(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
胴体と、前記胴体の上部に鉛直方向に突出した回動軸に連結され、水平方向に回動する少なくとも一本のアームを具備して構成されたロボットにおいて、
水平部が前記回動軸と連結され、鉛直部が前記アームと連結されるＬ字状の傾き調整装置が前記回動軸と前記アームとの間に設けられ、
前記鉛直部の中央部分にピン穴が形成され、前記ピン穴の周囲にボルト穴が形成され、前記ボルト穴に前記アームを締結する締結ボルトが挿入され、
前記鉛直部と連結される前記アームの側面部に前記ピン穴と対応するピンが形成され、
前記ピンが前記ピン穴に嵌合され、前記締結ボルトが締め付けられていない状態で、前記アームが前記ピンを中心として回転されることによって前記アームの前記鉛直方向の傾きが調整されることを特徴とするロボット。
【請求項２】
前記傾き調整装置の前記水平部が、前記回動軸と一体的に構成されていることを特徴とする請求項１記載のロボット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、胴体の上部に、鉛直軸回りに回転する一本以上の水平アームを具備するロボットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、このようなロボットとしては水平多関節形ロボットがある。図２および図３に従来の水平多関節形ロボットの一例を示す。水平多関節形ロボット１１は、胴体１２と、前記胴体１２の上部に鉛直方向に突出した回動軸１３と、前記回動軸１３に連結され、水平方向に回動する第１アーム１４と、前記第１アーム１４の先端部に、同様に回動可能に連結された第２アーム１５とからなり、前記第２アーム１５の先端部に、図示しないウェハ搬送用フォークや加工具等を配設して構成される。しかしながら、このような水平多関節形ロボット１１においては、第１アーム１４の取り付け部に常にモーメントがかっていること、および部品誤差あるいは経年変化により軸受等に発生したガタのため、第２アーム等が水平面に対して傾くという問題がある。このため、従来は、図３に示すように、回動軸１５と第１アーム１４との取り付け部において、アーム筐体１４ａと、前記アーム筐体１４ａと連結する回動軸１３との間に、傾きに対応するシム１６を敷いて水平多関節形ロボットのアームの水平面に対する傾きを矯正していた。なお、図３において１７は締結ボルトである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の技術においては、第１アーム１４と回動軸１３との間にシム１６を敷くために、次のような問題があった。
(1) 一度組み立てた機構部を分解する必要があり、作業が大変面倒である。
(2) 第１アーム１４と回動軸１３との間の面当たりが悪くなるとともに、締結ボルト１７も斜めに入って無理な力が加わるため信頼性が低くなる。
(3) 第１アーム１４のアーム筐体１４ａに無理な力が作用して歪むため、部品精度が悪くなる。
本発明は、このような問題を解消するためになされたもので、水平方向に回動するアームの上下方向の傾きの調節作業が容易で、かつ信頼性や部品精度の低下を招くことのないロボットを提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、胴体と、前記胴体の上部に鉛直方向に突出した回動軸に連結され、水平方向に回動する少なくとも一本のアームを具備して構成されたロボットにおいて、水平部が前記回動軸と連結され、鉛直部が前記アームと連結されるＬ字状の傾き調整装置が前記回動軸と前記アームとの間に設けられ、前記鉛直部の中央部分にピン穴が形成され、前記ピン穴の周囲にボルト穴が形成され、前記ボルト穴に前記アームを締結する締結ボルトが挿入され、前記鉛直部と連結される前記アームの側面部に前記ピン穴と対応するピンが形成され、前記ピンが前記ピン穴に嵌合され、前記締結ボルトが締め付けられていない状態で、前記アームが前記ピンを中心として回転されることによって前記アームの前記鉛直方向の傾きが調整されるロボットとするものである。或いは、前記傾き調整装置の前記水平部が、前記回動軸と一体的に構成されているロボットとするものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。図１（ａ）は、本発明の実施例を示す水平多関節形ロボットの側面図で、（ｂ）は、（ａ）における第１アームと回動軸との取り付け部を示す部分断面図である。本発明の水平多関節形ロボット１も、従来の水平多関節形ロボットと同様に、胴体２と、前記胴体２の上部に鉛直方向に突出した回動軸３と、前記回動軸３に連結され、水平方向に回動する第１アーム４と、前記第１アーム４の先端部に、同様に回動可能に連結された第２アーム５とからなり、前記第２アームの先端部に、図示しないウェハ搬送用フォークや加工具等を配設して構成されるが、第１アーム４のアーム筐体４ａと回動軸３との連結構造が従来とは異なっている。
すなわち、図１（ｂ）に示すように、回動軸３と第１アーム４のアーム筐体４ａは、両者の間にＬ字状の傾き調整装置６を介在させて連結し、第１アーム４の上下方向の傾きを調整できるようにしている。前記傾き調整装置６は、回動軸３と連結される、または回動軸３と一体的に構成される水平部６ｂと、前記第１アーム４と連結される鉛直部６ａとから構成されており、鉛直部６ａの中央部分にピン穴６ｃを形成するとともに、前記ピン穴６ｃの周囲に図示しないボルト穴を複数個形成している。前記ボルト穴は、第１アーム４の傾きを吸収できる程度の大きさのバカ穴で形成されている。また、前記第１アーム４は、前記傾き調整装置６と連結するアーム筐体４ａの側面部に、傾き調整装置６のピン穴６ｃと対応するピン４ｂを形成している。第１アーム４と傾き調整装置６は、前記ピン４ｂをピン穴６ｃに嵌合し、締結ボルト７を締め付けていない状態において、第１アーム４をＨで示す鉛直面上で回転自在に調整することができる構造となっている。
したがって、ロボットの初期組立時、更には長期間使用後の経年変化でアームの傾きが変化した場合にも、機構部を分解することなく、外部から締結ボルト７を緩めるだけで、容易に、かつ確実にアームの傾きを調整してロボットに要求される傾き許容値にすることができる。
なお、本発明においては、胴体内にアームの昇降装置を有しているロボットにおいても適用することができるし、リンク式のロボットにおいても適用することができる。また、傾き調整装置は第１アームのみでなく、第２アーム等にも使用することができる。
【０００６】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、アームの傾きを、組み立て初期、更には経年変化で傾きが変化した場合にも、部材に悪影響を与えることなく、また機構部を分解することなく、外部から容易に、かつ正確に調整適合させ、ロボットに要求される傾き許容値にすることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例を示す水平多関節形ロボットで、（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）における第１アームと回動軸との取り付け部を示す部分断面図である。
【図２】  従来技術における水平多関節形ロボットを示す側面図である。
【図３】  図２における第１アームと回動軸との取り付け部を示す部分断面図である。
【符号の説明】
１    水平多関節形ロボット、
２    胴体、
３    回動軸、
４    第１アーム、
４ａ  アーム筐体、
４ｂ  ピン、
５    第２アーム、
６    傾き調整装置、
６ａ  鉛直部、
６ｂ  水平部、
６ｃ  ピン穴、
７    締結ボルト
【図１】
0004029578.tif 000002
【図２】
0004029578.tif 000003
【図３】
0004029578.tif 000004