(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁膜の表面層に形成した配線溝および当該配線溝の底部に形成した接続孔との内部に、導電性材料を埋め込んでなる配線を設けた半導体装置の製造方法であって、
基板上に、有機絶縁膜、当該有機絶縁膜に対して選択的なエッチングが可能な第１絶縁膜、および無機ストッパ層をこの順に形成する工程と、
前記無機ストッパ層上に第１のレジストパターンを形成し、これをマスクにしたエッチングによって、当該無機ストッパ層および第１絶縁膜に接続孔パターンを形成する工程と、
前記第１のレジストパターン上から前記有機絶縁膜をエッチングすることで、当該有機絶縁膜に前記基板に達する接続孔を形成すると共に、当該第１のレジストパターンを完全に除去する工程と、
前記接続孔内を埋め込む状態で前記無機ストッパ層上に前記有機絶縁膜に対して選択的にエッチングが可能な第２絶縁膜を形成する工程と、
前記接続孔に重なる配線溝パターンを備えた第２のレジストパターンを前記第２絶縁膜上に形成し、これをマスクにしたエッチングによって前記接続孔内に当該第２絶縁膜を残した状態で前記無機ストッパ層上の第２絶縁膜をパターニングする工程と、
前記第２絶縁膜から露出する前記無機ストッパ層部分をエッチング除去する工程と、
前記第２のレジストパターンを除去する工程と、
前記無機ストッパ層をマスクにして前記有機絶縁膜に対して選択的に前記第１絶縁膜および第２絶縁膜をエッチング除去することで、当該第１絶縁膜に前記接続孔に重なる配線溝を形成する工程とを行う
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
絶縁膜の表面層に形成した配線溝および当該配線溝の底部に形成した接続孔との内部に、導電性材料を埋め込んでなる配線を設けた半導体装置の製造方法であって、
基板上に、有機絶縁膜、当該有機絶縁膜に対して選択的なエッチングが可能な絶縁膜、および無機ストッパ層をこの順に形成する工程と、
前記無機ストッパ層上に第１のレジストパターンを形成し、これマスクにしたエッチングによって当該無機ストッパ層に配線溝パターンを形成する工程と、
前記第１のレジストパターンを除去する工程と、
前記配線溝パターンに重なる接続孔パターンを備えた第２のレジストパターンを前記無機ストッパ層上に形成し、これをマスクにしたエッチングによって前記絶縁膜をパターニングする工程と、
前記第２のレジストパターン上から前記有機絶縁膜をエッチングすることで、当該有機絶縁膜に前記基板に達する接続孔を形成すると共に、当該第２のレジストパターンを完全に除去する工程とを行う
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項３】
請求項２記載の半導体装置の製造方法において、
前記パターニングされた無機ストッパ層をマスクにして、前記有機絶縁膜に対して選択的に前記絶縁膜をエッチング除去し、当該絶縁膜に前記接続孔に重なる配線溝を形成する工程を行う
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項４】
絶縁膜の表面層に形成した配線溝および当該配線溝の底部に形成した接続孔との内部に、導電性材料を埋め込んでなる配線を設けた半導体装置の製造方法であって、
基板上に、第１絶縁膜、当該第１絶縁膜に対して選択的なエッチングが可能な有機絶縁膜、および無機ストッパ層をこの順に形成する工程と、
前記無機ストッパ層上に第１のレジストパターンを形成し、これをマスクにしたエッチングによって、当該無機ストッパ層に接続孔パターンを形成する工程と、
前記第１のレジストパターン上からのエッチングによって、前記有機絶縁膜を除去すると共に当該第１のレジストパターンを完全に除去する工程と、
前記無機ストッパ層をマスクにして前記第１絶縁膜をパターニングし、前記基板に達する接続孔を形成する工程とを行う
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項５】
請求項４記載の半導体装置の製造方法において、
前記接続孔内を埋め込む状態で前記無機ストッパ層上に前記有機絶縁膜に対して選択的なエッチングが可能な第２絶縁膜を形成する工程と、
前記接続孔に重なる配線溝パターンを備えた第２のレジストパターンを前記第２絶縁膜上に形成し、これをマスクにしたエッチングによって前記接続孔内に当該第２絶縁膜を残した状態で前記無機ストッパ上における当該第２絶縁膜をパターニングする工程と、
前記第２のレジストパターンを除去する工程と、
前記第２絶縁膜をマスクにしたエッチングによって前記無機ストッパ層をパターニングする工程と、
前記第２絶縁膜を除去し、さらに前記無機ストッパ層をマスクにしたエッチングによって前記第１絶縁膜に対して選択的に前記有機絶縁膜をエッチング除去し、当該有機絶縁膜に前記接続孔に重なる配線溝を形成する工程とを行う
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造方法に関し、特には埋め込み配線構造を有する半導体装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の高集積化および高機能化に伴い、配線の微細化、配線ピッチの縮小化が進んでいる。配線幅の微細化、配線ピッチの縮小化は、配線および配線間スペースのアスペクト比を大きくする。この結果、レジストパターンをマスクに用いた配線のパターンエッチングが困難になり、配線形成のプロセスが複雑になると同時にプロセスの数の増大を招いている。
【０００３】
そこで、層間絶縁膜に形成された溝パターンや、溝パターンの底面に形成された接続孔とを金属（Ａｌ、Ｃｕなど）のメッキなどで埋め込み、ＣＭＰにより表面の金属を研磨する埋め込み配線形成技術（いわゆるダマシンプロセス、デュアルダマシンプロセス）が開発された。このような埋め込み配線技術においては、高アスペクト比の金属配線をエッチングで形成する必要がないため、大幅にプロセス数を減らすことが可能であり、配線アスペクト比が高くなるほど、また配線総数が増大するほど、トータルコストの削減に大きく寄与するようになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、配線構造の微細化が進展した半導体装置の低消費電力化および高速化を進展させるためには、層間絶縁膜の低誘電率化および配線の低抵抗化が必要になってくる。特にロジック系のデバイスでは、微細化による配線の抵抗上昇や配線間容量および配線層間容量の増加がデバイスのスピード劣化につながるため、層間絶縁膜の低誘電率化による配線間容量および配線層間容量の低減、および配線の低抵抗化は必須である。
【０００５】
このうち、配線の低抵抗化に関しては、抵抗値の低いＣｕ配線の形成によって実現することが可能である。これに対して、層間絶縁膜の低誘電率化に関しては、有機膜材料を用いることで、比誘電率３．０以下の膜（いわゆる低誘電率膜）を実現できる。
【０００６】
ところが、有機膜材料を層間絶縁膜として用いた場合には次のような問題が生じる。すなわち、この層間絶縁膜に配線溝や接続孔を形成する際には、レジストパターンをマスクにしたパターンエッチングを行っているが、このパターンエッチングを行った後には、層間絶縁膜上からレジストパターンを除去する必要がある。しかし、レジストパターンは有機材料からなるものであるため、このレジストパターンを除去する工程においては、有機材料からなる層間絶縁膜も露出面部分から除去され、配線溝や接続孔の側壁形状が変形するという問題が生じている。これは、配線溝や接続孔の寸法精度を低下させるため、素子構造の微細化を妨げる要因になる。
【０００７】
そこで本発明は、有機材料を用いた層間絶縁膜に対して精度良く配線溝や接続孔を形成することが可能で、これにより配線間容量を低く抑えつつも微細化が可能な半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
以上の目的を達成するための本発明は、絶縁膜の表面層に形成した配線溝および当該配線溝の底部に形成した接続孔との内部に、導電性材料を埋め込んでなる配線を設けた半導体装置の製造方法であり、次のように行うことを特徴としている。
【０００９】
先ず、第１の製造方法は、基板上に、有機絶縁膜、第１絶縁膜、および無機ストッパ層をこの順に形成した後、第１のレジストパターンをマスクにしたエッチングによって、無機ストッパ層および第１絶縁膜に接続孔パターンを形成する。さらに第１のレジストパターン上から有機絶縁膜をエッチングすることで、有機絶縁膜に前記基板に達する接続孔を形成する。この際、無機ストッパ層上の第１のレジストパターンを完全に除去する。
【００１０】
その後、接続孔内を埋め込む状態で前記無機ストッパ層上に第２絶縁膜を形成し、第２のレジストパターンをマスクにしたエッチングによって、接続孔内に当該第２絶縁膜を残した状態で無機ストッパ層上の第２絶縁膜部分をパターニングする。次に、第２絶縁膜から露出する無機ストッパ層部分をエッチング除去し、また第２のレジストパターンを除去し、次いで、無機ストッパ層をマスクにして第１絶縁膜および第２絶縁膜をエッチング除去することで、第１絶縁膜に配線溝を形成する。
【００１１】
このような第1の方法では、第１絶縁膜下の有機絶縁膜をエッチングする際、同時にレジストパターンもエッチング除去して接続孔を形成する構成ことで、接続孔形成に用いたレジストパターン除去のための特別な工程を行う必要はない。つまり、有機絶縁膜に対して影響を及ぼすレジストパターンのアッシング除去を、接続孔の内壁に有機絶縁膜を露出させた状態で行う必要がないのである。したがって、有機絶縁膜を構成材料とした層間絶縁膜に接続孔を形成し、この接続孔の形状精度を保った状態で、当該接続孔形成のために用いたレジストパターンを除去することができる。
【００１２】
また、接続孔の内部に第２絶縁膜を埋め込んだ状態で、配線溝パターン形成のマスクに用いた第２のレジストパターン１２が除去される。これにより、第１絶縁膜と第２絶縁膜とで有機絶縁膜を覆った状態で、第２のレジストパターンの除去が行われることになり、第２のレジストパターン除去の影響が有機絶縁膜に及ぼされることはない。しかも、第２のレジストパターンを除去した後に、無機ストッパ層をマスクにしたエッチングによって配線溝を形成するため、配線溝形成後にも、有機絶縁膜に対するレジストパターン除去の影響を排除することができる。したがって、有機絶縁膜を用いて構成された層間絶縁膜の接続孔および配線溝の形状精度が保持される。
【００１３】
また第２の製造方法は、基板上に、有機絶縁膜、絶縁膜、および無機ストッパ層をこの順に形成し、第１のレジストパターンをマスクにしたエッチングによって無機ストッパ層に配線溝パターンを形成した後、第１のレジストパターンを除去する。次いで、第２のレジストパターンをマスクにしたエッチングによって、絶縁膜をパターニングし、さらに有機絶縁膜をエッチングすることで、有機絶縁膜に接続孔を形成すると共に、第２のレジストパターンを完全に除去する。
【００１４】
その後、パターニングされた無機ストッパ層をマスクにして、有機絶縁膜に対して選択的に絶縁膜をエッチング除去し、当該絶縁膜に接続孔に重なる配線溝を形成する。
【００１５】
このような方法では、有機絶縁膜上を絶縁膜で覆った状態で、配線溝パターン形成のマスクに用いた第１のレジストパターンが除去される。これにより、第１のレジストパターン除去の影響が有機絶縁膜に及ぼされることはない。また、接続孔を形成する際の絶縁膜下の有機絶縁膜のエッチングでは、同時にレジストパターンもエッチング除去される。したがって、接続孔の形状精度を保った状態で、当該接続孔形成のために用いたレジストパターンが除去される。
【００１６】
さらに、配線溝は、無機ストッパ層をマスクにしたエッチングによって形成されるため、配線溝形成後にレジストパターン除去を行う必要はない。したがって、第１の方法と同様に、有機絶縁膜を用いて構成された層間絶縁膜の接続孔および配線溝の形状精度が保持される。
【００１７】
そして、第３の方法は、基板上に、第１絶縁膜、有機絶縁膜、および無機ストッパ層をこの順に形成し、第１のレジストパターンをマスクにしたエッチングによって無機ストッパ層に接続孔パターンを形成した後、第１のレジストパターン上からのエッチングによって、前記有機絶縁膜を除去すると共に当該第１のレジストパターンを完全に除去する。その後、無機ストッパ層をマスクにして第１絶縁膜をパターニングし、基板に達する接続孔を形成する。
【００１８】
その後、接続孔内を埋め込む状態で第２絶縁膜を形成し、第２のレジストパターンをマスクにしたエッチングによって、接続孔内に当該第２絶縁膜を残した状態で無機ストッパ層上の第２絶縁膜部分をパターニングする。次いで、第２のレジストパターンを除去し、また第２絶縁膜をマスクにして無機ストッパ層をパターニングした後、第２絶縁膜を除去し、さらに無機ストッパ層をマスクにしたエッチングによって有機絶縁膜に配線溝を形成する。
【００１９】
このような方法では、無機ストッパ層下の有機絶縁膜をエッチングする際、同時にレジストパターンもエッチング除去して接続孔を形成する構成としたことで、接続孔形成に用いたレジストパターン除去のための特別な工程を行う必要はない。また、接続孔の内部に第２絶縁膜を埋め込んだ状態で、配線溝パターン形成のマスクに用いた第２のレジストパターンが除去される。これにより、無機ストッパ層と第２絶縁膜とで有機絶縁膜を覆った状態で、第２のレジストパターンの除去が行われることになり、第２のレジストパターン除去の影響が有機絶縁膜に及ぼされることはない。しかも、第２のレジストパターンを除去した後に、無機ストッパ層をマスクにしたエッチングによって配線溝を形成するため、配線溝形成後にも、有機絶縁膜に対するレジストパターン除去の影響を排除することができる。したがって、上述した方法と同様に、有機絶縁膜を用いて構成された層間絶縁膜の接続孔および配線溝の形状精度が保持される。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の半導体装置の製造方法の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２１】
＜第１実施形態＞
ここでは本発明の第１実施形態の製造方法を、図１〜図３の断面工程図に基づいて説明する。
【００２２】
先ず、図１（１）に示すように、トランジスタ（図示省略）が形成された下地基板１を用意する。ここでの図示は省略したが、この下地基板１には、トランジスタの表面を覆う状態で、例えば酸化シリコンからなる絶縁膜が形成され、この絶縁膜内には、トランジスタに接続された状態でプラグ（例えばタングステンプラグ）が設けられており、リソグラフィ技術、エッチング技術、ＣＶＤ(chemical vapor deposition）法および研磨技術などを適用した公知の手順にしたがって形成されている。
【００２３】
このような構成の下地基板１上に、例えば酸化シリコンからなる絶縁膜２を形成し、この絶縁膜２に埋め込まれた状態で第１配線３を形成する。第１配線３の形成は、例えば通常の埋め込み配線形成技術（いわゆるダマシンプロセス）によって行われることとする。
【００２４】
そして、この絶縁膜２の表面が疎水性などの状態であって、次の工程で形成する有機絶縁膜との密着性が悪い場合、あるいは第１配線３が銅からなりこの拡散を防止する必要がある場合には、図示したように絶縁膜２上に下地膜４を形成する。この下地膜４は、炭化シリコン、酸化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化炭化シリコン、炭化酸窒化シリコンあるいは、窒化シリコンで構成されることとする。
【００２５】
このうち、酸化シリコンからなる下地膜４であれば、例えばスピンコート法を用い、市販の無機ＳＯＧ（シラノールあるいはシラノールを含むポリマーを主成分とする）を約３０ｎｍ〜１００ｎｍ形成する。この際、スピンコート後は、ベークを１５０℃〜２００℃で１分程度、キュアを３５０℃〜４５０℃で３０分〜１時間程度行う。また、酸化シリコンからなる下地膜４は、市販のプラズマＣＶＤ装置をもちいて、プラズマＣＶＤ法を用いて形成してもよい。ただし、この際は、銅からなる第１配線３を極力酸化させないために、酸化剤としてＮ2Ｏガスを用い、シリコン源としてシラン（モノシラン、ジシラン、トリシランなど）を用い、基板温度３００℃〜４００℃、プラズマパワー３５０Ｗ、圧力１ｋＰａ程度の条件で成膜する。
【００２６】
さらに、窒化酸化シリコンからなる下地膜４であれば、アミノ基を有する市販の無機ＳＯＧをスピンコート法で成膜しても構わないが、好ましくは、プラズマＣＶＤ法を用いて成膜する。プラズマＣＶＤ法を適用する場合には、シリコン源としてシラン（モノシラン、ジシラン、トリシランなど）、窒化剤として、アンモニア、ヒドラジンなどを用い、酸化剤としてＮ2Ｏガスを用い、キャリアガスとして窒素、ヘリウム、アルゴンなどを用い、基板温度３００℃〜４００℃、プラズマパワー３５０Ｗ、圧力１ｋＰａ程度の条件で成膜する。
【００２７】
また、窒化シリコンからなる下地膜４の場合も同様で、アミノ基を有する市販の無機ＳＯＧをスピンコート法で成膜しても構わないが、好ましくは、プラズマＣＶＤ法を用いて成膜する。プラズマＣＶＤ法を適用する場合には、シリコン源としてシラン（モノシラン、ジシラン、トリシランなど）、窒化剤として、アンモニア、ヒドラジンなどを用い、キャリアガスとして窒素、ヘリウム、アルゴンなどを用い、基板温度３００℃〜４００℃、プラズマパワー３５０Ｗ、圧力１ｋＰａ程度の条件で成膜する。
【００２８】
そして、炭化シリコンからなる下地膜４であれば、並行平板型のプラズマＣＶＤ装置を用いた成膜が行われ、シリコン源としてたとえばメチルシランを用い、基板温度３００〜４００℃、プラズマパワー１５０Ｗ〜３５０Ｗ、圧力１００Ｐａ〜１０００Ｐａという条件で成膜する。
【００２９】
このような下地膜４を絶縁膜２上に形成した場合には、下地基板１〜下地膜４までが請求項に示す基板に相当することになる。そして、本第１実施形態においては、先ず、このような基板（下地膜４）上に、有機絶縁膜５、第１絶縁膜６、および無機ストッパ層７をこの順に形成する。以下に、これらの各膜５〜７の詳細を説明する。
【００３０】
先ず、有機絶縁膜５は、比誘電率２．５程度の絶縁性有機材料を用いて構成される。このような絶縁性有機材料としては、例えばボリアリールエーテルと総称される有機ポリマーが用いられ、具体的には商品名：アライドシグナル社製ＦＬＡＲＥ、ダウケミカル社製ＳｉＬＫ、またはシューマッカー製ＶＥＬＯＸが用いられる。絶縁性有機材料としては、この他にも、ＢＣＢ（ベンゾシクロブテン）膜、ポリイミド膜、アモルファスカーボン膜、フッ素樹脂膜環状フッ素樹脂、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、アモルファステフロン（登録商標）、フッ化アリールエーテル、フッ化ボリイミドなどが用いられる。
【００３１】
このような絶縁性有機材料からなる有機絶縁膜５を形成する場合には、たとえば、前駆体をスピンコーターで基板上に成膜し、その後、３００℃から４５０℃でキュア（焼成）する。
【００３２】
また、第１絶縁膜６は、有機絶縁膜５に対して選択的なエッチングが可能な材料を用いることとし、この中でも比誘電率が３以下、好ましくは２．５以下である材料を用いることが好ましい。このような材料としては、酸化シリコン、フッ化酸化シリコン、リン酸化シリコン、さらにはＭＳＱ（メチルシリシスキオキサン）やＨＳＱ（ハイドロシリシスキオキサン）等の有機ＳＯＧ、ポーラスシリカ（キセルゲル）等、いわゆるシリカ系材料が用いられる。
【００３３】
そして特に比誘電率の観点から、ポーラスシリカ（比誘電率２．５程度）が好適に用いられる。ポーラスシリカは、多くの材料メーカーから材料が提供されているが、ポーラスシリカからなる第１絶縁膜６は、例えばボリメチルシランに、揮発性の高い炭化水素ポリマーを混合させ、塗布後にベーク（１５０℃から３００℃）、キュア（３５０℃から４５０℃）する事によって得ることが出来る。
【００３４】
この他にも、ポーラスシリカからなる第１絶縁膜６は、ＣＶＤ法によっても形成することができ、この場合の原料ガスとしては、メチルシラン、環状メチルシロキサン等を用い、酸化性ガスとして、酸素あるいは一酸化二窒素（Ｎ2Ｏ）を用いることができる。この場合の具体例としては、プラズマＣＶＤ装置で、メチルシラン１０〜２００sccm、Ｎ2Ｏ１００〜１０００sccm、キャリアガスとして窒素を１０００〜３０００sccmを流し、チェンバー温度３５０〜４５０℃、圧力１〜１０Ｔｏｒｒ、プラズマパワー１００〜３００Ｗで成膜される。尚、sccmは、標準状態におけるガス流量でありstandard cubic centimeter ／minutes（ｃｍ3／ｍｉｎ）であることとし、以下において同様に用いることとする。
【００３５】
そして、無機ストッパ層７は、少なくとも第１絶縁膜６をエッチグする際にマスクとして用いることが出来る材料からなることとし、窒化シリコン、炭化シリコン、窒化炭化シリコン、酸化炭化シリコン、窒化チタン、窒化タンタルなどで構成される。この中でも特に、透明性が高くエッチングが容易な窒化シリコンまたは炭化シリコンが好適に用いられる。
【００３６】
以上のようにして、有機絶縁膜５、第１絶縁膜６、および無機ストッパ層７を順次積層形成した後、図１（２）に示すように、無機ストッパ層７上に第１のレジストパターン８を形成する。この第１のレジストパターン８は、第１配線３上に重なる接続孔パターン８ａを有して形成される。
【００３７】
そして、図１（３）に示すように、第１のレジストパターン８をマスクに用いたエッチングによって、無機ストッパ層７および第１絶縁膜６をパターニングする。
【００３８】
このようなエッチングは、例えば一般的なマグネトロン方式のエッチング装置を用いて行われる。この際のエッチング条件の一例としては、先ず無機ストッパ層７を対象として、エッチングガスにＣＨＦ3（５sccm）、Ｏ2（５sccm）、Ａｒ（２０sccm）を用い、ＲＦプラズマ６００Ｗに設定したエッチングが行われる。またこれに引き続き、第１絶縁膜６（例えばポーラスシリカ）を対象として、エッチングガスにＣ4Ｆ8（１０sccm）、ＣＯ（１５０sccm）、Ａｒ（２００sccm）を用い、ＲＦプラズマ１６００Ｗに設定したエッチングが行われる。
【００３９】
次いで、図１（４）に示すように、第１のレジストパターン８上からのエッチングによって有機絶縁膜５をパターニングし、下地膜４に達する接続孔１０を形成する。このエッチングにおいては、第１のレジストパターン８が有機絶縁膜５のマスクとなる。また、第１のレジストパターン８も有機材料からなるために同時に除去されるが、特に無機ストッパ層７上の第１のレジストパターン８が完全に除去されるまでエッチングを行うことが重要である。このため、エッチングの最終段階では、無機ストッパ層７上の第１のレジストパターン８が完全に除去された後、無機ストッパ層７をマスクにして有機絶縁膜５の残りの層がエッチング除去されるように、第１のレジストパターン８の膜厚が調整されることとする。
【００４０】
このようなエッチングは、第１絶縁膜６のエッチングに引き続いて異方的に行われ、エッチング条件の一例としては、エッチングガスにＮＨ3（１００sccm）、Ｈ2（５０sccm）、およびＡｒ（２００sccm）を用い、ＲＦプラズマ５００Ｗに設定される。
【００４１】
以上の後、図２（１）に示すように、接続孔１０内を埋め込む状態で無機ストッパ層７上に、第２絶縁膜１１を形成する。第２絶縁膜１１は、第１絶縁膜６と同様の材料で構成されるが、特に接続孔１０内を十分に埋め込むことが可能であるように、塗布形成可能な膜であること好ましく、一般に市販されているＳＯＧ（シラノール薬液、あるいは、シラザン溶液）を用いて塗布形成され、例えば東京応化製ＷＰＥ−７が用いられる。また、次の工程でレジストパターンを形成することを考慮した場合、好ましくは、有機ＳＯＧ膜に紫外線を吸収するハイドロカーボンボリマーを混合あるいは重合して、リソグラフィー工程で反射防止効果を持つ特性を有するものを用いる。
【００４２】
また、第２絶縁膜１１は、塗布形成後に除去しやすいように、通常のＳＯＧ成膜工程で用いている４００℃以上のキュアは行わなず、３５０℃以下、好ましくは３００℃以下の熱処理だけを数分間施す。これにより、ＳＯＧポリマーの架橋反応の進行を防止し、エッチングレート（特にフッ酸溶液に対する）の低下を抑えて除去効率を確保する。
【００４３】
次に、図２（２）に示すように、第２絶縁膜１１上に、第２のレジストパターン１２を形成する。この第２のレジストパターン１２は、接続孔１０に重なる配線溝パターン１２ａを有して形成される。
【００４４】
そして、図２（３）に示すように、第２のレジストパターン１２をマスクにしたエッチングによって、第２絶縁膜１１の一部および無機ストッパ層７をエッチングする。これにより、接続孔１０内に第２絶縁膜１１を残した状態で当該無機ストッパ層７をパターニングし、有機絶縁膜５を露出させないことが重要である。
【００４５】
例えば第２絶縁膜１１のエッチングには、酸化シリコンのエッチングで一般的な方法が適用され、例えばエッチングガスにＣ4Ｆ8（１０sccm）、ＣＯ（１５０sccm）、およびＡｒ（２００sccm）を用い、ＲＦプラズマ１６００Ｗに設定したエッチングが行われる。
【００４６】
また、無機ストッパ層７のエッチングには、一般的な方法、たとえば、エッチングガスにＣＨＦ3（５sccm）、Ｏ2（５sccm）、およびＡｒ（２０sccm）を用いて、ＲＦプラズマ６００Ｗに設定したエッチングが行われる。
【００４７】
次に、図２（４）に示すように、第２のレジストパターン１２を第２絶縁膜１１上から除去する。ここでは、通常のレジストアッシャーを用いても構わないが、レジストアッシャーは、誘電率の低いシリカ系材料からなる第１絶縁膜６にダメージを与える可能性がある。このため、好ましくは、アンモニアガスを用いた有機膜のエッチング条件で、第２のレジストパターン１２をエッチング除去する。
【００４８】
その後、図３（１）に示すように、無機ストッパ層７をマスクに用い、有機絶縁膜５に対して選択的に第１絶縁膜６をエッチングする。これにより、この第１絶縁膜６に配線溝１４を形成する。この際のエッチング条件は、図１（３）を用いた第１絶縁膜６のエッチングと同様に行われる。このエッチングにおいては、第２絶縁膜１１のエッチングも進められる。
【００４９】
次に、図３（２）に示すように、接続孔１０および無機ストッパ層７上に残った第２絶縁膜（１１）をエッチング除去する。ここでは、エッチング溶液として、フッ化アンモニウム溶液、ＢＨＦ（バッファードフッ酸）、ＤＨＦ（希フヅ酸）のいずれかを用いたウェットエッチングを行うことが好ましい。特にフッ化アンモニウム溶液を用いた場合には、エッチング残渣も除去することができる。
【００５０】
次いで、図３（３）に示すように、無機ストッパ層７および、接続孔１０底面の下地膜４を除去し、接続孔１０の底面に第１配線３を露出させる。
【００５１】
その後、図３（４）に示すように、接続孔１０および配線溝１４内に導電性材料としてバリアメタルを介してＣｕを埋め込み、ＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）法によって第１絶縁膜６上の余分な導電性材料を除去し、第１配線３に接続されたビア１５ｂおよび第２配線１５ｂを形成する。
【００５２】
以上説明した第１実施形態の方法によれば、図１（４）を用いて説明したように、接続孔１０を形成する際の有機絶縁膜５のエッチングにおいて、同時に第１のレジストパターン８もエッチング除去される。これにより、接続孔１０形成のマスクとして用いた第１のレジストパターン８を除去するために、特別な工程を行う必要はない。つまり、有機絶縁膜５に対して影響を及ぼすレジストパターンのアッシング除去を、接続孔１０の内壁に有機絶縁膜５を露出させた状態で行う必要がないのである。したがって、有機絶縁膜５を構成材料とした層間絶縁膜に接続孔１０を形成し、この接続孔１０の形状精度を保った状態で、当該接続孔１０形成のために用いたレジストパターン８を除去することができる。
【００５３】
また、接続孔１０形成後には、図２（４）に示すように、接続孔１０の内部に第２絶縁膜１１を埋め込んだ状態で、配線溝パターン形成のマスクに用いた第２のレジストパターン１２が除去される。これにより、第１絶縁膜６と第２絶縁膜１１とで有機絶縁膜７を覆った状態で、第２のレジストパターン１２の除去が行われることになり、第２のレジストパターン１２除去の影響が有機絶縁膜７に及ぼされることはない。したがって、接続孔１０の形状精度を保った状態で、配線溝パターン形成のマスクに用いた第２のレジストパターン１２を除去することができる。
【００５４】
さらに、第２のレジストパターン１２を除去した後に、無機ストッパ層７をマスクにしたエッチングによって配線溝１４を形成するため、配線溝１４形成後にも、有機絶縁膜５に対するレジストパターン１２除去の影響を排除することができる。したがって、配線溝１４の形状精度を確保することができる。
【００５５】
この結果、有機絶縁膜５を用いて構成された層間絶縁膜に、形状精度の良好な接続孔１０および配線溝１４を形成することができるため、これにより低誘電率の有機絶縁膜を層間絶縁膜に用いることで配線間容量を低く抑えつつも、接続孔１０および配線溝１４を精度良好に形成することで微細化を図ることが可能な半導体装置を得ることができる。
【００５６】
＜第２実施形態＞
ここでは本発明の第２実施形態の製造方法を、図４の断面工程図に基づいて説明する。本第２実施形態は、第１実施形態の変形例であり、先ず第１実施形態において図１（１）〜図２（２）を用いて説明した工程までを上述したと同様に行い、図２（２）に示すように第２絶縁膜１１上に第２のレジストパターン１２を形成する。
【００５７】
その後、図４（１）に示すように、第２のレジストパターン１２をマスクにしたエッチングによって、無機ストッパ層７上の第２絶縁膜１１部分をパターンニングする。この際、無機ストッパ層７をエッチングストッパにすることで、接続孔１０内に第２絶縁膜１１を残すことが重要になる。第２絶縁膜１１のエッチングは、図２（３）を用いて説明した第２絶縁膜のエッチングと同様に行われる。
【００５８】
次いで、図４（２）に示すように、第２絶縁膜１１上から第２のレジストパターン１２を除去する。ここでは、第１実施形態において図２（４）を用いて説明したと同様に第２のレジストパターン１２を除去する。
【００５９】
その後、図４（３）に示すように、第２絶縁膜１１をマスクにしたエッチングによって、無機ストッパ層７をパターニングする。この際のエッチング条件の一例としては、エッチングガスにＣＨＦ3（５sccm）、Ｏ2（５sccm）、Ａｒ（２０sccm）を用い、ＲＦプラズマ６００Ｗに設定したエッチングが行われる。
【００６０】
その後は、第１実施形態において、図３（１）〜図３（４）を用いて説明したと同様に行うことで、第１配線３に接続するビアおよび第２配線を形成する。
【００６１】
以上説明した第２実施形態の方法によれば、図１（４）を用いて説明した工程を第１実施形態と同様に行うため、接続孔１０の形状精度を保った状態で、接続孔１０形成のために用いたレジストパターン８を除去することができる。
【００６２】
また、接続孔１０形成後には、図４（２）を用いて説明したように、接続孔１０の内部に第２絶縁膜１１を埋め込んだ状態で、配線溝パターン形成のマスクに用いた第２のレジストパターン１２が除去される。これにより、第１実施形態と同様に接続孔１０の形状精度を保った状態で、配線溝パターン形成のマスクに用いた第２のレジストパターン１２を除去することができる。
【００６３】
さらに、第２のレジストパターン１２を除去した後に、無機ストッパ層７をマスクにしたエッチングによって配線溝１４を形成するため、配線溝１４形成後にも、有機絶縁膜５に対するレジストパターン１２除去の影響を排除することができる。したがって、配線溝１４の形状精度を確保することができる。
【００６４】
この結果、第１実施形態と同様に、低誘電率の有機絶縁膜を層間絶縁膜に用いることで配線間容量を低く抑えつつも、接続孔１０および配線溝１４を精度良好に形成することで微細化を図ることが可能な半導体装置を得ることができる。
【００６５】
また、図４（２）で説明した第２のレジストパターン１２を除去する場合に、第１絶縁膜６が無機ストッパ層７で覆われている。このため、上述した第１実施形態と同様の効果に加え、第１絶縁膜１１が酸化に対して非常に弱い材料からなる場合に、第１絶縁膜１１の酸化による比誘電率の上昇を抑えることが可能である。
【００６６】
＜第３実施形態＞
ここでは本発明の第３実施形態の製造方法を、図５の断面工程図に基づいて説明する。本第３実施形態で説明する製造方法は、第１実施形態および第２実施形態とは逆に、配線溝パターンを形成した後に接続孔パターンを形成する方法である。
【００６７】
先ず、第１実施形態で図１（１）を用いて説明したと同様に、下地膜４上に有機絶縁膜５、第１絶縁膜６、および無機ストッパ層７をこの順に積層形成する。
【００６８】
その後、図５（１）に示すように、無機ストッパ層７上に第１のレジストパターン３１を形成する。この第１のレジストパターン３１は、配線溝パターン３１ａを有して形成される。次いで、この第１のレジストパターン３１をマスクにして無機ストッパ層７をエッチングすることによって、この無機ストッパ層７に配線溝パターン７ａを形成する。
【００６９】
以上の後、図５（２）に示すように、第１のレジストパターン３１を除去する。第１のレジストパターン３１の除去は、第１実施形態において図２（４）を用いて説明したと第２のレジストパターン（１２）の除去と同様に行われる。
【００７０】
次に、図５（３）に示すように、配線溝パターン７ａが形成された無機ストッパ層７を覆う状態で、第１絶縁膜６上に第２のレジストパターン３２を形成する。この第２のレジストパターン３２は、配線溝パターン７ａに重なる接続孔パターン３２ａを備えて形成される。
【００７１】
次いで、第２のレジストパターン３２をマスクにして、第１絶縁膜６および有機絶縁膜５をエッチングし、これらの第１絶縁膜６および有機絶縁膜５に、下地膜４に達する接続孔３２を形成する。このエッチングにおいて有機絶縁膜５をエッチングする際には、マスクとして用いた第２のレジストパターン３２も有機材料からなるために同時に除去されるが、特にこの第２のレジストパターン３２が完全に除去されるまでエッチングを行うことが重要である。このため、エッチングの最終段階では、第２のレジストパターン３２が完全に除去された後、無機ストッパ層７をマスクにして有機絶縁膜５の残りの層がエッチング除去されるように、第２のレジストパターン３２の膜厚が調整されることとする。尚、このエッチングは、第１実施形態において図１（３）および図１（４）を用いて説明した第１絶縁膜６および有機絶縁膜５のエッチングと同様に行われる。
【００７２】
以上の後、図５（４）に示すように、パターニングされた無機ストッパ層７をマスクにして、有機絶縁膜５に対して選択的に第１絶縁膜６をエッチング除去し、第１絶縁膜６に接続孔３３に重なる配線溝３４を形成する。このエッチングは、第１実施形態において図３（１）を用いて説明した第１絶縁膜６のエッチングと同様に行われる。
【００７３】
またここでの図示は省略したが、引き続き、第１実施形態で図３（３）および図３（４）を用いて説明したと同様の工程を行うことで、第１配線３に接続するビアおよび第２配線を形成する。
【００７４】
以上説明した第３実施形態の方法によれば、図５（２）に示すように、有機絶縁膜５上を第１絶縁膜６で覆った状態で第１のレジストパターン３１が除去される。これにより、配線溝パターン形成のマスクに用いた第１のレジストパターン３１除去の影響が有機絶縁膜７に及ぼされることはない。
【００７５】
また、図５（３）を用いて説明したように、接続孔３３を形成する際の有機絶縁膜５のエッチングにおいて、同時に第２のレジストパターン３２もエッチング除去される。したがって、第１実施形態と同様に、接続孔３３の形状精度を保った状態で、当該接続孔３３形成のために用いたレジストパターン３２を除去することができる。
【００７６】
また、図５（４）を用いて説明したように、配線溝３４は、無機ストッパ層７をマスクにしたエッチングによって形成されるため、配線溝３４形成後にレジストパターン除去を行う必要はなく、有機絶縁膜５を用いて構成された層間絶縁膜に、形状精度の良好な接続孔３３および配線溝３４を形成することができる。したがって、第１実施形態と同様に、低誘電率の有機絶縁膜を層間絶縁膜に用いることで配線間容量を低く抑えつつも、接続孔１０および配線溝１４を精度良好に形成することで微細化を図ることが可能な半導体装置を得ることができる。
【００７７】
＜第４実施形態＞
ここでは本発明の第４実施形態の製造方法を、図６〜図８の断面工程図に基づいて説明する。
【００７８】
先ず、図６（１）に示すように、例えば第１実施形態で図１（１）を用いて説明したと同様の、下地基板１上の酸化膜２および第１配線３上を覆う下地膜４上に、第１絶縁膜５１、有機絶縁膜５２、キャップ絶縁膜５３、および無機ストッパ層５４をこの順に形成する。第１絶縁膜５１およびキャップ絶縁膜５３は、第１実施形態で説明した第１絶縁膜（６）と同様の材料が用いられるが、ポーラスシリカを用いる場合には、強度が不足する場合があるので、ＣＭＰ等の膜にストレスが加わる工程においては過度のストレスが入らない様に条件を設定する。また、有機絶縁膜５２は、第１実施形態で説明した有機絶縁膜（５）と同様の材料が用いられる。さらに、無機ストッパ層５４は、第１実施形態で説明した無機ストッパ層（７）と同様の材料が用いられる。
【００７９】
その後、図６（２）に示すように、無機ストッパ層５４上に第１のレジストパターン５５を形成する。この第１のレジストパターン５５は、第１配線３上に重なる接続孔パターン５５ａを有して形成される。
【００８０】
そして、図６（３）に示すように、第１のレジストパターン５５をマスクに用いたエッチングによって、無機ストッパ層５４およびキャップ絶縁膜５３をパターニングする。このエッチングは、第１実施形態において図１（３）を用いて説明した無機ストッパ層（７）と第１の無機絶縁（６）のエッチングと同様に行われる。
【００８１】
次に、図６（４）に示すように、第１のレジストパターン５５上からのエッチングによって有機絶縁膜５２をパターニングする。このエッチングにおいては、第１のレジストパターン５５が有機絶縁膜５２のマスクとなる。また、第１のレジストパターン５５も有機材料からなるために同時に除去されるが、特に無機ストッパ層５４上の第１のレジストパターン５５が完全に除去されるまでエッチングを行うことが重要である。このため、エッチングの最終段階では、無機ストッパ層５４上の第１のレジストパターン５５が完全に除去された後、無機ストッパ層５４をマスクにして有機絶縁膜５２の残りの層がエッチング除去されるように、第１のレジストパターン５５の膜厚が調整されることとする。
【００８２】
その後、図７（１）に示すように、無機ストッパ層５４をマスクにして第１絶縁膜５１をパターニングし、下地膜４に達する接続孔５６を形成する。このエッチングは、例えば第１実施形態において図３（１）を用いて説明した第１絶縁膜（６）のエッチングと同様に行われる。
【００８３】
次いで、図７（２）に示すように、接続孔５６内を埋め込む状態で、無機ストッパ層５４上に第２絶縁膜５７を形成する。第２絶縁膜５７は、第１実施形態で用いた第２絶縁膜（１１）と同様に形成される。
【００８４】
次に、図７（３）に示すように、第２絶縁膜５７上に、第２のレジストパターン５８を形成する。この第２のレジストパターン５８は、接続孔５６に重なる配線溝パターン５８ａを有して形成される。
【００８５】
その後、図７（４）に示すように、第２のレジストパターン５８をマスクにしたエッチングによって、無機ストッパ層５４上の第２絶縁膜５７部分をパターンニングする。この際、無機ストッパ層５４をエッチングストッパにすることで、接続孔５６内に第２絶縁膜５７を残すことが重要になる。このエッチングは、第１実施形態において図２（３）を用いて説明した第２絶縁膜（１１）のエッチングと同様に行われる。
【００８６】
次いで、図８（１）に示すように、第２絶縁膜５７上から第２のレジストパターン５８を除去する。第２のレジストパターン５８の除去は、第１実施形態において図２（４）を用いて説明したと同様に、通常のレジストアッシャーを用いた除去またはアンモニアガスを用いた有機膜のエッチング条件で行う。
【００８７】
その後、図８（２）に示すように、第２絶縁膜５７をマスクにしたエッチングによって、無機ストッパ層５４をパターニングする。ここでは、第２実施形態で図４（３）を用いて説明した無機ストッパ層（７）のエッチングと同様に無機ストッパ層５４のエッチングを行う。
【００８８】
次に、図８（３）に示すように、第２絶縁膜（５７）を除去する。ここでは、エッチング溶液として、フッ化アンモニウム溶液、ＢＨＦ（バッファードフッ酸）、ＤＨＦ（希フヅ酸）のいずれかを用いたウェットエッチングを行うことが好ましい。特にフッ化アンモニウム溶液を用いた場合には、エッチング残渣も除去することができる。
【００８９】
そして、図８（４）に示すように、無機ストッパ層５４をマスクにして、第１絶縁膜５１に対して選択的に有機絶縁膜５２をエッチング除去し、当該無機絶縁膜５２に接続孔５６に重なる配線溝５８を形成する。この際のエッチング条件の一例としては、エッチングガスにＮＨ3（１００sccm）、Ｈ2（５０sccm）、およびＡｒ（２００sccm）を用い、ＲＦプラズマ５００Ｗに設定される。
【００９０】
以降、またここでの図示は省略したが、引き続き、第１実施形態で図３（３）および図３（４）を用いて説明したと同様の工程を行うことで、第１配線３に接続するビアおよび第２配線を形成する。
【００９１】
このような第４実施形態の製造方法では、図６（４）を用いて説明したように、接続孔５６を形成する際の有機絶縁膜５２のエッチングにおいて、同時に第１のレジストパターン５５もエッチング除去される。これにより、第１実施形態と同様に、接続孔５６の形状精度を保った状態で、当該接続孔５６形成のために用いたレジストパターン５５を除去することができる。
【００９２】
そして、接続孔５６形成後には、図８（１）を用いて説明したように、この接続孔５６の内部に第２絶縁膜５７を埋め込んだ状態で、配線溝パターン形成のマスクに用いた第２のレジストパターン５８が除去される。したがって、第１実施形態と同様に、接続孔５６の形状精度を保った状態で、配線溝パターン形成のマスクに用いた第２のレジストパターン５８を除去することができる。
【００９３】
そして、第２のレジストパターン５８を除去した後に、無機ストッパ層５４をマスクにしたエッチングによって配線溝５９を形成するため、第１実施形態と同様に、配線溝１４の形状精度を確保することができる。
【００９４】
この結果、第１実施形態と同様に、低誘電率の有機絶縁膜を層間絶縁膜に用いることで配線間容量を低く抑えつつも、接続孔１０および配線溝１４を精度良好に形成することで微細化を図ることが可能な半導体装置を得ることができる。
【００９５】
尚、上述した第１実施形態〜第４実施形態の方法では、各レジストパターンは、有機絶縁膜を他の膜で覆われた状態で形成される。このため、これらのレジストパターンが、下地パターンに対してズレを生じていた場合、これらのレジストパターンを除去して再生することが可能になる。つまり、有機絶縁膜が露出した状態であれば、有機絶縁膜に影響を及ぼすことなくレジストパターンを除去することが不可能であるため、レジストパターンを再生することはできないのである。このようにレジストパターンの再生が可能になったことにより、半導体装置の製造コストを削減することも可能である。
【００９６】
また、第１実施形態〜第４実施形態の方法では、積層した絶縁膜に貫通させて接続孔を形成する構成としたことで、配線溝と接続孔とに合わせズレが生じた場合であっても、接続孔を完全に開口させることが可能である。
【００９７】
そして、第１実施形態、第２実施形態、および第４実施形態の方法では、先ず、接続孔を形成した後、この接続孔に重ね合わせて配線溝パターンを形成しているため、下地パターン(第１配線）に対して直接、接続孔パターンの合わせを行うことが可能である。このため、配線溝パターンを形成した後に、この配線溝パターンを介して間接的に、下地パターンに対して接続孔パターンを合わせる場合と比較して、下地パターンに対する接続孔パターンの合わせマージンを大きくすることが可能になる。
【００９８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の半導体装置の製造方法によれば、有機絶縁膜を用いて構成された層間絶縁膜に、形状精度の良好に接続孔および配線溝を形成することができるため、これにより配線間容量を低く抑えつつも微細化が可能な半導体装置の製造が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態の製造方法を説明する断面工程図（その１）である。
【図２】第１実施形態の製造方法を説明する断面工程図（その２）である。
【図３】第１実施形態の製造方法を説明する断面工程図（その３）である。
【図４】第２実施形態の製造方法を説明する断面工程図である。
【図５】第３実施形態の製造方法を説明する断面工程図である。
【図６】第４実施形態の製造方法を説明する断面工程図（その１）である。
【図７】第４実施形態の製造方法を説明する断面工程図（その２）である。
【図８】第４実施形態の製造方法を説明する断面工程図（その３）である。
【符号の説明】
５…有機絶縁膜、６…第１絶縁膜、７…無機ストッパ層、７ａ…配線溝パターン、８…第１のレジストパターン、１０…接続孔、１１…第２絶縁膜、１２…第２のレジストパターン、１２ａ…配線溝パターン、１４…配線溝、３１…第１のレジストパターン、３２…第２のレジストパターン、３２ａ…接続孔パターン、３３…接続孔、３４…配線溝、５１…第１絶縁膜、５２…有機絶縁膜、５４…無機ストッパ層、５５…第１のレジストパターン、５６…接続孔、５７…第２絶縁膜、５８…第２のレジストパターン、５８ａ…配線溝パターン、５９…配線溝
【図１】
0004085648.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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