(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に半導体チップを接着するためのペーストを塗布するダイボンディング用のペースト塗布装置であって、塗布口からペーストを吐出して基板に塗布する塗布ノズルと、この塗布ノズルを基板に対して相対的に移動させる移動手段と、ペーストを吐出して前記塗布ノズルにペーストを圧送するペースト吐出手段と、基板に塗布されるペーストの塗布量のデータを記憶する塗布量記憶部と、チップサイズデータと選択された塗布パターンより実際の塗布動作に必要な座標データ及び速度パターン並びに塗布時間を算出する塗布パターン設定部と、前記塗布量のデータと前記塗布時間に基づいて前記ペースト吐出手段の吐出流量を算出する吐出流量算出手段と、この吐出流量と前記座標データ及び速度パターンに基づいて前記ペースト吐出手段および移動手段を制御してペースト塗布を行わせる制御手段とを備えたことを特徴とするダイボンディング用のペースト塗布装置。
【請求項２】
ペースト吐出手段によって吐出されるペーストを塗布ノズルに圧送して塗布ノズルの塗布口から吐出して基板に半導体チップを接着するためのペーストを塗布するダイボンディング用のペースト塗布方法であって、チップサイズデータと選択された塗布パターンより実際の塗布動作の制御に必要な座標データ及び速度パターン並びに塗布時間を算出し、基板に塗布されるペーストの塗布量のデータと前記塗布時間に基づいて前記ペースト吐出手段の吐出流量を吐出流量算出手段によって算出し、この吐出流量と前記座標データ及び速度パターンに基づいて前記ペースト吐出手段および塗布ノズルを移動させる移動手段を制御することを特徴とするダイボンディング用のペースト塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リードフレームなどの基板にダイボンディング用のペーストを塗布するダイボンディング用のペースト塗布装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置製造のダイボンディング工程では、リードフレームなどの基板に半導体チップを接着するためのペーストが塗布される。このペースト塗布はディスペンサから吐出されるペーストを塗布ノズルに導き基板の塗布エリア内に塗布することにより行われる。この塗布方法の一つとして、塗布ノズルを塗布エリア内で移動させながらペーストを吐出することにより塗布を行う描画塗布が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
この描画塗布においては、接着対象のチップの種類やサイズによって所要のペースト塗布量が異なるため、描画時の描画パターンや塗布ノズルの移動速度のパターンなどの塗布パターンを接着対象に応じて設定する必要がある。ところが従来のペースト塗布装置では、上述のような描画塗布を行う際の塗布パターンの設定に、その都度複雑なデータ入力などの手間を必要として操作性が悪いとともに、適切な設定が行われない場合には良好な塗布品質が得られないという問題点があった。
【０００４】
そこで本発明は、操作性に優れ良好な塗布品質を得ることができるダイボンディング用のペースト塗布装置およびペースト塗布方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載のダイボンディング用のペースト塗布装置は、基板に半導体チップを接着するためのペーストを塗布するダイボンディング用のペースト塗布装置であって、塗布口からペーストを吐出して基板に塗布する塗布ノズルと、この塗布ノズルを基板に対して相対的に移動させる移動手段と、ペーストを吐出して前記塗布ノズルにペーストを圧送するペースト吐出手段と、基板に塗布されるペーストの塗布量のデータを記憶する塗布量記憶部と、チップサイズデータと選択された塗布パターンより実際の塗布動作に必要な座標データ及び速度パターン並びに塗布時間を算出する塗布パターン設定部と、前記塗布量のデータと前記塗布時間に基づいて前記ペースト吐出手段の吐出流量を算出する吐出流量算出手段と、この吐出流量と前記座標データ及び速度パターンに基づいて前記ペースト吐出手段および移動手段を制御してペースト塗布を行わせる制御手段とを備えた。
【０００６】
請求項２記載のダイボンディング用のペースト塗布方法は、ペースト吐出手段によって吐出されるペーストを塗布ノズルに圧送して塗布ノズルの塗布口から吐出して基板に半導体チップを接着するためのペーストを塗布するダイボンディング用のペースト塗布方法であって、チップサイズデータと選択された塗布パターンより実際の塗布動作の制御に必要な座標データ及び速度パターン並びに塗布時間を算出し、基板に塗布されるペーストの塗布量のデータと前記塗布時間に基づいて前記ペースト吐出手段の吐出流量を吐出流量算出手段によって算出し、この吐出流量と前記座標データ及び速度パターンに基づいて前記ペースト吐出手段および塗布ノズルを移動させる移動手段を制御する。
【０００７】
本発明によれば、基板に塗布されるペーストの塗布量のデータと塗布パターンのデータに基づいて前記ペースト吐出手段の吐出流量を吐出流量算出手段によって算出し、この吐出流量と前記塗布パターンのデータに基づいて前記ペースト吐出手段および塗布ノズルを移動させる移動手段を制御することにより、操作性よく塗布品質を確保することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のダイボンディング装置の斜視図、図２は同ペースト吐出用ディスペンサの断面図、図３（ａ），（ｂ）は同ペースト塗布ノズルの断面図、図４は同ダイボンディング装置の制御系の構成を示すブロック図、図５は同ダイボンディング装置のペースト塗布処理の処理機能を表す機能ブロック図、図６は同ペースト塗布パターンの説明図、図７は同チップのボンディング状態の説明図、図８（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は同ペースト塗布パターンの説明図である。
【０００９】
まず図１を参照してダイボンディング装置の構造を説明する。図１においてチップ供給部１にはウェハシート２が図示しない保持テーブルによって保持されている。ウェハシート２には多数の半導体素子であるチップ３が貼着されている。チップ供給部１の側方には搬送路５が配設されており、搬送路５は基板であるリードフレーム６を搬送し、ペースト塗布位置およびボンディング位置にリードフレーム６を位置決めする。チップ供給部１の上方にはボンディングヘッド４が配設されており、ボンディングヘッド４は図示しない移動機構により水平移動および上下動する。
【００１０】
搬送路５の側方にはペースト塗布部９が配設されている。ペースト塗布部９は移動テーブル１０にＬ型のブラケット１５を介して塗布ノズル１８を装着して構成されている。塗布ノズル１８は、不動のプレート２１上に固定配置されたペースト吐出手段であるディスペンサ１６と可撓性の管部材であるチューブ１７によって連結されており、更にエアチューブ２０を介して吐出制御バルブ１９と接続されている。ディスペンサ１６を駆動することにより、ペーストがチューブ１７を介して塗布ノズル１８へ圧送され、塗布ノズル１８の下端部に設けられた塗布口より吐出されてリードフレーム６の塗布エリア６ａに塗布される。塗布ノズル１８からのペースト吐出の断続は、吐出制御バルブ１９によって制御される。
【００１１】
移動テーブル１０は、Ｙ軸テーブル１１上にＸ軸テーブル１２を段積みし、さらにその上にＬ型のブラケット１３を介してＺ軸テーブル１４を垂直方向に結合して構成されている。Ｙ軸テーブル１１、Ｘ軸テーブル１２、Ｚ軸テーブル１４は、それぞれＹ軸モータ１１ａ、Ｘ軸モータ１２ａ、Ｚ軸モータ１４ａを備えている。Ｘ軸モータ１２ａ、Ｙ軸モータ１１ａおよびＺ軸モータ１４ａを駆動することにより、塗布ノズル１８はリードフレーム６上で水平方向および上下方向に移動する。したがって、移動テーブル１０は塗布ノズル１８をリードフレーム６に対して相対的に移動させる移動手段となっている。
【００１２】
リードフレーム６上面のチップ３がボンディングされるチップボンディング部位６ａは、ペーストが塗布される塗布エリア６ａであり、塗布ノズル１８を塗布エリア６ａ内に位置させ、塗布ノズル１８からペーストを吐出させながら塗布ノズル１８を移動させることにより、塗布対象物であるリードフレーム６の表面に設定された塗布エリア６ａ内には、Ｘ字形状の塗布パターンでペースト７が塗布される。
【００１３】
このペースト塗布後、リードフレーム６は搬送路５上をボンディング位置８に送られ、位置決めされる。、そして塗布エリア６ａ内に塗布されたペースト７上に、ボンディングヘッド４のノズル４ａによってチップ供給部１からピックアップされたチップ３がボンディングされる。
【００１４】
次に図２を参照してディスペンサ１６の構造について説明する。図２において、マニホールドブロック２５の上面にはペースト７を貯溜する容器であるシリンジ２６が装着されている。シリンジ２６の下端部２６ａは、マニホールドブロック２５に設けられた内孔２７に嵌入し、シリンジ２６の内部は空間２７ａと連通している。空間２７ａには水平方向の内孔２７ｂが連通しており、内孔２７ｂは空間３１に通じている。
【００１５】
空間２７ａの内部には、ステム２９が往復動機構２８によって往復動自在に貫入しており、ステム２９を突出させることにより、シール面２９ａによって内孔２７ｂの端部を閉塞する。ステム２９と内孔２７ａは第１のバルブＶ１を構成する。ステム２９の摺動面はシール部材３０によってシールされ、シリンジ２６から空間２７ａ内に流入したペースト７の外部への漏出を防いでいる。
【００１６】
空間３１内にはピストン３２が貫入している。ピストン３２は、保持部材３４によって保持され、モータ３５、送りねじ３６およびナット３７より成る往復動手段によって保持部材３４を往復動させることにより、ピストン３２は空間３１内に挿入されまた抽き出される。往復動手段としては、ピストン３２の位置または速度を制御可能なものであればよい。空間３１から下方に向けて設けられた内孔３１ｂと直交して、吐出口４２が設けられている。内孔３１ｂと直交して設けられた内孔３８には、ステム４０が往復動機構３９により往復動自在に嵌入している。ステム４０を突出させることにより、シール面４０ａによって吐出口４２は閉塞される。ステム４０と吐出口４２は第２のバルブＶ２を構成する。
【００１７】
次にディスペンサ１６の動作を説明する。まず、シリンジ２６内のペースト７を吸入して空間３１に充填させる吸入工程について説明する。このときにはまず、ステム４０を突出させて第２のバルブＶ２を閉じ、ステム２９を後退させて第１のバルブＶ１を開ける。そしてこの状態で、ピストン３２を抽き出す吸入動作を行うが、このときエア源４３からのエアを制御弁４４を介してシリンジ２６内に供給することによりペースト７は加圧されており、ピストン３２の抽き出し動作とあいまって、ペースト７は空間２７ａ、内孔２７ｂを介して空間３１内に到達する。このとき、第２のバルブＶ２が閉じられていることから、空間３１はペースト７によって充填される。
【００１８】
次にペーストの吐出工程について説明する。前述の状態から第１のバルブＶ１を閉じるとともに第２のバルブＶ２を開け、ピストン３２を空間３１内に挿入する。これにより、空間３１内のペースト７は内孔３１ｂより押し出され、吐出口４２から吐出される。そして上述の吸入工程、吐出工程を反復して行うことにより、シリンジ２６内のペースト７は空間３１内に間欠的に吸入され、吐出口４２から吐出される。吐出されたペースト７は、チューブ１７を介して塗布ノズル１８に圧送される。このとき、モータ３５の回転数を制御してピストン３２の動作速度を制御することにより、単位時間あたりの吐出量である吐出流量を調整することができる。
【００１９】
次に図３を参照して塗布ノズル１８について説明する。図３において、ノズルブロック１８ａは下部が円錐状に加工された略円柱形状の部材であり、円柱の中心部には軸方向に連通した段付きの内孔５３が設けられている。この内孔５３にはバルブステム５４が上下動自在に嵌入している。内孔５３の上部はバルブステム５４の上端部のピストン５４ａが嵌合するシリンダ部５０と連通しており、ピストン５４ａはスプリング５２によって上方に付勢されている。ノズルブロック１８ａに設けられたカバー部材１８ｂによって閉じられたシリンダ部５０内に管継手５１を介してエアチューブ２０からエアを供給することにより、ピストン５４ａはエアにより加圧され、スプリング５２の付勢力に抗してバルブステム５４を押し下げる。
【００２０】
ノズルブロック１８ａの中間部分に設けられた第１の空間５３ａには、管継手５５を介してペースト７が圧送されるチューブ１７が連結されている。第１の空間５３ａは、ペースト７を吐出して塗布する塗布口５７の直前に設けられた第２の空間５６と、バルブステム５４が挿通するクリアランス部５３ｂを介して連通している。バルブステム５４は下方に延出して第２の空間５６内に到達しており、バルブステム５４の下端部にはテーパ状のシール面５４ｂが設けられている。シール面５４ｂは図３（ｂ）に示すように、クリアランス部５３ｂの下端部に設けられたバルブシート５３ｃと当接してクリアランス部５３ｂの下端部を閉塞する。
【００２１】
したがって図３（ａ）に示すように、シリンダ部５０内を加圧した状態ではバルブステム５４は下降位置にあり、チューブ１７を介して圧送されるペースト７は、第１の空間５３ａ、クリアランス部５３ｂ、第２の空間５６を経由して塗布口５７から吐出される。また図３（ｂ）に示すように、シリンダ部５０の加圧を解除した状態ではステム５４は上昇位置にあり、バルブシート５３ｃがクリアランス部５３ｂを閉塞してペースト７の吐出は停止される。すなわち塗布ノズル１８に設けられたバルブステム５４およびバルブシート５３ｃは、塗布ノズルと一体的に設けられ塗布口５７を開閉する開閉手段となっている。
【００２２】
次に図４を参照してダイボンディング装置の制御系の構成を説明する。図４において、ディスペンサ制御部６０は、ピストン３２を駆動するモータ３６、第１のバルブおよび第２のバルブをそれぞれ駆動する往復動機構２８，３９を制御して、ディスペンサ１６によるペーストの吐出を制御する。吐出制御バルブ駆動部６１は、吐出制御バルブ１９の開閉を駆動することにより塗布ノズル１８のシリンダ部５０に供給される制御エアを制御し、塗布ノズル１８の前記開閉手段の開閉を行う。
【００２３】
Ｚ軸モータ駆動部６２、Ｙ軸モータ駆動部６３、Ｘ軸モータ駆動部６４は、移動テーブル１０のＺ軸モータ１４ａ、Ｙ軸モータ１１ａ、Ｘ軸モータ１２ａをそれぞれ駆動する。ボンディングヘッド駆動部６５は、チップ３をボンディングするボンディングヘッド４を駆動する。記憶部６６は、各部の動作や処理に必要なプログラムや塗布パターンのデータを記憶する。制御部６７は、記憶部６６に記憶されたプログラムに基づいて各部の動作を制御する。操作部６８は、キーボードやマウスなどの入力手段であり制御コマンドの入力やデータ入力を行う。表示部６９はディスプレイ装置であり、操作入力時の画面を表示する。
【００２４】
次に図５を参照して、ダイボンディング装置のペースト塗布処理の処理機能について説明する。図５において枠７０，７６，７８で囲まれた各部はそれぞれ第１の記憶部、塗布パターン設定部、第２の記憶部を構成する。図５に示す各要素のうち、塗布量算出部７５、塗布パターン設定部７６、入力処理部７７、表示処理部８２、吐出流量算出部８３、塗布流速算出部８４、判定部８５、移動テーブル制御部８６は、図４に示す制御部６７による処理を示しており、第１の記憶部７０、第２の記憶部７８は図４の記憶部６６に記憶されるデータの内容を示すものである。
【００２５】
まず第１の記憶部７０を構成する各部について説明する。ノズルサイズデータ記憶部７１は、塗布ノズル１８の下端部に設けられペーストを吐出する塗布口のサイズのデータ、すなわち塗布口の径や断面積などのデータを記憶する。このデータは塗布ノズル１８から吐出されるペーストの塗布流速算出に用いられる。ペースト厚みデータ記憶部７２は、図７に示すようにボンディング状態でリードフレーム６とチップ３の間に介在するペーストの厚みＴＰのデータをボンディング対象のチップごとに記憶する。このデータは、各塗布エリアに塗布されるペーストの必要塗布量の算出に用いられる。
【００２６】
チップサイズデータ記憶部７３は、ボンディング対象のチップサイズ、すなわちチップ３の幅や長さのデータを記憶する。このデータは塗布量算出のデータとして用いられるとともに、塗布パターンを選択する基準としても用いられる。塗布パターンデータ記憶部７４は、塗布エリア内に塗布されるペーストの塗布パターン、すなわち塗布パターンを構成する塗布点や塗布線の基準座標データ７４ａ、塗布ノズル１８が移動する移動軌跡における基準速度パターン７４ｂなどを表わす複数の塗布パターンを記憶する。図８に塗布パターンの例を示す。ペースト塗布に際しては、これらの複数の塗布パターンの中から、チップサイズや形状（長方形か、正方形か等）に基づいて適切な塗布パターンが選択される。
【００２７】
入力処理部７７は、操作部６８から入力される操作入力信号を処理し、各部への制御コマンドを出力するとともに、第１の記憶部７０へのデータ書き込みを行う。塗布量算出部７５は、第１の記憶部７０に記憶されるペースト厚みデータとチップサイズデータに基づいて、各塗布エリアに塗布されるペーストの塗布量を算出する。算出方法は、チップサイズデータよりチップの平面投影面積を求め、この面積と図７に示すペースト厚みＴＰと補正係数との積を計算する。算出結果は、第２の記憶部７８の塗布量記憶部７９に記憶される。
【００２８】
塗布パターン設定部７６は、塗布パターン選択部７６ｂおよび拡大・縮小処理部７６ａより構成され、塗布パターンの選択と選択された塗布パターンを実際の対象チップのサイズに適合させる処理を行う。すなわち塗布パターン選択部７６ｂは、チップサイズデータに基づき塗布パターンデータ記憶部７４に記憶された複数の塗布パターンの中から適切な塗布パターンを選択し、この選択された塗布パターンを拡大・縮小処理部７６ａによって実際のチップサイズに合せて拡大や縮小などの必要な適合処理を行う。この拡大・縮小処理を行うことにより、塗布パターンとしては基本的な基準パターンを揃えるのみでよく、限られた少数の基準パターンを用いて多数のチップ品種に対応することができる。
【００２９】
この塗布パターン設定処理により、実際の塗布動作の制御に必要な塗布パターンのデータ、すなわち各塗布点や塗布線を特定する座標データ（ｃ）や、これらの塗布点、塗布線を塗布ノズル１８が移動する移動軌跡における速度パターン（ｖ）、この移動軌跡上で実際にペーストを吐出して塗布を行うことができる時間を示す塗布時間（ｔ）が算出される。
【００３０】
これらの塗布パターンのデータのうち、前述の座標データ（ｃ）および速度パターン（ｖ）は、第２の記憶部７８の塗布パターン記憶部８１に設けられた座標データ記憶部８１ｂ、速度パターン記憶部８１ａにそれぞれ記憶される。そして、これらの座標データ、速度パターンの信号は、移動テーブル制御部８６に出力され、移動テーブル制御部８６は、座標データ、速度パターンに基づいてＸ軸モータ駆動部６４、Ｙ軸モータ駆動部６３、Ｚ軸モータ駆動部６２を制御する。これにより、塗布ノズル１８は移動テーブル１０によって塗布パターンが示す移動軌跡に基づいて移動する。
【００３１】
また塗布パターンのデータのうち塗布時間（ｔ）のデータは、吐出流量算出部８３によって行われる吐出流量の算出に用いられる。すなわち、塗布量記憶部７９に記憶された塗布量を塗布時間（ｔ）で除することにより、ディスペンサ１６に必要とされる単位時間当りの吐出量である吐出流量が吐出流量算出部８３によって算出される。したがって、吐出流量算出部８３はペーストの塗布量のデータと塗布パターンのデータに基づいてディスペンサ１６の吐出流量を算出する吐出流量算出手段となっている。
【００３２】
この算出結果は、吐出流量記憶部８０に記憶される。記憶された吐出流量のデータは、ディスペンサ制御部６０（図４も参照）に送られ、ディスペンサ制御部６０はこの吐出流量のデータに従ってディスペンサ１６のモータ３６を制御し、ディスペンサ１６の吐出口４２から所定の吐出流量でペーストを吐出させる。したがって、ディスペンサ制御部６０および前述の移動テーブル制御部８６は、吐出流量と塗布パターンのデータに基づいてペースト吐出手段であるディスペンサ１６および移動手段である移動テーブル１０を制御する制御手段となっている。
【００３３】
さらに、吐出流量のデータと塗布ノズル１８のサイズを表わすノズルサイズデータに基づいて、塗布ノズル１８の塗布口から吐出されるペーストの流速を示す塗布流速（ｕ）が塗布流速算出部８３により算出される。この算出結果は判定部８４に送られ、求められた塗布流速（ｕ）が塗布動作中の塗布ノズル１８の移動速度と適合しているか否かを確認する判定が行われる。
【００３４】
すなわち塗布ノズル１８の塗布口５７から吐出されるペーストの塗布流速（ｕ）が塗布ノズル１８の移動速度よりも小さい場合には、ノズル移動にペーストの吐出が追いつかず塗布線のかすれなどの塗布状態の不良が生じることから、速度パターン記憶部８０ａに記憶された速度パターンの中から最大移動速度Ｖｍａｘを抽出し、このＶｍａｘと塗布流速（ｕ）とを比較して適否を判定する処理が行われる。すなわち、塗布流速（ｕ）≧Ｖｍａｘ＋α（αは安全側に設定される定数）の条件を充たす場合には適合の判定が、充たさない場合には不適の判定がなされる。そして判定の結果は表示処理部８１に送られ、表示部６９によってその旨表示される。
【００３５】
表示処理部８２は、上記判定結果の表示の外、第２の記憶部７８に記憶されたデータを処理して実際の塗布動作に用いられているデータを所定の表示形式で参照データとして表示部６９に表示させる。これにより、作業者は常にどのような塗布条件で塗布が行われているかを監視することができる。
【００３６】
このダイボンディング装置は上記の様に構成されており、以下ダイボンディング装置のペースト塗布処理について、図６を参照して説明する。図６において、リードフレーム６上の塗布エリア６ａには、Ｘ字状の塗布パターンを構成する第１の塗布線Ｌ１、第２の塗布線Ｌ２が設定されている。第１の塗布線Ｌ１、第２の塗布線Ｌ２は、それぞれ塗布開始点ＰＳ（１），ＰＳ（２）、および塗布終了点ＰＥ（１），ＰＥ（２）によって位置が特定され、これらの座標データは座標データ記憶部８１ｂに記憶され、第１の塗布線Ｌ１、第２の塗布線Ｌ２上を塗布ノズル１８が移動する速度パターンは速度パターン記憶部８１ａに記憶されている。
【００３７】
さらに、この塗布パターンにおいて、第１の塗布線Ｌ１、第２の塗布線Ｌ２に塗布されるペーストの塗布量は、チップサイズによって定まる塗布エリア６ａの大きさおよびペースト厚みデータにより算出され、塗布量記憶部７９に記憶されている。そしてこの塗布量と塗布時間より求められた吐出流量のデータは、吐出流量記憶部８０に記憶されている。
【００３８】
塗布動作について説明する。リードフレーム６をペースト塗布部９に位置決めしたならば、まず塗布ノズル１８を塗布開始点ＰＳ（１）上に移動させ、所定のノズル高さまで下降させてペーストの吐出を開始する。このペーストの吐出は、制御部６７からの指令に従い、ディスペンサ制御部６０によってディスペンサ１６を駆動するとともに、吐出制御バルブ駆動部６１によって吐出制御バルブ１９を駆動して塗布口５７を開状態にすることにより行われる。このとき、ディスペンサ１６は、吐出流量記憶部８０に記憶された所定の吐出流量でペーストを吐出し、塗布ノズル１８に圧送する。これにより、各塗布線には所定の塗布量のペーストが塗布される。
【００３９】
ペーストの吐出とともに塗布ノズル１８は塗布終了点ＰＥ（１）に向って移動し、塗布終了点ＰＥ（１）に到達したならば塗布ノズル１８からのペーストの吐出を停止する。この後塗布ノズル１８はペーストの吐出を停止した状態で第２の塗布線Ｌ２の塗布開始点ＰＳ（２）まで移動し（破線矢印参照）、この後再びペーストの吐出を開始して塗布終了点ＰＥ（２）までペーストを吐出しながら移動する。そしてこの位置でペーストの吐出を停止し、塗布ノズル１８は上昇して、１つの塗布エリア６ａに対するペースト塗布を終了する。
【００４０】
このペースト塗布過程において、前述のような塗布ノズル１８を用いてペーストを塗布することにより、以下に説明するような優れた効果を得ることができる。まず、描画塗布において、軽量・コンパクトな塗布ノズル１８のみを移動させるようにしているため移動速度を高速化して高速描画を行わせることが可能となり、塗布効率を向上させることができる。
【００４１】
また、塗布ノズル１８からのペースト７の吐出の断続は、塗布ノズル１８と一体にしかも塗布口５７の直前に設けられて塗布口５７を開閉する開閉手段によって行われるため、ペースト吐出の断続時の応答性が極めて良好である。さらに、吐出を遮断する閉塞動作時には、塗布口５７の直前に設けられた第２の空間５６内でステム５４が上方に移動するため、第２の空間５６内のペースト７は確実に上方に引き戻されて塗布口５７からの吐出が停止される。これにより、従来のディスペンサで生じていたような吐出停止指令後もなお少量のペーストが吐出される糸引き現象が発生しない。したがって描画塗布による複雑な塗布パターンに対しても、塗布パターンを構成する各塗布線ごとに正確にペーストの吐出開始・終了を制御することができる。
【００４２】
これにより、従来はペーストの糸引きによる塗布不良を避けるために採用されていた一筆描き描画の問題点、すなわち、同一塗布線上を吐出口が複数回移動することによる塗布時間の増大を招くことなく、より複雑な塗布パターンを短時間で描画塗布することができる。また吐出断続動作を高い応答性で行えることから、塗布開始・終了点での安定時間を必要とせず、塗布ノズル１８移動速度の高速化と相まって高効率の描画塗布を実現できる。
【００４３】
さらに、上記のような正確な塗布を効率よく行うためには、ボンディング対象のチップ毎に適正な塗布パターンの設定を行う必要があるが、上記本実施の形態に説明したように、この塗布パターンの設定に際し、作業者は単にチップの品種を指定するのみで、当該品種に応じた適正なペーストの塗布パターンが設定され、この塗布パターンに従ってペースト吐出および塗布ノズルの移動が行われる。これにより、従来必要とされたチップ品種毎の複雑なデータ設定を行う必要が無く、チップボンディング用のペースト塗布装置の操作性を向上させることができるとともに、常に適正な塗布パターンが設定されることにより高い塗布品質を確保することができる。
【００４４】
【発明の効果】
本発明によれば、基板に塗布されるペーストの塗布量のデータと塗布パターンのデータに基づいてペースト吐出手段の吐出流量を吐出流量算出手段によって算出し、この吐出流量と塗布パターンのデータに基づいて前記ペースト吐出手段および塗布ノズルを移動させる移動手段を制御するようにしたので、チップボンディング用のペースト塗布装置の操作性を向上させることができるとともに、常に適正な塗布パターンが設定されることにより高い塗布品質を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態のダイボンディング装置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態のペースト吐出用ディスペンサの断面図
【図３】（ａ）本発明の一実施の形態のペースト塗布ノズルの断面図
（ｂ）本発明の一実施の形態のペースト塗布ノズルの断面図
【図４】本発明の一実施の形態のダイボンディング装置の制御系の構成を示すブロック図
【図５】本発明の一実施の形態のダイボンディング装置のペースト塗布処理の処理機能を示す機能ブロック図
【図６】本発明の一実施の形態のペースト塗布パターンの説明図
【図７】本発明の一実施の形態のチップのボンディング状態の説明図
【図８】（ａ）本発明の一実施の形態のペースト塗布パターンの説明図
（ｂ）本発明の一実施の形態のペースト塗布パターンの説明図
（ｃ）本発明の一実施の形態のペースト塗布パターンの説明図
（ｄ）本発明の一実施の形態のペースト塗布パターンの説明図
【符号の説明】
３  チップ
６  リードフレーム
６ａ  塗布エリア
７  ペースト
１０  移動テーブル
１６  ディスペンサ
１８  塗布ノズル
５７  塗布口
６０  ディスペンサ制御部
８３  吐出流量算出部
８６  移動テーブル制御部
【図１】
0004151151.tif 000002
【図２】
0004151151.tif 000003
【図３】
0004151151.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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