(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸とハウジング間の環状隙間を密封する磁性流体シールであって、
軸方向一端側にＮ極，他端側にＳ極となるように配置される磁力発生部材と、該磁力発生部材を挟んで両端側にそれぞれ設けられる一対の磁極部材と、該一対の磁極部材に保持される磁性流体と、を備えた磁性流体シールにおいて、
前記一対の磁極部材は、前記軸表面に向かって延びて軸表面との間で磁性流体を保持する保持突起先端を、それぞれ複数備えると共に、該一対の磁極部材に備えられた保持突起のうち、磁力発生部材に最も近い側の保持突起同士の間隔は、磁力発生部材の軸方向の長さよりも短く、
前記磁性流体が前記磁力発生部材に向かって流出することを防止する弾性シールが、前記磁力発生部材に最も近い側の保持突起の側面にそれぞれ密着して配置されることを特徴とする磁性流体シール。
【請求項２】
前記磁極部材に備えられた保持突起のうち、磁力発生部材から最も遠い側の保持突起は、磁極部材本体部の軸方向端面よりも内側に入った位置に設けられると共に、磁力発生部材から最も遠い側の保持突起よりも外側であって、軸表面と対向する壁面と、軸表面との間隔は、保持突起先端から軸表面までの距離よりも大きく、かつ保持突起の高さよりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の磁性流体シール。
【請求項３】
前記軸表面と対向する壁面は、外側から内側に向かうにつれて、軸表面との間隔が徐々に狭くなるようなテーパ面が形成されることを特徴とする請求項２に記載の磁性流体シール。
【請求項４】
軸とハウジング間の環状隙間を密封する磁性流体シールであって、軸方向一端側にＮ極，他端側にＳ極となるように配置される磁力発生部材と、該磁力発生部材を挟んで両端側にそれぞれ設けられる一対の磁極部材と、該一対の磁極部材に保持される磁性流体と、を備えた磁性流体シールにおいて、前記一対の磁極部材は、前記ハウジング表面に向かって延びてハウジング表面との間で磁性流体を保持する保持突起先端を、それぞれ複数備えると共に、該一対の磁極部材に備えられた保持突起のうち、磁力発生部材に最も近い側の保
持突起同士の間隔は、磁力発生部材の軸方向の長さよりも短く、
前記磁性流体が前記磁力発生部材に向かって流出することを防止する弾性シールが、前記磁力発生部材に最も近い側の保持突起の側面にそれぞれ密着して配置されていることを特徴とする磁性流体シール。
【請求項５】
前記磁極部材に備えられた保持突起のうち、磁力発生部材から最も遠い側の保持突起は、磁極部材本体部の軸方向端面よりも内側に入った位置に設けられると共に、磁力発生部材から最も遠い側の保持突起よりも外側であって、ハウジング表面と対向する壁面と、ハウジング内周表面との間隔は、保持突起先端からハウジング内周表面までの距離よりも大きく、かつ保持突起の高さよりも小さいことを特徴とする請求項４に記載の磁性流体シール。
【請求項６】
前記ハウジング内周表面と対向する壁面は、外側から内側に向かうにつれて、ハウジング内周表面との間隔が徐々に狭くなるようなテーパ面が形成されることを特徴とする請求項５に記載の磁性流体シール。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、磁性流体を用いて各種流体をシールする磁性流体シールに関するものであり
、例えば、半導体製造工程や真空プロセス、あるいは各種空圧機器などの軸封装置として適用される磁性流体シールに関するものである。
背景技術 従来、相対的に往復動する軸とハウジング間の環状隙間を密封するための往復動シールとしては、ゴムなどの弾性材料を素材とする弾性シールが用いられている。
このような弾性シールを用いた場合には、密封すべき相手部材に対して接触しながら密封させるために、摺動抵抗の問題や、摺動による摩耗の問題がある。
一方、このような問題が発生することのない非接触式の密封シールとしては、磁性流体シールが知られている。
第５図および第６図を参照して、従来技術に係る磁性流体シールについて説明する。
まず、第５図に示す磁性流体シール１００は、軸３００とハウジング４００との間の環状の隙間を密封するためのものである。
この磁性流体シール１００は、概略、軸方向一端側にＮ極，他端側にＳ極となるように配置される環状の永久磁石１０１と、この永久磁石１０１を挟んで両端側にそれぞれ設けられる一対のポールピース１０２，１０３と、から構成されている。
ここで、第５図に示すハウジング４００は非磁性材で形成されており、磁性流体シール１００とハウジング４００内周との間は、ＯリングＤ１０，Ｄ２０によってシールされている。
一方、軸３００は磁性材で形成されており、磁性流体シール１００と軸３００表面との間は、磁性流体Ｊによってシールされている。
すなわち、ポールピース１０２には複数の突起１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃが形成されており、また、ポールピース１０３にも複数の突起１０３ａ，１０３ｂ，１０３ｃが形成されており、これらの突起先端と軸３００表面との間の隙間に磁力によって、磁性流体Ｊを保持することによりシールするものである。
また、第６図に示す磁性流体シール２００も、同様に、軸３０１とハウジグ４０１との間の環状の隙間を密封するためのものである。
この磁性流体シール２００も、上記第５図に示した磁性流体シール１００と同様に、永久磁石２０１と、一対のポールピース２０２，２０３と、から構成されている。
ここで、第６図に示す軸３０１は非磁性材で形成されており、磁性流体シール２００と軸３０１表面との間は、ＯリングＤ３０，Ｄ４０によってシールされている。
一方、ハウジング４０１は磁性材で形成されており、磁性流体シール２００とハウジング４０１内周面との間は、磁性流体Ｊによってシールされている。
すなわち、ポールピース２０２には複数の突起２０２ａ，２０２ｂ，２０２ｃが形成されており、また、ポールピース２０３にも複数の突起２０３ａ，２０３ｂ，２０３ｃが形成されており、これらの突起先端とハウジング４０１内周面との間の隙間に磁力によって、磁性流体Ｊを保持することによりシールするものである。
例えば、実開昭５５−２０７４６号公報には、回転軸と固定ケーシングとの間に、回転軸を保持する軸受に一対の環状ボールブロックを固定し、これら一対の環状ボールブロックの間に磁石をも設け、この磁力により環状ボールブロック先端部に形成された突部と回転軸との間に磁性流体を保持し、この磁性流体により回転軸をシールするように構成された技術が開示されている。
また、同様に、実公昭６３−１１４２７号公報には、ケーシング内において軸受に保持された回転軸とケーシングとの間において、回転軸に磁石を挟んで固定されたブッシュ表面に形成された突起と、回転軸との間に磁性流体を保持し、磁性流体により回転軸とブッシュ表面に形成された突起との間をシールするように構成された技術が開示されている。
しかしながら、上記のような従来技術の場合には、下記のような問題が生じていた。
上述したように、磁性流体シールを用いる場合には、摺動抵抗の問題や、摺動による摩耗の問題はなくなる。
しかしながら、磁性流体シールの場合には、保持される磁性流体が流出してしまいシール性がなくなってしまう問題がある。
このような磁性流体の流出の問題は、互いに相対回転する２部材間の隙間をシールする回転シールとして適用する場合にはあまり問題となることはないが、上述したような相対的に往復動する軸とハウジング間の環状隙間を密封するための往復動シールとして適用する場合には、磁性流体の流出を防止することが困難で、往復動シールへの適用は困難であった。
この点について、上述した第５図あるいは第６図に示した磁性流体シールを例に、より詳しく説明する。
第５図あるいは第６図に示す永久磁石１０１，２０１の軸方向の長さは、一般的に磁気力を確保するために、約５ｍｍ以上となっている。
従って、第５図に示す磁性流体シール１００の場合には、永久磁石１０１を隔てて設けられた各ポールピース１０２，１０３に備えられた、突起１０２ａと突起１０３ａとの間も同程度の間隔となっており、図中Ｐに示す空間部が形成されていた。
また、同様に、第６図に示す磁性流体シール２００の場合には、永久磁石２０１を隔てて設けられた各ポールピース２０２，２０３に備えられた、突起２０２ａと突起２０３ａとの間も同程度の間隔となっており、図中Ｑに示す空間部が形成されていた。
一方、これらＰ空間やＱ空間を形成する磁性材表面は、磁場強度が最も高くなる領域である。
従って、突起１０２ａ，突起１０３ａ，突起２０２ａあるいは突起２０３ａにより保持すべき磁性流体がＰ空間あるいはＱ空間を形成する磁性材表面に流出してしまいシール性が確保できなくなることがあった。
また、軸とハウジングとの相対的な往復移動の移動速度が大きい場合には、磁性流体シールよりも外側に磁性流体が流出してしまうこともあった。
本発明は上記の従来技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、磁性流体の漏れを低減させた品質性に優れた磁性流体シールを提供することにある。
発明の開示
上記目的を達成するために本発明にあっては、
軸とハウジング間の環状隙間を密封する磁性流体シールであって、
軸方向一端側にＮ極，他端側にＳ極となるように配置される磁力発生部材と、該磁力発生部材を挟んで両端側にそれぞれ設けられる一対の磁極部材と、該一対の磁極部材に保持される磁性流体と、を備えた磁性流体シールにおいて、
前記一対の磁極部材は、前記軸表面に向かって延びて軸表面との間で磁性流体を保持する保持突起先端を、それぞれ複数備えると共に、該一対の磁極部材に備えられた保持突起のうち、磁力発生部材に最も近い側の保持突起同士の間隔は、磁力発生部材の軸方向の長さよりも短く、
前記磁性流体が前記磁力発生部材に向かって流出することを防止する弾性シールが、前記磁力発生部材に最も近い側の保持突起の側面にそれぞれ密着して配置されることを特徴とする。
従って、磁力発生部材を隔てた位置よりも内側の磁場強度が高い位置で、磁性流体を保持するので、磁性流体の流出を抑制できる。
また、磁力発生部材と軸表面との間を遮断する遮断シールが設けられているので、磁力発生部材側に磁性流体が流出してしまうことを防止できる。
前記磁極部材に備えられた保持突起のうち、磁力発生部材から最も遠い側の保持突起は、磁極部材本体部の軸方向端面よりも内側に入った位置に設けられると共に、磁力発生部材から最も遠い側の保持突起よりも外側であって、軸表面と対向する壁面と、軸表面との間隔は、保持突起先端から軸表面までの距離よりも大きく、かつ保持突起の高さよりも小さいとよい。
これにより、磁力発生部材から最も遠い側の保持突起によって保持する磁性流体が、外部へ流出してしまうことを抑制できる。
前記軸表面と対向する壁面は、外側から内側に向かうにつれて、軸表面との間隔が徐々に狭くなるようなテーパ面が形成されるとよい。
これにより、磁力発生部材から最も遠い側の保持突起によって保持する磁性流体が、外部へ流出してしまうことを更に抑制できる。
軸とハウジング間の環状隙間を密封する磁性流体シールであって、軸方向一端側にＮ極，他端側にＳ極となるように配置される磁力発生部材と、該磁力発生部材を挟んで両端側にそれぞれ設けられる一対の磁極部材と、該一対の磁極部材に保持される磁性流体と、を備えた磁性流体シールにおいて、前記一対の磁極部材は、前記ハウジング表面に向かって延びてハウジング表面との間で磁性流体を保持する保持突起先端を、それぞれ複数備えると共に、該一対の磁極部材に備えられた保持突起のうち、磁力発生部材に最も近い側の保持突起同士の間隔は、磁力発生部材の軸方向の長さよりも短く、
前記磁性流体が前記磁力発生部材に向かって流出することを防止する弾性シールが、前記磁力発生部材に最も近い側の保持突起の側面にそれぞれ密着して配置されていることを特徴とする。
従って、磁力発生部材を隔てた位置よりも内側の磁場強度が高い位置で、磁性流体を保持するので、磁性流体の流出を抑制できる。
また、磁力発生部材に最も近い側の保持突起間に弾性シールが設けられているので、磁力発生部材側に磁性流体が流出してしまうことを防止できる。
前記磁極部材に備えられた保持突起のうち、磁力発生部材から最も遠い側の保持突起は、磁極部材本体部の軸方向端面よりも内側に入った位置に設けられると共に、磁力発生部材から最も遠い側の保持突起よりも外側であって、ハウジング表面と対向する壁面と、ハウジング内周表面との間隔は、保持突起先端からハウジング内周表面までの距離よりも大きく、かつ保持突起の高さよりも小さいとよい。
これにより、磁力発生部材から最も遠い側の保持突起によって保持する磁性流体が、外部へ流出してしまうことを抑制できる。
前記ハウジング内周表面と対向する壁面は、外側から内側に向かうにつれて、ハウジング内周表面との間隔が徐々に狭くなるようなテーパ面が形成されるとよい。
これにより、磁力発生部材から最も遠い側の保持突起によって保持する磁性流体が、外部へ流出してしまうことを更に抑制できる。
発明を実施するための最良の形態
以下に図面を参照して、この発明の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
（第１の実施の形態）
第１図を参照して、第１の実施の形態に係る磁性流体シールについて説明する。第１図は第１の実施の形態に係る磁性流体シールの使用状態を示す概略構成図である。
本実施の形態に係る磁性流体シール１０は、軸７０とハウジング６０との間の環状隙間を密封するためのものであり、軸７０とハウジング６０が相対的に往復動するような場合でも、効果的に利用できるものである。
この磁性流体シール１０は、概略、軸方向一端側にＮ極，他端側にＳ極となるように配置される、磁力発生部材としての環状の永久磁石２０と、この永久磁石２０を挟んで両端側にそれぞれ設けられる一対の磁極部材としてのポールピース３０，４０と、から構成されている。
ここで、ハウジング６０は非磁性材で形成されており、磁性流体シール１０とハウジング６０内周との間は、ＯリングＤ１，Ｄ２によってシールされている。
一方、軸７０は磁性材で形成されており、磁性流体シール１０と軸７０表面との間は、磁性流体Ｊによってシールされている。
すなわち、ポールピース３０には複数の保持突起（以下、単に突起と称する。）３０ａ，３０ｂ，３０ｃが形成されており、また、ポールピース４０にも複数の突起４０ａ，４０ｂ，４０ｃが形成されており、これらの突起先端と軸７０表面との間の隙間に、磁力によって磁性流体Ｊを保持することによりシールするものである。
ここで、本実施の形態では、各ポールピース３０，４０に備えられた突起のうち、永久磁石２０に最も近い側の突起、すなわち、突起３０ａおよび突起４０ａは、それぞれ永久磁石２０側に侵入した位置で、軸７０表面との間で磁性流体Ｊを保持するように構成されている。
従って、これら突起３０ａと突起４０ａとの間隔は、永久磁石２０の軸方向の長さよりも短く（例えば、永久磁石の長さ５ｍｍに対して、突起間隔０．１〜２ｍｍ、好ましくは０．１〜１ｍｍ程度）、永久磁石２０の長さ分だけ隔てた位置よりも内側の磁場強度が高くなる位置で、磁性流体Ｊを保持することになる。
これにより、永久磁石２０側への磁性流体Ｊの流出を低減させることができる。
また、本実施の形態では、突起３０ａと突起４０ａの側面にそれぞれ密着して、永久磁石２０と軸７０表面との間を遮断する遮断シールとしての弾性シール（例えば、Ｏリング等）５０を設ける構成としている。
このように構成することによって、磁性流体Ｊが永久磁石２０に向かって流出してしまうことを防止できる。
以上のように、本実施の形態の構成によって、永久磁石側に磁性流体が流出してしまうことを低減でき、シール性が向上する。
ここで、上述した第５図に示す磁性流体シールについて往復動シール特性（軸とハウジングを往復動させた場合のシール性能）を調べたところ、数回の往復動で永久磁石側に磁性流体が流出してしまいシール性が低下してしまったのに対して、本実施の形態の構成に基づく磁性流体シールの場合について、同様に往復動シール特性を調べたところ、永久磁石側への磁性流体の流出は発生せず、シール性能を確保できることを確認できた。
なお、本実施の形態に係る磁性流体シールについて、軸とハウジングが相対的に回転する回転シールとして、あるいは、往復動と回転が複合的になされるような装置に対しても、効果的に利用できることは言うまでもない。
（第２の実施の形態）
第２図には、第２の実施の形態が示されている。上記第１の実施の形態では、軸側に磁性流体を用いた磁性流体シールの場合の構成について説明したが、本実施の形態では、ハウジング内周側に磁性流体を用いた磁性流体シールの場合の構成を示している。
その他の構成および作用については第１の実施の形態と同一なので、同一の構成部分については同一の符号を付して説明する。
第２図は第２の実施の形態に係る磁性流体シールの使用状態を示す概略構成図である。本実施の形態に係る磁性流体シール１１は、軸７１とハウジング６１との間の環状隙間を密封するためのものであり、軸７１とハウジング６１が相対的に往復動するような場合でも、効果的に利用できるものである。
この磁性流体シール１１は、概略、軸方向一端側にＮ極，他端側にＳ極となるように配置される、磁力発生部材としての環状の永久磁石２１と、この永久磁石２１を挟んで両端側にそれぞれ設けられる一対の磁極部材としてのポールピース３１，４１と、から構成されている。
ここで、軸７１は非磁性材で形成されており、磁性流体シール１１と軸７１表面との間は、ＯリングＤ３，Ｄ４によってシールされている。
一方、ハウジング６１は磁性材で形成されており、磁性流体シール１０とハウジング６１内周表面との間は、磁性流体Ｊによってシールされている。
すなわち、ポールピース３１には複数の突起３１ａ，３１ｂ，３１ｃが形成されており、また、ポールピース４１にも複数の突起４１ａ，４１ｂ，４１ｃが形成されており、これらの突起先端とハウジング６１内周表面との間の隙間に、磁力によって磁性流体Ｊを保持することによりシールするものである。
ここで、本実施の形態では、各ポールピース３１，４１に備えられた突起のうち、永久磁石２１に最も近い側の突起、すなわち、突起３１ａおよび突起４１ａは、それぞれ永久磁石２１側に侵入した位置で、ハウジング６１内周表面との間で磁性流体Ｊを保持するように構成されている。
従って、これら突起３１ａと突起４１ａとの間隔は、永久磁石２１の軸方向の長さよりも短く（例えば、永久磁石の長さ５ｍｍに対して、突起間隔０．１〜２ｍｍ、好ましくは０．１〜１ｍｍ程度）、永久磁石２１の長さ分だけ隔てた位置よりも内側の磁場強度が高くなる位置で、磁性流体Ｊを保持することになる。これにより、永久磁石２１側への磁性流体Ｊの流出を低減させることができる。
また、本実施の形態では、突起３１ａと突起４１ａの側面にそれぞれ密着して、永久磁石２１とハウジング６１内周表面との間を遮断する遮断シールとしての弾性シール（例えば、Ｏリング等）５１を設ける構成としている。
このように構成することによって、磁性流体Ｊが永久磁石２１に向かって流出してしまうことを防止できる。
以上のように、本実施の形態においても、上述の第１の実施の形態の場合と同様の効果を得ることができた。
（第３の実施の形態）
図３には、第３の実施の形態が示されている。上記第１の実施の形態では、ポールピースに形成された保持突起のうち、永久磁石から最も遠い側の保持突起はポールピース本体の端面の延長線上に設けられる構成について説明したが、本実施の形態では、永久磁石から最も遠い側の保持突起をポールピース本体の軸方向の端面よりも内側に設けて、軸との間に所定の空間を有するようにした場合の構成を示している。
その他の構成および作用については第１の実施の形態と同一なので、同一の構成部分については同一の符号を付して説明する。
第３図は第３の実施の形態に係る磁性流体シールの使用状態を示す概略構成図である。
本実施の形態におけるポールピース３２にも、複数の突起３２ａ，３２ｂ，３２ｃが形成されており、また、ポールピース４２にも複数の突起４２ａ，４２ｂ，４２ｃが形成されている。
ここで、突起３２ａ，３２ｂおよび突起４２ａ，４２ｂの構成等については、上述した第１の実施の形態における、突起３０ａ，３０ｂおよび突起４０ａ，４０ｂの構成等と同様であるので、その説明は省略する。
本実施の形態では、永久磁石２０から最も遠い側に設けられる、突起３２ｃおよび突起４２ｃの構成等のみが異なるので、これについて詳しく説明する。
図に示すように、突起３２ｃおよび突起４２ｃは、各ポールピース３２，４２の本体部の軸方向端面（永久磁石２０から遠い側の端面）よりも内側（永久磁石２０側）に入った位置に設けられている。
そして、これら突起３２ｃおよび突起４２ｃよりも外側（永久磁石２０から遠い側）であって、軸７０の表面と対向する壁面Ｋ１，Ｋ２との間隔は、これらの突起先端から軸表面までの距離よりも大きく、かつ、これらの突起の高さよりも小さく設定されている。
以上のように構成することによって、軸７０の表面及びそれと対向する壁面Ｋ１，Ｋ２に囲まれた狭い空間の毛管力によって磁性流体が保持され、流出量を低減させることができる。
また、本実施の形態では、上記壁面Ｋ１，Ｋ２は外側から内側に向かうにつれて、軸表面との間隔が徐々に狭くなるようなテーパ面状に形成されている。
さらに本実施の形態においては、この壁面Ｋ１及びＫ２のテーパ角度は、水平面に対してハウジング方向へ５度乃至３０度の間で傾斜させた傾斜角度を以て形成されている。
これにより、軸７０の表面及びそれと対向する壁面Ｋ１，Ｋ２に囲まれた狭い空間の突起方向への毛管力が強くなり、磁性流体の流出量をより一層低減させることができる。
以上のように本実施の形態の構成によって、永久磁石側だけでなく、永久磁石から離れた側の保持突起により保持した磁性流体の流出を低減させることが可能となり、より一層シール性の向上を図ることが可能となる。
従って、軸とハウジングとの往復動の速度の大きな装置に対しても対応が可能となる。なお、本実施の形態に基づく構成によって、上記第１の実施の形態に基づく構成のものと比較して、シール耐圧が約２倍となった。
（第４の実施の形態）
第４図には、第４の実施の形態が示されている。上記第２の実施の形態では、ポールピースに形成された保持突起のうち、永久磁石から最も遠い側の保持突起はポールピース本体の端面の延長線上に設けられる構成について説明したが、本実施の形態では、永久磁石から最も遠い側の保持突起をポールピース本体の軸方向の端面よりも内側に設けて、軸との間に所定の空間を有するようにした場合の構成を示している。
その他の構成および作用については第２の実施の形態と同一なので、同一の構成部分については同一の符号を付して説明する。
第４図は第４の実施の形態に係る磁性流体シールの使用状態を示す概略構成図である。本実施の形態におけるポールピース３３にも、複数の突起３３ａ，３３ｂ，３３ｃが形成されており、また、ポールピース４３にも複数の突起４３ａ，４３ｂ，４３ｃが形成されている。
ここで、突起３３ａ，３３ｂおよび突起４３ａ，４３ｂの構成等については、上述した第１の実施の形態における、突起３１ａ，３１ｂおよび突起４１ａ，４１ｂの構成等と同様であるので、その説明は省略する。
本実施の形態では、永久磁石２１から最も遠い側に設けられる、突起３３ｃおよび突起４３ｃの構成等のみが異なるので、これについて詳しく説明する。
図に示すように、突起３３ｃおよび突起４３ｃは、各ポールピース３３，４３の本体部の軸方向端面（永久磁石２１から遠い側の端面）よりも内側（永久磁石２１側）に入った位置に設けられている。
そして、これら突起３３ｃおよび突起４３ｃよりも外側（永久磁石２１から遠い側）であって、ハウジング６１の内周表面と対向する壁面Ｋ３，Ｋ４との間隔は、これらの突起先端からハウジング内周表面までの距離よりも大きく、かつ、これらの突起の高さよりも小さく設定されている。
以上のように構成することによって、ハウジング６１の内周表面及びそれと対向する壁面Ｋ３，Ｋ４に囲まれた狭い空間の毛管力によって磁性流体が保持され、流出量を低減させることができる。
また、本実施の形態では、上記壁面Ｋ３，Ｋ４は外側から内側に向かうにつれて、ハウジング６１の内周表面との間隔が徐々に狭くなるようなテーパ面状に形成されている。
さらに本実施の形態においては、この壁面Ｋ３及びＫ４のテーパ角度は、水平面に対して軸方向に５度乃至３０度の間で傾斜させた傾斜角度を以て形成されている。
これにより、ハウジング６１の内周表面及びそれと対向する壁面Ｋ３，Ｋ４に囲まれた狭い空間の突起方向への毛管力が強くなり、磁性流体の流出量をより一層低減させることができる。
以上のように本実施の形態の構成によって、永久磁石側だけでなく、永久磁石から離れた側の保持突起により保持した磁性流体の流出を低減させることが可能となり、より一層シール性の向上を図ることが可能となる。
従って、軸とハウジングとの往復動の速度の大きな装置に対しても対応が可能となる。なお、本実施の形態に基づく構成によって、上記第２の実施の形態に基づく構成のものと比較して、シール耐圧が約２倍となった。
以上説明したように、本発明は、磁力発生部材に最も近い側の保持突起同士の間隔を、磁力発生部材の軸方向の長さよりも短くすることによって、磁力発生部材を隔てた位置よりも内側の磁場強度が高い位置で、磁性流体を保持するので、磁性流体の流出を抑制でき、品質性に優れる。
磁力発生部材に最も近い側の保持突起間に弾性シールを配置して、磁力発生部材と軸表面との間を遮断すれば、磁力発生部材側への磁性流体の流出を防止して、より一層シール性が向上する。
磁力発生部材から最も遠い側の保持突起を、磁極部材本体部の軸方向端面よりも内側に入った位置に設けて、この保持突起よりも、外側であって、軸表面と対向する壁面と軸表面との間隔を、保持突起先端から軸表面までの距離よりも大きく、かつ保持突起の高さよりも小さくすれば、この保持突起によって保持する磁性流体が、外部へ流出してしまうことを抑制でき、より一層シール性が向上する。
軸表面と対向する壁面を、外側から内側に向かうにつれて、軸表面との間隔が徐々に狭くなるようなテーパ面とすれば、磁性流体が、外部へ流出してしまうことを更に抑制できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、第１の実施の形態に係る磁性流体シールの使用状態を示す概略構成図であり、第２図は、第２の実施の形態に係る磁性流体シールの使用状態を示す概略構成図であり、第３図は、第３の実施の形態に係る磁性流体シールの使用状態を示す概略構成図であり、第４図は、第４の実施の形態に係る磁性流体シールの使用状態を示す概略構成図であり、第５図は、従来技術に係る磁性流体シールの使用状態を示す概略構成図であり、第６図は、従来技術に係る磁性流体シールの使用状態を示す概略構成図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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