(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを形成するリードの幅、ピッチ、長さ、位置などを測定するための電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置であって、外部の雰囲気と遮断した測定室と、前記測定室内部と連通し、一定の湿度に調湿した空気を前記測定室内に供給する調湿装置と、電子部品実装用フィルムキャリアテープを調湿するために、前記測定室内部に配設した調湿用のテープ載置台と、前記調湿された電子部品実装用フィルムキャリアテープを、前記テープ載置台から取り出し、前記測定室内部に配設した測長装置に搬送する搬送装置と、前記搬送装置により搬送された電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅、ピッチなど測定する測長装置と、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを脱着自在に固定する測定用固定プレートを備え、該測定用固定プレートが前記テープ載置台に形成されたプレート載置棚に脱着自在に挿入されるように構成されていることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置。
【請求項２】
前記テープ載置台には、複数のプレート載置棚が形成され、それぞれのプレート載置棚に、電子部品実装用フィルムキャリアテープを脱着自在に固定した測定用固定プレートが脱着自在に挿入されるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置。
【請求項３】
前記測定用固定プレートには、該測定用固定プレートに固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープに対応する固有情報を有するバーコードを脱着自在に固定するサンプル情報固定部が備えられていることを特徴とする請求項１から２のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置。
【請求項４】
前記測定用固定プレートには、該測定用固定プレートに固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部に対応した位置を示す位置指定部が形成されていることを特徴とする請求項２から３のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置。
【請求項５】
前記位置指定部が、前記測定用固定プレートに複数形成された位置指定ピン用孔と、該位置指定ピン用孔に脱着自在に嵌合される位置指定ピンから構成されていることを特徴とする請求項４に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置。
【請求項６】
前記測長装置が、前記測定用固定プレート上のバーコードを読み込んだ電子部品実装用フィルムキャリアテープの固有情報と、前記位置指定部から検出した位置情報に基づいて、電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部を測定するように構成されていることを特徴とする請求項３から５のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置。
【請求項７】
電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを形成するリードの幅、ピッチ、長さ、位置などを測定する電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法であって、外部の雰囲気と遮断した測定室内部に配設した調湿用のテープ載置台に電子部品実装用フィルムキャリアテープを載置し、一定の湿度に調湿した空気を測定室内に供給して、電子部品実装用フィルムキャリアテープを調湿し、前記調湿された電子部品実装用フィルムキャリアテープを、載置台から取り出して、前記測定室内部に配設した測長装置に搬送し、前記搬送装置により搬送された電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅、ピッチなどを測長装置を用いて測定するとともに、測定用固定プレートに脱着自在に固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープに対応する固有情報を有するバーコードを読み込み、測定用固定プレートに固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部に対応した位置を示す位置指定部から位置情報を検出し、これに基づいて、電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部を測定することを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法。
【請求項８】
測定用固定プレートに脱着自在に固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープに対応する固有情報を有するバーコードを読み込み、測定用固定プレートに固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部に対応した位置を示す位置指定部から位置情報を検出し、これに基づいて、電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部を測定することを特徴とする請求項７に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法。
【請求項９】
前記位置指定部から検出した位置情報が、位置指定ピン用孔に嵌合され位置指定ピンから検出した位置情報であることを特徴とする請求項８に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品実装用フィルムキャリアテープ（ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープ、Ｔ-ＢＧＡ(Tape Ball Grid Array)テープ、ＣＳＰ（Chip Size Package）テープ、 ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）テープなど）（以下、単に「電子部品実装用フィルムキャリアテープ」と言う。）について、出荷前にサンプルを抽出して、そのサンプルのリードの幅、ピッチ、長さ、位置などを測定するための電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置および電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法、ならびにそのために用いる測定用固定プレートに関する。
【０００２】
【従来の技術】
エレクトロニクス産業の発達に伴い、ＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）などの電子部品を実装するプリント配線板の需要が急激に増加しているが、電子機器の小型化、軽量化、高機能化が要望され、これら電子部品の実装方法として、最近ではＴＡＢテープ、Ｔ-ＢＧＡテープおよびＡＳＩＣテープなどの電子部品実装用フィルムキャリアテープを用いた実装方式が採用されている。特に、パーソナルコンピュータなどのように高精細化、薄型化、液晶画面の額縁面積の狭小化が要望されている液晶表示素子（ＬＣＤ）を使用する電子産業においてその重要性が高まっている。
【０００３】
このような電子部品実装用フィルムキャリアテープでは、出荷前に電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルを抽出して、そのサンプルの、例えば、デバイスホール内に突設するインナーリードなどの幅、ピッチ、長さ、位置など（以下、単に「リード寸法」と言う。）が所定の範囲内にあるかどうかを測定する品質検査が行われている。
【０００４】
このように電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルのリード寸法を測定する場合、ソルダーレジストなどを塗布した後に、ソルダーレジストを硬化させるために乾燥炉内で乾燥させているため、電子部品実装用フィルムキャリアテープが乾燥して縮んだ状態となっているので、正確な測定を行うために、通常、湿度を、一定に保った恒温恒湿槽内で、例えば、２５℃、湿度６０％、４８時間、調湿して寸法を安定させた後、これをいったん恒温恒湿槽内から取り出した後、別途設けられた測長装置でリード寸法を測定していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような測定方法では、恒温恒湿槽内で調湿して寸法を安定させた後、サンプルをいったん恒温恒湿槽内から取り出した後、別途設けられた測長装置でリード寸法を測定するので、測定までの時間が長い場合には、取り出した後の外部の雰囲気の影響を受けて、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルが吸湿して伸びたり、乾燥して縮んで反りが発生したりする場合があり、正確な測定を行うことができなかった。
【０００６】
また、このように、恒温恒湿槽内で湿して寸法を安定させた後、サンプルをいったん恒温恒湿槽内から取り出した後、別途設けられた測長装置でリード寸法を測定するので、煩雑な作業が必要となり、大量のサンプルを測定するのには、非常に時間と手間がかかることとなっていた。
また、従来では、恒温恒湿槽での処理時間の管理を、サンプルに付設したタグ等に記載した情報に基づいて、恒温恒湿槽を設定する必要があるので、煩雑な作業が必要であった。
【０００７】
さらに、従来では、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプル２００を、図１５に示したように、２枚のガラス板２０２の間に挟んで、これを測長装置の測定テーブルに載置している。そして、サンプル毎に、サンプル２００の測定すべき電子部品実装部２０４に対応した位置を、測長装置にキーボードなどの入力装置で入力するとともに、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプル２００に対応した製品の種類、ロット番号などの固有情報を入力して、測定しなければならないため非常に複雑な作業を必要としていた。
【０００８】
本発明は、このような現状を考慮して、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルのリードの幅、ピッチ、長さ、位置などのリード寸法を、自動的に、短時間に、しかも、正確に精度良く、大量のサンプルのリード寸法を測定可能な電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置および電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法、ならびにそのために用いる測定用固定プレートを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明なされたものであって、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置は、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを形成するリードの幅、ピッチ、長さ、位置などを測定するための電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置であって、
外部の雰囲気と遮断した測定室と、
前記測定室内部と連通し、一定の湿度に調湿した空気を前記測定室内に供給する調湿装置と、
電子部品実装用フィルムキャリアテープを調湿するために、前記測定室内部に配設した調湿用のテープ載置台と、
前記調湿された電子部品実装用フィルムキャリアテープを、前記テープ載置台から取り出し、前記測定室内部に配設した測長装置に搬送する搬送装置と、
前記搬送装置により搬送された電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅、ピッチなど測定する測長装置とを備えることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法は、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを形成するリードの幅、ピッチ、長さ、位置などを測定する電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法であって、
外部の雰囲気と遮断した測定室内部に配設した調湿用のテープ載置台に電子部品実装用フィルムキャリアテープを載置し、
一定の湿度に調湿した空気を測定室内に供給して、電子部品実装用フィルムキャリアテープを調湿し、
前記調湿された電子部品実装用フィルムキャリアテープを、載置台から取り出して、前記測定室内部に配設した測長装置に搬送し、
前記搬送装置により搬送された電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅、ピッチなどを測長装置を用いて測定することを特徴とする。
【００１１】
このようにすることによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルに対して、測定室内部で、一定時間調湿を行い、その寸法を安定させた状態で、測定室内部に配設された測長装置で、サンプルのリードの幅、ピッチ、長さ、位置などのリード寸法を測定するので、従来のようにサンプルをいったん恒温恒湿槽内から取り出す必要がない。
【００１２】
従って、自動的に、短時間に行え、その作業性が極めて向上するとともに、サンプルの寸法が安定した状態のままで測定できるので、正確に精度良く、大量のサンプルのリード寸法を測定することが可能である。
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置は、電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置は、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを脱着自在に固定する測定用固定プレートを備え、該測定用固定プレートが前記テープ載置台に形成されたプレート載置棚に脱着自在に挿入されるように構成されていることを特徴とする。
【００１３】
このように構成することによって、測定用固定プレートに電子部品実装用フィルムキャリアテープを固定した状態で、測定室で調湿し、測長装置に搬送して測定するので、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルが、搬送の際に損傷することなく、しかも、測長装置で測定する際に電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルが移動することがないので、正確な測定を行うことができる。
【００１４】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置は、前記テープ載置台には、複数のプレート載置棚が形成され、それぞれのプレート載置棚に、電子部品実装用フィルムキャリアテープを脱着自在に固定した測定用固定プレートが脱着自在に挿入されるように構成されていることを特徴とする。
このように構成することによって、一度に複数の電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルを、測定室内で調湿して、測長装置で順に測定することができるので、大量のサンプルについて、調湿と測定を自動的に実施することができる。
【００１５】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置は、前記測定用固定プレートには、該測定用固定プレートに固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープに対応する固有情報を有するバーコードを脱着自在に固定するサンプル情報固定部が備えられていることを特徴とする。
これにより、サンプル情報固定部に固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープに対応する製品の種類、ロット番号などの固有情報を有するバーコードを、バーコードリーダなどの読みとり装置で読みとり、測長装置に入力することによって、固有情報に対応した測定値を得ることができる。
【００１８】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置は、前記測長装置が、前記測定用固定プレート上のバーコードを読み込んだ電子部品実装用フィルムキャリアテープの固有情報と、前記位置指定部から検出した位置情報に基づいて、電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部を測定するように構成されていることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法は、測定用固定プレートに脱着自在に固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープに対応する固有情報を有するバーコードを読み込み、
測定用固定プレートに固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部に対応した位置を示す位置指定部から位置情報を検出し、これに基づいて、電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部を測定することを特徴とする。
【００２０】
従って、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対応する製品の種類、ロット番号などの固有情報に対応し、しかも正確に測定すべき電子部品実装部を測定した測定値を得ることができる。
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法は、前記位置指定部から検出した位置情報が、位置指定ピン用孔に嵌合され位置指定ピンから検出した位置情報であることを特徴とする。
【００２１】
これにより、電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部の位置に対応して、位置指定ピン用孔を選択して位置指定ピンを嵌合するだけで、電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部の位置を、測長装置で検知して正確に測定すべき電子部品実装部を測定することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態（実施例）について説明する。図１は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の正面図、図２は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の上面図、図３は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の測定室内部の正面図、図４は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の測定室内部の上面図、図５は、図４のＶ方向端面図、図６は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の搬送装置の部分拡大正面図、図７は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の測長装置の拡大上面図である。
【００２３】
図１および図２に示したように、１０は全体で本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置（以下、単に「測定装置」と言う。）を示している。
測定装置１０は、工場の床Ａなどの上に設置された測定装置本体１２と、測定装置本体１２の側部に配置された調湿装置１４を備えている。また、測定装置本体１２には、測定室１６と、測定室１６の側方に設けられた制御部１８とが設けられている。
【００２４】
この測定室１６は、略箱体形状であり、その前部には、透明な耐熱ガラスからなる開閉自在な開閉扉２０、２２が設けられ、測定室１６の内部に測定対象である電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルを出し入れできるようになっている。なお、図示しないが、この開閉扉２０、２２には、シール部材が装着されており、外部の雰囲気と遮断されるように気密構造となっている。なお、図中、２４は、開閉扉２０、２２の操作用の把手である。
【００２５】
また、測定室１６の一方の側壁２６には、吸気管２８と排気管３０とが、図示しない吸気口と排気口とを介してそれぞれ連結され、これらの吸気管２８と排気管３０は、他方側で調湿装置１４に接続されている。この調湿装置１４は、図示しないブロワーなどにより、吸気管２８から吸い込んだ測定室１６内部の空気を、図示しない加熱装置と加湿装置によって、所定の温度と湿度に加熱、加湿して、排気管３０を介して、再び測定室１６内部に送り込むためのものである。
【００２６】
測定室１６の内部には、図３〜図５に示したように、測定室１６の一方の側壁２６に設けた吸気口と排気口の側に、測定室１６の底壁３２に一対の案内レール３４、３４が、測定室１６の横方向に設けられており、その上をテープ載置台３６が、測定用プレート挿入位置である手前側、すなわち開閉扉２０、２２側と、図４に示した調湿、測定位置Ｂとの間を、図示しないモータ、ピストンシリンダ機構などの駆動機構により移動自在に構成されている。
【００２７】
このテープ載置台３６には、図４に示したように、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルを固定した測定用プレート９０を出し入れするための複数のプレート載置棚３８が形成されている。これらのプレート載置棚３８には、両側部内壁に複数のガイド溝４０が形成されており、これらのガイド溝４０に、測定用プレート９０を、テープ載置台３６の開口側４２から挿入することによって、プレート載置棚３８に測定用プレート９０を載置することができるようになっている。
【００２８】
このテープ載置台３６の開口側４２には、測定用プレート９０をテープ載置台３６から取り出し、測定室１６の内部に配設した測長装置６４に搬送するための搬送装置４４が設けられている。
この搬送装置４４は、測定室１６の後壁４６の内部に設けられ測定室１６の長手方向に、テープ載置台３６から測長装置６４まで延設された一対の案内レール４８が設けられている。この案内レール４８には、搬送部本体５０が、この案内レール４８に沿って、ピストンシリンダ機構などの駆動機構５２により移動自在に装着されている。
【００２９】
搬送部本体５０には、上下方向に一対の案内レール５４が設けられており、この案内レール５４に沿って移動可能なように、搬送装置本体５６が、図示しないモーター、ピストンシリンダ機構などの駆動機構により移動自在に装着されている。
この搬送装置本体５６は、図６に示したように、略平板形状の搬送アーム５８を備えている。この搬送アーム５８の基端部６０は、モータ６２の駆動軸６３に接続されており、これにより、モータ６２の駆動によって、搬送アーム５８が、図３の矢印Ｃで示したように１８０°回転できるようになっている。また、この搬送アーム５８は、図示しない真空源に接続されており、その上面に測定用プレート９０を吸着支持できるようになっている。
【００３０】
また、搬送装置４４のテープ載置台３６と対向する側には、搬送装置により搬送された電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅、ピッチなどのリード形状を測定する測長装置６４が設けられている。
この測長装置６４は、図７に示したように、測定室１６の底壁３２に設けられた基台６６を備えている。この基台６６上には、ＸＹステージが配置されている。
【００３１】
すなわち、基台６６上には、基台６６上に配設された一対のガイドレール７１の上をＸ方向に移動可能にＸ軸ステージ７０が配置されている。なお、このＸ軸ステージ７０は、基台６６上に設けられたモータ７２とこれに接続したボールネジ７３の作動によって、ガイドレール７１の上をＸ方向に移動可能となっている。
【００３２】
また、このＸ軸ステージ７０上には、一対のガイドレール７２が固定されており、このガイドレール７２上をＹ方向に移動可能にＹ軸ステージ７４が配置されている。なお、このＹ軸ステージ７４は、Ｘ軸ステージ７０上に設けられたモータ７６とこれに接続したボールネジ７８の作動によって、ガイドレール７２の上をＸ方向に移動可能となっている。
【００３３】
一方、このＸ−Ｙステージの上方には、Ｚ軸ステージ８０が配置されている。すなわち、基台６６上には、アーチ型の支持柱部材８２が立設されており、この支持柱部材８２の中央部分に上下方向に設けられたガイドレール８４の上をＺ方向に移動可能に、自動焦点式の光学顕微鏡８８が配置されている。なお、この光学顕微鏡８８は、支持柱部材８２上に設けられたモータ８４とこれに接続したボールネジ８６の作動によって、ガイドレール８４の上をＺ方向に移動可能となっている。
【００３４】
このように構成される測長装置６４は、Ｙ軸ステージ７４上に搬送された測定用プレート９０上に固定された電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルの幅、ピッチなどのリード形状を、Ｘ軸ステージ７０、Ｙ軸ステージ７４をそれぞれＸ方向、Ｙ方向に移動することによって、平面的な長さを、Ｚ軸ステージ８０をＺ方向に移動させることによって焦点距離によって、Ｚ方向、すなわち上下方向の長さを測定して、リードの形状を三次元的に解析できるように構成されている。なお、図示しないが、この測長装置６４の下方には、透過光照射装置が配設されており、この透過光照射装置から照射された透過光が、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルを透過することによって、光学顕微鏡８８によりリード形状が測定できるようになっている。なお、この場合、透過光式の代わりに、反射式の顕微鏡を用いることも勿論可能である。
【００３５】
一方、図８および図９に示したように、測定用プレート９０は、略平板形状の枠部材９２を備えており、その一部分に矩形状の開口部９４が形成されており、この開口部９４に透明なガラス９６が嵌め込まれている。このガラス９６上に、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプル９８が、所定位置に固定されるサンプル固定部９５となっている。
【００３６】
すなわち、略平板形状の枠部材９２の開口部９４の左端側には、開口部９４の左側部９４ａに沿って、平行な２本のスライド溝１００、１０２が形成されている。これらのスライド溝１００、１０２には、図１０および図１１に示したような形状のサンプル９８を係止固定するための係止部材１０４が脱着自在に装着されるものである。
【００３７】
この係止部材１０４は、図１０および図１１に示したように、略三角形形状の係止板部材１０６と、この係止板部材１０６の基端部の下面に突設された２個の係止ピン１０８と、係止板部材１０６の先端部の下面に突設されたスプロケット孔係止用ピン１１０と、係止板部材１０６の中央部の上面に突設された操作摘み部材１１２とから構成されている。
【００３８】
また、この溝１００、１０２の上下の終端の両側には、ぞれぞれ、係止部材１０４を固定するために、係止部材１０４の係止ピン１０８とスプロケット孔係止用ピン１１０にそれぞれ対応する係止部材固定用係止孔１１４、１１６が形成されている。
一方、枠部材９２の開口部９４の上下には、サンプル９８の測定すべき電子部品実装部９９に対応した位置を示す位置指定部１０１が形成されている。すなわち、開口部の上下端９４ｂ、９４ｃに沿ってそれぞれ、複数の位置指定ピン用孔１１８、１２０が形成されている。この位置指定ピン用孔１１８、１２０には、図１２に示したような構造の位置指定ピン１２２が脱着自在に嵌合されるようになっている。
【００３９】
さらに、枠部材９２の開口部９４の下方の枠部分１２４には、サンプル情報固定部１２６が形成されている。
すなわち、下方の枠部分１２４の左端部近傍には、クリップ部材１２５が設けられている。このクリップ部材１２５は、その基端部１２８が、ネジなどの締結部材１３０で下方の枠部分１２４で固定されるとともに、蝶番部材１３２を介して、クリップ部１３４が開閉できるようになっている。
【００４０】
また、下方の枠部分１２４には、平行な２本のスライド用金具１３６が形成され、このスライド用金具１３６に沿って、左右に移動自在にクリップ部材１３８が装着されている。このクリップ部材１３８は、クリップ部材１２５とほぼ同様な構成であり、基端部１４０が、ネジなどの締結部材１４２で下方のスライド用金具１３６にスライド可能に固定されるとともに、蝶番部材１４４を介して、クリップ部１４６が開閉できるようになっている。
【００４１】
このように構成される測定用プレート９０を用いる場合には、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプル９８の端部のスプロケット孔９３、９３にそれぞれ、係止部材１０４のスプロケット孔係止用ピン１１０を係合する。そして、片方の係止部材１０４を、係止部材固定用係止孔１１４にそれぞれ、係止部材１０４の係止ピン１０８とスプロケット孔係止用ピン１１０を嵌合させる。一方、他方の係止部材１０４を、係止ピン１０８をスライド溝１００に、スプロケット孔係止用ピン１１０をスライド溝１０２に嵌合することによって、図８に示したように、サンプル９８を開口部９４のガラス９６上に所定位置に固定する。
【００４２】
なお、２枚のサンプル９８を開口部９４のガラス９６上の所定位置に固定する必要がある場合には、同様にして、開口部９４のガラス９６上に所定位置に固定する。但し、この場合には、係止部材固定用係止孔１１４の代わりに、係止部材固定用係止孔１１６を用いればよい。
この場合、片方の係止部材１０４が、スライド溝１００とスライド溝１０２に沿ってスライドできるようになっているので、サンプル９８の幅が異なる場合でも、固定できるようになっている。
【００４３】
そして、サンプル９８の測定すべき電子部品実装部９９に対応した位置の位置指定ピン用孔１１８、１２０にそれぞれ、位置指定ピン１２２を嵌合させる。
また、サンプル９８を保護するカバー部材１５０には、サンプル９８に対応した製品の種類、ロット番号などの固有情報が記載されたバーコード部材１５２が貼付されており、このカバー部材１５０を、クリップ部材１２５のクリップ部１３４と、クリップ部材１３８のクリップ部１４６に挟んで固定するようになっている。この場合、クリップ部材１３８が、スライド用金具１３６に沿って左右に移動できるようになっているので、サンプル９８の長さが異なる場合、すなわち、カバー部材１５０の長さが異なる場合でも、カバー部材１５０を固定できるようになっている。
【００４４】
一方、測長装置６４のＹ軸ステージ７４上には、図１３および図１４に示したように、測定用プレート９０を固定するための固定用治具１５４が固定されている。この固定用治具１５４は、Ｙ軸ステージ７４上にネジなどの締結部材１５７で固定された固定基台１５６を備えており、固定基台１５６の上面には、搬送装置４４の搬送アーム５８を挿入するために挿入用凹部１５８が形成されている。また、固定基台１５６の上面には、略Ｌ字形状のストッパ部材１６０、１６２が形成されており、このストッパ部材１６０に対峙するように、固定用当接部材１６２が、エアシリンダ１６４により移動できるようになっている。これにより、測定用プレート９０をその側端部９０ｂ、９０ｃをストッパ部材１６０、１６２に当接した後、エアシリンダ１６４を作動させて、固定用当接部材１６２を測定用プレート９０の側端部９０ａに当接させて固定する。なお、この際、固定用当接部材１６２に設けた三角形状の突設部１６６が、測定用プレート９０の側端部９０ａの中央部に形成した三角形状の切欠部に係合して、測定用プレート９０を固定用治具１５４上に緊密に固定して移動しないようにして、正確な測定を行えるようになっている。
【００４５】
このように構成される本発明の測定用プレート９０を用いて測定装置１０で、サンプル９８のリードの幅、ピッチ、長さ、位置などのリード形状を測定する方法について、以下に説明する。
先ず、前述したように、測定用プレート９０のサンプル固定部９５の所定位置にサンプル９８を固定し、位置指定部１０１でサンプル９８の測定すべき電子部品実装部９９に対応した位置に位置指定ピン１２２を嵌合させるとともに、バーコード部材１５２が貼付されたカバー部材１５０をサンプル情報固定部１２６に固定する。
【００４６】
予め、制御部１８の制御によって、テープ載置台３６が測定用プレート挿入位置である手前側、すなわち開閉扉２０、２２側まで一対の案内レール３４、３４上を移動させる。この状態で、上記のように準備した複数の測定用プレート９０を、測定室１６の開閉扉２０、２２を開けて、テープ載置台３６の複数のプレート載置棚３８のガイド溝４０に、テープ載置台３６の開口側４２から挿入することによって、プレート載置棚３８にそれぞれ載置する。
【００４７】
そして、開閉扉２０、２２を閉めて、制御部１８に開始信号を、キーボードなどの図示しない入力手段で入力する。
これにより、制御部１８の制御によって、テープ載置台３６が、案内レール３４、３４上を、調湿、測定位置Ｂまで移動される。
測定位置Ｂまでテープ載置台３６が移動したことを検知した後、調湿装置１４が作動して、吸気管２８から吸い込んだ測定室１６内部の空気を、加熱装置と加湿装置によって、制御部１８に入力しておいたプログラムに従って、所定の温度と湿度（例えば、２５℃、湿度６０％）に加熱、加湿して、排気管３０を介して、再び測定室１６内部に送り込む。
【００４８】
これにより、測定室１６の内部で、テープ載置台３６のプレート載置棚３８に載置された測定用プレート９０に固定したサンプル９８について、一定時間調湿が行われ、その寸法を安定させることができる。
そして、予め、制御部１８に入力しておいたプログラムに従って、一定時間、例えば、４８時間経過した後、搬送装置４４が作動して、搬送部本体５０が案内レール５４に沿って上方向に移動して、テープ載置台３６のプレート載置棚３８の最上部に位置する測定用プレート９０のすぐ下方に、搬送アーム５８が位置する。
【００４９】
この状態で、駆動機構５２が作動して、搬送部本体５０が、案内レール４８に沿って、テープ載置台３６の方向に移動して、テープ載置台３６の開口側４２を介して、テープ載置台３６のプレート載置棚３８の最上部に位置する測定用プレート９０のすぐ下方に、搬送アーム５８が挿入される。この状態で、真空源を作動して、搬送アーム５８の上面に測定用プレート９０を吸着支持する。
【００５０】
次に、再び、駆動機構５２が作動して、搬送部本体５０が、案内レール４８に沿って、測長装置６４の方向に移動して、テープ載置台３６の開口側４２を介して、プレート載置棚３８の最上部に位置する測定用プレート９０を、搬送アーム５８とともにガイド溝４０に沿って引き抜く。
そして、完全に測定用プレート９０が、プレート載置棚３８から引き抜かれた状態で、搬送部本体５０の測長装置６４の方向への移動が停止して、モータ６２の駆動によって、搬送アーム５８が、図３の矢印Ｃで示したように、測長装置６４の方向へ１８０°回転する。
【００５１】
この状態で、搬送部本体５０が案内レール５４に沿って下方向に移動して、搬送アーム５８が、測長装置６４のＹ軸ステージ７４上の固定用治具１５４の挿入用凹部１５８の位置にくるように移動する。
次に、再び、駆動機構５２が作動して、搬送部本体５０が、案内レール４８に沿って、測長装置６４の方向に移動して、搬送アーム５８が測長装置６４のＹ軸ステージ７４上の固定用治具１５４の挿入用凹部１５８内に挿入される。これにより、その上面に吸着した測定用プレート９０を、固定用治具１５４の固定基台１５６の上面に、その側端部９０ｂ、９０ｃをストッパ部材１６０、１６２に当接させる。その後、エアシリンダ１６４を作動させて、固定用当接部材１６２を測定用プレート９０の側端部９０ａに当接させて固定する。なお、この際、固定用当接部材１６２に設けた三角形状の突設部１６６が、測定用プレート９０の側端部９０ａの中央部に形成した三角形状の切欠部に係合して、測定用プレート９０を固定用治具１５４上に緊密に固定して移動しないようになっている。
【００５２】
そして、真空源を解除して、搬送アーム５８の上面の測定用プレート９０の吸着支持を解除する。そして、再び、駆動機構５２が作動して、搬送部本体５０が、案内レール４８に沿って、テープ載置台３６の方向に移動して搬送アーム５８を、固定用治具１５４の挿入用凹部１５８から引き抜く。
この状態で、図示しない、測長装置６４に付設したバーコードリーダにより、固定用治具１５４上に固定された測定用プレート９０上のカバー部材１５０のバーコード部材１５２を走査して、サンプル９８に対応した製品の種類、ロット番号などの固有情報を読み込む。
【００５３】
これと同時に、図示しない、測長装置６４に付設した位置センサーにより、位置指定ピン用孔１１８、１２０に嵌合された位置指定ピン１２２の位置をスキャニングして、サンプル９８の測定すべき電子部品実装部９９に対応した位置情報が読み込まれる。これらの情報は、制御部１８に入力され記憶される。
これらの情報に基づいて、予め設定されたプログラムに従い、Ｙ軸ステージ７４上に搬送された測定用プレート９０上に固定された電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルの幅、ピッチなどのリード形状を、Ｘ軸ステージ７０、Ｙ軸ステージ７４をそれぞれＸ方向、Ｙ方向に移動することによって、平面的な長さを、Ｚ軸ステージ８０をＺ方向に移動させることによって焦点距離によって、Ｚ方向、すなわち上下方向の長さを測定して、リードの形状を三次元的に解析され、この情報が、制御部１８に入力され記憶される。
【００５４】
このように電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルの幅、ピッチなどのリード形状の測定が終了した後、再び、駆動機構５２が作動して、搬送部本体５０が、案内レール４８に沿って、測長装置６４の方向に移動して、搬送アーム５８が固定用治具１５４の挿入用凹部１５８内に挿入される。
そして、真空源を作動して、搬送アーム５８の上面に測定用プレート９０を吸着支持をする。そして、エアシリンダ１６４を作動させて、固定用当接部材１６２を後退させて、測定用プレート９０の側端部９０ａへの当接固定を解除する。
【００５５】
この状態で、再び、駆動機構５２が作動して、搬送部本体５０が、案内レール４８に沿って、テープ載置台３６の方向に移動して搬送アーム５８とともに測定用プレート９０を、固定用治具１５４の挿入用凹部１５８から引き抜く。
そして、完全に測定用プレート９０が、固定用治具１５４の挿入用凹部１５８プレート載置棚３８から引き抜かれた状態で、搬送部本体５０の測長装置６４の方向への移動が停止して、モータ６２の駆動によって、搬送アーム５８が、図３の矢印Ｃで示したように、テープ載置台３６方向へ１８０°回転する。
【００５６】
次に、再び、搬送部本体５０が案内レール５４に沿って上方向に移動して、テープ載置台３６のプレート載置棚３８の最上部に位置するようにされる。
そして、駆動機構５２が作動して、搬送部本体５０が、案内レール４８に沿って、テープ載置台３６の方向に移動して、テープ載置台３６の開口側４２を介して、搬送アーム５８が挿入され、これにともない、測定用プレート９０が、ガイド溝４０内に挿入される。この状態で、真空源を解除して、搬送アーム５８の上面の測定用プレート９０の吸着支持を解除し、駆動機構５２が作動して、搬送部本体５０が、案内レール４８に沿って、測長装置６４の方向に移動して、テープ載置台３６の開口側４２を介し搬送アームが引き抜かれる。
【００５７】
これにより、測定用プレート９０がテープ載置台３６のプレート載置棚３８の元の位置に戻される。
続いて、制御部１８プログラムに従って、同様なサイクルが繰り返され、テープ載置台３６の上方のプレート載置棚３８から下方へ順に測定用プレート９０が取り出され、測長装置６４でサンプルのリード形状の測定が行われる。
【００５８】
そして、全てのプレート載置棚３８の測定用プレート９０サンプルのリード形状の測定が行われた後、制御部１８の制御によって調湿装置１４の作動が停止する。次に、テープ載置台３６が、案内レール３４、３４上を、測定用プレート挿入位置すなわち開閉扉２０、２２側まで移動される。
そして、開閉扉２０、２２を開けて、それぞれの測定用プレート９０を、テープ載置台３６のプレート載置棚３８のガイド溝４０に沿って、テープ載置台３６の開口側４２から引く抜き取り出すことにより、一連の測定操作が終了する。
【００５９】
このようにすることによって、大量のサンプルについて、自動的に品質管理を集中的に管理して実施することができるようになっている。
以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、例えば、本発明では、テープ載置台３６の上方のプレート載置棚３８から下方へ順に測定用プレート９０が取り出され、測長装置６４でサンプルのリード形状の測定が行われるようにしたが、この順番は予め入力されたプログラムに沿って適宜変更できるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００６０】
【発明の効果】
本発明によれば、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルに対して、測定室内部で、一定時間調湿を行い、その寸法を安定させた状態で、測定室内部に配設された測長装置で、サンプルのリードの幅、ピッチ、長さ、位置などのリード寸法を測定するので、従来のようにサンプルをいったん恒温恒湿槽内から取り出す必要がない。
【００６１】
従って、自動的に、短時間に行え、その作業性が極めて向上するとともに、サンプルの寸法が安定した状態のままで測定できるので、正確に精度良く、大量のサンプルのリード寸法を測定することが可能である。
また、測定用固定プレートに電子部品実装用フィルムキャリアテープを固定した状態で、測定室で調湿し、測長装置に搬送して測定するので、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルが、搬送の際に損傷することなく、しかも、測長装置で測定する際に電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルが移動することがないので、正確な測定を行うことができる。
【００６２】
また、本発明によれば、一度に複数の電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルを、測定室内で調湿して、測長装置で順に測定することができるので、大量のサンプルについて、調湿と測定を自動的に実施することができる。
また、本発明によれば、サンプル情報固定部に固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープに対応する製品の種類、ロット番号などの固有情報を有するバーコードを、バーコードリーダなどの読みとり装置で読みとり、測長装置に入力することによって、固有情報に対応した測定値を得ることができる。
【００６３】
さらに、本発明では、位置指定部で示された電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部の位置を、測長装置で検知して正確に測定すべき電子部品実装部を測定することができる。
また、本発明によれば、電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部の位置に対応して、位置指定ピン用孔を選択して位置指定ピンを嵌合するだけで、電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部の位置を、測長装置で検知して正確に測定すべき電子部品実装部を測定することができる。
【００６４】
従って、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対応する製品の種類、ロット番号などの固有情報に対応し、しかも正確に測定すべき電子部品実装部を測定した測定値を得ることができるなどの幾多の作用効果を奏する極めて優れた発明である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の正面図である。
【図２】図２は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の上面図である。
【図３】図３は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の測定室内部の正面図である。
【図４】図４は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の測定室内部の上面図である。
【図５】図５は、図４のＶ方向端面図である。
【図６】図６は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の搬送装置の部分拡大正面図である。
【図７】図７は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の測長装置の拡大上面図である。
【図８】図８は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置に用いる測定用プレートの上面図である。
【図９】図９は、図８のＩＸ−ＩＸでの断面図である。
【図１０】図１０は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置に用いる測定用プレートの係止部材の平面図である。
【図１１】図１１は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置に用いる測定用プレートの係止部材の側面図である。
【図１２】図１２は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置に用いる測定用プレートの位置指定ピンの側面図である。
【図１３】図１３は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の測長装置の固定用治具の側面図である。
【図１４】図１４は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の測長装置の固定用治具の上面図である。
【図１５】図１５は、従来の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法を説明する概略図である。
【符号の説明】
１０ 測定装置
１２  測定装置本体
１４  調湿装置
１６  測定室
１８  制御部
２０  開閉扉
２６  側壁
２８  吸気管
３０  排気管
３２  底壁
３４  案内レール
３６  テープ載置台
３８  プレート載置棚
４０  ガイド溝
４２  開口側
４４  搬送装置
４６  後壁
４８  案内レール
５０  搬送部本体
５２  駆動機構
５４  案内レール
５６  搬送装置本体
５８  搬送アーム
６０  基端部
６２  モータ
６３  駆動軸
６４  測長装置
６６  基台
７０  Ｘ軸ステージ
７１、７２  ガイドレール
７２  モータ
７３  ボールネジ
７４  Ｙ軸ステージ
７６  モータ
７８  ボールネジ
８０  Ｚ軸ステージ
８２  支持柱部材
８４  ガイドレール
８４  モータ
８６  ボールネジ
８８  光学顕微鏡
９０  測定用プレート
９０ａ、９０ｂ    側端部
９２  枠部材
９３  スプロケット孔
９４  開口部
９４ａ      左側部
９４ｂ      上下端
９５  サンプル固定部
９６  ガラス
９８  サンプル
９９  電子部品実装部
１００      スライド溝
１０１      位置指定部
１０２      スライド溝
１０４      係止部材
１０６      係止板部材
１０８      係止ピン
１１０      スプロケット孔係止用ピン
１１４      係止部材固定用係止孔
１１６      係止部材固定用係止孔
１１８      位置指定ピン用孔
１２２      位置指定ピン
１２４      枠部分
１２５      クリップ部材
１２６      サンプル情報固定部
１２８      基端部
１３０      締結部材
１３２      蝶番部材
１３４      クリップ部
１３６      スライド用金具
１３８      クリップ部材
１４０      基端部
１４２      締結部材
１４４      蝶番部材
１４６      クリップ部
１５０      カバー部材
１５２      バーコード部材
１５４      固定用治具
１５６      固定基台
１５７      締結部材
１５８      挿入用凹部
１６０      ストッパ部材
１６２      固定用当接部材
１６４      エアシリンダ
１６６      突設部
２００      サンプル
２０２      ガラス板
２０４      電子部品実装部
Ａ    床
Ｂ    測定位置
【図１】
0004038315.tif 000002
【図２】
0004038315.tif 000003
【図３】
0004038315.tif 000004
【図４】
0004038315.tif 000005
【図５】
0004038315.tif 000006
【図６】
0004038315.tif 000007
【図７】
0004038315.tif 000008
【図８】
0004038315.tif 000009
【図９】
0004038315.tif 000010
【図１０】
0004038315.tif 000011
【図１１】
0004038315.tif 000012
【図１２】
0004038315.tif 000013
【図１３】
0004038315.tif 000014
【図１４】
0004038315.tif 000015
【図１５】
0004038315.tif 000016