(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉空間内に加圧ないし減圧で充填されたＳＦ6ガス及び少なくとも１種のＳＦ6分解ガスを含むＳＦ6混合ガスをその空間から抜き出し、精製処理してＳＦ6ガスを回収する方法であって：
（イ）  そのＳＦ6分解ガスを含むＳＦ6混合ガスを、水酸化ナトリウムと水酸化カルシウムとを充填した第１の固形処理剤層内を通過させ、中和反応によりＳＦ6分解ガス成分を処理し、引き続き、
（ロ）  その第１の固形処理剤層からの副生物を含む流出ガスを、活性アルミナを充填した第２の固形処理剤層内を通過させて吸着吸収作用によりさらに処理し、
（ハ）  その第２の固形処理剤層からの流出ガスを精製ＳＦ6ガスとして回収する、
ことからなり；
その密閉空間からの抜き出し開始時の加圧状態から完全抜き出しのための終期の減圧状態に至るまでのＳＦ6分解ガスを含むＳＦ6混合ガスの圧力値の変動にかかわらず、被処理ガス流通経路内に設けた圧力感知装置と組合せた流量調節装置により第１及び第２の固形処理剤層の単位時間処理能力を越えることがない被処理ガス流量を第１及び第２の固形処理剤層において維持制御することを特徴とする上記ＳＦ6ガス精製回収方法。
【請求項２】
流量調節装置が流量計及び流量制御弁からなるものである請求項１に記載の方法。
【請求項３】
流量調節装置が流量センサ及びその流量センサからの信号を入力されたＣＰＵからの出力信号に応じて作動される流量制御弁からなるマスフローコントローラである請求項１に記載の方法。
【請求項４】
密閉空間内のＳＦ6分解ガスを含むＳＦ6混合ガスの圧力が、被処理ガスを第１及び第２の固形処理剤層を通して推し進めて該中和及び吸着吸収処理を達成する高圧段階から、次いで真空発生装置の助力により被処理ガスを第１及び第２の固形処理剤層を通して流動させて該中和及び吸着処理を達成完結する減圧段階へと遷移する請求項１〜３のいずれかに記載の方法。
【請求項５】
第１の固形処理剤層の上流側に流量調節装置を設けて実施する請求項１〜４のいずれかに記載の方法。
【請求項６】
第２の固形処理剤層の下流側に流量調節装置を設けて実施する請求項１〜４のいずれかに記載の方法。
【請求項７】
真空発生装置が第２の固形処理剤層の下流側に設けられた真空ポンプである請求項４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス遮断器や変圧器の絶縁ガスとして有用なＳＦ6ガスの使用の際に生じるＳＦ6分解ガスを除去するための乾式処理方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
長時間使用したガス遮断器や電器開閉装置内のＳＦ6は、一部分解が生じ、化学的に活性な化合物が生成する。ＳＦ6分解ガスとしては、ＨＦ，ＳＯ2，ＳＦ4，ＳＯＦ2，ＳＯ2Ｆ2等が知られており、これらは人体に有害な物質であるが、装置自体や装置内部の絶縁材に対しても、劣化を引き起こす原因になるため、早期に除去する必要がある。従来、これらの物質を除去し、ＳＦ6を回収、精製するための方法、装置が種々提唱されている。例えば、特開昭６３−１３０１２４号公報には、有害成分を効果的に除去するための高感度インジケーター（変色指示薬）付きのコンパクトな排ガス処理装置が開示されている。しかし、このような処理装置を、ガス遮断器や電気開閉装置などの電気機器に接続して処理操作をする際には注意しなければならないことがある。
【０００３】
すなわち、これらの電気機器では、より絶縁性を高めるために加圧状態でＳＦ6ガスが充填密封されている点、及びこれらの電気機器のメンテナンス時には内部から完全にＳＦ6ガスを抜き出すために真空状態にもなる点があり、従って高圧から減圧に至る変動圧力条件下でＳＦ6ガスを取扱わなければならない。ＳＦ6分解生成物を分解したり、吸着・吸収することによって処理する場合には、そのような変動圧力条件下でも安定した処理効率で充分な除去無害化が達成されることが必要である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者等は上記の処理操作条件に関する問題点を解決すべく鋭意研究検討した結果、これらの有害ガスを除去し、無害化するための方法を発明するに至った。
【０００５】
すなわち、本発明は安定した処理効率で完全な処理を達成するために、処理装置に導入する被処理ガスの供給量を適宜調節して、処理量の最適化を図るという概念に基づいている。
【０００６】
かくして本発明の目的は、加圧下で大量のＳＦ6分解ガスを含むＳＦ6供給ガスを短時間で乾式に吸着処理でき、また真空下でも吸着処理したＳＦ6分解生成物を再脱離しない処理剤と処理方法、さらにはその処理装置を、提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、密閉空間内に加圧ないし減圧で充填されたＳＦ6ガス及び少なくとも１種のＳＦ6分解ガスを含むＳＦ6混合ガスをその空間から抜き出し、精製処理してＳＦ6ガスを回収する方法であって：
（イ）  そのＳＦ6分解ガスを含むＳＦ6混合ガスを、水酸化ナトリウムと水酸化カルシウムとを充填した第１の固形処理剤層内を通過させ、中和反応によりＳＦ6分解ガス成分を処理し、引き続き、
（ロ）  その第１の固形処理剤層からの副生物を含む流出ガスを、活性アルミナを充填した第２の固形処理剤層内を通過させ、吸着吸収作用によりさらに処理し、
（ハ）  その第２の固形処理剤層からの流出ガスを精製ＳＦ6ガスとして回収する、
ことからなり；
その密閉空間からの抜き出し開始時の加圧状態から完全抜き出しのための終期の減圧状態に至るまでのＳＦ6分解ガスを含むＳＦ6混合ガスの圧力値の変動にかかわらず、被処理ガス流通経路内に設けた圧力感知装置と組合せた流量調節装置により第１及び第２の固形処理剤層の単位時間処理能力を越えることがない被処理ガス流量を第１及び第２の固形処理剤層において維持制御することを特徴とする上記ＳＦ6ガス精製回収方法を提供する。
【０００８】
本発明方法では、通常は、密閉空間内のＳＦ6分解ガスを含むＳＦ6混合ガスの圧力が、被処理ガスを第１及び第２固形処理剤層を通して推し進めて該中和及び吸着吸収処理を達成する高圧段階から、次いで真空発生装置の助力により被処理ガスを第１及び第２固形処理剤層を通して流動させて該中和及び吸着処理を達成完結する減圧段階へと遷移する。このような圧力の高圧段階から減圧段階への遷移にもかかわらず処理装置内に処理のために適切な流量の被処理ガスの流れを維持しつつ本発明方法は実施される。
【０００９】
そしてより具体的には、長時間使用したガス遮断器や電器開閉装置内等のＳＦ6とともに含有される、ＨＦ，ＳＯ2，ＳＦ4，ＳＯＦ2，ＳＯ2Ｆ2などのＳＦ6分解ガスを、０〜９．９ｋｇ／ｃｍ2Ｇ（ゲージ）の加圧下、または７６０〜１．０Ｔｏｒｒの減圧下で、乾燥状態の処理剤と、常温で接触させることを特徴とする方法である。
【００１０】
本発明で使用する第１の固形処理剤は、水酸化ナトリウムと水酸化カルシウムとを薬剤とするものであって、第２の固形処理剤は、活性アルミナを使用する。特に、８〜１２ｗｔ％ＮａＯＨを含むＣａ（ＯＨ）2と、活性アルミナとを使用する場合が、より効果的である。
【００１１】
また、第１と、第２の固形処理剤との使用量の比率は、第２の固形処理剤としての活性アルミナ１に対し、第１の固形処理剤３〜７の割合が好適である。上記のＮａＯＨを含むＣａ（ＯＨ）2と、活性アルミナとの比率は、活性アルミナ１に対し、Ｃａ（ＯＨ）2が４〜５の割合が最も効果的である。
【００１２】
第１及び第２の固形処理剤は、粒状のものを使用するが、他の形状であってもかまわない。繊維状、リボン状、スポンジ状など様々な形状のものを用いることができる。ただし、粉末では、凝集してガスの流通を、妨げたり、飛散したりして、好ましくない。実施に際し、好ましくは第１及び第２の固形処理剤が、粒状、多孔質状又は、粒状・多孔質状であるものを使用する。例えば、薬剤の交換等の取扱いを容易にするという効果により、粒径３〜１０ｍｍ程度の大きさに成形した粒状の処理剤を使用している。また、多孔質にすることで、ガスを処理する接触面積が増加するため、より好ましい。多孔質粒状の場合は、８〜２０ｍｍ程度の大きさに調整すると、取扱いやすい。しかし、その形状や大きさは特定されることなく適宜変えることができる。例えば、粒状の処理剤としてではなく、第１の固形処理剤の成分を、多孔質物質に担持あるいは含浸させた固体状の処理層として使用することも可能である。
【００１３】
これら固形処理剤を有するガス反応部でのガスと処理剤との反応は、主に常温で行う事ができるが、−３０〜８０℃の温度範囲に制御して反応させる事ができる。好ましくは、−５〜４５℃である。
【００１４】
ガス反応部に導入する有害ガスは、加圧から減圧の条件下で、所定の線速度又は所定の線速度以下で供給するための流量調節機構によりコントロールされる。この制御機構は、ガス遮断器や電器開閉装置等の電気機器に直結して操作される処理装置を組み立てるために重要である。その線速度は、一般的には約１ｍ／ｍｉｎ〜１００ｍ／ｍｉｎの範囲に制御して行うが、しかし例えば、固形処理剤の量や形態によって流量（線速）を調節することが適当であるため、その流量は必ずしも前記の範囲に限定されない。
【００１５】
この加圧から減圧の条件下で供給するための流量調節機構は、圧力調整部と流量調節部とを設置することによって、より的確な制御が可能となる。その圧力は、前述のような０〜９．９ｋｇ／ｃｍ2Ｇ（ゲージ）の加圧下、または７６０〜１．０Ｔｏｒｒの減圧下に調整するものである。
【００１６】
本発明はまた、ＳＦ6ガス及び少なくとも１種のＳＦ6分解ガスを含有する有害ガスの除去方法において、当該有害ガスを加圧から減圧の条件下で供給するための圧力調整部と、該供給ガス量を一定にするための流量調節部と、以下の圧力調整部と流量調節部とにより制御された加圧状態または減圧状態の所定流量の有害ガスを導入するガス反応部とを有し、該反応部には、装置内の圧力と温度を測定するための計器、並びに装置内の温度を制御するためのヒーター及び冷却器を設置し、さらに装置内の状況をモニタリングするためのインジケーター窓を設置したことを特徴とする有害ガス除去装置を、提供するものである。
【００１７】
インジケーター窓の形状や大きさ、構造、材質については、装置内の状況を確認できる程度の大きさや形状、構造であれば、特に限定されることはなく、四角い窓でも、丸い窓でもかまわないが、安全のため極端に大きい窓は使用しないことが望まれる。
【００１８】
長時間使用したガス遮断器や電器開閉装置内等から供給されるＳＦ6ガス及びＳＦ6中に含有されるＨＦ，ＳＯ2，ＳＦ4，ＳＯＦ2，ＳＯ2Ｆ2などのＳＦ6分解ガスを、０．０〜９．９ｋｇ／ｃｍ2Ｇ（ゲージ）の加圧下、または７６０〜１．０Ｔｏｒｒの減圧下において、約１ｍ／ｍｉｎ〜１００ｍ／ｍｉｎの線速度で第１と、第２の固形処理剤充填層からなるガス反応部に導入するための、圧力調整部と、流量調節部とを有し、該反応部には、装置内の圧力と温度を測定するための計器を設置し、かつ、装置内の温度を制御するためのヒーター及び冷却器を設置したことを特徴とする除去装置を提供するものであって、さらに、その装置の出口付近に、装置内部の状況をモニタリングするためのインジケーター窓を設置した処理装置を、提供することを目的とする。当該インジケーター窓により、ガスの処理量及びガスの処理時間を制御できるとともに、処理剤の劣化状況をモニタリングして、処理剤の交換時期を判断することができる。
【００１９】
加圧または減圧状態にある供給ガスを処理装置に導入するための圧力調整部の最も一般的な単純構成としては、圧力計（圧力感知装置）により供給ガスの状態をとらえ、圧力調節弁で調整するようにしたもの、または圧力計により供給ガスの状態をとらえ真空ポンプ（あるいは圧縮機）で調整するようにしたものを挙げることができる。市販圧力計で本発明に使用できるものの一例は、長野計器製の連成計（型式ＡＥ１０−１３３１０Ｋ７６）である。
【００２０】
本発明における流量調節部に関しては、流量調節計によりコントロールする方法がある。流量調節計としては流量計及び流量制御弁からなるものがある。さらには流量センサ及びその流量センサからの信号を入力されたＣＰＵからの出口信号に応じて作動される流量制御弁を備えたマスフローコントローラを使用することもできる。市販流量調節計の一例として、日立金属（株）製「ＳＵＭ」ブランドマスフローコントローラ（型式ＳＦＣ４８０−ＭＯ−４Ｓ−Ｎ）を挙げることができる。
【００２１】
本発明の一態様においては、吸引ポンプ（または圧縮機）を用いて、一定の容積のガスをシリンダー内に導入することを所定のサイクルで行なうような一連の機構を組み合わせる方式を採用することも可能である。本発明において使用する市販真空ポンプの一例として、ＵＬＶＡＣ  ＳＩＮＫＵ  ＫＩＫＯ社製型式：ＧＶＤ−１００Ａを挙げることができる。
【００２２】
以下に本発明を実施するための具体的な装置システムのフローシートの例を示す添付図面を参照して例示する。
【００２３】
図１の装置システムにおいては、第１固形処理剤層１及び第２固形処理剤層２からなるガス処理反応部３が設けられ、この反応部にはヒーター／冷却器４が付属して適切な処理温度が維持されるようになっている。また圧力計５及び温度計６により系内の圧力及び温度が監視されている。この反応部３に後続して流量調節部７を設け流通ガスの流量を反応部３の処理能力に適切な水準、好ましくは処理能力を越えない水準に保持する。供給ガスは矢印の方向に流動して処理される。
【００２４】
図２の装置システムにおいては、まず圧力調整部８、次いで流量調節部７が配置され、これにガス処理反応部３が後続している。この反応部３には温度制御用のヒーター／冷却器４及び圧力計５及び温度計６が備えられている。
【００２５】
図３の装置システムは、図２のものと同様であるが、ガス反応部３にはその内部の状況をモニタリングするためのインジケーター窓９を設けて処理操作の安全をはかっている。
【００２６】
以上は単なる例示であり、圧力調整部、流量調節部、ガス反応部等の配置順序及び第１、第２固形処理剤充填層の数等については様々な変動が可能である。
【００２７】
【実施例】
以下、本発明を実施例によってさらに説明するが、本発明はかかる実施例に限定されるものではない。
【００２８】
＜比較例１〜８、実施例１についての基本操作は下記のようにした。＞
反応器として、内径３１ｍｍ、長さ５５０ｍｍのＳＵＳ製のパイプを垂直にセットし、処理剤を充填して、各種分解ガス（ＨＦ，ＳＯ2，ＳＦ4，ＳＯＦ2，ＳＯ2Ｆ2）と、ＳＦ6とをそれぞれ混合して調製した模擬試験ガスを各々反応器底部より上部へ、加圧から減圧の条件下で導入した。反応器の入口側には、上記の各種分解ガスとＳＦ6との混合ガスを、それぞれ加圧から減圧の条件下で定量的に供給するため、圧力調整器と、流量調節器（マスフローコントローラー）を設置した。
【００２９】
また、反応器へ導入するガスを分析するため、配管の主幹ラインを分岐して、サンプリングポートを設置した。反応器には、装置内の圧力を測定するための圧力計及び温度計とを設置し、装置内の温度を制御するためにヒーター及び冷却器を取り付けた。反応器出口には、装置内の圧力を調整するためのニードルバルブと分析用のサンプリングポート及び水分計（静電容量式水分計）を取り付けた。減圧の条件下で、実験する際は真空ポンプで装置内を減圧した（図４参照）。
【００３０】
処理後のＳＦ6ガス中の各種分解ガス（ＨＦ，ＳＯ2，ＳＦ4，ＳＯＦ2，ＳＯ2Ｆ2）の分析については、ガスクロマトグラフィー、検知管分析又は苛性ソーダ水溶液に吸収させて行った。
【００３１】
また、処理後の水分濃度の目標値は、５０ｐｐｍ以下とした。
【００３２】
＜各種分解ガスとＳＦ6ガスの模擬試験混合ガスの調製方法＞
内容積が４７ｌのボンベを真空ポンプで脱気し、ＳＦ6ガスを導入してボンベ内部を置換した。２〜３回同様の操作を繰り返した後、約１×１０-2 Ｔｏｒｒ までボンベを真空引きし、各種分解ガス（ＨＦ，ＳＯ2，ＳＦ4，ＳＯＦ2，ＳＯ2Ｆ2）５００ｍｌ〜４０００ｍｌをそれぞれ導入した。その後、ＳＦ6ガスでボンベを回転させ、ボンベ内のガスを均一に混ぜ合わせた。調製した各種の混合ガス（ＨＦ，ＳＯ2，ＳＦ4，ＳＯＦ2，ＳＯ2Ｆ2の各種分解ガスと、ＳＦ6ガスとの混合ガス）の分析は、それぞれガスクロマトグラフィー、検知管分析又は苛性ソーダ水溶液に吸収させて行った。
【００３３】
＜反応器内への処理剤の充填方法＞
(I)比較例１〜５
反応器の底部にテフロンメッシュ及び金網を詰めておき、粒径３．５〜５．５ｍｍに成形した粒状Ｃａ（ＯＨ）2を２００ｇ充填した後、粒径４．０〜６．０ｍｍに成形した粒状の活性アルミナを５０ｇ充填した。
【００３４】
(II)比較例６
反応器の底部にテフロンメッシュ及び金網を詰めておき、粒径３．０〜６．０ｍｍに成形した粒状Ｍｇ（ＯＨ）2を２５０ｇ充填した後、粒径４．０〜６．０ｍｍに成形した粒状の活性アルミナを５０ｇ充填した。
【００３５】
(III)比較例７
反応器の底部にテフロンメッシュ及び金網を詰めておき、粒径５．０〜１０．０ｍｍに成形した粒状ＣａＯを２００ｇ充填した後、粒径４．０ 〜６．０ｍｍに成形した粒状の活性アルミナを５０ｇ充填した。
【００３６】
(IV)実施例１
多孔質Ｃａ（ＯＨ）2に、ＮａＯＨ２０ｇをメタノール３００ｍｌに溶解させた液を含浸させ、メタノールをロータリーエバポレーター及び電気炉で蒸発・除去して、約１０．０ｗｔ．％ＮａＯＨを含浸する多孔質Ｃａ（ＯＨ）2を調製した。粒径を、１０．０〜１５．０ｍｍに整えた後、反応器の底部にテフロンメッシュ及び金網を詰めて、上記の処理剤２００ｇを充填し、さらに粒径４．０〜６．０ｍｍに成形した粒状の活性アルミナを５０ｇ充填した。
【００３７】
(V)比較例８
反応器の底部にテフロンメッシュ及び金網を詰めておき、粒径４．０〜６．０ｍｍに成形した粒状の活性アルミナのみを２５０ｇ充填した。
【００３８】
(VI)比較例９
比較例１〜５の粒状Ｃａ（ＯＨ）2と、粒状の活性アルミナとを、予め混合した後充填した。
【００３９】
【比較例１】
ＳＦ6分解ガスであるＨＦ（濃度５，０００ｐｐｍ）とＳＦ6ガスとの混合ガスを、加圧下７．０ｋｇ／ｃｍ2Ｇ並びに減圧下１０ Ｔｏｒｒの圧力条件のもと、前記(I)に示した粒状のＣａ（ＯＨ）2と活性アルミナとをそれぞれ充填した反応器内へ１，０００ｍｌ／ｍｉｎの流量で導入した（試験Ｎｏ．１，２）。反応器の内部の温度は、４０℃に設定した。また一方、分解ガスと処理剤とが反応して副生する水分が最も生成し易いＨＦの試験については、水分が凝固する氷点下での検討も行なった（試験Ｎｏ．３）。これらの試験（試験Ｎｏ．１〜３）の実験条件と実験結果は、表１に示した。
【００４０】
反応器から排出される処理後のガスを採取し、検知管及び苛性ソーダ水溶液に吸収させてＨＦの濃度を分析した。また、ＨＦとＣａ（ＯＨ）2が反応した際に副生する水分（理論濃度約２，５００ｐｐｍ）についても処理後のガスを採取し、水分計（静電容量式水分計）で分析した。
【００４１】
即ちその結果として、処理後のＳＦ6ガス中に含まれるＨＦは検出されず（検出下限：０．１ｐｐｍ）、水分濃度も４０ｐｐｍと、目標値の５０ｐｐｍ以下であった。また、ＨＦとＳＦ6の混合ガス処理時の温度が氷点下の−５℃においてもＨＦは検出されず、水分も目標値以下であった。ＨＦとＣａ（ＯＨ）2とが反応した際に副生する水分の凝固による薬剤の能力の低下には、ほとんど影響が見られなかった。
【００４２】
【比較例２】
被処理分解ガスをＳＯ2とし、ＳＯ2の濃度を１０００ｐｐｍに変えて使用し、水分が凝固する氷点下での試験を省いた以外は、比較例１と同様の試験を行った。
【００４３】
処理後のＳＦ6ガスを採取して、ＳＯ2及び水分について検知管分析及び水分計で分析したところ、ＳＯ2は検出されず（検出下限：０．２ｐｐｍ）、一方水分は４０ｐｐｍであった。
【００４４】
【比較例３】
被処理分解ガスをＳＦ4とし、ＳＦ4の濃度を１０００ｐｐｍに変えて使用した以外は比較例２と同様の試験を行った。処理後のＳＦ6ガスを採取して、ＳＦ4及び水分について検知管分析、苛性ソーダ水溶液に吸収させた分析及び水分計で分析したところ、ＳＦ4は検出されず（検出下限：０．２ｐｐｍ）、処理後の水分濃度も目標値以下であった。
【００４５】
【比較例４】
被処理分解ガスをＳＯＦ2とし、ＳＯＦ2の濃度を１０００ｐｐｍに変えて使用した以外は比較例２と同様の試験を行った。処理後のＳＦ6ガスを採取して、ＳＯＦ2及び水分についてガスクロマトグラフィー分析及び水分計で分析したところ、ＳＯＦ2は検出されず（検出下限：１０ｐｐｍ）、水分も５０ｐｐｍ以下であった。
【００４６】
【比較例５】
被処理分解ガスをＳＯ2Ｆ2とし、ＳＯ2Ｆ2の濃度を１０００ｐｐｍに変えて使用した以外は比較例２と同様の試験を行った。処理後のＳＦ6ガスを採取して、ＳＯ2Ｆ2及び水分についてガスクロマトグラフィー分析及び水分計で分析したところ、ＳＯ2Ｆ2は検出されず（検出下限：１０ｐｐｍ）、水分も５０ｐｐｍ以下であった。
【００４７】
【比較例６】
反応器に、前記(II)に示したようにＭｇ（ＯＨ）2と活性アルミナとを充填して使用した以外は比較例１と同様の試験を行った。処理後のＳＦ6ガスを採取して、ＨＦ及び水分についてガスクロマトグラフィー分析及び水分計で分析したところ、ＨＦは検出されず（検出下限：０．１ｐｐｍ）、水分濃度は４０ｐｐｍであった。
【００４８】
【比較例７】
反応器に、前記(III)に示したようにＣａＯと活性アルミナとを充填して使用した以外は比較例１と同様の試験を行った。処理後のＳＦ6ガスを採取して、ＨＦ及び水分についてガスクロマトグラフィー分析及び水分計で分析したところ、ＨＦは検出されず（検出下限：０．１ｐｐｍ）、水分濃度は５０ｐｐｍ以下であった。
【００４９】
【実施例１】
反応器に、前記(IV)に示したように１０ｗｔ．％ＮａＯＨを含浸させた多孔質のＣａ（ＯＨ）2と活性アルミナとを充填して使用した以外は比較例１と同様の試験を行った。処理後のＳＦ6ガスを採取して、ＨＦ及び水分についてガスクロマトグラフィー分析及び水分計で分析したところ、ＨＦは検出されず（検出下限：０．１ｐｐｍ）、水分濃度も表１に示す通りであった。
【００５０】
【比較例８】
反応器に、前記(V)に示したように活性アルミナのみをそれぞれ充填して使用した以外は、比較例１と同様の試験を行った。
【００５１】
処理後のＳＦ6ガスを採取して、ＨＦ及び水分についてガスクロマトグラフィー分析及び水分計で分析を行った。減圧下４０℃では、処理後ＨＦが１０５ｐｐｍ検出された。また、ＨＦとＳＦ6ガス処理時の温度が氷点下の−５℃においては、処理後のＨＦは検出されなかった。
【００５２】
【比較例９】
反応器に、前記(VI)に示したようにＣａ（ＯＨ）2と活性アルミナとを予め混合し、充填して使用した以外は、比較例１と同様の試験を行った。
【００５３】
処理後のＳＦ6ガスを採取して、ＨＦ及び水分についてガスクロマトグラフィー分析及び水分計で分析を行ったところ、加圧下４０℃で、処理後のＨＦは検出されなかったが、水分は７０ｐｐｍであった。また、減圧下では、水分濃度が１２０ｐｐｍであった。
【００５４】
【表１】
0004138110.tif 000002
【００５５】
【発明の効果】
本発明によれば、ＳＦ6の分解ガス（ＨＦ，ＳＯ2，ＳＦ4，ＳＯＦ2，ＳＯ2Ｆ2）を含むＳＦ6混合ガスを、加圧から減圧の条件下で且つ夏期又は冬期の室外で想定される温度条件でも効率よくＳＦ6分解ガス（ＨＦ，ＳＯ2，ＳＦ4，ＳＯＦ2，ＳＯ2Ｆ2）を除去して安全な生成物へ固定化し、ＳＦ6ガスを効率的に精製することができる。このため、装置の簡易さ、分解ガスの除去率の高さ、精製コストの安価さ、分解ガス固定化後の薬剤の処理の簡易さ等に、非常に功を奏する。特に、遮断機等の電気絶縁ガスとして使用したＳＦ6ガス中の分解ガスを安全に除去・精製してＳＦ6の再利用化へと有効利用できるとともに地球温暖化等の環境問題に大変寄与する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に使用の装置システムの一例のフローシート。
【図２】  本発明に使用の装置システムの一例のフローシート。
【図３】  本発明に使用の装置システムの一例のフローシート。
【図４】  実施例で使用した装置の概念図。
【符号の説明】
１    第１固形処理剤充填層
２    第２固形処理剤充填層
４    ヒーター／冷却器
５    圧力計
６    温度計
７    流量調節部
８    圧力調整部
【図１】
0004138110.tif 000003
【図２】
0004138110.tif 000004
【図３】
0004138110.tif 000005
【図４】
0004138110.tif 000006