(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属薄板の幅に合わせて対向配置した２列の搬送ローラによる金属薄板の搬送高さをパスラインとし、
該搬送ローラで金属薄板の外縁部を下側から保持し、該金属薄板をパスラインに沿って搬送方向に移動させ、
金属薄板を下側から照明しながら画像入力して裏面検査を行なう裏面検査部である検査位置で停止させた後、
検査位置近傍の搬送ローラをパスラインより下方で金属薄板より外側に退避させ、対応する位置で列方向に隣接する搬送ローラ間のパスラインより下方の近接位置で、金属薄板の外縁部の下側に当接可能なワーク支持部で金属薄板を支持し、該金属薄板の検査を行うことを特徴とする金属薄板検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の金属薄板検査方法において、前記搬送ローラを駆動し、該搬送ローラの回転により、金属薄板を搬送するようにしたことを特徴とする金属薄板検査方法。
【請求項３】
請求項１に記載の金属薄板検査方法において、前記金属薄板を外力により移動して、前記搬送ローラが、金属薄板の自重により回転するようにしたことを特徴とする金属薄板検査方法。
【請求項４】
請求項１に記載の金属薄板検査方法において、検査位置近傍の搬送ローラを退避させて検査を行なう際、搬送ローラが照明を遮らない位置に移動した後、退避端に到達する前のタイミングで、前記金属薄板を画像入力することを特徴とする金属薄板検査方法。
【請求項５】
金属薄板の幅に合わせて対向配置された、金属薄板の外縁部が載置される２列の搬送ローラと、
該搬送ローラ上の金属薄板の搬送高さをパスラインとして搬送方向に移動する金属薄板を、検査手段として前記金属薄板を下側から照明する照明手段と、該照明手段により照明された金属薄板の裏面の画像を入力する画像入力手段とが設置されている裏面検査部である検査位置で停止させる停止手段と、
該検査位置近傍の搬送ローラを、パスラインより下方で金属薄板より外側に退避させるローラ退避手段と、
対応する位置で列方向に隣接する搬送ローラ間のパスラインより下方の近接位置で、金属薄板の外縁部の下側に当接可能なワーク支持部とを備えていると共に、
前記ローラ退避手段による搬送ローラの退避時に、該ワーク支持部により支持された金属薄板を、前記検査手段により検査することを特徴とする金属薄板検査装置。
【請求項６】
請求項５に記載の金属薄板検査装置において、前記ワーク支持部が、搬送ローラ間に挿入される歯を有する櫛歯状とされていることを特徴とする金属薄板検査装置。
【請求項７】
請求項５に記載の金属薄板検査装置において、更に、前記金属薄板の幅方向位置を規制するためのガイドレールが備えられていることを特徴とする金属薄板検査装置。
【請求項８】
請求項５に記載の金属薄板検査装置において、前記ローラ退避手段が、前記照明手段による照明を遮らない位置を越えた退避端まで、前記搬送ローラを退避可能になっており、前記画像入力手段が、前記ローラ退避手段により前記搬送ローラを退避させる際、該搬送ローラが照明を遮らない位置に移動した後、退避端に到達する前のタイミングで、前記金属薄板の裏面の画像を入力するようになっていることを特徴とする金属薄板検査装置。
【請求項９】
請求項８に記載の金属薄板検査装置において、前記搬送ローラが照明を遮らない所定位置に到達したことを検出する検出手段が設置され、該検出手段の検出信号により前記画像入力手段を起動させ、前記金属薄板の裏面の画像を入力するようになっていることを特徴とする金属薄板検査装置。
【請求項１０】
請求項８に記載の金属薄板検査装置において、前記ローラ退避手段が、前記搬送ローラを照明を遮らない位置を越えた退避端まで移動させる流体駆動シリンダであることを特徴とする金属薄板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属薄板検査方法及び装置に係り、特に、集積回路のリードフレームの外観検査に用いるのに好適な、裏面検査時の不感帯が小さく、搬送機構が裏面側からの斜光照明を遮ることがなく、搬送に起因する塵や疵の発生の少ない金属薄板検査方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
集積回路のリードフレーム等の金属薄板の外観検査に際して、裏面の検査も必要な場合、従来は、図２０や図２１に示す如く、検査対象であるワーク１０の両端部のみを、細い駆動ベルト２２、２４で下から支持（図２０）又は上下から挟持（図２１）することによって、所定の検査位置まで搬送していた。
【０００３】
このような搬送装置を備えた検査装置において、裏面の外観検査を行う場合には、ワーク１０の下方に照明及びカメラを設置して、画像入力を行う必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記搬送装置においてワーク１０を下側から画像入力して裏面検査を行なう場合、搬送中に下側となる面は、搬送用の駆動ベルト２２と接触している部分が画像入力できないために、検査時の不感帯となる。又、ベルト駆動機構が照明を遮るため、斜光照明を使用した検査を行うことができない。あるいは、仮にその照明を使用したとすると影の部分が不感帯となり、検査ができない領域が広がる。更に、ゴム状の駆動ベルトと金属製のワークが接触することで、塵が発生し易い等の問題点を有していた。
【０００５】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、裏面検査時に検査できない不感帯が小さく、裏面側からの斜光照明を使用した場合でも搬送機構が照明を遮ることがなく、搬送に起因する塵や疵の発生を防止することが可能な、金属薄板検査方法及び装置を提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１の本発明は、金属薄板検査方法において、金属薄板の幅に合わせて対向配置した２列の搬送ローラによる金属薄板の搬送高さをパスラインとし、該搬送ローラで金属薄板の外縁部を下側から保持し、該金属薄板をパスラインに沿って搬送方向に移動させ、金属薄板を下側から照明しながら画像入力して裏面検査を行なう裏面検査部である検査位置で停止させた後、検査位置近傍の搬送ローラをパスラインより下方で金属薄板より外側に退避させ、対応する位置で列方向に隣接する搬送ローラ間のパスラインより下方の近接位置で、金属薄板の外縁部の下側に当接可能なワーク支持部で金属薄板を支持し、該金属薄板の検査を行うようにして、前記課題を解決したものである。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１の金属薄板検査方法において、前記搬送ローラを駆動し、該搬送ローラの回転により、金属薄板を搬送するようにしたものである。
【０００８】
請求項３の発明は、請求項１の金属薄板検査方法において、前記金属薄板を外力により移動して、前記搬送ローラが、金属薄板の自重により回転するようにしたものである。
【００１０】
請求項４の発明は、請求項１の金属薄板検査方法において、検査位置近傍の搬送ローラを退避させて検査を行なう際、搬送ローラが照明を遮らない位置に移動した後、退避端に到達する前のタイミングで、前記金属薄板を画像入力するようにしたものである。この場合には、搬送ローラが退避端に到達すると、そのときの衝撃によりワーク支持部が振動する場合でも、ブレの無い検査画像を安定して入力することができる。
【００１１】
請求項５の発明は、金属薄板検査装置において、金属薄板の幅に合わせて対向配置された、金属薄板の外縁部が載置される２列の搬送ローラと、該搬送ローラ上の金属薄板の搬送高さをパスラインとして搬送方向に移動する金属薄板を、検査手段として前記金属薄板を下側から照明する照明手段と、該照明手段により照明された金属薄板の裏面の画像を入力する画像入力手段とが設置されている裏面検査部である検査位置で停止させる停止手段と、該検査位置近傍の搬送ローラを、パスラインより下方で金属薄板より外側に退避させるローラ退避手段と、対応する位置で列方向に隣接する搬送ローラ間のパスラインより下方の近接位置で、金属薄板の外縁部の下側に当接可能なワーク支持部とを備えていると共に、前記ローラ退避手段による搬送ローラの退避時に、該ワーク支持部により支持された金属薄板を、前記検査手段により検査することにより、前記課題を解決したものである。
【００１２】
請求項６の発明は、請求項５の金属薄板検査装置において、前記ワーク支持部を、搬送ローラ間に挿入される歯を有する櫛歯状としたものである。
【００１３】
請求項７の発明は、請求項５の金属薄板検査装置において、前記金属薄板の幅方向位置を規制するためのガイドレールを備えたものである。
【００１５】
請求項８の発明は、請求項５の金属薄板検査装置において、前記ローラ退避手段が、前記照明手段による照明を遮らない位置を越えた退避端まで、前記搬送ローラを退避可能になっており、前記画像入力手段が、前記ローラ退避手段により前記搬送ローラを退避させる際、該搬送ローラが照明を遮らない位置に移動した後、退避端に到達する前のタイミングで、前記金属薄板の裏面の画像を入力するようにしたものである。この場合には、前記請求項４の金属薄板検査方法と同様に、安定した検査画像を入力することができる。
【００１６】
請求項９の発明は、請求項５の金属薄板検査装置において、前記搬送ローラが照明を遮らない所定位置に到達したことを検出する検出手段が設置され、該検出手段の検出信号により前記画像入力手段を起動させ、前記金属薄板の裏面の画像を入力するようにしたものである。
【００１７】
請求項１０の発明は、請求項５の金属薄板検査装置において、前記ローラ退避手段を、前記搬送ローラを照明を遮らない位置を越えた退避端まで移動させる流体駆動シリンダとしたものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００１９】
本発明に係る第１実施形態は、図１に示す如く、リードフレーム等のワークの外観検査装置（金属薄板検査装置）である。本実施形態の検査装置は、ワークの供給及び排出を行う搬送装置として、ワーク１０の幅に合わせて載置された、ワーク１０の外縁部が載置される２列の搬送ローラ３０（図２参照）と、該搬送ローラ３０上を搬送方向に移動するワーク１０を、検査位置で停止させるローラ駆動機構３２と、該検査位置で、搬送ローラ３０の代わりにワーク１０を支持するワーク支持部４０（図２参照）と、該検査位置近傍の搬送ローラ３０を退避させるローラ退避機構５０とを備えている。
【００２０】
図１において、６０は、検査対象のワーク１０を供給するワーク供給部、６２は、該ワーク供給部６０に積み重ねられたワーク１０を、１枚ずつ搬送ローラ３０の入側（図１の左側）に載置するためのローダハンド、７０は、ワーク１０の表面を斜めから斜光照明するためのリングライト７２と、該リングライト７２によって照明されたワーク１０の表面の画像を上方から捉えて表面検査画像を生成するためのエリアセンサカメラ７４とを含む表面検査部、８０は、ワーク１０の裏面を斜光照明するためのリングライト８２と、該リングライト８２によって照明されたワーク１０の裏面の映像を下方から捉らえて裏面検査画像を生成するためのエリアセンサカメラ８４とを含む裏面検査部、６４は、検査終了後のワーク１０を、検査結果に応じて良品１２と不良品１４に仕分けして積み重ねるためのアンローダハンドである。
【００２１】
前記ワーク支持部４０は、図２乃至図４に示す如く、搬送ローラ３０間に挿入される歯４２を有し、照明光を遮ぎらないよう十分に薄くされている。
【００２２】
該ワーク支持部４０は、搬送ローラ３０による搬送中は、同様に図２乃至図４に示す如く、搬送ローラ３０の上面より低く保たれ、ワーク１０に接触することはない。一方、検査時には、ローラ退避機構５０により、矢印Ａに示す如く、搬送ローラ３０がパスラインより下方に下げられた後、外側に退避される結果、該ワーク支持部４０が、図５乃至図７に示す如く、ワーク１０の外縁部を支持することになる。
【００２３】
前記搬送ローラ３０としては、例えばクリーンルーム用の、テフロンによって表面が被覆された、ステンレス製の転がり軸受を用いることができる。このように、転がり摩擦を利用し、搬送ローラの材質を考慮することにより、発塵を大幅に防止できる。なお、搬送ローラの材質は、ステンレスに限定されない。
【００２４】
前記ローダハンド６２及びアンローダハンド６４は、例えば図１に示したように、ワーク１０の上面を真空で吸着することにより、あるいは、ワーク１０の両側面を側方から押さえることにより、ワーク１０を１枚ずつ引き上げて搬送する。
【００２５】
本実施形態の外観検査装置全体は、図８に示す如く、前記ローダハンド６２、アンローダハンド６４、ローラ駆動機構３２等を含む搬送機構２８と、前記エリアセンサカメラ７４を含む画像入力部７６、該画像入力部７６から入力される画像を処理する画像処理部７８を含む表面検査部７０と、前記エリアセンサカメラ８４を含む画像入力部８６、該画像入力部８６から入力される画像を処理する画像処理部８８及び前記ローラ退避機構５０を含む裏面検査部８０と、前記表面検査部７０、裏面検査部８０及び搬送機構２８を制御する制御部９０を含んで構成されている。
【００２６】
以下、図１を参照して、本実施形態の作用を説明する。
【００２７】
まず、矢印▲１▼で示す如く、ワーク供給部６０から、ローダハンド６２が、例えば真空吸着により、ワーク１０を１枚ずつ搬送ローラ３０上に乗せる。
【００２８】
次いで、ローラ駆動機構３２により搬送ローラ３０を駆動させ、表面検査部７０まで搬送して、▲２▼の位置で停止させる。この状態で、表面検査用の画像をエリアセンサカメラ７４により入力し、表面検査を開始する。
【００２９】
表面検査終了後、搬送ローラ３０を再び駆動させ、裏面検査部８０まで搬送して、丸数字３の位置で停止させる。このままでは、搬送ローラ３０がリングライト８２による斜光照明を妨害したり、エリアセンサカメラ８４の視野を妨害するので、ローラ退避機構５０を動作させ、図２乃至図４に矢印Ａで示した如く、搬送ローラ３０をパスラインより下げて、図５乃至図７で示す如く、ワーク支持部４０によりワーク１０が支持されるようにすると共に、外側にも十分逃して、リングライト８２による斜光照明やエリアセンサカメラ８４の視野を遮ることがないようにする。この状態で、裏面検査用の画像をエリアセンサカメラ８２により入力し、裏面検査を開始する。
【００３０】
裏面検査終了後、逆の手順で搬送可能な状態まで復帰し、搬送ローラ３０を再び駆動して、その出口（図１の右端）までワーク１０を搬送する。搬送されたワーク１０を、検査結果に基づいて、矢印▲４▼に示す如く、アンローダハンド６４により、良品１２と不良品１４に仕分ける。
【００３１】
本実施形態においては、ローラ駆動機構３２により搬送ローラ３０自体を駆動することにより、ワーク１０を搬送していたが、ワーク１０を搬送する方法は、これに限定されず、図９に示す第２実施形態のように、矢印Ｂに示す如く、リニアガイド９２により駆動される搬送アーム９４を用いて、ワーク１０を後方から押したり、又は、前方から引張る等の機構を設けて、ワーク１０の自重で搬送ローラ３０が回転するようにしてもよい。図９において、３４は、搬送ローラ３０を回転自在に支持する、一対のローラホルダ、９６は、検査位置でワーク１０を位置決めするための、矢印Ｃ方向に上下動可能な可動ストッパである。
【００３２】
又、図１０に示す第３実施形態のように、搬送中のワーク１０の左右方向への蛇行を防ぐため、パスラインの両側にガイドレール１２０を設けてもよい。このガイドレール１２０は、ワーク１０とガイドレール１２０の接触に起因する疵や塵の発生等を防止するため、図１０に示したように、搬送ローラと同様のローラ１２２を９０°回転させたものを使用してもよい。なお、ガイドレールの構成は、これに限定されず、例えば板状のガイドレールを用いることも可能である。
【００３３】
この第３実施形態におけるワーク搬送時の搬送ローラ３０、ワーク支持部４０、ガイドレール１２０とワーク１０の関係を図１１に、検査時のこれらの関係を図１２に示す。図１２から明らかなように、検査時にはワーク１０が搬送位置よりやや下方のワーク支持部４０によって支えられる位置に移動するため、斜光照明を使用しても、搬送ローラ３０やガイドレール１２０が邪魔になることはない。この状態で、下面に配置したカメラ及び照明を使用して、検査のための画像を入力した後、逆の手順で搬送可能な状態迄、復帰し、検査位置より移動させる。
【００３４】
なお、前記実施形態においては、いずれも、搬送ローラ３０をまず下方に移動し、次いで水平方向に移動することによって退避させていたが、搬送ローラ３０を退避させる方法はこれに限定されず、図１３に示す第４実施形態のように、矢印Ｄで示す如く、９０°回転させて退避させたり、あるいは、ワーク支持部４０を上方に持ち上げてワーク１０を保持してから、搬送ローラ３０を外側に退避するようにしても良い。この場合には、搬送ローラ３０の移動方向が単純になる。
【００３５】
次に、本発明に係る第５実施形態の外観検査装置について説明する。本実施形態の外観検査装置は、基本構成が前記図１に示した第１実施形態と同様であり、検査手段としてワーク（金属薄板）１０を下側から照明するリング照明（照明手段）８２と、該リング照明８２により照明されたワーク１０の裏面の画像を入力するエリアセンサカメラ（画像入力手段）８４とが備えられている裏面検査部８０において、後述するように前記搬送ローラ３０が照明を遮らなくなる位置を十分に越えた退避端まで移動（退避）可能になっており、上記エリアセンサカメラ８４が、前記搬送ローラ３０が照明を遮らない位置に移動した後、リミット位置である退避端に到達する前のタイミングで、前記ワーク１０の裏面の画像を入力するようになっている。
【００３６】
図１４には、前記第１実施形態の場合の図４と同様に、ワーク搬送時の裏面検査部８０を正面から見た状態を示した。本実施形態では、裏面検査部８０の近傍に対向して配置された２列の搬送ローラ３０を、それぞれ照明を遮らない位置に退避させるローラ退避機構５０として、該搬送ローラ３０をワーク１０の搬送位置から下降させる上下用エアシリンダ１３０と、該エアシリンダ１３０を下降位置から後退させる前後用エアシリンダ１４０とを備えている。このエアシリンダ１４０は、装置本体（ベース部）１５０に固定され、シリンダロッド１４０Ａの先端が上記上下用エアシリンダ１３０に接続され、図１５に示したように、搬送ローラ３０を下降させてワーク１０をワーク支持部４０により支持させた後に、該エアシリンダ１３０を退避端まで後退させるようになっている。
【００３７】
本実施形態では、又、一方のローラ退避機構５０についてのみ、図１６に示したように、上記エアシリンダ１３０が図１４の搬送位置から図１５のリミット位置１５０Ａに到達するまでの間で、搬送ローラ３０が前記リング照明８２による照明光を遮らなくなる位置に該エアシリンダ１３０が達したことを検知する光電スイッチからなるセンサ（検出手段）１５２が設置されている。そして、このセンサ１５２によりエアシリンダ１３０の到達が検出されると、その検出信号をトリガにして前記エリアセンサカメラ８４を起動させ、前記ワーク１０の裏面の画像を入力するようになっている。
【００３８】
図１７は、前記第１実施形態の図８に相当するブロック図であり、本実施形態の外観検査装置全体を示したブロック図であり、裏面検査部８０において、ローラ退避機構５０に含まれる前記センサ１５２から入力される検出信号に基づいて、画像入力部８６で画像入力するタイミングを、前記のように制御する撮像タイミング制御部１５４が付設されているようにした以外は、前記第１実施形態の場合と実質的に同一である。
【００３９】
本実施形態においては、図１８に、搬送ローラ３０、ローラ駆動機構３２及び上下用エアシリンダ１３０と、前後用エアシリンダ１４０との関係を概念的に示したように、前記ローラ退避機構５０を構成する前後用エアシリンダ１４０のシリンダロッドを長くして、ストロークを十分にとるようにしているので、Ａのワーク搬送位置から、下降させた搬送ローラ３０を後退させ、その後前記センサ１５２により上下用エアシリンダ１３０が検出されると同時に、前記エリアセンサカメラ８６により撮像（画像入力）する制御を行なうことができる。その結果、、ワーク１０の裏面画像を撮像するタイミングを、裏面の照明を遮らない位置Ｂと、前記リミット位置１５０Ａに相当するエアシリンダ１４０のリミット位置Ｃとの間、即ち搬送ローラ３０が十分に開いて照明を遮らない位置にあり、且つローラ退避機構５０が完全に後退し切らない（開き切らない）範囲で画像を撮像することが可能となる。
【００４０】
従って、前後用エアシリンダ１４０により後退される上下用エアシリンダ１３０が、リミット位置１５０Ａに衝突する前に、検査画像を入力することができるので、本実施形態のようにワーク支持部４０がエアシリンダ１４０等が固定されている装置本体１５０に固定されている場合でも、衝突に伴う振動がワーク支持部４０に発生する前に撮像することができるため、ブレの無い検査画像を安定して入力することが可能となる。
【００４１】
今、ローラ退避機構５０が前記図１８のＢの位置までしか搬送ローラ３０を退避できないとすると、ワーク支持部４０が装置本体１５０から独立した構造になっていれば問題はないが、本実施形態のように装置本体１５０に固定されている場合には、搬送ローラ３０が開き切る際、エアシリンダの片側のリミットにあたるために振動が発生し、該振動により入力画像にブレが生じることになる。従って、この場合は、振動が収まるのを待って撮像することになるため、検査結果がでるまでの所要時間であるタクトタイムが増加することになる。
【００４２】
従って、本実施形態によれば、撮像時にはワーク支持部４０にエアシリンダ１４０による上記振動が発生しないため、該支持部４０が装置本体１５０から独立している場合と同様に、タクトタイムに影響を受けることなく、ブレの無い画像を撮像することが可能となる。
【００４３】
又、図１９にワーク搬送から次のワーク搬送までのタイムチャートを本発明と比較例について示したように、ワーク支持部４０が装置本体１５０から独立した構造になっていないにも拘わらず、前記振動が収まるまで搬送ローラ３０を開き切った状態を保持する必要がなくなるため、それが必要である比較例の場合に比べるとタクトタイムを短縮させる効果もある。
【００４４】
なお、前記実施形態においては、リングライトによる斜光照明が用いられていたが、照明の種類はこれに限定されず、透過照明や落射照明を用いることもできる。
【００４５】
又、前記実施形態においては、本発明が、集積回路のリードフレームの外観検査装置に適用されていたが、本発明の適用対象はこれに限定されず、リードフレーム以外の他の金属薄板の検査装置にも同様に適用できることは言うまでもない。
【００４６】
又、流体駆動シリンダ（ローラ退避手段）としてエアシリンダを示したが、油圧シリンダ等であってもよい。
【００４７】
【発明の効果】
本発明によれば、検査時に、搬送ローラの代わりにワーク支持部で金属薄板を支持するので、裏面検査時の不感帯がベルト搬送の場合に比べて大幅に減小する。
【００４８】
又、検査用の照明として裏面側からの斜光照明を使用した場合でも、搬送機構が照明を遮ることがない。
【００４９】
又、転がり摩擦を利用することで、すべり摩擦に比べ、発塵を抑えることが可能となる。
【００５０】
又、画像入力手段が、前記ローラ退避手段により搬送ローラが照明を遮らない位置に移動された後、退避端に到達する前のタイミングで、前記金属薄板の裏面の画像を入力する場合には、ローラ退避手段が退避端に衝突することによってワーク支持部に振動が発生する構造であっても、ブレのない検査画像を確実に入力することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が採用された第１実施形態のリードフレームの外観検査装置の全体構成を示す側面図
【図２】前記第１実施形態のワーク支持部及び搬送ローラのワーク搬送中の状態を示す平面図
【図３】同じく正面図
【図４】同じく側面図
【図５】前記ワーク支持部及び搬送ローラのワーク検査時の状態を示す平面図
【図６】同じく正面図
【図７】同じく側面図
【図８】第１実施形態の全体構成を示すブロック線図
【図９】本発明の第２実施形態における、ワーク支持部及び搬送ローラのワーク搬送中の状態を示す正面図
【図１０】本発明の第３実施形態におけるガイドレールの配置を示す平面図
【図１１】前記第３実施形態のワーク搬送中の状態における、搬送ローラ、ワーク支持部及びガイドレールとワークの関係を示す側面図
【図１２】同じく検査時の状態における、搬送ローラ、ワーク支持部及びガイドレールとワークの関係を示す側面図
【図１３】本発明の第４実施形態における、搬送ローラの退避方法を示す側面図
【図１４】搬送状態にある第５実施形態の外観検査装置の要部を示す側面図
【図１５】退避状態にある同外観検査装置の要部を示す側面図
【図１６】第５実施形態におけるローラ退避機構とセンサとの位置関係を示す側面図
【図１７】第５実施形態の全体構成を示すブロック図
【図１８】第５実施形態の作用を示す説明図
【図１９】第５実施形態の効果を示す説明図
【図２０】ワークの両サイドのみを下から支持する駆動ベルトを用いた、従来の搬送方法の一例を示す斜視図
【図２１】ワークの両サイドのみを上下から挟持する駆動ベルトを用いた、従来の搬送方法の他の例を示す斜視図
【符号の説明】
１０…ワーク
２８…搬送機構
３０…搬送ローラ
３２…ローラ駆動機構
３４…ローラホルダ
４０…ワーク支持部
４２…歯
５０…ローラ退避機構
７０…表面検査部
７４、８４…エリアセンサカメラ
７６、８６…画像入力部
７８、８８…画像処理部
８０…裏面検査部
９０…制御部
９２…リニアガイド
９４…搬送アーム
９６…ストッパ
１２０…ガイドレール
１３０…上下用エアシリンダ
１４０…前後用エアシリンダ
１４０Ａ…シリンダロッド
１５０…装置本体
１５２Ａ…リミット位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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