(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のワークを搭載するための搭載ステージと、前記搭載ステージ上の前記ワークに所定波長の紫外線を含む光線を照射するための紫外線光源と、前記搭載ステージに前記ワークを搬送するワーク搬送機構と、前記ワーク搬送機構を前記搭載ステージに沿って移動させる移動機構とを有する紫外線照射装置に使用される紫外線照度測定機構であって、
前記紫外線照度測定機構は、前記ワーク搬送機構に隣接して設けられ、
前記移動機構を前記ワーク搬送機構と共有するとともに、
前記紫外線光源から照射される紫外線の照度を測定するセンサ部と、
前記センサ部を前記搭載ステージ上の測定箇所に水平方向突出量を制御自在な水平方向移動手段により保持するセンサ保持手段とを有し、
前記センサ保持手段は、前記移動機構により前記搭載ステージに沿って移動することを特徴とする紫外線照度測定機構。
【請求項２】
前記センサ保持手段は、前記センサ部を前記搭載ステージ上から照射領域外へ水平移動させる前記水平方向移動手段を有する請求項１に記載の紫外線照度測定機構。
【請求項３】
前記水平方向移動手段は、前記センサ部を保持するセンサ取付板と、前記センサ取付板の移動を規定するガイドレールと、前記センサ取付板を前記ガイドレールに沿って水平方向に移動させる水平方向駆動部と、前記センサ取付板の水平移動時の撓みを軽減するためのガイド手段を有する請求項２に記載の紫外線照度測定機構。
【請求項４】
前記センサ保持手段は、前記センサ部を上下方向に移動させる垂直方向移動手段を有する請求項１から３のいずれか一項に記載の紫外線照度測定機構。
【請求項５】
前記移動機構は、前記ワーク搬送機構および前記センサ保持手段を搭載した搬送テーブルと、前記搬送テーブルの移動方向を規定する搬送ガイド手段と、前記搬送テーブルを前記搬送ガイド手段に沿って移動させる駆動手段とを有する請求項１から４のいずれか一項に記載の紫外線照度測定機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、紫外線照射装置においてワークに照射される紫外線の照度を測定する紫外線照度測定機構に係わり、特に機械的動作により測定位置を任意に設定することができる紫外線照度測定機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ウエハーや回路基板などのワークに紫外線を照射する場合、紫外線照射による効果を安定して得るために、照射紫外線の照度を常に一定に保たなければならない。そこでワークに紫外線を照射するための紫外線照射装置に紫外線照度測定機構を取付けて照度を確認する方法が採られている。ここで紫外線照射装置としては、半導体製造工程における洗浄工程や、レジストパターンニングのための露光工程、あるいはワークに帯電した静電気を除去する静電気除去工程などが挙げられる。
【０００３】
その一例として、ウエハーの静電気を除去する工程に用いられる紫外線照射装置について説明する。
静電気除去工程用の紫外線照射装置は、ウエハーを搭載する搭載ステージと、搭載ステージにウエハーを搭載するためのロボットアームと、ウエハーに所定波長の紫外線を含む光線を照射するための紫外線光源からなる。なお、ウエハーを複数枚処理する紫外線照射装置の場合は、さらにロボットアームを搭載ステージに沿って移動させる移動機構を有している。
【０００４】
この紫外線照射装置の照度測定は別体の紫外線照度計を使用して装置内の照度測定を行う。紫外線照度計はセンサ部と、表示部などを備えた本体部と、それらをつなぐケーブルからなる。
【０００５】
かかる紫外線照度計を用いて、照度測定は以下のように行われる。
作業者が紫外線照射装置の搭載ステージ上の任意の位置にセンサ部を置く。次に紫外線を照射し、本体部に表示された照度値を確認した後、測定を終了し、センサ部を人手で取り出す。このようにして測定した測定結果をもって、並列して配置されている複数のウエハー全体の紫外線照度としていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、かかる構成では以下のような問題点があった。
人手を介してコード付きのセンサ部を装置に挿入するため、紫外線照射装置内の汚染や、装置外への紫外線の漏洩の問題が生じる。
さらに操作の煩雑さから、測定は１、２ヵ所しか行われないことが多く、その測定点の位置精度も低い。つまり、紫外線照度測定を各ウエハー毎に行うことも、一枚のウエハーに照射される紫外線の照度分布を測定することも難しく、さらに、測定点の再現性も悪い。
【０００７】
これらの測定していない位置に、測定点よりも照度の小さい場所があると、紫外線による適切な処理ができず、例えば、静電気除去工程においては、静電気が残留し、その残留静電気が半導体回路の破壊や動作不良を引き起こすという問題点があった。
【０００８】
本発明が解決しようとする課題は、複数のワークに紫外線を照射する紫外線照射装置に使用する場合に、紫外線照度不足による不適切な処理をなくし、かつ、簡単な構成で紫外線照度測定の測定位置を機械的な動作により、任意に設定することができる紫外線照度測定機構を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明では、複数のワークを搭載するための搭載ステージと、搭載ステージ上のワークに所定波長の紫外線を含む光線を照射するための紫外線光源と、搭載ステージにワークを搬送するワーク搬送機構と、ワーク搬送機構を搭載ステージに沿って移動させる移動機構とを有する紫外線照射装置に使用される紫外線照度測定機構であって、前記紫外線照度測定機構は、前記ワーク搬送機構に隣接して設けられ、前記移動機構を前記ワーク搬送機構と共有するとともに、前記紫外線光源から照射される紫外線の照度を測定するセンサ部と、前記センサ部を前記搭載ステージ上の測定箇所に水平方向突出量を制御自在な水平方向移動手段により保持するセンサ保持手段とを有し、前記センサ保持手段は、前記移動機構により前記搭載ステージに沿って移動する構成とした。本発明によれば、紫外線照射装置内を汚染せずに紫外線照度測定が行え、複数のワークを処理する場合も、機械的な動作により、容易に紫外線の照度測定ができるとともに、紫外線照度測定機構は隣接して設けられるワーク搬送機構と移動機構を共有する構成としたので、別々に移動機構を有する場合に比べ装置の構成が簡略化できる。
【００１０】
また、センサ保持手段は、センサ部を搭載ステージ上から照射領域外へ水平移動させる水平方向移動手段を有する構成とした。これにより、紫外線の照度の多点測定が容易にできる。
【００１１】
さらに、水平方向移動手段は、センサ部を保持するセンサ取付板と、センサ取付板の移動を規定するガイドレールと、センサ取付板をガイドレールに沿って水平方向に移動させる水平方向駆動部と、センサ取付板の水平移動時の撓みを軽減するためのガイド手段を有する構成とした。これにより、紫外線の照度の多点測定が精度良く行える。
【００１２】
さらに、センサ保持手段は、センサ部を上下方向に移動させる垂直方向移動手段を有する構成とした。これにより、紫外線の照度が容易に測定でき、さらに、ワークの処理位置が高さ方向に多段となった場合にも対応できる。
【００１３】
さらに、移動機構は、ワーク搬送機構およびセンサ保持手段を搭載した搬送テーブルと、搬送テーブルの移動方向を規定する搬送ガイド手段と、搬送テーブルを搬送ガイド手段に沿って移動させる駆動手段とを有する構成とした。これにより、一つの駆動手段でワーク搬送機構とセンサ保持手段を搬送できるので構成が簡単で、かつ、紫外線の照度の多点測定が容易にできる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を、図面に基づいて説明する。図１は本発明に記載の紫外線照度測定機構２を備えた紫外線照射装置１を上から見た断面図である。図２は図１に示した紫外線照射装置１のＡ−Ａ線断面図で、図３は図１に示した紫外線照射装置１のＢ−Ｂ線断面図である。
【００１５】
図１において、紫外線照射装置１は、複数のウエハー（ワーク）に紫外線照射可能な紫外線照射ユニット１１と、紫外線照度測定機構２と、ウエハーを搬送するロボットアーム３ａを備えたウエハー搬送機構（ワーク搬送機構）３と、紫外線照度測定機構２およびウエハー搬送機構３を紫外線照射ユニット１１に沿って移動させる移動機構１６からなる。なお、１０は紫外線照射装置１の制御用コンピュータで、紫外線照度測定機構２の制御や照度測定結果の表示もできる。さらにケーブル１５（図２および３参照）は後に詳細を説明するセンサ部２０のための測定ケーブルやセンサ部２０の移動を制御する制御信号を送るためのケーブルである。
【００１６】
紫外線照射ユニット１１は、図１および図２に示すように、搭載ステージ８と、この搭載ステージ８上でウエハーを配置するためのプレート８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅと、ウエハーに紫外線を照射するための紫外線光源９と、ウエハーおよびセンサ部２０を導入するための開口部１２および開口部１２を閉鎖するためのゲートシャッター１３からなる。プレート８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅは図示しない真空吸着部を有し、ウエハーを真空吸着すると共に、ウエハーの有無を真空度で検出する。またゲートシャッター１３はウエハー搬送時および照度測定時は開いているが、静電気除去作業中は開口部１２全体を実質的に閉鎖し、紫外線照射ユニット１１からの紫外線の漏洩を防止することができるように構成されている。なお、紫外線光源９は、所定の波長の紫外線を含む光線を照射するもので、例としてはキセノンランプ、水銀ランプなどがあげられる。
【００１７】
移動機構１６は、図１および図３に示すように、搬送用ベース５と、搬送用ベース５上に設けられ、ウエハー搬送機構３およびセンサ保持手段２１を搭載した搬送テーブル４と、搬送用ベース５上で紫外線照射ユニット１１と平行に設けられ、搬送テーブル４の移動方向を規定する搬送ガイド手段である凸型ガイドレール７ａと、搬送テーブル４を凸型ガイドレール７ａに沿って移動させる駆動手段であるボールネジ６およびＸ軸駆動モータ１４とからなる。さらに搬送テーブル４は凸型ガイドレール７ａと嵌合する凹型ガイド７ｂを備えている。ボールネジ６は、搬送用ベース５の長手方向中央に凸型ガイドレール７ａと平行に配置されており、Ｘ軸駆動モータ１４の回転運動をボールネジ６により直線運動に変換することで、搬送テーブル４を凸型ガイドレール７ａに沿って移動させる。これにより、搬送テーブル４は紫外線照射ユニット１１に沿って移動することができる。
【００１８】
紫外線照度測定機構２およびウエハー搬送機構３は、搬送テーブル４に搭載されており、搬送テーブル４の移動に伴い、移動機構１６により図１および図３の実線で示す初期設定位置から破線で示す位置まで移動する。
【００１９】
以降、ウエハー搬送機構３および紫外線照度測定機構２の移動方向は、搬送用ベ−ス５上の移動をＸ軸上の移動、初期設定位置と搭載ステージ８との間の移動を水平方向の移動、紫外線照射装置１の上下方向の移動を垂直方向の移動とする。
【００２０】
次に紫外線照度測定機構２の拡大図を図４（ａ）および（ｂ）に示す。紫外線照度測定機構２は、センサ部２０と、このセンサ部２０を保持するセンサ保持手段２１からなる。さらにセンサ保持手段２１は、センサ部２０を水平方向に移動させる水平方向移動手段２２と、これに連結されてセンサ部２０および水平方向移動手段２２を上下移動させる垂直方向移動手段３２からなる。なお、垂直方向移動手段３２は、その下端部が搬送テーブル４に固定されており、搬送テーブル４の移動に伴って、搬送用ベース５上を移動することができる。
【００２１】
水平方向移動手段２２は、図４（ａ）に示すように、センサ部２０を保持するセンサ取付板２９と、このセンサ取付板２９を水平方向に移動させる水平方向駆動部２２ａと、第一のハウジング２３内に設けられてセンサ取付板２９の移動を規定する凸型ガイドレール２７ｂと、センサ取付板２９の水平移動時の撓みを軽減するために第一のハウジング２３に設けられたガイド手段であるガイドベアリング２８からなる。
【００２２】
水平方向駆動部２２ａは、第一のハウジング２３外に設けられた水平方向駆動モータ２４およびプーリ２５と、プーリ２５の回転運動を直線運動に変換するボールネジ２６と、ボールネジ２６の直線運動部２６ｂに連結された凹型ガイド２７ａからなる。ここで、ボールネジ２６の回転軸２６ａは、第一のハウジング２３にベアリング３０で回転可能に支持されると共に、プーリ２５に連結されている。また直線運動部２６ｂは、センサ取付板２９に連結されており、凹型ガイド２７ａを凸型ガイドレール２７ｂに沿って移動させることで、センサ部２０およびセンサ取付板２９を図４（ａ）の実線の位置から、破線の位置まで移動させることができる。
【００２３】
なお、センサ取付板２９は、ボールネジ２６の直線運動部２６ｂだけでなく、ガイドベアリング２８にも支持されるので、直線運動部２６ｂのみで支持する場合に比べて、センサ取付板２９の突出時の撓みを軽減でき、紫外線照度の測定点の位置精度および位置の再現性が向上するため、照度測定が精度良く行える。
【００２４】
また、センサ部２０およびセンサ取付板２９の初期状態は第一のハウジング２３内に収納された状態であり、センサ保持手段２１がＸ軸上を移動する時はこの状態で移動することが好ましいが、センサ取付板２９を突出したままで移動してもよい。
【００２５】
垂直方向移動手段３２は、図４（ｂ）に示すように、第二のハウジング３３と、センサ部２０を上下に移動させるためのシリンダ３４と、シリンダ３４の移動を規制するストッパ３６および連結部材３７からなる。ここで連結部材３７により水平方向移動手段２２と垂直方向移動手段３２は連結されている。
【００２６】
センサ部２０を水平方向に移動させる場合は、制御用コンピュータ１０からの移動指令信号をケーブル１５を通じて水平方向駆動モータ２４に送る。信号を受けて水平方向駆動モータ２４が回転し、プーリ２５を介して、ボールネジ２６の回転軸２６ａを回転させる。ボールネジ２６は回転運動を直線運動に変換し、直線運動部２６ｂが凸型ガイドレール２７ｂに沿って直線運動する。これに伴い、センサ取付板２９は水平方向に図４（ａ）の破線で示す位置まで突出することができる。ここで、水平方向移動手段２２は水平方向駆動モータ２４の回転量を制御することでセンサ取付板２９の突出量を制御できる構成となっている。従って、センサ部２０は水平方向において任意の位置で照度測定ができる。
【００２７】
センサ部２０を垂直方向に移動させる場合は、制御用コンピュータ１０から上下移動を指示する信号を垂直方向移動手段３２に送り、シリンダ３４を作動させる。シリンダ３４は連結部材３７および水平方向移動手段２２を所定の高さ（図２参照）まで上昇させる。
【００２８】
なお、紫外線照度測定機構２は搬送テーブル４に固定されており、搬送用ベース５上を移動可能であるため、搭載ステージ８に並列に配置された各ウエハーの紫外線照度を測定できる。ここで、紫外線照度測定機構２は移動機構１６をウエハー搬送機構３と共有しているため、別々に移動機構を有する場合に比べ装置の構成が簡略化できる。
【００２９】
ここで、紫外線照射装置１による静電気除去工程を説明する。ウエハー搬送機構３のロボットアーム３ａは図示しないウエハーカセットからウエハーを取り出し、図１のプレート８ａに配置する。ロボットアーム３ａが次のウエハーをウエハーカセットから取り出した後、プレート８ｂにウエハーを搭載するために搬送テーブル４が凸型ガイドレール７ａに沿って所定距離移動する。所定位置に到達したら、ロボットアーム３ａがウエハーをプレート８ｂに配置する。以上の動作を繰返し、ウエハーをプレート８ｅの位置まで配置すると、ウエハーの配置作業が終了する。
【００３０】
ここで、紫外線照射ユニット１１のゲートシャッター１３を閉じた後、紫外線光源９が作動し、各ウエハーに紫外線を所定強度、所定時間照射する。この紫外線照射により、各ウエハー表面上の静電気が除去される。紫外線照射後はゲートシャッター１３を開け、上記の配置作業と逆の手順で静電気除去後のウエハーをウエハーカセットにもどす。
【００３１】
次に、紫外線照度測定作業について図５（ａ）から（ｃ）を参照しながら説明する。プレート８ａからプレート８ｅ（図１）に搭載された各ウエハーの中心に相当する位置での照度を測定する場合は、まず、垂直方向移動手段３２のシリンダ３４を稼働し、連結部材３７および水平方向移動手段２２の位置をＺ１だけ上昇させて、センサ部２０を測定高さにあわせる（図５（ａ））。次に搬送テーブル４を初期設定位置からボールネジ６および凸型ガイドレール７ａに沿ってＸ１だけ移動させ、センサ保持手段２１のＸ軸上の位置をプレート８ａの中心位置にあわせる。さらに、水平方向駆動モータ２４等を稼働し、センサ取付板２９を水平方向に所定量突出させ、センサ部２０をプレート８ａの中心位置に配置する（図５（ｂ））。その後、紫外線を照射し、センサ部２０が紫外線照度を測定する。なお、紫外線の照射は照射時間一定モードと照射エネルギー一定モードのどちらかを選択できる。
【００３２】
測定後は、ボールネジ２６を逆回転させて、センサ部２０をセンサ保持手段２１に収納した後、搬送テーブル４をＸ２だけ移動させ、センサ保持手段２１のＸ軸上の位置をプレート８ｂの中心位置にあわせた後、センサ取付板２９を所定量突出させ、センサ部２０の水平位置をあわせて（図５（ｃ））、照度測定を行う。以降、同様な動作を繰返し、すべてのウエハーの中心位置での紫外線照度を測定する。なお、測定結果はケーブル１５を介して、制御用コンピュータ１０に表示される。
【００３３】
また、一枚のウエハーに照射される紫外線の照度分布を調べる例として、プレート８ａの中心点および、中心点からＸ方向にプラス３０ｍｍの位置ＸＰとマイナス３０ｍｍの位置ＸＭ、中心点からＹ方向にプラス３０ｍｍの位置ＹＰとマイナス３０ｍｍの位置ＹＭの合計５点（図示せず）の紫外線照度を測定する場合を説明する。
まず、前述のように垂直位置および、Ｘ軸位置をプレート８ａの中心点にあわせる。ここで、センサ取付板２９をＹＰ点まで突出させた後、紫外線を照射して、ＹＰの照度測定を行う。次に、センサ取付板２９を３０ｍｍ収納して中心点の測定をした後、さらに３０ｍｍ収納してＹＭ点の測定をする。
【００３４】
ここで、一旦、センサ部２０を収納して、センサ保持手段２１をＸ方向にマイナス３０ｍｍ移動させる。ふたたびセンサ取付板２９を突出させてＸＭ点の測定をする。さらにセンサ部２０を収納した後、センサ保持手段２１をＸ方向にプラス６０ｍｍ移動し、同様にして、ＸＰ点の測定を行う。以上により一枚のウエハーに照射される紫外線の照度分布が調べられる。
【００３５】
なお、照度の測定は静電気除去工程前に行うことが望ましい。また、照度測定中は、紫外線は照射し続けることが好ましいが、一旦、紫外線の照射を中断してもよい。紫外線を照射し続ける場合は、センサ部２０が紫外線照射ユニット１１の外に出るたびにゲートシャッター１３を閉めることが好ましい。これは外部への紫外線の漏洩を最小限にするためである。
【００３６】
このようにして実施された多点測定結果のうち、最低照度を装置全体の照度とすることで静電気除去工程の安定化が図れる。また照度が許容値に満たない場合は、紫外線光源９の投入電力や照射時間を増やしたり、紫外線光源９の交換等の対処を行う。さらに、制御用コンピュータ１０に日々の照度測定結果や紫外線光源９の積算使用時間のデータを蓄積させることで、紫外線光源９の交換時期の推定等の装置メンテナンスが容易になる。
【００３７】
なお、本発明は本実施の形態に限定されるものではない。例えば、実施の形態では紫外線照射ユニット１１を一段構成としたが、これは多段構成としてもよい。具体的には図２の紫外線照射ユニット１１の上に、図示しないもう一つの紫外線照射ユニットを配置する場合である。この場合、紫外線照度測定機構２およびウエハー搬送機構３の垂直上方への移動範囲を延長させ、それぞれセンサ部２０およびウエハーを、図示しないもう一つの紫外線照射ユニット内にも配置可能な構成とすることにより、紫外線照射装置の処理能力を倍増させることができる。
【００３８】
また、紫外線照度測定機構を複数有してもよい。例えば、Ｘ軸上に紫外線照度測定機構を二つ設けて、同一紫外線照射ユニット内において、同時多点測定を行ったり、垂直方向に紫外線照度測定機構を二つ設けて、上下二段の紫外線照射ユニットに対して同時に上段、下段内での照度測定を行う場合であり、照度測定にかかる時間を短縮できる。
【００３９】
また、紫外線光源を反射鏡等と組み合わせて、ウエハーに照射する紫外線の照度の均質化を図ったり、プレートを揺動させる機構を備えて、紫外線照射中にプレートを揺動させ、紫外線照射処理の均一化を図ってもよい。さらに、プレートをなくし、ウエハーをウエハー搭載ステージに直接置く構成としてもよい。
【００４０】
また、ゲートシャッター１３は図３に示すように開口部１２全体を覆う一枚のシャッターとしたが、これは、センサ部２０を挿入する箇所に対応する位置に開口部を有する構成としてもよい。この場合、紫外線の照度測定時にゲートシャッターを開閉しなくても紫外線の漏洩を低減できる。
【００４１】
さらに、Ｘ方向に複数枚に分割され、かつ、それぞれが独立に開閉可能なシャッターで構成してもよい。例えば、プレート８ａからプレート８ｅに対応する５枚のシャッターで構成した場合、センサ部２０がプレート８ａの領域に挿入されている時はプレート８ａに対応するシャッターのみが開き、残りのシャッターは閉じたままにすることができる。このように構成すると照度測定時の紫外線の漏洩がさらに抑制できる。
【００４２】
そして、処理対象をウエハーとしたが、これは回路基板など紫外線照射処理を施す必要のあるものであればよい。さらに、実施例では本発明の紫外線照度測定機構を静電気除去工程用の紫外線照射装置に使用する例を示したが、これは、洗浄工程や露光工程用の紫外線照射装置に使用する紫外線照度測定機構としてもよい。
【００４３】
【発明の効果】
本発明では、紫外線照射装置に使用される紫外線照度測定機構で、紫外線の照度を測定するセンサ部を保持するセンサ保持手段が移動機構により搭載ステージに沿って移動する構成としたので、紫外線照射装置内を汚染せずに紫外線照度測定が行え、複数のワークを処理する場合も、機械的な動作により、容易に紫外線の照度測定ができ、かつ、紫外線照度測定機構は隣接して設けられるワーク搬送機構と移動機構を共有する構成としたので、別々に移動機構を有する場合に比べ装置の構成が簡略化できる。
【００４４】
また、センサ保持手段が、センサ部を搭載ステージ上から照射領域外へ水平移動させる水平方向移動手段を有する構成としたので、紫外線の照度の多点測定が容易にできる。
【００４５】
さらに、水平方向移動手段は、センサ部を保持するセンサ取付板と、センサ取付板の移動を規定するガイドレールに沿って水平方向に移動させる水平方向駆動部と、センサ取付板の水平移動時の撓みを軽減するためのガイド手段を有する構成としたので、紫外線照度の多点測定が精度よくできる。
【００４６】
さらに、センサ保持手段は、センサ部を垂直方向移動手段を有する構成としたので、紫外線の照度が容易に測定でき、さらに、ワークの処理位置が高さ方向に多段となった場合にも対応できる。
【００４７】
さらに、移動機構は、ワーク搬送機構およびセンサ保持手段を搭載した搬送テーブルと、搬送ガイド手段と、搬送テーブルを搬送ガイド手段に沿って移動させる駆動手段とを有する構成としたので、一つの駆動手段でワーク搬送機構とセンサ保持手段を搬送できるので構成が簡単で、かつ、紫外線の照度の多点測定が容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に記載の照度測定機構を有する紫外線照射装置を上からみた断面図である。
【図２】図１の紫外線照射装置のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１の紫外線照射装置のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】本発明に記載に紫外線照度測定機構の詳細を示す図である。
【図５】紫外線照度測定機構による紫外線照度測定作業の概略図である。
【符号の説明】
１  紫外線照射装置
２  紫外線照度測定機構
３  ウエハー搬送機構（ワーク搬送機構）
３ａ  ロボットアーム
４  搬送テーブル
５  搬送用ベース
６  ボールネジ
７ａ  凸型ガイドレール
７ｂ  凹型ガイドレール
８  搭載ステージ
８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅ  プレート
９  紫外線光源
１０  制御用コンピュータ
１１  紫外線照射ユニット
１２  開口部
１３  ゲートシャッター
１４  Ｘ軸駆動モータ
１５  ケーブル
１６  移動機構
２０  センサ部
２１  センサ保持手段
２２  水平方向移動手段
２２ａ  水平方向駆動部
２３  第一のハウジング
２４  水平方向駆動モータ
２５  プーリ
２６  ボールネジ
２７ａ  凹型ガイド
２７ｂ  凸型ガイドレール
２８  ガイドベアリング
２９  センサ取付板
３０  ベアリング
３２  垂直方向移動手段
３３  第二のハウジング
３４  シリンダ
３６  ストッパ
３７  連結部材
【図１】
0004098936.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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