(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の拡散抵抗の下に被測定ガスを導入する被測定ガス室と，
該被測定ガス室に曝されるポンプ電極と，上記被測定ガスに曝されるポンプ電極との一対の電極を固体電解質体に配置して構成されると共に，上記一対の電極の間に電圧を印加することにより，上記被測定ガス室における酸素濃度を調整する酸素ポンプセルと，
上記被測定ガス室に曝される被測定ガス室側電極と，基準ガスに曝される基準ガス側電極との一対の電極を固体電解質体に配置して構成されると共に，上記被測定ガス中に含まれる特定ガス成分濃度を検出するセンサセルと，
上記被測定ガスに曝される被測定ガス側電極と，基準ガスに曝される基準ガス側電極との一対の電極を固体電解質体に配置して構成されると共に，当該一対の電極間に生じる起電力値により上記被測定ガスの空燃比を検出する空燃比検出セルとを有し，
上記酸素ポンプセルにおける上記被測定ガスに曝されるポンプ電極と上記空燃比検出セルにおける被測定ガス側電極，又は上記センサセルにおける基準ガス側電極と上記空燃比検出セルにおける基準ガス側電極との少なくともいずれか一方を共通化したことを特徴とする複合ガスセンサ素子。
【請求項２】
請求項１において，上記複合ガスセンサ素子は，上記被測定ガス室に曝される被測定ガス室側電極と基準ガスに曝される基準ガス側電極との一対の電極を固体電解質体に配置して構成されると共に上記被測定ガス室における酸素濃度を検出する酸素モニタセルを有しており，
上記センサセルにおける基準ガス側電極又は上記空燃比検出セルにおける基準ガス側電極の少なくともいずれか一方と，上記酸素モニタセルにおける基準ガス側電極とを共通化したことを特徴とする複合ガスセンサ素子。
【請求項３】
所定の拡散抵抗の下に被測定ガスを導入する被測定ガス室と，
該被測定ガス室に曝されるポンプ電極と，基準ガスに曝されるポンプ電極との一対の電極を固体電解質体に配置して構成されると共に，上記一対の電極の間に電圧を印加することにより，上記被測定ガス室における酸素濃度を調整する酸素ポンプセルと，
上記被測定ガス室に曝される被測定ガス室側電極と，基準ガスに曝される基準ガス側電極との一対の電極を固体電解質体に配置して構成されると共に，上記被測定ガス中に含まれる特定ガス成分濃度を検出するセンサセルと，
上記被測定ガスに曝される被測定ガス側電極と，基準ガスに曝される基準ガス側電極との一対の電極を固体電解質体に配置して構成されると共に，当該一対の電極間に生じる起電力値により上記被測定ガスの空燃比を検出する空燃比検出セルと，
上記被測定ガス室に曝される被測定ガス室側電極と基準ガスに曝される基準ガス側電極との一対の電極を固体電解質体に配置して構成されると共に，上記被測定ガス室における酸素濃度を検出する酸素モニタセルを有しており，
上記酸素ポンプセルにおける基準ガスに曝されるポンプ電極，上記センサセルにおける基準ガス側電極，上記空燃比検出セルにおける基準ガス側電極のうち少なくともいずれか１つと，上記酸素モニタセルにおける基準ガス側電極とを共通化したことを特徴とする複合ガスセンサ素子。
【請求項４】
請求項２又は３において，上記酸素ポンプセルは，上記酸素モニタセルにおいて検出する酸素濃度が所望の値となるように，上記印加する電圧を制御するよう構成されていることを特徴とする複合ガスセンサ素子。
【請求項５】
請求項２〜４のいずれか一項において，上記酸素モニタセルは，該酸素モニタセルに発生する起電力に基づいて，上記被測定ガス室における酸素濃度を検出するよう構成されていることを特徴とする複合ガスセンサ素子。
【請求項６】
請求項２〜４のいずれか一項において，上記酸素モニタセルは，該酸素モニタセルに流れる酸素イオン電流に基づいて上記被測定ガス室における酸素濃度を検出するよう構成されていることを特徴とする複合ガスセンサ素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，被測定ガス中に含まれる特定ガス成分濃度を検出するセンサセルと被測定ガスの空燃比を検出する空燃比検出セルとを有する複合ガスセンサ素子に関する。
【０００２】
【従来技術】
例えば，自動車等においては，エンジンから排出される排気ガスが触媒等によって浄化されているかを監視するために，この排気ガス中のＮＯｘ濃度の検出を行っている。
図１３に示すごとく，ＮＯｘ濃度を検出するガスセンサ素子９０として，酸素ポンプセル９７により酸素をポンピングして被測定ガス中の酸素濃度を調整し，ＮＯｘ分解活性を有する電極を備えたセンサセル９４によって，ＮＯｘ濃度を検出するものがある。
【０００３】
このガスセンサ素子９０においては，固体電解質体９５に一対の電極９７１，９７２を配置して構成した酸素ポンプセル９７において，一対の電極９７１，９７２の間に電圧を印加して，被測定ガスを導入した第１被測定ガス室７１における酸素濃度を調整する。この調整に当たっては，固体電解質体９６に一対の電極９３１，９３２を配置して構成した酸素モニタセル９３により，第１被測定ガス室７１における酸素濃度を検出して，この検出した酸素濃度が所望の値となるように，上記酸素ポンプセル９７に印加する電圧がフィードバック制御される。
【０００４】
そして，上記第１被測定ガス室７１において酸素濃度を調整された被測定ガスが第２被測定ガス室７２に流れる。この第２被測定ガス室７２には，固体電解質体９６に一対の電極９４１，９４２を配置して構成すると共に一方の電極９４１がＮＯｘに対する分解活性を有するセンサセル９４が設けてある。
そして，このセンサセル９４の一対の電極９４１，９４２の間に電圧を印加し，ＮＯｘの分解に伴い流れる酸素イオン電流を検出することにより，ＮＯｘ濃度を検出することができる。
【０００５】
【解決しようとする課題】
ところで，内燃機関の制御において，被測定ガス中のＮＯｘ濃度に加えて，被測定ガスの空燃比を検出できる複合ガスセンサ素子へのニーズが高まっている。例えば，特開平１１−７２４７７号公報に示すごとく，複合ガスセンサ素子によって，上記ＮＯｘ濃度の検出と上記被測定ガスの空燃比の検出とを同時に行うことは可能である。
【０００６】
しかしながら，複合ガスセンサ素子において，上記ＮＯｘ濃度の検出と上記被測定ガスの空燃比の検出とを同時に行うためには，これらの信号を外部回路に取り出すために，複合ガスセンサ素子における端子部の数が多くなってしまう。そのため，複合ガスセンサ素子の構造が複雑になってしまう。
【０００７】
本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，端子部の数を少なくすることができると共に，構造が簡単な複合ガスセンサ素子を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題の解決手段】
第１の発明は，所定の拡散抵抗の下に被測定ガスを導入する被測定ガス室と，
該被測定ガス室に曝されるポンプ電極と，上記被測定ガスに曝されるポンプ電極との一対の電極を固体電解質体に配置して構成されると共に，上記一対の電極の間に電圧を印加することにより，上記被測定ガス室における酸素濃度を調整する酸素ポンプセルと，
上記被測定ガス室に曝される被測定ガス室側電極と，基準ガスに曝される基準ガス側電極との一対の電極を固体電解質体に配置して構成されると共に，上記被測定ガス中に含まれる特定ガス成分濃度を検出するセンサセルと，
上記被測定ガスに曝される被測定ガス側電極と，基準ガスに曝される基準ガス側電極との一対の電極を固体電解質体に配置して構成されると共に，当該一対の電極間に生じる起電力値により上記被測定ガスの空燃比を検出する空燃比検出セルとを有し，
上記酸素ポンプセルにおける上記被測定ガスに曝されるポンプ電極と上記空燃比検出セルにおける被測定ガス側電極，又は上記センサセルにおける基準ガス側電極と上記空燃比検出セルにおける基準ガス側電極との少なくともいずれか一方を共通化したことを特徴とする複合ガスセンサ素子にある（請求項１）。
【０００９】
本発明における複合ガスセンサ素子は，上記センサセルにより上記被測定ガス中に含まれる特定ガス成分濃度を検出すると共に上記空燃比検出セルにより上記被測定ガスの空燃比を検出する複数のガス濃度の検出機能を有している。
また，上記酸素ポンプセル，センサセル及び空燃比検出セルの各電極は，複合ガスセンサ素子の一部に端子部を設けて，外部回路に接続される。
【００１０】
上記酸素ポンプセルにおける被測定ガスに曝されるポンプ電極と上記空燃比検出セルにおける被測定ガス側電極との共通化を行った場合，この共通化を行った共通電極は，上記被測定ガス室に導入される前の被測定ガスに接触している。つまり，上記酸素ポンプセルにおける被測定ガスに曝されるポンプ電極と上記空燃比検出セルにおける被測定ガス側電極とは，それぞれ上記被測定ガスに接触させて用いる電極であるため，上記のような共通電極とすることができる。そのため，本来ならば，上記２つの電極を複合ガスセンサ素子の外部回路に接続するためには２つの端子部が必要になるところ，１つの端子部で外部回路に接続することができる。
【００１１】
また，上記センサセルにおける基準ガス側電極と上記空燃比検出セルにおける基準ガス側電極との共通化を行った場合，この共通化を行った共通電極は，上記基準ガスに接触している。つまり，上記センサセルにおける基準ガス側電極と上記空燃比検出セルにおける基準ガス側電極とは，それぞれ基準ガスに接触させて用いる電極であるため，上記のような共通電極とすることができる。そのため，本来ならば，上記２つの電極を複合ガスセンサ素子の外部回路に接続するためには２つの端子部が必要になるところ，１つの端子部で外部回路に接続することができる。
このように，本発明によれば，複合ガスセンサ素子における端子部の数を少なくすることができ，複合ガスセンサ素子の構造を簡単にすることができる。
【００１２】
第２の発明は，所定の拡散抵抗の下に被測定ガスを導入する被測定ガス室と，
該被測定ガス室に曝されるポンプ電極と，基準ガスに曝されるポンプ電極との一対の電極を固体電解質体に配置して構成されると共に，上記一対の電極の間に電圧を印加することにより，上記被測定ガス室における酸素濃度を調整する酸素ポンプセルと，
上記被測定ガス室に曝される被測定ガス室側電極と，基準ガスに曝される基準ガス側電極との一対の電極を固体電解質体に配置して構成されると共に，上記被測定ガス中に含まれる特定ガス成分濃度を検出するセンサセルと，
上記被測定ガスに曝される被測定ガス側電極と，基準ガスに曝される基準ガス側電極との一対の電極を固体電解質体に配置して構成されると共に，当該一対の電極間に生じる起電力値により上記被測定ガスの空燃比を検出する空燃比検出セルと，
上記被測定ガス室に曝される被測定ガス室側電極と基準ガスに曝される基準ガス側電極との一対の電極を固体電解質体に配置して構成されると共に，上記被測定ガス室における酸素濃度を検出する酸素モニタセルを有しており，
上記酸素ポンプセルにおける基準ガスに曝されるポンプ電極，上記センサセルにおける基準ガス側電極，上記空燃比検出セルにおける基準ガス側電極のうち少なくともいずれか１つと，上記酸素モニタセルにおける基準ガス側電極とを共通化したことを特徴とする複合ガスセンサ素子にある（請求項３）。
【００１３】
本発明における複合ガスセンサ素子も，上記発明と同様に上記センサセルにより上記被測定ガス中に含まれる特定ガス成分濃度を検出する機能と，上記空燃比検出セルにより上記被測定ガスの空燃比を検出する機能との複数のガス濃度の検出機能を有している。
また，上記酸素ポンプセル，センサセル及び空燃比検出セルの各電極は，複合ガスセンサ素子の一部に端子部を設けて，外部回路に接続される。
【００１４】
上記酸素ポンプセルにおける基準ガスに曝されるポンプ電極，上記センサセルにおける基準ガス側電極，上記空燃比検出セルにおける基準ガス側電極のうち，全てあるいはいずれか２つの共通化を行った場合，この共通化を行った共通電極は，上記各セルにおいてガス濃度の検出を行う際の基準となる基準ガスに接触している。つまり，上記酸素ポンプセルにおける基準ガスに曝されるポンプ電極，上記センサセルにおける基準ガス側電極，及び上記空燃比検出セルにおける基準ガス側電極は，それぞれ上記基準ガスに接触させて用いる電極であるため，上記のような共通電極とすることができる。
【００１５】
そのため，本来ならば，上記２つ又は３つの電極を複合ガスセンサ素子の外部回路に接続するためには２つ又は３つの端子部が必要になるところ，１つ又は２つの端子部で外部回路に接続することができる。
このように，本発明によっても，複合ガスセンサ素子における端子部の数を少なくすることができ，複合ガスセンサ素子の構造を簡単にすることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
上記複合ガスセンサ素子において，上記センサセルにおいて検出を行う特定ガス成分は，ＮＯｘ又は炭化水素として，上記センサセルはこれらの濃度を検出することができる。
また，上記複合センサ素子は，エンジンの空燃比制御，触媒制御又は劣化検知等を行うために使用することができる。
【００１７】
上記第１の発明においては，上記複合ガスセンサ素子は，上記被測定ガス室に曝される被測定ガス室側電極と基準ガスに曝される基準ガス側電極との一対の電極を固体電解質体に配置して構成されると共に上記被測定ガス室における酸素濃度を検出する酸素モニタセルを有しており，上記センサセルにおける基準ガス側電極又は上記空燃比検出セルにおける基準ガス側電極の少なくともいずれか一方と，上記酸素モニタセルにおける基準ガス側電極とを共通化することが好ましい（請求項２）。
【００１８】
この場合，上記酸素モニタセルによって，上記被測定ガス室における酸素濃度の検出を行い，この被測定ガス室における酸素濃度の監視を行うことができる。
また，この場合，上記センサセルにおける基準ガス側電極，上記空燃比検出セルにおける基準ガス側電極，及び上記酸素モニタセルにおける基準ガス側電極は，いずれも基準ガスに接触させる電極であるため，共通化した共通電極とすることができる。そのため，上記複合ガスセンサ素子が酸素モニタセルを有する場合でも，この複合ガスセンサ素子における端子部の数を少なくすることができ，複合ガスセンサ素子の構造を簡単にすることができる。
【００１９】
上記第２の発明においては，上記複合ガスセンサ素子は，上記被測定ガス室に曝される被測定ガス室側電極と基準ガスに曝される基準ガス側電極との一対の電極を固体電解質体に配置して構成されると共に上記被測定ガス室における酸素濃度を検出する酸素モニタセルを有しており，上記酸素ポンプセルにおける基準ガスに曝されるポンプ電極，上記センサセルにおける基準ガス側電極，上記空燃比検出セルにおける基準ガス側電極のうち少なくともいずれか１つと，上記酸素モニタセルにおける基準ガス側電極とを共通化している。
【００２０】
この場合，上記酸素モニタセルによって，上記被測定ガス室における酸素濃度の検出を行い，この被測定ガス室における酸素濃度の監視を行うことができる。
また，この場合，上記酸素ポンプセルにおける基準ガスに曝されるポンプ電極，上記センサセルにおける基準ガス側電極，上記空燃比検出セルにおける基準ガス側電極，及び上記酸素モニタセルにおける基準ガス側電極は，いずれも基準ガスに接触させる電極であるため，共通化した共通電極とすることができる。そのため，上記複合ガスセンサ素子が酸素モニタセルを有する場合でも，この複合ガスセンサ素子における端子部の数を少なくすることができ，複合ガスセンサ素子の構造を簡単にすることができる。
【００２１】
また，上記第１の発明及び第２の発明において，上記複合ガスセンサ素子が上記酸素モニタセルを有している場合には，上記酸素ポンプセルは，上記酸素モニタセルにおいて検出する酸素濃度が所望の値となるように，上記印加する電圧を制御するよう構成することができる（請求項４）。
この場合，上記酸素モニタセルにおいて検出する酸素濃度が所望の値となるように上記酸素ポンプセルに印加する電圧をフィードバック制御することができる。そのため，上記被測定ガス室における酸素濃度を容易に調整することができる。
【００２２】
また，上記第１の発明及び第２の発明において，上記複合ガスセンサ素子が上記酸素モニタセルを有している場合には，上記酸素モニタセルは，該酸素モニタセルに発生する起電力に基づいて，上記被測定ガス室における酸素濃度を検出するよう構成することができる（請求項５）。
この場合，上記起電力に基づいて，容易に上記被測定ガス室における酸素濃度を検出することができる。
【００２３】
また，上記第１の発明及び第２の発明において，上記複合ガスセンサ素子が上記酸素モニタセルを有している場合には，上記酸素モニタセルは，該酸素モニタセルに流れる酸素イオン電流に基づいて上記被測定ガス室における酸素濃度を検出するよう構成することができる（請求項６）。
この場合，上記酸素イオン電流に基づいて，容易に上記被測定ガス室における酸素濃度を検出することができる。
【００２４】
【実施例】
以下に，図面を用いて本発明の実施例につき説明する。
（実施例１）
図１に示すごとく，本例における複合ガスセンサ素子１は，酸素をポンピングして被測定ガス中の酸素濃度を調整する酸素ポンプセル２と，被測定ガス中の酸素濃度を検出する酸素モニタセル３と，被測定ガス中の特定ガス成分濃度を検出するセンサセル４と，被測定ガスの空燃比を検出する空燃比検出セル２０とを有している。
【００２５】
上記複合ガスセンサ素子１は，上記被測定ガスを所定の拡散抵抗の下に導入する被測定ガス室７を有している。
上記酸素ポンプセル２は，上記被測定ガス室７に曝されるポンプ電極２１と，上記被測定ガスに曝されるポンプ電極２２との一対の電極２１，２２を固体電解質体５に配置して構成される。そして，酸素ポンプセル２は，上記一対の電極２１，２２の間に電圧を印加することにより，上記被測定ガス室７における酸素濃度を調整する。
上記酸素モニタセル３は，上記被測定ガス室７に曝される被測定ガス室側電極３１と，基準ガスに曝される基準ガス側電極３２との一対の電極３１，３２を固体電解質体６に配置して構成される。そして，酸素モニタセル３は，上記被測定ガス室７における酸素濃度を検出する。
【００２６】
上記センサセル４は，上記被測定ガス室７に曝される被測定ガス室側電極４１と，基準ガスに曝される基準ガス側電極４２との一対の電極４１，４２を固体電解質体６に配置して構成される，そして，センサセル４は，上記被測定ガス室７における特定ガス成分濃度を検出する。
また，上記空燃比検出セル２０は，上記被測定ガスに曝される被測定ガス側電極２０１と，基準ガスに曝される基準ガス側電極２０２との一対の電極２０１，２０２により構成され，被測定ガスの空燃比を検出する。
【００２７】
また，本例においては，上記空燃比検出セル２０における被測定ガス側電極２０１と，上記酸素ポンプセル２における上記ポンプ電極２２とが共通化されている。
また，上記酸素モニタセル３における基準ガス側電極３２と，上記センサセル４における基準ガス側電極４２と，上記空燃比検出セル２０における基準ガス側電極２０２との３つの電極が共通化されている。
【００２８】
以下に，これを詳説する。
本例における複合ガスセンサ素子１においては，自動車のエンジンの排気ガスを被測定ガスとし，該被測定ガス中に含まれるＮＯｘ濃度を検出する。つまり，上記センサセル４において検出する特定ガスはＮＯｘとし，センサセル４は，上記被測定ガス室７におけるＮＯｘ濃度を検出する。
また，複合ガスセンサ素子１においては，酸素濃度に依存する起電力によりエンジンの燃焼室における空燃比を検出する。つまり，上記空燃比セル２０においては酸素濃度に依存した起電力が発生し，この起電力により空燃比の検出を行う。
【００２９】
また，本例の複合ガスセンサ素子１は，検出したＮＯｘ濃度及び空燃比を利用して，エンジンの燃焼制御を最適に行うために使用するものである。
図１に示すごとく，上記酸素ポンプセル２におけるポンプ電極２２と上記空燃比検出セル２０における被測定ガス側電極２０１とは，同一の極板上に共通電極２００として形成されている。
【００３０】
また，上記酸素モニタセル３における基準ガス側電極３２と上記センサセル４における基準ガス側電極４２と上記空燃比検出セル２０における基準ガス側電極２０２とは，同一の極板上に共通電極３００として形成されている。そして，この共通電極３００は，上記酸素モニタセル３における被測定ガス室側電極３１と上記センサセル４における被測定ガス室側電極４１とに対向して設けられている。
【００３１】
図２に本例における複合ガスセンサ素子１を分解した状態の斜視図を示す。
同図に示すごとく，複合ガスセンサ素子１は，酸素ポンプセル２を構成するためのシート状の固体電解質体５と，酸素モニタセル３及びセンサセル４を構成するためのシート状の固体電解質体６と，被測定ガス室７を形成するためのシート状のスペーサ８と，基準ガス室１００を形成するためのシート状のスペーサ９と，これらを加熱するセラミックヒータ１０とを，順次積層して構成されている。
【００３２】
また，酸素ポンプセル２を構成する固体電解質体５と，酸素モニタセル３及びセンサセル４を構成する固定電解質体６と，スペーサ８とは，それぞれジルコニアやセリア等の酸素イオン導電性を有する電解質よりなる。
また，上記スペーサ９はアルミナ等の絶縁材料よりなる。
【００３３】
被測定ガス室７は，被測定ガス存在空間１１０より被測定ガスが導入される空間であり，被測定ガス存在空間１１０に対して上流側に位置する第１被測定ガス室７１と，下流側に位置する第２被測定ガス室７２とに分割して形成してある。そして，第１被測定ガス室７１と第２被測定ガス室７２との間は，第１被測定ガス室７１から第２被測定ガス室７２に流れる被測定ガスを律速する絞り部７３が設けてある。
上記第１被測定ガス室７１，第２被測定ガス室７２及び絞り部７３は，それぞれ固体電解質体５と固体電解質体６との間に位置するスペーサ８の抜き穴８１，８２，８３により形成されている。
【００３４】
上記被測定ガス存在空間１１０から被測定ガス室７１には，ピンホール１１を介して被測定ガスを導入するようになっており，また，固体電解質体５における被測定ガス存在空間１１０側の表面には，上記ピンホール１１の開口部を覆うようにして多孔質保護層１２が設けてある。
本例においては，ピンホール１１と多孔質保護層１２とにより，被測定ガスの流動速度を律速し，被測定ガスを所定の拡散抵抗の下に被測定ガス室７に導入するようになっている。
【００３５】
上記ピンホール１１の大きさは，これを通過して第１被測定ガス室７１及び第２被測定ガス室７２に導入される被測定ガスの拡散速度が所定の速度となるように，適宜設定される。また，上記多孔質保護層１２は，酸素ポンプセル２における一対の電極２１，２２，酸素モニタセル３の電極３１及びセンサセル４の電極４１の被毒や，ピンホール１１に目詰まり等が発生することを防止する。この多孔質保護層１２は，多孔質アルミナ等より形成してある。
なお，上記被測定ガスを所定の拡散抵抗の下に被測定ガス室７に導入するための別の方法として，上記ピンホール１１を形成する位置に，上記多孔質アルミナ等よりなる多孔質体を設けてもよい。
【００３６】
基準ガス室１００には，上記酸素濃度，ＮＯｘ濃度及び空燃比の検出を行う際の基準となる基準ガスとして，略一定の酸素濃度をもつ大気が導入される。また，基準ガス室１００は，通路部１０１を介して基準ガスを導入する基準ガス空間１２０に連通されている。
また，基準ガス室１００は，固体電解質体６に対してスペーサ８が対向する側とは反対側に位置するスペーサ９において，このスペーサ９に設けた抜き穴９１により形成されており，通路部１０１は，スペーサ９に設けた溝９２により形成されている。
【００３７】
上記酸素ポンプセル２は，固体電解質体５と，この固体電解質体５を挟むように対向配置されたポンプ電極２１及びポンプ電極２２の一対の電極とにより構成される。
また，一方のポンプ電極２１は，固体電解質体５においてスペーサ８と対向する側の表面に，上記第１被測定ガス室７１に接して設けられている。また，他方のポンプ電極２２は，固体電解質体５において被測定ガス存在空間１１０と対向する側の表面に，上記多孔質保護層１２を介して被測定ガス存在空間１１０と接して設けられている。
【００３８】
上記酸素モニタセル３は，固体電解質体６と，この固体電解質体６を挟むように対向配置された被測定ガス室側電極３１及び基準ガス側電極３２の一対の電極とにより構成される。
また，被測定ガス室側電極３１は，固体電解質体６においてスペーサ８と対向する側の表面に，上記第１被測定ガス室７１に接して設けられている。また，基準ガス側電極３２は，固体電解質体６においてスペーサ９と対向する側の表面に，上記基準ガス室１００と接して設けられている。
【００３９】
上記センサセル４は，固体電解質体６と，この固体電解質体６を挟むように対向配置された被測定ガス室側電極４１及び基準ガス側電極４２の一対の電極とにより構成される。
また，被測定ガス室側電極４１は，固体電解質体６においてスペーサ８と対向する側の表面に，上記第２被測定ガス室７２に接して設けられている。また，基準ガス側電極４２は，固体電解質体６においてスペーサ９と対向する側の表面に，上記基準ガス室１００と接して設けられている。
【００４０】
上記センサセル４の被測定ガス室側電極４１は，上記被測定ガス中におけるＮＯｘの分解を促進させるために，ＮＯｘ分解活性を有していることが好ましい。
本例においては，センサセル４の被測定ガス室側電極４１は，Ｐｔ及びＲｈを金属主成分とする多孔質サーメット電極としている。この際，この多孔質サーメット電極の金属成分におけるＲｈの含有量は１０〜５０重量％程度とすることが好ましい。本例においては，これにより，ＮＯｘ分解活性が高い電極を構成することができる。
【００４１】
上記酸素ポンプセル２のポンプ電極２１及び酸素モニタセル３の被測定ガス室側電極３１は，上記被測定ガス中におけるＮＯｘの分解を抑制するために，上記センサセル４の被測定ガス室側電極４１に比べて，ＮＯｘ分解活性の低い電極を用いることが好ましい。
本例においては，酸素ポンプセル２のポンプ電極２１と酸素モニタセル３の被測定ガス室側電極３１は，Ｐｔ及びＡｕを金属主成分とする多孔質サーメット電極としている。この際，この多孔質サーメット電極の金属成分におけるＡｕの含有量は１〜１０重量％程度とすることが好ましい。本例においては，これにより，ＮＯｘ分解活性がほとんどない電極を構成することができる。
【００４２】
また，上記酸素ポンプセル２のポンプ電極２２には，Ｐｔを含有する多孔質サーメット電極を用いる。
また，上記酸素モニタセル３の基準ガス側電極３２と上記センサセル４の基準ガス側電極４２と上記空燃比検出セル２０の基準ガス側電極２０２との３つの電極を共通化した共通電極３００にも，Ｐｔを含有する多孔質サーメット電極を用いる。
【００４３】
また，図２に示すごとく，上記ポンプ電極２１にはリード部２３が，上記共通電極２００にはリード部２４が，上記被測定ガス室側電極３１，４１にはそれぞれリード部３３，４３が，共通電極３００にはリード部３４（４４）が一体的に形成されている。
また，固体電解質体５又は固体電解質体６と上記リード部２３，２４，３３，３４（４４），４３との間には，アルミナ等の絶縁層（図示略）を形成しておくことが好ましい。
【００４４】
上記セラミックヒータ１０は，アルミナ製のヒータシート１３の表面に通電発熱するヒータ電極１４をパターニング形成し，このヒータ電極１４を形成した表面に絶縁性を有するアルミナ層１５を重ね合わせて構成する。
また，このセラミックヒータ１０は，上記スペーサ９に対して，このスペーサ９において固体電解質体６に対向しない側の表面に対向して配置されている。
上記ヒータ電極１４には，Ｐｔとアルミナ等のセラミックスとのサーメットが用いられている。また，セラミックヒータ１０は，ヒータ電極１４を外部からの給電により発熱させ，上記酸素ポンプセル２，酸素モニタセル３，センサセル４及び空燃比検出セル２０をガス濃度の検出に適した活性化温度まで加熱するものである。
【００４５】
また，上記酸素ポンプセル２における一対の電極２１，２２，上記酸素モニタセル３の一対の電極３１，３２，上記センサセル４の一対の電極４１，４２，及びヒータ電極１４における一対の端部１４１，１４２は，それぞれ上記各リード部２３，２４，３３，３４（４４），４３及びスルーホール１３０を介して，複合ガスセンサ素子１の両側面（固体電解質体５の外側表面及びヒータシート１３の外側表面）に設けられた端子部であるセンサ端子１４０に接続されている。
そして，このセンサ端子１４０にはコネクタを介して圧着やろう付け等によりリード線が接続され，外部回路と，上記各セル２，３，４又はセラミックヒータ１０との間で電気信号を入出力させることが可能となっている（図示略）。
【００４６】
固体電解質体５，６，スペーサ８，９，ヒータシート１３及びアルミナ層１５は，ドクターブレード法や押し出し成形法等により，シート形状に成形することができる。
また，上記の各電極２１，２２，３１，３２，４１，４２，各リード部２３，２４，３３，３４，４３，４４，及びセンサ端子１４０は，スクリーン印刷等により形成することができる。
また，上記固体電解質体５，６，スペーサ８，９，多孔質保護層１２，ヒータシート１３及びアルミナ層１５は，積層して焼成することにより一体化することができる。
【００４７】
また，図１に示すごとく，上記酸素ポンプセル２には，該酸素ポンプセル２に電圧を印加するための電源２５を有する酸素ポンプセル回路２４０が設けられている。同図において，電源２５は，被測定ガス存在空間１１０側のポンプ電極２２がプラス極として記載してあるが，実際には被測定ガス室７における酸素濃度を調整する際に，プラス極とマイナス極とが入れ替わることもある。
【００４８】
また，上記酸素モニタセル３には，該酸素モニタセル３における起電力である電圧を検出するための電圧検出手段３７を有する酸素モニタセル回路３４０が設けてある。
また，上記センサセル４には，該センサセル４に電圧を印加するための電源４５とセンサセル４に流れる酸素イオン電流を検出するための電流検出手段４６とを有するセンサセル回路４４０が設けてある。
【００４９】
また，上記共通電極２００と上記共通電極３００との間には，空燃比検出セル２０における起電力を検出するための電圧検出手段２０７を有する空燃比検出セル回路２０４が設けてある。
また，図示は省略するが，上記各電源２５，４５，各電圧検出手段３７，２０７及び電流検出手段４６は，外部回路に接続されており，この外部回路における演算手段によって，各制御及び演算が行われる。
また，上記電圧検出手段３７によって検出した電圧値は，制御信号線２５０を介して上記外部回路に送信され，この外部回路における演算手段は制御信号線２５０を介して上記電源２５の電圧を制御するようになっている。
【００５０】
次に，上記複合ガスセンサ素子１において，ＮＯｘ濃度及び空燃比を検出する方法について詳説する。
本例の複合ガスセンサ素子１により，ＮＯｘ濃度の検出を行うに当っては，エンジンの排気ガスである被測定ガスが，多孔質保護層１２及びピンホール１１を通過して第１被測定ガス室７１に導入される。
【００５１】
そして，上記酸素ポンプセル２における一対のポンプ電極２１，２２の間に電圧を印加して，上記被測定ガス室７１と上記被測定ガス存在空間１１０との間で酸素を入出させるポンピング作用により，第１被測定ガス室７１に導入された被測定ガス中に含まれる酸素濃度を調整する。
【００５２】
上記ポンピング作用による酸素濃度の調整は，具体的には以下のようにして行われる。
即ち，一対のポンプ電極２１，２２に，被測定ガス存在空間１１０側のポンプ電極２２がプラス極となるように電圧を印加すると，上記第１被測定ガス室７１側のポンプ電極２１上で被測定ガス中の酸素が還元されて酸素イオンとなる。そして，この酸素イオンが上記ポンプ電極２１から上記ポンプ電極２２に向けて流れることにより，上記第１被測定ガス室７１における酸素が排出され，第１被測定ガス室７１における酸素濃度が低下する。
【００５３】
逆に，第１被測定ガス室７１側のポンプ電極２１がプラス極となるように電圧を印加すると，被測定ガス存在空間１１０側のポンプ電極２２上で被測定ガス中の酸素や水蒸気が還元されて酸素イオンとなる。そして，この酸素イオンが上記ポンプ電極２２から上記ポンプ電極２１に向けて流れることにより，上記第１被測定ガス室７１に酸素が取り込まれ，第１被測定ガス室７１における酸素濃度が上昇する。
このような，ポンピング作用を利用して，上記酸素ポンプセル２は，上記被測定ガス中の酸素濃度を，被測定ガスに含まれるＮＯｘ濃度を検出するのに適した濃度に調整する。
【００５４】
上記酸素モニタセル３においては，被測定ガス室側電極３１と基準ガス側電極３２とに接触するガス同士の間の酸素濃度の違いにより発生する起電力を検出する。即ち，この起電力は，酸素濃度が高い電極から低い電極に向けて酸素イオン電流が流れようとすることにより発生するもので，上記基準ガス側電極３２は酸素濃度が略一定の基準ガスに接触しているため，被測定ガス室側３１に接触する被測定ガスにおける酸素濃度の変化が起電力の変化として検出される。
【００５５】
そして，上記酸素モニタセル３における起電力が一定の値になるように，上記酸素ポンプセル２に印加する電圧をフィードバック制御することにより，容易に上記被測定ガス中に含まれる酸素濃度を調整することができる。例えば，酸素モニタセル３に発生する起電力が０．３Ｖとなるように，上記酸素ポンプセル２に印加する電圧を変化させることができる。
【００５６】
また，上記センサセル４における被測定ガス室側電極４１と基準ガス側電極４２とによる一対の電極との間には，限界電流特性を示す値の電圧を印加する。
例えば，上記センサセル４に印加する電圧の値としては，限界電流特性を示す値として０．４０Ｖとすることができる。
【００５７】
上記センサセル４における被測定ガス室側電極４１は，上記のごとくＮＯｘ分解活性が高い性質を有している。そのため，上記被測定ガス室側電極４１においては，被測定ガス中に含まれるＮＯｘが分解反応を起こす。
具体的には，例えば，図１に示すごとく，上記基準ガス室１００に接する基準ガス側電極４２がプラス極となるように電圧を印加すると，上記第２被測定ガス室７２に接する被測定ガス室側電極４１上で被測定ガス中のＮＯｘや酸素が還元されて酸素イオンとなり，この酸素イオンが被測定ガス室側電極４１から基準ガス側電極４２に向けて流れる。
【００５８】
本実施例では，酸素モニタセル３と酸素ポンプセル２とにより，被測定ガス室７内の酸素濃度を一定に制御している。したがって，ＮＯｘの分解反応の量に応じて，上記酸素イオン電流の大きさが変化し，これによりＮＯｘ濃度を検出することができる。
【００５９】
また，上記空燃比検出セル２０においては，被測定ガス側電極２０１と基準ガス側電極２０２とに接触するガス同士の間の酸素濃度の違いにより発生する起電力を検出する。このとき，上記基準ガス側電極２０２は酸素濃度が略一定の基準ガスに接触しているため，上記被測定ガス室７に導入される前の被測定ガスにおける酸素濃度の変化が起電力の変化として検出される。そして，この起電力の値から，空燃比を検出することができる。
【００６０】
本例においては，上記のごとく，上記空燃比検出セル２０における被測定ガス側電極２０１と，上記酸素ポンプセル２における上記ポンプ電極２２とが共通電極２００により共通化されている。また，上記酸素モニタセル３における基準ガス側電極３２と，上記センサセル４における基準ガス側電極４２と，上記空燃比検出セル２０における基準ガス側電極２０２との３つの電極が共通電極３００により共通化されている。
【００６１】
上記空燃比検出セル２０における被測定ガス側電極２０１と，上記酸素ポンプセル２における上記ポンプ電極２２とは，ともに上記被測定ガス室７に導入される前の被測定ガスに曝される電極であるため，共通化することができる。そのため，本来ならば，上記２つの電極２０１，２２を複合ガスセンサ素子１の外部回路に接続するためには２つのセンサ端子１４０が必要になるところ，１つのセンサ端子１４０で外部回路に接続することができる。
【００６２】
また，上記酸素モニタセル３における基準ガス側電極３２と，上記センサセル４における基準ガス側電極４２と，上記空燃比検出セル２０における基準ガス側電極２０２とは，いずれも上記基準ガス室に曝される電極であるため，共通化することができる。そのため，本来ならば，上記３つの電極３２，４２，２０２を複合ガスセンサ素子１の外部回路に接続するためには３つのセンサ端子１４０が必要になるところ，１つのセンサ端子１４０で外部回路に接続することができる。
それ故，本例における複合ガスセンサ素子１によれば，センサ端子１４０を３つ少なくすることができ，複合ガスセンサ素子１の構造を簡単にすることができる。
【００６３】
なお，本例においては，上記特定ガスはＮＯｘとしセンサセル４においてはＮＯｘ濃度を検出したが，これに対し上記特定ガスは炭化水素としセンサセル４においては炭化水素濃度を検出することもできる。
また，上記ポンプ電極２２と上記被測定ガス側電極２０１とは，同一の極板上に共通電極２００として形成するのではなく，図３，図４に示すごとく，それぞれ別々の極板上に設けて，上記リード部２４によって共通化されていてもよい。
また，上記基準ガス側電極３２と上記基準ガス側電極４２と上記基準ガス側電極２０２とは，同一の極板上に共通電極３００として形成するのではなく，図３，図４に示すごとく，それぞれ別々の極板上に設けて，上記リード部３４によって共通化されていてもよい。
【００６４】
（実施例２）
図５，図６に示すごとく，本例においては，上記酸素モニタセル３が，起電力により酸素濃度を検出するのではなく，酸素イオン電流により酸素濃度を検出する。
即ち，本例においては，上記酸素モニタセル３には，該酸素モニタセル３に電圧を印加するための電源３５と酸素モニタセル３に流れる酸素イオン電流を検出するための電流検出手段３６とを有する酸素モニタセル回路３４０が設けてある。
【００６５】
また，上記電流検出手段３６によって検出した電流値は，制御信号線２５０を介して上記外部回路（図示略）に送信され，この外部回路における演算手段は制御信号線２５０を介して上記電源２５の電圧を制御するようになっている。
そして，本例においては，上記酸素モニタセル３における酸素イオン電流が一定の値になるように，上記酸素ポンプセル２に印加する電圧をフィードバック制御することにより，容易に上記被測定ガス中に含まれる酸素濃度を調整することができる。
【００６６】
また，本例においては，上記酸素モニタセル３が，上記第１被測定ガス室７１に接して設けてあるのではなく，上記第２被測定ガス室７２に接して設けてある。そして，酸素モニタセル３とセンサセル４とは，上記被測定ガスの流れに対して左右に，即ち並列に配置してある。
その他は上記実施例１と同様である。
【００６７】
本例においては，上記第１被測定ガス室７１において酸素濃度が調整された被測定ガスが，上記絞り部７３を通って第２被測定ガス室７２に流れ，上記酸素モニタセル３とセンサセル４とに同等の条件で接触する。そのため，上記第１被測定ガス室７１内における被測定ガスの酸素濃度に濃度分布があっても（第１被測定ガス室７１内の場所によって濃度が異なっていても），上記絞り部７３を介して第２被測定ガス室７２に導くことにより，この濃度分布がＮＯｘ濃度の検出に与える影響を少なくすることができる。そのため，ＮＯｘ濃度の検出精度が正確になる。
その他，上記実施例１と同様の作用効果を得ることができる。
【００６８】
（実施例３）
図７に示すごとく，本例においては，上記酸素モニタセル３における基準ガス側電極３２と上記センサセル４における基準ガス側電極４２と上記空燃比検出セル２０における基準ガス側電極２０２とは，同一の極板上に共通電極３００として形成されているが，上記空燃比検出セル２０における被測定ガス側電極２０１は，上記酸素ポンプセル２におけるポンプ電極２２とは共通化されておらず，別の位置に設けてある。
【００６９】
即ち，本例においては，上記スペーサ９において，被測定ガスを導入する被測定ガス空間１１１が形成してある。この被測定ガス空間１１１は，スペーサ９の抜き穴によって形成されている。
また，空燃比検出セル２０における被測定ガス側電極２０１は，被測定ガスを導入する被測定ガス空間１１１と接するように上記固体電解質体６において上記スペーサ９と対向する側の表面に設けてある。また，被測定ガス側電極２０１の表面には，多孔質保護層１２が設けてあり，本例におけるスペーサ８はアルミナ等の絶縁材料よりなる。
その他は上記実施例２と同様である。
【００７０】
本例においては，上記スペーサ８を絶縁材料で構成しているため，酸素ポンプセル２とその他のセル（酸素モニタセル３，センサセル４及び空燃比検出セル２０）との間に発生するリーク電流が少なくなる。
また，本例においては，上記空燃比セル２０における被測定ガス側電極２０１は共通化せず，単独で配置している。つまり，この被測定ガス側電極２０１は酸素ポンプセル２におけるポンプ電極２２とは別の電極としている。そのため，空燃比検出セル２０の出力が酸素ポンプセル２におけるポンピング作用によるポンプ電流の影響をほとんど受けない。そのため，上記各ガス濃度（ＮＯｘ濃度及び空燃比）の検出精度が正確になる。
【００７１】
（実施例４）
図８に示すごとく，本例においては，上記酸素ポンプセル２における一方のポンプ電極２２を，上記被測定ガス存在空間１１０に接するように配置するのではなく，基準ガスに接するように配置している。
本例においては，上記酸素ポンプセル２は，上記固体電解質体６に配置されており，一方のポンプ電極２１が第１被測定ガス室７１に接するように配置され，他方のポンプ電極２２が上記スペーサ９に形成した基準ガス室１００に接するように配置されている。
【００７２】
また，本例においては，上記固体電解質体５において上記被測定ガス存在空間１１０に接する側に新たなスペーサ８０１及び隔壁８０２を設けている。そして，スペーサ８０１に設けた抜き穴と隔壁８０２とにより，基準ガスを導入する基準ガス室１０２を設けている。そして，上記共通電極３００は，上記基準ガス室１０２に接するように配置している。
また，本例においては，上記酸素モニタセル３及びセンサセル４を固体電解質体５に配置している。
【００７３】
また，上記空燃比検出セル２０における被測定ガス側電極２０１は，上記固体電解質体５において被測定ガス存在空間１１０と対向する側の表面に，上記多孔質保護層１２を介して被測定ガス存在空間１１０と接して設けられている。また，本例におけるスペーサ８はアルミナ等の絶縁材料よりなる。
その他は上記実施例２と同様である。
【００７４】
本例においては，上記酸素ポンプセル２は，上記被測定ガス室７と上記基準ガス室１００との間で，酸素を入出させて，被測定ガス室７における酸素濃度を調整することができる。そのため，上記被測定ガス存在空間１１０より供給される被測定ガス中において，酸素や水等の酸素源がない場合でも，上記基準ガス室１００に導入される基準ガスに存在する酸素を利用して，上記被測定ガス室７における酸素濃度の調整を行うことができる。
【００７５】
なお，本例においても，上記スペーサ８を絶縁材料で構成しているため，酸素ポンプセル２とその他のセル（酸素モニタセル３，センサセル４及び空燃比検出セル２０）との間に発生するリーク電流が少なくなる。
その他，上記実施例２と同様の作用効果を得ることができる。
【００７６】
（実施例５）
図９に示すごとく，本例においては，複合ガスセンサ素子１が上記酸素モニタセル３を有しておらず，上記酸素ポンプセル２における酸素濃度の調整は，この酸素ポンプセル２の限界電流特性を利用して行う。
その他は上記実施例４と同様である。
【００７７】
図１０は，酸素ポンプセル２の限界電流特性を示す図で，横軸に酸素ポンプセル２に印加した電圧であるポンプセル電圧Ｖｐ（Ｖ）をとり，縦軸に酸素ポンプセル２に流れる電流であるポンプセル電流Ｉｐ（ｍＡ）をとったものである。そして，同図は，上記被測定ガス存在空間１１０における酸素濃度を０〜２０％まで変化させたときのＶｐとＩｐとの関係を示すものである。
【００７８】
同図に示すごとく，Ｖｐが所定の範囲においてはＩｐが一定（限界電流域）になり，このときのＩｐは上記酸素濃度に対応している（酸素濃度が増加すると，これに合わせてポンプセル電流Ｉｐも増加している）ことがわかる。
この特性を利用して，ＶｐとＩｐとの値が，図１０のＶ０で示される線上を辿るようにＶｐを制御することにより，上記被測定ガス室７内の酸素濃度を所定の低濃度に制御することができる。
【００７９】
本例によれば，上記酸素モニタセル３を設けることなく上記被測定ガス室７内の酸素濃度を制御することができる。そのため，本例における複合ガスセンサ素子１は，その構造が簡単である。
その他，上記実施例４と同様の作用効果を得ることができる。
【００８０】
（実施例６）
図１１に示すごとく，本例は，上記実施例４の複合ガスセンサ素子１において，上記空燃比検出セル２０における基準ガス側電極２０２を上記共通電極３００として形成するのではなく，上記酸素ポンプセル２における基準ガスに曝されるポンプ電極２２と共通化した例である。そして，空燃比検出セル２０における基準ガス側電極２０２と，酸素ポンプセル２における基準ガスに曝されるポンプ電極２２とにより，共通電極４００を形成している。その他は上記実施例４と同様である。
本例においても，上記実施例４と同様の作用効果を得ることができる。
【００８１】
（実施例７）
図１２に示すごとく，本例においては，上記酸素ポンプセル２における一方のポンプ電極２１が上記被測定ガス室７に曝されており，他方のポンプ電極２２が上記基準ガス室１００に曝されている。そして，本例においては，上記酸素ポンプセル２における基準ガス室１００に曝されるポンプ電極２２と，上記酸素モニタセル３における基準ガス側電極３２と，上記センサセル４における基準ガス側電極４２と，上記空燃比検出セル２０における基準ガス側電極２０２との４つの電極を共通化して，共通電極５００を形成している。その他は上記実施例４と同様である。
【００８２】
本例においては，上記共通電極５００により，本来ならば，上記４つの電極２２，３２，４２，２０２を複合ガスセンサ素子１の外部回路に接続するためには４つのセンサ端子１４０が必要になるところ，１つのセンサ端子１４０で外部回路に接続することができる。
それ故，本例における複合ガスセンサ素子１によれば，センサ端子１４０を３つ少なくすることができ，複合ガスセンサ素子１の構造を簡単にすることができる。
その他，上記実施例４と同様の作用効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１における，複合ガスセンサ素子の構成を示す断面説明図。
【図２】実施例１における，複合ガスセンサ素子を分解した状態を示す斜視図。
【図３】実施例１における，他の複合ガスセンサ素子の構成を示す断面説明図。
【図４】実施例１における，他の複合ガスセンサ素子を分解した状態を示す斜視図。
【図５】実施例２における，複合ガスセンサ素子の構成を示す断面説明図。
【図６】実施例２における，複合ガスセンサ素子を分解した状態を示す斜視図。
【図７】実施例３における，複合ガスセンサ素子の構成を示す断面説明図。
【図８】実施例４における，複合ガスセンサ素子の構成を示す断面説明図。
【図９】実施例５における，複合ガスセンサ素子の構成を示す断面説明図。
【図１０】実施例５における，限界電流特性を説明するグラフ。
【図１１】実施例６における，複合ガスセンサ素子の構成を示す断面説明図。
【図１２】実施例７における，複合ガスセンサ素子の構成を示す断面説明図。
【図１３】従来例における，ガスセンサ素子の構成を示す断面説明図。
【符号の説明】
１．．．複合ガスセンサ素子，
１０．．．セラミックヒータ，
１００．．．基準ガス室，
２．．．酸素ポンプセル，
２１，２２．．．ポンプ電極，
２０．．．空燃比検出セル，
２０１．．．被測定ガス側電極，
２０２．．．基準ガス側電極，
３．．．酸素モニタセル，
３１．．．被測定ガス室側電極，
３２．．．基準ガス側電極，
４．．．センサセル，
４１．．．被測定ガス室側電極，
４２．．．基準ガス側電極，
５，６．．．固体電解質体，
７．．．被測定ガス室，
８，９．．．スペーサ，
【図１】
0004101501.tif 000002
【図２】
0004101501.tif 000003
【図３】
0004101501.tif 000004
【図４】
0004101501.tif 000005
【図５】
0004101501.tif 000006
【図６】
0004101501.tif 000007
【図７】
0004101501.tif 000008
【図８】
0004101501.tif 000009
【図９】
0004101501.tif 000010
【図１０】
0004101501.tif 000011
【図１１】
0004101501.tif 000012
【図１２】
0004101501.tif 000013
【図１３】
0004101501.tif 000014