(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース、該ベースの上方に配置されかつ開口を有する上板並びに前記ベース及び前記上板を組み付けている複数の支柱を備えるフレームと、前記上板の上に配置された、複数の第１の支柱及び複数の第２の支柱と、検査すべき表示用基板を受けるべく前記上板の開口内に位置する状態に前記ベースの上に配置されたチャックと、該チャックに受けられた表示用基板の電極に電気的に接続される複数の接触子を備える接触子組立体であって前記チャックの上方にあって前記第１の複数の支柱の上端部に支持されたベースプレートを備える接触子組立体と、作業者が乗ることができる作業床を備える作業ステージであって前記接触子の高さ位置以上の位置に配置された作業ステージとを含み、前記作業床は前記接触子組立体の少なくとも一部を受け入れることができる開口を中央領域に有し、前記複数の第２の支柱は前記ベースプレートをこれに接触することなく上下方向に貫通しており、前記作業ステージの前記作業床は前記複数の第２の支柱の上端部に支持されている、表示用基板の検査装置。
【請求項２】
さらに、作業者が前記作業ステージに対し乗り降りするためのステップを含む、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
さらに、前記ステップの下方の空間に配置された操作・制御部であって当該検査装置の操作及び制御をするための操作・制御部を含む、請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記作業ステージは、さらに、前記作業床の周囲にあって該作業床から上方へ伸びる柵を備える、請求項１から３のいずれか１項に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板のような表示用基板を検査する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示パネル用の基板は、ガラス基板の状態から完成品と認定されるまでの間に種々の電気的検査（通電試験）をされる。例えば、複数の薄膜トランジスタを形成したガラス基板は、薄膜トランジスタが正しく作動するか否か、薄膜トランジスタに接続された配線が断線していないか否か等、種々の電気的検査（アレイ検査）をされる。
【０００３】
特に、ガラス基板のように未完成の液晶基板は、一般に、複数のパネル領域を未切断の状態で有するいわゆる複数個取りの状態で、検査をされる。そのような複数個取りの液晶基板は、それ自体で大きい。
【０００４】
このため、大型の液晶基板を検査する装置は、フレーム、液晶基板を受けるチャック、チャックを三次元的に移動させるべくチャックを支持する検査ステージ、チャックに受けられた液晶基板の電極に押圧される複数の接触子を備えた接触子組立体等、検査装置を構成する部材が大型化し、検査装置自体が大型化する。
【０００５】
一方、液晶パネルの検査装置においては、保守点検作業を定期的に行って、不良の部品を交換する必要があるし、接触子組立体又はそれを構成する部品を検査すべき液晶基板の種類に応じて交換しなければならない。
【０００６】
【解決しようとする課題】
しかし、従来の大型液晶基板用の検査装置では、接触子組立体の配置位置が高すぎるため、保守点検作業や部品交換作業を行うことが難しく、またそれらの作業の間に高価な部品を損傷しやすい。
【０００７】
特に、接触子組立体は、検査すべき液晶基板より上方の高い位置に配置されるから、その保守点検作業や部品交換作業は著しく難しく、それらの作業の間に高価な部品を最も損傷しやすい。そのような課題は、液晶表示パネル用の液晶基板のような表示用基板のみならず、プラズマ表示パネルの基板のような他の表示用基板においても生じる。
【０００８】
本発明の目的は、大型の基板用検査装置において、保守点検作業や部品交換作業を容易に行うことができるようにすることにある。
【０００９】
【解決手段、作用及び効果】
本発明に係る表示用基板の検査装置は、ベース、該ベースの上方に配置されかつ開口を有する上板並びに前記ベース及び前記上板を組み付けている複数の支柱を備えるフレームと、前記上板の上に配置された、複数の第１の支柱及び複数の第２の支柱と、検査すべき表示用基板を受けるべく前記上板の開口内に位置する状態に前記ベースの上に配置されたチャックと、該チャックに受けられた表示用基板の電極に電気的に接続される複数の接触子を備える接触子組立体であって前記チャックの上方にあって前記第１の複数の支柱の上端部に支持されたベースプレートを備える接触子組立体と、作業者が乗ることができる作業床を備える作業ステージであって前記接触子の高さ位置以上の位置に配置された作業ステージとを含み、前記作業床は前記接触子組立体の少なくとも一部を受け入れることができる開口を中央領域に有し、前記複数の第２の支柱は前記ベースプレートをこれに接触することなく上下方向に貫通しており、前記作業ステージの前記作業床は前記複数の第２の支柱の上端部に支持されている。
【００１０】
作業者は、保守点検作業や部品交換作業を作業ステージに乗った状態で行うことができる。これにより、複数個取りの基板のような大型の基板用検査装置であっても、保守点検作業や部品交換作業が容易になると共に安全になり、またそれらの作業の間に部品を損傷するおそれが低減する。
【００１１】
前記作業ステージの前記作業床は、前記接触子組立体の前記ベースプレートに接触することなく上下方向に貫通した前記複数の第２の支柱の上端部に支持される。これにより、作業スペース自体の重量及び作業ステージの前記作業床上の作業者の重量が接触子組立体の前記ベースプレートに作用しないから、それら重量に起因する接触子組立体のたわみが防止される。
【００１２】
さらに、作業者が前記作業ステージに対し乗り降りするためのステップを含むことができる。そのようにすれば、作業ステージに対する作業者の乗り降りが容易にかつ安全になる。
【００１３】
さらに、前記ステップの下方の空間に配置された操作・制御部であって当該検査装置の操作及び制御をするための操作・制御部とを含むことができる。そのようにすれば、ステップの下方の空間を有効に利用することができるから、検査装置が小型になる。
【００１４】
前記作業ステージは、さらに、前記作業床の周囲にあって該作業床から上方へ伸びる柵とを備えることができる。そのようにすれば、各種の作業を柵内にあって作業ステージ上で行うことができるから、保守点検作業及び部品交換作業がより安全になる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図１から図３を参照するに、検査装置１０は、複数の薄膜トランジスタを有するガラス基板のように、液晶を封入する前の液晶基板１２の検査、すなわちアレイ検査に用いられる。液晶基板１２は、複数のパネル領域を未切断の状態で有するいわゆる複数個取りの基板であり、また矩形の平面形状を有している。
【００１６】
液晶基板１２は、図示の例では、矩形の対向する２つの辺にそれぞれ複数の電極（図示せず）を有する。しかし、液晶基板の電極が形成される辺は、隣り合う２つの辺、対向する２つの辺と両辺の間の１つの辺、４つの辺等、液晶基板１２の種類により異なる。
【００１７】
液晶基板１２は、検査の間真空吸着チャックのような平板状のチャック１４の上面に移動不能に及びほぼ水平に受けられ、検査終了後にチャック１４から開放される。チャック１４はこれを移動させる検査ステージ１６に受けられており、検査ステージ１６は筐体状に形成されたフレーム１８内に配置されている。
【００１８】
検査ステージ１６は、チャック１４を左右方向へ移動させるＸステージ２０と、チャック１４を前後方向へ移動させるＹステージ２２と、チャック１４を上下方向へ移動させるＺステージ２４と、チャック１４を上下方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させるθステージ２６とを含む。
【００１９】
フレーム１８は、矩形をした厚板状の台すなわちベース２８と矩形の上板３０とを複数の支柱３２により相互に組み付けている。上板３０は、矩形の開口３４を有する。検査ステージ１６は、ベース２８の上に配置されており、またチャック１４を液晶基板１２が開口３４を経て上板３０の上方へ突出する高さ位置まで上昇させることができると共に、液晶基板１２が上板３０の高さ位置より下方となる高さ位置まで下降させることができる。
【００２０】
フレーム１８の上には、接触子組立体３６が配置されている。接触子組立体３６は、矩形のベースプレート３８と、一対のプローブユニット４０とを備えており、またベースプレート３８において複数の支柱４２によりフレーム１８に取り外し可能に支持されている。ベースプレート３８は、矩形の開口４４を中央領域に有しており、また上板３０から間隔をおいている。
【００２１】
各プローブユニット４０は、複数のプローブブロック４６を長方形のプローブベース４８に一列に配置しており、またプローブベース４８においてベースプレート３８に取り外し可能に組み付けられている。両プローブユニット４０は、開口４４の一対の辺に対応する箇所に対称的に配置されている。
【００２２】
各プローブブロック４６は、接触子として作用する複数のプローブを組み付けブロックに並列的に組み付けた公知のものである。図示の例では、プローブは、金属細線から製作されたニードルタイプのものであり、針先を液晶基板１２の電極に押圧される。
【００２３】
しかし、プローブは、薄い金属板から製作されたブレードタイプのものであってもよいし、帯状をした複数の配線を非導電性のフィルムに形成し、その先端に突起電極を形成したフィルム状プローブであってもよい。
【００２４】
フレーム１８の上には、また、作業者が各種の作業を行う作業スペース５０が配置されている。作業ステージ５０は、作業者が乗ることができる矩形の作業床５２と、作業床５２の周囲にあって作業床５２から上方へ伸びる柵５４とを備えており、また接触子組立体３６のベースプレート３８を貫通する複数の支柱５６により作業床５２においてフレーム１８に支持されている。
【００２５】
作業床５２は、プローブユニット４０の少なくとも一部を受け入れることができる矩形の開口５８を中央領域に有しており、またベースプレート３８から上方に間隔をおいている。このため、接触子組立体３６は、作業ステージ５０の重量及びその上の作業者の重量の影響を受けず、そのような重量に起因するたわみを防止される。
【００２６】
各支柱５６は、図示の例では、ベースプレート３８に接触しない状態に、下端をフレーム１８の上板３０に組み付けられている。このため、作業ステージ５０は接触子組立体３６を介することなくフレーム１８に支持され、接触子組立体３６は作業ステージ５０の振動から保護される。開口５８は、作業者が作業床５２上において全てのプローブユニット４０を操作することができるように、平面的に見て全てのプローブユニット４０の面積より大きい。
【００２７】
作業者は、フレーム１８の前面側に左右方向へ斜めに伸びる状態に配置されたステップ６０を利用して、作業ステージ５０に乗り降りすることができる。ステップ６０は、フレーム１８の前面に組み付けられおり、またフレーム１８と反対側に手摺り６２を組み付けている。このため、作業者は、作業ステージ５０に容易に勝つ安全に乗り降りすることができる。ステップ６０は、取り外し可能に又は取り外し不能にフレーム１８に組み付けられている。
【００２８】
検査装置１０の操作及び制御をするための、制御部６４、操作パネル６６及び１以上のモニター６８は、ステップ６０の下方の空間に配置されている。これにより、ステップ６０の下方の空間を有効に利用することができ、検査装置１０が小型になる。制御部６４は検査用の各種の電気回路を含む。操作パネル６６は、制御部６４の操作に用いられる。
【００２９】
検査装置１０において、チャック１４上の液晶基板１２は、真空吸着のような適宜な手法でチャック１４に把持されている。チャック１４に対する液晶基板１２の受け渡しは、チャック１４を検査ステージ１６により所定の高さ位置に下げ、チャック１４による液晶パネル１２の把持を解除した状態で行われる。チャック１４は、新たな液晶基板１２を受けると、その液晶基板１２を把持する。
【００３０】
液晶基板１２の検査時、接触子組立体３６に対する液晶基板１２の位置合わせが行われた状態で、チャック１４が検査ステージ１６により所定の高さ位置に上昇される。これにより、接触子組立体３６の各プローブが液晶基板１２の電極に押圧される。
【００３１】
液晶基板１２の検査は、１つのパネル領域毎に行われる。このため、１つのパネル領域の検査が終了すると、チャック１４を所定の位置に下げ、チャック１４をパネル領域の配置ピッチ分だけ左右方向又は前後方向に移動させ、接触子組立体３６に対する液晶パネル１２の位置を合わせ、その後チャック１４を上昇させる行程が行われる。
【００３２】
検査装置１０、特に接触子組立体３６の保守点検作業及び部品交換作業は、作業者が作業ステージ５０上に乗った状態で行われる。それらの作業は、作業者が作業床５２に乗った状態で行うことができるから、容易になると共に、作業床５２に配置された柵５４により安全になり、しかもプローブブロック、プローブ等、高価な部品をそれらの作業の間に損傷するおそれが少なくなる。
【００３３】
検査装置１０は、フレーム１８の下側に装着された複数の車輪７０により床上を移動させて、制動力を車輪７０に作用させて床上の適宜な位置に設置することができる。車輪７０は、大型のキャスターとすることができる。
【００３４】
本発明は、ガラス基板のような表示用基板の検査装置のみならず、液晶を封入した複数個取りの液晶基板のような他の表示用基板の検査装置や、プラズマ表示パネル用の基板のような他の表示用基板の検査装置にも適用することができる。
【００３５】
本発明は、上記実施例に限定されない。本発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る検査装置の一実施例を示す平面図である。
【図２】図１に示す検査装置の正面図である。
【図３】図１における３−３線に沿って得た断面図である。
【符号の説明】
１０  検査装置
１２  液晶基板（表示用基板）
１４  チャック
１６  検査ステージ
１８  フレーム
３６  接触子組立体
３８  ベースプレート
４０  プローブユニット
４２  接触子組立体の支柱
４４  ベースプレートの開口
４６  プローブブロック
４８  プローブベース
５０  作業ステージ
５２  作業床
５４  柵
５６  作業ステージの支柱
５８  作業床の開口
６０  ステップ
６２  手摺り
６４  制御部
６６  操作パネル
６８  モニター
【図１】
0004118005.tif 000002
【図２】
0004118005.tif 000003
【図３】
0004118005.tif 000004