(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上にマスクパターンを写像するためのフォトリソグラフィク装置であって、放射源ユニット、第１の光学系及び光導波路を順に有する照射ユニット、並びに後続する第２の光学系及びマスクテーブルを有するフォトリソグラフィク装置において、
前記フォトリソグラフィク装置は、
照射フィールドのサイズに応じてステッパーモード及びスキャナーモードが共に選択可能なモードであるように適合されると共に、
該ユニットの動作中、前記照射フィールドのサイズに応じて、ｓminとｓmaxとの間で可変であるスリット幅ｓを有するスリット形状の静的な照射フィールドを生成する生成手段と、
前記スリット幅の減少により損失すべき光を、前記照射フィールドに入射する光パスへ導入する回復手段と、
を備えるフォトリソグラフィク装置。
【請求項２】
請求項１に記載のフォトリソグラフィク装置において、
前記フォトリソグラフィク装置は、ｗ≦ｗstepに対してはｓ＝ｗという条件下にて前記ステッパーモードで動作し、ｗ＞ｗstepに対してはｓmin≦ｓ≦ｓmaxという条件下にて前記スキャナーモードで動作し、ここで、ｓは前記照射ユニットにより供給される前記照射フィールドの幅であり、ｓmin及びｓmaxは各々ｓの最小値及び最大値であり、ｗは照射されるべきフィールドの幅であり、ｗstepはステッパーモードにおいて照射されるべきフィールドの最大幅であることを特徴とするフォトリソグラフィク装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のフォトリソグラフィク装置において、前記光導波路は少なくとも一つの光学的に透明なバーであって、前記照射フィールドに照射される光を統合するバーを有することを特徴とするフォトリソグラフィク装置。
【請求項４】
請求項１、２または３に記載のフォトリソグラフィク装置において、前記生成手段は、前記マスクテーブルと前記マスクテーブルに面する前記光導波路の端部との間に設けられる、可変の開口を有するスリット形状の絞りであることを特徴とするフォトリソグラフィク装置。
【請求項５】
請求項４に記載のフォトリソグラフィク装置において、前記回復手段は、前記光導波路に面する前記絞りの表面に形成される反射材料であることを特徴とするフォトリソグラフィク装置。
【請求項６】
請求項４または５に記載のフォトリソグラフィク装置において、前記絞りは、前記第２の光学系に面する前記光導波路の端部に近接して設けられることを特徴とするフォトリソグラフィク装置。
【請求項７】
請求項４または５に記載のフォトリソグラフィク装置において、前記絞りは、前記マスクテーブルに近接して設けられることを特徴とするフォトリソグラフィク装置。
【請求項８】
請求項６または７に記載のフォトリソグラフィク装置において、前記絞りはＲＥＭＡであることを特徴とするフォトリソグラフィク装置。
【請求項９】
請求項１乃至７の何れか一項に記載のフォトリソグラフィク装置において、前記光導波路が、第１の光学的に透明なバー及び第２の光学的に透明なバーにより構築され、これらバーの間にはプリズム系が内包され、これらバーは光を該プリズム系からカップリングすることができる射出面を持ち、一方、エネルギセンサが該射出面に対向して設けられることを特徴とするフォトリソグラフィク装置。
【請求項１０】
請求項１または２に記載のフォトリソグラフィク装置において、前記光導波路は、光トンネルであり、該光トンネルは、反射材料が設けられると共に自身の長手方向に直交する方向に前記トンネルの寸法を変えることができるように互いに関して移動可能な内壁を持つことを特徴とするフォトリソグラフィク装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載のフォトリソグラフィク装置において、前記第１の光学系の焦点面は前記トンネルの入射面に一致することを特徴とするフォトリソグラフィク装置。
【請求項１２】
請求項１乃至１１の何れか一項に記載のフォトリソグラフィク装置において、前記放射源は、楕円ミラーの焦点内に設けられるランプであり、該ミラーの第２の焦点は、前記第１の光学系の焦点面内に位置され、前記光導波路の入射面は、該第１の光学系の背面焦点面と一致することを特徴とするフォトリソグラフィク装置。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、基板上にマスクパターンを写像するためのフォトリソグラフィク装置であって、放射源ユニット、第１の光学系及び光導波路を順に有する照射ユニット、並びに後続する第２の光学系及びマスクテーブルを有するフォトリソグラフィク装置に関する。
背景技術
冒頭に記載の形式のフォトリソグラフィク装置は、例えば、ヨーロッパ特許出願公開第０６５８８１０号から既知である。このような装置は、集積回路（ICs）を製造するために使用される。この装置においては、パターンが設けられたマスクが照射され、半導体基板、例えば、シリコン基板上に設けられた感光層上に反復的に写像される。多数の集積回路が前記基板上に形成されなければならない。マスクの像が一つ前記基板上に形成された後、該基板は、上記目的のため、形成されるべきＩＣの縦の長さ方向の長さまたは幅方向の長さよりも僅かに長い距離移動され、この後、次なるマスクの像が形成される。この処理工程は、所望数のＩＣが形成されるまで繰返される。上述の装置は、ステッパータイプのものである。
現在のフォトリソグラフィク装置においては、各ＩＣに対する照射期間ができるだけ小さく、前記基板が当該装置を通過する時間、言い換えれば、全てのＩＣを照射するために必要な時間ができるだけ短いように、照射ビームは最大強度を持つことが望ましい。さらに、より大きなフィールドへの写像、及び写像されるべき最少の細部の寸法を減少することが目的とされている。より大きなフィールドへの写像は、例えば、プロジェクションレンズを大きくすることにより達成することができる。しかしながら、これは、プロジェクションレンズを非常に高価なものにする。より大きなフィールドへの写像の他の方法は、スキャナータイプのフォトリソグラフィク装置を使用することである。この形式の装置においては、プロジェクションレンズを変形する必要はない。スキャナーの付加的な利点は、レンズに起因する収差が走査により平均化されるため、最少の細部の写像が一様な品質になる点である。結果として、臨界的な寸法を持つ構造の構成部品のより高くなる。
スキャナーにおいては、照射されるべきフィールドが、仮想的な複数のサブフィールドに分割される。マスク及び基板が関連付けられて継続的に動くことにより、該マスクの異なる部分毎該基板上に投射され、ゆえに、全フィールドは徐々に照射されるであろう。全フィールドが照射された場合、前記基板は、この場合、該全フィールドの長さ方向または幅方向の長さよりも長い距離移動され、ゆえに次のフィールドが到来する。スキャナータイプのフォトリソグラフィク装置の一例は、１９８４年９月に発行されたSolid State Technologyの１５９〜１６６ページのD.A.Markleによる文献“The future and potential of optical scanning systems”に記載されている。
フィールド毎の照射時間は、フィールドの大きさが同じであれば、ステッパーよりもスキャナーに対する時間の方が長い。事実、ステッパーにおいては、フィールド毎の照射時間は、使用可能なエネルギによりのみ決定される。スキャナーにおいては、オーバースキャンの時間も考慮されるべきである。ここでは、フィールド全体を照射するための走査時間が、フィールドサイズのみならず、スリットの幅によっても決定される。すなわち、前記照射されるべきフィールドの始まりと終わりには、スリット形状の照射フィールドの一部が該照射されるべきフィールド上に存在しないような、所定の時間間隔がある。このように、照射時間、ゆえに、前記基板の通過時間は、照射ビームのスリット幅に依存する。しかしながら、ランプが光源として使用されるシステムの光学的効率は、相対的に低い。これは、ランプとスリットの幾何学的形状との間の光量の差が原因である。事実、ランプは全角度に光を照射するが、スリットの幾何学的形状は、ランプの放射フィールドの幾何学的形状がスリットの幾何学的形状に対して相対的に大きくずれるように歪みを持っている。
フィールドが一パルスで完全に照射されるほど十分小さい場合、速さに関する限りステッパーが好ましい。
発明の開示
本発明の目的は、スキャナー及びステッパーに関する上述の欠点が除かれたフォトリソグラフィク装置を提供することにある。
本発明によるフォトリソグラフィク装置は、前記装置が、ステッパーモード及びスキャナーモードが共に選択可能なモードであるように適合され、該装置が、前記照射ユニットに、動作中、ｓmin、とｓmaxとの間で可変であるスリット幅ｓを持つスリット形状の静的な照射フィールドを持たせ、一方該静的な照射フィールド内のエネルギを実質的に維持する手段を有することを特徴とする。
照射ユニットのスリット幅ｓは、前記基板の領域における静的な照射フィールドの幅を意味すると理解されたい。この静的なフィールドは、光導波路の射出面に形成され、次いで光学系により前記マスク上に写像される。
前記ステッパーモードは、あるフィールドが全く同一の光パルスにより前記基板上に完全に照射されるモードを意味すると理解されたい。前記スキャナーモードは、前記マスク及び前記基板が関連付けされた動作を実行し、全フィールドはある時間期間が経過した後に完全に照射されるモードを意味すると理解されたい。
本発明による装置においてはステッパーモード及びスキャナーモードの両方を選択することができるため、基板上の小さなフィールド及び大きなフィールドの両方を同一の装置でもって、且つスリットの幅が可変であるため最少の照射エネルギ損でもって照射することができる。可変のスリット幅により、通過時間が、スキャナーモードにおいては全てのスリット幅に対して、及びステッパーモードに対しては全フィールドの幅に対して最小にすることを確実にできる。
本発明によるフォトリソグラフィク装置の好ましい実施例は、ｗ≦ｗstepに対してはｓ＝ｗであり、ｗ＞ｗstepに対してはｓmin≦ｓ≦ｓmaxであり、ｓは前記照射ユニットにより供給される前記照射フィールドの幅であり、ｓmin及びｓmaxは各々ｓの最小値及び最大値であり、ｗは照射されるべきフィールドの幅であり、ｗstepはステッパーモードにおいて照射されるべきフィールドの最大幅であることを特徴とする。
結果として、各フィールドサイズに対して通過時間を最適化することができるように、前記スリット幅は、ステッパーモードが選択される場合、前記フィールドの幅の寸法を持ち、スキャナーモードが選択される場合、該スリット幅は可変である。
最大のフィールド幅ｗstepは、ステッパーモードに関連付けられる。前記照射されるべきフィールドがこの値よりも小さな幅を持つ場合、スリット幅は該照射されるべきフィールドの幅に等しくされるであろう。これは、最少のスリット幅ｓminに到達するまで可能である。スキャナーモードが選択される場合、言い換えれば、ｗstepよりも大きい幅を持つフィールドが照射されるべきである場合、スリット幅はｓminの値とｓmaxとの値の間で可変するであろう。
スリット形状の光ビーム及び可変のスリット幅を持ち、一方ではエネルギーを維持する照射ユニットを実現するための可能性は種々ある。
本発明によるフォトリソグラフィク装置の第１の実施例は、前記光導波路が少なくとも一つの光学的に透明なバーを持つことを特徴とする。
前記透明なバーは、インテグレータ機能を持つ。この透明なバーは、例えば、石英からなっても良い。この場合、９９％以上の反射が、前記バーの側壁において実現されるであろう。
本発明によるフォトリソグラフィク装置の他の実施例は、可変の開口を持つスリット形状の絞りが、前記マスクテーブルと該マスクテーブルに面する前記光導波路の端部との間に設けられることを特徴とする。
前記光導波路の射出面において、前記絞りは、所望のビーム断面を持つ光ビーームの生成を確実にするであろう。前記絞りの開口は、照射されるべきフィールドの幅ｗについての情報に関連して調整可能である。
本発明によるフォトリソグラフィク装置の他の実施例は、前記光導波路に面する前記絞りの表面が反射的であることを特徴とする。
反射的な絞りは、該絞りに入射する光を回復させ光パス内に残存させるという利点を持つ。絞りが反射的ではない場合、一部の光は絞りにより即座に阻止され、この結果、著しくエネルギが損失するであろう。この実施例は、特に、放射源がランプである場合に有利である。
本発明によるフォトリソグラフィク装置の他の実施例は、前記絞りが、前記第２の光学系に面する前記光導波路の端部に近接して設けられることを特徴とする。
絞りがこの位置にある利点は、後方反射が相対的に短い光パスを持つことである。
本発明によるフォトリソグラフィク装置の他の実施例は、前記絞りが、前記マスクテーブルに近接して設けられることを特徴とする。
本発明によるフォトリソグラフィク装置のさらに他の実施例は、前記絞りがＲＥＭＡであることを特徴とする。
前記光導波路の射出面近傍か、前記マスク近傍に設けられる反射的な絞りは、レティクルマスキング（REtical MAsking：REMA）システムであっても良い。ＲＥＭＡの機能は、前記照射されるフィールドを前記マスク上に鮮明に境界付けることである。ここで、この構成部品は二つの機能を持つため、より少数の構成部品で満足行くことになる。
シャッタの開口時間、従って、ステッパーモードにおいては照射時間、スキャナーモードにおいては全フィールドにわたる一様な照射線量を決定できるように、次いで最適化することができるように、前記基板に入射するであろう照射線量を測定することができるべきである。このため、前記装置には、エネルギセンサが設けられる。原則的に、このセンサは、前記装置内の種々の位置に設けられても良い。好ましい実施例において、本発明によるフォトリソグラフィック装置は、前記光導波路が、第１の光学的に透明なバー及び第２の光学的に透明なバーにより構築され、これらバーの間にはプリズム系が内包され、これらバーは光を該プリズム系からカップリングすることができる射出面を持ち、一方、エネルギセンサが該射出面に対向して設けられることを特徴とする。
この場合、前記光導波路は、二つの光学的に透明なバーから構築され、これらバーの間には、プリズム系が設けられる。プリズム系を与えることにより、光ビームの断片が前記光経路からカップリングされ、このプリズム系の射出面に対向してエネルギセンサを配置することにより、照射線量を信頼性があり再現性を持って測定することができる。
本発明によるフォトリソグラフィク装置の好ましい実施例は、前記放射源が、楕円ミラーの焦点内に設けられるランプであり、該ミラーの第２の焦点は前記第１の光学系の焦点面内に位置され、前記光導波路の入射面は、該第１の光学系の背面焦点面と一致することを特徴とする。
光学的効率を、前記照射系が前記光導波路の前面において共焦のものであることを確実にすることにより向上させることができる。
本発明によるフォトリソグラフィク装置の第２の実施例は、前記光導波路が、光トンネルであり、該光トンネルは、反射材料が設けられると共に自身の長手方向に直交する方向に前記トンネルの寸法を変えることができるように互いに関して移動可能な内壁を持つことを特徴とする。
自身の長手方向に垂直に前記トンネルの寸法を変化させることにより、前記静的照射フィールドの幅を適合させることができる。この場合、前記トンネルの各壁は、照射されるべきフィールドの幅ｗの値に基づいて互いに関して動かされる。この場合、別個の絞りは必要ない。
本発明によるフォトリソグラフィク装置の他の実施例は、前記第１の光学系の焦点面は前記トンネルの入射面に一致することを特徴とする。
このように、光が最適な程度に前記光トンネルと関連付けられる。
本発明のこれらの及び他の特長は、以下に記載の実施例を参照して明白に説明されるであろう。
【図面の簡単な説明】
図において、
第１図は、フォトリソグラフィク装置を図的に示し、
第２図は、本発明によるフォトリソグラフィク装置の一部の第１実施例を詳細に示し、
第３ａ及び３ｂ図は、第２図に示される実施例に対する最少の及び最大のスリット幅の一例を示し、
第４図は、本発明によるフォトリソグラフィク装置の一部の第２実施例を詳細に示し、
第５ａ及び５ｂ図は、第４図に示される実施例に対する最少の及び最大のスリット幅の一例を示し、
第６図は、本発明によるフォトリソグラフィク装置の一実施例を図的に示し、
第７図は、従来のシステム（ａ）及び可変のスリット幅を持つシステム（ｂ）に対する、静的な照射フィールドのスリット幅の関数としての光学的効率を図示するグラフを示している。
発明を実施するための最良の形態
第１図に図的に示されるフォトリソグラフィク装置１は、第１光学系５及び第２光学系７を介してマスクテーブル９に入射する照射ビームを供給するための放射源ユニット４を有している。マスク（図示せず）がマスクテーブル９上に存する場合、該マスクを投射レンズ系１１により基板テーブル１３上に存する基板（図示せず）上に写像することができる。この基板は、例えば、感光層が設けられたシリコン基板であっても良い。パターンが写像される基板上の部位は、フィールドとして参照される。このように、集積回路を前記基板上に形成することができる。
二つの形式のフォトリソグラフィク装置が従来知られている。すなわち、ステッパータイプのものと、スキャナータイプのものである。
ステッパーにおいては、全フィールドが同時に照射される。一フィールドの照射の後、基板は、例えば、矢印１０の方向に、該フィールドの長さ方向または幅方向の長さよりも長い、精密に規定された距離移動される。この後、当該パターンを次の基板フィールド上に写像することができる。この処理工程は、当該パターンが所望の数の基板フィールド上に写像されるまで繰返される。
スキャナーは、より大きな基板フィールドに写像することが望まれる場合、通常使用される。照射されるべきフィールドを、仮想的に複数のサブフィールドに分割することができる。前記マスク及び前記基板が関連付けられて継続的に動くことにより、該マスクの異なる部分毎該基板上に投射され、ゆえに、全フィールドは徐々に照射される。全フィールドが照射された場合、前記基板は、照射されるべきフィールド全体の長さ方向または幅方向の長さよりも長い、精密に規定された距離移動される。
スキャナータイプのフォトリソグラフィク装置に対しては、
Ｔ＝（１＋ｗ／ｓ）Ｄ／Ｉ
が成り立つ。ここで、Ｔは照射時間、ｓはスリット幅、ｗは照射されるべきフィールドの幅、Ｄは所望の照射線量、及びＩは幅Ｓを持つスリットに入射する放射線の強度である。この強度Ｉは、前記照射ユニットと前記基板上に前記マスクを写像するために使用される前記投射レンズ系との光学的効率に依存する。また、この効率は、前記スリット幅ｓにも依存する。
ステッパータイプのフォトリソグラフィク装置に対しては、
Ｔ’＝Ｄ／Ｉ’
が成り立つ。ここで、Ｔ’、Ｄ及びＩ’は、スキャナーの場合におけるＴ、Ｄ及びＩに一致した意味を持つ。
同一の大きさのフィールドに関し、該フィールドに対する照射時間は、スキャナーにおけるオーバースキャン時間に起因して、ステッパーよりもスキャナーの方がより長い。等しい照射線量に対してＴ＜Ｔ’が望まれる、すなわち、等しい照射線量Ｄに対してスキャナーの照射時間をステッパーの照射時間よりも短くすべきためにＴ＜Ｔ’が望まれる場合には、Ｉ＞Ｉ’（１＋ｗs）を成り立たせるべきである。
所定の放射電力Ｐに対して、強度は、スキャナーに対しては、
Ｉ＝Ｐ×η／ｈ×ｓ
により定義され、ステッパーに対しては、
Ｉ’＝Ｐ×η’／ｈ×ｗ
により定義される。ここで、ｈは照射されるべきフィールドの高さ、ｓはスリット幅、ｗは照射されるべきフィールドの幅、及びη、η’は各々スキャナー及びステッパーの光学的効率を示している。
Ｔ＜Ｔ’を必要条件として始めると、上述の関係から、等しい放射電力Ｐ及び等しい照射線量Ｄにおいて、
η＞η’（１＋ｓ／ｗ）
を、ステッパーの光学的効率に対するスキャナーの光学的効率に関する必要条件として適用する。
しかしながら、スキャナーの開口は、相対的に小さくそして歪んでいるため、スキャナーの光学的効率ηは、通常、ステッパーの光学的効率η’よりも低くなるであろう。なぜなら、スリットの幾何学的形状が、とりわけ放射源がランプである場合、この放射源の放射フィールドの幾何学的形状から相対的に大きくずれているからである。これは、とりわけより大きなフィールド寸法に対しては、スキャナーモードを使用することが有利であることを意味している。フィールドが単一パルスで照射されるのに十分小さい場合、ステッパーが好ましい。
本発明は、照射フィールド内のエネルギがいかなるモードにおいても全てのフィールドサイズに対して実質的に維持されるように、照射されるべきフィールドのサイズに依存して、ステッパーモード及びスキャナーモードの選択を可能にする。本発明は、相対的に高い光学的効率を持つ装置を、照射されるべきフィールドの幅Ｗに基づいて該装置の動作モードを決定することにより、及び各モードに対してスリットの幅ｓを最適にすることにより実現することができる認識に基づいている。
スキャナーモードに対する光学的効率η及びステッパーモードに対する光学的効率η’は、このように同一の装置において両方とも最適化される。これは、可変のスリット幅を持つスリット形状の照射フィールドを生成することにより、一方実質的に全ての光が前記スリット形状の照射フィールド内に集中されるような手段をとることにより、またはスリットを通過しない光が回復され、再びスリット内に入る機会が与えられることを確実にすることにより達成される。このように、照射フィールド内のエネルギは、いかなるモードにおいても全てのスリット幅に対して実質的に維持される。
照射されるべきフィールドのフィールド幅ｗが、最大フィールド幅ｗstep、言い換えれば、ステッパーを用いて照射することができるフィールド幅以下である場合、スリット幅ｓは、照射されるべきフィールドのフィールド幅ｗに等しいべきである。ステッパーモードに対しては、このように、最少のスリット幅に達するまで所望のフィールド幅に対してスリット幅を選択することができる。照射されるべきフィールド幅ｗがｗstepよりも大きい、ゆえにスキャナーモードが使用されるべき場合、スリット幅ｓに対して、ｓmin≦ｓ≦ｓmaxが成り立つべきである。
スリット幅ｓ及びフィールド幅ｗに対する上述の条件は、種々の方法で実現することができる。
第２図は、本発明による装置の一実施例の一部を図的に示している。放射源ユニット４は、放射源１９及びシャッター２１を有している。この放射源は、例えば、楕円ミラーと組合わせた水銀ランプであっても良いが、他の例においては、例えば、エキシマーレーザであっても良い。本発明による装置においては、光導波路１７が、第１光学系５及び第２光学系７の間に配置されている。この第２光学系は、マスクテーブル９の領域で、とりわけ、マスク（図示せず）上に前記光導波路の射出面２５を写像する。
第２図に示される実施例においては、前記光導波路が、光学的に透明なバーにより構築される。光学的に透明な材料は、例えば、石英であっても良い。このようなバーは、光導波路１７の射出面２５における光の分布が相対的に均一であるようにインテグレータ機能を持つ。石英が使用される場合、前記光導波路の側壁において９９％以上の反射を実現することができる。さらに、絞り２７が、この射出面２５に近接して配置されている。この絞りの開口は、走査が行われる方向に大きさを変えることができる。このように、生成された静的な照射フィールドがスリット形状の断面を持つような照射ユニットが実現される。絞り２７の開口を変化させることにより、結果としてスリット幅ｓも変化する。
照射ユニット３に、前記マスクの領域に照射されるフィールドを相対的に鮮明に境界付けすることを確実にする、ＲＥＭＡが設けられる場合、このＲＥＭＡを絞りとして機能させても良い。
射出面２５の近傍に配置する代わりに、前記絞りは、マスクテーブル９の近傍に与えられても良い。これは他の例における可能性であるため、この絞りは、この場合参照番号２８により指示され破線で示されている。このように当該装置には、絞り２７か絞り２８の何れかが設けられる。前記装置がＲＥＭＡも含む場合、このＲＥＭＡを両方の場合において絞りとして機能させても良い。絞り機能及びＲＥＭＡ機能が、この場合単一の部品に組合わされる。他の可能性は、当該装置に絞り２８が設けられる場合、射出面２５の近傍にＲＥＭＡを配置すること、または該装置に絞り２７が設けられる場合、前記マスクの近傍にＲＥＭＡを配置することである。これら最後に述べた二つの可能性においては、ＲＥＭＡ機能及び絞り機能が別個の機能となる。
光導波路１７に面する絞り２７の表面、または光学系７に面する絞り２８の表面には、光を回復させるための反射層２９が設けられる。これにより、光学的効率が向上する。反射層が設けられない場合、絞りによる規定の結果、スリット形状の照射フィールドが形成されるが、エネルギーロスが著しいであろう。事実、前記絞りに入射する光は、回復される代わりに阻止されるであろう。
第３ａ及び３ｂ図は、絞り２７または２８の位置における第２図の透明バー１７の長手方向にとられた断面図である。第３ａ図においては、静的な照射フィールド２０が最少のスリット幅ｓminを持ち、一方、第３ｂ図はどのように最大のスリット幅ｓmaxが実現されるかを図示している。
第４図は、ｓ及びｗに対して所望の条件を実現することもできる、本発明による装置の一部の他の実施例を示している。この場合、光導波路１７が、互いに関して動作可能な壁を持つトンネルとして実行される。このように、前記トンネルの長手方向に対して垂直な、及び走査方向への大きさ、故に照射ユニットのスリットの幅ｓも適合させることができる。前記トンネルの内壁には、この実施例においても前記光導波路がインテグレータ機能を持つことができるように、反射層が設けられている。この反射層は、例えば、前記内壁において９０％以上の反射が得られるように研磨されたアルミニウムにより形成されても良い。
第５ａ図は、静的な照射フィールド２０の最少のスリット幅を実現する方法の一例を示す前記トンネルの長手方向にとられた断面図を示している。第５ｂ図は、静的照射フィールド２０の最大のスリット幅に対する同様の例を示している。
前述の式から明らかなように、スリット幅ｓだけではなく、該スリットを照射する強度Ｉも、所定の照射線量を生成するために必要とされる時間に対し重要な役割を果たす。所望の照射線量は、とりわけ、感光層に対して使用される材料、及びここでは写像されるべきパターンの性質により決定される所望の焦点深度の程度により決定される。
照射エネルギを知る重要性の理由は、ステッパーとスキャナーに対して異なる。ステッパにおいては、測定された照射エネルギが、前記シャッタの開時間、従って所望の照射時間を規定する。スキャナーにおいては、照射線量が同一フィールドにわたって一様であることが重要である。そこでは、全フィールドが同時に照射されない。照射エネルギの測定結果は、次いで、照射線量を同一フィールド内で一様にするように前記放射源ユニットを制御するために使用されても良い。
エネルギセンサが、供給される照射線量を測定するために必要とされる。原則的に、このようなセンサは、当該装置において種々の位置に与えられても良い。前記装置がＲＥＭＡを含む場合、前記放射源ユニットと該ＲＥＭＡとの間でエネルギ測定を実行することが好ましい。前記放射源ユニットから見て、前記センサが前記ＲＥＭＡの後方に配置される場合、該センサは、種々の光量を伝送する該ＲＥＭＡの種々の可能な調整の結果として非常に大きなダイナミックレンジを持つべきである。
第２図及び第４図に示される実施例において、エネルギセンサは、例えば、光導波路１７の領域に与えられても良い。
第６図は、エネルギセンサも含む、本発明によるフォトリソグラフィク装置の一部の一実施例を図的に示している。この場合、光導波路１７は、第１の光学的に透明なバー３１及びプリズム系３５を内包する第２の光学的に透明なバー３３により構築される。プリズム系３５は、例えば、二つのプリズム３７、４５を有し、各斜辺側部３９、４３がこれら斜辺側部により連結的に構築されるカップリングアウト面が部分反射的で、部分透過的になるように実施されても良い。このカップリングアウト表は、メインの光経路からの光をカップリングする。図に示される例において、前記カップリングアウト面の反射係数は、前記メインの光経路がエネルギ測定により影響を受けないか、ほとんど影響を受けないように、わずか数％しかないことが好ましい。
エネルギセンサ４１は、例えば、第２のプリズム４５の頂面４７に対向して配置されても良い。
前記放射源ユニットは、測定された照射線量に基づいて種々の方法で制御されても良い。第１の方法は、フィードバック回路４９により、例えば制御ユニット５０を介して当該ランプを駆動する電流を制御することにより、前記放射源により供給される光の強さを制御することである。他の方法は、当該照射ユニット内に前記放射源から見て前記エネルギセンサの前に、可変のトランスミッションを持つ減衰器（図示せず）を、該減衰器のトランスミッションが該エネルギセンサの測定により決定されフィードバック制御されるように、配置することである。
前記照射ユニット内における照射は、好ましくは、テレセントリックである。この場合、後方に反射した光は前記放射源に再び到達するであろうし、これは、当該系の光学的効率に正の影響を与えるであろう。さらに、前記光導波路が少なくとも一つの光学的に透明なバーにより構築される場合、該光導波路に先行する光学系は好ましくは共焦のものである。これは、前記放射源が、例えば、例えば楕円ミラーと組合わせたランプであることを意味する。この場合、このランプは、前記ミラーの第１の焦点内に位置されるべきであり、一方、該ミラーの第２の焦点は、前記第１の光学系の焦点面内に位置され、前記光導波路の入射面は、該第１の光学系の背面焦点面と一致する。このように、前記絞りにより後方反射される光が、前記楕円ミラーの第１の焦点内に再度焦点合わせされ光学的に回復することが実現される。
前記光導波路が光トンネルにより構築される場合、光ビームは、好ましくは、光と該トンネルとのカップリングを最適にするために第１の光学系５により該トンネルの入射面上に焦点合わせされる。
第７図のグラフは、従来の装置（ａ）に対するスリット幅ｓ及び光学的効率ηの間の関係と、本発明による装置（ｂ）に対するスリット幅ｓ及び光学的効率ηの間の関係とを示している。
従来の装置は、スリット形状の照射フィールドが光ビームの一部を阻止することにより生成され、該照射フィールドにおいて著しいエネルギ損を導く装置を意味すると理解されたい。
これまでに述べられた実施例においては、光導波路が、一つか二つの光学的に透明なバーか、光トンネルを有している。これら構成部品全ては、ライトインテグレータ機能を持っている。前記光導波路は、例えば、フライアイインテグレータ、二つのフライアイインテグレータの組合せ、フライアイインテグレータと光学的に透明なバーとの組合せ、またはフライアイインテグレータと光トンネルとの組合せによっても構築することができる。これらの形式の光導波路の説明に関しては、例えば、米国特許第４、９１８、５８３号を参照されたい。
【図１】
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【図２】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図５ａ】
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【図５ｂ】
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【図４】
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【図６】
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【図７】
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