(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物に光を照射する光源と、
被測定物の情報を有する光からスペクトルを検出するスペクトル検出手段と、
測定結果を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された測定結果を表示する表示手段と、
を備える顕微分光光度計において、
被測定物像を画像データとして取り込む画像取り込み手段を備え、
前記画像取り込み手段によって取り込まれた被測定物画像を前記記憶手段に記憶させ、
前記記憶手段に記憶された画像データを読み出すことで、被測定物画像を前記表示手段に再生可能であり、
被測定物の時間経過に対する変化、または被測定物を取り巻く環境の変化に対する被測定物の変化を測定する経時変化測定を行うときは、スペクトルデータと画像データを記憶手段に記憶する際に、測定開始時からの経過時間あるいは、被測定試料の外部環境の一つあるいはそれ以上のパラメータを共通の指標とし、スペクトルデータと画像データを前記指標とそれぞれ対応させて記憶することを特徴とする画像データ採取顕微分光光度計。
【請求項２】
被測定物に光を照射する光源と、
被測定物の情報を有する光からスペクトルを検出するスペクトル検出手段と、
測定結果を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された測定結果を表示する表示手段と、
を備える顕微分光光度計において、
被測定物像を画像データとして取り込む画像取り込み手段を備え、
前記画像取り込み手段によって取り込まれた被測定物画像を前記記憶手段に記憶させ、
前記記憶手段に記憶された画像データを読み出すことで、被測定物画像を前記表示手段に再生可能であり、
被測定物の時間経過に対する変化、または被測定物を取り巻く環境の変化に対する被測定物の変化を測定する経時変化測定を行うときは、スペクトルデータと画像データを記憶手段に記憶する際に、同時採取したスペクトルデータと画像データをセットにして記憶することを特徴とする画像データ採取顕微分光光度計。
【請求項３】
被測定物に光を照射する光源と、
被測定物の情報を有する光からスペクトルを検出するスペクトル検出手段と、
測定結果を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された測定結果を表示する表示手段と、
を備える顕微分光光度計において、
被測定物像を画像データとして取り込む画像取り込み手段を備え、
前記画像取り込み手段によって取り込まれた被測定物画像を前記記憶手段に記憶させ、
前記記憶手段に記憶された画像データを読み出すことで、被測定物画像を前記表示手段に再生可能であり、
被測定物の時間経過に対する変化、または被測定物を取り巻く環境の変化に対する被測定物の変化を測定する経時変化測定を行うときは、スペクトルデータと画像データを記憶手段に記憶する際に、採取した順番にスペクトルデータと画像データを記憶することを特徴とする画像データ採取顕微分光光度計。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の画像データ採取顕微分光光度計において、
表示手段に測定結果を表示する際には、スペクトルデータと画像データを採取された順番に重ねて表示して行くことで被測定物の変化の様子を動画として表示することを特徴とする画像データ採取顕微分光光度計。
【請求項５】
被測定物に光を照射する光源と、
被測定物の情報を有する光からスペクトルを検出するスペクトル検出手段と、
測定結果を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された測定結果を表示する表示手段と、
を備える顕微分光光度計において、
被測定物像を画像データとして取り込む画像取り込み手段を備え、
前記画像取り込み手段によって取り込まれた被測定物画像を前記記憶手段に記憶させ、
前記記憶手段に記憶された画像データを読み出すことで、被測定物画像を前記表示手段に再生可能であり、
表示手段に測定結果を表示する際には、スペクトルデータと画像データを採取された順番に重ねて表示して行くことで被測定物の変化の様子を動画として表示することを特徴とする画像データ採取顕微分光光度計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光学的手段により被測定物の特性を解析し得る顕微分光光度計、特に顕微分光光度計による被測定物画像のデータ取り込みの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
顕微分光光度計は、通常の分光光度計で測定できない微量、微小な試料のスペクトル測定が可能であり、顕微分光光度計として一般的な顕微赤外分光光度計では、空間分解能が１０μｍ、試料サイズが１０μｍ程度まで絞ることが可能である。
【０００３】
また試料の非破壊、非接触測定が可能であること、測定部位の確認ができること、サンプリングが容易であること、個体だけでなく溶液の測定も可能であることなどの特徴を有する。このためフィルムや塗膜、ゴム中の異物、ガリウムヒ素上付着物、シリコンウェハー中の不純物、マイクロスイッチ付着物、細胞、生体試料、岩石や隕石の鉱物の解析など、高分子材料分野、無機材料分野、電気・電子材料分野、医療分野、学術分野など様々な分野で応用されている。
【０００４】
このような顕微分光光度計は、被測定物を顕微鏡で目視し、その測定部位を調節した後に、不可視領域の光を被測定物に照射してスペクトル測定を行い、そのスペクトルから被測定物の特性を解析するものであった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし顕微分光光度計では、顕微鏡によって測定部位を調節する際、被測定物像を目視確認しているにも関わらず、測定によってデータ採取されるのは、被測定物のスペクトルデータのみであって被測定物像をデータとして採取し得る装置は存在しなかった。
【０００６】
このため被測定物の相転移の様子を測定した場合などにおいては、測定開始前の被測定物像と測定終了後の被測定物像しか見ることができず、相転移により被測定物像も大きく変化しているにも関わらず、わずかな時間や、温度変化で微妙に変化している被測定物像やその変化して行く様子を見ることができなかった。さらに測定開始前の被測定物像と測定終了後の被測定物像を目で見ることや写真として残しておくことはできても、スペクトルデータ採取時の被測定物画像データは残しておくことができず、測定終了後に改めてスペクトルデータを見直すことはできても被測定物像を見直すことはできなかった。
【０００７】
また顕微分光光度計は、スペクトルデータを採取する際、不可視領域の光によって行なうのが一般的であり、そのまま映像として取り込むことはできないという問題があった。そのため可視領域の光を被測定物に照射したとしても、可視領域の光を不可視領域の光と一緒に被測定物に照射して測定するとスペクトルを検出する検出器に可視光が入り、スペクトル測定結果が正しく得られなかったり、ノイズがのってしまうという問題があった。
このためスペクトル測定と被測定物像の取り込みを同時に行うには、従来の顕微分光光度計の光学系を改良する必要があった。
【０００８】
本発明は前記課題に鑑み為されたものであり、被測定物のスペクトルデータと共に、被測定物像のデータを採取し得る顕微分光光度計を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明にかかる顕微分光光度計は、被測定物に光を照射する光源と、被測定物の情報を有する光からスペクトルを検出するスペクトル検出手段と、測定結果を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された測定結果を表示する表示手段と、を備える顕微分光光度計において、被測定物像を画像データとして取り込む画像取り込み手段を備え、前記画像取り込み手段によって取り込まれた被測定物画像を前記記憶手段に記憶させ、前記記憶手段に記憶された画像データを読み出すことで、被測定物画像を前記表示手段に再生可能であることを特徴とする。
また、本発明にかかる顕微分光光度計において、光源から被測定物に照射する光を可視領域の光と不可視領域の光に切り替え可能な切替手段を備え、被測定物のスペクトルデータを採取する際には光源から不可視領域の光を照射し、被測定物画像データを取り込む際には可視領域の光を照射することでスペクトルデータと画像データを採取することが好適である。
【００１０】
また、本発明にかかる顕微分光光度計において、光源から被測定物に可視領域と不可視領域の光を同時に照射し、前記スペクトル検出手段に可視領域の光が入射することを防止する可視光入射防止手段を設けることで被測定物のスペクトルデータ採取と画像データ採取を同時に行なうことが好適である。
また、本発明にかかる顕微分光光度計において、可視光入射防止手段が可視領域の光を遮断するフィルターであることが好適である。
また、本発明にかかる顕微分光光度計において、可視光入射防止手段が可視領域の光を透過し、不可視領域の光を反射するビームスピリッタまたは、不可視領域の光を透過し、可視領域の光を反射するビームスピリッタからなることが好適である。
また、本発明にかかる顕微分光光度計において、光源から被測定物に照射される光は、不可視領域の光を用い、前記画像取り込み手段として、不可視領域の光による被測定物像の画像データを取り込み得るＣＣＤを用いることが好適である。
【００１１】
また、本発明にかかる顕微分光光度計において、被測定物の時間経過に対する変化、または被測定物を取り巻く環境の変化に対する被測定物の変化を測定する経時変化測定を行うときは、スペクトルデータと画像データを記憶手段に記憶する際に、測定開始時からの経過時間あるいは、被測定試料の外部環境の一つあるいはそれ以上のパラメータを共通の指標とし、スペクトルデータと画像データを前記指標とそれぞれ対応させて記憶することが好適である。
また、本発明にかかる顕微分光光度計において、被測定物の時間経過に対する変化、または被測定物を取り巻く環境の変化に対する被測定物の変化を測定する経時変化測定を行うときは、スペクトルデータと画像データを記憶手段に記憶する際に、同時採取したスペクトルデータと画像データをセットにして記憶することが好適である。
【００１２】
また、本発明にかかる顕微分光光度計において、被測定物の時間経過に対する変化、または被測定物を取り巻く環境の変化に対する被測定物の変化を測定する経時変化測定を行うときは、スペクトルデータと画像データを記憶手段に記憶する際に、採取した順番にスペクトルデータと画像データを記憶することが好適である。
また、本発明にかかる顕微分光光度計において、表示手段に測定結果を表示する際には、スペクトルデータと画像データを採取された順番に重ねて表示して行くことで被測定物の変化の様子を動画として表示することが好適である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明にかかる画像データ採取顕微分光光度計は、スペクトルデータと共に被測定物像の画像データを採取し得るものである。このため本発明にかかる顕微分光光度計は、被測定物の解析に際してスペクトルデータに、新たに被測定物の映像という情報を加えることでより詳しく被測定物を解析することが可能である。
【００１４】
以下、本発明の一実施形態を用いて、本発明にかかる顕微分光光度計を詳しく説明する。
第一実施形態
図１は本発明の画像データ採取顕微分光光度計の一実施形態にかかる装置概要図を示したものである。
同図に示すように、本発明における顕微分光光度計２は、被測定物に光を照射する光源４と、被測定物の情報を有する光からスペクトルを検出するスペクトル検出手段６と、測定結果を記憶する記憶手段８と、前記記憶手段８に記憶された測定結果を表示する表示手段１０と、被測定物像を画像データとして取り込む画像取り込み手段１２を備える。
【００１５】
本実施形態において顕微分光光度計２は、顕微赤外分光光度計であり、光源４には赤外線光源を、スペクトル検出手段６には水銀カドミウムテルル（ＭＣＴ）光検出器を、記憶手段８には分光光度計内に内蔵されるハードディスクを、表示手段１０にはＣＲＴを、画像取り込み手段１２にはＣＣＤカメラをそれぞれ使用している。なお本発明はこれらに限定されるものではない。
【００１６】
本発明において特徴的なことは、通常の顕微分光光度計のように被測定物のスペクトルデータが得られるのみでなく、被測定物像を画像データとして取り込む画像取り込み手段１２をそなえるため、画像取り込み手段１２によって取り込まれた被測定物画像を記憶手段８に記憶しておくことができ、測定後であっても記憶手段８に記憶された画像データを読み出すことで、被測定物画像を表示手段１０に再生し得ることである。
【００１７】
光源４を出射した赤外光は、透過／反射切替鏡１４、反射鏡１６、１８、２０、半透過鏡２２、ガセグレン鏡２４、２６により試料ステージ２８上に設置された被測定物に照射される。被測定物の透過赤外光を測定するには、透過／反射切替鏡１４によって下方に反射され、さらに反射鏡１８、２０によってガセグレン鏡２６へと反射され試料台２８上に載置された被測定物に下方から赤外光が照射され被測定物の透過赤外光を得ることができる。逆に透過／反射切替鏡１４によって上方に反射されたときは、反射鏡１６、半透過鏡２２によってガセグレン鏡２４へと反射され、赤外光は試料台２８上に載置された被測定物に上方から照射され、上方から赤外光を受けた被測定物からは反射赤外光を得ることができる。こうした透過赤外光や反射赤外光は、被測定物の情報を有しており、それをＭＣＴ検出器６で検出し、スペクトルを採取する。採取された被測定物のスペクトルデータは、Ａ／Ｄ変換器３０、ＣＰＵ３２を経由して記憶手段８であるハードディスクに記憶される。
【００１８】
本発明において特徴的なことは、被測定物のスペクトルデータと共に被測定物の画像データをデータとして記憶手段８に保存しておき、測定後であっても画像データの再生が可能であることである。しかし、光源４から照射される赤外光は、不可視領域の光であるからそのまま画像データを採取したのでは、表示手段に画像データを映し出しても被測定物像を見ることができない。
【００１９】
そこで本実施形態においては、光源４から出射される光を赤外光から可視光に切り替える切替スイッチ３４を備える。このように構成することによって、スペクトルデータを採取する際には、光源４から赤外光を出射させ、被測定物像の画像データを採取する際には、切替スイッチ３４により光源４から出射する光を赤外光から可視光に切り替えることで、目視できる画像データを採取することができる。
【００２０】
このような構成を持つ本実施形態は、被測定物の時間経過による変化、または温度変化による被測定物の変化など被測定物を取り巻く環境の様々なパラメータを変化させて被測定物の変化を測定する際においても、スペクトルデータと画像データを採取する時間的誤差は数秒〜十数秒以内とすることができ、ほぼ同時に採取することが可能となる。
また、被測定物のスペクトルデータを採取した後に、自動的に光源を不可視の光から可視光に切り替え画像データを採取するというように構成することも可能である。
【００２１】
この第一実施形態のように構成された本発明における顕微分光光度計は、被測定物のスペクトルデータを採取する際には、光源から不可視光のみが出射し、画像データを採取する際には可視光のみが出射するので、不可視光を検出する検出器に可視光が入射することが無く、正確なスペクトルデータを得ることができると共に、可視光によって被測定物の明瞭な画像データを得ることができる。
【００２２】
第二実施形態
図２には本発明における第二実施形態の概要図が示されている。同図において、第一実施形態の図１と対応するものは符号１００を加えて説明を省略する。
本実施形態における顕微分光光度計１０２の光源１０４からは、不可視光である赤外光と、可視光が同時に出射されている。このままであると被測定物のスペクトルデータをＭＣＴ検出器１０６で採取する際に、検出器に可視光が入射し正確なスペクトルデータを得ることができなくなってしまう。そのため検出器に可視光が入射することを防止する可視光入射防止手段として、本実施形態では、ＭＣＴ検出器１０６の前に可視領域の光を遮断しカットする可視光遮断フィルター１３６を備えている。
【００２３】
本実施形態においても前述の第一実施形態同様、光源１０４を出射した赤外光は、透過／反射切替鏡１１４、反射鏡１１６、１１８、１２０、半透過鏡１２２、ガセグレン鏡１２４、１２６により試料ステージ１２８上に設置された被測定物に照射される。被測定物の可視、赤外透過光を測定するには、透過／反射切替鏡１１４によって下方に反射され、さらに反射鏡１１８、１２０によってガセグレン鏡１２６へと反射され試料台１２８上に載置された被測定物に下方から赤外光が照射され被測定物の可視、赤外透過光を得ることができる。逆に透過／反射切替鏡１１４によって上方に反射されたときは、反射鏡１１６、半透過鏡１２２によってガセグレン鏡１２４へと反射され、可視、赤外光は試料台１２８上に載置された被測定物に上方から照射され、上方から可視、赤外光を受けた被測定物からは可視、赤外反射光を得ることができる。そして得られた透過赤外光または反射赤外光は、被測定物の情報を有している。
【００２４】
第一実施形態との違いは、このような透過赤外光または反射赤外光が可視光と共に得られる点である。被測定物の情報を有する可視、赤外光は、ビームスプリッタ１３８によって、スペクトルを採取するＭＣＴ検出器１０６と、被測定物像の画像データを採取するＣＣＤカメラ１１２に送られる光に分けられる。そしてＣＣＤカメラ１１２に送られた光は、被測定物像として採取される。ＭＣＴ検出器１０６へ送られた光からは可視光遮断フィルター１３６によって可視光がカットされ赤外光のみがＭＣＴ検出器１０６内に入射し、被測定物のスペクトルが採取される。採取された被測定物のスペクトルデータ、画像データは、Ａ／Ｄ変換器１３０、ＣＰＵ１３２を経由して記憶手段１０８であるハードディスクに記憶される。
【００２５】
本発明において特徴的なことは、被測定物のスペクトルデータと同時に被測定物の画像データを採取し、データとして記憶手段１０８に保存しておき、測定後であっても画像データの再生が可能なことである。そして本実施形態においては、光源１０４から赤外光、可視光を同時に出射し、ＭＣＴ検出器１０６に入射する光から可視光をカットするフィルターを使用することで、スペクトルデータと被測定物画像データを同時に採取可能としたことである。
【００２６】
このような構成を持つ本実施形態は、被測定物の時間経過による変化、または温度変化による被測定物の変化など被測定物を取り巻く環境の様々なパラメータを変化させて被測定物の変化を測定する際においても、スペクトルデータと画像データを採取する時間的誤差が無く、同時に採取することが可能なため、温度により相転移をする物質や時間経過によりその形態を変える物質などのスペクトルデータと共に画像データによって視覚的に被測定物の変化の様子をとらえることが可能となり、飛躍的に被測定物の情報量を増やすことが可能であると共に、そのデータに時間的ズレがないため正確な解析を行うことができる。
またＣＣＤカメラ１１２に送られた光には、可視、赤外両方の光が含まれているが赤外領域の光は目で見えないため、再生される被測定物画像は可視光による明瞭な被測定物画像として観察することができる。
【００２７】
第三実施形態
図３には本発明における第三実施形態の概要図が示されている。同図において、第一実施形態の図１と対応するものは符号２００を加えて説明を省略する。
本実施形態における顕微分光光度計２０２の光源２０４からは、第二実施形態同様、不可視光である赤外光と、可視光が同時に出射されている。
【００２８】
光源２０４を出射した可視、赤外光は、透過／反射切替鏡２１４、反射鏡２１６、２１８、２２０、半透過鏡２２２、ガセグレン鏡２２４、２２６により試料ステージ２２８上に設置された被測定物に照射される。被測定物の可視、赤外透過光を測定するには、透過／反射切替鏡２１４によって下方に反射され、さらに反射鏡２１８、２２０によってガセグレン鏡２２６へと反射され試料台２２８上に載置された被測定物に下方から可視、赤外光が照射され被測定物の可視、赤外透過光を得ることができる。逆に透過／反射切替鏡２１４によって上方に反射されたときは、反射鏡２１６、半透過鏡２２２によってガセグレン鏡２２４へと反射され、可視、赤外光は試料台２２８上に載置された被測定物に上方から照射され、上方から可視、赤外光を受けた被測定物からは可視、赤外反射光を得ることができる。そして得られた透過赤外光または反射赤外光は、被測定物の情報を有している。被測定物からの可視、赤外光は、ビームスプリッタ２２４によって、スペクトルを採取するＭＣＴ検出器２０６と、被測定物像の画像データを採取するＣＣＤカメラ２１２に送られる光に分けられる。そしてＣＣＤカメラ２１２は、被測定物像を採取し、ＭＣＴ検出器２０６は被測定物のスペクトルを採取する。採取された被測定物のスペクトルデータ、画像データは、Ａ／Ｄ変換器２３０、ＣＰＵ２３２を経由して記憶手段２０８であるハードディスクに記憶される。
【００２９】
本実施形態においては、スペクトルを採取するＭＣＴ検出器２０６と、被測定物像の画像データを採取するＣＣＤカメラ２１２に被測定物からの可視、赤外光を配光するビームスピリッタ２３８がＭＣＴ検出器に可視光が入射することを防止する可視光入射防止手段となっている。このビームスピリッタ２３８は可視光を反射し、赤外光を透過するものである。このため通常の光学系と構成的にあまり変更をする必要が無いという利点を持っている。
また第二実施形態と同様に、被測定物のスペクトルデータと同時に被測定物の画像データを採取してデータとして記憶手段２０８に保存しておき、測定後であっても画像データの再生が可能であり、光源２０４から赤外光、可視光を同時に出射し、スペクトルデータと被測定物画像データを同時に採取することも可能である。
【００３０】
よって、スペクトルデータと画像データを採取する時間的誤差が無く、同時に採取することで、飛躍的に被測定物の情報量を増やすことが可能であり、そのデータに時間的ズレがないため正確な解析を行うことができる。
また本実施形態においては、可視光を反射し、赤外光を透過するビームスピリッタを使用したが、光学系によって可視光を透過し、赤外光を反射するビームスピリッタであっても本実施形態と同様の作用、効果を得ることができる。
【００３１】
第四実施形態
本発明の第四の実施形態を図３を用いて説明する。
本実施形態における顕微分光光度計２０２の光源２０４からは、不可視光である赤外光のみが出射されている。
【００３２】
光源２０４を出射した赤外光は、透過／反射切替鏡２１４、反射鏡２１６、２１８、２２０、半透過鏡２２２、ガセグレン鏡２２４、２２６により試料ステージ２２８上に設置された被測定物に照射される。赤外光を照射された被測定物からは、被測定物の情報を有する透過光あるいは、反射光が出ており、被測定物からの情報光は、ビームスプリッタ２３８によって、スペクトルを採取するＭＣＴ検出器２０６と、被測定物像の画像データを採取するＣＣＤカメラ２１２に送られる光に分けられる。そしてＣＣＤカメラ２１２は、被測定物像を採取し、ＭＣＴ検出器２０６は被測定物のスペクトルを採取する。採取された被測定物のスペクトルデータ、画像データは、Ａ／Ｄ変換器２３０、ＣＰＵ２３２を経由して記憶手段２０８であるハードディスクに記憶される。
【００３３】
本実施形態においては、不可視領域の光である赤外光で被測定物像の画像データを採取するために、ＣＣＤカメラ２１２は赤外線撮影用カメラを使用している。このため通常の光学系と構成的に変更をする必要が無いという利点を持っている。
また本実施形態は第一、二実施形態と同様に、被測定物のスペクトルデータと同時に被測定物の画像データを採取してデータとして記憶手段２０８に保存しておき、測定後であっても画像データの再生が可能であり、光源２０４から赤外光を出射し、スペクトルデータと被測定物画像データを同時に採取することも可能である。
【００３４】
よって、スペクトルデータと画像データを採取する時間的誤差が無く、同時に採取することで、飛躍的に被測定物の情報量を増やすことが可能であり、そのデータに時間的ズレがないため正確な解析を行うことができる。
また本実施形態においては、第一実施形態のように光源に可視光と不可視領域の光を切り替える切替スイッチを取り付け、被測定物に可視光を照射することにより接眼レンズによって被測定物像を確認するように構成することもできる。このように構成すると、測定前に被測定物のどの部位を解析するのかを目視しながら選び、測定においては赤外光のみを照射することができる。
【００３５】
なお本発明は前記第一〜四実施形態に限られるものではない。顕微分光光度計に示差走査熱量計を備えた装置などであっても本発明のように構成することが可能である。このような装置であると、被測定物のスペクトルデータと共に、示差走査熱を測定し、そのデータを得られることはもちろん、これらのデータと共に被測定物画像をもデータとして取り込むことができる装置となる。このような装置は相転移する物質を解析する場合などにおいて有用である。
また顕微分光光度計は、被測定物のスペクトルデータをただ単純に測定する場合だけでなく、時間経過による被測定物の変化や温度を変化させて測定する温度変化測定などに多用される。本発明はこのような測定においても用いることができる。
【００３６】
また顕微分光光度計は、被測定物の特定部位のスペクトルを採取するためにアパーチャが使用されることがある。しかし被測定物画像を採取するときにこのアパーチャを使用していると、範囲が狭すぎてせっかく採取された画像データが役に立たないものとなってしまうことが多い。このため、本発明において、アパーチャを使用するときには、スペクトルデータを採取する際に特定部位のスペクトルデータを採取できるようにアパーチャが閉じ、画像データを採取する際にアパーチャが全開するように構成するのがよい。そしてこのようなアパーチャの開閉が自動で行われるよう構成されていることが望ましい。また被測定物からの光をスペクトルデータ検出手段と画像データ取り込み手段へとそれぞれ分割するビームスピリッタを通した後に、スペクトルデータ検出手段に入射する光にのみアパーチャをかけるよう構成しても良い。
【００３７】
本発明において、採取された被測定物のスペクトルデータと画像データを記憶手段より読み出して表示手段に表示する際には、取り込んだ画像を時間軸に並べ、順次表示して行くことで、被測定物像が変化して行く動画として再生することができたり、スペクトルデータと画像データを並べて表示することで詳しい解析を行うことができるようになる。
このように同時採取したスペクトルデータと画像データを表示させるために、前記記憶手段にスペクトルデータと画像データをどのように対応させて記憶しておくかが重要である。
【００３８】
このように一つの被測定物に対して複数のスペクトルデータ及び画像データが採取される場合は時間経過による被測定物の変化を解析する場合や、被測定物の温度による変化、圧力変化に対する変化など被測定物の外部環境のパラメータを変化させて測定する場合などの経時変化測定においてであることが多い。
【００３９】
よって、一つの方法としては測定開始時からの経過時間を共通の指標とし、スペクトルデータと画像データを採取された時間と共にそれぞれ記憶しておき、同時に採取したスペクトルデータと画像データを対応させる際には、採取された時間によって対応させるものである。あるいは、温度変化、圧力変化などの変化させている被測定試料の外部環境の一つあるいはそれ以上のパラメータを共通の指標とし、スペクトルデータと画像データが採取されたときの状態を表すパラメータと共にそれぞれ記憶しておき、同時に採取したスペクトルデータと画像データを対応させる際には、採取されたときの被測定物の状態を表すパラメータによって対応させるものである。
【００４０】
図４は被測定物を本発明の装置によって測定した測定結果の保存形式の第一例を示したものである。スペクトルデータ、画像データはそれぞれ何度の時に測定されたのかという指標と共に別々のファイルに記憶されており、同時に採取されたスペクトルと画像のデータは、採取されたときの温度が同じものを対応させることで同時に採取したスペクトルデータと画像データを対応させることができる。
【００４１】
この方法を前述の第一の実施形態において用いるときは、わずかながらに時間やパラメータがずれることが予測されるので、対応させる時間やパラメータにわずかな幅を持たせておくのがよい。
この方法によって記憶しておくと、被測定物の取り巻く環境のパラメータを指標としてスペクトル、画像の各データと共に記憶されているのでそれぞれのデータを単独で解析に用いても、被測定物が周りの環境によってどのような特性を示すのかがわかりやすい。
【００４２】
他の方法としては、はじめから同時採取したスペクトルデータと画像データをセットにして記憶させておくことである。
図５は被測定物を本発明の装置によって測定した測定結果の保存形式の第二例を示したものである。同時に採取されたスペクトルデータ、画像データはそれぞれ同じファイルに記憶されている。
この方法によって記憶しておくと、スペクトル、画像の各データが初めから対応しているので、同時に採取されたデータを対応し直すという作業を省くことができる。
【００４３】
また、採取した順番にスペクトルデータと画像データを記憶しておき、順番が同じスペクトルデータと画像データを対応させる方法もある。
図６は被測定物を本発明の装置によって測定した測定結果の保存形式の第三例を示したものである。スペクトルデータ、画像データは測定された順番に並べられており、この順番が同じスペクトルデータと画像データを対応させるものである。
【００４４】
さらに図７は被測定物を本発明の装置によって測定した測定結果の保存形式の第四例を示したものである。この例においては、装置に内蔵された時計によって測定された時間が示され、データはその時間の順に並べられている。そして順番が同じスペクトルデータと画像データを対応させるものである。
この方法によって記憶しておくと、比較的簡単にスペクトル、画像の各データを対応させることができる。
【００４５】
なお本発明はこれらの方法によってスペクトルデータと画像データを対応させるものに限定されるものではない。
本発明における顕微分光光度計に示差走査熱量計を備えた装置においては、示差熱測定による測定データと画像データを対応させ表示するようにすることもできる。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明にかかる顕微分光光度計は、スペクトルデータと共に画像データを採取することができるので被測定物を詳しく解析することができる。
また、スペクトル検出手段に可視領域の光が入射するのを防止する可視光入射防止手段を設けることによって、被測定物の画像データとスペクトルデータを時間的誤差が無く、同時に採取することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の画像データ採取顕微分光光度計の一実施形態にかかる装置概要図を示したものである。
【図２】図２は本発明における第二実施形態の概要図を示したものである。
【図３】図３は本発明における第三実施形態、第四実施形態の概要図を示したものである。
【図４】図４は被測定物を本発明の装置によって測定した測定結果の保存形式の第一例を示したものである。
【図５】図５は被測定物を本発明の装置によって測定した測定結果の保存形式の第二例を示したものである。
【図６】図６は被測定物を本発明の装置によって測定した測定結果の保存形式の第三例を示したものである。
【図７】図７は被測定物を本発明の装置によって測定した測定結果の保存形式の第四例を示したものである。
【符号の説明】
２：顕微分光光度計
４：光源
６：スペクトル検出手段
８：記憶手段
１０：表示手段
１２：画像取り込み手段
１４：試料ステージ
１６：Ａ／Ｄ変換器
１８：ＣＰＵ
２０：切替スイッチ
１２２：可視光遮断フィルター
１２４：ビームスプリッタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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