(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
玉軸受の軌道輪を支持して回転させた状態で、超仕上げ砥石を軌道面に押圧しつつ、当該砥石が玉軸受の軌道面の一方の肩部から軌道中央に向かう往路と、砥石が軌道中央から一方の肩部に向かう復路とを揺動して当該軌道面を超仕上げ加工する装置であって、１サイクル中に加工条件を互いに相違させた粗加工および仕上げ加工を順に行う玉軸受の軌道輪用超仕上げ装置において、
加工中に砥石から軌道面に伝わる加圧力の軌道輪支持方向への分力成分の値の往路と復路における差を検出する検出手段と、その検出結果に基づいて、上記粗加工と仕上げ加工の切り換え時点および仕上げ加工の終了時点を決定する制御手段を備えていることを特徴とする玉軸受の軌道輪用超仕上げ装置。
【請求項２】
上記制御手段は、上記砥石から軌道面に伝わる加圧力の軌道輪支持方向への分力成分の値の往路と復路における差が増大して、あらかじめ設定されている第１の値に達した時点を粗加工から仕上げ加工への切り換えの基準点とするとともに、仕上げ加工中に上記差が上記第１の値よりも小さい第２の値にまで減少した時点を仕上げ加工の終了の基準点とするように動作することを特徴とする請求項１に記載の玉軸受の軌道輪用超仕上げ装置。
【請求項３】
上記軌道輪がシューによって支持され、上記加工中に砥石から軌道面に伝わる加圧力の軌道輪支持方向への分力成分の値が、軌道輪を介して上記シューに作用する力として検出されることを特徴とする請求項１または２に記載の玉軸受の軌道輪用超仕上げ装置。
【請求項４】
玉軸受の軌道輪を回転させた状態で、超仕上げ砥石を軌道面に押圧しつつ、砥石が玉軸受の軌道面の一方の肩部から軌道中央に向かう往路と、砥石が軌道中央から一方の肩部に向かう復路とを揺動して、当該軌道面を加工する方法において、砥石から軌道面に伝わる加圧力の軌道輪支持方向への分力成分の値の往路と復路における差に基づいて砥石の目立て状態または目詰まり状態を検知することを特徴とする玉軸受の軌道輪の超仕上げ方法。
【請求項５】
請求項４に記載の玉軸受の軌道輪の超仕上げ方法において、上記軌道輪の支持方向への分力成分の往路と復路における差が所定の第１の値よりも大きい場合、砥石が目立て状態となったと判断し、上記差が上記第１の値よりも小さい第２の値よりも小さい場合に、砥石が目詰まり状態となったと判断することを特徴とする玉軸受の軌道輪の超仕上げ方法。
【請求項６】
請求項４または５に記載の玉軸受の超仕上げ方法において、軌道輪支持方向への分力成分の往路と復路の差が、上記第１の値よりも大きい場合に、砥石が目立て状態となったと判断して加工条件を変化させ、上記差が上記第２の値よりも小さい場合に、砥石が目詰まり状態となったと判断して加工を完了することを特徴とする玉軸受の軌道輪の超仕上げ方法。
【請求項７】
玉軸受の軌道輪を支持して回転させた状態で、超仕上げ砥石を軌道面に押圧しつつ、当該砥石が玉軸受の軌道面の一方の肩部から軌道中央に向かう往路と、砥石が軌道中央から一方の肩部に向かう復路とを揺動して当該軌道面を超仕上げ加工する方法であって、１サイクル中に加工条件を互いに相違させた粗加工および仕上げ加工を順に行う玉軸受の軌道輪の超仕上げ加工方法において、
加工中に超仕上げ砥石から軌道面に伝わる加圧力の軌道輪支持方向への分力成分の値の往路と復路における差を検出することによって砥石の目立てまたは目詰まり状態を検知し、その検知結果に基づいて、上記粗加工と仕上げ加工の切り換え時点および仕上げ加工の終了時点を決定することを特徴とする玉軸受の軌道輪の超仕上げ方法。
【請求項８】
砥石から軌道面に伝わる加圧力の軌道輪支持方向への分力成分の値の往路と復路の差が増大して、あらかじめ設定されている第１の値に達した時点で粗加工から仕上げ加工に切り換えるとともに、仕上げ加工中に上記差が上記第１の値よりも小さい第２の値にまで減少した時点で仕上げ加工を終了させることを特徴とする請求項７に記載の玉軸受の軌道輪の超仕上げ方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は玉軸受の軌道面を超仕上げ加工するための超仕上げ装置および超仕上げ方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
玉軸受の軌道輪、つまり内輪および外輪の軌道面を超仕上げ加工する超仕上げ装置としては、一般に、被加工物である軌道輪に回転を与えた状態で、超仕上げ砥石を軌道面に押圧しつつ揺動させる。このような超仕上げ装置においては、通常、１サイクル中に粗加工と仕上げ加工を順に行うことにより、粗加工で前工程である研削工程により軌道面に生成されている表面粗さ部分を含む所要の表面層を除去し、それに続く仕上げ加工に軌道面の表面粗さをより改善して表面精度を高精度化することが行われている。
【０００３】
ここで、粗加工と仕上げ加工は加工条件を互いに相違させることによって実現しており、仕上げ加工は、先に行われる粗加工に対して、被加工物の回転数を速く、揺動数を少なく、更には砥石の押圧力を小さくするように設定される。
【０００４】
従来、このような粗加工および仕上げ加工は、それぞれにタイマーにより時間を設定して行っている（例えば特許文献１）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平６−７９６１６号公報（第１−第５頁，表１）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、超仕上げ加工における粗加工と仕上げ加工は、粗加工において被加工物の表面層をある程度削除すべく砥石は目立て状態とする必要があり、仕上げ加工では粗加工よりも更に表面粗さを小さくすべく砥石は目詰まり状態とする必要がある。そこで、この種の加工においては、粗加工において前のサイクルの仕上げ加工で目詰まりした砥石を被加工物の表面粗さをも利用して目立てし、仕上げ加工においては砥石を再び目詰まり状態とするように、砥石並びにそれぞれの加工条件が設定される。
【０００７】
しかしながら、従来の超仕上げ装置においては、粗加工と仕上げ加工をそれぞれにタイマーにて一定の時間に設定しているが故に、前工程である研削工程から送られてくる軌道輪の表面粗さのばらつきや、砥石の目詰まり状態に関係なく一定時間ずつ粗加工と仕上げ加工を行うことになり、必要以上に粗加工を行うことによる時間のロス並びに砥粒の脱落に起因する砥石寿命の低下を生じるという問題と、必要以上に仕上げ加工を行うことによる軌道面品質の低下を招くという問題がある。
【０００８】
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、前工程での軌道面の粗さにばつらきに応じて、常に最適な時間だけ粗加工を行い、かつ、砥石の目詰まり状態に応じて常に最適な時点で仕上げ加工を終了することができ、もってサイクルタイムの短縮と砥石寿命の向上を達成し、かつ、仕上げ面の品質を高いレベルで安定させることのできる玉軸受の軌道輪用超仕上げ装置の提供を目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するめ、本発明の玉軸受の軌道輪用超仕上げ装置は、玉軸受の軌道輪を支持して回転させた状態で、超仕上げ砥石を軌道面に押圧しつつ、当該砥石が玉軸受の軌道面の一方の肩部から軌道中央に向かう往路と、砥石が軌道中央から一方の肩部に向かう復路とを揺動して当該軌道面を超仕上げ加工する装置であって、１サイクル中に加工条件を互いに相違させた粗加工および仕上げ加工を順に行う玉軸受の軌道輪用超仕上げ装置において、加工中に砥石から軌道面に伝わる加圧力の軌道輪支持方向への分力成分の値の往路と復路における差を検出する検出手段と、その検出結果に基づいて、上記粗加工と仕上げ加工の切り換え時点および仕上げ加工の終了時点を決定する制御手段を備えていることによって特徴づけられる（請求項１）。
【００１０】
ここで、本発明においては、上記制御手段は、上記砥石から軌道面に伝わる加圧力の軌道輪支持方向への分力成分の値の往路と復路における差が増大して、あらかじめ設定されている第１の値に達した時点を粗加工から仕上げ加工への切り換えの基準点とするとともに、仕上げ加工中に上記差が上記第１の値よりも小さい第２の値にまで減少した時点を仕上げ加工の終了の基準点とするように動作することように構成すること（請求項２）が好ましい。
【００１１】
また、本発明においては、上記軌道輪がシューによって支持され、上記加工中に砥石から軌道面に伝わる加圧力の軌道輪支持方向への分力成分の値が、軌道輪を介して上記シューに作用する力として検出され構成（請求項３）を採用することができる。
【００１２】
また、本発明の軌道輪の超仕上げ方法は、玉軸受の軌道輪を回転させた状態で、超仕上げ砥石を軌道面に押圧しつつ、砥石が玉軸受の軌道面の一方の肩部から軌道中央に向かう往路と、砥石が軌道中央から一方の肩部に向かう復路とを揺動して、当該軌道面を加工する方法において、砥石から軌道面に伝わる加圧力の軌道輪支持方向への分力成分の値の往路と復路における差に基づいて砥石の目立て状態または目詰まり状態を検知することによって特徴づけられる（請求項４）。
【００１３】
ここで、本発明の超仕上げ方法においては、上記軌道輪の支持方向への分力成分の往路と復路における差が所定の第１の値よりも大きい場合、砥石が目立て状態となったと判断し、上記差が上記第１の値よりも小さい第２の値よりも小さい場合に、砥石が目詰まり状態となったと判断すること（請求項５）ができる。
【００１４】
また、軌道輪支持方向への分力成分の往路と復路の差が、上記第１の値よりも大きい場合に、砥石が目立て状態となったと判断して加工条件を変化させ、上記差が上記第２の値よりも小さい場合に、砥石が目詰まり状態となったと判断して加工を完了する方法（請求項６）を採用することができる。
【００１５】
更に、請求項７に係る発明の玉軸受の超仕上げ方法は、玉軸受の軌道輪を支持して回転させた状態で、超仕上げ砥石を軌道面に押圧しつつ、当該砥石が玉軸受の軌道面の一方の肩部から軌道中央に向かう往路と、砥石が軌道中央から一方の肩部に向かう復路とを揺動して当該軌道面を超仕上げ加工する方法であって、１サイクル中に加工条件を互いに相違させた粗加工および仕上げ加工を順に行う玉軸受の軌道輪の超仕上げ加工方法において、加工中に超仕上げ砥石から軌道面に伝わる加圧力の軌道輪支持方向への分力成分の値の往路と復路における差を検出することによって砥石の目立てまたは目詰まり状態を検知し、その検知結果に基づいて、上記粗加工と仕上げ加工の切り換え時点および仕上げ加工の終了時点を決定することによって特徴づけられる。
【００１６】
上記の請求項７に係る発明においては、砥石から軌道面に伝わる加圧力の軌道輪支持方向への分力成分の値の往路と復路の差が増大して、あらかじめ設定されている第１の値に達した時点で粗加工から仕上げ加工に切り換えるとともに、仕上げ加工中に上記差が上記第１の値よりも小さい第２の値にまで減少した時点で仕上げ加工を終了させる方法（請求項８）を採用することができる。
【００１７】
本発明は、玉軸受の軌道面、つまり環状溝の超仕上げ加工時に、砥石による加圧の挙動が、砥石の目立て／目詰まり状態に応じて変化することを見いだした結果としてなされたものである。
【００１８】
すなわち、玉軸受の軌道面に一定の圧力で超仕上げ砥石を押圧しつつ揺動させたとき、砥石の軌道面に対する押圧力の検出信号が、砥石の切れ味、つまり目立て／目詰まり状態に応じて異なるパターンを示すことが、本発明者らの研究により明らかになった。特に、この加工中における押圧力のパターンの相違は、砥石の揺動端近傍において顕著であり、砥石による軌道面の押圧力が往路と復路では一致しない現象が生じる。この往路と復路での押圧力の相違、言わば押圧力のヒステリシス現象は、超仕上げ砥石の表面状態に応じてその程度が相違し、目立てが完全であるほど、つまり軌道面との間の摩擦抵抗が大きいほど大きなヒステリシスが発現し、目詰まり状態ではヒステリシスの量が小さくなる。
【００１９】
以上の現象が発生する理由は、以下の通りであると推測することができる。
いま、図６（Ａ）に示すように、砥石Ｓが玉軸受の軌道面ＷT の一方の肩部ＷTSから軌道中央ＷTCに向かう向きを往路、同図（Ｂ）に示すように砥石Ｓが逆に軌道中央ＷTCから一方の肩部ＷTSに向かう向きを復路とし、砥石Ｓによる加圧力を一定のＰとして、ｘおよびｚ方向をそれぞれ図示のようにとり、ｚ方向に作用する力を考察する。図６（Ａ）の往路においては、砥石Ｓと軌道面ＷT との間の摩擦力Ｆは、砥石Ｓの移動方向と同じ向きの図示の向きとなる。また、復路においては、図６（Ｂ）に示す通り逆向きとなる。
【００２０】
軌道面ＷT の同じ位置において往路および復路で作用するｚ方向への力Ｐｚ′は、前記したように砥石Ｓの加圧力Ｐが同じでそのｚ方向分力をＰｚとし、摩擦力Ｆについてもその大きさが同じとしてそのｚ方向分力をＦｚとすると、往路においては、
Ｐｚ′＝Ｐｚ＋Ｆｚ  ・・・・（１）
復路においては、
Ｐｚ′＝Ｐｚ−Ｆｚ  ・・・・（２）
となり、往路と復路では摩擦力Ｆのｚ方向成分に応じた差が生じる。
そして、砥石Ｓと軌道面ＷT との摩擦力Ｆは、砥石Ｓの切れ味がいいほど、つまり目立てが完全であるほど大きくなり、目詰まり状態では小さくなる。
【００２１】
そこで、超仕上げ砥石の押圧力を、軌道輪を支持するシューを介して力検出手段により検出することにより、砥石の目立てり／目詰まり状態を知ることができるので、その検出出力を用いることによって、粗加工から仕上げ加工の切り換え時点と、仕上げ加工の終了時点を決定することができる。このような粗加工と仕上げ加工のサイクルの決定の仕方によると、前工程での軌道面の粗さや、仕上げ加工における砥石の目詰まりの進行状態に適応して、粗加工から仕上げ加工への移行時点と仕上げ加工の終了時点を常に一定の状態に保つことができる。従って、粗加工を必要以上に長くすることによる所要時間のロスと砥石の短寿命化を防止すると同時に、仕上げ加工を必要以上に長くすることによる軌道面の精度低下を防止することが可能となる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の実施の形態の要部の機械的構成を示す部分断面図であり、図２はその実施の形態の要部の電気的構成を示すブロック図である。
【００２３】
この例は玉軸受の外輪用の超仕上げ装置を示すものであって、被加工物である玉軸受の外輪ＷO は、その内周に環状の軌道面ＷOTが形成されており、この軌道面ＷOTが超仕上げ加工の対象面となる。
【００２４】
外輪ＷO は、その外周面がシュー１に支持され、かつ、ローラ（図示せず）によって一端面がバッキングプレート２に押し付けられた状態で加工に供される。バッキングプレート２は主軸３の先端に固着されており、この主軸３は主軸駆動用モータ２５（図１において図示せず、図２参照）を駆動することによって回転し、この主軸３の回転によって外輪ＷO に回転が与えられる。
【００２５】
超仕上げ砥石Ｓは、砥石ホルダー４に保持された状態で砥石加圧レバー５によって下向きに加圧される。この砥石ホルダー４は、砥石加圧レバー５とともに超仕上げヘッド（図示せず）に装着されている。この超仕上げヘッドは加圧レバー５を介して超仕上げ砥石Ｓを下方に押圧するための空圧シリンダを備えるとともに、揺動駆動機構用モータ２６（図１において図示せず、図２参照）の駆動によって、外輪ＷO の軌道面ＷOTの曲率中心を中心として揺動し、これにより超仕上げ砥石Ｓは軌道面ＷOTに押圧されながら揺動する。
【００２６】
さて、前記したシュー１はシューブラケット１ａに固着されており、このシューブラケット１ａは、一側面が力センサ７を挟み込むように装置フレーム６に取り付けられている。この構造において、外輪ＷO に対して超仕上げ砥石Ｓを揺動させつつ押圧すると、その押圧力が外輪ＷO 、シュー１、更にシューブラケット１ａを介して力センサ７に伝達され、従って力センサ７の出力は外輪ＷO に対する超仕上げ砥石Ｓの押圧力に比例したものとなる。
【００２７】
この力センサ７の出力は、アンプ２１で増幅された後、適当なローパスフィルタ２２により高周波成分などが除去され、微小インターバルでＡ−Ｄ変換器２３によってデジタル化される。そのデジタル化された力検出データは、制御装置２４に刻々と取り込まれる。
【００２８】
制御装置２４は、実際にはＣＰＵとその周辺機器、並びにシーケンサ等を主体として構成されているのであるが、図２においては、説明の便宜上、当該制御装置２４が有している機能ごとのブロック図で示している。すなわち、力検出データから後述する砥石揺動端近傍における押圧力の往路と復路での差Δを算出するヒステリシス差算出部２４ａと、その算出された差Δとあらかじめ設定されている値ΔR およびΔF とを比較する比較部２４ｂと、装置各部に対して制御信号を供給する制御部２４ｃを含んでいる。
【００２９】
制御部２４ｃは、前記した主軸駆動用モータ２５、揺動駆動用モータ２６、超仕上げヘッドの空圧シリンダに供給すべきエア圧を高圧／低圧に切り換えるための高圧／低圧切り換え用電磁弁２７を制御下においている。なお、この制御部２４ｃは、外輪ＷO をローディング／アンローディングするためのローダーをはじめ、装置全体を制御するのであるが、図２は本発明に関連する要部のみを示している。
【００３０】
超仕上げ装置全体としてのサイクルは、超仕上げヘッドを図１の状態から離脱させた状態で、被加工物である外輪ＷO を図１に示すようにローディングし，次いで主軸を回転させて外輪ＷO を回転させ、超仕上げヘッドを図１の状態に移動させた後、超仕上げ砥石Ｓを軌道面ＷOTに押圧しつつ揺動させて、粗加工の後に仕上げ加工を行い、加工終了後の外輪ＷO をアンローディングし、次の外輪ＷO をローディングする、というサイクルである。
【００３１】
粗加工は、外輪ＷO を回転数ＲR で回転させ、超仕上げ砥石Ｓを加圧力ＦR で軌道面ＷOTに押圧しつつ、揺動数ＯR で揺動させるものであって、仕上げ加工では、回転数をＲR よりも高いＲF 、加圧力をＰR よりも低いＰF 、揺動数をＯR よりも低いＯF とする。
【００３２】
制御装置２４では、以下に示す手法により、力センサ７から取り込んだ刻々の押圧力データを用いて、粗加工から仕上げ加工への切り換え時点と、仕上げ加工の終了時点を決定する。
【００３３】
超仕上げ砥石Ｓが目立て状態にあるとき、力センサ７からの出力は、フィルタ２２により平滑化された後、揺動の一往復において図３（Ａ）に例示する状態となり、超仕上げ砥石Ｓが目詰まり状態にあるときには、同図（Ｂ）に例示する状態となる。すなわち、前記したように、超仕上げ砥石Ｓにより外輪ＷO の軌道面ＷOT等の環状溝の超仕上げ加工を行っているとき、砥石Ｓによる押圧力の、外輪ＷO を介してシュー１に伝わる被加工物支持方向への分力成分は、揺動の一往復中に、その揺動端近傍において往路と復路で押圧力が相違するヒステリシス現象を生じ、その往復時における押圧力の差Δ（以下、ヒステリシス差Δと称する）は、砥石の切れ味、つまり目立て／目詰まり状態によって相違する。
【００３４】
ヒステリシス差算出部２４ａでは、力センサ７からの押圧力データから、砥石Ｓの１回の揺動ごとに、あらかじめ設定されている揺動端近傍でのヒステリシス差Δ算出し、例えばその複数回ごとの移動平均値を刻々と求めて、比較部２４ｂに供給する。比較部２４ｂでは、粗加工時において、その値があらかじめ設定されている大きさΔR にまで大きくなった時点で、砥石Ｓが目立て状態に達したとして制御部２４ｃにその旨を出力する。制御部２４ｃでは、その出力の到来時点を起点としてあらかじめ設定されている一定の時間ＴR が経過した後に粗加工から仕上げ加工に移行べく、主軸駆動用モータ２５、揺動駆動用モータ２６、高圧／低圧切り換え用電磁弁２７に制御信号を供給する。
【００３５】
また、仕上げ加工時においては、同じくヒステリシス差Δが、あらかじめ設定されている大きさΔF にまで低下した時点で、砥石が目詰まり状態に達したとして、その旨の出力を制御部２４ｃに供給する。制御部２４ｃでは、その出力の到来時点で仕上げ加工を停止すべく、主軸駆動用モータ２５、揺動駆動用モータ２６、高圧／低圧切り換え用電磁弁２７に制御信号を供給する。
【００３６】
以上の本発明の実施の形態によると、ヒステリシス差Δの値、換言すれば超仕上げ砥石Ｓの目立て状態は、加工の１サイクル中において図４にグラフで示す通りとなる。すなわち、先の外輪ＷO の仕上げ工程で目詰まり状態となった砥石Ｓが、次の外輪ＷO の粗加工時に徐々に目立てされていき、やがて砥石揺動端近傍における押圧力のヒステリシス差ΔがΔR に達して目立てが完了すると、その時点が確実に捕らえられ、その目立て状態で一定の時間ＴR が経過した時点で仕上げ加工に移行し、その仕上げ加工において砥石Ｓが徐々に目詰まりしていき、やがてヒステリシス差ΔがΔF に達して相当の目詰まり状態となった時点が確実に捕らえられ、その時点で仕上げ加工を終了する。
【００３７】
このような加工によると、前工程での軌道面ＷOTの粗さに係わりなく、常に一定の目立て状態の砥石Ｓにより一定時間だけ粗加工が施され、また、砥石Ｓの一定の目詰まり状態となるまで仕上げ加工が施されることになり、粗加工に必要以上の時間をかけることによる時間と砥石の無駄、並びに仕上げ加工に必要以上に時間をかけることによる品質の低下をなくすことができる。
【００３８】
なお、力センサ７の配設位置は以上の実施の形態で示した位置に限定されることなく、要はシュー１に作用する被加工物の支持方向への力を検出できる位置であれば任意の位置とすることができる。
【００３９】
また、以上の実施の形態は、本発明を玉軸受の外輪用の超仕上げ装置に適用した例を示したが、本発明は玉軸受の内輪にも等しく適用することができる。その要部構成例を図５に示す。
【００４０】
被加工物である玉軸受の内輪ＷI は、その外周に環状の軌道面ＷITが形成されており、その軌道面ＷITが超仕上げの加工対象面となる。
【００４１】
内輪ＷI は、棒状の表面にシュー本体１１ａが固着された内径シュー１１によってその内径面が支持された状態で、バッキングプレート１２にローラ（図示せず）によって押し付けられ、バッキングプレート１２を先端部に固着している主軸１３を回転させることによって、内輪ＷI に回転が与えられる。超仕上げ砥石Ｓは、前記した例と同様に、砥石ホルダー１４に保持された状態で加圧レバー１５によって下方に加圧され、これらの全体を揺動させることによって、超仕上げ砥石Ｓが内輪ＷI の軌道面ＷITに対して押圧されつつ揺動する。
【００４２】
内径シュー１１を片持ち支持する支持部材１１ｂの下面と、装置フレーム１６との間に、２つの力センサ１７ａ，１７ｂが挟み込まれている。これらの力センサ１７ａ，１７ｂの出力から、超仕上げ砥石Ｓによる軌道面ＷITに対する押圧力が検出される。その検出出力から、先の実施の形態と同等の回路構成によってヒステリシス差Δを求めて粗加工から仕上げ加工への切り換え点、および仕上げ加工の終了点を決定することによって、先の実施の形態と同等の作用効果を奏することができる。
【００４３】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、加工中に被加工物である玉軸受軌道輪の軌道面に作用する加圧力の軌道輪支持方向への分力成分を検出し、超仕上げ砥石が軌道中央から一方の肩部へ向かう往路と、軌道中央から一方の肩部へと向かう復路における上記成分の差を検出し、その検出結果に含まれる超仕上げ砥石の目立て／目詰まり情報を用いて、粗加工から仕上げ加工への切り換え時点と仕上げ加工の終了時点を決定するので、粗加工および仕上げ加工は、前工程の軌道面の状態や刻々の砥石表面の状態に応じて常に最適な時間が費やされ、粗加工および仕上げ加工をそれぞれタイマー設定する従来の超仕上げ装置に比して、必要以上に粗加工を続けることによる時間および砥石の無駄、並びに必要以上に仕上げ加工を続けることによる品質の低下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明を玉軸受の外輪の超仕上げ装置に適用した実施の形態の要部の機械的構成を示す部分断面図である。
【図２】  本発明の実施の形態の要部の電気的構成を示すブロック図である。
【図３】  本発明の実施の形態における力センサ７による砥石Ｓの押圧力の検出結果の例の説明図で、（Ａ）は砥石Ｓが目立て状態にあるとき、（Ｂ）は砥石Ｓが目詰まり状態にあるときをそれぞれ示すグラフである。
【図４】  本発明の実施の形態における加工の１サイクル中でのヒステリシス差Δの推移を示すグラフである。
【図５】  本発明を玉軸受の内輪の超仕上げ装置に適用した他の実施の形態の要部の機械的構成を示す部分断面図である。
【図６】  超仕上げ砥石が揺動端近傍において往路と復路で軌道面への押圧力に差が生じる理由の説明図である。
【符号の説明】
１  シュー
１ａ  シューブラケット
２  バッキングプレート
３  主軸
４  砥石ホルダー
５  加圧レバー
６  装置フレーム
７  力センサ
２１  アンプ
２２  ローパスフィルタ
２３  Ａ−Ｄ変換器
２４  制御装置
２４ａ  ヒステリシス差算出部
２４ｂ  比較部
２４ｃ  制御部
２５  主軸駆動用モータ
２６  揺動駆動用モータ
２７  高圧／低圧切り換え用電磁弁
【図１】
0004150897.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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