(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のパターンで配列された電極群を有する一対の端子板の間に介在し、これらの両端子板の電極群間を電気的に接続するシート状のインターコネクタの製造方法であって、上記電極群の配列パターンに即して形成された複数の貫通孔を有する位置決めプレートを容器内の上下に配置する工程と、上下の位置決めプレートの各貫通孔に導電性線条をそれぞれ装着する工程と、上記容器内に互いに剥離可能な絶縁性シート層及び合成樹脂層を交互に積層して上記導電性線条と一体化する工程と、これら三者の一体化物を上記位置決めプレートと共に上記容器から離型する工程と、一体化物を上記合成樹脂層の中間位置で切断する工程と、切断された合成樹脂層を上記絶縁性シート層から剥離する工程とを有することを特徴とするインターコネクタの製造方法。
【請求項２】
上記絶縁性シート層にシリコンゴムを用いることを特徴とする請求項１に記載のインターコネクタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電極群を有する端子板間に介在し、これら両者の電極群を電気的に導通するためのインターコネクタを製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種のインターコネクタとしては例えば従来から異方導電性シートが知られている。異方導電性シートは、例えば導電性微粒子を絶縁性シート内に配合し、シート面に垂直な圧縮力を加えることにより導電性微粒子が互いに接触し、厚さ方向のみで電気的に導通自在にしたものである。しかし、この異方導電性シートは接続時に圧縮力を繰り返し受けると材料疲労等によりシート自体が弾力性を喪失し、寿命が短くなるという問題がある。
【０００３】
一方、特開昭５５−１１１０１４号公報には導電性線条を用いた異方導電性シートが提案されている。この異方導電性シートは、絶縁性ゴムシートの面に対して実質的に垂直方向に多数本の導電性線条がゴムシートの両面に貫通して配列されており、かつ導電性線条が弧状に撓められてゴムシート内に一体に結合されているものである。この異方導電性シートを製造する場合には、液状ゴムからなるシート内に導電性線条を分散させ、これらの導電性線条を磁界内でシートの厚さ方向に配向した後、面方向に垂直な圧縮力を加えて導電性線条を弧状に撓め、液状ゴムをシート状に硬化させるようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開昭５５−１１１０１４号公報の異方導電性シートは、電極からの圧縮力を導電性線条で受けるため、圧縮力を繰り返し受けることができるが、液状のゴム内に分散した導電性線条を磁界を利用して厚さ方向に配列するため、導電性線条を所望のパターンで配列して製造することができず、しかも一枚ずつしか製造することができず生産効率に劣るという課題があった。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、接続対象の電極群の配列に合わせて接続端子群の配列パターンを選択して製造することができると共に効率良く製造することができ、しかも耐久性に優れたインターコネクタの製造方法を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載のインターコネクタの製造方法は、所定のパターンで配列された電極群を有する一対の端子板の間に介在し、これらの両端子板の電極群間を電気的に接続するシート状のインターコネクタの製造方法であって、上記電極群の配列パターンに即して形成された複数の貫通孔を有する位置決めプレートを容器内の上下に配置する工程と、上下の位置決めプレートの各貫通孔に導電性線条をそれぞれ装着する工程と、上記容器内に互いに剥離可能な絶縁性シート層及び合成樹脂層を交互に積層して上記導電性線条と一体化する工程と、これら三者の一体化物を上記位置決めプレートと共に上記容器から離型する工程と、一体化物を上記合成樹脂層の中間位置で切断する工程と、切断された合成樹脂層を上記絶縁性シート層から剥離する工程とを有することを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明の請求項２に記載のインターコネクタの製造方法は、請求項１に記載の発明において、上記絶縁性シート層にシリコンゴムを用いることを特徴とするものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図７に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態のインターコネクタは、所定のパターンで配列された電極群を有する一対の端子板の間に介在し、これらの両端子板の端子間を電気的に導通するために用いられシート状のコネクタである。このインターコネクタ１０は、例えば図１、図２に示すように、絶縁性シート１１と、この絶縁性シート１１を貫通してこの絶縁性シート１１と一体化し且つ絶縁性シート１１のほぼ全面に渡って所定のパターンで配列された複数の接続端子１２とを有し、各接続端子１２の上下両端がそれぞれ絶縁性シート１１の両面から突出し、後述するように全ての接続端子１２が相手方の電極群と接触して確実に電気的接続を行えるようになっている。接続端子１２の配列パターンは上述の位置決めプレートの選択により相手方の電極群の配列パターンに合わせて任意に設定することができる。
【００１２】
上記絶縁性シート１１の材料は、絶縁性のある材料であれば特に制限されないが、例えばシリコンゴム等の弾力性のある合成樹脂が好ましい。接続端子１２の材料は導電性金属であれば特に制限されないが、例えばタングステン、ニッケル、あるいはこれらの金属の合金等の弾性変形自在な導電性金属が好ましい。また、接続端子１２は導電性金属自体に弾性がなくても、その表面に弾性を有する金属でコーティングして弾性を付与したものであっても良い。また、接続端子１２は必要に応じて表面が金等の導電性に優れた金属あるいは合金でコーティングしたものであっても良い。
【００１３】
次に、本発明のインターコネクタの製造方法の一実施形態について図４〜図７を参照しながら説明する。本実施形態では、インターコネクタ１０の面積に相当する開口面積を有する円筒状の容器２１、導電性線条１２Ａ、導電性線条１２Ａを所定のパターンに位置決めする二枚の位置決めプレート２２、液状のゴム（例えば、シリコンゴム、ウレタンゴム等）及び液状の合成樹脂（例えば、ポリメチルメタアクリレート等）を準備する。位置決めプレート２２はインターコネクタ１０と同一の面積に形成され、この位置決めプレート２２は接続相手の電極群の配列パターンに合わせて形成された複数の貫通孔２２Ａを有している。位置決めプレート２２の厚さは適宜選択することができるが、例えば接続端子１２の突出寸法と略同一寸法に設定された厚さであれば、後述のように位置決めプレート２２を除去するだけで接続端子１２の突出部を簡単に得ることができる。また、図示してないが容器２１には上下の位置決めプレート２２のθ方向の位置決めを行う位置決め手段や容器２１内部の樹脂量を監視する目盛が設けられている。尚、容器２１は内部の樹脂量を監視できる透明な容器であっても良い。
【００１４】
本実施形態のインターコネクタ１０を製造する場合には、まず図４に示すように、容器２１の底面に位置決めプレート２２を配置し、この位置決めプレート２２の上方にこれと平行に他の位置決めプレート２２を配置して固定する。この時、上下の位置決めプレート２２、２２の各貫通孔２２Ａはそれぞれ垂直線上に位置している。上下の位置決めプレート２２、２２の間隔は製造するインターコネクタ１０の枚数に応じて適宜設定されている。
【００１５】
引き続き、図４に示すように所定寸法に揃えられた導電性線条１２Ａを上下の位置決めプレート２２、２２の貫通孔２２Ａ、２２Ａの全てに差し込み、各導電性線条１２Ａを容器２１内に垂直に配列する。
【００１６】
その後、図示しない供給口から容器２１内に液状のシリコンゴムを所定量だけ供給して固化させ、図５に示すようにシリコンゴムからなる絶縁性シート層１１Ａを位置決めプレート２２上に積層して形成する。この絶縁性シート層１１Ａの厚さは絶縁性シート１１の厚さ例えば１ｍｍに設定されている。絶縁性シート層１１Ａが固化して形成された後、図６に示すように液状の合成樹脂を所定量だけ供給して固化させて合成樹脂層２３を形成する。この合成樹脂層２３の厚さは例えば接続端子１２の突出寸法の二倍の寸法に設定されている。引き続き、液状のシリコンゴム及び液状の合成樹脂をそれぞれ上述した場合と同一量ずつ交互に繰り返し供給し、絶縁性シート層１１Ａ及び合成樹脂層２３を交互に積層し、最上層には絶縁性シート層１１Ａを形成する。
【００１７】
絶縁性シート層１１Ａ及び合成樹脂層２３が固化すると位置決めプレート２２、絶縁性シート層１１Ａ、合成樹脂層２３及び導電性線条１２Ａは容器２１内で一体化して円柱状の樹脂ブロックが形成される。この樹脂ブロックを容器２１から離型すると、図７に示すように位置決めプレート２２、２２間で絶縁性シート層１１Ａ及び合成樹脂層２３が交互に積層された縞模様が現れる。
【００１８】
次いで、各合成樹脂層２３の厚さの中間位置で樹脂ブロックを順次切断すると、絶縁性シート層１１Ａが合成樹脂層２３で挟まれた三層構造の円形プレートが所定枚数だけ切り出される。この円形プレートの合成樹脂層２３を絶縁性シート層１１Ａから剥ぎ取って除去すると、絶縁性シート１１の両面から接続端子１２が突出した、図１、図２に示すインターコネクタ１０が得られる。樹脂ブロックの両端から得られた円形プレートは片面が位置決めプレート２２で形成されている。しかし、位置決めプレート２２は他方の面の合成樹脂層２３と同一厚さに設定されているため、位置決めプレート２２及び合成樹脂層２３を除去した時の接続端子１２の突出寸法は同一になる。
【００１９】
上記インターコネクタ１０を用いて所定のパターンで配列された電極群３１を有する端子板３０を接続する場合には、図３に示すように一対の端子板３０、３０の間にインターコネクタ１０を介在させる。この状態で端子板３０、３０から矢印で示すような圧縮力を付与すると、各端子板３０の電極群３１の各電極が同図に示すように絶縁性シート１１から突出した接続端子１２の両端面に接触する。この時の圧縮力によりインターコネクタ１０の各接続端子１２は同図に示すように絶縁性シート１１内で湾曲し、電極群３１の各電極と弾力的に接触し、一対の端子板３０、３０の各電極群３１、３１を確実に接続して電気的に導通させる。
【００２０】
以上説明したように本実施形態によれば、容器２１内で導電性線条１２Ａを所定のパターンで配列した後、互いに剥離可能な絶縁性シート層１１Ａ及び合成樹脂層２３を交互に積層して導電性線条１２Ａと一体化した樹脂ブロックを容器２１から離型し、次いで樹脂ブロックを合成樹脂層２３の中間位置で切断して円形プレートを切り出した後、合成樹脂層２３を絶縁性シート層１１Ａから剥離するようにしたため、接続対象の電極群３１の配列に合わせて接続端子１１の配列パターンを選択して製造することができると共に同時に複数枚ずつ製造することができ、生産効率を高めることができる。
【００２１】
また、絶縁性シート１１の両面から弾性変形自在な接続端子１２が突出しているため、複数の接続端子１２が端子板３０の電極群３１の対応する電極と確実に接触することができ、しかも電極群３１からの圧縮力を弾性変形自在な接続端子１２によって受けることができ、圧縮力を繰り返し受けても初期の接続性能を維持することができ、耐久性に優れたインターコネクタ１０を得ることができる。従って、本実施形態のインターコネクタ１０は半導体ウエハ等の検査装置のコンタクタとメインボード間のインターポーザ等として好適に用いることができる。また、位置決めプレート２２における貫通孔２２Ａの配列パターンを狭ピッチ化することで接続端子１２の狭ピッチ化に対応することができる。
【００２２】
尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではなく、必要に応じて各構成要素を適宜設計変更することができる。
【００２３】
【発明の効果】
本発明によれば、接続対象の電極群の配列に合わせて接続端子群の配列パターンを選択して製造することができると共に効率良く製造することができ、しかも耐久性に優れたインターコネクタの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のインターコネクタの一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示すインターコネクタの断面を拡大して示す断面図である。
【図３】図１に示すインターコネクタを用いて端子板を接続した状態を示す要部断面図である。
【図４】本発明のインターコネクタの製造方法の一実施形態の最初の段階の工程を説明するための断面図である。
【図５】図４に続く工程を説明するために要部を拡大して示す断面図である。
【図６】図５に続く工程を説明するために要部を拡大して示す断面図である。
【図７】図４に示す容器から離型した一体化物を示す断面図である。
【符号の説明】
１０ インターコネクタ
１１ 絶縁性シート
１１Ａ 絶縁性シート
１２ 接続端子
１２Ａ 導電性線条
２１ 容器
２２ 位置決めプレート
２３ 合成樹脂層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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