(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電力消費の少ない時間帯に電力を用いて、オゾン化ガスを製造するとともに、前記オゾン化ガスに含まれるオゾンを吸着剤に貯蔵し、電力消費の多い時間帯に、前記貯蔵されたオゾンをオゾン含有ガスとして取り出して使用する電力変換貯蔵方法において、
前記吸着剤からオゾンを取り出す際に、前記オゾン含有ガスを一定濃度で且つ一定量の割合でオゾン消費物体に供給することを特徴とする電力変換貯蔵方法。
【請求項２】
前記吸着剤からオゾンを取り出す際に、前記吸着剤を加熱しないことを特徴とする請求項１に記載の電力変換貯蔵方法。
【請求項３】
前記吸着剤からオゾンを取り出す際に、前記吸着剤の周囲の圧力を負圧にすることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の電力変換貯蔵方法。
【請求項４】
電力消費の少ない時間帯に電力を用いて、酸素を含む原料ガスからオゾン化ガスを生成するオゾン発生手段と、
前記オゾン化ガスからオゾンを吸着するとともに吸着したオゾンを脱着する吸脱着手段と、
前記オゾン発生手段および前記吸脱着手段を介して前記原料ガスおよび前記オゾン化ガスを流すとともに、前記オゾン化ガスからオゾンを吸着して残った酸素を前記オゾン発生手段に戻す循環経路と、
前記吸脱着手段を冷却する冷却源と、
電力消費の多い時間帯に前記吸脱着手段からオゾンを含むオゾン含有ガスを取り出してオゾン消費物体に供給するオゾン放出手段とを備え、
前記オゾン放出手段は、前記オゾン含有ガスを一定濃度で且つ一定量の割合で前記オゾン消費物体に供給するためのオゾン濃度制御手段を含むことを特徴とする電力変換貯蔵装置。
【請求項５】
前記オゾン濃度制御手段は、
前記オゾン含有ガスのオゾン濃度を測定するオゾン濃度計と、
前記吸脱着手段から取り出されるオゾン含有ガスの流量を調整する第１の流量調整弁と、
前記オゾン消費物体に供給されるオゾン含有ガスの流量を調整する第２の流量調整弁と、
前記オゾン濃度に基づいて前記第１および第２の流量調整弁を制御する制御手段とを含み、
前記制御手段は、
前記オゾン濃度が所定オゾン濃度よりも高いときには、前記第１の流量調整弁を閉じ且つ前記第２の流量調整弁を開く方向に制御し、
前記オゾン濃度が前記所定オゾン濃度よりも低いときには、前記第１の流量調整弁を開き且つ前記第２の流量調整弁を閉じる方向に制御することを特徴とする請求項４に記載の電力変換貯蔵装置。
【請求項６】
前記オゾン濃度制御手段は、
前記オゾン含有ガスのオゾン濃度を測定するオゾン濃度計と、
前記吸脱着手段からオゾンを取り出すための減圧力を調整する減圧力調整手段と、
前記オゾン消費物体に供給されるオゾン含有ガスの流量を調整する流量調整弁と、
前記オゾン濃度に基づいて前記減圧力調整手段および前記流量調整弁を制御する制御手段とを含み、
前記制御手段は、
前記オゾン濃度が所定オゾン濃度よりも高いときには、前記減圧力を低減し且つ前記流量調整弁を開く方向に制御し、
前記オゾン濃度が前記所定オゾン濃度よりも低いときには、前記減圧力を増大し且つ前記流量調整弁を閉じる方向に制御することを特徴とする請求項４に記載の電力変換貯蔵装置。
【請求項７】
前記減圧力調整手段は、前記吸脱着手段内を減圧状態にして前記吸脱着手段からオゾンを取り出すガスエジェクタを含み、
前記ガスエジェクタは、圧縮ガスを通過させるノズルを有し、
前記制御手段は、前記ノズルの径を増減させることにより前記減圧力を制御することを特徴とする請求項６に記載の電力変換貯蔵装置。
【請求項８】
前記減圧力調整手段は、
前記吸脱着手段内を減圧状態にして前記吸脱着手段からオゾンを取り出すガスエジェクタと、
前記ガスエジェクタの入出力端間を連通するバイパス配管と、
前記ガスエジェクタおよび前記バイパス配管に流れる圧縮ガスの流量比を調整する二方向流量調整弁とを含み、
前記制御手段は、前記二方向流量調整弁を制御して前記圧縮ガスの流量比を調整することにより、前記減圧力を制御することを特徴とする請求項６に記載の電力変換貯蔵装置。
【請求項９】
前記ガスエジェクタを駆動するための圧縮ガスを蓄えるガス貯蔵手段を備えたことを特徴とする請求項７または請求項８に記載の電力変換貯蔵装置。
【請求項１０】
前記ガス貯蔵手段は、圧縮ガス貯蔵タンクからなることを特徴とする請求項９に記載の電力変換貯蔵装置。
【請求項１１】
前記ガス貯蔵手段は、空気を液化した状態で貯蔵する空気液化手段からなることを特徴とする請求項９に記載の電力変換貯蔵装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、電力を用いてオゾンを製造貯蔵するとともに、貯蔵したオゾンを必要に応じて一定の割合で且つ連続的に目的物に供給可能にした電力変換貯蔵方法および装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、夜間電力を利用した電力変換貯蔵装置としては、電気温水器、蓄熱暖房器、氷蓄熱冷房器等に見られるように、電力を熱に変換して貯蔵する装置がよく知られている。
また、他の電力変換貯蔵装置としてたとえば間欠オゾン供給装置も知られている。
図１８は従来の間欠オゾン供給装置を概略的に示す構成図であり、オゾンを一時的に貯蔵する場合を示している。
【０００３】
図１８において、１２はオゾンを発生するための放電空隙（図示せず）を有するオゾン発生機であり、酸素を含む原料ガスからオゾン化ガスを生成する。１３はオゾン発生機１２に酸素を供給する酸素供給源、１４はオゾン発生機１２を含む循環経路にガスを循環させて流す循環ブロアである。
【０００４】
１５はオゾン化ガス（後述するオゾン化酸素）からオゾンを吸着および脱着する吸脱着装置としての吸脱着塔であり、オゾン発生機１２から搬送されるオゾンを一時的に貯蔵するための吸着剤（後述する）を含む。
１６は吸脱着塔１５を冷却するための冷却源、１７は吸脱着塔１５を加熱するための加熱源、１８は吸脱着塔１５からオゾンを減圧吸引して取り出す水流エジェクタである。
【０００５】
吸脱着塔１５は、オゾン吸着剤が充填された内筒１５ａと、熱媒体が充填された外筒１５ｂとからなる二重筒構造を有しており、内筒１５ａには、オゾン発生機１２、循環ブロア１４および水流エジェクタ１８が接続され、外筒１５ｂには、冷却源１６および加熱源１７が接続されている。
【０００６】
１９ａ〜１９ｇは吸脱着塔１５の出入口に介在された切換弁群であり、切換弁１９ａおよび１９ｂは、冷却源１６の両端に介在され、切換弁１９ｃおよび１９ｄは、オゾン発生機１２および循環ブロア１４の両端に介在され、切換弁１９ｅは、吸脱着塔１５と水流エジェクタ１８との接続部に介在され、切換弁１９ｆおよび１９ｇは加熱源１７の両端に介在されている。
【０００７】
次に、図１８に示した従来の電力変換貯蔵装置（間欠オゾン供給装置）の動作について説明する。
まず、オゾン発生機１２および循環ブロア１４を含む循環系内が常時一定圧力となるように、酸素供給源１３から酸素を供給する。
このときの圧力は、通常、１．５ｋｇ／ｃｍ２  に維持されている。
【０００８】
ここで、切換弁１９ｃおよび１９ｄが開いた状態で、循環ブロア１４を駆動することにより循環系内に酸素を流通させると、流通酸素の一部は、オゾン発生機１２内の放電空隙中を通過する間に、無声放電によりオゾンに変換されてオゾン化酸素となり、このオゾン化酸素は、吸脱着塔１５に搬送される。
なお、原料ガスからオゾンに変換されて消費された酸素は、酸素供給源１３により補充される。
【０００９】
オゾン吸脱着塔１５内の吸着剤は、切換弁１９ｃを介して供給されたオゾン化酸素のうちのオゾンを選択的に吸着し、残りの酸素を切換弁１９ｃを介して循環ブロア１４に返送する。
このとき、オゾン吸着剤のオゾン吸着容量は、冷却されるほど増大するので、冷却源１６は、オゾン吸脱着塔１５の冷却温度を、通常、−３０℃以下に設定している。
【００１０】
オゾン吸脱着塔１５内の吸着剤が、オゾン飽和吸着量の近くまでオゾンを吸着すると、次に、オゾン脱着動作に移行する。
オゾン脱着動作においては、オゾン発生機１２、循環ブロア１４および冷却源１６が稼動を停止し、切換弁１９ａ〜１９ｄが閉じられる。
【００１１】
その後、加熱源１７および水流エジェクタ１８が稼動を開始し、切換弁１９ｅ〜１９ｇが開かれる。このとき、吸着剤に吸着されていたオゾンが脱着し易いように、加熱源１７は、熱を印加して、吸着剤の温度を上昇させる。
また、水流エジェクタ１８は、オゾン吸脱着塔１５内のオゾンを減圧吸引し、水流エジェクタ１８内において、オゾンを水中に分散して溶解し、オゾン水として使用箇所に搬送する。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
従来の電力変換貯蔵方法および装置は以上のように、温熱貯蔵装置を用いた場合には、単位体積当たりに蓄えることができる熱量があらかじめ決定しているので、電力変換貯蔵量を増大させるためには蓄熱体そのものの容積を増大させる必要があり、需要に対する適応性に欠けるという問題点があった。
また、温熱（貯蔵電力）の貯蔵能力および使用量（需要形態）が年間を通して一定でなく、環境温度や季節によって変動するので、効率的に電力を貯蔵して供給することができないという問題点があった。
【００１３】
また、図１８のように間欠オゾン供給装置を用いた場合には、オゾン消費物体に対してオゾンを一定の割合で安定的に供給することができないという問題点があった。
また、貯蔵したオゾンを取り出す際に水を利用しているので、多くの電力を必要とするうえ、オゾンの利用範囲が水処理に限定されてしまい、さらに、オゾンが水中で分解し易い（数分程度で分解してしまう）ことから、利用時間が制限されるという問題点があった。
【００１４】
この発明の請求項１〜３は、上記のような問題点を解消するためになされたもので、電力を用いて生成したオゾンを効率的に貯蔵するとともに、一定量のオゾンを随時供給して使用することのできる電力変換貯蔵方法を得ることを目的とする。
【００１５】
また、この発明の請求項４〜１１は、上記のような問題点を解消するためになされたもので、電力を用いて生成したオゾンを効率的に貯蔵するとともに、オゾン消費物体に一定量のオゾンを随時供給することのできる電力変換貯蔵装置を得ることを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
この発明の請求項１に係る電力変換貯蔵方法は、電力消費の少ない時間帯に電力を用いて、オゾン化ガスを製造するとともに、オゾン化ガスに含まれるオゾンを吸着剤に貯蔵し、電力消費の多い時間帯に、貯蔵されたオゾンをオゾン含有ガスとして取り出して使用する電力変換貯蔵方法において、吸着剤からオゾンを取り出す際に、オゾン含有ガスを一定濃度で且つ一定量の割合でオゾン消費物体に供給するものである。
これにより、電力負荷の平準化を行うことができる。
【００１７】
また、この発明の請求項２に係る電力変換貯蔵方法は、請求項１において、吸着剤からオゾンを取り出す際に、吸着剤を加熱しないものである。
【００１８】
また、この発明の請求項３に係る電力変換貯蔵方法は、請求項１または請求項２において、吸着剤からオゾンを取り出す際に、吸着剤の周囲の圧力を負圧にするものである。
【００１９】
また、この発明の請求項４に係る電力変換貯蔵装置は、電力消費の少ない時間帯に電力を用いて、酸素を含む原料ガスからオゾン化ガスを生成するオゾン発生手段と、オゾン化ガスからオゾンを吸着するとともに吸着したオゾンを脱着する吸脱着手段と、オゾン発生手段および吸脱着手段を介して原料ガスおよびオゾン化ガスを流すとともに、オゾン化ガスからオゾンを吸着して残った酸素をオゾン発生手段に戻す循環経路と、吸脱着手段を冷却する冷却源と、電力消費の多い時間帯に吸脱着手段からオゾンを含むオゾン含有ガスを取り出してオゾン消費物体に供給するオゾン放出手段とを備え、オゾン放出手段は、オゾン含有ガスを一定濃度で且つ一定量の割合でオゾン消費物体に供給するためのオゾン濃度制御手段を含むものである。
これにより、オゾンを効率的に蓄えることができるとともに、オゾン消費物体に一定濃度のオゾンを含んだガスを一定量ずつ供給することができ、電力の貯蔵および放出を容易に行うことができる。
【００２０】
また、この発明の請求項５に係る電力変換貯蔵装置は、請求項４において、オゾン濃度制御手段は、オゾン含有ガスのオゾン濃度を測定するオゾン濃度計と、吸脱着手段から取り出されるオゾン含有ガスの流量を調整する第１の流量調整弁と、オゾン消費物体に供給されるオゾン含有ガスの流量を調整する第２の流量調整弁と、オゾン濃度に基づいて第１および第２の流量調整弁を制御する制御手段とを含み、制御手段は、オゾン濃度が所定オゾン濃度よりも高いときには、第１の流量調整弁を閉じ且つ第２の流量調整弁を開く方向に制御し、オゾン濃度が所定オゾン濃度よりも低いときには、第１の流量調整弁を開き且つ第２の流量調整弁を閉じる方向に制御するものである。
これにより、オゾン消費物体に一定割合でオゾンを供給でき、貯蔵した電力を安定的に供給することができる。
【００２１】
また、この発明の請求項６に係る電力変換貯蔵装置は、請求項４において、オゾン濃度制御手段は、オゾン含有ガスのオゾン濃度を測定するオゾン濃度計と、吸脱着手段からオゾンを取り出すための減圧力を調整する減圧力調整手段と、オゾン消費物体に供給されるオゾン含有ガスの流量を調整する流量調整弁と、オゾン濃度に基づいて減圧力調整手段および流量調整弁を制御する制御手段とを含み、制御手段は、オゾン濃度が所定オゾン濃度よりも高いときには、減圧力を低減し且つ流量調整弁を開く方向に制御し、オゾン濃度が所定オゾン濃度よりも低いときには、減圧力を増大し且つ流量調整弁を閉じる方向に制御するものである。
これにより、オゾン消費物体に一定割合でオゾンを供給でき、貯蔵した電力を安定的に供給することができる。
【００２２】
また、この発明の請求項７に係る電力変換貯蔵装置は、請求項６において、減圧力調整手段は、吸脱着手段内を減圧状態にして吸脱着手段からオゾンを取り出すガスエジェクタを含み、ガスエジェクタは、圧縮ガスを通過させるノズルを有し、制御手段は、ノズルの径を増減させることにより減圧力を制御するものである。
【００２３】
また、この発明の請求項８に係る電力変換貯蔵装置は、請求項６において、減圧力調整手段は、吸脱着手段内を減圧状態にして吸脱着手段からオゾンを取り出すガスエジェクタと、ガスエジェクタの入出力端間を連通するバイパス配管と、ガスエジェクタおよびバイパス配管に流れる圧縮ガスの流量比を調整する二方向流量調整弁とを含み、制御手段は、二方向流量調整弁を制御して圧縮ガスの流量比を調整することにより、減圧力を制御するものである。
【００２４】
また、この発明の請求項９に係る電力変換貯蔵装置は、請求項７または請求項８において、ガスエジェクタを駆動するための圧縮ガスを蓄えるガス貯蔵手段を備えたものである。
これにより、オゾンを取り出す際に使用する電力をさらに少なくすることができる。
【００２５】
また、この発明の請求項１０に係る電力変換貯蔵装置は、請求項９において、ガス貯蔵手段として、圧縮ガス貯蔵タンクを用いたものである。
また、この発明の請求項１１に係る電力変換貯蔵装置は、請求項９において、ガス貯蔵手段として、空気を液化した状態で貯蔵する空気液化手段を用いたものである。
【００２６】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
以下、この発明の実施の形態１を図について説明する。
図１はこの発明の実施の形態１による電力変換貯蔵装置を概略的に示す構成図であり、図において、１２、１３、１６、１９ａ、１９ｂおよび１９ｄは、前述（図１８参照）と同様のものである。
２１は前述の吸脱着塔１５に対応したオゾン貯蔵タンクであり、オゾン発生機１２から生成されたオゾン化ガスを貯蔵することにより、オゾンを貯蔵する。
【００２７】
２２はオゾン発生機１２からのオゾン化ガスを圧縮してオゾン貯蔵タンク２１に送り込むガス圧縮ポンプ、２３はオゾン貯蔵タンク２１に貯蔵されたオゾン化ガスに含まれるオゾンを消費するオゾン消費物体、２４はオゾン貯蔵タンク２１からオゾン含有ガスとして取り出したオゾンをオゾン消費物体２３に一定量ずつ供給するための流量調整弁である。
【００２８】
なお、オゾン貯蔵タンク２１は二重構造になっており、内部タンク２１ａは、オゾンが蓄えられる空間で構成されており、外部タンク２１ｂには、温度調整用の熱媒体が充填されている。なお、熱媒体としては、一般に、エチレングリコールやアルコール類が使用される。
【００２９】
また、ここでは図示しないが、オゾンの貯蔵時および放出時において各被制御要素をシーケンス制御するための制御装置が設けられており、オゾン発生機１２、酸素供給源１３、冷却源１６、切換弁１９ａ〜１９ｄ、ガス圧縮ポンプ２２および流量調整弁２４を制御するようになっている。
【００３０】
次に、図１に示したこの発明の実施の形態１によるオゾン貯蔵動作およびオゾン使用（放出）動作について説明する。
まず、オゾン貯蔵動作の場合、切換弁１９ａ、１９ｂおよび１９ｄが開いて、酸素供給源１３から酸素（原料ガス）が供給される。
【００３１】
続いて、酸素を含む原料ガスは、オゾン発生機１２に導入されると、オゾン発生機１２の放電空隙中を通過する間に、無声放電により酸素の一部がオゾンに変換されてオゾン化酸素になり、矢印のようにガス圧縮ポンプ２２に導かれる。
【００３２】
なお、オゾン発生時の原料ガスの圧力は、オゾンの発生効率を考えて、通常、１．５〜２．０ｋｇ／ｃｍ２程度に維持されている。
こうして生成されたオゾン化酸素は、ガス圧縮ポンプ２２を介して圧縮された後、オゾン貯蔵タンク２１に供給貯蔵される。このとき、当然であるが、オゾンの貯蔵量は、オゾン化酸素の圧力が高圧になるほど増大する。
また、オゾンの貯蔵量は、オゾンの分解が無いものとすれば、低温になるほど増大するので、オゾン貯蔵タンク２１は、冷却源１６により冷却されている。また、吸着時にガス圧縮ポンプ２２を冷却することにより、オゾンの分解を抑制し、さらに効率的にオゾンを貯蔵することができる。
【００３３】
オゾン貯蔵タンク２１へのオゾン化酸素すなわちオゾンの注入が終了すると、続いて、オゾンの放出動作に移行する。
オゾン放出動作においては、まず、オゾン発生機１２、ガス圧縮ポンプ２２および冷却源１６が稼動を停止し、切換弁１９ａ〜１９ｃが閉じられる。次に、流量調整弁２４が稼働を開始し、オゾン貯蔵タンク２１内のオゾン化酸素がオゾン含有ガスとして一定の割合で放出され、オゾン消費物体２３に一定量ずつ供給される。
なお、オゾン貯蔵タンク２１と流量調整弁２４との間に圧力調整弁（図示せず）を設けることにより、さらに高度な制御を実現することができる。
【００３４】
ここで、実験例に基づく特性図（図２）を参照しながら、オゾン化酸素を圧縮して貯蔵する際のオゾン濃度の影響について説明する。
図２はオゾン化酸素中のオゾン濃度［ｗｔ％］とオゾン分解率［％］との関係を実験結果に基づいて示す特性図であり、ここでは、オゾン圧縮貯蔵時の圧力が５〜２０ｋｇ／ｃｍ２、温度が２５℃の場合を示している。
【００３５】
図２から明らかなように、オゾン濃度が７ｗｔ％以下の場合、オゾン分解率は１０％以下であり、オゾンはほとんど分解されない。
一方、オゾン濃度が１３ｗｔ％以上の場合、オゾン分解率は８０〜９０％に達してオゾンがほとんど分解され、オゾン濃度が７〜１３ｗｔ％の場合、オゾン分解率は２０〜４０％程度となる。
【００３６】
このとき、オゾン化酸素の圧縮圧力が上記の５〜２０ｋｇ／ｃｍ２の範囲内においては、オゾン濃度が同一であれば、圧縮圧力の違いによらず、オゾン分解率がほぼ同等になることを確認した。また、オゾン濃度が１０ｗｔ％の場合には、圧縮圧力が７０ｋｇ／ｃｍ２に達するまで、オゾン分解率が変わらないことを確認した。
【００３７】
以上の実験結果とともに、オゾン貯蔵タンク２１へのオゾン供給量がオゾン化酸素中のオゾン濃度に比例して増大することを考慮して、オゾン化酸素中のオゾン濃度とオゾン貯蔵効率（実際に蓄えられて使用できるオゾン量）との関係を調べたところ、図３のようになることを確認した。
【００３８】
図３はオゾン化酸素中のオゾン濃度［ｗｔ％］とオゾン貯蔵効率［％］との関係を示す特性図であり、図３から明らかなように、オゾン化酸素中のオゾン濃度を１０±３ｗｔ％として貯蔵することが最も効率的である。
【００３９】
なお、上記実施の形態１では、酸素供給源１３を用いて、オゾン発生機１２に酸素を導入する場合について説明したが、オゾン発生機１２に空気を導入するようにしても同様のオゾン貯蔵効果が得られることは言うまでもない。しかし、オゾン発生機１２でのオゾン発生効率は、空気に比べて酸素を用いた場合の方が大きい。
【００４０】
次に、通年使用が可能な上記実施の形態１による電力変換貯蔵効率を、従来の温水器の場合と比較した結果について説明する。
たとえば従来の温水器を用いて、容積１ｍ３で温度２０℃の水を全て８０℃の温水に変換して電力を貯蔵した場合、７０ｋＷｈｒ／ｍ３の電力量が貯蔵されることになる。
【００４１】
一方、上記実施の形態１によるオゾン貯蔵方法および装置を用いて、オゾン濃度が１０ｗｔ％、貯蔵温度が−８０℃、貯蔵圧力が１０ａｔｍの条件で、オゾン化ガスとしてオゾンを貯蔵した場合、オゾン分解率を３０％、オゾン発生効率を１０Ｗｈｒ／ｇとすると、１５０ｋＷｈｒ／ｍ３の電力量を貯蔵することができる。
【００４２】
したがって、電力をオゾンに変換して、オゾン圧縮ガスとして貯蔵することにより、電力変換貯蔵効率が著しく向上することが分かる。
このとき、電力変換貯蔵（オゾン吸着）動作は、電力消費の少ない時間帯（たとえば、夜間）に行われるので、貯蔵に要する電力量は問題ではなく、貯蔵される電力量が多いほど効果的である。
【００４３】
一方、電力使用（オゾン取り出し）動作は、電力消費の多い時間帯（たとえば、昼間）に行われるので、電力導出動作に要する電力は極力節減するほど効果的である。
この場合、オゾン取り出し時において、流量調整弁２４のみを開放制御すればよいので、余分な電力を要することはない。
【００４４】
なお、上記実施の形態１では、ガス圧縮ポンプ２２をオゾン発生機１２の下流に設け、オゾン発生機１２で酸素の一部をオゾンに変換してオゾン化酸素にした後、ガス圧縮ポンプ２２で圧縮してオゾン貯蔵タンク２１に貯蔵したが、図４のようにガス圧縮ポンプ２２をオゾン発生機１２の上流に設けてもよい。
【００４５】
図４はガス圧縮ポンプ２２をオゾン発生機１２の上流に設けた参考例１による電力変換貯蔵装置を概略的に示す構成図である。
図４において、酸素供給源１３から供給された酸素は、ガス圧縮ポンプ２２により加圧されてオゾン発生機１２に導入され、オゾン発生機１２でオゾン化された後、そのままオゾン貯蔵タンク２１に供給される。
これにより、ガス圧縮ポンプ２２でオゾンが分解することがなくなり、効率的にオゾンを貯蔵することができる。
【００４６】
しかしながら、図４のように高圧力下においてオゾンを発生させるためには、オゾン発生機１２を高圧力仕様に設計する必要がある。
すなわち、放電空隙の長さを短くするとともに、放電場の温度を低く保つような構造（たとえば、冷却源を設置する等）に変更する必要がある。
【００４７】
したがって、オゾンを効率よく貯蔵するためには、実際には、酸素をオゾン化酸素に変換した後に圧縮してオゾン貯蔵タンク２１に供給することが望ましく、前述の実施の形態１（図１参照）の方が、オゾン貯蔵に使用する電力を少なくすることができる。
【００４８】
実施の形態２．
なお、上記実施の形態１では、オゾン発生機１２から生成されたオゾン化酸素を圧縮してオゾン貯蔵タンク２１に貯蔵したが、オゾン化酸素内のオゾンのみを吸脱着装置に貯蔵した後、オゾン含有ガスとして気体状態でオゾンを取り出すようにしてもよい。
【００４９】
図５は吸脱着装置（オゾン貯蔵槽）を用いたこの発明の実施の形態２による電力変換貯蔵装置を概略的に示す構成図であり、図において、１２〜１４、１６、１７、１９ａ〜１９ｇおよび２３は前述（図１８および図１参照）と同様のものである。
２５は前述の吸脱着塔１５に対応するオゾン貯蔵槽であり、この場合、溶媒に吸着させる形式のものが用いられている。
【００５０】
２６はオゾン貯蔵槽２５に酸素ガスを供給する酸素供給源であり、オゾン貯蔵槽２５内に貯蔵されたオゾンをオゾン含有ガスとして取り出す際に用いられる。２７はオゾン貯蔵槽２５の出入口間に並設されたバイパス配管であり、酸素供給源２６から供給されてオゾン貯蔵槽２５を通さない酸素ガスが通過する。
【００５１】
２８は酸素供給源２６の出力側に介在された二方向流量調整弁であり、オゾン貯蔵槽２５およびバイパス配管２７に流れる各酸素ガスの流量比を調整する。
なお、オゾン貯蔵槽２５は二重構造からなり、内部貯蔵槽２５ａにはフルオロカーボンなどの有機溶媒が蓄えられ、外部貯蔵槽２５ｂには熱媒体が充填されている。また、熱媒体としては、一般に、エチレングリコール、アルコール類やブライン等が使用される。
【００５２】
また、オゾンの貯蔵時および放出時にシーケンス制御を行う制御装置（図示せず）は、前述の被制御要素のほかに、循環ブロア１４、加熱源１７、切換弁１９ｃ、１９ｅ〜１９ｇ、酸素供給源２６および二方向流量調整弁２８を制御するようになっている。
【００５３】
次に、図５に示したこの発明の実施の形態２による動作について説明する。
まず、オゾンを生成して貯蔵する場合、オゾン発生機１２およびオゾン貯蔵槽２５を含む循環経路内が常時一定圧力（１．５〜２．０ｋｇ／ｃｍ２）となるように、酸素供給源１３から循環経路内に酸素を供給する。
【００５４】
また、循環経路内のオゾン貯蔵槽２５の出入口両端に設けられた切換弁１９ｃおよび１９ｄを開いた状態で、循環ブロア１４を駆動して循環経路内に酸素を流通させると、オゾン発生機１２の放電空隙中を通過する間に無声放電により酸素の一部がオゾンに変換されてオゾン化酸素となり、オゾン貯蔵槽２５に搬送される。
【００５５】
オゾン貯蔵槽２５の内部貯蔵槽２５ａ内の溶媒は、オゾン化酸素に含まれるオゾンを選択的に溶解し、残りの酸素を切換弁１９ｃを介して循環ブロア１４に返送する。
【００５６】
なお、オゾン発生機１２においてオゾンとして消費された酸素は、前述と同様に、酸素供給源１３から補充される。
また、オゾン貯蔵手段としてフルオロカーボンなどの有機溶媒を用いた場合も、冷却するほどオゾンの溶解量が増えるという性質を有するので、有機溶媒は、冷却源１６により、通常、−１２０℃程度に冷却されている。
【００５７】
このように、オゾン貯蔵槽２５へのオゾン注入が終了すると、次に、オゾンの放出動作に移行する。
放出動作においては、まず、オゾン発生機１２、循環ブロア１４、冷却源１６が稼動を停止し、切換弁１９ａ〜１９ｄが閉じられる。
その後、加熱源１７が稼働を開始し、切換弁１９ｅ〜１９ｇが開くと、酸素供給源２６から供給された酸素ガスは、二方向流量調整弁２８を介してオゾン貯蔵槽２５に導入される。
【００５８】
これにより、オゾン貯蔵槽２５内のオゾンがオゾン含有ガスとして放出され、１９ｅを介してオゾン消費物体２３に供給される。
このとき、二方向流量調整弁２８において、酸素供給源２６からオゾン貯蔵槽２５に導入される酸素ガス量を調整することにより、内部貯蔵槽２５ａ内の有機溶媒からのオゾン放出量が調整され、一定濃度のオゾンを含むオゾン含有酸素が一定の割合で放出されて、オゾン消費物体２３に一定量ずつ供給される。
【００５９】
ここで、実験例に基づく説明図（図６）を参照しながら、オゾン溶解量に対する溶媒種の影響について説明する。
図６は１リットルの溶液に溶けるオゾン量を溶媒種に比較して示す説明図であり、図６から明らかなように、有機溶媒の一種であるフレオン２２（Ｒ２２）に溶けるオゾン量が大きいことが分かる。特に、オゾン貯蔵用の溶媒としては、有機溶媒のうちのフルオロカーボンが最も効率的であることが確認された。
【００６０】
次に、通年使用が可能な上記実施の形態２による電力変換貯蔵効率を、従来の温水器を用いた場合と比較した結果について説明する。
たとえば、前述と同様に、温水器を用いて、容積１ｍ３で温度２０℃の水を全て８０℃の温水に変換して電力を貯蔵した場合には、７０ｋＷｈｒ／ｍ３の電力量が貯蔵される。
【００６１】
一方、上記実施の形態２によるオゾン貯蔵方法および装置を用いて、フレオン２２にオゾンを溶解させて貯蔵した場合、オゾン分解率が５０％、オゾン発生効率が１０Ｗｈｒ／ｇとすると、５２５０ｋＷｈｒ／ｍ３の電力量を貯蔵することができる。
したがって、電力をオゾンに変換した後、溶媒に溶かしてオゾンを貯蔵することにより、電力変換貯蔵効率が著しく向上することが分かる。
【００６２】
実施の形態３．
なお、上記実施の形態２では、オゾンを貯蔵するための吸脱着装置として、オゾン貯蔵槽２５を用いたが、図１８のように吸脱着塔１５を用いてもよい。
図７は吸脱着装置として吸脱着塔１５を用いたこの発明の実施の形態３による電力変換貯蔵装置を概略的に示す構成図であり、図７において、１２〜１６、１５ａ、１５ｂ、１９ａ〜１９ｄおよび２３は前述と同様のものである。
【００６３】
２９は吸脱着塔１５の出力側に設けられたオゾン濃度調整手段であり、制御装置（図示せず）の制御下でオゾン濃度制御手段を構成しており、吸脱着塔１５から取り出したオゾンをオゾン消費物体２３に一定量ずつ供給するようになっている。
【００６４】
３０はオゾン濃度調整手段２９の下流側に設けられたガスエジェクタであり、オゾン濃度調整手段２９と協動してオゾン放出手段を構成している。ガスエジェクタ３０は、圧縮ガス（後述する）を通過させることにより吸脱着塔１５内を減圧状態にして、吸脱着塔１５から脱着して取り出したオゾンを、オゾン含有ガスとして気体状態で供給する。
【００６５】
３１はガスエジェクタ３０の入力側に設けられた圧縮ガス製造機であり、ガスエジェクタ３０を駆動するための圧縮ガスを作り出してガスエジェクタ３０に供給する。
３２はオゾン濃度調整手段２９に備え付けられたオゾンガス流量調整弁３２であり、自動または手動により、吸脱着塔１５から取り出されるオゾン含有酸素の流量を調整できるようになっている。
【００６６】
また、オゾンの吸着時および脱着時にシーケンス制御を行う制御装置（図示せず）は、前述の被制御要素のほかに、ガスエジェクタ３０および圧縮ガス製造機３１、ならびにオゾン濃度調整手段２９内のオゾンガス流量調整弁３２を制御するようになっている。
【００６７】
次に、図７に示したこの発明の実施の形態３の動作について説明する。
まず、オゾンを生成して吸脱着塔１５に吸着（貯蔵）させる場合、前述と同様に、酸素供給源１３から循環経路に一定圧力で酸素を供給するとともに、切換弁１９ｃおよび１９ｄが開いた状態で循環経路内に酸素を流通させ、オゾン発生機１２からオゾン化酸素を発生させて吸脱着塔１５に搬送する。
【００６８】
吸脱着塔１５の内筒１５ａ内のオゾン吸着剤は、冷却源１６により、たとえば−４０℃以下に冷却されており、オゾンを選択的に吸着し、残りの酸素を切換弁１９ｃを介して循環ブロア１４に返送する。
なお、オゾン吸着剤としては、オゾンと接触したときの分解率が低いものを選ぶことが望ましく、フルオロカーボンを含浸させた多孔質材料、シリカゲル、活性アルミナ、のうちの少なくとも１種類を混合したものが用いられる。
【００６９】
吸脱着塔１５内のオゾン吸着剤が飽和吸着量近くまでオゾンを吸着すると、次に、オゾン脱着動作に移行する。
オゾン脱着動作においては、まず、オゾン発生機１２、循環ブロア１４、冷却源１６が稼動を停止し、切換弁１９ａ〜１９ｄが閉じられる。
【００７０】
その後、圧縮ガス製造機３１が稼働を開始すると、ガスエジェクタ３０に圧縮ガスが供給されて、ガスエジェクタ３０が稼働するとともに、オゾン濃度調整手段２９内のオゾンガス流量調整弁３２が徐々に開かれる。
また、同時に、ガスエジェクタ３０内のノズルを通過する圧縮ガスの流速を徐々に速くしていく。
【００７１】
これにより、ガスエジェクタ３０は、吸脱着塔１５内のオゾンを徐々に減圧力を増大させながら吸引し、ガスエジェクタ３０内で圧縮ガスと混合してオゾン含有ガスとし、オゾン消費物体２３に一定量ずつ供給する。
【００７２】
ここで、図７内のオゾン濃度調整手段２９およびガスエジェクタ３０を用いて流量制御したオゾン脱着方法について、流量を制御しない場合と比較しながら、さらに具体的に説明する。
通常、オゾン脱着時において吸脱着塔１５から取り出されるオゾン含有酸素の流量を制御しない場合には、脱着初期において最も多くのオゾンが取り出され、その後、取り出されるオゾンの量が徐々に減少していくことになる。
【００７３】
これに対し、この発明の実施の形態３の脱着方法においては、オゾン濃度調整手段２９内のオゾンガス流量調整弁３２が徐々に開かれることにより、吸脱着塔１５から取り出すオゾン含有酸素の量が徐々に増大する。
また、圧縮ガス製造機３１からガスエジェクタ３０に供給する圧縮ガスの圧力および流量を一定としながら、ガスエジェクタ３０内のノズル径を徐々に小さくして、ノズルを通過する圧縮ガスの流速を速くすることにより、吸脱着塔１５内の圧力を徐々に負圧にしていく。
【００７４】
したがって、時間経過にともなって減少するオゾンの取り出し量は、上記流量制御により相殺されるので、オゾン消費物体２３に対して、一定濃度のオゾンを含んだオゾン含有ガスを一定量ずつ供給することができる。
【００７５】
また、前述と同様に電力変換貯蔵効率を従来と比較すると、容積１ｍ３で温度２０℃の水を８０℃の温水に変換して温水器に貯蔵した場合には７０ｋＷｈｒ／ｍ３の電力量が貯蔵されるのに対し、上記実施の形態３のオゾンガスを用いた場合、オゾン濃度が１３．５ｗｔ％、貯蔵温度が−８０℃、貯蔵圧力が２ａｔｍの条件下で、オゾン分解率が３０％、オゾン発生効率が１０Ｗｈｒ／ｇとすると、７３０ｋＷｈｒ／ｍ３の電力量を貯蔵することができる。
したがって、電力をオゾンに変換して吸着剤に吸着貯蔵することにより、電力変換貯蔵効率が向上することが分かる。
【００７６】
なお、ここでは、オゾン脱着時に使用するエネルギを節減するために、吸着剤の温度を制御しない場合を示したが、オゾン脱着時に温度を制御してもよい。
この場合、脱着時に要するエネルギは増大するが、オゾン脱着量の制御が容易になり、一定濃度のオゾンを含んだオゾン含有ガスを、さらに精度よくオゾン消費物体２３に供給することができる。
【００７７】
また、単一の吸脱着塔１５を用いたが、複数の吸脱着塔１５を並列に設置してもよい。
この場合、或る吸脱着塔１５のオゾン排出量が減少しても、他の吸脱着塔１５に接続されたオゾンガス流量調整弁３２を開き、２つの吸脱着塔１５から排出されるオゾンを混合してガスエジェクタ３０に供給することにより、さらに容易に一定濃度のオゾン含有ガスをオゾン消費物体２３に一定量ずつ供給することができる。
【００７８】
また、ガスエジェクタ３０および圧縮ガス製造機３１を用いて吸脱着塔１５内のオゾンを減圧吸引し、ガスエジェクタ３０内で混合してオゾン含有ガスとしてオゾン消費物体２３に送出したが、真空ポンプ（図示せず）を用いて吸脱着塔１５内のオゾンを減圧吸引し、混合器（図示せず）内で混合してオゾン含有ガスとしてオゾン消費物体２３に送出してもよい。
この場合、別途混合器を備える必要があり設備費用が高くなるが、前述と同等の作用効果を奏することができる。
【００７９】
さらに、上記実施の形態２（図５参照）の場合と同様に、吸脱着塔１５内に外部からガスを送り込んでオゾン含有ガスとしてオゾンを取り出し、オゾン含有ガスをオゾン消費物体２３に送出してもよい。
ただし、この場合、オゾン吸着剤の性質上、酸素以外のガスを送り込むと、次回の電力変換貯蔵時にオゾン吸着量が低減するおそれがあるので、吸着塔１５内に送り込むガスとしては、酸素ガスを用いることが望ましい。
【００８０】
実施の形態４．
なお、上記実施の形態３では、ガスエジェクタ３０内のノズル径を徐々に小さくして減圧力を徐々に増大させたが、ガスエジェクタ３０に並設されたバイパス配管の流量を二方向流量調整弁により制御してもよい。
【００８１】
図８はガスエジェクタ３０にバイパス配管を並設したこの発明の実施の形態４による電力変換貯蔵装置を概略的に示す構成図であり、図８において、１２〜１６、１５ａ、１５ｂ、１９ａ〜１９ｄ、２３および２８〜３２は前述（図５および図７参照）と同様のものである。
【００８２】
３３はガスエジェクタ３０に並設されたバイパス配管であり、圧縮ガス製造機３１からガスエジェクタ３０に供給されない圧縮ガスが通過するようになっている。
【００８３】
この場合、二方向流量調整弁２８は、圧縮ガス製造機３１とガスエジェクタ３０と間に挿入されており、二方向流量調整弁２８の一方の出力は、ガスエジェクタ３０の入口に接続され、二方向流量調整弁２８の他方の出力は、バイパス配管３３を介してガスエジェクタ３０の出口に接続されている。
また、吸脱着時にシーケンス制御を行う制御装置（図示せず）は、前述の被制御要素のほかに、二方向流量調整弁２８を制御するようになっている。
【００８４】
次に、図８に示したこの発明の実施の形態４の動作について説明する。なお、オゾン吸着動作に関しては、上記実施の形態３と同様なので、ここでは説明を省略する。
前述のように、吸脱着塔１５内の吸着剤が飽和吸着量近くまでオゾンを吸着してオゾン脱着動作に移行すると、オゾン発生機１２、循環ブロア１４および冷却源１６が稼動を停止し、切換弁１９ａ〜１９ｄが閉じられる。
【００８５】
続いて、圧縮ガス製造機３１が稼働し始めると、二方向流量調整弁２８を介してガスエジェクタ３０に圧縮ガスが供給され、ガスエジェクタ３０が稼働するとともに、オゾンガス流量調整弁３２が徐々に開く。これにより、ガスエジェクタ３０は、吸脱着塔１５内のオゾンを減圧吸引し、ガスエジェクタ３０内で圧縮ガスと混合してオゾン含有ガスとし、オゾン消費物体２３に供給する。
【００８６】
ここで、二方向流量調整弁２８、ガスエジェクタ３０およびバイパス配管３３を用いたオゾン脱着方法について、具体的に説明する。
前述と同様に、オゾン放出時において、オゾン濃度調整手段２９内のオゾンガス流量調整弁３２は徐々に開かれ、吸脱着塔１５から取り出すオゾン含有酸素の量を増大させる。
【００８７】
一方、二方向流量調整弁２８は、ガスエジェクタ３０およびバイパス配管３３に流れる圧縮ガス流量の比率を変更し、バイパス配管３３に流れる圧縮ガスの流量を徐々に少なくすることにより、ガスエジェクタ３０内に流れる圧縮ガスの流量を徐々に増大させて、吸脱着塔１５内の圧力を徐々に負圧にする。
したがって、一定濃度のオゾンを含むオゾン含有酸素を、オゾン消費物体２３に対して一定量ずつ供給することができる。
【００８８】
なお、ここでは、オゾン脱着時に使用するエネルギを節減するために、吸着剤の温度を制御しない場合を示したが、前述と同様に、オゾン脱着時に温度を制御し、オゾン脱着量の制御が容易にして、一定濃度のオゾン含有ガスを高精度でオゾン消費物体２３に供給してもよい。
また、装置機器の増大にともなう設備費用の増大および制御方法の複雑化等を無視すれば、ガスエジェクタ３０が取り付けられた配管およびバイパス配管３３にそれぞれ圧縮ガス流量制御装置（図示せず）を設け、オゾン消費物体２３に供給するオゾン含有ガス流量を一定に保持しながら、各配管に流れる圧縮ガス流量を制御するように構成してもよく、前述のオゾン濃度制御効果を奏することができる。
【００８９】
なお、上記実施の形態４では、オゾン吸着時におけるオゾン化ガスの圧力について特に言及しなかったが、オゾン吸着効率を向上させるために、オゾン吸着時に吸脱着塔１５内の圧力を上昇させてもよい。
【００９０】
図９は循環経路とともに吸脱着塔１５内の圧力を上げる圧力維持装置を設けた参考例２による電力変換貯蔵装置を概略的に示す構成図であり、図９において、１２〜１６、１５ａ、１５ｂ、１９ａ〜１９ｄ、２３および２９〜３２は前述（図７参照）と同様のものである。
【００９１】
３４は循環経路内を加圧して吸脱着塔１５内の圧力を高く維持する圧力維持装置であり、酸素供給源１３と循環経路との間に介在されている。
この場合、オゾン発生機１２は、高圧力中でオゾンを発生させるために高圧力仕様に変更されており、放電空隙の長さが短く構成されるとともに、放電場の温度を低く保つための構造（図示せず）を有している。
また、オゾンの吸脱着時にシーケンス制御を行う制御装置は、前述の被制御要素のほかに、圧力維持装置３４を制御するようになっている。
【００９２】
次に、図９に示した参考例２の動作について説明する。なお、オゾン脱着動作に関しては、上記実施の形態３と同様なので、ここでは説明を省略する。
オゾン吸着時において、まず、酸素供給源１３から酸素が供給されるが、このとき、酸素ガスは、圧力維持装置３４を介して加圧され、オゾン発生機１２、循環ブロア１４および吸脱着塔１５を連結している循環経路内に、常時一定の高圧力となるように圧力が維持された状態で供給される。
【００９３】
以下、前述と同様に、切換弁１９ｃおよび１９ｄを開いて循環ブロア１４を駆動すると、循環経路内を流通する酸素ガスは、オゾン発生機１２を通過する間にオゾン化酸素となって吸脱着塔１５に搬送され、吸脱着塔１５内の吸着剤によりオゾンのみが選択的に吸着されて、残りの酸素が切換弁１９ｃを介して循環ブロア１４に返送される。オゾン化されて消費された酸素は酸素供給源１３から補充される。
【００９４】
また、吸脱着塔１５は、オゾン吸着剤の吸着容量を増大させるために、冷却源１６により−４０℃以下に冷却されており、オゾン吸着剤としては、オゾン分解率の低いもの、たとえば、フルオロカーボンを含浸させた多孔質材料、シリカゲル、活性アルミナ、のうちの少なくとも１種類を混合したものが用いられる。
【００９５】
ここで、実験例に基づく特性図（図１０）を参照しながら、オゾン吸着貯蔵時における吸脱着塔１５内の圧力の影響について説明する。
図１０は吸脱着塔１５に送り込むオゾン化ガスのオゾン分圧［ｔｏｒｒ］とオゾン吸着効率［％］との関係を示す特性図である。
図１０から明らかなように、オゾン吸着効率はオゾン分圧が増大するほど増大するので、吸脱着塔１５内の圧力を上げてオゾン分圧を上昇（２００ｔｏｒｒ前後に設定）させることにより、オゾンを効率的に貯蔵可能なことが分かる。
【００９６】
しかし、吸脱着塔１５内の圧力を上げすぎると、オゾン化酸素内の酸素分圧も上昇することから、酸素吸着量が増加してオゾン吸着量の上昇率が鈍ってくる。また、循環経路内が高圧力になると、オゾン発生機１２でのオゾン発生量が減少することが分かっている。
したがって、吸脱着塔１５内の圧力を絶対圧力で２〜５ｋｇ／ｃｍ２（大気圧の２〜５倍）程度に設定し、この圧力下でオゾンを貯蔵することが最も効率的である。
【００９７】
なお、上記参考例２では、吸脱着塔１５内の高圧力を維持するために、酸素供給源１３から圧力維持装置３４を介して循環経路内に一定且つ高圧力の酸素を供給し、高圧力中で酸素の一部をオゾンに変換する構成としたが、オゾン発生機１２と吸脱着塔１５とを連結する配管に圧力維持装置を介在させてもよい。
この場合、オゾン発生機１２を高圧力仕様に設計変更する必要はない。
【００９８】
図１１はオゾン発生機１２と吸脱着塔１５との間に圧力維持装置を設けた参考例３による電力変換貯蔵装置を概略的に示す構成図であり、図１１において、１２〜１６、１５ａ、１５ｂ、１９ａ〜１９ｄ、２３および２９〜３２は前述（図７〜図９参照）と同様のものである。
【００９９】
３５は切換弁１９ｂの上流側に介在された加圧ポンプであり、吸脱着塔１５に導入されるオゾン化ガスの圧力を一定且つ高圧に維持するための圧力維持装置を構成している。
３６は加圧ポンプ３５の上流側に設けられた流量計であり、吸脱着塔１５に導入されるオゾン化ガスの流量を一定に制御する。
【０１００】
３７は切換弁１９ａの下流側（吸脱着塔１５と循環ブロア１４とを連結する配管）に介在された圧力復帰用の背圧弁であり、循環ブロア１４を介してオゾン発生機１２に導入される酸素ガスを減圧している。
また、オゾンの吸脱着時にシーケンス制御を行う制御装置は、前述の要素のほかに、加圧ポンプ３５、流量計３６および背圧弁３７を制御するようになっている。
【０１０１】
図１１のように、吸脱着塔１５の入力側に流量計３６および加圧ポンプ３５を設け、吸脱着塔１５の出力側に背圧弁３７を設けることにより、吸脱着塔１５内の圧力のみを高く維持するようにしても、オゾンを効率的に貯蔵することができる。
【０１０２】
ここでは、吸脱着塔１５に導入されるオゾン化ガスの流量を一定に制御するために流量計３６を設けたが、循環ブロア１４から流通される酸素ガスの流量が一定である場合には、流量計３６を設けなくてもよい。
また、加圧ポンプ３５に循環ブロア１４の機能を兼用させて、加圧ポンプ３５により循環経路内の酸素ガスおよびオゾン化酸素を循環させるように構成し、循環ブロア１４を省略してもよい。
【０１０３】
なお、上記実施の形態１〜４では、オゾン発生機１２に導入される原料ガスとして酸素のみを用いたが、原料ガスにさらに不活性ガスを導入してオゾン化を促進してもよい。
【０１０４】
図１２は循環経路内に不活性ガスを供給する手段を設けた参考例４による電力変換貯蔵装置を概略的に示す構成図であり、図１２において、１２〜１６、１５ａ、１５ｂ、１９ａ〜１９ｄ、２３および２９〜３２は前述（図７〜図９参照）と同様のものである。
【０１０５】
３８はオゾン発生機１２を含む循環経路内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給装置である。
また、オゾンの吸脱着時にシーケンス制御を行う制御装置は、前述の被制御要素のほかに、不活性ガス供給装置３８を制御するようになっている。
【０１０６】
次に、図１２に示した参考例４の動作について説明する。なお、オゾン脱着動作に関しては、上記実施の形態３と同様なので、ここでは説明を省略する。
オゾン吸着時において、まず、循環経路内には、酸素供給源１３からの酸素とともに、不活性ガス供給装置３８から不活性ガスが供給される。
【０１０７】
このとき、循環経路内の原料ガスは、常時一定圧力（通常、１．５〜２．０ｋｇ／ｃｍ２）に設定されるとともに、不活性ガスの濃度が一定に設定される。
続いて、切換弁１９ｃおよび１９ｄが開くと、循環ブロア１４により循環経路内に酸素および不活性ガスを含む原料ガスが流通される。
【０１０８】
この原料ガスは、オゾン発生機１２を通過する間の無声放電により酸素の一部がオゾンに変換され、オゾン化酸素となって吸脱着塔１５に搬送される。
このとき、酸素ガス中に含まれる不活性ガスにより、オゾン発生機１２内の放電が活発となり、オゾンの生成量が増大する。
【０１０９】
その後、吸脱着塔１５内の吸着剤は、オゾンを選択的に吸着し、残りの不活性ガスを含んだ酸素は切換弁１９ｃを介して循環ブロア１４に返送される。
このとき、オゾン吸着剤は冷却源１６により−４０℃以下に冷却されており、また、オゾン吸着剤としては、前述のようにフルオロカーボンを含浸させた多孔質材料、シリカゲル、活性アルミナ、のうちの少なくとも１種類を混合したものが用いられる。
なお、オゾンとして消費された酸素は酸素供給源１３より補充されるが、不活性ガスは消費されないので補充されない。
【０１１０】
ここで、実験例に基づく特性図（図１３）を参照しながら、オゾン発生時における不活性ガス添加量の影響について説明する。
図１３は不活性ガス添加量［％］とオゾン生成効率［ｇ−Ｏ３／ｋｗｈ］との関係を示す特性図であり、不活性ガスとして、たとえば、窒素ガス（破線）またはアルゴンガス（実線）の場合を例にとっている。
図１３から明らかなように、窒素ガスまたはアルゴンガスを若干（数％〜１０％程度）添加することにより、オゾン発生量が増大してオゾン分圧が増大することが分かる。
【０１１１】
したがって、原料ガスに不活性ガスを添加してオゾン発生量を増大させることにより、吸脱着塔１５にオゾンを効率的に吸着貯蔵することができる。
しかしながら、不活性ガスの添加量を増大しすぎると、図示したように、逆にオゾン発生量が減少してオゾン吸着量が減少するので、循環経路内に添加する不活性ガスは、濃度を３〜８％程度に設定することが最も効率的である。
【０１１２】
しかし、不活性ガスとして窒素ガスを用いると、オゾン化時の放電により窒素が解離されて窒素酸化物が生成され、この窒素酸化物が吸着剤（吸脱着塔１５の内筒１５ａ内に充填されているシリカゲル等）に供給されると、窒素酸化物が吸着剤に吸着してオゾンの吸着能力が低下してしまう。
したがって、循環経路内に添加する不活性ガスとしては、放電時に酸化されることのないアルゴンガスを用いることが望ましい。
【０１１３】
実施の形態５．
なお、上記実施の形態３、４では、オゾン脱着時のオゾン濃度制御手段として制御装置（図示せず）を用い、オゾン濃度調整手段２９内のオゾンガス流量調整弁３２の開度およびガスエジェクタ３０内のノズル径をシーケンス制御したが、オゾン含有ガスのオゾン濃度に応動する制御装置を用い、オゾン消費物体２３に供給されるオゾン含有ガスの流量（オゾン濃度）を直接的にフィードバック制御してもよい。
【０１１４】
図１４はオゾン含有ガスの流量をオゾン濃度に応じてフィードバック制御したこの発明の実施の形態５による電力変換貯蔵装置を概略的に示す構成図であり、図１４において、１２〜１６、１５ａ、１５ｂ、１９ａ〜１９ｄ、２３および２９〜３２は前述（図７〜図９、図１１および図１２参照）と同様のものである。
【０１１５】
３９はガスエジェクタ３０の出力側の配管に設けられたオゾン濃度計であり、オゾン消費物体２３に供給されるオゾン含有ガス中のオゾン濃度を計測して検出信号を出力する。
４０はガスエジェクタ３０の出力側の配管に介在された供給ガス流量調整弁であり、オゾン消費物体２３に供給されるオゾン含有ガスの流量を一定に調整する。
【０１１６】
４１はオゾン含有ガスのオゾン濃度を所定値に制御する制御装置であり、オゾン濃度計３９からの検出信号（オゾン濃度）に応じて、ガスエジェクタ３０、オゾンガス流量調整弁３２および供給ガス流量調整弁４０を制御することにより、オゾン濃度および流量が一定値となるように、オゾン消費物体２３に供給されるオゾン含有ガスの流量を調整する。
【０１１７】
制御装置４１は、オゾンの吸脱着時にシーケンス制御を行う制御装置（図示せず）の一部を構成していてもよく、または、他の被制御要素とともに制御装置（図示せず）により制御される構成にしてもよい。
図１４は前述（図７）の装置にオゾン濃度計３９、供給ガス流量調整弁４０および制御装置４１を付加したものである。
【０１１８】
次に、図１４に示したこの発明の実施の形態５の動作について説明する。なお、オゾン吸着動作に関しては、上記実施の形態３と同様なので、ここでは説明を省略する。
吸脱着塔１５の吸着剤が飽和吸着量近くまでオゾンを吸着してオゾン脱着動作に移行すると、前述と同様にオゾン発生機１２を含む循環系が稼動を停止し、圧縮ガス製造機３１が稼働を開始してガスエジェクタ３０に圧縮ガスを供給し、オゾンガス流量調整弁３２が徐々に開かれる。
【０１１９】
これにより、吸脱着塔１５からオゾンが減圧吸引され、ガスエジェクタ３０を介してオゾン含有ガスとしてオゾン消費物体２３に供給される。
このとき、オゾン含有ガスの出力配管に設けられたオゾン濃度計３９は、オゾン含有ガス中のオゾン濃度を示す検出信号を制御装置４１に入力する。
【０１２０】
制御装置４１は、オゾン濃度の検出値があらかじめ設定された所定オゾン濃度よりも高い場合には、ガスエジェクタ３０およびオゾンガス流量調整弁３２に制御信号を出力し、オゾンガス流量調整弁３２を少し閉じてオゾン含有ガス流量を減じるとともに、ガスエジェクタ３０内のノズル径を大きくする。
【０１２１】
これにより、オゾンガス流量調整弁３２を通過するオゾン含有酸素の流量が低減されるとともに、ガスエジェクタ３０内のノズルを通過する圧縮ガスの流速が遅くなって減圧量が低減される。この結果、吸脱着塔１５内の圧力が高くなってオゾン含有酸素の放出流量が減少し、オゾン消費物体２３に供給されるオゾン含有ガス中のオゾン濃度は、所定のオゾン濃度に低減調整される。
【０１２２】
一方、制御装置４１は、オゾン濃度検出値が所定のオゾン濃度よりも低い場合には、オゾンガス流量調整弁３２を少し開くとともに、ガスエジェクタ３０内のノズル径を小さくする。
これにより、オゾンガス流量調整弁３２におけるオゾン含有酸素の通過流量が増大されるとともに、ガスエジェクタ３０における圧縮ガスのノズル通過流速が速くなり、吸脱着塔１５内の圧力が低くなってオゾン含有酸素の放出流量が増大し、オゾン含有ガス中のオゾン濃度は所定のオゾン濃度に増大調整される。
【０１２３】
さらに、制御装置４１は、オゾン含有酸素のガスエジェクタ３０への流入量変化に合わせて、供給ガス流量調整弁４０に制御信号を出力し、オゾン消費物体２３に供給されるオゾン含有ガスの流量を一定量に調整する。
これにより、一定濃度のオゾンを含んだオゾン含有ガスをオゾン消費物体２３に一定量ずつ供給することができる。
【０１２４】
ここでは、制御装置４１は、オゾン濃度調整のために、オゾン取り出し側において、オゾンガス流量調整弁３２の開度のみならずガスエジェクタ３０内の減圧力（ノズル径）をも制御したが、オゾンガス流量調整弁３２の開度およびガスエジェクタ３０内の減圧力のうちの少なくとも一方を制御すればよい。
【０１２５】
また、オゾン消費物体２３へのオゾン含有ガス流量を一定にする供給ガス流量調整弁４０を、ガスエジェクタ３０とオゾン消費物体２３との間に介在させたが、圧縮ガス製造機３１とガスエジェクタ３０との間に介在させてもよい。
さらに、供給ガス流量調整弁４０の機能を圧縮ガス製造機３１そのものに兼用させて供給ガス流量調整弁４０を省略し、制御装置４１により、圧縮ガス製造機３１を直接制御してもよい。
【０１２６】
このように、オゾンガス流量調整弁３２の開閉動作を相殺するように開閉動作を行う供給ガス流量調整弁４０を、ガスエジェクタ３０の上流に設けることにより、オゾンを取り出すための減圧力に支障が生じにくくなるので、流量制御性がさらに向上する。
【０１２７】
実施の形態６．
なお、上記実施の形態５では、オゾン濃度（流量）調整用のオゾン取り出し減圧力を制御するために、ガスエジェクタ３０のノズル径を制御したが、前述の実施の形態４（図８参照）の場合と同様に、ガスエジェクタ３０にバイパス配管を並設し、ガスエジェクタ３０およびバイパス配管の流量比を二方向流量調整弁によって制御してもよい。
【０１２８】
図１５はガスエジェクタ３０にバイパス配管を並設してオゾン濃度調整を行うようにしたこの発明の実施の形態６による電力変換貯蔵装置を概略的に示す構成図であり、図１５において、１２〜１６、１５ａ、１５ｂ、１９ａ〜１９ｄ、２３、２８〜３３および３９〜４１は前述（図８および図１４参照）と同様のものである。
【０１２９】
この場合、オゾン濃度計３９からの検出信号に応動する制御装置４１は、オゾン取り出し側の減圧力に関しては、ガスエジェクタ３０およびバイパス配管３３内の圧縮ガス流量比を調整する二方向流量調整弁２８を制御するものとする。
このように、オゾン濃度計３９からの検出信号に応じて、オゾンガス流量調整弁３２の開度および二方向流量調整弁２８とともに、供給ガス流量調整弁４０をフィードバック制御することにより、前述と同様のオゾン脱着効果を得ることができる。
【０１３０】
すなわち、オゾン脱着動作において、ガスエジェクタ３０および圧縮ガス製造機３１が稼働してオゾンガス流量調整弁３２が徐々に開き、吸脱着塔１５から減圧吸引されたオゾン含有ガスがオゾン消費物体２３に供給されると、オゾン含有ガス中のオゾン濃度は、オゾン濃度計３９により計測されて制御装置４１に入力される。
【０１３１】
もし、オゾン濃度検出値が所定オゾン濃度よりも高い場合には、制御装置４１は、オゾンガス流量調整弁３２を少し閉じるとともに、二方向流量調整弁２８を制御してバイパス配管３３への流量比を増大させ、ガスエジェクタ３０に供給される圧縮ガスの流量を低減させる。
このとき、ガスエジェクタ３０のノズルを通過する圧縮ガスの流速が遅くなることにより、オゾン含有ガスを吸引する力が弱くなり、吸脱着塔１５内の圧力が高くなるので、オゾン含有酸素の放出流量が減少してオゾン含有ガス中のオゾン濃度が低くなる。
【０１３２】
逆に、オゾン濃度検出値が所定オゾン濃度よりも低い場合は、制御装置４１は、オゾンガス流量調整弁３２を少し開くとともに、二方向流量調整弁２８を制御してバイパス配管３３への流量比を減少させ、ガスエジェクタ３０に供給される圧縮ガスの流量を増大させる。
このとき、ノズルを通過する圧縮ガスの流速が速くなることにより、オゾン含有ガスを吸引する力が強くなり、吸脱着塔１５内の圧力が低くなるので、オゾン化酸素の放出流量が増加してオゾン含有ガス中のオゾン濃度が高くなる。
【０１３３】
また、制御装置４１は、オゾン含有酸素のガスエジェクタ３０への流入量の変化に合わせて供給ガス流量調整弁４０を制御し、オゾン消費物体２３に供給するオゾン含有ガス流量を一定にし、一定濃度のオゾン含有ガスをオゾン消費物体２３に一定量ずつ供給する。
この場合も、前述と同様に、供給ガス流量調整弁４０を二方向流量調整弁２８の上流側に介在させてもよく、供給ガス流量調整弁４０の機能を圧縮ガス製造機３１に兼用させてもよい。
【０１３４】
実施の形態７．
なお、上記実施の形態３〜６では、ガスエジェクタ３０を駆動する圧縮ガスを圧縮ガス製造機３１から直接供給したが、オゾン取り出し時の電力消費をさらに節減するために、あらかじめ圧縮ガスを貯蔵しておき、圧縮ガス供給時に貯蔵タンクから開放するように構成してもよい。
【０１３５】
図１６は圧縮ガスをあらかじめ貯蔵するようにしたこの発明の実施の形態７による電力変換貯蔵装置を概略的に示す構成図であり、図１６において、１２〜１６、１５ａ、１５ｂ、１９ａ〜１９ｄ、２３および２９〜３２は前述（図７参照）と同様のものである。
【０１３６】
４２は圧縮ガス製造機３１から生成された圧縮ガスを貯蔵する圧縮ガス貯蔵タンク、４３は圧縮ガス貯蔵タンク４２に蓄えられた圧縮ガスの供給圧力を調整する圧縮ガス圧力調整弁である。
【０１３７】
次に、図１６に示したこの発明の実施の形態７の動作について説明する。
この場合、オゾン吸着動作に関しては前述と同様であるが、オゾン製造貯蔵中の期間において、圧縮ガス製造機３１が稼働しており、圧縮ガス貯蔵タンク４２内に圧縮ガスが貯蔵される。
【０１３８】
一方、オゾン脱着動作において、オゾン発生機１２を含む循環系が稼動を停止すると、圧縮ガス圧力調整弁４３が開き始めることにより、ガスエジェクタ３０に圧縮ガスが供給されるとともに、オゾンガス流量調整弁３２が徐々に開きだす。
これにより、吸脱着塔１５からオゾンが減圧吸引され、ガスエジェクタ３０内で混合されたオゾン含有ガスがオゾン消費物体２３に供給される。
【０１３９】
このとき、圧縮ガス製造機３１は、圧縮ガス貯蔵タンク４２内の圧縮ガスが不足した場合のみ駆動されて圧縮ガスを補填すればよく、オゾンを取り出す際に圧縮ガス製造機３１を稼働させるための電力を節減することができる。
したがって、圧縮ガス貯蔵タンク４２は、実質的にオゾン取り出し時の電力を貯蔵してり、さらに大きな電力変換貯蔵効果を実現することができる。
【０１４０】
実施の形態８．
なお、上記実施の形態７では、オゾンの製造貯蔵期間中に圧縮ガス製造機３１を駆動して圧縮ガスを圧縮ガス貯蔵タンク４２に貯蔵したが、空気液化装置を用いて液化ガスを貯蔵しておき、オゾン脱着時に加熱することにより気化生成された圧縮ガスを供給してもよい。
【０１４１】
図１７は圧縮ガス貯蔵用に空気液化装置を用いたこの発明の実施の形態８による電力変換貯蔵装置を概略的に示す構成図であり、図１７において、１２〜１６、１５ａ、１５ｂ、１９ａ〜１９ｄ、２３、２９、３０、３２および４３は前述（図１６参照）と同様のものである。
【０１４２】
４４はオゾン製造貯蔵期間中に駆動されて空気を液化ガスとして貯蔵する空気液化装置であり、入力側に圧縮ガス製造機３１が介在されていてもよい。
４５は空気液化装置４４内の液体空気を圧縮ガスに変換する加熱ヒータであり、オゾン脱着時に駆動されて液体空気を気化させて圧縮ガスを生成し、圧縮ガス圧力調整弁４３を介してガスエジェクタ３０に供給する。
【０１４３】
この場合、オゾン取り出し時において、液化空気を気化させるために加熱ヒータ４５を稼働させる必要があるので、加熱ヒータ４５の駆動に要する電力量の分だけ、前述の実施の形態７（圧縮ガスとして貯蔵する方法）よりも、電力変換貯蔵効果が若干低減するものの、前述と同様の作用効果を奏する。
【０１４４】
なお、上記実施の形態８では、空気液化装置４４および加熱ヒータ４５を吸脱着塔１５に対して独立に構成したが、吸脱着塔１５に関連した構成としてもよい。
この場合、空気液化装置４４内の液体空気の冷却機能を吸脱着塔１５の冷却に用いることができ、オゾン吸着動作時における冷却源１６の駆動電力を節減することができる。
【０１４５】
また、吸脱着塔１５の温度を用いて空気液化装置４４内の液体空気を気化させることにより、オゾン脱着時における加熱ヒータ４５の駆動電力を節減することができ、低エネルギ型の電力変換貯蔵装置を実現することができる。
このとき、オゾン脱着時において、液体空気が気化されることにより、吸脱着塔１５が冷却されるが、特に支障を生じることはない。
【０１４６】
以上のように、この発明の請求項１によれば、電力消費の少ない時間帯に電力を用いてオゾンを製造して吸着剤に貯蔵しておき、電力消費の多い時間帯に、貯蔵したオゾンをオゾン含有ガスとして取り出して使用する電力変換貯蔵方法において、吸着剤からオゾンを取り出す際に、オゾン含有ガスを一定濃度で且つ一定量の割合でオゾン消費物体に供給するようにしたので、夜間の余剰電力を有効に使用でき、一日の電力使用量を平準化した電力変換貯蔵方法が得られる効果がある。
【０１４７】
また、この発明の請求項２によれば、請求項１において、吸着剤からオゾンを取り出す際に、吸着剤を加熱しないので、特に電力消費の多い時間帯に電力を使用せずに、一定濃度で且つ一定量の割合で消費物体に供給することのできる電力変換貯蔵方法が得られる効果がある。
【０１４８】
また、この発明の請求項３によれば、請求項１または請求項２において、吸着剤からオゾンを取り出す際に、吸着剤の周囲の圧力を負圧にするので、一定濃度のオゾンを含んだオゾン含有ガスを一定量ずつ供給することのできる電力変換貯蔵方法が得られる効果がある。
【０１４９】
また、この発明の請求項４によれば、電力消費の少ない時間帯に電力を用いて、酸素を含む原料ガスからオゾン化ガスを生成するオゾン発生手段と、オゾン化ガスからオゾンを吸着するとともに吸着したオゾンを脱着する吸脱着手段と、オゾン発生手段および吸脱着手段を介して原料ガスおよびオゾン化ガスを流すとともに、オゾン化ガスからオゾンを吸着して残った酸素をオゾン発生手段に戻す循環経路と、吸脱着手段を冷却する冷却源と、電力消費の多い時間帯に吸脱着手段からオゾンを含むオゾン含有ガスを取り出してオゾン消費物体に供給するオゾン放出手段とを備え、オゾン放出手段は、オゾン含有ガスを一定濃度で且つ一定量の割合でオゾン消費物体に供給するためのオゾン濃度制御手段を含むので、電力を効率よく変換して蓄えるとともに、貯蔵した電力を電力消費物体に効率よく供給することができ、一日の電力使用量を平準化した電力変換貯蔵装置が得られる効果がある。
【０１５０】
また、この発明の請求項５によれば、請求項４において、オゾン濃度制御手段として、オゾン放出手段により取り出されたオゾン含有ガス中のオゾン濃度を測定するオゾン濃度計と、吸脱着手段から取り出されるオゾン含有ガスの流量を調整するオゾンガス流量調整弁（第１の流量調整弁）と、オゾン消費物体に供給されるオゾン含有ガスの流量を調整する供給ガス流量調整弁（第２の流量調整弁）と、オゾン濃度に基づいてオゾンガス流量調整弁および供給ガス流量調整弁を調整する制御手段とを設けたので、一定濃度で且つ一定量のオゾン含有ガスにより、貯蔵した電力を消費物体に安定的に供給できる電力変換貯蔵装置が得られる効果がある。
【０１５１】
また、この発明の請求項６によれば、請求項４において、オゾン濃度制御手段として、オゾン放出手段により取り出されたオゾン含有ガス中のオゾン濃度を測定するオゾン濃度計と、吸脱着手段から取り出されるオゾン含有ガスの流量を調整するオゾンガス流量調整弁と、吸脱着手段からオゾンを取り出すための減圧力を調整する減圧力調整手段と、オゾン濃度に基づいてオゾンガス流量調整弁および減圧力調整手段を制御する制御手段とを設けたので、貯蔵した電力を消費物体に安定的に供給できる電力変換貯蔵装置が得られる効果がある。
【０１５２】
また、この発明の請求項７によれば、請求項６において、減圧力調整手段として、ガスエジェクタを用い、ガスエジェクタのノズル径を調整して減圧力を制御したので、貯蔵した電力を消費物体に安定的に供給できる電力変換貯蔵装置が得られる効果がある。
【０１５３】
また、この発明の請求項８によれば、請求項６において、減圧力調整手段として、ガスエジェクタに並設されたバイパス配管と、バイパス配管への流量比を調整する二方向流量調整弁とを用い、バイパス配管を介してガスエジェクタへの流量を調整して減圧力を制御するようにしたので、貯蔵した電力を消費物体に安定的に供給できる電力変換貯蔵装置が得られる効果がある。
【０１５４】
また、この発明の請求項９によれば、請求項７または請求項８において、ガスエジェクタを駆動させる圧縮ガスを蓄えるガス貯蔵手段を設けたので、貯蔵した電力を取り出す際に使用するエネルギを低減化することができ、電力を効率的に消費物体に供給できる電力変換貯蔵装置が得られる効果がある。
【０１５５】
また、この発明の請求項１０によれば、請求項９において、ガス貯蔵手段として圧縮ガス貯蔵タンクを用いたので、貯蔵した電力を取り出す際に使用するエネルギを低減化することができ、電力を効率的に消費物体に供給できる電力変換貯蔵装置が得られる効果がある。
また、この発明の請求項１１によれば、請求項９において、ガス貯蔵手段として液体空気貯蔵手段を用いたので、貯蔵した電力を取り出す際に使用するエネルギを低減化することができ、電力を効率的に消費物体に供給できる電力変換貯蔵装置が得られる効果がある。
【０１５６】
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施の形態１による電力変換貯蔵装置を示す構成図である。
【図２】  オゾン化酸素中のオゾン濃度とオゾン分解率との関係を示す特性図である。
【図３】  オゾン化酸素中のオゾン濃度とオゾン貯蔵量との関係を示す特性図である。
【図４】  この発明に関連した参考例１による電力変換貯蔵装置を示す構成図である。
【図５】  この発明の実施の形態２による電力変換貯蔵装置を示す構成図である。
【図６】  溶媒の違いによるオゾン溶解度係数を示す説明図である。
【図７】  この発明の実施の形態３による電力変換貯蔵装置を示す構成図である。
【図８】  この発明の実施の形態４による電力変換貯蔵装置を示す構成図である。
【図９】  この発明に関連した参考例２による電力変換貯蔵装置を示す構成図である。
【図１０】  オゾン化酸素中のオゾン分圧とオゾン吸着量との関係を示す特性図である。
【図１１】  この発明に関連した参考例３による電力変換貯蔵装置を示す構成図である。
【図１２】  この発明に関連した参考例４による電力変換貯蔵装置を示す構成図である。
【図１３】  原料ガス中の不活性ガス添加量とオゾン発生量との関係を示す特性図である。
【図１４】  この発明の実施の形態５による電力変換貯蔵装置を示す構成図である。
【図１５】  この発明の実施の形態６による電力変換貯蔵装置を示す構成図である。
【図１６】  この発明の実施の形態７による電力変換貯蔵装置を示す構成図である。
【図１７】  この発明の実施の形態８による電力変換貯蔵装置を示す構成図である。
【図１８】  吸脱着塔を用いた従来の間欠オゾン供給装置を示す構成図である。
【符号の説明】
１２  オゾン発生機、１３、２６  酸素供給源、１４  循環ブロア、１５  吸脱着塔、１５ａ  内筒、１５ｂ  外筒、１６  冷却源、１７  加熱源、１９ａ〜１９ｇ  切換弁、２１  オゾン貯蔵タンク、２２  ガス圧縮ポンプ、２３  オゾン消費物体、２４  流量調整弁、２５  オゾン貯蔵槽、２７、３３  バイパス配管、２８  二方向流量調整弁、２９  オゾン濃度調整手段、３０  ガスエジェクタ、３１  圧縮ガス製造機、３２  オゾンガス流量調整弁、３４  圧力維持装置、３５  加圧ポンプ、３６  流量計、３７  背圧弁、３８  不活性ガス供給装置、３９  オゾン濃度計、４０  供給ガス流量調整弁、４１  制御装置、４２  圧縮ガス貯蔵タンク、４３  圧縮ガス圧力調整弁、４４  空気液化装置、４５  加熱ヒータ。
【図１】
0004101314.tif 000002
【図２】
0004101314.tif 000003
【図３】
0004101314.tif 000004
【図４】
0004101314.tif 000005
【図５】
0004101314.tif 000006
【図６】
0004101314.tif 000007
【図７】
0004101314.tif 000008
【図８】
0004101314.tif 000009
【図９】
0004101314.tif 000010
【図１０】
0004101314.tif 000011
【図１１】
0004101314.tif 000012
【図１２】
0004101314.tif 000013
【図１３】
0004101314.tif 000014
【図１４】
0004101314.tif 000015
【図１５】
0004101314.tif 000016
【図１６】
0004101314.tif 000017
【図１７】
0004101314.tif 000018
【図１８】
0004101314.tif 000019