(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムを保持するための保持アセンブリと、
該保持アセンブリに接続され、かつ、これを支持する第１の支持アセンブリと、
前記保持アセンブリに隣接配置され、フィルムの選択された領域を露光するために調節可能な開口を形成する露光領域調節アセンブリであって、
ｉ）フレームと、
ｉｉ）該フレームにより支持され、かつ、調節可能な開口を形成し、該開口を移動するために移動可能であり、該開口の外側に配される前記所定領域を実質的に完全に覆う多数の小割板とを具備する露光領域調節アセンブリと、
該露光領域調節アセンブリに接続され、かつ、これを支持する第２の支持アセンブリとを具備することを特徴とするフィルム露光調節装置。
【請求項２】
前記多数の小割板が、
ｉ）前記フレームによって支持され、かつ、前記所定領域を横切る第１の方向に延びる第１の組の小割板と、
ｉｉ）前記フレームによって支持され、かつ、前記所定領域を横切る第２の方向に延びる第２の組の小割板とを具備し、
調節可能な開口が、少なくとも１つの前記第１の組の小割板と、少なくとも１つの前記第２の組の小割板とから形成され、
前記少なくとも１つの第１の組の小割板および前記少なくとも１つの第２の組の小割板が、調節可能な開口を移動するために移動可能であることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記第１の方向が水平方向であり、前記第２の方向が垂直方向であることを特徴とする請求項２記載の装置。
【請求項４】
前記フレームが、
ｉ）第１および第２の垂直に延びる側部部材と、
ｉｉ）前記側部部材に接続され、かつ、該側部部材の間に水平に延びる上部部材と、
ｉｉｉ）前記側部部材に接続され、かつ、該側部部材の間に水平に延びる下部部材とを具備し、
前記所定領域が、前記第１および第２の側部部材、上部部材および下部部材によって画定され、
前記第１および第２の側部部材が、垂直に延びる溝を形成し、前記第１の組の小割板が、該垂直に延びる溝内に延び、かつ、その内部において保持され、
前記上部および下部部材が、水平に延びる溝を形成し、前記第２の組の小割板が前記水平に延びる溝内に延び、かつ、その内部において保持されていることを特徴とする請求項３記載の装置。
【請求項５】
フィルムを保持する保持アセンブリと、
該保持アセンブリに接続され、かつ、これを支持するフィルム支持アセンブリと、
前記保持アセンブリに隣接配置され、かつ、前記フィルムの選択された領域を露光するために調節可能な開口を形成する露光領域調節アセンブリと、
該露光領域調節アセンブリに接続され、かつ、これを支持する第２の支持アセンブリであって、（ｉ）支持サブアセンブリと、（ｉｉ）前記露光領域調節アセンブリを前記支持サブアセンブリに対して接続する接続手段とを有する第２の支持アセンブリとを具備し、
前記接続手段が、ロック位置とアンロック位置とを有し、
前記ロック位置において、前記接続手段が、前記露光領域調節アセンブリを、前記支持サブアセンブリに対して概略固定した位置に保持し、
前記アンロック位置において、前記接続手段が、前記露光領域調節アセンブリを、前記支持アセンブリに対して並進移動可能かつ回転移動可能に支持していることを特徴とするフィルム露光調節装置。
【請求項６】
前記支持サブアセンブリが、第１および第２の脚を具備し、
前記接続手段が、第１および第２のねじ部材を具備し、
前記第１のねじ部材が、前記第１の脚によって支持され、かつ、前記露光領域調節アセンブリに螺合し、
前記第２のねじ部材が、前記第２の脚によって支持され、かつ、前記露光領域調節アセンブリに螺合し、
前記接続手段が、ロック位置に配されているときに、前記第１および第２のねじ部材が、前記第１および第２の脚とそれぞれ圧接し、その圧接状態により、第１および第２のねじ部材と前記露光領域調節アセンブリとが、前記支持サブアセンブリに対して概略固定された位置に保持され、
前記接続手段が、アンロック位置に配されているときに、前記第１および第２のねじ部材が、第１および第２の脚により、それらに沿う並進移動および回転移動を行うように支持されていることを特徴とする請求項５記載の装置。
【請求項７】
前記第１の脚が、長手方向に延びる第１の貫通スロットを形成し、
前記第２の脚が、長手方向に延びる第２の貫通スロットを形成し、
前記第１のねじ部材が、前記第１の貫通スロットを貫通して延び、
前記第２のねじ部材が、前記第２の貫通スロットを貫通して延びていることを特徴とする請求項６記載の装置。
【請求項８】
前記第１のねじ部材が、
ｉ）前記第１の脚の外側に横に配置された頭部と、
ｉｉ）該頭部に接続され、前記第１のスロットを通して延びて前記露光領域調節アセンブリに螺合するねじ軸部とを具備し、
前記第２のねじ部材が、
ｉ）前記第２の脚の外側に横に配置された頭部と、
ｉｉ）該頭部に接続され、前記第２のスロットを通して延びて前記露光領域調節アセンブリに螺合するねじ軸部とを具備することを特徴とする請求項７記載の装置。
【請求項９】
前記露光領域調節アセンブリが、第１および第２の側部を具備し、
前記接続手段が、
ｉ）前記露光領域調節アセンブリの前記第１の側部に螺合する第１のねじ部材と、
ｉｉ）前記露光領域調節アセンブリの前記第２の側部に螺合する第２のねじ部材とを具備し、
前記各側部に、該各側部に沿って垂直方向に間隔をあけて配される多数のねじ孔が形成され、前記露光領域調節アセンブリの垂直方向位置を調節することを可能とするために、前記第１の側部のねじ孔が前記第１のねじ部材を螺合するために用いられ、前記第２の側部のねじ孔が前記第２のねじ部材を螺合するために用いられることを特徴とする請求項５記載の装置。
【請求項１０】
フィルムを保持する保持アセンブリと、
該保持アセンブリに接続され、かつ、これを支持する第１の支持アセンブリと、
前記保持アセンブリに隣接配置され、かつ、前記フィルムの選択された領域を露光するために調節可能な開口を形成する露光領域調節アセンブリと、
該露光領域調節アセンブリに接続され、かつ、これを支持する第２の支持アセンブリとを具備し、
前記第１の支持アセンブリが、（ｉ）支持サブアセンブリと、（ｉｉ）該支持サブアセンブリに前記フィルムアセンブリを接続するための接続手段とを具備し、
該接続手段が、ロック位置とアンロック位置とを有し、
ロック位置において、前記接続手段が、保持アセンブリを、前記支持サブアセンブリに対して概略固定された位置に保持し、
アンロック位置において、前記接続手段が、前記保持アセンブリを、前記支持アセンブリに対して並進移動可能かつ回転移動可能に支持していることを特徴とするフィルム露光調節装置。
【請求項１１】
前記支持サブアセンブリが、第１および第２の脚を具備し、
前記接続手段が、第１および第２のねじ部材を具備し、
前記第１のねじ部材が、前記第１の脚により支持され、かつ前記フィルムアセンブリに螺合し、
前記第２のねじ部材が、前記第２の脚により支持され、かつ前記フィルムアセンブリに螺合し、
前記接続手段が、そのロック位置に配されたときに、前記第１および第２のねじ部材が、前記第１および第２の脚とそれぞれ圧接し、該圧接状態によって、前記第１および第２のねじ部材と、前記フィルムアセンブリとが、前記支持サブアセンブリに対して概略固定された位置に保持され、
前記接続手段が、そのアンロック位置に配されたときに、前記第１および第２のねじ部材が、前記第１および第２の脚により、それらに沿った並進移動および回転移動を行うように支持されていることを特徴とする請求項１０記載の装置。
【請求項１２】
前記第１の脚が、長手方向に延びる第１の貫通スロットを形成し、
前記第２の脚が、長手方向に延びる第２の貫通スロットを形成し、
前記第１のねじ部材が前記第１の貫通スロットを貫通して延び、
前記第２のねじ部材が前記第２の貫通スロットを貫通して延びていることを特徴とする請求項１１記載の装置。
【請求項１３】
前記第１のねじ部材が、
ｉ）前記第１の脚の外側に横に配置された頭部と、
ｉｉ）該頭部に接続され、前記第１のスロットを貫通して延びかつ前記フィルムアセンブリに螺合するねじ軸部とを具備し、
前記第２のねじ部材が、
ｉ）前記第２の脚の外側に横に配置された頭部と、
ｉｉ）該第２のねじ部材の頭部に接続され、前記第２のスロットを貫通して延びかつ前記フィルムアセンブリに螺合するねじ軸部とを具備していることを特徴とする請求項１２記載の装置。
【請求項１４】
前記フィルムアセンブリが、第１および第２の側部を具備し、前記各側部が、該各側部に沿って垂直に間隔をあけて配される多数のねじ孔を具備し、
前記接続手段が、
ｉ）前記フィルムアセンブリの前記第１の側部のねじ孔の１つに螺合する第１のねじ部材と、
ｉｉ）前記フィルムアセンブリの前記第２の側部のねじ孔の１つに螺合する第２のねじ部材とを具備し、
前記フィルムアセンブリの垂直方向の位置の変更を可能とするために、前記第１のねじ部材が、前記フィルムアセンブリの前記第１の側部の少なくとも複数のねじ孔に螺合するように用いられ、前記第２のねじ部材が、前記フィルムアセンブリの前記第２の側部の少なくとも複数のねじ孔に螺合するように用いられることを特徴とする請求項１０記載の装置。
【請求項１５】
フィルムを保持し、かつ、薄いフィルムを保持するための保持手段を有する第１の側部と、フィルムパックを保持するための保持手段を有する第２の側部とを有するフレームを具備する保持アセンブリと、
該保持アセンブリに接続され、かつ、これを支持する第１の支持アセンブリと、
前記保持アセンブリに隣接配置され、かつ、前記フィルムの選択された領域を露光するために調節可能な開口を形成する露光領域調節アセンブリと、
該露光領域調節アセンブリに接続され、かつ、これを支持する第２の支持アセンブリとを具備することを特徴とするフィルム露光調節装置。
【請求項１６】
フィルムを保持し、
ｉ）第１および第２側部を有するプレートと、
ｉｉ）第１のフィルムを保持するために前記プレートの前記第１の側部に据え付けられた一組の溝形部材と、
ｉｉｉ）第２のフィルムを保持するために前記プレートの前記第２の側部に据え付けられた一組のブラケットとを有する保持アセンブリと、
該保持アセンブリに接続され、かつ、これを支持する第１の支持アセンブリと、
前記保持アセンブリに隣接配置され、かつ、前記フィルムの選択された領域を露光するために調節可能な開口を形成する露光領域調節アセンブリと、
該露光領域調節アセンブリに接続され、かつ、これを支持する第２の支持アセンブリとを具備することを特徴とするフィルム露光調節装置。
【請求項１７】
前記プレートが第１および第２の側縁を有し、
前記一組の溝形部材が、少なくとも第１および第２の溝形部材を具備し、該第１および第２の溝形部材の各々が、Ｕ字状の横断面を有し、
前記第１および第２の溝形部材が、プレート上に据え付けられ、かつ、その第１および第２の側縁にそれぞれ隣接して延び、
前記一組のブラケットが、少なくとも第１および第２のブラケットを具備し、
前記第１および第２のブラケットが、前記プレート上に据え付けられ、かつ、その第１および第２の側縁にそれぞれ隣接して延び、
前記第１および第２のブラケットの各々が、それぞれ前記プレートとともに、前記第２のフィルムを保持するためのそれぞれの溝を形成していることを特徴とする請求項１６記載の装置。
【発明の詳細な説明】
この発明は、概括的に、フィルムの露光領域を調節するための装置に関し、さらに詳細には、Ｘ線が結晶ウェハのトポグラフを生成するために使用されるときに露光されるＸ線フィルムの領域を調節するのにきわめて好適な装置に関する。ここに詳細に開示されているこの発明の好適な実施形態は、大きな単結晶ウェハに継ぎ目のないトポグラフの画像を形成するために、特に、ウェハのＸ線トポグラフを生成するために、Ｘ線が単結晶ウェハを横切って走査されるときに露光されるＸ線フィルムの領域を調節するための装置に関するものである。
一般に半導体を製造するために使用される単結晶ウェハは、通常、成形された後に検査される。これらのウェハは、ウェハの上面の画像を生成するためにＸ線を用いて検査され、この場合には、Ｘ線はウェハの上面で反射して、Ｘ線フィルムに入射する。１つの特別の処理手法により、Ｘ線ビームは、ウェハの上面の一定の領域で反射されてＸ線フィルムの一定の領域上に入射する。この手法は、ウェハの全上面の画像を生成するために、ウェハの上面を横切って繰り返される。
この従来技術の手法では、鮮明かつシャープな画像をＸ線フィルム上に得ることは困難である。先の手法において、Ｘ線は、該Ｘ線の波長に依存して、ウェハの表面領域から種々の角度で反射される。Ｘ線フィルム上に生成される多数の画像は、重ね合わせられ、これらの画像に含まれている情報が不明瞭になる。加えて、Ｘ線が、最初にウェハの広い領域を照らす場合には、Ｘ線蛍光が、Ｘ線フィルムにトポグラフの画像のぼやけや質の低下を生じさせることになる。
この発明の目的は、結晶ウェハの上面の鮮明かつシャープな画像を生成することにある。
この発明の他の目的は、分散し、回折したＸ線が、Ｘ線フィルム上に形成される結晶ウェハの画像を不鮮明にすることを防止することである。
この発明の他の目的は、結晶ウェハのＸ線写真の形成の間の任意の所定時間にＸ線フィルムの小さい領域のみを露光することである。
さらに、この発明の他の目的は、フィルムの限定された領域を露光するための、そして、フィルム上の露光される領域の大きさおよび位置の両方を調節するように作動され得る装置を提供することである。
これらの目的および他の目的は、フィルムの選択した領域を露光するための装置により達成される。この装置は、フィルムを保持するための保持アセンブリと、該保持アセンブリに接続され、かつ、これを支持する第１の支持アセンブリとを具備している。この装置は、さらに、前記保持アセンブリに近接配置され、かつ、フィルムの選択した領域を露光するための調節可能な開口を形成する露光領域調節アセンブリと、該露光領域調節アセンブリに接続され、かつ、これを支持する第２の支持アセンブリとを具備している。
第１の支持アセンブリは、前記フィルムアセンブリを、上下および前後方向に移動させ、かつ、水平軸および垂直軸回りに回転移動させるように支持していることが好ましい。また、前記第２の支持アセンブリは、前記露光領域調節アセンブリを前後方向に移動させかつ水平軸および垂直軸回りに回転移動させるように支持している。加えて、好適な実施形態においては、露光領域調節アセンブリは、フレームと、該フレームにより支持される多数の小割板とを具備し、これら小割板は、前記調節アセンブリにより形成される調節可能な開口の大きさ、形状および位置を変化させるように移動され得る。
以下に詳細に説明されるこの発明の好ましい実施形態は、大きな単結晶ウェハに継ぎ目のないトポグラフの画像を形成するのに非常に適しており、特に、ウェハのＸ線トポグラフを生成するために、Ｘ線が単結晶ウェハを横切って走査されるときに、露光されるＸ線フィルムの領域を調節するために適している。
この発明の他の恩恵および利点は、この発明の好ましい実施形態を明記しかつ示している添付図面を参照して説明される以下の詳細な説明を考慮することによって、より明白になる。
図１は、この発明を具現化した装置の正面図である。
図２は、図１の装置の側面図である。
図３は、図１および図２の装置の構成要素を示す斜視図である。
図４は、図１の装置のフィルム保持アセンブリを示す正面図である。
図５は、線Ｖ−Ｖから見た図４のアセンブリの平面図である。
図６は、線ＶＩ−ＶＩから見た図４のアセンブリの側面図である。
図７は、線ＶＩＩ−ＶＩＩから見た図４のアセンブリの下部の拡大図である。
図８は、図１の装置の第１の結合手段を示している。
図９は、図１および図２の装置の露光調節アセンブリを示す斜視図である。
図１０は、露光調節アセンブリの正面図である。
図１１は、線ＸＩ−ＸＩから見た図１０の露光調節アセンブリの下面図である。
図１２は、図１０の線ＸＩＩ−ＸＩＩから見た露光調節アセンブリの側面図である。
図１３は、露光調節アセンブリの背面図である。
図１４は、図１０〜図１３の露光調節アセンブリにおいて使用される小割板の１つを示す正面図である。
図１５は、図１４の小割板の平面図である。
図１６は、２つの小割板の重なった部分を示している。
図１７は、図１の装置の第２の結合手段を示している。
図１８は、運転中の図１および図２の装置を示している。
図１および図２は、概括的に、フィルムアセンブリ１０２と、露光領域調節アセンブリ１０４と、第１および第２の支持アセンブリ１０６，１１０とを具備する装置１００を示しており、該装置は、回転台１１２および角度計１１３をも含んでいることが好ましい（図１８に示す。）。概括的に、アセンブリ１０２は、フィルムを保持するために設けられ、アセンブリ１０４は、アセンブリ１０２に近接配置され、アセンブリ１０２により保持されたフィルムの選択された領域を露光するための調節可能な開口１１４を形成するように設けられている。アセンブリ１０６，１１０は、それぞれ、アセンブリ１０２，１０４を支持するように設けられている。一般的な角度計１１３を支持する回転台１１２は、結晶ウェハのような物体または物品を、撮影される間またはＸ線照射される間に特定の高さに保持するように設けられている。
図１〜図６を特に参照すると、フィルムアセンブリ１０２は、プレート１２０、１組の溝形部材１２２，１２４，１２６および一組のブラケット１３０，１３２を具備するフレーム１１６を具備している。図１、図２、図９〜１３を参照すると、アセンブリ１０４の好ましい実施形態は、フレーム１３４と、符号１３６で概括的に示される多数の小割板とを具備しており、さらに詳細には、フレーム１３４は、第１・第２の垂直部材１４０，１４２と、上下部材１４４，１４６とを具備し、多数の小割板は、符号１５０，１５２でそれぞれ示される第１・第２の組の小割板を具備している。
また、この装置１００の実施形態では、支持アセンブリ１０６は、支持サブアセンブリ１５４と接続手段１５６とを具備し、支持アセンブリ１１０は、支持サブアセンブリ１６０と接続手段１６２とを具備している。支持サブアセンブリ１５４は、支持フレーム１６４と、支持脚１６６，１６８と、プレート１７０とベース１７２とを具備している。フレーム１６４は、第１・第２・第３のフレーム脚１７４，１７６，１７８を具備し、ベース１７２は、プレート１８０とベース部材１８２，１８４とを具備している。図８を参照すると、接続手段１５６は、一対のねじ部材１８６，１８８と、一対のスリーブ１９０，１９２とを具備している。ねじ部材１８６は、頭部１９４と軸部１９６とを具備し、ねじ部材１８８は、頭部１９８と軸部２０２とを具備している。アセンブリ１１０の支持サブアセンブリ１６０は、支持フレーム２０４と、側プレート２０６，２０８と、上部支持プレート２１０，２１２とを具備し、フレーム２０４は、第１・第２・第３の脚２１４，２１６，２１８を具備している。図１７を参照すると、接続手段１６２は、一対のねじ部材２２０，２２２を具備している。ねじ部材２２０は頭部２２４と軸部２２６とを具備し、ねじ部材２２２、は頭部２３０と、軸部２３２とを具備している。
上述したように、アセンブリ１０２は、フィルムを保持するために設けられ、該アセンブリは複数の異なる形式のフィルムを保持することが好ましい。図４〜図６を参照すると、アセンブリ１０２のプレート１２０は、全体的に平坦で矩形状に形成されており、溝形部材１２２，１２４，１２６は、プレート１２０の第１側、または、前面側に据え付けられ、ブラケット部材１３０，１３２は、プレートの第２側、または、背面側に据え付けられている。各溝形部材１２２，１２４，１２６は、Ｕ字状断面を有し、それぞれ、長手方向に延びる溝１２２ａ，１２４ａ，１２６ａが形成されている。部材１２２，１２４，１２６は、溝１２２ａ，１２４ａ，１２６ａをプレートの中心方向に向けて、プレート１２０に据え付けられている。溝形部材１２２，１２４は、該溝形部材の外縁がプレート１２０の左右の縁１２０ａ，１２０ｂに沿い、かつ、境を接して延びるようにプレート１２０に据え付けられ、溝形部材１２６は、該溝形部材の外縁がプレートの下縁１２０ｃに沿い、かつ、境を接して延びるようにプレートに据え付けられていることが好ましい。溝形部材１２２，１２４，１２６は、フィルムパックとして参照される形式のフィルムがプレート１２０に対して、該フィルムパックの側縁および下縁が溝１２２ａ，１２４ａ，１２６ａ内に延びかつしっかりと保持された状態に位置決めされ得るように、大きさを決められ、かつ配置されている。
各ブラケット１３０，１３２は、全体的に矩形状を有しているが、各ブラケットの一の長手方向に延びる側部には、内側に段が付けられ、肩部および凹面部１３０ａ，１３２ａがそれぞれ形成されている。ブラケット１３０，１３２は、段が形成された側面をプレートに当接させ、かつ、肩部１３０ａ，１３２ａをプレートの中心方向に向けて該プレート１２０に据え付けられる。また、ブラケット１３０，１３２は、該ブラケットの長手方向に延びる外縁がプレートの左右の縁１２０ａ，１２０ｂと一列に並びかつ境を接した状態でプレート１２０に据え付けられることが好ましい。この配置により、プレート１２０は、各ブラケット１３０，１３２とともに、それぞれ、プレートの中心に向かう細い溝１３０ｂ，１３２ｂを形成する。ブラケット１３０，１３２は、薄いフィルムとして引用される形式のフィルムが、プレート１２０に対して、該フィルムの側縁を溝１３０ｂ，１３２ｂ内に延ばし、かつ、しっかりと保持された状態で位置決めされ得るように大きさを決められ、かつ配置されている。
プレート１２０、溝形部材１２２，１２４，１２６およびブラケット１３０，１３２は任意の好適な材料または複数の材料によって構成されていてもよく、任意の好適な方法で結合されてよい。例えば、プレート１２０、溝形部材１２２，１２４，１２６およびブラケット１３０，１３２は、アルミニウムからなり、ブラケット１３０，１３２は実質的に中実であり、溝形部材１２２，１２４，１２６は、所望の形状にプレスされまたは打ち抜かれていてもよい。また、各溝形部材１２２，１２４，１２６およびブラケット１３０，１３２は、ボルトまたはねじによりプレート１２０に締結されていてもよい。これを容易にするために、プレート１２０は、相当の厚さを有し、該プレートの下縁、左縁、右縁に沿って多数のねじ孔またはソケットが設けられていることが好ましい。これらの孔のうちの１つが、図７において、符号１２０ｄにより参照されている。
アセンブリ１６０は、フィルムアセンブリ１０２に接続され、かつ、これを支持している。そして、支持アセンブリ１０６は、設定位置および調節可能位置を有することが好ましい。設定位置においては、アセンブリ１０６は、該支持アセンブリ１０６に対して概略固定された位置にフィルムアセンブリ１０２を保持する。そして、調節可能位置では、支持アセンブリ１０６は、少なくとも複数段階に移動するようにフィルムアセンブリ１０２を支持する。調節可能位置では、支持アセンブリ１０６は、フィルムアセンブリ１０２を、前後方向移動および第１の水平軸１０６ａ回りに回転移動するように支持することが好ましい。
図面に示されたアセンブリ１０６の好適な実施形態によれば、接続手段１５６は、フィルムアセンブリ１０２を支持サブアセンブリ１５４に接続し、この接続手段は、ロック位置とアンロック位置とを有している。ロック位置において、接続手段１５６は、フィルムアセンブリ１０２を、支持サブアセンブリ１５６に対して概略固定された位置に保持し、アンロック位置においては、接続手段１５６は、フィルムアセンブリ１０２を支持サブアセンブリ１５４に沿って前後方向移動し、かつ、そのサブアセンブリに対して回転移動するように支持する。
さらに詳細には、支持サブアセンブリ１５４の脚１７４，１７６は、相互に実質的に平行で、かつ、間隔をあけて、フィルムアセンブリ１０２の反対側の側部に離れて配置される。サブアセンブリ１５４の脚１７８は、脚１７４，１７６の後端の間に接続され、かつ延びており、これらの脚を支持し、かつ、これらの脚１７４，１７６が所望の距離の間隔を維持することを補助している。脚１７４には、該脚を完全に貫通して横に延び、かつ、該脚１７４の長さの大部分に沿って長手方向に延びるスロット１７４ａが形成されている。脚１７６には、この脚を完全に貫通して横に延び、かつ、該脚１７６の長さの大部分に沿って長手方向に延びる同様の貫通スロット１７６ａが形成されている。
接続手段１５６の第１および第２のねじ部材１８６，１８８は、脚１７４，１７６によってそれぞれ支持されており、これら両ねじ部材は、フィルムアセンブリ１０２に螺合している。接続手段１５６がロック位置に配されているときに、ねじ部材１８６，１８８は、それぞれ脚１７２，１７４と、圧接状態にあり、この圧接状態により、これらのねじ部材およびフィルムアセンブリ１０２が支持サブアセンブリ１５４に対して全体的に固定された位置に保持される。接続手段１５６がアンロック位置にあるときには、ねじ部材１８６，１８８は、脚１７４，１７６によって、該脚に沿って並進移動および回転移動するように支持される。
ねじ部材１８６，１８８は、実質的に同一であり、したがって、ここでは、その１つについてのみ詳細に説明する。図８を特に参照すると、ねじ部材１８６は、頭部１９４とねじ軸１９６とを具備している。頭部１９４は、円柱または円盤形状を有し、軸１９６は、該頭部に概略同軸に接続され、かつ、そこから外側に向かって延びている。アセンブリ１１０において、ねじ部材１８６の頭部１９４は、脚１７４の外側に横に配置されており、ねじ部材１８６の軸部１９６は、内側に向かって横に延び、スロット１７４ａを貫通してフィルムアセンブリ１０２の第１の側部、特に、プレート１２０の側部に設けられたねじ孔１２０ｅに螺合している。これと同様に、ねじ部材１８８の頭部１９８は脚１７６の外側に横方向に配置され、ねじ部材１８８の軸部２０２は、内側に向かって横に延び、スロット１７６ａを貫通して、フィルムアセンブリ１０２の第２の側部、特に、プレート１２０の側部のねじ孔１２０ｆに螺合している。多数のねじ孔１２０ｅがプレート１２０の左側部に配置され、多数のねじ孔１２０ｆがプレートの右側部に配設されていることが好ましい。このようにして、アセンブリ１０２の高さは、プレート１２０をねじ部材１８６，１８８に接続するために用いられるねじ孔１２０ａ，１２０ｂを変更することにより調節され得る。
この配置において、ねじ部材１８６，１８８は、これらの部材を移動するために上述したロック位置とアンロック位置との間で回転される。特に、ねじ部材１８６，１８８をロックするために、そして、それによってフィルムアセンブリ１０２を固定された位置にロックするために、ねじ部材は、これらのねじ部材を横に内側に向かってねじ込むように回転され、そのため、頭部１９４，１９８はそれぞれ脚１７４，１７６と緊密に圧接するように移動される。ねじ部材１８６，１８８をアンロックするために、これらの部材は、これらの部材が横に外側に向かって移動し、頭部１９４，１９８と脚１７４，１７６との圧接状態が緩められまたは消滅するように回転される。
ねじ部材１８６，１８８がアンロック位置に配されているときには、フィルムアセンブリ１０２は該ねじ部材を脚１７４，１７６に沿ってスライドさせることにより、さらに詳細には、軸部１９６，２０２をスロット１７４ａ，１７６ａに沿ってスライドさせることにより、前後方向に移動され得る。加えて、ねじ部材１８６，１８８がアンロック位置にあるときには、フィルムアセンブリ１０２はねじ部材を回転させるかフィルムアセンブリをそれらの軸部１９６，２０２回りに回転することにより軸部１９６，２０２の軸線回りに回転され得る。
支持アセンブリ１０６のフレーム１６４は、それ自体、脚１６６，１６８、プレート１７０およびベース１７２により支持されている。さらに詳細には、プレート１７０は、ベース１７２上に据え付けられ、かつ支持されており、脚１６６，１６８は、プレート１７０に接続され、かつ、そこから上方に延びている。また、フレーム１６４は、脚１６６，１６８に接続され、かつ、そこから外側に延びている。プレート１７０は、ベース１７２に、垂直軸１６０ａ回りに回転するように回転可能に据え付けられ、脚１６６，１６８はプレート１７０の後部に堅く接続され、かつ、そこから上方に垂直に延びていることが好ましい。また、フレーム１６４は、脚１６６，１６８の上端に堅固に接続され、かつ、その前後方向に水平に延びている。
ベース１７２は、それ自体、プレート１８０と部材１８２，１８４とからなっている。図３に示されるように、部材１８２，１８４は、それぞれ、Ｌ字状に形成されており、該部材１８２，１８４の垂直部分は相互に接続されている。そして、これらの部材１８２，１８４は、部材１８２が部材１８４に対して昇降され得るように一体に接続されていることが好ましい。プレート１８０は、部材１８２の前方の水平部分に据え付けられ、プレート１７０は、プレート１８０に、好ましくは回転するように、据え付けられている。
支持アセンブリ１０６の種々の構成要素は、アルミニウムのような適当な材料により形成されていてもよい。例えば、脚１６６，１６８およびプレート１７０は、中実のアルミニウムからなっていてもよい。脚１７４，１７６の各々は、脚に長手方向の貫通スロット１７４ａ，１７６ａを形成するような間隔をあけた位置関係で一緒に接続される別々の対となるアルミニウム棒から形成されていてもよい。さらに、アセンブリ１０６の構成要素は、任意の好適な手段によって相互に接続されていてもよく、例えば、フレーム１６４は脚１６６，１６８に溶接され、かつ、これらの脚がプレート１７０に溶接されていてもよい。
露光領域調節アセンブリ１０４は、フィルムアセンブリ１０２の近くに配置され、フィルムアセンブリに保持されているフィルムの選択された領域を露光するために調節可能な開口１１４が形成されている。アセンブリ１０４の小割板１３６はフレーム１３４によって支持され、開口１１４を形成し、少なくとも複数のこれらの小割板は移動可能であり、これらの小割板は開口１１４の位置を移動しかつ大きさを調節するために移動される。
図示されたアセンブリ１０４の実施形態では、小割板の第１の組１５０がフレーム１３４によって支持されており、かつ、好ましくは所定の領域を垂直に横切る第１の方向に延びている。小割板の第２の組１５２も、フレーム１３４によって支持され、かつ、好ましくは水平方向に所定の領域を横切る第２の方向に延びている。調節可能な開口１１４は、前記小割板の第１の組のうちの少なくとも１つおよび前記小割板の第２の組のうちの少なくとも１つによって形成され、その両方が、開口１１４の位置を移動しかつ大きさを調節するように移動可能であることが好ましい。
図示されたアセンブリ１０４の特別な実施形態では、小割板の第１の組１５０は、符号１５０ａ〜１５０ｈで参照される８枚の小割板を具備し、小割板の第２の組１５２は、符号１５２ａ〜１５２ｈで参照される８枚の小割板を具備している。当業者に理解され得るように、小割板の組１５０，１５２は、図示されたものより多い、または少ない小割板を有していてもよい。
小割板１３６は、相互に、実質的に同一である。特に、図１４〜図１６を参照すると、各小割板は、概略矩形状に形成され、各小割板の左右の縁には、それぞれ、前後肩面１３６ａ，１３６ｂを形成するように段が形成されている。さらに詳細に、図１４に示されているように、小割板１３６の右縁は横に内側に段が形成されており、後方に向かう肩面１３６ａを形成している。また、小割板の左縁は横に外側に段が形成されており、前方に向かう肩面１３６ｂを形成している。加えて、小割板１３６の肩部１３６ａ，１３６ｂは、図１６に詳細に示されているように、一対のこれらの小割板が相互に隣接して共通平面内に配置されたときに、小割板の隣接する縁が、重なり合って当接した位置関係で相互に密着するように、配置され、かつ大きさが決められている。
アセンブリ１０４においては、垂直な小割板１５０がフレーム１３４内の共通平面内に配置され、一対のこれらの小割板１５０ｄ，１５０ｅは、水平方向に間隔をあけて配置され、開口１１４の垂直縁１１４ａ，１１４ｂを形成している。開口１１４の左側への小割板１５０ａ〜１５０ｄは接触状態に並んで配置され、フレーム１３４の内側の領域および開口１１４の左側を完全に覆っていることが好ましい。同様に、開口１１４の右側への小割板１５０ｅ〜１５０ｈは、接触状態に並んで配置され、フレーム１３４の内側の領域および開口１１４の右側を完全に覆っていることが好ましい。また、接触している小割板１５０は、光やＸ線が隣接する小割板の間を確実に通過しないように補助するために、それらの共通の縁に沿って重なり合っていることが好ましい。
水平な小割板１５２は、フレーム１３４の内側の共通面内に、垂直な小割板１５０の後方に配置され、一対のこれらの水平な小割板１５２ｄ，１５２ｅは、垂直方向に間隔をあけて配置され、開口の水平な縁１１４ｃ，１１４ｄを形成している。開口１１４の上部の水平な小割板１５２ａ〜１５２ｄは、接触状態に並んで配置され、フレーム１３４の内側の領域および開口の上部を完全に覆っており、開口１１４の下部の水平な小割板１５２ｅ〜１５２ｈは、接触状態に並んで配置され、フレーム１３４の内側の領域および開口の下部を完全に覆っている。垂直な小割板の場合のように、接触状態の水平な小割板１５２も、それらの共通の縁に沿って重なり合っていることが好ましい。
上述したように、フレーム１３４は、フレーム部材１４０，１４２，１４４，１４６からなっていることが好ましい。部材１４０，１４２は、実質的に垂直で、相互に平行であり、部材１４４，１４６は実質的に水平で相互に平行であり、部材１４４，１４６は部材１４０，１４２に接続され、かつ、それらの間に延びている。フレーム部材１４０，１４２は、上部フレーム部材１４４の上方に延びていることが好ましく、部材１４０，１４２は以下により詳細に説明するように、アセンブリ１４０をアセンブリ１１０に接続するために用いられる。
加えて、フレーム部材１４０，１４２は、垂直に延びる溝１４０ａ，１４２ａを画定しており、フレーム部材１４４，１４６は、水平に延びる溝１４４ａ，１４６ａを画定している。フレーム１３４のこの好適な実施形態によれば、垂直な小割板１５０は、水平なフレーム部材１４４，１４６の間に延び、これらの小割板は、水平な溝１４４ａ，１４６ａ内に延びてその内側に保持される。同様に、水平な小割板１５２は、垂直なフレーム部材１４０，１４２の間に延び、これらの小割板１５２は、垂直な溝１４０ａ，１４２ａ内に延びてその内側に保持される。
フレーム部材１４０，１４２，１４４，１４６および小割板１５０，１５２は、任意の好適な材料または複数の材料、例えば、アルミニウムからなっていてもよい。加えて、当業者に理解され得るように、フレーム部材１４０，１４２，１４４，１４６は、任意の好適な手段によって相互に接続されていてもよく、また、例えば、フレーム部材は、ボルトまたはねじにより締結されていてもよい。
開口１１４は、垂直な小割板１５０および水平な小割板１５２を移動することにより、フレーム１３４のあちこちに移動され得る。例えば、図１および図１０を特に参照すると、開口１１４を左側に移動するために、小割板１５０ａがフレーム１３４の左側から取り外され、小割板１５０ｂ〜１５０ｈが、全てフレーム内を左側に移動され、その後、小割板１５０ａがフレーム内において小割板１５０ｈの右側に置き換えられ得る。加えて、開口１１４を上方に移動するためには、小割板１５２ａはフレーム１３４の上部から取り外され、小割板１５２ｂ〜１５２ｈが全て、フレーム内を上方に移動され、その後、小割板１５２ａがフレーム内においてフレームの下部から小割板１５２ｈの下方に置き換えられる。これに代えて、小割板１５０ｅが小割板１５０ｄに当接し、小割板１５０ｅ，１５０ｆが水平方向に間隔をあけるように小割板１５０ｅを左側に移動することにより、開口１１４は右側に移動され得る。また、開口１１４を上方に移動するためには、小割板１５２ｃ，１５２ｄが小割板１５２ｄ，１５２ｅにそれぞれ当接し、小割板１５２ｃ，１５２ｂが垂直方向に間隔をあけるように、小割板１５２ｃ，１５２ｄを下方に移動することにしてもよい。さらに、開口１１４の大きさおよび形状は、小割板をフレーム１３４から取り外しまたはフレーム１３４に追加することにより変更され得る。例えば、開口１１４の幅は、端部の小割板１５０ｈをフレーム１３４から取り外し、小割板１５０ｅ，１５０ｆ，１５０ｇを右側に移動することにより拡大され、開口の高さは、上部の小割板１５２ａをフレームから取り外し、小割板１５２ｂ，１５２ｃ，１５２ｄを上方に移動することにより拡大され得る。
小割板１５０，１５２は、該小割板とフレーム１３４との間の摩擦接触により一定位置に保持されることが好ましい。さらに詳細には、垂直小割板１５０は、これらの小割板とフレーム部材１４４，１４６との間の摩擦により所定位置に保持され、水平小割板１５２は、これらの小割板とフレーム部材１４０，１４２との間の摩擦により所定位置に保持される。このようにして、小割板１５０，１５２は、小割板とフレームとの間の摩擦に打ち勝つように、単に小割板を引きまたは押すことにより、フレーム１３４内を移動され、またはフレームから取り外される。
アセンブリ１１０は露光領域調節アセンブリ１０４に接続され、かつ、これを支持している。そして、好ましくは、アセンブリ１１０は、設定位置および調節可能位置をも有している。設定位置において、アセンブリ１１０は、該支持アセンブリ１１０に対して、概略固定された位置にアセンブリ１０４を保持する。また、調節可能位置において、支持アセンブリ１１０は、少なくとも複数段階に移動するように調節アセンブリ１０４を支持する。この調節可能位置において、アセンブリ１１０は、アセンブリ１０４を、前後方向への移動、第１の水平軸１１０ａ回りの回転移動、および、第２の垂直軸１１０ｂ回りの回転移動を行うように支持していることが好ましい。
アセンブリ１１０の好適な実施形態によれば、接続手段１６２が、アセンブリ１０４を支持サブアセンブリ１６０に接続し、該接続手段１６２は、ロック位置およびアンロック位置をも有している。ロック位置において、接続手段１６２は、支持サブアセンブリ１６０に対して概略固定された位置にアセンブリ１０４を保持し、アンロック位置において、接続手段１６２は、支持サブアセンブリ１６０に沿う前後方向への移動およびこのサブアセンブリに対する回転移動を実施するようにシャッタアセンブリ１０４を支持する。
さらに詳細には、支持サブアセンブリ１６０の脚２１４，２１６は、アセンブリ１０４の反対側の横方向側部に間隔をあけて、相互に実質的に平行であり、サブアセンブリ１６０の脚２１８は、脚２１４，２１６の後端に接続され、かつ、それらの間に延び、それらの脚の支持およびそれらの脚を間隔をあけた状態に維持することを補助している。脚２１４，２１６は、脚１７４，１７６の貫通スロット１７４ａ，１７６ａと同様の貫通スロット２１４ａ，２１６ａを形成する。特に、貫通スロット２１４ａは、脚２１４の長さの大部分に沿って長手方向に延び、かつ、脚を完全に貫通して横に延び、貫通スロット２１６ａは、脚２１６の長さの大部分に沿って長手方向に延び、かつ、脚を完全に貫通して横に延びている。
サブアセンブリ１６０の接続手段１６２は、サブアセンブリ１５４の接続手段１５６と非常に類似している。特に、接続手段１６２も、サブアセンブリ１６０の脚２１４，２１６によりそれぞれ支持される第１および第２のねじ部材２２０，２２２を具備しており、両ねじ部材２２０，２２２はアセンブリ１０４に螺合している。接続手段１６２がそのロック位置に配されているときには、ねじ部材２２０，２２２は、脚２１４，２１６とそれぞれ圧接しており、この圧接状態により、これらのねじ部材およびアセンブリ１０４が支持サブアセンブリ１６０に対して概略固定された位置に保持される。接続手段１６２がアンロック位置に配されているときに、ねじ部材２２０，２２２は、脚２１４，２１６によって、回転移動および脚に沿った並進移動を実施するように支持される。
ねじ部材２２０，２２２は、アセンブリ１０６のねじ部材１８６，１８８と非常に類似している。図１７を特に参照することにより、ねじ部材２２０，２２２は、頭部２２４，２３０とねじ軸部２２６，２３２とを具備している。ねじ部材２２０の頭部２２４は、円柱状または円盤状に形成されており、軸部２２６はそこに接続されて、そこから外側に頭部と概略同軸に延びている。同様に、ねじ部材２２２の頭部２３０は、円柱状または円盤状に形成されており、軸部２３２はそこに接続されて、そこから外側に頭部と概略同軸に延びている。
アセンブリにおいて、頭部２２４は、脚２１４の外側に横に配置されている。また、軸部２２６は頭部２２４から内側に横に延びて、スロット２１４ａを貫通し、アセンブリ１０４の第１の側部、特に、フレーム部材１４０のねじ孔１４０ｂに螺合している。ねじ部材２２２の頭部２３０は、脚２１６の外側に横に配置されており、軸部２３２は、ヘッド２３０から内側に横に延び、スロット２１６ａを貫通して、アセンブリ１０４の第２の側部、特に、フレーム部材１４２のねじ孔１４２ｂと螺合している。多数のねじ孔１４０ｂがフレーム部材１４０に形成され、多数のねじ孔１４２ｂがフレーム部材１４２に形成されていることが好ましく、アセンブリ１０４の高さは、ねじ部材２２０，２２２が接続されるねじ孔１４０ｂ，１４２ｂを変更することによって調節され得る。
ねじ部材２２０，２２２は、接続手段１６２を移動するために、そのロック位置とアンロック位置との間で回転される。ねじ部材２２０，２２２がそれらのアンロック位置に配されているときに、アセンブリ１０４はこれらのねじ部材を脚２１４，２１６に沿ってスライドさせることにより前方または後方に移動され得る。同時に、アセンブリ１０４は、ねじ部材２２０，２２２をそれらの軸部２２６，２３０回りに回転するか、アセンブリ１０４をそれらの軸部２２６，２３０の回りに回転するかのいずれかによって、軸部２２６，２３０の軸線回りに回転され得る。
支持アセンブリ１１０のフレーム１９２は、プレート２１０，２１２によって支持されている。図１を特に参照すると、プレート２０６，２０８は、脚２１４，２１６に接続され、かつ、該脚２１４，２１６から上方に延びており、プレート２１０はプレート２０６，２０８に接続され、かつ、該プレート２０６，２０８の間に横に延びている。プレート２１０は、好ましくは支持フレームまたは支持手段（図示略）に接続されているプレート２１２に接続され、かつ、これによって支持されている。各プレート２１０，２１２は、概略矩形上に形成されており、これらのプレートは実質的に同一寸法を有し、アセンブリ１１０において、プレート２１０は、プレート２１２の下に直接配置されていることが好ましい。加えて、プレート２１０は、垂直軸１０４ａ回りの回転移動のためにプレート２１２に回転するように接続されており、サブアセンブリ１６０およびアセンブリ１０４がその軸線回りに回転することを許容している。プレート２１０，２１２間のこのピボット式の接続は、任意の好適な方法で行われ、例えば、プレート２１０は、プレート２１２の孔を通して、プレート２１０と螺合するボルトにより支持されていてもよい。
当業者により評価されるように、支持サブアセンブリ１６０の構成要素は、任意の好適な材料からなっていてもよく、任意の適当な手段によって相互に接続されていてもよい。例えば、脚２１４，２１６，２１８およびプレート２１０，２１２は、アルミニウムからなっていてもよく、脚２１８およびプレート２０６，２０８は、脚２１４，２１６の後端および前端にそれぞれ溶接されまたはボルト締結されていてもよい。また、脚２１４，２１６はそれぞれ、溝２１４ａ，２１６ａを形成するように一体に接続される棒２１４ｂ，２１４ｃ，２１６ｂ，２１６ｃの各対から構成されていてもよい。
角度計１１３を支持する台１１２の上には、撮影またはＸ線照射される物品が位置決めされる。台１１２は、６段階の動作が可能であることが好ましく、さらに詳細には、台１１２は、図１および図２にｘ，ｙ，ｚとして示されている軸のような相互に直交する３つの軸線に沿って移動され、かつ、これらの軸線回りに回転され得る。この種の台１１２は、従来より公知かつ標準的なものであり、市販されている台が装置１００において、または装置１００とともに使用され得る。
図１および図１８を参照すれば、装置１００の動作において、フィルムが、アセンブリ１０２内に配置され、結晶ウェハのような物品２４２が、角度計１１３上に配置され、かつ固定される。アセンブリ１０４は、該アセンブリ１０４の開口１１４をアセンブリ１０２内のフィルムの選択された領域に露出させ、かつ、フィルムの残りの部分をアセンブリ１０４、特にその小割板１３６によって覆った状態で、アセンブリ１０２の直ぐ前方に配置されている。アセンブリ１０２内のフィルム、台１１３上の物品２４２および開口１１４は、好適な線源（図示略）からのＸ線ビーム２４４が、物品の上面の一部に指向され得るとともに、該表面部分から、開口１１４を通してアセンブリ１０２内のフィルムの露光領域上に反射されるように配置されている。Ｘ線ビームは、その後、物品およびフィルムに指向され、物品の表面部分の画像をフィルムの露光領域上に生成する。
物品の上面の第２の部分のＸ線画像を生成するために、開口１１４はフィルムの第２の領域を露光するように移動され、Ｘ線ビーム２４４は、物品の第２の表面部分に指向され、開口１１４を通して、フィルムの第２の領域上に向けられる。Ｘ線ビーム２４４は、物品の上面全体のＸ線画像または上面の選択された部分のＸ線画像をフィルム上に生成するために、開口１１４の動作と同期させて物品の上面を横切って移動または掃引されるのが好ましい。
ここに開示された発明は、上記において示した目的を達成するために良好に計画されていることは明らかであるが、当業者であれば、多くの変更や実施形態を工夫することができ、添付の請求の範囲は、この発明の真の精神および範囲内に配されるそのような変更および実施形態を全て包含しようとするものであることを特筆しておく。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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