(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向して配置された２つの基板のうちの一方の基板上に、放電ギャップを間にして互いに組をなす２つの維持電極を有するプラズマ表示装置であって、
前記基板に設けられた第１の維持電極と、
前記第１の維持電極上に積層して設けられると共に、放電ギャップとなる厚さを有する電気的分離層と、
前記電気的分離層上に積層して設けられた第２の維持電極とを備え、
前記第１の維持電極の幅が第２の維持電極の幅より大きい
ことを特徴とするプラズマ表示装置。
【請求項２】
前記電気的分離層は、前記第１の維持電極と第２の維持電極と間に設けられた絶縁体層である
ことを特徴とする請求項１記載のプラズマ表示装置。
【請求項３】
前記第１の維持電極が、前記第２の維持電極の幅より大きく形成された第１の電極層と、この第１の電極層上において前記第２の維持電極の幅より大きく広がった部分の上に形成された第２の電極層とから構成されている
ことを特徴とする請求項１記載のプラズマ表示装置。
【請求項４】
更に、前記２つの維持電極が形成された基板に対向する他の基板上に放電空間を区画するための複数の隔壁を備え、前記隔壁に対向する位置においては、前記第１の維持電極の幅と第２の維持電極との幅とが同じである
ことを特徴とする請求項１記載のプラズマ表示装置。
【請求項５】
前記基板と前記第１の維持電極との間に前記第１の維持電極よりも幅の広い透明電極が設けられた
ことを特徴とする請求項１記載のプラズマ表示装置。
【請求項６】
前記電気的分離層の厚さが５０μｍ未満である
ことを特徴とする請求項１記載のプラズマ表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマ放電を利用して表示を行うプラズマ表示装置およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、軽量化および薄型化の流れを受けて、パーソナルコンピュータなどのディスプレイにも、省スペース化，携帯性向上が求められており、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display：液晶ディスプレイ）、ＦＥＤ（Field Emission Display：電界放出型ディスプレイ）、有機ＥＬ（Electroluminescence:電界発光）ディスプレイ、ＰＤＰ（Plasma Display Panel：プラズマディスプレイパネル) などの種々のＦＰＤ（Flat Panel Display: 薄型ディスプレイ）が開発、製品化されている。このうち、プラズマ表示装置（ＰＤＰ）は、プラズマ放電によって発生した紫外線を蛍光体に照射させて発光させることにより画像表示を行うものであり、薄型・大画面のディスプレイとして市場創造が期待されている。
【０００３】
このプラズマ表示装置として、例えば３電極面放電型のものは、マトリクス状に配置された面放電のための一対の維持電極とアドレス電極との交点ごとに放電セルが画定され、それぞれの放電セルは赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の３種類の蛍光体をそれぞれ有する最小発光単位（ドット）を形成している。この放電セルを選択的に放電させることによって、ドットを選択的に発光させることによりカラー表示が行われる。
【０００４】
図１０は、従来のプラズマ表示装置において面放電（維持放電）を行うための一組の維持電極の構成を表したものである。一組の維持電極１０１ａ，１０１ｂは透明電極であり、これら維持電極１０１ａ，１０１ｂは表示面側の前面ガラス基板１０２の平面上に互いに平行になるように配設されている。これら維持電極１０１ａ，１０１ｂ間の隙間（放電ギャップ）１０３は、直線状となっており一定の幅を保っている。維持電極１０１ａ，１０１ｂ上の放電ギャップ１０３を形成する側と反対側の端部には、維持電極１０１ａ，１０１ｂの電気抵抗を低減するためのバス電極１０４ａ，１０４ｂがそれぞれ設けられている。なお、図１０では要部のみ表しているので省略しているが、維持電極１０１ａ，１０１ｂは多数の組が、互いに平行になるように前面ガラス基板１２上に配列されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように従来のプラズマ表示装置では、一組の維持電極１０１ａ，１０１ｂが前面ガラス基板１０２の平面上に互いに平行になるように配設されており、これら維持電極１０１ａ，１０１ｂと同一水平面において放電ギャップ１０３が形成されている。
【０００６】
しかしながら、このような構成であると、放電に寄与する放電ギャップ１０３は維持電極１０１ａ，１０１ｂ間において一つしか形成できないので、放電効率が十分ではなく、輝度が十分でないという問題があった。
【０００７】
その上、表示面側に位置する前面ガラス基板１０２の同一平面上に、非透明電極であるバス電極１０４ａ，１０４ｂがそれぞれ平行に形成されているので、表示面に対する開口率が低下してしまい、輝度が低下してしまうという問題があった。例えば、４２インチクラスのＰＤＰパネルの輝度は、高くて５００ｃｄ/ ｍ2 程度であり、このＰＤＰパネルが最終的にディスプレイとなって商品化されるためには、パネル上に電磁波遮蔽や外光反射防止のためのシートやフィルムを設ける必要があるので、実際のディスプレイとしての表示光の輝度はかなり低くなってしまうのが、現状である。
【０００８】
更に、維持電極１０１ａ，１０１ｂは同一平面上に平行に並んで形成されるので、維持電極に要する表示面と平行な面の面積が広く必要となるために、高精細化に制限が生じてしまうという問題があった。
【０００９】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、高輝度かつ高精細な表示を実現できるプラズマ表示装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明によるプラズマ表示装置は、対向して配置された２つの基板のうちの一方の基板上に、放電ギャップを間にして互いに組をなす２つの維持電極を有するものであって、基板に設けられた第１の維持電極と、第１の維持電極上に積層して設けられると共に、放電ギャップとなる厚さを有する電気的分離層と、電気的分離層上に積層して設けられた第２の維持電極とを備え、第１の維持電極の幅が第２の維持電極の幅より大きいことを特徴とする。
【００１３】
本発明によるプラズマ表示装置では、第１の維持電極と第２の維持電極とが電気的分離層を間にして積層された構造を有しているので、これら第１の維持電極と第２の維持電極との間の左右両側面それぞれにおいて放電ギャップが形成される。すなわち、１組の維持電極間において、２つの放電ギャップが形成され、従来のように表示面を大きく塞ぐことがなくなり、また、一組の維持電極に要する表示面と平行な面の面積が狭くなる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１７】
〔第１の実施の形態〕
図１は本発明の第１の実施の形態に係る３電極面放電型のプラズマ表示装置（ＰＤＰ）の１単位画素（ピクセル）に対応する部分を含む基本構造を表す斜視図であり、図２は、図１に示したプラズマ表示装置における一組の維持電極を含む要部の構成を表す部分断面図である。
【００１８】
このプラズマ表示装置２１は、前面ガラス基板２２と背面ガラス基板２３とが対向配置されており、これらの周囲が封止されることによりその内部は気密状態となっており、放電空間が形成されている。
【００１９】
背面ガラス基板２３は、例えば、ＰＤＰ用の高歪点ガラスやソーダライムガラスにより形成された板状基板である。この背面ガラス基板２３上には、金属の薄膜からなる複数のアドレス電極２４が平行に配列されている。なお、このアドレス電極２４は透明であることが好ましいが、必ずしも透明である必要はない。背面ガラス基板２３には、このアドレス電極２４および背面ガラス基板２３の全体を均等に覆うように背面誘電体層２５が形成されている。この背面誘電体層２５は、例えばＳｉＯ2 （二酸化珪素）を真空蒸着することにより形成された薄膜である。
【００２０】
各アドレス電極２４の間には、背面誘電体層２５を介して、その断面が例えば台形状である複数の隔壁２６がストライプ状に形成されている。隔壁２６は、例えばガラスペーストをパターニングし、焼成することによって形成される。各隔壁２６の高さは、隔壁２６の山頂を研磨したり、背面ガラス基板２３を削り出すことにより調整することができる。
【００２１】
各隔壁２６間において、各隔壁２６の側面および背面誘電体層２５上に、赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の３原色の蛍光体２７がそれぞれ設けられている。蛍光体２７の膜厚は均等であることが好ましい。
【００２２】
表示面側の前面ガラス基板２２は、背面ガラス基板２３と同様に、例えば、ＰＤＰ用の高歪点ガラスやソーダライムガラスにより形成された板状基板であるが、表示側に位置するので透明性が高くなければならない。
【００２３】
前面ガラス基板２２上には、面放電のための複数組（図では１組）の維持電極２８Ａ，２８Ｂが設けられている。本実施の形態では、これら維持電極２８Ａ，２８Ｂは前面ガラス基板２２の表面に対して垂直方向に積層された構造を有している。すなわち、一方の維持電極２８Ａが前面ガラス基板２２上に形成され、この維持電極２８Ａ上に、例えばＳｉＯ2 （二酸化珪素）からなる絶縁体層２９を間にして他方の維持電極２８Ｂが設けられている。なお、維持電極２８Ａ，２８Ｂは、対向する背面ガラス基板２３側のアドレス電極２４の延長方向と直交し、マトリクス状になるように設けられている。
【００２４】
維持電極２８Ａ，２８Ｂは、例えば、Ａｌ（アルミニウム），Ｃｕ（銅），Ａｕ（金），Ａｇ（銀），Ｃｒ（クロム），Ｍｏ（モリブデン）などの材料による金属膜またはそれらを積層した膜からなり、例えば印刷法，サンドブラスト法，めっき法，スパッタ法，蒸着法等により形成される。なお、維持電極２８Ａ，２８Ｂおよび絶縁体層２９をサンドブラスト法により同時に形成することも可能である。維持電極２８Ａ，２８Ｂの横幅は、例えば５０μｍ程度であり、その厚さは例えば１μｍ程度である。
【００２５】
本実施の形態では、維持電極２８Ａ，２８Ｂが絶縁体層２９を間にして積層された構造を有しているため、左右両側面に面放電のための２つの放電ギャップ３０Ａ，３０Ｂが形成される。維持電極２８Ａ，２８Ｂ間の距離は、絶縁体層２９の膜厚により調整することができ、負グロー放電による面放電のために例えば１００μｍ程度となっている。
【００２６】
図３は、図１に示した２つの維持電極の取り出し部分の構成を表す部分平面図である。維持電極２８Ａ，２８Ｂは、図示しない駆動回路に電気的に接続させるために、放電空間から取り出す必要がある。これら維持電極２８Ａ，２８Ｂの取り出し部分においては、維持電極２８Ａ，２８Ｂ間の絶縁体層２９の終端部分が絶縁体層２９の延長方向に対して垂直な方向に曲げて形成されている。この絶縁体層２９の終端部分の上面から側面に沿って維持電極２８Ｂが形成されることにより、維持電極２８Ｂは前面ガラス基板２２上に形成された他方の維持電極２８Ａと同一平面上に落とし込まれている。従って、維持電極２８Ａ，２８Ｂは取り出し部分において同一平面上に位置することになり、前面ガラス基板２２と背面ガラス基板２３との間がフリットシール（図示せず）により封止されても気密性は高く保持されることになる。
【００２７】
図１に戻って説明を続けると、前面ガラス基板２２には、維持電極２８Ａ，２８Ｂおよび絶縁体層２９を均等に覆うように、例えばＳｉＯ2 （二酸化珪素）を真空蒸着することによって前面誘電体層３１が形成されている。前面誘電体層３１は、プラズマのイオン衝撃により維持電極２８Ａ，２８Ｂが劣化することを防止するためのものである。また、この前面誘電体層３１を均等に覆うように、例えばＭｇＯ（酸化マグネシウム）層からなる保護層３２が形成されている。この保護層３２は、二次電子を放出することにより紫外線の発光効率を上昇させたり、維持電極２８Ａ，２８Ｂの保護の役割も果たしている。
【００２８】
このプラズマ表示装置２１では、マトリクス状に配置された複数組の維持電極２８Ａ，２８Ｂと複数のアドレス電極２４との交点ごとに放電セルが画定され、それぞれの放電セルが最小発光単位（ドット）３３を形成している。赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の３種類の蛍光体２７をそれぞれ有する３つのドット３３により１単位画素（ピクセル）３４が構成される。なお、放電セルは、各隔壁２６により一対の維持電極２８Ａ，２８Ｂの延長方向にドット３３ごとに放電空間が区画されることにより形成されると共に、その間隙寸法が規定されている。
【００２９】
なお、放電空間には、蛍光体２７に対する紫外線励起のための放電ガスとして例えば、ネオン，ヘリウム，アルゴン等にキセノンを混合したガスが封入されている。
【００３０】
このプラズマ表示装置２１において、表示画素内のドット３３を発光させるには、まず、維持電極２８Ａ，２８Ｂ間に放電維持電圧（交流電圧）を印加する。次に、発光させたいドット３３に対応した放電セル内で、一組の維持電極のうちアドレス電極２４に近い維持電極２８Ａとアドレス電極２４との間に放電アドレス電圧を印加し、アドレス放電を行わせる。このアドレス放電が終了した後には、放電セル内の保護層３２上に壁電荷が蓄積される。この壁電荷と予め２つの維持電極２８Ａ，２８Ｂ間に印加されている放電維持電圧とが組み合わされて放電開始電圧を超えることとなり、２つの放電ギャップ３０Ａ，３０Ｂにおいて陰極グロー放電による面放電（維持放電）が発生する。このプラズマ放電によって、放電セル内の放電ガスが紫外線を放ち、その紫外線が蛍光体２７に照射され、蛍光体２７が励起して発光することにより、ドット３３が発光することになる。
【００３１】
このように本実施の形態に係るプラズマ表示装置では、一組の維持電極２８Ａ，２８Ｂにより２つの放電ギャップ３０Ａ，３０Ｂが形成され、これら放電ギャップ３０Ａ，３０Ｂそれぞれにおいて面放電が発生する。従って、従来のように２つの維持電極を同一水平面に並設した構造に比べて、放電効率が向上すると共に、維持電極２８Ａ，２８Ｂが表示面に垂直な方向に積層された構造を有しているので、従来のように表示面を大きく塞ぐことがない。従って、表示面に対する開口率が向上し、高輝度な表示が可能になる。
【００３２】
また、維持電極２８Ａ，２８Ｂは表示面に対して垂直方向に積層されているので、維持電極２８Ａ，２８Ｂに要する表示面と平行な面の面積は狭くなり、高精細な表示が可能になる。
【００３３】
また、上述したように本実施の形態では、表示面に対する開口率が向上するために、従来のように、維持電極として透明材料を用いる必要がなくなるので、従来のような透明の維持電極上に低抵抗のバス電極を形成するというようなプロセスを大幅に簡略化することができ、低価格化を図ることができる。
【００３４】
〔第２の実施の形態〕
図４は、本発明の第２の実施の形態に係るプラズマ表示装置における維持電極を含む要部の構成を表す部分断面図である。このプラズマ表示装置の基本構造は第１の実施の形態と同様であるので、第１の実施の形態と異なる点についてのみ説明し、その他の説明は省略する。
【００３５】
本実施の形態では、２つの維持電極２８Ａ，２８Ｂにおいて、前面ガラス基板２２上に直接形成された維持電極２８Ａの横幅を絶縁体層２９に介して離れている維持電極２８Ｂの横幅より大きく形成するものである。維持電極２８Ａの横幅は例えば８０μｍ程度であり、維持電極２８Ｂの横幅は例えば４０μｍ程度である。
【００３６】
このように維持電極２８Ａの横幅が維持電極２８Ｂの横幅より大きく形成されているので、第１の実施の形態のように維持電極２８Ａ，２８Ｂの左右両側面の間のみではなく、維持電極２８Ａの維持電極２８Ｂより横幅が大きくなり広がった面および左右両側面と、維持電極２８Ｂの左右両側面との間で２つの放電ギャップ３０Ａ，３０Ｂがそれぞれ形成されることになる。従って、放電に寄与する電極表面積が増大して放電効率が向上し、より高輝度な表示が可能となる。
【００３７】
〔第３の実施の形態〕
図５は本発明の第３の実施の形態に係るプラズマ表示装置における維持電極の構成を表す部分平面図である。このプラズマ表示装置は、維持電極２８Ａの形状のみが第２の実施の形態と異なっており、その他の構成は第２の実施の形態と同様である。よって、第２の実施の形態と異なる点についてのみ説明し、その他の説明は省略する。
【００３８】
本実施の形態では、前面ガラス基板２２上に直接形成された維持電極２８Ａの横幅を前面ガラス基板２２から絶縁体層２９を介して離れている維持電極２８Ｂの横幅より大きく形成する一方、維持電極２８Ａの放電空間を区画する隔壁２６と対向する部分においては、その横幅を大きく形成することなく、維持電極２８Ｂと同じ横幅となっている。なお、この維持電極２８Ａの横幅が維持電極２８Ｂと同じになっている部分の長さＬは、隔壁２６の横幅より大きくても小さくてもよい。
【００３９】
このように、維持電極２８Ａの放電セルを区画する隔壁２６と対向する部分においては、その横幅を大きく形成していないので、この部分の放電効率は、横幅が大きく形成されている部分の放電効率ほどには向上することがない。従って、放電セル間のクロストークの防止が可能となり、よって消費電力を低減できると共に、表示面に対する開口率が向上し、より高輝度な表示が可能になる。
【００４０】
〔第４の実施の形態〕
図６は、本発明の第４の実施の形態に係るプラズマ表示装置における維持電極を含む要部の構成を表す部分断面図である。このプラズマ表示装置の基本構造も第２の実施の形態と同様であるので、第２の実施の形態と異なる点についてのみ説明し、その他の説明は省略する。
【００４１】
本実施の形態では、維持電極２８Ａは、第１の電極層２８１Ａと第２の電極層２８２Ａとにより構成されている。第１の電極層２８１Ａは前面ガラス基板２２上に直接形成され、その横幅は維持電極２８Ｂの横幅より大きくなっている。第２の電極層２８２Ａは、この第１の電極層２８１Ａ上において維持電極２８Ｂよりも横幅が広がった部分に、維持電極２８Ｂに対応する位置を挟むように形成されている。第１の電極層２８１Ａの横幅は、例えば１００μｍ程度であり、その厚さは例えば１μｍ程度である。また、第２の電極層２８２Ａの横幅は、例えば２０μｍ程度であり、その厚さは例えば４２μｍ程度である。維持電極２８Ｂの横幅は、例えば４０μｍ程度であり、その厚さは例えば２μｍ程度である。なお、この第１の電極層２８１Ａの構造は、第２の実施の形態における維持電極２８Ａと実質的には同じである。また、第１の電極層２８１Ａ、第２の電極層２８２Ａともに、維持電極２８Ｂと同様に、例えば、Ａｌ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｒ、Ｍｏなどの材料による金属膜またはそれらを積層した膜からなる。
【００４２】
このように本実施の形態では、維持電極２８Ａを構成する第２の電極層２８２Ａが第１の電極層２８１Ａ上に形成されているので、維持電極２８Ａと維持電極２８Ｂとの間の距離が縮まり、放電ギャップ３０Ａ，３０Ｂが狭くなる。また、第２の電極層２８２Ａの両側面と維持電極２８Ｂとの間でも放電が生じるので、第２の実施の形態よりも、放電に寄与する電極表面積が増大する。よって、放電効率がより向上し、より高輝度な表示が可能となる。
【００４３】
次に、本実施の形態における維持電極２８Ａ、２８Ｂおよび絶縁体層２９の製造方法について説明する。本実施の形態では、まず、図７（Ａ）に示したように、前面ガラス基板２２上に第１の電極層２８１Ａを例えば印刷法，めっき法，スパッタ法，蒸着法などによって形成する。続いて、この第１の電極層２８１Ａ上に、例えばＣＶＤ（Cemical Vapor Deposition ,化学的気相成長法) 法によって例えばＳｉＯ2 からなる絶縁体層２９を形成する。その後、この絶縁体層２９および第１の電極層２８１Ａ上に、導電膜３５を例えばスパッタ法や蒸着法により形成する。そして、導電膜３５上にフォトレジスト膜３６を形成し、図７（Ｂ）に示したようにフォトレジスト膜３６をマスクとして等方性エッチングを行う。等方性エッチングとしては、例えばエッチング液としてリン酸，酢酸，塩酸の混合液を用いたウエットエッチングを例えば５０℃の液温で１分間行う。これによって、導電膜３５が、第１の電極層２８１Ａ上において第１の電極層２８１Ａと共に維持電極２８Ａを構成する第２の電極層２８２Ａと、絶縁体層２９上の維持電極２８Ｂとに分離される。このような方法によれば、導電膜３５のエッチングによって、第２の電極層２８２Ａと維持電極２８Ｂとを簡単に作製することができる。
【００４４】
なお、第２の電極層２８２Ａおよび維持電極２８Ｂは、図８に示した次のような方法によっても作製することができる。本方法は、エッチング技術を用いることなく第２の電極層２８２Ａと維持電極２８Ｂとを分離する方法である。まず、上記の製造方法と同様にして、前面ガラス基板２２上に第１の電極層２８１Ａを形成する。続いて、この第１の電極層２８１Ａ上に、例えば蒸着法によって比較的横幅に比べて縦幅が長い絶縁体層２９を形成する。そして、この絶縁体層２９および第１の電極層２８１Ａそれぞれに、導電膜を例えばスパッタ法や蒸着法により付着させれば、エッチング技術を用いなくとも、導電膜は、第１の電極層２８１Ａ上において第２の電極層２８２Ａと、絶縁体層２９上の維持電極２８Ｂとに分離される。従って、この方法によれば、導電膜にエッチングを行うこともなく、第２の電極層２８２Ａと維持電極２８Ｂとをより簡単に作製される。
【００４５】
なお、上記実施の形態では、第２の電極層２８２Ａを第１の電極層２８１Ａ上に形成することにより一方の維持電極２８Ａを構成しているが、フォトレジスト膜をマスクとしてエッチングを行うことによって第１の電極層２８１Ａと第２の電極層２８２Ａとを同時に形成するようにしてもよい。
【００４６】
また、上記第３の実施の形態において、維持電極２８Ａの放電セルを区画する隔壁２６と対向する部分においては、その横幅を大きく形成しないことによって、放電セル間のクロストークの防止、消費電力の低減、高輝度な表示を可能にしているが、本実施の形態においても、維持電極２８Ａの放電セルを区画する隔壁２６と対向する部分においては、第１の電極層２８１Ａの横幅を大きく形成することなく、かつ、上記第２の電極層２８２Ａを形成しないことによって同様の効果を奏することができる。
【００４７】
〔第５の実施の形態〕
図９は、本発明の第５の実施の形態に係るプラズマ表示装置における一対の維持電極を含む要部の構成を表す部分断面図である。このプラズマ表示装置の基本構造は第１の実施の形態と同様であるので、第１の実施の形態と異なる点についてのみ説明し、その他の説明は省略する。
【００４８】
本実施の形態では、表示面側の前面ガラス基板２２上に透明電極３７が形成され、この透明電極３７の上に維持電極２８Ａが形成されている。この透明電極３４は、維持電極２８Ａと同様に、対向するアドレス電極２４の延長方向と直交しマトリクス状になるように設けられており、例えばＩＴＯ（Indium-Tin Oxide: インジウムと錫の酸化物混合膜）などの材料による薄膜からなる。このように表示面側の前面ガラス基板２２上に透明電極３７を介して維持電極２８Ａが形成されているので、表示面に対する開口率が向上し、より高輝度な表示が可能となる。
【００４９】
なお、先の第２〜第４の実施の形態においても、本実施の形態のように前面ガラス基板２２上に透明電極３７を介して維持電極２８Ａを形成するようにしてもよい。
【００５０】
また、第３の実施の形態においては、維持電極２８Ａの隔壁２６と対向する部分の横幅を維持電極２８Ｂと同じとすることによって、放電セル間のクロストークの防止等を可能にしているが、本実施の形態においても、透明電極３７の隔壁２６に対向する部分の横幅を維持電極２８Ｂと同じとすることによって同様の効果を奏することができる。
【００５１】
以上、いくつかの実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変形可能である。例えば、上記実施の形態においては、一組の維持電極２８Ａ，２８Ｂによる面放電に負グロー放電を用いているが、以下のような陰極グロー放電を用いてもよい。
【００５２】
ここで、陰極グロー放電について説明する。陰極から冷陰極放出で放射された電子のエネルギーは１ｅＶ程度であるために気体分子との相互作用はなく、陰極のごく近傍にはいわゆるアストン暗部ができる。さらに、電子が加速されると気体分子を励起できるようになり、励起された気体分子から気体固有の光を発する部分が生じる。この部分を陰極グローという。この陰極グローにおける発光を利用する放電を陰極グロー放電という。
【００５３】
この陰極グローは陰極近傍に生じるために、プラズマ表示装置に陰極グロー放電を用いれば、５０μｍ未満、好ましくは２０μｍ以下の狭い幅の放電ギャップによる面放電が可能になる。放電ギャップ、すなわち維持電極２８Ａ，２８Ｂ間の距離は、本実施の形態では絶縁体層２９の膜厚を変更することによって調整することができる。このように維持放電として陰極グロー放電を適用することにより、維持電極２８Ａ，２８Ｂ間の距離を５０μｍ未満と狭くすることができるので、より放電効率が向上し、より高輝度で、より高精細な表示が可能になる。
【００５４】
なお、第１の実施の形態においては、図３に示したように、維持電極２８Ａ，２８Ｂは取り出し部分において同一平面上に位置することになり、フリットシールにより封止されても気密性は高く維持されることになるが、これは第２〜第５の実施の形態においても同様である。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１ないし６のいずれか１項に記載のプラズマ表示装置によれば、組をなす第１の維持電極と第２の維持電極とを電気的分離層を間にした積層構造としたので、これら第１の維持電極と第２の維持電極との間の左右両側面それぞれにおいて放電ギャップが形成される。従って、１組の維持電極間において、２つの放電ギャップが形成され、従来のように表示面を大きく塞ぐことがなくなるので開口率が向上し、また、一組の維持電極に要する表示面と平行な面の面積が狭くなる。従って、高輝度かつ高精細な表示が実現可能となる。
【００５６】
加えて、第１の維持電極の幅を第２の維持電極の幅より大きくしたので、第１の維持電極の第２の維持電極より幅が大きくなり広がった面および左右両側面と、第２の維持電極の左右両側面との間で２つの放電ギャップがそれぞれ形成されることになり、放電に寄与する電極表面積が増大する。従って、放電効率がより向上し、より高輝度な表示が可能となる。
【００５７】
また、請求項６記載のプラズマ表示装置によれば、電気的分離層の厚さを調整することにより、一対の維持電極間の距離を５０μｍ未満と狭くすることができるので、放電効率が向上し、より高輝度かつ高精細な表示を実現することができる。
【００５８】
更に、請求項３記載のプラズマ表示装置によれば、一対の維持電極間の距離が縮まるため放電ギャップが狭くなり、また、一方の維持電極を構成する第２の電極層の両側面と維持電極との間でも放電が生じるため放電に寄与する電極表面積が増大するので、放電効率がより向上し、より高輝度な表示が可能になる。
【００５９】
また、請求項４記載のプラズマ表示装置によれば、第１の維持電極の隔壁と対向する部分においては、その横幅を大きく形成することなく、第２の維持電極の幅と同じ大きさとしたので、この部分の放電効率は横幅が大きく形成されている部分よりも抑制される。従って、放電セル間のクロストークの防止が可能となり消費電力を低減できると共に、表示面に対する開口率が向上し、より高輝度な表示が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るプラズマ表示装置の１単位画素（ピクセル）に対応する部分を含む基本構造を表す斜視図である。
【図２】図１に示したプラズマ表示装置における一組の維持電極を含む要部の構成を表す部分断面図である。
【図３】図２に示した維持電極の取り出し部分の構成を表す部分平面図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係るプラズマ表示装置における一組の維持電極を含む要部の構成を表す部分断面図である
【図５】本発明の第３の実施の形態に係るプラズマ表示装置における一組の維持電極の構成を表す部分平面図である。
【図６】本発明の第４の実施の形態に係るプラズマ表示装置における一組の維持電極を含む要部の構成を表す部分断面図である。
【図７】本発明の第４の実施の形態に係る維持電極および絶縁体層の製造工程毎の断面図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態に係るプラズマ表示装置における一組の維持電極および絶縁体層の他の作製方法を説明するための断面図である。
【図９】本発明の第５の実施の形態に係るプラズマ表示装置における一組の維持電極を含む要部の構成を表す部分断面図である。
【図１０】従来のプラズマ表示装置を構成する一組の維持電極の構造を説明するための要部斜視図である。
【符号の説明】
２１…プラズマ表示装置（ＰＤＰ）、２２…前面ガラス基板、２３…背面ガラス基板、２４…アドレス電極、２５…背面誘電体層、２６…隔壁、２７…蛍光体層、２８Ａ，２８Ｂ…維持電極、２８１Ａ…第１の電極層、２８２Ａ…第２の電極層、２９…絶縁体層、３０Ａ，３０Ｂ…放電ギャップ、３１…前面誘電体層、３２…保護層、３３…最小発光単位（ドット）、３４…１単位画素（ピクセル）、３５…導電膜、３６…フォトレジスト膜、３７…透明電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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