(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧の印加開放により伸縮する圧電素子を有し、上記圧電素子の伸縮により駆動される被駆動部材を変位可能に保持する圧電アクチュエータであって、
上記圧電素子は、同一平面上に、上記被駆動部材の回転中心に対して点対称に設けられた２つの独立した圧電素子であり、
上記被駆動部材と上記圧電素子を拘束する結合部が、上記回転中心に対して点対称にそれぞれ設けられ、
上記圧電素子と上記被駆動部材との相対的な変位を許容しつつ両者を電気的に接続する接触部が上記圧電素子と上記被駆動部材のそれぞれの対向する表面に形成されたことを特徴とする、圧電アクチュエータ。
【請求項２】
上記圧電素子と上記被駆動部材との間には、上記接触部による電気的な接続が維持されつつ、上記結合部による隙間が形成された、請求項１記載の圧電アクチュエータ。
【請求項３】
上記圧電素子のそれぞれは、上記圧電素子の伸縮方向に垂直で他方の圧電素子から離れる方向に突出する凸形状の端部を有し、
上記端部の一端の上面には、上記被駆動部材を上記圧電素子を介して保持する固定部材との結合部が、上記回転中心に対して点対称にそれぞれ設けられ、
上記端部の他端の下面には、上記被駆動部材を保持する結合部が、上記回転中心に対して点対称にそれぞれ設けられた、請求項１又は２記載の圧電アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１乃至３記載の圧電アクチュエータを有した、磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、本発明は、圧電素子を用いた圧電アクチュエータ、及びこのアクチュエータを用いたヘッドの微小移動機構に関する。
【０００２】
近年、情報機器の小型化、精密化が進んでおり、微小な移動距離が必要なアクチュエータの需要が高まっている。たとえば、光学系の焦点補正や傾角制御、インクジェットプリンタ装置、磁気ディスク装置のヘッドアクチュエータ等では、微小距離を移動制御することができるアクチュエータが必要となっている。このような状況の中で、磁気ディスク装置は市場の拡大と装置の高性能化に伴い、記録装置の大容量化は益々重要となってきている。一般に磁気ディスク装置の大容量化はディスク１枚あたりの記憶容量を大きくすることで達成される。しかし、ディスクの直径を変えずに、高記録密度化する為には、単位長さあたりのトラック数（ＴＰＩ）を大きくする、つまり、トラックの幅を狭くすることが不可欠である。このため、トラック方向のヘッドの位置精度が高くなることが不可欠となり、高位置決め精度が可能なヘッドアクチュエータが望まれている。
【０００３】
【従来の技術】
ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）には、回転軸に装着されて回転する磁気ディスクと、磁気ディスクに対して情報記録と情報再生を行う磁気ヘッドが搭載されたスライダと、スライダを保持するサスペンションと、サスペンションが固着されてアーム軸を中心に、磁気ディスク表面に沿って移動するキャリッジアームと、キャリッジアームを駆動する電磁アクチュエータが収容されている。従来、磁気ディスク装置においては、電磁アクチュエータのみが使用されており、高精度の位置決めを行うことが困難であった。このため、近年では、かかる高精度の位置決めを実現する為に、スライダとサスペンションの間に第２のアクチュエータを設けることが提案されている。この第２のアクチュエータは、電磁アクチュエータの動作とは独立に磁気ヘッドを微小移動（≧１μｍ）させることが可能である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この第２のアクチュエータは、サスペンションとスライダ間に圧電素子等が入るため、スライダ−サスペンション間の圧電素子等を橋渡す信号線の配設が困難となる。特に、サスペンション−スライダの端子間の接続を強固にすると、スライダの変位を拘束することになるので、磁気ヘッドの微小移動の実現を妨げてしまうという問題点があった。一方、柔軟性のある配線でスライダ−サスペンション間を繋いだ場合であっても、製造性の問題および信頼性の点で大きな問題となる。
【０００５】
そこで、本発明は、スライダの変位を拘束することのない簡易なスライダ−サスペンションの端子間の電気的接続によって、低電圧による磁気ヘッドの微小移動を実現する圧電アクチュエータ及びこれを使用する磁気ディスク装置の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、請求項１に記載する如く、電圧の印加開放により伸縮する圧電素子を有し、上記圧電素子の伸縮により駆動される被駆動部材を変位可能に保持する圧電アクチュエータであって、
上記圧電素子は、同一平面上に、上記被駆動部材の回転中心に対して点対称に設けられた２つの独立した圧電素子であり、
上記被駆動部材と上記圧電素子を拘束する結合部が、上記回転中心に対して点対称にそれぞれ設けられ、
上記圧電素子と上記被駆動部材との相対的な変位を許容しつつ両者を電気的に接続する接触部が上記圧電素子と上記被駆動部材のそれぞれの対向する表面に形成されたことを特徴とする、圧電アクチュエータによって達成される。
【０００７】
上記発明によれば、例えばスライダのような被駆動部材との電気的接続を、圧電アクチュエータの変形を拘束することなく行うことができ、サスペンション−スライダ間の電気的接続が、スライダ−サスペンション間の柔軟性のある配線によることなく、圧電アクチュエータを介して簡便に実現される。即ち、被駆動部材と圧電アクチュエータとの接触による電気的接続は、例えばボンディングを使用する強固な電気的接続とは異なり、圧電アクチュエータを拘束することがなく、低い駆動電圧で所望の被駆動部材の回転移動を実現することができる。この結果、駆動電圧の低電圧化が図られた圧電アクチュエータを得ることができる。また、上記圧電素子を、同一平面上に、上記被駆動部材の回転中心に対して点対称に設けられた２つの独立した圧電素子とし、上記圧電素子のそれぞれが、上記回転中心に対して点対称な１の端部に上記被駆動部材との結合部を有することとすると、被駆動部材が駆動される際の慣性モーメントが小さくなり、磁気ヘッドの微小移動の高速化及び駆動電圧の低電圧化を図ることができる。
【０００９】
また、請求項２に記載する如く、請求項１記載の圧電アクチュエータにおいて、上記圧電素子と上記被駆動部材との間に、上記接触部による電気的な接続を維持しつつ、上記結合部による隙間を形成することとすると、被駆動部材の回転移動により発生する圧電素子と被駆動部材間の摩擦力を低減することができる。この結果、駆動電圧の低電圧化が図られた圧電アクチュエータを得ることができる。
【００１０】
また、請求項３に記載する如く、請求項１又は２記載の圧電アクチュエータにおいて、上記圧電素子のそれぞれが、上記圧電素子の伸縮方向に垂直で他方の圧電素子から離れる方向に突出する凸形状の端部を有し、上記端部の一端の上面には、上記被駆動部材を上記圧電素子を介して保持する固定部材との結合部が、上記回転中心に対して点対称にそれぞれ設けられ、
上記端部の他端の下面には、上記被駆動部材を保持する結合部が、上記回転中心に対して点対称にそれぞれ設けられることとすると、被駆動部材が駆動される際の慣性モーメントが小さくなり、磁気ヘッドの微小移動の高速化及び駆動電圧の低電圧化を図ることができる。
【００１１】
また、請求項１乃至３のいずれかの圧電アクチュエータにおいて、上記圧電素子と、上記被駆動部材を上記圧電素子を介して保持する固定部材との間の電気的な接続を、上記圧電素子の上記他の１の端部の少なくとも１の面で行う場合には、当該他の１の端部は、固定部材（例えば、サスペンション）との結合部である故に圧電アクチュエータの変形時にほとんど変形しないため、この電気的接続を例えばボンディング等によって強固にすることができ、信頼性の高い圧電アクチュエータを得ることができる。
【００１２】
また、請求項１乃至３のいずれかの圧電アクチュエータにおいて、上記接触部を、上記圧電素子の他の１の端部の上記被駆動部材と対向する面に形成することとし、或いは、少なくとも１の上記電気的な接続部を、上記圧電素子に形成されたビアを介して上記接触部に接続すると、上記電気的な接続部から上記接触部までの信号線を短くすることができ、また、当該信号線が形成された端部は、圧電アクチュエータの変形時にほとんど変形しないので、信号パターン形成部のひずみの発生が抑制され、信頼性の高い圧電アクチュエータを得ることができる。
【００１３】
上記目的は、請求項４に記載する如く、請求項１乃至３記載の圧電アクチュエータを有した、磁気ディスク装置によって達成される。上記発明によれば、低コストで信頼性の高い磁気ディスク装置を得ることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明に係る磁気ディスク装置を示す上面図である。
【００１５】
この図１に示すハードディスクドライブ（ＨＤＤ）１００は、本発明の情報記録装置に相当するものである。このハードディスクドライブ１００のハウジング１０１には、回転軸１０２に装着されて回転する磁気ディスク１０３と、磁気ディスク１０３に対して情報記録と情報再生を行う磁気ヘッドが搭載されたスライダ１０４と、スライダ１０４を、圧電アクチュエータ２００を介して保持するサスペンション１０８と、サスペンション１０８が固着されてアーム軸１０５を中心に磁気ディスク１０３表面に沿って移動するキャリッジアーム１０６と、キャリッジアーム１０６を駆動する電磁アクチュエータ１０７とが収容されている。尚、ハウジング１０１の内部空間は、図示しないカバーによって閉鎖される。
【００１６】
磁気ディスク１０３への情報の記録及び磁気ディスク１０３に記憶された情報の再生時には、磁気回路で構成された電磁アクチュエータ１０７によってキャリッジアーム１０６が駆動され、上述したように、圧電アクチュエータ２００によってスライダ１０４が駆動されて、磁気ヘッドが、回転する磁気ディスク１０３上の所望のトラックに位置決めされる。スライダ１０４に搭載された磁気ヘッドは、磁気ディスク１０３の回転に伴って、磁気ディスク１０３の各トラックに並ぶ各微小領域に順次近接する。
【００１７】
情報の記録時には、電気的な記録信号が、このように磁気ディスク１０３に近接した磁気ヘッドに、後述するヘッド用端子１０４ｂを介して入力される。磁気ヘッドは、各微小領域に記録信号に応じて磁界を印加し、当該記録信号に担持された情報を各微小領域の磁化方向として記録する。情報の再生時には、各微小領域に記録された情報が、磁気ヘッドによって、各微小領域の磁化の発生する磁界に応じて電気的な再生信号として取り出され、当該再生信号はヘッド用端子１０４ｂを介して出力される。このような記録信号及び再生信号のヘッド用端子１０４ｂを介した入力及び出力については、後に図５を参照してより詳細に説明される。
【００１８】
図２は、図１に示すサスペンション１０８付近の側面図である。
【００１９】
この図２には、図１に示すキャリッジアーム１０６の先端部分が示されており、上述したように、そのキャリッジアーム１０６の先端部分にはサスペンション１０８が固着されている。このサスペンション１０８は、磁気ディスクに対して接離する方向（図２のＹ１，Ｙ２方向）に曲がる板バネとして機能する。また、このサスペンション１０８は、圧電アクチュエータ２００を介してスライダ１０４を保持しており、スライダ１０４には磁気ヘッド１０９が搭載されている。圧電アクチュエータ２００は、図１に示す電磁アクチュエータ１０７とは独立にスライダ１０４を駆動することにより磁気ヘッド１０９を微小移動させる。この磁気ヘッド１０９の微小移動により、磁気ヘッド１０９が正確に位置決めされる。
【００２０】
図３は、図２に示すサスペンション１０８の先端部分の分解斜視図である。
【００２１】
この図３には、一例として同一の直方体形状を有した対の圧電アクチュエータ２００が示されている。この圧電アクチュエータ２００は、一端の上面に設けられた結合部２０１によりサスペンション１０８に結合され、他端の下面に設けられた結合部２０２（図３には、相手側の結合部１０４ａのみが図示）によりスライダ１０４に結合される。この圧電アクチュエータ２００は、後述するように、外部電極２０８と、圧電材料からなる活性層と、内部電極とを含み、例えばこれらを何層にも積層して形成される多層構造であってよい。
【００２２】
図４は、圧電アクチュエータ２００によるスライダ１０４の駆動例を示す上面図である。図４には、上面視で２つの凸部２０３を有した対の圧電アクチュエータ２００が示されている。この圧電アクチュエータ２００は、一方の凸部２０３の上面に設けられた結合部２０１によりサスペンション１０８に結合され、他方の凸部２０３の下面に設けられた結合部２０２（図３には、相手側の結合部１０４ａのみが図示）によりスライダ１０４に結合される。
【００２３】
圧電アクチュエータ２００の外部電極と内部電極の間に所定の駆動電圧が印加開放されると、上記活性層が、図４中矢印で示すように、横方向（図４のＸ方向）で伸縮する。このとき、圧電アクチュエータ２００は、サスペンション１０８との結合部２０１で拘束されているので、圧電アクチュエータ２００の伸縮により、スライダ１０４に回転中心Ｚまわりの偶力が発生する。例えば、駆動電圧の印加による圧電アクチュエータ２００の収縮により、スライダ１０４は、図４中一点破線に示す位置から図４に示す位置まで回転移動させられ、上述した磁気ヘッド１０９の微小移動を実現する。
【００２４】
この回転中心Ｚは、好ましくは、磁気ヘッド１０９を含めたスライダ１０４の重心位置（重心軸上）になるように決定される。また、対の圧電アクチュエータ２００は、好ましくは、この回転中心Ｚに点対称に構成され、圧電アクチュエータ２００が拘束される部分である対の結合部２０１及び対の結合部２０２は、回転中心Ｚに点対称にそれぞれ設けられる。これにより、圧電アクチュエータ２００が変形してスライダ１０４が駆動される際の慣性モーメントが小さくなり、微小移動の高速化及び駆動電圧の低電圧化を図ることができる。尚、圧電アクチュエータ２００は、回転中心Ｚに点対称に構成される限り、図３で示した上面視で矩形断面若しくは図４で示した上面視で溝形断面の構造に限定されることない。
【００２５】
図５及び図６は、磁気ヘッド１０９との間の再生／記録信号の送受のための配線方法を示す図である。図５は、この配線方法を明瞭とするため、サスペンション１０８及び圧電アクチュエータ２００を下方向から、スライダ１０４を上方向から見る分解斜視図である。図６は、スライダ１０４とサスペンション１０８の間に設けられた圧電アクチュエータ２００の側面図であり、この図６には、Ａ部の拡大図が併せて示されている。
【００２６】
本発明による配線方法は、サスペンション１０８とスライダ１０４（磁気ヘッド１０９）との間の信号の受け渡しを圧電アクチュエータ２００に設けられた端子２０４，２０６を介して行うように構成されている。尚、図示は省略するが、サスペンション１０８の上面には、キャリッジアーム１０６を介して装置本体側の信号処理部（Ｒ／Ｗ−ＩＣ）に接続される配線パターンが形成されている。
【００２７】
サスペンション１０８の配線パターンの各端子１０８ａは、サスペンション１０８側の結合部１０８ｂに若しくはその周辺に形成され、圧電アクチュエータ２００側の結合部２０１に若しくはその周辺に設けられた各端子２０４に接続される。この端子間の接続は、圧電アクチュエータ２００の凸部２０３の上面若しくは側面でのボンディング等により実現されてよい。
【００２８】
また、圧電アクチュエータ２００を駆動するための外部電極２０８は、図６の拡大図に示すように、サスペンション１０８の配線パターンの外部電極用端子１０８ｃに接続される。この外部電極用端子１０８ｃは、サスペンション１０８の結合部１０８ｂに若しくはその周辺に形成される。この駆動電圧用の端子間の接続は、圧電アクチュエータ２００の凸部２０３の上面若しくは側面でボンディング等により実現され、上述した記録／再生信号用の端子間の接続と同一の面で実現されてよく、或いは、図６の拡大図に示すように、記録／再生信号用の端子間の接続とは異なる側面で実現されてもよい。
【００２９】
これらの強固な接続は、圧電アクチュエータ２００が拘束される結合部２０１付近で行われる故に、圧電アクチュエータ２００の変位を新たに拘束することにならない。また、図４に示すように、圧電アクチュエータ２００が変形した場合であっても、結合部２０１で拘束されている故に圧電アクチュエータ２００の凸部２０３はほとんど変位しないので、当該接続部の応力の発生が防止され、電気的接続の信頼性が向上される。
【００３０】
圧電アクチュエータ２００には、サスペンション１０８との接続用の各端子２０４からスライダ１０４との接続用の各端子２０６に至る信号線２０５が設けられる。尚、図５では、対の圧電アクチュエータ２００のそれぞれに、各端子２０６が対（記録用と再生用端子）となって設けられているが、一方の圧電アクチュエータ２００のみに４つの端子２０６のすべてが設けられてもよい。
【００３１】
また、信号線２０５は、図５に示すように、圧電アクチュエータ２００の凸部２０３の側面等に形成される配線パターンであってよく、或いは、圧電アクチュエータ２００を貫通するビア内に設けられてもよい。後者の場合には、信号線２０５は、当該ビアを挿通するリード線であってよく、或いは、信号線２０５は、当該ビアの絶縁性のある内壁面に形成された配線パターンであってもよい。
【００３２】
圧電アクチュエータ２００の信号線２０５の各端子２０６は、スライダ１０４に設けられた各ヘッド用端子１０４ｂに接続される。この各ヘッド用端子１０４ｂは、信号線２０５の形成の容易性、コスト及び信頼性を考慮して、好ましくは、図５に示すように、圧電アクチュエータ２００の上側の端子２０４に略対向する位置に設けられる。即ち、圧電アクチュエータ２００の信号線２０５は、上側の端子２０４から下側の端子２０６まで可能な限り短い長さで形成される。これにより、圧電アクチュエータ２００への配線パターン若しくはビアの形成が容易となると共に、コストが低減される。また、信号線２０５が圧電アクチュエータ２００の凸部２０３に形成されるので、圧電アクチュエータ２００の変形に伴う信号線２０５の損傷等が防止される。
【００３３】
圧電アクチュエータ２００の端子２０６とヘッド用端子１０４ｂ間の接続は、圧電アクチュエータ２００の変形を拘束しないように、それぞれの端子の接触により実現される。従って、圧電アクチュエータ２００の変形時には、当該端子間の接続が維持されつつ、スライダ１０４が回転移動させられることになる。
【００３４】
尚、圧電アクチュエータ２００とスライダ１０４の間には、図６に示すように、圧電アクチュエータ２００とスライダ１０４との結合部２０２，１０４ａによって隙間Δが画成され、スライダ１０４の回転移動の際にスライダ１０４と圧電アクチュエータ２００との間で上述した端子間の接触以外の摩擦がないように構成されている。同様に、サスペンション１０８と圧電アクチュエータ２００との間には、図６に示すように、サスペンション１０８と圧電アクチュエータ２００の結合部２０１，１０８ｂによって隙間Δが画成され、圧電アクチュエータ２００の変位時のサスペンション１０８と圧電アクチュエータ２００間の摩擦が低減されている。
【００３５】
このヘッド用端子１０４ｂとの接触式の接続は、図６の拡大図に示すように、圧電アクチュエータ２００の下面に下方向（図６中のＹ２方向）に突出形成された端子２０６により実現されてよい。また、ヘッド用端子１０４ｂは、スライダ１０４上面に形成された、磁気ヘッド１０９に接続される配線パターンの部分であってよい。
【００３６】
このように突出形成される端子２０６のＹ２方向の厚さは、結合部２０２，１０４ａが画成する圧電アクチュエータ２００とスライダ１０４の隙間Δ（図６参照）及びヘッド用端子１０４ｂの厚みを考慮して、ヘッド用端子１０４ｂとの接触を実現するように設定される。例えば、圧電アクチュエータ２００とスライダ１０４との結合が接着剤による接着の場合には、端子２０６及びヘッド用端子１０４ｂ全体としてのＹ２方向の厚さは、接着時における当該接着剤のＹ２方向の厚さより僅かに大きく設定される。
【００３７】
以上説明した配線方法によると、強固に接続される各端子は圧電アクチュエータ２００の結合部に設けられ、結合部でない領域で接続される各端子は接触式で互いに接続されるので、圧電アクチュエータ２００の変位が、端子間接続等によって拘束されることが防止される。同時に、結合部による隙間により各部材間の摩擦が低減されており、磁気ヘッド１０９の微小移動の高速化及び圧電アクチュエータ２００の駆動電圧の低電圧化を更に図ることができる。
【００３８】
次に、図６に示すような圧電アクチュエータ２００を製造及び組立方法について言及する。
【００３９】
図６に示すような積層構造の圧電アクチュエータ２００は、ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺ系圧電セラミックスの粉末を含むグリーンシートを成形する工程と、当該グリーンシート上にＰｔ電極をスクリーン印刷する工程とを、所望の活性層が得られるように複数回繰り返し、最終的に加熱プレスにより一体化することにより製造される。圧電アクチュエータ２００の凸部２０３は、焼成後にサンドブラスト等により加工して形成されてよい。尚、圧電アクチュエータ２００の層数は、多層であるほど、駆動電圧の低電圧化、圧電アクチュエータ２００の高変位化及び高剛性化に有利である。
【００４０】
同電位の内部電極同士は、外部電極２０８を介して接続されてよく、ビアを用いて接続するために、予めグリーンシートにビアを形成してもよい。また、信号線２０５が挿通されてよい別のビアが、積層したグリーンシートの所定位置を打ち抜いて形成されてよい。
【００４１】
スライダ１０４と接触する圧電アクチュエータ２００の端子２０６は、積層後及び焼成後にスクリーン印刷によって所望の厚さで形成される。或いは、この端子２０６は、公知のスパッタリングによって所望の厚さで形成されてもよい。対の圧電アクチュエータ２００は、信号線２０５及び端子２０４が形成された後、切断で二分されることによって形成される。この対の圧電アクチュエータ２００は、サスペンション１０８に結合部２０１でエポキシ系接着剤により接着され，スライダ１０４に結合部２０２で接着される。サスペンション１０８と圧電アクチュエータ２００の各端子間は、圧電アクチュエータ２００が固定されて段階で、ボールボンディングにより接続される。
【００４２】
このようにして製造された構造を評価するため、スライダ１０４の端部（ヘッドエレメント面）の移動量を測定した結果，駆動電圧３０Ｖで，１．０μｍ以上の変位量が得られ、本構造がヘッドの移動量を拘束しないことが確認された。
【００４３】
以上、本発明の好ましい実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。
【００４４】
例えば、上述した実施例においては、本発明による配線方法は、点対称構造を有した圧電アクチュエータ２００に適用されるものであったが、特にこれに限定されることなく、スライダとサスペンションとの間に装着される圧電アクチュエータを有した構造であれば、圧電アクチュエータの形状に関係なく適用可能である。
【００４５】
ここで、以上の説明に関して更に以下の付記を開示する。
【００４６】
（付記１）電圧の印加開放により伸縮する圧電素子を有し、上記圧電素子の伸縮により駆動される被駆動部材を変位可能に保持する圧電アクチュエータであって、上記圧電素子に、上記被駆動部材に設けられた端子と電気的に接続する接触部が形成されたことを特徴とする、圧電アクチュエータ。
【００４７】
（付記２）上記接触部は、上記圧電素子と上記被駆動部材との相対的な変位を許容しつつ両者を電気的に接続する、付記１記載の圧電アクチュエータ。
【００４８】
（付記３）上記圧電素子は、同一平面上に、上記被駆動部材の回転中心に対して点対称に設けられた２つの独立した圧電素子であり、上記圧電素子のそれぞれは、上記回転中心に対して点対称な１の端部に上記被駆動部材との結合部を有した、付記１又は２記載の圧電アクチュエータ。
【００４９】
（付記４）上記圧電素子と上記被駆動部材との間には、上記接触部による電気的な接続が維持されつつ、上記結合部による隙間が形成された、付記１乃至３のいずれかの圧電アクチュエータ。
【００５０】
（付記５）上記圧電素子のそれぞれは、上記圧電素子の伸縮方向に垂直で他方の圧電素子から離れる方向に突出する凸形状の端部を有し、上記回転中心に対して点対称な他の１の端部に、上記被駆動部材を上記圧電素子を介して保持する固定部材との結合部を有した、付記１乃至４のいずれかの圧電アクチュエータ。
【００５１】
（付記６）上記圧電素子と、上記被駆動部材を上記圧電素子を介して保持する固定部材との間の電気的な接続は、上記圧電素子の上記他の１の端部の少なくとも１の面に形成される、付記１乃至５のいずれかの圧電アクチュエータ。
【００５２】
（付記７）上記接触部は、上記圧電素子の他の１の端部の上記被駆動部材と対向する面に形成される、付記１乃至６のいずれかの圧電アクチュエータ。
【００５３】
（付記８）少なくとも１の上記電気的な接続部は、上記圧電素子に形成されたビアを介して上記接触部に接続される、付記１乃至７のいずれかの圧電アクチュエータ。
【００５４】
（付記９）圧電横効果を利用する、付記１乃至８のいずれかの圧電アクチュエータ。
【００５５】
（付記１０）上記圧電素子は、電極層と、活性層と、電極層とからなる駆動層を有した、付記１乃至９のいずれかの圧電アクチュエータ。
【００５６】
（付記１１）上記駆動層を２層以上有した、付記１乃至１０のいずれかの圧電アクチュエータ。
【００５７】
（付記１２）上記電極層間を上記圧電素子に形成されたビアを介して接続する、付記１乃至１１のいずれかの圧電アクチュエータ。
【００５８】
（付記１３）付記１乃至１２のいずれかの圧電アクチュエータを有した、磁気ディスク装置。
【００５９】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したようなものであるから、以下に記載されるような効果を奏する。請求項１の発明によると、スライダとサスペンションの間に圧電アクチュエータを設ける構造において、圧電アクチュエータの変形を拘束することのなく且つ簡易な電気的な接続を実現することができる。また、請求項２又は４の発明によると、スライダのが駆動される際の慣性モーメントが小さくなり、磁気ヘッドの微小移動の高速化及び駆動電圧の低電圧化を図ることができる。また、請求項３の発明によると、スライダと圧電アクチュエータとの間の摩擦を低減することができ、駆動電圧の低電圧化を図ることができる。また、付記（５）乃至（７）の発明によると、信頼性の高い電気的接続及び接触接続並びに配線パターンを実現することができる。また、請求項５の発明によると、信頼性の高い低コストな磁気ディスク装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る磁気ディスク装置を示す上面図である。
【図２】図１に示すサスペンション１０８の先端部分の側面図である。
【図３】図２に示すサスペンション１０８の先端部分の分解斜視図である。
【図４】スライダ１０４の駆動の様子を示す上面図である。
【図５】本発明による配線方法を示す図である。
【図６】本発明による配線方法を示す図である。
【符号の説明】
１００    ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）
１０１    ハウジング
１０２    回転軸
１０３    磁気ディスク
１０４    スライダ
１０４ａ    スライダ側の結合部
１０４ｂ    ヘッド用端子
１０５    アーム軸
１０６    キャリッジアーム
１０７    電磁アクチュエータ
１０８    サスペンション
１０８ａ    サスペンション側の端子
１０８ｂ    サスペンション側の結合部
１０８ｃ    サスペンション側の外部電極用端子
１０９    磁気ヘッド
２００    圧電アクチュエータ
２０１    圧電アクチュエータ側の結合部
２０２    圧電アクチュエータ側の結合部
２０３    圧電アクチュエータの凸部（端部）
２０４    圧電アクチュエータ側の端子
２０５    信号線
２０６    圧電アクチュエータ側の端子
２０８    外部電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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