(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム内、床上に置かれて、局所的に空気清浄度を維持あるいは向上させるためのクリーンモジュールであって、送風機にて、外気を吸入し、更に吸入した外気をフィルタリングして、清浄な空気をダウンフローにて床下に吹き出す方式のものであり、床下まで延伸された吸気用配管を備えたもので、該吸気用配管をアップフローダクトとし、これにて吸入する外気全てを床下から吸入するものであることを特徴とするアップフローダクト付きクリーンモジュール。
【請求項２】
請求項１において、吸気用配管の内側あるいは吸気用配管から外気が出る位置の近傍に、熱交換機を設けていることを特徴とするアップフローダクト付きクリーンモジュール。
【請求項３】
請求項１ないし２において、半導体製造やこれに関連する部材の製造に用いられることを特徴とするアップフローダクト付きクリーンモジュール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造やこれに関連する部材の製造等に用いられる局所的に空気清浄度を維持あるいは向上させるためのクリーンモジュールに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
クリーンモジュールは、局所的に清浄化された空気を吹き出し、局所的に空気清浄度を維持あるいは向上させるためのもので、通常、クリーンルーム内に置かれ使用され、極めて清浄度を良化した環境を要求される場に必ず用いられるものであり、従来より、半導体製造やこれに関連する部材の製造においては、必要とされていた。
通常、クリーンモジュール１１０においては、第２図に示すように、空気吸い込み口は、クリーンモジュール１１０の上部に配設される送風機１１５と共にクリーンルーム１２０の天井１２０ａ側、側面側、あるいはクリーンルーム１２０の底面側に向けて配設される。
また、第３図に示すように、送風機２１１とフィルター２１２が一体化となるファンフィルターユニット２１４を備えたクリーンモジュール２１０においては、空気の吸い込み口２１１ａはクリーンルーム２２０の天井２２０ａ側に配設される。
尚、図２中、１１０はクリーンモジュール、１１０ｂは支持部、１１０ｃは床部、１１２はフィルター、１１３は吹き出し面、１１５は送風機、１１６ａ、１１６ｂ、１１６ｃは空気吸い込み口（吸気口とも言う）、１１７は空気の流れ、１１８はダクト壁面、１２０はクリーンルーム、１２０ａは天井、１２０ｂは床面、１２０ｃはフリーアクセスフロアーである。
また、図３中、２１０はクリーンモジュール、２１０ｂは支持部、２１１は送風機、２１１ａは空気吸い込み口（吸気口とも言う）、２１２はフィルター、２１３は吹き出し面、２１４はファンフィルター、２１７は空気の流れ、２２０はクリーンルーム、２２０ａは天井、２２０ｂは床面、２２０ｃはフリーアクセスフロアーである。
【０００３】
これらのクリーンモジュールが置かれるクリーンルーム内の気圧は、外気と比較して陽圧に保たれ、天井から吹き出すダウンフローの空気の量と床で吸い込む空気の量がバランス良く循環していることにより、クリーンルーム全体の清浄度は維持されている。
しかし、例えば、このようなクリーンルームの清浄度のよい環境下に製版設備を配置し、更に、局所的なクリーンモジュールを製版設備に配設した場合、クリーンモジュールが吸い込む空気の量が、クリーンルーム全体の空気循環量のバランスを崩してしまう。
更に、図２や図３に示すクリーンモジュールの場合、吸気口が上部にあり、一部でクリーンルームの気流のダウンフローが崩れ、上昇気流のアッフロー現象が生じ、床又は更に下となるアクセスフロアー（１２０ｃ、２２０ｃ）に降塵している異物がアップフローと共にクリーンルーム（１２０、２２０）内を浮遊し、清浄度を悪化させることとなり、特に近年の、半導体素子の高密度化、微細化に伴ない、製造する製品の品質面で問題となってきた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、半導体製造やこれに関連する部材の製造においては、クリーンルーム内に、局所的に空気清浄度を維持あるいは向上させるためのクリーンモジュールを用いているが、クリーンルーム内に、製造のための設備やクリーンモジュールを置くことによる、クリーンルーム全体の空気循環量のバランスの崩れや、気流の乱れ（部分的なアップフロー）が発生し、清浄度の低下を起こしていた。
近年の、半導体素子の高密度化、微細化に伴ない、このような、クリーンルーム内にクリーンモジュール配設した場合にも、クリーンルーム全体の空気循環量のバランスの崩れや、気流の乱れ（部分的なアップフロー）の発生による、清浄度の低下が、製造する製品の品質面で問題となってきた。
本発明は、これに対応するもので、クリーンルーム内にクリーンモジュールを配設しても、これを原因とする気流の乱れ（部分的なアップフロー）の発生を起こさないクリーンモジュールを提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明のアップフローダクト付きクリーンモジュールは、クリーンルーム内、床上に置かれて、局所的に空気清浄度を維持あるいは向上させるためのクリーンモジュールであって、送風機にて、外気を吸入し、更に吸入した外気をフィルタリングして、清浄な空気をダウンフローにて床下に吹き出す方式のものであり、床下まで延伸された吸気用配管を備えたもので、該吸気用配管をアップフローダクトとし、これにて吸入する外気全てを床下から吸入するものであることを特徴とするものである。
そして、上記において、吸気用配管の内側あるいは吸気用配管から外気が出る位置の近傍に、熱交換機を設けていることを特徴とするものである。
そしてまた、上記いずれかにおいて、半導体製造やこれに関連する部材の製造に用いられることを特徴とするものである。
【０００６】
【作用】
本発明のアップフローダクト付きクリーンモジュールは、このような構成にすることにより、クリーンルーム内にクリーンモジュール配設しても、これを原因とする気流の乱れ（部分的なアップフロー）の発生を起こさないクリーンモジュールの提供を可能としている。
具体的には、送風機にて、外気を吸入し、更に吸入した外気をフィルタリングして、清浄な空気をダウンフローにて床下に吹き出す方式のものであり、床下まで延伸された吸気用配管を備えたもので、該吸気用配管をアップフローダクトとし、これにて吸入する外気全てを床下から吸入するものであることにより、これを達成している。
即ち、床下まで延伸された吸気用配管をアップフローダクトとし、これにて吸入する外気全てを外気を床下から吸入するものであることにより、部屋全体の気圧並びに気流バランスを崩すことはない。
これにより、クリーンルーム内において、完全なダウンフローとなり、図２や図３に示す従来のクリーンモジュールのように、部分的なアップフローの気流を引き起こすことがなく、クリーンモジュールの、局所的な清浄度の維持向上の機能を果たすことができるものとしている。
また、吸気用配管の内側あるいは吸気用配管から外気が出る位置の近傍に、熱交換機を設けていることにより、調温された状態で、清浄な空気をダウンフローさせることを可能としている。
特に、半導体製造やこれに関連する部材の製造に用いられる場合には有効である。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明のアップフローダクト付きクリーンモジュールの実施の形態例を、図に基づいて説明する。
図１は本発明のアップフローダクト付きクリーンモジュールの実施の形態の１例の概略構成図である。
図１中、１０はアップフローダクト付きクリーンモジュール（単にクリーンモジュールとも言う）、１０ａは壁面、１０ｂは支持部、１１は送風機、１１ａは吸気口、１２はフィルター、１３は吹き出し面、１４はファンフィルター、１６はアップフローダクト（吸気用配管とも言う）、１６ａはダクトの吸気口、１７は空気の流れ、２０はクリーンルーム、２０ａは天井、２０ｂは床面、２０ｃはフリーアクセスフロアーである。
本例のアップフローダクト付きクリーンモジュールは、クリーンルーム内に配置され、半導体製造やこれに関連する部材の製造の際に用いられる、局所的に空気清浄度を維持あるいは向上させるためのクリーンモジュールである。
そして、送風機１１にて、外気を吸入し、更に吸入した外気をフィルタリングして、清浄な空気をダウンフローにて吹き出す方式のものであり、床下まで延伸された吸気用配管を備えたもので、これをアップフローダクト１６とし、これにて吸入する外気全てを外気を床下から吸入するものである。
尚、アップフローダクト１６は、クリーンモジュール本体（図３のクリーンモジュールに相当）から延伸され床面２０ｂより下側に達して配設されており、アップフローダクトの吸気口１６ａは、床面２０ｂより下側にある。
【０００８】
本例のアップフローダクト付きクリーンモジュール１０においては、壁面１０ａにて囲み、アップフローダクト１６からの空気のみを送風機１１とフィルター１２とが一体化されたファンフィルター１４にて吸い込み、これを吹き出し面１３からダウンフローする。
ダウンフローされた空気は孔が設けられた床面２０ｂを通過し、フリーアクセスフロアー２０ｂを通り、外部にあるいは一部は再度アップフローダクト１６へと流れる。
このため、クリーンモジュール１０の空気の流れが、クリーンルーム２０自体の天井２０ａから床面２０ｂに向う空気の流れと接触することはなく、クリーンルーム２０自体の空気の流れに気流の乱れ（部分的なアップフロー）の発生を起こすことはない。
これにより、フリーアクセスフロアー２０ｂからの空気が床面２０ｂより直接アップフローによりクリーンルーム２０内に入り込むことはなく、クリーンルーム内の清浄度は維持される。
勿論、クリーンモジュール１０を設けたことによる局所的な清浄度の向上も期待できる。
【０００９】
本例においては、図示していないがアップフローダクト（吸気用配管）１６の内側あるいはアップフローダクト１６から外気がフィルター１２側に出る位置の近傍に、熱交換機を設けており、調温された状態で、清浄な空気をダウンフローさせることを可能としている。
【００１０】
本発明は、上記実施の形態に限定されない。
外気環境が同一であれば延伸配管を極端に延ばすことも、或いは、密着させることがあっても構わない。
又、第１図に示す送風機１１はクリーンモジュール上部に配設されているが、本発明は、これに限定されることない。
例えば、延伸されるアップフローダクト１６の配管内あるいは、第１図の吸気口１１ａに配設しても構わない。
【００１１】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、クリーンルーム内にクリーンモジュールを配設しても、これを原因とする気流の乱れ（部分的なアップフロー）の発生を起こさないクリーンモジュールの提供を可能にした。
これにより、近年の、半導体素子の高密度化、微細化に伴なう品質面からの清浄度の維持向上要求にも対応できるものとしている。
そして、図２や図３に示す従来のクリーンモジュールにおいて発生する、気流のアップフローによる微小異物の浮遊が皆無となり、異物付着による不良の発生を撲滅できるばかりか、クリーンルームを建設するに於いて必要とされる空調設備の清浄度レベルを低下させ、局所清浄化を図ることで、設備のイニシャルコスト及びランニングコストが大幅に低減される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のアップフローダクト付きクリーンモジュールの実施の形態の１例の概略構成図である。
【図２】従来のクリーンモジュールの１例を示した図である。
【図３】従来のクリーンモジュールの他の１例を示した図である。
【符号の説明】
１０        アップフローダクト付きクリーンモジュール（単にクリーンモジュールとも言う）
１０ａ      壁面
１０ｂ      支持部
１１        送風機
１１ａ      吸気口
１２        フィルター
１３        吹き出し面
１４        ファンフィルター
１６        アップフローダクト（吸気用配管とも言う）
１６ａ      ダクトの吸気口
１７        空気の流れ
２０        クリーンルーム
２０ａ      天井
２０ｂ      床面
２０ｃ      フリーアクセスフロアー
【図１】
0004043804.tif 000002
【図２】
0004043804.tif 000003
【図３】
0004043804.tif 000004