(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
同心の回転中心を有して回転可能な第１，第２のロボットリンク機構と、第１，第２のロボットリンク機構のそれぞれに個別に接続された駆動源とを備えていると共に、
第１のロボットリンク機構は、上記回転中心側から放射方向に突設された第１，第２のアームと、第１のアームの先端に軸支された第１のリンクと、第２のアームの先端に軸支された第２のリンクと、第１，第２のリンクの先端に架設されて当該第１のロボットリンク機構の伸縮動作により上記回転中心に対して放射方向に出没動作する第１の搬送台とを備え、
第２のロボットリンク機構は、上記回転中心側から放射方向に突設された第３，第４のアームと、第３のアームの先端に軸支された第３のリンクと、第４のアームの先端に軸支された第４のリンクと、第１，第２のリンクの先端に架設されて当該第２のロボットリンク機構の伸縮動作により上記回転中心に対して放射方向に出没動作する第２の搬送台とを備え、
上記第１乃至第４のアームに対する上記第１乃至第４のリンクの回転支点のそれぞれは、上記回転中心からの回転半径が同一寸法とされ、
上記第１，第２の搬送台は、上記回転中心の軸心方向で同一位置とされ、かつ上記第１，第２のロボットリンク機構が待機位置にある時に上記軸心方向に重複しない角度範囲内で該第１，第２のロボットリンク機構の回転方向に位置ずれしており、
上記第２のロボットリンク機構の少なくとも第３アームおよび第３リンクは、上記伸縮動作時に上記第１のロボットリンク機構の第１のアームと第１のリンクとの間に形成される軸心方向の隙間を通過すると共に、上記第１のロボットリンク機構の回転軌跡の外周側には、上記第２のロボットリンク機構の通過時の干渉を避けるように外側に湾曲した湾曲部分が設けられている
ことを特徴とするハンドリング用ロボット。
【請求項２】
上記回転中心で回転する第１，第２及び第３のボスと、上記第１のボスに設けられた上記第１のアームと、上記第２のボスに設けられた上記第２，第３のアームと、上記第３のボスに設けられた上記第４のアームとを備えたことを特徴とする請求項１記載のハンドリング用ロボット。
【請求項３】
上記第１のアームは上記第１のボスの側面に設けられ、上記第２，第３のアームは上記第２のボスの側面に設けられ、上記第４のアームは上記第３のボスの側面に設けられていることを特徴とする請求項２記載のハンドリング用ロボット。
【請求項４】
上記回転中心で回転する上記第１及び第２のボスと、上記第１のボスに設けられた上記第１，第２のアームと、上記第２のボスに設けられた上記第３，第４のアームとを備えたことを特徴とする請求項１記載のハンドリング用ロボット。
【請求項５】
上記第１，第２のアームは上記第１のボスの側面に設けられ、上記第３，第４のアームは上記第２のボスに、その一方はこのボスの側面に他方はこのボスの頂面に設けられていることを特徴とする請求項４記載のハンドリング用ロボット。
【請求項６】
上記第１，第２のアームは上記第１のボスの側面に設けられ、上記第３，第４のアームは上記第２のボスの側面に設けられていることを特徴とする請求項４記載のハンドリング用ロボット。
【請求項７】
同心の回転中心を有して回転可能な第１，第２のロボットリンク機構と、第１の駆動源と、第２の駆動源とを備え、
上記第１のロボットリンク機構は、回転台と、上記回転台に回転自在に支持された平行リンク機構からなる第１の駆動リンク機構と、上記第１の駆動リンク機構の先端に該第１の駆動リンク機構の回転に従って一体で回転するように一端が連結された平行リンク機構からなる第１の従動リンク機構と、上記第１の従動リンク機構の先端に接続された第１の搬送台とから構成されているとともに、
上記第１の駆動リンク機構である平行リンク機構の一方のリンクの基端は、上記回転台の回転中心に対して回転自在とされた駆動軸に固定され、他方のリンクの基端は、上記回転台の回転中心から離間した位置で該回転台に枢支され、
上記第２のロボットリンク機構は、上記回転台と、上記回転台に回転自在に支持された平行リンク機構からなる第２の駆動リンク機構と、上記第２の駆動リンク機構の先端に該第２の駆動リンク機構の回転に従って一体で回転するように一端が連結された平行リンク機構からなる第２の従動リンク機構と、上記第２の従動リンク機構の先端に接続された第２の搬送台とから構成されているとともに、
上記第２の駆動リンク機構である平行リンク機構の一方のリンクの基端は、上記駆動軸に固定され、他方のリンクの基端は、上記回転台の回転中心および上記第１の従動リンク機構側の枢支位置の両方から離間した位置で該回転台に枢支され、
上記第１の駆動源は、上記回転台を駆動するように設けられ、
上記第２の駆動源は、上記駆動軸を駆動するように設けられ、
上記第１の搬送台は、上記第１のロボットリンク機構の伸縮動作により上記回転中心に対して放射方向に出没動作し、
上記第２の搬送台は、上記第２のロボットリンク機構の伸縮動作により上記回転中心に対して放射方向に出没動作し、
上記第１，第２のロボットリンク機構を上記搬送台が上記回転中心の軸心方向に重ならないように該第１，第２のロボットリンク機構の回転方向に位置をずらせて配置し、
上記第１，第２のロボットリンク機構に連結された両搬送台が上記回転中心の軸心方向において同一位置になっていることを特徴とするハンドリング用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置や、ＬＣＤ製造装置等のように、１つのトランスファチャンバの周囲に複数のステーションとなるプロセスチャンバを配設し、各プロセスチャンバにて加工処理されるウエハ等の薄板状のワークを、トランスファチャンバを経由して、このトランスファチャンバに設けたハンドリング用ロボットにて、１つのプロセスチャンバから他のプロセスチャンバへ搬送するようにしたマルチチャンバタイプの製造装置における上記ハンドリング用ロボットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
マルチチャンバタイプの半導体製造装置は図１に示すようになっていて、トランスファチャンバ１の周囲に、複数のプロセスチャンバからなるプロセスチャンバステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅと、外部に対してワークを受け渡しを行うワーク受け渡しステーション３とが配設されており、トランスファチャンバ１内は常時真空装置にて真空状態が保たれている。
【０００３】
そして上記トランスファチャンバ１は図２に示すようになっていて、これの中心部にハンドリング用ロボットＡが回転可能に備えてあり、周壁で、かつ各プロセスチャンバステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ及びワーク受け渡しステーション３に対向する仕切り壁５には各プロセスチャンバステーションへのワークの出入口となるゲート６が設けてある。このゲート６はトランスファチャンバ２の内側に各ゲート６に対向して設けられた図示しない開閉扉にて開閉されるようになっている。
【０００４】
この種の半導体製造装置に用いられる従来のハンドリング用ロボットとしては、いわゆるフロッグレッグ式の双腕型といわれているハンドリング用ロボットＡと、図１２，第１３に示すような同一方向作動型のハンドリング用ロボットＡ′（特開平７−２２７７７７号公報）が知られている。
【０００５】
上記従来の技術の前者のフロッグレッグ式の双腕型のハンドリング用ロボットＡは図３から図６に示すようになっている。
【０００６】
回転中心に対して同長の２本のアーム７ａ，７ｂがそれぞれ回転可能に設けられている。一方同一形状の２つの搬送台８ａ，８ｂを回転中心に対して両側に位置して有しており、この各搬送台８ａ，８ｂの基部に、同長の２本のリンク９ａ，９ｂの一端が連結されている。この両リンク９ａ，９ｂの一端は搬送台８ａ，８ｂに対してフロッグレッグ式の搬送台姿勢規制機構を介して連結されており、両リンク９ａ，９ｂは各搬送台８ａ，８ｂに対して完全に対称方向に回転するようになっている。そして各搬送台８ａ，８ｂに連結した２本のリンクのうちの一方のリンクは一方のアームに、他方のリンクは他方のアームにそれぞれ連結されている。
【０００７】
図４は上記フロッグレッグ式の搬送台姿勢規制機構を示すもので、搬送台８ａ，８ｂに連結される２本のリンク９ａ，９ｂの先端部は図４（ａ）に示すように互いに噛合う歯車９ｃ，９ｃからなる歯車構成により結合されており、搬送台８ａ，８ｂに対するリンク９ａ，９ｂの姿勢角θＲ，θＬが常に同じになるようにしている。これにより、搬送台８ａ，８ｂは常にトランスファチャンバ１の半径方向に向けられると共に、半径方向へ動作される。上記リンク９ａ，９ｂの連結は歯車に代えて、図４（ｂ）に示すようにたすき掛けしたベルト９ｄによるものもある。
【０００８】
図５は上記アーム７ａ，７ｂをそれぞれ独立して回転するための機構を示すものである。各アーム７ａ，７ｂの基部はそれぞれリング状になっていて、この各リング状ボス１０ａ，１０ｂは回転中心に対して同軸状にしてトランスファチャンバ１に対して回転自在に支持されている。
【０００９】
一方両リング状ボス１０ａ，１０ｂの内側には円板状ボス１１ａ，１１ｂがそれぞれに対向されて同じ同心状に配置されており、この各対向するリング状ボスと円板状ボスとがマグネットカップリング１２ａ，１２ｂにて磁気的に結合されている。
【００１０】
上記各円板状ボス１１ａ，１１ｂのそれぞれの回転軸１３ａ，１３ｂは同心状に配置されていて、このそれぞれの回転軸１３ａ，１３ｂはトランスファチャンバ１のフレーム１ａに同心状にして軸方向に位置をずらせて支持されたモータユニット１４ａ，１４ｂの出力部に連結されている。
【００１１】
上記モータユニット１４ａ，１４ｂは、例えばＡＣサーボモータを用いたモータ１５と、ハーモニックドライブ（商品名、以下同じ）を用いた減速比が大きい減速機１６が一体状に結合されていて、各減速機１６，１６の各出力部が上記各回転軸１３ａ，１３ｂの基端に連結されている。アーム７ａ，７ｂが位置されるトランスファチャンバ１内は真空状態に維持されることから、このアーム回転機構のリング状ボス１０ａ，１０ｂと円板状ボス１１ａ，１１ｂとの間に密閉用の隔壁１７が設けてある。
【００１２】
図６の（ａ），（ｂ）は上記した従来のハンドリング用ロボットＡの作用を示すもので、図６（ａ）に示すように、両アーム７ａ，７ｂが回転中心に対して直径方向に対称位置にあるときには、両搬送台８ａ，８ｂに対してリンク９ａ，９ｂが最も拡開するよう回転された状態となり、従って両搬送台８ａ，８ｂは回転中心側へ移動されている。
【００１３】
この状態で両アーム７ａ，７ｂを同一方向に回転することにより、両搬送台８ａ，８ｂは半径方向の位置を維持したまま回転中心に対して回転される。また図６（ａ）に示す状態から、両アーム７ａ，７ｂを、これらが互いに近付く方向（互いに逆方向）に回転することにより、図６（ｂ）に示すように両アーム７ａ，７ｂでなす角度が小さくなる方に位置する搬送台８ａがリンク９ａ，９ｂに押されて放射方向外側へ突出動されてトランスファチャンバ１に対して放射方向外側に隣接して設けられた上記プロセスチャンバステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ，３の１つのステーションのプロセスチャンバ内に突入する。
【００１４】
このとき、他方の搬送台は回転中心側へ移動されるが、各アーム７ａ，７ｂとリンク９ａ，９ｂとのなす角度の関係上、その移動量はわずかとなる。
【００１５】
一方上記従来の技術の後者の同一方向作動型のハンドリング用ロボットＡ′は図１２と図１３に示すようになっている。
【００１６】
トランスファチャンバ内に設けられるハンドリング用ロボットＡ′は円筒状のケース２２を有しており、このケース２２の上端には回転テーブル２３がフランジ２４を介して回転自在に、かつ上下動自在に設けられている。この回転テーブル２３の下端面から被駆動軸２５が突設されている。そしてこの第１の被駆動軸２５は上記ケース２２内に設けられた第１の駆動源２６に連結されていて、この第１の駆動源２６が作動して上記第１の被駆動軸２５が回転することにより回転テーブル２３が回転されるようになっている。なお、回転テーブル２３を上下駆動する駆動源は図示を省略する。
【００１７】
上記回転テーブル２３の上面には一対の第１のリンク２８ａ，２８ｂのそれぞれの中間部が枢着されている。この一対の第１のリンク２８ａ，２８ｂの一方のリンク２８ａの枢支部にケース２２内に延設される第２の被駆動軸２９の一端が固着してあり、この第２の被駆動軸２９の先端に上記ケース２２内に設けられた第２の駆動源３０に連結されており、第１のリンク２８ａ，２８ｂの一方のリンク２８ａはこの第２の駆動源３０にて第２の被駆動軸２９を介して回転されるようになっている。
【００１８】
上記一対の第１のリンク２８ａ，２８ｂのそれぞれの一端には、第２の支軸３１ａ，３１ｂを介して一対の第２のリンク３２ａ，３２ｂが回転自在に連結されている。そしてこの一対の第２のリンク３２ａ，３２ｂの先端にフォーク状の第１の搬送台８ａ′が連結されている。
【００１９】
また、上記第１のリンク２８ａ，２８ｂのそれぞれの他端には、第３の支軸３４ａ，３４ｂを介して一対の第３のリンク３５ａ，３５ｂが回転自在に連結されている。そしてこの一対の第３のリンク３５ａ，３５ｂの先端にフォーク状の第２の搬送台８ｂ′が連結されている。
【００２０】
そして上記第２の支軸３１ａ，３１ｂは第１のリンク２８ａ，２８ｂに対して回転自在になっているが、第２のリンク３２ａ，３２ｂとは一体状になっている。また、上記第３の支軸３４ａ，３４ｂも第１のリンク２８ａ，２８ｂに対して回転自在になっているが、第３のリンク３５ａ，３５ｂとは一体状になっている。
【００２１】
上記両搬送台８ａ′，８ｂ′は、上下方向に位置がずれていて、図１２に示す状態から、第１の搬送台８ａ′が後退方向に移動され、第２の搬送台８ｂ′が前進方向に移動されたときに互いに干渉しないようになっている。そしてこのとき、両搬送台８ａ′，８ｂ′は上下方向に重なった状態で交差するようになっている。
【００２２】
上記第２の支軸３１ａ，３１ｂのそれぞれは第１のリンク２８ａ，２８ｂの下側に突出してあり、この各突出部に互いに噛合する同一歯数の一対の第２の歯車３６ａ，３６ｂが固着されている。また第３の支軸３４ａ，３４ｂのそれぞれも第１のリンク２８ａ，２８ｂの下側に突出してあり、この各突出部に図１３に示すように互いに噛合する同一歯数の一対の第３の歯車３７ａ，３７ｂが固着されている。この両対の歯車３６ａ，３６ｂ，３７ａ，３７ｂはそれぞれ同期機構３８ａ，３８ｂを構成している。
【００２３】
上記両同期機構３８ａ，３８ｂにより、一対の第１のリンク２８ａ，２８ｂのうちの一方のリンク２８ａが、第２の被駆動軸２９を介して第２の駆動源３０により正転方向、あるいは逆転方向に回転されることにより、その回転は第１，第２の同期機構３８ａ，３８ｂを介して第１のリンク２８ａ，２８ｂの他のリンク２８ｂ及び第２，第３のリンク３２ａ，３２ｂ，３５ａ，３５ｂに伝達され、図１３（ａ）、図１３（ｂ）に示すように、一対の搬送台８ａ′，８ｂ′が同一方向に出没動作される。
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の両ハンドリング用ロボットＡ，Ａ′にあっては、搬送台が２個あることにより、この２個の搬送台を各ステーションに対して交互に、あるいは連続して用いることができ、双腕ロボットとしての作用効果が期待されていたが、現実には次のような問題がある。
【００２５】
すなわち、プロセスの順番が決まっており、各プロセスチャンバステーションで処理したウエハを各ステーションに順番に送っていく場合において、各ステーション内には処理中または処理済みのウエハがある。このとき、あるステーション内の処理済みのウエハを未処理のウエハと交換する場合、上記従来の技術の前者のハンドリング用ロボットＡでは、図７から図１１に示すように、まず、一方の搬送台８ａに未処理のウエハＷ1 を支持してからハンドリング用ロボットＡを旋回して空いている方の搬送台８ｂを交換しようとするステーション２ｅに対向させる（図７）。
【００２６】
ついで、この空いている方の搬送台８ｂをステーション２ｅ内へ突入させてこれの上に処理済みのウエハＷ2 を受け取り（図８）、トランスファチャンバ１内へ搬送する。その後、ハンドリング用ロボットＡを１８０度旋回して（図９）、未処理のウエハＷ1 を支持している搬送台８ａを上記ステーション２ｅに対向させてからこれをステーション２ｅ内へ突入動（図１０）して未処理のウエハＷ1 をこのステーション２ｅ内へ搬入し、空になった搬送台８ａはトランスファチャンバ１内に没入動される（図１１）。
【００２７】
このように、上記従来のハンドリング用ロボットでは、１つのステーションに対してウエハを交換する度に１８０度旋回しなければならず、ウエハ交換のサイクルタイムが長くなってしまうという問題があった。
【００２８】
一方従来の技術の後者のハンドリング用ロボットＡ′では、両搬送台８ａ′，８ｂ′が同一方向に出没作動することにより、ハンドリング用ロボットＡ′を停止した状態で１つのプロセスチャンバに対するワークの搬出と、別のワークの搬入を行うことができて、プロセスチャンバに対するワークの搬出入のためのサイクルタイムを短くでき、また、上記両搬送台８ａ′，８ｂ′のそれぞれの出没作動を１つの駆動源にて行うことができて、少ない数の駆動源にて作動できるという上記従来の技術の前者のものに対する利点があるが、この従来の技術あっても次のような問題がある。
【００２９】
すなわち、このハンドリング用ロボットＡ′は、２つの搬送台が同一位置で上下に重なる状態が、搬送作動の度に現出し、下側の搬送台に保持されているワークの上面に、上側の搬送台に付着していた塵等が落下して、この下側のワークの表面を汚染する恐れがあった。
【００３０】
また、両搬送台は上下にずれているため、上下動機構を持たないで、この両搬送台がそのまま上下しないで交互に出没する場合、ゲートの上下方向の開口幅が上記両搬送台の上下のずれ分だけ広くなり、このゲート部分の気密保持は好ましくなかった。このため上記従来の同一方向作動型のハンドリング用ロボットＡ′では上下動機構を有していて、その分構造が複雑になるという問題があった。また、プロセスチャンバ内のワーク支持台に対するワークの受け渡しの際に、少なくとも一方の搬送台を、その上下方向のずれ量だけ上下動しなければならず、その分の工程が必要になって搬出入サイクルを短くするための１つの障害となっていた。
【００３１】
本発明は上記のことにかんがみなされたもので、１つのプロセスチャンバステーションに対してハンドリング用ロボットを４５°程度のわずかな角度にわたって回転するだけで、ステーション内の処理済みのウエハと、トランスファチャンバ内の未処理のウエハを交換することができ、また、一方の搬送台で飛散した塵埃が双方の搬送台側に落下することがなくなり、しかも、上下動機構を必要とせず、ロボット全体を上下動することなしにゲートの上下方向の幅を１つの搬送台分にすることができて、機構が簡素化され、またこのゲート部分の気密機構を上記従来の技術の前者なみにすることができると共に、搬出入サイクルを短くできるようにしたハンドリング用ロボットを提供することを目的とするものである。
【００３２】
【課題を解決するための手段及び作用】
上記目的を達成するために、本発明に係る請求項１に記載のハンドリング用ロボットは、同心の回転中心を有して回転可能な第１，第２のロボットリンク機構と、第１，第２のロボットリンク機構のそれぞれに個別に接続された駆動源とを備えていると共に、第１のロボットリンク機構は、上記回転中心側から放射方向に突設された第１，第２のアームと、第１のアームの先端に軸支された第１のリンクと、第２のアームの先端に軸支された第２のリンクと、第１，第２のリンクの先端に架設されて当該第１のロボットリンク機構の伸縮動作により上記回転中心に対して放射方向に出没動作する第１の搬送台とを備え、第２のロボットリンク機構は、上記回転中心側から放射方向に突設された第３，第４のアームと、第３のアームの先端に軸支された第３のリンクと、第４のアームの先端に軸支された第４のリンクと、第１，第２のリンクの先端に架設されて当該第２のロボットリンク機構の伸縮動作により上記回転中心に対して放射方向に出没動作する第２の搬送台とを備え、上記第１乃至第４のアームに対する上記第１乃至第４のリンクの回転支点のそれぞれは、上記回転中心からの回転半径が同一寸法とされ、上記第１，第２の搬送台は、上記回転中心の軸心方向で同一位置とされ、かつ上記第１，第２のロボットリンク機構が待機位置にある時に上記軸心方向に重複しない角度範囲内で該第１，第２のロボットリンク機構の回転方向に位置ずれしており、上記第２のロボットリンク機構の少なくとも第３アームおよび第３リンクは、上記伸縮動作時に上記第１のロボットリンク機構の第１のアームと第１のリンクとの間に形成される軸心方向の隙間を通過すると共に、上記第１のロボットリンク機構の回転軌跡の外周側には、上記第２のロボットリンク機構の通過時の干渉を避けるように外側に湾曲した湾曲部分が設けられており、一方のロボットリンク機構が突出動作したときに他方のロボットリンク機構が没入動作される。上記突出動作により、搬送台がトランスファチャンバよりプロセスチャンバステーション内に突入され、搬送台上載置した被処理物をプロセスチャンバ内に受け渡しし、あるいはプロセスチャンバステーション内にある被処理物を受け取る。また没入動作により、搬送台がプロセスチャンバステーションからトランスファチャンバ側へ没入動作される。また両ロボットリンク機構は没入状態となってトランスファチャンバ内で回転される。そして上記両ロボットリンク機構は、１つのステーションに対してウエハを出し入れする場合、両搬送台の回動方向へのずれ分だけ両ロボットリンク機構を回転する必要があるが、そのずれが、両搬送台が重ならない狭い角度・範囲であることにより、わずかである。
【００３３】
また、１つのロボットリンク機構が対向方向に回転することにより、この１つのロボットリンク機構が突出動作、あるいは没入動作がなされ、かつ一方のロボットリンク機構が突出動作したときに、他方のロボットリンク機構が没入動作される。そして両ロボットリンク機構は没入状態となって一体状に回転することにより、トランスファチャンバ内で回転される。
そして、第１，第２搬送台が上下方向（軸心方向）に重ならないように回転方向に位置をずらせて配置した構成となっている。この構成により、両ロボットリンク機構のそれぞれの搬送台の一方から仮に塵埃が飛散しても、これによって他方の搬送台上のウエハが汚染されることがない。
さらに、上記のように、各搬送台が上下方向に重ならないように回転方向に位置がずれていることにより、両搬送台の上下方向の配置スペースが小さくなる。
【００３４】
そして、請求項２記載のハンドリング用ロボットは、上記請求項１記載のハンドリング用ロボットにおいて、上記回転中心で回転する第１，第２及び第３のボスと、上記第１のボスに設けられた上記第１のアームと、上記第２のボスに設けられた上記第２，第３のアームと、上記第３のボスに設けられた上記第４のアームとを備えた構成となっており、各ボスを回動駆動して、第１と第２のアームを互いにこれにリンクを介して連結した第１の搬送台側に近付く方向へ回転することにより、この第１の搬送台が回転中心より突出動するように作動する。一方このとき、第３，第４のアームはこれにリンクを介して連結した第２の搬送台から遠ざかる方向に回転され、第２のロボットリンク機構は、これの搬送台が没入状態に保たれる。また、上記状態で、今度は第３，第４のアームを互いにこれにリンクを介して連結した第２の搬送台に近付く方向に回転することにより、第２のロボットリンク機構は、これの第２の搬送台は突出動するように作動され、逆に第１のロボットリンク機構の搬送台が没入動される。また両ロボットリンク機構が没入状態で全てのボスが同一回転することにより両ロボットリンク機構がトランスファチャンバ内で回転される。
【００３５】
そして、請求項３に示したように、上記第１のアームは上記第１のボスの側面に設けられ、上記第２，第３のアームは上記第２のボスの側面に設けられ、上記第４のアームは上記第３のボスの側面に設けられている。
【００３６】
また、請求項４記載のハンドリング用ロボットは、上記請求項１記載のハンドリング用ロボットにおいて、上記回転中心で回転する上記第１及び第２のボスと、上記第１のボスに設けられた上記第１，第２のアームと、上記第２のボスに設けられた上記第３，第４のアームとを備えた構成となっている。そして請求項５に示したように、上記第１，第２のアームは上記第１のボスの側面に設けられ、上記第３，第４のアームは上記第２のボスに、その一方はこのボスの側面に他方はこのボスの頂面に設けられており、また、請求項６に示したように、上記第１，第２のアームは上記第１のボスの側面に設けられ、上記第３，第４のアームは上記第２のボスの側面に設けられている。この構成において、第１と第４のアームを互いにこれにリンクを介して連結した第１の搬送台側に近付く方向へ回転することにより、この第１のロボットリンク機構は、これの搬送台が突出動するように作動される。一方このとき、第２，第３のアームはこれにリンクを介して連結した第２の搬送台から遠ざかる方向に回転され、第２のロボットリンク機構の搬送台は没入状態が保たれる。また、上記状態で、今度は第２，第３のアームを互いにこれに連結した第２の搬送台に近付く方向に回転することより、第２のロボットリンク機構は、これの搬送台が突出動するように作動され、逆に第１のロボットリンク機構の搬送台が没入動される。
【００３９】
請求項７記載のハンドリング用ロボットは、同心の回転中心を有して回転可能な第１，第２のロボットリンク機構と、第１の駆動源と、第２の駆動源とを備え、上記第１のロボットリンク機構は、回転台と、上記回転台に回転自在に支持された平行リンク機構からなる第１の駆動リンク機構と、上記第１の駆動リンク機構の先端に該第１の駆動リンク機構の回転に従って一体で回転するように一端が連結された平行リンク機構からなる第１の従動リンク機構と、上記第１の従動リンク機構の先端に接続された第１の搬送台とから構成されているとともに、上記第１の駆動リンク機構である平行リンク機構の一方のリンクの基端は、上記回転台の回転中心に対して回転自在とされた駆動軸に固定され、他方のリンクの基端は、上記回転台の回転中心から離間した位置で該回転台に枢支され、上記第２のロボットリンク機構は、上記回転台と、上記回転台に回転自在に支持された平行リンク機構からなる第２の駆動リンク機構と、上記第２の駆動リンク機構の先端に該第２の駆動リンク機構の回転に従って一体で回転するように一端が連結された平行リンク機構からなる第２の従動リンク機構と、上記第２の従動リンク機構の先端に接続された第２の搬送台とから構成されているとともに、上記第２の駆動リンク機構である平行リンク機構の一方のリンクの基端は、上記駆動軸に固定され、他方のリンクの基端は、上記回転台の回転中心および上記第１の従動リンク機構側の枢支位置の両方から離間した位置で該回転台に枢支され、上記第１の駆動源は、上記回転台を駆動するように設けられ、上記第２の駆動源は、上記駆動軸を駆動するように設けられ、上記第１の搬送台は、上記第１のロボットリンク機構の伸縮動作により上記回転中心に対して放射方向に出没動作し、上記第２の搬送台は、上記第２のロボットリンク機構の伸縮動作により上記回転中心に対して放射方向に出没動作し、上記第１，第２のロボットリンク機構を上記搬送台が上記回転中心の軸心方向に重ならないように該第１，第２のロボットリンク機構の回転方向に位置をずらせて配置し、上記第１，第２のロボットリンク機構に連結された両搬送台が上記回転中心の軸心方向において同一位置になっていることを特徴とする。そして第１，第２のロボットリンク機構は、それぞれの駆動リンク機構を駆動軸で回転することにより、それぞれの駆動リンク機構、従動リンク機構を介して搬送台が交互に出没動作される。そして他の駆動源にて回転台を回転することにより、両ロボットリンク機構が一体状になって回転される。
【００４０】
また、請求項７記載のハンドリング用ロボットは、第１，第２のロボットリンク機構のそれぞれの駆動リンク機構及び従動リンク機構を、平行リンク機構にて構成されており、第１，第２のロボットリンク機構の出没動作において、搬送台は、各駆動リンク機構の回転軸から放射方向に直線状に出没動される。
【００４２】
さらに、請求項７記載のハンドリング用ロボットは、第１，第２のロボットリンク機構のそれぞれの搬送台が上下方向に重ならないように回転方向に位置をずらせて配置した構成となっていて、上下方向の上側に位置する搬送台から仮に塵埃が落下しても下側の搬送台上のウエハを汚染しないようになっている。
【００４３】
また、請求項７記載のハンドリング用ロボットは、上記第１，第２のロボットリンク機構に連結された両搬送台が上下方向において同一方向になっている。これにより、第１，第２のロボットリンク機構により出没動作される搬送台は高さ方向に同一位置で行われる。このため、トランスファチャンバのゲートの上下方向の大きさは、上下動機構を必要とすることなしに、１つの搬送台が出没する大きさで足りる。
【００４４】
【発明の効果】
本発明に係るハンドリング用ロボットによれば、第１，第２の２つのロボットリンク機構のそれぞれの搬送台が、わずかに回転した方向へ向けて交互に突出動と没入動を行うことができ、これにより、１つのステーションに対してハンドリング用ロボットをわずかな回転角にわたって回転するだけでプロセスチャンバステーション内の処理済みのウエハと、トランスファチャンバ内の未処理のウエハを交換することができ、この両ウエハ等のワークの交換のためのタイクルタイムを大幅に短縮することができる。
また、２つのロボットリンク機構のそれぞれの搬送台が、回転支持部材の回転方向に重ならない範囲にわたって回転支持部材の回転方向に位置をずらせあることにより、この２つの搬送台が上下方向に重なり合うことがなくなり、一方の搬送台側で飛散した塵埃が他方の搬送台側に落下する等の影響を与えることがなくなり、両搬送台にて搬送するウエハ等のワークを上記塵埃から守ることができる。
【００４５】
さらに、上記２つの搬送台は回転方向に位置がずれていることにより、この両搬送台の高さ位置を同一にでき、これにより、上下動機構を必要とすることなしに、この両搬送台が出没するトランスファチャンバのゲートの上下方向の幅を１つの搬送台分にすることができて、ゲート部分気密性を向上することができると共に、ハンドリング用ロボット全体の構成を簡素化できる。
【００４６】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図１４から図１７で示す第１の実施例、図１８から図２３で示す第２の実施例、図２４から第２７で示す第３の実施例、さらに図３３から図３５で第４の実施例、そしてさらに図３６以下で第５及び第６の実施例にてそれぞれ説明する。なおこの説明において、図１１までに示した従来の構成と同一のものは同一符号の付して説明を省略する。
【００４７】
（第１の実施例）
図１４から図１７において、トランスファチャンバ１の中心部に第１，第２，第３の３個のリング状ボス４０ａ，４０ｂ，４０ｃがそれぞれ同心状にして下側から順に重ね合わせた状態にして、かつ図示しない軸受を介して個々に回転自在に支持されている。
【００４８】
そして上記各リング状ボス４０ａ，４０ｂ，４０ｃのそれぞれが対向する内側には円板状ボス４１ａ，４１ｂ，４１ｃが軸方向に重ね合わせ状にしてトランスファチャンバ１のフレーム１ａ側に図示しない軸受を介して個々に回転自在に支持されている。
【００４９】
上記互いに対向する各リング状ボス４０ａ〜４０ｃと円板状ボス４１ａ〜４１ｃのそれぞれはマグネットカップリング４２ａ，４２ｂ，４２ｃにて磁気的に連結されている。そしてトランスファチャンバ１内の真空状態を維持するために、リング状ボスと円板状ボスの間に密閉用の隔壁１７が設けてある。
【００５０】
上記各円板状ボス４１ａ〜４１ｃのそれぞれは、これらの軸心部に同心状に配置された回転軸４３ａ，４３ｂ，４３ｃに結合されている。これらの回転軸のうち第１、第２の回転軸４３ａ，４３ｂは中空になっていて、第１の回転軸４３ａに第２の回転軸４３ｂが嵌挿されており、第２の回転軸４３ｂに第３の回転軸４３ｃが嵌挿されている。
【００５１】
そして第１と第３の回転軸４３ａ，４３ｃはタイミングベルト等の連結機構を介して第１のモータユニット４４ａの出力軸４５ａに連結されている。また第２の回転軸４３ｂはタイミングベルト等の連結機構を介して第２のモータユニット４４ｂの出力軸４５ｂに連結されている。
【００５２】
上記両モータユニット４４ａ，４４ｂはサーボモータとハーモニックドライブ等の減速機を組合わせたものが用いられ、それぞれの出力軸４５ａ，４５ｂは極めて大きな減速比でもって減速されると共に、正転、逆転が正確に制御されるようになっている。また各出力軸４５ａ，４５ｂと各回転軸４３ａ，４３ｂ，４３ｃとを連結する連結機構の連結回転比は同一になっている。
【００５３】
上記第１のリング状ボス４０ａには第１のアーム４６ａが、また第２のリング状ボス４０ｂには第２，第３のアーム４６ｂ，４６ｃが、さらに第３のリング状ボス４０ｃには第４のアーム４６ｄがそれぞれ放射方向に突設されており、それぞれの先端部上面が回転支点となっている。
【００５４】
上記各アーム４６ａ〜４６ｄのそれぞれの回転支点の半径（ボス部中心から回転支点までの長さ、以下同じ）Ｒは同一寸法になっている。そして上記第１，第２のアーム４６ａ，４６ｂの回転支点はリング状ボスの回転中心の軸方向で同一位置になっており、また第３，第４のアーム４６ｃ，４６ｄの回転支点はリング状ボスの回転中心の軸方向同一位置で、かつ上記第１，第２のアーム４６ａ，４６ｂのそれより低くなっている。
【００５５】
上記各アーム４６ａ〜４６ｄの回転支点には同長で、かつ上記アームの長さＲより長くした第１，第２，第３，第４のリンク４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄの一端が回転自在に連結されている。そして上記第１，第２のリンク４７ａ，４７ｂの先端下面に搬送台姿勢規制機構を介して第１の搬送台８ａが連結されており、これによって第１のロボットリンク機構Ｂ1 が構成されている。また、第３，第４のリンク４７ｃ，４７ｄの先端上面に搬送台姿勢規制機構を介して第２の搬送台８ｂが連結されており、これによって第２のロボットリンク機構Ｂ2 が構成されいる。
【００５６】
このとき、第１のロボットリンク機構Ｂ1 の搬送台８ａは、例えば、第１，第２の両アーム４６ａ，４６ｂが直径方向に一直線状になった状態で、リング状ボス側へ没入した、いわゆる待機状態となるようになっている。また同様に、第２のロボットリンク機構Ｂ2 の搬送台８ｂは、第３，第４のアーム４６ｃ，４６ｄが直径方向に一直線状になったときに待機状態となるようになっている。そしてこの待機状態のロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の両搬送台８ａ，８ｂがリング状ボスの回転方向に位置がずれており、この状態（図１６）がハンドリング用ロボットの待機状態となり、このハンドリング用ロボットの待機状態から、各リング状ボスの回転により各搬送台８ａ，８ｂがリング状ボスの半径方向に出没作動され、またこの待機状態でハンドリング用ロボットが回転されるようになっている。そして、このとき、一方の搬送台を突出させると、他方の搬送台は待機状態からさらに内側へ没入する。
【００５７】
上記両ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の搬送台８ａ，８ｂの回転方向への位置のずれ量は、少なくとも両搬送台８ａ，８ｂがボスの回転中心の軸方向に重複しないようにし、好ましくは、各搬送台８ａ，８ｂ上にウエハを載置したときに、この両ウエハが互いに干渉しない範囲にわたってずれることができるずれ量とする。
【００５８】
このとき、両ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の搬送台８ａ，８ｂはボスの回転中心の軸心方向に重複しないので、図１５に示すように、リング状ボスの回転中心方向（上下方向）に同一位置となっている。なお、第１，第２のアーム４６ａ，４６ｂの先端部は、第３，第４のアーム４６ｃ，４６ｄの先端部が干渉しないように外側へ湾曲されている。
【００５９】
この第１の実施例において、各リング状ボス４０ａ，〜４０ｃをそれぞれ回転することにより、上記したように、図１６に示される待機状態から第１，第２の搬送台８ａ，８ｂの一方が突出動され、他方が没入動される。このとき、第３，第４のアーム４６ｃ，４６ｄの先端部が第１，第２のアーム４６ａ，４６ｂの内側を通り、互いに干渉されることがない。
【００６０】
図１６で示す待機状態で各リング状ボス４０ａ〜４０ｃを同一方向へ回転することにより、ハンドリング用ロボットがトランスファチャンバ１内で回転される。
【００６１】
図２８から図３２はこの第１の実施例における作業工程を示すもので、一方のロボットリンク機構Ｂ1 の搬送台に未処理のウエハＷ1 を載置した状態で、ウエハを載置していない方、すなわちの空いているロボットリンク機構Ｂ2 の搬送台が処理済みのウエハＷ2 があるプロセスチャンバステーション２ｅに対向するように待機状態で回転する（図２８）。
【００６２】
ついで空いている方のロボットリンク機構Ｂ2 の搬送台を上記プロセスチャンバステーション２ｅ内に突入させて、この上に載置して上記処理済みのウエハＷ2 を搬出する（図２９）。ついで、未処理のウエハＷ1 を載置しているロボットリンク機構Ｂ1 の搬送台を、これの処理を行うプロセスチャンバステーション２ｅに対向するよう全体で回転する（図３０）。このときの回転角は両搬送台の回転方向のずれ分だけで、例えば約４５°である。
【００６３】
この状態で未処理のウエハＷ1 を載置しているロボットリンク機構Ｂ1 の搬送台をプロセスチャンバステーションステーション２ｅ内に突入してこのウエハＷ1 をプロセスチャンバステーション内にセットする（図３１）。ついで空いた搬送台をトランスファチャンバ側へ没入させ、他方の搬送台上の処理済みのウエハＷ2 が次のプロセスを行うプロセスチャンバステーション２ａの方へ回転し、上記と同様の動作を繰り返す（図３２）。
【００６４】
これらの動作時において、両搬送台８ａ，８ｂは互いに上下方向に重複しないことにより、一方の搬送台側から仮に塵埃が落下したとしても、これにより他方の搬送台の上面が汚染されることがない。また両搬送台８ａ，８ｂがリング状ボスの回転中心方向（上下方向）に同一位置となっているので、ハンドリング用ロボットを上下動することなしに、各搬送台を１つのゲートに対して出没動することができる。そしてこの両搬送台８ａ，８ｂが突出する各プロセスチャンバステーションのゲート６の上下方向の大きさは１つの搬送台が通るだけの大きさで済み、最小の大きさにすることができる。これらのことは以下の実施例の場合も同様である。
【００６５】
（第２の実施例）
図１８から図２１は第２の実施例を示すもので、第１のリング状ボス５０ａの側面には第１，第２のアーム５６ａ，５６ｂが、第２のリング状ボス５０ｂの側面には第３のアーム５６ｃが、またこの第２のリング状ボス５０ｂの頂面の軸心部に脚柱５６ｅを介して第４のアーム５６ｄがそれぞれ放射方向に突設されており、それぞれのアームの先端部上面が回転支点となっている。
【００６６】
上記各アーム５６ａ〜５６ｄのそれぞれの回転支点の半径Ｒは同一寸法になっている。そして上記第１，第４のアーム５６ａ，５６ｄの回転支点は上下方向で同一位置になっており、また第２，第３のアーム５６ｂ，５６ｃの回転支点は上下方向同一位置で、かつ上記第１，第４のアーム５６ａ，５６ｂのそれより低くなっている。
【００６７】
上記各アーム５６ａ〜５６ｄの回転支点には同長で、かつ上記各アームの長さＲより長くした第１，第２，第３，第４のリンク５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄの一端が回転自在に連結されている。そして上記第１，第４のリンク５７ａ，５７ｄの先端の下面に搬送台姿勢規制機構を介して第１の搬送台８ａが連結されており、これによって第１のロボットリンク機構Ｂ1 ′が構成されている。また第２，第３のリンク５７ｂ，５７ｃの先端上面に搬送台姿勢規制機構を介して第２の搬送台８ｂが連結されており、これによって第２のロボットリンク機構Ｂ2 ′構成されている。
【００６８】
このとき、第１のロボットリンク機構Ｂ1 ′の搬送台８ａは、例えば、第１，第４の両アーム５６ａ，５６ｄが直径方向に一直線状になった状態でリング状ボス側へ没入した、いわゆる待機状態となるようになっている。また同様に、第２のロボットリンク機構Ｂ2 ′の搬送台８ｂは第２，第３のアーム５６ｂ，５６ｃが直径方向に一直線状になったときに待機状態となるようになっている。そしてこの待機状態の両搬送台８ａ，８ｂがリング状ボスの回転方向に位置がずれており、この状態（図２０）がハンドリング用ロボットの待機状態となり、この状態から、各リング状ボスの回転により上記第１の実施例と同様に各搬送台８ａ，８ｂがリング状ボスの半径方向に出没作動され、またこの待機状態でハンドリング用ロボットが回転されるようになっている。上記両搬送台８ａ，８ｂの回転方向へのずれ量は上記第１の実施例の場合と同じである。
【００６９】
このとき、両搬送台８ａ，８ｂは回転方向に重複しないので、図１９に示すように、上下方向に同一位置となっている。また、第１のアーム５６ａの先端部は、第３のアーム５６ｃの先端部が干渉しないように外側へ湾曲されている。そしてこの第２の実施例における動作は上記した第１の実施例と略同一である。
【００７０】
図２２，図２３はこの第２の実施例の変形例を示すもので、第４のアーム５６ｄ′の基端を連結する脚柱５６ｅ′は第２のリング状ボス５０ｂの頂面において、これの軸心から一方へずれた位置で、かつ、両搬送台８ａ，８ｂの間で、かつリング状ボス５０ｂの回転中心を通るラインＭ上に位置されている。また、各アーム５６ａ′，５６ｂ′，５６ｃ′，５６ｄ′に連結される各リンク５７ａ′，５７ｂ′，５７ｃ′，５７ｄ′は、各搬送台８ａ，８ｂの出没動作時に、上記脚柱５６ｅ′と干渉しないように非直線状になっている。この実施例では、図１８から図２１に示した構成のものに比較して搬送台８ａ，８ｂの出没動作量を大きくとることができる。
【００７１】
（第３の実施例）
図２４から図２７は第３の実施例を示すもので、第１のリング状ボス６０ａの側面には第１，第２のアーム６６ａ，６６ｂが、第２のリング状ボス６０ｂの側面には、第３，第４のアーム６６ｃ，６６ｄがそれぞれ放射方向に突設されており、第１，第３のアーム６６ａ，６６ｃの先端部下面が、また第２，第４のアーム６６ｂ，６６ｄの先端部上面がそれぞれ回転支点となっている。
【００７２】
上記各アーム６６ａ〜６６ｄのそれぞれの回転支点の半径Ｒは同一寸法になっている。そして上記第１，第３のアーム６６ａ，６６ｃの回転支点は各アームの下面に、また第２，第４のアーム６６ｂ，６６ｄの回転支点は各アームの上面に設けられており、かつ第１，第４のアーム６６ａ，６６ｄの回転支点が上下方向で略同一位置になっており、また第２，第３のアーム６６ｂ，６６ｃの回転支点が上下方向で略同一位置で、かつ上記第１，第４のアーム６６ａ，６６ｄのそれより低くなっている。
【００７３】
上記各アーム６６ａ〜６６ｄの回転支点には同長で、かつ上記各アームの長さＲより長くした第１，第２，第３，第４のリンク６７ａ，６７ｂ，６７ｃ，６７ｄの一端が回転自在に連結されている。そして上記第１，第４のリンク６７ａ，６７ｄの先端の下面に搬送台姿勢規制機構を介して第１の搬送台８ａが連結されており、これにより第１のロボットリンク機構Ｂ1 ″が構成されている。また第２，第３のリンク６７ｂ，６７ｃの先端上面に搬送台姿勢規制機構を介して第２の搬送台８ｂが連結されロボットリンク機構Ｂ2 ″が構成されてている。
【００７４】
このとき、第１のロボットリンク機構Ｂ1 ″の搬送台８ａは、第１，第４の両アーム６６ａ，６６ｄが直径方向に一直線状になった状態で最もリング状ボス側へ没入した、いわゆる待機状態となるようになっている。また同様に、第２のロボットリンク機構Ｂ2 ″の搬送台８ｂは第２，第３のアーム６６ｂ，６６ｃが直径方向に一直線状になったときに待機状態となるようになっている。そしてこの待機状態の両搬送台８ａ，８ｂがリング状ボスの回転方向に位置がずれており、この状態（図２６）がハンドリング用ロボットの待機状態となり、この状態から、各リング状ボスの回転により上記第１の実施例と同様に各搬送台８ａ，８ｂがリング状ボスの半径方向に出没作動され、またこの待機状態でハンドリング用ロボットが回転されるようになっている。上記両搬送台８ａ，８ｂの回転方向のずれ量は上記第１の実施例の場合と同じである。
【００７５】
このとき、両搬送台８ａ，８ｂは回転方向に重複しないので、図２５に示すように、上下方向に同一位置となっている。また、第１のアーム６７ａの先端部は、第３のアーム６６ｃの先端部が干渉しないように外側へ湾曲されている。そしてこの第３の実施例における動作は上記した第１の実施例と略同一である。
【００７６】
（第４の実施例）
図３３から図３５は第４の実施例を示すものである。この第４の実施例も、上記第１から第３の実施例と同様に、両搬送台８ａ′，８ｂ′がロボットの回転方向に位置がずれており、かつ回転軸心方向に同一に位置となっている。
【００７７】
図３３、図３４はこの第４の実施例の構成及び作動を模式的に示すものであり、その具体的な構成を図３５に示す。図中７０はトランスファチャンバ１のフレーム１ａに回転自在に支承された回転台であり、この回転台７０の回転中心に駆動軸７１がこの回転台７０に対して回転自在に支承されている。そして上記回転台７０はトランスファチャンバ１のフレーム１ａ側に固着された第１のモータユニット７２ａにて正転及び逆転方向に駆動されるようになっており、また、駆動軸７１は回転台７０側に固着された第２のモータユニット７２ｂにて正転及び逆転方向に駆動されるようになっている。
【００７８】
７３と７４は上記駆動軸７１の軸心に対して両側に配置される第１、第２のロボットリンク機構Ｃ1 ，Ｃ2 の平行リンク構成にしたそれぞれの駆動リンク機構であり、この第１・第２の駆動リンク機構７３，７４はそれぞれ平行に配置される駆動リンク７３ａ，７４ａと、従動リンク７３ｂ，７４ｂと、各両リンク７３ａ，７３ｂ，７４ａ，７４ｂのそれぞれの先端を連結する連結リンク７３ｃ，７４ｃとからなっている。
【００７９】
そして上記各駆動リンク機構７３，７４のそれぞれの駆動リンク７３ａ，７４ａの基端部は上記駆動軸７１に固着結合されている。またそれぞれの従動リンク７３ｂ，７４ｂの基端は、回転台７０の回転中心に対して離間角度αだけ離間する位置となるようにして回転台７０に枢支されている。各駆動リンク機構７３，７４の連結リンク７３ｃ，７４ｃの両端の支持軸７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂにはそれぞれ同一歯数で、かつ互いに各両リンクのもの相互で噛み合う歯車７７ａ，７７ｂ，７７ｃ，７７ｄが各支持軸と一体構成にて設けてある。この各支持軸のうち、駆動リンク７３ａ，７４ａの先端に位置する支持軸７５ａ，７６ａが各駆動リンク７３ａ，７４ａに一体結合され、他のものはそれぞれリンクに対して回転自在となっている。
【００８０】
７８，７９は上記第１、第２のロボットリンク機構Ｃ1 ，Ｃ2 のそれぞれの駆動リンク機構７３，７４の先端側に連結され、かつ各駆動リンク機構７３，７４と同一大きさの平行リンク構成にした第１、第２の従動リンク機構であり、この各従動リンク機構７８，７９はそれぞれ平行に配置される駆動リンク７８ａ，７９ａと、従動リンク７８ｂ，７９ｂからなっており、各リンクの基端のうち、駆動リンク７８ａ，７９ａの基端が上記第１・第２の駆動リンク機構７３，７４のそれぞれの従動リンク７３ｂ，７４ｂ側の支持軸７５ｂ，７６ｂに一体結合され、従動リンク７８ｂ，７９ｂの基端は各支持軸７５ａ，７６ａに回転自在に連結されている。そして各従動リンク機構７８，７９のリンクの先端側のリンク８０ａ，８０ｂにこれと一体状にして搬送台８ａ′，８ｂ′が連結されている。両従動リンク機構７８，７９の各リンク形状及び両搬送台８ａ′，８ｂ′の形状から両搬送台８ａ′，８ｂ′は図３５に示すように上下方向に同一位置となっている。また搬送台８ａ′，８ｂ′の基端部も相互に干渉しないようになっている。
【００８１】
またこのときの両搬送台８ａ′，８ｂ′は両従動リンク機構７８，７９の先端側のリンク８０ａ，８０ｂの延長線上に向けて配置されており、従ってこの両搬送台８ａ′，８ｂ′は回転台７０の回転中心に対して上記離間角度αだけ回転方向に位置がずれされている。なお図３５において、８１は磁性流体シールである。
【００８２】
この第４の実施例の作用を以下に説明する。図３４に示す待機状態で、第２のモータユニット７２ｂを正転あるいは逆転して駆動軸７１を，例えば右回転すると、第１、第２のロボットリンク機構Ｃ1 ，Ｃ2 のそれぞれの駆動リンク機構７３，７４のそれぞれの駆動リンク７３ａ，７４ａが一体状に右方向に回転される。
【００８３】
これにより、図３３に示すように、第１、第２の従動リンク機構７８，７９は歯車７７ａ，７７ｂ，７７ｃ，７７ｄの作動により、左方向に回動し、第１のロボットリンク機構Ｃ1 の搬送台８ａ′は突出動作し、第２のロボットリンク機構Ｃ2 の搬送台８ｂ′は没入動作する。このときのそれぞれの搬送台８ａ′，８ｂ′はそれぞれの第１、第２の駆動リンク機構７３，７４のそれぞれの従動リンク７３ｂ，７４ｂの離間角度αのそれぞれの角度α1 ，α2 方向に出没動作される。
【００８４】
駆動軸７１を逆方向、すなわち左方向に回転すると、上記作動は逆になり、第１のロボットリンク機構Ｃ1 の搬送台８ａ′は角度α1 に沿って没入動され、第２のロボットリンク機構Ｃ2 の搬送台８ｂ′は角度α2 に沿って突出動される。
【００８５】
図３４の待機姿勢の状態で第１のモータユニット７２ａを駆動することにより回転台７０が回転されて、第１、第２のロボットリンク機構Ｃ1 ，Ｃ2 は一体状となって回転される。
【００８６】
（第５の実施例）
この第５の実施例は、上記第４の実施例と同一構成の第１，第２のロボットリンク機構Ｃ1 ，Ｃ2 のそれぞれの駆動リンク機構７３，７４の各駆動リンク７３ａ，７４ａを、それぞれ同軸状にして回転台７０に別々に設けた駆動軸で駆動するようにしたもので、突出動側のリンク動作を大きく、没入側のリンク動作を小さくしたものである。
【００８７】
この第５の実施例は図３６から図４４に示すようになっていて、第１，第２のロボットリンク機構Ｃ1 ，Ｃ2 のそれぞれの駆動リンク機構７３，７４より先の構成は第４の実施例のものと同一構成になっており、回転台７０はこれも第４の実施例と同様に第１のモータユニット７２ａにて回転駆動されるようになっている。
【００８８】
回転台７０の回転中心部には第１，第２の駆動軸８５，８６が同心状にして互いに回転自在に支持されている。そして第１の駆動軸８５の先端に第１のロボットリンク機構Ｃ1 の駆動リンク機構７３の駆動リンク７３ａの一端が固着しており、第２の駆動軸８６の先端に第２のロボットリンク機構Ｃ2 駆動リンク機構７４の駆動リンク７４ａの一端が固着してある。
【００８９】
第１，第２の駆動軸８５，８６の各基端は回転台７０に支持された１個の第２のモータユニット７２ｂに第１の両方向回動リンク機構Ｘ1 を介して連結されており第２のモータユニット７２ｂが一方向に回転することにより、第１のロボットリンク機構Ｃ1 の駆動リンク機構７３と第２のロボットリンク機構Ｃ2 の駆動リンク機構７４が同一方向に、かつ異なる回転角にて回転されるようになっている。
【００９０】
この両方向回動リンク機構Ｘ1 は図３７から図３９に示すようになっていて、第１の駆動軸８５に一端を連結した第１従動リンク８７ａと第２の駆動軸８６に一端を連結した第２従動リンク８７ｂと、この各リンク８７ａ，８７ｂのそれぞれの先端に連結した第１駆動リンク８８ａ、第２駆動リンク８８ｂとからなり、この両第２駆動リンク８８ａ，８８ｂの先端は連結されたリンク構成となっている。そして両駆動リンク８８ａ，８８ｂの先端の連結部に、上記回転台７０に支持された第２のモータユニット７２ｂの駆動部に一端を固着したモータリンク８９の先端が連結されている。このモータリンク８９は上記リンク機構の内側に配置されている。
【００９１】
図３８、図３９は上記第１の両方向回動リンク機構Ｘ1 を模式的に示したもので、第２のモータユニット７２ｂを駆動してモータリンク８９を、例えば上側から見て右方向に所定角θだけ回転すると、両方向回動リンク機構Ｘ1 は図３８，図３９に示すように右側へゆがんだ状態となって回動する。このときの回動方向に上流側に位置する第１従動リンク８７ａの回転角をθ1 、下流側に位置する第２従動リンク８７ｂの回転角をθ2 とするとθ1 ＞θ2 となる。また、モータリンク８９を逆方向（左方向）に回転するとθ1 ＜θ2 となる。
【００９２】
上記の作動が図３４に示すところの、両搬送台８ａ′，８ｂ′が待機状態から行われた場合、図３３において、第１の駆動リンク機構７３の突出方向の回動角θ1 が、第２の駆動リンク機構７４の没入方向の回動角θ2 より大きくなり、従って第１の搬送台８ａ′を所定位置まで突出動作したときにおける第２の搬送台８ｂ′の没入方向の動き量は、上記第１の搬送台８ｂ′の突出動作に対して相対的に小さくなる。
【００９３】
上記図３７，図３８に示した構成の両方向回動リンク機構Ｘ1 において、モータリンク８９の回転方向上流側のリンクの回転角θ1 （θ2 ）の方が下流側の回転角θ2 （θ1 ）より大きくなることを図３９、図４０を参照して説明する。ここで、第１、第２の従動リンク８７ａ，８７ｂのそれぞれの長さをＬ1 、第１、第２の駆動リンク８８ａ，８８ｂのそれぞれの長さをＬ2 、モータリンク８９の長さをＬ3 、第１、第２の駆動リンク８８ａ，８８ｂの結合関節と第１、第２の駆動軸８５，８６の軸心Ｏ間の距離をＲ、モータリンク８９の回転角をθ、第１の従動リンク８７ａの回転角をθ1 、第２の従動リンク８７ｂの回転角をθ2 、第１、第２の従動リンク８７ａ，８７ｂのなす角度を２ψとすると、θ1 ，θ2 は下記数式（１），（２）に示すようになり、これを線図で示すと図４０に示すようになる。図４０及び表１において、モーターリンク８９の右方向回転をマイナス方向とする。
【００９４】
【数１】
0004031090.tif 000002
【００９５】
【表１】
0004031090.tif 000003
【００９６】
上記式（１），（２）と図４０の線図及び表１により明らかなように、モータリンク８９の回転により従動する第１、第２の従動リンク８７ａ，８７ｂにより回動する第１、第２の駆動リンク機構７３，７４のそれぞれの作動角度は、突出動作ではθ1 だけ回転し、没入動作ではθ2 だけ回転し、突出動作に対して没入動作の作動角度が小さくなる。なお図４０はＬ1 ：Ｌ2 ：Ｌ3 ：Ｌ4 ＝１：１：１．８：０．８の場合である。
【００９７】
図４１から図４４は他の実施例である第２の両方向回動リク機構Ｘ2 を示すもので、第２のモータユニット７２ｂに回動されるモータリンク８９ａを、上記図３７で示した実施例における第１の両方向回動リンク機構Ｘ1 と同じ構成のリンク機構の外側に連結した構成となっている。
【００９８】
この第２の両方向回動リンク機構Ｘ2 の場合、モータリンク８９が図４１、図４２において、右方向に所定角θだけ回転すると、この両方向回動リンク機構Ｘ2 は、上記第１の場合とは逆に左側へゆがんだ状態となって回動する。このときのモータリンク８９の回動方向の上流側に位置する第１従動リンク８７ａの回転角をθ1 、下流側に位置する第２の従動リンク８７ｂの回転角をθ2 とするとθ1 ＞θ2 となる。なお、この第２の両方向回動リンク機構Ｘ2 の上記θ1 ，θ2 の回転方向は第１の両方向回動リンク機構Ｘ1 の場合と逆方向となる。このことから、この第２の両方向回動リンク機構Ｘ2 の各駆動軸８５，８６と図３３、図３４に示す第１、第２の駆動リンク機構７３，７４との連結は第１の両方向回動リンク機構Ｘ1 の場合と逆になっていて、モータリンク８９の右方向への回転方向上流側の従動リンク８７ａに固着した駆動軸８５が第２のロボットリンク機構Ｃ2 の第２の駆動リンク機構７４に、また下流側の従動リンク８７ｂが第１のロボットリンク機構Ｃ1 の第１の駆動リンク機構７３にそれぞれ連結する。
【００９９】
上記図４１，図４２に示した構成の第２の両方向回動リンク機構Ｘ2 においてモータリンク８９の回転方向上流側のリンクの回転角θ1 （θ2 ）の方が下流側のリンクの回転角θ1 （θ2 ）より大きくなることを図４３，図４４を参照して説明する。ここで各構成部材の諸元は上記した第１の両方向回動リンク機構Ｘ1 のものと同じであるとすると、θ1 ，θ2 は下記の数式（３），（４）に示すようになり、これを線図で示すと図４４に示すようになる。図４４及び表２において、モータリンク８９の右方向回転をプラスとする。
【０１００】
【数２】
0004031090.tif 000004
【０１０１】
【表２】
0004031090.tif 000005
【０１０２】
上記式（３），（４）と図４４の線図及び表２により明らかなように、モータリンク８９の回転により従動する第１，第２の従動リンク８７ａ，８７ｂにより回動する第１，第２の駆動リンク機構７３，７４は、突出方向にθ1 だけ回転し、没入方向へθ2 だけ回転し、突出動作に対して没入動作の作動角度が小さくなる。なお図４５はＬ1 ：Ｌ2 ：Ｌ3 ：Ｌ4 ＝１：１：１：２の場合である。
【０１０３】
上記した第５の実施例の第２の両方向作動リンク機構Ｘ2 では第１，第２のロボットリンク機構Ｃ1 ，Ｃ2 のそれぞれの駆動リンク機構７３，７４の駆動軸８５，８６を同軸状にした例を示したが、これは図４５に示すようにＳだけ離間してもよい。図４６はこの駆動軸８５，８６を離間した場合の第１，第２のロボットリンク機構Ｃ1 ′，Ｃ2 ′を駆動するための第３の両方向回動リンク機構Ｘ3 を示すもので、この構成は上記第１の両方向回動リンク機構Ｘ1 に対して、駆動軸が離間していること以外は同じ構成となっていて、この実施例の説明は上記第１の両方向回動リンク機構Ｘ1 のものに準じて説明する。
【０１０４】
図４６において、モータリンク８９が図において右方向に所定角θだけ回転すると、この両方向回動リンク機構Ｘ3 は、右側へゆがんだ状態となって回動する。このときの回動方向上流側に位置する第１従動リンク８７ａの回転角をθ1 、下流側に位置する第２従動リンク８７ｂの回転角をθ2 とするとθ1 ＜θ2 となる。また、モータリンク８９を逆方向（左方向）に回転するとθ1 ＞θ2 となる。
【０１０５】
このときの上記θ1 ＜θ2 となることの説明を図４６を参照して説明する。モータリンク８９がθだけ右方向へ回転したときの第１、第２の従動リンク８７ａ，８７ｂのそれぞれの回転角θ1 ，θ2 は下記の数式（５），（６）に示すようになり、Ｌ1 ＝Ｌ2 の場合は数式（７），（８）に示すようになる。そしてこれを線図で示すと図４７に示すようになる。なお、この図４７はＬ1 ：Ｌ2 ：Ｌ3 ：Ｌ4 ：Ｓ＝１：１：１．８：０．８：０．２の場合である。そしてこれを表で示すと表３に示すようになる。
【０１０６】
【数３】
0004031090.tif 000006
【０１０７】
【表３】
0004031090.tif 000007
【０１０８】
この第５の実施例においても、上記の場合と同様にモータリンク８９の回転によって大きく回動する方の駆動軸が突出動作する方の駆動リンク機構７３，７４に対応して連結する。
【０１０９】
第４の両方向回動リンク機構Ｘ4 は第２の両方向回動リンク機構Ｘ2 の駆動軸を離間したものであり、図４８において、モータリンク８９が図において右方向に所定角θだけ回転すると、この両方向回動リンク機構Ｘ4 は図４８に示すように、左側へゆがんだ状態で回動する。このときのモータリンク８９の回動方向上流側に位置する第１従動リンク８７ｂの回転角をθ1 、下流側に位置する第２従動リンク８７ｂの回転角をθ2 とするとθ1 ＞θ2 となる。またモータリンク８９を逆方向（左方向）に回転するとθ1 ＜θ2 となる。
【０１１０】
このときの上記θ1 ＞θ2 となることの説明を図４８を参照して説明する。モータリンク８９がθだけ回転したときの第１、第２の従動リンク８７ａ，８７ｂのそれぞれの回転角θ1 ，θ2 は下記の数式（９），（１０）に示すようになり、Ｌ1 ＝Ｌ2 の場合は数式（１１），（１２）に示すようになる。そしてこれを線図で示すと図４９に示すようになる。なおこの図４９はＬ1 ：Ｌ2 ：Ｌ3 ：Ｌ4 ：Ｄ＝１：１：１：２：０．２の場合である。そしてこれを表で示すと表４に示すようになる。この実施例の場合、第１の従動リンク８７ａに結合した第１の駆動軸を図３６に示した第１のロボットリンク機構Ｃ1 ′の駆動部に連結し、第２の従動リンク８７ｂに結合した第２の駆動軸を第２のロボットリンク機構Ｃ2 ′の駆動部に連結する。
【０１１１】
【数４】
0004031090.tif 000008
【０１１２】
【表４】
0004031090.tif 000009
【０１１３】
上記した第１，第２，第３，第４の両方向回動リンク機構Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ，Ｘ4 はそれぞれ平行リンク機構を用いた例で説明したが、これは楕円歯車機構を用いてもよい。図５０にその実施例である第５の両方向回動リンク機構Ｘ5 を示す。
【０１１４】
第２のモータユニット７２ｂの出力軸９０に第１楕円歯車９１と第１正円歯車９２とが固着してあり、第１，第２のロボットリンク機構の同軸状に配置された一方の駆動軸８５に上記第１楕円歯車９１に噛合する第２楕円歯車９３が、また他方の駆動軸８６に上記第１正円歯車９２に噛合する第２正円歯車９４がそれぞれ固着されている。各楕円歯車９１，９３はそれぞれの一方の焦点位置で各軸８５，９０に固着されている。
【０１１５】
この構成において、第２のモータユニット７２ｂの回転軸９０が、例えば、図５１に示す中立状態から図５２に示すように、θ1 だけ左方向に回転すると、第２楕円歯車９３は右方向にθ2 だけ回転する。このとき、両楕円歯車９１，９３の対向配置姿勢により、θ1 ＜θ2 となる。一方このとき、第２正円歯車９４の回転角はθ1 である。これにより、この第１の駆動軸８５はθ2 、第２の駆動軸８６はθ1 だけそれぞれ右方向に回転し、θ1 ＜θ2 であることにより、第１の駆動軸８５の方が第２の駆動軸８６より大きく回転する。
【０１１６】
一方回転軸９０が、図５１に示す中立状態から右方向にθ1 だけ回転すると、上記と同様に、第２楕円歯車９３は左方向にθ2 ′だけ回転し、第２の正円歯車９４はθ1 だけ左方向に回転する。このとき、両楕円歯車９１，９３の対向配置姿勢により、θ1 ＞θ2 ′となる。従って今度は第２の駆動軸８６の回転角を左方向にθ2 に、第１の駆動軸８５の回転角を左方向にθ1 （θ2 ＞θ1 ）にするめには、回転軸９０を上記したこれより大きいθ2 だけ右方向に回転する。これにより、第２楕円歯車９３はθ1 だけ左方向に回転し、一方第２の正円歯車９４はθ2 だけ左方向に回転する。このことから、第２のモータユニット７２ｂを右方向へθ2 だけ回転することにより、第１の駆動軸８５はθ1 、第２の駆動軸８６はθ2 だけそれぞれ左方向に回転し、θ1 ＜θ2 であることにより、第２の駆動軸８６の方が第１の駆動軸８５より大きく回転する。
【０１１７】
従って、上記第１の駆動軸８５に、例えば、図３３で示す第１のロボットリンク機構Ｃ1 を、第２の駆動軸８６に第２のロボットリンク機構Ｃ2 をそれぞれ結合した場合、第１のロボットリンク機構Ｃ1 を突出動作し、第２のロボットリンク機構Ｃ2 を没入動作するときには第２のモータユニット７２ｂをθ1 だけ左回転し、逆方向に作動するときにはθ2 だけ右方向に回転する。
【０１１８】
上記第５の両方向回動リンク機構Ｘ5 の場合、楕円歯車と正円歯車とを組合わせた構成としたが、図５３，図５４に示すように、この両正円歯車９２，９４を互いに噛合する楕円歯車９２′，９４′に置き換えてもよい。図５５にその作用状態を示すこの場合、モータユニット７２ｂが中立状態からある角度回転したときの第１の駆動軸８５の回転角度と、モータユニット７２ｂが逆方向に同一角度回転したときの第２の駆動軸８６の回転角とが等しくなり、第１，第２のロボットリンク機構Ｃ1 ，Ｃ2 を制御するための計算が符号が異なるのみで同一になり、制御しやすくなる。
【０１１９】
（第６の実施例）
上記第４，５の実施例における第１，第２のロボットリンク機構Ｃ1 ，Ｃ2 ，Ｃ1 ′，Ｃ2 ′の駆動リンク機構と従動リンク機構は平行リンク構成にしたが、この両リンク機構は図５６に示すようにベルトリンク構成にしてもよい。図５６は一方のロボットリンク機構Ｄを示すもので、図示しない回転台に回転自在に支持された第１アーム１０１、この第１アーム１０１の先端部に回転自在に連結された第２アーム１０２、この第２アーム１０２の先端に回動自在に連結された搬送台１０３とは、上記第１アーム１０１の回動基部に、同心状に支承された第１プーリ１０４と、第１アーム１０１と第２アーム１０２との連結部に、これらの回動中心と同心に、かつ軸１０５にて連結されて第１アーム１０１に支承された第２プーリ１０６と、第２アーム１０２に支承された第３プーリ１０７と、第２アーム１０２の先端部で上記搬送台１０３の回転軸１０８に固着して支承された第４プーリ１０９と、上記第１，第２のプーリ１０４，１０６に巻掛けた第１ベルト１１０、第３，第４のプーリ１０７，１０９に巻掛けた第２ベルト１１１とからなっている。
【０１２０】
そして、第１アーム１０１に回転基部は従動プーリ１１２，駆動１１３及びベルト１１４を介して第１のモータユニット１１５に、また第１プーリ１０４の軸１１６は第２のモータユニット１１７に連結されている。上記第１プーリ１０４と第２プーリ１０６の径比は２：１、第３プーリ１０７と第４プーリ１０９の径比は１：２になっている。
【０１２１】
上記構成において、第２のモータユニット１１７を停止した状態で第１のモータユニット１１５を駆動して第１アーム１０１を一方へ回転すると、第１プーリ１０４は第１アーム１０１に対して相対的に同じ回転角で逆転した状態になり、この第１プーリ１０４の回転角が第１ベルト１１０を介して第２プーリ１０６に２倍に増速されて伝わり、第２のアーム１０２が第１アーム１０１の回転方向とは逆方向に、これの２倍の回転角で回転される。このとき、第２アーム１０２の回転基端側に位置する第３プーリ１０７は上記第１プーリ１０４と同様に第２アーム１０２の回転方向とは逆方向に相対回転され、これにより、搬送台１０３が第２アーム１０２の回転方向とは逆方向に、かつ１／２の回転角で回転される。
【０１２２】
上記第１モータユニット１１５による正転、逆転の回転動作により搬送台１０３が第１アーム１０１の回転基部に対して放射状に出没動作がなされる。そして、第１，第２の両モータユニット１１５，１１７を同一方向に、同一回転角で回転することにより、ロボットリンク機構Ｄの全体が回転される。
【０１２３】
この実施例では一方のロボットリンク機構のみについて説明したが、このロボットリンク機構は上記各実施例と同様に２組を一対として用い、これを協動して一方の搬送台を突出動作したときには、他方の搬送台を没入動作するようにする。
【０１２４】
またこの実施例では、出没動作用と、回転用の２つのモータユニット１１５，１１７を用いた例を示したが、この実施例における一対のロボットリンク機構の各第１アームの駆動軸に、上記第４の実施例における各両方向回動リンク機構Ｘ1 〜Ｘ5 を連結して用いてもよい。これによって、搬送台の突出動作量に対して没入動作の動作量を少なくできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】マルチチャンバタイプの製造装置の一例である半導体製造装置の概略的な平面図である。
【図２】トランスファチャンバと従来のハンドリング用ロボットの関係を示す分解斜視図ある。
【図３】従来のハンドリング用ロボットを示す斜視図ある。
【図４】（ａ），（ｂ）は搬送台姿勢規制機構を示す説明図である。
【図５】従来のアーム回転機構を示す断面図ある。
【図６】（ａ），（ｂ）は従来のハンドリング用ロボットの作用説明図である。
【図７】従来のハンドリング用ロボットの１つのステーションに対する作用説明図である。
【図８】従来のハンドリング用ロボットの１つのステーションに対する作用説明図である。
【図９】従来のハンドリング用ロボットの１つのステーションに対する作用説明図である。
【図１０】従来のハンドリング用ロボットの１つのステーションに対する作用説明図である。
【図１１】従来のハンドリング用ロボットの１つのステーションに対する作用説明図である。
【図１２】他の従来のハンドリング用ロボットを示す斜視図である。
【図１３】（ａ），（ｂ）は他の従来のハンドリング用ロボットの作動説明図である。
【図１４】本発明の第１の実施例のボス部を示す断面図である。
【図１５】本発明の第１の実施例を示す正面図である。
【図１６】本発明の第１の実施例を示す平面図である。
【図１７】本発明の第１の実施例を示す斜視図である。
【図１８】本発明の第２の実施例のボス部を示す断面図である。
【図１９】本発明の第２の実施例を示す正面図である。
【図２０】本発明の第２の実施例を示す平面図である。
【図２１】本発明の第２の実施例を示す斜視図である。
【図２２】本発明の第２の実施例の変形例を示す平面図である。
【図２３】本発明の第２の実施例の変形例を示す斜視図である。
【図２４】本発明の第３の実施例のボス部を示す断面図である。
【図２５】本発明の第３の実施例の示す正面図である。
【図２６】本発明の第３の実施例を示す平面図である。
【図２７】本発明の第３の実施例を示す斜視図である。
【図２８】本発明の第１の実施例における１つのステーションに対する作用説明図である。
【図２９】本発明の第１の実施例における１つのステーションに対する作用説明図である。
【図３０】本発明の第１の実施例における１つのステーションに対する作用説明図である。
【図３１】本発明の第１の実施例における１つのステーションに対する作用説明図である。
【図３２】本発明の第１の実施例における１つのステーションに対する作用説明図である。
【図３３】本発明の第４の実施例の作用状態を示す平面図である。
【図３４】本発明の第４の実施例の待機状態を示す平面図である。
【図３５】本発明の第４の実施例の構成を示す断面図である。
【図３６】本発明の第５の実施例の構成を示す断面図である。
【図３７】第１の両方向回動リンク機構を示す斜視図である。
【図３８】第１の両方向回動リンク機構の作用説明図である。
【図３９】第１の両方向回動リンク機構のリンク長と回転角度等の関係を示す説明図である。
【図４０】第１の両方向回動リンク機構のモータリンクの回転角に対する第１，第２の駆動軸の回転角の変化を示す線図である。
【図４１】第２の両方向回動リンク機構を示す斜視図である。
【図４２】第２の両方向回動リンク機構の作用説明図である。
【図４３】第２の両方向回動リンク機構のリンク長と回転角度等の関係を示す説明図である。
【図４４】第１の両方向回動リンク機構のモータリンクの回転角に対する第１，第２の駆動軸の回転角の変化を示す線図である。
【図４５】本発明の第５の実施例の変形例の待機状態を示す平面図である。
【図４６】第３の両方向回動リンク機構のリンク長と回転角度等の関係を示す説明図である。
【図４７】第３の両方向回動リンク機構のモータリンクの回転角に対する第１，第２の駆動軸の回転角の変化を示す線図である。
【図４８】第４の両方向回動リンク機構のリンク長と回転角度等の関係を示す説明図である。
【図４９】第４の両方向回動リンク機構のモータリンクの回転角に対する第１，第２の駆動軸の回転角の変化を示す線図である。
【図５０】第５の両方向回動リンク機構を示す斜視図である。
【図５１】第５の両方向回動リンク機構の待機状態を示す説明図である。
【図５２】第５の両方向回動リンク機構の作動状態を示す説明図である。
【図５３】第５の両方向回動リンク機構の他例を示す断面図である。
【図５４】第５の両方向回動リンク機構の他例の待機状態を示す説明図である。
【図５５】第５の両方向回動リンク機構の作用状態を示す説明図である。
【図５６】本発明の第６の実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
１…トランスファチャンバ
２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ…プロセスチャンバステーション
３…ワーク受け渡しステーション
５…仕切り壁
６…ゲート
７ａ，７ｂ，４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄ，５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄ，５６ａ′，５６ｂ′，５６ｃ′，５６ｄ′，６６ａ，６６ｂ，６６ｃ，６６ｄ，１０１，１０２…アーム
８ａ，８ｂ，８ａ′，８ｂ′，１０３…搬送台
９ａ，９ｂ，２８ａ，２８ｂ，３２ａ，３２ｂ，３５ａ，３５ｂ，４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄ，５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄ，５７ａ′，５７ｂ′，５７ｃ′，５７ｄ′，６７ａ，６７ｂ，６７ｃ，６７ｄ…リンク
２３…回転テーブル
２５，２９…被駆動軸
２６，３０…駆動源
４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，６０ａ，６０ｂ，６０ｃ，６０ｄ，…リング状ボス
５６ｅ，５６ｅ′…脚柱
７０…回転台
７１，８５，８６…駆動軸
７２ａ，７２ｂ…モータユニット
７３，７４…駆動リンク機構
７８，７９…従動リンク機構
８７ａ，８７ｂ…従動リンク
８８ａ，８８ｂ…駆動リンク
８９…モータリンク
９１，９３，９２′，９４′…楕円歯車
９２，９４…正円歯車
１０４，１０６，１０７，１０９，１１２，１１３…プーリ
１１０，１１１，１１４…ベルト
Ａ，Ａ′…ハンドリング用ロボット
Ｂ1 ，Ｂ2 ，Ｂ1 ′，Ｂ2 ′，Ｂ1 ″，Ｂ2 ″，Ｃ1 ，Ｃ2 ，Ｃ1 ′，Ｃ2 ′，Ｄ…ロボットリンク機構
Ｗ1 ，Ｗ2 …ウエハ
Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ，Ｘ4 ，Ｘ5 …両方向回動リンク機構
【図１】
0004031090.tif 000010
【図２】
0004031090.tif 000011
【図３】
0004031090.tif 000012
【図４】
0004031090.tif 000013
【図５】
0004031090.tif 000014
【図６】
0004031090.tif 000015
【図７】
0004031090.tif 000016
【図８】
0004031090.tif 000017
【図９】
0004031090.tif 000018
【図１０】
0004031090.tif 000019
【図１１】
0004031090.tif 000020
【図１２】
0004031090.tif 000021
【図１３】
0004031090.tif 000022
【図１４】
0004031090.tif 000023
【図１５】
0004031090.tif 000024
【図１６】
0004031090.tif 000025
【図１７】
0004031090.tif 000026
【図１８】
0004031090.tif 000027
【図１９】
0004031090.tif 000028
【図２０】
0004031090.tif 000029
【図２１】
0004031090.tif 000030
【図２２】
0004031090.tif 000031
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
0004031090.tif 000034
【図２６】
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【図２７】
0004031090.tif 000036
【図２８】
0004031090.tif 000037
【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
0004031090.tif 000041
【図３３】
0004031090.tif 000042
【図３４】
0004031090.tif 000043
【図３５】
0004031090.tif 000044
【図３６】
0004031090.tif 000045
【図３７】
0004031090.tif 000046
【図３８】
0004031090.tif 000047
【図３９】
0004031090.tif 000048
【図４０】
0004031090.tif 000049
【図４１】
0004031090.tif 000050
【図４２】
0004031090.tif 000051
【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
0004031090.tif 000056
【図４８】
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【図４９】
0004031090.tif 000058
【図５０】
0004031090.tif 000059
【図５１】
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【図５２】
0004031090.tif 000061
【図５３】
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【図５４】
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【図５５】
0004031090.tif 000064
【図５６】
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