(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外側に位置する外フィルターと、その内側に配置した内フィルターとを具え、外フィルターの一方の端部と内フィルターの一方の端部とを接合し、かつこの内フィルターの他方の端部を実質的に封止することによって、前記外フィルターと内フィルターとで囲まれた濾過室を形成するとともに、
前記外フィルターと内フィルターとは、多孔質の支持体と、その外表面に積層され該支持体より微細な空孔を持つ微細層とからなる同種の積層濾材によって形成されたことを特徴とするフィルター装置。
【請求項２】
前記内フィルターの前記微細層は、該内フィルターの横断面において、折れ曲りを繰り返す凹凸状濾過面を形成することを特徴とする請求項１に記載のフィルター装置。
【請求項３】
前記凹凸状濾過面は、該内フィルターの長さ方向にのびる峰部と谷部とを交互に設けることにより形成されたことを特徴とする請求項２に記載のフィルター装置。
【請求項４】
前記内フィルターと外フィルターは、各々前記微細層をその外周面側に配置したものであることを特徴とする請求項1〜３のいずれかに記載のフィルター装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体に使用されるプロセスガスなどの気体、その他の流体を精度よくかつ効率よく濾過しうるフィルター装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、金属短繊維、金属粉末などの微細金属体を焼結成形した多孔質金属焼結体は、各種流体内の不純粒子を濾過により除去処理するための金属フィルターとして、特に近年では例えば半導体製造用のプロセスガス中に含まれている０．１μｍという微細粒子を高精度で除去するフィルターとして利用されている。
【０００３】
またこのような金属フィルターは、さらに次のような多くの利点を有することから、前記プロセスガス以外にも、各種の腐食性ガスなどの気体、ポリマーなどの高粘度液体を含む流体の濾過のために幅広い用途で使用されている。
(1)  用いる金属粉末、金属短繊維の材料の種類、大きさによって濾過特性の調整が可能なこと。
(2)  機械加工性に優れ、溶接、後加工ができ、ハウジングなど他の部品との接合が容易であること。
(3)  機械的強度が大きく、高い耐圧性と延性とを有すること。
(4)  耐熱性、耐食性に優れ、腐食環境や高温環境下での使用ができ、ベーキングなどの加熱処理をすることができること。
【０００４】
ところで、一般にフィルター製品は、特に濾過精度と圧力損失、寿命特性などの濾過特性とともに、設置されるスペースを小としつつ濾過面積を確保する体積効率性も重要な因子となる。
【０００５】
本出願人は、濾過特性の向上を図るものとして、例えば国際公開ＷＯ−９３／０６９１２号公報では、多孔質金属からなる支持体と、その表面に微細粒子を吸引成形することで形成した微細層とからなる積層フィルター、特開２０００−１８５２０９号公報では、前記支持体の表面を凹凸状に形成するとともに、その凹凸に沿って微細層を形成することで濾過面を凹凸状とした金属フィルターを提案している。
【０００６】
そして、後者の提案にかかる金属フィルターは、表面を平坦とする場合に比して、凹凸状濾過面を有することによって１．３倍以上、例えば２．０３倍にまで濾過面積を高めうることを記載している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
このような金属フィルターにおいて、より濾過面積を増すには、凹凸、即ち起伏の程度をさらに大きくすることが考えられるが、まずフィルター径が例えば２０mm以下のような小径フィルターでは、周面が小さいことから形成しうる凹凸数には限界があり、またその凹凸、起伏部の高さを増大し、又は起伏形状を複雑にして濾過面積を増すことは、複雑な金型を要し、かつ生産を困難にするとともに、得られる製品の品質、特性にバラツキが生じるなどの新たな問題が発生する。
【０００８】
換言すると、濾過面積を大きくする為に、起伏の高さを大きくしかも起伏の間隔を狭くすることは、吸引成形により微細層を形成する場合において、その微細粒子が、吸引とともに起伏部の谷を橋絡して埋め尽くしがちとなり、大して濾過面積を増加しえない。
【０００９】
本発明は、かかる課題を解決し、濾過面積を増しうるフィルター装置の提供を目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本願請求項１に係る発明は、フィルター装置であって、外側に位置する外フィルターと、その内側に配置した内フィルターとを具え、外フィルターの一方の端部と内フィルターの一方の端部とを接合し、かつこの内フィルターの他方の端部を実質的に封止することによって、前記外フィルターと内フィルターとで囲まれた濾過室を形成するとともに、前記外フィルターと内フィルターとは、多孔質の支持体と、その外表面に積層され該支持体より微細な空孔を持つ微細層とからなる同種の積層濾材によって形成されたことを特徴とする。
【００１１】
さらに請求項２に係る発明は、前記内フィルターの前記微細層は、該内フィルターの横断面において、折れ曲りを繰り返す凹凸状濾過面を形成することを特徴とし、請求項３に係る発明は、前記凹凸状濾過面が、該内フィルターの長さ方向にのびる峰部と谷部とを交互に設けることにより形成されたことを特徴とし、更に請求項４に係る発明は、  前記内フィルターと外フィルターは、各々前記微細層をその外周面側に配置したものであることを特徴としている。
【００１２】
このような構成にすることによって、フィルター装置における濾過面として、外フィルターと内フィルターとを活用することができ、濾過面積を拡大しうる。しかも少なくとも、内フィルターの外周面側に微細層、即ち実質的な濾過層を濾過室に面して形成しているため、小径の内フィルターでありながらも、より広い濾過面を有するフィルターとして活用できる。
【００１３】
また、これらフィルターには、種々な流体を濾過処理するに際して被処理流体の濾過圧が加わることから、この濾過圧によって変形、破壊が生じない耐圧強度を備えることが要請されるが、本発明のような２筒式のフィルター装置の内フィルターではそれ自体の形状は比較的小さいものであるため、支持体の外周面側に微細層を有する積層濾材を用いることにより、全体的な耐圧を下層側の支持体によって担持させることができ、またこのように少なくとも前記内フィルターの微細層を、比較的厚さの厚い支持体の表面、即ち外周面側に形成させることとしているため、仮にその外径が例えば１０mm以下のような小径フィルターである場合にあっても、前記凹凸の繰り返し数を増すことができ、濾過面積の増大を図ることとなる。また内フィルターの前記微細層は、例えば特開２０００−１８５２０９号公報に記載のように、それ単体では濾過圧に耐え得ない程度の比較的薄い層状で形成した薄膜層が利用でき、低圧損で濾過特性にすぐれたものとなる。
【００１４】
なお、請求項２の発明のように、支持体として外表面に複数の凹凸を形成した比較的肉厚の多孔質体を用いたときには、凹凸表面上に沿って微細粒子による微細層を形成するものであって、実質的な濾過は該微細層で行うものとしており、前記微細層の形成厚さは例えばフィルター全体厚さの１／５以下、好ましくは１／１０以下の厚さとするのがよい。
【００１５】
また、小径となる内フィルターの特に外周面側にこのような凹凸状に起伏した微細層を形成することは、その内周面側に設けた場合に比して曲率径が大きいことから、該凹凸部を大きくできるとともにその数を多くすることもでき、結果的に濾過面積を高めることとなる。このように、内フィルターに微細層を設ける場合にはその外周面側に設けるのがよいことが判る。
【００１６】
さらに、このような微細層を凹凸形成した積層濾材を前記外フィルターとして用いることも可能であり、このとき前記支持体は、空孔が比較的大きいことから濾過室の一部と見ることができるため、例えば内フィルターの外径を太くし外フィルターの内径に近づけた場合にあっても、両フィルターの微細層間には外フィルターの前記支持体によって十分な濾過室を確保することができ、被処理流体の流過量、流出特性が低下するのを防ぎうる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係わるフィルター装置１の一実施の形態を図面に基づき説明する。図１，２において、フィルター装置１は、外フィルター２と、その内側に配した内フィルター３とを具え、この外フィルター２と内フィルター３との一方の端部２ａ，３ａとを接合し、かつこの内フィルター３の他方の端部３ｂを実質的に封止することによって、前記外フィルター２と内フィルター３との間に濾過室１２を形成している。
【００１８】
また内フィルター３は、多孔質の支持体４Ａと、この支持体４Ａの外周面側に積層した微細な空孔を有する微細層５Ａとを積層した積層濾材からなることにより、前記微細層５Ａは濾過室１２側に位置している。
【００１９】
なお、本形態では、前記外フィルター２は比較的太径の円筒体であり、また内フィルター３としては、外フィルター２の内腔に間隙を有して挿入しうる該外フィルター２よりもより小径かつ短寸であって，しかも本形態ではその他方の端部３ｂは一体な底部を有することによりこの他方の端部３ｂを実質的に封止する有底筒状体としている。また外、内のフィルター２，３の前記一方の端部２ａ，３ａは、図１、２に示すように、中央に被処理流体が流通する通孔１０ａを有する基板部１０Ａの外周側に鍔１０Ｂを形成した第１の端板１０に、リークのない気密状態でともに固着されることにより、前記一方の端部２ａ，３ａとは、この第１の端板１０を介して接合されている。
【００２０】
前記鍔１０Ｂは、例えば外フィルター２の位置決めを容易にし、かつ外フィルターとの結合面積を増して補強するが、過度に深くすることは濾過面積を減ずることとなる。なお第１の端板１０は鍔１０Ｂを具えない単なる平板状とすることもできる。
【００２１】
さらにこの第１の端板１０と、前記端部２ａ，３ａとの接合は、例えばろう付けや溶着などが簡易かつ確実な方法であるが、かしめやねじ込みなどの機械的方法によるもの、又は第１の端板１０を用いることなく両フィルターの端部同士を直接結合することも、さらにはこのような接合によることなく外フィルター２，内フィルター３を前記濾過室１２を有する一体成形品として形成することもできる。また外、内フィルター２，３は、前記のように円筒状体とすることも、例えば角形筒状、円錐状、角錐状などの種々な形状とすることもできる。
【００２２】
また前記外フィルター２の他方の端部２ｂは、第２の端板１１に例えばろう付けによって密に固着され、またこの第２の端板１１は、基板部１１Ａの内向き面外周に前記外フィルター２を嵌入しうる鍔１１Ｂを形成し、外向き面には取付用のボス１１Ｃを突設するとともに、通孔１１ａを中心に透設している。又前記鍔１１Ｂには、該外フィルター２、及び前記第１の端板１０と間隙を有してフィルター装置１を包む主部１３Ａに、取付用のボス１３Ｂを中心に設け、かつ前記第１の端板１０の通孔１０ａと同心な通孔１３ａを有するハウジング１３を固着しており、従ってフィルター装置１は、前記通孔１１ａ、１３ａを残して該ハウジング１３によって遮蔽されている。
【００２３】
なお、前記第２の端板１１の前記ボス部１１Ｃ、及び前記ハウジング１３の前記ボス１３Ｂの外面には例えばねじ部が形成され、図示しない配管に接続されることにより、被処理流体Ａは、例えば通孔１３ａからハウジング１３内に送られ、通孔１０ａ、及び前記ハウジング１３とフィルター装置１との間の前記間隙を通り、外、内フィルター２，３で濾過された後、濾過室１２を経て通孔１１ａから取り出される。
【００２４】
前記のごとく、内フィルター３は、多孔質の支持体４Ａと、この支持体４Ａの外周面側、即ち外表面に積層した微細な空孔を有する微細層５Ａとを積層した積層濾材からなり、また、図３に示すごとく、外フィルター２も、前記内フィルター３と同種の多孔質の支持体４Ｂと、この支持体４Ｂの外側面側に積層した同種の微細層５Ｂとを有し一体焼結された積層濾材を用いている。なお、区別する場合を除いて、以下支持体４Ａ、４Ｂを支持体４と、微細層５Ａ、５Ｂを微細層５と総称する。
【００２５】
図３に示すように、前記支持体４は、この外フィルター２、内フィルター３の強度を保ちかつ前記微細層５を支持するものであり、又微細層５はフィルターとしての実質的な濾過機能を発揮するものであって、濾過に必要な微細空孔を有している。従って支持体４は微細層５に比して肉厚で、比較的大きな径の空孔を有し、ステンレス鋼、ニッケルなどの例えば直径１０〜１００μｍ程度の金属粉末の焼結体が用いられる。
【００２６】
また支持体４は、ともに前記微細層５を凹凸に起伏させ濾過面積を増大するため、図１〜３に示すように、本形態ではその外周面を長手方向にのびる山状の峰部６，谷部７を交互に周方向に隔設することにより、横断面において、外周面を、折れ曲りを繰り返す凹凸状の起伏形状としている。なおその周方向ピッチは不等間隔でもよいが、好ましくは等間隔とし、濾過特性の均一性を高めるのがよい。なお内周面、乃至双方を凹凸状とすることができる。
【００２７】
このような支持体４は通常、図７に示すような、内型２０と外型２１との間に粉末を充填し加圧成形した型成形品を焼結することにより製造でき、例えば外型２１の内面に切り込み溝２１Ａを形成することにより峰部６を有する凹凸の前記外周面を形成する。
【００２８】
このような凹凸状の外周面に、前記小さい厚さの微細層５を形成することによって、微細層５はその表面、即ち外周面に沿って凹凸状に起伏させた形状の凹凸状濾過面５ａを形成でき、これにより、単なる円筒状の場合に比して濾過面積を増加できる。
【００２９】
この起伏状態としては、図５に例示するごとく、凹凸状濾過面５ａの峰部６ａが周方向に隣り合う周方向ピッチＰを、前記峰部６ａ，６ａ間の谷部７ａ（凹凸状濾過面５ａ）の谷底７ａ１からの該峰部６ａの山頂６ａ１までの隆起高さＨの１．２〜４．０倍程度とするのがよく、例えば、隆起高さＨが過大、周方向ピッチＰが相対的に過小である場合には、橋絡現象によって高さＨを減じたり、谷底７ａ１まで微細層５を被覆することが困難となる。また好ましくは、周方向ピッチＰを例えば０．５〜１０mm（好ましくは１〜８mm程度、さらに好ましくは２〜６mm程度）とし、かつ隆起高さＨも例えば０．５〜６mm程度（好ましくは１〜３mm程度）とするのがよく、フィルタの使用目的に応じて、また必要となる濾過精度、濾過効率により適当な範囲に設定される。
【００３０】
また前記峰部６ａ及びその間の谷部７ａでは、山頂６ａ１、谷底７ａ１を含めて被覆面全体に亘って鋭部が生じないようにその全面を滑らかな曲面状とし、しかも山頂６ａ１に向かって溝巾が増大する半径方向外に拡がる末広がり状に形成する。
【００３１】
微細層５は前記のように凹凸状濾過面５ａを具えることにより、この凹凸状濾過面５ａの実濾過面積Ｓ１と、凹凸に形成しない場合の基準濾過面積Ｓ０との面積比Ｓ１／Ｓ０を１．３以上とする。なお実濾過面積Ｓ１とは、前記凹凸状濾過面５ａをその起伏面に沿って実際に計測した濾過面面積をいい、基準濾過面積Ｓ０とは前記の峰部６からなる凹凸を有しないときの中間高さ（１／２・Ｈ）を通る面に前記微細層５においてその平均厚さとなる厚さの微細層５を設けた場合の濾過面積をいう。
【００３２】
この面積比が１．３未満の場合には、前記したように濾過面積の増大が充分とはいえず、起伏間隔を広くしたものでは製品取扱い時などでの不注意による例えば落下や打ち当てによって表面損傷を招きやすいものとなる。なおこの面積比が過大となると成形性に劣り、従って５以下、好ましくは１．５〜３．０程度とするのがよい。
【００３３】
前記微細層５は、実質的に濾過機能を発揮する部分であって、前記支持体４よりも空孔径を小とするため、使用する粉状体を微細としている。またこのフィルタが半導体製造用のプロセスガスなどの精密濾過用として使用される場合にあっては、０．０１μｍ以上、より好ましくは０．００３μｍ以上の大きさを対象とする微小パーティクルを１０−１０ 個以下乃至それ以下とする精度を具えるために、使用する粉状体を選択する。粉状体として、微小な金属粒子、金属短繊維、又はその混合体などを用いうる。
【００３４】
前記金属粒子としては例えば０．５μｍ以下程度の直径の粉状体を使用するのがよく、またたとえばステンレス鋼ＳＵＳ３１６Ｌなど耐食性に優れた材料が好ましい。
【００３５】
また前記金属短繊維としてアスペクト比（Ｌ／ｄ）の平均値が２〜２０程度のものを２０％〜８０％の重量比で含ませる（１００％とすることもできる）ことにより、焼結体は、各短繊維の絡み付きが大きく、バインダーを要することなく保形でき、形成される空孔も立体的な三次元空孔となって空孔率を高くすることができる。更に金属短繊維の直径を例えば０．５〜５μｍ程度の太さとするのがよい。またこうした金属短繊維としては、例えば特公昭６３−６３６４５号が開示する結晶調整化熱処理によりえられる切断端部にダレ発生が無いものが好適に使用できる。
【００３６】
また微細層５は前記のように凹凸状濾過面５ａを具えるとともに、微細層５の厚さＴについて、図５に示す如く、前記谷部７ａの谷底７ａ１における前記微細層５の平均厚さＴ７を峰部６ａの山頂６ａ１の平均厚さＴ５よりも厚くしている。
【００３７】
なお、前記金属短繊維を用いるときには、例えば谷底７ａ１での濾過層の平均厚さＴ７は０．２〜１mm、山頂６ａ１での平均厚さＴ５を０．０５〜０．８mm程度とし、実質的にはそれ単独では濾圧に耐えない程の薄さとして濾過特性の向上を図るのがよく、又全体にわたり厚さの急激な変化部分がなく徐々に厚さが変化する部分を有してなめらかに厚さが変化するようにされている。
【００３８】
このような厚さＴの分布は、支持体４の厚さが大となる峰部６ａの山頂６ａ１での微細層５の平均厚さＴ５を減じることとなり、前記のように濾過面を滑らかな曲面状に形成したことと相まって、支持体４の厚さの変動を吸収して、フィルター全体における流れ特性のバランスを図っている。
【００３９】
このように、峰部６ａ，谷部７ａにおいて微細層５の厚さＴを変化させることにより支持体４の厚さ変化による濾過抵抗を相殺し、凹凸状濾過面５ａの全体的な濾過抵抗を均一化しつつ濾過面積を増大させている。なお凹凸状濾過面５ａは、前記したようなフィルター中心軸方向に連なる峰部６ａ以外に、例えば半球状の断続、乃至散在形状に形成したものでもよい。
【００４０】
また、このような微細層５は、例えば前記した本出願人の提案にかかる国際公開Ｗ０９３／０６９１２号公報において開示した、支持体４の凹凸の外周面に沿わせて懸濁液中の粉状体を吸引することにより積層、成形できる懸濁浸漬法が採用できる。
【００４１】
なお、本形態では外フィルター２の前記支持体４Ｂは、予め有底筒状に成形して懸濁浸漬成形後に微細層５Ｂと一体焼結された焼結品の底部を切り落として円筒状とし、また両端開口の円筒状の支持体４Ｂを用いるときにはその一端を閉止して浸漬する。他方、内フィルター３の支持体４Ａは、前記のように、有底の筒状体として形成することにより前記他端部３ｂを閉じている。また、その形状については、前記筒型以外にも例えば円錐形などにすることもできる。
【００４２】
こうして得られた成型品は各々焼結炉内にセットして、温度１０５０℃程度の無酸化雰囲気中での焼結を行ない多孔性焼結品である外フィルター２、内フィルター３を形成する。この積層濾材として金属短繊維を用いたものでは、各短繊維が三次元的にランダム配向した微細層５となることから、例えば０．００３μｍのパーティクルを１０−１１ 個の精度で濾過でき、しかも圧力損失を低減できる。
【００４３】
なお本発明の前記形態では、外フィルター２と内フィルター３とを同種の積層濾材とし、また微細層５を共に外周面側に位置させている。このように構成したフィルター装置では、内フィルター３上の微細層５Ａと外フィルター２上の微細層５Ｂとの間に前記粗な支持体４Ｂが介在しているため、この支持体４Ｂが抵抗の少ない流通部材となることから実質的に濾過室１２そのものとして活用され、その結果、外、内フィルター２，３間の間隙を減じて内フィルター３の外径を大とし濾過面積の増大を図ることが可能となる。また支持体４と微細層５との間に数種の異なる第２層、第３層を介在させた積層部材とすることもできる。さらに図４に示すように、外フィルター２の内部に複数個、例えば２個の円形、非円形の内フィルター３，３を挿着することもできる。
【００４４】
（具体例１）
ステンレス鋼アトマイズド粉末（平均粒径５μｍ）を図７に示す内型２０、外型２１間の間隙内に充填し加圧成形するとともに焼結することにより、比較的長い外径１５mm、内径９mmの多孔性焼結の筒状体を得た。筒状体は平均空孔率３８％、空孔５μｍであり、かつその外周には周ピッチ（本例では谷巾ともなる）２mm、高さ２mm程度の１２本の峰部が連続して形成されている。なお成形は金型において１９．６ＭＰａで加圧しさらに温度１１５０℃×３０min の条件で焼結を行った。なお、前記成形型は処理途中での任意の早い段階で取り去ることとし、製品への型具による影響を極力軽減した。
【００４５】
次にこの筒状体を長さ５０mmに切断して外フィルター用の支持体とし、その一端を閉じた。同様にして、外方に６mmの峰部を有する外径７mm、内径３mmの内フィルター用の有底支持体を形成した。これらをステンレス鋼短繊維（繊維径２μｍ、平均アスペクト比８）を純水中に所定濃度で懸濁した懸濁液中に、前記両支持体を浸漬して真空ポンプ２４によって、例えば０．１ＭＰａの圧力で約５秒間吸引させ、前記金属短繊維の微細層を支持体２の表面上に０．２mmの厚さを付与し積層成形した。
【００４６】
こうして得られた２つの金属フィルタは、その外面側を前記微細層で覆われ、かつ凹凸状濾過面を持つ積層品であり、つぎに焼結炉内にセットして、温度１０５０℃の無酸化雰囲気中での焼結を行った。図６はこの処理で得られた焼結品の断面写真（１００倍）の一例である。
【００４７】
またこの断面における濾過層３の厚さ分布を調べた結果、その谷底では０．５mm、山頂では０．１mmの厚さで、同時にその表面積は滑らかに湾曲して積層されていることが確認され、前記面積比Ｓ１／Ｓ０は２．０３となっていた。またこのフィルターは、０．０１μmm以下の精度を有し、また濾過層表面欠陥の有無を調べたが、起伏構造で有りながらも亀裂や剥離などの発生がなく、濾過層全面を有効に使用できる特性のものであった。
【００４８】
（具体例２）
次に、こうして作成したフィルター装置の濾過性能を評価する為、図９の流量差圧測定装置にセットし、試験流体として窒素ガスを０〜５０ＳＬＭ送給した時のフィルター前後の圧力差（圧損）を求めた。図８はその結果を示したもので、実線は本発明による２筒式のもの、また破線は外フィルターのみ用いたものの結果である。
【００４９】
この結果から明らかなように、本発明によるフィルター装置は、各流量とも圧損を３〜４割程度軽減でき、所定容積当たりの濾過効率を高めることができた。
【００５０】
【発明の効果】
このように、請求項１に係る発明のフィルター装置は、外、内フィルターを用いて濾過面積の増加を可能とし、かつ内フィルターが支持体の外表面に微細層を設けた構造としているため、例えば半導体製造用ガスをはじめ、空気、水などに幅広く用い得るとともに、高精度で高効率の濾過特性を達成することができる。また前記外フィルターをも、多孔質の支持体と、その外表面に積層され該支持体より微細な空孔を持つ微細層とからなる積層濾材によって形成することにより、フィルター装置全体としての濾過性能の向上させうる。
【００５１】
又請求項２に係る発明は、内フィルターの前記微細層は、該内フィルターの長さ方向中心線と直角な断面において、折れ曲りを繰り返す凹凸状濾過面を形成するため濾過面積を増しうることとなる。
【００５２】
又請求項３に係る発明では、前記凹凸状濾過面が、内フィルターの長さ方向にのびる峰部と谷部とを交互に設けることにより形成されているため、形状、品質が安定したものとなり、また請求項４の発明のごとく、前記内フィルターと外フィルターは、各々前記微細層をその外表面に配置したものであることから、濾過面積の更なる増大を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施の形態を例示する断面図である。
【図２】  外フィルターと、内フィルターとを分離して示す断面図である。
【図３】  前記フィルター装置の外、内フィルターの断面図である。
【図４】  フィルター装置の他の実施例を示す断面図である。
【図５】  支持体と微細層を例示する拡大断面図である。
【図６】  外、内フィルターの切断断面図である。
【図７】  成形金型を例示する断面図である。
【図８】  テスト結果を例示する線図である。
【図９】  フィルター装置の性能の測定する流量測定装置のブロック図である。
【符号の説明】
１  フィルター装置
２  外フィルター
３  内フィルター
４、４Ａ，４Ｂ  支持体
５、５Ａ，５Ｂ  微細層
５ａ  凹凸状濾過面
６  峰部
７  谷部
１０，１１  端板
１２  濾過室
【図１】
0004065132.tif 000002
【図２】
0004065132.tif 000003
【図３】
0004065132.tif 000004
【図４】
0004065132.tif 000005
【図５】
0004065132.tif 000006
【図６】
0004065132.tif 000007
【図７】
0004065132.tif 000008
【図８】
0004065132.tif 000009
【図９】
0004065132.tif 000010