(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基端がテスト圧源に接続される共通エア通路と、この共通エア通路から分岐する第１，第２の分岐エア通路と、これら第１，第２の分岐エア通路にそれぞれ設けられた開閉弁と、これら第１，第２の分岐エア通路において上記開閉弁より先端側の通路部分間の差圧を検出する差圧センサとを備え、上記第１，第２分岐エア通路に、マスタ部品，ワークをそれぞれ接続するか、マスタ部品を収容するマスタ用収容空間，ワークを収容するワーク用収容空間をそれぞれ接続し、上記テスト圧源からテスト圧を付与して上記開閉弁を閉じ、この状態で上記差圧センサで検出される差圧に基づいてワークの漏れを検出するエアリークテスト装置において、
隣合う第１，第２のブロックを備え、これら第１，第２ブロックには、上記第１，第２分岐エア通路がそれぞれ形成されるとともに、これら第１，第２分岐エア通路を開閉する開閉弁がそれぞれ装着されており、
さらに、上記第１，第２ブロックの互いに対峙する面には、第１，第２分岐エア通路の上記先端側通路部分にそれぞれ連なる接続穴が開口しており、
上記差圧センサは、上記第１，第２のブロックの対峙面間に挟まれて配置されており、この差圧センサの２つの圧力導入ポートが上記第１，第２のブロックの接続穴にそれぞれ連なっていることを特徴とするエアリークテスト装置。
【請求項２】
上記差圧センサが、上記圧力導入ポートが開口する一対の凸部を有し、これら凸部が上記第１，第２ブロックの接続穴に挿入されていることを特徴とする請求項１に記載のエアリークテスト装置。
【請求項３】
さらに、第３のブロックを備え、この第３ブロックの一つの面には、上記第１，第２ブロックが並んで固定されており、この第３ブロックには、上記第１，第２分岐エア通路の先端側通路部分の延長部をなす直線状の貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のエアリークテスト装置。
【請求項４】
上記第３ブロックには更に上記共通エア通路が形成され、この共通エア通路は、上記第１，第２分岐通路の先端側通路部分の延長部と交わらずに第１，第２ブロックの第１，第２分岐通路に連なることを特徴とする請求項３に記載のエアリークテスト装置。
【請求項５】
上記開閉弁は、上記第１，第２ブロックにおいて上記対峙面と直交する面に装着され、
上記第１，第２ブロックには、上記接続穴から上記対峙面と直交して直線的に延びる第１孔と、この第１孔と直交して直線的に延び上記第３ブロックの貫通孔に連なる第２孔と、第１孔と直交して直線的に延び、上記開閉弁を装着した面に開口して、この開閉弁により開閉される第３孔とが形成され、これら第１，第２，第３孔により、上記分岐エア通路の先端側通路部分が構成されていることを特徴とする請求項３または４に記載のエアリークテスト装置。
【請求項６】
上記第１，第２ブロックには、上記開閉弁の装着面に開閉弁と並んでタンクが装着されるとともに、このタンク内に補助開閉弁が収容され、
さらに上記第１，第２ブロックには、上記第１孔と直交して直線的に延び、上記タンクを装着した面に開口して上記補助開閉弁により開閉される第４孔が形成されていることを特徴とする請求項５に記載のエアリークテスト装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークの微小の洩れを検出するためのエアリークテスト装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、小型電子部品等のような小さな中空部品や密封容器等のワークの洩れを検出するためのエアリークテスト装置は、基端がテスト圧源に接続される共通エア通路と、この共通エア通路の先端から分岐する第１、第２の分岐エア通路とを備えている。第１、第２の分岐エア通路の先端は、上記マスタ用収容空間とワーク用収容空間にそれぞれ接続されている。各分岐エア通路には開閉弁（開閉弁）が設けられている。第１、第２の分岐エア通路において開閉弁より先端側の通路部分間には、差圧センサが接続されている。
【０００３】
上記エアリークテスト装置にあっては、テスト時に、マスタ用収容空間とワーク用収容空間にそれぞれマスタ部品と検査対象のワークをそれぞれ収容し、テスト圧源からマスタ用収容空間とワーク用収容空間にテスト圧を供給する。この後、一対の開閉弁を閉じることにより、マスタ側の系とワーク側の系とをテスト圧でそれぞれ閉鎖し、この状態で、差圧センサからの検出差圧に基づいてワークの洩れの有無を判定する。
【０００４】
従来では、上記共通エア通路、第１，第２の分岐エア通路は殆どが管で構成されて、上記開閉弁、差圧センサ、マスタ用，ワーク用の収容空間に接続されているため、高精度の漏れ検出ができなかった。その理由を詳述する。
第１，第２の分岐エア通路は、開閉弁より先端側の通路部分が閉鎖系を構成するが、これらが管により形成されていると閉鎖系の容積が大きくなる。そのため、ワークの洩れに対して発生する差圧が小さくなり、小さな洩れを発見することが困難になる。また、管は曲げ加工を容易にするために比較的柔らかい材料で形成されているため、テスト圧が付与された時に管の弾性変形により閉鎖系の容積が変化する可能性があり、この点からも検出精度の向上に限界があった。
【０００５】
そこで、特開平１０−６２２９６号公報に開示されたエアリークテスト装置では、分岐エア通路を全長にわたってブロックに形成することにより、閉鎖系となる分岐エア通路の容積を減少させ、その変動をも無くすようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記公報のエアリークテスト装置では、１つのブロックに第１，第２の分岐エア通路を形成し、その一面例えば上面に差圧センサ、一対の開閉弁等を装着している。しかし、この構成では、差圧センサの２つの入力ポートは、差圧センサの１つの面に開口して、上記ブロックの第１，第２分岐エア通路に連なるようになっているため、差圧センサが大型となり、これら入力ポートの形状が複雑でその容積が大きかった。
また、上記１つのブロックに２つの独立した分岐エア通路が形成されるため、これら分岐エア通路に接続される開閉弁同士の干渉を避けつつ分岐エア通路の対称性を維持する必要があり、その結果、これら分岐エア通路が長くなり、その容積が大きかった。
したがって、閉鎖系の容積をより一層減少させて高精度の漏れ検出を行いたいとの要求に、十分答えられなかった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の態様は、基端がテスト圧源に接続される共通エア通路と、この共通エア通路から分岐する第１，第２の分岐エア通路と、これら第１，第２の分岐エア通路にそれぞれ設けられた開閉弁と、これら第１，第２の分岐エア通路において上記開閉弁より先端側の通路部分間の差圧を検出する差圧センサとを備え、上記第１，第２分岐エア通路に、マスタ部品，ワークをそれぞれ接続するか、マスタ部品を収容するマスタ用収容空間，ワークを収容するワーク用収容空間をそれぞれ接続し、上記テスト圧源からテスト圧を付与して上記開閉弁を閉じ、この状態で上記差圧センサで検出される差圧に基づいてワークの漏れを検出するエアリークテスト装置において、
隣合う第１，第２のブロックを備え、これら第１，第２ブロックには、上記第１，第２分岐エア通路がそれぞれ形成されるとともに、これら第１，第２分岐エア通路を開閉する開閉弁がそれぞれ装着されており、
さらに、上記第１，第２ブロックの互いに対峙する面には、第１，第２分岐エア通路の上記先端側通路部分にそれぞれ連なる接続穴が開口しており、
上記差圧センサは、上記第１，第２のブロックの対峙面間に挟まれて配置されており、この差圧センサの２つの圧力導入ポートが上記第１，第２のブロックの接続穴にそれぞれ連なっていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の第２の態様は、第１態様のエアリークテスト装置において、上記差圧センサが、上記圧力導入ポートが開口する一対の凸部を有し、これら凸部が上記第１，第２ブロックの接続穴に挿入されていることを特徴とする。
本発明の第３の態様は、第１,第２態様のエアリークテスト装置において、さらに、第３のブロックを備え、この第３ブロックの一つの面には、上記第１，第２ブロックが並んで固定されており、この第３ブロックには、上記第１，第２分岐エア通路の先端側通路部分の延長部をなす直線状の貫通孔が形成されていることを特徴とする。
本発明の第４の態様は、第３態様のエアリークテスト装置において、上記第３ブロックには更に上記共通エア通路が形成され、この共通エア通路は、上記第１，第２分岐通路の先端側通路部分の延長部と交わらずに第１，第２ブロックの第１，第２分岐通路に連なることを特徴とする。
【０００９】
本発明の第５態様は、第３,第４態様のエアリークテスト装置において、上記開閉弁は、上記第１，第２ブロックにおいて上記対峙面と直交する面に装着され、
上記第１，第２ブロックには、上記接続穴から上記対峙面と直交して直線的に延びる第１孔と、この第１孔と直交して直線的に延び上記第３ブロックの貫通孔に連なる第２孔と、第１孔と直交して直線的に延び、上記開閉弁を装着した面に開口して、この開閉弁により開閉される第３孔とが形成され、これら第１，第２，第３孔により、上記分岐エア通路の先端側通路部分が構成されていることを特徴とする。
本発明の第６態様のエアリークテスト装置において、上記第１，第２ブロックには、上記開閉弁の装着面に開閉弁と並んでタンクが装着されるとともに、このタンク内に補助開閉弁が収容され、
さらに上記第１，第２ブロックには、上記第１孔と直交して直線的に延び、上記タンクを装着した面に開口して上記補助開閉弁により開閉される第４孔が形成されていることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１の実施形態を図１〜図４に基づいて説明する。まず、エアリークテスト装置の概要について、図１の回路図を用いて説明する。
このエアリークテスト装置は、エア通路１を備えている。エア通路１は、共通エア通路１ｘと、その下流端（先端）から分岐した第１、第２の分岐エア通路１ａ、１ｂを有している。共通エア通路１ｘの上流端（基端）には圧縮空気圧源２（テスト圧源）が接続されている。共通エア通路１ｘには、上流側から順にレギュレータ３、三方電磁弁４が設けられている。この三方電磁弁４は、一対の分岐エア通路１ａ、１ｂと圧縮空気源２とを連通させるテスト圧供給位置と、一対の分岐エア通路１ａ、１ｂを圧縮空気圧源２から遮断して大気に開放させる大気開放位置のいずれかを選択するものであり、オフ状態では大気開放位置にある。
【００１１】
分岐エア通路１ａ，１ｂの中途部にはそれぞれ常開の空圧駆動式の開閉弁５ａ、５ｂが設けられている。以下、分岐エア通路１ａ，１ｂにおいて、この開閉弁５ａ，５ｂと上流端の間を上流側通路部分１ａ’，１ｂ’（基端側通路部分）と称し、開閉弁５ａ，５ｂと下流端との間を下流側通路部分１ａ”，１ｂ”（先端側通路部分）と称す。
【００１２】
上記分岐エア通路１ａ、１ｂの下流側通路部分１ａ”，１ｂ”の中途部には、圧力導入通路１ｃ，１ｄを介して差圧センサ６の一対の入力ポート６ａ，６ｂがそれぞれ接続されている。この差圧センサ６は、内部にダイヤフラムを有し、一対の入力ポート６ａ，６ｂの圧力差に応じたダイヤフラムの変形を電圧に変換して出力する。
さらに、分岐エア通路１ａ、１ｂの下流側通路部分１ａ”，１ｂ”の中途部には、連絡通路１ｅ，１ｆ、補助開閉弁８ａ，８ｂを介して、同一容積のタンク７ａ，７ｂがそれぞれ接続されている。
【００１３】
上記第１の分岐エア通路１ａの下流端には、マスタ部品Ｍを収容するためのマスタ用収容空間９ａが接続され、第２の分岐エア通路１ｂの下流端には、検査対象のワークＷ（例えば精密電子部品等）を収容するためのワーク用収容空間９ｂが接続される。なお、マスタ部品Ｍは、例えばワークＷと同一部品であり、漏れが生じないことが確認されているものである。
【００１４】
さらに、エアリークテスト装置は、制御部１０を有している。この制御部１０は、マイクロコンピュータ、メモリ、入出力インターフェイス、駆動手段等（いずれも図示せず）を含むものである。制御部１０には、差圧センサ６からの検出信号が入力される。この制御部１０は、三方電磁弁４、開閉弁５ａ、５ｂ、補助開閉弁８ａ，８ｂ、表示器１１、合格ランプ１２、不合格ランプ１３の制御等を行う機能を有している。
【００１５】
上記構成のエアリークテスト装置により、ワークの漏れテストを行う場合は、まず、マスタ用品ＭとワークＷとをそれぞれの収容空間９ａ，９ｂに収容して、これら収容空間９ａ，９ｂを密封状態にする。
次に、三方電磁弁４をオンして、テスト圧を分岐エア通路１ａ，１ｂを介してマスタ用収容空間９ａとワーク用収容空間９ｂに供給する。
次に開閉弁５ａ、５ｂを閉じることにより、第１分岐エア通路１ａの下流側通路部分１ａ”とマスタ用収容空間９ａとを含む系をテスト圧で閉鎖するとともに、第２分岐エア通路１ｂの下流側通路部分１ｂ”とワーク用収容空間９ｂを含む系もテスト圧で閉鎖する。
【００１６】
ワーク用収容空間９ｂに収容したワークＷに傷が無い場合には、ワークＷ内に加圧空気が入り込まず、ワーク側の閉鎖系の圧力は、マスタ側の閉鎖系の圧力と変わらないので、所定時間経過後の検出差圧はゼロであり、制御部１０は、この差圧ゼロに基づき大気圧換算漏れ量をゼロと演算する。
ワークＷに微小の傷がある場合は、ワークＷの内部に加圧空気が侵入するので、その分だけワーク側閉鎖系の圧力が低下し、それに伴い差圧センサ６で漏れに応じた差圧が検出される。制御部１０は、この差圧に対応する大気圧換算の洩れ量を演算する。
制御部１０は、上記のように演算された大気圧換算漏れ量を表示器１１に表示させると共に、閾値と比較して洩れ判定を行う。洩れ量が閾値より小さいときには、ワークＷを微小洩れ無しと判定し、閾値より大きい時には微小漏れ有りと判定する。
【００１７】
次に、タンク７ａ，７ｂの補助開閉弁８ａ，８ｂを開いて、マスタ側閉鎖系とワーク側閉鎖系の圧力を、大気圧状態にあるタンク７ａ，７ｂの内部空間へ逃がす（疑似漏れ）。その後で、再度差圧センサ６で差圧を検出する。この検出差圧を上記とは異なる閾値と比較し、大漏れの有無を判定する。
【００１８】
なお、上記大漏れ判定の原理は次の通りである。ワークＷに大きな傷がある場合には、テスト圧付与時にワークＷの内部に加圧空気が一気に入り込み、ワークＷの内部がテスト圧となってしまう。その後、開閉弁５ａ，５ｂを閉じて、差圧を検出しても、この差圧は実質的にゼロであり、微小漏れ無しと判断してしまう。そのため、上記のように、マスタ側閉鎖系とワーク側閉鎖系に等量の疑似漏れを発生させるのである。ワークＷ内部が大漏れによってテスト圧になっているとワーク側閉鎖系の圧力は疑似漏れ後に予期していたよりも高くなる。換言すれば、大洩れがある場合は、マスタ側とワーク側の閉鎖系の容積にワークＷの内容積相当分の差が出る。このテスト圧状態での容積の差が、上記疑似漏れにより、差圧となって現れるので、大洩れの有無を判定できるのである。
【００１９】
微小洩れ発生もなく大洩れ発生もないと判定したワークＷについては、良品であるとして対応する合格ランプ１２を点灯させ、微小洩れあるいは大洩れのある場合は、ワークＷが不良である判定し、対応する不合格ランプ１３を点灯させる。
次に、制御部１０は、三方電磁弁４を大気解放位置にし、開閉弁５ａ、５ｂを開くことにより、マスタ用収容空間９ａとワーク用収容空間９ｂを大気開放し、その後、タンク７ａ，７ｂの補助開閉弁８ａ，８ｂを閉じる。
【００２０】
次に、図２〜図４を参照しながら、上記エアリークテスト装置の具体的構造について説明する。このエアリークテスト装置は、複数例えば５つのワークを同時に検査することができるようになっている。なお、図２〜図４では、共通エア通路１ｘの大部分と、圧縮空気圧源２，レギュレータ３，三方電磁弁４について、図示を省略している。
【００２１】
図２に示すように、エアリークテスト装置は、水平なテーブル１５を備えている。このテーブル１５には、四角形の穴１５ａが形成されており、この穴１５ａに、左右に細長い直方体形状のベースブロック２０（第３ブロック）が、紙面と直交する方向に複数例えば５つ並んで挿入されている。
このベースブロック２０は、水平に張り出すフランジ２１を有しており、このフランジ２１が上記テーブル１５の上面に固定されている。各ベースブロック２０の水平をなす平坦な下面には、左右に細長い直方体形状の受けブロック２５が固定されている。この受けブロック２５の下面は、水平をなす平坦な合わせ面２５ｘとして提供されている。
【００２２】
各受けブロック２５の下方には、昇降台３０が配置されている。この昇降台３０は、図示しない駆動機構により昇降するようになっている。昇降台３０の上面にはマスタ用カプセル３５Ａとワーク用カプセル３５Ｂが左右に離れて設けられている。カプセル３５Ａ，３５Ｂの上面は同一高さをなし、水平をなす平坦な合わせ面３５ｘとして提供される。この合わせ面３５ｘが昇降台３０の上昇位置で受けブロック２５の合わせ面２５ｘに接するようになっている。
上記カプセル３５Ａ，３５Ｂの合わせ面３５ｘの中央には、マスタ用収容空間９ａを構成する凹部とワーク用収容空間９ｂを構成する同容積の凹部が、それぞれ形成されている。
【００２３】
各ベースブロック２０の水平をなす平坦な上面には、左右に並んで対をなす同形状のマスタ用ブロック４０Ａ（第１ブロック）とワーク用ブロック４０Ｂ（第２ブロック）が取り付けられている。
【００２４】
上記ブロック４０Ａ，４０Ｂの上面には、非磁性材料からなるマスタ用弁ブロック５０Ａとワーク用弁ブロック５０Ｂがそれぞれ固定されている。弁ブロック５０Ａは、図１のマスタ側の開閉弁５ａとタンク７ａと補助開閉弁８ａとを内蔵しており、弁ブロック５０Ｂは、ワーク側の開閉弁５ｂとタンク７ｂと補助開閉弁８ｂとを内蔵している。
弁ブロック５０Ｂの側面には、差圧センサ６の出力信号を増幅するアンプ６０が固定されている。
【００２５】
次に、上記ブロック２０，２５，４０Ａ，４０Ｂの通路構造について特に図３を参照しながら詳述する。各受けブロック２５には、直線状をなす同径，同容積の２つの垂直貫通孔２５ａ，２５ｂが左右に離れて形成されており、各ベースブロック２０には、これら貫通孔２５ａ，２５ｂに気密に連通する同径，同容積の垂直貫通孔２０ａ，２０ｂが形成されている。上記貫通孔２０ａ，２５ａは、前述した第１分岐エア通路１ａの下流側通路部分１ａ”の延長部として提供され、上記貫通孔２０ｂ，２５ｂは、前述した第２分岐エア通路１ｂの下流側通路部分１ｂ”の延長部として提供される。
【００２６】
上記受けブロック２５の合わせ面２５ｘには、上記貫通孔２５ａ，２５ｂの下端開口を囲むようにして、環状の溝が形成されており、この溝にシールリング２７がそれぞれ嵌め込まれている。
上記昇降台３０が上昇してカプセル３５Ａ，３５Ｂの合わせ面３５ｘが受けプレート２５の合わせ面２５ｘに接した時に、上記カプセル３５Ａ，３５Ｂの収容空間９ａ，９ｂが上記シールリング２７で密閉され、受けブロック２５の垂直貫通孔２０ａ，２０ｂと連通する。
【００２７】
ベースブロック２０には、さらに水平に直線的に延びる径の大きな水平孔２２が形成されている。この水平孔２２は、前述した共通エア通路１ｘの下流側部分を構成している。この水平孔２２は、右端が栓で閉塞され左端が継手２３（図２参照）を介して共通エア通路１ｘのパイプに接続されている。この共通エア通路１ｘからは、２つの短い垂直孔２４が上方に延びてベースブロック２０の上面に開口している。これら水平孔２２,垂直孔２４は、上述の貫通孔２０ａ，２０ｂと交わらないのは勿論である。
【００２８】
上記ブロック４０Ａ，４０Ｂは、対峙面４１を有している。これら対峙面４１間に前述した差圧センサ６が挟まれている。この差圧センサ６の両面には上記入力ポート６ａ，６ｂ（図１参照）が開口する凸部６ｘが形成されており、これら凸部６ｘは、上記対峙面４１に開口する接続穴４２に気密に挿入されている。
【００２９】
上記ブロック４０Ａ，４０Ｂには、前述した第１，第２の分岐エア通路１ａ，１ｂが形成されている。これら分岐エア通路１ａ，１ｂは、ドリルで穿たれて直線的に延びる複数の孔からなる。
詳述すると、マスタ用ブロック４０Ａには、上記接続穴４２から水平にかつ対峙面４１と直交して延びる水平孔４３（第１孔）が形成されている。この水平孔４３の他端はブロック４０Ａの側面に開口してダミーブロック６１で塞がれている。この水平孔４３の中間部から垂直孔４４（第２孔）が下方に延びてブロック４０Ａの下面に開口し、上述したベースブロック２０の貫通孔２０ａに連なっている。
【００３０】
上記ブロック４０Ａの上面には、左右に離れて前述した開閉弁５ａ,補助開閉弁８ａのための弁座４５、４５’が形成されている。弁座４５は対峙面４１に近接して配置され、弁座４５’は対峙面４１から離れて配置されている。これら弁座４５，４５’には、上記水平孔４３から上方に延びる垂直孔４６（第３孔），垂直孔４６’（第４孔）の上端が開口している。上記水平孔４３，垂直孔４４，４６は、前述した分岐エア通路１ａの下流側通路部分１ａ”として提供される。また、垂直孔４６’は、前述したタンク７ａへの連絡通路１ｅとして提供される。
【００３１】
さらにブロック４０Ａには、その下面に開口する垂直孔４７とその上端に連なる水平孔４８とが形成されている。垂直孔４７は、ベースブロック２０の垂直孔２４を介して水平孔２２（共通エア通路１ｘ）に連なっている。水平孔４８は、対峙面４１に開口し栓で塞がれている。さらに、図４に示すように、水平孔４８から上方に延びる垂直孔４９が形成されており、この垂直孔４９は、上記弁座４５の近傍においてブロック４０Ａの上面に開口している。上記垂直孔４７，４９と水平孔４８とで、第１分岐エア通路１ａの上流側部分１ａ’が構成されている。
【００３２】
ワーク用ブロック４０Ｂもマスタ用ブロック４０Ａと同じ通路構造をなしているので、図中同番号を付してその詳細な説明を省略する。異なるのは、水平孔４３がブロック４０Ａを貫通せず、その代わりに垂直孔４６’に連なる短い水平孔４３’を有している点である。この水平孔４３’には、差圧センサ６の診断のために、必要に応じて擬似漏れを行う容積変更器６５（図２参照）が接続されるが通常はこの水平孔４３’は、ダミーブロック６６で塞がれている。
【００３３】
上記ワーク用ブロック４０Ｂにおいて、上記水平孔４３，垂直孔４４，４６は、前述した第２分岐エア通路１ｂの下流側通路部分１ｂ”として提供される。また、垂直孔４６’は、前述したタンク７ｂへの連絡通路１ｆとして提供される。垂直孔４７，４９と水平孔４８とで、第２分岐エア通路１ｂの上流側部分１ｂ’が構成されている。なお、ブロック４０Ａ，４０Ｂにおいて、上流側通路部分１ａ’，１ｂ’は同容積を有し、下流側通路部分１ａ”，１ｂ”も同容積を有している。
【００３４】
次に、弁ブロック５０Ａ、５０Ｂの内部構造について、図３を参照しながら説明する。マスタ側の弁ブロック５０Ａは、その左右部に、隔壁５１で仕切られた下部室５２と上部室５３とを有している。右側の下部室５２には、上記第１分岐エア通路１ａの下流側の垂直孔４６と上流側の垂直孔４９が臨んでおり、上記開閉弁５ａの弁体５４が上下方向にスライド可能に収容されている。左側の下部室５２は、前述したタンク７ａとして提供され、上記補助開閉弁８ａの弁体５４がスライド可能に収容されている。左右の上部室５３にはアーマチャ５５が上下方向にスライド可能に収容されおり、その上端の入力ポート５６は、圧縮エア源に電磁弁（図示しない）を介して連なっている。この電磁弁は上記制御部１０で制御される。
【００３５】
上記弁体５４はコイルスプリングによって弁座４５，４５’から離れる方向に付勢されて開き位置にあり、上記入力ポート５６からの圧縮エアが付与された時にアーマチャ５５が下方に移動し、アーマチャ５５と弁体５４とに設けられた磁石の反発力によって弁体５４を下方に移動させて、弁座４５，４５’に着座させ、閉じ位置にするようになっている。
【００３６】
ワーク用弁ブロック５０Ｂもマスタ用弁ブロック５０Ａと対称形をなしており、右側の下部室５２が、前述したタンク７ｂとして提供される。左側の弁体５４は開閉弁５ｂに属するものであり、右側の弁体５４は、補助開閉弁８ｂに属するものである。
【００３７】
上記説明から明らかなように、図１において、想像線Ｓで囲った範囲のエア通路が、ブロック２０，２５，４０Ａ，４０Ｂに穿設されている。図１では１つの回路Ｓだけが示されているが、共通エア通路１ｘは、３方電磁弁４の下流側で分岐して、５つの回路Ｓに接続されるようになっている。
【００３８】
上記構成のエアリークテスト装置により、ワークの漏れテストを行う場合は、予め５つのカプセル３５Ａの凹部９ａにそれぞれマスタ部品Ｍを収容しておく。そして、検査対象となる５つのワークＷを、５つのカプセル３５Ｂの凹部９ｂに収容して前述したようにリークテストを行う。
【００３９】
上記エアリークテスト装置では、分岐エア通路１ａ，１ｂを先端側の延長部を含めて全てブロック２０，２５，４０Ａ，４０Ｂに形成し、パイプを用いないので、この分岐エア通路１ａ，１ｂの容積を小さくでき、特に、下流側通路部分１ａ”，１ｂ”すなわち閉鎖系の容積を減少させることができる。また、穿設された孔はテスト圧付与により断面積が変化することがないから、テスト圧による閉鎖系の容積変化をなくすことができる。さらに、通路の接続のための部材を必要とせず、ここでの漏れの可能性を無くすことができる。その結果、差圧による洩れ検知の感度を高めることができ、精密小型部品等の微小洩れを高い信頼性で安定して検出することが可能となる。
【００４０】
さらに本実施形態では、ブロック４０Ａ，４０Ｂ間に差圧センサ６が挟まれる構成となっており、この差圧センサ６は、両面に入力ポート６ａ，６ｂを配置させ、この入力ポート６ａ，６ｂが中央のダイヤフラム６ｃ（図３参照）に向かって直角に直線状に形成されるので、差圧センサ６を小型にできるとともに、入力ポート６ａ，６ｂの構造を簡単かつ短くすることができる。その結果、上記閉鎖系の容積減少に寄与し、より高精度の漏れ検出を行うことができる。
しかも、上記のように第１,第２の分岐エア通路１ａ，１ｂがそれぞれ別のブロック４０Ａ，４０Ｂに形成されているから、その通路構造を簡単かつ短くすることができ、この点も上記閉鎖系の容積減少に寄与することができる。
【００４１】
また、差圧センサ６の凸部６ｘをブロック４Ａ．４Ｂの対峙面４１に形成した接続穴４２に挿入するので、差圧センサ６の入力ポート６ａ，６ｂと分岐エア通路１ａ，１ｂとを気密性良く連通させることができるとともに、差圧センサ６の支持も確実なものとなる。
【００４２】
分岐エア通路１ａ，１ｂを形成したブロック４０Ａ，４０Ｂは、共通のベースブロック２０に固定されているから、安定した支持がなされる。また、このベースブロック２０に共通エア通路１ｘを形成して、ブロック４０Ａ，４０Ｂの分岐エア通路１ａ，１ｂに連ねたので、回路構成を簡単にすることができる。
【００４３】
上記ブロック４０Ａ，４０Ｂにおいて、上記差圧センサ６が対峙面４１に配置され、上記開閉弁５ａ，５ｂと対峙面４１と交差する上面に配置されているので、比較的短い複数の孔４３，４４，４６により、分岐エア通路１ａ，１ｂの下流側通路部分１ａ”，１ｂ”を構成することができる。そのため、これら孔４３，４４，４５を細いドリルで形成することができ、この点も閉鎖系の容積減少に寄与することができる。
【００４４】
上記実施形態では、ブロック４０Ａ，４０Ｂにおいて、垂直孔４４は、水平孔４３の任意の位置に接続可能であり、そのため、この垂直孔４４に対応する貫通孔２０ａ，２５ａおよび貫通孔２０ｂ，２５ｂの位置を広い範囲にわたって任意に選択でき、ひいてはカプセル３５Ａ，３５Ｂの位置を広い範囲にわたって任意に選択できる。
【００４５】
図５は本発明の第２の実施形態を示す。この実施形態では、受けブロック２５の２つのシールリング２７にマスタ部品（図示しない）とワークＷが直接当たるようにして接続されている。本実施例では、ワークＷは電磁弁であり、この電磁弁の弁Ｗａがスプリング（図示しない）により弁座に当たった状態で、その弁口Ｗｂのシール性が検査される。上記ワ−クＷは、図示しないガイド機構や、押圧シリンダ７０（押圧機構）からなる装着手段により、受けブロック２５に押し当てられ、弁口Ｗｂを構成する非常に小さな空間が貫通孔２５ｂの開口に連なる。なお、マスタ部品は、常時シールリング２７に当たって貫通孔２５ａに連通しているが、ここでは図示しない。
【００４６】
上記受けプレート２５は、傷ついた時に容易に交換できるように用いているが、省いてもよい。その場合には、ベースブロック２０にカプセル３５Ａ，３５Ｂが当てられたり、ワーク，マスタ部品が直接当てられることになる。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の第１の態様によれば、分岐エア通路１ａ，１ｂをブロックに形成し、パイプを用いないので、この分岐エア通路の容積を小さくでき、特に、先端側通路部分すなわち閉鎖系の容積を減少させることができる。また、穿設された孔はテスト圧付与により断面積が変化することがないから、テスト圧による閉鎖系の容積変化をなくすことができる。その結果、差圧による洩れ検知の感度を高めることができ、精密小型部品等の微小洩れを高い信頼性で安定して検出することが可能となる。
しかも、第１,第２の分岐エア通路がそれぞれ第１，第２ブロックに別々に形成されているから、その通路構造を簡単かつ短くすることができ、上記閉鎖系の容積減少に寄与し、より高精度の漏れ検出を行うことができる。
また、第１，第２ブロック間に差圧センサが挟まれる構成となっているので、差圧センサを小型にできるとともに、この差圧センサの入力ポートの構造を簡単かつ短くすることができる。その結果、上記閉鎖系の容積減少に寄与し、より高精度の漏れ検出を行うことができる。
【００４８】
本発明の第２の態様によれば、差圧センサの凸部をブロックの対峙面に形成した接続穴に挿入するので、差圧センサの入力ポートと分岐エア通路とを気密性良く連通させることができるとともに、差圧センサの支持も確実なものとなる。
本発明の第３の態様によれば、分岐エア通路を形成した第１，第２のブロックは、共通の第３ブロックに固定されているから、安定した支持がなされる。
本発明の第４の態様によれば、第３ブロックに共通エア通路を形成して、ブロックの分岐エア通路に連ねたので、回路構成を簡単にすることができる。
【００４９】
本発明の第５の態様によれば、上記第１，第２ブロックにおいて、上記差圧センサが対峙面に配置され、上記開閉弁と対峙面と交差する面に配置されているので、比較的短い複数の直線孔により、分岐エア通路の下流側通路部分を構成することができる。そのため、これら孔を細くして上記閉鎖系の容積減少に寄与することができる。
本発明の第６の態様によれば、タンクを用いても、このタンクの装着箇所およびこのタンクと分岐エア通路を接続する通路の形成に工夫を加えることにより、上記閉鎖系の容積を著しく増大させずに済む。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係わるエアリークテスト装置の回路図である。
【図２】同エアリークテスト装置を一部断面にして示す正面図である。
【図３】同エアリークテスト装置の拡大縦断面図である。
【図４】図３においてＩＶ−ＩＶ線に沿う要部断面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係わるエアリークテスト装置の要部の断面図である。
【符号の説明】
Ｍ  マスタ部品
Ｗ  ワーク
１ｘ  共通エア通路
１ａ  第１分岐エア通路
１ｂ  第２分岐エア通路
１ａ’，１ｂ’  上流側通路部分（基端側通路部分）
１ａ”，１ｂ”  下流側通路部分（先端側通路部分）
２  圧縮空気源（テスト圧源）
５ａ，５ｂ  開閉弁（開閉弁）
６  差圧センサ（圧力センサ）
６ａ，６ｂ  入力ポート
６ｘ  凸部
７ａ，７ｂ  タンク
８ａ，８ｂ  補助開閉弁
９ａ  マスタ用収容空間
９ｂ  ワーク用収容空間
２０  ベースブロック（第３ブロック）
２０ａ，２０ｂ  貫通孔（先端側通路部分の延長部）
２２  水平孔（共通エア通路）
４０Ａ  マスタ用ブロック（第１ブロック）
４０Ｂ  ワーク用ブロック（第２ブロック）
４１  対峙面
４２  接続穴
４３  水平孔（第１孔）
４４  垂直孔（第２孔）
４６  垂直孔（第３孔）
４６´  垂直孔（第４孔）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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