(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、ＴＡＢテープを巻き戻す巻き戻しリールと、巻き戻したＴＡＢテープをタクト搬送し、順次パンチングを施すパンチング装置と、巻き取り側にピンチロールを有するＴＡＢテープのたるみ部と、ピンチロール出側でＴＡＢテープをコンスタントに連続搬送し、パンチングされた表面を連続して検査する検査装置と、検査後のＴＡＢテープを巻き取る巻き取りリールと、前記たるみ部の高さ位置を検出するたるみ部位置検出センサを有し、該たるみ部の高さ位置に応じて検査装置におけるＴＡＢテープのコンスタントに連続搬送される搬送速度を制御する構成のＴＡＢテープ用検査機能付きパンチングマシンであって、前記たるみ部位置検出センサでたるみ部の最下端の位置を検出し、その検出した位置情報に基づき、たるみ部の最下端位置が下方になるほど、前記ピンチロール出側で連続搬送されているＴＡＢテープの搬送速度を上げるようにして、たるみすぎないように制御する搬送速度の調整法とされていることを特徴とするＴＡＢテープ用検査機能付きパンチングマシン。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＬＣＤドライバ、ＡＳＩＣメモリ用等の半導体ＩＣ用フィルムキャリアテープの製造工程においてテープに開口孔をあけ、その開口孔を検査する一連の処理を行うための装置に関する。以下、上記の半導体ＩＣ用フィルムキャリアテープをＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープと称す。
【０００２】
【従来の技術】
ＴＡＢテープは、半導体ＩＣ、ＬＳＩ等を基板に実装するためのフィルムキャリアテープであり、ポリイミドフィルム等の絶縁性フィルム表面に銅等の導電性材料で配線が施されたものである。
近年、ＴＡＢテープは、その両面に配線が施されるようにもなり、その両面の配線間をスルーホール等の開口孔で接続する場合もある。
【０００３】
また、ＴＡＢテープの一種であるＴ−ＢＧＡ(Tape-Ball Grid Array)用テープは、プリント基板との接続に従来のＴＡＢテープのようなＯＬＢ（Outer Lead Bonding）を使わず、アレイ状に並べたハンダボールによる接続を用いている。このハンダボール取り付け方法としては、ベースフィルムテープ上の銅箔等の導電パターンを絶縁保護するためのソルダーレジスト（カバーレジスト）膜にハンダボール数に応じた孔を開口し、その孔にハンダボールを取り付ける方法が主流となっている。
【０００４】
これらの開口孔を加工するために、エポキシ系等の感光性樹脂を用いてフォトエッチング法によって必要な部分に孔パターンを形成しているが、工程が煩雑である等の欠点がある。これに対して、金型を用いてベースフィルムテープそのものに開口部を形成する方法が検討されており、工程の簡略化による低価格化の実現が期待されている。
【０００５】
金型を用いてベースフィルムテープに開口孔を形成する場合は、出発材料として、ポリイミド等の樹脂フィルムテープの片面にシート状の接着剤（エポキシ系樹脂等）を積層し、さらにＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム等で保護されたベースフィルムを使用する。このベースフィルムテープに、金型を用いたパンチングによりスルーホール用やハンダボール用の孔を開口する。孔のサイズは50〜800 μｍφであり、この孔がベースフィルムテープの1 単位当たり（１ピース）数十〜数百個配列する。製品によっては、テープの幅方向に数ピース並べた構成となることもある。
【０００６】
この場合の１単位を１ピースの場合も含めて１ユニットとする。
図２に、金型を用い、ベースフィルムテープに開口孔を形成する従来のＴＡＢテープ用パンチング装置の構成図を示す。
巻き戻しリール1aから巻き戻されたＴＡＢテープ10は、金型で孔加工を行うパンチング装置２で所要の孔加工が行われ、巻き取りリール1bによって再び巻き取られるのである。ここで、パンチングは１ユニット毎に行われることから、ＴＡＢテープの搬送は、１ユニット分毎にステップ的に移動するタクト搬送が採用されている。
【０００７】
これらのパンチング装置で加工された開口孔は、金型のピン折れやピン劣化等により孔が開かなかったり、また、バリの発生により孔面積が小さくなったり、さらには保護フィルムが孔内部に残留する等の不良を起こすことがある。
このような開口不良は、接続不良などの原因となり、また、一旦劣化したピンはベースフィルムテープの連続的加工において引き続き不良を起こす確率が高くなる。
【０００８】
従って、これらの開口孔については全数を正確に検査し、一定限度以上の不良が発生した場合はパンチング工程に速やかにフィードバックさせる必要がある。
この検査は、従来はもっぱら目視検査に頼ってきたが、近年、ＣＣＤカメラとそのカメラで取り込んだ画像の画像処理技術の発達により、自動検査装置が開発されてきている。図３に、そのＴＡＢテープ用検査装置の構成図を示す。
【０００９】
巻き戻しリール1aから巻き戻されたＴＡＢテープ10は、例えばＣＣＤカメラなどの検査装置３で所定位置の画像が取り込まれ、図示しない画像処理装置で処理されて自動検査が行われる。そして、巻き取りリール1bによって再び巻き取られるのである。ここで、画像の取り込みは極めて短時間に行うことが可能であることから、ＴＡＢテープの搬送に同期した信号を基にストロボ露光させて１ユニット毎の画像を取り込むことが行われる。そのため、ＴＡＢテープ用検査装置ではＴＡＢテープの搬送を連続搬送としており、できるだけ一定速度の搬送となるようにしている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
このように、ＴＡＢテープの搬送方式が、ＴＡＢテープ用パンチング装置とＴＡＢテープ用検査装置で根本的に異なるため、連続化することはできなかった。そのため、パンチングを終わったＴＡＢテープを再びリールに巻き取り、巻き取ったＴＡＢテープをまた巻き戻してから検査を行い、再度巻き取ることが行われてきた。
【００１１】
そのため、工数がかかることと、検査結果のパンチングへのフィードバックが遅くなることが大きな問題であった。
本発明は、この搬送方式が異なる２つの装置を連続化したＴＡＢテープ用検査機能付きパンチングマシンを提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、少なくとも、ＴＡＢテープを巻き戻す巻き戻しリールと、巻き戻したＴＡＢテープをタクト搬送し、順次パンチングを施すパンチング装置と、巻き取り側にピンチロールを有するＴＡＢテープのたるみ部と、ピンチロール出側でＴＡＢテープをコンスタントに連続搬送し、パンチングされた表面を連続して検査する検査装置と、検査後のＴＡＢテープを巻き取る巻き取りリールと、前記たるみ部の高さ位置を検出するたるみ部位置検出センサを有し、該たるみ部の高さ位置に応じて検査装置におけるＴＡＢテープのコンスタントに連続搬送される搬送速度を制御する構成のＴＡＢテープ用検査機能付きパンチングマシンであって、前記たるみ部位置検出センサでたるみ部の最下端の位置を検出し、その検出した位置情報に基づき、たるみ部の最下端位置が下方になるほど、前記ピンチロール出側で連続搬送されているＴＡＢテープの搬送速度を上げるようにして、たるみすぎないように制御する搬送速度の調整法とされていることを特徴とするＴＡＢテープ用検査機能付きパンチングマシンによって上記課題を解決したのである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の、ＴＡＢテープ用検査機能付きパンチングマシンの構成図を図１に示し、その動作を説明する。
巻き戻しリール1aから巻き戻されたＴＡＢテープ10は、金型で孔加工を行うパンチング装置２で所要の孔加工が行われる。ＴＡＢテープ10は、パンチング装置２では１ユニット毎のパンチング加工のためタクト搬送され、１ユニット毎に金型でパンチングが行われる。
【００１５】
たるみ部６を経たＴＡＢテープ10は、ピンチロール４から検査装置３に搬送され、巻き取りリール1bで巻き取られる。検査装置３においては、ＴＡＢテープ10はコンスタントに連続して搬送される。
このように、たるみ部６を設けたことにより、従来、連続化することのできなかった２つの装置を一体化することが可能となり、連続して搬送することができるようになったのである。
【００１６】
ここで、たるみ部６のたるみ程度の監視は、目視による方法でもよいが、必要に応じ、たるみ部位置検出センサ７を設けるようにして自動監視してもよい。このたるみ部位置検出センサ７は、光学式のラインセンサで構成してもよいし、複数の光電センサなどで構成してもよい。このたるみ部位置検出センサ７でたるみ部６の最下端の位置を検出し、その検出した位置情報に基づき、検査装置における搬送速度を調整するのである。すなわち、たるみ部の最下端位置が下方になるほど搬送速度を上げるようにして、たるみすぎないように制御するのである。
【００１７】
また、このたるみ部は、巻き戻しリール1a、巻き取りリール1bのそれぞれ直近位置にも設けるようにしておいてもよく、そうすることで、それぞれのリールの巻き戻し、巻き取りをスムーズなものとすることが可能となり、ＴＡＢテープの疵発生等を抑えることが可能になる。特に、巻き戻しリール1a側はタクト搬送されているため、効果的である。
【００１８】
【発明の効果】
本発明によって、ＴＡＢテープを処理するパンチング装置と検査装置を一体化することが可能となり、工数削減を実現できた。また、パンチングの検査結果をほぼリアルタイムでフィードバックすることが可能となり、ＴＡＢテープの生産歩留まりを向上させることができるようになった。
【００１９】
以上の効果により、ＴＡＢテープの生産コストを大幅に削減することが可能となり、ＴＡＢテープを更に安価に提供することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＴＡＢテープ用検査機能付きパンチングマシンの構成図である。
【図２】従来のＴＡＢテープ用パンチング装置の構成図である。
【図３】従来のＴＡＢテープ用検査装置の構成図である。
【符号の説明】
1a    巻き戻しリール
1b    巻き取りリール
２    パンチング装置
３    検査装置（ＣＣＤカメラ）
４    ピンチロール
６    たるみ部
７    たるみ部位置検出センサ
10    ＴＡＢテープ
【図１】
0004138944.tif 000002
【図２】
0004138944.tif 000003
【図３】
0004138944.tif 000004