(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
担体（４）と該担体を固定する把握部材（２４）とからなり、電子部品のウエハ（２）を静電気を用いて保持する把握装置において、
担体（４）が、剛性を有する平坦な素材からなっており、
該担体（４）の一方の面には、一対のシートからなる絶縁材料層（６，１０）によって両面が覆われる少なくとも一つの電極（８）が設けられており、該電極（８）は極性を異にする一対の分岐部（１２、１４）を有するＵ字形状の部分と、前記分岐部（１２、１４）に電気的に対応して極性を異にした二つの脚部状の接続部（１６、１８）とからなっており、
把握部材（２４）は、遠隔電力供給手段（２０）と前記電極（８）の接続部（１６、１８）とを接続するための電気的結合部（２６、２８）を含んでおり、
前記一方の絶縁材料層（１０）には接近窓（３０）が設けられており、
該接近窓（３０）を介して前記電気的結合部（２６、２８）と電極（８）の接続部（１６、１８）とを接続してなることを特徴とする把握装置。
【請求項２】
担体（４）がステンレス製であることを特徴とする請求項１に記載の把握装置。
【請求項３】
絶縁材料がカプトンであり、その各シート（６、１０）が電極（８）の両側の２０００Ｖｄｃを超える電気絶縁について５０μｍの厚さを有することを特徴とする請求項１に記載の把握装置。
【請求項４】
電極（８）が１０μｍの厚さの銅シートから形成されることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の把握装置。
【請求項５】
担体（４）が分岐部を有するＵ字形に形成されており、該担体（４）の分岐部は電極（８）の分岐部（１２、１４）に対応しており、前記担体（４）には前記電極（８）の接続部（１６、１８）に対応して外方へ延びる延長部分が設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の把握装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シート状材料、より詳細にはケイ素などのウエハ上の小型電子部品の取り扱い技術の分野に関する。本発明は、ウエハと呼ばれるそのような材料の把握装置を対象とする。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品の分野では、ケイ素などのウエハと呼ばれるシート状の素子が使用されている。そのようなウエハの把握について生じる問題はウエハが薄いことに由来する。より詳細には、これらのウエハが数十ミクロンから数百ミクロン程度と薄いため把握が難しくなり、ウエハの変形、さらにはウエハが支承する部品の品質低下をきたす。一般にこれらのウエハは、反対側の、電子部品を支承する能動面の変質を避けるために、受動面を介して操作される。
【０００３】
吸引によるウエハの把握技術が知られている。たとえば、ウエハはその受動面を介して減圧を伝搬するピペットの吸盤に押圧される。しかしながら技術の進歩によりウエハはさらに薄くなる傾向になり、そのためウエハの把握が次第に難しくなり、さらには吸引により上述のようにしてウエハを取り扱うことが不可能になる。また、受動面を介してしかウエハを取り扱うことができないため、どうしても、ウエハの取り扱いについての操作方法が拘束される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、ウエハを破損させたり変形させたりすることなく、またウエハが支承する電子部品を変質させる危険性なくウエハを取り扱うことが可能な、特に電子部品あるいは同様の部品の支持ウエハの把握装置を提供することである。
別の目的は、ウエハの取り扱いについての操作の可能性を増加させるために、その受動面でも能動面でもウエハを把握することができる把握装置を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、担体（４）と該担体を固定する把握部材（２４）とからなり、電子部品のウエハ（２）を静電気を用いて保持する把握装置において、
担体（４）が、剛性を有する平坦な素材からなっており、
該担体（４）の一方の面には、一対のシートからなる絶縁材料層（６，１０）によって両面が覆われる少なくとも一つの電極（８）が設けられており、該電極（８）は極性を異にする一対の分岐部（１２、１４）を有するＵ字形状の部分と、前記分岐部（１２、１４）に電気的に対応して極性を異にした二つの脚部状の接続部（１６、１８）とからなっており、
把握部材（２４）は、遠隔電力供給手段（２０）と前記電極（８）の接続部（１６、１８）とを接続するための電気的結合部（２６、２８）を含んでおり、
前記一方の絶縁材料層（１０）には接近窓（３０）が設けられており、
該接近窓（３０）を介して前記電気的結合部（２６、２８）と電極（８）の接続部（１６、１８）とを接続してなることを特徴とする。
【０００６】
本発明の目的は、上記把握装置を構成する剛性があり平坦な担体を備えるウエハの静電把握装置を提供することにある。ウエハの積極的保持装置を構成する少なくとも一つの電極が、平坦な担体の面のうちの一つに付加され、ウエハを支承する電極となる。
【０００７】
この装置は、電子部品または同様の部品のウエハを変形させることなく搬送するシステムである。本装置により、ウエハの能動面または受動面のいずれかの面による搬送も可能である。
【０００８】
これらの構成は、担体が、ウエハの品質を悪くする可能性がある凹凸がないウエハの把握表面を提供するような構成である。また、ウエハの積極的保持手段により、担体の対応する面全体に分散した、ウエハの把握のための可変出力が誘導される。その結果、把握力がウエハに均一に分布するためウエハに点応力がかかることないばかりでなく、より良くウエハを保持することができる。
【０００９】
これらの構成により、厚さが十ミクロン程度のきわめて薄いウエハも、積極的把握装置の出力源により変質したり変形したりすることなく、はさむことが可能である。また、本発明の装置により、部品が存在する場合でも部品を変質させたり変形させたりすることなく、ウエハの能動面での把握が可能になる。
【００１０】
担体の対応する表面への重ね合わせ面より画定される銅または同様の材質の電極は遠隔電源供給手段に結合され、電極は自身がもつ接続部を介して同手段に接続できることが理解できよう。
【００１１】
一方、担体は不要に厚くなり過ぎることなく適切な剛性が発揮できるよう、絶縁材質であれ導電材質であれ高い剛性をもつ材質であるのが好ましい。またこの恒温制御担体は温度を調節し制御する特性を有する。
【００１２】
より好ましくは、電極は、その接続部への少なくとも一つのアクセス窓は別として、特にカプトン（登録商標）あるいは他の任意の誘電材料による絶縁材の二つのシートの間に閉じ込められる。これらの構成は、担体との接触に関しても、または外部環境との接触に関しても電極を保護することをねらいとする。
【００１３】
ディスク状に成形されたウエハを把握するために、少なくとも電極が、そうでなければ好ましくは担体も全体として「Ｕ」字形または同様の形に成形される。この「Ｕ」字形の各分岐部は電極の分岐部に対応する。有利には、Ｕ字形のベースは、電極の各分岐部に割り当てられた二つの脚部状の接続により延長される。なお、電極の形状および電極の分岐部間の配置は特に、積極的保持手段の出力をウエハの表面に最適に分布させるようにして、支持するウエハの形状によって決まる。
【００１４】
本発明の範囲から逸脱することなく、担体および／または電極の他のあらゆる幾何学的形状が可能であることは勿論である。
【００１５】
好適実施形態によれば、本発明の装置を操作するために、同装置に、アームなど担体の把握のための装置が追加される。この操作は手動操作であっても自動化された操作であってもよいことに留意すべきである。
この担体の把握装置は、リベット留めなどによる担体の固定手段と、温度制御装置と、電気エネルギーを伝搬し、遠隔電源から電極に至るまでの担体上にウエハが存在することを確認する装置とを含み、これらの手段はたとえば上述の窓を通して電極の電源接続部に接続することができる。
【００１６】
本発明をよりよく理解するため、添付の図面を参照して、好適実施形態について詳細に説明する。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１において、ウエハ２を把握するための本発明の装置は、
ａ）  特にステンレス、あるいはセラミック製の絶縁材料またはその他の材質の、剛性があり平坦な担体４を設ける、
ｂ）  カプトンあるいはその他の誘電材料など第一絶縁材料層６を設ける、
ｃ）  銅または同様の材料の電極８を設ける、
ｄ）  カプトンなど第二絶縁材料層１０を設ける、
上記ａ〜ｄの構成を有する層状装置である。
【００１８】
第一カプトン層６は担体４に接着され、電極８が二つのカプトン層６、１０の間に挟まれ、把握時、第二絶縁材料層１０は取り扱うウエハ２と接触している。
【００１９】
本装置が支承する担体４と電極８はＵ字形に成形される。
Ｕ字形部分の各分岐は、電極８の各分岐１２および１４に対応し、電極の接続部１６および１８により遠隔電源２０まで延長されている。
【００２０】
担体４はウエハ２の良好な把握を得るために適当なあらゆる幾何学的形状をもつことができる。
【００２１】
電極８は、担体ならびに絶縁材シートの形状に適合した形状を有する。
この実施例では電極８は、（Ｎ＋１）個の素子で構成される。
【００２２】
担体４は、リベット止め部２２により把握アーム２４の端部に固定される。
このアーム２４は、電極８と遠隔電源２０の間の電気的結合部２６および２８を含む。
電極８を覆う第二絶縁材料層１０は、電極８の接続部への接近窓３０を含むことに留意されたい。
電極８の接続部１６、１８と、アーム２４が含む対応する電気的結合部２６および２８との間の接触が可能になるよう、これらの窓３０が設けられている。
【００２３】
例として示した本発明の装置の好ましい特徴をいくつか示す。
特に、担体４に関しては、十分な剛性を確保しながらできるだけ薄くするために、使用するステンレスは３１６Ｌと呼ばれるタイプである。さらに、担体４については０．０１％程度の平面性が望ましい。
電極８ならびに絶縁材料のシート６および１０で構成される全体の厚さは１１０μｍプラスマイナス１０μｍ程度である。
カプトンの絶縁フィルム６および１０により、電極８の両側で２０００Ｖｄｃを上回る電気的絶縁が保証される。この目的のため、上記絶縁フィルムはそれぞれ５０μｍ程度の同じ厚さを有する。なお電極８は１０μｍ程度の厚さの銅またはその他の導電材料のシートから形成される。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の好ましい実施形態による装置の分解斜視図である。
【図２】  組み付けられ操作アームに固定された図１に示す装置の分解斜視図である。
【図３】  同組付けた状態の斜視図である。
【符号の説明】
４              担体
６              第一絶縁材料層
８              電極
１０              第二絶縁材料層
１６、１８        接続部
２０              遠隔電力供給手段
２２              担体の固定手段
２４              担体を把握するための装置
２６、２８        電気的結合部
３０              接近窓
【図１】
0004155823.tif 000002
【図２】
0004155823.tif 000003
【図３】
0004155823.tif 000004