(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源よりの可干渉光を固定鏡及び所定の移動速度で動かされる移動鏡に向かうように二分割し、かつ前記固定鏡及び移動鏡よりの反射光を合成し測定光である干渉光を形成するビームスプリッタと、前記ビームスプリッタよりの測定光をサンプルを介して受光する検出器と、前記検出器よりのインターフェログラムをフーリエ変換し各波長のスペクトルデータを得るフーリエ変換手段と、を備えたフーリエ変換赤外分光光度計において、
前記光源とビームスプリッタの間に設けられ、該光源よりの可干渉光のビームスプリッタへの通過と遮蔽を所定の周波数で交互に繰返し、該光源よりの可干渉光に該所定周波数で強度変調をかけるためのチョッパと、
前記移動鏡を所定の移動速度で動かしながら、前記チョッパにより前記光源よりの可干渉光に強度変調をかけた際の、前記チョッパによる変調周波数を参照信号として、前記サンプルに測定光を入射させたときの検出器よりの出力強度と、前記サンプルに測定光を入射させないときの検出器よりの出力強度との差分よりインターフェログラムを得るロックインアンプと、
を備え、前記フーリエ変換手段は前記ロックインアンプよりの差分インターフェログラムをフーリエ変換し各波長のスペクトルデータを得ることを特徴とするフーリエ変換赤外分光光度計。
【請求項２】
請求項１記載のフーリエ変換赤外分光光度計において、前記チョッパを所定の周波数Ｆで駆動するチョッパ駆動手段と、
前記移動鏡を所定の移動速度Ｖで駆動する移動鏡駆動手段と、
前記移動鏡の移動速度Ｖから求められるフーリエ周波数２Ｖνがチョッパの周波数Ｆに対して十分に遅くなるように前記チョッパ駆動手段及び移動鏡駆動手段の動作を制御する制御手段と、
を備え、前記チョッパの変調周波数Ｆと移動鏡の移動速度Ｖから求められるフーリエ周波数２Ｖνの関係が下記条件式を満足することを特徴とするフーリエ変換赤外分光光度計。
【数１】
Ｆ＞２（２Ｖν）
ただし、ν：測定する最高周波数
２Ｖν：フーリエ周波数
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はフーリエ変換赤外分光光度計、特にスペクトル形状の改善機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、各種化学分析などに良好なＳ／Ｎ比で赤外域のスペクトルデータを採取することのできるフーリエ変換赤外分光光度計（ＦＴＩＲ）が汎用されている。
ＦＴＩＲは、移動鏡を動かして得た干渉光をサンプルに照射し、その時に発生するインターフェログラムを測定し、さらにフーリエ変換し各波長のスペクトルデータを得ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ＦＴＩＲにおいては、そのデータの精度を高めることは極めて重要な性能の一つである。
しかしながら、ＦＴＩＲにおいては、特に高温材料をサンプルに用いると、正確なスペクトルデータを得ることができないことがあった。
本発明は前記従来技術の課題に鑑みなされたものであり、その目的はサンプルの温度に関らず、正確なスペクトルデータを得ることのできるフーリエ変換赤外分光光度計を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために本発明にかかるフーリエ変換赤外分光光度計は、光源よりの可干渉光を固定鏡及び所定の移動速度で動かされる移動鏡に向かうように二分割し、かつ前記固定鏡及び移動鏡よりの反射光を合成し測定光である干渉光を形成するビームスプリッタと、前記ビームスプリッタよりの測定光をサンプルを介して受光する検出器と、前記検出器よりのインターフェログラムをフーリエ変換し各波長のスペクトルデータを得るフーリエ変換手段と、を備えたフーリエ変換赤外分光光度計において、
チョッパと、ロックインアンプと、を備え、前記フーリエ変換手段は前記ロックインアンプよりの差分インターフェログラムをフーリエ変換し各波長のスペクトルデータを得ることを特徴とする。
ここで、前記チョッパは、前記光源とビームスプリッタの間に設けられ、該光源よりの可干渉光のチョッパへの通過と遮蔽を所定の周波数で交互に繰返し、該光源よりの可干渉光に該所定周波数で強度変調をかけるためのものとする。
【０００５】
また前記ロックインアンプは、前記移動鏡を所定の移動速度で動かしながら、前記チョッパにより前記光源よりの可干渉光に強度変調をかけた際の、前記チョッパによる変調周波数を参照信号として、前記サンプルに測定光を入射させたときの検出器よりの出力強度と、前記サンプルに測定光を入射させないときの検出器よりの出力強度との差分よりインターフェログラムを得る。
なお、本発明においては、正確なデータを得るためにチョッパ駆動手段と、移動鏡駆動手段と、制御手段と、を備え、前記チョッパの周波数Ｆ（Ｈｚ）と移動鏡の移動速度Ｖ（ｃｍ／ｓｅｃ）から求められるフーリエ周波数２Ｖνの関係が下記条件式を満足することが好適である。
【０００６】
【数２】
Ｆ＞２（２Ｖν）
ただし、
ν（ｃｍ−１）：測定する最高周波数
２Ｖν：フーリエ周波数
【０００７】
ここで、前記チョッパ駆動手段は、前記チョッパを所定の周波数Ｆで駆動する。
また前記移動鏡駆動手段は、前記移動鏡を所定の移動速度Ｖで駆動する。
前記制御手段は、前記移動鏡の移動速度Ｖから求められるフーリエ周波数２Ｖνがチョッパの周波数Ｆに対して十分に遅くなるように、前記チョッパ駆動手段及び移動鏡駆動手段の動作を制御する。
【０００８】
ここにいう移動鏡の移動速度Ｖから求められるフーリエ周波数２Ｖνがチョッパの周波数Ｆに対して十分に遅くとは、前記チョッパの周波数Ｆが移動鏡の移動速度Ｖから求められるフーリエ周波数２Ｖνに対して十分に早いことも意味する。
すなわち、チョッパの変調周波数Ｆが２（２Ｖν）以下であると、測定周波数とチョッパによる変調周波数に同期した信号成分を分離できなくなるのに対し、チョッパの変調周波数Ｆが２（２Ｖν）より大きいと、測定周波数とチョッパによる変調周波数に同期した信号成分の分離が確実に行えるからである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の好適な一実施形態について説明する。
図１には本発明の一実施形態にかかるフーリエ変換赤外分光光度計の概略構成が示されている。なお、本実施形態においては、真空加熱拡散反射測定時の高温材料よりの輻射熱によるスペクトルの変形を除去する例について説明する。
同図に示すフーリエ変換赤外分光光度計（ＦＴＩＲ）１０は、光源１２と、干渉計１４と、真空加熱セル１６と、検出器１８と、ＣＰＵ２０と、コンピュータ（制御手段，フーリエ変換手段）２２を備える。干渉計１４は、ビームスプリッタ２４と、固定鏡２６と、移動鏡２８を備える。
【００１０】
移動鏡２８は移動鏡ドライバ（移動鏡駆動手段）３０を介してＣＰＵ２０と接続されている。検出器１８はＣＰＵ２０と接続され、ＣＰＵ２０はコンピュータ２２と接続されている。
この結果、ビームスプリッタ２４は、光源１２よりの可干渉光３２を固定鏡２６及び、所定の移動速度Ｖで動かされる移動鏡２８に向かうよう二分割する。前記固定鏡２６及び移動鏡２８よりの反射光はビームスプリッタ２４により合成され、測定光（干渉光）３４を形成する。
【００１１】
検出器１８は、ビームスプリッタ２４よりの測定光３４をセル１６のサンプル３６を介して受光し、インターフェログラム信号をＣＰＵ２０を介してコンピュータ２２に出力する。コンピュータ２２は、検出器１８よりのインターフェログラムを記憶し、該インターフェログラムをフーリエ変換し各波長のスペクトルデータを得る。
なお、前記ＣＰＵ２０は移動鏡ドライバ３０を制御する。また前記コンピュータ２２にはディスプレイ３８、プリンタ４０、入力デバイス４２が接続されている。該コンピュータ２２には入力デバイス４２を介して所望の機器設定、例えば後述する移動鏡２８の移動速度Ｖ及びチョッパの周波数Ｆ等の設定が行われる。
【００１２】
また該ディスプレイ３８、プリンタ４０には各種制御情報、得られたデータなどが表示、出力される。
以上のようにＦＴＩＲ１０を構成することにより、移動鏡２８を動かして得た干渉光、つまり測定光３４をサンプル３６に照射し、その時に発生するインターフェログラムを検出器１８で測定し、さらにコンピュータ２２でフーリエ変換し各波長のスペクトルデータを得ることができる。
【００１３】
ところで、ＦＴＩＲにおいては、例えば真空加熱拡散反射測定等のようにサンプルを加熱して測定を行うことがある。このとき、高温材料よりは輻射熱が出ているが、この輻射熱は直流成分であるため、交流成分であるインターフェログラムを信号とするＦＴＩＲでは、スペクトルに影響はないと一般的には考えられていた。
しかしながら、本発明者らによれば、サンプル１６よりの輻射熱が干渉計１４に戻ることにより干渉を起こしており、スペクトルに影響を与えていることがわかった。特に加熱温度がさらに高温（１０００℃以上）になると、その影響が無視できなくなる。
【００１４】
すなわち、サンプル１６が熱を持つと、熱は光と同じ成分なので、サンプル１６よりの輻射熱が干渉計１４に戻って、干渉計１４の内部で干渉してサンプル１６を介して検出器１８に入射する。このために従来、実はサンプル１６自体の輻射熱も混じった状態で測定をしており、交流成分にサンプル１６の吸収と該サンプル１６よりの輻射熱の影響が重なってしまい、インターフェログラムは正確な値が得られていなかったのである。
したがって、ＦＴＩＲにおいては、高温材料を用いたときのスペクトルの変形を防ぐことが非常に重要である。このために本実施形態においては、このようなサンプルよりの輻射熱によるスペクトルの変形を防ぐためにチョッパ４４と、ロックインアンプ４６を備えている。
【００１５】
チョッパ４４は、光源１２と干渉計１６の間に配置されている。チョッパ４４は、ＣＰＵ２４とチョッパドライバ（チョッパ駆動手段）４８を介して接続されている。
ロックインアンプ４６は、検出器１８とＣＰＵ２０の間に接続されている。またロックインアンプ２２は、チョッパ１４と接続されており、チョッパ４４を回しながら移動鏡２８を移動（走査）し、ロックインアンプ４６にて同期検出を行っている。
すなわち、チョッパ１４は、光源１２よりの可干渉光３２に強度変調をかけることにより、セル１６のサンプル３８に測定光３４を入射させたときと入射させないときを所定の周波数で交互につくりだしている。
【００１６】
検出器１８は、インターフェログラム信号をロックインアンプ４６に出力する。
ロックインアンプ４６は、前記チョッパ４４の周波数を参照信号（トリガ信号）として、サンプル３６に測定光３４を入射させたときの検出器２０よりの出力強度と、サンプル３６に測定光３４を入射させないときの検出器２０よりの出力強度との差よりインターフェログラム信号を得る。この差分インターフェログラム信号をＣＰＵ２０を介してコンピュータ２２に出力する。
コンピュータ２２は、ＣＰＵ２０よりの差分インターフェログラムを記憶し、これをフーリエ変換し各波長のスペクトルデータを得ている。
【００１７】
この結果、本実施形態にかかるＦＴＩＲにおいては、サンプルよりの輻射熱のインターフェログラムへの影響を除去することができるので、サンプルの正しいインターフェログラムを得ることができる。
すなわち、本実施形態にかかるＦＴＩＲによれば、差分インターフェログラムをフーリエ変換し各波長のスペクトルデータを得ることにより、ＦＴＩＲを用いた真空加熱拡散反射測定において、高温材料からの輻射熱によるスペクトルの変形を大幅に低減することができる。
【００１８】
チョッパ周波数Ｆと移動鏡の移動速度Ｖ
ところで、本実施形態においては、チョッパ４４の周波数Ｆと移動鏡２８の移動速度Ｖの関係は、非常に重要である。
本発明を用いない一般的なＦＴＩＲは、移動鏡の移動速度Ｖを速くしているが、本実施形態においては、ロックインアンプにて光源よりの光がチョッパを通過したときと遮蔽されたときの検出器の出力強度の差分よりインターフェログラムを得ている。そのため、移動鏡の移動速度Ｖをゆっくりしないと測定周波数とチョッパによる変調周波数に同期した信号成分を分離できなくなることがある。
したがって、本実施形態においては、前記不具合を回避するために移動鏡の移動はできるだけゆっくり行う必要がある。
【００１９】
このように、本実施形態においては、測定周波数とチョッパによる変調周波数に同期した信号成分の分離を確実に行うために、前記チョッパ４４の周波数Ｆと移動鏡２８の移動速度Ｖから求められるフーリエ周波数２Ｖνの関係が下記条件式を満足するように、対応機器の制御を行っており、移動鏡の移動速度Ｖから求められるフーリエ周波数２Ｖνがチョッパの周波数Ｆに対して十分に遅くしている。なお、これは前記チョッパの周波数Ｆを移動鏡の移動速度Ｖから求められるフーリエ周波数２Ｖνに対して十分に早くしていることと同じことを意味する。
【００２０】
【数３】
Ｆ＞２（２Ｖν）
ただし、Ｆ（Ｈｚ）：チョッパ４４の変調周波数
Ｖ（ｃｍ／ｓｅｃ）：移動鏡２８の移動速度
ν（ｃｍ−１）：測定する最高周波数
【００２１】
このために本実施形態においては、チョッパドライバ（チョッパ駆動手段）４８と、移動鏡ドライバ（移動鏡駆動手段）３０と、コンピュータ（制御手段）２２を備える。
移動鏡２８は、移動鏡ドライバ３０を介してコンピュータ２２に接続されている。チョッパ４４はチョッパドライバ４８を介してコンピュータ２２に接続されている。
【００２２】
そして、本実施形態においては、チョッパドライバ４８がチョッパ４４を所定の周波数Ｆで回転させながら、移動鏡ドライバ３０は、移動鏡２８を所定の移動速度Ｖで駆動する。コンピュータ２２は、例えばチョッパ４４の周波数Ｆと移動鏡２８の移動速度Ｖの関係が前記数３の条件式を満足するように各ドライバ３０，４８の動作を制御する。
この結果、本実施形態においては、コンピュータ２２により、移動鏡２８の移動速度Ｖから求められるフーリエ周波数２Ｖνが、チョッパ４４の周波数Ｆに対して十分に遅くなるように、チョッパドライバ４４及び移動鏡ドライバ３０の動作を制御することができるので、より正確なデータを得ることができる。
【００２３】
このように本実施形態は、移動鏡を所定の移動速度で動かしながら、光源１２とサンプル１６間のチョッパ４４を早く回転させ、入射光である可干渉光３２に強度変調をかけると、図２に示すような検出器の出力信号Ｉが得られる。
すなわち、検出器においては、実際には出力信号Ｉに示す形状のものが出力されるが、その一部を拡大すると、光源よりの光がチョッパを通らないときの出力信号Ｅと、光源よりの光がチョッパが通ったときの出力信号Ｓが交互に出力されている。
このチョッパを通らないときの検出器の出力信号Ｅには、サンプルよりの輻射熱のみが含まれている。一方、チョッパを通ったときの検出器の出力信号Ｓには、光源からの光とサンプルよりの輻射熱が含まれている。
【００２４】
したがって、検出器よりの生データに相当する出力信号Ｅ，Ｓにはぎざぎざが乗っているが、ロックインアンプによりこれらの信号を引き算すると、ロックインアンプより出力されるインターフェログラム信号はきれいな形で取れ、光源からの光成分のみが含まれている。つまり検出器の出力信号をロックインアンプを通すことによりサンプルよりの輻射熱による信号（Ｅ）はバックグラウンドとして検出されず、交流信号となったサンプルの正しい信号（Ｓ）のみから、差分インターフェログラムを取得することができる。
この結果、本実施形態においては、サンプルよりの輻射熱によるインターフェログラムへの影響を大幅に除去し、サンプルの正しいインターフェログラムを得ることができる。
【００２５】
したがって、本実施形態においては、このような差分インターフェログラムをフーリエ変換し各波長のスペクトルデータを得ることにより、サンプルに高温材料を用いても該サンプルよりの輻射熱によるスペクトルの変形を大幅に除去することができる。
なお、前記実施形態においては、真空加熱拡散反射測定を行った例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、ＦＴＩＲを用いた測定であれば、その他の任意の測定に適用することができる。
【００２６】
検出器
ところで、ＦＴＩＲの検出器は、例えばＴＧＳ（トリグリシンサルファイト）焦電検出器等のように常温で動作するものの他に、例えば水銀カドミテルル検出器（ＭＣＴ）等のように液体窒素温度等で動作する高感度用検出器が用いられている。
従来、このような検出器は例えば液体窒素、液体ヘリウム等のクライオスタットに装着し使用していた。しかしながら、液体窒素、液体ヘリウム等は取扱いが面倒なので、フィールドワーク等には使えない。
【００２７】
一方、液体窒素等を使わないスターリング冷凍機によれば、液体窒素等が手に入らない場所で検出器を作動させることができるので、フィールドワーク等でも使え、また長時間の連続作動が行える。
しかしながら、スターリング冷凍機は振動が激しく、スターリング冷凍機付きの検出器をそのまま光学ベースに設けると、冷凍機の振動で本体ベースが振動してしまい、移動鏡がはずんでしまう。これによりＦＴＩＲの作動を不安定にしたり、その振動がスペクトルに影響を及ぼすことがある。このため、スターリング冷凍機付きの検出器を用いる際は、防振機構に取り付けるなどの防振対策が必要である。
【００２８】
従来は、例えば図３に示すような防振機構が考えられる。
同図（Ａ）に示す防振機構５０は、Ｌ型固定金具５２と、シリコンゴムのみよりなる支え５４を備える。取付ベース５６に支え５４を介してＬ型固定金具５２を設け、さらに固定部材５８で固定している。そして、Ｌ型固定金具５２にスターリング冷凍機付きの検出器（図示省略）が固定されることとなる。
同図（Ｂ）に示す防振機構５０は、取付ベース５６にＬ型固定金具５２を直接固定している。そして、Ｌ型固定金具５２の側壁より検出器２０の光受光部６０が突出するように、該Ｌ型固定金具５２の側壁には前記支え５４を介してスターリング冷凍機付きの検出器２０を設け、さらに固定部材５８で固定している。
同図（Ｃ）に示す防振機構５０は、平型固定金具６２と、前記支え５４を備える。取付ベース５６に支え５４を介して固定金具６２を設け、さらに固定部材５８で固定している。そして、固定金具６２にスターリング冷凍機付きの検出器（図示省略）が固定されることとなる。
【００２９】
しかしながら、従来方法、つまり一のシリコンゴムのみよりなる支え５４を用いたのでは、スターリング冷凍機の振動によるＦＴＩＲの縦、横、高さ方向の三次元的な不安定さを解消することができない。
そこで、本発明者らは、さらにＦＴＩＲのスターリング冷却機付きの検出器の防振機構の検討を行った。そして、図４に示すような防振機構を用いることにより、スターリングサイクルで発生する振動エネルギーの伝達率を小さくしたのである。なお、同図（Ａ）は側面図、同図（Ｂ）は正面図、同図（Ｃ）は上面図である。前記図３と対応する部分には符号１００を加えて示し説明を省略する。
【００３０】
すなわち、本実施形態にかかるスターリング冷却機付きのＭＣＴ（赤外線検出器）１２０の防振機構１５０は、取付ベース（基礎）１５６上に設けられ、防振台１７０と、Ｌ型固定金具１５２を備える。前記防振台１７０の四隅にはそれぞれ金属１７２とシリコンゴム１７４を交互に積層した支え１５４が設けられている。
そして、取付ベース１５６に防振台１７０の支え１５４が設けられ、該防振台１７０上にはＬ型固定金具１５２を介してスターリング冷凍機付きのＭＣＴ１２０が固定されている。
【００３１】
この結果、本実施形態においては、ＭＣＴ１２０に付けられているスターリング冷凍機の振動は、防振台１７０と取付ベース１５６間に設けられた支え１５４により、つまり金属１７２とシリコンゴム１７４を交互に積層した支え１５４により、取付ベース１５６とは絶縁されるので、取付ベース１５６を介してＦＴＩＲの光学ベースには与えられない。
すなわち、本実施形態においては、図５に示すように支え１５４が金属板１７２とシリコンゴム１７４を交互に積層して構成されている。このため、金属板１７２で区切れられた各シリコンゴム１７４間にそれぞれ共振周波数が存在することとなるので、振動減衰させる周波数を選択することができる。
【００３２】
したがって、本実施形態は、振動減衰させる対象となる周波数を、ＦＴＩＲの移動鏡が飛ばない範囲で、しかも測定に影響を与えない範囲とすることができる。つまり振動減衰させる対象となる周波数をスターリング冷凍機の発生周波数と一致させる、あるいはずらすことにより、ＦＴＩＲの測定波長領域にスターリング冷凍機の振動周波数が乗らないように振動を抑えることができる。
そして、振動伝達率β、固有振動数ｆは、それぞれ下記数式で表せる。
【００３３】
【数４】
β（％）＝Ｆ／Ｆ０＝Ａ／Ａ０＝｜１／（１−（Ｎ／ｆ）２）｜×１００
【数５】
ｆ（Ｈｚ）＝（１／２π）×√（Ｋ・ｇ／Ｍ）
ただし、β：振動伝達率（％）
Ｆ０：取付ベース（基礎）１５６の加振力
Ｆ：対象物に伝わった力
Ａ０：取付ベース（基礎）１５６の振幅
Ａ：対象に伝わった振幅
Ｎ：取付ベース（基礎）１５６の振動数（Ｈｚ）
ｆ：免振・除振支持したときの固有振動数（Ｈｚ）
Ｋ：免振・除振支持したときの動的バネ定数（水平方向）（ｋｇｆ／ｃｍ）
Ｍ：防振機構１５０上の載置物全体の重量（ｋｇｆ）
ｇ：重力の加速度（９８０ｃｍ／ｓ２）
このため、例えば防振機構１５０上の載置物全体の重量Ｍ：７００ｋｇｆ、
Ｋ：７ｋｇｆ／ｃｍ（免振・除振支持したときの動的バネ定数（水平方向））、
重力の加速度ｇ：９８０ｃｍ／ｓ２、
取付ベース（基礎）１５６の振動数Ｎ：２４０Ｈｚ
としたときの振動伝達率β、支え１５４により免振・除振支持したときの固有振動数ｆ（Ｈｚ）はそれぞれ下記数式より求められる。
【００３４】
【数６】
0004189174.tif 000002
【数７】
0004189174.tif 000003
【００３５】
このように本実施形態においては、例えばスターリング冷凍機の振動周波数を２４０Ｈｚとすると、その振動成分の振動伝達率は０．４３％となり、スターリング冷凍機の振動周波数の振動を大幅に低減することができる。
したがって、本実施形態においては、ＦＴＩＲの測定波長領域にスターリング冷凍機の振動周波数が乗らないように振動を抑えることができる。これにより干渉計への不具合を大幅に低減することができる。
【００３６】
また本実施形態にかかる防振機構１５０は、水平方向の振動をとること、振動物体からベースに伝達される振動を排除すること、水平方向のバネ定数を小さくすることにより伝達率を小さくすること、垂直方向のバネ定数を大きくすることにより検出器の安定性を上げることもできる。
したがって、本実施形態にかかる防振機構１５０によれば、スターリング冷凍機付きの検出器では、スターリング冷凍機の機構上どうしても生ずるスターリング駆動方向の振動エネルギーの伝達を小さく、つまり従来、解消が極めて困難であった縦、横、高さと三次元的な不安定さを小さくすることができる。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明にかかるフーリエ変換赤外分光光度計によれば、光源とビームスプリッタの間に光源よりの可干渉光に強度変調をかけるチョッパを入れ、かつ信号処理手段により、チョッパの周波数を参照信号として、サンプルに測定光を入射させたときの検出器よりの出力強度と入射させないときの検出器よりの出力強度の差分よりインターフェログラムを得ることとしたので、サンプルの温度に関らず、正確なスペクトルデータを得ることができる。
また本発明においては、制御手段により、移動鏡の移動速度から求められるフーリエ周波数がチョッパの周波数に対して十分に遅くなるようにチョッパ駆動手段及び移動鏡駆動手段の動作を上記条件式を満足するように制御することにより、より正確なデータを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかるフーリエ変換赤外分光光度計の概略構成の説明図である。
【図２】図１に示したフーリエ変換赤外分光光度計で得られるインターフェログラムの説明図である。
【図３】従来のスターリング冷凍機付き検出器の防振機構の説明図である。
【図４】ＦＴＩＲのスターリング冷凍機付き検出器に適した防振機構の説明図である。
【図５】ＦＴＩＲのスターリング冷凍機付き検出器の防振機構において特徴的な支えの拡大図である。
【符号の説明】
１０  フーリエ変換赤外分光光度計
１２  光源
１８  検出器
２２  コンピュータ（制御手段，フーリエ変換手段）
２４  ビームスプリッタ
２６  固定鏡
２８  移動鏡
３０  移動鏡ドライバ（移動鏡駆動手段）
４４  チョッパ
４６  ロックインアンプ（信号処理手段）
４８  チョッパドライバ（チョッパ駆動手段）
【図１】
0004189174.tif 000004
【図２】
0004189174.tif 000005
【図３】
0004189174.tif 000006
【図４】
0004189174.tif 000007
【図５】
0004189174.tif 000008