(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに相対移動可能に組付けられ、各々非磁性材から構成される２部材間をシールする磁性流体シール装置において、
２部材間に配置された磁力を発生する環状の磁力発生手段と、
該磁力発生手段の前記２部材との対向端に磁気的に保持されて前記磁力発生手段と２部材の各部材表面との間の２つの隙間を密封する磁性流体と、
を備え、
前記磁性流体の磁気力で前記磁力発生手段を浮揚支持し、前記磁力発生手段及び前記磁性流体で前記２部材間をシールする磁性流体シール装置であって、
少なくとも前記２部材の内一方の部材に嵌合された非磁性材から成る環状スリーブを備え、
該スリーブは軸方向両端に径方向突出部が各々形成され、軸方向中央部に溝が形成されて、該溝に前記磁力発生手段の内外周端部が隙間を有してそれぞれ配置され、
前記磁性流体は前記磁力発生手段の内外周端と前記スリーブの溝との間に充填されている、ことを特徴とする磁性流体シール装置。
【請求項２】
前記スリーブは、前記軸方向部と該軸方向部から各々軸方向で反対側の端部で径方向に突出した突出部とからなる２つの断面Ｌ字状部材を有し、該２つの断面Ｌ字状部材の前記軸方向部が重ね合わされて構成されることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項３】
前記スリーブは、前記径方向突出部の表面に撥油性膜が形成されていることを特徴とする請求の範囲第１項又は第２項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項４】
前記スリーブは、前記径方向突出部がゴム状弾性体で構成されていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項５】
前記スリーブは、前記一方の部材に嵌合する部分がゴム状弾性体で構成されていることを特徴とする請求の範囲第１項又は第４項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項６】
前記磁力発生手段は２部材との対向端を尖らせており、前記スリーブの溝も前記磁力発生手段の尖らせた対向端にあわせた形状に形成することによって、前記磁力発生手段の尖らせた先端に磁束を集中させて前記磁性流体を磁気的に保持した
したことを特徴とする請求の範囲第１項、第４項又は第５項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項７】
前記磁力発生手段の尖らせた対向端と前記スリーブの溝との隙間は、前記磁力発生手段の尖らせた対向端の先端に向かうほど狭くなることを特徴とする請求の範囲第６項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項８】
前記磁力発生手段の尖らせた対向端は、断面三角状の突起形状であることを特徴とする請求の範囲第６項又は第７項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項９】
前記磁力発生手段の尖らせた対向端は、断面円弧状の突起形状であることを特徴とする請求の範囲第６項又は第７項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項１０】
２部材は相対往復移動可能であって、
前記スリーブは、少なくとも前記２部材の内一方の部材に嵌合され、
該一方の部材に嵌合されたスリーブは、前記２部材の往復移動長さに応じて軸方向に延びて形成されていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項１１】
前記スリーブは、前記磁力発生手段との対向面に前記２部材の往復移動長さに応じた溝が形成されていることを特徴とする請求の範囲第１０項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項１２】
前記スリーブは、前記磁力発生手段との対向面の全てに撥油性膜が形成されていることを特徴とする請求の範囲第１０項又は第１１項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項１３】
前記スリーブは、前記スリーブの溝内に前記磁力発生手段を挿入可能とする弾性変形特性を有することを特徴とする請求の範囲第１項、第３項、第１１項又は第１２項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項１４】
前記磁力発生手段は、前記磁性流体と接触しない部分に切り欠き部が形成されていることを特徴とする請求の範囲第１項乃至第１３項のいずれかの項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項１５】
前記磁力発生手段は、２部材間に延びる側面に切り欠き部が形成されていることを特徴とする請求の範囲第１４項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項１６】
前記磁力発生手段は、２部材との対向端面の中央部に切り欠き部が形成されていることを特徴とする請求の範囲第１４項又は第１５項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項１７】
前記磁力発生手段は、軸方向或いは径方向に単極或いは軸方向に異極とし、周方向に多極着磁された磁石であることを特徴とする請求の範囲第１項乃至第１６項のいずれかの項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項１８】
互いに相対移動可能に組付けられる２部材間をシールする磁性流体シール装置であって、
２部材にそれぞれ嵌合された磁力を発生するスリーブ状磁力発生手段と、
該スリーブ状磁力発生手段間に配置された非磁性体と、
該スリーブ状磁力発生手段の前記非磁性体との対向面に磁気的に保持されて前記スリーブ状磁力発生手段と前記非磁性体との間の２つの隙間を密封する磁性流体と、
を備え、
前記磁性流体で前記非磁性体を浮揚支持し、前記非磁性体及び前記磁性流体で２部材間をシールすることを特徴とする磁性流体シール装置。
【請求項１９】
少なくとも一方の前記スリーブ状磁力発生手段は、前記非磁性体との対向面に溝が形成されていることを特徴とする請求の範囲第１８項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項２０】
前記スリーブ状磁力発生手段は、軸方向部と該軸方向部から各々軸方向で反対側の端部で径方向に突出した突出部とからなる２つの断面Ｌ字状部材を有し、該断面Ｌ字状部材の前記軸方向部が重ね合わされて構成されることを特徴とする請求の範囲第１９項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項２１】
前記スリーブ状磁力発生手段は、前記非磁性体との対向面の少なくとも溝以外の表面部分に撥油性膜が形成されていることを特徴とする請求の範囲第１９項又は第２０項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項２２】
前記スリーブ状磁力発生手段は、少なくとも軸方向両側端部に撥油性膜が形成されていることを特徴とする請求の範囲第１８項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項２３】
前記２部材は相対往復移動可能であって、
前記スリーブ状磁力発生手段は、少なくとも２部材の内一方の部材に嵌合され、
前記一方の部材に嵌合されたスリーブ状磁力発生手段は、前記２部材の往復移動長さに応じて軸方向に延びて形成されていることを特徴とする請求の範囲第１８項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項２４】
前記スリーブ状磁力発生手段は、前記非磁性体との対向面に２部材の往復移動長さに応じた溝が形成されていることを特徴とする請求の範囲第２３項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項２５】
前記スリーブ状磁力発生手段は、前記スリーブ状磁力発生手段の溝内に前記非磁性体を挿入可能とする弾性変形特性を有することを特徴とする請求の範囲第１９項、第２１項又は第２４項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項２６】
前記非磁性体は、前記スリーブ状磁力発生手段の前記溝内に前記非磁性体を挿入可能とする弾性変形特性を有することを特徴とする請求の範囲第１９項、第２１項又は第２４項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項２７】
前記非磁性体は、前記磁性流体と接触しない部分に撥油性膜が形成されていることを特徴とする請求の範囲第１８項乃至第２７項のいずれかの項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項２８】
前記非磁性体は、前記磁性流体と接触しない部分に切り欠き部が形成されていることを特徴とする請求の範囲第１８項乃至第２６項のいずれかの項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項２９】
前記非磁性体は、２部材間に延びる側面に切り欠き部が形成されていることを特徴とする請求の範囲第２８項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項３０】
前記非磁性体は、２部材との対向端面の中央部に切り欠き部を形成されていることを特徴とする請求の範囲第２８項又は第２９項に記載の磁性流体シール装置。
【請求項３１】
前記スリーブ状磁力発生手段は、軸方向或いは径方向に単極或いは多極着磁された磁石であることを特徴とする請求の範囲第１８項乃至第３０項のいずれかの項に記載の磁性流体シール装置。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、相対運動する磁性流体シール装置に関するものであり、例えば半導体製造装置、液晶パネルディスプレイ製造装置、ハードディスク製造装置、光学部品製造装置等の生産機のダストシールや、カメラ、ハードディスクドライブ、光学部品等の製品に内蔵するダストシールとして適用されるものである。
背景技術
従来の相対運動する磁性流体シール装置は、２部材間の隙間を、２部材の内一方の部材側に保持された磁性流体で他方の部材表面に接触して隙間を密封していた。
従来の磁性流体シール装置の構成例を第２４図に示す。一般に軸方向に着磁された磁石１０３を２枚のポールピース１０４で挟んで接着して非磁性のハウジング１０１に設置し、ポールピース１０４と磁性材のシャフト１０２との隙間に磁性流体１０５を充填する構成が取られる。
しかしながら、上記のような従来技術の場合には、下記のような問題が生じていた。
この従来技術の磁性流体シール装置は、ハウジングに固定されるため、ハウジングとシャフトとの偏芯の許容値は、ポールピースとシャフトとの隙間以下となり、ハウジングとシャフトとの同軸度に高い精度が必要であった。
また、この様な構成では、磁性流体の充填を装置組立後に行わなければならないという煩雑さと磁性流体充填量の管理が難しいといった欠点があった。
さらに、磁石とポールピースとは、一定の厚さが必要なため、薄型化に限界があった。また、磁石とポールピースとを接着しなければならないという欠点もあった。
本発明は上記の従来技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、２部材の偏芯の許容値を拡大してシール性の向上を図ると共に、磁性流体を装置組込み前に注入可能にすることによって品質のバラツキが低減でき、かつ構成部材を削減して薄型化を図った製造容易な磁性流体シール装置を提供することにある。
発明の開示
本発明は、上記した課題を解決するために以下の構成を採用する。
上記目的を達成するために本発明にあっては、互いに相対移動可能に組付けられ、各々非磁性材から構成される２部材間をシールする磁性流体シール装置において、２部材間に配置された磁力を発生する環状の磁力発生手段と、該磁力発生手段の前記２部材との対向端に磁気的に保持されて前記磁力発生手段と２部材の各部材表面との間の２つの隙間を密封する磁性流体と、
を備え、
前記磁性流体の磁気力で前記磁力発生手段を浮揚支持し、前記磁力発生手段及び前記磁性流体で前記２部材間をシールする磁性流体シール装置であって、
少なくとも前記２部材の内一方の部材に嵌合された非磁性材から成る環状スリーブを備え、
該スリーブは軸方向両端に径方向突出部が各々形成され、軸方向中央部に溝が形成されて、該溝に前記磁力発生手段の内外周端部が隙間を有してそれぞれ配置され、
前記磁性流体は前記磁力発生手段の内外周端と前記スリーブの溝との間に充填されている、ことを特徴とする。
したがって、磁力発生手段と２部材の各部材表面との間の２つの隙間の和が２部材の偏芯の許容値となり、同軸度の精度が低くてもシール性を発揮することができる。また、従来用いていたポールピースなどの部材が必要なくなり、構成部材が削減でき装置の薄型化にも有効であり、かつ部材同士の接合の必要もなく製造容易となる。さらに、磁力発生手段が磁性流体により磁気力で浮揚しているので、磁力発生手段を慣性体として、磁性流体を粘性減衰手段とする回転イナーシャダンパとしての機能も発揮する。
また、磁力発生手段とスリーブとの間に予め磁性流体を充填した状態での装置の装着ができ、装着が容易になると共に、磁性流体充填量の管理がし易くなる。
さらに、２部材及び前記スリーブが、非磁性材であるので、磁性流体を磁力発生手段の磁極に集め、磁力発生手段を磁気的に浮揚させることができる。
前記スリーブは、前記軸方向部と該軸方向部から各々軸方向で反対側の端部で径方向に突出した突出部とからなる２つの断面Ｌ字状部材を有し、２つの断面Ｌ字状部材の前記軸方向部が重ね合わされて構成されることが好適である。
これにより、磁力発生手段のスリーブの溝内への配置が容易になる。また、構成部品が弾性変形性を有しなくても構成できるので、材料選定の自由度が大きくなる。
前記スリーブは、前記径方向突出部の表面に撥油性膜が形成されていることが好適である。
これにより、磁性流体が溝以外の表面にぬれ広がり、シールに用いる磁性流体量が減少することが防止できる。
前記スリーブは、前記径方向突出部がゴム状弾性体で構成されていることが好適である。
これにより、ゴム状弾性体を変形させることにより、磁力発生手段のスリーブの溝内への配置が容易になる。
前記スリーブは、前記一方の部材に嵌合する部分がゴム状弾性体で構成されていることが好適である。
これにより、スリーブの一方の部材との嵌合に両者の接着が不要となる。
前記磁力発生手段は２部材との対向端を尖らせており、スリーブの溝も前記磁力発生手段の尖らせた対向端にあわせた形状に形成することによって、前記磁力発生手段の尖らせた先端に磁束を集中させて前記磁性流体を磁気的に保持することが好適である。
これにより、磁性流体が分散せず効率よく集中して保持されるため、磁性流体充填量を削減することができる。
前記スリーブの溝も前記磁力発生手段の尖らせた対向端に合わせた形状に形成しているので、磁性流体の分散をさらに防止することができる。
前記磁力発生手段の尖らせた対向端と前記スリーブの溝との隙間は、前記磁力発生手段の尖らせた対向端の先端に向かうほど狭くなることが好適である。
これにより、さらに磁性流体充填量を削減することができる。
前記磁力発生手段の尖らせた対向端は、断面三角状の突起形状であることが好適である。
これにより、尖らせた先端に磁束を集中させて磁性流体を分散せず効率よく集中して保持することができる。
前記磁力発生手段の尖らせた対向端は、断面円弧状の突起形状であることが好適である。
これにより、尖らせた先端に磁束を集中させて磁性流体を分散せず効率よく集中して保持することができる。
２部材は相対往復移動可能であって、前記スリーブは、少なくとも前記２部材の内一方の部材に嵌合され、一方の部材に嵌合されたスリーブは、前記２部材の往復移動長さに応じて軸方向に延びて形成されていることが好適である。
これにより、磁力発生手段とスリーブとの間に予め磁性流体を充填した状態での装置の装着ができ、装着が容易になると共に、磁性流体充填量の管理がし易くなる。また、２部材の往復移動長さに応じて軸方向に延びるスリーブ上の磁性流体を滑らせることができる。
前記スリーブは、前記磁力発生手段との対向面に前記２部材の往復移動長さに応じた溝が形成されていることが好適である。
これにより、磁力発生手段とスリーブとの間に予め磁性流体を充填した状態での装置の装着ができ、装着が容易になると共に、溝外への磁性流体の飛散も防止されるので、磁性流体充填量の管理がし易くなる。また、２部材の往復移動長さに応じたスリーブの溝内で磁性流体を滑らせることができる。
前記スリーブは、前記磁力発生手段との対向面の全てに撥油性膜が形成されていることことが好適である。
これにより、相対往復移動時に滑る磁性流体が表面にぬれ広がり、シールに用いる磁性流体量が減少することが防止できる。
前記スリーブは、前記スリーブの溝内に前記磁力発生手段を挿入可能とする弾性変形特性を有することが好適である。
これにより、磁力発生手段のスムーズな装着ができる。
前記磁力発生手段は、前記磁性流体と接触しない部分に切り欠き部が形成されていることが好適である。
これにより、磁力発生手段の軽量化が図れ、より確実に磁力発生手段を浮揚させることができる。
前記磁力発生手段の２部材間に延びる側面に切り欠き部が形成されていることが好適である。
これにより、磁力発生手段の軽量化が図れ、より確実に磁力発生手段を浮揚させることができる。
前記磁力発生手段は、２部材との対向端面の中央部に切り欠き部が形成されていることが好適である。
これにより、磁力発生手段の軽量化が図れ、より確実に磁力発生手段を浮揚させることができる。
前記磁力発生手段は、軸方向或いは径方向に単極或いは軸方向に異極とし、周方向に多極着磁された磁石であることが好適である。
これにより、磁石が磁性流体と共に２部材間を埋めて２部材間のシールを行うことができる。
互いに相対移動可能に組付けられる２部材間をシールする磁性流体シール装置であって、  ２部材にそれぞれ嵌合された磁力を発生するスリーブ状磁力発生手段と、スリーブ状磁力発生手段間に配置された非磁性体と、該スリーブ状磁力発生手段の前記非磁性体との対向面に磁気的に保持されて前記スリーブ状磁力発生手段と前記非磁性体との間の２つの隙間を密封する磁性流体と、
を備え、前記磁性流体で前記非磁性体を浮揚支持し、前記非磁性体及び前記磁性流体で２部材間をシールすることを特徴とする。
したがって、非磁性体と２部材の各部材表面との間の２つの隙間の和が２部材の偏芯の許容値となり、同軸度の精度が低くてもシール性を発揮することができる。また、従来用いていたポールピースなどの部材が必要なくなり、構成部材が削減でき装置の薄型化にも有効であり、かつ部材同士の接合の必要もなく製造容易となる。さらに、非磁性体が磁性流体により磁気力で浮揚しているので、非磁性体を慣性体として、磁性流体を粘性減衰手段とする回転イナーシャダンパとしての機能も発揮する。特に、磁気力を変えないで非磁性体を薄く軽くできるため、装置を大径化しても非磁性体を磁気的に浮揚させることができる。
少なくとも一方の前記スリーブ状磁力発生手段は、前記非磁性体との対向面に溝が形成されていることが好適である。
これにより、スリーブ状磁力発生手段と非磁性体との間に予め磁性流体を充填した状態での装置の装着ができ、装着が容易になると共に、磁性流体充填量の管理がし易くなる。
スリーブ状磁力発生手段は、軸方向部と該軸方向部から各々軸方向で反対側の端部で径方向に突出した突出部とからなる２つの断面Ｌ字状部材を有し、該断面Ｌ字状部材の前記軸方向部が重ね合わされて構成されることが好適である。
これにより、非磁性体のスリーブ状磁力発生手段の溝内への配置が容易になる。また、構成部品が弾性変形性を有しなくても構成できるので、材料選定の自由度が大きくなる。
前記スリーブ状磁力発生手段は、前記非磁性体との対向面の少なくとも溝以外の表面部分に撥油性膜が形成されていることが好適である。
これにより、磁性流体が溝以外の表面にぬれ広がり、シールに用いる磁性流体量が減少することが防止できる。
前記スリーブ状磁力発生手段は、少なくとも軸方向両側端部に撥油性膜が形成されていることを特徴とする。
これにより、スリーブ状磁力発生手段と非磁性体との間に予め磁性流体を充填した状態での装置の装着ができ、装着が容易になると共に、磁性流体充填量の管理がし易くなる。また、磁性流体がスリーブ状磁力発生手段の軸方向両側端部にぬれ広がり、シールに用いる磁性流体量が減少することが防止できる。
前記２部材は相対往復移動可能であって、前記スリーブ状磁力発生手段は、少なくとも２部材の内一方の部材に嵌合され、前記一方の部材に嵌合されたスリーブ状磁力発生手段は、前記２部材の往復移動長さに応じて軸方向に延びて形成されていることが好適である。
これにより、スリーブ状磁力発生手段と非磁性体との間に予め磁性流体を充填した状態での装置の装着ができ、装着が容易になると共に、磁性流体充填量の管理がし易くなる。
また、２部材の往復移動長さに応じて軸方向に延びるスリーブ状磁力発生手段上に磁性流体を保持することができる。
前記スリーブ状磁力発生手段は、前記非磁性体との対向面に２部材の往復移動長さに応じた溝が形成されていることが好適である。
これにより、スリーブ状磁力発生手段と非磁性体との間に予め磁性流体を充填した状態での装置の装着ができ、装着が容易になると共に、溝外への磁性流体の飛散も防止されるので、磁性流体充填量の管理がし易くなる。また、２部材の往復移動長さに応じたスリーブ状磁力発生手段の溝内で磁性流体を保持することができる。
前記スリーブ状磁力発生手段は、前記スリーブ状磁力発生手段の溝内に前記非磁性体）を挿入可能とする弾性変形特性を有することが好適である。
これにより、非磁性体のスムーズな装着ができる。
前記非磁性体は、前記スリーブ状磁力発生手段の前記溝内に前記非磁性体を挿入可能とする弾性変形特性を有することが好適である。
これにより、非磁性体のスムーズな装着ができる。
前記非磁性体は、前記磁性流体と接触しない部分に撥油性膜が形成されていることが好適である。
これにより、磁性流体が非磁性体表面にぬれ広がり、シールに用いる磁性流体量が減少することが防止できる。
前記非磁性体は、前記磁性流体と接触しない部分に切り欠き部が形成されていることが好適である。
これにより、非磁性体の軽量化が図れ、より確実に非磁性体を浮揚させることができる。
前記非磁性体は、２部材間に延びる側面に切り欠き部が形成されていることが好適である。
これにより、非磁性体の軽量化が図れ、より確実に非磁性体を浮揚させることができる。
前記非磁性体は、２部材との対向端面の中央部に切り欠き部を形成されていることが好適である。
これにより、非磁性体の軽量化が図れ、より確実に非磁性体を浮揚させることができる。
前記スリーブ状磁力発生手段は、軸方向或いは径方向に単極或いは多極着磁された磁石であることが好適である。
これにより、磁石が２部材にそれぞれ嵌合されて磁性流体を保持することができる。
発明を実施するための最良の形態
以下に図面を参照して、この発明の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。また、以下の説明で一度説明した部材についての材質、形状などは、特に改めて記載しない限り初めの説明と同様のものである。
本実施の形態は、磁性流体シール装置を半導体製造装置、液晶パネルディスプレイ製造装置、ハードディスク製造装置、光学部品製造装置等の生産機のダストシールや、カメラ、ハードディスクドライブ、光学部品等の製品に内蔵するダストシールとして適用するものである。
（第１の実施の形態）
第１図を用いて第１の実施の形態に係る磁性流体シール装置の構成について説明する。第１図は第１の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第１図に示す磁性流体シール装置は、回転移動可能な２部材としての筒状のハウジング１と、ハウジング１に挿入されたシャフト２と、の間に備えられている。ハウジング１とシャフト２との間では相対回転運動が行われるものであり、本形態ではシャフト２だけが回転する。ハウジング１とシャフト２は非磁性材で構成されている。
磁性流体シール装置は、径方向に着磁されてハウジング１とシャフト２との間に配置された環状磁石３（磁力発生手段）と、環状磁石３の内外周端部にそれぞれ保持された磁性流体４，５と、ハウジング１及びシャフト２にそれぞれ嵌合されたスリーブ６，７と、を備える。
環状磁石３の磁極である内外周面の近傍には磁場勾配が発生しており、その磁場勾配内に置かれた磁性流体４，５は高磁場側（磁石表面）に吸引され、その反作用として非磁性体であるスリーブ６，７は低磁場側への斥力を受ける。その結果、環状磁石３はスリーブ６，７と非接触の状態で磁性流体４，５中に浮揚され、同時に磁性流体４，５が環状磁石３とスリーブ６，７との隙間を密封する機能を発揮する。
環状磁石３としては、比重の小さいプラスチック磁石等が好適である。また、環状磁石３の着磁は、磁石表面近傍の磁場強度を高める上で磁石断面の長手方向（本実施の形態では径方向）に行うのが好ましく、多極着磁を行えば更なる向上が可能である。ただし、環状磁石３の寸法、材質及び着磁方法は、環状磁石３がスリーブ６，７と非接触の状態で磁性流体４，５中に浮揚する条件を満足するものであれば、上記の記載に限定されない。
一方、磁性流体４，５としては、Ｆｅ３Ｏ４やＭｎ・ＺｎＦｅ２Ｏ４等の微粒子を油，水，有機溶媒等の中にコロイド状に分散させたものを用いている。
スリーブ６，７は、非磁性ステンレス、アルミ合金、銅合金、チタン等の非磁性金属製又はポリフェニレンオキサイド、ポリカーボネイト、ポリアセタール等の樹脂製の円筒状部材で、軸方向両端部で突出部が突出するように中央部が凹んで溝が形成されており、この溝の中に環状磁石３の内外周端部が隙間を有してそれぞれ配置される。そして、磁性流体４，５が環状磁石３の内外周端とスリーブ６，７の溝との隙間に充填されている。
このスリーブ６，７は、スリーブ６，７の溝内に環状磁石３を挿入可能とする弾性変形特性を有しており、環状磁石３のスムーズな装着ができる。
また、スリーブ６，７の軸方向両端部の突出部（即ち、環状磁石３との対向面の内溝以外の部分）には、表面に撥油性膜８，９が形成されている。この撥油性膜８，９によって、スリーブ６，７の溝内の磁性流体４，５が外部へぬれ広がることが防止される。
なお、撥油性膜８，９の形成処理としては、膜形成以外にコーティングや塗布等による処理もあり、フッ素系撥油剤などの材料を用いる。
以上の磁性流体シール装置は、環状磁石３とスリーブ６，７との間に予め磁性流体４，５を充填した状態で、ハウジング１とシャフト２の間にワンタッチで容易に装着される。このような磁性流体シール装置では、環状磁石３が保持する磁性流体４，５によって浮揚支持されており、装置がどのような向きに置かれても環状磁石３が浮揚する。
そして、環状磁石３と磁性流体４，５とで、ハウジング１とシャフト２間のシールを行う。この効果は、ハウジング１に対してシャフト２を環状磁石３の内外周面とスリーブ６，７との２つの隙間の合計分の偏芯によってシール機能を発揮することができる。
したがって、環状磁石３の内外周の両方に磁性流体４，５を保持する隙間を有する構成であり、両方の隙間の和がハウジング１とシャフト２との同軸度の許容値となり、精度が低くてもシール性を発揮することができる。
そして、環状磁石３が磁性流体４，５により磁気力で浮揚しているので、環状磁石３を慣性体として、磁性流体４，５を粘性減衰手段とする回転イナーシャダンパとしての機能も発揮する。
また、磁性流体シール装置に用いている部材も、ポールピース等の部材が無く、環状磁石３だけが厚みを必要とするので、構成部材が削減でき、装置の薄型化ができる。また、ポールピース等の部材などとの部材同士の接合の必要もなく製造容易となる。
さらに、スリーブ６，７の溝に環状磁石３の内外周端部を配置するので、予め磁性流体４，５を充填した装置の組み上がった状態で装置の装着ができ、装着が容易になると共に、磁性流体充填量の管理がし易くなった。
（第２の実施の形態）
第２図は第２の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第２の実施の形態は、環状磁石３の径方向側面に撥油性膜１０を形成したものである。その他の構成は第１の実施の形態と同じ構成である。
環状磁石３には、磁性流体４，５と接触させない部分、即ち環状磁石３の角部を除いた径方向側面に、撥油性膜１０を形成した。
ただし、環状磁石３の径方向側面の角部は、撥油性膜１０が形成されておらず、磁性流体４，５の付着によりシールや磁気浮揚に関係する。
これにより、磁性流体４，５が環状磁石３の径方向側面にぬれ広がり、シールに必要な磁性流体量が減少することを防止でき、より少ない予め充填する磁性流体充填量であらゆる向きに対してシール機能を発揮することができる。
（第３の実施の形態）
第３図は第３の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第３の実施の形態は、環状磁石３の径方向側面に切り欠き部１１を形成したものである。その他の構成は第１の実施の形態と同じ構成である。
環状磁石３には、磁性流体４，５と接触させない部分、即ち環状磁石３の角部を除いたハウジング１とシャフト２間に延びる径方向側面に、切り欠き部１１を形成した。
これにより、環状磁石３の軽量化が図られ、より低い飽和磁化の磁性流体４，５或いはより少ない磁性流体充填量であらゆる向きに対して環状磁石３を浮揚することができる。（第４の実施の形態）
第４図は第４の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第４の実施の形態は、環状磁石３の径方向側面の切り欠き部１１に加えて内外周面の中央部に切り欠き部１２を形成したものである。その他の構成は第１の実施の形態と同じ構成である。
環状磁石３には、第３の実施の形態と同様に磁性流体４，５と接触させない部分、即ち環状磁石３の角部を除いたハウジング１とシャフト２間に延びる径方向側面に、切り欠き部１１を形成した。
加えて、環状磁石３の角部を除いたハウジング１又はシャフト２のいずれかと対向する内外周面の中央部にも切り欠き部１２を形成した。
これにより、環状磁石３の軽量化がさらに図られ、さらにより低い飽和磁化の磁性流体４，５或いはより少ない磁性流体充填量であらゆる向きに対して環状磁石３を浮揚することができる。
（第５の実施の形態）
第５図は第５の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第５の実施の形態は、シャフト２に嵌合されるスリーブ７１に溝を形成せず、環状磁石３と対向する対向面の軸方向両端部に撥油性膜９を形成したものである。その他の構成は第１の実施の形態と同じ構成である。
シャフト２に嵌合されるスリーブ７１は、第１の実施の形態のような溝が形成されない円筒状である。また、スリーブ７１の環状磁石３と対向する対向面の軸方向両端部に撥油性膜９が形成されている。
この様な構成でも、環状磁石３はあらゆる向きに対して磁気力で浮揚し、シャフト２の回転に対してダストシールとして機能する。
なお、本実施の形態とは逆に、ハウジング１のスリーブに溝を形成せず、環状磁石３と対向する対向面の軸方向両端部に撥油性膜８を形成しても同様の効果を得ることができる。
（第６の実施の形態）
第６図は第６の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第６の実施の形態は、ハウジング１とシャフト２との間に相対往復運動も行われており、シャフト２に嵌合されるスリーブ７２を軸方向に往復運動長さ分に延ばし、環状磁石３と対向する対向面の全てに撥油性膜１３を形成したものである。その他の構成は第１の実施の形態と同じ構成である。
本実施の形態においては、ハウジング１とシャフト２との間に相対回転運動が行われているだけでなく、ハウジング１とシャフト２との間に相対往復運動も行われており、本形態ではシャフト２が往復運動する。
このため、磁性流体を滑らせることにより磁性流体シール装置を安定して支持する必要があり、本形態ではシャフト２に嵌合されるスリーブ７２を軸方向にシャフト２が往復運動する長さ分に延ばし、スリーブ７２上の磁性流体５を滑らせる構成である。
この際、磁性流体５のスリーブ７２上へのぬれ防止として、シャフト２に嵌合されるスリーブ７２には、環状磁石３と対向する対向面の全てに撥油性膜１３が形成されている。
この様な構成でも、環状磁石３はあらゆる向きに対して磁気力で浮揚し、シャフト２の回転・往復運動に対してダストシールとして機能する。もちろん、本実施の形態は、シャフト２が往復運動のみを行う場合にも好適である。
なお、本実施の形態とは逆に、ハウジング１のスリーブを軸方向に往復運動長さ分に延ばし、環状磁石３と対向する対向面の全てに撥油性膜を形成しても同様の効果を得ることができる。
（第７の実施の形態）
第７図は第７の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第７の実施の形態は、ハウジング１とシャフト２との間に相対往復運動も行われており、シャフト２に嵌合されるスリーブ７３に溝を形成せずに軸方向に往復運動長さ分に延ばし、環状磁石３と対向する対向面の全てに撥油性膜を形成したものである。その他の構成は第１の実施の形態と同じ構成である。
本実施の形態においては、第６の実施の形態と同様に、ハウジング１とシャフト２との間に相対回転運動が行われているだけでなく、ハウジング１とシャフト２との間に相対往復運動も行われており、本形態ではシャフト２が往復運動する。
このため、磁性流体を滑らせることにより磁性流体シールを安定して支持する必要があり、本形態ではシャフト２に嵌合される円筒状のスリーブ７３を軸方向にシャフト２が往復運動する長さ分に延ばし、スリーブ７３上の磁性流体５を滑らせる構成である。
この際、磁性流体５のスリーブ７３上へのぬれ防止として、シャフト２に嵌合されるスリーブ７３には、環状磁石３と対向する対向面の全てに撥油性膜１４が形成されている。ここで、第６の実施の形態と異なり、シャフト２に嵌合されるスリーブ７３は、第１の実施の形態のような溝が形成されない円筒状である。
この様な構成でも、環状磁石３はあらゆる向きに対して磁気力で浮揚し、シャフト２の回転・往復運動に対してダストシールとして機能する。もちろん、本実施の形態は、シャフト２が往復運動のみを行う場合にも好適である。
なお、本実施の形態とは逆に、ハウジング１のスリーブを軸方向に往復運動長さ分に延ばし、環状磁石３と対向する対向面の全てに撥油性膜を形成し、第１の実施の形態のような溝が形成されていなくても同様の効果を得ることができる。
（第８の実施の形態）
第８図は第８の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第８の実施の形態は、弾性変形特性のある環状磁石（ゴムマグネット等）３２とシャフト２表面との間に直接隙間を形成し、ハウジング１のスリーブ６１に形成する溝を深く形成したものである。
その他の構成は第１の実施の形態と同じ構成である。
本実施の形態においては、シャフト２にスリーブは嵌合されず、弾性変形特性（可撓性）のある環状磁石（ゴムマグネット等）３２とシャフト２表面との間に直接磁性流体５を充填する隙間を形成している。
また、ハウジング１に嵌合されるスリーブ６１は、環状磁石３２外周面との間により大きな隙間を有するようにスリーブ６１に形成される溝を深くしている。このスリーブ６１の軸方向両端部の突出部（即ち、環状磁石３２との対向面の内溝以外の部分）には、表面に撥油性膜８が形成されている。
この様な構成でも、ハウジング１に対してシャフト２を環状磁石３２の内外周面の２つの隙間の合計分の偏芯でもシール機能を発揮することができ、環状磁石３２はあらゆる向きに対して磁気力で浮揚し、シャフト２の回転運動に対してダストシールとして機能する。
（第９の実施の形態）
第９図は第９の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第９の実施の形態は、第８の実施の形態において磁性流体５と接触するシャフト２表面に撥油性膜１５を形成したものである。その他の構成は第１の実施の形態と同じ構成である。
本実施の形態は、第８の実施の形態の構成に加えて、磁性流体シール装置を装着する際に、少なくとも環状磁石３２内周面に担持した磁性流体５が接触する範囲のシャフト２表面に予め撥油性膜１５を形成している。
これにより、磁性流体シール装置に予め磁性流体４，５を充填した状態で磁性流体シール装置の装着作業を行うことができる。また、本実施の形態は、シャフト２の往復運動又は回転・往復運動に対してダストシールとして機能する。
（第１０の実施の形態）
第１０図及び第１１図は第１０の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第１０の実施の形態は、第１の実施の形態においてスリーブ６，７をそれぞれ２分割した断面Ｌ字状部材で構成したものである。その他の構成は第１の実施の形態と同じ構成である。
本実施の形態は、第１０図に示すように、スリーブ６，７がそれぞれ２分割した２つの断面Ｌ字状部材から構成されている。２つの断面Ｌ字状部材は、軸方向部と軸方向部から各々軸方向で反対側の端部で径方向に突出した突出部とからなり、２つの断面Ｌ字状部材の軸方向部が重ね合わされて１つのスリーブ６，７となる。
ここで、図の右側の断面Ｌ字状部材を先に装着し、その後に図の左側の断面Ｌ字状部材を重ね合わせるので、その図の左側の断面Ｌ字状部材に予め環状磁石３の配置及び磁性流体４，５の充填を行っておけば容易に装置を構成することができる。あるいは、図の左側の断面Ｌ字状部材の中に環状磁石３を挿入し、続いて図の右側の断面Ｌ字状部材を重ね合わせた後、磁性流体４，５を充填しておけば、シール装置として組み上がった状態で装置に装着できる。
この時の環状磁石３の着磁パターンを第１１図（ａ）、第１１図（ｂ）にそれぞれ示す。第１１図（ａ）は単極着磁の環状磁石３であり、第１１図（ｂ）は多極着磁の環状磁石３である。この環状磁石３は軸方向に並んで極を有するものである。
これにより、環状磁石３のスリーブ６，７の溝内への配置が容易になる。また、環状磁石３やスリーブ６，７といった構成部品が弾性変形性を有しなくても装置を構成できるので、材料選定の自由度が大きくなる。
（第１１の実施の形態）
第１２図は第１１の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第１１の実施の形態は、第１の実施の形態においてスリーブ６，７をそれぞれ剛体部とゴム部とから構成したものである。その他の構成は第１の実施の形態と同じ構成である。
本実施の形態は、スリーブ６が剛体部６ａとゴム部６ｂとから構成されている。また、スリーブ７が剛体部７ａとゴム部７ｂとから構成されている。
剛体部６ａ，７ａは、軸方向部と軸方向部の図において左側で突出する突出部とを有する断面Ｌ字形状である。
ゴム部６ｂ，７ｂは、ハウジング１又はシャフト２に嵌合する軸方向部と軸方向部の図において右側で突出する突出部とを有する断面Ｌ字形状である。ゴム部６ｂ，７ｂは、変形し易いゴム状弾性体である。
そして、剛体部６ａ，７ａの軸方向部にゴム部６ｂ，７ｂの軸方向部を重ね合わせることで容易にスリーブ６，７を構成することができる。
この構成では、予めスリーブ６，７を構成し、構成されたスリーブ６，７のゴム部６ｂ，７ｂの突出部を曲げて環状磁石３を挿入し、その後に磁性流体４，５を充填する。
また、スリーブ６，７に環状磁石３の挿入及び磁性流体４，５を充填が終了してシール装置を完成した後に、スリーブ６，７のゴム部６ｂ，７ｂの軸方向部がそれぞれハウジング１又はシャフト２に嵌合することで装着される。
これにより、スリーブ６，７のゴム部６ｂ，７ｂの突出部を曲げて環状磁石３を挿入することができ、環状磁石３のスリーブ６，７の溝内への配置が容易になる。
また、ゴム部６ｂ，７ｂの軸方向部がそれぞれハウジング１又はシャフト２に嵌合することができ、両者の嵌合に接着が不要となる。
（第１２の実施の形態）
第１３図は第１２の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第１２の実施の形態は、第１１の実施の形態と同様に第１の実施の形態においてスリーブ６，７をそれぞれ剛体部とゴム部とから構成したものである。その他の構成は第１の実施の形態と同じ構成である。
本実施の形態は、スリーブ６が剛体部６ａとゴム部６ｂとから構成されている。また、スリーブ７が剛体部７ａとゴム部７ｂとから構成されている。
剛体部６ａ，７ａは、磁性流体４，５に接触する軸方向部からなる円筒状形状である。ゴム部６ｂ，７ｂは、ハウジング１又はシャフト２に嵌合する軸方向部と軸方向部の図において左右側で突出する突出部とを有する。ゴム部６ｂ，７ｂは、変形し易いゴム状弾性体である。
そして、剛体部６ａ，７ａをゴム部６ｂ，７ｂの軸方向部内に重ね合わせることで容易にスリーブ６，７を構成することができる。
この構成では、予めスリーブ６，７を構成し、構成されたスリーブ６，７のゴム部６ｂ，  ７ｂの突出部を曲げて環状磁石３を挿入し、その後に磁性流体４，５を充填する。
また、スリーブ６，７に環状磁石３の挿入及び磁性流体４，５を充填が終了してシール装置を完成した後に、スリーブ６，７のゴム部６ｂ，７ｂの軸方向部がそれぞれハウジング１又はシャフト２に嵌合することで装着される。
これにより、スリーブ６，７のゴム部６ｂ，７ｂの突出部を曲げて環状磁石３を挿入することができ、環状磁石３のスリーブ６，７の溝内への配置が容易になる。
また、ゴム部６ｂ，７ｂの軸方向部がそれぞれハウジング１又はシャフト２に嵌合することができ、両者の嵌合に接着が不要となる。
（第１３の実施の形態）
第１４図は第１３の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第１３の実施の形態は、第１１、第１２の実施の形態と同様に第１の実施の形態においてスリーブ６，７をそれぞれ剛体部とゴム部とから構成したものである。また、環状磁石３及びスリーブ６，７の形状を磁性流体３，４の充填量を削減するために変形したものである。その他の構成は第１の実施の形態と同じ構成である。
本実施の形態は、環状磁石３のハウジング１及びシャフト２との対向端を断面三角状の突起形状に尖らせており、尖らせた先端に磁束を集中させて磁性流体４，５を磁気的に保持している。
そして、スリーブ６が剛体部６ａとゴム部６ｂとから構成されている。また、スリーブ７が剛体部７ａとゴム部７ｂとから構成されている。
このスリーブ６，７の溝は、環状磁石３の断面三角状の突起形状に尖らせたハウジング１及びシャフト２との対向端に合わせて断面三角状の溝となっている。
剛体部６ａ，７ａは、一辺にテーパを形成して図の左側のスリーブ６，７の溝壁面を構成している。
ゴム部６ｂ，７ｂは、ハウジング１又はシャフト２に嵌合する軸方向部と軸方向部の図において右側でスリーブ６，７の溝壁面を構成して突出する突出部とを有する。ゴム部６ｂ，７ｂは、変形し易いゴム状弾性体である。
そして、剛体部６ａ，７ａをゴム部６ｂ，７ｂの軸方向部内に重ね合わせることで容易にスリーブ６，７を構成することができる。
この構成では、予めスリーブ６，７を構成し、構成されたスリーブ６，７のゴム部６ｂ，７ｂの突出部を曲げて環状磁石３を挿入し、その後に磁性流体４，５を充填する。
また、スリーブ６，７に環状磁石３の挿入及び磁性流体４，５を充填が終了してシール装置を完成した後に、スリーブ６，７のゴム部６ｂ，７ｂの軸方向部がそれぞれハウジング１又はシャフト２に嵌合することで装着される。
これにより、スリーブ６，７のゴム部６ｂ，７ｂの突出部を曲げて環状磁石３を挿入することができ、環状磁石３のスリーブ６，７の溝内への配置が容易になる。
また、環状磁石３の断面三角状の突起形状に尖らせたハウジング１及びシャフト２との対向端に磁束を集中させて磁性流体４，５を磁気的に保持するので、磁性流体４，５が分散せず効率よく集中して保持されるため、磁性流体充填量を削減することができる。
さらに、ゴム部６ｂ，７ｂの軸方向部がそれぞれハウジング１又はシャフト２に嵌合することができ、両者の嵌合に接着が不要となる。
（第１４の実施の形態）
第１５図は第１４の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第１４の実施の形態は、第１１、第１２、第１３の実施の形態と同様に第１の実施の形態においてスリーブ６，７をそれぞれ剛体部とゴム部とから構成したものである。また、第１４の実施の形態と同様に環状磁石３及びスリーブ６，７の形状を磁性流体３，４の充填量を削減するために変形したものである。その他の構成は第１の実施の形態と同じ構成である。
本実施の形態は、環状磁石３のハウジング１及びシャフト２との対向端を断面円弧状の突起形状に尖らせており、尖らせた先端に磁束を集中させて磁性流体４，５を磁気的に保持している。
そして、スリーブ６が剛体部６ａとゴム部６ｂとから構成されている。また、スリーブ７が剛体部７ａとゴム部７ｂとから構成されている。
このスリーブ６，７の溝は、環状磁石３の断面円弧状の突起形状に尖らせたハウジング１及びシャフト２との対向端に合わせて断面円弧状の溝となっている。
そして、環状磁石３の断面円弧状の突起形状に尖らせた対向端とスリーブ６，７の溝との隙間は、環状磁石３の断面円弧状の突起形状に尖らせた対向端の先端に向かうほど狭くなる。
剛体部６ａ，７ａは、一辺に断面円弧状のテーパを形成して図の左側のスリーブ６，７の溝壁面を構成している。
ゴム部６ｂ，７ｂは、ハウジング１又はシャフト２に嵌合する軸方向部と軸方向部の図において右側でスリーブ６，７の溝壁面を構成して突出する突出部とを有する。ゴム部６ｂ，７ｂは、変形し易いゴム状弾性体である。
そして、剛体部６ａ，７ａをゴム部６ｂ，７ｂの軸方向部内に重ね合わせることで容易にスリーブ６，７を構成することができる。
この構成では、予めスリーブ６，７を構成し、構成されたスリーブ６，７のゴム部６ｂ，７ｂの突出部を曲げて環状磁石３を挿入し、その後に磁性流体４，５を充填する。
また、スリーブ６，７に環状磁石３の挿入及び磁性流体４，５を充填が終了してシール装置を完成した後に、スリーブ６，７のゴム部６ｂ，７ｂの軸方向部がそれぞれハウジング１又はシャフト２に嵌合することで装着される。
これにより、スリーブ６，７のゴム部６ｂ，７ｂの突出部を曲げて環状磁石３を挿入することができ、環状磁石３のスリーブ６，７の溝内への配置が容易になる。
また、環状磁石３の断面円弧状の突起形状に尖らせたハウジング１及びシャフト２との対向端に磁束を集中させて磁性流体４，５を磁気的に保持するので、磁性流体４，５が分散せず効率よく集中して保持されるため、磁性流体充填量を削減することができる。
ここで、環状磁石３の断面円弧状の突起形状に尖らせた対向端とスリーブ６，７の溝との隙間が、環状磁石３の断面円弧状の突起形状に尖らせた対向端の先端に向かうほど狭くなっているため、隙間の一番狭い部分に磁性流体４，５を集中し易くなり、さらに磁性流体充填量を削減することができる。
さらに、ゴム部６ｂ，７ｂの軸方向部がそれぞれハウジング１又はシャフト２に嵌合することができ、両者の嵌合に接着が不要となる。
（第１５の実施の形態）
第１６図を用いて第１５の実施の形態に係る磁性流体シール装置の構成について説明する。第１６図は第１５の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
以下の実施の形態では、上記第１〜第１５の実施の形態では、軸径が大きくなると環状磁石の磁気浮揚力がその環状磁石の重力よりも小さくなってしまい、大径化に限界があることに鑑み、非磁性体を磁気的に浮揚する構成としたものである。
第１６図に示す磁性流体シール装置は、回転移動可能な２部材としての筒状のハウジング１と、ハウジング１に挿入されたシャフト２と、の間に備えられている。ハウジング１とシャフト２との間では相対回転運動が行われるものであり、本形態ではシャフト２だけが回転する。ハウジング１とシャフト２は非磁性材で構成されている。
磁性流体シール装置は、ハウジング１及びシャフト２にそれぞれ嵌合されたスリーブ状磁石１５，１６（スリーブ状磁力発生手段）と、ハウジング１とシャフト２との間に配置された非磁性体１７と、スリーブ状磁石１５，１６の内外周にそれぞれ保持された磁性流体４，５と、を備える。
スリーブ状磁石１５の内周面、及びスリーブ状磁石１６の外周面の近傍には磁場勾配が発生しており、その磁場勾配内に置かれた磁性流体４，５は高磁場側（磁石表面）に吸引され、その反作用として非磁性体１７は低磁場側への斥力を受ける。その結果、非磁性体１７はスリーブ状磁石１５，１６と非接触の状態で磁性流体４，５中に浮揚され、同時に磁性流体４，５が非磁性体１７とスリーブ状磁石１５，１６との隙間を密封する機能を発揮する。
スリーブ状磁石１５，１６の材質としては、可撓性を有するゴム磁石等が好適である。また、スリーブ状磁石１５，１６の着磁は、非磁性体１７がスリーブ状磁石１５，１６と非接触の状態で磁性流体４，５中に浮揚する条件を満足するものであれば、どのような方法（方向、極数）を用いてもよい。
一方、磁性流体４，５としては、Ｆｅ３Ｏ４やＭｎ・Ｆｅ２Ｏ４等の微粒子を油，水，有機溶媒等の中にコロイド状に分散させたものを用いている。
非磁性体１７の材質としては、非磁性ステンレス、アルミ合金、銅合金、チタン等の非磁性金属又はポリフェニレンオキサイド、ポリカーボネイト、ポリアセタール等の樹脂が好適である。
このスリーブ状磁石１５，１６は、軸方向両端部で突出部が突出するように中央部が凹んで溝が形成されており、この溝の中に非磁性体１７の内外周端部が隙間を有してそれぞれ配置される。そして、磁性流体４，５がスリーブ状磁石１５，１６の溝と非磁性体１７の内外周端との隙間に充填されている。
このスリーブ状磁石１５，１６は、スリーブ状磁石１５，１６の溝内に非磁性体１７を挿入可能とする弾性変形特性を有しており、非磁性体１７のスムーズな装着ができる。
スリーブ状磁石１５，１６の材質として可撓性は有しないが磁気力の強い焼結金属性等を用いた場合には、非磁性体１７の材質として樹脂やゴム等の可撓性を有するものを用いればよい。
また、スリーブ状磁石１５，１６の軸方向両端部の突出部（即ち、非磁性体１７との対向面の内溝以外の部分）には、表面に撥油性膜１８，１９が形成されている。この撥油性膜１８，１９によって、スリーブ状磁石１５，１６の溝内の磁性流体４，５が外部へぬれ広がることが防止される。
なお、撥油性膜１８，１９の形成処理としては、膜形成以外にコーティングや塗布等による処理もあり、フッ素系撥油剤などの材料を用いる。
以上の磁性流体シール装置は、スリーブ状磁石１５，１６と非磁性体１７との間に予め磁性流体４，５を充填した状態で、ハウジング１とシャフト２の間にワンタッチで容易に装着される。
このような磁性流体シール装置では、スリーブ状磁石１５，１６の保持する磁性流体４，５によって非磁性体１７が浮揚支持されており、装置がどのような向きに置かれても非磁性体１７が浮揚する。
そして、非磁性体１７と磁性流体４，５とで、ハウジング１とシャフト２間のシールを行う。この効果は、ハウジング１に対してシャフト２をスリーブ状磁石１５，１６と非磁性体１７の内外周面との２つの隙間の合計分の偏芯によってシール機能を発揮することができる。
したがって、非磁性体１７の内外周の両方に磁性流体４，５を保持する隙間を有する構成であり、両方の隙間の和がハウジング１とシャフト２との同軸度の許容値となり、精度が低くてもシール性を発揮することができる。
そして、スリーブ状磁石１５，１６が保持する磁性流体４，５により磁気力で非磁性体１７が浮揚しているので、非磁性体１７を慣性体として、磁性流体４，５を粘性減衰手段とする回転イナーシャダンパとしての機能も発揮する。
また、磁性流体シール装置に用いている部材も、ポールピース等の部材が無く、非磁性体１７だけが厚みを必要とするので、構成部材が削減でき、装置の薄型化ができる。また、ポールピース等の部材などとの部材同士の接合の必要もなく製造容易となる。
さらに、スリーブ状磁石１５，１６の溝に非磁性体１７の内外周端部を配置するので、予め磁性流体４，５を充填した装置の組み上がった状態で装置の装着ができ、装着が容易になると共に、磁性流体充填量の管理がし易くなった。
特に、環状磁石が磁気的に浮揚される上記第１〜第１５の実施の形態とは異なり非磁性体１７が磁気的に浮揚されるので、磁気力を変えないで非磁性体１７を薄く軽くできるため、軸径が大きくなる場合に装置を大径化しても非磁性体１７を磁気的に浮揚させることができる。
なお、本実施の形態以下の実施の形態におけるスリーブ状磁石の着磁方向は径方向、軸方向のいずれでもよい。
（第１６の実施の形態）
第１７図は第１６の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第１６の実施の形態は、非磁性体１７の径方向側面に撥油性膜２０を形成したものである。その他の構成は第１５の実施の形態と同じ構成である。
非磁性体１７には、磁性流体４，５と接触させない部分、即ち非磁性体１７の角部を除いた径方向側面に、撥油性膜２０を形成した。
ただし、非磁性体１７の径方向側面の角部は、撥油性膜２０が形成されておらず、磁性流体４，５の付着によりシールや磁気浮揚に関係する。
これにより、磁性流体４，５が非磁性体１７の径方向側面にぬれ広がり、シールに必要な磁性流体量が減少することを防止でき、より少ない予め充填する磁性流体充填量であらゆる向きに対してシール機能を発揮することができる。
（第１７の実施の形態）
第１８図は第１７の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第１７の実施の形態は、非磁性体１７の径方向側面に切り欠き部２１を形成したものである。その他の構成は第１５の実施の形態と同じ構成である。
非磁性体１７には、磁性流体４，５と接触させない部分、即ち非磁性体１７の角部を除いたハウジング１とシャフト２間に延びる径方向側面に、切り欠き部２１を形成した。
これにより、非磁性体１７の軽量化が図られ、より低い飽和磁化の磁性流体４，５或いはより少ない磁性流体充填量であらゆる向きに対して非磁性体１７を浮揚することができる。
（第１８の実施の形態）
第１９図は第１８の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第１８の実施の形態は、非磁性体１７の径方向側面の切り欠き部２１に加えて内外周面の中央部に切り欠き部２２を形成したものである。その他の構成は第１５の実施の形態と同じ構成である。
非磁性体１７には、第３の実施の形態と同様に磁性流体４，５と接触させない部分、即ち非磁性体１７の角部を除いたハウジング１とシャフト２間に延びる径方向側面に、切り欠き部２１を形成した。
加えて、非磁性体１７の角部を除いたハウジング１又はシャフト２のいずれかと対向する内外周面の中央部にも切り欠き部２２を形成した。
これにより、非磁性体１７の軽量化がさらに図られ、さらにより低い飽和磁化の磁性流体４，５或いはより少ない磁性流体充填量であらゆる向きに対して非磁性体１７を浮揚することができる。
（第１９の実施の形態）
第２０図は第１９の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第１９の実施の形態は、シャフト２に嵌合されるスリーブ状磁石１６１に溝を形成せず、非磁性体１７と対向する対向面の軸方向両端部に撥油性膜１９を形成したものである。その他の構成は第１６の実施の形態と同じ構成である。
シャフト２に嵌合されるスリーブ状磁石１６１は、第１１の実施の形態のような溝が形成されない円筒状であり、非磁性体１７と対向する対向面の軸方向両端部に撥油性膜１９が形成されている。
この様な構成でも、スリーブ状磁石１６１上に磁性流体５が保持され、非磁性体１７はあらゆる向きに対して磁気力で浮揚し、シャフト２の回転に対してダストシールとして機能する。
なお、本実施の形態とは逆に、ハウジング１のスリーブ状磁石に溝を形成せず、非磁性体１７と対向する対向面の軸方向両端部に撥油性膜１８を形成しても同様の効果を得ることができる。
（第２０の実施の形態）
第２１図は第２０の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第２０の実施の形態は、ハウジング１とシャフト２との間に相対往復運動も行われており、シャフト２に嵌合されるスリーブ状磁石１６２を軸方向に往復運動長さ分に延ばしたものである。その他の構成は第１５の実施の形態と同じ構成である。
本実施の形態においては、ハウジング１とシャフト２との間に相対回転運動が行われているだけでなく、ハウジング１とシャフト２との間に相対往復運動も行われており、本形態ではシャフト２が往復運動する。
このため、磁性流体５をスリーブ状磁石１６２上の平面部全てに保持することにより非磁性体１７を浮揚させて磁性流体シール装置を安定して支持する必要があり、本形態ではシャフト２に嵌合されるスリーブ状磁石１６２を軸方向にシャフト２が往復運動する長さ分に延ばし、スリーブ状磁石１６２上の磁性流体５を平面部全てに保持させた構成である。
この際、磁性流体５のスリーブ状磁石１６２上の軸方向両端部へのぬれ防止として、シャフト２に嵌合されるスリーブ状磁石１６２の軸方向両端部には、撥油性膜１９が形成されている。
この様な構成でも、非磁性体１７はあらゆる向きに対して磁気力で浮揚し、シャフト２の回転・往復運動に対してダストシールとして機能する。もちろん、本実施の形態は、シャフト２が往復運動のみを行う場合にも好適である。
なお、本実施の形態とは逆に、ハウジング１のスリーブ状磁石を軸方向に往復運動長さ分に延ばし、非磁性体１７と対向する対向面に磁性流体を保持しても同様の効果を得ることができる。
（第２１の実施の形態）
第２２図は第２１の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第２１の実施の形態は、ハウジング１とシャフト２との間に相対往復運動も行われており、シャフト２に嵌合されるスリーブ状磁石１６３に溝を形成せずに軸方向に往復運動長さ分に延ばし、非磁性体１７と対向する対向面の軸方向両端部を除く平面部に磁性流体５を保持し、軸方向両端部に撥油性膜１９を形成したものである。その他の構成は第１５の実施の形態と同じ構成である。
本実施の形態においては、第１９の実施の形態と同様に、ハウジング１とシャフト２との間に相対回転運動が行われているだけでなく、ハウジング１とシャフト２との間に相対往復運動も行われており、本形態ではシャフト２が往復運動する。
このため、磁性流体５をスリーブ状磁石１６３上の軸方向両端部を除く平面部に保持することにより非磁性体１７を浮揚させて磁性流体シール装置を安定して支持する必要があり、本形態ではシャフト２に嵌合される円筒状のスリーブ状磁石１６３を軸方向にシャフト２が往復運動する長さ分に延ばし、スリーブ状磁石１６３上の磁性流体５を軸方向両端部を除く平面部に保持させた構成である。
この際、磁性流体５のスリーブ状磁石１６３上へのぬれ防止として、シャフト２に嵌合されるスリーブ状磁石１６３には、非磁性体１７と対向する対向面の軸方向両端部に撥油性膜１９が形成されている。
ここで、第２０の実施の形態と異なり、シャフト２に嵌合されるスリーブ状磁石１６３は、第１５の実施の形態のような溝が形成されない円筒状である。
この様な構成でも、非磁性体１７はあらゆる向きに対して磁気力で浮揚し、シャフト２の回転・往復運動に対してダストシールとして機能する。もちろん、本実施の形態は、シャフト２が往復運動のみを行う場合にも好適である。
なお、本実施の形態とは逆に、ハウジング１のスリーブ状磁石を軸方向に往復運動長さ分に延ばし、非磁性体１７と対向する対向面に磁性流体を保持し、第１６の実施の形態のような溝が形成されていなくても同様の効果を得ることができる。
（第２２の実施の形態）
第２３図は第２２の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第２２の実施の形態は、第１５の実施の形態においてスリーブ状磁石１５，１６をそれぞれ２分割した断面Ｌ字状部材で構成したものである。その他の構成は第１５の実施の形態と同じ構成である。
本実施の形態は、第２３図（ａ）に示すように、スリーブ状磁石１５，１６をそれぞれ２分割した２つの断面Ｌ字状部材で構成したものである。２つの断面Ｌ字状部材は、軸方向部と軸方向部から各々軸方向で反対側の端部で径方向に突出した突出部とからなり、２つの断面Ｌ字状部材の軸方向部が重ね合わされて１つのスリーブ状磁石１５，１６となる。
ここで、図の右側の断面Ｌ字状部材を先に装着し、その後に図の左側の断面Ｌ字状部材を重ね合わせるので、その図の左側の断面Ｌ字状部材に予め非磁性体１７の配置及び磁性流体４，５の充填を行っておけば容易に装置を構成することができる。あるいは、図の左側の断面Ｌ字状部材の中に非磁性体１７を挿入し、続いて図の右側の断面Ｌ字状部材を重ね合わせた後、磁性流体４，５を充填しておけば、シール装置として組み上がった状態で装置に装着できる。
この時のスリーブ状磁石１５の着磁パターンを第２３図（ｂ）、第２３図（ｃ）にそれぞれ示す。第２３図（ｂ）は単極着磁のスリーブ状磁石１５であり、第２３図（ｃ）は多極着磁のスリーブ状磁石１５である。このスリーブ状磁石１５は軸方向に並んで極を有するものである。
これにより、非磁性体１７のスリーブ状磁石１５，１６の溝内への配置が容易になる。また、非磁性体１７やスリーブ状磁石１５，１６といった構成部品が弾性変形性を有しなくても構成できるので、材料選定の自由度が大きくなる。
産業上の利用の可能性
以上説明したように、本発明は、磁性流体の磁気力で磁力発生手段を浮揚支持し、磁力発生手段及び磁性流体で２部材間をシールすることで、磁力発生手段と２部材の各部材表面との間の２つの隙間の和が２部材の偏芯の許容値となり、同軸度の精度が低くてもシール性を発揮することができる。また、従来用いていたポールピースなどの部材が必要なくなり、構成部材が削減でき装置の薄型化にも有効であり、かつ部材同士の接合の必要もなく製造容易となる。さらに、磁力発生手段が磁性流体により磁気力で浮揚しているので、磁力発生手段を慣性体として、磁性流体を粘性減衰手段とする回転イナーシャダンパとしての機能も発揮する。
少なくとも２部材の内一方の部材に嵌合された非磁性材から成る環状スリーブを備え、スリーブは軸方向両端に径方向突出部が各々形成され、軸方向中央部に溝を形成したことで、磁力発生手段とスリーブとの間に予め磁性流体を充填した状態での装置の装着ができ、装着が容易になると共に、磁性流体充填量の管理がし易くなる。
スリーブは、軸方向部と軸方向部から各々軸方向で反対側の端部で径方向に突出した突出部とからなる２つの断面Ｌ字状部材を有し、断面Ｌ字状部材の軸方向部が重ね合わされて構成されることで、磁力発生手段のスリーブの溝内への配置が容易になる。また、構成部品が弾性変形性を有しなくても構成できるので、材料選定の自由度が大きくなる。
スリーブは、径方向突出部の表面に撥油性膜を形成したことで、磁性流体が溝以外の表面にぬれ広がり、シールに用いる磁性流体量が減少することが防止できる。
スリーブは、径方向突出部をゴム状弾性体で構成したことで、ゴム状弾性体を変形させることにより、磁力発生手段のスリーブの溝内への配置が容易になる。
スリーブは、一方の部材に嵌合する部分をゴム状弾性体で構成したことで、スリーブの一方の部材との嵌合に両者の接着が不要となる。
磁力発生手段の２部材との対向端を尖らせており、尖らせた先端に磁束を集中させて磁性流体を磁気的に保持したことで、スリーブの溝も前記磁力発生手段の尖らせた対向端にあわせた形状に形成することによって、前記磁力発生手段の磁性流体が分散せず効率よく集中して保持されるため、磁性流体充填量を削減することができる。
スリーブの溝も磁力発生手段の尖らせた対向端に合わせた形状に形成したことで、磁性流体の分散をさらに防止することができる。
磁力発生手段の尖らせた対向端とスリーブの溝との隙間は、磁力発生手段の尖らせた対向端の先端に向かうほど狭くなることで、さらに磁性流体充填量を削減することができる。
磁力発生手段の尖らせた対向端は、断面三角状の突起形状であることで、尖らせた先端に磁束を集中させて磁性流体を分散せず効率よく集中して保持することができる。
磁力発生手段の尖らせた対向端は、断面円弧状の突起形状であることで、尖らせた先端に  磁束を集中させて磁性流体を分散せず効率よく集中して保持することができる。
少なくとも２部材の内一方の部材に嵌合されたスリーブを備え、スリーブの少なくとも軸方向両側端部に撥油性膜を形成したことで、磁力発生手段とスリーブとの間に予め磁性流体を充填した状態での装置の装着ができ、装着が容易になると共に、磁性流体充填量の管理がし易くなる。また、磁性流体がスリーブの軸方向両側端部にぬれ広がり、シールに用いる磁性流体量が減少することが防止できる。
２部材は相対往復移動可能であって、スリーブは、少なくとも２部材の内一方の部材に嵌合され、一方の部材に嵌合されたスリーブは、２部材の往復移動長さに応じて軸方向に延びて形成されているので、磁力発生手段とスリーブとの間に予め磁性流体を充填した状態での装置の装着ができ、装着が容易になると共に、磁性流体充填量の管理がし易くなる。また、２部材の往復移動長さに応じて軸方向に延びるスリーブ上の磁性流体を滑らせることができる。
スリーブは、磁力発生手段との対向面に２部材の往復移動長さに応じた溝を形成したことで、磁力発生手段とスリーブとの間に予め磁性流体を充填した状態での装置の装着ができ、装着が容易になると共に、溝外への磁性流体の飛散も防止されるので、磁性流体充填量の管理がし易くなる。また、２部材の往復移動長さに応じたスリーブの溝内で磁性流体を滑らせることができる。
スリーブの磁力発生手段との対向面の全てに撥油性膜を形成したことで、相対往復移動時に滑る磁性流体が表面にぬれ広がり、シールに用いる磁性流体量が減少することが防止できる。
スリーブは、スリーブの溝内に磁力発生手段を挿入可能とする弾性変形特性を有することで、磁力発生手段のスムーズな装着ができる。
２部材及びスリーブは、非磁性材であることで、磁性流体を磁力発生手段の磁極に集め、磁力発生手段を磁気的に浮揚させることができる。
少なくとも２部材の内一方の部材の磁力発生手段との対向面に溝を形成したことで、従来用いていたポールピースやスリーブなどの部材が必要なくなり、磁力発生手段と磁性流体だけで装置を構成でき、構成部材が削減でき、薄型化が大幅に可能となる。
少なくとも２部材の内一方の部材の磁力発生手段との対向面に撥油性膜を形成したことで、磁性流体が一方の部材表面にぬれ広がり、シールに用いる磁性流体量が減少することが防止できる。
磁力発生手段は、溝内に磁力発生手段を挿入可能とする弾性変形特性を有することで、磁力発生手段のスムーズな装着ができる。
磁力発生手段の磁性流体と接触させない部分に撥油性膜を形成したことで、磁性流体が磁力発生手段表面にぬれ広がり、シールに用いる磁性流体量が減少することが防止できる。
磁力発生手段の磁性流体と接触させない部分に切り欠き部を形成したことで、磁力発生手段の軽量化が図れ、より確実に磁力発生手段を浮揚させることができる。
磁力発生手段の２部材間に延びる側面に切り欠き部を形成したことで、磁力発生手段の軽量化が図れ、より確実に磁力発生手段を浮揚させることができる。
磁力発生手段の２部材との対向端面の中央部に切り欠き部を形成したことで、磁力発生手段の軽量化が図れ、より確実に磁力発生手段を浮揚させることができる。
磁力発生手段は、軸方向或いは径方向に単極或いは多極着磁された磁石であることで、磁石が磁性流体と共に２部材間を埋めて２部材間のシールを行うことができる。
また、本発明は、磁性流体で非磁性体を浮揚支持し、非磁性体及び磁性流体で２部材間をシールすることで、非磁性体と２部材の各部材表面との間の２つの隙間の和が２部材の偏芯の許容値となり、同軸度の精度が低くてもシール性を発揮することができる。また、従来用いていたポールピースなどの部材が必要なくなり、構成部材が削減でき装置の薄型化にも有効であり、かつ部材同士の接合の必要もなく製造容易となる。さらに、非磁性体が磁性流体により磁気力で浮揚しているので、非磁性体を慣性体として、磁性流体を粘性減衰手段とする回転イナーシャダンパとしての機能も発揮する。特に、磁気力を変えないで非磁性体を薄く軽くできるため、装置を大径化しても非磁性体を磁気的に浮揚させることができる。
少なくとも一方のスリーブ状磁力発生手段の非磁性体との対向面に溝を形成したことで、スリーブ状磁力発生手段と非磁性体との間に予め磁性流体を充填した状態での装置の装着ができ、装着が容易になると共に、磁性流体充填量の管理がし易くなる。
スリーブ状磁力発生手段は、軸方向部と軸方向部から各々軸方向で反対側の端部で径方向に突出した突出部とからなる２つの断面Ｌ字状部材を有し、断面Ｌ字状部材の軸方向部が重ね合わされて構成されることで、非磁性体のスリーブ状磁力発生手段の溝内への配置が容易になる。また、構成部品が弾性変形性を有しなくても構成できるので、材料選定の自由度が大きくなる。
スリーブ状磁力発生手段の非磁性体との対向面の少なくとも溝以外の表面部分に撥油性膜を形成したことで、磁性流体が溝以外の表面にぬれ広がり、シールに用いる磁性流体量が減少することが防止できる。
スリーブ状磁力発生手段の少なくとも軸方向両側端部に撥油性膜を形成したことで、スリーブ状磁力発生手段と非磁性体との間に予め磁性流体を充填した状態での装置の装着ができ、装着が容易になると共に、磁性流体充填量の管理がし易くなる。また、磁性流体がスリーブ状磁力発生手段の軸方向両側端部にぬれ広がり、シールに用いる磁性流体量が減少することが防止できる。
２部材は相対往復移動可能であって、少なくとも２部材の内一方の部材に嵌合されたスリーブ状磁力発生手段を２部材の往復移動長さに応じて軸方向に延ばしたことで、スリーブ状磁力発生手段と非磁性体との間に予め磁性流体を充填した状態での装置の装着ができ、装着が容易になると共に、磁性流体充填量の管理がし易くなる。また、２部材の往復移動長さに応じて軸方向に延びるスリーブ状磁力発生手段上に磁性流体を保持することができる。
スリーブ状磁力発生手段は、非磁性体との対向面に２部材の往復移動長さに応じた溝を形成したことで、スリーブ状磁力発生手段と非磁性体との間に予め磁性流体を充填した状態での装置の装着ができ、装着が容易になると共に、溝外への磁性流体の飛散も防止されるので、磁性流体充填量の管理がし易くなる。また、２部材の往復移動長さに応じたスリーブ状磁力発生手段の溝内で磁性流体を保持することができる。
スリーブ状磁力発生手段は、スリーブ状磁力発生手段の溝内に非磁性体を挿入可能とする弾性変形特性を有することで、非磁性体のスムーズな装着ができる。
非磁性体は、スリーブ状磁力発生手段の溝内に非磁性体を挿入可能とする弾性変形特性を有することで、非磁性体のスムーズな装着ができる。
非磁性体の磁性流体と接触させない部分に撥油性膜を形成したことで、磁性流体が非磁性体表面にぬれ広がり、シールに用いる磁性流体量が減少することが防止できる。
非磁性体の磁性流体と接触させない部分に切り欠き部を形成したことで、非磁性体の軽量化が図れ、より確実に非磁性体を浮揚させることができる。
非磁性体の２部材間に延びる側面に切り欠き部を形成したことで、非磁性体の軽量化が図れ、より確実に非磁性体を浮揚させることができる。
非磁性体の２部材との対向端面の中央部に切り欠き部を形成したことで、非磁性体の軽量化が図れ、より確実に非磁性体を浮揚させることができる。
スリーブ状磁力発生手段は、軸方向或いは径方向に単極或いは多極着磁された磁石であることで、磁石が２部材にそれぞれ嵌合されて磁性流体を保持することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、第１の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第２図は、第２の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第３図は、第３の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第４図は、第４の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第５図は、第５の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第６図は、第６の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第７図は、第７の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第８図は、第８の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第９図は、第９の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第１０図は、第１０の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第１１図は、環状磁石の着磁状態を示す図である。
第１２図は、第１１の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第１３図は、第１２の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第１４図は、第１３の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第１５図は、第１４の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第１６図は、第１５の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第１７図は、第１６の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第１８図は、第１７の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第１９図は、第１８の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第２０図は、第１９の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第２１図は、第２０の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第２２図は、第２１の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
第２３図は、第２２の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図及びスリーブ状磁石の着磁状態を示す図である。
第２４図は、従来技術の磁性流体シール装置を示す半断面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0004178956.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
0004178956.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
0004178956.tif 000016
【図１６】
0004178956.tif 000017
【図１７】
0004178956.tif 000018
【図１８】
0004178956.tif 000019
【図１９】
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【図２０】
0004178956.tif 000021
【図２１】
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【図２２】
0004178956.tif 000023
【図２３】
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【図２４】
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