(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッド素子及び該磁気ヘッド素子に電気的に接続されるパッド部がスライダに備えられてなる浮上式磁気ヘッドを、付勢電極を備えたフレキシャに接着樹脂によって接合することにより磁気ヘッドを製造する方法であり、
前記接着樹脂は、溶剤に溶解されたポリエステル系樹脂からなり、前記溶剤に分散されたゾル状態から温度Ｔｇでゲル状態に変化し、温度Ｔｍでゲル状態から溶融状態に変化し、温度Ｔｃで溶融状態から硬化状態に変化するものであってＴｇ＜Ｔｍ＜Ｔｃの関係を有するものであり、
該接着樹脂を前記フレキシャの接着面に塗布するとともにＴｇ以上Ｔｍ以下に加熱して前記接着樹脂をゲル化して前記スライダの被接着面を前記接着面に圧着することにより、前記パッド部に前記付勢電極を圧着させた状態で前記浮上式磁気ヘッドを前記フレキシャに仮固定して仮止め品とする仮固定工程と、
前記付勢電極を介して前記浮上式磁気ヘッドの電気特性を基準値と比較し、前記仮止め品を基準内のものと基準外のものに選別する検査工程と、
前記基準内の仮止め品を、温度Ｔｃ以上に加熱することにより前記接着樹脂を硬化状態にして、前記浮上式磁気ヘッドを前記フレキシャに固定して磁気ヘッドとする完成化工程と、
前記基準外の仮止め品を、温度Ｔｍ以上Ｔｃ以下に加熱することにより前記接着樹脂を溶融状態にして、前記浮上式磁気ヘッドと前記フレキシャとを分離する分解工程と、
前記分解工程により得られた前記フレキシャを、前記仮固定工程に返送する返送工程と
を具備してなることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項２】
磁気ヘッド素子及び該磁気ヘッド素子に電気的に接続されるパッド部がスライダに備えられてなる浮上式磁気ヘッドを、端子電極を備えたフレキシャに接着樹脂によって接合することにより磁気ヘッドを製造する方法であり、
前記接着樹脂は、溶剤に溶解されたポリエステル系樹脂からなり、前記溶剤に分散されたゾル状態から温度Ｔｇでゲル状態に変化し、温度Ｔｍでゲル状態から溶融状態に変化し、温度Ｔｃで溶融状態から硬化状態に変化するものであってＴｇ＜Ｔｍ＜Ｔｃの関係を有するものであり、
前記浮上式磁気ヘッドのパッド部に、接触突起を有する接続電極を接合する電極形成工程と、
前記接着樹脂を前記フレキシャの前記接着面に塗布するとともにＴｇ以上Ｔｍ以下に加熱して前記接着樹脂をゲル化して前記スライダの被接着面を前記接着面に圧着すると同時に、前記接触突起を前記端子電極に接触させた状態で、前記浮上式磁気ヘッドを前記フレキシャに仮固定して仮止め品とする仮固定工程と、
前記端子電極を介して前記浮上式磁気ヘッドの電気特性を基準値と比較し、前記仮止め品を基準内のものと基準外のものに選別する検査工程と、
前記基準内の仮止め品を、温度Ｔｃ以上に加熱することにより前記接着樹脂を硬化状態にして前記浮上式磁気ヘッドを前記フレキシャに固定するとともに、前記接触突起を潰しつつ前記接続電極を前記端子電極に圧着して磁気ヘッドとする完成化工程と、
前記基準外の仮止め品を、温度Ｔｍ以上Ｔｃ以下に加熱することにより前記接着樹脂を溶融状態にして、前記浮上式磁気ヘッドと前記フレキシャとを分離する分解工程と、
前記分解工程により得られた前記フレキシャを、前記仮固定工程に返送する返送工程と
を具備してなることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記電極形成工程は、前記浮上式磁気ヘッドを接続電極形成用の型面に対して前記パッド部の表面が起立した状態で配置し、
接続電極用材料を前記パッド部に接合すると同時に前記型面に圧着して、前記型面に対応した接触突起を有する接続電極を形成し、
前記接続電極を前記型面から剥離する工程からなることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ヘッド及びその製造方法に関するものであり、特に、磁気ヘッドの構成部品を製造工程にて再利用可能な磁気ヘッドの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
記録媒体に対して非接触状態で磁気情報を記録／再生を行う磁気ヘッドは、一般的に、サスペンションの先端に設けられたフレキシャに浮上式磁気ヘッドを保持させて構成されている。
上記の磁気ヘッドは、フレキシャに浮上式磁気ヘッドを接着剤によって接着し、次にフレキシャ側の電極を浮上式磁気ヘッドのパッド部に金ボール等を介して電気的に接続し、更に浮上式磁気ヘッドの電気特性を検査して良品のみを選別する、といった工程を経て製造されるのが一般的である。
電気特性を検査して不良品と判定された浮上式磁気ヘッドは、フレキシャに接合されたままの状態で廃棄されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで最近では、性能向上のために、サスペンション自体にマイクロアクチュエータや半導体素子を取り付けたものを用いる場合がある。従って、浮上式磁気ヘッドが不良品と判定された場合であっても、サスペンション自体を再使用したいという要望があった。
【０００４】
しかし、浮上式磁気ヘッドは接着剤によってフレキシャに強固に固定されているため、一旦フレキシャに接着したあとで取り外そうとすると、フレキシャの強度が極めて低いためにサスペンションを損傷させる可能性が高い。従ってフレキシャから浮上式磁気ヘッドを分離してサスペンションのみを再利用することは極めて困難であった。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、浮上式磁気ヘッドが不良品であった場合にサスペンションのみを再利用可能な磁気ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
【００１４】
本発明の磁気ヘッドの製造方法は、磁気ヘッド素子及び該磁気ヘッド素子に電気的に接続されるパッド部がスライダに備えられてなる浮上式磁気ヘッドを、付勢電極を備えたフレキシャに接着樹脂によって接合することにより磁気ヘッドを製造する方法であり、前記接着樹脂は、溶剤に溶解されたポリエステル系樹脂からなり、前記溶剤に分散されたゾル状態から温度Ｔｇでゲル状態に変化し、温度Ｔｍでゲル状態から溶融状態に変化し、温度Ｔｃで溶融状態から硬化状態に変化するものであってＴｇ＜Ｔｍ＜Ｔｃの関係を有するものであり、該接着樹脂を前記フレキシャの接着面に塗布するとともにＴｇ以上Ｔｍ以下に加熱することにより前記接着樹脂をゲル化して前記スライダの被接着面を前記接着面に圧着することにより、前記パッド部に前記付勢電極を圧着させた状態で前記浮上式磁気ヘッドを前記フレキシャに仮固定して仮止め品とする仮固定工程と、前記付勢電極を介して前記浮上式磁気ヘッドの電気特性を基準値と比較し、前記仮止め品を基準内のものと基準外のものに選別する検査工程と、前記基準内の仮止め品を、温度Ｔｃ以上に加熱することにより前記接着樹脂を硬化状態にして、前記浮上式磁気ヘッドを前記フレキシャに固定して磁気ヘッドとする完成化工程と、前記基準外の仮止め品を、温度Ｔｍ以上Ｔｃ以下に加熱して前記接着樹脂を溶融状態にして、前記浮上式磁気ヘッドと前記フレキシャとを分離する分解工程と、前記分解工程により得られた前記フレキシャを、前記仮固定工程に返送する返送工程とを具備してなることを特徴とする。
【００１５】
係る磁気ヘッドの製造方法によれば、フレキシャに浮上式磁気ヘッドを仮固定した状態で浮上式磁気ヘッドの電気特性を測定し、電気特性が基準外のもののみを選別して接着樹脂を溶融状態とし、フレキシャと浮上式磁気ヘッドを分離するので、フレキシャを損傷させずに浮上式磁気ヘッドを取りはずすことができ、フレキシャの再利用が可能になる。
また、電気特性が基準内のものは、接着樹脂を加熱するだけで浮上式磁気ヘッドをフレキシャに強固に固定できるので、特別な設備を必要とせず、製造工程を簡略化することが可能になる。
【００１６】
また、本発明の磁気ヘッドの製造方法は、磁気ヘッド素子及び該磁気ヘッド素子に電気的に接続されるパッド部がスライダに備えられてなる浮上式磁気ヘッドを、端子電極を備えたフレキシャに接着樹脂によって接合することにより磁気ヘッドを製造する方法であり、前記接着樹脂は、溶剤に溶解されたポリエステル系樹脂からなり、前記溶剤に分散されたゾル状態から温度Ｔｇでゲル状態に変化し、温度Ｔｍでゲル状態から溶融状態に変化し、温度Ｔｃで溶融状態から硬化状態に変化するものであってＴｇ＜Ｔｍ＜Ｔｃの関係を有するものであり、前記浮上式磁気ヘッドのパッド部に接触突起を有する接続電極を取り付ける電極形成工程と、前記接着樹脂を前記フレキシャの前記接着面に塗布するとともにＴｇ以上Ｔｍ以下に加熱して前記接着樹脂をゲル化して前記スライダの被接着面を前記接着面に圧着すると同時に、前記接触突起を前記端子電極に接触させた状態で、前記浮上式磁気ヘッドを前記フレキシャに仮固定して仮止め品とする仮固定工程と、前記端子電極を介して前記浮上式磁気ヘッドの電気特性を基準値と比較し、前記仮止め品を基準内のものと基準外のものに選別する検査工程と、前記基準内の仮止め品を、温度Ｔｃ以上に加熱することにより前記接着樹脂を硬化状態にして前記浮上式磁気ヘッドを前記フレキシャに固定するとともに、前記接触突起を潰しつつ前記接続電極を前記端子電極に圧着して磁気ヘッドとする完成化工程と、前記基準外の仮止め品を、温度Ｔｍ以上Ｔｃ以下に加熱することにより前記接着樹脂を溶融状態にして、前記浮上式磁気ヘッドと前記フレキシャとを分離する分解工程と、前記分解工程により得られた前記フレキシャを、前記仮固定工程に返送する返送工程とを具備してなることを特徴とする。
【００１７】
係る磁気ヘッドの製造方法によれば、接触突起を潰しつつ前記接続電極を前記端子電極に圧着して磁気ヘッドとするので、接続電極と端子電極との電気的接続を確実なものとすることができ、磁気ヘッドの歩留まりを向上させることが可能になる。
【００１８】
また、本発明の磁気ヘッドの製造方法は、先に記載の磁気ヘッドの製造方法であって、前記電極形成工程が、前記浮上式磁気ヘッドを接続電極形成用の型面に対して前記パッド部の表面が起立した状態で配置し、接続電極用材料を前記パッド部に接合すると同時に前記型面に圧着して、前記型面に対応した接触突起を有する接続電極を形成し、前記接続電極を前記型面から剥離する工程からなることを特徴とする。
【００１９】
係る磁気ヘッドの製造方法によれば、接続電極形成用の型面を用いて接触突起付きの接続電極を形成するので、一定の形状の接続電極を量産することができ、接続電極の生産性を高めることが可能になる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１に本発明の第１の実施形態である磁気ヘッド１の斜視図を示し、図２に磁気ヘッド１の平面図を示し、図３には磁気ヘッド１の側面図を示す。
図１に示すように、この磁気ヘッド１は、ロードビーム２の先端２ａに取り付けられたフレキシャ３と、フレキシャ３に保持された浮上式磁気ヘッド４とを主体として構成されている。これらフレキシャ３とロードビーム２とによりサスペンション３ｄが構成されている。
【００２１】
図１に示すように、浮上式磁気ヘッド４は、Ａｉ2Ｏ3-ＴｉＣ等の非磁性体からなるスライダ５に磁気ヘッド素子６が形成されて構成されている。
磁気ヘッド素子６はスライダ５の一端面５ａ上に、再生ヘッド部と書込ヘッド部とを積層して構成されている。そして、磁気ヘッド素子６の一部がスライダ５の媒体対向面５ｂに露出している。
また、図１及び図３に示すように、スライダ５の一端面５ａ上には金等からなる４つのパッド部７…が設けられている。これらのパッド部７…は磁気ヘッド素子６に電気的に接続され、磁気ヘッド素子６と外部との間でやりとりされる電気信号の端子としての役割を果たす。尚、パッド部７…の数は４つに限られるものではない。
そして図１及び図３に示すように、スライダ５の媒体対向面５ｂの反対面である被接着面５ｃが、フレキシャ３のフレキシャ舌部３ａに接着されている。
【００２２】
図２に示すように、フレキシャ３は厚さ数十μｍのステンレス等の薄板からなり、その先端にはフレキシャ舌部３ａが形成されている。フレキシャ舌部３ａは、フレキシャ３の先端中央を打ち抜いて舌状に形成されたもので、フレキシャ３の先端側から基端側に向けて延在している。
そして、フレキシャ舌部３ａの接着面３ｂには、凸部３ｃ…が形成されている。凸部３ｃ…は図３に示すように、接着面３ｂから浮上式磁気ヘッド４側に突出して形成されている。
【００２３】
また図１〜図３に示すように、フレキシャ３には、少なくとも表面が金からなる付勢電極８…が取り付けられている。付勢電極８…は、フレキシャ３の基端側から先端側に向けて延在する外部配線９…の先端に設けられており、図１及び図３に示すように、外部配線９…の先端が折り曲げられて折曲部１０が形成され、付勢電極８…はその折曲部１０…を介して外部配線９…に接続されている。
そして付勢電極８…は、折曲部１０…を固定点とする片持ちばねとされ、浮上式磁気ヘッド４のパッド部７…側に付勢されてパッド部７に圧着されている。尚、パッド部７…が金で構成された場合は、付勢力によって付勢電極８…がパッド部７…に若干くい込むため、付勢電極８…とパッド部７…との電気的な接続が良好なものとなる。
【００２４】
そして、浮上式磁気ヘッド４のスライダ５の被接着面５ｃが、フレキシャ３のフレキシャ舌部３ａの接着面３ｂに接着樹脂１１により接着されている。即ち図３に示すように、被接着面５ｃと接着面３ｂとの間に接着樹脂１１が充填され、浮上式磁気ヘッド４とフレキシャ３とがこの接着樹脂１１により接合されている。
浮上式磁気ヘッド４の被接着面５ｃは、凸部３ｃ…の上面に当接し、被接着面５ｃと接着面３ｂとの間に微小な隙間が設けられ、接着樹脂１１はこの隙間に充填される。
また凸部３ｃは、図２に示すように、接着面３ｂを取り囲むように形成されている。そして接着樹脂１１は、凸部３ｃ…によってせき止められ、凸部３ｃ…に囲まれた領域のみに塗布されている。このように、凸部３ｃ…は、浮上式磁気ヘッド４を支持するとともに接着樹脂１１の流動を防止する。
【００２５】
接着樹脂１１は、温度Ｔｇでゾル状態からゲル状態に変化し、温度Ｔｍでゲル状態から溶融状態に変化し、温度Ｔｃで溶融状態から硬化状態に変化するものである。ここで、各温度は、Ｔｇ＜Ｔｍ＜Ｔｃの関係を示す。浮上式磁気ヘッド４とフレキシャ３を接合する際には、接着樹脂１１が硬化状態またはゲル状態となる。
【００２６】
この接着樹脂１１は、通常、溶剤に溶解された状態でフレキシャ舌部３ａの接着面３ｂに塗布される。溶剤に溶解された状態の接着樹脂１１は、溶剤中に溶解分散、若しくはコロイド状に分散した状態となっており、外見上は液状体あるいは半流動状体のような性状を示し、いわゆるゾル状態になっている。
そして温度Ｔｇを越えると溶剤がほとんど揮発し、接着樹脂１１が析出したゲル状態になる。このゲル状態でフレキシャ３に浮上式磁気ヘッド４を圧着させることにより、フレキシャ３と浮上式磁気ヘッド４とを仮固定できる。図１〜図３に示す磁気ヘッド１では、接着樹脂１１がゲル状態であっても良い。
【００２７】
更に温度がＴｍを越えると、接着樹脂１１はゲル状態から溶融状態に変化し、ジェリー状から液状若しくは半流動体状になる。溶融状態の接着樹脂１１は粘着性が著しく低下し、これによりフレキシャ３に機械的な負荷を与えることなくフレキシャ３から浮上式磁気ヘッド４を分離可能となる。
そして、温度がＴｃを越えると、接着樹脂１１は溶融状態から化学的な反応、例えば重合反応、縮合反応等の化学反応を経て硬化して硬化状態になる。この硬化状態への反応は不可逆的反応であり、接着樹脂１１が一旦硬化すると、温度が低下したとしても溶融状態に戻ることがない。
図１〜３に示す磁気ヘッド１の接着樹脂１１は硬化状態であり、これによりフレキシャ３と浮上式磁気ヘッド４を強固に固定できる。
【００２８】
上記の接着樹脂１１の具体例としては、ポリエステル系が好ましい。また、溶剤の具体例としては、グリコールエステル類、ケトン類、芳香族類等を例示できるが、特にケトン類が好ましい。
【００２９】
上記の磁気ヘッド１によれば、化学的に硬化した接着樹脂１１により浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ舌部３ａに接着しているので、実際の使用によって磁気ヘッドに温度が上昇した場合でも接着強度が低下することがなく、安定した磁気記録情報の記録再生を行うことができる。
また、接着樹脂１１がゲル状態の場合であっても、充分な接着強度が得られるので、浮上式磁気ヘッド４とフレキシャ３を仮固定することができ、この状態で浮上式磁気ヘッド４の電気特性等を測定することができる。
更に、接着樹脂がゲル状態の場合には、接着樹脂を更にＴｍまで加熱して溶融状態とすることにより、浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ３から容易に取り外せるので、フレキシャ３に機械的な負荷がかかることがなく、サスペンション３ｄを損傷させることがない。
【００３０】
また、浮上式磁気ヘッド４と外部との電気的な接続をパッド部７…と付勢電極８…のみにより行うので、従来のように金ボールを介して溶接する必要がなく、部品点数が低減して信頼性の高い磁気ヘッドを構成することが可能になる。
更にパッド部７…と付勢電極８…の接続は、付勢電極８…をパッド部７…に付勢して圧着することのみで維持されているので、フレキシャ３から浮上式磁気ヘッド４を取りはずす際に、パッド部７…と付勢電極８…を切り離すための操作は特に必要なく、単に接着樹脂１１を溶融状態にするだけでフレキシャ３から浮上式磁気ヘッド４を取りはずすことができ、パッド部７…や付勢電極８…を損傷させることがない。
【００３１】
また、フレキシャ舌部３ａの接着面３ｂ上に接着樹脂１１の流動を防止する凸部３ｃ…が設けられているので、接着樹脂１１が過度に広範囲に広がることがなく、フレキシャ３と浮上式磁気ヘッド４の接着強度が低下することがないので、浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ３に確実に固定させることができる。
【００３２】
また、付勢電極に接続電極を取り付け、この接続電極にパッド部を付勢させることによって、浮上式磁気ヘッドを外部配線に電気的に接続しても良い。
この例の磁気ヘッドの要部を図４に示す。なお、図４に示す磁気ヘッドの構成要素のうち、図１〜図３に示した磁気ヘッド１と同一の構成要素には同一符号を付してその説明を省略する。
図４に磁気ヘッド２０は、図１〜３に示した磁気ヘッドと同様に、パッド部７…を有する浮上式磁気ヘッド４と、フレキシャ２３と、付勢電極２８とを主体として構成されている。
【００３３】
付勢電極２８は、フレキシャ舌部２３ａの一部を打ち抜いて舌状に形成されたもので、フレキシャ舌部２３ａの先端側から基端側に向けて延在している。
付勢電極２８は、浮上式磁気ヘッド４から離れる側に向けてフレキシャ舌部２３ａから折り曲げられており、この折り曲げられた部分が折曲部３０とされている。そして、外部配線９の先端がこの折曲部３０近傍に接続されている。
【００３４】
また、浮上式磁気ヘッド４のパッド部７…には、接続電極４０…が取り付けられている。接続電極４０…は、一端がパッド部７…に接合し、他端がフレキシャ舌部２３ａ側に突出している。接続電極４０…の他端は、付勢電極１８…の打ち抜きによって形成された打抜孔１８ａを貫通して付勢電極１８側に突出している。
そして付勢電極１８…は、折曲部３０…を固定点とする片持ちばねとされ、浮上式磁気ヘッド４のパッド部７…側に付勢され、接続電極４０…に圧着されている。
【００３５】
上記の磁気ヘッド２０によれば、先に説明した磁気ヘッド１と同様な効果の他に次の効果が得られる。即ち、付勢電極１８とパッド部７…との間に接続電極４０…が配置され、付勢電極１８…が接続電極４０…側に付勢されているので、浮上式磁気ヘッドと外部配線９とを確実に接続することができる。
また、フレキシャ舌部２３ａを打ち抜くだけで、あるいはエッチングすることにより付勢電極１８…を形成できるので、構造が簡略化されて磁気ヘッド２０の信頼性を高めることができる。
【００３６】
次に、本発明の第１の実施形態の磁気ヘッド１の製造方法を図面を参照して説明する。
磁気ヘッド１の製造方法は、浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ３に仮固定して仮止め品とする仮固定工程と、浮上式磁気ヘッド４の電気特性に基づいて仮止め品を選別する検査工程と、仮止め品が良品の場合に浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ３に完全に固定する完成化工程と、仮止め品が不良品の場合に浮上式磁気ヘッド４とフレキシャ３を分離する分解工程と、フレキシャ３を仮固定工程に返送する返送工程とから構成されている。
【００３７】
まず仮固定工程では、図５の符号１００で示すように、フレキシャ舌部３ａの接着面３ｂに接着樹脂１１を塗布する。接着樹脂１１は凸部３ｃ…に囲まれた領域に塗布することが望ましい。
また、接着樹脂１１は前述したように、加熱によってゾル状態からゲル状態へ、更に溶融状態から硬化状態に変化するものであり、この仮固定工程においては溶剤に溶解されてゾル状態の接着樹脂１１を塗布する。そして、Ｔｇ以上Ｔｍ以下の温度に加熱して溶剤を揮発させることにより接着樹脂１１をゲル化する。接着樹脂１１が例えばポリエステル系樹脂の場合、Ｔｇは２５℃（室温）程度、Ｔｍは１００℃程度である。
【００３８】
次に、図５の符号１０１で示すように、フレキシャ舌部３ａに浮上式磁気ヘッド４を圧着して仮固定し、仮止め品Ａとする。ゲル状態の接着樹脂１１は、外見的にはジェリー状であり、粘着性を示す。従って接着樹脂１１がゲル状態のときに、フレキシャ３に浮上式磁気ヘッド４を圧着させることにより、フレキシャ３と浮上式磁気ヘッド４とを仮固定できる。
フレキシャ３に浮上式磁気ヘッド４を仮固定した状態では、図５の符号１０１で示すように、パッド部７…に付勢電極８…が圧着された状態になる。
なお、浮上式磁気ヘッド４とフレキシャ３とを冶具等により固定した状態で接着樹脂１１を加熱してゲル状態とし、浮上式磁気ヘッド４とフレキシャ３を仮固定しても良い。
【００３９】
次に検査工程では、まず図５の符号１０２に示すように、仮止め品Ａの外部配線９に測定機器Ｂを接続する。これにより測定装置Ｂを、外部配線９から付勢電極８…及びパッド部７…を介して浮上式磁気ヘッド４の磁気ヘッド素子（図示せず）に電気的に接続する。浮上式磁気ヘッド４はフレキシャ３に仮固定された状態であるが、付勢電極８…をパッド部７…に圧着した状態であるので、付勢電極８…とパッド部７…との間の電気的な接続が良好な状態に保たれている。
この状態で、浮上式磁気ヘッド４の磁気ヘッド素子の電気特性を測定機器Ｂにより測定する。測定する電気特性としては、例えば、磁気ヘッド素子の再生ヘッド部に設けられたＭＲ素子の電気抵抗や、再生出力、出力波形の対称性、安定性、磁気ヘッド素子の寸法、位置関係等を例示できる。
【００４０】
そして、測定した電気特性とあらかじめ決められた基準値（若しくは許容範囲）とを比較し、測定した仮止め品Ａが基準内のものか、基準外のものかを選別する。
例えば、測定した電気特性がＭＲ素子の電気抵抗である場合には、この電気抵抗値を基準となる電気抵抗値の許容範囲と比較する。そして、ＭＲ素子の電気抵抗が許容範囲外である場合はその仮止め品を基準外のもの（不良品）Ａ1とし、ＭＲ素子の電気抵抗が許容範囲内である場合はその仮止め品を基準内のもの（良品）Ａ2とする。
【００４１】
次に、上記の検査工程で基準内のもの（良品）と判定された仮止め品Ａ1は、完成化工程に進んで以下の処理が行われる。
完成化工程では仮止め品Ａ1に対し、図５の符号１０３で示すように、仮止め品Ａ1を温度Ｔｃ以上に加熱して接着樹脂１１を化学反応させて硬化状態とすることにより、浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ３に完全に固定する。接着樹脂１１を温度Ｔｃまで加熱すると、接着樹脂１１は溶融状態を経て化学的な反応、例えば重合反応、縮合反応等を引き起こして硬化する。溶融状態から硬化状態への反応は不可逆的反応であり、接着樹脂１１が一旦この硬化状態になると温度が低下しても溶融状態に戻ることはない。また、加熱する温度は、浮上式磁気ヘッド４の耐熱温度以下の温度とすることが好ましい。尚、接着樹脂１１がポリエステル系樹脂の場合、Ｔｃは１２０〜１３０℃程度となる。
このようにして磁気ヘッド１が得られる。
【００４２】
次に、上記の検査工程で基準外のもの（不良品）と判定された仮止め品Ａ2は、分解工程に進んで以下の処理が行われる。
分解工程では仮止め品Ａ2に対し、図５の符号１０４で示すように、仮止め品Ａ2を温度Ｔｍ以上Ｔｃ以下の範囲に加熱してゲル状態の接着樹脂１１を溶融状態にすることにより、浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ３から分離する。接着樹脂１１を温度Ｔｍ以上Ｔｃ以下の範囲に加熱すると、ゲル状態の接着樹脂１１は溶融状態に変化し、液状若しくは半流動体状になる。溶融状態の接着樹脂１１は粘着性が著しく低下し、これによりフレキシャ３に機械的な負荷を与えることなくフレキシャ３から浮上式磁気ヘッド４を分離することができる。
【００４３】
特に浮上式磁気ヘッド４はフレキシャ舌部３ａに仮固定されており、このフレキシャ舌部３ａはフレキシャ３の一部を切り欠いてフレキシャ３に対して撓みやすく形成されている。
従ってフレキシャ３自体の機械的強度は極めて低いものであるが、溶融状態になった接着樹脂１１は粘着性が極めて低くなっているので、フレキシャ３を変形させることなく、浮上式磁気ヘッド４を取りはずすことができる。
更にパッド部７…と付勢電極８…の接続は、付勢電極８…をパッド部７…に付勢して圧着することのみで維持されているので、フレキシャ３から浮上式磁気ヘッド４を取りはずす際に、パッド部７…と付勢電極８…を切り離すための操作は特に必要なく、単に接着樹脂１１を溶融状態にするだけでフレキシャ３から浮上式磁気ヘッド４を取りはずすことができ、パッド部７…や付勢電極８…を損傷させることがない。
【００４４】
そして検査工程に続く返送工程では、図５の符号１０５で示すように、分解工程において浮上式磁気ヘッド４を分離した後のフレキシャ３とロードビーム２を含むサスペンション３ｄを、仮固定工程に返送する。このフレキシャ３には、仮固定工程にて再び別の浮上式磁気ヘッド４が仮固定される。
尚、返送工程において、返送するフレキシャ３のフレキシャ舌部３ａに接着樹脂１１の一部が残存している場合には、適当な溶剤中にフレキシャ３ごと浸漬して接着樹脂１１を除去することが好ましい。
また本発明の磁気ヘッド１の製造方法によれば、サスペンション３ｄを再利用することができる。特にサスペンション３ｄに付加機能を追加すべくマイクロアクチュエータや半導体素子等を取り付けたものであっても、サスペンション３ｄを破棄することなく再利用できるので、省資源化できるとともに磁気ヘッド１の製造コストを大幅に低減できる。
【００４５】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態を図面を参照して説明する。
図６に本発明の第２の実施形態である磁気ヘッド４１の側面図を示し、図７には上記の磁気ヘッド４１のフレキシャ３３の平面図を示す。
尚、図６及び図７に示す磁気ヘッド４１の構成要素のうち、第１の実施形態で説明した磁気ヘッド１の構成要素と同一のものには、同一符号を付してその説明の一部若しくは全部を省略する。
図６に示す磁気ヘッド４１は、第１の実施形態の磁気ヘッド１と同様に、ロードビーム２の先端に設けられたフレキシャ３３と、フレキシャ３３に保持された浮上式磁気ヘッド４とを主体として構成されている。また、フレキシャ３３とロードビーム２とによりサスペンションが構成されている。
【００４６】
浮上式磁気ヘッド４は、Ａｉ2Ｏ3-ＴｉＣ等の非磁性体からなるスライダ５に図示しない磁気ヘッド素子が形成されて構成され、スライダ５の一端面５ａ上には金等からなるパッド部７…が設けられている。これらのパッド部７…は磁気ヘッド素子に電気的に接続され、磁気ヘッド素子と外部との間でやりとりされる電気信号の端子としての役割を果たす。
そして図６に示すように、スライダ５の媒体対向面５ｂの反対面である被接着面５ｃが、フレキシャ３３のフレキシャ舌部３３ａに接着されている。
【００４７】
図７に示すように、フレキシャ３３は厚さ数十μｍのステンレス等の薄板からなり、フレキシャ舌部３３ａ及びフレキシャ本体３３ｄを有し、更に外部配線３９と、端子電極３８とを主体として構成されている。
フレキシャ３３の中央にはフレキシャ舌部３３ａが形成されている。フレキシャ舌部３３ａは、フレキシャ３３の先端中央を打ち抜いて舌状に形成されたもので、フレキシャ本体３３ｄにより弾性支持されている。
また、フレキシャ舌部３３ａの接着面３３ｂには、凸部３３ｃ…が形成されている。凸部３３ｃ…は図６に示すように、接着面３３ｂから浮上式磁気ヘッド４側に突出して形成されている。
【００４８】
また図６及び図７に示すように、フレキシャ３３の端子電極３８…は、フレキシャ本体３３ｄとフレキシャ舌部３３ａの接続部分において、フレキシャ舌部３３ａの一部を打ち抜いて平面視コ字状のスリット３９ｂを設けて形成され、フレキシャ舌部３３ａにより弾性支持されている。そして端子電極３８…は、フレキシャ舌部３３ａとの接続部分を固定点とする片持ちばねとされている。
また端子電極３８には、図６及び図７に示すように、外部配線３９の先端３９ａが位置している。
【００４９】
浮上式磁気ヘッド４のパッド部７と端子電極３８の外部配線の先端３９ａは、接続電極５０により電気的に接続されている。接続電極５０は、金ボールを超音波成形等により断面視略Ｌ字型に形成してなるもので、パッド部７と外部配線先端３９ａに双方に接合されている。
【００５０】
そして、浮上式磁気ヘッド４のスライダ５の被接着面５ｃが、フレキシャ舌部３３ａの接着面３３ｂに接着樹脂１１により接着されている。即ち図６に示すように、被接着面５ｃと接着面３３ｂとの間に接着樹脂１１が充填され、浮上式磁気ヘッド４とフレキシャ３３とがこの接着樹脂１１により接合されている。
被接着面５ｃは、凸部３３ｃ…の上面に当接し、被接着面５ｃと接着面３３ｂとの間に微小な隙間が設けられ、接着樹脂１１はこの隙間に充填される。
また凸部３３ｃは、図７に示すように、接着面３３ｂを取り囲むように形成されている。そして接着樹脂１１は、凸部３３ｃ…によってせき止められ、凸部３３ｃ…に囲まれた領域のみに塗布されている。このように、凸部３３ｃ…は、浮上式磁気ヘッド４を支持するとともに接着樹脂１１の流動を防止する。
【００５１】
接着樹脂１１は、第１の実施形態にて説明した接着樹脂１１と同様のもので、温度Ｔｇでゾル状態からゲル状態に変化し、温度Ｔｍでゲル状態から溶融状態に変化し、温度Ｔｃで溶融状態から硬化状態に変化するものである。浮上式磁気ヘッド４とフレキシャ３３を接合する際には、接着樹脂１１が硬化状態となる。
【００５２】
上記の磁気ヘッド４１によれば、パッド部７及び端子電極３８（外部配線先端３９ａ）とが接続電極５０に接合されているので、外部配線３９と浮上式磁気ヘッド４とを電気的に確実に接続することができる。
また、この磁気ヘッド４１によれば、接着樹脂１１により浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ３３に接着しているので、実際の使用によって磁気ヘッドに温度が上昇した場合でも接着強度が低下することがなく、安定した磁気記録情報の記録再生を行うことができる。
また、接着樹脂１１がゲル状態の場合であっても、充分な接着強度が得られるので、浮上式磁気ヘッド４とフレキシャ３３を仮固定することができ、この状態で浮上式磁気ヘッド４の電気特性等を測定することができる。
更に、接着樹脂がゲル状態の場合には、接着樹脂を更にＴｍまで加熱して溶融状態とすることにより、浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ３３から容易に取り外せるので、フレキシャ３３に機械的な負荷がかかることがなく、フレキシャ３３を損傷させることがない。
【００５３】
また、フレキシャ３３の接着面３３ｂ上に接着樹脂１１の流動を防止する凸部３３ｃ…が設けられているので、接着樹脂１１が過度に広範囲に広がることがなく、フレキシャ３３と浮上式磁気ヘッド４の接着強度が低下することがないので、浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ３３に確実に固定させることができる。
【００５４】
次に、上記の磁気ヘッド４１の製造方法を説明する。この磁気ヘッド４１の製造方法は、浮上式磁気ヘッド４に接続電極５０を接合する電極形成工程と、浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ３３に仮固定して仮止め品とする仮固定工程と、浮上式磁気ヘッド４の電気特性に基づいて仮止め品を選別する検査工程と、仮止め品が良品の場合に浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ３３に完全に固定するとともに接続電極５０をフレキシャ３３に圧着する完成化工程と、仮止め品が不良品の場合に浮上式磁気ヘッド４とフレキシャ３３を分離する分解工程と、フレキシャ３３を仮固定工程に返送する返送工程とから構成されている。
【００５５】
まず、電極形成工程では、図８の符号２０１に示すように、浮上式磁気ヘッド４を媒体対向面５ａを上にして接続電極形成用の型Ｃの型面Ｃ1上に配置する。この型Ｃの型面Ｃ1は例えばステンレス等により構成されており、そして型面Ｃ1上にはディンプルＤが設けられている。浮上式磁気ヘッド４は、この型面Ｃ1に対し、パッド部７…の表面が起立した状態で配置される。
次に、金ボール等の接続電極用材料５１をパッド部７…と型面Ｃ1のディンプルＤとに接触するように配置し、超音波溶着を行って接続電極用材料５０をパッド部７…と型面Ｃ1に圧着させる。接続電極用材料５１が型面Ｃ1に圧着される際に、材料５１の一部が型面Ｃ1上のディンプルＤに充填される。このようにして、接続電極５０が形成される。
接続電極用材料５１が金ボールからなるとともにパッド部７…も金から構成される場合には、接続電極５０がパッド部７の表面に完全に接合する。一方、接続電極５０は材質の異なる型面Ｃ1には完全に接合せず、剥離可能な状態となる。
【００５６】
そして、図８の符号２０２に示すように、型Ｃから接続電極５０及び浮上式磁気ヘッド４を剥離する。
接続電極５０には、スライダ５の被接着面５ｃよりも図中下方に突出する接続突起５０ａが設けられる。この接続突起５０ａは、型面Ｃ1上に設けられたディンプルＤに対応するものである。
【００５７】
次に図８の符号２０３で示すように、仮固定工程では、第１の実施形態の仮固定工程と同様にして、フレキシャ舌部３３ａの接着面３３ｂに接着樹脂１１を塗布し、Ｔｇ以上Ｔｍ以下の温度に加熱して接着樹脂１１をゲル化し、そしてフレキシャ舌部３３ａに浮上式磁気ヘッド４を圧着して仮固定し、仮止め品Ａとする。フレキシャ舌部３３ａに浮上式磁気ヘッド４を仮固定した状態では、図８の符号２０３で示すように、接続電極５０の接触突起５０ａが端子電極３８に接触して端子電極３８を図中下側に付勢させた状態になる。
【００５８】
次に検査工程では、第１の実施形態にて説明した検査工程と全く同様にして、図示しない測定機器を外部配線３９に接続し、接続電極５０及びパッド部７を介してこの測定機器を浮上式磁気ヘッド４に電気的に接続し、浮上式磁気ヘッド４の磁気ヘッド素子の電気特性を測定する。
【００５９】
そして、測定した電気特性とあらかじめ決められた基準値（若しくは許容範囲）とを比較し、測定した仮止め品Ａが基準内のものか、基準外のものかを選別する。
例えば、測定した電気特性がＭＲ素子の電気抵抗である場合には、この電気抵抗値を基準となる電気抵抗値の許容範囲と比較する。そして、ＭＲ素子の電気抵抗が許容範囲外である場合はその仮止め品を基準外のもの（不良品）とし、ＭＲ素子の電気抵抗が許容範囲内である場合はその仮止め品を基準内のもの（良品）とする。
【００６０】
次に、上記の検査工程で基準内のもの（良品）と判定された仮止め品は、完成化工程に進んで以下の処理が行われる。
完成化工程では図８の符号２０４で示すように、仮止め品を温度Ｔｃ以上に加熱して接着樹脂１１を化学反応させて硬化状態とすることにより、浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ３３に完全に固定する。
同時に、超音波溶着処理等によって接続電極５０を端子電極３８に圧着する。圧着の際には、図中上側から超音波溶着用のヘッドを接続電極５０に押し当てるとともにフレキシャ舌部３３ａの図中下方から図示しない冶具等により端子電極３８を支持し、接続電極５０を上下方向から挟む形で成形する。この圧着によって接続電極５０に設けられていた接触突起５０ａが潰され、接続電極５０と端子電極３８上の外部配線の先端３９ａが完全に接合する。
このようにして磁気ヘッド４１が得られる。
【００６１】
次に、上記の検査工程で基準外のもの（不良品）と判定された仮止め品は、分解工程に進み、第１の実施形態の場合と同様にして、以下の処理が行われる。
分解工程では仮止め品を温度Ｔｍ以上Ｔｃ以下の範囲に加熱してゲル状態の接着樹脂１１を溶融状態にして、浮上式磁気ヘッド４をフレキシャ３３から分離する。溶融状態の接着樹脂１１は粘着性が著しく低下し、これによりフレキシャ３３に機械的な負荷を与えることなくフレキシャ３３から浮上式磁気ヘッド４を分離することができる。
【００６２】
更にパッド部７…と端子電極３８…の接続は、接続電極５０の接触突起５０ａによる点接触のみで維持されているので、フレキシャ３３から浮上式磁気ヘッド４を取りはずす際に、パッド部７と端子電極３８を切り離すための操作は特に必要なく、パッド部７や端子電極３８を損傷させることがない。
【００６３】
そして検査工程に続く返送工程では、第１の実施形態の場合と同様にして、フレキシャ３３を仮固定工程に返送する。このフレキシャ３３には、仮固定工程にて再び別の浮上式磁気ヘッド４が仮固定される。
【００６４】
上記の磁気ヘッド４１の製造方法によれば、フレキシャ３３とロードビーム２からなるサスペンションを再利用することができる。特にサスペンションに付加機能を追加すべくマイクロアクチュエータや半導体素子等をサスペンションに取り付けたものであっても、サスペンションを破棄することなく再利用できるので、省資源化できるとともに磁気ヘッド４１の製造コストを大幅に低減できる。
また完成化工程において、接続電極５０をパッド部７と端子電極３８に完全に接合するので、浮上式磁気ヘッド４を外部配線３９に確実に接続することができ、磁気ヘッド４１の歩留まりを向上させることができる。
【００６５】
なお、上記の製造方法の仮固定工程において、端子電極３８が接続電極５０によって付勢されているが、付勢されないものであっても良い。即ち、端子電極３８がフレキシャ本体３３ｄに対して剛性支持されたものであってもよい。
【００６６】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように本発明の磁気ヘッドによれば、加熱によって硬化する接着樹脂により浮上式磁気ヘッドをフレキシャに接着しているので、実際の使用によって磁気ヘッドの温度が上昇した場合でも接着強度が低下することがなく、安定した磁気記録情報の記録再生を行うことができる。
また、接着樹脂がゲル状態の場合であっても、充分な接着強度が得られるので、浮上式磁気ヘッドとフレキシャを仮固定することができ、この状態で浮上式磁気ヘッドの電気特性等を測定することができる。
更に接着樹脂がゲル状態の場合には、更に接着樹脂を加熱して溶融状態とすることで、浮上式磁気ヘッドをフレキシャから容易に取り外せるので、フレキシャを損傷させることがない。
更に、浮上式磁気ヘッドと外部との電気的な接続をパッド部と付勢電極のみにより行うので、従来のように金ボールを介して溶接する必要がなく、部品点数が低減して信頼性の高い磁気ヘッドを構成することができる。
【００６７】
また、本発明の磁気ヘッドの製造方法によれば、フレキシャに浮上式磁気ヘッドを仮固定した状態で浮上式磁気ヘッドの電気特性を測定し、電気特性が基準外のもののみを選別して接着樹脂を溶融状態とし、フレキシャと浮上式磁気ヘッドを分離するので、フレキシャを損傷させずに浮上式磁気ヘッドを取りはずすことができ、フレキシャを再利用することができる。
また、電気特性が基準内のものは、接着樹脂を加熱するだけで浮上式磁気ヘッドをフレキシャに強固に固定できるので、特別な設備を必要とせず、製造工程を簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】   本発明の第１の実施形態である磁気ヘッドの斜視図である。
【図２】   本発明の第１の実施形態である磁気ヘッドのフレキシャの要部を示す平面図である。
【図３】   本発明の第１の実施形態である磁気ヘッドの側面図である。
【図４】   本発明の第１の実施形態である他の磁気ヘッドの要部を示す側面図である。
【図５】   本発明の第１の実施形態である磁気ヘッドの製造方法を説明するための工程図である。
【図６】   本発明の第２の実施形態である磁気ヘッドの側面図である。
【図７】   本発明の第２の実施形態である磁気ヘッドのフレキシャの要部を示す平面図である。
【図８】   本発明の第２の実施形態である磁気ヘッドの製造方法を説明するための工程図である。
【符号の説明】
１、２０…磁気ヘッド、３…フレキシャ、３ｂ…接着面、３ｃ…凸部、４…浮上式磁気ヘッド、５…スライダ、５ａ…一端面、５ｂ…媒体対向面、５ｃ…被接着面、６…磁気ヘッド素子、７…パッド部、８、１８…付勢電極、９…外部配線、１０、３０…折曲部、１１…接着樹脂、４０…接続電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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