(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
四角形状のフレームと、前記四角形状のフレームの内側面に形成され、第１締結部を備え、ＵＶ透過物質で構成されるマスク支持部とを含む下部器具物と、
ＵＶ透過物質で構成された、前記第１締結部に対応する第２締結部を備え、前記第１及び第２締結部の締結時、前記四角形状のフレームの内側面に位置する上部器具物とを含むＵＶ照射装置用マスク固定装置。
【請求項２】
前記マスク支持部は、プレート形状を有することを特徴とする請求項１記載のマスク固定装置。
【請求項３】
前記マスク支持部は、複数個の突出した構造物から構成されることを特徴とする請求項１記載のマスク固定装置。
【請求項４】
前記マスク支持部に連結され、ＵＶ透過物質から構成された補助マスク支持部が更に形成されることを特徴とする請求項１記載のマスク固定装置。
【請求項５】
前記四角形状のフレームの内側面に連結され、ＵＶ透過物質から構成された補助マスク支持部が更に形成されることを特徴とする請求項１記載のマスク固定装置。
【請求項６】
前記マスク支持部は、前記四角フレームの横方向又は縦方向に沿って対向する一対の面に形成されることを特徴とする請求項１記載のＵＶ照射装置用マスク固定装置。
【請求項７】
前記マスク支持部は、前記四角形状のフレームの横方向及び縦方向の４つの面に形成されることを特徴とする請求項１記載のＵＶ照射装置用マスク固定装置。
【請求項８】
前記ＵＶ透過物質は、ＵＶ透過の可能なアクリル又は石英であることを特徴とする請求項１記載のＵＶ照射装置用マスク固定装置。
【請求項９】
前記上部器具物は一対の一字形器具物からなることを特徴とする請求項１記載のＵＶ照射装置用マスク固定装置。
【請求項１０】
前記上部器具物は四角形器具物からなることを特徴とする請求項１記載のＵＶ照射装置用マスク固定装置。
【請求項１１】
前記ＵＶ透過物質はＵＶ透過の可能なアクリル又は石英であることを特徴とする請求項１記載のＵＶ照射装置用マスク固定装置。
【請求項１２】
基板ステージと、
ＵＶ光源部と、
前記基板ステージ及びＵＶ光源部の間に形成されたマスクと、
四角フレームと前記四角フレームの内側面に形成され、第１締結部が備えられ、ＵＶ透過物質で構成されるマスク支持部から構成された下部器具物及び、ＵＶ透過物質で構成されて、前記第１締結部に対応する第２締結部が備え、前記第１及び第２締結部の締結時、前記四角形状のフレームの内側面に位置する上部器具物を含めて構成されるマスク固定装置とを含めてなるＵＶ照射装置。
【請求項１３】
前記基板ステージは移動可能であることを特徴とする請求項１２記載のＵＶ照射装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶表示素子の製造装置に関し、特に、ＵＶ硬化型シール剤を硬化させるためのＵＶ照射装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
表示画面の厚さが数ｃｍに過ぎない超薄型の平板表示素子、その中でも液晶表示素子は動作電圧が低くて消費電力が少なく、且つ携帯用に使われ得るなどの利点のため、ノートパソコン、モニター、宇宙船、航空機などに至るまでその応用分野が広くて多様である。
【０００３】
かかる液晶表示素子は、一般に、図１のように、薄膜トランジスタ（図示せず）及び、画素電極３が形成されている下部基板１と、遮光膜４、カラーフィルター層６、共通電極８及び、配向膜（図示せず）が順に形成されている上部基板２と、前記両基板１，２の間に形成されている液晶層５とから構成されており、前記画素電極３と共通電極８との間に電場が形成されて液晶層５を駆動し、その駆動する液晶層５を介して光透過度が調節され、画像が表示される。
【０００４】
また、前記両基板１，２の全面には液晶５の初期配向のための配向膜（図示せず）が形成されている。
また、前記両基板１，２の間には液晶５の漏出を防止し、且つ両基板を接着するためにシール剤１０が形成されている。
前記シール剤１０は前記下部基板１又は上部基板２上に塗布された後、両基板１，２の接合工程を経て硬化工程を通じて硬化するが、その種類としては熱により硬化する熱硬化型シール剤と、ＵＶにより硬化するＵＶ硬化型シール剤とがある。
【０００５】
一方、かかる熱硬化型又はＵＶ硬化型シール剤は液晶表示素子の製造方式に応じて選択可能である。
即ち、下部基板と上部基板とを製造した後両基板を合着し、その後に毛細管現象と圧力差を用いて合着基板に液晶を注入する、所謂真空注入方式においては、両基板を合着した後液晶を注入する前にシール剤の硬化工程を行うので、一般的にシール剤が加熱される間に漏出が起こっても液晶が汚染するおそれがないので、熱硬化型シール剤を主として使用する。
【０００６】
しかしながら、下部基板と上部基板を製造した後、両基板のうち何れか一方の基板に液晶を滴下して両基板を合着する所謂液晶滴下方式においては、液晶層が形成された後にシール剤の硬化工程が行われるので、熱硬化型シール剤を使用する場合、シール剤が加熱される間に漏出が起こり、液晶が汚染される。
従って、かかる液晶滴下方式によって液晶表示素子を製造する場合にはＵＶ硬化型シール剤を主として使用する。
【０００７】
図２はこのように従来の液晶滴下方式による液晶表示素子でＵＶ硬化型シール剤を硬化させるためのＵＶ照射装置の概略図であって、従来のＵＶ照射装置は、図２のように、基板ステージ２０と前記基板ステージ２０の上側に位置し、且つＵＶランプ３２が備えられたＵＶ光源部３０とからなっている。
このような従来のＵＶ照射装置を用いたシール剤の硬化工程は、前記ＵＶ照射装置の基板ステージ２０にＵＶ硬化型シール剤１０が形成されている合着基板１，２を搬入した後、前記ＵＶ光源部３０からＵＶを照射して行われる。
【０００８】
一方、従来のＵＶ照射装置はＵＶ光源部３０から照射されるＵＶが合着基板を搬入する基板ステージ２０の全面に照射されるようになっており、結果的には合着基板の全面にＵＶが照射される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このように合着基板の全面にＵＶが照射されると、基板上に形成された薄膜トランジスタなどの素子特性に悪影響を及ぼし、液晶の初期配向のために形成された配向膜のプレチルトアングル（ｐｒｅｔｉｌｔ ａｎｇｌｅ）が変化するという問題が発生する。
【００１０】
そこで、本発明の目的は、配向膜及び薄膜トランジスタなどの特性に悪影響を与えずＵＶ硬化型シール剤を硬化させ得るように、シール剤形成領域以外の領域へのＵＶ照射を遮断するマスクを備えたＵＶ照射装置を提供することにある。
また、他の目的として前記マスクを効果的に固定するためのマスク固定装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、基板ステージと、ＵＶ光源部と、前記基板ステージとＵＶ光源部との間に形成されたマスクと、そのマスクを固定するマスク固定装置とからなるＵＶ照射装置を提供する。
【００１２】
また、本発明は、四角形状のフレームと、前記四角形状のフレームの内側面に形成されると共に第１締結部を備えるマスク支持部とを含む下部器具物と、前記第１締結部に対応する第２締結部を備える上部器具物とを含むＵＶ照射装置用マスク固定装置を提供する。
【００１３】
この際、前記マスク支持部は、プレート形状を有することができ、ＵＶ透過物質からなる平板で構成することもできる。
【００１４】
また、前記マスク支持部は複数個の突出した構造物で構成することもできる。
【００１５】
また、前記マスク支持部に連結され、ＵＶ透過物質で構成された補助マスク支持部を更に形成することもでき、前記四角形状のフレームの内側面に連結され、ＵＶ透過物質で構成された補助マスク支持部を更に形成することもできる。
【００１６】
前記上部器具物は、一対の一字形器具物で構成することができ、四角形構造物で構成することもできる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の望ましい実施形態を添付の図面に基づいて詳細に説明する。
【００１８】
図３は、本発明によるＵＶ照射装置の概略図であって、図３のように本発明の一実施形態によるＵＶ照射装置は、基板ステージ１００と、ＵＶ光源部２００と、前記基板ステージ１００とＵＶ光源部２００との間に形成されたマスク３００と、そのマスク３００を固定する下部器具物４００と上部器具物５００とから構成されたマスク固定装置とからなっている。
【００１９】
前記基板ステージ１００にはシール剤７５０が形成された合着基板７００が搬入され、前記基板ステージ１００は、大量生産のためにコンベヤベルトなどを用いて移動可能であるように形成され得る。
【００２０】
前記ＵＶ光源部２００にはＵＶランプ２１０が形成されており、図面には一つのＵＶランプのみが示されているが、基板の大面積化に伴って複数個のＵＶランプが形成され得る。
【００２１】
前記マスク３００は、合着基板７００のシール剤７５０の形成領域にのみＵＶが照射されるように前記シール剤７５０のパターンと同一のパターン３１０を有して形成されている。従って、液晶表示素子のモデルが変更され、シール剤７５０のパターンが変更されると、前記マスクパターン３１０も変更されて形成される。
このようなマスク３００は、前記下部器具物４００と上部器具物５００との間に位置して固定されるが、前記下部器具物４００と上部器具物５００の構造及び、前記マスク３００がマスク固定装置に固定される過程を以下に説明する。
【００２２】
図４ａは、本発明の第１実施形態によるマスク固定装置の斜視図であり、図４ｂは、図４ａのマスク固定装置に固定されたマスクを上から見た平面図であり、図４ｃは、図４ｂのＡ−Ａ′ラインを切った断面図である。
【００２３】
図４ａのように、本発明の第１実施形態によるマスク固定装置は、下部器具物４００、上部器具物５１０、そして、前記下部器具物４００に上部器具物５１０を締結するための締結部材６００からなっている。
この際、前記下部器具物４００は、四角フレーム４１０及び、前記四角フレーム４１０の内側面に形成されたプレート形状物４４０からなっており、そのプレート形状物４４０には、第１締結部４５０が形成されている。
前記プレート形状物４４０は、マスクを支持する支持部として作用するもので、図面には前記四角フレーム４１０の横方向に形成されているが、四角フレーム４１０の縦方向に形成することもできる。
【００２４】
前記上部器具物５１０は、一対の一字形器具物の形状を有し、その上部器具物５１０には、前記プレート形状物４４０の第１締結部４５０に対応するように第２締結部５５０が形成されている。
このような上部器具物５１０は、下部器具物４００の四角フレーム４１０の内側に形成されたプレート形状物４４０に締結されるもので、それに対応する大きさで形成される。
【００２５】
上記構成のマスク固定装置にマスクを固定する方法は、図４ｂ及び図４ｃから分かるように、前記下部器具物４００のプレート形状物４４０にマスク３００を位置させ、その上に前記上部器具物５１０を位置させた後、前記プレート形状物４４０の第１締結部４５０と前記上部器具物５１０の第２締結部５５０とに締結部材６００を形成することで、マスク３３０を固定する。
【００２６】
一方、上述したように、マスク３００は、製品のモデルに従ってそのパターンが変更され交替されるべきである。従って、前記締結部材６００は、前記下部器具物４００に上部器具物５１０を着脱可能に締結するものであり、ボルトなどのように着脱可能なものが望ましい。
【００２７】
また、前記マスク３００のパターン３１０は、ＵＶが通過して、合着基板のシール剤にＵＶが照射される領域であるので、前記マスク３００のパターン３１０が前記マスク固定装置の内部にまで侵入した場合は、結果的に合着基板のシール剤にＵＶが照射されない。従って、前記マスク３００を固定している下部器具物のプレート形状物４４０と上部器具物５１０はアクリル、石英などのようにＵＶの透過可能な物質で形成されることが望ましい。
【００２８】
図５乃至図７は、本発明の第２乃至第４実施形態によるＵＶ照射装置用マスク固定装置の斜視図であって、上記第１実施形態と同様に、下部器具物と上部器具物との間にマスクを位置させ固定する。
【００２９】
図５に示す本発明の第２実施形態によるマスク固定装置は、上部器具物の形状を除いては図４ａに示すマスク固定装置と同様である。従って、同一の図面符号を付し、その部分の説明は省略する。
図５に示す本発明の第２実施形態によるマスク固定装置は、上部器具物として一対の一字形器具物を使用したものではなく、四角形の器具物５２０を使用したものに関する。このように、四角形の器具物５２０を上部器具物として使用することでマスクがより安定して固定される。
【００３０】
図６に示す本発明の第３実施形態によるマスク固定装置は、下部器具物４００のプレート形状物４４０を横方向又は縦方向に形成するものではなく、横方向及び縦方向に共に形成し、より安定的にマスクを支持できるようにしたものである。
その他は図４ａに示すマスク固定装置と同様である。
【００３１】
図７に示す本発明の第４実施形態によるマスク固定装置は下部器具物４００のプレート形状物４４０を横方向及び縦方向に共に形成し、上部器具物として四角形の器具物５２０を使用したものである。
このようにマスクを安定的に固定するためには、マスクとマスクを支持するマスク固定装置との間の接触面を増加させれば良い。
【００３２】
図８ａは、本発明の第５実施形態によるマスク固定装置の斜視図であり、図８ｂは、図８ａのマスク固定装置に固定されたマスクを上から見た平面図であり、図８ｃは、図８ｂのＢ−Ｂラインを切った断面図である。
【００３３】
図８ａ、図８ｂ及び図８ｃから分かるように、本発明の第５実施形態によるマスク固定装置は、下部器具物４００の四角フレーム４１０内側の面に平板４３０が形成され、マスクの全面を支持できるようにしたものである。
従って、マスクとマスク固定装置との間の接触面が最大化され、より安定してマスクを固定させ得る。この際、マスクに形成されたパターンにＵＶが照射されるようにするため、前記平板４３０はアクリル又は石英などのＵＶ透過物質で構成される。
その他は図４ａに示す実施形態と同様であるので、同一の図面符号を付する。
【００３４】
図９は、本発明の第６実施形態によるマスク固定装置の斜視図であって、上部器具物として四角形の器具物５２０を使用したこと以外は図８ａに示す実施形態と同様である。
【００３５】
図１０ａは、本発明の第７実施形態によるマスク固定装置の斜視図であり、図１０ｂは、図１０ａのマスク固定装置に固定されたマスクを上から見た平面図であり、図１０ｃは、図１０ｂのｃ−ｃ′ラインを切った断面図である。
【００３６】
図１０ａのように、本発明の第７実施形態によるマスク固定装置は、下部器具物４００、上部器具物５１０、そして、前記下部器具物４００に上部器具物５１０を締結するための締結部材６００からなっている。
この際、前記下部器具物４００は、四角フレーム４１０及び、その四角フレーム４１０の内側面に形成された複数個の突出した構造物４２０からなっており、前記四角フレーム４１０のエッジ部にある突出構造物には第１締結部４５０が形成されている。
【００３７】
前記突出構造物４２０は、マスクを支持する支持部としての役割を果たすものであって、図面には前記四角フレーム４１０の横方向の面に複数個が形成されているが、四角フレーム４１０の縦方向の面に形成することもできる。
【００３８】
前記上部器具物５１０は、一対の一字形器具物の形状を有し、前記上部器具物５１０には前記突出構造物４２０の第１締結部４５０に対応するように第２締結部５５０が形成されている。
このような上部器具物５１０は、下部器具物４００の四角フレーム４１０の内側に形成された突出構造物４２０に締結されるもので、それに対応する大きさで形成される。
【００３９】
一方、上述したように、マスク３００は、製品のモデルに従ってそのパターンが変更され交替される。従って、前記締結部材６００は、前記下部器具物４００に上部器具物５１０を着脱可能に締結するものであり、ボルトなどのように脱着可能なものが望ましい。
また、前記マスク３００のパターン３１０は、ＵＶが通過して、合着基板のシール剤にＵＶが照射される領域であるので、前記マスク３００のパターン３１０が前記マスク固定装置の内部にまで侵入した場合は、結果的に合着基板のシール剤にＵＶが照射されない。従って、前記マスク３００を固定している下部器具物の突出構造物４２０と上部器具物５１０は、アクリル、石英などのようにＵＶの透過可能な物質で形成されることが望ましい。
【００４０】
図１１乃至図１３は、本発明の第８乃至第１０実施形態によるＵＶ照射装置用マスク固定装置の斜視図である。
【００４１】
図１１に示す本発明の第８実施形態によるマスク固定装置は、上部器具物として一対の一字形器具物を使用したものではなく、四角形器具物５２０を使用したことを除いては上述した第７実施形態と同様である。
【００４２】
図１２に示す本発明の第９実施形態によるマスク固定装置は、下部器具物４００の複数個の突出構造物４２０を横方向又は縦方向に形成したものではなく、横方向及び縦方向に共に形成したこと以外は上述した第７実施形態と同様である。
【００４３】
図１３に示す本発明の１０実施形態によるマスク固定装置は下部器具物４００の複数個の突出構造物４２０を横方向及び縦方向に共に形成し、上部器具物として四角形の器具物５２０を使用したものである。
【００４４】
このように下部器具物４００の突出構造物４２０の数を増加させるか、上部器具物として四角形器具物５２０を使用する場合、マスクをより安定的に支持し且つ固定させることができるものの、マスク固定装置とマスクとの接触面が増加し、シール剤パターンに従って形成されたマスクパターンにＵＶが照射されなくなり、シール剤の硬化が不可能になることもある。
従って、突出構造物４２０と四角形器具物５２０は、アクリル、石英などのようにＵＶの透過可能な物質で形成されることがより望ましい。
【００４５】
図１４ａは、本発明の第１１実施形態によるマスク固定装置の斜視図であり、図１４ｂは、図１４ａのマスク固定装置に固定されたマスクを上から見た平面図であり、図１４ｃは、図１４ｂのＡ−Ａ′ラインを切った断面図であり、図１４ｄは図１４ｂのＢ−Ｂ′ラインを切った断面図である。
【００４６】
図１４ａのように、本発明の第１実施形態によるマスク固定装置は下部器具物４００、上部器具物５１０、そして、前記下部器具物４００に上部器具物５１０を締結するための締結部材６００からなっている。
この際、前記下部器具物４００は、四角フレーム４１０及び、その四角フレーム４１０の内側面に形成された複数個の突出構造物４２０と、前記突出構造物４２０に連結された支持バー４６０とからなっており、前記四角フレーム４１０のエッジ部にある突出構造物には第１締結部４５０が形成されている。
【００４７】
前記突出構造物４２０は、マスクを支持する主マスク支持部であり、前記支持バー４６０は補助マスク支持部である。即ち、基板の大面積化に伴ってマスクの大きさが増加し、前記突出構造物４２０のみでマスクを支持する場合、マスクの中央部が垂れるおそれがあった。従って、前記支持バー４６０を形成してマスクの垂れを防止する。
この際、合着基板のシール剤にＵＶが照射される領域のマスク３００のパターン３１０のうち一部が前記補助マスク支持部の支持バー４６０と重なるので、前記支持バー４６０は、アクリル、石英などのようにＵＶの透過可能な物質で形成される。
【００４８】
前記突出構造物４２０及び支持バー４６０は、図面のように前記四角フレーム４１０の横方向の面に形成することができ、四角フレーム４１０の縦方向の面に形成することもできる。また、前記突出構造物４２０及び支持バー４６０の幅は多様な形状に変更することができ、前記支持バー４６０は複数個で形成することもできる。
【００４９】
前記上部器具物５１０は、一対の一字形器具物の形状を有し、前記上部器具物５１０には前記突出構造物４２０の第１締結部４５０に対応するように第２締結部５５０が形成されている。
このような上部器具物５１０は、下部器具物４４０の四角フレーム４１０の内側に形成された突出構造物４２０に締結されるもので、それに対応する大きさで形成される。
【００５０】
一方、上述したように、マスク３００は、製品のモデルに従ってそのパターンが変更され交替される。従って、前記締結部材６００は、前記下部器具物４００に上部器具物５１０を脱着可能に締結するものであり、ボルトなどのように脱着可能なものが望ましい。
また、前記マスク３００のパターン３１０は、ＵＶが通過して、合着基板のシール剤にＵＶが照射される領域であるので、前記マスク３００のパターン３１０が前記マスク固定装置の内部にまで侵入した場合は、結果的に合着基板のシール剤にＵＶが照射されない。従って、前記マスク３００を固定している下部器具物の突出構造物４２０と上部器具物５１０はアクリル、石英等のようにＵＶの透過可能な物質で形成されることが望ましい。
【００５１】
図１５ａ及び図１５ｂは、本発明の第１２実施形態によるマスク固定装置の斜視図であって、支持バー４６０が突出構造物４２０に連結されたものではなく、四角フレーム４１０の内側面に連結されたことを除いては第１１実施形態と同様である。従って、同一の図面符号を付する。
この際、図１５ａは、支持バー４６０が複数個の突出構造物４２０の間の四角フレーム４１０の内側面に連結された形態を示し、図１５ｂは、支持バー４６０が突出構造物４２０の形成されていない四角フレーム４１０の内側面に連結された形態を示す。
【００５２】
図１６乃至図２０は、本発明の第１３乃至第１７実施形態によるマスク固定装置の斜視図である。本発明の第１３乃至第１７実施形態によるマスク固定装置は上述した多様な実施形態を多様に組み合わせて構成したものである。
【００５３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ＵＶ硬化型シール剤の形成領域以外の領域をマスクで遮ってＵＶ照射が行われるので、合着基板上に形成された配向膜及び薄膜トランジスタなどの特性に悪影響を与えずにＵＶ硬化型シール剤を硬化させることができる。
また、本発明によるマスク固定装置は、前記マスクをより効果的に固定することができ、合着基板のシール剤パターンの変更によってマスクパターンが変更される場合にも多様に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】一般的な液晶表示素子の概略的な断面図である。
【図２】従来のＵＶ硬化型シール剤を硬化させるためのＵＶ照射装置の概略的な斜視図である。
【図３】本発明によるＵＶ照射装置の概略的な斜視図である。
【図４ａ】本発明の第１実施形態によるマスク固定装置の斜視図である。
【図４ｂ】図４ａのマスク固定装置に固定されたマスクを上から見た平面図である。
【図４ｃ】図４ｂのＡ−Ａ′ラインを切った断面図である。
【図５】本発明の第２乃至第４実施形態によるＵＶ照射装置用マスク固定装置の斜視図である。
【図６】本発明の第２乃至第４実施形態によるＵＶ照射装置用マスク固定装置の斜視図である。
【図７】本発明の第２乃至第４実施形態によるＵＶ照射装置用マスク固定装置の斜視図である。
【図８ａ】本発明の第５実施形態によるマスク固定装置の斜視図である。
【図８ｂ】図８ａのマスク固定装置に固定されたマスクを上から見た平面図である。
【図８ｃ】図８ｂのＢ−Ｂ′ラインを切った断面図である。
【図９】本発明の第６実施形態によるＵＶ照射装置用マスク固定装置の斜視図である。
【図１０ａ】本発明の第７実施形態によるマスク固定装置の斜視図である。
【図１０ｂ】図１０ａのマスク固定装置に固定されたマスクを上から見た平面図である。
【図１０ｃ】図１０ｂのｃ−ｃ′ラインを切った断面図である。
【図１１】本発明の第８乃至第１０実施形態によるＵＶ照射装置用マスク固定装置の斜視図である。
【図１２】本発明の第８乃至第１０実施形態によるＵＶ照射装置用マスク固定装置の斜視図である。
【図１３】本発明の第８乃至第１０実施形態によるＵＶ照射装置用マスク固定装置の斜視図である。
【図１４ａ】本発明の第１１実施形態によるマスク固定装置の斜視図である。
【図１４ｂ】図１４ａのマスク固定装置に固定されたマスクを上から見た平面図である。
【図１４ｃ】図１４ｂのＡ−Ａ′ラインを切った断面図である。
【図１４ｄ】図１４ｂのＢ−Ｂ′ラインを切った断面図である。
【図１５ａ】本発明の第１２実施形態によるマスク固定装置の斜視図である。
【図１５ｂ】本発明の第１２実施形態によるマスク固定装置の斜視図である。
【図１６】本発明の第１３乃至第１７実施形態によるマスク固定装置の斜視図である。
【図１７】本発明の第１３乃至第１７実施形態によるマスク固定装置の斜視図である。
【図１８】本発明の第１３乃至第１７実施形態によるマスク固定装置の斜視図である。
【図１９】本発明の第１３乃至第１７実施形態によるマスク固定装置の斜視図である。
【図２０】本発明の第１３乃至第１７実施形態によるマスク固定装置の斜視図である。
【符号の説明】
１００：基板ステージ
２００：ＵＶ光源部
３００：マスク
４００：下部器具物
４１０：四角フレーム
４２０：突出構造物
４５０：第１締結部
５００，５１０：上部器具物
５２０：四角形器具物
５５０：第２締結部
６００：締結部材
【図１】
0004101669.tif 000002
【図２】
0004101669.tif 000003
【図３】
0004101669.tif 000004
【図４ａ】
0004101669.tif 000005
【図４ｂ】
0004101669.tif 000006
【図４ｃ】
0004101669.tif 000007
【図５】
0004101669.tif 000008
【図６】
0004101669.tif 000009
【図７】
0004101669.tif 000010
【図８ａ】
0004101669.tif 000011
【図８ｂ】
0004101669.tif 000012
【図８ｃ】
0004101669.tif 000013
【図９】
0004101669.tif 000014
【図１０ａ】
0004101669.tif 000015
【図１０ｂ】
0004101669.tif 000016
【図１０ｃ】
0004101669.tif 000017
【図１１】
0004101669.tif 000018
【図１２】
0004101669.tif 000019
【図１３】
0004101669.tif 000020
【図１４ａ】
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【図１４ｂ】
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【図１４ｃ】
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【図１４ｄ】
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【図１５ａ】
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【図１５ｂ】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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