(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の薄板を内部に収納支持する容器本体と、この容器本体内に薄板を収納した状態で施蓋して内部を清浄な状態に保つ蓋体と、前記容器本体又は蓋体に取り付けられ内外側間での圧力差を調整する内圧調整機構とを備えた薄板収納容器において、
前記内圧調整機構が、
前記容器本体又は蓋体にその壁面から外部に突出して設けられ、内外側間を連通すると共にその外径が先端側に向けて縮径したテーパ状に形成された連通管と、
この連通管に着脱自在に取り付けられ、内外側間で気体の通過を許容して内部気圧を外部気圧と一致させると共に塵埃の通過を制限して内部を清浄な状態に保つ内圧調整部と、
前記連通管に併設され、この連通管に装着された内圧調整部に係止してその抜け落ちを防止する抜け落ち防止爪とからなり、
前記内圧調整部が、
前記テーパ状の連通管に整合して気密に嵌合するテーパ状の嵌合穴を有する基端管部と、
この基端管部の先端側に前記嵌合穴を塞いで設けられ、気体の通過を許容すると共に塵埃の通過を制限する濾材とを備えて構成されたことを特徴とする薄板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、内外側間で圧力差を解消して蓋体の取り外しを容易にした薄板収納容器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
内圧調整機構を備えた従来の薄板収納容器としては、本出願人が先に提案した特願平９−２５１７２４号明細書記載の「簡易着脱型蓋付き容器」がある。
【０００３】
係る簡易着脱型蓋付き容器１を図２に基づいて説明する。図中の２は容器本体である。この容器本体２内には、多数の半導体ウエハ３がウエハキャリア４に支持された状態で収納されている。図中の５は容器本体２を塞ぐ蓋体である。
【０００４】
６は簡易着脱機構である。この簡易着脱機構６の凹部７内には、内圧調整機構としてのフィルタ８が設けられている。このフィルタ８は、図３に示すように、容器本体２の壁面から外部に突出して設けられた接続管９に着脱自在に取り付けられている。フィルタ８は、接続管９に嵌合される嵌合穴８Ａを有する基端管部８Ｂと、基端管部８Ｂの先端側に形成された基端側フランジ部８Ｃと、この基端側フランジ部８Ｃに重なり合って内部に濾材収納空間８Ｄを形成する先端側フランジ部８Ｅと、前記濾材収納空間８Ｄに装着され、気体の通過を許容すると共に塵埃等の通過を制限する濾材８Ｆと、先端側フランジ部８Ｅから先端側に突出して形成され、濾材８Ｆ及び接続管９を介して内外側を連通すると共に接続管９への着脱作業の際に摘んで持つ先端管部８Ｇとから構成されている。
【０００５】
接続管９は、その基端側から先端側まで同一外径の管によって構成されている。この接続管９に嵌合する基端管部８Ｂの嵌合穴８Ａは、接続管９の形状に合わせて、その基端側から先端側まで同一内径の穴によって構成されている。基端管部８Ｂは弾力性を有し、基端管部８Ｂの嵌合穴８Ａの内径は接続管９の外径よりも僅かに小さく形成されている。これにより、接続管９に嵌合穴８Ａがはめ込まれることで、フィルタ８が接続管９に気密に取り付けられるようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記フィルタ８の接続管９への取り付け構造では、接続管９の外径及び嵌合穴８Ａの内径が、その基端側から先端側まで同一寸法に設定されているため、フィルタ８の接続管９への着脱にある程度の力を要し、着脱作業が容易ではなかった。
【０００７】
本発明は以上の不具合に鑑みなされたもので、十分な気密性を確保した状態で内圧調整部の着脱作業を容易にした薄板収納容器を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために本発明に係る薄板収納容器は、複数の薄板を内部に収納支持する容器本体と、この容器本体内に薄板を収納した状態で施蓋して内部を清浄な状態に保つ蓋体と、前記容器本体又は蓋体に取り付けられ内外側間での圧力差を調整する内圧調整機構とを備えた薄板収納容器において、前記内圧調整機構が、前記容器本体又は蓋体にその壁面から外部に突出して設けられ、内外側間を連通すると共にその外径が先端側に向けて縮径したテーパ状に形成された連通管と、この連通管に着脱自在に取り付けられ、内外側間で気体の通過を許容して内部気圧を外部気圧と一致させると共に塵埃の通過を制限して内部を清浄な状態に保つ内圧調整部と、前記連通管に併設され、この連通管に装着された内圧調整部に係止してその抜け落ちを防止する抜け落ち防止爪とからなり、前記内圧調整部が、前記テーパ状の連通管に整合して気密に嵌合するテーパ状の嵌合穴を有する基端管部と、この基端管部の先端側に前記嵌合穴を塞いで設けられ、気体の通過を許容すると共に塵埃の通過を制限する濾材とを備えて構成されたことを特徴とする。
【０００９】
前記構成により、内圧調整部を取り付けるときには、その基端管部を、容器本体又は蓋体に設けられた連通管にはめ込む。これにより、基端管部のテーパ状の嵌合穴とテーパ状の連通管とが気密に整合する。この場合、双方ともテーパ状に形成されているため、あまり強く押し込まなくても正確に整合して気密に嵌合する。この状態で、抜け落ち防止爪が内圧調整部に係止して、この内圧調整部の抜け落ちを防止する。これにより、容易に取り付けることができると共に抜け落ちが確実に防止される。
【００１０】
この状態で、容器本体内に薄板を収納して蓋体を取り付け、搬送等の用に供される。搬送途中で気圧が変化して薄板収納容器の内外で圧力差が生じると、連通管及び濾材を介して空気が容器内外で出入りして内圧が外圧と一致する。これにより、容器の内圧が外圧よりも低くなって蓋体が外れなくなるのを確実に防止することができる。
【００１１】
薄板収納容器や内圧調整部の洗浄等の保守、整備を行うときは、内圧調整部から抜け落ち防止爪を外して内圧調整部を連通管から抜き取る。このとき、内圧調整部の嵌合穴と連通管の双方ともテーパ状に形成されているため、軽い力で容易に抜き取ることができる。次いで、薄板収納容器を洗浄する。内圧調整部は、必要に応じて、洗浄したり交換したりする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。なお、本発明の薄板収納容器は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の薄板を収納、保管、輸送に用いて好適な容器である。ここで薄板とは、上述のように、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の板状の部材を言う。本実施形態では、半導体ウエハを収納する容器を例に説明する。
【００１３】
本実施形態に係る薄板収納容器１１は、図４から図６に示すように構成されている。図中の１２は容器本体である。この容器本体１２内には、多数の半導体ウエハ１３がウエハキャリア１４に支持された状態で収納されている。図中の１６は容器本体１２を塞ぐ蓋体である。この蓋体１６は、容器本体１２内に収納された半導体ウエハ１３の上半分を覆った状態で、容器本体１２に取り付けられる。蓋体１６内の上側板にはウエハ支持具１７が取り付けられている。このウエハ支持具１７は、ウエハキャリア１４に収納された半導体ウエハ１３を上側から支持して、薄板収納容器１１の移動等による振動で半導体ウエハ１３が互いに接触するのを防止するためのものである。
【００１４】
容器本体１２の上端部には、図７に示すように、ガスケット収納溝２０が設けられている。このガスケット収納溝２０は、容器本体１２の上端部全周に亘って設けられている。ガスケット収納溝２０は上方に開口して形成されており、その内部に容器内外を気密にシールするガスケット２１が収納されている。蓋体１６の下端部には、前記ガスケット収納溝２０に嵌合する嵌合溝２２が設けられている。この嵌合溝２２は、下方に開口して形成され、蓋体１６の下端部の全周に亘って設けられている。嵌合溝２２の内側壁２２Ａは、ガスケット収納溝２０内に挿入され、ガスケット２１に圧着して容器内外をシールする。嵌合溝２２の外側壁２２Ｂは、ガスケット収納溝２０の外側を覆うカバーとなっている。
【００１５】
容器本体１２と蓋体１６との間には、蓋体１６を容器本体１２に対して確実に固定すると共に容易に取り外すための簡易着脱機構２３が設けられている。この簡易着脱機構２３は、図４から図７に示すように主に、嵌合板２５と、被嵌合部２６と、分離手段２７とから構成されている。
【００１６】
嵌合板２５は、蓋体１６の嵌合溝２２の外側壁２２Ｂから、容器本体１２側へ延出して形成されている。この嵌合板２５は蓋体１６の側壁の４カ所に設けられている。嵌合板２５の中央には、後述する嵌合突起２９に嵌合する嵌合孔２５Ａが設けられている。この嵌合板２５は、弾力性を有しており、外方向（図７中の右方向）に撓むことができるようになっている。
【００１７】
被嵌合部２６は、容器本体１２の上部のうち、前記嵌合板２５に対応する位置に設けられている。この被嵌合部２６は主に、凹部２８と、この凹部２８内に設けられた嵌合突起２９とから構成されている。
【００１８】
凹部２８は、容器本体１２の側壁１２Ａと、底板３１と、両側板３２とから構成され、横長の長方形状を有している。これにより、一定距離だけ隔てられた２枚の嵌合板２５が同時に凹部２８内に収納できるようになっている。凹部２８内のうち、前記嵌合板２５の嵌合孔２５Ａに対応する位置には、この嵌合孔２５Ａに嵌合して蓋体１６を容器本体１２に固定する前記嵌合突起２９が設けられている。この嵌合突起２９は、その上側に傾斜面２９Ａを有し、下側に嵌合面２９Ｂを有している。傾斜面２９Ａは、下方へ向けて外側へせり出すように形成され、蓋体１６を容器本体１２に被せて上から押圧するときに、嵌合板２５が摺接してこの嵌合板２５を外方へ押し広げるようになっている。嵌合面２９Ｂは、嵌合孔２５Ａに直接に当接して蓋体１６を容器本体１２に固定するようになっている。即ち、傾斜面２９Ａによって押し広げられた嵌合板２５が嵌合突起２９を覆い、嵌合突起２９が嵌合孔２５Ａに整合したところで嵌り込んで、嵌合面２９Ｂが嵌合孔２５Ａに当接した状態で、蓋体１６を容器本体１２に固定するようになっている。
【００１９】
凹部２８内の一側には、図１及び図５に示すように、内圧調整機構３６が設けられている。この内圧調整機構３６は、容器本体１２の内外側間で気体の通過を許容して内部気圧を外部気圧と一致させると共に塵埃等の通過を制限するためのものである。
【００２０】
内圧調整機構３６は主に、連通管４１と、内圧調整部４２と、抜け落ち防止爪４３とから構成されている。
【００２１】
連通管４１は薄板収納容器１１の内外側間を連通するためのものである。この連通管４１は、凹部２８内において、容器本体１２の側壁１２Ａから外部に突出して設けられ、その外径が先端側に向けて縮径したテーパ状に形成されている。
【００２２】
内圧調整部４２は、連通管４１に着脱自在に取り付けられ、薄板収納容器１１の内外側間で気体の通過を許容して内部気圧を外部気圧と一致させると共に塵埃等の通過を制限して内部を清浄な状態に保つためのものである。この内圧調整部４２は、テーパ状の連通管４１に整合して気密に嵌合するテーパ状の嵌合穴４５を有する基端管部４６と、この基端管部４６の先端側に形成された基端側フランジ部４７と、この基端側フランジ部４７に重なり合って内部に濾材収納空間４８を形成する先端側フランジ部４９と、濾材収納空間４８に装着され、薄板収納容器１１の内外側間で気体の通過を許容すると共に塵埃等の通過を制限する濾材５０と、先端側フランジ部４９から先端側に延ばして設けられ、濾材５０及び連通管４１を介して内外側を連通する先端管部５１とから構成されている。
【００２３】
抜け落ち防止爪４３は、連通管４１に装着された内圧調整部４２に係止してその抜け落ちを防止するためのものである。この抜け落ち防止爪４３は、凹部２８内において、連通管４１と平行して設けられている。具体的には、容器本体１２の側壁１２Ａから連通管４１と平行に立ち上げた支持柱部４３Ａと、この支持柱部４３Ａの先端部に設けられた爪片４３Ｂとから構成されている。支持柱部４３Ａは、その先端の爪片４３Ｂが内圧調整部４２の先端側フランジ部４９に係止できる長さに設定されている。さらに、支持柱部４３Ａは弾性を有して撓むことができるようになっている。これにより、連通管４１に内圧調整部４２の基端管部４６をはめ込んでそのまま押し込むことで、基端側フランジ部４７及び先端側フランジ部４９で支持柱部４３Ａが押し曲げられて、爪片４３Ｂが先端側フランジ部４９の先端側面に係止し、内圧調整部４２が連通管４１から抜け落ちるのを防止するようになっている。
【００２４】
分離手段２７は、図７に示すように、容器本体１２側（下方）へ押圧されることで嵌合板２５を被嵌合部２６の嵌合突起２９から分離するためのものである。この分離手段２７は、傾斜面２９Ａに沿って嵌合板２５を外側へ押し出す分離板２７Ａと、この分離板２７Ａを支持する足部２７Ｂとから構成されている。
【００２５】
［動作］
以上のように構成された薄板収納容器１１では、次のようにして蓋体１６が容器本体１２に対して、取り付け及び取り外しがなされる。
【００２６】
まず、ウエハキャリア１４に半導体ウエハ１３を多数収納して、ウエハキャリア１４を容器本体１２内に装着する。この状態で、蓋体１６を容器本体１２に取り付ける。具体的には、蓋体１６を容器本体１２に被せた状態で、この蓋体１６を容器本体１２側である下方に押圧する。これにより、簡易着脱機構２３の嵌合板２５が被嵌合部２６に嵌合する。具体的には、嵌合板２５が、被嵌合部２６の嵌合突起２９の傾斜面２９Ａに摺接して、この傾斜面２９Ａに沿って押し広げられながらこの嵌合突起２９を覆う。そして、嵌合板２５の嵌合孔２５Ａが、嵌合突起２９と整合したところでこの嵌合突起２９に嵌合して、蓋体１６が容器本体１２に対して固定される。
【００２７】
蓋体１６を容器本体１２から取り外すときは、分離手段２７を下方に押し下げて、分離板２７Ａを下方へ移動させる。これにより、嵌合突起２９と嵌合板２５との間に介在した分離板２７Ａが嵌合突起２９の傾斜面２９Ａに沿って外方へ押し出される。これにより、嵌合板２５が外方へ押され、嵌合突起２９から分離される。これにより、ガスケット２１及び嵌合板２５の弾力性によって蓋体１６が多少上方へずれて、この蓋体１６の容器本体１２への固定が解消される。そして、蓋体１６を上方へ持ち上げて取り外す。
【００２８】
一方、薄板収納容器１１の輸送途中においては、周囲の気圧や気温が変化して薄板収納容器１１の内外側間での圧力差が生じることがある。この場合、内圧調整機構３６の濾材５０が塵埃等の進入を抑えて空気の通過を許容し、内部気圧を外部気圧と一致させる。これにより、薄板収納容器１１の内部気圧と外部気圧とを常に一致させることができる。この結果、薄板収納容器１１の蓋体１６の開放時に、内部気圧が外部気圧よりも低くなって、開放しづらくなる現象が解消する。
【００２９】
また、内圧調整部４２を取り付けるときには、その基端管部４６を連通管４１にはめてそのまま押し込む。これにより、基端管部４６のテーパ状の嵌合穴４５とテーパ状の連通管４１とが気密に整合する。この場合、双方ともテーパ状に形成されているため、あまり強く押し込まなくても正確に整合して気密に嵌合する。
【００３０】
この内圧調整部４２を連通管４１にはめて押し込むときに、抜け落ち防止爪４３の爪片４３Ｂの傾斜面に基端側フランジ部４７が当接して支持柱部４３Ａを押し曲げられる。この状態で基端管部４６が連通管４１にはまり込んで、爪片４３Ｂが先端側フランジ部４９に係止して、内圧調整部４２が固定される。
【００３１】
このようにして、内圧調整部４２が容易に取り付けられると共に抜け落ちが確実に防止される。
【００３２】
薄板収納容器１１や内圧調整部４２の洗浄等の保守、整備を行うときは、内圧調整部４２から抜け落ち防止爪４３を外す。即ち、爪片４３Ｂを押して先端側フランジ部４９から外す。この状態で、先端管部５１を掴んで内圧調整部４２を連通管４１から抜き取る。このとき、内圧調整部４２の嵌合穴４５と連通管４１は、双方ともテーパ状に形成されているため、軽い力で容易に抜き取ることができる。
【００３３】
次いで、薄板収納容器１１を洗浄する。内圧調整部４２は、必要に応じて、洗浄したり交換したりする。
【００３４】
［効果］
以上のように、内圧調整部４２の嵌合穴４５と連通管４１の双方をテーパ状にしたので、内圧調整部４２の基端管部４６を連通管４１に容易にはめ込むことができる。しかも、互いに嵌合した基端管部４６と連通管４１との間は、双方ともにテーパ状であるために、正確に整合して十分な気密性が確保される。この結果、薄板収納容器１１内の清浄状態が確保される。
【００３５】
さらに、基端管部４６と連通管４１がテーパ状であるために、内圧調整部４２は抜け落ち防止爪４３を外して僅かにずらすだけで、容易に取り外すことができる。
【００３６】
また、内圧調整部４２を係止する抜け落ち防止爪４３を設けたので、内圧調整部４２の不用意な脱落を確実に防止することができる。
【００３７】
また、内圧調整機構３６によって、薄板収納容器１１の内部気圧が外部気圧よりも低くなって開放しづらくなる現象が解消するため、蓋体１６の取り外しが容易になる。
【００３８】
さらに、内圧調整機構３６は凹部２８内に収納され、はみ出している部分がないので、薄板収納容器１１の移動の際に内圧調整機構３６が何かに接触して破損するのを確実に防止することができる。
【００３９】
［変形例］
（１）  前記実施形態では、内圧調整機構３６を容器本体１２の凹部２８に設けたが、容器本体１２の他の部分に設けてもよく、また容器本体１２以外に蓋体１６に設けてもよい。なおこの場合は、搬送の際に邪魔にならない部分に設ける。
【００４０】
（２）  前記実施形態では、抜け落ち防止爪４３を先端側フランジ部４９に係止するように設けたが、基端管部４６に被係止部を設けて、抜け落ち防止爪４３がその被係止部に係止するように設定してもよい。
【００４１】
（３）  濾材５０は、空気を通して塵埃等を遮断できる程度の濾過機能を持たせる。その程度は、薄板収納容器１１内に要求される清浄度に応じて設定する。
【００４２】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の薄板収納容器によれば次のような効果を奏する。
【００４３】
（１）  内圧調整部の嵌合穴と連通管の双方をテーパ状にしたので、内圧調整部の基端管部を連通管に容易にはめ込むことができるようになると共に、内圧調整部を僅かにずらすだけで容易に取り外すことができるようになる。
【００４４】
（２）  互いに嵌合する基端管部と連通管との間は、双方ともにテーパ状であるために、正確に整合して十分な気密性を確保することができ、薄板収納容器内を常に清浄な状態に保つことができるようになる。
【００４５】
（３）  内圧調整部を係止する抜け落ち防止爪を設けたので、内圧調整部の不用意な脱落を確実に防止することができる。
【００４６】
（４）  内圧調整機構によって、薄板収納容器の内部気圧と外部気圧とを常に同じ気圧に維持することができるため、蓋体の取り外しが容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る薄板収納容器の内圧調整機構を示す要部断面図である。
【図２】従来の薄板収納容器を示す側面断面図である。
【図３】従来の密閉容器の簡易着脱機構を示す要部断面図である。
【図４】本発明に係る薄板収納容器を示す側面断面図である。
【図５】本発明に係る薄板収納容器を示す側面図である。
【図６】本発明に係る薄板収納容器の蓋体を示す側面図である。
【図７】本発明に係る薄板収納容器の簡易着脱機構を示す要部断面図である。
【符号の説明】
１１：薄板収納容器、１２：容器本体、１３：半導体ウエハ、１４：ウエハキャリア、１６：蓋体、１７：ウエハ支持具、２３：簡易着脱機構、２５：嵌合板、２６：被嵌合部、２７：分離手段、２８：凹部、２９：嵌合突起、３６：内圧調整機構、４１：連通管、４２：内圧調整部、４３：抜け落ち防止爪、４３Ａ：支持柱部、４３Ｂ：爪片、４５：嵌合穴、４６：基端管部、４７：基端側フランジ部、４８：濾材収納空間、４９：先端側フランジ部、５０：濾材、５１：先端管部。
【図１】
0004037946.tif 000002
【図２】
0004037946.tif 000003
【図３】
0004037946.tif 000004
【図４】
0004037946.tif 000005
【図５】
0004037946.tif 000006
【図６】
0004037946.tif 000007
【図７】
0004037946.tif 000008