(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
往復移動部材が往復移動方向の両終端に近づくとき前記往復移動部材の移動速度を低減するダンパ装置であって、
作動流体を密封している密封容器と、
前記往復移動部材が往復移動方向の両終端に近づくとき前記往復移動部材とともに移動することにより、前記密封容器内の作動流体を移動させる可動部材と、
前記密封容器内の作動流体が流れる流体抵抗通路を有し、前記可動部材が前記往復移動部材とともに移動することにより作動流体が前記流体抵抗通路を流れる流体抵抗手段とを備え、
前記流体抵抗手段は、前記可動部材とともに一方向に移動するピストンと、前記密封容器内に収容され、前記ピストンを往復移動自在に支持し、前記可動部材とともに前記ピストンが一方向に移動する側が閉塞されているシリンダとを有し、前記ピストンおよびシリンダは前記往復移動部材が往復移動する各方向に向け配置されており、前記流体抵抗通路は前記シリンダと前記ピストンとの間に形成されている摺動クリアランスであり、前記可動部材とともに前記ピストンが一方向に移動するとき、前記摺動クリアランスを作動流体が流れることを特徴とするダンパ装置。
【請求項２】
前記流体抵抗手段は双方向オリフィスを設けた双方向オリフィス部材を有し、前記双方向オリフィスは前記密封容器内に形成された第１流体室と第２流体室とを連通し、前記往復移動部材とともに前記可動部材が往復移動すると、前記双方向オリフィスを通り前記第１流体室と前記第２流体室との間で作動流体が双方向に流れることを特徴とする請求項１記載のダンパ装置。
【請求項３】
前記ピストンの熱膨張係数は、前記シリンダの熱膨張係数より大きいことを特徴とする請求項１または２記載のダンパ装置。
【請求項４】
前記ピストンが前記可動部材とともに一方向に移動する方向と反対方向に前記ピストンを付勢する付勢手段と、
前記ピストンを軸方向に貫通する貫通孔に取り付けられ、一方向オリフィスを有する一方向オリフィス部材と、
前記付勢手段により前記一方向オリフィス部材に向けて付勢され、作動流体が前記付勢手段の付勢方向に前記一方向オリフィスを流れることを防止する逆止弁部材と、
を備えることを特徴とする請求項１、２または３記載のダンパ装置。
【請求項５】
前記一方向オリフィス部材の熱膨張係数は、前記ピストンの熱膨張係数より大きいことを特徴とする請求項４記載のダンパ装置。
【請求項６】
往復移動することにより内燃機関の吸気通路または排気通路と燃焼室との連通を断続する吸排気弁部材と、
前記吸排気弁部材を駆動する電磁駆動部と、
前記吸排気弁部材が往復移動するとき、往復移動の両終端に向かう前記吸排気弁部材の速度を低減する請求項１から５のいずれか一項記載のダンパ装置と、
を備えることを特徴とする電磁式吸排気装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、往復移動部材が往復移動方向の両終端に近づく速度を低減するダンパ装置と、このダンパ装置を用いた電磁式吸排気装置に用する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、内燃機関（以下、「内燃機関」をエンジンという）の吸排気装置の吸気弁部材または排気弁部材をカムシャフトに形成されたカムにより駆動することが一般的である。このようなカム駆動式の吸排気装置の開閉タイミング（以下、「開閉タイミング」をバルブタイミングという）をエンジンの運転状態に応じて調整するため、ヘリカルギアまたはベーンを有するバルブタイミング調整装置を油圧制御することによりクランクシャフトに対するカムシャフトの位相を調整することが知られている。
【０００３】
カム駆動式の吸排気装置のバルブタイミングを調整する油圧制御式のバルブタイミング調整装置は、クランクシャフトに対するカムシャフトの位相、つまりカムの位相を変更することにより吸排気装置のバルブタイミングを調整している。カムの形状によりバルブタイミングの変動量が限定されるので、例えばエンジン運転状態に応じ吸排気装置の開弁タイミングおよび閉弁タイミングを単独で変更することは困難である。
【０００４】
そこで、吸気弁部材または排気弁部材を電磁力で駆動し、エンジン運転状態に応じ任意のタイミングで吸排気装置を開閉制御する電磁式吸排気装置が知られている。このような電磁駆動式の吸排気装置では、燃費の向上、あるいは排気エミッションを低減することが可能である。
【０００５】
例えばエンジンの低負荷時においては吸入空気量が少ないため、エンジンのシリンダ内に燃焼を悪化させる残留排気ガスが少ないことが望ましい。吸気弁部材と排気弁部材とが同時に開いている期間（オーバーラップ期間）において、吸気側はスロットルにより負圧であり、排気側は正圧であるので、排気ガスが吸気側に吹き返し、燃焼が悪化したり、失火したりする場合がある。このため、排気弁部材の閉じる時期が早く、吸気弁部材の開く時期が遅いことが要求される。また、吸気弁部材の閉じる時期を遅くすることにより、ポンピングロスを低減し燃費を向上することができる。したがって、アイドル運転および始動時には、排気弁部材の閉じる時期が早く、吸気弁部材の開く時期が遅い基本位相に制御することが望ましい。
【０００６】
また、エンジンの中負荷以上においてはＥＧＲ量を制御し、ポンピングロスの低減を内部ＥＧＲにより行い、燃費の向上と排気エミッションの低減をさせるため、吸気側の開弁時期を早くしたり、排気側の閉弁時期を遅くすることが望ましい。
【０００７】
さらに、エンジンの全負荷においては、大量の空気をエンジンのシリンダ内に入れる必要があるため、低速域においては早く吸気弁部材を閉じてマニホールドへの逆流を防止し、高速域においては空気の慣性を利用して遅く吸気弁部材を閉じることが望ましい。また排気側は、排気脈動を最大限利用できる位相に排気弁部材を制御することが望ましい。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
電磁式吸排気装置は、エンジン制御装置（ＥＣＵ）からの指示により前述したような吸気側および排気側のバルブタイミングの要求を満たすことができる。しかし、カム駆動式の吸排気装置に比較し、騒音、信頼性、消費電力および製造コスト等において解決すべき課題は多い。
【０００９】
特に、開弁および閉弁するときに弁部材がストッパおよび弁座に衝突するときに発生する音の低減が困難である。電磁式吸排気装置の弁部材の移動速度は、弁部材の質量、弁部材を付勢するスプリングの付勢力、印加電圧の電圧値および印加時期により決定される。印加電圧を制御しないとエンジン回転数に関わらず開閉時における弁部材の往復移動速度は一定であるから、アイドル運転時においても通常運転時と同程度の大きさの音が発生するので、衝突音を騒音と感じるようになる。
本発明の目的は、往復移動部材が往復移動方向の両終端に近づく速度を低減するダンパ装置、ならびにこのダンパ装置を用い開閉弁時における音の発生を低減する電磁式吸排気装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１記載のダンパ装置によると、往復移動部材が往復移動方向の両終端に近づくとき、往復移動部材とともに可動部材が移動することにより作動流体が流体抵抗通路を流れる。したがって、往復移動部材が往復移動方向の両終端に近づく速度が低減されるので、往復移動部材を往復移動方向の両終端で係止するときに発生する音を低減できる。
さらに、作動流体が密封容器に密封されているので、ダンパ装置に作動流体を供給、ならびにダンパ装置から作動流体を排出する必要がない。ダンパ装置をモジュール化できるので、ダンパ装置の取り付けが容易である。
【００１１】
本発明の請求項２記載のダンパ装置によると、第１流体室と第２流体室とを連通する双方向オリフィスを設け、双方向オリフィスを通り第１流体室と第２流体室との間を双方向に作動流体が流れることにより往復移動部材が往復移動方向の両終端に近づく速度を低減している。したがって、両流体室および双方向オリフィスで構成される一つのダンパ構造により、往復移動部材の移動速度を低減できるので、ダンパ装置の構成が簡単になる。
【００１２】
作動流体の粘度は温度が上昇すると低下するので、同じ流路面積の流体抵抗通路を流れると、温度が高い方が温度が低いときよりも流体抵抗が低下する。したがって、往復移動部材が往復移動方向の両終端に近づく速度が温度の高低により変化する。
【００１３】
そこで、本発明の請求項３記載のダンパ装置によると、ピストンの熱膨張係数がシリンダの熱膨張係数より大きくなるように設定されている。温度が上昇するとシリンダよりもピストンが膨張し、シリンダとピストンとの摺動クリアランスが小さくなるので、流体抵抗通路の流路面積が小さくなる。また、温度が低下するとシリンダよりもピストンが収縮し、シリンダとピストンとの摺動クリアランスが大きくなるので、流体抵抗通路の流路面積が大きくなる。温度の変化により作動流体の粘度が増減しても、粘度に応じて流体抵抗通路の流路面積が変動するので、温度の高低に関係なく流体抵抗通路の流路抵抗がほぼ一定になる。したがって、往復移動部材が往復移動方向の両終端に近づく速度が温度に関係なくほぼ一定になる。
【００１４】
本発明の請求項４記載のダンパ装置では、可動部材とともにピストンが一方向に移動した後、ピストンは可動部材とともに反対方向に移動しない。付勢手段の付勢力により反対方向にピストンが付勢され、ピストンにより仕切られる流体室に発生する差圧により一方向オリフィス部材を作動流体が流れることによりピストンは元の位置に戻ろうとする。戻るときの速度は、作動流体の温度が同じであれば一方向オリフィスの流路面積および流路長により決定される。したがって、一方向オリフィスの流路面積および流路長を調整することにより、所望の速度でピストンを戻すことができる。ピストンの戻り速度が一定であれば、ピストンが戻る位置はピストンが戻り始め再び可動部材とともに一方向に移動を開始するまでの時間により決定される。この時間は往復移動部材および可動部材の往復移動速度により増減する。したがって、一方向オリフィスの流路面積および流路長を調整することにより、往復移動部材および可動部材の往復移動速度に応じ所望の位置にピストンを戻すことができる。
【００１５】
本発明の請求項５記載のダンパ装置によると、一方向オリフィス部材の熱膨張係数がピストンの熱膨張係数より大きくなるように設定されている。温度が上昇するとピストンよりも一方向オリフィス部材が膨張し、一方向オリフィスの流路面積が小さくなる。また、温度が低下するとピストンよりも一方向オリフィス部材が収縮し一方向オリフィスの流路面積が大きくなる。温度の変化により作動流体の粘度が増減しても、粘度に応じて一方向オリフィスの流路面積が変化するので、温度の高低に関係なく一方向オリフィスの流路抵抗がほぼ一定になる。したがって、付勢手段の付勢力によりピストンが戻るときの速度、つまり位置を温度に関係なくほぼ一定にすることができる。
【００１６】
本発明の請求項６記載の吸排気装置によると、電磁駆動部で駆動される吸排気弁部材が往復移動するとき、往復移動の両終端に向かう吸排気弁部材の速度を請求項１から５のいずれか一項記載のダンパ装置により低減する。したがって、吸排気弁部材が弁座やストッパと衝突するときに発生する音を低減することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を示す複数の実施例を図に基づいて説明する。
（第１実施例）
本発明の第１実施例によるダンパ装置を図１に示す。シャフト１は往復移動部材の一部であり、図１の上下方向に往復移動する。Ｃ字状に形成された環状部材２、３はシャフト１の軸方向に所定間隔をおいて嵌合している。
【００１８】
円筒状に形成されたハウジング１１の外周壁に雄ねじ１１ａが形成されており、ハウジング１１は図示しない支持部材とねじ結合している。外輪１２は、上側部材１３および下側部材１４で形成されており、ハウジング１１の内周壁に固定されている。内輪１５は、上側部材１６および下側部材１７で形成されている。上側部材１３と上側部材１６との間に可動輪２２が配設されている。ゴム材で形成された可動膜２０は上側部材１３と上側部材１６と可動輪２２とにそれぞれ焼き付けられている。下側部材１４と下側部材１７との間に可動輪２３が配置されている。ゴム材で形成された可動膜２１は下側部材１４と下側部材１７と可動輪２３とそれぞれに焼き付けられている。外輪１２、内輪１５および可動膜２０、２１は密封容器を構成しており、この密封容器内に作動油が充填されている。
【００１９】
可動筒３０は、筒部３１、下側フランジ部３２、上側フランジ部３５を有している。筒部３１の軸方向ほぼ中央部に中心に向けて環状突部３３が形成されている。上側フランジ部３５が可動輪２２に、下側フランジ部３２が可動輪２３に当接するように、下側フランジ部３２と反対側の筒部３１の外周に上側フランジ部３５がねじ結合している。前述した可動膜２０、２１、可動輪２２、２３、可動筒３０は可動部材を構成している。
【００２０】
双方向オリフィス部材としての環状部材４０の外周壁および内周壁はそれぞれ外輪１２および内輪１５に嵌合しており、可動膜２０と可動膜２１との間に収容されている。流体抵抗通路としての双方向オリフィス４１は環状部材４０をシャフト１の移動方向に貫通して形成されており、第１流体室としての第１作動油室６０と、第２流体室としての第２作動油室６１とを連通している。さらに環状部材４０には、それぞれシャフト１が往復移動する方向に向けて開口する凹部４２が形成されている。図２に示すように、双方向オリフィス４１は径方向反対側に計２個、凹部４２はシャフト１が往復移動する各方向に向けて交互に開口し計６個形成されている。双方向オリフィス４１と後述する摺動クリアランス６３とを作動油が流れるときに生じるダンパ力がシャフト１の軸上に働くように、双方向オリフィス４１および摺動クリアランス６３は形成されている。Ｃ字状のストッパ４５、４６は環状部材４０の軸方向両端部にそれぞれ嵌合している。ストッパ４５、４６はスプリング５５の付勢力によるピストン５０の移動を規制する。
【００２１】
図３に示すように、ピストン５０は、筒部５１および底部５２からなる有底円筒状に形成されており、シリンダとしての凹部４２に往復移動可能に支持されている。ピストン５０の底部５２に貫通孔５２ａが形成されている。スプリング５５は、凹部４２の内周底部に一端を当接し、長板状のスプリング座５６に他端を当接している。図４に示すように、スプリング座５６に断面コ字状の板ばね５７が接合されている。スプリング５５がスプリング座５６を付勢すると、逆止弁部材としての円板５８は板ばね５７によりピストン５０の底部５２に向け付勢される。図３に示すように、円板５８が底部５２に密着した状態において、貫通孔５２ａおよび一方向オリフィス５９ａは閉塞される。樹脂材で形成された一方向オリフィス部材としてのオリフィス部材５９は貫通孔５２ａに収容されている。オリフィス部材５９には、図５に示すように外周から中央部に向け矩形の一方向オリフィス５９ａが形成されている。
【００２２】
密封される作動油に空気が混入しないよう、可動膜２０を焼き付けた上側部材１３、１６、可動輪２２と、可動膜２１を焼き付けた下側部材１４、１７、可動輪２３と、環状部材４０と、ピストン５０と、スプリング５５と、板ばね５７を接合したスプリング座５６と、円板５８と、オリフィス部材５９とを、作動油内で図６に示すように組み付ける。
【００２３】
次に、ダンパ装置１０の作動について説明する。
(1) シャフト１が図１の下方に移動すると、環状部材２が環状突部３３に衝突する。そして、シャフト１とともに可動筒３０が図１の下方に移動する。すると、可動輪２２および可動膜２０が図１の下方に移動し、第１作動油室６０の容積が減少する。また、可動輪２３および可動膜２１が図１の下方に移動し、第２作動油室６１の容積が増加する。作動油は、第１作動油室６０から双方向オリフィス４１を通り第２作動油室６１に移動する。
【００２４】
また、可動筒３０が図１の下方に移動すると、可動輪２２に当接しているピストン５０が図１の下方に移動し、ピストン室６２の容積が減少する。ピストン室６２内の作動油は、凹部４２とピストン５０との間に形成された流体抵抗通路としての摺動クリアランス６３を通り第１作動油室６０に移動する。
このように、シャフト１とともに可動筒３０が図１の下方に移動するとき、作動油が双方向オリフィス４１および摺動クリアランス６３を流れ可動筒３０がダンパ力を受けるので、シャフト１および可動筒３０の移動速度が低下する。
【００２５】
(2) また、図１の上方にシャフト１が移動すると、図１に示すピストン５０と反対方向に開口するピストン５０と凹部４２との間に形成された摺動クリアランス６３および双方向オリフィス４１を作動油が流れ可動筒３０がダンパ力を受けるので、図１の上方に移動するシャフト１および可動筒３０の移動速度が低下する。このとき、シャフト１および可動輪２２とともに図１の下方に移動していたピストン５０がスプリング５５の付勢力により図１の上方に付勢されることにより、第１作動油室６０の圧力がピストン室６２の圧力よりも高くなるので、円板５８は底部５２から離れる。そして、オリフィス部材５９の一方向オリフィス５９ａを通り第１作動油室６０からピストン室６２に作動油が流れることにより、ピストン５０は図１の上方に戻る。例えば、第１実施例のダンパ装置１０をエンジンの吸気弁部材または排気弁部材のダンパ装置に用いる場合、吸気弁部材または排気弁部材とともに往復移動するシャフト１のダンパ装置１０による終端までの移動時間は、エンジン回転数によらず一定である。このことは、エンジン回転数が高い運転領域では、弁開角度または弁閉角度が長くなることに相当し望ましくない。これを避けるため、エンジン高回転時においてピストン５０の戻り位置がストッパ４５、４６に係止される手前になるようにする。一方向オリフィス５９ａの径を選定し、例えばエンジン回転数が２０００ｒｐｍ以上ではストッパ４５、４６に係止される位置まで戻らないようにすることができる。
【００２６】
シャフト１の移動速度を低減するダンパ装置１０の減衰特性は双方向オリフィス４１の径および長さ、摺動クリアランス６３のクリアランスおよび長さ、可動筒３０のストローク長、ならびに作動油の粘度等により決定される。特に、作動油の粘度は温度により大きく増減するので、ダンパ装置の減衰特性は作動油の粘度変化により大きく変動する。例えば、低温から高温までの温度変化幅が１５０℃の場合、粘度温度係数の小さいシリコンオイルで１／５、鉱物系オイルで１／１００に粘度が変化する。このような温度変化に伴う作動油の粘度変動に起因する減衰特性の変動を防止するため、熱膨張率の異なる材質で各部材を形成することが考えられる。
【００２７】
例えば、ピストン５０と凹部４２との間に形成される円筒状の摺動クリアランス６３の場合、摺動クリアランス６３を流れる流体流量は次式(1) で表される。式(1) は定常状態の式を表している。
ｄＱT／ｄｔ＝
（απＤPｈT3／１２μTｌ）×｛１＋１．５（ｅ／ｈT）2｝×ΔＰ  ・・・(1)
ｄＱT／ｄｔ：温度Ｔでの単位時間当たりの流量、ΔＰ：ピストン前後の差圧
ｈT：クリアランス、ｅ／ｈT：離心率、μT：粘度、ｌ：シール長さ
ＤP：ピストン径、α：補正係数
【００２８】
望ましいダンパ特性が得られる諸元が例えば１００℃で求められたとして、−３０℃で１００℃と同じダンパ特性、つまり単位時間当たりの流量を得るため、式(1) において、１００℃と−３０℃とで粘度μTが変わるとき、ｄＱ100／ｄｔ＝ｄＱ-30／ｄｔを満たすようにクリアランスｈTが変化する材質を組み合わせればよい。例えば、環状部材４０を鉄系材料、ピストン５０をアルミ系材料とし、ピストン５０の熱膨張係数を環状部材４０よりも大きくすることが有力である。
【００２９】
また、オリフィス部材５９に形成した一方向オリフィス５９ａを流れる流体流量によりピストン５０の戻り速度が変化する。図１に示す方向に開口しているピストン５０が可動輪２２とともに図１の下方に移動しした後、図１の上方に戻るときを考える。オリフィス部材５９とピストン５０とを熱膨張係数の異なる材質を用いることにより粘度変化に対応し一方向オリフィス５９ａの径を増減する。図５に示す形状のオリフィス部材５９を樹脂材料で形成し、ピストン５０を前述したようにアルミ系材料で形成することによりオリフィス部材５９の熱膨張係数をピストン５０よりも大きくしている。これにより、温度が上昇し作動油の粘度が低下すると一方向オリフィス５９ａの幅が狭くなり、温度が低下し作動油の粘度が上昇すると一方向オリフィス５９ａの幅が広がる。したがって、温度変化に関わらず一方向オリフィス５９ａを流れる作動油の流量が一定になりピストン５０の戻り速度が一定になるので、シャフト１の往復移動速度に応じピストン５０を所定位置に戻すことができる。
【００３０】
第１実施例では、ダンパ装置１０の流体抵抗通路として、双方向オリフィス４１、ならびにピストン５０と凹部４２との間で形成される摺動クリアランス６３とをともに備えている構成を採用している。これに対し、双方向オリフィス４１または摺動クリアランス６３だけで流体抵抗通路を構成してもよい。また、シャフト１の軸に対し双方向オリフィス４１を斜めに形成することにより、双方向オリフィス４１の通路長を変更することも可能である。
【００３１】
（第２実施例）
本発明の第２実施例による電磁式吸排気装置を図７に示す。第２実施例は、ハウジング１１および可動筒３０を除き第１実施例と実質的に同一構成のダンパ装置１００を電磁式吸排気装置７０に用いた例である。
往復移動部材としての吸気弁部材７１はガイド部材７２に往復移動自在に支持されている。吸気弁部材７１の一方の端部に形成された当接部７１ａが吸気口１１２に着座するとエンジンブロック１１０に形成した吸気通路１１１が閉塞され、当接部７１ａが吸気口１１２から離座すると吸気通路１１１と燃焼室とが連通する。吸気弁部材７１の他方の端部は、結合部材８０およびビス８１によりスプリング座８２および可動部材８３と結合されている。
スプリング８５は、一方の端部をスプリング座８２に当接し、他方の端部をスプリング座８６に当接している。スプリング８５は吸気弁部材７１を閉弁方向に付勢する。
【００３２】
往復移動部材としてのシャフト９０は一方の端部でアーマチャ９１と結合しており、他方の端部でスプリング座９２と結合している。さらにシャフト９０は、他方の端面で吸気弁部材７１と当接している。シャフト９０はシャフトガイド９３に往復移動自在に支持されている。スプリング９４は、一方の端部をスプリング座９２に当接し、他方の端部を電磁駆動部９５のハウジング９８に当接している。スプリング９４は開弁方向にシャフト９０を付勢している。
【００３３】
電磁駆動部９５は、アーマチャ９１を挟み、アッパーソレノイド９６とロアソレノイド９７とを有している。アッパーソレノイド９６およびロアソレノイド９７への通電オフ時、吸気弁部材７１およびシャフト９０は、スプリング８５およびスプリング９４の付勢力のつり合いにより図７に示す中間位置に保持されている。
【００３４】
この状態でアッパーソレノイド９６への通電をオンすると、アーマチャ９１およびシャフト９０は図７の上方に吸引される。すると、シャフト９０の移動とともに吸気弁部材７１が図７の上方、つまり閉弁方向に移動し、当接部７１ａが吸気口１１２に着座する。これにより、吸気通路１１１が閉塞される。
【００３５】
アッパーソレノイド９６への通電をオフし、ロアソレノイド９７への通電をオンすると、アーマチャ９１およびシャフト９０は図７の下方に吸引される。すると、シャフト９０の移動とともに吸気弁部材７１が図７の下方、つまり開弁方向に移動し、当接部７１ａが吸気口１１２から離座する。これにより、吸気通路１１１が解放される。
【００３６】
ダンパ装置１１０は、アーマチャ９１が図７の下方に移動しロアソレノイド９７側に係止されるときの速度を低減し、衝突音を低減する。さらにダンパ装置１１０は、吸気弁部材７１が図７の上方に移動し吸気口１１２に着座するときの速度を低減し、衝突音を低減する。
【００３７】
（第３実施例、第４実施例）
本発明の第３実施例、第４実施例による電磁式吸排気装置を図８、図９に示す。ダンパ装置１２０、１３０の構成は、ハウジング１１および可動筒３０を除き第１実施例と実質的に同一であり、第２実施例と実質的に同一構成部分に同一符号を付し、説明を省略する。
第２実施例では吸気弁部材７１とともに往復移動する往復移動部材８３がダンパ装置１００の可動輪２２、２３と接触する。これに対し第３実施例では、シャフト９０とともに往復移動する往復移動部材１２１がダンパ装置１２０の可動輪２２、２３と接触する。また第４実施例では、ダンパ装置１３０がエンジンブロック１１０ではなく電磁駆動部９５のハウジング９８に固定されている。
【００３８】
以上説明した本発明の実施の形態を示す上記複数の実施例では、密封容器の中に作動油を充填したことにより、ダンパ装置に作動油を供給する手段、ならびにダンパ装置から作動油を排出する手段が不要である。したがって、往復移動部材が往復移動方向の両終端に近づく速度を低減するダンパ装置をモジュール化できるので、ダンパ装置の組付けが容易になる。
【００３９】
また第２実施例、第３実施例および第４実施例では、電磁式吸排気装置に本発明のダンパ装置を用いた例について説明した。電磁式吸排気装置以外にも、往復移動部材が往復移動方向の両終端に近づくときの移動速度を低減するのであれば、どのような装置に本発明のダンパ装置を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例によるダンパ装置を示す縦断面図である。
【図２】第１実施例の環状部材を示す平面図である。
【図３】第１実施例によるダンパ装置のピストン周囲を示す拡大断面図である。
【図４】（Ａ）は図３のIV方向から見たスプリング座および円板の矢視図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】オリフィス部材の平面図である。
【図６】第１実施例によるダンパ装置を示す分解斜視図である。
【図７】本発明の第２実施例による電磁式吸排気装置を示す断面図である。
【図８】本発明の第３実施例による電磁式吸排気装置を示す断面図である。
【図９】本発明の第４実施例による電磁式吸排気装置を示す断面図である。
【符号の説明】
１０      ダンパ装置
１１      ハウジング
１２      外輪（密封容器）
１５      内輪（密封容器）
２０、２１      可動膜（可動部材、密封容器）
２２、２３      可動輪（可動部材、密封容器）
３０      可動筒（可動部材）
４０      環状部材（双方向オリフィス部材）
４１      双方向オリフィス（流体抵抗通路）
４２      凹部（シリンダ）
５０      ピストン
５２      底部
５２ａ    貫通孔
５５      スプリング（付勢手段）
５８      円板（逆止弁部材）
５９      オリフィス部材（一方向オリフィス部材）
５９ａ    一方向オリフィス
６３      摺動クリアランンス（流体抵抗通路）
７０      電磁式吸排気装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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