(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線層と層間絶縁膜層とを備えた半導体装置であって、前記層間絶縁膜層が有機絶縁膜で形成された第１の絶縁膜を下層に、有機金属ポリマで形成された第２の絶縁膜を上層に積層した層からなる半導体装置であって、
前記第１の絶縁膜を形成する有機絶縁膜の比誘電率が３．５以下であり、
前記第２の絶縁膜を形成する有機金属ポリマが下記（化１）の分子構造を有するラダーシリコーンポリマであって、その比誘電率が４．０未満であることを特徴とする半導体装置。
但し、（化１）式中のＲは（化６）で示される有機基を表し、（化６）式中のＲ'はメチル基を表し、ｎは２以上の整数を表す。
【化１】
0004095763.tif 000023
【化６】
0004095763.tif 000024
【請求項２】
前記第２の絶縁膜の膜厚が、前記第１の絶縁膜の膜厚以下であることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
基板上に有機絶縁膜材料を塗布して第１の絶縁膜を形成する工程と、該第１の絶縁膜上に有機金属ポリマ材料を塗布して第２の絶縁膜を形成する工程と、該第２の絶縁膜上に開口形成用レジストパターンを形成する工程と、該レジストパターンをマスクとして前記第２の絶縁膜に開口を形成する工程と、前記レジストと前記第２の絶縁膜とをマスクとして、ドライエッチング処理を用いて前記第１の絶縁膜に開口を形成した後、前記レジストを除去する工程と、前記第１の絶縁膜と前記第２の絶縁膜とを加熱硬化する工程を備え、前記有機金属ポリマ材料が下記（化１）で表される分子構造を有するラダーシリコーンポリマ材料からなることを特徴とする半導体装置の製造方法。
但し、（化１）式中のＲは（化６）で示される有機基を表し、（化６）式中のＲ'はメチル基を表し、ｎは２以上の整数を表す。
【化１】
0004095763.tif 000025
【化６】
0004095763.tif 000026
【請求項４】
前記第１の絶縁膜または前記第２の絶縁膜に開口を形成する工程が、接続孔形成または溝配線用溝形成の少なくともいずれかの工程であることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記第１の絶縁膜を３５０℃未満の温度範囲で加熱硬化した後、該第１の絶縁膜に開口を形成することを特徴とする請求項３に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記第１の絶縁膜に開口を形成した後、該第１の絶縁膜を３５０℃以上の温度範囲で加熱硬化することを特徴とする請求項３に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記第１の絶縁膜の開口が、酸素を主成分とするドライエッチング法を用いて行われることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項８】
前記第２の絶縁膜の膜厚が前記第１の絶縁膜の膜厚以下であることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項９】
前記第２の絶縁膜を、酸素を主成分とするプラズマガスに曝した後、加熱硬化処理を行うことを特徴とする請求項３に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１０】
前記第２の絶縁膜をマスクとして、酸素を主成分とするプラズマガスを用いたドライエッチング処理を行うことによって、前記第１の絶縁膜に開口を形成することを特徴とする請求項３に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１１】
前記有機金属ポリマ材料が有機官能基を有してなり、酸素を主成分とするプラズマガスを用いた酸素プラズマ処理と加熱処理を行うことによって前記有機官能基を分解除去することを特徴とする請求項３に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１２】
前記第２の絶縁膜を、酸素を主成分とするプラズマガスを用いた酸素プラズマ処理と加熱処理を行うことによって、前記第２の絶縁膜の膜硬度を向上させることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１３】
メモリ素子を内蔵させた半導体基板と、該半導体基板上に積層された層間絶縁層と、上層配線と、配線材から構成され、周辺部からの吸湿透湿を防ぐための素子周辺を囲う隔壁（以下ガードリングと称する）とを備え、前記層間絶縁層が比誘電率３．５以下の有機絶縁膜からなる絶縁膜を下層に、かつ比誘電率が４．０未満の有機金属ポリマからなる絶縁膜を上層に積層してなり、該有機金属ポリマが下記（化１）の分子構造を有するラダーシリコーンポリマであり、前記メモリ素子の最外周領域に配置された前記ガードリングの一端が前記上層配線に接続され、かつ他方に一端が前記半導体基板の内部に埋め込まれるように形成されてなることを特徴とする半導体メモリ装置。
但し、（化１）式中のＲは（化６）で示される有機基を表し、（化６）式中のＲ'はメチル基を表し、ｎは２以上の整数を表す。
【化１】
0004095763.tif 000027
【化６】
0004095763.tif 000028
【請求項１４】
ＭＯＳトランジスタを内蔵させた半導体基板と、該半導体基板上に形成されたＢＰＳＧ層と、配線層と、層間絶縁層と、保護膜とを備え、前記ＢＰＳＧ層と前記層間絶縁層とを貫通して設けられた導電プラグが、前記配線層を介して前記半導体基板に接続されてなり、かつ前記層間絶縁層が比誘電率３．５以下の有機絶縁膜からなる絶縁膜を下層に、比誘電率が４．０未満の有機金属ポリマからなる絶縁膜を上層に積層してなり、該有機金属ポリマが下記（化１）の分子構造を有するラダーシリコーンポリマであり、前記ＢＰＳＧ層及び前記層間絶縁層の端部を覆うようにして前記保護膜が設けられてなることを特徴とする半導体装置。
但し、（化１）式中のＲは（化６）で示される有機基を表し、（化６）式中のＲ'はメチル基を表し、ｎは２以上の整数を表す。
【化１】
0004095763.tif 000029
【化６】
0004095763.tif 000030
【請求項１５】
前記保護膜の一端が、前記半導体基板の内部に埋め込まれてなることを特徴とする請求項１４に記載の半導体装置。
【請求項１６】
前記保護膜が窒化シリコン膜であることを特徴とする請求項１４に記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、低誘電率を有する有機絶縁膜を層間絶縁膜に用いた半導体装置およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体素子の高集積化とチップサイズの縮小に伴い、配線の微細化、狭ピッチ化および多層化が進められている。これに伴って、信号が配線を伝播するときの遅れ時間、即ち配線遅延が増加する傾向にあり、半導体素子を用いた電子機器を使用するに際して大きな問題となっている。
一般に、配線を伝播する信号の速度は配線抵抗（Ｒ）と配線間容量（Ｃ）の積（ＲＣ）によって決まるため、配線抵抗を下げること、または配線間容量を小さくすること、即ち層間絶縁膜の低誘電率化を行なうことが配線遅延を低減するために必要である。
【０００３】
従来、半導体装置の層間絶縁膜にはＣＶＤ法を用いて成膜されたＳｉＯ2膜（比誘電率４．０程度）やＳｉＮ膜（比誘電率７．０程度）等の無機系材料が使用されていた。そして、従来のプロセスを踏襲できる低誘電率材料として、最近ではＳｉＯＦ膜（比誘電率３．７程度）の採用が相次いでいる。
【０００４】
しかしながら、ＳｉＯＦ膜の誘電率は比較的高く、これを層間絶縁膜として使用した場合には層間容量を低減する効果が十分でないため、次世代以降の半導体装置ではさらに低い誘電率を有する材料が必要とされている。
【０００５】
比誘電率が３．０以下の層間絶縁膜材料として有機系材料が盛んに検討されている。有機絶縁膜材料としては、炭化水素系樹脂であるポリイミド、ポリパラキシリレン、ポリアリーレンエーテル、ポリアリーレン、ベンズシクロブテン、ポリナフタレン等の高分子材料が知られている。これらの材料は、炭素原子を含有することで膜の密度を低減させ、また分子（モノマ）自身の分極率を小さくすることで低誘電率を達成している。またイミド結合あるいは芳香環を導入することにより、ある程度の耐熱性を確保している。
【０００６】
ところで、有機絶縁膜を含む層間絶縁膜をフォトレジストを用いてパターニングする時、そのエッチング特性は膜の組成によって大きく異なる。即ち、上記した低誘電率膜はフォトレジストと共通の成分である炭素や水素等を含むため、両者のエッチング特性は同様の傾向を示す。従って、フォトレジストを用いて上記した低誘電率膜をパターニングする場合、パターン加工後のレジスト除去工程（酸素プラズマ処理等）中に低誘電率膜も酸化され、その膜厚の減少や膜質劣化を生じることが知られている。
【０００７】
上記の問題を解決するため、特開平１０−１１２５０３号公報にはレジストパターンを先ずＳｉＯ2膜等の無機物に転写し、これをマスクにして低誘電率膜に孔や溝のパターンを形成する、所謂ハードマスク法が開示されている。また、ハードマスク法を改良したデュアルハードマスク法（ハードマスクを２層用いる）がIEEE International Electron Devices Meeting Technical Digest、 ｐｐ．６２３〜６２６（１９９９）に報告されている。
【０００８】
従来技術である半導体装置の製造方法の一例を図１に示す。先ず、シリコン基板１上に有機低誘電率材料２を塗布し（図１（ａ））、４００℃程度でのキュアベークまで段階的に加熱硬化させ成膜する（図１（ｂ））。次に、有機低誘電率膜２上に、例えば酸化シリコン膜３を既知のＣＶＤ法により形成する（図１（ｃ））。そして、酸化シリコン膜３上にフォトレジストを成膜し（図１（ｄ））、既知のフォトリソグラフィー法により酸化シリコン膜３上に配線パターン形成用のレジストパターン４を形成する（図１（ｅ））。その後、例えばＣＦ４を主成分とするエッチングガスを用いてレジストパターン４をマスクとして酸化シリコン膜３をエッチングする（図１（ｆ））。そして更に、酸素を含むエッチングガスを用いてレジストパターン４および酸化シリコン膜３をマスクとして有機低誘電率膜２をエッチングする。このとき，同時にレジストパターン４も除去され（図１（ｇ））、配線パターンの形状を有する開口５が形成される。そして、例えば中性の剥離液によりパターン内部を洗浄し、乾燥ベークすることによって、配線パターンが形成される（図１（ｈ））。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の方法では、通常の樹脂レジストをマスクにする方法に比べて工程が煩雑になること、比誘電率が高い酸化シリコン膜からなるハードマスク材料が層間絶縁膜の一部として残留するため、低誘電率膜のみを用いた場合に比べて実効的な比誘電率が高くなるという大きな問題があった。
【００１０】
本発明は、上記した技術的背景のもとに提案するものであり、有機絶縁膜を層間絶縁膜に用いることによって上記の問題点を解決するとともに、製造工程の簡略化を図るものである。これによって層間絶縁膜の実効的な比誘電率を低くすることが可能となり、その結果、配線を伝播する信号の遅延を極力低減させることが出来、半導体装置の低消費電力化及び高速化が可能となる。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体装置は、配線層の上に設けられた層間絶縁膜層が有機絶縁膜で形成された第１の絶縁膜を下層に、有機金属ポリマで形成された第２の絶縁膜を上層に積層した層を備えている。
【００１２】
そして、この有機絶縁膜の比誘電率は３．５以下であり、その材質が熱硬化性樹脂であって、加熱硬化処理によって形成された膜である。また、有機金属ポリマの比誘電率は４．０未満である。
【００１３】
更に、上記した有機絶縁膜からなる第１の絶縁膜と有機金属ポリマからなる第２の絶縁膜が塗布法を用いて形成され、第２の絶縁膜の膜厚が少なくとも第１の絶縁膜の膜厚以下である。
【００１４】
本発明の有機金属ポリマからなる第２の絶縁膜は、酸素を主成分とするプラズマガスに曝された後、加熱処理によって硬化して形成されたものである。
【００１５】
また、本発明の有機絶縁膜からなる第１の絶縁膜は開口を有し、この開口が有機金属ポリマからなる第２の絶縁膜をマスクとして、酸素を主成分とするプラズマガスを用いたドライエッチング処理によって形成される。
【００１６】
そして、上記の有機金属ポリマは有機官能基を有し、この有機官能基が酸素を主成分とするプラズマガスを用いたドライエッチング処理と加熱によって分解除去される。
【００１７】
更にまた、この有機金属ポリマからなる第２の絶縁膜は、酸素を主成分とするプラズマガスを用いたドライエッチング処理と加熱硬化処理によって、その膜硬度が向上せしめてなるようにした。
【００１８】
本発明の有機金属ポリマは、ラダーシリコーン系ポリマであって、下記の（化１）または（化２）で表わされる分子構造を有している。但し、（化１）式中Ｒはアルカリ可溶性基を含む有機基を表わし、また（化２）Ｒ‘は有機基を表わす。
【００１９】
【化１】
0004095763.tif 000002
【００２０】
【化２】
0004095763.tif 000003
【００２１】
そして、上記の有機金属ポリマからなる第２の絶縁膜は、ラダーシリコーン系ポリマと感光剤とからなる感光性樹脂材料を用いて形成される。
【００２２】
本発明の電子回路装置は、配線層の上に設けられた層間絶縁膜層が有機絶縁膜で形成された第１の絶縁膜を下層に、そして有機金属ポリマで形成された第２の絶縁膜を上層に積層した層を備えており、その比誘電率が低いので、膜厚を薄くすることができる。
【００２３】
本発明の半導体装置は、基板上に有機絶縁膜材料をスピン塗布して第１の絶縁膜を形成する工程と、この第１の絶縁膜上に有機金属ポリマ材料をスピン塗布して第２の絶縁膜を形成する工程と、この第２の絶縁膜上に開口形成用レジストパターンを形成する工程と、レジストパターンをマスクとして第２の絶縁膜に開口を形成する工程と、上記のレジストと第２の絶縁膜からなるパターンをマスクとして、酸素を主成分とするプラズマガスを用いたドライエッチングを施すことによって、第１の絶縁膜に開口パターンを形成するとともに、上記のレジストを除去する工程と、上記の有機金属ポリマと有機絶縁膜とにより形成された積層層間絶縁膜を加熱硬化する工程とを経て形成される。
【００２４】
上記の有機金属ポリマ材料は、下記（化２）（但し、式中Ｒ‘は有機基を表わす）または（化１）（但し、Ｒはアルカリ可溶性基を含む有機基を表わす）の分子構造を有するラダーシリコーン系ポリマ材料であって、開口形成用レジストパターンを形成するとともに有機金属ポリマからなる第２の絶縁膜に開口を形成することが可能である。
【００２５】
【化２】
0004095763.tif 000004
【００２６】
【化１】
0004095763.tif 000005
【００２７】
そして、有機金属ポリマ材料がラダーシリコーン系ポリマと感光剤とからなる感光性樹脂材料で構成することにより、開口形成用レジストパターンを形成することなく、有機金属ポリマからなる第２の絶縁膜に開口を形成することが可能である。
【００２８】
そして、第１の絶縁層及び第２の絶縁層からなる層間絶縁膜のパターニング工程が、接続用開口形成工程または溝配線用溝形成工程の少なくともいずれか一方であるようにした。
【００２９】
また、本発明では、有機絶縁膜が熱硬化性樹脂からなり、３５０℃未満の加熱処理された状態でパターニング加工が施され、その後、３５０℃以上の加熱処理によって硬化するようにした。
【００３０】
更に本発明では、第１の絶縁膜に開口パターンを形成する工程において、有機金属ポリマからなる第２の絶縁膜をマスクとして用い、酸素を主成分とするプラズマガスを用いたドライエッチング処理を行なうとともに、第２の絶縁膜上に形成したレジストパターンを除去するようにした。
【００３１】
そして、第１の絶縁膜である有機絶縁膜が熱硬化性樹脂からなり、３５０℃以上の加熱硬化処理を施すことにより形成され、また、第２の絶縁膜は、有機金属ポリマが酸素を主成分とするプラズマガスに曝された後、加熱硬化処理することによって形成されるようにした。
【００３２】
そしてまた、この有機金属ポリマが有機官能基を有し、その有機官能基が酸素を主成分とするプラズマガスを用いたドライエッチング処理と加熱処理とによって分解除去されるようにして第２の絶縁膜に開口を形成するようにした。この時、ドライエッチング処理は有機絶縁膜が半熱硬化状態にあるような温度以下で行なわれる。
【００３３】
本発明の特徴は、層間絶縁膜を構成する有機絶縁膜からなる第１の絶縁膜に開口を設ける場合、有機金属ポリマからなる第２の絶縁膜をエッチング用マスクとして用い、しかもその有機絶縁膜が半熱硬化状態にあるときにパターニング加工を施すことにある。
【００３４】
即ち、従来の完全に硬化した有機絶縁膜を酸素を含むドライエッチングによって加工する場合に、脱離ガス成分等が次工程に悪影響を及ぼし、例えばポイズンドビアとよばれる埋め込み不良やコンタクト不良及び抵抗値増加を引き起こすのに対して、上記したように有機金属ポリマを３５０℃未満の半熱硬化の状態で加工し、その後３５０℃以上で最終硬化させることによって、脱離ガス成分等による影響を排除することが可能となる。
【００３５】
また、有機金属ポリマからなる第２の絶縁膜は塗布法を用いて形成できるため、従来法（ＣＶＤ成膜法）に比べて膜形成装置に係る費用を大幅に低減させることが出来るばかりでなく、タクト短縮を図ることも可能である。
【００３６】
更には、塗布法による絶縁膜の形成はそのギャップフィル能力や表面平坦化性能に優れており、従来必要とされたエッチバックやＣＭＰ（Chemical-Mechanical Polishing）等の平坦化のための工程を省くことができる。
【００３７】
また、有機金属ポリマがラダーシリコーン系ポリマである場合には、膜中にシリコン原子を含むため、酸素を主成分とするプラズマガスに曝すことによって酸化シリコンのような高強度の膜に改質することも出来るので、開口形成後の第２の絶縁膜は第１の絶縁膜とともにそのまま層間絶縁膜として利用することが可能である。特に、ラダーシリコーン系ポリマの比誘電率は従来のＣＶＤ法による酸化シリコン系層間絶縁膜（比誘電率４．０以上）よりも低いので、層間絶縁膜として極めて有効である。
【００３８】
尚、上記した有機絶縁膜はポリアリーレンエーテルやポリアリーレン、ポリイミド、ベンゾシクロブテン等を代表例として挙げたが、酸化シリコンよりも比誘電率が小さく、酸素を主成分とするプラズマガスによってドライエッチング加工の可能な有機材料であれば、上記に記した限りではない。
【００３９】
【発明の実施の形態】
先ず、ラダーシリコーン系ポリマからなる絶縁膜に対する酸素プラズマ処理に関する効果について説明する。
【００４０】
表１に、下記の（化４）で表わされる分子構造を有するラダーシリコーン系ポリマ（数平均分子量（Ｍｎ）＝３０６０、重量平均分子量（Ｍｗ）＝４０５８、γ（Ｍｗ／Ｍｎ）＝１．３３（検出器として紫外線吸収を使用した液体クロマトグラフ法を用いて分子量を測定した））の硬度（表面から５０ｎｍにおける値）について、シリコンウエハの硬度に対する相対値で示した。
【００４１】
【化４】
0004095763.tif 000006
【００４２】
また、比較として一般的なメチルシルセスキオキサンベースの有機ＳＯＧ材料、ハイドロジェンシルセスキオキサンベースの無機ＳＯＧ材料の硬度（表面から５０ｎｍにおける値）も併記した。
【００４３】
ここで、ラダーシリコーン系ポリマを用いた絶縁膜及びその酸素プラズマ処理について、以下の工程により作製した。即ち、Ｓｉウエハ上にラダーシリコーン系ポリマをスピン塗布した後、一例として２５０℃以下のベークにより塗布膜を半熱硬化状態にした。そして、下記条件を用いて酸素アッシング処理を施した後、窒素気流中で例えば４００℃、６０分の熱処理を行い、最終的な絶縁膜を形成した。
【００４４】
（酸素アッシング条件の例）
・ＲＦ出力：８００Ｗ
・圧力：１．０Ｔｏｒｒ
・基板温度：６０℃
・酸素流量：４００ｓｃｃｍ
一方、酸素プラズマ処理なしの絶縁膜は、上記した場合の酸素アッシング工程を除いて最終的な絶縁膜とした。
【００４５】
また、比較用の絶縁膜として、メチルシルセスキオキサンベースの有機ＳＯＧ材料としてＨＳＧ・Ｒ７（日立化成工業（株）製）、ハイドロジェンシルセスキオキサンベースの無機ＳＯＧ材料としてＯＣＤ−Ｔｙｐｅ１２（東京応化工業（株）製）を、酸素アッシング工程を除いて上記と同様の方法で形成した。膜厚は何れの場合にも３００ｎｍである。
【００４６】
これらの膜に対して、良く知られたナノインデンターを用いてバーコビッチ型ダイヤモンド圧子によるインデンテーション測定を行い、既知の硬度を有するフューズドシリカと比較することによって、夫々の膜の硬度を求めた。
【００４７】
【表１】
0004095763.tif 000007
【００４８】
この結果、ラダーシリコーン系ポリマを用いた絶縁膜であって、酸素アッシング処理を施すことにより、酸素アッシング処理を施さない場合に比較してその膜硬度が約３倍程度向上し、比較例で示した有機ＳＯＧ膜や無機ＳＯＧ膜に比較しても遥かに大きな硬度を有することが明確である。この現象は、ラダーシリコーン系ポリマの有機官能基がアッシング処理における酸素によって分解除去されたことに起因する。
【００４９】
尚、絶縁膜のプラズマ処理条件は上記した実験に限定されるものではない。また、加熱処理条件は、絶縁膜の有する熱硬化温度によって決まる温度以下の温度範囲で第１段の加熱処理を行い（半熱硬化状態）、次に第２段の加熱処理が行なわれる（最終的な熱硬化）ように適宜温度範囲を決定すれば良い。
【００５０】
次に、半導体装置の具体的な実施例について、図面を用いて詳細に説明する。
【００５１】
（第１の実施例）
図２は第１の実施例である半導体装置を説明するための工程図である。
【００５２】
先ず、シリコン等半導体基板２０１上に有機絶縁膜材料ＦＬＡＲＥTM（Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ製）を良く知られた方法であるスピンナーを用いてスピン塗布し、例えば１５０℃、２００℃、２５０℃のホットプレート上で順次各１分間加熱して、半熱硬化状態にある第１の絶縁膜２０２を形成する（図２（ａ））。この時、第１の絶縁膜２０２の厚さは４００ｎｍである。
【００５３】
次に、第１の絶縁膜２０２上に、下記（化３）で表される分子構造を有するラダーシリコーン系ポリマ材料（数平均分子量（Ｍｎ）＝２０３２、重量平均分子量（Ｍｗ）＝２５７６、γ（Ｍｗ／Ｍｎ）＝１．２７（検出器として紫外線吸収を利用した液体クロマトグラフ法による分子量測定結果））をスピン塗布し、９０℃、１４０℃のホットプレート上で順次各１分間の加熱を行う（図２（ｂ））。このときのラダーシリコーン系ポリマからなる第２の絶縁膜２０３の厚さは１００ｎｍである。
【００５４】
【化３】
0004095763.tif 000008
【００５５】
次に、第２の絶縁膜２０３上に、配線形成用レジストＴＤＵＲ−Ｐ０８０（東京応化工業（株）製）をスピン塗布し、９０℃のホットプレート上で１．５分間加熱した後、既知のＫｒＦレーザーステッパによる露光、ＮＭＤ−３（東京応化工業（株）製）による現像を行い、レジストパターン２０４を形成する（図２（ｃ））。
【００５６】
次に、一般的なドライエッチング装置、例えばＵｎｉｔｙ２−８５ＤＬを用いて、また、エッチングガスとしてＣＦ4（９５％）／Ｏ2（５％）の混合ガスを用いてレジストパターン２０４をマスクとして、第２の絶縁膜２０３をパターニングする（図２（ｄ））。
【００５７】
そして、例えば１００℃のホットプレート上で１．５分間加熱した後、レジストパターン２０４とパターニングされた第２の絶縁膜２０３をマスクとして、
Ｏ2プラズマガスを用いて半熱硬化の状態にある第１の絶縁膜２０２に開口を形成する（図２（ｅ））。
【００５８】
この時、同時にレジストパターン２０４がエッチングされてなくなるが、第２の絶縁膜２０３はラダーシリコーン系ポリマの有機官能基部分がＯ2プラズマによって酸化分解され、酸化シリコン膜に類似した膜に改質される。この改質された膜はＯ2プラズマに晒されてもエッチングされることがないので、エッチングマスクとしての機能を果たす。
【００５９】
次に、開口部を例えばクリーニング液ＳＴ?２５０（ＡＣＳＩ製）を用いて洗浄した後、ラダーシリコーン系ポリマからなる第２の絶縁膜２０３と有機絶縁膜からなる第１の絶縁膜２０２とで構成された積層層間絶縁膜２１を一括して酸素濃度１０ｐｐｍ以下のＮ2雰囲気中で、４００℃、６０分間加熱を行い、最終的な熱硬化処理を行なう（図２（ｆ））。
【００６０】
上記した工程を経て、半導体装置が完成する。
【００６１】
ここで、半熱硬化状態にある積層層間絶縁膜に対して所定のパターニング加工を施した後、最終的な熱硬化を行なうという処理方法を用いることによって、積層層間絶縁膜２１から低温で発生する脱離ガス成分やビアに残留したクリーニング液成分等はすべて放出させることができ、次工程である上記の開口に配線等を形成する金属膜形成プロセスに対する悪影響、例えばポイズンドビアの発生等を抑制することが可能になる。
更に、従来良く知られた方法であるＣＶＤ成膜によるシリコン酸化膜よりも遥かに小さい比誘電率を有するラダーシリコーン系ポリマを層間絶縁膜の一部とすることによって、層間絶縁膜の実効的な比誘電率を低減することが出来る。
【００６２】
また、上記した絶縁膜は塗布法を用いて形成できるため、従来のＣＶＤ成膜法に比べて膜形成装置に係る費用を大幅に低減させることが出来るばかりでなく、タクト短縮を図ることも可能である。
【００６３】
（第２の実施例）
図３は第２の実施例である半導体装置を説明するための工程図である。
【００６４】
先ず、シリコン等半導体基板３０１上に有機絶縁膜材料ＦＬＡＲＥTM（Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ製）からなる半熱硬化状態の第１の絶縁膜３０２（膜厚４００ｎｍ）を形成する過程は第１の実施例の場合と同じである（図３（ａ））。
【００６５】
次に、この第１の絶縁膜３０２上に、下記（化４）で表される分子構造を有するラダーシリコーン系ポリマ材料（数平均分子量（Ｍｎ）＝３０６０、重量平均分子量（Ｍｗ）＝４０５８、γ（Ｍｗ／Ｍｎ）＝１．３３）をスピン塗布する。
【００６６】
【化４】
0004095763.tif 000009
【００６７】
その後、９０℃、１４０℃のホットプレート上で順次各１分間の加熱処理を行う（図３（ｂ））。この時、ラダーシリコーン系ポリマからなる第２の絶縁膜３０３の厚さは１００ｎｍである。
【００６８】
次に、第２の絶縁膜３０３上に、第１の実施例で述べた場合と同様の方法を用いてレジストパターン３０４を形成する（図３（ｃ））が、同時にアルカリ可溶性官能基を有する第２の絶縁膜３０３もパターニングされる。
【００６９】
次に、第１の絶縁膜３０２に開口を形成した後、第１の絶縁膜３０２及び第２の絶縁膜３０３に最終的な熱硬化処理を行なって半導体装置を完成させるまでの工程（図３（ｄ）・（ｅ））は、先に示した第１の実施例の場合と同様である。
【００７０】
上記の工程を経て、半導体装置が完成する。
【００７１】
本実施例によれば、第１の実施例の場合と同様の効果を得ることが出来るばかりでなく、レジストパターンの現像と同時に第２の絶縁膜をも同時にパターン加工することが出来るので、更なる工程を簡略化することが可能である。
【００７２】
（第３の実施例）
図４は第３の実施例である半導体装置を説明するための工程図である。
【００７３】
先ず、シリコン等半導体基板４０１上に半熱硬化状態の第１の絶縁膜４０２を形成する工程は、先に示した第１の実施例の場合と同様である（図４（ａ））。
【００７４】
次に、第１の絶縁膜４０２上に、第２の絶縁膜４０３としてポジ型レジスト感光剤を含む下記（化４）で表される分子構造を有するラダーシリコーン系ポリマ材料（数平均分子量（Ｍｎ）＝３０６０、重量平均分子量（Ｍｗ）＝４０５８、γ（Ｍｗ／Ｍｎ）＝１．３３）をスピン塗布し、例えば９０℃のホットプレート上でプリベークを行う（図４（ｂ））。
【００７５】
【化４】
0004095763.tif 000010
【００７６】
次に、既知のＫｒＦレーザーステッパによる露光、ＮＭＤ−３（東京応化工業（株）製）による現像を行い、アルカリ可溶性官能基を有しポジ型レジスト感光剤を含む第２の絶縁膜４０３をパターニングする（図４（ｃ））。
【００７７】
その後、第２の絶縁膜４０３をマスクとして第１の絶縁膜４０２にＯ2プラズマによる開口を形成し（図４（ｄ））、その後の最終的な熱硬化処理を経て半導体装置が出来上がるまでの工程（図４（ｅ））は、第１の実施例で述べた図２（ｅ）〜（ｆ）の工程と同様である。
【００７８】
上記の工程を経て、半導体装置が完成する。
【００７９】
本実施例によれば、第２の実施例の場合と同様の効果を奏するばかりでなく、第２の絶縁膜としてポジ型レジスト感光剤を含むラダーシリコーン系ポリマ材料を用いているので、レジストパターンの形成工程を省略することができ、更に工程を簡略化出来るという利点を有する。
【００８０】
尚、上記で説明した第１の実施例〜第３の実施例で説明した開口プロセスは絶縁膜に対する接続孔の開口工程及び溝配線用溝形成工程のいずれに対しても適用できることは言うまでもない。
【００８１】
（第４の実施例）
図５は第４の実施例である半導体装置の断面図である。第１の実施例と同様に下層配線層５０１上に有機絶縁膜ＦＬＡＲＥTM（Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ製）からなる第１の絶縁層５０２を下層に、ラダーシリコーン系ポリマからなる第２の絶縁膜５０３を上層に積層した積層層間絶縁膜５１を形成した後、この積層層間絶縁膜５１に開口を形成した。上記した積層層間絶縁膜５１の形成方法は、第１の実施例・第３の実施例で説明した何れの方法を適用しても良いことは言うまでもない。
【００８２】
そして、この開口部に例えばタングステンの配線５０４を良く知られた方法、例えばＣＶＤ法を用いて充填し、半導体装置が完成する。
【００８３】
図５には第１の絶縁膜５０２及び第２の絶縁膜５０３からなる層間絶縁膜５１を１層形成した場合であるが、上記した工程を繰り返すことによって多層の層間絶縁膜を有する半導体装置が形成されることは言うまでもない。
【００８４】
上記した何れの絶縁膜も従来の無機系絶縁膜に比較してその比誘電率が小さいので、層間容量を低減させることが可能であるばかりでなく、第２の絶縁膜を３５０℃未満の半熱硬化の状態で加工し、その後３５０℃以上で最終硬化させることによって、脱離ガス成分等が次工程に悪影響を及ぼすことを排除することが出来、その結果、例えばポイズンドビアとよばれる埋め込み不良やコンタクト不良及び抵抗値増加を抑制することが可能である。
【００８５】
（第５の実施例）
図６は第５の実施例である半導体装置の断面図である。第４の実施例との違いは、下層配線層６０１上に設けられた層間絶縁膜がラダーシリコーン系ポリマからなる第２の絶縁膜６０２のみで構成されていることであり、層間絶縁膜が一層の場合を例示した。そして、この層間絶縁膜に設けられた開口に、例えばタングステンの配線６０３が充填されている。尚、上記した層間絶縁膜を除き、それ以外は第４の実施例と同じである。
【００８６】
ラダーシリコーン系ポリマからなる第２の絶縁膜の比誘電率は４．０未満であって、従来の無機系絶縁膜に比較して小さくすることが出来るので、層間容量を低減させることが可能であるばかりでなく、第２の絶縁膜を３５０℃未満の半熱硬化の状態で加工し、その後３５０℃以上で最終硬化させることによって、脱離ガス成分等が次工程に悪影響を及ぼすことを排除することが出来、その結果、例えばポイズンドビアとよばれる埋め込み不良やコンタクト不良及び抵抗値増加を抑制することが可能である。
【００８７】
（第６の実施例）
第６の実施例はデュアルダマシン構造の半導体素子に適用した例であって、図７を用いて説明する。
【００８８】
先ず、シリコン等半導体基板７０１上に有機絶縁膜材料ＦＬＡＲＥTM（Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ製）をスピン塗布し、１５０℃、２００℃、２５０℃のホットプレート上で順次各１分間の加熱処理を行ない、半熱硬化状態にある第１の絶縁膜７０２（膜厚３００ｎｍ）を形成する。
【００８９】
次に、第１の絶縁膜７０２上に、下記（化４）で表される分子構造を有するラダーシリコーン系ポリマ材料（数平均分子量（Ｍｎ）＝３０６０、重量平均分子量（Ｍｗ）＝４０５８、γ（Ｍｗ／Ｍｎ）＝１．３３）をスピン塗布し、例えば９０℃、１４０℃のホットプレート上で順次各１分間の加熱処理を行う。この時、ラダーシリコーン系ポリマからなる第２の絶縁膜７０３の厚さは５０ｎｍである。
【００９０】
【化４】
0004095763.tif 000011
【００９１】
次に、第２の絶縁膜７０３上に、接続孔形成用のレジストＴＤＵＲ−Ｐ０３６（東京応化工業（株）製）をスピン塗布し、８０℃のホットプレート上で１．５分間加熱した後、既知のＫｒＦレーザーステッパによる露光、ＮＭＤ−３（東京応化工業（株）製）による現像を行い、接続孔形成用のレジストパターン（図示せず）を形成する。この時、同時にアルカリ可溶性官能基を有する第２の絶縁膜７０３もパターニングすることが出来る。
【００９２】
次に、例えば１２０℃のホットプレート上で１．５分間加熱した後、レジストパターンとパターン化された第２の絶縁膜７０３をマスクとして、例えばＯ2プラズマガスを用いて第１の絶縁膜７０２に開口を形成する。この時、同時にレジストパターンは除去される。
【００９３】
次に、開口部をクリーニング液ＡＣＴ ＮＰ−Ｋ１０１（ＡＣＴ製）を用いて洗浄した後、第２の絶縁膜７０３と第１の絶縁膜７０２からなる第１の積層層間絶縁膜７１を一括して、酸素濃度１０ｐｐｍ以下のＮ2雰囲気中で、４００℃、６０分間の加熱処理を行ない、最終的な硬化処理を施す。
【００９４】
次に、第２の絶縁膜７０３上に、有機絶縁膜材料ＦＬＡＲＥTM（Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ製）をスピン塗布し、例えば１５０℃、２００℃、２５０℃のホットプレート上で順次各１分間の加熱処理を行ない、半熱硬化状態にある第３の絶縁膜７０５（膜厚３００ｎｍ）を形成する。
【００９５】
次に、第３の絶縁膜７０５上に、下記（化４）で表される分子構造を有するラダーシリコーン系ポリマ材料（数平均分子量（Ｍｎ）＝３０６０、重量平均分子量（Ｍｗ）＝４０５８、γ（Ｍｗ／Ｍｎ）＝１．３３）をスピン塗布し、９０℃、１４０℃のホットプレート上で順次各１分間の加熱処理を行い、第４の絶縁膜７０６（膜厚５０ｎｍ）を形成する。
【００９６】
【化４】
0004095763.tif 000012
【００９７】
次に、第３の絶縁膜７０５及び第４の絶縁膜７０６からなる第２の積層層間絶縁膜７２に対して開口を形成し、最終的な熱硬化処理を行なう方法は、上記した第１の積層層間絶縁膜７１の場合と同様の方法で実施する。
【００９８】
次に、ヴィアホール７０４と配線溝７０７に良く知られた方法、例えばＣＶＤ法やメッキ法を用いてＣｕの充填を行なう。
【００９９】
そして、最上層である第４の絶縁膜７０６上に存在する不要なＣｕ膜を除去することで、接続用プラグと配線を同時に形成し、半導体装置が作製される。Ｃｕ膜の除去には、砥粒としてアルミナまたはシリカを用い、Ｃｕ錯化剤、界面活性剤等の添加剤からなり、Ｃｕの研磨は可能ではあるがシリコン酸化膜に類似した第４の絶縁膜の研磨がなされないような研磨剤を用いた化学機械研磨法（Chemical Mechanical Polishing）を用いることが好都合である。
【０１００】
開口部に充填される金属はＣｕに限定されることなく、本実施例の目的を達成する金属であれば良い。また、図７には積層層間絶縁膜が２層形成された場合を示したが、上記した工程を繰り返すことによって更に多層の積層層間絶縁膜を有する半導体装置が完成することは言うまでもない。
【０１０１】
上記したように、積層層間絶縁膜の比誘電率を従来の無機系絶縁膜に比較して小さくすることが出来るので、その結果として層間容量を低減させた多層配線層を有する半導体装置を実現することが可能であるばかりでなく、従来問題とされた、例えばポイズンドビアとよばれる埋め込み不良やコンタクト不良及び抵抗値増加を抑制することが可能である。
【０１０２】
（第７の実施例）
図８は第７の実施例である半導体装置を説明するための工程図である。
【０１０３】
先ず、シリコン等半導体基板８０１上に、有機絶縁膜材料ＳｉＬＫTM（ＤｏｗＣｈｅｍｉｃａｌ製）をスピン塗布し、１８０℃、３２０℃のホットプレート上で順次各１分間の加熱処理を行ない、半熱硬化状態にある第１の絶縁膜８０２ａ（膜厚８００ｎｍ）を形成する（図８（ａ））。
【０１０４】
次に、第１の絶縁膜８０２ａ上に、下記（化３）で表される分子構造を有するラダーシリコーン系ポリマ材料（数平均分子量（Ｍｎ）＝２０３２、重量平均分子量（Ｍｗ）＝２５７６、γ（Ｍｗ／Ｍｎ）＝１．２７）をスピン塗布してから、９０℃のホットプレート上で加熱し、第２の絶縁膜８０３（膜厚１００ｎｍ）を形成する。
【０１０５】
【化３】
0004095763.tif 000013
【０１０６】
次に、第２の絶縁膜８０３上に、下記（化４）で表される分子構造を有するラダーシリコーン系ポリマ材料（数平均分子量（Ｍｎ）＝３０６０、重量平均分子量（Ｍｗ）＝４０５８、γ（Ｍｗ／Ｍｎ）＝１．３３）をスピン塗布し、９０℃、１４０℃のホットプレート上で順次各１分間の加熱処理を行なって第３の絶縁膜８０４（膜厚１００ｎｍ）を形成する（図８（ｂ））。
【０１０７】
【化４】
0004095763.tif 000014
【０１０８】
次に、第３の絶縁膜８０４上に、配線形成用レジストＴＤＵＲ−Ｐ０８０（東京応化工業（株）製）をスピン塗布し、９０℃のホットプレート上で１．５分間加熱した後、既知のＫｒＦレーザーステッパによる露光、ＮＭＤ−３（東京応化工業（株）製）による現像を行ってレジストパターン８０５を形成するが、同時にアルカリ可溶性官能基を有する第３の絶縁膜８０４もパターニングする（図８（ｃ））。
【０１０９】
次に、レジストパターン８０５を良く知られたレジスト剥離液を用いて剥離する。
【０１１０】
次に、第３の絶縁膜８０４上に、接続孔形成用のレジストＴＤＵＲ−Ｐ０３６（東京応化工業（株）製）をスピン塗布し、８０℃のホットプレート上で１．５分間加熱した後、上記した方法で露光及び現像を行い、接続孔形成用のレジストパターン８０６を形成する。
【０１１１】
次に、一般的なドライエッチング装置（Ｕｎｉｔｙ２−８５ＤＩ）を用い、エッチングガスとしてＣＦ4（９５％）／Ｏ2（５％）の混合ガスを用いてレジストパターン８０６をマスクとして、第２の絶縁膜８０３をパターニングする（図８（ｄ））。
【０１１２】
引き続き、レジストパターン８０６と第２の絶縁膜８０３をマスクとして、
Ｏ2プラズマガスを用いて第１の絶縁膜８０２に開口を形成する。この時、同時にレジストパターン８０６は除去される（図８（ｅ））。
【０１１３】
次に、第３の絶縁膜８０４をマスクとして、ＣＦ4（９５％）／Ｏ2（５％）の混合ガスを用いて第２の絶縁膜８０３をパターニングする。この時、同時に上層に位置する第３の絶縁膜８０４が除去される。
【０１１４】
次に、第２の絶縁膜８０３をマスクとして、Ｏ2プラズマガスにより第１の絶縁膜８０２を所定の膜厚まで除去し、第１の絶縁膜８０２に開口を形成する。
【０１１５】
そして、開口部をクリーニング液ＡＣＴ ＮＰ−Ｋ１０１（ＡＣＴ製）を用いて洗浄した後、第２の絶縁膜８０３と第１の絶縁膜８０２とからなる積層層間絶縁膜８１を一括で、酸素濃度１０ｐｐｍ以下のＮ2雰囲気中にて４００℃、６０分間の加熱処理を行ない、最終的な熱硬化を行なう（図８（ｆ））。
【０１１６】
最後に、積層層間絶縁膜８１に設けた上記の開口部に銅８０７を充填させて半導体装置が完成する（図８（ｇ））。
【０１１７】
本実施例では、第１の絶縁膜の材質がＳｉＬＫTM（Ｄｏｗ Ｃｈｅｍｉｃａｌ製）であって、この第１の絶縁膜に設けた開口の径がその内部で変化させてあり、開口部に埋め込まれた金属が銅であることを除けば、図５に示した第４の実施例で述べた場合と同様の効果を奏することは言うまでもない。
【０１１８】
（第８の実施例）
図９は第８の実施例である多層配線構造を有する半導体装置を説明するための工程図である。
【０１１９】
一般的に良く知られた方法を用いてＭＯＳトランジスタ等の構成素子（図示省略）を形成し、更に、例えばＣＶＤ法により形成した酸化シリコン膜を絶縁膜として表面に有する半導体基板９０１上に、アルミ合金膜からなる第１の配線層９０２（図９（ａ））を形成する。
【０１２０】
次に、第１の配線層９０２を含む半導体基板９０１上に、有機絶縁膜材料ＦＬＡＲＥTM（Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ製）をスピン塗布してから、１５０℃、２００℃、２５０℃のホットプレート上で順次各１分間の加熱処理を行ない、半熱硬化状態である第１の絶縁膜９０３（膜厚６００ｎｍ）を形成する（図９（ｂ））。
【０１２１】
次に、第１の絶縁膜９０３ａ上に、下記（化３）で表される分子構造を有するラダーシリコーン系ポリマ材料（数平均分子量（Ｍｎ）＝２０３２、重量平均分子量（Ｍｗ）＝２５７６、γ（Ｍｗ／Ｍｎ）＝１．２７）をスピン塗布して、９０℃、１４０℃のホットプレート上で各１分間の加熱を行い、第２の絶縁膜９０４（膜厚１００ｎｍ）を形成する。
【０１２２】
【化３】
0004095763.tif 000015
【０１２３】
上述した第１の絶縁膜９０３と第２の絶縁膜９０４はいずれもスピン塗布法を用いて形成されるため、その表面平坦性に関しては問題ないので、通常良く行なわれるエッチバックやＣＭＰ等の平坦化処理を省くことができる。また、そのため上述した絶縁膜９０３、９０４は半熱硬化の状態でパターニング処理が可能となる。
【０１２４】
次に、第２の絶縁膜９０４上に配線形成用レジストＴＤＵＲ−Ｐ０８０（東京応化工業（株）製）をスピン塗布し、９０℃のホットプレート上で１．５分間加熱した後、既知のＫｒＦレーザーステッパによる露光、ＮＭＤ−３（東京応化工業（株）製）を用いた現像を行い、レジストパターン９０５を形成する。
【０１２５】
次に、第２の絶縁膜９０４を第３の実施例で述べたエッチングガスを用い、レジストパターン９０５をマスクとしてパターニングを行なう（図９（ｃ））。  続いて、１００℃のホットプレート上で１．５分間の加熱を行い、レジストパターン９０５と第２の絶縁膜９０４をマスクとして、Ｏ2プラズマガスにより第１の絶縁膜９０３に開口を形成する。
【０１２６】
この時、同時にレジストパターン９０５がエッチングされて除去されるが、第２の絶縁膜を構成するラダーシリコーン系ポリマは有機官能基の部分がＯ2プラズマガスにより酸化分解されて、酸化シリコン膜に類似の膜となって残留し、エッチングマスクとして機能する（図９（ｄ））。
【０１２７】
次に、開口部をクリーニング液ＡＣＴ ＮＰ−Ｋ１０１（ＡＣＴ製）を用いて洗浄した後、第２の絶縁膜９０４と第１の絶縁膜９０３とからなる第１の積層層間絶縁膜９１を一括して、酸素濃度１０ｐｐｍ以下のＮ2雰囲気中にて４００℃で６０分間の加熱処理を施し、最終的な熱硬化を行なう。
【０１２８】
これにより、積層層間絶縁膜９１から低温で発生する脱離ガス成分やビアに残留したクリーニング液成分等はすべて放出させることができ、次工程である配線等を形成する金属膜形成プロセスに対して、ポイズンドビア発生等の悪影響を排除することができる。
【０１２９】
次に、接続孔に、良く知られたＣＶＤ法を用いてタングステン９０６の埋め込みを行なう。このとき、第２の絶縁膜９０４の表面に形成された不要なタングステンを、研磨剤としてＳＥＭＩ−ＳＰＥＲＳＥ(R)Ｗ２０００（Ｃａｂｏｔ社製）を用いた化学機械研磨法（ＣＭＰ法）を用いて除去する。その結果、第２の絶縁膜９０４はほとんど研磨されない。即ち、この膜９０４はエッチングに対して研磨ストッパとして働き、研磨は第２の絶縁膜９０４が露出した時点で実質的に停止する（図９（ｅ））。
【０１３０】
次に、アルミ合金膜からなる第２の配線層９０７を形成する（図９（ｆ））。
【０１３１】
同様にして、多層の積層構造を形成することになるが、上記した工程を繰り返し、第２の積層層間絶縁層９２、第３の配線層９１０、第３の積層層間絶縁層９３、第４の配線層９１２、第４の積層層間絶縁層９４、第５の配線層９１４を順次形成する（図９（ｇ）〜図９（ｊ））。
【０１３２】
但し、第４の積層層間絶縁層９４を構成する有機絶縁膜の膜厚は８００ｎｍ、ラダーシリコーン系ポリマの膜厚は２００ｎｍとした。
【０１３３】
図面は省略するが、更にパッシベーション膜の形成、接続用パッドの開口形成等を行って、有機絶縁膜とラダーシリコーン系ポリマとの積層層間絶縁膜を有する半導体装置が作製される。
【０１３４】
本実施例では積層層間絶縁膜が４層の場合について述べたが、上記工程を繰り返すことによって、更に多層配線構造を形成することが出来る。
【０１３５】
以上により、従来の無機系絶縁膜を用いた場合に比較して、より層間容量の小さい多層配線構造を有する半導体装置を実現することが出来、その結果として高速の動作が可能になる。
【０１３６】
（第９の実施例）
第９の実施例は、先に示した第８の実施例において、第４及び第５の配線層にＣｕを用いた場合である。従って、第８の実施例と同一の工程を省略して、第４の配線層の形成工程以降を、図１０を用いて説明する。
【０１３７】
図９と同様の部分には同一の符号が付してある。
【０１３８】
図１０（ａ）は第３の積層層間絶縁膜９３までが形成された状態を表わしている。
【０１３９】
次に、第４の積層層間絶縁膜１０１を形成する。有機絶縁膜材料としてＦＬＡＲＥTM（Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ製）を用い、第８の実施例の場合と同様の方法で、半熱硬化状態の絶縁膜１００１（膜厚３００ｎｍ）を形成する。
【０１４０】
次に、下記（化４）のラダーシリコーン系ポリマ材料（数平均分子量（Ｍｎ）＝２０６０、重量平均分子量（Ｍｗ）＝４０５８、γ（Ｍｗ／Ｍｎ）＝１．３３）を用い、第７または第８の実施例で示した方法を用いて絶縁膜１００２を形成する。
【０１４１】
【化４】
0004095763.tif 000016
【０１４２】
尚、レジストパターン（図示せず）の形成時、同時にアルカリ可溶性官能基を有するラダーシリコーン系ポリマからなる絶縁膜１００２もパターニングすることができる。また、絶縁膜１００１の酸素プラズマエッチング時、上記したレジストパターンは除去されるが、絶縁膜１００２はエッチングされず、エッチング用のマスクとして機能する。
【０１４３】
次に、前述の方法で熱処理を行ない、第４の積層層間絶縁膜１０１が出来上がる（図１０（ｂ））。
【０１４４】
第４の積層層間絶縁膜１０１に形成した開口に、第４の配線層としてＣｕ１００３を既知のＣＶＤ法を用いて埋め込み、第４の積層層間絶縁膜１０１の表面に存在する不要なＣｕ１００３を、前述のＣＭＰ技術を用いて除去する（図１０（ｃ））。
【０１４５】
次に、第５の積層層間絶縁膜１０２を上述の方法により形成する。ただし，レジストとしては接続孔形成用のレジストＴＤＵＲ−Ｐ０３６（東京応化工業（株）製）を用いる。
【０１４６】
次に、第５の積層層間絶縁膜１０２に形成した接続孔にＣｕ１００５を埋め込み、図１０（ｃ）の場合と同様の方法で第５の積層層間絶縁膜１０２における表面の不要なＣｕ１００５を除去する（図１０（ｄ））。
【０１４７】
同様にして、第６の積層層間絶縁膜１０３及び第５の配線層１００７を形成する（図１０（ｅ））。
【０１４８】
更に、図面を省略するが、パッシベーション膜の形成、接続用パッドの開口形成等を行って、アルミ・銅混合配線の半導体装置が完成する。
【０１４９】
本実施例においては、第８の実施例で説明した場合と同様の効果を示すことは言うまでもない。
【０１５０】
（第１０の実施例）
第１０の実施例は、第９の実施例における最上層配線をＣｕデュアルダマシン法により形成した場合であって、第９の実施例と同様の形成工程についてはその説明を省略し、第５の積層層間絶縁膜の形成工程以降を説明する。
【０１５１】
図１１は第１０の実施例である半導体装置を説明するための工程図である。
【０１５２】
図１１（ａ）は、第５の積層層間絶縁膜１１０に接続孔を形成したところである。
【０１５３】
次に、第５の積層層間絶縁膜１１０上に、有機絶縁膜材料ＦＬＡＲＥTM（Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ製）を用いて、前述の方法で半熱硬化状態の絶縁膜１１０１（膜厚４００ｎｍ）を形成する。
【０１５４】
次に、この膜１１０１の上に、下記（化３）で表される分子構造を有するラダーシリコーン系ポリマ材料（数平均分子量（Ｍｎ）＝２０３２、重量平均分子量（Ｍｗ）＝２５７６、γ（Ｍｗ／Ｍｎ）＝１．２７）からなる絶縁膜２１０２（膜厚１００ｎｍ）を同様の方法で形成する。そして、第１の実施例で述べた方法を用いて、レジストパターン１１０３をマスクにして絶縁膜１１０２に開口を形成する（図１１（ｂ））。
【０１５５】
【化３】
0004095763.tif 000017
【０１５６】
更に、パターン化された絶縁膜１１０２をマスクにして前述と同様の方法で有機絶縁膜１１０１に開口を形成する。このとき、同時にレジストパターン１１０３は除去される。そして、絶縁膜１１０１と絶縁膜１１０２からなる第６の積層層間絶縁膜１１１を酸素濃度１０ｐｐｍ以下のＮ2雰囲気中にて４００℃、６０分間の加熱を施し、最終的な熱硬化処理を行なう（図１１（ｃ））。
次に、上記のヴィアホールと配線溝にＣｕ１１０４を埋め込み、最上層のラダーシリコーン系ポリマからなる絶縁膜１１０２上の不要なＣｕ膜をＣＭＰ法を用いて除去することにより、接続用プラグと配線１１０４を同時に形成する（図１１（ｄ））。
【０１５７】
更に、図面を省略するが、パッシベーション膜の形成、接続用パッドの開口形成等を行って、アルミ・銅混合配線の半導体装置が作製される。
【０１５８】
上記した構造により、何れの積層層間絶縁膜も従来の無機系絶縁膜に比較してその比誘電率が小さいので、層間容量を低減させることが可能であるばかりでなく、有機金属ポリマからなる第２の絶縁膜を３５０℃未満の半熱硬化の状態で加工した後に３５０℃以上で最終硬化させるので、例えば第１の積層層間絶縁膜の形成工程が次工程である第２の積層層間絶縁膜の形成に対して、脱離ガス成分等による悪影響を及ぼすことを回避することが出来る。そして、その結果、例えばポイズンドビアとよばれる埋め込み不良やコンタクト不良及び抵抗値増加を抑制することが可能である。
【０１５９】
（第１１の実施例）
図１２は第１１の実施例である半導体ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）素子を説明するための断面図である。
【０１６０】
ｐ型半導体基板１２０１上の素子分離領域に、良く知られたドライエッチング法を用いて深さ３００〜４００ｎｍ程度の溝１２０２を選択的に形成する。
【０１６１】
次に、溝１２０２の内壁に生じたエッチングダメージ層を除去するために、例えば８５０℃〜９００℃程度のウエット酸化法による薄い酸化膜（１０ｎｍ程度）１２０３を形成し、その後、溝１２０２内を含む基板１２０１の主面に、例えばオゾンおよびテトラエトキシシランをソースガスに用いたプラズマＣＶＤ法で３００〜４００ｎｍ程度の酸化膜１２０４を形成する。
【０１６２】
次に、酸化膜１２０４を化学機械研磨（ＣＭＰ）法を用いて研磨を行い、溝１２０２以外の領域の酸化膜１２０４を除去して、溝１２０２中に酸化膜１２０４を残存させる。
【０１６３】
次に、基板１２０１のメモリアレイ形成領域にリンを選択的にイオンうち込みを行い、ｎ型ウエル領域１２０５を形成する。その後、ｎ型ウエル領域１２０５の主面にボロンを選択的にイオン打ち込み、ｐ型ウエル領域１２０６を形成する。
【０１６４】
次に、基板１２０１上に８５０℃程度のウエット酸化処理を施して、ｐ型ウエル領域１２０６の表面に７ｎｍ程度の酸化膜からなるゲート絶縁膜１２０７を形成する。そして、ゲート絶縁膜１２０７上にゲート電極１２０８を形成する。この工程において、ゲート電極１２０８と一体化されたワード線も一緒に形成される。
【０１６５】
ゲート電極１２０８およびワード線（ＷＬ）は、７０ｎｍ程度のリンが導入された多結晶シリコン膜をＣＶＤ法で形成してから、その上に５０ｎｍ程度のタングステンナイトライド膜および１００ｎｍ程度のタングステン膜をスパッタ法で形成する。そして、更にその上に１５０ｎｍ程度の窒化シリコン膜からなるキャップ絶縁膜１２０９をＣＶＤ法で形成した後、これらの膜をパターニングすることによって完成する。
【０１６６】
次に、ｐ型ウエル領域１２０６の主面上に５０ｎｍ〜１００ｎｍ程度の窒化シリコン膜をＣＶＤ法で形成した後、窒化シリコン膜に良く知られたＲＩＥ（Reactive Ion Etching）を用いて異方性エッチングを施し、ゲート電極１２０８の側壁にサイドウオールスペーサ１２１１を形成する。この工程において、サイドウオールスペーサ１２１１はワード線（ＷＬ）の側壁にも形成される。
【０１６７】
次に、ｎ型半導体領域１２１０の主面にヒ素をイオン打ち込みし、ｎ型半導体領域１２１２を形成する。この工程により、ＬＤＤ構造のメモリセル選択用電界効果トランジスタが形成される。
【０１６８】
次に、ｐ型半導体基板１２０１の主面上に第１の層間絶縁膜１２１３を形成する。第１の層間絶縁膜１２１３として、下記（化３）で表される分子構造を有するラダーシリコーン系ポリマ材料（数平均分子量（Ｍｎ）＝２０３２、重量平均分子量（Ｍｗ）＝２５７６、γ（Ｍｗ／Ｍｎ）＝１．２７（検出器として紫外線吸収を使用した液体クロマトグラフ法による分子量測定結果））をスピン塗布し、１５０℃、２００℃のホットプレート上で順次各１分間の加熱を行なう。
【０１６９】
【化３】
0004095763.tif 000018
【０１７０】
次に、ｎ型半導体領域１２１２上の第１の層間絶縁膜１２１３を選択的に除去する。即ち、第１の層間絶縁膜１２１３上に接続孔形成用のレジストＴＤＵＲ?Ｐ０３６（東京応化工業（株）製）をスピン塗布してから、８０℃のホットプレート上で１．５分間加熱した後、既知のＫｒＦレーザーステッパによる露光及びＮＭＤ?３（東京応化工業（株）製）による現像を行い、接続孔１２１４Ａおよび接続孔１２１４Ｂ形成用のレジストパターンを形成する。
【０１７１】
次に、上記レジストパターンをマスクにして、少なくともＣＦ4を含むプラズマガスを用いて第１の層間絶縁膜１２１３をエッチングし、接続孔１２１４Ａおよび接続孔１２１４Ｂを形成する。その後、レジスト膜を酸素アッシングにより完全に除去し、接続孔１２１４Ａ、接続孔１２１４Ｂのそれぞれの内部に導電プラグ１２１５を形成する。導電プラグ１２１５は第１の層間絶縁膜１２１３上に不純物が導入された多結晶シリコン膜をＣＶＤ法で形成した後、この多結晶シリコン膜をＣＭＰ法を用いて研磨することによって形成される。
【０１７２】
次に、接続孔１２１４Ａ内の導電プラグ１２１５と電気的に接続されるビット線（ＢＬ）を形成する。そして、ビット線（ＢＬ）上を含む第１の層間絶縁膜１２１３上に第２の層間絶縁膜１２１６を形成する。この第２の層間絶縁膜１２１６は、第１の層間絶縁膜１２１３と同様の方法で形成される。そして、さらにその上に窒化シリコン膜１２１９を形成する。
【０１７３】
次に、導電プラグ１２１５上の第２の層間絶縁膜１２１６及び窒化シリコン膜１２１９をドライエッチング法で選択的に除去して接続孔１２１７を形成し、その後、接続孔１２１７の内部に導電プラグ１２１８を形成する。導電プラグ１２１８は、導電プラグ１２１５と同様の方法で形成される。
【０１７４】
次に、導電プラグ１２１８を含む第２の層間絶縁膜１２１６上に、既知の手法によりキャパシタを形成する。
【０１７５】
次に、第３の層間絶縁膜１２２０としてＳｉＬＫTM（Ｄｏｗ Ｃｈｅｍｉｃａｌ製）をスピン塗布し、１８０℃、３２０℃のホットプレート上で順次各１分間の加熱を行い、半熱硬化状態の膜（膜厚６００ｎｍ）を形成する。
【０１７６】
次に、第３の層間絶縁膜１２２０上に、下記（化４）で表される分子構造を有するラダーシリコーン系ポリマ材料（数平均分子量（Ｍｎ）＝３０６０、重量平均分子量（Ｍｗ）＝４０５８、γ（Ｍｗ／Ｍｎ）＝１．３３）をスピン塗布し、９０℃のホットプレート上で加熱を行って、第４の層間絶縁膜１２２１（膜厚１００ｎｍ）を形成する。
【０１７７】
【化４】
0004095763.tif 000019
【０１７８】
次に、第４の層間絶縁膜１２２１上に接続孔形成用のレジストＴＤＵＲ−Ｐ０３６（東京応化工業（株）製）をスピン塗布し、８０℃のホットプレート上で１．５分間加熱した後、既知のＫｒＦレーザーステッパによる露光及びＮＭＤ−３（東京応化工業（株）製）による現像を行い、接続孔形成用のレジストパターンを形成する。この時、同時にアルカリ可溶性官能基を有する第４の層間絶縁膜１２２１もパターニングすることができる。
【０１７９】
そして、１２０℃のホットプレート上で１．５分間加熱してから、レジストパターンと第４の層間絶縁膜１２２１とをマスクとして、Ｏ2プラズマガスを用いて第３の層間絶縁膜１２２０に開口を形成する。この時、同時にレジストパターンがエッチングされてなくなるが、パターニングされた第４の層間絶縁膜１２２１は有機官能基の部分が酸化分解されて、酸化シリコン膜に相当するような膜に改質され、Ｏ2プラズマガスではエッチングされないので、エッチングマスクとしての機能を果たす。
【０１８０】
次に、上記の開口部をクリーニング液ＳＴ−２５０（ＡＣＳＩ社製）を用いて洗浄した後、第４の層間絶縁膜１２２１と第３の層間絶縁膜１２２０とからなる積層層間絶縁膜を一括して、酸素濃度５０ｐｐｍ以下のＮ2雰囲気中にて４００℃で３０分間加熱処理を施し、最終的な熱硬化処理を行なう。
【０１８１】
上記したプロセスにより、積層層間絶縁膜から低温で発生する脱離ガス成分やビアに残留したクリーニング液成分等はすべて放出させることができ、次工程である配線等を形成する金属膜形成プロセスに対して、ポイズンドビア発生等の悪影響を排除することが出来る。
【０１８２】
次に、接続孔にＣＶＤ法を用いてタングステン１２２２を埋め込む。そして、研磨剤としてＳＥＭＩ−ＳＰＥＲＳＥ(R) Ｗ２０００（Ｃａｂｏｔ社製）を用いた化学機械研磨（ＣＭＰ）を行うことにより、第４の層間絶縁膜１２２１上の不要なタングステンを除去する。その結果、第４の層間絶縁膜１２２１の表面はほとんど研磨されず、即ち、第４の層間絶縁膜１２２１が研磨ストッパとして働き、研磨は第４の層間絶縁膜１２２１が露出した時点で実質的に停止する。
【０１８３】
次に、最上層の配線としてアルミ合金膜を形成し、このアルミ合金膜をパターニングして、上層配線１２２３を形成する。
【０１８４】
そして、パッシベーション膜として、上層配線１２２３を含む第４の層間絶縁膜１２２１の表面を覆うようにしてＣＶＤ法によるＳｉＮ膜１２２４（膜厚１５００ｎｍ）を形成し、更に、その上にチップコート膜としての感光性ポリイミド膜ＰＬ−Ｈ７０８（日立化成工業（株）製）１２２５を形成する。尚、このポリイミド膜１２２５には、スクライブラインとボンディングパッド部に対応させた開口が予め形成されている。
【０１８５】
最後に、良く知られたブレードダイシング法により、先のスクライブラインに沿って個々のチップに切り出し、半導体メモリ装置が完成する。
【０１８６】
尚、図１２に示したメモリ装置において、その周辺部にはガードリング１２２２が形成されている。即ち、第１の絶縁膜１２１３、第２の絶縁膜１２１６、第３の絶縁膜１２２０、第４の絶縁膜１２２１を貫通して設けられた導電プラグ（タングステンの埋め込み成長によって形成される）の一方の端が上部電極１２２３に接続され、他方の一端がｐ型ウエル領域１２０６に接するようにして設けられている。これにより、中央部に設けられたメモリ領域が外部からの不要な雑音によって誤動作が生じないようにしている。
【０１８７】
上記したように、個々の半導体領域を分離し、更に多層の配線層を形成するための層間絶縁膜として、ラダーシリコーン系ポリマからなる絶縁膜もしくは有機絶縁膜とラダーシリコーン系ポリマからなる絶縁膜との積層絶縁膜を用い、これらは第６の実施例で述べた場合と同様の方法を用いて形成されている。
【０１８８】
その結果、層間の容量を従来良く用いられた無機系絶縁膜に比較して低くすることが出来る。そして配線層を伝播する信号の遅延を抑制することによって、半導体メモリ素子をより高速で駆動させることが可能になる。
【０１８９】
（第１２の実施例）
図１３は第１２の実施例である半導体メモリ素子の断面図である。第１１の実施例との違いは、積層層間絶縁膜として下層に設けられた絶縁膜１３２０に、有機絶縁膜ＦＬＡＲＥTM（Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ製）１３２０を用いたことである。
【０１９０】
また、周辺部に設けられたガードリング１３２２の一端は上層配線１３２３に接続されているが、他方の一端がｐ型ウエル領域の内部に埋め込まれるようにして形成されている。
【０１９１】
第１１の実施例の場合と同様に、層間の容量を従来良く用いられた無機系絶縁膜に比較して低くすることが出来るばかりでなく、配線層を伝播する信号の遅延が抑制されることによって、半導体メモリ素子をより高速で駆動させることが可能になることは言うまでもない。そして、ガードリングの構造から明らかのように、外部雑音に対するメモリ領域の保護が第１１の実施例よりも更に効果的に作用する。
【０１９２】
（第１３の実施例）
図１４は第１３の実施例である半導体ロジック素子の断面図である。
【０１９３】
半導体基板１４０１上に既知のＳＴＩ（Shallow Trench Isolation）を用いて素子分離膜領域１４０２を形成し、この素子分離膜領域１４０２内部にＭＯＳトランジスタ１４０３を形成する。そして、既知のＣＶＤ法を用いて５０ｎｍ程度のシリコン酸化膜１４０４と５００ｎｍ程度のＢＰＳＧ（ボロン・リン・シリケイトガラス）膜１４０５とを、ＭＯＳトランジスタ１４０３を含み、半導体基板１４０１の表面に順次形成した後、例えば８００〜９００℃の窒素雰囲気でリフローアニールする。
【０１９４】
次に、例えばシリカ砥粒を用いた化学機械研磨法（ＣＭＰ法）を用いてＢＰＳＧ膜１４０５の表面を平坦化研磨した後、コンタクトホールを形成し、このコンタクトホール内に、ＣＶＤ法によりタングステンの埋め込みを行い、導電プラグ１４０６を形成する。この時、ＢＰＳＧ膜１４０５の表面上に存在する不要なタングステンは既知のエッチバック法により除去されている。
【０１９５】
次に、ＢＰＳＧ膜１４０５の上に、パターニングされたアルミ合金からなる上層配線層１４０７を形成する。
【０１９６】
次に、有機絶縁膜材料ＦＬＡＲＥTM（Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ製）をスピン塗布し、 １５０℃、２００℃、２５０℃のホットプレート上で順次各１分間の加熱処理を行ない、半熱硬化状態にある第１の絶縁膜１４０８（膜厚５００ｎｍ）を形成する。
【０１９７】
次に、第１の絶縁膜１４０８上に下記（化４）で表される分子構造を有し、感光剤を含むラダーシリコーン系ポリマ材料（数平均分子量（Ｍｎ）＝３０６０、重量平均分子量（Ｍｗ）＝４０５８、γ（Ｍｗ／Ｍｎ）＝１．３３（検出器として紫外線吸収を使用した液体クロマトグラフ法による分子量測定結果））をスピン塗布し、例えば９０℃のホットプレート上で１分間の加熱処理を行なって、第２の絶縁膜１４０９（膜厚１００ｎｍ）を形成する。
【０１９８】
【化４】
0004095763.tif 000020
【０１９９】
上述した第１の絶縁膜１４０８及び第２の絶縁膜１４０９はいずれもスピン塗布法を用いて形成されるため、その表面の平坦性は素子形成上十分であって、従来良く行なわれていた一般的なエッチバックやＣＭＰ等の平坦化工程を省くことができる。従って、上述した第１の絶縁膜１４０８及び第２の絶縁膜１４０９は、いずれも半熱硬化状態でのパターニングが可能となる。
【０２００】
次に、第２の絶縁膜１４０９上に配線形成用レジストＴＤＵＲ−Ｐ０８０（東京応化工業（株）製）をスピン塗布し、例えば９０℃のホットプレート上で１．５分間加熱した後、既知のＫｒＦレーザーステッパによる露光及びＮＭＤ−３（東京応化工業（株）製）による現像を行い、配線形成用のレジストパターンを形成する。
【０２０１】
次に、１００℃のホットプレート上で１．５分間加熱処理を行なった後、Ｏ2プラズマガスを用いて第２の絶縁膜１４０９をマスクとして第１の絶縁膜１４０８に開口を形成する。このとき、同時に第２の絶縁膜１４０９を構成する有機官能基の部分が酸化分解され、その表面はあたかも酸化シリコン膜に類似の膜に改質され、この膜はＯ2プラズマガスによりエッチングされないので、エッチングマスクとしての機能を果たすようになる。
【０２０２】
上述したドライエッチングの条件は、例えば下記の条件が好適である。
【０２０３】
・ＲＦパワー：９００Ｗ
・圧力：１．５Ｔｏｒｒ
・基板温度：３５℃
・Ｏ2流量：３７５０ｓｃｃｍ
次に、上記の開口部をクリーニング液ＳＴ−２５０（ＡＣＳＩ社製）を用いて洗浄した後、第２の絶縁膜１４０９と第１の絶縁膜１４０８とからなる積層層間絶縁膜を、酸素濃度１０ｐｐｍ以下のＮ2雰囲気中にて４００℃で６０分間の加熱を施し、最終的な熱硬化を行なう。
【０２０４】
上記したプロセスによって、積層層間絶縁膜から低温で発生する脱離ガス成分やビアに残留したクリーニング液成分等はすべて放出させることができ、次工程である金属配線プロセスに対して、ポイズンドビア発生等の悪影響を排除することが出来る。
【０２０５】
次に、上記した接続孔に、ＣＶＤ法を用いてタングステンを埋め込み、導電プラグ１４１０を形成する。この時、第２の絶縁膜１４０９の上部に存在する不要なタングステンは既知のエッチバック法によって除去される。
【０２０６】
次に、導電プラグ１４１０と電気的な接続を行なうようにしてアルミ合金からなるパターン化された上層配線１４１１を形成する。
【０２０７】
以下、上記の工程を繰り返して３層の積層層間絶縁膜を形成する。そして、通常のＣＶＤ法を用いてＳｉＮ膜からなるパッシベーション膜１４１６（膜厚１５００ｎｍ）及び感光性ポリイミドＰＬ−Ｈ７０８（日立化成工業（株）製）からなるチップコート膜１４１７を、上記した積層層間絶縁膜を包み覆うようにして順次形成する。チップコート膜１４１７には、スクライブラインとボンディングパッド部に対応する位置に開口が予め形成されており、既知のブレードダイシング法を用いて個々のチップを切り出して分離することにより、半導体ロジック装置が完成する。
【０２０８】
層間容量は従来の無機系絶縁膜を用いた場合に比較して遥かに小さくすることが出来る。また、積層層間絶縁膜を半熱硬化状態で導電プラグ形成用の開口を形成した後、改めて最終的な熱硬化処理を行なうため、次工程での導電プラグの埋め込み形成時に離脱ガス等の影響を排除することが可能となり、その結果として従来良く問題とされたポイズンドビアとよばれる埋め込み不良やコンタクト不良及び抵抗値増加を抑制することが出来る。
【０２０９】
また、第８の実施例や第９の実施例の場合と同様に、配線層を伝播する信号の遅延を抑制することが出来るので、本実施例である半導体ロジック装置をより高速で駆動させることが可能になる。
【０２１０】
（第１４の実施例）
図１５は第１４の実施例である半導体ロジック素子の断面図である。第１３の実施例との違いは、積層層間絶縁膜の下層に配置した有機絶縁膜がＳｉＬＫTM（Ｄｏｗ Ｃｈｅｍｉｃａｌ製）１５０８であり、また、積層層間絶縁膜を覆うようにして設けられた窒化シリコン膜１５１６が半導体基板１５０１の内部まで埋め込まれて形成されていることである。
【０２１１】
第１３の実施例の場合と同様に、層間容量を従来の場合に比較して小さくすることによって配線層を伝播する信号の遅延を抑制させ、より高速で半導体ロジック素子を駆動させることが可能であるばかりでなく、保護膜である窒化シリコン膜を半導体基板の内部に埋め込むことによって、第１３の実施例よりも外部からの雑音を受けることなく、確実な駆動が可能である。
【０２１２】
（第１５の実施例）
図１６は第１５の実施例を説明するための断面図であって、第１３の実施例で説明した半導体ロジック素子をウエハレベルチップサイズパッケージ構造に用いた場合である。
【０２１３】
本実施例において、ポリイミドチップコート膜１６０４に開口部を形成した半導体素子上に、例えばスパッタリング法を用いて、Ｎｉ膜（膜厚約５０ｎｍ）、Ｃｕ膜（膜厚約１．２μｍ）を順次堆積し、再配列配線層１６０５を形成する。
【０２１４】
次に、再配列配線層１６０５上に有機絶縁膜材料ＢＣＢTM（Ｄｏｗ Ｃｈｅｍｉｃａｌ製）をスピン塗布した後、８０℃、１５０℃、２００℃のホットプレート上で順次各１分間の加熱処理を行ない、半熱硬化状態の第１の絶縁膜１６０６（膜厚３μｍ）を形成する。
【０２１５】
この第１の絶縁膜１６０６に、下記（化３）で表される分子構造を有するラダーシリコーン系ポリマ材料（数平均分子量（Ｍｎ）＝２０３２、重量平均分子量（Ｍｗ）＝２５７６、γ（Ｍｗ／Ｍｎ）＝１．２７（検出器として紫外線吸収を使用した液体クロマトグラフ法による分子量測定結果））をスピン塗布し、９０℃、１４０℃のホットプレート上で各１分間加熱処理を行なって、第２の絶縁膜１６０７（膜厚１００ｎｍ）を形成する。
【０２１６】
【化３】
0004095763.tif 000021
【０２１７】
次に、第２の絶縁膜１６０７上に、既知のフォトリソグラフィー法を用いてレジストパターン（図示せず）を形成する。
【０２１８】
続いて、一般的なドライエッチング装置を使用し、レジストパターンをマスクとしてＣＦ4（９５％）／Ｏ2（５％）の混合ガスによって第２の絶縁膜１６０７に所定のパターンを形成する。
【０２１９】
引続き、レジストパターンとパターン化された第２の絶縁膜１６０７をマスクとして、Ｏ2プラズマガスにより第１の絶縁膜１６０６に開口を形成する。この時、同時にレジストパターンは除去される。
【０２２０】
次に、開口部をクリーニング液ＳＴ−２５０（ＡＣＳＩ社製）を用いて洗浄した後、第２の絶縁膜１６０７及び第１の絶縁膜１６０６からなる積層層間絶縁膜を一括して、酸素濃度１０ｐｐｍ以下のＮ2雰囲気中にて例えば４００℃で６０分間の加熱処理を行ない、最終的な熱硬化処理を行なう。
【０２２１】
その後、上記した積層層間絶縁膜の一部に開口を設け、その開口にアンダーバンプメタル層１６０８、ハンダバンプ１６０９を通常の方法で形成し、再配列配線層１６０５とハンダバンプ１６０９とがアンダーバンプメタル層１６０８を介して電気的に接続させる。
【０２２２】
上記の工程を経て、ウエハレベルチップサイズパッケージ構造の半導体素子が完成する。
【０２２３】
図１６には図示されていないが、ハンダバンプ１６０９を介して外部の配線等と電気的に接続されて、各種の電気信号の受け渡しが行なわれる。この時、積層層間絶縁膜の容量が信号の伝播に大きな影響を及ぼすが、本実施例における積層層間絶縁膜は従来の無機系絶縁膜に比較してその比誘電率が小さいため、上記した影響を極力低減することが出来る。即ち、本実施例においては、従来の場合よりも信号の遅延を抑制し、高速での動作が可能になる。
【０２２４】
（第１６の実施例）
図１７は第１６の実施例を説明するための断面図であって、第１３の実施例で説明した半導体ロジック素子をウエハレベルチップサイズパッケージ構造に用いた場合である。
【０２２５】
半導体ロジック素子のポリイミド膜１７０４上に、再配列配線１７０５を形成し、更にその上にポリイミド絶縁膜１７０６が設けられている。そして、このポリイミド絶縁膜層１７０６を貫いて再配列配線１７０５の一部の領域で電気的な接続を行なうためのアンダーバンプメタル層１７０７が設けられ、このアンダーバンプメタル層１７０７の上にハンダバンプ１７０８が形成されている。
【０２２６】
第１６の実施例との違いは、再配列配線１７０５上に設けられた絶縁膜がポリイミド絶縁膜１７０６で構成されていることである。
【０２２７】
高速駆動の可能な半導体ロジック素子そのものは第１３の実施例または第１４の実施例で述べた方法によってウエハ上に形成することが出来るため、本実施例によってウエハの状態でハンダバンプを有する半導体ロジックパッケージ装置が実現する。
【０２２８】
これにより、従来、半導体ロジック素子個別にハンダバンプを設けてパッケージ構造を作り込んでいたのに対して、ウエハの状態で最終形態の半導体ロジック製品を完成させることが出来るので、従来に比較して極めて効率良く生産することが可能になり、その結果、半導体ロジック製品の高速化及び低コスト化に貢献することが出来る。
【０２２９】
（第１７の実施例）
第１７の実施例であるマルチチップモジュールについて、図１８に示した断面図を用いて説明する。
【０２３０】
セラミック基板１８０６の内層配線１８０２の上部および下部にＮｉめっきによる上部電極１８０３および下部電極１８０４を形成し、更に、この下部電極１８０４にＡｕメッキ層１８０５を形成する。
【０２３１】
更に、上部電極１８０３を形成した側に、真空蒸着を用いてアルミニウム膜を形成し、既知のフォトエッチング技術により形成した所定のパターンを有する第１の配線層１８０７（膜厚２μｍ）を形成した。
【０２３２】
次に、第１の配線層１８０７を含むセラミック基板１８０６の上に、有機絶縁膜ＢＣＢTM（Ｄｏｗ Ｃｈｅｍｉｃａｌ製）をスピン塗布した後、８０℃、１５０℃、２００℃のホットプレート上で順次各１分間の加熱処理を行い、半熱硬化状態にある第１の絶縁膜１８０８（膜厚４μｍ）を形成する。
【０２３３】
次に、この第１の絶縁膜１８０８上に、ポジ型レジスト感光剤を含み、下記（化４）で表される分子構造を有するラダーシリコーン系ポリマ材料（数平均分子量（Ｍｎ）＝３０６０、重量平均分子量（Ｍｗ）＝４０５８、γ（Ｍｗ／Ｍｎ）＝１．３３）をスピン塗布した後、９０℃のホットプレート上でプリベークを行って、第２の絶縁膜１８０９（膜厚５００ｎｍ）を形成する。
【０２３４】
【化４】
0004095763.tif 000022
【０２３５】
次に、既知のＫｒＦレーザーステッパによる露光及びＮＭＤ−３（東京応化工業（株）製）による現像を行い、アルカリ可溶性官能基を有しポジ型レジスト感光剤を含む第２の絶縁膜１８０９をパターニングする。
【０２３６】
そして、１００℃のホットプレート上で１分間加熱した後、第２の絶縁膜１８０９をマスクとして、Ｏ2プラズマガスにより第１の絶縁膜１８０８に開口を形成する。この時、第２の絶縁膜１８０９を構成する官能基の部分が酸化分解され、酸化シリコン相当の膜に改質される。この膜はＯ2プラズマガスによりエッチングされないので、第２の絶縁膜はエッチングマスクとして作用する。
【０２３７】
次に、開口部をクリーニング液ＳＴ−２５０（ＡＣＳＩ製）を用いて洗浄した後、第２の絶縁膜１８０９及び第１の絶縁膜１８０８からなる第１の積層層間絶縁膜を一括して、酸素濃度１０ｐｐｍ以下のＮ2雰囲気中にて４００℃で６０分間の加熱処理を行ない、最終的な熱硬化を施す。
【０２３８】
次に、所定のパターンを有する第２の配線層１８１０（膜厚２μｍ）を、上記の開口を介して形成し、第２の配線層１８１０と第１の配線層１８０７とが電気的に接続されるように形成する。
【０２３９】
以下同様にして、第２の積層層間絶縁膜１８１１、第３の積層層間絶縁膜１８１３を形成する。
【０２４０】
次に、第３の積層層間絶縁膜１８１３の接続孔に、通常の方法を用いて、例えば真空蒸着法を用いてＣｒ（０．０７μｍ）／Ｎｉ−Ｃｕ（０．７μｍ）層１８１４を、及びメッキ法を用いてＮｉ／Ａｕ層１８１５を順次形成して、上部電極とし、マルチチップモジュール基板を得ることができる。
【０２４１】
上記した積層層間絶縁膜１８１１、１８１３等を構成する何れの絶縁膜も従来の無機系絶縁膜に比較してその比誘電率が小さいので、層間容量を低減させることが出来、配線を伝播する信号の遅延を極力低減させることが可能になる。
【０２４２】
更にまた、積層層間絶縁膜を先ず３５０℃未満の半熱硬化の状態でエッチング加工し、その後３５０℃以上で最終硬化させることによって、脱離ガス成分等が次工程、例えば配線形成工程に及ぼす悪影響を排除することが出来る。その結果、例えば従来の方法で問題とされたポイズンドビアとよばれる埋め込み不良やコンタクト不良及び抵抗値増加を抑制することが出来るので、高品質のマルチチップモジュールを実現することが可能になる。
【０２４３】
（第１８の実施例）
図１９は、第１８の実施例である樹脂封止された半導体メモリ装置を説明するための構造図である。
【０２４４】
第１１の実施例または第１２の実施例によって得られた半導体メモリ素子１９０１の表面に、下部にポリアミドイミドエーテルの接着層を持つポリイミドフィルム１９０４上に支持された外部端子１９０３を、例えば４００℃の温度にて熱圧着で接続した。
【０２４５】
次に、半導体メモリ素子１９０１のボンディングパッド部と外部端子１９０３との間を通常のワイヤーボンダーを用いて金線１９０５を配線する。
【０２４６】
そして、半導体メモリ素子１９０１、外部端子１９０３、金線１９０５等を覆うように、シリカ含有エポキシ系樹脂を用いて、樹脂封止部１９０６を形成した。樹脂封止の条件は、例えば成形温度１８０℃、成型圧力７０ｋｇ／ｃｍ2で行った。
【０２４７】
最後に、外部端子１９０３の一部を所定の形状に折り曲げることにより、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）のＬＯＣ型樹脂封止の完成品を得た。
【０２４８】
樹脂封止された半導体メモリ素子の層間絶縁膜には、比誘電率の小さい有機金属ポリマからなる絶縁膜が使用されているので、メモリ素子の特性として第１１の実施例または第１２の実施例で説明した同様の効果を奏することは言うまでもなく、更に樹脂封止されているので外部環境に対して安定な特性を発揮することが可能である。
【０２４９】
（第１９の実施例）
図２０に、第１９の実施例である樹脂封止された半導体ロジック装置の断面図である。
【０２５０】
第１３の実施例または第１４に実施例で得られた半導体ロジック装置２００１を、別途設けられているダイボンディング工程におけるリードフレームに固定する。その後、半導体ロジック装置２００１に設けられたボンディングパッド部とリードフレームの外部端子２００５の間をワイヤーボンダーを用いて金線２００４を配線した。
【０２５１】
次に、日立化成工業（株）製のシリカ含有ビフェニル系エポキシ樹脂を用いて、半導体ロジック装置２００１、外部端子２００５等を包み込むように樹脂封止部２００３を形成した。封止条件は、成型温度１８０℃、成型圧力７０ｋｇ／ｃｍ2であるが、これに限定されるものではない。
【０２５２】
最後に、外部端子２００６を所定の形に折り曲げることにより、樹脂封止型半導体ロジック装置の完成品が得られる。
【０２５３】
樹脂封止された半導体ロジック装置の層間絶縁膜の一部には、比誘電率の小さい有機金属ポリマからなる絶縁膜が使用されているので、ロジック装置の特性として第１３の実施例または第１４に実施例で説明した場合と同様の効果を奏することは言うまでもなく、更に樹脂封止されているので外部環境に対して安定した高速動作特性を発揮することが可能である。
【０２５４】
以上、実施例を用いて詳細に説明したが、本発明並びに実施例を達成するための諸条件等はこれらの実施例になんら限定されるものではない。
【０２５５】
【発明の効果】
以上説明したように、従来のＣＶＤ法で形成される無機系絶縁膜よりも比誘電率の低い有機金属ポリマを塗布法を用いて形成することにより、簡便に、かつ層間容量の低減を図った高速応答の可能な半導体装置を実現することが出来る。
【０２５６】
また、本発明においては、層間絶縁膜を半熱硬化の状態で加工した後、最終的な熱硬化を行なうことにより、次工程の配線形成工程への影響を排除することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の半導体装置を説明するための工程図である。
【図２】第１の実施例である半導体装置を説明するための工程図である。
【図３】第２の実施例である半導体装置を説明するための工程図である。
【図４】第３の実施例である半導体装置を説明するための工程図である。
【図５】第４の実施例である半導体装置の断面図である。
【図６】第５の実施例である半導体装置の断面図である。
【図７】第６の実施例である半導体装置の断面図である。
【図８】第７の実施例である半導体装置を説明するための工程図である。
【図９】第８の実施例である積層構造の半導体装置を説明するための工程図である。
【図１０】第９の実施例である積層構造の半導体装置を説明するための工程図である。
【図１１】第１０の実施例である積層構造の半導体装置を説明するための工程図である。
【図１２】第１１の実施例である半導体メモリ装置を説明するための工程図である。
【図１３】第１２の実施例である半導体メモリ装置を説明するための工程図である。
【図１４】第１３の実施例である半導体ロジック装置を説明するための工程図である。
【図１５】第１４の実施例である半導体ロジック装置を説明するための工程図である。
【図１６】第１５の実施例であるウエハレベルチップサイズパッケージ構造を備えた半導体装置を説明するための工程図である。
【図１７】第１６の実施例であるウエハレベルチップサイズパッケージ構造を備えた半導体装置を説明するための工程図である。
【図１８】第１７の実施例であるマルチチップモジュール構造の半導体装置を説明するための断面図である。
【図１９】第１８の実施例である樹脂封止型半導体装置を説明するための断面図である。
【図２０】第１９の実施例である樹脂封止型半導体装置を説明するための断面図である。
【符号の説明】
１、７０１…基板、２…有機絶縁膜、３…ハードマスク、４…フォトレジスト、５…コンタクトホール、２０１、３０１、４０１、５０１、６０１、７０１、７０２…下層配線層、２０２、３０２、４０２、５０２、６０２、７０２、７０３、８０８、１１０８、１２１３、１３１３、１４０８、１５０８…第１の絶縁膜、２０３、３０３、４０３、５０３、６０３、７０３、７０５、８０３、９０４、９０８、１２１６、１３１６、１４０９、１５０９、１４０９…第２の絶縁膜、２０４…コンタクトホール、３０４、４０３、５０４、６０４、７０４、７０９…接続プラグ、５０５、７０５、７０７、８０４、１２２０、１３２０…第３の絶縁膜、５０７、７０８、１２２１、１３２１…第４の絶縁膜、７０７、１４０７、１４１１、１４１４、１５０７、１５１１、１５１４…配線、７０６、１２２３、１３２３…上層配線、１２０１、１３０１…ｐ型半導体基板、１２０２、１３０２…溝、１２０３、１２０４、１３０４…酸化膜、１２０５、１３０５…ｎ型ウエル領域、１２０６、１３０６…ｐ型ウエル領域、１２０７、１３０７…ゲート絶縁膜、１２０８、１３０８…ゲート電極、１２０９、１３０９…キャップ絶縁膜、１２１０、１２１２、１３１０、１３１２…ｎ型半導体領域、１２１１、１３１１…サイドウオールスペーサ、１２１４Ａ、１２１４Ｂ、１２１７、１３１４Ａ、１３１４Ｂ、１３１７…接続孔、９０６，９０９、１２１５、１２１８、１３１５、１３１８、１４０６、１４１０、１４１３、１５０６、１５１０、１５１３…導電プラグ、１２１９、１２２４、１３１９、１３２４、１４１６、１５１６…窒化シリコン膜、１２２２、１３２２…ガードリング部、１２２５、１３２５、１４１７、１５１７…ポリイミド膜、９０１、１４０１、１５０１、１６０１、１７０１…半導体基板、１４０２、１５０２…素子分離領域、１４０３、１５０３…ＭＯＳトランジスタ、１４０４、１５０４…絶縁膜、１４０５、１５０５…ＢＰＳＧ、１４１２、１４１５、１５１２、１５１５、１８１１、１８１３…積層層間絶縁膜、１２０２、１３０２…パッシベーション膜、１６０３、１７０３…アルミパッド、１６０４、１７０４、１９０２、２００２…ポリイミドチップコート膜、１６０５、１７０５…再配列配線、１６０６、１７０６、１７０７…絶縁膜層、１６０７、１７０８…アンダーバンプメタル層、１６０８、１７０９…ハンダバンプ、１８０１、１８０６…セラミック層、１８０２…Ｗ配線、１８０３…上部電極（Ｎｉ層）、１８０４…下部電極（Ｎｉ層）、１８０５…Ａｕ層、１８０７…第１アルミ配線層、１８１０…第２アルミ配線層、１８１２…第３アルミ配線層、１８１４…Ｃｒ／Ｎｉ?Ｃｕ層、１８１５…Ｎｉ／Ａｕ層、２０１、３０１、１７０１、８０１…下層配線層、２０４、３０４、８０５、８０６、９０５、１１０３…フォトレジスト、９０２…第１の配線層、９０７…第２の配線層、９１０…第３の配線層、９１２、１００３…第４の配線層、９１４、１００７、１１０４…第５の配線層、１００１、１１０１…有機絶縁膜、１００２、１１０２…ポリマ絶縁膜、１９０１、２００１…半導体素子、１９０３、２００５…外部端子、１９０４…ポリイミドフィルム、１９��５、２００４…金線、１９０６、２００３…エポキシ樹脂
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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