(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク駆動装置であって：
基板と；
前記基板に回転可能に取り付けたディスクであって、該ディスクの上に第１硬度を有するオーバコート材料を含む前記ディスクと；
空気ベアリング面を備えるスライダを有するアクチュエータであって、前記空気ベアリング面が前記ディスクに近接して配置された、前記第１硬度より大きい第２硬度の面を有する少なくとも１つのスライダ一体パッドを備え、前記第２硬度がダイヤモンド状カーボンの関連する硬度より大きいアクチュエータとを含み、
前記スライダ一体パッドが
ＳｉＣで形成したスライダ一体パッドからなる第１群；および
ダイヤモンド状カーボンで形成したスライダ一体パッドからなる第２群からなり、
前記スライダが前縁および後縁を更に含み、前記スライダ一体パッドからなる第１群の少なくとも１つのスライダ一体パッドが前記スライダの前記後縁近くで前記スライダの中央に位置する
ディスク駆動装置。
【請求項２】
前記少なくとも１つのスライダ一体パッドをＳｉＣで形成した、請求項１に記載されたディスク駆動装置。
【請求項３】
前記スライダが前縁および後縁を更に含み、前記少なくとも１つのスライダ一体パッドが前記スライダの後縁近くに位置する、請求項２に記載されたディスク駆動装置。
【請求項４】
ＳｉＣで形成したスライダ一体パッドからなる少なくとも１つの群が存在する、請求項２に記載されたディスク駆動装置。
【請求項５】
前記少なくとも１つのスライダ一体パッドがＳｉＣで形成され、および前記ディスク上のオーバコートは、前記ディスクの表面上にスパッタしたカーボンが施されている、請求項１に記載されたディスク駆動装置。
【請求項６】
前記少なくとも１つのスライダ一体パッドがＳｉＣで形成され、および前記ディスク上のオーバコートは、バイアス電圧が存在する前記ディスクの表面上に蒸着したカーボンが施してある、請求項１に記載されたディスク駆動装置。
【請求項７】
境界面と界接するようになっているディスク駆動装置用スライダであって：
前縁；
後縁；
前記スライダの前縁と後縁の間に位置する空気ベアリング面；および
複数のスライダ一体パッドであって、少なくともその幾つかが、ダイヤモンド状カーボンの関連する硬度より大きく且つ前記境界面の硬度より大きい硬度の面を有する前記パッドを含み、
前記スライダ一体パッドが、
ＳｉＣで形成したスライダ一体パッドからなる第１群；および
ダイヤモンド状カーボンで形成したスライダ一体パッドからなる第２群からなり、
前記スライダ一体パッドからなる第１群の少なくとも１つのスライダ一体パッドが前記スライダの前記後縁近くで前記スライダの中央に位置する
スライダ。
【請求項８】
前記スライダ一体パッドが全て前記境界面の硬度より大きい硬度を有する、請求項７に記載されたスライダ。
【請求項９】
前記境界面の硬度より大きい硬度を有する前記スライダ一体パッドをＳｉＣで形成した、請求項７に記載されたスライダ。
【請求項１０】
前縁、後縁、および空気ベアリング面を有するスライダを形成する方法であって：
(ａ)  ＳｉＣで形成した第１組のスライダ一体パッドを形成する段階；および
(ｂ)  ダイヤモンド状カーボンで形成した第２組のスライダ一体パッドを形成する段階を含み、
前記第１組のスライダ一体パッドを前記スライダの前記後縁近くで前記スライダの中央に形成する方法。
【請求項１１】
前記形成段階（ａ）が更に：
（ａ）（ｉ）  前記第１組のスライダ一体パッドを形成するための開口の配列を含むマスクを形成する段階；および
（ａ）（ｉｉ）  材料を前記マスク上および前記マスクの開口を通して蒸着して前記第１組のスライダ一体パッドを形成する段階を含む、請求項１０に記載された方法。
【請求項１２】
前記形成段階（ｂ）が更に：
（ｂ）（ｉ）  前記第２組のスライダ一体パッドを形成するための開口の配列を含むマスクを形成し、前記マスクが前記第１スライダ一体パッドを覆う段階；および
（ｂ）（ｉｉ）  材料を前記マスク上および前記マスクの開口を通して蒸着して前記第２組のスライダ一体パッドを形成する段階を含む、請求項１１に記載された方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（関連出願）
この出願は、米国連邦法規集第３５巻特許法第１１９条（ｅ）の下で１９９９年８月２７日に提出した米国特許仮出願第６０／１５１，０２７号の恩恵(benefit)を主張する。
【０００２】
（発明の分野）
本発明は、大容量記憶装置の分野に関する。更に詳しくは、この発明は、高摩耗材料パッド(high wear material)を備える空気ベアリング面(Air Bearing Surface)を有するスライダおよびその製造方法に関する。
【０００３】
（発明の背景）
あらゆるコンピュータシステムの一つの重要な構成要素は、データを記憶するための装置である。コンピュータシステムは、データを記憶できる多くの異なる場所を有する。コンピュータシステムで大量のデータを記憶するための１つの普通の場所は、ディスク駆動装置上である。ディスク駆動装置の最も基本的部品は、回転する情報記憶ディスク、変換器をディスク上の種々の位置へ動かすアクチュエータ、およびディスクにデータを読み書きするために使う電気回路装置である。ディスク駆動装置は、データをディスク表面からうまく検索しおよび書込めるように、データをコード化するための回路装置も含む。マイクプロセッサが、データを要求コンピュータへ戻すことおよびデータをディスクに記憶するために要求コンピュータから取出すことは勿論、ディスク駆動装置の大抵の動作を制御する。
【０００４】
変換器は、典型的には、ディスク上を浮上するように空力的に設計した、スライダとも呼ぶ、小さなセラミックブロック上に置いてある。大抵のスライダは、レールおよびレール間の空洞を含む空気ベアリング面（“ＡＢＳ”）を有する。ディスクが回転するとき、レールとディスクの表面の間に空気を引込んで圧力を生じ、それがヘッドをディスクから押し離す。同時に、空気ベアリング面の空洞またはくぼみを勢いよく通過する空気が負圧領域を作る。負圧または吸引力がレールに生じた圧力を相殺する。スライダは、該スライダにディスク表面の方に向いた力を生ずる負荷ばねにも取り付けてある。これらの種々の力は、スライダがディスク表面上を特定の所望の浮上高さ(flying height)で浮上するように釣合う。浮上高さは、ディスク表面と変換器ヘッドの間の距離であり、それは典型的には空気潤滑被膜の厚さである。被膜は、ディスク回転中、変換ヘッドとディスクが機械的に接触していたら起るであろう摩擦およびその結果の摩耗を除去する。あるディスク駆動装置では、スライダがディスク表面上を浮上するのではなく、潤滑剤層を通過する。
【０００５】
データを表す情報を記憶ディスクの表面上に記憶する。ディスク駆動装置が、記憶ディスク上のトラックに記憶した情報を読み書きする。記憶ディスクの両側にある、スライダに取り付けた読み／書きヘッドの形の変換器は、これらの変換器を記憶ディスクの表面上の指定トラックの１つの上に正確に配置するとき、これらの記憶ディスク上の情報を読み書きする。変換器は、目標トラックへ動かすべきであるとも言われる。記憶ディスクを回転し、読み／書きヘッドを目標トラック上に正確に配置すると、読み／書きヘッドは、データを表す情報を記憶ディスク上に書込むことによって、データをトラック上に記憶できる。同様に、記憶ディスク上のデータの読取りは、読み／書きヘッドを目標トラック上に配置して記憶ディスク上に記憶した材料を読み取ることによって達成する。異なるトラックに読み書きするためは、読み／書きヘッドをこれらのトラックを横切って選択した目標トラックへ半径方向に動かす。
【０００６】
一般的に、ディスク駆動装置は、２つの方法でシャットダウンする。第１の種類のディスク駆動装置では、アクチュエータアームの一部を傾斜路(ramp)へ降ろし、それは次にディスク駆動装置が停止するとき、スライダがディスクと接触するのを防ぐ。この種のディスク駆動装置は、傾斜路積み／降ろしディスク駆動装置である。他の種類のディスク駆動装置は、接触始動および停止（ＣＳＳ）ディスク駆動装置である。ＣＳＳディスク駆動装置では、ディスク駆動装置が非使用中になると、スライダは、ディスク表面上、典型的にはデータトラックから離れた、ディスクの内径または外径に配置した降着区域上に載るようになる。駆動装置作動開始時、スピンドルモータは、スライダとディスクの表面の間の静止摩擦(static friction)（磁気記録業界ではスティクション(stiction)としても知られている）に打ち克つに十分な力を出さねばならない。ディスクが全動作速度に回転してから、スライダがディスク表面から離れてディスク表面上を浮動してデータトラック上の情報を読み書きする。接触始動／停止機能性は、各ＣＳＳサイクルでスティクションを測定して多くのサイクルの間反復始動および停止モードを行うように駆動装置を作動する、接触始動／停止試験法を使って屡々評価する。
【０００７】
ディスク駆動装置の作動中のディスクとスライダおよび含まれる変換ヘッドとの間の浮上高さは、高記録密度を達成するために最近数年間にかなり減少している。従って、ディスク駆動装置の浮上高さでの動作中にヘッド／ディスク接触が殆どまたは全くないことを保証するために、ディスク表面を非常に滑らかな仕上げに作ることが必要であることが分った。しかし、滑らかなディスク表面は、特にヘッド／ディスク境界面に液体が存在すると、高スティクションを誘起する。従って、磁気記録業界では、ディスク駆動装置の接触始動および停止動作中スティクションを低減するためにディスク表面を粗すかテクスチャを付ける(texturing)のが普通のやり方である。表面テクスチャ付け(surface texturing)の最適化がディスク駆動装置製造で重要技術になっている。
【０００８】
更なる技術傾向は、区域テクスチャ付けしたディスクを使うことである。区域テクスチャ付けしたディスクでは、降着区域（駆動装置が休止するときスライダが載る場所）をレーザまたはその他の機械的手段によってテクスチャ付けする。しかし、データ区域（ヘッドが浮動高さで情報を読み書きするデータトラックがある）は、テクスチャ付けしてないか、または駆動装置動作中ヘッド／ディスク接触を減らすために僅かにテクスチャ付けしてある。手法は、接触停止および始動中に直面するスティクションを減らしながら、高記録密度用の低ヘッド／ディスク間隔を達成するために、ＣＳＳ降着区域とデータ区域の各々の別々の最適化を可能にする。しかし、駆動装置に区域テクスチャ付けしたディスクを使うときは、駆動装置組立中にヘッドがデータ区域内のディスク表面と接触するのを避けるために、ある特別の手順を採用すべきである。また、アクチュエータは、輸送中および駆動装置を止めた後に、ヘッドがデータ区域内のディスク表面と接触するのを防ぐために、十分な掛止力(latch force)を備えねばならない。もし、接触が起ると、滑らかなデータ区域内のヘッド／ディスク境界面での高スティクションが駆動装置の始動を妨げる。ある場合には、ディスク駆動装置を始動しようとすることがスライダをディスク駆動装置のアクチュエータアームから外す結果となる。
【０００９】
磁気抵抗（ＭＲ）ヘッドをディスク駆動装置に導入すると、読取り素子および書込み素子の腐食を保護するために、カーボンオーバコート(carbon overcoat)の層がスライダ表面に屡々付けられる。スライダ表面上のカーボンオーバコートの副次的利益の1つは、ヘッド／ディスク境界面でのスティクションをかなり減じることである。しかし、カーボンオーバコートの主な欠点は、有効ヘッド／ディスク間隔もこのカーボンオーバコートの厚さに等しい量だけ増すことである。それで、ヘッド／ディスク磁気間隔要件と最適ヘッド／ディスク境界面設計のためのスティクション要件の間に妥協がある。
【００１０】
常に高記録密度を達成するためには、非常に滑らかなディスク表面を使用すべきであり、スライダ表面上にカーボンオーバコートの厚さは、最小量に減らすべきである。前記の目的を達成するためには、２つの重要な問題：滑らかなディスクを使用するときのヘッド／ディスク境界面での低スティクションおよびＭＲヘッドを使用するときの読み／書き素子の環境腐食からの保護を解決しなければならない。
【００１１】
先行技術で提案した一つの解決策は、“平滑面ディスク用スティクション無スライダ”（ＩＥＥＥ磁気学部会会報３１巻６号１９９５年１１月）に記載してある。このＩＥＥＥの論文は、３つの分離し且つ孤立した円筒形カーボンオーバコートパッドを有するスライダを説明している。これらのパッドの１つは、スライダの一端の中央に作ってあり、および他の２つのパッドは、スライダの他端に、相互から離して作ってあり、各パッドがスライダの側縁に１つに近接している。このＩＥＥＥの論文は、ディスク駆動装置に平滑面ディスクを使用するとき、これらの３つの孤立したパッドがヘッド／ディスク境界面でのスティクションを減じると記述している。しかし、このＩＥＥＥの論文に記載してある３つの、孤立したパッド装置は、幾つかの欠点を有する。
【００１２】
第１に、パッドの有効性がスライダの断面配向（クラウン、反りおよび捻れ）に依存する。実際の製造環境で典型的に直面する、広範囲のスライダ断面に対しては、パッド位置以外のスライダ部分がディスク表面と接触するかもしれない。その場合、ヘッド／ディスク境界面でのスティクションが非常に高くなるだろう。第２に、一旦パッドの１つがすり減るか不良になると、ヘッド／ディスク境界面の予備支持体がない。最後に、レーザ区域テクスチャ付けしたディスクに対しては、ディスク表面が個別の表面テクスチャを有し、それでわずかしか離れない、孤立したパッドを使っても、スライダのパッド位置だけのヘッド／ディスク接触にはならない。
【００１３】
もう一つの解決策は、多数のカーボンオーバコートパッドまたは隆起を設けることであった。カーボンオーバコートが、スライダ表面の全域で離間し且つＡＢＳ表面の小さい個別領域を含む個々のカーボンオーバコート隆起の配列(array)でＡＢＳ表面に付けてある。この技術をＳＬＩＰ（スライダ一体パッド）と呼ぶ。一般的に、このカーボンオーバコート隆起の全表面積は、スライダの全表面積の約１％ないし約１５％に等しい。各カーボンオーバコート隆起の厚さは、１つ以上のカーボンオーバコート隆起がある場所だけでヘッド／ディスク接触が起ることを保証するに十分であるが、スライダの浮上特性に殆ど影響しないように十分に薄い。ＳＬＩＰを使うと、ヘッド／ディスク境界面の接触面積がヘッド／ディスク境界面でスティクションを減らすためにカーボンオーバコート隆起の配列がもたらす全面積の１％ないし１５％に限定される。
【００１４】
カーボンオーバコート型スライダ一体パッド(carbon overcoat type slider)を使うことには、幾つかの難点がある。これらの難点の中には、ダイヤモンド状カーボンのようなカーボンで作ったスライダ一体パッドが時が経つとまたはディスク駆動装置の寿命を通じて摩耗することがある。スティクションの根本原因は、スライダまたはヘッドの後傾である。過度のパッド摩耗がこの後傾問題を悪化する。その上、スライダに収容した変換器とディスクの間の間隙がディスク駆動装置の寿命中に変化する。現在、ディスクは、スライダ一体パッドより硬いかもしれない、比較的硬いカーボンオーバコートを備えるかもしれない。これが過度のパッド摩耗および後傾およびスティクションに繋がるかもしれない。
【００１５】
現在のＳＬＩＰ設計では、パッドをイオンビーム蒸着によってダイヤモンド状カーボン（ＤＬＣ）で作る。典型的な硬度が２５ＧＰａで、ＤＬＣパッドは、硬度がスパッタカーボンの約１０ＧＰａからイオンビームカーボンの約１４ＧＰａに亘る媒体上のカーボンオーバコートより実際に硬い。しかし、ＳＬＩＰヘッドの全パッド面積は１０，０００μｍ2未満であるので、それは、パッド摩耗を反復接触始動−停止動作後５０Å以下に限定という目標を満たす、浅いＬＺＴありまたはなしの、ディスク設計への挑戦を常に表す。腐食問題を予防する際にスパッタカーボンより優れたイオンビームカーボンで被覆した媒体に対しては、パッド摩耗が、一部そのＤＬＣ状硬度のために、特に厳しい。高媒体オーバコート硬度が接触始動−停止試験で実質的パッド摩耗加速に繋がる。
【００１６】
カーボンの硬度は、あるプロセスで制御することができる。イオンビーム蒸着では、イオンビーム蒸着のプロセス中にバイアス電圧を増すことによって硬いカーボンを形成する。言換えれば、バイアス電圧が高ければ高い程、できたスライダ一体パッドの硬度は高い。しかし、硬いカーボンのパッドは、硬くないカーボンのパッドより多く摩耗するので、硬いカーボンのパッドを作ることが解決策ではない。例えば、バイアス電圧約１２０Ｖで作ったスライダ一体パッドは、約１０，０００始動停止サイクル後２００Å以上摩耗する。それに反して、バイアス電圧約０Ｖで形成したスライダ一体パッドは、約１０，０００始動停止サイクル後約５０Å以上摩耗する。従って、硬いカーボンのスライダ一体パッドが他のカーボンスライダ一体パッドより多く摩耗する傾向があるので、単に硬いカーボンのスライダ一体パッドを形成することが解決策ではない。
【００１７】
必要なものは、スライダ一体パッドが時間が経って摩耗してもスライダが後傾するのを防ぐスライダ一体パッドを含む、空気ベアリング面を有するスライダである。やはり必要なものは、スティクション問題を予防するスライダ一体パッドを有するスライダである。その上更に、必要なものは、ディスク駆動装置の寿命を通じて磁気変換器とディスクの間のより安定した間隙(gap)距離を有するスライダである。
【００１８】
（発明の概要）
ディスク駆動装置が基板および該基板に回転可能に取り付けたディスクを含む。ディスクは、ディスク上にオーバコート材料を含む。オーバコート材料は、第１硬度を有する。ディスク駆動装置は、空気ベアリング面を備えるスライダを有するアクチュエータも含む。空気ベアリング面は、第１硬度より大きい第２硬度を有する、少なくとも１つのスライダ一体パッドを備える。一実施例で、少なくとも１つのスライダ一体パッドは、ＳｉＣで形成してある。スライダは、更に前縁および後縁を含む。少なくとも一つのスライダ一体パッドは、スライダの後縁近くに位置する。ＳｉＣで形成したスライダ一体パッドからなる少なくとも１つの群であってよい。第１群のスライダ一体パッドがＳｉＣで形成してあり、第２群のスライダ一体パッドがダイヤモンド状カーボンで形成してある。第１群のスライダ一体パッドは、スライダの後縁近くに位置する。少なくとも１つのスライダ一体パッドは、ＳｉＣで形成してあり、ディスク上のオーバコートは、ディスクの表面上にスパッタしたカーボンを施してある。オーバコートは、バイアス電圧が存在するディスクの表面上に蒸着したカーボンをも施してよい。
【００１９】
ディスク駆動装置用のスライダは、特定の硬度を有する境界面と界接するようになっている。スライダは、前縁、後縁、該スライダの前縁と後縁の間に位置する空気ベアリング面を含む。その上、複数のスライダ一体パッドが空気ベアリング面上に配置してあり、これらのスライダ一体パッドの少なくとも幾つかは、境界面の硬度より大きい硬度を有する。境界面の硬度より大きい硬度を有するスライダ一体パッドは、スライダの後縁近くに位置する。スライダの後縁近くに位置する、これらのスライダ一体パッドは、硬くないスライダ一体パッドより摩耗しない。これらのスライダ一体パッドは、境界面の硬度より大きい硬度を有する。これらのスライダ一体パッドは、ＳｉＣで形成してある。
【００２０】
その上、前縁、後縁、および空気ベアリング面を有するスライダを形成する方法は、第１硬度を有する第１組のスライダ一体パッドを形成する段階、およびこの第１硬度と異なる第２硬度を有する第２組のスライダ一体パッドを形成する段階を含む。第１組の硬いスライダ一体パッドまたは第２組のスライダ一体パッドは、スライダの後縁近くに形成する。この形成段階は、更に、第１組のスライダ一体パッドを作るための開口の配列を含むマスクを形成する段階、および材料をマスク上および該マスクの開口を通して蒸着して第１組のスライダ一体パッドを形成する段階を含む。この形成段階は、第２組のスライダ一体パッドを形成するための開口の配列を含むマスクの形成段階も含む。マスクは、第１スライダ一体パッドを覆う。次に、材料をマスク上および該マスクの開口の配列を通して蒸着して第２組のスライダ一体パッドを作る。
【００２１】
都合よく、ＳｉＣで形成したスライダ一体パッドを含む空気ベアリング面するスライダは、スライダが時間が経っと摩耗するので、スライダが後傾するのを防ぐ。この様に、ＳｉＣで形成したスライダ一体パッドは、スティクション問題を予防するのを支援する。その上、ＳｉＣで形成したスライダ一体パッドを含むスライダは、ディスク駆動装置の寿命を通じて磁気変換器とディスクの間のより安定した間隙距離を有する。
【００２２】
（好適実施例の説明）
以下の好適実施例の詳細な説明では、その一部を構成し、且つこの発明を実施できる特定の実施例を説明のために示す、添付の図面を参照する。他の実施例を利用してもよく、本発明の範囲から逸脱することなく構造的変更を行ってもよいことを理解すべきである。
【００２３】
この出願で説明する発明は、回転か直線動作をするディスク駆動装置の全ての機械的構成に有用である。その上、本発明は、ハードディスク駆動装置、ジップ駆動装置、フレキシブルディスク駆動装置、および変換器の表面からの取り外しおよび変換器の停留が望ましいかもしれない、あらゆるその他の種類の駆動装置を含む全ての種類のディスク駆動装置にも有用である。図１は、回転アクチュエータを有する１種類のディスク駆動装置１００の分解図である。ディスク駆動装置１００は、ハウジングまたは基板１１２、およびカバー１１４を含む。基板１１２とカバー１１４がディスク包囲体(enclosure)を形成する。アクチュエータ軸１１８上で基板１１２に回転可能に取り付けてあるのは、アクチュエータ組立体１２０である。アクチュエータ組立体１２０は、複数のアーム１２３を有するＥブロックまたは櫛形構造体１２２を含む。櫛１２２上の別々のアーム１２３に取り付けてあるのは、負荷ビームまたは負荷ばね１２４である。負荷ビームまたは負荷ばねは、サスペンションとも呼ぶ。各負荷ばね１２４の端に取り付けてあるのは、磁気変換器１５０を坦持するスライダ１２６である。変換器１５０を備えるスライダ１２６は、何度もヘッドと呼ぶものを形成する。多くのスライダが１つの変換器１５０を有すること、およびそれが図面に示すものであることに注意すべきである。本発明は、１つの変換器１５０を一般的に読取りに使いおよびもう１つを一般的に書込みに使う、ＭＲまたは磁気抵抗ヘッドと呼ぶもののような、２つ以上の変換器を有するスライダに同等に適用可能であることにも留意すべきである。アクチュエータ組立体１２０の負荷ばね１２４およびスライダ１２６と反対側端部にボイスコイル１２８がある。
【００２４】
基板１１２内に取り付けてあるのは、第１磁石１３０および第２磁石１３１である。図１に示すように、第２磁石１３１は、カバー１１４に関連する。第１および第２磁石１３０、１３１、およびボイスコイル１２８は、アクチュエータ組立体１２０をアクチュエータ軸１１８の周りに回転するためにそれに力を加えるボイスコイルモータの重要な構成要素である。やはり基板１１２に取り付けてあるのは、スピンドルモータである。スピンドルモータは、スピンドルハブ１３３と呼ぶ回転部分を含む。この特別のディスク駆動装置では、スピンドルモータはハブ内にある。図１では、多数のディスク１３４がスピンドルハブ１３３に取り付けてある。他のディスク駆動装置では、単一ディスクまたは異なる数のディスクをハブに取り付けてもよい。ここに説明する発明は、単一ディスクを有するディスク駆動装置は勿論、複数のディスクを有するディスク駆動装置に同等に適用可能である。ここに説明する発明は、ハブ１３３内またはハブの下にあるスピンドルモータを備えるディスク駆動装置にも同等に適用可能である。
【００２５】
図２は、負荷ばね１２４、およびディスク１３４と変換関係にあるスライダ１２６の側面図である。負荷ばね１２４は、スライダ１２６がディスク１３４と変換関係にあるとき、スライダ１２６上に小さな負荷を掛けるために片持ばねとして作用する三角形構造体である。負荷ばね１２４は、その広い端でアクチュエータアーム１２３に取り付けてある。図２に示す負荷ばね１２４は、広い端にかしめ開口(swage opening)２１０およびかしめ板(swage plate)２１２を有する。このかしめ開口２１０およびかしめ板２１２を使って負荷ばね１２４をかしめと呼ぶプロセスで取り付ける。他の取付方法も本発明の精神から逸脱することなく使うことができる。中子１５２が負荷ばね１２４の自由端２２０に取り付けてある。変換器１５０は、スライダ１２６がまたはその中に坦持する。
【００２６】
図３は、スライダ１２６およびディスク１３４の平面図である。スライダ１２６は、前縁３００および後縁３１０を含む。スライダ１２６がディスク１３４と変換関係にあるとき、スライダ１２６は、前縁３００を前方に向けてディスク１３４上を浮上または通過する。スライダ１２６は、ジンバル面３２０も含む。ジンバル面３２０は、スライダ１２６がディスクに関して変換関係にある間、ジンバルくぼみ３３０が接触する面である。
【００２７】
図４は、スライダ１２６の底面図で、空気ベアリング面４００を示す。空気ベアリング面４００は、スライダ１２６のディスク１３４（図３に示す）に最も近い部分である。空気ベアリング面４００は、スライダ１２６の側面近くに位置する、第１側面レール４１０および第２側面レール４１２を含む。空気ベアリング面４００は、スライダ１２６の前縁３００近くに位置する前部テーパ状段４２０も含む。空気ベアリング面４００は、スライダ１２６の後縁３１０近くに位置する中央パッド４３０も含む。側面レール４１０および側面レール４１２および前部テーパ状段４２０の間に空洞または僅かに凹んだ領域４４０がある。ディスク１３４がスライダ１２６の空気ベアリング面４００を勢いよく通過するとき、空気ベアリング面４００に高圧領域と低圧領域ができる。高圧領域には、前部テーパ状段４２０、第１側面レール４１０および第２側面レール４１２がある。もう一つの高圧領域は、中央パッド４３０である。空洞４４０を勢いよく通過する空気が負圧または吸引力を作る。その結果、空洞４４０領域内の圧力が低く、従って、空洞を空気ベアリング面４００の低圧領域と呼ぶ。高吸引スライダ１２６は、比較的高負圧領域４４０を作るものである。先に述べたように、高吸引ベアリングは、高吸引ベアリングを使うとき浮上高さに差が少ないので、およびスライダ１２６がディスク１３４の中心から種々の半径方向位置にあるという事実にも拘らず浮上高さ分布が比較的平坦であるので、非常に望ましい。その上、高吸引空気ベアリングスライダ１２６は、高度感度が低い。
【００２８】
空気ベアリング面４００は、スライダ一体パッド４５０および４６０も含む。スライダ１２６の後縁３１０に最も近く位置するスライダ一体パッド４６０は、ダイヤモンド状カーボンより硬い材料で形成してある。点線４６２によって描く箱内のスライダ一体パッド４６０は、スライダ１２６の後縁近くに位置するスライダ一体パッドである。一実施例では、空気ベアリング面上の他のスライダ一体パッド４５０がダイヤモンド状カーボンで形成してある。もう１つの実施例では、全てのスライダ一体パッド４５０および４６０がダイヤモンド状カーボンより硬い材料で形成してある。ダイヤモンド状カーボンより硬い材料には、ＳｉＣ、ＳｉＮ、またはスライダ１２６の空気ベアリング面上に被着できるその他の材料がある。
【００２９】
カーボンオーバコートもディスク１３４条に設けてある（図１〜図３に示す）。これらのカーボンオーバコートは、異なるバイアス電圧でディスク１３４上に付けてあり、次にそれがディスク１３４の異なる硬さになっている。図５は、ディスク１３４上のカーボンの特定のバイアス電圧に対するダイヤモンド状カーボンスライダ一体パッドのパッド摩耗を描く。言換えれば、ディスク上に異なる硬度のカーボンオーバコートが与えられたとすると、ダイヤモンド状カーボンに対するパッド摩耗に広い差が生じる。図５に示すように、スライダ一体パッドの摩耗は、５０〜２５０Åに及ぶ。ヘッド−ディスク境界面の一定のスティクション特性を維持するように、摩耗を約５０Åに制限するのが望ましい。後縁近くに配置したスライダ一体パッド４６０に、ＳｉＣのような、ダイヤモンド状カーボンより硬い材料を使うことは、ヘッド−ディスク境界面の満足なスティクション性能をディスク駆動装置１００の寿命に亘って維持できるように、スライダ一体パッド４６０の過度の摩耗を防ぐ。
【００３０】
図６および図７は、前部スライダ一体パッド４５０をダイヤモンド状カーボンで作り、他のスライダ一体パッド４６０をＳｉＣで作った、スライダ１２６空気ベアリング面の一実施例の形成を示す。図６は、前方スライダ一体パッド４５０をダイヤモンド状カーボンで形成し、他のスライダ一体パッド４６０をＳｉＣで形成した、スライダ１２６空気ベアリング面の一実施例の形成の第１段階を示す。スライダ一体パッド４５０のダイヤモンド状カーボンを図６に示すプロセス流れ図に従ってスライダ表面に付ける。スライダ一体パッド４５０を作るために配列になされた円形孔を有する金属マスク６５０をスライダの空気ベアリング面４００に隣接して置く。次に、ダイヤモンド状カーボンを、例えば、化学蒸着（ＣＶＤ）、スパッタリング、またはイオンビーム蒸着のような、蒸着プロセスによって、これらのマスク孔を通してスライダ空気ベアリング面４００上に蒸着する。最初に金属マスク６５０を通してＳｉＯ2の層６２５をスライダ面上に蒸着し、次にダイヤモンド状カーボンの層をこのＳｉＯ2層の上に蒸着してスライダ一体パッド４５０の隆起を形成する。もう１つの実施例では、ＳｉＯ2層を付けず、しかしダイヤモンド状カーボンとスライダの間の密着度が十分に強ければ、ダイヤモンド状カーボンだけをスライダ空気ベアリング面４００に付ける。
【００３１】
図７は、前部スライダ一体パッドをダイヤモンド状カーボンで形成し、他のスライダ一体パッドをＳｉＣで形成した、スライダ１２６空気ベアリング面の一実施例の形成の第２段階を示す。スライダ一体パッド４６０のＳｉＣ配列を図７に示すプロセス流れ図に従ってスライダ表面に付ける。スライダ一体パッド４６０を形成するために配列になされた円形孔を有する第２金属マスク７５０をスライダの空気ベアリング面４００に隣接して置く。次に、ＳｉＣを、例えば、化学蒸着（ＣＶＤ）、スパッタリング、またはイオンビーム蒸着のような、蒸着プロセスによって、これらのマスク孔を通してスライダ空気ベアリング面４００上に蒸着する。最初に金属マスク７５０を通してＳｉＯ2の層６２５をスライダ面上に蒸着し、次にＳｉＣの層をＳｉＯ2層の上に蒸着してスライダ一体パッド４６０の隆起を形成する。もう一つの実施例では、ＳｉＯ2層を付けず、しかしＳｉＣとスライダの間の密着度が十分に強ければ、ＳｉＣだけをスライダ空気ベアリング面４００に付ける。
【００３２】
図８は、全てのスライダ一体パッド４５０、４６０をＳｉＣで形成する、スライダ１２６空気ベアリング面のもう一つの実施例の形成を示す。以下は、本発明の実施例の説明である。スライダ一体パッド４５０、４６０のＳｉＣアレイを図８に示すプロセス流れ図に従ってスライダ表面に付ける。円形孔を有する金属マスク８５０をスライダ１２６の空気ベアリング面４００に隣接して置く。次に、ＳｉＣを、例えば、化学蒸着（ＣＶＤ）、スパッタリング、またはイオンビーム蒸着のような、蒸着プロセスによって、これらのマスク孔を通してスライダ空気ベアリング面４００上に蒸着する。最初に金属マスク８５０を通してＳｉＯ2の層２５をこのスライダ面上に蒸着し、次にＳｉＣの層をこのＳｉＯ2層の上に蒸着してスライダ一体パッド４５０、４６０の隆起を作る。次にスライダを他の通常の段階に移してスライダ製作を完成する。もう一つの実施例では、ＳｉＯ2層を付けず、しかしＳｉＣとスライダの間の密着度が、始動および停止の選択したサイクル数に亘ってディスク駆動装置の寿命の間もつに十分強ければ、ＳｉＣだけをスライダ空気ベアリング面４００に付ける。
【００３３】
都合よく、ＳｉＣで形成したスライダ一体パッドを含む空気ベアリング面を有するスライダは、スライダが時間が経ってもゆっくり摩耗するので、スライダが後傾するのを防ぐ。この様に、より耐久性のあるＳｉＣで作ったスライダ一体パッドは、スティクション問題を予防するのを支援する。その上、ＳｉＣで作ったスライダ一体パッドを含むスライダは、ディスク駆動装置の寿命を通じて磁気変換器とディスクの間のより安定した間隙距離を有する。
【００３４】
図９は、コンピュータシステムの概略図である。都合よく、本発明は、コンピュータシステム２０００で使うのによく適する。このコンピュータシステム２０００は、電子システムまたは情報処理システムと呼んでもよく、中央処理ユニット(CPU)、メモリおよびシステムバスを含む。情報処理システムは、中央処理ユニット２００４、ランダムアクセスメモリ(RAM)２０３２、並びにこの中央処理ユニット２００４およびランダムアクセスメモリ２０３２を情報伝達するように結合するためのシステムバス２０３０を含む。この情報処理システム２００２は、上に説明したランプを含むディスク駆動装置装置を含む。情報処理システム２００２は、入／出力バス２０１０を含んでもよく、および２０１２、２０１４、２０１６、２０１８、２０２０、および２０２２のような幾つかの装置周辺装置を入／出力バス２０１０に取り付けてもよい。周辺装置は、ハードディスク駆動装置、光磁気駆動装置、フレキシブルディスク駆動装置、モニタ、キーボードおよびその他のそのような周辺装置を含んでもよい。何れの種類のディスク駆動装置も上に説明したようなスライダをディスク表面上に積み降ろしするための方法を使ってもよい。
【００３５】
（結論）
結論として、ディスク駆動装置が基板１１２および該基板１１２に回転可能に取り付けたディスク１３４を含む。ディスクは、ディスク１３４上にオーバコート材料を含む。オーバコート材料は、第１硬度を有する。ディスク駆動装置は、空気ベアリング面４００を備えるスライダ１２６を有するアクチュエータ１２０も含む。空気ベアリング面４００は、第１硬度より大きい第２硬度を有する、少なくとも１つのスライダ一体パッド４５０、４６０を備える。一実施例で、少なくとも１つのスライダ一体パッド４６０がＳｉＣで形成してある。スライダ１２６は、更に前縁３００および後縁３１０を含む。少なくとも１つのスライダ一体パッド４６０は、スライダ１２６の後縁３１０近くに位置する。ＳｉＣで形成したスライダ一体パッド４６０からなる少なくとも１つの群であってもよい。第１群のスライダ一体パッド４６０がＳｉＣで形成してあり、第２群のスライダ一体パッド４５０がダイヤモンド状カーボンで形成してある。第１群のスライダ一体パッド４６０は、スライダ１２６の後縁３１０近くに位置する。少なくとも１つのスライダ一体パッド４６０は、ＳｉＣで形成してあり、ディスク１３４上のオーバコートは、ディスク１３４の表面上にスパッタしたカーボンを施してある。オーバコートは、バイアス電圧が存在するディスク１３４の表面上に蒸着したカーボンをも施してもよい。
【００３６】
ディスク駆動装置用のスライダは、特定の硬度を有する境界面と界接するようになっている。スライダ１２６は、前縁３００、後縁３１０、スライダ４００の前縁３００と後縁３１０の間に位置する空気ベアリング面４００を含む。その上、複数のスライダ一体パッド４５０、４６０が空気ベアリング面４００上に配置してあり、スライダ一体パッド４５０、４６０の少なくとも幾つかは、この境界面の硬度より大きい硬度を有する。境界面の硬度より大きい硬度を有するスライダ一体パッドは、スライダ１２６の後縁３１０近くに位置する。スライダ１２６の後縁３１０近くに位置する、これらのスライダ一体パッド４６０は、硬くないスライダ一体パッドより摩耗しない。スライダ一体パッド４６０は、境界面の硬度より大きい硬度を有する。スライダ一体パッド４６０は、ＳｉＣで作ってある。
【００３７】
前縁３００、後縁３１０、および空気ベアリング面４００を有するスライダ１２６を形成する方法は、第１硬度を有する第１組のスライダ一体パッド４６０を形成する段階、および第１硬度と異なる第２硬度を有する第２組のスライダ一体パッド４５０を形成する段階を含む。第１組の硬いスライダ一体パッド４６０または第２組のスライダ一体パッド４５０は、スライダの後縁近くに作る。形成段階は、更に、第１組のスライダ一体パッド４６０を作るための開口の配列を含むマスク６５０を形成する段階、並びに材料をマスク６５０上および該マスク６５０の開口を通して蒸着して第１組のスライダ一体パッド４６０を作る段階を含む。形成工程は、第２組のスライダ一体パッド４５０を作るための開口の配列を含むマスク７５０を形成する段階も含む。マスク７５０は、第１スライダ一体パッド４６０を覆う。次に、材料をマスク７５０上および該マスク７５０の開口を通して蒸着して第２組のスライダ一体パッド４５０を形成する。
【００３８】
最も一般的に、スライダ１２６は、空気ベアリング面４００、後縁３１０、およびスティクションを防ぐためにスライダ１２６の後縁３１０近くの空気ベアリング面４００上に位置する装置を含む。
【００３９】
前記の説明は、例示を意図し、限定を意図しないことを理解すべきである。前記の説明を検討すれば、当業者には多くの他の実施例が明白だろう。従って、本発明の範囲は、前記請求項を、そのような請求項が値する等価物の全範囲と共に参照して決めるべきである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  複数ディスクの山を備えるディスク駆動装置の分解図である。
【図２】  負荷ばね、およびこのディスクと変換関係にあるスライダの側面図である。
【図３】  スライダおよびディスクの平面図である。
【図４】  スライダの底面図で、空気ベアリング面を示す。
【図５】  ダイヤモンド状カーボンスライダ一体パッドのパッド摩耗対ディスク上のカーボンの特定のバイアス電圧のチャートである。
【図６】  前部スライダ一体パッドをダイヤモンド状カーボンで形成し、他のスライダ一体パッドをＳｉＣで形成した、スライダ１２６空気ベアリング面の一実施例の形成の第１段階を示す。
【図７】  前部スライダ一体パッドをダイヤモンド状カーボンで形成し、他のスライダ一体パッドをＳｉＣで形成した、スライダ１２６空気ベアリング面の一実施例の形成の第２段階を示す。
【図８】  全てのスライダ一体パッドをＳｉＣで形成する、スライダ空気ベアリング面のもう一つの実施例の形成を示す。
【図９】  コンピュータシステムの概略図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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