(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
端面を揃えて平行に配列し固定した複数本の固定側光ファイバと、該複数本の固定側光ファイバのうちの一部の固定側光ファイバの端面に端面が向き合う方向に配置されかつ該固定側光ファイバの配列方向に他の固定側光ファイバの端面に端面が向き合う位置まで移動可能なる１本又は２本以上の可動側光ファイバとを備えた光スイッチの製造方法において、平面状の表面を有する固定側位置決め部材と可動側位置決め部材とを、それぞれの表面が同一平面に位置し、かつそれぞれの側面を互いに向き合わせて該側面に沿って前記可動側位置決め部材を移動可能に配置して、次いで該固定側位置決め部材の表面及び可動側位置決め部材の表面に渡って研削刃を直線移動させることによって前記側面方向に対して直角方向のＶ溝を該表面に形成し、固定側位置決め部材の表面に形成したＶ溝の複数本にはそれぞれ固定側光ファイバを端面を揃えて挿入し固定すると共に、前記可動側位置決め部材の表面に形成したＶ溝の少なくとも１本には可動側光ファイバを挿入して固定することを特徴とする光スイッチの製造方法。
【請求項２】
端面を揃えて平行に配列し固定した複数本の固定側光ファイバと、該複数本の固定側光ファイバのうちの一部の固定側光ファイバの端面に端面が向き合う方向に配置されかつ該固定側光ファイバの配列方向に他の固定側光ファイバの端面に端面が向き合う位置まで移動可能なる１本又は２本以上の可動側光ファイバとを備えた光スイッチの製造方法において、平板状の基板の片側表面に複数本の平行なＶ溝を研削刃を直線移動させて形成し、基台上に配置した固定部材と前記基台上にリニアガイドを介して配置した可動ステージとを跨いで前記基板を該基板上に形成したＶ溝を上にしかつＶ溝の方向と前記可動ステージの移動方向とが直角になるように固定部材上及び可動ステージ上に前記基板を載置して固定し、次いで前記固定部材と前記可動ステージとの間にて前記基板をＶ溝方向に対して直角方向に切断して２つに分割し、一方の固定部材上の基板を固定側位置決め部材となし、他方の可動ステージ上の基板を可動側位置決め部材となして、固定側位置決め部材の表面に形成したＶ溝の複数本にはそれぞれ固定側光ファイバを端面を揃えて挿入し固定すると共に、前記可動側位置決め部材の表面に形成したＶ溝の少なくとも１本には可動側光ファイバを挿入して固定することを特徴とする光スイッチの製造方法。
【請求項３】
前記固定側位置決め部材及び前記可動側位置決め部材としてはシリコン単結晶からなる板を使用し、前記研削刃は先端が鋭角に形成された円形のダイアモンドブレードを使用することを特徴とする請求項１、請求項２のいずれか１項に記載の光スイッチの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、端面を揃えて平行配置した複数本の固定側光ファイバと少なくとも１本の可動側光ファイバとを備え、複数本の固定側光ファイバのうちの一部の固定側光ファイバの端面と可動側光ファイバの端面とを互いに向き合わせて、可動側光ファイバを固定側光ファイバの配列方向に移動させることによって可動側光ファイバに向き合う固定側光ファイバを切替えることが可能な光スイッチ及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
複数本の固定側光ファイバと少なくとも１本の可動側光ファイバとを備えた光スイッチとしては、特開平６−６７１０１号公報等に記載されたものが知られている。図６は、特開平６−６７１０１号公報に記載された光スイッチの斜視図を示すものであって、２１は固定側光ファイバ、２２は可動側光ファイバ、２３は基板、２４はファイバ導入溝、２５は可動ステージ、２５ａはＸ方向ガイド、２５ｂはＸ方向移動部材、２５ｃはＺ方向ガイド、２５ｄはＺ方向移動部材、２５ｅは回転部材である。
【０００３】
複数本の固定側光ファイバ２１は、基板２３の上面に形成されたＶ溝内に端面を揃えて挿入され接着剤、押さえ部材等で固定されている。また、その複数本の固定側光ファイバのそれぞれの延長線の基板２３上にはそれぞれＶ溝状のファイバ導入溝２４が設けられている。また、可動ステージ２５は、Ｘ方向ガイド２５ａに沿って移動するＸ方向移動部材２５ｂと、Ｚ方向ガイド２５ｃに沿って移動するＺ方向移動部材２５ｄと、Ｚ方向移動部材２５ｄに取付けられθ方向に回転可能な回転部材２５ｅとを備えており、該回転部材２５ｅは可動側光ファイバ２２を保持している。
【０００４】
そして、光スイッチの結合に当たっては、可動ステージ２５のＸ方向移動部材２５ｂ、Ｚ方向移動部材２５ｄを移動させて、可動側光ファイバ２２を所望の固定側光ファイバ２１に対向して配置されたファイバ導入溝２４の上方に移動させる。その後、回転部材２５ｅをθ方向に回転させることによって、可動側光ファイバ２２の先端部をファイバ導入溝２４内に押付け、可動側光ファイバ２２の先端部の端面を固定側光ファイバ２１の端面と向き合わせて結合させる。
【０００５】
また、光スイッチの切替えに当たっては、回転部材２５ｅをθ方向と反対方向に回転させることによって可動側光ファイバ２２をファイバ導入溝２４から離脱させ、Ｘ方向移動部材２５ｂ、Ｚ方向移動部材２５ｄを移動させて新たに結合する固定側光ファイバ２１に対向した位置にあるファイバ導入溝２４の上に可動側光ファイバ２２を移動させ、次いで回転部材２５ｅをθ方向に回転させて可動側光ファイバ２２の先端部をファイバ導入溝２４内に押付け、可動側光ファイバ２２の先端部の端面を固定側光ファイバ２１の端面と向き合わせて結合させる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来技術による光スイッチの場合、光スイッチの切替えに当たっては、可動側光ファイバの先端部のファイバ導入溝からの離脱、可動側光ファイバの移動、可動側光ファイバの先端部のファイバ導入溝への挿入、といった動作が必要であり、切替えに時間がかかる。
【０００７】
また、ファイバ導入溝を設けないで、可動側光ファイバをフェルール等を用いて直線状に保持したままで、Ｘ方向、Ｚ方向に移動させて可動側光ファイバを固定側光ファイバに対向する位置に直接移動させる方法も考えられる。しかし、この場合はファイバ導入溝という位置決め精度を確保する手段が無いため、Ｘ方向及びＺ方向への移動を極めて精密に行なう必要があり、二次元移動となるため移動のための装置が複雑になり、かつ移動には時間がかかる。
【０００８】
また、固定側光ファイバをＸ方向に一段だけ並べて、フェルール等で直線状に保持した可動側光ファイバを固定側光ファイバのＸ方向にのみ一次元移動させる方法が考えられる。しかしこの方法では、装置は簡略化され移動に要する時間も短縮することが出来ても、移動方向に対して垂直な方向のずれが生じ易く精密な位置合わせをすることが難しいという問題がある。
【０００９】
本発明は、上述した従来技術の光スイッチの問題点を解消し、可動側光ファイバの移動を一方向としながら、移動方向に対して垂直な方向の位置合わせ精度を改善した光スイッチの製造方法を提供するものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の光スイッチは、端面を揃えて平行に配列し固定した複数本の固定側光ファイバと、該複数本の固定側光ファイバのうちの一部の固定側光ファイバの端面に端面が向き合う方向に配置されかつ該固定側光ファイバの配列方向に他の固定側光ファイバの端面に端面が向き合う位置まで移動可能なる可動側光ファイバとを備えた光スイッチにおいて、前記固定側光ファイバの端末部分及び前記可動側光ファイバの端末部分を、同一平面に位置する平面状の表面を有する固定側位置決め部材及び可動側位置決め部材のそれぞれの該表面に設けたＶ溝にそれぞれ挿入固定したものである。
【００１１】
これによって、複数本の固定側光ファイバの中心軸それぞれの位置と可動側光ファイバの中心軸の位置をＶ溝を使って精密に一平面上になるように配置することが可能で、可動側光ファイバが挿入固定されている可動側位置決め部材をその側面に沿って向き合う固定側光ファイバが挿入固定された固定側位置決め部材の配列方向に一次元的に精密移動させるだけで、固定側光ファイバの中心軸と可動側光ファイバの中心軸の位置合わせを精密に行なうことが出来る。
【００１２】
また、本発明の光スイッチは、次のようにして製造する。平面状の表面を有する固定側位置決め部材と可動側位置決め部材とを、それぞれの表面が同一平面に位置するように、かつ前記固定側位置決め部材及び前記可動側位置決め部材のそれぞれの側面を互いに向き合わせて該側面に沿って前記可動側位置決め部材を移動可能に配置する。
【００１３】
そして、該固定側位置決め部材の表面及び可動側位置決め部材の表面に渡って研削刃を直線移動させることによって前記側面方向に対して直角方向のＶ溝を該表面に形成する。研削刃を相対的に一定間隔で移動させて、固定側位置決め部材の表面には複数本のＶ溝を平行に形成し又可動側位置決め部材の表面には少なくとも１本のＶ溝を形成する。次いで、該固定側位置決め部材の表面に設けた複数本のＶ溝にはそれぞれ固定側光ファイバを端面を揃えて挿入し固定すると共に、前記可動側位置決め部材の表面に設けたＶ溝の少なくとも１本には可動側光ファイバを挿入して固定する。
【００１４】
また、１枚の平板状の基板の表面に複数本のＶ溝を予め形成して、その基板を基台上の固定部材上及び可動ステージ上に跨るようにして固定し、その後その基板を切断して２つに分割し、その一方を固定側位置決め部材とし、他方を可動側位置決め部材とすることによっても製造出来る。この場合、固定部材の上面と可動ステージの上面が精密に同一平面になっていなくても、それぞれの固定用接着剤の厚さを調整することによって、固定側位置決め部材のＶ溝と可動側位置決め部材のＶ溝の位置及び方向を精密に一致させることが可能である。
【００１５】
またこの場合、基板を固定部材上及び可動ステージ上に固定する前に予め基板の固定側位置決め部材となる部分のＶ溝に固定側光ファイバを挿入固定し、基板の可動側位置決め部材となる部分のＶ溝に可動側光ファイバを挿入固定しておき、その後、基板の固定部材上及び可動ステージ上への固定及び切断分割を行なっても良い。勿論、基板を基台上の固定部材上及び可動ステージ上に跨るようにして固定し、その基板を分割して、その一方を固定側位置決め部材とし、他方を可動側位置決め部材とした後、固定側光ファイバ及び可動側光ファイバを挿入固定することも可能である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の光スイッチの実施形態の主要部を示す図であって、図１（Ａ）は斜視図、図１（Ｂ）は可動側光ファイバの方向に対して直角方向から見た正面図である。図１において、１は固定側光ファイバ、２はテープ状光ファイバ心線、３は可動側光ファイバ、４は単心光ファイバ心線、５は固定側位置決め部材、５ａはＶ溝、６は固定部材、７は基台、８は可動側位置決め部材、８ａはＶ溝、９は可動ステージ、１０はリニアガイド、１１はボールネジ、１２はモータ、１３はモータ回転制御装置である。
【００１７】
基台７の上には、固定部材６を介して平面状の表面を有する固定側位置決め部材５を固定する。また、基台７にはリニアガイド１０のガイド方向が固定部材６の側面と平行になるように固定し、リニアガイド１０両側縁を跨ぐようにしてその長手方向（Ｘ方向）に移動可能な可動ステージ９を取付ける。また、可動ステージ９の上には平面状の表面を有する可動側位置決め部材８を固定する。
【００１８】
なお、固定側位置決め部材５の表面と可動側位置決め部材８の表面は、精密に同一平面上に位置するように表面位置を合わせる。また、固定側位置決め部材５と可動側位置決め部材８を固定した後、表面を研磨して表面が同一平面となるように加工しても良い。なお、固定側位置決め部材と可動側位置決め部材の表面を同一平面とするに当たっては、精密にミクロンオーダにまで合わせる必要はないが、後述するＶ溝研削を連続的に行なうので、それに支障がない程度に同一平面とする。
【００１９】
また、固定側位置決め部材５の側面と可動側位置決め部材８の側面は、可動ステージ９の移動方向と平行になるようにして、数十μｍ程度の間隔で側面を対向させて配置する。なお、固定側位置決め部材５及び可動側位置決め部材８の材質をシリコン単結晶とすることによって、後述するＶ溝加工時の反作用を小さくすることが出来るので、加工時の姿勢変動、形状変形を小さくすることが出来る。
【００２０】
また、可動ステージ９に設けたネジ孔にはボールネジ１１を通して、ボールネジ１１は基台７上に固定したモータ１２に連結する。また、モータ１２にはモータ１２の回転とボールネジ１１の回転を制御して可動ステージ９の移動を制御するモータ回転制御装置１３を取付け、図示しないエンコーダ、リニアスケール等で得た位置データを元にフィードバック制御を行い、可動ステージ９のＸ方向の位置を精密に制御する。
【００２１】
固定側位置決め部材５及び可動側位置決め部材８の表面には、次のようにしてＶ溝を形成する。図２はＶ溝形成方法を説明する図であって、図２（Ａ）は正面図、図２（Ｂ）は側面図、図２（Ｃ）は平面図である。図２において、図１と同じ符号は同じものを示す。また、１４は研削刃である。
【００２２】
固定側位置決め部材５及び可動側位置決め部材８をシリコン単結晶からなる板で形成する場合、研削刃１４としては円形の先端が鋭角に形成されたダイヤモンドブレードを用いることが出来る。図２に示すように研削刃１４を回転させながら可動側位置決め部材８から固定側位置決め部材５に渡ってＹ方向（可動側位置決め部材８の側面方向即ちＸ方向に対して垂直な方向）に直線移動させて、可動側位置決め部材８及び固定側位置決め部材５のそれぞれの表面にＶ溝８ａ及び５ａを研削して形成する。なお、研削刃１４の移動方向は矢印Ｙの方向と逆方向でも良い。これによって、固定側位置決め部材５の表面に形成されたＶ溝５ａと可動側位置決め部材８の表面に形成されたＶ８ａ溝の、位置精度及び直線性を確保することが出来る。
【００２３】
次いで、Ｖ溝間隔に相当する距離だけ研削刃１４の位置をＸ方向に移動させて、同様に可動側位置決め部材８及び固定側位置決め部材５に対する２本目のＶ溝研削を行なう。そして、このような動作を繰り返すことによって、複数本のＶ溝を可動側位置決め部材８及び固定側位置決め部材５のそれぞれの表面に形成することが出来る。
【００２４】
固定側位置決め部材５には、通常数十から数百のＶ溝５ａが必要であるが、可動側位置決め部材８には１本乃至数本のＶ溝８ａがあれば良い。従って、可動側位置決め部材のＶ溝研削においては、必要十分なＶ溝を研削した後は、可動側位置決め部材８に対しては必ずしもＶ溝研削を行なう必要がない。しかし、図２（Ｃ）に示すように可動側位置決め部材８の幅一杯にＶ溝８ａを形成しておき、可動側光ファイバとして必要な本数のＶ溝だけを使うようにしても良い。
【００２５】
研削刃１４の寿命を少しでも長くする等の理由で、可動側位置決め部材８のＶ溝８ａの数を必要本数に限りたい時には、可動側位置決め部材８の幅を必要本数のＶ溝が形成できる寸法にして、それ以降は研削刃が可動側位置決め部材８の存在しない側方空間を通るようにするか、必要本数研削後のＶ溝研削時には、可動側位置決め部材８をＸ方向に移動させて逃がし、研削刃１４が可動側位置決め部材８には当たらないようにして固定側位置決め部材５のみにＶ溝５ａを形成するようにしても良い。
【００２６】
勿論、必要本数研削後のＶ溝研削時の研削刃１４の移動範囲を固定側位置決め部材５の表面に限ることによって、必要本数研削後は研削刃１４が可動側位置決め部材８の表面上に行かないようにすることも出来る。
【００２７】
一方、図１に示すようにテープ状光ファイバ心線２及び単心光ファイバ心線４の端末において、それぞれ被覆を除去し、裸の光ファイバを露出させ、端面を鏡面切断してそれぞれ固定側光ファイバ１及び可動側光ファイバ３とする。また、固定側光ファイバ１及び可動側光ファイバ３の端面には反射防止膜を形成したり、コリメートレンズを取付けたりすることも出来る。
【００２８】
そして、固定側位置決め部材５の表面に形成した複数本のＶ溝５ａにそれぞれの固定側光ファイバ１の端面を固定側位置決め部材５の端面に揃えて挿入し接着剤等で固定する。なお、固定側光ファイバ１の固定に当たって、固定側位置決め部材５の上に図示しない押さえ板を配置し、それによって固定側光ファイバ１をＶ溝５ａ内に押さえ付けることも出来る。また、可動側位置決め部材８のＶ溝８ａにも少なくとも１本の可動側光ファイバ３を挿入し接着剤等で固定する。また、可動側位置決め部材８上にも図示しない押さえ板を配置しても良い。
【００２９】
また、本発明の光スイッチでは、固定側光ファイバの端面と可動側光ファイバの端面は互いに向き合っているが、その間にはわずかな隙間が存在する。従って、固定側光ファイバの端面及び可動側光ファイバの端面に反射防止膜、コリメートレンズ等を取付ける場合もある。また、その端面間に屈折率整合剤を満たすこともある。
【００３０】
以上、本発明の光スイッチの製造に当たって、固定側位置決め部材及び可動側位置決め部材を固定部材上又は可動ステージ上にそれぞれ固定した後、それらの上に一連でＶ溝を形成する製造方法について説明したが、固定側光ファイバの本数が数十本程度であまり多くない場合は、固定側位置決め部材及び可動側位置決め部材を固定部材上及び可動ステージ上に固定する前に１枚の平板状の基板を使って連続した複数本のＶ溝を形成し、その基板を固定部材上及び可動ステージ上に固定した後、切断して固定側位置決め部材及び可動側位置決め部材とする方法がある。以下、その方法を説明する。
【００３１】
図３は、１枚の基板にＶ溝を形成してそれを固定部材上及び可動ステージ上に跨って固定し、その後基板を分割して固定側位置決め部材及び可動側位置決め部材とする製造方法を説明する工程図であって、図３（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）はその工程を示す側面図、図３（Ｄ）（Ｅ）は工程を示す斜視図である。図３において、図１と同じ符号は同じものを示す。また、１５は基板、１５ａ、１５ｂは複数本のＶ溝、１５ｃは横断溝、１５ｄは切断箇所である。
【００３２】
この製造方法では、まず図３（Ａ）（Ｄ）に示すように、シリコン単結晶等からなる平板状の基板１５の片面に沿って研削刃を直線移動させて平行な複数本のＶ溝１５ａ、１５ｂを形成する。Ｖ溝１５ａとＶ溝１５ｂとは一連で形成するので、その深さ等の位置精度及び直線性を精密に確保することが出来る。また、Ｖ溝１５ａ、１５ｂに対して直角方向のコの字型の横断溝１５ｃを形成しておくことが望ましい。横断溝１５ｃの形成は必須ではないが、Ｖ溝への光ファイバの挿入において光ファイバの端面を合わせるため、及び後での切断作業を容易にするため、横断溝１５ｃを設けることが好ましい。なお、横断溝１５ｃの形成と、Ｖ溝１５ａ、１５ｂの形成とは、どちらが先でも良い。
【００３３】
次いで、図３（Ｂ）に示すように、基台７上に固定した固定部材６上及び基台７上にリニアガイド１０を介して配置した可動ステージ９上とを跨るように基板１５を載置し、基板１５を固定部材６上及び可動ステージ９上に接着剤等で固定する。なお、横断溝１５ｃは固定部材６と可動ステージ９の間に位置するようにして、Ｖ溝１５ａ、１５ｂの方向と可動ステージ９の移動方向は直角になるようにする。
【００３４】
その後、図３（Ｃ）（Ｅ）に示すように、横断溝１５ｃの底に沿って切断箇所１５ｄにて基板１５を切断し、基板１５を２つに分割する。横断溝１５ｃに沿った切断はレーザ加工、放電加工等で行なうが、レーザ光線等の障害にならないように、基台７には横断溝１５ｃに相当する位置に加工用窓７ａを設ける。基板の切断を回転刃等で行なう場合は、加工用窓７ａは必ずしも必要でない。
【００３５】
そして、固定部材６上の基板は固定側位置決め部材として、その複数本のＶ溝１５ａにはそれぞれ固定側光ファイバを挿入固定する。また、可動ステージ９上の基板は可動側位置決め部材として、その複数本のＶ溝１５ｂの少なくとも１本には可動側光ファイバを挿入固定する。
【００３６】
図４は、固定側光ファイバの端面及び可動側光ファイバの端面を合わせる方法の一例を示す側面図であって、１６は突当て部材である。平板とその平板に直立する厚さ２０μｍ程度の薄板からなる四弗化樹脂等で出来た断面Ｔ字型の突当て部材１６を横断溝１５ｃの中に沿わせて、それに固定側光ファイバ１の端面及び可動側光ファイバ３の端面を突き当てて、固定側光ファイバ１をＶ溝１５ａ内に挿入して接着剤で固定し、可動側光ファイバ３をＶ溝１５ｂ内に挿入して接着剤で固定する。
【００３７】
この時、固定側光ファイバ１の端面及び可動側光ファイバ３の端面をそれぞれＶ溝の端部よりも突出させることによって、光ファイバ固定用の接着剤が固定側光ファイバ１の端面及び可動側光ファイバ３の端面に付着することを防止出来る。また、固定側光ファイバ１の端面及び可動側光ファイバ３の端面には反射防止膜を形成したり、固定側光ファイバ１の端面と可動側光ファイバ３の端面との間を屈折率整合剤で満たすこともある。
【００３８】
また、図示してはいないが、Ｖ溝１５ａ、１５ｂへの固定側光ファイバ１及び可動側光ファイバ３の挿入固定は、基板１５を固定部材６上及び可動ステージ９上に固定する前に行なうことも出来る。この場合は、後で基板１５の切断箇所１５ｄとなる予定の切断予定線の一方の側のＶ溝には固定側光ファイバを他方の側のＶ溝には可動側光ファイバを挿入固定する。
【００３９】
また、基板１５を固定部材６上及び可動ステージ９上に固定した後、基板１５の切断分割を行なうので、切断分割のためのレーザ光線あるいは切断用の回転刃の障害にならないように、固定側光ファイバの端面と可動側光ファイバの端面との間隔は開けておく必要がある。また、この間隔は例えば０．３ｍｍ程度になる。また、このように間隔が大きいと通常光スイッチの接続損失が大きくなるので、それを避けるために間隔が大きくなる場合は固定側光ファイバの端面と可動側光ファイバの端面とにコリメートレンズを固定し、両端面間の光を平行光線となるようにすることが望ましい。
【００４０】
以上説明した固定側位置決め部材と可動側位置決め部材を一体化した１枚の基板を固定部材上及び可動ステージ上に固定した後、切断分割する製造方法は、固定部材の上面と可動ステージと上面との相対位置精度が、それほど精度良くなくても基板が一体化されているため、出来上がった固定側位置決め部材のＶ溝と可動側位置決め部材のＶ溝の位置及び直線性は極めて高い精度で合わせることが出来る。また、Ｖ溝形成時の研削液、研削粉が可動ステージ等に付着して汚染することがないため、清掃等の作業が簡略化され、高精度部品の精度の保証が容易になる。
【００４１】
図５は、基板の固定部材及び可動ステージへの固定方法の一例を説明する側面図であって、１７、１８は接着剤である。固定部材６と可動ステージ９の高さが少しずれていても、高い方例えば可動ステージ９を基準にして、固定部材６と基板１５の間の接着剤１７の厚さを厚くすることで基板のＶ溝の高さを合わせることが出来る。なお、基準となる可動ステージ９側は、基板１５と可動ステージ９との間には接着剤を介在させずに周辺等を接着剤１８で固着させる。基板の上面の高さ精度がそれほど要求されない場合は、可動側ステージ９と基板１５の間にも接着剤を介在させて、それぞれの接着剤の厚さを調整することで、基板の上面が精密な平面となるようにすることも出来る。
【００４２】
また、接着剤の硬化による基板の熱変形を防止するため、常温硬化型接着剤が望ましい。また、固定切断後の２つに分割された基板の相対位置精度を維持するため、切断時においても基板と固定部材及び可動ステージとの間の接着固定部が影響を受けないようにする必要がある。そのため、接着剤は５０００Ｎ／ｍｍ2程度の高ヤング率のものを使用することが望ましい。
【００４３】
【発明の効果】
本発明の光スイッチは、複数本の固定側光ファイバと固定側光ファイバの配列方向に移動可能なる可動側光ファイバとを備えた光スイッチにおいて、表面が同一平面上に位置する固定側位置決め部材及び可動側位置決め部材のそれぞれの表面に一括連続して形成したＶ溝に、固定側光ファイバ及び可動側光ファイバを、それぞれ挿入固定したものである。
【００４４】
従って、Ｖ溝に挿入固定された固定側光ファイバと可動側光ファイバの全ての中心軸を一平面上に精密に配置することが出来る。また、可動側光ファイバの移動をその一平面に沿って一次元的に移動を精密に行なうだけで、可動側光ファイバと固定側光ファイバとの位置合わせをを精密に行なうことが出来る。また、可動側光ファイバの移動は一方向一次元移動なので、移動時間も短縮され、高速切替えが可能となる。
【００４５】
また、本発明の光スイッチの製造方法では、平面状の表面を有する固定側位置決め部材可動側位置決め部材をそれらの表面が同一平面に位置するように配置した後、固定側位置決め部材の表面及び可動側位置決め部材の表面に渡って一つの研削刃を直線移動させることによって前記端面方向に対して直角方向のＶ溝を一連作業で形成することにしたので、Ｖ溝の位置、Ｖ溝方向の直線性精度は極めて高いものとすることが出来る。従って、固定側光ファイバ及び可動側光ファイバの中心軸の配列平面を極めて精度の高い一平面とすることが出来る。
【００４６】
また、１枚の基板に一連のＶ溝を形成した後、それを固定部材上及び可動ステージ上に跨るようにして固定し、その後基板を２つに切断して固定側位置決め部材及び可動側位置決め部材とする方法は、固定前に予め基板にＶ溝を形成するので、Ｖ溝研削時の研削液、研削粉等が可動ステージ等に付着せず、清掃作業が容易で可動部等の精度維持も容易である。また、固定部材の上面及び可動ステージの上面の位置精度が高くなくても固定部材及び可動ステージと基板との間の接着剤の厚さで調整出来るので、固定側位置決め部材のＶ溝と可動側位置決め部材のＶ溝との位置精度、直線性の確保は容易である。
【００４７】
また、固定側位置決め部材及び可動側位置決め部材をシリコン単結晶からなる板で作り、ダイヤモンドブレードでＶ溝を研削し形成することにしたので、Ｖ溝加工時の加工抵抗力を小さくすることが出来、取付け姿勢の変動、形状変形を極めて小さいものとすることが出来る。従って、可動側光ファイバの移動方向の位置制御を精度良く行なうだけで、移動方向と垂直方向のずれは無いので、固定側光ファイバ及び可動側光ファイバを極めて精度良く位置合わせを行なうことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光スイッチの実施形態の主要部を示す図であって、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は正面図である。
【図２】Ｖ溝形成方法の一例を説明する図であって、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は平面図である。
【図３】Ｖ溝を形成した１枚の基板を固定部材上及び可動ステージ上に固定した後その基板を分割する製造方法を説明する工程図であって、（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は側面図、（Ｄ）（Ｅ）は斜視図である。
【図４】固定側光ファイバの端面及び可動側光ファイバの端面を合わせる方法の一例を示す側面図である。
【図５】基板の固定部材及び可動ステージへの固定方法の一例を説明する側面図である。
【図６】従来技術による光スイッチを示す斜視図である。
【符号の説明】
１：固定側光ファイバ
２：テープ状光ファイバ心線
３：可動側光ファイバ
４：単心光ファイバ心線
５：固定側位置決め部材
５ａ：Ｖ溝
６：固定部材
７：基台
７ａ：加工用窓
８：可動側位置決め部材
８ａ：Ｖ溝
９：可動ステージ
１０：リニアガイド
１１：ボールネジ
１２：モータ
１３：モータ回転制御装置
１４：研削刃
１５：基板
１５ａ、１５ｂ：Ｖ溝
１５ｃ：横断溝
１５ｄ：切断箇所
１６：突当て部材
１７、１８：接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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