(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
間欠的に入力された走査ビームの光量を測定し、該走査ビームの光量を示す出力信号を出力する走査ビーム光量測定装置であって、
走査ビームを受光してその光量に応じた光量信号を出力する受光素子と、この受光素子の出力信号をサンプルホールドし、そのサンプルホールド結果を前記出力信号として出力するサンプルホールド回路と、このサンプルホールド回路が前記受光素子の出力信号を所定のタイミングでサンプルホールドするためのサンプル信号を発生するサンプル信号発生器とを備え、
このサンプル信号発生器は、前記受光素子から間欠的に入力された信号に対する閾値を設定する第1の閾値発生回路と、この第1の閾値発生回路で設定された閾値と前記入力された信号レベルを比較して信号が入力されたことを検出する入力信号検出器と、定電流を発生する定電流発生回路と、この定電流発生回路からの電流を蓄積する蓄積コンデンサと、この蓄積コンデンサの電圧を記憶する電圧記憶回路と、この電圧記憶回路の出力電圧から一つもしくは複数の閾値を発生する第2の閾値発生回路と、この第2の閾値発生回路によって発生した閾値と前記蓄積コンデンサの電圧とを比較する一つもしくは複数の比較器と、この比較器からの信号によって出力信号である前記サンプル信号を所定の状態にする出力信号発生器とを有し、
前記入力信号検出器が信号の入力を検出したときに、前記定電流発生回路からの電流を前記蓄積コンデンサに充電し、前記入力信号検出器が信号の入力がなくなったことを検出したときの前記蓄積コンデンサの電圧を前記電圧記憶回路で記憶し、前記比較器は、一つ前の信号入力のときに記憶した前記蓄積コンデンサの電圧から得られた前記第２の閾値発生回路による閾値と、新たな信号入力によって逐次変化している前記蓄積コンデンサの電圧とを比較することを特徴とする走査ビーム光量測定装置。
【請求項２】
請求項１記載の走査ビーム光量測定装置のサンプル信号発生器において、
前記受光素子から間欠的に入力された信号に対する閾値を設定する第1の閾値発生回路と、この第1の閾値発生回路で設定された閾値と前記入力された信号レベルを比較して信号が入力されたことを検出する入力信号検出器と、定電流を発生する定電流発生回路と、この定電流発生回路からの電流を蓄積する蓄積コンデンサと、この蓄積コンデンサの電圧を記憶する電圧記憶回路と、この電圧記憶回路の出力電圧から一つもしくは複数の閾値を発生する第2の閾値発生回路と、この第2の閾値発生回路によって発生した閾値と前記蓄積コンデンサの電圧とを比較する一つもしくは複数の比較器と、この比較器からの信号によって出力信号である前記サンプル信号を所定の状態にする出力信号発生器とを有し、
前記入力信号検出器が信号の入力を検出したときに、前記定電流発生回路からの電流を前記蓄積コンデンサに充電し、前記入力信号検出器が信号の入力がなくなったことを検出したときの前記蓄積コンデンサの電圧を前記電圧記憶回路で記憶し、前記比較器は、一つ前の信号入力のときに記憶した前記蓄積コンデンサの電圧から得られた前記第２の閾値発生回路による閾値と、新たな信号入力によって逐次変化している前記蓄積コンデンサの電圧とを比較することを特徴とするサンプル信号発生器。
【請求項３】
請求項２記載のサンプル信号発生器において、前記第１の閾値発生回路は入力された信号のピークもしくはボトムレベルの電圧を基準とした閾値を発生することを特徴とするサンプル信号発生器。
【請求項４】
請求項２記載のサンプル信号発生器において、前記電圧記憶回路をサンプルホールド回路としたことを特徴とするサンプル信号発生器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は走査ビーム光量測定装置 、走査ビーム位置測定装置および タイミング信号発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
走査光学ユニット等の走査ビームの光量等の何らかのビーム特性を測定するに当たっては、走査ビームの通過を検知して、ビーム特性をサンプリングすることが求められる。
【０００３】
例えば走査光学ユニットにおいて、走査ビームの光量を測定しようとした場合には、受光素子からなるセンサ上を走査ビームで走査し、このセンサの出力の光パルスの波高値を測定することになる。その様子を図５に示す。図５に示す走査光学ユニットはレーザー光源１と回転多面鏡２とｆθレンズ３からなり、レーザー光源１を出た光は回転多面鏡２に入射する。回転多面鏡２は、等角速度で回転しており、入射光を反射面で反射する。回転多面鏡２からの反射光はｆθレンズ３を通って感光体を配置する位置に結像すると共に等速度で感光体上を走査する。この走査ビームの光量を測定する場合、ビームが走査される位置に受光素子４を配置して受光素子４が出力する光量に比例した光パルスの波高値を捕らえるため、受光素子４上を走査ビームが通過したことを検知し、光パルスのサンプルホールドを指示する指示信号を発生させ、この指示信号によって光パルスの波高値を適切なタイミングで捕らえることが行われる。その様子を図６に示す。
【０００４】
このサンプルホールドを指示する指示信号は、従来、走査ビームを走査して走査ビームによるパルス状の信号の概略の大きさを測定して閾値を決定し、また走査ビームを走査させたときのパルス幅（光パルスのパルス幅）を測定してその測定したパルス幅を基準としてサンプリングタイミングをタイミングジェネレータ等で設定していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
走査光学ユニットは機種によって設定光量や走査ビームの走査速度が異なるため、走査ビームの光量を測定する場合には機種毎に光パルス検出の閾値やタイミングの設定をし直すことが求められた。
また、光パルスの波高値を測定するのに測定タイミングを必要としないように、光パルスのピークホールドを行うピークホールド回路を用いていた。しかし、このピークホールド回路は、タイミング信号を必要としない代わりに、回転多面鏡の各面の反射率ばらつき等に起因する光パルスの波高値のばらつきを観測することができなかった。その様子を図７に示す。
【０００６】
本発明は、以上の状況に鑑みてなされたものであり、間欠的にほぼ一定のパルス幅をもって発生する信号に対してその間欠間隔やパルス幅が異なっても入力信号をサンプリングするタイミングを的確に発生させることができて安価に実現できるサンプル信号発生器を提供することを目的とし、さらに走査ビーム光量を簡便かつ速やかに測定することができる走査ビーム光量測定装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、間欠的に入力された走査ビームの光量を測定し、該走査ビームの光量を示す出力信号を出力する走査ビーム光量測定装置であって、走査ビームを受光してその光量に応じた光量信号を出力する受光素子と、この受光素子の出力信号をサンプルホールドし、そのサンプルホールド結果を前記出力信号として出力するサンプルホールド回路と、このサンプルホールド回路が前記受光素子の出力信号を所定のタイミングでサンプルホールドするためのサンプル信号を発生するサンプル信号発生器とを備え、このサンプル信号発生器は、前記受光素子から間欠的に入力された信号に対する閾値を設定する第1の閾値発生回路と、この第1の閾値発生回路で設定された閾値と前記入力された信号レベルを比較して信号が入力されたことを検出する入力信号検出器と、定電流を発生する定電流発生回路と、この定電流発生回路からの電流を蓄積する蓄積コンデンサと、この蓄積コンデンサの電圧を記憶する電圧記憶回路と、この電圧記憶回路の出力電圧から一つもしくは複数の閾値を発生する第2の閾値発生回路と、この第2の閾値発生回路によって発生した閾値と前記蓄積コンデンサの電圧とを比較する一つもしくは複数の比較器と、この比較器からの信号によって出力信号である前記サンプル信号を所定の状態にする出力信号発生器とを有し、前記入力信号検出器が信号の入力を検出したときに、前記定電流発生回路からの電流を前記蓄積コンデンサに充電し、前記入力信号検出器が信号の入力がなくなったことを検出したときの前記蓄積コンデンサの電圧を前記電圧記憶回路で記憶し、前記比較器は、一つ前の信号入力のときに記憶した前記蓄積コンデンサの電圧から得られた前記第２の閾値発生回路による閾値と、新たな信号入力によって逐次変化している前記蓄積コンデンサの電圧とを比較するものである。
【０００８】
請求項２に係る発明は、請求項１記載の走査ビーム光量測定装置のサンプル信号発生器において、前記受光素子から間欠的に入力された信号に対する閾値を設定する第1の閾値発生回路と、この第1の閾値発生回路で設定された閾値と前記入力された信号レベルを比較して信号が入力されたことを検出する入力信号検出器と、定電流を発生する定電流発生回路と、この定電流発生回路からの電流を蓄積する蓄積コンデンサと、この蓄積コンデンサの電圧を記憶する電圧記憶回路と、この電圧記憶回路の出力電圧から一つもしくは複数の閾値を発生する第2の閾値発生回路と、この第2の閾値発生回路によって発生した閾値と前記蓄積コンデンサの電圧とを比較する一つもしくは複数の比較器と、この比較器からの信号によって出力信号である前記サンプル信号を所定の状態にする出力信号発生器とを有し、前記入力信号検出器が信号の入力を検出したときに、前記定電流発生回路からの電流を前記蓄積コンデンサに充電し、前記入力信号検出器が信号の入力がなくなったことを検出したときの前記蓄積コンデンサの電圧を前記電圧記憶回路で記憶し、前記比較器は、一つ前の信号入力のときに記憶した前記蓄積コンデンサの電圧から得られた前記第２の閾値発生回路による閾値と、新たな信号入力によって逐次変化している前記蓄積コンデンサの電圧とを比較するものである。
するものである。
【０００９】
請求項３に係る発明は、請求項２記載のサンプル信号発生器において、前記第１の閾値発生回路は入力された信号のピークもしくはボトムレベルの電圧を基準とした閾値を発生するものである。
【００１０】
請求項４に係る発明は、請求項２記載のサンプル信号発生器において、前記電圧記憶回路をサンプルホールド回路としたものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施例の走査ビーム光量測定装置を示す。この走査ビーム光量測定装置は、走査ビームを受光してその光量に応じた光量信号を出力する受光素子４と、この受光素子４の出力信号を増幅する増幅器５と、この増幅器５の出力信号をサンプルホールドするサンプルホールド回路７と、増幅器５の出力信号を受け、サンプルホールド回路７にサンプルホールドを指示するサンプルホールド指示信号であるサンプル信号を発生するサンプル信号発生器６とを有する。
【００１５】
このサンプル信号発生器６は図３に示すタイミング信号発生装置によって構成される。このタイミング信号発生装置は、入力信号のピークレベルもしくはボトムレベルの電圧を基準として閾値を発生する第1の閾値発生回路１２と、この閾値発生回路１２の出力信号と入力信号とを比較して信号が入力されたことを検出する入力信号検出器１３と、定電流を発生する定電流発生回路１４と、この定電流発生回路１４からの電流を蓄積する蓄積コンデンサ１７と、入力信号検出器１３の出力信号を受けて信号入力時に定電流発生回路１４からの電流を蓄積コンデンサ１７に充電する充電回路１５と、蓄積コンデンサ１７に蓄積した電荷を放電する放電回路１６と、蓄積コンデンサ１７の電圧をサンプリングホールドするサンプルホールド回路２０と、このサンプルホールド回路２０にサンプルホールドを指示する第1のタイミング発生回路１８と、放電回路１６に放電を指示する第２のタイミング発生回路１９と、サンプルホールド回路２０の出力から２つの閾値を発生する第2の閾値発生回路２１と、この第2の閾値発生回路２１によって発生した2つの閾値と蓄積コンデンサ１７の電圧とをそれぞれ比較する２つの比較器２３、２４と、この2つの比較器２３，２４からの信号によって出力信号を所定の状態にすることでサンプル信号を発生する出力信号発生器２２とを有する。なお、電圧記憶回路であるサンプルホールド回路２０は、蓄積コンデンサ１７の電圧を記憶する他の電圧記憶回路を用いてもよい。
【００１６】
入力信号検出器１３が信号の入力を検出したときには、入力信号検出器１３の出力信号が充電回路１５に入力されて充電回路１５が定電流発生回路１４からの電流を蓄積コンデンサ１７に充電する。また、入力信号検出器１３が信号の入力がなくなったことを検出したときには、入力信号検出器１３の出力信号が充電回路１５に入力されなくなって充電回路１５が定電流発生回路１４から蓄積コンデンサ１７への充電を停止するとともに、入力信号検出器１３の出力信号が第1のタイミング発生回路１８に入力されなくなって第1のタイミング発生回路１８が所定のタイミングでサンプル信号をサンプルホールド回路２０へ出力してサンプルホールド回路２０が蓄積コンデンサ１７の電圧をサンプルホールドする。
【００１７】
サンプルホールド回路２０が蓄積コンデンサ１７の電圧をサンプルホールドした後には、第2のタイミング発生回路１９が第1のタイミング発生回路１８の出力信号に基づいて所定のタイミングで放電回路１６へ放電指示信号を出力して放電回路１６が蓄積コンデンサ１７に蓄積された電荷を放電させる。
【００１８】
第2の閾値発生回路２１はサンプルホールド回路２０の出力電圧から２つの閾値を発生し、この２つの閾値と蓄積コンデンサ１７の電圧とが比較器２３、２４にてそれぞれ比較される。この場合、比較器２３、２４は、一つ前の信号入力のときに記憶した蓄積コンデンサ１７の電圧から得られた第2の閾値発生回路２１による２つの閾値と、新たな信号入力によって逐次変化している蓄積コンデンサ１７の電圧とを比較する。この比較器２３、２４の出力信号は出力信号発生器２２に入力されて出力信号発生器２２の出力信号を所定の状態にすることでタイミング信号を発生する。
【００１９】
入力信号に対する閾値を発生する第1の閾値発生回路１２は、入力される信号が（＋）符号の信号だった場合には、その信号のピーク電圧を捕らえてそのピーク電圧を基準としてこれを所定の割合で分圧して出力する。また、第1の閾値発生回路１２は、入力される信号が（−）符号の信号だった場合は、その信号のボトム電圧を捕らえてそのボトム電圧を基準としてこれを所定の割合で分圧して出力する。
【００２０】
以下、本実施例について更に説明する。
図５に示すようなレイアウトで走査光学ユニットの走査ビームの光量を測定する場合、その走査ビームは受光素子４を一定周期で通過する。さらに走査ビームの走査速度はほぼ一定であり、また受光素子４の大きさは不変だから、受光素子４の出力信号は図６に示すようにほぼ一定の幅のパルス状の信号である。走査ビームの光量情報はこのほぼ一定幅のパルス状の信号の波高値であり、この波高値をサンプリングすることで走査ビームの光量を測定することができる。
【００２１】
本実施例は、受光素子４が出力する繰り返し信号の時間幅を計測し、その計測した時間幅を基準として受光素子４からの信号をサンプルホールドするタイミングを決定するものであり、入力する信号がほぼ一定の時間幅の繰り返し信号であることを利用して、任意の入力信号の時間幅を測定し、その測定結果を次に入力する繰り返し信号のサンプリングに反映させることを順次に繰り返すものである。
【００２２】
また、受光素子４からの信号をサンプリングするタイミングは走査ビームが受光素子４を通過している最中の任意のタイミングであり、この任意のタイミングを信号の入力を検出してから信号がなくなるまでの時間の中の一定割合の時間とすることによって受光センサ４上を走査ビームが通過する周期が異なるいろいろな機種に対応することが可能となる。
【００２３】
従って、本実施例のポイントは、入力信号の時間幅の計測と、その計測した時間を基準としたタイミングの発生にある。時間計測は以下の手段によって行う。
蓄積コンデンサ１７の電圧Ｖは、蓄積コンデンサ１７に流れ込む電流をＡ（アンペア＝クーロン／秒）、蓄積コンデンサ１７に電流が流れ込んだ時間をＳ(秒)、蓄積コンデンサ１７の容量をＣ（ファラッド）としたときに、
Ｖ＝Ａ・Ｓ／Ｃ
で表わされ、Ａを一定電流とすると、電圧Ｖは時間Ｓに対する1次関数となる。従って、信号が入力している間は蓄積コンデンサ１７に一定電流を流し込むことで一定勾配の電圧変化を得ることができる。入力信号検出器１３が信号の入力を検出したときに、定電流発生回路１４からの電流で蓄積コンデンサ１７に充電し、入力信号検出器１３が信号の入力がなくなったことを検出したときの蓄積コンデンサ１７の電圧が入力信号の時間幅に相当する。
【００２４】
次に、計測した時間を基準としたタイミングの発生について説明する。入力信号がなくなったときの蓄積コンデンサ１７の電圧を記憶し、この電圧を必要とするタイミングに合わせて分圧比を設定して分圧して得た電圧と、信号が入力して蓄積コンデンサ１７に一定電流を流し込んで得られる一定勾配の電圧とを比較すると、必要とするタイミングを得ることができる。
【００２５】
本実施例の構成を示す図３およびそのタイミングを示す図４を用いて本実施例を説明する。
受光素子４の出力の光パルス信号は、増幅器５によって増幅され、サンプル信号発生器６とサンプルホールド回路７に入力される。
【００２６】
サンプル信号発生器６はタイミング信号発生装置である。タイミング信号発生装置６に入力した信号は第1の閾値発生回路１２に入力され、第1の閾値発生回路１２が信号入力を判断するための閾値電圧を発生させる。そして、タイミング信号発生装置６の入力信号が入力信号検出器１３にて第1の閾値発生回路１２の出力と比較されることで、信号の入力が検出される。第1の閾値発生回路１２はタイミング信号発生装置６に入力した信号レベルを基準に閾値電圧を発生させるため、最初の信号入力では適切な閾値電圧が得られず、入力信号検出器１３は機能しない。
【００２７】
入力信号検出器１３が信号の入力を検出すると、充電回路１５は入力信号検出器１３からの信号により定電流発生回路１４からの電流を蓄積コンデンサ１７に充電する。入力信号検出器１３の入力信号がなくなったときには、充電回路１５が定電流発生回路１４から蓄積コンデンサ１７への充電を停止し、第1のタイミング発生回路１８が入力信号検出器１３からの入力信号により所定のサンプルホールド指示信号（サンプル信号）を発生し、サンプルホールド回路２０が第1のタイミング発生回路１８からのサンプルホールド指示信号により蓄積コンデンサの電圧をサンプルホールドする。
【００２８】
サンプルホールド回路２０に記憶された電圧は第2の閾値発生回路２１に入力され、第2の閾値発生回路２１はサンプルホールド回路２０の記憶電圧を分圧して２つの閾値電圧とする。この２つの閾値電圧は次の信号入力により発生する蓄積コンデンサ１７の一定勾配の電圧と比較器２３、２４でそれぞれ比較され、この比較器２３、２４の出力信号から出力信号発生器２２がサンプル信号発生器６の入力信号に対する所定のタイミング（例えば比較器２３、２４の出力信号が重なるタイミング）でのタイミング信号を発生する。
【００２９】
サンプルホールド回路７はそのタイミング信号がサンプリング指示信号として入力されて増幅器５の出力信号をサンプリングする。
以上のように、受光素子４の出力信号が継続して入力している間に出力信号発生器２２から得られるタイミング信号は受光素子４の出力信号に対して所定の時間割合となっている（時間的に所定の割合となっている）ため、走査光学ユニットの走査ビームの走査速度が異なって受光素子４のビーム走査の実時間が異なっても適切なサンプリングタイミングでタイミング信号を自動的に発生することができる。
【００３０】
受光素子４の出力の波高値は走査ビームの光量に比例するので、信号の入力を検出する閾値を固定にすると、走査ビームの光量が少ない機種において走査ビームの光量を測定しようとしたときに、信号の入力を検出できないことが起こる。そこで、本実施例においては、信号の入力を検出する閾値電圧は入力信号のピーク電圧（またはボトム電圧）を基準にする。このようにすることで走査ビームの波高値（光量）が異なる機種においても、閾値を設定し直す必要がなくなる。走査ビームの走査毎の光量に多少ばらつきがあっても、信号入力が検出できなくなることはない。
【００３１】
本実施例のタイミング信号発生装置は、デジタル信号パルスに対しても時間割合によるタイミング信号を発生することが可能である。デジタル信号の波高値は信号入力が検出できないほど変動することは考えなくて良いので、入力信号に対する閾値は固定としても差し支えない。
【００３２】
以上述べたように、本実施例によれば、走査光学ニットの異なる機種においてもタイミング調整や閾値調整をすることがない走査光学ニットの走査ビーム光量測定装置を安価に提供することができる。なお、第2の閾値発生回路２１はサンプルホールド回路２０に記憶された電圧から１つの閾値もしくは３つ以上の閾値を発生するものとし、比較器２３、２４は第2の閾値発生回路２１からの１つの閾値もしくは３つ以上の閾値と蓄積コンデンサ１７の電圧とをそれぞれ比較する１つもしくは３つ以上の比較器とし、この１つもしくは３つ以上の比較器の出力信号から出力信号発生器２２でサンプルホールド指示信号（サンプル信号）を発生するようにしてもよい。
【００３３】
ところで、位置センサを利用して光ビームの位置を求めるときは、位置センサからの２つの出力信号の差信号と和信号を算出して差信号を和信号で割る演算によって光ビームの位置が求められる。差信号と和信号は汎用のオペアンプを使用して容易に得られる。割り算回路は回路が複雑になるので、汎用のアナログ割り算ＩＣ等の回路を使用し、ビーム位置を測定する装置を安価に入手する事ができる。
【００３４】
図５における受光素子４の代わり位置センサを用いて走査ビームの走査位置を測定することを考えた場合、位置センサから得られる信号は走査ビームが位置センサ上を通過したときのパルス状の信号なので、汎用のアナログ割り算ＩＣでは演算速度が追いつかず走査ビームの走査位置を測定できない。
【００３５】
そこで、本発明の参考例は、先に説明したタイミング信号発生装置を利用して位置センサ上を走査ビームが通過した時の信号をサンプルホールドした信号をアナログ割り算ＩＣで演算するようにして安価なアナログ割り算ＩＣを使用した走査ビーム位置測定装置を提供するものである。
【００３６】
また、受光素子の場合はビームが受光素子の上をどのように走査してもよかったが、位置センサはビームの入射位置を電気的に出力するため、位置センサ上をビームが斜めに横切った場合には、ビームの入りはじめと終わりでは出力が異なることになる。そのため、位置センサからの信号をサンプリングするときには位置センサ上の走査方向の位置を管理することが求められる。先に説明したタイミング信号発生装置を使用した場合、走査速度の異なる走査ビームに対しても位置センサ上の走査方向の位置を位置センサの幅を基準として第2の閾値発生回路２１の分圧比率で管理できるので、測定誤差を小さくすることができる。
【００３７】
図２は本参考例を示す。
この参考例は、図５に示す受光素子４の代わりに配置され走査光学ユニットの走査ビームで走査されて走査ビームの光走査位置に応じた走査位置信号を出力する位置センサ８と、この位置センサ８の一方（位置センサ８の分割された部分の一方）の出力信号を増幅する第１の増幅器５１と、位置センサ８のもう一方の出力信号を増幅する第2の増幅器５２と、増幅器５１の出力信号をサンプルホールドするサンプルホールド回路７１と、増幅器５２の出力信号をサンプルホールドするサンプルホールド回路７２と、増幅器５１の出力信号と増幅器５２の出力信号を加算する加算回路９１と、この加算回路９１の出力信号を受けて増幅器５１の出力信号と増幅器５２の出力信号をサンプルホールドする指示信号をサンプルホールド回路７１、７２へ出力するサンプル信号発生器であるタイミング信号発生装置６と、サンプルホールド回路７１の出力信号とサンプルホールド回路７２の出力信号を加算する加算回路９２と、サンプルホールド回路７１の出力信号とサンプルホールド回路７２の出力信号を減算する減算回路１０と、この減算回路１０の出力信号を加算回路９２の出力信号で割り算する割り算回路１１とを備え、位置センサ８を走査ビームが走査したときの位置センサ８の出力信号により位置センサ８からの２つの信号をサンプルホールド回路７１、７２でそれぞれサンプルホールドしてサンプルホールド回路７１、７２の出力をもとに走査ビーム位置を割り算回路１１で演算して求める。
【００３８】
位置センサ８の出力信号をサンプルホールドした信号を割り算回路１１で演算するので、割り算回路１１の演算速度はあまり速くない汎用のＩＣを使用できる。
この割り算回路１１の出力信号は走査ビームが位置センサ８に入射する都度、その走査位置を示す階段状の信号となるので、オシロスコープ等の波形観測装置で観測することにより、容易に走査ビーム位置の変動を観測することができる。
【００３９】
近年、オシロスコープ等の波形観測装置の性能が向上し、デジタルオシロスコープでは演算機能を有し、さらにその演算結果を観測波形のごとく表示するものが比較的安価に入手可能となっている。そこで、そのようなデジタルオシロスコープに図２に示す機能ブロック図の中の割り算回路１１の機能や、さらにその上流の加算回路９２、減算回路１０の機能を割り当て、サンプルホールド回路７１、72の出力信号をオシロスコープに入力するように装置を構成し、その演算結果をオシロスコープで観測波形のごとく表示することも可能である。その場合でも、オペアンプやアナログ割り算ＩＣを使用した先に説明した参考例と同等の効果を得ることができる。
【００４０】
【発明の効果】
以上のように請求項１に係る発明によれば、上記構成により、走査光学ユニットの異なる機種においてもタイミング調整や閾値調整をすることがない走査光学ユニットの走査ビーム光量測定装置を安価に提供することができ、さらに、サンプル信号発生器を安価に提供することができる。
【００４１】
請求項２〜４に係る発明によれば、上記構成により、ほぼ一定幅のパルス状の入力信号が継続して入力するとき、ほぼ一定幅のパルス状の入力信号に対して時間割合を一定としたサンプル信号を発生させる装置を安価に提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の走査ビーム光量測定装置を示すブロック図である。
【図２】  本発明の参考例の走査ビーム位置測定装置を示すブロック図である。
【図３】上記実施例におけるタイミング信号発生装置を示すブロック図である。
【図４】同タイミング信号発生装置の動作タイミングを示すタイミングチャートである。
【図５】走査光学ユニットとその走査ビームの光量測定のレイアウトを説明するための図である。
【図６】上記実施例の走査ビーム光量測定を説明するための図である。
【図７】従来の走査ビーム光量測定を説明するための図である。
【符号の説明】
１      光源
２      回転多面鏡
３      ｆθレンズ
４      受光素子
５      増幅器
６      サンプル信号発生器
７      サンプルホールド回路
８      位置センサ
１０      減算回路
１１      割り算回路
１２      閾値発生回路
１３      入力信号検出器
１４      定電流発生回路
１５      充電回路
１６      放電回路
１７      蓄積コンデンサ
１８      タイミング発生回路
１９      タイミング発生回路
２０      サンプルホールド回路
２１      閾値発生回路
２２      出力信号発生器
２３、２４      比較器
５１、５２ 増幅器
７１、７２      サンプルホールド回路
９１、９２      加算回路
【図１】
0004203184.tif 000002
【図２】
0004203184.tif 000003
【図３】
0004203184.tif 000004
【図４】
0004203184.tif 000005
【図５】
0004203184.tif 000006
【図６】
0004203184.tif 000007
【図７】
0004203184.tif 000008