(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
定盤の上方に移動自在な搬送台に、薄板の四隅部に対応して設けられた保持部材により、定盤に載置した薄板を保持させ、薄板を定盤から持ち上げて所定の場所まで搬送するに際し、
１つの保持部材を持ち上げて薄板が浮き上がった時に、搬送台に設けた吹付けノズルから剥離用気体を定盤と薄板との隙間に、保持部材による薄板の持ち上げ方向の側方から所定時間吹き付けて、定盤と薄板との間の水を中央側に追いやり、さらに薄板を浮き上がらせて保持部材を停止させる動作を、
薄板の四隅部に対応する保持部材ごとに、順次タイミングをずらして行い、薄板を定盤から剥離する
ことを特徴とする薄板の保持搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス板などの薄板を持上げるための薄板の保持搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ガラス板は、例えば、液晶パネル基板やカラーフィルタ、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）など多様な分野で用いられている。
【０００３】
上記のような用途に用いられるガラス板は、その表面に研磨加工を施す。そして研磨加工の際、一般的には水溶性の研磨剤が用いられ、さらに、ガラス表面の清浄性を維持させるために、水による洗浄作業が行われる。
【０００４】
ところで、研磨作業を終えたガラス板は、持上げて所定の場所に移動させる必要があるが、水溶性の研磨剤あるいは、洗浄作業による水濡れ状態で定盤１６に置かれたガラス板は、定盤１６の載せ面に密着しているため、ガラス板に損傷を与えないように持上げる作業は難しい。従って、水濡れ状態のガラス板を定盤１６から持上げて移動する作業は、熟練者に依っているのが現状である。
【０００５】
しかし近年、ガラス板はそのサイズが次第に大型化してきているため、熟練者であっても持上げるのは難しく、かつ大変な作業になっている。
この課題を解決するために、特開平１０−２２５８８８号公報に示すような技術が提案されている。これは、ガラス板の隅部下面を支持する複数の保持爪を設け、これら保持爪でガラス板の隅部下面を支持して、これら保持爪をタイミングをずらして上昇させてガラス板の水濡れ面の面積を順次減少させながら持ち上げるようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ガラス板の隅部や周辺部を保持爪で支持して上昇させると、ガラス板と載せ面の間に介在する水は中心へ向かって逃げる。従って、この水の移動速度より速い速度でガラス板を上昇させてしまうと、ガラス板に水に密着する力が大きく働いて、ガラス板が損傷してしまう。
【０００７】
このことから、ガラス板に損傷を与えないように持ち上げるためには、水が逃げる速度に応じた速度でしかガラス板を上昇させることができず、作業時間の短縮ができなかった。
【０００８】
そこで本発明は、上記課題を解決し得る薄板の保持搬送方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明における課題を解決するための薄板の保持搬送方法は、定盤の上方に移動自在な搬送台に、薄板の四隅部に対応して設けられた保持部材により、定盤に載置した薄板を保持させ、薄板を定盤から持ち上げて所定の場所まで搬送するに際し、
１つの保持部材を持ち上げて薄板が浮き上がった時に、搬送台に設けた吹付けノズルから剥離用気体を定盤と薄板との隙間に、保持部材による薄板の持ち上げ方向の側方から所定時間吹き付けて、定盤と薄板との間の水を中央側に追いやり、さらに薄板を浮き上がらせて保持部材を停止させる動作を、
薄板の四隅部に対応する保持部材ごとに、順次タイミングをずらして行い、薄板を定盤から剥離するものである。
【００１０】
上記構成によれば、定盤に載置された薄板を持ち上げる際に、搬送台に設けた各保持部材により定盤に載置した薄板の四隅部をそれぞれ保持し、各保持部材ごとにタイミングをずらして順次薄板を持上げ、吹付けノズルから剥離用気体を定盤と薄板の間の隙間に吹付けて水を中央側に追いやることで、薄板を定盤から容易に剥離することができ、これにより、定盤に載置された薄板を、損傷させることなく定盤から持ち上げて所定の場所まで搬送することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係るガラス板の保持搬送装置を図面に基づいて説明する。
【００１２】
図１に示すように、本発明の実施の形態に係る薄板の保持搬送装置１は薄板としてガラス板２を持上げて所定の場所まで搬送するもので、ガラス板（例えば縦650mm , 横550mm ，厚み0.7mm または1.1mm の矩形に形成されている）２の大きさに応じた台座（搬送台）３が定盤１６の上方を水平方向に移動自在に設けられ、この定盤１６の搬入側に搬入コンベヤＣ１が配置され、定盤１６の搬出側に搬出コンベヤＣ２が配置され、台座３を搬入コンベヤＣ１、定盤１６および搬出コンベヤＣ２の間で水平方向に移動させるための図示しない移動装置が設けられている。
【００１３】
前記台座３を定盤１６に対して昇降させるための昇降装置３Ａが設けられ、台座３の隅部下面に、取付けアングル４を介して、複数の昇降部材５が取付けられ、これら昇降部材５は、図２の平面図に示すように、ガラス板２の四隅部に対応する位置と、ガラス板２の幅方向（搬送方向）の中央に対応する位置に配置されている。
【００１４】
各昇降部材５を昇降させるための昇降用シリンダ装置６が設けられ、取付けアングル４と昇降部材５との間に、昇降部材５の昇降範囲を規制するストッパ７が設けられている。
【００１５】
昇降部材５の側面に押圧用シリンダ装置９が取付けられ、この押圧用シリンダ装置９のロッド１０に押圧部材１１が取付けられている。
昇降部材５の側面下部に、揺動軸部材１２を介して保持爪部材（保持部材の一例）１３が揺動自在に取付けられ、保持爪部材１３の途中と昇降部材５の側面との間に、保持爪部材１３を開方向に付勢する圧縮ばね１４が介装され、保持爪部材１３の上端部には、押圧部材１１が当接する当接面１５が形成され、保持爪部材１３の下端部には、ガラス板２とそれを載せる定盤１６の間に挿入されてガラス板２の隅部下面を支持する断面Ｌ字形の保持爪１７が形成されている。
【００１６】
そして、この保持爪１７および移動防止部材１８の幅は、ガラス板２への掛かり部分を小さくするよう5mm程度に形成されている。また、前記定盤１６の上面には、保持爪１７が上方から挿入される挿入凹部２７とが形成されている。
【００１７】
保持爪１７でガラス板２の周囲を持ち上げた際に定盤１６とガラス板２との間の隙間に側方から所定の圧力の剥離用気体（この場合空気）２０を吹付けるための吹付け装置２１が設けられ、この吹付け装置２１は、各保持爪１７の近傍に配置された複数の吹付けノズル２２と、これら各吹付けノズル２２に吹付け管２３を介して供給するための一個の給気ポンプ２４とから構成され、前記各吹付け管２３の途中に電磁バルブ２５が設けられ、前記給気ポンプ２４は台座３に取付けられている。また、吹付けノズル２２の先端は、ガラス板２の搬送方向に沿った方向に向けられている。
【００１８】
上記構成において、ガラス板２は搬入コンベヤＣ１によって定盤１６の搬入側に搬送される。そして、移動装置を駆動して台座３をガラス板２の上方まで移動し、昇降装置３Ａを駆動して台座３を下降し、また各昇降用シリンダ装置６を駆動して昇降部材５を下降させ、押圧用シリンダ装置９を駆動する。そうすると、押圧部材１１が圧縮ばね１４の付勢に抗して当接面１５を押圧し、保持爪部材１３が揺動軸部材１２周りに回動して閉じ、保持爪１７がガラス板２と搬入コンベヤＣ１との間に挿入され、各保持爪１７でガラス板２の周囲下面を隅部と中央部で支持した状態となる。
【００１９】
このようにした状態で、昇降装置３Ａを駆動して台座３を上昇させ、また昇降用シリンダ装置６を駆動して昇降部材５を上昇させることでガラス板２を搬入コンベヤＣ１から持ち上げ、移動装置を駆動して、台座３を定盤１６の上方まで移動し、再び昇降装置３Ａを駆動して台座３を下降し、各昇降用シリンダ装置６を駆動して昇降部材５を下降させる。そうすると、ガラス板２が定盤１６上に位置決めされ、保持爪部材１３の保持爪１７が定盤１６の挿入凹部２７に挿入される。そして、押圧用シリンダ装置９の駆動を解除すると、圧縮ばね１４の弾性により保持爪部材１３が揺動軸部材１２周りに回動して開き、ガラス板２の保持状態が解除される。次に、昇降装置３Ａを駆動して台座３を上昇させ、また、移動装置を駆動して台座３を搬入コンベヤＣ１側へ回避させ、洗浄水Ｗを用いて研磨装置でガラス板２を研磨する。研磨装置での研磨作業が終了すると、ガラス板２は水濡れ状態にあり、ガラス板２は定盤１６に密着した状態となっている。
【００２０】
次に研磨作業が終了したら、ガラス板２を搬出コンベヤＣ２へ搬出するが、この際、移動装置を駆動して台座３をガラス板２の上方に位置させ、上記と同様に、昇降装置３Ａを駆動して台座３を下降し、また各昇降用シリンダ装置６を駆動して昇降部材５を下降させる。このとき、保持爪部材１３の保持爪１７が定盤１６の挿入凹部２７に挿入され、押圧用シリンダ装置９を駆動して押圧部材１１を圧縮ばね１４の付勢に抗して当接面１５に押圧させることで、保持爪部材１３が揺動軸部材１２周りに回動して閉じ、保持爪１７がガラス板２がガラス板２の周囲下面を隅部と中央部の下方に入り、ガラス板２を支持した状態となる。
【００２１】
そして、四隅部の昇降用シリンダ装置６をタイミングをずらして順次駆動させ、ガラス板２の隅部からこれを持ち上げる。また、電磁バルブ２５を駆動して、順次駆動する昇降用シリンダ装置６（保持爪１７）毎の吹付けノズル２２から剥離用気体２０をガラス板２の搬送方向に沿って所定の圧力で所定の時間だけ吹付ける。そうすると、図３および図４に示すように、洗浄水Ｗがガラス板２の中央側に追いやられるので、洗浄水Ｗが抵抗力として働く時間を強制的に短縮でき、昇降用シリンダ装置６の昇降速度を速くしても、ガラス板２が破損するのを防止できる。
【００２２】
図５は、四隅部の昇降用シリンダ装置６（Ａ〜Ｄ）の駆動のタイミングと各電磁バルブ２５（Ｓａ〜Ｓｄ）の駆動のタイミングを表すタイミングチャートであり、昇降用シリンダ装置６（Ａ）を駆動してｔｄ時間後、すなわちガラス板２が少し浮き上がった後に、電磁バルブ２５（Ｓａ）をｔｓ時間（例えば0.1秒〜数秒）だけ駆動して吹付けノズル２２から剥離用気体２０をガラス板２の搬送方向に沿って所定の圧力で吹付けた場合、昇降用シリンダ装置６（Ａ）に対応する保持爪１７が上昇しきるまでの時間はｔｎ(例えば数秒〜10秒)となり、このような動作を四隅部の昇降用シリンダ装置６および電磁バルブ２５について行うことで、ガラス板２を定盤１６から浮上させるまでにトータルでＴｎ時間となる。
【００２５】
そして、ガラス板２を定盤１６から持ち上げた後は、昇降装置３Ａを駆動して台座３を上昇させ、また昇降用シリンダ装置６を駆動して昇降部材５を上昇させることでガラス板２を定盤１６からさらに持ち上げ、移動装置を駆動して、台座３を搬出コンベヤＣ２まで移動し、再び昇降装置３Ａを駆動して台座３を下降し、各昇降用シリンダ装置６を駆動して昇降部材５を下降させ、ガラス板２を搬出コンベヤＣ２に載置する。
【００２６】
このように、本発明の実施の形態によれば、ガラス板２が水濡れ状態にあって定盤１６に密着していたとしても、四隅部の昇降用シリンダ装置６をタイミングをずらして順次駆動させることで保持爪部材１３の保持爪１７でガラス板２の周囲を持ち上げ、ガラス板２と定盤１６との間に剥離用気体２０を吹付けることで洗浄水Ｗをガラス板２の中央側に強制的に追いやることで、ガラス板２を速く持ち上げることができるので、作業時間の短縮ができる。
【００２８】
なお、上記実施の形態では、ガラス板２と定盤１６との間に剥離用気体２０を吹付けノズル２２からガラス板２の搬送方向に沿って吹付けるように構成したが、これに限定されるものではなく、例えば、吹付けノズル２２の先端部をガラス板２の対角線上に向けるようにして、剥離用気体２０をガラス板２の対角線上に吹付けるようにしてもよく、この場合も上記実施の形態と同様の効果を奏し得る。
【００２９】
さらに、上記実施の形態では、剥離用気体２０は各吹付けノズル２２から一回だけ吹付けるようにしたがこれに限定されるものではなく、洗浄水Ｗが追いやられる状況に応じて複数回づつ吹付けるようにすることもでき、この場合も、上記実施の形態と同様の効果を奏し得る。
【００３０】
【発明の効果】
以上の説明から明らかな通り、本発明によれば、定盤に載置された薄板を持ち上げる際に、搬送台に設けた各保持部材により定盤に載置した薄板の四隅部をそれぞれ保持し、各保持部材ごとにタイミングをずらして順次薄板を持上げ、吹付けノズルから剥離用気体を定盤と薄板の間の隙間に吹付けて水を中央側に追いやることで、薄板を定盤から容易に剥離することができ、これにより、定盤に載置された薄板を、損傷させることなく定盤から持ち上げて所定の場所まで搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を示すガラス板の保持搬送装置の全体構成を示す正面図である。
【図２】同じく概略平面図である。
【図３】同じく保持爪でガラス板を持ち上げ定盤と薄板との間の隙間に剥離用気体を吹付けた状態の側面図である。
【図４】同じく正面図である。
【図５】同じく四隅部の昇降用シリンダ装置の駆動のタイミングと各電磁バルブの駆動のタイミングを表すタイミングチャートである。
【符号の説明】
２      ガラス板
３      台座
３Ａ    昇降装置
５      昇降部材
６      昇降用シリンダ装置
９      押圧用シリンダ装置
１１    押圧部材
１２    揺動軸部材
１３    保持爪部材
１４    圧縮ばね
１５    当接面
１６    定盤
１７    保持爪
２０    剥離用気体
２１    吹付け装置
２２    吹付けノズル
２３    吹付け管
２４    給気ポンプ
２５    電磁バルブ
２７    挿入凹部
【図１】
0004190065.tif 000002
【図２】
0004190065.tif 000003
【図３】
0004190065.tif 000004
【図４】
0004190065.tif 000005
【図５】
0004190065.tif 000006