(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）（メタ）アクリル酸  １１〜１４重量％及び一般式［Ｉ］で表される化合物８６〜８９重量％を共重合成分として共重合して得られる重量平均分子量が３０，０００〜７０，０００、重量平均分子量／数平均分子量の値（分散度）が２．０〜３．０のフィルム性付与ポリマー５０〜７０重量部、
【化１】
0004055224.tif 000006
（式中、Ｒ1は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ2は炭素数１〜１２のアルキル基を表す。）
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物３０〜５０重量部（但し、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との総量が１００重量部となるようにする。）、
（Ｃ）光重合開始剤を（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して０．５〜１０重量部、
（Ｄ）可塑剤を（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して１．０〜１０重量部及び
（Ｅ）顔料又は染料を（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して０．０１〜３．０重量部を含有してなる感光性樹脂組成物。
【請求項２】
請求項１記載の感光性樹脂組成物を支持体上に塗布、乾燥して得られる感光性エレメント。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は感光性樹脂組成物、更に詳しくは、プリント配線板の製造、金属の精密加工等に用いられるエッチングレジスト又はめっきレジストとして、特に優れた密着性、解像度、可とう性、膜強度及び膜伸度を有する感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プリント配線板の製造、金属の精密加工等の分野において、エッチング、めっき等に用いられるレジスト材料としては、感光性樹脂組成物及びこれを支持体上に製膜し、その上に保護フィルムを設けた感光性エレメントが広く用いられている。プリント配線板は、上記感光性樹脂組成物又は感光性エレメントを用いて得られる感光性フィルムを銅基板上にラミネートして、パターン露光した後、未露光部を現像液で除去し、エッチング又はめっき処理を施してパターンを形成させた後、硬化部分を基板上から剥離する方法によって製造されている。
【０００３】
この未露光部の除去を行う現像液は炭酸ナトリウム水溶液等を使用するアルカリ現像型が主流になっている。
【０００４】
近年、プリント配線板の高密度化に伴い、感光性フィルムをラミネートする際発生するレジストチップの飛散による欠陥、感光性フィルムの基材との密着不足及び解像不足による欠陥並びにレジスト膜強度、膜伸度不足による欠陥が多く発生している。これらの欠陥の発生を防止するためには、感光性樹脂組成物の基材に対する密着性、解像度、可とう性、膜強度及び膜伸度を向上させることが必要である。
【０００５】
この種の感光性樹脂組成物又は感光性エレメントは特公平１−５６９１号公報、特公昭５２−９４３８８号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特公昭５４−３４３７２号公報に記載されている。しかしながら、前記の感光性樹脂組成物は企図された目的には非常に有用であるが、近年のプリント配線板の高密度化に対応できる密着性、解像度、可とう性、膜強度及び膜伸度を有していない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記した従来技術の問題点を解決するものであり、プリント配線板の製造、金属の精密加工等に用いられるエッチングレジスト又はめっきレジストとして、特に優れた密着性、解像度、可とう性、膜強度及び膜伸度を有する感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
すなわち、本発明は、（Ａ）（メタ）アクリル酸  １０〜１５重量％及び一般式［Ｉ］で表される化合物８５〜９０重量％を共重合成分として共重合して得られる重量平均分子量が３０，０００〜７０，０００、重量平均分子量／数平均分子量の値（分散度）が２．０〜３．０のフィルム性付与ポリマー５０〜７０重量部、
【０００８】
【化２】
0004055224.tif 000002
（式中、Ｒ1は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ2は炭素数１〜１２のアルキル基を表す。）
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物３０〜５０重量部（但し、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との総量が１００重量部となるようにする。）、
（Ｃ）光重合開始剤を（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して０．５〜１０重量部、
（Ｄ）可塑剤を（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して１．０〜１０重量部及び
（Ｅ）顔料又は染料を（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して０．０１〜３．０重量部を含有してなる感光性樹脂組成物を提供するものである。
【０００９】
また、本発明は、上記感光性樹脂組成物を支持体上に塗布、乾燥して得られる感光性エレメントを提供するものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明に用いられる（Ａ）成分のフィルム性付与ポリマーの共重合成分である（メタ）アクリル酸はメタクリル酸及び／又はアクリル酸を意味する。
【００１１】
一般式［Ｉ］で表される化合物としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸プロピルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル、（メタ）アクリル酸アミルエステル、（メタ）アクリル酸ヘキシルエステル、（メタ）アクリル酸オクチルエステル等が挙げられる。
【００１２】
（Ａ）成分のフィルム性付与ポリマーはアルカリ水溶液（例えば、０．５〜２．０重量％の炭酸ナトリウム又は炭酸カリウム水溶液）に可溶又は膨潤可能であることが好ましく、フィルム性付与ポリマーの共重合成分中の（メタ）アクリル酸の共重合量は１０〜１５重量％であり、好ましくは１１〜１４重量％である。フィルム性付与ポリマー中の（メタ）アクリル酸の共重合量が１５重量％を超えると密着性が低下し、１０重量％未満では現像時間が長くなるとともに解像度が低下する。
【００１３】
また、フィルム性付与ポリマーの重量平均分子量は３０，０００〜７０，０００であり、好ましくは４０，０００〜６０，０００である。フィルム性付与ポリマーの重量平均分子量が７０，０００を超えると現像時間が長くなるとともに解像度が低下し、３０，０００未満では密着性が低下するとともに膜強度が低下する。また、フィルム性付与ポリマーの分散度は２．０〜３．０であり、好ましくは２．２〜２．８である。フィルム性付与ポリマーの分散度が３．０を超えると解像度が低下し、２．０未満では密着性が低下する。
【００１４】
本発明において、（Ａ）成分の配合量は（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して５０〜７０重量部、好ましくは５５〜６７重量部である。（Ａ）成分の配合量が７０重量部を超えると、感光性樹脂組成物の硬化性が不十分となり、密着性が低下する。また５０重量部未満では光硬化物が脆くなり易く、また感光性エレメントの保存安定性が低下する。
【００１５】
本発明に用いられる（Ｂ）エチレン性不飽和化合物としては、例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物（ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート（エチレン基の数が２〜１４のもの）、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンプロポキシトリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート（プロピレン基の数が２〜１４のもの）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等）、グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物（ビスフェノールＡジオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡトリオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡデカオキシエチレンジ（メタ）アクリレート等のビスフェノールＡポリオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリアクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジアクリレート等）、多価カルボン酸（無水フタル酸等）と水酸基及びエチレン性不飽和基を有する化合物（β−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等）とのエステル化物、（メタ）アクリル酸のアルキルエステル（（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル等）、ウレタン（メタ）アクリレート（トリレンジイソシアネートと２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリル酸エステルとの反応物、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネートとシクロヘキサンジメタノールと２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリル酸エステルとの反応物等）などが挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて使用され、その組み合わせについては特に制限はない。
【００１６】
本発明において、（Ｂ）成分の配合量は（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して３０〜５０重量部、好ましくは３３〜４５重量部とする。（Ｂ）成分の配合量が５０重量部を超えると、光硬化物が脆くなり易く、また感光性エレメントの保存安定性が低下する。また３０重量部未満では感光性樹脂組成物の硬化性が不十分となり密着性が低下したり、現像時間が長くなったりする。
【００１７】
本発明に用いられる（Ｃ）光重合開始剤としては、例えば、芳香族ケトン（ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン等）、ベンゾイン（ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等）、ベンジル誘導体（ベンジルジメチルケタール等）、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体（２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ビス（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等）、アクリジン誘導体（９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９′−アクリジニル）ヘプタン等）、チオキサントン、ジエチルチオキサントンなどが挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて使用され、その組み合わせについては特に制限はない。
【００１８】
本発明において、（Ｃ）成分の配合量は（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して０．５〜１０重量部、好ましくは１．０〜５．０重量部とする。（Ｃ）成分の配合量が１０重量部を超えると、感光性樹脂組成物の底部硬化性が不十分となり、密着性が低下し、また０．５重量部未満では硬化時間が長くなる。
【００１９】
本発明で用いられる（Ｄ）可塑剤としては、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコールとポリプロピレングリコールのブロック共重合体等のポリアルキレングリコール、ポリエチレングリコールジアセテート、ポリプロピレングリコールジアセテート等のポリアルキレングリコールジアセテートなどの公知の可塑剤が使用でき、特にフィルム性付与ポリマー、エチレン性不飽和化合物に対する相溶性を考慮して選択される。
【００２０】
本発明において、（Ｄ）成分の配合量は（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して１．０〜１０重量部、好ましくは１．５〜８．０重量部とする。（Ｄ）成分の配合量が１０重量部を超えると、感光性樹脂組成物の密着性が低下し、膜強度が弱くなる。また１．０重量部未満では膜の可とう性が低下する。
【００２１】
本発明で用いられる（Ｅ）顔料又は染料としては、公知の顔料又は染料が使用でき、特にフィルム性付与ポリマー、エチレン性不飽和化合物に対する相溶性、目標とする色相、光透過性を考慮して選択される。
【００２２】
本発明において、（Ｅ）成分の配合量は（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して０．０１〜３．０重量部、好ましくは０．０５〜２．５重量部とする。（Ｅ）成分の配合量が３．０重量部を超えると、光透過率が低下し、密着性が低下し、０．０１重量部未満では着色が不十分となる。
【００２３】
本発明の感光性樹脂組成物には、トリブロモメチルフェニルスルホン、ロイコクリスタルバイオレット等の発色剤、さらに安定剤、密着性付与剤、香料、消泡剤等の添加剤を必要に応じて添加してもよい。
【００２４】
本発明の感光性樹脂組成物は、前記各成分を、これを溶解する溶剤、例えば、トルエン、アセトン、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、メチルイソブチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、クロロホルム、塩化メチレン、ジメチルホルムアミド、メタノール、エタノール等に溶解することにより、均一な溶液とすることができる。
【００２５】
本発明の感光性樹脂組成物は、これを支持体上に塗布、乾燥し、感光性エレメントとして使用することもできる。
【００２６】
支持体としては、重合体フィルム、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン等からなるフィルムが用いられ、中でもポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。
【００２７】
これらの重合体フィルムは、後に感光層から除去可能でなくてはならないため、除去が不可能となるような表面処理が施されたものであったり、材質であったりしてはならない。また、これらの重合体フィルムの厚さは、５〜２０μｍとすることが好ましく、７〜１６μｍとすることがより好ましい。
【００２８】
これらの重合体フィルムを２枚用い、その一枚は感光層の支持体として、他の一つは感光層の保護フィルムとして感光層の両面に積層してもよい。
【００２９】
本発明の感光性エレメントを用いてフォトレジスト画像を製造するに際しては、前記の保護フィルムが存在している場合には、保護フィルムを除去後、感光層を加熱しながら基板に圧着させることにより積層する。積層される表面は、通常金属面であるが、特に制限はない。
【００３０】
感光層の加熱圧着の温度は、特に制限はないが、通常、９０〜１３０℃とされる。また、感光層の加熱圧着の圧力は、特に制限はないが、通常３〜５ｋｇ／ｃｍ2とされる。
【００３１】
感光層を前記のように加熱すれば、予め基板を予熱処理することは必要でないが、積層性を更に向上させるために基板の予熱処理を行うこともできる。
【００３２】
このように積層が完了した感光層は、次いで、ネガフィルム又はポジフィルムを用いて活性光により画像的に露光される。この際、感光層上に存在する重合体フィルムが透明の場合には、そのまま露光してもよく、また、不透明の場合には、除去する必要がある。感光層の保護という点からは、重合体フィルムは透明で、この重合体フィルムを残存させたまま、それを通して露光することが好ましい。
【００３３】
活性光は、公知の活性光源、例えば、カーボンアーク、水銀蒸気アーク、キセノンアーク等から発生する光が用いられる。感光層に含まれる光重合開始剤の感受性は、通常、紫外線領域において最大であるので、その場合は活性光源は紫外線を有効に放射するものにすべきである。
【００３４】
光重合開始剤が可視光線に感受するもの、例えば、９，１０−フェナンスレンキノン等である場合には、活性光としては可視光が用いられ、その光源としては前記のもの以外に写真用フラッド電球、太陽ランプ等も用いられる。
【００３５】
次いで、露光後、感光層上に重合体フィルム等が存在している場合には、これを除去した後、アルカリ水溶液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッビング等の公知の方法により未露光部を除去して現像する。
【００３６】
アルカリ性水溶液の塩基としては、例えば、リチウムの水酸化物、ナトリウムの水酸化物、カリウムの水酸化物等の水酸化アルカリ、リチウムの炭酸塩又は重炭酸塩、ナトリウムの炭酸塩又は重炭酸塩、カリウムの炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ、リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカリ金属ピロリン酸塩などが用いられ、特に、炭酸ナトリウムが好ましい。
【００３７】
現像に用いるアルカリ水溶液のｐＨは、９〜１１とすることが好ましく、また、その温度は、感光層の現像性に合わせて調節される。
【００３８】
また、アルカリ水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入させてもよい。
【００３９】
更に、印刷配線板を製造するに際しては、現像されたフォトレジスト画像をマスクとして露光している基板の表面を、エッチング、めっき等の公知の方法で処理する。次いで、フォトレジスト画像は、通常、現像に用いたアルカリ水溶液より更に強アルカリ性の水溶液で剥離される。この強アルカリ性の水溶液としては、例えば、１〜５重量％の水酸化ナトリウム水溶液等が用いられる。
【００４０】
【実施例】
以下、本発明を実施例及び比較例に基づいて詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００４１】
実施例１、比較例１〜１４
▲１▼フィルム性付与ポリマー（ａ）の合成
メチルセロソルブ／トルエン＝重量で３／２溶液（以下溶液Αとする）１０４．４ｇを３００ｍｌのフラスコに入れ８５℃に加温する。８５℃で３０分保温後、メタクリル酸１３．０ｇ、メタクリル酸メチル５７．３ｇ、アクリル酸エチル２９．７ｇ、アゾビスイソブチロニトリル１．３ｇを溶液Α１１．４ｇに溶解した溶液Ｂを４時間でフラスコ内に滴下反応させる。その後２時間保温し、アゾビスイソブチロニトリル０．１５ｇを溶液Α３４．２ｇに溶かした溶液Ｃに加え更に５時間保温したのち冷却しフィルム性付与ポリマー（ａ）を得た。得られたフィルム性付与ポリマー（ａ）のメタクリル酸共重合量は１３重量％、重量平均分子量は５０，０００、分散度は２．４であった。
【００４２】
▲２▼フィルム性付与ポリマー（ｂ）の合成
４時間滴下反応させる溶液Ｂをメタクリル酸８．０ｇ、メタクリル酸メチル６２．３ｇ、アクリル酸エチル２９．７ｇ、アゾビスイソブチロニトリル１．３ｇを溶液Α１１．４ｇに溶解して得た以外は▲１▼と同様の方法、条件にてフィルム性付与ポリマー（ｂ）を得た。得られたフィルム性付与ポリマー（ｂ）のメタクリル酸共重合量は８重量％、重量平均分子量は５１，０００、分散度は２．３であった。
【００４３】
▲３▼フィルム性付与ポリマー（ｃ）の合成
４時間滴下反応させる溶液Ｂをメタクリル酸１８ｇ、メタクリル酸メチル５２．３ｇ、アクリル酸エチル２９．７ｇ、アゾビスイソブチロニトリル１．３ｇを溶液Α１１．４ｇに溶解して得た以外は▲１▼と同様の方法、条件にてフィルム性付与ポリマー（ｃ）を得た。得られたフィルム性付与ポリマー（ｃ）のメタクリル酸共重合量は、１８重量％、重量平均分子量は４９，０００、分散度は２．４であった。
【００４４】
▲４▼フィルム性付与ポリマー（ｄ）の合成
溶液Ｂ中のアゾビスイソブチロニトリル含量を０．５ｇ、溶液Ｃ中のアゾビスイソブチロニトリル含量を０．０５ｇとする以外は▲１▼と同様の方法、条件にてフィルム性付与ポリマー（ｄ）を得た。得られたフィルム性付与ポリマー（ｄ）のメタクリル酸共重合量は１３重量％、重量平均分子量は８２，０００、分散度は２．５であった。
【００４５】
▲５▼フィルム性付与ポリマー（ｅ）の合成
溶液Ｂ中のアゾビスイソブチロニトリル含量を５．３ｇ、溶液Ｃ中のアゾビスイソブチロニトリル含量を０．５ｇとする以外は▲１▼と同様の方法、条件にてフィルム性付与ポリマー（ｅ）を得た。得られたフィルム性付与ポリマー（ｅ）のメタクリル酸共重合量は１３重量％、重量平均分子量は２５，０００、分散度は２．３であった。
【００４６】
▲６▼フィルム性付与ポリマー（ｆ）の合成
合成温度を７０℃とし溶液Ｂ中のアゾビスイソブチロニトリル含量を１．０ｇ、溶液Ｃ中のアゾビスイソブチロニトリル含量を０．１ｇとする以外は▲１▼と同様の方法、条件にてフィルム性付与ポリマー（ｆ）を得た。得られたフィルム性付与ポリマー（ｆ）のメタクリル酸共重合量は１３重量％、重量平均分子量は、５１，０００、分散度は１．７であった。
【００４７】
▲７▼フィルム性付与ポリマー（ｇ）の合成
合成温度を９５℃とし溶液Ｂ中のアゾビスイソブチロニトリル含量を１．６ｇ、溶液Ｃ中のアゾビスイソブチロニトリル含量を０．２０ｇとする以外は▲１▼と同様の方法、条件にてフィルム性付与ポリマー（ｇ）を得た。得られたフィルム性付与ポリマー（ｇ）のメタクリル酸共重合量は、１３重量％、重量平均分子量は５０，０００、分散度は３．３であった。
【００４８】
▲８▼感光性エレメント作製方法及び特性評価
表１に示す組成（単位：重量部）の感光性樹脂組成物溶液を厚み１６μｍを有するポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ（株）製ルミラー（登録商標））に乾燥後膜厚が３０μｍとなるように塗工、乾燥し、厚み２５μｍのポリエチレンフィルムで被覆して感光性エレメントを得た。得られた感光性エレメントからポリエチレンフィルムを剥離しながらその感光層を、スコッチブライト（登録商標）バフロール（住友３Ｍ製）により研磨、乾燥し洗浄した銅張積層板の銅面上に、日立高温ラミネーターを用い連続的に積層して試験片を得た。積層条件を表２に示す。
【００４９】
試験片に２１段ステップタブレット及び密着、解像テストパターンを介し、超高圧水銀灯により、４０ｍＪ／ｃｍ2で露光した。１０分放置後ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、３０℃、１重量％炭酸ソーダ水溶液で最少現像時間×２．０の現像時間で現像し、ステップタブレットの硬化段数及びレジストの密着性、解像度を読みとった。
【００５０】
また、３．２ｍｍφのスルーホールを有する銅張積層板に前記同様の方法にて感光性エレメントを積層し、無色透明の１７５μｍＰＥＴフィルムを介し、前記同様の方法にて露光、現像した。その後２．０ｍｍφ鋼棒をスルーホール上のフィルム上に押しつけ（変位速度２ｃｍ／分）、レジストの膜強度（破断強度）及び膜伸度を測定した。
【００５１】
また、銅張積層板に前記同様の方法にて感光性エレメントを積層し、無色透明の１７５μｍＰＥＴフィルムを介し前記同様の方法にて露光現像した。その後ＪＩＳ  Ｋ５４００の方法に準じテストしレジストの密着性（クロスカット性）を評価した。
【００５２】
また、保存安定性は、感光性エレメントをφ８４ｍｍの紙管に２００ｍの長さで巻とり、２５℃、６０％ＲＨの環境下に放置し、１２０日後のロール端部よりのレジストの滲み出し量にて評価（レジストの融着：×、レジストの融着なし：○）した。
【００５３】
また、着色性は、現像後のレジストと銅とのコントラストを目視により判別し、コントラスト良好のものを○、コントラスト不足により銅とレジストの境界が明確でないものを×とした。
【００５４】
評価結果を表３に示す。
【００５５】
【表１】
0004055224.tif 000003
＊１  新中村化学（株）製  ポリプロピレングリコールジアクリレート
【００５６】
【表２】
0004055224.tif 000004
【００５７】
【表３】
0004055224.tif 000005
表３から明らかなように、本発明の感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントは他に比較し、特に優れた密着性、解像度、可とう性及び膜強度、膜伸度を有する。
【００５８】
【発明の効果】
本発明によりプリント配線板の製造、金属の精密加工等に用いられるエッチングレジスト又はめっきレジストとして、特に優れた密着性、解像度、可とう性、膜強度及び膜伸度を有する感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントが得られた。