(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
微粒子が規則構造配列を有する微粒子構造体の製造方法において、この製造方法は球形状で且つ粒子径の揃った微粒子を容器内に貯留した液体中に分散させ、この分散液を原料分散液とし、この原料分散液の分散液を蒸発させて濃縮させる濃縮工程と、次いで種結晶となる微粒子構造体を原料分散液表面に着付させる着付工程と、次いで原料分散液表面から種結晶を引き上げる引き上げ工程とを有することを特徴とする微粒子構造体の製造方法。
【請求項２】
引き上げ工程は第１引き上げ工程と第２引き上げ工程とを有し、種結晶を原料分散液表面に着付させる着付工程後に、原料分散液表面からこの種結晶を引き上げる際には、引き上げた微粒子構造体の太さが種結晶の太さよりも、一旦、細くなるようにする第１引き上げ工程を行い、次いで引き上げた微粒子構造体の太さを太くする第２引き上げ工程を行うことを特徴とする請求項１に記載の微粒子構造体の製造方法。
【請求項３】
原料分散液が貯留された容器及び種結晶を、引き上げ工程による引き上げ時には引き上げ方向を回転軸として回転させることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載の微粒子構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フォトニック結晶として利用することのできる微粒子構造体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、屈折率の違う物質を光の波長程度の周期で組み合わせることによってまったく伝搬されない光のエネルギー領域（フォトニックバンドギャップ）を持つ微粒子構造体が開発されている。このような微粒子を三次元的に配置させた微粒子構造体は、フォトニック結晶とも呼ばれ、光学部品、光集積回路などの技術分野で注目されている。
【０００３】
ここで、従来から採用されている微粒子構造体の製造方法には、大きく分けて（１）横方向堆積法と呼ばれる方法と、（２）縦方向堆積法と呼ばれる方法とがある。横方向堆積法は、基板の表面に沿って微粒子膜を二次元的に成長させていくもので、基板上に粒子層を１〜数層配列させる際に適した方法である。一方、縦方向堆積法は、図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、基板６２を微粒子の分散液６１中に静置し、この分散液６１中の微粒子６４を基板６２上に沈降、堆積させることによって微粒子構造体６３を得る方法である。この縦方向堆積法は、分散液中での粒子の沈降・堆積現象を利用しているため、横方向堆積法に比較して膜厚が厚いうえ大きな微粒子構造体を形成させるのに適した方法である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した横方向堆積法、縦方向堆積法は、いずれも微粒子が最密に充填されようとする現象を利用して微粒子構造体を製造するものであるため、微粒子構造体の結晶形は面心立方晶となり基板上で微粒子が二次元的に最密充填構造となろうとする性質がある。これにより、通常では（１１１）配向以外の微粒子構造体が得られないという問題がある。微粒子構造体のこうした、結晶の大きな構造体である大結晶バルク体が得られないという点と、（１１１）配向以外の配向は得られないといった点は、微粒子構造体をフォトニック結晶として利用する場合には精度及び品質の面で都合が悪い。
【０００５】
また、一般的にフォトニック結晶としては結晶方位に依存した特性が用いられる。ところが、横方向堆積法、縦方向堆積法は、いずれも方向性が決まらない基板面内で微粒子の凝集が起こる場合、作成される微粒子構造体の結晶学的な方位を制御することができないといった不具合がある。
【０００６】
以下、図６を参照して縦方向堆積法の概要を説明しながら、この縦方向推積法により得られる微粒子構造体６３が（１１１）配向になってしまうという点と、大結晶バルク体が何故得られないかについて説明を述べる。すなわち、図６に示すように縦方向堆積法では、先ず分散液６１を満たした容器６５の底部に基板６２を静置する。分散液６１は、水に球形の微粒子６４や有機溶媒などを分散させたものである（図６（ａ））。微粒子６４は、分散液６１中で次第に沈降し、堆積中に微粒子間に作用する互いの斥力のため規則構造（結晶構造）を形成する（図６（ｂ））。次いで、分散液６１中では、微粒子の規則構造（結晶構造）が形成された後に、分散媒が蒸発するため、この結果、基板６２の周囲に固体形状の微粒子構造体を得ることができる（図６（ｃ））。
【０００７】
ところで、微粒子６４が分散液６１中で結晶構造を形成するとき、この微粒子６４は分散液６１において境界条件を定める基板６２の面上で二次元的な最密充填構造をとろうとする性質がある。図７は、微粒子６４の二次元的な最密充填構造を示す図であって、（ａ）は二次元的最密充填構造の上面図であり、（ｂ）は斜視図である。これらの図７（ａ）（ｂ）からわかる通り、こうした平面上で配置された微粒子６４の最密充填構造は基板６２上で、面心立方晶の（１１１）と同じ粒子配置になっている。このため、図８に示すように２層目以降の微粒子が（１１１）面でなる１層目の微粒子膜上に順次積み重なっていくことから（１１１）面（図中の８１も（１１１）面）となり、微粒子によって形成される規則構造（結晶構造）が（１１１）配向した面心立方構造となってしまう。なお、この図８の規則構造は、分散液６１を蒸発させた後に得られるものである。
【０００８】
以上説明したように、縦方向堆積法では、通常、（１１１）配向した面心立方構造しか得られないという問題がある。また、この縦方向推移方法と同様に横方向堆積法でも、基板の面上で、微粒子が最密充填で凝集する現象を利用しているため、やはり、通常、（１１１）配向した面心立方構造しか得られないという問題がある。
【０００９】
さらに、前述した図６に示すように、縦方向堆積法によると基板６２上の複数の箇所で最密充填構造の形成（核の形成）が開始されてしまうため、この部分が所謂マルチドメイン構造となってしまう恐れがある。ここで、マルチドメインについて説明すると図９（ａ）は微視的に見たマルチドメインを示しており、方向の異なるドメインＡ、ドメインＢが同一の面上に形成されていることがわかる。また、図９（ｂ）は巨視的に見たマルチドメインを示しており、微粒子人工結晶体９１の内部に複数のドメインＸが配列していることがわかる。このように、横方向堆積法に比較して、大結晶の微粒子構造体の形成に向いている縦方向堆積法でも結晶の形成時にマルチドメインが生じてしまい、これが結晶上の欠陥となることから低欠陥である大結晶バルク体の微粒子構造体を得ることができなかった。
【００１０】
本発明は上述の問題点を解決するために成されたものであり、フォトニック結晶として利用できるような高品質の微粒子構造体を、方位制御することにより（１１１）配向以外の面心立方構造を有する微粒子構造体として得ると共に、低欠陥であるうえ、大結晶バルク体の微粒子構造体として製造できる微粒子構造体の製造方法を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記した課題を解決し、目的を達成するため、請求項１に記載の発明にかかる微粒子構造体の製造方法は、球形状で且つ粒子径の揃った微粒子を容器内に貯留した液体中に分散させ、この分散液を原料分散液とし、この原料分散液の分散液を蒸発させて濃縮させる濃縮工程と、次いで種結晶となる微粒子構造体を原料分散液表面に着付させる着付工程と、次いで原料分散液表面から種結晶を引き上げる引き上げ工程とを有することを特徴とする。
【００１２】
この請求項１に記載の発明によれば、濃縮工程、着付工程、引き上げ工程とを行うと共に、微粒子構造体の方位制御を行うことにより、大結晶となる微粒子構造体の製造が可能となる。
【００１３】
請求項２に記載の発明にかかる微粒子構造体の製造方法は、請求項１に記載の発明において、引き上げ工程は第１引き上げ工程と第２引き上げ工程とを有し、種結晶を原料分散液表面に着付させる着付工程後に、原料分散液表面からこの種結晶を引き上げる際には、引き上げた微粒子構造体の太さが種結晶の太さよりも、一旦、細くなるようにする第１引き上げ工程を行い、次いで引き上げた微粒子構造体の太さを太くする第２引き上げ工程を行うことを特徴とする。
【００１４】
この請求項２に記載の発明によれば、微粒子構造体の方位制御を行うと共に、引き上げた微粒子構造体の太さが種結晶の太さよりも、一旦、細くなるようにする第１引き上げ工程を行い、次いで引き上げた微粒子構造体の太さを太くする第２引き上げ工程を行うことにより結晶の成長を確実にし、且つ、大結晶となる微粒子構造体の製造が可能となる。
【００１５】
請求項３に記載の発明にかかる微粒子構造体の製造方法は、請求項１または２のいずれかに記載の発明において、原料分散液が貯留された容器及び種結晶を、引き上げ工程による引き上げ時には引き上げ方向を回転軸として回転させることを特徴とする。
【００１６】
この請求項３に記載の発明によれば、微粒子構造体の方位制御と回転制御を行うことによりドメインの少ない低欠陥であるうえ大結晶の微粒子構造体の製造が可能となる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照して、この発明にかかる微粒子構造体の製造方法及び当該微粒子構造体の製造方法を適用した製造装置の好適な実施の形態である、実施の形態１ないし５を詳細に説明する。
【００２２】
（実施の形態１）
図１（ａ）〜（ｃ）は実施の形態１の微粒子構造体の製造方法を説明するための図であり、（ａ）は濃縮工程を（ｂ）は着付工程を（ｃ）は引き上げ工程をそれぞれ示している。ここで、本発明の規則構造配列を有する微粒子構造体の製造方法は球形状で且つ粒子径の揃った微粒子を容器内に貯留した液体中に分散させ、この分散液を原料分散液とし、この原料分散液を濃縮させる（ａ）濃縮工程と、次いで種結晶となる微粒子構造体を原料分散液表面に着付させる（ｂ）着付工程と、次いで原料分散液表面から種結晶を引き上げる（ｃ）引き上げ工程とを有することに特徴がある。
【００２３】
すなわち、先ず図１に示すように上方が開口した容器１１の内部に原料分散液１２を入れたものを用意する。ここで、原料分散液の生成（調整）について簡単に説明すると、分散媒には純水を使用するものとし、この時使用する純水には混入物が含有しないように十分注意する。これは、純水中に塩などの混入があると、この純水中に微粒子を入れて分散液にした際に良好な分散状態が得られないからである。一方、シリカ粒子の場合は、pHも特に調整することなく、中性の状態で良好な分散性が得られる。そして、これらシリカ粒子と純水により、原料分散液の生成を行う。
【００２４】
さらに、この原料分散液１２は本発明における濃縮工程により濃縮することになるが、この段階では濃厚な分散液を生成しようとすると、粘度が高くなって作業性が非常に悪くなるため、この段階では、原料分散液の濃度は、10〜40wt％程度とすることが好ましい。ここで、使用する微粒子には、粒子径300nmで、大きさが揃っており、球形状のシリカ粒子を用いると共に、この微粒子の粒子径のばらつきは、２％以下になっていることが好ましい。これは粒子径の分布が大きいと、これにより最終的に得られる微粒子構造体の結晶品質が低下するためである。
【００２５】
以上のようにして、調整した原料分散液１２（微粒子を液体中に分散させた分散液）を容器１１に満たした後、分散媒を蒸発させることにより原料分散液１２を濃縮させる濃縮工程を最初に行う（図１（ａ））。ここで、濃縮させる分散液の濃度の目安は、微粒子分散液全体の体積に対する微粒子が占める体積の割合（体積分率）が0.5程度とする。つまり、球形状で、粒子系の揃った微粒子を液体に分散させた微粒子分散系では、体積分率が0.5以上になってくると、分散液中に微粒子の規則構造が現れ始め、規則構造の島（ラメラ）が分散液中に局在する状態となる。
【００２６】
すなわち、体積分率が0.5という目安は、通常物質の融液からの結晶成長における融点に相当している。本発明では、このように先ず原料分散液１２の分散媒を蒸発させることにより、体積分率が0.5程度となるまで、濃縮する濃縮工程を行うものである。この点が従来においての材質の結晶引き上げ法と異なっている。また、この濃縮工程の際、雰囲気は窒素などの不活性ガスとする。これは通常の大気中で、この濃縮工程を行うと、空気中の二酸化炭素が分散液中に溶け込んでいき、この二酸化炭素によりpHをシフトさせてしまい、シリカ粒子の表面電位を下げて、種結晶を用いる前に、原料分散液中で微粒子の凝集が開始してしまう恐れがあるからである。
【００２７】
この後、前述した縦方向堆積法により得られた粒子径300nmの球状シリカ粒子の微粒子構造体を、へき開することにより（１１１）面を出し、これをシングルドメインとしたものを以下の工程で種結晶１３として使用する。この種結晶１３は、前述したように面心立方晶である。
【００２８】
つまり、この種結晶１３においての（１１１）面を下にして、濃縮工程により濃縮した原料分散液１２の液面に着付する着付工程を行う（図１（ｂ））。この後、分散液面に着付された種結晶１３を徐々に引き上げていく引き上げ工程を行うことにより、微粒子構造体の結晶を成長させる（図１（ｃ））。以上、上述した一連の濃縮工程、着付工程、引き上げ工程を行うことにより、種結晶１３を成長させることができる。この結果、大結晶となる微粒子構造体１４を得ることができる。
【００２９】
（実施の形態２）
図２は実施の形態２における微粒子構造体の製造方法を説明する図であり、ここでも先の実施の形態１と同様、先ず微粒子には、粒子径300nmで、大きさが揃っており、球形状のシリカ粒子を用い、分散媒には、純水を使用して、原料分散液１２を生成する。そして、同様に調整した原料分散液１２を容器１１に満たし、窒素雰囲気中で、分散媒を蒸発させていき、原料分散液１２を濃縮させる濃縮工程を行う（図２（ａ））。この後、やはり前述した縦方向堆積法により得られた粒子径300nmの球状シリカ粒子の微粒子構造体を、へき開することにより（１１０）面を出し、シングルドメインとしたものを種結晶１３として使用し、この種結晶１３の（１１０）面を下にして、濃縮工程により濃縮した原料分散液１２の液面に着付する着付工程を行う（図２（ｂ））。
【００３０】
以下、実施の形態１と同様に引き上げ工程により種結晶１３を徐々に引き上げることにより、微粒子構造体の結晶を大きく成長させるが、本実施の形態２では引き上げ速度を調整して、引き上げた結晶の太さが種結晶１３の径寸法よりも細くなるようにする第１引き上げ工程を最初に行う（図２（ｃ））。次いで、この第１引き上げ工程よりも種結晶１３の引き上げ速度を遅くする第２引き上げ工程を行う（図２（ｄ））。ここで、第１引き上げ工程を行うことにより、単一の種結晶１３から結晶成長が開始されることを確実にすることができ、第２の引き上げ工程を行うことにより引き上げる結晶の太さを太くすることができる。以上、上述した一連の濃縮工程、着付工程、引き上げ工程（第１引き上げ工程、第２引き上げ工程）を行うことにより、種結晶１３を成長させることにより大結晶である微粒子構造体１５を得ることができる。
【００３１】
（実施の形態３）
図３は実施の形態３においての微粒子構造体の製造方法を説明する図であり、ここでも先の実施の形態１、２と同様、先ず微粒子には、粒子径300nmで、大きさが揃っており、球形状のシリカ粒子を用い、分散媒には、純水を使用して、原料分散液１２を生成する。そして、調整した原料分散液１２を容器１１に満たし、窒素雰囲気中で、分散媒を蒸発させていき、原料分散液１２を濃縮させる濃縮工程を行う。ここで、本実施の形態３では濃縮工程の際には、原料分散液１２が貯留された容器１１を引き上げ方向を回転軸として回転させる（図３（ａ））。これは、予め容器１１の回転により原料分散液１２を攪拌させることにより、結晶生成時の欠陥を低減させるためである。
【００３２】
その後、やはり前述した縦方向堆積法により得られた粒子径300nmの球状シリカ粒子の微粒子構造体を、「へき開」させることにより（１１１）面を出し、シングルドメインとしたものを種結晶１３として使用し、この種結晶の（１１１）面を下にして、引き上げ方向を回転軸として、回転させながら濃縮した原料分散液１２の液面に着付する着付工程を行う（図３（ｂ））。このとき、種結晶１３の回転方向（破線）の向きは、容器１１の回転方向（実線）の向きと逆方向にする。
【００３３】
この後、容器１１と種結晶１３を回転させながら、種結晶１３を徐々に引き上げていき、微粒子構造体となる種結晶１３を成長させるが、ここでも先ず引き上げ速度を調整して、引き上げた結晶の太さが種結晶１３の径寸法よりも細くなる第１引き上げ工程を行う（図３（ｃ））。その後、第１引き上げ工程よりも引き上げ速度を遅くする第２引き上げ工程を行うことにより、引き上げる結晶の太さを太くする（図３（ｄ））。この実施の形態３で行う容器１１及び、種結晶１３の回転は結晶成長中に入り込む欠陥を低減させることを目的として行う。以上、上述した一連の濃縮工程、着付工程、引き上げ工程（第１引き上げ工程、第２引き上げ工程）を行うことにより、種結晶１３を成長させることができ、この結果、大結晶である微粒子構造体１６を得ることができる。また、種結晶１３の回転により結晶成長中に入り込む欠陥を低減させることができることから低欠陥の微粒子構造体１６を製造することができる。
【００３４】
なお、以上述べた実施の形態１、２、３は、どれも粒子径が300nmのシリカ粒子を例として取り上げているが、本発明は、これに限定するものではなく使用できる微粒子の条件としては、球形状で、粒子径が揃っており、分散液にした際に良好な分散状態が得られる微粒子材料（素材）であれば良い。例えば、この素材としてはシリカ、アルミナ、酸化チタン、酸化ジルコニウム、五酸化タンタル、Pb(Zr,Ti)O3や、酸化ガドリニウム、酸化イットリウムなどの希土類酸化物、またはポリスチレンなどを用いることができる。
【００３５】
但し、上記以外の他の微粒子材料を使用する場合には、原料分散液中の微粒子の良好な分散状態を確保するため、pHの調整を行う必要がある。シリカ粒子の場合、微粒子表面の電位がゼロとなるpH（等電点）が２程度であるため、pHが中性で分散液を調整すると、微粒子の表面電位が十分に高くなり分散液中の粒子間に斥力が作用することから、良好な分散性が得ることができる。
【００３６】
しかし、例えば、微粒子にZrO2微粒子を使用する場合には、等電点が４程度であるため、分散液のpHは、アルカリに調整することにより、良好な分散性が得られる。以上のように、原料分散液の微粒子の良好な分散状態を得るには、使用する材料の等電点を調べて、微粒子の表面電位が高くなるように、等電点から離れたところにpH調整を行う。以上のように、本実施の形態１、２、３によると粒子の大きさが10nm〜2μm程度まで大径化した微粒子構造体の大結晶を得ることが可能である。
【００３７】
（実施の形態４）
図４は本発明の微粒子構造体の製造方法が適用される製造装置の一例を示している。すなわち、図４に示すように微粒子構造体の製造装置４０は内部が気密であるチャンバー４３により構成されており、このチャンバー４３内に上方が開口した容器１１が配置されるものとなる。この容器１１には前述したように微粒子を液体中に分散させ調整した原料分散液１２が満たされている。また、チャンバー４３の一端（図で、右側）には、このチャンバー４３内に窒素などの不活性ガスを供給するための窒素供給機構４４と供給した窒素による雰囲気を置換するための排気ポンプ４５とを備えている。４６，４７は窒素供給機構４４及び排気ポンプ４５それぞれの流路開閉を行うためのバルブである。
【００３８】
また、チャンバー４３の他端（図で左側）には温湿度調整機構４９が備えられており、この温湿度調整機構４９によりチャンバー４３内部の湿度及び温度を調整することができる。すなわち、原料分散液１２中の純水を分散液から蒸発させて、この原料分散液１２の濃縮工程を行う際には、温湿度調整機構４９により湿度を低下させることにより蒸発を促進できるようになっている。
【００３９】
また、原料分散液の濃縮工程が終了して、種結晶１３の引き上げ工程を行う際には、原料分散液中の濃度が安定に保たれるように、温湿度調整機構４９によりチャンバー４３内を飽和蒸気圧まで加湿できるようになっている。さらに、チャンバー４３の上方には種結晶１３を原料分散液１２表面から上方に引き上げるための牽引機構５０及びこの牽引機構５０の引き上げ速度を制御するための牽引制御機構５１が備えられている。この牽引機構５０には引き上げロッド５２の上端部が連結されており、この引き上げロッド５２はチャンバー４３の上板部５４を貫通してその下端部が容器１１にまで到達するように長さが選定されている。このため、前述した種結晶１３の着付工程の際には、引き上げロッド５２の下端部に着付させた種結晶１３をこの引き上げロッド５２により引き上げるものとなる。
【００４０】
この場合、牽引制御機構５１により引き上げ速度を調整して、引き上げた結晶の太さが種結晶１３の径寸法よりも細くなるようにする第１引き上げ工程及びこの第１引き上げ工程よりも種結晶１３の引き上げ速度を遅くする第２引き上げ工程を適用することにより、種結晶１３の結晶成長が開始されることを確実にすると共に、引き上げる結晶の太さを太くすることができる。以上のように、本実施の形態４によると、種結晶１３を成長させることにより大結晶である微粒子構造体５５を製造することができる。
【００４１】
（実施の形態５）
図５は本発明の実施の形態５を示すものであり、前記実施の形態４の構成に回転制御機構６０を付設したことに特徴がある。すなわち、牽引機構７１は種結晶１３を原料分散液１２表面から上方に引き上げる機能及び引き上げ方向を回転軸として回転させる機能とを有しており、さらにチャンバー４３の下方側には原料分散液１２が入っている容器を引き上げ方向を回転軸として回転させる回転制御機構６０とを備えている。この回転制御機構６０は駆動モータなどが使用されトルク伝達機構７３を介して容器１１の底部側に連結されている。これにより、チャンバー４３内に配置された容器１１は回転制御機構６０による回転トルクがトルク伝達機構７３を介して伝達され回転するものとなる。また、牽引制御機構７２は牽引機構７１に対する引き上げ速度の調整及び回転速度の調整及び安定化を行う機能を備えるものとなる。
【００４２】
本実施の形態５によると、種結晶１３を濃縮工程により濃縮させた原料分散液１２に着付させる着付工程の際には容器１１は回転制御機構６０により回転しており、これに伴って牽引機構７１の作動により引き上げロッド５２を回転させながら濃縮した原料分散液１２表面に種結晶１３を着付させる着付工程を行う。また、引き上げ工程の際には回転制御機構６０及び牽引機構７１の作動により容器１１及び引き上げロッド５２を回転させることになる。そして、引き上げロッド５２の先端部に付いた種結晶１３は引き上げロッド５２の回転により上方に引き上げられることとなる。
【００４３】
本実施の形態５の場合も、牽引制御機構７２により引き上げ速度を調整して、引き上げた結晶の太さが種結晶１３の径寸法よりも細くなるようにする第１引き上げ工程及びこの第１引き上げ工程よりも種結晶１３の引き上げ速度を遅くする第２引き上げ工程を適用することにより、種結晶１３の結晶成長が開始されることを確実にすると共に、引き上げる結晶の太さを太くすることができる。このように、本実施の形態５では微粒子構造体の方位制御及び回転制御を行うことのできる製造装置により、結晶成長中に入り込む欠陥を低減させることができることから低欠陥であるうえ大結晶となる微粒子構造体７５を製造することができる。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１に記載の発明は、濃縮工程、着付工程、引き上げ工程及び方位制御を行うことにより（１１１）配向以外の面心立方構造を有する微粒子構造体を得ると共に、大結晶となる微粒子構造体の製造方法を提供することができるという効果を奏する。
【００４５】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、微粒子構造体の方位制御を行うと共に、引き上げた微粒子構造体の太さが種結晶の太さよりも、一旦、細くなるようにする第１引き上げ工程を行い、次いで引き上げた微粒子構造体の太さを太くする第２引き上げ工程を行うことにより、結晶の成長を確実にし、ドメインが少ない低欠陥であるうえ、大結晶となる微粒子構造体の製造方法を提供することができるという効果を奏する。
【００４６】
請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２のいずれかに記載の発明において、原料分散液が貯留された容器及び種結晶を、引き上げ工程による引き上げ時には引き上げ方向を回転軸として回転させるので、微粒子構造体の方位制御及び回転制御を行うことにより、ドメインの少ない低欠陥であるうえ大結晶となる微粒子構造体の製造方法を提供することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１における微粒子構造体の製造方法を説明するための図である。
【図２】実施の形態２における微粒子構造体の製造方法を説明するための図である。
【図３】実施の形態３における微粒子構造体の製造方法を説明するための図である。
【図４】実施の形態４における微粒子構造体の製造装置を説明するための図である。
【図５】実施の形態５における微粒子構造体の製造装置を説明するための図である。
【図６】従来の縦方向堆積法を説明するための図である。
【図７】微粒子の二次元的な最密充填構造を示す図である。
【図８】（１１１）配向した面心立方構造を持つ微粒子構造体を説明するための図である。
【図９】マルチドメインを説明するための図である。
【符号の説明】
１１，６５  容器
１２，６１  原料分散液
４０，４０ａ  製造装置
４３  チャンバー
４４  窒素供給機構
４５  排気ポンプ
４６，４７  バルブ
４９  温湿度調整機構
５０，７１  牽引機構
５１，７２  牽引制御機構
５２  引き上げロッド
６０  回転制御機構
６２  基板
６４  微粒子
９１  微粒子人工結晶体
【図１】
0004153209.tif 000002
【図２】
0004153209.tif 000003
【図３】
0004153209.tif 000004
【図４】
0004153209.tif 000005
【図５】
0004153209.tif 000006
【図６】
0004153209.tif 000007
【図７】
0004153209.tif 000008
【図８】
0004153209.tif 000009
【図９】
0004153209.tif 000010