(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスクドライブ懸架装置ロードビームにして、
当該ロードビームの基部側端部での据付領域、当該ロードビームの遠位側端部に隣接するリジッド領域、並びに前記据付領域とリジッド領域の間のスプリング領域、を備え、
上記据付領域が、第１外側固定部分と第２外側固定部分とこれら第１及び第２外側固定部分の間の開放領域とを含む固定区域を有し、
上記スプリング領域が、前記第１及び第２外側固定部分の間の開放領域に位置した内側移動部分を含む移動区域を有し、
上記据付領域に対してロードビームのリジッド領域とスプリング領域をトラッキング軸回りに移動可能とするように、前記移動区域を前記固定区域に連結する複数の弾性部材を含むリンク機構と、
読み／書きヘッドを収容するための、上記ロードビームの遠位側端部での湾曲体と、
を更に備え、
上記リンク機構が第１弾性部材と第２弾性部材と第３弾性部材を有し、上記移動区域を固定区域に連結する、
ロードビーム。
【請求項２】
上記第１弾性部材が上記第１外側固定部分と上記移動部分の間に延在し、上記第２弾性部材が上記第２外側固定部分と上記移動部分の間に延在し、上記第３弾性部材が第１弾性部材と第２弾性部材の間で上記移動部分と上記固定区域の間に延在する、請求項１に記載のロードビーム。
【請求項３】
第１弾性部材と第２弾性部材とが、上記移動部分の相対する側で、互いに間隔をおき且つロードビーム縦軸に対し横向きである、請求項２に記載のロードビーム。
【請求項４】
第３弾性部材が第１弾性部材と第２弾性部材の間で、ロードビームの基部側端部で縦方向に位置する、請求項２又は３に記載のロードビーム。
【請求項５】
トラッキングコントロール信号に応じて、据付領域と固定区域に対してロードビームの遠位側端部と移動区域をトラッキング軸回りに移動するために、ロードビームに据え付けられたマイクロアクチュエータを更に備える、請求項１〜４のいずれか一項に記載のロードビーム。
【請求項６】
マイクロアクチュエータが圧電性マイクロアクチュエータを含む、請求項５に記載のロードビーム。
【請求項７】
据付領域、スプリング領域、固定区域、移動区域、リジッド区域及びリンク機構がすべて、シングルシート材料から形成されている、請求項１〜６のいずれか一項に記載のロードビーム。
【請求項８】
読み／書きヘッドを収容するために、ロードビームの遠位側端部に湾曲体（フレクシャ）を更に有する、請求項１〜７のいずれか一項に記載のロードビーム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は一般的に、記録媒体上に読み／書きヘッドを支持するための懸架装置（サスペンジョン）に関するものである。特に本発明は、ベースプレートに装着されたマイクロアクチュエータを有するヘッド懸架装置組立体（組立品）である。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
ディスクドライブは、回転ディスクの情報トラック上に読み／書きヘッドを支持するためのディスクドライブ懸架装置を備えて構成されている。良く知られ広く用いられるワトロウスタイプ(Watrous-type)の懸架装置は、基部側端部に据付領域、遠位側端部に湾曲体、当該湾曲体に隣接する比較的リジッドな領域、及び据付領域とリジッド領域の間のスプリング領域を有するロードビームを備えて構成されている。読み／書きヘッドを含むエアベアリングスライダが上記湾曲体に取り付けられている。据付領域は典型的にはロードビームをアクチュエータアームに据え付けるためにベースプレートに付設されている。サーボコントロールシステムによって制御されるモータはアクチュエータアームを回転して、ディスクでの所望情報トラック上に読み／書きヘッドを正しく置く。このタイプの懸架装置は磁気乃至非磁気ディスクのいずれとも使用される。
【０００３】
ディスクドライブ製作者は、より小さいがより高い格納能力のドライブを開発し続けている。格納能力の増加は一部分、ディスクでの情報トラックの密度を増加することによって（言い換えれば、より狭く及び／又はより接近した間隔のトラックを用いることによって）達成される。しかしながら、トラック密度が増加すると、モータやサーボコントロールシステムが素早く且つ正確に読み／書きヘッドを所望のトラック上に正しく置くことがますます難しくなる。
【０００４】
マイクロアクチュエータ又はファイントラッキングモータを有するヘッド懸架装置の使用が、これら問題を克服するために提案された。そのような懸架装置の一つが、本願の承継人であるところの Hutchinson Technology Incorporated 社に譲渡されたトラッキングマイクロアクチュエータを備えたヘッド懸架装置なる名称の Jurgenson 等による１９９５年６月６日出願の米国特許出願シリアルナンバー０８／４５７４３２に開示されている。
【０００５】
しかしながら、マイクロアクチュエータを有するヘッド懸架装置の改良の継続的要求がある。特にヘッド懸架装置／マイクロアクチュエータの組み合わせは素早く且つ正確に読み／書きヘッドを正しく置くことができなければならない。ヘッド懸架装置／マイクロアクチュエータはまた、懸架装置の共鳴特性に関して有害な影響を最小限化するために軽量であるべきで、接近したディスク間の間隔を可能とすべく比較的薄くあるべきである。ヘッド懸架装置／マイクロアクチュエータを購入可能とすることはまた、有効に製作することが確実で可能でなければならない。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、軽量で低い輪郭で製作効率の良いマイクロアクチュエータを備えたヘッド懸架装置である。更にヘッド懸架装置／マイクロアクチュエータの組み合わせは読み／書きヘッドを素早く且つ正確に位置決めすることができる。本発明の１つの実施形態は、基部側端部でのベース、基部側端部に近接するリジッド領域及び上記ベースとリジッド領域の間のスプリング領域を備えた単一の（シングル）シート材料から形成されたロードビームを有するディスクドライブ懸架装置を含む。ロードビームはまた、移動区域と固定区域を有する。読み／書きヘッドを収容し支持するための湾曲体がロードビームの末端側端部に位置する。リンク機構乃至連動装置が上記移動区域を固定区域に連結し、上記湾曲体とロードビームの基部側端部との間に位置し横向きに延在する少なくとも２つの弾性部材を含む。読み／書きヘッドを支持するための湾曲体が湾曲体据付領域に取り付けられる。マイクロアクチュエータはまたロードビームに据え付けられる。トラッキングコントロール信号に応じて、マイクロアクチュエータは、ロードビームの固定区域に対してトラッキング軸に沿って湾曲体を含む上記移動区域を移動する。
【０００７】
別の実施形態において、ロードビームの移動区域を固定区域に連結するリンク機構は少なくとも３つの弾性部材を含む。同様に、マイクロアクチュエータはロードビームの据付領域上に位置する。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明に係りマイクロアクチュエータを収容するのに適したヘッド懸架装置８が一般的に図１ａに示される。図示のように、懸架装置８は基部側端部で延ばされたベース乃至据付領域１４と、遠位側端部で湾曲体（フレクシャ）１６と、当該湾曲体に隣接する比較的リジッドな領域１７と、上記据付領域１４とリジッド領域１７の間の半径乃至スプリング領域１８とを有するロードビーム１２を備えて構成される。当該ロードビーム１２は通常のようにステンレススチールシート又は他の弾力のある材料から製作され形成可能である。
【０００９】
ヘッドスライダ（図示せず）とロードビーム１２の遠位側端部の間で、ヘッドスライダをピッチ及びロール方向に動かしてスライダが「飛行する（フライする）」スピニングディスク表面の揺らぎを補正することができるようにする湾曲体１６によってスプリング連結がなされる。ジンバルとしても知られた湾曲体の多くの異なるタイプが、ヘッドスライダのピッチ及びロール動作を可能とするスプリング連結をもたらすべく公知であり、本発明で使用可能である。
【００１０】
ヘッド懸架装置８は固定区域（セクション）１５と移動区域（セクション）１９を有する。図１ａの実施形態において、移動区域１９は湾曲体１６、リジッド領域１７、スプリング領域１８及び据付領域１４の移動部分４２を含む。固定区域１５は据付領域１４の固定部分４０を含む。当該固定部分４０は、アクチュエータアーム（図示せず）への据付領域１４の取り付けを容易にするため、円開口４４を有する。固定部分４０はまた、第１縦延在アーム４６と第２縦延在アーム４８とを有する。据付領域１４の移動部分４２は、横軸６にほぼ平行な方向において横向きに延びる部材４２ａと、縦軸７にほぼ平行な方向において縦向きに且つ部材４２ａに対し垂直に延びる部材４２ｂとを有して、概してＴ形状をしている。部材４２ａはスプリング区域１８に隣接する。移動部分４２はアーム４６，４８の間で支持ビーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃによって懸架されている（吊られている）。概してＵ形状をしたギャップ５２が固定部分４０と移動部分４２の間に延在する。
【００１１】
支持ビーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃは弾力のある部材として機能し、また移動部分４２と固定部分４０の間の連動機構として機能する。支持ビーム５０ａは細長く、横軸６にほぼ平行な方向においてギャップ５２を横切って且つアーム４６と移動部分４２の部材４２ａの間に延在する。支持ビーム５０ｃは細長く、横軸６にほぼ平行な方向においてギャップ５２を横切って且つアーム４８と移動部分４２の部材４２ａの間に延在する。支持ビーム５０ｂは細長く、縦軸７にほぼ平行な方向においてギャップ５２を横切って且つ固定部分４０と移動部分４２の間に延在する。それとして、支持ビーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃはスプリング領域１８とロードビーム１２の基部側端部との間に位置し、支持ビーム５０ｂは支持ビーム５０ａ，５０ｃとロードビーム１２の基部側端部の間にある。
【００１２】
弾力のある支持ビーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、移動部分４２が当該移動部分４２上の地点回りに固定部分４０に関してトラッキング方向において側方に移動するか回転することを可能とする。上記したように、スプリング領域１８、リジッド領域１７、ロードビーム１２の遠位側端部及び湾曲体１６は据付領域１４の移動区域４２に取り付けられる。したがって、支持ビーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、湾曲体１６を含むロードビーム１２の遠位側端部が図１ｂにおいて鎖線に示されるように懸架装置８の固定部分４０に関してトラッキング軸９０及び９２周りに回転するか他の状態で移動する。
【００１３】
据付領域１４は、基礎側端部３４と遠位側端部３６を有する、図４に示された、延ばされたベースプレート２０上に据え付けられる。基礎側端部３４は、アクチュエータアーム（図示せず）にベースプレート２０を取り付けるように形作られる。遠位側端部３６は部材３２が周囲に延在する矩形開口３０を含む。部材３２の交差部材３２ｃは、サイドアーム３２ａ，３２ｂの側方剛性乃至スティッフネスを増すようにサイドアーム３２ａ，３２ｂの間で垂直に延在する。ベースプレート２０は好ましくはステンレススチールから製作される。
【００１４】
ロードビーム１２の据付領域１４は溶接又は他の従来技術として知られた手段によってベースプレート２０のトップ表面に据え付けられる。延ばされたベースプレート２０に据え付けられたヘッド懸架装置８の底面である図３に示されたように、サイド部材３２ａは支持アーム４６の真下に延在するサイズに作られ、サイド部材３２ｂは支持アーム４８の真下に延在するサイズに作られる。このようにして、クロス部材３２ｃはアーム４６，４８の側方硬直さ乃至リジッドさを増す。
【００１５】
図５は本発明に関連した実施形態を示す。図１ａに示されたと等しい図５に示された要素には等しい数字が付され、図１ａに示されたと機能的に類似の図５に示された要素には１００を加えた数字が付されている。ベースプレート１２０に据え付けられたヘッド懸架装置８の底面図である図５に示された実施形態において、ベースプレート１２０は図４に示されたベースプレート２０より短く、矩形よりもむしろほぼ正方形の形状をしており、部材３２又は支持アーム３２ａ，３２ｂ，３２ｃを含まない。ヘッド懸架装置８は接着剤、溶接又は他の公知プロセスによってベースプレート１２０に据え付け可能である。
【００１６】
マイクロアクチュエータ１０は図２及び６に関して一層詳細に記載可能である。図２に示された実施形態において、マイクロアクチュエータ１０はロードビーム１２の据付領域１４に位置した電磁装置であり、第１磁界発生コイル６０と第２磁界発生コイル６２とを含む。
【００１７】
第１磁界発生コイル６０は第１縦延在アーム４６上に据付領域１４の固定部分４０に位置する。６-６線に沿った図２に示されたロードビーム１２の断面図である図６に示されるように、第１磁界発生コイル６０は電気的に絶縁性の下層６５ａと電気的に絶縁性の上層６５ｂの間にサンドイッチされた電気的に伝導性のリード乃至導線６１から形成される。図２及び６に示された実施形態において、導線６１はマイクロアクチュエータ１０の外側エッジに５アーム及びマイクロアクチュエータ１０の内側エッジに６アームを有する矩形螺旋に形作られる。導線６１の他の形態もまた本発明の範囲内である。導線６１の一端は電気接触部７２ａに接続し、導線６１の他端は電気接触部７４ａに接続する。両方の接触部７２ａと７４ａはタブ８０ａによって支持され、電気導線６１のサーボコントロールシステム（図示せず）への接続を可能として、当該導線６１がトラッキングコントロール信号を受ける。
【００１８】
第２磁界発生コイル６２は第２縦延在アーム４８上に据付領域１４の固定部分４０に位置する。第２磁界発生コイル６２は電気的に絶縁性の下層６７ａと電気的に絶縁性の上層６７ｂの間にサンドイッチされた電気的に伝導性のリード乃至導線６３から形成される。図２に示された実施形態において、導線６３はマイクロアクチュエータ１０の外側エッジに５アーム及びマイクロアクチュエータ１０の内側エッジに６アームを有する矩形螺旋に形作られる。導線６３の他の形態もまた本発明の範囲内である。
【００１９】
導線６３の一端は電気接触部７２ｂに接続し、導線６３の他端は電気接触部７４ｂに接続する。両方の接触部７２ｂと７４ｂはタブ８０ｂによって支持され、電気導線６３のサーボコントロールシステム（図示せず）への接続を可能として、当該導線６３がトラッキングコントロール信号を受ける。
【００２０】
導線６１，６３及び接触部７２ａ，７２ｂ，７４ａ，７４ｂは好ましくはＣｕから形成されるが、これらはまた他の電気的に伝導性の材料からも形成可能である。絶縁性の層６５ａ，６５ｂ，６７ａ，６７ｂは好ましくはポリイミドから形成されるが、これらはまた他の電気的に絶縁性の材料からも形成可能である。
【００２１】
マイクロアクチュエータ１０はまた、第１固定ポール６４と第２固定ポール６６を含む。第１固定ポール６４は第１下ポール部材６４ａと第１上ポール部材６４ｂを含む。第１下ポール部材６４ａは一般にタブ８０ａを形成する小さめの矩形隆起部を備えた矩形である。第１下ポール部材６４ａは第１縦延在アーム４６によって支持される。第１上ポール部材６４ｂは第１磁界発生コイル６０の中央領域において細片８１に沿って接着剤又は他の公知手段によって第１下ポール部材６４ａに据え付けられる。第１上ポール部材６４ｂの残りの部分は第１磁界発生コイル６０の一部の上に当該コイル６０と接触せずに延在すべく細片８１から片持ちされる。第１上ポール部材６４ｂのエッジ６９ｂと第１下ポール部材６４ａのエッジ６９ａとは、ベースの表面に対して垂直に且つ据付領域１４の移動区域４２に隣接して延在する平面において互いに整列される。
【００２２】
第２固定ポール６６は第２下ポール部材６６ａと第２上ポール部材６６ｂを含む。第２下ポール部材６６ａはタブ８０ｂを形成する小さめの矩形隆起部を備えた矩形である。第２下ポール部材６６ａは第２縦延在アーム４８によって支持される。第２上ポール部材６４ｂは第２磁界発生コイル６２の中央領域において細片８３に沿って接着剤又は他の公知手段によって第２下ポール部材６６ａに据え付けられる。第２上ポール部材６６ｂの残りの部分は第２磁界発生コイル６２の一部の上に当該コイル６２と接触せずに延在すべく細片８３から片持ちされる。第２上ポール部材のエッジ７１ｂと第１下ポール部材のエッジ７１ａとは、据付領域１４の移動区域４２に隣接して延在する同じ垂直平面において互いに整列される。
【００２３】
第１固定ポール６４と第２固定ポール６６とは比較的高い透磁性を有する材料で形成可能である。図２及び６に示された実施形態において、固定ポール６４，６６はＮｉＦｅで形成される。
【００２４】
マイクロアクチュエータ１０はまた移動ポール７０を含む。移動ポール７０は一般に矩形形状であり、固定ポール６４，６６の間で据付領域１４の移動区域４２の部材４２ｂのトップに据え付けられる。移動ポール７０のエッジ７３ａは、移動ポール部材７０と第１固定ポール６４の間でギャップ７５ａを形成するように、第１固定ポール６４のエッジ６９ａ，６９ｂに隣接する。エッジ７３ｂは側方で上記エッジ７３ａに対向し、移動ポール部材７０と第２固定ポール６６の間でギャップ７５ｂを形成するように、第２固定ポール６６のエッジ７１ａ，７１ｂに隣接する。
【００２５】
上記したように、懸架装置８は、ヘッド懸架装置組立品を形成すべく湾曲体１６に粘着的に結合されるか別の方法で据え付けられた読み／書きヘッド（図示せず）を備えたスライダを有するように形作られる。ヘッド懸架装置組立品は磁気ディスクの表面上にスライダを支持すべく磁気ディスクドライブ（図示せず）のアクチュエータアームに据え付けられるように形作られる。導線６１へトラッキングコントロール信号をもたらすと、図６において鎖線で概略的に示されるように、固定ポール６４と移動ポール７０に磁界８５を引き起こす第１磁界発生コイル６０にエネルギーを与える。磁界８５は固定ポール６４の方に移動ポール７０を動かすような力を生じる。移動ポール７０が据付領域１４の移動区域４２に据え付けられているので、磁界８５は移動区域４２をして回転するようにシフト乃至移動させ、図１ｂに示されるように、弾力的な支持ビーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃを弾性的に変形して、湾曲体１６を含むロードビーム１２の遠位側端部をそのニュートラル位置から横トラッキング軸９０に沿って動かす。トラッキング軸９０に沿った湾曲体１６の動きは一般的に磁気ディスク（図示せず）での情報トラックに対して垂直である。同様に、固定ポール６６の方へ移動ポール７０を引き寄せトラッキング軸９２に沿って湾曲体１６を動かすように磁界発生コイル６２にエネルギーを与えるべくトラッキングコントロール信号は導線６３にもたらされうる。支持ビーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃの弾力特性は、磁界発生コイル６４，６６がエネルギーを与えられていない場合に、湾曲体１６をそのニュートラル位置に押し戻す。
【００２６】
したがってマイクロアクチュエータ１０はファイントラッキングアクチュエータとして機能する。トラッキングコントロール信号に応じて、マイクロアクチュエータ１０は湾曲体１６を、したがってスライダとこれに据え付けられた読み／書きヘッドとをディスク上の個々の情報トラックに対して駆動し適切な位置におく。トラッキングコントロール信号の大きさは、湾曲体１６のそのニュートラル位置からの動きの程度をコントロールすべく、サーボシステムによって制御される。
【００２７】
弾力のある部材５０ａ，５０ｂ，５０ｃによって、ロードビーム１２が当該ロードビームの平面に対して垂直な方向で比較的にリジッドなままでありながら、ロードビーム１２の移動区域の側方の動きをなお可能とする。ロードビームに対して垂直な方向での硬直さ乃至リジッドさは、スピニング磁気ディスク上で適切なスライダのフライ高さを維持するのに重要である。更に移動区域１９は、当該移動区域１９が部材５０ａ，５０ｂ，５０ｃによって支持され延ばされたベースプレート２０の上方に「浮かび」、移動区域１９と固定区域１５の間の摩擦が減少するので、比較的素早くトラッキングコントロール信号に応答する。素早い応答時間は、磁気ディスクからの素早いデータ検索及び当該ディスクへの保管にとって重要である。同様に、マイクロアクチュエータ１０は読み／書きヘッドにより近くよりもスプリング領域１８とロードビーム１２の基部側端部の間に位置するので、マイクロアクチュエータトラッキング信号が読み／書きプロセスを妨げることとなる可能性は減る。
【００２８】
マイクロアクチュエータ１０を含むヘッド懸架装置８を製作するための方法を、図６及び７を参照にして記載することが可能である。据付領域１４、スプリング領域１８及びリジッド領域１７を含むロードビーム１２は、ステンレススチール又は他の弾力のある材料の単一シートから製作される。当該シートはロードビーム１２の寸法を有するように化学的にエッチングされ、あるいは別の方法で切断される。ギャップ５２は弾力のあるアーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃ及び据付領域１４の移動部分４２を形成するように化学的にエッチングされ、あるいは別の方法で切断される。
【００２９】
二者択一的に、図２０に示されるように、ロードビーム１２は遠位側区域３と基部側区域４から形成されることが可能である。遠位側区域３はスプリング領域１８、リジッド領域１７及び据付部分１１を有する。基部側区域４は移動部分４２と固定部分４０を備える据付領域１４を有する。遠位側区域３と基部側区域４は１枚のステンレススチールシート（図示せず）か２枚の別々のステンレススチールシールから別々に形成されることが可能である。別のタイプの弾力のある材料もまた使用可能である。ステンレススチールはそれぞれ遠位側区域３と基部側区域４の寸法を有するように化学的にエッチングされるか、あるいは他の方法で切断される。ギャップ５２は基部側区域４において化学的にエッチングされ、あるいは他の方法で切断されて、弾力のあるアーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃ及び移動部分４２を形成する。そして遠位側区域３と基部側区域は接着剤、溶接又は他の公知のプロセスによって取り付けられる。
【００３０】
マイクロアクチュエータ１０は、図７に示されるように３層を有するラミネート状シート８４から部分的に形成される。３層のうち、第１層８６はＮｉＦｅか他の比較的高い透磁性を有する材料からなり、第２層８７はポリイミドか他の電気的に絶縁性の材料からなり、第３層８８はＣｕ又は他の電気的に伝導性の材料からなる。ラミネート状シート８４は、下固定ポール部材６４ａ，６６ａ、下移動ポール部分７０ａ及びタブ８０ａ，８０ｂを有するマイクロアクチュエータ１０の寸法を有するシートに化学的にエッチングされ、あるいは他の方法で切断される。そしてラミネート状シート８４は化学的にエッチングされて、下絶縁層６５ａ，６７ａ、導線６１，６３及び接触部７２ａ，７２ｂ，７４ａ，７４ｂを形成する。そして導線６１，６３と接触部７２ａ，７２ｂ，７４ａ，７４ｂは劣化を防ぐために金（ゴールド）で被覆可能である。コイル６０，６２の絶縁層６５ｂ，６７ｂは、コイル６０，６２をカバーするのに適切な寸法に化学的にエッチングされ、あるいは他の方法で切断された１枚のポリイミドシート（図示せず）から形成され、接着剤又は他の公知の手段によって導線６１，６３のトップ部に据え付けられる。
【００３１】
下固定ポール部材６４ａ，６６ａ、磁界発生コイル６０，６２、下移動ポール部分７０ａ及びタブ８０ａ，８０ｂを有するシートが、接着剤や他の公知の手段によって、ロードビーム１２の据付領域１４の上面に据え付けられる。下固定ポール部材６４ａがアーム４６に取り付けられ、下固定ポール部材６６ａがアーム４８に取り付けられ、下移動ポール部分７０ａが移動部分４２に据え付けられる。
【００３２】
ＮｉＦｅ又は他の透磁性のシート材料（図示せず）は化学的にエッチングされ、あるいは他の方法で切断され、上固定ポール部材６４ｂ，６６ｂと上移動ポール部材７０ｂの寸法を有するシートを形成する。その後にこのシートは化学的にエッチングされて細片８１，８３と上移動ポール部材７０ｂを形成する。そしてこのシートは細片８１，８３と上移動ポール区域７０ｂで、下固定ポール部材６４ａ，６６ａと下移動ポール区域７０ａの寸法を有するシートに据え付けられる。上記細片は接着剤又は他の公知の手段によって据え付けられる。
【００３３】
延ばされたベースプレート２０は据付領域１４の底面に接着剤、溶接又はその他の公知のアプローチ法によって据え付けられる。レーザや他の公知のプロセスを用いて、ギャップ７５ａ，７５ｂがマイクロアクチュエータ１０に切断され、移動ポール７０と固定ポール６４，６６を形成する。湾曲体１６は接着剤、溶接又はその他の公知手段によってロードビーム１２の遠位側端部に取り付けられうる。湾曲体１６はまた予めロードビーム１２と一元的に形成されることもできる。
【００３４】
本発明に関連した他の実施形態が図８，９に示される。図１ａ，２，４，６に示されたと等しい図８，９での要素には同じ数字が付され、図１ａ，２，４，６に示されたと機能的に同様の図８，９での要素には２００を加えた数字が付される。図８，９の実施形態では、マイクロアクチュエータ２１０は、図１ａに示されたロードビーム１２と類似のロードビーム２１２に据え付けられる。ヘッド懸架装置２０８はロードビーム２１２とその遠位側端部に据え付けられた湾曲体１６を含む。ロードビーム２１２は固定区域２１５と移動区域２１９を有する。移動区域２１９は湾曲体１６、リジッド領域２１７、スプリング領域２１８及び据付領域２１４の移動部分２４２を含む。固定区域２１５は据付領域２１４の固定部分２４０を含む。据付領域２１４の移動部分２４２は支持ビーム２５０ａ，２５０ｂ，２５０ｃによって固定部分２４０から懸架され（吊るされ）、移動部分２４２が固定部分２４０に対して旋回可能となる。図８，９に示された実施形態において、ロードビーム２１２は延ばされたベースプレート２０に据え付けられる。ロードビーム２１２はまた図５に示された延ばされていないベースプレート１２０に据え付けられることも可能である。
【００３５】
マイクロアクチュエータ２１０は第１磁界発生コイル２６０、第２磁界発生コイル２６２、第１固定ポール２６４、第２固定ポール２６６、移動ポール２７０及び移動磁界発生コイル２９４を有する。
【００３６】
据え付けられたマイクロアクチュエータ２１０を備えたロードビーム２１２の図８の９-９線に沿った断面図である図９で認められるように、第１磁界発生コイル２６０はマイクロアクチュエータ１０の第１磁界発生コイル６０に類似で、第２磁界発生コイル２６２はマイクロアクチュエータ１０の第２磁界発生コイル６２に類似する。コイル２６０は、電気的に絶縁性の下層２６５ａと電気的に絶縁性の上層２６５ｂの間にサンドイッチされた電気的に伝導性の導線２６１から形成される。コイル２６２は、電気的に絶縁性の下層２６７ａと電気的に絶縁性の上層２６７ｂの間にサンドイッチされた電気的に伝導性の導線２６３から形成される。導線２６１，２６３のサーボコントロールへの接続のために、導線２６１は接触部２７２ａ，２７４ａに接続し、導線２６３は接触部２７２ｂ，２７４ｂと接続している。
【００３７】
マイクロアクチュエータ２１０とマイクロアクチュエータ１０の間の重要な構造上の相違は、マイクロアクチュエータ２１０が移動ポール２７０上に移動磁界発生コイル２９４を含むことである。当該コイル２９４は、電気的に絶縁性の下層２９６ａと電気的に絶縁性の上層２９６ｂの間にサンドイッチされた電気的に伝導性の導線２９５から形成される。図８に示された実施形態において、導線２９５は矩形螺旋に形作られる。導線２９５の他の形態もまた本発明の範囲内である。導線２９５の一端は電気的接触部２９７ａに連結し、導線２９５の他端は電気接触部２９７ｂに接続する。接触部２９７ａはタブ２８０ｂによって支持され、中間接触部２９７ｃと導線２９７ｄを介した電気導線２９５のサーボコントロールシステム（図示せず）への接続を可能として、当該導線２９５がトラッキングコントロール信号を受ける。窪み２７３が下移動ポール区域２７０ａと上移動ポール区域２７０ｂの間で形成され、移動コイル２９４を収容する。
【００３８】
移動ポール２７０が据付領域１４の移動部分４２に据え付けられる。第１固定ポール２６４が縦延在アーム２４６に据え付けられ、第２固定ポール２６６が縦延在アーム２４８に据え付けられる。ギャップ２７５ａが第１固定ポール２６４と移動ポール２７０の間に形成され、ギャップ２７５ｂが第２固定ポール２６６と移動ポール２７０の間に形成される。
【００３９】
コイル２６０，２６２，２９４にエネルギー付与すべくサーボコントローラによって生じたトラッキングコントロール信号に応じて、マイクロアクチュエータ２１０は湾曲体１６を第１トラッキング軸２９０か第２トラッキング軸２９２のいずれかに沿って移動する。第１固定コイル２６０と移動コイル２９４は同時にエネルギー付与され、極性を与えられた磁界交差ギャップ２７５ａを発生し、移動ポール２７０と第１固定ポール２６４の間に当該ギャップ２７５ａに近づくような引き付け力を生じる。同時に、コイル２６２は第２固定ポール２６６と移動ポール２７０の間でギャップ２７５ｂを横切る斤力を生じるようにエネルギー付与されることが可能である。これら力は据付領域２１４の移動部分２４２をアーム２４６の方へ移し、当該アームもまた湾曲体１６をトラッキング軸２９０に沿って動かす。同様に磁界は固定ポール２６４，２６６と移動ポール２７０に同時に発生可能であり、固定ポール２６６と移動ポール２７０の間でギャップ２７５ｂを横切る引き付け力を生じ、固定ポール２６４と移動ポール２７０の間でギャップ２７５ａを横切る斤力を生じる。これら力は据付領域２１４の移動部分２４２をアーム２４８の方へ移し、当該アームもまた湾曲体１６をトラッキング軸２９２に沿って動かす。移動ポール２７０に移動コイル２９４をおくことによって、より大きな力が移動ポール２７０と固定ポール２６４，２６６の間に発生する。このようにして、弾力のある部材２５０ａ，２５０ｂ，２５０ｃは硬くなり、ロードビーム２１２がより大きな硬直さを備えうる。
【００４０】
マイクロアクチュエータ２１０は、上記マイクロアクチュエータ１０と実質上同じようにして製作可能である。しかしながら、マイクロアクチュエータ２１０を製作する場合、図７に示されたラミネート状シート材料８４はエッチングされ、下ポール部材２６４ａ，２６６ａ，２７０ａ、絶縁下層２６５ａ，２６７ａ、導線２６１，２６３及びタブ２８０ａ，２８０ｂだけでなく、絶縁下層２９６ａ及び移動コイル２９４の導線２９５も形成する。追加的に絶縁上層２９６ｂが導線２９５の上部に形成され、上絶縁シートが、移動コイル２９４を収容すべく窪み２７３を含むようにエッチングされる。マイクロアクチュエータ２１０は、ロードビーム１２へマイクロアクチュエータ１０を据え付けることに関して上記されたように、ロードビーム２１２に据え付けることが可能である。
【００４１】
本発明に関連した他の実施形態が図１０，１１，１２に示される。図１ａ，２，４，６に示されたと等しい図１０，１１，１２での要素には同じ数字が付され、図１ａ，２，４，６に示されたと機能的に同様の図１０，１１，１２での要素には３００を加えた数字が付される。図１０の実施形態では、マイクロアクチュエータ３１０は、図１ａに示されたロードビーム１２と類似のロードビーム３１２に据え付けられる。ヘッド懸架装置３０８はロードビーム３１２とその遠位側端部に据え付けられた湾曲体３１６を含む。ヘッド懸架装置３０８は固定区域３１５と移動区域３１９を有する。移動区域３１９は湾曲体３１６、リジッド領域３１７、スプリング領域３１８及び据付領域３１４の移動部分３４２を含む。固定区域３１５は据付領域３１４の固定部分３４０を含む。据付領域３１４の移動部分３４２はリンク部材と弾力のある支持ビーム３５０ａ，３５０ｂ，３５０ｃによって固定部分３４０から懸架され（吊るされ）、移動部分３４２が固定部分３４０に対して旋回可能となる。図１０に示された実施形態において、ロードビーム３１２は延ばされたベースプレート２０に据え付けられる。ロードビーム３１２はまた図５に示された延ばされていないベースプレート１２０に据え付けられることも可能である。
【００４２】
図１０に示された実施形態において、マイクロアクチュエータ３１０は、ロードビーム３１２に据え付けられる。マイクロアクチュエータ３１０は第１磁界発生コイル３６０、第２磁界発生コイル３６２、第１固定ポール３６４、第２固定ポール３６６及び移動ポール３７０を有する。
【００４３】
マイクロアクチュエータ３１０は、ロードビーム１２に据え付けられたマイクロアクチュエータ１０のように、ロードビーム３１２での同じ位置におかれ、同じように操作される。第１磁界発生コイル３６０は据付領域３１４のアーム３４６に据え付けられ、第２磁界発生コイル３６２は据付領域３１４のアーム３４８に据え付けられ、そして移動ポール３７０は据付領域３１４の移動部分３１４に据え付けられる。第１磁界発生コイル３６０は、トラッキング軸３９０に沿って読み書きヘッド（図示せず）を含む湾曲体１６を動かすトラッキングコントロール信号に応じてエネルギー付与され、第２磁界発生コイル３６２は、トラッキング軸３９２に沿って湾曲体３１６を動かすトラッキングコントロール信号に応じてエネルギー付与される。
【００４４】
しかしながら、マイクロアクチュエータ３１０のコイル３６０，３６２及びポール３６４，３６６，３７０の構造及び製作は、マイクロアクチュエータ３１０のコイル６０，６２及びポール６４，６３，７０と同じではない。図１１に示されるように、コイル３６０はほぼＣ形状の第１固定ポール３６４の中央部分周りに螺旋に形成された電気的に伝導性の導線３６１から形成される。図１１に示された１２-１２線に沿ったマイクロアクチュエータ３１０の断面図である図１２に示されるように、電気的に絶縁性の第１下層３６５ａと電気的に絶縁性の第１上層３６５ｂとは、ポール３６４のそれぞれ上面と下面と導線３６１の間に位置して、ポール３６４から導線３６１を物理的に且つ電気的に絶縁する。再び図１１に関して、電気接触部３７２ａ，３７４ａはタブ８０ａによって支持され、サーボコントロール（図示せず）へのコイル３６０の連結を可能とする。同様に、コイル３６２はほぼＣ形状の第２固定ポール３６６の中央部分周りに螺旋に形成された電気的に伝導性の導線３６３から形成される。電気的に絶縁性の第２下層３６７ａと電気的に絶縁性の第２上層３６７ｂとは、ポール３６６のそれぞれ上面と下面と導線３６３の間に位置する。電気接触部３７２ｂ，３７４ｂはタブ８０ｂによって支持される。ポール３６４，３６６は好ましくはＮｉＦｅで形成されるが、比較的高い透磁性を有する他の材料からも形成可能である。電気的に絶縁性の層３６５ａ，３６５ｂ，３６７ａ，３６７ｂは好ましくはポリイミドから形成されるが、他の電気的に絶縁性の材料からも形成可能である。
【００４５】
ほぼＣ形状のポール３６４，３６６は互いに向かって開口し、それらの間でほぼ矩形の移動ポール３７０が存在する。ギャップ３７５ａが第１磁気ポール３６４と移動ポール３７０の間に形成され、ギャップ３７５ｂが第２磁気ポール３６６と移動ポール３７０の間に形成されて、移動ポール３７０が第１固定ポール３６４と第２固定ポール３６６の間で側方にシフトすることが可能となる。移動ポール３７０は好ましくはＮｉＦｅから形成されるが、比較的高い透磁性を有する他の材料でも形成可能である。
【００４６】
マイクロアクチュエータ３１０の製作の方法が図１２，１３，１４，１５に関して記載可能である。マイクロアクチュエータ３１０は、５層を有するラミネート状シート３８４から形成される。５層のうち、第１層３８５はＣｕか他の電気的に伝導性の材料からなり、第２層３８６はポリイミドか他の電気的に絶縁性の材料からなり、第３層３８７はＮｉＦｅ又は他の比較的高い透磁性を有する材料からなり、第４層３８８はポリイミドか他の電気的に絶縁性の材料からなり、第５層３８９はＣｕか他の電気的に伝導性の材料からなる。ラミネート状シート３８４は、マイクロアクチュエータ３１０の寸法を有するシートに化学的にエッチングされ、あるいは他の方法で切断される。そして第１層３８５、第２層３８６、第４層３８８及び第５層３８９は化学的にエッチングされて、第１下導線部分３６１ａ、第１上導線部分３６１ｂ、第２下導線部分３６３ａ、第２上導線部分３６３ｂ、第１下絶縁層３６５ａ，第１上絶縁層３６５ｂ、第２下絶縁層３６７ａ、第２上絶縁層３６７ｂ、タブ８０ａ，８０ｂ及び接触部３７２ａ，３７２ｂ，３７４ａ，３７４ｂを形成する。そして第３相３８７は化学的にエッチングされ、第１固定ポール３６４、第２固定ポール及び移動ポール３７０を形成する。
【００４７】
第１固定ポール３６４と第１磁界発生コイル３６０に形成されたラミネート状シート３８４の断面のみを示す図１４に示されるように、第１固定ポール３６４周りに第１磁界発生コイル３６０を形成する際、第３層３８７は化学的にエッチングされて、第１下導線部分３６１ａ、第１上導線部分３６１ｂ、第１下絶縁層３６５ａ及び第１上絶縁層３６５ｂをアンダーカットし乃至切り込む。このエッチングプロセスの間、コイル３６０は金（ゴールド）で被覆され、ＮｉＦｅエッチング液からコイル３６０をマスクする。同様に第１下絶縁層３６５ａと第１上絶縁層３６５ｂは化学的にエッチングされて、第１下導線部分３６１ａと第１上導線部分３６１ｂをアンダーカットし乃至切り込む。第２固定ポール３６６と第２磁界発生コイル３６２が同じように形成される。
【００４８】
第１固定ポール３６４と第１磁界発生コイル３６０の平面図である図１５に示されるように、第１下導線部分３６１ａの個々の区域がポール３６４をそのエッジ３６４’に垂直に交差するように第１下導線部分３６１ａが形成される。同様に第１上導線部分３６１ｂの個々の区域がポール３６４を第１下導線部分３６１ａの個々の領域に或る角度をなして交差するように上記第１上導線部分が形成される。第１上導線部分３６１ｂの個々の区域の対置する端点は、第１下導線部分３６１ａの近接する個々の区域の対置する端点のすぐ上に位置する。互いにすぐ上にある第１上導線部分３６１ｂと第１下導線部分３６１ａの個々の区域の端点は共に機械的に押圧され、図１２に示された鑞部片３９９と共に端点を鑞付けによって電気的に連結される。第１上導線部分３６１ｂと第１下導線部分３６１ａの個々の区域の端点は同じく共に押圧され、超音波溶接又は他の公知のプロセスによって電気的に連結され、導電性導線３６１を形成する。
【００４９】
第２磁界発生コイル３６２は、第１磁界発生コイル３６０が第１固定ポール３６４周りに形成されると同じように、第２固定ポール３６６周りに形成される。マイクロアクチュエータ３１０はそして上記したようにロードビーム１２に据え付けられ、ギャップ３７５ａ，３７５ｂはレーザ又は他の公知の手段によってマイクロアクチュエータ３１０に切断されうる。
【００５０】
本発明に関連した他の実施形態が図１６に示される。図１ａ，２，４，５に示されたと等しい図１６での要素には同じ数字が付され、図１ａ，２，４，６に示されたと機能的に同様の図１６での要素には４００を加えた数字が付される。図１６の実施形態では、２つの圧電性又は電歪性要素４６０，４６２はロードビーム４１２に据え付けられたマイクロアクチュエータとして供され、湾曲体４１６とこれに据え付けられた読み／書きヘッド（図示せず）をトラッキング軸４９０か４９２のいずれかに沿って動かす。ヘッド懸架装置４０８は図１ａに示されたヘッド懸架装置８に類似する。当該ヘッド懸架装置４０８はロードビーム４１２とその遠位側端部に据え付けられた湾曲体４１６を含む。ヘッド懸架装置４０８は固定区域４１５と移動区域４１９を有する。移動区域４１９は湾曲体４１６、リジッド領域４１７、スプリング領域４１８及び据付領域４１４の移動部分４４２を含む。固定区域４１５は据付領域４１４の固定部分４４０を含む。据付領域４１４の移動部分４４２は支持ビーム４５０ａ，４５０ｂ，４５０ｃによって固定部分４４０から懸架され（吊るされ）、移動部分４４２が固定部分４４０に対して旋回可能となる。図１６に示された実施形態において、ロードビーム４１２は延ばされたベースプレート２０に据え付けられる。ロードビーム４１２はまた図４に示された延ばされたベースプレート２０に又は図５に示された延ばされていないベースプレート１２０に据え付けられることも可能である。
【００５１】
第１要素４６０は第１縦延在アーム４４６と据付領域４１４の移動部分４４２との間でギャップ４５２を横切って延在する。上記要素４６０は接着剤又は他の公知手段によって上記アーム４４６と移動部分４４２に取り付けられている。電気導線４２２ａ，４２２ｂが電気接触部４７２ａ，４７２ｂに取り付けられ、上記要素４６０をサーボコントロールシステム（図示せず）に連結する。第２要素４６２は第２縦延在アーム４４８と据付領域４１４の移動部分４４２との間でギャップ４５２を横切って延在する。上記要素４６２は接着剤又は他の公知手段によって上記アーム４４８と移動部分４４２に取り付けられている。電気導線４２２ｃ，４２２ｄが電気接触部４７２ｃ，４７２ｄにそれぞれ取り付けられ、上記要素４６２をサーボコントロールシステム（図示せず）に連結する。
【００５２】
上記要素４６０，４６２は概して平行四辺形の形状である。要素４６０は短辺４６０ａと長辺４６０ｂを有し、要素４６２は短辺４６２ａと長辺４６２ｂを有する。要素４６０はサーボコントロールシステムからの電圧信号に応じて長辺４６０ｂに沿った方向に延びるように形作られる。要素４６２はサーボコントロールシステムからの電圧信号に応じて長辺４６２ｂに沿った方向に延びるように形作られる。要素４６０，４６２は各々電圧で片寄らされ、その結果、移動部分４１９が偏向していない状態である場合、即ち、湾曲体４１６がトラッキング軸４９０又は４９２に沿って動かない場合、要素４６０，４６２はそれらの完全に延びた状態と完全に引き込んだ状態の間のほぼ半ばの位置にある。トラッキング軸４９０に沿って湾曲体４１６を動かすために、要素４６２での電圧が低下し、当該要素４６２が引き込み、要素４６０での電圧が上昇し、当該要素４６２が延びる。要素４６０が延びるにつれ、据付領域４１４の移動部分４４２がアーム４４６から押しのけられ、要素４６２が引き込むにつれ、移動部分４４２がアーム４４６の方へ引っ張られ、ヘッド懸架装置４０８の移動区域４１９をして移動部分４４２での或る地点回りに回転させる。この動きは湾曲体４１６とこれに据え付けられた読み／書きヘッド（図示せず）とをしてトラッキング軸４９２に沿って動く。同様に、要素４６２でのバイアス電圧の上昇によって、当該要素４６２が延び、要素４６０でのバイアス電圧の低下によって、当該要素４６０が引き込み、トラッキング軸４９０に沿って動くように湾曲体１６と移動部分４１９を動かす。
【００５３】
上に書き留められたように、要素４６０，４６２は圧電性又は電歪性でありうる。圧電要素は鉛・ジルコネート・タイタネート（チタン酸塩）から製作可能で、カルフォルニア州アーヴァインの Newport Corporation から市販されている。電歪要素は鉛・マグネシウム・ナイオベイト（ニオブ酸塩）で製作可能で、同様にカルフォルニア州アーヴァインの Newport Corporation から市販されている。圧電要素又は電歪要素は磁界発生コイルを用いないので、そのような要素の使用はマイクロアクチュエータトラッキング信号と読み／書きプロセスの間の干渉の可能性を減らす。
【００５４】
要素４６０，４６２が圧電性である本発明の実施形態において、アーム４４６上に据え付けられた要素４６０の端部での電圧が移動部分４６２に据え付けられた要素４６０の端部での電圧よりも高い場合に要素４６０が延びるように当該要素４６０はロードビーム４１２上で方向付けされることが可能である。同じく、アーム４４８上に据え付けられた要素４６２の端部での電圧が移動部分４４２に据え付けられた要素４６０の端部での電圧よりも高い場合に要素４６２が引き込むように当該要素４６０は方向付けされることが可能である。このようにして、シングルコントロール電圧はトラッキング軸４９０か４９２のいずれかに沿ってロードビーム４１２をシフトするのに使われうる。この配置構成は要素４６０，４６２をサーボコントロールシステム（図示せず）に連結するのに必要な導線の数を減らす利点を有する。
【００５５】
図１７は本発明に関連した他の実施形態を示す。図１ａに示されたと機能的に同様の図１７での要素は５００を加えた数字で示される。図１７はマイクロアクチュエータを収容するのに適したヘッド懸架装置５０８を示す。当該ヘッド懸架装置５０８は、基部側端部に延びた据付領域乃至ベース５１４、遠位側端部に湾曲体５１６、当該湾曲体に隣接する比較的リジッドな領域５１７及び据付領域５１４とリジッド領域５１７の間の半径乃至スプリング領域５１８を有するロードビーム５１２を含む。ロードビーム５１２はステンレススチールシート又は他の弾力材料から通常のようにして製作可能である。
ヘッド懸架装置５０８は固定区域５１５と移動区域５１９を有する。図１７に示された実施形態において、移動区域５１９は湾曲体５１６、リジッド領域５１７の移動部分５４２を含む。固定区域５１５は据付領域５１４、スプリング領域５１８及びリジッド領域５１７の固定部分５４０を含む。固定部分５４０は第１縦延在アーム５４６と第２縦延在アーム５４８を有する。リジッド領域５１７の移動部分５４２は、湾曲体５１６とスプリング領域５１８の間でロードビーム５１２のリジッド領域に位置した弾性支持ビーム５５０ａ，５５０ｂ，５５０ｃとリンク部材によってアーム５４６，５４８の間で懸架される（吊るされる）。概してＵ形状のギャップ５５２が固定部分５４０と移動部分５４２の間に延在する。
【００５６】
ヘッド懸架装置５０８は固定区域５１５と移動区域５１９を有する。図１７に示された実施形態において、移動区域５１９は湾曲体５１６、リジッド領域５１７の移動部分５４２を含む。固定区域５１５は据付領域５１４、スプリング領域５１８及びリジッド領域５１７の固定部分５４０を含む。固定部分５４０は第１縦延在アーム５４６と第２縦延在アーム５４８を有する。リジッド領域５１７の移動部分５４２は、湾曲体５１６とスプリング領域５１８の間でロードビーム５１２のリジッド領域に位置した弾性支持ビーム５５０ａ，５５０ｂ，５５０ｃとリンク部材によってアーム５４６，５４８の間で懸架される（吊るされる）。概してＵ形状のギャップ５５２が固定部分５４０と移動部分５４２の間に延在する。
【００５７】
弾性支持ビーム５５０ａはアーム５４６と移動部分５４２の間でギャップ５５２を横切って側方に延在し、弾性支持ビーム５５０ｃはアーム５４８と移動部分５４２の間でギャップ５５２を横切って側方に延在し、弾性支持ビーム５５０ｂは固定部分５４０と移動部分５４２の間でギャップ５５２を横切って長手方向に延在する。弾性支持アーム５５０ａ，５５０ｂ，５５０ｃは、移動部分５４２をして移動部分５４２での或る地点回りに固定部分５４０に対して旋回可能にさせる。上に書き留められたように、湾曲体５１６はリジッド領域５１７の移動区域５４２に取り付けられている。したがって、支持ビーム５５０ａ，５５０ｂ，５５０ｃは、読み／書きヘッド（図示せず）が据え付けられた湾曲体５１６をしてトラッキング軸５９０か５９２の方向にてベースの固定区域に対して旋回可能にさせる。とりわけ、アーム５４６の方へ移動部分５４２をシフトすることで、湾曲体５１６がトラッキング軸５９０の方向に移動し、アーム５４８の方へ移動部分５４２をシフトすることで、湾曲体５１６がトラッキング軸５９２の方向に移動する。ロードビーム５１２の遠位側端部に接近して弾性部材をおくことで、移動区域５１９の質量を減少する。質量減少で、移動区域５１９をしてトラッキング軸５９０か５９２に沿ってより素早く動かすことを可能とする。これは読み／書きプロセスと連関した時間量を減少することができる。
【００５８】
図２に示されたマイクロアクチュエータ１０、図８に示されたマイクロアクチュエータ２１０、図１０に示されたマイクロアクチュエータ３１０及び図１６に示された圧電乃至電歪要素４６０，４６２を含めて本発明に関し上に論じた微小作動装置乃至マイクロアクチュエータ装置は、それぞれトラッキング軸５９０か５９２に沿って湾曲体１６とこれに据え付けられた読み書きヘッドを旋回すべくアーム５４６か５８２の方へ移動部分５４２をシフトするためにロードビーム５０８のリジッド領域５１７において据え付け可能である。
【００５９】
本発明に関連した他の実施形態が図１８に示される。図１７に示されたと機能的に同様の図１８での要素は１００を加えた数字で示される。図１８はマイクロアクチュエータを収容するのに適したヘッド懸架装置６０８を示す。図１７に示されたヘッド懸架装置５０８とヘッド懸架装置６０８の間の重要な相違は、ヘッド懸架装置５０８の３つの支持ビーム５５０ａ，５５０ｂ，５５０ｃとは対称的に、本ヘッド懸架装置６０８が、アーム６４６と６４８の間でロードビーム６０８の移動部分６４２を支持する２つの弾性支持ビーム６５０ａ，６５０ｃだけを備えた固定区域６１５に移動区域６１９を連結するリンク機構を有することである。弾性支持ビーム６５０ａはアーム６４６とリジッド領域６１７の移動部分６４２の間でギャップ６５２を横切って横軸６０６にほぼ平行な方向に側方で延在する。弾性支持ビーム６５０ｃはアーム６４８と移動部分６４２の間でギャップ６５２を横切って横軸６０６にほぼ平行な方向に側方で延在する。これは支持ビーム６５０ａ，６５０ｃを湾曲体６１６とスプリング領域６１８の間におく。弾性部材６５０ｂを取り除くことで、移動区域６１９の側方移動に対する抵抗を減少することができる。これによって読み／書き機能に連関した応答時間を減少することができる。
【００６０】
微小動作装置を収容するヘッド懸架装置６０８の可能性を含む製作及び操作は、図１７に示されたヘッド懸架装置５０８に関連して上記されたと同じである。
本発明に関連したなお別の実施形態が図１９に示される。図１ａに示されたと機能的に同様の図１９での要素は７００を加えた数字で示される。図１９に示されたヘッド懸架装置７０８と図１ａに示されたヘッド懸架装置８の間の重大な相違は、ヘッド懸架装置８の３つの支持ビーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃとは対称的に、本ヘッド懸架装置７０８が、アーム７４６と７４８の間で据付領域７１４の移動部分７４２を支持する２つの弾性支持ビームだけを備えた固定区域７１５に移動区域７１９を連結するリンク機構を有することである。弾性支持ビーム７５０ａはアーム７４６と据付領域７１４の移動部分７４２の間でギャップ７５２を横切って横軸７０６にほぼ平行な方向に側方で延在する。弾性支持ビーム７５０ｃはアーム７４８と移動部分７４２の間でギャップ７５２を横切って横軸７０６にほぼ平行な方向に側方で延在する。これは支持ビーム７５０ａ，７５０ｃをスプリング領域７１８とヘッド懸架装置７０８の基部側端部の間におく。弾性部材７５０ｂを取り除くことで、移動区域７１９の側方移動に対する抵抗を減少することができる。これによって読み／書き機能に連関した応答時間を減少することができる。
【００６１】
上に論じた微小動作装置を収容するヘッド懸架装置７０８の可能性を含み、ヘッド懸架装置８に関連して上記されたと同じに製作され及び操作される。
本発明は好適な実施形態に関連して記載されたけれども、当業者ならば、本発明の精神と範囲から逸脱することなく、形状と詳細において変更を行うことが可能であると認識できよう。
【図面の簡単な説明】
【図１】  （ａ）は本発明に係るヘッド懸架装置の平面図であり、（ｂ）は点線で移動位置に示されたロードビームを備えた図１ａに示されたヘッド懸架装置の平面図である。
【図２】  本発明の第１実施形態に係る拡張したベースプレートとその上に据え付けられたマイクロアクチュエータとを備えた図１ａに示されたヘッド懸架装置の平面図である。
【図３】  図２に示されたヘッド懸架装置、マイクロアクチュエータ及び拡張したベースプレートの底面図である。
【図４】  図３に示された拡張したベースプレートの平面図である。
【図５】  本発明に関連した実施形態に係る非拡張のベースプレートに据え付けられ図２に示されたヘッド懸架装置とマイクロアクチュエータの底面図である。
【図６】  ６-６線に沿った図２に示されたヘッド懸架装置、マイクロアクチュエータ及びベースプレートの断面図である。
【図７】  図２に示されたマイクロアクチュエータを作ることができるラミネート状のシート材料の側面図である。
【図８】  本発明に関連した実施形態に係るヘッド懸架装置とベースプレート、その上に据え付けられたマイクロアクチュエータの平面図である。
【図９】  ９-９線に沿った図８に示されたヘッド懸架装置、マイクロアクチュエータ及びベースプレートの断面図である。
【図１０】  本発明に関連した実施形態に係るヘッド懸架装置とベースプレート、その上に据え付けられたマイクロアクチュエータの平面図である。
【図１１】  図１０に示されたマイクロアクチュエータの等距離図である。
【図１２】  図１１の１２-１２線に沿った図１０に示されたマイクロアクチュエータの断面図である。
【図１３】  図１０に示されたマイクロアクチュエータを作ることができるラミネート状のシート材料の側面図である。
【図１４】  図１３に示されたラミネート状のシート材料の、当該材料の一部が化学エッチングや他の公知プロセスによって除去された後の側面図である。
【図１５】  図１０に示されたマイクロアクチュエータの部分平面図である。
【図１６】  本発明に関連した実施形態に係るヘッド懸架装置とこれに据え付けられた圧電性又は電歪性のマイクロアクチュエータ装置の平面図である。
【図１７】  本発明に関連した実施形態に係るヘッド懸架装置の平面図である。
【図１８】  本発明に関連した実施形態に係るヘッド懸架装置の平面図である。
【図１９】  本発明に関連した実施形態に係るヘッド懸架装置の平面図である。
【図２０】  遠位側区域から分かれて形成された基部側区域を有する図１ａに示されたヘッド懸架装置の平面図である。
【符号の説明】
８  ヘッド懸架装置
１２  ロードビーム
１４  据付領域
１６  湾曲体（フラクシャ）
１７  リジッド領域
１８  スプリング領域
【図１】
0004143171.tif 000002
【図２】
0004143171.tif 000003
【図３】
0004143171.tif 000004
【図４】
0004143171.tif 000005
【図５】
0004143171.tif 000006
【図６】
0004143171.tif 000007
【図７】
0004143171.tif 000008
【図８】
0004143171.tif 000009
【図９】
0004143171.tif 000010
【図１０】
0004143171.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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