(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＴＣＰ（１）が複数連接されたＴＣＰテープ（Ｘ）を順次間欠送りしつつ各ＴＣＰ（１）のテストパッド（１ｂ）を半導体集積回路試験装置の測定ピンに順次接触接続させて各ＴＣＰ（１）を半導体集積回路試験装置による試験に順次供するＴＣＰ用ハンドラであって、
ＴＣＰテープ（Ｘ）の供給側に設けられ、ＴＣＰ（１）上のＩＣチップ（１ｃ）の存在を検出する供給側ＩＣチップ検出装置（１１）と、
ＴＣＰテープ（Ｘ）の収容側に設けられ、ＴＣＰ（１）上のＩＣチップ（１ｃ）の存在を検出する収容側ＩＣチップ検出装置（１２）と、
ＴＣＰテープ（Ｘ）を供給側から収容側に移送した場合に前記収容側ＩＣチップ検出装置（１２）でＩＣチップ（１ｃ）が検出されると、ＴＣＰテープ（Ｘ）を収容側から供給側に移送し、この際に所定の判定値Ｈ以上連続してＩＣチップ（１ｃ）が前記収容側ＩＣチップ検出装置（１２）で検出されないときに、前記収容側ＩＣチップ検出装置（１２）で検出されたＩＣチップ（１ｃ）のＴＣＰ（１）をＴＣＰテープ（Ｘ）上で先頭に位置する先頭ＴＣＰと判断する判定手段（１３）とから構成され、前記接触接続に先立って、先頭ＴＣＰを自動検出する先頭ＴＣＰ検出手段を具備し、
前記判定値Ｈは、ＴＣＰテープ（Ｘ）上にＴＣＰ（１）の欠落がないとした場合に前記供給側ＩＣチップ検出装置（１１）と前記収容側ＩＣチップ検出装置（１２）との間に存在し得るＴＣＰ（１）の個数であることを特徴とするＴＣＰ用ハンドラ。
【請求項２】
供給側ＩＣチップ検出装置（１１）は、試験に供されるＴＣＰ（１）上のＩＣチップ（１ｃ）の存在を検出するためにＴＣＰテープ（Ｘ）の供給側に設けられたものであり、収容側ＩＣチップ検出装置（１２）は、試験結果に基づいて不良のＴＣＰ（１）を除去する分類装置（４）の動作を確認するためにＴＣＰテープ（Ｘ）の収容側に設けられたものであることを特徴とする請求項１記載のＴＣＰ用ハンドラ。
【請求項３】
ＴＣＰ（１）が複数連接されたＴＣＰテープ（Ｘ）を順次間欠送りしつつ各ＴＣＰ（１）のテストパッド（１ｂ）を半導体集積回路試験装置の測定ピンに順次接触接続させて各ＴＣＰ（１）を半導体集積回路試験装置による試験に順次供するＴＣＰ用ハンドラにおける先頭ＴＣＰの検出方法であって、
ＴＣＰテープ（Ｘ）を供給側から収容側に移送した場合に、収容側に設けられた収容側ＩＣチップ検出装置（１２）でＴＣＰ（１）上のＩＣチップ（１ｃ）が検出されると、ＴＣＰテープ（Ｘ）を収容側から供給側に移送し、この際にＴＣＰテープ（Ｘ）上にＴＣＰ（１）の欠落がないとして供給側に設けられた供給側ＩＣチップ検出装置（１１）と前記収容側ＩＣチップ検出装置（１２）との間に存在し得るＴＣＰ（１）の個数以上連続してＩＣチップ（１ｃ）が検出されないときに、先に検出されたＩＣチップ（１ｃ）のＴＣＰ（１）を先頭ＴＣＰと判断することを特徴とする先頭ＴＣＰ検出方法。
【請求項４】
供給側ＩＣチップ検出装置（１１）として、ＴＣＰ（１）上のＩＣチップ（１ｃ）の存在を検出するために供給側に設けられたものを用い、収容側ＩＣチップ検出装置（１２）として、不良のＴＣＰ（１）を除去する分類装置（４）の動作を確認するために収容側に設けられたものを用いることを特徴とする請求項３記載の先頭ＴＣＰ検出方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数のＴＣＰ（tape carrier package）がテープ状に連接されたＴＣＰテープを順次間欠移送して試験に供すると共に試験結果に応じて各ＴＣＰを分類するＴＣＰ用ハンドラ及び先頭ＴＣＰ検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知のようにＴＣＰは、ＴＡＢ（tape automated bonding）技術を用いることによりフィルム上にＩＣチップを実装したものであり、実際にプリント基板に搭載される前の搬送段階では、複数が連接されたテープ形態となっている。図３は、このようなテープ形態のＴＣＰ（以下、ＴＣＰテープという。）の正面図である。ＴＣＰテープＸは、複数連接されたＴＣＰ１の両側に帯状の移送補助部１Ａが設けられている。各ＴＣＰ１には、フィルム基板１ａの周縁に複数のテストパッド１ｂが形成されると共にその中心にＩＣチップ１ｃが配置され、各テストパッド１ｂとＩＣチップ１ｃ上の各パッドとがエッチング形成されたリード線１ｄによって相互接続されている。また、移送補助部１Ａは、上記フィルム基板１ａと同様のフィルムから構成されており、ＴＣＰテープＸを長手方向に順次移送するためのスプロケット孔１ｅが一定間隔で形成されている。
【０００３】
このようなＴＣＰテープＸは、専用のＴＣＰ用ハンドラ（ＴＡＢハンドラとも言う。）によって長手方向に順次間欠送りされつつ、各ＴＣＰ１のテストパッド１ｂが半導体集積回路試験装置（通称、ＩＣテスタ）の測定ピンに順次接触接続されて機能試験が行われる。また、上記ＴＣＰ用ハンドラには、ＩＣテスタによる試験結果に応じて各ＴＣＰ１を分類する分類装置が設けられている。この分類装置は、不良品と判定されたＴＣＰ１のみをパンチングによりＴＣＰテープＸから分離・除去するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ＴＣＰテープＸ上の各ＴＣＰ１をＴＣＰ用ハンドラで移送してＩＣテスタで試験する場合、ＴＣＰテープＸ上で試験対象となる最初のＴＣＰ（先頭ＴＣＰ）を指定する必要がある。従来では、作業者が先頭ＴＣＰを決め、そのＴＣＰ１をＴＣＰ用ハンドラが指定する位置までマニアル操作にて搬送して試験を開始することによりＴＣＰ用ハンドラに先頭ＴＣＰを認識させている。
【０００５】
しかしながら、このような先頭ＴＣＰの指定方式は、作業者の操作と確認に基づいているため作業ミスにより誤った先頭ＴＣＰをＴＣＰ用ハンドラに認識させてしまう恐れがある。そして、このような事態が発生した場合、未試験、未分類のＴＣＰがＴＣＰテープＸ上に残されるという問題点がある。
【０００６】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、ＴＣＰ用ハンドラが自動的に先頭ＴＣＰを認識することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、ＴＣＰ用ハンドラに係わる第１の手段として、ＴＣＰが複数連接されたＴＣＰテープを順次間欠送りしつつ各ＴＣＰのテストパッドを半導体集積回路試験装置の測定ピンに順次接触接続させて各ＴＣＰを半導体集積回路試験装置による試験に順次供するＴＣＰ用ハンドラであって、上記接触接続に先立って、ＴＣＰテープ上で先頭に位置する先頭ＴＣＰを自動検出する先頭ＴＣＰ検出手段を具備するという手段を採用する。
【０００８】
また、ＴＣＰ用ハンドラに係わる第２の手段として、上記第１の手段において、先頭ＴＣＰ検出手段は、所定位置においてＴＣＰテープ上のＴＣＰの存在を検出するＴＣＰ検出手段と、ＴＣＰテープを供給側から収容側に移送した場合にＴＣＰ検出手段においてＴＣＰが検出されると、その後、ＴＣＰテープを収容側から供給側に移送した場合に所定の判定値Ｈ以上連続してＴＣＰが検出されないときに、ＴＣＰ検出手段によって検出されたＴＣＰを先頭ＴＣＰと判断する判定手段とから構成されるという手段を採用する。
【０００９】
ＴＣＰ用ハンドラに係わる第３の手段として、上記第１または第２の手段において、ＴＣＰ検出手段は、試験結果に基づいて不良のＴＣＰをＴＣＰテープ上から除去する分別装置の動作を確認するために、各ＴＣＰにおけるＩＣチップの存在を検出する収容側ＩＣチップ検出装置であるという手段を採用する。
【００１０】
ＴＣＰ用ハンドラに係わる第４の手段として、上記第１〜第２いずれかの手段において、判定値Ｈは、ＴＣＰテープ上にＴＣＰの欠落がないとした場合に、試験に供されるＴＣＰ上のＩＣチップの存在を検出する供給側ＩＣチップ検出装置と試験結果に基づいて不良のＴＣＰを除去する分別装置の動作を確認するために各ＴＣＰにおけるＩＣチップの存在を検出する収容側ＩＣチップ検出装置との間に存在し得るＴＣＰの個数であるという手段を採用する。
【００１１】
一方、本発明では、先頭ＴＣＰ検出方法に係わる第１の手段として、ＴＣＰテープを供給側から収容側に移送した場合にＴＣＰが検出されると、その後、ＴＣＰテープを収容側から供給側に移送した場合に所定の判定値Ｈ以上連続してＴＣＰが検出されないときに、先に検出されたＴＣＰを先頭ＴＣＰと判断するという手段を採用する。
【００１２】
また、先頭ＴＣＰ検出方法に係わる第２の手段として、上記第１の手段において、判定値Ｈは、ＴＣＰテープ上にＴＣＰの欠落がないとした場合に、試験に供されるＴＣＰ上のＩＣチップの存在を検出する供給側ＩＣチップ検出装置と試験結果に基づいて不良のＴＣＰを除去する分別装置の動作を確認するために各ＴＣＰにおけるＩＣチップの存在を検出する収容側ＩＣチップ検出装置との間に存在し得るＴＣＰの個数であるという手段を採用する。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明に係わるＴＣＰ用ハンドラ及び先頭ＴＣＰ検出方法の一実施形態について説明する。
【００１４】
図１は、本実施形態に係わるＴＣＰ用ハンドラの要部構成図である。この図１において、符号ＸはＴＣＰテープ、２Ａは供給リール、２Ｂは収容リール、３はプッシャ、４は分類装置、５は供給側テンションガイド、６は収容側テンションガイド、７は供給側サブスプロケット、８は収容側サブスプロケット、９は供給側メインスプロケット、１０は収容側メインスプロケット、１１は供給側ＩＣチップ検出装置、１２は収容側ＩＣチップ検出装置（ＴＣＰ検出手段）、１３は演算装置（判定手段）、１４は入力装置である。これら各構成要素のうち、収容側ＩＣチップ検出装置１２及び演算装置１３は、本実施形態における先頭ＴＣＰ検出手段を構成している。
【００１５】
ＴＣＰテープＸは、図３で既に説明したＴＣＰテープＸと同一であり、複数のＴＣＰ１を連接してテープ状にしたものである。また、このＴＣＰテープＸの先端部及び後端部には、所定長さのリーダテープがそれぞれ装着されている。さらに、ＴＣＰテープＸ上にはＴＣＰ１が連続して存在する訳ではなく、前工程の試験等によって不良判定されたＴＣＰ１はパンチングにより除去されている。
【００１６】
供給リール２Ａは、ＴＣＰテープＸを巻取収納すると共に、回動することによりＴＣＰテープＸを先端から順次送り出す。収容リール２Ｂは、上記供給リール２Ａから送り出されると共に試験が終了したＴＣＰテープＸを順次巻き取る。すなわち、ＴＣＰテープＸの試験時における移送方向（試験時移送方向Ａ）は、供給リール２Ａから順時送り出されて収容リール２Ｂに巻き取られる方向、つまり供給側サブスプロケット７から収容側サブスプロケット８に向かう方向（紙面右方向）である。
【００１７】
プッシャ３は、ＴＣＰテープＸを押圧して各ＴＣＰ１のテストパッド１ｂをＩＣテスタの測定ピンに順次接触接続させる。各ＴＣＰ１は、テストパッド１ｂが測定ピンに接触接続した状態でＩＣテスタによって動作試験が行われる。分類装置４は、上記プッシャ３の後段に設けられ、試験の結果不良品と判定されたＴＣＰ１をパンチングによりＴＣＰテープＸから分離・除去する。
【００１８】
供給側テンションガイド５は、供給側ＩＣチップ検出装置１１と供給側メインスプロケット９との間に設けられ、上記プッシャ３によって押圧されるＴＣＰテープＸにバックテンションを付加する。収容側テンションガイド６は、収容側メインスプロケット１０と分類装置４との間に設けられ、上記プッシャ３によって押圧されるＴＣＰテープＸにフォワード方向のテンションを付加する。供給側サブスプロケット７は、供給リール２Ａから送り出されたＴＣＰテープＸを供給側メインスプロケット９に向けて送り出す。
【００１９】
収容側サブスプロケット８は、収容側メインスプロケット１０から送り出されたＴＣＰテープＸを収容リール２Ｂに向けて送り出す。供給側メインスプロケット９は、上記試験時移送方向Ａに対して当該ＴＣＰテープＸの供給側に設けられ、上記供給側サブスプロケット７から送り出されたＴＣＰテープＸを収容側メインスプロケット１０に向けて送り出す。収容側メインスプロケット１０は、上記試験時移送方向Ａに対して当該ＴＣＰテープＸの収容側に設けられ、上記供給側サブスプロケット７から送り出されたＴＣＰテープＸを収容側メインスプロケット１０に向けて送り出す。
【００２０】
供給側ＩＣチップ検出装置１１は、供給側サブスプロケット７と供給側テンションガイド５との間に設けられ、各ＴＣＰ１のＩＣチップ１ｃの有無を検出し、その検出結果を演算装置１３に出力する。収容側ＩＣチップ検出装置１２は、分類装置４と収容側サブスプロケット８との間に設けられ、各ＴＣＰ１のＩＣチップ１ｃの有無、つまり分類装置４によって不良なＴＣＰ１が除去された後のＴＣＰテープＸ上のＩＣチップ１ｃの有無を検出し、その検出結果を演算装置１３に出力する。
【００２１】
演算装置１３は、所定の制御プログラムに基づいて上記供給側メインスプロケット９や収容側メインスプロケット１０等の各稼働部の動作を制御する。また、この演算装置１３は、本実施形態の特徴である先頭ＴＣＰの検出処理をも行うものである。入力装置１４は、上記制御プログラムの実行に必要な各種操作情報を演算装置１３に入力するためのものである。
【００２２】
次に、このように構成された本ＴＣＰ用ハンドラの動作について、図２を参照して説明する。
【００２３】
まず最初に、試験に先立ってＴＣＰテープＸの架け回し作業が手作業によって行われる。この架け回し作業では、供給リール２Ａから引き出されたＴＣＰテープ先端のリーダテープが図１に示すような既定経路を経由して収容リール２Ｂに架け回される。リーダテープは、先端部が収容リール２Ｂに粘着固定され、さらに所定長さだけ収容リール２Ｂに巻き取られた状態とされる。
【００２４】
このような架け回し作業が完了した状態で、ＴＣＰテープＸ上の各ＴＣＰ１の動作試験がＴＣＰテープＸの間欠巻き取りと共に順次行われるが、本実施形態ではこのような試験動作の前処理として、図２に示す先頭ＴＣＰの検出処理が行われる。
【００２５】
すなわち、演算装置１３は、処理を開始すると、収容側にＩＣチップ１ｃがあるか、つまり収容側ＩＣチップ検出装置１２がＩＣチップ１ｃを検出しているか否かを判断する（ステップＳ1）。そして、この判断が「Ｙｅｓ」の場合、つまり収容側ＩＣチップ検出装置１２がＩＣチップ１ｃを検出している場合は、自らの内部に設定した連続ＩＣチップ無カウンタのカウント値をクリアして「０」に設定し（ステップＳ2）、一方、上記判断が「Ｎｏ」の場合には、ＴＣＰテープＸを収容方向に１ＴＣＰ分だけ移送させ（ステップＳ3）、さらにステップＳ1の判断処理を繰り返す。
【００２６】
演算装置１３は、ステップＳ2の処理が終了すると、ＴＣＰテープＸを供給方向に１ＴＣＰ分だけ移送させ（ステップＳ4）、さらに収容側ＩＣチップ検出装置１２がＩＣチップ１ｃを検出していないか否かを判断する（ステップＳ5）。そして、この判断が「Ｎｏ」の場合、つまり収容側ＩＣチップ検出装置１２がＩＣチップ１ｃを検出した場合は、上記ステップＳ2の処理を繰り返して、連続ＩＣチップ無カウンタのカウント値をクリアする。
【００２７】
上記ステップＳ1〜Ｓ5に係わる一連処理により、収容側ＩＣチップ検出装置１２において収容方向にＩＣチップ１ｃ（すなわちＴＣＰ１）が検出される度に、連続ＩＣチップ無カウンタのカウント値は、「０」にクリアされる。ここで、収容側ＩＣチップ検出装置１２によって検出されたＩＣチップ１ｃ（すなわちＴＣＰ１）は、先頭ＴＣＰの候補であり、以下のステップＳ6，Ｓ7に係わる処理によってこの候補を先頭ＴＣＰと認定するか否かが連続ＩＣチップ無カウンタのカウント値に基づいて決定される。
【００２８】
すなわち、演算装置１３は、ステップＳ5の判断が「Ｙｅｓ」の場合には、連続ＩＣチップ無カウンタのカウント値をカウントアップして「１」とし（ステップＳ6）、さらにこのようにカウントアップされたカウント値が予め記憶された判定値以上か否かを判断する（ステップＳ7）。そして、この判断が「Ｎｏ」の場合は、上記ステップＳ4以下の処理を繰り返すことにより、ＴＣＰテープＸを供給方向に順次移送してＴＣＰ１が連続的に検出されない個数を連続ＩＣチップ無カウンタのカウント値として計数する。
【００２９】
そして、このカウント値が判定値以上となり、ステップＳ7の判断が「Ｙｅｓ」となり、全ての処理が終了する。この場合、カウント値の基準となったＴＣＰ１が先頭ＴＣＰとして最終的に判定される。
【００３０】
なお、本実施形態では、ＴＣＰテープＸ上にＴＣＰ１の欠落がないとした場合における供給側ＩＣチップ検出装置１１と収容側ＩＣチップ検出装置１２との間に存在し得るＴＣＰ１の個数を判定値としたが、このような判定値の設定は、上記個数分ＩＣチップ１ｃがない状態は通常では起こり得ないという判断に基づくものである。
【００３１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、先頭ＴＣＰを自動検出する先頭ＴＣＰ検出手段を具備するので、従来のように誤った先頭ＴＣＰをＴＣＰ用ハンドラに認識させてしまう恐れがなくなり、したがって未試験、未分類のＴＣＰがＴＣＰテープＸ上に残されるという事態を解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態に係わるＴＣＰ用ハンドラの要部構成図である。
【図２】  本発明の一実施形態に係わるＴＣＰ用ハンドラの先頭ＴＣＰ検出処理を示すフローチャートである。
【図３】  本発明及び従来のＴＣＰテープの構成図である。
【符号の説明】
Ｘ……ＴＣＰテープ
１……ＴＣＰ
１ａ……フィルム基板
１ｂ……テストパッド
１ｃ……ＩＣチップ
１ｄ……リード線
１ｅ……スプロケット孔
１Ａ……移送補助部
２Ａ……供給リール
２Ｂ……収容リール
３……プッシャ
４……分類装置
５……供給側テンションガイド
６……収容側テンションガイド
７……供給側サブスプロケット
８……収容側サブスプロケット
９……供給側メインスプロケット
１０……収容側メインスプロケット
１１……供給側ＩＣチップ検出装置
１２……収容側ＩＣチップ検出装置（ＴＣＰ検出手段）
１３……演算装置（判定手段）
１４……入力装置
【図１】
0004089193.tif 000002
【図２】
0004089193.tif 000003
【図３】
0004089193.tif 000004