(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）内部に被検物が入れられ、被検物側の密閉空間容積を有する被検物側容器と、
（ｂ）内部に基準物が入れられ、前記被検物側の密閉空間容積よりも大きい基準物側の密閉空間容積を有する基準物側容器と、
（ｃ）前記被検物内および前記基準物内に流体圧をそれぞれ与える圧力源と、
（ｄ）前記被検物側容器と前記基準物側容器との間の圧力差を検出する差圧センサと、
（ｅ）この差圧センサにて検出した圧力差に基づいて、前記被検物の漏れ量を検出する漏れ量検出手段とを備え、
前記被検物側容器は、前記被検物側容器の外側と、前記被検物側容器の内側で且つ前記被検物の外側とを密封し、
前記基準物側容器は、前記基準物側容器の外側と、前記基準物側容器の内側で且つ前記基準物の外側とを密封していることを特徴とする漏れ量計測装置。
【請求項２】
（ａ）内部に被検物が入れられ、被検物側の密閉空間容積を有する被検物側容器と、
（ｂ）内部に基準物が入れられ、前記被検物側の密閉空間容積よりも大きい基準物側の密閉空間容積を有する基準物側容器と、
（ｃ）前記被検物内および前記基準物内に流体圧をそれぞれ与える圧力源と、
（ｄ）前記被検物側容器と前記基準物側容器との間の圧力差を検出する差圧センサと、
（ｅ）この差圧センサにて検出した圧力差に基づいて、前記被検物の漏れが有るか無いかを判定する漏れ判定手段と、
（ｆ）この漏れ判定手段にて前記被検物の漏れが有ると判定した際に、前記差圧センサにて検出した圧力差に基づいて、前記被検物の漏れ量を計測する漏れ量計測手段とを備え、
前記被検物側容器は、前記被検物側容器の外側と、前記被検物側容器の内側で且つ前記被検物の外側とを密封し、
前記基準物側容器は、前記基準物側容器の外側と、前記基準物側容器の内側で且つ前記基準物の外側とを密封していることを特徴とする漏れ量計測装置。
【請求項３】
（ａ）内部に被検物が入れられ、被検物側の密閉空間容積を有する被検物側容器と、
（ｂ）内部に基準物が入れられ、前記被検物側の密閉空間容積よりも大きい基準物側の密閉空間容積を有する基準物側容器と、
（ｃ）前記被検物内および前記基準物内に流体圧をそれぞれ与える圧力源と、
（ｄ）前記被検物側容器と前記基準物側容器との間の圧力差を検出する差圧センサと、
（ｅ）この差圧センサにて検出した圧力差に基づいて、前記被検物の漏れの有無を検査する漏れ検査手段とを備え、
前記被検物側容器は、前記被検物側容器の外側と、前記被検物側容器の内側で且つ前記被検物の外側とを密封し、
前記基準物側容器は、前記基準物側容器の外側と、前記基準物側容器の内側で且つ前記基準物の外側とを密封していることを特徴とする漏れ検査装置。
【請求項４】
（ａ）内部に被検物が入れられ、被検物側の密閉空間容積を有する被検物側容器と、
（ｂ）前記被検物側の密閉空間容積よりも大きい基準物側の密閉空間容積を有する基準物側容器と、
（ｃ）前記被検物内に流体圧をそれぞれ与える圧力源と、
（ｄ）前記被検物側容器と前記基準物側容器との間の圧力差を検出する差圧センサと、
（ｅ）この差圧センサにて検出した圧力差に基づいて、前記被検物の漏れ量を検出する漏れ量検出手段とを備え、
前記被検物側容器は、前記被検物側容器の外側と、前記被検物側容器の内側で且つ前記被検物の外側とを密封し、
前記基準物側容器は、前記基準物側容器の外側と、前記基準物側容器の内側とを密封していることを特徴とする漏れ量計測装置。
【請求項５】
（ａ）内部に被検物が入れられ、被検物側の密閉空間容積を有する被検物側容器と、
（ｂ）前記被検物側の密閉空間容積よりも大きい基準物側の密閉空間容積を有する基準物側容器と、
（ｃ）前記被検物内に流体圧をそれぞれ与える圧力源と、
（ｄ）前記被検物側容器と前記基準物側容器との間の圧力差を検出する差圧センサと、
（ｅ）この差圧センサにて検出した圧力差に基づいて、前記被検物の漏れが有るか無いかを判定する漏れ判定手段と、
（ｆ）この漏れ判定手段にて前記被検物の漏れが有ると判定した際に、前記差圧センサにて検出した圧力差に基づいて、前記被検物の漏れ量を計測する漏れ量計測手段とを備え、
前記被検物側容器は、前記被検物側容器の外側と、前記被検物側容器の内側で且つ前記被検物の外側とを密封し、
前記基準物側容器は、前記基準物側容器の外側と、前記基準物側容器の内側とを密封していることを特徴とする漏れ量計測装置。
【請求項６】
（ａ）内部に被検物が入れられ、被検物側の密閉空間容積を有する被検物側容器と、
（ｂ）前記被検物側の密閉空間容積よりも大きい基準物側の密閉空間容積を有する基準物側容器と、
（ｃ）前記被検物内に流体圧をそれぞれ与える圧力源と、
（ｄ）前記被検物側容器と前記基準物側容器との間の圧力差を検出する差圧センサと、
（ｅ）この差圧センサにて検出した圧力差に基づいて、前記被検物の漏れの有無を検査する漏れ検査手段とを備え、
前記被検物側容器は、前記被検物側容器の外側と、前記被検物側容器の内側で且つ前記被検物の外側とを密封し、
前記基準物側容器は、前記基準物側容器の外側と、前記基準物側容器の内側とを密封していることを特徴とする漏れ検査装置。
【請求項７】
（ａ）内部に被検物の一部が入れられ、被検物側の密閉空間容積を有する被検物側容器と、
（ｂ）内部に基準物の一部が入れられ、前記被検物側の密閉空間容積よりも大きい基準物側の密閉空間容積を有する基準物側容器と、
（ｃ）前記被検物内および前記基準物内に流体圧をそれぞれ与える圧力源と、
（ｄ）前記被検物側容器と前記基準物側容器との間の圧力差を検出する差圧センサと、
（ｅ）この差圧センサにて検出した圧力差に基づいて、前記被検物の漏れ量を検出する漏れ量検出手段とを備え、
前記被検物側容器は、前記被検物側容器の外側と、前記被検物側容器の内側で且つ前記被検物の一部の外側とを密封し、
前記基準物側容器は、前記基準物側容器の外側と、前記基準物側容器の内側で且つ前記基準物の一部の外側とを密封することを特徴とする漏れ量計測装置。
【請求項８】
（ａ）内部に被検物の一部が入れられ、被検物側の密閉空間容積を有する被検物側容器と、
（ｂ）内部に基準物の一部が入れられ、前記被検物側の密閉空間容積よりも大きい基準物側の密閉空間容積を有する基準物側容器と、
（ｃ）前記被検物内および前記基準物内に流体圧をそれぞれ与える圧力源と、
（ｄ）前記被検物側容器と前記基準物側容器との間の圧力差を検出する差圧センサと、
（ｅ）この差圧センサにて検出した圧力差に基づいて、前記被検物の漏れが有るか無いかを判定する漏れ判定手段と、
（ｆ）この漏れ判定手段にて前記被検物の漏れが有ると判定した際に、前記差圧センサにて検出した圧力差に基づいて、前記被検物の漏れ量を計測する漏れ量計測手段とを備え、
前記被検物側容器は、前記被検物側容器の外側と、前記被検物側容器の内側で且つ前記被検物の一部の外側とを密封し、
前記基準物側容器は、前記基準物側容器の外側と、前記基準物側容器の内側で且つ前記基準物の一部の外側とを密封することを特徴とする漏れ量計測装置。
【請求項９】
（ａ）内部に被検物の一部が入れられ、被検物側の密閉空間容積を有する被検物側容器と、
（ｂ）内部に基準物の一部が入れられ、前記被検物側の密閉空間容積よりも大きい基準物側の密閉空間容積を有する基準物側容器と、
（ｃ）前記被検物内および前記基準物内に流体圧をそれぞれ与える圧力源と、
（ｄ）前記被検物側容器と前記基準物側容器との間の圧力差を検出する差圧センサと、
（ｅ）この差圧センサにて検出した圧力差に基づいて、前記被検物の漏れの有無を検査する漏れ検査手段とを備え、
前記被検物側容器は、前記被検物側容器の外側と、前記被検物側容器の内側で且つ前記被検物の一部の外側とを密封し、
前記基準物側容器は、前記基準物側容器の外側と、前記基準物側容器の内側で且つ前記基準物の一部の外側とを密封することを特徴とする漏れ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基準物側の密閉空間容積を被検物側の密閉空間容積よりも大きくすることで等価内容積を小さくして、差圧方式での被検物の漏れ量の検出能力を向上させることが可能な漏れ量計測装置および漏れ検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、例えば水晶発振子、リードリレーまたは容器に納められたリレー等の電子部品、腕時計等の密閉容器に漏れが有るか無いかの検査方式としては、差圧方式が広く採用されている。
【０００３】
例えば特開平６−１１４０８号公報においては、一定圧力の空気圧を発生する空圧源と、漏れの有無を検査すべき被検物としてのワークを収容したワークカプセルと、漏れの無い基準物としてのマスタ容器を収納したマスタカプセルと、ワークカプセルとマスタカプセルとの間の圧力差を検出する差圧検出器と、ワークカプセルとマスタカプセルに与えられた圧力をそれぞれ一定量ずつ変化させる容積可変手段とを備えた漏れ検査装置（従来の技術）が提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の漏れ検査装置においては、ワークカプセルとマスタカプセルとに同じ密閉空間容積を用意し、両者の圧力差を測定して漏れ量を測定する装置であるが、高精度な計測を行うためにはワークの外部を取り囲んでワークより漏れ出て来る空気による圧力上昇を測定する方が良い。このとき、ワークやマスタ容器を取り囲んだ密閉空間容積が小さい方が検出能力が向上するが、どんなに小さくしても検出能力を向上できない限界があった。
【０００５】
【発明の目的】
本発明の目的は、差圧方式での被検物の漏れ量の検出能力が等価内容積に反比例することに着目し、基準物側の密閉空間容積を被検物側の密閉空間容積よりも大きくして等価内容積を小さくすることで、差圧方式での被検物の漏れ量の検出能力を向上させることのできる漏れ量計測装置を提供することにある。また、差圧方式での被検物の漏れの有無の検査能力を向上させることのできる漏れ検査装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１ないし請求項３に記載の発明によれば、差圧方式で被検物の漏れ量を検出する時に、通常のように基準物側の密閉空間容積と被検物側の密閉空間容積を等しくするところを、被検物側の密閉空間容積よりも基準物側の密閉空間容積を大きくすることで等価内容積は通常のものよりも小さくなる。これにより、被検物側容器と基準物側容器との間の圧力差に基づいて被検物の漏れ量を検出する検出能力を向上させることができる。また、被検物の漏れの有無を検査する検査能力を向上させることできる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
発明の実施の形態を実施例に基づき図面を参照して説明する。
〔第１実施例の構成〕
図１は本発明の第１実施例を示したもので、図１は漏れ量計測装置・漏れ検査装置の概略構成を示した図である。
【０００８】
本実施例の漏れ量計測装置・漏れ検査装置は、差圧方式での被検物１の漏れの有無および被検物１の漏れ量を計測する装置で、例えばガソリンエンジンへ燃料を噴射する燃料噴射弁（インジェクタ）のレーザ溶接部の溶接不良箇所の漏れ量を計測する漏れ量計測装置であり、しかもそのレーザ溶接部に漏れが有るか無いかを検査（テスト）する漏れ検査装置である。
【０００９】
漏れ量計測装置・漏れ検査装置は、インジェクタ等の被検物（ワーク）１を密に取り囲む被検物側容器２と、被検物と同一の容積を持つ基準物（マスタ）３を密に取り囲む基準物側容器４と、これらの被検物、基準物１、３内を加圧するテスト圧源５と、これらの被検物側、基準物側容器２、４間の圧力差を検出する差圧センサ６と、これらの被検物側、基準物側容器２、４間の圧力差に基づいて被検物１の漏れ量を計測すると共に、被検物１の漏れの有無を検査する漏れ量計測・漏れ検査手段７とを備えている。
【００１０】
被検物１は、例えば燃料噴射弁（インジェクタ）等の容器状部品または箱状部品である。被検物側容器２は、被検物１を収容した際に外部と内部とを確実に密封することが可能な箱体である。
【００１１】
被検物側容器２は、被検物側容器２の内容積、すなわち、被検物側の密閉空間容積（Ｖｗ）が０．３ｃｍ3 以上０．８ｃｍ3 以下で、望ましくは、被検物側の密閉空間容積（Ｖｗ）が０．５ｃｍ3 である。
【００１２】
基準物３は、漏れの無い被検物１と同一の部品、被検物１と同じ容積のブロックで、被検物１と同じ外形形状である必要はない。基準物側容器４は、基準物３を収容した際に外部と内部とを確実に密封することが可能な箱体である。
【００１３】
基準物側容器４は、被検物側の密閉空間容積（Ｖｗ）が０．３ｃｍ3 以上０．８ｃｍ3 以下の場合に、基準物側容器４の内容積、すなわち、基準物側の密閉空間容積（Ｖｍ）がＶｗよりも大きい５．０ｃｍ3 以上１５．０ｃｍ3 以下で、望ましくは、被検物側の密閉空間容積（Ｖｗ）が０．５ｃｍ3 の場合に、基準物側の密閉空間容積（Ｖｍ）がＶｗよりも大きい１０．０ｃｍ3 である。
【００１４】
テスト圧源５は、本発明の圧力源に相当するもので、被検物１および基準物３を所定のテスト圧（例えば４気圧）に加圧する空気圧ポンプまたは空気圧コンプレッサで、被検物側容器２内に空気圧を供給する被検物側圧力配管１１、および基準物側容器４内に空気圧を供給する基準物側圧力配管１２が接続している。このテスト圧源５の駆動方法は、内燃機関により駆動しても、電動モータにより駆動してもどちらでも良い。
【００１５】
差圧センサ６は、例えば静電容量形圧力センサ、差動容量形圧力センサ、静電容量形差圧センサ等が使用され、圧力に比例した変位または歪みを発生する１次変換素子としてのダイヤフラム１３、ベローズ、ブルドン管等と、変位または歪みを電気量に変換する２次変換素子としての歪みゲージ、静電容量センサ１４、差動変圧器等とを備えている。
【００１６】
この差圧センサ６は、センサケース１５の内部空間をダイヤフラム１３により被検物側室（一方側の圧力室）１６と基準側室（他方側の圧力室）１７とに区画されている。被検物側室１６は、被検物側圧力配管１８を介して被検物側容器２に連通している。また、基準側室１７は、基準物側圧力配管１９を介して基準物側容器４に連通している。
【００１７】
漏れ量計測・漏れ検査手段７は、静電容量センサ１４等の２次変換素子から出力される電気量を増幅する増幅器８、この増幅器８で増幅された電気量に基づいて被検物１の漏れの有無の測定および被検物１の漏れ量を計測する判定器（本発明の漏れ判定手段に相当する）９、およびこの判定器９の判定結果が視覚表示または聴覚表示するモニター、ランプ、ブザー等の表示部１０等から構成されている。判定器９は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを有するコンピュータ、あるいは比較器を有する電気回路によって必要な処理を行うと共に、例えば１分間当たり５ｃｃ以上の漏れ量を計測することができる。
【００１８】
〔第１実施例の計測方法〕
次に、本実施例の被検物１の漏れの有無の検査、および被検物１の漏れ量の計測方法を図１に基づいて簡単に説明する。
【００１９】
被検物側容器２内に被検物１を収容して被検物側圧力配管１１、被検物側容器２、被検物側圧力配管１８および差圧センサ６を密封化し、且つ基準物側容器４内に基準物３を収容して基準物側圧力配管１２、基準物側容器４、基準物側圧力配管１９および差圧センサ６を密封化する。
【００２０】
そして、テスト圧源５を作動して、被検物側容器２内の被検物１および基準物側容器４内の基準物３を所定のテスト圧（例えば４気圧）で加圧する。このとき、被検物１に漏れが無ければ、被検物側容器２内の被検物側密閉空間容積（Ｖｗ）の圧力と基準物側容器４内の基準物側密閉空間容積（Ｖｍ）の圧力とが同一となる。
【００２１】
これにより、差圧センサ６内のダイヤフラム１３の両側の被検物側室１６の圧力と基準側室１７の圧力とが同一となり、ダイヤフラム１３が変位しないので、静電容量センサ１４から漏れ無し信号が出力される。そして、漏れ無し信号を入力した判定器９は、被検物１の漏れは無いと判定して、その旨、表示部１０に表示する。
【００２２】
また、被検物１に漏れが有れば、被検物側容器２内の被検物側密閉空間容積（Ｖｗ）の圧力が基準物側容器４内の基準物側密閉空間容積（Ｖｍ）の圧力よりも高くなる。これにより、差圧センサ６内の被検物側室１６の圧力が基準側室１７の圧力よりも高くなるので、ダイヤフラム１３が図示右方向に変位する。
【００２３】
そして、静電容量センサ１４から漏れ有り信号および漏れ量信号が出力される。そして、漏れ有り信号および漏れ量信号を入力した判定器９は、被検物１の漏れ量を測定し、その測定量を表示部１０に表示する。
【００２４】
このとき、被検物１の漏れ量ＶＬ（ｃｍ3 ／ｍｉｎ）と圧力変化をΔＰ（Ｐａ）の関係は、下記の数１の式のように示される。
【数１】
ＶＬ＝（６０・ΔＰ・Ｖｅ）／（Ｐ０・ｔ）
なお、Ｐ０は大気圧（１０１３２５Ｐａ）で、ｔ（ｓｅｃ）は検出時間である。
【００２５】
ここで、Ｖｅ（ｃｍ３）は等価内容積で下記の数２の式で定義される。
【数２】
Ｖｅ＝Ｖｗ＋Ｋ・（１＋Ｖｗ／Ｖｍ）・Ｐ０
【００２６】
なお、Ｖｗは被検物側の密閉空間容積（ｃｍ3 ）で、Ｖｍは基準物側の密閉空間容積（ｃｍ3 ）で、Ｋは差圧センサ６のセンサ係数（０．００００１ｃｍ3 ／Ｐａ）である。
【００２７】
数１の式から被検物１の漏れ量（ＶＬ）の検出能力は等価内容積（Ｖｅ）を小さくすればする程高くなる。しかし、下記の数３の式のように、基準物側の密閉空間容積（Ｖｍ）と被検物側の密閉空間容積（Ｖｗ）とを一致させると、被検物側の密閉空間容積（Ｖｗ）をどんなに小さくしても、数４の式のようになり、等価内容積（Ｖｅ）を２ｃｍ3 より小さくすることはできない。
【００２８】
【数３】
Ｖｗ＝Ｖｍ
【数４】
Ｖｅ＝Ｖｗ＋Ｋ・（１＋Ｖｗ／Ｖｍ）・Ｐ０＝Ｖｗ＋２ｃｍ3 
【００２９】
しかるに、本実施例（本発明）では、通常の場合に数３の式のように（Ｖｗ＝Ｖｍ）とするところを、下記の数５の式のようにすることで、等価内容積（Ｖｅ）が下記の数６の式で示したように小さくして、被検物１の漏れ量の検出能力をアップさせる。そして、本実施例では、被検物側の密閉空間容積（Ｖｗ）が微小な場合に特に効果的である。
【００３０】
【数５】
Ｖｗ＜Ｖｍ
【数６】
Ｖｅ＝Ｖｗ＋Ｋ・（１＋Ｖｗ／Ｖｍ）・Ｐ０≒Ｖｗ＋１ｃｍ3 
【００３１】
〔第１実施例の効果〕
以上のように、本実施例の漏れ量計測装置は、被検物側の密閉空間容積（Ｖｗ）が０．５ｃｍ3 のとき、通常のように、被検物側の密閉空間容積（Ｖｗ）と同一となるように基準物側の密閉空間容積（Ｖｍ）を０．５ｃｍ3 とすると、上記の数２の式から等価内容積（Ｖｅ）は２．５ｃｍ3 となる。
【００３２】
このような通常のものに対して、被検物側の密閉空間容積（Ｖｗ）が０．５ｃｍ3 のとき、基準物側の密閉空間容積（Ｖｍ）を１０ｃｍ3 と被検物側の密閉空間容積（Ｖｗ）よりも大きくしているので、上記の数２の式から等価内容積（Ｖｅ）は１．５５ｃｍ3 と小さくなる。
【００３３】
したがって、基準物側の密閉空間容積（Ｖｍ）を被検物側の密閉空間容積（Ｖｗ）よりも大きくすることで、等価内容積（Ｖｅ）を小さくして、差圧方式での被検物１の漏れ量の検出能力および漏れの有無の検査能力を、通常のものと比較して６０％程度も向上させることができる。
【００３４】
なお、基準物側の密閉空間容積（Ｖｍ）が被検物側の密閉空間容積（Ｖｗ）よりも大きければ大きい程、等価内容積が小さくなるので、差圧方式での被検物１の漏れ量の検出能力および漏れの有無の検査能力を更に向上することができる。
【００３５】
〔第２実施例〕
図２は本発明の第２実施例を示したもので、図２は漏れ量計測装置・漏れ検査装置の概略構成を示した図である。
【００３６】
本実施例では、第１実施例のように基準物側容器４内に基準物３を入れず、テスト圧源５によって被検物側容器２内の被検物１のみを所定のテスト圧（例えば４気圧）で加圧している。
【００３７】
本実施例では、第１実施例と同様にして、差圧センサ６にて検出した被検物側、基準物側容器２、４間の圧力差に基づいて被検物１の漏れの有無を検査すると共に、被検物１の漏れ量を計測するようにしている。これにより、第１実施例と同様にして、差圧方式での被検物１の漏れ量の検出能力および漏れの有無の検査能力を更に向上することができる。
【００３８】
〔第３実施例〕
図３は本発明の第３実施例を示したもので、図３は漏れ量計測装置・漏れ検査装置の概略構成を示した図である。
【００３９】
本実施例では、被検物側容器２内に被検物１を完全に入れずに、被検物１の一部を被検物側容器２内に入れて被検物１の検査箇所のみを気密的に囲っている。また、基準物側容器４内に基準物３を完全に入れずに、基準物３の一部を基準物側容器４内に入れて被検物１の検査箇所に対応した箇所のみを気密的に囲っている。そして、テスト圧源５は、被検物１内および基準物３内の両方を所定のテスト圧（例えば４気圧）で加圧している。
【００４０】
本実施例では、第１実施例と同様にして、差圧センサ６にて検出した被検物側、基準物側容器２、４間の圧力差に基づいて被検物１の漏れの有無を検査すると共に、被検物１の漏れ量を計測するようにしている。これにより、第１実施例と同様にして、差圧方式での被検物１の漏れ量の検出能力および漏れの有無の検査能力を更に向上することができる。
【００４１】
〔変形例〕
本実施例では、圧力源として空気圧を発生するテスト圧源５を用いたが、圧力源として水圧等の流体圧を発生する流体圧ポンプを用いても良い。
【００４２】
ここで、被検物側の密閉空間容積（Ｖｗ）は、被検物側圧力配管１１、被検物側圧力配管１８も被検物側容器２の一部として考え、基準物側の密閉空間容積（Ｖｍ）は、基準物側圧力配管１２、基準物側圧力配管１９も基準物側容器４の一部として考えて、配管を含めた基準物側の密閉空間容積（Ｖｍ）を配管を含めた被検物側の密閉空間容積（Ｖｗ）よりも大きくすることで等価内容積（Ｖｅ）を小さくして被検物１の漏れ量の検出能力を向上させるようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】漏れ量計測装置・漏れ検査装置の概略構成を示した構成図である（第１実施例）。
【図２】漏れ量計測装置・漏れ検査装置の概略構成を示した構成図である（第２実施例）。
【図３】漏れ量計測装置・漏れ検査装置の概略構成を示した構成図である（第３実施例）。
【符号の説明】
１  被検物
２  被検物側容器
３  基準物
４  基準物側容器
５  テスト圧源（圧力源）
６  差圧センサ
７  漏れ量計測・漏れ検査手段
８  増幅器
９  判定器（漏れ判定手段）
１０  表示部
１３  ダイヤフラム
１４  静電容量センサ
【図１】
0004061779.tif 000002
【図２】
0004061779.tif 000003
【図３】
0004061779.tif 000004