(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上にマトリクス状の遮光部と、アライメントマークとを有し、当該基板上に色フィルタをスピンコーティングによって塗布形成するためのカラーフィルタ基板であって、前記アライメントマークは、前記マトリクス状の遮光部の外側に形成されているとともに、前記アライメントマークの各角部が円弧状に形成されていることを特徴とするカラーフィルタ基板。
【請求項２】
前記マトリクス状の遮光部及び前記アライメントマークは、黒色パターンによって形成されていることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ基板。
【請求項３】
前記色フィルタは、赤色フィルタ、青色フィルタ、緑色フィルタからなっていることを特徴とする請求項１または２に記載のカラーフィルタ基板。
【請求項４】
前記アライメントマークは、棒状部分を有するもので、前記棒状部分の幅をＬ、前記棒状部分先端の円弧状部分の曲率半径をＲとしたとき、Ｌ≧１００μｍ、Ｒ≧Ｌ／２を満たすように構成されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のカラーフィルタ基板。
【請求項５】
前記アライメントマークは、全体が四角形状のもので、前記四角形状の幅をＬ、前記四角形状の各角部の円弧状部分の曲率半径をＲとしたとき、Ｌ≧１０００μｍ、Ｒ≧Ｌ／２０を満たすように構成されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のカラーフィルタ基板。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラーフィルタに係わり、特に、液晶表示装置の液晶表示面に用いられ、下層の形成素子の上側にいずれかの色フィルタが塗布される場合、下層の形成素子の影響を受けないように、管理用マーク及びフィルタ形成部を構成する最外周のブラックマトリクスの各形状を改良したカラーフィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、液晶表示装置の液晶表示面に用いられるカラーフィルタは、カラーフィルタ基板に、ブラックマトリクス材や色フィルタ材を順次塗布することにより構成されるもので、色フィルタ材を順次塗布する際に、均一な塗布膜を形成できず、塗布膜に不所望なすじや厚さむらが生じた場合、このカラーフィルタを液晶表示装置に用いると、液晶表示面の表示画像が劣化することになる。
【０００３】
ところで、この種の既知のカラーフィルタは、ブラックマトリクス材を用いることによって、各画素を分離する遮光部とアライメントマーク等の管理用マークとからなる黒色パターンを形成し、赤色フィルタ材、緑色フィルタ材、青色フィルタ材を用いて、赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタからなるフィルタパターンをそれぞれ形成し、保護材を用いて、保護膜パターンを形成する。そして、これらのパターンの形成の順序は、ブラックマトリクス材による黒色パターンが最初であり、このとき得られた黒色パターンを用いて、赤色フィルタ材、緑色フィルタ材、青色フィルタ材によるフィルタパターンを次々に形成して行き、最後に保護膜パターンを形成するのが普通である。
【０００４】
また、この種の既知のカラーフィルタは、各パターンを形成する際に、フォトリソグラフィ手段を用いることが行われている。このフォトリソグラフィ手段は、各パターンを形成するために、始めに全面にわたって塗布膜を形成し、次にこの塗布膜をパターニングして所定のパターンを得ているものであって、全面にわたる塗布膜を形成した場合に、当然のことながら塗布膜は下地層の影響を受けることになる。即ち、全面にわたる塗布膜が最初に形成する層（第１層）であれば、その下地層はカラーフィルタ基板（ガラス基板）になるが、全面にわたる塗布膜が２番目に形成する層（第２層）であれば、その下地層は第１層によるパターンになり、以下同様に、全面にわたる塗布膜が３番目に形成する層（第３層）であれば、その下地層は第２層によるパターンになる。
【０００５】
この場合、この種の既知のカラーフィルタにおける第１層によるパターン（黒色パターン）は、前述のように、規則的で、連続的に形成される遮光部と、不規則で、独立に形成される管理用マーク等とからなっているため、フィルタパターンの塗布工程時に、全面にわたって均一な各色フィルタ膜を形成することが難しくなる。
【０００６】
また、この種の既知のカラーフィルタの形成手段としては、フィルタパターンを塗布する際にフォトリソグラフィ手段を用い、このフォトリソグラフィ手段によるフィルタパターンの塗布工程にスピンコーティング手段が用いられることが多い。このスピンコーティング手段は、カラーフィルタの形成時に、他の手段に比べて、下地層の形状の影響を受けやすいものであり、特に、下地層の形状が不規則で、独立に形成されているようなものであるとき、下地層の形状の影響をとりわけ多く受けるようになる。
【０００７】
ここにおいて、図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、この種の既知のカラーフィルタに用いられる管理用マーク（アライメントマーク）の種々の例を示す構成図である。
【０００８】
図６（ａ）乃至（ｃ）において、６１は略十字型の管理用マーク、６２は正方形型の管理用マーク、６３は小正方形型の管理用マーク、６４は保護パターンである。
【０００９】
図６（ａ）に示されるように、略十字型の管理用マーク６１は、２本の棒状部分を十字型に組み合わせて構成したもので、各棒状部分の幅は１００μｍ以上の寸法になっている。また、図６（ｂ）に示されるように、正方形型の管理用マーク６２は、縦方向の幅及び横方向の幅がそれぞれ１０００μｍ以上の寸法になっている。さらに、図６（ｃ）に示されるように、小正方形型の管理用マーク６３は、横方向の両側を互いに平行に配置された２本の棒状の保護パターン６４と組み合わされた構成のもので、２本の棒状の保護パターン６４の間に配置され、保護パターン６４の幅は１００μｍ以上の寸法になっている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、この種の既知のカラーフィルタは、管理用マーク（アライメントマーク）として、前述のように略十字型のアライメントマーク６１、正方形状のアライメントマーク６２、保護パターン６４を有する小正方形型のアライメントマーク６３が使用されているが、このような形状のアライメントマーク６１、６２、６３、６４を形成した後、スピンコーティング手段によって各色フィルタ材をカラーフィルタ基板の全面に塗布すると、その各アライメントマーク６１、６２、６４の角部分（いわゆる直角部分）を起点とするすじや厚さむらが発生するという問題がある。
【００１１】
このとき、発生するすじや厚さむらは、下地層のアライメントマーク６１、６２、６４の膜厚に基づいた各色フィルタ塗布膜の微妙な部分的な膜厚差によるものであるから、各色フィルタ塗布膜をパターニングした後も同様に観察されるようになり、このようなすじや厚さむらが発生したカラーフィルタを用い、液晶表示素子を組み立てた場合、液晶表示面においても表示むら等が発生し、表示不良の状態として観察される。
【００１２】
このようなすじや厚さむらの発生に対して、スピンコーティング手段におけるスピン回転数を調整する等のプロセス条件を変更すれば、ある程度の解決を図ることができるが、このようなプロセス条件の変更は、画素段差や色度等の特性変更を伴うため、最適なプロセス条件を見い出すことが非常に困難になるという別の問題が生じる。
【００１３】
最も、この種の既知のカラーフィルタにおいては、ブラックマトリクス材としてクロム（Ｃｒ）を用い、下地層のアライメントマーク６１、６２、６４や遮光部を構成する場合、下地層となるアライメントマーク６１、６２、６４や遮光部の膜厚が極めて薄いものになるため（０．１乃至０．２μｍ）、アライメントマーク６１、６２、６４上に各色フィルタ塗布膜を形成しても、すじや厚さむら生じにくくなるが、ブラックマトリクス材としてクロム（Ｃｒ）を用いると、製造コストが上昇するだけでなく、液晶表示面に入射する入射光の反射成分が画像表示品質を劣化させる等の新たな問題を有している。
【００１４】
なお、カラーフィルタ基板をパターンの設計する際に、アライメントマーク等の管理用マークをカラーフィルタ形成部の外周部分だけに設けた場合、アライメントマーク等の管理用マークを起点とする各色フィルタ塗布膜のすじや厚さむらはカラーフィルタ形成部にまで達することがなく、下地層のアライメントマーク６１、６２、６４の形状の影響を受けることはないが、アライメントマーク等の管理用マークはカラーフィルタ製造装置の仕様により制約を受けることが多いので、カラーフィルタ基板上におけるアライメントマーク６１、６２、６４等の管理用マークの設置位置を任意に選択することが難しく、また、１枚のカラーフィルタ基板から複数枚のカラーフィルタを切り出す場合に、各カラーフィルタに対してそれぞれアライメントマーク６１、６２、６４等の管理用マークを設置する必要が有り、カラーフィルタ形成部の外周だけに選択的に配置することはできないものである。
【００１５】
本発明は、これらの問題点を悉く解決するもので、その目的は、アライメントマーク（管理用マークに該当するもので、以下の説明ではこれを管理用マークという）の構成材料、設置位置、各色フィルタ塗布膜の塗布手段に係りなく、常時、すじや厚さむらを生じない各色フィルタ塗布膜を形成可能なカラーフィルタ基板及びその基板を用いた液晶表示装置を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明によるカラーフィルタ基板は、基板上にマトリクス状の遮光部と、アライメントマークとを有し、当該基板上に色フィルタをスピンコーティングによって塗布形成するものであって、アライメントマークは、マトリクス状の遮光部の外側に形成されているとともに、アライメントマークの各角部が円弧状に形成されている手段を具備する。
【００１７】
前記手段によれば、カラーフィルタ基板上に形成された管理用マークの各角部及び最外周の遮光部の各角部をそれぞれ円弧状に形成するようにしたので、管理用マーク上及び最外周の遮光部上に各色フィルタ塗布膜が形成されたとき、管理用マークの各角部及び最外周の遮光部の各角部を起点とするすじや厚さむらが生じることがなく、良好な状態の各色フィルタを備えたカラーフィルタが得られる。そして、このカラーフィルタを液晶表示面に用いた場合は、表示むら等が発生することがなく、表示不良を生じることのない液晶表示装置が得られる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態において、カラーフィルタ基板は、基板上にマトリクス状の遮光部と、アライメントマークとを有し、当該基板上に色フィルタをスピンコーティングによって塗布形成するものであって、アライメントマークは、マトリクス状の遮光部の外側に形成されているとともに、アライメントマークの各角部が円弧状に形成されているものである。
【００１９】
本発明の実施の形態の好適例において、カラーフィルタは、マトリクス状の遮光部及び管理用マークがそれぞれブラックマトリクス材で形成されているものである。
【００２０】
本発明の実施の形態の１つにおいて、カラーフィルタは、管理用マークが棒状部分を有するもので、棒状部分の幅をＬ、棒状部分先端の円弧状部分の曲率半径をＲとしたとき、Ｌ≧１００μｍ、Ｒ≧Ｌ／２を満たすように構成されているものである。
【００２１】
本発明の実施の形態の他の１つにおいて、カラーフィルタは、管理用マークが全体に４角形状のもので、４角形状の幅をＬ、４角形状の各角部の円弧状部分の曲率半径をＲとしたとき、Ｌ≧１０００μｍ、Ｒ≧Ｌ／２０を満たすように構成されているものである。
【００２２】
本発明の実施の形態の具体的使用例において、カラーフィルタは、液晶表示装置の液晶表示面に用いられるものである。
【００２３】
これらの本発明の実施の形態によれば、カラーフィルタ基板上に設置されている管理用マークの各角部及び最外周の遮光部の各角部をそれぞれ円弧状になるように形成しているので、管理用マークやフィルタ形成部を構成する最外周の遮光部の厚さが若干厚く、また、幾つかの管理用マークの設置位置がフィルタ形成部の外周でなかった場合においても、それらの管理用マーク上及び最外周の遮光部上に各色フィルタ塗布膜を形成したときに、それらの管理用マークの各角部及び最外周の遮光部の各角部を起点とするすじや厚さむらを生じることがなく、各色フィルタにすじや厚さむらを生じない良好な状態のカラーフィルタを得ることができる。
【００２４】
そして、このようなカラーフィルタを液晶表示面に用いた場合、表示むら等が発生することがなく、表示不良を生じない液晶表示装置を得ることができる。
【００２５】
【実施例】
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
【００２６】
図１は、本発明によるカラーフィルタの一実施例の構成を示す上面図である。
【００２７】
図１において、１はカラーフィルタ基板、２はフィルタ形成部、３は管理用マークである。
【００２８】
そして、カラーフィルタ基板１は、長方形状のもので、その一面に、規則的に配置された４つのフィルタ形成部２と、各フィルタ形成部２の４辺にそれぞれ隣接するように配置された合計１６個の管理用マーク３と、カラーフィルタ基板１の垂直方向中心線に沿って、その上端部、下端部、中央部にそれぞれ配置された３個の管理用マーク３とがそれぞれ形成されている。この場合、各フィルタ形成部２の４辺にそれぞれ隣接するように配置された各管理用マーク３は、各色フィルタ塗布膜を露光マスクによって露光する際に、露光マスクの設置位置を確定する際等に用いられるものであり、カラーフィルタ基板１の垂直方向中心線に沿って配置された各管理用マーク３は、カラーフィルタ基板１を切断して個別のカラーフィルタを形成する際等に用いられるものである。
【００２９】
また、図２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、図１の実施例に用いられる管理用マーク３の種々の例を示す構成図及び丸部の拡大構成図である。
【００３０】
図２（ａ）乃至（ｃ）において、３1 は略十字型の管理用マーク、３2 は正方形状の管理用マーク、３3 は小正方形状の管理用マーク、４1 、４2 は棒状の保護パターンである。
【００３１】
そして、図２（ａ）に図示されているように、略十字型の管理用マーク３1 は、図６（ａ）に図示の略十字型の管理用マーク６１に対応するもので、２本の棒状部分を十字型に組み合わせた構成になっており、各棒状部分の幅Ｌは１００μｍ以上の寸法であって、各棒状部分の先端の円弧状部分の曲率半径Ｒは、幅Ｌが１００μｍのときに、Ｒ＝Ｌ／２＝５０μｍであり、幅Ｌが１００μｍを超えるとき、Ｒ＝Ｌ／２の関係から、その幅Ｌに対応した曲率半径Ｒになるように形成される。
【００３２】
また、図２（ｂ）に示されるように、正方形型の管理用マーク３2 は、図６（ｂ）に図示の正方形型の管理用マーク６２に対応するもので、縦方向の幅Ｌ及び横方向の幅Ｌがそれぞれ１０００μｍ以上の寸法であって、各角部における円弧状部分の曲率半径Ｒは、幅Ｌが１０００μｍのときに、Ｒ＝Ｌ／２０＝５０μｍであり、幅Ｌが１０００μｍを超えるとき、Ｒ＝Ｌ／２０の関係から、その幅Ｌに対応した曲率半径Ｒになるように形成される。
【００３３】
さらに、図２（ｃ）に示されるように、小正方形型の管理用マーク３3 及び２本の棒状の保護パターン４1 、４2 は、図６（ｃ）に図示の小正方形型の管理用マーク６３と２本の棒状の保護パターン６４との組み合わせにに対応するもので、２本の棒状の保護パターン４1 、４2 における幅Ｌは１００μｍ以上の寸法であって、各棒状の保護パターン４1 、４2 の先端の円弧状部分の曲率半径Ｒは、幅Ｌが１００μｍのときに、Ｒ＝Ｌ／２＝５０μｍであり、幅Ｌが１００μｍを超えるとき、Ｒ＝Ｌ／２の関係から、その幅Ｌに対応した曲率半径Ｒになるように形成される。
【００３４】
この他に、図１には図示されていないが、各フィルタ形成部２は、後述するように、ブラックマトリクス材によって形成されたブラックマトリクス（遮光部）と、ブラックマトリクスのマトリクス間隔に当たる非遮光部に順番に規則的に設けられた赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタとを具備しているもので、最外周のブラックマトリクスの各角部は、曲率半径Ｒを持った円弧状に形成されており、そのときの曲率半径Ｒは、Ｒ＝５０μｍまたはそれ以上のものになるように構成されている。
【００３５】
このように、本実施例のカラーフィルタによれば、カラーフィルタ基板１上に形成された管理用マーク３（３1 、３2 、３3 ）の各角部及び最外周のブラックマトリクスの各角部をそれぞれ曲率半径Ｒが５０μｍ以上の円弧状に形成しているので、管理用マーク３（３1 、３2 、３3 ）上及び最外周のブラックマトリクス上に各色フィルタ塗布膜が形成されたときに、管理用マーク３（３1 、３2 、３3 ）の各角部及び最外周のブラックマトリクスの各角部を起点とするすじや厚さむらが生じることがなく、良好な状態の各色フィルタを備えたカラーフィルタを得ることができる。
【００３６】
また、図３は、本発明によるカラーフィルタの他の実施例の構成を示す上面図である。
【００３７】
図３において、図１に示された構成要素と同じ構成要素については同じ符号をつけている。
【００３８】
この実施例は、１枚のカラーフィルタ基板１に１つのフィルタ形成部２を設置し、フィルタ形成部２の各４辺にそれぞれ隣接するように４つの管理用マーク３を設置しているものである。この場合、フィルタ形成部２の４辺にそれぞれ隣接するように設置された各管理用マーク３は、各色フィルタ塗布膜を露光マスクによって露光する際に、露光マスクの配置位置を確定する際等に用いられるものである。また、このカラーフィルタ基板１は、切断する必要がないため、カラーフィルタ基板１の垂直方向中心線に沿って配置形成された管理用マーク３は設置されていない。
【００３９】
図３に示された他の実施例においても、管理用マーク３として、略十字型の管理用マーク３1 、正方形型の管理用マーク３2 、小正方形型の管理用マーク３3 及び２本の棒状の保護パターン４1 、４2 のいずれかを用い、フィルタ形成部２の最外周のブラックマトリクスの各角部を円弧状に形成しているので、図１に示された実施例と同様に、管理用マーク３（３1 、３2 、３3 ）上及び最外周のブラックマトリクス上に各色フィルタ塗布膜を形成した際に、管理用マーク３（３1 、３2 、３3 ）の各角部及び最外周のブラックマトリクスの各角部を起点とするすじや厚さむらが生じることがなく、良好な状態の各色フィルタを備えたカラーフィルタを得ることができる。
【００４０】
次いで、図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）及び図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、本発明によるカラーフィルタの製造工程の一例を示す断面図を示す。
【００４１】
図４（ａ）乃至（ｅ）及び図５（ａ）乃至（ｄ）において、５はブラックマトリクス、５Ａはブラックマトリクス塗布膜、６1 、６2 は露光マスク、７1 、７2 は露光用紫外線、８Ｒは赤色フィルタ、８ＲＡは赤色フィルタ塗布層、８Ｂは青色フィルタ、８Ｇは緑色フィルタ、９は保護膜、１０はインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）層であり、その他、図１に示された構成要素と同じ構成要素については同じ符号をつけている。
【００４２】
図４（ａ）乃至（ｅ）及び図５（ａ）乃至（ｄ）を用い、本発明によるカラーフィルタの製造工程について説明する。
【００４３】
説明に先立って、図４（ａ）乃至（ｃ）は、ブラックマトリクスを形成する第１フォトグラフィ処理工程に係るものであり、図４（ｄ）乃至（ｅ）及び図５（ａ）は、赤色フィルタを形成する第２フォトグラフィ処理工程に係るものであり、図５（ｂ）は、緑色フィルタを形成する第３フォトグラフィ処理工程及び青色フィルタを形成する第４フォトグラフィ処理工程に係るものであり、図５（ｃ）は、保護膜を形成する第５フォトグラフィ処理工程に係るものであり、図５（ｄ）は、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）膜を形成するＩＴＯスパッタリング処理工程に係るものである。
【００４４】
始めに、図４（ａ）に示されるように、カラーフィルタ基板１の一面にブラックマトリクス材のレジストを塗布し、ブラックマトリクス（黒色）塗布層５Ａを形成する。
【００４５】
次に、図４（ｂ）に示されるように、ブラックマトリクス塗布層５Ａの上面に近接して露光マスク６1 を配置し、露光マスク６1 上から露光用紫外線７1 を照射し、ブラックマトリクス塗布層５Ａの露光を行う（露光１）。このとき、露光マスク６1 は、フィルタ形成部２におけるブラックマトリクスと管理用マーク３が同時に形成されるような各開口を有している。そして、開口の形状は、フィルタ形成部２における最外周のブラックマトリクスの角部が円弧状に形成されるように、また、略十字型の管理用マーク３1 、正方形型の管理用マーク３2 、小正方形型の管理用マーク３3 及び２本の棒状の保護パターン４1 、４2 のいずれかが形成されるようなものが用いられる。
【００４６】
次いで、図４（ｃ）に示されるように、露光したブラックマトリクス塗布層５Ａを現像液によって現像し（現像１）、ブラックマトリクス塗布層５Ａの未露光部分を除去し、ブラックマトリクス５及び管理用マーク３を形成する。
【００４７】
続いて、図４（ｄ）に示されるように、ブラックマトリクス５及び管理用マーク３上に赤色フィルタ材のレジストを塗布し、赤色フィルタ塗布層８ＲＡを形成する。
【００４８】
次に、図４（ｅ）に示されるように、赤色フィルタ塗布層８ＲＡの上面に近接して露光マスク６2 を配置し、露光マスク６2 上から露光用紫外線７2 を照射し、赤色フィルタ塗布層８ＲＡの露光を行う（露光２）。このとき、露光マスク６2 は、ブラックマトリクス５の間の赤色フィルタ形成部分にそれぞれ開口を有しているもので、露光マスク６2 の配置位置は既に形成してある管理用マーク３によって決められる。
【００４９】
次いで、図５（ａ）に示されるように、露光した赤色フィルタ塗布層８ＲＡを現像液によって現像し（現像２）、赤色フィルタ塗布層８ＲＡの未露光部分を除去し、赤色フィルタ８Ｒを形成する。
【００５０】
続いて、図５（ｂ）に示されるように、赤色フィルタ８Ｒを形成した工程と同じ工程を経て、緑色フィルタ８Ｇ及び青色フィルタ８Ｂを順次形成する。
【００５１】
次に、図５（ｃ）に示されるように、形成した赤色フィルタ８Ｒ、緑色フィルタ８Ｇ、青色フィルタ８Ｂ上に保護材を塗布し、保護膜９を形成する。
【００５２】
その後、図５（ｄ）に示されるように、形成した保護膜９上にインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）をスパッタリングし、透明なＩＴＯ膜１０を形成し、カラーフィルタが完成する。
【００５３】
なお、前記各実施例においては、カラーフィルタ基板１にフィルタ形成部２を４つまたは１つ設置した例を挙げて説明したが、本発明によるフィルタ形成部２の設置数は４つまたは１つに限られるものでなく、カラーフィルタ基板１の形状、大きさに応じて任意の数のフィルタ形成部２を設置してもよい。
【００５４】
また、前記各実施例においては、カラーフィルタ基板１におけるフィルタ形成部２の各辺に隣接するようにそれぞれ管理用マーク３を設置している例及びカラーフィルタ基板１の垂直方向中心線に沿って管理用マーク３を設置している例を挙げて説明したが、本発明による管理用マーク３の設置位置は前述の箇所に限られるものでなく、幾つかの管理用マーク３をフィルタ形成部２の各辺の内側に設置してもよく、カラーフィルタ基板１の水平方向中心線に沿って管理用マーク３を設置してもい。
【００５５】
さらに、前記各実施例においては、管理用マーク３がブラックマトリクス材によって形成される例を挙げて説明したが、本発明による管理用マーク３の形成材はブラックマトリクス材に限られるものでなく、遮光性を有する材料であれば、他の材料、例えば各色フィルタ材や各色螢光体材であってもよい。
【００５６】
この他に、前記各実施例においては、管理用マーク３の形成材料に、金属クロム（Ｃｒ）からなるブラックマトリクス材や樹脂ブラックマトリクス材を用いたとしても、所要の効果を達成することが可能である。
【００５７】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、カラーフィルタ基板上に設置されている管理用マークの各角部及び最外周の遮光部の各角部をそれぞれ円弧状に、その円弧状部の曲率半径Ｒが５０μｍ以上になるように形成しているので、管理用マークやフィルタ形成部を構成する最外周の遮光部の厚さが若干厚く、また、幾つかの管理用マークの設置位置がフィルタ形成部の外周でなかった場合においても、それらの管理用マーク上及び最外周の遮光部上に各色フィルタ塗布膜を形成したときに、それらの管理用マークの各角部及び最外周の遮光部の各角部を起点とするすじや厚さむらを生じることがなく、各色フィルタにすじや厚さむらを生じない良好な状態のカラーフィルタを得ることができるという効果がある。
【００５８】
そして、このようなカラーフィルタを液晶表示面に用いた場合、表示むら等が発生することがなく、表示不良を生じない液晶表示装置を得ることができるという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるカラーフィルタの一実施例の構成を示す上面図である。
【図２】図１の実施例のカラーフィルタに用いられる管理用マークの種々の例を示す構成図である。
【図３】本発明によるカラーフィルタの他の実施例の構成を示す上面図である。
【図４】本発明によるカラーフィルタの製造工程における前半部分の一例を示す断面図である。
【図５】本発明によるカラーフィルタの製造工程における後半部分の一例を示す断面図である。
【図６】既知のカラーフィルタに用いられる管理用マークの種々の例を示す構成図である。
【符号の説明】
１  カラーフィルタ基板
２  フィルタ形成部
３  管理用マーク
３1   略十字型の管理用マーク
３2   正方形状の管理用マーク
３3   小正方形状の管理用マーク
４1 、４2   棒状の保護パターン
５  ブラックマトリクス
５Ａ  ブラックマトリクス塗布膜
６1 、６2   露光マスク
７1 、７2   露光用紫外線
８Ｒ  赤色フィルタ
８ＲＡ  赤色フィルタ塗布層
８Ｂ  青色フィルタ
８Ｇ  緑色フィルタ
９  保護膜
１０  インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）膜
【図１】
0004057697.tif 000002
【図２】
0004057697.tif 000003
【図３】
0004057697.tif 000004
【図４】
0004057697.tif 000005
【図５】
0004057697.tif 000006
【図６】
0004057697.tif 000007