(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
充填液を介して互いに接触している複数の光学部品を剥離するための光学部品剥離装置において、
充填液によって接着している複数の光学部品の間隙周辺部に当接するための先細リ部材と、
前記光学部品間の間隙周辺部に前記先細り部材が当接した場合に前記充填液の前記光学部品の接着面積を縮小させる接着面積縮小手段と、を備え、
前記先細り部材は、前記接着面積縮小手段が前記充填液の接着している面積を縮小させた後、前記先細り部材の先端部の幅を広げて複数の前記光学部品の間隙を広げ剥離させる間隙拡大手段を備える、光学部品剥離装置。
【請求項２】
前記接着面積縮小手段は、
前記先細り部材の先端に設けられている穴と、
当該穴から前記間隙に気体を送り込むための気体供給装置と、を備えている、
請求項１に記載の光学部品剥離装置。
【請求項３】
前記接着面積縮小手段は、
前記先細り部材の先端に設けられている穴と、
当該穴から前記充填液を排出するための液体除去装置と、を備えている、
請求項１に記載の光学部品剥離装置。
【請求項４】
前記接着面積縮小手段は、
前記先細り部材の一部に設けられた振動供給装置である、
請求項１に記載の光学部品剥離装置。
【請求項５】
前記先細り部材は、
前記接着面積縮小手段により前記充填液の接着面積が縮小した後、前記間隙の奥に挿入されることにより複数の前記光学部品を剥離させる、
請求項１に記載の光学部品剥離装置。
【請求項６】
充填液を介して互いに接触している複数の光学部品を剥離するための光学部品剥離装置において、
先端部に穴が設けられ、充填液によって接着している複数の光学部品の間隙周辺部に当接するための先細リ部材と、
前記先細り部材の先端に設けられた前記穴から前記間隙に気体を送り込むための気体供給装置と、
前記先細り部材を搬送させるための搬送装置と、
装置全体を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
前記先細り部材を前記光学部品間の間隙周辺部に当接させた後に、前記気体供給装置を駆動して前記充填液の前記光学部品の接着面積を縮小させ、前記充填液の接着面積が縮小した後、前記先細り手段をさらに前記間隙の奥に挿入させることにより前記間隙を広げ複数の前記光学部品を剥離させる光学部品剥離装置。
【請求項７】
充填液を介して互いに接触している複数の光学部品を剥離するための光学部品剥離装置において、
先端部に穴が設けられ、充填液によって接着している複数の光学部品の間隙周辺部に当接するための先細リ部材と、
前記先細り部材の先端に設けられた前記穴から前記充填液を排出するための液体排出装置と、
前記先細り部材を搬送させるための搬送装置と、
装置全体を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
前記先細り部材を前記光学部品間の間隙周辺部に当接させた後に、前記液体排出装置を駆動して前記充填液の前記光学部品の接着面積を縮小させ、前記充填液の接着面積が縮小した後、前記先細り手段をさらに前記間隙の奥に挿入させることにより前記間隙を広げ複数の前記光学部品を剥離させる光学部品剥離装置。
【請求項８】
充填液を介して互いに接触している複数の光学部品を剥離するための光学部品剥離装置において、
充填液によって接着している複数の光学部品の間隙周辺部に当接するための先細リ部材と、
前記先細り部材の一部に設けられた振動供給装置と、
前記先細り部材を搬送させるための搬送装置と、
装置全体を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
前記先細り部材を前記光学部品間の間隙周辺部に当接させた後に、前記振動供給装置を駆動して前記充填液の前記光学部品の接着面積を縮小させ、前記充填液の接着面積が縮小した後、前記先細り手段をさらに前記間隙の奥に挿入させることにより前記間隙を広げ複数の前記光学部品を剥離させる光学部品剥離装置。
【請求項９】
充填液を介して互いに接触している複数の光学部品を剥離するための光学部品剥離装置において、
充填液によって接着している複数の光学部品の間隙周辺部に当接する先細リ部材と、
前記光学部品間の間隙周辺部に前記先細り部材が当接した場合に前記充填液の前記光学部品の接着面積を縮小させる接着面積縮小手段と、
前記先細り部材を搬送させるための搬送装置と、
装置全体を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
前記先細り部材を前記光学部品間の間隙周辺部に当接させた後に、前記接着面縮小手段を駆動して前記充填液の前記光学部品の接着面積を縮小させ、前記充填液の接着面積が縮小した後に、前記先細り手段の先端部の幅を広げて複数の前記光学部品の間隙を広げ剥離させる間隙拡大手段を駆動して前記間隙を広げ複数の前記光学部品を剥離させる光学部品剥離装置。
【請求項１０】
充填液を介して互いに接触している複数の光学部品を剥離するための光学部品剥離方法において、
先細り部材を光学部品間の間隙周辺部に当接させるステップと、
前記充填液の前記光学部品の接着面積を縮小させるステップと、
前記充填液の接着面積が縮小した後、前記先細り部材の先端部の幅を広げることにより前記間隙を広げて複数の前記光学部品を剥離させるステップと、を備える
光学部品剥離方法。
【請求項１１】
前記接着面積を縮小させるステップは、
前記間隙に気体を送り込むことにより前記充填液の接着面積を縮小させる、
請求項１０に記載の光学部品剥離方法。
【請求項１２】
前記接着面積を縮小させるステップは、
前記充填液を排出することにより前記充填液の接着面積を縮小させる、
請求項１０記載の光学部品剥離方法。
【請求項１３】
前記接着面積を縮小させるステップは、
前記充填液に振動を供給することにより前記充填液の接着面積を縮小させる、
請求項１０記載の光学部品剥離方法。
【請求項１４】
前記光学部品を剥離するステップは、
前記充填液の接着面積が縮小した後、前記先細り部材を前記間隙の奥に挿入することにより前記間隙を広げる、
請求項１０に記載の光学部品剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ホログラムを利用してフォトリソグラフィ技術における露光を行うホログラフィック露光装置に係り、特に、ホログラフィック露光に使用するホログラムマスク等の光学部品を容易に剥離させるための剥離装置および剥離方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置のパターニングプロセスにおいて、ＴＩＲ（Ｔｏｔａｌ  Ｉｎｔｅｒｎａｌ  Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ：全内部反射）型ホログラフィック露光技術が注目されてきている。この露光技術は、ホログラムマスクに対し所望のパターンを記録する工程とこのホログラムマスクを利用して半導体装置のパターンを形成するフォトレジストへ感光する工程という二段階を経る。
【０００３】
ホログラムマスクへの記録時、まず半導体装置のパターンに対応したマスクパターン(元レチクル)にレーザー光のビームを照射して回折光を生じさせ、ホログラムマスクの記録面に射出する。一方、ホログラムマスクの記録面に対し一定の角度でホログラムマスクの裏側から参照光を照射し、元レチクルからの回折光と干渉させ、干渉パターンをホログラムマスクの記録面に記録する。フォトレジストへの露光時には、元レチクルと同じ位置にホログラムマスクを置いて、記録時と反対方向から再生光を照射し、フォトレジスト上に元のパターンを再現した回折光を結像させてフォトレジストを露光する。
【０００４】
ホログラムマスクはプリズム等の光学部品へマッチングリキッド等の充填液を介して貼り付けられている。ホログラフィック露光技術では、ホログラムマスクごとに再生される露光パターンが異なるため、フォトレジストに露光させるパターンを変更するたびにホログラムマスクを変更する必要がある。
【０００５】
従来、人手を介してへらなどを用いてホログラムマスクをプリズムから剥離し新たなホログラムへと交換しなければならなかった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、３００〜４００mm四方と比較的広いホログラムマスクがマッチングリキッドによってプリズムと密着している場合、ホログラムを剥がすのに大変な力とコツが必要とされていた。
【０００７】
また、プリズムやホログラムマスは精密な光学部品であるため、強い力を加えすぎてそれら光学部品を破損させるおそれもあった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記した課題に鑑み、本発明は容易にかつ損傷を与えることなく充填液で接着されている光学部品を剥離するための剥離装置および剥離方法を提供することを目的とする。
【０００９】
本発明は、充填液を介して互いに接触している複数の光学部品を剥離するための光学部品剥離装置において、充填液によって接着している複数の光学部品の間隙周辺部に当接するための先細リ部材と、光学部品間の間隙周辺部に先細り部材が当接した場合に充填液の前記光学部品の接着面積を縮小させる接着面積縮小手段と、を備える。そして先細り部材は、接着面積縮小手段が充填液の接着している面積を縮小させた後、先細り部材の先端部の幅を広げて複数の光学部品の間隙を広げ剥離させる間隙拡大手段を備える。
【００１０】
ここで「充填液」に特に限定はなく、例えばマッチングリキッド、油、水等、二つの光学部品間に空気などの気体が入ることを防ぎ、光学部品同士を密着させるために使いうるあらゆる液体が含まれる。
【００１１】
「光学部品」に特に限定はなく、レンズ、プリズム、マスク、基板、フィルタ、表示パネル等、種々のものが適用可能である。
【００１２】
「間隙周辺部」は二つの光学部品が密着している場合のその接着面の周囲をいう。
【００１３】
「当接」には直接先細り部材が接触する場合の他、充填液に影響を与えることが可能な程度に離れている場合も含む。
【００１４】
「先細り部材」は、充填液の接触面積が縮小した場合に、少なくともその先端部が光学部品の間隙に入り込める程度に先細りしていることを要する。
【００１５】
本発明において、接着面積縮小手段の態様には種々のものが考えられるが、先細り部材の先端に設けられている穴と、当該穴から間隙に気体を送り込むための気体供給装置と、で構成される場合が考えられる。
【００１６】
「気体」に限定はないが、空気や不活性ガスなどが考えられる。
【００１７】
また、接着面積縮小手段には、先細り部材の先端に設けられている穴と、当該穴から前記充填液を排出するための液体除去装置と、で構成されている場合が考えられる。
【００１８】
さらに、接着面積縮小手段は、先細り部材の一部に設けられた振動供給装置である場合が考えられる。この「振動供給装置」には公知の振動発生手段一般が適用可能である。例えば、圧電素子等が考えられる。
【００１９】
先細り部材は、充填液の接着面積が縮小した後、間隙の奥に挿入されることにより複数の光学部品を剥離させる形状を備えていてもよい。
【００２１】
本発明において、制御装置が全体を制御する構成としてもよく、その際には先細り部材を搬送するための搬送装置を備えておく必要がある。
【００２２】
本発明は、充填液を介して互いに接触している複数の光学部品を剥離するための光学部品剥離方法において、先細り部材を光学部品間の間隙周辺部に当接させるステップと、充填液の前記光学部品の接着面積を縮小させるステップと、充填液の接着面積が縮小した後、先細り部材の先端部の幅を広げることにより間隙を広げて複数の前記光学部品を剥離させるステップと、を備える光学部品剥離方法でもある。
【００２３】
この接着面積を縮小させるステップは、間隙に気体を送り込むことにより充填液の接着面積を縮小させる。
【００２４】
また接着面積を縮小させるステップは、充填液を排出することにより充填液の接着面積を縮小させてもよい。
【００２５】
さらに、接着面積を縮小させるステップは、充填液に振動を供給することにより充填液の接着面積を縮小させてもよい。
【００２６】
光学部品を剥離するステップは、充填液の接着面積が縮小した後、先細り部材を間隙の奥に挿入することにより間隙を広げるようにしてもよい。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
（実施形態１）
本発明の実施形態１は、ＴＩＲ型ホログラフィック露光装置において、気体を供給することによりマッチングリキッドの接触面積を縮小させ、テーパ断面形状の先細り部材を押し込むことによりホログラムマスクを剥離させるものである。
【００２９】
まずＴＩＲ型ホログラフィック露光装置の概略を説明する。図４に本実施形態におけるホログラフィック露光装置の全体構成図を示す。
【００３０】
この露光装置は、プリズム２０１、ステージ２２２を備えるステージ装置２２４、露光光源２８０、露光光源駆動装置２８２、距離測定光学系２４０、第１情報処理装置２３２、膜厚測定光学系２５０、第２情報処理装置２７０、および光源２６０により構成される。
【００３１】
ステージ装置２２４は、感光性材料膜２１４が形成された被露光基板２１０を真空チャック等でステージ２２２上に保持して、少なくとも上下方向（Ｚ方向）へのステージ２２２の位置調整が可能に構成されている。露光光源２８０は、ホログラムマスク２００のホログラム記録面に露光用光ビームを照射可能に構成されている。露光光源駆動装置２８２は、この露光光源２８０を移動して被露光基板２１０の所望の露光領域を走査して露光するように構成されている。距離測定光学系２４０は、ビームスプリッタ、シリンドリカルレンズ、光センサ、誤差信号検出器等を備え、ホログラム記録面と被露光基板上に塗布された感光性材料膜表面との距離を調整して露光時のフォーカスを制御することが可能に構成されている。第１情報処理装置２３２は、距離測定光学系２４０により計測されたホログラム記録面と被露光基板上に形成された感光性材料膜表面との距離に基づいてフォーカスが適正となるようにステージ２１０の位置を設定するように構成されている。膜厚測定光学系２５０は、ビームスプリッタ、フォトデテクタ、増幅器、Ａ／Ｄ変換器等を備え、基板上に形成された感光性材料膜厚を測定するための構成を備えている。第２情報処理装置２７０は、露光光源２８０から照射される露光ビームが感光性材料膜上を走査するように露光光源を移動させるとともに膜厚測定光学系２５０により出力された感光性材料膜厚の相対値に基づいて露光の光量を制御するように構成されている。光源２６０は、膜厚測定光学系２５０の測定用光ビームを射出可能に構成されている。
【００３２】
また当該露光装置は、被露光基板２１０に対向する面に、所定のレチクルパターンに対応した干渉パターンが記録されているホログラムマスク２００を接着させることが可能なプリズム２０１を被露光基板２１０の上部に備えている。
【００３３】
本発明に係る光学部品剥離装置１および先細り部材１００は、プリズム２０１の横方向に設けられている。本光学部品剥離装置１は、露光時には露光光源２８０からの、または、距離や膜厚測定のための光源２６０からの光の通過を邪魔しない位置において停止するようになっている。そしてホログラムマスク２００の交換時に、ホログラムマスクをプリズム２０１から剥離するために駆動されるようになっている。
【００３４】
図２に、本光学部品剥離装置１のブロック図を示す。図２に示すように、本光学部品剥離装置１は、先細り部材１００、搬送装置１１２、コンプレッサ１１４、空気弁１１６、および制御装置１１０を備えて構成されている。
【００３５】
図１（ａ）に本実施形態の先細り部材１００の斜視図、（ｂ）に平面図、そして（ｃ）に図１（ｂ）の１Ｃ断面における断面図を示す。これら図に示すように、先細り部材１００は、本体１０２，中空部１０４、開口１０６、およびパイプ１０８を備えており、その断面（図１（ｃ））から判るように、先端部にかけてその幅が小さくなるテーパ形状を備えている。パイプ１０８および中空部１０４を介して外部からの気体（ここでは空気）を先端部に設けられた開口１０６から出力させることが可能に構成されている。先細り部材の材料に限定はないが、光学部品を傷つけないようにある程度弾性を有する一方、光学部品を応力によって剥離させることが可能な程度に適当な剛性を備えている必要がある。このような部材として、合成樹脂、硬化ゴム、樹脂コーティングされた金属等が考えられる。
【００３６】
搬送装置１１２は、モータとベルト、ローラ、シャフト等を公知の駆動機構を備え、先細り部材１００を任意の空間位置に搬送可能に構成されている。当該搬送装置１１２は、制御装置１１０から出力される制御信号に従って駆動されるように構成されている。
【００３７】
コンプレッサ１１４は、先細り部材１００の先端に設けられた開口１０６から間隙に気体を送り込むための、公知の気体供給装置であり、制御装置１１０の出力する制御信号に従って運転・停止が定められるようになっている。
【００３８】
空気弁１１６は、パイプ１０８を流通する空気の流れを遮断する手段であり、必須のものではない。空気弁１１６は当該光学部品剥離装置の非動作時にコンプレッサ１１４からの空気が先細り部材１００から漏れでないようにする。
【００３９】
制御装置１１０は、コンピュータ装置であり、所定のソフトウェアプログラムを実行することにより本発明における光学部品の剥離方法を実施させることが可能に構成されている。当該制御装置１１０は、ホログラフィック露光装置における露光動作の終了前後に動作すればよいため、他の制御装置２３２や２７０が制御動作を代用するように構成してもよい。
【００４０】
図３に基づいて、本実施形態における光学部品の剥離方法を説明する。
【００４１】
いま、所定のホログラムマスク２００における感光性材料膜２１４の記録が終了し、他のパターンを露光するためにホログラムマスクを交換する必要が生じたものとする。操作者の操作によって、または、露光動作と連係した自動シーケンスとして、本実施形態の剥離装置１が起動される。
【００４２】
まず、制御装置１１０は駆動機構１１２を駆動して、先細り部材１１０をプリズム２０１とホログラムマスク２００との間隙周辺部に当接させる（ＳＴ１）。このためプリズム２０１とホログラムマスク２００との間隙の位置を制御装置１１０は把握して駆動機構１１２にその位置に先細り部材１００の先端部が来るように、当該先細り部材１００を搬送させる。ここでプリズムの位置が固定されている場合には、プリズム２０１のホログラムマスク２００を接着させる平面の延長線上に先細り部材１００の先端部を位置させ、当該先細り部材を往復運動可能に構成することができる。このように構成すれば、駆動機構１１２は先細り部材１００をこの直線上で往復させるだけで、先細り部材の先端部を正しくプリズム２０１とホログラムマスク２００との間隙周辺部に当接させることができる。
【００４３】
次いで、制御装置１１０は、コンプレッサ１１４を駆動して空気弁１１６を開放して、プリズム２０１とホログラムマスク２００との間隙に空気を送り込む（ＳＴ２）。この処理によって、マッチングリキッドの内部に多数の気泡が入り込み、また、マッチングリキッドの一部が間隙から外部に押し出されるようになり、プリズムとホログラムマスクとのマッチングリキッドによる接着面積が縮小する。マッチングリキッドの接着面積が縮小すると、光学部品間の接着力が減少するため、比較的小さな力でホログラムマスクを剥がすことができるようになる。どの程度、接着面積を縮小させるかは、ホログラムマスクの重量（本実施形態ではホログラムマスクはプリズムの重力方向下側に貼り付けられているものと想定している）とマッチングリキッドの粘性等によるため、これらの条件に応じて適当に定める。
【００４４】
マッチングリキッドの接着面積が剥離作業を行うのに十分な程度に縮小したら、制御装置１１０はさらに駆動機構１１２を駆動して先細り部材１００の先端部を間隙の奥に挿入させる（ＳＴ３）。先細り部材１００は図１（ｃ）に示すように、その断面がテーパ形状をしており、先端部からの距離に応じて幅が広くなっていくように構成されている。このため、間隙に挿入される際にプリズム２０１とホログラムマスク２００の端部が先細り部材１００によって押し広げられるような作用を示すことになり、マッチングリキッドの接着力が急速に失われてホログラムマスク２００を剥離することができる。
【００４５】
以上、本実施形態１によれば、コンプレッサによってマッチングリキッドの接着面積を縮小させてからテーパ形状の先細り部材を挿入することによってホログラムマスクを剥離するので、容易に、かつ、光学部品を傷つけることなく剥離させることができる。
【００４６】
（実施形態２）
本発明の実施形態２は、実施形態１と同様なホログラフィック露光装置において、マッチングリキッドを直接吸引することによりマッチングリキッドの接触面積を縮小させ、テーパ断面形状の先細り部材を押し込むことによりホログラムマスクを剥離させるものである。
ホログラフィック露光装置の全体構成については実施形態１と同様であるため、その説明を省略する。
【００４７】
図６に、本光学部品剥離装置１ｂのブロック図を示す。図６に示すように、本光学部品剥離装置１ｂは、先細り部材１００ｂ、搬送装置１１２、吸引ポンプ１１８、空気弁１１６、および制御装置１１０を備えて構成されている。
【００４８】
図５に本実施形態２の先細り部材１００ｂの斜視図を示す。図５に示すように、本実施形態の先細り部材１００ｂは実質的には実施形態１の先細り部材１００と同様の構成を備えている。すなわち、先細り部材１００ｂは、本体１０２，中空部１０４、開口１０６、およびパイプ１０８を備えており、図１（ｃ）に示すように先端部にかけてその幅が小さくなるテーパ形状を備えている。そしてパイプ１０８および中空部１０４を介して開口１０６付近の液体を吸引し外部に排出することが可能に構成されている。先細り部材については実施形態１と同様に考えられる。
【００４９】
搬送装置１１２は、実施形態１と同様の構成であり、モータとベルト、ローラ、シャフト等を公知の駆動機構を備え、先細り部材１００ｂを任意の空間位置に搬送可能に構成されている。当該搬送装置１１２は、制御装置１１０から出力される制御信号に従って駆動されるように構成されている。
【００５０】
吸引ポンプ１１８は、先細り部材１００ｂの先端に設けられた開口１０６から間隙周辺部のマッチングリキッドを吸引して排出するための、公知の液体除去装置であり、制御装置１１０の出力する制御信号に従って運転・停止が定められるようになっている。
【００５１】
空気弁１１６は、実施形態１と同様の構成であり、パイプ１０８を流通する空気の流れを遮断する手段であり、必須のものではない。空気弁１１６は当該光学部品剥離装置の非動作時にマッチングリキッドが先細り部材１００ｂから吸引されないようにする。
【００５２】
制御装置１１０は、コンピュータ装置であり、所定のソフトウェアプログラムを実行することにより本発明における光学部品の剥離方法を実施させることが可能に構成されている。当該制御装置１１０は、ホログラフィック露光装置における露光動作の終了前後に動作すればよいため、他の制御装置２３２や２７０が制御動作を代用するように構成してもよい。
【００５３】
図７に基づいて、本実施形態２における光学部品の剥離方法を説明する。
【００５４】
いま、所定のホログラムマスク２００における感光性材料膜２１４の記録が終了し、他のパターンを露光するためにホログラムマスクを交換する必要が生じたものとする。操作者の操作によって、または、露光動作と連係した自動シーケンスとして、本実施形態の剥離装置１が起動される。
【００５５】
まず、制御装置１１０は駆動機構１１２を駆動して、先細り部材１１０ｂをプリズム２０１とホログラムマスク２００との間隙周辺部に当接させる（ＳＴ１１）。このためプリズム２０１とホログラムマスク２００との間隙の位置を制御装置１１０は把握して駆動機構１１２にその位置に先細り部材１００ｂの先端部が来るように、当該先細り部材１００を搬送させる。ここでプリズムの位置が固定されている場合には、プリズム２０１のホログラムマスク２００を接着させる平面の延長線上に先細り部材１００ｂの先端部を位置させ、当該先細り部材を往復運動可能に構成することができる。このように構成すれば、駆動機構１１２は先細り部材１００をこの直線上で往復させるだけで、先細り部材の先端部を正しくプリズム２０１とホログラムマスク２００との間隙周辺部に当接させることができる。
【００５６】
次いで、制御装置１１０は、吸引ポンプ１１８を駆動して空気弁１１６を開放して、プリズム２０１とホログラムマスク２００との間隙周辺部のマッチングリキッドを先細り部材１００ｂの開口１０６を介して吸引する（ＳＴ１２）。この処理によって、マッチングリキッドの体積が減少し代わりに空気が周りから入り込み、プリズムとホログラムマスクとのマッチングリキッドによる接着面積が縮小する。マッチングリキッドの接着面積が縮小すると、光学部品間の接着力が減少するため、比較的小さな力でホログラムマスクを剥がすことができるようになる。どの程度、接着面積を縮小させるかは、ホログラムマスクの重量（本実施形態ではホログラムマスクはプリズムの重力方向下側に貼り付けられているものと想定している）とマッチングリキッドの粘性等によるため、これらの条件に応じて適当に定める。
【００５７】
マッチングリキッドの接着面積が剥離作業を行うのに十分な程度に縮小したら、制御装置１１０はさらに駆動機構１１２を駆動して先細り部材１００ｂの先端部を間隙の奥に挿入させる（ＳＴ１３）。先細り部材１００ｂは図１（ｃ）に示すように、その断面がテーパ形状をしており、先端部からの距離に応じて幅が広くなっていくように構成されている。このため、間隙に挿入される際にプリズム２０１とホログラムマスク２００の端部が先細り部材１００によって押し広げられるような作用を示すことになり、マッチングリキッドの接着力が急速に失われてホログラムマスク２００を剥離することができる。
【００５８】
以上、本実施形態２によれば、吸引ポンプによってマッチングリキッドの接着面積を縮小させてからテーパ形状の先細り部材を挿入することによってホログラムマスクを剥離するので、容易に、かつ、光学部品を傷つけることなく剥離させることができる。
【００５９】
（実施形態３）
本発明の実施形態３は、実施形態１と同様なホログラフィック露光装置において、マッチングリキッドに振動を供給することによってマッチングリキッドの接触面積を縮小させ、テーパ断面形状の先細り部材を押し込むことによりホログラムマスクを剥離させるものである。
ホログラフィック露光装置の全体構成については実施形態１と同様であるため、その説明を省略する。
【００６０】
図９に、本光学部品剥離装置１ｃのブロック図を示す。図９に示すように、本光学部品剥離装置１ｃは、先細り部材１００ｃ、搬送装置１１２、圧電駆動回路１１９、および制御装置１１０を備えて構成されている。
【００６１】
図８（ａ）に本実施形態３の先細り部材１００ｃの斜視図、（ｂ）にその断面図を示す。図に示すように、本実施形態の先細り部材１００ｃは、本体１２０，先端部１２２、および圧電アクチュエータ１３０を備えており、図８（ｂ）に示すように先端部１２２にかけてその幅が小さくなるテーパ形状を備えている。圧電アクチュエータ１３０は、下部電極１３２、圧電性セラミックス１３４、および上部電極１３６を備え、両端に印加される電圧に応じて歪みを生ずるように構成されている。本実施形態では圧電駆動回路１１９が周期的なパルスを駆動するため、圧電アクチュエータ１３０はこの周期に応じて振動するようになっている。圧電性セラミックス１３４は、電気機械変換作用を示すセラミックスで、例えば結晶状態でペロブスカイト結晶構造を備えるジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）等の公知の材料を適用可能である。この圧電アクチュエータ１３０は、先細り部材の本端１２０に接着剤等によって固定され、その振動を本体１２０に伝達するようになっている。
【００６２】
搬送装置１１２は、実施形態１と同様の構成であり、モータとベルト、ローラ、シャフト等を公知の駆動機構を備え、先細り部材１００ｃを任意の空間位置に搬送可能に構成されている。当該搬送装置１１２は、制御装置１１０から出力される制御信号に従って駆動されるように構成されている。
【００６３】
圧電駆動回路１１９は、圧電アクチュエータ１３０を効率よく、かつ、マッチングリキッドに供給された場合に効率よく気泡が混入されるような周期でパルスを発生し出力することが可能である。圧電駆動回路１１９は、制御装置１１０の出力する制御信号に従ってパルスの発生と停止が定められるようになっている。
【００６４】
制御装置１１０は、コンピュータ装置であり、所定のソフトウェアプログラムを実行することにより本発明における光学部品の剥離方法を実施させることが可能に構成されている。当該制御装置１１０は、ホログラフィック露光装置における露光動作の終了前後に動作すればよいため、他の制御装置２３２や２７０が制御動作を代用するように構成してもよい。
【００６５】
図１０に基づいて、本実施形態３における光学部品の剥離方法を説明する。
【００６６】
いま、所定のホログラムマスク２００における感光性材料膜２１４の記録が終了し、他のパターンを露光するためにホログラムマスクを交換する必要が生じたものとする。操作者の操作によって、または、露光動作と連係した自動シーケンスとして、本実施形態の剥離装置１ｃが起動される。
【００６７】
まず、制御装置１１０は駆動機構１１２を駆動して、先細り部材１１０ｃをプリズム２０１とホログラムマスク２００との間隙周辺部に当接させる（ＳＴ２１）。このためプリズム２０１とホログラムマスク２００との間隙の位置を制御装置１１０は把握して駆動機構１１２にその位置に先細り部材１００の先端部が来るように、当該先細り部材１００ｃを搬送させる。ここでプリズムの位置が固定されている場合には、プリズム２０１のホログラムマスク２００を接着させる平面の延長線上に先細り部材１００ｃの先端部１２２を位置させ、当該先細り部材を往復運動可能に構成することができる。このように構成すれば、駆動機構１１２は先細り部材１００ｃをこの直線上で往復させるだけで、先細り部材の先端部１２２を正しくプリズム２０１とホログラムマスク２００との間隙周辺部に当接させることができる。
【００６８】
次いで、制御装置１１０は、圧電駆動回路１１９を駆動して圧電アクチュエータ１３０に駆動パルスを供給させる（ＳＴ２２）。圧電アクチュエータ１３０は、この駆動パルスに対応して振動し、この振動が先細り部材１００ｃの先端部１２２からプリズム２０１やホログラムマスク２００を介して、または、マッチングリキッドに直接伝達される。この振動によって、マッチングリキッドの流動性が高まり、間隙の周辺部から気体が入り込み、プリズムとホログラムマスクとのマッチングリキッドによる接着面積が縮小する。マッチングリキッドの接着面積が縮小すると、光学部品間の接着力が減少するため、比較的小さな力でホログラムマスクを剥がすことができるようになる。どの程度、接着面積を縮小させるかは、ホログラムマスクの重量（本実施形態ではホログラムマスクはプリズムの重力方向下側に貼り付けられているものと想定している）とマッチングリキッドの粘性等によるため、これらの条件に応じて適当に定める。
【００６９】
マッチングリキッドの接着面積が剥離作業を行うのに十分な程度に縮小したら、制御装置１１０はさらに駆動機構１１２を駆動して先細り部材１００ｃの先端部１２２を間隙の奥に挿入させる（ＳＴ２３）。先細り部材１００ｃは図８（ｂ）に示すように、その断面がテーパ形状をしており、先端部１２２からの距離に応じて幅が広くなっていくように構成されている。このため、間隙に挿入される際にプリズム２０１とホログラムマスク２００の端部が先細り部材１００ｃによって押し広げられるような作用を示すことになり、マッチングリキッドの接着力が急速に失われてホログラムマスク２００を剥離することができる。
【００７０】
以上、本実施形態３によれば、圧電アクチュエータによってマッチングリキッドの接着面積を縮小させてからテーパ形状の先細り部材を挿入することによってホログラムマスクを剥離するので、容易に、かつ、光学部品を傷つけることなく剥離させることができる。
（実施形態４）
本発明の実施形態４は、実施形態１と同様なホログラフィック露光装置において、実施形態１とは異なる方法でホログラムマスクを剥離させるものである。
【００７１】
ホログラフィック露光装置の全体構成については実施形態１と同様であるため、その説明を省略する。また、接触面積縮小手段に相当する構成については、実施形態１乃至３のいずれの構成及び方法を用いてもよいため、その説明を省略する。
【００７２】
図１２に、本光学部品剥離装置１ｄのブロック図を示す。図１２に示すように、本光学部品剥離装置１ｄは、先細り部材１００ｄ、搬送装置１１２、間隙拡大装置１１７、および制御装置１１０を備えて構成されている。図１２には、上記したいずれかの実施形態における充填液接触面積縮小手段を適用するが、その図示は省略されている。
【００７３】
図１１（ａ）に本実施形態３の先細り部材１００ｃの断面図を示す。図１１（ａ）に示すように、本実施形態の先細り部材１００ｄは、本体１３２Ａと１３２Ｂとがねじ切りをした回転軸１３６によって互いに連結されており、回転軸１３６を回転させることで先端部１３４を軸中心にしてその幅を変更可能に構成されている。先端部１３４は、いわば蝶番のような構造に軸持されている。回転軸１３６は間隙拡大装置１１７によって任意の回転を行うようになっている。
【００７４】
搬送装置１１２は、実施形態１と同様の構成であり、モータとベルト、ローラ、シャフト等を公知の駆動機構を備え、先細り部材１００ｃを任意の空間位置に搬送可能に構成されている。当該搬送装置１１２は、制御装置１１０から出力される制御信号に従って駆動されるように構成されている。
【００７５】
間隙拡大装置１１７は、制御回路１１０からの制御信号に従って回転軸１３６を回転させ先細り部材１００ｄの幅を任意の幅に設定することが可能なようになっている。
【００７６】
制御装置１１０は、コンピュータ装置であり、所定のソフトウェアプログラムを実行することにより本発明における光学部品の剥離方法を実施させることが可能に構成されている。当該制御装置１１０は、ホログラフィック露光装置における露光動作の終了前後に動作すればよいため、他の制御装置２３２や２７０が制御動作を代用するように構成してもよい。
【００７７】
図１１に基づいて、本実施形態４における光学部品の剥離方法を説明する。
【００７８】
いま、所定のホログラムマスク２００における感光性材料膜２１４の記録が終了し、他のパターンを露光するためにホログラムマスクを交換する必要が生じたものとする。操作者の操作によって、または、露光動作と連係した自動シーケンスとして、本実施形態の剥離装置１ｄが起動される。
【００７９】
まず、制御装置１１０は駆動機構１１２を駆動して、先細り部材１１０ｄをプリズム２０１とホログラムマスク２００との間隙周辺部に当接させる（ＳＴ３１）。このとき間隙拡大装置１１７は先細り部材１００ｄの幅が最も小さくなるように回転軸１３６の回転を制御している。プリズム２０１とホログラムマスク２００との間隙の位置を制御装置１１０は把握して駆動機構１１２にその位置に先細り部材１００ｄの先端部１３４が来るように、当該先細り部材１００ｄを搬送させる。ここでプリズムの位置が固定されている場合には、プリズム２０１のホログラムマスク２００を接着させる平面の延長線上に先細り部材１００ｄの先端部１２２を位置させ、当該先細り部材を往復運動可能に構成することができる。このように構成すれば、駆動機構１１２は先細り部材１００ｄをこの直線上で往復させるだけで、先細り部材の先端部１２２を正しくプリズム２０１とホログラムマスク２００との間隙周辺部に当接させることができる。
【００８０】
次いで、制御装置１１０は、上記したいずれかの実施形態の方法を用いて間隙に充填されているマッチングリキッドの接触面積を縮小させる（ＳＴ３２）。どの程度、接着面積を縮小させるかは、ホログラムマスクの重量（本実施形態ではホログラムマスクはプリズムの重力方向下側に貼り付けられているものと想定している）とマッチングリキッドの粘性等によるため、これらの条件に応じて適当に定める。
【００８１】
マッチングリキッドの接着面積が剥離作業を行うのに十分な程度に縮小したら、制御装置１１０は今度は間隙拡大装置１１７を駆動して回転軸１３６を回転させ、先細り部材１００ｄの先端部１３４の幅を拡大させる（ＳＴ３３）。先細り部材１００ｄの幅が拡大すると、プリズム２０１とホログラムマスク２００の端部が先細り部材１００ｄによって押し広げられるようになり、マッチングリキッドの接着力が急速に失われてホログラムマスク２００を剥離することができる。
【００８２】
なお、本実施形態において、間隙拡大装置を回転軸とその駆動装置とする代わりに、圧電アクチュエータとその駆動回路としてもよい。圧電アクチュエータは二つの本体１３２ＡとＢとの間に介在させておく。駆動回路から直流電圧を供給すると当該電圧に対応して圧電アクチュエータが変形し、本体１３２ＡとＢとを押し広げる結果、当該先細り手段の幅が拡大される。
【００８３】
また上記したような間隙拡大動作と併せて先細り部材を間隙に押し込む上記実施形態のような動作をさせてもよい。
【００８４】
さらに蝶番を頭に開くような先細り部材の代わりに、いわゆる万力の開閉機構のように、二つの部材が平行してその幅を変更可能に構成することによって、光学部品同士の剥離を可能に構成してもよい。
【００８５】
以上、本実施形態４によれば、接着面積縮小手段によってマッチングリキッドの接着面積を縮小させてから先細り部材の幅を間隙拡大装置によって拡大することによってホログラムマスクを剥離するので、容易に、かつ、光学部品を傷つけることなく剥離させることができる。
【００８６】
（その他の変形例）
本発明は、上記各実施形態に限定されることなく種々に変更して適用することが可能である。
例えば、先細り部材の形状は、各実施の形態で説明されたものに限定されず、先端部が光学部材の間隙に当接可能で、少なくとも一部は挿入可能な程度に形成されているものであればよい。
【００８７】
接着面積縮小手段も、間隙の周辺部から充填液の体積を減少させたり気泡を含ませることで接着面積を縮小させることが可能なものであれば実施形態の手段に限定されない。
【００８８】
【発明の効果】
本発明によれば、光学部品同士を接着している充填液の接着面積を縮小させてから所定の機械的力を与えて光学部品間の間隙を広げるようにしたため、容易にかつ光学部品に損傷を与えることなく光学部品同士を剥離させることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態１における先細り部材の説明図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図、および（ｃ）は（ｂ）における断面図である。
【図２】実施形態１における光学部品剥離装置のブロック図である。
【図３】実施形態１における光学部品剥離方法の説明図であり、（ａ）は先細り部材の当接、（ｂ）は充填液の接触面積縮小、および（ｃ）は先細り部材の先端部の幅の拡大工程をそれぞれ示している。
【図４】実施形態におけるホログラフィック露光装置の概略ブロック図である。
【図５】実施形態２における先細り部材の斜視図である。
【図６】  実施形態２における光学部品剥離装置のブロック図である。
【図７】実施形態２における光学部品剥離方法の説明図であり、（ａ）は先細り部材の当接、（ｂ）は充填液の接触面積縮小、および（ｃ）は先細り部材の先端部の幅の拡大工程をそれぞれ示している。
【図８】  実施形態３における先細り部材の説明図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。
【図９】実施形態３における光学部品剥離装置のブロック図である。
【図１０】実施形態３における光学部品剥離方法の説明図であり、（ａ）は先細り部材の当接、（ｂ）は充填液の接触面積縮小、および（ｃ）は先細り部材の先端部の幅の拡大工程をそれぞれ示している。
【図１１】実施形態４における光学部品剥離方法の説明図であり、（ａ）は先細り部材の当接、（ｂ）は充填液の接触面積縮小、および（ｃ）は先細り部材の先端部の幅の拡大工程をそれぞれ示している。
【図１２】実施形態４における光学部品剥離装置のブロック図である。
【符号の説明】
１００ａ〜１００ｄ  先細り部材
２００  ホログラムマスク
２０１  プリズム
２０２  マッチングリキッド（充填液）
１１０  制御装置
１１２  搬送装置
１１４  コンプレッサ（接着面積縮小手段）
１１６  バルブ
１１８  ポンプ（接着面積縮小手段）
１３０  振動供給装置（接着面積縮小手段）
【図１】
0004178540.tif 000002
【図２】
0004178540.tif 000003
【図３】
0004178540.tif 000004
【図４】
0004178540.tif 000005
【図５】
0004178540.tif 000006
【図６】
0004178540.tif 000007
【図７】
0004178540.tif 000008
【図８】
0004178540.tif 000009
【図９】
0004178540.tif 000010
【図１０】
0004178540.tif 000011
【図１１】
0004178540.tif 000012
【図１２】
0004178540.tif 000013