(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェーハに浅い接合を形成する方法であって、
該半導体ウェーハ中にドーパント物質を注入し；
１０００オングストローム未満の所望の接合深さおよび所望のシート抵抗を生じるように，前記ドーパント物質の注入に相当するフッ素の線量及びエネルギーを選び、ここでフッ素の線量及びエネルギーを選ぶ工程が１０ｋｅＶ未満のフッ素エネルギーを選ぶこと及び５ｅ１４／ｃｍ2ないし５ｅ１５／ｃｍ2の範囲のフッ素線量を選ぶことを含み；
該選択された線量およびエネルギーにおいて該半導体ウェーハ中にフッ素を注入し、ここでフッ素を注入する工程が前記ドーパント物質を注入する工程前又は後に行われ；
選択した温度で選択した時間の間該半導体ウェーハを熱処理することによって前記ドーパント物質を活性化して前記浅い接合を形成し；そして
該半導体ウェーハから残留フッ素を除去しかつ該半導体ウェーハの損傷を減少させるために、前記ドーパント物質を活性化する工程後に該半導体ウェーハを低温アニーリングする、ここで低温アニーリングの工程が５５０℃ないし６５０℃の温度で３０ないし６０分間行なわれる
工程を含む方法。
【請求項２】
フッ素の線量およびエネルギーを選ぶ工程が前記ドーパント物質を活性化する工程の完了時に前記フッ素の少なくとも一部が該半導体ウェーハに残存するように前記フッ素の前記線量およびエネルギーを選ぶことを含む請求項１記載の浅い接合を形成する方法。
【請求項３】
フッ素を注入する工程が前記フッ素を前記ドーパント物質よりも深く注入させるように前記フッ素のエネルギーを選ぶことを含む請求項１記載の浅い接合を形成する方法。
【請求項４】
ドーパント物質を注入する工程がＢ+イオンまたはＢＦ2+イオンを注入することを含む請求項１記載の浅い接合を形成する方法。
【請求項５】
フッ素を注入する工程がフッ素含有イオンを注入することを含む請求項１記載の浅い接合を形成する方法。
【請求項６】
前記接合が５００オングストローム未満の深さを有する請求項１記載の浅い接合を形成する方法。
【請求項７】
フッ素の線量およびエネルギーを選ぶ工程がドーパント物質１原子当たりフッ素原子が１ないし５個のフッ素線量を選ぶことを含む請求項１記載の浅い接合を形成する方法。
【請求項８】
半導体ウェーハに浅い接合を形成する方法であって、
該半導体ウェーハ中にホウ素を注入し；
１０００オングストローム未満の所望の接合深さおよび所望のシート抵抗を生じるように該ホウ素注入に相当するフッ素の線量およびエネルギーを選び、ここでフッ素の線量及びエネルギーを選ぶ工程が１０ｋｅＶ未満のフッ素エネルギーを選ぶこと及び５ｅ１４／ｃｍ2ないし５ｅ１５／ｃｍ2の範囲のフッ素線量を選ぶことを含み；
該選択線量およびエネルギーで該半導体ウェーハ中にフッ素を注入し、ここでフッ素を注入する工程が前記ホウ素を注入する工程前又は後に行われ；そして
選択した温度で選択した時間の間該半導体ウェーハを熱処理することによって前記ホウ素を活性化して前記浅い接合を形成させ；そして
該半導体ウェーハから残留フッ素を除去しかつ該半導体ウェーハの損傷を減少させるために、前記ホウ素を活性化する工程後に該半導体ウェーハを低温アニーリングする、ここで低温アニーリングの工程が５５０℃ないし６５０℃の温度で３０ないし６０分間行なわれる
工程を含む方法。
【請求項９】
ホウ素を注入する工程がＢ+イオンまたはＢＦ2+イオンを注入することを含む請求項８記載の浅い接合を形成する方法。
【請求項１０】
フッ素の線量およびエネルギーを選ぶ工程がホウ素１原子当たりフッ素原子が１ないし５個のフッ素線量を選ぶことを含む請求項８記載の浅い接合を形成する方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
発明の分野
本発明はイオン注入法により半導体ウェーハに浅い接合を形成する方法、より詳細には半導体ウェーハ中にフッ素を注入することによって熱処理中のドーパント物質の拡散を阻止する方法に関する。
【０００２】
発明の背景
イオン注入法は伝導率を変えるドーパント物質を半導体ウェーハ中に導入する標準的な技法である。従来のイオン注入システムにおいては、所望のドーパント物質をイオン源内でイオン化し、該イオンを加速して所定エネルギーのイオンビームを形成させ、そして該イオンビームをウェーハ表面に誘導する。ビーム中のエネルギー保有イオンは半導体物質本体を貫通して半導体物質の結晶格子内に包埋される。イオン注入に続き半導体ウェーハをアニールしてドーパント物質を活性化する。アニーリングは半導体ウェーハを所定時間の間所定温度に加熱することを含む。
【０００３】
半導体業界における周知の傾向は小型で高速のデバイスに向かっている。とくに、半導体デバイス装置の側面寸法および深さのいずれもが減少しつつある。最新式の半導体デバイスは１０００オングストローム未満の接合深さを必要とし、最後には２００オングストローム以下の程度の接合深さを必要とするかも知れない。
【０００４】
ドーパント物質の注入深さは半導体ウェーハ中に注入されるイオンのエネルギーによって決定される。注入エネルギーが小さい場合に浅い接合が得られる。しかし、注入ドーパント物質の活性化に用いられるアニーリングプロセスはドーパント物質を半導体ウェーハの注入領域から拡散させる。このような拡散の結果として、接合深さはアニーリングによって増大する。アニーリングによって生じた接合深さの増大を防止するために、注入エネルギーを減少させることができ、その結果アニーリング後に所望の接合深さが得られる。この方法は極めて狭い接合の場合を除き満足すべき結果をもたらす。注入エネルギーを減少させることによって得ることができる接合深さに関しては、アニーリング中に生じるドーパント物質の拡散によって限界に達する。さらに、イオン注入装置は極めて小さい注入エネルギーでは典型的に非能率的に動作する。
【０００５】
アニーリング中に生じる拡散をできるだけ少なくするために高速熱処理法を用いることができる。しかし、アニーリング温度を低下させるようなアニーリングプロセスの顕著な変化は活性化されるドーパント物質の量を減少させるであろうし、そしてそれによって半導体デバイスの動作特性に悪影響を与えるであろう。ＢＦ2注入の接合深さを減少させる場合に、ホウ素の等価エネルギー注入と比較してＢＦ2注入におけるフッ素のプラスの効果が先行技術において、Ｋ．Ｏｈｙｕらの“Ａｄｖａｎｔａｇｅｓ  ｏｆ  Ｆｌｕｏｒｉｎｅ  Ｉｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎ  ｉｎ  Ｂｏｒｏｎ  Ｉｍｐｌａｎｔｅｄ  Ｓｈａｌｌｏｗ  ｐ+／ｎ−Ｊｕｎｃｔｉｏｎ  Ｆｏｒｍａｔｉｏｎ”，Ｊａｐａｎｅｓｅ  Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｐｈｙｓｉｃｓ，Ｖｏｌ．２９，１９９０，ｐａｇｅｓ４５７−４６２；Ｄ．Ｆ．Ｄｏｗｎｅｙらの“Ｃｏｎｔｒｏｌ  ｏｆ  ＢＦ2  Ｄｉｓｓｏｃｉａｔｉｏｎ  ｉｎ  Ｈｉｇｈ  Ｃｕｒｒｅｎｔ  Ｉｏｎ  Ｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎ”，８ｔｈ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ  ｏｎ  Ｉｏｎ  Ｉｍｐｌａｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｊｕｌｙ  ３０−Ａｕｇｕｓｔ  ３，１９９０；およびＭ．Ｍｉｎｏｎｄｏらの“Ｃｏｍｐａｒｉｓｏｎ  ｏｆ  11Ｂ+  ａｎｄ  49ＢＦ2+  ａｔ  Ｌｏｗ  Ｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎ  Ｅｎｅｒｇｙ  ｉｎ  Ｇｅｒｍａｎｉｕｍ  Ｐｒｅａｍｏｒｐｈｉｚｅｄ  Ｓｉｌｉｃｏｎ”，９ｔｈ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ  ｏｎ  Ｉｏｎ  Ｉｍｐｌａｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ  １９９２に報告されている。これらの結果は比較的高注入エネルギー、すなわちホウ素の１０ｋｅＶを上回る等価エネルギーを基準とするものであった。また結果はさまざまであった。Ｄｏｗｎｅｙらの資料では、ホウ素の１１．２ｋｅＶ注入およびＢＦ2の５０ｋｅＶ注入について、高速熱処理装置によるアニール後にＢＦ2注入の場合には浅い接合深さが認められたが、炉によるアニールの場合にはその逆が認められた。Ｏｈｙｕらの研究では、ホウ素の１０ｋｅＶ注入中にフッ素を別個に２５ｋｅＶで注入すると接合深さが浅いことを認めた。
【０００６】
ホウ素注入ウェーハ中への別個のフッ素注入は下記資料にも報告されている：Ｔ．Ｈ．Ｈｕａｎｇらの“Ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ  ｏｆ  Ｆｌｕｏｒｉｎｅ  Ｐｒｅａｍｏｒｐｈｉｚａｔｉｏｎ  ｏｎ  ｔｈｅ  Ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ  ａｎｄ  Ａｃｔｉｖａｔｉｏｎ  ｏｆ  Ｌｏｗ−Ｅｎｅｒｇｙ  Ｉｍｐｌａｎｔｅｄ  Ｂｏｒｏｎ  Ｄｕｒｉｎｇ  Ｒａｐｉｄ  Ｔｈｅｒｍａｌ  Ａｎｎｅａｌｉｎｇ”，Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．，Ｖｏｌ．６５，Ｎｏ．１４，Ｏｃｔｏｂｅｒ  １９９４，ｐａｇｅｓ１８２９−１８３１；Ｈ．Ｃ．Ｍｏｇｕｌらの“Ａｄｖａｎｔａｇｅｓ  ｏｆ  ＬＤＤ−Ｏｎｌｙ  Ｉｍｐｌａｎｔｅｄ  Ｆｌｕｏｒｉｎｅ  ｗｉｔｈ  Ｓｕｂｍｉｃｒｏｎ  ＣＭＯＳ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ”，ＩＥＥＥ  Ｔｒａｎｓ．Ｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｄｅｖｉｃｅｓ，Ｖｏｌ．４４，Ｎｏ．３，Ｍａｒｃｈ  １９９７，ｐａｇｅｓ３８８−３９４；Ａ．Ｈｏｒｉらの“Ｈｉｇｈ  Ｓｐｅｅｄ  ０．１ｕｍ  Ｄｕａｌ  Ｇａｔｅ  ＣＭＯＳ  ｗｉｔｈ  Ｌｏｗ  Ｅｎｅｒｇｙ  Ｐｈｏｓｐｈｏｒｕｓ／Ｂｏｒｏｎ  Ｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎ  ａｎｄ  Ｃｏｂａｌｔ  Ｓａｌｉｃｉｄｅ”ＩＥＤＭ  ９６，１９９６，ｐａｇｅｓ５７５−５７８；Ｌ．Ｙ．Ｋｒａｓｎｏｂａｅｖらの，“Ｔｈｅ  Ｅｆｆｅｃｔ  ｏｆ  Ｆｌｕｏｒｉｎｅ  ｏｎ  ｔｈｅ  Ｒｅｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ  ｏｆ  Ｂｏｒｏｎ  ｉｎ  Ｉｏｎ−Ｉｍｐｌａｎｔｅｄ  Ｓｉｌｉｃｏｎ”，Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．，Ｖｏｌ．７４，Ｎｏ．１０，Ｎｏｖｅｍｂｅｒ  １９９３，ｐａｇｅｓ６０２０−６０２２、ならびにＤ．Ｆａｎらの，“Ｅｆｆｅｃｔ  ｏｆ  Ｆｌｕｏｒｉｎｅ  ｏｎ  ｔｈｅ  Ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ  ｏｆ  Ｔｈｒｏｕｇｈ−Ｏｘｉｄｅ  Ｉｍｐｌａｎｔｅｄ  Ｂｏｒｏｎ  ｉｎ  Ｓｉｌｉｃｏｎ”，Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．，Ｖｏｌ．５０，Ｎｏ．１０，Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ  １９９１，ｐａｇｅｓ１２１２−１２１４。これらの資料ではわずか５ｋｅＶのホウ素注入（ＢＦ2の２２．３ｋｅＶ注入と同じ実効エネルギー）が用いられたが、４０ｋｅＶの高エネルギーフッ素注入が使用された。これらの資料では、１０００オングストローム未満の接合深さは報告されておらず、またシート（ｓｈｅｅｔ）抵抗値またはシート抵抗の最適値も報告されなかった。Ｓ．Ｂ．Ｆｅｌｃｈらが“Ｆｌｕｏｒｉｎｅ  Ｅｆｆｅｃｔｓ  ｉｎ  ＢＦ2  Ｉｍｐｌａｎｔｓ  ａｔ  Ｖａｒｉｏｕｓ  Ｅｎｅｒｇｉｅｓ”，１１ｔｈ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ  ｏｎ  Ｉｏｎ  Ｉｍｐｌａｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｊｕｎｅ  １９９６に報告した最近の研究は、ＢＦ2の２ｋｅＶ未満の低エネルギー注入においてフッ素は注入エネルギー、線量及びアニール条件の関数としてシリコンの表面を離れると述べている。  本出願人の知るいずれの先行技術も、注入エネルギーを減少させるだけでは必要な接合深さを得ることができない場合にとくに、選択された接合深さおよび面積抵抗の浅い接合を加工するための満足すべき方法を提供するものはなかった。
【０００７】
発明の要約
本発明の第１の態様によれば、半導体ウェーハに浅い接合不純領域を形成する方法が提供される。この方法は半導体ウェーハ中にドーパント物質を注入し、１０００オングストローム未満の所望の接合深さおよび所望のシート抵抗を生じるようにドーパント物質の注入に相当するフッ素の線量及びエネルギーを選び、そして選んだ線量およびエネルギーにおいて半導体ウェーハ中にフッ素を注入する工程を含む。この方法はさらに、選んだ温度において選んだ時間の間半導体ウェーハを熱処理することによってドーパント物質を活性化して浅い接合を形成させる工程を含む。好ましい態様ではドーパント物質はホウ素である。
【０００８】
フッ素のエネルギーは、ドーパント物質の注入後に現れる非晶質および結晶質領域の界面またはその近傍にフッ素を注入するように選ぶことができる。フッ素注入のピークはドーパント物質注入のピークよりも若干深いことが好ましい。
【０００９】
フッ素注入の工程はドーパント物質を注入する工程前、工程中または工程後に行なうことができる。フッ素は所望の形で注入することができる。浅い接合を形成させるためにフッ素およびドーパント物質は典型的に１０ｋｅＶ未満のエネルギーで注入する。
【００１０】
該方法は、ドーパント物質を活性化する工程後に低温アニーリングによって半導体ウェーハの損傷を除きかつ残留フッ素を除去する工程を任意に含むことができる。
【００１１】
本発明は選択した接合深さおよびシート抵抗の小さい接合を加工する方法を提供する。単に注入エネルギーを減少させるだけでは必要な接合深さを得ることができない場合に、本発明はとくに重要である。
【００１２】
詳細な説明
半導体デバイスの大きさが小さくなるにつれて浅い接合に対する要望が増大した。とくに１０００オングストローム未満、場合により５００オングストローム未満、そして将来は２００オングストローム未満の接合深さが必要とされる。典型的には、注入エネルギーを減少させることによって浅い接合が得られる。しかし、アニーリング中に生じるドーパント物質の拡散によって、注入エネルギーを減少させることによって得ることができる接合深さに関しては限界に達する。広がり抵抗プロファイリング（ｓｐｒｅａｄｉｎｇ  ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ  ｐｒｏｆｉｌｉｎｇ）（ＳＲＰ）により測定すると、ホウ素の場合にはこの限界は典型的に約３９０オングストロームである。
【００１３】
ホウ素は典型的にホウ素イオン（Ｂ+）または二フッ化ホウ素イオン（ＢＦ2+）として注入される。ＢＦ2+イオンが半導体ウェーハに衝突すると、該イオンはホウ素イオンとフッ素イオンとに分裂する。Ｂ+イオンおよびＢＦ2+イオンに関して等しい接合深さを得るためには、ＢＦ2+イオンはより高いエネルギーで注入されなければならない。したがって、たとえば、２．０ｋｅＶで注入したＢ+イオンおよび８．９ｋｅＶで注入したＢＦ2+イオンは等価のホウ素注入エネルギーを付与する。
【００１４】
シリコン半導体ウェーハ中の浅い接合の加工に関しては多くの観察が行なわれた。２．０ｋｅＶおよび２７９ミクロアンペア／平方センチメートルの電流密度でＢ+イオンをウェーハに注入し、そして８．９ｋｅＶ及び１０１ミクロアンペア／平方センチメートルの電流密度でＢＦ2+イオンをウェーハに注入した。注入エネルギーは等価のホウ素エネルギーを得るように選んだ。いずれの組のウェーハも１０５０℃で１０秒間アニールした。Ｂ+イオンの場合には１４３０オングストロームという接合深さ、そしてＢＦ2+イオンの場合には１１７０オングストロームという接合深さが測定された。Ｘ線光電子分析法（ＸＰＳ）及び二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ）によるデータは、アニーリング後にＢＦ2注入ウェーハからはすべてのフッ素が拡散しなかったことを示した。ＢＦ2の８．９ｋｅＶ注入及び９５０℃１０秒間のアニーリングの場合に９４０オングストロームという接合深さが測定された。
【００１５】
別の試験では、ＢＦ2+を５ｋｅＶでウェーハに注入した。このウェーハを１０５０℃で１０秒間アニールすると、接合深さは１１２０オングストローム（ＢＦ2の８．９ｋｅＶの場合からはあまり減少していない）であった。対照的に、このウェーハを９５０℃で１０秒間アニールすると、接合深さは６９０オングストローム（ＢＦ2の８．９ｋｅＶを同じアニールした場合の９４０オングストロームと対比）であった。結果を下記表１に要約する。線量率及びビーム電流だけではこれらの結果の説明がつかない。
【００１６】
【表１】
0004065661.tif 000002
【００１７】
これらの結果は次ぎのように説明できると思われる。フッ素はウェーハから拡散するにつれて優先的に拡散部位を占めて、ホウ素の拡散を効果的に阻止または制限する。フッ素がシリコンから拡散してしまうと、ホウ素の拡散が再び始まることができる。この説明は５ｋｅＶで注入されたＢＦ2+イオン（ホウ素の約１ｋｅＶ注入と当価のエネルギー）について得られた結果によって支持される。ウェーハを１０５０℃で１０秒間アニールすると、１１２０オングストロームという接合深さによって示されるように、すべてのフッ素はシリコンウェーハから拡散してしまって、ホウ素の拡散が現れた。対照的に、ウェーハを９５０℃で１０秒間アニールすると、６９０オングストロームという接合深さで示されるように、フッ素は完全にはシリコンを離れず、そしてホウ素の拡散は阻止された。
【００１８】
本発明にしたがって、熱処理中のドーパント物質の拡散を阻止または妨害するようにシリコン半導体ウェーハ中にフッ素を注入する。注入されるフッ素は、例えばＢＦ2+のように注入中にドーパント物質と化学的に結合するフッ素とは別である。このフッ素はウェーハを全部または一部分非晶質にし、それによって次ぎに注入されるドーパント物質のチャネリングを減少させるので、ドーパント物質の注入前に半導体中に注入することが好ましい。チャネリングを減少させることによって、ドーパント物質の注入深さは減少する。しかし、ドーパント物質の注入中または注入後にフッ素を注入することができる。このフッ素は熱処理中にウェーハから拡散するので、ホウ素または他のドーパント物質の拡散を阻止する。フッ素の一部は高温活性化アニールが完了するまでウェーハ中に残留するはずである。
【００１９】
フッ素の注入は下記基準に合致することが好ましい。フッ素注入のエネルギーおよび線量は熱処理中のドーパント物質の拡散を阻止するように選ばれる。したがってフッ素注入のエネルギーおよび線量は幾分かはドーパント物質注入の線量及びエネルギーに依存する。ドーパント物質のエネルギーおよび線量が所望の接合深さ及びシート抵抗によることは理解されよう。さらに、フッ素注入の線量及びエネルギーは熱処理に用いられる時間及び温度に依存する。その上、高温活性化アニールが完了するまでフッ素の一部がウェーハに残留し、しかし高温活性化アニール完了後にはウェーハに残留するフッ素の量が比較的少量となるように、フッ素注入のパラメータを選ぶのが好ましい。最後に、フッ素注入パラメータはウェーハの損傷をできるだけ少なくし、かつシート抵抗に及ぼす悪影響をできるだけ少なくするように選ぶのが好ましい。熱処理完了後にウェーハに残留するフッ素は不純領域のシート抵抗を必要以上に大きくするか、または次の加工工程に悪影響をもたらすことがある。
【００２０】
典型的にはフッ素注入エネルギーは、ドーパント物質注入のピークよりも若干深い非晶質及び結晶質領域の界面またはその近傍にフッ素を注入するように選ばれる。この界面はドーパント物質の注入後に現れる。フッ素をドーパント物質以前に注入する場合には、その後に形成される界面またはその近傍にフッ素を注入するようにフッ素エネルギーを選ぶ。したがって、フッ素注入のピークがドーパント物質注入のピークよりも若干深いようにフッ素注入エネルギーを選ぶ。フッ素注入線量は典型的にはドーパント物質注入の所望の接合深さ及びシート抵抗を基準にして選ぶ。線量の範囲はホウ素１原子当たりフッ素約１−５原子が好ましいが、線量はこの範囲に限定されない。
【００２１】
フッ素はフッ素イオンまたはフッ素を含有する他のイオンの形でウェーハ中に注入することができる。ドーパント物質は、Ｂ+イオンまたはＢＦ2+イオンとして注入することができるホウ素であることができる。しかし、本発明は熱処理中にヒ素およびリンの拡散を阻止するために用いることもできる。本発明は１０００オングストローム未満の深さを有する浅い接合の加工に関して極めて有用と考えられるが、任意の深さの不純領域の加工に適用することもできる。
【００２２】
本発明の理解をさらに助けるために、参照として本明細書に組み入れられている添付図面について述べる。
【００２３】
半導体ウェーハ１０の略部分断面図を図１に示す。ドーパント物質のイオンビーム１２をウェーハ１０に誘導して注入領域１４を生じさせる。ついでウェーハ１０を、典型的には高速熱処理装置でアニールしてドーパント物質を活性化する。アニーリングプロセスは注入領域１４よりも大きい不純領域２０にドーパント物質の拡散を生じさせる。不純領域２０は、ウェーハ１０の表面に垂直な不純領域２０の深さとなる接合深さＸjを特徴とする。上記のように、アニーリングによって生じた接合深さの増大は、本発明の方法を用いる場合を除き、達成可能な接合深さＸjに最小限を置く。本発明によれば、熱処理中のドーパント物質の拡散を阻止または排除し、それによってドーパント物質の注入深さと最終接合深さＸjとの差をできるだけ小さくするために、フッ素注入を用いる。
【００２４】
本発明に関連する処理工程の工程系統図を図２に示す。工程１００において、フッ素の線量およびエネルギーを選択する。フッ素の線量およびエネルギーの選択基準はさきに述べた通りで、下記に例を示す。工程１０２において、工程１００で選んだ線量およびエネルギーでフッ素を注入する。例として、Ｖａｒｉａｎ  Ａｓｓｏｃｉａｔｅｓ，Ｉｎｃ．が製造し販売しているＭｏｄｅｌ  ＶＩＩＳ  ｉｏｎ  ８０  ＰＬＵＳを用いてフッ素を注入することができる。浅い接合深さ、すなわち約１０００オングストローム未満の接合深さの場合には、フッ素のエネルギーは典型的に約１  ｋｅＶから１０  ｋｅＶの範囲にあり、かつフッ素の線量は典型的に約５ｅ１４／ｃｍ2から５ｅ１５／ｃｍ2の範囲にある。（５ｅ１４／ｃｍ2という表示は１平方センチメートル当たり５×１０14個の原子の注入線量を示す。） 工程１０４において、ドーパント物質を半導体ウェーハ中に注入する。例として、Ｂ+イオンまたはＢＦ2+イオンをウェーハ中に注入することができる。ドーパント物質のエネルギー及び線量は加工される半導体デバイス中の不純領域の所望の接合深さ及び抵抗率による。上記のように、工程１０２のフッ素注入は工程１０４のドーパント物質の注入前、注入中または注入後に行なうことができる。
【００２５】
工程１０６において、高速熱処理によりウェーハをアニールしてドーパント物質を活性化する。高速熱処理装置の例はＳＴＥＡＧ  ＡＳＴ  ｅｌｅｋｔｒｏｎｉｋｓ製造のＭｏｄｅｌ  ＳＨ２８００ｅである。アニールの時間及び温度は加工される半導体デバイスの所望の特性による。典型的なアニーリングプロセスは約９５０℃ないし１０５０℃の範囲の温度および約１０ないし３０秒間の時間である。
【００２６】
高温活性化アニーリングプロセス１０６に続いて任意の低温アニーリングプロセス１０８を行なうことができる。低温アニーリングプロセス１０８はシリコンウェーハの残留損傷をなくし、かつ残留するすべてのフッ素をウェーハから駆逐するために用いることができる。典型的な低温アニーリングプロセスは約３０ないし６０分の間に約５５０℃ないし６５０℃の範囲の温度を利用する。これらの温度におけるホウ素の拡散は無視できる。
【００２７】
補足的なフッ素注入が所望のシート抵抗を有する狭い接合の形成を可能にし、そして単に注入のエネルギーを減少させるだけでは所定の接合パラメータを得ることが不可能な場合に、実施例によって本発明の有効性を説明するのが最良である。下記の試験を行ない、その結果を下表２に要約する。５ｋｅＶ、１ｅ１５／ｃｍ2、注入角度０゜でＢＦ2を注入し、ＡＳＴ  ｅｌｅｋｔｒｏｎｉｋｓ  ＳＨ２８００  Ｒａｐｉｄ  Ｔｈｅｒｍａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒを用いてアニールし、補足的フッ素の注入を行なわないものは、ＳＲＰで測定して、３９０オングストロームの接合深さおよび３５６オーム／スクェアのシート抵抗を生じた。同じアニールパラメータを用い注入エネルギーを２．２ｋｅＶに低下させると、実際に４１２オングストロームというさらに深い接合および４３２オーム／スクェアというさらに大きなシート抵抗を生じた。この結果に対する理由は、２．２ｋｅＶ注入の場合には、アニールが完了する前にフッ素がウェーハから少なくとも関連する表面下に拡散して、フッ素がない場合よりも早い速度でホウ素を拡散させるということである。５ｋｅＶ、１ｅ１５／ｃｍ2のＢＦ2注入に先んじて一方の線量が２ｅ１５／ｃｍ2で他方の線量が５ｅ１５／ｃｍ2のフッ素注入を行なった場合の、補足的フッ素注入の有効性を実施例で示す。各フッ素注入のエネルギーは２．８ｋｅＶであって、フッ素のピークはＢＦ2の５ｋｅＶ注入で注入したホウ素よりも若干深くなった。結果は、フッ素の２ｅ１５／ｃｍ2注入の場合には、接合深さは３９０オングストロームから３１５オングストロームに減少し、シート抵抗値は４９９オーム／スクェアであった。５ｅ１５／ｃｍ2のフッ素注入の場合には、接合深さはさらに２６８オングストロームに減少し、シート抵抗値は６９４オーム／スクェアであった。浅い接合に付随する正孔移動度値は小さいために、浅い接合は高いシート抵抗を生じることに留意する必要がある。
【００２８】
【表２】
0004065661.tif 000003
【００２９】
上記の実施例は明らかに、補足的フッ素注入が、注入エネルギーを減少させるだけでは達成することができない浅い結合の形成を可能にすることを示す。さらに、これらの実施例は、任意のプロセスにおいて、主要注入パラメータと均衡して所望の接合深さおよびシート抵抗値を生じさせることができるフッ素線量の効果を示す。
【００３０】
本発明の有効性は、高温活性化アニール完了時にシリコン中にフッ素の一部が残存することを必要とする。残存フッ素及び残留損傷を除くために、任意の低温アニールを用いることができる。低温アニールは炉内で５５０℃ないし６５０℃で３０ないし６０分間行なうのが好ましい。この温度範囲ではホウ素は顕著には拡散しないが、フッ素はウェーハから拡散し、そして損傷は修復される。高温アニルに先立つ低温アニールはフッ素含量を６２％減少させることを示すが、これはフッ素除去に対する低温アニールの有効性を証明するものである。図３は１ｅ１５／ｃｍ2の線量及び５ｋｅＶのエネルギーで注入したＢＦ2注入（アニールせず）の深さの関数としてのフッ素濃度のグラフである。図４は５５０℃で３０分間低温アニール後（高温アニールはせず）同じＢＦ2注入パラメータの深さの関数としてのフッ素濃度のグラフである。低温アニール後のフッ素含量は６２％減少した。高温アニール中にフッ素を必要とするので、低温アニールは高温活性化アニール後に行なわなければならない。
【００３１】
高温活性化アニールに続く低温アニールの有効性を図５および６に示す。図５および６の両者において、ウェーハに１ｅ１５／ｃｍ2の線量および５ｋｅＶのエネルギーでＢＦ2を注入し、さらに５ｅ１５／ｃｍ2の線量および２．８ｋｅＶのエネルギーでフっ素を注入した。図５はウェーハに１０５０℃で１０秒間高温アニールを行なった（低温アニールは行なわず）場合の深さの関数としてのフッ素濃度のグラフである。図６はウェーハに１０５０℃で１０秒間の高温アニールに続き５５０℃で３０分間の低温アニールを行なった場合の深さの関数としてのフッ素濃度のグラフである。低温アニール後にフッ素含量は５６％減少し、内層面のピークは２から１に減少して、損傷レベルの減少を示す。この方法ほ、所望のＢＦ2注入または他の注入種と適切にバランスするフッ素注入を用いて、比較的損傷がなく、フッ素を含まないシリコン基質を得ることができる。上記実施例において、ホウ素の接合深さは２６８オングストロームから２８７オングストロームに増大し、そして低温アニール後にシート抵抗は６９４から６５６オーム／スクェアに改善された。
【００３２】
さらに浅い接合が必要な場合には、該方法は低エネルギー注入を最大限に利用することができる。いずれの場合にも、所望の接合深さ及びシート抵抗に基づいてフッ素の線量および、エネルギーに該当する位置が選ばれる。ＢＦ2の４．２５、３．５および２．２ｋｅＶ注入の場合には、典型的なフッ素注入エネルギーはそれぞれ２．４、２．０および１．２ｋｅＶである。本発明の方法を用いれば、ＳＲＰにより測定して、２００オングストローム未満および、４００ないし６００オーム／スクェアのシート抵抗値を有する接合が達成可能なはずである。フッ素の線量およびエネルギーをドーパント物質の注入に釣り合わせる技法ならびに一連の高温活性化アニールに続く低温炉アニールは、先行技術によって得ることができるよりもさらに浅く、そしてさらに低いシート抵抗値のほとんど無損傷でフッ素を含まない接合を見込んでいる。ビーム電流が著しく大きい場合には注入は大きく一層経済的な注入エネルギーで行なうことができる。
【００３３】
現在本発明の好ましい態様と考えられることを提示し、記載したけれども、その中において、添付クレームによって定められる本発明の範囲を逸脱せずに種々の変更及び修正を行ない得ることは当業者には明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
【図１】  半導体ウェーハの略部分断面図である。
【図２】  本発明により半導体ウェーハ中に浅い接合を加工する方法の例を示す工程系統図である。
【図３】  ＢＦ2注入深さの関数としての注入した（アニールせず）フッ素濃度のグラフである。
【図４】  ＢＦ2注入後に低温アニールのみを行なった場合の深さの関数としてのフッ素濃度のグラフである。
【図５】  ＢＦ2注入およびフッ素注入後に高温アニールのみを行なう場合の深さの関数としてのフッ素濃度のグラフである。
【図６】  ＢＦ2注入およびフッ素注入後に高温アニールにさらに続く低温アニールを行なう場合の深さの関数としてのフッ素濃度のグラフである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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