(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一側及び他側板面に相対面した第１と第２の励振電極を有する光透過性とした水晶片の前記一側板面に蒸着によって所望の形状の前記第１励振電極を形成する工程と、
前記水晶片の前記他側板面に感光性のレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜に前記水晶片の前記一側板面から前記第１励振電極の形成部位をフォトマスクとして光を照射する工程と、
前記レジスト膜の感光部分又は非感光部分を除去して前記第１励振電極に対向した前記水晶片の前記他側板面を露出する工程と、
前記水晶片の前記他側板面に残ったレジスト膜を含めて、前記他側板面の全面に蒸着によって電極を形成する工程と、
前記水晶片の前記他側板面のレジスト膜及び前記レジスト膜上の電極を除去して、前記他側板面に前記第２励振電極を形成する工程と、
からなることを特徴とする水晶片に対する励振電極の形成方法。
【請求項２】
特許請求の範囲第１項に記載のものにおいて、前記レジスト膜は感光部分が硬化し、前記他側板面の非感光部分に電極を蒸着したことを特徴とする水晶片に対する励振電極の形成方法。
【請求項３】
特許請求の範囲第１項に記載のものにおいて、前記レジスト膜は非感光部分が硬化し、前記他側板面の感光部分に電極を蒸着により形成したことを特徴とする水晶片に対する励振電極の形成方法。
【請求項４】
特許請求の範囲第１項に記載のものにおいて、前記水晶片はモノリシック水晶フィルタ用であることを特徴とする水晶片に対する励振電極の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、光透過性を有する水晶片の表裏板面（一側及び他側板面）に対面して同じ形状の励振電極を正確に形成することのできる水晶片に対する励振電極の形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来たとえばモノリシック水晶フィルタ等では、板状に成形した水晶片の表裏板面に相対面して、水晶片を励振する励振電極を形成することが行われている。
【０００３】
このような励振電極を形成する場合、一般的には水晶片の上に所望の電極形状に対応した透孔を形成した蒸着マスクを載せる。そして、真空中に置いた蒸着源に蒸着マスクを介在して水晶片を対向させて、蒸着マスクに対応した形状に電極を蒸着するようにしている。  蒸着源は、たとえばアルミ、銀等の蒸着金属を加熱して金属蒸気を発生させるようにしている。
【０００４】
しかしながら、たとえばモノリシック水晶フィルタの場合、著しく高周波化、小型化の傾向がある。このため、たとえば周波数１３０ＭＨｚの小型のフィルタでは、表面実装型の容器の外形形状は２．５ｍｍｘ２．０ｍｍ、この容器に納める水晶片の大きさは１．５ｍｍｘ０．８ｍｍ程度のものがある。
【０００５】
さらに、このように小さな水晶片の板面に０．４ｍｍ角程度の電極を正確に対面させて形成する必要があり、蒸着マスクのわずかなズレによって電極位置がズレて所望のフィルタ特性を得られなくなる。
【０００６】
一般に、蒸着マスクは水晶片の外形形状に対応した多数の透孔を穿設した金属板からなる中枠の両側に、金属薄板に蒸着で形成する電極形状に対応した透孔を穿設したマスク板を添設する。そして中枠の透孔に、それぞれ水晶片を配置して、両側からマスク板で挟み込み、中枠とマスク板を重ね合わせた状態で、複数箇所をネジ止めして蒸着を行うようにしている。
【０００７】
しかしながら、このような構造では形状が極めて小さな水晶片を所定位置に正確に保持し、かつマスク板を所定の位置に正確に置くことは極めて困難であり、蒸着を行う際の工数もかかり、しかも電極位置がズレて、設計段階で予定した所望のフィルタ特性を得られず、不良品が多発する問題があった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、光透過性を有する水晶片の表裏板面（一側及び他側版面）に相対面して同じ形状の励振電極を正確に形成することのできる電極の形成方法を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１は、一側及び他側板面に相対面した第１と第２の励振電極を有する光透過性とした水晶片の前記一側板面に蒸着によって所望の形状の前記第１励振電極を形成する工程と、
前記水晶片の前記他側板面に感光性のレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜に前記水晶片の前記一側板面から前記第１励振電極の形成部位をフォトマスクとして光を照射する工程と、
前記レジスト膜の感光部分又は非感光部分を除去して前記第１励振電極に対向した前記水晶片の前記他側板面を露出する工程と、
前記水晶片の前記他側板面に残ったレジスト膜を含めて、前記他側板面の全面に蒸着によって電極を形成する工程と、
前記水晶片の前記他側板面のレジスト膜及び前記レジスト膜上の電極を除去して、前記他側板面に前記第２励振電極を形成する工程と、
からなることを特徴とする水晶片に対する励振電極の形成方法である。
【００１０】
そして、請求項２は、請求項１に記載のものにおいて、前記レジスト膜は感光部分が硬化し、前記他側板面の非感光部分に電極を蒸着したことを特徴とする水晶片に対する励振電極の形成方法であり、請求項３は請求項１に記載のものにおいて、前記レジスト膜は非感光部分が硬化し、前記他側板面の感光部分に電極を蒸着により形成したことを特徴とする水晶片に対する励振電極の形成方法である。
【００１１】
さらに、請求項４は請求項１に記載のものにおいて、前記水晶片はモノリシック水晶フィルタ用であることを特徴とする水晶片に対する励振電極の形成方法である。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態をモノリシック水晶フィルタ用の水晶片に対する励振電極の形成方法を例として図１に示すフローチャート、図２に示す厚みを誇張した側面図を参照して詳細に説明する。まず１で「ＳＴＡＲＴ」し、続いて２で光透過性を有する水晶片１１の「一側板面に第１例振電極１２を蒸着」する。
【００１３】
この第１例振電極１２は、たとえばアルミ、銀等の金属薄膜のため光を遮断するのに対して第１例振電極の非形成部位は水晶であり光を透過する。そして、３で水晶片１１の「他側板面の全面にレジストを塗布」する。この場合、レジストの光学的特性に応じて他側板面に形成する第２例振電極の形成位置が定まる。
【００１４】
すなわち、他側板面の第２励振電極は、レジスト膜の感光部分が硬化するものを用いた場合は非感光部位に形成され、レジスト膜の非感光部分が硬化するものを用いた場合は感光部位に形成される。したがって、モノリシック水晶フィルタの場合は、表裏板面（一側及び他側板面）の第１及び第２の励振電極を正確に対面して形成する必要があり、レジスト膜は感光部分が硬化するものを用いる。
【００１５】
そして、４で「一側板面から光を照射」し、光が透過した他側板面の領域を硬化レジストとし、第１例振電極に対向した他側板面の領域を非硬化レジストとする。続いて５で第１例振電極に対向した他側板面の「非硬化レジストの除去」を行う。そして、６で「他側板面に電極を蒸着」し、７で「硬化したレジストの除去」を行う。この場合、他側板面の全面に電極を蒸着するが、これによって形成した金属薄膜のうち、硬化したレジストの上に蒸着した部分は、この硬化したレジストを除去する際に同時に除去される。
【００１６】
このようにすれば、水晶片１１の一側板面に形成した第１例振電極をマスクとして他側板面のレジストを露光し、レジスト膜の非硬化部分を除去して他側板面に電極を蒸着している。  そして、他側板面に残った硬化したレジスト膜及びその上の電極を除去するようにしている。  したがって、一側板面の第１例振電極の電極形状に正確に対応した形状の第２例振電極を他側板面に形成することができる。
【００１７】
さらには、微小な寸法の水晶片を蒸着マスクに納める作業も不要になり、作業を大幅に簡素化することができる。  したがって、製造コストを低減し、しかも正確に所望の位置に第１及び第２の励振電極を形成することができ、たとえばモノリシック水晶フィルタの場合は設計時に予定した電気的特性を実現することが出来る。
【００１８】
しかして、上記実施例によれば、特に形状の小さな、光透過性を有する水晶片の表裏板面に、正確に対面した状態に、第１及び第２の励振電極を形成することができ、しかも加工も容易で高い寸法精度を容易に実現することができる。
【００１９】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、光透過性を有する水晶片の表裏板面（一側及び他側板面）に相対面して同じ形状の第１及び第２の電極を正確に形成することができる水晶片に対する励振電極の形成方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態のフローチャートである。
【図２】  本発明の一実施態様の厚みを誇張した側面図である。
【符号の説明】
１１            ・・  水晶片
１２            ・・  電極
【図１】
0004111731.tif 000002
【図２】
0004111731.tif 000003