(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックス部品から成るワークを複数積載した板状治具を載置可能な複数の載置部が設置され、上記載置した板状治具に対向する位置に切り欠き部が設けられたテーブル部，及びこのテーブル部を移動させて前記複数個の載置部を循環して移動させる移動部を備えたテーブル手段と、前記板状治具を複数枚ストックするストック手段と、このストック手段から所定のタイミングに応じて前記板状治具を１枚ずつ取り出して搬送し、その搬送してきた板状治具を前記テーブル手段により循環して移動してくる載置部毎にそれぞれ載置する板状治具供給手段と、多数のワークを複数列に整列して順次搬送するワーク整列搬送部，順次搬送されてきたワークを所定タイミングに応じて各列の先頭に位置する複数個のワーク毎に順次前記ワーク整列搬送部から分離するワーク分離部，及びこのワーク分離部により複数個のワークが分離される毎に駆動して当該複数個のワークを保持して搬送するとともに、当該搬送してきた複数個のワークを前記テーブル手段により前記板状治具供給手段を介して送られてくる板状治具上にそれぞれ密着状態で整列配置するワーク密着整列部を備え、当該ワーク分離部及びワーク密着整列部の動作により送られてきた板状治具毎に所定数のワークを供給するワーク供給手段と、前記テーブル手段、前記板状治具供給手段、及び前記ワーク供給手段をそれぞれ統轄して制御する統轄制御手段とを備えたことを特徴とするワーク整列装置。
【請求項２】
セラミックス部品から成るワークを複数積載したワーク積載用の板状治具を載置可能な複数の載置部が設置され、上記載置した板状治具に対向する位置に切り欠き部が設けられたテーブル部，及びこのテーブル部を移動させて前記複数個の載置部を循環移動させる移動部を備えたテーブル手段と、前記板状治具を複数枚ストックするストック手段と、このストック手段から所定のタイミングに応じて前記板状治具を１枚ずつ取り出して搬送し、その搬送してきた板状治具を前記テーブル手段により循環して移動してくる載置部毎にそれぞれ載置する板状治具供給手段と、多数のワークを複数列に整列して順次搬送するワーク整列搬送部，順次搬送してきたワークを所定タイミングに応じて各列の先頭に位置する複数個のワーク毎に順次前記ワーク整列搬送部から分離するワーク分離部，及びこのワーク分離部により複数個のワークが分離される毎に駆動して当該複数個のワークを保持して搬送するとともに、当該搬送してきた複数個のワークを前記テーブル手段により前記板状治具供給手段を介して送られてきた板状治具上にそれぞれ密着状態で整列配置するワーク密着整列部を備え、当該ワーク分離部及びワーク密着整列部の動作により送られてくる板状治具毎に所定数のワークを供給するワーク供給手段と、予めストックされた複数のスペーサを１列に整列して順次搬送するスペーサ整列搬送部，順次搬送してきたスペーサにおける先頭のスペーサを所定タイミングに応じて順次分離するスペーサ分離部，及びこの分離部によりスペーサが分離される毎に駆動して当該分離されたスペーサを保持して搬送し、この搬送してきたスペーサを前記テーブル手段により送られてきた前記ワークが供給された板状治具上の所定位置に供給するスペーサ搬送供給部を備え、当該スペーサ分離部及びスペーサ搬送供給部の動作により各板状治具毎に所定数のスペーサを供給するスペーサ供給手段と、前記テーブル手段により順次送られてきた前記ワーク及びスペーサが供給された板状治具を順次前記載置部から分離して所定位置まで搬送して当該所定位置に段積みする板状治具段積み手段と、前記テーブル手段、前記板状治具供給手段、前記ワーク供給手段、前記スペーサ供給手段及び前記板状治具段積み手段をそれぞれ統轄して制御する統轄制御手段とを備えたことを特徴とするワーク整列段積み装置。
【請求項３】
前記テーブル部は略円形で且つ前記複数の載置部は４個であり、この４個の載置部は当該略円形のテーブル部上面にその中心に対して対称的に設置されているとともに、
前記ストック手段、前記ワーク供給手段、前記スペーサ供給手段及び前記板状治具段積み手段は、前記テーブル部の周囲に配設されている一方、
前記移動部は前記略円形のテーブル部を前記各載置部が前記ストック手段、前記ワーク供給手段、前記スペーサ供給手段及び前記板状治具段積み手段に略対向する位置に到達するように間欠状に回転させるようにした請求項２記載のワーク整列段積み装置。
【請求項４】
前記ストック手段は、前記複数枚の板状治具を載置する載置部と、この載置部を前記所定のタイミングに応じて昇降自在に支持する支持部とを有し、前記板状治具供給手段は、垂下状に支持された吸着機構と、この吸着機構を水平方向及び垂直方向に移動可能に支持する移動支持機構とを有しており、前記移動支持機構を介して前記吸着機構を移動させて前記載置部に載置された複数枚の板状治具における最上部の板状治具を吸着保持し、当該移動支持機構を介して前記吸着機構を移動させてこの吸着機構により保持された板状治具を前記板状治具上に載置するように構成した請求項２又は３記載のワーク整列段積み装置。
【請求項５】
前記ワーク分離部は、前記ワーク整列搬送部により搬送されてきた複数列のワークにおける各列の先頭に位置する複数個のワークのみを１列に並べて保持する保持機構と、この保持機構を上昇させて当該複数個のワークを他のワークから分離する上昇分離機構とを有するとともに、
前記ワーク密着整列部は、前記上昇分離機構により上昇分離されたワークの数に対応した複数の吸着機構と、この複数の吸着機構における隣接する吸着機構間のピッチを前記ワークの列方向に沿って移動可能に支持する第１の移動支持機構と、前記吸着機構及び移動支持機構を水平方向及び垂直方向に移動可能に支持する第２の移動支持機構とを有しており、前記第２の移動支持機構を介して前記複数の吸着機構を移動させて前記複数個のワークをそれぞれ吸着して保持し、当該第２の移動支持機構を介して前記第１の移動支持機構及び前記複数個のワークが保持された前記複数の吸着機構を一体に移動させるとともに、当該第１の移動支持機構を介して前記複数の吸着機構における隣接する吸着機構間のピッチを最小限度にした状態で当該吸着機構に保持された複数個のワークを前記板状治具上に整列配置するようにした請求項２、３又は４記載のワーク整列段積み装置。
【請求項６】
前記スペーサ分離部は、前記スペーサ整列搬送部により搬送されてきたスペーサにおける先頭に位置するスペーサのみを保持する保持機構と、この保持機構を上昇させて当該スペーサを他のスペーサから分離する上昇分離機構とを有するとともに、
前記スペーサ供給部は、前記上昇分離機構により上昇分離されたスペーサをチャックするためのチャック機構と、このチャック機構を支持する支持機構と、前記チャック機構及び支持機構を水平方向及び垂直方向に移動可能に支持する移動支持機構とを有しており、前記移動支持機構を介して前記チャック機構を移動させて前記スペーサをチャッキングして保持し、当該移動支持機構を介して前記支持機構及び前記スペーサが保持された前記チャック機構を一体に移動させて前記スペーサが供給された板状治具上の所定位置に配設するようにした請求項２乃至５の内の何れか１項記載のワーク整列段積み装置。
【請求項７】
板状治具段積み手段は、前記ワーク及びスペーサが供給された板状治具を上昇させることにより前記載置部から分離する上昇分離部と、この上昇分離された板状治具を所定方向にスライドさせて前記テーブル部上方から離間させる離間部と、当該テーブル部から離間された板状治具をチャックするためのチャック機構と、このチャック機構を回転自在に支持する回転支持機構と、この支持機構を垂直方向及び水平方向に移動自在に支持する移動支持機構とを有しており、前記移動支持機構及び前記回転支持機構を介して前記チャック機構を移動させて前記テーブル部から離間された板状治具をチャッキングして保持し、当該移動支持機構を介して前記回転支持機構及び前記板状治具が保持された前記チャック機構を一体に移動させて前記所定位置に載置するようにした請求項２乃至６の内の何れか１項記載のワーク整列段積み装置。
【請求項８】
セラミックス部品から成るワークを複数積載したワーク積載用の板状治具を載置可能な複数の載置部が設置され、かつ、上記載置した板状治具に対向する位置に切り欠き部が設けられたテーブル部を移動させて前記複数個の載置部を循環移動させるステップと、前記板状治具を複数枚ストックしておくステップと、このストックされた板状治具を所定のタイミングに応じて１枚ずつ取り出して搬送し、その搬送してきた板状治具を循環して移動してくる載置部毎にそれぞれ載置する板状治具供給ステップと、多数のワークを複数列に整列して順次搬送し、搬送してきたワークを所定タイミングに応じて各列の先頭に位置する複数個のワーク毎に順次分離し、その分離された複数個のワークを保持して搬送し、その搬送してきた複数個のワークを前記テーブル部循環移動ステップにより前記板状治具供給ステップを介して送られてくる板状治具上にそれぞれ密着状態で整列配置することにより、送られてくる板状治具毎に所定数のワークを供給するワーク供給ステップと、予めストックされた複数のスペーサを１列に整列して順次搬送し、順次搬送してきたスペーサにおける先頭のスペーサを所定タイミングに応じて順次分離し、分離されたスペーサを保持して搬送し、搬送してきたスペーサを前記テーブル部循環移動ステップにより送られた前記ワークが供給された板状治具上の所定位置に供給することにより、各板状治具毎に所定数のスペーサを供給するスペーサ供給ステップと、前記テーブル手段により順次送られてきた前記ワーク及びスペーサが供給された板状治具を順次前記載置部から分離して所定位置まで搬送して当該所定位置に段積みする板状治具段積みステップとを備えたことを特徴とするワーク整列段積み方法。
【請求項９】
前記板状治具がＭｏ板であることを特徴とする請求項２記載のワーク整列段積み装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、整列して排出されてきた部品（ワーク）を所定数量に分離して板状治具に整列配置するワーク整列装置並びにこのワークが整列配置された板状治具を段積み用支柱（スペーサ）にて段積みするワーク整列段積み方法及びワーク整列段積み装置に係わり、特に、ワークを板状治具上に隙間無く効率的に密着整列するとともに、当該ワークの密着整列動作及び段積み動作を、能率良く高品質を維持した状態で自動的且つ無人で行うことを可能にしたワーク整列装置、ワーク整列段積み方法及びワーク整列段積み装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
円柱形状等のワークに対して金属材料の塗布加工やメタライズ加工等の各種加工を連続して行って所望の装置に適用される加工部品を製造する際においては、例えば、ある加工が終了した後の複数のワークを板状治具に整列配置し、その板状治具をスペーサを介して段積みして搬送部（ボート）に収納する。そして、この複数の板状治具が段積みされたボートを次の加工工程やストッカー等に搬送するワーク整列段積みシステムが用いられている場合がある。
【０００３】
上述したワーク整列段積みシステムにおいて、従来では、人手によりワークとスペーサとを板状治具上に整列配置してその板状治具を段積みするか、あるいは、図１５に示すように、予めスペーサＳ1 が固定された板状治具２５０上に人手によりワークを整列配置して当該板状治具を段積みし、段積みされた板状治具をボートに収納していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の人手によるワーク整列・段積み動作は単純作業であるため、このような単純作業を人手を用いて行うことは、加工部品製造コストを上昇させて非能率的であり、ワーク整列・段積み動作の機械化（自動化、ライン化）が強く要望されていた。
【０００５】
特に、図１５に示したワーク整列・段積み方法では、スペーサが板状治具に固定されているため板状治具が専用化され、部品の種類毎に別の板状治具を用意する必要があり、効率が悪かった。また、スペーサが板状治具に固定されているため、板状治具のみ（ワークを積載しない状態）を段積みしてストッカー等に収納する場合にスペーサ分だけストッカー内の占有スペースが増大し、収納効率が悪化した。さらに、ワークを板状治具上に載置する際に固定されたスペーサとワークとが位置的に干渉する恐れがあり、この位置的干渉が発生した場合には、治具上にワークが載置されない空間が発生してその治具に対するワーク積載量を低下させ、部品製造効率を悪化させていた。
【０００６】
本発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、ワーク整列動作及びワーク段積み動作を、能率良く高品質を維持した状態で自動的且つ無人で行うことにより、加工部品製造コストを著しく低減させることをその目的とする。
【０００７】
また、本発明は、上述した自動的且つ無人によるワーク整列動作においても、当該ワークを板状治具上に隙間無く効率的に密着整列することを他の目的とする。
【０００８】
さらに本発明は、上述した自動的且つ無人によるワーク整列・段積み動作を、スペーサを板状治具上に固定することなく行うことにより、板状治具自体の汎用性及び収納効率を向上させることを他の目的とする
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成するために、本発明のワーク整列装置によれば、請求項１に記載したように、セラミックス部品から成るワークを複数積載した板状治具を載置可能な複数の載置部が設置され、上記載置した板状治具に対向する位置に切り欠き部が設けられたテーブル部，及びこのテーブル部を移動させて前記複数個の載置部を循環して移動させる移動部を備えたテーブル手段と、前記板状治具を複数枚ストックするストック手段と、このストック手段から所定のタイミングに応じて前記板状治具を１枚ずつ取り出して搬送し、その搬送してきた板状治具を前記テーブル手段により循環して移動してくる載置部毎にそれぞれ載置する板状治具供給手段と、多数のワークを複数列に整列して順次搬送するワーク整列搬送部，順次搬送されてきたワークを所定タイミングに応じて各列の先頭に位置する複数個のワーク毎に順次前記ワーク整列搬送部から分離するワーク分離部，及びこのワーク分離部により複数個のワークが分離される毎に駆動して当該複数個のワークを保持して搬送するとともに、当該搬送してきた複数個のワークを前記テーブル手段により前記板状治具供給手段を介して送られてくる板状治具上にそれぞれ密着状態で整列配置するワーク密着整列部を備え、当該ワーク分離部及びワーク密着整列部の動作により送られてきた板状治具毎に所定数のワークを供給するワーク供給手段と、前記テーブル手段、前記板状治具供給手段、及び前記ワーク供給手段をそれぞれ統轄して制御する統轄制御手段とを備えている。
【００１０】
また、上述した目的を達成するために、本発明におけるワーク整列段積み装置によれば、請求項２に記載したように、セラミックス部品から成るワークを複数積載したワーク積載用の板状治具を載置可能な複数の載置部が設置され、上記載置した板状治具に対向する位置に切り欠き部が設けられたテーブル部，及びこのテーブル部を移動させて前記複数個の載置部を循環移動させる移動部を備えたテーブル手段と、前記板状治具を複数枚ストックするストック手段と、このストック手段から所定のタイミングに応じて前記板状治具を１枚ずつ取り出して搬送し、その搬送してきた板状治具を前記テーブル手段により循環して移動してくる載置部毎にそれぞれ載置する板状治具供給手段と、多数のワークを複数列に整列して順次搬送するワーク整列搬送部，順次搬送してきたワークを所定タイミングに応じて各列の先頭に位置する複数個のワーク毎に順次前記ワーク整列搬送部から分離するワーク分離部，及びこのワーク分離部により複数個のワークが分離される毎に駆動して当該複数個のワークを保持して搬送するとともに、当該搬送してきた複数個のワークを前記テーブル手段により前記板状治具供給手段を介して送られてきた板状治具上にそれぞれ密着状態で整列配置するワーク密着整列部を備え、当該ワーク分離部及びワーク密着整列部の動作により送られてくる板状治具毎に所定数のワークを供給するワーク供給手段と、予めストックされた複数のスペーサを１列に整列して順次搬送するスペーサ整列搬送部，順次搬送してきたスペーサにおける先頭のスペーサを所定タイミングに応じて順次分離するスペーサ分離部，及びこの分離部によりスペーサが分離される毎に駆動して当該分離されたスペーサを保持して搬送し、この搬送してきたスペーサを前記テーブル手段により送られてきた前記ワークが供給された板状治具上の所定位置に供給するスペーサ搬送供給部を備え、当該スペーサ分離部及びスペーサ搬送供給部の動作により各板状治具毎に所定数のスペーサを供給するスペーサ供給手段と、前記テーブル手段により順次送られてきた前記ワーク及びスペーサが供給された板状治具を順次前記載置部から分離して所定位置まで搬送して当該所定位置に段積みする板状治具段積み手段と、前記テーブル手段、前記板状治具供給手段、前記ワーク供給手段、前記スペーサ供給手段及び前記板状治具段積み手段をそれぞれ統轄して制御する統轄制御手段とを備えている。
【００１１】
特に、前記テーブル部は略円形で且つ前記複数の載置部は４個であり、この４個の載置部は当該略円形のテーブル部上面にその中心に対して対称的に設置されているとともに、前記ストック手段、前記ワーク供給手段、前記スペーサ供給手段及び前記板状治具段積み手段は、前記テーブル部の周囲に配設されている一方、前記移動部は前記略円形のテーブル部を前記各載置部が前記ストック手段、前記ワーク供給手段、前記スペーサ供給手段及び前記板状治具段積み手段に略対向する位置に到達するように間欠状に回転させるようにしている。
【００１２】
また特に、前記ワーク分離部は、前記ワーク整列搬送部により搬送されてきた複数列のワークにおける各列の先頭に位置する複数個のワークのみを１列に並べて保持する保持機構と、この保持機構を上昇させて当該複数個のワークを他のワークから分離する上昇分離機構とを有するとともに、前記ワーク密着整列部は、前記上昇分離機構により上昇分離されたワークの数に対応した複数の吸着機構と、この複数の吸着機構における隣接する吸着機構間のピッチを前記ワークの列方向に沿って移動可能に支持する第１の移動支持機構と、前記吸着機構及び移動支持機構を水平方向及び垂直方向に移動可能に支持する第２の移動支持機構とを有しており、前記第２の移動支持機構を介して前記複数の吸着機構を移動させて前記複数個のワークをそれぞれ吸着して保持し、当該第２の移動支持機構を介して前記第１の移動支持機構及び前記複数個のワークが保持された前記複数の吸着機構を一体に移動させるとともに、当該第１の移動支持機構を介して前記複数の吸着機構における隣接する吸着機構間のピッチを最小限度にした状態で当該吸着機構に保持された複数個のワークを前記板状治具上に整列配置するようにしている。
【００１３】
さらに、上述した目的を達成するために、本発明のワーク整列段積み方法によれば、請求項８に記載したように、セラミックス部品から成るワークを複数積載したワーク積載用の板状治具を載置可能な複数の載置部が設置され、かつ、上記載置した板状治具に対向する位置に切り欠き部が設けられたテーブル部を移動させて前記複数個の載置部を循環移動させるステップと、前記板状治具を複数枚ストックしておくステップと、このストックされた板状治具を所定のタイミングに応じて１枚ずつ取り出して搬送し、その搬送してきた板状治具を循環して移動してくる載置部毎にそれぞれ載置する板状治具供給ステップと、多数のワークを複数列に整列して順次搬送し、搬送してきたワークを所定タイミングに応じて各列の先頭に位置する複数個のワーク毎に順次分離し、その分離された複数個のワークを保持して搬送し、その搬送してきた複数個のワークを前記テーブル部循環移動ステップにより前記板状治具供給ステップを介して送られてくる板状治具上にそれぞれ密着状態で整列配置することにより、送られてくる板状治具毎に所定数のワークを供給するワーク供給ステップと、予めストックされた複数のスペーサを１列に整列して順次搬送し、順次搬送してきたスペーサにおける先頭のスペーサを所定タイミングに応じて順次分離し、分離されたスペーサを保持して搬送し、搬送してきたスペーサを前記テーブル部循環移動ステップにより送られた前記ワークが供給された板状治具上の所定位置に供給することにより、各板状治具毎に所定数のスペーサを供給するスペーサ供給ステップと、前記テーブル手段により順次送られてきた前記ワーク及びスペーサが供給された板状治具を順次前記載置部から分離して所定位置まで搬送して当該所定位置に段積みする板状治具段積みステップとを備えている。
【００１４】
本発明によれば、統括制御手段の制御に基づいてテーブル手段の移動部により循環移動してストック供給手段に対向する位置にきた複数の載置部上に、統括制御手段の制御に応じた板状治具供給手段の動作によりストック手段にストックされた複数枚の板状治具が１枚ずつ取り出されて載置される。
【００１５】
一方、ワーク整列搬送部により複数列に整列して搬送されてきたワークは、統括制御手段の制御に基づくワーク分離部の動作により各列の先頭に位置する複数個のワーク毎に順次前記ワーク整列搬送部から分離され、この分離された複数個のワークは、統括制御手段の制御に基づくワーク搬送部の動作により保持されて搬送される。
【００１６】
すなわち、ワーク整列搬送部により搬送されてきた複数列のワークにおける各列の先頭に位置する複数個のワークは、保持機構により１列に並べられた状態で保持され、上昇分離機構により保持機構が上昇して複数個のワークが他のワークから分離される。
【００１７】
そして、上昇分離機構により上昇分離されたワークは、第２の移動支持機構を介して複数の吸着機構が移動してその複数個のワークがそれぞれ吸着して保持され、この複数個のワークが保持された複数の吸着機構は、第２の移動支持機構を介して第１の移動支持機構と一体に移動する。
【００１８】
このとき、第１の移動支持機構により、複数の吸着機構における隣接する吸着機構間のピッチが最小限度にされた状態、すなわち、当該複数の吸着機構に吸着された各ワークが密着した状態でテーブル手段の移動部により循環移動してワーク供給手段に対向する位置に到達した載置部に載置された板状治具上に整列供給される。そして、このワーク分離部及びワーク搬送部の動作により、順次移動してきた板状治具上に対して所定数のワークが密着状態で整列供給される。
【００１９】
また、スペーサ整列搬送部により整列して搬送されてきたスペーサは、統括制御手段の制御に基づくスペーサ分離部の動作により先頭に位置するスペーサ毎に順次前記スペーサ整列搬送部から分離され、この分離されたスペーサは、統括制御手段の制御に基づくスペーサ搬送部の動作により保持されて搬送される。
【００２０】
スペーサ搬送部により搬送されたスペーサは、テーブル手段の移動部により循環移動してスペーサ供給手段に対向する位置に到達したワークが供給された板状治具上に供給され、このスペーサ分離部及びスペーサ搬送部の動作により順次移動してきた板状治具に対して所定数のスペーサが供給される。
【００２１】
そして、テーブル手段により順次送られてきたワーク及びスペーサが供給された板状治具は、統括制御手段により順次載置部から分離されて所定位置まで搬送され、その所定位置に段積みされる。
【００２２】
すなわち、本発明によれば、統括制御手段の統括制御に基づく各動作手段（テーブル手段、板状治具供給手段、ワーク供給手段、スペーサ供給手段及び板状治具段積み手段）の連続した動作により、密着状態で整列配置された所定数ワークを有し、且つ所定段に段積みされた板状治具が得られる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して説明する。なお、本実施形態では、例えばマグネトロンに用いられる例えば直径２０mmの円筒形のセラミックス部品（ワーク）を製造する場合のマグネトロン用セラミックス部品製造ラインに用いられるワーク整列段積み装置（さや詰め装置ともいう）について説明する。
【００２４】
図１は、本実施形態におけるマグネトロン用セラミックス部品製造ラインの概略構成を示す斜視図である。図１によれば、マグネトロン用セラミックス部品製造ライン１は、セラミックス部品（ワーク）をワーク搬送コンベア２及びボート搬送コンベア３を介して搬送しながら所定の加工処理を当該ワークに施してマグネトロン用に加工されたワークを製造するラインである。
【００２５】
すなわち、マグネトロン用製造ライン１は、ストッカー等からワーク搬送コンベア２を介して搬送されてきたワークに対して、耐食性があり相当な高温に絶え得るモリブデン（Ｍo ）を塗布するＭo 塗布装置４と、このＭo 塗布装置４により塗布されたＭo を乾燥するＭo 乾燥装置５と、Ｍo 乾燥装置５におけるＭo 乾燥工程が終了してワーク搬送コンベア２を介して複数個ずつ搬送されてくるワークをＭo 等の金属材料で形成された例えば長方形状の板状治具（Ｍo 板）に整列配置し、そのＭo 板を所定数段積みしてＭo で形成された搬送ボート（Ｍo ボート）に収納するワーク整列段積み装置６と、このワーク整列段積み装置６の整列段積み処理後、ボート搬送コンベア３を介して搬送されてきたＭo ボートにおける各ワークに対してメタライジング加工を施すメタライズ炉７と、このメタライズ炉７によるメタライジング加工後、ボート搬送コンベア３を介して搬送されてきたＭo ボートにおける各ワークに対してピン掛け加工を施して最終的にマグネトロン用ワークを製造するピン掛け装置８とを備えており、このＭo 塗布加工からピン掛け加工までの一連の加工を連続して行う製造ラインとなっている。
【００２６】
ここで、ワーク整列段積み装置６について、その構成及び動作を図２〜図１３を用いて詳細に説明する。
【００２７】
図２は、ワーク整列段積み装置６の概略構成を拡大して示す斜視図である。ワーク整列段積み装置６は、Ｍo 乾燥装置５の乾燥工程が終了してワーク搬送コンベア２を介して複数個（例えば１０個）ずつ順次搬送されてくるワークを取り出してＭo 板に所定数ずつ整列させる。そして、ワークが整列されたＭo 板にスペーサを配置し、ワーク及びスペーサが配置されたＭo 板を複数段（例えば５段）分段積みしてボート搬送コンベア３上のＭo ボートに収納するようになっており、上述したワーク取り出し・整列動作及びＭo 板段積み動作からＭo ボートへの収納動作までの一連の動作を自動的且つ無人で行うように構成されている。
【００２８】
すなわち、ワーク整列段積み装置６は、図２に示すように、ベース板１０ａを有する基台部１０と、ベース板１０ａの上面の略中央部に設置され、Ｍo 板及びワークを後述する各動作部へ順次送るＭo 板送り部１１，このＭo 板送り部１１の周囲に配設された各動作部、すなわちＭo 板をＭo 板送り部１１に供給するＭo 板供給部１２，Ｍo 板送り部１１により運搬されてきたＭo 板に対してワークを整列供給するワーク供給部１３，Ｍo 板送り部１１により運搬されてきたワークを有するＭo 板に対してスペーサを供給するスペーサ供給部１４，及びＭo 板送り部１１により運搬されてきたワーク及びスペーサを有するＭo 板を５段に段積みしてＭo ボートへ搬送及び収納するＭo 板段積み搬送部１５を備えたワーク整列段積みユニット１６と、基台部１０の内部に収納され、ワーク整列段積みユニット１６の各構成要素をそれぞれ制御する制御ユニット１７とを有している。なお、基台部１０の内部には、制御ユニット１７とワーク整列段積みユニット１６の各構成要素（１１〜１５）とを接続する配線ダクト等も収納されている。
【００２９】
一方、ワーク整列段積み装置６における操作制御オペレータに面する基台部１０の正面側には、当該オペレータ側から開閉可能なドア部を有するカバー２０が設置されており、ワーク整列段積みユニット１６は、カバー２０に接合された図示しないフロントカバーに収納されている。そして、このフロントカバーの所定位置（例えばオペレータ側から向かって右端部）には、制御ユニット１７に接続されたディスプレイ対話型（操作データ等をディスプレイ上の要素を指定することにより入力可能なタイプ）の図示しない操作部が設置されており、オペレータが操作部を介して操作データを入力することにより、その操作データが制御ユニット１７に送られ、当該制御ユニット１７を介して上述したワーク整列段積み装置６の各構成要素（Ｍo 板送り部１１，Ｍo 板供給部１２，ワーク供給部１３，スペーサ供給部１４，Ｍo 板段積み搬送部１５）がそれぞれ駆動制御されるようになっている。
【００３０】
本実施形態では、Ｍo 板供給部１２はベース板１０ａ上面（以下、ベース面１０ｂともいう）の正面側端部に設置され、ワーク供給部１３は正面側から見てベース面１０ｂの左側面１０ｓ側端部に設置されている。また、スペーサ供給部１４はベース面１０ｂにおけるＭo 板供給部１２の設置端部と対向する端部に設置され、Ｍo 板段積み搬送部１５は正面側から見てベース面１０ｂの右側面１０ｔ側端部に設置されている。
【００３１】
以下、ワーク整列段積みユニット１６の各構成要素についてそれぞれ説明する。
【００３２】
Ｍo 板送り部１２は、図２及び図３に示すように、Ａ５０５２で形成された全体で略円形状を成すロータリーテーブル３０と、このロータリーテーブル３０をベース板１０ａに対して所定の高さで支持し、且つ当該テーブル３０をベース面１０ｂに直交する軸を回転軸として時計回りで且つ所定角度（本実施形態では約９０°）ずつ間欠状に回転させる支持部３１とを有しており、ロータリーテーブル３０の上面に載置されたＭo 板を当該ユニット１６の各構成要素（Ｍo 板供給部１２→ワーク供給部１３→スペーサ供給部１４→Ｍo 板段積み搬送部１５）へ順次運搬するように構成されている。
【００３３】
すなわち、ロータリーテーブル３０には、当該テーブル３０上面（以下、テーブル面ともいう）３０ａにおけるＭo 板供給部１２に近接する周縁部分にＭo 板を載置するためのＭo 板載置部３２ａが設けられている。また、ロータリーテーブル３０には、Ｍo 板載置部３２ａに載置されたＭo 板をＭo 板段積み搬送部１５の動作において当該ロータリーテーブル３０から分離するための矩形状に切り欠かれた切り欠き部３３ａが設けられており、以下、ワーク供給部１３に近接する周縁部分、スペーサ供給部１４に近接する周縁部分、及びＭo 板段積み部１５に近接する周縁部分に、Ｍo 板載置部３２ｂ〜３２ｄと切り欠き部３３ｂ〜３３ｄとがそれぞれ設けられている。
【００３４】
各切り欠き部３３ａ〜３３ｄにおいて互いに隣接する切り欠き部（例えば切り欠き部３３ａ，３３ｂ）は、ロータリーテーブル３０の回転軸に対して互いに約９０°を成すように配設されている。また、各Ｍo 板載置部３２ａ〜３２ｄは、当該切り欠き部３３ａ〜３３ｄを挟むようにロータリーテーブル３０の周縁部分に配設されたペアのＭo 板支持部３４ｋ1 ，３４ｋ2 から構成されており、各Ｍo 板支持部３４ｋ1 ，３４ｋ2 は、Ｍo 板の長手方向の長さに応じて当該Ｍo 板を支持可能に離間している。
【００３５】
各ペアのＭo 板支持部３４ｋ1 ，３４ｋ2 の内、一方のＭo 板支持部３４ｋ1 は固定されており、他方のＭo 板支持部３４ｋ2 は固定されたＭo 板支持部３４ｋ1 を基準として当該固定Ｍo 板支持部３４ｋ1 に対して離間及び近接自在に移動可能になっている。他方のＭo 板支持部３４ｋ2 の移動は、可動ローラ部及びリンク部等を有する移動機構を介して、例えばロータリーシリンダを介した外部からのレバー操作に応じて行なわれるように構成されている。つまり、Ｍo 板は、ロータリーテーブル３０のＭo 支持部３４ｋ1 ，３４ｋ2 に載置対して載置された後で他方のＭo 板支持部３４ｋ2 の移動により位置決めされるようになっている。
【００３６】
一方、支持部３１は、ローラギヤ方式のインデックスユニットが用いられたインデックス機構を有している。すなわち、インデックスユニットには、クラッチ、電磁ブレーキ、例えば１／３１の減速機、及び例えば９０ワットのギヤードタイプのインディックスモータ等が内蔵され、このインディックスモータ等の駆動によりロータリーテーブル３０を所定速度で約９０°で間欠状に回転させている。
【００３７】
したがって、支持部３１のインディックス機構が駆動すると、Ｍo 板供給部１２に対向したＭo 板載置部３２ａは、ロータリーテーブル３０の約９０°の回転により隣接するワーク供給部１３に対向する位置に移動し（以下、このような移動をＭo 板載置部３２ａ→ワーク供給部１３と表す）、同様にワーク供給部１３に対向したＭo 板載置部３２ｂ→スペーサ供給部１４、スペーサ供給部１４に対向したＭo 板載置部３２ｃ→Ｍo 板段積み搬送部１５、Ｍo 板段積み搬送部１５に対向したＭo 板載置部３２ｄ→Ｍo 板供給部１２と移動する。
【００３８】
すなわち、本構成のＭo 板送り部１１は、支持部３１のインディックス機構の駆動に基づくロータリーテーブル３０の回転により、Ｍo 板載置部３２ａ〜３２ｄを…→Ｍo 板供給部１２→ワーク供給部１３→スペーサ供給部１４→Ｍo 板段積み搬送部１５→Ｍo 板供給部１２→…と循環させながら順次搬送するように構成されている（初期状態においては、図３に示す配置関係になっているとする）。なお、ロータリーテーブル３０には、当該ロータリーテーブル３０に対して過負荷が掛けられた場合にそのトルク伝動を制限するための図示しないトルクリミッターが設けられている。
【００３９】
Ｍo 板送り部１１のロータリーテーブル３０の回転速度は、各動作部（Ｍo 板供給部１２、ワーク供給部１３、スペーサ供給部１４、及びＭo 板段積み搬送部１５）の動作速度及び動作時間に応じて予め定められており、各動作部の連続した動作が可能になっている。
【００４０】
Ｍo 板供給部１２は、Ｍo 板をストック可能なストッカー部４０と、このストッカー部４０によりストックされたＭo 板を１枚ずつロータリーテーブル３０のＭo 板供給部１２に近接且つ対向するＭo 板載置部３２ａへ搬送・供給するローダ部４１とを備えている。
【００４１】
ストッカー部４０は、図４に示すように、ベース面１０ｂ上に設置された土台となる土台フレーム部４５及びこの土台フレーム部４５に対して直立状に設けられた側フレーム部４６を有するＬ字形のフレーム４７と、土台フレーム部４５の上面（土台面）４５ａに対してガイドラインが直交するように側フレーム４６に設けられたＬＭガイド４７と、このＬＭガイド４７に隣接し、且つ当該ＬＭガイド４７のガイドラインに沿って配置されたオねじ部４８ａを有する転造ボールねじ（以下、ボールねじと略記する）４８と、このＬＭガイド４７のガイド部分に係合され且つボールねじ４８のメねじ部４８ｂに連結されたフォーク４９とを備えており、このフォーク４９の土台面４５ａに平行なストック面４９ａに例えば１００枚（ワーク整列段積みユニット１６の１．５時間の駆動により処理可能な枚数）のＭo 板Ｍをストックできるようになっている。
【００４２】
一方、土台面４５ａには、転造ボールねじ４８に対して土台面４５ａの長手方向に沿って同一直線上且つ当該転造ボールねじ４８のオねじ部４８ａと平行にペアのシャフト５０、５０が配設されており、そのペアのシャフト５０、５０は、Ｍo 板Ｍの長手方向に応じた長さで離間している。また、フォーク４９のストック面４９ａには、その側フレーム側端部の中央部に、側フレーム４６側のシャフト５０を貫通させるための孔５１が形成されている。なお、この貫通孔５１は、フォーク４９自体の上下運動の妨げにならないようにシャフト５０の直径よりも十分大きい直径を有している。
【００４３】
ところで、図４中に２点鎖線で示すように、Ｍo 板Ｍは、その短手方向側両端面の中央部にそれぞれシャフト５０、５０に係合するための半円部ｍ1 、ｍ2 が設けられており、Ｍo 板Ｍは、シャフト５０、５０を介してガイドされるようになっている。
【００４４】
そして、本構成では、ストック面４９ａに載置されシャフト５０、５０にガイドされたＭo 板Ｍの中心位置が、Ｍo 板供給部１２に対向するＭo 板載置部３２ａの中心位置である切り欠き部３３ａの中心位置及びロータリーテーブル３０の回転軸と同一直線上に位置するように、フレーム４７（フレーム土台部４５）のベース面１０ｂにおける設置位置が定められている。
【００４５】
一方、ストッカー部４０は、ボールねじ４８に例えばプーリー等の巻掛け伝動機構を介して連結され、その回転駆動により巻掛け伝動機構を介してボールねじ４８（オねじ部４８ａ）を回転させてメねじ部４８ｂを上昇及び下降運動させるブレーキ付きモータ５５と、側フレーム部４６の上端部に取り付けられ、モータ５５の駆動に基づくメねじ部４８ｂの上昇運動における最大到達点（上昇端）を検知する上昇端検知センサ５６と、側フレーム部４６の下端部に取り付けられ、モータ５５の駆動に基づくメねじ部４８ｂの下降運動における最大到達点（下降端）を検知する下降端検知センサ５７とを備えており、モータ５５、上昇端検知センサ５６及び下降端検知センサ５７は、図２に示した制御ユニット１７に接続されている。
【００４６】
上昇端検知センサ５６は、モータ５５の駆動及びボールねじ４８の回転駆動に基づくメねじ部４８ｂ及びフォーク４９の上昇及びこの上昇動作と協調して成される後述するローダ部４１のＭo 板搬送供給動作により、フォーク４９にストックされた全てのＭo 板Ｍが供給されてメねじ部４８ｂが上昇端に到達したことを検知し、この検知データを制御ユニット１７に送るようになっている。制御ユニット１７は、送られた検知データに応じてモータ５５を介してボールねじ４８の回転駆動を制御してメねじ部４８ｂ及びフォーク４９を自動的に下降させるようになっている。
【００４７】
そして、下降端検知センサ５７は、メねじ部４８ｂが下降して下降端に到達したことを検知し、この検知データを制御ユニット１７に送るようになっている。制御ユニット１７は、送られた検知データに応じて例えばディスプレイ対話型操作部を介して自動的に警音（オペレータコール）、すなわち、オペレータに対してＭo 板Ｍをフォーク４９に対してストックさせる指令信号を出力するようになっている。
【００４８】
ローダ部４１は、図５に示すように、ベース面１０ｂに対して直立状に設置された角パイプフレーム（以下、単にフレームともいう）６０と、Ｍo 板吸着用のバキュームヘッド部６１と、フレーム６０に取り付けられ、バキュームヘッド部６１を上下方向及び所定の水平方向へ移動自在に支持する支持部６２とを備えており、フレーム６０は、バキュームヘッド部６１の後述するバキュームパッド支持部がストッカー部４０のストック面４９ａの上方且つ互いに対向して位置するようにベース面１０ｂ上に配置されている。
【００４９】
支持部６２は、フレーム６０の上端部に設置され、ストック面４９ａに載置されたＭo 板Ｍの中心位置とＭo 板供給部１２に対向する切り欠き部３３ａの中心位置とを結ぶ直線に平行なガイドラインを有する幅広タイプのＬＭガイド６５と、このＬＭガイド６５に取り付けられ、当該ＬＭガイド６５のガイドラインに沿って水平移動する移動機構を有するロッドレスシリンダ６６とを備えている。
【００５０】
バキュームヘッド部６１は、ロッドレスシリンダ６６の移動機構に取り付けられたエアシリンダ７０と、このエアシリンダ７０に対してストック面４９ａに対向するように取り付けられ、当該エアシリンダ７０の駆動により上下動するバキュームパッド支持部７１と、バキュームパッド支持部７１に垂下状に取り付けられ、Ｍo 板Ｍを吸着可能な２本のバキュームパッド７２、７２とを備えている。
【００５１】
すなわち、ローダ部４１は、図６に示すように、制御ユニット１７の制御に応じたエアシリンダ７０の下方移動によりバキュームパッド支持部７１を下降させ、バキュームパッド支持部７１のバキュームパッド７２、７２によりストッカー部４０のストック面４９ａに載置されたＭo 板Ｍを吸着し、当該エアシリンダ７０の上方移動によりバキュームパッド支持部７１を上昇させてストッカー部４０のストック面４９ａに載置されたＭo 板Ｍを分離する。
【００５２】
エアシリンダ７０の上方移動によりＭo 板Ｍを吸着したバキュームパッド支持部７１が所定の高さまで上昇すると、ローダ部４１のロータリーシリンダ６６は、制御ユニット１７の制御に応じて移動機構及びバキュームパッド支持部７１を一体にＬＭガイド６５のガイドラインを介してＭo 板載置部３２ａに向けて水平移動させる。Ｍo 板載置部３２ａの上方にバキュームパッド支持部７１のバキュームパッド７２、７２に吸着されたＭo 板Ｍが到達した時、ローダ部４１は、制御ユニット１７の制御に応じたエアシリンダ７０の下方移動によりバキュームパッド支持部７１を下降させ、バキュームパッド支持部７１のバキュームパッド７２、７２に吸着されたＭo 板ＭをＭo 板載置部３２ａのＭo 板支持部３４ｋ1 ，３４ｋ2 上に載置する。
【００５３】
このようにして、ローダ部４１によるストッカー部４０からＭo 板載置部３２ａへのＭo 板Ｍの供給が終了すると、Ｍo 板送り部１１のロータリーテーブル３０が約９０°回転して当該Ｍo 板Ｍが供給されたＭo 板載置部３２ａはワーク供給部１３に対向する位置まで回転移動する。
【００５４】
ワーク供給部１３は、図２に示すように、Ｍo 乾燥装置５における乾燥工程終了後にワーク搬送コンベア２を介して例えば１０個ずつ（約６０個分）搬送されてきたワークを受取り所定数の列（本実施形態では８列）に整列する整列フィーダ８０と、この整列フィーダ８０により８列に整列されたワークを整列数と同一の個数（本実施形態では８個）、あるいは整列数よりも所定数少ない個数に分離する分離部８１と、この分離部８１により分離されたワークを取り出して、ロータリーテーブル３０のワーク供給部１３に近接且つ対向するＭo 板載置部３２ｂに載置されたＭo 板へ供給するローダ部８２とを備えている。
【００５５】
整列フィーダ８０は、図２及び図７に示すように、ワーク搬送コンベア２に対して連設されており、当該コンベア２を介して搬送されてきた１０個ずつのワークＷを受取り、受け取られたワークＷに対して振動を加えながら当該ワークＷを搬送路８５を介して搬送するように構成されている。そして、この整列フィーダ８０における分離部８１側の搬送路８５ａには、搬送方向に沿って直線状に整列させるための通路（溝）８６が複数列（８列、８６ａ1 〜８６ａ8 ）形成されており、その通路ピッチはワークＷの直径よりも長く、各通路８６ａ1 〜８６ａ8 とも同一ピッチとなるように形成されている。すなわち、整列フィーダ８０に搬送されてきたワークは振動力により搬送路８５を介して搬送され、通路８６ａ1 〜８６ａ8 を介してそれぞれ一直線上に整列された８列のワーク群として搬送される。
【００５６】
分離部８１は、方形状の筐体部９０と、この筐体部９０にガイドシャフト９１、９１を介して昇降自在に支持され、整列フィーダ８０の通路８６ａ1 〜８６ａ8 の端部（ワーク受け渡し部）８６ｂ1 〜８６ｂ8 に近接配置されたワーク保持ブロック９２とを有している。このワーク保持ブロック９２は、通路８６ａ1 〜８６ａ8 の配列方向に沿って配置された方形状ブロックであり、そのワーク受け渡し部８６ｂ1 〜８６ｂ8 に面する箇所に、当該ワーク受け渡し部８６ｂ1 〜８６ｂ8 のピッチに対応し且つワークＷを十分載置可能な大きさの半楕円状の溝９３ｂ1 〜９３ｂ8 がそれぞれ設けられている。半楕円状の溝９３ｂ1 〜９３ｂ8 の底面（ワーク載置面）は、ワーク受渡し部８６ｂ1 〜８６ｂ8 のワーク通過面と通常時において同一の高さで互いに近接しており、そのワーク受け渡し部８６ｂ1 〜８６ｂ8 を介して直進してくるワークＷを溝９３ｂ1 〜９３ｂ8 により停止させて保持するようになっている（なお、上述した半楕円状の溝９３ｂ1 〜９３ｂ8 のワーク載置面とワーク受渡し部８６ｂ1 〜８６ｂ8 のワーク通過面とが同一の高さで互いに近接した状態での分離部８１の位置を基準高さ位置とする）。
【００５７】
ワーク保持ブロック９２には、そのワーク保持ブロック９２にワークＷが所定数量到着して保持されたか否かを検出するワーク検出センサ９４が溝９３ｂ1 〜９３ｂ8 毎に設けられており、このワーク検出センサ９４の検出データは、制御ユニット１７に送られるようになっている。
【００５８】
ガイドシャフト９１、９１は、その上端部がワーク保持ブロック９２の両端部の底面にそれぞれ連結され、その下端部は筐体部９０の上面にころがり軸受９５、９５を介して貫設されている。また、分離部８１は、ガイドシャフト９１、９１に接続された図示しないエアシリンダを有しており、ガイドシャフト９１、９１は、制御ユニット１７の制御に基づくエアシリンダの駆動により、ころがり軸受９５、９５でガイドされながら上下動するようになっている。
【００５９】
また、分離部８１は、例えば３つの通路８６ａ6 〜８６ａ8 及び受け渡し部８６ｂ6 〜８６ｂ8 を介して直進してくるワークＷを停止可能なストッパー９６を有している。このストッパ９６は、整列フィーダ８０の各ワーク受け渡し部８６ｂ6 〜８６ｂ8 （通路８６ａ6 〜８６ａ8 ）を構成する壁部９７にそれぞれ設けられており、この各ストッパー９６を、後述するストッパーホルダ等の機構により各壁部９７側へ移動させて当該壁部９７内に収納し、且つ当該機構により壁部９７と反対側へそれぞれ移動させて受け渡し部８６ｂ6 〜８６ｂ8 上に位置させることができるようになっている。
【００６０】
各ストッパー９６は、図７に示すように、ストッパーホルダ９８及びスライドブロック９９にそれぞれ保持されており、各スライドブロック９９は、３本のガイドシャフト１００にそれぞれ連結されている。
【００６１】
３本のガイドシャフト１００の一方の端部は連結ブロック１０１を介してエアシリンダ１０２にそれぞれ接続されており、当該エアシリンダ１０２は制御ユニット１７に接続されている。すなわち、制御ユニット１７を介してエアシリンダ１０２が駆動すると、連結ブロック１０１がワーク保持ブロック９２の長手方向（図７中矢印”ａ”で示す方向）へ移動し、その移動に応じてストッパーホルダ９８及びスライドブロック９９が一体となって移動することにより、ストッパー９６が上記長手方向に平行な図７中矢印”ｂ”で示す方向に移動するようになっている。したがって、各ストッパー９６を各壁部９７から受け渡し部８６ｂ6 〜８６ｂ8 上に位置するように移動させておけば、通路８６ａ6 〜８６ａ8 を介して直進してきたワークＷは、ストッパー９６により受け渡し部８６ｂ6 〜８６ｂ8 において停止して分離部８１により保持されない。これに対して、各ストッパー９６を各壁部９７側へ移動させて当該壁部９７内に収納しておけば、通路８６ａ6 〜８６ａ8 を介して直進してきたワークＷは、ストッパー９６に関係なく分離部８１により保持される。
【００６２】
上述した各ストッパ９６の動作は、制御ユニット１７及びエアシリンダ１０２を介して各ストッパー毎に個別に制御可能であるため、本実施形態では、分離部８１により分離されるワークＷの個数を６個〜８個に選択することができる（なお、以下の説明では、分離されるワークＷの個数を８個として説明する）。
【００６３】
ローダ部８２は、図８に示すように、ワーク吸着保持用のバキュームヘッド部１１０と、このバキュームヘッド部１１０を昇降自在に支持する支持部１１１と、この支持部１１１を水平面（Ｘ−Ｙ平面）において移動自在に支持するＸ−Ｙロボット１１２とを備えている。
【００６４】
支持部１１１は、Ｘ−Ｙロボット１１２に設置されたロータリーアクチュエータ１１５と、このロータリーアクチュエータ１１５に対して、所定間隔をあけて対向配置された状態でプレート１１６を介して上下方向に沿って取り付けられた２本のＬＭガイド１１７、１１７とを備えている。
【００６５】
ロータリーアクチュエータ１１５にはプレート１１６を介して連結バー１１８が連結されており、その連結バー１１８はプレート１１６の表面に対して突出状に配設されている。連結バー１１８には、バキュームヘッド部１１０を支持する支持プレート１１９が垂下状に吊設されており、その支持プレート１１９の背面は、ＬＭガイド１１７、１１７のガイド部分と係合されている。そして、支持プレート１１９は、ロータリーアクチュエータ１１５の回転駆動力に応じて生成された直線駆動力により、ＬＭガイド１１７、１１７にガイドされて上下動するようになっている。
【００６６】
バキュームヘッド部１１０は、分離部８１により分離されたワークＷの最大個数（本実施形態では８個）に応じた複数（本実施形態では８個）のバキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 と、このバキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 を保持するバキュームパッドホルダ機構１２１とを備えている。バキュームパッドホルダ機構１２１は、支持プレート１１９の前面下部の一端部に固設された固定パッドホルダ１２２ａ1 と、この固定パッドホルダ１２２ａ1 に一端部が固定され、分離部８１の長手方向に平行に配設された２本のシャフト１２３、１２３と、この２本のシャフト１２３、１２３にそれぞれ移動可能に遊貫された移動パッドホルダ１２２ａ2 〜１２２ａ8 と、固定パッドホルダ１２２ａ1 及び移動パッドホルダ１２２ａ2 〜１２２ａ8 を互いに連結し、各移動パッドホルダ１２２ａ2 〜１２２ａ8 を固定パッドホルダ１２２ａ1 に対してシャフト１２３、１２３に沿って伸縮自在に移動可能なクロス連結構造のリンク機構１２４とを備えている。
【００６７】
バキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 は、各パッドホルダ（固定パッドホルダ１２２ａ1 、移動パッドホルダ１２２ａ2 〜１２２ａ8 ）の正面下部にそれぞれ設けられており、Ｘ−Ｙロボット１１２に設置された真空発生源１２５に対して図示しないホースを介して連結されている。この真空発生源１２５は制御ユニット１７に接続されており、各バキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 は、制御ユニット１７の制御に基づく真空発生源１２５の駆動によりワークを吸着保持可能になっている。
【００６８】
また、支持プレート１１９の前面上部には、制御ユニット１７に接続されたロッドレスエアシリンダ１３０が設けられており、このロッドレスエアシリンダ１３０は、移動パッドホルダ１２２ａ2 〜１２２ａ8 の内の所定のホルダをシャフト１２３、１２３に沿って移動可能に構成されている。したがって、制御ユニット１７を介してロッドレスエアシリンダ１３０を駆動させることにより、移動パッドホルダ１２２ａ2 〜１２２ａ8 の水平方向の位置を自由に定めることができ、隣接するホルダ間のピッチ、すなわち隣接するバキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 のピッチを自由に変更することも可能である。なお、ワーク吸着動作前においては、バキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 のピッチは、分離部８１の溝９３ｂ1 〜９３ｂ8 のピッチに対応したピッチに設定されている。
【００６９】
さらに、支持プレート１１９の前面の固定パッドホルダ１２２ａ1 側上部には、ロッドレスエアシリンダ１３０に隣接して当該ロッドレスエアシリンダ１３０の水平移動をストッパーを介して停止させるショックアブソーバー１３１が取り付けられており、このショックアブソーバー１３１のストッパー位置をワークＷの形状に応じて予め定めておくことにより、当該ストッパー位置に当接するまで移動パッドホルダ１２２ａ2 〜１２２ａ8 を固定パッドホルダ１２２ａ1 側へ移動させて各パッドホルダ１２２ａ1 〜１２２ａ8 を密着させることができる。
【００７０】
以上のように構成された分離部８１及びローダ部８２によれば、整列フィーダ８０の各通路８６ａ1 〜８６ａ8 を介して搬送されてきたワークＷ（図７中は、通路８６ａ4 を介して搬送されてきたワークＷのみを示している）は、ワーク受け渡し部８６ｂ1 〜８６ｂ8 を介して分離部８１の溝９３ｂ1 〜９３ｂ8 に供給されて停止する。このとき、各ワーク検出センサ９４により対応する溝９３ｂ1 〜９３ｂ8 にワークＷが保持されていることが検出され、この検出信号は制御ユニット１７に送られる。
【００７１】
制御ユニット１７は、送られた検出信号に応じてエアシリンダを駆動させてガイドシャフト９１を上昇させて、分離部８１のワーク保持ブロック９２を基準高さ位置から所定の高さ位置（この位置をローダ搬送位置とする）まで上昇させる（図８参照）。
【００７２】
このとき、制御ユニット１７の制御に応じてローダ部８２のＸ−Ｙロボット１１２は、支持部１１１をＸ−Ｙ平面内で移動させ、分離部８１の各溝９３ｂ1 〜９３ｂ8 に保持されたワークＷの背面側近接位置の上方に各バキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 を位置させる。
【００７３】
続いて、制御ユニット１７の制御に応じたロータリーアクチュエータ１１５の駆動によりバキュームパッド支持部１１０をＬＭガイド１１７、１１７に沿って下降させて、各バキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 を対応する分離部８１の各ワークＷに近接させる。
【００７４】
そして、制御ユニット１７の制御に応じた真空発生源１２５の駆動により各ワークＷを吸着して保持する（図８参照）。
【００７５】
次いで、制御ユニット１７の制御に応じてエアシリンダを駆動させてガイドシャフト９１を下降させて分離部８１（位置決めブロック９２）を基準高さ位置まで下降させるとともに、ローダ部８２のＸ−Ｙロボット１１２及びロータリーアクチュエータ１１５を駆動させて支持部１１１を水平方向に移動させ且つバキュームヘッド支持部１１０を下降させることにより、バキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 を、現在ワーク供給部１３に対向しているＭo 板載置部３２ａ（Ｍo 板支持部３４ｋ1 ，３４ｋ2 ）に載置されたＭo 板Ｍ付近まで搬送する（図９参照。なお、図９では、簡単化のため、一つのパッドホルダ１２２ａ1 及びバキュームパッド１２０ａ1 を示している）。このとき、制御ユニット１７を介してロッドレスエアシリンダ１３０を駆動させることにより、移動パッドホルダ１２２ａ2 〜１２２ａ8 を、ワークＷの形状に応じて最大限固定パッドホルダ１２２ａ1 側へ密着させる。そして、バキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 に吸着保持され、且つ密着されたワークＷをＭo 板Ｍ上に、例えばＭo 板Ｍの短手方向に沿った１列目に１５個、２列目に１４個と交互で例えば５列に亘って密着整列させる（図９参照）。なお、ストッパー位置を適宜変更することにより、吸着保持されたワークＷの密着ピッチを変更することが可能である。したがって、ワークＷをその外形如何に係わらず密着整列させることができる。
【００７６】
以上の動作を所定回数繰り返してワーク供給部１３によるＭo 板ＭへのワークＷ密着供給処理が終了すると、Ｍo 板送り部１１のロータリーテーブル３０が約９０°回転して当該ワークＷが供給されたＭo 板Ｍが載置されたＭo 板載置部３２ａはスペーサ供給部１４に対向する位置まで回転移動する。
【００７７】
スペーサ供給部１４は、図１０に示すように、ボウルフィーダＢ（図２参照）から排出されたスペーサＳを図示しないパーツフィーダにて１列に整列して搬送する整列フィーダ部１４１と、この整列フィーダ部１４１により搬送されてきたスペーサＳを１個ずつ分離する分離部１４２と、この分離部１４２により分離されたスペーサＳを取り出して、現在ロータリーテーブル３０のスペーサ供給部１４に近接且つ対向するＭo 板載置部３２ａに載置されたＭo 板（既にワークが供給されている）Ｍに供給するローダ部１４３とを備えている。
【００７８】
整列フィーダ部１４１は、ボウルフィーダＢの排出口に連設された水平の搬送路１４４を有する整列フィーダ１４５と、ベース面１０ｂに直立状に設けられた支柱１４６とを備え、整列フィーダ１４５は、支柱１４６により支持部１４７を介して搬送路１４４が所定の高さに位置するように支持されている。
【００７９】
分離部１４２は、支持部１４７に取り付けられており、ワーク供給部１３の分離部８２と類似した構成を有している。すなわち、分離部１４２は、搬送路１４４の端部（スペーサ受け渡し部）１４４ａに近接配置されたスペーサ保持ブロック１５０と、エアシリンダ等を有し、制御ユニット１７の制御に基づいてスペーサ保持ブロック１５０を支柱１４６の軸方向に沿って上下動させるブロック移動部１５１とを備えている。そして、保持ブロック１５０のスペーサ受け渡し部１４４ａに面する箇所には、当該スペーサ受け渡し部１４４ａのピッチに対応し且つスペーサＳを十分載置可能な大きさの半楕円状の溝１５２が設けられており、搬送路１４４（スペーサ受け渡し部１４４ａ）を介して搬送されてきたスペーサＳを溝１５２により停止させて保持するようになっている（なお、スペーサＳを分離して保持可能な分離部１４２（スペーサ保持ブロック１５０）の高さ位置を基準高さ位置という）。
【００８０】
また、スペーサ保持ブロック１５０には、そのスペーサ保持ブロック１５０にスペーサＳが到着して保持されたか否かを検出するスペーサ検出センサ１５５が設けられており、このスペーサ検出センサ１５５の検出データは、制御ユニット１７に送られるようになっている。なお、スペーサＳに接触する搬送路１４４は、ジュラコンとし部分的に交換可能な構造となっている。
【００８１】
ローダ部１４３は、スペーサチャック用のチャッキングヘッド部１６０と、このチャッキングヘッド部１６０を昇降自在に支持する支持部１６１と、この支持部１６１を水平面（Ｘ−Ｙ平面）において移動自在に支持するＸ−Ｙロボット１６２とを備えている。
【００８２】
支持部１６１は、Ｘ−Ｙロボット１６２に設置された薄型シリンダ１６５を有し、この薄型シリンダ１６５の駆動力でチャッキングヘッド部１６０を昇降移動させるように構成されている。
【００８３】
チャッキングヘッド部１６０は、エアシリンダ及びこのエアシリンダにより駆動する駆動機構を内蔵する筐体１６６と、この筐体１６６の下面に突出し且つ駆動機構に機械的に連結されたペアのチャック用爪部１６７、１６７とを備えている。
【００８４】
チャック用爪部１６７、１６７は、所定長さ離間し且つ上下方向に沿って互いに平行に対向して配設されており、それぞれＲ形状を成している。そして、チャック用爪部１６７、１６７は、エアシリンダの動力に応じた駆動機能の駆動により互いに近接する方向に移動して当該爪部１６７、１６７の間に位置したスペーサＳをチャックして保持し、且つ互いに離れる方向に移動してチャックしたスペーサＳを放出することができるように構成されている。なお、チャック用爪部１６７、１６７が最も離間した場合の離間間隔は、スペーサＳの肉圧の長さよりも大きく、爪部１６７、１６７が最も近接した場合の近接間隔は当該肉圧の長さよりも狭くなるように構成されている。そして、スペーサＳチャック前は、爪部１６７、１６７は、最も離間した状態となっている。
【００８５】
以上のように構成された分離部１４２及びローダ部１４３によれば、整列フィーダ１４５の搬送路１４４を介して搬送されてきたスペーサＳは、スペーサ受け渡し部１４４ａを介して分離部１４２のスペーサ保持ブロック１５０の溝１５２に供給されて停止する。このとき、スペーサ検出センサ１５５により溝１５２にスペーサＳが保持されていることが検出され、この検出信号は制御ユニット１７に送られる。
【００８６】
制御ユニット１７は、送られた検出信号に応じてブロック移動部１５１を駆動させて分離部１４２のスペーサ保持ブロック１５０を基準高さ位置から所定の高さ位置（この位置をローダ搬送位置とする）まで上昇させる。
【００８７】
このとき、制御ユニット１７の制御に応じてローダ部１４３のＸ−Ｙロボット１６２は、支持部１６１をＸ−Ｙ平面内で移動させ、分離部１４２の溝１５２に保持されたスペーサＳの肉圧部分の上方に各チャッキングヘッド部１６０の爪部１６７、１６７を位置させる。
【００８８】
続いて、制御ユニット１７の制御に応じた薄型シリンダ１６５の駆動によりチャッキングヘッド部１６０を下降させて、スペーサＳの肉圧を爪部１６７、１６７の間隔内に位置させる。そして、制御ユニット１７の制御に応じたエアシリンダ及び駆動機構の駆動により爪部１６７、１６７を互いに近接するように平行移動させてスペーサＳの肉圧部分をチャックして保持する（図１１参照）。
【００８９】
次いで、制御ユニット１７の制御に応じてブロック移動部１５１を駆動させて分離部１４２のスペーサ保持ブロック１５０を基準高さ位置まで下降させるとともに、ローダ部１４３のＸ−Ｙロボット１６２及び薄型シリンダ１６５を駆動させて支持部１６１を水平方向に移動させ且つチャッキングヘッド部１６０を下降させることにより、現在スペーサ供給部１４に対向するＭo 板載置部３２ａに載置されたＭo 板Ｍ上の所定位置にチャッキングヘッド部１６０のチャック用爪部１６７、１６７にチャックされたスペーサＳを載置する（図１１参照）。そして、制御ユニット１７の制御に応じたエアシリンダ及び駆動機構の駆動により爪部１６７、１６７を互いに離れるように平行移動させてチャックしていたスペーサＳをＭo 板Ｍ上の所定位置に供給する。
【００９０】
以上の動作を所定回数繰り返して（例えば１枚のＭo 板Ｍ当たり４個のスペーサを供給する）、スペーサ供給部１４によるＭo 板ＭへのスペーサＳ供給処理が終了すると、Ｍo 板送り部１１のロータリーテーブル３０が約９０°回転して、ワークＷ及びスペーサＳが供給されたＭo 板Ｍが載置されたＭo 板載置部３２ａは、Ｍo 板段積み搬送部１５に対向する位置まで回転移動する。
【００９１】
Ｍo 板段積み搬送部１５は、図１２に示すように、ベース面１０ｂ上に直立状に設けられた断面Ｌ字型の板状のフレーム１７０と、このフレーム１７０の下部に設けられ、Ｍo 板Ｍをロータリーテーブル３０から取り出すための取り出し部１７１と、フレーム１７０の上部に設けられ、取り出し部１７１により取り出されたＭo 板Ｍを５段に段積みしてボート搬送コンベア３上のＭo ボートに収納するためのローダ部１７２とを備えている。
【００９２】
フレーム１７０は、その短手方向側の側面がベース面１０ｂの右側面１０ｔに平行になるように配設されており、取り出し部１７１は、その主要部が当該フレーム１７０の下部におけるスペーサ供給部１４側平面（内面という）に設置されている。また、ローダ部１７２は、その主要部がフレーム１７０の上部における内面に設置されている。そして、フレーム１７０は、取り出し部１７１の後述するＭo 板取り出し中心位置が、Ｍo 板段積み搬送部１５に近接且つ対向するロータリーテーブル３０の切り欠き部の中心位置に略一致するように対向するようにベース面１１０ｂ上に配設されている。
【００９３】
取り出し部１７１は、フレーム１７０内面に昇降機構１７５を介して昇降自在且つその矩形状作用面１７６ａがベース面１０ｂと平行となるように取り付けられたＬ形ブロック１７６と、このＬ形ブロック１７６ａの作用面１７６ａに設置され、当該作用面１７６ａの長手方向に沿って、すなわち、Ｍo 板送り部１１に対して近接する方向及び離れる方向にスライド部１７７をスライドさせるマグネット式ロッドレスシリンダ１７８と、Ｌ形ブロック１７６の作用面１７６ａに平行なスライド部１７７の上面に設置されたＭo 板突き上げ部１７９とを備えている。
【００９４】
昇降機構１７５は、フレーム１７０内面に互いに所定間隔で対向し且つベース面１０ｂに垂直に配設されたＬＭガイド１８０、１８０と、このＬＭガイド１８０、１８０の離間間隔の中心にそのＬＭガイド１８０、１８０のガイドラインに平行に配置されたオねじ部１８１ａを有する転造ボールねじ（以下、ボールねじと略記する）１８１と、ボールねじ１８１に例えばプーリー等の巻掛け伝動機構を介して連結され、その回転駆動により巻掛け伝動機構を介してボールねじ１８１のオねじ部１８１ａを回転させてメねじ部１８１ｂを上昇及び下降運動させるブレーキ付きモータ１８２とを備えており、Ｌ形ブロック１７６は、ＬＭガイド１８０、１８０に係合された状態でボールねじ１８１のメねじ部１８１ｂに取り付けられている。
【００９５】
Ｍo 板突き上げ部１７９は、スライド部１７７上面におけるフレーム１７０側端部に所定間隔をあけて対向配置された、フレーム１７０内面に面した側から見て略Ｌ字形及び略逆Ｌ字形の支持片１８５、１８５と、同じくスライド部１７７上面におけるフレーム１７０側と反対側端部に所定間隔をあけて対向配置された略Ｌ字形及び略逆Ｌ字形の支持片１８６、１８６とを備えており、支持片１８５、１８５及び１８６、１８６には、ベース面１０ｂ（Ｌ形ブロック１７６の作用面１７６ａ）に平行な上面にそれぞれ同一の高さの支柱１８７が設けられている。
【００９６】
図１２に示すように、支持片１８５、１８５及び支持片１８６、１８６は、その上方に突出した部分１８５ａ及び１８６ａがスライド部１７７のスライド方向側の側面に沿って位置するように配設されているとともに、その支持片１８５、１８５の突出部分１８５ａの対向間隔及び支持片１８６、１８６の突出部分１８６ａの対向間隔がＭo 板Ｍの短手方向の長さよりも長くなるように配設されている。なお、４つの支柱１８５、１８５及び１８６、１８６の上面の中心をクロス状に結んで形成された交点をＭo 板取り出し中心位置とする。
【００９７】
一方、ローダ部１７２は、図１２に示すように、Ｍo 板チャック用のチャッキングヘッド部１９０と、このチャッキングヘッド部１９０をスライド部１７７のスライド方向に沿った水平方向に移動自在に支持する支持部１９１とを備え、この支持部１９１がフレーム１７０上部に取り付けられている。
【００９８】
支持部１９１は、スライド部１７７のスライド方向に平行なガイドラインを有するようにフレーム１７０の内面上部に設置されたＬＭガイド１９２と、このＬＭガイド１９２に取り付けられ、当該ＬＭガイド１９２のガイドラインに沿って水平移動する移動機構１９３を有するロッドレスシリンダ１９４とを備えている。
【００９９】
チャッキングヘッド部１９０は、所定長さ離間して垂下状に対向配置されたペアのチャック用ポール１９５、１９５と、このチャック用ポール１９５、１９５を支持する支持プレート１９６と、ロータリーシリンダ１９７及び支持プレート１９６に機械的に連結された巻掛け伝動機構１９８を有し、ロータリーシリンダ１９７の回転動力に応じた巻掛け伝動機構１９８の駆動により支持プレート１９６を、当該支持プレート１９６の中心を通り且つポール１９５の中心軸に沿った軸を回転軸として約９０角度スイングさせるスイング機構１９９と、このスイング機構１９９を保持する保持部２００とを備えており、保持部２００が移動機構１９３に取り付けられている。
【０１００】
チャック用ポール１９５、１９５は、その直径がＭo 板Ｍの半円部ｍ1 ，ｍ2 の直径よりも若干短くなるように形成されている。また、チャック用ポール１９５、１９５の下方先端には、Ｍo 板Ｍを支持するために、その対向方向に向けて突出して形成されたＭo 板支持片２０１、２０１が取り付けられている。
【０１０１】
支持プレート１９６には、複数のプーリーやリンク機構を有する移動機構２０２が取り付けられており、この移動機構２０２は、ロータリーシリンダ１９７の回転動力に応じてチャック用ポール１９５、１９５を互いに近接する方向に移動し且つ互いに離れる方向に移動させたり、各チャック用ポール１９５、１９５及びそのポール１９５、１９５のＭo 板支持片２０１、２０１の突出方向をその中心軸を回転軸として回転させることが可能になっている。なお、Ｍo 板Ｍをチャックする前の初期状態においては、チャック用ポール１９５、１９５は最も離間しており、また、Ｍo 板支持片２０１、２０１の突出方向は互いに対向する方向になっている。
【０１０２】
また、保持部２００は、チャック用ポール１９５、１９５の中心軸に平行な２本の対向配置されたガイドシャフト２０５、２０５等を有する移動機構２０６を備えており、この移動機構２０６の駆動によりチャック用ポール１９５、１９５、支持プレート１９６、及びスイング機構１９９を一体として昇降移動させることができる。
【０１０３】
以上のように構成されたＭo 板段積み搬送部１５によれば、Ｍo 板段積み搬送部１５に対向する位置までワークＷ及びスペーサＳが供給されたＭo 板Ｍ（以下、単にＭo 板Ｍという）が回転移動してきたとき、すなわち、取り出し部１７１のＭo 板突き上げ部１７９の上方にＭo 板Ｍが位置したとき、制御ユニット１７の制御に応じて昇降機構１７５のブレーキ付きモータ１８２及びボールねじ１８１を駆動させて、メねじ部１８１ｂ及びＬ形ブロック１７６を上昇させる。
【０１０４】
このとき、Ｍo 板突き上げ部１７９の支持片１８５〜１８６及びその支持片１８５〜１８６に設けられた支柱１８７は、Ｌ形ブロック１７６の上昇と共に上昇し、当該Ｍo 板突き上げ部１７９の上方に位置する切り欠き部３３ａを通過してＭo 板載置部３２ａに載置されたＭo 板Ｍを支持片１８５〜１８６の突出部分１８５ａ，１８６ａにより支持した状態で支柱１８７により突き上げて当該Ｍo 板Ｍをロータリーテーブル３０のＭo 板載置部３２ａから分離する（図１３；矢印Ａ参照）。
【０１０５】
Ｍo 板載置部３２ａからＭo 板Ｍが分離した状態で、制御ユニット１７の制御に応じてロッドレスシリンダ１７８を駆動させてスライド部１７７をロータリーテーブル３０から離れる方向へスライドさせる。この結果、スライド部１７７上のＭo 板突き上げ部１７９もスライド部１７７と共にロータリーテーブル３０から離れる方向へスライドし、切り欠き部３３ａの上方位置から離れる（図１３；矢印Ｂ参照）。
【０１０６】
ロータリーテーブル３０の切り欠き部３３ａの上方位置から完全に離れる位置までスライドした状態において、制御ユニット１７の制御に応じて保持部２００の移動機構２０６を駆動させてチャック用ポール１９５、１９５、支持プレート１９６、及びスイング機構１９９を一体として下降させるとともに、ロータリーシリンダ１９７及び巻掛け伝動機構１９８を介してスイング機構１９９を駆動させて、支持プレート１９６をそのチャック用ポール１９５がＭo 板突き上げ部１７９上のＭo 板Ｍの半円部ｍ1 ，ｍ2 に対向する位置に到達するまで移動させる。
【０１０７】
そして、制御ユニット１７の制御に応じて移動機構２０２を駆動させてチャック用ポール１９５、１９５を互いに近接する方向に移動させ、当該ポール１９５、１９５をＭo 板Ｍの半円部ｍ1 ，ｍ2 にそれぞれ係合させる（図１３；矢印Ｂ参照）。
【０１０８】
ポール１９５、１９５がＭo 板Ｍの半円部ｍ1 ，ｍ2 に係合した状態で、制御ユニット１７の制御に応じてローダ部１７２の移動機構２０６を駆動させてチャック用ポール１９５、１９５、支持プレート１９６、及びスイング機構１９９を一体として上昇させる。このとき、Ｍo 板Ｍは、チャック用ポール１９５、１９５のＭo 板支持片２０１、２０１に支持されて、支持プレート１９６等とともに一体に上昇し、Ｍo 板突き上げ部１７９から分離する（図１３矢印Ｃ参照）。
【０１０９】
支持プレート１９６及びＭo 板Ｍ等が所定位置まで上昇した状態において、制御ユニット１７の制御に応じてロータリーシリンダ１９４を駆動させて移動機構１９３を所定位置までスライドさせる。このとき、移動機構１９３に取り付けられた保持部２００は、チャック用ポール１９５、１９５にＭo 板Ｍがチャックされた状態で移動機構１９３のスライドと共に所定位置までスライドする。
【０１１０】
所定位置までスライドした状態において、保持部２００の移動機構２０６を駆動させてチャック用ポール１９５、１９５、支持プレート１９６、及びスイング機構１９９を一体として、チャック用ポール１９５、１９５の下端部分が所定のＭo 板載置位置近傍に到達するまで下降させる。そして、制御ユニット１７の制御に応じて移動機構２０２を駆動させて各チャック用ポール１９５、１９５（すなわち、ポール１９５、１９５のＭo 板支持片２０１、２０１の突出方向）を回転させることにより、当該Ｍo 板支持片２０１、２０１にチャックされていたＭo 板ＭをＭo 板載置位置に載置する。
【０１１１】
続いて以上の動作を次にＭo 板段積み搬送部１５に対向する位置まで回転移動してきたＭo 板Ｍ2 に対して行なうことにより、そのＭo 板Ｍは、Ｍo 板載置位置に載置された最初のＭo 板Ｍ1 の上に、当該Ｍo 板Ｍ1 に供給されたスペーサＳを介して段積みされる。
【０１１２】
このようにして所定段数（５段）Ｍo 板Ｍ1 〜Ｍ5 が段積みされた状態で、制御ユニット１７の制御に応じて上述した各移動機構を同様の制御によりそれぞれ駆動させることにより、チャック用ポール１９５、１９５を最下段のＭo 板Ｍ1 の半円部ｍ1 ，ｍ2 にそれぞれ係合させて当該チャック用ポール１９５、１９５を上昇させることにより、段積みされたＭo 板Ｍ1 〜Ｍ5 を所定のＭo ボートの上方へ搬送し、当該Ｍo ボート内へ収納する。
【０１１３】
次にワーク整列段積み装置６の全体動作について説明する。
【０１１４】
マグネトロン用製造ライン１が稼働すると、Ｍo 板塗布工程及びＭo 板乾燥工程が施されたワークＷは、１０個ずつワーク搬送コンベア２を介してワーク整列段積み装置６に送られてくる。
【０１１５】
このとき、Ｍo 板乾燥工程終了後のワークＷ搬送タイミングに応じて予め定められたタイミングでＭo 板供給部１２のローダ部４１の上述した吸着及び搬送動作によりストッカー部４０からロータリーテーブル３０のＭo 板載置部３２ａに自動的に供給されたＭo 板Ｍは、Ｍo 板送り部１１の動作に基づくロータリーテーブル３０の回転（なお、回転時間をｔr とする）によりワーク供給部１３に対向する位置に移動する。
【０１１６】
ワーク供給部１３に対向する位置にＭo 板Ｍ1 が移動すると、制御ユニット１７の制御に基づいてワーク供給部１３により上述したワークＷの整列、分離、及び搬送動作が実行され、ワークＷがＭo 板Ｍ1 に密着整列して供給される（図９参照）。
【０１１７】
一方、上記ロータリーテーブル３０の回転によりＭo 板載置部３２ｄはＭo 板供給部１２に対向する位置に移動しているため、上述したワークＷ供給動作と同時に２枚目のＭo 板Ｍ2 のＭo 板載置部３２ｂの供給動作も行なわれる（なお、ワーク供給動作時間ｔw の方がＭo 板供給動作ｔm よりも大きいとする）。
【０１１８】
そして、ワーク供給部１３の動作が所定回数繰り返されてワーク供給部１３によるＭo 板Ｍ1 へのワークＷの密着供給処理が全て終了すると、ワークＷが供給されたＭo 板Ｍ1 は、Ｍo 板送り部１１の動作に基づくロータリーテーブル３０の回転によりスペーサ供給部１４に対向する位置まで移動し、Ｍo 板Ｍ2 はワーク供給部１３に対向する位置まで移動する。
【０１１９】
スペーサ供給部１４に対向する位置にＭo 板Ｍ1 が移動すると、制御ユニット１７の制御に基づいてスペーサ供給部１４により上述したスペーサＳの分離及び搬送動作が実行され、スペーサＳがＭo 板Ｍ1 の所定位置に供給される（図１１参照）。
【０１２０】
またＭo 板Ｍ2 に対してもワーク供給部１３の動作によりワーク密着供給処理が行なわれており、さらに、Ｍo 板供給部１２に対向する位置に移動したＭo 板載置部３２ｃに対しても３枚目のＭo 板Ｍ3 が供給される（なお、スペーサ供給時間ｔs ＞ｔw ＞ｔm とする）。
【０１２１】
スペーサ供給部１４の動作が所定数繰り返されてスペーサ供給部１４によるＭo 板Ｍ1 へのスペーサＳ供給動作が全て終了すると、ワークＷ及びスペーサＳが供給されたＭo 板Ｍ1 は、Ｍo 板送り部１１の動作に基づくロータリーテーブル３０の回転移動によりＭo 板整列段積み搬送部１５に対向する位置まで回転移動し、同様にＭo 板Ｍ2 →スペーサ供給部１４、Ｍo 板Ｍ3 →ワーク供給部１３と回転移動する。
【０１２２】
続いて、Ｍo 板段積み搬送部１５に対向する位置にＭo 板Ｍ1 が移動すると、制御ユニット１７の制御に基づいてＭo 板段積み搬送部１５により上述したＭo 板Ｍ1 の段積み用搬送動作が行なわれる。
【０１２３】
またＭo 板Ｍ2 に対してもスペーサ供給部１４の動作によりスペーサ供給処理が行なわれ、Ｍo 板Ｍ3 に対してワーク供給部１３の動作によりワーク密着供給処理が行なわれている。さらに、Ｍo 板供給部１２に対向する位置に移動したＭo 板載置部３２ｄに対しても４枚目のＭo 板Ｍ4 が供給される（なお、Ｍo 板段積み用搬送処理時間ｔc ＞ｔs ＞ｔw ＞ｔm とする）。
【０１２４】
段積み用搬送動作が終了すると、Ｍo 板Ｍ1 が分離されたＭo 板載置部３２ａは、Ｍo 板送り部１１の動作に基づくロータリーテーブル３０の回転によりＭo 板供給部１２に対向する位置まで移動し、同様に、Ｍo 板Ｍ2 →Ｍo 板段積み搬送部１５、Ｍo 板Ｍ3 →スペーサ供給部１４、Ｍo 板Ｍ4 →ワーク供給部１３と回転移動して、以下、上述した動作が順次供給されてくるＭo 板Ｍ5 、Ｍ6 、・・・に対して連続して行なわれる。
【０１２５】
以上の動作に対応する制御ユニット１７のＭo 板送り部１１の制御タイミング、Ｍo 板供給部１２の制御タイミング、ワーク供給部１３の制御タイミング、スペーサ供給部１４の制御タイミング、及びＭo 板段積み搬送部１５の制御タイミングの概要を表すタイムチャートを図１４に示す。
【０１２６】
図１４に示すように、各動作部（Ｍo 板供給部１２、ワーク供給部１３、スペーサ供給部１４、及びＭo 板段積み搬送部１５）の動作時間（制御時間）に対応させてＭo 板送り部１１の制御タイミング（ロータリーテーブル３０の回転移動タイミング）を定めているため、各動作部（Ｍo 板供給部１２、ワーク供給部１３、スペーサ供給部１４、及びＭo 板段積み搬送部１５）のロータリーテーブル３０の回転移動に応じた動作により連続したワーク密着整列処理及びワークが整列密着されたＭo 板の段積み・搬送処理を自動的且つ無人で行なうことができる。なお、本実施形態における段積み数である５の倍数枚目のＭo 板Ｍ5 、Ｍ10、…においては、例えばＭo 板Ｍ5 をＭ1 〜Ｍ4 が段積みされたＭo 板Ｍ1 〜Ｍ4 の上へさらに段積みした後、その所定段（５段）に段積みされたＭo 板Ｍ1 〜Ｍ5 をＭo ボートへ搬送し収納する際の処理時間ｔc1がかかることになり、後は他のＭo 板と同様の処理になる。
【０１２７】
以上詳述したように、本実施形態のワーク整列段積み装置６によれば、ワークの密着整列処理、及び当該ワークが密着整列されたＭo 板の段積み処理を自動的且つ無人（あるいは、動作監視オペレータ等必要最小限）で機械的に行なうようにしたため、当該密着整列処理及び段積み処理の効率を向上させ、ワーク製造コストを飛躍的に高めることができる。
【０１２８】
また、本実施形態のワーク整列段積み装置６によれば、ワークＷをＭo 板Ｍに整列供給するローダ部８２におけるワークＷ搬送供給部分をバキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 を用いて構成し、当該バキュームパッド１２０ａ1 〜１２０ａ8 のピッチを自由に変化できるように構成したため、自動的且つ無人の機械的なワーク整列処理においてもワークを密着整列することができ、Ｍo 板Ｍに対するワーク供給効率を向上させることができる。
【０１２９】
さらに、本実施形態のワーク整列段積み装置６によれば、ワークＷが密着供給されたＭo 板Ｍに対するスペーサＳをローダ部１４３の搬送動作により自動的に、しかもＭo 板Ｍにおける所望の位置へ供給することができる。すなわち、スペーサをＭo 板に予め固定しておく必要がないため、Ｍo 板を専用化することなくどんなワークに対してでも用いることができ、Ｍo 板の汎用性を高めることができる。
【０１３０】
また、Ｍo 板のみを段積みしてストッカー等に収納する場合においても、スペーサが固定されていない分だけ収納スペースが増大する。
【０１３１】
さらに、ワークをＭo 板上に載置する際にスペーサとの位置的干渉が発生しないため、ワークを最大限密着させてＭo 板上に載置することができ、Ｍo 板上のワーク積載量を増大させることができる。この結果、ワーク製造効率を向上させることができる。
【０１３２】
なお、本実施形態では、部品（ワーク）として、マグネトロンに用いられる例えば直径２０mmの円筒形のセラミックス部品を例にとったマグネトロン用セラミックス部品製造ラインに用いられるワーク整列段積み装置について説明したが本発明はこれに限定されるものではなく、他のワークを加工製造するラインにおいても適用可能である。
【０１３３】
また、本実施形態では、板状治具としてＭo 板を用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、他の材料で形成された板状治具（例えばワークの種類に応じて定められる）を用いてもよい。
【０１３４】
さらに、本実施形態では、密着整列してワークが供給されたＭo 板をスペーサ供給動作を介して段積みするワーク整列段積み装置について説明したが、段積みする必要の無い装置、すなわち、順次搬送されてくる多数のワークを整列してＭo 板に密着して整列供給するワーク整列装置についても適用できるのは当然である。
【０１３５】
【発明の効果】
以上述べたように本発明に係るワーク整列装置、ワーク整列段積み方法及びワーク整列段積み装置によれば、ワークの密着整列処理、及び（あるいは）ワークが密着整列された板状治具の段積み処理を統括制御手段の統括制御に基づく各動作手段（テーブル手段、板状治具供給手段、ワーク供給手段、スペーサ供給手段及び板状治具段積み手段）の連続した動作により自動的且つ無人で機械的に行なうことができるため、密着整列処理及び（あるいは）段積み処理の効率を向上させ、ワーク製造コストを飛躍的に高めることができる。
【０１３６】
特に、本発明によれば、第１の移動支持機構により、複数の吸着機構における隣接する吸着機構間のピッチが最小限度にされた状態、すなわち、当該複数の吸着機構に吸着された各ワークが密着した状態で当該ワークを板状治具上整列供給することができるため、ワークを最大限に密着した状態で整列供給することができ、板状治具に対するワーク供給効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係わるワーク整列段積み装置を用いたマグネトロン用セラミックス部品製造ラインの概略構成を示す斜視図。
【図２】ワーク整列段積み装置の概略構成を拡大して示す斜視図。
【図３】ロータリーテーブルの構成を示す上面図。
【図４】ストッカー部の概略構成を拡大して示す斜視図。
【図５】ローダ部の概略構成を拡大して示す斜視図。
【図６】ローダ部のＭo 板供給動作を説明するための図。
【図７】整列フィーダ部及び分離部の概略構成を拡大して示す斜視図。
【図８】ローダ部の概略構成を拡大して示す斜視図。
【図９】ローダ部のワーク供給動作を説明するための図。
【図１０】スペーサ供給部の概略構成を拡大して示す斜視図。
【図１１】ローダ部のスペーサ供給動作を説明するための図。
【図１２】Ｍo 板段積み搬送部の概略構成を拡大して示す斜視図。
【図１３】Ｍo 板段積み搬送部のロータリーテーブルからのＭo 板分離動作を説明する溜めの図。
【図１４】制御ユニットのＭo 板送り部、Ｍo 板供給部、ワーク供給部、スペーサ供給部、及びＭo 板段積み搬送部の制御タイミングの概要を表すタイムチャート。
【図１５】従来のスペーサが固定された板状治具を用いたワーク整列工程を示す斜視図。
【符号の説明】
６  ワーク整列段積み装置
１１  Ｍo 板送り部
１２  Ｍo 板供給部
１３  ワーク供給部
１４  スペーサ供給部
１５  Ｍo 板段積み搬送部
１６  ワーク整列段積みユニット
１７  制御ユニット
３０  ロータリーテーブル
３１、６２、７１、１１１、１４７、１６１、１９１  支持部
３２ａ〜３２ｄ  Ｍo 板載置部
３３ａ〜３３ｄ  切り欠き部
４０  ストッカー部
４７、６０、１７０  フレーム
４８、１８１  転造ボールねじ
４９  フォーク
５０  シャフト
５５、１８２  ブレーキ付きモータ
５６  上昇端検知センサ
５７  下降端検知センサ
６１、１１０、１１７  バキュームヘッド部
６５、１８０、１９２  ＬＭガイド
６６、１９４  ロッドレスシリンダ
７０  エアシリンダ
７２、１２０ａ1 〜１２０ａ8   バキュームパッド
８０、１４５  整列フィーダ
８１、１４２  分離部
８２、１４３、１７２  ローダ部
８５、１４４  搬送路
８６（８６ａ1 〜８６ａ8 ）  通路
８６ｂ1 〜８６ｂ8   ワーク受渡し部
９１、２０５  ガイドシャフト
９２  ワーク保持ブロック
９３ｂ1 〜９３ｂ8 、１５２  溝
９４  ワーク検出センサ
１１０  バキュームヘッド支持部
１１２、１６２  Ｘ−Ｙロボット
１１５  ロータリーアクチュエータ
１２１  バキュームパッドホルダ機構
１２２ａ1   固定パッドホルダ
１２２ａ2 〜１２２ａ8   移動パッドホルダ
１２３  シャフト
１２４  リンク機構
１２５  真空発生源
１３０  ロッドレスエアシリンダ
１３１  ショックアブソーバー
１４１  整列フィーダ部
１４４ａ  スペーサ受け渡し部
１４６、１８７  支柱
１５０  スペーサ保持ブロック
１５１  ブロック移動部
１５５  スペーサ検出センサ
１６０、１９０  チャッキングヘッド部
１６５  薄型シリンダ
１６７  チャック用爪部
１７１  取り出し部
１７５  昇降機構
１７６  Ｌ形ブロック
１７７  スライド部
１７８  マグネット式ロッドレスシリンダ
１７９  Ｍo 板突き上げ部
１８５、１８６  支持片
１９３、２０２、２０６  移動機構
１９５  チャック用ポール
１９６  支持プレート
１９７  ロータリーシリンダ
１９８  巻掛け伝動機構
１９９  スイング機構
２００  保持部
２０１  Ｍo 板支持用片
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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