(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
前輪を操舵する操舵装置と、前輪と後輪の左右にそれぞれ配設されたガイドローラとを搬送車に設けるとともに、該搬送車を案内する側壁を走行路に形成し、走行路の分岐部で前輪を操舵して、ガイドローラを操舵側の側壁に押し当てることにより、搬送車を分岐又は直進させるようにした無人搬送装置において、搬送車を一輪からなる前輪が支持する前輪部と二輪からなる後輪が支持する後輪部とに分割するとともに、該前輪部と後輪部を、前輪及び後輪の位置でピボットを介し連結棒によって回動可能に連結するとともに、前輪部の方向転換に伴って後輪部を方向転換させるばね部材で連結したことを特徴とする無人搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造用のクリーンルームを走行する搬送車に好適に用いることができる無人搬送装置に関し、特に、走行路の分岐部で、搬送車を簡単に分岐又は直進させることができる無人搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体等の製造工場に設置される無人搬送装置では、ループ状に形成された走行路上を複数の搬送車が走行する構成となっている。
ここで、搬送量の大幅な増大は単一のループでは望めないことから、主となる走行路に適宜分岐路を設けて、搬送車の追い越しが可能な構成にしている。
【０００３】
そして、従来の無人搬送装置では、走行路の分岐部にシフタやターンテーブル等を設け、走行路側を切り替えることにより、搬送車を分岐又は直進させるようにしているが、このような方法では、搬送車の構造や制御が複雑になるという問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
一方、例えば、特開平１０−１１１７１９号公報に開示されるように、前輪を操舵して搬送車側で進行方向を選択する無人搬送装置もあるが、操舵装置によって搬送車を分岐又は直進させるためには、操舵角度を状況に応じて制御する必要が生じる。
【０００５】
本発明は、上記従来の無人搬送装置が有する問題点に鑑み、搬送車左右に配設したガイドローラを操舵側の側壁に押し当てることにより、複雑な操舵角度の制御をすることなく、搬送車の安定した分岐・直進走行を簡単に行うことができる無人搬送装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の無人搬送装置は、前輪を操舵する操舵装置と、前輪と後輪の左右にそれぞれ配設されたガイドローラとを搬送車に設けるとともに、該搬送車を案内する側壁を走行路に形成し、走行路の分岐部で前輪を操舵して、ガイドローラを操舵側の側壁に押し当てることにより、搬送車を分岐又は直進させるようにした無人搬送装置において、搬送車を一輪からなる前輪が支持する前輪部と二輪からなる後輪が支持する後輪部とに分割するとともに、該前輪部と後輪部を、前輪及び後輪の位置でピボットを介し連結棒によって回動可能に連結するとともに、前輪部の方向転換に伴って後輪部を方向転換させるばね部材で連結したことを特徴とする。
【０００７】
この無人搬送装置では、走行路の分岐部で前輪を操舵して、ガイドローラを操舵側の側壁に押し当て、搬送車を該側壁に沿わせながら分岐又は直進させることから、複雑な操舵角度の制御をすることなく簡単に、搬送車の安定した分岐・直進走行を行うことができる。
【０００８】
そして、搬送車を前輪が支持する前輪部と後輪が支持する後輪部とに分割するとともに、該前輪部と後輪部を、前輪及び後輪の位置でピボットを介し連結棒によって回動可能に連結するとともに、前輪部の方向転換に伴って後輪部を方向転換させるばね部材で連結することにより、前輪の操舵力をばね部材を介して後輪に伝え、後輪側のガイドローラも操舵側の側壁に押し当てて、搬送車の一層安定した分岐・直進走行を行うことができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の無人搬送装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１０】
図１に、本発明の無人搬送装置の一実施例を示す。
この無人搬送装置は、前輪１を操舵する操舵装置２と、前輪１と後輪３の左右にそれぞれ複数配設されたガイドローラ４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂとを搬送車Ｃに設けるとともに、この搬送車Ｃを案内する側壁６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂを走行路８に形成している。
操舵装置２は、操舵モータにより操舵トルクＴ１を前輪１に作用させる。
【００１１】
そして、走行路８の分岐部９で前輪１を操舵して、ガイドローラ４ａを操舵側の側壁７ａに押し当てることにより、搬送車Ｃを分岐路８１に分岐させるようにしている。
なお、搬送車Ｃを分岐させずに直進させるときは、前輪１を分岐路８１と逆方向に操舵し、ガイドローラ４ｂを本線８０の側壁６ａに押し当てることにより、搬送車Ｃを本線８０に直進させる。
【００１２】
搬送車Ｃは、前輪１が支持する前輪部１０と後輪３が支持する後輪部１１とに分割されており、前輪部１０と後輪部１１は、ピボット１３を介し連結棒１４によって回動可能に連結されるとともに、左右のばね部材１２で連結されている。
前輪部１０は、操舵トルクＴ１の作用により、ガイドローラ４ａを側壁７ａに押し付けながら方向転換を行うことから、図１（Ａ）〜（Ｃ）の状態では、左のばね部材１２が引き伸ばされて引張力を後輪部１１に与え、その結果、後輪操舵トルクＴ２が自動的に発生する。
これにより、後輪３側のガイドローラ５ａも操舵側の側壁７ａに押し当てることができ、搬送車Ｃの一層安定した分岐・直線走行を行うことができる。
【００１３】
次に、本実施例の無人搬送装置の動作を説明する。
図１（Ａ）に示すように、操舵装置２によって前輪１に操舵トルクＴ１を作用させると、搬送車Ｃは、ガイドローラ４ａを側壁７ａに押し当てながら進行方向に進む。
【００１４】
次いで、図１（Ｂ）に示すように、前輪部１０は、操舵トルクＴ１の作用により、ガイドローラ４ａを側壁７ａに押し付けながら方向転換を行う。
その結果、左のばね部材１２が引き伸ばされて引張力を後輪部９に与えるため、後輪操舵トルクＴ２が発生する。
【００１５】
そして、図１（Ｃ）に示すように、後輪部１１は、後輪操舵トルクＴ２の作用により、ガイドローラ５ａを、ガイドローラ４ａと同様に側壁７ａに押し付けながら進行する。
なお、図１（Ｄ）に示すように、搬送車Ｃが分岐路８１に進入した後、前輪操舵トルクＴ１をゼロとする。
【００１６】
このように、本実施例の無人搬送装置では、分岐路８１に分岐する場合は、走行路８の分岐部９で前輪１と後輪３を分岐路８１側に操舵して、ガイドローラ４ａ、５ａを操舵側の側壁７ａに内側から押し当て、搬送車Ｃをこの側壁７ａに沿わせながら分岐させられることから、複雑な操舵角度の制御をすることなく簡単に、搬送車Ｃの安定した分岐走行を行うことができる。
【００１７】
そして、分岐せずに本線８０を走行する場合は、走行路８の分岐部９で前輪１と後輪３を分岐路８１と逆側に操舵して、ガイドローラ４ｂ、５ｂを操舵側の側壁６ａに内側から押し当て、搬送車Ｃをこの側壁６ａに沿わせながら直進させられることから、複雑な操舵角度の制御をすることなく簡単に、搬送車Ｃの安定した直進走行を行うことができる。
【００１８】
図２に、無人搬送装置の参考例を示す。
この無人搬送装置は、前輪１と後輪３を操舵する２個の操舵装置２と、前輪１と後輪３の左右にそれぞれ配設されたガイドローラ４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂを搬送車Ｃに設けるとともに、この搬送車Ｃを案内する側壁６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂを走行路に形成している。
各操舵装置２は、操舵モータにより操舵トルクＴ１、Ｔ２を前輪１と後輪３にそれぞれ作用させる。
【００１９】
そして、走行路８の分岐部９で前輪１と後輪３を同方向に操舵して、ガイドローラ４ａ、５ａを操舵側の側壁７ａに押し当てることにより、搬送車Ｃを分岐路８１に分岐させるようにしている。
なお、搬送車Ｃを分岐させずに直進させるときは、前輪１と後輪３を分岐路８１と逆方向に操舵し、ガイドローラ４ｂ、５ｂを本線８０の側壁６ａに押し当てることにより、搬送車Ｃを本線８０に直進させる。
【００２０】
なお、搬送車Ｃは、前輪１が支持する前輪部１０と後輪３が支持する後輪部１１とに分割されており、前輪部１０と後輪部１１は、ピボット１３を介し連結棒１４によって回動可能に連結されている。
【００２１】
次に、本参考例の無人搬送装置の動作を説明する。
図２（Ａ）に示すように、各操舵装置２によって前輪１と後輪３に操舵トルクＴ１、Ｔ２を作用させると、搬送車Ｃは、ガイドローラ４ａ、５ａを側壁７ａに押し当てながら進行方向に進む。
【００２２】
次いで、図２（Ｂ）に示すように、前輪部１０は、操舵トルクＴ１の作用により、ガイドローラ４ａを側壁７ａに押し付けながら方向転換を行う。
【００２３】
そして、図２（Ｃ）に示すように、後輪部１１は、後輪操舵トルクＴ２の作用により、ガイドローラ５ａを、ガイドローラ４ａと同様に側壁７ａに押し付けながら進行する。
なお、図２（Ｄ）に示すように、搬送車Ｃが分岐路８１に進入した後、前輪操舵トルクＴ１をゼロとする。
【００２４】
このように、本参考例の無人搬送装置では、分岐路８１に分岐する場合は、走行路８の分岐部９で前輪１と後輪３を分岐路８１側に操舵して、ガイドローラ４ａ、５ａを操舵側の側壁７ａに内側から押し当て、搬送車Ｃをこの側壁７ａに沿わせながら分岐させられることから、複雑な操舵角度の制御をすることなく簡単に、搬送車Ｃの安定した分岐走行を行うことができる。
【００２５】
そして、分岐せずに本線８０を走行する場合は、走行路８の分岐部９で前輪１と後輪３を分岐路８１と逆側に操舵して、ガイドローラ４ｂ、５ｂを操舵側の側壁６ａに内側から押し当て、搬送車Ｃをこの側壁６ａに沿わせながら直進させられることから、複雑な操舵角度の制御をすることなく簡単に、搬送車Ｃの安定した直進走行を行うことができる。
【００２６】
【発明の効果】
本発明の無人搬送装置によれば、走行路の分岐部で前輪を操舵して、ガイドローラを操舵側の側壁に押し当て、搬送車を側壁に沿わせながら分岐又は直進させることから、分岐路の曲率等が変化しても、複雑な操舵角度の制御をすることなく簡単に、搬送車の安定した分岐・直進走行を行うことができる。
【００２７】
そして、搬送車を前輪が支持する前輪部と後輪が支持する後輪部とに分割するとともに、前輪部と後輪部を、前輪及び後輪の位置でピボットを介し連結棒によって回動可能に連結するとともに、前輪部の方向転換に伴って後輪部を方向転換させるばね部材で連結することにより、前輪の操舵力をばね部材を介して後輪に伝え、後輪側のガイドローラも操舵側の側壁に押し当てて、搬送車の一層安定した分岐・直進走行を行うことができる。
【００２８】
さらに、本第２発明の無人搬送装置によれば、走行路の分岐部で前輪と後輪を同方向に操舵して、前後のガイドローラを操舵側の側壁に押し当て、搬送車を側壁に沿わせながら分岐又は直進させることから、分岐路の曲率等が変化しても、複雑な操舵角度の制御をすることなく簡単に、搬送車の一層安定した分岐・直進走行を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の無人搬送装置の一実施例を示し、（Ａ）は走行の第１段階を示す平面図、（Ｂ）は走行の第２段階を示す平面図、（Ｃ）は走行の第３段階を示す平面図、（Ｄ）は走行の第４段階を示す平面図である。
【図２】  無人搬送装置の参考例を示し、（Ａ）は走行の第１段階を示す平面図、（Ｂ）は走行の第２段階を示す平面図、（Ｃ）は走行の第３段階を示す平面図、（Ｄ）は走行の第４段階を示す平面図である。
【符号の説明】
Ｃ    搬送車
１    前輪
２    操舵装置
３    後輪
４ａ、４ｂ  ガイドローラ
５ａ、５ｂ  ガイドローラ
６ａ、６ｂ  側壁
７ａ、７ｂ  側壁
８    走行路
８０  本線
８１  分岐路
９    分岐部
１０  前輪部
１１  後輪部
１２  ばね部材
１３  ピボット
１４  連結棒
【図１】
0004190699.tif 000002
【図２】
0004190699.tif 000003