(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
略長尺棒形状に形成されるとともに互いに同一のＸ軸方向に沿って配設された一対の第１及び第２ガイド部材と、上記第１及び第２ガイド部材に対してそれぞれの長尺方向に移動可能に配設される一対の第１及び第２移動台と、上記一対の第１及び第２移動台それぞれに対して設けられ、上記第１及び第２それぞれの移動台の上記第１及び第２ガイド部材に対する位置を制御する一対の第１及び第２直動駆動力発生部材と、個別位置指令に基づいて上記第１及び第２直動駆動力発生部材を制御する個別直動制御本体とからなる第１及び第２直動駆動系と、
上記第１及び第２直動駆動系の上記第１及び第２移動台の間に直接固定され、Ｙ軸方向に沿って配設された略長尺棒形状の第３ガイド部材と、上記第３ガイド部材に対して当該長尺方向に移動可能に配設された第３移動台と、上記第３移動台の上記第３ガイド部材に対する位置を制御する第３直動駆動力発生部材と、個別位置指令に基づいて上記第３直動駆動力発生部材を制御する個別直動制御本体とからなる第３直動駆動系とを備え、
上記第１及び第２直動駆動系の一対の第１及び第２移動台間の位置ずれに基づく上記第３直動駆動系の上記第３ガイド部材の傾きおよび上記第３直動駆動系の上記第３ガイド部材上の上記第３直動駆動系の第３移動台の位置に関する情報から判定されるずれ量、並びに、上記第３直動駆動系の第３移動台の位置に関する情報および上記第１及び第２直動駆動系の第１及び第２移動台の加速度から判定される弾性変形量に基づいて補正量を決定し、上記補正量にて個別駆動指令に基づく上記第１及び第２直動駆動系の上記第１及び第２移動台の動きを補正することを特徴とする工具と被加工物との相対位置を多軸機構にて移動させる移動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明はＮＣ加工装置などの自動工作機械などにおいて、例えば工具と被加工物との相対位置を多軸機構にて移動させる際に好適に用いることができる移動装置に係り、詳しくは、駆動系の位置や姿勢の駆動制御の精度を向上させるための改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図２９はＮＣ加工装置に用いられている従来の移動装置の構成を示す構成概念図である。図において、２０１はＸ軸方向に沿って配設されたＸ軸ガイドレール、２０２はＸ軸ガイドレール２０１上を移動しつつＸ軸現在位置信号Ｘを出力するＸ軸移動台、２０３はＹ軸方向に沿うようにＸ軸移動台上に固定して配置されたＹ軸ガイドレール、２０４はＹ軸ガイドレール２０３上を移動しつつＹ軸現在位置信号Ｙを出力するＹ軸移動台、２０５はこのＹ軸移動台２０４に固定された工具固定部、２０６はこの工具固定部２０５に取り付けられた工具である。
【０００３】
図３０はこの移動装置の制御系を示すブロック線図である。図において、２０７はＹ軸位置減算回路、２０８はＹ軸位置制御回路、２０９はＹ軸微分回路、２１０はＹ軸速度減算回路、２１１はＹ軸速度制御回路である。また、２１４はＸ軸位置減算回路、２１５はＸ軸位置制御回路、２１６はＸ軸微分回路、２１７はＸ軸速度減算回路、２１８はＸ軸速度制御回路である。
【０００４】
次に動作について説明する。
Ｘ軸指令位置信号が出力されると、Ｘ軸位置減算回路２１４はこのＸ軸指令位置信号からＸ軸現在位置信号を減算し、Ｘ軸位置制御回路２１５はこの減算値の大きさが大きければ大きいほど大きな速度となるＸ軸指令速度信号を出力し、Ｘ軸速度減算回路２１７はＸ軸微分回路２１６から出力されるＸ軸現在速度信号の速度を減算し、Ｘ軸速度制御回路２１８はこのＸ軸速度残差信号の大きさが大きければ大きいほど大きな電流量となる電流をＸ軸移動台２０２に出力する。そして、Ｘ軸移動台２０２はこの電流量によって駆動されてＸ軸ガイドレール２０１上を移動する。
【０００５】
同様に、Ｙ軸指令位置信号が出力されると、Ｙ軸位置減算回路２０７はこのＹ軸指令位置信号からＹ軸現在位置信号を減算し、Ｙ軸位置制御回路２０８はこの減算値の大きさが大きければ大きいほど大きな速度となるＹ軸指令速度信号を出力し、Ｙ軸速度減算回路２１０はＹ軸微分回路２０９から出力されるＹ軸現在速度信号の速度を減算し、Ｙ軸速度制御回路２１１はこのＹ軸速度残差信号の大きさが大きければ大きいほど大きな電流量となる電流をＹ軸移動台２０４に出力する。そして、Ｙ軸移動台２０４はこの電流量によって駆動されてＹ軸ガイドレール２０３上を移動する。
【０００６】
図３１は特開平６−２９７２８６号公報に開示された従来の他の移動装置の機構部分の構成を示す斜視図である。図において、２１９，２２０はそれぞれＸ軸ガイドレール、２２１，２２２はそれぞれＸ軸移動台、２２３，２２４はＹ軸ガイドレール、２２５はＹ軸移動台、２２６は工具固定部である。また、２２７，２２８はそれぞれＺ軸ガイドレール、２２９はＺ軸移動台、２３０は被加工物（加工ワーク）である。
【０００７】
図３２はこのような従来の移動装置の制御系の一例を示すブロック線図である。同図はＸ軸駆動系とＹ軸駆動系のみを示すものである。図において、２３１はＸ軸位置補正減算器、２３２はＸ軸位置制御部、２３３は第一Ｘ軸微分回路、２３４は第一Ｘ軸減算器、２３５は第一Ｘ軸速度制御部である。また、２３６は第二Ｘ軸微分回路、２３７は第二Ｘ軸減算器、２３８は第二Ｘ軸速度制御部である。更に、２３９はＹ軸位置補正減算器、２４０はＹ軸位置制御部、２４１はＹ軸微分回路、２４２はＹ軸減算器、２４３はＹ軸速度制御部である。
【０００８】
次に動作について説明する。
Ｘ軸位置指令値ｘｃが出力されると、Ｘ軸位置補正減算器２３１はこのＸ軸位置指令値ｘｃから一方のＸ軸移動台２２１の現在位置を減算してその差分をＸ軸位置残差信号として出力し、Ｘ軸位置制御部２３２はこのＸ軸位置残差信号の大きさに応じたＸ軸速度信号を出力する。他方で、第一Ｘ軸微分回路２３３は一方のＸ軸移動台２２１の移動速度を出力し、第一Ｘ軸減算器２３４はＸ軸速度信号からこの速度を減算してその減算値を第一Ｘ軸速度差信号として出力し、第一Ｘ軸速度制御部２３５はこの第一Ｘ軸速度差信号に基づいて第一Ｘ軸制御電流を出力し、上記一方のＸ軸移動台２２１はこの電流の大きさに応じた速度で移動制御される。
【０００９】
また、第二Ｘ軸微分回路２３６は他方のＸ軸移動台２２２の移動速度を出力し、第二Ｘ軸減算器２３７はＸ軸速度信号からこの速度を減算してその減算値を第二Ｘ軸速度差信号として出力し、第二Ｘ軸速度制御部２３８はこの第二Ｘ軸速度差信号に基づいて第二Ｘ軸制御電流を出力し、上記他方のＸ軸移動台２２２はこの電流の大きさに応じた速度で移動制御される。これらの動作により一対のＸ軸移動台２２１，２２２はＸ軸ガイドレール２１９，２２０上を移動し、上記Ｘ軸位置指令値ｘｃに示された位置まで移動して停止する。なお、続けてＸ軸位置指令値ｘｃが出力されれば引き続き継続して移動する。
【００１０】
同様に、Ｙ軸位置指令値ｙｃが出力されると、Ｙ軸位置補正減算器２３９はＹ軸位置指令値ｙｃからＹ軸移動台２２５の現在位置を減算してその差分をＹ軸位置残差信号として出力し、Ｙ軸位置制御部２４０はこのＹ軸位置残差信号の大きさに応じたＹ軸速度信号を出力する。他方で、Ｙ軸微分回路２４１はＹ軸移動台２２５の移動速度を出力するので、Ｙ軸減算器２４２はＹ軸速度信号からこの速度を減算してその減算値をＹ軸速度差信号として出力し、Ｙ軸速度制御部２４３はこのＹ軸速度差信号に基づいてＹ軸制御電流を出力し、Ｙ軸移動台２２５はこの電流の大きさに応じた速度で移動制御される。
【００１１】
以上の動作を繰り返すことにより、従来のＮＣ加工装置などの自動工作機械では、工具固定部２２６上に固定される工具と被加工物２３０との相対位置を数値データに基づいて多軸にて自動制御し、この相対位置変化に基づいて被加工物２３０を加工することができる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
これら従来の移動装置は以上のように構成されているので、Ｘ軸駆動系とＹ軸駆動系との各駆動系がそれぞれの指令位置信号のみに基づいて独立に制御されており、それがゆえに各駆動系はその他の駆動系の駆動制御に応じて位置や姿勢の制御誤差が生じてしまい、一定以上の高精度制御を実施することができないなどの課題があった。そして、このような移動装置を用いている従来のＮＣ工作装置では、被加工物２３０に対する工具２０６の移動軌跡が、当該多軸制御において予定していたものに対してずれてしまうこととなり、加工精度が低下してしまうあるいは十分な加工精度が得られないなどといった課題があった。
【００１３】
Ｘ−Ｙ−Ｚの直交座標系を構成するように配設された３つの直動駆動系からなる場合を例に具体的に説明すると、第一に、Ｘ軸方向に沿って配設されたガイドレールの長尺方向が当該Ｘ軸方向に対してずれて設置されてしまった場合には、そのずれに起因して当該ガイドレール上を移動する移動台はＹ軸方向および／またはＺ軸方向にも若干移動してしまうことになる。そして、このような定常的に且つ固定的に発生するずれによってＹ軸方向および／またはＺ軸方向の位置制御の精度が制限されてしまうことになる。また、Ｘ軸方向に移動する移動台上に固定されたＹ軸方向のガイドレールの設置角度の精度も同様なずれを生じる要因となる。
【００１４】
第二に、Ｘ軸方向に移動する移動台上に固定されたＹ軸方向のガイドレールの剛性が不足したり、Ｙ軸方向の移動台の移動によりＸ軸方向の駆動系の負荷の重心バランスが変化するため、このガイドレールの撓みなどに起因してＸ軸方向および／またはＺ軸方向にも若干移動してしまうことになる。また、この撓みに起因して上記Ｘ軸方向やＺ軸方向に生じるずれ量は、Y軸方向の移動台とＸ軸方向の移動台との距離や、Ｘ軸方向の移動台の加速度に応じて動的に変化するものである。
【００１５】
特に、近年開発が進められている所謂タンデム機構の上記従来の他の移動装置では、そのタンデム機構がゆえに駆動力が向上し、移動台の移動速度が高速化されているので、この負荷バランスの動的な変化などに起因する誤差による加工精度の制限を無視することができなくなってきている。
【００１６】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、各駆動系が他の駆動系の駆動制御の精度を制限しないようにすることで、各駆動系が本来持っている制御精度による制御精度を実現し、従来では到底得ることができなかった精度における制御を可能ならしめる移動装置を得ることを目的とする。
【００１７】
ひいては、近年開発がなされ始めた所謂タンデム機構による駆動系の利点を生かして工具などの被駆動物体の移動軌跡の精度を向上させ、これにより上記多軸制御の自動工作機械などにおいて高速化と高精度化とを従来には得られなかった高いレベルにて同時に実現することを可能とする移動装置を得ることを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る移動装置は、略長尺棒形状に形成されるとともに互いに同一のＸ軸方向に沿って配設された一対の第１及び第２ガイド部材と、上記第１及び第２ガイド部材に対してそれぞれの長尺方向に移動可能に配設される一対の第１及び第２移動台と、上記一対の第１及び第２移動台それぞれに対して設けられ、上記第１及び第２それぞれの移動台の上記第１及び第２ガイド部材に対する位置を制御する一対の第１及び第２直動駆動力発生部材と、個別位置指令に基づいて上記第１及び第２直動駆動力発生部材を制御する個別直動制御本体とからなる第１及び第２直動駆動系と、上記第１及び第２直動駆動系の上記第１及び第２移動台の間に直接固定され、Ｙ軸方向に沿って配設された略長尺棒形状の第３ガイド部材と、上記第３ガイド部材に対して当該長尺方向に移動可能に配設された第３移動台と、上記第３移動台の上記第３ガイド部材に対する位置を制御する第３直動駆動力発生部材と、個別位置指令に基づいて上記第３直動駆動力発生部材を制御する個別直動制御本体とからなる第３直動駆動系とを備え、上記第１及び第２直動駆動系の一対の第１及び第２移動台間の位置ずれに基づく上記第３直動駆動系の上記第３ガイド部材の傾きおよび上記第３直動駆動系の上記第３ガイド部材上の上記第３直動駆動系の第３移動台の位置に関する情報から判定されるずれ量、並びに、上記第３直動駆動系の第３移動台の位置に関する情報および上記第１及び第２直動駆動系の第１及び第２移動台の加速度から判定される弾性変形量に基づいて補正量を決定し、上記補正量にて個別駆動指令に基づく上記第１及び第２直動駆動系の上記第１及び第２移動台の動きを補正することを特徴とする工具と被加工物との相対位置を多軸機構にて移動させるものである。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の一形態を説明する。
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１によるＮＣ加工装置に用いられる移動装置の機構部分の構成を示す斜視図である。図において、１は略長尺棒形状に形成されるとともにその長尺方向がＸ軸方向に沿って配設されたＸ軸ガイドレール（ガイド部材、基準部材）、２はＸ軸ガイドレール１上をその時々に入力される電流量に応じた速度で移動し、且つ、Ｘ軸ガイドレール１上の位置を示すＸ軸現在位置信号Ｘを出力するＸ軸移動台（移動台、可動部材、駆動力発生部材、直動駆動力発生部材、検出手段）、３は略長尺棒形状に形成されるとともにその長尺方向がＹ軸方向に沿うようにＸ軸移動台２上に固定して配置されたＹ軸ガイドレール（ガイド部材、基準部材）、４はＹ軸ガイドレール３上をその時々に入力される電流量に応じた速度で移動し、且つ、Ｙ軸ガイドレール３上の位置を示すＹ軸現在位置信号Ｙを出力するＹ軸移動台（移動台、可動部材、駆動力発生部材、直動駆動力発生部材、検出手段）、５はこのＹ軸移動台４に固定された工具固定部、６はこの工具固定部５に取り付けられた工具である。
【００３０】
図２はこの発明の実施の形態１による移動装置を示すブロック線図である。図において、７はＹ軸指令位置信号からＹ軸現在位置信号を減算してＹ軸位置残差信号を出力するＹ軸位置減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、８はこのＹ軸位置残差信号の大きさに応じたＹ軸指令速度信号を出力するＹ軸位置制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、９はＹ軸現在位置信号を微分してＹ軸現在速度信号を出力するＹ軸微分回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１０はＹ軸指令速度信号からＹ軸現在速度信号を減算してＹ軸速度残差信号を出力するＹ軸速度減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１１はこのＹ軸速度残差信号の大きさに応じて変化する電流量の電流をＹ軸移動台に出力するＹ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。
【００３１】
１２はＸ軸移動台２やＹ軸移動台４の移動方向のそれぞれの基準軸方向との設置誤差などに起因してＹ軸移動台４のＸ軸方向の実際の位置とＸ軸現在位置信号に示される位置との間に生じる誤差を補正するための情報を予め備えるとともにＸ軸現在位置信号およびＹ軸現在位置信号が入力され、このＸ軸現在位置信号およびＹ軸現在位置信号をパラメータとしてその時々の上記誤差を補償するためのＸ軸位置補正信号を生成して出力するＸ軸誤差補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１３はＸ軸指令位置信号にこのＸ軸位置補正信号を加算して補正Ｘ軸指令位置信号を出力するＸ軸加算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。
【００３２】
１４は補正Ｘ軸指令位置信号からＸ軸現在位置信号を減算してＸ軸位置残差信号を出力するＸ軸位置減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１５はこのＸ軸位置残差信号の大きさに応じたＸ軸指令速度信号を出力するＸ軸位置制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１６はＸ軸現在位置信号を微分してＸ軸現在速度信号を出力するＸ軸微分回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１７はＸ軸指令速度信号からＸ軸現在速度信号を減算してＸ軸速度残差信号を出力するＸ軸速度減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１８はこのＸ軸速度残差信号の大きさに応じて変化する電流量の電流をＸ軸移動台に出力するＸ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。
【００３３】
なお、以下において、Ｘ軸指令位置信号からＸ軸移動台やＸ軸ガイドレールまでをＸ軸直動駆動系（駆動系）とよび、Ｙ軸指令位置信号からＹ軸移動台やＹ軸ガイドレールまでをＹ軸直動駆動系（駆動系）とよぶ。そして、例えばＸ軸直動駆動系を例に説明すると、Ｘ軸位置残差信号の大きさが大きければ大きいほどＸ軸指令速度信号は大きくなり、Ｘ軸速度残差信号の大きさが大きければ大きいほどＸ軸移動台２に出力される電流量は大きくなり、このＸ軸移動台２はより高速でＸ軸ガイドレール１上を移動することになる。
【００３４】
また、上記Ｘ軸位置補正信号に係る補正量は、例えばＸ軸移動台２から最も離れた位置Ｙ（ｍａｘ）にＹ軸移動台４を設定した状態でＸ軸移動台２をその基準端（Ｘ＝０の位置）から他端までを移動させた場合に測定できるそのＸ軸移動台２の位置毎の誤差量をΔｘ（Ｘ）とすると、下記式1などに基づいて求めることができる。ただし、下記式１においてΔＸｃ（ｆｉｘ）は上記補正量である。
【００３５】
ΔＸｃ（ｆｉｘ）  ＝  Δｘ（Ｘ）×Ｙ／Ｙ（ｍａｘ）        ・・・式１
【００３６】
次に動作について説明する。
ＮＣ加工装置の図示外の上位の制御回路からＮＣプログラムに基づいてＸ軸指令位置信号およびＹ軸指令位置信号が出力されると、Ｘ軸誤差補正回路１２がＸ軸現在位置信号およびＹ軸現在位置信号をパラメータとしてその時々の上記誤差を補償するためのＸ軸位置補正信号を生成し、Ｘ軸加算回路１３がＸ軸指令位置信号にこのＸ軸位置補正信号を加算し、Ｘ軸位置減算回路１４がこの補正Ｘ軸指令位置信号からＸ軸現在位置信号を減算してＸ軸位置残差信号を出力する。同時に、Ｙ軸位置減算回路７がＹ軸指令位置信号からＹ軸現在位置信号を減算してＹ軸位置残差信号を出力する。
【００３７】
Ｘ軸位置残差信号が出力されると、Ｘ軸位置制御回路１５はこのＸ軸位置残差信号の大きさが大きければ大きいほど大きな速度となるＸ軸指令速度信号を出力し、Ｘ軸速度減算回路１７はＸ軸微分回路１６から出力されるＸ軸現在速度信号の速度を減算し、Ｘ軸速度制御回路１８はこのＸ軸速度残差信号の大きさが大きければ大きいほど大きな電流量となる電流をＸ軸移動台２に出力する。そして、Ｘ軸移動台２はこの電流量によって駆動されてＸ軸ガイドレール１上を移動する。
【００３８】
同様に、Ｙ軸位置残差信号が出力されると、Ｙ軸位置制御回路８はこのＹ軸位置残差信号の大きさが大きければ大きいほど大きな速度となるＹ軸指令速度信号を出力し、Ｙ軸速度減算回路１０はＹ軸微分回路９から出力されるＹ軸現在速度信号の速度を減算し、Ｙ軸速度制御回路１１はこのＹ軸速度残差信号の大きさが大きければ大きいほど大きな電流量となる電流をＹ軸移動台に出力する。そして、Ｙ軸移動台４はこの電流量によって駆動されてＹ軸ガイドレール３上を移動する。
【００３９】
従って、Ｙ軸移動台４はＹ軸指令位置信号とＹ軸現在位置信号との差に応じた速度で移動し、Ｘ軸移動台２はＸ軸指令位置信号とＸ軸現在位置信号との差に、Ｘ軸現在位置信号とＹ軸移動台４の実際の位置との差を加えた値に応じた速度で移動することになる。その結果、Ｘ軸移動台２やＹ軸移動台４の移動方向のそれぞれの基準軸方向との設置誤差などに起因して固定的に（定常的に）発生する誤差があったとしてもそれに制限されること無く、Ｙ軸移動台４とＸ軸移動台２とを同時に制御しつつＹ軸移動台４のＸ軸方向の位置をＸ軸指令位置信号の位置に精度良く制御することができる。また、Ｙ軸現在位置信号に基づいてリアルタイムで補正しているので、その制御期間において生じる誤差も削減されており、単にＸ軸指令位置信号に示される目標位置における当該誤差のみならず、その途中の軌道全体に渡って当該誤差を削減することとなり、工具６と図示外の被加工物との相対位置を制御しつつ加工を行うＮＣ加工装置の加工精度を格段に向上させることができる。
【００４０】
なお、この実施の形態では、Ｘ軸位置補正信号に係る補正量がＸ軸現在位置信号およびＹ軸現在位置信号に応じて変化する場合について説明したが、Ｘ軸移動台２やＹ軸移動台４の移動方向のそれぞれの基準軸方向との設置誤差などに起因して固定的に（定常的に）発生する誤差を補正する方法はこれに限られるものではなく、その誤差の発生の仕方によっては例えばＸ軸現在位置信号とＹ軸現在位置信号とのうちの一方のみに応じて変化するものであったとしても、ひいては全くの固定値であったとしても同様の効果を期待することができる。また、ほかにも実際にＹ軸移動台４の実際の位置を検出手段などを用いて検出し、これをＸ軸直動駆動系に入力してより一層の補正精度を向上させることも可能である。
【００４１】
実施の形態２．
図３はこの発明の実施の形態２による移動装置を示すブロック線図である。図において、１９は実施の形態１と同様の情報とともに、Ｘ軸移動台２の現在加速度に応じて発生するＹ軸ガイドレール３の撓み（弾性変形量）を補正するための情報を備え、Ｘ軸現在位置信号およびＹ軸現在位置信号をパラメータとしてその時々のこれらに起因する誤差を補償するためのＸ軸位置補正信号を生成して出力するＸ軸誤差補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。
【００４２】
上記Ｙ軸ガイドレール３の撓み量は、例えば、Ｙ軸ガイドレール３上を移動するＹ軸移動台４などを質点ｍとし、且つ、そのＹ軸移動台４とＸ軸移動台２との間のＹ軸ガイドレール３をバネ乗数ｋのバネとしてモデリングするとともに、Ｘ軸現在位置信号を２階微分して得られるＸ軸現在加速度信号をａとすると、例えば下記式２にて求めることができる。但し、下記式２においてΔＸｃ（ｆｌｅｘ）は上記歪み量である。これ以外の構成は実施の形態１と同様であり説明を省略する。なお、バネ乗数ｋは一定値であってもいいが、ここではＸ軸現在位置信号およびＹ軸現在位置信号が入力されているので、ｃ１，ｃ２，ｃ３を任意の乗数として「ｋ＝１／（ｃ１・Ｘ＋ｃ２・Ｙ＋ｃ３）」のように移動台の位置などの関数としてもよい。
【００４３】
ΔＸｃ（ｆｌｅｘ）  ＝  ｍａ／ｋ  ・・・式２
【００４４】
次に動作について説明する。
ＮＣ加工装置の図示外の上位の制御回路からＮＣプログラムに基づいてＸ軸指令位置信号およびＹ軸指令位置信号が出力されると、Ｘ軸誤差補正回路１９がＸ軸現在位置信号およびＹ軸現在位置信号をパラメータとして上記式１および式２に基づいてそれぞれ誤差量を演算し、これらの総和の誤差を補償するためのＸ軸位置補正信号を生成し、Ｘ軸加算回路１３がＸ軸指令位置信号にこのＸ軸位置補正信号を加算し、Ｘ軸位置減算回路１４がこの補正Ｘ軸指令位置信号からＸ軸現在位置信号を減算してＸ軸位置残差信号を出力する。同時に、Ｙ軸位置減算回路７がＹ軸指令位置信号からＹ軸現在位置信号を減算してＹ軸位置残差信号を出力する。これ以降の動作は実施の形態１と同様であり説明を省略する。
【００４５】
従って、Ｘ軸移動台２はＸ軸指令位置信号とＸ軸現在位置信号との差に、Ｘ軸現在位置信号とＹ軸移動台４の実際の位置との差、並びに、Ｘ軸移動台２の加速度に応じた弾性変形量を加えた値に応じた速度で移動することになる。その結果、Ｘ軸移動台２やＹ軸移動台４の移動方向のそれぞれの基準軸方向との設置誤差などに起因して固定的に（定常的に）発生する誤差があったとしてもそれに制限されること無く、且つ、Ｘ軸移動台２の加速度に応じてＹ軸ガイドレール３が撓んだとしてもそれに制限されること無く、Ｙ軸移動台４とＸ軸移動台２とを同時に制御しつつＹ軸移動台４のＸ軸方向の位置をＸ軸指令位置信号の位置に精度良く制御することができる。
【００４６】
実施の形態３．
図４はこの発明の実施の形態３による移動装置を示すブロック線図である。図において、２０はＹ軸指令位置信号が入力され、Ｙ軸指令信号に対するＹ軸移動台の応答遅れと等価な遅れ処理を行い、Ｙ軸指令位置信号に基づいて予測Ｙ軸現在位置信号を生成してＸ軸誤差補正回路１９へ出力するＹ軸フィルタ回路（予測手段）である。そして、Ｘ軸誤差補正回路１９はＹ軸現在位置信号の替わりに予測Ｙ軸現在位置信号を用いて上記式１および式２に基づいてＸ軸位置補正信号を生成して出力する。これ以外の構成は実施の形態２と同様であり説明を省略する。
【００４７】
次に動作について説明する。
ＮＣ加工装置の図示外の上位の制御回路からＮＣプログラムに基づいてＸ軸指令位置信号およびＹ軸指令位置信号が出力されると、Ｙ軸フィルタ回路２０は、Ｙ軸指令位置信号に対してＹ軸指令信号に対するＹ軸移動台４の応答遅れと等価な遅れ処理を行い、Ｙ軸指令位置信号に基づいて予測Ｙ軸現在位置信号を生成してＸ軸誤差補正回路１９へ出力する。Ｘ軸誤差補正回路１９はＸ軸現在位置信号および予測Ｙ軸現在位置信号をパラメータとして上記式１および式２に基づいてそれぞれ誤差量を演算し、これらの総和の誤差を補償するためのＸ軸位置補正信号を生成する。これ以外の動作は実施の形態２と同様であり説明を省略する。
【００４８】
従って、Ｘ軸移動台２はＸ軸指令位置信号とＸ軸現在位置信号との差に、Ｘ軸現在位置信号とＹ軸移動台４の予測される位置との差、並びに、Ｘ軸移動台２の加速度に応じた弾性変形量を加えた値に応じた速度で移動し、実施の形態２と同様の効果を期待することができる。
【００４９】
実施の形態４．
図５はこの発明の実施の形態４による移動装置を示すブロック線図である。図において、２１はＹ軸指令位置信号が入力され、Ｙ軸指令位置信号が変化した際にその変化量に応じた目標加速度を得るために必要な駆動力を演算し、これをＹ軸加速度補償信号として出力するＹ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、２２はこのＹ軸加速度補償信号とともにＹ軸速度残差信号が入力され、このＹ軸速度残差信号の大きさに応じて得られる電流量に上記Ｙ軸加速度補償信号に応じた電流量を加算した上でＹ軸移動台４に出力するＹ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。
【００５０】
２３はＸ軸指令位置信号が入力され、Ｘ軸指令位置信号が変化した際にその変化量に応じた目標加速度を得るために必要な駆動力を演算し、これをＸ軸加速度補償信号として出力するＸ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、２４はこのＸ軸加速度補償信号とともにＸ軸速度残差信号が入力され、このＸ軸速度残差信号の大きさに応じて得られる電流量に上記Ｘ軸加速度補償信号に応じた電流量を加算した上でＸ軸移動台２に出力するＸ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。これ以外の構成は実施の形態２と同様であり説明を省略する。
【００５１】
次に動作について説明する。
Ｙ軸指令位置信号が変化すると、Ｙ軸フィードフォワード制御回路２１はその変化量に応じた目標加速度を得るために必要な駆動力を演算してＹ軸加速度補償信号を出力する。Ｙ軸速度制御回路２２は、Ｙ軸速度残差信号の大きさに応じて得られる電流量に上記Ｙ軸加速度補償信号に応じた電流量を加算した上でＹ軸移動台に出力する。
【００５２】
同様に、Ｘ軸指令位置信号が変化すると、Ｘ軸フィードフォワード制御回路２３はその変化量に応じた目標加速度を得るために必要な駆動力を演算してＸ軸加速度補償信号を出力する。Ｘ軸速度制御回路２４は、Ｘ軸速度残差信号の大きさに応じて得られる電流量に上記Ｘ軸加速度補償信号に応じた電流量を加算した上でＸ軸移動台に出力する。これ以外の動作は実施の形態２と同様であり説明を省略する。
【００５３】
従って、Ｘ軸指令位置信号やＹ軸指令位置信号が変化してこれに応じてＸ軸移動台２やＹ軸移動台４を加速あるいは減速させる場合、単にＸ軸速度残差信号やＹ軸速度残差信号のみに基づいて電流量を決定していたのではＸ軸移動台２やＹ軸移動台４の加減速の際にモータや摩擦などによって消費されてしまう消費電流分だけ位置制御の応答遅れが発生してしまうが、そのような応答遅れをＸ軸加速度補償信号やＹ軸加速度補償信号によって補償することができ、その分更に高精度にＸ軸移動台２やＹ軸移動台４の位置や軌道を制御することができる。
【００５４】
実施の形態５．
図６はこの発明の実施の形態５による移動装置を示すブロック線図である。図において、２５はＸ軸指令位置信号とともに予測Ｙ軸現在位置信号が入力され、これらに基づいてＸ軸移動台２の位置やＹ軸移動台４の位置に基づく誤差およびＸ軸移動台２の現在加速度に応じて発生するＹ軸ガイドレール３の撓み（弾性変形量）を補正するＸ軸補償信号をＸ軸速度制御回路２４へ出力するとともに、Ｘ軸指令位置信号が変化した場合には更にその変化量に応じた目標加速度を得るために必要な駆動力を加算してＸ軸補償信号を出力するＸ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。これ以外の構成は図４や図５と同様なので同一の符号を付して説明を省略する。
【００５５】
次に動作について説明する。
Ｘ軸指令位置信号およびＹ軸フィルタ回路２０からの予測Ｙ軸指令位置信号が入力されると、Ｘ軸フィードフォワード制御回路２５はこれらに基づいてＸ軸移動台２の位置やＹ軸移動台４の位置に基づく誤差、および、Ｘ軸移動台２の現在加速度に応じて発生するＹ軸ガイドレール３の撓み（弾性変形量）を予測し、これらをともに補正することができるＸ軸補償信号をＸ軸速度制御回路２４へ出力する。Ｘ軸速度制御回路２４はＸ軸速度残差信号の大きさに応じて得られる電流量に上記Ｘ軸加速度補償信号に応じた電流量を加算した上でＸ軸移動台２に出力する。
【００５６】
また、Ｘ軸指令位置信号が変化すると、Ｘ軸フィードフォワード制御回路２５はその変化量に応じた目標加速度を得るために必要な駆動力を演算し、これを加算したものをＸ軸補償信号として出力する。
【００５７】
従って、Ｘ軸移動台２の位置やＹ軸移動台４の位置に基づく誤差や、Ｘ軸移動台２の現在加速度に応じて発生するＹ軸ガイドレール３の撓み（弾性変形量）をこれらの指令位置信号に基づいて予測してこれをフィードフォワード制御で補正することができるので、実際のＹ軸移動台４のＸ軸方向の位置を精度良く指令位置信号の位置に制御することができる。
【００５８】
しかも、Ｘ軸指令位置信号が変化する場合にはそれに応じた駆動力が得られるように補正量を加算するので、Ｘ軸移動台２やＹ軸移動台４を加速あるいは減速させる際の余分な消費電流を補うことができ、その分更に高精度にＸ軸移動台２やＹ軸移動台４の位置や軌道を制御することができる。これ以外の動作は実施の形態４と同様であり説明を省略する。
【００５９】
実施の形態６．
図７はこの発明の実施の形態６による移動装置を示すブロック線図である。図において、２６はＸ軸移動台２やＹ軸移動台４の移動方向のそれぞれの基準軸方向との設置誤差などに起因してＹ軸移動台４のＹ軸方向の実際の位置とＹ軸現在位置信号に示される位置との間に生じる誤差を補正するための情報を予め備えるとともにＸ軸現在位置信号およびＹ軸現在位置信号が入力され、このＸ軸現在位置信号およびＹ軸現在位置信号をパラメータとしてその時々の上記誤差を補償するためのＹ軸位置補正信号を生成して出力するＹ軸誤差補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、２７はＹ軸指令位置信号にこのＹ軸位置補正信号を加算して補正Ｙ軸指令位置信号をＹ軸位置減算回路７へ出力するＹ軸加算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。これ以外の構成は実施の形態２と同様であり説明を省略する。
【００６０】
次に動作について説明する。
Ｙ軸誤差補正回路２６は、Ｘ軸現在位置信号およびＹ軸現在位置信号が入力されると、これらに基づいてＹ軸移動台４のＹ軸方向の実際の位置とＹ軸現在位置信号に示される位置との間に生じる誤差を特定し、これを補償するＹ軸位置補正信号を生成して出力する。Ｙ軸加算回路２７はこれをＹ軸指令位置信号に加算し、Ｙ軸位置減算回路７はこの補正Ｙ軸指令位置信号からＹ軸現在位置信号を減算してＹ軸位置残差信号を出力する。これ以外の動作は実施の形態２と同様であり説明を省略する。
【００６１】
従って、Ｙ軸移動台４はＹ軸指令位置信号とＹ軸現在位置信号との差に、Ｙ軸現在位置信号とＹ軸移動台４の実際の位置との差を加えた値に応じた速度で移動することになる。その結果、Ｘ軸移動台２やＹ軸移動台４の移動方向のそれぞれの基準軸方向との設置誤差などに起因して固定的に（定常的に）発生する誤差があったとしてもそれに制限されること無く、Ｙ軸移動台４とＸ軸移動台２とを同時に制御しつつＹ軸移動台４のＹ軸方向の位置をＹ軸指令位置信号の位置に精度良く制御することができる。
【００６２】
実施の形態７．
図８はこの発明の実施の形態７によるＮＣ加工装置に用いられる移動装置の機構部分の構成を示す斜視図である。図において、２８はＹ軸移動台４に固定されたＺ軸基台（基準部材、固定基台）、２９はこのＺ軸の周囲で回転可能となるように当該Ｚ軸基台２８上に配設され、且つ、工具６を取り付けることができるＺ軸可動部材（可動部材、回動部材）である。また、このＺ軸可動部材２９はその時々に入力される電流量に応じた角速度で回転し、且つ、Ｚ軸の周囲での回転量をＺ軸現在姿勢信号として出力する。
【００６３】
図９はこの発明の実施の形態７による移動装置を示すブロック線図である。図において、３０はＺ軸指令姿勢信号からＺ軸現在姿勢信号を減算してＺ軸姿勢残差信号を出力するＺ軸姿勢減算回路（個別制御本体、個別回動制御本体）、３１はこのＺ軸姿勢残差信号の大きさに応じたＺ軸指令角速度信号を出力するＺ軸姿勢制御回路（個別制御本体、個別回動制御本体）、３２はＺ軸現在姿勢信号を微分してＺ軸現在角速度信号を出力するＺ軸微分回路（個別制御本体、個別回動制御本体）、３３はＺ軸指令角速度信号からＺ軸現在角速度信号を減算してＺ軸角速度残差信号を出力するＺ軸角速度減算回路（個別制御本体、個別回動制御本体）、３４はこのＺ軸角速度残差信号の大きさに応じて変化する電流量の電流をＺ軸可動部材２９に出力するＺ軸角速度制御回路（個別制御本体、個別回動制御本体）である。
【００６４】
３５はＹ軸移動台４の移動方向のその基準軸方向との設置誤差や、Ｚ軸可動部材２９の回転中心軸とＺ軸との設置誤差や回転ぶれなどに起因してＺ軸可動部材２９の工具取り付け部位のＹ軸方向の実際の位置とＹ軸現在位置信号に示される位置との間に生じる誤差を補正するための情報を予め備えるとともにＹ軸現在位置信号およびＺ軸現在位置信号が入力され、このＹ軸現在位置信号およびＺ軸現在位置信号をパラメータとしてその時々の上記誤差を補償するためのＹ軸位置補正信号を生成して出力するＹ軸誤差補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、３６はＹ軸指令位置信号にこのＹ軸位置補正信号を加算して補正Ｙ軸指令位置信号を出力するＹ軸加算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。
【００６５】
３７はＸ軸移動台２およびＹ軸移動台４の移動方向のそれぞれの基準軸方向との設置誤差や、Ｚ軸可動部材２９の回転中心軸とＺ軸との設置誤差や回転ぶれなどに起因してＺ軸可動部材２９の工具取り付け部位のＸ軸方向の実際の位置とＸ軸現在位置信号に示される位置との間に生じる誤差を補正するための情報を予め備えるとともにＸ軸現在位置信号、Ｙ軸現在位置信号およびＺ軸現在位置信号が入力され、これらをパラメータとしてその時々の上記誤差を補償するためのＸ軸位置補正信号を生成して出力するＸ軸誤差補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。これ以外の構成は実施の形態１と同様であり説明を省略する。
【００６６】
次に動作について説明する。
ＮＣ加工装置の図示外の上位の制御回路からＮＣプログラムに基づいてＸ軸指令位置信号、Ｙ軸指令位置信号およびＺ軸指令姿勢信号が出力されると、Ｘ軸誤差補正回路３７がＸ軸現在位置信号、Ｙ軸現在位置信号およびＺ軸現在姿勢信号をパラメータとしてその時々の上記誤差を補償するためのＸ軸位置補正信号を生成し、Ｘ軸加算回路１３がＸ軸指令位置信号にこのＸ軸位置補正信号を加算し、Ｘ軸位置減算回路１４がこの補正Ｘ軸指令位置信号からＸ軸現在位置信号を減算してＸ軸位置残差信号を出力する。同様に、Ｙ軸誤差補正回路３５がＹ軸現在位置信号およびＺ軸現在姿勢信号をパラメータとしてその時々の上記誤差を補償するためのＹ軸位置補正信号を生成し、Ｙ軸加算回路３６がＹ軸指令位置信号にこのＹ軸位置補正信号を加算し、Ｙ軸位置減算回路７がこの補正Ｙ軸指令位置信号からＹ軸現在位置信号を減算してＹ軸位置残差信号を出力する。更に、Ｚ軸姿勢減算回路３０がＺ軸指令姿勢信号からＺ軸現在姿勢信号を減算してＺ軸姿勢残差信号を出力する。
【００６７】
Ｘ軸位置残差信号が出力されると、Ｘ軸位置制御回路１５はこのＸ軸位置残差信号の大きさが大きければ大きいほど大きな速度となるＸ軸指令速度信号を出力し、Ｘ軸速度減算回路１７はＸ軸微分回路１６から出力されるＸ軸現在速度信号の速度を減算し、Ｘ軸速度制御回路１８はこのＸ軸速度残差信号の大きさが大きければ大きいほど大きな電流量となる電流をＸ軸移動台２に出力する。そして、Ｘ軸移動台２はこの電流量によって駆動されてＸ軸ガイドレール１上を移動する。
【００６８】
同様に、Ｙ軸位置残差信号が出力されると、Ｙ軸位置制御回路８はこのＹ軸位置残差信号の大きさが大きければ大きいほど大きな速度となるＹ軸指令速度信号を出力し、Ｙ軸速度減算回路１０はＹ軸微分回路９から出力されるＹ軸現在速度信号の速度を減算し、Ｙ軸速度制御回路１１はこのＹ軸速度残差信号の大きさが大きければ大きいほど大きな電流量となる電流をＹ軸移動台４に出力する。そして、Ｙ軸移動台４はこの電流量によって駆動されてＹ軸ガイドレール３上を移動する。
【００６９】
更に、Ｚ軸姿勢残差信号が出力されると、Ｚ軸姿勢制御回路３１はこのＺ軸姿勢残差信号の大きさが大きければ大きいほど大きな角速度となるＺ軸指令角速度信号を出力し、Ｚ軸角速度減算回路３３はＺ軸微分回路３２から出力されるＺ軸現在角速度信号の速度を減算し、Ｚ軸角速度制御回路３４はこのＺ軸角速度残差信号の大きさが大きければ大きいほど大きな電流量となる電流をＺ軸可動部材２９に出力する。そして、Ｚ軸可動部材２９はこの電流量によって駆動されてＺ軸基台２８上で回転する。
【００７０】
従って、Ｙ軸移動台４はＹ軸指令位置信号とＹ軸現在位置信号との差に、Ｙ軸現在位置信号とＺ軸可動部材２９の工具取り付け部位の実際の位置との差と略同様な値を加えた値に応じた速度で移動し、Ｘ軸移動台２はＸ軸指令位置信号とＸ軸現在位置信号との差に、Ｘ軸現在位置信号とＺ軸可動部材２９の工具取り付け部位の実際の位置との差を加えた値に応じた速度で移動することになる。その結果、Ｘ軸移動台２およびＹ軸移動台４の移動方向のそれぞれの基準軸方向との設置誤差や、Ｚ軸可動部材２９の回転中心軸とＺ軸との設置誤差や回転ぶれなどに起因してＺ軸可動部材２９の工具取り付け部位の各軸方向の実際の位置と現在位置信号に示される位置との間に生じる誤差などに起因して固定的に（定常的に）発生する誤差があったとしてもそれに制限されること無く、Ｙ軸移動台４とＸ軸移動台２とＺ軸可動部材２９とを同時に制御しつつＺ軸可動部材２９の工具取り付け部位のＸ軸方向の位置をＸ軸指令位置信号の位置に精度良く制御することができ、同時に、Ｚ軸可動部材の２９の工具取り付け部位のＹ軸方向の位置をＹ軸指令位置信号の位置に精度良く制御することができる。
【００７１】
また、Ｙ軸現在位置信号やＺ軸現在姿勢信号に基づいてリアルタイムで補正しているので、その制御期間において生じる誤差も削減されており、単にＸ軸指令位置信号やＹ軸指令位置信号に示される目標位置における当該誤差のみならず、その途中の軌道全体に渡って当該誤差を削減することとなり、工具６と図示外の被加工物との相対位置を制御しつつ加工を行うＮＣ加工装置の加工精度を格段に向上させることができる。
【００７２】
実施の形態８．
図１０はこの発明の実施の形態８による移動装置を示すブロック線図である。図において、３８はＺ軸指令姿勢信号が入力され、Ｚ軸指令姿勢信号に対するＺ軸可動部材２９の応答遅れと等価な遅れ処理を行い、Ｚ軸指令姿勢信号に基づいて予測Ｚ軸現在姿勢信号を生成して出力するＺ軸フィルタ回路（個別制御本体、個別回動制御本体）、３９は実施の形態７と同様の情報とともに、Ｙ軸移動台４の現在加速度に応じて発生するＺ軸基台２８などにおけるずれ（弾性変形量）を補正するための情報を備え、Ｚ軸現在姿勢信号およびＹ軸現在位置信号をパラメータとしてその時々のこれらに起因する誤差を補償するためのＹ軸位置補正信号を生成して出力するＹ軸誤差補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。
【００７３】
４０はＹ軸指令位置信号が入力され、Ｙ軸指令信号に対するＹ軸移動台４の応答遅れと等価な遅れ処理を行い、Ｙ軸指令位置信号に基づいて予測Ｙ軸現在位置信号を生成して出力するＹ軸フィルタ回路（予測手段）、４１は実施の形態７と同様の情報とともに、Ｘ軸移動台２の現在加速度に応じて発生するＺ軸基台２８などにおけるずれ（弾性変形量）を補正するための情報を備え、予測Ｚ軸現在姿勢信号、予測Ｙ軸現在位置信号およびＸ軸現在位置信号をパラメータとしてその時々のこれらに起因する誤差を補償するためのＸ軸位置補正信号を生成して出力するＸ軸誤差補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。これ以外の構成は実施の形態７と同様であり説明を省略する。
【００７４】
次に動作について説明する。
ＮＣ加工装置の図示外の上位の制御回路からＮＣプログラムに基づいてＸ軸指令位置信号、Ｙ軸指令位置信号およびＺ軸指令姿勢信号が出力されると、Ｚ軸フィルタ回路３８は、Ｚ軸指令姿勢信号に対してＺ軸指令姿勢信号に対するＺ軸可動部材の応答遅れと等価な遅れ処理を行い、Ｚ軸指令姿勢信号に基づいて予測Ｚ軸現在姿勢信号を生成して出力する。Ｙ軸誤差補正回路３９はＹ軸現在位置信号および予測Ｚ軸現在姿勢信号をパラメータとして固定的に発生する誤差量および動的に発生する誤差量を演算し、これらの総和の誤差を補償するためのＹ軸位置補正信号を生成する。
【００７５】
同時に、Ｙ軸フィルタ回路４０は、Ｙ軸指令位置信号に対してＹ軸指令位置信号に対するＹ軸移動台４の応答遅れと等価な遅れ処理を行い、Ｙ軸指令位置信号に基づいて予測Ｙ軸現在位置信号を生成して出力する。Ｘ軸誤差補正回路４１はＸ軸現在位置信号、予測Ｘ軸現在位置信号および予測Ｚ軸現在姿勢信号をパラメータとして固定的に発生する誤差量および動的に発生する誤差量を演算し、これらの総和の誤差を補償するためのＸ軸位置補正信号を生成する。これ以外の動作は実施の形態７と同様であり説明を省略する。
【００７６】
従って、Ｙ軸移動台４はＹ軸指令位置信号とＹ軸現在位置信号との差に、Ｙ軸現在位置信号とＺ軸可動部材２９の予測される位置との差、並びに、Ｙ軸移動台４の加速度に応じた弾性変形量を加えた値に応じた速度で移動する。その結果、Ｘ軸移動台２やＹ軸移動台４の移動方向のそれぞれの基準軸方向との設置誤差や、Ｚ軸可動部材２９の回転中心軸とＺ軸との設置誤差や回転ぶれなどに起因してＺ軸可動部材２９の工具取り付け部位のＹ軸方向の実際の位置とＹ軸現在位置信号に示される位置との間に生じる誤差などに起因して固定的に（定常的に）発生する誤差があったとしてもそれに制限されること無く、且つ、Ｙ軸移動台４の加速度に応じてＺ軸可動部材２９がずれたりしたとしてもそれに制限されること無く、Ｚ軸可動部材２９とＹ軸移動台４とＸ軸移動台２とを同時に制御しつつＺ軸可動部材２９のＹ軸方向の位置をＹ軸指令位置信号の位置に精度良く制御することができる。
【００７７】
同時に、Ｘ軸移動台２はＸ軸指令位置信号とＸ軸現在位置信号との差に、Ｘ軸現在位置信号とＺ軸可動部材２９の予測される位置との差、並びに、Ｘ軸移動台２の加速度に応じた弾性変形量を加えた値に応じた速度で移動する。その結果、Ｘ軸移動台２やＹ軸移動台４の移動方向のそれぞれの基準軸方向との設置誤差や、Ｚ軸可動部材２９の回転中心軸とＺ軸との設置誤差や回転ぶれなどに起因してＺ軸可動部材２９の工具取り付け部位のＸ軸方向の実際の位置とＸ軸現在位置信号に示される位置との間に生じる誤差などに起因して固定的に（定常的に）発生する誤差があったとしてもそれに制限されること無く、且つ、Ｘ軸移動台２の加速度に応じてＺ軸可動部材２９がずれたりしたとしてもそれに制限されること無く、Ｚ軸可動部材２９とＹ軸移動台４とＸ軸移動台２とを同時に制御しつつＺ軸可動部材２９のＸ軸方向の位置をＸ軸指令位置信号の位置に精度良く制御することができる。
【００７８】
実施の形態９．
図１１はこの発明の実施の形態９による移動装置を示すブロック線図である。図において、４２はＺ軸指令姿勢信号が入力され、Ｚ軸指令姿勢信号が変化した際にその変化量に応じた目標加速度を得るために必要な駆動力を演算し、これをＺ軸角加速度補償信号として出力するＺ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別回動制御本体）、４３はこのＺ軸角加速度補償信号とともにＺ軸角速度残差信号が入力され、このＺ軸角速度残差信号の大きさに応じて得られる電流量に上記Ｚ軸角加速度補償信号に応じた電流量を加算した上でＺ軸可動部材２９に出力するＺ軸角速度制御回路（個別制御本体、個別回動制御本体）である。これ以外の構成は図５および図９と同様であり同一の符号を付して説明を省略する。
【００７９】
次に動作について説明する。
Ｚ軸指令姿勢信号が変化すると、Ｚ軸フィードフォワード制御回路４２はその変化量に応じた目標角加速度を得るために必要な駆動力を演算してＺ軸角加速度補償信号を出力する。Ｚ軸角速度制御回路４３は、Ｚ軸角速度残差信号の大きさに応じて得られる電流量に上記Ｚ軸角加速度補償信号に応じた電流量を加算した上でＺ軸可動部材２９に出力する。
【００８０】
同様に、Ｙ軸指令位置信号が変化すると、Ｙ軸フィードフォワード制御回路２１はその変化量に応じた目標加速度を得るために必要な駆動力を演算してＹ軸加速度補償信号を出力し、Ｙ軸速度制御回路２２は、Ｙ軸速度残差信号の大きさに応じて得られる電流量に上記Ｙ軸加速度補償信号に応じた電流量を加算した上でＹ軸移動台４に出力する。更に、Ｘ軸指令位置信号が変化すると、Ｘ軸フィードフォワード制御回路２３はその変化量に応じた目標加速度を得るために必要な駆動力を演算してＸ軸加速度補償信号を出力し、Ｘ軸速度制御回路２４は、Ｘ軸速度残差信号の大きさに応じて得られる電流量に上記Ｘ軸加速度補償信号に応じた電流量を加算した上でＸ軸移動台２に出力する。これ以外の動作は実施の形態７と同様であり説明を省略する。
【００８１】
従って、Ｘ軸指令位置信号、Ｙ軸指令位置信号あるいはＺ軸指令姿勢信号が変化してこれに応じてＸ軸移動台２、Ｙ軸移動台４あるいはＺ軸可動部材２９を加速あるいは減速させる場合、単にそれぞれがそれぞれの残差信号のみに基づいて電流量を決定していたのでは加減速の際のモータや摩擦などによって消費されてしまう消費電流分だけ位置や姿勢の応答遅れが発生してしまうが、そのような応答遅れを補償することができ、その分更に高精度にＸ軸移動台２、Ｙ軸移動台４およびＺ軸可動部材２９の位置（姿勢）や軌道を制御することができる。
【００８２】
実施の形態１０．
図１２はこの発明の実施の形態１０による移動装置を示すブロック線図である。図において、４４はＹ軸指令位置信号とともに予測Ｚ軸現在姿勢信号が入力され、これらに基づいてＹ軸移動台４の位置やＺ軸可動部材２９の姿勢に基づく誤差およびＹ軸移動台４の現在加速度に応じて発生するＺ軸基台２８などのずれ（弾性変形量）を補正するＹ軸補償信号をＹ軸速度制御回路２２へ出力するとともに、Ｙ軸指令位置信号が変化した場合には更にその変化量に応じた目標加速度を得るために必要な駆動力を加算してＹ軸補償信号を出力するＹ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。
【００８３】
４５はＸ軸指令位置信号とともに予測Ｙ軸現在位置信号や予測Ｚ軸現在姿勢信号が入力され、これらに基づいてＸ軸移動台２やＹ軸移動台４の位置やＺ軸可動部材２９の姿勢に基づく誤差およびＸ軸移動台２の現在加速度に応じて発生するＺ軸基台２８などのずれ（弾性変形量）を補正するＸ軸補償信号をＸ軸速度制御回路２４へ出力するとともに、Ｘ軸指令位置信号が変化した場合には更にその変化量に応じた目標加速度を得るために必要な駆動力を加算してＸ軸補償信号を出力するＸ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。これ以外の構成は図１０および図１１と同様なので同一の符号を付して説明を省略する。
【００８４】
次に動作について説明する。
Ｙ軸指令位置信号およびＺ軸フィルタ回路３８からの予測Ｚ軸指令姿勢信号が入力されると、Ｙ軸フィードフォワード制御回路４４はこれらに基づいてＹ軸移動台４の位置やＺ軸可動部材２９の姿勢に基づく誤差、および、Ｙ軸移動台４の現在加速度に応じて発生するＺ軸基台２８のずれ（弾性変形量）を予測し、これらをともに補正することができるＹ軸補償信号をＹ軸速度制御回路２２へ出力する。Ｙ軸速度制御回路２２はＹ軸速度残差信号の大きさに応じて得られる電流量に上記Ｙ軸加速度補償信号に応じた電流量を加算した上でＹ軸移動台４に出力する。また、Ｙ軸指令位置信号が変化すると、Ｙ軸フィードフォワード制御回路４４はその変化量に応じた目標加速度を得るために必要な駆動力を演算し、これを加算したものをＹ軸補償信号として出力する。
【００８５】
Ｘ軸指令位置信号、予測Ｚ軸指令姿勢信号およびＹ軸フィルタ回路４０からの予測Ｙ軸指令位置信号が入力されると、Ｘ軸フィードフォワード制御回路４５はこれらに基づいてＸ軸移動台２やＹ軸移動台４の位置やＺ軸可動部材２９の姿勢に基づく誤差、および、Ｘ軸移動台２の現在加速度に応じて発生するＺ軸基台２８までのずれ（弾性変形量）を予測し、これらをともに補正することができるＸ軸補償信号をＸ軸速度制御回路２４へ出力する。Ｘ軸速度制御回路２４はＸ軸速度残差信号の大きさに応じて得られる電流量に上記Ｘ軸加速度補償信号に応じた電流量を加算した上でＸ軸移動台２に出力する。また、Ｘ軸指令位置信号が変化すると、Ｘ軸フィードフォワード制御回路４５はその変化量に応じた目標加速度を得るために必要な駆動力を演算し、これを加算したものをＸ軸補償信号として出力する。
【００８６】
従って、Ｘ軸移動台２やＹ軸移動台４の位置やＺ軸可動部材２９の姿勢に基づく誤差や、Ｘ軸移動台２やＹ軸移動台４の現在加速度に応じて発生する各種のずれや撓み（弾性変形量）をこれらの指令位置信号に基づいて予測してこれをフィードフォワード制御で補正することができるので、実際のＺ軸可動部材２９の工具取り付け部位のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置を精度良く指令位置信号の位置に制御することができる。
【００８７】
しかも、Ｘ軸指令位置信号、Ｙ軸指令位置信号あるいはＺ軸指令姿勢信号が変化する場合にはそれに応じた駆動力が得られるように補正量を加算するので、Ｘ軸移動台２、Ｙ軸移動台４あるいはＺ軸可動部材２９を加速あるいは減速させる際の余分な消費電流を補うことができ、その分更に高精度にＺ軸可動部材２９の工具取り付け部位の位置（姿勢）や軌道を制御することができる。これ以外の動作は実施の形態９と同様であり説明を省略する。
【００８８】
なお、実施の形態７から実施の形態１０においてはガイドレールや固定基台などの基準部材と、移動台や可動部材などとの積層構造において、上位側の駆動系の情報のみを用いて下位側の駆動系にて補償する例について説明したが、実施の形態６と同様に下位側の駆動系の情報をも用いて上位側の駆動系にて補償するように構成することもできる。
【００８９】
実施の形態１１．
図１３はこの発明の実施の形態１１によるＮＣ加工装置に用いられる移動装置の機構部分の構成を示す斜視図である。図において、５１，５２はそれぞれＸ軸方向に沿って互いに一定間隔で平行に配設されたＸ軸ガイドレール（基準部材、ガイド部材）、５３，５４はそれぞれ各Ｘ軸ガイドレール５１，５２上をＸ軸方向に移動可能に配設され、それぞれに入力される電流の大きさに応じた速度で当該Ｘ軸ガイドレール５１，５２上を移動し、且つ、それぞれのＸ軸ガイドレール５１，５２上の位置を示すＸ軸現在位置信号ｘ１，ｘ２を出力するＸ軸移動台（可動部材、移動台、駆動力発生部材、直動駆動力発生部材、検出手段）、５５はこの一対のＸ軸移動台５３，５４の間にＹ軸方向に沿って掛け渡されるように固定されるＹ軸ガイドレール（基準部材、ガイド部材）、５６はＹ軸ガイドレール５５上をＹ軸方向に移動可能に配設され、入力される電流の大きさに応じた速度で当該Ｙ軸ガイドレール５５上を移動し、且つ、そのＹ軸ガイドレール５５上の位置を示すＹ軸現在位置信号ｙおよびこれを２つのＸ軸ガイドレール５１，５２の間隔を１として正規化したＹ軸規格化位置信号Ｍｐを出力するＹ軸移動台（可動部材、移動台、駆動力発生部材、直動駆動力発生部材、検出手段）、５７はこのＹ軸移動台５６に固定され、Ｚ軸方向への送り機構を備えた工具固定部、５８はこの工具固定部５７に取り付けられ、Ｚ軸方向へ送られる工具である。また、この実施の形態１ではＸ軸方向のみが２つのガイドレールを用いたタンデム機構となっているが、Ｙ軸方向においても同様にタンデム機構を採用してもよい。
【００９０】
図１４はこの発明の実施の形態１１による移動装置を示すブロック線図である。図において、５９は第一Ｘ軸現在位置信号ｘ１、第二Ｘ軸現在位置信号ｘ２およびＹ軸規格化位置信号Ｍｐが入力され、２つのＸ軸現在位置信号ｘ１，ｘ２からＹ軸ガイドレール５５のＹ軸に対する傾きを推定し、Ｙ軸規格化位置信号Ｍｐからこの傾いたＹ軸ガイドレール５５上のＹ軸移動台５６の位置を推定し、これらからＹ軸移動台５６のＸ軸方向の推定Ｘ軸現在位置信号を出力するＸ軸工具位置推定回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、６０はこの推定Ｘ軸現在位置信号とともに加工データに基づくＸ軸方向の移動目標位置を示すＸ軸指令位置信号ｘｃが入力され、Ｘ軸指令位置信号ｘｃからこの推定Ｘ軸現在位置信号を減算し、この減算された値をＸ軸残差位置信号として出力するＸ軸位置減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。
【００９１】
６１は上記Ｘ軸残差位置信号が入力され、このＸ軸残差位置信号の大きさに応じた大きさのＸ軸指令速度信号を出力する第一Ｘ軸位置制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、６２は上記一対のＸ軸移動台５３，５４のうちの一方（以下、第一Ｘ軸移動台５３とよぶ）のＸ軸現在位置信号（以下、第一Ｘ軸位置信号ｘ１とよぶ）が入力され、この第一Ｘ軸現在位置信号ｘ１の微分値（これは第一Ｘ軸移動台５３のＸ軸ガイドレール５１上の瞬時移動速度に相当する値である）を出力する第一Ｘ軸微分回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、６３は上記Ｘ軸指令速度信号からこの微分値を減算してその減算値を第一Ｘ軸残差速度信号として出力する第一Ｘ軸速度減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、６４はこの第一Ｘ軸残差速度信号に基づいて上記第一Ｘ軸移動台５３に対して第一Ｘ軸制御電流を出力する第一Ｘ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。
【００９２】
６５は上記一対のＸ軸移動台のうちの他方（以下、第二Ｘ軸移動台５４とよぶ）のＸ軸現在位置信号（以下、第二Ｘ軸現在位置信号ｘ２とよぶ）が入力され、この第二Ｘ軸現在位置信号ｘ２の微分値（これは第二Ｘ軸移動台５４のＸ軸ガイドレール５２上の瞬時移動速度に相当する値である）を出力する第二Ｘ軸微分回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、６６は上記Ｘ軸指令速度信号からこの微分値を減算してその減算値を第二Ｘ軸残差速度信号として出力する第二Ｘ軸速度減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、６７はこの第二Ｘ軸残差速度信号に基づいて上記第二Ｘ軸移動台５４に対して第二Ｘ軸制御電流を出力する第二Ｘ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。
【００９３】
また、６８は加工データに基づくＹ軸方向の移動目標位置を示すＹ軸指令位置信号ｙｃおよびＹ軸現在位置信号ｙが入力され、Ｙ軸指令位置信号ｙｃからこのＹ軸現在位置信号ｙを減算し、この減算された値をＹ軸残差位置信号として出力するＹ軸位置減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、６９は上記Ｙ軸残差位置信号が入力され、このＹ軸残差位置信号の大きさに応じたＹ軸指令速度信号を出力するＹ軸位置制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、７０は上記Ｙ軸現在位置信号ｙが入力され、このＹ軸現在位置信号ｙの微分値（これはＹ軸移動台５６のＹ軸ガイドレール５５上の瞬時移動速度に相当する値である）を出力するＹ軸微分回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、７１は上記Ｙ軸指令速度信号からこの微分値を減算してその減算値をＹ軸残差速度信号として出力するＹ軸速度減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、７２はこのＹ軸残差速度信号に基づいて上記Ｙ軸移動台５６に対してＹ軸制御電流を出力するＹ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。
【００９４】
次に動作について説明する。
第一Ｘ軸移動台５３から出力される第一Ｘ軸現在位置信号ｘ１、第二Ｘ軸移動台５４から出力される第二Ｘ軸現在位置信号ｘ２およびＹ軸移動台５６から出力されるＹ軸規格化位置信号Ｍｐに基づいて、Ｘ軸工具位置推定回路５９は現在のＹ軸移動台５６のＸ軸方向の位置を推定して推定Ｘ軸現在位置信号を出力する。また、Ｙ軸移動台５６はＹ軸現在位置信号ｙも出力する。
【００９５】
このような状態で、加工データに基づくＸ軸方向の移動目標位置を示すＸ軸指令位置信号ｘｃが出力されると、Ｘ軸位置減算回路６０はＸ軸指令位置信号ｘｃから推定Ｘ軸現在位置信号を減算し、第一Ｘ軸位置制御回路６１はこの減算値の大きさに応じたＸ軸指令速度信号を順次出力する。
【００９６】
そして、このＸ軸指令位置信号ｘｃが出力される直前においては上記２つのＸ軸移動台５３，５４が停止していたと仮定すると、第一Ｘ軸微分回路６２および第二Ｘ軸微分回路６５はそれぞれのＸ軸現在位置信号ｘ１，ｘ２の微分値として「０」を出力するので、上記Ｘ軸残差速度信号はそのまま第一Ｘ軸速度制御回路６４および第二Ｘ軸速度制御回路６７に入力され、これらＸ軸速度制御回路６４，６７はその入力された速度に応じたＸ軸制御電流を出力し、この電流に応じて各Ｘ軸移動台５３，５４はＸ軸ガイドレール５１，５２上を所定の方向へ加速しながら移動する。
【００９７】
このような移動が開始されると、この加速に応じて各Ｘ軸微分回路６２，６５からＸ軸現在位置信号ｘ１，ｘ２の微分値が出力されるので、最終的には各Ｘ軸移動台５３，５４の移動速度が第一Ｘ軸位置制御回路６１から出力されるＸ軸速度信号となるように速度制御がなされる。なお、Ｘ軸指令位置信号ｘｃが出力される直前において上記Ｘ軸移動台５３，５４が移動しているような場合には各Ｘ軸移動台５３，５４は加減速あるいは等速度のまま移動することになるが、これらの場合であったとしても最終的には各Ｘ軸移動台５３，５４の移動速度が第一Ｘ軸位置制御回路６１から出力されるＸ軸指令速度信号となるように速度制御がなされることには変りがない。
【００９８】
また、このような移動が行われると、その移動によって第一Ｘ軸現在位置信号ｘ１および第二Ｘ軸現在位置信号ｘ２も変化するので、Ｘ軸工具位置推定回路５９から出力される推定Ｘ軸現在位置信号も変化し、これによりＸ軸位置減算回路６０から出力されるＸ軸残差位置信号は減少する。そして、そのＸ軸残差位置信号がだんだんと減少し始めると、第一Ｘ軸位置制御回路６１から出力されるＸ軸指令速度信号も小さくなり、これに追従して各Ｘ軸速度制御回路６４，６７は制御電流を減少させるので、各Ｘ軸移動台５３，５４はだんだんと減速することになる。なお、このような制御の最中に上記Ｘ軸指令位置信号ｘｃが変更されると、Ｘ軸位置減算回路６０から出力される値も変更されるので、上述した減速を行うことなくあるいは上述した減速の最中に引き続き移動制御を継続することになる。
【００９９】
また、加工データに基づくＹ軸方向の移動目標位置を示すＹ軸指令位置信号ｙｃが出力されると、同様に、Ｙ軸位置減算回路６８はＹ軸指令位置信号ｙｃから推定Ｘ軸現在位置信号を減算し、Ｙ軸位置制御回路６９はこの減算値の大きさに応じたＹ軸指令速度信号を順次出力し、Ｙ軸微分回路７０、Ｙ軸速度減算回路７１およびＹ軸速度制御回路７２はこのＹ軸指令速度信号の速度となるようにＹ軸移動台５６の移動速度を制御し、Ｙ軸移動台５６からはこの移動に伴って変化したＹ軸現在位置信号ｙおよびこれを規格化したＹ軸規格化位置信号Ｍｐが出力される。
【０１００】
そして、このようにＹ軸規格化位置信号Ｍｐが変化しても、Ｘ軸工具位置推定回路５９はその出力を変化させる。具体的には、第一Ｘ軸移動台５３の位置を（ｘ１，ｙ１）、第二Ｘ軸移動台５４の位置を（ｘ２，ｙ２）、Ｙ軸移動台５６の位置をｙ、Ｙ軸規格化位置信号をＭｐ、Ｙ軸移動台５６のＸ軸方向の推定位置をｘとすると、下記式３および式４に基づいてＹ軸移動台５６のＸ軸方向の位置ｘを推定する。
【０１０１】
Ｍｐ  ＝  （ｙ−ｙ２）／（ｙ１−ｙ２）                ・・・式３
ｘ  ＝  ｘ１×Ｍｐ＋ｘ２×（１−Ｍｐ）                ・・・式４
【０１０２】
この式に基づく演算について補足的に説明すると、ＭｐはＹ軸移動台５６のＹ軸方向の位置を規格化したパラメータで、このＹ軸移動台５６が第一Ｘ軸移動台５３に最も近づいたときにＭｐ＝１、第二Ｘ軸移動台５４に最も近づいたときにＭｐ＝０となるものである。また、式４はＹ軸移動台５６が第一Ｘ軸移動台５３と第二Ｘ軸移動台５４との間に位置するものと仮定して、この規格化されたＹ軸移動台５６の位置Ｍｐを分割比としてＹ軸移動台５６のＸ軸方向の位置ｘを推定するものである。
【０１０３】
そして、このように２つのＸ軸駆動系による位置と、この上で移動するＹ軸移動台５６の規格化された位置Ｍｐに基づく分割比に基づいてｘ軸の位置を補正することにより、例えば図１５に示すように、第一Ｘ軸移動台５３と第二Ｘ軸移動台５４とを独立して速度制御を行っていることや、Ｙ軸ガイドレール５５の取り付け強度が不足してしまう場合もあることなどに起因して、Ｙ軸ガイドレール５５がＹ軸に対して傾いてしまったような場合であっても、Ｙ軸移動台５６のＸ軸方向の位置を正確に予測して、Ｙ軸移動台５６のＸ軸方向の位置ｘを所定の移動目標位置まで移動させることができる。このような制御であれば、例えば従来のように一方のＸ軸移動台５３のＸ軸方向の位置をＹ軸移動台５６のＸ軸方向の位置としていたものに比べて、Ｙ軸移動台５６のＸ軸方向の追従性や精度などを向上させることができる（図１５の「ｘ」を参照）。
【０１０４】
以上のように、この実施の形態１１によれば、Ｘ軸工具位置推定回路５９が、互いに独立してＸ軸指令速度信号に基づいて移動制御される一対のＸ軸移動台５３，５４からの２つのＸ軸現在位置信号ｘ１，ｘ２と、Ｙ軸移動台５６のＹ軸規格化位置信号Ｍｐとに基づいてＹ軸移動台５６自体のＸ軸方向の位置ｘを推定し、この推定値が移動目標位置の指令に一致するように制御しているので、例えばＸ軸移動台５３，５４を移動制御しつつ同時にＹ軸移動台５６を移動制御する場合のように、Ｙ軸移動台５６のＹ軸ガイドレール５５上の移動などによってＸ軸移動台５３，５４とＹ軸移動台５６などからなるＸ軸駆動系の駆動負荷のバランスが崩れたりしても、それに起因する誤差を補正して駆動制御を行うことができる。
【０１０５】
従って、被加工物に対する工具５８の移動軌跡などが当該多軸制御において予定していたものに対してずれてしまうことを抑制して、加工精度の低下などを効果的に抑制することができ、所謂タンデム機構を用いた場合であって高速に工具などを移動させるような場合であったとしても、このようなアンバランスなどに起因する加工精度の低下を抑制することができるので高精度化を図ることができる。
【０１０６】
つまり、所謂タンデム機構による駆動系の利点を生かして工具５８などの被駆動物体の移動軌跡の精度を向上させ、これにより高速化と高精度化とを従来には得られなかった高いレベルにて両立させることができる効果がある。
【０１０７】
この実施の形態１１によれば、Ｙ軸移動台５６から出力されるＹ軸規格化位置信号Ｍｐに基づいてＸ軸指令位置信号を補正しているので、Ｙ軸移動台５６のＹ軸位置信号に対する応答遅れなどがあったとしても、そのような遅れなどによらず実際のリアルタイムのＹ軸移動台５６の位置に基づいて適切に且つ精度良くＸ軸指令位置信号を補正することができ、このＹ軸移動台５６のＸ軸方向の位置を精度よく補正することができる効果がある。
【０１０８】
実施の形態１２．
図１６はこの発明の実施の形態１２による移動装置を示すブロック線図である。図において、７３はＹ軸指令位置信号ｙｃに対するＹ軸移動台５６の応答遅れと等価な遅れ処理を行い、Ｙ軸指令位置信号ｙｃに基づいて予測Ｙ軸現在位置信号を生成するＹ軸フィルタ回路（予測手段）、７４は予測Ｙ軸現在位置信号が入力され、この予測Ｙ軸現在位置信号を規格化して予測Ｙ軸規格化位置信号を出力するＹ軸規格化回路（予測手段）、７５はこの予測Ｙ軸規格化位置信号とともに第一Ｘ軸現在位置信号および第二Ｘ軸現在位置信号が入力され、２つのＸ軸現在位置信号ｘ１，ｘ２からＹ軸ガイドレール５５のＹ軸に対する傾きを推定し、予測Ｙ軸規格化位置信号からこの傾いたＹ軸ガイドレール５５上のＹ軸移動台５６の位置を推定し、これらからＹ軸移動台５６のＸ軸方向のＸ軸推定現在位置信号を出力するＸ軸工具位置推定回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。これ以外の構成は実施の形態１１と同様であり説明を省略する。
【０１０９】
次に動作について説明する。
Ｙ軸指令位置信号が出力されると、Ｙ軸フィルタ回路７３はＹ軸指令位置信号ｙｃに対するＹ軸移動台５６の応答遅れと等価な遅れ処理を行って予測Ｙ軸現在位置信号を生成し、Ｙ軸規格化回路７４はこの予測Ｙ軸現在位置信号を規格化して予測Ｙ軸規格化位置信号を出力し、Ｘ軸工具位置推定回路７５は、この予測Ｙ軸規格化位置信号を分割比としてＹ軸移動台５６のＸ軸方向の位置を推定する。これ以外の動作は実施の形態１１と同様であり説明を省略する。
【０１１０】
以上のように、この実施の形態１２によれば、Ｙ軸指令位置信号ｙｃに基づいて予測的に演算された予測Ｙ軸規格化位置信号を用いてＸ軸工具位置推定回路７５がＹ軸移動台５６のＸ軸方向の位置を推定するので、実施の形態１のようにＹ軸移動台５６の位置を検出することなく、Ｘ軸移動台５３，５４とＹ軸移動台５６などからなるＸ軸駆動系の駆動負荷のバランスが崩れたりしても、それに起因する誤差を補正して駆動制御を行うことができる。
【０１１１】
特に、この実施の形態１２では、Ｙ軸フィルタ回路７３を設けてＹ軸指令位置信号ｙｃに対するＹ軸移動台５６の応答遅れと等価な遅れ処理を行ったものに基づいて予測Ｙ軸規格化位置信号を生成しているので、Ｙ軸指令位置信号ｙｃから直接的に予測Ｙ軸規格化位置信号を生成するような場合に比べて、精度よく且つ良く追従するＹ軸移動台５６の位置を推定して、Ｙ軸移動台５６のＸ軸方向の位置を精度よく制御することができる。
【０１１２】
実施の形態１３．
図１７はこの発明の実施の形態１３による移動装置を示すブロック線図である。図において、７６はＹ軸移動台５６がＹ軸ガイドレール５５の中央部（上記Ｍｐで言えば０．５となる位置）に位置するもの（つまり均等負荷）として２つのＸ軸移動台５３，５４の駆動負荷をモデリングし、Ｘ軸指令位置信号ｘｃが変化した際にその変化量に応じた目標加速度が当該モデルにおいて発生するために必要な駆動力を演算し、これをＸ軸加速度補償信号として出力するＸ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、７７は第一Ｘ軸残差速度信号とともにこのＸ軸加速度補償信号が入力され、第一Ｘ軸残差速度信号に基づく電流指令値にこのＸ軸加速度補償信号を加算し、これを第一Ｘ軸制御電流として出力する第一Ｘ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、７８は第二Ｘ軸残差速度信号とともにこのＸ軸加速度補償信号が入力され、第二Ｘ軸残差速度信号に基づく電流指令値にこのＸ軸加速度補償信号を加算し、これを第二Ｘ軸制御電流として出力する第二Ｘ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。
【０１１３】
７９はＹ軸移動台５６の移動動作をモデリングし、Ｙ軸指令位置信号ｙｃが変化した際にその変化量に応じた目標加速度が当該モデルにおいて発生するために必要な駆動力を演算し、これをＹ軸加速度補償信号として出力するＹ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、８０はＹ軸残差速度信号とともにこのＹ軸加速度補償信号が入力され、Ｙ軸残差速度信号に基づく電流指令値にこのＹ軸加速度補償信号を加算し、これをＹ軸制御電流として出力するＹ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。また、８１はＹ軸指令位置信号ｙｃが入力され、このＹ軸指令位置信号ｙｃに基づいて予測Ｙ軸規格化位置信号を出力する規格化回路（予測手段）である。これ以外の構成は実施の形態１２と同様なので説明を省略する。
【０１１４】
次に動作について説明する。
Ｘ軸指令位置信号ｘｃが新たに入力されたり変化したりすると、Ｘ軸フィードフォワード制御回路７６はこの新たなＸ軸指令位置信号ｘｃによる変化量に応じた目標加速度が得られるように駆動力を演算し、これをＸ軸加速度補償信号として出力する。第一Ｘ軸速度制御回路７７は第一Ｘ軸残差速度信号に基づく電流指令値にこのＸ軸加速度補償信号を加算し、これを第一Ｘ軸制御電流として出力する。従って、第一Ｘ軸移動台５３はほぼ上記目標加速度において加減速し、この速度変化のもとでＸ軸指令位置信号ｘｃによる位置まで移動する。同様に、第二Ｘ軸速度制御回路７８は第二Ｘ軸残差速度信号に基づく電流指令値にこのＸ軸加速度補償信号を加算し、これを第二Ｘ軸制御電流として出力し、第二Ｘ軸移動台５４もほぼ上記目標加速度のもとで加減速し、この速度変化においてＸ軸指令位置信号ｘｃによる位置まで移動する。
【０１１５】
同様に、Ｙ軸指令位置信号ｙｃが新たに入力されたり変化したりすると、Ｙ軸フィードフォワード制御回路７９はこの新たなＹ軸指令位置信号ｙｃによる変化量に応じた目標加速度が得られるように駆動力を演算し、これをＹ軸加速度補償信号として出力し、Ｙ軸速度制御回路８０はＹ軸残差速度信号に基づく電流指令値にこのＹ軸加速度補償信号を加算し、これをＹ軸制御電流として出力し、Ｙ軸移動台５６はほぼ上記目標加速度において加減速し、この速度変化のもとでＹ軸指令位置信号ｙｃによる位置まで移動する。これ以外の動作は実施の形態１２と同様なので説明を省略する。
【０１１６】
このようにフィードフォワード制御を行うことによって、Ｘ軸移動台５３，５４は所望の速度プロファイルにて加減速して移動することになり、Ｘ軸指令位置信号ｘｃの変化に遅れることなく追従して移動することができる。また、このようにＸ軸指令位置信号ｘｃに対する追従性がよくなると当然に実質的な加工精度も向上する。Ｙ軸移動台５６についても同様である。更に、Ｙ軸移動台５６の追従性が良くなっているので、規格化回路８１に直接Ｙ軸指令位置信号ｙｃを入力し、これにより予測Ｙ軸規格化位置信号を出力させるだけで、Ｙ軸移動台５６のＸ軸方向の位置を正確に推定することができる効果がある。
【０１１７】
実施の形態１４．
図１８はこの発明の実施の形態１４による移動装置を示すブロック線図である。図において、８２はＸ軸指令位置信号ｘｃ、第一Ｘ軸現在位置信号ｘ１、第二Ｘ軸現在位置信号ｘ２、Ｙ軸規格化位置信号Ｍｐが入力され、これらの入力に応じてＹ軸移動台５６の第一Ｘ軸移動台５３と第二Ｘ軸移動台５４との間からのずれ量を補正する弾性変形補正値を出力するＸ軸弾性変形補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、８３はＸ軸指令位置信号ｘｃにこの弾性変形補正値を加算して第一補正Ｘ軸指令位置信号を出力する第一Ｘ軸加算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、８４はこの第一補正Ｘ軸指令位置信号から第一Ｘ軸位置信号ｘ１を減算して第一Ｘ軸残差位置信号を出力する第一Ｘ軸位置減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、８５は第一Ｘ軸残差位置信号の大きさに応じた第一Ｘ軸速度信号を出力する第一Ｘ軸位置制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）であり、第一Ｘ軸速度減算回路６３にはこの第一Ｘ軸速度信号が入力される。
【０１１８】
また、８６はＸ軸指令位置信号にこの弾性変形補正値を加算して第二補正Ｘ軸指令位置信号を出力する第二Ｘ軸加算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、８７はこの第二補正Ｘ軸指令位置信号から第二Ｘ軸現在位置信号ｘ２を減算して第二Ｘ軸残差位置信号を出力する第二Ｘ軸位置減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、８８は第二Ｘ軸残差位置信号の大きさに応じた第二Ｘ軸速度信号を出力する第二Ｘ軸位置制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）であり、第二Ｘ軸速度減算回路６６にはこの第二Ｘ軸速度信号が入力される。これ以外の構成は実施の形態１１と同様であり説明を省略する。
【０１１９】
次に動作について説明する。
図１９はこの発明の実施の形態１４によるＸ軸弾性変形補正回路８２の補正動作を説明するための説明図である。同図（ａ）はＹ軸が移動の際の加減速によって湾曲してしまった状態を示す説明図であり、同図（ｂ）はこの状態に対応するモデルを示すモデル図である。図において、８９はＹ軸移動台５６などからなる質点、９０はＹ軸ガイドレール５５のＹ軸移動台５６と第一Ｘ軸移動台５３との間の部分に対応する第一弾性モデル（バネ）、９１はＹ軸ガイドレール５５のＹ軸移動台５６と第二Ｘ軸移動台５４との間の部分に対応する第二弾性モデル（バネ）である。
【０１２０】
そして、このモデルに基づいてＸ軸弾性変形補正回路８２は下記式５に基づいて弾性変形補正値Δｘを演算して出力する。但し、ｘ１は第一Ｘ軸位置信号の示す位置、ｘ２は第二Ｘ軸位置信号の示す位置、ｋ１は第一弾性モデルのその長さに応じた弾性係数、ｋ２は第二弾性モデルのその長さに応じた弾性係数、ＭはＹ軸移動台５６などの質量を表わすパラメータ、ＡはＸ軸指令位置信号ｘｃに上記応答遅れに対応するフィルタ演算を行い、それを二階微分して得られるＹ軸移動台５６の加速度、ＭｐはＹ軸規格化位置信号である。なお、これら弾性係数ｋ１およびｋ２は固定値であっても移動台の位置に応じて変化する値であっても良い。
【０１２１】
Δｘ  ＝  （ｘ１×ｋ１＋ｘ２×ｋ２−Ｍ×Ａ）／（ｋ１＋ｋ２）
−｛ｘ１×Ｍｐ＋ｘ２×（１−Ｍｐ）｝          ・・・式５
【０１２２】
この式に基づく演算について補足的に説明すると、この式は第一Ｘ軸移動台５３と第二Ｘ軸移動台５４との間の位置（図１９において一点鎖線で示す位置）を基準としたＹ軸移動台５６の変位量を演算するものである。また、ｋ１の値とｋ２の値とは本来、このＹ軸規格化位置信号Ｍｐに応じて異なる値となるので、例えばＹ軸規格化位置信号Ｍｐとｋ１およびｋ２とを対応づけたテーブルを用いればよい。なお、このｋ１およびｋ２とを所定の一定値に近似しても弾性変形に基づくずれ量を補正することができる。また、この式では撓みを線形ばねの変形として捉えて近似しているが、非線形ばねの変形として捉えて近似しても良い。
【０１２３】
このような演算によりＸ軸弾性変形補正回路８２から弾性変形補正値Δｘが出力されると、第一Ｘ軸加算回路８３はＸ軸指令位置信号ｘｃにこの弾性変形補正値Δｘを加算して第一補正Ｘ軸指令位置信号を出力し、第一Ｘ軸位置減算回路８４は第一補正Ｘ軸指令位置信号から第一Ｘ軸現在位置信号ｘ１を減算して第一Ｘ軸残差位置信号を出力し、第一Ｘ軸位置制御回路８５は第一Ｘ軸残差位置信号の大きさに応じた第一Ｘ軸指令速度信号を出力し、第一Ｘ軸速度減算回路６３にこの第一Ｘ軸指令速度信号が入力される。同様に、第二Ｘ軸加算回路８６はＸ軸指令位置信号ｘｃにこの弾性変形補正値Δｘを加算して第二補正Ｘ軸指令位置信号を出力し、第二Ｘ軸位置減算回路８７は第二補正Ｘ軸指令位置信号から第二Ｘ軸現在位置信号ｘ２を減算して第二Ｘ軸残差位置信号を出力し、第二Ｘ軸位置制御回路８８は第二Ｘ軸残差位置信号の大きさに応じた第二Ｘ軸指令速度信号を出力し、第二Ｘ軸速度減算回路６６にこの第二Ｘ軸指令速度信号が入力される。これ以外の動作は実施の形態１１と同様であり説明を省略する。
【０１２４】
このように、Ｘ軸弾性変形補正回路８２がＹ軸移動台５６の第一Ｘ軸移動台５３と第二Ｘ軸移動台５４との間からのずれ量を補正する弾性変形補正値Δｘを出力し、これをＸ軸指令位置信号ｘｃに加算するようにしたので、移動の際の加減速によりＹ軸移動台５６が第一Ｘ軸移動台５３と第二Ｘ軸移動台５４との間からずれてしまうとしても、その時々のＹ軸移動台５６の位置や２つのＸ軸移動台５３，５４の加減速に応じてその移動の際のずれを抑制することができる。その結果、Ｙ軸移動台５６は所望の移動軌跡上を所望の移動速度で正確に移動することができ、その分加工精度を向上させることができる効果がある。
【０１２５】
以上のように、この実施の形態１４によれば、Ｙ軸移動台５６などを質点として、そのＹ軸移動台５６とそれぞれのＸ軸ガイドレール５１，５２との間を所定のバネ定数ｋ１，ｋ２の弾性モデル９０，９１としてモデリングして、このモデルに基づいてこのＸ軸移動台５３，５４の間における弾性変形量を推定し、この推定値を用いてＸ軸指令位置信号ｘｃを補正するので、例えば急激な加減速制御がなされてしまう場合などにおいてＹ軸ガイドレール５５の弾性変形が生じ、Ｙ軸移動台５６が一対のＸ軸移動台５３，５４の間からずれてしまうような場合であっても、この変形を上記モデリングに基づいて推定し当該ずれを抑制することができる効果がある。
【０１２６】
実施の形態１５．
図２０はこの発明の実施の形態１５による移動装置を示すブロック線図である。図において、９２はＹ軸指令位置信号ｙｃに対するＹ軸移動台５６の応答遅れと等価な遅れ処理を行い、Ｙ軸指令位置信号ｙｃに基づいて予測Ｙ軸現在位置信号を生成するフィルタ回路（予測手段）、９３は予測Ｙ軸現在位置信号が入力され、この予測Ｙ軸現在位置信号を規格化して予測Ｙ軸規格化位置信号を出力する規格化回路（予測手段）、９４はＸ軸指令位置信号ｘｃ、第一Ｘ軸現在位置信号ｘ１、第二Ｘ軸現在位置信号ｘ２、予測Ｙ軸規格化位置信号が入力され、これらの入力に応じてＹ軸移動台５６の第一Ｘ軸移動台５３と第二Ｘ軸移動台５４との間からのずれ量を補正する弾性変形補正値を出力するＸ軸弾性変形補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。これ以外の構成は実施の形態１４と同様であり説明を省略する。
【０１２７】
次に動作について説明する。
Ｙ軸指令位置信号ｙｃが出力されると、Ｙ軸フィルタ回路９２はＹ軸指令位置信号ｙｃに対するＹ軸移動台５６の応答遅れと等価な遅れ処理を行って予測Ｙ軸現在位置信号を生成し、規格化回路９３はこの予測Ｙ軸位置信号を規格化して予測Ｙ軸規格化位置信号を出力し、Ｘ軸弾性変形補正回路９４は、この予測Ｙ軸規格化位置信号を用いてｋ１およびｋ２を特定し、このｋ１およびｋ２を用いて弾性変形補正値を算出する。これ以外の動作は実施の形態１４と同様であり説明を省略する。
【０１２８】
以上のように、この実施の形態１５によれば、Ｙ軸指令位置信号ｙｃに基づいて予測的に演算された予測Ｙ軸規格化位置信号を用いてＸ軸弾性変形補正回路９４がＹ軸移動台５６のずれ量を推定するので、実施の形態１４のようにＹ軸移動台５６の位置を検出することなくこのずれ量を補正して駆動制御を行うことができる。
【０１２９】
特に、この実施の形態１５では、フィルタ回路９２を設けてＹ軸指令位置信号ｙｃに対するＹ軸移動台５６の応答遅れと等価な遅れ処理を行ったものに基づいて予測Ｙ軸規格化位置信号を生成しているので、Ｙ軸指令位置信号ｙｃから直接的に予測Ｙ軸規格化位置信号を生成するような場合に比べて、精度よくＹ軸移動台５６の位置を推定して、Ｙ軸移動台５６のＸ軸方向の位置を精度よく制御することができる。
【０１３０】
実施の形態１６．
図２１はこの発明の実施の形態１６による移動装置を示すブロック線図である。図において、９５はＸ軸指令位置信号ｘｃおよびＹ軸規格化位置信号Ｍｐが入力され、これらの入力に応じてＹ軸移動台５６の第一Ｘ軸移動台５３と第二Ｘ軸移動台５４との間からのずれ量を補正する弾性変形補正値を出力するＸ軸弾性変形補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、９６はＸ軸指令位置信号ｘｃにこの弾性変形補正値を加算して補正Ｘ軸指令位置信号を出力するＸ軸加算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、９７はこの補正Ｘ軸指令位置信号から推定Ｘ軸現在位置信号を減算してＸ軸残差位置信号を出力するＸ軸位置減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。これ以外の構成は実施の形態１１と同様であり説明を省略する。
【０１３１】
次に動作について説明する。
Ｘ軸弾性変形補正回路９５は、下記式６に基づいてＸ軸指令位置信号ｘｃとＹ軸規格化位置信号Ｍｐとから弾性変形補正値Δｘを演算して出力する。但し、ｋ１は第一弾性モデル９０のその長さに応じた弾性係数、ｋ２は第二弾性モデル９１のその長さに応じた弾性係数、ＭはＹ軸移動台５６などの質量を表わすパラメータ、ＡはＸ軸指令位置信号ｘｃに上記応答遅れに対応するフィルタ演算を行い、それを二階微分して得られるＹ軸移動台５６の加速度である。
【０１３２】
Δｘ  ＝  Ｍ×Ａ／（ｋ１＋ｋ２）                      ・・・式６
【０１３３】
この式に基づく演算について補足的に説明すると、この式は第一Ｘ軸移動台５３と第二Ｘ軸移動台５４とがＸ軸方向において同一位置にいると仮定して、それを基準としてＹ軸移動台５６の変位量を近似的に演算するものである。また、ｋ１の値とｋ２の値とは本来、このＹ軸規格化位置信号Ｍｐに応じて異なる値となるので、例えばＹ軸規格化位置信号Ｍｐとｋ１およびｋ２とを対応づけたテーブルを用いればよい。なお、このｋ１およびｋ２とを所定の固定値としても弾性変形に基づくずれ量を補正することができる。また、この式では撓みを線形ばねの変形として捉えて近似しているが、非線形ばねの変形として捉えて近似しても良い。
【０１３４】
このような演算によりＸ軸弾性変形補正回路９５から弾性変形補正値が出力されると、Ｘ軸加算回路９６はＸ軸指令位置信号ｘｃにこの弾性変形補正値を加算して補正Ｘ軸指令位置信号を出力し、Ｘ軸位置減算回路９７は補正Ｘ軸指令位置信号から推定Ｘ軸現在位置信号を減算してＸ軸残差位置信号を出力する。これ以外の動作は実施の形態１１と同様であり説明を省略する。
【０１３５】
そして、この実施の形態１６では実施の形態１４よりも簡略化した式にてＹ軸移動台５６の第一Ｘ軸移動台５３と第二Ｘ軸移動台５４との間からのずれ量を補正することができるので、移動の際の加減速によりＹ軸移動台５６が第一Ｘ軸移動台５３と第二Ｘ軸移動台５４との間からずれてしまうとしても、その時々のＹ軸移動台５６の位置や２つのＸ軸移動台５３，５４の加減速に応じてその移動の際のずれを抑制することができ、しかも、その演算量が減少したことによりそれだけリアルタイムに抑制することができる効果がある。
【０１３６】
実施の形態１７．
図２２はこの発明の実施の形態１７による移動装置を示すブロック線図である。図において、９８はＹ軸指令位置信号ｙｃに対するＹ軸移動台５６の応答遅れと等価な遅れ処理を行い、Ｙ軸指令位置信号ｙｃに基づいて予測Ｙ軸現在位置信号を生成する第二フィルタ回路（予測手段）、９９は予測Ｙ軸現在位置信号が入力され、この予測Ｙ軸現在位置信号を規格化して予測Ｙ軸規格化位置信号を出力する第二規格化回路（予測手段）、１００はＸ軸指令位置信号ｘｃおよび予測Ｙ軸規格化位置信号が入力され、これらの入力に応じてＹ軸移動台５６の第一Ｘ軸移動台５３と第二Ｘ軸移動台５４との間からのずれ量を補正する弾性変形補正値を出力するＸ軸弾性変形補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。また、９６および９７は図２１と同様であり、それ以外の構成は実施の形態１２と同様であり説明を省略する。
【０１３７】
次に動作について説明する。
Ｙ軸指令位置信号ｙｃが出力されると、第二フィルタ回路９８はＹ軸指令位置信号ｙｃに対するＹ軸移動台５６の応答遅れと等価な遅れ処理を行って予測Ｙ軸現在位置信号を生成し、第二規格化回路９９はこの予測Ｙ軸現在位置信号を規格化して予測Ｙ軸規格化位置信号を出力し、Ｘ軸弾性変形補正回路１００はこの予測Ｙ軸規格化位置信号とともにＸ軸指令位置信号ｘｃを用いてＹ軸移動台５６の第一Ｘ軸移動台５３と第二Ｘ軸移動台５４との間からのずれ量を補正する弾性変形補正値を出力する。具体的には実施の形態１６と同様の演算処理を実施する。これ以外の動作は実施の形態１２と同様であり説明を省略する。
【０１３８】
以上のように、この実施の形態１７によれば、Ｙ軸指令位置信号ｙｃに基づいて予測的に演算された予測Ｙ軸規格化位置信号を用いてＸ軸工具位置推定回路７５およびＸ軸弾性変形補正回路１００がＹ軸移動台５６のＸ軸方向の位置を推定するので、実施の形態１６のようにＹ軸移動台５６の位置を検出することなく、Ｘ軸移動台５３，５４とＹ軸移動台５６などからなるＸ軸駆動系の駆動負荷のバランスが崩れたりしても、それに起因する誤差を補正して駆動制御を行うことができる。
【０１３９】
特に、この実施の形態１７では、フィルタ回路７３，９８を設けてＹ軸指令位置信号ｙｃに対するＹ軸移動台５６の応答遅れと等価な遅れ処理を行ったものに基づいて予測Ｙ軸規格化位置信号を生成しているので、Ｙ軸指令位置信号ｙｃから直接的に予測Ｙ軸規格化位置信号を生成するような場合に比べて、精度よくＹ軸移動台５６の位置を推定して、Ｙ軸移動台５６のＸ軸方向の位置を精度よく制御することができる。
【０１４０】
実施の形態１８．
図２３はこの発明の実施の形態１８による移動装置を示すブロック線図である。図において、１０１は第一Ｘ軸位置信号ｘ１、第二Ｘ軸位置信号ｘ２およびＹ軸規格化位置信号Ｍｐが入力され、これらの入力を式５に代入してＹ軸移動台５６の第一Ｘ軸移動台５３と第二Ｘ軸移動台５４との間からのずれ量を補正する弾性変形補正値を出力するＸ軸弾性変形補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。これ以外の構成は実施の形態１６と同様であり説明を省略する。
【０１４１】
次に動作について説明する。
第一Ｘ軸位置信号ｘ１、第二Ｘ軸位置信号ｘ２およびＹ軸規格化位置信号Ｍｐが入力されると、Ｘ軸弾性変形補正回路１０１は、これらの入力を式５に代入してＹ軸移動台５６の第一Ｘ軸移動台５３と第二Ｘ軸移動台５４との間からのずれ量を補正する弾性変形補正値を出力する。これ以外の動作は実施の形態１６と同様であり説明を省略する。
【０１４２】
実施の形態１９．
図２４はこの発明の実施の形態１９による移動装置を示すブロック線図である。図において、１０２は第一Ｘ軸位置信号ｘ１、第二Ｘ軸位置信号ｘ２および予測Ｙ軸規格化位置信号が入力され、これらの入力を式５に代入してＹ軸移動台５６の第一Ｘ軸移動台５３と第二Ｘ軸移動台５４との間からのずれ量を補正する弾性変形補正値を出力するＸ軸弾性変形補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。７３，７４，７５，９８，９９は図１９と同様であり、これ以外の構成は実施の形態１８と同様であり説明を省略する。
【０１４３】
次に動作について説明する。
Ｙ軸指令位置信号ｙｃが出力されると、第二フィルタ回路９８はＹ軸指令位置信号ｙｃに対するＹ軸移動台５６の応答遅れと等価な遅れ処理を行って予測Ｙ軸現在位置信号を生成し、第二規格化回路９９はこの予測Ｙ軸現在位置信号を規格化して予測Ｙ軸規格化位置信号を出力し、Ｘ軸弾性変形補正回路１０２は第一Ｘ軸位置信号ｘ１、第二Ｘ軸位置信号ｘ２および予測Ｙ軸規格化位置信号が入力され、これらの入力を式５に代入してＹ軸移動台５６の第一Ｘ軸移動台５３と第二Ｘ軸移動台５４との間からのずれ量を補正する弾性変形補正値を出力する。これ以外の動作は実施の形態１８と同様であり説明を省略する。
【０１４４】
実施の形態２０．
図２５はこの発明の実施の形態２０による移動装置を示すブロック線図である。図において、７６，・・・，８０は図１７と同様であり、これ以外は実施の形態１８と同様であり説明を省略する。
【０１４５】
次に動作について説明する。
Ｘ軸指令位置信号ｘｃが新たに入力されたり変化したりすると、Ｘ軸フィードフォワード制御回路７６はこの新たなＸ軸指令位置信号ｘｃによる変化量に応じた目標加速度が得られるように駆動力を演算し、これをＸ軸加速度補償信号として出力する。第一Ｘ軸速度制御回路７７は第一Ｘ軸残差速度信号に基づく電流指令値にこのＸ軸加速度補償信号を加算し、これを第一Ｘ軸制御電流として出力する。従って、第一Ｘ軸移動台５３はほぼ上記目標加速度において加減速し、この速度変化のもとでＸ軸指令位置信号ｘｃによる位置まで移動する。同様に、第二Ｘ軸速度制御回路７８は第二Ｘ軸残差速度信号に基づく電流指令値にこのＸ軸加速度補償信号を加算し、これを第二Ｘ軸制御電流として出力し、第二Ｘ軸移動台５４もほぼ上記目標加速度のもとで加減速し、この速度変化においてＸ軸指令位置信号ｘｃによる位置まで移動する。
【０１４６】
同様に、Ｙ軸指令位置信号ｙｃが新たに入力されたり変化したりすると、Ｙ軸フィードフォワード制御回路７９はこの新たなＹ軸指令位置信号ｙｃによる変化量に応じた目標加速度が得られるように駆動力を演算し、これをＹ軸加速度補償信号として出力し、Ｙ軸速度制御回路８０はＹ軸残差速度信号に基づく電流指令値にこのＹ軸加速度補償信号を加算し、これをＹ軸制御電流として出力し、Ｙ軸移動台５６はほぼ上記目標加速度のもとで加減速し、この速度変化においてＹ軸指令位置信号ｙｃによる位置まで移動する。これ以外の動作は実施の形態１８と同様なので説明を省略する。
【０１４７】
このようにフィードフォワード制御を行うことによって、Ｘ軸移動台５３，５４は所望の速度プロファイルにて加減速して移動することになり、Ｘ軸指令位置信号ｘｃの変化に遅れることなく追従して移動することができる。また、このようにＸ軸指令位置信号ｘｃに対する追従性がよくなると当然に実質的な加工精度も向上する。Ｙ軸移動台５６についても同様である。
【０１４８】
また、実施の形態１６では、Ｘ軸指令位置信号ｘｃに上記応答遅れに対応するフィルタ演算を行い、それを二階微分して得られるＹ軸移動台５６の加速度Ａを用いて弾性変形に起因するずれの補正量を求めていたが、この実施の形態ではＸ軸方向においてフィードフォワード制御を行ってその応答遅れは十分に小さくなっているので、Ｙ軸指令位置信号ｙｃを二階微分したαをこのΑの代わりに用いても当該ずれを補正することができる。
【０１４９】
実施の形態２１．
図２６はこの発明の実施の形態２１による移動装置を示すブロック線図である。図において、１０３はＸ軸指令位置信号ｘｃおよびＹ軸規格化位置信号Ｍｐが入力され、Ｙ軸移動台５６がＹ軸ガイドレール５５の中央部（上記Ｍｐで言えば０．５となる位置）に位置するもの（つまり均等負荷）として２つのＸ軸移動台５３，５４の駆動負荷をモデリングし、Ｘ軸指令位置信号ｘｃが変化した際にその変化量に応じた目標加速度が当該モデルにおいて発生するために必要な駆動力を演算し、更にその駆動力に対して下記式７により得られる増幅率Ａ１を乗算し、これを第一Ｘ軸加速度補償信号として出力する第一Ｘ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１０４は第一Ｘ軸残差速度信号とともにこの第一Ｘ軸加速度補償信号が入力され、第一Ｘ軸残差速度信号に基づく電流指令値にこの第一Ｘ軸加速度補償信号を加算し、これを第一Ｘ軸制御電流として出力する第一Ｘ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１０５は推定位置信号とともにＸ軸指令位置信号ｘｃが入力され、Ｘ軸指令位置信号ｘｃからこの位置誤差量を減算し、この減算された値をＸ軸残差位置信号として出力するＸ軸位置減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。
【０１５０】
１０６はＸ軸指令位置信号ｘｃおよびＹ軸規格化位置信号Ｍｐが入力され、Ｙ軸移動台５６がＹ軸ガイドレール５５の中央部（上記Ｍｐで言えば０．５となる位置）に位置するもの（つまり均等負荷）として２つのＸ軸移動台５３，５４の駆動負荷をモデリングし、Ｘ軸指令位置信号ｘｃが変化した際にその変化量に応じた目標加速度が当該モデルにおいて発生するために必要な駆動力を演算し、更にその駆動力に対して下記式８により得られる増幅率Ａ２を乗算し、これを第二Ｘ軸加速度補償信号として出力する第二Ｘ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１０７は第二Ｘ軸残差速度信号とともにこの第二Ｘ軸加速度補償信号が入力され、第二Ｘ軸残差速度信号に基づく電流指令値にこの第二Ｘ軸加速度補償信号を加算し、これを第二Ｘ軸制御電流として出力する第二Ｘ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１０８は推定位置信号とともにＸ軸指令位置信号ｘｃが入力され、Ｘ軸指令位置信号ｘｃからこの位置誤差量を減算し、この減算された値をＸ軸残差位置信号として出力する第二Ｘ軸位置減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。これ以外の構成は図１７や図１８と同様であり説明を省略する。
【０１５１】
Ａ１＝（（Ｍｘ−Ｍｙ）／２＋Ｍｙ×Ｍｐ）／（Ｍｘ／２）・・・式７
Ａ２＝（（Ｍｘ−Ｍｙ）／２＋Ｍｙ×（１−Ｍｐ））／（Ｍｘ／２）・・・式８
【０１５２】
ただし、Ｍｘは第一Ｘ軸移動台５３、第二Ｘ軸移動台５４、Ｙ軸ガイドレール５５、Ｙ軸移動台５６などのＸ軸駆動系が駆動する部材のトータルの質量、ＭｙはＹ軸移動台５６などのＹ軸駆動系が駆動する部材の質量である。なお、これらの式は、Ｙ軸移動台５６の実際の位置に応じた第一Ｘ軸移動台５３および第二Ｘ軸移動台５４の負荷配分を考慮し、この負荷配分に応じてこれら各移動台５３，５４への駆動力を増加／減少させるものであり、これにより負荷のアンバランスに起因してＹ軸ガイドレール５５がＹ軸に対して傾いてしまうことも抑制することができる。
【０１５３】
次に動作について説明する。
Ｘ軸指令位置信号ｘｃが入力されると、第一Ｘ軸フィードフォワード制御回路１０３は、Ｙ軸移動台５６がＹ軸ガイドレール５５の中央部（上記Ｍｐで言えば０．５となる位置）に位置するものとして２つのＸ軸移動台５３，５４の駆動負荷をモデリングし、Ｘ軸指令位置信号ｘｃが変化した際にその変化量に応じた目標加速度が当該モデルにおいて発生するために必要な駆動力を演算し、更にその駆動力に対して上記式７により得られる増幅率Ａ１を乗算して第一Ｘ軸加速度補償信号を出力する。第一Ｘ軸速度制御回路１０４は第一Ｘ軸残差速度信号に基づく電流指令値にこの第一Ｘ軸加速度補償信号を加算し、これを第一Ｘ軸制御電流として出力する。従って、第一Ｘ軸移動台５３はほぼ上記目標加速度において加減速し、この速度変化のもとでＸ軸指令位置信号ｘｃによる位置まで移動する。第二Ｘ軸フィードフォワード制御回路１０６や第二Ｘ軸速度制御回路１０７の動作、ならびに、Ｙ軸フィードフォワード制御回路７９やＹ軸速度制御回路８０の動作も同様である。これ以外の動作は実施の形態１４と同様であり説明を省略する。
【０１５４】
以上のように、この実施の形態２１によれば、Ｙ軸移動台５６の位置に応じた補正電流を各Ｘ軸移動台５３，５４へ供給する移動制御電流に加えるので、Ｘ軸方向に移動させる際の負荷となる一対の第一Ｘ軸移動台５３や第二Ｘ軸移動台５４などからなる被駆動物体の重心がＹ軸移動台５６の移動により変化したりしたとしても、それに起因する負荷バランス誤差を補正するように電流を補正し、各Ｘ軸移動台５３，５４の駆動力を最適化することができ、Ｙ軸ガイドレール５５のＹ軸に対する傾きの発生を抑制することができる。
【０１５５】
従って、被加工物に対する工具５８の移動軌跡などが当該多軸制御において予定していたものに対してずれてしまうことを抑制して、加工精度の低下などを効果的に抑制することができ、所謂タンデム機構を用いた場合であって高速に工具などを移動させるような場合であったとしても、このような負荷バランス誤差に起因する加工精度の低下を抑制することができるので高精度化を図ることができる。つまり、所謂タンデム機構による駆動系の利点を生かして工具５８などの被駆動物体の移動軌跡の精度を向上させ、これにより高速化と高精度化とを従来には得られなかった高いレベルにて両立させることができる効果がある。
【０１５６】
実施の形態２２．
図２７はこの発明の実施の形態２２による移動装置を示すブロック線図である。図において、１０９はＹ軸指令位置信号が入力され、このＹ軸指令位置信号ｙｃに基づいて予測Ｙ軸規格化位置信号を出力する規格化回路（予測手段）、１１０はＸ軸指令位置信号ｘｃおよび予測Ｙ軸規格化位置信号が入力され、Ｙ軸移動台５６がＹ軸ガイドレール５５の中央部（上記Ｍｐで言えば０．５となる位置）に位置するもの（つまり均等負荷）として駆動力を演算し、更にその駆動力に対して上記式７により得られる増幅率Ａ１を乗算して、これを第一Ｘ軸加速度補償信号として出力する第一Ｘ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１１１はＸ軸指令位置信号ｘｃおよび予測Ｙ軸規格化位置信号が入力され、Ｙ軸移動台５６がＹ軸ガイドレール５５の中央部（上記Ｍｐで言えば０．５となる位置）に位置するもの（つまり均等負荷）として駆動力を演算し、更にその駆動力に対して上記式８により得られる増幅率Ａ２を乗算して、これを第二Ｘ軸加速度補償信号として出力する第二Ｘ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）である。これ以外の構成は実施の形態２１と同様であり説明を省略する。
【０１５７】
次に動作について説明する。
Ｙ軸指令位置信号ｙｃが入力されると、規格化回路１０９はこのＹ軸指令位置信号ｙｃに基づく予測Ｙ軸規格化位置信号を出力し、第一Ｘ軸フィードフォワード制御回路１１０および第二Ｘ軸フィードフォワード制御回路１１１はＹ軸移動台５６がＹ軸ガイドレール５５の中央部に位置する条件のもとでＸ軸指令位置信号ｘｃに応じた駆動力を演算し、更にそれぞれの負荷配分に応じた増幅率Ａ１，Ａ２でこれを補正して第一Ｘ軸加速度補償信号あるいは第二Ｘ軸加速度補償信号として出力する。
【０１５８】
そして、第一Ｘ軸速度制御回路１０４はこの第一Ｘ軸加速度補償信号の分だけ電流値を増加させ、第二Ｘ軸速度制御回路１０７はこの第二Ｘ軸加速度補償信号の分だけ電流値を増加させるので、第一Ｘ軸移動台５３と第二Ｘ軸移動台５４はそれぞれの負荷配分に応じた分だけ電流指令値が余分に大きく供給されることになり、Ｙ軸移動台５６がＹ軸ガイドレール５５の中央部以外の位置にあったとしてもそれに応じた最適な駆動力をバランスよく供給することができる。
【０１５９】
なお、この実施の形態２２では、Ｙ軸駆動系においてもＹ軸フィードフォワード制御回路７９を設けて指令に対する応答遅れを抑制しているので、フィルタ回路などを介することなくＹ軸指令位置信号ｙｃに基づいて予測Ｙ軸規格化位置信号を生成することができる。
【０１６０】
実施の形態２３．
図２８はこの発明の実施の形態２３による移動装置を示すブロック線図である。図において、各部は図１８および図２６の組み合わせなので同一の符号を付して説明を省略する。また、動作も実施の形態１４と実施の形態２１との組み合わせであり説明を省略する。
【０１６１】
そして、このような構成であれば、Ｙ軸移動台５６のＸ軸方向の移動に応答遅れが生じてしまうことはなく、しかも、その移動速度などに応じてＹ軸ガイドレール５５が撓んでしまったとしてもそれによりずれを抑制することができ、Ｙ軸移動台５６のＸ軸方向の移動を高精度に制御することができる。
【０１６２】
なお、以上の実施の形態では、Ｙ軸ガイドレール５５の傾きや撓み、Ｙ軸移動台５６のＹ軸方向の位置の誤差に起因する当該Ｙ軸移動台５６のＸ軸方向の位置ずれをＸ軸駆動系にて補正する例について説明したが、ＮＣ加工装置のような自動工作機械などにおいてはこのＹ軸移動台５６上に取り付けられる工具のＺ軸に対する倒れやずれ、あるいはＹ軸ガイドレール５５のねじれなどが生じてしまう場合があるので、これらに起因する加工工具の被加工物に対するずれもＸ軸駆動系にて補正することができる。具体的には例えば、Ｙ軸ガイドレール５５のねじれによる工具の倒れ量を、工具のＺ軸方向の位置ｚもしくはそれに相当する信号（たとえばＺ軸指令位置信号）と、工具のＹ軸方向の位置ｙもしくはそれに相当する信号（たとえばＹ軸指令位置信号）とを用いて推定し、この推定された工具の倒れ量に基づいてＸ軸方向のずれ量を推定し、これを例えばＸ軸指令位置信号ｘｃに加算するように構成すればよい。これにより更に加工精度を高精度化することができる。また、例えば下記式９を用いればこのずれ量Δｘを推定することもできる。同式では、Ｘ軸駆動系およびＹ軸駆動系でともにフィードフォワード制御を行っており、この両方の駆動系において発生する遅れは共に同等に小さくなることを前提として近似している式である。但し、αはＹ軸指令位置信号ｙｃを二階微分したものである。
【０１６３】
Δｘ  ＝  （ｘ１×ｋ１＋ｘ２×ｋ２−Ｍ×α）／（ｋ１＋ｋ２）
−｛ｘ１×Ｍｐ＋ｘ２×（１−Ｍｐ）｝        ・・・式９
【０１６４】
なお、以上の実施の形態では、２軸の直動駆動系のみからなる機構、２軸の直動駆動系と１つの回転駆動系とからなる機構、２軸の直動駆動系のみからなるとともにその一方がタンデム駆動系である機構の３つのパターンを例に説明したが、本願発明が適用できる機構はこれに制限されるものではなく、他にも例えば３軸の直動駆動系と２つの回転駆動系とを組み合わせた機構であっても適用することができる。また、そのような例である場合には各駆動系は最大でその他の４つの駆動系の現在位置情報を用いて補正することができる。
【０１６５】
また、以上の実施の形態では、直動駆動系の構成として、ガイドレールとそのガイドレール上に取り付けられた移動台との組み合わせを例に説明したが、他にもボールネジとこのボールネジに取り付けられた移動台との組み合わせなどであっても本願発明は適用することができる。
【０１６６】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、略長尺棒形状に形成されるとともに互いに同一のＸ軸方向に沿って配設された一対の第１及び第２ガイド部材と、上記第１及び第２ガイド部材に対してそれぞれの長尺方向に移動可能に配設される一対の第１及び第２移動台と、上記一対の第１及び第２移動台それぞれに対して設けられ、上記第１及び第２それぞれの移動台の上記第１及び第２ガイド部材に対する位置を制御する一対の第１及び第２直動駆動力発生部材と、個別位置指令に基づいて上記第１及び第２直動駆動力発生部材を制御する個別直動制御本体とからなる第１及び第２直動駆動系と、上記第１及び第２直動駆動系の上記第１及び第２移動台の間に直接固定され、Ｙ軸方向に沿って配設された略長尺棒形状の第３ガイド部材と、上記第３ガイド部材に対して当該長尺方向に移動可能に配設された第３移動台と、上記第３移動台の上記第３ガイド部材に対する位置を制御する第３直動駆動力発生部材と、個別位置指令に基づいて上記第３直動駆動力発生部材を制御する個別直動制御本体とからなる第３直動駆動系とを備え、上記第１及び第２直動駆動系の一対の第１及び第２移動台間の位置ずれに基づく上記第３直動駆動系の上記第３ガイド部材の傾きおよび上記第３直動駆動系の上記第３ガイド部材上の上記第３直動駆動系の第３移動台の位置に関する情報から判定されるずれ量、並びに、上記第３直動駆動系の第３移動台の位置に関する情報および上記第１及び第２直動駆動系の第１及び第２移動台の加速度から判定される弾性変形量に基づいて補正量を決定し、上記補正量にて個別駆動指令に基づく上記第１及び第２直動駆動系の上記第１及び第２移動台の動きを補正することを特徴とする工具と被加工物との相対位置を多軸機構にて移動させるようにしたので、他の座標系の位置に応じて定常的に発生する当該軸方向の固定的なずれ、ならびに、他の座標系の位置および移動速度などに応じて変化する当該軸方向の動的なずれを補正することができ、高精度に補正することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施の形態１によるＮＣ加工装置に用いられる移動装置の機構部分の構成を示す斜視図である。
【図２】  この発明の実施の形態１による移動装置を示すブロック線図である。
【図３】  この発明の実施の形態２による移動装置を示すブロック線図である。
【図４】  この発明の実施の形態３による移動装置を示すブロック線図である。
【図５】  この発明の実施の形態４による移動装置を示すブロック線図である。
【図６】  この発明の実施の形態５による移動装置を示すブロック線図である。
【図７】  この発明の実施の形態６による移動装置を示すブロック線図である。
【図８】  この発明の実施の形態７によるＮＣ加工装置に用いられる移動装置の機構部分の構成を示す斜視図である。
【図９】  この発明の実施の形態７による移動装置を示すブロック線図である。
【図１０】  この発明の実施の形態８による移動装置を示すブロック線図である。
【図１１】  この発明の実施の形態９による移動装置を示すブロック線図である。
【図１２】  この発明の実施の形態１０による移動装置を示すブロック線図である。
【図１３】  この発明の実施の形態１１によるＮＣ加工装置に用いられる移動装置の機構部分の構成を示す斜視図である。
【図１４】  この発明の実施の形態１１による移動装置を示すブロック線図である。
【図１５】  この発明の実施の形態１１による効果を説明するための説明図である。
【図１６】  この発明の実施の形態１２による移動装置を示すブロック線図である。
【図１７】  この発明の実施の形態１３による移動装置を示すブロック線図である。
【図１８】  この発明の実施の形態１４による移動装置を示すブロック線図である。
【図１９】  この発明の実施の形態１４によるＸ軸弾性変形補正回路８２の補正動作を説明するための説明図である。
【図２０】  この発明の実施の形態１５による移動装置を示すブロック線図である。
【図２１】  この発明の実施の形態１６による移動装置を示すブロック線図である。
【図２２】  この発明の実施の形態１７による移動装置を示すブロック線図である。
【図２３】  この発明の実施の形態１８による移動装置を示すブロック線図である。
【図２４】  この発明の実施の形態１９による移動装置を示すブロック線図である。
【図２５】  この発明の実施の形態２０による移動装置を示すブロック線図である。
【図２６】  この発明の実施の形態２１による移動装置を示すブロック線図である。
【図２７】  この発明の実施の形態２２による移動装置を示すブロック線図である。
【図２８】  この発明の実施の形態２３による移動装置を示すブロック線図である。
【図２９】  ＮＣ加工装置に用いられている従来の移動装置の構成を示す構成概念図である。
【図３０】  この従来の移動装置の制御系を示すブロック線図である。
【図３１】  従来の他の移動装置の機構部分の構成を示す斜視図である。
【図３２】  従来の他の移動装置の制御系の一例を示すブロック線図である。
【符号の説明】
１  Ｘ軸ガイドレール（ガイド部材、基準部材）、２  Ｘ軸移動台（移動台、可動部材、駆動力発生部材、直動駆動力発生部材、検出手段）、３  Ｙ軸ガイドレール（ガイド部材、基準部材）、４  Ｙ軸移動台（移動台、可動部材、駆動力発生部材、直動駆動力発生部材、検出手段）、５  工具固定部、６  工具、７  Ｙ軸位置減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、８  Ｙ軸位置制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、９  Ｙ軸微分回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１０  Ｙ軸速度減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１１  Ｙ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１２  Ｘ軸誤差補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１３  Ｘ軸加算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１４  Ｘ軸位置減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１５  Ｘ軸位置制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１６  Ｘ軸微分回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１７  Ｘ軸速度減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１８  Ｘ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１９  Ｘ軸誤差補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、２０  Ｙ軸フィルタ回路（予測手段）、２１  Ｙ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、２２  Ｙ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、２３  Ｘ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、２４  Ｘ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、２５  Ｘ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、２６  Ｙ軸誤差補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、２７  Ｙ軸加算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、２８  Ｚ軸基台（基準部材、固定基台）、２９  Ｚ軸可動部材（可動部材、回動部材）、３０Ｚ軸姿勢減算回路（個別制御本体、個別回動制御本体）、３１  Ｚ軸姿勢制御回路（個別制御本体、個別回動制御本体）、３２  Ｚ軸微分回路（個別制御本体、個別回動制御本体）、３３  Ｚ軸角速度減算回路（個別制御本体、個別回動制御本体）、３４  Ｚ軸角速度制御回路（個別制御本体、個別回動制御本体）、３５  Ｙ軸誤差補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、３６  Ｙ軸加算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、３７  Ｘ軸誤差補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、３８  Ｚ軸フィルタ回路（個別制御本体、個別回動制御本体）、３９  Ｙ軸誤差補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、４０Ｙ軸フィルタ回路（予測手段）、４１  Ｘ軸誤差補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、４２  Ｚ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別回動制御本体）、４３  Ｚ軸角速度制御回路（個別制御本体、個別回動制御本体）、４４  Ｙ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、４５  Ｘ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、５１，５２  Ｘ軸ガイドレール（基準部材、ガイド部材）、５３，５４  Ｘ軸移動台（可動部材、移動台、駆動力発生部材、直動駆動力発生部材、検出手段）、５５  Ｙ軸ガイドレール（基準部材、ガイド部材）、５６  Ｙ軸移動台（可動部材、移動台、駆動力発生部��、直動駆動力発生部材、検出手段）、５７  工具固定部、５８  工具、５９  Ｘ軸工具位置推定回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、６０  Ｘ軸位置減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、６１  第一Ｘ軸位置制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、６２  第一Ｘ軸微分回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、６３  第一Ｘ軸速度減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、６４  第一Ｘ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、６５  第二Ｘ軸微分回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、６６  第二Ｘ軸速度減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、６７  第二Ｘ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、６８  Ｙ軸位置減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、６９  Ｙ軸位置制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、７０  Ｙ軸微分回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、７１  Ｙ軸速度減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、７２  Ｙ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、７３  Ｙ軸フィルタ回路（予測手段）、７４  Ｙ軸規格化回路（予測手段）、７５  Ｘ軸工具位置推定回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、７６  Ｘ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、７７  第一Ｘ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、７８  第二Ｘ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、７９  Ｙ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、８０  Ｙ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、８２  Ｘ軸弾性変形補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、８３  第一Ｘ軸加算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、８４  第一Ｘ軸位置減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、８５  第一Ｘ軸位置制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、８６  第二Ｘ軸加算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、８７  第二Ｘ軸位置減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、８８  第二Ｘ軸位置制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、９２  フィルタ回路（予測手段）、９３  規格化回路（予測手段）、９４  Ｘ軸弾性変形補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、９５  Ｘ軸弾性変形補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、９６  Ｘ軸加算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、９７  Ｘ軸位置減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、９８  第二フィルタ回路（予測手段）、９９  第二規格化回路（予測手段）、１００  Ｘ軸弾性変形補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１０１  Ｘ軸弾性変形補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１０２  Ｘ軸弾性変形補正回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１０３  第一Ｘ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１０４  第一Ｘ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１０５Ｘ軸位置減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１０６  第二Ｘ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１０７  第二Ｘ軸速度制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１０８  第二Ｘ軸位置減算回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１０９  規格化��路（予測手段）、１１０  第一Ｘ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）、１１１  第二Ｘ軸フィードフォワード制御回路（個別制御本体、個別直動制御本体）。
【図１】
0004137321.tif 000002
【図２】
0004137321.tif 000003
【図３】
0004137321.tif 000004
【図４】
0004137321.tif 000005
【図５】
0004137321.tif 000006
【図６】
0004137321.tif 000007
【図７】
0004137321.tif 000008
【図８】
0004137321.tif 000009
【図９】
0004137321.tif 000010
【図１０】
0004137321.tif 000011
【図１１】
0004137321.tif 000012
【図１２】
0004137321.tif 000013
【図１３】
0004137321.tif 000014
【図１４】
0004137321.tif 000015
【図１５】
0004137321.tif 000016
【図１６】
0004137321.tif 000017
【図１７】
0004137321.tif 000018
【図１８】
0004137321.tif 000019
【図１９】
0004137321.tif 000020
【図２０】
0004137321.tif 000021
【図２１】
0004137321.tif 000022
【図２２】
0004137321.tif 000023
【図２３】
0004137321.tif 000024
【図２４】
0004137321.tif 000025
【図２５】
0004137321.tif 000026
【図２６】
0004137321.tif 000027
【図２７】
0004137321.tif 000028
【図２８】
0004137321.tif 000029
【図２９】
0004137321.tif 000030
【図３０】
0004137321.tif 000031
【図３１】
0004137321.tif 000032
【図３２】
0004137321.tif 000033