(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、該基板の少なくとも一方の面に形成された磁気記録層と、該磁気記録層上に形成された保護層とを具備し、その周縁に、少なくともロード時にヘッドの浮上高が最も低くなる位置を含む第１のデータ領域、その内側に、第２のデータ領域を有する磁気記録媒体であって、
前記磁気記録層は、前記第１のデータ領域では第１の厚さ、前記第２のデータ領域では第２の厚さを有し、該第１の厚さは該第２の厚さよりも厚く、
前記保護層は、前記第１のデータ領域では第３の厚さ、前記第２のデータ領域では第４の厚さを有し、該第３の厚さは該第４の厚さよりも厚く、かつ
磁気ヘッドを用いて前記第１のデータ領域を記録再生したときの孤立波の半値幅が、前記第２のデータ領域を記録再生したときの孤立波の半値幅よりも大きいことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】
基板、該基板の少なくとも一方の面に形成された磁気記録層、及び該磁気記録層上に形成された保護層とを具備し、その周縁に、少なくともロード時にヘッドの浮上高が最も低くなる位置を含む第１のデータ領域、その内側に、第２のデータ領域を有する磁気記録媒体と、
該磁気記録媒体を支持および回転駆動する駆動手段と、
該磁気記録媒体に対して情報の記録再生を行う磁気ヘッドと、
該磁気ヘッドに接続され、該第１のデータ領域と該第２のデータ領域の書き込み周波数を変更する手段と、
該磁気記録媒体に対して該磁気ヘッドを移動自在に支持したキャリッジアッセンブリと、
該キャリッジアッセンブリが非作動位置に移動した際、該キャリッジアッセンブリと係合して磁気ヘッドを該磁気記録媒体から離間した位置に支持するランプロード機構とを具備する磁気記録再生装置であって、
前記磁気記録層は、前記第１のデータ領域では第１の厚さ、前記第２のデータ領域では第２の厚さを有し、該第１の厚さは該第２の厚さよりも厚く、
前記保護層は、前記第１のデータ領域では第３の厚さ、前記第２のデータ領域では第４の厚さを有し、該第３の厚さは該第４の厚さよりも厚いことを特徴とする磁気記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ディスク装置等に使われる磁気記録媒体および磁気記録再生装置に係り、特に、ランプロード方式の磁気ディスク装置に使われる磁気記録媒体およびランプロード方式の磁気記録再生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
パーソナルコンピュータ等の電子機器においては、大容量のメモリ装置として磁気ディスク装置が広く用いられている。また、近年、携帯可能な小型のパーソナルコンピュータが普及しつつあり、この種のパーソナルコンピュータに搭載される磁気ディスク装置は、携帯時における衝撃等に対する信頼性の向上が求められている。
【０００３】
そこで、磁気ディスク装置の非作動時に磁気ヘッドを保持する機構として、ランプロード機構を備えたものが提供されている。例えば特開平５−１２０８２２号公報には、スピンドルモータにより回転される少なくとも一枚の磁気ディスク媒体と、この磁気ディスク媒体の表面に近接してデータの読み出し、書き込み（リード／ライト）を行う磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを所望のシリンダ位置へ移動させるアクチュエータ機構と、このアクチュエータ機構を駆動する位置制御回路と、ランプロードを使用したロードアンロード機構とを備えた磁気ディスク装置が開示されている。
【０００４】
ランプロードを使用したロードアンロード機構は、磁気ディスクの外側に設けられたランプを備え、磁気ディスク装置の非作動時、キャリッジアッセンブリは磁気ディスクの外周に回動され、サスペンションがランプに乗り上げる。それにより、磁気ヘッドは、磁気ディスク表面から離間した位置に保持され、非作動時に衝撃を受けても、磁気ディスクとの衝突が防止される。
【０００５】
しかしながら、このような従来の磁気ディスク装置では、ロード速度の浮上方向速度成分の制御がされていなかったため、動作時、特にヘッド（スライダ）がランプを脱出する際に、磁気ディスク媒体面に接触し、磁気ディスクが傷つくことがあった。このため、ロード速度の浮上方向速度成分を制御する機構を設けることにより、磁気ディスク媒体を保護する試みがなされていたが、十分ではなかった。
【０００６】
また、磁気ディスク装置に用いられる磁気記録媒体の保護層は、記録、再生を行う際、磁気スペーシングとなることから、磁気ディスク装置の高密度化、大容量化のためには、磁気記録媒体の保護層を薄くする傾向にあるが、保護層を薄くすると傷がつきやすくなるという問題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、従来は、ランプロード機構を有する磁気ディスク装置において、ランプを脱出する際に磁気ヘッドが磁気記録媒体に接触し、磁気記録媒体が傷つくという問題があった。また、このことは、磁気記録装置の高密度化、大容量化を図るべく磁気記録媒体の保護層を薄く設定する上で問題となっていた。
【０００８】
本発明は、上記事情を鑑みてなされたもので、ロード時にヘッドによる衝撃を受けても傷つき難く、エラーの少ない良好な磁気記録再生を行なうことが可能であり、かつ高密度化、大容量化し得る磁気記録媒体を得ることを目的とする。
【０００９】
本発明はまた、その磁気記録媒体が、ロード時にヘッドによる衝撃を受けても傷つき難く、エラーの少ない良好な磁気記録再生を行なうことが可能であり、かつ高密度化、大容量化し得る磁気記録再生装置を得ることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、基板と、該基板の少なくとも一方の面に形成された磁気記録層と、該磁気記録層上に形成された保護層とを具備し、その周縁に、少なくともロード時にヘッドの浮上高が最も低くなる位置を含む第１のデータ領域、その内側に、第２のデータ領域を有する磁気記録媒体であって、
前記磁気記録層は、前記第１のデータ領域では第１の厚さ、前記第２のデータ領域では第２の厚さを有し、該第１の厚さは該第２の厚さよりも厚く、
前記保護層は、前記第１のデータ領域では第３の厚さ、前記第２のデータ領域では第４の厚さを有し、該第３の厚さは該第４の厚さよりも厚く、かつ
磁気ヘッドを用いて前記第１のデータ領域を記録再生したときの孤立波の半値幅が、前記第２のデータ領域を記録再生したときの孤立波の半値幅よりも大きいことを特徴とする磁気記録媒体を提供する。
【００１１】
本発明はまた、基板、該基板の少なくとも一方の面に形成された磁気記録層、及び該磁気記録層上に形成された保護層とを具備し、その周縁に、少なくともロード時にヘッドの浮上高が最も低くなる位置を含む第１のデータ領域、その内側に、第２のデータ領域を有する磁気記録媒体と、
該磁気記録媒体を支持および回転駆動する駆動手段と、
該磁気記録媒体に対して情報の記録再生を行う磁気ヘッドと、
該磁気ヘッドに接続され、該第１のデータ領域と該第２のデータ領域の書き込み周波数を変更する手段と、
該磁気記録媒体に対して該磁気ヘッドを移動自在に支持したキャリッジアッセンブリと、
該キャリッジアッセンブリが非作動位置に移動した際、該キャリッジアッセンブリと係合して磁気ヘッドを該磁気記録媒体から離間した位置に支持するランプロード機構とを具備する磁気記録再生装置であって、
前記磁気記録層は、前記第１のデータ領域では第１の厚さ、前記第２のデータ領域では第２の厚さを有し、該第１の厚さは該第２の厚さよりも厚く、
前記保護層は、前記第１のデータ領域では第３の厚さ、前記第２のデータ領域では第４の厚さを有し、該第３の厚さは該第４の厚さよりも厚いことを特徴とする磁気記録再生装置を提供する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の磁気記録媒体は、基板と、基板の少なくとも一方の面に形成された磁気記録層と、磁気記録層上に形成された保護層とを有し、この媒体は、保護層の厚さの厚い第１の領域と、保護層の厚さの薄い第２の領域とを有し、第１の領域には、ヘッドをロードする時にヘッドの浮上高が最も低くなる位置が含まれており、かつ第１の領域を記録再生したときの孤立波の半値幅は、第２の領域を記録再生したときの孤立波の半値幅よりも大きくなっている。
【００１３】
また、本発明の磁気記録再生装置は、上記磁気記録媒体と、
磁気記録媒体を支持および回転駆動する駆動手段と、
磁気記録媒体に対して情報の記録再生を行う磁気ヘッドと、
この磁気ヘッドに接続されて、第１の領域と第２の領域の書き込み周波数を変更する手段と、
磁気記録媒体に対して磁気ヘッドを移動自在に支持したキャリッジアッセンブリと、
キャリッジアッセンブリが非作動位置に移動した際、該キャリッジアッセンブリと係合して磁気ヘッドを磁気記録媒体から離間した位置に支持するランプロード機構とを具備する。
【００１４】
ランプロード磁気記録再生装置に使用される磁気記録媒体は、ロード時、ヘッドの浮上高が最も低くなるところで、ヘッドが磁気記録媒体に最も接触しやすく、傷がつきやすい。このため、本発明では、少なくともヘッドの浮上高が最も低くなる位置では、その保護層の厚さが厚く形成されている。これにより、磁気記録媒体が傷つくことを防止することができる。
【００１５】
一方、ヘッドの浮上高が最も低くなる位置以外の領域は、その保護層をできるだけ薄く形成することが可能である。このように保護層を薄く形成することにより、磁気記録媒体の高密度、大容量化を実現することが可能となる。
【００１６】
本発明によれば、このような保護層を用いることにより、エラーのない良好な磁気記録再生を行なうことができる。
なお、保護層が厚い領域の記録は、保護層が薄い領域の記録よりも再生時のエラーレートが高くなる傾向がある。
【００１７】
本発明者らは、保護膜の厚さとエラーレートについて調べたところ、書込み時の記録密度が低いとエラーレートを低く抑えることができることがわかった。
本発明の磁気記録媒体では、保護層が厚い領域を記録再生したときの孤立波の半値幅が保護層が薄い領域よりも大きくなっているために、書込み時の記録密度が低くなり、エラーレートを低く抑えることが可能となる。
【００１８】
また、本発明の磁気記録再生装置では、保護層が厚い第１の領域と保護層が薄い第２の領域とで、書き込み周波数を変更する手段が備えられている。保護層が厚い領域では周波数を低くし、書込み時の記録密度を低下させることにより、エラーレートを低く抑えることが可能となる。
【００１９】
本発明の磁気記録媒体に使用される磁気記録層材料としては、
ＣｏＣｒ、ＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＣｒＴａ、ＣｏＣｒＰｔＴａ，ＣｏＮｉ，ＣｏＮｉＣｒ、ＣｏＮｉＣｒＴａ、ＣｏＮｉＣｒＴａＰｔ、ＣｏＣｒＰｔＴａＮｂ、ＣｏＣｒＰｔＴａＢ、ＣｏＰｔ、及びＣｏＰｔ−１Ｓｉｏ2 等があげられる。
【００２０】
保護層材料としては、カーボン、窒化カーボン、水素化カーボン、水素化窒化カーボン、及びＳｉＯ2 等を使用することができる。
また、例えば基板が０．５８４〜０．６３５ｍｍ、磁気記録層が５〜５０ｎｍの厚さを有する場合、保護層は、薄い領域の厚さは、２〜１２ｎｍ、厚い領域の厚さは４〜２０ｎｍであることが好ましい。また、保護層の薄い領域の厚さと厚い領域の厚さの差は、２〜８ｎｍであることが好ましい。
【００２１】
保護層の薄い領域の厚さは、２ｎｍ未満であると、コロージョン特性が悪化し、すなわち高温高湿環境下でＣｏの表面への析出が表れる傾向があり、１２ｎｍを越えると、電磁変換特性を損なう傾向がある。
【００２２】
また、保護層の厚い領域の厚さは、４ｎｍ未満であると、ヘッドロード時にメディアが傷つく可能性があり、２０ｎｍを越えると、付着力が弱くなる傾向がある。
【００２３】
さらに、保護層の薄い領域の厚さと厚い領域の厚さの差は、２ｎｍ未満であると、ランプロード時のメディアの傷つき性改善と電磁変換特性確保の両立が困難であり、８ｎｍを越えると、段差のために、シーク時に異常動作を示す傾向がある。
【００２４】
【実施例】
以下、実施例を示し、本発明を具体的に説明する。
図１に、本発明の磁気記録媒体の一例の構成を表す該略図を示す。
図示するように、この磁気記録媒体は、約６５ｍｍ径、厚さ約０．６３５ｍｍの円形基板１０１と、その両面に設けられ、周縁に厚さ２５ｎｍの領域、その内側に厚さ約２０ｎｍの領域を有する磁性膜２０２と、磁性膜２０２上に各々設けられ、その周縁に厚さ約１２ｎｍの領域、その周縁領域よりも内側にそれよりも薄い厚さ約８ｎｍの領域を有する保護層２０３とから基本的になる。この磁気記録媒体は、図示するように、その機能に応じて、記録が行なわれるデータ領域１０４、ヘッドがロードされるロード領域１０５とに分けられており、厚さの厚い領域は、ロード領域１０５に、厚さの薄い領域は、ロード領域１０４に対応して設けられている。データ領域１０４は、半径１４ｍｍ〜３０ｍｍであり、ロード領域は、半径３０ｍｍ〜３１．５ｍｍである。
【００２５】
この磁気記録媒体では、磁性膜２０２の内側領域よりも周縁領域の厚さを厚くすることにより、周縁領域を記録再生したときの孤立波の半値幅を、その内側領域を記録再生したときの孤立波の半値幅よりも大きく設定することができる。
【００２６】
また、図２に、本発明の磁気記録媒体の他の一例の構成を表す該略図を示す。図示するように、この磁気記録媒体は、円形基板１０１の両面に設けられ、磁性膜２０２の代わりに、円形基板１０１の周辺領域上に形成された第１の材料からなる磁性膜２１２と、その内側領域上に形成され、記録再生したときの孤立波の半値幅が第１の材料よりも小さい第２の材料からなる磁性膜２２２とから構成される磁性膜２３２が設けられ、その上にその周縁に厚さ約１２ｎｍの領域、その周縁領域よりも内側にそれよりも薄い厚さ約８ｎｍの領域を有する保護層１０３が形成されいる以外は、図１に示す情報記録媒体と同様の構成を有する。
【００２７】
この磁気記録媒体では、磁性膜２０２の内側領域と周縁領域との材質を変更することにより、周縁領域を記録再生したときの孤立波の半値幅を、その内側領域を記録再生したときの孤立波の半値幅よりも大きく設定することができる。
【００２８】
図３に、本発明にかかる磁気記録再生装置の一例を表す分解斜視図を示す。
また、図４は、図３に示すキャリッジアッセンブリの斜視図である。
図４は、磁気ヘッドが磁気記録再生装置の最外周に移動した状態を表す磁気記録再生装置平面図を示す。
【００２９】
図３に示すように、ＨＤＤは、上面の開口した矩形箱状のケース１２と、複数のねじ１１によりケースにねじ止めされてケースの上端開口を閉塞するトップカバー１４とを有している。
【００３０】
ケース１２内には、磁気記録媒体としての磁気ディスク１６、この磁気ディスクを支持および回転させる駆動手段としてのスピンドルモータ１８、磁気ディスクに対して情報の書き込み、読み出しを行なう複数の磁気ヘッド４０、これらの磁気ヘッドを磁気ディスク１６に対して移動自在に支持したキャリッジアッセンブリ２２、キャリッジアッセンブリを回動および位置決めするボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）２４、非作動時に磁気ヘッドが磁気ディスクの最外周に移動した際、磁気ヘッドを磁気ディスクから離間した位置に保持するランプロード機構２５、および磁気ディスクの書き込み周波数を変更する手段を含むヘッドＩＣ等を有する基板ユニット２１が収納されている。
【００３１】
また、ケース１２の底壁外面には、基板ユニット２１を介してスピンドルモータ１８、ＶＣＭ２４、および磁気ヘッドの動作を制御する図示しないプリント回路基板がねじ止めされている。
【００３２】
磁気ディスク１６は、例えば直径６５ｍｍ（２．５インチ）に形成され、例えば図３に示す構成を有し、上面および下面に磁気記録層、及び各磁気記録層上に少なくともロード時にヘッドの浮上高が最も低くなる位置を含む領域が厚く、それ以外の領域が薄く形成された保護膜を有している。磁気ディスク１６は、スピンドルモータ１８の図示しないハブに同軸的に嵌合されているとともにクランプばね１７により保持されている。そして、スピンドルモータ１８を駆動することにより、磁気ディスク１６は所定の速度で回転駆動される。
【００３３】
図３ないし図５に示すように、キャリッジアッセンブリ２２は、ケース１２の底壁上に固定された軸受組立体２６を備えている。軸受組立体２６は、ケース１２の底壁に対して垂直に立設された枢軸２７と、枢軸に一対の軸受を介して回転自在に支持された図示しない円筒形状のハブとを有している。また、キャリッジアッセンブリ２２は、軸受組立体のハブに取り付けられた２本のアーム３２ａ、３２ｂと、各アームに支持された２つの磁気ヘッド組立体３６とを備えている。
【００３４】
各磁気ヘッド組立体３６は、弾性変形可能な細長い板状のサスペンション３８と、サスペンションの先端に固定された磁気ヘッド４０とを備えている。サスペンション３８は、板ばねにより構成され、その基端がスポット溶接あるいは接着によりアーム３２ａ、３２ｂの先端に固定され、アームから延出している。
【００３５】
各磁気ヘッド４０は、ほぼ矩形状のスライダとこのスライダに形成された記録再生用のＭＲ（磁気抵抗）ヘッド、もしくはＧＭＲ（巨大磁気抵抗効果形）ヘッドを有し、磁気ディスク１６に対して情報の書き込み、読み出しを行う。
【００３６】
磁気ヘッド組立体３６が固定されたアーム３２ａおよび３２ｂは、軸受組立体２６に取り付けられ、互いに平行に延出している。また、積層された状態でハブの外周に嵌合されている。アーム３２ａ、３２ｂに取り付けられた磁気ヘッド組立体３６の磁気ヘッド４０は互いに向かい合って位置し、アームと一体的に回動可能となっている。
【００３７】
各サスペンション３８は、その先端部から延出したタブ５０を一体に備えている。タブ５０は、後述するランプロード機構２５の一部を構成するもので、サスペンション３８の長手軸Ａとほぼ直交する方向に延出しているとともに、磁気ディスク１６に対して外周方向に向かって延出している。
【００３８】
また、キャリッジアッセンブリ２２は、軸受組立体２６から、アーム３２ａ、３２ｂと反対方向へ延出した二股状の支持フレーム４３を有し、これらの支持フレームにはＶＣＭ１６の一部を構成するボイスコイル４４が固定されている。支持フレーム４３の一方の延出端には、後述するラッチ機構と係合可能な係合凹所４５が形成されている。
【００３９】
図３からよくわかるように、上記のように構成されたキャリッジアッセンブリ２２をケース１２に組み込んだ状態において、磁気ディスク１６はアーム３２ａ、３２ｂ間に位置している。そして、アーム３２ａ、３２ｂから延びるサスペンション３８に取り付けられた磁気ヘッド４０は、磁気ディスク１６の上面および下面にそれぞれ対向し、磁気ディスク１６を両面側から挟持している。各磁気ヘッド４０は、サスペンション３８のばね力により所定のヘッド荷重が印加され、磁気ディスク表面側に付勢されている。
【００４０】
一方、図３および図５に示すように、キャリッジアッセンブリ２２をケース１２に組み込んだ状態において、支持フレーム４３に固定されたボイスコイル４４は、ケース１２上に固定された一対のヨーク４８間に位置し、これらのヨークおよび一方のヨークに固定された図示しない磁石とともにＶＣＭ２４を構成している。そして、ボイスコイル４４に通電することにより、キャリッジアッセンブリ２２が回動し、磁気ヘッド４０は磁気ディスク１６の所望のトラック上に移動および位置決めされる。
【００４１】
基板ユニット２１は、ケース１２の底壁上に固定された矩形状の基板本体５１を有し、この基板本体上には、書き込み周波数を変更する手段を含む複数の電子部品およびコネクタ等が実装されている。また、基板ユニット２１は、基板本体５１から延出した帯状のメインフレキシブルプリント回路基板（以下メインＦＰＣと称する）５４を一体に有している。メインＦＰＣ５４の延出端部５４ａは、キャリッジアッセンブリ２２に固定されている。このメインＦＰＣ５４は、磁気ヘッド４０と基板ユニット２１とを接続するための信号線や、ＶＣＭ２４のボイスコイル４４を駆動するためのケーブル等の配線パターンから構成されている。
【００４２】
図３ないし図５に示すように、ランプロード機構２５は、ケース１２の底壁に設けられているとともに磁気ディスク１６の外側に位置した一対のランプ５２ａ、５２ｂを備えている。これらのランプ５２ａ、５２ｂは、ケース１２の底壁に立設された支軸５５に固定され、それぞれ磁気ディスク１６表面とほぼ平行に延びている。
【００４３】
一対のランプ５２ａ、５２ｂは、磁気ディスク１６の半径方向に沿って、磁気ディスクの外周縁近傍まで延びているとともに、サスペンション３８に設けられたタブ５０の移動経路上に配置されている。また、ランプ５２ａは、磁気ディスク１６の上面とほぼ面一に設けられ、ランプ５２ｂは、磁気ディスク１６の下面とほぼ面一に設けられている。更に、各ランプの延出端には、磁気ディスクから離間する方向に傾斜したスロープ５３が形成されている。
【００４４】
図６には、磁気記録再生装置の動作状態と非動作状態における磁気ヘッド及びサスペンションとランプとの配置関係を概略的に表す側面図を示す。
図３および図６（ａ）に示すように、ＨＤＤの通常の動作状態において、ＶＣＭ２４によりキャリッジアッセンブリ２２を回動すると、磁気ヘッド４０は磁気ディスク１６の所望のトラック上に移動され、磁気ディスクに対して情報の記録あるいは再生を行う。
【００４５】
また、ＨＤＤの非動作時、図５および図６（ｂ）に示すように、ＶＣＭ２４によってキャリッジアッセンブリ２２は非作動位置まで回動され、磁気ヘッド４０は磁気ディスク１６の最外周の停止位置まで移動される。すると、サスペンション３８から延出したタブ５０が磁気ディスク１６の外周縁から外方へ突出し、それぞれスロープ５３を介して対応するランプ５２ａ、５２ｂ上に乗り上げる。これにより、各サスペンション３８はその長手軸Ａに沿って弾性変形し、一対の磁気ヘッド４０は、それぞれ磁気ディスク１６の上面および下面から所定距離離間した状態に保持される。
【００４６】
ＨＤＤを再び作動した場合、磁気ディスク１６が回転した状態でキャリッジアッセンブリ２２が磁気ディスクの内周側に回動される。すると、各サスペンション３８のタブ５０はスロープ５３上を通って対応するランプ５２ａ、５２ｂから離間する。これにより、磁気ヘッド４０は磁気ディスク１６の表面に対して、情報の記録、再生が可能な位置まで接近し、この状態で、キャリッジアッセンブリ２２により所望のトラック上に移動される。
【００４７】
次に、上述の磁気記録再生装置に適用される磁気記録媒体について説明する。
実施例１〜４
本発明の磁気記録再生装置に適用される磁気記録媒体は、以下のようにして形成した。
【００４８】
基板材料としてとして２．５インチガラス基板、磁性薄膜材料として、ＣｏＣｒＴａＰｔターゲット、保護層材料として炭素ターゲットをそれぞれ用意した。
これらの材料を用いて、ＤＣマグネトロン・スパッタ装置によって、種々の厚さの保護層を有するハードディスクタイプの磁気記録媒体を作製した。
【００４９】
ただし、保護層は、通常の成膜方法と異なり、保護層スパッタを２度行うことで形成した。はじめに、通常の方法で磁気記録層全面をスパッタした。その後、厚さを薄くすべき領域を覆うシャッタでマスクして同様にスパッタを行なった。このことにより厚さを薄くすべき領域以外の領域の保護層の厚さを厚くさせた。また、保護層の厚さの制御は、スパッタ時間を変化させることで行なった。
【００５０】
磁性膜の下地（図示せず）には、Ｃｒ合金膜を用いた。
得られた磁気記録媒体について、その磁気特性を、振動試料型磁力計ＶＳＭを用いて測定した。磁性膜の保磁力は、２５００Ｏｅであった。
【００５１】
同様に、各領域の保護層の厚さを種々変化させ、サンプルＡ〜Ｉを得た。
図７に、図３に示す磁気記録再生装置に適用し得る磁気記録媒体の第１の構成例を表す概略断面図を示す。図示するように、この磁気記録媒体は、例えば、約６５ｍｍ径、厚さ約０．６３５ｍｍの円形基板１０１と、その両面に設けられた厚さ約２０ｎｍの磁性膜１０２と、磁性膜１０２上に各々設けられ、ヘッドがロードされるその周縁領域（第１の領域）１０５に、例えばサンプルＡの場合は厚さ約１２ｎｍ、その周縁領域よりも内側領域（第２の領域）１０４にそれよりも薄い厚さ約８ｎｍの領域を有する保護層１０３とから基本的になる。第２の領域１０４は、例えば半径１４ｍｍ〜３０ｍｍであり、第１の領域は、例えば半径３０ｍｍ〜３１．５ｍｍである。
【００５２】
得られた磁気記録媒体サンプルについて、電磁変換特性を調べるため、厚さの厚い領域及び厚さの薄い領域の両方を面記録密度５Ｇｂｐｓｉで記録再生した場合と、厚さの厚い領域を面記録密度３Ｇｂｐｓｉで、厚さの薄い領域を面記録密度５Ｇｂｐｓｉで記録再生した場合とで、各々記録トラック幅１．２μｍ、再生トラック幅０．８μｍのトラック幅をもつＧＭＲヘッドを用いて、４２００ｒｐｍ、浮上量２５ｎｍでエラーレートを測定し、比較を行った。
【００５３】
なお、記録密度を保護層の厚さに応じて変化するためには以下の方法を用いた。
図８に、保護層の厚さに応じて記録密度を変化する様子を説明するためのブロック図を示す。
【００５４】
図示するように、磁気記録媒体１６に記録された情報は、再生アンプ６０を通じて、再生信号処理部でデータとエリア情報に分別される。データはデータ変換部を通じて再生データとして送られる。エリア情報は、エリア情報判定部に送られる。エリア情報判定部では、厚さの薄い領域か、厚さの厚い領域かの判定が行われる。厚さの薄い領域の場合、記録周波数制御部でｆ１の周波数が記録周波数として選択される。例えばｆ１の記録周波数は５Ｇｂｓｉの面記録密度に相当する周波数である。また、例えばｆ２の記録周波数は３Ｇｂｓｉの面記録密度に相当する周波数である。このようにして選択された記録周波数（ｆ１またはｆ２）を示す記録周波数指定信号が記録アンプ７０に送られる。記録アンプ７０に入力された記録データは、この記録周波数指定信号で指定された記録周波数に従って電流に変換され、磁気ヘッド４０に供給される。これにより、厚さの薄い領域には５Ｇｂｓｉの面記録密度の情報が記録され、厚さの厚い領域には、３Ｇｂｓｉ面記録密度の情報が記録される。
【００５５】
また、エリア情報は、上述の方法のみならず、あらかじめホストシステムに登録された情報を用いることも可能である。この場合、エリア情報がホストシステムからエリア情報判定部に送られ、エリア情報判定部では、厚さの薄い領域か、厚さの厚い領域かの判定が行われる以外は、上述の方法と同様にして記録が行われる。
【００５６】
上述のようにして得られたサンプルＡ〜Ｉのエラーレートの測定結果を、下記表１に示す。ここで、サンプルＡ〜Ｅは、第１の領域と第２の領域の保護膜の厚さが同等な比較例、サンプルＩは第１の領域の保護膜の厚さが第２の領域の保護膜の厚さよりも薄い比較例、サンプルＦ〜Ｈのうち、第１の領域と第２の領域を同じ面記録密度で記録再生したものは比較例、サンプルＦ〜Ｈの第１の領域の保護膜の厚さが第２の領域の保護膜の厚さよりも厚く、かつ第１の領域を３Ｇｂｐｓｉで、第２の領域を５Ｇｂｐｓｉで記録再生したものが実施例１〜３である。
【００５７】
エラーレートの表示でたとえば９は１０の９乗を意味し、８は１０の８乗を意味する。なお、装置のエラーレートは最低でも７乗が必要である。
また、ロード領域で、磁気ヘッドのロードアンロード試験を５万回行った。試験後の、磁気ディスクの状態を表面を顕微鏡で観察し、その傷つき性を調べた。このとき、まったく傷がみられない場合を○、肉眼ではみられないが、１００倍の倍率の顕微鏡でかすかに傷がみられる場合を△、肉眼で傷が見られる場合を×として評価した。その結果を下記表１に示す。
【００５８】
【表１】
0004146005.tif 000002
【００５９】
エラーレートは、磁気ディスク装置を成立させるためには、１０-7以下であることが必要である。ここでは、エラーレート５乗以下を×、６乗を△、７乗以上を○とした。
【００６０】
表１の結果より、サンプルＦ，Ｇ，Ｈ，及びＪのように、第２の領域の保護膜厚さに比べて、第１の領域の保護膜の厚さが厚い場合、第２の領域のエラーレートと傷つき性のどちらも良好となる。また、サンプルＦ，Ｇ，Ｈ，及びＪにおいて、第１の領域に書き込む記録密度を、第２の領域の記録密度と同等の５Ｇｂｐｓｉにした場合には、傷つき性、第１の領域のエラーレート、第２の領域のエラーレートの全てを満足することは難しかったのに対し、保護膜の厚い第１の領域に書き込む記録密度を、第２の領域に書き込む記録密度よりも低くして３Ｇｂｐｓｉとした場合（実施例１〜３）には、第１の領域及び第２の領域のエラーレートと傷付き性のすべてが良好となった。
【００６１】
実施例４，５
図３に示す磁気記録再生装置に適用される磁気記録媒体の他の例を以下のようにして形成した。
【００６２】
基板材料として、２．５インチガラス基板、磁性薄膜材料として、ＣｏＣｒＴａＰｔターゲット、保護層材料としてとして炭素ターゲットをそれぞれ用意した。
【００６３】
これらの材料を用いて、保護層の形成工程以外は実施例１ないし３と同様にして厚さの異なる保護層を有する磁気記録媒体としてサンプルＫ，Ｊを作製した。
保護層の形成は、通常の成膜方法と同等の方法により行った。ただし、この場合、スパッタの膜厚分布を利用した。例えばスパッタ装置におけるカーボン保護層ターゲット裏面の磁石を位置を制御することにより、基板上の膜厚分布を変化させ、データ領域に対してロード領域のカーボン保護層の厚さを厚くすることができる。このようにして、この例では、データ領域の内外周の膜厚分布を１０％以内に制御した。また、保護層の厚さは、スパッタ時間を変化させることで行った。
【００６４】
得られた磁気記録媒体の構成を図９に示す。
図９は、本発明の磁気記録媒体の第２の構成例を表す概略断面図である。図示するように、この磁気記録媒体は、その保護膜１１３の膜厚が磁気記録媒体のデータ領域からロード領域にかけて、図７と比較してなだらかに増加している以外は、図７と同様の構造を有する。
【００６５】
なお、磁性膜の下地（図示せず）には、Ｃｒ合金膜を用いた。また、磁性膜は２０ｎｍの厚さとし、保磁力は、２５００Ｏｅであった。
得られた磁気記録媒体について、実施例１〜３と同様にして電磁変換特性の測定を行なった。また、磁気ヘッドのロードアンロード試験を同様にして行ない、傷つき性を測定、評価した。得られた結果を表２に示す。
【００６６】
【表２】
0004146005.tif 000003
【００６７】
なお、サンプルＫ，Ｊのうち第１の領域と第２の領域を同じ面記録密度で記録再生したものは比較例、サンプルＦ〜Ｈの第１の領域の保護膜の厚さが第２の領域の保護膜の厚さよりも厚く、かつ第１の領域を３Ｇｂｐｓｉで、第２の領域を５Ｇｂｐｓｉで記録再生したものが、各々実施例４，５である。
【００６８】
この表の結果より、サンプルＫ，Ｊにおいて、第２の領域の保護層厚さに比べて、第１の領域の保護層の厚さが厚い場合、第２の領域のエラーレートと傷つき性のどちらも良好となることがわかる。また、サンプルＫ，Ｊにおいて、保護膜の厚い第１の領域に書き込む記録密度を、第２の領域に書き込む記録密度よりも低くして３Ｇｂｐｓｉとした場合（実施例５，６）第１の領域及び第２の領域のエラーレートと傷付き性のすべてが良好となった。
【００６９】
以上図７及び図９を用いて、ディスクの周縁に保護膜の厚い領域その内側に保護膜の薄い領域を有する磁気記録媒体について説明したが、本発明は、これに限るものではない。
【００７０】
以下、上述の磁気記録媒体の変形例について説明する。
その他の変形例
図１０は、本発明の磁気記録媒体の第３の構成例を表す概略断面図である。
【００７１】
この磁気記録媒体は、ロードされる領域が媒体の中心部付近にあり、その周辺にそれ以外の領域があり、これに相応して、媒体の中心部付近の膜厚が厚く、その周辺の膜厚がそれより薄い保護膜１２３が設けられる以外は、実施例１と同様にして得られる。
【００７２】
図１１は、本発明の磁気記録媒体の第４の構成例を表す概略断面図である。
この磁気記録媒体は、媒体の中心部付近の膜厚が厚く、図１０に比べてその周辺の膜厚がそれよりなだらかに薄くなった保護膜１３３が設けられる以外は、実施例４と同様にして得られる。
【００７３】
図１２は、本発明の記録媒体の第５の構成例を表す該略断面図を示す。
この磁気記録媒体は、媒体の中心部と周縁部とのほぼ中間付近の同心円上の膜厚が厚く、その周辺の膜厚がそれより薄くなった保護膜１４３が設けられる以外は、実施例１と同様にして得られる。
【００７４】
図１３は、本発明の記録媒体の第６の構成例を表す該略断面図を示す。
この磁気記録媒体は、媒体の中心部と周縁部とのほぼ中間付近の同心円上の膜厚が厚く、その周辺の膜厚がそれより薄く形成されている以外は、実施例４と同様にして得られる。この媒体は、膜厚が厚い領域と薄い領域との差が、図１２に比べてなだらかである。
【００７５】
図１４は、本発明の記録媒体の第７の構成例を表す概略断面図である。
この磁気記録媒体は、媒体の中心部と周縁部とのほぼ中間付近のごく一部分の膜厚が他の領域の膜厚よりも厚く形成され、同心円方向に均一の高さを持たない保護膜１６３を設ける以外は、実施例４と同様にして得られる。
【００７６】
この磁気記録媒体の場合は、ロード領域が同心円方向全体ではなく、そのごく一部に形成されているため、そのため、ヘッドロードする場合、以下のように制御することが必要である。
【００７７】
すなわち、ヘッドロード時にヘッドがロードされる領域を、保護層の厚い領域にすることが必要である。このため、回転一周に対し、保護層の厚い領域に対応してパルス１回を発生させる（インデックスパルス）。そして、このインデックスパルスに同期した形で、保護層の厚い領域にヘッドがロードされるようヘッドロードの制御を行なう。
【００７８】
また、保護膜が薄い領域は、データを記録再生することが可能である。この場合、１周の間で保護層が厚い領域と薄い領域とが存在するため、特に膜厚の制御をきびしくする必要がある。
図１４に示す構成を有する磁気記録媒体を用いると、その保護膜を最大限に薄く設計することができる。
【００７９】
【発明の効果】
本発明の磁気記録媒体を用いると、ロード時にヘッドによる衝撃を受けても傷つき難く、エラーの少ない良好な磁気記録再生を行なうことができる。本発明の磁気記録媒体はまた、ヘッドによる衝撃を受けない領域の保護膜を薄く形成することが可能であり、ロード時にヘッドによる衝撃を受ける領域にもエラーの少ない良好な磁気記録再生を行なうことができるので、その高密度化、大容量化が可能となる。
【００８０】
本発明の磁気記録再生装置を用いると、ロード時にヘッドによる衝撃を受けても傷つき難く、エラーの少ない良好な磁気記録再生を行なうことができる。また、本発明の磁気記録再生装置は、ヘッドによる衝撃を受けない領域の保護膜を薄く形成することが可能であり、ロード時にヘッドによる衝撃を受ける領域にもエラーの少ない良好な磁気記録再生を行なうことができるので、高密度で大容量の記録が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の磁気記録媒体の一例の構成を表す該略図
【図２】  本発明の磁気記録媒体の他の一例の構成を表す該略図
【図３】  本発明の磁気記録再生装置の一例を表す分解斜視図
【図４】  図３に示すキャリッジアッセンブリの斜視図
【図５】  磁気ヘッドが磁気記録再生装置の再外周に移動した状態を表す磁気記録再生装置平面図
【図６】  磁気記録再生装置の動作状態と非動作状態における磁気ヘッド及びサスペンションとランプとの配置関係を概略的に表す側面図
【図７】  本発明の磁気記録再生装置に適用可能な磁気記録媒体の第１の構成例を表す概略断面図
【図８】  保護層の厚さに応じて記録密度を変化する様子を説明するためのブロック図
【図９】  本発明の磁気記録再生装置に適用可能な磁気記録媒体の第２の構成例を表す概略断面図
【図１０】  本発明の磁気記録再生装置に適用可能な磁気記録媒体の第３の構成例を表す概略断面図
【図１１】  本発明の磁気記録再生装置に適用可能な磁気記録媒体の第４の構成例を表す概略断面図
【図１２】  本発明の磁気記録再生装置に適用可能な磁気記録媒体の第５の構成例を表す概略断面図
【図１３】  本発明の磁気記録再生装置に適用可能な磁気記録媒体の第６の構成例を表す概略断面図
【図１４】  本発明の磁気記録再生装置に適用可能な磁気記録媒体の第７の構成例を表す概略断面図
【符号の説明】
１２…ケース
１６…磁気ディスク
２１…基板ユニット
２２…キャリッジアッセンブリ
２４…ボイスコイルモータ
２５…ランプロード機構
２６…軸受組立体
３８…サスペンション
４０…磁気ヘッド
１０１…基板
１０２，２０２，２３２…磁気記録層
１０３，１１３，１２３，１３３，１４３，１５３，１６３，２０３…保護層
１０４…第２の領域
１０５…第１の領域
【図１】
0004146005.tif 000004
【図２】
0004146005.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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