(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
粗フッ化タンタル酸カリウム、粗フッ化ニオブ酸カリウム、粗オキシフッ化ニオブ酸カリウムのいずれかとフッ化水素酸溶液とを用いて飽和溶液を製造する溶解工程、再結晶槽内で当該飽和溶液を攪拌しつつ冷却して粒状の再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムを得る再結晶化工程、当該再結晶化工程の終了した溶液から粒状の再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムを濾取する濾過工程、濾取した粒状の再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムを乾燥させる乾燥工程とからなる高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の製造方法において、
再結晶化工程は、溶解工程で得られた液温が６０℃〜９０℃の飽和溶液を、当該飽和溶液の液温を３５〜５０℃の範囲となるまで冷却速度Ｔ℃／時間で冷却する第１冷却過程と、
前記第１冷却過程の終了時点から当該液温が１０〜２０℃の温度となるまでの範囲を冷却速度［Ｔ−１８］℃／時間〜［Ｔ−１］℃／時間で冷却する第２冷却過程とを備えたことを特徴とする高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の製造方法。
【請求項２】
冷却速度Ｔ℃／時間は、５℃／時間〜１０℃／時間である請求項１に記載の高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の製造方法。
【請求項３】
再結晶化工程は、注入した飽和溶液が再結晶槽内の容積の全部を満たすことなく、当該溶液の注入が完了した段階で再結晶槽の内部空間上部に未充填部ができる状態となる再結晶槽を用い、
前記未充填部の空間気温を、当該再結晶槽内にある前記飽和溶液の温度より−５℃〜２０℃高めに制御することを特徴としたものである請求項１又は請求項２に記載の高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の製造方法。
【請求項４】
再結晶化工程は、注入した飽和溶液が再結晶槽内の容積の全部を満たすことのできる再結晶槽を用いるものである請求項１又は請求項２に記載の高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の製造方法。
【請求項５】
再結晶槽内における飽和溶液は、攪拌することにより、生成した再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムの沈降静止を防止するものとした請求項１〜請求項４のいずれかに記載の高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の製造方法。
【請求項６】
高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の製造方法で用いる再結晶槽であって、
当該再結晶槽は溶解工程で得られた飽和溶液を当該槽内に注入するための手段と、
当該槽内の溶液温度を低下させるための冷却手段と、
得られた粒状の再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムを取り出すための排出口とを備え、且つ、再結晶槽内に飽和溶液を注入した後に当該槽内の上部にできる空間温度を制御する手段とを備えたことを特徴とする請求項３に記載の製造方法で用いる再結晶槽。
【請求項７】
請求項１〜請求項５のいずれかに記載の高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶の製造方法で得られた高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶であって、
４ｍｍ以下の粒径を有し、粒径が０．１５ｍｍ〜４．０ｍｍの範囲である再結晶粒が、全再結晶重量の５０ｗｔ％以上であることを特徴とする高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶。
【請求項８】
請求項１〜請求項５のいずれかに記載の高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の製造方法で得られた高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶であって、
４ｍｍ以下の粒径を有し、粒径が０．１５ｍｍ〜４．０ｍｍの範囲である再結晶粒が、全再結晶重量の５０ｗｔ％以上であることを特徴とする高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本件出願に係る発明は、高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の製造方法及びその製造方法で用いる再結晶槽並びにその製造方法で得られた高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、粒状のフッ化タンタル酸カリウム結晶及び高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶は、コンデンサであるタンタルコンデンサ又はニオブコンデンサの陽極の製造に用いるタンタルパウダー又はニオブパウダーを得るための原料としての需要が急速に増加している。かかる場合、高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶は、高温の不活性ガス雰囲気中において、金属ナトリウムのヒュームと接触反応させる等して、タンタル粒又はニオブ粒に還元して用いられている。
【０００３】
従って、金属ナトリウムのヒュームとの接触反応界面面積が、タンタル粒又はニオブ粒に還元する際の還元速度を定める要因の一つとなる。一般的には、フッ化タンタル酸カリウム結晶又はフッ化ニオブ酸カリウム結晶は粒状のもので、微細なものほど接触反応界面面積を大きくすることが可能であるため、還元速度も速くなり好ましいものと考えられる。従って、工業的に求められる必要最小限の還元速度を達成するためにはフッ化タンタル酸カリウム結晶の粒径が４ｍｍ以下であることが求められてきた。
【０００４】
一方では、金属ナトリウムのヒュームとの接触は高温雰囲気下で行われるため、これら結晶の粒径が０．１５ｍｍ以下のものが多量に含まれていると還元処理時に還元したタンタル粒又はニオブ粒が焼結する現象が発生するのである。また、高容量コンデンサの製造に用いるタンタル粒又はニオブ粒は、微細であることが求められているが、その原料となる高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶が微細すぎると、金属タンタル又は金属ニオブに還元する時に、焼結が起こり微細な金属粒として得ることが出来なくなる。更に、金属の微粉末一般に言えることであるが、微細な金属粒は発火性が高くなり、作業上の安全性の面から見ても、飛散し易いレベルの微粉末は好まれないのである。
【０００５】
このようにタンタル粒又はニオブ粒が焼結すると、コンデンサ用として用いる際の均一分散性の確保が不可能となり、良好なコンデンサ性能を得ることが出来ないこととなる。従って、産業界からの要請として、フッ化タンタル酸カリウム結晶及びフッ化ニオブ酸カリウム結晶には４ｍｍ以下の粒径を有し、且つ、０．１５ｍｍ以下の粒径を可能な限り低減させたいとの要求が行われてきた。これに対し、現行の手法で、高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶を製造すると、０．１５ｍｍ以下の粒径のフッ化タンタル酸カリウム結晶が、平均して全重量の４２％以上を占めるものとなっていた。
【０００６】
このような場合、一般的に、粉状体の粒径を整えればよいと考えれば、風力分級、繰り返しの篩分け等の物理的整粒手法により、容易に目的の粒径範囲を達成できるものと考えられる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、フッ化タンタル酸カリウム結晶又はフッ化ニオブ酸カリウム結晶の場合、一般的な物理的整粒手法を繰り返して採用することが、殆ど不可能なのである。即ち、これらの結晶粒が、脆いという性質を有しているため、物理的整粒手法を複数回行えば、整粒過程において結晶粒同士が衝突し、粉砕され結晶粒が微細化しやすく、目的の結晶粒径の製品歩留まりを著しく低下させる要因となるのである。また、物理的整粒手法を採用すると、整粒過程において種々の不純物がコンタミネーションとして混入することになり、純度を低下させる要因ともなる。これは、コンデンサー用途に限らず、あらゆる用途において敬遠されるものである。
【０００８】
従って、物理的な整粒手法を用いることなく、フッ化タンタル酸カリウム結晶又はフッ化ニオブ酸カリウム結晶の製造過程の中で、市場の要求レベルに合わせた結晶粒径分布を持つ高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶を作り込むことのできる製造方法が望まれてきたのである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
そこで、本件発明者等は、鋭意研究の結果、以下に述べる如き、その再結晶化工程に特徴を有する高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の製造方法等に想到したのである。ここで、本件発明の理解を容易にするため、最初に、一般的な本件出願に係る高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の製造方法について説明するものとする。
【００１０】
一般的な高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の製造は、（１）合成して得た粗フッ化タンタル酸カリウム、粗フッ化ニオブ酸カリウム、粗オキシフッ化ニオブ酸カリウムのいずれかをフッ化水素酸溶液に溶解し飽和溶液とする溶解工程、（２）再結晶槽内で当該飽和溶液を冷却して粒状の再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムを得る再結晶化工程、（３）当該再結晶化工程の終了した溶液から粒状の再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウム結晶を濾取する濾過工程、（４）濾取した粒状の再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムを乾燥させる乾燥工程、（５）乾燥後の粒状の再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムを整粒する篩分工程を経て、梱包して製品出荷されるものである。従って、本件発明に係る製造方法も、基本的には同様のフローを採っている。
【００１１】
本発明は、粗フッ化タンタル酸カリウム、粗フッ化ニオブ酸カリウム、粗オキシフッ化ニオブ酸カリウムのいずれかとフッ化水素酸溶液とを用いて飽和溶液を製造する溶解工程、再結晶槽内で当該飽和溶液を冷却して粒状の再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムを得る再結晶化工程、当該再結晶化工程の終了した溶液から粒状の再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムを濾取する濾過工程、濾取した粒状の再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムを乾燥させる乾燥工程とからなる高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の製造方法において、再結晶化工程は、溶解工程で得られた液温が６０℃〜９０℃の飽和溶液を、当該飽和溶液の液温が３５〜５０℃の範囲となるまで冷却速度Ｔ℃／時間で冷却する第１冷却過程と、前記第１冷却過程の終了時点から当該液温が１０〜２０℃の温度となるまでの範囲を冷却速度［Ｔ−１８］℃／時間〜［Ｔ−１］℃／時間で冷却する第２冷却過程とを備えたことを特徴とする高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の製造方法に関する。
【００１２】
上記発明は、２つの特徴を備えている。（１）溶解工程における飽和溶液の液温が６０℃〜９０℃であること。（２）再結晶化工程における冷却速度を一定条件に制御することである。即ち、６０℃〜９０℃の前記飽和溶液の液温から３５〜５０℃となるまでの範囲をＴ℃／時間で冷却し、当該目標液温の範囲に達した後、１０℃〜２０℃の温度となるまでの範囲を［Ｔ−１８］℃／時間〜［Ｔ−１］℃／時間の速度で冷却するのである。
【００１３】
前記（１）の特徴である、再結晶を開始する液温を一定領域に制御する点の意味するところは、次の通りである。出発原料としては、粗フッ化タンタル酸カリウム、粗フッ化ニオブ酸カリウム、粗オキシフッ化ニオブ酸カリウムのいずれかを用いる。出発原料として粗フッ化タンタル酸カリウムを用いてフッ化水素酸溶液と攪拌溶解させると飽和フッ化タンタル酸カリウム溶液が得られることになり、出発原料として粗フッ化ニオブ酸カリウム又は粗オキシフッ化ニオブ酸カリウム塩をフッ化水素酸溶液を用いて溶解させると飽和フッ化ニオブ酸カリウム溶液が得られることになる。従って、以上及び以下において、「飽和溶液」と称する場合には、飽和フッ化タンタル酸カリウム溶液又は飽和フッ化ニオブ酸カリウム溶液のいずれか一方又は双方を指すものとして用いている。
【００１４】
飽和溶液は、液温によってフッ化タンタル酸カリウム、フッ化ニオブ酸カリウムの飽和溶液としての溶解量が異なるため、飽和溶液中のフッ化タンタル酸カリウム又はフッ化ニオブ酸カリウムの含有量を一定レベルに制御することを意味することになる。飽和溶液のフッ化タンタル酸カリウム又はフッ化ニオブ酸カリウムの含有量が高ければ高いほど、再結晶化初期の種結晶の生成は速く起こることになる。本件発明の目的を勘案することにより定まるフッ化タンタル酸カリウムの飽和溶液の組成は、タンタル濃度が２０ｇ／ｌ〜３０ｇ／ｌ、カリウム濃度が５ｇ／ｌ〜２０ｇ／ｌ、フッ酸濃度（フッ素濃度から換算した全フッ酸濃度）が５０〜８０ｇ／ｌの溶液組成を用いることが好ましい。また、フッ化ニオブ酸カリウムの飽和溶液の組成は、ニオブ濃度が３０ｇ／ｌ〜５０ｇ／ｌ、カリウム濃度が３０ｇ／ｌ〜７０ｇ／ｌ、フッ酸濃度（フッ素濃度から換算した全フッ酸濃度）が２５０〜３５０ｇ／ｌの溶液組成を用いることが好ましい。そして、液温が６０℃〜９０℃の範囲で得られる飽和溶液を再結晶化の出発溶液として用いるのである。
【００１５】
そして、前記（２）の条件は、再結晶化の過程である種結晶の生成領域と、生成した種結晶の成長領域とに分けて、狙い通りの粒径分布を持った種々の再結晶粒を得ようと言うものである。即ち、再結晶化工程における再結晶プロセスを厳密に考えると、飽和溶液が溶液温度に対して過飽和濃度にあれば、溶液温度が低下していっても、種結晶の晶出は連続して低温溶液温度の領域まで起こることになる。従って、飽和溶液の冷却を開始した直後に晶出した種結晶は、冷却が終了するまで成長し粒径の増大が可能であるが、冷却終了直前に晶出した種結晶は、十分に成長しきらず微細な粒径のままとなる。このようにして、一定の粒度分布を持つものとして再結晶粒が得られていると考えられるのである。従って、本件発明では、第１冷却過程では、種結晶の晶出を主な目的として必要な量の種結晶を得て、第２冷却過程では、種結晶の晶出を抑制し、第１冷却過程において晶出した種結晶の成長が優位となるよう、第１冷却過程の冷却温度よりも緩やかな冷却を行う過程として第２冷却過程を設けたのである。本件発明は、前記（２）の特徴と、前記（１）の特徴とを組み合わせることで、初めて目的の達成が出来るものである。
【００１６】
以下、工程を順を追って、説明することとする。まず、「粗フッ化タンタル酸カリウム、粗フッ化ニオブ酸カリウム、粗オキシフッ化ニオブ酸カリウムのいずれかとフッ化水素酸溶液とを用いて飽和溶液を製造する溶解工程」について説明する。ここで、「粗フッ化タンタル酸カリウム」とは、一般に、タンタル液とフッ化水素酸溶液とを混合し、ここに塩化カリウムを添加して所定の液温として攪拌し、反応させることで粗フッ化タンタル酸カリウムを沈殿させ、濾別して得るものを意味している。また、「粗フッ化ニオブ酸カリウム、粗オキシフッ化ニオブ酸カリウム」とは、一般に、ニオブ液とフッ化水素酸系溶液とを混合し、ここに塩化カリウムを添加して所定の液温として攪拌し、反応させることで粗フッ化ニオブ酸カリウム又は粗オキシフッ化ニオブ酸カリウムを沈殿させ、濾別して得るものを意味している。
【００１７】
次に、この合成して得た粗フッ化タンタル酸カリウム、粗フッ化ニオブ酸カリウム、粗オキシフッ化ニオブ酸カリウムのいずれかを、フッ化水素酸溶液で再溶解させるのが、本件発明に言う溶解工程である。一般的に、この溶解工程では、粗フッ化タンタル酸カリウム、粗フッ化ニオブ酸カリウム、粗オキシフッ化ニオブ酸カリウムを、５５ｗｔ％濃度のフッ化水素酸溶液を用いて、攪拌しつつ再溶解し飽和溶液を得るのである。粗オキシフッ化ニオブ酸カリウムにフッ化水素酸溶液を添加して溶解させると、酸素が脱離し、飽和溶液自体は飽和フッ化ニオブ酸カリウム溶液となる。本件発明においては、このときの溶液温度を６０℃〜９０℃とするのである。このように温度範囲を設定したのは、再結晶化を始める前の飽和溶液中のフッ化タンタル酸カリウム又は粗フッ化ニオブ酸カリウムの含有量を調整することが主目的である。通常、飽和溶液中のフッ化タンタル酸カリウム又はフッ化ニオブ酸カリウムの含有量が高くなれば、再結晶化で析出してくる結晶量が多くなるのも当然である。従って、高い生産性を得ようとすればするほど、溶解温度を高めフッ化タンタル酸カリウム又はフッ化ニオブ酸カリウムの含有量を増加させなければならない。ところが、溶液温度が９０℃以上となると、水の蒸発速度が速く、溶液中のフッ化タンタル酸カリウム又はフッ化ニオブ酸カリウムの濃縮が起こり、意図せぬ再結晶化が始まることになり、再結晶粒の分布を制御することが困難となるのである。
【００１８】
これに対し、下限温度である６０℃という温度は、フッ化タンタル酸カリウム又はフッ化ニオブ酸カリウムの効率の良い生産性を確保し、工業上必要とされる高純度フッ化タンタル酸カリウム又は高純度フッ化ニオブ酸カリウムの再結晶粒分布を得るために最低限必要な濃度の飽和溶液を得るとの観点より定まるものである。
【００１９】
上述のようにして得られた飽和溶液は、再結晶化工程において、再結晶槽内に入れられ、当該飽和溶液を母液として、これを冷却して粒状の再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムを得るのである。本件発明においては、この冷却の過程を次のように２段階の領域に分けて制御するのである。従って、溶解工程において得られた液温が６０℃〜９０℃の飽和溶液を、当該液温が３５〜５０℃となるまでの範囲の冷却を第１冷却過程と称している。そして、第１冷却過程の終了した時点から１０〜２０℃の温度となるまでの範囲の冷却を第２冷却過程と称している。
【００２０】
このとき、本件発明においては、第１冷却過程の冷却速度Ｔ℃／時間で冷却するものとすれば、第２冷却過程の冷却速度［Ｔ−１８］℃／時間〜［Ｔ−１］℃／時間として制御するのである。但し、このとき、［Ｔ−１８］〜［Ｔ−１］の値は、負の値若しくは０ではなく、０より大きな正の数値でなければならないが、この範囲の全ての領域が正の値となる条件を必要とするものではない。即ち、Ｔ＝５℃／時間の条件を採用した場合を例に採ると、第２冷却過程の冷却温度は１〜４℃／時間の条件を採用すればよいと言う意味である。従って、このように考えれば、第１冷却過程の温度を一定の温度として定めると、第２冷却過程で採用すべき温度範囲も必然的に定まるようになる。以上に述べた２段階での冷却速度の制御に限らず、より多段に冷却速度を制御することも可能であるが、冷却速度の制御系に要する費用が増大し、製造コストの上昇に繋がり、工業上実現不可能なものとなる。
【００２１】
本件発明者等は、この第１冷却過程は、飽和フッ化タンタル酸カリウム溶液から、再結晶フッ化タンタル酸カリウムの種結晶が晶出する領域であると捉えている。即ち、第１冷却過程は、晶出する種結晶の数、性状を制御することのできる領域である。例えば、冷却速度を早くすれば晶出する種結晶の数が多くなるが、再結晶粒の粒径分布がバラツキ易くなる傾向にある。これに対し、冷却速度を遅くすれば晶出する種結晶の数が少なくなるが、再結晶粒の粒径分布がバラツキ難くなる傾向にある。これらのことを考えるに、製品である高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の用途が多岐に渡ることを考えれば、再結晶化させるための冷却速度自体をどのような値とするかは、最終的な用途及び生産性を考慮して定めるべきものであり、ここでは任意の温度設定が可能なものとしている。しかも、製品である高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の持つ結晶粒径の分布は、次の第２冷却過程の温度制御の仕方によっても異なってくるのである。
【００２２】
第２冷却過程の冷却速度は、第１冷却過程の冷却速度をＴ℃／時間とすれば、［Ｔ−１８］℃／時間〜［Ｔ−１］℃／時間の間に制御するのである。例えば、Ｔ＝２０とすれば、第１冷却過程の冷却速度は２０℃／時間であり、第２冷却過程の冷却速度は、２℃／時間〜１９℃／時間の範囲に制御するのである。この第２冷却過程は、第１冷却過程で晶出した種結晶を成長させる過程であると考えている。従って、第２冷却速度が一定の幅を持っているのも、どのレベルでの粒径分布を持つ再結晶粒を得るかにより調整して設定すべきものであるからである。
【００２３】
ただし、第１冷却過程の冷却速度Ｔ℃／時間との関係において見れば、第２冷却過程の冷却速度を［Ｔ−１８］℃／時間〜［Ｔ−１］℃／時間の範囲にする冷却過程を採用した方が、一定の冷却速度で冷却した場合に比べ、得られる再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウム結晶の再結晶粒がバラツキのない粒度分布を示すことが分かったからである。［Ｔ−１８］℃／時間という下限の冷却速度は、最も遅い冷却速度を意味し、冷却速度が遅くなればなるほどゆっくりと大きく再結晶粒は成長するのであるが、これよりゆっくり冷却すると工業上必要となる生産性を満足できない。この結果、温度差を設けることなく均一の冷却速度を採用した時と有為差のないバラツキが発生するのである。［Ｔ−１］℃／時間という上限の冷却速度は、第２冷却過程での冷却速度を第１冷却過程での冷却速度より遅くして再結晶粒の成長を助長させるという考え方に基づき研究を進めた結果、第２冷却過程の冷却速度を第１冷却過程の冷却温度より１℃／時間遅くしただけでも、成長する再結晶粒の粒度分布のバラツキが急激に小さくなるのである。これを、表１を用いて説明する。
【００２４】
表１には、液温が６５℃の飽和フッ化タンタル酸カリウム溶液を母液として、再結晶化を行わせ得られた粒状の再結晶フッ化タンタル酸カリウムを濾別分取し、これを乾燥させ得られた高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶の粒度分布を示している。生成を目的とする粒度分布は０．１５ｍｍ〜４．０ｍｍとした。従って、粒度の分類を、４．０ｍｍを越える粒径の再結晶粒、０．１５ｍｍ〜４．０ｍｍの範囲の再結晶粒、０．１５ｍｍより小さな再結晶粒の３分類とし、これらの再結晶粒の占める重量割合を示すものとした。表１に試料（ａ）として示したものが、本件発明に係る製造方法で第１冷却過程を１０℃／時間（Ｔ＝１０）、第２冷却過程を７℃／時間（Ｔ−３）の速度で冷却して得られた再結晶粒を用いた高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶の粒度分布を示すものである。そして、試料（ｂ）として示したものが、本件発明に係る製造方法で第１冷却過程を１０℃／時間（Ｔ＝１０）、第２冷却過程を９℃／時間（Ｔ−１）の速度で冷却して得られた再結晶粒を用いた高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶の粒度分布を示すものである。更に、表１に試料（ｃ）として示したものが、１０℃／時間という一定の速度で冷却して得られた再結晶粒を用いた高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶の粒度分布を示すものである。加えて、表１に試料（ｄ）として示したものが、７℃／時間という一定の速度で冷却して得られた再結晶粒を用いた高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶の粒度分布を示すものである。
【００２５】
【表１】
0004118527.tif 000002
【００２６】
表１から分かるように、試料（ａ）及び試料（ｂ）の場合が、試料（ｃ）及び試料（ｄ）に比べ、粒度分布が０．１５ｍｍ〜４．０ｍｍの結晶粒の収率が高くなっていることが明らかである。そして、試料（ｂ）と試料（ｃ）とを比較することから明らかなように、第２冷却過程の冷却速度を第１冷却過程の冷却温度より１℃／時間遅くしただけでも、一定温度で冷却をした場合に比べ、粒度分布が０．１５ｍｍ〜４．０ｍｍの結晶粒の収率が高くなることが見て取れるのである。高純度フッ化ニオブ酸カリウムについても同様の検証実験を行ない表２に結果を示しているが、表１のフッ化タンタル酸カリウムの場合と同様の結果が得られている。
【００２７】
【表２】
0004118527.tif 000003
【００２８】
以上のことから分かるように、以上で説明した再結晶工程における第１冷却過程及び第２冷却過程の冷却速度条件を満たし、製品毎に最適な冷却速度を定めれば、バラツキの少ない粒度分布のフッ化タンタル酸カリウム又はフッ化ニオブ酸カリウム結晶の再結晶粒を得ることが出来るようになるのである。
【００２９】
また、本発明は、冷却速度Ｔ℃／時間は、５℃／時間〜１０℃／時間である高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の製造方法である。このように、第１冷却過程の冷却温度を定めると、第２冷却過程の冷却温度は、次のようになる。例えば、Ｔ＝５の場合の第２冷却過程の冷却温度は１〜４℃／時間の範囲、Ｔ＝１０の場合の第２冷却過程の冷却温度は１〜９℃の範囲となる。
【００３０】
そして、この条件を採用することで、再結晶化により得られる再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムの平均粒径が４ｍｍ以下の粒径を有し、且つ、０．１５ｍｍ以下の粒径を従来以上に低減させることが可能となる。そして、得られた高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶は、０．１５〜４．０ｍｍ粒径の再結晶粒が５０ｗｔ％以上を占めるものとすることが可能なのである。このような粒度分布を持つ高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶は、特にタンタルコンデンサ用途において非常に好適なものとなるのである。また、同様の粒度分布を持つ高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶は、特にニオブコンデンサ用途において非常に好適なものとなるのである。
【００３１】
次に、本発明は、再結晶化工程において、注入した飽和溶液が再結晶槽内の容積の全部を満たすことなく、当該溶液の注入が完了した段階で再結晶槽の内部空間上部に未充填部ができる状態となる再結晶槽を用い、前記未充填部の空間気温を、当該再結晶槽内にある前記飽和溶液の温度より−５℃〜２０℃高めに制御する高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の製造方法である。
【００３２】
再結晶化工程において、再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムの粒度分布をばらつかせないためには、意図せぬ再結晶が晶出しないようにしなければならない。上記発明及び以下に述べる発明は、そのような観点から考えた場合の再結晶化工程における問題点を解決するものとしている。即ち、再結晶化工程では、飽和溶液を再結晶槽に入れ、その中で冷却してフッ化タンタル酸カリウムの再結晶を生成するものである。このとき、再結晶槽の構造によっては、図１に示すように再結晶槽の内部容積がいっぱいになるまで飽和溶液を注入充填するのではなく、再結晶の上部に一定の空間（未充填部）が出来るような状態で用いるものがある。この場合、再結晶槽の未充填部には空気が存在しており、この未充填部の空間気温と、飽和溶液との温度差が大きいと、気液界面において再結晶化が起こりやすくなり、意図せぬ再結晶化が進行することになる。この結果、生成するフッ化タンタル酸カリウム又はフッ化ニオブ酸カリウムの再結晶の粒度分布が広くなる要因となるのである。
【００３３】
このことをデータを持って示すと、次のようになる。再結晶槽に入れた飽和フッ化タンタル酸カリウム溶液の初期液温が６５℃とし、再結晶化する際の第１冷却過程の冷却温度を１０℃／時間とし、第２冷却過程の冷却温度を５℃／時間とし、再結晶フッ化タンタル酸カリウムを得て、濾過工程、乾燥工程、及び乾燥後の粒状の再結晶フッ化タンタル酸カリウムを整粒する篩分工程を経て、０．１５〜４．０ｍｍ粒径の高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶を得ようとした。そして、前記空間気温と、得られた高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶中の０．１５〜４．０ｍｍ粒径の再結晶の存在率との関係を調べた結果を表３に示す。
【００３４】
【表３】
0004118527.tif 000004
【００３５】
この表３に示した結果を見るに、上記高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶中の０．１５〜４．０ｍｍ粒径の再結晶の存在率を５０％以上とする為には、初期液温６５℃とすると、最初の空間気温は６０℃〜８５℃の範囲を採用する必要があることが分かる。即ち、空間気温を、（液温−５℃）〜（液温＋２０℃）の範囲としなければならないのである。そして、空間気温を（液温＋２０℃）以上の範囲とすると、水分の蒸発と再結晶化速度との関係を考慮すれば、再結晶槽内の気液界面において飽和フッ化タンタル酸カリウム溶液の濃縮が起こり、意図せぬ再結晶化が起こる結果、再結晶化過程の制御が困難となり、目的の範囲の粒径を持つ製品の収率が悪化すると考えられる。これに対し、空間気温が液温未満の温度となると、再結晶槽内の気液界面において、飽和フッ化タンタル酸カリウム溶液の液温低下が早く起こるため、意図せぬ再結晶化が起こり、以下の再結晶化過程の温度を制御しても、目的の範囲の粒径を持つ製品の収率が悪化すると考えられるのである。しかしながら、（液温−５℃）〜液温の領域においても、溶液の攪拌が十分に行えていれば、気液界面における予期せぬ再結晶化を防止することができるのである。空間気温温度が、（液温−５℃）より低くなると、溶液の攪拌を行っても気液界面における溶液の冷却が早く起こり、予期せぬ再結晶化を起こしやすくなるのである。
【００３６】
そして、表３に示した飽和フッ化タンタル酸カリウム溶液の場合と同様の条件で飽和フッ化ニオブ酸カリウム溶液を用いて、同様の実証試験を行った結果を表４に示しているが、この場合も同様の結果が得られている。
【００３７】
【表４】
0004118527.tif 000005
【００３８】
これらのことを考えるに、図１に示した如き再結晶槽を用いる場合には、未充填部の空間温度を制御して、（液温−５℃）〜（液温＋２０℃）の範囲に維持する必要があるのである。従って、再結晶化工程において、溶液が冷却されるに従って、当該空間気温温度も当初の空間気温温度も低下させることが必要となるのである。
【００３９】
上記した製造方法で用いた再結晶槽を用いる際、上述の如き考え方をするとすれば、図２に示すように再結晶槽の内部容積がいっぱいになるまで飽和溶液を注入充填する事の出来る再結晶槽を用いれば、飽和溶液の液温さえ維持することのできる状態にすれば、意図せぬ再結晶の発生を防止できることになる。
【００４０】
従って、再結晶化工程では、注入した飽和溶液が再結晶槽内の容積の全部を満たすことのできる再結晶槽を用いる。このとき、飽和溶液を溶解工程から再結晶槽に送液する配管の保温と、再結晶槽の保温機能を充実させることが製造技術的観点から見て望ましいものである。
【００４１】
更に、再結晶粒の粒度分布を、より一層バラツキのないものとするためには、再結晶槽内における飽和溶液を攪拌することにより、生成した再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムの沈降静止を防止する。即ち、再結晶槽における溶液攪拌は、溶液温度及び溶液内の濃度分布の不均一を無くすことを目的に一般的に行われるものである。ところが、その攪拌のレベルは、単に溶液内の温度分布及び濃度分布を解消するためのものであり、溶液のみが流動する状態を作るものとなっている。
【００４２】
これに対して、本件発明では、「攪拌することにより、生成した再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムの沈降静止を防止」とあるように、生成した再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムが、再結晶槽の底部に沈降し、そのまま動かず静止した状態になることを防止するための攪拌なのである。溶液を攪拌する力が弱い場合には、結晶の成長と共に沈降速度が大きくなり、溶液の流動速度よりも沈降速度が大きくなると、生成した結晶は沈殿することになる。このように溶液の攪拌が不十分である場合には、当該再結晶粒は、溶液温度が低下するにつれ、過飽和の状態の母液から再結晶粒が晶出する際に、結晶粒の成長よりも新たな結晶核の成長が起こりやすくなるため、微細な再結晶が多く発生することになる。そして、再結晶槽の底部に沈降し、そのまま動かず静止した状態になると、再結晶粒の成長が阻害され、目的の粒度分布の範囲にまで成長することができず、粒度のバラツキも大きくなるのである。
【００４３】
従って、溶液流動と共に、生成した再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムも同時に流動することが求められるのである。これらのことから、再結晶を起こさせる冷却をしている間、生成した再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムが溶液中を浮遊流動する状態を維持することで、生成した結晶核の成長が優位となる状態を形成しなければならないのである。この時の攪拌を行う手段については、特に限定はなく、本件発明で用いた飽和溶液の攪拌に用いることの出来るものであれば、いかなる手段をも用いることが可能である。例えば、再結晶槽の底部に攪拌手段としての攪拌羽根を備える等が一般的である。例えば、１〜２ｍｍ程度の粒径を持つ再結晶粒を多く得ようとするとき、この再結晶粒の沈降速度は、１０ｃｍ／秒程度であるため、溶液の流動速度を１０ｃｍ／秒以上として設定しなければならないことになる。
【００４４】
以上のように、生成した再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムの沈降静止を防止する攪拌条件は、単に溶液を攪拌する速度のみに依存するものではなく、攪拌羽根の形状、特に羽根の形状等の他の要因に左右されるものであり、採用する装置設計によって、変動するものであり、溶液の流動速度を厳密に限定できる性格のものではない。ただ、本件発明者等が、現有の設備で確認する限り、生成させる再結晶粒の沈降速度を１としたとき、溶液の流動速度は３〜３０とすることが可能との判断が得られている。即ち、上述した１〜２ｍｍ程度の粒径を持つ再結晶粒の場合は、溶液の流動速度を３０ｃｍ／秒〜３００ｃｍ／秒の範囲とするのである。下限の流動速度は、これ以下の流動速度では、種結晶の晶出に対して種結晶の成長を優位にすることが出来ないのである。そして、上限の流動速度は、これ以上の流動速度で溶液攪拌を行うと、生成した再結晶粒同士が衝突したり、攪拌羽根との衝突により、粉砕される結果となるからである。
【００４５】
そして、本発明は、上記した製造方法で用いる再結晶槽であって、当該再結晶槽は溶解工程で得られた飽和溶液を当該槽内に注入するための手段と、当該槽内の溶液温度を低下させるための冷却手段と、得られた粒状の再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムを取り出すための排出口とを備え、且つ、再結晶槽内に飽和溶液を注入した後に当該槽内の上部にできる空間温度を制御する手段とを備えたものに関する。
【００４６】
即ち、上記した製造方法で用いる再結晶槽は、少なくとも、（１）溶解工程で得られた飽和溶液を当該槽内に注入するための手段としての配管経路を備えていること。（２）再結晶化過程の冷却温度を制御するための溶液温度を低下させるための冷却手段を備えていること。（３）得られた粒状の再結晶フッ化タンタル酸カリウム又は再結晶フッ化ニオブ酸カリウムを槽外に取り出すための排出口を備えていること。（４）当該槽内の上部にできる空間温度を制御する手段を備えるものである。
【００４７】
このような再結晶槽は図１において、模式的に示している。特に、本件発明に係る再結晶槽では、前記（４）として記載した要素が付加されていることが特徴である。このような手段が設けられている限り、再結晶槽自体の全体形状、各手段にどのような手法を用いるか、各手段をどのような配置で再結晶槽に取り付けるかは自在に行うことが可能であり、特に制限はない。前記空間温度を制御するための手段としては、再結晶槽上部を断熱材で囲み保温できるようにする、再結晶槽上部をヒーター加熱できるようにする等の手段を用いることが可能となる。本件発明者等は、断熱材の中にヒータを埋め込んだ形のものを採用した。このようにして、上記した製造条件の達成が可能となるのである。
【００４８】
また、本発明は、上記した製造方法で得られた高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶であって、粒径が０．１５ｍｍ〜４．０ｍｍの範囲である再結晶粒が、全再結晶重量の５０ｗｔ％以上であることを特徴とする高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶、及び上記した製造方法で得られた高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶であって、粒径が０．１５ｍｍ〜４．０ｍｍの範囲である再結晶粒が、全再結晶重量の５０ｗｔ％以上であることを特徴とする高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶に関する。
【００４９】
これは、上述したように、コンデンサーの製造に用いる高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶として非常に優れた特性を有している。これらには、細かすぎる粒子も少ないため、爆発事故を起こす危険性もなく、僅かな風で吹き飛ばされることも少なくなる。また、高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の還元処理は、高温雰囲気下で金属ナトリウムのヒュームとの接触により行われるが、適正な粒径が確保できているため還元処理時にタンタル粒又はニオブ粒が焼結するという現象をほぼ完全に解消できるのである。以下、本件発明に係る実施の形態について説明する。
【００５０】
【発明の実施の形態】
第１実施形態：  本実施形態では、図１及び図３を参照しつつ説明する。まず、粗フッ化タンタル酸カリウムの製造について説明する。粗フッ化タンタル酸カリウムは、図３の合成工程Ａにおいて、３．６リットルの高純度タンタル液（タンタル：８０ｇ／ｌ、フッ化水素含有量：３０ｇ／ｌ）に塩化カリウム結晶３６０ｇを加え、８０℃の液温で攪拌しつつ溶解させ、この溶液を室温まで冷却した後、フィルタープレスＰを用いて濾過して、粗フッ化タンタル酸カリウムを得た。
【００５１】
上述のようにして得られた粗フッ化タンタル酸カリウムは、溶解工程Ｂにおいて、再結晶溶媒としてのフッ化水素酸溶液を用いて再溶解することで、液温が６０℃、タンタル濃度２５ｇ／ｌ、カリウム濃度１０ｇ／ｌ、フッ素濃度から換算したフッ酸濃度６０ｇ／ｌの飽和フッ化タンタル酸カリウム溶液を製造した。そして、この飽和フッ化タンタル酸カリウム溶液を、次工程である再結晶化工程Ｃの再結晶槽１に送液した。送液するときの配管は断熱材で覆い、送液時に飽和フッ化タンタル酸カリウム溶液の液温低下を招かないようにした。
【００５２】
この再結晶化工程Ｃで用いた再結晶槽１は、図１に示した如き構造の再結晶槽１を用い、再結晶槽１内に注入充填した飽和フッ化タンタル酸カリウム溶液が、槽内の内部容積の全てを満たさず、上部に未充填部が出来るタイプのものを用いた。従って、図１に「空間温度制御手段」として示している部位を断熱材で覆い、且つ加熱ヒータを断熱材内部に通すことで、未充填部の空間温度の低下を防止し、空間温度の制御が可能な状態とした。ここでは、初期の空間温度を７０℃となるように制御した。
【００５３】
そして、再結晶化過程の冷却条件を第１冷却過程と第２冷却過程との２段階に分け飽和フッ化タンタル酸カリウム溶液の冷却を行った。条件（ｉ）として第１冷却過程の冷却速度１０℃／時間として液温が４０℃となる迄冷却し、それ以降液温が１０℃となるまでの第２冷却過程の冷却速度を５℃／時間とした。更に、条件（ｉｉ）として第１冷却過程の冷却速度５℃／時間として液温が４０℃となる迄冷却し、それ以降液温が１０℃となるまでの第２冷却過程の冷却速度を３℃／時間とした場合の２種類の条件を採用して再結晶フッ化タンタル酸カリウムを得たのである。
【００５４】
以上のようにして再結晶化の終了した溶液は、濾過工程ＤでフィルタープレスＰを用いることにより、生成した再結晶フッ化タンタル酸カリウムを濾別採取したのである。濾別採取された再結晶フッ化タンタル酸カリウムは、次工程である乾燥工程Ｅで、加熱乾燥炉２に入れ、１２０℃の温度で乾燥させた。
【００５５】
次には、製品品質のより一層の安全性を確保するため、篩分工程Ｆで、乾燥作業の終了した再結晶フッ化タンタル酸カリウムを５メッシュの篩３を用いて、４．０ｍｍ径以上の粗粒を取り除いた。この篩分作業を行うか否かは任意であり、製品としての要求品質に応じて行うものである。工程自体は、この篩分作業の終了した再結晶フッ化タンタル酸カリウムが、製品となる高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶となるのである。本件実施形態に係る製造方法で得られた高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶に含まれる粒径が０．１５ｍｍ〜４．０ｍｍの範囲に入る再結晶粒の占める割合を測定した。即ち、５メッシュの篩を用いた篩分作業を行った際の、篩上に残留した結晶重量を測定し、更に、１００メッシュの篩を用いた篩分作業を行い、１００メッシュの篩を通過した結晶重量を測定し、この二つの結晶重量を、乾燥直後の結晶重量を差し引き、この重量を粒径が０．１５ｍｍ〜４．０ｍｍの範囲に入る再結晶粒の占める重量と考え、乾燥直後の結晶重量中に占める割合として換算した。以下の実施形態に置いても同様である。その結果、冷却過程の条件（ｉ）を採用した結果が８９．７ｗｔ％、冷却過程の条件（ｉｉ）を採用した結果が９３．４ｗｔ％と、現在市場に流通していないレベルでの非常に良好な結果が得られている。
【００５６】
第２実施形態：  本実施形態では、図１及び図３を参照しつつ説明する。まず、粗フッ化ニオブ酸カリウムの製造について説明する。粗フッ化ニオブ酸カリウムは、図４の合成工程Ａにおいて、３．６リットルの高純度ニオブ液（ニオブ：２００ｇ／ｌ、フッ化水素含有量：２５０ｇ／ｌ）に塩化カリウム結晶３６０ｇを加え、８０℃の液温で攪拌しつつ溶解させ、この溶液を室温まで冷却した後、この溶液をフィルタープレスＰを用いて濾過して、粗フッ化ニオブ酸カリウムを得た。
【００５７】
上述のようにして得られた粗フッ化ニオブ酸カリウムは、溶解工程Ｂにおいて、再結晶溶媒としてのフッ化水素酸溶液を用いて再溶解することで、液温が６０℃、ニオブ濃度４０ｇ／ｌ、カリウム濃度５０ｇ／ｌ、フッ素濃度から換算したフッ酸濃度３００ｇ／ｌの飽和フッ化ニオブ酸カリウム溶液を製造した。そして、この飽和フッ化ニオブ酸カリウム溶液を、次工程である再結晶化工程Ｃの再結晶槽１に送液した。送液するときの配管は断熱材で覆い、送液時に飽和フッ化ニオブ酸カリウム溶液の液温低下を招かないようにした。
【００５８】
この再結晶化工程Ｃで用いた再結晶槽１は、図１に示した如き構造の再結晶槽１を用い、再結晶槽１内に注入充填した飽和フッ化ニオブ酸カリウム溶液が、槽内の内部容積の全てを満たさず、上部に未充填部が出来るタイプのものを用いた。従って、図２に「空間温度制御手段」として示している部位を断熱材で覆い、且つ加熱ヒータを断熱材内部に通すことで、未充填部の空間温度の低下を防止し、空間温度の制御が可能な状態とした。ここでは、初期空間温度を７０℃となるように制御した。
【００５９】
そして、再結晶化過程の冷却条件を第１冷却過程と第２冷却過程との２段階に分け飽和フッ化ニオブ酸カリウム溶液の冷却を行った。条件（ｉ）として第１冷却過程の冷却速度１０℃／時間として液温が４０℃となる迄冷却し、それ以降液温が１０℃となるまでの第２冷却過程の冷却速度を５℃／時間とした。更に、条件（ｉｉ）として第１冷却過程の冷却速度５℃／時間として液温が４０℃となる迄冷却し、それ以降液温が１０℃となるまでの第２冷却過程の冷却速度を３℃／時間とした場合の２種類の条件を採用して再結晶フッ化ニオブ酸カリウムを得たのである。
【００６０】
以上のようにして再結晶化の終了した溶液は、濾過工程ＤでフィルタープレスＰを用いることにより、生成した再結晶フッ化ニオブ酸カリウムを濾別採取したのである。濾別採取された再結晶フッ化ニオブ酸カリウムは、次工程である乾燥工程Ｅで、加熱乾燥炉２に入れ、１２０℃の温度で乾燥させた。
【００６１】
次には、製品品質のより一層の安全性を確保するため、篩分工程Ｆで、乾燥作業の終了した再結晶フッ化ニオブ酸カリウムを５メッシュの篩を用いて、４．０ｍｍ径以上の粗粒を取り除いた。この篩分作業の終了した再結晶フッ化ニオブ酸カリウムが、製品となる高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶となるのである。本件実施形態に係る製造方法で得られた高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶に含まれる粒径が０．１５ｍｍ〜４．０ｍｍの範囲に入る再結晶粒の占める割合を、第１実施形態の場合と同様に測定した。その結果、冷却過程の条件（ｉ）を採用した結果が８９．７ｗｔ％、冷却過程の条件（ｉｉ）を採用した結果が９３．４ｗｔ％と、現在市場に流通していないレベルでの非常に良好な結果が得られている。
【００６２】
【発明の効果】
本件発明に係る製造方法によれば、高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶を得る際の、再結晶化工程における冷却速度を２段階に分け制御することで、狙い目である粒度分布を持つ再結晶の収率を大幅に向上させることが可能となる。これにより、高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶を工業的に用いる分野、特にコンデンサ製造分野での取り扱いが容易になり、しかも、高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶を原料とする製品の生産歩留まりを飛躍的に向上させることが可能となるのである。
【図面の簡単な説明】
【図１】再結晶槽の模式断面図。
【図２】再結晶槽の模式断面図。
【図３】高純度フッ化タンタル酸カリウム結晶又は高純度フッ化ニオブ酸カリウム結晶の製造工程を表す模式図。
【符号の説明】
１    再結晶槽
２    乾燥加熱炉
３    篩
Ａ    合成工程
Ｂ    溶解工程
Ｃ    再結晶化工程
Ｄ    濾過工程
Ｅ    乾燥工程
Ｆ    篩分工程
Ｐ    フィルタープレス
【図１】
0004118527.tif 000006
【図２】
0004118527.tif 000007
【図３】
0004118527.tif 000008