(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
枚葉基板を支持する支持部材を、収納装置本体の両側に上下に複数段配設し、収納装置本体に挿入した移載機のハンドにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の収納方法において、昇降可能に支持された支持部材と、該支持部材を所定の位置に保持するストッパーと、該ストッパーを解除するとともに前記支持部材を選択的に昇降させる昇降機構とを設け、少なくとも枚葉基板を取り出そうとする任意の支持部材を上昇させるとともに、該支持部材の下の支持部材を下降させ、これら昇降した支持部材の間にハンドを挿入し、前記任意の支持部材をハンドより下に下降させることにより枚葉基板をハンドに移載し、ハンドの抜き出し後に各支持部材を元の位置に復帰させることを特徴とする枚葉基板の収納方法。
【請求項２】
前記任意の支持部材と共に上段の支持部材を上昇させることを特徴とする請求項１記載の枚葉基板の収納方法。
【請求項３】
枚葉基板を支持する支持部材を、収納装置本体の両側に上下に複数段配設し、収納装置本体に挿入した移載機のハンドにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の収納方法において、昇降可能に支持された支持部材と、該支持部材を所定の位置に保持するストッパーと、該ストッパーを解除するとともに前記支持部材を選択的に昇降させる昇降機構とを設け、少なくとも枚葉基板を挿入しようとする任意の支持部材と該支持部材の下の支持部材とを下降させるとともに、下降した任意の支持部材の上に枚葉基板を支持したハンドを挿入し、該任意の支持部材をハンドより上に上昇させることにより枚葉基板を支持部材に移載し、ハンドの抜き出し後に各支持部材を元の位置に復帰させることを特徴とする枚葉基板の収納方法。
【請求項４】
前記任意の支持部材と共に上段の支持部材を上昇させることを特徴とする請求項３記載の枚葉基板の収納方法。
【請求項５】
枚葉基板を支持する支持部材を、収納装置本体の両側に上下に複数段配設し、収納装置本体に挿入した移載機のハンドにより枚葉基板の出し入れを行うようにした枚葉基板の収納装置において、昇降可能に支持された支持部材と、該支持部材を所定の位置に保持するストッパーと、該ストッパーを解除するとともに前記支持部材を選択的に昇降させる昇降機構とを備え、該昇降機構が、支持部材の基部を摺動可能に嵌挿する複数のガイド溝を備え、かつ回転することによりガイド溝に嵌挿した支持部材を昇降させる回転ローラと、該回転ローラを支持部材に係脱可能に進退させる横移動装置と、該回転ローラを昇降させる縦移動装置とを備えたことを特徴とする枚葉基板の収納装置。
【請求項６】
前記昇降機構が、任意の支持部材と共に上段の支持部材を上昇させることを特徴とする請求項５記載の枚葉基板の収納装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶基板等の枚葉基板を相互に接触させずに積載収納する枚葉基板の収納方法及び収納装置に関し、特に大型の液晶基板等を高密度に積載収納する枚葉基板の収納方法及び収納装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、枚葉基板を収納するカセットは、液晶基板等を互いに接触せずに積載収納し、製造装置間を移動したり、或いは、バッファの役目をするストッカに収納されるもので、基板の収納枚数は多いことが望まれている。
また、ストッカも枚葉基板を相互に接触せずに積載収納するものであるが、基板の収納枚数は多いことが望まれている。
これらの収納装置への枚葉基板の移載は、従来、２本のアームを持つＵ字形のフォークで行っていたが、この２本アームのフォークでは、液晶基板が大きくなると基板を支持するスパンも大きくなり、移載中及び収納装置内で保持しているときの基板撓みが１０ｍｍを超える大きなものとなり、各種の処理を受けた基板が内部歪によって損傷することになる。
【０００３】
このような事態を避けるために、図９〜図１０に示すように、フィッシュボーン形状をしたハンド４と、片持で基板１を支持するように装置本体の両側から張り出した支持部材２とを備えた収納装置が提案されている。
支持部材２は、先端同士の間に所定の間隔を有して対向するように配設された櫛歯状のものからなり、フレーム２２に固定されている。
また、ハンド４は、ハンド４の昇降位置で、並列する支持部材２の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、対向する支持部材２の間に位置し、前記横ハンド支持部４１を連結する長さ方向の縦ハンド支持部４２とにより構成されている。
このハンド４と支持部材２で基板１を支持することにより、基板１を小さいスパンで支持することができ、これにより、基板１の撓みを、例えば１ｍｍ以下のように小さく抑えることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このフィッシュボーン型のハンドや片持式の支持部材は、基部からの突出量が長いことから、基板の撓みを小さくするにはある程度の厚みが必要となり、基板がさらに大きくなると、ハンドや支持部材の突出量が増えることから、剛性を確保するために益々その厚みが大きくならざるを得なくなる。
その結果、支持部材同士の上下間隔、すなわち棚ピッチが、通常の収納装置の倍近くなる。これは、基板の収納枚数が半減するということであり、収納枚数を同じとすれば、高さが２倍の巨大な収納装置となることから、収納密度が低いものにならざるを得なかった。
【０００５】
本発明は、上記従来の枚葉基板の収納装置が有する問題点に鑑み、移載時には必要な支持部材同士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとすることにより、収納効率の良い高密度の枚葉基板の収納方法及び収納装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本第１発明の枚葉基板の収納方法は、枚葉基板を支持する支持部材を、収納装置本体の両側に上下に複数段配設し、収納装置本体に挿入した移載機のハンドにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の収納方法において、昇降可能に支持された支持部材と、該支持部材を所定の位置に保持するストッパーと、該ストッパーを解除するとともに前記支持部材を選択的に昇降させる昇降機構とを設け、少なくとも枚葉基板を取り出そうとする任意の支持部材を上昇させるとともに、該支持部材の下の支持部材を下降させ、これら昇降した支持部材の間にハンドを挿入し、前記任意の支持部材をハンドより下に下降させることにより枚葉基板をハンドに移載し、ハンドの抜き出し後に各支持部材を元の位置に復帰させることを特徴とする。
【０００７】
この枚葉基板の収納方法は、昇降可能に支持された支持部材と、該支持部材を所定の位置に保持するストッパーと、該ストッパーを解除するとともに前記支持部材を選択的に昇降させる昇降機構とを設け、少なくとも枚葉基板を取り出そうとする任意の支持部材を上昇させるとともに、該支持部材の下の支持部材を下降させ、これら昇降した支持部材の間にハンドを挿入し、前記任意の支持部材をハンドより下に下降させることにより枚葉基板をハンドに移載し、ハンドの抜き出し後に各支持部材を元の位置に復帰させることから、収納装置から枚葉基板を取り出すときには必要な支持部材同士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとすることができ、これにより、収納装置を格段に収納効率の良い高密度なものとすることができる。
【０００８】
また、同じ目的を達成するため、本第２発明の枚葉基板の収納方法は、枚葉基板を支持する支持部材を、収納装置本体の両側に上下に複数段配設し、収納装置本体に挿入した移載機のハンドにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の収納方法において、昇降可能に支持された支持部材と、該支持部材を所定の位置に保持するストッパーと、該ストッパーを解除するとともに前記支持部材を選択的に昇降させる昇降機構とを設け、少なくとも枚葉基板を挿入しようとする任意の支持部材と該支持部材の下の支持部材とを下降させるとともに、下降した任意の支持部材の上に枚葉基板を支持したハンドを挿入し、該任意の支持部材をハンドより上に上昇させることにより枚葉基板を支持部材に移載し、ハンドの抜き出し後に各支持部材を元の位置に復帰させることを特徴とする。
【０００９】
この枚葉基板の収納方法は、昇降可能に支持された支持部材と、該支持部材を所定の位置に保持するストッパーと、該ストッパーを解除するとともに前記支持部材を選択的に昇降させる昇降機構とを設け、少なくとも枚葉基板を挿入しようとする任意の支持部材と該支持部材の下の支持部材とを下降させるとともに、下降した任意の支持部材の上に枚葉基板を支持したハンドを挿入し、該任意の支持部材をハンドより上に上昇させることにより枚葉基板を支持部材に移載し、ハンドの抜き出し後に各支持部材を元の位置に復帰させることから、収納装置に枚葉基板を挿入するときには必要な支持部材同士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとすることができ、これにより、収納装置を格段に収納効率の良い高密度なものとすることができる。
【００１０】
この場合において、前記任意の支持部材と共に上段の支持部材を上昇させることができる。
【００１１】
これにより、ハンドの挿入に必要な支持部材同士の間隔を大きく確保することができる。
【００１２】
さらに、同じ目的を達成するため、本発明の枚葉基板の収納装置は、枚葉基板を支持する支持部材を、収納装置本体の両側に上下に複数段配設し、収納装置本体に挿入した移載機のハンドにより枚葉基板の出し入れを行うようにした枚葉基板の収納装置において、昇降可能に支持された支持部材と、該支持部材を所定の位置に保持するストッパーと、該ストッパーを解除するとともに前記支持部材を選択的に昇降させる昇降機構とを備え、該昇降機構が、支持部材の基部を摺動可能に嵌挿する複数のガイド溝を備え、かつ回転することによりガイド溝に嵌挿した支持部材を昇降させる回転ローラと、該回転ローラを支持部材に係脱可能に進退させる横移動装置と、該回転ローラを昇降させる縦移動装置とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
この枚葉基板の収納装置は、昇降可能に支持された支持部材と、該支持部材を所定の位置に保持するストッパーと、該ストッパーを解除するとともに前記支持部材を選択的に昇降させる昇降機構とを備え、該昇降機構が、支持部材の基部を摺動可能に嵌挿する複数のガイド溝を備え、かつ回転することによりガイド溝に嵌挿した支持部材を昇降させる回転ローラと、該回転ローラを支持部材に係脱可能に進退させる横移動装置と、該回転ローラを昇降させる縦移動装置とを備えることから、収納装置から枚葉基板を取り出すときには、枚葉基板を取り出そうとする任意の支持部材を上昇させるとともに、該支持部材の下の支持部材を下降させた後、任意の支持部材を挿入されたハンドより下に下降させることにより枚葉基板をハンドに移載し、ハンドの抜き出し後に各支持部材を元の位置に復帰させることができ、これにより、収納装置から枚葉基板を取り出すときには必要な支持部材同士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとすることができる。
そして、収納装置に枚葉基板を挿入するときには、枚葉基板を挿入しようとする任意の支持部材と該支持部材の下の支持部材とを下降させた後、任意の支持部材を挿入されたハンドより上に上昇させることにより枚葉基板を支持部材に移載し、ハンドの抜き出し後に各支持部材を元の位置に復帰させることができ、これにより、収納装置に枚葉基板を挿入するときには必要な支持部材同士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとすることができる。
【００１４】
この場合において、前記昇降機構が、任意の支持部材と共に上段の支持部材を上昇させることができる。
【００１５】
これにより、ハンドの挿入に必要な支持部材同士の間隔を大きく確保することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の枚葉基板の収納方法及び収納装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１７】
図１〜図６に、本発明の枚葉基板のカセット収納装置の一実施例を示す。
この枚葉基板のカセット収納装置は、枚葉基板１を支持する支持部材２を、収納装置本体３の両側に上下に複数段配設し、収納装置本体３に挿入した移載機のハンド４により枚葉基板１の出し入れを行うようになっている。
そして、このカセット収納装置は、かかる構成を基本として、昇降可能に支持された支持部材２と、該支持部材２を所定の位置に保持するストッパー５と、該ストッパー５を解除するとともに前記支持部材２を選択的に昇降させる昇降機構６とを備えている。
昇降機構６は、支持部材２の基部を摺動可能に嵌挿する複数のガイド溝７１を備え、かつ回転することによりガイド溝７１に嵌挿した支持部材２を昇降させる回転ローラ７と、該回転ローラ７を支持部材２に係脱可能に進退させる横移動装置８と、該回転ローラ７を昇降させる縦移動装置９とを備えている。
【００１８】
支持部材２は、図２に示すように、先端同士の間に所定の間隔を有して対向するように配設された櫛歯状のものからなり、基部２ａが枠体となって一体化されている。
この支持部材２は、ＬＭナット２１を介して、カセットフレーム２２に固定されたリニアガイド２３により上下方向に移動可能となっている。
この支持部材２は、移載時以外は、ストッパー５によってカセットフレーム２２の所定の位置に支持されている。
支持部材２の基部２ａには、幅方向のほぼ中央部にガイドローラ２４が取り付けられており、このガイドローラ２４は、移載作業中に回転ローラ７のガイド溝７１に嵌挿される。
【００１９】
移載機（図示省略）のハンド４は、図２に示すように、ハンド４の昇降位置で、並列する支持部材２の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、対向する支持部材２の間に位置し、前記横ハンド支持部４１を連結する長さ方向の縦ハンド支持部４２とにより構成されている。
【００２０】
ストッパー５は、図２に示すように、内装されたバネにより付勢された状態で、支持部材２の基部２ａからカセットフレーム２２側に突出するように設けられており、カセットフレーム２２に設けられた受け部に係止することにより、支持部材２を所定の高さに支持するとともに、押し込まれて退入することにより、受け部との係止状態を解除することができる。
【００２１】
回転ローラ７は、収納装置本体の左右に１対設けられており、各回転ローラ７には、それぞれが別の弧を描く３本のガイド溝７１が周方向に形成されている。この回転ローラ７は、横移動装置８のローラフレーム８１に支持されており、ローラ用モータ７２によって正逆方向に回転する。
ローラフレーム８１は、横移動装置の着脱シリンダ８２により昇降フレーム８３内を水平方向に移動できる構造になっている。
また、ローラフレーム８１には、押し棒８４が取り付けられており、回転ローラ７のガイド溝７１と支持部材２のガイドローラ２４とが噛み合うときには、この押し棒８４により支持部材２のストッパー５が押し込まれ、これにより、支持部材２はカセットフレーム２２による支持から開放される。
【００２２】
一方、縦移動装置９は、昇降フレーム８３を介して回転ローラ７を支持し、ＬＭナット９１、昇降装置フレーム９２、リニアガイド９３、昇降モータ９４及びボールネジ９５を備えている。
昇降フレーム８３は、ＬＭナット９１を介して、昇降装置フレーム９２に固定されたリニアガイド９３によって案内され、ボールネジ９５の回転により上下に移動する。
ボールネジ９５は、図１に示すように、傘歯車９６と伝導軸９７を介して昇降モータ９４により駆動されている。
【００２３】
かくして、本実施例のカセット収納装置は、収納装置から枚葉基板１を取り出すときには、図４の左半に示すように、枚葉基板１を取り出そうとする任意の支持部材２ｂとその上の支持部材２ａとを上昇させるとともに、任意の支持部材２ｂの下の支持部材２ｃを下降させた後、これら昇降した支持部材２ａ〜２ｃの間にハンド４を挿入し、任意の支持部材２ｂを挿入されたハンド４より下に下降させることにより枚葉基板１をハンド４に移載し、ハンド４の抜き出し後に各支持部材２ａ〜２ｃを元の位置に復帰させることから、収納装置から枚葉基板１を取り出すときには必要な支持部材２同士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとすることができ、これにより、収納装置を格段に収納効率の良い高密度なものとすることができる。
そして、収納装置に枚葉基板１を挿入するときには、図４の右半に示すように、枚葉基板１を挿入しようとする任意の支持部材２ｂとその下の支持部材２ｃとを下降させた後、下降した任意の支持部材２ｂの上に枚葉基板１を支持したハンド４を挿入し、上の支持部材２ａと共に、任意の支持部材２ｂを挿入されたハンド４より上に上昇させることにより枚葉基板１を支持部材２ｂに移載し、ハンド４の抜き出し後に各支持部材２ａ〜２ｃを元の位置に復帰させることから、収納装置に枚葉基板１を挿入するときには必要な支持部材２同士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとすることができ、これにより、収納装置を格段に収納効率の良い高密度なものとすることができる。
【００２４】
次に、実施例のカセット収納装置を用いた本発明の枚葉基板のカセット収納方法について説明する。
移載作業中でない通常の基板１の収納状態では、カセット収納装置の支持部材２は、狭い棚ピッチでストッパー５によりカセットフレーム２２に保持固定されている。
また、回転ローラ７も、着脱シリンダ８２により昇降フレーム８３内で後退しており、回転ローラ７のガイド溝７１は支持部材２のガイドローラ２４とは噛み合っていない状態にある。
【００２５】
次に、移載時の動作について説明すると、まず昇降モータ９４により、昇降フレーム８３が移載する支持部材２の高さに上下移動して停止する。
そして、着脱シリンダ８２により、ローラフレーム８１と回転ローラ７が水平方向に前進移動し、カセット収納装置の両側において、それぞれ回転ローラ７の３本のガイド溝７１が３段の支持部材２のガイドローラ２４と噛み合う。
このローラフレーム８１の前進時に、押し棒８４により支持部材２のストッパー５が押されて退入し、その結果、支持部材２はカセットフレーム２２による支持から開放される。
ついで、回転ローラ７が、移載作業に対応して回転し、３段の支持部材２が各自上下に移動し、移載作業が行われる。
移載が終了すると回転ローラ７は後退し、同時に押し棒８４も後退し、ストッパー５が突出してカセットフレーム２２に噛み合い、その結果、支持部材２はカセットフレーム２２に保持固定される。
【００２６】
ここで、支持部材２の昇降動作について詳しく説明すると、回転ローラ７の３本のガイド溝７１は、図６に示すように、各支持部材２の動作順を示す点線の形状に形成されており、支持部材２は、回転ローラ７の一回転で元の高さ位置に復帰する。
これを図４〜図６を参照して説明する。なお、ここで、移載作業中に移動するのは上中下段の支持部材２ａ、２ｂ、２ｃのみであり、基板１を取り出したり挿入したりするのは中段の支持部材２ｂである。
図４に示すように、基板１の「取り出し」や「挿入」作業中、複数の支持部材２ａ〜２ｃが相互に移動することにより、移載作業に必要なハンド４の挿入スペースが確保できることがわかる。
特に、図５は、１７００×１３５０×０．７ｍｍのサイズの大型基板１において、本発明による「取り出し」作業での支持部材２の動作位置寸法を示すが、棚ピッチは２５ｍｍでよく、図１０に示すような従来の棚ピッチ６０．５ｍｍに比較して、１／２．４でよいことになり、積載収納効率が大幅にアップしていることがわかる。
図６は、移動する支持部材２ａ、２ｂ、２ｃの各動作中の高さ位置の変化を示したもので、「取り出し」の場合は図の左から右へ、「挿入」の場合は図の右から左に沿ってちょうど同じ高さ位置に移動することを示している。
すなわち、「取り出し」と「挿入」では、支持部材２はちょうど逆の順序で移動することになるので、回転ローラ７の正回転と逆回転が、それぞれ「取り出し」と「挿入」に対応することになる。
【００２７】
以上の移載サイクルが完了すると、支持部材２は通常の狭いピッチの位置に戻り、収納効率のよいカセット収納装置を実現することになる。
このように、本実施例の枚葉基板のカセット収納方法及びカセット収納装置は、内部に収納できる基板１の枚数は２倍以上、或いは、収納する基板１の数を同じとすれば、カセット収納装置の高さは半分以下でよいことになり、移載やストッカでの収納の省スペースの効果は非常に大きなものになる。
【００２８】
次に、図７〜図８を参照して、本発明の枚葉基板のストッカの一実施例を説明する。なお、この実施例のストッカは、第１実施例のカセット収納装置とほぼ同様の構成を備えるため、第１実施例のカセット収納装置の図面を一部援用してその構成を説明する。
この枚葉基板のストッカは、枚葉基板１を支持する支持部材２を、装置本体３の両側に上下に複数段配設し、装置本体３に挿入した移載機のハンド４により枚葉基板１の出し入れを行うようになっている。
そして、このストッカは、かかる構成を基本として、昇降可能に支持された支持部材２と、該支持部材２を所定の位置に保持するストッパー５と、該ストッパー５を解除するとともに前記支持部材２を選択的に昇降させる昇降機構６とを備えている。
昇降機構６は、支持部材２の基部を摺動可能に嵌挿する複数のガイド溝７１を備え、かつ回転することによりガイド溝７１に嵌挿した支持部材２を昇降させる回転ローラ７と、該回転ローラ７を支持部材２に係脱可能に進退させる横移動装置８と、該回転ローラ７を昇降させる縦移動装置９とを備えている。
【００２９】
支持部材２は、図８に示すように、先端同士の間に所定の間隔を有して対向するように配設された櫛歯状のものからなり、基部２ａが枠体となって一体化されている。
この支持部材２は、ＬＭナット２１を介して、フレーム２２に固定されたリニアガイド２３により上下方向に移動可能となっている。
この支持部材２は、移載時以外は、ストッパー５によってフレーム２２の所定の位置に支持されている。
支持部材２の基部２ａには、幅方向のほぼ中央部にガイドローラ２４が取り付けられており、このガイドローラ２４は、移載作業中に回転ローラ７のガイド溝７１に嵌挿される。
【００３０】
移載機（図示省略）のハンド４は、図８に示すように、ハンド４の昇降位置で、並列する支持部材２の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、対向する支持部材２の間に位置し、前記横ハンド支持部４１を連結する長さ方向の縦ハンド支持部４２とにより構成されている。
【００３１】
ストッパー５は、図８に示すように、内装されたバネにより付勢された状態で、支持部材２の基部２ａからフレーム２２側に突出するように設けられており、フレーム２２に設けられた受け部に係止することにより、支持部材２を所定の高さに支持するとともに、押し込まれて退入することにより、受け部との係止状態を解除することができる。
【００３２】
回転ローラ７は、装置本体の左右に１対設けられており、各回転ローラ７には、それぞれが別の弧を描く３本のガイド溝７１が周方向に形成されている。
この回転ローラ７は、横移動装置８のローラフレーム８１に支持されており、ローラ用モータ７２によって正逆方向に回転する。
ローラフレーム８１は、横移動装置の着脱シリンダ８２により昇降フレーム８３内を水平方向に移動できる構造になっている。
また、ローラフレーム８１には、押し棒８４が取り付けられており、回転ローラ７のガイド溝７１と支持部材２のガイドローラ２４とが噛み合うときには、この押し棒８４により支持部材２のストッパー５が押し込まれ、これにより、支持部材２はフレーム２２による支持から開放される。
【００３３】
一方、縦移動装置９は、昇降フレーム８３を介して回転ローラ７を支持し、ＬＭナット９１、昇降装置フレーム９２、リニアガイド９３、昇降モータ９４及びボールネジ９５を備えている。
昇降フレーム８３は、ＬＭナット９１を介して、昇降装置フレーム９２に固定されたリニアガイド９３によって案内され、ボールネジ９５の回転により上下に移動する。
ボールネジ９５は、図７に示すように、傘歯車９６と伝導軸９７を介して昇降モータ９４により駆動されている。
【００３４】
かくして、本実施例のストッカは、ストッカから枚葉基板１を取り出すときには、図４の左半に示すように、枚葉基板１を取り出そうとする任意の支持部材２ｂとその上の支持部材２ａとを上昇させるとともに、任意の支持部材２ｂの下の支持部材２ｃを下降させた後、これら昇降した支持部材２ａ〜２ｃの間にハンド４を挿入し、任意の支持部材２ｂを挿入されたハンド４より下に下降させることにより枚葉基板１をハンド４に移載し、ハンド４の抜き出し後に各支持部材２ａ〜２ｃを元の位置に復帰させることから、ストッカから枚葉基板１を取り出すときには必要な支持部材２同士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとすることができ、これにより、ストッカを格段に収納効率の良い高密度なものとすることができる。
そして、ストッカに枚葉基板１を挿入するときには、図４の右半に示すように、枚葉基板１を挿入しようとする任意の支持部材２ｂとその下の支持部材２ｃとを下降させた後、下降した任意の支持部材２ｂの上に枚葉基板１を支持したハンド４を挿入し、上の支持部材２ａと共に、任意の支持部材２ｂを挿入されたハンド４より上に上昇させることにより枚葉基板１を支持部材２ｂに移載し、ハンド４の抜き出し後に各支持部材２ａ〜２ｃを元の位置に復帰させることから、ストッカに枚葉基板１を挿入するときには必要な支持部材２同士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとすることができ、これにより、ストッカを格段に収納効率の良い高密度なものとすることができる。
【００３５】
次に、実施例のストッカを用いた本発明の枚葉基板の収納方法について説明する。
移載作業中でない通常の基板１の収納状態では、ストッカの支持部材２は、狭い棚ピッチでストッパー５によりフレーム２２に保持固定されている。
また、回転ローラ７も、着脱シリンダ８２により昇降フレーム８３内で後退しており、回転ローラ７のガイド溝７１は支持部材２のガイドローラ２４とは噛み合っていない状態にある。
【００３６】
次に、移載時の動作について説明すると、まず昇降モータ９４により、昇降フレーム８３が移載する棚の位置に上下移動して停止する。
そして、着脱シリンダ８２により、ローラフレーム８１と回転ローラ７が水平方向に前進移動し、ストッカの両側で、それぞれ回転ローラ７の３本のガイド溝７１が３段の支持部材２のガイドローラ２４と噛み合う。
このローラフレーム８１の前進時に、押し棒８４によりストッパー５が押されて退入し、その結果、支持部材２はフレーム２２による支持から開放される。
ついで、回転ローラ７が、移載作業に対応して回転し、３段の支持部材２が各自上下に移動し、移載作業が行われる。
移載が終了すると回転ローラ７は後退し、同時に押し棒８４も後退し、ストッパー５が突出してフレーム２２に噛み合い、その結果、支持部材２はフレーム２２に保持固定される。
【００３７】
ここで、支持部材２の昇降動作について説明すると、回転ローラ７の３本のガイド溝７１は、図６に示すように、各支持部材２の動作順を示す点線の形状に形成されており、支持部材２は、回転ローラ７の一回転で元の高さ位置に復帰する。
これを図４〜図６を参照して説明する。なお、ここで、移載作業中に移動するのは上中下段の支持部材２ａ、２ｂ、２ｃのみであり、基板１を取り出したり挿入したりするのは中段の支持部材２ｂである。
図４に示すように、基板１の「取り出し」や「挿入」作業中、複数の支持部材２ａ〜２ｃが相互に移動することにより、移載作業に必要なハンド４の挿入スペースが確保できることがわかる。
特に、図５は、１７００×１３５０×０．７ｍｍのサイズの大型基板１において、本発明による「取り出し」作業での支持部材２の動作位置寸法を示すが、棚ピッチは２５ｍｍでよく、図１０に示すような従来の棚ピッチ６０．５ｍｍに比較して、１／２．４でよいことになり、積載収納効率が大幅にアップしていることがわかる。
図６は、移動する支持部材２ａ、２ｂ、２ｃの各動作中の高さ位置の変化を示したもので、「取り出し」の場合は図の左から右へ、「挿入」の場合は図の右から左に沿ってちょうど同じ高さ位置に移動することを示している。
すなわち、「取り出し」と「挿入」では、支持部材２はちょうど逆の順序で移動することになるので、回転ローラ７の正回転と逆回転が、それぞれ「取り出し」と「挿入」に対応することになる。
【００３８】
以上の移載サイクルが完了すると、支持部材２は通常の狭いピッチの位置に戻り、収納効率のよいストッカを実現することになる。
このように、本実施例の枚葉基板の収納方法及びストッカは、内部に収納できる基板１の枚数は２倍以上、或いは、収納する基板１の数を同じとすれば、ストッカの高さは半分以下でよいことになり、移載やストッカでの収納の省スペースの効果は非常に大きなものになる。
【００３９】
以上、本発明の実施例を説明したが、本発明の枚葉基板の収納方法及び収納装置は、実施例の記載に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜に変更することが可能である。
【００４０】
【発明の効果】
本第１発明の枚葉基板の収納方法によれば、昇降可能に支持された支持部材と、該支持部材を所定の位置に保持するストッパーと、該ストッパーを解除するとともに前記支持部材を選択的に昇降させる昇降機構とを設け、少なくとも枚葉基板を取り出そうとする任意の支持部材を上昇させるとともに、該支持部材の下の支持部材を下降させ、これら昇降した支持部材の間にハンドを挿入し、前記任意の支持部材をハンドより下に下降させることにより枚葉基板をハンドに移載し、ハンドの抜き出し後に各支持部材を元の位置に復帰させることから、収納装置から枚葉基板を取り出すときには必要な支持部材同士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとすることができ、これにより、収納装置を格段に収納効率の良い高密度なものとすることができる。
【００４１】
また、本第２発明の枚葉基板の収納方法によれば、昇降可能に支持された支持部材と、該支持部材を所定の位置に保持するストッパーと、該ストッパーを解除するとともに前記支持部材を選択的に昇降させる昇降機構とを設け、少なくとも枚葉基板を挿入しようとする任意の支持部材と該支持部材の下の支持部材とを下降させるとともに、下降した任意の支持部材の上に枚葉基板を支持したハンドを挿入し、該任意の支持部材をハンドより上に上昇させることにより枚葉基板を支持部材に移載し、ハンドの抜き出し後に各支持部材を元の位置に復帰させることから、収納装置に枚葉基板を挿入するときには必要な支持部材同士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとすることができ、これにより、収納装置を格段に収納効率の良い高密度なものとすることができる。
【００４２】
また、前記任意の支持部材と共に上段の支持部材を上昇させることにより、ハンドの挿入に必要な支持部材同士の間隔を大きく確保することができる。
【００４３】
さらに、本発明の枚葉基板の収納装置によれば、昇降可能に支持された支持部材と、該支持部材を所定の位置に保持するストッパーと、該ストッパーを解除するとともに前記支持部材を選択的に昇降させる昇降機構とを備え、該昇降機構が、支持部材の基部を摺動可能に嵌挿する複数のガイド溝を備え、かつ回転することによりガイド溝に嵌挿した支持部材を昇降させる回転ローラと、該回転ローラを支持部材に係脱可能に進退させる横移動装置と、該回転ローラを昇降させる縦移動装置とを備えることから、収納装置から枚葉基板を取り出すときには、枚葉基板を取り出そうとする任意の支持部材を上昇させるとともに、該支持部材の下の支持部材を下降させた後、任意の支持部材を挿入されたハンドより下に下降させることにより枚葉基板をハンドに移載し、ハンドの抜き出し後に各支持部材を元の位置に復帰させることができ、これにより、収納装置から枚葉基板を取り出すときには必要な支持部材同士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとすることができる。
そして、収納装置に枚葉基板を挿入するときには、枚葉基板を挿入しようとする任意の支持部材と該支持部材の下の支持部材とを下降させた後、任意の支持部材を挿入されたハンドより上に上昇させることにより枚葉基板を支持部材に移載し、ハンドの抜き出し後に各支持部材を元の位置に復帰させることができ、これにより、収納装置に枚葉基板を挿入するときには必要な支持部材同士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとすることができる。
【００４４】
また、前記昇降機構が、任意の支持部材と共に上段の支持部材を上昇させることにより、ハンドの挿入に必要な支持部材同士の間隔を大きく確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の枚葉基板のカセット収納装置の一実施例を示す正面図である。
【図２】同実施例のカセット収納装置を示す平面図である。
【図３】同実施例のカセット収納装置を示す要部の正面図である。
【図４】支持部材の移載動作中の昇降動作を示す説明図である。
【図５】支持部材の移載動作中の棚ピッチの寸法を示す図である。
【図６】回転ローラのガイド溝の形状と、このガイド溝により移動する支持部材の動作中の高さ位置の変化を示す図である。
【図７】本発明の枚葉基板のストッカの一実施例を示す正面図である。
【図８】同実施例のストッカを示す平面図である。
【図９】従来のフィッシュボーン型ハンドを用いる収納装置を示す平面図である。
【図１０】同平面図である。
【符号の説明】
１    枚葉基板
２    支持部材
２１  ＬＭナット
２２  フレーム（カセットフレーム）
２３  リニアガイド
２４  ガイドローラ
３    収納装置本体
４    ハンド
４１  横ハンド支持部
４２  縦ハンド支持部
５    ストッパー
６    昇降機構
７    回転ローラ
７１  ガイド溝
７２  ローラ用モータ
８    横移動装置
８１  ローラフレーム
８２  着脱シリンダ
８３  昇降フレーム
８４  押し棒
９    縦移動装置
９１  ＬＭナット
９２  昇降装置フレーム
９３  リニアガイド
９４  昇降モータ
９５  ボールネジ
９６  傘歯車
９７  伝導軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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