(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部をもつ直方体状の収納空間を有するとともに該収納空間を区画形成する相対向した１組の係止壁部の内面に複数の基板係止部を備えた搬送ケースであって、相対向する１組の前記基板係止部間に１枚の基板を収納するようにして複数の基板を並列に収納している搬送ケースから、基板を１枚づつ取り出したり、該搬送ケースに基板を１枚づつ収納する基板搬送システムにおいて、
係止壁部の基板並列方向が水平面に対して５〜２０°の範囲内の角度θをなすように搬送ケースを傾けるケース姿勢制御部と、基板保持用の保持部材を備えたアームであって基板を垂直方向に対して前記角度θで保持した状態で前記姿勢の搬送ケース内に開口部から水平方向に出入自在なアームを有する基板出入部と、を有し、該基板出入部は、軌道上を往復移動可能で、かつ、旋回可能な駆動部と、該駆動部から水平方向に出入可能で、かつ、軸中心に回転可能である支持軸と、該支持軸に支持部材を介して互いに平行に、かつ、前記支持軸と平行に配設された複数の前記アームと、前記アームに配設された複数の前記保持部材と、を備えることを特徴とする基板搬送システム。
【請求項２】
開口部をもつ直方体状の収納空間を有するとともに該収納空間を区画形成する相対向した１組の係止壁部の内面に複数の基板係止部を備えた搬送ケースであって、相対向する１組の前記基板係止部間に１枚の基板を収納するようにして複数の基板を並列に収納している搬送ケースから、基板を１枚づつ取り出したり、該搬送ケースに基板を１枚づつ収納する基板搬送システムにおいて、
係止壁部が垂直で開口部が横方向を向くように搬送ケースを載置するケース姿勢制御部と、基板保持用の保持部材を備えたアームであって基板を水平に保持した状態で前記姿勢の搬送ケース内に開口部から水平方向に出入自在なアームを有する基板出入部と、を有し、前記アームは、軸方向が水平で互いに平行な固定アームと複数の可動アームとからなり、可動アームは固定アームの両側に配設され前記軸方向を中心に回転可能であり、固定アームの軸位置は可動アームの軸位置よりも下方に位置することを特徴とする基板搬送システム。
【請求項３】
前記アームが備える保持部材は、上方向に付勢された出入自在な保持部材であることを特徴とする請求項２に記載の基板搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板搬送システムに係り、特に複数枚の基板をわずかな間隔で収納している搬送ケースから基板を１枚づつ確実に取り出し、また、搬送ケース内にわずかな間隔で基板を１枚づつ確実に収納するための基板搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、フラットディスプレイとして液晶表示装置、プラズマ表示装置等の実用化が進んでおり、これらのフラットディスプレイは基板上に種々の加工を行うことにより作製される。フラットディスプレイを構成する基板は、例えば、ガラス基板等のように良好な光透過性を備えるものであるが、材質の面から衝撃に弱いという欠点がある。このため、フラットディスプレイの製造ラインに供給されるガラス基板は、専用の搬送ケース内に１枚づつ所定の間隔を設けて収納した状態で搬送される。
【０００３】
上記の搬送ケースは、搬送効率を高めるために、複数枚のガラス基板を収納して搬送するものであり、例えば、ケースの内壁面に複数の板、ピンあるいは溝が所定の間隔で設けられ配置された搬送ケースでは、ガラス基板が所定の段にその周辺部を係止するようにして収納される。ガラス基板を収納した搬送ケースは、通常、ガラス基板面が垂直となるような状態でフラットディスプレイの製造ラインに搬送される。そして、フラットディスプレイの製造ラインでは、ガラス基板面が水平となるように搬送ケースを載置し、各ガラス基板の間に基板取り出し用部材を挿入してガラス基板を吸引保持し、その後、基板取り出し用部材を引き出すことによって、搬送ケースから１枚づつガラス基板が取り出され、所望の加工が行われる。このような基板の取り出しでは、対象となるガラス基板の下方に基板取り出し用部材を挿入し、ガラス基板の下面中央部を吸引保持した状態で取り出しが行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、搬送ケース内では、ガラス基板の自重により下方へたわみを生じており、一方、搬送ケース内で上記のように基板取り出し用部材により下面中央を吸引保持されたガラス基板は、自重により周辺部が下方へたわんだ状態となる。したがって、ガラス基板どうしの接触を生じることなく確実に取り出しを行うためには、搬送ケース内のガラス基板の収納間隔を、上記のたわみ量の２倍に安全のためのスペースを加えた間隔とする必要があり、この収納間隔は、ガラス基板が大型化する程、あるいは、基板のたわみ量が大きい程、大きくなる。このため、同一収納枚数の場合には搬送ケースの大型化という問題、同一寸法の搬送ケースの場合には収納枚数の減少という問題が生じている。
【０００５】
本発明は、上述のような実情に鑑みてなされたものであり、基板の収納間隔を小さく設定しても、基板を１枚づつ確実に搬送ケースから取り出し、あるいは、収納することができる基板搬送システムを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決するために、本発明の基板搬送システムは、開口部をもつ直方体状の収納空間を有するとともに該収納空間を区画形成する相対向した１組の係止壁部の内面に複数の基板係止部を備えた搬送ケースであって、相対向する１組の前記基板係止部間に１枚の基板を収納するようにして複数の基板を並列に収納している搬送ケースから、基板を１枚づつ取り出したり、該搬送ケースに基板を１枚づつ収納する基板搬送システムにおいて、係止壁部の基板並列方向が水平面に対して５〜２０°の範囲内の角度θをなすように搬送ケースを傾けるケース姿勢制御部と、基板保持用の保持部材を備えたアームであって基板を垂直方向に対して前記角度θで保持した状態で前記姿勢の搬送ケース内に開口部から水平方向に出入自在なアームを有する基板出入部と、を有し、該基板出入部は、軌道上を往復移動可能で、かつ、旋回可能な駆動部と、該駆動部から水平方向に出入可能で、かつ、軸中心に回転可能である支持軸と、該支持軸に支持部材を介して互いに平行に、かつ、前記支持軸と平行に配設された複数の前記アームと、前記アームに配設された複数の前記保持部材と、を備えるような構成とした。
【０００７】
上記のような本発明では、ケース姿勢制御部により傾けられた搬送ケース内の基板は、搬送ケースの傾き方向に対応して同方向に傾斜するので、各基板の間隔は一定であり、かつ、傾き角度θが５〜２０°の範囲内であるため、自重による基板のたわみは極めて少なく、アームにより基板が保持された状態でも自重による基板のたわみは極めて少ないものとなる。
【００１０】
さらに、本発明の基板搬送システムは、開口部をもつ直方体状の収納空間を有するとともに該収納空間を区画形成する相対向した１組の係止壁部の内面に複数の基板係止部を備えた搬送ケースであって、相対向する１組の前記基板係止部間に１枚の基板を収納するようにして複数の基板を並列に収納している搬送ケースから、基板を１枚づつ取り出したり、該搬送ケースに基板を１枚づつ収納する基板搬送システムにおいて、係止壁部が垂直で開口部が横方向を向くように搬送ケースを載置するケース姿勢制御部と、基板保持用の保持部材を備えたアームであって基板を水平に保持した状態で前記姿勢の搬送ケース内に開口部から水平方向に出入自在なアームを有する基板出入部と、を有し、前記アームは、軸方向が水平で互いに平行な固定アームと複数の可動アームとからなり、可動アームは固定アームの両側に配設され前記軸方向を中心に回転可能であり、固定アームの軸位置は可動アームの軸位置よりも下方に位置するような構成とした。
【００１１】
そして、上記の基板搬送システムにおいて、前記アームが備える保持部材は、上方向に付勢された出入自在な保持部材であるような構成とした。
【００１２】
このような本発明では、ケース姿勢制御部により係止壁部がほぼ垂直となるようにされた搬送ケース内の基板は、自重によるたわみを生じて、その間隔が一定であり、アームにより基板が保持された状態では、固定アームの軸位置が可動アームの軸位置よりも下方にあるので、自重による基板のたわみがほぼ維持され、収納時の基板間隔が変化することがほとんどない。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００１４】
図１は、本発明の基板搬送システムの一実施形態を示す概略構成図である。図１において、基板搬送システム１は、ケース姿勢制御部２と、このケース姿勢制御部２の近傍に配設されている基板出入部３とを備えている。
【００１５】
この基板搬送システム１では、複数の基板を収納した搬送ケースが搬送経路４上を矢印ａ方向に搬送されてケース姿勢制御部２に到達し、このケース姿勢制御部２において基板出入部３により基板が１枚づつ搬送ケースから取り出され、基板搬送経路５上を矢印ｃ方向に搬送される。このようにしてケース姿勢制御部２における基板の取り出しが完了した空の搬送ケースは、その後、搬送経路４上を矢印ｂ方向に搬送される。
【００１６】
また、基板搬送システム１では、空の搬送ケースが搬送経路４上を矢印ａ方向に搬送されてケース姿勢制御部２に到達し、基板収納姿勢で待機し、基板搬送経路６上を矢印ｄ方向に搬送された基板が基板出入部３により１枚づつケース姿勢制御部２にある搬送ケースに収納される。このようにしてケース姿勢制御部２における基板の収納が完了した搬送ケースは、その後、搬送経路４上を矢印ｂ方向に搬送される。
【００１７】
ここで、本発明の基板搬送システム１に使用できる搬送ケースについて説明する。
【００１８】
図２は、搬送ケースの一例を示す斜視図であり、図３は図２に示される搬送ケースの平面図である。図２および図３において、搬送ケース１１は、収納本体１１Ａと蓋部１１Ｂ（２点鎖線で示してある）とからなる。収納本体１１Ａは、相対向した係止壁部１２，１２、相対向した側壁部１３，１３、および、底部１４で区画形成され開口部１６をもつ直方体状の収納空間１５を有している。収納本体１１Ａを構成する係止壁部１２，１２の内壁面１２ａ，１２ａには、基板係止部としての溝部１２ｂ，１２ｂ・・・が開口部１６から底部１４方向に平行に所定の間隔Ｐで複数形成されている。そして、収納空間１５を介して相対向する一対の溝部１２ｂ，１２ｂ間に１枚の基板Ｓを係止するようにして、複数の基板Ｓが並列に収納本体１１Ａに収納される（図示例では、図３に１枚の基板Ｓが収納された状態が示されている）。このように収納本体１１Ａに複数の基板Ｓを収納した搬送ケース１１は、蓋部１１Ｂで収納本体１１Ａを閉塞し、通常、基板Ｓを垂直にした状態で基板搬送に供される。このような搬送ケース１１は、発泡スチロール、プラスチック樹脂、金属、木材等の材料を用いて作製することができる。また、基板係止部は上述の溝部に限定されるものではなく、係止壁部１２の内壁面１２ａから突出するように設けられたピン部材や、係止壁部１２の内壁面１２ａに開口部１６から底部１４方向に平行に形成された隔壁板等の他の構成のものであってもよい。
第１の実施形態
次に、本発明の第１の実施形態を図４乃至図８を参照して説明する。
【００１９】
図４は基板搬送システム１のケース姿勢制御部２における搬送ケース１１の姿勢制御を説明するための図面である。搬送ケース１１は蓋部１１Ｂを取りはずした状態で、図１に示されるように搬送経路４上を矢印ａ方向に搬送されてケース姿勢制御部２に到達する（図４（Ａ））。このケース姿勢制御部２では、支持アーム２ａ（２点鎖線で示してある）により搬送ケース１１が支持され、この支持アーム２ａにより係止壁部１２，１２が水平となり収納されている基板Ｓが垂直となるように搬送ケース１１の姿勢が制御される（図４（Ｂ））。この状態で、開口部１６は基板出入部３方向を向いている。次いで、支持アーム２ａが傾けられることにより、係止壁部１２の基板並列方向（図４（Ｃ）に示される矢印方向）が水平面に対して角度θをなすように搬送ケース１１の姿勢が制御される（図４（Ｃ））。このような姿勢に制御された搬送ケース１１内の基板Ｓは、図５に示されるように、搬送ケース１１の傾き方向に対応して溝部１２ｂ内で同方向に傾斜（図５では右側に倒れるように傾斜）する。これにより、各基板は、一定の間隔Ｐ（溝部１２ｂの形成間隔Ｐと同一）をなすように平行な状態となり、かつ、自重による基板Ｓのたわみは極めて少ないものとなる。上記の角度θは５〜２０°の範囲内で設定することができ、角度θが５°未満であると、搬送ケース１１内での基板Ｓの同方向への傾斜が不揃いとなり、一方、角度θが２０°を超えると、溝部１２ｂに係止された基板に自重によるたわみが発生して、後述する基板出入部３による基板の取り出しに支障を来すことになる。
【００２０】
図６は、基板出入部３の一例を示す斜視図である。図６において基板出入部３は、平行軌道２１，２１上を矢印ａ方向に往復移動可能で、かつ、矢印ｂ方向に旋回可能な駆動部２２と、この駆動部２２に接続され、矢印ｃ方向に回転可能であるとともに矢印ｄ方向に出入可能な支持軸２３と、この支持軸２３に支持部材２４を介して互いに平行に配設されたアーム２５，２５とを備えている。アーム２５，２５上には、それぞれ吸引孔２６ａが中心に形成された保持部材（吸引パッド）２６が複数設けられており、吸引孔２６ａは図示しない吸引経路を介して図示しない吸引装置に接続されている。尚、アーム２５，２５の形成間隔は、基板Ｓの寸法、強度等を考慮して適宜設定することができる。また、図示例では、アーム２５は２本であるが、３本以上であってもよい。
【００２１】
このような基板出入部３は、駆動部２２が旋回してアーム２５をケース姿勢制御部２方向に向けるとともに、支持軸２３が回転して１組のアーム２５，２５の基板保持面で形成される面が、図５に示される状態の基板Ｓとほぼ平行となるようにされる。そして、支持軸２３が駆動部２２からケース姿勢制御部２方向に押し出されることにより、図７に示されるように、搬送ケース１１内に収納されている基板Ｓのうち、取り出し対象とする基板Ｓの横側近傍にアーム２５，２５が挿入される。次いで、吸引孔２６ａから吸引しながらアーム２５，２５が図７の矢印方向に移動して基板Ｓに保持部材２６を当接させることにより、アーム２５，２５により基板Ｓを吸引保持する。このとき、アーム２５，２５の作動の影響で、図７に２点鎖線で示されるように、基板Ｓに多少のそりが生じても、上述のように隣接する基板Ｓには自重によるたわみがほとんど発生していないので、基板Ｓどうしが接触することはない。このように基板Ｓを垂直方向に対して上記角度θに近い角度θ´で吸引保持したアーム２５，２５は、支持軸２３が駆動部２２内に引き込まれることにより搬送ケース１１から引き出される（（図８（Ａ））。次いで、支持軸２３の回転により基板Ｓを上向に保持した状態とされ（図８（Ｂ））、駆動部２２の旋回によりアーム２５，２５は基板搬送経路５方向に向いた状態とされる。次いで、軌道２１上を駆動部２２が移動して、基板搬送経路５上に基板Ｓを載置して吸引保持を解除し、元の位置に軌道２１上を移動して戻り、次の基板Ｓの取り出しに移行する。
【００２２】
尚、上述の基板Ｓの取り出し動作を逆に行うことにより、基板搬送経路６上を基板出入部３に搬送されてきた基板Ｓを１枚づつ搬送ケース１１に収納することができる。
【００２３】
上述のように、本発明では、ケース姿勢制御部２において搬送ケース１１を傾き角度θが５〜２０°の範囲内の角度となるように傾けるので、自重による基板Ｓのたわみは極めて少ないものとなり、これにより基板出入部３のアーム２５が基板Ｓを垂直方向に対して上記角度θに近い角度で保持した状態でも、自重による基板Ｓのたわみは極めて少ないものとなる。したがって、搬送ケース１１内の基板Ｓの収納間隔Ｐを小さく、例えば、１０ｍｍ程度としても、基板Ｓどうしを接触させることなく１枚づつ確実に搬送ケースから取り出したり、あるいは、収納することができる。
第２の実施形態
次に、本発明の第２の実施形態を図９乃至図１２を参照して説明する。
【００２４】
蓋部１１Ｂを取りはずした状態で、図１に示されるように搬送経路４上を矢印ａ方向に搬送されてケース姿勢制御部２に到達した搬送ケース１１は、図９に示されるように、開口部１６が上面となるような姿勢とされる。この状態では、搬送ケース１１内の各基板Ｓは垂直に保持されて一定の間隔Ｐ（溝部１２ｂの形成間隔Ｐと同一）をなすようにほぼ平行な状態となり、自重による基板Ｓのたわみは発生していない。
【００２５】
図１０は、基板出入部３の一例を示す斜視図である。図１０において基板出入部３は、平行軌道３１，３１上を矢印ａ方向に往復移動可能な駆動部３２Ａと、駆動部３２Ａに対して矢印ｂ方向に上下動可能で、かつ、矢印ｃ方向に旋回可能な駆動部３２Ｂと、この駆動部３２Ｂに接続され、矢印ｄ方向に回転可能であるとともに矢印ｅ方向に出入可能な支持軸３３と、この支持軸３３に支持部材３４を介して互いに平行に配設されたアーム３５，３５とを備えている。支持部材３４は、上記の支持軸３３に接続された支持部材３４ａと、この支持部材３４ａに対して矢印ｆ方向に回転可能であり、アーム３５，３５が接続されている支持部材３４ｂとからなる。また、アーム３５，３５上には、それぞれ吸引孔３６ａが中心に形成された保持部材（吸引パッド）３６が複数設けられており、吸引孔３６ａは図示しない吸引経路を介して図示しない吸引装置に接続されている。
【００２６】
このような基板出入部３は、図１１に示されるように、駆動部３２Ｂが上昇するとともに旋回してアーム３５，３５をケース姿勢制御部２方向に向けるとともに、支持軸３３が回転してアーム３５，３５の基板保持面で形成される面が垂直とされ、さらに、支持部材３４ｂが回転してアーム３５，３５の先端を垂直下方向に向ける。その後、支持軸３３が駆動部３２Ｂからケース姿勢制御部２方向に押し出されることにより、ケース姿勢制御部２に載置されている搬送ケース１１の上方にアーム３５，３５が位置することになる。次いで、駆動部３２Ｂが降下することにより、搬送ケース１１内に収納されている基板Ｓのうち、取り出し対象とする基板Ｓの近傍にアーム３５，３５が挿入される。次いで、吸引孔３６ａから吸引しながらアーム３５，３５を図１２の矢印ａ方向に移動し、基板Ｓに保持部材３６を当接させて基板Ｓを吸引保持する。このとき、アーム３５，３５の作動の影響で基板Ｓにそりが生じても、上述のように隣接する基板Ｓには自重によるたわみが発生しておらず、したがって基板Ｓどうしが接触することはない。
【００２７】
このように基板Ｓを垂直状態で吸引保持したアーム３５，３５は、駆動部３２Ｂが上昇することにより搬送ケース１１から引き出され、その後、上述の動作と逆の動作をなすことにより、アーム３５，３５は基板Ｓを水平に吸引保持して基板搬送経路５方向に向いた状態とされる。次いで、軌道３１上を駆動部３２Ａが移動して、基板搬送経路５上に基板Ｓを載置して吸引保持を解除し、元の位置に軌道３１上を移動して戻り、次の基板Ｓの取り出しに移行する。
【００２８】
尚、上述の基板Ｓの取り出し動作を逆に行うことにより、基板搬送経路６上を基板出入部３に搬送されてきた基板Ｓを１枚づつ搬送ケース１１に収納することができる。
【００２９】
上述のように、本発明では、ケース姿勢制御部２において開口部１６が上面に位置するように搬送ケース１１を載置することにより、搬送ケース１１内の基板Ｓは自重によるたわみがなく、基板間隔もほぼ一定となり、これにより、搬送ケース１１内の基板の収納間隔を小さく、例えば、１０ｍｍ程度としても、基板出入部３のアーム３５が基板Ｓをほぼ垂直に保持して、基板Ｓどうしを接触させることなく１枚づつ確実に搬送ケースから取り出したり、あるいは、収納することができる。
【００３０】
尚、アーム３５，３５に設ける保持部材として、基板Ｓの下端辺に係合するような引っかけ部材をアーム３５，３５の先端部に設けてもよい。
第３の実施形態
次に、本発明の第３の実施形態を図１３乃至図１５を参照して説明する。
【００３１】
蓋部１１Ｂを取りはずした状態で、図１に示されるように搬送経路４上を矢印ａ方向に搬送されてケース姿勢制御部２に到達した搬送ケース１１（図１３（Ａ））は、図示しない支持アームにより係止壁部１２，１２が垂直となるような姿勢とされる（図１３（Ｂ））。この状態では、開口部１６が基板出入部３の方向を向き、搬送ケース１１内の各基板Ｓは両端を溝部１２ｂに係止され、自重によるたわみが生じた状態で収納されている。
【００３２】
図１４は、基板出入部３の一例を示す斜視図である。図１４において基板出入部３は、平行軌道４１，４１上を矢印ａ方向に往復移動可能な駆動部４２Ａと、駆動部４２Ａに対して矢印ｂ方向に上下動可能で、かつ、矢印ｃ方向に旋回可能な駆動部４２Ｂと、この駆動部４２Ｂに接続され矢印ｄ方向に出入可能な支持軸４３と、この支持軸４３に支持部材４４を介して水平に配設された固定アーム４５と、この固定アーム４５の両側に矢印ｅ方向に回転可能な軸部材４７を介して支持部材４４に配設された可動アーム４８，４８とを備えている。アーム４５上には、吸引孔４６ａが中心に形成された保持部材（吸引パッド）４６が複数設けられており、また、可動アーム４８，４８上には、それぞれ吸引孔４９ａが中心に形成された保持部材（吸引パッド）４９が複数設けられており、吸引孔４６ａ，４９ａは図示しない吸引経路を介して図示しない吸引装置に接続されている。そして、上記の固定アーム４５の軸位置は、可動アーム４８の軸位置よりも下方に設定されている。この固定アーム４５の軸位置と可動アーム４８の軸位置、および、固定アーム４５と可動アーム４８との間隔は、搬送ケース１１内に収納されている基板Ｓのたわみの程度等に応じて設定することができる。また、保持部材４６および保持部材４９を上方向に付勢された出入自在な吸引パッドとすることにより、たわみ量の異なる基板Ｓに対しても対応可能となる。
【００３３】
上記の支持部材４４内部には軸部材４７を軸支するための図示しない軸部材支持具が装着されており、この軸部材支持具は、吸引孔４９ａにおける真空度を検出するセンサに接続されており、可動アーム４８の吸引部材４９による基板Ｓの吸引保持が行われて吸引孔４９ａにおける真空度が上昇したことを上記センサが検出すると、軸部材４７を固定するように構成されている。
【００３４】
このような基板出入部３は、駆動部４２Ｂが上昇あるいは降下して所定の高さに停止するとともに旋回して固定アーム４５、可動アーム４８，４８をケース姿勢制御部２方向に向け、その後、支持軸４３が駆動部４２Ｂからケース姿勢制御部２方向に押し出されることにより、図１５（Ａ）に示されるように、搬送ケース１１内に収納されている基板Ｓのうち、取り出し対象とする基板Ｓの下方近傍に固定アーム４５と可動アーム４８，４８が挿入される。この状態では、固定アーム４５および可動アーム４８，４８とも基板Ｓに接触しておらず、次いで、吸引孔４６ａ，４９ａからの吸引を行いながら駆動部４２Ｂを上昇させると、可動アーム４８，４８が基板Ｓに当接し、軸部材４７を中心に基板Ｓのたわみに適合した角度に回転して保持部材４９による吸引保持が行われる（図１５（Ｂ））。このような吸引部材４９による吸引が行われて吸引孔４９ａにおける真空度の上昇を上記センサが検出すると軸部材４７が固定され、可動アーム４８，４８はその状態で維持される。上記の可動アーム４８，４８による基板の吸引保持と同時に、固定アーム４５の保持部材４６が基板Ｓに当接して吸引保持が行われ、これにより、基板Ｓは自重によるたわみが生じた状態で固定アーム４５、可動アーム４８，４８により吸引保持される。
【００３５】
次に、駆動部４２Ｂを若干上昇させた後、支持軸４３を駆動部４２Ｂに引き込むことにより、基板Ｓを自重によるたわみが生じた状態で吸引保持した固定アーム４５、可動アーム４８，４８は搬送ケース１１から引き出される。次いで、駆動部４２Ｂの旋回により固定アーム４５、可動アーム４８，４８は基板搬送経路５方向に向いた状態とされ、軌道４１上を駆動部４２Ａが移動して、基板搬送経路５上に基板Ｓを載置して吸引保持を解除し、元の位置に軌道４１上を移動して戻り、次の基板Ｓの取り出しに移行する。
【００３６】
尚、上述の基板Ｓの取り出し動作を逆に行うことにより、基板搬送経路６上を基板出入部３に搬送されてきた基板Ｓを１枚づつ搬送ケース１１に収納することができる。
【００３７】
上述のように、本発明では、ケース姿勢制御部２において係止壁部１２がほぼ垂直で開口部１６が横方向を向くように搬送ケース１１の姿勢を制御し、搬送ケース１１内の基板Ｓを自重によるたわみで間隔が一定となるようにした後、固定アーム４５と可動アーム４８，４８により自重によるたわみがほぼ維持され状態で基板Ｓを保持するので、搬送ケース１１内の基板Ｓの収納間隔を小さく、例えば、１０ｍｍ程度としても、基板出入部３が基板Ｓどうしを接触させることなく１枚づつ確実に搬送ケースから取り出したり、あるいは、収納することができる。
【００３８】
本発明で搬送の対象となる基板は、特に制限はなく、ガラス基板、金属基板、樹脂基板等の平板状の全ての基板が対象となる。
【００３９】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、ケース姿勢制御部により傾き角度θが５〜２０°の範囲内となるように搬送ケースを傾けることにより、搬送ケース内の基板を搬送ケースの傾き方向に対応して同方向に傾斜させることになり、各基板の間隔は一定となるとともに、傾き角度θが５〜２０°の範囲内の角度であるので、自重による基板のたわみは極めて少ないものとなり、これにより基板出入部のアームが基板を垂直方向に対して上記角度θに近い角度で保持した状態でも、自重による基板のたわみは極めて少ないものとなり、したがって、搬送ケース内の基板の収納間隔を小さくしても、基板どうしを接触させることなく１枚づつ確実に搬送ケースから取り出したり、あるいは、収納することができる。
【００４０】
また、本発明によれば、ケース姿勢制御部により開口部が上面に位置するように搬送ケースを載置することにより、搬送ケース内の基板は自重によるたわみがなく、基板間隔もほぼ一定となり、これにより、搬送ケース内の基板の収納間隔を小さくしても、基板出入部のアームが基板をほぼ垂直に保持して、基板どうしを接触させることなく１枚づつ確実に搬送ケースから取り出したり、あるいは、収納することができる。
【００４１】
さらに、本発明によれば、ケース姿勢制御部により搬送ケースをその係止壁部がほぼ垂直で開口部が横方向を向く姿勢とすることにより、搬送ケース内の基板は自重によるたわみを生じて、その間隔が一定となり、固定アームの軸位置が可動アームの軸位置よりも下方にあるアームにより吸引保持された基板は、自重による基板のたわみがほぼ維持され状態となり、これにより、搬送ケース内の基板の収納間隔を小さくしても、基板どうしを接触させることなく１枚づつ確実に搬送ケースから取り出したり、あるいは、収納することができる。
【００４２】
上述のように、本発明では基板の間隔を小さくても、基板どうしの接触を生じることなく搬送ケースからの基板取り出しや搬送ケースへの基板収納を確実に行うことができ、基板の大型化やたわみ量の大きな基板に対しても搬送ケース内の基板の収納間隔を小さく設定することができ、これにより、同一収納枚数の場合には搬送ケースの小型化が可能となり、また、同一寸法の搬送ケースの場合には搬送効率の向上が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基板搬送システムの一実施形態を示す概略構成図である。
【図２】本発明において使用できる搬送ケースの一例を示す斜視図である。
【図３】図２に示される搬送ケースの平面図である。
【図４】第１の実施形態における搬送ケースの姿勢制御を説明するための図面である。
【図５】ケース姿勢制御部で姿勢を制御された搬送ケース内の基板の状態を示す部分拡大図である。
【図６】基板出入部の一例を示す斜視図である。
【図７】ケース姿勢制御部で姿勢を制御された搬送ケース内における基板保持の状態を示す部分拡大図である。
【図８】  基板出入部のアームに保持された基板の状態を説明するための図である。
【図９】第２の実施形態においてケース姿勢制御部で姿勢を制御された搬送ケースの状態を示す図である。
【図１０】基板出入部の一例を示す斜視図である。
【図１１】基板出入部のアームの動作を説明するための図である。
【図１２】ケース姿勢制御部で姿勢を制御された搬送ケース内における基板保持の状態を示す部分拡大図である。
【図１３】第３の実施形態においてケース姿勢制御部で姿勢を制御された搬送ケースの状態を示す部分拡大図である。
【図１４】基板出入部の一例を示す斜視図である。
【図１５】ケース姿勢制御部で姿勢を制御された搬送ケース内における基板保持の状態を示す部分拡大図である。
【符号の説明】
１…基板搬送システム
２…ケース姿勢制御部
３…基板出入部
１１…搬送ケース
１２…係止壁部
１２ｂ…溝部（基板係止部）
２５，３５…アーム
４５…固定アーム
４８…可動アーム
２６，３６，４６，４９…保持部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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