(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の光学膜が積層されて成る多層膜光学フィルタの光学膜厚を設計する膜厚設計装置であって、
予め設定された利得等化用波長帯域における所定の波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する利得等化用波長帯域における目標となる波長特性値間の第１の誤差を算出する手段と、
前記利得等化用波長帯域以外の励起光波長帯域における波長特性を当該各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標となる波長特性値間の第２の誤差を算出する手段と、
算出された第１および第２の誤差がそれぞれ小さくなるように、前記各光学膜の光学膜厚を、所定の光学膜厚を初期値とするフィッティングを用いて設計する手段と
を備えたことを特徴とする多層膜光学フィルタの膜厚設計装置。
【請求項２】
複数の光学膜が積層されて成る多層膜光学フィルタにおける各光学層の光学膜厚を設計する膜厚設計装置であって、
予め設定された励起光波長帯域以外の所定の波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する所定の波長帯域における目標となる波長特性値間の第１の誤差を算出する手段と、
前記励起光波長帯域における目標となる波長特性値に対応する透過率が当該励起光波長帯域において最低限必要な透過率よりも小さい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における波長特性値間の第２の誤差を算出する手段と、
算出された第１および第２の誤差がそれぞれ小さくなるように、前記各光学膜の光学膜厚を、所定の光学膜厚を初期値とするフィッティングを用いて設計する手段と
を備えたことを特徴とする多層膜光学フィルタの膜厚設計装置。
【請求項３】
前記設計手段は、前記励起光波長帯域における目標波長特性値に対応する透過率が当該励起光波長帯域において最低限必要な透過率よりも大きい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性値間の第２の誤差を０とする手段を備えた
ことを特徴とする請求項２記載の多層膜光学フィルタの膜厚設計装置。
【請求項４】
複数の光学膜が積層されて成る多層膜光学フィルタにおける各光学層の光学膜厚を設計する膜厚設計装置であって、
予め設定された励起光波長帯域以外の所定の波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する所定の波長帯域における目標となる波長特性値間の第１の誤差を算出する手段と、
前記励起光波長帯域における目標となる波長特性に対応する透過率が当該励起光波長帯域において許容される最大透過率よりも大きい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性値間の第２の誤差を算出する手段と、
算出された第１および第２の誤差がそれぞれ小さくなるように、前記各光学膜の光学膜厚を、所定の光学膜厚を初期値とするフィッティングを用いて設計する設計手段と
を備えたことを特徴とする多層膜光学フィルタの膜厚設計装置。
【請求項５】
前記設計手段は、前記励起光波長帯域における目標波長特性値に対応する透過率が当該励起光波長帯域において許容される最大透過率よりも小さい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性間の第２の誤差を０とする手段を備えた
ことを特徴とする請求項４記載の多層膜光学フィルタの膜厚設計装置。
【請求項６】
複数の光学膜が積層されて成る多層膜光学フィルタにおける各光学層の光学膜厚を設計するためのコンピュータが実行可能なプログラムであって、
コンピュータを、予め設定された利得等化用波長帯域における所定の波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する利得等化用波長帯域における目標となる波長特性値間の第１の誤差を算出する手段と、
前記利得等化用波長帯域以外の励起光波長帯域における波長特性を当該各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標となる波長特性値間の第２の誤差を算出する手段と、
算出された第１および第２の誤差がそれぞれ小さくなるように、前記各光学膜の光学膜厚を、所定の光学膜厚を初期値とするフィッティングを用いて設計する手段として機能させることを特徴とするプログラム。
【請求項７】
複数の光学膜が積層されて成る多層膜光学フィルタにおける各光学層の光学膜厚を設計するためのコンピュータが実行可能なプログラムであって、
コンピュータを、予め設定された励起光波長帯域以外の所定の波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する所定の波長帯域における目標となる波長特性値間の第１の誤差を算出する手段と、
前記励起光波長帯域における目標となる波長特性値に対応する透過率が当該励起光波長帯域において最低限必要な透過率よりも小さい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における波長特性値間の第２の誤差を算出する手段と、
算出された第１および第２の誤差がそれぞれ小さくなるように、前記各光学膜の光学膜厚を、所定の光学膜厚を初期値とするフィッティングを用いて設計する手段として機能させることを特徴とするプログラム。
【請求項８】
前記設計手段は、前記励起光波長帯域における目標波長特性値に対応する透過率が当該励起光波長帯域において最低限必要な透過率よりも大きい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性値間の第２の誤差を０とする手段を備えた
ことを特徴とする請求項７記載のプログラム。
【請求項９】
複数の光学膜が積層されて成る多層膜光学フィルタにおける各光学層の光学膜厚を設計するためのコンピュータが実行可能なプログラムであって、
コンピュータを、予め設定された励起光波長帯域以外の所定の波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する所定の波長帯域における目標となる波長特性値間の第１の誤差を算出する手段と、
前記励起光波長帯域における目標となる波長特性に対応する透過率が当該励起光波長帯域において許容される最大透過率よりも大きい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性値間の第２の誤差を算出する手段と、
算出された第１および第２の誤差がそれぞれ小さくなるように、前記各光学膜の光学膜厚を、所定の光学膜厚を初期値とするフィッティングを用いて設計する手段として機能させることを特徴とするプログラム。
【請求項１０】
前記設計手段は、前記励起光波長帯域における目標波長特性値に対応する透過率が当該励起光波長帯域において許容される最大透過率よりも小さい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性間の第２の誤差を０とする手段を備えた
ことを特徴とする請求項９記載のプログラム。
【請求項１１】
複数の光学膜が積層されて成る多層膜光学フィルタにおける各光学層の光学膜厚を設計する膜厚設計方法であって、
予め設定された利得等化用波長帯域における所定の波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する利得等化用波長帯域における目標となる波長特性値間の第１の誤差を算出するステップと、
前記利得等化用波長帯域以外の励起光波長帯域における波長特性を当該各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標となる波長特性値間の第２の誤差を算出するステップと、
算出された第１および第２の誤差がそれぞれ小さくなるように、前記各光学膜の光学膜厚を、所定の光学膜厚を初期値とするフィッティングを用いて設計するステップと
を備えたことを特徴とする多層膜光学フィルタの膜厚設計方法。
【請求項１２】
複数の光学膜が積層されて成る多層膜光学フィルタにおける各光学層の光学膜厚を設計する膜厚設計方法であって、
予め設定された励起光波長帯域以外の所定の波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する所定の波長帯域における目標となる波長特性値間の第１の誤差を算出するステップと、
前記励起光波長帯域における目標となる波長特性値に対応する透過率が当該励起光波長帯域において最低限必要な透過率よりも小さい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性間の第２の誤差を算出するステップと、
算出された第１および第２の誤差がそれぞれ小さくなるように、前記各光学膜の光学膜厚を、所定の光学膜厚を初期値とするフィッティングを用いて設計するステップと
を備えたことを特徴とする多層膜光学フィルタの膜厚設計方法。
【請求項１３】
前記設計ステップは、前記励起光波長帯域における目標波長特性値に対応する透過率が当該励起光波長帯域において最低限必要な透過率よりも大きい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性値間の第２の誤差を０とするステップを備えた
ことを特徴とする請求項１２記載の多層膜光学フィルタの膜厚設計方法。
【請求項１４】
複数の光学膜が積層されて成る多層膜光学フィルタにおける各光学層の光学膜厚を設計する膜厚設計方法であって、
予め設定された励起光波長帯域以外の所定の波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する所定の波長帯域における目標となる波長特性値間の第１の誤差を算出するステップと、
前記励起光波長帯域における目標となる波長特性に対応する透過率が当該励起光波長帯域において許容される最大透過率よりも大きい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性値間の第２の誤差を算出するステップと、
算出された第１および第２の誤差がそれぞれ小さくなるように、前記各光学膜の光学膜厚を、所定の光学膜厚を初期値とするフィッティングを用いて設計するステップと
を備えたことを特徴とする多層膜光学フィルタの膜厚設計方法。
【請求項１５】
前記設計ステップは、前記励起光波長帯域における目標波長特性値に対応する透過率が当該励起光波長帯域において許容される最大透過率よりも小さい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性間の第２の誤差を０とするステップを備えた
ことを特徴とする請求項１４記載の多層膜光学フィルタの膜厚設計方法。
【請求項１６】

希土類元素がドープされたファイバを有し、信号光を増幅するため、光伝送路上に設けた希土類元素ドープファイバと、
前記希土類元素ドープファイバを励起させるための励起光を発生する励起光源と、
前記光伝送路上に設け、前記励起光源により発生された励起光を前記信号光と合波させ、当該励起光を前記希土類元素ドープファイバに対して出射する合波器と、
前記光伝送路上において希土類元素ドープファイバよりも上流側又は下流側に設けた多層膜光学フィルタと
を備え、
前記多層膜光学フィルタは、請求項１〜５のいずれか１項に記載の膜厚設計装置によって形成されているか、又は請求項１１〜１５のいずれか１項に記載の膜厚設計方法によって設計され形成されている
ことを特徴とする光増幅器。
【請求項１７】
互いに異なる波長を有する複数の信号光を伝送する波長多重光伝送システムであって、
前記複数の信号光を光伝送路に対して送信する光送信器と、
前記光送信器から送信され前記光伝送路を介して伝送される複数の信号光を一括して増幅する請求項１６記載の光増幅器と、
前記光増幅器を介して増幅され前記光伝送路を介して伝送される複数の信号光を受信する光受信器と
備えたことを特徴とする波長多重光伝送システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信に使用される多層膜光学フィルタの膜厚設計装置、プログラム、多層膜光学フィルタの膜厚設計方法、光増幅器、及び波長多重光伝送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ブロードバンド時代の到来により、データ伝送量のさらなる増加が求められている現在、複数の異なる波長の光信号を多重化して伝送するＷＤＭ（Wavelength Division Multiplexing：波長分割多重）通信方式に大きな期待が寄せられている。
【０００３】
このＷＤＭ通信方式におけるキーデバイスの１つに、上記多重化光信号を、光電変換を行うことなく一括増幅可能なＥＤＦＡ（Erbium Doped Fiber Amplifier）等の光増幅器が開発されている。
【０００４】
ところで、ＷＤＭ伝送システムにおいては、伝送される各波長の信号光にレベル偏差が生じていると、光信号が劣化して伝送距離や伝送帯域を低減させる恐れがある。したがって、ＥＤＦＡ等の光増幅器を用いる場合には、その出力において伝送波長帯域における利得特性を平坦化（等化）することが要求されている。
【０００５】
この点、光増幅器における利得特性は、伝送波長帯域において波長依存性を有している。したがって、この波長依存性を有する利得特性（利得波長依存性）を平坦化するために、上記伝送波長帯域において光増幅器の利得特性と相反する光透過損失特性を有する利得等化フィルタ（ＧＦＦ; Gain Flattening Filter）を光増幅器に組み合わせることにより、光増幅器の利得特性を等化している（図２１参照）。
【０００６】
このＧＦＦとしては、ファイバグレーティング、エタロンフィルタ、多層膜フィルタ等が用いられるが、量産向けの光増幅器には、量産性に優れた多層膜光学ルタ（以下、多層膜フィルタとも記載する）が用いられる。
【０００７】
なお、本明細書において、“多層”とは、複数層を表す意味として用いている。
【０００８】
図２２は、上述した多層膜フィルタの設計目標（ターゲット）損失特性（ＧＦＦ仕様：◇）、多層膜フィルタの設計値に基づく損失特性（実線）および両者の損失偏差（□）をそれぞれ示すグラフである。なお、損失偏差の尺度となる平坦度（Flatness）は、最大偏差から最小偏差を引いた値である。
【０００９】
図２２に示すように、多層膜フィルタは、前段における対応する光増幅器の伝送波長帯域（例えば、１５３０ｎｍ〜１５６５ｎｍ）において、光増幅器の利得特性と相反する透過損失特性を目標損失特性（ＧＦＦ要求損失特性）とし、ＧＦＦの設計値を上記ＧＦＦ要求損失特性に近づけることにより、設計／製作されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、光増幅器においては、光増幅用の励起光（ポンプ光）をＧＦＦを透過させて出力する要求、あるいはポンプ光を遮断させて出力する要求が生じる場合がある。
【００１１】
この点、従来のＧＦＦを用いてポンプ光を透過／遮断（透過および／または遮断）させることが考えられている。
【００１２】
しかしながら、光増幅用のポンプ光の波長帯域（例えば、ＥＤＦＡのポンプ光波長帯域の場合、１４５０ｎｍ付近）は、上述した通常の光増幅器の伝送波長帯域（１５３０ｎｍ〜１５６５ｎｍ）とは異なっている。このため、単にＧＦＦ要求損失特性をターゲットにして設計された透過損失特性｛（図２２の実線（ＰＰ［Pump Pass］なし設計））を有するＧＦＦは、その透過損失特性に対応する波長帯域においては、ポンプ光を透過／遮断できる特性を有していない。
【００１３】
例えば、図２２に示すように、光増幅用のポンプ光の波長帯域（１４５０ｎｍ付近）においては、十分な透過特性（例えば、−１ｄＢ以上）が得られていない。
【００１４】
したがって、利得等化機能を有する多層膜フィルタ（ＧＦＦ）に対するポンプ光透過／遮断要求に応えることができなかった。
【００１５】
本発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、利得等化機能およびポンプ光透過／遮断機能を併せ持つ多層膜フィルタである多層膜光学フィルタの膜厚設計装置、プログラム、多層膜光学フィルタの膜厚設計方法、光増幅器、波長多重光伝送システムを提供することをその目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の態様によれば、複数の光学膜が積層されて成る多層膜光学フィルタの光学膜厚を設計する膜厚設計装置であって、予め設定された利得等化用波長帯域における所定の波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する利得等化用波長帯域における目標となる波長特性値間の第１の誤差を算出する手段と、前記利得等化用波長帯域以外の励起光波長帯域における波長特性を当該各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標となる波長特性値間の第２の誤差を算出する手段と、算出された第１および第２の誤差がそれぞれ小さくなるように、前記各光学膜の光学膜厚を、所定の光学膜厚を初期値とするフィッティングを用いて設計する手段とを備えている。
【００１７】
本発明の第２の態様によれば、複数の光学膜が積層されて成る多層膜光学フィルタにおける各光学層の光学膜厚を設計する膜厚設計装置であって、予め設定された励起光波長帯域以外の所定の波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する所定の波長帯域における目標となる波長特性値間の第１の誤差を算出する手段と、前記励起光波長帯域における目標となる波長特性値に対応する透過率が当該励起光波長帯域において最低限必要な透過率よりも小さい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における波長特性値間の第２の誤差を算出する手段と、算出された第１および第２の誤差がそれぞれ小さくなるように、前記各光学膜の光学膜厚を、所定の光学膜厚を初期値とするフィッティングを用いて設計する手段とを備えている。
【００１８】
本発明の第３の態様によれば、前記設計手段は、前記励起光波長帯域における目標波長特性値に対応する透過率が当該励起光波長帯域において最低限必要な透過率よりも大きい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性値間の第２の誤差を０とする手段を備えている。
【００１９】
本発明の第４の態様によれば、複数の光学膜が積層されて成る多層膜光学フィルタにおける各光学層の光学膜厚を設計する膜厚設計装置であって、予め設定された励起光波長帯域以外の所定の波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する所定の波長帯域における目標となる波長特性値間の第１の誤差を算出する手段と、前記励起光波長帯域における目標となる波長特性に対応する透過率が当該励起光波長帯域において許容される最大透過率よりも大きい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性値間の第２の誤差を算出する手段と、算出された第１および第２の誤差がそれぞれ小さくなるように、前記各光学膜の光学膜厚を、所定の光学膜厚を初期値とするフィッティングを用いて設計する設計手段とを備えている。
【００２０】
本発明の第５の態様によれば、前記設計手段は、前記励起光波長帯域における目標波長特性値に対応する透過率が当該励起光波長帯域において許容される最大透過率よりも小さい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性間の第２の誤差を０とする手段を備えている。
【００２１】
本発明の第６の態様によれば、複数の光学膜が積層されて成る多層膜光学フィルタにおける各光学層の光学膜厚を設計するためのコンピュータが実行可能なプログラムであって、コンピュータを、予め設定された利得等化用波長帯域における所定の波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する利得等化用波長帯域における目標となる波長特性値間の第１の誤差を算出する手段と、前記利得等化用波長帯域以外の励起光波長帯域における波長特性を当該各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標となる波長特性値間の第２の誤差を算出する手段と、算出された第１および第２の誤差がそれぞれ小さくなるように、前記各光学膜の光学膜厚を、所定の光学膜厚を初期値とするフィッティングを用いて設計する手段として機能させている。
【００２２】
本発明の第７の態様によれば、複数の光学膜が積層されて成る多層膜光学フィルタにおける各光学層の光学膜厚を設計するためのコンピュータが実行可能なプログラムであって、コンピュータを、予め設定された励起光波長帯域以外の所定の波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する所定の波長帯域における目標となる波長特性値間の第１の誤差を算出する手段と、前記励起光波長帯域における目標となる波長特性値に対応する透過率が当該励起光波長帯域において最低限必要な透過率よりも小さい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における波長特性値間の第２の誤差を算出する手段と、算出された第１および第２の誤差がそれぞれ小さくなるように、前記各光学膜の光学膜厚を、所定の光学膜厚を初期値とするフィッティングを用いて設計する手段として機能させている。
【００２３】
本発明の第８の態様によれば、前記設計手段は、前記励起光波長帯域における目標波長特性値に対応する透過率が当該励起光波長帯域において最低限必要な透過率よりも大きい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性値間の第２の誤差を０とする手段を備えている。
【００２４】
本発明の第９の態様によれば、複数の光学膜が積層されて成る多層膜光学フィルタにおける各光学層の光学膜厚を設計するためのコンピュータが実行可能なプログラムであって、
コンピュータを、予め設定された励起光波長帯域以外の所定の波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する所定の波長帯域における目標となる波長特性値間の第１の誤差を算出する手段と、
前記励起光波長帯域における目標となる波長特性に対応する透過率が当該励起光波長帯域において許容される最大透過率よりも大きい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性値間の第２の誤差を算出する手段と、
算出された第１および第２の誤差がそれぞれ小さくなるように、前記各光学膜の光学膜厚を、所定の光学膜厚を初期値とするフィッティングを用いて設計する手段として機能させる。
【００２５】
本発明の第１０の態様によれば、前記設計手段は、前記励起光波長帯域における目標波長特性値に対応する透過率が当該励起光波長帯域において許容される最大透過率よりも小さい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性間の第２の誤差を０とする手段を備えている。
【００２６】
本発明の第１１の態様によれば、複数の光学膜が積層されて成る多層膜光学フィルタにおける各光学層の光学膜厚を設計する膜厚設計方法であって、予め設定された利得等化用波長帯域における所定の波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する利得等化用波長帯域における目標となる波長特性値間の第１の誤差を算出するステップと、前記利得等化用波長帯域以外の励起光波長帯域における波長特性を当該各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標となる波長特性値間の第２の誤差を算出するステップと、算出された第１および第２の誤差がそれぞれ小さくなるように、前記各光学膜の光学膜厚を、所定の光学膜厚を初期値とするフィッティングを用いて設計するステップとを備えている。
【００２７】
本発明の第１２の態様によれば、複数の光学膜が積層されて成る多層膜光学フィルタにおける各光学層の光学膜厚を設計する膜厚設計方法であって、
予め設定された励起光波長帯域以外の所定の波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する所定の波長帯域における目標となる波長特性値間の第１の誤差を算出するステップと、
前記励起光波長帯域における目標となる波長特性値に対応する透過率が当該励起光波長帯域において最低限必要な透過率よりも小さい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性間の第２の誤差を算出するステップと、算出された第１および第２の誤差がそれぞれ小さくなるように、前記各光学膜の光学膜厚を、所定の光学膜厚を初期値とするフィッティングを用いて設計するステップとを備えている。
【００２８】
本発明の第１３の態様によれば、前記設計ステップは、前記励起光波長帯域における目標波長特性値に対応する透過率が当該励起光波長帯域において最低限必要な透過率よりも大きい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性値間の第２の誤差を０とするステップを備えている。
【００２９】
本発明の第１４の態様によれば、複数の光学膜が積層されて成る多層膜光学フィルタにおける各光学層の光学膜厚を設計する膜厚設計方法であって、
予め設定された励起光波長帯域以外の所定の波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する所定の波長帯域における目標となる波長特性値間の第１の誤差を算出するステップと、前記励起光波長帯域における目標となる波長特性に対応する透過率が当該励起光波長帯域において許容される最大透過率よりも大きい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性値間の第２の誤差を算出するステップと、算出された第１および第２の誤差がそれぞれ小さくなるように、前記各光学膜の光学膜厚を、所定の光学膜厚を初期値とするフィッティングを用いて設計するステップとを備えている。
【００３０】
本発明の第１５の態様によれば、前記設計ステップは、前記励起光波長帯域における目標波長特性値に対応する透過率が当該励起光波長帯域において許容される最大透過率よりも小さい場合に、前記励起光波長帯域における波長特性を前記各光学膜の光学膜厚をパラメータとして表す理論値および対応する励起光波長帯域における目標波長特性間の第２の誤差を０とするステップを備えている。
【００３１】
本発明の第１６の態様によれば、希土類元素がドープされたファイバを有し、信号光を増幅するため、光伝送路上に設けた希土類元素ドープファイバと、
前記希土類元素ドープファイバを励起させるための励起光を発生する励起光源と、前記光伝送路上に設け、前記励起光源により発生された励起光を前記信号光と合波させ、当該励起光を前記希土類元素ドープファイバに対して出射する合波器と、前記光伝送路上において希土類元素ドープファイバよりも上流側又は下流側に設けた多層膜光学フィルタとを備え、前記多層膜光学フィルタは、上記の膜厚設計装置によって形成されているか、上記の膜厚設計方法によって設計され形成されている。
【００３２】
本発明の第１７の態様によれば、互いに異なる波長を有する複数の信号光を伝送する波長多重光伝送システムであって、前記複数の信号光を光伝送路に対して送信する光送信器と、前記光送信器から送信され前記光伝送路を介して伝送される複数の信号光を一括して増幅する請求項１６記載の光増幅器と、前記光増幅器を介して増幅され前記光伝送路を介して伝送される複数の信号光を受信する光受信器と備えている。
【００３３】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係わる多層膜フィルタ１を示す図である。
【００３４】
図１に示すように、多層膜フィルタ１は、基板２と、この基板２に例えば蒸着またはスパッタリング等の方法により成膜・積層された複数の薄膜層３（第１層３ａ１〜第Ｎ層３ａＮ）とを備えている。複数の薄膜層３ａ１〜３ａＮの内、基板２側から奇数層（第１層３ａ１、第３層３ａ３、・・・、第２Ｎ−１層、・・・）の薄膜層の膜物質の屈折率と基板２側から偶数層（第２層３ａ２、第４層３ａ４、・・・、第２Ｎ層、・・・）の薄膜層の膜物質の屈折率とは互いに異なっている。
【００３５】
また、複数の薄膜層３を構成する各薄膜層、すなわち、第１層３ａ１〜第Ｎ層３ａｎの物理膜厚ｄ１〜ｄＮおよび屈折率ｎ１〜ｎＮの積である光学膜厚は、後述する膜厚設計処理に基づいて薄膜層毎に正確に設計されている。
【００３６】
図２は、図１に示す多層膜フィルタ１の各薄膜層３ａ１〜３ａＮの光学膜厚を設計するための膜厚設計装置１０のハードウエア構成を示す図である。
【００３７】
図２に示すように、膜厚設計装置１０はコンピュータシステムであり、設計者が操作して情報を入力可能な入力部１１と、この入力部１１に接続されたコンピュータ１２と、このコンピュータ１２に通信可能に接続されており、後述する膜厚設計処理を実行させるためのプログラムＰを予め記憶する記憶媒体としてのメモリ１３と、外部との入出力に関するインタフェース処理を行う外部入出力インタフェース１４とを備えている。なお、記憶媒体としては、半導体メモリ、磁気メモリ等、様々な記憶媒体が適用可能である。
【００３８】
また、メモリ１３は、Ｎ層の多層膜フィルタ１の連続した波長における光透過率の理論値を表す理論式データを含む理論式データファイル２０と、ＧＦＦとして要求される目標光透過損失値（ターゲット値）およびポンプ光透過波長帯域（例えば、１４６０ｎｍ〜１４９５ｎｍ）における目標光透過損失値（透過率；例えば、−１ｄＢ以上の透過率）を記憶するための目標透過損失値データファイル２１とを有している。
【００３９】
以下、理論式データファイル２０に記憶された理論式データについて説明する。
【００４０】
各層３ａ１〜３ａＮの光学膜厚をパラメータとするＮ層の多層膜フィルタ１の光透過率の理論式は、多層膜フィルタ１の膜表面に対して入射角が垂直であるとして、下式（１）に示すエネルギー透過率の式、および下式（２）〜（５）により与えられる。
【００４１】
【数１】
0004043788.tif 000002
【００４２】
【数２】
0004043788.tif 000003
【００４３】
【数３】
0004043788.tif 000004
【００４４】
【数４】
0004043788.tif 000005
【００４５】
【数５】
0004043788.tif 000006
【００４６】
ここで、式（１）におけるτは、式（２）で表され、また、式（２）に示すパラメータｍ11、ｍ12、ｍ21、ｍ22は、式（３）で与えられる全Ｎ層での特性行列Ｍの各要素であり、Ｍj（ｊは、１、２、・・・のように１から順にＮまで１ずつ増える整数）の総積によって与えられ、第ｊ層の特性行列Ｍjは、式（４）で与えられる。式（４）に示すｇjは、式（５）により表されるものであり、ｎjは、第ｊ層の複素屈折率、ｄjは、第ｊ層の物理膜厚である。
【００４７】
また、式（５）のλには、透過率を求める波長が代入され、ｎ0、ｎsは、それぞれ波長λにおける媒質の複素屈折率、フィルタ基板２の複素屈折率である。また、式（１）において、τ*は、τの共役複素数、式（３）および式（４）におけるｉは虚数単位である。
【００４８】
そこで、これらの式（１）〜式（５）を用いることにより、第ｊ層における光学膜厚の値をパラメータとして、Ｎ層の連続した多層膜フィルタ１の連続した波長における光透過率の理論値が求まり、この光透過率を光透過損失値（挿入損失値）に換算すれば、光学膜厚および波長を変数（パラメータ）として光透過損失値を表すことができる。
【００４９】
すなわち、理論式データファイル２１には、上記光透過損失値（挿入損失値）ＩＬを表す理論式が理論式データＤＡとして記憶されている。
【００５０】
次に、本実施形態の全体動作について説明する。
【００５１】
多層膜フィルタ１を製作するにあたり、まず、多層膜フィルタ１の各層３ａ１〜３ａｎの光学膜厚を設計する（ステップＳ１）。
【００５２】
すなわち、設計者は、膜厚設計装置１０の入力部１１を介して、目標透過損失値（データ）ＩＬ（λｉ）をコンピュータ１２に入力する。なお、この目標透過損失値（データ）ＩＬ（λｉ）は、ポンプ光の目標透過損失特性およびＧＦＦの目標透過損失特性をそれぞれ表すものであり、ポンプ光の目標特性波長帯域（例えば、１４６０ｎｍ〜１４９５ｎｍ）およびＧＦＦの目標特性波長帯域（例えば、１５３０ｎｍ〜１５６０ｎｍ）を含む波長帯域における不連続な各波長λｉ（ｉは、１からＮまで１ずつ順に増える整数であり、ｉ＝１、２、３、・・・、Ｎ−１、Ｎとなる）に対する上記ポンプ光透過用およびＧＦＦ用の仕様損失値である。
【００５３】
さらに、設計者は、光学膜厚のパラメータ（以下、膜厚パラメータとする）ａの初期値として、その初期値（膜厚）に対応する上記特性波長帯域内の透過損失プロファイルにおける遮断帯域がポンプ光透過波長帯域（１４６０ｎｍ〜１４９５ｎｍ）に重ならない値を入力する（ステップＳ１）。
【００５４】
コンピュータ１２は、プログラムＰに従って動作し、入力された目標透過損失特性値ＩＬ（λｉ）および膜厚パラメータａ（初期値）を受信する。そして、コンピュータ１２は、膜厚パラメータａをメモリ１３に記憶し、目標透過損失特性値ＩＬ（λｉ）を目標透過損失値データファイル２１に記憶する（ステップＳ１１）。
【００５５】
図５は、特性波長帯域におけるポンプ光の目標透過損失特性（目標透過特性）Ｔ１、ＧＦＦの目標透過損失特性Ｔ２および光学膜厚の初期値に対応する透過損失プロファイルＰＲ（ａ）をそれぞれ示すグラフである。
【００５６】
すなわち、図５に示すように、光学膜厚の初期値ａに対応する透過損失プロファイルＰＲ（ａ）は、１５７０ｎｍを超えた帯域に中心波長を有し、且つ遮断帯域の短波長側のエッジ部分をＧＦＦ部分の透過損失特性の初期値に設定することにより、その遮断帯域はポンプ光透過波長帯域（１４６０ｎｍ〜１４９５ｎｍ）に重なっていないことが分かる。
【００５７】
次いで、コンピュータ１２は、変数ｎを０に設定し（ステップＳ１２）、その変数ｎを１インクリメントし（ステップＳ１３）、特性波長帯域内の波長パラメータλｎをλｉに設定する。なお、今は、ｎ＝１であるため、λｎ＝λ１となる（ステップＳ１４）。
【００５８】
次いで、コンピュータ２１は、メモリ４２の理論式データファイル２１に記憶された理論式データを読出し、読み出した理論式データＤＡに対して膜厚パラメータａ（初期値）を入力する。そして、コンピュータ２１は、その膜厚パラメータａおよび波長λｎを変数とした多層膜３の挿入損失値ＩＬ（λｎ、ａ）を求める。続いて、コンピュータ２１は、多層膜３の挿入損失値ＩＬ（λｎ、ａ）と対応する波長λｎでの多層膜３全体の目標透過損失値ＩＬ（λｎ）との２乗誤差Ｅn（ａ）：
【００５９】
【数６】
0004043788.tif 000007
【００６０】
を求め、求めた多層膜３全体の２乗誤差Ｅn（ａ）をメモリ１３に記憶する（ステップＳ１５）。
【００６１】
次いで、コンピュータ１２は、ｎ＞Ｎであるか否か判断する（ステップＳ１６）。今、ｎ＝１であるため、ステップＳ１６の判断はＮＯとなり、コンピュータ１２は、ステップＳ１３に戻ってｎを１インクリメントし、ステップＳ１３以降の処理を実行する。
【００６２】
すなわち、コンピュータ１２は、ｎ＞Ｎになるまで、すなわち、波長パラメータλｎ＝λＮに基づくステップＳ１５の処理を終了するまで、上述したステップＳ１３〜Ｓ１６の処理を繰り返し実行する。
【００６３】
この結果、各層３ａ１〜３ａＮにおける膜厚パラメータａ（初期値）での全特性波長帯域における光透過損失理論値ＩＬ（λｎ、ａ）と対応する波長λｎでの目標透過損失値ＩＬ（λｎ）との２乗誤差Ｅn（ａ）が波長毎に求められる。
【００６４】
そして、ｎ＞Ｎになると、上記ステップＳ１６の処理はＹＥＳとなり、コンピュータ１２は、求めた全特性波長帯域における多層膜３全体の２乗誤差Ｅn（ａ）の加算平均値（２乗平均誤差、２乗誤差平均値）を次式（７）に従って算出し、算出した波長パラメータａにおける２乗平均誤差をメモリ１３に記憶する（ステップＳ１７）。
【００６５】
【数７】
0004043788.tif 000008
【００６６】
次いで、コンピュータ１２は、算出した波長パラメータａにおける２乗平均誤差に基づいて、その２乗平均誤差の値が収束しているか、あるいは現在の光学膜厚値ａ（１）〜ａ（Ｎ）を用いた多層膜３全体の透過損失値ＩＬ（λ１〜λＮ、ａ（１）〜ａ（Ｎ））と対応する目的透過損失値ＩＬ（λ１〜λＮ）との損失偏差（平坦度）が一定値（例えば、１ｄＢ）以下になったか否か判断する（ステップＳ１８）。
【００６７】
このステップＳ１８の判断の結果ＮＯ（２乗平均誤差の値が非収束、損失偏差が一定値を超えている場合）、コンピュータ１２は、光学膜層３ａ１〜３ａＮの内の少なくとも１層の膜厚パラメータａを変更して（ステップＳ１９）、ステップＳ１２の処理に戻り、ステップＳ１２〜Ｓ１９のフィッティング処理を、ステップＳ１８の判断の結果がＹＥＳになるまで繰り替えし実行する。
【００６８】
すなわち、コンピュータ１２は、現在の光学膜厚値ａ（１）〜ａ（Ｎ）を用いた多層膜３全体の透過損失値ＩＬ（λ１〜λＮ、ａ（１）〜ａ（Ｎ））が対応する目的透過損失値ＩＬ（λ１〜λＮ）に対して十分に近付くまでステップＳ１２〜Ｓ１９のフィッティング処理を、光学膜層３ａ１〜３ａＮの膜厚パラメータａを層毎に変化させながら繰り返し、２乗平均誤差の値が収束してしまう場合、あるいは現在の光学膜厚値ａ（１）〜ａ（Ｎ）を用いた多層膜３全体の透過損失値ＩＬ（λ１〜λＮ、ａ（１）〜ａ（Ｎ））と対応する目的透過損失値ＩＬ（λ１〜λＮ）との損失偏差が一定値以下になった場合に（ステップＳ１８→ＹＥＳ）、処理を終了する。
【００６９】
上記フィッティング処理において、本実施形態では、光学膜厚の初期値に対応する透過損失プロファイルＰＲ（ａ）の遮断帯域がポンプ光透過波長帯域（１４６０ｎｍ〜１４９５ｎｍ）に重なっていないため、上記ポンプ光透過波長帯域に対しても良好にフィッティングを行うことができる。
【００７０】
例えば、通常のＧＦＦの設計時と同様に、ＧＦＦの透過損失特性用の波長帯域（１５２９ｎｍ〜１５６１ｎｍ）の中心に中心波長を設定し、光学膜厚の初期値に対応する透過損失プロファイルＰＲ（ｂ）を、その遮断帯域の長波長側のエッジ部分を目標透過損失特性Ｔ２の初期値に設定すれば、ＧＦＦの光透過損失特性部分において良好なフィッティングを行うことができる。
【００７１】
しかしながら、上記通常のＧＦＦと同様の初期値設定では、図６に示すように、遮断帯域がポンプ光透過波長帯域（１４６０ｎｍ〜１４９５ｎｍ）に重なってしまうため、ポンプ光透過波長帯域部分でのフィッティングが難しくなる。
【００７２】
したがって、本実施形態で述べた各光学膜厚の初期値として、その遮断帯域がポンプ光透過波長帯域（１４６０ｎｍ〜１４９５ｎｍ）と重ならない値を用いることにより、ＧＦＦの光透過損失特性部分に加えて、ポンプ光透過波長帯域においても、良好なフィッティングを行うことができる。
【００７３】
このようにして層毎の膜厚パラメータａ（１）〜ａ（Ｎ）が最適化されると、コンピュータ１２は、最適化された層毎の膜厚パラメータａ（１）〜ａ（Ｎ）、すなわち、多層膜フィルタ１の各層３ａ１〜３ａＮに対して最適に設定（設計）された各光学膜厚値ａ（１）〜ａ（Ｎ）をメモリ１３に記憶する。
【００７４】
このようにして各層３ａ１〜３ａＮに対して各光学膜厚値ａ（１）〜ａ（Ｎ）が最適に設定されると、この最適設計された各光学膜厚値ａ（１）〜ａ（Ｎ）を用いて膜厚制御を行いながら成膜処理を実行する（ステップＳ２）。
【００７５】
この成膜処理においては、蒸着やスパッタリングにより基板２に対して成膜材料を蒸着していく。このとき、モニタ用の光を成膜中の薄膜に照射し、例えばその透過光をモニタすることにより、成膜中の薄膜の光学膜厚が最適設計された光学膜厚と一致するように膜厚制御される。なお、この成膜処理（膜厚制御処理）は、上記最適化された各光学膜厚値ａ（１）〜ａ（Ｎ）に基づくコンピュータを含む成膜装置により実行される。
【００７６】
以上述べたように、本実施形態によれば、各光学膜厚の初期値を、その初期値に基づく透過損失特性の遮断帯域がポンプ光透過波長帯域（１４６０ｎｍ〜１４９５ｎｍ）と重ならず、その遮断帯域の短波長側エッジ部分がＧＦＦ部分の透過損失特性の初期値になるように設定している。このため、多層膜フィルタ１の各薄膜層３ａ１〜３ａＮの光学膜厚を、ポンプ光の目標透過損失特性Ｔ１およびＧＦＦの目標透過損失特性Ｔ２それぞれをターゲットとしてフィッティングすることができる。したがって、上記ポンプ光の目標透過損失特性Ｔ１およびＧＦＦの目標透過損失特性Ｔ２を併せ持つ多機能多層膜フィルタ１を提供することができる。
【００７７】
なお、本実施形態においては、各層の光学膜厚を厚くして、初期値に基づく透過損失特性の遮断帯域幅を狭くすることにより、図７に示すように、その初期値ａ１を、当該初期値ａ１に基づく透過損失特性ＰＲ（ａ１）の遮断帯域がポンプ光透過波長帯域（１４６０ｎｍ〜１４９５ｎｍ）と重ならず、且つ上記透過損失特性の中心波長を、ＧＦＦの透過損失特性用の波長帯域（１５２９ｎｍ〜１５６１ｎｍ）の中心に設定することも可能である。
【００７８】
（第２の実施の形態）
本実施形態の膜厚設計装置１０Ａのハードウエア構成を示す図である。
【００７９】
本実施形態において、膜厚設計処理を実行させるためのプログラムＰＡおよびそのプログラムＰＡに基づいてコンピュータ１２により実行される膜厚設計処理（図９参照）が第１実施形態の構成と異なっている。
【００８０】
また、本実施形態のメモリ１３Ａには、ポンプ光透過波長帯域（１４６０ｎｍ〜１４９５ｎｍ）において許容される最大挿入損失ＩＬmaxが透過率に換算された最小透過率データＴminを含む許容最小透過率データファイル２５が予め記憶されている。
【００８１】
なお、他の点については、第１実施形態の構成と同様であるため、その説明を省略する。
【００８２】
本実施形態において、膜厚設計処理を実行するに際し、コンピュータ１２は、プログラムＰＡに従って動作し、第１実施形態と同様にステップＳ１１〜Ｓ１４の処理を行う。
【００８３】
次いで、コンピュータ１２は、パラメータ波長λｎがポンプ光透過波長帯域であるか否か判断する（ステップＳ２０）。
【００８４】
この判断の結果ＮＯ、すなわち、パラメータ波長λｎがポンプ光透過波長帯域でない間においては、第１実施形態と同様に、ステップＳ１２〜ステップＳ１４、ステップＳ２０、ステップＳ１５〜ステップＳ１６の処理が繰り返し行われる。この結果、多層膜３全体の挿入損失値ＩＬ（λｎ、ａ）と対応する波長λnでの多層膜３全体の目標透過損失値ＩＬ（λｎ）との２乗平均誤差Ｅn（ａ）がメモリ１３に記憶される。
【００８５】
一方、ｎのインクリメントが繰り返され、パラメータ波長λｎがポンプ光透過波長帯域１４６０ｎｍ〜１４９５ｎｍに含まれた場合には、ステップＳ２０の判断はＹＥＳとなり、コンピュータ１２は、目標透過損失値ＩＬ（λｎ）を透過率に換算した目標透過率Ｔ（λｎ）が、許容最小透過率データファイル２５に記憶された最小透過率データＴmin以上であるか否か判断する（ステップＳ２１）。
【００８６】
このステップＳ２１の判断の結果ＮＯ、すなわち、目標透過率Ｔ（λｎ）が、許容最小透過率データファイル２５に記憶された最小透過率データＴminを超えていない場合には、ステップＳ１５の処理に移行して、上述した処理により多層膜３の挿入損失値ＩＬ（λｎ、ａ）と目標透過損失値ＩＬ（λｎ）との２乗誤差Ｅn（ａ）が算出されてメモリ１３に記憶される。
【００８７】
一方、ステップＳ２１の判断の結果ＹＥＳ、すなわち、目標透過率Ｔ（λｎ）が、許容最小透過率データファイル２５に記憶された最小透過率データＴmin以上の場合には、この部分の２乗誤差Ｅn（ａ）を０に設定する（ステップＳ２２）。
【００８８】
次いで、コンピュータ１２は、ステップＳ１６の処理に移行し、ｎ＞Ｎになるまで、上述したステップＳ１３、Ｓ１４、Ｓ２０、Ｓ１５〜Ｓ１６（波長パラメータλnがポンプ光透過波長帯域以外の場合）、ステップＳ１３〜Ｓ１４、Ｓ２０〜Ｓ２１およびＳ１５〜Ｓ１６（波長パラメータλｎがポンプ光透過波長帯域内で目標透過率Ｔ（λｎ）が最小透過率データＴminを超えていない場合）およびステップＳ１３〜Ｓ１４およびＳ２０〜Ｓ２２（波長パラメータλｎがポンプ光透過波長帯域内で目標透過率Ｔ（λｎ）が最小透過率データＴminを超えている場合）を繰り返し実行する。
【００８９】
以下、第１実施形態と同様に、ｎ＞Ｎになると、上記ステップＳ１６の処理はＹＥＳとなり、コンピュータ１２は、求めた全特性波長帯域における多層膜３全体の２乗誤差Ｅn（ａ）の加算平均値（２乗平均誤差、２乗誤差平均値）を算出してメモリ１３に記憶する（ステップＳ１７）。
【００９０】
次いで、コンピュータ１２は、算出した波長パラメータａにおける２乗平均誤差に基づいて、その２乗平均誤差の値が収束しているか、あるいは現在の光学膜厚値ａ（１）〜ａ（Ｎ）を用いた多層膜３全体の透過損失値ＩＬ（λ１〜λＮ、ａ（１）〜ａ（Ｎ））と対応する目的透過損失値ＩＬ（λ１〜λＮ）との損失偏差（平坦度）が一定値（例えば、１ｄＢ）以下になったか否か判断する（ステップＳ１８）。
【００９１】
このステップＳ１８の判断の結果ＮＯ（２乗平均誤差の値が非収束、損失偏差が一定値を超えている場合）、コンピュータ１２は、光学膜層３ａ１〜３ａＮの内の少なくとも１層の膜厚パラメータａを変更して（ステップＳ１９）、ステップＳ１２の処理に戻り、ステップＳ１２〜Ｓ１９、Ｓ２０〜Ｓ２２の処理を、ステップＳ１８の判断の結果がＹＥＳになるまで繰り替えし実行する。
【００９２】
すなわち、コンピュータ１２は、現在の光学膜厚値ａ（１）〜ａ（Ｎ）を用いた多層膜３全体の透過損失値ＩＬ（λ１〜λＮ、ａ（１）〜ａ（Ｎ））が対応する目的透過損失値ＩＬ（λ１〜λＮ）に対して十分に近付くまでステップＳ１２〜Ｓ１９のフィッティング処理を、光学膜層３ａ１〜３ａＮの膜厚パラメータａを層毎に変化させながら繰り返し、２乗平均誤差の値が収束してしまう場合、あるいは現在の光学膜厚値ａ（１）〜ａ（Ｎ）を用いた多層膜３全体の透過損失値ＩＬ（λ１〜λＮ、ａ（１）〜ａ（Ｎ））と対応する目的透過損失値ＩＬ（λ１〜λＮ）との損失偏差が一定値以下になった場合に（ステップＳ１８→ＹＥＳ）、処理を終了する。
【００９３】
このとき、本実施形態では、ポンプ光透過波長帯域内で目標透過率Ｔ（λｎ）が最小透過率データＴminを超えている場合においては、多層膜３全体の挿入損失値ＩＬ（λＮ、ａ）と目標透過損失値ＩＬ（λＮ）との２乗平均誤差を強制的に０にし、この部分の偏差（リプル）を許容する。そして、このポンプ光透過波長帯域内でのリプルを許容して、他の光透過損失帯域（例えば、要求の厳しいＧＦＦの光透過損失帯域）のフィッティング特性を高めている。
【００９４】
すなわち、本実施形態の膜厚設計装置１０Ａは、ＧＦＦ部分の光透過損失特性の平坦度（Flatness）に対する仕様が厳しい場合に特に有効である。
【００９５】
本発明者等は、本実施形態の効果を検証するため、下記の表１に示す仕様に応じた多層膜フィルタ１を、第１の実施形態の多層膜設計装置１０および第２の多層膜設計装置１０Ａそれぞれにおいて実際に設計し、その設計結果を図１０（ａ）および（ｂ）と図１１（ａ）および（ｂ）としてそれぞれ示した。
【００９６】
なお、図１０（ａ）および（ｂ）と図１１（ａ）および（ｂ）は、多層膜の総数Ｎを異なるものとした（図１０（ａ）および（ｂ）の多層膜フィルタ１Ａ→Ｎ＝４６；図１１（ａ）および（ｂ）の多層膜フィルタ１Ｂ→Ｎ＝２６）。
【００９７】
【表１】
0004043788.tif 000009
【００９８】
図１０（ａ）は、第１実施形態の膜厚設計装置１０に基づく膜厚設計により得られた多層膜フィルタ１Ａの設計目標（ターゲット）損失特性（ＧＦＦターゲットおよびポンプ光透過波長帯域におけるターゲット：◇）、多層膜フィルタ１Ａの設計値に基づく損失特性（実線）およびターゲット値と設計値との損失偏差（□）をそれぞれ示すグラフである。なお、ポンプ光透過波長帯域におけるターゲットを０ｄＢに設定した。
【００９９】
図１０（ａ）に示すように、第１実施形態の膜厚設計では、ＧＦＦ部分のFlatnessが０．２４ｄＢとなり、ＧＦＦ部分の要求Flatness:０．２ｄＢ以下を満足することができなかった。これは、上述したように、ポンプ光透過波長帯域におけるフィッティングの影響と考えられる。
【０１００】
一方、図１０（ｂ）は、第２実施形態の膜厚設計装置１０Ａに基づく膜厚設計により得られた多層膜フィルタ１Ｂの設計目標（ターゲット）損失特性（ＧＦＦターゲット、ポンプ光透過波長帯域におけるターゲット：◇）、多層膜フィルタ１Ｂの設計値に基づく損失特性（実線）およびターゲット値と設計値との損失偏差（□）をそれぞれ示すグラフである。なお、ポンプ光透過波長帯域におけるターゲットを−０.６ｄＢに設定している。また、最大挿入損失ＩＬmax（最小透過率データＴmin）を０．６ｄＢに設定した。
【０１０１】
図１０（ｂ）に示すように、第２実施形態の膜厚設計では、ポンプ光透過波長帯域における設計値に基づく損失特性（実線）には、最小透過率データＴminを超えている透過率を有する場合のターゲット値および設計値間の２乗誤差を０に設定しているため、その分のリップルが生じている。しかしながら、このリップル部分の仕様は、極大値―極小値間｛pp（ピークトゥピーク）間｝で０．８ｄＢpp以下と許容範囲が大きいため、上記仕様を十分に満足する。さらに、ＧＦＦ部分のFlatnessが０．１９ｄＢとなり、ＧＦＦ部分の要求Flatness:０．２ｄＢ以下を満足することができた。
【０１０２】
同様に、図１１（ａ）は、第１実施形態の膜厚設計装置１０に基づく膜厚設計により得られた多層膜フィルタ１Ｂの設計目標損失特性（ＧＦＦターゲット、ポンプ光透過波長帯域におけるターゲット：◇）、多層膜フィルタ１Ｂの設計値に基づく損失特性（実線）およびターゲット値と設計値との損失偏差（□）をそれぞれ示すグラフである。なお、ポンプ光透過波長帯域におけるターゲットを０ｄＢに設定した。
【０１０３】
図１１（ａ）に示すように、第１実施形態の膜厚設計では、ＧＦＦ部分のFlatnessが０．２６５ｄＢとなり、ＧＦＦ部分の要求Flatness:０．２ｄＢ以下を満足することができなかった。これも、同様にポンプ光透過波長帯域におけるフィッティングの影響と考えられる。
【０１０４】
一方、図１１（ｂ）は、第２実施形態の膜厚設計装置１０Ａに基づく膜厚設計により得られた多層膜フィルタ１Ｂの設計目標損失特性（ＧＦＦターゲット、ポンプ光透過波長帯域におけるターゲット：◇）、多層膜フィルタ１Ｂの設計値に基づく損失特性（実線）およびターゲット値と設計値との損失偏差（□）をそれぞれ示すグラフである。なお、ポンプ光透過波長帯域におけるターゲットを−０.６ｄＢに設定している。また、最大挿入損失ＩＬmax（最小透過率データＴmin）を０．６ｄＢに設定した。
【０１０５】
図１１（ｂ）も図１０（ｂ）と同様に、第２実施形態の膜厚設計では、ポンプ光透過波長帯域における設計値に基づく損失特性（実線）には、対応する波長透過帯域においてリップルが生じている。しかしながら、このリップル部分の仕様は０．８ｄＢpp以下と許容範囲が大きいため、上記仕様を十分に満足する。さらに、ＧＦＦ部分のFlatnessが０．２０ｄＢとなり、ＧＦＦ部分の要求Flatness:０．２ｄＢ以下を満足することができた。
【０１０６】
そして、本実施形態の膜厚設計装置１Ａに基づく膜厚設計によれば、ポンプ光透過波長帯域における許容最大挿入損失ＩＬmax（最小透過率データＴmin）の設定を大きく（最小透過率データＴminの設定を小さく）するにつれて、膜厚フィッティングの自由度が増大し、Flatness特性を向上させることができる。透過帯のリップルを約１ｄＢまで許容すれば、Fitnessの値は０．１８ｄＢとなり、ポンプ光透過を考慮しない通常設計のＧＦＦと同等のFlatness特性を得ることができる（図１２参照）。
【０１０７】
なお、第１および第２実施形態においては、透過させるポンプ光の透過波長帯域を、１４５０ｎｍ〜１４９５ｎｍとしたが、本発明はこれに限定されるものではなく、ポンプ光透過波長帯域を、他の波長帯域、例えば９８０ｎｍ帯のポンプ光を透過させるように設計することも可能である。
【０１０８】
図１３（ａ）は、９８０ｎｍ帯のポンプ光波長帯域に対する所定の光透過特性、およびＧＦＦ部分（１５２９ｎｍ〜１５６１ｎｍ）において所定の光透過損失特性をそれぞれ有する多層膜フィルタの設計値（第２実施形態の膜厚設計による）に基づく損失特性（実線）を示すグラフである。なお、図１３（ｂ）は、図１３（ａ）において（ｂ）として示す部分、すなわち、上記９８０ｎｍ帯前後の光透過特性を拡大して示すグラフである。また、なお、図１３（ｃ）は、図１３（ａ）において（ｃ）として示す部分、すなわち、上記ＧＦＦ部分（１５２９ｎｍ〜１５６１ｎｍ）における透過損失特性を拡大して示すグラフである。
【０１０９】
図１３（ａ）〜図１３（ｃ）に示すように、ポンプ光透過帯域が異なっても、そのポンプ光透過機能および利得等化用の透過損失機能を併せ持つ多層膜フィルタを設計することができる。また、第１および第２実施形態においては、所定のポンプ光透過波長帯域においてポンプ光を透過させるポンプ光透過機能およびＧＦＦ機能を併せ持つ多層膜フィルタを設計したが、本発明はこれに限定されるものではなく、第１および第２実施形態と同様の設計手法により、所定のポンプ光遮断波長帯域においてポンプ光を遮断させるポンプ光遮断機能およびＧＦＦ機能を併せ持つ多層膜フィルタを設計することも可能である。
【０１１０】
特に、第２の実施形態においては、メモリ１３Ａに、許容最小透過率データファイル２５の代わり、あるいは加えて、ポンプ光遮断波長帯域（１４８０ｎｍを中心波長とした遮断（カット）波長帯域；例えば、１４６０ｎｍ〜１５２０ｎｍ）において許容される最小挿入損失ＩＬminが透過率に換算された最大透過率データＴmaxを含む許容最大透過率データファイル２５´を記憶しておく。
【０１１１】
このとき、コンピュータ１２は、その図９に示す膜厚設計処理におけるステップＳ２１の処理において、目標透過損失値ＩＬ（λｎ）を透過率に換算した目標透過率Ｔ（λｎ）が、許容最大透過率データファイル２５´に記憶された最大透過率データＴmax以下であるか否か判断する（ステップＳ２１´）。
【０１１２】
そして、このステップＳ２１´の判断の結果ＮＯ、すなわち、目標透過率Ｔ（λｎ）が、最大透過率Ｔmax以下でない場合には、ステップＳ１５の処理に移行して、上述した処理により多層膜３全体の挿入損失値ＩＬ（λｎ、ａ）と目標透過損失値ＩＬ（λｎ）との２乗誤差Ｅn（ａ）が算出されてメモリ１３に記憶される。
【０１１３】
一方、ステップＳ２１´の判断の結果ＹＥＳ、すなわち、目標透過率Ｔ（λｎ）が、最大透過率データＴmax以下の場合には、この部分の２乗誤差Ｅn（ａ）を０に設定する（ステップＳ２２）。
【０１１４】
すなわち、本変形例によれば、ポンプ光遮断波長帯域内で目標透過率Ｔ（λｎ）が最大透過率データＴmax以下である場合においては、多層膜３全体の挿入損失値ＩＬ（λｎ、ａ）と目標透過損失値ＩＬ（λｎ）との２乗誤差Ｅn（ａ）を強制的に０に設定してフィッティング特性を高めている。
【０１１５】
この結果、例えば、図１４に示すように、ＧＦＦ部分の光透過損失特性の平坦度（Flatness）に対する仕様が厳しい場合においても対応できるポンプ光遮断機能およびＧＦＦ機能を併せ持つ多層膜フィルタを提供することができる。
【０１１６】
次に、第１および第２実施形態やその変形例で説明した多層膜フィルタ１、１Ａに基づくＧＦＦを含む光増幅器の実施形態を図面に基づいて説明する。
【０１１７】
図１５は、前方励起型の光増幅器１００の概略構成を示す図である。
【０１１８】
図１５に示すように、光増幅器１００は、信号光が入力される光ファイバ１０７ａに接続されており、希土類元素である例えばエルビウム（Ｅｒ）がドープ（添加）されたファイバから構成された第１のＥＤＦ１０１と、この第１のＥＤＦ１０１に縦列接続されており、希土類元素である例えばエルビウム（Ｅｒ）ドープファイバから構成された第２のＥＤＦ１０２と、第１のＥＤＦ１０１および第２のＥＤＦ１０２の間に配置された本発明に係わる多層膜フィルタ１、１Ａに基づくＧＦＦ１０３とを備えており、第２のＥＤＦ１０２およびＧＦＦ１０３は光ファイバ１０７ｂに接続されている。
【０１１９】
なお、上述した光増幅器の実施形態では、ドーパントとしてのエルビニウムがドープされたＥＤＦを増幅媒体として含む光増幅器について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。同様の励起構成を有する光増幅器が適用可能である。例えば、増幅媒体としては、そのファイバのホストガラスにTellurite系、Fluoride系、Silica系等が適用可能であり、また、ドーパントとしては、エルビウムの他に、ツリウム、プラセオジウム、イットリビウム、テルビウム等が適用可能である。
【０１２０】
また、光増幅器１００は、ＥＤＦ励起用の励起光（ポンプ光）を出射する励起光源１０４と、この励起光源１０４から出射された励起光を第１のＥＤＦ１０１の信号光入力端側から第１のＥＤＦ１０１および第２のＥＤＦ１０２へ供給する合波器１０５とを備えている。
【０１２１】
さらに、光増幅器１００においては、必要に応じて、信号光入力側光ファイバ１０７ａおよび信号光出力側光ファイバ１０７ｂの内の少なくとも一方に、アイソレータ１０８を配設することも可能である。なお、図１００においては、光ファイバ１０７ａおよび光ファイバ１０７ｂの双方にアイソレータ１０８を配設した構成を示している。
【０１２２】
図１６は、後方励起型の光増幅器１１０の概略構成を示す図である。
【０１２３】
図１５に示した前方励起型の光増幅器１００との相違点は、励起光を第２のＥＤＦ１０２の信号光出力側から供給することである。すなわち、後方励起型光増幅器１１０は、第２のＥＤＦ１０２の信号光出力側に配設された合波器１０５と、ＥＤＦ励起用の励起光を出射する励起光源１１４とを備え、合波器１０５により、励起光源１１４から出射された励起光を第２のＥＤＦ１０２の信号光出力端側から第２のＥＤＦ１０２および第１のＥＤＦ１０１へ供給するようになっている。
【０１２４】
図１７は、双方向励起型の光増幅器１２０の概略構成を示す図である。
【０１２５】
図１７に示すように、双方向励起型光増幅器１２０は、図１５に示す前方励起型光増幅器１００と図１６に示す後方励起型光増幅器１１０とを組み合わせた構成を有している。すなわち、双方向励起型光増幅器１２０は、ＥＤＦ励起用の励起光を出射する励起光源１０４と、この励起光源１０４から出射された励起光を第１のＥＤＦ１０１の信号光入力端側から第１のＥＤＦ１０１および第２のＥＤＦ１０２へ供給する第１の合波器１０５ａと、ＥＤＡ励起用の励起光を出射する励起光源１１４と、この励起光源１１４から出射された励起光を第２のＥＤＦ１０２の信号光出力端側から第２のＥＤＦ１０２および第１のＥＤＦ１０１へ供給する第２の合波器１０５ｂとを備えている。
【０１２６】
図１５〜図１７に示したように、本発明に係わる第１および第２実施形態やその変形例で説明した多層膜フィルタ１、１Ａに基づくＧＦＦ１０３を含む光増幅器１００、１１０および１２０においては、図１８および図１９に示す特性が得られた。
【０１２７】
図１８は、図１７に示す双方向励起型光増幅器１２０における利得と波長との相関関係（利得の波長特性）を示すグラフである。図１８において、○は、本発明に係わるＧＦＦ１０３を含む光増幅器１２０における利得の波長特性（Pump Passあり）を示し、△は、本発明に係わるＧＦＦ１０３を含まない光増幅器における利得の波長特性（Pump Passなし）を示している。
【０１２８】
図１８から分かるように、光増幅器に対して、本発明に係わるＧＦＦ１０３を配置することにより、光増幅器の利得の値を０．５〜０．７ｄＢ程度向上させることができる。
【０１２９】
また、図１９は、図１７に示す双方向励起型光増幅器におけるＮＦ（Noise Figure）と波長との相関関係を示すグラフである。図１９において、○は、本発明に係わるＧＦＦ１０３を含む光増幅器１２０におけるＮＦの波長特性（Pump Passあり）を示し、△は、本発明に係わるＧＦＦ１０３を含まない光増幅器におけるＮＦの波長特性（Pump Passなし）を示している。
【０１３０】
図１９から分かるように、光増幅器に対して、本発明に係わるＧＦＦ１０３を配置することにより、光増幅器のＮＦの値を０．０３〜０．０４ｄＢ程度低下させるることができる。
【０１３１】
なお、図１８および図１９では、図１７に示した双方向励起型光増幅器１２０についての利得波長特性およびＮＦ波長特性をそれぞれ示したが、図１５に示した前方励起型光増幅器１００および図１６に示した後方励起型光増幅器１１０においても、双方向励起型光増幅器１２０と略同等の波長特性が得られるため、図示および説明を省略している。
【０１３２】
以上述べたように、本発明に係わる多層膜フィルタ１、１Ａに基づくＧＦＦを光増幅器に配置することにより、ＧＦＦ自体の効果に加えて、光増幅器における利得およびＮＦの波長特性をそれぞれ良化させることができる。
【０１３３】
次に、図１５（図１６、図１７）の光増幅器を含む波長多重光伝送システムの実施形態を図２０を参照して説明する。
【０１３４】
図２０は、上記波長多重光伝送システム２００の概略構成を示すブロック図である。
【０１３５】
図２０に示すように、波長多重光伝送システム２００は、互いに異なる波長を有する複数の信号光が多重化された波長多重信号光を光伝送路Ｐに送信する光送信器Ｔと、前記光伝送路Ｐを介して伝送される波長多重信号光を受信する光受信器Ｒと、この光送信器Ｔおよび光受信器Ｒの間に介在された中継器としての機能を有しており、互いに縦列接続された複数の光増幅器１００とを備えている。すなわち、この光増幅器１００は、光伝送路Ｐを介して伝送される波長多重信号光を一括して増幅させる機能を有している。
【０１３６】
なお、光増幅器としては、図１５に示した前方励起型の光増幅器１００に限らず、図１６に示した後方励起型の光増幅器１１０、双方向励起型の光増幅器１２０を用いてもよいことは当然である。前方励起型光増幅器１００、後方励起型の光増幅器１１０および双方向励起型光増幅器１２０の内の何れかを自由に選択し、任意に配置することが可能である。
【０１３７】
図２０に示す波長多重光伝送システム２００によれば、光送信器Ｔから送信された波長多重信号光は、上述したＧＦＦ１０３（図１５参照）を備えた各光増幅器１００を介して順次増幅されながら光受信器Ｒまで伝送される。このとき、各光増幅器１００では、波長多重信号光に対する利得等化とＮＦの抑圧とがＧＦＦ１０３により施されるため、各波長のレベルが揃った光ＳＮ比の高い波長多重信号光を光送信器Ｔから光受信器Ｒに対して伝送することが可能になる。以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。すなわち、本発明の技術的思想に基づく範囲内において、上記実施形態に対して多様な変更または改良を加えることも可能である。
【発明の効果】
以上述べたように、本発明に係わる多層膜光学フィルタの膜厚設計装置、プログラム、多層膜光学フィルタの膜厚設計方法などによれば、多層膜フィルタの各薄膜層の光学膜厚は、予め設定された利得等化用波長帯域内の波長毎に所定の波長特性を有し、かつ上記利得等化用波長帯域以外の励起光波長帯域に所定の波長特性を有するように設計されているため、上記利得等化用波長帯域における所定の波長特性および励起光波長帯域における所定の波長特性を併せ持つ多層膜光学フィルタを提供することができる。
【０１３８】
したがって、利得等化機能を有する例えばＧＦＦ等の多層膜光学フィルタに対する励起光透過／遮断要求に対応することができ、多層膜光学フィルタの実用性を大幅に高めることができる。
【０１３９】
また、上記励起光透過／遮断要求に対応する十分な波長特性を有する多層膜光学フィルタを光増幅器と組み合わせることにより、光増幅器の出力特性を従来よりも低損失／高出力に設定することができる。この結果、出力効率の高い増幅特性を有する光増幅器を提供することが可能になる。
【０１４０】
さらに、上述した光増幅器を光送受信器と組み合わせてシステム化することにより、システム全体として低消費電力化が可能になる。
【０１４１】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係わる多層膜フィルタを示す図。
【図２】図１に示す多層膜フィルタの各薄膜層の光学膜厚を設計するための膜厚設計装置のハードウエア構成を示す図。
【図３】本発明の第１の実施の形態における多層膜フィルタ製造工程の一例を示すフローチャート。
【図４】本発明の第１の実施の形態における膜厚設計処理の一例を示す概略フローチャート。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係わる特性波長帯域におけるポンプ光の目標透過損失特性、ＧＦＦの目標透過損失特性および光学膜厚の初期値に対応する透過損失プロファイルをそれぞれ示すグラフ。
【図６】特性波長帯域におけるポンプ光の目標透過損失特性、ＧＦＦの目標透過損失特性および光学膜厚の初期値に対応する透過損失プロファイルをそれぞれ示すグラフ。
【図７】本発明の第１の実施の形態に係わる特性波長帯域におけるポンプ光の目標透過損失特性、ＧＦＦの目標透過損失特性および光学膜厚の初期値に対応する透過損失プロファイルをそれぞれ示すグラフ。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係わる多層膜フィルタの各薄膜層の光学膜厚を設計するための膜厚設計装置のハードウエア構成を示す図。
【図９】本発明の第２の実施の形態における膜厚設計処理の一例を示す概略フローチャート。
【図１０】（ａ）は、第１実施形態に係わる多層膜フィルタの設計目標損失特性、多層膜フィルタの設計値に基づく損失特性およびターゲット値と設計値との損失偏差をそれぞれ示すグラフ、（ｂ）は、第２実施形態に係わる多層膜フィルタの設計目標損失特性、多層膜フィルタの設計値に基づく損失特性およびターゲット値と設計値との損失偏差をそれぞれ示すグラフ。
【図１１】（ａ）は、第１実施形態に係わる多層膜フィルタの設計目標損失特性、多層膜フィルタの設計値に基づく損失特性およびターゲット値と設計値との損失偏差をそれぞれ示すグラフ、（ｂ）は、第２実施形態に係わる多層膜フィルタの設計目標損失特性、多層膜フィルタの設計値に基づく損失特性およびターゲット値と設計値との損失偏差をそれぞれ示すグラフ。
【図１２】第２の実施形態に係わる多層膜フィルタの設計目標損失特性、多層膜フィルタの設計値に基づく損失特性およびターゲット値と設計値との損失偏差をそれぞれ示すグラフ。
【図１３】（ａ）は、本発明の第２の実施形態の変形例に係わる９８０ｎｍ帯のポンプ光波長帯域に対する所定の光透過特性、およびＧＦＦ部分において所定の光透過損失特性をそれぞれ有する多層膜フィルタの設計値に基づく損失特性を示すグラフ、（ｂ）は、図１３（ａ）における（ｂ）として示す部分を拡大して示すグラフ、（ｃ）は、図１３（ａ）において（ｃ）として示す部分を拡大して示すグラフ。
【図１４】本発明の第２の実施形態の変形例に係わるポンプ光遮断機能およびＧＦＦ機能を併せ持つ多層膜フィルタの設計目標損失特性および設計値に基づく損失特性をそれぞれ示すグラフ。
【図１５】本発明に係わる多層膜フィルタに基づくＧＦＦを含む前方励起型の光増幅器の概略構成を示す図。
【図１６】本発明に係わる多層膜フィルタに基づくＧＦＦを含む後方励起型の光増幅器の概略構成を示す図。
【図１７】本発明に係わる多層膜フィルタに基づくＧＦＦを含む双方向励起型の光増幅器の概略構成を示す図。
【図１８】図１７に示す双方向励起型光増幅器における利得と波長との相関関係を示すグラフ。
【図１９】図１７に示す双方向励起型光増幅器におけるＮＦ（Noise Figure）と波長との相関関係を示すグラフ。
【図２０】図１５（図１６、図１７）の光増幅器を含む波長多重光伝送システムの概略構成を示すブロック図。
【図２１】利得等化フィルタの利得等化機能を説明するための図。
【図２２】多層膜フィルタの設計目標損失特性、多層膜フィルタの設計値に基づく損失特性および両者の損失偏差をそれぞれ示すグラフ。
【符号の説明】
１ 多層膜フィルタ
２ 基板
３ 多層膜
３ａ１〜３ａＮ 薄膜層
１０、１０Ａ 膜厚設計装置
１１ 入力部
１２ コンピュータ
１３、１３Ａ メモリ
１４ 外部入出力インタフェース
２０ 理論式データファイル
２１ 目標透過損失値データファイル
２５ 許容最小透過率データファイル
１００ 前方励起型光増幅器
１０１ 第１のＥＤＦ
１０２ 第２のＥＤＦ
１０３ ＧＦＦ
１０４、１１４ 励起光源
１０５、１０５ａ、１０５ｂ 合波器
１０７ａ、１０７ｂ 光ファイバ
１０８ アイソレータ
１１０ 後方励起型光増幅器
１２０ 双方向励起型光増幅器
２００ 波長多重伝送システム
Ｐ、ＰＡ プログラム
Ｔ 光送信器
Ｒ 光受信器
【図１】
0004043788.tif 000010
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
0004043788.tif 000019
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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