(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体材料を気化室で平面状に広く拡げ、この平面状に広く拡げられた液体材料の外周から内周に向かってキャリアガスが境界面上を流れるように構成され、また、気化ガス導出口が気化部の上方にあることを特徴とする気化部構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えばＴａ系、具体的にはペンタエトキシタンタル〔Ｔａ（ＯＣ2 Ｈ5 ）5 〕などの主として低蒸気圧材料気化供給装置に適用される気化部構造の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の低蒸気圧材料気化供給装置に適用される気化部構造は、例えば液体材料供給装置などの液体材料を定量気化することができるように、当該装置に組み込まれた気化器に適用され、半導体製造装置のチャンバ等の各種ユースポイントに供給するべく、この気化器で液体を気化させる。
【０００３】
その具体的な構造は、図７の（Ａ），（Ｂ）に示されるようになっている。
例えばステンレス鋼などのように熱伝導性および耐腐食性の良好な金属材料からなる本体ブロック０１内に、互いに交わることのないキャリアガス導入路０２と気化ガス導出路０３とが設けられている。
【０００４】
また、液体材料導入路０４は、その一方の開口（液体材料導入口）がこの本体ブロック０１の一つの側面に形成され、他方の開口（液体材料導出口）０５が前記側面に直交するこの本体ブロックの０１の上面０６に形成されている。そして、この他方の開口（液体材料導出口）０５の周囲には、この開口０５と同芯状に溝０７が穿設されている。したがって、前記他方の開口（液体材料導出口）０５の周縁と前記溝０７の内周面の上縁との間には平坦な円テーブル状の平滑面Ｔが形成されている。
【０００５】
前記溝０７に臨むようにして前記キャリアガス導入路０２の開口０８と気化ガス導出路０３の開口０９が開設されている。前記キャリアガス導入路０２の開口０８と気化ガス導出路０３の開口０９は、前記液体材料導入路０４の他方の開口０５を中心にして対称位置に配設されるようになっている。
【０００６】
また、この本体ブロックの０１の上面には下端にダイヤフラム０１０が備わった弁ブロック０１１が気密を保って配設されていて、このダイヤフラム０１０と前記溝０７とによって気化室０１２が形成されている。そして、このダイヤフラム０１０の中心部０１０Ａが上下動することによって、前記液体材料導出口０５が開閉されるように構成されている。所謂ダイレクトイン方式が採用されている。
【０００７】
したがって、液体材料を所定量気化するに当たっては、ダイヤフラム０１０のり中心部０１０Ａをやや上動させて、このダイヤフラム０１０の中心部０１０Ａ下面が本体ブロック０１の上面、つまり前記平滑面Ｔに対して僅かに離間させた状態にする。これによって、前記液体材料導出口０５は開放される。
【０００８】
次いで、液体材料を液体材料導入路０４に供給すると同時に、キャリアガス導入路０２にキャリアガスを供給する。液体材料は前記液体材料導出口０５から前記ダイヤフラム０１０と平滑面Ｔとの間の僅かな隙間を介して前記溝０７側に染み出してゆき、溝０７の内周面とダイヤフラム０１０の会合点で、表面張力によってダイヤフラム０１０の下面に付着する。
【０００９】
しかし、重力の働きによって、前記溝０７の内周面を伝って溝底側に滴り落ちるように染みだしてくる。一方キャリアガスは溝０７に臨んで開設されている開口０８を介して溝０７内に流入し、この開口０８から左右に分岐して溝０７内を半周して前記気化ガス導出路０３の開口１１からこの気化ガス導出路０３に流入してゆく。このとき、この溝０７内に流入したキャリアガスに液体材料が接触し気化が促進される。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来のダイレクトイン方式によると、溝０７内に供給されるキャリアガスの流れは、溝幅の中央部分の流速が早くなる反面、周壁側は緩速になる傾向があり、気液の充分な接触が適わず、望ましい気化効率が得られなかった。
【００１１】
また、前記液体材料導出口０５から前記ダイヤフラム０１０と平滑面Ｔとの間の僅かな隙間を介して前記溝０７側に染み出してくる液体材料は、重力によって、溝０７の内周面とダイヤフラム０１０の会合点に滞留するので、キャリアガスとの接触面積が格段に狭く、やはり気液の充分な接触が適わず、望ましい気化効率が得られなかった。
【００１２】
また、このように気化室０１２で完全に気化が行われず、液体材料が液体のままあるいはミスト状で残留すると、そのまま二次側の配管、つまり気化ガス導出路０３、更にそれ以降の配管系に供給され、二次側配管内で熱分解して酸化タンタルとして結晶したり、そのまま気化部内に残留して前記と同様の反応物を生成する。
【００１３】
本発明は、この従来構造の欠点に鑑みで開発されたもので、基本的には、液体材料の気化量は、液体材料とキャリアガスとの接触面積に比例するという原理をうまく活用しようとするもので、液体材料を可及的に広く拡げて、併せてキャリアガスとの接触面積が可及的に増大できるように工夫された点に特徴がある。
【００１４】
従って本発明は、たとえ低蒸気圧材料であっても、その気化効率を格段に向上できるようにし、併せて反応生成物の生成を格段に低減できるようにすることを課題とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明では、液体材料を気化室で平面状に広く拡げ、この平面状に広く拡げられた液体材料の外周から内周に向かってキャリアガスが境界面上を流れるように構成され、また、気化ガス導出口が気化部の上方にあるようにしたものである。
【００１６】
この手段によれば、気化室内に広く拡がった液体材料の表面上を、その外周から内周に向かってキャリアガスが流れる。このとき、液体材料とキャリアガスの境界面上で気化が促進され、気化されたガスはキャリアガスに混合され、混合ガスは気化部の上方の気化ガス導出口から所要の流路から所要の装置へ流下される。その結果、液体材料とキャリアガスとの接触面積を、従来の構造と違って格段に増大できる。
【００１７】
したがって、この発明は次の効果を有する。
液体材料をダイヤフラムの上面に広く拡散して、この広く拡散された液体材料の上面を、その外周から内周に向かってキャリアガスが流れるので、液体材料とキャリアガスとの接触面積が格段に増大し、気化効率を大幅に向上できる。
【００１８】
その結果、気化室に供給された液体材料が、液体のままあるいはミスト状で残留するおそれがなくなる。したがって、従来構造と違って、液体のままあるいはミスト状のまま、この気化ガス導出口から二次側流路へ供給されるおそれをうまく阻止でき、二次側流路内で、例えば熱分解して酸化タンタルとして、結晶したり、そのまま気化部内に残留して前記と同様の反応物を生成させてしまう欠点がなくなった。
【００１９】
また、気化ガス導出口が気化部の上方に開口されているので、液体材料が液体のままで二次側路内に流下する恐れがなくなった。
【００２０】
【発明の実施の形態】
発明の実施の形態を、図面の記載を参照しながら説明する。
【００２１】
（第１の実施の形態）
図１〜図４は、この発明を低蒸気圧材料気化供給装置の気化部構造に適用した場合の第１の実施の形態を示す。
図１は、この発明の低蒸気圧材料気化供給装置の気化部の拡大断面図、図２は、本体ブロックと弁ブロックとを分離した状態を斜め下から見た分解外観図、図３は、要部の断面図、また、図４は作用の説明図で、気化室を下方から見上げたた状態の底面図である。
これらの図において、１は熱伝導性および耐腐食性の良好な金属材料から形成された本体ブロック、２は弁ブロックである。図２に示されるように、前記本体ブロック１内部には互いに交わることのないキャリアガス導入路３と気化ガス導出路４とが設けられている。
【００２２】
液体材料導入路５は、図２に示されるように、その一方の開口（液体材料導入口）６がこの本体ブロック１の一つの側面７に形成され、他方の開口（液体材料導出口）８が前記側面７に直交するこの本体ブロックの１の下面９に形成されている。そして、この他方の開口（液体材料導出口）８の周囲で前記本体ブロックの１の下面９には、この他方の開口８を中心にして、下面開放の内外二重の溝１０，１１が同芯状に穿設されている。この他方の開口８と同芯状にこれら内外の溝１０，１１が穿設されているので、前記他方の開口（液体材料導出口）８の周縁と前記内側の溝１１の内周面の下縁との間には平坦な円テーブル状の平滑面Ｔが形成されている。この平滑面Ｔは、本体ブロック１の下面９と同じ平面上に位置して構成される。
【００２３】
両溝１０，１１は隔壁１２によって互いに仕切られている。しかし、この隔壁１２は、その立ち上がり寸法Ａが、本体ブロック１の下面９よりもやや上位に変位していて、この隔壁１２の下縁１３を介して内外の両溝１０，１１が連通連結されている。
【００２４】
前記キャリアガス導入路３の開口１４が前記二重溝の外側の溝１０の底に、また気化ガス導出路４の開口１５が前記二重溝の内側の溝１１の底に形成され、これら両開口１４，１５が前記液体材料導入路５の他方の開口８を中心にして１８０°位相を異ならせて配置されている。
【００２５】
また、この本体ブロック１の下面９には上端にダイヤフラム１６が備わった前記弁ブロック２が気密を保って配設されていて、このダイヤフラム１６と前記両溝１０，１１とによって気化室１７が形成されている。
【００２６】
前記本体ブロック１の下面９には周縁を残して中央部分に浅い凹入孔１８が形成されていて、前記ダイヤフラム１６はその両端の肉厚部１６Ｂがこの本体ブロック１の下面９の周縁と弁ブロック２の上面１９の周縁の間に挾持されると共に、前記浅い凹入孔１８内の周部に配されたパッキング２０によって前記気化室１７の気密が保たれるように構成されている。
【００２７】
そして、このダイヤフラム１６の中央肉厚部１６Ａは、その径が前記平坦な円テーブル状の平滑面Ｔの直径よりも大径に形成されていて、この平滑面Ｔに面接触するように配置されている。そして、このダイヤフラム１６の中央肉厚部１６Ａが上下作動することによって、前記他方の開口（液体材料導出口）８が開放されたり閉止されたりする。併せて、このダイヤフラム１６の上面と前記隔壁１２の下縁１３との間には狭い間隙流路２１が形成されることになる。
【００２８】
また、前記弁ブロック２内には、前記ダイヤフラム１６の中央肉厚部１６Ａの上下動を司る、例えばピエゾ素子を積層して形成されるピエゾアクチュエータ２２が内蔵されている。
【００２９】
図３に示されるように、前記本体ブロック１と弁ブロック２との間には、前記ダイヤフラム１６を含めた弁構造分２３が介装されている。
この弁構造部２３は、図示されるように、前記本体ブロック１の下面側に延設された流体流路５の流路開口８を上面平坦面で開閉する前記ダイヤフラム１６、このダイヤフラム１６が前記流路開口８を常時開放する方向に付勢するように働く、バネ受け２４とバネ２５と、そしてこのバネ２５の下端を、このダイヤフラム１６のプランジャー部２６に関連付けて固定するための割りピンで形成されるバネ止め２７とからなる付勢機構２８から構成される。前記プランジャー部２６は、図１にも示されるように、ダイヤフラム１６の中央肉厚部１６Ａが下方に凸に延出されて形成されている。
【００３０】
また、このダイヤフラム１６の周縁肉厚部１６Ｂにはその下面から一段窪ませて、前記プランジャー部２６を中心にして同芯状の、凹入段部２９が設けられていて、ここに前記ピエゾアクチュエータ２２を嵌入させる弁ブロック２の筒部材３０の上方に一体的に突出延設された嵌合突条３１が嵌合されている。また、この凹入段部２９で前記バネ受け２４がバネ２５の押圧力によって弾性的に付勢保持されている。
【００３１】
また、図示されるように、ピエゾアクチュエータ２２の出力部材（具体的にはダイヤフラムで構成されている）３２の上面中央と、弁構造部２３のプランジャー部２６の下面中央には、それぞれ円錐状の凹み３３，３４が形成され、これら上下の凹み３３，３４に挟持されるようにして真球３５が介装されて球面軸受け部３６がピエゾアクチュエータ２２の出力部材３２の上面と弁構造部２３のプランジャー部２６の間に形成されている。
【００３２】
なお、前記ダイヤフラム１６の中央肉厚部１６Ａの周囲にヒーター３７（図１中想像線で示す）を設け、気化室１７の温度調整を図れるようにすることもできる。気化室１７を温めることによって、低蒸気圧材料の気化を一層効率よく行えるからである。また、図３中３８は本体ブロック１内に設けられていて、このブロック全体を温めるためのカートリッジヒータである。
【００３３】
次に、上記第１の実施の形態の作動を説明する。
液体材料Ｌを所定量気化するに当たっては、先ず、ピエゾアクチュエータ２２に所定の電圧を加えることにより、その出力を出力部材３２を介して前記球面軸受け３６に伝え、更にプランジャー部２６に伝える。その結果、ダイヤフラム１６の中央肉厚部１６Ａが作動し、このダイヤフラム１６の中央肉厚部１６Ａの上面を前記平滑面Ｔに対して僅かに離間或いは接近させて、前記液体材料導入路５の他方の開口８の開き度合いを調整し、液体材料導入路５を流れる流体の流量を調整する。
【００３４】
次いで、液体材料Ｌを液体材料導入路５に供給すると同時に、キャリアガス導入路３にキャリアガスＧを供給する。液体材料Ｌは、図４に示されるように、前記液体材料導出口８から前記ダイヤフラム１６と平滑面Ｔとの間の僅かな隙間を介して前記内側の溝１１側に向かって染み出してゆき、この内側の溝１１の内周面とダイヤフラム１６の会合点で、内側の溝１１側に染み出し、更に内側の溝１１の内周面とダイヤフラムの会合点から、重力の働きと表面張力によってダイヤフラム１６の上面に付着しつつ、円状に広く拡がって拡散するように染みだしてくる（図１上三角形黒塗り部分）。
【００３５】
一方キャリアガスＧは、図１，図４に示されるように、外側の溝１０に臨んで開設されている開口１４を介してこの外側の溝１０内に流入し、この開口１４から左右に分岐してこの外側の溝１０内全域に行き渡るとともに、内側の溝１１との仕切りである前記隔壁１２の下縁１３とダイヤフラム１６の上面との間の間隙流路２１を介して、内側の溝１１の周域から中心に向かうようにしてこの内側の溝１１内に均等に流入される。
【００３６】
このとき、このキャリアガスＧは、この内側の溝１１内にあって、前記ダイヤフラム１６の上面に広く拡散された液体材料Ｌの表面上を流れ、液面との境界で液体材料Ｌが気化し、このキャリアガスＧに混合され、その気化を格段に促進する。気化されたガスＥは気化ガス導出路４の開口１５からキャリアガスＧ共々気化ガス導出路内４へと流下する。
【００３７】
このように、液体材料Ｌを広く拡散させることができるので、従来の構造と違って、液体材料ＬとキャリアガスＧとの接触面積を格段に拡げることが可能になり、気化効率を大幅に向上できる。
【００３８】
また、キャリアガスＧの外側の溝１０から内側の溝１１への流入は、前記隔壁１２とダイヤフラム１６との間の隙間流路２１を介して行われることによって、キャリアガスＧは内側の溝１１内での流速が増大する。その結果、前記広く拡散された液体材料Ｌの表面には、常時この早い流れの新しいキャリアガスＧが供給され、その後、気化ガス導出路４に流下してゆくこととなり、気化効率の大幅な向上が図れる。
【００３９】
また、気化ガス導出路４が気化室１７の上部に開口されているので、液体材料Ｌが液体のままで気化ガス導出路４内に流下する恐れがなくなった。
【００４０】
（第２の実施の形態）
次に図５に示される構造は、この発明を低蒸気圧材料気化供給装置の気化部構造に適用して場合の第２の実施の形態を示す。
この第２の実施の形態は、図１〜図４に示される第１の実施の形態の、下方にピエゾアクチュエータ２２を備えた弁ブロック２が配され、上方に液体材料導入路５が備わった本体ブロック１が配された構造と違って、本体ブロック１が下方に配され、弁ブロック２が上方に配される構成が採用されている。その具体構造は以下の通りである。
【００４１】
なお、図５において図１〜４に示した符号と同じ符号は同一物であるので、その詳細な説明は省略する。
【００４２】
先ず、本体ブロック１はその上面３９が平坦な面に形成され、その中央部分に液体材料導入路５の他方の開口８が開口される。また、この液体材料導入路５の横脇にはキャリアガス導入路３が設けられ、その開口１４がやはりこの上面３９に開口される。
【００４３】
また、ピエゾアクチュエータ２２を備えた弁ブロック２は、この本体ブロック１の上面３９上に気密状にして配されたダイヤフラム１６の更に上面に気密状にして配されている。
【００４４】
このダイヤフラム１６は、中央の上方に延びるプランジャー部２６の下方に一体的に軸部４０が延設されてなり、この軸部４０とプランジャー部２６との境界部分の全周に薄肉部１６Ｃが設けられ、この薄肉部１６Ｃの全周に周辺肉厚部１６Ａが一体に形成されてなる。また前記軸部４０の下面は平坦面に形成され、前記本体ブロック１の上面３９に開設されている液体材料導入路５の他方の開口８に対峙して配される。したがって、前記ピエゾアクチュエータ２２が作動されると、軸部４０が上下動し、その下面が本体ブロック１の上面３９に接当・離間されることによって、前記他方の開口８が開閉される。
【００４５】
そして、本第２の実施の形態では、このダイヤフラム１６の周辺肉厚部１６Ｂの下面１６Ｄに、下方開放に形成された環状の溝４２と、この環状の溝４２の内側で、このダイヤフラム１６の軸部４０と周辺肉厚部１６Ｂ、そして両者を繋ぐ薄肉部１６Ｃとで区画されて下方が開放されてなる環状の溝４３とで内外二重の溝が同心状に形成される。
【００４６】
また、両溝４２，４３の間は隔壁１２によって互いに仕切られている。しかし、この隔壁１２は、その立ち上がり寸法が、このダイヤフラム１６の下面１６Ｄよりもやや上位に変位していて、この隔壁１２の下縁１３と前記本体ブロック１の上面３９との間に隙間が形成され、この隙間流路２１を介して内外の両溝４２，４３が連通連結されている。
【００４７】
このダイヤフラム１６の周辺肉厚部１６Ｂには、その外周からこの内側の溝４３まで貫通させて形成された気化ガス導出路４が連通連結されている。そして、内側の溝４２側の開口１５が、前記キャリアガス導入路３の開口１４に対して前記液体導入路５の他方の開口８を中心にして１８０°位相を異ならせて配置されている。そして、このダイヤフラム１６と両溝４２，４３とによって、気化室１７が形成される。
【００４８】
したがって、液体材料Ｌを所定量気化するに当たっては、先ずピエゾアクチュエータ２２を作動させて、ダイヤフラム１６をやや上動させて前記液体材料導入路５の他方の開口８を開放する。次いで、前記第１の実施の形態と同様にして液体材料Ｌを液体材料導入路５に、また、キャリアガスＧをキャリアガス導入路３にそれぞれ供給して、液体材料Ｌを気化室１７において気化させる。液体材料Ｌが気化されるメカニズムは、前記第１の実施の形態と同様であり、本実施の形態においても、従来の構造に比べて格段に効率のよい気化を可能にするもので、前記第１の実施の形態と同様の効果を発揮する。
【００４９】
更に、本第２の実施の形態では、ダイヤフラム１６に気化室１７を形成するように工夫された点に特徴がある。つまり、ダイヤフラム１６に内外の二重の溝４２，４３、更には気化ガス導出路４を形成するようにしたもので、気化部構造の形成を、本体ブロック１に形成するのに比べれば、比較的廉価で、しかも容易に行える点に特徴がある。
【００５０】
（第３の実施の形態）
次に図６に示される構造は、この発明を低蒸気圧材料気化供給装置の気化部構造に適用して場合の第３の実施の形態を示す。
本第３の実施の形態では、基本的には前記第２の実施の形態に示される構成、つまりダイヤフラム１６を液体材料Ｌの気化部構造に有効に活用するための構造を踏襲するものである。
以下前記第２の実施の形態に示される構造との相違点のみを詳説し、同一の構造については、図中同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。また、この図６において図１〜４に示した符号と同じ符号は同一物であるので、その詳細な説明は省略する。
【００５１】
そこで、第２の実施の形態に示される構造との相違点は、前記外側の溝４２と、隙間流路２１を構成する具体的な構造とに存する。
まず、外側の溝４３は本体ブロック１の上面３９に形成される。
【００５２】
また、前記隙間流路２１は、次のように構成される。
前記ダイヤフラム１６に形成された内側の溝４３の下向き開口の外周縁に、全周にわたって上方に浅く凹ませた凹入部４５が形成される。そしてこの凹入部４５の外縁、つまりダイヤフラム１６の下面１６Ｄとこの凹入部４５の外周壁４５Ａとの会合点４６が前記本体ブロック１に形成されている外側の溝４２の内周壁４２Ａを越えてその溝幅のほぼ中間点に達するように形成されて、この凹入部４５が常時前記内側の溝４２と連通されているように形成される。このようにすることによって、本体ブロック１の上面３９とこの凹入部４５との間に隙間が形成されることになる。この隙間を隙間流路２１として機能させる。
【００５３】
このように本第３の実施の形態においては、ダイヤフラム１６には内側の溝４３と気化ガス導出路４、そして隙間流路４５とが形成されるのみで、外側の溝４２を形成する構造部分は本体ブロック１側に形成される点で、前記第２の実施の形態と少し相違する。
【００５４】
したがって、ピエゾアクチュエータ２２の作動させて、ダイヤフラム１６をやや上動させて前記液体材料導入路５の他方の開口８を開放し、前記第１の実施の形態と同様にして液体材料Ｌ並びにキャリアガスＧを供給する。次いで、液体材料Ｌを気化室１７において気化させる。液体材料Ｌが気化されるメカニズムは、前記第１の実施の形態と同様であり、本実施の形態においても、従来の構造に比べて格段に効率のよい気化を可能にするもので、前記第１の実施の形態と同様の効果を発揮する。
【００５５】
さらに、本第３の実施の形態では、ダイヤフラム１６に気化室１７を形成するように工夫された点に特徴がある。つまり、ダイヤフラム１６に内側の溝４３、気化ガス導出路４、更には隙間流路４５を形成するようにしたもので、気化部構造の全てを本体ブロック１に形成するのに比べれば、格段に廉価で、しかも容易に製造できる点に特徴がある。
【００５６】
なお、図１〜図６の各実施の形態において、前記ダイヤフラム１６とこれによって開閉される液体材料導入路５の他方に開口８との関係は、ノルマルクローズタイプが採用されているが、ノルマルオープンタイプにも適用されることはいうまでもない。
【００５７】
また、各実施の形態は、本発明の所期の目的を逸脱しない範囲で相互に適宜組み合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明を低蒸気圧材料気化供給装置の気化部構造に適用した場合の第１の実施の形態を示し、気化室部分の一部切欠き拡大縦断面図である。
【図２】前記低蒸気圧材料気化供給装置の分解外観図である。
【図３】前記低蒸気圧材料気化供給装置の要部の拡大断面図である。
【図４】前記低蒸気圧材料気化供給装置の気化部構造の作用説明図で、気化室部分を下面からみた底面図である。
【図５】この発明を低蒸気圧材料気化供給装置の気化部構造に適用した場合の第２の実施の形態を示し、前記低蒸気圧材料気化供給装置の要部の拡大断面図である。
【図６】この発明を低蒸気圧材料気化供給装置の気化部構造に適用した場合の第３の実施の形態を示し、前記低蒸気圧材料気化供給装置の要部の拡大断面図である。
【図７】従来の低蒸気圧材料気化供給装置の気化部構造を示し、（Ａ）は要部の拡大断面図、（Ｂ）は気化室部分を上面からみた平面図である。
【符号の説明】
１…本体ブロック体、２…弁ブロック、３…液体材料導入路、４…キャリアガス導入路、５…気化ガス導出路、８…他方の開口、９…下面、１０，４２…外側の溝、１１，４３…内側の溝、１２…隔壁、１３…隔壁の下縁，１４…開口、１５…開口、１６…ダイヤフラム、１７…気化室、２１…間隙流路、２３…弁構造部、２８…付勢機構、Ｅ…気化ガス、Ｇ…キャリアガス、Ｌ…液体材料。
【図１】
0004137265.tif 000002
【図２】
0004137265.tif 000003
【図３】
0004137265.tif 000004
【図４】
0004137265.tif 000005
【図５】
0004137265.tif 000006
【図６】
0004137265.tif 000007
【図７】
0004137265.tif 000008