(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試験材料を収納し且つ減圧可能な炉室を有する炉本体と、前記試験材料を赤外線により加熱するためのヒーターとを備え、前記ヒーターは、透明な空洞体と一対の端子と発熱体と前記各端子及び発熱体の間に位置する導線部とを有し、前記空洞体前記炉本体の側において貫通させることにより、前記発熱体を炉室内に位置させると共に前記各端子を炉室外に位置させ、前記炉本体側部分と前記空洞体との間にシールを設けることで炉室内を密閉状態に保ち、前記導線部を前記シールの接触部に位置させることにより前記発熱体を前記シールの接触部より内側に配置させて前記発熱体の発熱による前記シールの劣化を防止してある赤外線高温加熱炉。
【請求項２】
前記ヒーター棒状に形成すると共に前記炉室をこの棒状のヒーターに沿った筒状に形成し、前記炉本体の側に形成した一対の貫通孔に前記ヒーターを貫通させてある請求項１に記載の赤外線高温加熱炉。
【請求項３】
第二のヒーターを前記炉室内に設けると共にこの第二のヒーター上に前記試験材料を設置してある請求項１又は２記載の赤外線高温加熱炉。
【請求項４】
前記試験材料及び前記第二のヒーターの周囲に筒状の熱シールドを設けてある請求項３に記載の赤外線高温加熱炉。
【請求項５】
前記炉本体は透明の観察窓を有し、前記熱シールドのうち前記観察窓側に前記試験材料観察用の貫通孔を形成してある請求項４に記載の赤外線高温加熱炉。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試験材料を収納し且つ減圧可能な炉室を有する炉本体と、試験材料を赤外線により加熱するためのヒーターとを備えた赤外線高温加熱炉及びこれに使用するヒーターに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、高温の真空又はガス雰囲気下で試験材料を加熱する赤外線高温加熱炉としては、例えば特開平５−２８８６９７号公報に記載の高温観察炉が知られている。同公報に開示された高温観察炉によれば、炉体は楕円球や回転楕円体で構成され、集光焦点に配置する試験片を減圧雰囲気にするため、ヒーターと炉内の試験片とをガラス板により仕切っている。そして、減圧下でヒーターの端子間での放電を防ぐため、ヒーターを大気中に設置している。同観察炉によれば、試験材料をヒーターで加熱しつつ、炉外の顕微鏡で同試験材料を近接観察することが可能である。
【０００３】
しかし、同従来技術によれば、ガラス板が炉本体を横切るので構成が複雑となっていた。また、ヒーターから発せられる赤外線が一部ガラス板に吸収されるので、試験材料の加熱効率がその分低下していた。ヒーターの内側に気密化のためのガラス管を別途設けた高温観察炉も知られているが、同様の不都合があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
かかる従来の実情に鑑みて、本発明の目的は、構成が簡易で試験材料の加熱効率に優れた赤外線高温加熱炉及びこれに使用するヒーターを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に係る赤外線高温加熱炉の特徴は、試験材料を収納し且つ減圧可能な炉室を有する炉本体と、前記試験材料を赤外線により加熱するためのヒーターとを備え、前記ヒーターは、透明な空洞体と一対の端子と発熱体と前記各端子及び発熱体の間に位置する導線部とを有し、前記空洞体前記炉本体の側において貫通させることにより、前記発熱体を炉室内に位置させると共に前記各端子を炉室外に位置させ、前記炉本体側部分と前記空洞体との間にシールを設けることで炉室内を密閉状態に保ち、前記導線部を前記シールの接触部に位置させることにより前記発熱体を前記シールの接触部より内側に配置させて前記発熱体の発熱による前記シールの劣化を防止してあることにある。
【０００６】
同特徴構成によれば、透明な空洞体と炉本体との間にシールを設けるだけの簡易な構成で、炉室内を外部から密閉することができる。しかも、導線部の存在によりシールが焼損する不都合もない。また、ヒーターと試験材料との間に気密化のためのガラス板やガラス管等が介在しないので、加熱効率に優れている。
【０００８】
また、前記ヒーターを棒状に形成すると共に前記炉室をこの棒状のヒーターに沿った筒状に形成し、前記炉本体の側に形成した一対の貫通孔に前記ヒーターを貫通させれば、炉体を安価に製作できる。しかも、試験材料をその長手方向に沿って試験材料よりも長いヒーターで余裕をもって加熱することにより、試験材料中央部付近の被観察部を良好な温度分布状態に維持させることが可能となるからである。
【０００９】
試験材料をさらに高温下で加熱するには、第二のヒーターを前記炉室内に設けると共にこの第二のヒーター上に前記試験材料を設置するとよい。このとき、前記試験材料及び前記第二のヒーターの周囲に筒状の熱シールドを設けることで、第二のヒーター上の試験材料が温度低下することを防止すると共に、他のヒーターが加熱されることを防止する。また、前記炉本体は透明の観察窓を有し、前記熱シールドのうち前記観察窓側に前記試験材料観察用の貫通孔を形成するとよい。
【００１１】
【発明の効果】
このように、上記本発明に係る赤外線高温加熱炉の特徴によれば、透明な空洞体と炉本体との間にシールを設けるだけの簡易な構成で、ヒーターと試験材料との間に気密化のためのガラス板等が介在せず試験材料の加熱効率に優れた赤外線高温加熱炉及びこれに使用するヒーターを提供することが可能となった。
【００１２】
本発明の他の目的、構成及び効果については、以下の発明の実施の形態の欄において明らかになるであろう。
【００１３】
【発明の実施の形態】
次に、図面を参照しながら、本発明にかかる実施形態について説明する。
図１に示す応力付与観察システム１は、応力付与観察装置１０により真空中や特定のガス雰囲気中で試験材料３に対して引張または圧縮応力を加え、対物レンズ２のみ図示する顕微鏡によりその状況を観察するものである。この応力付与観察装置１０は、台座２０上に載置された試験材料３を引っ張るための試験器３０と、試験材料３を高温下で真空状況下中に密閉する観察用密閉容器たる赤外線集光加熱炉６０とを備えている。
【００１４】
図１，３に示す台座２０は、全体の傾き調節用の脚部２１と、基台２２の上に順次積み重ねられる基台２２及び第一，第二可動台２３，２４とを備え、操作ハンドル２３ａ，２４ａにより平面に沿ったＸＹ２軸方向に対して第二可動台２４を微小移動させることが可能である。そして、操作ハンドル２３ａ，２４ａの調節により、対物レンズ２に対して試験材料３を適当な観察位置に移動させる。
【００１５】
試験器３０は、試験材料３を図示左右方向へ引っ張るための一対の第一，第二クロスヘッド３１，３２を備えている。各第一，第二クロスヘッド３１，３２は、リニアガイド３３にガイドされて左右へ沿う方向へ摺動可能なスライダ３４と、スライダ３４から左右へ張り出す横張出部３５と、この横張出部３５から上台４４を越えて上部へ伸びる縦張出部３６とを備えている。この第二可動台２４の上には、一対の軸受３７，３７間に一本のボールねじ３８が支持されている。このボールねじ３８は、右ねじ３８ａと左ねじ３８ｂとを中央で連結したもので、外側にそれぞれ螺合させた第一，第二可動ねじ３９ａ，３９ｂをそれぞれスライダ３４に貫通固定してある。そしてボールねじ３８を回転させることで第一，第二クロスヘッド３１，３２を互いに左右反対方向へ同ピッチで移動させ得るように構成してある。
【００１６】
ボールねじ３８は、減速ギアを含む駆動モーター４０，駆動ベルト４１ａ，４１ｂ及びプーリを介してその一端側から所定量だけ回転させられる。また、ボールねじ３８の他端にはプーリ及び伝導ベルト４３を介してロータリーエンコーダー４２が接続され、これにより駆動モーター４０の回転制御が行われる。
【００１７】
図１，３〜８に示すように、第二可動台２４に支持される上台４４上には赤外線集光加熱炉６０が載置され、この赤外線集光加熱炉６０内に設置された試験材料３に対し、第一，第二クロスヘッド３１，３２にそれぞれ接続された第一，第二連結体４５，４６が引張力を加える。
【００１８】
図６に示すように、第一連結体４５は、大略第一クロスヘッド３１に連結される固定ベース４７とこの固定ベース４７に連結される内側筒状体４８と、内部空間４８ａ内に収納されその一端に固定されたひずみゲージ４８ｂと、このひずみゲージ４８ｂ及び試験材料３を連結する第一引張軸５１とを備えている。円盤状の固定ベース４７はその中央で固定ボルト４７ａにより縦張出部３６に連結され、また、真空シール及び複数の連結ボルト４７ｂを介して内側筒状体４８の一端に連結される。ひずみゲージ４８ｂは取付具４８ｂ１及び取付ねじ４８ｂ２を介して内側筒状体４８内に固定される。ひずみゲージ４８ｂに対する信号コード４８ｂ３は気密端子の接続されるコードシール部４７ｃを介して外部の制御装置と連結される。また、ひずみゲージ４８ｂと試験材料３との間の第一引張軸５１には直動支持体たるリニアボールベアリング４８ｃが外嵌されて、内側筒状体４８に対し第一引張軸５１をスライド可能に支持し、ひずみゲージ４８ｂに第一引張軸５１長手方向以外の負荷が掛かりにくくしてある。
【００１９】
一方、図７に示すように、図第二連結体４６は、試験材料３と第二クロスヘッド３２とを連結するロッド状の第二引張軸５２として構成されている。第二引張軸５２の先端には雄ねじ５２ｃが形成されており、この先端を第二クロスヘッド３２の縦張出部３６に形成した孔を貫通させてある。そして、雄ねじ５２ｃに螺合させたナット５２ｄと第二引張軸の段差５２ｅとの間を締め付けて、第二引張軸５２を縦張出部３６に固定している。
【００２０】
図４，５に示すように、赤外線集光加熱炉６０は、密閉容器本体である炉本体６１の内部に密閉室である炉室６２を有し、この炉室６２は上部の蓋部６３を取り外すことで開口６１ｄを介して外部と連通可能である。炉本体６１及び蓋部６３はアルミニウムで構成されると共に炉室６２の内面が金メッキされており、上台４４上に４本の脚部６１ａで支持されている。炉本体６１の四隅には、冷媒通路６１ｂがそれぞれ形成され、図示しない循環経路により冷媒が循環されて炉本体６１を冷却する。また、炉室６２内の試験材料３の配置部近傍には外部から試料や熱電対を挿入するための常時封止される連通管６１ｃを貫通させてある。
【００２１】
炉本体６１の炉室６２は断面が二つの楕円Ｅ，Ｅの一方の焦点Ｆ１を共通に重ね合わせた筒状の形状をしている。また、他方の焦点Ｆ２，Ｆ２にそれぞれ発熱部６４ａの中心が配置するようにヒーター６４，６４をそれぞれ配置し、炉室６２内面の反射により蓋部６３からの近赤外線が一方の焦点Ｆ１に載置された試験材料３に効率よく輻射されるようになっている。
【００２２】
蓋部６３の観察窓６３ａは、透明な石英ガラス６３ｂを開口板６３ｃで押圧保持し、石英ガラス６３ｂを介して対物レンズ２から試験材料３を観察できるように構成してある。蓋部６３の一端には円錐孔６３ｄに連通して炉室６２内にガスを送り込むガス注入口６３ｅを取り付けてある。このガス注入口６３ｅは、通常封止ねじ６３ｆにより塞いであり、必要に応じて種々のガスを炉室６２内に注入する。
【００２３】
蓋部６３はその円弧面６３ｇを炉本体６１の開口６１ｄに嵌合し、真空シール６１ｅを炉本体６１の上部に接当させて炉本体６１の開口６１ｄを塞ぐ。開口６１ｄの周囲上面には真空シール６１ｅを設けてあり、図示しない取付ねじを蓋部６３を貫通させると共に炉本体６１にねじ込み、鍔部６３ｈを真空シール６１ｅに押し付けることで炉室６２を外部から密閉する。
【００２４】
近赤外線を発するヒーター６４は、透明な空洞体の一例である透明石英製の管部６４ｆの中央に位置するタングステン製の発熱部６４ａの両端それぞれに対し、同じタングステン製の導線部６４ｂ，６４ｂを張り出させている。各端でこの導線部６４ｂと端子６４ｄとをモリブデン製の接合箔６４ｃで接合し、この接合箔部分をピンチオフすることで管部６４ｆの内部を気密状態に維持している。各端子６４ｄは、碍子６４ｅにより管部６４ｆの両端に支持されている。
【００２５】
このヒーター６４は、赤外線集光加熱炉６０の両端に設けられたヒーター固定ベース６５ａ，６５ａの孔に貫通している。そして、真空シール６５ｃ，６５ｃ及びヒーター固定蓋６５ｂ、６５ｂを貫通させた図示しないねじをヒーター固定ベース６５ａ，６５ａに螺合させて押し付けることで真空シール６５ｃ，６５ｃにより炉室６２内外の境界部をシールし、炉室６２内を密閉状態に保っている。
【００２６】
また、発熱部６４ａからの発熱により真空シール６５ｃが劣化するのを防ぐために、各真空シール６５ｃの接触部は発熱のほとんどない導線部６４ｂを位置させるようにして、この発熱部６４ａを各真空シール６５ｃの接触部より内側に配置してある。すなわち、前記管部６４ｆは前記炉本体６１の外に端子６４ｄを位置させるように真空シール６５ｃを介して前記炉本体６１に固定され、このヒータ６４の前記真空シール６５ｃ接触部よりも内側に前記発熱部６４ａを配置してある。
【００２７】
図１，５，８に示すように、炉本体６１は、図１,５の左右方向にそれぞれ第一，第二引張軸５１，５２を挿通するための第一，第二開口部材６６，６７を有し、さらに右側に真空引き用の吸引口６８を有している。第一，第二引張軸５１，５２は、それぞれ対向し合う先端に突出する上部平坦な張出部５１ｂ，５２ｂと上へ突出する掛止突起５１ａ，５２ａをそれぞれ有している。そして、試験材料３の両側に形成した小孔３ａ，３ａへこれら掛止突起５１ａ，５２ａを嵌合させることで、試験材料３を第一，第二引張軸５１，５２により牽引可能に構成してある。なお、これら掛止突起５１ａ，５２ａは、その先端に向かうほど互いに離反するように傾斜させてあり、試験材料３に引張応力が掛かるほど張出部５１ｂ，５２ｂへ押し付けられるように構成してある。
【００２８】
図４，５，８に示すように、その上部に切欠部６９ａを有する石英ガラス製の管６９を第一，二開口６６，６７の間に掛け渡すことで、試験材料３の装着時や破断時における落下を防止してある。なお、石英ガラス製の管６９は透明であり、ヒーターによる加熱が妨げられないように構成してある。
【００２９】
図１、５、６に示すように、内側筒状体４８の外部には真空シール４９を介して外側筒状体７０を外嵌してある。この真空シール４９は、内側筒状体４８及び外側筒状体７０により形成されている内部空間４８ａを外部から密閉しつつ、真空シール４９と外側筒状体７０との第一引張軸５１長手方向に対する相対移動を許容する。外側筒状体７０は右側に赤外線集光加熱炉６０のフランジ６６ａと対向するフランジ７０ａを有しており、これらフランジ６６ａとフランジ７０ａとの間に真空シール６６ｂを介在させ、第一クランプ６６ｃによりフランジ６６ａ及びフランジ７０ａを互いに近接させるように締め付けることで、外側筒状体７０と第一開口部材６６とを密閉状態に連結する。
【００３０】
図１，５，７に示すように、第二引張軸５２に外嵌するシール筒７１のフランジ７１ａも同様に第二開口部材のフランジ６７ａに対し真空シール６７ｂ，第二クランプ６７ｃを介して連結される。このシール筒７１は、真空シール７２を介して第二引張軸５２に接触し、シール筒７１の右端が外部と連通するのを防ぐ。吸引孔６８のフランジ６８ａに対しても吸引管７３がそのフランジを対向させて真空シール６８ｂ，第三クランプ６８ｃを介して連結される。
【００３１】
次に、上述の応力付与観察システム１の使用要領とその作用について説明する。
まず、掛止突起５１ａ，５２ａの間に試験材料３を掛止し、蓋部６３を閉じる。次いで、観察窓６３ａから所望の部分が見えるように図示しない顕微鏡を操作する。さらに、吸引管７３から炉室６２内の空気を吸引し、炉室６２内が十分に減圧されたところで、必要な場合はガス注入口７５，６３ｅ等からガスを注入する。
【００３２】
そして、駆動モーター４０を駆動させて、第一，第二クロスヘッド３１，３２を離反方向へ移動させる。この際、第一，第二クロスヘッド３１，３２の相対変位量はロータリーエンコーダー４２により検出され、試験材料３に負荷される引張応力はひずみゲージ４８ｂにより検出されるので、図示しない制御装置によりこれらロータリーエンコーダー４２，ひずみゲージ４８ｂの情報をフィードバックさせることで駆動モーター４０の制御が可能となる。そして、ヒーター６４に通電することで、試験材料３を例えば１１００℃等の高温下に維持することが可能となる。なお、試験材料３の温度は図示しない熱電対により検出されその情報はヒーター６４の制御に用いられる。
【００３３】
真空シール４９の作用により、内側筒状体４８及び外側筒状体７０の内部空間４８ａは先の密閉室６２と共に密閉空間ＡＳを形成する。ここで、試験材料３とひずみゲージ４８ｂとの間には、摩擦抵抗の極めて少ない直動支持体４８ｃのみが介在するに留まるので、ひずみゲージ４８ｂは試験材料３に掛かる引っ張り応力を精度良く測定することが可能となる。一方、比較例として示される図２の態様では、第一クロスヘッドに接続される固定引張軸４７’と第一引張軸５１との間にひずみゲージ４８ｂが真空シールドされない状態で介在する。しかし、同比較例では、試験材料３とひずみゲージ４８ｂとの間の第一引張軸５１には真空シール６６ｄが介在し、ひずみゲージ４８ｂの測定に誤差を及ぼすであろうことが理解される。
【００３４】
本実施形態では、顕微鏡観察に適するように試験材料３が小片に形成され、上記引張軸５１，５２への負荷荷重が比較的小さいので、真空シールと引張軸との摩擦抵抗が負荷加重に対して相対的に大きくなる。したがって、本実施形態では、ひずみゲージ４８ｂを上述の如く密閉空間ＡＳ内に設置して、真空シールと引張軸との摩擦抵抗による悪影響を払拭する意義がある。
【００３５】
次に、図１１を参照しながら、上述の赤外線集光加熱炉６０の異なる使用形態を説明する。本例は、試験材料に上述のような引張応力を加えずに観察を行う場合に適用される。なお、以下の各別実施形態では、先の実施形態と同様の部材には同様の符号を附してある。
【００３６】
試験を先の第二開口部材６７を取り外して蓋で塞ぎ、先の第一開口部材６６側から真空吸引する。第一注入口６１ｆは封止ねじ７６で塞ぎ、必要な場合は第二注入口６１ｇに取り付けた注入口７５からガス等を注入することで密閉室である炉室６２内を特定のガス雰囲気とすることができる。また、先の封止ねじ７７を取り外し連通路６１ｃを介して棒状の熱電対７８ａを挿入し、この熱電対７８ａの先端に試験材料を受けるルツボ７８ｂを装着する。そして、このルツボ７８ｂ内に試験材料７９を収納し、これを加熱下で観察する。
【００３７】
次いで、図１２，１３を参照しながら、赤外線集光加熱炉の他の実施形態を説明する。
同実施形態では、密閉容器本体である炉本体６１内に第一焦点Ｆ１を共有する４つの楕円Ｅが配置されている。他方の第二焦点Ｆ２にはそれぞれヒーター６４が配置され、これら各ヒーター６４は９０度毎に並べられている。蓋部６３は先の実施形態よりも厚みが増しているが、実質的には同様に炉本体６１の上部に設けられている。
【００３８】
本実施形態は、炉本体６１の中心部における第一焦点Ｆ１に沿って一対の水冷電極８１，８１の設けられている点が、先の実施形態と異なる。基部８１ａの外側には絶縁筒８１ｂが嵌合され、絶縁筒８１ｂと炉本体６１との間は電極固定蓋８６ａと真空シール８６ｂとによりシール固定されている。水冷電極８１，８１の間には屈曲されたタングステン等よりなる第二のヒーターであるヒーター板８２が、ヒーター押え８１ｃ，８１ｃによりそれぞれ固定されている。各水冷電極８１における外側には二重構造の内筒８１ｄ，外筒８１ｅが設けられ、注水口８７ａから供給された冷却水が内筒８１ｄから外筒８１ｅ及び排水口８７ｂを介して外部に排出され、水冷電極８１全体が冷却される。また、必要に応じて、注入口８８ａからガス等が注入され、排出口排出口８８ｂから密閉空間ＡＳ内の気体が吸引排出される。
【００３９】
ヒーター板８２の上側中心部にはルツボ８３が設置され、その中に試験材料８９が入れられる。水冷電極８１，８１間にはヒーター板８２と同材料の筒状熱シールド８４が設けられている。この熱シールド８４の上方には、観察孔８４ａが形成されている。また、この熱シールド８４の下方に形成した孔８４ｂを介して熱電対８５がヒーター板８２の下部に接続されている。熱シールド８４は図示省略するが中央部で左右に分離可能となっており、試験材料８９の交換を行うことができる。
【００４０】
水冷電極８１，８１間に通電が行われると、ヒーター板８２が発熱し、ルツボ８３内の試験材料８９が加熱される。各ヒーター６４への通電を行うと熱シールド８４がヒーター６４で加熱され、ヒーター板８２からの加熱による放熱を防止する。また、熱シールド８４は、各ヒーター６４の発熱部６４ａがヒーター板８２により逆に加熱されることをも防ぐ。本実施形態では、ヒーター６４及びヒーター板８２双方の利用により、ルツボ８３内の試験材料８９を摂氏２５００度程度まで昇温することが可能である。
【００４１】
最後に本発明のさらに他の実施形態の可能性について列挙する。
上記実施形態ではヒーター６４の左右に真空シール６５ｃを設けることで試験材料３近傍の炉室６２が外部と連通することを防いだ。
【００４２】
上記実施形態では観察用密閉容器として赤外線集光加熱炉を用いたが、これ以外の加熱炉を用いても構わない。また、液体窒素やペルチェ素子により内部を冷却状態で温度制御するように観察用密閉容器を構成しても構わない。
【００４３】
上記実施形態では試験材料３の両端から第一，第二引張軸５１，５２を離反方向に移動させて試験材料３に引張応力を加えた。しかし、図９，１０に示すように、張出部５１ｂ，５２ｂをさらに突き出して掛止突起５１ａ，５２ａの位置を左右入れ替えることで、第一，第二引張軸５１，５２を互いに離反方向を移動させた場合に、掛止突起５１ａ，５２ａを互いに近接させて試験材料３に対し圧縮応力を加えるように構成することも可能である。５２には長孔５２ｆを設けて５１ｂから突出する掛止突起５１ａを貫通させてある。また、掛止突起５１ａ，５２ａの各先端に斜面Ｓを設けると、試験材料３の小孔３ａへの嵌合が容易である。本実施形態では、掛止突起５１ａ，５２ａを、その先端に向かうほど互いに近接するように傾斜させてあり、試験材料３に圧縮応力が加わるほど張出部５１ｂ，５２ｂへ押し付けられるように構成してある。
【００４４】
上記各実施形態では、試験材料３に引張又は圧縮応力を静的に加えたが、これらの応力を繰り返し荷重として動的に加えるように使用してもよい。また、ヒーターによる加熱及び非加熱等を繰り返して行うようにしてもよい。
【００４５】
上記実施形態では、各ヒーター６４を棒状に形成すると共に炉本体６１を二箇所で貫通させ、このヒーター６４の両端で各端子６４ｄを外部に露出させた。しかし、一対の端子６４ｄ，６４ｄを棒状の管部の一方に設け、この一対の端子６４ｄ，６４ｄ側のみの一箇所でヒーター６４を炉本体６１に貫通させてもよい。また、空洞体６４ｆは円柱状の管部として構成するのみならず、球状に形成してもよい。このとき、炉室は楕円面の回転体として構成することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる応力付与観察システムの概要を説明するための線図である。
【図２】第一連結体の比較例を示す線図である。
【図３】試験器の要部平面図である。
【図４】赤外線集光加熱炉の縦断面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】第一連結体近傍の縦断面図である。
【図７】シール筒近傍の縦断面図である。
【図８】試験材料設置部近傍の平面図である。
【図９】第二実施形態に係る試験材料設置部近傍の側面図である。
【図１０】図９の平面図である。
【図１１】赤外線集光加熱炉の異なる使用形態を示す図５相当図である。
【図１２】赤外線集光加熱炉の第三実施形態を示す図４相当図である。
【図１３】図１２のＢ−Ｂ線断面図である。
【符号の説明】
１    応力付与観察システム
２    対物レンズ
３    試験材料
３ａ  小孔
１０    応力付与観察装置
２０    台座
２１    脚部
２２    基台
２３    第一可動台
２３ａ，２４ａ  操作ハンドル
２４    第二可動台
３０    試験器
３１    第一クロスヘッド
３２    第二クロスヘッド
３３    リニアガイド
３４    スライダ
３５    横張出部
３６    縦張出部
３７    軸受
３８    ボールねじ
３８ａ  右ねじ
３８ｂ  左ねじ
３９ａ  第一可動ねじ
３９ｂ  第二可動ねじ
４０    駆動モーター
４１ａ，４１ｂ  駆動ベルト
４２    ロータリーエンコーダー
４３    伝導ベルト
４４    上台
４５    第一連結体
４６    第二連結体
４７    固定ベース
４７ａ  固定ボルト
４７ｂ  連続ボルト
４７ｃ  コードシール部
４７’  固定引張軸
４８    内側筒状体
４８ａ  内部空間
４８ｂ  ひずみゲージ
４８ｂ１取付具
４８ｂ２取付ねじ
４８ｂ３コード
４８ｃ  直動支持体
４９    真空シール（相対移動可能）
５１    第一引張軸
５２    第二引張軸
５１ａ，５２ａ  掛止突起
５１ｂ，５２ｂ  張出部
５２ｃ  雄ねじ
５２ｄ  ナット
５２ｅ  段差
５２ｆ  長孔
６０    赤外線集光加熱炉（観察用密閉容器）
６１    炉本体（密閉容器本体）
６１ａ  脚部
６１ｂ  冷媒通路
６１ｃ  連通路
６１ｄ  開口
６１ｅ  真空シール
６１ｆ  第一注入口
６１ｇ  第二注入口
６２    炉室（密閉室）
６３    蓋部
６３ａ  観察窓
６３ｂ  石英ガラス
６３ｃ  開口板
６３ｄ  円錐孔
６３ｅ  第三注入口
６３ｆ  封止ねじ
６３ｇ  円弧面
６３ｈ  鍔部
６４    ヒーター
６４ａ  発熱体
６４ｂ  導線部
６４ｃ  接合箔
６４ｄ  端子
６４ｅ  碍子
６４ｆ  透明の管部（空洞体）
６５ａ  ヒーター固定ベース
６５ｂ  ヒーター固定蓋
６５ｃ  真空シール
６６    第一開口部材
６６ａ  フランジ
６６ｂ  真空シール
６６ｃ  第一クランプ
６６ｃ’シール箔
６６ｄ  真空シール
６７    第二開口部材
６７ａ  フランジ
６７ｂ  真空シール
６７ｃ  第二クランプ
６８    吸引口
６８ａ  フランジ
６８ｂ  真空シール
６８ｃ  第三クランプ
６９    管
６９ａ  切欠部
７０    外側筒状体
７０ａ  フランジ
７１    シール筒
７２    真空シール（相対移動可能）
７３    吸引管
７５    注入口
７６    封止ねじ
７７    封止ねじ
ＡＳ  密閉空間
Ｅ    楕円
Ｆ１  一方の焦点
Ｆ２  他方の焦点
Ｓ    斜面
７８ａ  熱電対
７８ｂ  ルツボ
７９    試験材料
８０    赤外線集光加熱炉（観察用密閉容器）
８１    水冷電極
８１ａ  基部
８１ｂ  絶縁筒
８１ｃ  ヒーター押え
８１ｄ  内筒
８１ｅ  外筒
８２    ヒーター板（第二のヒーター）
８３    ルツボ
８４    熱シールド
８４ａ  観察孔（貫通孔）
８４ｂ  孔
８５    熱電対
８６ａ  電極固定蓋
８６ｂ  真空シール
８７ａ  注水口
８７ｂ  排水口
８８ａ  注入口
８８ｂ  排出口
８９    試験材料。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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