(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
蛇腹の一方の固定板に対して他方の固定板を移動可能に取り付け、両固定板の間の蛇腹の数山ごとに中間板を設け、蛇腹のうちの、両固定板とそれらに最も近い中間板との間を、縮み勝手部分により、上記両固定板に最も近い中間板を含む中間板群の間を、伸び勝手部分によりそれぞれ形成し、上記縮み勝手部分により、移動する他方の固定板が停止したときに、いずれか一方の固定板に働く引っ張り力を吸収する引っ張り力吸収部材を構成したことを特徴とする蛇腹の伸縮機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は蛇腹の伸縮機構、特にレーザ加工機などの板材加工機において、高速移動軸に追従して伸縮する蛇腹の伸縮機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、レーザ加工機のような板材加工機には、移動軸（例えば加工ヘッドのボールねじ・サーボモータ移動機構）と共に伸縮する蛇腹が設けられ、加工ヘッドの場合には、レーザビームの導波路を形成している。
【０００３】
この場合、蛇腹の伸縮機構は、例えば図７に示す構成を有している。
【０００４】
図７において、蛇腹５０の両側には、固定板５１、５４が設けられ、該蛇腹５０の数山ごとに、中間板５２が、該蛇腹５０の長手方向全域にわたって、非弾性部材の制限テープ５３がそれぞれ設けられている。
【０００５】
この構成により、上記一方の固定板５１（定置側）を、例えばレーザ発振器５６に取り付け、他方の固定板５４（移動側）を、例えば加工ヘッド５５に取り付ける。
【０００６】
この状態で、他方の固定板５４に取り付けた加工ヘッド５５を速度Ｖで移動させて、例えば一方の固定板５１から遠ざけると、蛇腹５０も伸張し、該蛇腹５０で形成された導波路内を、レーザ発振器５６から発振されたレーザビームが導かれ加工ヘッド５５からワーク上に照射されて所定のレーザ加工が行われる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した従来技術において、加工ヘッド５５の速度Ｖが低速の場合には、蛇腹５０には、何ら支障が発生せず、所望のレーザ加工が行われるようになっている。
【０００９】
しかし、加工ヘッド５５と蛇腹５０とは、本来別の物体であって、蛇腹５０それ自身も所定の質量を有している。
【００１０】
従って、加工ヘッド５５の速度Ｖが高速となった場合には、この高速で移動する加工ヘッド５５が停止しても、他方の固定板５４を介して高速で移動している蛇腹５０は、慣性により今までと同じ方向に移動しようとし、停止することができない。
【００１１】
そのため、蛇腹５０は、レーザ発振器５６側に取り付けられている一方の固定板５１において、高速で移動する方向と反対方向の力Ｆにより、強く引っ張られる。
【００１２】
この結果、非弾性部材で形成されている制限テープ５３が切れてしまい、蛇腹５０が破損し、レーザビームが漏洩するので、所定の加工ができなくなるなどの弊害がある。
【００１３】
本発明の目的は、レーザ加工機などの板材加工機において、高速移動軸に追従して伸縮する蛇腹の破損を防止することにより、加工を続行させることにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、図１〜図６に示すように、
蛇腹３の一方の固定板１２Ａに対して他方の固定板１２Ｂを移動可能に取り付け、両固定板１２Ａ、１２Ｂの間の蛇腹３の数山ごとに中間板１３を設け、蛇腹３のうちの、両固定板１２A、１２Bとそれらに最も近い中間板１３との間を、縮み勝手部分３Aにより、上記両固定板１２A、１２Bに最も近い中間板１３を含む中間板１３群の間を、伸び勝手部分３Bによりそれぞれ形成し、上記縮み勝手部分３Aにより、移動する他方の固定板１２Ｂが停止したときに、いずれか一方の固定板１２Ａ又は１２Ｂに働く引っ張り力Ｆを吸収する引っ張り力吸収部材を構成したことを特徴とする蛇腹の伸縮機構という技術的手段を講じている。
【００１５】
上記本発明の構成によれば、例えば蛇腹３の一方の固定板１２Ａ（定置側）をレーザ発振器１０に、他方の固定板１２Ｂ（移動側）を加工ヘッド６にそれぞれ取り付け、該蛇腹３の（図３（Ａ））折り方を中央部と両端部で相異させることにより、中央部を伸び勝手部分３Ｂで、両端部を縮み勝手部分３Ａでそれぞれ形成し、縮み勝手部分３Ａにより上記引っ張り力吸収部材を構成しておけば、例えばレーザ発振器１０（図４（Ａ））から遠ざかるように高速Ｖで移動する加工ヘッド６が他方の固定板１２Ｂを伴って停止した場合に、後続する蛇腹３が慣性により今までと同じ方向に移動しようして、その移動方向と反対方向の引っ張り力Ｆが、レーザ発振器１０側の一方の固定板１２Ａに働いても、該一方の固定板１２Ａ側の蛇腹３の縮み勝手部分３Ａにより、上記引っ張り力Ｆを打ち消す力Ｆ′が作用するので、この引っ張り力Ｆは吸収され、一方の固定板１２Ａには力が働かないのと同じ状態になり、蛇腹３の破損を防止することができる。
【００１６】
このため、例えば蛇腹３で形成されたレーザビーム導波路からレーザビームＬＢが漏洩するといったことがなくなり、高速移動軸に追従して伸縮する蛇腹の破損を防止することにより、加工を続行させることが可能となる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を、実施の形態により添付図面を参照して、説明する。
【００１８】
図１は本発明の実施形態の全体図である。
【００１９】
図１に示すレーザ加工機は、光軸移動タイプであり、ワークＷを戴置する加工テーブル９を有し、該加工テーブル９の両側には、ガイドベース１９、２０が設置されている。
【００２０】
これら加工テーブル９及びガイドベース１９、２０を跨がって、Ｙ軸方向に延びるキャリッジ１が設けられている。
【００２１】
上記キャリッジ１の一方の下部１７には（図１）、Ｘ軸ボールねじ１５が螺合し、該Ｘ軸ボールねじ１５の一端は、Ｘ軸モータＭｘに結合し、他端は（図２）、ベアリング１１に回転自在に支持されている。
【００２２】
また、キャリッジ１の一方の下部１７は（図１）、ガイドベース１９上に敷設されたＸ軸ガイド４Ａに滑り結合しており、他方の下部１８は、ガイドベース２０上に敷設されたＸ軸ガイド４Ｂに滑り結合している。
【００２３】
更に、上記キャリッジ１（図２）に螺合するＸ軸ボールねじ１５のうち、キャリッジ１の後面１Ｂ側とベアリング１１との間、及びキャリッジ１の前面１Ａ側とＸ軸モータＭｘとの間は、後述する蛇腹３により被覆されている。
【００２４】
これにより、加工ヘッド６からワークＷ上にレーザビームＬＢを照射した場合に発生するスパッタが、Ｘ軸ボールねじ１５に付着しないようになり、キャリッジ１の位置決め精度が保持される。
【００２５】
即ち、Ｘ軸ボールねじ１５が回転自在に支持されているベアリング１１には、蛇腹３の一方の固定板１２Ａ（定置側）が取り付けられ、該Ｘ軸ボールねじ１５が螺合しているキャリッジ１の下部１７には（図５（Ａ））、キャリッジ１の後面１Ｂ側に、蛇腹３の他方の固定板１２Ｂ（移動側）が取り付けられている。
【００２６】
また、Ｘ軸ボールねじ１５の駆動源であるＸ軸モータＭｘには（図２）、同様に、蛇腹３の一方の固定板１２Ａ（定置側）が取り付けられ、該Ｘ軸ボールねじ１５が螺合しているキャリッジ１の下部１７には（図５（Ａ））、キャリッジ１の前面１Ａ側に、蛇腹３の他方の固定板１２Ｂ（移動側）が取り付けられている。
【００２７】
この構成により、Ｘ軸モータＭｘを駆動してＸ軸ボールねじ１５を回転させ、例えばキャリッジ１を＋Ｘ軸方向（図２において上方）に移動させると、該Ｘ軸ボールねじ１５のベアリング１１側の蛇腹３が収縮し（図５（Ｂ）におけるキャリッジ１の右側）、同時にＸ軸モータＭｘ側の蛇腹３が伸張する（図５（Ｂ）におけるキャリッジ１の左側）。
【００２８】
そして、例えばＸ軸モータＭｘ側の伸張する蛇腹３については（図５（Ｂ）におけるキャリッジ１の左側）、高速Ｖで移動するキャリッジ１が、左側の固定板１２Ｂを伴って停止した場合に、左側の蛇腹３が慣性により今までと同じ方向（右方向）に移動しようとして、その移動方向と反対方向（左方向）の引っ張り力Ｆが、Ｘ軸モータＭｘ側の固定板１２Ａに働く。
【００２９】
しかし、上記Ｘ軸モータＭｘの固定板１２Ａ側の例えば蛇腹３の縮み勝手部分３Ａから成る引っ張り力吸収部材により、この引っ張り力Ｆを打ち消す力Ｆ′が作用し、蛇腹３の破損が防止される。
【００３０】
また、例えばベアリング１１側の収縮する蛇腹３については（図５（Ｂ）におけるキャリッジ１の右側）、高速Ｖで移動するキャリッジ１が、右側の固定板１２Ｂを伴って停止した場合に、右側の蛇腹３が慣性により今までと同じ方向（右方向）に移動しようとして、その移動方向と反対方向（左方向）の引っ張り力Ｆが、該キャリッジ１の右側固定板１２Ｂに働く。
【００３１】
しかし、上記キャリッジ１の右側固定板１２Ｂ側の蛇腹３の縮み勝手部分３Ａから成る引っ張り力吸収部材により、この引っ張り力Ｆを打ち消す力Ｆ′が作用し、蛇腹３の破損が防止される。
【００３２】
このことは、−Ｘ軸方向に高速Ｖで移動するキャリッジ１が停止した場合も（図５（Ａ））同様であり、右側の伸張する蛇腹３と、左側の収縮する蛇腹３について、両蛇腹３が慣性により今までと同じ方向（左方向）に移動しようとして、その移動方向と反対方向（右方向）の引っ張り力Ｆが、ベアリング１１の固定板１２Ａと、キャリッジ１の左側固定板１２Ｂに働いても、それら固定板１２Ａ、１２Ｂ側の蛇腹３の縮み勝手部分３Ａから成る引っ張り力吸収部材により、この引っ張り力Ｆを打ち消す力Ｆ′が作用し、蛇腹３の破損が防止される。
【００３３】
一方、キャリッジ１の（図１、図２）前面１Ａには、レーザ発振器１０が設けられ、該レーザ発振器１０には、蛇腹３の一方の固定板１２Ａ（定置側）が取り付けられ、該蛇腹３の他方の固定板１２Ｂ（移動側）は、後述する加工ヘッド６に取り付けられている。
【００３４】
これにより、本発明による蛇腹３は（図１）、レーザビームＬＢの導波路を形成し、レーザ発振器１０から発振されたレーザビームＬＢは、蛇腹３内を通過した後、ベンドミラー７で反射して下方の集光レンズ２１で集光され、加工ヘッド６からワークＷ上に照射され該ワークＷに所定のレーザ加工が施される。
【００３５】
また、加工ヘッド６は、Ｙ軸スライダ５に取り付けられ、該Ｙ軸スライダ５は、キャリッジ１前面１Ａに敷設されたＹ軸ガイド２に滑り結合していると共に、キャリッジ１上面１Ｃ上のＹ軸ボールねじ８に螺合し、該Ｙ軸ボールねじ８の一端は、Ｙ軸モータＭｙに結合し、他端は、ベアリング１４に回転自在に支持されている。
【００３６】
この構成により、Ｘ軸モータＭｘを駆動することにより、キャリッジ１をＸ軸方向へ、Ｙ軸モータＭｙを駆動することにより、該キャリッジ１上で加工ヘッド６をＹ軸方向へ、Ｙ軸スライダ５に内蔵されたＺ軸モータ（図示省略）を駆動することにより、加工ヘッド６をＺ軸方向へそれぞれ移動させ、該加工ヘッド６からレーザビームＬＢをワークＷ上に照射すれば、例えば、加工点ａに（図２）おいてピアス加工が行われた後、加工点ｂ、ｃ、ｄ、ｅを経由して加工点ｂに戻る切削加工が行われることにより、矩形状の製品Ｗ１が切り抜かれる。
【００３７】
この場合、例えば加工ヘッド６を−Ｙ軸方向（図２において左方）又は＋Ｙ軸方向に移動させると、該加工ヘッド６とレーザ発振器１０を連結する蛇腹３が伸張し（図４（Ａ））又は収縮する（図４（Ｂ））。
【００３８】
そして、蛇腹３が伸張する場合には（図４（Ａ））、高速Ｖで移動する加工ヘッド６が、その固定板１２Ｂを伴って停止した場合に、該蛇腹３が慣性により今までと同じ方向（図４（Ａ）の左方向）に移動しようとして、その移動方向と反対方向（右方向）の引っ張り力Ｆが、レーザ発振器１０側の固定板１２Ａに働く。
【００３９】
しかし、上記レーザ発振器１０の固定板１２Ａ側の例えば蛇腹３の縮み勝手部分３Ａから成る引っ張り力吸収部材により、この引っ張り力Ｆを打ち消す力Ｆ′が作用し、蛇腹３の破損が防止される。
【００４０】
また、蛇腹３が収縮する場合には（図４（Ｂ））、高速Ｖで移動する加工ヘッド６が、その固定板１２Ｂを伴って停止した場合に、該蛇腹３が慣性により今までと同じ方向（図４（Ｂ）の右方向）に移動しようとして、その移動方向と反対方向（左方向）の引っ張り力Ｆが、該加工ヘッド６側の固定板１２Ｂに働く。
【００４１】
しかし、上記加工ヘッド６の固定板１２Ｂ側の蛇腹３の縮み勝手部分３Ａから成る引っ張り力吸収部材により、この引っ張り力Ｆを打ち消す力Ｆ′が作用し、蛇腹３の破損が防止される。
【００４２】
図３は、本発明の第１実施形態〜第３実施形態を示す図である。
【００４３】
図３において、蛇腹３は、その両側に固定板１２Ａ、１２Ｂを有し、一方の固定板１２Ａは、既述したように、例えばレーザ発振器１０に（図１）取り付けられ、他方の固定板１２Ｂは、加工ヘッド６に取り付けられ、このような蛇腹３の数山ごとに、中間板１３が設けられている。
【００４４】
そして、蛇腹３（図３）の両側の固定板１２Ａ、１２Ｂと、それらに最も近い中間板１３との間には、本発明による引っ張り力吸収部材が設けられ、該引っ張り力吸収部材は、後述する縮み勝手部分３Ａ（図３（Ａ））、弾性部材の制限テープ２２（図３（Ｂ））、又は引っ張りバネ２３（図３（Ｃ））により構成されている。
【００４５】
図３（Ａ）は、第１実施形態を示し、蛇腹３の中央部は、伸び勝手部分３Ｂにより、該蛇腹３の両端部は、縮み勝手部分３Ａによりそれぞれ構成されている。
【００４６】
即ち、図示するように、蛇腹３のうちの、両側の固定板１２Ａ、１２Ｂと、それらに最も近い中間板１３との間を、縮み勝手部分３Ａで構成し、中央部に配置されている残りの中間板１３群の間を、伸び勝手部分３Ｂで構成する。
【００４７】
上記伸び勝手部分３Ｂと縮み勝手部分３Ａは、それぞれ蛇腹３の折り方をいい、該蛇腹３を無負荷で放置した場合に、伸びている部分が、伸び勝手部分３Ｂであり、縮んでいる部分が、縮み勝手部分３Ａである。
【００４８】
この伸び勝手部分３Ｂと縮み勝手部分３Ａのうち、前記したように、両端部のの縮み勝手部分３Ａにより、本発明による引っ張り力吸収部材が構成されている。
【００４９】
図３（Ｂ）は、第２実施形態を示し、蛇腹３の両端部には、弾性部材、例えばゴムで形成された制限テープ２２がそれぞれ設けられている。
【００５０】
即ち、蛇腹３の一方の固定板１２Ａの上面と、直近の中間板１３の上面に、ゴム製の制限テープ２２を、また、他方の固定板１２Ｂの上面と、直近の中間板１３の上面に、同様のゴム製の制限テープ２２をそれぞれ接合する。
【００５１】
そして、これらゴム製の制限テープ２２により、本発明による引っ張り力吸収部材が構成されている。
【００５２】
この場合、ゴム製の制限テープ２２は、上記のように蛇腹３の両端部ではなく、両側の固定板１２Ａ、１２Ｂと、その間の中間板１３に接合することにより、蛇腹３の長手方向全域にわたって設けてもよい。
【００５３】
図３（Ｃ）は、第３実施形態を示し、蛇腹３の両端部には、引っ張りバネ２３がそれぞれ設けられている。
【００５４】
即ち、蛇腹３の内部であって、一方の固定板１２Ａとそれに直近の中間板１３には、引っ張りバネ２３の一端と他端が取り付けられ、また、他方の固定板１２Ｂとそれに直近の中間板１３には、同様の引っ張りバネ２３の一端と他端が取り付けられている。
【００５５】
そして、これら引っ張りバネ２３により、本発明による引っ張り力吸収部材が構成されている。
【００５６】
上記図３（Ａ）、図３（Ｂ）、図３（Ｃ）において、例えば高速Ｖで移動する他方の固定板１２Ｂが停止した場合に、蛇腹３が慣性により今までと同じ方向に移動しようして、移動方向と反対方向の引っ張り力Ｆが、一方の固定板１２Ａに働く。
【００５７】
しかし、それぞれの場合に、一方の固定板１２Ａ側の縮み勝手部分３Ａ（図３（Ａ））、又はゴム製の制限テープ２２（図３（Ｂ））、若しくは引っ張りバネ２３（図３（Ｃ））により、上記引っ張り力Ｆを打ち消す力Ｆ′が作用するので、該引っ張り力Ｆは吸収され、一方の固定板１２Ａには力が働かないのと同じ状態になり、蛇腹３の破損を防止することができる。
【００５８】
図６は、本発明の第４実施形態を示す図である。
【００５９】
図６において、蛇腹３の中央部は、伸び勝手部分３Ｂにより、該蛇腹３の両端部は、縮み勝手部分３Ａによりそれぞれ構成されている。
【００６０】
また、蛇腹３の一方の固定板１２Ａの上面と、直近の中間板１３の上面に、ゴム製の制限テープ２２が、他方の固定板１２Ｂの上面と、直近の中間板１３の上面に、同様のゴム製の制限テープ２２がそれぞれ接合されている。
【００６１】
更に、蛇腹３の内部であって、一方の固定板１２Ａとそれに直近の中間板１３には、引っ張りバネ２３の一端と他端が取り付けられ、また、他方の固定板１２Ｂとそれに直近の中間板１３には、同様の引っ張りバネ２３の一端と他端が取り付けられている。
【００６２】
これにより、上記蛇腹３のうちの縮み勝手部分３Ａと、ゴム製の制限テープ２２と、引っ張りバネ２３により、本発明による引っ張り力吸収部材が構成されている。
【００６３】
従って、例えば高速Ｖで移動する他方の固定板１２Ｂが停止した場合に、蛇腹３が慣性により今までと同じ方向に移動しようとして、その移動方向と反対方向の引っ張り力Ｆが、一方の固定板１２Ａに働いたとしても、前記縮み勝手部分３Ａとゴム製の制限テープ２２と引っ張りバネ２３から成る張り力吸収部材により、この引っ張り力Ｆを打ち消す力Ｆ′がより一層強く作用し、蛇腹３の破損が一層防止される。
【００６４】
以下、前記構成を有する本発明の動作を説明する。
【００６５】
先ず、Ｘ軸モータＭｘを（図１、図２）駆動してキャリッジ１をＸ軸方向へ、Ｙ軸モータＭｙを駆動して該キャリッジ１上で加工ヘッド６をＹ軸方向へ、Ｙ軸スライダ５に内蔵されたＺ軸モータ（図示省略）を駆動して加工ヘッド６をＺ軸方向へそれぞれ移動させ、該加工ヘッド６を、予め加工点ａ（図２）の直上方にに位置決めしておく。
【００６６】
▲１▼加工ヘッド６が、加工点ａからｂを経由しｃに到るまでの動作。
【００６７】
加工ヘッド６からレーザビームＬＢをワークＷ上に照射することにより、加工点ａにおいてピアス加工を行った後、Ｘ軸モータＭｘを駆動してキャリッジ１を−Ｘ軸方向（図２の下方）に移動させ、加工点ｂを経由してｃまで切削加工を行う。
【００６８】
この場合、加工ヘッド６が加工点ｃに到達すると、高速Ｖで−Ｘ軸方向に移動するキャリッジ１は、その前面１Ａ側と後面１Ｂ側の他方の固定板１２Ｂを伴って停止する。
【００６９】
そして、このとき、伸張するベアリング１１側の蛇腹３と、収縮するＸ軸モータＭｘ側の蛇腹３は、慣性により今までと同じ−Ｘ軸方向（図５（Ａ）における左方向）に移動しようとして、その移動方向と反対方向（右方向）の引っ張り力Ｆが、ベアリング１１の固定板１２Ａとキャリッジ１の左側固定板１２Ｂに働く。
【００７０】
しかし、これら固定板１２Ａ、１２Ｂ側の蛇腹３の縮み勝手部分３Ａから成る引っ張り力吸収部材により、この引っ張り力Ｆを打ち消す力Ｆ′が作用し、蛇腹３の破損が防止される。
【００７１】
▲２▼加工ヘッド６が、加工点ｃからｄに到るまでの動作。
【００７２】
同様に、加工ヘッド６（図２）からレーザビームＬＢをワークＷ上に照射することにより、加工ヘッド６のＸ軸方向の位置はそのままにして、Ｙ軸モータＭｙを駆動して加工ヘッド６を＋Ｙ軸方向（図２の右方）に移動させ、加工点ｃからｄまで切削加工を行う。
【００７３】
この場合、加工ヘッド６が加工点ｄに到達すると、高速Ｖで＋Ｙ軸方向に移動する加工ヘッド６は、その固定板１２Ｂを伴って停止する。
【００７４】
そして、このとき、＋Ｙ軸方向（図４（Ｂ）における右方向）に収縮する蛇腹３は、慣性により今までと同じ＋Ｙ軸方向に移動しようとして、その移動方向と反対方向（左方向）の引っ張り力Ｆが、加工ヘッド６側の固定板１２Ｂに働く。
【００７５】
しかし、この加工ヘッド６の固定板１２Ｂ側の蛇腹３の縮み勝手部分３Ａから成る引っ張り力吸収部材により、この引っ張り力Ｆを打ち消す力Ｆ′が作用し、蛇腹３の破損が防止される。
【００７６】
▲３▼加工ヘッド６が、加工点ｄからｅに到るまでの動作。
【００７７】
引続き、加工ヘッド６（図２）からレーザビームＬＢをワークＷ上に照射することにより、加工ヘッド６のＹ軸方向の位置はそのままにして、今度は、Ｘ軸モータＭｘを駆動してキャリッジ１を＋Ｘ軸方向（図２の上方）に移動させ、加工点ｄからｅまで切削加工を行う。
【００７８】
この場合、加工ヘッド６が加工点ｅに到達すると、高速Ｖで＋Ｘ軸方向に移動するキャリッジ１は、その前面１Ａ側と後面１Ｂ側の固定板１２Ｂを伴って停止する。
【００７９】
そして、このとき、伸張するＸ軸モータＭｘ側の蛇腹３と、収縮するベアリング１１側の蛇腹３は、慣性により今までと同じ＋Ｘ軸方向（図５（Ｂ）における右方向）に移動しようとして、その移動方向と反対方向（左方向）の引っ張り力Ｆが、Ｘ軸モータＭｘ側の固定板１２Ａと、キャリッジ１側の右側固定板１２Ｂに働く。
【００８０】
しかし、これら固定板１２Ａ、１２Ｂ側の蛇腹３の縮み勝手部分３Ａから成る引っ張り力吸収部材により、この引っ張り力Ｆを打ち消す力Ｆ′が作用し、蛇腹３の破損が防止される。
【００８１】
▲４▼加工ヘッド６が、加工点ｅからｂに到るまでの動作。
【００８２】
同様に、加工ヘッド６（図２）からレーザビームＬＢをワークＷ上に照射することにより、加工ヘッド６のＸ軸方向の位置はそのままにして、今度は、Ｙ軸モータＭｙを駆動して加工ヘッド６を−Ｙ軸方向（図２の左方）に移動させ、加工点ｅからｂまで切削加工を行う。
【００８３】
この場合、加工ヘッド６が加工点ｂに到達すると、高速Ｖで−Ｙ軸方向に移動する加工ヘッド６は、その固定板１２Ｂを伴って停止する。
【００８４】
そして、このとき、−Ｙ軸方向（図４（Ａ）における左方向）に伸張する蛇腹３は、慣性により今までと同じ−Ｙ軸方向に移動しようとして、その移動方向と反対方向（右方向）の引っ張り力Ｆが、レーザ発振器１０側の固定板１２Ａに働く。
【００８５】
しかし、このレーザ発振器１０の固定板１２Ａ側の蛇腹３の縮み勝手部分３Ａから成る引っ張り力吸収部材により、この引っ張り力Ｆを打ち消す力Ｆ′が作用し、蛇腹３の破損が防止される。
【００８６】
このようにして、加工を行う間に、高速移動軸に追従して伸縮する蛇腹３の破損が防止されることにより、レーザビームＬＢの漏洩やＸ軸ボールねじ１５に対するスパッタの付着などが無くなることにより、加工が続行され、元のワークＷから（図２）例えば矩形状の製品Ｗ１が切り抜かれる。
【００８７】
【発明の効果】
上記のとおり、本発明によれば、レーザ加工機などの板材加工機において、高速移動軸に追従して伸縮する蛇腹の破損を防止することにより、加工を続行させるという効果がある。
【００８８】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を示す全体正面図である。
【図２】本発明の実施形態を示す全体平面図である。
【図３】本発明の第１実施形態〜第３実施形態を示す図である。
【図４】本発明による蛇腹３がレーザビーム導波路を形成する場合の動作説明図である。
【図５】本発明による蛇腹３がＸ軸ボールねじ１５の保護管を形成する場合の動作説明図である。
【図６】本発明の第４実施形態を示す図である。
【図７】従来技術の説明図である。
【符号の説明】
１  キャリッジ
２  Ｙ軸ガイド
３  蛇腹
３Ａ  縮み勝手部分
３Ｂ  伸び勝手部分
４Ａ、４Ｂ  Ｘ軸ガイド
５  Ｙ軸スライダ
６  加工ヘッド
７  ベンドミラー
８  Ｙ軸ボールねじ
９  加工テーブル
１０  レーザ発振器
１１、１４  ベアリング
１２Ａ  一方の固定板
１２Ｂ  他方の固定板
１３  中間板
１５  Ｘ軸ボールねじ
１７、１８  下部
１９、２０  ガイドベース
２１  集光レンズ
２２  制限テープ
２３  引っ張りバネ
ＬＢ  レーザビーム
Ｗ  ワーク
【図１】
0004180293.tif 000002
【図２】
0004180293.tif 000003
【図３】
0004180293.tif 000004
【図４】
0004180293.tif 000005
【図５】
0004180293.tif 000006
【図６】
0004180293.tif 000007
【図７】
0004180293.tif 000008