク１の保持位置の位置ずれ方向及び位置ずれ量が算出できる。
【００３６】
ここで算出された位置ずれ方向及び位置ずれ量に基づいて、図１に示した第１の参考例の構成と同様にＸＹ軸移動手段５が制御されるので、マスターディスク２の中心位置をワークディスク１の中心位置に一致させることができ、マスターディスク２からワークディスク１に対する磁気転写等を正確に行うことができる。
【００３７】
【００３８】
【００３９】
【００４０】
【００４１】
次いで、第２の実施形態に係るディスクの位置決め方法について図７を参照して説明する。本実施形態の構成は、第２の参考例（図２参照）で示した保持手段２０に保持されたワークディスク１の保持位置の位置ずれを検出する手段として、第１の実施形態に示した構成を適用したものである。
【００４２】
図７において、間欠回転手段２８に９０度の配置間隔で取り付けられた４本のアーム２９の先端に設けられた保持手段２０は、間欠回転手段２８の９０度毎の間欠回転により停止位置Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄに移動する。停止位置Ａにおいて保持手段２０はワークディスク１を保持する。このワークディスク１が停止位置Ｂに移動したとき、アーム２９に形成された開口部にＹ軸方向をライン方向とする第１のライン光源３３が配設され、保持手段２０及びこれに保持されたワークディスク１方向に光を放射させる。停止位置ＢにはＹ軸方向をライン方向とする第１のリニアフォトセンサ４１が配設され、ワークディスク１の中心穴９を透過したライン光を検出する。この第１のライン光源３３と第１のリニアフォトセンサ４１との構成は、先に説明した第１の実施形態の構成と同様である。
【００４３】
ワークディスク１が停止位置Ｃに移動すると、アーム２９に形成された開口部にＺ軸方向をライン方向とする第２のライン光源３４が配設され、保持手段２０及びこれに保持されたワークディスク１方向に光を放射させる。停止位置ＣにはＺ軸方向をライン方向とする第２のリニアフォトセンサ４２が配設され、ワークディスク１の中心穴９を透過したライン光を検出する。この第２のライン光源３４と第２のリニアフォトセンサ４２との構成も、先に説明した第１の実施形態の構成と同様である。
【００４４】
停止位置Ｂ及び停止位置Ｃにおいて、ワークディスク１の中心穴９のＸ軸方向及びＺ軸方向の切断径とその位置が検出されるので、Ｘ軸及びＺ軸方向に検出された切断径とその位置からステージ６に保持されたワークディスク１の保持位置の位置ずれ方向及び位置ずれ量が算出できる。ここで算出された位置ずれ方向及び位置ずれ量に基づいて、ＸＹ軸移動手段５が制御されるので、ワークディスク１が停止位置Ｄに移動したとき、マスターディスク２の中心位置をワークディスク１の中心位置に一致させることができ、Ｚ軸移動手段４によりマスターディスク２をワークディスク１方向に移動させると、中心位置を一致させてマスターディスク２をワークディスク１に密着させ、ワークディスク１に対する磁気転写等を正確に行うことができる。
【００４５】
【発明の効果】
以上の説明の通り本発明の位置決め方法によれば、ワークディスクまたはマスターディスクに保持位置の位置ずれが生じたときにも、マスターディスクを保持するＸＹ移動手段によりマスターディスクの位置をワークディスクの位置に合わせる位置補正の動作により高精度の位置決めが維持される。スクとは中心位置を一致させて位置決めすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第１の参考例に係る位置決め方法を適用した装置構成を示す側面図。
【図２】  第２の参考例に係る位置決め方法を適用した装置構成を示す平面図。
【図３】  本発明に係る位置決め方法を適用した装置構成を示す平面図。
【図４】  従来の位置決め装置の構成を示す側面図。
【図５】  従来の位置決め装置の構成を示す平面図。
【図６】  本発明の第１の実施形態に係る位置決め方法を適用した装置構成を示す断面図。
【図７】 本発明の第２の実施形態に係る位置決め方法を適用した装置構成を示す斜視図。
【符号の説明】
１  ワークディスク（第１のディスク）
２  マスターディスク（第２のディスク）
３  保持具（第２の保持手段）
４  Ｚ軸移動手段
５  ＸＹ軸移動手段
６  ステージ（第１の保持手段）
７  ＣＣＤカメラ
９  中心穴
１０  中心マーク
２０  保持手段（第１の保持手段）
２８  間欠回転手段
２５、３０ａ、３０ｂ  測長器
３３  第１のライン光源
３４  第２のライン光源
３６  光源
３７  リニアフォトセンサ
４１  第１のリニアフォトセンサ
４２  第２のリニアフォトセンサ
４５  レーザー変位計（変位センサ）
【図１】
0004060513.tif 000002
【図２】
0004060513.tif 000003
【図３】
0004060513.tif 000004
【図４】
0004060513.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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