(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
底部の両側に第１側壁部が形成された断面Ｕ字状になり且つ前記第１側壁部の内側に長手方向に沿って第１軌道溝が形成された薄肉板で形成された軌道レール，及び前記第１軌道溝に対向する第２軌道溝を有し且つ前記第１軌道溝と前記第２軌道溝とで形成される負荷路に転動体を介して前記軌道レールの前記第１側壁部間で摺動自在なスライダを有する直動案内ユニットにおいて，
前記スライダを前記軌道レールに組み込んだ状態で前記軌道レールから前記スライダが抜け出すのを防止するため，前記軌道レールの端部に取付け取外し自在に設けられたストッパを備えており，
前記スライダは，上部と該上部の予め決められた領域の両側からそれぞれ屈曲垂下した第２側壁部とを備え且つ前記上部と前記第２側壁部との領域が断面Ｕ字状に形成された薄肉板でなるケーシング，及び前記ケーシングの下側に対応して配設されたサーキュレータを有し，
前記第２軌道溝は，前記第２側壁部の外側面に形成されており，前記サーキュレータには，前記第１軌道溝と前記第２軌道溝との間に形成される前記負荷路に連通する無負荷路を構成する方向転換路及び前記方向転換路に連通する無負荷路を構成するリターン路が形成され，前記転動体は，前記負荷路，前記方向転換路及び前記リターン路からなる無限循環路を転走し，
前記ストッパは，前記軌道レールの底部両端部で底部上面上の少なくとも一方の対角線上に位置して前記軌道レールに設けられており，前記スライダを構成する前記ケーシングの前記第２側壁部に当接して前記軌道レールから前記スライダが抜け出すのを防止し，
前記スライダを構成する前記サーキュレータには，前記ストッパに対向する下面部分に前記ストッパが干渉しないように凹部が形成されていることを特徴とする直動案内ユニット。
【請求項２】
前記ストッパは，前記軌道レールの前記底部に形成されたストッパ取付け孔及び／又はねじ孔の上面から一部が突出したストッパねじで構成されていることを特徴とする請求項１に記載の直動案内ユニット。
【請求項３】
前記軌道レールに取り付けられた前記ストッパねじは，前記ケーシングの前記第２側壁部の端面に当接して前記スライダが前記軌道レール内で停止し，前記スライダの前記軌道レールからの抜出しを防止することを特徴とする請求項２に記載の直動案内ユニット。
【請求項４】
前記サーキュレータは，上下二分割に形成された合成樹脂材から成るサーキュレータ上部とサーキュレータ下部とから構成されており，前記転動体のボールに適応して円形通路に前記方向転換路と前記リターン路とを形成するため，前記サーキュレータ上部と前記サーキュレータ下部には，前記方向転換路と前記リターン路とを形成する半円形通路がそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。
【請求項５】
前記ストッパを構成する前記ストッパねじは，ねじ頭がＲ状になったなべ形のねじで形成されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の直動案内ユニット。
【請求項６】
前記軌道レールに形成された前記ストッパを取り付けるための前記ねじ孔は，前記軌道レールをベース等の構造体に取り付けるためのねじ孔として兼用できることを特徴とする請求項２，３又は５に記載の直動案内ユニット。
【請求項７】
前記サーキュレータの下面の幅方向中央には，前記軌道レールをベース等の構造体に取り付けるためのねじに干渉しないように，長手方向に延びる中央凹部が形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。
【請求項８】
前記スライダには，前記スライダにワーク等の部品を取り付けるため，取付け用ねじ孔が形成されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。
【請求項９】
前記ケーシングの前記第２側壁部は，前記サーキュレータの両端部を除いた中央側面に形成された側面凹部に嵌入して前記ケーシングが前記サーキュレータと一体化されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。
【請求項１０】
前記ケーシングに形成された位置決め用孔に，前記サーキュレータの上面に突出した位置決めピンを嵌合して前記ケーシングと前記サーキュレータとが位置決めされていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。
【請求項１１】
前記ケーシングには，前記サーキュレータに形成された取付け用孔に対応した位置にカシメ固着用孔が形成され，前記カシメ固着用孔と前記取付け用孔とにリベットを装着して前記リベットをカシメることによって前記ケーシングと前記サーキュレータとが一体化して固定されていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は，例えば，半導体製造装置，各種組立装置，ＮＣ加工機，測定・試験装置等の摺動部に適用される軌道レールに対して長手方向に沿って相対移動するスライダを備えた直動案内ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年，メカトロ技術の発展が目覚ましく，当該技術を支える基礎的且つ汎用的な装置として直動案内ユニットがある。直動案内ユニットは，半導体製造装置，各種組立装置，ＮＣ加工機，測定・試験装置等に組み込まれて多用され，技術の発展と共にその用途は拡大しており，小型化，軽量化，高精度，低摩擦化，高速摺動化，組立容易性，汎用化等の各種の要求が高まっている。
【０００３】
実開昭６２−３７６２１号公報に開示されている薄肉鋼板製直動転がり軸受の分離防止装置は，第１図に示すように，ベッド２の両端部を折曲してなるストッパー２ｂが設けられている。ストッパー２ｂは，テーブル１のサーキュレータ４の端面に突き当たり，テーブル１がベッド２から外れることを防止している。テーブル１がベッド２から外れると，ボール３がテーブル１から脱落してしまう構造になっている。また，第４図に示すように，ベッド２に設けられたストッパー５は，板状に形成されたものであり，ベッド２の端部にねじで固着したものである。ストッパー５は，第５図に示すように，テーブル１の先端部が突き当たるものになっている。この薄肉鋼板製直動転がり軸受は，ボール３が循環しない形式に構成されている。
【０００４】
また，特許第２９４８９４４号に開示された有限直動転がり案内ユニットは，図１に示されるように，第１部材にストッパ長穴８を設け，第２部材にストッパピン９を設け，有限直動ユニット４自体のストッパ機構を省略した構造に構成されている。
【０００５】
また，実開昭５７−１３００１７号公報に開示されたクロスローラウエイユニットは，第１図及び第２図に示すように，円筒ころ６が循環しない形式の構造になっており，ベッド１，テーブル５，ベッド用軌道台２，及びテーブル用軌道台が鋼材で形成されている。第１図に一部分が示されているが，ストッパは，テーブル５の内面の中央両端部にボルト１７が蝶着され，ベッド用軌道台２の上面中央部に１つのボルトが蝶着して，テーブル５のボルト１７間にベッド用軌道台の上面中央部ボルトが突き当たってなるストッパ構造になっている。
【０００６】
また，特開平８−２００３６３号公報に開示されているリニアガイド装置の潤滑構造は，案内レールには，スライダを案内レールの端部で停止させるようなストッパ機構が設けられていないタイプである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，前掲実開昭６２−３７６２１号公報に開示されている薄肉鋼板製直動転がり軸受の分離防止装置については，ストッパーの構造は，わざわざベッド２の端部に余肉を作り，それを折曲しなければならず，折曲した後ではテーブル１がベッド２に挿入しずらいものになっている。また，上記ストッパーの課題は，板状の部材をねじで固着するので，部品点数も多く，比較的大きなスペースになってしまい，更なる小型でコンパクト化するには，好ましくない構造になっている。
【０００８】
また，前掲特許第２９４８９４４号に開示された有限直動転がり案内ユニットに設けられたストッパは，大形の直動案内ユニットに適用可能なものであるが，第２部材のベースにストッパ長穴を設けなければならず，薄形の軌道レール等には長穴を形成したり，全幅に延びるようなストッパを形成することは困難であり，小形でなる薄肉板状の直動案内ユニットには適用し難い構造である。
【０００９】
また，前掲実開昭５７−１３００１７号公報に開示されたクロスローラウエイユニットは，ストッパの課題として，ボルトをストッパにする簡単な構成になっているが，ボルトをテーブル５の下面に蝶着するスペースを要するものであり，比較的大形な直動案内ユニットに適用可能なものになっている。
【００１０】
従来では，例えば，前掲特開平８−２００３６３号公報に開示されているようなタイプのリニアガイド装置では，小型に構成されているものであって，スライダを軌道レールの端部で停止させるようなストッパ機構を如何に設けるかという思想は無かったものであり，設けるとしても，軌道レールの両端部の軌道溝間に仮のストッパを設けるという程度のものであった。
【００１１】
そこで，直動案内ユニットについて，スライダと軌道レールとを薄肉板で形成するような全体的構造がコンパクトで小形に形成した場合に，スライダが軌道レールから脱落しないようにし，特に，スライダが軌道レールから分離した場合に，小さなボールがスライダから脱落しないようにスライダを軌道レールに係止するストッパ構造を如何に構成するかの課題があった。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この発明の目的は，上記の課題を解決することであり，検査装置，半導体製造装置等の各種の装置に組み込んで適用して好ましい小形の直動案内ユニットであり，薄肉板から成る軌道レールに対して，該軌道レールの両端に極めてシンプルな構造で簡単に取付け取外しができるストッパを設け，また，薄肉板から成るスライダにはストッパを受けて係止するための特別の受け部材を設けることなく，スライダを構成するケーシングの端面で受けるように構成し，ストッパ機構を極めて小形化に対応できる構造に構成したことを特徴とする直動案内ユニットを提供することである。
【００１３】
この発明は，底部の両側に第１側壁部が形成された断面Ｕ字状になり且つ前記第１側壁部の内側に長手方向に沿って第１軌道溝が形成された薄肉板で形成された軌道レール，及び前記第１軌道溝に対向する第２軌道溝を有し且つ前記第１軌道溝と前記第２軌道溝とで形成される負荷路に転動体を介して前記軌道レールの前記第１側壁部間で摺動自在なスライダを有する直動案内ユニットにおいて，
前記スライダを前記軌道レールに組み込んだ状態で前記軌道レールから前記スライダが抜け出すのを防止するため，前記軌道レールの端部に取付け取外し自在に設けられたストッパを備えており，
前記スライダは，上部と該上部の予め決められた領域の両側からそれぞれ屈曲垂下した第２側壁部とを備え且つ前記上部と前記第２側壁部との領域が断面Ｕ字状に形成された薄肉板でなるケーシング，及び前記ケーシングの下側に対応して配設されたサーキュレータを有し，
前記第２軌道溝は，前記第２側壁部の外側面に形成されており，前記サーキュレータには，前記第１軌道溝と前記第２軌道溝との間に形成される前記負荷路に連通する無負荷路を構成する方向転換路及び前記方向転換路に連通する無負荷路を構成するリターン路が形成され，前記転動体は，前記負荷路，前記方向転換路及び前記リターン路からなる無限循環路を転走し，
前記ストッパは，前記軌道レールの底部両端部で底部上面上の少なくとも一方の対角線上に位置して前記軌道レールに設けられており，前記スライダを構成する前記ケーシングの前記第２側壁部に当接して前記軌道レールから前記スライダが抜け出すのを防止し，
前記スライダを構成する前記サーキュレータには，前記ストッパに対向する下面部分に前記ストッパが干渉しないように凹部が形成されていることを特徴とする直動案内ユニットに関する。ここで，前記スライダを前記軌道レールに組み込んだ状態とは，例えば，前記スライダが前記軌道レールを相対摺動する時，前記軌道レールに前記スライダを挿入して取り付ける時，或いは直動案内ユニットの搬送時や保管時等を指すものとする。
【００１４】
前記ストッパは，前記軌道レールの前記底部に形成されたストッパ取付け孔及び／又はねじ孔の上面から一部が突出したストッパねじで構成されているものである。
【００１５】
前記軌道レールに取り付けられた前記ストッパねじは，前記ケーシングの前記第２側壁部の端面に当接して前記スライダが前記軌道レール内で停止し，前記スライダの前記軌道レールからの抜出しを防止するものである。
【００１６】
また，前記サーキュレータは，上下二分割に形成された合成樹脂材から成るサーキュレータ上部とサーキュレータ下部とから構成されており，前記転動体のボールに適応して円形通路に前記方向転換路と前記リターン路とを形成するため，前記サーキュレータ上部と前記サーキュレータ下部には，前記方向転換路と前記リターン路とを形成する半円形通路がそれぞれ形成されている。
【００１７】
前記ストッパを構成する前記ストッパねじは，ねじ頭がＲ状になったなべ形のねじで形成されている。
【００１８】
前記軌道レールに形成された前記ストッパを取り付けるための前記ねじ孔は，前記軌道レールをベース等の構造体に取り付けるためのねじ孔として兼用できるものである。
【００１９】
前記サーキュレータの下面の幅方向中央には，前記軌道レールをベース等の構造体に取り付けるためのねじに干渉しないように，長手方向に延びる中央凹部が形成されている。【００２０】
前記スライダには，前記スライダをワーク等の部品を取り付けるため，取付け用ねじ孔が形成されている。
【００２１】
前記ケーシングの前記第２側壁部は，前記サーキュレータの両端部を除いた中央側面に形成された側面凹部に嵌入して前記ケーシングが前記サーキュレータと一体化されている。
【００２２】
この直動案内ユニットは，前記ケーシングに形成された位置決め用孔に前記サーキュレータの上面に突出して形成された位置決めピンを嵌合して前記ケーシングと前記サーキュレータとが位置決めされている。
【００２３】
前記ケーシングには，前記サーキュレータに形成された取付け用孔に対応した位置にカシメ固着用孔が形成され，前記カシメ固着用孔と前記取付け用孔とにリベットを装着して前記リベットをカシメることによって前記ケーシングと前記サーキュレータとが一体化して固定されている。
【００２４】
この直動案内ユニットは，上記のように構成されているので，軌道レールからスライダが抜け出すのを簡単なストッパで防止することができ，軌道レールとスライダが薄肉板で形成されるような小形のものでも，確実に目的を達成でき，しかも，ストッパが軌道レールに対して着脱自在に構成されるので，スライダを軌道レールに組み込んだ後にストッパを軌道レールに取り付け，また，スライダを軌道レールから取り外す場合には，ストッパを軌道レールから取り外せば，スライダを軌道レールから抜き取ることができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下，図面を参照して，この発明による直動案内ユニットの実施例を説明する。この直動案内ユニットは，例えば，半導体製造装置，各種組立装置，ＮＣ加工機，測定・試験装置，検査装置等の各種の装置の摺動部に適用でき，薄肉板で形成された軌道レール１に対して長手方向に沿って相対移動する薄肉板の組立体で構成されたスライダ２を備えており，特に，軌道レール１とスライダ２とが薄肉板で構成されて極めて小形に形成されるものであり，軌道レール１を摺動するスライダ２が軌道レール１から抜け出さないようにするため，ストッパ３６を軌道レール１の少なくとも一方の側部で一端部３７に取付け取外し可能に固定し，スライダ２の摺動時に，スライダ２は軌道レール１の端部３７に至るとスライダ２がストッパ３６に当接して停止され，スライダが軌道レールから抜け出すのを防止するものである。
【００２６】
この直動案内ユニットは，主として，底部６の両側に側壁部５（第１側壁部）が形成され且つ側壁部５の内側面３８に長手方向に沿って軌道溝１１（第１軌道溝）が形成された薄肉板で形成されている軌道レール１，及び軌道溝１１に対向する軌道溝１２（第２軌道溝）を外側面４０に備え且つ軌道レール１の側壁部５間に摺動自在なスライダ２を有し，軌道溝１１と軌道溝１２との間に構成される負荷路１０にはボールでなる転動体９を転動するように構成されている。軌道レール１は，金属製の薄肉板の両側を屈曲して側壁部５を形成し，断面Ｕ字状に形成されている。また，スライダ２は，複数の薄肉板の組立体として構成され，上部７及び上部７の両端部３９を除いて両側から屈曲して垂下した，言い換えれば，上部７の予め決められた領域の両側からそれぞれ屈曲垂下した側壁部８（第２側壁部）を有し，側壁部８の存在する領域が断面Ｕ字状に金属製の薄肉板で形成されたケーシング３を有し，軌道溝１２は，実施例では側壁部８の全長にわたって外側面４０に形成されている。また，ケーシング３の上部７と側壁部８との境界部分には，切欠き部２４がそれぞれ形成され，側壁部８の折り曲げ加工が容易に行えるように形成されている。
【００２７】
この直動案内ユニットは，特に，スライダ２を軌道レール１に組み込んだ状態で，軌道レール１からスライダ２が抜け出すのを防止するため，軌道レール１の端部３７に取付け取外し自在に設けられたストッパ３６に，相対摺動するスライダ２が当接するように構成されていることを特徴としている。ここで，スライダ２を軌道レール１に組み込んだ状態とは，例えば，スライダ２が軌道レール１を相対摺動する時，軌道レール１にスライダ２を組み込む時，或いは直動案内ユニットの搬送時，保管時等を指すものとする。また，ストッパ３６は，軌道レール１の底部６に形成されたストッパ取付け孔又は取付けねじ孔３２と，ストッパ取付け孔又はねじ孔３２に配置されたストッパねじ１６とから構成され，この実施例では，軌道レール１に形成されたねじ孔３２にストッパねじ１６を螺入することによって構成されている。
【００２８】
軌道レール１に取り付けられたストッパねじ１６は，ケーシング３の側壁部８の端面４１に突き当たり即ち当接してスライダ２が軌道レール１に対して停止して，スライダ２が軌道レール１から抜け出すのを防止される。即ち，図４の（Ａ）及び（Ｂ）に示すように，スライダ２の軌道レール１からの抜け出し即ち脱落を防止するストッパ構造は，スライダ２を構成するケーシング３の側壁部８の端部における端面３９が，対向する軌道レール１の端部３７に固着したストッパねじ１６に突き当たることによってスライダ２が停止するものになっている。
【００２９】
軌道レール１に取り付けられたストッパねじ１６は，図４に示すように，対向するケーシング３の側壁部８が通過する延長上の軌道レール１の底部６に位置し，軌道レール１の底部６の上面４２の両端部３７において対角線上，言い換えれば，１８０°対称位置に設けられている。ストッパねじ１６の軌道レール１への取付けは，軌道レール１の一側，即ち一方の側壁部５側の両端部３７の２カ所になっており，対角線上に設けることによって，軌道レール１に形成する取付け用ねじ孔３２の形成等の加工も容易であり，スライダ２の停止機能もバランスがよいものになっている。また，ストッパねじ１６を螺入する取付け用ねじ孔３２は，図示していないが，軌道レール１の両端部３７に２カ所ずつ合計で４カ所に設けるとすれば，バランス上は更に好ましいものになるが，図示のように，取付け用ねじ孔３２を１か所に形成したとしてもスライダ２を停止させる十分な機能を発揮することができる。
【００３０】
スライダ２は，ケーシング３及びケーシング３の下側に配設されたサーキュレータ４を有する。サーキュレータ４には，軌道溝１１と軌道溝１２との間に形成される負荷路１０に連通する無負荷路を構成する方向転換路１３，及び方向転換路１３に連通する無負荷路を構成するリターン路１４が形成されている。また，転動体９は，負荷路１０，方向転換路１３及びリターン路１４からなる無限循環路３５を転走するように組み込まれている。サーキュレータ４は，その下面の両側部にストッパねじ１６に対向する部分にストッパねじ１６が通過させることができる程度の深さの凹部１７が形成されている。凹部１７は，Ｒ状の形状に形成されている。従って，軌道レール１上をスライダ２が相対摺動する時には，ストッパねじ１６はサーキュレータ４の下面の凹部１７に対応するので，サーキュレータ４はストッパねじ１６に干渉することなく通過できるので，ケーシング３の端部３９の長手方向長さ分だけ，軌道レール１に対してスライダ２のストローク長さが長く確保される構造に構成されている。
【００３１】
サーキュレータ４には，転動体９がボールである場合には，ボールの循環をガタも無く滑らかに案内するため，方向転換路１３とリターン路１４とを断面円形通路に形成する必要がある。そこで，サーキュレータ４に円形通路の方向転換路１３とリターン路１４とを形成するため，サーキュレータ４の加工上から，サーキュレータ４を，通常，上下二分割に形成されたサーキュレータ上部２６とサーキュレータ下部２７とから合成樹脂材から作製しており，サーキュレータ上部２６とサーキュレータ下部２７とに断面半円形通路４７，４８をそれぞれ形成し，断面半円形通路４７，４８を整合させることによって断面円形通路として，方向転換路１３とリターン路１４に構成している。即ち，サーキュレータ４は，サーキュレータ上部２６とサーキュレータ下部２７とを互いに整合させて合体することによって構成され，また，方向転換路１３とリターン路１４とが形成される。また，軌道レール１上をスライダ２が相対摺動する時に，合成樹脂製のサーキュレータ４が軌道レール１に取り付けられたストッパねじ１６に突当たると破損してしまうので，下側になるサーキュレータ下部２７の側部下面４３にはストッパねじ１６が干渉しないように凹部１７がそれぞれ形成されている。
【００３２】
サーキュレータ４をケーシング３に取り付けるため，サーキュレータ４にはケーシング３の側壁部８に対応する部分が側面凹部３０，３１に形成されている。即ち，サーキュレータ上部２６には，両端部４４を除いた中央側面に側面凹部３０が形成され，また，サーキュレータ下部２７には，両端部４５を除いた中央側面に側面凹部３１が形成されている。従って，ケーシング３とサーキュレータ４とを合体させた状態では，ケーシング３の側壁部８は，サーキュレータ４の両端部４４，４５を除いた中央側面に形成された側面凹部３０，３１に嵌入される。また，サーキュレータ上部２６とサーキュレータ下部２７には，方向転換路１３の負荷路１０との境界部に転動体９のスムースな転走を可能にするように，すくい爪２３のすくい爪半片がそれぞれ形成され，サーキュレータ上部２６とサーキュレータ下部２７とが整合することによってすくい爪２３が形成される。
【００３３】
また，ケーシング３には，サーキュレータ４を位置決めするため，位置決め用ピン孔２０が形成されている。ケーシング３の位置決め用ピン孔２０にサーキュレータ４を構成するサーキュレータ上部２６の上面に突出して形成された位置決めピン３３を嵌合して両者を一体化することによって，ケーシング３とサーキュレータ４とが位置決めされることになる。
【００３４】
ストッパ３６を構成するストッパねじ１６は，ねじ頭がＲ状になったなべ形のねじで形成されている。ストッパねじ１６として，なべ形のねじを用いることによって，ねじ頭がＲ状になっており，ケーシング３の側壁部８の端面４１がストッパねじ１６に突き当たっても，ストッパねじ１６は，その衝撃力を分散することができ，比較的小径ねじであってもスライダ２のストップ力を発揮することができるものになっている。
【００３５】
また，軌道レール１に形成されたストッパ３６を取り付けるためのねじ孔３２は，軌道レール１をベース等の構造体に取り付けるためのねじ孔として兼用することができる。また，軌道レール１をベース等の構造体に取り付けるため，ねじ孔２１が形成されており，ねじ孔２１にねじが螺入されるが，サーキュレータ４を構成するサーキュレータ下部２７の下面の幅方向中央には，軌道レール１の取付け用のねじに干渉しないように，長手方向に延びる中央凹部３４が形成されている。また，スライダ２には，スライダ２をワーク等の部品を取り付けるため，取付け用ねじ孔１９が形成されている。
【００３６】
また，ケーシング３の端部３９には，サーキュレータ４の所定の箇所（図では４隅）に形成された取付け用孔２８に対応した所定の箇所（図では４隅）の取付け部１５の位置にカシメ固着用孔２５が形成されている。ケーシング３のカシメ固着用孔２５とサーキュレータ４の取付け用孔２８とに，リベットを装着してリベットをカシメることによって，ケーシング３にサーキュレータ４を固着するように構成されている。
【００３７】
図１に示すように，軌道レール１に形成された取付け用ねじ孔２１は，軌道レール１をベース等の構造体に取り付けるためのねじ孔になっている。ベース側からねじで取り付ける場合にねじ孔２１を利用し，また，反対側から取り付ける場合即ちスライダ２側からねじで取り付ける場合には，ねじ孔２１の下孔を利用する。即ち，この場合のねじは，下孔径よりも小径のねじになる。また，同様に，軌道レール１の上面４２側からねじで取り付ける場合に，ねじの頭が軌道レール１の底部６の上面４２から出てしまうので，サーキュレータ４を構成するサーキュレータ下部２７の下面中央には，長手方向に沿って中央凹部３４が形成され，サーキュレータ４が取付け用のねじに干渉しないように構成する。
【００３８】
また，スライダ２のケーシング３には，ケーシング３のワーク等の部品を取り付けるため，取付け用ねじ孔１９が形成されている。即ち，取付け用ねじ孔１９は，スライダ２をワーク，小物等の部品に取り付けるためのねじ孔になっている。また，取付け用ねじ孔１９の下方のサーキュレータ４を構成するサーキュレータ上部２６の上面には，穴部１８が設けられており，取付けねじがケーシング３の取付け用ねじ孔２１から下方に飛び出しても干渉しないように穴部１８が逃げ部に構成されている。
【００３９】
スライダ２は，ケーシング３にサーキュレータ４を固定することによって組み立てられるが，例えば，次のようにして，ケーシング３とサーキュレータ４との両者を組み立てることができる。サーキュレータ４の側面凹部３０，３１にケーシング３の側壁部８を嵌入すると共に，サーキュレータ上部２６の上面４６に突出して形成された位置決めピン３３をケーシング３の位置決め用ピン孔２０に嵌合して両者を位置決めし，次いで，サーキュレータ４の４隅の取付け用孔２８と取付け用孔２８に一致した位置にあるケーシング３のサーキュレータ取付け部のカシメ固着用孔２５とに，アルミ製リベットを装着し，リベットカシメをしてサーキュレータ４をケーシング３に固着する。更に，転動体９のボールを無限循環路３５に組み込み，ボールが脱落しないようにしながらスライダ２を軌道レール１に挿入する。場合によっては，スライダ２を軌道レール１に挿入した後に，無限循環路３５に転動体９を組み込むことも可能である。その後，ストッパねじ１６を軌道レール１の取付け用ねじ孔３２に螺入し，それによって直動案内ユニットの組立が完了する。
【００４０】
この直動案内ユニットは，上記のように構成されているので，ストッパ３６としては，ストッパねじ１６を軌道レール１の取付け用のねじ孔１９に螺入するだけであり，軌道レール１へのストッパねじ１６の取付け取外しが可能な簡単な構造に構成され，装置自体を小スペースに，コンパクトに構成でき，確実にスライダ２の軌道レール１からの抜け出しを防止することができる。また，ストッパねじ１６の脱着は，単なるねじ込みであって，容易な作業であるので，軌道レール１に対するスライダ２の交換を簡単に行うことができる。例えば，軌道レール１に対してスライダ２の嵌め合い具合の組み合わせが容易になる。また，この直動案内ユニットにおけるストッパ構造は，スライダ２が軌道レール１から外れることを防止するものであり，スライダ２が軌道レール１から外れると，スライダ２に組み込まれた転動体９であるボールが脱落してしまうが，ストッパ３６を軌道レール１に取り付けておけば，スライダ２は軌道レールから抜け出すことが無く上記のようなボールの脱落現象は発生しない。
【００４１】
【発明の効果】
この発明による直動案内ユニットは，上記のように，軌道レールの端部にストッパを取付け取外し自在に設け，スライダが軌道レールに対して相対摺動する時に，スライダがストッパに当接して停止させ，スライダの軌道レールからの抜け出しを防止することができる。ストッパは，軌道レールのねじ孔に螺入されるストッパねじであるので，極めて小形に構成することができ，装置が小形であったとしてもそれに適合することができ，スライダは確実に且つ信頼性をもって軌道レール上で停止させることができ，しかも，ストッパ構造を安価に製造することができる。従って，この直動案内ユニットは，半導体製造装置，検査装置，測定器，加工機，組立機等の各種の機器に小形のものとして適用することができ，機器を高精度に摺動移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明による直動案内ユニットの一実施例を示し，一部を破断部で示した平面図である。
【図２】  図１の直動案内ユニットについての一部を破断部で示した正面図である。
【図３】  図１の直動案内ユニットについて，矢視Ａ−Ａで示すように，半分を断面で示した側面図である。
【図４】  図１の直動案内ユニットからスライダの脱落を防止する状態を示し，（Ａ）が図１の直動案内ユニットのスライダの位置から移動した状態を示す平面図であり，（Ｂ）が（Ａ）の正面図である。
【図５】  図１の直動案内ユニットに使用されたストッパねじであって，（Ａ）がストッパねじの正面図であり，（Ｂ）が（Ａ）の側面図である。
【図６】  図１のスライダを構成するケーシングの平面図である。
【図７】  図６のケーシングの正面図である。
【図８】  図７のケーシングの側面図である。
【図９】  図１の直動案内ユニットにおけるスライダを構成するサーキュレータの平面図である。
【図１０】  図９のサーキュレータの側面図である。
【図１１】  図９のサーキュレータの下面図である。
【図１２】  図９のサーキュレータのＣ−Ｃ断面を示す断面図である。
【図１３】  図９のサーキュレータのＢ−Ｂ断面を示す断面図である。
【図１４】  図１の直動案内ユニットにおける軌道レールの平面図である。
【図１５】  図１４の軌道レールの側面図である。
【符号の説明】
１    軌道レール
２    スライダ
３    ケーシング
４    サーキュレータ
５，８  側壁部
６    底部
７    上部
９    転動体（ボール）
１０  負荷路
１１，１２  軌道溝
１３  方向転換路
１４  リターン路
１６  ストッパねじ
１７  凹部
１８  穴部
１９，２１，３２  取付け用ねじ孔
２０  位置決めピン孔
２２  かしめ固着部
２３  すくい爪（サーキュレータ）
２４  切欠き部
２５  かしめ固着用孔
２６  サーキュレータ上部
２７  サーキュレータ下部
２８，２９  取付け用孔
３０，３１  嵌合凹部
３３  位置決めピン
３４  中央凹部
３５  無限循環路
３６  ストッパ
３７，３９，４４，４５  端部
３８  内側面
４０  外側面
４１  端面
４３  側部下面
４６  上面（サーキュレータ上部）
４７，４８  断面半円形通路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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