(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ガラスの製造装置において、
回転自在に支承されたターンテーブルと、
上記ターンテーブルの円周方向に沿って配置され、溶融ガラスを受け入れる複数の下型と、
上記下型の移動経路上で該下型に対向配置されると共に、上記下型に向けて移動して該下型とで上記溶融ガラスのプレスを実現する少なくとも一つの上型と、
上記上型を支承する支持構造と、
上記ターンテーブル及び上記支持構造の両方を冷却する冷却手段と、
を備えた板状ガラスの製造装置。
【請求項２】
少なくとも上記下型を加熱する加熱手段を備えると共に、
上記冷却手段が、上記ターンテーブル内で液体を循環させることにより、上記加熱手段の加熱によるターンテーブルの反りを補正するものである請求項１記載の板状ガラスの製造装置。
【請求項３】
上記冷却手段が、
上記ターンテーブル内に液体を導くための流入口と、
上記ターンテーブルから液体を排出するための流出口と、
一端が上記流入口に連結し、他端が上記流出口に連結した上記ターンテーブル内の円周方向に沿って延びている液体流路と、
を備えた請求項２記載の板状ガラスの製造装置。
【請求項４】
上記上型の支持構造が、上記ターンテーブルの回転軸と一体にされて上記ターンテーブル上で垂直に延びるシャフトと、該シャフトに連結され該シャフトから水平に延びて上記上型を支承する水平支持部材とを有し、
上記冷却手段が、上記シャフトの長さ方向に沿って液体を循環させることにより、熱による上記シャフトの反りを補正するものである請求項１、２又は３記載の板状ガラスの製造装置。
【請求項５】
上記冷却手段が、上記水平支持部材内で液体を循環させることにより、熱による上記水平支持部材の反りを補正するものである請求項４記載の板状ガラスの製造装置。
【請求項６】
上記ターンテーブル及び上記支持構造の間で連続する液体流路を形成した請求項１、２、３、４又は５記載の板状ガラスの製造装置。
【請求項７】
ターンテーブルの円周方向に沿って配置された複数の下型に、溶融ガラスを受け入れ、上記下型の移動経路上で該下型に対向配置するよう支持構造によって支承された上型を、上記下型に向けて移動して該下型とで上記溶融ガラスのプレスを実現する板状ガラスの製造方法において、
上記ターンテーブル及び上記支持構造の両方を冷却しつつ上記溶融ガラスのプレスを行うことにより、上記上型と上記下型との相対的な傾き及び位置ずれを補正する板状ガラスの製造方法。
【請求項８】
上記ターンテーブル及び上記支持構造の両方の冷却は、上記ターンテーブル及び上記支持構造内で液体を循環させて行う請求項７記載の板状ガラスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、溶融ガラスをプレスして板状ガラスを成形する板状ガラスの製造装置及び方法に関し、特にハードディスク等で用いられる磁気記録媒体用のガラス基板など、高度な平坦度が要求されるプレスガラスの製造に適した板状ガラスの製造装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ハードディスク装置に用いられる磁気記録媒体の面記録密度は、著しい勢いで伸び続けている。1990年以降その記録密度は年率約60%で増加し、現在、１平方インチ当たり2Gビット以上の記録密度を有するハードディスク用記録媒体が既に出現している。ハードディスク装置は、高速回転する磁気記録媒体上で、アクチュエータにより支承された磁気ヘッド(スライダ)を媒体の半径方向に走査することによって情報の読み出し及び書き込みを行う。磁気ヘッドは、磁気記録媒体の高速回転により生じる空気流により、磁気記録媒体の情報記録面に対し僅かな隙間を空けて浮上する。現在、磁気ヘッドの記録面に対する浮上量は僅か40nm〜50nm程度であり、更なる高密度化への要求と相俟って、浮上量の極小化の要求が更に厳しくなっている。
【０００３】
安定した磁気ヘッドの浮上量を確保することが、安定した情報の読み出し及び書き込みの上で重要である。安定した磁気ヘッドの浮上量を確保し、また上記浮上量の極小化を実現するためには、磁気記録媒体の表面を極めて高精度に平坦化すること、特に磁気記録媒体に用いられる基板を平坦化することが極めて重要な要素技術である。
【０００４】
一方、磁気記録媒体に用いられるアルミ製基板に代わるものとして、近年ガラス製基板が注目され、その研究開発が盛んである。ガラス製基板は、アルミ製基板に比して、一般的に強度及び平坦度の面で優れている。ガラス製基板は、溶融したガラス(これを、ガラスコブという)を上型及び下型を用いてプレスしたものを、冷却後、研磨し、必要な表面処理(例えば、イオン交換法による化学強化)を施して成形される。
【０００５】
従来、溶融ガラスのプレスを行う製造装置においては、その量産性を向上させるために、溶融ガラスの連続プレスを可能とするターンテーブルを備えたものが用いられている。ターンテーブルの円周方向に沿って複数の下型が備えられ、順次上型の設置位置に溶融ガラスを供給する。上型及びそれを駆動するエアシリンダは、任意の支持構造によって垂下支持され、下型上の溶融ガラスに対するプレスを行う。プレスにより成型されたディスク状のガラス成形品は、上記製造装置から搬出され、自然冷却を経て、次工程、すなわち研磨、表面処理の工程へと引き渡される。
【０００６】
上記プレス工程において、下型及び上型は常時適正な温度範囲に維持されることが必要である。型を所定の温度範囲に加熱することにより、型と溶融ガラスとの間の熱交換が良好となり、亀裂や反りのないガラス成形品が歩留まり良く生産できる。従って、一般的に上記製造装置においては、型の近傍に高周波コイルなどの型の加熱装置を備えている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記加熱装置は、下型を支持する上記ターンテーブルに悪影響を与えることがある。下型はターンテーブルの上面に配置されており、加熱装置からの熱は下型を介して又は直接に、ターンテーブルの上面側に至って、これを加熱する。ターンテーブルの下面側は熱源に晒されていないので、ターンテーブルの上面側のみが該熱によって膨張し、その結果、水平に保たれた下型のプレス面に僅かな傾き、及び位置ずれを生じさせる。
【０００８】
また、プレスを行う上記製造装置の近傍には、ガラスを溶融し、維持するためのガラス溶融炉が配置されている。ガラス溶融炉内で、溶融ガラスを1200℃程度に保つ必要があるため、ガラス溶融炉からの熱は、上記上型を支持する支持構造に熱的影響を与えることがある。ガラス溶融炉に近い位置の上記支持構造の部材が熱により僅かに変形を受けると、水平に保たれた上型のプレス面に僅かな傾き、及び位置ずれを生じさせる。
【０００９】
両型のプレス面の傾き及び位置ずれが、ガラス成形品の平坦度に影響を与えることは明らかである。プレス面の傾きや位置ずれにより、プレス時に溶融ガラスに掛かる圧力が均一に分布せず、その結果、ガラス成形品の肉厚が不均一となる、いわゆる「偏肉」を生じさせる。記録密度の向上と共に、上記磁気記録媒体の平坦度の要求が更に厳しくなることが予想されるので、上記熱による型の傾き及び位置ずれを最小限に抑える装置の開発が急務である。
【００１０】
従って本発明の目的は、上記熱による型の傾き及び位置ずれを最小限に抑える板状ガラスの製造装置及び方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため請求項１記載の本発明は、板状ガラスの製造装置において、回転自在に支承されたターンテーブルと、上記ターンテーブルの円周方向に沿って配置され、溶融ガラスを受け入れる複数の下型と、上記下型の移動経路上で該下型に対向配置されると共に、上記下型に向けて移動して該下型とで上記溶融ガラスのプレスを実現する少なくとも一つの上型と、上記上型を支承する支持構造と、上記ターンテーブル及び上記支持構造の両方を冷却する冷却手段とを備えた構成を有する。上記冷却手段は、熱によるターンテーブル又は支持構造の変形を抑え、上型と下型との間の微細な平行度及び位置決めを維持する。
【００１２】
請求項２記載の本発明は、更に少なくとも上記下型を加熱する加熱手段を備えると共に、上記冷却手段が、上記ターンテーブル内で液体を循環させることにより、上記加熱手段の加熱によるターンテーブルの反りを補正する構成を有する。
【００１３】
請求項３記載の本発明は、上記冷却手段が、上記ターンテーブル内に液体を導くための流入口と、上記ターンテーブルから液体を排出するための流出口と、一端が上記流入口に連結し、他端が上記流出口に連結した上記ターンテーブル内の円周方向に沿って延びている液体流路とを備えた構成を有する。
【００１４】
請求項４記載の本発明は、上記上型の支持構造が、上記ターンテーブルの回転軸と一体にされて上記ターンテーブル上で垂直に延びるシャフトと、該シャフトに連結され該シャフトから水平に延びて上記上型を支承する水平支持部材とを有し、上記冷却手段が、上記シャフトの長さ方向に沿って液体を循環させることにより、熱による上記シャフトの反りを補正する構成を有する。
【００１５】
請求項５記載の本発明は、上記冷却手段が、上記水平支持部材内で液体を循環させることにより、熱による上記水平支持部材の反りを補正する構成を有する。
【００１６】
請求項６記載の本発明は、上記ターンテーブル及び上記支持構造の間で連続する液体流路を形成した構成を有する。
【００１７】
請求項７記載の本発明は、ターンテーブルの円周方向に沿って配置された複数の下型に、溶融ガラスを受け入れ、上記下型の移動経路上で該下型に対向配置するよう支持構造によって支承された上型を、上記下型に向けて移動して該下型とで上記溶融ガラスのプレスを実現する板状ガラスの製造方法において、上記ターンテーブル及び上記支持構造の両方を冷却しつつ上記溶融ガラスのプレスを行うことにより、上記上型と上記下型との相対的な傾き及び位置ずれを補正する構成を有する。
【００１８】
請求項８記載の本発明は、上記ターンテーブル及び上記支持構造の両方の冷却は、上記ターンテーブル及び上記支持構造内で液体を循環させて行う構成を有する。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に沿って詳細に説明する。本実施形態では、本発明をハードディスク装置に用いられる磁気記録媒体の基板となるガラス製基板を成形するための製造装置に適用した例を示す。尤も、本発明は、磁気記録媒体以外の情報記録媒体、例えば光記録媒体、光情報記録媒体等に用いられるガラス製基板、カメラ用フィルタ、マスクブランクスなど、高い平坦度を要求される板状ガラスの製造装置に広く適用できるものである。
【００２０】
図１及び図２は、本発明を適用した上記ガラス製基板の製造装置を示す装置外観の側面図及び平面図である。製造装置１は、溶融ガラスを供給し、プレスし、その反りを修正し、搬出するための各装置を備えている。本製造装置１により成形されたディスク状のガラス成形品は、搬出装置２により搬出され、図示しない自然冷却搬送路上に移され、ここでの冷却の後、次工程である研磨工程に渡される。
【００２１】
これら図において製造装置１は、駆動装置３により回転駆動されるターンテーブル４を備える。駆動装置３は、精度高く水平に設置された装置枠体５に固定されており、そのテーブル設置面３ａの水平が保たれている。ターンテーブル４は、このテーブル設置面３ａに対し固定され、その結果、ターンテーブル４は精度高く水平を維持しながら回転駆動されるものである。一つの実施例においてターンテーブル４は、直径950mm、厚さ50mmの金属円盤である。ターンテーブル４の上面周縁近くには、16個の下型６ａ〜６ｐが設置されている。各下型６は、ターンテーブル４の上面の同一円周上に等間隔で並んで配置されている。図１においては、他の構成要素を明示するため、一部の下型を省略している点に留意されたい。各下型６は、ターンテーブル４に開けた取付孔４ａ(図４を参照)にその下半部を挿入することによりしっかりと固定され、そのプレス面は水平に保たれている。下型６は、基本的には、上面にプレス面を有する円柱状本体と、その周囲を覆う、円柱状本体に対し相対的に移動可能な胴型とで構成されるが、これは従来から用いられている一般的下型と同じものであるので、ここではその詳細な構成についての説明を省略する。下型６は、ターンテーブル４の1/16ステップ回転(1ステップでターンテーブルを1/16回転させる)によって、その円周上を移動される。
【００２２】
製造装置１は、上記下型６の移動経路上に、溶融ガラスの供給、プレス、反り修正及び搬出を行うための各種装置を備える。溶融ガラスの供給は、図示しない溶融炉からのチューブ状溶融ガラス(1200〜1250℃)を、図示しない切断装置によって切断し、下型６のプレス面へ落下させることによって達成される。上記溶融炉及び切断装置は、装置枠体５から上方に立ち上げられた図示しない支持構造により、図２における破線位置Ａに設置され、その直下に来る下型(図では、下型６ａ)上に溶融ガラス、すなわちガラスコブを供給する。
【００２３】
上記溶融ガラスのプレスは、プレス用上型７によって達成される。プレス用上型７は、後述する支持構造１１に支承されたエアシリンダ８の駆動軸によって垂下支持され、且つ下型６に対し接離する方向に移動自在とされる。プレス用上型７の下降動作によって、下型６上の溶融ガラスに対するプレスを行う(ガラスの温度は1000〜1100℃)。プレス用上型７は、図２における位置Ｂに設置されており、その直下に来る下型(図では、下型６ｃ)上の溶融ガラスをプレスし、1.3mm厚程のディスク状に成形する。上記ディスク状ガラスの反り修正は、上記プレス用上型７の下流に連続して配置された複数の反り修正用上型９によって達成される。本実施形態においては、上記プレス用上型７による溶融ガラスのプレスは、1.5〜2秒程度という短い時間で行われるので、上型とガラス成形品の接触時間は短く、プレス後のガラス成形品の表裏と各型との間の熱交換は不均一となる。そのため、プレス後に１又は複数の反り修正用上型による反りの修正が必要となる。各反り修正用上型９は、基本的には上記プレス用上型７と同様に、円柱状本体とこれに相対移動可能な胴型で構成され、また、エアシリンダ１０によって垂下支持されている。本実施形態においては、３基の反り修正用上型９及びエアシリンダ１０が備えられ、これらは、図２における位置Ｃ、Ｄ、Ｅにおいて、後述する支持構造１１によって支承されている。
【００２４】
プレス用及び反り修正用のエアシリンダ８及び１０は、装置枠体５上に設置された支持構造１１によって支承されている。支持構造１１は、三角配置された３本の支持シャフト１２、１３ａ及び１３ｂと、その間に渡され、直接的にエアシリンダ８及び１０を支承及びガイドする２つの水平支持部材１４及び１５から構成されている。３本の支持シャフトのうちの２本(支持シャフト１３ａ及び１３ｂ)は、装置枠体５上に固定されており、他の１本(支持シャフト１２)は、ターンテーブル４の回転軸と一体にされ、その回転に伴って回転するように構成されている。各水平支持部材１４及び１５は、その三角形状の各頂点に、上記３本のシャフトを貫通するための取付孔１６ａ〜１６ｃ(図７を参照)を有しており、該取付孔を各支持シャフトに対し挿入し固定することによって、支持構造１１の枠組み構造が形成される。ここで、上記ターンテーブル４上の支持シャフト１２は、その回転に伴って回転されるので、支持シャフト１２と各水平支持部材１４及び１５との連結は固定的ではなく、軸受け部材１２ａ(図３を参照)を介して達成される。
【００２５】
上記各水平支持部材１４及び１５には、上記プレス用及び反り修正用の上型を備えるエアシリンダ８及び１０を支承及びガイドするための貫通孔１７ａ〜１７ｄ(図７を参照)が形成されている。上方の水平支持部材１４は、実質的に各エアシリンダ８及び１０の動力源を支持しており、その各貫通孔１７ａ〜１７ｄを通してその駆動軸を下方に至らせている。下方の水平支持部材１５の各貫通孔１７ａ〜１７ｄは、各上型７、９を高精度に傾きなく下降させるためのガイドとして機能する。すなわち、貫通孔１７ａ〜１７ｄには、内壁を高精度に加工した円筒状のガイド部材１８が固定される。ここに上記動力源の駆動軸に自在継ぎ手を用いてリンクした、上型を支承するシャフトを摺動自在に保持させる。支持構造１１を構成する各支持シャフト１２、１３ａ及び１３ｂ、並びに水平支持部材１４及び１５は、安定して上型を支持する必要があることから、十分な剛性が必要とされる。一つの実施例では、各支持シャフトを直径80〜100mmの中実の鋼で成形し、水平支持部材を25〜30mm厚の鋳鉄で成形した。
【００２６】
次に、本実施形態に係る製造装置１は、更に上型及び下型を加熱するための加熱装置２０及び２１を有する。下型加熱装置２０は、図１において一部示されているように、ターンテーブル４の回転による下型６の円形移動経路の両側に沿って、近接配置された高周波コイルである。下型加熱装置２０によって、移動する各下型６ａ〜６ｐは常時加熱され、これにより下型上に供給される溶融ガラスとの良好な熱交換が達成される。上型加熱装置２１は、図１において一部示されているように、待避位置にある４つの上型７及び９の周囲を囲うように近接配置された高周波コイルである。上型加熱装置２１によって、各上型７及び９が常時加熱され、溶融ガラスのプレス時におけるそれとの良好な熱交換が達成される。これら加熱装置２０及び２１により、各下型６、上型７及び９の温度は、少なくとも溶融ガラスのガラス転移点(約500℃)以上に保たれている。
【００２７】
次に、製造装置１に備えられた冷却装置について説明する。本実施形態において冷却装置は、支持シャフト１２を冷却するためのシャフト冷却構造３０、ターンテーブル４を冷却するためのターンテーブル冷却構造４０、下側の水平支持部材１５を冷却するための水平支持部材冷却構造５０、冷却水を貯溜した貯溜槽及び冷却水をこれら冷却構造内で循環させるためのポンプ(図示せず)を備えて構成される。本実施形態における冷却装置は、上記ポンプによって循環供給される冷水を、上記各冷却構造内で移送し、上記溶融ガラスを供給する溶融炉の熱、及び上記加熱装置２０及び２１による熱による、支持シャフト１２、水平支持部材１５及びターンテーブル４の変形を抑えるものである。
【００２８】
図３は支持シャフト１２を破断して示す図１の要部拡大図であり、これにより上記シャフト冷却構造３０が明らかにされている。シャフト冷却構造３０は、支持シャフト１２の長さ方向略全域に亘って延びる２本の水路３１ａ及び３１ｂを備える。各水路３１の上端は、水平支持部材１４よりも上部の位置で、図示しない貯溜槽及びポンプへの連結管３２ａ、３２ｂに接続されている。各水路３１の下端は、ターンテーブル４の近傍で、ターンテーブル４内の冷却構造４０に接続された連結管３３ａ、３３ｂに接続されている。すなわち、連結管３２ａ及び３２ｂ、支持シャフト１２内の水路３１ａ及び３１ｂ、連結管３３ａ及び３３ｂ、及び後述するターンテーブル冷却構造４０によって、連続した冷水の循環経路が形成されている。貯溜槽内の冷水は、ポンプにより図３における矢印Ａから供給され、連結管３２ａ、水路３１ａ、連結管３３ａ、ターンテーブル冷却構造４０、連結管３３ｂ、水路３１ｂ及び連結管３３ｂを順次回って矢印Ｂに排出され、元の貯溜槽に至る。上記水路を循環することによって温度上昇した冷水は、貯溜槽内で冷却され次の循環に供される。上記各水路３１及び３２は、中実の支持シャフト１２をボーリング加工して形成することができ、一つの実施例では、直径80mmの支持シャフトに、直径11mm、長さ約850mmの水路を、シャフトの中心から15mmの位置で対向して形成した。
【００２９】
図４、図５及び図６は、上記ターンテーブル冷却構造４０が示された、ターンテーブル４の平面図及び断面図である。図では、製造装置１に設置する前の単体としてのターンテーブル４が示されている。ターンテーブル４は、その中央の領域４１に、駆動装置３への取付用のねじ孔４ｂ、並びに支持シャフト１２の支持用の孔４ｃ及びねじ孔４ｄを有している。また、ターンテーブル４は、その周辺の領域４２に、下型６を挿入して固定するための取付孔４ａを有している。そして、ターンテーブル４は、上記中央の領域４１と周辺の領域４２とに挟まれた中間の領域４３に、上記冷却構造４０を備える。
【００３０】
ターンテーブル冷却構造４０は、流入口４４、流出口４５、上面側の水路４６ａ〜４６ｈ、下面側の水路４７ａ〜４７ｇ及び連結路４８ａ〜４８ｎを備える。流入口４４は、上記連結管３３ａに接続され、シャフト冷却構造３０の水路３１ａからの冷却水を、ターンテーブル４内に導く。流出口４５は、上記連結管３３ｂに接続され、ターンテーブル４内を循環した冷水を、シャフト冷却構造３０の水路３１ｂ側へ排出する。上面側水路４６ａ〜４６ｈは、ターンテーブル４の上面に近いところで冷水を通過させ、主としてターンテーブル４の上面側を冷却するものであり、また下面側水路４７ａ〜４７ｇは、ターンテーブル４の下面に近いところで冷水を通過させ、主としてターンテーブル４の下面側を冷却するものである。一つの実施例では、図５で示されるように、上記中間領域４３の表面及び裏面を僅かに窪ませ、ここに上面側水路又は下面側水路を構成する溝を形成し、ターンテーブル４とは別体のドーナツ状の閉止板４９を固定して、該溝を閉塞し、各水路を形成する。上記連結路４８ａ〜４８ｎは、上面側水路４６と下面側水路４７の端部で、これらを連続させる。このような構成により、上記上面側水路４６ａ〜４６ｈ、下面側水路４７ａ〜４７ｇ及び連結路４８ａ〜４８ｎは、流入口４４と流出口４５とを結び、ターンテーブル４の中間領域４３において略螺旋状に連続した水路を形成するものである。すなわち、流入口４４から流入した冷水は、順次、上面側水路４６ａ、連結路４８ａ、下面側水路４７ａ、連結路４８ｂ、上面側水路４６ｂ、連結路４８ｃ、下面側水路４７ｂ、連結路４８ｄ、上面側水路４６ｃ、連結路４８ｅ、下面側水路４７ｃ、連結路４８ｆ、上面側水路４６ｄ、連結路４８ｇ、下面側水路４７ｄ、連結路４８ｈ、上面側水路４６ｅ、連結路４８ｉ、下面側水路４７ｅ、連結路４８ｊ、上面側水路４６ｆ、連結路４８ｋ、下面側水路４７ｆ、連結路４８ｌ、上面側水路４６ｇ、連結路４８ｍ、下面側水路４７ｇ、連結路４８ｎ及び上面側水路４６ｈを経て、流出口４５から排出される。上記冷却構造４０により、ターンテーブル４の中間領域４３並びにこれに熱的に連続する中央領域４１及び周辺領域４２が冷却され、熱によるターンテーブル４の変形が最小限に抑えられる。
【００３１】
図７及び図８は、上記水平支持部材冷却構造５０が示された、水平支持部材１５の平面図及び断面図である。図では、製造装置１に設置する前の単体としての水平支持部材１５が示されている。水平支持部材１５は、支持シャフト１２、１３ａ及び１３ｂに挿入するための取付孔１６ａ〜１６ｃ、並びにエアシリンダ８及び１０のガイド用の貫通孔１７ａ〜１７ｄを備える。
【００３２】
水平支持部材冷却構造５０は、これら取付孔１６及び貫通孔１７を避けて水平支持部材１５内に形成された水路５１、水路５１へ冷却水を流入するための流入口５２及び水路５１から冷却水を排出するための流出口５３を備えて構成される。図３に示すように、上記流入口５２は、貯溜槽に繋がれた連結管５４ａに接続され、また上記流出口５３は、貯溜槽に繋がれた連結管５４ｂに接続される。図示しないポンプにより、貯溜槽から冷却水が連結管５４ａ及び流入口５２を介して水路５１内に導かれる(矢印Ｃ)。水路５１内で冷却水は、図７に示す矢印の経路に従って流れ、流出口５３から連結管５４ｂへ排出される(矢印Ｄ)。排出された温度上昇した冷却水は、貯溜槽に戻って再冷却され、次の循環に供される。ここで、水平支持部材冷却構造５０内に冷却水を循環させる貯溜槽及びポンプは、上記シャフト及びターンテーブルの冷却に用いられるものを兼用してもよく、また別にこれを用意しても良い。
【００３３】
実質的に、下型６、上型７及び９は、支持シャフト１２、ターンテーブル４及び水平支持部材１５によって高精度に支持されているので、これら支持構造の変形は、上型及び下型によって成形されるガラス成形品の品質に直接的に影響を与える。本実施形態においては、製造装置１に備えられた上記冷却装置により、熱源により影響を受ける可能性のある上記支持シャフト１２、ターンテーブル４及び水平支持部材１５が好適に冷却され、熱膨張によるこれら部材の変形が防止され、その結果、ガラス成形品に悪影響を与える可能性が極小化される。
【００３４】
以上、本発明の一実施形態を図面に沿って詳細に説明した。しかしながら本発明の範囲は、上記実施形態において示した事項には限定されず、特許請求の範囲の記載に基づいて判断されることは明らかである。上記実施形態においては、製造装置の支持構造に影響を与える熱源としての、溶融炉、上型及び下型の加熱装置に近接する支持シャフト１２、ターンテーブル４及び下側の水平支持部材１５をその冷却の対象とした。しかしながら、熱源による影響が懸念されるならば、他の支持構造、すなわち支持シャフト１３ａ及び１３ｂ並びに上側の水平支持部材１４に、本発明に係る冷却手段を設置しても良い。また、熱源による影響が懸念されないならば、必ずしも上記実施形態で示した支持構造に対する全ての冷却を実施しなくとも良い。実施形態では、所定の支持構造内部に循環させる冷却用の流体を水としたが、オイルその他の冷媒を用いても良いし、またこのような液体を用いない冷却手段により本発明を実現しても良い。また、実施形態では、ターンテーブルの両面側を冷却するように水路を形成したが、両面の熱膨張の均衡が保たれる限り、熱源に近い側、すなわち上面側のみを冷却するような構造としても良い。
【００３５】
【発明の効果】
以上の如く本発明によれば、下型を支承するターンテーブル又は上型を支承する支持構造の熱源による変形が防止される。これによって、上型と下型との間の位置精度、すなわち両プレス面の平行度及び相互の軸心が正確に保たれ、ガラス成形品の偏肉が最小限に抑えられる。
【００３６】
特に、ターンテーブル又は上型の支持構造内で、冷却水その他の液体を循環させることにより、確実に且つ効率的にそれらの熱による変形が抑えられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用したガラス製基板の製造装置を示す装置外観の側面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】支持シャフトを破断して示す図１の要部拡大図である。
【図４】ターンテーブルの平面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ線における断面図である。
【図６】図４のＢ−Ｂ線における断面図である。
【図７】下側の水平支持部材の平面図である。
【図８】図７のＣ−Ｃ線における断面図である。
【符号の説明】
１  製造装置
２  搬出装置
３  駆動装置
４  ターンテーブル
５  装置枠体
６  下型
７  プレス用上型
９  反り修正用上型
８、１０  エアシリンダ
１１  支持構造
１２、１３  支持シャフト
１４、１５  水平支持部材
２０  下型加熱装置
２１  上型加熱装置
３０  シャフト冷却構造
３１  水路
４０  ターンテーブル冷却構造
５０  水平支持部材冷却構造
【図１】
0004037510.tif 000002
【図２】
0004037510.tif 000003
【図３】
0004037510.tif 000004
【図４】
0004037510.tif 000005
【図５】
0004037510.tif 000006
【図６】
0004037510.tif 000007
【図７】
0004037510.tif 000008
【図８】
0004037510.tif 000009