(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に対して略同じ処理を施すことができる処理部を等価処理部とし、この等価処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理する際に、各ロットが使用する等価処理部を選択する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
各ロットに対する処理を実際に開始するのに先立ち予めスケジュールを作成する際に、
前記複数個の等価処理部に優先度を設定しておき、
あるロットの投入時に、使用可能な等価処理部を使用した複数のスケジュールを作成し、その中で最も早く終了するスケジュールを採用し、
作成した複数のスケジュールの終了時間が同じになった場合には、優先度が高い方の等価処理部を使用するスケジュールを採用することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各等価処理部で各々定期的に実施されるメンテナンスを考慮することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記複数個の等価処理部の一つは、純水洗浄処理部であることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項４】
請求項１または２に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記複数個の等価処理部の一つは、薬液処理部であることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各ロットを第１ロット及び第２ロットとし、前記等価処理部を第１等価処理部及び第２等価処理部とした場合、
前記複数のスケジュールとして、前記第１ロット及び前記第２ロットで前記第１等価処理部だけを利用した第１のスケジュールと、前記第１のロットで前記第１等価処理部または前記第２の等価処理部を利用し、前記第２のロットで前記第２等価処理部または前記第１等価処理部を利用した第２のスケジュールを作成することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項６】
基板に対して略同じ処理を施すことができる処理部を等価処理部とし、この等価処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理する際に、各ロットが使用する等価処理部を選択する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
各ロットに対する処理を実際に開始するのに先立ち予めスケジュールを作成する際に、
前記複数個の等価処理部に優先度を設定しておき、
あるロットの投入時に、使用可能な等価処理部を使用した複数のスケジュールを作成し、その中で最も早く終了するスケジュールを採用し、
作成した複数のスケジュールの終了時間が同じになった場合には、優先度が高い方の等価処理部を使用するスケジュールを採用するようにコンピュータを制御することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）に所定の処理を施す基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムに係り、特に、略同じ処理を施すことが可能な等価処理部を複数個備えている基板処理装置におけるスケジューリング技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、純水洗浄処理部と薬液処理部とをそれぞれ二台ずつ備えた基板処理装置では、二台の純水洗浄処理部が等価処理部であり、二台の薬液処理部が等価処理部として扱われる。このような基板処理装置においては、従来、次のようにして複数枚の基板からなるロットが処理される。
【０００３】
すなわち、ロットの投入時点において、使われずに空いている処理部があればそちらを選択する。つまり、二つの純水洗浄処理部のうちいずれで純水洗浄を行なうかが予め規定されておらず、二つの薬液処理部のうちいずれで薬液処理を行なうかについても規定されていない。
【０００４】
したがって、実際にロットを投入する時間に、等価処理部のうち空いている方が自動的に選択されることになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来方法のようにロットの投入時点でのみ等価処理部の状況を判断する振り分け方では、その他の等価処理部の使用状況や、その後の使用状況などを考慮することができない。そのため、そのロットの払い出しが、投入時点で空いていた等価処理部を選択しなかった場合よりも遅くなることがある。
【０００６】
また、投入時点でいずれの等価処理部も空いていない場合には、いずれかの等価処理部が空いてから搬送動作が開始されるので、待ち時間が増えてスループットが低下するという問題がある。
【０００７】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、処理前に複数のスケジュールを予め作成して複数の等価処理部の使用予定を考慮することにより、ロットの払い出しが確実に早く、スループットを向上させることができる基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板に対して略同じ処理を施すことができる処理部を等価処理部とし、この等価処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理する際に、各ロットが使用する等価処理部を選択する基板処理装置のスケジュール作成方法において、各ロットに対する処理を実際に開始するのに先立ち予めスケジュールを作成する際に、前記複数個の等価処理部に優先度を設定しておき、あるロットの投入時に、使用可能な全ての等価処理部を使用した複数のスケジュールを作成し、その中で最も早く終了するスケジュールを採用し、作成した複数のスケジュールの終了時間が同じになった場合には、優先度が高い方の等価処理部を使用するスケジュールを採用することを特徴とするものである。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記各等価処理部で各々定期的に実施されるメンテナンスを考慮することを特徴とするものである。
【００１０】
（削除）
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記複数個の等価処理部の一つは、純水洗浄処理部であることを特徴とするものである。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項１または２に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記複数個の等価処理部の一つは、薬液処理部であることを特徴とするものである。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項１ないし４のいずれかに記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記各ロットを第１ロット及び第２ロットとし、前記等価処理部を第１等価処理部及び第２等価処理部とした場合、前記複数のスケジュールとして、前記第１ロット及び前記第２ロットで前記第１等価処理部だけを利用した第１のスケジュールと、前記第１のロットで前記第１等価処理部または前記第２の等価処理部を利用し、前記第２のロットで前記第２等価処理部または前記第１等価処理部を利用した第２のスケジュールを作成することを特徴とするものである。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、基板に対して略同じ処理を施すことができる処理部を等価処理部とし、この等価処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理する際に、前記複数個の等価処理部に優先度を設定しておき、各ロットが使用する等価処理部を選択する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、各ロットに対する処理を実際に開始するのに先立ち予めスケジュールを作成する際に、あるロットの投入時に、使用可能な等価処理部を使用した複数のスケジュールを作成し、その中で最も早く終了するスケジュールを採用し、作成した複数のスケジュールの終了時間が同じになった場合には、優先度が高い方の等価処理部を使用するスケジュールを採用するようにコンピュータを制御することを特徴とするものである。
【００１５】
【作用】
請求項１に記載の発明の作用は次のとおりである。
すなわち、実際にロットを処理する前に、次のように予め複数のスケジュールを作成してみる。まず、あるロットの投入時を想定し、この時点で、レシピに応じて使用可能な全ての等価処理部を使用した複数のスケジュールを作成する。そして、複数のスケジュールを比較し、ロットの払い出しが最も早いスケジュールを採用する。なお、複数のスケジュールを比較した結果、終了時間が同じになった場合には、優先度が高い方の等価処理部を使用するスケジュールを採用する。
【００１６】
請求項２に記載の発明によれば、各等価処理部において各々定期的に実施される、使用回数などに制限が設けられている処理液の交換等に関するメンテナンスを考慮してスケジュールを作成する。
【００１７】
（削除）
【００１８】
請求項３に記載の発明によれば、純水によって洗浄処理を施す純水洗浄処理部を等価処理部とする。
【００１９】
請求項４に記載の発明によれば、薬液によって薬液処理を施す薬液処理部を等価処理部とする。
【００２０】
請求項５に記載の発明によれば、第１ロット及び第２ロットで第１等価処理部だけを利用した第１のスケジュールと、第１のロットで第１等価処理部または第２の等価処理部を利用し、第２のロットで第２等価処理部または第１等価処理部を利用した第２のスケジュールを作成し、これらのうちで早く終了する予定のスケジュールを選択する。
【００２１】
請求項６に記載の発明によれば、上記請求項１と同様の作用を奏する。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
図１及び図２は本発明の一実施例に係り、図１は実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図であり、図２はそのブロック図である。
【００２３】
この基板処理装置は、例えば、基板Ｗに対して薬液処理及び純水洗浄処理及び乾燥処理を施すための装置である。基板Ｗは複数枚（例えば２５枚）がカセット１に対して起立姿勢で収納されている。未処理の基板Ｗを収納したカセット１は、投入部３に載置される。投入部３は、カセット１を載置させる載置台５を二つ備えている。基板処理装置の中央部を挟んだ投入部３の反対側には、払出部７が配備されている。この払出部７は、処理済みの基板Ｗをカセット１に収納してカセット１ごと払い出す。このように機能する払出部７は、投入部３と同様に、カセット１を載置するための二つの載置台９を備えている。
【００２４】
投入部３と払出部７に沿う位置には、これらの間を移動可能に構成された第１搬送機構１１が配置されている。第１搬送機構１１は、投入部３に載置されたカセット１ごと複数枚の基板Ｗを第２搬送機構１３に対して搬送する。
【００２５】
第２搬送機構１３は、収納されている全ての基板Ｗをカセット１から取り出した後、第３搬送機構１５に対して全ての基板Ｗを搬送する。また、第３搬送機構１５から処理済みの基板Ｗを受け取った後に、基板Ｗをカセット１に収容して第１搬送機構１１に搬送する。第３搬送機構１５は、基板処理装置の長手方向に向けて移動可能に構成されている。
【００２６】
上記第３搬送機構１５の移動方向における最も手前側には、複数枚の基板Ｗを低圧のチャンバ内に収納して乾燥させるための乾燥処理部１７が配備されている。
【００２７】
第３搬送機構１５の移動方向であって上記乾燥処理部１７に隣接する位置には、第１処理部１９が配備されている。この第１処理部１９は、複数枚の基板Ｗに対して純水洗浄処理を施すための純水洗浄処理部２１を備えているとともに、複数枚の基板Ｗに対して薬液処理を施すための薬液処理部２３を備えている。また、これらの間で基板Ｗを搬送する第１副搬送機構２５を備えている。この第１副搬送機構２５は、第１処理部１９内での基板搬送の他に、純水洗浄処理部２１において第３搬送機構１５との間で基板Ｗを受け渡しする。
【００２８】
第１処理部１９に隣接して第２処理部２７が配備されている。この第２処理部２７は、上述した第１処理部１９と同じ構成であり、純水洗浄処理部２９と、薬液処理部３１と、純水洗浄処理部２９において基板Ｗを第３搬送機構１５との間で受け渡す第２副搬送機構３３とを備えている。
【００２９】
第２搬送機構１３に付設されているカセット洗浄部３５は、上述した第２搬送機構１３が全ての基板Ｗを取り出した後、空になったカセット１を洗浄する機能を有する。
【００３０】
なお、上述した第１処理部１９の純水洗浄処理部２１と、第２処理部２７の純水洗浄処理部２９とが本発明における処理部及び等価処理部に相当し、第２処理部２７の薬液処理部２３と第２処理部の薬液処理部３１とが同様に処理部及び等価処理部に相当する。
【００３１】
上記のように構成されている基板処理装置は、図２のブロック図に示すように制御部３７によって統括的に制御される。
【００３２】
制御部３７は、ＣＰＵなどから構成されており、以下に説明するスケジュール作成プログラムに相当する手順に基づき、レシピに応じて上述したどの構成をどの順序で使用するかを、実際に処理を開始する前に予め決定する。その後、実際に基板Ｗを処理するにあたり、作成されたスケジュールに基づき各構成を使用してレシピに応じた処理を基板Ｗに対して施す。
【００３３】
記憶部３９には、この基板処理装置のユーザによって予め作成され、基板Ｗをどのような手順で処理するかを規定した複数種類のレシピと、スケジュール作成プログラムと、作成されたスケジュールを実行する処理プログラム等が予め格納されている。また、上述した二つの等価処理部のうちのいずれを優先的に選択するかを示す情報が予め記憶されており、さらに作成されたスケジュール等も記憶される。
【００３４】
まず、図３に示すタイムチャートを参照しながらスケジュール作成プログラムに相当する手順について説明するが、理解を容易にするためにレシピのうちの一部だけを例に採って説明する。また、この例では、同じレシピで二つのロットが並行して処理されてゆく場合を想定したスケジュールを例に採って説明する。
【００３５】
具体的に処理について説明すると、第１ロット（図３（ａ），（ｂ）中に白色矩形で示す）の基板ＷがステップＳ１０で第２搬送処理部１３により搬送され、ステップＳ１１で純水洗浄処理を施した後、ステップＳ１２で薬液処理を施し、ステップＳ１３で純水洗浄処理を行なってからステップＳ１４で乾燥処理部１７により乾燥処理を施した後に、ステップＳ１５で第２搬送機構１３により搬送するというものである。
【００３６】
なお、説明の簡略化のために第３搬送機構１５と第１／第２副搬送機構２５，３３の動作については省略してある。
【００３７】
第１ロットの処理に並行して第２ロット（図３（ａ），（ｂ）中にハッチングした矩形で示す）を同じレシピで処理するために、図３中に矢印で示すように「第２ロットの投入」時点で第２ロットを投入する。本実施例装置の場合には等価処理部が二つであるので、第２ロットがとり得るスケジュールは全部で二つである。
【００３８】
つまり、図３（ａ）に示すように、純水洗浄処理部２１で最初の純水洗浄処理（ステップＳ２１）が行なわれるように第２ロットを処理する場合と、図３（ｂ）に示すように、純水洗浄処理部２９で最初の処理が行なわれるように第２ロットを処理する場合とがある。
【００３９】
なお、本実施例装置の場合には、その構成上、第１副搬送機構２５と第２副搬送機構３３とは、それぞれ自分の処理部１９，２７でだけしかロットの搬送ができないので、第１処理部１９側で最初の水洗を行なった後に次の水洗を第２処理部２７で行なったりすることや、その逆は不可能である。また、水洗や薬液処理にいずれかのロットがはいっている場合には、水洗から搬出されるまでは次のロットをそのロットと同じ処理部（第１／第２処理部１９，２７）には搬入することはできない。
【００４０】
まず、図３（ａ）に示す第１のスケジュールでは、第１ロットのステップＳ１３に並行するように、第２ロットの基板ＷがステップＳ２０で第２搬送処理部１３により搬送されて、ステップＳ２１で純水洗浄処理部２１により純水洗浄処理を施した後、ステップＳ２２で薬液処理部２３により薬液処理を施し、ステップＳ２３で再び純水洗浄処理部２１により純水洗浄処理を行なってからステップＳ２４で乾燥処理部１７により乾燥処理を施した後に、ステップＳ２５で第２搬送機構１３により搬送する。
【００４１】
次に、図３（ｂ）に示す第２のスケジュールでは、第１ロットのステップＳ１１に並行するように第２ロットの基板ＷがステップＳ２０で第２搬送処理部１３により搬送され、ステップＳ２１で純水洗浄処理部２９により純水洗浄処理を施した後、ステップＳ２２で薬液処理部３１により薬液処理を施し、ステップＳ２３で再び純水洗浄処理部２９により純水洗浄処理を行なってからステップＳ２４で乾燥処理部１７により乾燥処理を施した後に、ステップＳ２５で第２搬送機構１３により搬送する。
【００４２】
そして、これら二つのスケジュールを制御部３７が比較し、早く終了する方のスケジュール、つまり図３（ｂ）のスケジュールを採用するのである。このようにして採用されたスケジュールは、記憶部３９に格納され、実際にロットを処理する際に実行されるようになっている。
【００４３】
次に、図４を参照して、上述した状況とは異なる状況でのスケジュール作成について説明する。この状況においては、薬液処理部３１において薬液交換に伴う、定期的に実施されるメンテナンスＭが行なわれるので、その間、薬液処理部３１を使用することができないようになっている。
【００４４】
まず、図４（ａ）に示す第１のスケジュールでは、第１ロットのステップＳ３３に並行するように、第２ロットの基板ＷがステップＳ４０で第２搬送処理部１３により搬送されて、ステップＳ４１で純水洗浄処理部２１により純水洗浄処理を施した後、ステップＳ４２で薬液処理部２３により薬液処理を施し、ステップＳ４３で再び純水洗浄処理部２１により純水洗浄処理を行なってからステップＳ４４で乾燥処理部１７により乾燥処理を施した後に、ステップＳ４５で第２搬送機構１３により搬送する。
【００４５】
次に、図４（ｂ）に示す第２のスケジュールでは、第１ロットのステップＳ３１に並行するように第２ロットの基板ＷがステップＳ４０で第２搬送処理部１３により搬送され、ステップＳ４１で純水洗浄処理部２９により純水洗浄処理を施した後、薬液処理部３１のメンテナンスＭが終了するまで待機ｗｔする。そして、メンテナンスＭが終了した後、ステップＳ４２で薬液処理部３１により薬液処理を施し、ステップＳ４３で再び純水洗浄処理部２９により純水洗浄処理を行なってからステップＳ４４で乾燥処理部１７により乾燥処理を施した後に、ステップＳ４５で第２搬送機構１３により搬送する。
【００４６】
このような状況においては、図４（ａ）の方が早く終了するので、これがスケジュールとして記憶部３９に格納されることになる。
【００４７】
次に、図５を参照する。
この状況では、レシピが上述したものとは多少異なり、第１ロットの乾燥処理工程ステップＳ５４，第２ロットの乾燥処理工程ステップＳ６４が長く設定されているが、処理内容的には上記のレシピと同じである。
【００４８】
この場合には、ステップＳ５０〜Ｓ５５からなる第１ロットの処理に対して、ステップＳ６０〜Ｓ６５からなる第２ロットの処理について全てのスケジュールを作成すると、図５（ａ），（ｂ）に示すようにいずれも終了時間が同じになる。このような場合に制御部３７が判断できずに処理が行き詰まることを防止するために、記憶部３９に判断ルールとして優先度が設定してある。例えば、「第１処理部１９（純水洗浄処理部２１及び薬液処理部２３）を優先する」と設定されている場合には、図５（ａ）のスケジュールが選択されるのである。
【００４９】
このように実際にロットを処理する前に、レシピに応じて使用可能な全ての等価処理部（純水洗浄処理部２１，２９、薬液処理部２９，３１）を使用した複数のスケジュールを作成する。そして、複数のスケジュールを比較し、ロットの払い出しが最も早いスケジュールを採用して、等価処理部の使用予定を考慮することにより、ロットの払い出しを確実に早くすることができてスループットを向上させることができるのである。
【００５０】
また、各等価処理部において各々定期的に実施されるメンテナンスを考慮するようにしているので、メンテナンスの時期であっても同様の効果を得ることが可能である。
【００５１】
さらに、優先度が高い方の等価処理部を使用するスケジュールを採用するルールの適用により、複数のスケジュールにおいて終了時間が同じになってもスケジュール作成が行き詰まることを防止できる。
【００５２】
なお、上記の説明においては理解の容易のために、水洗及び薬液処理に係るレシピの一部だけを例に採って説明した。本発明は、予め処理の前にスケジュールを作成してから実際の処理を行なうのであれば適用可能であるが、そのなかでも次のようなスケジュール作成方法が好適である。
【００５３】
すなわち、基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、複数の処理工程を含むレシピに基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として配置するのである。
【００５４】
この方法における処理工程とは、上述した第１ロットの第２搬送機構１３における処理と、純水洗浄処理部２１における水洗処理とを含む工程や、薬液処理部２３における処理と、純水洗浄処理部２１における水洗処理とを含む工程や、乾燥処理部１７における乾燥処理と、第２搬送機構１３による搬送処理とを含む工程である。
【００５５】
この方法によれば、予めスケジュールすることで前の処理工程の後作業と、その後の処理工程の前作業とを重複させて配置することができるとともに、配置可能な処理工程のうち前の処理工程が早く終わるロットの処理工程を次の処理工程として選択して配置することで、次の処理工程が終了するまでの時間を短縮することができる。したがって、基板処理装置の処理部を有効利用することができるので、待機時間を抑制して稼働率を向上することができる。
【００５６】
なお、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のように変形実施が可能である。
【００５７】
（１）上記の例では、基板処理装置が等価処理部を二つ備えた例を示したが、３つ以上備えている基板処理装置であってもよい。
【００５８】
（２）本発明は基板処理装置であればどのような処理を施す装置であっても適用することができる。例えば、基板に対してフォトレジスト被膜を被着する装置や、基板の表面に導電膜を被着するエッチング装置などであってもよい。このような場合における等価処理部とは、例えば、塗布処理部やエッチング処理部などである。
【００５９】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項１に記載の発明によれば、実際にロットを処理する前に、使用可能な等価処理部を使用した複数のスケジュールを作成する。そして、複数のスケジュールを比較し、ロットの払い出しが最も早いスケジュールを採用して、等価処理部の使用予定を考慮することにより、ロットの払い出しを確実に早くすることができてスループットを向上させることができる。なお、複数のスケジュールを比較した結果、終了時間が同じになった場合には、優先度が高い方の等価処理部を使用するスケジュールを採用するので、スケジュール作成が行き詰まることを防止できる。
【００６０】
請求項２に記載の発明によれば、各等価処理部において各々定期的に実施されるメンテナンスが考慮されるので、メンテナンスの時期であっても同様の効果を得ることが可能である。
【００６１】
（削除）
【００６２】
請求項３に記載の発明によれば、純水洗浄処理部を等価処理部として備えた基板処理装置においてスケジュール作成が可能である。
【００６３】
請求項４に記載の発明によれば、薬液処理部を等価処理部として備えた基板処理装置においてスケジュール作成が可能である。
【００６４】
請求項５に記載の発明によれば、第１のスケジュールと第２のスケジュールを作成し、いずれか早く終了する方を選択する。
【００６５】
請求項６に記載の発明によれば、プログラムとして上記請求項１と同様の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  実施例に係る基板処理装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】  実施例に係る基板処理装置の概略構成を示すブロック図である。
【図３】  スケジュール作成の一例を示す図である。
【図４】  スケジュール作成の一例を示す図である。
【図５】  スケジュール作成の一例を示す図である。
【符号の説明】
１  …  カセット
３  …  投入部
５  …  載置台
１１  …  第１搬送機構
１３  …  第２搬送機構
１５  …  第３搬送機構
１７  …  乾燥処理部
１９  …  第１処理部
２１  …  純水洗浄処理部（処理部、等価処理部）
２３  …  薬液処理部（処理部、等価処理部）
２５  …  第１副搬送機構
２７  …  第２処理部
２９  …  純水洗浄処理部（処理部、等価処理部）
３１  …  薬液処理部（処理部、等価処理部）
３３  …  第２副搬送機構
３７  …  制御部
３９  …  記憶部
【図１】
0004115107.tif 000002
【図２】
0004115107.tif 000003
【図３】
0004115107.tif 000004
【図４】
0004115107.tif 000005
【図５】
0004115107.tif 000006