(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属膜が形成された金属表面を有する複数のチップ状部品を防錆液中に浸漬することにより該チップ状部品に防錆処理を施すようにしたチップ状部品の防錆処理装置において、
上記チップ状部品は、互いに対向する２つの主面と、互いに対向し、該２つの主面の縁部同士を接続する２つの側面とを有する直方体状をなし、上記２つの主面に上記金属膜が形成され、該２つの主面に平行でかつ上記２つの側面を貫通する細孔が形成され、該細孔の内周面に金属膜が形成されたセラミック電子部品であり、
上記各チップ状部品を、これの上記２つの主面が載置面と平行となるように配列させた状態で前工程から上記載置面上に取り込む取り込み部と、該取り込んだ各チップ状部品を、所定ピッチに整列させるとともに上記２つの主面が上記載置面に垂直となるように９０度回転させる回転部と、該回転させた各チップ状部品を防錆液中に浸漬して防錆被膜を形成する防錆部と、該防錆被膜の形成されたチップ状部品を洗浄液中に浸漬して洗浄する洗浄部と、該洗浄したチップ状部品を乾燥させる乾燥部と、該乾燥したチップ状部品を次工程に排出する取り出し部とを備え
上記防錆部は、上記各チップ状部品の高さ寸法の一部を防錆液中に浸漬し、しかる後に該チップ状部品全体を浸漬して防錆被膜を形成することを特徴とするチップ状部品の防錆処理装置。
【請求項２】
金属膜が形成された金属表面を有する複数のチップ状部品を防錆液中に浸漬することにより該チップ状部品に防錆処理を施すようにしたチップ状部品の防錆処理装置において、
上記チップ状部品は、互いに対向する２つの主面と、互いに対向し、該２つの主面の縁部同士を接続する２つの側面とを有する直方体状をなし、上記２つの主面に上記金属膜が形成され、該２つの主面に平行でかつ上記２つの側面を貫通する細孔が形成され、該細孔の内周面に金属膜が形成されたセラミック電子部品であり、
上記各チップ状部品を、これの上記２つの主面が載置面と平行となるように配列させた状態で前工程から上記載置面上に取り込む取り込み部と、該取り込んだ各チップ状部品を、所定ピッチに整列させるとともに上記２つの主面が上記載置面に垂直となるように９０度回転させる回転部と、該回転させた各チップ状部品を防錆液中に浸漬して防錆被膜を形成する防錆部と、該防錆被膜の形成されたチップ状部品を洗浄液中に浸漬して洗浄する洗浄部と、該洗浄したチップ状部品を乾燥させる乾燥部と、該乾燥したチップ状部品を次工程に排出する取り出し部とを備え、
上記取り込み部は、前工程からの電子部品を吸引保持して上記載置面に移送する吸着ノズルと、該各吸着ノズルに連通接続された真空吸引源とを備えていることを特徴とするチップ状部品の防錆処理装置。
【請求項３】
金属膜が形成された金属表面を有する複数のチップ状部品を防錆液中に浸漬することにより該チップ状部品に防錆処理を施すようにしたチップ状部品の防錆処理装置において、
上記チップ状部品は、互いに対向する２つの主面と、互いに対向し、該２つの主面の縁部同士を接続する２つの側面とを有する直方体状をなし、上記２つの主面に上記金属膜が形成され、該２つの主面に平行でかつ上記２つの側面を貫通する細孔が形成され、該細孔の内周面に金属膜が形成されたセラミック電子部品であり、
上記各チップ状部品を、これの上記２つの主面が載置面と平行となるように配列させた状態で前工程から上記載置面上に取り込む取り込み部と、該取り込んだ各チップ状部品を、所定ピッチに整列させるとともに上記２つの主面が上記載置面に垂直となるように９０度回転させる回転部と、該回転させた各チップ状部品を防錆液中に浸漬して防錆被膜を形成する防錆部と、該防錆被膜の形成されたチップ状部品を洗浄液中に浸漬して洗浄する洗浄部と、該洗浄したチップ状部品を乾燥させる乾燥部と、該乾燥したチップ状部品を次工程に排出する取り出し部とを備え
上記回転部は、上記載置面に上記ピッチに対応して配設された整列板を進退させることにより各チップ状部品のピッチを修整するピッチ整列機構と、上記各チップ状部品が収納される収納部を有する起立治具と、上記載置面に載置された各チップ状部品を上記収納部内に格納する格納機構と、上記起立治具を９０度回転させるクランク機構とを備えていることを特徴とするチップ状部品の防錆処理装置。
【請求項４】
金属膜が形成された金属表面を有する複数のチップ状部品を防錆液中に浸漬することにより該チップ状部品に防錆処理を施すようにしたチップ状部品の防錆処理方法において、
上記チップ状部品は、互いに対向する２つの主面と、互いに対向し、該２つの主面の縁部同士を接続する２つの側面とを有する直方体状をなし、上記２つの主面に上記金属膜が形成され、該２つの主面に平行でかつ上記２つの側面を貫通する細孔が形成され、該細孔の内周面に金属膜が形成されたセラミック電子部品であり、
上記各チップ状部品を、これの上記２つの主面が載置面と平行となるように配列させた状態で前工程から上記載置面上に取り込み、該取り込まれた各チップ状部品を、所定ピッチに整列させるとともに上記２つの主面及び上記細孔の軸心が上記載置面に垂直となるように９０度回転させ、該回転させた各チップ状部品の高さ寸法の一部を防錆液中に浸漬した状態で一旦停止し、上記細孔の上端から防錆液が溢れ出た後、チップ状部品全体を浸漬して防錆被膜を形成し、
該防錆被膜の形成されたチップ状部品を洗浄液中に浸漬して洗浄し、該洗浄された各チップ状部品を乾燥し、該乾燥した各チップ状部品を取り出すという一連の工程を自動的にかつ連続的に行うことを特徴とするチップ状部品の防錆処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属膜が形成された金属表面を有するチップ状部品に防錆処理を施すようにしたチップ状部品の防錆処理装置及びチップ状部品の防錆処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、誘電体共振器等のセラミック電子部品として、セラミックからなる直方体状の誘電体ブロックに複数の細孔を並行に形成し、該各細孔の内周面及び上記誘電体ブロックの両主面に電極用金属膜を形成した構造のものがある。
【０００３】
この種の誘電体共振器（以下チップ状部品と称する）では、上記金属膜を銅めっき処理により形成する場合があり、この銅めっき膜は酸化し易いため防錆処理を施すようにしている。
【０００４】
このような防錆処理は、従来、籠や筒状の箱に多数のチップ状部品をばら詰めし、このチップ状部品を籠ごと防錆液中に浸漬して行なうのが一般的である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の防錆処理では、ばら詰めしたチップ状部品を籠ごと防錆液に浸漬する方法であることから、チップ状部品の表面，及び細孔への防錆液の進入量にばらつきが生じ易く、このようなばらつきを防止するには長時間の防錆処理が必要となり、生産性が低下するという問題がある。
【０００６】
ここで上記防錆処理時間の短縮を図るには、籠を防錆液中で揺動させたり，回転させたりすることが考えられるが、このようにするとチップ状部品に機械的なストレスがかかり、割れや欠けが生じるおそれがある。
【０００７】
一方、上記従来の防錆処理は人手により行っており、生産性が低く、しかも作業中に異物が混入してチップ状部品に付着するおそれがあるという問題があり、これらの点での改善が要請されている。
【０００８】
本発明は、上記従来の実情に鑑みてなされたもので、割れや欠けの問題を生じることなく防錆液を均等に進入させることができるとともに、処理時間を短縮でき、さらには防錆処理の自動化を可能にして人手による作業を不要にできるチップ状部品の防錆処理装置及びチップ状部品の防錆処理方法を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、金属膜が形成された金属表面を有する複数のチップ状部品を防錆液中に浸漬することにより該チップ状部品に防錆処理を施すようにしたチップ状部品の防錆処理装置において、
上記チップ状部品は、互いに対向する２つの主面と、互いに対向し、該２つの主面の縁部同士を接続する２つの側面とを有する直方体状をなし、上記２つの主面に上記金属膜が形成され、該２つの主面に平行でかつ上記２つの側面を貫通する細孔が形成され、該細孔の内周面に金属膜が形成されたセラミック電子部品であり、
上記各チップ状部品を、これの上記２つの主面が載置面と平行となるように配列させた状態で前工程から上記載置面上に取り込む取り込み部と、該取り込んだ各チップ状部品を、所定ピッチに整列させるとともに上記２つの主面が上記載置面に垂直となるように９０度回転させる回転部と、該回転させた各チップ状部品を防錆液中に浸漬して防錆被膜を形成する防錆部と、該防錆被膜の形成されたチップ状部品を洗浄液中に浸漬して洗浄する洗浄部と、該洗浄したチップ状部品を乾燥させる乾燥部と、該乾燥したチップ状部品を次工程に排出する取り出し部とを備え
上記防錆部は、上記各チップ状部品の高さ寸法の一部を防錆液中に浸漬し、しかる後に該チップ状部品全体を浸漬して防錆被膜を形成することを特徴としている。
【００１０】
請求項２の発明は、金属膜が形成された金属表面を有する複数のチップ状部品を防錆液中に浸漬することにより該チップ状部品に防錆処理を施すようにしたチップ状部品の防錆処理装置において、
上記チップ状部品は、互いに対向する２つの主面と、互いに対向し、該２つの主面の縁部同士を接続する２つの側面とを有する直方体状をなし、上記２つの主面に上記金属膜が形成され、該２つの主面に平行でかつ上記２つの側面を貫通する細孔が形成され、該細孔の内周面に金属膜が形成されたセラミック電子部品であり、
上記各チップ状部品を、これの上記２つの主面が載置面と平行となるように配列させた状態で前工程から上記載置面上に取り込む取り込み部と、該取り込んだ各チップ状部品を、所定ピッチに整列させるとともに上記２つの主面が上記載置面に垂直となるように９０度回転させる回転部と、該回転させた各チップ状部品を防錆液中に浸漬して防錆被膜を形成する防錆部と、該防錆被膜の形成されたチップ状部品を洗浄液中に浸漬して洗浄する洗浄部と、該洗浄したチップ状部品を乾燥させる乾燥部と、該乾燥したチップ状部品を次工程に排出する取り出し部とを備え、
上記取り込み部は、前工程からの電子部品を吸引保持して上記載置面に移送する吸着ノズルと、該各吸着ノズルに連通接続された真空吸引源とを備えていることを特徴としている。
【００１１】
請求項３の発明は、金属膜が形成された金属表面を有する複数のチップ状部品を防錆液中に浸漬することにより該チップ状部品に防錆処理を施すようにしたチップ状部品の防錆処理装置において、
上記チップ状部品は、互いに対向する２つの主面と、互いに対向し、該２つの主面の縁部同士を接続する２つの側面とを有する直方体状をなし、上記２つの主面に上記金属膜が形成され、該２つの主面に平行でかつ上記２つの側面を貫通する細孔が形成され、該細孔の内周面に金属膜が形成されたセラミック電子部品であり、
上記各チップ状部品を、これの上記２つの主面が載置面と平行となるように配列させた状態で前工程から上記載置面上に取り込む取り込み部と、該取り込んだ各チップ状部品を、所定ピッチに整列させるとともに上記２つの主面が上記載置面に垂直となるように９０度回転させる回転部と、該回転させた各チップ状部品を防錆液中に浸漬して防錆被膜を形成する防錆部と、該防錆被膜の形成されたチップ状部品を洗浄液中に浸漬して洗浄する洗浄部と、該洗浄したチップ状部品を乾燥させる乾燥部と、該乾燥したチップ状部品を次工程に排出する取り出し部とを備え
上記回転部は、上記載置面に上記ピッチに対応して配設された整列板を進退させることにより各チップ状部品のピッチを修整するピッチ整列機構と、上記各チップ状部品が収納される収納部を有する起立治具と、上記載置面に載置された各チップ状部品を上記収納部内に格納する格納機構と、上記起立治具を９０度回転させるクランク機構とを備えていることを特徴としている。
【００１２】
請求項４の発明は、金属膜が形成された金属表面を有する複数のチップ状部品を防錆液中に浸漬することにより該チップ状部品に防錆処理を施すようにしたチップ状部品の防錆処理方法において、
上記チップ状部品は、互いに対向する２つの主面と、互いに対向し、該２つの主面の縁部同士を接続する２つの側面とを有する直方体状をなし、上記２つの主面に上記金属膜が形成され、該２つの主面に平行でかつ上記２つの側面を貫通する細孔が形成され、該細孔の内周面に金属膜が形成されたセラミック電子部品であり、
上記各チップ状部品を、これの上記２つの主面が載置面と平行となるように配列させた状態で前工程から上記載置面上に取り込み、該取り込まれた各チップ状部品を、所定ピッチに整列させるとともに上記２つの主面及び上記細孔の軸心が上記載置面に垂直となるように９０度回転させ、該回転させた各チップ状部品の高さ寸法の一部を防錆液中に浸漬した状態で一旦停止し、上記細孔の上端から防錆液が溢れ出た後、チップ状部品全体を浸漬して防錆被膜を形成し、
該防錆被膜の形成されたチップ状部品を洗浄液中に浸漬して洗浄し、該洗浄された各チップ状部品を乾燥し、該乾燥した各チップ状部品を取り出すという一連の工程を自動的にかつ連続的に行うことを特徴としている。
【００１９】
【発明の作用効果】
請求項１の発明にかかるチップ状部品の防錆処理装置によれば、前工程からのチップ状部品を載置面上に載置する取り込み部と、各チップ状部品を所定ピッチに整列させるとともに両主面が垂直となるように９０度回転させる回転部と、各チップ状部品を両主面が液面に対して直角となるように防錆液中に浸漬させる防錆部と、防錆処理した各チップ状部品を洗浄液中に浸漬させる洗浄部と、洗浄した各チップ状部品を乾燥させる乾燥部と、乾燥した各チップ状部品を排出する取り出し部とを備えたので、各チップ状部品の取り込み，回転，防錆，洗浄，乾燥，及び取り出しの一連の防錆作業を自動的にかつ連続して行なうことができ、人手による防錆作業を不要にできるとともに、チップ状部品の防錆処理時間を短縮することができる。その結果、異物の混入による品質の悪化を防止できるとともに、生産性を向上できる。
【００２０】
また上記各チップ状部品の一連の防錆作業を単体で行なうことから、防錆処理，洗浄処理，乾燥処理等を行なう際のばらつきやむらを防止できるとともに、チップ状部品同士の接触による割れや欠けを防止でき、品質に対する信頼性を向上できる。
【００２１】
さらに上記防錆部では、各チップ状部品を主面が液面に対して直角をなすように浸漬させたので、主面に形成された金属膜に防錆液を均等にかつ確実に付着させることができ、従来のばら詰めしたチップ状部品を一括して防錆液に浸漬する場合に比べて防錆処理にかかる時間を短縮できるとともに、防錆むらやばらつきを防止できる。
【００２２】
さらにまた、細孔の内周面に金属膜が形成された各チップ状部品を該細孔の軸心が液面に対して垂直を向くように回転させ、該チップ状部品の高さ寸法の一部を防錆液中に浸漬し、しかる後チップ状部品全体を防錆液中に浸漬したので、毛細管現象を利用して上記細孔内に防錆液を確実にかつ短時間で進入させることができ、従来のばら詰めする場合の進入むらを抑制することができ、品質に対する信頼性を高めることができる。
【００２３】
請求項２の発明では、取り込み部を、各チップ状部品を吸引保持して移送する吸着ノズルと、各吸着ノズルに連通接続された真空吸引源とから構成したので、チップ状部品を損傷させることなく取り込むことができるとともに、載置面に載置することができる。
【００２４】
請求項３の発明では、回転部を、各チップ状部品のピッチを修整するピッチ修整機構と、各チップ状部品を収納する起立治具と、各チップ状部品を起立治具に格納する格納機構と、該起立治具を９０度回転させるクランク機構とから構成したので、簡単な構造でチップ状部品を所定ピッチに整列させることができるとともに、９０度回転させて起立させることができる。
【００２９】
請求項４の発明によれば、チップ状部品の取り込み，回転，防錆，洗浄，乾燥，及び取り出しという一連の工程を自動的にかつ連続して行なうようにしたので、人手による作業を不要にして生産性を向上できるとともに、防錆処理時間を短縮することができ、請求項１と同様の効果が得られる。
【００３０】
また、細孔の内周面に金属膜が形成されたチップ状部品を、細孔の軸心が垂直を向くように回転させ、防錆液中にチップ状部面の高さ寸法の一部を浸漬させて一旦停止し、上記細孔から防錆液が溢れ出た後にチップ状部品全体を浸漬したので、毛細管現象を利用して上記細孔内に防錆液を確実にかつ短時間で進入させることができ、進入むらを防止して品質に対する信頼性を高めることができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００３２】
図１ないし図７は、本発明の一実施形態によるチップ状部品の防錆処理装置及びチップ状部品の防錆処理方法を説明するための図であり、図１は防錆処理装置の全体構成図、図２は取り込み部の概略斜視図、図３は回転部のピッチ整列機構の概略斜視図、図４は回転部の格納機構及び起立治具の概略斜視図、図５（ａ），図５（ｂ）は回転部のクランク機構による回転動作を示す図、図６は防錆部のチャック機構の概略斜視図、図７は乾燥部の概略斜視図である。本実施形態では、誘電体共振器を防錆処理する場合を例にとって説明する。
【００３３】
図において、１は誘電体共振器であり、これは、例えばＴｉ−Ｂａ−Ｐｂ−Ｎｄ系で直方体状をなす誘電体ブロック２にこれの両主面２ａ，２ａと平行にかつ両側面２ｂ，２ｂを直角方向に貫通するように複数の細孔３を形成するとともに、該誘電体ブロック２の両主面２ａ，２ａ及び上記各細孔３の内周面に金属膜４を被覆形成して構成されている。なお、この金属膜４は銅めっき処理を施した後、焼き付け処理を行って形成されたものである。
【００３４】
１０は防錆処理装置を示しており、これは上記複数の誘電体共振器１を上記両主面２ａひいては上記金属膜４が載置台１２の水平の載置面１２ａと平行となるように、かつ上記細孔３が搬送方向に向くように配列させた状態で前工程の供給部１１から上記載置台１２上に載置する取り込み部１３と、該載置台１２に載置された各誘電体共振器１を所定ピッチに整列させるとともに、該整列した各誘電体共振器１を上記細孔３の軸線が載置面１２ａに垂直をなすように９０度回転させる回転部１４と、該各誘電体共振器１をチャック機構１５で把持して金属膜４が液面に対して直角となるように防錆処理槽１６内の防錆液中に浸漬させる防錆部１７と、該防錆液に浸漬させた各誘電体共振器１を引き上げて洗浄槽１８内の洗浄液中に浸漬させる洗浄部１９と、さらに洗浄した各誘電体共振器１を引き上げて搬送機構２０に載置し、該搬送機構２０により各誘電体共振器１を搬送しつつ乾燥させる乾燥部２１と、該乾燥した各誘電体共振器１を次工程に排出する取り出し部２２とを備えている。
【００３５】
上記供給部１１は、上述の銅めっき焼き付け処理工程に連なる無端状のベルトコンベア２５と、該ベルトコンベア２５の出口側上方に配設された縁切りガイド２６とを備えている。上記ベルトコンベア２５上には、搬送方向と直交方向に配列された５個１組の誘電体共振器１が搬送方向に所定間隔をあけて多数組配列されている。なお、上記縁切りガイド２６は上記搬送された各誘電体共振器１を吸着する際にベルトコンベア２５上から確実に分離させるためのものである。
【００３６】
上記取り込み部１３は、上記供給部１１に供給された各誘電体共振器１を吸引保持して上記載置台１２に移送する吸着ノズル２７と、該各吸着ノズル２７に連通接続された真空ポンプ（不図示）とを備えている。
【００３７】
上記吸着ノズル２７は誘電体共振器１に当接するノズルチップ２７ａと該ノズルチップ２７ａを弾性支持するノズル本体２７ｂとからなり、該ノズル本体２７ｂ及びノズルチップ２７ａ内には吸引通路（不図示）が形成されており、該吸引通路に上記真空ポンプが接続されている。
【００３８】
上記吸着ノズル２７は各誘電体共振器１の配列個数及び配列ピッチに対応して配列されており、各ノズル本体２７ｂは共通の支持板２８に取付け固定されている。この支持板２８は上記供給部１１にて誘電体共振器１を吸引保持する吸着位置と、該誘電体共振器１を上記載置台１２に載置する載置位置との間で移動駆動される。
【００３９】
上記回転部１４は、図３に示すように、上記載置台１２に所定の整列ピッチに対応して配設された櫛歯状の整列板３０を有するピッチ整列機構３１を備えている。このピッチ整列機構３１は載置台１２上に各誘電体共振器１が載置されると、上記整列板３０を上方に突出させるように構成されており、これによりずれを修整して各誘電体共振器１を所定ピッチに整列させるようになっている。
【００４０】
また上記回転部１４は、図４及び図５に示すように、上記各誘電体共振器１が収納可能な大きさの収納凹部３２ａを有する箱状の起立治具３２と、上記載置台１２に載置された各誘電体共振器１を上記収納凹部３２ａ内に格納されるよう移動させる格納機構３３と、上記起立治具３２を９０度回転させるクランク機構３４とを備えており、これらは共通の固定台３５に取付けられている。またこの固定台３５の上面に上記載置台１２が配置固定されている。
【００４１】
上記格納機構３３は、上記固定台３５に水平に向けて固定されたシリンダ４０内に油圧，空気圧等の流体圧により進退するピストンロッド４１を挿入配置するとともに、該ピストンロッド４１に各プッシャ４２を固定した構造のものである。このプッシャ４２は載置台１２を挟んで起立治具３２の反対側に配置されており、該載置台１２上の各誘電体共振器１に対向している。ピストンロッド４１が伸張状態から、収縮すると各プッシャ４２が移動して誘電体共振器１を収納凹部３２ａ内に押し込み格納するようになっている。
【００４２】
上記クランク機構３４は、上記固定台３５に鉛直に向けて固定されたシリンダ３６内に油圧，空気圧等の流体圧により昇降するピストンロッド３７を挿入配置するとともに、該ピストンロッド３７の上端部にクランクアーム３８を回動可能に連結した構造である。
【００４３】
上記クランクアーム３８は上記起立治具３２に突出形成された回転軸３２ｂに連結されている。そして上記ピストンロッド３７が下降位置にあるときには起立治具３２はこれの収納凹部３２ａが載置台１２の誘電体共振器１に対向するように位置している。この状態からピストンロッド３７が上昇するとクランクアーム３８を介して起立治具３２は収納凹部３２ａが上向きとなるように９０度回転する。このようにして各誘電体共振器１は両主面２ａ及び各細孔３の軸心が載置面１２ａと垂直に向くように起立することとなる。
【００４４】
上記チャック機構１５は、上記回転部１４，防錆部１７，洗浄部１９の間で誘電体共振器１を移送する４組のチャック部材４５ａ〜４５ｄと、上記洗浄部１９と乾燥部２１との間で誘電体共振器１を移送する１組のチャック部材４６とを有している。この各組のチャック部材４５ａ〜４５ｄ，４６は一対のチャック板４７を開閉可能に支持する支持部４８を５個一体に連結した構造のものであり、上記各チャック板４７を閉じることにより誘電体共振器１の両主面２ａを把持するようになっている。
【００４５】
上記４組のチャック部材４５ａ〜４５ｄは一体に移動するよう駆動され、回転部１４の各誘電体共振器１を防錆部１７，洗浄部１９にそれぞれ順次移送するように構成されている。また上記４組のチャック部材４５ａ〜４５ｄは誘電体共振器１を防錆液，洗浄液に浸漬するときには、該誘電体共振器１を１／２高さ位置まで浸漬して一旦停止し、所定時間経過後に誘電体共振器全体を防錆液，洗浄液に浸漬するように構成されている。上記停止時間は、細孔３内に防錆液，洗浄液が進入して上端開口から溢れ出るまでの時間に設定されており、これは実験等により予め求めることとなる。
【００４６】
上記防錆処理槽１６には、例えばベンゾトリアゾール系の防錆液が充填されており、該防錆処理槽１６内の底面上には２組のワーク支持台５０が並列配置されている。このワーク支持台５０は角柱状の支持ブロック５１に誘電体共振器１の下部が挿入支持される支持凹部５１ａを形成した構造となっている。
【００４７】
上記洗浄槽１８は２槽並列に配置されており、各洗浄槽１８には洗浄液が常時オーバーフローするように供給されている。この各洗浄槽１８内の底面上には上記防錆部のワーク支持台５０と同様の構造からなるワーク支持台５０が配設されている。
【００４８】
上記乾燥部２１は、上記搬送機構２０を構成するベルトコンベア５２の上方を覆うように配設された乾燥フード５３と、上記ベルトコンベア５２の下方を覆うように配設された吸引チャンバ５４とを備えている。
【００４９】
上記乾燥フード５３には送風ダクト５５を介してヒータ５６が接続されており、該ヒータ５６の上流側には送風ブロア（不図示）が接続されている。この送風ブロアから送風された空気をヒータ５６により加熱して上記乾燥フード５３内に吹き込むようになっている。
【００５０】
また上記吸引チャンバ５４には吸引ダクト５７を介して吸引ブロア５８が接続されており、該吸引ブロア５８により上記乾燥フード５３内の空気を誘電体共振器に付着した水滴等と共に吸引して排気するようになっている。
【００５１】
また上記乾燥フード５３のフード入口部５３ａには庇状の水よけ板５９が配設されている。この水よけ板５９はチャック部材４６等に付着した水滴が乾燥フード５３内に入り込むのを阻止するためのものである。
【００５２】
上記ベルトコンベア５２には保持治具６０が搬送方向に互いに接するように配列されている。この各保持治具６０は上記誘電体共振器１が装着される支持凹部６１ａと温風が通過する切り欠き孔６１ｂとを有する保持ブロック６１の底面にメッシュ板（不図示）を配設した構造のものである。
【００５３】
上記取り出し部２２は、乾燥処理した誘電体共振器１を次工程に搬送する次工程搬送機構６５と、上記乾燥フード５３を出た乾燥済み誘電体共振器１を上記次工程搬送機構６５に移送するチャック部材６６とを備えている。
【００５４】
本実施形態の防錆処理装置１０による防錆処理方法について説明する。
【００５５】
前工程にて銅めっきの焼き付け処理された各誘電体共振器１が整列した状態でベルトコンベア２５により供給されると、吸着ノズル２７が下降して各誘電体共振器１を吸着保持し、該吸着保持した状態で上昇して載置台１２の上方に移動し、該載置台１２の載置面１２ａ上に各誘電体共振器１を載置する。このとき、誘電体共振器１の主面２ａは載置面１２ａと平行となる。
【００５６】
次いで、整列板３０が上昇して誘電体共振器１のずれを修整し、各誘電体共振器１を所定ピッチに整列させる。格納機構３３のプッシャ４２が移動して各誘電体共振器１を起立治具３２の収納凹部３２ａ内に格納する。この状態でクランク機構３４のピストンロッド３７が上昇してクランクアーム３８を介して起立治具３２を９０度回転させる。これにより各誘電体共振器１は両主面２ａ及び細孔３が垂直方向に向くように起立することとなる。
【００５７】
４組のチャック部材４５ａ〜４５ｄが同時に下降し、左端のチャック部材４５ａが起立治具３２内の誘電体共振器１を把持するとともに、２番目のチャック部材４５ｂが防錆処理槽１６内の誘電体共振器１を把持し、３番目のチャック部材４５ｃが防錆処理槽１６内の誘電体共振器１を把持し、さらに同時に４番目のチャック部材４５ｄが洗浄槽１８内の誘電体共振器を把持して上昇し、隣の処理槽の上方に移動する。続いて各チャック部材４５ａ〜４５ｄが下降し、各誘電体共振器１の高さ寸法１／２程度を防錆液，洗浄液中に浸漬し、一旦停止する。この間に各細孔３内に防錆液，洗浄液が進入し、該細孔３の上面開口から溢れる。該進入に要する時間として設定された所定時間経過後に誘電体共振器全体を防錆液，洗浄液中に浸漬するとともに支持台５０に支持させ、誘電体共振器１の把持を解除する。このような動作を連続して行なうことにより、誘電体共振器１の防錆，洗浄処理が行われる。
【００５８】
そしてチャック部材４６が洗浄した誘電体共振器１を把持し、乾燥部２１に移送し、これの保持治具６０に装着し、該保持治具６０がベルトコンベア５２により乾燥フード５３内に搬送される。乾燥フード５３内にて所定温度に加熱された温風が上方から吹き付けられるとともに、下方から吸引キャンバ５４により吸引され、誘電体共振器１が乾燥される。乾燥フード５３から排出された誘電体共振器１をチャック部材６６が把持し、次工程搬送機構６５に移送する。
【００５９】
このように本実施形態によれば、細孔３が搬送方向に向くように配列させて供給された各誘電体共振器１を吸着ノズル２７より取り込んで載置台１２上に載置する取り込み部１３と、各誘電体共振器１を所定ピッチに整列させるとともに、該誘電体共振器１の細孔３が垂直方向を向くように９０度回転させる回転部１４と、各誘電体共振器１を細孔３の軸線が液面に対して直角となるように防錆液中に浸漬させる防錆部１７と、防錆処理した各誘電体共振器１を引き上げて洗浄液中に浸漬させる洗浄部１９と、洗浄した各誘電体共振器１を引き上げて乾燥させる乾燥部２１と、乾燥した各誘電体共振器１を排出する取り出し部２２とを備えたので、各誘電体共振器１の取り込み，回転，防錆，洗浄，乾燥，及び取り出しの一連の防錆作業を自動的にかつ連続して行なうことができ、人手による防錆作業を不要にできるとともに、誘電体共振器の防錆処理時間を短縮することができる。その結果、異物の混入による品質の悪化を防止できるとともに、生産性を向上できる。
【００６０】
また上記一連の防錆作業を誘電体共振器１ごとに単体で行なうことから、防錆処理，洗浄処理，乾燥処理等を行なう際のばらつきやむらを防止できるとともに、誘電体共振器同士の接触による割れや欠けを防止でき、品質に対する信頼性を向上できる。
【００６１】
さらに上記防錆部１７では、各誘電体共振器１を防錆液中に略１／２高さ位置まで浸漬し、細孔３内に防錆液を十分に進入させ、しかる後誘電体共振器全体を防錆液中に浸漬したので、毛細管現象を利用して上記細孔３内に防錆液を確実にかつ短時間で進入させることができ、従来のばら詰めする場合の進入むらを抑制することができ、品質に対する信頼性を高めることができる。
【００６２】
本実施形態では、供給部１１を各誘電体共振器１を配列させた状態で搬送するベルトコンベア２５と、該ベルトコンベア２５の上方に配設され上記各誘電体共振器１を縁切りする縁切りガイド２６とから構成したので、前工程の銅めっき処理により金属膜４が形成された誘電体共振器１を連続して防錆処理工程に供給することができ、製造工程全体の処理時間を短縮できる。
【００６３】
本実施形態では、取り込み部１３を、各誘電体共振器１を吸引保持する吸着ノズル２７と、各吸着ノズル２７に連通接続された真空ポンプとから構成したので、誘電体共振器１を損傷させることなく取り込むことができるとともに、載置台１２に載置することができる。
【００６４】
本実施形態では、回転部１４を、各誘電体共振器１のピッチを修整するピッチ修整機構３１と、各誘電体共振器１を収納する収納凹部３２ａを有する起立治具３２と、各誘電体共振器１を上記収納凹部３２ａに格納する格納機構３３と、該起立治具３２を９０度回転させるクランク機構３４とから構成したので、簡単な構造で誘電体共振器１を所定ピッチに整列させることができるとともに、９０度回転させて起立させることができる。
【００６５】
本実施形態では、防錆処理槽１６及び洗浄槽１８の底面上に誘電体共振器を支持するワーク支持台５０を配設したので、防錆液，洗浄液中に浸漬した誘電体共振器１がずれたり，倒れたりするのを防止できる。
【００６６】
本実施形態では、乾燥部２１を、ベルトコンベア５２の上方を覆う乾燥フード５３と、上記ベルトコンベア５２の下方を覆う吸引チャンバ５４とから構成し、該吸引チャンバ５４により各誘電体共振器１に付着した水滴等を吸引しつつ、ヒータ５６により温風を吹き付けるので、誘電体共振器１を短時間で、かつ染みが生じることなく乾燥させることができる。
【００６７】
上記乾燥フード５３のフード入口部５３ａに水よけ板５９を配設したので、乾燥フード５３内に水滴が入り込むのを阻止することができ、水滴の侵入により誘電体共振器１に染みが発生するのを防止できる。
【００６８】
上記ベルトコンベア５２に各保持治具６０を互いに接するように配列し、該保持治具６０を誘電体共振器１を保持する支持凹部６１ａと温風が通過する切り欠き孔６１ｂとを有する保持ブロック６１の底面にメッシュ板を配設して構成したので、誘電体共振器１に吹き付けられた温風を速やかに通過させて排気することができ、水滴が残ったりするのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態による防錆処理装置の全体構成図である。
【図２】上記防錆処理装置の取り込み部の概略斜視図である。
【図３】上記防錆処理装置の回転部のピッチ整列機構の概略斜視図である。
【図４】上記回転部の格納機構及び起立治具の概略斜視図である。
【図５】上記回転部のクランク機構による回転動作を示す図である。
【図６】上記防錆処理装置の防錆部の概略斜視図である。
【図７】上記防錆処理装置の乾燥部の概略斜視図である。
【符号の説明】
１        誘電体共振器
２ａ      主面
３        細孔
４        金属膜
１０      防錆処理装置
１１      供給部
１２      載置台
１２ａ    載置面
１３      取り込み部
１４      回転部
１５      チャック機構
１６      防錆処理槽
１７      防錆部
１８      洗浄槽
１９      洗浄部
２０      搬送機構
２１      乾燥部
２２      取り出し部
２５      ベルトコンベア
２７      吸着ノズル
３０      整列板
３１      ピッチ修整機構
３２      起立治具
３２ａ    収納凹部
３３      格納機構
３４      クランク機構
５０      ワーク支持台
５３      乾燥フード
５４      吸引チャンバ
５６      ヒータ
５９      水よけ板
６０      保持治具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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