(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルを備え、ペーストを収納した容器を有し、ノズルから吐出されたペーストを基板に塗布するペースト塗布装置において、
前記基板を載置するステージと、
前記容器を着脱可能に構成された保持機構と、
この保持機構に装着された容器のノズルと前記基板とが基板面に沿って相対移動するように、前記ステージまたは前記保持機構の少なくともいずれか一方を移動可能に構成された移動機構と、
前記保持機構に装着された容器に配管を介して連結され、前記ノズルからのペースト吐出量を制御可能な吐出量制御部と、
前記保持機構との間で前記容器を授受可能に構成された受け渡し機構と、
前記配管を介して接続される前記容器と前記吐出量制御部との間を接続、分離可能に構成された着脱機構と、
この着脱機構による前記配管の着脱操作と、前記受け渡し機構による前記容器の授受操作とを制御可能に構成された制御手段とを具備し、
前記容器は、前記ノズルが同軸に配置される端部を有する円筒容器であり、下方に当接面を向けた段落部と、上方に係止面を向けた係止部とを有し、
前記保持機構は、前記段落部の当接面に当接する段部を備えて前記円筒容器を径方向から把持する把持部と、前記係止部の係止面を係止して前記当接面を前記段部に当接させるストッパとを有することを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項２】
前記配管は、前記円筒容器に対し、前記ストッパの係止方向に着脱自在な連結部を有することを特徴とする請求項１記載のペースト塗布装置。
【請求項３】
前記受け渡し機構は、２個の前記容器を同時に保持可能に構成されたことを特徴とする請求項１または２に記載のペースト塗布装置。
【請求項４】
前記ステージの近接位置に、または前記ステージ自体に、前記容器を収納するストッカを設けたことを特徴とする請求項１乃至３のうちのいずれか１項に記載のペースト塗布装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記容器内に収納された前記ペーストの消費状態に基づいて、前記受け渡し機構による前記容器の授受操作、及び前記着脱機構による前記配管の着脱操作の要否を判別するように構成されたことを特徴とする請求項１記載のペースト塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板表面にペーストを塗布するペースト塗布装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示パネル等の製造過程では、液晶を挟む２枚のガラス基板が貼り合わされるが、その貼り合わせを行うために、一方のガラス基板の対向面に、接着剤であるペーストの塗布が行われる。
【０００３】
図１１は、搬送ロボットにより搬送されてくるガラス製の基板を受け取り、基板面にペーストを塗布描画する従来のペースト塗布装置の構成配置図で、図１２は図１１に示したペースト塗布装置の拡大斜視図である。
【０００４】
図１１に示すように、供給台１上に順次搬送供給されてくる基板２は、搬送ロボット３に吸着保持され、搬送ラインである図示矢印Ｘ方向に搬送されつつ、２台ずつ対向配置されたペースト塗布装置４１〜４４の各ステージ４Ａ上に順次供給される。
【０００５】
搬送ライン（Ｘ方向）に面して、４台ものペースト塗布装置４１〜４４を配置したのは、ペースト塗布工程におけるスループットタイムと他の工程におけるスループットタイムとの間に整合性を持たせて、組立て製造全体の生産性を高めるためである。
【０００６】
図１１では、４台のペースト塗布装置４１〜４４はいずれも同じ構成からなるので、１台のペースト塗布装置４１のみの要部構成を示し、他の装置の要部は省略して示している。
【０００７】
図１２はペースト塗布装置４１等の要部構成を拡大して示した斜視図で、ステージ４Ａの上面部には、図示しないが、吸着盤と上下方向（図１２に示す矢印Ｚ方向）に移動可能な複数個のピンとを有していて、上昇したピンが搬送ロボット３から基板２を受け取って降下し、その降下した基板２を吸着盤が吸着保持するように構成されている。
【０００８】
ステージ４Ａは、Ｘ−Ｙ−θ移動機構４Ｂのθ（旋回）機構に固定され、またそのθ機構はＹ軸移動機構４Ｂ１上に固定されていて、このＹ軸移動機構４Ｂ１は、Ｘ軸移動機構４Ｂ２上に固定されている。そして、Ｘ−Ｙ−θ移動機構４Ｂ全体は、テーブル（架台）４Ｃ上に設置されている。
【０００９】
ステージ４Ａは、基板２の受け渡し時は搬送ロボット３近くに前進移動し、基板２のペースト塗布作業時には搬送ロボット３から退避するように後退移動する。
【００１０】
ペースト塗布作業開始に先立ち、ステージ４Ａに吸着保持された基板２は、２個のシリンジ４Ｄ１，４Ｄ２を搭載したヘッド機構４Ｄとの間で基準位置合わせが行われる。２個のシリンジ４Ｄ１，４Ｄ２はいずれもペーストを収納した容器であり、２個のシリンジ４Ｄ１，４Ｄ２の間隔は、多面取りの基板（１枚に同一品種の基板（子基板）を複数形成した基板）２における各子基板のＸ方向の配列ピッチに対応する。
【００１１】
ステージ４Ａ上に載置された基板２自体は、搬送ロボット３からの受け渡し操作により、Ｘ−Ｙ−θ方向にすでに多少の位置ずれを生じていることが多い。
【００１２】
図１１に示したように、ヘッド機構４Ｄの各シリンジ４Ｄ１，４Ｄ２にはＣＣＤカメラ４Ｄ３，４Ｄ４がそれぞれ対応して取り付けられ、そのＣＣＤカメラ４Ｄ３，４Ｄ４により撮影された基板２のアライメントマークの撮影画面が制御器４Ｅに供給される。そこで、制御器４Ｅにおけるパターン認識に基づく制御により、基板２の位置補正が行われる。
【００１３】
基板２の位置補正が行われた後は、制御器４Ｅのプログラム制御により、各シリンジ４Ｄ１，４Ｄ２のノズル先端におけるペースト吐出量の制御が行われつつ、基板２面にペーストパターンが形成される。図１１及び図１２に示したように、制御器４Ｅには、モニタディスプレイ４Ｆ及びキ−ボ−ド４Ｇが接続されていて、作業員は、キーボート４Ｇの操作により、基板２へのペースト塗布作業を調整操作することができる。
【００１４】
ペーストが塗布された基板２は、搬送ロボット３側に向けて前進移動して搬送ロボット３に引き渡され、基板２を受け取った搬送ロボット３は、次の導電ペースト塗布工程等へと引き渡すべく、図１１に示した搬出台５に供給する。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、ペースト塗布装置は、制御器４ＥによるＸ−Ｙ−θ移動機構４Ｂ及び各シリンジ４Ｄ１，４Ｄ２に対するプログラム制御により、ノズルからのペースト吐出量が制御され、基板２上に所定のペーストパターンが塗布形成される。
【００１６】
ペースト塗布が行われ、空になった各容器、すなわちシリンジ４Ｄ１，４Ｄ２は、従来は、作業員の手作業によりヘッド機構４Ｄから取り外され、ペーストが充填された他のシリンジとの交換が行われていた。
【００１７】
基板の大型化が進展する昨今、一枚の基板で消費されるペースト量も増大するが、ペースト固有の性質から装置毎に予め大量のペーストを用意しておくことができないことから、容器の交換回数が増加し、それが作業員の負担増となったので改善が要望されていた。
【００１８】
そこで、本発明は、容器の交換作業の自動化を図り、作業員の負担軽減を可能としたペースト塗布装置を提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
そこで本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたものであり、ノズルを備え、ペーストを収納した容器を有し、ノズルから吐出されたペーストを基板に塗布するペースト塗布装置において、前記基板を載置するステージと、前記容器を着脱可能に構成された保持機構と、この保持機構に装着された容器のノズルと前記基板とが基板面に沿って相対移動するように、前記ステージまたは前記保持機構の少なくともいずれか一方を移動可能に構成された移動機構と、前記保持機構に装着された容器に配管を介して連結され、前記ノズルからのペースト吐出量を制御可能な吐出量制御部と、前記保持機構との間で前記容器を授受可能に構成された受け渡し機構と、前記配管を介して接続される前記容器と前記吐出量制御部との間を接続、分離可能に構成された着脱機構と、この着脱機構による前記配管の着脱操作と、前記受け渡し機構による前記容器の授受操作とを制御可能に構成された制御手段とを具備し、前記容器は、前記ノズルが同軸に配置される端部を有する円筒容器であり、下方に当接面を向けた段落部と、上方に係止面を向けた係止部とを有し、前記保持機構は、前記段落部の当接面に当接する段部を備えて前記円筒容器を径方向から把持する把持部と、前記係止部の係止面を係止して前記当接面を前記段部に当接させるストッパとを有することを特徴とする。
【００２０】
このように、本発明によれば、受け渡し機構と着脱機構を備え、制御手段による受け渡し機構の制御により保持機構との間の容器の授受が行われ、また制御手段による着脱機構の制御により容器と吐出量制御部との間の着脱が行われるように構成されたので、容器交換作業の自動化が可能となり、作業員の負担を大幅に軽減することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明によるペースト塗布装置の一実施の形態を図１ないし図１０を参照して詳細に説明する。なお、図１１及び図１２に示した従来のペースト塗布装置と同一構成には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００２２】
図１は、本発明によるペースト塗布装置の第１の実施の形態を複数台配置した要部構成図で、図２は図１に示したペースト塗布装置の拡大斜視図である。
【００２３】
すなわち、図１に示すように、供給台１上に順次搬送供給されてくる基板２は、従来と同様に、搬送ロボット３のアーム３ａに吸着保持され、θ（旋回）方向への回転及び搬送ライン（矢印Ｘ）方向への搬送移動により、４台のペースト塗布装置４１〜４４に順次供給される。
【００２４】
各ペースト塗布装置４１〜４４は、基板２を受取り載置するステージ４Ａとそのステージ４Ａを組み込んだＸ−Ｙ−θ移動機構４Ｂとを備えている。
【００２５】
ステージ４Ａは、従来と同様に、Ｘ−Ｙ−θ移動機構４Ｂの旋回可能なθ機構を介してＹ軸移動機構４Ｂ１上に固定され、このＹ軸移動機構４Ｂ１はＸ軸移動機構４Ｂ２上に固定されている。
【００２６】
このように、Ｘ−Ｙ−θ移動機構４Ｂのθ機構は、Ｘ−Ｙ−θ移動機構４ＢのＹ軸移動機構４Ｂ１に設けられているので、Ｘ−Ｙ−θ移動機構４Ｂは、制御器４ＨによるＹ軸移動機構４Ｂ１の制御により、基板２の受け渡し位置までの搬送ロボット３側に向けた前進移動と、搬送ロボット３側から退避して、塗布作業位置までの後退移動とを行うことができる。
【００２７】
ステージ４Ａには、従来と同様に、その面上にピン及び吸着盤が装着されていて、基板２を複数個のピン上に受取り載置した後降下し、その降下した基板２を吸着盤が吸着保持する。反対に、基板２を搬送ロボット３に受け渡す際には、その逆の動作を行う。
【００２８】
図２にも示すように、この実施の形態のペースト塗布装置では、テーブル（架台）４Ｃ上に、Ｘ−Ｙ−θ移動機構４Ｂとともに、ペーストを収納した２個の容器、すなわちシリンジ４Ｊ１，４Ｊ２を着脱可能に構成された保持機構４Ｋが設置されている。
【００２９】
ステージ４Ａ上に載置された基板２は、制御器４Ｈによるプログラム制御によりシリンジ４Ｊ１，４Ｊ２のノズルとの間で相対移動するので、ノズルから吐出されたペーストにより、その基板面にペーストパターンが形成される。
【００３０】
図１及び図２に示すように、この実施の形態のペースト塗布装置は、基板２面に同時に２個のシリンジ４Ｊ１，４Ｊ２のノズルからペーストを吐出して塗布できるように構成されているが、保持機構４Ｋに搭載された各シリンジ４Ｊ１，４Ｊ２は共に同じ構成からなるので、以下の説明では、一方のシリンジ４Ｊ１の構成について説明し、他方の構成の説明は省略する。
【００３１】
すなわち、この実施の形態のペースト塗布装置では、受け渡し機構を構成したロボット機構４Ｌが、ペーストを収納したシリンジ４Ｊ１の保持機構４Ｋへの受け渡し、またペーストが消費されて空になったシリンジ４Ｊ１を保持機構４Ｋから受け取ることができるように構成されている。
【００３２】
図３は、シリンジ４Ｊ１が保持機構４Ｋの保持部本体４Ｋ１に装着された状態を示した拡大斜視図で、ノズル４Ｊａを同軸的に装着しペーストを中に収納した円筒容器状のシリンジ４Ｊ１は、保持機構４Ｋの保持部本体４Ｋ１に着脱自在に装着され、シリンジ４Ｊ１を保持した保持部本体４Ｋ１は矢印Ｘ方向に移動可能に構成されている。
【００３３】
すなわち、保持機構４Ｋの保持部本体４Ｋ１には、矢印Ｘ方向に開閉して、シリンジ４Ｊ１を把持自在に構成された一対のアーム４Ｋ２ａ，４Ｋ２ｂが装着され、アーム４Ｋ２ａ，４Ｋ２ｂ間に挟まれて把持されたシリンジ４Ｊ１は配管４Ｍを介して、不図示のポンプに接続された吐出量制御部４Ｎ（図１，図２に示す）に連結されている。従って、保持部本体４Ｋ１の一対のアーム４Ｋ２ａ，４Ｋ２ｂは把持部を構成し、閉動作により、円筒状のシリンジ４Ｊ１に対しその径方向で挟み込んで把持する。
【００３４】
吐出量制御部４Ｎは制御器４Ｈに接続され、基板２に対するペースト塗布のタイミングに合わせて、シリンジ４Ｊ１のノズル４Ｊａから適正量のペーストが吐出されるように圧力制御を行なう。
【００３５】
図３は、配管４Ｍを接続したシリンジ４Ｊ１が、保持部本体４Ｋ１に把持された状態を示したものであるが、図３に加えて、図１，図２及び図４ないし図７を参照して、ロボット機構４Ｌにより、シリンジ４Ｊ１が保持部本体４Ｋ１に受け渡され、把持される手順を以下説明する。
【００３６】
すなわち、図４は、ロボット機構４Ｌに保持されたシリンジ４Ｊ１が保持部本体４Ｋ１に装着される手順を説明する要部拡大分解図で、図１，図２にも示したように、ロボット機構４Ｌは、その搬送アーム４Ｌａの先端部に保持部４Ｌｂが連結されて構成され、その保持部４Ｌｂに保持されたシリンジ４Ｊ１は、図４に示す矢印Ｘ１に沿って搬送された後、矢印Ｚ１方向に降下して、開かれた一対のアーム４Ｋ２ａ，４Ｋ２ｂ間に挿入される。挿入されたシリンジ４Ｊ１は、一対のアーム４Ｋ２ａ，４Ｋ２ｂの閉動作により、保持部本体４Ｋ１に把持固定される。
【００３７】
シリンジ４Ｊ１は、図３あるいは図４に示すように、上端部に係止部を構成した鍔部４Ｊｂを有し、また下方には当接面４Ｊｄを形成した段落部を備えている。そこで、保持部本体４Ｋ１に把持されたシリンジ４Ｊ１は、上端部の係止部上面（係止面）が、保持部本体４Ｋ１側から移動して横方向に突出したストッパ４Ｋ３ａ，４Ｋ３ｂによって押さえ込まれるので、当接面４Ｊｄを形成した段落部が一対のアーム４Ｋ２ａ，４Ｋ２ｂの段部４Ｋ２ｃに当接して、軸方向すなわち上下方向においても安定支持される。
【００３８】
そこで、シリンジ４Ｊ１の鍔部４Ｊｂには開口部４Ｊｃが形成されていて、その開口部４Ｊｃにペースト供給用の配管４Ｍが着脱自在に連結接続される。
【００３９】
すなわち、図５（ａ）の要部右側面図、及びそのＡ−Ａ矢視断面図を図５（ｂ）に示すように、保持部本体４Ｋ１には別途、配管係止部４Ｋ１１が設けられ、その配管係止部４Ｋ１１には、配管４Ｍが一時的に係止されていて、ロボット機構４Ｌの保持部４Ｌｂが配管４Ｍを捕捉して配管係止部４Ｋ１１から取り外し、配管Ｍの連結部をシリンジ４Ｊ１の開口部４Ｊｃに装着する。
【００４０】
シリンジ４Ｊ１内のペーストが消費されたときは、上記と逆の手順で、新たなシリンジと交換される。
【００４１】
なお、この実施の形態では、ロボット機構４Ｌによるシリンジ４Ｊ１，４Ｊ２の交換作業の効率化のために、図１及び図２に示したように、テーブル４Ｃ上にストッカ４Ｐが設けられ、使用済みで空になって交換されたシリンジ、及び新たな交換用のシリンジを一時的に止め置くことができるように構成されている。
【００４２】
なお、ストッカ４Ｐは、図１及び図２に示したようにステージ４Ａ近くに設けても良く、あるいはステージ４Ａ上に直接設けても良い。
【００４３】
以上説明のように、本実施の形態におけるロボット機構４Ｌは、保持部本体４Ｋ１との間でシリンジ４Ｊ１の受け渡しを行なう受け渡し機構と、シリンジ４Ｊ１に対する配管４Ｍの着脱を行うことで、シリンジ４Ｊ１と吐出量制御部４Ｎとの間を接続、分離する着脱機構を兼ね得るように構成されている。
【００４４】
次に、保持部本体４Ｋ１の詳細構成を図６及び図７を参照して説明する。図６は図３及び図５に示した構成における要部正面図であり、図７（ａ）は図６のＡ−Ａ矢視断面図、図７（ｂ）は図６のＢ−Ｂ矢視断面図である。
【００４５】
すなわち、図６に示すように、保持部本体４Ｋ１内ではそれぞれアーム４Ｋ２ａ，４Ｋ２ｂに連なるＬ字状の各螺接部４Ｋ２ｄ，４Ｋ２ｄが対向し、各螺接部４Ｋ２ｄ，４Ｋ２ｄ間には、サーボモータ４Ｋ２ｅによって回転する歯車４Ｋ２ｆがかみ合わされており、制御器４Ｈによるサーボモータ４Ｋ２ｅの回転制御により、アーム４Ｋ２ａ，４Ｋ２ｂは開閉動作を行う。
【００４６】
また、ストッパ４Ｋ３ａ，４Ｋ３ｂは、シリンダ４Ｋ３ｃの操作によって前進及び後退可能に組み込まれているので、同様に制御器４Ｈによるシリンダ４Ｋ３ｃの駆動制御により、上述のように、シリンジ４Ｊ１に対し上方からの押さえ込み、及び開放が可能である。
【００４７】
従って、シリンジ４Ｊ１，４Ｊ２内のペーストが消費され、新たなシリンジとの交換が必要となったときには、制御器４Ｈによるロボット機構４Ｌの制御とともに、サーボモータ４Ｋ２ｅやシリンダ４Ｋ３ｃの制御により、配管４Ｍの取り外し、及び保持機構４Ｋからのシリンジ４Ｊ１，４Ｊ２の取り外しが行われる。
【００４８】
なお、上記説明のように、ロボット機構４Ｌは、配管４Ｍをシリンジ４Ｊ１の開口部４Ｊｃに着脱操作を行うものであるが、開口部４Ｊｃに着脱される配管４Ｍ先端の連結部には、その外周に沿うようにＯリング４Ｍａがはめ込まれ、配管４Ｍがシリンジ４Ｊ１に密に連結されるように構成されている。
【００４９】
従って、配管４Ｍの着脱では、かなりの力が作用するが、容器であるシリンジ４Ｊ１，４Ｊ２は、径方向にアーム４Ｋ２ａ，４Ｋ２ｂで把持されるだけでなく、段部４Ｋ２ｃとストッパ４Ｋ３ａ，４Ｋ３ｂとにより、把持方向に直交する方向でも強固に保持されるので、配管４Ｍの着脱操作を経ても、ノズル４Ｊａ先端の高さ位置が再現性良く安定し、基板２とノズル４Ｊａ先端部との間の間隔を高精度に保持して良好にペースト塗布可能である。
【００５０】
なお、図１及び図２に示したように、ロボット機構４Ｌは、基板２の搬送方向（Ｘ方向）の天井に沿ってガイドレール４Ｌｃが敷設されている。従って、ロボット本体４Ｌｄは、そのこのガイドレール４Ｌｃに沿い移動して、矢印Ｘ方向に配置された複数台のペースト塗布装置４１，４２の各保持機構４Ｋに対し、容器（シリンジ４Ｊ１，４Ｊ２）の受け渡しが可能である。
【００５１】
また、保持機構４Ｋに装着された容器が空になったかどうか、あるいは容器中のペースト量が残り少なくなり、新たな容器との交換が必要となったか否かの判断は、たとえば制御器４Ｈが基板２に対するペースト塗布枚数をカウントし、予め設定された枚数に到達したか否か判定し、予め設定された枚数に到達したとき、容器の交換時期に到達したとして、自動的に容器の交換作業に移行するように制御する。もちろん、容器の交換時期を作業員が判断し、制御器４Ｈに容器の交換指示を入力することもできる。
【００５２】
以上説明のように、この実施の形態のペースト塗布装置によれば、ペースト塗布作業の過程において、受け渡し機構及び着脱機構を構成したロボット機構により空の容器を自動的に交換し得るので、従来のように、作業員が逐一、容器を持ち運びして交換する必要がなくなり、作業員の負担は軽減され、ペースト塗布工程における効率向上を図ることができる。
【００５３】
なお、上記実施の形態では、単一のロボット機構４Ｌが、容器（シリンジ４Ｊ１，４Ｊ２）の交換操作と配管４Ｍの着脱操作とを順次行なうものとして説明したが、両操作を分離し、容器交換用のロボット機構（受け渡し機構）と配管４Ｍ着脱用のロボット機構（着脱機構）とをそれぞれ独立に構成しても、あるいは単一のロボット機構４Ｌが、容器の交換と配管４Ｍの着脱とを同時に行うように構成しても、同様な作用効果を得ることができる。
【００５４】
すなわち、たとえば、図８の要部右側面図に示したように、保持部本体４Ｋ１に設けたエアシリンダ４Ｋ１ａの作動により、配管４Ｍを保持した連結具４Ｋ１ｂが案内レール４Ｋ１ｃに沿い矢印Ｙ方向に上下動して、配管４Ｍを保持部本体４Ｋ１に固定された容器（シリンジ４Ｊ１）に着脱できるように構成しても良い。もっとも、図８に示した構成によれば、シリンジ４Ｊ１から引き抜いた配管４Ｍを一時的に係止させておくために、保持部本体４Ｋ１に設けた配管係止部４Ｋ１１（図５参照）は必要としなくなる。
【００５５】
あるいはまた、図９に示したように、シリンジ４Ｊ１には予め中継用配管４Ｍ１が連結されていて、単一のロボット機構４Ｌによる保持部本体４Ｋ１への着脱操作と、配管４Ｍ１と保持部本体４Ｋ１に設けられた配管受け部４Ｍ２への着脱操作とが同時に行われるように構成することができる。ただし、このときの搬送アーム４Ｌａの動きは、図４等に示した他の場合とは異なり、単に図示矢印Ｘ方向すなわち水平方向への移動により、保持部本体４Ｋ１側に対する容器（シリンジ４Ｊ１）並びに中継用配管４Ｍ１の着脱が同時に行われる。従ってまた、その着脱操作に同期して、アーム４Ｋ２ｂ（４Ｋ２ａ）の開閉動作、及びストッパ４Ｋ３ｂ（４Ｋ３ａ）のスライド動作も行われる。
【００５６】
さらにまた、上記一実施の形態では、説明上、ロボット機構４Ｌは１個の容器４Ｊ１を把持するものとして説明したが、たとえば図１０にその要部平面図を示したように、複数個（図では２個）の保持部４Ｌｂが設けられ、図示矢印Ｙ１，Ｙ２方向に開閉して、各容器（シリンジ４Ｊ１，４Ｊ２）をそれぞれ把持できるように構成しても良い。このような複数個の保持部４Ｌｂを備えることによって、使用済みの容器やペーストが収納された容器を同時に搬送して、容器の交換作業を効率的に行うことができる。
【００５７】
また、ロボット機構４Ｌが取り扱うシリンジ４Ｊ１は、同一の外径のものでも異なる外径のものでもよい。なお、異なる外径のシリンジ４Ｊ１を保持する場合には、保持部４Ｌｂにそれぞれ異なる外径のシリンジ４Ｊ１を保持可能な構成を採用するとよい。具体的にはたとえば、径が大なるシリンジ４Ｊ１と径が小なるシリンジ４Ｊ１の２種のシリンジ４Ｊ１を取り扱う場合には、保持部４Ｌｂに、径が大なるシリンジ４Ｊ１に対応する大きさの曲率を有する凹部と径が小なるシリンジ４Ｊ１に対応する大きさの曲率を有する凹部とをそれぞれ形成しておき、径が大なるシリンジ４Ｊ１をその外径に対応する凹部で保持し、径が小なるシリンジ４Ｊ１をその外径に対応する凹部で保持する。
【００５８】
また、この実施の形態では、Ｘ−Ｙ−θ移動機構４Ｂにより基板２を移動させながらペーストを塗布する例で説明したが、保持機構４ＫにＸ−Ｙ移動機構を設け、ノズル４Ｊａを移動させながらペーストを塗布するようにしても良い。
【００５９】
また、本発明は、線状にパターンを描画するペースト塗布装置に限らず、点状にペーストを塗布するペースト塗布装置にも適用可能である。
【００６０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のペースト塗布装置によれば、ペースト交換作業を機械的にまた自動的に行うことができるので、作業員の負担は軽減されるとともに塗布作業の効率化を図ることができ、実用に際し顕著な効果を発揮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による一実施の形態のペースト塗布装置の構成配置図である。
【図２】図１に示したペースト塗布装置の拡大斜視図である。
【図３】図２に示した装置の要部拡大斜視図である。
【図４】図３に示した装置において、容器の交換手順を説明するための分解斜視図である。
【図５】図５（ａ）は配管係止部を設けた図２に示す装置の要部右側面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図６】図３に示した部分の要部正面図である。
【図７】図７（ａ）は図６のＡ−Ａ矢視断面図、図７（ｂ）は図６のＢ−Ｂ矢視断面図である。
【図８】図２に示した実施の形態における他のロボット機構を示す要部右側面図である。
【図９】図２に示した実施の形態におけるさらに他のロボット機構を示す要部右側面図である。
【図１０】図２に示した実施の形態におけるロボット機構の他の搬送アームを示す要部右側面図である。
【図１１】従来のペースト塗布装置の構成配置図である。
【図１２】図１１に示したペースト塗布装置の拡大斜視図である。
【符号の説明】
１  供給台
２  基板
３  搬送ロボット
４１〜４４  ペースト塗布装置
４Ａ  ステージ
４Ｂ  Ｘ−Ｙ−θ移動機構（移動機構）
４Ｃ  テーブル
４Ｄ  ヘッド機構
４Ｄ１，４Ｄ２  シリンジ
４Ｅ  制御器
４Ｈ  制御器（制御手段）
４Ｊ１，４Ｊ２  シリンジ（容器，円筒容器）
４Ｊａ  ノズル
４Ｊｂ  係止部
４Ｊｄ  当接面
４Ｋ  保持機構
４Ｋ２ｃ  段部
４Ｋ３ａ，４Ｋ３ｂ  ストッパ
４Ｌ  ロボット機構（受け渡し機構、着脱機構）
４Ｍ  配管
４Ｍａ  Ｏリング（連結部）
４Ｎ  吐出量制御部
４Ｐ  ストッカ
５  搬出台
【図１】
0004037157.tif 000002
【図２】
0004037157.tif 000003
【図３】
0004037157.tif 000004
【図４】
0004037157.tif 000005
【図５】
0004037157.tif 000006
【図６】
0004037157.tif 000007
【図７】
0004037157.tif 000008
【図８】
0004037157.tif 000009
【図９】
0004037157.tif 000010
【図１０】
0004037157.tif 000011
【図１１】
0004037157.tif 000012
【図１２】
0004037157.tif 000013