(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に貯留された液体を吐出するための吐出口が形成された容器と、この容器の内部に配置され前記吐出口を開閉する出口弁と、前記容器の内部で前記出口弁に隣接配置され前記吐出口へ液体を供給し又は液体の供給を阻止する入口弁とを備え、
前記入口弁は、前記吐出口と連通するとともに容器内部に開口された吸入口が形成されたパッキン部材と、このパッキン部材の吸入口を囲うとともに前記吸入口に対して進退自在とされた筒状部材と、この筒状部材の内部に配置され前記吸入口を開閉するように前記筒状部材の軸方向に進退可能とされたプランジャとを有し、
前記出口弁は、前記パッキン部材に形成された前記吸入口と前記吐出口との間の流路を開閉するロッドを有し、このロッドは、その基端が出口弁駆動機構と連結され先端が前記パッキン部材に摺動自在に支持されたことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液体吐出装置において、前記入口弁は、前記筒状部材と前記プランジャとの間にテフロン製ガイド部材を介装したことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液体吐出装置において、前記パッキン部材は、前記吐出口と連通する第１孔部が表裏を貫通して形成された板状の第１パッキン材と、前記ロッドの先端を支持する第２孔部と前記吸入口とが異なる位置に表裏を貫通して形成され前記第１パッキン材と接する面に前記吸入口と前記第２孔部とを連通する溝が形成された板状の第２パッキン材とから構成されていることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載された液体吐出装置において、前記入口弁は、複数設けられるとともに入口弁の数だけ前記吸入口が前記パッキン部材に形成され、これらの吸入口は前記吐出口にそれぞれ連通されていることを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は集積回路のパッケージ等の形成に用いられる磨耗性液体、その他の液体を定量吐出するための液体吐出装置に関するものである。
【０００２】
【背景技術】
従来より、集積回路のパッケージ等の樹脂成型品を製造する際に、原料樹脂スラリーを型内に一定量ずつ充填することが行われているが、この充填操作のために各種液体吐出装置が利用されている。
この液体吐出装置の従来例として、同心上に配置された筒状部材及びプランジャと吐出口に連通された流路が形成されたパッキン部材とから構成された入口弁と、この入口弁の流路を開閉する出口弁とを備え、供給タンクから供給された液体を筒状部材で計量してプランジャで吐出する液体吐出装置がある（特開平8-303598号）。
さらに、液体を内部に貯留し吐出口を有する容器と、この容器の吐出口を開閉する内側弁と、この内側弁との間の空間に液体の流入を許容又は阻止する外側弁と、これらの弁の間に収納された液体を吐出口から吐出させる吐出部材とを備え、これらの弁及び吐出部材は吐出口を中心とした同心上に容器内に配置された液体吐出装置が提案されている（特願平9-118099号）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
特開平8-303598号で示される従来例では、入口弁及び出口部材は、それぞれ本体（ケース）に対して軸方向摺動自在に支持されたプランジャや筒状部材を備えて構成されている。
本体（ケース）とプランジャや筒状部材との間にはこれらの摺動動作を滑らかに行うための隙間が不可欠である。
そのため、本体とプランジャや筒状部材との間の隙間を通って液体が本体の外に漏出する虞れがあり、その場合、液体吐出装置の外表面が汚れたり、吐出精度が低下することとなる。
【０００４】
また、特願平9-118099号で示される液体吐出装置では、内側弁、吐出部材及び外側弁が吐出口を中心として同心上に配置されており、最も内側に位置する内側弁は基端が弁駆動機構と連結され先端が吐出口を閉塞するロッドを備えて構成されている。
このロッドは、片持ち状態で支持されているため、その取付位置が正確でないと、吐出口を確実に開閉できず、吐出不良を起こすという不都合が生じる。そのため、吐出口や内側弁等の加工精度や組立精度を向上させなければならず、液体吐出装置の製造作業が煩雑となる。
【０００５】
本発明の目的は外部への漏出がなくなるとともに、精度の高い定量吐出が可能な液体吐出装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
そのため、本発明は、液体が貯留された容器の内部に吐出口を開閉する出口弁と、吐出口に液体を送る入口弁とをそれぞれ配置し、出口弁を構成するロッドの先端を容器に設けられたパッキン部材に摺動自在に支持して前記目的を達成しようとするものである。
具体的には本発明にかかる液体吐出装置は、内部に貯留された液体を吐出するための吐出口が形成された容器と、この容器の内部に配置され前記吐出口を開閉する出口弁と、前記容器の内部で前記出口弁に隣接配置され前記吐出口へ液体を供給し又は液体の供給を阻止する入口弁とを備え、前記入口弁は、前記吐出口と連通するとともに容器内部に開口された吸入口が形成されたパッキン部材と、このパッキン部材の吸入口を囲うとともに前記吸入口に対して進退自在とされた筒状部材と、この筒状部材の内部に配置され前記吸入口を開閉するように前記筒状部材の軸方向に進退可能とされたプランジャとを有し、前記出口弁は、前記パッキン部材に形成された前記吸入口と前記吐出口との間の流路を開閉するロッドを有し、このロッドは、その基端が出口弁駆動機構と連結され先端が前記パッキン部材に摺動自在に支持されたことを特徴とする。
【０００７】
この構成の本発明では、予め、容器内に液体を貯留しておく。この状態で、出口弁で吐出口を閉塞しておき、入口弁で液体の計量を行う。つまり、吸入口から筒状部材とプランジャとをそれぞれ離隔しておき、筒状部材を前進させて筒状部材の内部に規定量の液体を貯える。
その後、出口弁によって吐出口を開放する。出口弁を構成するロッドは吐出口から後退されるが、その先端はパッキン部材で支持されている。
さらに、入口弁のプランジャを前進駆動する。すると、筒状部材に貯えられた液体は吸入口を経て吐出口から外部に吐出される。液体が吐出されたら、出口弁を操作してロッドを前進駆動し、吸入口と吐出口との間の流路を閉塞する。
【０００８】
従って、本発明では、入口弁及び出口弁を構成する筒状部材、プランジャ並びにロッドは本体に対して所定の隙間をもって摺動自在に支持されているのではなく、液体が貯留された容器内部に配置されているため、これらの部材の間に摺動のための隙間があっても、この隙間から浸入する液体は容器内部に戻るため、外部に漏出することはない。
しかも、出口弁を構成するロッドは、その先端がパッキン部材に摺動自在に支持されているため、吐出口を開放する際に、ロッドが吐出口から後退してもパッキン部材から離れることがない。そのため、出口弁で吐出口を閉塞操作する際に、ロッドを前進すると、このロッドの先端が確実に吐出口を閉塞することになるため、精度の高い定量吐出を実現することができる。
【０００９】
ここで、本発明では、前記入口弁を構成する前記筒状部材と前記プランジャとの間にテフロン製ガイド部材を介装した構成としてもよい。
筒状部材とプランジャとの摺動部分に耐薬品性の極めて高いテフロン製のガイド部材を介装することで、耐久性が向上するだけでなく、吐出液体として瞬間接着剤を使用する場合でも、これらの部材の摺動部分が接着することがなく、安定した液体吐出が行える。
【００１０】
さらに、本発明では、前記パッキン部材を、前記吐出口と連通する第１孔部が表裏を貫通して形成された板状の第１パッキン材と、前記ロッドの先端を支持する第２孔部と前記吸入口とが異なる位置に表裏を貫通して形成され前記第１パッキン材と接する面に前記吸入口と前記第２孔部とを連通する溝が形成された板状の第２パッキン材とから構成してもよい。
この構成では、パッキン材の表裏に孔部貫通形成し、パッキン材の側面に沿って溝を形成し、これらのパッキン材を重合することで、複雑な形状の流路を簡単に成形することができるとともに、これらのパッキン材を分離することで、流路の保守、清掃を簡単に行うことができる。
【００１１】
また、本発明では、前記入口弁は複数設けられるとともに入口弁の数だけ前記吸入口が前記パッキン部材に形成され、これらの吸入口は前記吐出口にそれぞれ連通された構造でもよい。
この構造では、１個の入口弁の吐出量が少ない場合であっても、この入口弁を複数設けることで、多量の液体を１個の吐出口から精度よく吐出させることができる。
この点、１個の入口弁で多量の吐出量を確保するには、筒状部材及びプランジャの径を大きくしたり、プランジャの前進量（ストローク）を多くする構造が考えられるが、筒状部材等の径を大きくする構造では、筒状部材等の加工精度が良くないと、正確な吐出量を確保できず、プランジャの前進量を多くする構造では、プランジャの進退動作に時間がかかってしまい迅速な吐出動作を期待できない。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
ここで、各実施形態中、同一構成要素は同一符号を付して説明を省略する。
図１から図５には本発明の第１実施形態が示されている。
図１は第１実施形態の液体吐出装置が設けられたディスペンサの全体構成を示す斜視図である。図１において、ディスペンサ１は、液体を扁平長尺状の対象物２の表面に精密吐出する作業を自動化する装置であり、箱型のケース３内に自動精密吐出を行うための各構成を備えている。
このディスペンサ１で吐出される液体は、例えば、微粉末状の潤滑剤を混合した揮発性の液体、樹脂スラリー、液晶や半導体部品の接着剤、瞬間接着剤、その他の接着剤、さらに、薬剤等である。
【００１３】
ケース３内には対象物２を保持する保持手段４と、液体を所定速度で吐出する第１実施形態にかかる液体吐出装置５と、この液体吐出装置５を保持手段４に保持させて対象物２に対して所定速度で相対移動させる移動手段６と、この移動手段６の移動速度と液体吐出装置５の液体の吐出速度とを一定の比率に調整する調整手段７とが設置されている。
ケース３は基部８の上面に作業台９を有し、この作業台９は前面を開放されているが、両側面及び背面を透明な遮蔽板１０で閉塞している。
基部８には、その前面に形成された棚状部に調整手段７が設置されている。この調整手段７からの電源や制御用の配線（図示せず）は基部８内を通して作業台９上の液体吐出装置５や移動手段６に接続されている。この移動手段６はＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各軸移動機構を備えたロボットアームであり、各々は既存のボールねじ送り機構やリニアモータ、流体シリンダ等の適宜な直線駆動手段（図示せず）により、各軸方向に高精度で移動可能である。
【００１４】
液体吐出装置５の構成が図２から図５に示されている。
図２は液体吐出装置５の全体構成を示す断面図であり、図３は、図２のIII-III線に沿った矢視断面図である。
これらの図において、液体吐出装置５は、液体を吐出する吐出機構１１と、この吐出機構１１を駆動する駆動機構１２とから構成されている。
吐出機構１１の詳細な構成が図３に示されている。
図３において、吐出機構１１は、内部に液体が貯留された容器１３と、この容器１３の内部に互いに隣接配置された入口弁１４及び出口弁１５とを備えた構成である。
容器１３は、液体を外部から供給するための供給孔１７Ａが側面に形成され基端（上端）が開口された有底円筒状の容器本体１７と、この容器本体１７の先端（下端）に設けられたノズル１８とを備えており、このノズル１８は、その内部空間が吐出口１８Ａとされている。
【００１５】
入口弁１４は、容器１３の内部に設けられるとともに吸入口１９Ａが容器内部に開口されたパッキン部材１９と、このパッキン部材１９の吸入口１９Ａに対して進退自在とされ吐出する液体を計量する筒状部材２０と、この筒状部材２０の内部に配置され吸入口１９Ａを開閉するように筒状部材２０の軸方向に進退可能とされたプランジャ２１とを備え、吐出口１８Ａへ液体を供給し又は液体の供給を阻止する構造である。
パッキン部材１９は、吐出口１８Ａと連通する第１孔部２２Ａが表裏を貫通して形成された円板状の第１パッキン材２２と、前記吸入口１９Ａと第２孔部２３Ａとが異なる位置にそれぞれ表裏を貫通して形成された円板状の第２パッキン材２３とから構成されている。
【００１６】
第１パッキン材２２は、第１孔部２２Ａが吐出口１８Ａと同芯上になるように配置されている。
第２パッキン材２３は、第１パッキン材２２と接する端面に吸入口１９Ａと第２孔部２３Ａとを連通する溝２３Ｂが端面に沿って形成されており、第２孔部２３Ａは第１孔部２２Ａと同心上に配置されている。この溝２３Ｂは第１パッキン材２２と第２パッキン材２３とが重合されることで、液体を吸入口１９Ａから吐出口１８Ａに送る流路とされる。
これらのパッキン材２２，２３はテフロンから構成されており、第２パッキン材２３は、内部に第２孔部２３Ａが形成されたテフロン製ガイド部材２４を有する。
【００１７】
筒状部材２０は、その一端面がパッキン部材１９の吸入口１９Ａを囲うとともに軸心方向が吸入口１９Ａの中心と一致するものである。
プランジャ２１は筒状部材２０に対して軸方向移動自在とされた円柱部材である。
筒状部材２０及びプランジャ２１はステンレス等の耐薬品製の高い金属から構成され、これらの部材の間に介装されるガイド部材２４はテフロンから構成されている。
出口弁１５は、前記パッキン部材１９と、このパッキン部材１９の第２孔部２３Ａに先端が摺動自在に支持されたロッド２５とを有するものであり、このロッド２５が進退することで吐出口１８Ａを開閉する構造である。
【００１８】
駆動機構１２の構成が図２及び図３に示されている。
これらの図において、駆動機構１２は、入口弁１４を駆動する入口弁駆動機構２６と、出口弁１５を駆動する出口弁駆動機構２７とを備えて構成されている。入口弁駆動機構２６は、筒状部材２０を進退駆動する筒状部材進退機構２８と、プランジャ２１を進退駆動するプランジャ進退機構２９とから構成されている。
筒状部材進退機構２８は、筒状部材２０の基端部に設けられたフランジ３０の両側に一端が連結された２本の駆動ロッド３１と、これらの駆動ロッド３１の他端に連結されたブラケット３２と、このブラケット３２を駆動ロッド３１の軸心方向に沿って進退駆動する第１のエアシリンダ装置（図示せず）とから構成される。駆動ロッド３１は、その基端部が容器１３の開口端に密閉状態で固定された蓋部材３３に軸方向移動可能に支持されている。
【００１９】
プランジャ進退機構２９は、プランジャ２１の基端に一端が同軸上に固定された第１駆動ロッド３４と、この第１駆動ロッド３４の他端に固定されたブラケット３５と、このブラケット３５に一端が固定され第１駆動ロッド３４と平行に配置された第２駆動ロッド３６と、この第２駆動ロッド３６の他端に固定された可動駒部材３７と、この可動駒部材３７の内部に固定されたナット部材３８と、このナット部材３８に螺合され両端がフレーム３９に回転自在に支持されたボルト部材４０と、このボルト部材４０の端部に回転軸が連結されたモータ４１とを備え、このモータ４１を正逆方向に回転させることで可動駒部材３７からプランジャ２１までの部材をプランジャ２１の軸方向に沿って進退させる構成である。
【００２０】
第１駆動ロッド３４は、蓋部材３３に軸方向移動自在に支持されている。
可動駒部材３７には位置検知用プレート４２が固定され、このプレート４２を一対の位置センサ４３で検知することで、プランジャ２１の進退量が検知される。
出口弁駆動機構２７は、ロッド２５の基端側が連結されたブラケット４４と、このブラケット４４をロッド２５の軸心方向に沿って進退駆動する第２のエアシリンダ装置（図示せず）とから構成されている。
ロッド２５は、蓋部材３３に軸方向移動自在に支持されている。
【００２１】
次に、第１実施形態の作用について、図５に基づいて説明する。
まず、図５（Ａ）に示される通り、入口弁１４及び出口弁１５で吸入口１９Ａ及び吐出口１８Ａを閉塞しておき、その後、図５（Ｂ）に示される通り、筒状部材進退機構２８を作動して筒状部材２０を吸入口１９Ａから離隔するように後退させる。
さらに、図５（Ｃ）に示される通り、プランジャ進退機構２９を作動してプランジャ２１を吸入口１９Ａから離隔するように後退させる。すると、プランジャ２１及び筒状部材２０の下部空間に液体が流入することになる。
その後、図５（Ｄ）に示される通り、吐出する液体を計量する。つまり、筒状部材進退機構２８を作動して筒状部材２０を吸入口１９Ａに近接するように前進させる。筒状部材２０の下端がパッキン部材１９に当接すると、筒状部材２０の内部に所定の液体が収納され、この収納された液体の量が１回のサイクルで吐出される液体の量となる。
【００２２】
さらに、図５（Ｅ）に示される通り、出口弁駆動機構２７を作動してロッド２５を吐出口１８Ａから後退させて出口弁１５を開放する。この状態では、ロッド２５の先端は第２孔部２３Ａに支持された状態である。
図５（Ｆ）に示される通り、出口弁１５を開放した直後に、プランジャ進退機構２９を作動してプランジャ２１で吸入口１９Ａを閉塞するまでプランジャ２１を前進させる。すると、筒状部材２０の内部空間に収納された液体は吸入口１９Ａ及び流路２３Ｂを経て吐出口１８Ａから外部に吐出される。
【００２３】
従って、第１実施形態では、▲１▼内部に貯留された液体を吐出するための吐出口１８Ａが形成された容器１３と、この容器１３の内部に配置され吐出口１８Ａを開閉する出口弁１５と、容器１３の内部で出口弁１５に隣接配置され吐出口１８Ａへ液体を供給し又は液体の供給を阻止する入口弁１４とを備えて液体吐出装置５を構成したから、入口弁１４及び出口弁１５を構成する部材は液体が貯留された容器１３の内部に配置されているため、これらの部材の間に摺動のための隙間があっても、この隙間から浸入する液体は容器１３内部に戻るため、外部に漏出することはない。従って、液体の外部漏出に伴う吐出精度の低下を防止できる。
【００２４】
その上、▲２▼入口弁１４は、吐出口１８Ａと連通するとともに容器１３の内部に開口された吸入口１９Ａが形成されたパッキン部材１９と、このパッキン部材１９の吸入口１９Ａを囲うとともに吸入口１９Ａに対して進退自在とされた筒状部材２０と、この筒状部材２０の内部に配置され吸入口１９Ａを開閉するように筒状部材２０の軸方向に進退可能とされたプランジャ２１とを有する構造であるから、これらの部材で液体の計量作業と吐出作業の一連の作業を効率的に行うことができる。
しかも、▲３▼出口弁１５は、パッキン部材１９に形成された吸入口１９Ａと吐出口１８Ａとの間の流路２３Ｂを開閉するロッド２５を有し、このロッド２５は、その基端が出口弁駆動機構２７と連結され先端がパッキン部材１９に摺動自在に支持されているから、吐出口１８Ａを開放する際に、ロッド２５が吐出口１８Ａから後退してもパッキン部材１９から離れることがないため、ロッド２５の先端が確実に吐出口１８Ａを開閉できるため、精度の高い定量吐出を実現できる。
【００２５】
また、▲４▼第１実施形態では、入口弁１４を構成する筒状部材２０とプランジャ２１との間に耐薬品性の極めて高いテフロン製ガイド部材２４を介装した構成であるため、これらの部材の耐久性が向上するだけでなく、吐出液体として瞬間接着剤を使用する場合でも、これらの部材の摺動部分が接着することがなくなり、安定した液体吐出が行える。
さらに、▲５▼パッキン部材１９は、吐出口１８Ａと連通する第１孔部２２Ａが表裏を貫通して形成された円板状の第１パッキン材２２と、吸入口１９Ａと第２孔部２３Ａとが異なる位置にそれぞれ表裏を貫通して形成され第１パッキン材２２と接する面に吸入口１９Ａと第２孔部２３Ａとを連通する溝２３Ｂが形成された円板状の第２パッキン材２３とから構成されているから、これらのパッキン材２２，２３の表裏に孔部を貫通形成し、パッキン材２３の側面に沿って溝を形成し、これらのパッキン材２２，２３を重合することで、複雑な形状の流路を簡単に成形することができ、しかも、これらのパッキン材２２，２３を分離することで、流路の清掃、保守を簡単に行うことができる。
【００２６】
また、▲６▼プランジャ２１を進退するプランジャ進退機構２９は、プランジャ２１に連結された第１駆動ロッド３４と、この第１駆動ロッド３４の他端にブラケット３５を介して連結された第２駆動ロッド３６と、この第２駆動ロッド３６の他端に固定された可動駒部材３７と、この可動駒部材３７の内部に固定されたナット部材３８と、このナット部材３８に螺合されたボルト部材４０と、このボルト部材４０の端部に回転軸が連結されたモータ４１とを備えて構成されているため、モータ４１の回転数を制御することでプランジャ２１の前進量を調整することができる。そのため、筒状部材２０の内部に収納された液体の吐出量をモータ４１の回転数で制御することができるので、液体吐出量の変更を容易に行うことができる。
【００２７】
次に、本発明の第２実施形態を図６から図８に基づいて説明する。
第２実施形態は入口弁１４が複数設けられる点で第１実施形態と異なるもので、基本的な構成は第１実施形態と同じである。
第２実施形態の液体吐出装置５０は図１に示されるディスペンサ１に装着されたものであり、このディスペンサ１は、液体吐出装置５０を移動手段６でＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各軸方向に高精度で移動可能である。
【００２８】
図６は液体吐出装置５０の全体構成を示す断面図であり、図７は図６中VII-VII線に沿った矢視断面図である。
これらの図において、液体吐出装置５０は、液体を吐出する吐出機構５１と、この吐出機構５１を駆動する駆動機構５２とから構成されている。
吐出機構５１は、内部に液体が貯留された容器１３と、この容器１３の内部に互いに隣接配置された入口弁５４及び出口弁１５とを備えた構成である。
【００２９】
入口弁５４は、容器１３の内部に設けられるとともに吸入口１９Ａが容器内部に４箇所（図では２箇所のみ示す）に開口されたパッキン部材５９と、このパッキン部材５９の各吸入口１９Ａに対して進退自在とされ吐出する液体を計量する４本（図では２本のみ示す）の筒状部材２０と、これらの筒状部材２０の内部にそれぞれ配置され吸入口１９Ａを開閉するように筒状部材２０の軸方向に進退可能とされた４本（図では２本のみ示す）のプランジャ２１とを備え、吐出口１８Ａへ液体を供給し又は液体の供給を阻止する構造である。
パッキン部材５９は、吐出口１８Ａと連通する第１孔部２２Ａが表裏を貫通して形成された前記第１パッキン材２２と、前記吸入口１９Ａと第２孔部２３Ａとが異なる位置にそれぞれ表裏を貫通して形成された円板状の第２パッキン材６３とから構成されている。吸入口１９Ａは第２孔部２３Ａを中心として互いに等間隔離れて配置されている。
【００３０】
第２パッキン材６３は、第１パッキン材２２と接する端面に４箇所の吸入口１９Ａと第２孔部２３Ａとを連通する４本の溝２３Ｂが端面に沿って第２孔部２３Ａを中心とする放射状に形成されており、第２孔部２３Ａは第１孔部２２Ａと同心上に配置されている。
これらのパッキン材２２，６３はテフロンから構成されており、第２パッキン材６３は、内部に第２孔部２３Ａが形成されたリング状のテフロン製ガイド部材２４を有する。
【００３１】
駆動機構５２は、入口弁５４を駆動する入口弁駆動機構６６と、出口弁１５を駆動する前記出口弁駆動機構２７とを備えて構成されている。
入口弁駆動機構６６は、筒状部材２０を進退駆動する筒状部材進退機構６８と、プランジャ２１を進退駆動するプランジャ進退機構６９とから構成されている。
筒状部材進退機構６８は、４本の筒状部材２０の基端部がそれぞれ設けられた円板状のフランジ７０と、このフランジ７０に一端が連結された駆動ロッド３１と、この駆動ロッド３１の他端に連結されたブラケット３２と、このブラケット３２を駆動ロッド３１の軸心方向に沿って進退駆動する第１のエアシリンダ装置８１とから構成される。
【００３２】
プランジャ進退機構６９は、４本のプランジャ２１の基端に端面が固定された円板状取付部材７１と、この取付部材７１に一端が固定された第１駆動ロッド７４と、この第１駆動ロッド７４の他端に固定された可動駒部材３７と、この可動駒部材３７の内部に固定されたナット部材３８と、このナット部材３８に螺合され両端がフレーム３９に回転自在に支持されたボルト部材４０と、このボルト部材４０の端部に回転軸が連結されたモータ４１とを備えた構成である。
出口弁駆動機構２７は、ロッド２５の基端側が連結されたブラケット４４と、このブラケット４４をロッド２５の軸心方向に沿って進退駆動する第２のエアシリンダ装置８２とから構成されている。
【００３３】
次に、第２実施形態は第１実施形態と略同様に作動されるものである。第２実施形態の作用を図８に基づいて説明する。
まず、図８（Ａ）に示される通り、４本の入口弁５４（図では２本のみ示す）及び出口弁１５で吸入口１９Ａ及び吐出口１８Ａを閉塞しておき、その後、図８（Ｂ）に示される通り、筒状部材進退機構６８を作動して４本の筒状部材２０を吸入口１９Ａから離隔するように同時に後退させる。
さらに、図８（Ｃ）に示される通り、プランジャ進退機構６９を作動して４本のプランジャ２１を吸入口１９Ａから離隔するように同時に後退させる。すると、４対のプランジャ２１及び筒状部材２０の下部空間にぞれぞれ液体が流入することになる。
その後、図８（Ｄ）に示される通り、筒状部材進退機構６８を作動して吐出する液体を計量し、さらに、図８（Ｅ）に示される通り、出口弁駆動機構２７を作動して出口弁１５を開放する。
図８（Ｆ）に示される通り、出口弁１５を開放した直後に、プランジャ進退機構６９を作動して４本のプランジャ２１を吸入口１９Ａに向けて前進させて液体吐出操作を行う。
【００３４】
従って、第２実施形態では、第１実施形態の▲１▼から▲６▼の作用効果を奏することができる他に、▲７▼入口弁５４を４個設け、この入口弁５４の数だけ吸入口１９Ａをパッキン部材５９に形成し、これらの吸入口１９Ａを１箇所の吐出口１８Ａにそれぞれ連通した構成としたので、１個の入口弁５４の吐出量が少ない場合であっても、この入口弁５４を４個設けることで、多量の液体を１個の吐出口１８Ａから精度よく吐出させることができる。つまり、多量の吐出量を確保するために、筒状部材２０及びプランジャ２１の径を大きくしたり、プランジャ２１の前進量を長くする構成に比べて、１本当たりの筒状部材２０等の加工精度を良好にすることで、正確な吐出量を確保でき、しかも、プランジャ２１の前進量を小さくできることで、迅速な吐出動作を期待できる。
【００３５】
なお、本発明は前述の各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲であれば次に示す変形例を含むものである。
例えば、前記第２実施形態では、入口弁５４を４個設けた構成としたが、本発明では、入口弁５４を２個、３個、５個以上の複数個としてもよい。この場合、これらの入口弁５４を出口弁１５を中心として互いに等間隔となるように配置することが好ましい。
また、入口弁５４を複数設ける場合、これらの入口弁５４の作動時間にタイムラグを設けて連続的に作動する構成としてもよい。この場合、吐出口１８Ａから液体が断続的に吐出されることになる。
【００３６】
さらに、本発明では、筒状部材２０とプランジャ２１との間のテフロン製ガイド部材２４を必ずしも介装することを要しない。例えば、吐出液体が水等ステンレスに対して浸食する虞れのない部材であるときは、テフロン製ガイド部材２４は不要である。
また、パッキン部材１９は第１パッキン材２２と第２パッキン材２３とから構成することなく、１個のパッキン材から構成するものでもよい。
【００３７】
さらに、プランジャ進退機構２９はシリンダ装置を備えた構成としてもよく、逆に、筒状部材進退機構２８及び出口弁駆動機構２７はモータで駆動する構成でもよい。要するに、ロッド２５、筒状部材２０及びプランジャ２１をそれぞれ進退駆動するものであれば、その具体的な構成は問われない。
また、出口弁１５及び吐出口１８Ａは複数あってもよい。
【００３８】
【発明の効果】
以上の通り、本発明の液体吐出装置によれば、外部への漏出がなくなるとともに、精度の高い定量吐出が可能であるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出装置を備えたディスペンサの斜視図である。
【図２】前記液体吐出装置の断面図である。
【図３】図２中、III-III線に沿う矢視断面図である。
【図４】前記液体吐出装置の要部を示す断面図である。
【図５】（Ａ）から（Ｆ）は前記液体吐出装置の動作説明図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る液体吐出装置の断面図である。
【図７】図６中、VII-VII線に沿う矢視断面図である。
【図８】（Ａ）から（Ｆ）は前記液体吐出装置の動作説明図である。
【符号の説明】
５,50       液体吐出装置
１３        容器
14,54       入口弁
１５        出口弁
１８Ａ      吐出口
１９Ａ      吸入口
19,59       パッキン部材
２０        筒状部材
２１        プランジャ
２２Ａ      第１孔部
２２        第１パッキン材
２３Ａ      第２孔部
２３Ｂ      溝（流路）
23,63       第２パッキン材
２４        ガイド部材
２５        ロッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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