(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホルダに着脱可能に設けられた平板ミラーと、この平板ミラーの裏側に設けられ半径方向に弾性率が異なる変形ディスクと、この変形ディスクを押し付けて平板ミラーの曲率を変化させるアクチュエータとからなるレーザ用反射鏡において、前記変形ディスクが直径の異なる平板を前記平板ミラーの法線方向へ順次直径が小さくなるように積層してなることを特徴とするレーザ用反射鏡。
【請求項２】
ホルダに着脱可能に設けられた平板ミラーと、この平板ミラーの裏側に設けられ半径方向に弾性率が異なる変形ディスクと、この変形ディスクを押し付けて平板ミラーの曲率を変化させるアクチュエータとからなるレーザ用反射鏡において、前記変形ディスクが弾性率の異なる材質をリング状に接合されていることを特徴とするレーザ用反射鏡。
【請求項３】
ホルダに着脱可能に設けられた平板ミラーと、この平板ミラーの裏側に設けられ半径方向に弾性率が異なる変形ディスクと、この変形ディスクを押し付けて平板ミラーの曲率を変化させるアクチュエータとからなるレーザ用反射鏡において、前記変形ディスクの半径方向の内方へ向けて焼き入れ程度が変えられていることを特徴とするレーザ用反射鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ワークにレーザ加工を行う際に使用されるレーザ用反射鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ワークにレーザ加工を行う際に使用されるレーザ用反射鏡として、外部からの制御により曲率が変化するものが知られている。その代表的なものとして、図３に示されているように、ホルダ１０１に平行平板のミラー１０３を取付けて、このミラー１０３をアクチュエータ１０５により、ミラー１０３の変位方向（図３において左右方向）に加圧・引張りを行って曲率を変化せしめている。
【０００３】
また、図４に示されているように、ホルダ１０１に平行平板のミラー１０３を取付けて、このミラー１０３をアクチュエータ１０５により、ミラー１０３の変位方向に対して垂直方向（図４において上下方向）に加圧・引張りを行って曲率を変化せしめている。
【０００４】
さらに、図５に示されているように、ホルダ１０１にミラー１０３を取付けると共に、このミラー１０３の中に流体からなる液１０７を封入せしめた状態で、アクチュエータ１０５によりミラー１０３内に封入された液１０７を変化せしめてミラー１０３の曲率を変化せしめている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来の図３に示したレーザ用反射鏡は、平行平板のミラー１０３を用いているので、ミラー１０３の中央に力を加えると、球面でなく円錘に近似した面になるため、ミラー１０３の厚さを中心と端で変化させる必要があり高価になってしまう。
【０００６】
また、図４に示したレーザ用反射鏡では、ミラー１０３の変化はバイメタル素子を想像するとよく、ミラー１０３の厚さをかなり薄くしないと、変形できず、又変形量も小さいという問題がある。さらに、図５に示したレーザ用反射鏡では、液１０７を封入した特殊なミラー１０３が必要となり高価である。しかも、レーザ用反射鏡（高出力レーザを反射する反射鏡）は消耗品であるため高価であると使いにくい。
【０００７】
この発明の目的は、消耗品であるミラーを極力単純なものにすると共に安価にし、変形ディスクをミラーと別部材にしてランニングコストを大幅に下げるようにしたレーザ用反射鏡を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項１に記載のレーザ用反射鏡は、ホルダに着脱可能に設けられた平板ミラーと、この平板ミラーの裏側に設けられ半径方向に弾性率が異なる変形ディスクと、この変形ディスクを押し付けて平板ミラーの曲率を変化させるアクチュエータとからなるレーザ用反射鏡において、前記変形ディスクが直径の異なる平板を前記平板ミラーの法線方向へ順次直径が小さくなるように積層してなることを特徴とするものである。
【０００９】
したがって、ホルダに着脱可能に設けられたミラーの裏側から変形ディスクをアクチュエータにより押し当ててミラーを変形させることにより、ミラーの曲率を変化せしめて使用される。ミラーが安価に製作され、寿命がくると新しいものと交換されると共に、変形ディスクは再利用できるので、ランニングコストが大幅に下げられる。しかも、ミラーと変形ディスクは分離されることにより、変形ディスクの自由度が上げられる。かつまた、変形ディスクが直径の異なる平板を前記平板ミラーの法線方向へ順次直径が小さくなるように積層してなるものであるからアクチュエータにより容易にミラーの曲率を変化させることができる。
【００１０】
請求項２に記載の記載のレーザ用反射鏡は、ホルダに着脱可能に設けられた平板ミラーと、この平板ミラーの裏側に設けられ半径方向に弾性率が異なる変形ディスクと、この変形ディスクを押し付けて平板ミラーの曲率を変化させるアクチュエータとからなるレーザ用反射鏡において、前記変形ディスクが弾性率の異なる材質をリング状に接合されていることを特徴とするものである。
【００１１】
したがって、変形ディスクが弾性率の異なる材質をリング状に接合されているので、アクチュエータの作動で変形ディスクを変形させることによりミラーの曲率を容易に変化させることができる。
【００１２】
請求項３に記載のレーザ用反射鏡は、ホルダに着脱可能に設けられた平板ミラーと、この平板ミラーの裏側に設けられ半径方向に弾性率が異なる変形ディスクと、この変形ディスクを押し付けて平板ミラーの曲率を変化させるアクチュエータとからなるレーザ用反射鏡において、前記変形ディスクの半径方向の内方へ向けて焼き入れ程度が変えられていることを特徴とするものである。
【００１３】
したがって、変形ディスクの半径方向の内方へ向けて焼き入れ程度が変えられているので、アクチュエータの作動で変形ディスクをを変形させることによりミラーの曲率を容易に変化させることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に基いて詳細に説明する。
【００１９】
図１を参照するに、レーザ用反射鏡１はホルダ３を備えており、このホルダ３に平板ミラー５が着脱可能に設けられている。この平板ミラー５の裏側（図１において右側）には半径方向に弾性率が異なる変形ディスクの一例としての半径方向の内方へ向けて厚さが薄く変化されている変形ディスク７が着脱可能に設けられている。この変形ディスク７の後部（図１において右部）には流体シリンダなどのアクチュエータ９が取付けられている。
【００２０】
上記構成により、アクチュエータ９を作動せしめると、変形ディスク７に接触し、力を加えることにより、変形ディスク７が変形して平板ミラー５の曲率を変化せしめている。このようにすることで、消耗品である平板ミラー５は平板という安価な加工で製作することができる。一方、変形ディスク７は複雑な加工が行われ、高価になるが、再利用可能で消耗品とはならない。
【００２１】
したがって、平板ミラー５を安価に製作することができるから、ランニングコストを大幅に下げることができる。しかも、平板ミラー５と変形ディスク７とを分離せしめたことにより、変形ディスク７の設計または選択の自由度を上げることができる。
【００２２】
図２には図１に代る他の実施の形態が示されている。図２において図１における部品と同じ部品には同一符号を符して重複する説明を省略する。
【００２３】
図２において、前記変形ディスク７の代りに、直径の異なる板１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃを積層した積層板からなる変形ディスク１１としたものである。この実施の形態の場合でも、上記実施の形態と同様の作用並びに効果を奏する。すなわち、アクチュエータ９の作動で積層板１１に力を加えると変形して、平板ミラー５の曲率を変化せしめることができる。
【００２４】
また、変形ディスク７として、弾性率の異なる材質をリング状に接合したり、半径方向の内方へ向けて焼き入れの程度を変えるようにしても、上記の実施の形態と同様の作用並び効果を奏する。
【００２５】
なお、この発明は、前述した発明の実施の形態に限定されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他の態様で実施し得るものである。
【００２６】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明によれば、ホルダに着脱可能に設けられたミラーの裏側から変形ディスクをアクチュエータにより押し当ててミラーを変形させることにより、ミラーの曲率を変化させることができる。また、ミラーは安価に製作することができ、寿命がくると新しいものと交換されると共に、変形ディスクは再利用できるので、ランニングコストが大幅に下げられる。かつまた、ミラーと変形ディスクは分離できることにより、変形ディスクの自由度が上げられる。また、変形ディスクが直径の異なる平板を前記平板ミラーの法線方向へ順次直径が小さくなるように積層してなるものであるからアクチュエータにより容易にミラーの曲率を変化させることができる。
【００２７】
請求項２に記載の発明によれば、変形ディスクが弾性率の異なる材質をリング状に接合されているので、アクチュエータの作動で変形ディスクを変形させることによりミラーの曲率を容易に変化させることができる。
【００２８】
請求項３に記載の発明によれば、変形ディスクの半径方向の内方へ向けて焼き入れ程度が変えられているので、アクチュエータの作動で変形ディスクをを変形させることによりミラーの曲率を容易に変化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明のレーザ用反射鏡の側面図である。
【図２】この発明の他のレーザ用反射鏡の側面図である。
【図３】従来のレーザ用反射鏡の側面図である。
【図４】従来の他のレーザ用反射鏡の側面図である。
【図５】従来の別のレーザ用反射鏡の側面図である。
【符号の説明】
１  レーザ用反射鏡
３  ホルダ
５  平板ミラー
７，１１  変形ディスク
９  アクチュエータ
【図１】
0004138942.tif 000002
【図２】
0004138942.tif 000003
【図３】
0004138942.tif 000004
【図４】
0004138942.tif 000005
【図５】
0004138942.tif 000006