(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁筒の両端面を閉塞してなる真空容器の内部に、固定電極および可動電極からなる接離自在な一対の電極を配設し、
前記可動電極に接続した可動通電軸と当該可動通電軸を軸方向に可動自在に支持するベローズとの間に、絶縁部材を挿入し、
かつ前記真空容器の側面に配置した可動側引出し端子と前記可動通電軸との間を、可撓性を有する導体で接続して構成される真空バルブにおいて、
前記可動通電軸と前記ベローズとの間に挿入した前記絶縁部材は、前記ベローズに接続された操作軸と前記可動通電軸とで固定してあり、
前記可動電極と前記ベローズとの間に中間固定電極を配置し、前記中間固定電極と接しないように前記中間固定電極を貫通して配置した前記可動通電軸に接続した前記可動電極を、前記固定電極と前記中間固定電極との間で切換接離自在に可動する様になし、
前記中間固定電極は前記真空容器の側面に配置した固定側引出し端子と接続し、
前記真空容器は複数のセラミック絶縁筒を接続してなり、前記真空容器の側面に配置した前記固定側引出し端子を接続する下部側のセラミック絶縁筒において、前記固定側引出し端子の下部を支持するように断面を門型に成形したセラミック絶縁筒とすることを特徴とする真空バルブ。
【請求項２】
絶縁筒の両端面を閉塞してなる真空容器の内部に、固定電極および可動電極からなる接離自在な一対の電極を配設し、
前記可動電極に接続した可動通電軸と当該可動通電軸を軸方向に可動自在に支持するベローズとの間に、絶縁部材を挿入し、
かつ前記真空容器の側面に配置した可動側引出し端子と前記可動通電軸との間を、可撓性を有する導体で接続して構成される真空バルブにおいて、
前記可動通電軸と前記ベローズとの間に挿入した前記絶縁部材は、前記ベローズに接続された操作軸と前記可動通電軸とで固定してあり、
前記可動電極と前記ベローズとの間に中間固定電極を配置し、前記中間固定電極と接しないように前記中間固定電極を貫通して配置した前記可動通電軸に接続した前記可動電極を、前記固定電極と前記中間固定電極との間で切換接離自在に可動する様になし、
前記中間固定電極は前記真空容器の側面に配置した固定側引出し端子と接続し、
前記可動電極は、前記固定電極と前記中間固定電極との間の位置で且つ前記固定電極及び前記中間固定電極に接しない断路位置に占位することができるようにし、
前記真空容器は複数のセラミック絶縁筒を接続してなり、前記真空容器の側面に配置した前記固定側引出し端子を接続する下部側のセラミック絶縁筒において、前記固定側引出し端子の下部を支持するように断面を門型に成形したセラミック絶縁筒とすることを特徴とする真空バルブ。
【請求項３】
請求項２において、
前記真空容器の側面に配置した固定側引出し端子を支持するために配置された補強支持板の内径を、この補強支持板を貫通する前記可動通電軸の外径に合わせることにより、軸方向に可動する前記可動通電軸を前記補強支持板によりガイドすることを特徴とする真空バルブ。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れか一項において、
前記真空容器の内部には、円筒形をなすと共に基端が固定側引出し端子に接続され先端に丸みをつけた金属シールドが、固定電極及び可動電極を包囲するように配設されていることを特徴とする真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は真空バルブに関し、絶縁性能を向上し信頼性の優れた、しかも、単なる接続・開放をするのみならず断路機能を持つことができるように工夫したものである。本発明の真空バルブは、真空遮断器，真空断路器，真空接地断路器，真空切換断路器やこれら機器を収納して構成した受配電装置に適用することができる。
【０００２】
【従来の技術】
母線から受電した電力は、受配電装置を用いて、各種の負荷機器、他の電気室に配電される。この受配電装置は、母線及びケーブルとの接続，接地回路への接続，回路の接離のための各開閉装置と、それを駆動する操作装置と、監視制御に必要な制御機器等の内部機器とを、接地金属製の外箱内に適宜に配設して構成されている。
【０００３】
この種の受配電装置に使用する開閉装置として、特開２０００−１８８０４６号公報に開示される真空バルブ及び特開平１１−０４１７２６号公報に開示される真空バルブがある。
【０００４】
ここで特開２０００−１８８０４６号公報に開示される真空バルブを、図１１を参照して説明する。図１１において、セラミックまたはガラスからなる円筒型の真空容器１の両端開口部を、固定側蓋板３ａおよび可動側蓋板３ｂで気密封着し，真空容器１の中間に可動側引出し電極８ｂを備えている。真空容器１の内部には、接触子６ａを備えた固定側電極５ａと、この固定側電極５ａと対向するように接触子６ｂを備えた可動側電極５ｂとを配置している。また、固定側電極５ａは、固定側蓋板３ａに支持固定された固定側通電軸４ａに接続しており、固定側引出し電極８ａで図示しない真空バルブの外部導体と接続している。さらに、可動側電極５ｂは、フレキシブルコンダクターや平網線等の伸縮性を有する導体７と接続された可動側通電軸４ｂと接続しており、真空容器１の側面に配置した可動側引出し電極８ｂで図示しない真空バルブの外部導体と接続している。
【０００５】
さらにまた、可動側通電軸４ｂと操作ロッド１２との間には、セラミック等の絶縁物で作られた絶縁棒９を接続し、この絶縁棒９と可動側蓋板３ｂとの間に、ベローズカバー１０を備えたベローズ１１を設けている。そして、真空バルブの外部に設けられた操作機構にて操作ロッド１２を軸方向に稼働することにより、真空容器１内の固定側電極５ａおよび可動側電極５ｂからなる一対の電極を接離自在としている。
【０００６】
以上のように構成した真空バルブにおいては、真空容器１内の可動側通電軸４ｂとベローズ１１との間に絶縁棒９を挿入し、真空容器１の側面に配置した可動側引出し電極８ｂをフレキシブルコンダクター等の導体７で接続していることにより、固定側引出し電極８ａから真空バルブ内へ流れた電流は、固定側電極５ａおよび可動側電極５ｂを介して可動側通電軸４ｂへ流れ、さらに導体７を介して真空容器１の側面に配置した可動側引出し電極８ｂより真空バルブ外部へ引き出すことができる。この結果、ベローズ１１，可動側蓋板３ｂ及び操作ロッド１２は、接地電位となる。
【０００７】
以上により、可動側電極５ｂを駆動する操作機構と真空容器１との間に従来から設けられていた絶縁ロッドが必要なくなり、直接真空バルブを操作することができる。また、操作ロッド１２の絶縁媒体が気中よりも優れた絶縁特性を有する真空中となるため、操作ロッド１２の絶縁距離を大幅に短縮することができ、もって本真空バルブを操作する遮断器もしくは断路器自体の小形化を図る構造となる。
【０００８】
次に、特開平１１−０４１７２６号公報に開示される真空バルブを、図１２を参照して説明する。図１２において、相スイッチギヤは遮断機能，断路機能，接地機能及び母線を一体に集合したものである。即ち、相スイッチギヤは主として固定電極０５と接地装置０６との間を移動する可動電極０７とから構成している。固定電極０５は内部母線０８に接続している。可動電極０７は負荷側導体０９に接続し、負荷側導体０９は真空容器外に伸びるケーブルヘッドに接続している。また可動電極０７は可動ブレードと機械的に連結し、図示していない操作機構部により駆動される可動ブレードの回動により上下方向或いは左右方向に回動する。可動電極０７が固定電極０５から接地装置０６まで移動し、４位置に停止する。
【０００９】
即ち、可動電極０７が回動するのに応じて、可動電極０７が固定電極０５に接触する投入位置Ｙ１で通電し、投入位置Ｙ１より下側に回動して遮断位置Ｙ２で可動電極０７が固定電極０５と離れ電流を遮断する。更に下側に回動して断路位置Ｙ３で可動電極０７が固定電極０５と離れ、雷などで絶縁破壊しないこと及び負荷導体側で作業員が感電しない絶縁距離を取る。更に下側に可動電極０７が回動して接地位置Ｙ４で可動電極０７が接地装置０６と接触する。尚、断路位置Ｙ３を省略して遮断位置Ｙ２から接地位置Ｙ４に移動しても本装置の下記効果を損なうものではない。
【００１０】
本装置では、高絶縁体である真空中で、可動電極０７が固定電極０５から接地装置０６に回動する間に、一つの操作で連続的に４位置すなわち機能を持つことができるので、操作がしやすく使い勝手が良い。また可動電極０７，固定電極０５，接地装置０６を一箇所に集合化したので、より小型化することができる。更に断路位置Ｙ３を設けると、異電源突合せ例えば２つの系統電源を持つ２回線受電において、いずれか１回線の相スイッチギヤが投入位置Ｙ１で運転中にあり、他回線の相が断路位置Ｙ３で待機中の時には、この回路の負荷側導体０９に作業員が接触しても安全である。しかも、待機中から運転或いは運転中から待機に切り替える場合も連続して操作できるので、作業スピードが速く、操作がしやすい。
【００１１】
本装置では可動電極０７がフレキシブル導体０２２で負荷側導体０９と可動電極０７との間を接続しており、可動電極０７及び負荷側導体０９の溶着が生じることがなく、操作機構部の回動力は大きくならず、操作機構部も小型化することができるばかりか、可動電極０７及び負荷側導体０９の寿命も長くなり、経済的にも有利である。またフレキシブル導体０２２で負荷側導体０９と可動電極０７との間を接続しており、可動電極０７が負荷側導体０９に摺動する時の金属微粒子を発生することもなく、絶縁性能が大幅に向上し、この分、真空容器０４を小型化することができる。
【００１２】
更に、接地装置及び断路位置を除去しても使用でき、除去したとき更に真空容器，操作機構部を小型化できるので、回路スイッチギヤも当然小型化できる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
上記した従来の真空バルブ及びこれを用いて構成される受配電装置においては、開閉部について「入」及び「切」の単一の機能しか持たず、市場の要求する受配電装置を構成する回路構成に容易に対応することができず、その対応に真空以外の絶縁媒体で製作された他の機能を持つ機器の組合せを余儀なくされている。このため、回路の汎用性、機器間の接続部の絶縁が容易に行えない等の問題が残っており、受配電装置として組み込んだときにも縮小化が制限される。
【００１４】
開閉部について、投入位置・遮断位置に追加して、更に接地位置・断路位置を持つことは、操作機構を複雑にするうえ強度的にも負担を増大させ、寿命・信頼性を低下させる。また、可動電極をブレード方式にて回動させることは、電極接点の精度に対する信頼を低下させ、更に高度の気密を要する真空容器の構造を複雑とし、信頼性、安全性を低下させ、コストを上昇させる。また、母線を含み、主回路開閉部と接地開閉部を同一容器内にて収納することは、縮小化ができる反面、一部での事故や不具合を容器内の全ての要素に波及させ、安全性を低下させると共に事故の拡大、復旧を困難とさせる恐れがある。
【００１５】
本発明の目的は、絶縁性能を向上し、信頼性に優れ、かつコンパクトな真空バルブを提供することを目的とする。本発明の真空バルブを用いれば、安全性が高くコンパクトな真空遮断器や受配電装置を低コストにて提供することができる。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の構成は、絶縁筒の両端面を閉塞してなる真空容器の内部に、固定電極および可動電極からなる接離自在な一対の電極を配設し、
前記可動電極に接続した可動通電軸と当該可動通電軸を軸方向に可動自在に支持するベローズとの間に、絶縁部材を挿入し、
かつ前記真空容器の側面に配置した可動側引出し端子と前記可動通電軸との間を、可撓性を有する導体で接続して構成される真空バルブにおいて、
前記可動通電軸と前記ベローズとの間に挿入した前記絶縁部材は、前記ベローズに接続された操作軸と前記可動通電軸とで固定してあり、
前記可動電極と前記ベローズとの間に中間固定電極を配置し、前記中間固定電極と接しないように前記中間固定電極を貫通して配置した前記可動通電軸に接続した前記可動電極を、前記固定電極と前記中間固定電極との間で切換接離自在に可動する様になし、
前記中間固定電極は前記真空容器の側面に配置した固定側引出し端子と接続し、
前記真空容器は複数のセラミック絶縁筒を接続してなり、前記真空容器の側面に配置した前記固定側引出し端子を接続する下部側のセラミック絶縁筒において、前記固定側引出し端子の下部を支持するように断面を門型に成形したセラミック絶縁筒とすることを特徴とする。
【００１７】
また本発明の構成は、絶縁筒の両端面を閉塞してなる真空容器の内部に、固定電極および可動電極からなる接離自在な一対の電極を配設し、
前記可動電極に接続した可動通電軸と当該可動通電軸を軸方向に可動自在に支持するベローズとの間に、絶縁部材を挿入し、
かつ前記真空容器の側面に配置した可動側引出し端子と前記可動通電軸との間を、可撓性を有する導体で接続して構成される真空バルブにおいて、
前記可動通電軸と前記ベローズとの間に挿入した前記絶縁部材は、前記ベローズに接続された操作軸と前記可動通電軸とで固定してあり、
前記可動電極と前記ベローズとの間に中間固定電極を配置し、前記中間固定電極と接しないように前記中間固定電極を貫通して配置した前記可動通電軸に接続した前記可動電極を、前記固定電極と前記中間固定電極との間で切換接離自在に可動する様になし、
前記中間固定電極は前記真空容器の側面に配置した固定側引出し端子と接続し、
前記可動電極は、前記固定電極と前記中間固定電極との間の位置で且つ前記固定電極及び前記中間固定電極に接しない断路位置に占位することができるようにし、
前記真空容器は複数のセラミック絶縁筒を接続してなり、前記真空容器の側面に配置した前記固定側引出し端子を接続する下部側のセラミック絶縁筒において、前記固定側引出し端子の下部を支持するように断面を門型に成形したセラミック絶縁筒とすることを特徴とする。
【００１８】
また本発明の構成は、前記真空容器の側面に配置した固定側引出し端子を支持するために配置された補強支持板の内径を、この補強支持板を貫通する前記可動通電軸の外径に合わせることにより、軸方向に可動する前記可動通電軸を前記補強支持板によりガイドすることを特徴とする。
【００２０】
また本発明の構成は、前記真空容器の内部には、円筒形をなすと共に基端が固定側引出し端子に接続され先端に丸みをつけた金属シールドが、固定電極及び可動電極を包囲するように配設されていることを特徴とする。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。
【００２７】
〔第１の実施の形態〕
図１は本発明の第１の実施の形態にかかる真空バルブを示す。同図に示すように、筒形絶縁部材からなる絶縁筒６０の両端面を、固定側フランジ６１及び本体アダプタ７３を接続した可動側フランジ６２で気密封着（閉塞）して真空容器が形成されている。なお、本例では３個のセラミック製の絶縁筒６０を接続しており、この接続した３個の絶縁筒６０の端面を、固定側フランジ６１と可動側フランジ６２とで閉塞して真空容器を形成している。この真空容器の内部に、ゲッターといった残留ガス吸着材７２を封入している。更に真空容器の内部には、固定側フランジ６１に固定された固定通電軸６６に支持された固定電極６５ａと、絶縁筒６０に側面で固定された固定側引出し端子６３に支持された中間固定電極６５ｂが対向配置され、固定電極６５ａと中間固定電極６５ｂの間の位置に可動電極６５ｃを配置している。
【００２８】
更に可動電極６５ｃは、固定側引出し端子６３に支持された中間固定電極６５ｂに接しないように貫通配置された可動通電軸６７に支持されている。可動電極６５ｃを支持する可動通電軸６７は、絶縁部材７０を介して、可動側フランジ６２に気密封着されたベローズ６８に支持された作動軸６９に接続され、図示しない真空容器外部の操作装置により駆動される。この結果、可動電極６５ｃは、対向配置した固定電極６５ａと中間固定電極６５ｂとの間で切換接離される。
【００２９】
また可動通電軸６７は、絶縁筒６０に側面で固定された可動側引出し端子６４に対して、銅条といった駆動を吸収する可撓導体７１で接続され通電をなしている。そして固定通電軸６６，固定側引出し端子６３及び可動側引出し端子６４は真空容器外部で図示しない外部導体と接続している。
【００３０】
また、図示されない操作装置によって可動電極６５ｃが可動して、固定電極６５ａに接触したり、中間固定電極６５ｂに接触したりすることができ、可動側引出し端子６４との電気的接続を２系統（固定電極６５ａの系統と中間固定電極６５ｃの系統）の間で切換えて接続させることができる。
【００３１】
以上のように構成した第１の実施の形態にかかる真空バルブにおいては、真空容器内の可動通電軸６７は、操作軸６９との間を絶縁部材７０を介し接続し、側面に配置した可動側引出し端子６４との間を可撓導体７１で接続している。このため、可動電極６５ｃが固定電極６５ａと接触している時は、側面に配置した可動側引出し端子６４から真空バルブ内へ流れた電流は、可撓導体７１を介して可動通電軸６７へ流れ、可動電極６５ｃ及び固定電極６５ａを介して固定通電軸６６より真空バルブ外部へ引き出すことができる。同様に、可動電極６５ｃが中間固定電極６５ｂと接触している時は、側面に配置した可動側引出し端子６４から真空バルブ内へ流れた電流は、可撓導体７１を介して可動通電軸６７へ流れ、可動電極６５ｃ及び中間固定電極６５ｂを介して固定側引出し端子６３より真空バルブ外部へ引き出すことができる。この結果、絶縁筒６０及び絶縁部材７０を介して電気的に切離された操作軸６９，ベローズ６８，本体アダプタ７３及び可動側フランジ６２は接地電位とすることができる。
【００３２】
この第１の実施の形態では次のような効果が得られる。即ち、可動通電軸６７とベローズ６８との間に挿入した絶縁部材７０を、ベローズ６８に接続した操作軸６９と可動通電軸６７で固定することで、その固定を容易とすると共に、ベローズ６８の気密接続信頼性も向上する。
【００３３】
また可動側引出し端子６４と可動通電軸６７との間を、駆動を吸収する銅条等の可撓性を有する可撓導体７１で接続することとあわせ、操作軸６９を通電経路（充電部）と切離すことができ、操作軸６９，ベローズ６８，本体アダプタ７３及び可動側フランジ６２を接地電位とすることができる。これにより可動電極６５ｃを駆動するための操作機構と真空容器との間に設けられていた絶縁ロッドが不要になり直接真空バルブを操作することができると共に、真空バルブの固定においても可動側フランジ６２を接地金属固定枠に直接固定でき、接地金属固定枠から浮かせて接続するための絶縁フレーム等も不要になる。
【００３４】
また操作軸６９の絶縁媒体が、気中または絶縁ガス等よりも優れた絶縁特性を有する真空中となるため、操作軸６９の絶縁距離を大幅に短縮することができ、本真空バルブを適用する切換装置または断路装置及び受配電装置の大幅な小型化と低コスト化を図ることが可能となる。
【００３５】
更に固定電極６５ａ，中間固定電極６５ｂと可動電極６５ｃとを切換接離することにより、電源または負荷を２系統に切換える切換装置や、電源側または負荷側を主回路または接地等へ切換を行う接地断路装置として適用でき、受配電装置を構成する回路構成の多くの要求に容易に対応し、受配電装置の機器構成の簡略化を図ることができる。
【００３６】
〔第２の実施の形態〕
本発明の第２の実施の形態にかかる真空バルブを図２に示す。この真空バルブでは、図示されない操作装置によって可動電極６５ｃが、固定電極６５ａと中間固定電極６５ｂとの中間位置で、固定電極６５ａ及び中間固定電極６５ｂに接触しない断路位置に占位することができるようにしている。このように断路位置を持つことにより本真空バルブは三位置を持ち、可動側引出し端子６４との電気的接続を、２系統の間での切位置と合わせて切換えて接続させることができる。他の部分の構成は、図１に示す第１の実施の形態と同様である。
【００３７】
この第２の実施の形態では次のような効果が得られる。即ち、電源または負荷の断路を可能とし、断路位置を持つことにより回路の運用上安全性の向上がはかれ、待機状態から運転，接地と一組の電極において連続で切換えが可能となり、メンテナンス時の簡略化と共に受配電装置の縮小化がはかれる。
【００３８】
〔第３の実施の形態〕
本発明の第３の実施の形態にかかる真空バルブを図３に示す。この真空バルブでは、固定側引出し端子６３の下部に補強支持板７４をろう付け接続し中間固定電極６５ｂを固定支持している。他の部分の構成は、図１に示す第１の実施の形態と同様である。
【００３９】
この第３の実施の形態では、加熱排気処理後の強度低下した電極部の強度を保持し、可動電極圧接時においても電極が変形して規定圧接力を低下させる事のない、長寿命で信頼性の高い真空バルブが得られる。
【００４０】
〔第４の実施の形態〕
本発明の第４の実施の形態にかかる真空バルブを図４に示す。この真空バルブでも、セラミック製の複数の絶縁筒６０により絶縁筒が形成されている。そして、固定側引出し端子６３の下部側で接続する断面形状を門型に成形した円筒形の絶縁筒６０において、固定側引出し端子６３の下部側で中間固定電極６５ｂを補強支持している。他の部分の構成は、図１に示す第１の実施の形態と同様である。
【００４１】
この第４の実施の形態では、加熱排気処理後の強度低下した電極部の強度を保持し、可動電極圧接時においても電極が変形して規定圧接力を低下させる事がなく、絶縁筒と一体化された補強支持部は、更に強度を向上でき、組立て生産性、ろう付け工程の信頼性も向上し、更に長寿命で信頼性の高い真空バルブが得られる。
【００４２】
〔第５の実施の形態〕
本発明の第５の実施の形態にかかる真空バルブを図５に示す。この真空バルブでは、固定側引出し端子６３の下部にセラミック製の補強支持板７４を接続し中間固定電極６５ｂを固定支持している。しかも、補強支持板７４の内径を、この補強支持板７４を貫通する可動通電軸６７の外径に合わせている。つまり補強支持板７４を可動通電軸６７にまで延設し、補強支持板７４の内径と可動通電軸６７の外径とを接触させている。このため、軸方向に可動する可動通電軸６７を、補強支持板７４によりガイドすることができる。他の部分の構成は、図１に示す第１の実施の形態と同様である。
【００４３】
この第５の実施の形態では、電磁力及び駆動方法等による外力が作用しても、可動する可動通電軸６７の芯を固定することができるため、電磁面を常に均一に接触をさせることができる信頼性の高い真空バルブが得られる。
【００４４】
〔第６の実施の形態〕
本発明の第６の実施の形態にかかる真空バルブを図６に示す。この真空バルブでは、固定側引出し端子６３の下部側で接続する断面形状を門型に成形した円筒形絶縁筒６０において、固定側引出し端子６３の下部側で中間固定電極６５ｂを補強支持している。しかも、断面を門型に成形した絶縁筒６０の内径を、可動通電軸６７の外径に合わせている。つまり絶縁筒６０の内径を可動通電軸６７にまで延設し、絶縁筒６０の内径と可動通電軸６７の外径とを接触させている。このため、軸方向に可動する可動通電軸６７を、絶縁筒６０によりガイドすることができる。他の部分の構成は、図１に示す第１の実施の形態と同様である。
【００４５】
この第６の実施の形態では、電磁力及び駆動方法等による外力が作用しても、可動する可動通電軸６７の芯を固定することができるため、電磁面を常に均一に接触をさせることができる信頼性の高い真空バルブが得られる。
【００４６】
〔第７の実施の形態〕
本発明の第７の実施の形態にかかる真空バルブを図７に示す。この真空バルブでは、可動電極６５ｃは、可動通電軸６７に接続された導電率の高い円板状の支持板６５１に、融点が高く機械的強度の高い接触子６５２，６５３を接続して構成されている。接触子６５２は固定電極６５ａに接触する部分に配置され、接触子６５３は中間固定電極６５ｂに接触する部分に配置されている。
また、固定通電軸６６に支持される固定電極６５ａを、接触子６５２と同等の径を有する、融点が高く機械的強度の高い金属の接触子としている。
また、固定側引出し端子６３に支持される中間固定電極６５ｂを、接触子６５３と接触する、融点が高く機械的強度の高い金属の接触子としている。
他の部分の構成は、図１に示す第１の実施の形態と同様である。
【００４７】
この第７の実施の形態では、接触部に設けた接触子６５２，６５３，６５ａ，６５ｂにより電極面間の絶縁耐力を向上させ、導電性円板により通電性能を向上させることができる。また、高電界にさらされる表面積を小さくし信頼性を向上させることができる。
【００４８】
〔第８の実施の形態〕
本発明の第８の実施の形態にかかる真空バルブを図８に示す。この真空バルブでは、絶縁筒６０の内部において、絶縁筒６０の一端面を閉塞する固定側フランジ６１に、円筒形の金属シールド７５が接続されている。この金属シールド７５は固定通電軸６６を囲繞した状態で、その基端（図８では上端）が固定側フランジ６１に固定されており、その先端（図８では下端）には丸みがつけられている。この金属シールド７５の先端は、固定側フランジ６１と絶縁筒６０との接続部近傍まで延在して配置されている。他の部分の構成は、図７に示す第７の実施の形態と同様である。
【００４９】
この第８の実施の形態では、固定側フランジ６１と同電位の金属シールド７５により、固定側フランジ６１とセラミック絶縁筒６０との接続部に集中する電界を緩和し、また金属シールド７５の先端に丸みをつけることにより、金属シールド７５の先端に集中する電界を緩和している。
【００５０】
〔第９の実施の形態〕
本発明の第９の実施の形態にかかる真空バルブを図９に示す。この真空バルブでは、固定通電軸６６にカップ型の金属シールド７６の基端を接続している。このカップ型の金属シールド７６は、固定側フランジ６１と絶縁筒６０との接続部近傍から固定側の端面近傍にまで延在して配設されている。
このため、固定側フランジ６１と同電位の金属シールド７６により固定側フランジ６１とセラミック絶縁筒６０との接続部に集中する電界を緩和し、絶縁性能を向上させることができる。
【００５１】
また固定側引出し端子６３の上部に、円筒形の金属シールド７７の基端が接続されており、その金属シールド７７の先端( 上端）には丸みがつけられている。しかも、金属シールド７７は、固定電極６５ａ及び可動電極６５ｃ及び中間固定電極６５ｂを包囲するように配設されている。
このため、先端に丸みをつけ先端に集中する電界を緩和した金属シールド７７により、電極間から発生する金属粒子を捕捉するため、絶縁筒６０の沿面に金属粒子が付着することがなくなり、長期間使用した後もセラミック絶縁筒６０の沿面の絶縁性能の劣化が少なく、長寿命で信頼性の高い真空バルブが得られる。
【００５２】
〔第１０の実施の形態〕
本発明の第１０の実施の形態にかかる真空バルブを図１０に示す。この真空バルブでは、真空容器のうち本体アダプタ７３の中間部から上部を、外部接続をなす固定通電軸６６、固定側引出し端子６３、可動側引出し端子６４の端子形状部を除き、周囲を絶縁層７８で注型して成形している。
【００５３】
このように、可動通電軸６７と操作軸６９との間に絶縁部材７０を挿入した真空バルブ本体の周囲を、絶縁層７８で注型して成形することにより、真空バルブ本体の外部絶縁沿面距離自体を短くすることができ、真空バルブ本体の小型化を図ることができる。また、可動側フランジ６２及び操作軸６９は接地電位となるため、操作軸６９に直接操作機構を接続でき、切替または接地断路装置自体を大幅に小型化することができる。
【００５４】
【発明の効果】
以上実施の形態と共に具体的に説明したように本発明では、操作軸等を接地電位とすることができ、絶縁性能を向上し信頼性を高めることができる。また、可動電極を断路位置に位置させることにより、単なる接続・開放をするのみならず、断路機能を持つことができるようになった。中間固定電極を備えることにより、系統の切換ができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかる真空バルブを示す構成図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態にかかる真空バルブを示す構成図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態にかかる真空バルブを示す構成図である。
【図４】本発明の第４の実施の形態にかかる真空バルブを示す構成図である。
【図５】本発明の第５の実施の形態にかかる真空バルブを示す構成図である。
【図６】本発明の第６の実施の形態にかかる真空バルブを示す構成図である。
【図７】本発明の第７の実施の形態にかかる真空バルブを示す構成図である。
【図８】本発明の第８の実施の形態にかかる真空バルブを示す構成図である。
【図９】本発明の第９の実施の形態にかかる真空バルブを示す構成図である。
【図１０】本発明の第１０の実施の形態にかかる真空バルブを示す構成図である。
【図１１】従来の真空バルブの一例を示す構成図である。
【図１２】従来の真空バルブの一例を示す構成図である。
【符号の説明】
６０  絶縁筒
６１  固定側フランジ
６２  可動側フランジ
６３  固定側引出し端子
６４  可動側引出し端子
６５ａ  固定電極
６５ｂ  中間固定電極
６５ｃ  可動電極
６５１  支持板
６５２，６５３  接触子
６６  固定通電軸
６７  可動通電軸
６８  ベローズ
６９  操作軸
７０  絶縁部材
７１  可撓導体
７２  残留ガス吸着材
７３  本体アダプタ
７４  補強支持板
７５，７６，７７  金属シールド
７８  絶縁層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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