(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動板と対向電極の間に駆動電圧を印加して静電気力により当該振動板を変位させてインクノズルからインク液滴を吐出させる吐出動作を複数回行うことにより１ドット印字を記録媒体上に形成するインクジェットヘッドの駆動方法において、
前記のインク液滴の吐出動作を３回以上の奇数回に亘り連続して行うことにより１ドット印字を形成し、
当該１ドット印字を形成するための奇数回の吐出動作のうち、少なくとも１回の吐出動作時に印加する前記駆動電圧の極性を逆極性とし、
前記振動板および電極の間に形成されている絶縁層の帯電特性に応じて、前記１ドット印字を形成するための吐出動作時に印加される前記駆動電圧の極性としていずれの極性を多数回とするのかを決定することを特徴とするインクジェットヘッドの駆動方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記駆動電圧の極性に応じて、当該駆動電圧のパルス幅および電圧値のうちの少なくとも一方を変えることを特徴とするインクジェットヘッドの駆動方法。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記１ドット印字を形成するためのインク液滴の吐出動作の回数が３回であることを特徴とするインクジェットヘッドの駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、静電気力を用いて振動板を変形させることによりインク液滴の吐出を行なう形式のインクジェットヘッドの駆動方法に関するものである。さらに詳しくは、振動板に残留する残留電荷の影響を排除して常に良好なインク液滴の吐出動作を行なうことの可能なインクジェットヘッドの駆動方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
静電気力を用いてインク液滴の吐出を行なうインクジェットヘッドは、例えば、米国特許第４５２０３７５号の明細書、特開平５−５０６０１号公報に開示されている。これらの公報に記載のインクジェットヘッドは、インクノズルに連通した吐出室の底面が面外方向に弾性変位可能な振動板により形成され、この振動板に対向して電極が配置されており、これらの振動板と電極の間に駆動電圧パルスを印加することにより、振動板を静電気力により変位させて、当該振動板の変位に応じてインクノズルからインク液滴を吐出させるようになっている。
【０００３】
この構成のインクジェットヘッドにおいて、振動板と電極の間に電圧パルスを印加した後に振動板および電極間の誘電体に電荷が残留すると、この残留電荷が作り出す電界により振動板と電極の相対変位量が減少してしまう。相対変位量の減少は、インク液滴の吐出量やインクスピードの低下等といったインク液滴の吐出不良の原因となる。このようなインク吐出不良が発生すると、印字濃度の変動、画素ずれ等の印刷品位不良や画素抜け等が起こってしまう。
【０００４】
振動板と電極の間に残留電荷が発生することを防止するために、本願人は、先に、特開平７−８１０８８号公報において、インク液滴の吐出用の駆動電圧とは逆極性の電圧を定期的に印加する方法を提案している。また、特開平９−１３６４１３号公報において、インク液滴吐出用の駆動電圧として交互に逆極性のものを印加する方法を提案している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、一般的に、同一の印字濃度を確保するためには、１ドット分印字を１回のインク液滴により形成するよりも、複数回のインク液滴により形成する方が１ドット印字用のインク重量が少なくて済むので望ましい。
【０００６】
一方、振動板および電極の間に発生する残留電荷の極性は、これらの間の絶縁層の帯電特性等に応じて異なる。よって、極性の異なる駆動電圧を交互に印加したとしても、効果的に残留電荷を除去できない場合がある。
【０００７】
また、駆動電圧の極性が異なると、一般的にはそれに応じて、吐出するインク液滴のインクスピードあるいはインク重量が変化してしまう。このようなインク液滴の吐出特性が変化すると、印字品位が低下する等の弊害が発生する。
【０００８】
本発明の課題は、このような点に鑑みて、インク液滴吐出用の駆動電圧として極性の異なるものを印加することにより振動板および電極間の残留電荷を除去すると共に、複数回のインク液滴の吐出により１ドット印字を形成するインクジェットヘッドの駆動方法において、残留電荷をより効果的に除去可能とすることにある。
【０００９】
また、本発明の課題は、このようなインクジェットヘッドの駆動方法において、印字品位を低下させることなく効果的に残留電荷を除去可能とすることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明は、インク液滴吐出用の駆動電圧として極性の異なるものを印加すると共に、複数回のインク液滴の吐出動作により１ドット印字を記録媒体上に形成するインクジェットヘッドの駆動方法において、前記１ドット印字を連続した３回以上の奇数回のインク液滴の吐出動作により形成すると共に、当該１ドット印字を形成するための吐出動作のうち、少なくとも１回の吐出動作時に印加する前記駆動電圧の極性を逆極性としたことを特徴としている。
【００１１】
このように３回以上の奇数回分のインク液滴の吐出動作により１ドット印字を行う場合には、駆動電圧の印加も同一の奇数回数分だけ行われる。従って、常に、一方の極性の駆動電圧の印加回数が多くなる。よって、振動板と電極の間の絶縁層の帯電特性に対応させて、印加回数を多くする駆動電圧の極性を選択すれば、効果的に残留電荷を除去でき、印字品位を良好に保持することができる。
【００１２】
ここで、例えばｐ型シリコン基板にボロンがドープされたボロンドープ層に振動板を形成した場合等には、振動板と電極の間に形成されている絶縁層は、負の残留電荷が発生しやすい帯電特性を呈する。従って、残留電荷を効果的に除去するためには、絶縁層の帯電特性に応じて、前記１ドット印字を形成するための吐出動作時に印加される前記駆動電圧の極性としていずれの極性を多数回とするのかを決定することが望ましい。
【００１３】
次に、前記駆動電圧の極性に応じて、当該駆動電圧のパルス幅および電圧値のうちの少なくとも一方を変えることが望ましい。このようにすれば、極性の異なる駆動電圧を印加した場合のインク液滴の吐出特性を実質的に同一なるように保持でき、印字品位を良好に保持することができる。
【００１４】
本発明による典型的なインクジェットヘッドの駆動方法においては、前記１ドット印字を形成するためのインク液滴の吐出動作の回数が３回とされる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して本発明の駆動方法により駆動されるインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタの実施例を説明する。
【００１６】
図１は本例のインクジェットプリンタの概略構成図である。この図に示すように、本例のインクジェットプリンタ３１０の全体構造は一般的なものであり、記録紙１０５を搬送するプラテン３００と、このプラテン３００に対峙したインクジェットヘッド１０と、このインクジェットヘッド１０をプラテン３００の軸線方向である主走査方向に往復移動させるキャリッジ３０２と、このインクジェットヘッド１０に対してインクチューブ３０６を介してインクを供給するインクタンク３０１を有している。３０３はポンプであり、インクジェットヘッド１０にインク吐出不良等が発生した場合に、キャップ３０４、廃インク回収チューブ３０８を介して、インクを吸引して、廃イク溜め３０５に回収するために使用する。
【００１７】
図２はインクジェットヘッド１０の分解斜視図、図３は組立てられたインクジェットヘッド全体の断面構成図であり、図４は図３のＡ−Ａ線矢視図である。本例のインクジェットヘッド１０は、インク液滴を基板の端部に設けたノズル孔から吐出させるエッジイジェクトタイプであるが、基板上面に設けたノズル孔からインク液滴を吐出させるフェイスイジェクトタイプでもよい。
【００１８】
これら図２、３、４に示すように、本例のインクジェットヘッド１０は、３枚の基板１、２、３を重ね合わせた積層構造をしている。中間の基板２は、例えばシリコン基板であり、複数のノズル孔４を構成するように、基板２の表面に一端から平行に等しい間隔で形成された複数本のノズル溝２１と、各々のノズル溝２１に連通し、底壁が振動板５として機能する吐出室６を構成することになる凹部２２と、凹部２２の後部に設けられたオリフィス７を構成することになるインク流入口のための細溝２３と、各々の吐出室６にインクを供給するための共通のインクキャビティ８を構成することになる凹部２４とを有する。
【００１９】
また、振動板５の下部には後述する電極を装着するための振動室９を構成することになる凹部２５が設けられている。ノズル溝２１のピッチは２ｍｍ程度であり、その幅は４０μｍ程度にされる。一方、中間基板の上面には、共通電極１７が形成されている。中間基板２の上面に接合される上側の基板１は、例えばガラスまたはプラスチックからなり、この上基板１の接合によって、前記ノズル孔４、吐出口６、オリフィス７およびインクキャビティ８が構成される。上基板１にはインクキャビティ８に連通するインク供給口１４が形成されている。インク供給口１４は、接続パイプ１６およびチューブ３０６介してインクタンク３０１（図１参照）に接続される。
【００２０】
中間基板２の下面に接合される下側基板３は、例えばガラス、プラスチックからなり、この下基板３の接合によって前記振動室９を構成すると共に、下基板の方面に前記振動板５に対応する各々の位置に個別電極３１を形成する。個別電極３１はリード部３２および端子部３３を有する。さらに、端子部３３を除き電極３１およびリード部３２の全体を絶縁膜３４で被覆してある。各端子部３３にはリード線３５がボンディングされている。
【００２１】
このように基板を重ね合わせて構成したインクジェットヘッド１０は、更に、中間基板２に形成した共通電極１７と各個別電極３１の端子部３３との間に後述するヘッドドライバ２２０（図５参照）が接続される。インク１１は、インクタンク３０１からインク供給口１４を通して中間基板の内部に供給され、インクキャビティ８、吐出口６等を満たしている。なお、電極３１と振動板５の間隔は、１ミクロンｍ程度に保持されている。図２において、１３はノズル孔４から吐出されたインク液滴である。
【００２２】
なお、使用されるインクは、水、アルコール、トルエン等の主溶媒にエチレングリコール等の界面活性剤と、染料または顔料とを溶解または分散させることにより調製される。さらに、インクジェットヘッドにヒーター等を付設すれば、ホットメルトインクも使用できる。
【００２３】
個別電極３１に対して、ヘッドドライバ２２０により、例えば、正の電圧パルスを印加して電極３１の表面が正の電位に帯電すると、対応する振動板５の下面は負の電位に帯電する。したがって、振動板５は静電気力によって吸引されて下方へ撓む。次に、電極３１へ印加している電圧パルスをオフにすると、振動板５は元の位置に復帰する。この復帰動作によって、吐出室６の内圧が急激に上昇して、ノズル孔４からインク液滴１３が記録紙１０５に向けて吐出する。そして、振動板５が下方に撓むことにより、インク１１がインクキャビティ８からオリフィス７を経由して吐出室６に補給される。
【００２４】
図５には、本例のインクジェトプリンタの制御系のうち、インクジェットヘッド１０の駆動制御系の部分を示してある。図において、２０１はプリタン制御回路であり、例えば１チップマイクロコンピュータにより構成することができる。このプリンタ制御回路２０１には、アドレスバスおよびデータバスを含む内部バス２０２、２０３、２０４を介してＲＡＭ２０５、ＲＯＭ２０６およびキャラクタージェネレータＲＯＭ（ＣＧ−ＲＯＭ）２０７が接続されている。ＲＯＭ２０６内には、制御プログラムが予め格納されており、ここから呼び出されて起動される制御プログラムに基づき、後述のようなインクジェットヘッド１０の駆動制御動作が実行される。ＲＡＭ２０５は駆動制御におけるワーキング領域として利用される。ＣＧ−ＲＯＭ２０７には入力文字に対応したドットパターンが展開されている。
【００２５】
２１０はヘッド駆動制御回路であり、プリンタ制御回路２０１の制御の下に、ヘッドドライバ２２０に対して駆動信号ＦＲ等を出力する。また、データバス２１１を介して印刷データＤＡＴＡが供給される。さらには、クロック信号ＣＬＫが供給される。
【００２６】
ヘッドドライバ２２０は、例えばＴＴＬアレイから構成されており、入力される駆動信号に対応した駆動電圧パルスを生成して、これらを、駆動対象となる個別電極３１および共通電極１７に印加して、対応するノズル孔１４からインク液滴の吐出を行なわせる。駆動電圧パルス信号を生成するために、ヘッドドライバ２２０には、接地電圧ＧＮＤ、駆動電圧Ｖｐ、Ｖ２、Ｖ３（０＜Ｖ２，Ｖ３＜Ｖｐ）が供給されている。これらの電圧は、電源回路２３０から供給される駆動電圧Ｖｃｃから生成されるものである。
【００２７】
図６には、上記構成のインクジェットプリンタ１の概略動作のフローチャートを示してあり、図７（ａ）にはノズル回復動作のサブルーチン、図７（ｂ）には印刷動作のサブルーチンを示してある。
【００２８】
先ず全体の動作を説明すると、ステップＳＴ１において、プリンタ機構部分の初期化が実行される。次にステップＳＴ２において、電源投入直後のノズル回復動作を行なう。このノズル回復動作は図７（ａ）のステップＳＴ２１ないしステップＳＴ２３に示される一連のステップからなる。
【００２９】
このノズル回復動作においては、ステップＳＴ２１においてインクジェットヘッド１０を搭載したキャリッジ３０２を待機位置からキャップ３０４の位置へ移動する。次に、ステップＳＴ２２においてノズルの回復動作、すなわちリフレッシュを行なう。このノズルのリフレッシュとは、インクジェットヘッド１０のノズル部の増粘したインク等のインク吐出不良の原因となる不良インクを排出するために、全てのノズルに対応する振動板５を駆動して、全てのノズルからインク液滴を所定の回数だけ吐出させることである。この後は、ステップＳＴ２３において再びキャリッジ３０２を待機位置に復帰させる。
【００３０】
再び図６のフローチャートに戻り、ステップＳＴ３においては、前回のノズル回復動作からの時間をカウントする。このカウントは、プリンタ制御回路２０１に内蔵のカウンタを用いて行なう。ノズル回復動作を行なう時間隔が経過すると、ステップＳＴ３からステップＳＴ９に移行して、再度、ノズル回復動作を行なう。そうでない場合には、ステップＳＴ４において印刷を行なうか否かを判別し、印刷動作を行なう場合には、ステップＳＴ５においてノズル回復動作期間のカウント値をリセットした後に、ステップＳＴ６に進み、印刷動作を実行する。
【００３１】
図７（ｂ）にはこの印刷動作を示してある。この図に示すように、先ずステップＳＴ６１において、計数値ｎを「１」に設定し、ステップＳＴ６２において、キャリッジ３０２を１ドット分だけ主走査方向に移動する。ステップＳＴ６３、６４において、印字データＤＡＴＡに基づいた指定ドットに対応するノズルの振動板５を駆動することにより、当該ノズルのインクの吸引および吐出動作を行なう。次に、ステップＳＴ６５において計数値ｎを「１」だけインクメントしてステップＳＴ６６において計数値ｎが主走査方向の最終ドットであるか否かを判別する。最終ドットの場合には印刷動作を終了し、そうでない場合には、ステップＳＴ６２に戻って上記の動作を繰り返す。
【００３２】
このようにして主走査方向の１行分の印字動作を終了した後は、図６のステップＳＴ１０において処理を継続するか否かを判別し、継続の場合には、ステップＳＴ３に戻り、そうでない場合には、処理を終了する。
【００３３】
（１ドット印字動作）
ここで、本例のインクジェットプリンタにおいては、図７（ｂ）に示す印刷動作において、記録紙上に１ドット印字（１画素印字）を形成するために、３以上の奇数回のインク液滴の吐出動作、本例では３回の吐出動作を連続して行うように構成されている。また、駆動電圧パルス信号として極性の異なるものを用いるように構成されている。
【００３４】
すなわち、本例では、共通電極１７に正の駆動電圧パルス（値Ｖ３）を印加し、個別電極３１を接地電位（ＧＮＤ）にすることにより、振動板５を変位させてインク液滴の吐出動作を行なわせる「正」の駆動形態と、共通電極１７を接地電位（ＧＮＤ）にして、個別電極３１の側に正の駆動電圧パルス（値Ｖ２）を印加することにより、振動板５を変位させてインク液滴の吐出動作を行なわせる「逆」の駆動形態とにより、インク液滴の吐出を行うようにしている。
【００３５】
１ドット印字のために３個の駆動電圧パルスを印加する場合に、それらの極性としては次の６つのパターンが考えられる。
【００３６】
正、正、逆
正、逆、正
正、逆、逆
逆、正、正
逆、逆、正
逆、正、逆
ここで、ｐ型シリコン基板２にボロンを拡散したボロン層を振動板５とし、この振動板５と電極３１の間に形成されている絶縁膜３４を熱酸化膜とし、シリコン基板２とガラス基板３を陽極接合してインクジェットヘッド１０を作製した場合、絶縁膜３４は、例えば−２Ｖ程度の負の帯電特性を示すことが実験により確認された。この場合には、これら振動板５と電極３１の間に発生する負の残留電荷を除去あるいは抑制するためには、「正」の駆動電圧パルスを多く印加すればよい。すなわち、次の３つのパターンの何れかを採用すればよい。
【００３７】
正、正、逆
正、逆、正
逆、正、正
そこで、このような駆動制御を実現するために、本例のヘッド駆動制御回路２１０においては、データ印字のタイミング毎に、上記の３つのうちの何れかのパターンで論理値が高低に繰り返し切り換わる反転駆動信号ＦＲをヘッドドライバ２２０に供給している。ヘッドドライバ２２０では、反転駆動信号ＦＲの論理値と、印刷データＤＡＴＡの論理値（印刷データの有無）に応じて、駆動電圧パルスの極性を切り換えている。
【００３８】
ここにおいて、一般に、インクジェットヘッドは、加工寸法のばらつきにより、振動板５の厚み、振動板と電極のギャップが目標値に対してばらつく。これらの値がばらつくと、インクジェットヘッドを適正に駆動するために必要な駆動電圧パルス信号のパスル幅も変動する。この点からは、駆動電圧パルス信号として、印字品位を良好に保持可能なパルス幅の範囲が広い方がよく、広ければ製造誤差を吸収できる。
【００３９】
また、オンディマンド型のインクジェットヘッドにおいては駆動周波数が変化するが、駆動周波数の変化に伴って吐出されるインク重量、インクスピードが変化してしまうことは好ましくない。
【００４０】
これらの点に鑑みて、本発明者等が解析を行った結果、３回のインク液滴の吐出により１ドット印字を行う場合には、上記の３つの極性パターンのうち、
逆、正、正
の駆動パターンが最も優れていることが確認された。
【００４１】
図８には、本例の駆動方式によるタイミングチャートを示してある。この図において（ａ）は印字動作のためのタイミングパルスを示してあり、（ｂ）には印字タイミング毎に出力される通電パルスを示してある。（ｃ）には、インクジェットヘッド１０の各ノズルの駆動電圧波形を示してある。この駆動電圧波形は、個別電極３１と共通電極１７の間の電位差を表している。さらに、（ｄ）にはノズルからのインク液滴の吐出タイミングを示してある。
【００４２】
以上のように、本例のインクジェットプリンタにおいては、インクジェットヘッド１０の各ノズルの駆動を、図８（ｃ）に示すように、インク液滴の吐出動作を、逆、正、正のパターンで切り換わる駆動電圧パルス信号により行い、これら３回のインク液滴の吐出動作によって、１ドット印字を形成している。すなわち、「逆」の駆動状態では、個別電極３１と共通電極１７（振動板５）の間に負の駆動電圧パルスＳ（Ｖ２）が印加される。これに対して、「正」の駆動状態では、これらの間に正の駆動電圧パルスＳ（Ｖ３）が印加されることになる。
【００４３】
従って、本例においては、負側の帯電特性を有する絶縁膜３４の残留電荷の発生を、正側の駆動状態を多くすることにより、確実に抑制あるいは回避することができる。
【００４４】
（駆動形態の第２の例）
ここで、上記のように「逆、正、正」の駆動方法において、インクスピードのパルス幅特性を実験により求めると、図９に示すような特性曲線となる。この図において、実線で示す曲線が「正」駆動時に得られるインクスピードの特性曲線であり、破線で示す曲線が「逆」駆動時に得られるインクスピードの特性曲線であり、破線の示す曲線が全体として左にシフトしている。
【００４５】
良好な印字品質が得られるインクスピードに対応する駆動電圧パルス信号のパルス幅Ｐｗの範囲をＷ１、Ｗ２とすると、双方の曲線の重なり部分の範囲Ｗが、採用可能なパルス幅の範囲となる。このように正および逆の駆動方法では、インク液滴の吐出特性が異なるので、双方の駆動方法において良好な印字品質を得ることができるパルス幅の範囲が狭くなってしまう。
【００４６】
このようなインク液滴の吐出特性のばらつきを抑制するためには、駆動電圧パルス信号のパルス幅あるいは電圧値、またはそれらの双方を、極性に応じて変更すればよい。
【００４７】
図１０には、極性に応じて、駆動電圧パルス信号のパルス幅を変更した例を示してある。各信号（ａ）〜（ｃ）は図８における各信号（ａ）〜（ｃ）に対応している。この図に示すように、逆駆動時におけるパルス幅Ｐｗ１を正駆動時におけるパルス幅Ｐｗ２よりも狭くなるようにしてある。このようにすると、「正」、「逆」の各駆動時におけるインク液滴の吐出特性のばらつきを抑制可能なことが確認された。
【００４８】
図１１には、極性に応じて、駆動電圧パルス信号の電圧値を変更した例を示してある。各信号（ａ）〜（ｃ）は図８における各信号（ａ）〜（ｃ）に対応している。この図に示すように、逆駆動時における電圧値Ｖ２の絶対値を正駆動時における電圧値Ｖ３の絶対値よりも小さくなるようにしてある。このようにしても、正、逆駆動時におけるインク液滴の吐出特性のばらつきを抑制できることが確認された。
【００４９】
（その他の実施の形態）
上記の例においては、電極３１を被覆している絶縁膜３４が負の帯電特性を備えているが、正の帯電特性を備えている場合には次のように駆動電圧の極性を変化させればよい。
【００５０】
例えば、ｎ型シリコン基板にリンを拡散して振動板を形成し、上記の例のようにしてインクジェットヘッドを作製した場合には、その絶縁膜は＋２Ｖ程度の正の帯電特性を示す。この場合、逆極性の駆動電圧パルス信号を多く印加すればよい。すなわち、
正、逆、逆
逆、逆、正
逆、正、逆
のうちの何れかの駆動パターンにより１ドット印字を行うようにすればよい。
【００５１】
一方、上記の例では、１ドット印字を３回のインク液滴の吐出により形成しているが、５以上の奇数回のインク液滴の吐出により１ドット印字を形成するようにしてもよい。いずれの場合においても、一方の極性の駆動電圧パルスの印加回数が多くなるので、振動板と電極の間の残留電荷の発生を効果的に抑制あるいは回避することができる。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のインクジェットヘッドの駆動方法においては、１ドット印字を、３以上の奇数回のインク液滴の吐出動作により形成すると共に、これらの吐出動作時に印加する駆動電圧の極性を異なるようにしている。従って、本発明によれば、振動板および電極間における正あるいは負の帯電特性を備えた絶縁層に発生する残留帯電を効果的に抑制あるいは回避できる。
【００５３】
また、本発明では、駆動電圧の極性に応じて、当該駆動電圧のパルス幅および電圧値のうちの少なくとも一方を変えるようにしている。この結果、極性の違いに起因するインク液滴の吐出特性の変動を抑制あるいは回避できるので、印字品質の高い印字を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用したインクジェットプリンタの全体構成を示す概略構成図である。
【図２】図１のプリンタに搭載されているインクジェットヘッドを示す分解斜視図である。
【図３】図２のインクジェットヘッドを示す概略断面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線矢視図である。
【図５】図１のインクジェットプリンタにおけるインクジェットヘッドの制御系を示す概略ブロック図である。
【図６】図１のインクジェットプリンタの動作を示す概略フローチャートである。
【図７】（ａ）はノズル回復動作のサブルーチンを示すフローチャート、（ｂ）は１主走査ライン分のドット印字動作を示すフローチャートである。
【図８】図１のインクジェットプリンタにおけるインクジェットヘッドによる１ドット印字のための駆動制御を示すタイミングチャートである。
【図９】極性の異なる駆動電圧パルス信号のパルス幅に対するインクスピードの特性を示すグラフである。
【図１０】本発明によるインクジェトヘッドの別の駆動制御を示すタイミングチャートである。
【図１１】本発明によるインクジェトヘッドの更に別の駆動制御を示すタイミングチャートである。
【符号の説明】
１、２、３    基板
４    ノズル孔
５    振動板
１０  インクジェットヘッド
１３  インク液滴
１７  共通電極
３１  個別電極
３４  絶縁膜
２０１  プリンタ制御回路
２１０  ヘッド駆動制御回路
２２０  ヘッドドライバ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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