(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれが圧力発生室、該圧力発生室に連通するノズル、及び、圧力発生手段を含み、２次元的に配列された複数個のイジェクタと、前記イジェクタを複数個連結する共通流路を含むインク供給系とを有し、
前記共通流路を通じて前記圧力発生室にインクが充填され、前記圧力発生手段によって前記圧力発生室内のインクに圧力変化を生じさせ、前記ノズルからインク滴を吐出させるインクジェット記録ヘッドであって、
前記共通流路が、前記圧力発生室と平面的に重なり合うように配置されており、かつ、その共通流路を挟んで隣接する前記ノズルの間で幅の狭い部分となりそれ以外の部分で幅の広い部分となるくびれ形状であることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記ノズルを形成する部材が前記共通流路のエアダンパを兼ねることを特徴とする、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記ノズルを形成する部材が樹脂フィルムで構成されていることを特徴とする、請求項１又は２の何れかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
ｃcを前記圧力発生室の音響容量とすると、前記共通流路の音響容量ｃpが次の条件式ｃp＞２０ｃcを満足するように設定されていることを特徴とする、請求項１乃至３の内の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
ｃnを前記ノズルの音響容量とすると、前記共通流路の音響容量ｃpが次の条件式ｃp＞１０ｃnを満足するように設定されていることを特徴とする、請求項１乃至４の内の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記ノズルからインク滴を連続吐出した際のリフィル時間が、前記インク供給系内の準定常的インク流れによって生じる前記共通流路内の圧力降下によって、意図する吐出周期よりも大きくならないように、前記インク供給系の流路抵抗を設定したことを特徴とする、請求項１乃至５の内の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記ノズルからインク滴を連続吐出した際の前記共通流路の圧力降下が８００Ｐａ以下となるように前記インク供給系の流路抵抗が設定されていることを特徴とする、請求項６に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
前記くびれ形状部分における前記共通流路の平面形状が滑らかな曲線によって構成されていることを特徴とする、請求項１乃至７の内の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】
前記インク供給系が、複数の前記共通流路と、複数の前記共通流路を相互に連通する第２共通流路とを含むことを特徴とする、請求項１乃至８の内の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１０】
前記第２共通流路にインクを供給するためのインク供給口が、前記第２共通流路の中央付近に設けられていることを特徴とする請求項９に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１１】
前記第２共通流路にインクを供給するためのインク供給口が、１個の前記第２共通流路に対して複数個設けられていることを特徴とする、請求項９又は１０の何れかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１２】
前記第２共通流路を複数有することを特徴とする、請求項９乃至１１の内の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１３】
前記複数の共通流路を二つ以上のグループに分け、各グループの前記共通流路をそれぞれ別々の前記第２共通流路に接続したことを特徴とする、請求項１２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１４】
前記共通流路がインクジェット記録ヘッドの主走査方向にほぼ平行となるように配置され、前記第２共通流路が前記主走査方向にほぼ垂直となるように配置されていることを特徴とする、請求項９乃至１３の内の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１５】
前記共通流路がインクジェット記録ヘッドの主走査方向にほぼ垂直となるように配置され、前記第２共通流路が前記主走査方向にほぼ平行となるように配置されていることを特徴とする、請求項９乃至１３の内の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１６】
請求項１乃至１５の内の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッドを備えていることを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ノズルからインク滴を吐出して文字や画像の記録を行うインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
圧電アクチュエータ等の圧力発生手段を用いて、インクが充填された圧力発生室内に圧力波(音響波)を発生させ、その圧力波によって圧力発生室に連通したノズルからインク滴を吐出するドロップオンデマンド型インクジェットは一般によく知られている（特公昭５３−１２１３８号公報、特開平１０−１９３５８７号公報）。
【０００３】
図２３は、上記公報などで公知のインクジェット記録装置におけるイジェクタの一例を示している。イジェクタ１０は、共通流路４、エアダンパ２６、インク供給路５、振動板８、圧電アクチュエータ３、圧力発生室１、及びノズル２により構成される。通常１つのイジェクタ１０は、１つのノズル２を持つ。圧力発生室１には、インクを吐出するためのノズル２と、共通流路４を介してインクタンク（図示せず）からインクを導くためのインク供給路５が連通している。エアダンパ２６は、共通流路４の上方に設けられ、圧力を吸収する。また、圧力発生室１の底面には振動板６が設けられ、振動板６の外部には圧電アクチュエータ７が取り付けられている。
【０００４】
インク滴８の吐出時には、圧電アクチュエータ７は、振動板６を変位させ、圧力発生室１に体積変化を生じさせ、圧力波を発生させる。この圧力波によって、圧力発生室１の中に充填されていたインクの一部がノズル２を通って外部に噴射され、インク滴８となって飛翔する。飛翔したインク滴８は記録紙等の記録媒体上に着弾し、記録ドットを形成する。こうした記録ドットの形成を、画像データに基づいて繰り返し行うことによって、記録媒体上に文字や画像が記録される。
【０００５】
図２４は、インク滴８の吐出前後におけるノズル２のメニスカス動作を模式的に示している。同図（ａ）に示すように、初めほぼ平坦な状態であったメニスカス９は、圧力発生室１が圧縮されるとノズル２の外部に向かって移動し、インク滴８を吐出させる（同図（ｂ））。インク滴８の吐出直後は、ノズル２内部のインク量が減少するため、凹形状のメニスカス９が形成される（同図（ｃ））。図中に示すｙは、この吐出後のメニスカス９の変位量である。凹形状になったメニスカス９は、インクの表面張力の作用によって同図（ｄ）、（ｅ）に示す状態を経て、徐々にノズル２の開口部まで復帰し、やがて吐出前の状態に回復する（同図（ｆ））。
【０００６】
図２５は、インク滴８の吐出直後におけるメニスカス９の位置変化を示す。吐出直後（ｔ＝０）に大きく後退したメニスカス９（ｙ＝−６０μｍ）は、同図に示すように振動しながら初期位置（ｙ＝０）に復帰する。こうしたインク滴８の吐出後におけるメニスカス９の復帰動作のことを、リフィルと呼び、インク滴８の吐出後に、最初にメニスカス９がノズル２の開口面に復帰するまでの時間をリフィル時間（ｔr）と呼ぶ。
【０００７】
インクジェット記録ヘッドでは、記録速度を左右する最大のパラメーターは、ノズル２の数である。ノズル２の数が多いほど、単位時間当たりに形成できるドット数が多く、記録速度を向上することができる。そのため、通常のインクジェット記録装置では、イジェクタ１０を複数連結したマルチノズル型の記録ヘッドが多く用いられる。図２６は、イジェクタ１０を１次元配列した記録ヘッドを示している。記録ヘッドは、インクタンク２０、インク管路１８ａ、１８ｂ、フィルタ１９、及びイジェクタ１０により構成される。インクタンク２０は、インク管路１８ａ、１８ｂ及びフィルタ１９を介して共通流路４と接続されており、この共通流路４に複数のイジェクタ１０が連通している。
【０００８】
しかし、このようなイジェクタ１０を１次元的に配列する構造では、イジェクタ１０の数をそれほど増やすことはできず、通常１００個程度が上限といわれている。そこで、イジェクタを２次元的にマトリクス配列させることによってイジェクタの数を増加させたインクジェット記録ヘッド（以下、マトリクス配列ヘッドと呼ぶ）がこれまでいくつか提案されている（特開平１−２０８１４６号公報、特表平１０−５０８８０８号公報など）。
【０００９】
図２７は、マトリクス配列ヘッドの一例を示している。図２６の記録ヘッドとは、第２共通流路１６を新たに備え、共通流路４が複数存在する点で相違する。それぞれの共通流路４は、第２共通流路１６に連通しており、イジェクタ１０は各共通流路４に複数接続されている。こうしたマトリクス配列ヘッド構造は、イジェクタ１０の数を増加させるのに非常に有効である。例えば、共通流路４の数を２６とし、各共通流路４に１０個のイジェクタ１０を接続することにより、２６０個のイジェクタ１０を配列させることが可能となる。
【００１０】
図２８は、特表平１０−５０８８０８号公報に記載されているインクジェット記録ヘッドを示しており、（ａ）はイジェクタ１０の断面を、（ｂ）はイジェクタ１０の配置を模式的に示している。同図（ａ）に示すように、インクジェット記録ヘッドは、圧力発生室１、ノズル２、運通路３、インク供給路５、振動板６、圧電アクチュエータ７、及び流路２３から構成される。このインクジェット記録ヘッドは、ノズルプレート１１、流路プレート２５、及び振動板６を張り合わせることにより形成される。隔壁２７は、圧力発生室１の圧力が、流路２３へ伝わらない厚みを有している。同図（ｂ）に示すように、流路２３は、流路２４に連通している。この流路２３は、図２７の共通流路４に相当し、流路２４は第２共通流路１６に相当する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図２７、２８に示したような従来のマトリクス配列ヘッドでは、第１の課題として、共通流路４を挟んだノズル２の間隔（ノズルピッチＰc）を小さく設定することができず、結果的にイジェクタ１０の配列密度（単位面積当たりのノズル数）をあまり高くすることができないという問題があった。
【００１２】
図２９は、マトリクス配列ヘッドの等価電気回路を示す。ｍはイナータンス［ｋｇ／ｍ4］、ｒは音響抵抗［Ｎｓ／ｍ5］、ｃは音響容量［ｍ5／Ｎ］、φは圧力［Ｐａ］を表わし、添字のｄは駆動部、ｃは圧力発生室、ｉはインク供給路、ｎはノズル、ｐは共通流路、ｐ’は第２共通流路をそれぞれ意味している。イジェクタ１０を２次元的に配列したマトリクス配列ヘッドでは、図２９に示すように、多数のイジェクタ１０が共通流路４及び第２共通流路１６によって連通している。そのため、同一共通流路４に連通したイジェクタ１０の数が多い場合は、近接するイジェクタ１０間のクロストーク（圧力干渉）等を抑制する必要があり、共通流路４には大きな音響容量を確保する必要がある。
【００１３】
しかし、後述するように、共通流路４の音響容量を増加させるためには、共通流路４の幅を大きく設定する必要がある。そのため、従来のマトリクス配列ヘッドでは、共通流路４を挟んで対向するノズル２間のノズルピッチＰcが大きくなり、高いノズル配列密度を実現することができなかった。
【００１４】
更に、従来のマトリクス配列ヘッドにおける第２の課題として、大径のインク滴８を複数イジェクタ１０から短い周期で複数のイジェクタ１０から同時に吐出（高周波同時吐出）させた場合に、吐出状態が不安定化するという問題があった。図３０は、従来のマトリクス配列ヘッドを用いて、インク滴８の滴体積、吐出周波数を変化させて、吐出の安定性を調べた結果の一例であり、（Ａ）はインク滴体積２０ｐｌ、（Ｂ）はインク滴体積３０ｐｌの時の結果を示す。なお、吐出の安定性はインク滴８の飛翔速度（滴速）の変化として評価した。
【００１５】
グラフ（Ａ）に示すように、滴体積２０ｐｌのインク滴をマトリクス配列された２６０個のイジェクタ１０から同時に吐出した場合には、１０ｋＨｚ以上の吐出周波数で滴速の不安定化が確認され、１５ｋＨｚ以上で不吐出となった。このときのインク滴８の吐出状態をストロボ観察した結果、１０ｋＨｚ以上の吐出周波数では、大径の滴と小径の滴が交互に吐出されるような吐出状態が多く観察され、滴径や滴速がランダムに変化する場合も観測された。また、滴体積を３０ｐｌに増加した場合には、グラフ（Ｂ）に示すように７ｋＨｚ以上の吐出周波数で同様の吐出不安定化が観察された。
【００１６】
実験評価の結果、上記の吐出不安定化現象は、同時吐出させるイジェクタ１０の数が多い場合や、吐出周波数が高い場合、あるいは吐出させるインク滴８の径が大きい場合などに発生しやすいことがわかった。また、吐出不安定化が発生すると、同じ共通流路４に接続された全てのイジェクタ１０がほぼ同様に不安定化することが確認された。こうした観察結果から考えると、上記吐出不安定化現象は、各イジェクタ１０間の音響的なクロストークに起因したものではなく、従来問題視されたことのない新たな吐出不安定化現象であるといえる。
【００１７】
上記のような吐出不安定化現象が発生すると、インク滴８の滴体積や滴速が非常に不安定となるため、出力画像の品質が大幅に低下してしまう。また、不安定化の度合いが著しい場合には、ノズル２内部に気泡を巻き込み、不吐出を生じさせてしまうこともある。こうした吐出不安定化現象が発生するため、従来のマトリクス配列ヘッドでは、大径のインク滴８を多数のイジェクタ１０から高周波同時吐出させることができず、高速記録に有利というマトリクス配列ヘッドの特徴を十分に発揮させることができなかった。
【００１８】
本発明は、ノズル配列密度の高いマトリクス配列ヘッドを低い製造コストで実現し、更に大径インク滴を複数イジェクタから高周波同時吐出させる際に発生する吐出不安定化現象を抑制し、安定した高速記録を可能とするマトリクス配列ヘッドを提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、インクジェット記録ヘッドのイジェクタ間で発生するクロストークを防止するために、種々の検討を重ねた結果、以下の知見に想到し、本発明を成すに至った。ここで、共通流路４の音響容量と、共通流路４の幅とは密接な関係がある。共通流路４の音響容量ｃvは、共通流路壁の剛性が高い場合には、下式で表わされる。Ｖpは共通流路４の容積［ｍ3］、κはインクの弾性係数［Ｐａ］、Ｋ1は共通流路壁の剛性に依存する補正係数であり、通常は０．３〜０．７程度の値となる。
ｃv＝Ｖp／（κ Ｋ1)  （１）
共通流路４の音響容量は共通流路の容積Ｖpに比例する。共通流路４の高さには上限があるため（通常１００〜２００μｍ程度）、大きな音響容量（容積）を確保するためには、共通流路４の幅を大きく設定する必要がある。
【００２０】
また、図２３に示すように、共通流路４の一部に剛性の小さなエアダンパ２６を付与することによって、共通流路４の音響容量を増加させることもできる。この場合、エアダンパ２６によって共通流路４に付与される音響容量ｃdは、エアダンパ幅をＷd［ｍ］、エアダンパ厚さをｔd［ｍ］、エアダンパ長さをｌd［ｍ］、エアダンパの弾性係数をＥd［Ｐａ］、エアダンパのポアソン比をνdとすると次式から算出できる。
【数１】
0004192458.tif 000002
すなわち、エアダンパ２６により付与される音響容量ｃdはエアダンパ幅Ｗdの５乗に比例する。図２３に示すインクジェット記録ヘッドでは、エアダンパ２６の幅は、共通流路４の幅であるので、音響容量ｃdを大きな値に設定するためには、共通流路４の幅を大きく設定する必要がある。共通流路の全体の音響容量ｃpは、ｃvとｃpを足した値となる。
【００２１】
上記のように、共通流路４に大きな音響容量を確保するためには、共通流路４の幅を大きく設定する必要がある。しかし、図２８に示したような従来のマトリクス配列ヘッドでは、共通流路４に大きな幅を確保するためには、ノズルピッチＰc、を非常に大きく設定しなければならず、そのためノズルの配列密度が減少してしまう。すなわち、共通流路を直線状に形成した図２８に示したような従来のマトリクス配列ヘッドでは、構造上の要件から、ノズルピッチＰcを次の条件式を満足するように設定するしかなかった。ここで、ＷPは流路２３の所要幅、ｄTは連通路３の径、ＷW1は連通路３と流路２３の間の隔壁幅である。
Ｐc≧Ｗp＋ｄT＋２ＷW1  （３）
これは、このマトリクス配列ヘッドでは、流路２３の同一平面内に連通路３が形成されており、両者は隔壁２７によって分離されていなければならないためである。
【００２２】
連通路３には、ノズル２にインクを低い流体抵抗で導くと同時に、インク滴８の吐出方向を安定化させるという機能が求められる。このため、ある程度大きな径が必要となり、一般的なインクジェット記録ヘッドでは１００〜１５０μｍ程度である。また、連通路３と流路２３の間の隔壁２７は、ノズルプレート等との接合を実行するために、ある程度の幅が必要になる。例えば、流路プレート２５とノズルプレート１１を接着剤によって接合する場合には、隔壁２７の幅を１００μｍ以上に設定しないと接着不良が発生しやすくなる。接着不良が発生すると、連通路３と流路２３の間で圧力波リークが発生し、正常な圧力波発生が実行できなくなるといった問題が生じる。このように、連通路径ｄT及び隔壁幅ＷW1には一定以上の大きさが必要となるため、直線状の流路２３を有する従来のマトリクス配列ヘッドでは、ノズルピッチＰcを小さく設定し、高いノズル配列密度を実現することが困難であった。
【００２３】
上記知見に基づいて、本発明のインクジェット記録ヘッドは、それぞれが圧力発生室、該圧力発生室に連通するノズル、及び、圧力発生手段を含み２次元的に配列された複数個のイジェクタと、イジェクタを複数個連結する共通流路を含むインク供給系とを有し、共通流路を通じて圧力発生室にインクが充填され、圧力発生手段によって圧力発生室内のインクに圧力変化を生じさせ、ノズルからインク滴を吐出させるインクジェット記録ヘッドであって、共通流路が圧力発生室と平面的に重なり合うように配置されており、かつ、幅が広い部分と幅が狭い部分とを有するくびれ形状であることを特徴とする。
【００２４】
くびれ形状の形態としては、共通流路を挟んで対向する２つのノズルの間で幅が小さく、それ以外の部分では幅が広くなるように設定されていることが好適である。本発明のインクジェット記録ヘッドでは、共通流路をくびれ形状とすることにより、共通流路の幅を部分的に大きく拡大している。これにより、ノズルピッチＰcを従来ヘッドより小さく設定しても、十分な音響容量を確保することが可能となる。本発明のインクジェット記録ヘッドでは、共通流路の幅をＷ1、共通流路間での隔壁幅をＷW2とした場合（図５参照）、ノズルピッチＰcを次の範囲に設定することが可能となる。
Ｐc≧Ｗ1＋ＷW2 （４）
ＷW2はＷW1とほぼ同程度の値となるが、共通流路間での圧力波リークは吐出特性に大きな問題を発生させないことから、ＷW2はＷW1よりも小さく設定することも可能である。つまり、本発明のインクジェット記録ヘッドでは、ノズルピッチＰcを従来のマトリクス配列ヘッドに比べ、少なくとも（ｄT＋ＷW1）の分だけ減少させることができ、ノズルの配列密度を大幅に増加することが可能となる。
【００２５】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドは、ノズルを形成する部材が共通流路のエアダンパを兼ねることを特徴とする。
これにより、少ない部材で共通流路のエアダンパを構成することができ、ノズル配列密度の高いインクジェット記録ヘッドを低い製造コストで実現できるという効果が得られる。
【００２６】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドでは、ノズルを形成する部材が樹脂フィルムで構成される。
これにより、エアダンパに大きな音響容量を確保することができ、幅の狭い共通流路で所要とする音響容量を得られ、ノズルの配列密度を更に増加させることが可能となる。
【００２７】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドは、共通流路の音響容量ｃpが次の条件式を満足するように設定される。
ｃp＞２０ｃc
これにより、各イジェクタ間の音響的クロストークの発生を防止することができ、吐出特性の均一性及び安定性が高いインクジェット記録ヘッドを実現できるという効果が得られる。
【００２８】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドは、共通流路の音響容量ｃpが次の条件式を満足するように設定される。
ｃp＞１０ｃn
これにより、複数イジェクタを同時吐出させたときのリフィル時間増加を防止することができ、吐出特性の均一性及び安定性を更に向上できるという効果が得られる。
【００２９】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドでは、ノズルからインク滴を連続吐出した際のリフィル時間が、インク供給系内の準定常的インク流れによって生じる共通流路内の圧力降下によって、意図する吐出周期よりも大きくならないように、インク供給系の流路抵抗が設定される。
【００３０】
更に、ノズルからインク滴を連続吐出した際の共通流路の圧力降下が８００Ｐａ以下となるようにインク供給系の流路抵抗が設定される。
【００３１】
これにより、大径インク滴を複数イジェクタから高周波同時吐出した際に発生する吐出不安定化現象を抑制でき、高速記録に適したインクジェット記録ヘッドを実現することが可能となる。
【００３２】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドでは、くびれ形状部分における共通流路の平面形状が滑らかな曲線によって構成される。
これにより、共通流路内でのインク流れを均一化し、共通流路内での気泡残留を防止することができるため、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを実現することが可能となる。
【００３３】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドでは、インク供給系が、複数の共通流路と、この複数の共通流路を連結する第２共通流路とを含み構成さる。
これにより、多数のイジェクタに対して効率的にインク供給を行うことができ、ヘッド全体のサイズを減少できるという効果が得られる。
【００３４】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドでは、第２共通流路に、インクを供給するためのインク供給口が、第２共通流路の中央付近に設けられる。
これにより、第２共通流路の所要幅を低減することができ、ヘッドサイズを減少できるという効果が得られる。
【００３５】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドでは、第２共通流路に、インクを供給するためのインク供給口が複数設けられる。
これにより、第２共通流路の所要幅を低減することができ、ヘッドサイズを減少できると共に、ゴミ等による流路詰まりの影響を受け難いインクジェット記録ヘッドを実現することができる。
【００３６】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドでは、第２共通流路が複数具備される。
これにより、第２共通流路の所要幅を低減でき、ヘッドサイズを減少できると共に、第２共通流路内での気泡残存を防止することができるという効果が得られる。
【００３７】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドでは、共通流路がインクジェット記録ヘッドの主走査方向にほぼ平行となるように配置され、第２共通流路が主走査方向にほぼ垂直となるように配置される。
これにより、副走査方向のヘッド全長を短く設定することができるため、記録媒体搬送用のローラ間距離を短く設定し、記録媒体の搬送を安定化できるという効果が得られる。
【００３８】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドでは、共通流路がインクジェット記録ヘッドの主走査方向にほぼ垂直となるように配置され、第２共通流路が主走査方向にほぼ平行となるように配置される。
これにより、主走査方向のヘッド全幅を短く設定することができ、高速記録に更に有利なインクジェット記録ヘッドを実現することができる。
【００３９】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドでは、複数の共通流路を二つ以上のグループに分け、各グループの共通流路をそれぞれ別々の第２共通流路に接続させる。
これにより、共通流路及び／又は第２共通流路の所要断面積を低減することができ、ノズル配列密度を更に増加させることができるという効果が得られる。
【００４０】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インクジェット記録ヘッドを備えていることを特徴とする。
このようなインクジェット記録装置によると、極めて高い記録速度を有するインクジェット記録装置を実現することができる。
【００４１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態例に基づいて、本発明について更に詳しく説明する。
【００４２】
第１実施形態例
図１は、第１実施形態例のインクジェット記録ヘッドのイジェクタ１０の断面を示している。イジェクタ１０は、圧力発生室１、ノズル２、運通路３、共通流路４、インク供給路５、振動板６、及び圧電アクチュエータ７を含み構成される。
【００４３】
圧力発生室１はインク供給路５を介して共通流路４に連通しており、圧力発生室１内にインクが充填される。圧力発生室１には、インク滴８を吐出するためのノズル２が連通している。また、圧力発生室１の底面は振動板６となっており、振動板６には圧力を発生する圧電アクチュエータ（圧電振動子）７が取り付けられる。この圧電アクチュエータ７に駆動電圧を印加すると、圧電アクチュエータ７がたわみ、振動板６を介して圧力発生室１を膨張又は圧縮させる。圧力発生室１に体積変化が生じると、圧力発生室内１に圧力波が発生する。この圧力波の作用によってインクが力を受け、ノズル２から外部へ排出されることによりインク滴８が形成される。
【００４４】
図２は、図１のイジェクタ１０を２次元的に配列したインクジェット記録ヘッドの構成を示している。インクジェット記録ヘッドは、ノズルプレート１１、共通流路プレート１２、供給路プレート１３、圧力発生室プレート１５、及び振動板６の計５枚のプレートで構成される。これらを接着剤によって積層接合することにより、アレイ状に配列された複数のイジェクタ１０と、インク供給路１７を介してインクが供給される第２共通流路１６とが形成される。本実施形態例のインクジェット記録ヘッドでは、共通流路４と圧力発生室１とを平面的に重なるように配置し、共通流路４がくびれ形状を持つことで音響容量を確保し、クロストークの発生を防ぐ。
【００４５】
図２に示すように、共通流路４は、ヘッドの主走査方向にほぼ平行となるように配置され、副走査方向にほぼ平行となるように配置された第２共通流路１６と連通している。第２共通流路１６は、インク供給口１７を介してインクタンク（図示せず）と連通しており、各共通流路４にインクを供給する役割をする。共通流路４には、圧力発生室１が連通している。本実施形態例では、第２共通流路１６に２６本の共通流路４を連通し、それぞれの共通流路４に１０個のイジェクタ１０を配設したことで、ノズル数が２６０個のインクジェット記録ヘッドとなった。
【００４６】
図３は、本実施形態例におけるイジェクタ１０の配列方法を模式的に示している。同図(ａ)に示すように、同一共通流路４に連通したイジェクタ１０は、それぞれ副走査方向にＰG（＝Ｐc／ｎ  ；ｎは同一共通流路４に接続されているイジェクタ１０の数）だけずらして配置されており、ヘッドを主走査方向に走査する過程において、吐出タイミングをずらしながら各列のイジェクタ１０からインク滴８を吐出することにより、ピッチＰGのドット列が形成される。同図（ｂ）は、本実施形態例における各イジェクタ１０列の吐出タイミングを表わしている。本実施形態例では、列間の距離Ｐnを６００μｍ、ヘッドの走査速度を１ｍ／ｓに設定している。従って、各列の吐出タイミングを６００μｓずらして吐出させることで、同図（ｂ）のように主走査方向に対して同じ位置にドットを着弾させることができる。このように、ピッチＰGの小さなドット列を一回のヘッド走査によって形成できることが、マトリクス配列ヘッドの大きな特長の一つである。
【００４７】
本実施形態例では、ノズルプレート１１に厚さ２５μｍのポリイミドフィルムを用い（Ｅd＝２．０ＧＰａ、νd＝０．４）、エキシマレーザ加工によって、開口径２５μｍのノズル２を形成した。後述するように、このノズルプレートは共通流路のエアダンパ２６としても機能する。供給路プレート１３には、厚さ７５μｍのステンレス板を用い、プレスによって開口径２６μｍのインク供給路５を形成した。共通流路プレート１２及び圧力発生室プレート１５には、厚さ１２０μｍのステンレス板を用い、ウェットエッチングによって流路パターンを形成した。
【００４８】
圧力発生室１は、一辺の長さが４００μｍ、アスペクト比（縦横比）が１の四角形とし、圧力発生室１の角部には、インク流れの淀みを防止するためにＲ形状を付与した。共通流路４は、図１に示すように、圧力発生室１と平面的に重なり合うように配置されている。なお、平面的に重なり合うとは、ヘッドの走査面側から見て重なり合うことをいう。以下単に重なり合うとも称する。このように、共通流路４を圧力発生室１と重なり合うように配置すると、共通流路４と圧力発生室１とを同一平面内に配置した場合に比べ、小さい面積の中に共通流路４と圧力発生室１とを効率的に配置できるため、ヘッドの小型化（イジェクタ１０の高密度配列）に有利となる。振動板６には、厚さ１０μｍのステンレス板を用い、また圧電アクチュエータ７には、厚さ３０μｍの単板状圧電セラミクスを用いた。
【００４９】
図４は、圧電アクチュエータ７に印加した駆動電圧波形の一例である。本駆動電圧波形は、圧力発生室１を圧縮する方向に電圧を変化させる第１電圧変化（昇圧）プロセス５１と、印加電圧を元のバイアス電圧（Ｖb）に戻すための第２電圧変化（降圧）プロセス５２により構成されている。本実施形態例のインクジェット記録ヘッドでは、Ｖ1を３０Ｖに設定した際に滴体積２０ｐｌのインク滴を吐出することが可能であった。また、単ノズル駆動時のリフィル時間（ｔr）は３５μｓであった。
【００５０】
図５は、イジェクタ１０の配列を模式的に示している。なお、図３に示すピッチＰGのノズル位置ずれは、省略して示している。図５は、図１のＡ−Ａ矢視図である。共通流路４の幅は、共通流路４を挟んで対向するノズルＡ−Ｂ間で最小（Ｗ2）となり、共通流路４に沿って隣接するノズルＡ−Ｃ間で最大（Ｗ1）となるようなくびれ形状をしている。共通流路４をこのようなくびれ形状にしているため、共通流路４には部分的に大きな幅（Ｗ1）を確保することができ、大きな音響容量を得ることができる。つまり、共通流路を直線状とした従来ヘッドと比較すると、小さなノズルピッチＰcで共通流路に必要とされる音響容量を確保することが可能になる。
【００５１】
本実施形態例のインクジェット記録ヘッドでは、共通流路４の最大幅（Ｗ1）を５００μｍ、連通路３の径（ｄT）を１５０μｍ、連通路３と共通流路４の間の隔壁４０の幅ＷW1を１００μｍ、共通流路４間の隔壁４１の幅ＷW2を１００μｍに設定した。このため、共通流路4を挟んで隣接するノズル２間のノズルピッチＰcは、６００μｍ（＝Ｗ1＋ＷW2）となり、共通流路４の最小幅（Ｗ2）は、２５０μｍ（＝Ｐc−ｄT−２ＷW1）となった。共通流路４に沿って隣接するノズル２間のノズルピッチＰnは６００μｍに設定した。
【００５２】
共通流路４の上面は、剛性の低いノズルプレート１１で構成され、この部分がエアダンパ２６として機能する。このインクジェット記録ヘッドでは、１つのイジェクタ１０当たりの共通流路４（エアダンパ２６）の音響容量ｃp（≒ｃd）は、式（１）及び（２）から、約８．４×１０-18ｍ5／Ｎとなる。
【００５３】
ここで、共通流路４に必要とされる音響容量について、本発明者が明らかにした知見について説明する。本発明者は、本実施形態例のインクジェット記録ヘッドについて、図６に示す回路モデルを用いた等価回路解析を行い、また実際のインク滴吐出実験を行った。その結果、共通流路４を介した音響的クロストークの発生率は、共通流路４の音響容量ｃpと圧力発生室１の音響容量ｃcの比率に依存し、
ｃp＞２０ｃc （５）
の条件を満たせば、クロストークの発生を防止できることを見出した。なお、図６の等価回路は、一つの共通流路４を切り出した回路モデルである。
【００５４】
圧力発生室１の音響容量ｃcは、圧力室容積をＶc［ｍ3］、インクの弾性係数をκ［Ｐａ］、圧力発生室の剛性等に依存する補正係数をＫ2とすると、次式で表わされる。
ｃc＝Ｖc／（κ・Ｋ2）  （６）
また、共通流路４の音響容量ｃpは、式（１）及び式（２）によって求められる。なお、音響容量ｃpはイジェクタ１個当たりの音響容量であり、例えば、共通流路４全体の音響容量が１×１０-17ｍ5／Ｎであり、その共通流路４に１０個のイジェクタ１０が均等に接続されている場合、ｃpは０．１×１０-17ｍ5／Ｎとなる。イジェクタ１０が均等配置されていない場合には、配置状態に対応して共通流路４の音響容量を各イジェクタ１０に配分する。本実施形態例では、６００μｍのピッチ（Ｐn）でイジェクタ１０が均等配置されているため、式（２）においてエアダンパ２６の長さをｌd＝６００μｍとして計算すれば、イジェクタ１個当たりの音響容量を求めることができる。
【００５５】
図７は、ｃp／ｃcを変化させてクロストークの発生率変化を調べた結果を示している。クロストーク発生率は、１個のイジェクタ１０を単独吐出させた場合の滴速ｖ1と、全イジェクタ１０を同時吐出させた際の滴速ｖ2から（ｖ2−ｖ1）／ｖ1として評価した。図７のグラフから、ｃp／ｃcの増加に伴ってクロストーク発生率が減少し、ｃp＞２０ｃcの条件を満たせば、クロストーク発生率を１０％以下に抑えることができることがわかる。また、０．１＜ｃp／ｃc＜１０の範囲内では、クロストークの発生率が非常に大きくなった。これは、圧力発生室１から伝播した圧力波によって共通流路４内に圧力波が生じるが、０．１＜ｃp／ｃc＜１０の条件では、共通流路４内の圧力波と圧力発生室１内の圧力波の振動周波数が近くなり、一種の共振現象が発生するためと考えられる。
【００５６】
実際に、本実施形態例のインクジェット記録ヘッドにおいて、エアダンパ２６の幅及び材質を変化させ、ｃp／ｃcが異なるヘッドを複数試作してクロストークの発生率を調べたところ、図７に示すように、等価回路解析結果と非常によく一致する結果が得られた。なお、厳密には、共通流路４のイナータンスｍpや音響抵抗ｒpもクロストーク発生率に影響を及ぼすが、通常のインクジェット記録ヘッドではその影響は非常に小さく、クロストークの発生率は上記のようにｃp／ｃcによって支配されると考えてよい。
【００５７】
また、本発明者は、図８に示した回路モデルを用いた等価回路解析、及び実際のインク滴吐出実験を行った結果、複数のイジェクタ１０から同時に吐出を行った場合のリフィル時間ｔrは、共通流路４の音響容量ｃpとノズルの音響容量ｃnの比率に依存し、
ｃp＞１０ｃn （７）
の条件を満たせばリフィル時間増加を抑制することが可能であることを見出した。なお、図８の等価回路は、一つの共通流路を切り出し、更にリフィル現象を解析するのに適した形に変更した回路モデルである。ｍeはイジェクタ全体のイナータンス（＝ｍ1＋ｍ2＋ｍ3）を示しており、ｒeはイジェクタ全体の音響抵抗（＝ｒ1＋ｒ2＋ｒ3）を示している。
【００５８】
ノズルの音響容量ｃnは、ノズル開口径をｄn［ｍ］、インク表面張力をσ［Ｎ／ｍ］、メニスカスの引き込み量をｙ［ｍ］とすると、次式のように表わされる。
【数２】
0004192458.tif 000003
上式のように、ノズルの音響容量ｃnはメニスカスの引き込み量ｙに依存するが、ここでは代表値としてｙ≒ｄn／４とし、ｃnを次式のように定義する。
【数３】
0004192458.tif 000004
【００５９】
図９は、ｃp／ｃnとリフィル時間ｔrの関係を調べた結果を示している。なお、ｃn＝８．５×１０-19ｍ5／Ｎである。この結果から、ｃp／ｃnが大きくなるとｔrが小さくなり、ｃp＞１０ｃnの条件を満たせばリフィル時間の増加を防ぐことができ、かつ、イジェクタ間のリフィル時間差を無くすことが可能になることが明らかになった。また、４＜ｃp／ｃn＜１０の範囲内では、リフィル時間の増加が異常に大きくなることが明らかになった。これは、上記のクロストークの場合と同じく、圧力発生室内の圧力波と共通流路内の圧力波の間に干渉が生じるためと考えられる。
【００６０】
実際の吐出実験によってｃp／ｃnの関係を調べた結果、図９に示すように、等価回路解析結果と非常によく一致する結果が得られた。また、リフィル時間ｔrの増加に対しても、共通流路のイナータンスｍp及び音響抵抗ｒpの影響は小さく、通常のインクジェット記録ヘッドでは、ｃp／ｃnをもとに共通流路４の特性設定を行えばよいことが、複数種類のインクジェット記録ヘッドを試作した結果から明らかになった。
【００６１】
上述のように、各イジェクタ間のクロストーク、及び同時吐出時におけるリフィル時間増加を抑制するためには、式（５）及び式（７）の条件を満たす必要がある。本実施形態例のインクジェット記録ヘッドでは、共通流路４の音響容量ｃp（≒ｃd）は８．４×１０-18ｍ5／Ｎ、ノズルの音響容量ｃnは７．３×１０-19ｍ5／Ｎ（ｄn＝２５μｍ、σ＝３５ｍＮ／ｍ）、圧力発生室の音響容量ｃcは３．９×１０-20ｍ5／Ｎであるため、ｃpはｃnの約１２倍、ｃcの約２１５倍であり、式（５）及び式（７）の条件を共に満足できている。
【００６２】
本実施形態例のインクジェット記録ヘッドを、吐出周波数及び同時吐出イジェクタ数を変化させながら、滴体積、滴速、及びリフィル時間ｔrを調べた結果、滴体積及び滴速は±２％、リフィル時間ｔrは±２μｓ以内の範囲内に収まり、クロストークやリフィル時間増加が良好に抑制できることが確認された。つまり、本実施形態例のインクジェット記録ヘッドでは、ノズルピッチＰcが６００μｍと小さいにもかかわらず、共通流路の音響容量は十分確保されていることが確認された。
【００６３】
比較例として図２８に示したような直線状の共通流路を有する従来ヘッド構造において、ノズルピッチＰcを本実施形態例と同じ６００μｍに設定したヘッドを試作し、特性の評価を行った。連通路径（ｄT）及び連通路３と共通流路４の間の隔壁幅（ＷW1）は、本実施形態例と同じくそれぞれ１５０μｍ、１００μｍに設定したため、式（３）より、共通流路の幅は２５０μｍとなった。そのため、エアダンパ２６の音響容量は２．３×１０-19ｍ5／Ｎと小さく、式（５）及び式（７）の条件を満たすことができなくなり、大きな音響的クロストークが発生し、インク滴８の滴体積や滴速に±１０％以上のばらつきが発生した。
【００６４】
また、複数ノズルを同時吐出した際には、リフィル時間ｔrが増加し、吐出周波数を１２ｋＨｚに低下させないと、安定した吐出を実行することが困難であった。つまり、従来のマトリクス配列ヘッドでは、ノズルピッチＰcを本実施形態例のように小さな値に設定すると、共通流路４に十分な音響容量を確保することができなくなり、クロストークやリフィル時間ｔr増加などの問題が発生することが確認された。
【００６５】
前述のように、直線状の共通流路４を有する従来ヘッド構造で、共通流路４に十分な音響容量を確保するためには、ノズルピッチＰcを大きく設定せざるを得ない。上記の比較例では、本実施形態例のノズルピッチが６００μｍであるのに対し、従来ヘッド構造ではノズルピッチＰcを８５０μｍ以上に設定しなければ、本実施形態例と同等の安定したインクジェット記録ができない。つまり、本実施形態例のインクジェット記録ヘッドは、従来ヘッドに比べてノズルピッチＰcを約４２％低減することができ、ノズル配列密度を大幅に高めることが可能である。
【００６６】
以上のように、本実施形態例のインクジェット記録ヘッドは、ノズルプレート１１を剛性の低い樹脂材料とし、これを共通流路４のエアダンパ２６として機能させ、かつ、圧力発生室１と重なり合うように配置した共通流路４をくびれ形状としたことにより、ノズルピッチＰcを６００μｍと小さく設定し、ノズル密度を２．８個／１ｍｍ2とすることができた。その結果、２６０個のイジェクタ１０を持つインクジェット記録ヘッドを、８ｍｍ×１６ｍｍという小面積で実現することができた。
【００６７】
第２実施形態例
図１０は、本発明の第２実施形態例のインクジェット記録ヘッドの構成を示している。本実施形態例のインクジェット記録ヘッドは、先の実施形態例とは、供給路プレート１３と圧力発生室プレート１５との間に連通路プレート１４がある点、ノズルプレート１１に剛性の高い金属板（ステンレス板）を使用する点、及び供給路プレート１３に剛性の低い樹脂フィルムを使用する点において相違する。図１１（ａ）は、図１０のインクジェット記録ヘッドのイジェクタ１０の１個分の断面を示している。本実施形態例のイジェクタ１０は、先の実施形態例の構造とは異なり、圧力発生室１と共通流路４との間の連通路プレート１４に、凹部２２が形成されている。本実施形態例のインクジェット記録ヘッドは、エアダンパ２６の厚さを小さくすることができ、更にノズルピッチを狭くし、共通流路４のくびれ形状部分に緩やかな曲線を付したことで気泡の残留を防ぐ。
【００６８】
本実施形態例のインクジェット記録ヘッドを試作するため、ノズルプレート１１に厚さ６０μｍのステンレス板を用い、プレス加工によって開口径２５μｍのノズル２を形成した。供給路プレート１３には、厚さ１２．５μｍのポリイミドフィルム（Ｅd＝２．０ＧＰａ、νd＝０．４）を用い、エキシマレーザ加工によって、開口径２０μｍのインク供給路５を形成した。この供給路プレート１３は、後述するように、共通流路４のエアダンパ２６として機能する。なお、供給路プレート１３の厚さは、エアダンパ２６に大きな容量を確保するために、３０μｍ以下であることが望ましい。
【００６９】
共通流路プレート１２、連通路プレート１４、及び圧力発生室プレート１５には、厚さ１２０μｍのステンレス板を用い、エッチングによって流路パターンを形成した。圧力発生室１は、一辺の長さが４００μｍで、縦横比が１に近い四角形の平面形状とし、気泡排出性を良くするために、角部にはＲを付与した。連通路プレート１４には、共通流路４に対応した部分にハーフエッチングによって凹部２２を形成した。この凹部２２は、供給路プレート１３と連通路プレート１４を積層した際に、両者の間に空洞部を形成するためのもので、この部分がエアダンパ２６として機能する。
【００７０】
なお、連通路プレート１４に凹部２２を設けずに、図１１（ｂ）のように、供給路プレート１３と、連通路プレート１４との間に別のプレート１４’を貼り合わせ、同様の構造を作ることも可能である。しかし、本実施形態例のようにハーフエッチングによって凹部２２を形成すると、ヘッドを構成するプレートの数を減らすことができ、製造コストの低減に有利となる。また、図１１では図示していないが、凹部２２には外気と連通させるための通気路が設けられている。これにより、凹部２２によって形成される空洞内の空気は常に外気と同一圧力となるため、エアダンパ２６の機能を向上できると共に、密閉空間がなくなるため、ヘッド製造時におけるプレート積層接合を容易とすることができる。
【００７１】
図１２は、図１１のイジェクタの断面を示し、（ａ）はＡ−Ａ断面、（ｂ）はＢ−Ｂ断面を示している。同図（ａ）に示すように、共通流路４は、第１実施形態例と同様のくびれ形状を有している。同様に、連通路プレート１４に形成した凹部２２の形状も、同図（ｂ）のＢ−Ｂ断面図に示すように、共通流路４の形状に対応したくびれ形状となっている。
【００７２】
上記のように、本実施形態例のインクジェット記録ヘッドでは、共通流路４の底面は剛性の低い供給路プレート１３で構成されており、この部分がエアダンパ２６として機能する。このため、供給路プレート１３の厚さを薄くでき、エアダンパ２６の厚さが非常に薄く設定できる。従って、ノズルピッチＰcを狭く設定した場合であっても、共通流路４に十分な音響容量を確保でき、ノズル配列密度を更に増加させることが可能となる。
【００７３】
第１実施形態例のように、ノズルプレート１１をエアダンパとした場合は、エアダンパ厚の減少には限界があった。これは、エアダンパ厚の減少はノズル２の長さの減少を意味し、ノズル２の長さが短くなると、インク滴８の吐出方向が悪化したり、気泡の巻き込みが発生したりし易くなるなどの問題が生じるためである。このため、第１実施形態例のヘッド構造では、２０〜５０μｍ程度がエアダンパ厚の下限である。また、第１実施形態例のヘッド構造では、エアダンパ２６が外部に露出しているため、ノズルプレート１１の破損防止、ノズル２のワイピング時の気泡巻き込み防止などヘッドの信頼性向上の観点からも、エアダンパ厚を一定以上大きく設定する必要がある。
【００７４】
本実施形態例のヘッド構造では、ノズル２とエアダンパ２６は独立した構造であり、また、エアダンパが外部に露出していないため、エアダンパ厚を非常に小さく設定することが可能である。本実施形態例では、エアダンパ厚である供給路プレート厚を１２．５μｍに設定した。式（２）からわかるように、エアダンパ２６の音響容量は厚さの３乗に反比例するため、エアダンパ厚を減少させると、同じ音響容量を実現するエアダンパ２６の幅を低減させることができる。本実施形態例では、共通流路４の最大幅Ｗ1を４００μｍ、ノズルピッチＰcを５００μｍと、第１実施形態例よりもそれぞれ減少させているが、共通流路４には第１実施形態例よりも大きな音響容量（２．２×１０-17ｍ5／Ｎ）が確保できる。
【００７５】
また、本実施形態例のインクジェット記録ヘッドは、図１２に示すように、共通流路４のくびれ部にＲ部２８を付与し、共通流路４の平面形状を滑らかな曲線により構成している。これは、共通流路４内でのインク流れを均一化し、気泡の排出性を向上させるためである。共通流路４をくびれ形状とした場合、共通流路４内の流速には大きな不均一が発生しやすくなる。特に、第１実施形態例のように、共通流路４の形状に大きな段差があるような構造では、段差部の近傍に流速の非常に小さい淀み点が発生しやすい。そのため、共通流路４にインクを流入させた際に、その淀み点に気泡が残留する場合がある。
【００７６】
共通流路４内に気泡が残留しても、気泡が移動しない限り吐出特性に大きな影響を及ぼすことはない。しかし、振動等のなんらかの要因で残留していた気泡が移動し、インク供給路５を経て圧力発生室１内に流入すると、そのイジェクタ１０からはインク滴８を正確に吐出することが不可能となってしまう。つまり、共通流路４内での気泡残留は、インクジェット記録ヘッドの信頼性を大きく損なう原因となるため、共通流路４内の気泡残留を防止する必要がある。そこで本実施形態例のインクジェット記録ヘッドでは、共通流路４のくびれ部分にＲ部２８を付与することにより、上記淀み点の発生を防止し、気泡の残存を抑制している。
【００７７】
Ｒ部２８における曲率半径（Ｒ）の好適範囲は、共通流路４内での平均インク流速、供給流路４の壁の材質、インク材料などによって変化するが、本発明者が多数のヘッドを試作評価した結果によると、Ｒ≧Ｇ／４に設定することが好適である。ここで、Ｇは図１２に示すような段差の大きさである。本実施形態例のインクジェット記録ヘッドでは、Ｇ＝１２５μｍであり、Ｒを５０μｍに設定した。
【００７８】
上記のようなＲ部２８を付与した共通流路４を持つインクジェット記録ヘッドを用いて、インク充填評価を実施した結果、共通流路４内での気泡残留が全く発生しないことが確認された。インク充填評価は、３００ｍｍＨｇの吸引圧力でノズルからインクを５秒間吸引した後で、共通流路４内の状態を顕微鏡観察し、残留気泡の有無を確認することにより行った。比較対象として、第１実施形態例のインクジェット記録ヘッドについても同様のインク充填評価を実施したところ、約６０％の確率でくびれ部（段差部）に気泡が残留した。
【００７９】
本実施形態例のインクジェット記録ヘッドを、吐出周波数及び同時吐出イジェクタ数を変化させながら、インク滴８の滴体積、滴速、及びリフィル時間を調べた結果、その変動は、滴体積及び滴速は±２％以内、リフィル時間は±１．５μｓ以内の範囲に収まり、クロストークやリフィル時間増加が良好に抑制できることが確認された。
【００８０】
以上のように、本実施形態例のインクジェット記録ヘッドでは、樹脂フィルムで構成した供給路プレート１３が、共通流路４のエアダンパとして機能することにより、ノズルピッチＰcを５００μｍと更に小さく設定しても、共通流路４に十分な音響容量を確保することができ、良好なインクジェット記録ができた。また、共通流路４のくびれ部分にＲ部２８を付与することにより、共通流路４内の気泡排出性を大幅に向上することができ、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを実現することが可能となった。ノズル配列密度は、第１実施形態例と比較すると、約２０％増加させることができ、３．３個／１ｍｍ2となった。
【００８１】
なお、本実施形態例では共通流路４の段差部（くびれ部）に一定の曲率半径Ｒを有するＲ部２８を付与したが、共通流路４の平面形状が滑らかな曲線によって構成されていれば、必ずしも一定の曲率半径を有している必要はない。また、上記「滑らかな曲線」は、細かい直線の集合であってもかまわない。
【００８２】
第３実施形態例
図１３は、本発明の第３実施形態例の基本構造を示している。本実施形態例のインクジェット記録ヘッドは、複数のイジェクタ１０、共通流路４、第２共通流路１６、インク管路１８ａ、１８ｂ、フィルタ１９、及びインクタンク２０によって構成されている。本実施形態例のインクジェット記録ヘッドは、共通流路４及び第２共通流路１６を含むインク供給系の流体抵抗（音響抵抗）を一定値以下に設定している。インク供給系の流体抵抗を一定値以下に設定することで、大きなインク滴８を多数のノズル２から同時に連続吐出することが可能となる。
【００８３】
本実施形態例のインクジェット記録ヘッドの基本構造は、第２実施形態例で示したものと同じである。共通流路４にそれぞれイジェクタ１０が連通している。それぞれの共通流路４は第２共通流路１６に連通しており、第２共通流路１６は、インク管路１８ｂ、フィルタ１９、及びインク管路１８ａを介してインクタンク２０と連通している。１本の共通流路４に１０個のイジェクタ１０を配設し、第２共通流路１６に合わせて２６本の共通流路４を接続することで、２６０個のイジェクタ１０を有するインクジェット記録ヘッドが形成される。
【００８４】
図１４は、本実施形態例のインクジェット記録ヘッドを模式的に示している。共通流路４の幅は約４００μｍ（平均幅）、高さは１２０μｍ、長さは約６ｍｍに設定されている。また、第２共通流路１６の幅は２．５ｍｍ、高さは約２５０μｍ、長さ（ｌp’）は約６ｍｍに設定されている。本実施形態例のインクジェット記録ヘッドでは、各イジェクタが、図１４に示すように配置されているため、各イジェクタから見た共通流路４の平均長さ（ｌp）は約３ｍｍ、第２共通流路１６の平均長さ（ｌp’）は約３ｍｍとなる。
【００８５】
一般に、断面が長方形である管路の流体抵抗（音響抵抗）は、次式を用いて算出することができる（ηはインク粘度［Ｐａ・ｓ］、Ｓは管路断面積［ｍ2］、ｚは管路断面のアスペクト比）。
【数４】
0004192458.tif 000005
従って、共通流路４の流路抵抗は１．９×１０11Ｎｓ／ｍ5、第２共通流路の流路抵抗は２．９×１０9Ｎｓ／ｍ5となる（η＝３ｍＰａ・ｓ）となる。なお、本実施形態例のインクジェット記録ヘッドでは、第２共通流路を２分割し、それぞれにインク供給口１７を設けているが、これは第２共通流路の長さ（ｌp’）を小さくし、流路抵抗を低減するためである。
【００８６】
また、インク管路１８ａ及びインク管路１８ｂは円管状であり、内径は２ｍｍに設定されている。長さはインク管路１８ａが３ｍｍ、インク管路１８ｂが２０ｍｍに設定されている。円形断面管路の流体抵抗は、次式から計算することができる（ｄは管路径［ｍ］、ｌは管路長さ［ｍ］）。
【数５】
0004192458.tif 000006
上式より、インク管路１８ａ、１８ｂの流路抵抗はそれぞれ２．３×１０7Ｎｓ／ｍ5、１．５×１０8Ｎｓ／ｍ5となる。フィルタ１９は、約１０μｍの微細孔を有する金属メッシュであり、流路抵抗は実測結果から１．０×１０9Ｎｓ／ｍ5と求められた。インクタンク２０は、流路抵抗が非常に小さくなるように流路断面積が大きく設定されており、流路抵抗は２．０×１０8Ｎｓ／ｍ5である。
【００８７】
ここで、インク供給系の流体抵抗の上限値について、本発明者が明らかにした知見について説明する。図１５は、同一の共通流路４に接続された複数のイジェクタ１０の等価回路を示している。本発明者は、図１５に示した回路モデルを用いた等価回路解析、及び実際のインク滴吐出実験を行い、その結果、多数のイジェクタで高周波連続吐出を行うと、共通流路４内に圧力降下が発生し、これが個々のイジェクタ１０のリフィル速度ｔrを減少させる原因になることを見出した。以下、その内容について詳しく説明する。
【００８８】
ノズル２からインク滴８を連続吐出した場合、巨視的に見ればインクタンク２０からノズル２に向かって準定常的な流れが生じていることになる。つまり、共通流路４を介して、インクがイジェクタ１０に準定常的に供給される。こうした準定常的な流れを完全な定常流と見なした場合、等価回路は図１５のように単純化することができる。
【００８９】
ここで問題となるのは、インクタンク２０から共通流路４までを含むインク供給系全体の流体抵抗である。管路の入口と出口との圧力差は、流体抵抗をｒ、流量をＱとすると、ΔＰ＝ｒ・Ｑで表される（ハーゲン・ポアズイユの法則）。イジェクタによるインク消費量（インク排出量）が大きい場合、インク供給系には大きな流量のインクが流れるが、この際、インク供給系の流体抵抗ｒが大きいと、インクタンク２０と共通流路４の間に大きな圧力差が発生することになる。つまり、滴体積の大きなインク滴８を、多数のノズル２から高周波同時吐出させると、共通流路４内の圧力が低下してしまう。
【００９０】
ここで、前述のリフィル動作について考えると、リフィル動作時においてインクは、メニスカス９の表面張力によって発生する圧力によって、共通流路４から圧力発生室１内へと導かれる。つまり、メニスカス９の表面張力で生じる圧力によって、ノズル２−共通流路４間に大きな圧力差が発生しなければ迅速なリフィルを実行することはできない。ところが、各イジェクタ１０の同時・連続吐出によって共通流路４内に圧力降下が発生すると、ノズル２と共通流路４の間の圧力差が低減し、リフィル速度が低下してしまう。
【００９１】
図１６は、共通流路の圧力変化（ΔＰp）とリフィル時間（ｔr）の関係を、本実施形態例のインクジェット記録ヘッドを用いて実験的に調べた結果を示すグラフである。共通流路４内の圧力降下が８００Ｐａ以下であればリフィル時間はほぼ一定であるのに対し、８００Ｐａ以上になるとリフィル時間が急激に増加することがわかる。こうしたΔＰpとｔrの関係は、インクの表面張力、ノズル径などによって多少変化するが、数多くの解析及び実験評価の結果、一般的なインクジェット記録装置（表面張力２０〜４０ｍＮ／ｍ、ノズル径１５〜４０μｍ）では、共通流路内の圧力降下を８００Ｐａ以下に保てば、リフィル速度の低下を抑制することが可能となることが判明した。
【００９２】
共通流路４内での圧力降下の大きさを求めるには、インク供給系における各部分で発生する圧力降下を加算していけばよい。本実施形態例のインクジェット記録ヘッドにおいて、ノズル数Ｎを２６０、滴体積２０ｐｌのインク滴を１５ｋＨｚの吐出周波数で全てのイジェクタ１０から連続吐出させた場合、インクの総流量は７．８×１０-8ｍ3／ｓとなる。インクタンク２０の流路抵抗は、３．０×１０8Ｎｓ／ｍ5、インク管路１８ａの流路抵抗は、２．３×１０7Ｎｓ／ｍ5、及びフィルタ１９の流路抵抗は、１．０×１０9Ｎｓ／ｍ5であるから、インクタンク２０で発生する圧力降下量は、２３．４Ｐａ、インク管路１８ａで発生する圧力降下量は、１．８Ｐａ、及びフィルタ１９で発生する圧力降下量は、７８Ｐａとなる。
【００９３】
一方、インク管路１８ｂは２本に分岐しているため、インク管路１８ｂ内の流量は３．９×１０-8ｍ3／ｓとなる。インク管路１８ｂの流路抵抗は１．５×１０8Ｎｓ／ｍ5であるため、インク管路１８ｂで発生する圧力降下量は５．９Ｐａとなる。２本の第２共通流路１６では、それぞれ流量が３．９×１０-8ｍ3／ｓ、流路抵抗ｒが２．９×１０9Ｎｓ／ｍ5であるため、圧力降下量は１１３Ｐａとなる。共通流路４は各第２共通流路１６に１３本接続されているため、各共通流路４でのインク流量は０．３×１０-8ｍ3／ｓとなる。共通流路４の流路抵抗ｒは１．９×１０11Ｎｓ／ｍ5であるため、圧力降下量は５７０Ｐａとなる。従って、本実施形態例のインクジェット記録ヘッドで、滴体積２０ｐｌのインク滴を１５ｋＨｚの吐出周波数で全イジェクタから連続吐出させた場合、インクタンク２０と共通流路４との間に発生する圧力降下は、上で算出した圧力降下量を全て加算して、７９２Ｐａとなる。
【００９４】
上記のように、本実施形態例のインクジェット記録ヘッドでは、インク供給系の流路抵抗を小さく設定しているため、滴体積２０ｐｌのインク滴を１５ｋＨｚで全イジェクタから連続吐出させても、共通流路内の圧力降下を８００Ｐａ以下に抑えることができる。そのため、共通流路内の圧力降下に起因するリフィル時間増加を防ぐことができ、安定した高周波連続吐出を実行することができる。
【００９５】
図１７は、本実施形態例のインクジェット記録ヘッドにおいて、吐出周波数及び吐出インク滴体積を変化させて、吐出の安定性を調べた結果を示している。吐出の安定性は、吐出されるインク滴８の滴速で評価した。グラフに示されるように、インク滴体積が２０ｐｌの場合には（Ａ）、約１６ｋＨｚまでは安定した吐出を実現することができた。また、滴体積を３０ｐｌに増加した場合にも（Ｂ）、約１０ｋＨｚまでは安定な吐出が可能であることが確かめられた。
【００９６】
比較対象として、共通流路４の高さを８０μｍに変更した場合の吐出実験結果を図１７の破線（Ａ’）で示す。この場合、共通流路４の流路抵抗は５．９×１０11Ｎｓ／ｍ5となるため、滴体積２０ｐｌのインク滴８を１５ｋＨｚで全イジェクタ１０から連続吐出させると、共通流路４内の圧力降下は約２０００Ｐａに増加する。この場合、共通流路内の圧力降下を８００Ｐａ以下とするという条件を満たすことができない。そのため、実験結果においても、吐出周波数６ｋＨｚ以上で滴速が不安定となり、滴吐出が不安定化することが確認された。インク滴８の吐出状態をストロボ観察したところ、大径の滴と小径の滴とが交互に吐出されるような吐出状態になっていた。また、滴体積を３０ｐｌに増加した場合には（Ｂ’）、４ｋＨｚ以上の吐出周波数で同様に滴吐出の不安定化が観察された。ただし、このヘッドにおいても、低周波駆動時には、全てのノズル２で安定した吐出が実現できていることから、共通流路４の音響容量は十分であるといえる。
【００９７】
以上の比較実験により、共通流路４の音響容量を大きく設定するだけでは安定した高周波吐出を実現することはできず、吐出滴体積、ノズル数、及び最高吐出周波数に対応してインク供給系の流路抵抗を好適に設定することにより、はじめて安定した全ノズル同時の連続吐出が実現できることが確認された。
【００９８】
本実施形態例の説明では、共通流路４の平均長さｌp、及び第２共通流路１６の平均長さｌp’を用いて流路抵抗及び圧力降下量の算出を行ったが、共通流路内の圧力降下を厳密に求めるためには、図１５のような等価回路を用いて計算を行うことが望ましい。
【００９９】
本実施形態例では、第２共通流路１６を上下に分割しているが、これは第２共通流路１６の所要幅を減少させるためである。すなわち、第２共通流路１６を二分割すると、第２共通流路１６の長さｌp’が減少するため、第２共通流路１６の幅を小さく設定しても流体抵抗が増加しにくい。例えば、第１実施形態例のように、第２共通流路１６を一本の流路として形成した場合、第２共通流路１６の長さｌp’は７ｍｍ程度となる。そのため、第２共通流路１６の流体抵抗を、本実施形態例と同等（２．９×１０9Ｎｓ／ｍ5）にするためには、第２共通流路１６の幅を５．５ｍｍ程度まで拡大することが必要となる（本実施形態例では、第２共通流路１６の幅は２．５ｍｍ）。つまり、本実施形態例のように第２共通流路１６を複数に分割すると、ｌp’を減少することができるため、第２共通流路１６の所要幅を大幅に低減することが可能となる。
【０１００】
インクジェット記録ヘッドのヘッド全幅を小さくすることは、印刷速度を向上させる上で極めて重要である。すなわち、ヘッドの全幅が小さいと、印刷時のヘッドの走行距離を短くすることができるため、ヘッド走査に要する時間を短縮し、結果的に印刷速度を低減することが可能となる。また、ヘッド全幅を小さくできると、記録用紙の左右に要するスペースを小さくすることができるため、インクジェット記録装置のサイズも減少することができるという効果も得ることができる。
【０１０１】
また、本実施形態例のように、第２共通流路をイジェクタ群の横に配置することは、インクジェット記録装置における記録媒体（記録用紙など）の搬送精度を向上するのに有利となる。すなわち、インクジェット記録装置において、記録媒体はヘッド前後に設置されたローラ等によって保持・搬送されるが、ヘッドの全長（ＬH）が大きいと、ローラ間における記録媒体のたわみ等によって、記録媒体の搬送精度が悪化しやすい。そのため、ヘッド長さＬHは最低限に抑えることが重要であり、そうした観点からは、本実施形態例のように共通流路４の支流を主走査方向に対してほぼ平行に配置し、共通流路４の本流をイジェクタ群の横に配置したヘッド構造の方が望ましい。
【０１０２】
第４実施形態例
図１８は、本発明の第４実施形態例における流路配置を模式的に示している。本実施形態例のイジェクタ構造は、共通流路４及び第２共通流路１６の配置を除いて、第３実施形態例と同様である。共通流路４は、ヘッドの主走査方向に対してほぼ垂直に配置され、第２共通流路１６は、主走査方向に対してほぼ平行となるように配置されている点に特徴がある。こうした共通流路４の配置では、第２共通流路１６がイジェクタ群の横に配置されないため、主走査方向のヘッド幅を小さく設定でき、高速記録及び装置サイズの低減に更に有利なインクジェット記録ヘッドを実現することが可能となる。以下詳述する。
【０１０３】
本実施形態例のインクジェット記録ヘッドは、図１８に示すように、共通流路４を主走査方向に対してほぼ垂直となるように配置し、これらの共通流路４を主走査方向にほぼ平行となるように配置した第２共通流路１６に接続している。共通流路４はヘッド中央を境として上下に分割されており、上半分の共通流路４は上部に配置された第２共通流路１６に、下半分の共通流路４は下部に配置された第２共通流路１６にそれぞれ接続されている。
【０１０４】
共通流路４を複数に分割した構造は、共通流路の所要断面積を小さくするのに有利である。前述のように、安定した多ノズル同時高周波吐出を実現するためには、インク供給系の流路抵抗を小さく設定する必要があり、そのためには共通流路４の流路抵抗も小さく設定する必要がある。しかし、共通流路４の全長が長い場合、共通流路４の断面積を非常に大きく設定しないと流路抵抗を小さく設定することができない。図１８に示すように共通流路を上下に二分割すると、共通流路の全長（ｌp）を短くすることができ、共通流路４の断面積が狭くても流路抵抗を小さくすることができる。
【０１０５】
各共通流路４にはそれぞれイジェクタ１０が接続されており、イジェクタは２次元配列されている。第２共通流路１６の中央部にはインク供給口１７が配設されており、このインク供給口を通じてインクタンク（図示せず）からインクが供給される。
【０１０６】
以上のように、本実施形態例のインクジェット記録ヘッドでは、第２共通流路をイジェクタ群の上下に配置しているため、第１〜第３実施形態例のインクジェット記録ヘッドに比べて、主走査方向のヘッド幅を小さく設定できている。本実施形態例では、ノズルピッチＰcを６００μｍに設定したため、主走査方向のヘッド幅は約６ｍｍとなった。第１〜第３実施形態例でのヘッド幅は８〜１０ｍｍであるため、本実施形態例ではヘッド幅を２〜４ｍｍ減少できた。
【０１０７】
実際のインクジェット記録装置では、複数のインクジェット記録ヘッドが並べて配置されるため、ヘッド全体の幅としては更に大きく減少することが可能である。例えば、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色に対応た４個のヘッドを並べた場合、第１〜第３実施形態例よりもヘッドの全幅を約８〜１６ｍｍ減少することが可能となる。このように、本実施形態例のインクジェット記録ヘッドはヘッド全幅を小さくすることができるため、印刷速度の向上及び装置サイズの低減に極めて有利となる。
【０１０８】
第５実施形態例
図１９は、本発明のインクジェット記録装置の実施形態例を示している。本実施形態例のインクジェット記録装置は、インクジェット記録ヘッドを搭載するキャリッジ３１、キャリッジ３１を主走査方向に走査するための主走査機構３３、記録媒体としての記録用紙３４を副走査方向に搬送するための副走査機構３５を含み構成されている。
【０１０９】
インクジェット記録ヘッドはノズル面が記録用紙３４と対向するようにキャリッジ３１上に搭載され、主走査方向に搬送されながら記録用紙３４に対してインク滴８を吐出することにより、一定のバンド領域３８に対して記録を行う。次いで、記録用紙３４を副走査方向に搬送し、再びキャリッジ３１を主走査方向に搬送しながら次のバンド領域を記録する。こうした動作を複数回繰り返すことにより、記録用紙３４の全面にわたって画像記録を行うことができる。
【０１１０】
実際に、本実施形態例のインクジェット記録装置を用いて画像記録を行い、記録速度及び画像品質の評価を行った。インクジェット記録ヘッドには、上記第３実施形態例で述べたヘッド構造のものを使用した。ノズルピッチＰcは５００μｍであり、１ｍｍ2当たりのノズル数は３．３個である。イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色に対応させて、１色あたり２６０個のイジェクタを有するマトリクス状配列ヘッドをキャリッジ３１上に並べて配置し、記録用紙３４上で４色のドットを重ねあわせることにより、フルカラーの画像記録を行った。
【０１１１】
滴体積２０ｐｌ、記録解像度６００ｄｐｉ、吐出周波数１８ｋＨｚの条件でＡ４サイズ（２１０ｍｍ×２９７ｍｍ）の画像を印刷した結果、約５秒間で印刷を完了することができ、極めて高い記録速度を実現できることが実証された。また、音響的クロストークや多ノズル同時吐出時の吐出不安定化現象が抑制できているため、出力画像には非常に高い画品質を得ることができた。
【０１１２】
比較例として、直線状の共通流路４を有する従来ヘッドを用いて、同様の画像出力実験を行った。この場合、共通流路４に十分な音響容量を確保するためにはノズルピッチＰcを８５０μｍに設定する必要があり、その結果、同じヘッド面積内に配列できるノズル数は１５０個が上限となった（１ｍｍ2当たりのノズル数は２．０個）。そのため、Ａ４サイズ（２１０ｍｍ×２９７ｍｍ）の画像を記録するのに約９秒の時間を要し、記録速度は本実施形態例のインクジェット記録装置に比べて約１／２であった。
【０１１３】
別の比較例として、直線状の共通流路４を有する従来ヘッド構造で、本実施形態例と同じくノズルピッチＰcを５００μｍに設定したインクジェット記録ヘッドを用いて同様の画像出力実験を行った。この場合、本実施形態例と同じ２６０個／色のノズル数が確保できたが、共通流路４の幅は１５０μｍと小さいため、共通流路４の音響容量ｃpは式（５）及び式（７）の条件を満たしていない。滴体積２０ｐｌ、記録解像度６００ｄｐｉ、吐出周波数１８ｋＨｚの条件でＡ４サイズ（２１０ｍｍ×２９７ｍｍ）の画像を印刷した結果、約５秒間で印刷を完了することができたが、インク滴８の吐出状態が非常に不安定であり、また、画像出力中に不吐出ノズルが多数発生してしまったため、出力画像の品質は極めて悪かった。つまり、従来ヘッド構造で無理にノズル２の配列密度を増加させると、安定したインク滴吐出を実行できなくなることが実証された。
【０１１４】
以上のように、本実施形態例のインクジェット記録装置では、共通流路をくびれ形状としているため、安定した吐出安定性を維持したままノズル配列密度（単位面積当たりのノズル数）を増加することができ、従来のインクジェット記録装置に比べて記録速度を大幅に増加できる。
【０１１５】
なお、本実施形態例ではヘッドをキャリッジによって搬送しながら記録を行う形態としたが、ノズルを記録媒体の全幅にわたって配置したライン型ヘッドを用い、ヘッドを固定して、記録媒体のみを搬送しながら記録を行うなど、別の装置形態に本発明を適用することも可能である。
【０１１６】
以上、本発明の実施形態例について説明したが、上記実施形態例は本発明に好適な実施の形態を示したものであり、本発明はこれらに限定されるものではない。すなわち、本発明の主旨を逸脱することなく、種々の変形、改良、修正、簡略化などを上記実施の形態に加えた他の形態を適用して、本発明を実施することができる。
【０１１７】
例えば、上記実施形態例では、圧力発生手段として圧電アクチュエータを用いたが、静電力や磁力を利用した電気機械変換素子や、沸騰現象を利用して圧力を発生させるための電気熱変換素子など、他の圧力発生手段を用いてもかまわない。また、圧電アクチュエータとしても、本実施形態例で使用した単板型の圧電アクチュエータの他に、縦振動タイプの積層型圧電アクチュエータなど、別の形態のアクチュエータを用いてもかまわない。
【０１１８】
また、上記実施形態例では、複数のプレートの積層によって流路を形成しているが、プレートの構成、材質などは上記実施形態例に限定されるわけではない。例えば、上記実施形態例ではノズルプレート又は供給路プレートを共通流路のエアダンパとして用いたが、エアダンパを構成する専用のプレートを挿入するなど、別のプレート構成のヘッドに対しても、本発明を適用することは可能である。また、セラミックス、ガラス、樹脂、シリコンなどの材料を用いて、流路を一体成型したようなヘッドに対しても、本発明は同様に適用可能である。
【０１１９】
また、共通流路の形状は、図５のように共通流路の両側壁にくびれ（段差）を有する形状に限定されるわけではなく、図２０のように共通流路の片側のみにくびれを設けた形状など、他の形状を用いても同様の効果を得ることが可能である。
【０１２０】
また、共通流路構成は、図１４に代わって、図２１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す構成とすることも可能である。図２１（ａ）は第２共通流路を上下に分割せずに、第２共通流路の両端にインク供給口を設けた例である。この場合にも、第２共通流路の長さｌpは図１４と同一となる。また、図２１（ａ）の流路構成では、第２共通流路に２方向からインクが供給されるため、ゴミ等によって第２共通流路の一部に流路詰まりが発生しても、吐出不良の発生を防止できるという効果がある。
【０１２１】
また、図２１（ｂ）は、第２共通流路の中央部にインク供給口を設けた例である。この場合にも、第２共通流路の長さｌp’は図１４と同一となる。また、本構造では、インク供給口が一箇所となるため、インク供給系の構造が簡略化でき、ヘッドコストの低減等に有利となる。また、図２１（ｃ）は第２共通流路の両側に共通流路を連結した例である。この場合、共通流路の長さを半分にすることができるため、共通流路の所要断面積を低減できるという効果が得られる。なお、図２１に示した共通流路構成は、本発明の好適な実施形態例を示したものであり、これ以外の共通流路構成とすることも可能である。
【０１２２】
また、共通流路構成は、図１８に代わって、図２２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す構成とすることも可能である。図２２（ａ）は共通流路４を上下に分割せずに、共通流路４の両端を第２共通流路１６に接続した例である。この場合、共通流路４には２方向からインクが供給されるため、ゴミ等によって共通流路の一部に流路詰まりが発生しても、吐出不良の発生を防止できるという効果がある。
【０１２３】
また、図２２（ｂ）は、上下に配置した第２共通流路１６の夫々に２個のインク供給口１７を設けた例である。この場合には、第２共通流路の長さｌp’を減少できるため、第２共通流路の所要幅を低減でき、副走査方向のヘッド全長を減少できるという効果が得られる。ヘッド全長の縮小は、前述したように、安定した用紙搬送を実現する上で有利となる。
【０１２４】
また、図２２（ｃ）は共通流路４及び上下に二分割されている第２共通流路１６をそれぞれ二分割した例である。この場合、図２２（ｂ）と同様、第２共通流路の所要幅を低減でき、副走査方向のヘッド全長を減少できるという効果と共に、共通流路及び第２共通流路内におけるインクの淀み点（流速の遅い部分）の発生を防ぐことができ、共通流路及び第２共通流路内での気泡残留を抑制する上で有利となる。なお、図２２に示した共通流路構成は、本発明の好適な実施形態例を示したものであり、これ以外の共通流路構成とすることも可能である。
【０１２５】
また、上記実施形態例では、圧力発生室の形状を四角形としたが、円形や六角形など、他の形状の圧力発生室を用いることも可能である。更に、上記実施形態例では、ノズルの配置をほぼ格子状の配列としたが、ノズル配列はほぼ格子状のものに限定されるわけではなく、その他の２次元的配列方法を用いた場合においても本発明を適用することは可能である。
【０１２６】
また、上記の実施形態例では記録紙上に着色インクを吐出して文字や画像などの記録を行うインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置を例にとったが、本明細書におけるインクジェット記録とは、記録紙上への文字や画像の記録に限定されるものではない。すなわち、記録媒体は紙に限定されるわけではなく、また、吐出する液体も着色インクに限定されるわけではない。例えば、高分子フィルムやガラス上に着色インクを吐出してディスプレイ用のカラーフィルターを作製したり、溶融状態のハンダを基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成したりするなど、工業的に用いられる液滴噴射装置一般に対して、本発明を利用することも可能である。
【０１２７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ノズル配列密度の高いマトリクス配列ヘッドを実現することができ、記録速度の極めて高いインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置を実現することができる。
【０１２８】
また、本発明によれば、共通流路を介した音響的クロストークや、多ノズル同時吐出時に発生する吐出不安定化現象を防止することができ、吐出特性の均一性及び安定性に優れたインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置を実現することが可能となる。
【０１２９】
更に、本発明によれば、共通流路内での気泡残留を防ぐことができ、信頼性の高いマトリクス配列ヘッド及びインクジェット記録装置を実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態例のインクジェット記録ヘッドの断面図である。
【図２】本発明に係わる第１実施形態例のインクジェット記録ヘッドのプレート構成を示す斜視図である。
【図３】マトリクス配列ヘッドのイジェクタ配列を説明するための模式図である。
【図４】インク滴吐出実験で用いた駆動電圧波形を示すグラフである。
【図５】インクジェット記録ヘッドの平面形状を示す模式図である。
【図６】音響的クロストークの解析に用いた等価電気回路を示す回路図である。
【図７】共通流路の音響容量と音響的クロストークの発生率との関係を示すグラフである。
【図８】リフィル時間の解析に用いた等価電気回路を示す図である。
【図９】共通流路の音響容量とリフィル時間との関係を示すグラフである。
【図１０】本発明に係わる第２実施形態例のインクジェット記録ヘッドのプレート構成を示す斜視図である。
【図１１】第２実施形態例のインクジェット記録ヘッドの断面図である。
【図１２】第２実施形態例のインクジェット記録ヘッドの平面形状を示す図である。
【図１３】本発明に係わる第３実施形態例のインクジェット記録ヘッドの共通流路配置を示す図である。
【図１４】第３実施形態例におけるインク供給系の構成を示す図である。
【図１５】多ノズル連続吐出時における流路内圧力変化の解析に用いた等価電気回路を示す図である。
【図１６】共通流路内圧力とリフィル時間の関係を示すグラフである。
【図１７】第３実施形態例のインクジェット記録ヘッドの吐出特性を示すグラフである。
【図１８】本発明に係わる第４実施形態例のインクジェット記録ヘッドの共通流路配置を示す図である。
【図１９】本発明に係わるインクジェット記録装置の一実施形態例を示す図である。
【図２０】第１実施形態例のインクジェット記録ヘッドの平面形状を示す図である。
【図２１】第３実施形態例におけるインク供給系の構成を示す図である。
【図２２】第４実施形態例のインクジェット記録ヘッドの共通流路配置を示す図である。
【図２３】従来のインクジェット記録ヘッドの基本構造を示す断面図である。
【図２４】インク滴吐出時におけるメニスカスの動きを説明するための模式図である。
【図２５】リフィル時におけるメニスカスの位置変化を示すグラフである。
【図２６】マルチノズル型インクジェット記録ヘッドの基本構造を示す図である。
【図２７】マトリクス配列型のインクジェット記録ヘッドの基本構造を示す図である。
【図２８】従来のマトリクス配列ヘッドの基本構造を示す図である。
【図２９】マトリクス配列ヘッドの等価電気回路を示す図である。
【図３０】従来のマトリクス配列ヘッドの吐出特性を示すグラフである。
【符号の説明】
１：圧力発生室
２：ノズル
３：運通路
４：共通流路
５：インク供給路
６：振動板
７：圧電アクチュエータ
８：インク滴
９：メニスカス
１０：イジェクタ
１１：ノズルプレート
１２：共通流路プレート
１３：供給路プレート
１４：運通路プレート
１４’：プレート
１５：圧力発生室プレート
１６：第２共通流路
１７：インク供給路
１８ａ、１８ｂ：インク管路
１９：フィルタ
２０：インクタンク
２１：インク供給系
２２：凹部
２３、２４：流路
２５：流路プレート
２６：エアダンパ
２８：Ｒ部
３１：キャリッジ
３３：主走査機構
３４：記録用紙
３５：副走査機構
３８：バンド領域
４０、４１：隔壁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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