(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材フィルムの一方の面に、有機珪素化合物からなる蒸着用モノマ−ガスを原料とし、該蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、および、不活性ガスを含む蒸着用混合ガス組成物を使用し、真空チャンバ−を２ないしそれ以上有する低温プラズマ発生装置を利用するプラズマ化学蒸着法（ＣＶＤ法）を用いて、酸化珪素の蒸着膜を２層ないしそれ以上を重層して製膜化する方法であって、
上記の蒸着用混合ガス組成物としては、その組成として、少なくとも、蒸着用モノマ−ガスを５〜３０体積％の範囲、酸素ガスを２０〜８０体積％の範囲で含有し、かつ、酸素ガスの含有量を上げ、他方、蒸着用モノマ−ガスの含有量を低くし、更に、不活性ガスを含有している蒸着用混合ガス組成物を使用し、
そして、上記の蒸着用混合ガス組成物を原料供給ノズルを通して真空チャンバ−内に導入し、式ＳｉＯX で表され、かつ、そのＸの値を増加させてなる酸化珪素の蒸着膜を製膜化し、
その際に、冷却・電極ドラムに、チャンバ−外に配置されている電源から、電力値６〜１４ｋＷの範囲内で電流を流し、また、製膜スピ−ドとしては、５０〜１５０ｍ／ｍｉｎの範囲内とし、更に、真空チャンバ−の真空度としては、３０〜８０μｂａｒの範囲内としてプラズマ化学蒸着を行って酸化珪素の蒸着膜の２層ないしそれ以上を重層して製膜化するすることを特徴とする透明バリア性フィルムの製膜化法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、透明バリア性フィルムおよびそれを使用した積層体に関し、更に詳しくは、透明性、酸素ガスあるいは水蒸気等に対するバリア性等に優れ、更に、ラミネ−ト適性を有し、飲食品、医薬品、化粧品、化学品、電子部品、その他等の種々の物品を充填包装する包装材料として有用な透明バリア性フィルムおよびそれを使用した積層体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等に優れた包装用材料として、種々のものが開発され、提案されているが、それらの一つとして、近年、プラスチックフィルム等の基材フィルムの一方の面に、物理気相成長法、あるいは、化学気相成長法等を用いて、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着膜を設けた蒸着フィルムが提案されている。
このものは、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等に優れ、かつ、透明性を有し、更に、環境対応に適う包装用材料として注目され、近年、他のプラスチックフィルム、あるいは、紙基材等の包装用材料と積層し、例えば、飲食品、医薬品、化粧品、洗剤、その他等の種々の物品の充填包装に適する包装用容器を製造することかでき、その需要の拡大が期待されているものである。
【０００３】
【発明が解決しよとする課題】
しかしながら、上記の蒸着フィルムにおいては、確かに、透明性に優れ、かつ、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等は向上するが、該蒸着フィルムを使用し、これに、他の樹脂のフィルム等をラミネ−トして包装用材料としての積層体を製造し、更に、該積層体を使用し、これから種々の形態からなる包装用容器を製造し、而して、その包装用容器の中に、種々の物品を充填包装しても、全ての包装用容器が、十分に満足し得る包装製品を製造し得るというものではないものである。
例えば、上記の蒸着フィルムにおいて、基材フィルムの一方の面に、プラズマ化学蒸着法を利用して、酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸着膜を設けた蒸着フィルムにおいては、該酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸着膜が、ガラス質状の蒸着膜からなるものであることから、蒸着後、例えば、印刷加工、ラミネ−ト加工、あるいは、製袋加工等の後処理加工時に、クラック等を発生し易いという問題点がある。
而して、上記のように酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸着膜の表面に発生したクラック等は、その蒸着膜の表面のみならず、その蒸着膜の深さ方向に伝搬し、その結果、酸素ガス、水蒸気等のバリア性は、著しく低下し、もはや、バリア性素材としては、その要をなさないものであり、例えば、他の樹脂のフィルム等をラミネ−トして、積層体を製造し、更に、該積層体を使用して包装用容器を製造し、その包装用容器内に種々の物品を充填包装して包装製品を製造したとしても、その商品価値を著しく損ない、もはや、商品として、流通販売等に供し得ないものであるという問題点がある。
また、基材フィルムの一方の面に、プラズマ化学蒸着法を利用して、酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸着膜を設けた蒸着フィルムにおいては、蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、不活性ガス、その他等からなる蒸着用混合ガス組成物を使用して、酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸着膜を製膜化しているものであることから、製膜中に、未反応の蒸着用モノマ−ガス等が、しばしば、蒸着膜中に含まれることがあるという問題点がある。
而して、上記のように酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸着膜中に未反応の蒸着用モノマ−ガス等が含まれることになると、これが、蒸着膜のピンホ−ルの発生原因となり、このように、蒸着膜にピンホ−ルが発生すると、酸素ガス、水蒸気等のバリア性は、著しく低下し、前述と同様に、バリア性素材としては、その要をなさないものであり、種々の物品を充填包装して包装製品を製造したとしても、その商品価値を著しく損ない、充分に満足し得る包装製品を製造し得ないものであるという問題点がある。
そこで本発明は、基材フィルムの一方の面に、プラズマ化学蒸着法による酸化ケイ素、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着膜を設けた蒸着フィルムからなり、更に、その蒸着膜にクラック、ピンホ−ル等が発生しても、酸素ガス、水蒸気等に対するガスバリア性に優れ、種々の物品を充填包装するに適する包装用容器等を製造するのに有用な透明バリア性フィルムおよびそれを使用した積層体を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記のような問題点を解決すべく種々研究した結果、基材フィルムの一方の面に、プラズマ化学蒸着法により、酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸着膜を設けるに際し、該無機酸化物の蒸着膜を２層ないしそれ以上に重層して設けることに着目し、まず、基材フィルムの一方の面に、プラズマ化学蒸着法による第１の無機酸化物の蒸着膜を製膜化し、次いで、該第１の無機酸化物の蒸着膜の上に、更に、上記と全く同様に、プラズマ化学蒸着法による第２の無機酸化物の蒸着膜を製膜化し、以下、必要ならば、プラズマ化学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜を３層ないしそれ以上に重層して透明バリア性フィルムを製造し、而して、該透明バリア性フィルムを構成する最後に製膜化した無機酸化物の蒸着膜面に、少なくとも、ヒ−トシ−ル性樹脂のフィルムをラミネ−トして積層体を製造し、該積層体を使用し、製袋して包装用容器を製造し、該包装用容器内に内容物を充填包装して包装製品を製造したところ、優れた透明性を有すると共に酸素ガス、水蒸気等に対する高いガスバリア性を有し、例えば、飲食品、医薬品、化粧品、洗剤、その他等の種々の物品を充填包装するにに適する包装用容器等を製造するに有用な透明バリア性フィルムおよびそれを使用した積層体を製造し得ることを見出して本発明を完成したものである。
【０００５】
すなわち、本発明は、基材フィルムの一方の面に、プラズマ化学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜を２層ないしそれ以上に重層してなることを特徴とする透明バリア性フィルムおよびそれを使用した積層体に関するものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】
上記の本発明について図面等を用いて以下に更に詳しく説明する。
まず、本発明にかかる透明バリア性フィルムおよびそれを使用した積層体についてその一二例を例示しその層構成を示すと、図１および図２は、本発明にかかる透明バリア性フィルムについてその一二例の層構成を示す概略的断面図であり、図３は、本発明にかかる透明バリア性フィルムについてその作用効果の概要を示す概略的断面図であり、図４は、本発明にかかる透明バリア性フィルムを使用した積層体についてその一例の層構成を示す概略的断面図である。
【０００７】
まず、本発明にかかる透明バリア性フィルム１としては、図１に示すように、基材フィルム２の一方の面に、まず、プラズマ化学蒸着法により、第１の無機酸化物の蒸着膜３ａを設け、次に、該第１の無機酸化物の蒸着膜３ａの上に、上記と同様に、プラズマ化学蒸着法により、第２の無機酸化物の蒸着膜３ｂを設け、而して、上記の第１の無機酸化物の蒸着膜３ａと第２の無機酸化物の蒸着膜３ｂとの２層３ａ、３ｂを重層して設けた構成からなることを基本構造とするものである。
更に、本発明にかかる透明バリア性フィルム１ａは、図２に示すように、基材フィルム２の一方の面に、上記の図１に示すように、プラズマ化学蒸着法により、第１の無機酸化物の蒸着膜３ａ、および、第２の無機酸化物の蒸着膜３ｂを設けた後、該第２の無機酸化物の蒸着膜３ｂの上に、更に、プラズマ化学蒸着法により、第３の無機酸化物の蒸着膜３ｃを設け、而して、上記の第１の無機酸化物の蒸着膜３ａと第２の無機酸化物の蒸着膜３ｂと第３の無機酸化物の蒸着膜３ｃとの３層３ａ、３ｂ、３ｃを重層して設けた構成からなるものである。
なお、本発明において、図示しないが、本発明にかかる透明バリア性フィルムとしては、基材フィルムの一方の面に、プラズマ化学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜を４層ないしそれ以上に重層して設けた構成からなるものも製造し得るものである。
【０００８】
ところで、上記のような構成からなる本発明にかかる透明バリア性フィルムは、上記の図１に示す透明バリア性フィルム１を使用した例で例示すると、図３に示すように、第１の無機酸化物の蒸着膜３ａと第２の無機酸化物の蒸着膜３ｂとの２層を重層することにより、仮に、第１の無機酸化物の蒸着膜３ａにクラック４ａ、４ａ・・が発生しても、該クラック４ａ、４ａ・・が発生した位置に対応する位置にある第２の無機酸化物の蒸着膜３ｂにクラック４ｂ、４ｂ・・が発生しなければ、上記の第１の無機酸化物の蒸着膜３ａに発生したクラック４ａ、４ａ・・は、第２の無機酸化物の蒸着膜３ｂで塞ぐことになり、而して、上記の第１の無機酸化物の蒸着膜３ａと第２の無機酸化物の蒸着膜３ｂとの２層の相乗効果により、酸素ガス、あるいは、水蒸気等に対するバリア性を維持することができるものである。
従って、本発明にかかる透明バリア性フィルムにおいては、プラズマ化学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜を２層ないしそれ以上を重層することを特徴とするものであるが、その製造コスト等を考慮すると、２層〜３層位を重層することが好ましいものである。
【０００９】
次に、本発明にかかる透明バリア性フィルムを使用した積層体１１としては、図４に示すように、例えば、上記の図１に示す透明バリア性フィルム１を使用した例で例示すると、まず、前述と同様に、基材フィルム２の一方の面に、プラズマ化学蒸着法により、第１の無機酸化物の蒸着膜３ａと第２の無機酸化物の蒸着膜３ｂとの２層を重層して設けて透明バリア性フィルム１を構成し、更に、該透明バリア性フィルム１を構成する該２の無機酸化物の蒸着膜３ｂの面に、少なくとも、ヒ−トシ−ル性樹脂層５を設けた構成からなるものである。
上記の例示は、本発明にかかる透明バリア性フィルムおよびそれを使用した積層体についてその一二例を例示するものであり、これによって本発明は限定されるものではないことは言うまでもないことである。
【００１０】
次に、上記の本発明にかかる透明バリア性フィルムおよびそれを使用した積層体を構成する材料、その製造法等について説明すると、まず、本発明にかかる透明バリア性フィルム、あるいは、積層体を構成する基材フィルムとしては、無色透明な各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使用することができ、具体的には、例えば、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂、ポリエチレンテレフタレ−トあるいはポリエチレンナフタレ−ト等のポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体のケン化物、ポリアクリロニトリル系樹脂、アセタ−ル系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使用することができる。
而して、上記の樹脂のフィルムないしシ−トとしては、例えば、テンタ−方式あるいはチュ−ブ方式等を使用し、縦横等の２方向に２軸延伸してなるフィルムないしシ−トでも使用することができる。
また、上記の樹脂のフィルムないしシ−トとしては、単層、あるいは、２層以上の共押し出し法等で製膜し、ついで、２軸延伸してなる樹脂のフィルムないしシ−ト等も使用することができる。
また、本発明において、基材フィルムの厚さとしては、そのフィルムないしシ−トの製造時の安定性等から適宜に設定することが可能であるが、約５〜１００μｍ位、好ましくは、１０〜５０μｍ位が望ましい。
なお、本発明において、上記の基材フィルムは、蒸着膜等との密着性を高めるために、必要に応じて、その表面に、予め、公知のプライマ−コ−ト剤によるプライマ−コ−ト剤層等を設けることもできる。
また、上記の基材フィルムは、その表面に、必要ならば、例えば、コロナ処理、プラズマ処理、フレ−ム処理、その他等の表面活性処理を任意に施すことができる。
なお、本発明において、用途に応じて、例えば、帯電防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤、滑剤、充填剤、その他等の所望の添加剤を、その透明性に影響しない範囲内で任意に添加し、それらを含有する樹脂のフィルムないしシ−ト等も使用することができる。
【００１１】
次に、本発明において、本発明の透明バリア性フィルム、あるいは、積層材を構成するプラズマ化学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜について説明すると、本発明においては、基材フィルムの一方の面に、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガスを原料とし、該蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、不活性ガス、その他等からなる蒸着用混合ガス組成物を使用し、真空チャンバ−を２ないしそれ以上有する低温プラズマ発生装置等を利用するプラズマ化学蒸着法（ＣＶＤ法）を用いて、酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を２層ないしそれ以上を重層して形成して、本発明にかかる透明バリア性フィルムを形成することができる。
上記において、低温プラズマ発生装置としては、例えば、高周波プラズマ、パルス波プラズマ、マイクロ波プラズマ等の発生装置を使用することがてき、而して、本発明においては、高活性の安定したプラズマを得るためには、高周波プラズマ方式による発生装置を使用することが望ましい。
【００１２】
具体的に、上記のプラズマ化学蒸着法についてその一例を例示して説明すると、図５は、二つの真空チャンバ−を有するプラズマ化学蒸着法の概要を示すプラズマ化学蒸着装置の概略的構成図である。
上記の図５に示すように、本発明においては、まず、プラズマ化学蒸着装置３１の第１の真空チャンバ−３２内に配置された巻き出しロ−ル３３から基材フィルム２を繰り出し、更に、該基材フィルム２を、補助ロ−ル３４を介して所定の速度で冷却・電極ドラム３５周面上に搬送する。
而して、本発明においては、ガス供給装置３６、３７、および、原料揮発供給装置３８等から酸素ガス、不活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガス、その他等を供給し、それらからなる蒸着用混合ガス組成物を調整しなから原料供給ノズル３９を通して真空チャンバ−３２内に導入し、そして、上記の冷却・電極ドラム３５周面上に搬送された基材フィルム２の上に、グロ−放電プラズマによってプラズマ４０を発生させて、これを照射して、第１の酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を製膜化する。
なお、本発明においては、その際に、冷却・電極ドラム３５は、真空チャンバ−３２外に配置されている電源４１から所定の電力が印加されており、また、冷却・電極ドラム３５の近傍には、マグネット４２を配置してプラズマの発生が促進されており、次いで、上記で第１の酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成した基材フィルム２を補助ロ−ル４３、４４を介して、プラズマ化学蒸着装置３１を構成する第２の真空チャンバ−４５内に供給する。
而して、上記でプラズマ化学蒸着装置３１を構成する第２の真空チャンバ−４５内に供給された第１の酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成した基材フィルム２は、補助ロ−ル４６、４７を介して、前述と同様に、所定の速度で冷却・電極ドラム４８周面上に搬送される。
而して、本発明においては、ガス供給装置４９、５０、および、原料揮発供給装置５１等から酸素ガス、不活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガス、その他等を供給し、それらからなる蒸着用混合ガス組成物を調整しなから原料供給ノズル５２を通して第２の真空チャンバ−４５内に導入し、そして、上記の冷却・電極ドラム４８周面上に搬送された上記の基材フィルム２の上に形成した第１の酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜の上に、グロ−放電プラズマによってプラズマ５３を発生させて、これを照射して、第２の酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を製膜化し、第１の酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜と第２の酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜との２層が重層した蒸着膜を形成する。
なお、本発明においては、その際に、冷却・電極ドラム４８は、真空チャンバ−４５外に配置されている電源５４から所定の電力が印加されており、また、冷却・電極ドラム４８の近傍には、マグネット５５を配置してプラズマの発生が促進されており、次いで、上記で第１の酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜と第２の酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜との２層が重層した蒸着膜を形成した基材フィルム２を補助ロ−ル５６を介して巻き取りロ−ル５７に巻き取って、第１の酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜と第２の酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜との２層を重層して設けた基材フィルム２からなる透明バリア性フィルムを製造することができるものである。
なお、図中、５８、５９は、二つの真空チャンバ−３２、４５を真空にするために設けた真空ポンプを表す。
上記の例示は、本発明にかかる二つの真空チャンバ−を有するプラズマ化学蒸着法の一例を例示するものであり、本発明においては、真空チャンバ−を３ないしそれ以上を有するプラズマ化学蒸着法によるプラズマ化学蒸着装置を使用し、３層ないしそれ以上を重層させて透明パリア性フィルムを製造することもでき、上記の例示によって本発明は限定されるものではないことは言うまでもないことである。
【００１３】
上記のにおいて、酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガスとしては、例えば、１．１．３．３−テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリメチルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメチルジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、その他等を使用することができる。
本発明において、上記のような有機珪素化合物の中でも、１．１．３．３−テトラメチルジシロキサン、または、ヘキサメチルジシロキサンを原料として使用することが、その取り扱い性、形成された蒸着膜の特性等から、特に、好ましい原料である。
また、本発明において、不活性ガス等としては、例えば、アルゴンガス、ヘリウムガス、窒素ガス、その他等を使用することができる。
【００１４】
ところで、本発明においては、上記のようなプラズマ化学蒸着法（ＣＶＤ法）によって製膜化される第１、および、第２、更には、それ以上の酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜等は、１層の蒸着膜自身において、クラック等の発生を防止するために、薄膜で形成され、かつ、屈曲性等に富む蒸着膜であることが望ましいものである。
そのため、本発明において、上記のプラズマ化学蒸着法（ＣＶＤ法）によって製膜化される蒸着膜の特性は、製膜化スピ−ド、プラズマパワ−、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガスと酸素ガスと不活性ガスとその他等からなる蒸着用混合ガス組成物の組成比、真空チャンバ−の真空度等の製膜パラメ−タ−等によって影響を受けるものであるが、本発明においては、特に、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、不活性ガス、その他等からなる蒸着用混合ガス組成物を原料供給ノズルを通して真空チャンバ−内に導入する際に、その蒸着用混合ガス組成物の組成において、酸素ガスの含有量を上げ、他方、蒸着用モノマ−ガスの含有量を低くすることにより、更に、プラズマパワ−を低くして、マイルドな条件でプラズマ照射し、これにより、薄膜であり、かつ、透明性を有し、更に、屈曲性に富み、また、酸素ガスバリア性等に優れた蒸着薄膜を形成することが望ましいものである。
【００１５】
また、本発明においては、上記のプラズマ化学蒸着法（ＣＶＤ法）において、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、不活性ガス、その他等からなる蒸着用混合ガス組成物を原料供給ノズルを通して真空チャンバ−内に導入する際に、その蒸着用混合ガス組成物の組成において、酸素ガスの含有量を上げ、他方、蒸着用モノマ−ガスの含有量を低くすると、形成される蒸着膜の極性部分の割合が増加し、その結果、基材フィルムと蒸着膜との密着性、更には、蒸着膜どうしの密着性等が向上し、而して、そのように密着性が向上することにより、酸素ガスバリア性も向上する傾向にあるものである。
更に、本発明において、上記のように酸素ガスの含有量を上げ、他方、蒸着用モノマ−ガスの含有量を低くしてプラズマ化学蒸着を行うと、酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜の場合には、該酸化珪素の蒸着膜が、式ＳｉＯX で表される酸化珪素の蒸着連続薄膜からなり、更に、Ｘの値を増加させることができ、極めて透明性に優れた蒸着薄膜を形成することができるものである。
更にまた、本発明において、上記のように酸素ガスの含有量を上げ、他方、蒸着用モノマ−ガスの含有量を低くしてプラズマ化学蒸着を行う、蒸着膜を形成する際に、酸素プラズマガスが多くなることから、基材フィルムの黄変が抑制され、その結果、透明バリア性フィルムの透明性を向上させることが可能となるものである。
【００１６】
上記の本発明において、プラズマ化学蒸着を行う際に、少なくとも、蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、および、不活性ガスを含む蒸着用混合ガス組成物において、酸素ガスの含有量としては、具体的には、該蒸着用混合ガス組成物の組成において、約２０体積％以上の範囲内で含有していることが好ましいものである。
上記において、２０体積％未満であると、酸素ガスバリア性に優れた蒸着膜質を得ることが困難になり、更に、酸素ガス量が減少すると、基材フィルムを黄変させる傾向にあり、特に、酸素ガス量が減少するにつれて、逆に、蒸着用モノマ−ガス、あるいは、不活性ガス等の含有割合が増加することになり、これにより、基材フィルムの黄変等が著しく増加する傾向にあることから好ましくないものである。
また、上記の本発明において、プラズマ化学蒸着を行う際に、少なくとも、蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、および、不活性ガスを含む蒸着用混合ガス組成物において、蒸着用モノマ−ガスの含有量としては、具体的には、該蒸着用混合ガス組成物の組成において、約３０体積％以下の範囲内で含有していることが好ましいものである。
上記において、蒸着用モノマ−ガスの含有量が３０％を越えると、蒸着用混合ガス組成物において、蒸着用モノマ−ガスの濃度が高くなり、形成される蒸着膜の膜厚が高くなり、その屈曲性が低下することから好ましくないものである。
更に、真空チャンバ−中に未反応の蒸着用モノマ−ガスが多量に存在し、真空度の低下、または蒸着膜中に取り込まれて、そのバリア性の低下を招くことから好ましくないものである。
なお、本発明において、蒸着用混合ガス組成物としては、その組成として、少なくとも、蒸着用モノマ−ガスを５〜３０体積％の範囲、酸素ガスを２０〜８０体積％の範囲で含有し、その他、不活性ガス、更に、必要ならば、その他の成分を含有している蒸着用混合ガス組成物を使用することが好ましいものである。
【００１７】
次に、本発明において、上記のような蒸着用混合ガス組成物を原料供給ノズルを通して真空チャンバ−内に導入し、グロ−放電プラズマによって、酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を製膜化することが好ましいものであるが、その際に、冷却・電極ドラムに、チャンバ−外に配置されている電源から、電力値１４ｋＷ未満の範囲で電流を流し、温和な条件でプラズマ化学蒸着を行い、無機酸化物の蒸着膜を有する透明バリア性フィルムを製造することが望ましいものである。
上記において、電力値が１４ｋＷを越えると、プラズマ化学蒸着の条件が過酷になり、例えば、基材フィルムが、その衝撃を受け、黄変あるいは劣化現象等を起こし、その発生を抑制することが困難になり、また、プラズマが不安定となり、ア−キング現象が非常に起こり易くなるため、耐プラズマ性に劣る基材フィルムに多数の穴を生じやすくなり、更に、酸素ガスバリア性等に優れた蒸着膜質を形成することが困難になる傾向があることから好ましくないものである。
本発明においては、具体的には、電力値６〜１４ｋＷ位の範囲内で電流を流すことが好ましいものである。
なお、本発明において、製膜スピ−ドとしては、５０〜１５０ｍ／ｍｉｎ位の範囲、また、真空チャンバ−の真空度としては、３０〜８０μｂａｒ位の範囲でプラズマ化学蒸着を行って各蒸着膜を製膜化して、２層ないしそれ以上を重層することが好ましいものである。
【００１８】
而して、本発明において、上記のプラズマ化学蒸着法によって形成される酸化珪素の蒸着膜としては、式ＳｉＯX （ただし、Ｘは、１〜２の数を表す）で表される酸化珪素を主体とする連続状の蒸着薄膜であり、更に、透明性等の点から、式ＳｉＯX （ただし、Ｘは、１．３〜１．９の数を表す。）で表される酸化珪素の蒸着膜を主体とする連続薄膜であることが好ましいものである。
また、上記の酸化珪素の蒸着膜は、珪素および酸素を構成元素とする酸化珪素化合物からなり、更に、炭素、水素、珪素、または、酸素からなる微量構成元素の１種ないし２種以上からなる化合物の少なくとも１種以上を含有する酸化珪素の連続蒸着膜からなるものである。
更に、上記の酸化珪素の蒸着膜は、珪素および酸素を構成元素とする酸化珪素化合物からなり、更に、炭素、水素、珪素、または、酸素の１種または２種以上の元素からなる化合物を少なくとも１種以上含有し、かつ、該化合物が、その膜表面から深さ方向に向かって減少している酸化珪素の連続蒸着膜からなるものである。
更にまた、上記の酸化珪素の蒸着膜は、炭素からなる化合物を含有する場合には、その膜厚の深さ方向において炭素の含有量が減少していることを特徴とするものである。
而して、上記のような蒸着膜の膜構造は、例えば、Ｘ線光電子分光装置（Ｘｒａｙ  Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＸＰＳ）、二次イオン質量分析装置（Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ  Ｉｏｎ  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＳＩＭＳ）等の表面分析装置を用い、深さ方向にイオンエッチングする等して分析する方法を利用して、蒸着膜の分析を行うことより確認することができるものである。
また、本発明において、酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜の膜厚としては、５０〜２０００Å位の範囲の膜厚のものを形成することができるものである。
しかし、本発明においては、第１、第２、更には、それ以上の酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜は、薄膜で、屈曲性等にとむ膜質であることが望ましいものであることから、蒸着膜の膜厚としては、５０〜５００Å位、好ましくは、５０〜３００Å位であることが望ましいものである。
上記において、膜厚が、３００Å、５００Å、１０００Å、更に、２０００Å等を越えると、蒸着膜の屈曲性等が劣る傾向にあって、クラック等が発生し易くなるという傾向にあることから好ましくなく、また、膜厚が、５０Å未満になると、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等に劣る傾向にあることから好ましくないものである。
【００１９】
次に、本発明において、本発明にかかる透明バリア性フィルムを使用した積層体を構成するヒ−トシ−ル性樹脂層を形成するヒ−トシ−ル性樹脂としては、熱によって溶融し相互に融着し得る樹脂のフィルムないしシ−トを使用することができ、具体的には、例えば、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、直鎖状（線状）低密度ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸メチル共重合体、エチレン−プロピレン共重合体、メチルペンテンポリマ−、ポリブテンポリマ−、ポリエチレンまたはポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、フマ−ル酸、イタコン酸等の不飽和カルボン酸で変性した酸変性ポリオレフィン樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、その他等の樹脂のフィルムないしシ−トを使用することができる。
而して、上記のフィルムないしシ−トは、その樹脂を含む組成物によるコ−ティング膜の状態でも使用することができる。
その膜もしくはフィルムないしシ−トの厚さとしては、５μｍないし３００μｍ位が好ましくは、更には、１０μｍないし１００μｍ位が望ましい。
【００２０】
ところで、本発明において、本発明にかかる積層体としては、上記のようなヒ−トシ−ル性樹脂層の他に、例えば、各種の樹脂のフィルム、紙基材、金属素材、合成紙、セロハン、その他等の包装用容器を構成する包装用素材等と任意に組み合わせて、種々の積層体を製造し、種々の物品を充填包装するに適した包装材料を製造可能とするものである。
上記の樹脂のフィルムとしては、具体的には、例えば、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、線状低密度ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、酸変性ポリオレフィン系樹脂、メチルペンテンポリマ−、ポリブテン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリアクリルニトリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ系樹脂）、アクリロニトリル−ブタジェン−スチレン共重合体（ＡＢＳ系樹脂）、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体のケン化物、フッ素系樹脂、ジエン系樹脂、ポリアセタ−ル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ニトロセルロ−ス、その他等の公知の樹脂のフィルムないしシ−トから任意に選択して使用することができる。
本発明において、上記のフィルムないしシ−トは、未延伸、一軸ないし二軸方向に延伸されたもの等のいずれのものでも使用することができる。
また、その厚さは、任意であるが、数μｍから３００μｍ位の範囲から選択して使用することができる。
更に、本発明においては、フィルムないしシ−トとしては、押し出し成膜、インフレ−ション成膜、コ−ティング膜等のいずれの性状の膜でもよい。
また、上記において、紙基材としては、例えば、強サイズ性の晒または未晒の紙基材、あるいは純白ロ−ル紙、クラフト紙、板紙、加工紙等の紙基材、その他等を使用することができる。
上記において、紙層を構成する紙基材としては、坪量約８０〜６００ｇ／ｍ2 位のもの、好ましくは、坪量約１００〜４５０ｇ／ｍ2 位のものを使用することが望ましい。
また、上記にといて、金属素材としては、例えば、アルミニウム箔、あるいは、アルミニウム蒸着膜を有する樹脂のフィルム等を使用することができる。
【００２１】
次に、上記の本発明において、上記のような材料を使用して積層体を製造する方法について説明すると、かかる方法としては、通常の包装材料をラミネ−トする方法、例えば、ウエットラミネ−ション法、ドライラミネ−ション法、無溶剤型ドライラミネ−ション法、押し出しラミネ−ション法、Ｔダイ押し出し成形法、共押し出しラミネ−ション法、インフレ−ション法、共押し出しインフレ−ション法、その他等で行うことができる。
而して、本発明においては、上記の積層を行う際に、必要ならば、例えば、コロナ処理、オゾン処理、フレ−ム処理、その他等の前処理をフィルムに施すことができ、また、例えば、ポリエステル系、イソシアネ−ト系（ウレタン系）、ポリエチレンイミン系、ポリブタジェン系、有機チタン系等のアンカ−コ−ティング剤、あるいはポリウレタン系、ポリアクリル系、ポリエステル系、エポキシ系、ポリ酢酸ビニル系、セルロ−ス系、その他等のラミネ−ト用接着剤等の公知のアンカ−コ−ト剤、接着剤等を使用することができる。
【００２２】
次に、本発明において、上記のような積層体を使用して製袋ないし製函する方法について説明すると、例えば、包装用容器がプラスチックフィルム等からなる軟包装袋の場合、上記のような方法で製造した積層体を使用し、その内層のヒ−トシ−ル性樹脂層の面を対向させて、それを折り重ねるか、或いはその二枚を重ね合わせ、更にその周辺端部をヒ−トシ−ルしてシ−ル部を設けて袋体を構成することができる。
而して、その製袋方法としては、上記の積層体を、その内層の面を対向させて折り曲げるか、あるいはその二枚を重ね合わせ、更にその外周の周辺端部を、例えば、側面シ−ル型、二方シ−ル型、三方シ−ル型、四方シ−ル型、封筒貼りシ−ル型、合掌貼りシ−ル型（ピロ−シ−ル型）、ひだ付シ−ル型、平底シ−ル型、角底シ−ル型、その他等のヒ−トシ−ル形態によりヒ−トシ−ルして、本発明にかかる種々の形態の包装用容器を製造することができる。
その他、例えば、自立性包装袋（スタンディングパウチ）等も製造することが可能であり、更に、本発明においては、上記の複合フィルムを使用してチュ−ブ容器等も製造することができる。
上記において、ヒ−トシ−ルの方法としては、例えば、バ−シ−ル、回転ロ−ルシ−ル、ベルトシ−ル、インパルスシ−ル、高周波シ−ル、超音波シ−ル等の公知の方法で行うことができる。
なお、本発明においては、上記のような包装用容器には、例えば、ワンピ−スタイプ、ツウ−ピ−スタイプ、その他等の注出口、あるいは開閉用ジッパ−等を任意に取り付けることができる。
【００２３】
次にまた、包装用容器として、紙基材を含む液体充填用紙容器の場合、例えば、積層体として、紙基材を積層した積層体を製造し、これから所望の紙容器を製造するブランク板を製造し、しかる後該ブランク板を使用して胴部、底部、頭部等を製函して、例えば、ブリックタイプ、フラットタイプあるいはゲ−ベルトップタイプの液体用紙容器等を製造することができる。
また、その形状は、角形容器、丸形等の円筒状の紙缶等のいずれのものでも製造することができる。
【００２４】
本発明において、上記のようにして製造した包装用容器は、透明性、酸素、水蒸気等に対するガスバリア性、耐衝撃性等に優れ、更に、ラミネ−ト加工、印刷加工、製袋ないし製函加工等の後加工適性を有し、また、バリア性膜としての蒸着膜の剥離を防止し、かつ、その熱的クラックの発生を阻止し、また、その劣化を防止して、バリア性膜として優れた耐性を発揮し、例えば、飲食品、医薬品、洗剤、シャンプ−、オイル、歯磨き、接着剤、粘着剤等の化学品ないし化粧品、その他等の種々の物品の充填包装適性、保存適性等に優れているものである。
【００２５】
【実施例】
上記の本発明について以下に実施例を挙げて更に具体的に説明する。
実施例１
（１）．厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを使用し、これを二つの真空チャンバ−を有するプラズマ化学蒸着装置（図５参照）の送り出しロ−ルに装着し、該２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの上に、下記の条件で第１と第２の酸化珪素の蒸着膜を２層を重層して製膜化して、本発明にかかる透明バリア性フィルムを製造した。
（プラズマ化学蒸着条件）
反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガス：ヘリウム＝１．２：２．８：３．３（単位；ｓｌｍ、スタンダ−ド  リッタ−  ミニット、ｓｔａｎｄａｒｄ  ｌｉｔｔｅｒ  ｍｉｎｕｔｅ、以下同じ）
真空チャンバ−内の真空度；５５μｂａｒ
真空チャンバ−数；２
冷却・電極ドラムの電力；１２ｋＷ
フィルムの搬送速度；１２０ｍ／ｍｉｎ
膜層：２層
各蒸着膜の膜厚：７０Å（２層とも同じ厚さ）
（２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムを使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一方の送り出しロ−ルに装着し、その第２の酸化珪素の蒸着膜面に接着剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムである厚さ４０μｍの無延伸ポリプロピレンフィルムを使用し、これを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後その両者を下記の条件でドライラミネ−トして、本発明にかかる積層体を製造した。
（接着剤層）；ウレタン系接着剤を使用
（主剤）ウレタン系（武田薬品工業株式会社製、商品名、タケネ−トＡ−５１５）
（硬化剤）イソシアネ−ト系（武田薬品工業株式会社製、商品名、Ａ−５０）
（混合比）主剤：硬化剤＝１０：１
（溶剤）酢酸エチル
（塗布量）４．０ｇ／ｍ2 （ドライ）
【００２６】
実施例２
（１）．厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを使用し、これを二つの真空チャンバ−を有するプラズマ化学蒸着装置（図５参照）の送り出しロ−ルに装着し、該２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの上に、下記の条件で第１と第２の酸化珪素の蒸着膜を２層を重層して製膜化して、本発明にかかる透明バリア性フィルムを製造した。
（プラズマ化学蒸着条件）
反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガス：ヘリウム＝０．６：５．５：２．４（単位；ｓｌｍ）
真空チャンバ−内の真空度；５５μｂａｒ
真空チャンバ−数；２
冷却・電極ドラムの電力；１２ｋＷ
フィルムの搬送速度；１２０ｍ／ｍｉｎ
膜層：２層
各蒸着膜の膜厚：７０Å（２層とも同じ厚さ）
（２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムを使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一方の送り出しロ−ルに装着し、その第２の酸化珪素の蒸着膜面に接着剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムである厚さ４０μｍの無延伸ポリプロピレンフィルムを使用し、これを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後その両者を下記の条件でドライラミネ−トして、本発明にかかる積層体を製造した。
（接着剤層）；ウレタン系接着剤を使用
（主剤）ウレタン系（武田薬品工業株式会社製、商品名、タケネ−トＡ−５１５）
（硬化剤）イソシアネ−ト系（武田薬品工業株式会社製、商品名、Ａ−５０）
（混合比）主剤：硬化剤＝１０：１
（溶剤）酢酸エチル
（塗布量）４．０ｇ／ｍ2 （ドライ）
【００２７】
比較例１
（１）．厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを使用し、これを二つの真空チャンバ−を有するプラズマ化学蒸着装置（図５参照）の送り出しロ−ルに装着し、該２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの上に、下記の条件で第１と第２の酸化珪素の蒸着膜を２層を重層して製膜化して、透明バリア性フィルムを製造した。
（プラズマ化学蒸着条件）
反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガス：ヘリウム＝０．５：１．８：１．８（単位；ｓｌｍ）
真空チャンバ−内の真空度；２０μｂａｒ
真空チャンバ−数；２
冷却・電極ドラムの電力；５ｋＷ
フィルムの搬送速度；４０ｍ／ｍｉｎ
膜層：２層
各蒸着膜の膜厚：１６０Å（２層とも同じ厚さ）
（２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムを使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一方の送り出しロ−ルに装着し、その第２の酸化珪素の蒸着膜面に接着剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムである厚さ４０μｍの無延伸ポリプロピレンフィルムを使用し、これを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後その両者を下記の条件でドライラミネ−トして、積層体を製造した。
（接着剤層）；ウレタン系接着剤を使用
（主剤）ウレタン系（武田薬品工業株式会社製、商品名、タケネ−トＡ−５１５）
（硬化剤）イソシアネ−ト系（武田薬品工業株式会社製、商品名、Ａ−５０）
（混合比）主剤：硬化剤＝１０：１
（溶剤）酢酸エチル
（塗布量）４．０ｇ／ｍ2 （ドライ）
【００２８】
比較例２
（１）．厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを使用し、これを二つの真空チャンバ−を有するプラズマ化学蒸着装置（図５参照）の送り出しロ−ルに装着し、該２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの上に、下記の条件で第１と第２の酸化珪素の蒸着膜を２層を重層して製膜化して、透明バリア性フィルムを製造した。
（プラズマ化学蒸着条件）
反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガス：ヘリウム＝１．６：５．０：５．０（単位；ｓｌｍ）
真空チャンバ−内の真空度；９０μｂａｒ
真空チャンバ−数：２
冷却・電極ドラムの電力；１５ｋＷ
フィルムの搬送速度；１６０ｍ／ｍｉｎ
膜層：２層
各蒸着膜の膜厚：２０Å（２層とも同じ厚さ）
（２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムを使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一方の送り出しロ−ルに装着し、その第２の酸化珪素の蒸着膜面に接着剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムである厚さ４０μｍの無延伸ポリプロピレンフィルムを使用し、これを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後その両者を下記の条件でドライラミネ−トして、積層体を製造した。
（接着剤層）；ウレタン系接着剤を使用
（主剤）ウレタン系（武田薬品工業株式会社製、商品名、タケネ−トＡ−５１５）
（硬化剤）イソシアネ−ト系（武田薬品工業株式会社製、商品名、Ａ−５０）
（混合比）主剤：硬化剤＝１０：１
（溶剤）酢酸エチル
（塗布量）４．０ｇ／ｍ2 （ドライ）
【００２９】
比較例３
（１）．厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを使用し、これを一つの真空チャンバ−を有するプラズマ化学蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、該２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの上に、下記の条件で酸化珪素の蒸着膜、１層を製膜化して、透明バリア性フィルムを製造した。
（プラズマ化学蒸着条件）
反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガス：ヘリウム＝１．２：２．８：３．３（単位；ｓｌｍ）
真空チャンバ−内の真空度；５５μｂａｒ
真空チャンバ−数：１
冷却・電極ドラムの電力；１２ｋＷ
フィルムの搬送速度；６０ｍ／ｍｉｎ
膜層：１層
各蒸着膜の膜厚：１４０Å（２層とも同じ厚さ）
（２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムを使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一方の送り出しロ−ルに装着し、その第２の酸化珪素の蒸着膜面に接着剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムである厚さ４０μｍの無延伸ポリプロピレンフィルムを使用し、これを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後その両者を下記の条件でドライラミネ−トして、積層体を製造した。
（接着剤層）；ウレタン系接着剤を使用
（主剤）ウレタン系（武田薬品工業株式会社製、商品名、タケネ−トＡ−５１５）
（硬化剤）イソシアネ−ト系（武田薬品工業株式会社製、商品名、Ａ−５０）
（混合比）主剤：硬化剤＝１０：１
（溶剤）酢酸エチル
（塗布量）４．０ｇ／ｍ2 （ドライ）
【００３０】
実験例１
上記の実施例１〜２、および、比較例１〜３で製造した各透明バリア性フィルムおよび積層体について、下記のデ−タを測定した。
（１）．酸素透過度の測定
これは、温度２３℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、オクストラン（ＯＸＴＲＡＮ）〕にて測定した。
（２）．水蒸気透過度の測定
これは、温度４０℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、パ−マトラン（ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ）〕にて測定した。
（３）．４％引っ張り後の酸素透過度と水蒸気透過度の測定
これは、積層体について、エ−ジング後、１５ｍｍ巾のものをテンシロンで引っ張った後、上記と同様にして、酸素透過度と水蒸気透過度を測定した。
上記の測定結果について、下記の表１に示す。
【００３１】
【表１】
酸素透過度および水蒸気透過度の測定
0004121619.tif 000002
0004121619.tif 000003
上記の表１において、酸素透過度は、ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ・２３℃・９０％ＲＨの単位であり、また、水蒸気透過度は、ｇ／ｍ2 ／ｄａｙ・４０℃・１００％ＲＨの単位である。
【００３２】
上記の測定結果から明らかなように、実施例１〜２のものは、透明バリア性フィルム、および、積層体において、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等において良好であり、比較例１〜３のそれよりもはるかに優れていた。
これに対し、比較例１〜３のものは、いずれも劣っていた。
【００３３】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明は、基材フィルムの一方の面に、プラズマ化学蒸着法により、酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸着膜を設けるに際し、該無機酸化物の蒸着膜を２層ないしそれ以上に重層して設けることに着目し、まず、基材フィルムの一方の面に、プラズマ化学蒸着法による第１の無機酸化物の蒸着膜を製膜化し、次いで、該第１の無機酸化物の蒸着膜の上に、更に、上記と全く同様に、プラズマ化学蒸着法による第２の無機酸化物の蒸着膜を製膜化し、以下、必要ならば、プラズマ化学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜を３層ないしそれ以上に重層して透明バリア性フィルムを製造し、而して、該透明バリア性フィルムを構成する最後に製膜化した無機酸化物の蒸着膜面に、少なくとも、ヒ−トシ−ル性樹脂のフィルムをラミネ−トして積層体を製造し、該積層体を使用し、製袋して包装用容器を製造し、該包装用容器内に内容物を充填包装して包装製品を製造して、優れた透明性を有すると共に酸素ガス、水蒸気等に対する高いガスバリア性を有し、例えば、飲食品、医薬品、化粧品、洗剤、その他等の種々の物品を充填包装するにに適する包装用容器等を製造するに有用な透明バリア性フィルムおよびそれを使用した積層体を製造し得ることができるというものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる透明バリア性フィルムについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図である。
【図２】本発明にかかる透明バリア性フィルムについてその別の例の層構成の概略を示す概略的断面図である。
【図３】本発明にかかる透明バリア性フィルムについてその作用効果の概要を示す概略的断面図である。
【図４】本発明にかかる透明バリア性フィルムを使用した積層体についてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図である。
【図５】本発明にかかる透明バリア性フィルムの製造法についてそのプラズマ化学蒸着装置の概要を示す概略的構成図である。
【符号の説明】
１  透明バリア性フィルム
１ａ  透明バリア性フィルム
２  基材フィルム
３ａ  第１の酸化珪素等の無機酸化物野蒸着膜
３ｂ  第１の酸化珪素等の無機酸化物野蒸着膜
４ａ  クラック
４ｂ  クラック
５  ヒ−トシ−ル性樹脂層
１１  積層体
３１  プラズマ化学蒸着装置
３２  第１の真空チャンバ−
３３  巻き出しロ−ル
３４  補助ロ−ル
３５  冷却・電極ドラム
３６  ガス供給装置
３７  ガス供給装置
３８  原料揮発供給装置
３９  原料供給ノズル
４０  グロ−放電プラズマ
４１  電源
４２  マグネット
４３  補助ロ−ル
４４  補助ロ−ル
４５  第２の真空チャンバ−
４６  補助ロ−ル
４７  補助ロ−ル
４８  冷却・電極ドラム
４９  ガス供給装置
５０  ガス供給装置
５１  原料揮発供給装置
５２  原料供給ノズル
５３  グロ−放電プラズマ
５４  電源
５６  マグネット
５７  巻き取りロ−ル
５８  真空ポンプ
５９  真空ポンプ
【図１】
0004121619.tif 000004
【図２】
0004121619.tif 000005
【図３】
0004121619.tif 000006
【図４】
0004121619.tif 000007
【図５】
0004121619.tif 000008