(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッド基板上に複数の積層型圧電素子を配置した液体吐出ヘッドの製造方法において、前記ヘッド基板上に少なくとも２枚の積層型圧電部材を同一直線上に間隔を空けて並べて接合し、前記積層型圧電部材同士の対向する端面部分を含めて前記積層型圧電部材にスリット加工を施して、前記複数の積層型圧電素子を分割形成することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
ヘッド基板上に複数の積層型圧電素子を配置した液体吐出ヘッドの製造方法において、前記ヘッド基板上に少なくとも２枚の積層型圧電部材を同一直線上に並べて接合し、この積層型圧電部材同士の対向する端面部分を加工開始位置としてスリット加工を施して、前記複数の積層型圧電素子に分割することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法において、前記積層型圧電部材同士の対向する端面の間隔はスリット加工を施す切削手段の幅を越えないことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法において、前記積層型圧電部材同士を予め仮留めした状態で前記ヘッド基板に接合することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は液体吐出ヘッドの製造方法に関し、特に積層型圧電素子を用いる液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の画像記録装置（画像形成装置を含む。）に用いるインクジェットヘッドは、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室（圧力室、加圧液室、吐出室、インク流路等とも称される。）と、この液室内のインクを加圧するエネルギーを発生するアクチュエータ手段（エネルギー発生手段）とを備えて、アクチュエータ手段を駆動することで吐出室内インクを加圧してノズルからインク滴を吐出させるものであり、記録の必要なときにのみインク滴を吐出するインク・オン・デマンド方式のものが主流である。
【０００３】
そして、インク滴（記録液体）を吐出させるためのアクチュエータ手段の種類により、幾つかの方式に大別されるが、圧電素子などの積層型圧電素子を用いたピエゾ型インクジェットヘッドとしては、例えば特開平９−４８１３２号公報に記載されているように、加圧液室を構成する壁面を圧電部材で形成し、シェアモード変形を利用してインク滴を吐出するようにしたものが知られている。
【０００４】
このインクジェットヘッドにおいては、圧電部材を接着した後、所望のピッチに溝加工を施し、この溝に電極パターンを形成し、インクとの接触を防止するための絶縁膜を被覆するようにしている。そして、ノズル数を多くするために、少なくとも２枚以上の圧電部材を接着して大型の圧電部材を形成している。
【０００５】
そして、この場合、圧電部材同士の接着層部が側壁の中に含まれると、接着層部を含む側壁のシェアモード変形が他の側壁のシェアモード変形より大幅に低下し、インク滴吐出性能が著しく低下するため、接着層部に溝が位置するように溝と側壁を形成し、接着層部が側壁に含まれないようにしたり、接着した圧電部材間の接着層部に対して複数個の側壁を斜めに交差させることにより、接着層部を複数の側壁中に分散させ、接着層部を含む側壁と接着層部を含まない側壁とのシェアモード変形量の誤差を少なくしている。
【０００６】
また、ピエゾ型インクジェットヘッドとしては、特開平１０−１００４０１号公報に記載されているように、ヘッド基板上に複数の積層型圧電素子を配列して設け、この積層型圧電素子上に振動板、液室隔壁を形成する液室隔壁部材及びノズルを形成したノズルプレートを順次積層したものも知られている。このインクジェットヘッドは、圧電素子がインクに直接接触せず、圧電素子の発熱の影響も少なく、使用するインクに対する制限がないという利点があり、また圧電素子に駆動電圧を印加するための電極の引出の自由度も高い。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように積層型圧電素子を用いるインクジェットヘッドはシェアモード変形を利用するインクジェットヘッドに比べて多くの利点がある。しかしながら、積層型圧電素子は２０〜５０μｍ厚さの圧電層と数μｍ厚さの内部電極層とを交互に積層したものであり、一般的にはグリーンシート状の圧電層に電極層をスクリーン印刷で形成する工程を繰り返し、最後に何層にも積層されたシートを一体焼成して形成するため、焼成により圧電層と電極層との収縮差によって反りが発生し易く、反りの大きさはシートの面積と相関があることから、反りのない大型（長尺）の積層型圧電素子を得ることが困難である。
【０００８】
そのため、記録密度の高密度化、記録速度の高速化などに対応するためにノズル数を多くした大型のヘッドやラインヘッドを構成することが困難であり、複数の積層型圧電部材を接着して、上記特開平９−４８１３２号公報に記載されているように分割することが考えられる。しかしながら、同公報に記載されているように斜めに圧電部材を交差させると、積層型圧電素子の場合には電極の取り出しができなくなる。
【０００９】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、積層型圧電素子を用いた高速、高精度記録が可能な液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、ヘッド基板上に少なくとも２枚の積層型圧電部材を同一直線上に間隔を空けて並べて接合し、積層型圧電部材同士の対向する端面部分を含めて積層型圧電部材にスリット加工を施して、複数の積層型圧電素子を分割形成する構成とした。
【００１１】
本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、ヘッド基板上に少なくとも２枚の積層型圧電部材を同一直線上に並べて接合し、この積層型圧電部材同士の対向する端面部分を加工開始位置としてスリット加工を施して、複数の積層型圧電素子に分割する構成とした。
【００１４】
ここで、積層型圧電部材同士の対向する端面の間隔はスリット加工を施す切削手段の幅を越えないものとすることが好ましい。また、積層型圧電部材同士は予め仮留めした状態でヘッド基板に接合することが好ましい。
本発明に係る画像形成装置は、本発明に係るいずれかの液体吐出ヘッドを搭載したものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。図１は本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドの一例を示す外観斜視図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿う要部拡大断面図、図３は図１のＢ−Ｂ線に沿う要部拡大断面図、図４は同インクジェットヘッドの分解斜視図である。
【００１６】
このインクジェットヘッドは、アクチュエータユニット１と、このアクチュエータユニット１上に接合した液室ユニット２とからなる。
アクチュエータユニット１は、絶縁材からなるヘッド基板１１上に、複数の積層型圧電素子１２を複数列、列状に配置して接合し、これら各圧電素子１２の周囲を取り囲む樹脂、セラミック等からなるフレーム部材（液室支持体）１３を接着剤によって接合している。
【００１７】
液室ユニット２は、振動板１５上に加圧液室、共通インク流路等を形成する感光性樹脂フィルム（ドライフィルムレジスト）或いはＳＵＳなどの金属プレートからなる液室隔壁部材１６をドライフィルムレジストの熱圧着、或いは接着剤で接着し、この液室隔壁部材１６上に複数のノズル１７を形成したノズルプレート１８を接着してなる。
【００１８】
これらの振動板１５、液室隔壁部材１６及びノズルプレート１７によって各圧電素子１２に振動板１５を介して対向する独立した複数の加圧液室２１、各加圧液室２１の両側に配置した共通インク流路２２及び共通インク流路２２から加圧液室２１にインクを供給するインク供給路となる流体抵抗部２３を形成している。
【００１９】
ここで、ヘッド基板１１は、厚さ０．５〜２ｍｍ程度で、しかも圧電素子に似た材質のものからなり、圧電素子と共に例えばダイヤモンド砥石による切削が可能なものであること、例えばチタン酸バリウム、アルミナ、ジルコンなどが好ましい。
【００２０】
このヘッド基板１１の圧電素子１２の列設方向（ノズル列方向）と平行な両端部には、各列の個々の圧電素子１２の対向しない端面側を接続するスリット溝２６で分割された各圧電素子１２に選択信号を与えるための個別電極２７を形成し、また、各列間には各圧電素子１２に駆動波形を与えるための共通電極２８を形成している。さらに、インク供給パイプ２９を接続するインク供給孔１１ａを設けている。
【００２１】
また、圧電素子１２は、１０層以上の積層型圧電素子であり、厚さ２０〜５０μｍ／１層のＰＺＴ（＝Ｐb（Ｚr・Ｔi）Ｏ3）３０と、厚さ数μｍ／１層の銀・パラジューム（ＡgＰd）からなる内部電極３１とを交互に積層したものである。なお、圧電素子として用いる材料は上記に限られるものでなく、一般に圧電素子材料として用いられるＢaＴiＯ3、ＰbＴiＯ3、（ＮaＫ）ＮbＯ3等の強誘電体などを用いることもできる。
【００２２】
これら複数の圧電素子１２は、後述するように、ヘッド基板１１上に、同一直線上に並べて接合された２列、２枚の積層型圧電部材をスリット加工によるスリット溝２６で分割して形成し、かつ、積層型圧電部材同士の対向する端面を含んでいないものである。
【００２３】
そして、各列の圧電素子１２の多数の内部電極３１を1層おきに交互に両端面に取り出して、両端面に形成した例えばＡgＰdからなる端面電極３２、３３に接続し、各列の各圧電素子１２の対向しない端面側の端面電極３２をヘッド基板１１上の個別電極２７にヤング率２００ｋgf／ｍｍ2以上の導電性ペーストなどの導電性材料３５を介して接続し、各列の各圧電素子１２の対向する端面側の端面電極３３をヘッド基板１１上の共通電極２８に同じく導電性材料３５を介して接続している。これらの個別電極２７及び共通電極２８はＦＰＣ３６を介して図示しない駆動ＩＣに接続される。
【００２４】
さらに、フレーム部材１３の圧電素子１２の各列間に対応する部分の下面には、導電性ペースト（導電性接合剤）を全面に塗布して、スリット溝２６で個々の圧電素子１２（各チャンネル）毎に分割された共通電極２８を相互に接続して一体の共通電極としている。なお、このフレーム部材１３にもインク供給孔１３ａを形成している。
【００２５】
次に、液室ユニット２の振動板１５は、図３に示すように加圧液室２１側は平坦面とし、圧電素子１２側はそれぞれ厚みの異なるダイアフラム部１５ａ、島状凸部１５ｂ、厚肉の接合領域１５ｃを有している。この振動板１５はＮi（ニッケル）等の金属プレート、或いはＳＵＳ材と樹脂フィルムの積層体などから形成することができる。なお、振動板１５にもインク供給孔１５ｄを形成している。
【００２６】
液室隔壁部材１６は、振動板１５上面とノズルプレート１８との間に位置して加圧液室２１等のインク流路を形成するものであり、その製造工程から下側隔壁部材４１及び上側隔壁部材４２で構成している。
【００２７】
そして、この液室ユニット２は、その振動板１５の島状凸部１５ｂを接着剤２０によって圧電素子１２の上面に接合し、振動板１５の厚肉部１５ｃをフレーム部材１３上面に接着剤２０で接合することにより、アクチュエータユニット１に高い剛性で接合している。
【００２８】
このインクジェットヘッドにおいては、記録信号に応じて選択的に圧電素子１２に２０〜５０Ｖの駆動パルス電圧を印加することによって、パルス電圧が印加された圧電素子１２が積層方向に変位して振動板１５の対応するダイアフラム部１５ａを加圧液室２１側に変形させ、加圧液室２１の容積（体積）変化によって加圧液室２１内のインクを加圧することで、インクがノズルプレート１８のノズル１７から液滴となって吐出され、記録を行うことができる。
【００２９】
そして、インク滴の吐出に伴って加圧液室２１内のインク圧力が低下し、このときのインク流れの慣性によって加圧液室２１内には若干の負圧が発生する。この状態の下において、圧電素子１２への駆動電圧の印加をオフ状態にすることによって、振動板１５のダイアフラム部１５ａが元の位置に戻って加圧液室２１が元の形状になるため、さらに負圧が発生する。このとき、図示しないインクタンクに通じるインク供給パイプ２９から入ったインクは、共通インク流路２２を通って流体抵抗部２３から加圧液室２１内に充填される。そして、ノズル１７のインクメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次のインク滴吐出のために圧電素子１２にパルス電圧を印加する。
【００３０】
この場合、振動板１５の変形部をダイアフラム部１５ａとすることによって、圧電素子１２の変位を効率的に加圧液室２１に伝達することができると共に、当該加圧液室２１以外の部分への振動の伝搬が減少してクロストークが低減する。また、インク滴吐出時に、加圧液室２１から共通インク流路２２に通じる流路方向にインクの流れが発生するが、この流路はその断面積を他より小さく形成した流体抵抗部２３としているので、加圧液室２１から共通インク流路２２への逆流が極めて少なくなり、インク滴吐出効率の低下が防止される。
【００３１】
そこで、このインクジェットヘッドにおける圧電素子１２の形成工程について図５乃至図８をも参照して説明する。なお、図５は積層型圧電部材を接着する前のヘッド基板を示す斜視説明図、図６は積層型圧電部材を接着したヘッド基板を示す斜視説明図、図７は図６の正面説明図、図８は図７の平面説明図である。
【００３２】
ヘッド基板１１には、図５に示すように、予めインク供給孔１１ａを形成し、個別電極パターン５１と共通電極パターン５２とをスクリーン印刷等で形成している。そして、図６乃至図８に示すように、このヘッド基板１１上に、２つの積層型圧電部材５３を同一直線上に間隔ｄを空けて並べて接着接合し、これを２列並列に配置する。このとき、図８に示すように、同一直線状に間隔ｄを空けて並べて接合された積層型圧電部材５３を複数列有し、複数列を同時にスリット加工可能とする位置に間隔ｄを設けている。
【００３３】
したがって、分割形成された積層型圧電素子１２の各列の間隔も一度のスリット加工でスリット溝を形成できる間隔となる。これにより、スリット加工の作業効率が向上する。
【００３４】
なお、この積層型圧電部材５３は分割後に積層型圧電素子１２となるものであって構造的には積層型圧電素子１２と同じであり、またノズル列方向と同方向の両端面には分割後に端面電極３２，３３となる端面電極部材を形成し、導電性材料３５で個別電極パターン５１及び共通電極パターン５２と電気的に接続する。
【００３５】
そして、ダイシングソーやワイヤーソーなどのスリット加工を施す切削装置（スリット加工装置）を用いて、ダイヤモンド砥石などのブレードである切削部材５４によって、積層型圧電部材５３，５３の長手方向と直交する方向に所定のピッチでスリット加工を施して、各列の積層型圧電部材５３をスリット溝２６によって分割して、複数の圧電素子１２を形成する。なお、スリット溝２６はヘッド基板１１に達するまで形成することで、完全に圧電素子１２を独立させ、クロストークを防止する。
【００３６】
このとき、図７に示すようにブレード等の切削部材（切削手段）５４によるスリット加工の開始位置は、２つの積層型圧電部材５３、５３の対向する端面（短手側端面）部分としている。
【００３７】
また、２つの積層型圧電部材５３、５３の対向する端面（短手側端面）５３ａ、５３ａの間隔ｄは切削手段であるブレード５４の幅ｄ’よりも狭くしている。
【００３８】
これにより、２つの圧電部材５３、５３の対向する端面からスリット加工を開始することで、各圧電部材５３，５３間の間隔ｄが切削部材５４の幅より狭いので、スリット加工により各圧電部材５３の端面が除去され、分割形成された複数の積層型圧電素子１２は圧電部材５３の端面を含まないものとなり、等ピッチで長尺なヘッドを構成することができ、高速、高精度記録が可能になる。
【００３９】
すなわち、ヘッド基板１１上の圧電部材５３の対向しない端面側からスリット加工を開始すると、複数の圧電部材５３の接着時のずれ等によって、圧電部材５３の対向する端面が積層型圧電素子１２に含まれることがある。
【００４０】
このように出来上がった積層型圧電素子１２に端面が含まれると、圧電部材５３、５３の対向する端面５３ａ、５３ａを接着した状態でヘッド基板１１に接着した場合には、接着部分で積層型圧電素子１２の駆動変位量が著しく低下し、安定したインク滴吐出が行えないと共に、インク滴吐出特性にチャンネル間のバラツキが生じることになる。
【００４１】
また、圧電部材５３、５３の対向する端面５３ａ、５３ａを接着しないでヘッド基板１１上に接着した場合でも、対向する５３ａ、５３ａ端面を含む積層型圧電素子１２はノズル列方向幅が他の積層型圧電素子１２と異なることになり、インク滴吐出特性のバラツキが生じる。上述のように圧電部材５３、５３の対向する端面５３ａ、５３ａを除去することで、これらの問題を回避することができる。
【００４２】
また、２つの圧電部材５３、５３の対向する端面（短手側端面）５３ａ、５３ａの間隔ｄをスリット加工を施すための切削手段５４の幅ｄ’よりも狭くして、その端面５３ａ、５３側からスリット加工を開始することで、一度のスリット加工で圧電部材５３、５３の端面５３ａ、５３を除去することができ、且つ、複数の積層型圧電素子１２を等ピッチで形成できる。
【００４３】
すなわち、２つの圧電部材５３、５３の対向する端面（短手側端面）５３ａ、５３ａの間隔ｄがスリット加工を施すための切削手段５４の幅ｄ’よりも広くなると、２度の切削加工で圧電部材５３の端面５３ａ、５３ａを除去しなければならなくなる。この場合、複数の圧電素子１２のピッチが不等間隔になると液室ユニット２と高精度に接合することができなくなり、インク滴吐出特性にバラツキが生じることになる。そのため、すべてのスリットで２度の切削加工を行わなければ分割された複数の圧電素子１２間のピッチが等間隔でなくなってしまい、加工工数が極めて増加することになる。
【００４４】
そこで、２つの圧電部材５３、５３の対向する端面（短手側端面）の間隔ｄを切削手段５４の幅ｄ’よりも狭くするのである。例えば、１５０dpiのヘッドの場合で、スリット溝２６の幅を７０μｍとしたとき、２つの圧電部材５３，５３の対向する端面の間隔ｄは７０μｍ以下、好ましくは５０μｍ以下にする。同様に、例えば２００dpiのヘッドの場合で、スリット溝２６の幅を５０μｍとしたとき、２つの圧電部材５３，５３の対向する端面の間隔ｄは５０μｍ以下、好ましくは３０μｍ以下にする。
【００４５】
すなわち、２つの圧電部材の対向する端面（短手側端面）の間隔ｄはスリット溝の幅（圧電素子１２、１２間の並置間隔）の０．５〜０．７倍程度にすることが、２つの圧電部材の接合作業を容易にし、また、スリット加工開始位置のマージンを持たせることができて、作業効率が向上する。
【００４６】
また、２つの積層型圧電部材５３、５３の同一直線上での整列度は１００μｍ以内にすることが好ましい。これにより、異なる積層型圧電部材５３，５３から形成された複数の積層型圧電素子１２の整列度も１００μｍ以内に収めることができる。
【００４７】
すなわち、２つの積層型圧電部材５３、５３の整列度がずれた場合、振動板１５のダイアフラム部１５ａと圧電素子１２との接合位置ずれが生じて、振動板１５の変位量が大きく低下し、更には液漏れを生じる原因となる。
【００４８】
ここで、振動板１５と圧電素子１２の位置ずれ量とインク滴吐出速度Ｖｊとの関係を図９に示している。適正なインク滴の吐出に最低７．０ｍ／ｓの吐出速度Ｖｊが必要であるとき、圧電素子１２の長さＬｐ＝２０００μｍ、振動板１５のダイアフラム部１５ａの長さＬｄ＝１４００μｍである場合、同図に示すように、位置ずれ量が±１００μｍを越えると滴吐出速度Ｖｊが大きく低下し、インク滴のバラツキが生じたり、吐出不良が生じる。したがって、振動板１５と圧電素子１２の位置ずれ量を１００μｍ以内に収めるためには同一直線上に並ぶ２つの圧電部材５３，５３の整列度も１００μｍ以内にする。
【００４９】
ところで、２つの積層型圧電部材５３，５３を同一直線上に並べてヘッド基板１１上に接着接合するには、例えば、圧電部材より若干大きな穴の空いた金属板などの冶具を用いて、定位置に圧電素子を落とし入れる方法、ヘッド基板１１に突き当て冶具を配置して圧電部材の長尺側端面を突き当てる方法、画像処理を利用して位置決めする方法などを用いることができる。
【００５０】
これらの方法を採用した場合でも複数の圧電部材を並べる煩雑さや設定位置ずれなどの問題が伴ない、特に２つの積層型圧電部材５３、５３の同一直線上での整列度を１００μｍ以内に収めてヘッド基板１１上に個々に接着する作業は手間である。
【００５１】
そこで、２つの積層型圧電部材５３、５３を整列度が一定の範囲内に収まるように冶具などで位置出しして、圧電部材５３，５３の端面同士を予め接着剤などで仮留め（仮接着）しておき、仮留めした積層型圧電部材５３、５３をヘッド基板１１上に接着することで、整列度を確保することができ、しかもヘッド基板への接着作業性を向上できる。なお、２つの積層型圧電部材５３、５３は仮留め接着剤のはみ出しがなく、ヘッド基板への接着面の平坦性を確保するように冶具で固定することが好ましい。
【００５２】
以上のようにしてヘッド基板１１上に複数の圧電素子１２を分割形成した後、ヘッド基板１１上にフレーム部材１３を接着接合し、ＦＰＣケーブル３６をヘッド基板１１上の個別電極２７及び共通電極２８に熱と加圧で接合して、アクチュエータユニット１を完成する。なお、ＦＰＣケーブル３６は圧電素子１２を選択的に駆動できるパターンを有し、その接合部には予め半田メッキを施している。
【００５３】
このアクチュエータユニット１とは別に液室ユニット２の加工・組み付けを行う。この液室ユニット２は、振動板１５のフラットな面上に下側隔壁部材４１を形成するための感光性樹脂である厚さ２０〜５０μｍ程度のドライフィルムレジストを熱及び加圧によってラミネートし、流路パターンに応じたマスクを用いて紫外線露光をして、露光部分を硬化させる。そして、未露光部分を除去できる溶剤を用いて、未露光部分を除去して現像し、図４に示すような下側隔壁部材４１の液室パターンを形成し、水洗い、乾燥の後、再度紫外線と露光と熱によって本硬化する。また、ノズルプレート１８にも同様にしてドライフィルムレジストを用いた上側隔壁部材４２を形成する。
【００５４】
次いで、振動板１５とノズルプレート１８に形成したドライフィルムレジストからなる下側隔壁部材４１と上側隔壁部材４２との対応する面同士を接合する。この接合は位置合わせ冶具を用いて行い、加圧及び前記本硬化のときより高い温度での加熱を行う。
【００５５】
次に、上述のようにして完成したアクチユエータユニット１と液室ユニット２とを組み付ける。すなわち、先ず、アクチユエータユニット１の圧電素子１２及びフレーム部材１３の上面にスクリーン印刷機を用いてエポキシ系接着剤等の接着剤を塗布し、位置合わせ可能な接合治具にアクチユエータユニット１を固定し、液室ユニット２の振動板１５側（接合面）を下方にして、位置合わせしながら両ユニット１、２を接合する。この場合、数ｋｇ／ｃｍ2の加圧状態でエポキシ系接着剤が反応硬化する間放置する。なお、接着剤として、アクリル系の二液非混合タイプのものやシアノアクリレート系のものなどを用いて瞬間的に接合するようにしてもよい。最後に、ヘッド基板１１にインク供給パイプ２９を挿入して接着剤を塗布硬化して固定する。
【００５６】
このような製造工程を採用することにより、両ユニットの良品同士を選んで組み付けることが出できて、歩留まりが向上するとともに、加工組付け工程で粉塵が発生し易いアクチュエータユニット１と、粉塵の付着を避けたい液室ユニット２とを別々の工程で組み付けることができるので、完成したインクジェットヘッドの品質が向上する。
【００５７】
次に、本発明の第２実施形態について図１０及び図１１を参照して説明する。なお、図１０はヘッド基板に積層型圧電部材を接着した状態の正面図、図１１は同じく平面図である。
この実施形態では、ヘッド基板６１には中央部に積層型圧電部材５３端面が当接し、複数の積層型圧電部材５３、５３の列間距離を規定する段差部を形成する凸部６２を形成している。なお、凸部６２に代えて凹部を形成して段差部を形成することもできる。
【００５８】
そこで、ヘッド基板６１上に圧電部材５３、５３を接合するときに、圧電部材５３、５３の長手端面を凸部６２で形成された段差部（凸部６２の壁面）に当接させて冶具で押さえ込む。これによって、ヘッド基板６１と圧電部材５３、５３を接合するときに、荷重を付加したときの位置ずれが低減する。なお、ヘッド基板６１上の電極パターン５１，５２と導電性部材で電気的に接続することは前記実施形態と同様である。
【００６１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法によれば、ヘッド基板上に少なくとも２枚の積層型圧電部材を同一直線上に間隔を空けて並べて接合し、積層型圧電部材同士の対向する端面部分を含めて積層型圧電部材にスリット加工を施して、複数の積層型圧電素子を分割形成する構成としたので、長尺のヘッドを実現でき、高速、高精度記録が可能になる。
【００６２】
本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法によれば、ヘッド基板上に少なくとも２枚の積層型圧電部材を同一直線上に並べて接合し、この積層型圧電部材同士の対向する端面部分を加工開始位置としてスリット加工を施して、複数の積層型圧電素子に分割する構成としたので、長尺のヘッドを実現でき、高速、高精度記録が可能になる。
【００６５】
ここで、積層型圧電部材同士の対向する端面の間隔はスリット加工を施す切削部材の幅を越えないものとすることで、分割後の積層型圧電素子に端面が含まれることなく、等ピッチの長尺なヘッドを得られる。また、積層型圧電部材同士は予め仮留めすることで、ヘッド基板への接着作業効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッドの一例を示す外観斜視図
【図２】  図１のＡ−Ａ線に沿う要部拡大断面図
【図３】  図１のＢ−Ｂ線に沿う要部拡大断面図
【図４】  同インクジェットヘッドの分解斜視図
【図５】  積層型圧電部材を接着する前のヘッド基板を示す斜視説明図
【図６】  積層型圧電部材を接着したヘッド基板を示す斜視説明図
【図７】  図６の正面説明図
【図８】  図７の平面説明図
【図９】  振動板と圧電素子のずれ量とインク滴吐出速度の関係の一例を説明する説明図
【図１０】  本発明の第２実施形態におけるヘッド基板に積層型圧電部材を接着した状態の正面図
【図１１】  同じく平面図
【符号の説明】
１…アクチュエータユニット、２…液室ユニット、１１…ヘッド基板、１２…積層型圧電素子、１３…フレーム部材、１５…振動板、１６…液室隔壁部材、１７…ノズル、１８…ノズルプレート、５３…積層型圧電部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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