(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学系の所定位置に一時固定される本体と、
前記本体に別体化して回動自在に設けられ、該回動軸線と直交する方向に反射光軸が向くようにミラーを保持するためのミラー保持部を含むあおり可動体と、
前記あおり可動体の回動軸線上に設けられ、該あおり可動体を本体方向へ付勢ないしその状態を解除することにより、本体に対しあおり可動体を一時固定可能な一時固定手段と、
前記回動軸線に中心軸線を一致させた状態で前記本体及び前記あおり可動体にわたって配置され、該回動軸線と一致する中心軸線を中心に該本体に対し該あおり可動体を回動自在に支持する外周部、及び該回動軸線と一致する中心軸線上において前記一時固定手段を挿通する内周部が設けられたリング状の回動軸と、
を備え、前記回動軸を介して前記あおり可動体を前記本体に対し別体化して回動させることによりミラーの反射光軸を回動軸線と直交する方向で調整し、
また、前記一時固定手段は、スプリングワッシャを介して前記あおり可動体の回動軸線上に設けられ、前記ミラーの反射光軸を該回動軸線と直交する方向で調整する際、該スプリングワッシャによる該あおり可動体を該本体方向へ付勢する力が作用する範囲内で、該本体に対する該あおり可動体の一時固定を解除することを特徴とするミラーホルダ。
【請求項２】
請求項１記載のミラーホルダにおいて、前記あおり可動体の回動方向側の面には調整ピン差込穴が設けられ、該調整ピン差込穴に調整ピンをはめ込み、前記あおり可動体のあおり角を調節することによりミラーの反射光軸を調整することを特徴とするミラーホルダ。
【請求項３】
請求項１または２記載のミラーホルダにおいて、前記本体は光学ベースの所定位置に一時固定するためのホルダ固定ピンがはめ込まれる孔部を備え、該孔部は前記ホルダ固定ピンの外径に比較し大径であり、ホルダ固定ピンに対する孔部の位置を調整して本体のほぼ回動軸方向の角度を調整することによりミラーの反射光軸をほぼ回動軸方向で調整することを特徴とするミラーホルダ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はミラーホルダ、特にその光軸調整機構の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、反射光軸を調整するタイプのミラーホルダとして、たとえば図１に記載されたものが知られている。
同図に示すミラーホルダ１０では、張出部１０ａと頚部１０ｂに歪みを与えてミラー１２の反射光軸ｘを調整していた。
すなわち、２本のネジ１４，１６の締め込み具合をそれぞれ調整してミラーホルダ１０の張出部１０ａを延ばし、頚部１０ｂを曲げてミラー１２の図中Ａ方向のあおり角を調整していた。
【０００３】
また、ミラーホルダ１０の底面部には、光学系の所定位置に固定するためのホルダ固定ネジ（図示省略）がはめ込まれる孔部１０ｃ，１０ｄが、やや大径で設けられている。
これら孔部１０ｃ，１０ｄはホルダ固定ネジ（図示省略）の外径に比較し大径であるため、ホルダ固定ネジ（図示省略）に対する孔部１０ｃ，１０ｄの位置をずらしてミラーホルダ１０の横方向（図中Ｂ方向）の角度を調整していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の構成のミラーホルダ１０では、張出部１０ａ，頚部１０ｂに歪みを与えて反射光軸ｘを調整していた。
このため、ミラーホルダ１０の張出部１０ａ，頚部１０ｂには元の状態に復元させようとする力が働き、調整後の状態を持続することができない場合があった。特にネジ１４，１６を深く締め込み、ミラーホルダ１０に大きな歪みを与えた場合、応力により張出部１０ａ、頚部１０ｂにクリープが発生するため、経時安定性の観点から満足のゆくものではなかった。
【０００５】
この場合、たとえば装置の組立後、たとえば反射光軸を再アライメントする必要があり、面倒であった。
また、ネジ１４，１６を締め込むときの不具合によりミラーホルダ１０が図中Ａ方向とは異なる方向に歪み、光軸調整が非常に困難になってしまう場合もあった。
【０００６】
前述のように前記従来の構成のミラーホルダ１０では、経時安定性、操作性などの不具合を有するため、反射光軸の調整を良好に行うことができなかったものの、これを解決することのできる適切な技術が存在しなかった。
本発明は前記従来技術の課題に鑑みなされたものであり、その目的は反射光軸の調整を良好に行うことができるミラーホルダを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために本発明にかかるミラーホルダは、本体と、あおり可動体と、リング状の回動軸と、一時固定手段とを備え、前記あおり可動体を前記本体に対し別体化して回動させることによりミラーの反射光軸を回動軸線と直交する方向で調整し、
また、前記一時固定手段は、スプリングワッシャを介して前記あおり可動体の回動軸線上に設けられ、前記ミラーの反射光軸を該回動軸線と直交する方向で調整する際、該スプリングワッシャによる該あおり可動体を該本体方向へ付勢する力が作用する範囲内で、該本体に対する該あおり可動体の一時固定を解除することを特徴とする。
【０００８】
前記本体は、光学系の所定位置に一時固定されるものである。
前記あおり可動体は、本体に別体化して回動自在に設けられ、該回動軸線と直交する方向に反射光軸が向くようにミラーを保持するためのミラー保持部を含むものである。
【０００９】
前記一時固定手段は、前記あおり可動体の回動軸線上に設けられ、該あおり可動体を本体方向へ付勢ないしその状態を解除することにより、本体に対しあおり可動体を一時固定可能なものである。
前記リング状の回動軸は、前記回動軸線に中心軸線を一致させた状態で前記本体及び前記あおり可動体にわたって配置され、該回動軸線と一致する中心軸線を中心に該本体に対し該あおり可動体を回動自在に支持する外周部、及び該回動軸線と一致する中心軸線上において前記一時固定手段を挿通する内周部が設けられたものとする。
なお、前記ミラーホルダにおいて、前記あおり可動体の回動方向側の面には調整ピン差込穴が設けられ、該調整ピン差込穴に調整ピンをはめ込み、前記あおり可動体のあおり角を調節することにより、ミラーの反射光軸を調整することが好適である。ここにいう調整ピンとは、たとえば棒状のものなどをいう。
【００１０】
また、前記本体は光学ベースの所定位置に一時固定するためのホルダ固定ピンがはめ込まれる孔部を備え、該孔部は前記ホルダ固定ピンの外径に比較し大径であり、ホルダ固定ピンに対する孔部の位置を調整して本体のほぼ回動軸方向の角度を調整することにより、ミラーの反射光軸をほぼ回動軸方向で調整することが好適である。ここにいうホルダ固定ピンとは、たとえばネジ状のものなどをいう。
【００１１】
【発明の実施形態】
以下、図面に基づき本発明の好適な実施形態を説明する。
図２には本発明の一実施形態にかかるミラーホルダの正面図（一部断面図）が示されいる。図３には同様のミラーホルダの側面図（一部断面図）が示されている。図４には同様のミラーホルダの下方より見た図（一部断面図）が示されている。なお、前記図１と対応する部分には符号１００を加えて示し説明を省略する。
同図に示すミラーホルダ１１０は、本体１１８と、あおり可動体１２０と、あおり固定ネジ１２２（一時固定手段）を備える。
【００１２】
本体１１８は、光学系の所定位置に一時固定されたものである。図２に示すようにこの本体１１８には回動軸穴１１８ａが設けられ、この回動軸穴１１８ａにリング状のスリーブ１２４（回動軸）が設けられている。
あおり可動体１２０は、本体１１８に別体化して回動自在に設けられている。
【００１３】
すなわち、このあおり可動体１２０には回動軸穴が１２０ａ設けられ、この回動軸穴１２０ａにもスリーブ１２４（回動軸）が設けられている。これによりあおり可動体１２０は本体１１８に対し別体化して、スリーブ１２４（回動軸）と直交する方向（図３中Ａ方向）の回動が可能である。
【００１４】
また、このあおり可動体１２０は、スリーブ１２４（回動軸）と直交する方向（図３中Ａ方向）に反射光軸ｘが向くようにミラー１１２を保持するためのミラー保持部１２０ｂを備える。
そして、ミラー１１２（たとえばレーザミラー）の裏面１１２ａがミラー保持部１２０ｂに接着剤などで固定されている。
【００１５】
あおり固定ネジ１２２は、スプリングワッシャ１２３、スリーブ１２４を介して先端部１２２ａが本体１１８に螺合されている。このあおり固定ネジ１２２はたとえば右回転すると、あおり可動体１２０を本体１１８方向へ付勢する。これにより本体１１８に対しあおり可動体１２０を一時固定が可能となる。
【００１６】
また、逆方向に回転（たとえば左回転）すると、スプリングワッシャ１２３の有する復元力も手伝ってその状態を解除することができる。これにより本体１１８に対しあおり可動体１２０をスリーブ１２４（回動軸）と直交する方向（図３中Ａ方向）の回動が可能となる。
【００１７】
また、あおり可動体１２０には調整棒差込穴１２０ｃ（調整ピン差込穴）が設けられ、図５に示すようにミラー１１２の反射光軸ｘをＡ方向で調整する場合、調整棒差込穴１２０ｃに調整棒１２６（調整ピン）をはめ込み、あおり可動体１２０の図中Ａ方向のあおり角を調整することにより、ミラー１１２（たとえばレーザミラー）の反射光軸ｘを図中Ａ方向で調整する。
【００１８】
また、図５に示すように本体１１８には、光学ベース１２５の所定位置に一時固定するためのホルダ固定ネジ１２７が、スプリングワッシャ１２９、平ワッシャ１３１を介して挿入される孔部１１８ｂと、ホルダ固定ネジ１３３が、スプリングワッシャ１２９、平ワッシャ１３１を介して挿入される孔部１１８ｃが設けられている。
【００１９】
この孔部１１８ｂはホルダ固定ネジ１２７とほぼ同一径で設けられている。また、孔部１１８ｃはホルダ固定ネジ１３３に比較し大径で設けられている。
このホルダ固定ネジ１２７は、光学ベース１２５にはめ込まれる部分にネジ山１２７ａが設けられている。しかしながら、孔部１１８ｂと接する部分１２７ｂは、孔部１１８ｂに挿入されたホルダ固定ネジ１２７を回転軸として、ホルダ固定ネジ１３３に対する孔部１１８ｃの位置を調整して本体１１８の横方向（図中Ｂ方向）の角度を調整することができるように表面が滑らかに構成されている。
【００２０】
そして、孔部１１８ｂに挿入されたホルダ固定ネジ１２７を回転軸として、ホルダ固定ネジ１３３に対する孔部１１８ｃの位置を調整することにより、ミラー１１２の反射光軸ｘを図中Ｂ方向で調整することができる。
調整後、孔部１１８ｂ，１１８ｃに挿入されたホルダ固定ネジ１２７、１３３をしっかりと締め込むことにより、本体１１８を光学ベース１２５の所定位置にしっかりと一時固定することができる。
【００２１】
このように本実施形態において特徴的なことは、ミラー保持部１１２ａを含むあおり可動体１１２を本体１１８と別体化して、スリーブ１２４（回動軸）と直交する方向（図中Ａ方向）のみ回動が可能としたことである。また、あおり固定ネジ１２２により本体１１８に対し歪みを与えることなくあおり可動体１１２を一時固定可能としたことである。
【００２２】
本発明の実施形態にかかるミラーホルダ１１０は概略以上のように構成され、以下にその作用について説明する。
図６にはこの実施形態にかかるミラーホルダ１１０の光軸調整手順を示すフローチャートが示されている。
【００２３】
まず、操作者は、光学系の所定位置に本体１１８をホルダ固定ネジ（図示省略）で粗固定する（ｓ１００）。
粗固定後、本体１１８に対するあおり可動体１２０の図中Ａ方向のあおり角を決定する（ｓ１０２）。
すなわち、あおり固定ネジ１２２をスプリングワッシャ１２３の効く範囲でゆるめる。そして、図５に示すように調整棒差込穴１２０ｃに調整棒１２６をはめ込み、調節棒１２６によりあおり可動体１２０の図中Ａ方向のあおり角を調整することによりミラー１１２の反射光軸ｘをたとえば図中Ａ方向で調整して決定する。
【００２４】
ここで、あおり可動体１２０の回動方向をスリーブ１２４（回動軸）により図中Ａ方向のみに規制することができるので、ミラー１１２の反射光軸ｘの調整も図中Ａ方向のみに限定することができる。これにより反射光軸ｘの調整を容易に行うことができる。
決定後、あおり可動体１２０の図中Ａ方向のあおり角を一時固定する（ｓ１０４）
すなわち、あおり固定ネジ１２２を締め込み、本体１１８に対しあおり可動体１２０を一時固定する（ｓ１０４）。
【００２５】
ここで、あおり固定ネジ１２２により、本体１１８に対し歪みを与えることなくあおり可動体１２０を一時固定することができるので、調整後の状態を良好に持続することができる。
一時固定後、本体１１８の横方向（図４中Ｂ方向）の角度を決定する（ｓ１０６）。
【００２６】
すなわち、ホルダ固定ネジ１２７、１３３を平ワッシャ１３１の効く範囲でゆるめ、孔部１１８ｂに挿入されたホルダ固定ネジ１２７を回転軸として、ホルダ固定ネジ１３３に対する孔部１１８ｃの位置を調整することにより、本体１１８の横方向（図４中Ｂ方向）の角度を調整する。これによりミラー１１２の反射光軸を図４中Ｂ方向で調整して決定する。
決定後、本体１１８の横方向（図４中Ｂ方向）の角度を一時固定する。
【００２７】
すなわち、ホルダ固定ネジ１２７、１３３を締め込むことにより、本体１１８の横方向（図４中Ｂ方向）の角度が一時固定される。これによりミラー１１２の反射光軸を２方向（たとえば図５中Ａ方向、図４中Ｂ方向）で調整する全ての操作を終了する。
【００２８】
以上のように本発明の実施形態にかかるミラーホルダ１１０によれば、ミラー保持部１１２ａを含むあおり可動体１１２を本体１１８と別体化して、スリーブ１２４（回動軸）と直交する方向のみ回動を可能とした。また、あおり固定ネジ１２２により本体１１８に対し歪みを与えることなくあおり可動体１１２を一時固定可能としたので、下記に示す種々の効果を奏することができる。
【００２９】
すなわち、あおり可動体１２０の回動方向をスリーブ１２４（回動軸）により図中Ａ方向のみに規制することができるので、ミラー１１２の反射光軸ｘの調整も図中Ａ方向のみに限定することができる。これにより反射光軸ｘの調整を容易に行うことができる。
【００３０】
また、あおり固定ネジ１２２により、本体１１８に対し歪みを与えることなくあおり可動体１２０を一時固定することができるので、調整後の状態を良好に持続することができる。
なお、ミラーホルダ１１０において、あおり可動体１２０の回動方向（図中Ａ方向）側の面に調整棒差込穴１２０ｃを設けた。この調整棒差込穴１２０ｃに調整棒１２６をはめ込み、あおり可動体１２０のあおり角を調節することにより、あおり可動体１２０のあおり角を微妙に調整することができる。これによりミラー１１２の反射光軸ｘを微妙に調整することができる。
ここで、調整棒１２６の長さを長くすることにより、あおり可動体１２０のあおり角をより微妙に調整することもできる。
【００３１】
また、本体１１８は光学ベース１２５の所定位置に一時固定するためのホルダ固定ネジ１２７、１３３がはめ込まれる孔部１１８ｂ、１１８ｃを備えた。この孔部１１８ｃはホルダ固定ネジ１３３の外径に比較し大径であるため、ホルダ固定ネジ１３３に対する孔部１１８ｃの位置を調整して、本体１１８の横方向（図４中Ｂ方向）の角度を調整することにより、ミラー１１２の反射光軸を横方向で調整することができる。これによりミラーの反射光軸ｘを２方向（図５中Ａ，図４中Ｂ方向）で良好に調整することができる。
なお、本発明のミラーホルダとしては前記各構成に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内で種々の変形が可能である。
【００３２】
たとえば、前記各構成ではホルダ固定ネジ１２７は光学系１２５にはめ込まれる部分にネジ山１２７ａが設けられているが、孔部１１８ｂと接する部分１２７ｂは、孔部１１８ｂに挿入されたホルダ固定ネジ１２７を回転軸として、ホルダ固定ネジ１３３に対する孔部１１８ｃの位置を調整することができるように表面が滑らかに構成されている場合について説明した。
しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、たとえば図７に示す回動軸２３５を用いることができる。なお、前記図５と対応する部分には符号１００を加えて示し説明を省略する。
【００３３】
すなわち、同図において光学ベース２２５には回動軸穴２２５ａが設けられ、この回動軸穴２２５ａに回動軸２３５が設けられている。また、孔部２１８ｂにも回動軸２３５が設けられている。
これにより回動軸２３５を中心として、ホルダ固定ネジ２３３に対する孔部２１８ｃの位置を調整して本体２１８の横方向（図中Ｂ方向）の角度を調整することができる。
【００３４】
また、前記各構成では孔部１１８ｃはほぼ真円状のものを用いた場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、本体１１８の横方向（たとえば図４中Ｂ方向）の角度を調整することができるものであれば任意の形状のもの、たとえば図８に示すほぼ楕円状の孔部３１８ｃを用いることもできる。なお、前記図４と対応する部分には符号２００を加えて示し説明を省略する。
【００３５】
同図において孔部３１８ｃは、ホルダ固定ネジとほぼ同一径で設けられているが、ホルダ固定ネジに対する略楕円状の孔部３１８ｃの位置を調整して、本体３１８の横方向（図中Ｂ方向）の角度を調整することができるように構成されている。
【００３６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明にかかるミラーホルダによれば、ミラー保持部を含むあおり可動体を本体と別体化して、回動軸と直交する方向のみ回動が可能とした。また、一時固定手段により本体に対し歪みを与えることなくあおり可動体を一時固定可能としたので、下記に示す種々の効果を奏することができる。
すなわち、あおり可動体の回動方向を回動軸により回動軸と直交する方向のみに規制することができるので、ミラーの反射光軸の調整も回動軸と直交する方向のみに限定することができる。これにより反射光軸の調整を容易に行うことができる。
また、一時固定手段により、本体に対し歪みを与えることなくあおり可動体を一時固定することができるので、調整後の状態を良好に持続することができる。
なお、前記ミラーホルダにおいて、前記あおり可動体の回動方向側の面に調整ピン差込穴を設けた。この調整ピン差込穴に調整ピンをはめ込み、あおり可動体のあおり角を調節することにより、あおり可動体のあおり角を微妙に調整することができる。これによりミラーの反射光軸を微妙に調整することができる。
また、本体は光学ベースの所定位置に一時固定するためのホルダ固定ピンがはめ込まれる孔部を備えた。この孔部はホルダ固定ピンの外径に比較し大径であるため、ホルダ固定ピンに対する孔部の位置を調整して本体のほぼ回動軸方向の角度を調整することにより、ミラーの反射光軸をほぼ回動軸方向で調整することができる。これによりミラーの反射光軸を、ほぼ回動軸方向とその回動軸と直交する方向の２方向で良好に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のミラーホルダの光軸調整機構の説明図である。
【図２】本発明の第１実施形態にかかるミラーホルダの正面図（一部断面図）である。
【図３】図２に示すミラーホルダの側面図（一部断面図）である。
【図４】図２に示すミラーホルダの下方より見た図（一部断面図）である。
【図５】図２に示すミラーホルダの光軸調整機構の説明図である。
【図６】図２に示すミラーホルダの光軸調整手順を示すフローチャートである。
【図７】本発明の第２実施形態にかかるミラーホルダの側面図（一部断面図）である。
【図８】本発明の第３実施形態にかかるミラーホルダの下方より見た図（一部断面図）である。
【符号の説明】
１１０  ミラーホルダ
１１８  本体
１１２  レーザミラー（ミラー）
１２０  あおり可動体
１２０ａ  ミラー保持部
１２０ｃ  調整棒差込穴（調整ピン差込穴）
１２２  あおり固定ネジ（一時固定手段）
１２４  スリーブ（回動軸）
１２５  光学ベース
１２６  調整棒（調整ピン）
１２７、１３３  ホルダ固定ネジ（ホルダ固定ピン）
【図１】
0004030152.tif 000002
【図２】
0004030152.tif 000003
【図３】
0004030152.tif 000004
【図４】
0004030152.tif 000005
【図５】
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【図６】
0004030152.tif 000007
【図７】
0004030152.tif 000008
【図８】
0004030152.tif 000009