(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体レーザ素子の複数の発光部から出射される各光にそれぞれ対応する複数の曲面部が、前記半導体素子の前記発光部の配置方向（Ｘ軸方向）に沿って、光入射面及び光出射面の両面に形成され、かつＸ軸方向の両縁部にはフランジ部が形成され、入射光を光軸を中心軸として９０度旋回して出射する、光学レンズの製造方法であって、
それぞれが柱軸方向に平行に形成された複数の曲面部を有する第１側面と第２側面を備え、かつ、柱軸方向と直交する方向の両縁部にフランジ部が形成された柱状形状の光学レンズ用母材の作製工程と、
作製された光学レンズ用母材を柱軸方向に線引き処理する際に、前記フランジ部の存在により前記線引き処理における加熱の影響から前記複数の曲面部を保護する線引き処理工程と、
線引き処理された前記光学レンズ用母材を、前記曲面部と前記フランジ部を一体として、柱軸方向に対して４５度傾斜した角度で切断する切断工程と、
を含むことを特徴とする光学レンズの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光素子より出射される光に対して作用し、入射光を光軸を中心軸として９０度旋回して出射する光学レンズの製造方法、に関する。
背景技術
【０００２】
複数の発光部が配列された発光素子としての半導体レーザ素子、に対応する光学レンズの製造方法として、従来、精密金型による製造、或いはシリコン半導体製造プロセスやＬＩＧＡプロセスを応用することによる製造が知られている。
発明の開示
【０００３】
しかしながら、このような従来の光学レンズの製造方法では、要求される光学レンズのサイズ自体が非常に微小であるため、半導体レーザアレイから出射される各光線をコリメート、集光、又は光路変換する光学作用部を形成するのは非常に困難であった。
【０００４】
そこで、本発明の目的は、光学作用部を容易に形成することが可能な光学レンズの製造方法を提供することにある。
【０００５】
上記目的を達成するため、本発明の製造方法に使用される光学レンズ母材は、透光性材料により柱状形状に形成された線引き処理用光学レンズ母材であって、第１側面と、第１側面とは反対側に設けられた第２側面とを備え、第１側面及び第２側面のうちの少なくとも一方は、柱軸方向に対して平行に形成されかつ互いに接触するように配列された複数の曲面部を有する。
【０００６】
このような光学レンズ母材によれば、線引き処理により、複数の曲面部を有する光学作用部を備えた光学レンズが形成されるため、複数の発光部が配列された発光素子より出射される各光に対して作用することが可能な光学レンズが形成される。
【０００７】
なお、「柱軸方向に対して平行な曲面」とは、図１Ａに示すように、柱軸方向２０に垂直な任意断面の形状が同一の弧の形状となるような曲面を指すものとする。
【０００８】
第１側面及び第２側面は、凸曲面に形成されていることが望ましい。線引き処理工程は、線引き処理を通じて光学レンズ母材の第１側面及び第２側面が内側へと引っ込む、ように行われることが多いが、このように予め第１側面及び第２側面が凸曲面を成すように形成しておくことにより、線引き処理による形状歪みの影響を抑制することが可能となる。
【０００９】
光学レンズ母材の複数の曲面部は非球面に形成されていることが望ましい。
【００１０】
本発明の光学レンズの製造方法は、半導体レーザ素子の複数の発光部から出射される各光にそれぞれ対応する複数の曲面部が、半導体素子の発光部の配置方向（Ｘ軸方向）に沿って、光入射面及び光出射面の両面に形成され、かつＸ軸方向の両縁部にはフランジ部が形成され、入射光を光軸を中心軸として９０度旋回して出射する、光学レンズの製造方法であって、それぞれが柱軸方向に平行に形成された複数の曲面部を有する第１側面と第２側面を備え、かつ、柱軸方向と直交する方向の両縁部にフランジ部が形成された柱状形状の光学レンズ用母材の作製工程と、作製された光学レンズ用母材を柱軸方向に線引き処理する際に、フランジ部の存在により線引き処理における加熱の影響から複数の曲面部を保護する線引き処理工程と、線引き処理された光学レンズ用母材を、曲面部とフランジ部を一体として、柱軸方向に対して４５度傾斜した角度で切断する切断工程と、を含むことを特徴とする。
【００１１】
本発明による光学レンズの製造方法は、上記した何れかの光学レンズ母材、を作製する光学レンズ母材作製工程と、光学レンズ母材作製工程により作製された光学レンズ母材を、柱軸方向に線引き処理する線引き処理工程と、線引き処理工程により線引き処理された光学レンズ母材を、所望の長さで切断して光学レンズを作製する光学レンズ作製工程とを含み、線引き処理工程により線引き処理された光学レンズ母材の複数の曲面部は、入射光又は出射光に対して作用する光学作用部として機能する。
【００１２】
また、本発明による光学レンズの製造方法は、上記した何れかの光学レンズ母材を、柱軸方向に線引き処理する線引き処理工程と、線引き処理工程により線引き処理された光学レンズ母材を、所望の長さで切断して光学レンズを作製する光学レンズ作製工程とを含み、線引き処理工程により線引き処理された光学レンズ母材の複数の曲面部は、入射光又は出射光に対して作用する光学作用部として機能する。
【００１３】
このような光学レンズの製造方法によれば、線引き処理前の母材の段階で、光学レンズの形状、特に光学作用部の形状を決定することができるため、十分に大きいサイズで光学作用部となる複数の曲面部の加工を行うことが可能となる。なお、「光に対して作用する」とは、入射光に対し、その発散角度若しくは収束角度を変えて出射すること、又は光路変換を行うことを指すものとする。
【００１４】
光学レンズ作製工程は、線引き処理工程により線引き処理された光学レンズ母材を、柱軸方向に対して傾斜角を設けた状態で切断して光学レンズを作製する。これにより、光学作用部として複数の傾斜した曲面部を有する光学レンズを作製することが可能となる。
【００１５】
光学レンズ作製工程は、線引き処理工程により線引き処理された光学レンズ母材を切断処理して切断処理後のプリフォームを作製する第１切断工程と、第１切断工程により作製された切断処理後のプリフォームを所望の大きさになるよう切断して光学レンズを作製する第２切断工程とを含んでもよい。なお、切断処理後の「プリフォーム（ｐｒｅｆｏｒｍ）」とは、光学レンズを作製する直前の形成物であって、光学レンズ中間体を指すものとする。
第２切断工程は、切断処理後のプリフォームを柱軸方向に対して傾斜角を設けた状態で切断して光学レンズを作製してもよい。これにより、複数の傾斜した曲面部を有する光学レンズを作製することが可能となる。
【００１６】
第１側面及び第２側面は共に複数の曲面部を有し、傾斜角は４５°である。これにより、入射光に対しその光軸を中心軸として９０°旋回された出射光を出射する光学レンズ、を作製することが可能となる。
【００１７】
また上記光学レンズ母材においては、第１側面及び第２側面の両側に、柱軸方向に沿って設けられる一対のフランジ部を更に備える。
【００１８】
フランジ部を有しない光学レンズ母材においては、第１側面及び第２側面の両側、すなわち光学レンズ母材の両縁部が線引き処理工程の際に加熱の影響を多く受け、曲面部に変形などが発生し易いという不具合があったが、本発明による光学レンズ母材では一対のフランジ部が形成されており、フランジ部が曲面部に代理してこの加熱の影響を受けるため、曲面部は加熱による影響を免れ易くなっている。
【００１９】
また本発明の光学レンズの製造に使用される母材は、対向する２つの面を有する光学レンズ母材において、２つの面の少なくとも一方は複数の筒面を有し、これら複数の筒面は同一方向に沿って延びるように配置されている。
【００２０】
このような光学レンズ母材によれば、線引き処理前の段階で、すなわち十分に大きいサイズで、光学レンズの形状、特に光学作用部の形状を決定できると共に、光学作用部となる筒面の加工を精度よく行うことができる。そして、このような光学レンズ母材を線引き処理することにより、入射する光に対して的確に作用する複数の光学作用部を備えた光学レンズが得られる。
【００２１】
上記光学レンズ母材においては、２つの面の両側に、筒面と同一方向に沿って延びる一対のフランジ部を更に備える。 フランジ部を有しない光学レンズ母材においては、対向する２つの面の両側、すなわち光学レンズ母材の両縁部が線引き処理工程の際に加熱の影響を多く受け、筒面に変形などが発生し易いという不具合があったが、本発明による光学レンズ母材ではその両縁部に一対のフランジ部が形成されており、フランジ部が筒面に代理してこの加熱の影響を受けるため、筒面は加熱による影響を免れ易くなっている。
【００２２】
更に本発明の光学レンズの製造方法は、上記光学レンズ母材を線引する線引き処理工程と、線引き処理工程により線引き処理された光学レンズ母材を、所望の位置で切断して光学レンズを作製する光学レンズ作製工程とを含む。
【００２３】
このような光学レンズの製造方法によれば、線引き処理前の光学レンズ母材の段階で、光学レンズの形状、特に光学作用部の形状を決定することができるため、十分に大きいサイズで光学作用部となる複数の筒面の加工を精度よく行うことが可能となる。従って、入射する光に対して的確に作用する複数の光学作用部を備えた光学レンズが得られる。
【００２４】
上記光学レンズ作製工程は、線引き処理工程により線引き処理された光学レンズ母材を切断して光学レンズ中間体を作製する第１切断工程と、光学レンズ中間体を切断して光学レンズを作製する第２切断工程とを含んでもよい。
発明を実施するための最良の形態
【００２５】
以下、図面に従って本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、以下の説明では、同一または相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【００２６】
図１Ａ，Ｂ、図２Ａ，Ｂは、本発明の実施形態に係る光学レンズの製造方法における各工程を示す概略図である。図１Ａに示すように、先ず透光性ガラス材料から成る光学部材を準備し、第１側面４４、第２側面４６を備えた柱状形状に成型加工し、これを光学レンズ母材４０とする（光学レンズ母材作製工程）。透光性ガラス材料としては、例えば、ＢＫ７（（ショット社製）、屈折率１．５２、熱膨張係数７１×１０−７／Ｋ、屈伏点６１４℃）が使用される。第１側面４４、第２側面４６は、柱軸方向２０に対して平行に形成されている。
【００２７】
第１側面４４及び第２側面４６には、柱軸方向２０に対して平行な複数の曲面部４３が互いに接触するように形成されている。本実施形態による光学レンズ母材４０では、これらの複数の曲面部４３は凸曲面として形成されているが、凹曲面として形成することも可能である。複数の曲面部４３はそれぞれ、円筒面等の筒面となっており、複数の筒面は、同一方向に沿って延びるように配置されている。なお、曲面部４３は非球面であってもよい。この複数の曲面部４３は、線引き処理後には入射光又は出射光に対して作用する光学作用部として機能する部分である。図中、これら複数の曲面部と光学作用部に対しては、同一の符号をつけてある。
【００２８】
複数の曲面部４３の両側にあたる光学レンズ母材４０の両縁部には、一対のフランジ部４８が更に形成されている。光学レンズ母材４０の両縁部は線引き処理工程の際に加熱の影響を多く受け、変形などが発生し易いという不具合があったが、本実施形態による光学レンズ母材４０では一対のフランジ部４８が形成されており、フランジ部４８が代理してこの加熱の影響を受けるため、複数の曲面部４３は加熱による影響を免れ易くなっている。
【００２９】
このように、線引き方法による光学レンズの製造方法では、十分に大きいサイズ（例：幅及び高さ２〜６ｃｍ、長さ２０〜２００ｃｍ）である光学レンズ母材４０の段階で、作製したい光学レンズの形状、特に光学作用部の形状を形成することができるため、簡単かつ正確にそれらの作業を行うことが可能となる。
【００３０】
なお、特公平７−１５５２１号公報には、線引き方法による屈折率分布型円柱レンズ（セルフォックレンズ）の製造方法について開示されている。この製造方法では、母材として、中心から半径方向外側に向かってフッ素のドーパント量が段階的に増大され、それに従ってその屈折率が段階的に低下してなる高純度石英ガラス系ロッドが使用されており、本発明のように、母材に対して形状的に光学作用部が形成されたものは使用されていない。このような従来の製造方法では、母材作製工程として、フッ素をプラズマ外付け法によりドープさせたり、溶融塩中に長時間浸漬してイオン交換を行う方法により屈折率分布を形成する工程が必要があったが、本発明ではこのような工程は不要となっている。また、形成された光学レンズにおいても、光入射面、光出射面は円柱型の側面曲面ではなく、その両端部が使用されるものであるという点で、本実施形態とは異なるものである。
【００３１】
次に、図１Ｂに示すように、上記した光学レンズ母材作製工程により成型加工された光学レンズ母材４０を、加熱手段としての電気炉３５等によりガラス材料の屈伏点以上に加熱し、所望の寸法になるように線引き処理をする（線引き処理工程）。電気炉３５は光学レンズ母材４０を囲むように環状に形成され、光学レンズ母材４０に対して周囲から等しく加熱することが望ましい。電気炉３５には温度調整装置３２が接続されていて、電気炉３５の温度を変えて線引き処理の温度を調整することが可能となっている。また、加熱された光学レンズ母材４０を線引きして引き伸ばすのには、光学レンズ母材４０を電気炉３５へ送り込む送り込みローラ９０及び引っ張りローラ３３が使用されている。この送り込みローラ９０の回転速度を調整することで、光学レンズ母材４０のトータル熱量を決定することも可能である。上記したような柱状形状の光学レンズ母材４０を線引きする場合、線引き処理された一対のローラ当接面４５を送り込みローラ９０及び引っ張りローラ３３により挟持するようにすると、線引き処理中の光学レンズ母材４０のねじれ発生を防止することが可能となる。
【００３２】
光学レンズ母材４０は、線引き処理された結果、その寸法が所望の寸法（例：０．５〜１５ｍｍ）になったと判断された場合、引っ張りローラ３３下部に設置されているカッター装置３７により切断され、長さにして５ｍｍ〜２０００ｍｍの切断処理後のプリフォーム５０が得られる（第１切断工程）。この判断は引っ張りローラ３３の手前に設置された線径測定装置３８により行われる。なお、この線径測定装置３８は、レーザ部、受光部、解析部から成り、レーザ部により発光された光は、線引き処理された光学レンズ母材４０を透過し、その透過光が受光部により受光され、その受光光量などから線引き処理された光学レンズ母材４０の寸法が解析部により算出されるようになっている。その算出結果は図示しない制御部へ送信され、所望の寸法であった場合にはカッタ装置３７を駆動し、所望の寸法でなかった場合には線引き処理環境（送り込みローラ９０の回転速度や線引き温度の調整など）が調整される。
【００３３】
なお、光ファイバーなどを線引き処理により製造する場合には、線引きされたものをドラムなどに巻き取るの対し、光学レンズの製造では、このように線引きされたものをカッタ装置３７などで切断する点に特徴がある。
【００３４】
次に図２Ａに示すように、切断処理後のプリフォーム５０を、その柱軸方向２０と４５°を為す線分であるＸ１−Ｙ１線、Ｘ２−Ｙ２線で切断し（第２切断工程）、図２Ｂに示すような光学レンズ１が作製される（光学レンズ作製工程）。これら２つの線の間隔は、作製する光学レンズが適用される発光素子（半導体レーザ素子）の厚みに対応する間隔に設定される。切断処理後のプリフォーム５０を切断する線分、Ｘｋ−Ｙｋ線（ｋ＝１，．．．ｎ）を増やすことにより、同一の光学レンズを多数作製することが可能となり、大量生産にも容易に対応することが可能である。なお、切断工程を二つに分割せず、線引き処理された光学レンズ母材４０を柱軸方向２０に対して４５°傾斜した角度で切断し、１回の切断工程によって光学レンズ１を作製することも可能である。
【００３５】
このようにして作製された光学レンズ１は、線引き処理の特性からその断面形状は光学レンズ母材４０と同一の断面形状を有する。特に、最初の光学レンズ母材作製工程で作製した光学作用部の形状が線引き処理後にもそのまま継承されるため、線引き処理後の微小な素子の段階で改めて成形加工する必要がない。更に、本実施形態による光学レンズ１の製造方法では、１回の線引き処理工程により、複数の曲面部４３を備えた光学レンズ１が作製されるものであり、これらのことから製造上の負担を大幅に軽減することが可能となっている。
【００３６】
図３Ａ〜３Ｃは、本実施形態による光学レンズの製造方法により製造された光学レンズの作用を示す図である。これらの例では、光学作用部４３として７つの曲面を備えた光学レンズ１が形成されているため、例えば７つの発光部が配列された半導体レーザ素子から出射された各光に対し、コリメート、集光、又は光路変換した後、出射する。なお、ここに示した各光学レンズ１，１０１，２０１の作用は、入射光に対する作用を示したものであって、必ずしも実際の実用例とは限らない。
【００３７】
図３Ａに示す光学レンズ１では、半導体レーザ素子１５の発光部１６から出射された光に対し、光入射側及び光出射側に２列、４５°傾斜した状態で形成された光学作用部４３により、光軸を中心軸として９０°旋回した後、出射光を出射する。発光部１６から出射された光はＸ軸方向に短くＹ軸方向に長い光断面２５を有するものであったのが、光学レンズ１により光路変換された結果、Ｘ軸方向に長くＹ軸方向に短い光断面２６を有する出射光へと変換されている。
図３Ｂに示す光学レンズ１０１では、半導体レーザ素子１５の発光部１６からの出射された光に対し、光入射側及び光出射側にそれぞれ凹曲面、凸曲面に形成された光学作用部４３により、Ｘ軸方向にコリメート又は集光した後、出射光を出射する。発光部１６から出射された光はＸ軸方向に長くＹ軸方向に短い光断面１２５を有するものであったのが、光学レンズ１０１によりコリメート又は集光された結果、Ｘ軸方向には光断面１２５とほぼ同じ長さでありＹ軸方向には光断面１２５に比して更に長い光断面１２６、を有する出射光へと変換されている。なお、本実施形態による光学レンズの製造方法では、このように光入射側及び光出射側に光学作用部４３としての曲面部を２列作製することが可能であるため、フーリエ型又はテレスコープ型の光学レンズを形成することも可能となっている。
【００３８】
図３Ｃに示す光学レンズ２０１では、半導体レーザ素子１５の発光部１６からの出射された光に対し、光入射側が凸曲面に形成された光学作用部４３により、Ｘ軸方向にコリメート又は集光した後、出射光を出射する。発光部１６から出射された光はＸ軸方向に長くＹ軸方向に短い光断面２２５を有するものであったのが、光学レンズ２０１によりコリメート又は集光された結果、Ｘ軸方向には光断面２２５とほぼ同じ長さでありＹ軸方向には光断面２２５に比して更に長い光断面２２６、を有する出射光へと変換されている。入射光に対してＸ軸方向にコリメート又は集光するという点では、光学レンズ１０１と同様の作用を有する。光学レンズ２０１では、光出射側を更に切削加工を施してＹ軸方向にコリメート又は集光可能な光学作用部を新たに形成し、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向共にコリメート又は集光可能な光学レンズに構成することも可能である。
【００３９】
以下、図４〜図７に従って、本発明の他の実施形態による光学レンズの製造方法について説明する。
【００４０】
図４Ａは、前記実施形態による光学レンズ母材の断面図であり、図４Ｂは、図４Ａに示す光学レンズ母材を線引き処理することにより形成された光学レンズ、の断面図である。前記実施形態による線引き処理工程は、光学レンズ母材４０の屈伏点より高く、かつ光学作用部となる曲面部４３の形状が線引き処理による変形を受けにくいような線引き温度、で行われる。従って、線引き処理温度は、光ファイバーなどを線引きする際に比して低温に設定されるが、この際、光学レンズ母材は、線引き処理を通じて、側面に形成された平面部、すなわち第１側面４４又は第２側面４６が内側へと収縮するように変形する場合がある。図４Ａ，４Ｂに端的に示されるように、光学レンズ母材４０の第１側面部４４及び第２側面部４６は、線引き後の光学レンズ１では、共に内側へと引っ込んだ状態に変形されている。以下、このような変形を「糸巻き歪み」と呼ぶことにする。糸巻き歪みの影響を受けた光学レンズでは、半導体レーザ素子の各発光部が出射した各光を設計値通りに正確にコリメート又は集光することが困難である。
【００４１】
図５は、他の実施形態による光学レンズ母材の全体図である。図６Ａは、図５に示す光学レンズ母材を線引き処理する工程を示す図であり、図６Ｂは、図６Ａに示す線引き処理工程により得られた切断処理後のプリフォームの部分拡大図である。図７Ａは、他の実施形態による光学レンズ母材の断面図であり、図７Ｂは、図７Ａに示す光学レンズ母材を線引き処理することにより形成された光学レンズ、の断面図である。光学レンズ母材１４０では、第１側面１４４及び第２側面１４６が全体として凸曲面に形成されている。第１側面１４４及び第２側面１４６をこのように形成することにより、線引き処理後にはこの突出した分が引っ込み、図６Ｂ又は図７Ｂに示すように、平面により近く（又は平面そのものになり）線引きによる歪みの影響が抑制された光学レンズ５０１が形成される。このように、他の実施形態による光学レンズの製造方法では、所望の形状に等しいか又は近い状態に光学レンズ５０１を形成することが可能となっている。
【００４２】
以上、本発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、本発明を実施するにあたって前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の請求の範囲の範囲内に該当する発明の全ての変更を包含し、形状、サイズ、配置、構成などについて変更が可能である。
【００４３】
例えば上記実施形態では、図１Ａに示す光学レンズ母材４０の線引き処理に際して、図１Ｂに示すように、線引き処理された光学レンズ母材の一対のローラ当接面４５を引っ張りローラ３３で挟持しているが、図８に示すように、第１側面４４及び第２側面４６を引っ張りローラ３３で挟持することが好ましい。第１側面４４又は第２側面４６は、ローラ当接面４５よりも幅が広い。このため、第１側面４４及び第２側面４６を引っ張りローラ３３で挟持することにより、線引き処理を安定して行うことができる。また、同様の理由により、図５に示す光学レンズ母材１４０の線引き処理に際して、図６Ａに示すように、線引き処理された光学レンズ母材の一対のローラ当接面４５を引っ張りローラ３３で挟持することに代えて、第１側面１４４及び第２側面１４６を引っ張りローラ３３で挟持することが好ましい。
【００４４】
なお、特許第３１２１６１４号公報及び英国公報ＧＢ２１０８４８３Ａは、線引き処理によるマイクロレンズの製造方法について開示しているが、単一光に対して作用するレンズの製造方法であって、本発明のように複数の光に対して作用する光学レンズの製造方法ではなく、この点において異なるものである。
産業上の利用可能性
【００４５】
本発明による光学レンズの製造方法によれば、線引き処理前の母材の段階で、光学レンズの形状、特に光学作用部の形状を決定することができるため、十分に大きいサイズで母材の加工が精度よく行われ、容易に光学レンズの形状、特に光学作用部の形状を形成することが可能となる。これにより、製造上の負担を軽減することが可能となる。
【００４６】
また、１回の線引き処理工程により、複数の発光部が配列された発光素子より出射される各光に対して作用することが可能な光学レンズが形成されるため、製造工程を大幅に減縮することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
図１Ａ，Ｂは、実施形態に係る光学レンズの製造方法における各工程を示す概略図である。
図２Ａ，Ｂは、実施形態に係る光学レンズの製造方法における各工程を示す概略図である。
図３Ａ〜３Ｃは、本実施形態による光学レンズの製造方法により製造された光学レンズの作用を示す図である。
図４Ａは、上記実施形態による光学レンズ母材の断面図であり、図４Ｂは、図４Ａに示す光学レンズ母材を線引き処理することにより形成された光学レンズの断面図である。
図５は、他の実施形態による光学レンズ母材の全体図である。
図６Ａは、図５に示す光学レンズ母材を線引き処理する工程を示す図であり、図６Ｂは、図６Ａに示す線引き処理工程により得られた切断処理後のプリフォームの部分拡大図である。
図７Ａは、他の実施形態による光学レンズ母材の断面図であり、図７Ｂは、図７Ａに示す光学レンズ母材を線引き処理することにより形成された光学レンズ、の断面図である。
図８は、図１Ａに示す光学レンズ母材を用いた光学レンズの製造方法の他の実施形態における線引き処理工程を示す概略図である。
図９は、図５に示す光学レンズ母材を用いた光学レンズの製造方法の他の実施形態における線引き処理工程を示す概略図である。
【図１Ａ】
0004197956.tif 000002
【図１Ｂ】
0004197956.tif 000003
【図２Ａ】
0004197956.tif 000004
【図２Ｂ】
0004197956.tif 000005
【図３Ａ】
0004197956.tif 000006
【図３Ｂ】
0004197956.tif 000007
【図３Ｃ】
0004197956.tif 000008
【図４Ａ】
0004197956.tif 000009
【図４Ｂ】
0004197956.tif 000010
【図５】
0004197956.tif 000011
【図６Ａ】
0004197956.tif 000012
【図６Ｂ】
0004197956.tif 000013
【図７Ａ】
0004197956.tif 000014
【図７Ｂ】
0004197956.tif 000015
【図８】
0004197956.tif 000016
【図９】
0004197956.tif 000017