(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に空間部と受光部とを有するヘッドハウジングと、このヘッドハウジングに保持され、半田ボールトレイに貯留された半田ボールを吸着するための多数の吸着孔を有する吸着プレートとを有し、
上記ヘッドハウジングの内部空間部を減圧状態とすることによって、上記半田ボールトレイ内の半田ボールを上記吸着プレートに設けられた吸着孔で吸着し、その吸着した半田ボールを次のマウント工程に搬送する半田ボール供給用ピックアップヘッドにおいて、
上記吸着プレートは、上記吸着孔がエッチングにより形成された吸着板と、この吸着板に重ね合わせて張り合わせることで吸着板の補強部材としての役目をなし、上記吸着板に重ね合わせをしたときに複数の上記吸着孔に対応する位置に切り欠き窓が形成された補強板とからなり、
上記補強板は、上記吸着板に重ね合わせをしたときに上記吸着孔を塞がないような複数の上記切り欠き窓が形成され、上記吸着板は複数の吸着板を重ね合わせて張り合わせることによって構成され、上記吸着孔はそれぞれの吸着板ごとにそれぞれの吸着板において同位置にエッチング形成されてなることを特徴とする半田ボール供給用ピックアップヘッド。
【請求項２】
前記複数枚の吸着板に設けられる吸着孔は、半田ボールを直接吸着する吸着板の吸着孔の径を基準として、その吸着板から前記ハウジングヘッド内部方向側に位置する吸着板ほど吸着孔の径を大きくすることを特徴とする請求項１記載の半田ボール供給用ピックアップヘッド。
【請求項３】
前記補強板は複数の補強板を重ね合わせて張り合わせることによって構成され、前記複数の切り欠き窓はそれぞれの補強板ごとにそれぞれの補強板において同位置に形成され、それによって前記複数の補強板には同位置に格子状の桟が形成されることを特徴とする請求項２記載の半田ボール供給用ピックアップヘッド。
【請求項４】
前記複数の吸着板と前記複数の補強板の張り合わせは、熱圧着によって行い、それによって１つの吸着プレートが形成されることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の半田ボール供給用ピックアップヘッド。
【請求項５】
前記吸着プレートは、前記ヘッドハウジングに対して着脱自在に取り付けられることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の半田ボール供給用ピックアップヘッド。
【請求項６】
前記吸着プレートのヘッドハウジングへの着脱自在の取り付けは、空気の吸引力を利用することを特徴とする請求項５記載の半田ボール供給用ピックアップヘッド。
【請求項７】
マウント対象となる１つの基板を幾つかの領域に分けて、それぞれの領域ごとに半田ボールの供給を行い、それぞれの領域ごとにマウント動作を行う場合は、前記吸着プレートはそれぞれの領域対応に用意され、それぞれの領域対応の吸着プレートを順番に前記ヘッドハウジングに取り付けて半田ボールの供給を行うことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の半田ボール供給用ピックアップヘッド。
【請求項８】
前記吸着プレートがそれぞれの領域対応に用意され、それを前記ヘッドハウジングに順番に取り付けて用いる場合は、前記基板上にすでにマウントされた半田ボールに接触しないように、前記吸着板の半田ボール吸着面となる面を周囲の面に対し、前記半田ボールの径の高さ分よりも凸状に出っ張った状態とすることを特徴とする請求項７記載の半田ボール供給用ピックアップヘッド。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか１項記載の半田ボール供給用ピックアップヘッドと、この半田ボール供給用ピックアップヘッドを水平方向および垂直方向に移動可能なピックアップヘッドテーブルと、上記半田ボール供給用ピックアップヘッドによって吸着される半田ボールを載置する半田ボールトレイとを有することを特徴とする半田ボール供給装置。
【請求項１０】
内部に空間部と受光部とを有するヘッドハウジングと、このヘッドハウジングに保持され、半田ボールトレイに貯留された半田ボールを吸着するための多数の吸着孔を有する吸着プレートとを有し、
上記ヘッドハウジングの内部空間部を減圧状態とすることによって、上記半田ボールトレイ内の半田ボールをその吸着孔で吸着し、その吸着した半田ボールを次のマウント工程に搬送する半田ボール供給用ピックアップヘッドに用いられる吸着プレートの製造方法において、
上記吸着プレートを構成する構成要素として、複数の吸着板を重ね合わせて構成された吸着板とこの吸着板に重ね合わせて張り合わせることにより上記吸着板を補強する補強板とを用意し、
上記吸着板には、半田ボールを吸着するための吸着孔をエッチングにより形成し、
上記補強板には、この補強板を上記吸着板に重ね合わせたときに複数の上記吸着孔に対応する位置に切り欠き窓を形成し、
上記吸着孔の形成された吸着板と、上記切り欠き窓が形成された補強板とを重ね合わせて張り合わせることで吸着プレートを形成すること、を特徴とする半田ボール供給用ピックアップヘッドに用いられる吸着プレートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハなどの基板に半田ボールをマウントする際に用いられる半田ボール供給用ピックアップヘッドおよび半田ボール供給用ピックアップヘッドに用いられる吸着プレートの製造方法ならびに半田ボール供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体チップ、フイルムキャリアなどのインナーリードの電極パットやその他の回路基板などに微小のボール状の半田をマウントさせるために、当該微小の半田ボールをマウント部に供給する装置が知られている。
【０００３】
このような半田ボール供給装置は、半田ボールトレイに貯留された半田ボールをピックアップヘッドが１回の吸着動作ごとに所定量の半田ボールを吸着して、それを次のマウント工程に移送するといった動作を繰り返し行う。
【０００４】
この種の半田ボール供給装置に用いられるピックアップヘッドとして、図１２に示すようなものがある。この図１２に示されるピックアップヘッド１００は、直方体形状のヘッドハウジング１０１の下面、すなわち、半田ボールトレイ１０２に対向する側の面に、半田ボール１０３を吸着するための多数の吸着孔１０４が設けられた吸着プレート１０５を取り付け固定して、このヘッドハウジング１０１の内部を真空ポンプ（図示省略）で減圧することによって、半田ボールトレイ１０２内に存在する半田ボール１０３を多数の吸着孔１０４で吸着し、吸着した半田ボール１０３を図示しないマウント工程に搬送するようになっている。
【０００５】
また、このピックアップヘッド１００は、半田ボール１０３の吸着動作を行ったとき、多数の吸着孔１０４に半田ボール１０３が適正に吸着された状態となっているか否かを監視する機能を有しているものもある。この半田ボール１０３が適切に吸着された状態となっているか否かの判断は、吸着プレート１０５の下側から光を照射し、ヘッドハウジング１０１内部に設けられた受光部１０７がその光を受けたか否かによって判断する。
【０００６】
すなわち、半田ボール１０３の吸着がなされていない吸着孔１０４が存在した場合には、その吸着孔１０４を通して光が受光部１０７に達し、それを受光部１０７が検知することで適正な吸着状態となっていないことがわかる。
【０００７】
このような構造のピックアップヘッド１００は、半田ボール１０３が吸着プレート１０５に対して適正に吸着されているか否かを監視することが可能であるので、以降のマウント工程に支障を与えることがない優れたピックアップヘッドであるといえる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
一方、この種の半田ボール供給装置に用いられるピックアップヘッドの他の例として、図１２で示した吸着プレート１０５に多孔質の部材を介在させたものがある（特開２００１−１５８９８号公報参照）。この場合も、ヘッドハウジング１０１と同様な構成のヘッドハウジングの内部を減圧させて、半田ボールトレイ１０２内の半田ボール１０３をその多孔質の部材でなる吸着プレートで吸着させるようになっている。
【０００９】
このような多孔質部材でなる吸着プレートを介在させたピックアップヘッドは、半田ボール１０３を吸着するための吸着孔は存在するものの、その吸着孔は完全な貫通孔として存在しないので、上述したような外部からの光を内部で受光して半田ボールの吸着状態を監視するという機能を持つことができない。もちろんのことながら、半田ボール１０３が適正に吸着されたか否かの監視は、他の方法を採用することによっても実現できるが、図１２で示すような光源（図示省略）と受光部１０７を用いるような単純な方法とはならないのが普通である。
【００１０】
それに比べると図１２で示すようなピックアップヘッド１００は、半田ボール１０３の吸着の確実性や吸着状態の監視を簡単に行えるという点で優位性があるといえる。しかし、それを実現するには外部からの光をピックアップヘッド１００の内部に通すための貫通孔としての吸着孔１０４の存在が必須となる。
【００１１】
一般に、この吸着孔１０４は、所定の厚みのあるＳＵＳなどのステンレス製の吸着プレート１０５に多数（数万個程度）設けられる場合が多く、しかも、それぞれの吸着孔１０４の径は0.1mm程度の微小な孔であるので、その加工に多くの時間とコストがかかる問題がある。
【００１２】
また、従来では、この吸着孔１０４は、所定の厚みの有るＳＵＳなどの部材に高精度な孔あけ加工を行って設けるのが一般的である。しかし、吸着孔１０４は、上述のように0.1mm程度の径であるため、高精度な孔あけ加工を可能とする高精度で高価な装置を必要とする問題もある。
【００１３】
一方、最近では、回路部材が載置された基板ではなく、回路が形成されたウエハ自体に半田ボール１０３をマウントすることが行われ始めている。一般に、ウエハに半田ボールをマウントさせる装置においては、１つの吸着プレートには２万個程度の吸着孔が設けられるのが一般的であるため、従来の方法では、孔あけ加工によって２万個の吸着孔を設けることが必要となり、数週間の期間を要すると共に、その加工に要する費用（製造コスト）は数百万円程度がかかるとされている。この加工時間と加工費を如何に低く抑えるかが大きな課題となりつつある。
【００１４】
そこで、本発明は、吸着プレートに吸着孔を設けるための製造時間と製造コストを大幅に低くすることを可能とし、しかも、吸着プレートの吸着孔を利用して、半田ボールの吸着孔への吸着状態の監視を単純な方法で行うことができる半田ボール供給用ピックアップヘッドおよび半田ボール供給用ピックアップヘッドに用いられる吸着プレートの製造方法ならびに半田ボール供給装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するため、本発明の半田ボール供給用ピックアップヘッドは、内部に空間部と受光部とを有するヘッドハウジングと、このヘッドハウジングに保持され、半田ボールトレイに貯留された半田ボールを吸着するための多数の吸着孔を有する吸着プレートとを有し、ヘッドハウジングの内部空間部を減圧状態とすることによって、半田ボールトレイ内の半田ボールを吸着プレートに設けられた吸着孔で吸着し、その吸着した半田ボールを次のマウント工程に搬送する半田ボール供給用ピックアップヘッドにおいて、吸着プレートは、吸着孔がエッチングにより形成された吸着板と、この吸着板に重ね合わせて張り合わせることで吸着板の補強部材としての役目をなし、吸着板に重ね合わせをしたときに複数の吸着孔に対応する位置に切り欠き窓が形成された補強板とから構成している。また、補強板は、吸着板に重ね合わせをしたときに吸着板を塞がないような複数の切り欠き窓が形成され、吸着板は複数の吸着板を重ね合わせて張り合わせることによって構成され、吸着孔はそれぞれの吸着板ごとにそれぞれの吸着板において同位置にエッチングによって形成されている。
【００１６】
このように、吸着プレートの吸着孔をエッチングによって形成するようにしているので、吸着プレートの製造時間と製造コストを大幅に削減することが可能となり、しかも、高精度な吸着孔の形成が可能となる。なお、エッチングによる孔あけを可能とするために、吸着板は、板厚の薄い板を用いることになるが、この吸着板を補強板によって補強する構造となっているので、実用上十分な強度が得られる。
【００１７】
しかも、その補強板は、吸着孔に対応する位置に切り欠き窓を形成しているので、半田ボールの吸着動作に影響を与えることなく、また、外部からの光を吸着孔を通して内部に設けられた受光素子で受光できるようにすることができ、これによって、半田ボールの吸着状態を光源と受光部を用いた単純な方法で監視することが可能となる。
【００１９】
また、吸着孔を塞がないように切り欠き窓が形成されているので、すべての吸着孔を本来の吸着孔として活用することができる。また、吸着板の板厚をより薄くすることができ、より小さな径の吸着孔のエッチングが可能となる。
【００２０】
また、他の発明は、上述の発明に加え、複数枚の吸着板に設けられる吸着孔は、半田ボールを直接吸着する吸着板の吸着孔の径を基準として、その吸着板から前記ハウジングヘッド内部方向側に位置する吸着板ほど吸着孔の径を大きくするようにしている。
【００２１】
これにより、複数枚の吸着板を張り合わせたあとに、吸着孔がずれて一直線の貫通孔とならないといった不具合の発生を未然に防ぐことができる。また、吸着孔が一直線の貫通孔となることにより、半田ボールに対する吸着性能の維持や、半田ボールの吸着状態の監視を行う際の光の通過を適正に行わせることができる。
【００２２】
また、補強板は複数の補強板を重ね合わせて張り合わせることによって構成され、複数の切り欠き窓はそれぞれの補強板ごとにそれぞれの補強板において同位置に形成され、それによって複数の補強板には同位置に格子状の桟が形成されるようにするのが好ましい。
【００２３】
このように、補強板を複数枚重ね合わせることにより、１枚１枚の補強板の板圧を薄くすることができ、それによって複数の切り欠き窓の形成を容易なものとすることができる。また、切り欠き窓はそれぞれの補強板において同じ位置に形成されるので、複数枚の補強板を重ねても吸着板の吸着孔を塞ぐことがない。また、格子状の桟が形成され、その格子状の桟が補強部材としての役目をなすので高い強度を得ることができる。
【００２４】
また、複数の吸着板と複数の補強板の張り合わせは、熱圧着によって行い、それによって１つの吸着プレートが形成されるようにするのが好ましい。
【００２５】
これにより複数の吸着板間および複数の補強板間、さらには吸着板と補強板間が強固な接着状態が得られ剥離などを生じにくくすることができる。
【００２６】
また、他の発明は、上述の各発明の半田ボール供給用ピックアップヘッドに加え、吸着プレートは、ヘッドハウジングに着脱自在に取り付けられるようにしている。
【００２７】
この構成とすることにより、マウント対象となる基板の種類などに応じて複数種類の吸着プレートを用意しておけば、マウント対象となる基板の種類に適合する吸着プレートを装着して使用することができ、汎用性を高めることができる。
【００２８】
また、吸着プレートのヘッドハウジングへの着脱自在の取り付けは空気の吸引力を利用するようにするのが好ましい。
【００２９】
これにより、吸着プレートを付け替える際、ネジを外したりネジで固定したりする作業が不要となり、吸着プレートの付け替えを簡単に行うことができる。
【００３０】
また、他の発明は、上述の各発明に加え、マウント対象となる１つの基板を幾つかの領域に分けて、それぞれの領域ごとに半田ボールの供給を行い、それぞれの領域ごとにマウント動作を行う場合は、吸着プレートはそれぞれの領域対応に用意され、それぞれの領域対応の吸着プレートを順番にヘッドハウジングに取り付けて半田ボールの供給を行うようにしている。
【００３１】
これにより、半田ボールのマウント処理が１回の工程でできないような場合にも適用することができる。また、各領域が同一とならない場合にもマウント処理を容易に実行することができる。
【００３２】
また、吸着プレートがそれぞれの領域対応に用意され、それをヘッドハウジングに順番に取り付けて用いる場合は、基板上にすでにマウントされた半田ボールに接触しないように、吸着板の半田ボール吸着面となる面を周囲の面に対し、半田ボールの径の高さ分よりも凸状に出っ張った状態とするのが好ましい。
【００３３】
この構成とすると、半田ボールのマウント処理が１回の工程でできないような場合、すでにマウントされた半田ボールを押し潰してしまうような不具合を未然に防止できる。
【００３４】
本発明の半田ボール供給装置は、請求項１から９のいずれか１項記載の半田ボール供給用ピックアップヘッドと、この半田ボール供給用ピックアップヘッドを水平方向および垂直方向に移動可能なピックアップヘッドテーブルと、半田ボール供給用ピックアップヘッドによって吸着される半田ボールを載置する半田ボールトレイとを有している。
【００３５】
この構成の半田ボール供給装置では、全体的なコストが減少すると共に、簡単な機構によって吸着の不備を検出することができる。また、確実な半田ボール吸着が可能となると共に、切り欠き窓の存在によって重量の軽減を図ることもできる。
【００３６】
また、本発明の半田ボール供給用ピックアップヘッドに用いられる吸着プレートの製造方法は、内部に空間部と受光部とを有するヘッドハウジングと、このヘッドハウジングに保持され、半田ボールトレイに貯留された半田ボールを吸着するための多数の吸着孔を有する吸着プレートとを有し、ヘッドハウジングの内部空間部を減圧状態とすることによって、半田ボールトレイ内の半田ボールをその吸着孔で吸着し、その吸着した半田ボールを次のマウント工程に搬送する半田ボール供給用ピックアップヘッドに用いられる吸着プレートの製造方法において、吸着プレートを構成する構成要素として、複数の吸着板を重ね合わせて構成された吸着板とこの吸着板に重ね合わせて張り合わせることにより吸着板を補強する補強板とを用意し、吸着板には、半田ボールを吸着するための吸着孔をエッチングにより形成し、補強板には、この補強板を吸着板に重ね合わせたときに複数の吸着孔に対応する位置に切り欠き窓を形成し、吸着孔の形成された吸着板と、切り欠き窓が形成された補強板とを重ね合わせて張り合わせることで吸着プレートを形成するようにしている。
【００３７】
この製造方法では、吸着プレートの多数の吸着孔をエッチングによって形成するようにしているので、吸着プレートの製造時間と製造コストを大幅に削減することが可能となり、しかも、高精度な吸着孔の形成が可能となる。なお、エッチングによる孔あけを可能とするために、吸着板は、板厚の薄い板を用いることになるが、この吸着板を補強板によって補強する構造となっているので、実用上十分な強度が得られる。
【００３８】
しかも、その補強板は、吸着孔に対応する位置に切り欠き窓を形成しているので、半田ボールの吸着動作に影響を与えることなく、また、外部からの光を吸着孔を通して内部に設けられた受光素子で受光できるようにすることができ、これによって、半田ボールの吸着状態を光源と受光部を用いた単純な方法で監視することが可能となる。
【００３９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の半田ボール供給用ピックアップヘッドおよび半田ボール供給用ピックアップヘッドに用いられる吸着プレートの製造方法ならびに半田ボール供給装置の実施の形態の例について図１から図１１を参照しながら説明する。なお、この実施の形態では、円形のウエハに半田ボールをマウントするための半田ボール供給装置を例にして説明する。
【００４０】
図１は、本実施の形態に係る半田ボール供給用ピックアップヘッドが適用される半田ボール供給装置の構成図であるが、この図１では本発明を説明する上で必要な部分のみが示されている。
【００４１】
この半田ボール供給装置は、概略的には、半田ボール１をその底面２ａに貯留するステンレス製の半田ボールトレイ（以下、ボールトレイという）２と、このボールトレイ２の端辺を板バネなどの弾性部材３で支持するボールトレイ支持筺体４と、ボールトレイ２上において水平方向および垂直方向に移動可能となっていて、ボールトレイ２上の所定位置においてボールトレイ２の底面２ａに対し垂直方向に移動してボールトレイ２内に貯留された半田ボール１を吸着する機構を有するピックアップヘッド５と、ボールトレイ支持筺体４内に設置されてボールトレイ２に振動力を与える振動発生器６と、ボールトレイ２の底面２ａに設けられてボールトレイ２内に存在する半田ボール１の貯留状態などを監視するための半田ボールセンサ７と、ボールトレイ２に対し半田ボール１の自動補充が可能な半田ボール補充機構８とを有している。
【００４２】
これらの構成要素の他、ピックアップヘッド５を水平方向および垂直方向に移動可能なピックアップヘッドテーブル９、ピックアップヘッド５に半田ボール１を吸着させるための吸着力を与える真空ポンプ１０などが設けられている。なお、半田ボール１を吸着したピックアップヘッド５は、ピックアップテーブル９によってウエハなどのマウント対象となる基板上に搬送され、その基板上に半田ボール１をマウントする。なお、この動作については後述する。
【００４３】
図２は、図１で示したピックアップヘッド５の全体的な構成を示すもので、外観構成としては、ほぼ直方体形状のヘッドハウジング５１と、このヘッドハウジング５１の下面、すなわち、ボールトレイ２（図１参照）に対向する側の面に着脱自在に取り付けられる吸着プレート５２と、ヘッドハウジング５１内部を真空ポンプ１０（図１参照）で減圧する際の空気吸い込み口としてのノズル５３が設けられる。
【００４４】
また、ヘッドハウジング５１の側壁部５１ａには、その上端側から下端側に貫通する空気流通孔５４が設けられている。この空気流通孔５４は、吸着プレート５２を真空吸着するための空気流通路であり、真空ポンプ１０の動作によって、吸着プレート５２はヘッドハウジング５１の側壁部５１ａの下端面に真空吸着され、それによってヘッドハウジング５１に保持されるようになっている。
【００４５】
なお、吸着プレート５２をヘッドハウジング５１に吸着させる動作や吸着プレート５２が半田ボール１を吸着する動作は、１台の真空ポンプ１０でそれぞれに設けられた弁（図示省略）の開閉操作などにより、それぞれを独立的に動作させることもできるが、それぞれに対応した真空ポンプを設けるようにしてもよい。
【００４６】
吸着プレート５２は、半田ボール１を吸着するための多数の吸着孔５５が設けられ、ヘッドハウジング５１内部を図１で示した真空ポンプ１０で減圧することによって、ボールトレイ２内に存在する半田ボール１を吸着孔５５で吸着するようになっている。本発明は、この吸着プレート５２の構造に特徴がある。なお、この図２では、吸着プレート５２を詳細に示すことが困難であるため、その構成を簡略化して示しており、その構造についてはのちに詳細に説明する。
【００４７】
また、ヘッドハウジング５１内には、受光素子群からなる受光部５６が設けられ、ピックアップヘッド５の外部下側、つまり、吸着プレート５２の下側に設けられた光源（図示省略）の発する光が吸着孔５５を通過したとき、それを受光できるようになっていて、光を受けた場合には、受光したことを示す電気信号を出力するようになっている。
【００４８】
これは、前述したように、ピックアップヘッド５が半田ボール１の吸着動作を行ったとき、半田ボール１が吸着孔５５に適切に吸着されたか否かを監視するためのもので、受光部５６から受光したことを示す信号が出力された場合には、半田ボール１の吸着動作に不具合のあることを示している。以下に、吸着プレート５２の構造について説明する。
【００４９】
この吸着プレート５２は、ヘッドハウジング５１に対して着脱自在に取り付け可能となっている。この実施の形態では、前述したように、円形のウエハに半田ボール１をマウントするための半田ボール供給装置についての例であり、また、その円板状のウエハのマウント対象面を幾つかの領域に分けてそれぞれの領域ごとに半田ボール１のマウントを行う場合を例にしている。
【００５０】
図３は、円形のウエハ２１のマウント対象領域を４つの領域（これを第１のマウント対象領域２１ａ、第２のマウント対象領域２１ｂ、第３のマウント対象領域２１ｃ、第４のマウント対象領域２１ｄという）に分けた例を示すものである。この場合、長方形状の吸着プレート５２を数枚（この実施の形態では４枚とし、以下、これを第１の吸着プレート５２ａ、第２の吸着プレート５２ｂ、第３の吸着プレート５２ｃ、第４の吸着プレート５２ｄという）用意して、これら第１〜第４の吸着プレート５２ａ〜５２ｄをそれぞれの領域ごとに用いる。
【００５１】
すなわち、これら第１〜第４の吸着プレート５２ａ〜５２ｄのうち、第１の吸着プレート５２ａは、ウエハ２１の第１のマウント対象領域２１ａに対して半田ボール１をマウントする際に用いられ、第２の吸着プレート５２ｂは、ウエハ２１の第２のマウント対象領域２１ｂに対して半田ボール１をマウントする際に用いられる。また、第３の吸着プレート５２ｃは、ウエハ２１の第３のマウント対象領域２１ｃに対して半田ボール１をマウントする際に用いられ、第４の吸着プレート５２ｄは、ウエハ２１の第４のマウント対象領域２１ｄに対して半田ボール１をマウントする際に用いられる。
【００５２】
そして、このようなウエハ２１に対してマウント動作を行う場合は、まず、第１の吸着プレート５２ａをヘッドハウジング５１に取り付けて半田ボール１を吸着させ、その状態でマウント工程に搬送させ、ウエハ２１の第１のマウント対象領域２１ａに対するマウント動作を行わせる。そのマウント動作が終了したら、その第１の吸着プレート５２ａをヘッドハウジング５１から取り外して、第２の吸着プレート５２ｂをヘッドハウジング５１に取り付けて半田ボール１を吸着させ、その状態でマウント工程に搬送させ、ウエハ２１の第２のマウント対象領域２１ｂに対するマウント動作を行わせる。
【００５３】
そのマウント動作が終了したら、その第２の吸着プレート５２ｂをヘッドハウジング５１から取り外して、第３の吸着プレート５２ｃをヘッドハウジング５１に取り付けて半田ボール１を吸着させ、その状態でマウント工程に搬送させ、ウエハ２１の第３のマウント対象領域２１ｃに対するマウント動作を行わせる。このように、吸着プレート５２ａ〜５２ｄを順次付け替えて半田ボール１を吸着し、それをマウント工程に搬送させてマウント動作を行わせるという操作が繰り返される。
【００５４】
図４は、吸着プレート５２（第１〜第４の吸着プレート５２ａ〜５２ｄのいずれか１枚の吸着プレートであり、ここでは第１の吸着プレート５２ａとする）を拡大して示す正面図（図１および図２において紙面の表方向から見た図）である。なお、吸着孔５５は極めて微細であるため図示を省略している。
【００５５】
この図４からもわかるように、この第１の吸着プレート５２ａは、５枚の吸着板（以下、第１層〜第５層の吸着板と呼び、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５で表す）と、４枚の補強板（以下、第１層〜第４層の補強板と呼び、Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，Ｑ４で表す）とからなる。これら第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５と第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４の材質は、それぞれＳＵＳが用いられ、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５の１層分の吸着板の板厚は0.1mm程度であり、第１層〜第４層の補強板Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，Ｑ４の１層分の補強板の板厚は1.0mm程度である。
【００５６】
なお、第２〜第４の吸着プレート５２ｂ〜５２ｄも同様の構造であり、それぞれ第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５と第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４から構成されている。このように、第１〜第４の吸着プレート５２ａ〜５２ｄは、それぞれが５枚の吸着板（第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５）と、４枚の補強板（第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４）とからなる。以下に、その構造について詳細に説明する。
【００５７】
なお、第１〜第４の吸着プレート５２ａ〜５２ｄは、その基本的な構造がほぼ同じであるので、ここでは第１の吸着プレート５２ａに着目して説明する。
【００５８】
まず、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４の構造について、図５（Ａ）を参照しながら説明する。この図５（Ａ）は、第１の吸着プレート５２ａの第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４を示すもので、この図５（Ａ）では１枚しか図示されていないが実際には同じものが４枚存在する。
【００５９】
図５（Ａ）において、この第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４は、それぞれが長方形状をなし、その長手方向の両端部付近にはヘッドハウジング５１に取り付ける際の位置決め孔ｈ１，ｈ２が設けられている。この２つの位置決め孔ｈ１，ｈ２は、ヘッドハウジング５１の下端面に突出された突起（図示省略）が挿入されるもので、一方の位置決め孔ｈ１は位置決めの微調整が可能なように長孔となっている。また、これら第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４は、その４枚を重ね合わせて張り合わせることによって１つの補強板としての役目をなすものであり、その重ね合わせる際の位置決め孔ｈ３が４箇所に設けられている。
【００６０】
ところで、この第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４は、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５上に重ね合わせて用いられるものであるため、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５に多数設けられている吸着孔５５を塞がないようにすることが必要である。
【００６１】
これは、ヘッドハウジング５１内が減圧されることによる吸着孔５５での半田ボール１の吸着動作を行わせるとともに、半田ボール１の吸着状態を監視するために、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５に設けられる吸着孔５５を通過してくる光源からの光をヘッドハウジング５１内部に通す必要性があるからである。
【００６２】
そのため、この第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４は、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５に設けられる多数の吸着孔５５のどの吸着孔をも塞ぐことのないような形状とする必要がある。
【００６３】
そこで、これら第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４には、図５（Ａ）に示すように、全体として凸状の窓部Ｗ１を設けると共に、それぞれの補強板を重ね合わせたときの同じ位置の行方向及び列方向に多数の切り欠き窓６０が重なるように設けられている。各切り欠き窓６０は、格子状の桟６１によって区切られ、その桟６１が補強部材としての役目を果たすようにしている。桟６１が配置される位置には、吸着孔５５が配置されないように重ね合わされる。
【００６４】
この切り欠き窓６０の形成は、レーザ加工により行うもので、その切り欠き窓６０はこの実施の形態では、一辺が9.6mm程度の正方形状としている。ちなみに、この実施の形態における第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４の横方向および縦方向（幅方向）の外形寸法は、横方向が２５０mm、縦方向（幅方向）が７４mmとしている。また、桟６１の幅は0.6mmとしている。
【００６５】
この切り欠き窓６０は、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４それぞれにおいて全面に形成する必要はなく、円形のウエハ２１の所定領域をカバーできる範囲でよい。すなわち、ここでは、第１の吸着プレート５２ａについての説明であるため、図３で示したように、円形のウエハ２１の第１のマウント対象領域２１ａを覆える範囲に切り欠き窓６０が形成されればよい。
【００６６】
したがって、この第１の吸着プレート５２ａを構成する第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４は、円形のウエハ２１の円周に沿った部分に対応できるように、切り欠き窓６０が形成される部分を全体的に見たとき凸型としている。また、切り欠き窓６０が形成される部分は、第１層から第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４の長手方向に伸びる端辺Ｔとの間に所定の余白部６３を持たせた状態で形成される。
【００６７】
ちなみに、第４の吸着プレート５２ｄも第１の吸着プレート５２ａと同様の部分（図２においては第４のマウント対象領域２１ｄ）を覆えるように切り欠き窓が形成されればよいので、第１の吸着プレート５２ａと同様に考えることができる。すなわち、その第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑの切り欠き窓６０の全体は、図５（Ｄ）のように、逆凸状の窓部Ｗ２に形成される。
【００６８】
また、第２および第３の吸着プレート５２ｂ，５２ｃは、円形のウエハ２１のほぼ中央部付近（第２および第３のマウント対象領域２１ｂ，２１ｃ）をマウントするためのものであり、円形のウエハ２１の第２および第３のマウント対象領域２１ｂ，２１ｃを覆えるような切り欠き窓が形成されればよい。このため、その第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４の切り欠き窓６０は、図５（Ｂ），（Ｃ）に示されるように、全体として長方形状の窓部Ｗ３に形成される。
【００６９】
なお、この第２〜第４の吸着プレート５２ｂ〜５２ｄにおいても、その第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑは第１の吸着プレート５２ａと同様、その切り欠き窓６０は、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４の長手方向に伸びる端辺Ｔとの間に所定幅の余白部６３を持たせた状態で形成される。また、切り欠き窓６０の一辺の長さや桟６１の幅、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４の外形寸法などは、図５（Ａ）で示した第１の吸着プレート５２ａのものと同様である。
【００７０】
ところで、第１〜第４の吸着プレート５２ａ〜５２ｄのそれぞれについて、同じ構成の補強板を４枚（第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４）作成し、それを重ね合わせて１枚の補強板として用いるのは、レーザ加工により切り欠き窓６０を形成する際の加工のし易さが主な理由である。
【００７１】
すなわち、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４は、材質がＳＵＳであり、それぞれの板厚は1mm程度であるため、レーザ加工がし易くしかも高精度に行える。これが、もし、４mmの厚みを有するＳＵＳをレーザ加工によって上述したような切り欠き窓６０を形成しようとすると、レーザ加工の加工費がかかり、しかも、薄い板を１枚１枚レーザ加工するのに比べて高精度な切り欠き窓６０が形成されない虞がある。なお、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４は、熱圧着によって張り合わせるようにしているので、容易にしかも強固な圧着が可能となる。
【００７２】
次に第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５について説明する。
【００７３】
この第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５は、第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２と第３層〜第５層の吸着板Ｐ３〜Ｐ５とで外形の縦方向（幅方向）の寸法が異なり、また、これら第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５ごとに、その吸着孔５５の径の大きさもわずかずつ異なる。しかし、それらについてはのちに説明することにして、まず、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５に設けられる多数の吸着孔５５と上述した第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４の切り欠き窓６０との位置関係についてを説明する。
【００７４】
これら第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５の吸着孔５５は、これら第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５と第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４を重ね合わせたとき、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４で形成される多数の切り欠き窓６０のそれぞれに対向する面に所定数設けられる。なお、この吸着孔５５は、エッチング（この実施の形態ではメタルマスクエッチング）によって形成される。
【００７５】
図６は、第１層の補強板Ｑ１のある１つの切り欠き窓６０（図５で説明したように9.6mmｘ9.6mmの正方形としている）に対向する面に設けられた吸着孔５５を示すもので、この実施の形態では、1つの切り欠き窓６０において行方向および列方向にそれぞれ１８個ずつ（１８ｘ１８＝３２４個）の吸着孔５５が形成されている。なお、隣接する吸着孔同志の中心間距離はこの実施の形態では0.5mmとしている。
【００７６】
このような吸着孔５５は、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４のすべての切り欠き窓６０に対向する面に形成される。ちなみに、この第１の吸着プレート５２ａにおいて、図５（Ａ）のように切り欠き窓が５６個形成されるとすれば、この第１の吸着プレート５２ａには２万個に近い吸着孔５５が設けられることになる。
【００７７】
ところで、上述したように、吸着孔５５は、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５において、その径がわずかずつ異なる。すなわち、第１層の吸着板Ｐ１（ボールトレイ２に対面し、半田ボール１を直接吸着する吸着板）の吸着孔５５の径はこの実施の形態では0.10mmとしている。この第１層の吸着板Ｐ１上に重ねて載置される第２層の吸着板Ｐ２の吸着孔５５の径は0.11mmとされ、この第２層の吸着板Ｐ２上にさらに重ねて載置される第３層の吸着板Ｐ３の吸着孔５５の径は0.12mmとされている。
【００７８】
この第３層の吸着板Ｐ３上に重ねて載置される第４層の吸着板Ｐ４の吸着孔５５の径は0.13mmとされ、この第４層の吸着板Ｐ４に接する第５層の吸着板Ｐ５の吸着孔５５の径は0.14mmとされている。このように、この実施の形態の場合、0.01mmづつ径を大きくしている。図７はその様子を示すもので、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５の一部を拡大して示す図である。
【００７９】
このように、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５に設けられる吸着孔５５の径を第１層の吸着板Ｐ１から第２層、第３層、第４層、第５層の吸着板Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５の順に大きくしているのは次の理由からである。
【００８０】
第１層の吸着板Ｐ１の吸着孔５５の径（0.10mm）は、半田ボール１を的確に吸着できるように設定された径であるため、本来は、他の吸着板（第２層〜第５層の吸着板Ｐ２〜Ｐ５）も同じ径でよい。しかし、その吸着孔５５は0.10mmというように非常に小さな径であるため、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５を張り合わせて１枚の吸着板とする際に、その重ね合わせ状態が少しでもずれると、重なり合う吸着孔５５同志の中心軸がずれて、一直線の貫通孔が形成されなくなり、半田ボール１に対する吸着性能が劣るばかりでなく、前述したように、光を通すための貫通孔としての役目も失われる虞がある。
【００８１】
これを防ぐため、第１層の吸着板Ｐ１の吸着孔５５の大きさを基準として、第２層の吸着板Ｐ２、第３層の吸着板Ｐ３、・・・と徐々に吸着孔５５の径を大きくし、それによって、これら第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５を張り合わせたときに、重なり合う吸着孔５５同志の中心がわずかにずれたとしても、一直線の貫通孔が形成されやすくしている。
【００８２】
ところで、この第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５は、それぞれが板厚の薄いＳＵＳ（ここで板厚が0.1mmのもの）を用いているが、これは、吸着孔５５の形成をエッチングにより行うためである。すなわち、エッチングにより孔を形成する場合、通常、板厚はエッチングされて生ずる孔の径と同程度に抑えるのが高精度なエッチングを行う上で必要とされているからである。
【００８３】
この場合は、基準となる吸着孔５５の径は0.1mmであるので、板厚も0.1mm程度とするのが好ましい。ただし、0.1mmのＳＵＳでは、余りにも薄すぎて強度的に問題があるので、それを５枚重ね、さらに、補強板（第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４）を重ね合わせて強度を持たせている。
【００８４】
なお、このような0.1mm程度の厚みのＳＵＳに、直径が0.10mm〜0.15mm程度の孔を形成する処理は、エッチングによれば多数の孔あけが一度に行え、従来のピンによる加工に比べれば、その作業効率は大幅に向上し、しかも、加工に要する時間と費用（製造コスト）を大幅に削減することができる。
【００８５】
前述したように、１つの吸着プレート５２には前述したように２万個程度の吸着孔５５が必要であるため、従来の孔あけ加工による方法では、その２万個の吸着孔５５を設けるための高度な孔あけ加工が必要であり、その製造時間は数週間となり、製造コストは数百万円がかかるとされている。
【００８６】
これに対して、エッチングにより第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５の吸着孔５５の加工に要する時間は数時間であり、しかも費用は孔あけ加工に比べて、数分の１以下の製造コストに抑えられる。特に、この実施の形態のように、１つのウエハ２１に対して４枚の吸着プレート（第１〜第４の吸着プレート５２ａ〜５２ｄ）を用いるような場合には、より大幅な製造時間と製造コストの削減が可能となる。
【００８７】
このようにして、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５に吸着孔５５が設けられる。なお、これら第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５は、前述したように、その外形の縦方向（幅方向）寸法が第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２と第３層〜第５層の吸着板Ｐ３〜Ｐ５とで異なる。つまり、第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２の外形の縦方向（幅方向）の寸法が第３層〜第５層の吸着板Ｐ３〜Ｐ５よりも小さくしてある。この場合、吸着孔５５の設けられている部分の面積は同じであるので、縦方向（幅方向）に存在する余白を少なくしている。
【００８８】
図８（Ａ），（Ｂ）は、この大きさの関係を説明する図であり、この図８（Ａ）に示すように第３層〜第５層の吸着板Ｐ３〜Ｐ５は、第１〜第４の補強板Ｑ１〜Ｑ４と同じ外形寸法（横方向長さを２５０mm、縦方向（幅方向）長さを７４mm）としているが、第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２は、図８（Ａ）で示した第３層〜第５層の吸着板Ｐ３〜Ｐ５に存在する余白部７０（吸着孔５５の形成される部分と長手方向の端辺Ｔとの間に存在する余白部で、先に示した補強板Ｑ１〜Ｑ４の余白部６３にほぼ対応）を殆ど無くし、図８（Ｂ）のような外形としている。
【００８９】
この図８（Ｂ）からもわかるように、吸着板Ｐ１，Ｐ２は余白部７０が存在しない分だけ、第３層〜第５層の吸着板Ｐ３〜Ｐ５に比べて縦方向（幅方向）に小さな外形寸法となっている。この第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２の縦方向（幅方向）の寸法は、この実施の形態では38.8mm程度としている。
【００９０】
このように、第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２における長手方向に伸びる端辺Ｔとの間の余白部７０を無くして、吸着板Ｐ１，Ｐ２の縦方向（幅方向）の寸法を第３層〜第５層の吸着板Ｐ３〜Ｐ５よりも小さくした形状とする理由については後述する。
【００９１】
なお、図８において、ｈ１，ｈ２はヘッドハウジング５１に取り付ける際の位置決め孔で、ｈ３は重ね合わせる際の位置決め孔で、これらは第３層〜第５層の吸着板Ｐ３〜Ｐ５の同位置に設けられている。これらの位置決め孔ｈ１、ｈ２、ｈ３は、図５で説明した第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４に設けられた位置決め孔ｈ１，ｈ２，ｈ３と同位置に設けられる。
【００９２】
図９は、以上のような第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４と第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５をそれぞれ重ね合わせて熱圧着によって張り合わせることによって作成された第１の吸着プレート５２ａを示すものである。図９（Ａ）は、平面図（図２のピックアップヘッド５において矢印ｙ方向から見た図）、図９（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ線断面図、図９（Ｃ）は側面図（図２のピックアップヘッドにおいて矢印ｘ方向から見た図）、図９（Ｄ）は底面側から見た図（図２のピックアップヘッドにおいて矢印ｙ’方向、つまり、図１の半田ボールトレイ２側から見た図）である。
【００９３】
この図９において、吸着孔５５はすべての切り欠き窓６０の部分に多数（図６の説明では１８ｘ１８＝３２４個）存在しているが、それをすべて正確に図示することが困難であるため、ある１つの切り欠き窓６０のみに吸着孔５５の存在を示し、その数も正確には表されていない（ある１つの切り欠き窓６０における吸着孔５５の詳細は図６参照）。また、図９（Ｂ）では、吸着孔５５の図示は省略し、さらに、図９（Ｂ）と図９（Ｃ）においては、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５を簡略化して示している。
【００９４】
なお、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４と第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５をそれぞれ重ね合わせて熱圧着する際は、これら第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４と第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５の重ね合わせを正しく行えるように、それぞれに設けられた重ね合わせ用の位置決め孔ｈ３を用いて、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４と第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５をそれぞれ正しく重ね合わせた状態とする。そして、その状態で熱圧着することで、図９に示すよう１つの吸着プレート（この場合は第１の吸着プレート５２ａ）が作成される。
【００９５】
この図９では、図１〜図８と同一部分には同一符号を付している。なお、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４は、各１枚の厚みが1.0mmであり、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５は、各１枚の厚みが0.1mmであるので、合計すると約５mm程度の１枚の吸着プレート（この例では第１の吸着プレート５２ａ）となる。
【００９６】
以上の説明は、主に第１の吸着プレート５２ａについて説明したが、第２〜第４の吸着プレート５２ｂ〜５２ｄについても、図３で説明したように、円形のウエハ２１のどのマウント対象領域に対応させるかによって、切り欠き窓６０や吸着孔５５を形成する範囲が多少異なる他は、それぞれの補強板や吸着板の作成の仕方などは第１の吸着プレート５２ａに準じて行うことができ、それによって第２〜第４の吸着プレート５２ｂ〜５２ｄの作成がなされる。
【００９７】
このように作成された第１〜第４の吸着プレート５２ａ〜５２ｄは、図２で示すヘッドハウジング５１に対し、着脱自在に取り付けることができる。たとえば、第１の吸着プレート５２ａを取り付ける場合は、その端部に設けられた取り付け孔ｈ１，ｈ２をピックアップヘッド５のヘッドハウジング５１に設けられた図示しない突起を差し込むようにして位置決めし、その状態で、真空ポンプ１０の作動によって減圧吸引されることでヘッドハウジング５１への取り付けがなされる。
【００９８】
なお、上述したように、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５のうち、第３層〜第５層の吸着板Ｐ３〜Ｐ５は、第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ５と同じ外形寸法であるが、第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２は、図８に示すように長手方向の端辺Ｔとの間の余白部７０を無くして、その余白部分だけ縦方向（幅方向）の小さな外形寸法としている。つまり、図９（Ｃ）において、Ｗで示す部分が第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２の縦方向（幅方向）寸法であり、この部分が凸状に出っ張った状態となり、この凸状に出っ張った部分のみに吸着孔５５が存在することとなる。この凸状に出っ張った状態は、図９（Ｃ）ではわかりにくいので、図１０にそれを拡大して示す。
【００９９】
この図１０からもわかるように、第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２は、吸着孔５５の設けられている以外の部分、つまり余白部７０が存在しない分だけ、この図１０における幅方向の小さな外形寸法となっている。したがって、第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２による吸着孔５５の存在する面は、第３層の吸着板Ｐ３の余白部７０に対して0.20mm（２枚の吸着板の厚みに相当する分）だけ凸状に出っ張った状態となる。
【０１００】
このように、第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２の余白部７０を殆ど無くした形状としたのは以下に示す理由による。
【０１０１】
この実施の形態では、１つのウエハ２１に半田ボール１をマウントする際、４つの吸着プレート（第１〜第４の吸着プレート５２ａ〜５２ｄ）を用意する（図３参照）。前述したように、まず、第１の吸着プレート５２ａをヘッドハウジング５１に吸着によって取り付けて、半田ボール１を吸着させ、それをウエハ２１の第１のマウント対象領域２１ａにマウント動作を行う。次に、第１の吸着プレート５２ａをヘッドハウジング５１から取り外して第２の吸着プレート５２ｂを吸着によって取り付け、半田ボール１を吸着させ、それをウエハ２１の第２のマウント対象領域２１ｂにマウント動作を行う。次に、第２の吸着プレート５２ｂをヘッドハウジング５１から取り外して第３の吸着プレート５２ｃを吸着によって取り付け、半田ボール１を吸着させ、それをウエハ２１の第３のマウント対象領域２１ｃにマウント動作を行うという工程を繰り返す。この動作によって、ウエハ２１上のマウント対象領域の全面に半田ボール１のマウントを行う。
【０１０２】
このような半田ボール１のマウント動作を行う際、たとえば、第１の吸着プレート５２ａによるウエハ２１の第１のマウント対象領域２１ａに半田ボール１のマウントが図１１示すように終了したあと（図１１において斜線を施した部分がマウントの終了した領域を示す）、第２の吸着プレート５２ｂによるマウント動作を行うが、このとき、もし、その第２の吸着プレート５２ｂの第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２に余白部７０（図８参照）が存在していると次のような問題が生ずる。すなわち、この第２の吸着プレート５２ｂで半田ボール１をウエハ２１の第２のマウント対象領域２１ｂにマウントする際、第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２の余白部７０が、既にウエハ２１の第１のマウント対象領域２１ａにマウントされた半田ボール１を押し潰したり半田ボール１に接触したりしてしまうことになる。
【０１０３】
つまり、図１１において、１点鎖線で示す第２の吸着プレート５２ｂ中の２点鎖線で示す部分が第２の吸着プレート５２ｂにおける一方の余白部７０に相当し、その余白部７０が、段差状態になっていないと、すでにマウントされた半田ボール１を押し潰したり半田ボール１に接触したりしてしまうのである。これは、第３の吸着プレート５２ｃや第４の吸着プレート５２ｄによるマウント処理の際も同様のことが言える。
【０１０４】
これを防ぐために、第１〜第４の吸着プレート５２ａ〜５２ｄにおいて、それぞれ第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２の余白部７０を無くして、この第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２における吸着孔５５の形成された面を、この実施の形態では0.20mm程度凸状に出っ張らせるようにしている。
【０１０５】
これによって、ウエハ２１上にマウントする際、第３層の吸着板Ｐ３の余白部７０とすでにマウント処理の終了したウエハ２１の表面との間には、少なくとも半田ボール１の径よりも大きな隙間が生じるようになり、すでにマウントされた半田ボール１に損傷を与えることがなくなる。
【０１０６】
以上説明したように、この実施の形態によれば、第１〜第４の吸着プレート５２ａ〜５２ｄに設けられる吸着孔５５をエッチング（この実施の形態ではメタルマスクエッチング）により形成するようにしているので、多数の孔あけが一度にしかも高精度に行える。従来のピンによる加工に比べれば、その作業効率は大幅に向上し、かつ、加工に要する費用（製造コスト）を大幅に削減することができる。
【０１０７】
また、このエッチングによる孔あけを効率よく容易に行うために、１枚の吸着板の厚みを薄くし、それをこの実施の形態では５枚重ねて、第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５を形成し、さらに、それを補強する４枚の補強板（第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ５）を重ね合わせて、それぞれ熱圧着することによって、１つの吸着プレート（この実施の形態では第１〜第４の吸着プレート５２ａ〜５２ｄ）を形成するようにしている。
【０１０８】
このように、各吸着プレート５２ａ〜５２ｄの吸着孔５５の形成をエッチングにより行うことができるため、製造時間と製造コストを大幅に削減することが可能となり、しかも、高精度な吸着孔の形成が可能となる。また、それぞれの吸着プレート５２ａ〜５２ｄにおける吸着板（第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５）に対しては補強板（第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４）により補強されるので、実用上十分な強度が得られる。
【０１０９】
また、吸着板（第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５）に設けられる吸着孔５５は半田ボール１を直接吸着する第１層の吸着板Ｐ１の吸着孔５５の径を基準として、徐々にその径を大きくするようにしているので、張り合わせを行ったときに吸着孔５５がずれて、一直線の貫通孔とならないといった不具合の発生を未然に防ぐことができる。これにより、半田ボール１に対する吸着性能の維持や、半田ボール１の吸着状態の監視を行う際の光源の通過を適正に行わせることができる。
【０１１０】
また、吸着孔５５の形成された面だけを吸着板２枚分（第１層および第２層の吸着板Ｐ１，Ｐ２）の厚み分だけ出っ張らせることにより、１枚のウエハ２１のマウント対象領域を幾つかに分割してマウントを行うような場合、ウエハ２１上にすでにマウントされた半田ボールに損傷を与えることなく、次の半田ボールのマウントが行えるなど種々の優れた効果を有する。
【０１１１】
なお、上述の実施の形態は、本発明の好適な実施の形態の例であるが、これに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々変形実施可能である。たとえば、前述の実施の形態では、１つの吸着プレートつまり、第１〜第４の吸着プレート５２ａ〜５２ｄそれぞれについて、５枚の吸着板（第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５）と４枚の補強板（第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４）を用いたが、この枚数はそれに限定されるものではなく、使用する半田ボール供給装置の仕様や必要な強度などに応じて適宜最適な枚数を設定することができる。
【０１１２】
また、１つの吸着プレートに設けられる吸着孔５５の数なども前述の実施の形態のものに限られないことはいうまでもない。さらに、前述の実施の形態で説明した第１層〜第５層の吸着板Ｐ１〜Ｐ５や第１層〜第４層の補強板Ｑ１〜Ｑ４の各部の寸法などは一例であってそれに限られるものではない。また、切り欠き窓６０を多数設けるのではなく２つや３つ、時には強度を維持できれば１つでも良い。
【０１１３】
また、前述の実施の形態では、半田ボール１のマウント対象基板をウエハ２１とした例で説明したが、マウント対象となる基板はウエハ２１に限られるものではなく、一般的な基板なども対象とすることができ、その場合は、それに合わせた吸着プレート５２を形成すればよい。
【０１１４】
また、前述の実施の形態では、１つのウエハ２１について第１〜第４の４枚の吸着プレート５２ａ〜５２ｄを用意し、それぞれの吸着プレートを１枚ずつピックアップヘッド５１に順次付け替えて、ウエハ２１の所定のマウント対象領域に順番にマウントする例について説明したが、ウエハ２１の大きさなどに応じて、より多くの吸着プレートを用意するようにしてもよく、逆に、１枚だけの吸着プレートによって１回または複数回のマウント動作によりマウントが行えるような場合には、それに対応した１枚の吸着プレートだけを用意すればよい。
【０１１５】
また、吸着プレート５２（５２ａ〜５２ｄ）を取り外し可能となるのではなく、ピックアップヘッド５にねじ等で固定するようにしても良い。また、この吸着プレート５２（５２ａ〜５２ｄ）は、図１で示す半田ボール供給装置以外の種々の半田ボール供給装置やピックアップヘッドに適用することができる。
【０１１６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、吸着プレートに吸着孔を設けるための製造時間と製造コストを大幅に低くすることが可能となり、しかも、吸着プレートの吸着孔を利用して、半田ボールの吸着孔への吸着状態の監視を単純な方法で行うことができる半田ボール供給用ピックアップヘッドおよび半田ボール供給用ピックアップヘッドに用いられる吸着プレートの製造方法ならびに半田ボール供給装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る半田ボール供給装置を説明する構成図である。
【図２】図１の半田ボール供給装置に使用される半田ボール供給用ピックアップヘッドを説明する断面図である。
【図３】図２で示されるピックアップヘッドに用いられる吸着プレートを概略的に説明する図であり、円形のウエハのそれぞれのマウント対象面に４つの吸着プレートを対応させた状態を示す図である。
【図４】図２で示されるピックアップヘッドに用いられる吸着プレートを拡大して概略的に示す正面図である。
【図５】図２で示されるピックアップヘッドに用いられる吸着プレート（第１〜第４の吸着プレート）に用いられる補強板の構成を説明する平面図であり、（Ａ）は第１の吸着プレートの平面図、（Ｂ）は第２の吸着プレートの平面図、（Ｃ）は第３の吸着プレートの平面図、（Ｄ）は第４の吸着プレートの平面図である。
【図６】図５で示される補強板のある１つの切り欠き窓に対応する第１層の吸着板の吸着孔を説明する図である。
【図７】図４で示される第１層〜第５層の吸着板の一部を拡大して示す図である。
【図８】図４で示される第１層および第２層の吸着板の外形寸法と第３層〜第５層の吸着板の外形寸の違いを説明する図である。
【図９】図１で示す半田ボール供給装置に使用される、第１層〜第５層の吸着板と第１層〜第４層の補強板を重ね合わせて熱圧着することによって作成された吸着プレート（第１の吸着プレート）を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）はＡ−Ａ線断面図、（Ｃ）は側面図、（Ｄ）は底面側から見た図である。
【図１０】図９（Ｃ）を拡大して示す図である。
【図１１】円形のウエハに対し図１で示す半田ボール供給装置に使用される第１〜第４の吸着プレートを順番に用いてマウント処理を行う例について説明する図である。
【図１２】従来のピックアップヘッドの構成を示す図である。
【符号の説明】
１  半田ボール
２  半田ボールトレイ
５  ピックアップヘッド
２１  ウエハ
２１ａ〜２１ｄ  第１〜第４のマウント対象領域
５１  ヘッドハウジング
５２  吸着プレート
５２ａ〜５２ｄ  第１〜第４の吸着プレート
５５  吸着孔
５６  受光部
６０  切り欠き窓
６１  桟
６３  余白部（第１層〜第４層の補強板側の余白部）
７０  余白部（第３層〜第５層の吸着板側の余白部）
Ｐ１〜Ｐ５  第１層〜第５層の吸着板
Ｑ１〜Ｑ４  第１層〜第４層の補強板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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