(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
直流電源と、
ｎ相の各相巻線が２以上の数ｍ個の分割巻線に分割された交流電動機と、
前記交流電動機の各分割巻線に対応して設けられ、交流側が前記分割巻線に個々に接続され、直流側が各相ごとにｍ台の単相インバータを直列にして前記直流電源に接続されたｎｍ台の単相インバータからなり、前記交流電動機の各相ｍ組の分割巻線に、各相ごとに所定の位相差を有し、かつ同一相内のｍ組の分割巻線には同一電流を供給するインバータ群と
を備えた可変速駆動装置。
【請求項２】
請求項１記載の可変速駆動装置において、
前記直流電源は、偶数ｋ個の単位２次巻線を有する変圧器と、この変圧器の各単位２次巻線に個々に接続され、直流出力側を直列に接続したｋ台の整流器とから構成されていることを特徴とする可変速駆動装置。
【請求項３】
請求項１記載の可変速駆動装置において、
前記直流電源は、複数ｐ個の単位２次巻線を有する変圧器と、この変圧器の各単位２次巻線に個々に接続され、直流出力側を並列に接続したｐ台の整流器とから構成されていることを特徴とする可変速駆動装置。
【請求項４】
請求項１記載の可変速駆動装置において、
前記直流電源は、偶数ｋ台の変圧器と、交流入力側が前記ｋ台の変圧器の２次巻線に個々に接続され、直流出力側を直列に接続したｋ台の整流器とから構成されていることを特徴とする可変速駆動装置。
【請求項５】
請求項１記載の可変速駆動装置において、
前記直流電源は、複数ｐ台の変圧器と、これらｐ台の変圧器の２次巻線に個々に接続され、直流出力側を並列に接続したｐ台の整流器とから構成されていることを特徴とする可変速駆動装置。
【請求項６】
請求項１記載の可変速駆動装置において、
前記直流電源は、交流発電機と、この交流発電機の出力端に接続された整流器とから構成されていることを特徴とする可変速駆動装置。
【請求項７】
請求項１記載の可変速駆動装置において、
前記直流電源は、少なくとも偶数ｋ組の出力巻線を有する発電機と、交流入力側を前記発電機のｋ組の出力巻線に個々に接続し、直流出力側を互いに直列に接続したｋ台の整流器とから構成されていることを特徴とする可変速駆動装置。
【請求項８】
請求項１記載の可変速駆動装置において、
前記インバータ群は、前記交流電動機の各相内ｍ個の分割巻線に同一電流が供給されるように同一相ｍ台の単相インバータの対応するスイッチング素子を同一タイミングでオンオフ制御することを特徴とする可変速駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は交流電動機（以下、単に「電動機」という）を駆動する駆動装置に関する。特に本発明は、電源が高圧で、複数のインバータの直流電源端子を直列に接続して高圧電源に接続し、インバータの出力を電動機に給電する方式の可変速駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の高圧インバータ技術においては、複数個の電力用半導体素子（以下、「素子」という）を直列に接続して高電圧のインバータを構成する方式や、比較的低電圧の複数組のインバータを直列に接続して高圧電動機に給電する直列多重方式、中性点クランプ回路方式などの技術が一般的である。
【０００３】
図１１は、素子を直列接続する従来方式のインバータの結線図を示すものである。図１１の電力変換器は、機能的にはブリッジ結線の３相インバータであって、各アームは、スイッチング能力のある複数個（図示の例では３個）直列の電力用半導体素子１（以下、「スイッチング素子」という）と、各スイッチング素子１に逆並列に接続されたダイオード２と、直流入力端に接続されたフィルタコンデンサ３とからなっている。直流電源をＰＮ端子から供給し、交流出力をＵ，Ｖ，Ｗ端子から得る。
【０００４】
スイッチング素子１の電圧耐量には一般に半導体製造技術に起因する製作限界があり、現時点では８ｋＶ程度が上限とされている。これ以上の高耐圧を必要とする用途には、素子を直列に接続して対処することが行われる。図１１には３個のスイッチング素子１を直列接続した例が示されている。直列に接続された３個のスイッチング素子１は同時にオンオフ制御され、スイッチング過渡期を含むいかなる場合でも均等に電圧を分担する必要がある。
【０００５】
一般に、比較的低圧の素子を直列接続することによって高圧インバータを構成する方式では、インバータの構成部品として電圧分担平均化のための分圧抵抗や過電圧防止のためのスナバ回路、電圧アンバランスが発生したときのための強制オン回路などの保護回路が必要となり、その分、周辺部品の数が増える。また部品点数が増加することにより装置全体の信頼性が低下する。このように低圧素子を用いて高圧インバータを構成する場合、装置の複雑化および大形化を招き、結果としてコストの増加を招く。
【０００６】
図１２は、従来の直列多重方式インバータ装置を説明する図である。図１２は高圧３相交流電動４０に制御された交流電力を供給するための電力変換装置を示すものである。図１２の電力変換装置においては、高圧化に対処して、Ｕ，Ｖ，Ｗ各相ごとに２組の単相インバータ１０が設けられ、これら２組の単相インバータ１０は各相ごとに交流出力端子Ａ，Ｂを介して直列接続されて１相分のインバータを構成し、各相インバータの交流出力端子は一端が中性点端子Ｎに接続され、他端が各相交流出力端子Ｕ，Ｖ，Ｗを介して対応する電動機端子に接続されている。各単相インバータ１０に対し１：１の関係で単相または３相の整流器３０が設けられ、整流器３０の直流出力が対応する単相インバータ１０の直流入力端子Ｐ，Ｎに入力される。各整流器３０に対応する形で整流器３０と同数の変圧器４が設けられる。これらの変圧器４の１次端子は交流電源５に接続される。
【０００７】
整流器３０はダイオードによって構成され、インバータ１０はスイッチング素子のほかにダイオードおよびフィルタコンデンサを含んで構成されている（図１１参照）。
【０００８】
一般に、直列多重方式の高圧インバータは多数の変圧器を必要とし、装置の重量増加およびコスト増加を招く。多数の変圧器の１次巻線を共通化した多巻線構造の変圧器を採用することにより、変圧器の台数は１台もしくは数台程度に減少させることが可能であるが、２次巻線数の多い複雑な構造の変圧器となり、重量やコストの増加は避けがたい。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記事情を考慮してなされたものであって、特殊な入力変圧器などが不要で、高耐圧の素子を使ったり、素子を直列接続して周辺部品の増加を招いたりすることなく、比較的安価で信頼性の高い可変速駆動装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、請求項１に係る発明は、直流電源と、ｎ相の各相巻線が２以上の数ｍ個の分割巻線に分割された交流電動機と、交流電動機の各分割巻線に対応して設けられ、交流側が分割巻線に個々に接続され、直流側が各相ごとにｍ台の単相インバータを直列にして直流電源に接続されたｎｍ台の単相インバータからなり、交流電動機の各相ｍ組の分割巻線に、各相ごとに所定の位相差を有し、かつ同一相内のｍ組の分割巻線には同一電流を供給するインバータ群とを備えた可変速駆動装置を構成したものである。
【００１２】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の可変速駆動装置において、直流電源は、偶数ｋ個の単位２次巻線を有する変圧器と、この変圧器の各単位２次巻線に個々に接続され、直流出力側を直列に接続したｋ台の整流器とから構成されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項３に係る発明は、請求項１に記載の可変速駆動装置において、直流電源は、複数ｐ個の単位２次巻線を有する変圧器と、この変圧器の各単位２次巻線に個々に接続され、直流出力側を並列に接続したｐ台の整流器とから構成されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項４に係る発明は、請求項１に記載の可変速駆動装置において、直流電源は、偶数ｋ台の変圧器と、交流入力側がｋ台の変圧器の２次巻線に個々に接続され、直流出力側を直列に接続したｋ台の整流器とから構成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項５に係る発明は、請求項１に記載の可変速駆動装置において、直流電源は、複数ｐ台の変圧器と、これらｐ台の変圧器の２次巻線に個々に接続され、直流出力側を並列に接続したｐ台の整流器とから構成されていることを特徴とする。
【００１６】
請求項６に係る発明は、請求項１に記載の可変速駆動装置において、直流電源は、交流発電機と、この交流発電機の出力端に接続された整流器とから構成されていることを特徴とする。
【００１７】
請求項７に係る発明は、請求項１に記載の可変速駆動装置において、直流電源は、少なくとも偶数ｋ組の出力巻線を有する発電機と、交流入力側を発電機のｋ組の出力巻線に個々に接続し、直流出力側を互いに直列に接続したｋ台の整流器とから構成されていることを特徴とする。
【００１８】
請求項８に係る発明は、請求項１に記載の可変速駆動装置において、インバータ群は、交流電動機の各相内ｍ個の分割巻線に同一電流が供給されるように同一相ｍ台の単相インバータの対応するスイッチング素子を同一タイミングでオンオフ制御することを特徴とする。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２１】
図１は本発明の実施の一形態である可変速駆動装置を説明する図である。なお、図１において、図１１と同一構成要素には同一符号を付している。
【００２２】
３相交流電動機４０は各相の巻線を２以上のｍ個の分割巻線に分割した構成、例えば２分割した構成とする。それぞれの端子符号をＵ相の分割巻線に対してはＵ１，Ｕ２とＵ３，Ｕ４、Ｖ相の分割巻線に対してはＶ１，Ｖ２とＶ３，Ｖ４、Ｗ相の分割巻線に対してはＷ１，Ｗ２とＷ３，Ｗ４と付す。各分割巻線は相互に絶縁されているものとする。
【００２３】
各相２台の単相インバータ１０を一方の直流入力端子Ｎ１と他方の直流入力端子Ｐ２で直列に接続してＵ相単相インバータとする。その一方の単相インバータの交流出力端子をＵ１，Ｕ２とし、他方の単相インバータの交流出力端子をＵ３，Ｕ４とし、それぞれ対応する３相交流電動機４０のＵ相巻線の端子Ｕ１〜Ｕ４に接続する。以下同様に、２台の単相インバータ１０の入力端子Ｐ３，Ｎ３とＰ４，Ｎ４を直列に接続してＶ相インバータとする。一方の単相インバータ出力端子をＶ１とＶ２、他方の単位単相インバータ出力端子をＶ３とＶ４とし、それぞれ対応する３相交流電動機４０のＶ相巻線の端子Ｖ１〜Ｖ４に接続する。また、２台の単相インバータ１０の入力端子Ｐ５，Ｎ５とＰ６，Ｎ６を直列に接続してＷ相単相インバータとする。一方の単相インバータ出力端子をＷ１とＷ２、他方の単相インバータ出力端子をＷ３とＷ４とし、それぞれ対応する３相交流電動機４０のＷ相巻線の端子Ｗ１〜Ｗ４に接続する。Ｕ，Ｖ，Ｗ各相の直流端子Ｐ１とＮ２、Ｐ３とＮ４、Ｐ５とＮ６はそれぞれ直流電源６に接続して直流電力の供給を受ける。
【００２４】
ここで単相インバータ１０の内部構成を、図２を参照して説明する。図２において、ＧＴＯ，ＧＣＴ，ＩＧＢＴ，ＩＥＧＴなどに代表される４個のスイッチング素子１Ｕ，１Ｖ，１Ｘ，１Ｙによって単相ブリッジ回路を構成し、各スイッチング素子に個々にダイオード２Ｕ，２Ｖ，２Ｘ，２Ｙを逆並列に接続してインバータ回路を構成し、その直流入力端子Ｐ，Ｎ間にフィルタコンデンサ３を接続し、さらに交流出力端子Ａ，Ｂを導出することにより電圧形インバータを構成している。この単相インバータ１０は、図示していない制御手段により、単相の出力電圧、電流および周波数を任意に制御することができるものとする。
【００２５】
再び図１を参照して、３相交流電動機４０のＵ相巻線に接続される２台の単相インバータ１０は直流端子Ｎ１，Ｐ２で直列に接続されているため、直流電源６から供給される電流は同一である。両単相インバータは、同一振幅かつ同一位相の電流をＵ相の２つの分割巻線に供給する。以下、同様にＶ相およびＷ相のインバータもそれぞれＶ相巻線およびＷ相巻線の電流を供給する。Ｕ，Ｖ，Ｗ各相の電流基本波は周知のごとく相互に１２０°位相のずれた交流になるよう図示していない制御手段により制御される。
【００２６】
各相ごとに２台の単相インバータが直列接続されているため、出力端子の対地電位は相互に異なっているが、各分割巻線は相互に分離絶縁されており、巻線間および巻線・アース間に必要な耐電圧さえ確保できれば、図示の構成により何ら問題を生ずることはない。また、たとえばＵ相分割巻線Ｕ１−Ｕ２とＵ３−Ｕ４の間で磁束の一部または全部が共有化されるとしても、両分割巻線を流れる電流は位相も振幅も同一となるよう制御されるので、電動機の磁束およびトルクは任意に制御することができる。
【００２７】
以上のように構成することにより比較的安価で信頼性の高い可変速駆動装置を実現することができる。
【００２８】
また、図１の回路構成において、同一相に含まれるｍ台の単相インバータ１０の対応するスイッチング素子１Ｕ，１Ｖ，１Ｘ，１Ｙを互いに同一タイミングでオンオフ制御することにより、各相のｍ個の分割巻線に同一電流が供給されるよう制御することができる。
【００２９】
次に本発明の上記とは異なる他の実施の形態について、図３を参照して説明する。
【００３０】
図３は本発明の第２の実施の形態による可変速駆動装置を示す図である。ここでは、３相交流電動機４０の巻線は図１の場合と同様に各相ごとに２組の分割巻線に分割されている。各相の第１の分割巻線の一端Ｕ２，Ｖ２，Ｗ２を接続線７によって相互に接続して第１の中性点とする。同様に、各相の第２の分割巻線の一端Ｕ４，Ｖ４，Ｗ４を接続線８によって相互接続して第２の中性点とする。これによりＹ結線（スター結線）の第１の単位３相巻線Ｕ１−Ｖ１−Ｗ１と第２の単位３相巻線Ｕ３−Ｖ３−Ｗ３が形成される。これら２組の単位３相巻線は相互に絶縁されている。
【００３１】
電動機４０の巻線構成に対応して、２台の３相インバータ２１，２２が設けられ、第１の３相インバータ２１の直流負端子Ｎ１と第２の３相インバータ２２の直流正端子Ｐ２を相互に接続することによって両３相インバータ２１，２２を直流側で直列接続し、その接続点から中点Ｃを導出する。第１の３相インバータ２１の出力端子Ｕ１，Ｖ１，Ｗ１を３相交流電動機４０の第１の３相巻線端子Ｕ１，Ｖ１，Ｗ１に接続し、同様に第２の３相インバータ２２の出力端子Ｕ３，Ｖ３，Ｗ３を３相交流電動機４０の第２の３相巻線端子Ｕ３，Ｖ３，Ｗ３に接続する。直列接続された両３相インバータ２１，２２の両端子Ｐ１，Ｎ２間に直流電源６から直流電力を供給する。
【００３２】
３相インバータ２１，２２は図４に示すように構成された３相インバータ２０からなっている。図４に示す３相インバータ２０は原理的には図２に示した単相インバータ１０と同様であって、両者は単に相数が異なるだけである。３相インバータ２０は、ブリッジ結線された６個のスイッチング素子１Ｕ，１Ｖ，１Ｗ，１Ｘ，１Ｙ，１Ｚによって３相ブリッジ回路を構成し、各スイッチング素子に個々にダイオード２Ｕ，２Ｖ，２Ｗ，２Ｘ，２Ｙ，２Ｚを逆並列に接続してインバータ回路を構成し、その直流入力端子Ｐ，Ｎ間にフィルタコンデンサ３を接続し、さらに交流出力端子Ｕ，Ｖ，Ｗを導出することにより電圧形インバータを構成している。
【００３３】
以上のように構成された可変速駆動装置は次のように動作する。
【００３４】
２台の３相インバータ２１，２２は直流側で直列に接続されているため、直流電源６から供給される電流は同一である。両３相インバータ２１，２２は、同一振幅・同一位相の交流電流を２組の単位３相巻線に供給する。２台の３相インバータ２１，２２は直列接続されているため、両出力端子の対地電位は異なっているが、電動機４０の両単位３相巻線２１，２２は相互に絶縁されており、両者の巻線間および巻線とアースの間に必要な耐電圧さえ確保できれば、何ら問題を生ずることがない。また、例えばＵ相の第１の分割巻線Ｕ１−Ｕ２と第２の分割巻線Ｕ３−Ｕ４の間で磁束の一部または全部が共有化されるとしても、両分割巻線を流れる電流は位相も振幅も同一となるよう制御されるので、磁束およびトルクは任意に制御することができる。
【００３５】
以上のように構成することにより比較的安価で信頼性の高い可変速駆動装置を実現することができる。
【００３６】
なお、図３の構成において、ｍ台のインバータ内の対応する各相のスイッチング素子１Ｕ，１Ｖ，１Ｗ，１Ｘ，１Ｙ，１Ｚを同一タイミングでオンオフ制御することにより、各相の分割した巻線ｍ個に同一電流が供給されるように制御することができる。
【００３７】
図１および図３で説明した実施の形態では単位インバータを２台直列に接続した場合を例にとって説明したが、本発明の単位インバータは２台に限定されることはなく、３台以上の単位インバータを直列に接続しても、電動機の各相巻線を同数に分割すれば本発明を適用することができる。
【００３８】
また、交流電動機４０は３相電動機を例に挙げて説明したが、３相以上、相数ｎの多相電動機であってもよい。この場合、図１を拡張し、ｍ台の各単相インバータの直流側で直列に接続したものを相数分ｎ組直流電源に接続するよう構成すればよい。
【００３９】
また、図２および図４で説明したインバータ回路は電圧形インバータを例示して説明したが、本発明はこれに限定されることはない。インバータ回路は周知の電流形インバータであってもよい。
【００４０】
図３で説明した実施の形態では、３相交流電動機４０としてスター結線（Ｙ結線）の３相電動機を例に挙げたが、デルタ結線（△結線）であってもよい。
【００４１】
次に本発明の他の異なる実施の形態について図５を参照して説明する。
【００４２】
図５は、図１の直流電源６あるいは図３の直流電源６の具体的構成例を示すものである。図５の直流電源６は、変圧器４および偶数個ｋ＝２台の整流器３１，３２からなっている。変圧器４は共通の１次巻線４Ｐおよび２組の２次巻線４Ｓ１，４Ｓ２を備え、第１の２次巻線４Ｓ１は第１の整流器３１に給電し、第２の２次巻線４Ｓ２は第２の整流器３２に給電する。２次巻線数は少なくとも整流器の台数分だけ備えているものとする。両整流器は３１，３２は直流側で直列接続され、必要に応じて直列接続点から中点Ｃが導出され、両出力端Ｐ，Ｎから直流電力を得る。なお、変圧器４の２次巻線の一方をΔ結線、他方をＹ結線とすることにより、１次側から見て１２パルス整流波形となって、高調波を低減する上で有効である。
【００４３】
図５の装置では、変圧器４が２組の２次巻線を有し、整流器が２台設けられる場合を示したが、３台の整流器を備えると共に、変圧器４に３組の２次巻線を備え、各２次巻線に相互に２０度の位相差を持たせることにより、１次側には１８パルス整流波形を得ることができる。また、整流器の台数と、電動機巻線の分割数ｍとは必ずしも一致する必要はない。もし整流器と電動機巻線の分割数ｍが一致する場合、その中点Ｃどうしを接続することができる。
【００４４】
次に図５の実施の形態に対する他の実施の形態について、図６を参照して説明する。図６において、変圧器４および整流器３１，３２自体の構成は図５のものと同一である。
【００４５】
図６に示した構成においては、複数台、たとえば２台の整流器３１，３２の直流側を並列に接続していることが図５の装置との相違点である。他は中点Ｃを備えていないことを除いて図５の装置と同一である。図６の装置によっても図５の装置と同様の作用・効果を奏することができる。
【００４６】
整流器３１，３２を直列に接続する図５の装置は相対的に高電圧・小電流の負荷に給電するのに適しており、それに対して、整流器３１，３２を並列に接続する図６の装置は相対的に低電圧・大電流の負荷に給電するのに適している。
【００４７】
次に、図７，８を参照して、図５，６の実施の形態に対する変形例について説明する。図７，８に示す実施の形態においては、図５，６の実施の形態における２組の２次巻線４Ｓ１，４Ｓ２を有する１台の変圧器４の代わりに、１組の２次巻線を有する通常形の偶数台、たとえば２台の変圧器４１，４２を設けている点が特徴である。変圧器４１，４２の１次巻線は共通の交流電源に接続され、第１の変圧器４１の２次巻線は第１の整流器３１の交流端子に接続され、第２の変圧器４２の２次巻線は第２の整流器３２の交流端子に接続される。
【００４８】
図７，８に示す実施の形態は、それぞれ図５，６の実施の形態と同様の作用・効果を奏することができ、すでに述べた変形実施例をそのまま適用することができる。
【００４９】
次に本発明の他の異なる実施の形態について、図９および図１０を参照して説明する。
【００５０】
図９に示す実施の形態では、整流器３０の交流入力端子を交流発電機５０に直接接続している。この実施の形態では、交流発電機５０の出力を整流器３０により直接整流してその出力端子Ｐ，Ｎに直流電力を得る。このように構成された直流電源６０は図１ないし図３の装置における直流電源６として使用することができる。
【００５１】
図１０に示す実施の形態では、２巻線出力形の交流発電機５１を備え、一方の出力巻線を第１の整流器３１に接続し、他方の出力巻線を第２の整流器３２に接続する。このように構成された直流電源６１もまた図１，図３の装置における直流電源６として使用することができる。ここで整流器３１，３２は直流側を直列に接続して高電圧出力に適した構成としている。
【００５２】
図１０の装置では２巻線出力形の交流発電機５１を備え、それに対応して２台の整流器３１，３２を備える場合を例示したが、より多くの偶数、例えば４巻線出力形の交流発電機を備え、それに対応して４台の整流器を備える等の変形実施形態もあり得る。また、発電機巻線あるいは整流器の台数と、電動機巻線の分割数ｍとは必ずしも一致する必要はない。もし整流器と電動機巻線の分割数ｍが一致する場合、その中点Ｃどうしを接続することができる。
【００５３】
以上の説明において、整流器は構成要素である半導体素子として非制御形のダイオードを用いる例を図示したが、本発明はサイリスタ等のスイッチング素子を用いた制御形の整流器とすることができる。さらに、自己消弧形のスイッチング素子を使用し、ＰＷＭコンバータとして構成することもできる。
【００５４】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明によれば、特殊な入力変圧器などが不要で、高耐圧の素子を使ったり、素子を直列接続して周辺部品の増加を招いたりすることなく、比較的安価で信頼性の高い可変速駆動装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る可変速駆動装置の接続図。
【図２】図１の装置における単相インバータの構成例を示す接続図。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係る可変速駆動装置の接続図。
【図４】図３の装置における３相インバータの構成例を示す接続図。
【図５】本発明の装置における直流電源の一構成例を示す接続図。
【図６】本発明の装置における直流電源の他の構成例を示す接続図。
【図７】本発明の装置における直流電源の他の構成例を示す接続図。
【図８】本発明の装置における直流電源の他の構成例を示す接続図。
【図９】本発明の装置における直流電源のさらに他の構成例を示す接続図。
【図１０】本発明の装置における直流電源のさらに他の構成例を示す接続図。
【図１１】従来の高圧インバータ回路の構成例を示す接続図。
【図１２】従来の直列多重方式高圧インバータ回路の構成例を示す接続図。
【符号の説明】
１  スイッチング素子
２  ダイオード
３  フィルタコンデンサ
４  変圧器
５  交流電源
６  直流電源
７  接続線
８  接続線
１０  単相インバータ
２０  ３相インバータ
２１  ３相インバータ
２２  ３相インバータ
３０  整流器
３１  整流器
３２  整流器
４０  ３相交流電動機
４１  変圧器
４２  変圧器
５０  発電機
５１  発電機
６０  直流電源
６１  直流電源
【図１】
0004153719.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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