(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御対象物の制御状態を表示する制御状態監視用のタッチパネル表示画面と、前記制御対象物に異常が発生した場合に、その異常発生を音で知らせるブザーとを備えた半導体製造装置において、
前記タッチパネル表示画面は、異常が発生していない場合に、少なくともコマンドボタンエリアと機能メニュー表示エリアと状態表示/編集エリアを表示する一方、異常が発生した場合には、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示/編集エリアの全域に亘って前記ブザーが鳴動していることを表示し、
前記ブザーが鳴動していることを表示している場合に、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示/編集エリアに亘る前記ブザーが鳴動していることを表示している前記全域のいずれかの部分がタッチされると前記ブザーの鳴動を停止させる一方、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示/編集エリアに亘る前記ブザーが鳴動していることを表示している部分を消去するとともに、少なくとも前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示/編集エリアを表示することを特徴とする半導体製造装置。
【請求項２】
制御対象物の制御状態を表示する制御状態監視用のタッチパネル表示画面と、前記制御対象物に異常が発生した場合に、その異常発生を音で知らせるブザーとを備えた半導体製造装置において、
前記タッチパネル表示画面は、異常が発生していない場合に、少なくともアラーム表示エリアとコマンドボタンエリアと機能メニュー表示エリアと状態表示/編集エリアを表示する一方、異常が発生した場合には、前記アラーム表示エリアを残して前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示/編集エリアの全域に亘って前記ブザーが鳴動していることを表示し、
前記ブザーが鳴動していることを表示している場合に、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示/編集エリアに亘る前記ブザーが鳴動していることを表示している前記全域のいずれかの部分がタッチされると前記ブザーの鳴動を停止させる一方、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示/編集エリアに亘る前記ブザーが鳴動していることを表示している部分を消去するとともに、少なくとも前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示/編集エリアを表示することを特徴とする半導体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体製造装置等の制御対象物の制御状態に異常が発生した場合にそれを表示する半導体製造装置に関し、特に、ブザーの鳴動をタッチパネル表示画面に大きく表示するとともに、それをタッチすることによりブザーの鳴動を停止するようにした半導体製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図４は半導体製造装置に使用されている従来の異常表示装置を示すブロック図である。
図４において、この異常表示装置１００は、半導体製造装置１の異常（以下エラーという）発生を検出するエラー発生検出部２と、このエラー発生検出部２の出力側に設けられ、アラーム表示を制御するアラーム表示制御部３、ブザー鳴動を制御するブザー鳴動制御部６、ランプ点灯を制御するランプ点灯制御部８と、アラーム表示制御部３に接続されアラーム表示を行うタッチパネル表示画面４と、タッチパネル表示画面４へのタッチを検出しアラーム表示制御部３及びブザー鳴動制御部６にアラーム対応処置信号を出力するタッチ検出部５と、ブザー鳴動制御部６に接続されたブザー７と、ランプ点灯制御部８に接続されたランプ９とを備えている。
【０００３】
以上の構成において、エラー発生検出部２は、半導体製造装置１のメカニズム機構、ガス、温度等に関するエラー発生を検出する。ブザー鳴動制御部６はエラー発生検出部２からの検出信号に基づいてブザー７を駆動し、ブザーを鳴動させる。ランプ点灯制御部８はエラー発生検出部２からの検出信号に基づいてランプ９を点灯させる。
【０００４】
そして、アラーム表示制御部３はエラー発生検出部２からの検出信号に基づいてタッチパネル表示画面にエラー発生に関する情報を表示する。オペレータはこのタッチパネル表示画面に対して所定の処理動作（タッチ動作）を行うと、タッチ検出部５がそれを検出し、後述のように、アラーム表示制御部３及びブザー鳴動制御部６に所定の制御信号を出力する。
【０００５】
図５はエラー発生検出時におけるタッチパネル表示画面のレイアウトを示す図である。
図５に示されるように、従来のエラー発生検出時のタッチパネル表示画面４は、画面左上隅のシステム表示エリア１１と、画面右上隅のアラーム表示エリア１２と、画面左下隅のコマンドボタンエリア１４と、画面右下隅の機能メニューエリア１５と、画面中央部の状態表示／編集エリア１３とから構成されており、アラーム表示エリア１２が上述したアラーム表示制御部３により、エラー発生検出時にアラーム表示情報提示に使用される。アラーム表示エリア１２には、ここでは図示しないブザーストップボタンやエラー内容キャラクタが色との組み合わせで表示される。
【０００６】
そして、アラーム表示エリア１２に表示されるブザーストップボタンをタッチした場合は、タッチ検出部５がそれを検出し、ブザー鳴動制御部６に検出信号を出力し、ブザー鳴動を停止させる。また、図示しないアラーム表示エリア１２のアラームロギングボタンをタッチするとその検出信号がアラーム表示制御部３に出力され、それに対応する表示が行われる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従来の異常表示装置は以上のように構成されており、エラーが発生した場合にそれを表示するアラーム表示エリア１２は、タッチパネル表示画面４の小さなエリアのみを用いて構成されている。
しかしながら、このような小さな表示においては、オペレータがエラーの発生表示を見落とす恐れがある。
また、従来の異常表示装置はエラー発生に伴いブザー７が鳴動されても、そのブザーストップボタンは表示されているものの、ブザーが実際に鳴動しているかどうかを画面上で確認することはできない。
したがって、従来の異常表示装置では、画面上でエラー発生を見落とされた場合において、ランプ９やブザー７自体の故障により、あるいは、それらのインターフェイスの故障等により、ランプ９やブザー７が駆動されなかった場合は、エラー発生が見過ごされることとなり、大きな損失を被る恐れがあるという問題点があった。
【０００８】
そこで、この発明は、エラー発生認識を確実に行うことができるとともに、それに引き続くメンテナンス操作も容易に行うことができる半導体製造装置を得ることを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するため、この発明は、制御対象物の制御状態を表示する制御状態監視用のタッチパネル表示画面と、前記制御対象物に異常が発生した場合に、その異常発生を音で知らせるブザーとを備えた半導体製造装置において、
前記タッチパネル表示画面は、異常が発生していない場合に、少なくともコマンドボタンエリアと機能メニュー表示エリアと状態表示/編集エリアを表示する一方、異常が発生した場合には、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示/編集エリアの全域に亘って前記ブザーが鳴動していることを表示し、
前記ブザーが鳴動していることを表示している場合に、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示/編集エリアに亘る前記ブザーが鳴動していることを表示している前記全域のいずれかの部分がタッチされると前記ブザーの鳴動を停止させる一方、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示/編集エリアに渡る前記ブザーが鳴動していることを表示している部分を消去するとともに、少なくとも前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示/編集エリアを表示することを特徴とする。
また、この発明は、制御対象物の制御状態を表示する制御状態監視用のタッチパネル表示画面と、前記制御対象物に異常が発生した場合に、その異常発生を音で知らせるブザーとを備えた半導体製造装置において、
前記タッチパネル表示画面は、異常が発生していない場合に、少なくともアラーム表示エリアとコマンドボタンエリアと機能メニュー表示エリアと状態表示/編集エリアを表示する一方、異常が発生した場合には、前記アラーム表示エリアを残して前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示/編集エリアの全域に亘って前記ブザーが鳴動していることを表示し、
前記ブザーが鳴動していることを表示している場合に、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示/編集エリアに亘る前記ブザーが鳴動していることを表示している前記全域のいずれかの部分がタッチされると前記ブザーの鳴動を停止させる一方、前記異常が発生していない場合に表示される前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示/編集エリアに亘る前記ブザーが鳴動していることを表示している部分を消去するとともに、少なくとも前記コマンドボタンエリアと前記機能メニュー表示エリアと前記状態表示/編集エリアを表示することを特徴とする。
【００１０】
この発明の実施の形態においては、半導体製造装置１のエラー発生を検出するエラー発生検出部２と、エラー発生検出部２の出力信号に基づいてブザー７を鳴動させるブザー鳴動制御部６と、エラー発生検出部２の出力信号に基づいてブザー鳴動通知ボタンを表示制御するためのブザー鳴動通知ボタン制御部２１と、ブザー鳴動通知ボタン制御部２１の出力信号に基づいて表示画面の主要部にブザー鳴動通知ボタンを表示するタッチパネル表示画面４と、タッチパネル表示画面４のブザー鳴動通知ボタンにタッチしたことを検出し、ブザー鳴動制御部６によるブザー鳴動を停止させると共に、ブザー鳴動通知ボタン制御部２１にブザー鳴動通知ボタンを画面上から消去するためのタッチ検出部５とを備えてなる。
なお、実施の形態において、タッチ検出部５は、ブザー鳴動通知ボタン以外にアラーム表示エリアについてのタッチも検出し、アラーム表示制御部３にその対応信号を出力する場合もある。
【００１１】
このような構成によれば、ブザー鳴動がタッチパネル表示画面のほぼ全面（主要部）を用いて表示できるため、オペレータはエラーが発生していることを容易に認識することができる。
また、そのタッチパネル表示画面のほぼ全面のどこかをタッチすればブザー鳴動制御を停止することができる。
さらに、ブザーの鳴動表示はブザーの鳴動制御が行われているときにのみ行われる（タッチパネル表示画面にはブザーが鳴動していることを表示する）ので、かかるタッチによる確認操作でブザーの鳴動制御を停止させることにより、ブザー鳴動表示をも消去され、確認操作に引き続きエラー状態の認識やメンテナンス操作をタッチパネル表示画面上で容易に行うこともできる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に従って説明する。
図１は半導体製造装置に使用される異常表示装置を示すブロック図である。
図１において、この異常表示装置１００Ａは、半導体製造装置１の異常（エラー）発生を検出するエラー発生検出部２と、このエラー発生検出部２の出力側に設けられ、タッチパネル表示画面を制御する表示画面制御部２０、ブザー鳴動を制御するブザー鳴動制御部６、ランプ点灯を制御するランプ点灯制御部８と、表示画面制御部２０に接続され制御情報表示を行うタッチパネル表示画面４と、タッチパネル表示画面４へのタッチを検出し表示画面制御部２０及びブザー鳴動制御部６にアラーム対応処置信号を出力するタッチ検出部５と、ブザー鳴動制御部６に接続されたブザー７と、ランプ点灯制御部８に接続されたランプ９とを備えている。
【００１３】
表示画面制御部２０は、アラーム表示制御部３とブザー鳴動通知ボタン制御部２１とを備えている。アラーム表示制御部３の出力部はタッチパネル表示画面４に接続され、アラーム表示制御部３の入力部はエラー発生検出部２の出力部とタッチ検出部５の出力部（点線で表示）に接続されている。
またブザー鳴動通知ボタン制御部２１の出力部はタッチパネル表示画面４に接続され、ブザー鳴動通知ボタン制御部２１の入力部はタッチ検出部５の出力部とエラー発生検出部２の出力部に接続されている。
【００１４】
以上の構成において、エラー発生検出部２は、半導体製造装置１のメカニズム機構、ガス、温度等に関するエラー発生を検出する。ブザー鳴動制御部６はエラー発生検出部２からの検出信号に基づいてブザー７を鳴動制御し、ブザーを鳴動させる。また、ブザー鳴動通知ボタン制御部２１はエラー発生検出部２からの検出信号に基づいてタッチパネル表示画面４にブザー鳴動通知ボタンを表示する。さらに、ランプ点灯制御部８はエラー発生検出部２からの検出信号に基づいてランプ９を点灯させる。
【００１５】
図２及び図３は、この実施の形態におけるエラー発生時の表示動作を示している。図２はエラー発生検出部２によりエラー発生が検出されたときのタッチパネル表示画面を示している。図２に示されるようにシステム表示エリア１１とアラーム表示エリア１２だけを残して画面のほぼ全面（主要部）がブザー鳴動通知ボタン２５となり、ブザーが鳴動していることを表す。
【００１６】
このブザー鳴動通知ボタン２５の何処にタッチしても、タッチ検出部５はそれを検出し、ブザー鳴動制御部６にブザー停止の信号を出力した後、ブザー鳴動通知ボタン制御部２１にブザー鳴動通知ボタンの表示を消去するための信号を出力する。
なお、アラーム表示エリア１２はアラーム表示部２６と、ブザーストップボタン２７とアラームロギングボタン２８等を表示しており、ブザーストップボタン２７にタッチした場合もタッチ検出部はブザー鳴動制御部６によりブザー鳴動を停止させる。また、アラームロギングボタン２８を操作した場合は、タッチ検出部５はアラーム表示制御部３にタッチ検出信号を送出し、その対応表示を出力させる。
【００１７】
図３はエラー検出時におけるブザー鳴動通知制御の動作を示すフローチャートである。
まず、ステップＳ１において、エラーが検出されるとステップＳ２において、ブザー７の鳴動が行われ、このブザー鳴動に伴って、ステップＳ３においてブザー鳴動通知ボタンの表示が行われる。ステップＳ４ではブザー鳴動通知ボタンへのタッチがあるか否かが判定され、タッチがあった場合はステップＳ５でブザー鳴動が停止され、ステップＳ６に進みボタン表示を消去する。
【００１８】
ステップＳ４においてタッチがない場合は、ステップＳ７に進み、例えばブザー鳴動制御部６への他の処置（タッチパネル表示画面へのタッチ以外の処置）によりブザー鳴動を停止したか否かが判定される。ステップＳ７において、ブザー鳴動が停止されていないと判定された場合はステップＳ４に戻り、一方、ブザー鳴動が停止されていると判定された場合は、ステップＳ６に進みボタン表示を消去する。
【００１９】
以上に説明したこの発明の実施の形態においては、ブザー鳴動通知ボタン制御部２１はエラー発生検出部２からのエラー検出信号に基づいてタッチパネル表示画面４にブザー鳴動通知ボタンを表示するようにしたが、他の方法として、ブザー鳴動制御部６の出力に基づいて、現実にブザー鳴動制御が行われているときにのみブザー鳴動通知ボタンを表示するようにしても良い。
【００２０】
また、ブザー鳴動通知ボタンの消去も、ブザー鳴動通知ボタン制御部２１が、タッチ検出部５からの出力に基づいて行うようにしたが、ブザー鳴動制御部６が現実にブザー鳴動を停止したことを条件として、ブザー鳴動通知ボタンを消去するようにしても良い。
【００２１】
さらに、この発明の実施の形態においては、制御対象物を半導体制御装置に例をとって説明したが、この発明は半導体制御装置以外の装置やプラント制御等においても適用できることは言うまでもない。
【００２２】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、この発明は異常が発生した場合に、前記タッチパネル表示画面におけるほぼ全面に、ブザー鳴動制御に基づきブザーが鳴動していることを表示すると共に、該ブザーが鳴動していることを表示する部分をタッチすることによりブザーの鳴動を停止できるようにしたため、オペレータはエラーが発生していることを容易に認識することができる。また、そのタッチパネル表示画面のほぼ全面のどこかをタッチすればブザー鳴動制御を停止することができ、ブザーの鳴動表示はブザーの鳴動制御が行われているときにのみ行われるので、かかる確認操作でブザーの鳴動制御を停止させることにより、ブザー鳴動表示をも消去することができ、確認操作に引き続きエラー状態の認識やメンテナンス操作をタッチパネル表示画面上で容易に行うこともできるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態に係る異常表示装置を示すブロック図である。
【図２】この発明の実施の形態に係るエラー発生時のタッチパネル表示画面を示す図である。
【図３】この発明の実施の形態に係るブザー鳴動通知制御の動作を示すフローチャートである。
【図４】従来の異常表示装置を示すブロック図である。
【図５】従来のタッチパネル表示画面のエラー発生時における表示レイアウトを示す図である。
【符号の説明】
１  半導体製造装置
２  エラー発生検出部
３  アラーム表示制御部
４  タッチパネル表示画面
５  タッチ検出部
６  ブザー鳴動制御部
７  ブザー
８  ランプ点灯制御部
９  ランプ
１２  アラーム表示エリア
２５  ブザー鳴動通知ボタン
１００Ａ  異常表示装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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