(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの物体の相対運動または相対位置を検出するための光電子装置であって、光電子装置が少なくとも３つの発光手段（４０，６０）を光電子素子として有していて、該光電子装置が位置感知検出器（４２，６２）を、別の光電子素子として有しており、各位置感知検出器が、測定セルを形成するために、発光手段（４０，６０）によって照射されるようになっていて、該測定セルがまた１つのスリット絞り（４４，４６）を有しており、該スリット絞り（４４，４６）は発光手段（４０，６０）と位置感知検出器との間で、発光手段（４０，６０）の光路内に配置されている光電子装置において、
発光手段（４０，６０）が、閉じた第１の仮想表面上に配置されており、該第１の仮想表面がそれぞれの箇所で平面状または凸状であり、該発光手段のそれぞれの射出手段が、該第１の仮想表面によって画定された第１の内側スペースに向かって面していることと、
１つの発光手段（４０，６０）が、測定セルを形成するために、それぞれまさに１つの位置感知検出器（４２，６２）を照射するようになっていることとを特徴とする、光電子装置。
【請求項２】
全ての該発光手段（４０，６０）と該位置感知検出器（４２，６２）とが、共通の第１の平面内に配置されている、請求項１に記載の光電子装置。
【請求項３】
位置感知検出器（４２，６２）が、閉じた第２の仮想表面上に配置されており、該第２の仮想表面がそれぞれの箇所で平面状また凸状であり、位置感知検出器の感光側が該第２の仮想表面によって画定された第２の内側スペースに向かって面している、請求項１または２に記載の光電子装置。
【請求項４】
光電子装置が、６つの自由度を測定するための少なくとも６つの位置感知検出器（４２，６２）を有している、請求項１から３のいずれか１項に記載の光電子装置。
【請求項５】
位置感知検出器（４２，６２）が、隣り合う位置感知検出器（４２，６２）の対で配置されており、該対が、それぞれ該第１の平面に対して事実上直交する運動を検出するための１つの位置感知検出器（４２）と、事実上該第１の平面内の運動を検出するための位置感知検出器（６２）とから成っている、請求項１から４のいずれか１項に記載の光電子装置。
【請求項６】
該第１の平面に対して事実上直交的に延びる軸線を中心として回動するように、位置感知検出器（４２，６２）対が、互いに相対的に、事実上同一角度間隔を置いて方向付けされている、請求項５に記載の光電子装置。
【請求項７】
隣り合う発光手段（４０，６０）対がそれぞれ、位置感知検出器（４２，６２）対の間に配置されており、該第１の平面に対して事実上直交的に延びる軸線を中心として回動するように、発光手段（４０，６０）対が、互いに相対的な等しい角度間隔を置いて方位されている、請求項５または６に記載の光電子装置。
【請求項８】
位置感知検出器（４２，６２）の検出器軸線が、スリット絞り（４４，６４）のスリット方向に対して事実上直交的に配置されていて、発光手段（４０，６０）とスリット絞り（４４，６４）と検出器（４４，６２）とから成るシステムの素子が、２つの他の素子に対して運動可能である、請求項１から７のいずれか１項に記載の光電子装置。
【請求項９】
それぞれの測定セル内で、スリット絞り（４４，６４）が位置感知検出器と発光手段（４０，６０）とに対して相対運動可能である、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
位置感知検出器（４２，６２）および／または発光手段（４０，６０）が、円筒形プリント基板（８０）上に設けられている、請求項８または９に記載の光電子装置。
【請求項１１】
第１のボード（１２０）と第２のボードとを備えた力および／またはモーメントセンサであって、第１のボード（１２０）と該第２のボードとが、互いに弾性的に結合されていて、互いに相対運動可能である形式のものにおいて、請求項１から１０のいずれか１項に従った、２つの物体の相対運動または相対位置を検出するための光電子装置が設けられていることを特徴とする、力および／またはモーメントセンサ。
【請求項１２】
第１のボード（１２０）と第２のボードとが、少なくとも１つのばねおよび／または減衰手段（１２２）を介して、互いに結合されている、請求項１１に記載の力および／またはモーメントセンサ。
【請求項１３】
少なくとも１つのばねおよび／または減衰手段（１２２）が、以下の構成部分またはその組み合わせ、すなわち：ばねアセンブリ、エラストマー、注型樹脂のうちの１つから成っている、請求項１２に記載の力および／またはモーメントセンサ。
【請求項１４】
ばねおよび／または減衰手段（１２２）が、事実上回転対称的に配置されている、請求項１２または１３に記載の力および／またはモーメントセンサ。
【請求項１５】
ばねおよび／または減衰手段（１２２）のうちの少なくとも一方が、第１のボード（１２０）と該第２のボードとに固定的に結合された少なくとも１つのエラストマーまたはばねアセンブリから成っている、請求項１２から１４のいずれか１項に記載の力および／またはモーメントセンサ。
【請求項１６】
該第２のボードに対する第１のボード（１２０）の相対運動を制限する、少なくとも１つのストッパ手段（１２４）が設けられている、請求項１１から１５のいずれか１項に記載の力および／またはモーメントセンサ。
【請求項１７】
パーソナルコンピュータのキーボードにおいて、キーボードが、請求項１１から１６のいずれか１項に従った、力および／またはモーメントセンサを有することを特徴とする、パーソナルコンピュータのキーボード。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、２つの物体の相対運動または相対位置を検出するための光電子装置であって、該光電子装置が少なくとも３つの発光手段を光電子素子として有している形式のものに関する。加えて、本発明は、このような装置を利用する力および／またはモーメントセンサに関する。さらに本発明は、本発明による力および／またはモーメントセンサを有するＰＣキーボードに関する。
【０００２】
【従来の技術】
力および／またはモーメントセンサ内で２つの物体の相対運動または相対位置を検出するための装置として、光電子（オプトエレクトロニック式）測定セルが広範囲にわたって受け入れられている。その理由は、高精度および高信頼性と共に、シンプルな構造にある。
【０００３】
ドイツ国特許出願公開第３６１１３３７号（ＤＥ  ３６１１３３７）に開示された光電子装置はプラスチックボール内に収納されており、６つの成分、すなわち３つの軸線に沿った変位と、３つの軸線を中心とした角回転を同時に検出することができる。これを目的として、６つの発光手段は事実上等しい角度間隔を置いて平面内に配置されている。発光手段の正面には定置のスリット絞りが設けられている。相対運動または相対位置は感光性検出器によって感知される。この検出器は発光手段とスリット絞りとから成る装置に対して相対運動可能に配置されている。この検出器の軸線はスリットの方向に対して直交的に延びている。この装置は構造上の努力をさほど必要とはしない。なぜならば、発光手段と絞り、ならびに、制御および評価のための他の電子手段を、コンベンショナルなはんだ付け技術によって単一のプリント基板上に配置することができるからである。プリント基板は第１の物体に固定的に結合することができる。位置感知検出器は第２の物体に結合されている。しかしながら、この装置は比較的広い面積を必要とするという欠点を有している。このことは、発光手段の周りに環状パターンを成して配置された絞りと検出器とが比較的大きな空間的な広がりを有していることに起因する。このことは装置の小型化の妨げとなる。
【０００４】
本発明の技術的な背景を示す文献の一例は以下の通りである：
ドイツ国特許第２７２７７０４号（ＤＥ  ２７２７７０４Ｃ３）；ドイツ国特許第３６１１３３６号（ＤＥ  ３６１１３３６Ｃ２）；ドイツ国特許出願公開第３２４０２４１号（ＤＥ  ３２４０２４１Ａ１）；米国特許第３９２１４４５号；米国特許第３６２８３９４号。
【０００５】
相対運動または相対位置を測定するための光電子装置、ならびにこのような装置を利用する、力および／またはモーメントセンサは、主に工業用途において過去に重要性を増してきた。その一例としては、ロボット制御や、自動車テストおよび測定ベンチにおける力の測定が挙げられる。しかしながら一般的に、このような装置およびセンサにとって商業的に最も興味深い用途は、オフィス分野および娯楽用電子装置分野である。このような装置およびセンサは、一般的にただ２つの入力しか可能でない、ジョイスティック、マウスまたはトラックボールとは異なり、６つまでの成分を入力できる入力デバイスの機能を有する。光電子装置を備えた力および／またはモーメントセンサによって可能になるような、６つの成分の簡単かつ便利な入力は、例えば３Ｄデザインソフトウェアまたは高度なコンピュータゲームの制御において望まれる。しかし、目下の入力デバイスはそれらが必要とする面積に基づき、明らかに扱いにくい。このことは一層広範囲な分布を妨げる。小型化が実現されれば、例えばゲームコンソール、ＰＣキーボードまたはノートブック型コンピュータ内に組み込むことが可能になり、ひいては幅広く市場に浸透することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このような状況を踏まえて、本発明は、公知の装置と比べて所要面積が狭い、２つの物体の相対運動または相対位置を検出するための装置を作成することを目的にする。さらに本発明は、公知の装置と比べてやはり所要面積が狭い、力および／またはモーメントセンサを作成することを目的にする。さらに本発明は、それぞれ６つまでの力またはトルクの成分を煩わしさなしに入力できる、オフィス環境で使用するための入力デバイスを作成することを目的にする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために、本発明は、２つの物体の相対運動または相対位置を検出するための光電子装置であって、該光電子装置が光電子コンポーネントとして少なくとも３つの発光手段を有しており、請求項１の特徴部により規定された光電子装置を教示する。さらに本発明は、請求項１５の特徴部により規定された、力および／またはモーメントセンサを教示する。さらに本発明は、請求項２１の特徴部により規定された、パーソナルコンピュータのキーボードを教示する。
【０００８】
本発明の実施態様では、好ましくは赤外発光ダイオード(ＩＬＥＤ)が、各箇所で平面状または凸状の閉じた第１の仮想表面上に配置されていて、赤外発光ダイオードのそれぞれの射出方向が、第１の表面によって画定された第１の内側スペース内に延びている。
【０００９】
別の光電子素子として、好ましい実施態様は、位置感知検出器、好ましくは位置感知赤外線検出器を有している。さらに、それぞれの位置感知検出器は、測定セルを形成するために、発光手段によって照射される。
【００１０】
さらに、本発明の適切な改良において、全ての発光手段と位置感知検出器とは共通の第１の平面内に配置されている。別の適切な改良の場合、装置は、少なくとも４つの光電子素子を有しており、光電子素子は少なくとも第１の平面上および第２の平面上に配置されて、少なくとも３つの光電子素子が第１の平面上に配置され、少なくとも１つの光電子素子が２つの平面のうちの第２の平面上にのみ配置されている。好ましくは、第１の平面と第２の平面とが互いに平行に配置されている。
【００１１】
本発明の改良において、発光手段が、測定セルを形成するために、まさに１つの位置感知検出器を照射するようになっている。しかし本発明の別の改良では、共通の発光手段を有する２つの測定セルを形成するために、発光手段によって２つの位置感知検出器が照射される。これにより、好ましくはいずれの時にも、２つの位置感知検出器のうちの一方または他方だけが読み出されて、発光手段が常に位置感知検出器のそれぞれ１つだけと、測定セルを形成するようになっている。
【００１２】
各瞬間毎にただ１つの位置感知検出器と連携するという事実に基づき、それぞれ連携する発光手段の電流を制御するために、位置感知検出器の出力信号を使用して、それぞれの位置感知検出器が同じ一定光量を受けるようにすることができる。このことは、全ての測定セルが広範囲にわたって、温度および加齢の影響、ならびに汚染および構成部分の製造誤差によって影響を受けることがない点で有利である。位置感知赤外線検出器（４２，６２）の出力信号はさらに次の処理のために、アナログ／デジタル変換器に伝送され、次いでその場所からマイクロプロセッサに伝送される。
【００１３】
発光手段に加えて、位置感知検出器もまた、各箇所で平面状または凸状の閉じた第２の仮想表面上に配置されて、位置感知検出器のそれぞれの感光側が、第２の表面によって画定された第２の内側スペースに向いて面していることが好ましい。第１の内側スペースと第２の内側スペースとが、部分的または完全に一致して、その周りで発光手段と位置感知検出器とが配置されるような共通の内側スペースが形成されることが好ましい。本発明の好ましい実施態様では、発光手段から、対向側の位置感知検出器への測定セルの光は、常に共通の内側スペースを横切る。
【００１４】
光電子装置によって全ての６つの自由度、すなわち、線状に独立した３つの軸線に沿った変位と、線状に独立した３つの軸線を中心とした回転とを測定可能にするために、装置の好ましい実施態様は、６つの位置感知検出器から成る。
【００１５】
本発明の適切な改良において、位置感知検出器が、好ましくは隣り合う位置感知検出器の対で配置されており、該対が、それぞれ第１の平面に対して事実上垂直な運動を検出するための１つの位置感知検出器と、事実上第１の平面に対して水平な運動を検出するための位置感知検出器とから成っている。一対のうちの検出器は、すべての検出器が１平面内に位置する場合には、相並んで配置することができる。検出器が２つ以上の平面上に分配されている場合には、検出器対は互いに上下に配置することもできる。
【００１６】
さらに、第１の平面に対して事実上直交的に延びる軸線を中心として回動するように、位置感知検出器対が、互いに相対的に、事実上同一角度間隔を置いて方位されている。装置が３対の位置感知検出器から成る場合、第２および第３の検出器は、第１の位置感知検出器の配向に対して、全回転つまり一回転のうちの事実上３分の１または３分の２だけ回動させられる。
【００１７】
特にコンパクトな、ひいては特に好ましい構造において、それぞれ２対の位置感知検出器の間に、横方向の大きさが狭い発光手段が配置されている。第１の平面に対して事実上直交的に延びる軸線を中心として互いに相対回動するように、発光手段対が、事実上等しい角度間隔を置いて方位されていることが好ましい。
【００１８】
好ましい実施例の場合、相対運動または相対位置を検出するための光電子装置はまた、スリット絞りを有しており、それぞれ１つのスリット絞りが発光手段と位置感知検出器との間で、発光手段の光路内に配置されて、下流側の位置感知検出器上に棒状の狭幅の光だけが衝突するようになっている。スリット絞りのスリットの方向は、位置感知検出器の検出器軸線に対して事実上垂直に方位されている。
【００１９】
相対運動または相対位置を測定可能にするために、発光手段とスリット絞りと検出器とから成るシステムの１つの素子がそれぞれ、２つの他の素子に対して相対運動可能でなければならない。好ましい実施態様の場合、発光手段と位置感知検出器とがプリント基板上に定置に設けられている一方、スリット絞りが発光手段と位置感知検出器とに対して運動可能である。このことは、全ての電子素子を単一のプリント基板上に収容できる点で有利である。
【００２０】
特に好ましい実施態様の場合、発光手段と位置感知検出器とが、円筒形プリント基板の、内方に向いた側に設けられている。
【００２１】
円筒形プリント基板は、円筒の表面または円筒の表面の一部によって画定された表面を有するプリント基板である。円筒の表面は、曲線に沿って直線を平行にシフトすることにより形成される。
【００２２】
特に、プリント基板は外部の迷光に対して光電子検出器をシールドする。
【００２３】
本発明による力および／またはモーメントセンサは、第１のボードと第２のボードとを備えていて、第１のボードと第２のボードとが、互いに弾性的に結合されていて、互いに相対運動可能である。力および／またはモーメントセンサはまた、第１のボードと第２のボード相互の相対運動を検出するための本発明による装置を有している。ボードは好ましくはプリント基板であり、第１のボードは全ての電子素子、具体的には発光手段と位置感知検出器、ならびに、発光手段の電流、必要な場合には増幅器、データ変換のためのデジタル部分、および／または他の手段を制御するための電子制御装置を支持している。ただ１つのプリント基板上に全ての電子素子を配置することによって、製造中アセンブリに費やされる手間は著しく低減される。
【００２４】
２つのボードは、好ましくは以下の構成部分またはその組み合わせ、すなわち：コイルばね、ばねアセンブリ、エラストマー、注型樹脂のうちの１つから成る少なくとも１つのばねおよび／または減衰手段によって結合されている。これらのばねおよび／または減衰手段は力とトルクとを吸収する。これらの弾性特性が既知である場合、相対的に相互に働く力およびトルクを、２つのボードの相対位置から測定することができる。
【００２５】
２つのボードは３つのばねおよび／または減衰手段によって互いに弾性的に結合されていることが好ましい。ばねおよび／または減衰手段は、中心の周りに回転対称的に配置されていることが好ましい。この中心の周りには、測定セルも配置されている。このことは、力および／またはモーメントセンサに不変に対称的な力が作用するという点で有利である。ちょうど３つのばねおよび／または減衰手段が、それぞれ互いに相対的に一回転の３分の１だけ回動させられるように配置されることが特に好ましい。
【００２６】
好ましい実施態様の場合、ばねおよび／または減衰手段のうちの少なくとも１つが、少なくとも１つのエラストマー部材から成っており、このエラストマー部材の２つの対向する端部が、第１または第２のボードにそれぞれ固定的に結合されている。こうして、エラストマー部材は全ての方向で負荷することができる。すなわち、引張力および圧縮力、ならびにエラストマー部材に対して横方向に作用する力を、エラストマー部材がその座で動くことなしに、またはその座から離れることなしに、加えることができる。
【００２７】
力および／またはモーメントセンサの好ましい実施態様はさらに、２つのボード相互の相対運動を制限する、少なくとも１つのストッパ手段を有している。このストッパ手段は好ましくは、一方のボードに固定的に結合されたストッパボルトによって実現される。こうして、力および／またはモーメントセンサは過負荷に対して保護される。
【００２８】
２つの物体の相対運動または相対位置を検出するための装置の本発明の構成から、以下の有利な特性が生じる：
１．  組立てに費やされる手間の少ない、極めてコンパクトな構造；
２．  光電子測定セルを適用することによる、高直線性、低ヒステリシスおよび摩耗からの顕著な脱却。
上述の特性に加えて、力および／またはモーメントセンサの本発明の構成から、以下の有利な特性が生じる：
３．  ストッパ手段を適用することによる、損傷に対する低感受性。
上述の特性に加えて、ＰＣキーボードの本発明の構成から、以下の有利な特性が生じる：
４．  新規のパーソナルコンピュータのキーボードは、パーソナルコンピュータの作業場所で、６つまでの成分を煩わしさなく入力することを可能にする。
更なる特徴、特性、利点および可能な修正が、当業者において、添付の図面を参照した好ましい実施例の以下の説明により明らかになる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
図１に示したような、２つの物体の相対運動または相対位置を検出するための本発明による光電子装置は、６つのＩＬＥＤ４０，６０を有している。これらのＩＬＥＤは第１のボード１２０上に設けられており、円周上に配置されている。もしこの円周を球面の円周と想定するならば、この球面は閉じた第１の仮想表面となる。第１の仮想表面は、内側で６つのＩＬＥＤ４０，６０が配置されている各箇所で凸状である。これにより、ＩＬＥＤのそれぞれの発光方向は、第１の表面によって画定された第１の内側スペースに向かって延びる。言い換えれば、全てのＩＬＥＤ４０，６０は仮想球面の内側から、球体内部を照らす。
【００３０】
さらに、別の光電子素子４２，６２として、６つの位置感知赤外線検出器が第１のボード１２０上に配置されている。これにより、測定セルを形成するために、１つのＩＬＥＤ４０，６０はまさに１つの位置感知赤外線検出器４２，６２を照射する。全ての発光手段と位置感知検出器とは、第１のボード１２０に対して平行に延びる共通の第１の平面内に配置されており、ＩＬＥＤから検出器への光ビームも同じ平面内に延びる。この平面内には、それぞれの測定セルの光電子素子が配置されている。
【００３１】
ＩＬＥＤ４０のように、位置感知赤外線検出器４２，６２は、ボード１２０上に設けられており、第２の円周上に配置されている。この第２の円周をやはり球面の円周と仮想するならば、この球面は閉じられた第２の仮想表面となる。この第２の仮想表面は、内側で６つの位置感知赤外線検出器４２，６２が配置されている各箇所で凸状である。これにより、検出器の感光側は、第２の表面によって画定された第１の内側スペースに面する。第１の内側スペースは、完全に第２の内側スペース内部に位置しており、したがって第１の内側スペースと一致する共通の内側スペースが形成される。したがって発光手段４０，６０と位置感知検出器４２，６２とは共通の内側スペースの周りに配置されている。ＩＬＥＤ４０，６０と、測定セルの連携する位置感知赤外線検出器４２，６２とは、互いに対向して配置されており、光は共通の内側スペースを横切る。
【００３２】
ここに導入された好ましい実施例の光電子装置は、２つの物体の相対運動または相対位置を６つの自由度で、すなわち、線状に独立した３つの空間方向における変位と、線状に独立した３つの空間方向の周りの回転とを測定することができる。これを目的として、６つの位置感知赤外線検出器４２，６２が、６つのＩＬＥＤ４０，６０と一緒に６つの測定セルを形成した状態で設けられている。
【００３３】
さらに、位置感知赤外線検出器４２，６２は、位置感知赤外線検出器４２，６２対を成して配置されており、これらの対はそれぞれ、第１平面に対して垂直な運動を検出するための１つの位置感知赤外線検出器４２と、第１の平面内の運動を検出するための１つの位置感知赤外線検出器６２とから成っている。加えて、位置感知赤外線検出器４２，６２対は、第１平面に対して垂直に延びる軸線を中心として、一回転の３分の１だけ互いに相対回動させられる。隣り合うＩＬＥＤ４０，６０対のそれぞれは、位置感知赤外線検出器４２，６２対相互間に配置されている。ＩＬＥＤ４０，６０対は、第１平面に対して鉛直方向に延びる軸線を中心として互いに相対回動するように等しい角度間隔で方向付けされている。
【００３４】
それぞれの測定セルには、スリット絞り４４，６４が、位置感知赤外線検出器の正面で、ＩＬＥＤの光路内に配置されている。スリット絞りは狭いスリットを有しているので、狭幅の光条片だけが位置感知検出器４２，６２上に衝突する。スリット絞りのスリットの方向は検出器軸線に対して垂直であり、すなわち、検出器の測定方向にある。システム、すなわち発光手段４０，６０、スリット絞り４４，６４、および位置感知赤外線検出器４２，６２のうちの１つの素子が、他のエレメントに対して相対運動可能であるように配置されているという事実に基づき、測定セルは相対運動および相対位置を検出することができる。
【００３５】
本明細書中に導入した好ましい実施例では、スリット絞り４４，６４は位置感知検出器４２，６２と発光手段４０，６０とに対して相対運動可能である。位置感知検出器４２，６２とＩＬＥＤ４０，６０とは、円筒形プリント基板８０上に固定的に配置されている。
【００３６】
隣り合う検出器対に割り当てられたスリット絞り４４，６４は、互いに垂直に延びる２つのスリットを有する単一のスリット絞り４４，６４に組み合わされている。
【００３７】
さらに図１に示した力および／またはモーメントセンサは、第１のボード１２０と第２のボードとから成っている。これらのボードは互いに弾性的に結合されており、互いに相対運動可能である。これにより第１のボード１２０と第２のボード相互間の相対運動または相対位置とを検出するための本発明の装置が提供される。第１のボード１２０は好ましくは、プリント基板８０が固定的にはんだ付されているプリント基板であり、このプリント基板８０は、ＩＬＥＤ４０，６０と位置感知赤外線検出器４２，６２とを支持している。第１のボード１２０はさらに、電子構成素子を支持している。スリット絞り４４，６４は固定的に第２のボードに結合されている。
【００３８】
第１のボード１２０と第２のボードとを互いに弾性的に結合するばね・減衰手段として、エラストマーシリンダ１２２が作用する。エラストマーシリンダ１２２は、一方の端部で第１のボード１２０に結合され、他方の端部で第２のボード１４０に結合されている。３つのエラストマーシリンダはボードの外側の近傍で、赤外光発光ダイオードの近くに回転対称的に配置されている。
【００３９】
過負荷により力および／またはモーメントセンサに損傷が生じないように、２つのボード１２０の相対運動または相対位置を制限するために、ストッパボルトの形の３つのストッパ手段１２４が設けられている。ストッパボルトは第２のボードに固定的に結合されており、第１のボード１２０に設けられた穴に突入している。第２のボードに対する第１のボード１２０の水平運動は、ストッパ手段１２４の直径と、第１のボード１２０における穴の直径とにより決定される。２つのボード１２０，１４０の相互の相対運動は、ボルト形のストッパ手段１２４における拡張によって制限される。第１のボード１２０からボルト１２４に向かう拡張距離により、第１のボード１２０と第２のボードとが鉛直方向で互いに相対運動可能であるような範囲が規定される。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、２つの物体の相対運動または相対位置を検出するための本発明による光電子装置を有する、本発明による力および／またはモーメントセンサの好ましい実施例を示す斜視図である。
【符号の説明】
４０…発光手段
４２，６２…位置感知検出器
４４，６４…スリット絞り
８０…円筒形プリント基板
１２０…第１ボード
【図１】
0004160310.tif 000002