(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース上に旋回し得るように配置した旋回基部と、
前記旋回基部に固定した駆動モータによって前記旋回基部上で水平面上を回転するよう配置した第１アームと、前記第１アームの先端上で水平面上を回転するよう配置した第２アームと、前記第２アームの先端上で水平面上を回転するよう配置した第３アームと、前記第３アームに固定されて基板を保持するチャックとからなるロボットアームと、を備え、
前記ロボットアームを前記旋回基部上において左右対称に２個有し、上面から見て前記ロボットアームのそれぞれの前記チャックが同一経路を移動して前記基板を搬送する基板搬送用ロボットにおいて、
前記ロボットアームの各々は、
前記第１アームの基端側に収容され、前記旋回基部に固定された第１プーリと、
前記第１アームの先端側に収容され、前記第１プーリとの間に第１ベルトを巻き掛けられた第２プーリと、
前記第１アームの先端側に設けられた軸受を介して支持され、前記第２プーリの上面に下端が固定され、前記第２アームの基端側に上端が固定された第１旋回軸と、
前記第２アームの基端側に収容され、前記第２アームに固定された第３プーリと、
前記第２アームの先端側に収容され、前記第３プーリとの間に第２ベルトを巻き掛けられた第４プーリと、
前記第２アームの先端側に設けられた軸受を介して支持され、前記第４プーリの上面に下端が固定され、板状の前記第３アームに上端が固定された第２旋回軸と、
前記第３アームの先端側に固定された前記チャックと、
から構成され、
前記左右対称の２個のロボットアームは、それぞれの前記第１アームの上面の高さが同じになるように設けられ、
前記左右対称の２個のロボットアームのうち一方は、前記第２アームの下面が前記他方のロボットアームのチャックが保持する基板の上面より高くなるように、前記第１旋回軸が前記他方のロボットアームの第１旋回軸よりも長く設けられ、
前記他方のロボットアームのチャックが保持する基板が、前記一方のロボットアームの第２アームの下面と前記第１アームの上面との間を通過可能に構成されたことを特徴とする基板搬送用ロボット。
【請求項２】
ベース上に旋回し得るように配置した旋回基部と、
前記旋回基部に固定した駆動モータによって前記旋回基部上で水平面上を回転するよう配置した第１アームと、前記第１アームの先端上で水平面上を回転するよう配置した第２アームと、前記第２アームの先端上で水平面上を回転するよう配置した第３アームと、前記第３アームに固定されて基板を保持するチャックとからなるロボットアームと、を備え、
前記ロボットアームを前記旋回基部上において左右対称に２個有し、上面から見て前記ロボットアームのそれぞれの前記チャックが同一経路を移動して前記基板を搬送する基板搬送用ロボットにおいて、
前記ロボットアームの各々は、
前記第１アームの基端側に収容され、前記旋回基部に固定された第１プーリと、
前記第１アームの先端側に収容され、前記第１プーリとの間に第１ベルトを巻き掛けられた第２プーリと、
前記第１アームの先端側に設けられた軸受を介して支持され、前記第２プーリの上面に下端が固定され、前記第２アームの基端側に上端が固定された第１旋回軸と、
前記第２アームの基端側に収容され、前記第２アームに固定された第３プーリと、
前記第２アームの先端側に収容され、前記第３プーリとの間に第２ベルトを巻き掛けられた第４プーリと、
前記第２アームの先端側に設けられた軸受を介して支持され、前記第４プーリの上面に下端が固定され、板状の前記第３アームに上端が固定された第２旋回軸と、
前記第３アームの先端側に固定された前記チャックと、
から構成され、
前記左右対称の２個のロボットアームのうち一方は、前記第１アームの上面が前記他方のロボットアームの第２アームの上面と同じ高さになるように、前記駆動モータが前記旋回基部の上面に配置され、かつ前記第２アームの下面が前記他方のロボットアームのチャックが保持する基板の上面より高くなるように、前記第１旋回軸が他方のロボットアームの前記第１旋回軸よりも長く設けられ、
前記他方のロボットアームのチャックが保持する基板が、前記一方のロボットアームの第２アームの下面と前記第１アームの上面との間を通過可能に構成されたことを特徴とする基板搬送用ロボット。
【請求項３】
ベース上に旋回し得るように配置した旋回基部と、
前記旋回基部に固定した駆動モータによって前記旋回基部上で水平面上を回転するよう配置した第１アームと、前記第１アームの先端上で水平面上を回転するよう配置した第２アームと、前記第２アームの先端で水平面上を回転するよう配置した第３アームと、前記第３アームに固定されて基板を保持するチャックとからなるロボットアームと、を備え、
前記ロボットアームを前記旋回基部上において左右対称に２個有し、上面から見て前記ロボットアームのそれぞれの前記チャックが同一経路を移動して前記基板を搬送する基板搬送用ロボットにおいて、
前記ロボットアームの各々は、
前記第１アームの基端側に収容され、前記旋回基部に固定された第１プーリと、
前記第１アームの先端側に収容され、前記第１プーリとの間に巻き掛けられた第１ベルトを有する第２プーリと、
前記第１アームの先端側に設けられた軸受を介して支持され、前記第２プーリの上面に下端が固定され、前記第２アームの基端側に上端が固定された第１旋回軸と、
前記第２アームの基端側に収容され、前記第２アームに固定された第３プーリと、
前記第２アームの先端側に収容され、前記第３プーリとの間に巻き掛けられた第２ベルトを有する第４プーリと、
前記第２アームの先端側に設けられた軸受を介して支持され、前記第４プーリの下面に上端が固定され、板状の前記第３アームに下端が固定された第２旋回軸と、
前記第３アームの先端側に固定された前記チャックと、
から構成され、
前記左右対称の２個のロボットアームのうち一方は、前記第１アームの上面が前記他方のロボットアームの前記第２アームの上面と同じ高さになるように、前記駆動モータが前記旋回基部の上面に配置され、かつ前記第３アームが前記第２アームの下方に位置して前記他方のロボットアームの第３アームと対向可能なように、前記第１旋回軸が他方のロボットアームの前記第１旋回軸よりも長く設けられ、
前記左右対称の２個のロボットアームのそれぞれのチャックが保持するそれぞれの基板が、前記一方のロボットアームの第２アームの下面と前記第１アームの上面との間を通過可能に構成されたことを特徴とする基板搬送用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハなどの基板を搬送する基板搬送用ロボットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板搬送用ロボットは、例えば図１３に示すように、ベース１０上に旋回し得るように支持した旋回基部２０を設け、旋回基部２０には二つのロボットアーム３０Ａ，３０Ｂを左右対称に配置してある。各ロボットアーム３０Ａ，３０Ｂには一方端が駆動モータ３１０Ａ，３１０Ｂによって回転駆動されるように支持された第１アーム３２０Ａ，３２０Ｂが設けられ、第１アーム３２０Ａ，３２０Ｂの他方端には第２アーム３３０Ａ，３３０Ｂの一方端が回転駆動されるように支持され、第２アーム３３０Ａ，３３０Ｂの他方端には第３アーム３４０Ａ，３４０Ｂの一方端が回転駆動されるように支持され、第３アーム３４０Ａ，３４０Ｂの他方端には基板Ｗを保持するチャック４０Ａ，４０Ｂを設けてある。なお、第１アーム３２０Ａ，３２０Ｂ、第２アーム３３０Ａ，３３０Ｂおよび第３アーム３４０Ａ、３４０Ｂが回動してチャック４０Ａ，４０Ｂが旋回基部２０から所定距離離れたとき、チャック４０Ａと４０Ｂが干渉しないようにするため、第３アーム３４０Ａと３４０Ｂのうちの一方をコ字状に形成し、チャック４０Ａとチャック４０Ｂが上下方向に離れるようにしたものが開示されている（例えば、特開平８−２７４１４０号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来技術では、第１アーム３２０Ａ，３２０Ｂおよび第２アーム３３０Ａ，３３０Ｂは第３アーム３４０Ａ、３４０Ｂおよびチャック４０Ａ，４０Ｂを載置しているため、剛性を大きくする必要がある。しかし、第３アーム３４０Ａ、３４０Ｂは大きな剛性を必要としないことと、慣性を小さくして動作特性を良くするために、構成を比較的小さい剛性のものにする必要がある。そのため、第３アーム３４０Ａ、３４０Ｂは固有振動数が低く、基板Ｗとの組み合わせによる固有振動数と近似の値となり、搬送中の基板Ｗに振動が発生するという問題があった。また、第３アーム３４０Ａ、３４０Ｂの剛性を高めようとすると、形状寸法が拡大し、重量が増加するため、アーム駆動用のモータ容量が大きくなるという問題があった。本発明は、第３アームの剛性を増やすことなく、搬送中の基板の振動を抑制し得る基板搬送用ロボットを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、ベース上に旋回し得るように配置した旋回基部と、前記旋回基部に固定した駆動モータによって前記旋回基部上で水平面上を回転するよう配置した第１アームと、前記第１アームの先端上で水平面上を回転するよう配置した第２アームと、前記第２アームの先端上で水平面上を回転するよう配置した第３アームと、前記第３アームに固定されて基板を保持するチャックとからなるロボットアームと、を備え、前記ロボットアームを前記旋回基部上において左右対称に２個有し、上面から見て前記ロボットアームのそれぞれの前記チャックが同一経路を移動して前記基板を搬送する基板搬送用ロボットにおいて、前記ロボットアームの各々は、前記第１アームの基端側に収容され、前記旋回基部に固定された第１プーリと、前記第１アームの先端側に収容され、前記第１プーリとの間に第１ベルトを巻き掛けられた第２プーリと、前記第１アームの先端側に設けられた軸受を介して支持され、前記第２プーリの上面に下端が固定され、前記第２アームの基端側に上端が固定された第１旋回軸と、前記第２アームの基端側に収容され、前記第２アームに固定された第３プーリと、前記第２アームの先端側に収容され、前記第３プーリとの間に第２ベルトを巻き掛けられた第４プーリと、前記第２アームの先端側に設けられた軸受を介して支持され、前記第４プーリの上面に下端が固定され、板状の前記第３アームに上端が固定された第２旋回軸と、前記第３アームの先端側に固定された前記チャックと、から構成され、前記左右対称の２個のロボットアームは、それぞれの前記第１アームの上面の高さが同じになるように設けられ、前記左右対称の２個のロボットアームのうち一方は、前記第２アームの下面が前記他方のロボットアームのチャックが保持する基板の上面より高くなるように、前記第１旋回軸が前記他方のロボットアームの第１旋回軸よりも長く設けられ、前記他方のロボットアームのチャックが保持する基板が、前記一方のロボットアームの第２アームの下面と前記第１アームの上面との間を通過可能に構成されたものである。
また、ベース上に旋回し得るように配置した旋回基部と、前記旋回基部に固定した駆動モータによって前記旋回基部上で水平面上を回転するよう配置した第１アームと、前記第１アームの先端上で水平面上を回転するよう配置した第２アームと、前記第２アームの先端上で水平面上を回転するよう配置した第３アームと、前記第３アームに固定されて基板を保持するチャックとからなるロボットアームと、を備え、前記ロボットアームを前記旋回基部上において左右対称に２個有し、上面から見て前記ロボットアームのそれぞれの前記チャックが同一経路を移動して前記基板を搬送する基板搬送用ロボットにおいて、前記ロボットアームの各々は、前記第１アームの基端側に収容され、前記旋回基部に固定された第１プーリと、前記第１アームの先端側に収容され、前記第１プーリとの間に第１ベルトを巻き掛けられた第２プーリと、前記第１アームの先端側に設けられた軸受を介して支持され、前記第２プーリの上面に下端が固定され、前記第２アームの基端側に上端が固定された第１旋回軸と、前記第２アームの基端側に収容され、前記第２アームに固定された第３プーリと、前記第２アームの先端側に収容され、前記第３プーリとの間に第２ベルトを巻き掛けられた第４プーリと、前記第２アームの先端側に設けられた軸受を介して支持され、前記第４プーリの上面に下端が固定され、板状の前記第３アームに上端が固定された第２旋回軸と、前記第３アームの先端側に固定された前記チャックと、から構成され、前記左右対称の２個のロボットアームのうち一方は、前記第１アームの上面が前記他方のロボットアームの第２アームの上面と同じ高さになるように、前記駆動モータが前記旋回基部の上面に配置され、かつ前記第２アームの下面が前記他方のロボットアームのチャックが保持する基板の上面より高くなるように、前記第１旋回軸が他方のロボットアームの前記第１旋回軸よりも長く設けられ、前記他方のロボットアームのチャックが保持する基板が、前記一方のロボットアームの第２アームの下面と前記第１アームの上面との間を通過可能に構成されたものである。
また、ベース上に旋回し得るように配置した旋回基部と、前記旋回基部に固定した駆動モータによって前記旋回基部上で水平面上を回転するよう配置した第１アームと、前記第１アームの先端上で水平面上を回転するよう配置した第２アームと、前記第２アームの先端で水平面上を回転するよう配置した第３アームと、前記第３アームに固定されて基板を保持するチャックとからなるロボットアームと、を備え、前記ロボットアームを前記旋回基部上において左右対称に２個有し、上面から見て前記ロボットアームのそれぞれの前記チャックが同一経路を移動して前記基板を搬送する基板搬送用ロボットにおいて、前記ロボットアームの各々は、前記第１アームの基端側に収容され、前記旋回基部に固定された第１プーリと、前記第１アームの先端側に収容され、前記第１プーリとの間に巻き掛けられた第１ベルトを有する第２プーリと、前記第１アームの先端側に設けられた軸受を介して支持され、前記第２プーリの上面に下端が固定され、前記第２アームの基端側に上端が固定された第１旋回軸と、前記第２アームの基端側に収容され、前記第２アームに固定された第３プーリと、前記第２アームの先端側に収容され、前記第３プーリとの間に巻き掛けられた第２ベルトを有する第４プーリと、 前記第２アームの先端側に設けられた軸受を介して支持され、前記第４プーリの下面に上端が固定され、板状の前記第３アームに下端が固定された第２旋回軸と、 前記第３アームの先端側に固定された前記チャックと、から構成され、前記左右対称の２個のロボットアームのうち一方は、前記第１アームの上面が前記他方のロボットアームの前記第２アームの上面と同じ高さになるように、前記駆動モータが前記旋回基部の上面に配置され、かつ前記第３アームが前記第２アームの下方に位置して前記他方のロボットアームの第３アームと対向可能なように、前記第１旋回軸が他方のロボットアームの前記第１旋回軸よりも長く設けられ、前記左右対称の２個のロボットアームのそれぞれのチャックが保持するそれぞれの基板が、前記一方のロボットアームの第２アームの下面と前記第１アームの上面との間を通過可能に構成されたものである。
したがって、第３アームの剛性を増やすことなく、移動部分の剛性を高めることができ、搬送中の基板ＷA 、ＷB の振動を防ぐことができる。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。図１は本発明の第１の実施例を示す正断面図、図２はその平面図である。図において、１はベース、２はベース１上に駆動モータ１１によって旋回し得るように支持した旋回基部、３Ａ、３Ｂは先端が直線移動し得るようにした直線移動装置である二つの多関節形のロボットアームで、それぞれ水平方向に伸縮し得るもので、かつ左右対称になるように旋回基部２上に配置してある。３１Ａ，３１Ｂは旋回基部２に間隔を開けて固定され、それぞれ旋回基部２の上方に突出する中空軸３１１Ａ，３１１Ｂを有する駆動モータである。３１２Ａ，３１２Ｂは駆動モータ３１Ａ，３１Ｂの中を貫通し、旋回基部２に固定された固定軸で、プーリ３１３Ａ，３１３Ｂを固定してある。３２Ａ，３２Ｂは一方端が駆動モータ３１Ａ，３１Ｂの中空軸３１２Ａ，３１２Ｂによって水平面上を回転駆動されるように支持された第１アームである。３２１Ａ，３２１Ｂは第１アーム３２Ａ，３２Ｂの他方端に軸受３２２Ａ，３２２Ｂを介して支持された第１旋回軸で、第１アーム３２Ａ，３２Ｂ側にプーリ３２３Ａ，３２３Ｂを設け、プーリ３１３Ａ，３１３Ｂとの間にベルト３２４Ａ，３２４Ｂを巻き掛けてある。一方の第１アーム３２Ｂの軸受３２２Ｂ部分および第１旋回軸３２１Ｂは他方の第１アーム３２Ａの軸受３２２Ａ部分および第１旋回軸３２１Ａより長くしてある。
【０００６】
３３Ａ，３３Ｂは第２アームで、一方端が第１旋回軸３２１Ａ，３２１Ｂに固定され、第１旋回軸３２１Ａ，３２１Ｂの第２アーム３３Ａ，３３Ｂ側にはプーリ３３１Ａ，３３１Ｂが固定されている。３３３Ａ，３３３Ｂは第２アーム３３Ａ，３３Ｂの他方端に軸受３３２Ａ，３３２Ｂを介して支持された第２旋回軸で、第２アーム３３Ａ，３３Ｂ側にはプーリ３３４Ａ，３３４Ｂが固定されている。３３５Ａ，３３５Ｂはプーリ３３１Ａ，３３１Ｂとプーリ３３４Ａ，３３４Ｂとに巻き掛けられたベルトである。３４Ａ，３４Ｂは第３アームで、一方端が第２旋回軸３３３Ａ，３３３Ｂに固定されている。４Ａ，４Ｂはそれぞれ基板ＷA，ＷB を保持するチャックで、第３アーム３４Ａ，３４Ｂに固定されている。なお、チャック４Ａで保持された基板ＷA とチャック４Ｂで保持された基板ＷB とが干渉しないように、第２アーム３３Ｂの下面はチャック４Ａに保持される基板ＷA の上面より高くなるように配置されている。
【０００７】
このような構成により、駆動モータ３１Ａ，３１Ｂを駆動することにより、第１アーム３２Ａ，３２Ｂおよび第２アーム３３Ａ，３３Ｂが回動し、第３アーム３４Ａ，３４Ｂを水平方向に移動させ、チャック４Ａ，４Ｂに保持した基板ＷA、ＷB を搬送することができる。このとき、剛性の高い第２アーム３３Ｂが第３アーム３４Ａに設けたチャック４Ａに保持された基板ＷA より上方に配置されているので、第３アーム３４Ｂによって基板ＷA とＷB との干渉を避ける構造にする必要がなく、第３アーム３４Ｂの構造を簡単にして、移動部分の剛性を高めることができ、搬送中の基板ＷA、ＷB の振動を防ぐことができる。
【０００８】
図３は本発明の第２の実施例を示す正断面図である。第２の実施例では、駆動モータ３１Ｂを旋回基部２の上方に配置し、第１アーム３２Ｂを第２アーム３３Ａと同じ高さに配置し、チャック４Ａで保持された基板ＷA とチャック４Ｂで保持された基板ＷB とが干渉しないように、第２アーム３３Ｂの下面はチャック４Ａに保持される基板ＷA の上面より高くなるように配置したものである。このような構成により、第１旋回軸３２１Ｂの長さを短くすることができ、第１アーム３２Ｂの剛性を高めることができる。図４は、本発明の第３の実施例を示す正断面図である。上記第２の実施例では、第３アーム３４Ａ，３４Ｂを第２アーム３３Ａ，３３Ｂの上方に設けた例について説明したが、第３の実施例では、第２旋回軸３３３Ａ，３３３Ｂを第２アーム３３Ａ，３３Ｂの下方に突出させ、第３アーム３４Ａ，３４Ｂを第２アーム３３Ａ，３３Ｂの下方に設けたものである。この場合、二つの基板ＷA ，ＷB を近づけることができる。
【０００９】
以下、本発明と同様に搬送中の基板の振動を抑制し得る高剛性なアームを有する基板搬送ロボットの参考例１乃至４について説明する。図５は第１の参考例を示す正断面図、図６はその平面図である。第１の参考例は、上記第１の実施例で説明した多関節形のロボットアームの代わりに、直線移動装置としてリニアモータを利用したものである。すなわち、５Ａ，５Ｂは旋回基部２の上面に固定した互いに平行にかつ水平方向に伸びる二つのリニアモータ、５１Ａ，５１Ｂは固定子、５２Ａ，５２Ｂは固定子５１Ａ，５１Ｂの長手方向に沿って伸びるガイドレール、５３Ａ，５３Ｂは固定子５１Ａ，５１Ｂに空隙を介して対向する移動子である。５４Ａ，５４Ｂは移動子５３Ａ，５３Ｂに固定された移動部で、ガイドレール５２Ａ，５２Ｂに沿って移動し得るようにしてある。６Ａ，６Ｂは移動部５４Ａ，５４Ｂに固定された保持部で、それぞれチャック４Ａ，４Ｂを固定している。なお、保持部６Ｂはチャック４Ａ，４Ｂに保持された基板ＷA ，ＷB が互いに上下方向に間隔を開けて重なるようにほぼコの字状に形成され、基板ＷA とＷBが干渉しないようにしてある。このような構成により、リニアモータ５Ａ，５Ｂを駆動することにより、チャック４Ａ，４Ｂに保持された基板ＷA ，ＷB を移動することができる。このとき、移動部５４Ａ，５４Ｂおよび保持部６Ａ，６Ｂは単純な構造にすることができるので、容易に移動部分の剛性を高めることができ、搬送中の基板ＷA 、ＷB の振動を防ぐことができる。
【００１０】
図７は第２の参考例を示す正断面図、図８はその平面図である。第２の参考例は、上記第１の参考例で説明したリニアモータを３個用いたものである。すなわち、５Ａ，５Ｂ、５Ｃは旋回基部２の上面に固定した互いに平行にかつ水平方向に伸びる３個のリニアモータ、５１Ａ，５１Ｂ、５１Ｃは固定子、５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃは固定子５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃの長手方向に沿って伸びるガイドレール、５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃは固定子５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃに空隙を介して対向する移動子である。５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃは移動子５３Ａ，５３Ｂ，５４Ｃに固定された移動部で、ガイドレール５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃに沿って移動し得るようにしてある。６Ａ，６Ｂ，６Ｃは移動部５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃに固定された保持部で、それぞれチャック４Ａ，４Ｂ，４Ｃを固定している。
【００１１】
なお、保持部６Ｂ，６Ｃはチャック４Ａ，４Ｂ，４Ｃに保持された基板ＷA ，ＷB ，ＷC が互いに上下方向に間隔を開けて重なるようにほぼコの字状に形成され、基板ＷA ，ＷB ，ＷC が互いにが干渉しないようにしてある。このような構成により、リニアモータ５Ａ，５Ｂ，５Ｃを駆動することにより、チャック４Ａ，４Ｂ，４Ｃに保持された基板ＷA ，ＷB ，ＷC を移動することができる。このとき、移動部５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃおよび保持部６Ａ，６Ｂ，６Ｃは単純な構造にすることができるので、容易に移動部分の剛性を高めることができ、同様に搬送中の基板ＷA 、ＷB ，ＷC の振動を防ぐことができる。上記第２の参考例では３個のリニアモータを利用した例について説明したが、チャックに保持された基板が干渉しないように保持部を形成すれば、３個に限る必要がなく４個以上のリニアモータを利用することもできる。したがって、この場合はコンパクトで多数の基板を同時に搬送できる。
【００１２】
図９は第３の参考例を示す正断面図、図１０はその側面図である。第３の参考例は、上記第２の参考例で説明したリニアモータ５Ａ，５Ｂ，５Ｃを垂直方向に重ねて配列したものである。これにより、保持部６Ａ，６Ｂ，６Ｃを移動部５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃから水平方向に伸びる同一形状の棒状にすることができ、保持部６Ａ，６Ｂ，６Ｃの剛性を高めるとともに、部品の製造が容易となる。
【００１３】
図１１は第４の参考例を示す正断面図、図１２はその平面図である。第４の参考例は上記第２の参考例で直線移動装置として利用したリニアモータの代わりに、タイミングベルトを利用したものである。すなわち、７Ａ，７Ｂ、７Ｃは旋回基部２の上面に固定した互いに平行にかつ水平方向に伸びる３個のベルト移動装置、７１Ａ，７１Ｂ、７１Ｃはベルト移動装置７Ａ，７Ｂ，７Ｃの一方端に設けられたモータ内蔵プーリ、７２Ａ，７２Ｂ，７２Ｃはベルト移動装置７Ａ，７Ｂ，７Ｃの他方端に設けられたプーリ、７３Ａ，７３Ｂ，７３Ｃはモータ内蔵プーリ７１Ａ，７１Ｂ、７１Ｃとプーリ７２Ａ，７２Ｂ，７２Ｃとに巻き掛けられたタイミングベルトである。７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃはベルト移動装置７Ａ，７Ｂ，７Ｃの長手方向に沿って伸びるガイドレール、７５Ａ，７５Ｂ，７５Ｃはタイミングベルト７３Ａ，７３Ｂ，７３Ｃに固定された移動部で、ガイドレール７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃに沿って移動し得るようにしてある。８Ａ，８Ｂ，８Ｃは移動部７５Ａ，７５Ｂ，７５Ｃに固定された保持部で、それぞれチャック４Ａ，４Ｂ，４Ｃを固定している。
【００１４】
なお、保持部８Ｂ，８Ｃはチャック４Ａ，４Ｂ，４Ｃに保持された基板ＷA ，ＷB ，ＷC が互いに上下方向に間隔を開けて重なるようにほぼコの字状に形成され、基板ＷA ，ＷB ，ＷC が互いにが干渉しないようにしてある。このような構成により、ベルト移動装置７Ａ，７Ｂ，７Ｃのモータ内蔵プーリ７１Ａ，７１Ｂ、７１Ｃを駆動することにより、タイミングベルト７３Ａ，７３Ｂ，７３Ｃ、移動部７５Ａ，７５Ｂ，７５Ｃおよび保持部８Ａ，８Ｂ，８Ｃを介してチャック４Ａ，４Ｂ，４Ｃに保持された基板ＷA ，ＷB ，ＷC を移動することができる。このとき、移動部７５Ａ，７５Ｂ，７５Ｃおよび保持部８Ａ，８Ｂ，８Ｃは単純な構造にすることができるので、容易に移動部分の剛性を高めることができ、同様に搬送中の基板ＷA 、ＷB ，ＷC の振動を防ぐことができる。なお、上記第４の参考例では複数のベルト装置を水平方向に並べて配列した例について説明したが、上記第３の参考例と同様に垂直方向に重なるように配列してもよい。また、上記第４の参考例では３個のベルト移動装置を利用した例について説明したが、チャックに保持された基板が干渉しないように保持部を形成すれば、３個に限る必要がなく４個以上のベルト移動装置を利用することもできる。したがって、この場合はコンパクトで多数の基板を同時に搬送できる。また、直線移動装置はリニアモータやベルト移動装置に限るものではなく、圧力流体によってピストンが直線移動するシリンダを利用することもできる。
【００１５】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、基板を保持するチャックを剛性の高い構成のロボットアームによって支持しているので、搬送中の基板の振動を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施例を示す正断面図である。
【図２】  本発明の第１の実施例を示す平面図である。
【図３】  本発明の第２の実施例を示す正断面図である。
【図４】  本発明の第３の実施例を示す正断面図である。
【図５】  本発明の第１の参考例を示す正断面図である。
【図６】  本発明の第１の参考例を示す平面図である。
【図７】  本発明の第２の参考例を示す正断面図である。
【図８】  本発明の第２の参考例を示す平面図である。
【図９】  本発明の第３の参考例を示す正断面図である。
【図１０】  本発明の第３の参考例を示す平面図である。
【図１１】  本発明の第４の参考例を示す正断面図である。
【図１２】  本発明の第４の参考例を示す平面図である。
【図１３】  従来例を示す正断面図である。
【符号の説明】
１：ベース、１１：駆動モータ、２：旋回基部、３Ａ，３Ｂ：ロボットアーム、３１Ａ，３１Ｂ：駆動モータ、３１１Ａ，３１１Ｂ：中空軸、３１２Ａ，３１２Ｂ：固定軸、３１３Ａ，３１３Ｂ：プーリ、３２Ａ，３２Ｂ：第１アーム、３２１Ａ，３２１Ｂ：第１旋回軸、３２２Ａ，３２２Ｂ：軸受、３２３Ａ，３２３Ｂ：プーリ、３２４Ａ，３２４Ｂ：ベルト、３３Ａ，３３Ｂ：第２アーム、３３１Ａ，３３１Ｂ：プーリ、３３２Ａ，３３２Ｂ：軸受、３３３Ａ，３３３Ｂ：第２旋回軸、３３４Ａ，３３４Ｂ：プーリ、３３５Ａ，３３５Ｂ：ベルト、３４Ａ，３４Ｂ：第３アーム、４Ａ，４Ｂ：チャック、５Ａ，５Ｂ、５Ｃ：リニアモータ、５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ：固定子、５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃ：ガイドレール、５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃ：移動子、５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃ：移動部、６Ａ，６Ｂ，６Ｃ：保持部、７Ａ，７Ｂ，７Ｃ：ベルト移動装置、７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃ：モータ内蔵プーリ、７２Ａ，７２Ｂ，７２Ｃ：プーリ、７３Ａ，７３Ｂ，７３Ｃ：タイミングベルト、７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃ：ガイドレール、７５Ａ，７５Ｂ，７５Ｃ：移動部、８Ａ，８Ｂ，８Ｃ：保持部、ＷA ，ＷB ，ＷC ：基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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