(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ軸方向に対向する面で接するステータとロータとからなる２組以上の超音波モータを同軸心上に配置し、ねじ軸が回り止めされた送りねじ機構を設け、この送りねじ機構のナットの外周に、上記２組以上の超音波モータのロータを、このロータの回転がナットに伝達可能なように設けた直動アクチュエータ。
【請求項２】
上記超音波モータの２組を１対として、軸方向に向かい合わせて配置した請求項１に記載の直動アクチュエータ。
【請求項３】
上記１対の超音波モータは、ロータ同士を対峙側に配置し、両ロータの間に、これらロータをステータに押し付ける予圧手段を設けた請求項２に記載の直動アクチュエータ。
【請求項４】
上記１対の超音波モータは、ステータ同士を対峙側に配置し、両ステータの間に、これらステータを押し付ける予圧手段を設け、各ロータをナットに対して端部側へ移動不能に拘束した請求項２に記載の直動アクチュエータ。
【請求項５】
上記ナットを回転自在に支持する転がり軸受を設けた請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の直動アクチュエータ。
【請求項６】
上記送りねじ機構は、ナットに摺動性合成樹脂を用いた滑りねじである請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の直動アクチュエータ。
【請求項７】
上記ねじ軸を回り止めする回り止め手段が、ねじ軸に径方向に突出して設けられた導電部材と、この導電部材を軸方向移動自在に案内する案内手段とでなり、上記案内手段に設けられて導電部材に接触する抵抗体および上記導電部材からなる位置検出器を設けた請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の直動アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、小型の機器、例えばエンターテイメント用の小型ロボット，医療用鉗子、マニュピュレータなどのロボットや、力覚提示装置、その他、小型で高推進力および位置決めを必要とする駆動装置等に用いられる直動アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記各種のロボットや、力覚提示装置等において、小型で高推進力および位置決めが可能な直動アクチュエータが求められている。力覚提示装置は、マスタースレーブ方式のマニピュレータのマスタ側機器や、仮想構造形等のバーチャルリアリティの入力装置において、操作者にフィードバックする装置である。
この種の機器に用いる小型の駆動源として、通常の巻線形の電動モータでは、必要な寸法まで小型化することが難しいことがある。医療用鉗子等では、人体に挿入する必要からできる限りの小型化が求められる。
従来、小型化の容易な駆動源としては、圧電素子の振動を回転運動として取り出す超音波モータが開発されている。また、超音波モータのロータとボールねじのナットとを結合し、回転運動を直線運動に変換するようにした直動装置も提案されている（特開平６−１１３５７０号公報）。ブレーキ装置においても、超音波モータの回転出力をボールねじにより直線運動に変換するものが提案されている（特開昭６３−２６６２２８号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
超音波モータの出力は、モータ径の３乗に比例することが知られており、小型にすると高い出力が得られない。このため、小径で高推進力の得られる直動アクチュエータの実現が困難となっている。また、上記提案例の直動装置やブレーキ装置は、超音波モータのロータとボールねじのナットとを軸方向に並べて配置しているため、軸方向の長さが長くなり、小型化が難しい。しかも，回転・直線運動の変換機構としてボールねじを用いるため、高価になるという課題がある。また、この種の直動アクチュエータにおいて、位置決めや速度制御を精度良く行うことが求められるが、位置検出器を設けると、小型の直動アクチュエータでは位置検出器の占める割合が大きくなり、装置全体が大型化するという課題がある。
【０００４】
この発明の目的は、小径で大きな出力が得られる直動アクチュエータを提供することである。
この発明の他の目的は、部品点数の削減にある。
この発明のさらに他の目的は、ハウジングの強度負担の低減による小型化にある。
この発明の他のさらに目的は、高効率でかつ安価なものとすることである。
この発明のさらに他の目的は、コンパクトな構成で位置検出を可能とすることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この発明の直動アクチュエータは、それぞれ軸方向に対向する面で接するステータとロータとからなる複数組の超音波モータを同軸心上に配置し、ねじ軸が回り止めされた送りねじ機構を設け、この送りねじ機構のナットの外周に、上記複数組の超音波モータのロータを、このロータの回転がナットに伝達可能なように設けたものである。
この構成によると、複数組の超音波モータのロータの回転が、送りねじ機構のナットに伝えられ、ナットの回転により、回り止めされたねじ軸が進退する。複数組の超音波モータを同軸心上に配置したため、小径でも大きな出力を得ることができる。また、超音波モータは、ロータを送りねじ機構のナットの外周に配置したため、空間の利用効率が良く、直動アクチュエータの全体をコンパクトに収めることができる。ロータが送りねじ機構のナットの外周に位置することから、全体の小型化を図りながら、少しでもロータ径を大きくして超音波モータに高い出力を得ることができる。
なお、ねじ軸の回り止め手段は、超音波モータのステータとねじ軸との間で回り止めを行える手段であれば良く、ねじ軸の進退自在な支持、またはナットを回転自在に支持するハウジングを設ける場合は、ハウジングに上記回り止め手段を設けても良い。
【０００６】
上記複数組の超音波モータは、２組を１対として軸方向に向かい合わせて配置しても良い。この向かい合わせの配置は、ロータ同士を対峙側に配置しても、またステータ同士を対峙側に配置しても良い。
このように、２組の超音波モータを軸方向に向かい合わせて配置すると、各超音波モータのロータとステータとを押し付け状態に予圧する手段等が、共通化あるいは簡素化され、部品点数を減らすことができる。
なお、上記の２組を１対として、さらに出力を得るために、複数対の超音波モータを同軸上に配置してもよい。
【０００７】
１対の超音波モータを、ロータ同士が対峙側となるように配置する場合、両ロータの間に、これらロータをステータに押し付ける予圧手段を設けても良い。この場合に、ロータをナットに対して軸方向移動自在としても良い。
このようにロータを対峙させて配置した場合、両ロータ間に予圧手段を介在させることで、両超音波モータの予圧手段を共通化でき、部品点数を減らすことができる。
【０００８】
１対の超音波モータを、ステータ同士が対峙側となるように配置する場合は、両ステータの間に、これらステータを押し付ける予圧手段を設けても良い。この場合、各ロータをナットに対して端部側へ移動不能に拘束する。ステータはナットに対し軸方向移動自在としても良い。
このようにステータを対峙側に配置した場合も、両ステータ間に予圧手段を介在させることで、両超音波モータの予圧手段、またはその支持手段を共通の部品とでき、部品点数を減らすことができる。この構成の場合に、各ロータを上記ナットに対して端部側へ移動不能に拘束することにより、ナット経由で予圧を掛けることができて、ハウジングの強度負担を低減することができる。そのため、例えばハウジングの肉厚を薄くしたり、ハウジングを省略することも可能になる。ロータをナットに対して端部側へ移動不能に拘束する構成としては、ロータとナットとを一体成型されたものとしても良く、またナットの一部をロータとしても良い。
【０００９】
この発明の上記各構成の直動アクチュエータにおいて、上記ナットを回転自在に支持する転がり軸受を設けても良い。転がり軸受を設けると、軸剛性、つまりねじ軸を支持するラジアル方向の剛性が向上する。軸剛性が不要な場合は、転がり軸受を省略しても良い。
転がり軸受を設ける場合、転がり軸受は、直動アクチュエータの備えるハウジングに対してナットを回転自在に支持するものとしても良い。なお、直動アクチュエータとして、ハウジングは必ずしも備えなくても良い。ハウジングを備えない場合、直動アクチュエータを設置する機器に上記転がり軸受の外輪を設置するようにする。その場合、例えば上記転がり軸受によりナットが支持されて、このナットによってねじ軸が支持されるようにし、回り止め手段を適宜設ける。
【００１０】
この発明の上記各構成の直動アクチュエータにおいて、上記送りねじ機構は、ナットに摺動性合成樹脂を用いた滑りねじであって良い。つまり、ねじ軸とナットとが滑り接触する送りねじ機構であっても良い。摺動性合成樹脂は、低摩擦係数の合成樹脂のことである。
摺動性合成樹脂を用いることで、滑りねじとしても、高効率の運動伝達が行える。また、滑りねじとすることにより、ボールねじに比べて低コストとなり、安価に直動アクチュエータを提供できる。
【００１１】
この発明の上記各構成の直動アクチュエータにおいて、位置検出器を設けても良い。例えば、上記ねじ軸を回り止めする回り止め手段を、ねじ軸に径方向に突出して設けられた導電部材と、この導電部材を軸方向移動自在に案内する案内手段とでなるものとする。その場合に、上記案内手段に設けられて導電部材に接触する抵抗体および上記導電部材からなる位置検出器を設ける。
位置検出器を設けることで、超音波モータの回転方向や速度を制御した位置決め機構を構成することが可能になる。位置検出器の導電部材を回り止め手段に兼用することにより、位置検出手段を別に設けることが不要で、部品の兼用化によるコンパクト化が図れる。導電部材は抵抗体に適切な圧力で接触し、かつねじ軸の回転トルクに打ち勝つだけの強度を備える必要があり、例えば金属ピンやその表面の一部に金メッキを施したものなどを用いることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
この発明の第１の実施形態を図１ないし図４と共に説明する。この直動アクチュエータは、２組の超音波モータ１，２を同軸心上に配置し、送りねじ機構３のナット５の外周に、上記２組の超音波モータ１，２のロータ７を設けたものである。各超音波モータ１，２は、それぞれ軸方向に対向する面で接するステータ６とロータ７とからなる。両超音波モータ１，２は、ロータ７が対峙するように軸方向に向かい合わせて配置され、両ロータ７の間に予圧手段８が設けられている。送りねじ機構３は、ねじ軸４とナット５とからなる。ナット５は、ハウジング１０の内周に、転がり軸受９を介して回転自在に支持され、両ロータ７の間に転がり軸受９の内輪９ａが位置する。したがって、２枚のステータ６の間に、２枚のロータ７と、予圧手段８と、軸受内輪９ａとが介在する。転がり軸受９は、必ずしも設けなくても良い。ハウジング１０は、超音波モータ１，２および転がり軸受９の配列と軸方向に並んでねじ軸案内部１１を内周に有し、ねじ軸案内部１１の内径面からなる案内孔１１ａに、送りねじ機構３のねじ軸４が軸方向移動自在に嵌合している。ねじ軸案内部１１は厚肉円筒状に形成され、内径面における円周方向の１箇所に、案内手段となるガイド溝１２が軸方向に沿って形成されている。ねじ軸４は、後端に導電部材１３が設けられており、導電部材１３がガイド溝１２に摺動自在に嵌合することにより、ハウジング１０に対して回り止めされている。導電部材１３は、ねじ軸４に設けられた直径方向の取付孔に嵌合して取付けられている。
【００１３】
ステータ６は、圧電素子１４を裏面に接着したリング状の部材であり、圧電素子１４には２組の電極（図示せず）が対称に、例えば中心軸回りに対称に作られている。上記電極には、所定の正弦波電圧を印加する駆動回路装置に接続されている。各ステータ７は、ハウジング１０の内周面に嵌合し、それぞれハウジング１０の端板部１０ａ、およびねじ軸案内部１１の端面となる段面１０ｂに裏面が接して軸方向に位置決めされている。
【００１４】
ロータ７は、ナット５とは回り止めを持った隙間嵌めで軸方向にスライド可能に嵌合している。ロータ７のナット５に対する回り止めは、図３に図１のIII-III 断面を示すように、ナット５の外周面を多角形状等の非円形の断面形状とし、ロータ７の内周面がこの外周面に倣う形状とすることで行われる。ロータ７とナット５との隙間嵌めは、例えば、隙間が０．０５〜０．１mmの範囲とされる。この隙間嵌めにより、ロータ７は、ナット５への回転伝達を可能としながら、予圧手段８により、両側の超音波モータ１，２におけるステータ６とロータ７の接触面に均一に予圧を掛けられるようになっている。予圧手段８は圧縮コイルばね等のばね部材からなる。予圧量は、例えば０．０１〜１．００ＭＰａの範囲とされる。
【００１５】
転がり軸受９には深溝玉軸受が用いられている。転がり軸受９は、ナット５をラジアル方向に対して支持する軸受であり、外輪９ｂがハウジング１０の内周面に隙間嵌めで嵌合し、内輪９ａがナット５の外周に隙間嵌めで嵌合する。この隙間嵌めのため、予圧手段８による予圧を、転がり軸受９を介して反対側の超音波モータ１に付与することが可能となっている。
【００１６】
送りねじ機構３は、ねじ軸４とナット５とが互いのねじ溝で噛み合って滑り接触する滑りねじであり、ナット５が摺動性合成樹脂、つまり低摩擦係数の合成樹脂で構成されている。この摩擦係数は、例えば０．０５〜０．３程度とされる。低摩擦係数の合成樹脂としては、フッ素樹脂等を用いることができる。ねじ軸４は金属材料である。ねじ軸４とナット５との噛み合い面における隙間は、例えば０．０１０〜０．１００mmの範囲とされる。ねじ軸４は、上記のように導電部材１３がハウジング１のガイド溝１２に摺動自在に係合することで回り止めされており、したがってナット５が回転することで、軸方向に移動する。ガイド溝１２と導電部材１３とで回り止め手段１８が構成される。ハウジング１０のねじ軸案内部１１は、ねじ軸４の軸方向以外の各方向の力を受けるガイドと、ねじ軸４の回り止めとなる導電部材１３の摺動案内とを兼用する。
【００１７】
導電部材１３は、図４に示すように、案内手段となるガイド溝１２内軸方向に設けられた抵抗体１５に摺接するものとされ、導電部材１３と抵抗体１５とで、リニアポテンショメータとなる位置検出器１６が構成される。この位置検出器１６は、抵抗体１５の端子と導電部材１３との間に生じる抵抗体１５の分圧抵抗を、電圧変化により検出することで、ねじ軸４の位置を検出するものである。抵抗体１５を１本とする代わりに、２本平行に設けて両抵抗体に導電部材１３が接触するものとしても良い。
【００１８】
上記構成の動作を説明する。各超音波モータ１，２の圧電素子１４に、例えば振幅１００Ｖ程度のステータ共振周波数（数十ｋＨｚ）に近い正弦波電圧を印加すると、圧電素子１４が振動し、それに伴い、この圧電素子１４が貼り付けられているステータ６が振動する。圧電素子１４の上記２組の電極に位相が異なる正弦波電圧を印加することで、振動は周方向に沿った進行波となる。ロータ７は、予圧手段８により一定予圧でステータ６に押し付けられており、ステータ６の周方向の進行波により、周方向の微細な送り運動に起因する力を受ける。一つの進行波に起因する送り運動は微細であるが、一秒間に数万回の微細運動が繰り返されるため、回転モータとしての回転運動が得られる。
ロータ７の回転により、ナット５が回転すると、ねじ軸４に回転トルクが伝達される。しかし、ねじ軸４は、導電部材１３がガイド溝１２に摺動自在に係合して回転運動することができない。したがって、回転トルクはねじ軸４とナット５とのねじ面に沿って直線運動に変換される。ナット５は摺動性の高い合成樹脂で作成されているため、このとき生じるエネルギーの損失は低く抑えられる。
【００１９】
この直動アクチュエータによると、２組の超音波モータ１，２を同軸心上に配置したため、小径でも大きな出力を得ることができる。両超音波モータ１，２はロータ７を送りねじ機構３のナット５の外周に配置したため、空間の利用効率が良く、直動アクチュエータの全体をコンパクトに収めることができる。ロータ７が送りねじ機構３のナット５の外周に位置することから、全体の小型化を図りながら、少しでもロータ径を大きくして超音波モータ１，２に高い出力を得ることができる。２組の超音波モータ１，２は、向かい合わせて配置したため、各超音波モータ１，２のロータ７とステータ６とを押し付け状態に予圧する予圧手段８が１つで共通化され、部品点数が削減されると共に、ハウジング１０の構成も簡易となる。すなわち、向かい合わせの配置とすることにより、ハウジング１０、ステータ６、ロータ７、および予圧手段８の組み合わせ構成が、２つ重複させる必要がなく、予圧手段８やハウジング１０による支持部を共通化できて、上記組み合わせ構成が簡略化される。
【００２０】
また、この直動アクチュエータは、ナット５を転がり軸受９で支持したため、軸剛性、つまりねじ軸４を支持するラジアル方向の剛性が向上する。送りねじ機構３は、ナット５に摺動性合成樹脂を用いた滑りねじとしたため、高効率の運動伝達が可能でありながら、ボールねじに比べて低コストとなる。
また、この直動アクチュエータは、位置検出器１６を設けたため、超音波モータ１，２の回転方向や速度を制御した位置決め機構を構成することが可能になる。位置検出器１６は、導電部材１３を回り止め手段に兼用したため、位置検出手段を別に設けることが不要で、部品の兼用化によるコンパクト化が図れる。
【００２１】
図５は、この発明の第２の実施形態を示す。この直動アクチュエータは、２組の超音波モータ３１，３２を、ステータ３６が対峙するように、同軸心上に向かい合わせて配置したものである。各超音波モータ３１，３２は、それぞれ軸方向に対向する面で接するステータ３６とロータ３７とからなる。各ロータ３７は、送りねじ機構３３のナット３５の両端に外周に配置され、２つの背中合わせのステータ３６と予圧手段３８とを、２枚のロータ３７で挟み込んでいる。ナット３５は、ハウジング４０に転がり軸受３９を介して回転自在に支持されており、両ステータ３６の間に転がり軸受３９が配置されている。転がり軸受３９は深溝玉軸受からなり、ハウジング４０の内周にリング部材４８を介して嵌合し、止めねじ４９でハウジング４０に止め付けられている。予圧手段３８は板ばねからなり、各ステータ３６と転がり軸受３９の外輪３９ｂとの間にそれぞれ配置されている。転がり軸受３９は必ずしも設けなくても良い。
【００２２】
片方（図の左側）のロータ３６は、ナット３５と一体に形成されており、もう片方のロータ３６は、ナット３５に締まり嵌めまたは止まり嵌めによって嵌合している。ナット３５は、一端に外周に形成された雄ねじ部にロータ押さえ３５ａが螺合しており、上記もう片方（図の右側）のロータ３６は、詳しくはロータ押さえ３５ａの内径部の筒状部に外嵌している。ロータ押さえ３５ａのねじ込み量の調整によって、予圧量を調整することができる。
【００２３】
超音波モータ３１，３２のステータ３６は、上記実施形態と同じく、裏面に圧電素子３４が接着されたリング状の部材であり、ハウジング１０に対して回転不能の状態でかつ軸方向移動が自在に嵌合している。これにより、予圧手段３８による均等な予圧が可能とされている。
【００２４】
送りねじ機構３３はねじ軸３４とナット３５とからなり、滑りねじとされている。ナット３５は摺動性合成樹脂からなる。ハウジング４０は、超音波モータ３１，３２および転がり軸受３９の配列と軸方向に並んでねじ軸案内部４１を内周に有する。ねじ軸案内部４１の内径面からなる案内孔４１ａに、ねじ軸３４の後端に設けられた被ガイド部材３４ａが軸方向移動自在に嵌合している。ねじ軸案内部４１は厚肉円筒状に形成され、ねじ軸案内部４１とねじ軸３５との間に、ねじ軸３５の回り止め手段（図示せず）が設けられている。この回り止め手段は、例えば、上記実施形態と同じく、ねじ軸３５に設けられた導電部材と、ねじ軸案内部４１の内径面における円周方向の１箇所に設けられて導電部材を摺動自在に案内するガイド溝（図示せず）とで構成される。また、ねじ軸案内部４１の中心にロッド５０が設けられ、このロッド５０は、ねじ軸３５の軸心に設けられた孔に摺動自在に嵌合している。また、この直動アクチュエータには、ねじ軸３５の進退位置を検出する位置検出器（図示せず）が設けてられている。
【００２５】
この実施形態の場合、予圧荷重がハウジング４０に作用しない。すなわち、第１の実施形態では、予圧荷重はロータ７およびステータ６を介してハウジング１０に掛けられることになる。そのため、ハウジング１０は、この予圧荷重に耐える強度が必要で、肉厚が厚くなる。図５の実施形態の場合は、予圧荷重は、ステータ３６，ロータ３７経由で、ナット３５に掛けられることになる。そのため、ハウジング４０に予圧荷重が作用しない。したがって、ハウジング厚を必要最小限とでき、それだけ直動アクチュエータの外径を小径にすることができる。
なお、この実施形態において、特に説明した事項の他は、第１の実施形態と同じである。
【００２６】
図６は、直動アクチュエータの駆動回路装置の一例を示す。この駆動回路装置は、この発明において位置検出器を有するものであれば適用することができる。例えば、第１，第２の実施形態に適用することができる。
位置指令は、指令電圧としてコントローラ／ドライバ５１に入力され、コントローラ／ドライバ５１は、位置指令に応じて直動アクチュエータ５２の超音波モータの駆動電流を制御する。このとき、コントローラ／ドライバ５１は、直動アクチュエータ５２のねじ軸の進退位置を検出する位置検出器１６の位置検出電圧に応じて、フィードバック制御を行う。コントローラ／ドライバ５１の出力は、例えば上記のように振幅１００Ｖ程度のステータ共振周波数（数十ｋＨｚ）に近い正弦波電圧の出力である。
【００２７】
図７は、直動アクチュエータの駆動回路装置の他の例を示す。この例では、コントローラ６１とドライバ６２とが設けられ、コントローラ６１は、入力された位置指令となる指令電圧に応じてパルス幅変調信号をドライバ６２に出力する。ドライバ６２は、入力されたパルス幅変調信号に従って、直動アクチュエータ５２の超音波モータの駆動電流を制御する。コントローラ６１は、位置検出器１６の位置検出電圧に応じて、フィードバック制御を行う。ドライバ６２の出力は、図６の例のコントローラ／ドライバ５１の出力と同じである。
【００２８】
なお、上記各実施形態では送りねじ機構３，３３として滑りねじを用いたが、ボールねじを用いても良い。
【００２９】
【発明の効果】
この発明の直動アクチュエータは、それぞれ軸方向に対向する面で接するステータとロータとからなる２組以上の超音波モータを同軸心上に配置し、ねじ軸が回り止めされた送りねじ機構を設け、この送りねじ機構のナットの外周に、上記２組以上の超音波モータのロータを、このロータの回転がナットに伝達可能なように設けたため、小径で大きな出力を得ることができる。
上記超音波モータの２組を１対として軸方向に向かい合わせて配置した場合は、部品点数を削減することができる。
特に、１対の超音波モータを、ロータ同士が向き合うように配置し、両ロータの間に、これらロータをステータに押し付ける予圧手段を設けた場合は、予圧手段を両超音波モータに兼用できて、部品点数が削減される。
上記１対の超音波モータを、ステータ同士を対峙側に配置し、両ステータの間に、これらステータを押し付ける予圧手段を設け、各ロータをナットに対して端部側へ移動不能に拘束した場合は、ハウジングの強度負担を低減することができる。そのため、ハウジングの薄肉化や、省略等が可能になる。
上記ナットを回転自在に支持する転がり軸受を設けた場合は、ねじ軸を支持するラジアル剛性を向上させることができる。
上記送りねじ機構がナットに摺動性合成樹脂を用いた滑りねじである場合は、高効率でかつ安価なものとすることができる。
上記ねじ軸を回り止めする回り止め手段が、導電部材と、その案内手段とでなり、上記案内手段に設けられた抵抗体および上記導電部材からなる位置検出器を設けた場合は、コンパクトな構成で位置検出を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１の実施形態にかかる直動アクチュエータの破断正面図である。
【図２】同直動アクチュエータの側面図である。
【図３】図１のIII-III 線に沿う部分断面図である。
【図４】同直動アクチュエータの位置検出器周辺を示す部分破断正面図である。
【図５】この発明の第２の実施形態にかかる直動アクチュエータの破断正面図である。
【図６】直動アクチュエータの駆動回路装置の一例を示すブロック図である。
【図７】直動アクチュエータの駆動回路装置の他の例を示すブロック図である。
【符号の説明】
１，２…超音波モータ
３…送りねじ機構
４…ねじ軸
５…ナット
６…ステータ
７…ロータ
８…予圧手段
９…転がり軸受
１０…ハウジング
１１…ねじ軸案内部
１３…導電部材
１６…位置検出器
１８…回り止め手段
３１，３２…超音波モータ
３３…送りねじ機構
３４…ねじ軸
３５…ナット
３６…ステータ
３７…ロータ
３８…予圧手段
３９…転がり軸受
４０…ハウジング
４１…ねじ軸案内部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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