(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を載置する載物台において、
基体部と、
前記基体部で周辺部を支持され、前記対象物を載置するほぼ平面の載物面を有する第１の部材と、
前記第１の部材の下方に配置され、前記第１の部材の中央付近に当接する少なくともひとつ以上の凸形状を有する第２の部材と、
前記第２の部材の外周部の下方に配置され、前記第１の部材に対する第２の部材の当接圧を変化させ前記載物面の平面度の低下を改善する圧力可変手段とを有することを特長とする載物台。
【請求項２】
請求項１に記載の載物台において、
前記第１の部材に載置された対象物の重量を検知する計量手段と、
前記計量手段が検知した対象物の重量に応じた信号を前記圧力可変手段に供給し、前記対象物の重量に起因する前記第１の部材の撓みによる前記載物面の平面度の低下を改善するように制御する制御部とを更に備えたことを特徴とする載物台。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の載物台において、
前記第１の部材および第２の部材が、透明または半透明であることを特長とする載物台。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の載物台において、
前記第２の部材を介して前記対象物を照明可能であることを特徴とする載物台。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は対象物を載置する載物台に関し、特に光学的に観察される対象物を載置する光学機器用の載物台に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の光学機器用載物台を図５に基づいて説明する。図５の載物台は観察対象物１３（以下、対象物という）をコンデンサレンズ１５ａ、光源１５ｂからなる透過照明光学系１５によって下方から照明し、対物レンズ１４ａ、接眼レンズ１４ｂからなる観察光学系１４によってその輪郭形状や対象物の内部を観察できるよう、対象物１３を上面に載置する透明または半透明なガラスで構成された載物ガラス１１を有する。載物ガラス１１は、載物台上板１２の略中央部にその周辺部を支持されてはめ込まれている。載物台上板１２の下方には図示しない十字移動案内機構が設けられており、載物ガラス１１は載置された対象物１３と共に、互いに直交するＸおよびＹ方向に十字移動自在である。
【０００３】
前記十字移動によって、対象物１３の観察光学系１４の視野より広い範囲を順次観察することができる。
【０００４】
【本発明が解決しようとする課題】
上述の従来の装置においては、対象物１３を透過照明光学系１５によって下方から照明するために、載物ガラス１１を十字移動させても透過照明光の一部がけられることがないように、載物ガラス１１の周辺部のみを支持しなければならないという制約があった。このことは必然的に、対象物１３の重量による載物ガラス１１の撓みが大きいということを意味する。したがって、載物ガラス１１の載物面の平面度が低下する。この為、載置された対象物１３が不安定になったり、載置された低剛性の対象物が撓んだ載物面の形状に沿って変形したりすることがある。
【０００５】
このため、例えば観察光学系１４の合焦位置に基づいて対象物１３の平面度を測ることが困難になるという問題があった。このことは十字動範囲の大きな載物台、即ち載物ガラス１１の大きな載物台において特に顕著である。
上記、対象物の重量による載物面の平面度低下およびそれに起因する上記問題は、載物面が載物ガラスの面である場合に限らず、例えば金属、プラスチックなど、他の材質の部材の面で構成された場合にも同様に発生する。
【０００６】
本発明は上記の問題点に鑑み、対象物の重量による載物面の撓みを排除もしくは軽減した載物台を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明は、対象物を載置する載物台において、基体部と、前記基体部で周辺部を支持され前記対象物を載置するほぼ平面の載置面を有する第１の部材（１）と、前記第１の部材の下方に配置され、前記第１の部材の中央付近に当接する少なくともひとつ以上の凸形状を有する第２の部材（６、６１、６２、６３）と、前記第２の部材（６、６１、６２、６３）の外周部の下方に配置され、前記第１の部材（１）に対する第２の部材の当接圧を変化させ前記載物面の平面度の低下を改善する圧力可変手段（８、ネジ機構等）を有することを特長とする載物台である。
【０００８】
前記載物台において、前記第１の部材に載置された対象物の重量を検知する計量手段（７、９）と、前記計量手段が検知した対象物の重量に応じた信号を前記圧力可変手段（８）に供給し、前記対象物の重量に起因する前記第１の部材のたわみによる前記載物面の平面度の低下が改善されるように制御する圧力制御部（１０）とを備えた制御部（１００）を備えてもよい。
【０００９】
そして、上記載物台において、前記第１の部材および第２の部材は、透明または半透明とすることができる。また、第２の部材を介して対象物を照明可能とすることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図１に基づいて本発明の第１の実施の形態例を説明する。対象物３を載置した載物ガラス１は、載物台上板２の略中央部に、その周辺部を圧力センサ７を介して支持されてはめ込まれている。載物ガラス１の下方には、載物ガラス１側の面が一様な曲率で上方に凸な形状をした補助ガラス部材６が配置され、載物ガラス１に対して略中央で当接している。補助ガラス部材６は圧電素子８を介して載物台上板２に支持される。圧電素子８は入力される信号に応じて伸縮し補助ガラス部材６を上方に押し上げる。圧力センサ７及び圧電素子８は制御部に接続されている。制御部に関しては供述する。
【００１１】
載物台上板２の下方には図示しない十字移動案内機構が設けられており、載物ガラス１は載置された対象物３と共に、互いに直交するＸおよびＹ方向に十字移動自在である。対象物３はコンデンサレンズ５ａ、光源５ｂからなる透過照明光学系５によって下方から照明され、対物レンズ４ａ、接眼レンズ４ｂからなる観察光学系４によって観察される。
【００１２】
図２は本発明の第１の実施の形態例の制御系の構成を示すブロック図である。前記制御系は圧力センサ７、圧電素子８、制御部１００で構成されている。制御部１００は圧力センサ７の出力を受け対象物の重量を検知する計量部９と、圧電素子８に制御信号を出力する圧力制御部１０とを有する。
圧力制御部１０には対象物３の質量と載物ガラス１の撓みの関係、及び前記載物ガラス１の撓みとこれを軽減し載物ガラス１の平面度を最良とするために必要な圧電素子８への出力との関係があらかじめ記憶されている。前記２種類の関係のデータは実験的に求めても良いし、理論計算で求めても良い。圧力制御部１０は計量部９から受けた対象物の重量に関するデータと前記２種類の関係のデータとに基づいて圧電素子８に与えるべき制御信号を決定し、該制御信号を圧電素子８に与える。この結果、載物ガラス１に対する補助ガラス部材６の当接圧が制御され、載物ガラス１の載物面の平面度が最良の状態とされる。前記当接圧は「０」とされる場合もある。
【００１３】
圧電素子８は、図３に示すように補助ガラス６部材の側面に配して補助ガラス部材６の曲率の変化によって補助ガラス部材６が載物ガラス１を押し上げるようにしても良い。図３の上記以外の構成は図１と同じであるので、同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。
なお、対象物３の重量が一定であったり、変化量が僅かである場合には、載物ガラス１に対する補助ガラス部材６の当接圧を変化させる圧力可変手段をねじ機構等の機械的構造とし、当接圧を固定もしくは半固定としてもよい。その場合、圧力センサ７や圧電素子８は不要であることは言うまでもない。
【００１４】
なお、載物ガラス１、補助ガラス部材６の材質はガラスに限られるものではなく、透明もしくは半透明であれば他の材質でもよい。
図４に補助ガラス部材６の上記以外の形状例を示す。図４(a)に示した補助ガラス部材６１は平板を波形に成形したもので、複数の上方に凸な部分で載物ガラス１に当接する。該凸部の高さは、必要に応じて各凸部で変えてもよいし、全て揃えてもよい。また、波形の曲率についても、必要に応じて各凸部で変えてもよいし、全て揃えてもよい。さらに、波形形状についても同心形状、例えば同心円状に配置してもよい。
【００１５】
図４(b)に示した補助ガラス部材６２は平板の一部に凸部を成形したものである。前記凸部は平板と一体的に成形してもよいし、平板に対して後から接合してもよい。
図４(c)に示した補助ガラス部材６３は平板の一部に複数の凸部を成形したものである。前記凸部は平板と一体に成形してもよいし、平板に対して後から接合してもよい。また、前記凸部の高さは、必要に応じて各地点で変えてもよいし、全て揃えてもよい。さらに前記凸部は二次元面内に自由に配置してよい。
【００１６】
以上説明した本発明は、ガラス製載物面を有する載物台に限定されるものではなく、載物面が他の材質、例えば金属、プラスチックの部材の載物台や、上板と載物面とが一体に構成されたり、同一材質で構成された載物台にも適用することができる。
【００１７】
【発明の効果】
以上のような本発明によれば、対象物の重量による載物面の撓みを排除もしくは軽減した載物台が提供される。特に、十字動範囲の大きなガラス製載物面を有する載物台においても、対象物の重量による載物ガラスの撓みが排除もしくは軽減され、載物ガラスの載物面の平面度の低下を防止することができる。その結果、対象物１３の平面度測定等を精密に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施の形態例を示す断面図である。
【図２】  図１の装置の制御系の構成を示すブロック図である。
【図３】  圧電素子の別の配置例の説明図である。
【図４】  図１以外の形状例の補助ガラス部材の断面図である。
【図５】従来技術の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
１，11          載物ガラス
２，12          載物台上板
３，13          対象物
４，14          観察光学系
５，15          透過照明光学系
６，61，62，63  補助ガラス部材
７              圧力センサ
８              圧電素子
９               計量部
１０               圧力制御部
100               制御部
【図１】
0004192316.tif 000002
【図２】
0004192316.tif 000003
【図３】
0004192316.tif 000004
【図４】
0004192316.tif 000005
【図５】
0004192316.tif 000006