(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シールド板を有し、潤滑剤によって潤滑されている転がり軸受において、
軸受内に存在する炭化水素、硫化水素、およびアンモニアの少なくともいずれかの気体を検出するガスセンサを備えた潤滑剤劣化検出装置を備え、
シールド板の円板部に開口部を設け、この開口部にセラミックスフィルタを介して、前記ガスセンサを設けたことを特徴とする転がり軸受。
【請求項２】
シールド板を有し、潤滑剤によって潤滑されている転がり軸受において、
軸受内に存在する潤滑剤に含まれている水分を検出する水分センサを備えた潤滑剤劣化検出装置を備え、
シールド板の円板部に開口部を設け、この開口部にセラミックスフィルタを介して、前記水分センサを設けたことを特徴とする転がり軸受。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、潤滑剤劣化検出装置を備えた転がり軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】
潤滑油やグリース等の潤滑剤により潤滑されている転動装置では、潤滑剤が劣化すると、トルクの上昇、摩耗の増加、温度上昇等が生じて、異常発生の原因となる。
潤滑剤劣化の主要な原因としては、熱による分解や酸化反応による劣化（酸化劣化）が挙げられる。酸化劣化は、▲１▼潤滑剤への水分の混入、▲２▼転動装置の運転停止時に雰囲気温度が低下して潤滑剤に接触する空気中の水蒸気が凝結して水になり、潤滑剤の水分含有率が高くなること、▲３▼酸化防止剤の消耗等によって促進される。また、潤滑剤が劣化すると、酸の生成、潤滑剤成分の分解に伴う揮発性（低分子量）炭化水素の生成、ケトン基等を有する化合物の生成、および潤滑膜の厚さ低下に伴う摩耗量の増加等が生じる。
【０００３】
そのため、酸化劣化の原因である水分量や、劣化の結果として生じる摩耗の量、酸量、炭化水素の揮発量、およびケトン基等を有する化合物量を測定することにより、潤滑剤の劣化状態を判定することができる。
従来は、稼動中の転動装置から定期的に潤滑剤を採取して、例えば以下に示す方法で潤滑剤の劣化状態を検査している。その方法とは、「ＪＩＳ  Ｋ２２７５」に示されるカールフィッシャー法等により水分量を測定する方法、原子吸光分析法等で金属の定量を行うことで摩耗量を測定する方法、「ＡＳＴＭ  Ｄ３２４２」に示される全酸価試験法により酸量を測定する方法、赤外分光分析法により１７１０ｃｍ-1付近のカルボニル基に起因する吸光度を測定する方法（ケトン基量測定方法）である。
【０００４】
一方、特開平１２−１４６７６２号公報には、転がり軸受の異常を自動的に診断する装置が記載されている。この装置では、転がり軸受から発生する異常音を周波数解析することによって異常の原因を診断している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、定期的に潤滑剤を採取してその劣化状態を検査する方法では、検査と検査の間に急激に劣化が進んだ場合に異常の発生を防止することができない。そのため、転動装置内の潤滑剤の劣化度合いを常時監視できるようにすることが求められている。
また、特開平１２−１４６７６２号公報に記載の装置は、転がり軸受の外輪と内輪または軸体と転動体などの形状が不完全な場合に発生する、いわゆる「びびり音」や、傷の発生による傷音などの異常音が発生して初めて異常の診断がなされるため、異常の発生を未然に防ぐことはできない。
【０００６】
本発明は、転動装置等の異常発生を未然に防ぐことを目的とし、この目的を達成するために、転動装置等の機械内の潤滑剤の劣化状態を常時検出することのできる装置を提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、シールド板を有し、潤滑剤によって潤滑されている転がり軸受において、軸受内に存在する炭化水素、硫化水素、およびアンモニアの少なくともいずれかの気体を検出するガスセンサを備えた潤滑剤劣化検出装置を備え、シールド板の円板部に開口部を設け、この開口部にセラミックスフィルタを介して、前記ガスセンサを設けたことを特徴とする転がり軸受を提供する。
【０００８】
この潤滑剤劣化検出装置によれば、潤滑剤の酸化劣化に伴って生じるガス状の炭化水素、硫化水素、またはアンモニアを常時検出することによって、前記軸受内の潤滑剤の劣化状態を常時検出することができる。
ガス状の炭化水素は、前述のように、潤滑剤の酸化劣化に伴い潤滑剤成分が分解されて、低分子量の炭化水素となることにより発生する。また、潤滑剤をなす化合物が硫黄や窒素を含む場合には、潤滑剤の劣化の際に、転走面でのトライボケミカル反応によって硫化水素やアンモニアガスが発生する場合がある。そのため、炭化水素、硫化水素、およびアンモニアの少なくともいずれかの気体を検出することによって、潤滑剤の劣化を検出することができる。
【０００９】
この装置で使用できるガスセンサとしては、例えば、酸化錫、酸化ジルコニア等の酸化物を用いた、金属酸化物半導体ガスセンサ等を用いることができる。
本発明はまた、シールド板を有し、潤滑剤によって潤滑されている転がり軸受において、軸受内に存在する潤滑剤に含まれている水分を検出する水分センサを備えた潤滑剤劣化検出装置を備え、シールド板の円板部に開口部を設け、この開口部にセラミックスフィルタを介して、前記水分センサを設けたことを特徴とする転がり軸受を提供する。
【００１０】
この潤滑剤劣化検出装置によれば、潤滑剤の酸化劣化の原因である水分を常時検出することによって、前記軸受内の潤滑剤の劣化状態を常時検出することができる。
この装置で使用できる水分センサとしては、例えば、高分子膜やセラミックスを利用したインピーダンス変化型または容量変化型の湿度センサ、赤外線吸収やマイクロ波吸収等の電磁波の吸収を利用した電磁波吸収型センサ等を用いることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。
［第１実施形態］
図１〜３を用いて本発明の第１実施形態について説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に相当する潤滑剤劣化検出装置を備えた転がり軸受を示す断面図である。
【００１７】
この転がり軸受（転動装置）１は、内輪（内方部材）１１、外輪（外方部材）１２、玉（転動体）１３、保持器１４、およびシールド板１５で構成された密封型深溝玉軸受である。この転がり軸受１のシールド板１５に、潤滑剤劣化検出装置２の検出部２１が取り付けられている。潤滑剤劣化検出装置２は、この検出部２１と、装置本体２２と、これらを接続する配線２３とからなる。
図２は、シールド板１５の部分拡大図である。この図に示すように、シールド板１５の円板部１５ａに開口部１５ｂを設け、この開口部１５ｂに潤滑剤劣化検出装置２の検出部２１が取り付けられている。検出部２１は、シールド板１５と同じ金属製の筒体２１ａと、セラミックスフィルタ２１ｂと、ガスセンサ２１ｃとで構成されている。
【００１８】
セラミックスフィルタ２１ｂとガスセンサ２１ｃは筒体２１ａ内に配置されている。筒体２１ａの長さ方向一端側に、端面全体を塞ぐようにセラミックスフィルタ２１ｂが配置され、前記長さ方向中間部にガスセンサ２１ｃが配置されている。また、前記長さ方向他端側に、ガスセンサ２１ｃからの配線２３が延びている。この筒体２１ａのセラミックスフィルタ２１ｂ側の端部が、開口部１５ｂ内に配置され、円板部１５ａに接着剤により固定されている。
【００１９】
ガスセンサ２１ｃは酸化錫からなり、炭化水素の量を抵抗値で検出するセンサである。この抵抗値は炭化水素の生成量に反比例した値となる。このガスセンサ２１ｃからの抵抗値を示す電気信号が、配線２３を介して装置本体２２の演算部に入力される。この装置本体２２は、演算部で、入力された電気信号から転がり軸受１の内部に生じた炭化水素の量を算出し、この炭化水素量に基づいて転がり軸受１内の潤滑油の劣化状態を表示するように構成されている。
【００２０】
セラミックスフィルタ２１ｂは、転がり軸受１内の潤滑剤が飛散してガスセンサ２１ｃが汚染することを防止する目的で設置されている。
図１の転がり軸受１として、寸法が内径：５０ｍｍ、外径：１１０ｍｍ、幅：２７ｍｍであるものを用い、内輪回転、グリース潤滑、回転速度：３００ｒｐｍ、軸受外輪温度：７０℃、ラジアル荷重９８Ｎ（１０ｋｇｆ）の条件で連続回転させた。グリースとしては、増ちょう剤がリチウム石けんであり、基油が鉱油である市販のグリースを用いた。回転開始と同時に潤滑剤劣化検出装置２を稼働させて、転がり軸受１内に存在する炭化水素量を所定時間毎に測定することにより、転がり軸受１内の潤滑剤の劣化状態を所定時間毎に検出した。
【００２１】
すなわち、所定時間毎に、潤滑剤劣化検出装置２のガスセンサ２１ｃによる抵抗値を測定し、回転初期（回転開始から３０分後）での抵抗値を「１」とした「比抵抗値」を算出した。ガスセンサ２１ｃによる抵抗値は炭化水素量に反比例するため、「比抵抗値」は潤滑剤の劣化に伴って転がり軸受１内に増加する炭化水素量に反比例する。
この潤滑剤劣化検出装置２による潤滑剤劣化の検出確度を検証するために、所定時間毎に転がり軸受１内からグリースを採取して、「ＡＳＴＭ  Ｄ３２４２」に示される全酸価試験法によりグリースの全酸価を測定した。また、新品のグリースの全酸価を「１」とした「比全酸価」を算出した。「比全酸価」は潤滑剤の劣化に伴って大きくなる。
【００２２】
図３は、この回転試験の結果を示すグラフであって、回転時間と比抵抗値および比全酸価との関係を示す。このグラフから分かるように、潤滑剤の劣化度合いを直接示す値であって、劣化度合いに比例する「比全酸価」と、潤滑剤の劣化度合いを間接的に示す値（転がり軸受１内の炭化水素量）であって、劣化度合いに反比例する「比抵抗値」とは、ほぼ反比例の関係にある。
したがって、この潤滑剤劣化検出装置２によれば、転がり軸受１内に存在する炭化水素を常時検出することによって、転がり軸受１内の潤滑剤を採取することなく、その劣化状態を検出することができる。
［第２実施形態］
図２のガスセンサ２１ｃに代えて水分センサを用い、これ以外は前記第１実施形態と同じ構成である、潤滑剤劣化検出装置を備えた転がり軸受を作製した。水分センサとしては、セラミックス製の電気抵抗式湿度センサを用いた。
【００２３】
この湿度センサ（水分センサ）２１ｃからの抵抗値を示す電気信号が、配線２３を介して装置本体２２の演算部に入力される。この装置本体２２は、演算部で、入力された電気信号から転がり軸受１内の相対湿度を算出し、この相対湿度に基づいて転がり軸受１内の潤滑油の劣化状態を表示するように構成されている。図１の転がり軸受１として、寸法が内径：５０ｍｍ、外径：１１０ｍｍ、幅：２７ｍｍであるものを用い、内輪回転、グリース潤滑、回転速度：３００ｒｐｍ、軸受外輪温度：７０℃、ラジアル荷重９８Ｎ（１０ｋｇｆ）の条件で２０時間連続回転した後に、４時間回転を停止することを繰り返す断続運転を行った。グリースとしては、第１実施形態と同じものを使用した。回転開始と同時に潤滑剤劣化検出装置２を稼働させて、転がり軸受１内の湿度を所定時間毎に測定することにより、転がり軸受１内の潤滑剤の劣化状態を所定時間毎に検出した。
【００２４】
すなわち、断続運転中の各回転停止から１時間後に、潤滑剤劣化検出装置２の湿度センサ２１ｃによる抵抗値を測定し、回転初期（回転開始から３０分後）での相対湿度を「１」とした「比相対湿度」を算出した。
この潤滑剤劣化検出装置２による潤滑剤劣化の検出確度を検証するために、所定時間毎に転がり軸受１内からグリースを採取して、「ＪＩＳ  Ｋ  ２２７５」に示されるカールフィッシャー法でグリースに含まれる水分量を測定した。また、新品のグリースに含まれる水分量を「１」とした「比水分量」を算出した。
【００２５】
図４は、この回転試験の結果を示すグラフであって、回転時間と比相対湿度および比水分量との関係を示す。このグラフから分かるように、潤滑剤に含まれる水分量を直接測定した「比水分量」と、潤滑剤に含まれる水分量を間接的に測定した「比相対湿度」とは、ほぼ比例の関係にある。
したがって、この潤滑剤劣化検出装置２によれば、転がり軸受１内の相対湿度を常時検出することによって、転がり軸受１内の潤滑剤を採取することなく、その劣化状態を検出することができる。
［第３実施形態］
図５〜７を用いて本発明の第３実施形態について説明する。
【００２６】
図５は、循環式のジェット潤滑機構を備えた軸受装置を示す断面図である。この軸受装置では、主軸３１とこれと一体に回転するスリーブ３２とからなる回転軸３が、ハウジング４に対して、４個の転がり軸受５１〜５４によって回転自在に支持されている。ハウジング４には、各転がり軸受５１〜５４に潤滑油を供給するための給油口４１，４２および給油路４１ａ，４２ａと、各転がり軸受５１〜５４内を通った潤滑油を排出するための、排油口４３，４４および排油路４３ａ，４４ａが設けられている。ハウジング４には、また、別の排油口４５、４６とオイルポケット４６ａが設けてある。
【００２７】
給油口４１，４２は、配管７１により潤滑油のリザーバ６と接続されている。排油口４３〜４６は、それぞれ配管７３〜７６により潤滑油のリザーバ６と接続されている。配管７１と給油口４１，４２との間には分配器７７が設けてある。また、配管７１には、流量調整弁７８ａ，７８ｂの作動に伴ってリザーバ６に潤滑油を戻すための分岐配管７８が設けてある。
リザーバ６の潤滑油は、ポンプでくみ上げられて配管７１から分配器７７を介して給油口４１，４２に向かう。さらに、ハウジング４の給油路４１ａ，４２ａを通って、４個の転がり軸受５１〜５４に供給され、排油路４３ａ，４４ａを通って排油口４３，４４からリザーバ６に向かう。
【００２８】
この軸受装置には、潤滑油供給用の配管７１の分配器７７より少し上流部に、潤滑剤劣化検出装置８が設置されている。この潤滑剤劣化検出装置８は、検出部８１と、装置本体８２と、これらを接続する配線８３とからなり、１７１０ｃｍ-1のカルボニル基に起因する吸光度を測定し、この吸光度に基づいて配管７１内の潤滑油の劣化状態を表示するように構成されている。
図６に示すように、配管７１よりも径が小さい小径配管７１ａが配管７１に接続してあり、検出部８１は、この小径配管７１の位置に配置されている。検出部８１は、赤外分光光度計を構成する赤外線発光器８１ａおよび検出器８１ｂと、試料セル部８１ｃとからなる。試料セル部８１ｃは２枚のＫＢｒ結晶板からなり、小径配管７１に平行に対向する配置で固定されている。２枚のＫＢｒ結晶板の間隔は２ｍｍとした。赤外線発光器８１ａと検出器８１ｂは、この２枚のＫＢｒ結晶板（試料セル部）８１ｃを挟んで対向する位置に配置されている。
【００２９】
図５の転がり軸受５１〜５４として、内輪、外輪および転動体がＳＵＪ２製であり、寸法が内径：６５ｍｍ、外径：１００ｍｍ、幅：１８ｍｍであるアンギュラ玉軸受を用い、内輪回転、回転速度：ｄmn値（ｍｍ・ｒｐｍ）が６０万、軸受温度：１２０℃の条件で連続運転した。なお、連続運転の前に１０時間慣らし運転を行った。潤滑油としては、アメリカ空軍規格の「ＭＩＬ−Ｌ−２３６９９」に適合するガスタービンオイルを用いた。
【００３０】
連続運転の回転開始と同時に潤滑剤劣化検出装置８を稼働させて、配管７１ａ内に存在するの潤滑油の１７１０ｃｍ-1での吸光度を所定時間毎に測定した。すなわち、潤滑油の劣化に伴って生成されるケトン基を含有する化合物の量を測定することにより、配管７１ａ内に存在する潤滑剤の劣化状態を所定時間毎に検出した。そして、測定された各吸光度から、連続運転の回転開始時の前記吸光度を「１」とした「比赤外吸収度」を算出した。
【００３１】
この潤滑剤劣化検出装置８による潤滑剤劣化の検出確度を検証するために、リザーバ６から潤滑油を採取して、「ＡＳＴＭ  Ｄ３２４２」に示される全酸価試験法により潤滑油の全酸価を測定した。また、新品の潤滑油の全酸価を「１」とした「比全酸価」を算出した。
図７は、この回転試験の結果を示すグラフであって、回転時間と比赤外吸収度および比全酸価との関係を示す。このグラフから分かるように、潤滑剤の劣化度合いを直接示す値であって、劣化度合いに比例する「比全酸価」と、潤滑剤の劣化度合いを間接的に示す値（ケトン基を含有する化合物の量）であって、劣化度合いに比例する「比赤外吸収度」とは、ほぼ比例の関係にある。
【００３２】
したがって、この潤滑剤劣化検出装置８によれば、潤滑油供給配管７１内に存在するケトン基を含有する化合物量を常時検出することによって、軸受装置に供給される潤滑剤を採取することなく、その劣化状態を検出することができる。
［第４実施形態］
図５に示す軸受装置の潤滑剤劣化検出装置８を構成する検出部８１として、圧電セラミックスを用いたショックセンサ（異物センサ）を使用した。ショックセンサは、衝撃に起因する急激な電圧の変化を検出するセンサである。図８に示すように、このショックセンサ８１を、配管７１の潤滑油の流れる方向に対して傾斜し、且つ検出面全体が配管７１内に配置されるように取り付けた。これにより、配管７１内の潤滑油はショックセンサ８１に接触しながら流れるため、ショックセンサ８１により潤滑油に存在する異物が検出される。
【００３３】
これ以外は第３実施形態と同じ構成とし、同じ方法で図５の軸受装置を回転させた。回転開始と同時に潤滑剤劣化検出装置８を稼働させて、ショックセンサ８１により配管７１内の潤滑油に存在する異物を検出した。ここでは、ショックセンサ８１が１分間に検出した異物数を「異物カウント数」として検出した。また、連続運転の回転開始時の「異物カウント数」を「１」とした「比異物カウント数」を算出した。
【００３４】
この潤滑剤劣化検出装置８による潤滑剤劣化の検出確度を検証するために、所定時間毎に、リザーバ６から潤滑油を採取して、原子吸光分析法により潤滑油に含まれる鉄粉量を測定した。測定された各摩耗量から、連続運転の回転開始時の前記摩耗量を「１」とした「比摩耗量」を算出した。
図９は、この回転試験の結果を示すグラフであって、回転時間と比異物カウント数および比摩耗量との関係を示す。このグラフから分かるように、潤滑油に含まれる異物の量を直接測定した「比摩耗量」と、潤滑油に含まれる異物の量を間接的に測定した「比異物カウント数」とは、ほぼ比例の関係にある。
【００３５】
したがって、この潤滑剤劣化検出装置８によれば、潤滑油供給配管７１内に存在する潤滑油に含まれる異物をショックセンサ８１により常時検出することによって、軸受装置に供給される潤滑剤を採取することなく、その劣化状態を検出することができる。
［第５実施形態］
図５に示す軸受装置の潤滑剤劣化検出装置８を構成する検出部８１として、人工脂質高分子膜を利用した味覚センサを使用した。この味覚センサにより、潤滑剤の劣化によって増加する酸味成分量（水素イオン濃度）が、膜電位の値として検出できる。
【００３６】
図１０に示すように、この味覚センサ８１を、配管７１に設けた開口部７１ｂに、検出面が配管７１の内面より外側となるようにして取り付けた。開口部７１ｂは、配管７１の外側から内側に向けて寸法が小さくなるテーパ状に設けた。これにより、配管７１内の潤滑油が一時的に開口部７１ｂの部分に溜まるため、膜電位の測定が確実に行われる。
これ以外は第３実施形態と同じ構成とし、同じ方法で図５の軸受装置を回転させた。回転開始と同時に潤滑剤劣化検出装置８を稼働させて、味覚センサ８１による膜電位値を測定した。すなわち、潤滑油の劣化に伴って生成される酸味成分に起因する水素イオン濃度を測定することにより、配管７１ａ内に存在する潤滑剤の劣化状態を所定時間毎に検出した。そして、測定された膜電位から、回転開始時の膜電位を「１」とした「比膜電位」を算出した。
【００３７】
この潤滑剤劣化検出装置８による潤滑剤劣化の検出確度を検証するために、リザーバ６から潤滑油を採取して、「ＡＳＴＭ  Ｄ３２４２」に示される全酸価試験法により潤滑油の全酸価を測定した。また、新品の潤滑油の全酸価を「１」とした「比全酸価」を算出した。
図１１は、この回転試験の結果を示すグラフであって、回転時間と比膜電位および比全酸価との関係を示す。このグラフから分かるように、潤滑剤の劣化度合いを直接示す値であって、劣化度合いに比例する「比全酸価」と、潤滑剤の劣化度合いを間接的に示す値（水素イオン濃度）であって、劣化度合いに比例する「比膜電位」とは、ほぼ比例の関係にある。
【００３８】
したがって、この潤滑剤劣化検出装置８によれば、潤滑油供給配管７１内に存在する潤滑油に含まれる水素イオン濃度を常時検出することによって、軸受装置に供給される潤滑剤を採取することなく、その劣化状態を検出することができる。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、転動装置等の機械内の潤滑剤の劣化状態を常時検出することができるため、転動装置等の異常発生を未然に防ぐことができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１および第２実施形態に相当する、潤滑剤劣化検出装置を備えた転がり軸受を示す断面図である。
【図２】本発明の第１および第２実施形態に相当する、潤滑剤劣化検出装置の検出部を示す断面図（シールド板の部分拡大図）である。
【図３】第１実施形態の回転試験結果を示すグラフであって、回転時間と、ガスセンサによる比抵抗値および直接測定した比全酸価との関係を示す。
【図４】第２実施形態の回転試験結果を示すグラフであって、回転時間と、湿度センサによる比相対湿度および直接測定した比水分量との関係を示す。
【図５】本発明の第３〜５実施形態に相当する、潤滑剤劣化検出装置を備えた軸受装置を示す断面図である。
【図６】本発明の第３実施形態に相当する、潤滑剤劣化検出装置の検出部を示す断面図である。
【図７】第３実施形態の回転試験結果を示すグラフであって、回転時間と、赤外分光光度計による比赤外吸収度および直接測定した比全酸価との関係を示す。
【図８】本発明の第４実施形態に相当する、潤滑剤劣化検出装置の検出部を示す断面図である。
【図９】第４実施形態の回転試験結果を示すグラフであって、回転時間と、ショックセンサによる比異物カウント数および直接測定した比摩耗量との関係を示す。
【図１０】本発明の第５実施形態に相当する、潤滑剤劣化検出装置の検出部を示す断面図である。
【図１１】第５実施形態の回転試験結果を示すグラフであって、回転時間と、味覚センサによる比膜電位および直接測定した比全酸価との関係を示す。
【符号の説明】
１  転がり軸受（転動装置）
１１  内輪（内方部材）
１２  外輪（外方部材）
１３  玉（転動体）
１４  保持器
１５  シールド板
１５ａ  円板部
１５ｂ  開口部
２  潤滑剤劣化検出装置
２１  検出部
２２  装置本体
２３  配線
２１ａ  筒体
２１ｂ  セラミックスフィルタ
２１ｃ  ガスセンサ、湿度センサ（水分センサ）
３  回転軸
３１  主軸
３２  スリーブ
４  ハウジング
４１，４２  給油口
４１ａ，４２ａ  給油路
４３，４４  排油口
４３ａ，４４ａ  排油路
４５、４６  排油口
４６ａ  オイルポケット
５１〜５４  転がり軸受
６  リザーバ
７１  配管
７１ａ  小径配管
７１ｂ  配管の開口部
７３〜７６  配管
７７  分配器
７８ａ，７８ｂ  流量調整弁
７８  分岐配管
８  潤滑剤劣化検出装置
８１  検出部
８１ａ  赤外線発光器
８１ｂ  検出器
８１ｃ  ２枚のＫＢｒ結晶板からなる試料セル部
８２  装置本体
８３  配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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