(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の地点において、第２の地点にあるフォトマスクデータの図形を表示する、あるいは、表示された第２の地点にあるフォトマスクデータの表示図形と、第１の地点にあるフォトマスクデータの表示図形とを重ねて表示するための表示装置であって、第１の地点には、フォトマスクデータ、あるいはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積する第１の記憶手段と、表示領域や表示倍率情報を含むクリップ情報をもとに、キャッシュファイルのファイルシーク情報により第１の記憶手段中を検索し、フォトマスクデータの対応する図形データを、あるいはキャッシュファイルから省略図形データを取得する第１の図形データ取得手段と、図形データ取得手段により得られた図形データ、省略図形データの表示を制御するための図形表示制御手段と、これらの図形を表示するための表示手段と、表示するフォトマスクデータ名、表示する領域等を入力するための入力部と、第２の地点と通信するための第１の通信手段と、各部を制御するための制御部とを備えており、第２の地点には、フォトマスクデータ、あるいはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積する第２の記憶手段と、表示領域や表示倍率情報を含むクリップ情報をもとに、キャッシュファイルのファイルシーク情報により、第２の記憶手段中を検索し、フォトマスクデータの対応する図形データを、あるいはキャッシュファイルから省略図形データを取得する第２の図形データ取得手段と、第１の地点と通信するための第２の通信手段とを備えており、前記第１の地点、あるいは第２の地点における図形データ取得手段は、クリップ情報等の入力情報をもとに、キャッシュファイルから情報を取得し、フォトマスクデータの図形をそのまま取得し、これを表示させるか、フォトマスクデータの省略図形を発生させ、これを表示させるかを決定する、表示方法決定手段と、キャッシュファイルのファイルシーク情報をもとに、フォトマスクデータの図形を取得する図形取得手段と、キャッシュファイルの省略図形情報をもとに、フォトマスクデータの省略図形を発生させる省略図形発生手段とを有するものであり、前記表示方法決定手段は、フォトマスクデータの図形を取得し、これを表示させる場合には、ファイルシーク情報を図形取得手段に渡し、図形取得手段は、該当するフォトマスクデータの図形データを第１の記憶手段から取得し、直接ないし通信手段を経て、これを図形表示制御手段に渡すもので、且つ、フォトマスクデータの省略図形を発生させる場合には、省略図形情報を省略図形発生手段に渡し、省略図形発生手段は、該当する省略図形を発生させ、直接ないし通信手段を経て、これを図形表示制御手段に渡すものであることを特徴とするフォトマスクデータの表示装置。
【請求項２】
請求項１において、第１の地点、第２の地点において、それぞれ、記憶手段に目的とする描画装置用のフォトマスクデータのキャッシュファイルが存在するか否かを確認するためのキャッシュファイル存在確認手段と、描画装置用のフォトマスクデータに対応したキャッシュファイルを作成するためのキャッシュファイル作成手段とを備えていることを特徴とするフォトマスクデータの表示装置。
【請求項３】
請求項１ないし２において、フォトマスクデータが描画装置用のフォトマスクデータである場合、そのキャッシュファイルは、描画装置用のフォトマスクデータに対応して、所定数の図形からなる複数の図形群データに分け、前記複数の図形群データを連ねてまとめたもので、各図形群データは、図形数、図形面積、図形ゾーン、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス先頭及び末尾、図形領域を所定のメッシュで区切った場合、区切られた箇所毎に図形が存在しているか否かを表現するビットマップとを有するもので、各図形群のファイルシークアドレス先頭及び末尾を、フォトマスクデータの図形を取得する際の、ファイルシーク情報として、ビットマップを、省略図形データを発生させる際の、省略情報として、用いるものであることを特徴とするフォトマスクデータの表示装置。
【請求項４】
請求項１ないし３において、フォトマスクデータが大規模ＬＳＩ用フォトマスクデータであることを特徴とするフォトマスクデータの表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フォトマスクデータの表示装置に関し、第１の地点において、第１の地点から遠隔の地である第２の地点にあるフォトマスクデータの図形を表示する、あるいは、表示された第２の地点にあるフォトマスクデータの表示図形と、第１の地点にあるフォトマスクデータの表示図形とを重ねて表示するための表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子機器の高機能化と軽薄短小の傾向から、ＡＳＩＣに代表される種々のＬＳｌには、ますます高集積化、高機能化が求められるようになってきた。
上記ＡＳＩＣ等のＬＳＩは、機能、論理設計、回路設計、レイアウト設計等を経て、フォトマスクパタン作製用の図形データを作製し、これを用いてフォトマスクを作製した後、フォトマスクのパタンをウエハ上に縮小投影露光等により転写して、半導体素子作製のプロセスを行うという数々の工程を経て作製されるものである。
【０００３】
このような中、ＬＳＩ産業界では、一般的に、ＬＳＩ設計工程及びフォトマスク製造工程における、ＬＳＩレイアウトデータのファイルフォーマットとし、ストリームフォーマット（Ｓｔｒｅａｍ  Ｆｏｒｍａｔ）を使用しているが、更に、このストリームフォーマットからなるＬＳＩレイアウトデータをデータフォーマット変換して、描画装置用のフォトマスクデータとして、各描画装置に供されている。
描画装置用のフォトマスクデータとしては、例えば、ラスター型の電子線描画装置用ではＭＥＢＥＳフォーマット（パーキンエルマー社製描画装置用）やＥＢＭフォーマット（東芝製描画装置用）等があり、ベクター型の電子線描画装置用としては、Ｊｅｏｌフォーマット（日本電子株式会社製描画装置用）等があるが、他にも種々ある。
【０００４】
そして、この描画装置用のフォトマスクデータをディスプレイ装置上に表示し、拡大、縮小表示を行いながら、描画装置用に変換されたフォトマスクデータの確認、パターン配置の確認や、寸法検査箇所の特定、不良発生時のデータ欠陥解析等の作業を行なうことがある。
例えば、従来は、ＬＳＩ設計拠点、あるいは、ＬＳＩ製造拠点と、描画装置用フォトマスクデータが存在するフォトマスク製造拠点とが遠く離れている場合、描画装置用フォトマスクデータの変換結果の確認、パターン配置の確認、寸法検査箇所の特定、不良発生時のデータ欠陥解析等の作業を行なう際には、フォトマスク製造拠点から、遠く離れているＬＳＩ設計拠点、あるいは、ＬＳＩ製造拠点まで、フォトマスクデータを通信により転送し、フォトマスクデータをビューイングしていた。
フォトマスクデータが大規模である場合には、通信には長時間かかる。
しかし、近年、ますますフォトマスクデータ、特に描画装置用のフォトマスクデータは大規模化が急で、これに伴ない、フォトマスクデータのビューイングに費やす時間が増大化し、作業性の面から問題化してきた。
尚、従来は、任意の表示領域を、拡大、縮小表示する場合においても、描画装置用のフォトマスクデータの先頭から末尾まで全てのデータを検索した結果から、該当する図形情報を表示していたため、フォトマスクデータのビューイングに費やす時間が更に増大化していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、ＬＳＩ設計拠点、あるいは、ＬＳＩ製造拠点と、描画装置用フォトマスクデータが存在するフォトマスク製造拠点とが遠く離れている場合、一方の拠点において、他方の拠点のフォトマスクデータの図形を表示させる際、他方側拠点のフォトマスクデータを前記一方側拠点に通信により転送して、このフォトマスクデータの図形を表示するが、近年、描画装置用のフォトマスクデータの大規模化がますます進む中、転送されるフォトマスクデータのデータ量が大きい場合は、フォトマスクデータのビューイングに費やす時間が増大化し、作業性の面から問題化してきた。
本発明は、これに対応するもので、ＬＳＩ設計拠点、あるいは、ＬＳＩ製造拠点と、描画装置用フォトマスクデータが存在するフォトマスク製造拠点とが遠く離れている場合、一方の拠点において、他方の拠点のフォトマスクデータの図形を表示させる際、そのデータ量が増大化しても、フォトマスクデータのビューイングに費やす時間が増大化せず、作業性の面から実用的レベルでビューイングが行なえるフォトマスクデータ表示装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のフォトマスクデータの表示装置は、第１の地点において、第２の地点にあるフォトマスクデータの図形を表示する、あるいは、表示された第２の地点にあるフォトマスクデータの表示図形と、第１の地点にあるフォトマスクデータの表示図形とを重ねて表示するための表示装置であって、第１の地点には、フォトマスクデータ、あるいはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積する第１の記憶手段と、表示領域や表示倍率情報を含むクリップ情報をもとに、キャッシュファイルのファイルシーク情報により第１の記憶手段中を検索し、フォトマスクデータの対応する図形データを、あるいはキャッシュファイルから省略図形データを取得する第１の図形データ取得手段と、図形データ取得手段により得られた図形データ、省略図形データの表示を制御するための図形表示制御手段と、これらの図形を表示するための表示手段と、表示するフォトマスクデータ名、表示する領域等を入力するための入力部と、第２の地点と通信するための第１の通信手段と、各部を制御するための制御部とを備えており、第２の地点には、フォトマスクデータ、あるいはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積する第２の記憶手段と、表示領域や表示倍率情報を含むクリップ情報をもとに、キャッシュファイルのファイルシーク情報により、第２の記憶手段中を検索し、フォトマスクデータの対応する図形データを、あるいはキャッシュファイルから省略図形データを取得する第２の図形データ取得手段と、第１の地点と通信するための第２の通信手段とを備えており、前記第１の地点、あるいは第２の地点における図形データ取得手段は、クリップ情報等の入力情報をもとに、キャッシュファイルから情報を取得し、フォトマスクデータの図形をそのまま取得し、これを表示させるか、フォトマスクデータの省略図形を発生させ、これを表示させるかを決定する、表示方法決定手段と、キャッシュファイルのファイルシーク情報をもとに、フォトマスクデータの図形を取得する図形取得手段と、キャッシュファイルの省略図形情報をもとに、フォトマスクデータの省略図形を発生させる省略図形発生手段とを有するものであり、前記表示方法決定手段は、フォトマスクデータの図形を取得し、これを表示させる場合には、ファイルシーク情報を図形取得手段に渡し、図形取得手段は、該当するフォトマスクデータの図形データを第１の記憶手段から取得し、直接ないし通信手段を経て、これを図形表示制御手段に渡すもので、且つ、フォトマスクデータの省略図形を発生させる場合には、省略図形情報を省略図形発生手段に渡し、省略図形発生手段は、該当する省略図形を発生させ、直接ないし通信手段を経て、これを図形表示制御手段に渡すものであることを特徴とするものである。
そして、上記において、第１の地点、第２の地点において、それぞれ、記憶手段に目的とする描画装置用のフォトマスクデータのキャッシュファイルが存在するか否かを確認するためのキャッシュファイル存在確認手段と、描画装置用のフォトマスクデータに対応したキャッシュファイルを作成するためのキャッシュファイル作成手段とを備えていることを特徴とするものである。
そしてまた、上記において、フォトマスクデータが描画装置用のフォトマスクデータである場合、そのキャッシュファイルは、描画装置用のフォトマスクデータに対応して、所定数の図形からなる複数の図形群データに分け、前記複数の図形群データを連ねてまとめたもので、各図形群データは、図形数、図形面積、図形ゾーン、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス先頭及び末尾、図形領域を所定のメッシュで区切った場合、区切られた箇所毎に図形が存在しているか否かを表現するビットマップとを有するもので、各図形群のファイルシークアドレス先頭及び末尾を、フォトマスクデータの図形を取得する際の、ファイルシーク情報として、ビットマップを、省略図形データを発生させる際の、省略情報として、用いるものであることを特徴とするものである。
また、上記において、フォトマスクデータが大規模ＬＳＩ用フォトマスクデータであることを特徴とするものである。
【０００７】
尚、第１の地点と第２の地点とは、ここでは、ネットワーク（ＬＡＮ、ＷＡＮ）により接続されている地点を意味し、通常は、両地点間の距離が長距離であるが、両地点間の距離が短距離でも良い。
また、大規模ＬＳＩ用フォトマスクデータとは、ここでは、一般に知られるところの数百万個以上のトランジスタを搭載したロジックＬＳＩ、メモリーＬＳＩ、ＡＳＩＣのフォトマスクデータであり、そのファイルサイズもギガバイトオーダーであることを意味する。
【０００８】
【作用】
本発明のフォトマスクデータの表示装置は、このような構成にすることにより、ＬＳＩ設計拠点、あるいは、ＬＳＩ製造拠点と、描画装置用フォトマスクデータが存在するフォトマスク製造拠点とが遠く離れている場合、一方の拠点において、他方の拠点のフォトマスクデータの図形を表示させる際、そのデータ量が増大化ても、フォトマスクデータのビューイングに費やす時間が増大化せず、作業性の面から実用的レベルでビューイングが行なえるフォトマスクデータ表示装置の提供を可能としている。
特に、描画装置用のフォトマスクデータのファイルサイズが大規模化した場合でも、サイズに依存せず、フォトマスクデータの図形情報の表示、あるいは、表示領域の拡大、縮小表示を、実用レベルの時間内で行なえる表示装置の提供を可能としている。
具体的には、第１の地点には、フォトマスクデータ、あるいはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積する第１の記憶手段と、表示領域や表示倍率情報を含むクリップ情報をもとに、キャッシュファイルのファイルシーク情報により第１の記憶手段中を検索し、フォトマスクデータの対応する図形データを、あるいはキャッシュファイルから省略図形データを取得する第１の図形データ取得手段と、図形データ取得手段により得られた図形データ、省略図形データの表示を制御するための図形表示制御手段と、これらの図形を表示するための表示手段と、表示するフォトマスクデータ名、表示する領域等を入力するための入力部と、第２の地点と通信するための第１の通信手段と、各部を制御するための制御部とを備えており、第２の地点には、フォトマスクデータ、あるいはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積する第２の記憶手段と、表示領域や表示倍率情報を含むクリップ情報をもとに、キャッシュファイルのファイルシーク情報により、第２の記憶手段中を検索し、フォトマスクデータの対応する図形データを、あるいはキャッシュファイルから省略図形データを取得する第２の図形データ取得手段と、第１の地点と通信するための第２の通信手段とを備えていることにより、これを達成している。
詳しくは、本発明のフォトマスクデータ表示装置では、目的とするフォトマスクデータを表示する際には、キャッシュファイルを用いるものであって、図形データを取得するためのシーク情報を持たせておくことにより、フォトマスクデータ全てを遠く離れた地点に通信により転送することはせず、表示に必要なフォトマスクデータの表示する領域のみの図形データを検索して遠く離れた地点に通信により転送することを可能としている。
また、描画装置用のフォトマスクデータに省略図形データを持たせておくことにより、必要に応じ、省略図形データを用いて表示することを可能としている。
これらにより、フォトマスクデータの指定領域のビューイングを、実用レベルの時間範囲内で表示することを可能としている。
【０００９】
描画装置用のフォトマスクデータのキャッシュファイルとしては、描画装置用のフォトマスクデータに対応して、所定数の図形からなる複数の図形群データに分け、これを連ねてまとめたものが用いられる。
そして、その各図形群データとしては、図形数、図形面積、図形ゾーン、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス先頭及び末尾、図形領域を所定のメッシュで区切った場合、区切られた箇所毎に図形が存在しているか否かを表現するビットマップとを有するものが挙げられる。
この場合、各図形群のファイルシークアドレス先頭及び末尾を、描画装置用のフォトマスクデータの図形を取得する際の、ファイルシーク情報（地図情報とも言う）として、また、ビットマップを省略図形データを発生させる際の、省略情報として、用いることができる。
フォトマスクデータがソースデータ（ＬＳＩレイアウトデータとも言い、通常、ストリームフォーマットデータである）の場合も、そのデータファイル内の、個々の図形情報の連続した並びにおいて、順に、連続する任意の数の図形情報を１つの集合として捉えて、全体を複数の集合に分け、各集合毎に、集合内の図形情報、集合領域情報、ファイルシーク情報を持たせた地図情報を作成し、これをキャッシュファイルとすることができる。
勿論、この場合も、各集合毎にビットマップを省略図形データを発生させる際の、省略情報として、用いることができる。
【００１０】
本発明によれば、キャッシュファイルに図形群の地図情報を予め準備しておき、実際の表示の際、この地図情報を基に、描画装置用のフォトマスクデータ中の特定箇所から図形検索し、表示することができるし、場合によっては、キャッシュファイルの省略図形データを用いて、省略図形を表示することができる。
また、本発明によれば、基本的に、従来に見られるような、描画装置用のフォトマスクデータ全域の通信による転送や全域の検索を必要としないことから、データサイズに依存せず、表示時間を実用レベルの所定時間の範囲内に抑えることが可能となる。
また、特に、描画装置用のフォトマスクデータが大規模フォトマスクデータである場合には、有効である。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態例を挙げ、図に基づいて説明する。
図１は本発明のフォトマスクデータ表示装置の実施の形態の１例の概略構成を示した図で、図２は、図１において、第１の地点における構成を更に詳しく示した図で、図３は表示状態を示した図で、図４（ａ）はキャッシュファイルの構造を示した図で、図４（ｂ）はフォトマスク上の図形配置と図形群、図形の関係を説明するための図で、図４（ｃ）はキャッシュファイルのシーク先端位置とシーク末尾位置と、対応するフォトマスクデータの格納位置との関係を説明するための図で、図５はビットマップ表示を説明するための図で、図６（ａ）、図６（ｂ）、図６（ｃ）はビットマップの状態を示した図で、図６（ａ１）、図６（ｂ１）、図６（ｃ１）は、それぞれ、図６（ａ）、図６（ｂ）、図６（ｃ）に対応して発生させる省略図形を示した図で、図７（ａ）は図形群の図形を図示したもので、図７（ｂ）は図７（ａ）の図形群を省略表示した状態を示した図で、図８（ａ）はストリームフォーマットデータのファイル構造と図形集合との関係を示した図で、図８（ｂ）はキャッシュファイル構造を示した図で、図９はストリームフォーマットデータの別のキャッシュファイル構造を示した図である。
尚、図１における点線四角部Ａ１は第２の地点における構成を示したもので、Ａ１以外は第１の地点における構成であり、図２における点線内が第１の図形データ取得手段１２を示したものである。
また、図５（ａ）は所定のメッシュで分割した状態を図示した図で、図５（ｂ）は各分割領域Ａ（ｍ、ｎ）に対応するビット状態を、分割領域の配置に合せ配列したものである。
図１〜図５、図８において、１１は第１の記憶手段（磁気ディスク）、１２は第１の図形データ取得手段、１３は図形表示制御手段、１４は表示手段（ディッスプレイ）、１５は制御部、１６は入力手段、１７は通信手段、２１は第２の記憶手段（磁気ディスク）、２２は第２の図形データ取得手段、２７は通信手段、３１、３２、３２ａ、３２ｂは図形データあるいは省略図形データ、３３は表示図形データ、４１、４２はクリップ情報、４３、４３ａはクリップ情報等の通信情報、１２０はキャッシュファイル存在確認手段、１３０はキャッシュファイル作成手段、１４０は表示方法決定手段、１５０は省略図形発生手段、１６０は図形取得手段、２１０はフォトマスクデータ、２１１は図形情報、２２０はキャッシュファイル、２２１はキャッシュ情報、２３０は入力情報（表示位置、データ名、クリップ情報等）、２４０は省略情報（ビットマップ情報）、２５０はファイルシーク情報、、２７０はキャッシュファイルの有無情報、３１１は図形群１、３１２は図形群２、３２０は図形、３３０はゾーン、Ａ（ｍ、ｎ）は分割領域、Ｍｅはメッシュ、８００は地図情報（キャッシュファイルとも言う）、８１０は集合情報、８２０は領域情報、８３０は位置情報、８４０は図形数情報、８５０は図形面積情報である。
【００１２】
本発明のフォトマスクデータ表示装置の実施の形態の１例を、図１、図２に基づいて説明する。
本例は、第１の地点において、第１の地点から第２の地点にあるフォトマスクデータの図形を表示する、あるいは、表示された第２の地点にあるフォトマスクデータの表示図形と、第１の地点にあるフォトマスクデータの表示図形とを重ねて表示するための表示装置である。
そして、図１に示すように、第１の地点には、第１の記憶手段１１と、図形データ取得手段１２と、図形表示制御手段１３と、表示手段１４と、入力部１６と、第２の地点と通信するための第１の通信手段１７と、各部を制御するための制御部１５とを備えており、第２の地点には、第２の記憶手段２１と、第２の図形データ取得手段２２と、第２の通信手段２７とを備えている。
第１の記憶手段１１は、フォトマスクデータ、あるいはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積するものである。
第１の図形データ取得手段１２は、表示領域や表示倍率情報を含むクリップ情報をもとに、キャッシュファイルのファイルシーク情報により第１の記憶手段１１中を検索し、フォトマスクデータの対応する図形データを、あるいはキャッシュファイルから省略図形データを取得するものである。
フォトマスクデータのキャッシュファイルは、フォトマスクデータに対応して、所定数の図形からなる複数の図形群データに分け、これを連ねてまとめたものであるが、その詳細については後述する。
図形表示制御手段１３は、図形データ取得手段により得られた図形データ、省略図形データの表示を制御するためのものである。
表示手段１４は、図形表示制御手段１３から表示図形データを受け取り、対応する図形を表示するものである。
第１の通信手段１７は、第２の地点と通信するための手段である。
入力部１６は、表示するフォトマスクデータ名、表示する領域等を入力するものである。
制御部１５は、各部を制御するものである。
また、第２の記憶手段２１も、第１の記憶手段１１と同様、フォトマスクデータ、あるいはフォトマスクデータのキャッシュファイル等を記憶蓄積するものである。
第２の図形データ取得手段２２も、第１の図形データ取得手段１２と同様、表示領域や表示倍率情報を含むクリップ情報をもとに、キャッシュファイルのファイルシーク情報により、第２の記憶手段中を検索し、フォトマスクデータの対応する図形データを、あるいはキャッシュファイルから省略図形データを取得するものである。
第２の通信手段２７は、第１の地点と通信するための手段である。
【００１３】
ここで、図１に基づき、本例のフォトマスクデータ表示装置の処理フローの１例を簡単に説明する。
尚、図１中、Ｓ１０１〜Ｓ１０６、Ｓ１１１〜Ｓ１１４は処理ステップを示す。
ここでは、説明を分かり易くするため、既に、第１の記憶装置１１、第２の記憶装置２１にはそれぞれ、フォトマスクデータとそれに対応したキャッシュファイルが蓄積されているとする。
先ず、入力手段１６により、表示するフォトマスクデータ名、表示する領域、表示倍率情報等の入力情報を入力する。（Ｓ１０１）
制御部１５を介して（Ｓ１０２）、この入力情報は、第１の図形データ取得手段１２へ送られると、第１の図形データ取得手段１２は、第１の記憶手段１１（Ｓ１０４）から対応する領域の図形データあるいは省略図形データ３１を得て、これを図形表示制御手段１３に渡す。（Ｓ１０５）
第１の図形データ取得手段１２は、目的とするフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルの情報をもとにこの操作を行なう。
一方、制御部１５を介して（Ｓ１０２）、この入力情報は、通信手段１７（Ｓ１１１）、通信手段２７（Ｓ１１２）を介して、第２の図形データ取得手段２２（Ｓ１１３）へ送られると、第２の図形データ取得手段２２は、第２の記憶手段２１（Ｓ１１４）から対応する領域の図形データあるいは省略図形データ３２ｂを得て、これを通信手段２７（Ｓ１１２）、通信手段１７（Ｓ１１１）を介して、図形表示制御手段１３に渡す。（Ｓ１０５）
第２の図形データ取得手段２２は、目的とするフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルの情報をもとにこの操作を行なう。
図形表示制御手段１３は、図形データあるいは省略図形データ３１、３２ｂを受け取り、対応する表示図形データ３３を作成し、これを表示手段１４にて表示する。（Ｓ１０６）
【００１４】
次いで、図形表示された表示手段１４の表示画面をみながら、更に、マウス等の入力により新たな表示領域を指定すると、その表示領域や表示倍率情報を含むクリップ情報４１、４２は、それぞれ、直接、あるいは、通信手段１７（Ｓ１１１）、通信手段２７（Ｓ１１２）を介して、第１の図形データ取得手段１２、第２の図形データ取得手段２２に渡される。
そして、第１の図形データ取得手段１２は、第１の記憶手段１１（Ｓ１０４）から対応する領域の図形データあるいは省略図形データ３１を得て、これを図形表示制御手段１３に渡し（Ｓ１０５）、第２の図形データ取得手段２２は、第２の記憶手段２１（Ｓ１１４）から対応する領域の図形データあるいは省略図形データ３２を得て、これを通信手段２７（Ｓ１１２）、通信手段１７（Ｓ１１１）を介して、図形表示制御手段１３に渡す。（Ｓ１０５）
ここでも、第１の図形データ取得手段１２、第２の図形データ取得手段２２は、それぞれ、目的とするフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルの情報をもとにこの操作を行なう。
図形表示制御手段１３は、図形データあるいは省略図形データ３１、３２ｂを受け取り、対応する表示図形データ３３を作成し、これを表示手段１４にて表示する。（Ｓ１０６）
この１連のフローを必要に応じて繰り返し、目的の表示を得る。
【００１５】
図１に示す本例のフォトマスクデータの表示装置においては、特に第１の地点において、その第１の記憶手段１１にストリームフォーマットデータであるフォトマスクデータがあり、第２の地点において、その第２の記憶手段２１に、対応する描画装置用のフォトマスクデータがあり、両データを比較する場合には特に有効である。
例えば、図３（ａ）に示すストリームフォーマットデータの図形６１が変換後、図３（ｂ）に示すような描画装置用データとなった場合、この部分に対応する表示は、図３（ｃ）のようになり、変換前後の比較が第１の地点で行なえる。
勿論、第２の地点において、その第２の記憶手段２１にストリームフォーマットデータであるフォトマスクデータがあり、第１の地点において、その第１の記憶手段１１に、対応する描画装置用のフォトマスクデータがある場合や、第２の地点において、その第２の記憶手段２１にストリームフォーマットデータと対応する描画装置用のフォトマスクデータがあり、第１の地点にはフォトマスクデータがない場合、あるいは、第１の地点において、その第１の記憶手段１１にストリームフォーマットデータと対応する描画装置用のフォトマスクデータがあり、第２の地点にはフォトマスクデータがない場合においても、本例のフォトマスクデータの表示装置では、ストリームフォーマットデータと対応する描画装置用のフォトマスクデータとを表示し比較することができる。
【００１６】
次に、図２をもとに、図１に示す図形データ取得手段の詳細やその動作について、あるいはキャッシュファイルの使用について更に説明する。
尚、図２は、図１における第１の地点の装置構成とその動作を示すものである。
図２中、Ｓ１１〜Ｓ２９は処理ステップを示す。
図２において、キャッシュファイル存在確認手段１２０は、記憶手段１１０に目的とするフォトマスクデータのキャッシュファイルが存在するか否かを確認するためのものであり、キャッシュファイル作成手段１３０は、フォトマスクデータに対応したキャッシュファイルを作成するためのものである。
また、表示方法決定手段１４０は、キャッシュファイル２２０から情報を取得し、表示方法を決定するもので、省略図形で表示するか、フォトマスクデータの図形で表示するかを決定するものである。
また、図形取得手段１６０は、表示方法決定手段１４０の指示により、キャッシュファイル２２０のファイルシーク情報２５０により検索し、描画装置用のフォトマスクデータの対応する図形データを取得するものである。
また、省略図形発生手段１５０は、表示方法決定手段１４０の指示により、キャッシュファイル２２０の省略情報２４０から、省略図形データを発生させるものである。
【００１７】
先ず、入力手段１６により、表示するフォトマスクデータ名、表示する領域、表示倍率情報等の入力情報を入力する。（Ｓ１１）
制御部１５を介して（Ｓ１２）、キャッシュファイル存在確認手段１２０は、記憶手段１１に、表示するフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルがあるか否かを確認し（Ｓ１３）、キャッシュファイルの有無情報２７０を制御部１５に送る。（Ｓ１４）
【００１８】
キャッシュファイル存在確認手段１２０にて、表示するフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルが無いと確認され、キャッシュファイル無しの情報が制御部１５に送られた場合には、制御部１５はキャッシュファイル作成手段１３０に表示するフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルの作成を指示する。（Ｓ１２）
キャッシュファイル作成手段１３０（Ｓ１５）は、記憶手段１１中の表示するフォトマスクデータ２１０（Ｓ１６）から図形情報２１１を得て（Ｓ１７）、フォトマスクデータ２１０に対応して、所定数の図形からなる複数の図形群データに分け、各図形群データ毎に、それぞれ、キャッシュファイルの各情報となるキャッシュ情報２２１を抽出し（Ｓ１８）、これより、前記複数の図形群データを連ねてまとめたキャッシュファイル２２０を作成する。（Ｓ１９）
キャッシュ情報２２１は、図形数、図形面積、図形ゾーン、フォトマスクデータの中のファイルシークアドレス先頭及び末尾、ビットマップ等の各情報である。
キャッシュファイル存在確認手段１２０にて、表示するフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルが有ると確認され、キャッシュファイル有りの情報が制御部１５に送られた場合には、キャッシュファイル作成手段１３０にてキャッシュファイル作成処理は行なわない。
【００１９】
表示方法決定手段１４０は、制御部１５の指示のもとに、送られてきた入力情報に対応したキャッシュファイルの情報（Ｓ２１）を取得し、各図形群毎に、省略表示するか、省略表示しないでフォトマスクデータの図形群をそのまま表示するかを決定する。（Ｓ２２）
表示方法決定手段１４０では、先ず、表示位置に該当する図形群の情報をキャッシュファイル２２０から読み込み、ディスプレイ上のドットサイズとキャッシュファイル２２０のゾーン情報から決められる表示領域の大きさを比較することにより、キャッシュファイル２２０に格納されている図形群情報を基に省略表示を行なうか否かを決定する。
ディスプレイの１ドットが表示するフォトマスクデータに換算してαμｍである場合、図形群のビットマップの１ビットがαμｍより小の場合、省略表示を行なうとする。
そして、更に、省略図形を発生させないと判断された場合、その対象となる図形群について、図形群の図形数、図形面積での判定を行ない、この判定により省略表示する図形群を選別する。
判定は、例えば、以下のように行なう。
ディスプレイの１ドットが表示するフォトマスクデータに換算してαμｍである場合、図形群のビットマップの１ビットあたりの長さがαμｍの１以上のあらかじめ決められた一定倍以下であって、且つ、図形数が予め決められた一定数以上で、且つ、図形面積率（％）が予め決められた一定以上の場合、省略対象とする。
ここで、［図形面積／図形ゾーンの面積］×１００を面積率としている。
省略表示すると決定された図形群に対しては、そのビットマップからなる省略情報２４０（Ｓ２３）を省略図形発生手段１５０に送り、対応する省略図形を発生させる。（Ｓ２４）
そして、省略図形発生手段１５０にて発生させた省略図形データを、図形表示制御手段１３の制御のもとに渡す。（Ｓ２７）
一方、このようにして、省略表示の対象と決定された図形群以外の図形群については、フォトマスクデータの図形群をそのまま表示すると決定され、そのキャッシュファイル２２０のファイルシーク情報２５０（Ｓ２５）が図形取得手段１６０に送られる。（Ｓ２６）
図形取得手段１６０は、送られてきたファイルシーク情報２５０をもとにシークし、記憶手段１１の中のフォトマスクデータの該当する図形群のデータを取得する。
そして、図形取得手段１６０にて取得された図形データを図形表示制御手段１３（Ｓ２７）の制御のもとに渡す。
このようにして得られた省略図形データ、図形データ３１を用い、図形表示制御手段１３は、表示図形データ３３（Ｓ２８）を作成しこれを表示手段１４に表示させる。（Ｓ２９）
このようにキャッシュファイルを使用して、目的とするフォトマスクデータの所定領域の表示が行われる。
【００２０】
ここでは、第１の地点における第１の図形データ取得手段１２の構成、処理構成、処理を説明しているが、第２の地点における第２の図形データ取得手段２２の構成、処理も基本的には、第１の地点における第１の図形データ取得手段１２の成、処理と同じである。
【００２１】
次いで、キャッシュファイルの１例を、図４〜図７をもとに説明する。
ここでは、描画装置用のフォトマスクデータのキャッシュファイルについて説明する。
キャッシュファイルは、描画装置用のフォトマスクデータ（図２の２１０に相当）に対応して、所定数の図形からなる複数の図形群データに分け、分けられた複数の図形群データを連ねてまとめたもので、例えば、図形群が２個のフォトマスク上の配置である図４（ｂ）に対応するキャッシュファイルは、図４（ａ）のように表される。
ここでは、説明を分かり易くするため、図形群が２個のフォトマスク上の配置である図４（ｂ）に対応するキャッシュファイルを例に、その書式と図形群、図形との関係を簡単に説明するが、図形群は２個に限定されるものではない。
図形群１のデータ、図形群２のデータは、図４（ａ）に示すように、それぞれ、図形数、図形面積、ゾーン（図形ゾーンのこと）、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス先頭であるシーク先頭位置、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス末尾であるシーク末尾位置、図形領域を所定のメッシュで区切った場合、区切られた箇所毎に図形が存在しているか否かを表現するビットマップとを有する。
【００２２】
各図形群のシーク先頭位置、シーク末尾位置は、記憶手段１１のアドレスを示すもので、描画装置用のフォトマスクデータの図形を取得する際の、ファイルシーク情報として用いられる。
記憶手段１１上の描画装置用のフォトマスクデータについては、図４（ｃ）に示されるように、その図形群１のデータは、記憶手段１１のアドレス（００００〜０００４）に、その図形群２のデータは、記憶手段１１のアドレス（０００５〜００１６）に格納されているので、キャッシュファイルのシーク先頭位置、シーク末尾位置をもとに、各図形群のデータを簡単に得ることができる。
【００２３】
ビットマップは、省略図形データを発生させる際の、省略情報として用いられるもので、図形群の領域を所定のメッシュで分割した各分割領域Ａ（ｍ、ｎ）（ｍ、ｎは整数）について、図形がある領域については、ビット１を、図形がない領域についてはビット０を割りふってマップ化したものである。
例えば、図５（ａ）に示されるように図形群が、分割領域Ａ（ｉ、ｊ）〜Ａ（ｉ＋８、ｊ＋４）に分割された場合、対応するビットマップは図５（ｂ）のようになる。
【００２４】
また、図６（ａ）、図６（ｂ）、図６（ｃ）のようにマップ化されたビットマップの場合、これらに対応して、それぞれ、例えば、図６（ａ１）、図６（ｂ１）、図６（ｃ１）のように図形を発生させる。
また、図７（ａ）のような同じ図形が、表示倍率１０００倍で複数配列される場合、図７（ｂ）のように、表示倍率１倍で１つの図形だけを表示するようにしても良い。
【００２５】
描画装置用のフォトマスクデータに対応して、上記のようなキャッシュファイルが作成されるが、フォトマスクデータがソースデータ（ＬＳＩレイアウトデータとも言い、通常、ストリームフォーマットデータである）の場合も、そのＬＳＩレイアウトデータのデータファイル内の、個々の図形情報の連続した並びにおいて、順に、連続する任意の数の図形情報を１つの集合として捉えて、全体を複数の集合に分け、各集合毎に、集合内の図形情報、集合領域情報、ファイルシーク情報を持たせた地図情報を作成し、これをキャッシュファイルとする。
ストリームフォーマットデータの場合、図８（ａ）に示すように、データファイルには、図形情報の連続した並びがあり、且つ、ファイル内位置（シークポイント）が付与されており、図形情報にはファイル上の位置情報（これをファイルシーク情報と言う）がある。
ここで、例えば、図８（ａ）に示すように、図形情報１〜３を図形集合１、図形情報４〜６を図形集合２、・・・図形情報ｎ−２〜ｎを図形集合ｎとした場合、これより、図８（ｂ）に示すように、図形集合単位で、集合情報８１０、領域情報８２０、位置情報８３０を持たせたファイル構造の地図情報８００を作成することができる。
このような地図情報８００を、ストリームフォーマットデータのキャッシュファイルとして使用するのである。
図８（ｂ）に示す地図情報８００のキャッシュファイルは、ビットマップ情報をもたないが、勿論、図４（ａ）に示す描画装置用のフォトマスクデータのキャッシュファイルのようにビットマップ情報を持たせたものをキャッシュファイルとしても良い。
図８（ｂ）に示す地図情報８００をキャッシュファイルとして使用する場合には、図形集合単位に検索してストリームフォーマットデータの対応する図形データを得ることができるが、省略図形データを得ることはできない。
【００２６】
尚、ストリームフォーマットデータについても、例えば、図４（ａ）に示す描画装置用のフォーマットデータのキャッシュファイルの作成の場合と同様、図９に示すように、図形集合毎に、図形数情報８４０、図形面積情報８５０を持たせ、領域８２０のサイズがディスプレイの１ドットの定倍数以下である場合において、図４（ａ）に示す描画装置用のフォーマットデータのキャッシュファイルの場合と同様、その図形数と面積率から省略可能と判断する場合、領域全体の矩形を省略図形として表示することもできる。
【００２７】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、ＬＳＩ設計拠点、あるいは、ＬＳＩ製造拠点と、描画装置用フォトマスクデータが存在するフォトマスク製造拠点とが遠く離れている場合、一方の拠点において、他方の拠点のフォトマスクデータの図形を表示させる際、そのデータ量が増大化しても、フォトマスクデータのビューイングに費やす時間が増大化せず、作業性の面から実用的レベルでビューイングが行なえるフォトマスクデータ表示装置の提供を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明のフォトマスクデータ表示装置の実施の形態の１例の概略構成を示した図である。
【図２】図２は、図１において、第１の地点における構成を更に詳しく示した図である。
【図３】表示状態を示した図である。
【図４】図４（ａ）は描画装置用フォトマスクデータのキャッシュファイルの構造を示した図で、図４（ｂ）はフォトマスク上の図形配置と図形群、図形の関係を説明するための図で、図４（ｃ）はキャッシュファイルのシーク先端位置とシーク末尾位置と、対応するフォトマスクデータの格納位置との関係を説明するための図である。
【図５】ビットマップ表示を説明するための図である。
【図６】図６（ａ）、図６（ｂ）、図６（ｃ）はビットマップの状態を示した図で、図６（ａ１）、図６（ｂ１）、図６（ｃ１）は、それぞれ、図６（ａ）、図６（ｂ）、図６（ｃ）に対応して発生させる省略図形を示した図である。
【図７】図７（ａ）は図形群の図形を図示したもので、図７（ｂ）は図７（ａ）の図形群を省略表示した状態を示した図である。
【図８】図８（ａ）はファイル構造と図形集合との関係を示した図で、図８（ｂ）はキャッシュファイル構造を示した図である。
【図９】ストリームフォーマットデータの別のキャッシュファイル構造を示した図である。
【符号の説明】
１１                第１の記憶手段（磁気ディスク）
１２                第１の図形データ取得手段
１３                図形表示制御手段
１４                表示手段（ディッスプレイ）
１５                制御部
１６                入力手段
１７                通信手段
２１                第２の記憶手段（磁気ディスク）
２２                第２の図形データ取得手段
２７                通信手段
３１、３２、３２ａ、３２ｂ    図形データあるいは省略図形データ
３３                表示図形データ
４１、４２          クリップ情報
４３、４３ａ        クリップ情報等の通信情報
１２０              キャッシュファイル存在確認手段
１３０              キャッシュファイル作成手段
１４０              表示方法決定手段
１５０              省略図形発生手段
１６０              図形取得手段
２１０              フォトマスクデータ
２１１              図形情報
２２０              キャッシュファイル
２２１              キャッシュ情報
２３０              入力情報（表示位置、データ名、クリップ情報等）
２４０              省略情報（ビットマップ情報）
２５０              ファイルシーク情報
２７０              キャッシュファイルの有無情報
３１１              図形群１
３１２              図形群２
３２０              図形
３３０              ゾーン
Ａ（ｍ、ｎ）        分割領域
Ｍｅ                メッシュ
８００              地図情報（キャッシュファイルとも言う）
８１０              集合情報
８２０              領域情報
８３０              位置情報
８４０              図形数情報
８５０              図形面積情報
【図１】
0004061045.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0004061045.tif 000006
【図６】
0004061045.tif 000007
【図７】
0004061045.tif 000008
【図８】
0004061045.tif 000009
【図９】
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