(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向に連続して繰り返される所定の記録波長のスケール信号が外周の全面に亘り記録され、且つ、上記スケール信号の記録波長よりも大きい記録波長の原点信号が長手方向に少なくとも１カ所外周の一部に記録された丸棒状の記録媒体と、
上記記録媒体の外周から所定の間隔を保ちこの記録媒体の長手方向に平行な方向に相対移動して、上記スケール信号を検出するスケール信号検出ヘッドと、
上記記録媒体の外周から上記スケール信号検出ヘッドまでの間隔より大きい間隔をこの記録媒体の外周から保ちこの記録媒体の長手方向に平行な方向に相対移動して、上記原点信号を検出する原点信号検出ヘッドとを備え、
上記スケール信号検出ヘッドは上記原点信号に対向しない位置に設けられ、上記原点信号検出ヘッドは上記記録媒体に記録された原点信号に対向する位置に設けられた位置検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工作機械や産業機械等の可動部の移動位置を制御する為に用いられる位置検出装置に関し、特に、直線移動動作を行う可動部の移動位置を検出する位置検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、工作機械や産業機械等では、直線移動する可動部の位置制御を行うために、いわゆる位置検出装置が用いられている。
【０００３】
このような位置検出装置は、一般に、本体部と、この本体部に直線移動可能に設けられているヘッドスライダとから構成されている。
【０００４】
本体部内には、スケールと呼ばれる、例えば丸棒等の長尺状の形状をした記録媒体が設けられている。このスケールには、長手方向に沿って位置信号が記録されている。また、ヘッドスライダ内には、スケールに記録されている位置信号を検出する検出ヘッドが設けられている。この検出ヘッドは、スケールに記録されている位置信号が検出できるように、例えばこの位置信号に対向する位置に設けられるとともにヘッドスライダの直線移動に伴いスケールの長手方向に平行移動する。
【０００５】
このような本体部とヘッドスライダとから構成される位置検出装置は、相対的に直線移動する工作機械等の基準部と可動部とに取り付けられる。この位置検出装置は、本体部或いはヘッドスライダのいずれか一方が、移動をしない基準部に固定され、他方が、可動部に固定される。このとき、本体部は、内部に設けられたスケールの長手方向が、可動部の移動方向に平行となるように取り付けられる。従って、この位置検出装置では、この可動部の直線移動に応じて本体部とヘッドスライダとの相対位置が変化する。
【０００６】
このことにより位置検出装置では、ヘッドスライダ内に設けられた検出ヘッドがこの相対位置の変化に応じて変化する位置信号を検出し、この可動部の移動位置を制御することができる。
【０００７】
このような位置検出装置では、位置信号として、スケール信号と原点信号とが、スケールの長手方向に記録される。
【０００８】
スケール信号は、連続して所定の間隔で繰り返されるピットやマーク等が、スケールの長手方向に記録された信号であり、例えば、所定の記録波長で極性が反転する磁気信号が、スケールの長手方向に連続して記録された信号である。このようなスケール信号が記録されたスケールを用いることにより、位置検出装置では、本体部とヘッドスライダとの相対移動位置の変動をリニアに検出することができ、基準部と可動部との相対位置を連続的に制御することができる。
【０００９】
原点信号は、少なくとも１つのピットやマーク等が、スケールの長手方向に離散的に記録された信号であり、例えば、１波長分の磁気信号が、スケールの長手方向の所定の１カ所に記録されて信号である。このような原点信号が記録されたスケールを用いることにより、位置検出装置では、本体部とヘッドスライダとの初期設定位置や原点位置等の基準位置を検出することができ、基準部と可動部との相対位置を基準位置に設定することができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、例えば、ＮＣ（Numerical Control）フィードバックを行う工作機械等では、可動部の相対移動量を制御するとともに可動部を基準位置に移動させる制御が行われる。そのため、このようなＮＣフィードバックを行う工作機械等では、スケール信号と原点信号との２つの信号が記録されたスケールが内蔵された位置検出装置が用いられている。
【００１１】
このようなスケール信号と原点信号とが記録されたスケールを内蔵した位置検出装置では、スケール信号を検出する検出ヘッドと原点信号を検出する検出ヘッドとが備えられており、それぞれの検出ヘッドが対応する信号のみを検出して、工作機械等を駆動制御する制御装置に供給していた。
【００１２】
しかしながら、このような位置検出装置では、１つのスケールにスケール信号と原点信号との２つの信号を磁気記録した場合、２つの信号間のクロストークが生じ、各検出ヘッドから検出される信号がひずんでしまっていた。
【００１３】
特に、位置検出装置の小型化が進むにつれ内蔵されるスケールも小型化されるため、２つの信号間のクロストークの影響も大きくなってしまい、この影響を除去するのが困難となっていた。
【００１４】
本発明は、このような実情を鑑みてなされたものであり、スケール信号と原点信号とのクロストークを抑え、高精度に位置を検出することができる位置検出装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するために、本発明に係る位置検出装置は、長手方向に連続して繰り返される所定の記録波長のスケール信号が外周の全面に亘り記録され、且つ、上記スケール信号の記録波長よりも大きい記録波長の原点信号が長手方向に少なくとも１カ所外周の一部に記録された丸棒状の記録媒体と、上記記録媒体の外周から所定の間隔を保ちこの記録媒体の長手方向に平行な方向に相対移動して、上記スケール信号を検出するスケール信号検出ヘッドと、上記記録媒体の外周から上記スケール信号検出ヘッドまでの間隔より大きい間隔をこの記録媒体の外周から保ちこの記録媒体の長手方向に平行な方向に相対移動して、上記原点信号を検出する原点信号検出ヘッドとを備え、上記スケール信号検出ヘッドは上記原点信号に対向しない位置に設けられ、上記原点信号検出ヘッドは上記記録媒体に記録された原点信号に対向する位置に設けられている。
【００１６】
この位置検出装置では、このスケール信号検出ヘッドと原点信号検出ヘッドとがともに上記記録媒体の長手方向に平行な方向に相対移動して、この記録媒体との相対位置を検出する。すなわち、この位置検出装置では、記録媒体の外周の全面に亘り記録されたスケール信号を、スケール信号検出ヘッドが検出して記録媒体との相対移動位置を検出する。また、この位置検出装置では、記録媒体の外周の一部にスケール信号の記録波長よりも大きい記録波長で記録される原点信号を、上記スケール信号検出ヘッドより大きい間隔を記録媒体の外周から保った原点信号検出ヘッドが検出して記録媒体との相対移動位置を検出する。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態の位置検出装置について、図面を参照しながら説明する。
【００１８】
図１に、本発明を適用した実施の形態の位置検出装置の斜視図を示し、図２に、この位置検出装置の側面図を示し、図３に、この位置検出装置の内部構造を表すための断面図を示す。
【００１９】
本発明を適用した実施の形態の位置検出装置１は、本体部２と、この本体部２に取り付けられたヘッドスライダ３とから構成される。
【００２０】
この位置検出装置１は、工作機械の一部分として構成され相対的に直線移動する２部材の相対移動位置を、検出する装置である。例えば、位置検出装置１は、所定の位置に固定された基準部４と、この基準部４に対して図１中に示すＸ1方向及びＸ2方向に直線移動する可動部５との相対移動位置を検出する。この位置検出装置１は、本体部２或いはヘッドスライダ３のいずれか一方が基準部４に取り付けられ、他方が可動部５に取り付けられる。図１及び図２中には、基準部４に本体部２を取り付け、可動部５にヘッドスライダ３を取り付けた例を示している。
【００２１】
本体部２は、筐体１１と、丸棒状の高保磁力材料からなる記録媒体であり、この筐体１１の内部に設けられたスケール１２と、スケール１２の両端部を保持してこのスケール１２を筐体１１内の所定の位置に固定するブラケット１３，１４とを有している。なお、図１中には、図面の記載の明確化のため、このブラケット１３，１４を図示していない。
【００２２】
筐体１１は、例えば、矩形の筒状の形状を有しており、一側面が切り欠かれスリット１５が形成されている。また、この筐体１１は、スリット１５が形成された側面と直交する側面１７，１８の長手方向の端部に、略円形状の筐体取付孔２１，２２，２３，２４が形成されている。
【００２３】
スケール１２は、ブラケット１３，１４によりその両端が保持され、筐体１１内に固定されている。このスケール１２は、筐体１１の長手方向に平行であり、矩形の筒の中心軸上に位置されるように設けられている。また、このスケール１２には、スケール信号と原点信号とが位置信号として磁気記録されている。このスケール信号と原点信号とについては、その詳細を後述する。
【００２４】
また、ヘッドスライダ３は、本体部２の内部に設けられたヘッド保持部３１と、本体部２の外部に設けられたヘッドキャリア３２と、このヘッド保持部３１とヘッドキャリア３２とを連結する連結部３３とを有し、スケール１２の長手方向に移動可能に本体部２に取り付けられている。
【００２５】
図４に、このヘッド保持部３１の要部の分解斜視図を示す。
【００２６】
ヘッド保持部３１には、ヘッドホルダ３４が設けられている。このヘッドホルダ３４には、スケール１２の挿通孔が設けられている。ヘッドホルダ３４は、この挿通孔にこのスケール１２が挿通されることにより、このスケール１２に取り付けられ、このスケール１２の長手方向に直線移動可能とされている。
【００２７】
このヘッドホルダ３４は、ヘッドホルダケース３６により外部が覆い包まれており、その内部に、スケール信号用ＭＲヘッド３５ａと原点信号用ＭＲヘッド３５ｂとを保持している。スケール信号用ＭＲヘッド３５ａは、スケール１２に記録されているスケール信号を検出する。また、原点信号用ＭＲヘッド３５ｂは、スケール１２に記録されている原点信号を検出する。スケール信号用ＭＲヘッド３５ａ及び原点信号用ＭＲヘッド３５ｂは、それぞれヘッドホルダ３４に保持されていることから、このヘッドホルダ３４の直線移動に伴いスケール１２の長手方向に平行移動する。これらスケール信号用ＭＲヘッド３５ａと原点信号用ＭＲヘッド３５ｂのスケール１２に対する配設位置については、その詳細を後述する。
【００２８】
このヘッドホルダ３４のスケール１２の長手方向の両端には、一対の摺動支持部材３７，３８が取り付けられている。この摺動支持部材３７，３８は、その形状が略円柱状となっており、その中心軸にスケール１２が挿通する挿通孔が設けられている。この摺動支持部材３７，３８は、この挿通孔にスケール１２が挿通されることにより、このスケール１２に摺動自在に支持される。また、この摺動支持部材３７，３８は、スケール１２に摺動自在に支持されることにより、ヘッドホルダ３４がスケール１２の長手方向に平行移動した場合に、このヘッドホルダ３４を移動方向と直交する方向に位置ぶれを生じさせないようにしている。
【００２９】
また、ヘッド保持部３１には、一対の第１のスペーサ３９，４０と、一対の第２のスペーサ４１，４２とが設けられている。
【００３０】
一対の第１のスペーサ３９，４０には、スケール１２が挿通する挿通孔が設けられている。この一対の第１のスペーサ３９，４０は、この挿通孔にスケール１２が挿通されることにより、スケール１２に取り付けられ、スケール１２の長手方向に直線移動可能とされている。また、この一対の第１のスペーサ３９，４０は、摺動支持部材３７，３８のスケール１２の長手方向のヘッドホルダ３４が取り付けられていない一端面に当設している。
【００３１】
また、一対の第２のスペーサ４１，４２は、スケール１２が挿通する挿通孔が設けられている。この一対の第２のスペーサ４１，４２は、この挿通孔にスケール１２が挿通されることにより、スケール１２に取り付けられ、スケール１２の長手方向に直線移動可能とされている。また、この一対の第２のスペーサ４１，４２は、第１のスペーサ３９，４０のスケール１２の長手方向の摺動支持部材３７，３８が当設していない一端面に当設している。
【００３２】
また、ヘッド保持部３１には、一対のヘッドホルダ挟持部材４３，４４と、バネ４５とが設けられている。
【００３３】
ヘッドホルダ挟持部材４３，４４には、スケール１２が挿通する挿通孔が設けられている。ヘッドホルダ挟持部材４３，４４は、この挿通孔にスケール１２が挿通されることにより、スケール１２に取り付けられ、スケール１２の長手方向に直線移動可能とされている。また、このヘッドホルダ挟持部材４３，４４は、連結部３３に固定されている。この一対のヘッドホルダ挟持部材４３，４４は、摺動支持部材３７，３８が取り付けられたヘッドホルダ３４を、一対の第１のスペーサ３９，４０と一対の第２のスペーサ４１，４２を介して、スケール１２の長手方向に平行な方向の両端から挟持している。また、ヘッドホルダ挟持部材４３と第２のスペーサ４１との間には、バネ４５が設けられいる。このバネ４５は、このヘッドホルダ挟持部材４３からヘッドホルダ挟持部材４４に向かう方向へ、ヘッドホルダ３４を付勢している。
【００３４】
また、ヘッドホルダ３４には、回り止め用ピン４６が設けられている。この周り止め用ピン４６は、長手方向の一端がヘッドホルダ３４に固定されており、他端が連結部３３に設けられた回転規制穴４７に挿入されている。そのため、ヘッドホルダ３４のスケール１２を中心軸とする回転が規制される。
【００３５】
また、第１のスペーサ３９，４０と第２のスペーサ４１，４２とが当設するそれぞれの当設面は球面形状を有している。この球面形状の当設面は、ヘッドホルダ挟持部材４３，４４がスケール１２の長手方向に直交する方向にヘッドホルダ挟持部材４３，４４が位置ずれした場合に、摺動支持部材３７，３８等からスケール１２に与える曲げモーメントを少なくするように機能している。
【００３６】
以上のような構成のヘッド保持部３１は、スケール１２の長手方向に平行な方向に移動可能に、このスケール１２に取り付けられている。この移動に応じてスケール信号用ＭＲヘッド３５ａと原点信号用ＭＲヘッド３５ｂとがスケール１２に記録されたスケール信号及び原点信号を検出する。
【００３７】
このヘッド保持部３１は、連結部３３を介してヘッドキャリア３２と連結している。この連結部３３は、スケール１２の長手方向と直交する方向の一端がヘッドホルダ挟持部材４３，４４に固定され、他端がスリット１５から挿出して本体部２の外部に設けられたヘッドキャリア３２に固定される。
【００３８】
このようにヘッドスライダ３は、これらヘッド保持部３１、ヘッドキャリア３２、連結部３３で構成され、スケール１２の長手方向に移動自在に本体部２に取り付けられている。そして、このヘッドスライダ３は、本体部２との相対移動に応じてスケール信号用ＭＲヘッド３５ａ及び原点信号用ＭＲヘッド３５ｂが検出したスケール信号及び原点信号を、ヘッドキャリア３２に設けられた信号ケーブル４８を介して図示しない制御装置に供給する。
【００３９】
以上のような構成の位置検出装置１は、スケール１２が基準部４と可動部５の相対移動方向に平行となり、スリット１５が可動部５側に開口するように配置される。このように配置された位置検出装置１の本体部２は、スリット１５が形成された側面と直交する側面１７，１８の一方が取付面となる。そして、この取付面のスケール１２の長手方向に平行な方向の端部に設けられた筐体取付孔２１，２２，２３，２４の位置で、本体用ボルト５１，５２や座金５５等の固定部材により、基準部４に固定される。また、このように配置された位置検出装置１のヘッドスライダ３は、スライダ用ボルト５３，５４により可動部５に固定される。
【００４０】
従って、この位置検出装置１では、この可動部５の直線移動に応じて本体部２とヘッドスライダ３との相対位置が変化し、ヘッドスライダ３内に設けられたスケール信号用ＭＲヘッド３５ａ及び原点信号用ＭＲヘッド３５ｂがこの相対位置の変化に応じて変化するスケール及び原点信号を検出することにより、この可動部５の移動位置を検出することができる。
【００４１】
つぎに、スケール１２に記録されるスケール信号及び原点信号について説明する。
【００４２】
スケール信号は、連続して所定の間隔で繰り返されるピットやマーク等が、スケール１２の長手方向に記録された信号であり、例えば、所定の記録波長で極性が反転する磁気信号が、スケール１２の長手方向に連続して記録された信号である。このようなスケール信号が記録されたスケール１２を用いることにより、位置検出装置１では、本体部２とヘッドスライダ３との相対移動位置の変動をリニアに検出することができ、基準部４と可動部５との相対位置を連続的に制御することができる。
【００４３】
具体的に、位置検出装置１のスケール１２には、図５に示すように、スケール信号として、所定の記録波長λ1で交互に極性が反転する磁気信号が長手方向に沿って記録されている。このスケール信号は、丸棒状のスケール１２の外周全面に亘り記録されている。また、このスケール信号は、スケール１２の長手方向のほぼ全長に記録されている。
【００４４】
原点信号は、少なくとも１つのピットやマーク等が、スケール１２の長手方向に離散的に記録された信号であり、例えば、１波長分の磁気信号が、スケール１２の長手方向の所定の１カ所に記録されて信号である。このような原点信号が記録されたスケール１２を用いることにより、位置検出装置１では、本体部２とヘッドスライダ３との初期設定位置や原点位置等の基準位置を検出することができ、基準部４と可動部５との相対位置を基準位置に設定することができる。
【００４５】
具体的に、位置検出装置１のスケール１２には、図５に示すように、原点信号として、記録波長λ2の１波長分の原点信号が、長手方向に少なくとも１カ所、上記スケール信号に重畳されて記録されている。この原点信号の記録波長λ2は、上記スケール信号の記録波長λ1よりも長い波長であり、例えば、スケール信号の記録波長λ1に対して２倍以上の波長となっている。また、この原点信号は、丸棒状のスケール１２の外周の一部に記録されている。例えば、この原点信号は、丸棒状のスケール１２に対して、略中心角６０度の範囲の外周部分に記録されている。
【００４６】
以上のようなスケール信号と原点信号とを比較すると次のようになる。
【００４７】
原点信号の記録波長λ2は、スケール信号の記録波長λ1よりも長く、例えば、スケール信号の記録波長λ2の２倍以上となっている。スケール信号は、交互に極性が反転する磁気信号がスケール１２の長手方向のほぼ全長に亘り連続して記録された信号であるのに対して、原点信号は、１波長分の磁気信号が、スケール１２の長手方向の少なくとも１カ所に離散的に記録された信号である。また、スケール信号は、丸棒状のスケール１２の外周全面、換言すると中心角３６０度の外周部分に亘り記録された信号であるのに対して、原点信号は、スケール１２の外周の一部分、例えば中心角６０度の外周部分に記録された信号である。
【００４８】
つぎに、スケール信号を検出するスケール信号用ＭＲヘッド３５ａの配設位置、及び、原点信号を検出する原点信号用ＭＲヘッド３５ｂの配設位置について説明する。
【００４９】
スケール信号用ＭＲヘッド３５ａ及び原点信号用ＭＲヘッド３５ｂは、上述したように、スケール１２に取り付けられたヘッドホルダ３４により保持されている。
【００５０】
原点信号用ＭＲヘッド３５ｂは、図６に示すように、スケール１２の長手方向と平行な方向に移動した際に、このスケール１２の外周の一部分に記録された原点信号と対向するように配設されている。すなわち、原点信号用ＭＲヘッド３５ｂは、スケール１２に対して、中心角６０度の外周部分に対向する位置に配設されている。
【００５１】
スケール信号用ＭＲヘッド３５ａは、このような原点信号用ＭＲヘッド３５ｂに対して、例えば、スケール１２を挟んで互いに向き合う位置に配設されている。
【００５２】
ここで、スケール信号用ＭＲヘッド３５ａは、スケール１２の外周から間隔ｘ1を保って配設されている。この間隔ｘは、スケール１２の材質や半径に応じて、例えば、検出出力が十分大きくできる距離に定められる。また、原点信号用ＭＲヘッド３５ｂは、スケール１２から、上記間隔ｘ1より大きい間隔ｘ2を保って配設されている。例えば、スケール１２と原点信号用ＭＲヘッド３５ｂとの間隔ｘ2は、スケール１２とスケール信号用ＭＲヘッド３５ａとの間隔ｘ1に対して２倍程度の間隔となっている。
【００５３】
このような位置に配設されたスケール信号用ＭＲヘッド３５ａ及び原点信号用ＭＲヘッド３５ｂを保持するヘッドホルダ３４は、スケール１２の長手方向の両端に一対の摺動支持部材３７，３８が取り付けられている。そのため、このヘッドホルダ３４は、スケール１２の長手方向に対して垂直な方向への位置ぶれを生じさせずに、スケール信号用ＭＲヘッド３５ａ及び原点信号用ＭＲヘッド３５ｂを平行移動させることができる。また、このヘッドホルダ３４には、上述したように、回り止め用ピン４６が設けられている。そのため、この周り止め用ピン４６によりスケール１２を中心軸とするヘッドホルダ３４の回転が規制される。このことにより、原点信号用ＭＲヘッド３５ｂは、原点信号が記録されたスケール１２の外周の一部分に沿った領域の側面に常に対向した位置に保持される。
【００５４】
以上のようなスケール信号用ＭＲヘッド３５ａでは、原点信号が十分検出できる適正な間隔をスケール１２の外周から保って配設されるとともに、原点信号が記録されていないスケール１２の外周領域に対向して配設される。そのため、スケール信号用ＭＲヘッド３５ａは、原点信号の影響を受けることなく、スケール１２の外周全面に記録されたスケール信号を検出することができる。
【００５５】
また、原点信号用ＭＲヘッド３５ｂは、原点信号が記録されているスケール１２の外周領域に対向して配設されるとともに、スケール信号が減衰するように、スケール信号用ＭＲヘッド３５ａよりも大きな間隔をスケール１２の外周から保って配設される。ここで、スケール１２には、スケール信号の記録波長より大きい記録波長の原点信号が記録されている。そのため、「記録長さ（波長）の短い記録ほど空間の磁気減衰が大きい」といういわゆる磁気のスペーシングロスの基本理論により、原点信号用ＭＲヘッド３５ｂは、スケール信号の影響を受けることなく、原点信号を検出することができる。
【００５６】
位置検出装置１では、スケール信号用ＭＲヘッド３５ａ及び原点信号用ＭＲヘッド３５ｂを以上のように配設することによって、クロストークが抑えられ、良質なスケール信号及び原点信号を検出することができる。
【００５７】
図７に、スケール１２に直径２ｍｍの磁性金属を使用し、スケール信号の記録波長λ1を０．４ｍｍとし、原点信号の記録波長λ2を１ｍｍとした場合におけるスケール１２からの距離に対する、スケール信号用ＭＲヘッド３５ａ及び原点信号用ＭＲヘッド３５ｂの出力特性を示す。
【００５８】
スケール信号用ＭＲヘッド３５ａは、原点信号の影響を受けないスケール１２の外周の位置に配設される。そのため、スケール信号用ＭＲヘッド３５ａは、スケール１２との距離を、検出出力を十分大きくすることができる距離に設定すればよい。従って、このような出力特性が得られる条件下においては、スケール信号用ＭＲヘッド３５ａとスケール１２との距離を、０．０８ｍｍ〜０．１５ｍｍの範囲で設定すればよい。
【００５９】
一方、原点信号にはスケール信号が重畳記録されているので、原点信号用ＭＲヘッド３５ｂとスケール１２との距離を、出力特性が安定する過飽和領域に設定すると、原点信号に対するスケール信号の割合が大きくなってしまい、クロストークを抑えることができない。従って、原点信号用ＭＲヘッド３５ｂは、原点信号が十分大きく検出でき、スケール信号の影響を受けない位置に配置される。従って、この出力特性が得られる条件下においては、原点信号用ＭＲヘッド３５ｂとスケール１２との距離を、０．２７〜０．３５ｍｍの範囲で設定すればよい。
【００６０】
このようにスケール信号用ＭＲヘッド３５ａと原点信号用ＭＲヘッド３５ｂとの距離を設定することにより、互いの信号の影響を受けずに、良質なスケール信号及び原点信号を検出することができる。
【００６１】
なお、スケール１２に記録される原点信号の記録波長は、スケール信号用ＭＲヘッド３５ａや原点信号用ＭＲヘッド３５ｂの検出感度等よって異なるが、例えば、１．５倍から１０倍程度に設定され、好ましくは、２倍から４程度がよい。
【００６２】
また、位置検出装置１では、スケール信号用ＭＲヘッド３５ａが原点信号用ＭＲヘッド３５ｂに対してスケール１２を挟んで対向配置、すなわち、スケール１２の中心軸を中心とした場合、１８０度の角度をもって配置しているが、このスケール信号用ＭＲヘッド３５ａが原点信号の影響を受けなければ、その配置位置は限定されない。例えば、原点信号が中心角６０度（±３０度）の範囲に記録されていれば、スケール１２の中心軸を中心として±４５度以上の角度をもって配置すれば、影響を受けない。
【００６３】
【発明の効果】
本発明に係る位置検出装置では、記録媒体の外周の全面に亘り記録されたスケール信号を、スケール信号検出ヘッドが検出して記録媒体との相対移動位置を検出する。また、この位置検出装置では、記録媒体の外周の一部にスケール信号の記録波長よりも大きい記録波長で記録される原点信号を、上記スケール信号検出ヘッドより大きい間隔を記録媒体の外周から保った原点信号検出ヘッドが検出して記録媒体との相対移動位置を検出する。
【００６４】
このことにより本発明に係る位置検出装置では、スケール信号と原点信号とのクロストークを抑え、スケール信号と原点信号とをともに高精度に検出することができる。そのため、この位置検出装置では、記録媒体と各検出ヘッドとの相対移動位置を正確に検出することができる。
【００６５】
また、この位置検出装置では、複雑な検出回路や複雑な検出ヘッドを必要としないで、スケール信号と原点信号とのクロストークを抑えるので、低コスト化や小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の位置検出装置の斜視図である。
【図２】上記位置検出装置の側面図である。
【図３】上記位置検出装置の内部構造を表すための断面図である。
【図４】上記位置検出装置のヘッド保持部の要部分解斜視図である。
【図５】上記位置検出装置のスケールに記録されたスケール信号と原点信号を説明するための図である。
【図６】スケール信号と原点信号とが記録されたスケールと、スケール信号用ＭＲヘッドと原点信号用ＭＲヘッドとの配置関係を説明するための図である。
【図７】スケールに直径２ｍｍの磁性金属を使用し、スケール信号の記録波長を０．４ｍｍとし、原点信号の記録波長を１ｍｍとした条件での、スケールからの距離に対するスケール信号用ＭＲヘッド及び原点信号用ＭＲヘッドの出力特性を示す図である。
【符号の説明】
１  位置検出装置、２  本体部、３  ヘッドスライダ、４  基準部、５  可動部、１１  筐体、１２  スケール、３５ａ  スケール信号用ＭＲヘッド、３５ｂ原点信号用ＭＲヘッド
【図１】
0004174095.tif 000002
【図２】
0004174095.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0004174095.tif 000008