(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロレンズが形成された面を備え、他のマイクロレンズが形成された基板と貼り合わせるマイクロレンズ付き基板であって、
前記面に、スペーサと、接着剤を流し込み前記２枚の基板を固定するための溝パターンが形成され、
前記他のマイクロレンズが形成された基板と貼りあわせたときに一の側面と他の側面が溝パターンでつながっていることを特徴とするマイクロレンズ付き基板。
【請求項２】
請求項１に記載のマイクロレンズ付き基板において、前記スペーサは前記マイクロレンズと前記他のマイクロレンズが形成された基板との間隔を規制することを特徴とするマイクロレンズ付き基板。
【請求項３】
請求項１または２に記載のマイクロレンズ付き基板において、位置合せ用のアライメントマークが形成されていることを特徴とするマイクロレンズ付き基板。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のマイクロレンズ付き基板において、前記マイクロレンズと逆側の面に磁気コイルを形成したことを特徴とするマイクロレンズ付き基板。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれかに記載のマイクロレンズ付き基板において、前記マイクロレンズと逆側の面に１／４波長板を形成したことを特徴とするマイクロレンズ付き基板。
【請求項６】
請求項１〜３のいずれかに記載のマイクロレンズ付き基板において、前記マイクロレンズと逆側の面にホログラムを形成したことを特徴とするマイクロレンズ付き基板。
【請求項７】
請求項１〜３のいずれかに記載のマイクロレンズ付き基板において、前記マイクロレンズと逆側の面に４５°の傾斜を持つミラーを形成したことを特徴とするマイクロレンズ付き基板。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載のマイクロレンズ付き基板を用いたことを特徴とする光記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロレンズ付き基板に係る技術、特に複数のマイクロレンズが配列された基板を、マイクロレンズ側を内側にして貼り合せる場合に、さまざまな基板材料が利用可能でマイクロレンズの間隔やアライメントの精度を高めることができるマイクロレンズ付き基板、およびそれを用いたマイクロレンズ，ビームエキスパンダ，光コネクタなどの光学機器に関する。本発明は、CCD、液晶パネル、光ディスクヘッドなどの光学部品に適用可能である。
【０００２】
【従来の技術】
光ディスクの分野において、ＳＩＬ（ソリッドイマージョンレンズ）の利用が検討されるのに伴い、複数のマイクロレンズを貼り合わせて高ＮＡ（高開口数）にした光ピックアップヘッドに関する特許が出願されている。
特開２０００−１３１５０８号公報（ソニー）ではマイクロレンズとその支持部を１体に作成した複数のレンズを支持部を介して貼りあわせた高ＮＡマイクロレンズが記載されている。
【０００３】
特開２０００−０６７４５６号公報（ニコン）では、スライダにＳＩＬ（ソリッドイマージョンレンズ）を一体形成し、そのスライダに対物レンズを貼り合わせて１つの光ヘッドとしている。
特開２０００−７６６９５号公報（ＴＤＫ）では、スペーサを介して対物レンズの形成された基板とソリッドイマージョンレンズＳＩＬの形成された基板を貼り合わせている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
近年、光記録の記録密度を向上するためにソリッドイマージョンレンズＳＩＬの利用が検討されている。ソリッドイマージョンレンズＳＩＬは半球形状と超半球形状の２種類があり、通常の対物レンズと組み合わせて用いられ、ソリッドイマージョンレンズＳＩＬの底面が対物レンズの焦点位置と一致するように配置される。ソリッドイマージョンレンズＳＩＬの屈折率をｎとすると、対物レンズの開口率がｎ倍（半球形状)またはｎ２倍(超半球形状)になるため、スポットサイズを大幅に小さくすることができる。
【０００５】
ソリッドイマージョンレンズＳＩＬを利用する際、対物レンズと光軸、間隔を正確に合わせる必要があるため、対物レンズとソリッドイマージョンレンズＳＩＬを別々に動かすアクチュエータを用いたり、予め対物レンズとソリッドイマージョンレンズＳＩＬを精度よくアライメントした状態で一体に固定しておき、使用中は光軸、面間隔がぶれないようにすることが検討されている。
【０００６】
図１４は、上述した特開２０００−７６６９５号公報（ＴＤＫ）に開示された光ヘッドを示す図である。ここでは対物レンズ１２、ソリッドイマージョンレンズＳＩＬ２２、スペーサ３１を別々に作成して貼り合わせている。この例では、半導体プロセスを用いて、１枚の基板に多数のレンズを並べて、まとめて貼り合わせた後、ダイシングする作製方法を示している。なお、２３はテーパ部、２４はレール部、３２は貫通孔である。
【０００７】
図１５は、上述した特開２０００−１３１５０８号公報（ソニー）に開示された光ヘッドに使用されるソリッドイマージョンレンズＳＩＬ一体型対物レンズ１を示す図である。この特許では、レンズ部分５２とスペーサを兼ねる支持部５１を一体形成した第１のレンズ５０と、レンズ部分６２とスペーサを兼ねる支持部６１を一体形成した第２のレンズ６０とを図示の如く貼り合わせている。５３は磁気コイルである。対物レンズとソリッドイマージョンレンズＳＩＬを半導体に用いられるフォトリソグラフィ、ドライエッチングなどのプロセスを用いて１枚の基板に多数形成し、まとめて貼り合わせてからダイシングすることで生産性を高めている。
しかしながら、多数のマイクロレンズを並べた基板を貼りあわせる際はその貼り合わせ方法が問題となる。
【０００８】
どちらの方法においても、スペーサを使ってレンズ間隔の精度を高めているので、スペーサとマイクロレンズ付き基板の間隔は０であることが望ましい。
特開２０００−７６６９５号公報（ＴＤＫ）では、対物レンズ１２とスペーサ３１の間、ソリッドイマージョンレンズＳＩＬ２２とスペーサ３１間の接着方法として陽極接合をあげている。この方法では貼り合わされる面の間の隙間をほぼ０にできるが、この方法では貼り合わせる材料が可動性のイオンを多く含むパイレックスなどの一部のガラス材料に限られてしまう。
【０００９】
一方、特開２０００−１３１５０８号公報（ソニー）の方法では、特に貼り合わせ方法を示していない。単純に接着剤を用いて貼りあわせる場合、スペーサ部分に接着剤を塗って、基板を重ね合わせると考えられるが、そうするとスペーサの間に接着剤の層が形成されるため、接着層の厚さのバラツキによって目的の面間隔が得られなくなる。また、強く力を加えて、スペーサ部分の接着剤をできるだけ押し出した場合は、押し出された接着剤がレンズ部分に付着する可能性が生じる。また、光軸方向のアライメントも、接着剤が流動するため、困難と考えられる。
【００１０】
本発明は、上述した問題点に対応するため、マイクロレンズ付き基板に係る技術、特に複数のマイクロレンズが配列された基板を、マイクロレンズ側を内側にして貼り合せる場合に、さまざまな基板材料が利用可能で、なおかつマイクロレンズの間隔やアライメントの精度を高めることができるマイクロレンズ付き基板、およびそれを用いたマイクロレンズ，ビームエキスパンダ，光コネクタなどの光学機器を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、マイクロレンズ付き基板（図１の１００）に、基板間隔を制限し、かつ、重ね合わせ時に接触する部分のうち少なくとも一つが、マイクロレンズを取り囲むように配置されたスペーサ（図１の１０２）と、接着剤を流し込むための、２つの側面間でつながっている溝（図１の１０３）を形成し、接着剤を塗布しない状態で、他のマイクロレンズ（図２の２０１）が形成された基板（図２の２００）を重ね合わせ、その後、基板の重ね合わせ部分に対して接着剤を流し込むことを特徴とする。
【００１２】
さらに詳しくは、請求項１記載の発明は、マイクロレンズ（図１の１０１）が形成された面を備え、他のマイクロレンズ（図２の２０１）が形成された基板（図２の２００）と貼り合わせるマイクロレンズ付き基板（図１の１００）であって、前記面にスペーサ（図１の１０２）と接着剤を流し込み前記２枚の基板を固定するための溝パターン（図１の１０３）が形成され、前記他のマイクロレンズ（図２の２０１）が形成された基板（図２の２００）と貼りあわせたときに一の側面と他の側面が溝パターンでつながっていることを特徴としている。
【００１３】
請求項２記載の発明は、さらに前記スペーサが前記マイクロレンズと前記他のマイクロレンズが形成された基板との間隔を規制することを特徴とし、請求項３記載の発明は、さらに位置合せ用のアライメントマークが形成されていることを特徴としている。
【００１９】
請求項４記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載のマイクロレンズ付き基板において、マイクロレンズと逆側の面に磁気コイルを形成したことを特徴とし、請求項５記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載のマイクロレンズ付き基板において、マイクロレンズと逆側の面に１／４波長板を形成したことを特徴とし、請求項６記載の発明は、マイクロレンズと逆側の面にホログラムを形成したことを特徴とし、請求項７記載の発明は、マイクロレンズと逆側の面に４５°の傾斜を持つミラーを形成したことを特徴としている。
【００２０】
請求項８記載の光記録装置の発明は、請求項１〜７のいずれかに記載のマイクロレンズ付き基板を用いたことを特徴としている。
【００２４】
本発明によると、接着剤は、毛細管現象により重ね合わされた基板の隙間に浸透していく。その際、レンズを取り囲むスペーサ部分は、２枚の基板がほぼ接触しているため、他に比べて早く接着剤が流れ込むので、マイクロレンズ部分に接着剤が流れ込む前に、マイクロレンズ周辺が密閉されてしまう。密閉された後は、マイクロレンズ周辺に接着剤が流れ込むことができなくなるので、マイクロレンズ周辺を中空に保ったま、溝部分を接着剤で埋めこみ、２枚の基板を貼りあわせることができる。基板に接着剤が付着していない状態で重ね合わせているので、スペーサ部分に入り込む接着剤の量が少なく、接着剤の厚みによる基板間隔のバラツキは発生しにくい。また、アライメントも容易になる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
（実施例１）
以下、実施例に基づいて本発明の実施形態を説明する。
この実施例は、２枚のマイクロレンズを組み合わせてＮＡ=０.８程度のマイクロレンズを作成した例である。
【００２６】
まず、基板の形状について説明する。
図１および図２は、マイクロレンズ付き基板の形状を説明するための図である。どちらも中心にマイクロレンズ１０１，２０１、その周辺にスペーサパターン１０２，２０２が配置された構造が基板上に多数並べられている。マイクロレンズ１０１の直径は２００μm、１０２は１６０μmで高さはどちらも３５μm、基板の材質は石英である。図１（ａ）と図２（ａ）は、マイクロレンズ付き基板の平面図を示している。図１（ｂ）と図２（ｂ）はそのうち一つを取出したもので、それぞれの断面を図１（ｃ）と図２（ｃ）に示した。図２（ｂ）の斜線部分が２枚のレンズの接触部分であり、そのうち接触部分２０３がマイクロレンズを取り囲む形になっている。スペーサの隙間部分（溝部分）１０３は接着剤を流し込むための溝である。
【００２７】
マイクロレンズを取り囲むスペーサ接触部分の形状は、ここでは正方形にしたが、他の形状でもかまわない。特に、四角形のような角がある形状では、その角付近から接着剤がマイクロレンズ側に浸入しやすいので、そのような場合は角を削って８角形にしたり、円形にするのが有効である。また、溝部分（溝パターン）１０３は、基板を重ねた後から接着剤を流し込めるようにするため、少なくても重ね合わせた際に基板周辺部分の２個所(接着剤の入り口と出口)とつながっている必要がある。図１（ａ）の場合は１つ１つのマイクロレンズ周辺に設けた溝は全てつながっているので、図の上下左右どちらから接着剤を流した場合でも全体に流し込むことができる。
【００２８】
このマイクロレンズ付き基板の作成には、レジストリフロー法を用いた。具体的には、ガラス基板上に円柱状のレジストパターン作成した後、そのパターンを加熱し、リフローさせてレンズ形状のレジストパターンを作成し、更に異方性ドライエッチングでレジストの形状を基板に転写して作成した。周辺のスペーサパターンも同時に形成している。ここでは基板材料としてガラスを用いたが、貼り合わせには接着剤を使うので、樹脂材料など、接着剤で貼り合わせ可能なものならどのようなものでも利用できる。
【００２９】
次に、本発明のマイクロレンズ付き基板の製造プロセスについて説明する。
まず、図１（ａ）のパターンが形成された基板１００に、図２（ａ）のパターンが形成された基板２００を重ねる。図３（ａ）に基板を重ね合わせた状態、図３（ｂ）にそのマイクロレンズの一つを示した。ここで２枚の基板に形成されたマイクロレンズの光軸を合わせる必要があるので、重ね合わせた状態で基板１００と基板２００を相対的に移動させて光軸合わせを行っている。
【００３０】
光軸合わせは、それぞれの基板のマイクロレンズの位置を見ながら行うことも可能であるが、基板１００と２００の重なる位置にアライメントマーク（図示せず）を形成しておき、それを用いて位置合せを行えばより精度よく合わせるできる。図３（ｂ）に重ね合わされたレンズの１つを示した。図に示したように、ここまでの工程では接着剤が塗布されていないので、対向するスペーサの間隔はほぼ０になっており、レンズの面間隔をスペーサの高さと正確に合わせることができる。
【００３１】
次に、接着剤を溝に流し込む。図３（ｃ）は重ね合わせた基板に対して接着剤を塗布した状態を示している。図３（ｃ）では明示していないが、基板２００は基板１００に対して移動しないように固定されている。図３（ｃ）のように重ね合わせた基板の１辺に接着剤３０１を塗布すると、接着剤３０１は毛細管現象により、基板の間に流れ込んでいく。毛細管現象による接着剤の流れ込みは、隙間が狭い部分ほど早いので、スペーサの接触部分付近では早く、溝部分１０３では遅くなる。
【００３２】
図４（ａ）〜（ｇ）は、マイクロレンズ周辺での流れ込みの様子を示す図である。マイクロレンズ周辺に流れ込んだ接着剤３０１は、まず、マイクロレンズを囲んだスペーサ４０１を順次伝わって流れていく（図４（ａ）〜（ｄ）参照)。この時、同時にスペーサの内側４０６にも流れていくが、この部分は間隔が広いため、流れ込む速度はスペーサ部を流れる接着剤に比べて遅くなる。
【００３３】
また、図４（ｅ）に示すように、完全にスペーサの接触部分に接着剤が行き渡ると、マイクロレンズ周辺の空気の行き場がなくなるため、スペーサの内側へは接着剤が流れ込めなくなる。その結果、図４（ｅ）〜（ｇ）に示すように、マイクロレンズ周辺を中空に保ったまま、接着剤を貼り合わせ部分全体に行き渡らせることができる。
【００３４】
基板のそりなどによって、大きい隙間ができている場合は、重ね合わせた基板に対して基板同士を押し付ける方向に力を加えて密着させた状態で、接着剤を流し込めばよい。
【００３５】
また、基板の平面度が高く、スペーサが完全に密着している場合は当然接着剤がレンズ周辺の空間４０６に流れ込むことはできない。この場合でも接着剤はスペーサの間に流れ込むので基板を貼りあわせることができる。いずれにしろ、このような構成にすることで、レンズ周辺に接着剤を付着させることなく基板間に接着剤を行き渡らせることができる。
【００３６】
接着剤が全体に行き渡ったら接着剤を硬化させる。接着剤の硬化の仕方は、接着剤として、ＵＶ硬化型樹脂を用いる場合は紫外線を照射すればよいし、熱硬化型を用いる場合は加熱すればよい。本発明の方法は、接着剤が全体に行き渡るまでは硬化しないような接着剤であれば、如何なる接着剤をも利用することができる。
【００３７】
このようにしてレンズ付き基板を貼り合わせる場合。レンズ部分が密閉されるので、レンズ周辺部分には貼り合わせを行った場所の雰囲気が封じ込められることになる。雰囲気中に水分おおく含まれる場合などは、レンズを使用する環境の温度によってレンズ表面にくもりを生じる可能性がある。そのような場合は、周辺の雰囲気をN２などの不活性ガスにするなど雰囲気を制御した環境で貼り合わせを行えばよい。
【００３８】
図３（ｂ）には、この実施例のようにして作成したマイクロレンズに、光を入射した際の光路も示してある。ソリッドイマージョンレンズＳＩＬとして利用する場合は、基板２００の底面に焦点を結ばせる必要があるが、この実施例の場合はＮＡが１より小さいので、焦点位置を基板２００の底面から１０μｍほど離した位置に結ばせている。このような構成では、ソリッドイマージョンレンズＳＩＬを利用した場合ほど高いＮＡは得られないが、焦点位置と基板２００の間隔をある程度広くできる。そのため、このマイクロレンズは次世代の光ディスクとして検討されている青色レーザーを利用した２０ＧＢ程度の光ディスクに利用できる可能性がある。
【００３９】
以上、本発明の方法を用いることにより、マイクロレンズ付き基板を貼りあわせて利用する際に、光軸のアライメント中は接着剤の影響を受けないのでアライメントが容易で、更に、スペーサの隙間には微量の接着剤しか入らないので、レンズの面間隔を高精度に合わせることが可能で、なおかつ基板の材料としてさまざまなものが利用可能することができるようになる。また、この方法でマイクロレンズを高精度に組み合わせることで、光ディスク書き込みヘッドなどにも利用可能な高いＮＡをもつマイクロレンズを作成することが可能になる。
【００４０】
（実施例２）
実施例２では、本発明の方法を用いて作成した光ディスク用対物レンズについて説明する。
図５は、本発明の方法で作成した小型、高ＮＡマイクロレンズを示す図である。対物レンズ５０１は基板として石英を用い、大きさは直径２００μｍ、高さ３５μｍとした。このレンズも実施例１と同様に、フォトレジストでレンズ状のパターンを作成してドライエッチングで基板に転写したが、ここでは、マスクに同心円状の透過率分布を与えたグレイスケールマスクを用いた。そうすることにより、リフローの工程無しにレンズ形状のレジストパターンが得られ、また、マスクに与える透過率分布を調整することで非球面形状のマイクロレンズも作成できる。この実施例では、非球面形状にして対物レンズ５０２単独でＮＡ=０.４５が得られるように設計した。
【００４１】
もう一つのレンズ５０２は超半球形状のソリッドイマージョンレンズ（ＳＩＬ）である。ここでは材料として光学ガラスＳＦ−２（屈折率１.６４７)を用いた。従って、この構成では全体でＮＡ=１.２２が得られる。
【００４２】
ソリッドイマージョンレンズＳＩＬを用いる場合は、ソリッドイマージョンレンズＳＩＬの底面と記録層の間隔を記録再生に用いるレーザーの波長程度に押さえる必要があるが、この対物レンズはマイクロレンズを用いているため、周辺のスペーサ部分を合わせてもハードディスクのヘッドと同程度の大きさである。従って、ハードディスクと同じような浮上ヘッドとして利用することが可能であり、ソリッドイマージョンレンズＳＩＬをもちいた光記録装置を作成するのに非常に有効である。
【００４３】
また、本発明の方法で作成した高ＮＡマイクロレンズは、基板の両面が平坦なので、例えば、図６〜図９に示すように他の部品と容易に組み合わせることが可能となる。
図６は、基板側の面に円形の溝を形成し、磁気コイル８０１を取り付けた構成例である。このようにすれば、本発明の高ＮＡマイクロレンズを光磁気ディスク用の小型の対物レンズとして利用することができる。
【００４４】
図７は、光源側の面に１／４波長板９０１を取り付けた構成例であり、９０２はレーザーダイオード、９０３はコリメーターレンズ、９０４は偏光ビームスプリッタ、９０５はフォトダイオードを示している。このようにすれば、検出部分（検出光学系）９０６の部品点数を１つ減らせるので、光学系全体を小型化できる。
図８は、図７の光源側の面の１／４波長板９０１上にさらに集光機能を持った偏光ホログラム１００１を貼り付けた構成例である。このようにすれば、更に光学系を小型化できる。偏光ホログラムとは、特定の偏光方向の光が入射した場合のみ、光を回折したり、集光したりする機能を持ったホログラムである。この例では、マイクロレンズを通って記録面に集光される時は回折されず、記録面から戻ってくる光のみが回折される。
【００４５】
図９は、光源側の面に４５°ミラー１１０１を集積して取り付けた構成例である。このようにすれば、側面から光を入射させることができるので、ピックアップ全体の高さを低く抑えることができる。
以上のように、本発明の方法で作成したマイクロレンズは、高いＮＡを持ち、更に小型、軽量で、容易に他の部品と組み合わせることができるので、光ディスク装置の高密度化、小型化に利用することが可能である。
【００４６】
（実施例３）
実施例３では、対物レンズの間に他の部品を挿んで貼りあわせた場合について説明する。
貼り合わせ方法自体は、実施例１と同じである。但しマイクロレンズ付き基板に取り付けられたスペーサと間に挿む基板の接触部分が、マイクロレンズを取り囲む形状になっている必要がある。また、間に挿む基板にもアライメントマーク（図示せず）を形成しておけば、アライメントが容易になる。
【００４７】
図１０は、偏光板１２０１と１／４波長板１２０２が取り付けられた基板１２００をマイクロレンズ付き基板で挿んだ光学部品を示す図である。この両側に光ファイバ１２０３、１２０４を配置した場合、１２０３から出た光はマイクロレンズ１２０５で平行光に変換された後、偏光板１２０１、１／４波長板１２０２を透過し、マイクロレンズ１２０６で集光されて光ファイバ１２０４に入射する。
【００４８】
この場合、何らかの要因でファイバ１２０４に入った光が、反射されてマイクロレンズ１２０６に戻った場合でも、１／４波長板により偏光板１２０１を通らない偏光に変換されてしまうので、光が逆戻りできない。このような構成は光通信などに使われるアイソレータとして利用できる。この場合も、レンズ周辺部分が空洞になっていることにより、開口数ＮＡを大きくすることができるので、全長を短くして、小型のアイソレータを作成することが可能である。
【００４９】
図１１は、グレーティングパターン１３０１が形成された基板１３００をマイクロレンズ付き基板の間に挿んだ構成例である。このような構成では、特定の波長の光のみを透過させるような機能を持たせることができる。またこれらのマイクロレンズを利用することにより、アイソレータや波長分離機能を持った、小型の光ファイバのコネクタを作成することが可能になる。
【００５０】
また、図１２、１３では、アパーチャ１４０１を形成した基板１４００をマイクロレンズの間に挿んでいる。このアパーチャ１４０１は、ガラス基板の表面に酸化クロムなどの遮光膜を成膜した後、フォトリソグラフィで円形の開口を形成したものである。図１２はビームエキスパンダ、図１３は光ピックアップ用の対物レンズとして用いることができる。このような構成では、迷光を効果的に除去できる。
【００５１】
以上のように、本発明の方法では、マイクロレンズの間に、さまざまな機能を持つ光学部品を挿んでおくことにより、複数の機能を持った微小な光学部品を作成することが可能になる。
【００５２】
【発明の効果】
本発明によれば、次のような効果を有する。すなわち、
（ａ）請求項１〜２に記載のマイクロレンズ付き基板を用いることにより、マイクロレンズ周辺を空洞にしたまま、レンズ間隔を正確に合わせて貼り合わせることが可能になる。
【００５３】
（ｂ）請求項３に記載のマイクロレンズ付き基板を用いることにより、２枚の基板の間隔だけでなく、位置もより正確に合わせることが可能になる。
【００５８】
（ｃ）請求項４に記載のマイクロレンズつき基板を用いることにより、非常に小型の光磁気ディスクヘッドを作成することが可能になる。
（ｄ）請求項５,６，７に記載のマイクロレンズ付き基板により、光ピックアップの部品点数が減らせるので、用の光学系を小型化することが可能になる。
（ｅ）請求項８に記載の光記録装置により、光記録装置を小型化できるので、光記録装置を用いたパソコンなどのシステム全体を小型化することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１および図２は、マイクロレンズ付き基板の形状を説明するための図である。実施例１で用いるマイクロレンズ付き基板を説明する図である（１枚目の基板）。
【図２】実施例１で用いるマイクロレンズ付き基板を説明する図である（２枚目の基板）。
【図３】実施例１のプロセスを説明するための図である。
【図４】マイクロレンズ周辺での流れ込みの様子を示す図である。
【図５】本発明の方法で作成した小型、高ＮＡマイクロレンズを示す図である。
【図６】基板側の面に円形の溝を形成し、磁気コイルを取り付けた構成例である。
【図７】光源側の面に１／４波長板を取り付けた構成例である。
【図８】図７の光源側の面の１／４波長板上にさらに集光機能を持った偏光ホログラムを貼り付けた構成例である。
【図９】光源側の面に４５°ミラーを集積して取り付けた構成例である。
【図１０】偏光板と１／４波長板が取り付けられた基板をマイクロレンズ付き基板で挿んだ光学部品（光アイソレータ）を示す図である。
【図１１】グレーティングパターンが形成された基板をマイクロレンズ付き基板の間に挿んだ構成例である。
【図１２】アパーチャと組み合わせたビームエキスパンダ構成例である。
【図１３】アパーチャと組み合わせた光ピックアップ対物レンズの構成例である。
【図１４】特開２０００−７６６９５号公報に開示された光ヘッドを示す図である。
【図１５】特開２０００−１３１５０８号公報に開示されたソリッドイマージョンレンズＳＩＬ一体型対物レンズを示す図である。
【符号の説明】
１００,２００：マイクロレンズ付き基板
１０１,２０１：マイクロレンズ
１０２,２０２：スペーサ
１０３：溝部分（溝パターン）
２０３：マイクロレンズを囲むスペーサの重なり部分
３０１：接着剤
４０１：マイクロレンズを囲むスペーサ
４０２,４０３,４０４,４０５：スペーサ
４０６：スペーサとマイクロレンズの隙間
５０１：対物レンズ
５０２：超半球型ソリッドイマージョンレンズ
８０１：磁気コイル
９０１：１／４波長板
９０２：レーザーダイオード
９０３：コリメーターレンズ
９０４：偏光ビームスプリッタ
９０５：フォトダイオード
９０６：光ピックアップの検出光学系
１００１：偏光ホログラム
１１０１：４５°ミラー
１２００：基板
１２０１：偏光板
１２０２：１／４波長板
１２０３，１２０４：光ファイバ
１２０５，１２０６：マイクロレンズ
１３００：基板
１３０１：グレーティング
１４００：基板
１４０１：アパーチャ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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