(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２本の糸案内円筒（４）の間に張られ、前記糸案内円筒（４）の表面に備えられ、支持テーブル（３）に取り付けられた鋸引き加工品（１）に対して当接して往復または連続運動によって移動することのできる糸の層（２）の各糸の間の間隔を決める溝（９）によって位置が維持される糸の層（２）及びフレーム（１４）を備え、各糸案内円筒（４）が、外部被覆（８）であって、糸案内円筒の本体円筒部に取り外し可能に固定できるセグメント（６）を少なくとも二つ有する外部被覆、を備えてなる糸鋸引き装置において、
各セグメントが、それぞれ本体円筒部に固定用部材（ねじ７、フランジタブ１３）によって固定されて、その固定用部材が、糸案内円筒（４）の軸心に平行で外周円筒表面に適合するような凹み部を呈しており、該本体円筒部が、フレーム（１４）によってそれらの両端部が支持されていることを特徴とする糸鋸引き装置。
【請求項２】
請求項１に記載の糸鋸引き装置において、糸案内円筒（４）の取り外し可能なセグメントが、中に溝（９）が刻まれた合成材料で被覆された金属製であることを特徴とする糸鋸引き装置。
【請求項３】
請求項２に記載の糸鋸引き装置において、合成材料がポリウレタンであることを特徴とする糸鋸引き装置。
【請求項４】
請求項２に記載の糸鋸引き装置において、前記金属が膨張率の低い金属から選択されることを特徴とする糸鋸引き装置。
【請求項５】
請求項１に記載の糸鋸引き装置において、糸案内円筒（４）の取り外し可能なセグメントが糸案内円筒（４）の表面に機械的に固定および／または接着され、糸案内円筒（４）を分解することなしに交換できるように配置された合成材料の箔であることを特徴とする糸鋸引き装置。
【請求項６】
請求項１に記載の糸鋸引き装置において、糸案内円筒（４）が、取り外し可能なセグメント（６）を本体円筒部に位置決めを保証できる位置決めピン（１１）を有することを特徴とする糸鋸引き装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
【０００２】
本発明は少なくとも２本の糸案内円筒の間に張られ、前記糸案内円筒の表面に備えられ、支持テーブルの上に取り付けられた鋸引き加工品に対して当接して往復または連続運動によって移動することのできる前記層の糸の間の間隔を決める溝によって位置が維持される糸の層を備えた糸鋸引き装置に関するものである。
【０００３】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
【０００４】
鋸引き加工品に対して当接して往復または連続運動によって移動することのできる、それによって鋸引き区域を決定する糸の層を一般的に備えている糸鋸引き装置は周知である。
鋸引き区域は、平行に配置された円筒の全体で構成される。
糸案内と呼ばれるこれらの円筒は、層の糸の間の間隔、すなわち鋸引きされる薄片の厚みを決定する溝が刻まれている。
鋸引き加工品は、糸の層に対して垂直に移動する支持テーブルの上に固定されている。
移動速度が切断速度を決定する。
糸の交換とその張力の制御は、鋸引き区域自体の外に位置づけられた糸管理区域と呼ばれる部分の中で行われる。
切断を支配する要因は、糸の上に固定された研磨剤、または泥状液の形にされた遊離研磨剤である。
糸は、運搬の役割しか果たさない。
【０００５】
鋸引き加工品を薄片に切断するとき、張られた糸は、糸案内円筒によって誘導されると同時に牽引される。
一般的に合成材料層を備えたこれらの円筒には溝が刻まれ、溝の幾何と寸法は高い精度を持たなければならない。
固定、または遊離した研磨剤を使用する切断方法は、必然的に糸案内円筒の表面を構成する材料の摩耗を招き、前記溝の寸法と幾何を変化させる。
【０００６】
糸案内円筒は、その中に層の糸の間隔を維持する溝が刻まれている合成要素で被覆され、少なくともその一方の端において回転子を含む１個または複数個の軸受けに固定されている中空または中実の一体部分で通常は構成されている。
糸案内円筒は、分解可能であるのでその被覆が摩耗したときに再調整できる。
これらの糸案内円筒は、寿命が限られた摩耗要素であり、その表面に備えられた溝は、ひずみ補正、または旋削によって定期的に再切削しなければならない。
この作業は、円筒状のひずみ補正機または数値制御旋盤などの上で鋸引き装置の外部で行われる。
再切削の回数は、それぞれの切削の規模、溝の幾何及び被覆の初期厚みに依存する。
被覆を完全に使用したとき、成型、射出あるいは選択した被覆に適したあらゆる方法で新たな被覆を付着させる。
再切削が必要になったとき、糸案内円筒は取り外して、鋸引き装置から出さなければならない。
糸案内円筒とその駆動システムは、機械的に複雑なのでこの作業は一般的に負担である。
さらに、これには外部からの保守の必要がある。
そのため、鋸引き装置が長時間停止することになって、全体の総合的生産性が低下する。
鋸引きする薄片の厚みが変化したとき、糸案内の表面上に切削された溝のピッチの変更が必要になり、さらに糸案内円筒の交換も必要になるが、これは長く複雑な作業であり、望ましくない。
【０００７】
電子用途分野にとっては、特に重要な薄片の精度は鋸引き過程における糸と鋸引き加工品の支持要素の位置、したがって鋸引き加工品に対する糸案内円筒の位置に依存するが、糸案内の表面に切削された溝の幾何の品質にも依存する。
溝が摩耗すると、得られた薄片の精度も低下する。
明らかに、溝の再加工のために鋸引き装置の停止は、必要な場合にしか行われず、そのためできる限り後に引き延ばされる傾向があり、このために得られた薄片の平均品質も低下する。
【０００８】
本発明の目的は、上記の不便を解消することにあり、そのために請求の範囲の記載によって特徴づけられる。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
【００１０】
これによって糸案内溝の更新または再生が非常に迅速かつ容易になり、表面の再生が容易になり、複雑でなくなることから薄片の精度も向上する。
薄片の厚みの修正による溝のピッチの変更も大幅に容易になる。
【００１１】
好適には、前記の外部被覆は円筒の周縁に固定することのできる動かないセグメントを含む。
【００１２】
この特性によって糸案内円筒の外側部分の更新と現場での交換作業が一層容易になる。
【００１３】
このように、溝の再加工のために糸案内円筒全体を分解することを避けるために、糸案内円筒を機械的に、あるいは接着またはその両者によって固定された取り外し可能な表面に別付けして糸案内円筒表面をだけを交換することによって作業を実施することができる。
表面は、一般的にポリウレタンの、合成部分だけとするか、例えば、ポリウレタンの合成層で被覆されているか否かを問わず、別付けされた一連のセグメントとすることができる。
溝の切削は、糸案内円筒を取り外すことなしに糸案内円筒表面上で溝の再加工を可能にする再切削機構によって、その場で鋸引き装置内で、あるいは取り外し可能なセグメントの組立の前にたとえば数値制御旋盤または研削盤で実施することができる。
したがってそれによって摩耗した後の再生、あるいは薄片の厚みの修正のための溝ピッチの変更が可能になる。
【００１４】
溝の完全な幾何が要求されるこの鋸引き技術において、別付けされた取り外し可能なセグメントの迅速互換性によって表面再生が容易になり、取り外し可能なセグメントに対してその場で、あるいは組立の前に切削ができることによって薄片の精度が向上する。
【００１５】
鋸引き加工品、したがって薄片の寸法増大に結びつく、半導体に使用する用途分野では生産性と精度が要求されるので、たとえ小さなものであっても変動は避けなければならない。
事前切削されているか否かを問わず、別付けされたセグメントの使用によって、より容易に、したがってより頻繁に表面を再生、またはピッチを変更することができる。
加えて、必要なのはセグメントだけで、糸案内円筒全体ではないので、追加投資の必要性も小さい。
【００１６】
【発明の実施の形態】
【００１７】
本発明は、したがって、糸案内円筒の表面の互換性という基本設計と、取り外し可能なセグメントの使用によって幾何的および生産性の性能品質を向上させながら糸案内円筒の完全な取り外しという長くてやっかいな作業をなくすることによって鋸引き装置が技術の新しい要求事項を満たすことを可能にする。
したがって、鋸引き装置は、好適には、機械的に、あるいは接着によって保持された、表面に事前に溝が切削されているか否かを問わず取り外し可能なセグメントの形の互換性表面を備えた糸案内円筒から成る。
【００１８】
互換性表面を備えた糸案内円筒は、その上に鋸引き糸の螺旋の間隔付けに役立つ溝が刻まれた、被覆の有無を問わずセグメントをその表面上に、割り出された位置に受納することができる基本円筒の形を取る。
これらの溝は、糸鋸引き装置に取り付けた後に溝の位置を保証するために、糸案内円筒と同じ割り出し位置を有する外部切削機上で事前切削することができる。
【００１９】
したがって、表面互換性の基本設計を使用することによって高い生産性と、高い平均精度を有し、生産された薄片の厚みの修正が容易な高性能の鋸引き装置の実現を可能にする。
【００２０】
その他の利点は、請求の範囲の記載の特徴と、実施態様とその変形を概略的に、また例として説明する図面を参照して本発明をもっと詳細に示す後述の説明から明らかになるだろう。
【００２１】
【実施例】
【００２２】
図１は糸鋸引き装置の実施態様の全体図である。
図２は糸案内円筒の全体図である。
図３は糸案内円筒の変形を示している。
【００２３】
図１の糸鋸引き装置は、本発明の原理を図示している。
鋸引き加工品１は、糸案内円筒４によって支えられた糸の層２に当接している。その上に鋸引き加工品１が固定された支持テーブル３は、電動機１５によって駆動される。
糸案内円筒４は、その両端で軸受け５によって支持されている。
取り外し可能なセグメント６は、固定ネジ７によって糸案内円筒４の表面に機械的に固定されている。
全体は、フレーム１４内に組み立てられている。
層の糸２は、往復または連続運動で移動させるための周知の手段で駆動することができる。
セグメント６の外面は、刻まれた溝９を備え、その中に糸が配置される。
これらの溝９が、層の糸２の間の間隔、したがって鋸引きされた薄片の厚みを決定する。
セグメント６は、機械的におよび／または接着によって糸案内円筒４の表面に固定されているので、摩耗した後に、あるいは溝９の間の間隔を修正しようとするときに、糸案内円筒４を分解し、機械の外に出す必要なしに、更新したり、交換することができる。
【００２４】
図２は、溝９があらかじめ切削されたポリウレタン層８によって被覆され、固定ネジ７によって糸案内円筒４に機械的に固定された２つの取り外し可能なセグメント６を備えた、固定軸の糸案内円筒４の全体図を示している。
セグメントは、位置決めピン１１によって糸案内円筒４上に位置づけられている。
取り外し可能なセグメント６は、金属製で、この金属は好適には、たとえばＦｅ−Ｎｉ合金などの膨張係数の低いものが選ばれる。
【００２５】
図３は、円錐１２の上に固定するための糸案内円筒４の変型の全体図を示している。
３つの取り外し可能なセグメント６は、固定ネジ７によって表面に機械的に固定されたフランジタブ１３によって表面に引張され、締め付けられた、好適にはポリウレタンの、合成材料の箔である。
糸案内円筒４の表面の適切な組織に組み合わされたポリウレタン箔６の接着は、ポリウレタン箔６を糸案内円筒４の表面上の位置に維持する。
【００２６】
一般的に糸案内円筒４の間の糸の層２を形成する鋸引き糸は、シリコン、セラミック、ＩＩＩ−Ｖ群の元素の化合物、ＧＧＧ（ガドリニウム＝ガリウム・ガーネット）、サファイア、などの硬質材料またはもっと特殊な材料の塊を厚みがおよそ０．１から５ｍｍの薄片に鋸引きするために直径が０．１から０．２ｍｍの間に含まれるバネ鋼で構成されている。
研磨剤は、市販品で、糸に固定された、あるいは泥状液の中に遊離した形のダイアモンド、カーボランダム、アルミナ、などとすることができる。
【００２７】
取り外し可能なセグメント６の結合による糸案内円筒４の表面の互換性という基本設計によって鋸引き装置は、生産される部品の品質を犠牲にすることなしに最大の性能、生産性と柔軟性を得ることが可能になる。
【００２８】
いうまでもなく、上述の実施態様はいかなる形でも限定するものではなく、所望のいっさいの変更が可能であるがそれをもって請求項に記載の範囲を逸脱することはできない。
【００２９】
そのため、基本設計上、同じように、糸案内円筒４の分解なしに表面の再生および／または更新機能を有する他のタイプの互換表面も考えられる。
例えば、表面上の成形したコードまたは帯を結合した巻き線などが考えられる。
糸案内円筒４の完全な分解を必要としない限りにおいて、例えば、鋸引き装置内への噴霧による再装填も表面互換性という基本設計を満たし、本発明の目的を満たすものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】糸鋸引き装置の実施態様の全体図
【図２】糸案内円筒の全体図
【図３】糸案内円筒の変形を示している図
【符号の説明】
１  鋸引き加工品
２  糸の層
３  支持テーブル
４  糸案内円筒
５  軸受け
６  セグメント
７  固定ネジ
８  ポリウレタン層
９  溝
１１  位置決めピン
１２  円錐
１４  フレーム
１５  電動機
【図１】
0004140987.tif 000002
【図２】
0004140987.tif 000003
【図３】
0004140987.tif 000004