(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加熱体を、ひとつの高周波加熱コイルを使用して、周波数の異なる２周波により高周波誘導加熱する装置において、
前記２周波のうち、低い周波数の加熱電力を出力する第１の高周波電源と、該第１の高周波電源からの出力を、前記高周波加熱コイルに供給する第１の変成器と、高い周波数の加熱電力を出力する第２の高周波電源と、該第２の高周波電源からの出力を、前記高周波加熱コイルに供給する第２の変成器と、前記第１、及び第２の高周波電源の出力をそれぞれオンオフする、それぞれの制御装置とからなり、
前記第１の変成器と前記高周波加熱コイルとの間に、前記第２の変成器の２次巻線が直列に接続され、
前記第１、又は第２の高周波電源のうち、いずれか一方の前記高周波電源からの加熱電力により、前記高周波加熱コイルを介して、前記被加熱体を高周波加熱中、任意の時間、他方の前記高周波電源からの加熱電力が、他方の前記制御装置により、前記一方の高周波電源から出力される加熱電力に同時に供給、又は重畳し、該高周波加熱コイルを介して、前記被加熱体を高周波加熱することを特徴とする２周波による高周波加熱装置。
【請求項２】
被加熱体を、ひとつの高周波加熱コイルを使用して、周波数の異なる２周波により高周波誘導加熱する装置において、
前記２周波のうち、低い周波数の加熱電力を出力する第１の高周波電源と、該第１の高周波電源からの出力を、前記高周波加熱コイルに供給する第１の変成器と、高い周波数の加熱電力を出力する第２の高周波電源と、該第２の高周波電源からの出力を、前記高周波加熱コイルに供給する第２の変成器と、前記第１、及び第２の高周波電源の出力をそれぞれオンオフするそれぞれの制御装置とからなり、
前記第１の変成器と前記高周波加熱コイルとの間に、前記第２の変成器の２次巻線が直列に接続され、
前記第１、又は第２の高周波電源のうち、いずれか一方の前記高周波電源からの加熱電力により、前記高周波加熱コイルを介して、前記被加熱体を高周波加熱中、任意の時間ごとに間欠的に、他方の前記高周波電源からの加熱電力が、他方の前記制御装置により、前記一方の高周波電源から出力される加熱電力に重畳し、該高周波加熱コイルを介して、前記被加熱体を高周波加熱することを特徴とする２周波による高周波加熱装置。
【請求項３】
前記第１の高周波電源が電流型発振機であり、前記第２の高周波電源が電圧型発振機であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の２周波による高周波加熱装置。
【請求項４】
前記第１の高周波電源の出力側には、並列に接続された第１の共振コンデンサと、前記第１の出力変成器とが接続され、かつ前記第２の高周波電源の出力側には、直列に接続された第２の共振コンデンサと、前記第２の出力変成器とが接続されるとともに、前記第１の出力変成器の２次側に、並列に高周波バイパスコンデンサが接続されることを特徴とする請求項３に記載の２周波による高周波加熱装置。
【請求項５】
前記高周波バイパスコンデンサを除去して、前記第１の共振コンデンサに、前記高い周波数をバイパスする機能を兼ねさせることを特徴とする請求項４に記載の２周波による高周波加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、２周波による高周波加熱方法とその装置に関し、特に、被加熱体、例えば歯車等のような、被加熱面に凹凸を有ずる被加熱体の表面を均一に高周波誘導加熱するため、ひとつの高周波加熱コイルを使用して、周波数の異なる２周波により高周波誘導加熱する方法とその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の高周波誘導加熱方法では、次のような２つの方法がある。
１つの方法として、例えば、図９に示すように、被加熱体１００を、周波数の異なる２周波により高周波誘導加熱する場合、該被加熱体１００を、前記２周波のうち、低い周波数の加熱電力を出力する第１の高周波電源１０１からの前記加熱電力を、整合器１０２を介して、一方の高周波加熱コイル１０３により加熱し、次いで、前記被加熱体１００（又は前記高周波加熱コイル１０３）を機械的に移動させて、前記２周波のうち、高い周波数の加熱電力を出力する第２の高周波電源２０１からの前記加熱電力を、整合器２０２を介し、他方の高周波加熱コイル２０３により高周波加熱していた。
【０００３】
また、他の方法として、例えば、図１０に示すように、高周波電源３０１内の共振コンデンサＣ301、Ｃ302をスイッチＳ301により機械的に切り替え、その静電容量を替えて、該高周波電源３０１から、周波数の異なる２周波の加熱電力を出力させ、それぞれの周波数の加熱電力を、整合器３０２を介して、高周波加熱コイル３０３により、被加熱体１００を高周波加熱していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図９に示す方法では、例えば被加熱体１００が歯車の場合、該歯車又は前記高周波加熱コイル１０３，２０３を機械的に移動するのに時間を要するため、移動の間に加熱温度が低下して、最適な焼入れパターン、硬度、低歪みを得ることが困難であった。また、移動させるための大がかりな機構部分が必要であり、かつ複雑であるという問題点があった。
【０００５】
また、図１０に示す方法では、前記高周波電源３０１の発振周波数の変化幅が限られていた。これは、発振回路、出力変成器の周波数特性が広帯域にできないためである。また、前記共振コンデンサＣ301に、Ｃ302を機械的に追加又は削除するため、周波数切り替えに１秒以上の時間を要するため、被加熱体１００の加熱後の熱の拡散があり、良好な焼入れバターンの形成に対し、障害になるという問題点があった。
【０００６】
さらに、図９及び図１０に示す方法では、大がかりな機構部分を必要としているため、形状が大型になり、また保守、点検が必要であった。また、周波数切り替えに、前述のように時間がかかるので、折角、加熱した被加熱体の温度を下げてしまうという問題点があった。
高周波焼入れでは、加熱温度とともに、温度が上昇する速度（昇温速度）が重要なファクタであるので、切り替え時間は、極力短い方が焼入れ品質の向上に必要であった。
【０００７】
本発明はかかる点を鑑みなされたもので,その目的は前記問題点を解消し、ひとつの高周波加熱コイルに、周波数の異なる２周波の加熱電力を、同時に供給して、被加熱体に、最適な焼入れパターン、硬度及び低歪みが得られように高周波誘導加熱する２周波による高周波加熱装置を提案することにある。
【０００８】
本発明の他の目的は、従来の２周波による高周波加熱装置に比べて、機構部分が簡素化されるとともに、全体の構成が単純化された２周波による高周波加熱装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するための本発明の構成は、被加熱体を、ひとつの高周波加熱コイルを使用して、周波数の異なる２周波により高周波誘導加熱する装置において、次のとおりである。
【００１６】
前記２周波のうち、低い周波数の加熱電力を出力する第１の高周波電源と、該第１の高周波電源からの出力を、前記高周波加熱コイルに供給する第１の変成器と、高い周波数の加熱電力を出力する第２の高周波電源と、該第２の高周波電源からの出力を、前記高周波加熱コイルに供給する第２の変成器と、前記第１、及び第２の高周波電源の出力をそれぞれオンオフする、それぞれの制御装置とからなり、前記第１の変成器と前記高周波加熱コイルとの間に、前記第２の変成器の２次巻線が直列に接続され、前記第１、又は第２の高周波電源のうち、いずれか一方の前記高周波電源からの加熱電力により、前記高周波加熱コイルを介して、前記被加熱体を高周波加熱中、任意の時間、他方の前記高周波電源からの加熱電力が、他方の前記制御装置により、前記一方の高周波電源から出力される加熱電力に同時に供給、又は重畳し、該高周波加熱コイルを介して、前記被加熱体を高周波加熱する装置である。
【００１７】
前記２周波のうち、低い周波数の加熱電力を出力する第１の高周波電源と、該第１の高周波電源からの出力を、前記高周波加熱コイルに供給する第１の変成器と、高い周波数の加熱電力を出力する第２の高周波電源と、該第２の高周波電源からの出力を、前記高周波加熱コイルに供給する第２の変成器と、前記第１、及び第２の高周波電源の出力をそれぞれオンオフするそれぞれの制御装置とからなり、前記第１の変成器と前記高周波加熱コイルとの間に、前記第２の変成器の２次巻線が直列に接続され、前記第１、又は第２の高周波電源のうち、いずれか一方の前記高周波電源からの加熱電力により、前記高周波加熱コイルを介して、前記被加熱体を高周波加熱中、任意の時間ごとに間欠的に、他方の前記高周波電源からの加熱電力が、他方の前記制御装置により、前記一方の高周波電源から出力される加熱電力に重畳し、該高周波加熱コイルを介して、前記被加熱体を高周波加熱する装置である。
【００１８】
前記第１の高周波電源が電流型発振機であり、前記第２の高周波電源が電圧型発振機である装置である。
【００１９】
前記第１の高周波電源の出力側には、並列に接続された第１の共振コンデンサと、前記第１の出力変成器とが接続され、かつ前記第２の高周波電源の出力側には、直列に接続された第２の共振コンデンサと、前記第２の出力変成器とが接続されるとともに、前記第１の出力変成器の２次側に、並列に高周波バイパスコンデンサが接続される装置である。
【００２０】
前記高周波バイパスコンデンサを除去して、前記第１の共振コンデンサに、前記高い周波数をバイパスする機能を兼ねさせる装置である。
【００２１】
本発明の高周波加熱装置は、以上のように構成されるので、高周波誘導加熱を利用する広範な分野にて採用が可能で、応用の範囲が広い。特に、前記被加熱体が、例えば歯車等の歯部の強度を理想的に得るためには、該歯車の輪郭に沿って均一な焼入れがなされなければならない。高周波電源として、加熱電力が低い周波数の場合は、浸透深さが深い部分の加熱に適するので、歯車の場合、歯底が加熱されやすい。また、加熱電力が高い周波数の場合は、近接効果と浸透深さが浅い部分の加熱に適するので、歯先が加熱されやすい。このため、低い周波数の加熱電力と高い周波数の加熱電力とが、互いに干渉し合うことなく自由に、ひとつの高周波加熱コイルに供給できることにより、前記被加熱体が歯車の場合、その歯底から歯先まできめ細かな加熱ができる。
【００２２】
また、異なる形状の被加熱体物に対して、低い周波数の加熱電力と高い周波数の加熱電力とを、同時に供給するタイミングと前記加熱電力の比率を調整することにより、適宜、対応できるので設備費の節約になり、スペースが低減され、さらに、サイクルタイムを短縮することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。
図１は、本発明の２周波による高周波加熱方法とその装置の一実施例を示す、該装置の回路図を含む構成図で、図２は、図１の低い周波数の高周波加熱電力を出力する第１の高周波電源により、被加熱体を高周波誘導動加熱する場合を示す回路図、図３は、図１の高い周波数の高周波加熱電力を出力する第２の高周波電源により、被加熱体を高周波誘導動加熱する場合を示す回路図である。
【００２４】
図１において、前記高周波加熱装置１は、被加熱体１００を、ひとつの高周波加熱コイル２を使用して、周波数の異なる２周波、例えば、２０ｋＨｚと２００ｋＨｚにより高周波誘導加熱する装置である。
前記高周波加熱装置１は、前記２周波のうち、前記２０ｋＨｚの低い周波数の加熱電力を出力する第１の高周波電源装置１１と、該第１の高周波電源装置１１の出力端子間に並列に接続される共振コンデンサＣ１と、前記第１の高周波電源装置１１からの出力を、前記高周波加熱コイル２に供給するための第１の変成器Ｔ１と、前記２００ｋＨｚの高い周波数の加熱電力を出力する第２の高周波電源装置２１と、該第２の高周波電源装置２１からの出力を、直列に接続される共振コンデンサＣ２を介して、前記高周波加熱コイル２に供給するための第２の変成器Ｔ２と、前記第１、及び第２の高周波電源装置１１，２１内にそれぞれ設けられ、前記電源装置１１，２１の出力をそれぞれオンオフする制御装置１２，２２とからなる。
【００２５】
また、前記第１の変成器Ｔ1と前記高周波加熱コイル２との間に、前記第２の変成器Ｔ２の２次巻線が直列に接続されるように、接続されるとともに、該第１の変成器Ｔ１の２次側には、前記第２の高周波電源装置２１からの高周波成分をバイパスするための高周波バイパスコンデンサＣ３が、並列に接続されている。
【００２６】
図１の回路の主たる機能は、低い周波数の前記第１の高周波電源装置１１からの電力を、高い周波数の前記第２の高周波電源装置２１へ漏洩するのを防ぎながら、前記高周波加熱コイル２に加熱電力を供給するとともに、高い周波数の前記第２の高周波電源装置２１がらの電力を、低い周波数の前記第１の高周波電源装置１１へ漏洩するのを防ぎながら、前記高周波加熱コイル２に加熱電力を供給することにある。
【００２７】
低い周波数の前記第１の高周波電源装置１１は、図２に示す電流型インバータ（電流型発振機）を使用する。この電流型インバータは、整流回路１３により商用周波の３相交流電源を直流に整流し、該整流回路１３からの出力を、電流制限用リアクタ１４を介して、４個の電力スイッチング素子であるＩＧＢＴ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄからなるブリッジ回路１５により、電流の極性を切り替えて高周波電力を発生させている。なお、前記ブリッジ回路１５を構成する４個の電力スイッチング素子であるＩＧＢＴ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄには、それぞれ直列に、かつ順方向にダイオード１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄが接続されている。
【００２８】
前記共振コンデンサＣ１は、前記第１の高周波電源装置１１の出力端子間に並列に接続され、前記第１の変成器Ｔ１、前記高周波加熱コイル２及び被加熱体１００を含めたインダクタンス成分と共振する静電容量値が選ぱれる。前記第１の高周波電源装置１１は、その出力端子から電源側をみると電流源になる。
【００２９】
次いで、高い周波数の前記第２の高周波電源装置２１は、図３に示す電圧型インバータ（電圧型発振機）を使用する。この電圧型インバータは、整流回路２３により商用周波の３相交流電源を直流に整流し、平滑コンデンサＣ11を介して、前記整流回路２３からの出力を、４個の電力スイッチング素子であるＩＧＢＴ又はＦＥＴ２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄからなるブリッジ回路２５により、電圧の極性を切り替えて高周波電力を発生させている。なお、前記ブリッジ回路２５を構成する４個の電力用スイッチング素子であるＩＧＢＴ又はＦＥＴ２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄには、それぞれのコレクタ・エミッタ又はドレイン・ソース間に並列に、かつ逆方向に保護用ダイオード２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄが接続されている。
【００３０】
前記共振コンデンサＣ２は、前記第２の高周波電源装置２１の出力側から直列に接続され、前記第２の変成器Ｔ２、前記高周波加熱コイル２及び被加熱体１００を含めたインダクタンス成分と共振する静電容量値が選ぱれる。前記第２の高周波電源装置２１は、その出力端子から電源側をみると電圧源になる。
【００３１】
前記高周波バイパスコンデンサＣ３は、高い周波数の前記第２の高周波電源装置２１からの高周波電流成分を、低い周波数の前記第１の高周波電源装置１１の前記共振コンデンサＣ１に流さないようにバイパスさせるもので、該共振コンデンサＣ１の周波数特性が、高い周波数で損失が大きい場合に取り付ける。しかし、前記共振コンデンサＣ１がマイカコンデンサ又はフィルムコンデンサのように、高い周波数でも低損失であれば、図４に示すように、前記高周波バイパスコンデンサＣ３を除去することができる。
【００３２】
次に前記高周波加熱装置１の作用を説明する。
前記第１、又は第２の高周波電源装置１１，２１のうち、いずれか一方の前記高周波電源装置１１（又は２１、以下、この段落番号中の記載は、括弧内同順）からの加熱電力により、前記高周波加熱コイル２を介して、前記被加熱体１００を高周波加熱中、任意の時間、他方の前記高周波電源２１（又は１１）からの加熱電力が、他方の前記制御装置２２（又は１２）により、前記一方の高周波電源装置１１（又は２１）から出力される加熱電力に同時に供給、又は重畳し、該高周波加熱コイル２を介して、前記被加熱体１００を高周波加熱する。
【００３３】
同様に、前記第１、又は第２の高周波電源装置１１，２１のうち、いずれか一方の前記高周波電源装置１１（又は２１、以下、この段落番号中の記載は、括弧内同順）からの加熱電力により、前記高周波加熱コイル２を介して、前記被加熱体１００を高周波加熱中、任意の時間ごとに間欠的に、他方の前記高周波電源２１（又は１１）からの加熱電力が、他方の前記制御装置２２（又は１２）により、前記一方の高周波電源装置１１（又は２１）から出力される加熱電力に同時に供給、又は重畳し、該高周波加熱コイル２を介して、前記被加熱体１００を高周波加熱することができる。
【００３４】
ところで、前記高周波加熱装置１の、前記２周波の加熱電力の伝送と漏洩電流について、検討する。
【００３５】
［加熱電力の伝送］
（１）低い周波数の前記第１の高周波電源装置１１からの加熱電力の伝送経路図を図５に示す。ここで、以下、図１で、同一部材については、同一符号を付してその説明を省略する。
前記高周波バイパスコンデンサＣ３に流れる電流ｉ３は、前記共振コンデンサＣ１を流れる電流ｉ１と同じ並列回路を流れるから、前記高周波バイパスコンデンサＣ３は該共振コンデンサＣ１の一部として機能する。前記変成器Ｔ１の二次電流ｉ４は、高い周波数の前記変成器Ｔ２の２次巻線を経由して、前記高周波加熱コイル２に流れる。
【００３６】
高い周波数の前記変成器Ｔ２の影響については、該変成器Ｔ２の２次巻線は、１次巻線の周囲を１回巻き（ワンターン）の幅広の銅板で巻回した空心変成器にしているため、低損失になり電力の損失は少ない。
前記変成器Ｔ２の１次側電流ｉ５は、空心変成器の誘導結合インダクタンスが低い周波数に対しては、非常に小さい値になり、前記第２の高周波電源装置２１側の共振コンデンサＣ２が直列に接続されているため、より小さな値になる。（周波数の２乗分の１の割合で減少する。）
【００３７】
低い周波数の前記第１の高周波電源装置１１から、高い周波数の前記高周波電源装置２１側をみた場合、該高い周波数の第２の高周波電源装置２１が電圧型電源になるので短絡されたようにみえる。これは、図３に示すように、還流用の前記ダイオード２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄとバイパスコンデンサとして機能する前記平滑コンデンサＣ11を通る経路になるからである。
また、前記変成器Ｔ２を空心変成器にした場合、空心であるので低い周波数での磁気飽和の心配がない。
【００３８】
（２）高い周波数の前記第２の高周波電源装置２１からの加熱電力の伝送経路図を図６に示す。
高い周波数の前記第２の高周波電源装置２１の出力側からみると、低い周波数の前記第１の高周波電源装置１１は、電流型電源であるのでインピーダンスが無限大の開放状態にみえる。
これは、前記高周波バイパスコンデンサＣ３及び共振コンデンサＣ１は、周波数に逆比例してインピーダンスが低くなるので、前記高周波加熱コイル２の両端の電圧に比べて低い電圧になる。また、該コンデンサＣ１，Ｃ３を通るので損失は少ない。
【００３９】
［漏洩電流］
（１）高い周波数の前記第２の高周波電源装置２１から、低い周波数の前記第１の高周波電源装置１１への漏洩経路図を図７に示す。
低い周波数の前記第１の高周波電源装置１１は電流型電源になっており、高インピーダンスであるので、電流は流れない。低い周波数の前記第１の高周波電源装置１１の出力端側の電圧は、前記共振コンデンサＣ１の電圧ＶC1になるが、該共振コンデンサＣ１の容量値は、低い周波数に対してインピーダンスが大きく、しかも該共振コンデンサＣ１のインピーダンスが周波数に逆比例して小さくなるので、発生電圧は微少である。
【００４０】
（２）低い周波数の前記第１の高周波電源装置１１から、高い周波数の前記第２の高周波電源装置２１への漏洩経路図を図８に示す。
空心の前記第２の変成器Ｔ２は、低い周波数の前記第１の高周波電源装置１１から見ると非常に小さい相互インダクタンスになる。該変成器Ｔ２の１次側に誘起される電圧は周波数に比例して小さくなる。また、高い周波数の前記共振コンデンサＣ２は、低い周波数の前記電源装置１１側からみると小さい容量値である。該共振コンデンサＣ２のインピーダンスは周波数に逆比例するので、高い周波数の前記共振コンデンサＣ２に流れる電流ｉC2は、周波数の２乗に逆比例して小さくなるので、該電流は微少である。
【００４１】
以上、本発明の一実施の形態について述べたが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づいて各種の変形及び変更が可能である。
【００４２】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように本発明の２周波による高周波加熱装置によれば、２周波のうち、低い周波数の加熱電力を出力する第１の高周波電源と、該高周波電源からの出力を、高周波加熱コイルに供給する第１の変成器と、高い周波数の加熱電力を出力する第２の高周波電源と、該高周波電源からの出力を、前記高周波加熱コイルに供給する第２の変成器と、前記第１、及び第２の高周波電源の出力をそれぞれオンオフする、それぞれの制御装置とからなり、前記第１の変成器と前記高周波加熱コイルとの間に、前記第２の変成器の２次巻線が直列に接続され、前記第１、第２の高周波電源のうち、いずれか一方の前記高周波電源から、前記被加熱体を高周波加熱中、他方の前記高周波電源からの加熱電力が、他方の前記制御装置により、前記一方の高周波電源からの加熱電力に任意の時間、同時に供給、又は重畳し、もしくは任意の時間ごとに間欠的に重畳し、該高周波加熱コイルを介して、高周波加熱するので、ひとつの高周波加熱コイルに、周波数の異なる２周波の加熱電力を、同時に供給して、被加熱体に、最適な焼入れパターン、硬度及び低歪みが得られるとともに、従来の２周波による高周波加熱装置に比べて、機構部分を簡素化でき、全体の構成を単純化することができるという優れた効果を奏する。
【００４４】
さらに、本発明によれば２周波の加熱電力が、任意の時間同時に、又は任意の時間ごとに間欠的に、供給しても、前記２周波の電源が互いに干渉することなく動作させることができる。また、該２周波の電源が互いに自由にコントロールできるので、より高度の焼入れが達成できる。またさらに、機械部分がないので消耗品がなく、保守がし易いという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の２周波による高周波加熱方法とその装置の一実施例を示す、該装置の回路図を含む構成図である。
【図２】図１の低い周波数の高周波加熱電力を出力する第１の高周波電源により、被加熱体を高周波誘導動加熱する場合を示す回路図である。
【図３】図１の高い周波数の高周波加熱電力を出力する第２の高周波電源により、被加熱体を高周波誘導動加熱する場合を示す回路図である。
【図４】図１のなかで、高周波バイパスコンデンサが除去された前記高周波加熱装置の回路図を含む構成図である。
【図５】低い周波数の第１の高周波電源装置からの加熱電力の伝送経路図である。
【図６】高い周波数の第２の高周波電源装置からの加熱電力の伝送経路図である。
【図７】高い周波数の第２の高周波電源装置から、低い周波数の第１の高周波電源装置への漏洩を示す経路図である。
【図８】低い周波数の第１の高周波電源装置から、高い周波数の第２の高周波電源装置への漏洩を示す経路図である。
【図９】従来の２周波による高周波加熱方法を説明する図である。
【図１０】従来の、他の２周波による高周波加熱方法を説明する図である。
【符号の説明】
１  高周波加熱装置
２  高周波加熱コイル部
１１  第１の高周波電源装置
１２，２２  制御装置
１３，２３  整流回路
１４  電流制限用リアクタ
１５，２５  ブリッジ回路
１５ａ，‥‥，１５ｄ，２５ａ，‥‥，２５ｄ  電力用スイッチング素子
１６ａ，‥‥，１６ｄ，２６ａ，‥‥，２６ｄ  ダイオード
２１  第２の高周波電源装置
１００  被加熱物
Ｃ１，Ｃ２  共振コンデンサ
Ｃ３  高周波バイパスコンデンサ
Ｃ11  平滑コンデンサ
Ｔ１  第１の変成器
Ｔ２  第２の変成器
【図１】
0004121719.tif 000002
【図２】
0004121719.tif 000003
【図３】
0004121719.tif 000004
【図４】
0004121719.tif 000005
【図５】
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【図６】
0004121719.tif 000007
【図７】
0004121719.tif 000008
【図８】
0004121719.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0004121719.tif 000011