(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線板製造工程から排出される洗浄排水を処理する方法において、排水のｐＨをｐＨ調整槽で酸性側からアルカリ側へ７〜９に調整し、ｐＨ調整された排水を分画分子量が３０００〜１００万の限外濾過膜又は、孔径が０．０１〜１ミクロンの精密濾過膜である膜濾過装置で処理することを特徴とするプリント配線板洗浄排水の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はプリント配線板洗浄排水の処理方法に関する。具体的には、プリント配線板製造工程中のレジスト工程、メッキ工程、エッチング工程、はんだ工程、表面処理工程等から排出される洗浄排水を処理する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント配線板の製造では、レジスト工程、メッキ工程、エッチング工程、はんだ工程、表面処理工程等があり、各種工程では色々な薬剤を使用しており、様々な洗浄剤を使用して洗浄する。そのためプリント配線板洗浄排水には、イオン成分として銅、鉄、錫、無機酸、有機酸、アミド、イミド類等、非イオン成分としては、ロジン、ポリグリコール、界面活性剤等が含まれており、凝集処理法や砂濾過法によって処理されている。
近年、このような排水を高度に処理し、水を回収して再利用する試みがなされている。その方法の一つに、まず排水を限外濾過膜又は精密濾過膜で濾過し、その濾過水を逆浸透膜分離で処理する方法がある。
しかしながら、プリント配線板製造の工程から排出される洗浄排水を濾過膜（限外濾過膜又は精密濾過膜をいう）で処理する場合、濾過膜のフアウリングによる濾過能力の低下（以下Ｆｌｕｘ低下という）が起こる、といった問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、上記の問題を解決するものである。即ち、濾過膜のフアウリングによるＦｌｕｘ低下が少なく、さらにはＦＩ値の低い水質も得られるプリント配線板洗浄排水の処理方法を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題解決のために鋭意検討を重ねた結果、プリント配線板洗浄排水をｐＨ調整して濾過膜で分離する方法で課題が解決することを見出し、本発明を完成した。
即ち、本発明は下記の通りである。
（１）プリント配線板製造工程から排出される洗浄排水を処理する方法において、排水のｐＨをｐＨ調整槽で酸性側からアルカリ側へ７〜９に調整し、ｐＨ調整された排水を分画分子量が３０００〜１００万の限外濾過膜又は、孔径が０．０１〜１ミクロンの精密濾過膜である膜濾過装置で処理することを特徴とするプリント配線板洗浄排水の処理方法。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明ついて、特にその好ましい態様を中心に詳細に説明する。
本発明でいうプリント配線板洗浄排水とは、プリント配線板の製造工程からの排水である。具体的には、レジスト工程、メッキ工程、エッチング工程、レジスト剥離工程、はんだ工程、表面処理工程等からの排水である。また、これらの排水を集合した集合排水も本発明の処理対象排水である。
【０００６】
排水中には、エッチングに用いた塩化第二鉄、塩酸、銅板から溶解した銅、メッキ成分の錫、はんだ付けで用いる主成分がロジンのフラックス、他に無機酸、有機酸、過酸化水素、レジスト由来のアミド、イミド類、洗浄剤由来の珪酸ソーダ、炭酸ソーダ、ポリグリコール、界面活性剤等が含まれ、通常、ｐＨは酸性側の排水が多い。
この排水を、ｐＨ調整槽に送り、ｐＨ調整を行う。本発明で用いるｐＨ調整槽は、調整槽、苛性ソーダタンク、苛性ソーダ注入ポンプ、排水供給ポンプ、送水ポンプ、ｐＨ計、ｐＨコントローラ、液面レベル計及び攪拌機で構成されることが好ましい。
【０００７】
ｐＨ調整槽の役割は、濾過膜に供給する排水のｐＨを均一かつ精度よく制御し、濾過膜のＦｌｕｘ低下を抑制することである。さらには、排水のｐＨを６〜１０に制御することで、鉄、銅、錫等のイオンを水酸化第二鉄、水酸化銅、水酸化錫等にして限外濾過膜又は精密濾過膜で分離できるようにすることである。又、有機物や濁質も無機水酸化物に取り込まれて、濾過膜で分離しやすくなる。  具体的にはｐＨ６〜１０、好ましくはｐＨ７〜９に調整する。
【０００８】
ｐＨ調整槽で生成した無機水酸化物及び排水中に含まれている有機物や濁質は本発明で用いる膜濾過装置で分離し、ＦＩ値の低い濾過水を得る。
本発明で用いる膜濾過装置は、濾過膜、原水循環タンク、逆洗タンク（濾過水タンク）、液面レベル計、圧力計、温度計、流量計、循環ポンプ、逆洗ポンプ、濾過水送水ポンプ、薬品タンク、エアー供給用コンプレッサー、薬品注入ポンプ、自動弁等の機器で構成されることが好ましい。
【０００９】
本発明で用いる膜濾過装置に限外濾過膜を用いると、濁度の低い水質が得られる。しかし分画分子量の小さい限外濾過膜だとＦｌｕｘが低くなるので、好ましくは分画分子量が３０００〜１００万、より好ましくは６０００〜１００万の限外濾過膜を用いる。本発明で用いる膜濾過装置に精密濾過膜を用いると高Ｆｌｕｘが得られる。しかし、孔径が大きいと目詰まりによってＦｌｕｘが低くなる傾向があり、ＦＩ値も高くなる傾向があるので、好ましくは孔径が０．０１〜１ミクロン、より好ましくは０．０１〜０．２ミクロンの精密濾過膜を用いる。また、モジュール型式については、スパイラル型、中空糸型、管状型及びプレート型のいずれでも良いが、モジュール１本当たりの膜面積が大きいもので、膜に付着した汚染物を除去し易い構造の物、例えば本実施例で用いるような中空糸型の外圧濾過用モジュールが好ましい。
【００１０】
膜の材質については、ポリアクリルニトリル、ポリスルフオン、ポリエーテルスルフオン、ポリオレフィン、酢酸セルロース、ポリアミド、ポリビニルアルコール、ポリフッ化ビニリデン等の有機質膜、アルミナ、ジルコニア等の無機質膜いずれでも良いが、能力が低下した時の薬剤洗浄及び排水中の過酸化水素等の薬剤にたいする耐性のある材質の膜、例えばポリフッ化ビニリデン（ＰＶｄＦ）膜が好ましい。
【００１１】
膜濾過装置による処理方法は、クロスフロー方式の外圧濾過もしくは内圧濾過または原水側を加圧する加圧濾過、もしくは濾過水側を吸引する吸引濾過のいずれでも良く、一定量の濾過水量で濾過する定流量濾過又は一定圧で濾過する定圧濾過のいずれでも良い。
原水側と濾過水側の膜間差圧（以下ＴＭＰという）は１０ＫＰａ〜３００ＫＰａが好ましい。逆洗及び又はエア−バブリング等の物理洗浄で膜に付着した有機物、無機水酸化物及び微粒子を定期的に系外に排出することが好ましい。実施例で用いる、逆洗とエアーバブリングを同時に行って汚染物を剥離し、次いで、水でフラッシングして系外に排出する方法が効果的である。
【００１２】
排出頻度は有機物、無機水酸化物及び微粒子の濃度にもよるが、３０分毎〜１、２時間毎に処理量の５〜１０％量を排出するのが好ましい。
Ｆｌｕｘ低下した濾過膜は、苛性ソーダ、次亜塩素酸ソーダ等のアルカリ系薬剤や硝酸、蓚酸、塩酸、硫酸等の酸系薬剤で洗浄することが好ましい。
以上の方法で得られた濾過水はＦＩ値が低いので、後段の逆浸透膜の処理安定性も良好である。
以下、実施例および比較例により本発明をより具体的に説明する。
【００１３】
【実施例１】
プリント配線板製造の各種工程から排出される洗浄排水を集合し、その一部を本発明のｐＨ調整槽に５００リットル／Ｈｒで送り、攪拌機で攪拌しながら、１規定の苛性ソーダを苛性ソーダ注入ポンプで注入してｐＨを調整した。ｐＨが７．２以下になると苛性ソーダ注入ポンプが作動してｐＨ７．８になると停止するようにｐＨコントローラーのｐＨを設定し、排水のｐＨを７．０〜８．０の範囲に調整した。
ｐＨ調整した排水を送水ポンプで本発明の濾過装置の循環タンクに送り、旭化成株式会社製の孔径０．１ミクロンの精密濾過膜（商品名：「ＵＳＶ−３００３」；外圧濾過用モジュール、内径０．８ｍｍの中空糸膜、材質ＰＶｄＦ）で濾過した。
その時の運転条件は、定流量濾過運転で、濾過水４５０リットル／Ｈｒ、濾過／逆洗＋エアーバブリング／フラッシング＝３０分／６０秒／３０秒、排出量５０リットル／Ｈｒ（回収率９０％）でおこなった。
【００１４】
上記の条件で、濾過開始時のＴＭＰは４０ＫＰａであり、１００ＫＰａの圧力で濾過した値に換算したＦｌｕｘ（以下１００ＫＰａ換算Ｆｌｕｘという）は１１２５リットル／Ｈｒであった。１週間濾過後のＴＭＰは５０ＫＰａであり、１００ＫＰａ換算Ｆｌｕｘは９００リットル／Ｈｒであった。その時の精密濾過膜濾過水の濁度とＦＩ値の測定及びイオン分析を行い、表１に記載した。なお、濁度はＨＡＣ社製の商品名「２１００ＰＴＵＲＢＩＤＩＭＥＴＥＲ」で測定し、イオン量はＴＪＡ社製の商品名「ＳＯＬＡＡＲ」を用いて原子吸光法で分析した。ＦＩ値はＪＩＳＫ３８０２の４００５に記載の方法で行った。
【００１５】
【実施例２】
実施例１と同じプリント配線板洗浄排水の一部を本発明のｐＨ調整槽に５００リットル／Ｈｒで送り、ｐＨを７．０〜８．０の範囲に調整した排水を、旭化成株式会社製の孔径０．４５ミクロンの精密濾過膜（商品名：「ＵＬＷ−３４８」；内圧濾過用モジュール、内径１．１ｍｍの中空糸膜、材質ＰＶｄＦ）を用いて、内圧でクロスフロー方式で濾過した。
上記の条件で、濾過開始時のＴＭＰは２０ＫＰａであり、１００ＫＰａ換算Ｆｌｕｘは２２５０リットル／Ｈｒであった。１週間濾過後のＴＭＰは３０ＫＰａであり、１００ＫＰａ換算Ｆｌｕｘは１５００リットル／Ｈｒであった。その時の、精密濾過膜濾過水の濁度とＦＩ値の測定及びイオン分析を実施例１と同じ方法で行い、表１に記載した。
【００１６】
【比較例１】
実施例１と同じプリント配線板洗浄排水の一部を本発明のｐＨ調整槽に５００リットル／Ｈｒで送り、ｐＨを４．６〜５．４の範囲に調整した以外は実施例１と同じ条件で濾過した。
上記の条件で、濾過開始時のＴＭＰは４０ＫＰａであり、１００ＫＰａ換算Ｆｌｕｘは１１２５リットル／Ｈｒであった。１週間濾過後のＴＭＰは２００ＫＰａであり、１００ＫＰａ換算Ｆｌｕｘは２２５リットル／Ｈｒであった。その時の精密濾過膜濾過水の濁度とＦＩ値の測定及びイオン分析を実施例１と同じ方法で行い、表１に記載した。
【００１７】
【表１】
0004172682.tif 000002
【００１８】
【発明の効果】
以上詳述したとおり、本発明の配線板洗浄排水の処理方法によれば、濾過膜のファウリングによるＦｌｕｘ低下が少なく、濾過水中のイオン量の低減及び濁度成分の除去もでき、ＦＩ値４以下の水質を得ることができる。