(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともセラミックス又はカーボンを主成分に含有する複数の繊維を編み込んで繊維部材を形成する繊維部材形成工程と、
前記繊維部材に、少なくともセラミックス又はカーボンを主成分に含有するスラリーを含浸させる含浸工程と、
前記スラリーの含浸された繊維部材にＡｌを固溶又はＡｌ化合物を分散させ、これらスラリーとＡｌとを繊維部材ごと焼結してこの繊維部材中にマトリクス部材を形成するマトリクス部材形成工程と
を含んでいることを特徴とする自己修復型高温用部材の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の自己修復型高温用部材の製造方法において、
前記繊維部材及び前記マトリクス部材は、両者ともＳｉＣを主成分とすることを特徴とする自己修復型高温用部材の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の自己修復型高温用部材の製造方法において、
前記マトリクス部材の形成後、機械加工により、前記繊維部材及び前記マトリクス部材からなる基材を所定の寸法に成形する成形工程と、
前記成形された基材の表面に、ＣＶＤ法により、耐酸化性コーティング層を形成するコーティング層形成工程と
を含んでいることを特徴とする自己修復型高温用部材の製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の自己修復型高温用部材の製造方法において、
前記ＣＶＤ法は、供給するＨＣｌガスと前記マトリクス部材中のＡｌとの反応により生じるＡｌ塩化物ガスを前記耐酸化性コーティング層の原料に用いており、
前記耐酸化性コーティング層は、Ａｌ２Ｏ３であることを特徴とした自己修復型高温用部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガスタービン、ジェットエンジンなど、高温酸化雰囲気中で使用される自己修復型高温用部材の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ガスタービンやジェットエンジンなどの原動機においては、熱効率の向上を図るための開発研究が精力的に継続されている。熱効率の向上のための最も有効な技術の一つは、燃焼ガスの温度を高温化させることである。
【０００３】
よって、高温の燃焼ガスに直接接する、動翼、静翼、燃焼器及びシュラウド等の高温用部材の基材は、より過酷な高温環境での使用にも耐え得るような改良が要請される。
【０００４】
ところが、金属、カーボン（黒鉛、カーボン／カーボン繊維複合体を含む）、非酸化物セラミックを高温の酸化雰囲気で使用すると、その酸化雰囲気に晒された表面が酸化される問題がある。
【０００５】
一方、酸化物セラミックは、この酸化を低減可能であると同時に、耐熱性に優れ、かつ化学的にも安定である利点をもつが、じん性に劣る問題があるため、信頼性に欠ける問題がある。
【０００６】
このような問題の解決する観点から、次の（Ａ），（Ｂ）の点から改良が試みられている。
（Ａ）合金化による耐酸化性を向上させる試みである。
（Ｂ）機械強度やじん性に優れた金属、セラミック、カーボンを基材として用い、その表面に耐酸化性に優れた材料をコーティングし、機能を分離することで機械特性と耐環境性を両立させる試みである。なお、金属表面にセラミックをコーティングした例は、特願平４−２１４４２２号公報などに開示されている。窒化珪素セラミック表面に酸化物セラミックをコーティングした例は、特公平５−８１５２号公報などに開示されている。また、カーボンにセラミックをコーティングした例は、特開昭５８−１２５６７号公報などに開示されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら以上のような基材からなる高温用部材では、ガスタービンやジェットエンジン等の如き高温の酸化雰囲気で使用されるとき、次の（Ａｐ），（Ｂｐ）に述べるように、機械強度と耐酸化性とが不十分である問題がある。
（Ａｐ）合金化による方法は、耐酸化性を向上させるものの、当然、同時に機械強度を低下させる欠点をもつ。また、セラミックは化学的に安定なものが多いため、多くの合金元素の使用が制限されるという欠点もある。まとめると、合金化による方法は、機械強度と耐酸化性の両立が困難である問題がある。
（Ｂｐ）一方、基材表面に耐酸化性材料をコーティングする方法では、耐酸化性のセラミックコーティング層が一般的には脆いため、急激な温度変化に伴う熱衝撃や基材との熱膨張差による熱応力などにより、容易に割れを生じる問題がある。
【０００８】
正確には、この割れにより、金属、非酸化物セラミック、カーボン基材を露出させて高温の酸化雰囲気に晒し、基材に著しく酸化を進行させ、基材の強度低下を招く問題がある。また、係る問題は、使用に支障をきたすトラブルを発生させる可能性がある。
【０００９】
本発明は上記実情を考慮してなされたもので、基材表面に形成した酸化層や耐酸化コーティング層に割れを生じ、基材を露出させたときでも、Ａｌ酸化物にて割れを修復する自己修復機能を備え、機械強度と耐酸化性を両立し得る自己修復型高温用部材の製造方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に対応する発明は、少なくともセラミックス又はカーボンを主成分に含有する複数の繊維を編み込んで繊維部材を形成する繊維部材形成工程と、前記繊維部材に、少なくともセラミックス又はカーボンを主成分に含有するスラリーを含浸させる含浸工程と、前記スラリーの含浸された繊維部材にＡｌを固溶又はＡｌ化合物を分散させ、これらスラリーとＡｌとを繊維部材ごと焼結してこの繊維部材中にマトリクス部材を形成するマトリクス部材形成工程とを含んでいる自己修復型高温用部材の製造方法である。
【００１７】
また、請求項２に対応する発明は、請求項１に対応する自己修復型高温用部材の製造方法において、前記繊維部材及び前記マトリクス部材としては、両者ともＳｉＣを主成分とする自己修復型高温用部材の製造方法である。
【００１８】
さらに、請求項３に対応する発明は、請求項１又は請求項２に対応する自己修復型高温用部材の製造方法において、前記マトリクス部材の形成後、機械加工により、前記繊維部材及び前記マトリクス部材からなる基材を所定の寸法に成形する成形工程と、前記成形された基材の表面に、ＣＶＤ法により、耐酸化性コーティング層を形成するコーティング層形成工程とを含んでいる自己修復型高温用部材の製造方法である。
【００１９】
また、請求項４に対応する発明は、請求項３に対応する自己修復型高温用部材の製造方法において、前記ＣＶＤ法としては、供給するＨＣｌガスと前記マトリクス部材中のＡｌとの反応により生じるＡｌ塩化物ガスを前記耐酸化性コーティング層の原料に用いており、前記耐酸化性コーティング層としては、Ａｌ２Ｏ３である自己修復型高温用部材の製造方法である。
【００２０】
基材は、セラミックス単独又はカーボン単独あるいはその両者の合計を〜９９．９重量％の範囲内で含有するものである。なお、他の副成分としては、Ｗ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｎｂなどの高融点金属、ＮｉＡｌ，ＮｂＡｌ，ＭｏＳｉ，ＴｉＡｌなどの金属間化合物などの融点が１２００℃以上の金属系材料等が適宜使用可能となっている。
【００２１】
ここで、セラミックスとしては、例えばＳｉＣに代表される炭化物系セラミック、Ｓｉ3 Ｎ4 に代表される窒化物系セラミック、Ａｌ2 Ｏ3 ，ＭｇＯ，ＳｉＯ2 ，Ｙ2 Ｏ3 ，ＺｒＯ2 などの酸化物系セラミック等が適用可能となっており、繊維部材及びマトリクス部材でも同様である。
【００２２】
Ａｌ化合物としては、例えばＴｉＡｌ，ＮｉＡｌなどの金属間化合物、ＡｌＣなどの炭化物系セラミック、ＡｌＮなどの窒化物系セラミック等が適用可能となっている。
【００２３】
また、基材中のＡｌの含有率は、０．１〜３０重量％の範囲内にあり、自己修復機能を迅速に発現させる観点から１０〜３０重量％の範囲内にあることが好ましい。なお、基材は、内部でのＡｌの含有率が０．１〜３０重量％の範囲内にあり、表面でのＡｌの含有率が１０〜３０重量％の範囲内にあることが、内部にて高い高温強度を維持し、前記表面にて高い耐酸化性を備える観点から好ましい。
【００２４】
Ａｌ系酸化物は、例えばＡｌ2 Ｏ3 ，Ａｌ2 Ｏ3 ・ＳｉＯ2 ，Ａｌ2 Ｏ3 ・ＭｇＯ，Ａｌ2 Ｏ3 ・ＺｒＯ2 などの複合酸化物系セラミック等がある。
繊維部材は、セラミックス単独又はカーボン単独あるいはその両者の合計を〜９９．９重量％の範囲内で含有するものである
【００２５】
マトリクス部材は、セラミックス単独又はカーボン単独あるいはその両者の合計を〜９９．９重量％の範囲内で含有するものである。
また、マトリクス部材のＡｌの含有率は、０．１〜３０重量％の範囲内にあり、自己修復機能を迅速に発現させる観点から１０〜３０重量％の範囲内にあることが好ましい。
【００２６】
なお、繊維部材及びマトリクス部材の夫々のセラミックス等の含有率に対し、各部材の重量を重みとした重みつき平均を施した値が前述した基材におけるセラミックス等の含有率となることは言うまでもない。
（作用）
従って、請求項１に対応する発明は以上のような手段を講じたことにより、基材がＡｌ又はＡｌ化合物を含有するため、高温酸化雰囲気にて、酸化物の生成自由エネルギーが小さい（酸素と結合し易い）Ａｌが優先的に酸素と反応し、表面にＡｌ系酸化物が形成される。このＡｌ系酸化物は、その中の酸素の拡散速度が遅いために、酸化物の生成速度を遅くできる。すなわち、表面にＡｌ系酸化物を形成させ、酸化速度を低減している。
【００２７】
さらに、このＡｌ系酸化物に割れが生じ、基材表面が露出しても、基材中のＡｌが優先的に酸素と反応し、表面にＡｌ系酸化物が形成される。よって、このＡｌ系酸化物により、割れによる露出部からの急激な酸化を防止している。
【００２８】
このように、基材表面に形成したＡｌ系酸化物に割れを生じ、基材を露出させたときでも、Ａｌ系酸化物を再形成して割れを修復する自己修復機能を備えているので、機械強度と耐酸化性を両立させることができる。
【００３５】
さらに、請求項１に対応する発明は、繊維部材中にマトリクス部材を保持させた構成のため、機械的強度やじん性の向上を期待し得る繊維部材やマトリクス部材からなる自己修復型高温用部材を容易かつ確実に製造することができる。
【００３６】
また、請求項２に対応する発明は、繊維部材及びマトリクス部材としては両者ともＳｉＣを主成分とするので、請求項１の基材の作用を容易かつ確実に奏することができる。
【００３７】
さらに、請求項３に対応する発明は、請求項１又は請求項２に対応する作用に加え、基材表面に耐酸化性コーティング層を形成するので、基材への酸素の侵入を抑制し、酸化速度を低減できる自己修復型高温用部材を製造することができる。
【００３８】
また、請求項４に対応する発明は、基材表面の耐酸化性コーティング層をＡｌ２Ｏ３としたので、請求項３に対応する作用を容易かつ確実に奏することができる。
【００３９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の各実施の形態について図面を参照して説明する。
（第１の実施の形態）
図１は本発明の第１の実施の形態に係る自己修復型高温用部材の構成を模式的に示す模式図である。この自己修復型高温用部材は、ＳｉＣ系繊維１と、ＳｉＣ系繊維１中に保持されたＳｉＣ−Ａｌ−Ｃ系マトリクス２とからなるＳｉＣ繊維強化複合材料３である。
【００４０】
ＳｉＣ系繊維１は、セラミックス及びカーボンを主成分に含有するものであり、予め平織りされた複数のＳｉＣ系平織りクロスが互いに重ねられ、各ＳｉＣ系平織りクロスがＳｉＣ系長繊維で編込まれて形成されている。
【００４１】
ＳｉＣ−Ａｌ−Ｃ系マトリックス２は、ＳｉＣ系繊維１中に保持され、セラミックス及びカーボンを主成分に含有し、かつＡｌを含有する焼結体である。なお、ＳｉＣ−Ａｌ−Ｃ系マトリックス２は、内部のＡｌの含有率よりも表面のＡｌの含有率の方が高い構造が、内部にて高い高温強度を維持し、表面にて後述する高い耐酸化性を備える観点から好ましい。
【００４２】
ＳｉＣ系繊維強化複合化材料３は、これらＳｉＣ系繊維１とＳｉＣ−Ａｌ−Ｃ系マトリックス２が一体形成されたものである。
次に、以上のように構成された自己修復型高温用部材の製造方法及び作用等を説明する。
（製造方法）
図２に示すように、始めに、ＳｉＣ系平織りクロス４をＳｉＣ系長繊維５で編込むことにより、所望の形状のＳｉＣ系繊維１（以下プリフォーム６ともいう）を形成する（ＳＴ１；プリフォーム工程）。
【００４３】
次は、そのＳｉＣ系繊維１でできたプリフォーム６の隙間を、水、又は有機溶媒中にＳｉＣとＣの微粉末を混合したＳｉＣ−Ｃ系スラリー７で埋める（ＳＴ２；含浸工程）。
【００４４】
このとき、ガス、または水を圧力媒体としたＣＩＰ（冷間等方性加圧）８法を用い、圧力を１９６ＭＰａ程度とすれば、プリフォーム７内部の隙間にまでＳｉＣ−Ｃ系スラリー７を含浸させることができる。
【００４５】
次は、このＳｉＣ−Ｃ系スラリー７を含浸させたプリフォーム６に、溶融したＳｉ−Ａｌ溶液９を充填させながら全体を焼結してＳｉ−ＡｌーＣ系マトリクス２を形成させる（ＳＴ３；反応焼結工程）。
【００４６】
これにより、ＳｉＣ系繊維１とＳｉ−Ａｌ−Ｃ系マトリクス２からなるＳｉＣ繊維強化複合材料３が完成される。なお、反応焼結工程は、４９ＭＰａ以上のＡｒなどの不活性ガス加圧雰囲気で行われることが、高い蒸気圧をもつＡｌの蒸発防止という観点から望ましい。
【００４７】
また、完成されたＳｉＣ繊維強化複合材料３は、動翼、静翼、燃焼機及びシュラウド等の基材に適用するため、所定の寸法に機械仕上げされる（ＳＴ４；機械加工工程）。
（作用）
ＳｉＣ繊維強化複合材料３は、高温酸化雰囲気に晒されると、図３（ａ）に示すように、Ｓｉ−ＡｌーＣ系マトリクス２中のＡｌが酸化物の生成自由エネルギーの小さいことから優先的に酸化されるので、表面にＡｌ2 Ｏ3 等のＡｌ系酸化物１０が形成される。
【００４８】
このＡｌ系酸化物１０は非常に緻密であり、また、その中の酸素の拡散速度が遅いために酸化速度が小さくできる。但し、Ａｌ系酸化物１０は、ぜい性であるために、加熱冷却時の熱衝撃やＳｉＣ繊維強化複合材料３とＡｌ系酸化物１０の線膨張差による熱応力などにより割れ１１が生じやすい。
【００４９】
次に、図３（ｂ）に示すように、このＡｌ系酸化物１０に割れ１１が生じ、ＳｉＣ繊維強化複合材料３が露出したとする。
このとき、図３（ｃ）に示すように、Ｓｉ−ＡｌーＣ系マトリクス２中のＡｌと雰囲気の酸素とが反応してＡｌ2 Ｏ3 のＡｌ系酸化物（修復）１２を形成し、割れ１１を塞ぐという自己修復作用により、ＳｉＣ繊維強化複合材料３の表面は、再びＡｌ系酸化物１２で修復される。
（評価）
図４は本実施形態におけるＳｉＣ繊維強化複合材料３の１３００℃、大気圧下での酸化増量を従来材料に比較して示す図である。なお、従来材料とは、ＳｉＣ−Ｃ系（Ａｌを含まない）マトリクスである。
【００５０】
図示するように、本実施形態のＳｉＣ繊維強化複合材料３では、ＳｉＣ−Ａｌ−Ｃ系マトリクス２中にＡｌを含有させ、高温酸化雰囲気での使用時、表面にＡｌ系酸化物１０を形成させることにより、従来材料と比べ、酸化増量を著しく低減させることができた。すなわち、本実施形態に係るＳｉＣ繊維強化複合材料３は、耐酸化性を著しく向上させることができる。
【００５１】
図５は本実施形態におけるＳｉＣ繊維強化複合材料３の高温酸化雰囲気への暴露時間に対する曲げ強度の変化を従来材料に比較して示す図である。図示するように、本実施形態のＳｉＣ繊維強化複合材料３は、暴露時間が経過しても曲げ強度がほとんど低下せず、経時的な強度特性を明らかに向上させることができた。一方、従来構造は暴露時間と共に曲げ強度を低下させていた。
【００５２】
上述したように第１の実施の形態によれば、ＳｉＣ繊維強化複合材料３表面に形成したＡｌ系酸化物１０に割れ１１を生じ、ＳｉＣ繊維強化複合材料３を露出させたときでも、Ａｌ系酸化物１１を再形成して割れ１１を修復する自己修復機能を備えているので、機械強度と耐酸化性を両立させることができる。
【００５３】
また、耐酸化性の向上、すなわち、ＳｉＣ繊維強化複合材料３における酸化の抑制により、酸化減肉に伴う応力上昇による破壊を低減させることができる。なお、この酸化減肉の抑制効果は、ＳｉＣ−Ａｌ−Ｃ系マトリックス２において、内部のＡｌの含有率よりも表面のＡｌの含有率の方が高い構造の方がより一層顕著となる。
【００５４】
ＳｉＣ繊維強化複合材料３としては、ＳｉＣ繊維１中にＳｉＣ−Ａｌ−Ｃ系マトリクス２を保持させた構成のため、機械的強度やじん性の向上を期待することができる。
【００５５】
また、ＳｉＣ繊維強化複合材料３により、航空機、又は発電用ガスタービンにおける動翼、静翼、燃焼器、シュラウド等の高温部品の基材を構成することで、これら高温用部材の信頼性を向上させることができる。
（第２の実施の形態）
図６は本発明の第２の実施の形態に係る自己修復型高温用部材の構成を模式的に示す模式図であり、図１と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【００５６】
すなわち、本実施の形態は、ＳｉＣ繊維強化複合材料３の表面にコーティングを施した変形例であり、具体的には図６に示すように、ＳｉＣ系繊維１とＳｉＣ−Ａｌ−Ｃ系マトリクス２からなるＳｉＣ繊維強化複合材料３の表面に、耐酸化性に優れたＡｌ2 Ｏ3 コーティング層１３が形成されている。
【００５７】
ここで、Ａｌ２Ｏ３コーティング層１３は、２０００℃以上の融点を有し、かつ科学的にも安定なものである。なお、この表面のコーティング層としては、Ａｌ２Ｏ３に限らず他に、ＢｅＯ、ＣｅＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、ＨｆＯ２、Ｌａ２Ｏ３、ＭｇＯ、ＴｈＯ２、ＵＯ２、Ｙ２Ｏ３、及びＺｒＯ２よりなる群から選ばれた１種類以上の酸化物から形成され、２０００℃以上の融点を有する材料が適宜使用可能である。
【００５８】
次に、このような自己修復型高温用部材の製造方法及び作用を説明する。
（製造方法）
図７に示すように、機械加工工程ＳＴ４までは、第１の実施形態におけるＳｉＣ繊維強化複合材料３の製造方法と同様である。
【００５９】
機械加工工程のＳＴ４の完了後、ＣＶＤ法により、ＳｉＣ繊維強化複合材料３の表面にＡｌ２Ｏ３コーティング層１３が形成される。（ＳＴ５；ＣＶＤコーティング工程）。具体的には、Ａｌ２Ｏ３層コーティング層１３は、ＣＶＤ法による成長中、ＨＣｌ（ｇ）、ＣＯ２（ｇ）の供給により形成される。ガスの反応式は、以下の（１）式乃至（３）式の通りである。
２Ａｌ（ｓ）＋６ＨＣｌ（ｇ）
→２ＡｌＣｌ３（ｇ）＋３Ｈ２（ｇ）…（１）
３Ｈ２（ｇ）＋ＣＯ２（ｇ）
→３Ｈ２Ｏ（ｇ）＋３ＣＯ（ｇ）    …（２）
２ＡｌＣｌ３（ｇ）＋３Ｈ２Ｏ（ｇ）
→Ａｌ２Ｏ３（ｓ）＋６ＨＣｌ（ｇ）…（３）
（作用）
Ａｌ２Ｏ３コーティング層１３が表面に形成されたＳｉＣ繊維強化複合材料３は、Ａｌ２Ｏ３中の酸素の拡散速度が遅いために、耐酸化性に優れるとともに、Ａｌ２Ｏ３コーティング層１３に割れが生じＳｉＣ繊維強化複合材料３が露出した場合も、前述同様に、自己修復作用により再びＡｌ系酸化物で修復される。
【００６０】
すなわち割れによる露出部においては、ＳｉＣ−Ａｌ−Ｃ系マトリクス２中のＡｌと雰囲気の酸素が反応してＡｌ系酸化物（Ａｌ2 Ｏ3 ）が形成され、速やかに割れが塞がれる。
【００６１】
上述したように第２の実施の形態によれば、ＳｉＣ繊維強化複合材料３表面に、耐酸化性のＡｌ2 Ｏ3 コーティング層１３を形成したので、第１の実施形態の効果に加え、ＳｉＣ繊維強化複合材料３への酸素の侵入を抑制し、酸化速度を低減させることができる。
【００６２】
また、このＡｌ2 Ｏ3 コーティング層１３に割れが生じ、ＳｉＣ繊維強化複合材料３が露出した場合にも、前述同様に、ＳｉＣ繊維強化複合材料３中のＡｌが優先的に酸素と反応してＡｌ系酸化物を形成するので、割れによるＳｉＣ繊維強化複合材料３の露出部からの急激な酸化を防止することができる。
【００６３】
また特に、ＳｉＣ繊維強化複合材料３表面の耐酸化性コーティング層をＡｌ2 Ｏ3 としたので、これらの効果を容易かつ確実に奏することができる。
（他の実施の形態）
なお、上記第１の実施の形態では、ＳｉＣ−Ｃ系スラリーの含浸・Ｓｉ−Ａｌ溶液の充填・焼結という製造方法について説明したが、これに限らず、少なくともセラミック又はカーボンを主成分に含有する粉末と、Ａｌ、又はＡｌ化合物を少なくとも１つ含む粉末とをメカニカルアロイ法により固相反応、又は微細分散させた後、その粉末を成形焼結する方法により、マトリクス２中にＡｌを固溶、又はＡｌ化合物を形成させる製造方法としても、本発明を同様に実施して同様の効果を得ることができる。
【００６４】
また同様に、焼結法、反応焼結法、物理蒸着法、気相合成法、プラズマ溶射法、ディッピング法、電気メッキ法、イオン注入法、または、これらの方法の組合せにより、マトリクス２中にＡｌを固溶、又はＡｌ化合物を形成させる製造方法としても、本発明を同様に実施して同様の効果を得ることができる。
【００６５】
また、上記各実施形態は、繊維部材及びマトリクス部材の両方が、セラミックス及びカーボンを主成分にする構造であったが、これに限らず、少なくともセラミックス又はカーボンを主成分に含有していればよい。
【００６６】
また、上記第１の実施形態では、Ａｌを固溶させる製造工程を含む製造方法について説明したが、これに限らず、Ａｌ化合物を分散させる製造工程を含む製造方法であっても、基材中にＡｌ元素を含有させるための製造方法として置換可能なため、本発明の概念に包含される。
その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施できる。
【００６７】
以上説明したように本発明によれば、基材表面に形成した酸化層や耐酸化コーティング層に割れを生じ、基材を露出させたときでも、Ａｌ系酸化物にて割れを修復する自己修復機能を備え、機械強度と耐酸化性を両立し得る自己修復型高温用部材の製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る自己修復型高温用部材の構成を模式的に示す模式図
【図２】同実施の形態における製造工程図
【図３】同実施の形態における自己修復機能を説明するための模式図
【図４】同実施の形態におけるＳｉＣ繊維強化複合材料の高温、大気圧下での酸化増量を従来材料に比較して示す図
【図５】同実施の形態におけるＳｉＣ繊維強化複合材料の高温酸化雰囲気への暴露時間に対する曲げ強度の変化を従来材料に比較して示す図
【図６】本発明の第２の実施形態に係る自己修復型高温用部材の構成を模式的に示す模式図
【図７】同実施の形態における製造工程図
【符号の説明】
１…ＳｉＣ系繊維
２…ＳｉＣ−Ａｌ−Ｃ系マトリクス
３…ＳｉＣ繊維強化複合材料
４…ＳｉＣ系平織りクロス
５…ＳｉＣ系長繊維
６…プリフォーム
７…ＳｉＣ−Ｃ系スラリー
８…ＣＩＰ
９…Ｓｉ−Ａｌ溶液
１０，１２…Ａｌ系酸化物
１１…割れ
１３…Ａｌ2 Ｏ3 コーティング層
【図１】
0004109732.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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