(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に電子銃から電子線を照射して、その試料から発生する情報信号を検出する電子顕微鏡の監視方法において、
クライアントの複数の電子顕微鏡のそれぞれの稼動状態を示す画像を、クライアント端末およびネットワークを介してサービスサーバに入力し、稼動状態を示す画像の中から電子銃用電源のエミッション電流および引き出し電圧またはタングステン熱電子放射型電子銃やＬａＢ６型熱電子銃の場合におけるバイアス電圧（以下単に「引き出し電圧」という。）を抽出して時間軸に対するエミッション電流および引き出し電圧の時々刻々の現在値データを画面表示し、
当該画面には、エミッション電流についての使用限界値および引き出し電圧についてのそれぞれの使用限界値を画面表示し、
前記現在値データのエミッション電流の変動速さの現在値からエミッション電流についての前記使用限界値までの電子発生チップの推定余寿命を求め、また引き出し電圧の変動速さの現在値から引き出し電圧についての前記使用限界値までの電子発生チップの推定余寿命を求め、いずれかの推定余寿命で早く発生する推定余寿命までの到達時間情報をクライアント端末に出力すること
を特徴とする電子顕微鏡の電子銃監視方法。
【請求項２】
試料に電子銃から電子線を照射して、その試料から発生する情報信号を検出する電子顕微鏡の監視方法において、
クライアントの複数の電子顕微鏡のそれぞれの稼動状態を示す画像を、クライアント端末およびネットワークを介してサービスサーバに入力し、稼動状態を示す画像の中から電子銃用電源のエミッション電流を抽出して時間軸に対するエミッション電流の時々刻々の現在値データを画面表示し、
当該画面には、エミッション電流についての使用限界値についての使用限界値を画面表示し、
前記現在値データのエミッション電流の変動速さの現在値からエミッション電流についての前記使用限界値までの電子発生チップの推定余寿命を求め、推定余寿命までの到達時間情報をクライアント端末に出力すること
を特徴とする電子顕微鏡の電子銃監視方法。
【請求項３】
試料に電子銃から電子線を照射して、その試料から発生する情報信号を検出する電子顕微鏡の監視方法において、
クライアントの複数の電子顕微鏡のそれぞれの稼動状態を示す画像を、クライアント端末およびネットワークを介してサービスサーバに入力し、稼動状態を示す画像の中から電子銃用電源の引き出し電圧またはタングステン熱電子放射型電子銃やＬａＢ６型熱電子銃の場合におけるバイアス電圧（以下単に「引き出し電圧」という。）を抽出して時間軸に対する引き出し電圧の時々刻々の現在値データを画面表示し、
当該画面には、引き出し電圧についての使用限界値を画面表示し、
前記現在値データの引き出し電圧の変動速さの現在値から引き出し電圧についての前記使用限界値までの電子発生チップの推定余寿命を求め、推定余寿命までの到達時間情報をクライアント端末に出力すること
を特徴とする電子顕微鏡の電子銃監視方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかにおいて、
電子発生チップの推将交換時期を合わせてクライアント端末に出力することを特徴とする電子顕微鏡の電子銃監視方法。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかにおいて、
前記電子銃用電源のエミッション電流と引き出し電圧またはタングステン熱電子放射型電子銃やＬａＢ６型熱電子銃の場合におけるバイアス電圧（単に「引き出し電圧」という。）の比（Ｉｅ／Ｖｅｘｔ）またはその逆比（Ｖｅｘｔ／Ｉｅ）を求めて、時間軸に対する時々刻々の現在値データを画面表示することを特徴とする電子顕微鏡の電子銃監視方法。
【請求項６】
前記電子銃用電源において、熱電子放射型電子銃の場合は、エミッション電流を抽出して時間軸に対するエミッション電流の時々刻々の現在値データを画面表示し、電子発生チップの推定余寿命を求める際、エミッション電流が流れていない状態（０ｍＡ）か、または所定値の範囲外であることを表示した場合、フィラメントの断線もしくはフィラメント取付け不備と判断し、断線もしくはフィラメント取付け不備を知らしめる内容をクライアント端末に出力することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の電子顕微鏡の電子銃監視方法。
【請求項７】
前記電子銃用電源において、熱電界放出型電子銃（ショットキーエミッション型電子銃含む）の場合は、フィラメント電流を抽出して、フィラメント電流が流れていない状態（０ｍＡ）か、または所定値の範囲外であることを表示した場合、フィラメントの断線もしくはフィラメント取付け不備と判断し、断線もしくはフィラメント取付け不備を知らしめる内容をクライアント端末に出力することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の電子顕微鏡の電子銃監視方法。
【請求項８】
前記電子銃用電源において、タングステン冷陰極チップを使用した電界放出型電子銃の場合は、フラッシング時の前記タングステン冷陰極チップのフィラメント電流を抽出して、フィラメント電流が流れていない状態（０ｍＡ）か、または所定値の範囲外であることを表示した場合、フィラメントの断線もしくはフィラメント取付け不備と判断し、断線もしくはフィラメント取付け不備を知らしめる内容をクライアント端末に出力することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の電子顕微鏡の電子銃監視方法。
【請求項９】
試料に電子銃から電子線を照射して、その試料から発生する情報信号を検出する電子顕微鏡において、
クライアントの複数の電子顕微鏡のそれぞれの稼動状態を示す画像を、クライアント端末およびネットワークを介してサービスサーバに入力する入力手段と、稼動状態を示す画像の中から電子銃用電源のエミッション電流および引き出し電圧またはタングステン熱電子放射型電子銃やＬａＢ６型熱電子銃の場合におけるバイアス電圧（以下単に「引き出し電圧」という。）を抽出する抽出手段と、エミッション電流および引き出し電圧を時間軸に対するエミッション電流および引き出し電圧の時々刻々の現在値データを画面表示する現在値画面表示手段とを有し、
当該画面には、エミッション電流についての使用限界値および引き出し電圧についてのそれぞれの使用限界値を画面表示する使用限界値画面表示手段を有し、
前記現在値データのエミッション電流の変動速さの現在値からエミッション電流についての前記使用限界値までの電子発生チップの推定余寿命を求め、また引き出し電圧の変動速さに基づいて前記現在値から引き出し電圧についての前記使用限界値までの電子発生チップの推定余寿命を求める余寿命推定手段と、推定余寿命までの到達時間情報をクライアント端末に出力する出力手段とを有すること
を特徴とする電子顕微鏡の電子銃監視装置。
【請求項１０】
試料に電子銃から電子線を照射して、その試料から発生する情報信号を検出する電子顕微鏡において、
クライアントの複数の電子顕微鏡のそれぞれの稼動状態を示す画像を、クライアント端末およびネットワークを介してサービスサーバに入力する入力手段と、稼動状態を示す画像の中から電子銃用電源のエミッション電流を抽出する抽出手段と、エミッション電流を時間軸に対するエミッション電流の時々刻々の現在値データを画面表示する現在値画面表示手段とを有し、
当該画面には、エミッション電流についての使用限界値および引き出し電圧またはタングステン熱電子放射型電子銃やＬａＢ６型熱電子銃の場合におけるバイアス電圧（単に「引き出し電圧」という。）についてのそれぞれの使用限界値として画面表示する使用限界値画面表示手段を有し、
前記現在値データのエミッション電流の変動速さの現在値からエミッション電流についての前記使用限界値までの電子発生チップの推定余寿命を求める余寿命推定手段と、推定余寿命までの到達時間情報をクライアント端末に出力する出力手段とを有すること
を特徴とする電子顕微鏡の電子銃監視装置。
【請求項１１】
試料に電子銃から電子線を照射して、その試料から発生する情報信号を検出する電子顕微鏡において、
クライアントの複数の電子顕微鏡のそれぞれの稼動状態を示す画像を、クライアント端末およびネットワークを介してサービスサーバに入力する入力手段と、稼動状態を示す画像の中から電子銃用電源の引き出し電圧またはタングステン熱電子放射型電子銃やＬａＢ６型熱電子銃の場合におけるバイアス電圧（以下単に「引き出し電圧」という。）を抽出する抽出手段と、引き出し電圧を時間軸に対する引き出し電圧の時々刻々の現在値データを画面表示する現在値画面表示手段とを有し、
当該画面には、使用限界値および引き出し電圧についての使用限界値として画面表示する使用限界値画面表示手段を有し、
引き出し電圧の変動速さの前記現在値から引き出し電圧についての前記使用限界値までの電子発生チップの推定余寿命を求める余寿命推定手段と、推定余寿命までの到達時間情報をクライアント端末に出力する出力手段とを有すること
を特徴とする電子顕微鏡の電子銃監視装置。
【請求項１２】
請求項９から１１のいずれかにおいて、
電子発生チップの推定余寿命に対応してクライアント端末に出力する推奨交換時期出力手段を有することを特徴とする電子顕微鏡の電子銃監視装置。
【請求項１３】
請求項９から１２のいずれかにおいて、
前記電子銃用電源のエミッション電流と引き出し電圧またはタングステン熱電子放射型電子銃やＬａＢ６型熱電子銃の場合におけるバイアス電圧（単に「引き出し電圧」という。）の比（Ｉｅ／Ｖｅｘｔ）またはその逆比（Ｖｅｘｔ／Ｉｅ）を求めて、時間軸に対する時々刻々の現在値データを画面表示し、電子発生チップの推定余寿命を求め、クライアント端末に出力する手段を有することを特徴とする電子顕微鏡の電子銃監視装置。
【請求項１４】
請求項９から１３のいずれかにおいて、前記電子銃用電源が、熱電子放射型電子銃の場合は、エミッション電流を抽出して時間軸に対するエミッション電流の時々刻々の現在値データを画面表示し、電子発生チップの推定余寿命を求める際、エミッション電流が流れていない状態（０ｍＡ）か、または所定値の範囲外であることを表示した場合、フィラメントの断線もしくはフィラメント取付け不備と判断し、断線もしくはフィラメント取付け不備を知らしめる内容をクライアント端末に出力する手段を備えたことを特徴とする電子顕微鏡の電子銃監視装置。
【請求項１５】
請求項９から１３のいずれかにおいて、前記電子銃用電源が、熱電界放出型電子銃（ショットキーエミッション型電子銃含む）の場合は、フィラメント電流を抽出して、フィラメント電流が流れていない状態（０ｍＡ）か、または所定値の範囲外であることを表示した場合、フィラメントの断線もしくはフィラメント取付け不備と判断し、断線もしくはフィラメント取付け不備を知らしめる内容をクライアント端末に出力する手段を備えたことを特徴とする電子顕微鏡の電子銃監視装置。
【請求項１６】
請求項９から１３のいずれかにおいて、前記電子銃用電源が、タングステン冷陰極チップを使用した電界放出型電子銃の場合は、フラッシング時の前記タングステン冷陰極チップのフィラメント電流を抽出して、フィラメント電流が流れていない状態（０ｍＡ）か、または所定値の範囲外であることを表示した場合、フィラメントの断線もしくはフィラメント取付け不備と判断し、断線もしくはフィラメント取付け不備を知らしめる内容をクライアント端末に出力する手段を備えたことを特徴とする電子顕微鏡の電子銃監視装置。
【請求項１７】
請求項９から１６のいずれかにおいて、エミッション電流を抽出して時間軸に対するエミッション電流の時々刻々の現在値データを画面表示し、電子発生チップの推定余寿命を求める際、時々刻々取得されたエミッション電流値に対応した電子顕微鏡の画像データも記憶媒体に格納し、必要に応じてクライアント端末に出力することで画像データによる比較を可能とすることを特徴とする電子顕微鏡の電子銃監視装置。
【請求項１８】
請求項９から１６のいずれかにおいて、エミッション電流を抽出して時間軸に対するエミッション電流の時々刻々の現在値データを画面表示し、電子発生チップの推定余寿命を求める際、時々刻々取得されたエミッション電流値に対応した電子顕微鏡の画像データも記憶媒体に格納し、必要に応じてクライアント端末に出力することで画像データによる比較を可能とすることを特徴とする電子顕微鏡の電子銃監視装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子顕微鏡、特に電子顕微鏡に使用される電子銃の監視方法および監視装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より種々の遠隔監視制御方法および装置が提案されて来た。
【０００３】
特開平１１−１２２６７９号公報には、監視制御の対象となる諸設備あるいは機器等を独自に管理する少なくとも１つの現場側監視制御システムと、該諸設備あるいは機器等を遠方より監視制御する少なくとも１つのクライアント側端末とを有し、遠隔監視制御を行う遠隔監視制御方式において、前記現場側監視制御システムに含まれ、前記諸設備あるいは機器等の各々に関する状態情報を逐次更新しながら保持する現場側情報保持手段と、前記クライアント側端末からのアクセス要求により、前記現場側情報保持手段から前記現場側情報をダウンロードするとともに、該クライアント側端末より、ダウンロードされた該現場側情報に応じた監視制御指示を前記現場側監視制御システムに転送するための通信手段と、を備えた遠隔監視制御方式が記載されている。
【０００４】
特開平１１−３５３１４５号公報には、監視対象機器の台数如何に拘わらず監視対象機器の監視をすることのできる機器監視システムが記載されている。
【０００５】
特開２０００−１２３７７０号公報には電子顕微鏡の遠隔監視システムが記載されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
電子顕微鏡の電子銃は、電子顕微鏡の構成部品の中でも重要な要素であり、特に電子銃で使用される電子発生チップは消耗品であり、その監視は電子顕微鏡の稼動率向上にとって重要である。
【０００７】
本発明は、クライアント（顧客）側に配設された電子顕微鏡の遠隔監視、特に電子銃の電子発生チップの監視をサービスサーバ側での有するノウハウを活かして適確に行い、消耗品としての交換時期を明示することによってクライアントに対するサービスを向上させ、以ってクライアント側に配設した電子顕微鏡の稼動率を向上させる事を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、電子顕微鏡の装置状況データとして、電子銃用電源のフィラメント電流（Ｉｆ），エミッション電流（Ｉｅ），電子引き出し電圧（Ｖｅｘｔ），加速電圧（Ｖａｃｃ），電子銃部真空圧（Ｐｏ），試料室真空圧（Ｐｓ），コンデンサレンズ電流（Ｉｃ），プローブ電流（Ｉｐ）等から自由に選択できるデーターベースを構成し、電子顕微鏡の異常検出の項目とし、最小エミッション電流（Ｉｅ  ｍｉｎ），最大引き出し電圧（Ｖｅｘｔ  ｍａｘ），最大エミッション電流変動勾配（ΔＩｅ／ｔ），最大引き出し電圧変動勾配（ΔＶｅｘｔ／ｔ）等が設定できる手段・方法を設け、これによってクライアントに対し、電子銃の余寿命推定情報を送信するサービスを行うようにしたものである。
【０００９】
なお、前記電子引き出し電圧（Ｖｅｘｔ）は、通常のタングステン熱電子放射型（Ｗヘアピンフィラメント型あるいはＷポイントフィラメント型）電子銃やＬａＢ６型熱電子銃の場合は、バイアス電圧（ウェーネルト電圧）を意味する。また、ＴｉＯ／Ｗ陰極を用いた熱電界放出型電子銃や、ＺｒＯ／Ｗ陰極を用いたショットキーエミッション型電子銃（熱電界放出型電子銃の一つとみなされる場合もある）の場合、およびタングステンの冷陰極チップを用いた電子界放出型電子銃では、エミッション電子流の引き出し電圧を意味している。
【００１０】
本発明は、具体的には次に掲げる方法および装置を提供する。
【００１１】
本発明は、試料に電子銃から電子線を照射して、その試料から発生する情報信号を検出する電子顕微鏡の監視方法において、クライアントの複数の電子顕微鏡のそれぞれの稼動状態を示す画像を、クライアント端末およびネットワークを介してサービスサーバに入力し、稼動状態を示す画像の中から電子銃用電源のエミッション電流および引き出し電圧を抽出して時間軸に対するエミッション電流および引き出し電圧の時々刻々の現在値データを画面表示し、当該画面には、エミッション電流についての使用限界値および引き出し電圧についての使用限界値を画面表示し、現在値データのエミッション電流の変動速さに基づいて現在値からエミッション電流についての使用限界値までの電子発生チップの余寿命を求め、また引き出し電圧の変動速さに基づいて現在値から引き出し電圧についての使用限界値までの電子発生チップの推定余寿命を求め、いずれかの推定余寿命で早く発生する推定余寿命までの到達時間情報をクライアント端末に出力する電子顕微鏡電子銃のフィラメント監視方法と監視装置を提供する。
【００１２】
本発明は、更に電子発生チップの推奨交換時期を合わせてクライアント端末に出力する電子顕微鏡電子銃のフィラメント監視方法と監視装置を提供する。
【００１３】
エミッション電流（Ｉｅ）と引き出し電圧（Ｖｅｘｔ）とはその監視に当たって、それぞれ単独判断される場合と総合判断する場合とがある。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明にかかる実施例を図面に基づいて説明する。
【００１５】
図１は、電子顕微鏡監視システムの概略構成を示す図である。電子顕微鏡監視システム１００は、サービス側の遠隔監視装置１と、クライアント（顧客）側配設のＡ社顕微鏡制御装置２と、およびＢ社顕微鏡制御装置３とを有する。
【００１６】
遠隔監視装置１は、サービスサーバ４と、コントロールユニット５を備え、コントロールユニット５はサービス画面６を備える。
【００１７】
Ａ社およびＢ社顕微鏡制御装置２，３は、それぞれ電子顕微鏡７，８と、Ａ社およびＢ社クライアント端末９，１１とを備え、Ａ社およびＢ社クライアント端末９，１１はそれぞれＡコントロール画面１０およびＢコントロール画面１２を備える。遠隔監視装置１とＡ社およびＢ社顕微鏡制御装置２，３とはネットワークである通信回線１４により接続され、サービスサーバ４とＡ社およびＢ社クライアント端末９，１１間で情報の授受が可能である。また、遠隔監視装置１は、サービス指導オペレータ１５により操作される。
【００１８】
図２は、通信授受の詳細を示すブロック図である。図において、遠隔監視装置１は、設定操作入力部２１と設定操作信号生成部２２と、通信制御部２３と、サービス画面６を表示するためのパネル表示部２４，画像表示部２５と、およびサービス画面６を有する。
【００１９】
Ａ社顕微鏡制御装置２およびＢ社顕微鏡制御装置３は、それぞれ電子顕微鏡（その部分、特に消耗品を含む）７，８のための設定操作部３１，３４と、Ａコントロール画面１０，Ｂコントロール画面１２のための画像処理部３２，３５と、および通信制御部３３，３６とを有する、通信制御部２３と通信制御部３３，３６とはネットワークである通信回線１４（無線回線でも良い。）で結ばれる。設定操作部３１，３４は、電子顕微鏡７，８との間をコントロールライン１６，１７で接続して遠隔監視装置１から通信回線１４を介して送られてくるコントロールコマンドに基づいて電子顕微鏡７，８のフォーカス合わせや分析試料の移動制御，視野探しおよび消耗品に関するその他の分析条件を設定する。設定した分析条件は、設定状態信号として通信制御部３３，３６を介して通信回線１４に送り出され、遠隔監視装置１に入力される。
【００２０】
このように電子顕微鏡システム１００は、顧客で使用中の電子顕微鏡７，８において、定期的に装置の使用条件（調整状態情報）をサービス側であるメーカのサービスサーバ４に送り、時系列的に情報を保管・記録しているシステムに接続しており、顧客が電子顕微鏡を使用するための装置を立ち上げた時に、装置の現状を表示する画面において、サービスサーバよりアラーム・調整の指示を表示できるシステムとなっている。
【００２１】
また、電子顕微鏡のアラーム・調整情報として、次の情報から任意に選択できる。
【００２２】
▲１▼  サービスオペレータによる、装置の調整方法のアドバイス事項を表示する機能を有する。
【００２３】
▲２▼  サービスオペレータによる、消耗品交換時期を表示する機能を有する。
【００２４】
▲３▼  顧客が必要とした時に、上記▲１▼▲２▼を選択し有償で問い合わせできる機能を有する。
【００２５】
サービスサーバ４は、同種類電子顕微鏡の複数の稼動データも有し、全装置に対する各装置のバラツキが得られるデータベースを有し、バラツキの大きさから各装置の異常検出が容易にできるシステムとされる。
【００２６】
図３は、電子顕微鏡７，８の概念を示すブロック図である。
【００２７】
電子銃は電子発生チップ４０および電源を備え、電子発生チップ４０はフィラメント４１およびウェーネルト４３のセットにより構成される。
【００２８】
電子銃を構成するフィラメント４１から発生する１次電子線４２はウェーネルト４３およびアノード４４により制御され、加速される。その加速された１次電子線４２は収束レンズ４５および対物レンズ４８によって試料４９に収束される。１次電子線４２に発生する非点収差はスティグマコイル４６を用いて補正することができる。
【００２９】
走査信号発生器５２からはＸおよびＹ方向の走査信号が発生し、偏向コイル装置５７に与えられる。これによって１次電子線４２は２次元的に偏向され、したがって試料４９は収束された１次電子線４２によって２次元的に走査される。１次電子線４２の走査幅したがって得られる像の倍率は倍率設定器５３によって設定される。試料４９からは２次電子や反射電子が発生するが、そのうちのたとえば２次電子５０は、２次電子検出器５１によって検出され、電気信号に変換される。この電気信号は画像取込（メモリ）５４に導入されるが、走査信号発生器５２からのＸおよびＹ方向走査信号は画像取込装置５４にも導入されるので、２次電子検出器５１からの電気信号は試料４９の１次電子線４２による走査と同期して画像取込装置５４の対応するメモリ領域に記憶される。したがって、そのメモリには試料４９の２次電子像が記憶される。この記憶された像は読み出してディスプレイ５８に表示することができる。寸法測定装置５５は画像取込装置５４から読み出された像信号をもとにして、試料４９を特徴づける特徴値としての試料４９の所望部分の寸法を測定する。この点は良く知られているもので、その詳細図示は省略されている。
【００３０】
試料４９の同じ箇所は繰りかえし測定され、それによって得られるその部分の異なる時点での寸法測定値は寸法測定装置５５に接続された測定結果保存装置５６に保存される。測定結果保存装置（メモリ）５６に接続された特徴値補正関数計算手段である補正関数計算装置５７は測定結果保存装置５６に保存様れている異なる時点での寸法測定値にもとづいて特徴値補正関数である補正関数を計算して求め、更にその補正関数にもとづいて、試料４９の１次電子線４２による照射がない場合の特徴値である寸法値、したがって試料４９の電子線照射によるコンタミネーションやチャージアップの影響のない寸法値を推定する。得られた結果はディスプレイ５８に表示されるとともにプリンタ５９によって印刷される。
【００３１】
電子顕微鏡の電子銃は、電子顕微鏡の構成部品の中でも重要な構成の１つであり、特に電子発生チップは、消耗品であり、その監視は電子顕微鏡の稼動率向上にとって重要である。
【００３２】
サービスサーバ４は、電子顕微鏡の装置状況データとして、電子銃のフィラメント電流（Ｉｆ），エミッション電流（Ｉｅ），電子引き出し電圧（Ｖｅｘｔ），加速電圧（Ｖａｃｃ），電子銃部真空圧（Ｐｏ），試料室真空圧（Ｐｓ）等から自由に選択できるデータベースを有する。
【００３３】
電子顕微鏡の異常検出の項目として、最小エミッション電流（Ｉｅ  ｍｉｎ），
最大引き出し電圧（Ｖｅｘｔ  ｍａｘ），最大エミッション電流変動勾配（ΔＩｅ／ｔ），最大引き出し電圧変動勾配（ΔＶｅｘｔ／ｔ）等が設定できる。
【００３４】
図４は、時間（ｔ）に対する電子銃用電源のエミッション電流（Ｉｅ）および引き出し電圧（Ｖｅｘｔ）の関係を示す。この図において、各種記号は次の内容を示す。
【００３５】
Ｉｅ  ｍｉｎ    ：Ｉｅからの使用限界値
Ａ１            ：Ｉｅの現在値からの推定余寿命
ΔＡ            ：Ｉｅの現在の変動速さ（ΔＩｅ／Δｔ）
Ｖｅｘｔ  ｍａｘ：Ｖｅｘｔからの使用限界値
Ｂ１            ：Ｖｅｘｔの現在値からの推定余寿命
ΔＢ            ：Ｖｅｘｔの現在の変動速さ（ΔＶｅｘｔ／Δｔ）
電子顕微鏡の装置状況データとして、電子銃のフィラメント電流（Ｉｆ），エミッション電流（Ｉｅ），電子引き出し電圧（Ｖｅｘｔ），加速電圧（Ｖａｃｃ），電子銃部真空圧（Ｐｏ），試料室真空圧（Ｐｓ）等から自由に選択できるデータベースを構成し、電子顕微鏡の異常検出の項目として、最小エミッション電流（Ｉｅ  ｍｉｎ），最大引き出し電圧（Ｖｅｘｔ  ｍａｘ），最大エミッション電流変動勾配（ΔＩｅ／ｔ），最大引き出し電圧変動勾配（ΔＶｅｘｔ／ｔ）等が設定できる。
【００３６】
クライアントの複数の電子顕微鏡７，８のそれぞれの稼動状態を示す画像を、クライアント端末２，３およびネットワーク１４を介してサービスサーバ４に入力し、稼動状態を示す画像（画面）の中から電子銃のエミッション電流および引き出し電圧を抽出して時間軸に対するエミッション電流および引き出し電圧の時々刻々の現在値データを画面表示する。
【００３７】
当該画面には、エミッション電流についての使用限界値および引き出し電圧についての使用限界値を画面表示する。
【００３８】
現在値データのエミッション電流の変動速さに基づいて現在値からエミッション電流についての使用限界値までの電子発生チップの推定余寿命を求め、また引き出し電圧の変動速さに基づいて現在値から引き出し電圧についての使用限界値までの電子発生チップの推定余寿命を求める。
【００３９】
いずれかの推定余寿命で早く発生する推定余寿命までの到達時間情報をクライアント端末に出力することを行う。
【００４０】
電子発生チップの推奨交換時期を合わせてクライアント端末に出力することを行う。
【００４１】
図５は、サービスされた顧客情報提供画面の１例を示す。ＡまたかＢのコントロール画面１０，１２の顧客情報６１をクリックすると顧客情報６２および装置監視情報６３が表示される。装置監視情報６３によれば、チップ余寿命が１.５ カ月と表示されることが判る。この表示に合わせて、通常交換に要する時間が必要であるから電子発生チップの推奨交換時期を表示することができる。また、装置監視情報６３の提供を有償にして、別途契約によって顧客が必要とした時に問い合わせるようにしてもよい。その場合、問い合わせることは、サービスサーバ４に記録され、精算処理される。
【００４２】
また、画面にはＯＫ６４，閉じる６５，詳細データ表示６６のためのボタンが設けられる。
【００４３】
以上のように、電子顕微鏡電子銃の監視装置は、クライアントの複数の電子顕微鏡のそれぞれの稼動状態を示す画像を、クライアント端末およびネットワークを介してサービスサーバに入力する入力手段と、稼動状態を示す画像の中から電子銃用電源のエミッション電流および引き出し電圧を抽出する手段と、エミッション電流および引き出し電圧を時間軸に対するエミッション電流および引き出し電圧の時々刻々の現在値データを画面表示する現在値画面表示手段とを有し、当該画面には、エミッション電流についての使用限界値および引き出し電圧についての使用限界値を画面表示する使用限界値画面表示手段を有し、現在値データのエミッション電流の変動速さに基づいて現在値からエミッション電流についての使用限界値までの電子発生チップの推定余寿命を求め、また引き出し電圧の変動速さに基づいて現在地から引き出し電圧についての使用限界値までの電子発生チップの推定余寿命を求める余寿命推定手段と、いずれかの推定余寿命で早く発生する推定余寿命までの達成時間情報をクライアント端末に出力する出力手段とを有する。
【００４４】
更に、電子発生チップの推奨交換時期を合わせてクライアント端末に出力する推奨交換時期出力手段を有する。
【００４５】
図６は、顧客への情報提供画面例を示す。この場合、メールヘッダフォーマット６７およびメール本文フォーマット６８を有する。
【００４６】
図７は、フローチャートを示す。図において、コントロールＣＲＴを初期状態で表示し（Ｓ１），自己診断情報を表示し（Ｓ２），メンテ詳細情報指示の確認（Ｓ３）を判断する。サービスオペレーション情報の表示を行い（Ｓ４），メンテ対応依頼を判断し（Ｓ５），顧客要望の有無を判断する（Ｓ６）。顧客要望作成まとめを行い（Ｓ７），要望をサービスオペレーションセンターである遠隔監視装置に送信する（Ｓ８）。顧客は、このサービスによって消耗品、特に電子発生チップの交換を適切に行って通常通り電子顕微鏡の使用（Ｓ９）を再開することになる。
【００４７】
以上述べた実施例では、現在値データのエミッション電流の変動速さに基づいて現在値からエミッション電流についての使用限界値までの電子発生チップの推定余寿命を求め、また引き出し電圧の変動速さに基づいて現在値から引き出し電圧についての使用限界値までの電子発生チップの推定余寿命を求める方法と装置について示した。別の実施例（図示せず）として、前記電子銃用電源のエミッション電流と引き出し電圧の比（Ｉｅ／Ｖｅｘｔ）またはその逆比（Ｖｅｘｔ／Ｉｅ）を求めて、時間軸に対する時々刻々の現在値データを画面表示し、電子発生チップの推定余寿命を求め、クライアント端末に出力する様にしてもよい。これは、ショットキーエミッション型電子銃や冷陰極電界放出電子銃のように、所望のエミッション電流（Ｉｅ）あるいはプローブ電流（Ｉｐ）を得るために引き出し電圧を必要に応じて変化させる電子線装置の場合の電子源の寿命推定やメンテナンスに有効である。また、次のように、
（ａ）前記電子銃用電源が熱電子放射型（タングステンフィラメント式）電子銃の場合は、エミッション電流を抽出して時間軸に対するエミッション電流の時々刻々の現在値データを画面表示し、電子発生チップの推定余寿命を求める際、エミッション電流が流れていない状態（０ｍＡ）か、または所定値の範囲外であることを表示した場合、
（ｂ）熱電界放出型電子銃（ショットキーエミッション型電子銃含む）の場合は、フィラメント電流を抽出して、フィラメント電流が流れていない状態（０ｍＡ）か、または所定値の範囲外であることを表示した場合、
（ｃ）電界放出型（タングステン冷陰極チップ）電子銃の場合は、フラッシング時のフィラメント電流を抽出して、フィラメント電流が完全に流れていない状態（０ｍＡ）か、または所定値の範囲外であることを表示した場合
には、フィラメントの断線もしくはフィラメント取付け不備等と判断し、断線もしくはフィラメント取付け不備等を知らしめる内容をクライアント端末に出力する電子顕微鏡の電子銃監視方法および電子銃監視装置を提供するようにしてもよい。
【００４８】
さらに、以上に述べてきたいずれの電子銃監視装置においても、エミッション電流を抽出して時間軸に対するエミッション電流の時々刻々の現在値データを画面表示し、電子発生チップの推定余寿命を求める際、時々刻々取得されたエミッション電流値に対応した電子顕微鏡の画像データも記憶媒体に格納し、必要に応じてクライアント端末に出力することで、画像データによる比較を可能とするようにしてもよい。また、超高真空を必要とする電子源の場合、電子銃部真空圧を抽出して時間軸に対する時々刻々の真空圧データを取得し、真空圧の変動速さに基づいて現在値から電子銃の使用限界圧までの推定時間を求め、ベーキング処理等の電子銃部真空圧改善のメンテナンス必要性を知らしめる内容をクライアント端末に出力する電子顕微鏡の電子銃監視方法と電子銃監視装置を提供するようにしてもよい。
【００４９】
これにより、メンテナンス性の良い電子銃監視システムを構築することが可能となる。
【００５０】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、エミッション電流（Ｉｅ）および引き出し電圧（Ｖｅｘｔ）を遠隔監視する事によって多数ある電子顕微鏡の電子銃の電子発生チップの余寿命を常時遠隔監視する事ができ、顧客に対して電子発生チップの交換時期について適切にサービス提供する事ができる。これによって顧客は、電子発生チップの交換時期を適切に設定し、電子顕微鏡の稼動率を向上させ得ると共に、通常電子発生チップの余寿命を予測する煩わしさから解放されることになる。
【００５１】
また、サービス側にとれば、顧客サービスを向上させると共に、該サービスを１つの事業として成立させることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】電子顕微鏡監視システムの概略構成図。
【図２】通信授受の詳細を示すブロック図。
【図３】電子顕微鏡の概念を示すブロック図。
【図４】時間（ｔ）に対するエミッション電流（Ｉｅ）および引き出し電圧（Ｖｅｘｔ）の関係を示す図。
【図５】顧客情報提供図面の１例を示す図。
【図６】顧客への情報提供画面例図。
【図７】フローチャート図。
【符号の説明】
１…遠隔監視装置、２…Ａ社顕微鏡制御装置、３…Ｂ社顕微鏡制御装置、４…サービスサーバ、５…コントロールユニット、６…サービス画面、７，８…電子顕微鏡、９…Ａ社クライアント端末、１０…Ａコントロール画面、１１…Ｂ社クライアント端末、１２…Ｂコントロール画面、１４…通信回線、１５…サービス指導オペレータ、２１…設定操作入力部、２２…設定操作信号生成部、２３…通信制御部、２４…パネル表示部、２５…画像表示部、３１，３４…設定操作部、３２，３５…画像処理部、３３，３６…通信制御部、４０…電子発生チップ、４１…フィラメント、４２…１次電子、４３…ウェーネルト、５０…２次電子、５８…ディスプレイ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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