(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
閉塞端側に透孔を設けて内周壁に導電薄膜のメッキを施した導電チューブ内に、プランジャーを軸方向に摺動自在でかつ当接部を突出させて抜け出ないように配設し、前記導電チューブ内にスプリングを前記プランジャーを突出方向に弾性付勢するように縮設し、前記プランジャーが前記導電チューブの内周壁に摺接して電気的導通を図るスプリングコンタクトプローブにおいて、前記導電チューブ内の前記閉塞端と前記スプリングの間に、前記導電チューブの内周壁に嵌合当接する閉塞部材を配設して、前記閉塞部材を前記スプリングで前記閉塞端側に弾性付勢し、前記閉塞部材により前記透孔と前記導電チューブ内の前記プランジャーが配設された側の連通を遮断するように構成したことを特徴とするスプリングコンタクトプローブ。
【請求項２】
請求項１記載のスプリングコンタクトプローブにおいて、前記閉塞部材を、前記導電チューブの内周壁に嵌合当接するとともに前記スプリングの一端部が挿入されるカップ形状に構成したことを特徴とするスプリングコンタクトプローブ。
【請求項３】
請求項１記載のスプリングコンタクトプローブにおいて、前記閉塞部材を、前記導電チューブの内周壁に嵌合当接する円柱形状に構成したことを特徴とするスプリングコンタクトプローブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、閉塞端側に透孔を設けて内周壁に導電薄膜のメッキを適正に施すことができる導電チューブ内に、透孔を介して塵埃等が侵入しないようにしたスプリングコンタクトプローブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のスプリングコンタクトプローブの構造の一例を図３を参照して説明する。図３は、従来のスプリングコンタクトプローブの一例の縦断面図である。
【０００３】
図３において、導電チューブ１０は一端が閉塞され、他端が開口され、この開口部よりスプリング１２とプランジャー１４の太径部１４ａが挿入される。そして、開口部がカシメにより狭搾されて、プランジャー１４は、軸方向に摺動自在でしかも太径部１４ａが抜け出ることなしに当接部１４ｂが突出するように構成される。ここで、スプリング１２は縮設され、プランジャー１４を突出方向に弾性付勢している。なお、プランジャー１４の当接部１４ｂの先端と、導電チューブ１０の閉塞端の先端は、被検査デバイスおよび基板の接続電極等に当接して確実に電気的導通が図れるように、一例として先端十字割（クラウン）型に構成されている。また、導電チューブ１０の閉塞端側で、側壁と閉塞端の軸心上に、透孔１６，１８がそれぞれ穿設されている。
【０００４】
ところで、導電チューブ１０とプランジャー１４の電気的導通は、導電チューブ１０の内周壁にプランジャー１４の太径部１４ａが摺接することにより図られている。そこで、この電気的導通における抵抗値を小さくする目的で、導電チューブ１０内の内周壁とプランジャー１４の外周壁に金メッキ等の導電薄膜のメッキが施される。この導電薄膜のメッキは、電解メッキまたは無電解メッキのいずれによりなされても良い。
【０００５】
導電チューブ１０は、一例として、内径０．４ｍｍで長さ２．５ｍｍと、長さに対してその内径が極めて細い。そこで、導電チューブ１０の閉塞端側に透孔１６，１８を穿設することで、導電薄膜のメッキを施す際に、導電チューブ１０内の閉塞端側の奥部までメッキ液が十分に侵入することができ、また奥部まで侵入したメッキ液を洗浄する洗浄液も十分に侵入することができ、導電チューブ１０内の内周壁に導電薄膜のメッキを適正に施すことができる。もって、製造工程における歩留まりを良好なものとしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかるに、上記従来構造の導電チューブ１０にあっては、閉塞端側に穿設された透孔１６，１８を介して、導電チューブ１０内に塵埃などが侵入する虞がある。導電チューブ１０内に侵入した塵埃は、内周壁に付着し、導電チューブ１０とプランジャー１４の接触抵抗を増加させるという不具合が生ずる。また、導電チューブ１０の内周壁への塵埃の付着により、導電チューブ１０に対するプランジャー１４の摺動抵抗も増大し、動作不良を生ずる。さらに、導電チューブ１０とプランジャー１４の摺接部が摩耗し、この摩耗により接触抵抗が増加し、耐久性が損なわれる。
【０００７】
本発明は、上述のごとき従来技術の事情に鑑みてなされたもので、透孔により内周壁に導電薄膜のメッキを歩留まり良く適正に施すことができる導電チューブ内で、プランジャーが配設される側に、透孔を介して塵埃などが侵入することのないスプリングコンタクトプローブを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するために、本発明のスプリングコンタクトプローブは、閉塞端側に透孔を設けて内周壁に導電薄膜のメッキを施した導電チューブ内に、プランジャーを軸方向に摺動自在でかつ当接部を突出させて抜け出ないように配設し、前記導電チューブ内にスプリングを前記プランジャーを突出方向に弾性付勢するように縮設し、前記プランジャーが前記導電チューブの内周壁に摺接して電気的導通を図るスプリングコンタクトプローブにおいて、前記導電チューブ内の前記閉塞端と前記スプリングの間に、前記導電チューブの内周壁に嵌合当接する閉塞部材を配設して、前記閉塞部材を前記スプリングで前記閉塞端側に弾性付勢し、前記閉塞部材により前記透孔と前記導電チューブ内の前記プランジャーが配設された側の連通を遮断するように構成されている。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１実施例を図１を参照して説明する。図１（ａ）は、本発明のスプリングコンタクトプローブの第１実施例の縦断面図であり、図１（ｂ）は、カップ形状の閉塞部材の外観斜視図である。図１（ａ）において、図３と同じまたは均等な部材には同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００１０】
図１に示す本発明のスプリングコンタクトプローブの第１実施例において、図３に示す従来技術と相違するところは、導電チューブ１０の閉塞端側に、内周壁に嵌合当接するとともにカップ形状の閉塞部材２０が挿入配設された、ことにある。この閉塞部材２０は、導電チューブ１０の内周壁に密接し、透孔１６，１８側と導電チューブ１０内で閉塞部材２０が配設された位置よりプランジャー１４側の部分との連通を遮断し、透孔１６，１８を実質的に閉塞させる。この閉塞部材２０は、スプリング１２により常に閉塞端側に弾性偏寄され、位置ずれすることはない。しかも、閉塞部材２０のカップ形状内にスプリング１２の一端部が挿入され、スプリング１２の一端部の位置が安定する。
【００１１】
かかる構成において、閉塞端側に穿設した透孔１６，１８により導電チューブ１０内にはメッキ液および洗浄液が十分に流れ、その内周壁に適正な導電薄膜のメッキが施される。そして、本発明のスプリングコンタクトプローブが組み立てられた後は、閉塞部材２０により透孔１６，１８は実質的に閉塞され、透孔１６，１８を介して導電チューブ１０内のプランジャー１４が摺接する部分に塵埃等が侵入することがない。もって、塵埃等による接触抵抗の増大および摺動抵抗の増大、さらには耐久性が損なわれる等の不具合を生じない。この結果、透孔１６，１８を穿設したことによる不具合は生ずることがなく、導電薄膜のメッキを適正になし得るために接触抵抗が小さな値で安定する。
【００１２】
図２は、本発明の第２実施例である。図２（ａ）は、本発明のスプリングコンタクトプローブの第２実施例の縦断面部分図であり、図２（ｂ）は、円柱形状の閉塞部材の外観斜視図である。
【００１３】
図２の第２実施例で、図１の第１実施例と相違するところは、導電チューブ１０の閉塞端側に挿入されて、内周壁に嵌合当接して外形が円柱形状の閉塞部材２２が配設されたことにある。この円柱形状の閉塞部材２２により、透孔１６，１８側と導電チューブ１０内の閉塞部材２２よりプランジャー１４側の部分との連通が遮断される。
【００１４】
第２実施例の構造は、閉塞部材２２の形状が極めて簡単であり、部品製造が導電チューブ１０の内径が細くなっても比較的に容易である。そして、第１実施例と同様の作用効果が得られる。
【００１５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明のスプリングコンタクトプローブは構成されているので、以下のごとき格別な作用効果を奏する。
【００１６】
請求項１記載のスプリングコンタクトプローブにあっては、導電チューブの閉塞端側の透孔により、導電チューブの内周壁に導電薄膜のメッキが適正になされる。そして、組み立て後は、導電チューブの内周壁に嵌合当接する閉塞部材により透孔と導電チューブ内のプランジャーが配設された側の連通が遮断されるので、透孔が実質的に閉塞され、透孔を介して導電チューブ内のプランジャーが配設された側に塵埃等が侵入する虞がなく、接触抵抗や摺動抵抗の増大および耐久性が損なわれる虞がない。この結果、接触抵抗特性等の安定したスプリングコンタクトプローブを提供し得る。
【００１７】
請求項２記載のスプリングコンタクトプローブにあっては、閉塞部材をカップ形状とするので、閉塞部材を軽量に構成でき、またカップ内にスプリングの一端部を挿入することで、スプリングの一端部の位置が安定する。
【００１８】
請求項３記載のスプリングコンタクトプローブにあっては、閉塞部材を円柱形状とするので、構造が簡単で部品製造が容易である。特に、導電チューブの内径が細くなるほど、製造の容易性が著しい。
【図面の簡単な説明】
【図１】  （ａ）は、本発明のスプリングコンタクトプローブの第１実施例の縦断面図であり、（ｂ）は、カップ形状の閉塞部材の外観斜視図である。
【図２】  （ａ）は、本発明のスプリングコンタクトプローブの第２実施例の縦断面部分図であり、（ｂ）は、円柱形状の閉塞部材の外観斜視図である。
【図３】  従来のスプリングコンタクトプローブの一例の縦断面図である。
【符号の説明】
１０  導電チューブ
１２  スプリング
１４  プランジャー
１４ａ  太径部
１４ｂ  当接部
１６，１８  透孔
２０，２２  閉塞部材
【図１】
0004149196.tif 000002
【図２】
0004149196.tif 000003
【図３】
0004149196.tif 000004