(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電性基板と、前記圧電性基板上に形成された弾性表面波素子とを備え、
前記弾性表面波素子は、少なくとも、入力端子に接続された櫛歯状電極と接地端子に接続された櫛歯状電極とを組み合わせた入力側インターデジタル変換器と、出力端子に接続された櫛歯状電極と接地端子に接続された櫛歯状電極とを組み合わせた出力側インターデジタル変換器とを有し、
前記入力端子に接続された櫛歯状電極の入力用電極指、前記出力端子に接続された櫛歯状電極の出力用電極指、及び、前記接地端子に接続された櫛歯状電極の接地用電極指は、前記入力用電極指の中心と前記入力用電極指と組み合わされた前記接地用電極指の中心との間隔、前記出力用電極指の中心と前記出力用電極指と組み合わされた前記接地用電極指の中心との間隔、及び、前記入力側インターデジタル変換器の前記出力側インターデジタル変換器と近接した位置に配置された電極指の中心と前記出力側インターデジタル変換器の前記入力側インターデジタル変換器と近接した位置に配置された電極指の中心との間隔が実質的に等間隔に配置され、
且つ、前記入力用電極指と前記出力用電極指との間の所定間隔に少なくとも２本の前記接地用電極指を配置したことを特徴とする弾性表面波フィルタ装置。
【請求項２】
前記入力用電極指の中心と前記出力用電極指の中心との間の所定間隔は、この間に配置される前記接地用電極指の本数をｎとし（ｎは２以上の整数）、弾性表面波の波長をλとしたとき、
（ｎ＋１）×λ／２
であることを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波フィルタ装置。
【請求項３】
多重モード共振子フィルタであることを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波フィルタ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、移動体通信機器等で利用される弾性表面波フィルタ装置に関し、特に、弾性表面波素子を構成する櫛歯状電極のパターンに関する。
【０００２】
【従来の技術】
弾性表面波フィルタ装置は、圧電体上に設けられた薄膜金属からなるインターデジタル変換器：ＩＤＴにより電気信号と弾性表面波（ＳＡＷ）との変換を行って信号を送受信するデバイスであり、弾性表面波フィルタ、弾性表面波共振子、遅延回路等に用いられる。この弾性表面波フィルタ装置は、薄型化・小型化が可能であるというメリットにより、携帯電話などの移動体通信の分野で広く用いられるようになっている。
【０００３】
近年の移動体通信分野の進歩はめざましいものがあり、それに利用される弾性表面波フィルタ装置に求められる性能も、年々高いものが要求されている。
【０００４】
弾性表面波フィルタ装置に要求される特性は、大きく分けると帯域内減衰量が小さいことと、帯域外減衰量が大きいことの二つが挙げられる。移動体通信機器に用いられるＲＦ弾性表面波フィルタ装置には、縦モードの多重結合を用いた多重モード共振子フィルタすなわちＬＭＭＳ（Ｌｏｎｇｉｔｕｄｉｎａｌ  Ｍｕｌｔｉ  Ｍｏｄｅ  ＳＡＷ）型や、共振子を直並列に配置したラダー型などが一般的である。
【０００５】
その中でも、多重モード共振子フィルタは、平衡不平衡出力が容易であることから、近年この構造を用いた弾性表面波フィルタ装置が頻繁に利用されている。例えば、特開２００１−３０８６７２号公報によれば、不平衡−平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ装置が開示されている。
【０００６】
弾性表面波フィルタとしては、帯域内減衰量を小さくすることと帯域外減衰を大きくすることはトレードオフの関係にあり、帯域外減衰量を大きくすると、結果として帯域内減衰量を犠牲にしなくてはならない。したがって、フィルタ設計の際には、これらのことを踏まえて、希望のフィルタ特性を設計することになる。
【０００７】
また、帯域外減衰量を小さくしてしまう原因は、他にもいくつか挙げることができる。その中の一つとして、電気的な結合がある。弾性表面波フィルタは、入力、出力、接地端子が音響的な結合のみで結びついていることになっているが、実際は、各端子間には電気的な結合が必ず存在する。一般に、この結合が大きければ大きいほど、弾性表面波フィルタの帯域外減衰量は小さくなる。そのため、通常は、この結合をできるかぎり小さくするように配線することで、全体の帯域外減衰量を大きくしている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
通常の弾性表面波フィルタにおいては、入力端子に接続する電極指（以下、入力用電極指）及び出力端子に接続する電極指（以下、出力用電極指）は、周期的に配置される。そのため、入力用電極指と出力用電極指との間には、必ず１本の接地端子に接続する電極指（以下、接地用電極指）が配置される。ところが、この構造では、入力用電極指と出力用電極指との間に電気的な結合が発生し、結果として帯域外、特に高域側の減衰量が小さくなるといった問題がある。
【０００９】
また、特開２００１−３０８６７２号公報に記載の弾性表面波フィルタ装置によれば、入力用電極指と出力用電極指との間に２本の接地用電極指を配置した構造を開示しているが、これら電極指が不均一な間隔で配置されているため、帯域内減衰量を小さくする（あるいは帯域内の周波数特性を平坦にする）ことは困難である。
【００１０】
つまり、従来技術では、帯域内減衰量を小さくしつつ（あるいは帯域内の周波数特性を平坦にしつつ）、帯域外（特に高域側）減衰量を大きくすることは困難であるといった問題が生ずる。
【００１１】
この発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、フィルタ特性を改善することが可能な弾性表面波フィルタ装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この発明の様態による弾性表面波フィルタ装置は、
圧電性基板と、前記圧電性基板上に形成された弾性表面波素子とを備え、
前記弾性表面波素子は、少なくとも、入力端子に接続された櫛歯状電極と接地端子に接続された櫛歯状電極とを組み合わせた入力側インターデジタル変換器と、出力端子に接続された櫛歯状電極と接地端子に接続された櫛歯状電極とを組み合わせた出力側インターデジタル変換器とを有し、
前記入力端子に接続された櫛歯状電極の入力用電極指、前記出力端子に接続された櫛歯状電極の出力用電極指、及び、前記接地端子に接続された櫛歯状電極の接地用電極指は、実質的に等間隔に配置され、
且つ、前記入力用電極指と前記出力用電極指との間の所定間隔に少なくとも２本の前記接地用電極指を配置したことを特徴とする。
【００１３】
この弾性表面波フィルタ装置によれば、入力用電極指、出力用電極指、及び、接地用電極指が実質的に等間隔に配置されている。このため、帯域内減衰量を小さくする（あるいは帯域内の周波数特性を平坦にする）ことができる。また、この弾性表面波フィルタ装置によれば、入力用電極指と出力用電極指との間に少なくとも２本の接地用電極指が配置されている。このため、入力用電極指と出力用電極指との間に電気的な結合を小さくすることができる。結果として、帯域外全体、特に高域側の減衰量を大きくすることができる。したがって、フィルタ特性を大幅に改善することができ、所望のフィルタ特性を得ることが可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の一実施の形態に係る弾性表面波フィルタ装置について図面を参照して説明する。
【００１５】
図１は、この発明の一実施の形態に係る弾性表面波フィルタ装置１００の構造を概略的に示す断面図である。また、図２は、この弾性表面波フィルタ装置１００に適用されるデバイスチップ１の構造を概略的に示す平面図である。
【００１６】
この弾性表面波フィルタ装置１００は、デバイスチップ１と、樹脂またはセラミックスで構成された基板（弾性表面波フィルタ装置１００のパッケージ）３と、を備えている。基板３の上面の所定位置には、配線パターン４が形成されている。この配線パターン４は、ビアホール３１を介して基板３の下面におけるリードパターン４１などに接続されている。また、デバイスチップ１上の所定位置には、所定の機能を有する機能部８が形成されている。弾性表面波フィルタ装置の場合で言えば、圧電性基板１上に形成されたインターデジタル変換器：ＩＤＴを有する弾性表面波素子が、所定の機能を有する機能部８に対応する。
【００１７】
機能部８には、引き出し配線パターン８１を介して複数のボンディングパッドが接続されている。なお、図１及び図２に示した例では、ボンディングパッドは４つ配置されている。これらの４つのボンディングパッドと、基板３上の引き出し配線パターン８１の所定箇所（４箇所）とは、それぞれ、例えば金あるいは金合金を用いた導電性の金属バンプ２を介して対向配置される。このとき、デバイスチップ１の機能部８は、基板３の上面に対向し、且つ、この上面とほぼ平行に配置される。
【００１８】
ここで、デバイスチップ１の機能部８と、基板３との対向面間には、中空部（空間部）７が設けられる。これは、弾性表面波フィルタ装置の場合で言えば、その機能上、弾性表面波を伝搬するという属性をもち、相互の対向面を密着できないことによるものである。
【００１９】
この中空部７は、以下のようにして形成される。すなわち、基板３の一主面、すなわち配線パターン４を備えた面、または、デバイスチップ１の一主面、すなわち機能部８を備えた面には、機能部８を囲むように設けられた枠体７２が形成されている。デバイスチップ１の一主面に枠体７２を形成した場合、この枠体７２を基板３の一主面に当接することにより、枠体７２の内部に中空部７が形成される。なお、空間部７が形成される構成であれば枠体７２を使用しなくても何ら構わない。
【００２０】
このようなデバイスチップ１と基板３とは、金属バンプ２を介して接続される。すなわち、デバイスチップ１と基板３との間の金属バンプ２は、加圧され、加熱され、超音波印加されて部分的に溶融する（フリップチップボンディングあるいはフェイスダウンボンディング）。この加圧／加熱／超音波印加が終了すると、金属バンプ２の溶融した部分は、冷えて固化する。これにより、機能部８に接続された４つのボンディングパッドと、基板３上の配線パターン４の所定の４箇所とがそれぞれ４つの金属バンプ２を介して電気的且つ機械的に接続される。
【００２１】
この後、図１に示すように、デバイスチップ１全体を、適度な粘性を有する封止樹脂（保護材）５で包覆する。そして、封止樹脂５の硬化処理を行う。この封止樹脂５は、エポキシ系樹脂などによって形成される。
【００２２】
ところで、図１及び図２に示した機能部８は、以下のように構成されている。すなわち、機能部としての多重モード共振子フィルタとしての弾性表面波素子８は、図３に示すように、例えば四ほう酸リチウムあるいはタンタル酸リチウムで作られた圧電性基板１上に形成されている。
【００２３】
図１及び図２においては、フリップチップボンディングあるいはフェイスダウンボンディングされ、樹脂により封止された弾性表面波フィルタ装置１００について説明したが、本発明の機能部（弾性表面波素子）８は、何らこの弾性表面波フィルタ装置１００の構成に限らず、金属キャップあるいはセラミックキャップなどで封着されて構成されるような他の構成の弾性表面波フィルタ装置にも適用できることは説明するまでもない。
【００２４】
弾性表面波素子８は、一列に並んだＩＤＴ１５〜１７と、このＩＤＴ１５〜１７の並び方向の両端に設けられた反射器１１、１２と、で構成される。
【００２５】
図３に示した例では、ＩＤＴ１５は、ＩＤＴ１７と同じ電極パターンを有している。ＩＤＴ１６は、ＩＤＴ１５と図中において上下反対の電極パターンを有している。なお、ＩＤＴ１５〜１７及び反射器１１〜１２の電極パターンは、例えばアルミニウム合金あるいは銅合金により構成されている。
【００２６】
ＩＤＴ１５及びＩＤＴ１７に挟まれたＩＤＴ１６の図中の上側櫛歯状電極１６Ａは、信号ポート２０に接続され、その下側櫛歯状電極１６Ｂは、電気回路的に接地される。ＩＤＴ１５の上側櫛歯状電極１５Ａは、接地され、その下側櫛歯状電極１５Ｂは、信号ポート２１−１に接続される。ＩＤＴ１７の上側櫛歯状電極１７Ａは、接地され、その下側櫛歯状電極１７Ｂは、信号ポート２１−２に接続される。
【００２７】
ここでは、例えば信号ポート２０は、入力端子として機能し、その場合、信号ポート２１−１及び２１−２は、出力端子として機能する。（逆に、信号ポート２１−１及び２１−２が入力端子として機能する場合は、信号ポート２０が出力端子として機能する。）
各ＩＤＴ１５〜１７及び反射器１１〜１２は、互いにほぼ平行に配置された複数の電極指、及び、複数の電極指を共通に接続するバスバーを備えている。例えば、反射器１１は、複数の電極指１１ＥＬと、バスバー１１ＢＢとによって構成されている。同様に、反射器１２は、複数の電極指１２ＥＬと、バスバー１２ＢＢとによって構成されている。この実施の形態では、反射器１１及び１２は、それぞれ例えば１００本の電極指１１ＥＬ及び１２ＥＬを備えている。
【００２８】
ＩＤＴ１５の上側櫛歯状電極１５Ａは、複数の電極指１５Ａ−ＥＬとバスバー１５Ａ−ＢＢとによって構成されている。ＩＤＴ１５の下側櫛歯状電極１５Ｂは、複数の電極指１５Ｂ−ＥＬとバスバー１５Ｂ−ＢＢとによって構成されている。この実施の形態では、上側櫛歯状電極１５Ａは、例えば１２本の電極指１５Ａ−ＥＬを備え、下側櫛歯状電極１５Ｂは、例えば１３本の電極指１５Ｂ−ＥＬを備えている。また、この実施の形態では、上側櫛歯状電極１５Ａの電極指１５Ａ−ＥＬは、接地端子に接続された接地用電極指として機能し、下側櫛歯状電極１５Ｂの電極指１５Ｂ−ＥＬは、出力端子２１−１に接続された出力用電極指として機能する。
【００２９】
ＩＤＴ１６の上側櫛歯状電極１６Ａは、複数の電極指１６Ａ−ＥＬとバスバー１６Ａ−ＢＢとによって構成されている。ＩＤＴ１６の下側櫛歯状電極１６Ｂは、複数の電極指１６Ｂ−ＥＬとバスバー１６Ｂ−ＢＢとによって構成されている。この実施の形態では、上側櫛歯状電極１６Ａは、例えば１６本の電極指１６Ａ−ＥＬを備え、下側櫛歯状電極１６Ｂは、例えば１５本の電極指１６Ｂ−ＥＬを備えている。また、この実施の形態では、上側櫛歯状電極１６Ａの電極指１６Ａ−ＥＬは、入力端子２０に接続された入力用電極指として機能し、下側櫛歯状電極１６Ｂの電極指１６Ｂ−ＥＬは、接地端子に接続された接地用電極指として機能する。
【００３０】
ＩＤＴ１７の上側櫛歯状電極１７Ａは、複数の電極指１７Ａ−ＥＬとバスバー１７Ａ−ＢＢとによって構成されている。ＩＤＴ１７の下側櫛歯状電極１７Ｂは、複数の電極指１７Ｂ−ＥＬとバスバー１７Ｂ−ＢＢとによって構成されている。この実施の形態では、上側櫛歯状電極１７Ａは、例えば１２本の電極指１７Ａ−ＥＬを備え、下側櫛歯状電極１７Ｂは、例えば１３本の電極指１７Ｂ−ＥＬを備えている。また、この実施の形態では、上側櫛歯状電極１７Ａの電極指１７Ａ−ＥＬは、接地端子に接続された接地用電極指として機能し、下側櫛歯状電極１７Ｂの電極指１７Ｂ−ＥＬは、出力端子２１−２に接続された出力用電極指として機能する。
【００３１】
入力用電極指１６Ａ−ＥＬ、出力用電極指１５Ｂ−ＥＬ及び１７Ｂ−ＥＬ、及び、接地用電極指１５Ａ−ＥＬ、１６Ｂ−ＥＬ及び１７Ａ−ＥＬは、実質的に等しい幅で、且つ、等しい長さに形成されている。すなわち、これらの電極指は、弾性表面波の波長をλとしたとき、例えばλ／４の幅を有している。この実施の形態では、各電極指は、約１．１５μｍの幅を有するとともに、約０．２ｍｍの長さを有している。
【００３２】
また、各ＩＤＴ１５〜１７を構成する各電極指は、実質的に等間隔に配置されている。すなわち、各ＩＤＴを構成する上側櫛歯状電極の電極指と下側櫛歯状電極の電極指との間隔は、いずれも等しい。例えば、ＩＤＴ１５において、上側櫛歯状電極１５Ａの電極指１５Ａ−ＥＬの中心と、下側櫛歯状電極１５Ｂの電極指１５Ｂ−ＥＬの中心との間隔は、いずれもλ／２に設定されている。
【００３３】
また、各ＩＤＴ１５〜１７も、実質的に等間隔に配置されている。すなわち、ＩＤＴ１５‐ＩＤＴ１６間の間隔、及び、ＩＤＴ１６‐ＩＤＴ１７間の間隔は、いずれも等しい。例えば、ＩＤＴ１５‐ＩＤＴ１６間の間隔、すなわちＩＤＴ１５の最もＩＤＴ１６に近接した位置に配置された電極指１５Ａ−ＥＬの中心と、ＩＤＴ１６の最もＩＤＴ１５に近接した位置に配置された電極指１６Ｂ−ＥＬの中心との間隔は、λ／２に設定されている。同様に、ＩＤＴ１６‐ＩＤＴ１７間の間隔、すなわちＩＤＴ１６の最もＩＤＴ１７に近接した位置に配置された電極指１６Ａ−ＥＬの中心と、ＩＤＴ１７の最もＩＤＴ１６に近接した位置に配置された電極指１７Ｂ−ＥＬの中心との間隔も、λ／２に設定されている。
【００３４】
このように、各電極指の幅及び長さを等しくするとともに、各電極指を実質的に等間隔に配置することにより、所定帯域内において減衰量を小さくでき（あるいは所定帯域内の周波数特性を平坦化でき）、フィルタ特性を改善することが可能となる。
【００３５】
この実施の形態に係る弾性表面波フィルタ装置１００では、入力用電極指と出力用電極指との間の所定間隔に少なくとも２本の接地用電極指が配置されている。図３に示した例では、ＩＤＴ１６の最もＩＤＴ１５に近接した入力用電極指１６Ａ−ＥＬと、ＩＤＴ１５の最もＩＤＴ１６に近接した出力用電極指１５Ｂ−ＥＬとの間に、２本の接地用電極指１５Ａ−ＥＬ及び１６Ｂ−ＥＬが配置されている。また、ＩＤＴ１６の最もＩＤＴ１７に近接した入力用電極指１６Ａ−ＥＬと、ＩＤＴ１７の最もＩＤＴ１６に近接した出力用電極指１７Ｂ−ＥＬとの間に、２本の接地用電極指１７Ａ−ＥＬ及び１６Ｂ−ＥＬが配置されている。
【００３６】
この入力用電極指と出力用電極指との間の間隔は、これらの間に配置される接地用電極指の本数をｎとし（ｎは２以上の整数）、弾性表面波の波長をλとしたとき、各電極指の間隔をλ／２に設定したことから、
（ｎ＋１）×λ／２
となる。図３に示した例では、接地用電極指の本数ｎは２本であることから、入力用電極指と出力用電極指との間隔は、１．５λとなる。
【００３７】
このように、入力用電極指と出力用電極指との間に少なくとも２本の接地用電極指を配置したことにより、入力用電極指と出力用電極指との間に電気的な結合を小さくすることができる。結果として、帯域外全体、特に高域側で減衰量を大きくすることができ、フィルタ特性を改善することが可能となる。
【００３８】
なお、図３に示した例では、入力用電極指と出力用電極指との間には、入力用電極指１６Ａ−ＥＬに対向する下側櫛歯状電極１６Ｂの電極指１６Ｂ−ＥＬと、出力用電極指１５Ｂ−ＥＬ（または１７Ｂ−ＥＬ）に対向する上側櫛歯状電極１５Ａ（または１７Ａ）の電極指１５Ａ−ＥＬ（または１７Ａ−ＥＬ）との２本の接地用電極指が配置されたが、種々変更可能である。
【００３９】
例えば、図４に示すように、入力用電極指１６Ａ−ＥＬと出力用電極指１７Ｂ−ＥＬとの間には、入力用電極指１６Ａ−ＥＬに対向する下側櫛歯状電極１６Ｂの電極指１６Ｂ−ＥＬを２本の接地用電極指として配置しても良い。
【００４０】
また、図５に示すように、入力用電極指１６Ａ−ＥＬと出力用電極指１７Ｂ−ＥＬとの間には、出力用電極指１７Ｂ−ＥＬに対向する上側櫛歯状電極１７Ａの電極指１７Ａ−ＥＬを２本の接地用電極指として配置しても良い。
【００４１】
次に、上述した構造を用いて試作した弾性表面波フィルタ装置の周波数特性について説明する。
【００４２】
なお、ここでは、入出力５０Ω終端の条件で、ヒューレットパッカード社製ネットワークアナライザを用いて周波数特性を測定した。また、比較例として、図６に示したように、入力端子２０に接続された入力用電極指と出力端子２１−１（または２１−２）に接続された出力用電極指との間に接地端子に接続された１本の接地用電極指を配置した構造を用いて試作した弾性表面波フィルタ装置の周波数特性も同一条件で測定した。図６に示した構造も、各電極指の形状及び電極指間の間隔は、図３に示した構造と同様である。
【００４３】
図８には、周波数特性の測定結果の一例を示している。実線（１）は、図３に示した構造の弾性表面波フィルタ装置の周波数特性であり、破線（２）は、図６に示した構造の弾性表面波フィルタ装置の周波数特性である。また、図９には、図８に示した測定結果の約８８１．５ＭＨｚを中心とした所定帯域付近を拡大した周波数特性の測定結果を示している。
【００４４】
図３に示した構造では、入力用電極指と出力用電極指との間に２本の接地用電極指を配置したことにより、接地用電極指が１本のときに比べて入出力間の電気的な結合が小さくなる。その結果、図８及び図９に示したように、図３に示したような構造では、図６に示したような構造と比較して、帯域内の減衰量（または平坦性）をほぼ同等に維持しつつ、帯域外、特に高域側の減衰量を大きくすることができた。この測定結果では、図３に示した構造では、図６に示した構造と比較して、広帯域にわたって帯域外減衰量が約５ｄＢ大きくなっていることがわかる。
【００４５】
また、同様にして、図７に示したように、入力端子２０に接続された入力用電極指と出力端子２１−１（または２１−２）に接続された出力用電極指との間に接地端子に接続された３本の接地用電極指を配置した構造を用いて試作した弾性表面波フィルタ装置の周波数特性も同一条件で測定した。図７に示した構造も、各電極指の形状及び電極指間の間隔は、図３に示した構造と同様である。
【００４６】
図９に破線（３）で示したように、帯域内の高周波数側で若干減衰量が大きくなるが、帯域外の高周波数成分の減衰量をさらに大きくすることができ、必要なフィルタ特性によっては入力用電極指と出力用電極指との間に２本以上の接地用電極指を配置することが有効であることがわかる。
【００４７】
以上の結果から、帯域内減衰量を小さくしつつ帯域外減衰量を大きくするためには、入力用電極指の中心と出力用電極指の中心との間の所定間隔は、１．５μｍ以上であることが望ましく、１．５λ以下であることが望ましい。
【００４８】
上述したように、この実施の形態によれば、入力用電極指、出力用電極指、及び、接地用電極指が実質的に等間隔に配置され、しかも、入力用電極指と出力用電極指との間に少なくとも２本の接地用電極指が配置されている。これにより、弾性表面波フィルタの帯域内減衰量を大きくすることなく（あるいは帯域内周波数特性の平坦性を損なうことなく）、帯域外減衰量、特に高域側の減衰量を大きくすることができ、フィルタ特性を大幅に向上することが可能となる。その結果、これまでの以上に高性能且つ良好なフィルタ特性の弾性表面波フィルタ装置を提供することが可能となる。
【００４９】
なお、この発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、その実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々な変形・変更が可能である。また、各実施の形態は可能な限り適宜組み合わせて実施されてもよく、その場合組み合わせによる効果が得られる。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、フィルタ特性を改善することが可能な弾性表面波フィルタ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、この発明の一実施の形態に係る弾性表面波フィルタ装置の構造を概略的に示す断面図である。
【図２】図２は、図１に示した弾性表面波フィルタ装置に適用されるデバイスチップの構造を概略的に示す平面図である。
【図３】図３は、図１に示した弾性表面波フィルタ装置に適用される弾性表面波素子の構造を概略的に示す図である。
【図４】図４は、図１に示した弾性表面波フィルタ装置に適用可能な弾性表面波素子の他の構造を概略的に示す図である。
【図５】図５は、図１に示した弾性表面波フィルタ装置に適用可能な弾性表面波素子の他の構造を概略的に示す図である。
【図６】図６は、入力用電極指と出力用電極指との間に１本の接地用電極指を配置した弾性表面波素子の構造を概略的に示す図である。
【図７】図７は、入力用電極指と出力用電極指との間に３本の接地用電極指を配置した弾性表面波素子の構造を概略的に示す図である。
【図８】図８は、各種構造の弾性表面波フィルタ装置の周波数特性を測定した時の測定結果の一例を示す図である。
【図９】図９は、図８に示した測定結果の所定周波数を中心とした所定帯域付近を拡大した周波数特性の測定結果を示す図である。
【符号の説明】
１…デバイスチップ（圧電性基板）
３…基板
８…機能部（弾性表面波素子）
１５、１６、１７…ＩＤＴ
１５Ｂ−ＥＬ…出力用電極指
１６Ａ−ＥＬ…入力用電極指
１７Ｂ−ＥＬ…出力用電極指
１５Ａ−ＥＬ…接地用電極指
１６Ｂ−ＥＬ…接地用電極指
１７Ａ−ＥＬ…接地用電極指
２０…入力端子
２１−１、２…出力端子
１００…弾性表面波フィルタ装置
【図１】
0004095311.tif 000002
【図２】
0004095311.tif 000003
【図３】
0004095311.tif 000004
【図４】
0004095311.tif 000005
【図５】
0004095311.tif 000006
【図６】
0004095311.tif 000007
【図７】
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【図８】
0004095311.tif 000009
【図９】
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