(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続めっき設備での水平な搬送面に案内される、導体箔やプリント配線回路基板のような平坦な被処理物の電解処理の際に、当該被処理物上の電気接触箇所で金属層の厚みをならすための装置にして、
ａ．上記搬送面に対向する複数の対抗電極と、
ｂ．エンドレスに循環する搬送手段に固定された複数の被処理物接触用クランプと、
ｃ．上記対抗電極とクランプの間を流れる電流を生じるための少なくとも１つの電源と
を有し、上記クランプが夫々クランプ下部分とクランプ上部分とを有し、夫々のクランプが
ｉ．導電性であり、
ii．金属でなる表面を有し、
iii．互いに相対的に動かされ、
iv．少なくとも１個所の被処理物用接触箇所を有する
ような、装置において、
上記対抗電極（２，３）とクランプ（４）の間に、電場のための上シールド（１５）と下シールド（１６）が配置されており、これら上シールド（１５）、下シールド（１６）が、被処理物とクランプ上部分（１３）、クランプ下部分（１４）とに接していないことを特徴とする装置。
【請求項２】
上記シールド（１５，１６）が本質的に平坦に形成されていて、電気めっき設備内で本質的に搬送面に対して垂直に且つ被処理物の搬送方向に対して平行に向けられていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
上記シールド（１５，１６）が導電性材料でなり且つ表面に絶縁コーティング又はアノード不動態化層を備えるか、あるいはシールド（１５，１６）が電気的に不伝導性の材料でなることを特徴とする請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
導電性材料でなるシールド（１５，１６）と対抗電極（２，３）の間に導電性結合体が備えられることを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項５】
シールド（１５，１６）と対抗電極（２，３）の間の導電性結合体が電気抵抗を有することを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６】
クランプ上部分（１３）に、当該クランプ上部分に本質的に平行に向けられ且つ搬送面で案内される被処理物とクランプ接触箇所（６）とに接することなく、スクリーン（２２）が固定されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項７】
上記スクリーン（２２）が、電気めっき設備での被処理物の搬送方向で見て、クランプ相互の間隔と同じ幅を有するか、隣接するスクリーンが互いに重なり合うような幅があることを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
上記スクリーン（２２）に又は上シールド（１５）に、本質的に水平に向いた別の上スクリーン（２６）が固定され、下シールド（１６）に本質的に水平に向いた別の下スクリーン（２７）が固定されていることを特徴とする請求項６又は７に記載の装置。
【請求項９】
被処理物上の金属層厚の分布に影響するために、穿孔（３０）が上記水平に向いたスクリーン（２６，２７）に備えられていることを特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
被処理物の電気接触のための接触箇所（６）がクランプ部分（１３，１４）の最外側端部に配置されていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１１】
連続めっき設備での水平な搬送面に案内される、導体箔やプリント配線回路基板のような平坦な被処理物の電解処理の際に、当該被処理物上の電気接触箇所で金属層の厚みをならすための方法にして、
ａ．上記搬送面に対向する複数の対抗電極と、
ｂ．エンドレスに循環する搬送手段に固定され夫々クランプ下部分とクランプ上部分とを有した複数の被処理物接触用クランプと、
ｃ．上記対抗電極とクランプの間を流れる電流を生じるための少なくとも１つの電源と
を有し、上記複数のクランプが、
ｉ．導電性であり、
ii．金属でなる表面を有し、
iii．互いに相対的に動かされ、
iv．夫々少なくとも１個所の被処理物用接触箇所を有する、
方法において、
上記対抗電極（２，３）とクランプ（４）の間に、電場のための上シールド（１５）と下シールド（１６）が配置され、これら上シールド（１５）、下シールド（１６）が、被処理物とクランプ上部分（１３）、クランプ下部分（１４）とに接していないことを特徴とする方法。
【請求項１２】
金属層の厚みが被処理物の電解金属化の際にならされ、対抗電極が陽極として、被処理物が陰極として接続されることを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野と従来の技術】
本発明は、連続電気めっき設備における水平な搬送面に案内される、導体箔や導体プレート（プリント配線回路基板等）のような、平坦な被処理物の電気分解処理の際、とりわけ電気分解の金属化乃至金属被覆の際の、当該被処理物上の電気接触箇所での金属層の厚みをならすための装置と方法に関する。とりわけ当該装置は被処理物を水平姿勢乃至位置で案内する設備で使用される。
【０００２】
金属析出のための電気めっき設備において、平坦な被処理物は一般的に一面で又は両面でクリップ又はクランプによって縁で把持される。当該クリップ又はクランプは上記設備を通る被処理物の搬送に用いられ、同時に電気接触をもたらし、即ち、上記処理物へのガルヴァーニ電流乃至電気めっき電流を供給する。被処理物は例えば導体プレート、とりわけ８ｍｍまでのプレート厚の所謂マルチレイヤー（多層回路）が対象である。連続電気めっき設備において、そのような厚みのプレートも僅か０．１ｍｍかそれ以下の厚みの箔も製作されることが起こる。
【０００３】
電気めっき設備での更なる要求は、金属層厚の分布の要求される一様性と精度にある。電気分解的に析出される金属層は、技術的及び経済的理由から、被処理物の縁範囲にまで非常に一様な厚みでなければならない。予め設定された標準層厚からの明らかな逸脱が起こる当該縁範囲はできるだけ幅狭くすべきである。精密導体技術（約１２０μｍ以下の導路の幅と間隔）の場合、例えば被処理物の有効範囲（利用可能でない縁範囲以外）において１０％以下の相対的層厚の公差が求められる。電気めっきの間、クリップ又はクランプが当接する被処理物の個所の近傍においても、要求された一様な層厚分布が達成され得ない。それ故、この接触箇所の近傍の範囲は上記縁範囲の一部と見なされる。
【０００４】
ＤＥ ３６２４４８１ Ｃ２において、水平式連続電気めっき設備において用いられるクランプが記載される。循環する搬送ベルトに多数のそのようなクランプが互い違いに固定されている。電気めっき設備の入口で被処理物は側方縁でクランプによって把持される。このために２つのフック乃至ストラップが相対して曲げられていて、被処理物の縁が当該クランプでの圧縮バネを用いて当該クランプにより固く保持される。他の実施形態において、クランプを開くために上記フックを互いに垂直に変位することが提案される。この場合、接触力が引っ張りバネによってもたらされる。電気めっき設備の出口でクランプは傾斜した滑走面乃至止め面によって再び開けられる。それで導体プレートは再び解放され、普通は搬送ローラによって更に搬送される。
【０００５】
被処理物の電気めっきの際、同時にクランプの金属製フックも金属化される。これらはクランプの近傍に位置する被処理物の表面に対する強奪陰極乃至略奪陰極乃至海賊陰極(Raubkathoden)として作用する。この範囲で生じる僅かな層厚のために、対応する広めの縁ゾーンが使用され得ない。経験によれば、この使用可能でない幅は約６０ｍｍになる。層厚変動の形成を回避するために、既述の刊行物において、フックにプラスチックカバーを備えることが勧められる。それによれば、被処理物に接触する端部のみが金属的にむき出しのまま残される。更に上記刊行物において、これらの部位乃至個所が設備でのクランプの戻り行程の際に金属除去室において電気分解的に再び金属除去されることが述べられている。
【０００６】
プラスチックカバーは電解浴内でクランプを稼動することを可能にする。それ故にクランプから電解液を遠ざけるための補助的なシール壁は必要ない。この稼動様式は以下で湿り接触と称される。クランプのプラスチックカバーは例えばＥＣＴＦＥ（Poly(ethylen-trichlorfluorethylen)）からなる。この化学的に安定したプラスチック材料でのプラスチック覆いの製作は非常に費用・労力がかかり、それ故に高価である。
【０００７】
しかしながら、縁の角張った工具又は導体プレートによって生じたプラスチック覆いの機械的損傷は、このプラスチック材料又は他の適当なプラスチックの使用の場合にも、避けることができない。それ故にクランプの耐用期間は平均で１２ケ月だけである。
【０００８】
クランプは電気めっきの際に陰極に極性を与えられている。実際は多数のクランプのプラスチックカバーが長い使用期間の後に金属化されることが示された。クランプが戻り行程で規則的に電気分解で電気除去されるならば、望ましくない金属被覆それ自体が起こる。ただし、この原因は知られていない。察するところ、有機及び／又は無機の電解液添加物と結び付いたプラスチックカバーの老化乃至エージングが役割を果たす：プラスチックカバーに密着する金属層は電解液においてクランプの金属的にむき出しの個所から、例えばフックの端部でのむき出しの接触箇所から成長し始める。しかしながら、とりわけこれらは、例えば適切でない位置をとり非常に縁の角張った導体プレートを介した、過酷な稼動の間のクリーニング作業によって、又はカバーの不適切な処理によって引き起こされるクランプのプラスチックカバーの損傷乃至ダメージ範囲でもある。
【０００９】
その際、次のプロセスが進行する：例えばプラスチックカバーでの亀裂のような部分的に非常に狭小に開かれた破損個所を通して、クランプの金属フックとプラスチックカバーの外側で次第にゆっくりと現れる金属層との間で弱々しい導電結合を作り出す電気めっきが始まる。連続送り電気めっき設備でのクランプの戻り行程において、電気めっき層は電気分解的に取り除かれようとする。破損個所での導電結合は、なるべくならば先ず、それ故に非常に短時間に取り除かれる。それ故、金属フックに対するプラスチックカバー上に現れた金属層の電気結合は、まだこの層が電気分解的に完全に除去されうるようになる前に、なくなる。クランプが電気めっき設備の金属化範囲に再び位置するならば、残りの金属化は、新たな金属が金属フックとの電気結合を通して破損個所の内側で電気分解的に析出することによって、破損個所を介して再び導電的になる。したがって金属化は更に成長する。この繰り返し起こるゆっくりしたプロセスは、プラスチックカバー上の望ましくない金属化が被処理物に関する金属化に対して強奪陰極として作用するので、定常的に稼働される設備において数週間又は数ケ月後にクランプを使用不能とする。プラスチックカバーはそれ故に新たにされなければならない。これは高いコストにつく、追加的に製造ロスが生じる。
【００１０】
ＤＥ ３２３６５４５ Ｃ３において、個々のプレート状工作物を電気めっきする(Elektroplattieren)ための装置が記載されており、この工作物は回転可能な搬送装置を用いて、入口側と出口側とでシールを備えた電解浴を通り、水平に調整された方向で相前後して案内され、その際、浴中の搬送装置として且つとりわけ搬送路の一面で工作物を電気接触するためにも、陰極に切り換えられ対になって対向し互いに押圧可能な多数の接触ホイールが備えられている。更に当該接触ホイールを浴から完全に遮蔽するために、工作物の通過のために適当に切り開かれた開口を有するスクリーンを備えられる。スクリーンの切り開かれた開口に沿って拭き取り装置が備えられ、スクリーンの前方に担持される。当該スクリーンは、電解流体との接触ホイールの接触を制限するために、工作物上を擦るようにおかれる。
【００１１】
これら接触ホイールは、当該ホイールの前面乃至端面に金属が析出することを避けることができないので、被処理物への金属の電解析出に適さないことが明らかになった。金属析出を介して前記ホイールの径は徐々に大きくなり、とりわけホイールの前面が粗くなり、したがって被処理物の表面を傷める。ホイールから金属を取り除くために、当該ホイールは散在して装備乃至飾り付けを取り除かれていなければならず、これらから金属を除去される。このために設備全体が操業を停止しなければならない。これによって設備の生産性が低くなるだけでなく、他の間接的に起こる損傷、例えば、金属化浴での析出条件が再び安定化するまでに一般的に当該浴が先ず馴らされなければならないので、設備の再始動の際に引き続いての始動段階で廃棄物を生成する。
【００１２】
ＥＰ ０２５４９６２ Ａ１において、乾燥接触のために備えられる接触クリップ乃至ターミナルが記載されている。このために接触ターミナルは、被処理物に隣接するシールを用いて、電解質溶液の流入から保護される。それにも拘わらず、この刊行物において、接触をもたらすのに供されない接触ターミナルの残りの範囲が、望ましくない金属析出に対して保護されるために、プラスチック材料で被覆されることが記載されている。接触ターミナル上の望ましくない析出物は、ターミナルの戻り行程の間の化学的及び／又は機械的クリーニングによって除去される。スプリング加圧の下での被処理物に隣接するシールによる陰極ターミナルのシーリングは、導体プレートが常に縁の角張った形状であるので、欠点となる。例えば導体プレートの位置決め乃至コード化のために必要な当該プレートの縁範囲における孔もまた鋭い縁を有する。それ故にシールが急速に摩耗する。その際、擦り取られたシールの部分は必然的に電解液に達し、続いて導体プレート表面の電気めっき層に一体化する。このような被処理物は粗悪品である。更に密に接触するシールによって導体箔が皺になり及び／又は反ったりする危険がある。他方、厚めのプレートでは、２枚の連続する導体プレートの間の間隙において電解液が接触ターミナルや設備の他の構造要素に達するので、完全なるシーリングが不可能である。したがって、陰極に極性を与えられた部品の制御されない金属化並びに電解液による搬送要素乃至部材の腐食は避けることができない。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
それ故に本発明の基礎をなす課題は、公知の装置と方法の欠点を回避することであり、とりわけ低コストの製造が可能で大規模にメンテナンスフリーな一定の稼動を可能とする装置を挙げることである。なかんずく、厚い導体プレートと薄い導体箔の両方での被処理物上と当該被処理物の孔での一様な層厚分布は維持可能でなければならず、設備を変えたりその装備を変えることなく、被処理物の縁範囲においても達成可能である。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題は請求項１にしたがう装置と請求項１１にしたがう方法とによって解決される。
【００１５】
本発明に係る装置と方法は、被処理物の電解処理の際の電気接触箇所での金属層の厚みをならすのに供される。装置は、搬送面に対置する対抗電極と、エンドレスに循環する搬送手段に固定された被処理物接触用クランプとを含む。クランプは各々クランプ下部分とクランプ上部分とを有し、これらは導電性で、金属でなる表面を有し、互いに相対的に動き得、夫々被処理物のための接触箇所を少なくとも１つ有する。更に、対抗電極とクランプの間で電流の流れを生じるために少なくとも１つの電源が備えられる。対抗電極とクランプの間に、電場に対する上下側シールドが配置され、これらは搬送面で案内される被処理物とクランプ部分とがシールドと接触することが全くないような搬送面の近さで延在する。
【００１６】
上記装置と方法は、連続電気めっき設備において水平な搬送面に案内され処理される導体プレート（プリント配線回路基板）や導体箔の電解処理の場合に特に用いられる。
金属層の厚みをならすことが特に被処理物の電解金属化（電気めっき）の際に行われる。しかしながら本装置と方法は電気分解による金属除去又は金属層の電解エッチングの際にも用いられ得る。以下の説明は確かにもっぱら電解金属化に関するが；被処理物上の金属層の金属除去乃至エッチングに意味的に応用される。とりわけ対抗電極がこの場合陰極に、被処理物が陽極に切り換えられる一方、被処理物の電気めっきの場合、対抗電極が陽極に、被処理物が陰極に切り換えられる。対応するようにして、対抗電極と被処理物はまた、例えば当該対抗電極と被処理物の間で単極又は二極のパルス電流を生じるためにパルス電流源又はパルス電圧源に接続可能である。この場合、対抗電極は短時間で交互に陽極的と陰極的で極性を与えられ、被処理物は逆に極性を与えられる。
【００１７】
従来技術に対比して、本発明に係る装置において、クランプ部分のプラスチックカバーは、クランプが連続して電解質溶液と接触する（湿式接触）けれども、完全に不要となる。クランプを通した大きすぎる強奪陰極効果を回避するために、両方のクランプ部分は溶解性と不溶性の両方で実現され得る陽極（対抗電極）に対してシールドされる。シールドの１つは電気めっき設備の下側陽極とクランプ下側部分との間の空隙に位置する。他のシールドは上側陽極とクランプ上側部分の間の空隙に位置する。
【００１８】
本発明の好適な実施形態は従属請求項に与えられる。
シールドは好ましくは実質的に平坦に形作られ、電気めっき設備において実質的に搬送面に対し垂直に且つ被処理物の搬送方向に平行に向きを調整される。
【００１９】
シールドは好ましくは電気的に不伝導性の材料、例えばプラスチック材料やセラミックスのようなものでなる。しかしながら、これらはまた表面に絶縁コーティングを備え又は絶縁被覆された金属でなるか例えばチタンのような表面で陽極的に不動態化された金属でなる陽極不動態層を備えた導電性材料でもなっていても良い。
【００２０】
起こり得る中間導体電気めっき(Zwischenleitergalvanisierung, inter-conductor electroplating)を避けるために、金属が夫々上側乃至下側陽極ポテンシャルに接続可能である。このために導電性材料でなるシールドと陽極の間で導電接続が備えられる。シールドと陽極の間のこの導電接続は安全性の理由から電気抵抗を有する。例えば、短絡電流を制限する抵抗乃至レジスタが挿入可能である。
【００２１】
シールドは連続送り設備の電気めっき範囲での搬送路全体に沿って延在する。短絡を避けるために、導電性シールドは中断のない一定の操作においてクランプと被処理物とが触れることのないように固定される。絶縁体から形成されたシールドはまた、経験上起こり得る徐々の電気めっきを避けるために、被処理物の表面ともクランプ部分とも接触することがないように調整される。
【００２２】
上記理由から、シールドは流通する電解質溶液に対して完全にはシールされない。それ故にクランプ把持点の範囲、即ち、被処理物の範囲における露出したクランプ部分はまた、僅かに電気めっきされる。しかしながら、クランプ把持点の範囲における導体プレートの層厚分布に関するこの金属析出の影響は小さい。これは実用上導体プレートの非常に狭い縁細片のみがなお技術的に使用可能でないことを意味する。把持点の範囲において僅かに金属化したクランプが各戻り動作で完全に電気分解的に金属除去されクリーニングされることは、連続送り設備での精度の高い電気めっき結果の再現性にとって重要である。クランプがプラスチック覆いを備えないので、クランプ上の各金属析出は金属除去電流源に対する理想的な導電接続を有する。プラスチック材料で覆われたクランプ部分で生じそれ故に使用不能にまでこれらクランプ部分に堆積物をもたらすこの接続における一時的な途切れはここでは生じない。それ故、連続電気めっき設備の入口で完全に電解的にエッチングされ、言い換えればクリーニングされたクランプが常に利用可能である。
【００２３】
クランプ部分に対しプラスチックカバーを完全に不要とすることは更に、コストとクランプの耐用期間に関して有利である。露出したクランプは廉価に製造でき、耐用期間は殆ど限定されない。
【００２４】
クランプの下半体は、その接触箇所で、搬送面に案内された導体プレートの下側の一定レベルに常に位置される。それ故、下側シールドは導体プレートの下側部分に非常に正確に導かれ得る。導体プレートの下側から及びほぼ夫々１ｍｍのクランプ下部分からのシールドの実現可能な間隔で、クランプ下部分の位置での電場のほとんど完全な遮蔽が実現される。
【００２５】
クランプ上部分が変位可能なように設計されることによって、導体プレートの異なる厚みが補整乃至均一化される。それ故に上側シールドは、搬送されるべき最も厚い導体プレートの場合、同じく約１ｍｍのシールドと導体プレート上側の間の安全な間隙がなおある限りで、導体プレートの上側から取り除かれて配置されなければならない。これは８ｍｍの最大導体プレート厚で、零レベル（導体プレートの下側のレベル）からの上側シールドの間隙は９ｍｍでなければならないことを意味する。この比較的大きな間隙のために、例えば０．１ｍｍの厚みを有した箔の加工処理の際、金属がクランプ上部分に十分な程度に析出される。これに関係したクランプ上部分の大きめの強奪陰極効果の結果として、導体箔の対応して大きめの縁範囲が使用可能でない。導体プレートの厚みが増加するにつれ、導体プレートの使用可能でない縁範囲が増加する遮蔽の結果として増加する。電気めっき設備において僅かに小さな厚み差を備えるか唯一の厚みのみを備えた導体箔又は導体プレートが製造されるならば、上側シールドが被処理物の厚みに非常に正確に調整可能である。実際、この単一製造の場合が主として生じる。被処理物の使用可能でない縁範囲がこの場合、最小である。
【００２６】
他方、電気めっき設備において、例えば８ｍｍの厚みまでの箔、導体プレート及びマルチレイヤーが交替に製造され、そして同時に箔やプレートの使用可能な範囲が起こり得る最大限界にまで広がるならば、金属露出した各クランプ上部分は、当該クランプの上部分に固定され随伴されるスクリーンを装備される。当該スクリーンはクランプ上部分に実質的に平行に向き調整され、導体プレートや導体箔が案内される搬送面に案内される被処理物や接触点と当該スクリーンが全く接触することがないように搬送面に近づけられて延在する。
【００２７】
スクリーンは、例えばセラミックスやプラスチック材料のような電気的に不伝導性の材料でなる。これはクランプ接触箇所から大きめに間隔をおいてクランプ上部分に固定される。固定点では上側シールドの結果として殆ど電場がない。それでプラスチック材料上に金属層が析出することが不可能である。スクリーンは片持ち状に固定点から接触箇所にまで下に延在する。クランプ上部分に固定されることによって、当該クランプ上部分の開閉動作の全てを実行する。被処理物の上側とスクリーンの間の間隙が、被処理物の下側と下側シールドの間と同じように設定される。要するにスクリーンは被処理物の表面にもクランプの接触箇所にも接触しない。
【００２８】
スクリーンの幅（電気めっき設備内で被処理物の搬送方向で見たスクリーンの測定）は、１つのクランプと隣接するクランプの間の間隙にほぼ対応する。シールを改善するために、隣接するクランプのスクリーンはまた互いに重複可能である。更にスクリーンと上側陽極バスケットの間に腐食回避に供される間隙を備えた固定式シールドが配置される。追加的なスクリーンで、技術的に使用可能でない被処理物の縁細片がクランプ範囲において１２ｍｍまで減る。この細片幅は被処理物の厚みに無関係で常に同じサイズである。
【００２９】
更に、スクリーン又は上側シールドに、実質的に水平に向き調整された追加的上側スクリーンを取り付けることができ、下側シールドに、実質的に水平に向き調整された下側スクリーンを取り付けることができる。これらは、電気的流れの線（電気束線）が基本的に導電性の物体の縁範囲に集中しそこで大きな金属層厚となるので、被処理物の縁範囲における層厚の分布をならすことに供される。被処理物上の金属層厚の分布に関する更に有利な作用乃至影響を有するために、開口がまた水平に向き調整されたスクリーンに備えられる。
【００３０】
好ましくは、被処理物の電気接触のための上下クランプ部分での接触箇所は当該クランプ部分の最外側端部に配置される。
本発明は以下に図１〜５に基づいて更に詳述される。
【００３１】
【発明の実施の形態】
在来式の電気めっき設備が図５に示される。作業容器１内に上側陽極バスケット２と下側陽極バスケット３が位置する。現実に６メートル長さの連続電気めっき設備は、例えば２５個の上側陽極バスケットと２５個の下側陽極バスケットを備えて構成される。これらは被処理物、例えばプリント回路基板の搬送方向において相前後して配置されている。それ故に図１での眺めで、搬送方向に見て、ただ１つの上側陽極バスケットとただ１つの下側陽極バスケットが認識可能である。同様に、図面におけるクランプ４は相前後しておかれている。クランプからクランプの間隙は例えば６０ｍｍである。クランプ４はモータ駆動で連続的に回転するコンベアベルト５に固定されている。クランプ４はクランプ接触箇所６で被処理物７を把持する（詳細Ｚ）。これらは電気めっき設備を通して被処理物を案内搬送する。作業容器１は電解液で満たされている。浴液体レベル８は上側陽極バスケット２の上方に位置している。図１の右手部分において電気めっき範囲９が位置し、左手部分において金属除去範囲１０が位置する。両方の範囲には同じ電解質流体がある。ここではバスケット２，３の形状をした陽極は溶解性陽極金属で満たされる。陽極２，３と被処理物７は一緒に電気めっきセルを形成する。クランプ４と金属除去範囲での陰極１１とは一緒に金属除去セルを形成する。電極全てのポテンシャルは図５に追加的に与えられる。滑り接触３１を介して、金属化陰極ポテンシャルがスライドレール３２を通ってクランプ４に、そこから被処理物７に適用される。追加的な滑り接触３３を介して、金属除去陽極ポテンシャルが金属除去範囲９にて金属除去されるべきクランプ４に適用される。
【００３２】
クランプ４は浴の液体レベル８のかなり上方にまでプラスチックカバー１２で被覆されている（詳細Ｚ）。クランプ接触箇所６のみが金属露出する。これらはちょうど被処理物７のように電気めっき範囲９において電気めっきされる。更にクランプ-プラスチックカバーは上述のように電気めっきされる。金属除去範囲１０において、クランプ接触箇所６は再び金属除去される。他方でプラスチックカバー上の金属層は金属除去によって部分的にのみ再び除去される。これによって、長めの作動期間の後、これらそれ自体公知のクランプは使用不能となる。
【００３３】
図１ａと１ｂに示された本発明に係る設備配置はこの故障乃至破損を避けるのに供される。クランプ４は金属露出した材料、例えばチタンからなる。それ故にプラスチックカバーが不要である。クランプは被処理物７を把持し、これらを連続電気めっき設備の電気めっき範囲９を通して案内する。クランプの上部分１３と下部分１４が電気めっきされるのを避けるために、上側シールド１５が上側陽極バスケット２とクランプ４の間に挿入される。対応するように、被処理物の下方で下側シールド１６が下側陽極バスケットからクランプ下部分１４に通じる電場内に挿入される。シールド１５，１６は電気めっき設備の電気めっき範囲９において全搬送路に沿って延在する。
【００３４】
下側シールド１６は被処理物の表面に接するほどに延在する。被処理物の下側のレベルは被駆動支持ローラ１７によって予め設定され、それ故に一定である。それ故、シールド１６の上端と被処理物の下側表面との間の安全間隙１８はまた一定に維持されることが可能で小さい。支持ローラの回転軸は下側シールド１６における孔を通って導かれる。当該回転軸はまたこのシールドにおいて取り付け可能である。シールド１５の下端と被処理物の上側表面との間の上側間隙１９は、最大厚２０を有する製造されるべき被処理物での安全間隙として下側間隙１８に対応する値がなお維持可能であるように選択されなければならない。この状況は図１ｂに詳細に示される。
【００３５】
上側陽極の電場の電気的流れの線（電気束線）は、薄い箔を加工処理する結果として大きめの間隙がそこで生じるならば、上側シールド１５の下端と被処理物７の間のギャップ１９を通って係合し、クランプ４の下側範囲に達する。この結果は、金属露出したクランプでの範囲２１の間隔限定された電気めっきである。この電気めっきを避けるために、図２ａと２ｂに示されたスクリーン２２がクランプ上部分１３に固定される。
【００３６】
スクリーン２２は電気的に不伝導性の材料からなる。これはその下範囲においてクランプと接触することがない。これはスクリーンのプラスチック材料が場合によって上述のように電気めっきされることを阻止する。クランプ上部分１３での固定箇所２３は、スクリーン２２の金属化を永続的に避けるために、その箇所から上側陽極バスケット２までの電解液間隔ができるだけ長いように位置決めされるべきである。固定箇所２３は浴の液体レベルの下方又は上方にあることができる。浴の液体レベルの下方にあるならば、陽極から発する電場線は上側シールド１５によって固定箇所２３から離れて維持される。これは、たとえ固定箇所が、それ故にスクリーンが浴の液体レベル８の下方に位置しても、スクリーン２２上で金属露出したクランプ上部分１３からの電気めっき層の起こり得る広がりを確実に阻止する。
【００３７】
クランプ上部分に取り付けられることの結果として常に当該クランプ上部分の動きでスクリーンが動くことによって、スクリーンと被処理物の間で、ちょうど下側での間隙１８と同じくらい小さな最小限の安全間隙が自動的に設定される。それ故に層厚の非常に平坦な分布が被処理物の両側で縁範囲にまで達成される。
【００３８】
更にクランプが金属露出されプラスチック絶縁を備えないことによって、クランプ接触箇所の更に有利なデザインが生じる。図５で認識可能なクランプ接触箇所６を越える絶縁された突出部２４はここでは完全に不要である。本発明に係る実施形態において、クランプ接触箇所は、（被処理物７の使用可能な範囲に向かう方向で）クランプ部分の外側端部にあり、被処理物でのクランプの遮蔽効果は更に最小限化する。同時に被処理物の近傍でのスクリーン２２とシールド１５，１６がまた非常に薄く形作られるならば、クランプの使用可能でない縁はとりわけ最小限を達成する。不動態化されるか被覆された金属からの遮蔽の実現がこれに特に好適である。
【００３９】
図３に、付属のスクリーン２２を備えたクランプを正面立面で且つ被処理物、例えばプリント回路基板なしで示す。当該眺めは側面で、即ち、被処理物のための搬送方向がこの図で左から右で或いは右から左であるような状態で設備の詳細を示す。被処理物が示されていないので、クランプ上部分とクランプ下部分は接触箇所で互いに接触する。スクリーンは幅３５を有する。下側のクランプ接触箇所６は下側静止シールド１６によって遮蔽される。隣り合ったクランプでの２つのスクリーン２２の間にスクリーンギャップ２５が形成される。クランプの電気めっきを避けるために、これはできるだけ小さくあるべきである。図示されていない他の実施形態において、スクリーン２２はまた互いに重複可能である。それ故にギャップは閉じられる。被処理物の層厚の分布は、被処理物の狭い縁範囲を除いて所定の許容差を維持することをもくろむ。電場線の集中が被処理物の縁範囲で生じることが知られている。金属露出されたクランプは、被処理物の表面とシールド若しくはスクリーンの間の安全間隙を介して、非常に弱く作用する強奪陰極のみを表す。この結果は、シールド１５，１６とスクリーン２２の近傍における被処理物上の層厚の増加である。
【００４０】
この増加は、被処理物と陽極の間の当該被処理物の作用される縁範囲において水平に挿入されたスクリーンによって抑止される。被処理物の表面のそばに配置されたスクリーンが特に有効である。図４に、このタイプの水平スクリーン２６，２７が示される。これらはトップ部でスクリーン２２に、底部でシールド１６に固定される。スクリーン２２は鉛直に可動なクランプ上部分１３に固定される。それ故、スクリーン２２，２６とシールド１５の後方の間隔に電気的流れの線が入り込む際の上側ギャップが小さく維持され、とりわけ一定である。それ故に被処理物の上側と水平スクリーン２６の間の間隙もまた一定である。固定して取り付けられた水平スクリーン２７が被処理物の下側から一定の間隙２９であるように下側シールド１６の上縁と被処理物の下側との間の下側間隙がいずれにせよ一定なので、シールド１６乃至スクリーン２７の間のギャップに同じことが当てはまる。
【００４１】
下側スクリーン２７は搬送方向において連続して取り付け可能である。トップ部で、共に進むスクリーン２２の長さはクランプ間隙とスクリーンの起こり得る重複との和に対応する。スクリーン２６，２７は好ましくは開口３０を備える。これら開口３０によって、金属層厚がスクリーン２２又はシールド１６にまでむらなく延びるように被処理物７の表面での層厚の分布が影響される。スクリーン２２なしでクランプを有する電気めっき設備において、上側水平スクリーン２６がまた上側シールド１５に固定可能である。
【００４２】
開示された特徴の全てと開示された特徴の組み合わせは、公知であるとはっきりと言及されない限り、本発明のサブジェクトマターである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施形態に係る図であり、（ａ）は搬送方向で見た、箔を把持するクランプとシールドを備えた水平式の連続電気めっき設備を通る概略的な横断面表示の詳細で、（ｂ）は厚い導体プレートを把持するクランプの横断面図
【図２】  本発明の別の実施形態に係る図であり、（ａ）は追加的なスクリーンを有するクランプを備えた設備の図１ａでのような図で、（ｂ）は追加的なスクリーンを有するクランプを備えた設備の図１ｂでのような図
【図３】  クランプ上部分に固定された正面立面図
【図４】  追加的なスクリーンを有するクランプを備えた設備の図１ｂに類似の図
【図５】  従来技術にしたがう水平式の連続電気めっき設備を通る概略的な横断面図
【符号の説明】
１  作業容器
２  上側陽極バスケット
３  下側陽極バスケット
４  クランプ
５  連続搬送ベルト
６  クランプ接触箇所
７  被処理物
８  浴液体レベル
９  電気めっき範囲
１０  金属除去範囲
１１  電気除去陰極
１２  プラスチックカバー
１３  クランプ上部分
１４  クランプ下部分
１５  上側シールド
１６  下側シールド
１７  支持ローラ
１８  下側間隙（安全間隙）
１９  上側間隙
２０  被処理物の厚み
２１  クランプ電気めっきの範囲
２２  スクリーン
２３  固定点
２４  絶縁突出部
２５  スクリーンギャップ
２６  上側水平スクリーン
２７  下側水平スクリーン
２８  上側スクリーン間隙
２９  下側スクリーン間隙
３０  開口
３１  陰極滑り接触
３２  陰極スライドレール
３３  陽極滑り接触
３４  陽極スライドレール
３５  スクリーン２２の幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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