(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の筒状の駒部材を互いに屈曲可能にかつ一連に連結してなるケーブル挿入用のガイド体を備えるケーブルガイド装置において、
前記ガイド体内に弾性を有する材料で形成された吸気チューブを挿入し、この吸気チューブを介してガイド体内の空気を排気してガイド体内を負圧状態に保つ負圧保持手段を備え、前記吸気チューブは先端部が封着され、周面には切込みによる吸気部がその長手方向に沿って複数形成され、前記ガイド体の屈曲に応じて吸気チューブが湾曲する動作で前記切込みによる吸気部が開くことを特徴とするケーブルガイド装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば半導体素子作成用のクリーンルーム内に設けられるケーブルガイド装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種のクリーンルーム内には各種のロボット装置やその制御操作用のケーブル類が設けられている。そして制御操作用のケーブルはそのガイド装置としてのフレキシブルチューブや自立式チューブ内に挿入されている。
【０００３】
しかし、フレキシブルチューブや自立式チューブは、屈曲が自在で、その屈曲の方向性がなく、このためケーブルを長いストロークで移動させる方式のときには不向きで、１ｍ程度のストロークまでが適用の限界となっている。
【０００４】
ケーブルを長いストロークで移動させる方式のときには、一般にそのガイド装置として図５および図６に示すような関節接合構造のガイド体１が用いられている。この関節接合構造のガイド体１は、図５および図６に示すように、複数の筒状をなす駒部材２を順次ピン３を介して屈曲可能に一連に連結してなり、互いに隣り合う駒部材２がピン３を支点に互いに回動することにより駒部材２の列の任意の部分が一つの平面内で種々の形状に屈曲し得るようになっている。
【０００５】
そしてこのガイド体１内にケーブルが挿入されるもので、このような関節接合構造のガイド体１を用いるガイド装置においては、その屈曲方向が一つの平面内に規制されるためケーブルを長いストロークであっても適正に移動させることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、クリーンルーム内で使用するケーブルガイド装置にあっては、その動作時の発塵およびその拡散を防止することが極めて重要な事項となる。フレキシブルチューブや自立式チューブによるガイド装置においては、外面に露出する摺動動作部がなく、したがってその摺動動作に伴う発塵という問題が生じないが、関節接合構造のガイド体を用いるガイド装置においては、そのガイド体の各駒部材が屈曲可能に連結されているから、その屈曲時の摺動動作に伴う摩耗で微細な粉塵が生じる恐れがあり、この粉塵がクリーンルーム内に拡散し、クリーンルーム内の清浄度のレベルを低下させてしまうという問題がある。
【０００７】
この発明はこのような点に着目してなされたもので、その目的とするところは、関節接合構造のガイド体の屈曲時の摺動動作で粉塵が生じたときにその粉塵の拡散を防止することができるケーブルガイド装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明はこのような目的を達成するために、複数の筒状の駒部材を互いに屈曲可能にかつ一連に連結してなるケーブル挿入用のガイド体を備えるケーブルガイド装置において、前記ガイド体内に弾性を有する材料で形成された吸気チューブを挿入し、この吸気チューブを介してガイド体内の空気を排気してガイド体内を負圧状態に保つ負圧保持手段を備え、前記吸気チューブは先端部が封着され、周面には切込みによる吸気部がその長手方向に沿って複数形成され、前記ガイド体の屈曲に応じて吸気チューブが湾曲する動作で前記切込みによる吸気部が開くようにしたものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について図１および図２を参照して説明する。
【００１０】
図１には第１の実施形態を示してあり、この実施形態においては、関節接合構造のガイド体１の両端の開口部にそれぞれパッキング４，５が装着され、これらパッキング４，５によりその各開口部が密閉されている。そしてこのガイド体１の内部に各パッキング４，５を摺動可能に貫通してケーブル（図示せず）が挿入されるものである。
【００１１】
さらにこのガイド体１の内部には、その一端側の開口部からパッキング４を貫通して吸気チューブ６が挿入されている。この吸気チューブ６は合成樹脂やゴム等の弾性を有する材料で形成され、その先端部はガイド体１の長手方向のほぼ中間部に配置し、ガイド体１から導出した基端側の端部が真空ポンプ７に接続されている。
【００１２】
このようなガイド装置においては、その稼働時に真空ポンプ７が駆動され、この真空ポンプ７によりガイド体１の内部の空気が吸気チューブ６の先端の開口から順次吸入され、ガイド体１の外部に排気される。
【００１３】
したがって、ガイド体１の内部は外部に対して常時負圧の状態に保持され、このためガイド体１の駒部材２が互いに屈曲し、その摺動に伴う摩耗で微細な粉塵が生じたときに、この粉塵が互いに結合した一方の駒部材２と他方の駒部材２との間の隙間を通してガイド体１の内部に引き込まれ、さらにこの粉塵が吸気チューブ６を通して外部に排出される。このため、粉塵がクリーンルーム内に拡散するようなことがなく、クリーンルーム内の清浄度の低下を抑えて常に所定のレベルに維持することができる。
【００１４】
図３には第２の実施形態を示してあり、この実施形態においては、ガイド体１の内部に所定の間隔をあけて複数の仕切り壁８が設けられ、これら仕切り壁８によりガイド体１の内部がその長手方向に沿って複数の仕切り室９に隔てられている。
【００１５】
そしてケーブル（図示せず）が各仕切り壁８を摺動可能に貫通してガイド体１内に挿入され、さらにこのガイド体１内にはその一端から他端に亘って連続する吸気チューブ６が挿入されている。
【００１６】
この吸気チューブ６は先端部が封着されているとともに、図４に示すように、途中の周面に切込みによる吸気部６ａがその長手方向に沿う所定の間隔ごとに複数形成され、これら吸気部６ａの少なくとも一つがガイド体１の各仕切り室９内に配置するように挿入されている。そしてガイド体１から導出した吸気チューブ６の基端側の端部が真空ポンプ７に接続されている。
【００１７】
このような構成においては、真空ポンプ７の駆動により吸気チューブ６内が負圧に保たれる。そしてガイド体１が屈曲したときに、これに応じてその屈曲部分の吸気チューブ６が弾性的に湾曲し、この湾曲で切込みからなる吸気部６ａが開き、屈曲した部分のガイド体１における仕切り室９内の空気が前記吸気部６ａを通して吸気チューブ６内に吸入され、これにより屈曲した部分のガイド体１における仕切り室９内が負圧状態に保たれる。
【００１８】
このように、ガイド体１が屈曲したときにはその屈曲部分に対応する仕切り室９内の限られた領域の空気が吸気部６ａを通して効率よく吸気チューブ６内に吸入され、これによりその屈曲部分に対応する仕切り室９内が特に集中して高い負圧状態に保たれる。そしてその屈曲部分で発生した粉塵がその負圧状態に保たれた仕切り室９内に引き込まれ、吸気チューブ６を通して外部に的確に排出される。
【００１９】
すなわち、発塵はガイド体１の屈曲動作で起きるが、その屈曲部分におけるガイド体１の仕切り室９内の空気が特に集中して排気されて高い負圧状態に保たれ、したがってより有効に粉塵をガイド体１内に引き込んでその拡散を的確に防止することができる。
【００２０】
【発明の効果】
以上説明したようにこの発明によれば、ガイド体の屈曲時の摺動動作で粉塵が生じたときにその粉塵をガイド体内に引き込んで外部に排出することができ、したがって粉塵の拡散を確実に防止してクリーンルーム内の清浄度を常時所定のレベルに維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１の実施形態に係るケーブルガイド装置を示す側面図。
【図２】そのケーブルガイド装置の平面図。
【図３】この発明の第２の実施形態に係るケーブルガイド装置を示す側面図。
【図４】そのケーブルガイド装置における吸気チューブを示す側面図。
【図５】従来のケーブルガイド装置を示す側面図。
【図６】そのケーブルガイド装置の平面図。
【符号の説明】
１…ガイド体
２…駒部材
３…ピン
６…吸気チューブ
７…真空ポンプ
【図１】
0004087530.tif 000002
【図２】
0004087530.tif 000003
【図３】
0004087530.tif 000004
【図４】
0004087530.tif 000005
【図５】
0004087530.tif 000006
【図６】
0004087530.tif 000007