(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する処理室を有する処理装置であって，
前記処理室には，
基板を載置する載置台と，
前記処理室に気体を供給する気体供給口と，
前記載置台の外周を囲む囲み部材と，が備えられ，
前記囲み部材は，側部を有する略筒形状を有し，
前記囲み部材の側部の内部には，前記処理室内の雰囲気を排気する排気通路が設けられ，
前記囲み部材の側部の囲み部材本体以外の部分は，少なくとも２以上の部分に分離可能であり，当該分離によって，前記排気通路内が露出可能であり，
前記囲み部材において，前記分離可能な２以上の部分は，前記囲み部材本体から取り外し自在であることを特徴とする，処理装置。
【請求項２】
前記囲み部材の前記排気通路を構成する部分と前記囲み部材本体とを係止する係止部材を備えたことを特徴とする，請求項１に記載の処理装置。
【請求項３】
前記囲み部材の側部は，内周側の第１の部分と，外周側の第２の部分とに分離可能であり，
前記第１の部分と第２の部分との間には，隙間があり，
前記隙間が排気通路になっていることを特徴とする，請求項１又は２に記載の処理装置。
【請求項４】
前記第１の部分は，環状の垂直部と環状の水平部を有し，
前記水平部は，前記垂直部の下部から外方側に向けて形成されており，
前記第２の部分は，前記垂直部の外側面及び前記水平部の上面に対向する内周側面を備えており，
前記排気通路は，前記垂直部の外側面及び前記水平部の上面と前記第２の部分の内周側面との隙間により形成されていることを特徴とする，請求項３に記載の処理装置。
【請求項５】
前記水平部の上面には，囲み部材の外部に通じる排出口が開口しており，
当該排出口には，前記排気通路を通過した気体中の不純物を回収する回収部材が設けられていることを特徴とする，請求項４に記載の処理装置。
【請求項６】
基板を処理する処理室を有する処理装置であって，
前記処理室には，
基板を載置する載置台と，
前記処理室に気体を供給する気体供給口と，
前記載置台の外周を囲む囲み部材と，が備えられ，
前記囲み部材は，側部を有する略筒形状を有し，
前記囲み部材の側部の内部には，前記処理室内の雰囲気を排気する排気通路が設けられ，
前記囲み部材の側部は，少なくとも２以上の部分に分離可能であり，
前記囲み部材の側部を分離することによって，前記排気通路内が露出可能であり，
前記囲み部材は，前記載置台の下面を支持する下面部を有し，
前記囲み部材の側部は，内周側の第１の部分と，外周側の第２の部分とに分離可能であり，
前記第１の部分は，環状の垂直部と環状の水平部を有し，
前記水平部は，前記垂直部の下部から外方側に向けて形成されており，
前記第２の部分は，前記垂直部の外側面及び前記水平部の上面に対向する内周側面を備えており，
前記排気通路は，前記垂直部の外側面及び前記水平部の上面と前記第２の部分の内周側面との隙間により形成されていることを特徴とする，処理装置。
【請求項７】
前記水平部の上面には，囲み部材の外部に通じる排出口が開口しており，
当該排出口には，前記排気通路を通過した気体中の不純物を回収する回収部材が設けられていることを特徴とする，請求項６に記載の処理装置。
【請求項８】
前記載置台は，基板を載置して熱処理する熱処理板であることを特徴とする，請求項１〜７のいずれかに記載の処理装置。
【請求項９】
基板を処理する処理室を有する処理装置であって，
前記処理室には，
基板を載置して熱処理する熱処理板である載置台と，
前記処理室に気体を供給する気体供給口と，
前記載置台の外周を囲む囲み部材と，が備えられ，
前記囲み部材は，側部を有する略筒形状を有し，
前記囲み部材の側部の内部には，前記処理室内の雰囲気を排気する排気通路が設けられ，
前記囲み部材の側部は，少なくとも２以上の部分に分離可能であり，
前記囲み部材の側部を分離することによって，前記排気通路内が露出可能であり，
前記囲み部材の側部は，内周側の第１の部分と，外周側の第２の部分とに分離可能であり，
前記第１の部分は，環状の垂直部と環状の水平部を有し，
前記水平部は，前記垂直部の下部から外方側に向けて形成されており，
前記第２の部分は，前記垂直部の外側面及び前記水平部の上面に対向する内周側面を備えており，
前記排気通路は，前記垂直部の外側面及び前記水平部の上面と前記第２の部分の内周側面との隙間により形成されていることを特徴とする，処理装置。
【請求項１０】
前記水平部の上面には，囲み部材の外部に通じる排出口が開口しており，
当該排出口には，前記排気通路を通過した気体中の不純物を回収する回収部材が設けられていることを特徴とする，請求項９に記載の処理装置。
【請求項１１】
前記囲み部材の側部の上面には，前記排気通路に通じる排気口が開口しており，
前記排気口は，前記囲み部材の側部の形状に沿って環状に形成されていることを特徴とする，請求項１〜１０のいずれかに記載の処理装置。
【請求項１２】
前記囲み部材の側部の上面には，前記排気通路に通じる複数の排気口が開口しており，
前記排気口は，前記側部の上面の同一円周上に等間隔に設けられていることを特徴とする，請求項１〜１０のいずれかに記載の処理装置。
【請求項１３】
前記排気口は，スリット状に形成されていることを特徴とする，請求項１２に記載の処理装置。
【請求項１４】
前記排気通路内には，当該排気通路内を通過する気体の圧力を損失させるための圧力損失部が設けられていることを特徴とする，請求項１〜１３のいずれかに記載の処理装置。
【請求項１５】
前記載置台上の基板を上方から覆い，前記処理室の一部を形成する蓋体を備え，
前記気体供給口は，前記蓋体の中心部に設けられていることを特徴とする，請求項１〜１４のいずれかに記載の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，基板の処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイスの製造におけるフォトリソグラフィー工程では，ウエハの表面に塗布されたレジスト液内の溶剤を蒸発させるための加熱処理（プリベーキング），パターンの露光後に，ウェハ上のレジスト膜の化学反応を促進させるための加熱処理（ポストエクスポージャーベーキング），現像処理後の加熱処理（ポストベーキング）等の種々の加熱処理が行われている。
【０００３】
上述の加熱処理は，加熱処理装置で行われ，この加熱処理装置は，通常図１０に示すようにウェハＷを載置し加熱する円盤状の熱板２００と，熱板２００の外方を囲み，熱板２００を収容する略円筒状のサポートリング２０１，サポートリング２０１と一体となって処理室Ｓを形成する蓋体２０２等で主に構成されている。蓋体２０２の中央部には，処理室Ｓ内にパージ用の気体を供給する供給口２０３が設けられている。また，熱板２００の外方に位置するサポートリング２０１の上面には，処理室Ｓ内の雰囲気を排気する複数の排気口２０４が設けられている。サポートリング２０１の内部には，排気口２０４に通じる排気通路２０５が形成されている。
【０００４】
そして，加熱処理時には，蓋体２０２とサポートリング２０１によって処理室Ｓが形成され，当該処理室Ｓ内においてウェハＷが熱板２００上に載置され，加熱される。また，加熱処理中は，蓋体２０２の供給口２０３から処理室Ｓ内にパージ用の気体が供給され，当該気体がサポートリング２０１の排気口２０４から排気される。排気口２０４に流入した気体は，排気通路２０５を通って，装置外に排出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで，上述したような加熱処理では，ウェハＷから揮発物，昇華物等の多くの不純物が発生する。したがって，当該不純物が流れる排気通路２０５内は，汚れやすく，頻繁な洗浄等のメンテナンスが必要である。
【０００６】
従来の加熱処理装置における排気通路２０５内のメンテナンスは，サポートリング２０１全体を装置から取り外すことによって行われていた。このため，洗浄作業が大がかりになり，時間がかかっていた。このようにメンテナンス時間の長くなると，装置の稼働率の低下を招き，好ましくない。また，従来の加熱処理装置では，排気通路２０５内の隅々まで手が届き難くく，排気通路２０５内に付着した不純物を完全に落とすことは困難であった。このように排気通路２０５内に不純物等の汚れが残ると，当該汚れによって排気通路２０５内の流路が狭くなり，処理室Ｓ内の排気圧力が低下することになる。そして，排気圧力が低下すると，処理室Ｓ内の不純物の排気が不十分になり，排気されなかった不純物がウェハに再付着するおそれがある。このようなウェハＷに対する不純物の付着は，言うまでもなくウェハの製品不良を招くものである。また，従来の加熱処理装置では，排気通路２０５が汚染されると，排気通路以降に繋がる配管も汚れてしまい，広い範囲でのメンテナンスが必要になっていた。この結果，メンテナンス時間が長くなり装置の稼働率が低下するという問題があった。
【０００７】
本発明は，かかる点に鑑みてなされたものであり，サポートリング等の囲み部材内に形成された排気通路内のメンテナンスの間隔を延ばし，そのメンテナンスをより短時間で，かつ適正に行うことができる処理装置を提供することをその目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば，基板を処理する処理室を有する処理装置であって，前記処理室には，基板を載置する載置台と，前記処理室に気体を供給する気体供給口と，前記載置台の外周を囲む囲み部材と，が備えられ，前記囲み部材は，側部を有する略筒形状を有し，前記囲み部材の側部の内部には，前記処理室内の雰囲気を排気する排気通路が設けられ，前記囲み部材の側部の囲み部材本体以外の部分は，少なくとも２以上の部分に分離可能であり，当該分離によって，前記排気通路内が露出可能であり，前記囲み部材において，前記分離可能な２以上の部分は，囲み部材本体から取り外し自在であることを特徴とする処理装置が提供される。
【０００９】
この発明によれば，排気通路の設けられた囲み部材の側部の囲み部在外の部分が分離可能であり，当該分離によって排気通路内が露出できるので，囲み部材全体を装置本体から取り外さなくても，排気通路内の洗浄等のメンテナンスができる。したがって，排気通路のメンテナンスが容易になり，メンテナンス時間を短縮できる。また，排気通路を露出した状態で洗浄できるので，洗浄し易く，排気通路内をより綺麗に洗浄できる。この結果，排気通路内に不純物が詰まることがなく，処理室内の排気が適切に行われるので，処理室内の基板を清浄な雰囲気内で処理できる。また，囲み部材本体を装置から取り外さなくても，排気通路のある部分のみを取り外すことによって，排気通路のメンテナンスを行うことができる。したがって，排気通路のメンテンナンスをより簡単に行うことができ，メンテナンス時間が短縮できる。なお，前記処理装置は，前記囲み部材の前記排気通路を構成する部分と前記囲み部材本体とを係止する係止部材を備えていてもよい。
【００１０】
前記囲み部材の側部は，内周側の第１の部分と，外周側の第２の部分とに分離可能であり，前記第１の部分と第２の部分との間には，隙間があり，前記隙間が前記排気通路になっていてもよい。この発明によれば，第１の部分と第２の部分を分離することにより，排気通路が露出し，排気通路内のメンテナンスを好適に行うことができる。
【００１１】
前記第１の部分は，環状の垂直部と環状の水平部を有し，前記水平部は，前記垂直部の下部から外方側に向けて形成されており，前記第２の部分は，前記垂直部の外側面及び前記水平部の上面に対向する内周側面を備えており，前記排気通路は，前記垂直部の外側面及び前記水平部の上面と前記第２の部分の内周側面との隙間により形成されていてもよい。
【００１２】
前記水平部の上面には，囲み部材の外部に通じる排出口が開口しており，当該排出口には，前記排気通路を通過した気体中の不純物を回収する回収部材が設けられていてもよい。この場合，排気通路内の気体中の不純物を回収してから，例えば装置外の排気系に気体を排出できる。また，回収部材が水平部の上面の排出口に設けられるので，排気通路を露出させ排気通路を洗浄する際に，回収部材の洗浄，取り替え等のメンテナンスも併せて行うことができる。
【００１３】
別の観点による本発明は，基板を処理する処理室を有する処理装置であって，前記処理室には，基板を載置する載置台と，前記処理室に気体を供給する気体供給口と，前記載置台の外周を囲む囲み部材と，が備えられ，前記囲み部材は，側部を有する略筒形状を有し，前記囲み部材の側部の内部には，前記処理室内の雰囲気を排気する排気通路が設けられ，前記囲み部材の側部は，少なくとも２以上の部分に分離可能であり，前記囲み部材の側部を分離することによって，前記排気通路内が露出可能であり，前記囲み部材は，前記載置台の下面を支持する下面部を有し，前記囲み部材の側部は，内周側の第１の部分と，外周側の第２の部分とに分離可能であり，前記第１の部分は，環状の垂直部と環状の水平部を有し，前記水平部は，前記垂直部の下部から外方側に向けて形成されており，前記第２の部分は，前記垂直部の外側面及び前記水平部の上面に対向する内周側面を備えており，前記排気通路は，前記垂直部の外側面及び前記水平部の上面と前記第２の部分の内周側面との隙間により形成されていることを特徴とする。なお，前記載置台は，基板を載置して熱処理する熱処理板であってもよい。
【００１４】
前記囲み部材の側部の上面には，前記排気通路に通じる排気口が開口しており，前記排気口は，前記囲み部材の側部の形状に沿って環状に形成されていてもよい。また，前記囲み部材の側部の上面には，前記排気通路に通じる複数の排気口が開口しており，前記排気口は，前記側部の上面の同一円周上に等間隔に設けられていてもよい。これらの発明によれば，処理室内の雰囲気が，載置台上の基板の外周方向から偏りなく均等に排気される。したがって，基板周辺の雰囲気が基板面内において均等に排気されるので，例えば基板上の溶剤の揮発量を基板面内において均一にすることができる。また，排気によって生じる気流が与える基板への影響を基板面内で同じにすることができる。この結果，基板処理の面内均一性が確保される。なお，前記複数の排気口は，スリット状に形成されていてもよい。
【００１５】
前記排気通路内には，当該排気通路内を通過する気体の圧力を損失させるための圧力損失部が設けられていてもよい。この場合，例えば排気通路の下流側一箇所に印加された排気圧力を，排気通路内において損出させ，上流の前記排気口における排気圧力を均等にすることができる。したがって，処理室内の雰囲気を基板の外周方向から均等に排気することができる。
【００１６】
別の観点による本発明は，基板を処理する処理室を有する処理装置であって，前記処理室には，基板を載置して熱処理する熱処理板である載置台と，前記処理室に気体を供給する気体供給口と，前記載置台の外周を囲む囲み部材と，が備えられ，前記囲み部材は，側部を有する略筒形状を有し，前記囲み部材の側部の内部には，前記処理室内の雰囲気を排気する排気通路が設けられ，前記囲み部材の側部は，少なくとも２以上の部分に分離可能であり，前記囲み部材の側部を分離することによって，前記排気通路内が露出可能であり，前記囲み部材の側部は，内周側の第１の部分と，外周側の第２の部分とに分離可能であり，前記第１の部分は，環状の垂直部と環状の水平部を有し，前記水平部は，前記垂直部の下部から外方側に向けて形成されており，前記第２の部分は，前記垂直部の外側面及び前記水平部の上面に対向する内周側面を備えており，前記排気通路は，前記垂直部の外側面及び前記水平部の上面と前記第２の部分の内周側面との隙間により形成されていることを特徴とする。また，前記処理装置は，前記載置台上の基板を上方から覆い，前記処理室の一部を形成する蓋体を備え，前記気体供給口は，前記蓋体の中心部に設けられていてもよい。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下，本発明の好ましい実施の形態について説明する。図１は，本実施の形態にかかる処理装置が搭載された塗布現像処理システム１の構成の概略を示す平面図であり，図２は，塗布現像処理システム１の正面図であり，図３は，塗布現像処理システム１の背面図である。
【００１８】
塗布現像処理システム１は，図１に示すように例えば２５枚のウェハＷをカセット単位で外部から塗布現像処理システム１に対して搬入出したり，カセットＣに対してウェハＷを搬入出したりするカセットステーション２と，塗布現像処理工程の中で枚葉式に所定の処理を施す各種処理装置を多段配置してなる処理ステーション３と，この処理ステーション３に隣接して設けられている図示しない露光装置との間でウェハＷの受け渡しをするインターフェイス部４とを一体に接続した構成を有している。
【００１９】
カセットステーション２では，カセット載置台５上の所定の位置に，複数のカセットＣをＸ方向（図１中の上下方向）に一列に載置自在となっている。そして，このカセット配列方向（Ｘ方向）とカセットＣに収容されたウェハＷのウェハ配列方向（Ｚ方向；鉛直方向）に対して移送可能なウェハ搬送体７が搬送路８に沿って移動自在に設けられており，各カセットＣに対して選択的にアクセスできるようになっている。
【００２０】
ウェハ搬送体７は，ウェハＷの位置合わせを行うアライメント機能を備えている。またウェハ搬送体７は，θ方向（Ｚ軸を中心とする回転方向）に回転自在であり，後述する処理ステーション３側の第３の処理装置群G３に属するエクステンション装置３２に対してもアクセスできるように構成されている。
【００２１】
処理ステーション３では，その中心部に主搬送装置１３が設けられており，この主搬送装置１３の周辺には各種処理装置が多段に配置されて処理装置群を構成している。この塗布現像処理システム１においては，４つの処理装置群G1，G2，G3，G4が配置されており，第１及び第２の処理装置群G1，G2は，塗布現像処理システム１の正面側に配置され，第３の処理装置群G3は，カセットステーション２に隣接して配置され，第４の処理装置群G4は，インターフェイス部４に隣接して配置されている。さらにオプションとして破線で示した第５の処理装置群G5を背面側に別途配置可能となっている。前記主搬送装置１３は，これらの処理装置群G1，G2，G3，G4，G5に配置されている後述する各種処理装置に対して，ウェハＷを搬入出可能である。なお，処理装置群の数や配置は，ウェハＷに施される処理の種類によって異なり，任意に選択可能である。
【００２２】
第１の処理装置群G1では，例えば図２に示すようにウェハＷにレジスト液を塗布し，ウェハＷ上にレジスト膜を形成するレジスト塗布装置１７と，露光後にウェハＷを現像処理する現像処理装置１８とが下から順に２段に配置されている。第２の処理装置群G2の場合も同様に，レジスト塗布装置１９と，現像処理装置２０とが下から順に２段に積み重ねられている。
【００２３】
第３の処理装置群G3では，例えば図３に示すようにウェハＷを冷却処理するクーリング装置３０，レジスト液とウェハＷとの定着性を高めるためのアドヒージョン装置３１，ウェハＷの受け渡しを行うためのエクステンション装置３２，本実施の形態にかかる処理装置としてのプリベーキング装置３３，３４及び現像処理後の加熱処理を施すポストベーキング装置３５が下から順に例えば６段に重ねられている。
【００２４】
第４の処理装置群G4では，例えばクーリング装置４０，載置したウェハＷを自然冷却させるエクステンション・クーリング装置４１，エクステンション装置４２，クーリング装置４３，露光後の加熱処理を行うポストエクスポージャーベーキング装置４４，４５及びポストベーキング装置４６が下から順に例えば７段に積み重ねられている。
【００２５】
インターフェイス部４の中央部には，図１に示すように例えばウェハ搬送体５０が設けられている。このウェハ搬送体５０はＸ方向（図１中の上下方向），Ｚ方向（垂直方向）の移動とθ方向（Ｚ軸を中心とする回転方向）の回転が自在にできるように構成されており，第４の処理装置群G4に属するエクステンション・クーリング装置４１，エクステンション装置４２，周辺露光装置５１及び図示しない露光装置に対してアクセスして，各々に対してウェハＷを搬送できるように構成されている。
【００２６】
ここで，プリベーキング装置３３，３４の構成について，プリベーキング装置３３を例に採って説明する。プリベーキング装置３３は，ウェハＷ上に形成されたレジスト膜中に残存する溶剤を揮発させるための加熱処理を行う装置である。
【００２７】
プリベーキング装置３３は，図４に示すようにケーシング６０内に，上下動自在な蓋体６１と，蓋体６１の下方に位置し蓋体６１と一体となって処理室Ｓを形成する囲み部材としてのサポートリング６２と，サポートリング６２内に収容され，ウェハＷを載置して加熱する載置台，熱処理板としての熱板６３とを備えている。
【００２８】
熱板６３は，厚みのある略円盤状に形成されており，サポートリング６２は，熱板６３の外周を囲むように，例えば上下面が開口した略円筒状に形成されている。サポートリング６２の側部６４は，肉厚に形成されており，側部６４の上面には，図５に示すように処理室Ｓ内の雰囲気を排気するためのリング状の排気口６５が開口している。排気口６５は，図４に示すようにサポートリング６２の側部６４の内部を通過する排気通路６６に連通しており，排気通路６６は，サポートリング６２の下部に取り付けられた排気管６７に連通している。排気管６７は，図示しない負圧発生手段に接続されており，例えば排気管６７の下流側に負圧を印加することによって，排気口６５，排気通路６６を介して処理室Ｓ内の雰囲気を排気できる。
【００２９】
サポートリング６２は，図４，図６及び図７に示すように第２の部分としての上部リング部材７０，第１の部分としての中部リング部材７１，下面部としての下部リング部材７２の３つの分離可能な部分で主に構成されている。
【００３０】
上部リング部材７０は，図４，図７に示すように縦断面が略方形状のリング形状を有している。図６に示すように上部リング部材７０の内周壁７０ａには，内側に突出した二つの圧力損失部７０ｂ，７０ｃが形成されている。圧力損失部７０ｂ，７０ｃは，内周壁７０ａに沿ってリング状に形成されている。圧力損失部７０ｂは，内周壁７０ａの上端部に位置し，後述する中部リング部材７１の垂直部７１ａとの隙間が排気口６５になっている。圧力損失部７０ｃは，例えば内周壁７０ａの下部に設けられている。なお，サポートリング６２の上面となる上部リング部材７０の上面には，シール部材であるＯリング８０が設けられ，サポートリング６２の上面と蓋体６１の下端部との隙間から処理室Ｓ内の気体が流出しないようになっている。
【００３１】
中部リング部材７１は，図４，図７に示すように縦断面が略Ｌ字型のリング形状を有している。中部リング部材７１は，図６に示すようにリング状の垂直部７１ａとリング状の水平部７１ｂとで主に形成されている。水平部７１ｂは，垂直部７１ａの下部から外方に向けて形成されている。垂直部７１ａの外周壁７１ｃは，前記上部リング部材７０の内周壁７０ａに面している。また垂直部７１ａの外周壁７１ｃと前記上部リング部材７０の内周壁７０ａとの間には，環状の隙間Ｋ１が設けられている。また，水平部７１ｂの上面７１ｄは，上部リング部材７０の下面７０ｄに面している。水平部７１ｂの上面７１ｄと上部リング部材７０の下面７０ｄとの間には，環状の隙間Ｋ２が設けられている。この隙間Ｋ２は，前記隙間Ｋ１に連通しており，連通する隙間Ｋ１と隙間Ｋ２は，排気通路６６を形成している。水平部７１ｂの外方側は，上方に突出しており，上部リング部材７０の下面７０ｄに接触して排気通路６６を閉鎖している。なお，本実施の形態においては，上部リング部材７０の内周側面は，内周壁７０ａと下面７０ｄで構成されている。
【００３２】
水平部７１ａの上面７１ｄには，凹状の排出口７１ｅが形成されている。この排出口７１ｅには，排気通路６６を通過する気体中の不純物を回収するための回収部材としてのフィルタ８１が取り付けられている。このフィルタ８１は，排出口７１ｅに対して取り外し自在である。排出口７１ｅには，中部リング部材７１及び下部リング部材７２を貫通する排気管６７が接続されている。したがって，排気口６５から排気通路６６内に流入した気体は，排出口７１ｅに流入し，排気管６７から排出される。
【００３３】
下部リング部材７２は，図７に示すようにリング状に形成されている。図６に示すように下部リング部材７２の上面７２ａは，中部リング部材７１の下面の形状に適合するように形成されている。下部リング部材７２は，熱板６３の裏面を支持する底板７２ｂを備えている。例えば底板７２ｂは，図４に示すように中央部が開口しており，当該開口部は，サポートリング６２内に熱板６３を収容することにより閉口するようになっている。下部リング部材７２は，プリベーキング装置３３に固定されている。
【００３４】
上部リング部材７０と中部リング部材７１とは，図６に示すように例えばねじ８２によって固定されており，ねじ８２を外すことによって上部リング部材７０と中部リング部材７１とを分離できる。この結果，上部リング部材７０を中部リング部材７１から取り外し，排気通路６６を露出することが可能になる。
【００３５】
中部リング部材７１は，下部リング部材７２上に載置されており，中部リング部材７１は，下部リング部材７２に対して取り外し自在である。下部リング部材７２の外側面には，例えば下部リング部材７２と中部リング部材７１とを係止するための係止板８３が取り付けられている。係止板８３は，中部リング部材７１の外側面に対向する位置にまで延びている。係止板８３には，バネＤによって中部リング部材７１側に付勢された係止部材８４が取り付けられている。中部リング部材７１の外側面には，係止部材８４が適合する穴８５が設けられている。したがって，下部リング部材７２側の係止部材８４を，中部リング部材７１側の穴８５にはめ込むことによって，中部リング部材７１を下部リング部材７２に係止できる。
【００３６】
また，下部リング部材７２の上面には，例えばリング状で縦断面が三角形状のガイド部８６が形成されている，中部リング部材７１の下面には，ガイド部８６に適合するリング状のリング溝８７が形成されている。リング溝８７をガイド部８６に合わせることによって，中部リング部材７１を下部リング部材７２上の所定の位置に載置できる。
【００３７】
一方，サポートリング６２内に収容される熱板６３には，図４に示すように給電により発熱するヒータ９０が内蔵されており，熱板６３自体を所定の温度に加熱し維持できる。つまり，所定の温度に加熱された熱板６３にウェハＷを載置することによって，ウェハＷを所定温度に加熱できる。
【００３８】
熱板６３には，例えば３つの貫通孔９１が形成されている。各貫通孔９１には，ウェハＷの裏面を支持して昇降する昇降ピン９２がそれぞれ挿入されている。昇降ピン９２は，例えばシリンダ等を備えた昇降機構９３により上下動する。昇降ピン９２は，熱板６３の上方まで上昇して主搬送装置１３との間でウェハＷを授受したり，受け取ったウェハＷを熱板６３に載置したりできる。
【００３９】
蓋体６１は，上面側が天板９４により閉口し下面側が開口した略円筒形状の形態を有している。天板９４は，熱板６３上のウェハＷに対向している。天板９４上の中央部には，図示しない気体供給源に連通したパージ用気体の気体供給部９５が設けられている。天板９４の中央部には，気体供給部９５に連通した気体供給口９６が設けられている。したがって，図示しない気体供給源のエア，窒素ガス又は不活性ガス等の気体を，気体供給部９５を介して気体供給口９６に供給し，気体供給口９６から処理室Ｓ内に導入することができる。
【００４０】
蓋体６１の内側であって天板９４と熱板６３との間には，例えば円形状のバッフル板９７が設けられている。バッフル板９７は，天板９４及び熱板６３に対して水平になるように蓋体６１に固設されている。バッフル板９７は，天板９４と所定距離，例えば１５ｍｍの位置に配置されている。バッフル板９７には，図示しない複数の通気孔が均等に分散されて開けられており，気体供給口９６から処理室Ｓ内に供給された気体をウェハＷ上に均等に供給できる。
【００４１】
なお，蓋体６１全体は，シリンダ等を備えた図示しない昇降機構により上下動自在であり，ウェハＷの搬入出時に蓋体６１が上下動される。また，ケーシング６０の側面には，ウェハＷをケーシング６０内に搬入出するための搬入出口９８が設けられている。
【００４２】
本実施の形態にかかるプリベーキング装置３３は，以上のように構成されており，次にその作用について説明する。先ずプリベーキング処理におけるプリベーキング装置３３の作用について説明する。ウェハＷがプリベーキング装置３３に搬送される前に，気体供給口９６からパージ用の気体，例えばエアが供給され始める。また，熱板６３は，ヒータ９０により所定の加熱温度に維持される。
【００４３】
そして，露光装置（図示しない）において露光処理が終了し，主搬送装置１３に保持されたウェハＷは，搬入出口９８からケーシング６０内に搬送され，熱板６３の上方で予め上昇して待機していた昇降ピン９２に受け渡される。続いて蓋体６１が下降し，サポートリング６２と一体となって処理室Ｓが形成される。このとき，気体供給口９６から導入されたエアは，図４に示すようにバッフル板９７を通過して，ウェハＷ上に均等に供給される。ウェハＷ上に供給されたエアは，図５に示すようにサポートリング６２のリング状の排気口６５から排気される。このときエアは，排気通路６６内の圧力損失部７０ｂ，７０ｃの作用によってウェハＷの外周方向から均等に排気される。排気口６５に流入したエアは，上部リング部材７０と中部リング部材７１との間の排気通路６６を通過し，排出口７１ｅに流入する。排出口７１ｅに流入したエアは，フィルタ８１を通過し，排気管６７を介してプリベーキング装置３３外に排出される。
【００４４】
処理室Ｓ内に上述したような気体供給口９６から排気口６５に向かう下降気流が形成されると，昇降ピン９２が下降し，ウェハＷが熱板６３上に載置される。こうしてウェハＷの加熱が開始され，所定時間の加熱が行われる。この加熱によりウェハＷから発生した溶剤等の揮発物や昇華物は，上記気流に取り込まれ，排気口６５から排気される。気流中に含まれる揮発物，昇華物等の不純物は，排出口７１ａのフィルタ８１により回収され，当該不純物を除去されたエアは，排出管６７を介して例えば工場の排気系に送られる。
【００４５】
所定時間の加熱が終了すると，再び昇降ピン９２が上昇し，ウェハＷが熱板６３上に持ち上げられる。これと同時に蓋体６１が上昇し，処理室Ｓが開放される。この処理室Ｓの開放時に，エアの供給を停止してもよい。昇降ピン９２上のウェハＷは，再び搬入出口９８から進入した主搬送装置１３に受け渡され，プリベーキング装置３３から搬出される。こうして，一連のプリベーキング処理が終了する。
【００４６】
次に，排気通路６６内を洗浄する際のプリベーキング装置３３の作用について説明する。先ず，例えば上部リング部材７０と中部リング部材７１が持ち上げられ，図７に示すように下部リング部材７２から取り外される。取り外された上部リング部材７０と中部リング部材７１は，例えば洗浄作業を行い易い場所に搬送される。
【００４７】
続いて上部リング部材７０と中部リング部材７１を固定していたねじ８２が外され，図７に示すように上部リング７０と中部リング部材７１とが分離される。こうして，排気通路６６が露出され，排気通路６６内の洗浄が行われる。このとき，フィルタ８１の洗浄，取り替えを行ってもよい。
【００４８】
排気通路６６内の洗浄が終了すると，例えば上部リング部材７０と中部リング部材７１がねじ８２によって固定され，一体となった上部リング部材７０と中部リング部材７１がプリベーキング装置３３の下部リング部材７２上に重ねられる。このとき，中部リング部材７１のリング溝８７は，ガイド部８６に合わせられる。また，下部リング部材７２の係止部材８４が中部リング部材７１の穴８５に填って，中部リング部材７１が下部リング部材７２に係止される。こうして，上部リング部材７０，中部リング部材７１が元の位置に戻され，一連の洗浄作業が終了する。
【００４９】
以上の実施の形態によれば，サポートリング６２の側部６４を分離可能にして，排気通路６６を露出可能にしたので，排気通路６６内の洗浄等のメンテナンスをより簡単に行うことができる。それ故，メンテナンス時間を短縮できる。また，排気通路６６内を洗浄し易いので，排気通路６６に付着した不純物等の汚れを残らず洗浄することができる。この結果，排気通路６６内をエアがスムーズに流れて，処理室Ｓ内の排気が適切に行われるので，処理室Ｓ内のウェハＷが清浄な雰囲気内で処理され，ウェハＷの処理が適切に行われる。
【００５０】
排気通路６６を形成する上部リング部材７０と中部リング部材７１とが，下部リング部材７２に対して取り外し自在であるので，排気通路６６内の洗浄をより洗浄し易い場所で行うことができる。したがって，排気通路６６の洗浄作業を効率よく行うことができる。
【００５１】
フィルタ８１が排気通路６６の排出口７１ｅに取り付けられたので，排気通路６６の洗浄時にフィルタ８１の洗浄又は取り替えを併せて行うことができる。また，このフィルタ８１により，排気通路６６に繋がる配管内の汚染が抑制され，当該配管等のメンテナンスの回数を減らし，またそのメンテナンス時間を短縮できる。
【００５２】
中部リング部材７１を所定位置で係止する係止部材８４が，下部リング部材７２に取り付けられたので，中部リング部材７１を下部リング部材７２上の所定位置で係止できる。
【００５３】
サポートリング６２の上面の排気口６５をリング状に形成したので，処理室Ｓ内の雰囲気をウェハＷ外方から均等に排気できる。この結果，ウェハＷ上の溶剤がウェハＷ面内において均等に揮発し，ウェハＷの加熱処理がウェハＷ面内において均一に行われる。また，排気通路６６内に圧力損失部７０ｂ，７０ｃが形成されたので，リング状の排気口６５上における排気圧力を一定にし，排気口６５からの排気をより均一に行うことができる。
【００５４】
なお，排気通路６６の内面に，テフロン（デユポン社の登録商標）処理等の防汚処理を施してもよく，かかる場合，処理室Ｓ内で発生した昇華物等の不純物が排気通路６６に固着することが抑制され，洗浄等のメンテナンス間隔を延ばすことができる。
【００５５】
なお，図８に示すようにサポートリング１００の上面に開口する円形状の排気口１０１が複数形成され，当該複数の排気口１０１は，同一円周上に等間隔に配置されていてもよい。この場合にも，処理室Ｓ内の雰囲気が等間隔の各排気口１０１に流入するので，ウェハＷ上の雰囲気がウェハＷの外周方向から均一に排気される。なお，排気口１０１は，スリット状，例えば図９に示すような円弧形状になっていてもよい。
【００５６】
以上の実施の形態で記載したサポートリング６２は，３つの部分に分離可能であったが，その数は，任意に選択できる。また，排気通路６６に開口する排出口７１ｅの数も任意に選択できる。
【００５７】
以上，本発明の実施の形態の一例について説明したが，本発明はこの例に限らず種々の態様を採りうるものである。例えば本発明を，プリベーキング装置以外の他の処理装置，例えばポストエクスポージャーベーキング装置，ポストベーキング装置，クーリング装置等にも適用できる。また，基板を上記ウェハＷに限定せず，方形の他の基板，たとえばＬＣＤ基板を処理する処理装置に対しても適用可能である。
【００５８】
【発明の効果】
本発明によれば，排気通路内のメンテナンスをより短時間で行うことができるので，その分処理装置の稼働率を向上することができる。また，排気通路内を清浄に維持できるので，処理室内の雰囲気の排気が適切に行われ，処理室内の基板処理を適切な環境で行うことができる。したがって，基板処理の歩留まりを向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態にかかるプリベーキング装置を備えた塗布現像処理システムの平面図である。
【図２】図１の塗布現像処理システムの正面図である。
【図３】図１の塗布現像処理システムの背面図である。
【図４】プリベーキング装置の構成を示す縦断面の説明図である。
【図５】熱板を収容したサポートリングの平面図である。
【図６】サポートリングの側部の構成を示す縦断面の説明図である。
【図７】分割したサポートリングを示す説明図である。
【図８】排気口を複数設けた場合のサポートリングの平面図である。
【図９】図８の排気口がスリット状になった場合のサポートリングの平面図である。
【図１０】従来の加熱処理装置の構成の概略を示す縦断面の説明図である。
【符号の説明】
１    塗布現像処理システム
３３    プリベーキング装置
６１    蓋体
６２    サポートリング
６４    側部
６５    排気口
６６    排気通路
７０    上部リング部材
７１    中部リング部材
７２    下部リング部材
Ｓ    処理室
Ｗ    ウェハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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