(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ディスクを回転させるスピンドルモータと、光ディスクにレーザ光を照射すると共に光ディスクからのレーザ反射光を受光する光ピックアップと、前記光ディスクで反射された光信号を電気信号に変換するディテクタと、光ディスク信号面に対して常にレーザ光の焦点が合うよう光ピックアップをフォーカス方向に駆動するフォーカスアクチュエータと、光ディスクのスパイラル状又は同心円状のトラックに対して常にレーザ光が追従するよう光ピックアップをトラッキング方向に駆動するトラッキングアクチュエータと、前記ディテクタから出力される信号を基に、前記フォーカスアクチュエータに対するフォーカス制御及び前記トラッキングアクチュエータに対するトラッキング制御の各サーボ制御を行うサーボプロセッサと、チルト発生時における光ディスクからのレーザ反射光の前記光ピックアップにおけるずれを補正するチルト補正機構と、当該チルト補正機構の作動制御を行うチルト制御部とを備え、前記チルト補正機構は前記光ピックアップにおける光ディスクからのレーザ反射光が通る経路中に配設され、区分された複数のシャッター領域ごとに電圧印加で透過光量を調節してレーザ反射光を補正する液晶シャッター部を備える光ディスク装置のチルト制御方法であって、前記サーボプロセッサからフォーカスアクチュエータに対して出力されるフォーカス制御信号がチルト制御部にも入力され、前記チルト制御部が、入力されたフォーカス制御信号を出力調整して得られた信号をチルト補正機構に対しラジアル方向のチルト調整用の制御信号として出力すると共に、前記フォーカス制御信号を出力調整し且つ光ディスクの回転位置に対し位相を９０°ずらして得られた信号をチルト補正機構に対しタンジェンシャル方向のチルト調整用の制御信号として出力し、前記チルト制御部から出力されるラジアル方向のチルト調整用の制御信号をラジアル方向のチルトに伴ってレーザ反射光がずれ込む所定の前記シャッター領域に、且つタンジェンシャル方向のチルト調整用の制御信号をタンジェンシャル方向のチルトに伴ってレーザ反射光がずれ込む前記と別の所定シャッター領域にそれぞれ入力し、各シャッター領域での透過光量を調節して、ラジアル方向及びタンジェンシャル方向へのチルトに伴うレーザ反射光のずれを補正することを特徴とするチルト制御方法。
【請求項２】
光ディスクを回転させるスピンドルモータと、光ディスクにレーザ光を照射すると共に光ディスクからのレーザ反射光を受光する光ピックアップと、前記光ディスクで反射された光信号を電気信号に変換するディテクタと、光ディスク信号面に対して常にレーザ光の焦点が合うよう光ピックアップをフォーカス方向に駆動する四つの駆動機構を有するフォーカスアクチュエータと、光ディスクのスパイラル状又は同心円状のトラックに対して常にレーザ光が追従するよう光ピックアップをトラッキング方向に駆動するトラッキングアクチュエータと、前記ディテクタから出力される信号を基に、前記フォーカスアクチュエータに対するフォーカス制御及び前記トラッキングアクチュエータに対するトラッキング制御の各サーボ制御を行うサーボプロセッサと、チルト発生時における光ディスクからのレーザ反射光の前記光ピックアップにおけるずれを補正するチルト補正機構と、当該チルト補正機構の作動制御を行うチルト制御部とを備える光ディスク装置のチルト制御方法であって、前記チルト補正機構は前記フォーカスアクチュエータのフォーカス方向への駆動機構の三つが兼ね、前記サーボプロセッサからフォーカスアクチュエータに対して出力されるフォーカス制御信号がチルト制御部にも入力され、前記チルト制御部が、入力されたフォーカス制御信号を出力調整して得られた信号をチルト補正機構に対しラジアル方向のチルト調整用の制御信号として出力すると共に、前記フォーカス制御信号を出力調整し且つ光ディスクの回転位置に対し位相を９０°ずらして得られた信号をチルト補正機構に対しタンジェンシャル方向のチルト調整用の制御信号として出力し、前記チルト制御部から出力されるラジアル方向のチルト調整用の制御信号又はタンジェンシャル方向のチルト調整用の制御信号を前記三つの駆動機構のうちの異なる二つの組み合わせの駆動機構にそれぞれフォーカス制御信号と合わせて入力し、前記各駆動機構の発生駆動力を異ならせ、前記光ピックアップをラジアル方向及びタンジェンシャル方向にそれぞれ傾動させて光ピックアップと光ディスクとの平行度を補正することを特徴とするチルト制御方法。
【請求項３】
光ディスクを回転させるスピンドルモータと、光ディスクにレーザ光を照射すると共に光ディスクからのレーザ反射光を受光する光ピックアップと、前記光ディスクで反射された光信号を電気信号に変換するディテクタと、光ディスク信号面に対して常にレーザ光の焦点が合うよう光ピックアップをフォーカス方向に駆動するフォーカスアクチュエータと、光ディスクのスパイラル状又は同心円状のトラックに対して常にレーザ光が追従するよう光ピックアップをトラッキング方向に駆動するトラッキングアクチュエータと、前記ディテクタから出力される信号を基に、前記フォーカスアクチュエータに対するフォーカス制御及び前記トラッキングアクチュエータに対するトラッキング制御の各サーボ制御を行うサーボプロセッサと、チルト発生時における光ディスクからのレーザ反射光の前記光ピックアップにおけるずれを補正するチルト補正機構と、当該チルト補正機構の作動制御を行うチルト制御部とを備え、前記チルト補正機構は前記光ピックアップにおける光ディスクからのレーザ反射光が通る経路中に配設され、区分された複数のシャッター領域ごとに電圧印加で透過光量を調節してレーザ反射光を補正する液晶シャッター部を備える光ディスク装置であって、前記サーボプロセッサからフォーカスアクチュエータに対して出力されるフォーカス制御信号がチルト制御部にも入力され、前記チルト制御部が、入力されたフォーカス制御信号を出力調整して得られた信号をチルト補正機構に対しラジアル方向のチルト調整用の制御信号として出力すると共に、前記フォーカス制御信号を出力調整し且つ光ディスクの回転位置に対し位相を９０°ずらして得られた信号をチルト補正機構に対しタンジェンシャル方向のチルト調整用の制御信号として出力し、前記チルト制御部から出力されるラジアル方向のチルト調整用の制御信号をラジアル方向のチルトに伴ってレーザ反射光がずれ込む所定の前記シャッター領域に、且つタンジェンシャル方向のチルト調整用の制御信号をタンジェンシャル方向のチルトに伴ってレーザ反射光がずれ込む前記と別の所定シャッター領域にそれぞれ入力し、各シャッター領域での透過光量を調節して、ラジアル方向及びタンジェンシャル方向へのチルトに伴うレーザ反射光のずれを補正することを特徴とする光ディスク装置。
【請求項４】
光ディスクを回転させるスピンドルモータと、光ディスクにレーザ光を照射すると共に光ディスクからのレーザ反射光を受光する光ピックアップと、前記光ディスクで反射された光信号を電気信号に変換するディテクタと、光ディスク信号面に対して常にレーザ光の焦点が合うよう光ピックアップをフォーカス方向に駆動する四つの駆動機構を有するフォーカスアクチュエータと、光ディスクのスパイラル状又は同心円状のトラックに対して常にレーザ光が追従するよう光ピックアップをトラッキング方向に駆動するトラッキングアクチュエータと、前記ディテクタから出力される信号を基に、前記フォーカスアクチュエータに対するフォーカス制御及び前記トラッキングアクチュエータに対するトラッキング制御の各サーボ制御を行うサーボプロセッサと、チルト発生時における光ディスクからのレーザ反射光の前記光ピックアップにおけるずれを補正するチルト補正機構と、当該チルト補正機構の作動制御を行うチルト制御部とを備える光ディスク装置であって、前記チルト補正機構は前記フォーカスアクチュエータのフォーカス方向への駆動機構の三つが兼ね、前記サーボプロセッサからフォーカスアクチュエータに対して出力されるフォーカス制御信号がチルト制御部にも入力され、前記チルト制御部が、入力されたフォーカス制御信号を出力調整して得られた信号をチルト補正機構に対しラジアル方向のチルト調整用の制御信号として出力すると共に、前記フォーカス制御信号を出力調整し且つ光ディスクの回転位置に対し位相を９０°ずらして得られた信号をチルト補正機構に対しタンジェンシャル方向のチルト調整用の制御信号として出力し、前記チルト制御部から出力されるラジアル方向のチルト調整用の制御信号又はタンジェンシャル方向のチルト調整用の制御信号を前記三つの駆動機構のうちの異なる二つの組み合わせの駆動機構にそれぞれフォーカス制御信号と合わせて入力し、前記各駆動機構の発生駆動力を異ならせ、前記光ピックアップをラジアル方向及びタンジェンシャル方向にそれぞれ傾動させて光ピックアップと光ディスクとの平行度を補正することを特徴とする光ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスク装置でのＣＤ及びＤＶＤ等の光ディスク再生において、面ぶれを伴う光ディスクの安定した再生を行えるチルト制御方法及びこれを用いた光ディスク装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光ディスク装置において、チルト（光ピックアップから照射されるレーザ光に対する光ディスク内の信号記録面の傾き）によって発生する再生信号のジッターは、光ディスクの記録密度が増大するにつれて悪化し、機構部品取付けの誤差で生じるチルトがジッターに及す影響もより一層大きくなる。このため、従来から、光ディスク装置においては、機構部品取付けで生じるチルトを解消する光ピックアップのチルト補正機構が用いられていた。こうした従来のチルト補正機構の一例として、光ピックアップの案内用シャフトの向きを調整して光ピックアップのあおり調整を行う仕組みを図１５に示す。図１５は従来の光ディスク装置の構成図である。
【０００３】
図１５において、従来の光ディスク装置のチルト補正機構は、光ディスク（図示を省略）にレーザ光を照射する光ピックアップ２と、光ピックアップ２を光ディスクの半径方向に案内する二つのシャフト２５、２６と、一方のシャフト２５端部に配設され、光ピックアップ２のレーザ光軸の光ディスク半径方向における傾き調整を行うラジアルチルト調整ねじ２３と、他方のシャフト２６端部に配設され、レーザ光軸の光ディスク接線方向における傾き調整を行うタンジェンシャルチルト調整ねじ２４とを備える構成である。
【０００４】
上述の光ディスク装置では、二つの調整ねじ２３、２４で二つのシャフト２５、２６端部を昇降させて、光ピックアップ２のあおり調整（チルト調整）を行う仕組みである。光ピックアップ２から照射されるレーザ光軸における光ディスク半径方向の傾き調整をラジアルチルト調整ねじ２３で、光ディスク接線方向の傾き調整をタンジェンシャルチルト調整ねじ２４でそれぞれ調整することにより、チルトを抑え、再生信号のジッターが最小となるようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来の光ディスク装置は上記のように構成されており、光ピックアップ２のあおり調整（チルト調整）を行うことで機構部品取付けの誤差によるスキュー発生を抑えることができるものの、光ディスク自体が許容範囲を超える面振れ（光ディスク回転方向における変形）を有する場合には、光ディスク再生時に光ディスクの所定のレーザ光被照射位置でスキューが発生し、且つ光ディスクの回転でスキュー量が大きく変化する状態となり、従来の調整機構では補正できず、ジッターが増大して光ディスクを正しく再生できなくなるという問題点を有していた。
【０００６】
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、光ディスクの面振れにより発生するチルトを適切に補正し、ジッターの発生を抑えて安定したデータ読出しを行えるチルト制御方法及びこれを用いた光ディスク装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明のチルト制御方法は、光ディスクを回転させるスピンドルモータと、光ディスクにレーザ光を照射すると共に光ディスクからのレーザ反射光を受光する光ピックアップと、光ディスクで反射された光信号を電気信号に変換するディテクタと、光ディスク信号面に対して常にレーザ光の焦点が合うよう光ピックアップをフォーカス方向に駆動するフォーカスアクチュエータと、光ディスクのスパイラル状又は同心円状のトラックに対して常にレーザ光が追従するよう光ピックアップをトラッキング方向に駆動するトラッキングアクチュエータと、ディテクタから出力される信号を基に、フォーカスアクチュエータに対するフォーカス制御及びトラッキングアクチュエータに対するトラッキング制御の各サーボ制御を行うサーボプロセッサと、チルト発生時における光ディスクからのレーザ反射光の光ピックアップにおけるずれを補正するチルト補正機構と、当該チルト補正機構の作動制御を行うチルト制御部と、ディテクタで変換された電気信号のうち光ディスク読出し用の信号を基に生成されたデータ信号及び同期クロックからジッターを検出するジッター検出手段とを備える光ディスク装置のチルト制御方法であって、サーボプロセッサからフォーカスアクチュエータに対して出力されるフォーカス制御信号がチルト制御部にも入力され、当該チルト制御部が、光ディスク形状により生じるチルト量に対応して変化するフォーカス制御信号に基づいたチルト調整をチルト補正機構に行わせるものである。
【０００８】
これにより、光ディスクの面振れにより光ディスクのラジアル方向又はタンジェンシャル方向のチルトが発生して光ディスクからのレーザ反射光の光軸が傾いてずれている場合でも、光ピックアップでのレーザ反射光の受光状態を改善して、ジッターの発生を抑えて安定したデータ読出しを行える光ディスク装置が得られる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、光ディスクを回転させるスピンドルモータと、光ディスクにレーザ光を照射すると共に光ディスクからのレーザ反射光を受光する光ピックアップと、光ディスクで反射された光信号を電気信号に変換するディテクタと、光ディスク信号面に対して常にレーザ光の焦点が合うよう光ピックアップをフォーカス方向に駆動するフォーカスアクチュエータと、光ディスクのスパイラル状又は同心円状のトラックに対して常にレーザ光が追従するよう光ピックアップをトラッキング方向に駆動するトラッキングアクチュエータと、ディテクタから出力される信号を基に、フォーカスアクチュエータに対するフォーカス制御及びトラッキングアクチュエータに対するトラッキング制御の各サーボ制御を行うサーボプロセッサと、チルト発生時における光ディスクからのレーザ反射光の光ピックアップにおけるずれを補正するチルト補正機構と、当該チルト補正機構の作動制御を行うチルト制御部とを備え、チルト補正機構は光ピックアップにおける光ディスクからのレーザ反射光が通る経路中に配設され、区分された複数のシャッター領域ごとに電圧印加で透過光量を調節してレーザ反射光を補正する液晶シャッター部を備える光ディスク装置のチルト制御方法であって、サーボプロセッサからフォーカスアクチュエータに対して出力されるフォーカス制御信号がチルト制御部にも入力され、チルト制御部が、入力されたフォーカス制御信号を出力調整して得られた信号をチルト補正機構に対しラジアル方向のチルト調整用の制御信号として出力すると共に、フォーカス制御信号を出力調整し且つ光ディスクの回転位置に対し位相を９０°ずらして得られた信号をチルト補正機構に対しタンジェンシャル方向のチルト調整用の制御信号として出力し、チルト制御部から出力されるラジアル方向のチルト調整用の制御信号をラジアル方向のチルトに伴ってレーザ反射光がずれ込む所定のシャッター領域に、且つタンジェンシャル方向のチルト調整用の制御信号をタンジェンシャル方向のチルトに伴ってレーザ反射光がずれ込むと別の所定シャッター領域にそれぞれ入力し、各シャッター領域での透過光量を調節して、ラジアル方向及びタンジェンシャル方向へのチルトに伴うレーザ反射光のずれを補正することを特徴とするチルト制御方法であり、光ディスクの面振れにより光ディスクのラジアル方向及びタンジェンシャル方向のチルトが周期的に発生して光ディスクからの反射光の光軸が傾いてずれる場合でも、面振れに伴うフォーカス制御信号変化と面振れによるチルト量変化とは一対一に対応していることから、フォーカス制御信号をチルト制御部に入力することで確実にチルト量に応じたチルト補正機構の作動制御が行え、チルトを解消もしくはチルトの影響を回避して、ジッターの発生を抑えて安定してデータ読出しを行えるという作用を有する。
そして、位相が９０°ずれた関係となっているラジアル方向のチルト量変化とタンジェンシャル方向のチルト量変化に対して、これらと一対一に対応するフォーカス制御信号とこのフォーカス制御信号の位相を９０°ずらした信号とに基づいて、チルト補正機構でラジアル方向及びタンジェンシャル方向のそれぞれのチルトを確実に補正でき、面振れを有する光ディスクについても安定してデータ読出しを行えるという作用を有する。
さらに、ラジアル方向のチルト量変化とタンジェンシャル方向のチルト量変化に対し、これらに対応させてチルト制御部から出力するフォーカス方向のチルト調整用制御信号とタンジェンシャル方向のチルト調整用制御信号で、チルト補正機構としての液晶シャッター部の複数のシャッター領域をそれぞれ制御してチルトに伴うレーザ反射光のずれを補正し、ディテクタで反射光を正しく電気信号に変換することができ、面振れを有する光ディスクについても安定してデータ読出しを行えるという作用を有する。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、光ディスクを回転させるスピンドルモータと、光ディスクにレーザ光を照射すると共に光ディスクからのレーザ反射光を受光する光ピックアップと、光ディスクで反射された光信号を電気信号に変換するディテクタと、光ディスク信号面に対して常にレーザ光の焦点が合うよう光ピックアップをフォーカス方向に駆動する四つの駆動機構を有するフォーカスアクチュエータと、光ディスクのスパイラル状又は同心円状のトラックに対して常にレーザ光が追従するよう光ピックアップをトラッキング方向に駆動するトラッキングアクチュエータと、ディテクタから出力される信号を基に、フォーカスアクチュエータに対するフォーカス制御及びトラッキングアクチュエータに対するトラッキング制御の各サーボ制御を行うサーボプロセッサと、チルト発生時における光ディスクからのレーザ反射光の光ピックアップにおけるずれを補正するチルト補正機構と、当該チルト補正機構の作動制御を行うチルト制御部とを備える光ディスク装置のチルト制御方法であって、チルト補正機構はフォーカスアクチュエータのフォーカス方向への駆動機構の三つが兼ね、サーボプロセッサからフォーカスアクチュエータに対して出力されるフォーカス制御信号がチルト制御部にも入力され、チルト制御部が、入力されたフォーカス制御信号を出力調整して得られた信号をチルト補正機構に対しラジアル方向のチルト調整用の制御信号として出力すると共に、フォーカス制御信号を出力調整し且つ光ディスクの回転位置に対し位相を９０°ずらして得られた信号をチルト補正機構に対しタンジェンシャル方向のチルト調整用の制御信号として出力し、チルト制御部から出力されるラジアル方向のチルト調整用の制御信号又はタンジェンシャル方向のチルト調整用の制御信号を三つの駆動機構のうちの異なる二つの組み合わせの駆動機構にそれぞれフォーカス制御信号と合わせて入力し、各駆動機構の発生駆動力を異ならせ、光ピックアップをラジアル方向及びタンジェンシャル方向にそれぞれ傾動させて光ピックアップと光ディスクとの平行度を補正することを特徴とするチルト制御方法であり、ラジアル方向のチルト量変化とタンジェンシャル方向のチルト量変化に対し、これらに対応させてチルト制御部から出力するフォーカス方向のチルト調整用制御信号とタンジェンシャル方向のチルト調整用制御信号で、チルト補正機構としてのフォーカスアクチュエータの二つの駆動機構を各々制御して光ピックアップをチルトが解消する状態に傾動させられ、面振れを有する光ディスクについても安定してデータ読出しを行えるという作用を有する。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、光ディスクからのレーザ反射光を受光する光ピックアップと、光ディスクで反射された光信号を電気信号に変換するディテクタと、光ディスク信号面に対して常にレーザ光の焦点が合うよう光ピックアップをフォーカス方向に駆動するフォーカスアクチュエータと、光ディスクのスパイラル状又は同心円状のトラックに対して常にレーザ光が追従するよう光ピックアップをトラッキング方向に駆動するトラッキングアクチュエータと、ディテクタから出力される信号を基に、フォーカスアクチュエータに対するフォーカス制御及びトラッキングアクチュエータに対するトラッキング制御の各サーボ制御を行うサーボプロセッサと、チルト発生時における光ディスクからのレーザ反射光の光ピックアップにおけるずれを補正するチルト補正機構と、当該チルト補正機構の作動制御を行うチルト制御部とを備え、チルト補正機構は光ピックアップにおける光ディスクからのレーザ反射光が通る経路中に配設され、区分された複数のシャッター領域ごとに電圧印加で透過光量を調節してレーザ反射光を補正する液晶シャッター部を備える光ディスク装置であって、サーボプロセッサからフォーカスアクチュエータに対して出力されるフォーカス制御信号がチルト制御部にも入力され、チルト制御部が、入力されたフォーカス制御信号を出力調整して得られた信号をチルト補正機構に対しラジアル方向のチルト調整用の制御信号として出力すると共に、フォーカス制御信号を出力調整し且つ光ディスクの回転位置に対し位相を９０°ずらして得られた信号をチルト補正機構に対しタンジェンシャル方向のチルト調整用の制御信号として出力し、チルト制御部から出力されるラジアル方向のチルト調整用の制御信号をラジアル方向のチルトに伴ってレーザ反射光がずれ込む所定のシャッター領域に、且つタンジェンシャル方向のチルト調整用の制御信号をタンジェンシャル方向のチルトに伴ってレーザ反射光がずれ込むと別の所定シャッター領域にそれぞれ入力し、各シャッター領域での透過光量を調節して、ラジアル方向及びタンジェンシャル方向へのチルトに伴うレーザ反射光のずれを補正することを特徴とする光ディスク装置であり、光ディスクの面振れにより光ディスクのラジアル方向及びタンジェンシャル方向のチルトが周期的に発生して光ディスクからの反射光の光軸が傾いてずれる場合でも、面振れに伴うフォーカス制御信号変化と面振れによるチルト量変化とは一対一に対応していることから、フォーカス制御信号をチルト制御部に入力することで確実にチルト量に応じたチルト補正機構の作動制御が行え、チルトを解消もしくはチルトの影響を回避して、ジッターの発生を抑えて安定してデータ読出しを行えるという作用を有する。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、光ディスクを回転させるスピンドルモータと、光ディスクにレーザ光を照射すると共に光ディスクからのレーザ反射光を受光する光ピックアップと、光ディスクで反射された光信号を電気信号に変換するディテクタと、光ディスク信号面に対して常にレーザ光の焦点が合うよう光ピックアップをフォーカス方向に駆動する四つの駆動機構を有するフォーカスアクチュエータと、光ディスクのスパイラル状又は同心円状のトラックに対して常にレーザ光が追従するよう光ピックアップをトラッキング方向に駆動するトラッキングアクチュエータと、ディテクタから出力される信号を基に、フォーカスアクチュエータに対するフォーカス制御及びトラッキングアクチュエータに対するトラッキング制御の各サーボ制御を行うサーボプロセッサと、チルト発生時における光ディスクからのレーザ反射光の光ピックアップにおけるずれを補正するチルト補正機構と、当該チルト補正機構の作動制御を行うチルト制御部とを備える光ディスク装置であって、チルト補正機構はフォーカスアクチュエータのフォーカス方向への駆動機構の三つが兼ね、サーボプロセッサからフォーカスアクチュエータに対して出力されるフォーカス制御信号がチルト制御部にも入力され、チルト制御部が、入力されたフォーカス制御信号を出力調整して得られた信号をチルト補正機構に対しラジアル方向のチルト調整用の制御信号として出力すると共に、フォーカス制御信号を出力調整し且つ光ディスクの回転位置に対し位相を９０°ずらして得られた信号をチルト補正機構に対しタンジェンシャル方向のチルト調整用の制御信号として出力し、チルト制御部から出力されるラジアル方向のチルト調整用の制御信号又はタンジェンシャル方向のチルト調整用の制御信号を三つの駆動機構のうちの異なる二つの組み合わせの駆動機構にそれぞれフォーカス制御信号と合わせて入力し、各駆動機構の発生駆動力を異ならせ、光ピックアップをラジアル方向及びタンジェンシャル方向にそれぞれ傾動させて光ピックアップと光ディスクとの平行度を補正することを特徴とする光ディスク装置であり、光ディスクの面振れにより光ディスクのラジアル方向及びタンジェンシャル方向のチルトが周期的に発生して光ディスクからの反射光の光軸が傾いてずれる場合でも、面振れに伴うフォーカス制御信号変化と面振れによるチルト量変化とは一対一に対応していることから、フォーカス制御信号をチルト制御部に入力することで確実にチルト量に応じたチルト補正機構の作動制御が行え、チルトを解消もしくはチルトの影響を回避して、ジッターの発生を抑えて安定してデータ読出しを行えるという作用を有する。
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について、図１〜図１４を参照しながら説明する。
【００１７】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１における光ディスク装置のブロック図である。図１において、本実施の形態に係る光ディスク装置は、光ディスク１にレーザ光を照射すると共に光ディスク１で反射された光を受光する光ピックアップ２と、この光ピックアップ２で得た光ディスク１からの反射光を電流に変換し、光ディスク１からのデータ読出し用並びにフォーカスエラー検出用の出力信号であるＡ信号、Ｂ信号、Ｃ信号、及びＤ信号と、トラッキングエラー検出用の出力信号であるＥ信号及びＦ信号の各電気信号を出力するディテクタ３と、このディテクタ３から出力されるＡ信号及びＣ信号を加算した信号とＢ信号及びＤ信号を加算した信号との差信号であるフォーカスエラー信号（以下、ＦＥ信号と略称）を生成し、且つ、ディテクタ３から出力されるＥ信号及びＦ信号から差信号であるトラッキングエラー信号（以下、ＴＥ信号と略称）を生成すると共に、ディテクタ３より出力されるＡ信号、Ｂ信号、Ｃ信号、Ｄ信号を加算し、ＲＦ信号を生成するＲＦアンプ４と、光ピックアップ２をフォーカス方向に駆動するフォーカスアクチュエータ５と、光ピックアップ２をトラッキング方向に駆動するトラッキングアクチュエータ６と、ＲＦアンプ４からＴＥ信号及びＦＥ信号を入力され、ＦＥ信号を基に光ディスク１信号面に常にレーザ光の焦点が合うようにフォーカスアクチュエータ５の制御を行うと共に、ＴＥ信号を基に光ディスク１のスパイラル状又は同心円状のトラックに対してレーザ光が常に追従するようにトラッキングアクチュエータ６の制御を行うサーボプロセッサ７と、光ディスク１と光ピックアップ２との間に生じるチルトを補正するチルト補正機構８と、ＲＦ信号の波形整形を行い、ＲＦの二値化信号（図１中でＤＡＴＡと表現）、及び、同期クロック（図１中でＣＬＫと表現）を生成するイコライザ及びＰＬＬ回路（ＥＱ／ＰＬＬ回路）９と、二値化信号と同期クロックからジッターを検出するジッター検出回路１０と、ジッター検出回路１０からジッターの検出状態を入力され、サーボプロセッサ７を制御するＣＰＵ１１と、チルト補正機構８の駆動制御を行うチルト制御部としてのチルト制御回路１２とを備える構成である。
【００１８】
チルト制御回路１２は、フォーカスアクチュエータ５に対してサーボプロセッサ７から出力されるフォーカス制御信号を入力され、このフォーカス制御信号を出力調整してチルト補正機構８に出力し、光ディスク１の回転方向におけるチルト変化に対応してチルト調整を行うものである。
【００１９】
ここで、図２は図１の光ディスク装置のラジアル方向チルト発生概念説明図である。図２において、面ぶれを有する光ディスクにおけるラジアル方向チルト発生概念を説明する。図２に示すように、面ぶれの最上位点においては、光ピックアップ２のフォーカス位置が最上位部に位置すると共に、最大チルト量が発生する。また、光ディスク１と光ピックアップ２が平行となった時には、フォーカス位置は基準位置となると共に、チルト量が０となる。面ぶれの最下位点においては、フォーカス位置が最下位部に位置すると共に、最大チルト量が発生する。
【００２０】
また、図３は図１の光ディスク装置のタンジェンシャル方向チルト発生概念説明図である。図３において、面ぶれを有する光ディスクにおけるタンジェンシャル方向チルト発生概念を説明する。図３に示すように、面ぶれの最上位点においては、光ピックアップ２のフォーカス位置が最上位部に位置すると共に、チルト量が０となる。また、光ディスク１と光ピックアップ２が平行となった時には、フォーカス位置は基準位置となると共に、最大チルト量が発生する。また、最下位点においては、フォーカス位置が最下位部に位置すると共に、チルト量は０となる。
【００２１】
以上のように、面ぶれを有する光ディスクの回転においては、面ぶれによってチルト量が変化すると共に、光ディスク１の回転によるフォーカス位置変化、すなわち、光ディスク面位置に光ピックアップ２を追随させるフォーカス制御におけるフォーカス制御信号の変化が、チルト量の変化と一対一に対応する関係を有している。
【００２２】
このことから、図１に示すように、フォーカス制御信号（図１中でＦｏＤｒｖと表現）をチルト制御回路１２へ入力し、フォーカス制御信号に基づいてチルト補正機構８を制御することで、回転によるチルト量変化に同期してチルトによる影響をキャンセルすることができ、面ぶれを有する光ディスクに対して、安定したデータ再生を行うことが可能となる。
【００２３】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２に係る光ディスク装置について図４及び図５に基づいて説明する。図４は本発明の実施の形態２におけるチルト制御ブロック図、図５は図４のチルト角とチルト制御信号の関係説明図である。
【００２４】
本実施の形態２に係る光ディスク装置は、実施の形態１と同様の構成におけるチルト制御回路１２として、図４に示すように、フォーカス制御信号（図４中でＦｏＤｒｖと表現）の振幅を常に一定とするためのオートゲインコントロール回路（以下、ＡＧＣと略称）１３と、ＡＧＣ１３より出力される信号をディジタル値に変換するＡ／Ｄ変換回路１４と、Ａ／Ｄ変換回路１４から出力されるディジタル値をアナログ値へ変換するためのＤ／Ａ変換回路１５と、Ｄ／Ａ変換回路１５から出力される値をＣＰＵ１１の制御により任意のゲインで出力することが可能なバッファ回路１６と、Ａ／Ｄ変換回路１４から出力されるデータをスピンドルモータ（図示を省略）の回転パルスによりシフトさせ、回転周期に対して位相を９０°ずらしたデータを出力するためのシフトレジスタ１７と、シフトレジスタ１７から出力されるディジタル値をアナログ値へ変換するためのＤ／Ａ変換回路１８と、Ｄ／Ａ変換回路１８から出力される値をＣＰＵ１１の制御により任意のゲインで出力することが可能なバッファ回路１９とを備える構成である。
【００２５】
チルト制御回路の動作に関して、図５に基づいて説明する。図５で示すように、ラジアルチルト角と、タンジェンシャルチルト角とは、９０°ずれた位相関係となっている。また、フォーカス制御信号は、内周及び外周で周期は同じになるものの、振幅の異なる信号となるために、この信号をそのままチルト補正機構８で使用することはできない。従って、まず、フォーカス制御信号に対し、ＡＧＣ１３を使用して、常に同じ振幅の信号となるように制御する。また、タンジェンシャルチルト角の補正には、フォーカス制御信号に対して位相が９０°ずれた信号を生成する必要がある。このため、ＡＧＣ１３から出力された信号に対しＡ／Ｄ変換回路１４でＡ／Ｄ変換を行ってディジタルデータとしてデータ生成を行うと共に、スピンドルモータの回転パルスを参照しつつシフトレジスタ１７でデータをシフトさせていき、９０°ずれた位相のディジタルデータを生成する。
【００２６】
次に、ディジタルデータをＤ／Ａ変換回路１５で、また位相が９０°ずれたディジタルデータをＤ／Ａ変換回路１８でそれぞれアナログ値へ戻し、位相が９０°ずれた二つの信号を生成する。上記方式を使用することで、光ディスク１の回転速度に依存せず、常に位相の９０°ずれた信号を生成することが可能である。
【００２７】
生成された各信号を、任意のゲインで出力可能なバッファ回路１６、１９に入力することにより、ラジアルチルト制御信号（ＲｔＤＲＶ）と、タンジェンシャルチルト制御信号（ＴｔＤＲＶ）とが得られる。これらの信号で、図１に示すチルト補正機構８を制御することとなる。
【００２８】
このように、本実施の形態２に示すチルト制御方法を備える光ディスク装置によって、ラジアルチルト制御信号及びタンジェンシャルチルト制御信号に基づき、チルト補正機構８でラジアル方向及びタンジェンシャル方向のそれぞれのチルトを確実に補正でき、面ぶれを有する光ディスクに対して、安定したデータ再生を行うことが可能となる。
【００２９】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態３に係る光ディスク装置について図６ないし図９に基づいて説明する。
【００３０】
本実施の形態３に係る光ディスク装置は、実施の形態２におけるチルト制御回路１２により制御するチルト補正機構として、多軸可動型のフォーカスアクチュエータ５を用いるものである。
【００３１】
図６は本発明の実施の形態３におけるフォーカスアクチュエータの構成図、図７は図６のアクチュエータの駆動ブロック図である。図６に示すように、フォーカスアクチュエータ５のフォーカスコイルが、コイルＡ、コイルＢ、コイルＣ、コイルＤの４つに分割されており、各コイルに流す電流を異ならせることにより、フォーカス制御に加えて、ラジアル方向及びタンジェンシャル方向の各チルト調整を可能とし、チルト補正機構８となる仕組みである。
【００３２】
また、図７に示すように、このチルト補正機構は、フォーカス制御信号（ＦｏＤＲＶ）を全てのコイルへ入力し、フォーカス方向の駆動力を発生させる一方、チルト制御回路１２から出力されるラジアルチルト制御信号（ＲｔＤＲＶ）をコイルＡ及びコイルＢへの入力信号に加算し、且つ、タンジェンシャルチルト制御信号（ＴｔＤＲＶ）をコイルＡ及びコイルＤへの入力信号に加算することによって、各コイルにおけるフォーカス方向の駆動力を異ならせ、光ピックアップ２主要部をラジアル方向及びタンジェンシャル方向に傾動させるものである。
【００３３】
ここで、本実施の形態３におけるチルト補正機構に対するチルト制御回路でのラジアルチルト制御信号のゲイン調整方法を、図８のフローチャートを使用して説明する。図８は図７のラジアルチルト制御のゲイン調整フローチャートである。前提として、ラジアルチルト制御の検索開始設定値をＳｔａｒｔＲｔＧａｉｎ、最終設定値をＥｎｄＲｔＧａｉｎ、ステップをα、ゲイン設定レジスタをＲｔＧａｉｎ、その設定におけるジッター値をｊｉｔ（ＲｔＧａｉｎ）、最良ジッター格納用変数としてＢｅｓｔｊｉｔ、最良ジッターにおけるゲイン設定格納用変数としてＢｅｓｔＲｔＧａｉｎと仮定する。
【００３４】
まず、初期化として、Ｂｅｓｔｊｉｔに最大値（ＦＦＦＦｈ）を入力し、ＢｅｓｔＲｔＧａｉｎをクリア（０ｈ）し、ＲｔＧａｉｎにＳｔａｒｔＲｔＧａｉｎを設定する（Ｓｔｅｐ１）。次に、ＲｔＧａｉｎにおけるジッター値ｊｉｔ（ＲｔＧａｉｎ）を測定する（Ｓｔｅｐ２）。
【００３５】
Ｓｔｅｐ２で測定したジッター値ｊｉｔ（ＲｔＧａｉｎ）と、Ｂｅｓｔｊｉｔとを比較し（Ｓｔｅｐ３）、ｊｉｔ（ＲｔＧａｉｎ）が小さければ、Ｂｅｓｔｊｉｔ値をｊｉｔ（ＲｔＧａｉｎ）に代入すると共に、ＢｅｓｔＲｔＧａｉｎをＲｔＧａｉｎの値として更新する（Ｓｔｅｐ４）。さらに、ＲｔＧａｉｎの値をα分インクリメントする（Ｓｔｅｐ５）。Ｓｔｅｐ３で、ｊｉｔ（ＲｔＧａｉｎ）がＢｅｓｔｊｉｔ以上であれば、そのままＳｔｅｐ５へ移行する。
【００３６】
Ｓｔｅｐ５の後、ＲｔＧａｉｎの値とＥｎｄＲｔＧａｉｎとを比較し（Ｓｔｅｐ６）、ＲｔＧａｉｎの値がＥｎｄＲｔＧａｉｎ以下であれば、Ｓｔｅｐ２へ移行し、過程を繰返す。
【００３７】
一方、ＲｔＧａｉｎの値がＥｎｄＲｔＧａｉｎより大きければ、ＲｔＧａｉｎとして、ＢｅｓｔＲｔＧａｉｎの値を設定し（Ｓｔｅｐ７）、一連の処理を終える。
【００３８】
続いて、本実施の形態３におけるチルト補正機構に対するチルト制御回路でのタンジェンシャルチルト制御信号のゲイン調整方法を、図９のフローチャートを使用して説明する。図９は図７のタンジェンシャル制御のゲイン調整フローチャートである。前提として、タンジェンシャルチルト制御の検索開始設定値をＳｔａｒｔＴｔＧａｉｎ、最終設定値をＥｎｄＴｔＧａｉｎ、ステップをβ、ゲイン設定レジスタをＴｔＧａｉｎ、その設定におけるジッター値をｊｉｔ（ＴｔＧａｉｎ）、最良ジッター格納用変数としてＢｅｓｔｊｉｔ、最良ジッターにおけるゲイン設定格納用変数としてＢｅｓｔＴｔＧａｉｎと仮定する。
【００３９】
まず、初期化として、Ｂｅｓｔｊｉｔに最大値（ＦＦＦＦｈ）を入力し、ＢｅｓｔＴｔＧａｉｎをクリア（０ｈ）し、ＴｔＧａｉｎにＳｔａｒｔＴｔＧａｉｎを設定する（Ｓｔｅｐ１１）。次に、ＴｔＧａｉｎにおけるジッター値ｊｉｔ（ＴｔＧａｉｎ）を測定する（Ｓｔｅｐ１２）。
【００４０】
このＳｔｅｐ１２で測定したジッター値ｊｉｔ（ＴｔＧａｉｎ）と、Ｂｅｓｔｊｉｔとを比較し（Ｓｔｅｐ１３）、ｊｉｔ（ＴｔＧａｉｎ）が小さければ、Ｂｅｓｔｊｉｔ値をｊｉｔ（ＴｔＧａｉｎ）に代入すると共に、ＢｅｓｔＴｔＧａｉｎにＴｔＧａｉｎの値を更新する（Ｓｔｅｐ１４）。さらに、ＴｔＧａｉｎの値をβ分インクリメントする（Ｓｔｅｐ１５）。Ｓｔｅｐ１３で、ｊｉｔ（ＴｔＧａｉｎ）がＢｅｓｔｊｉｔの値以上であれば、そのままＳｔｅｐ１５へ移行する。
【００４１】
Ｓｔｅｐ１５の後、ＴｔＧａｉｎとＥｎｄＴｔＧａｉｎとを比較し（Ｓｔｅｐ１６）、ＴｔＧａｉｎの値がＥｎｄＴｔＧａｉｎ以下であれば、Ｓｔｅｐ１２へ移行し、過程を繰返す。
【００４２】
一方、ＴｔＧａｉｎの値がＥｎｄＴｔＧａｉｎより大きければ、ＴｔＧａｉｎとして、ＢｅｓｔＴｔＧａｉｎ値を設定し（Ｓｔｅｐ１７）、一連の処理を終える。
【００４３】
以上の各処理によって、ラジアルチルト制御信号並びにタンジェンシャルチルト制御信号の最適ゲインが決定され、最適ゲインに調整されたラジアルチルト制御信号がコイルＡ及びコイルＢへの入力信号に加算されると共に、最適ゲインに調整されたタンジェンシャルチルト制御信号がコイルＡ及びコイルＤへの入力信号に加算され、各コイルにおけるフォーカス方向の駆動力が適切に調整されることとなり、ラジアル方向及びタンジェンシャル方向のチルトに対して光ピックアップ２主要部を傾動させてチルトを解消でき、安定したデータ再生を行うことが可能となる。
【００４４】
（実施の形態４）
本発明の実施の形態４に係る光ディスク装置について図１０及び図１１に基づいて説明する。図１０は本発明の実施の形態４におけるチルト補正機構図、図１１は本発明の実施の形態４におけるチルト補正のブロック図である。本実施の形態４に係る光ディスク装置は、実施の形態２におけるチルト制御回路１２により制御するチルト補正機構として、図１０に示すように、スピンドルモータ２７近傍にラジアル方向と平行に配設され、スピンドルモータ２７をラジアル方向に傾動させるラジアルチルト補正用モータ２０と、スピンドルモータ２７近傍にタンジェンシャル方向と平行に配設され、スピンドルモータ２７をタンジェンシャル方向に傾動させるタンジェンシャルチルト補正用モータ２１とを備える構成である。
【００４５】
また、図１１に示すように、チルト制御回路１２から出力されるラジアルチルト制御信号（ＲｔＤＲＶ）をラジアルチルト補正用モータ２０の駆動信号として、タンジェンシャルチルト制御信号（ＴｔＤＲＶ）をタンジェンシャルチルト補正用モータ２１の駆動信号としてそれぞれ使用する。チルト制御回路におけるラジアルチルト制御信号及びタンジェンシャル制御信号のゲイン調整方法は、実施の形態３と同様であり、説明を省略する。
【００４６】
上記した本実施の形態４におけるチルト補正機構においては、最適ゲインに調整されたラジアルチルト制御信号がラジアルチルト補正用モータ２０へ入力されると共に、最適ゲインに調整されたタンジェンシャルチルト制御信号がタンジェンシャルチルト補正用モータ２１に入力され、ラジアルチルト補正用モータ２０並びにタンジェンシャルチルト補正用モータ２１が適切に駆動されることとなり、ラジアル方向及びタンジェンシャル方向のチルトに対してスピンドルモータ２７及び光ディスク（図示を省略）を傾動させてチルトを解消でき、安定したデータ再生を行うことが可能となる。
【００４７】
（実施の形態５）
本発明の実施の形態５に係る光ディスク装置について図１２に基づいて説明する。図１２は本発明の実施の形態５におけるチルト補正機構図である。本実施の形態５に係る光ディスク装置は、実施の形態２におけるチルト制御回路により制御するチルト補正機構として、図１２に示すように、光ピックアップ２を光ディスク（図示を省略）の半径方向に案内する二つのシャフト２５、２６のうち一方のシャフト２５端部に配設され、このシャフト２５端部を所定範囲内で移動させるラジアルチルト補正用モータ２０と、他方のシャフト２６端部に配設され、このシャフト２６を所定範囲内で平行移動させるタンジェンシャルチルト補正用モータ２１とを備える構成である。ラジアルチルト補正用モータ２０を駆動してシャフト２５端部を動かすことで光ピックアップ２をラジアル方向に傾動させられ、また、タンジェンシャルチルト補正用モータ２１を駆動してシャフト２６を動かすことで光ピックアップ２をタンジェンシャル方向に傾動させられる仕組みである。
【００４８】
また、第４の実施の形態と同様、図１１に示すように、チルト制御回路から出力されるラジアルチルト制御信号（ＲｔＤＲＶ）をラジアルチルト補正用モータ２０駆動信号として、また、タンジェンシャルチルト制御信号（ＴｔＤＲＶ）をタンジェンシャルチルト補正用モータ２１駆動信号としてそれぞれ使用する。チルト制御回路におけるラジアルチルト制御信号及びタンジェンシャル制御信号のゲイン調整方法は、実施の形態３、４と同様であり、説明を省略する。
【００４９】
上記した本実施の形態５におけるチルト補正機構においては、最適ゲインに調整されたラジアルチルト制御信号がラジアルチルト補正用モータ２０へ入力されると共に、最適ゲインに調整されたタンジェンシャルチルト制御信号がタンジェンシャルチルト補正用モータ２１に入力され、ラジアルチルト補正用モータ２０並びにタンジェンシャルチルト補正用モータ２１が適切に駆動されることとなり、ラジアル方向及びタンジェンシャル方向のチルトに対して光ピックアップ２を傾動させてチルトを解消でき、安定したデータ再生を行うことが可能となる。
【００５０】
（実施の形態６）
本発明の実施の形態６に係る光ディスク装置について図１３及び図１４に基づいて説明する。図１３は本発明の実施の形態６におけるチルト補正機構図、図１４は本発明の実施の形態６におけるチルト補正機構図である。本実施の形態６に係る光ディスク装置は、実施の形態２におけるチルト制御回路により制御するチルト補正機構として、図１３に示すように、光ピックアップ２内部におけるディテクタ３と対物レンズとの間に配設され、光ディスク１からのレーザ反射光の通過状態を調整するチルトキャンセル用液晶２２を備える構成である。
【００５１】
このチルトキャンセル用液晶２２は、図１４に示すように、液晶がＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄの四つの区域に分割されており、チルトにより発生した光の乱れを液晶によるシャッター機能を使うことにより、光を制御し、戻り光を補正することができる。分割されている四つの液晶のうち、ラジアル方向のチルトに伴ってレーザ反射光がずれ込む領域である液晶Ａ、Ｂをラジアルチルト補正用液晶とすると共に、タンジェンシャル方向のチルトに伴ってレーザ反射光がずれ込む領域である液晶Ｃ、Ｄをタンジェンシャルチルト補正用液晶としている。
【００５２】
また、図１４に示すように、チルト制御回路１２から出力されるラジアルチルト制御信号（ＲｔＤＲＶ）を、液晶Ａ、Ｂを制御するＡ＿Ｄｒｖ信号及びＢ＿Ｄｒｖ信号として入力し、また、タンジェンシャルチルト制御信号（ＴｔＤｒｖ）を、液晶Ｃ、Ｄを制御するＣ＿Ｄｒｖ信号及びＤ＿Ｄｒｖ信号としてそれぞれ入力する。チルト制御回路におけるラジアルチルト制御信号及びタンジェンシャル制御信号のゲイン調整方法は、実施の形態３、４、５と同様であり、説明を省略する。
【００５３】
上記した本実施の形態６におけるチルト補正機構においては、最適ゲインに調整されたラジアルチルト制御信号が液晶Ａ、Ｂに入力されると共に、最適ゲインに調整されたタンジェンシャルチルト制御信号が液晶Ｃ、Ｄに入力され、液晶Ａ、Ｂ並びに液晶Ｃ、Ｄが適切に制御されることとなり、ラジアル方向及びタンジェンシャル方向のチルトでずれたレーザ反射光に対して各液晶領域での透過光量を調節してレーザ反射光のずれを補正し、ディテクタ３に反射光を正しく入射させてチルトによる影響を解消でき、面振れを有する光ディスクについても安定したデータ再生を行うことが可能となる。
【００５４】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、光ディスクの面振れによるチルト量変化と一対一に対応して変化するフォーカス制御信号をチルト制御部に入力し、チルト制御部でフォーカス制御信号を基にチルト補正機構の作動制御を行うことで、チルト量に対応した補正を確実に行え、チルトを解消もしくはチルトの影響を回避でき、面振れを有する光ディスクに対してもジッターの発生を抑えて安定してデータ読出しを行えるという有利な効果を得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１における光ディスク装置のブロック図
【図２】図１の光ディスク装置のラジアル方向チルト発生概念説明図
【図３】図１の光ディスク装置のタンジェンシャル方向チルト発生概念説明図
【図４】本発明の実施の形態２におけるチルト制御ブロック図
【図５】図４のチルト角とチルト制御信号の関係説明図
【図６】本発明の実施の形態３におけるアクチュエータの構成図
【図７】図６のフォーカスアクチュエータの駆動ブロック図
【図８】図７のラジアルチルト制御のゲイン調整フローチャート
【図９】図７のタンジェンシャル制御のゲイン調整フローチャート
【図１０】本発明の実施の形態４におけるチルト補正機構図
【図１１】本発明の実施の形態４におけるチルト補正のブロック図
【図１２】本発明の実施の形態５におけるチルト補正機構図
【図１３】本発明の実施の形態６におけるチルト補正機構図
【図１４】本発明の実施の形態６におけるチルト補正機構図
【図１５】従来の光ディスク装置の構成図
【符号の説明】
１  光ディスク
２  光ピックアップ
３  ディテクタ
４  ＲＦアンプ
５  フォーカスアクチュエータ
６  トラッキングアクチュエータ
７  サーボプロセッサ
８  チルト補正機構
９  イコライザ及びＰＬＬ回路（ＥＱ／ＰＬＬ回路）
１０  ジッター検出回路
１１  ＣＰＵ
１２  チルト制御回路
１３  オートゲインコントロール回路（ＡＧＣ）
１４  Ａ／Ｄ変換回路
１５  Ｄ／Ａ変換回路
１６  バッファ回路
１７  シフトレジスタ
１８  Ｄ／Ａ変換回路
１９  バッファ回路
２０  ラジアルチルト補正用モータ
２１  タンジェンシャルチルト補正用モータ
２２  チルトキャンセル用液晶
２３  ラジアルチルト調整ねじ
２４  タンジェンシャルチルト調整ねじ
２５  シャフト
２６  シャフト
２７  スピンドルモータ
【図１】
0004158283.tif 000002
【図２】
0004158283.tif 000003
【図３】
0004158283.tif 000004
【図４】
0004158283.tif 000005
【図５】
0004158283.tif 000006
【図６】
0004158283.tif 000007
【図７】
0004158283.tif 000008
【図８】
0004158283.tif 000009
【図９】
0004158283.tif 000010
【図１０】
0004158283.tif 000011
【図１１】
0004158283.tif 000012
【図１２】
0004158283.tif 000013
【図１３】
0004158283.tif 000014
【図１４】
0004158283.tif 000015
【図１５】
0004158283.tif 000016