(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向して長手方向に隔置して延びる一対の側部を備えた軌道レールを有する軌道部品，及び前記軌道部品の前記側部間において往復移動するスライダを有し，前記軌道部品は上部に長手方向に延びる対向面によって形成される開口を備え，前記軌道部品の前記開口を密封するため復元力を有する柔軟な多孔質材でなるシール部材が互いに対向する先端面を当接状態にして前記軌道部品にそれぞれ配置され，前記スライダには前記シール部材の前記先端面間を通って延びる物体取付け用の突出部が設けられ，前記軌道部品に対する前記スライダの往復移動時に，前記突出部は前記シール部材の前記先端面に密接して前記シール部材を伸縮変形させて移動することから成り，
更に，前記シール部材には，前記スライダの前記突出部の通過によって生じる前記シール部材の伸縮変形に対する復元力を増して密接性をアップさせるため前記スライダの前記突出部が通過する側の長手方向に沿ってばね部材が設けられていることから成るスライド装置のシール構造。
【請求項２】
前記突出部は，移動方向両端が楔状に先細に形成された先端部と前記先端部間の肉厚の中間部とから形成され，前記スライダの長手方向に延びていることから成る請求項１に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項３】
前記シール部材は，フォームラバーで形成されていることから成る請求項１又は２に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項４】
前記シール部材は，前記先端面に向かって薄肉部に変化する断面形状に形成され，前記スライダの前記突出部の通過時には前記薄肉部が実質的に断面四角形状に伸縮変形することから成る請求項１〜３のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項５】
前記スライダの前記突出部が摺接する前記シール部材の摺接面には，前記シール部材の長手方向に沿って耐摩耗性の摺接ベルトが取り付けられていることから成る請求項１〜４のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項６】
前記シール部材が摺接する前記スライダの前記突出部の摺接面には，耐摩耗性の摺接ベルトが取り付けられていることから成る請求項１〜５のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項７】
前記軌道レールは，一対の前記側部と前記側部に一体構造の底部とから形成され，前記側部が前記底部の両側面から隔置して上方へ延びて全体的に樋形状に形成されていることから成る請求項１〜６のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項８】
前記スライダの両側面に形成された軌道溝と前記軌道レールの前記側部の内面にそれぞれ形成された軌道溝とで形成される負荷路には，前記スライダに組み込まれた転動体が転走することによって前記スライダが前記軌道レールに対して往復移動することから成る請求項１〜７のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項９】
前記スライダは前記軌道部品の前記側部間で摺動移動する摺動台と前記摺動台に取り付けられたボールねじを構成するボールねじナットを備えた駆動部とを有し，前記軌道部品には前記スライダに設けた前記ボールねじナットが螺合するボールねじ軸を支持すると共に前記ボールねじ軸を回転駆動する駆動装置が設けられていることから成る請求項１〜８のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項１０】
前記スライダには１本の前記突出部が前記スライダの幅方向中央部に長手方向に延びて設けられ，前記軌道部品は，前記軌道レール，前記側部の長手方向に沿って上方へ延びて前記側部にそれぞれ取り付けられた前記シール部材を支持した一対の第１のカバー支持部材，及び前記軌道レールの両端面にそれぞれ取り付けられたエンドカバーを有することから成る請求項１〜９のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項１１】
前記スライダには２本の前記突出部が前記スライダの幅方向に隔置して長手方向に延びて設けられ，前記軌道部品は，前記軌道レール，前記軌道レールの両端面に取り付けられたエンドカバー，及び前記シール部材を支持する第２のカバー支持部材から成り，前記カバー支持部材は一対のカバー支持側部とカバー支持中央部から構成され，前記カバー支持側部は前記側部の長手方向に沿って上方へ延びて前記側部にそれぞれ取り付けられ且つ先端面がそれぞれの前記突出部に対向し，前記カバー支持中央部は前記エンドカバーに取り付けられ且つ前記突出部間に配設されていることから成る請求項１〜１０のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項１２】
前記カバー支持中央部は，中央部にウエブ部を備えたＴ形部材又は前記ウエブ部が整合した一対のＬ形部材から形成され，また，前記シール部材は，前記カバー支持側部にそれぞれ支持されたシール側部材と前記ウエブ部の両側で前記カバー支持中央部にそれぞれ支持されたシール中間部材とから構成されていることから成る請求項１１に記載のスライド装置のシール構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は，軌道部品と該軌道部品に対して往復移動するスライダを有するスライド装置において，スライダの往復移動で発生する塵埃，油等の異物，又は外部から侵入する塵埃，油等の異物がスライド装置に出入するのを防止するシール構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来，クリーンルーム等で稼働される半導体製造装置，工作機械，各種組立装置，試験装置等に組み込まれるスライド装置として，図８及び図９に示すものが知られている。該スライド装置は，上面側が開口した断面Ｕ字状で長尺な軌道レール２，軌道レール２の上方に開口２７を持つＵ字状の凹部５内に移動可能に嵌挿されたスライダ３Ｂ，スライダ３Ｂに螺合するボールねじ軸４，及びボールねじ軸４を回転駆動するモータ９から構成されている。軌道レール２には，モータ９が取り付けられたボールねじ軸４のモータ側の一端を支持する支持体１１と，ボールねじ軸４の他端を支持する支持体１２とが設けられ，支持体１１，１２によってボールねじ軸４が回転自在に支持している。軌道レール２はねじ等の適宜の固着手段によって支持台に固定されている。スライダ３Ｂは，軌道レール２に対して転動体を介して摺動自在に取り付けられている。軌道レール２の凹部５は，底部６とその両側から起立する一対の側壁部７Ａとから構成されている。一対の側壁部７Ａの対向面には，スライダ３Ｂが直線走行できるように，転動体が転走する軌道溝８が長手方向に形成されている。スライダ装置では，側壁部７Ａに形成された軌道溝８とスライダ３Ｂに形成された軌道溝によって転動体が転走する負荷路が形成されている。
【０００３】
スライダ３Ｂは，テーブル等の物体（図示せず）を取り付けるため側方に先端が上方に延びる一対の取付けフランジ部１３を有している。取付けフランジ部１３には，物体をボルトで固定するためのねじ穴１４が形成されている。カバー１５Ｂは，スライダ３Ｂの取付けフランジ部１３が往復移動する開口３３を除いて，軌道レール２を覆うように支持体１１，１２に取り付けられ，スライド装置の駆動部分として軌道レール２内に収容されるスライダ３Ｂとボールねじ軸４の上部を覆い，軌道レール２の内外への塵埃等の異物の出入を防止している。スライダ３Ｂの取付けフランジ部１３は，カバー１５Ｂとの干渉を回避するため，軌道レール２の横方向から上方に延びている。スライダ３Ｂには，ボールねじ軸４が螺合する螺旋溝を備えたボールねじナット１７が取り付けられている。ボールねじ軸４とボールねじナット１７から成る送りねじ機構は，ボールねじ軸４の回転に応じてスライダ３Ｂを軌道レール２の軸方向に直線移動させることができる。支持体１１，１２は，軌道レール２の各側壁部７Ａの上面２０に固定されている。軌道レール２の軌道溝８及び上面２０は，互いに平行に加工されている。
【０００４】
また，軌道レール２の側壁部７Ａの外面には，センサレール２２が取り付けられている。センサレール２２には，予め決められた所定の位置にリミットセンサ５２が設けられている。リミットセンサ５２が往復移動状態のフランジ部１３を検出した検出信号は，リード線２４を経てセンサ用コネクタ２５からコントローラに入力される。また，モータ用コネクタ２８からの制御信号に応じてモータ９が制御される。モータ９の回転駆動力は，カップリング３０を介してボールねじ軸４に伝達される。また，スライダ３Ｂの摺動範囲は，支持体１１と支持体１２とにそれぞれ取り付けられたストッパ３１，３２によって規定されている。
【０００５】
上記のようなスライド装置について，開口３３を通じて塵埃等の異物が出入するのを防止するため，開口３３に蛇腹状のシール部材を設けたスライド装置のシール構造が知られている。該シール構造では，開口３３は軌道レール２の側壁部７Ａとカバー１５Ｂとの互いに対向する対向面の一方に取り付けられた自己弾力性を有する少なくとも一つの伸縮性シール部材によって塞がれている。上記伸縮性シール部材は，スライダ３Ｂの摺動に伴って開口３３を通過する取付けフランジ部１３によって一方の対向面に向かう方向に伸縮変形される（例えば，特許文献１参照）。
【０００６】
また，本発明者に係る出願であるスライド装置のシール構造は，スライダの摺動に伴って取付けフランジ部が通過できるように，軌道レールとカバーとの間のスリットには伸縮性シール部材が配置されている。伸縮性シール部材は，取付けフランジ部の周りにおいてスリットをシールするため取付けフランジ部が通過する領域では取付けフランジ部に密接した状態に分離され，取付けフランジ部が通過する前後の領域では自己弾力性により互いに衝合する上シール及び下シールから構成されている。上シールと下シールに作用する重力の影響を相殺するため，下シールの弾性力は上シールの弾性力よりも強く設定されている。更に，上シール及び下シールは，それぞれ一方の側端部がスリットの開口縁部に取り付けられ，他方の側端部が自己弾力性により互いに衝合する帯板状のシール部材から構成されている。（例えば，特許文献２参照）。
【０００７】
また，防塵機能を有する移載装置が知られているが，該移載装置において，ロッドレスシリンダは，シリンダチューブと該シリンダチューブに沿って進退可能なスライドテーブルとを備えている。スライドテーブルに取り付け台が固着された状態で，カバー部材がシリンダチューブに固定される。カバー部材の内壁とシリンダチューブの側壁及び取り付け台の側壁とにより，防塵部材が一体的に挟持されると共に，防塵部材が移動方向と直交する方向に弾性変形可能になっている（例えば，特許文献３参照）。
【０００８】
【特許文献１】
特開平１１−３２５０７０号公報（第１頁，図４）
【特許文献２】
特開２００１−２７２３５号公報（第１頁，図１）
【特許文献３】
特開２００１−１８７９０６号公報（第１頁，図１）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，上記公報に開示されたスライド装置では，スライダの摺動に伴ってテーブル取付け用の取付けフランジ部が一体的に移動するために，軌道レールとカバーとの間には，取付けフランジ部が通過するためのスリットや開口が形成されている。開口から摩耗粉，塵埃等の異物がスライド装置の内部に侵入したり，又は装置自体から発生した塵埃等が半導体製造装置等が設置されているクリーンルームへと飛散することを完全に防止することができない。そのため，スリットや開口を通じて塵埃がシール装置の内外に出入するのを防止するため，上記のように，開口にジャバラ状の伸縮性シール部材で開口部を塞いでシールしたり，又はスリットに上シールと下シールから成る伸縮性シール部材でスリットを塞いでシールしているが，このような伸縮性シール部材を製作するのが複雑で容易でなく，しかも製造コストがアップし，伸縮性シール部材に密封性のよい伸縮の弾性度を確保することには問題があった。
【００１０】
そこで，本出願人は，上記の問題を解決するため，図７に示すように，スライド装置のシール構造に組み込まれる簡単な構造であって製造コストが安価なシール部材を開発し，先に特願２００１−２３８５７２号として出願した。該スライド装置のシール構造は，軌道レール２の側壁部７Ａとカバー１５Ａとの間の開口に復元力を有するシール部材１Ａをカバー１５Ａに固着して配置し，シール部材１Ａによってカバー１５Ａと軌道レール２の側壁部７Ａとの間の開口３３を密封し，スライダ３Ａの突出部１０Ａがシール部材１Ａと側壁部７Ａとの間を往復移動する時に，シール部材１Ａを突出部１０Ａの面に対して密接状態で伸縮変形させ，スライダ３Ａをスムーズに往復移動させ，開口３３におけるシール性を向上させると共に，シール部材１Ａの耐久性を向上させ，シール部材１Ａの開口３３への配設を容易にしたものである。なお，図７に示すシール構造では，後述の図３に示す本発明のシール構造と同様に機能を有する部品や部分には同一の符号を付し，それらの説明はここでは省略する。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明の目的は，例えば，本出願人に係る特願２００１−２３８５７２号に開示されたスライド装置のシール構造を小型化し，該構造を簡単化したものであり，シール箇所を一箇所にして簡単化し，小型化に対応できるように改善したもの，また，シール箇所が二箇所であっても横幅の狭いスリムなものに改善したものであり，スライダに設けた突出部が軌道部品に支持されたシール部材の当接面間を通過する際に，少なくとも１本の突出部によってシール部材を伸縮変形可能な多孔質材によって粉塵，油等の異物がスライド装置の内部に侵入したり，又はスライド装置自身で発生した塵埃，油等の異物が半導体製造装置等を設置したクリーンルーム，試験室等のルームへと飛散するのを防止するように構成したスライド装置のシール構造を提供することである。
【００１２】
この発明は，互いに対向して長手方向に隔置して延びる一対の側部を備えた軌道レールを有する軌道部品，及び前記軌道部品の前記側部間において往復移動するスライダを有し，前記軌道部品は上部に長手方向に延びる対向面によって形成される開口を備え，前記軌道部品の前記開口を密封するため復元力を有する柔軟な多孔質材でなるシール部材が互いに対向する先端面を当接状態にして前記軌道部品にそれぞれ配置され，前記スライダには前記シール部材の前記先端面間を通って延びる物体取付け用の突出部が設けられ，前記軌道部品に対する前記スライダの往復移動時に，前記突出部は前記シール部材の前記先端面に密接して前記シール部材を伸縮変形させて移動することから成り，
更に，前記シール部材には，前記スライダの前記突出部の通過によって生じる前記シール部材の伸縮変形に対する復元力を増して密接性をアップさせるため前記スライダの前記突出部が通過する側の長手方向に沿ってばね部材が設けられていることから成るスライド装置のシール構造に関する。
【００１３】
前記突出部は，移動方向両端が楔状に先細に形成された先端部と前記先端部間の肉厚の中間部とから形成され，前記スライダの長手方向に延びている。
【００１４】
また，前記シール部材は，フォームラバーで形成されている。
【００１５】
前記シール部材は，前記先端面に向かって薄肉部に変化する断面形状に形成され，前記スライダの前記突出部の通過時には前記薄肉部が実質的に断面四角形状に伸縮変形するものである。また，前記スライダの前記突出部が摺接する前記シール部材の摺接面には，前記シール部材の長手方向に沿って耐摩耗性の摺接ベルトが取り付けられている。更に，前記シール部材が摺接する前記スライダの前記突出部の摺接面には，耐摩耗性の摺接ベルトが取り付けられている。
【００１６】
前記軌道レールは，一対の前記側部と前記側部に一体構造の底部とから形成され，前記側部が前記底部の両側面から隔置して上方へ延びて全体的に樋形状に形成されている。
【００１７】
このシール構造を備えたスライド装置は，前記スライダの両側面に形成された軌道溝と前記軌道レールの前記側部の内面にそれぞれ形成された軌道溝とで形成される負荷路には，前記スライダに組み込まれた転動体が転走することによって前記スライダが前記軌道レールに対して往復移動するものである。
【００１８】
前記スライダは前記軌道部品の前記側部間で摺動移動する摺動台と前記摺動台に取り付けられたボールねじを構成するボールねじナットを備えた駆動部とを有し，前記軌道部品には前記スライダに設けた前記ボールねじナットが螺合するボールねじ軸を支持すると共に前記ボールねじ軸を回転駆動する駆動装置が設けられている。
【００１９】
このスライド装置のシール構造は，前記スライダには１本の前記突出部が前記スライダの幅方向中央部に長手方向に延びて設けられ，前記軌道部品は，前記軌道レール，前記側部の長手方向に沿って上方へ延びて前記側部にそれぞれ取り付けられた前記シール部材を支持した一対の第１のカバー支持部材，及び前記軌道レールの端面にそれぞれ取り付けられたエンドカバーを有するものである。
【００２０】
このスライド装置のシール構造は，前記スライダには２本の前記突出部が前記スライダの幅方向に隔置して長手方向に延びて設けられ，前記軌道部品は，前記軌道レール，前記軌道レールの両端面に取り付けられたエンドカバー，及び前記シール部材を支持する第２のカバー支持部材から成り，前記カバー支持部材は，一対のカバー支持側部とカバー支持中央部から構成され，前記カバー支持側部は前記側部の長手方向に沿って上方へ延びて前記側部にそれぞれ取り付けられ且つ先端面がそれぞれの前記突出部に対向し，前記カバー支持中央部は前記エンドカバーに取り付けられ且つ前記突出部間に配設されている。更に，前記カバー支持中央部は，中央部にウエブ部を備えたＴ形部材又は前記ウエブ部が整合した一対のＬ形部材から形成され，また，前記シール部材は，前記カバー支持側部にそれぞれ支持されたシール側部材と前記ウエブ部の両側で前記カバー支持中央部にそれぞれ支持されたシール中間部材とから構成されている。
【００２１】
このスライド装置のシール構造は，上記のように構成されているので，軌道部品の対向面間の開口を埋める状態にそれぞれの対向面に配置されたシール部材で前記開口を密閉し，スライダが軌道部品を摺動移動する時に，シール部材の対向面間を移動するスライダの突出部がシール部材の対向面間で前記シール部材を伸縮変形させて前記シール部材に密接状態でスムーズに往復移動することができ，また，スライダに設けた突出部が１本の場合には，スライダの外部への露出部が一箇所のみになり，気密性を一層高めることができる。スライダに設けた突出部が２本の場合には，突出部に固定したフランジ板に機器等の物体を取り付けると，物体の安定した取り付け状態を確保でき，物体の荷重によってスライダが傾くようなことがなくスライダのスムーズな摺動ができる。
【００２２】
また，スライド装置の内部は，前記軌道部品と前記カバー支持部材とで囲まれて気密状態に構成されており，前記突出部が通過する長手方向に延びるシール部材の当接面のみであるので，内部に存在する空気を吸引する場合にも吸引量も少なくなり，半導体製造装置の設置されたクリーンルーム等の作業環境に高いクリーン度を得られ易く構成されている。また，スライド装置の内部からの空気の吸い出し用の通口に対して空気流れを逆にして通口からスライド装置内部にクリーンな空気を吹き込み，スライド装置の隙間からクリーンな空気を吹き出し，スライド装置の外部から内部へ侵入するごみ等の異物の侵入を低減することも可能であり，このような機能として作用させる場合には，木工関係のおが屑の充満する作業環境，セラミックス切断や研削加工の作業環境等の粉塵の舞う作業環境等に利用して最適である。
【００２３】
このシール構造では，前記突出部は，長手方向両端が楔状に先細に形成された先端部と前記先端部間の肉厚の中間部とから形成することが好ましい。また，前記シール部材は，前記軌道部品を構成するカバー支持部材のシール支持部に設けた凹部に嵌合する厚肉部と該厚肉部から前記突出部に向かって伸縮変形する薄肉部とから形成することが好ましい。この場合には，前記スライダの前記突出部の通過によって前記シール部材が変形する変形状態は，前記突出部による押し開きの無理の無いスムーズな状態で伸縮変形して行われ，良好な密閉状態が維持される。従って，このシール構造は，前記カバー支持部材の前記シール支持部に配置された前記シール部材間の隙間を通じての塵埃等の異物の出入が発生せず，例えば，前記スライダの往復移動で発生する摩耗粉等の塵埃が前記軌道部品の内部からクリーンルーム等の外部へ放出することがなく，クリーンルームのクリーン度を維持することができる。更に，前記シール部材は，フォームラバーでシンプルな断面四角形に形成されているので，複雑な形状や構造に伴うコストがかからず製造コストを低減できると共に，前記軌道部品の対向面間に形成される開口への装着が極めて容易である。
【００２４】
また，このシール構造は，前記シール部材には前記スライダの前記突出部が通過する側の長手方向に沿ってばね部材が設けられているので，前記スライダの前記突出部の通過によって発生する前記シール部材の伸縮変形による前記シール部材の伸縮変形に対する復元力が増し，また，前記シール部材の経年変化，例えば，前記スライダの前記突出部を一定期間移動させないで停止させていた後に，前記突出部を移動させたとしても，前記突出部の形状が前記シール部材に残存することなく，前記ばね部材のばね力によって直ちに前記シール部材の伸縮変形を補助して復元させ，前記ばね部材のばね力によって前記シール部材の伸縮変形のレスポンスも良好になり，前記シール部材の他の面への密接性がアップし，シール性能を向上させることができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下，図面を参照して，この発明によるスライド装置のシール構造の実施例を説明する。この発明によるシール構造を組み込んだスライド装置は，クリーンルーム，試験実験室等の室で稼働される半導体製造装置，工作機械，各種組立装置，試験装置，位置決めテーブル，スライドテーブル，粉塵作業環境で使用される機器等の各種装置に組み込まれて使用されるものである。このスライド装置は，図１〜図６に示されているが，図７〜図９に示すスライド装置のものと同様の部分や部品については同一の符号を付し，重複する説明を省略している。
【００２６】
まず，図１〜図３を参照して，この発明によるスライド装置のシール構造の第１実施例を説明する。このシール構造を組み込んだスライド装置は，互いに対向して長手方向に隔置して延びる一対の側部７を備えた軌道レール２を有する軌道部品５５と，軌道部品５５の側部７間において往復移動するスライダ３を有する。軌道部品５５は，上部に長手方向に延びる対向面５６によって形成される開口３４を備えており，対向面５６間の開口３４を密閉するため対向面５６には復元力を有する柔軟な多孔質材でなるシール部材１が互いに対向する先端面２６を当接した状態に配置されている。また，スライダ３には，シール部材１の先端面２６間を通って延びる物体取付け用の突出部１０が設けられている。物体取付け用の突出部１０は，例えば，半導体製造装置，工作機械，ロボット等の装置に使用されている機器，部品，部材，位置決めテーブル等の物体を取り付けるのに利用され，突出部１０には，例えば，図示のように，フランジ板等の物体取付ベースを固定するためのねじ穴５８或いはフランジ部を設けることができる。このシール構造は，特に，シール部材１の先端面２６が当接状態にそれぞれ配置され，軌道部品５５に対するスライダ３の往復移動時に，突出部１０がシール部材１の先端面２６に密接してシール部材１を伸縮変形させて移動し，スライド装置の内部を密閉されることである。
【００２７】
軌道部品５５は，例えば，一対の側部７と側部７に一体構造の底部６とから形成された軌道レール２と，側部７に取り付けられたカバー支持部材１６を一体構造に成形加工（図示せず）できるが，図３に示すように，軌道溝８を形成した側部７を備えた軌道レール２と，上部の対向面５６を備えたカバー支持部材１６とを上下方向に二分割して別部材に形成した構造に構成することができる。図３に示すカバー支持部材１６は，側部７の長手方向に沿って上方へ延びて側部７にねじ５７でそれぞれ取り付けられ，また，カバー支持部材１６は，側部７の長手方向に沿って延びるカバー部１９と，カバー部１９と一体構造でスライダ３の上面５０に沿って互いに対向して開口する凹部２３を備えたシール支持部２９とを備えている。
【００２８】
以下，このシール構造を示す第１実施例では，図３に示すように，軌道部品５５を軌道レール２とカバー支持部材１６とで構成した場合について説明する。このシール構造は，互いに対向して長手方向に延びる一対の側部７を備えた軌道部品５５，及び軌道部品５５の側部７間において往復移動するスライダ３を有し，軌道部品５５は，軌道レール２とカバー支持部材１６から構成されている。軌道レール２は，ベース等に取付け孔５１を通じて取付けねじ等で固定されている。カバー支持部材１６は，側部７の長手方向に沿って延びるカバー部１９と，カバー部１９と一体構造でスライダ３の上面５０に沿って互いに対向して開口する凹部２３を備えたシール支持部２９とを有する。カバー支持部材１６は，軌道レール２の側部７の上方へ延び出して側部７にそれぞれ取り付けられている。カバー支持部材１６の上部の対向部には，シール部材１がそれぞれ配置されている。
【００２９】
シール部材１は，シール支持部２９間，即ち，シール支持部２９の先端間の開口３４を密封するため，先端の対向状態の先端面２６が互いに当接状態にシール支持部２９の凹部２３にそれぞれ配置され，復元力を有する柔軟な多孔質材で構成されている。スライダ３には，シール部材１の先端面２６間を通って延びる突出部１０が設けられている。突出部１０は，軌道レール２に対するスライダ３の往復移動時に，シール部材１の先端面２６に密接してシール部材１を伸縮変形させて移動するものである。
【００３０】
スライダ３に設けた突出部１０は，図１に示すように，移動方向両端が楔状に先細に形成された先端部３５と，先端部３５間の肉厚の中間部３６とから形成されている。シール部材１は，シール支持部２９の凹部２３に嵌合する厚肉部３７と，厚肉部３７から先端面２６に向かって伸縮変形する薄肉部３８とから形成されている。シール部材１は，スライダ３の突出部１０の通過時には，薄肉部３８が断面形状が実質的に四角形に伸縮変形するように構成されている。更に，シール部材１には，スライダ３の突出部１０の通過によって生じる伸縮変形を復元させるため，シール部材１の長手方向に沿ってばね部材４０が設けられている。シール部材１は，フォームラバーで形成され，又は該フォームラバーの表面には，保護皮膜がコーティングされている。
【００３１】
シール部材１をシール支持部２９の凹部２３へ固着するのを堅固に構成するため，シール部材１の固着面には，取付け板４３が固着されている。また，突出部１０が摺接するシール部材１の摺接面には，シール部材１の長手方向に沿って耐摩耗性の摺接ベルト１８が取り付けられている。又は，シール部材１が摺接するスライダ３の突出部１０の摺接面には，耐摩耗性の摺接ベルト（図示せず）が取り付けられてもよい。
【００３２】
軌道レール２は，一対の側部７と，側部７と一体的構造の底部６とから構成されており，軌道レール２の側部７間は，開口した樋形状に形成されている。また，このスライド装置は，軌道レール２，一対のカバー支持部材１６及び一対のシール部材１で囲まれる空間に存在する空気を吸引するため，軌道レール２に形成された通口４２に接続された空気管４１が取り付けられている。軌道レール２の一端部には，ねじ孔が形成された通口４２を備えたエンドカバー２１が取付けねじによって取り付けられている。通口４２には，軌道レール２内の凹部５で発生する塵埃や油等の異物を吸引してクリーンルーム等の部屋の外部に排出するため，空気管４１が連結されている。又は，このスライド装置は，その内部空間からの空気の吸い出し用通口４２に対して空気流れを逆にして通口４２から内部にクリーンな空気を吹き込み，スライド装置の隙間からクリーンな空気を吹き出し，スライド装置の内部に侵入するごみ等の異物の侵入を低減することもできる。
【００３３】
カバー支持部材１６のカバー部１９には，スライダ３の側面に対向して長手方向に沿ってセンサレール２２が設けられ，センサレール２２の所定の位置にスライダ３の移動位置を検出するリミットセンサが設けられている。また，軌道レール２の側部７は，軌道レール２の底部６と一体的構造であり，軌道レール２は，上部が開口２７に形成された樋型に形成されている。このスライド装置は，軌道レール２の凹部５内が一方の端部をエンド側ボールねじ軸用支持体１２及びエンドカバー２１で密閉し，他方の端部をモータ側ボールねじ軸用支持体１１及びエンドカバー２１で密閉している。
【００３４】
このスライド装置は，Ｕ形形状の凹部５を備えた軌道レール２をべースにして，長尺状でなる軌道レール２の内側面の軌道に沿ってスライダ３が摺動自在に位置決め駆動されるように構成されている。このスライド装置は，スライダ３の両側面に形成された軌道溝４５と軌道レール２の側部７の内面にそれぞれ形成された軌道溝８とでそれぞれ形成される負荷路を転動体４４が転走することによって，スライダ３は軌道レール２に対してスムーズに往復移動することができる。軌道レール２の側部７に固定されたカバー支持部材１６の側面に設けたセンサ支持部４９には，センサレール２２が取り付けられ，センサレール２２の隔置した二箇所の所定の位置にスライダ３の移動を検出するリミットセンサが取り付けられている。
【００３５】
スライダ３は，軌道レール２の側部７間で摺動移動する摺動台４７と，摺動台４７に取り付けられたボールねじを構成するボールねじナット１７を備えた駆動部４８とを有する。軌道レール２には，スライダ３に設けたボールねじナット１７に螺合するボールねじ軸４を支持すると共にボールねじ軸４を回転駆動する駆動装置が設けられている。スライダ３には，ボールねじナット１７が固定され，軌道レール２に固定された支持体１１，１２（図９）にボールねじ軸４が回転可能に取り付けられている。軌道レール２の一端部にはモータ９が取り付けられたモータブラケットが固着されている。スライダ３は，ボールねじ軸４がモータ９によって可逆回転することによって軌道レール２に沿って往復移動するように構成されている。また，スライダ３の摺動台４７には，グリースニップル５３及びエンドシール４６が取付けねじ５４で取り付けられている。
【００３６】
シール部材１は，例えば，シール部材１の側面に固着された取付け板４３を介在してカバー支持部材１６のシール支持部２９の凹部２３の壁面に固着されている。スライダ３の突出部１０は，シール部材１の側面に固着された摺接ベルト１８間を通過する時に，シール部材１はスライダ３の突出部１０の面に対して密接状態で伸縮変形するように構成され，それによって，突出部１０が開口３４を長手方向に摺動自在に移動できるように構成されている。フォームラバーのシール部材１と摺接する突出部１０の進行方向の両端部は，楔状に先細に形成された先端部３５に形成され，フォームラバーの伸縮変形を滑らかに案内している。
【００３７】
シール部材１は，自己弾力による復元力を有する柔軟な多孔質材で形成され，従来のシール部材よりも製作し易く，取扱い易く，伸縮の繰り返し寿命も長くなり，密封性のよい構造に構成されている。シール部材１は，実質的に断面形状が矩形，正方形等の四角形に形成され，スライダ３の突出部１０がシール部材１を押しのけて通過する時には，断面形状が実質的に四角形状態で伸縮変形する材料，例えば，多孔質で連通していない多孔部材であるフォームラバーで形成されることによって，塵埃等の出入を防止するための密封性を確保でき好ましいものである。また，フォームラバーの表面には，場合によっては，保護皮膜３９をコーティングすることもできる。
【００３８】
シール部材１を構成するフォームラバーは，例えば，ラテックスを主原料とし，硫黄，加硫促進剤，老化防止剤，起泡剤等の配合物を泡立たせ，凝固剤を加えて凝固させ，加熱蒸気や熱水で加硫した後，水洗乾燥されたラテックススポンジであり，自己弾力による復元力を有する柔軟な多孔性のゴムである。シール部材１の表面には，防湿のため保護皮膜３９をコーティングすることもできるが，皮膜無しの表面に構成する方が繰り返し伸縮でひび割れ等が発生することがない。シール部材１を配設したことによって開口３４の密封性が向上した。
【００３９】
シール部材１は，カバー支持部材１６に着脱可能な取付け板４３がフォームラバーの側面又は上下面の長手方向に沿って両面粘着テープで粘着したり，或いは接着剤で固着している。フォームラバーの側面には，スライダ３の横方向の突出部１０の側面と摺接するため，発塵性を小さくする摺接ベルト１８が接着剤で固着され，或いは両面粘着テープで粘着されている。取付け板４３は，例えば，ステンレス板製の薄板で形成されており，取付け板４３には，カバー支持部材１６に取り付けるための取付用ねじ孔が長手方向に沿って所定の間隔で形成することもできる。
【００４０】
また，摺接ベルト１８は，シール部材１のフォームラバーの上面，下面及び／又は側面の長手方向に沿って固着され，クリーンルーム内で使用されるウェハ搬送用ベルトが利用されている。ウェハ搬送用ベルトはポリエステル材で形成され，摩耗粉が発生し難い材料である。従って，摺接ベルト１８は，スライダ３の突出部１０と摺接する少なくとも表面をポリエステル樹脂，ポリエステル繊維等のポリエステル製に形成されている。図示していないが，シール部材１と摺接するスライダ３の突出部１０の部分にも，摺接ベルトを固着することによって，一層発塵性を低減させることができる。摺接ベルト１８は，シール部材１のフォームラバーの幅より若干幅広の形状に形成され，フォームラバーの伸縮時にフォームラバーが摺接ベルト１８からはみ出すことがなく，フォームラバーがスライダ３の突出部１０の表面に接触しない形状に形成されることが好ましい。また，スライダ３の突出部１０の摺接ベルト１８との摺接面には，耐摩耗性の摺接ベルトが取り付けられることが耐摩耗性を向上させ，発塵性を防止する点からも好ましいものである。
【００４１】
次に，図４〜図６を参照して，この発明によるスライド装置のシール構造の第２実施例を説明する。第２実施例のシール構造は，第１実施例のシール構造と比較して，第１実施例のスライダ３が１本の突出部１０を備えているのに対し，スライダ３が２本の突出部６０を備え，それに対応して第２実施例のシール部材６１とシール支持部６２を備えたカバー支持部材６３とから成る軌道部品５９の構成が，第１実施例の軌道部品５５と相違しているが，その他の構成については実質的に同一である。そこで，第２実施例を示す図４〜図６では，第１実施例を示す図１〜図３に示す同一の部分及び部品については同一の符号を付し，重複する説明を省略する。
【００４２】
このスライド装置のシール構造は，スライダ３には２本の突出部６０がスライダ３の幅方向の両側に隔置して長手方向に延びて設けられている。また，突出部６０は，突出部１０と同一の形状を有するものである。一対の突出部６０の上面には，機器等の物体を取り付けるためのフランジ板等の物体取付ベース７０が取り付けられている。従って，物体取付ベース７０に取り付けられる物体は，２本の突出部６０で支持されるので，支持状態が安定し，第１実施例のものよりも重荷重の物体を支持することができる。また，軌道部品５９は，側部７を備えた軌道レール２，軌道レール２の両端部に取り付けられたエンドカバー２１，及びシール部材６１を支持するカバー支持部材６３から構成されている。カバー支持部材６３は，軌道レール２の側部７の長手方向に沿って上方へ延びて側部７にそれぞれ取り付けられ且つ先端面が突出部６０に対向する一対のカバー支持側部６４と，エンドカバー２１に両端が取り付けられ且つ突出部６０間に配設されたカバー支持中央部６５とから構成されている。
【００４３】
カバー支持部材６３については，一方のカバー支持側部６４と一方のカバー支持中央部６５との間には突出部６０が通過するための開口３４が形成され，また，他方のカバー支持側部６４と他方のカバー支持中央部６５との間には突出部６０が通過するための開口３４が形成されている。カバー支持中央部６５は，ウエブ部６６が中央部に位置して互いに整合した一対のＬ形カバー部材６７から形成されている。又は，図示していないが，カバー支持中央部６５は，中央部にウエブ部６６を備えた一体構造のＴ形カバー部材に形成してもよい。カバー支持中央部６５は，Ｌ形又はＴ形の形状であるので，剛性が高くなり，スライダ３の突出部６０の移動に対して耐変形性になり，また，シール部材６０の固着面を大きく確保でき，シール部材６０を強固に固着でき，スライダ３の突出部６０のスムーズな摺動を可能にする。
【００４４】
また，シール部材６１は，カバー支持側部６４にそれぞれ支持された一対のシール側部材６８と，ウエブ部６６の両側でカバー支持中央部６５にそれぞれ支持された一対のシール中間部材６９とから構成されている。シール部材６１を構成するシール側部材６８とシール中間部材６９は，第１実施例のシール部材１の当接面及びその取付面等に比較して，実質的に同様な形状に構成されている。
【００４５】
【発明の効果】
また，このスライド装置のシール構造は，上記のように構成されているので，スライダにはその上面の一箇所から延び出した突出部に製造装置等の部品，機器，部材等の物体即ち搬送荷重が取り付けられる構造であるので，物体の搬送荷重は小荷重に限定されるが，例えば，半導体製造装置，クリーン位置決めテーブル等において搬送されるべき小荷重の部品，機器，テーブル等に最適の小型化に対応できる。このスライド装置のシール構造は，例えば，狭いスペースに沢山のテーブルを集積した装置を組み立てる場合に，横幅の狭いスライド装置が要求されるが，このスライド装置のシール構造は，そのような装置に最適である。また，第２実施例のスライド装置は，スライダに上方へ延びる２本の突出部を備えており，重荷重の物体を支持することができるが，従来のスライド装置のようにスライダの側方へ延び出したフランジ部を備えていないので，従来のものに比較して横幅の狭いスリムな構造に形成されている。
【００４６】
また，シール部材は，極めてシンプルな形状，例えば，断面四角形の形状，厚肉部と薄肉部とから成る略台形形状等に構成され，シール部材をカバー支持部材のシール支持部の凹部に容易に配設でき，シール部材の対向面をシール支持部間から突出させて互いに当接するように簡単に配設できると共に，シンプルな構造であるので，スライダの突出部がシール部材間を通過する際にも異常変形を起こす恐れがなくシール性能を向上でき，しかもシール部材の製造コストも安価にできる。このシール構造は，シール性能が良好であるので，特に，半導体製造装置等を設置したクリーンルームでは，スライド装置自身から発生した塵埃，油等の異物がスライド装置の外部に飛散することがなく，発塵性を今までになく低く抑えることができ，スライド装置が原因になるようなクリーンルームでのトラブルが発生することがない。或いは，このシール構造は，粉塵の舞う作業環境で使用される場合には，スライド装置の内部にクリーンな空気を吹き込むことによって，スライド装置そのものの摺動機能を損なうことがなく，耐久性を向上させることができる。また，シール部材は，フオームラバー等の多孔質材で形成され，スライド装置に組み込まれると，スライド装置の開口から塵埃等の異物が装置内部に侵入するのを防止することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明によるシール構造を備えたスライド装置の第１実施例を示す平面図である。
【図２】  図１のスライド装置を示す側面図である。
【図３】  図１に示すスライド装置におけるシール構造を示す図１のＡ−Ａ断面における断面図である。
【図４】  この発明によるシール構造を備えたスライド装置の第２実施例を示す平面図である。
【図５】  図４のスライド装置を示す側面図である。
【図６】  図４に示すスライド装置におけるシール構造を示す図４のＢ−Ｂ断面における断面図である。
【図７】  先行技術のスライド装置におけるシール構造を示す図１のＡ−Ａ断面に対応する部分の断面図である。
【図８】  従来のスライド装置を示す斜視図である。
【図９】  図８のスライド装置において，カバーを取り除いた状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１，６１  シール部材
２    軌道レール
３    スライダ
４    ボールねじ軸
５    凹部
６    底部
７    側部
８，４５  軌道溝
９    モータ
１０，６０  突出部
１１，１２  ボールねじ軸用支持体
１６，６３  カバー支持部材
１７  ボールねじナット
１８  摺接ベルト
１９  カバー部
２１  エンドプレート
２２  センサレール
２３  凹部
２６  シール部材の先端面
２９  ６２  シール支持部
３４  シール支持部間の開口
３５  先端部
３６  中間部
３７  厚肉部
３８  薄肉部
３９  保護被膜
４０  ばね部材
４１  空気管
４２  通口
４３  取付け板
４４  転動体
４７  摺動台
４８  駆動部
５０  スライダの上面
５２  リミットセンサ
５５，５９  軌道部品
５６  対向面
５７  ねじ
５８  ねじ穴
６４  カバー支持側部
６５  カバー支持中央部
６６  ウエブ部
６７  Ｌ形カバー部材
６８  シール側部材
６９  シール中間部材
７０  物体取付けベース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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