(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回折格子及び高速同調機構を含むライン・ナローイング・ユニットを持つ狭帯域電気放電レーザのパルス・レーザ・ビームの有効帯域幅をもたらす方法であって、
Ａ）  個別のレーザ・パルスの帯域幅を測定するために前記レーザ・ビームを監視する段階と、
Ｂ）  測定された帯域幅が所望の帯域幅よりも小さい場合に、一連のパルスに対して所望の偏差にほぼ等しい目標波長からの平均スペクトル偏差を持つ、前記目標波長にほぼ集中された平均帯域幅を作り出すために、前記一連のパルスの幾つかのパルスの中心波長が前記目標波長よりもわずかに長く、前記一連のパルスの幾つかのパルスの前記中心波長が前記目標波長よりもわずかに短くなるように、前記一連のパルスの間、前記同調機構を周期的に調節する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記ライン・ナローイング・ユニットは、圧電駆動装置ユニットを含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ライン・ナローイング・ユニットは、前記圧電駆動装置ユニットにより駆動される同調ミラーを含むことを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記個別パルスの帯域幅は、
分光計のスリット関数を測定する段階と、
生のデータ・スペクトルを測定する段階と、
前記生データ・スペクトルに前記スリット関数を畳み込んで、前方畳み込みスペクトルを作り出す段階と、
前記前方畳み込みスペクトルに基づいて、前方畳み込みスペクトルの幅ＷFCを決め、前記生データ・スペクトルに基づいて、前記生データ・スペクトルの幅ＷRを決める段階と、
真のスペクトルの幅ＷTの推定を
ＷT＝ＷR−（ＷFC−ＷR）
と等価な式で計算する段階と、
により決められることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、１９９７年７月２２日提出の、現在は米国特許第６、０７８、５９９号であるシリアル番号第０８／８９８、６３０号と２０００年２月９日提出のシリアル番号第０９／５０１、１６０号との一部継続出願であった、２０００年６月１９日提出のシリアル番号第０９／５９７、８１２号の一部継続出願である。本発明は、レーザに関し、詳細には、出力ビームの帯域幅を制御する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
（波長制御）
レーザは、多くの応用分野において使用される。例えば、ＫｒＦ及びＡｒＦエキシマ・レーザのようなレーザは、ステッパ及びスキャナ装置において使用され、半導体ウェーハ製造工程においてフォトレジストを選択的に露光する。そのような製造工程においては、ステッパ及びスキャナにおける光学装置は、レーザの特定波長用に設計される。このレーザの波長は、時間に亘ってふらつく可能性があるので、フィードバック回路網が一般に採用され、レーザの波長を検出し、必要に応じて波長を補正する。
【０００３】
レーザの波長を検出し、調節するために使用されるフィードバック回路網の１つのタイプにおいて、レーザから放出された光の一部分をエタロンが受ける。このエタロンは、レーザ光による破壊的及び建設的干渉のために、暗及び明レベルの同心帯域を持つ干渉縞を作り出す。この同心帯域は、中央の明るい部分を取り囲んでいる。この干渉縞の明るい中央部分の位置は、波長を５ピコメートル（ｐｍ）の範囲内のように比較的粗く測定するために使用される。光の帯域の直径は、レーザの波長を０．０１から０．０３ｐｍの範囲内のように精密に測定するために使用される。光帯域の幅は、レーザ出力のスペクトル幅を測定するために使用される。この干渉縞は、通常フリンジ模様と称される。このフリンジ模様は、感度のよい光検出器アレーによって光学的に検出することができる。
【０００４】
レーザ波長の同調において、様々な方法がよく知られている。一般に、この同調は、ライン・ナローイング・パッケージ、又は、ライン・ナローイング・モジュールと称される装置において行われる。エキシマ・レーザの線を狭め、同調するために使用される一般的な技術は、放電空洞の背部に窓を設けることで、そこをレーザ・ビームの一部分がライン・ナローイング・パッケージ内に通過する。そこで、ビームのその一部分は、ビーム・エクスパンダにおいて広げられて回折格子に送られ、回折格子は、レーザの本来は広いスペクトルの、狭い選択された部分を放電チャンバ内に反射して戻し、そこで選択された部分は増幅される。レーザは、一般に、ビームが回折格子を照明する角度を変化させることによって同調される。このことは、回折格子の位置を調節するか、又は、ビーム経路内にミラー調節装置を設けるかによって行うことができる。この回折格子の位置、又は、ミラーの位置の調節は、以下にレーザ波長調節機構と称する機構により行うことができる。
【０００５】
従来技術において、一般的なフィードバック回路網は、公称波長を目標とする波長範囲内に維持するように構成される。通常の仕様は、この範囲を、「パルス・ウインドウ」と称される一連のパルスの平均波長に対して適用されるように例えば２４８、３２７．１ｐｍのような目標とする波長の、±０．０５ｐｍなどの値に確立し得る。通常のパルス・ウインドウは、３０パルスであろう。別の一般的な仕様は、（３０パルスのような）一連のパルスに対して測定された波長の標準偏差である。この値は、シグマ（σ）と称され、標準偏差用の標準公式を用いて計算される。また、仕様は、時々測定された標準偏差の単に３倍である３σで記述される。一般的な３σ仕様は、０．１５ｐｍであり得る。
【０００６】
波長が２４８ナノメートル（ｎｍ）及び１９３ｎｍの深い紫外光線の使用に受け入れられる光学レンズ材料という制限は、ＫｒＦ及びＡｒＦリソグラフィ用の投影レンズが主として溶融石英で製造されてきたことを意味してきた。溶融石英は、極めて良好なレンズ材料（高透明度、低熱膨張、比較的磨きやすい）ではあるが、投影レンズにおいて異なる屈折率を持つ２番目の材料種類が利用できないということは、その結果として色収差をもたらす。いかなる光学材料の屈折率も波長と共に変わるので、色収差が現われ、従って、レンズの画像化特性もまた、波長に伴って変わる。
【０００７】
未補正のレンズに対する色収差の有害な影響は、極めて狭い波長範囲を用いた光源を使用することによってのみ緩和することができる。スペクトル的にライン・ナローイングされたエキシマ・レーザは、深い紫外線リソグラフィに対し、その目的に役立った。今日のレーザは、ピコメートル以下の範囲の帯域幅を持ち、屈折投影レンズに対して、ほぼ単一色の照明をもたらす。エキシマ・レーザの帯域幅が小さいとはいうものの、それでもやはり、レンズの色補正がないということは、帯域幅が無視できないことを意味する。
【０００８】
レーザビームの帯域幅は、上記で参照したライン・ナローイング・パッケージを使用することにより、通常、小さくされる。過去においてレーザ仕様は、帯域幅が０．５ｐｍのような特定値よりも小さいことを要求した。該仕様はまた、全帯域幅の９５％を指示している。通常の９５％全帯域幅仕様は、１．２ピー・ピー・エム（ｐｐｍ）より小さいであろう。しかしながら、最近になって、集積回路製造業者は、その帯域幅用に光学システムが設計された帯域幅よりもかなり狭い帯域幅によって集積回路が悪影響を受け得ることに気が付いている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
従って、レーザの帯域幅を、単に特定幅より小さいということではなく、むしろ特定範囲内に制御する技術が必要である。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、電気放電レーザの帯域幅制御技術を提供する。ライン・ナローイング装置は、少なくとも１つの圧電駆動装置と高速帯域幅検出手段、及び、約２．０ミリ秒未満の時間応答を持つ帯域幅制御を備えるように準備される。好ましい実施形態において、波長同調ミラーは、極めて狭い範囲内の枢転角度により毎秒５００ディザを超えるディザ速度でディザされ、公称波長のディザに一連のレーザ・パルスの目標とする有効帯域幅を生成させる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
（シミュレーション）
波長及び帯域幅変化の影響のシミュレーションが、本出願者によって実施された。色補正無しレンズに対する露光波長変化の主な影響は、焦点平面の位置の変化である。かなり広い範囲の波長に亘り、この焦点の変化は、公称波長（即ち、照明スペクトルの中心波長）における変化と本質的に線型である。レンズの波長応答は、レーザの中心波長を手動で変化させ、また、ステッパの画像センサを使用し、それがもたらす焦点の移動を監視することによって、実験的に測定することができる。図１は、そのような測定の例を示す。
【００１２】
波長変化に伴う焦点の変化が与えられた場合、広帯域照明スペクトルを使用することは、そのスペクトルにおけるそれぞれの波長が、様々な最善の焦点で空中画像を作りだすことを意味する。総合的な空中画像は、それぞれの焦点位置での空中画像の合計となり、この照明スペクトルにおけるそれぞれの波長の相対的強度によって重み付けされる。この技術は、多重焦点平面露光に基づいている。コンピュータ・プログラムのＰＲＯＬＩＴＨ／２（テキサス州オースチン所在のフィンレ（ＦＩＮＬＥ）・テクノロジーズ・インコーポレーテッドから入手可能）の最新版は、この種の効果を組み込んでいる。
【００１３】
様々な市販レーザに対して測定された、実際のレーザ・スペクトルは、本作業において使用され、レーザ・スペクトルの特性が求められた。図２は、異なるＫｒＦレーザ・スペクトルの例を示す。
色収差が存在する場合のリソグラフ処理に関するレーザ帯域幅の影響を理解するため、我々は１８０ｎｍの単独線の空中画像調査から開始した。図３は、変化する帯域幅が空中画像（この画像寸法は、０．３画像強度値に該当すると通常仮定される）に如何に影響を及ぼすかを示す。これらのシミュレーションに対して、以下の入力パラメータが使用された。即ち、ＮＡ＝０．６、σ＝０．７５、λ0＝２４８．３２７１ｎｍである。ＦＷＨＭで帯域幅０．５ｐｍ、１．２ｐｍ、２．１ｐｍを持つレーザ・スペクトル及び単色光源が、このシミュレーション調査において使用され、また、色収差焦点応答０．２２５ミクロン（μｍ）／ｐｍが仮定された。図３に見ることができるように、帯域幅の変化は、画像強度の顕著な変化を引き起こす。
【００１４】
様々な規模による単独線の臨界寸法（ＣＤ）変化に関するレーザ帯域幅の影響は、空中画像閾値モデルを用いて評価された。この調査では、以下の入力パラメータ設定が使用された。即ち、σ＝０．７５、λ0＝２４８．３２７１ｎｍ、３０％での空中画像閾値、ＮＡ＝０．６、０．７、及び、０．８である。シミュレーションは、２４０ｎｍから１４０ｎｍの範囲の単独線に対して実施された。色収差応答は、０．２２５μｍ／ｐｍが仮定された。図４Ａ、４Ｂ、及び、４Ｃに示されるように、帯域幅（増大又は減少のいずれか）の変化は、特に高い開口数において、集積回路線路の臨界寸法に相当な変化をもたらすこと可能である。
【００１５】
（Ｆ2濃度に対する帯域幅の依存性）
エキシマ・レーザのレーザ効率及び帯域幅の両方は、フッ素濃度によって極めて変化し得ることが知られている。一般的なエキシマ・レーザのフッ素濃度は、リソグラフィ・システムの一般的な使用率のもとで運転している場合、毎時約０．１から１パーセントだけ消耗されるので、この変化は重大であり得る。レーザ制御の一般的方法は、フッ素濃度が約１０％だけ減少するまでの約２から４時間の間、パルス・エネルギ・フィードバック・システムの影響のもとで、放電電圧を徐々に上昇させることにより、フッ素が消耗する一方で一定のパルス・エネルギ出力を維持するものである。この時点で、フッ素が注入され、パルス・エネルギ・フィードバック制御システムは、直ちに放電電圧を減じる。この操作方法の結果は、帯域幅の顕著な振れであり、それは、上述のように、帯域幅に影響し、そして帯域幅の変化は、その結果、図１に示す仕方で集積回路パターンに影響する。
帯域幅の時間的変動を最小限化する技術の１つは、フッ素濃度をほぼ一定に維持することである。このことは、消耗に応じてフッ素を極めて低い速度で絶えず注入するか、又は、事実上連続的注入近似するため、極めて頻繁な間隔で「微量注入」を行うことによって行うことができる。
【００１６】
（波長補正機器）
図５は、レーザ・システム３２のための波長シフト補正システム３０の好ましい実施形態を示す。レーザ・システム３２は、同調可能レーザ３４を含む。１つの実施形態において、レーザ３４は、紫外線（ＵＶ）エキシマ・レーザであり、レーザ・エネルギのパルスを発する。レーザ・システム３２はまた、レーザ波長調節機構３６を含み、レーザ３４の波長を調節する。１つの実施形態において、レーザ波長調節機構３６は、レーザ３４を、限定されてはいるものの、約１０から２０ミリ秒の間の比較的大きな同調可能範囲に亘って同調することができる。より小さな調節は、より高速に行うことができる。レーザ波長調節機構３６は、どのような知られた波長調節機構であってもよい。好ましい実施形態において、レーザ波長調節機構３６は、同調されているレーザ・ビームがライン・ナローイング・モジュール内に設けられた回折格子を照明する角度を制御するステッパ・モータ又は圧電トランスデューサを含む。この回折格子は、複製のために狭帯域波長を反射してレーザ励起チャンバ内に戻す。これらの波長調節機構は、従来技術で公知である。
【００１７】
（レーザ波長検出）
レーザ３４が、ウェーハ製造用ステッパにおけるように、ある応用例で運転されている時、その放射されたレーザ・ビーム３８の一部分は、レーザ波長検出装置４０に向けられる。レーザ波長検出装置４０は、従来的な装置でよく、レーザ・ビーム３８の波長を検出する。適切なレーザ及びレーザ光線の波長を検出し同調する光学部材に関する更なる詳細は、本譲受人に対して譲渡され、本明細書にその全体が参照されている以下の特許において見出すことができる。即ち、スチュアート・アンダーソンらに付与された「光ビーム波長を調整するシステム及び方法」という名称の米国特許第５、０２５、４４５号、リチャード・サンドストロームらに付与された「波長計のための温度補償法及び装置とそれにより制御される同調可能レーザ」という名称の米国特許第５、４２０、８７７号、リチャード・サンドストロームに付与された「スペクトル・ナローイング技術」という名称の米国特許第５、０９５、４９２号、及び、イゴール・ホメンコフに付与された「レーザ波長制御機構を較正する方法及び装置」という名称の米国特許第５、４５０、２０７号である。精密波長検出をもたらすために使用される正確な技術は、本発明に関係しない。
【００１８】
レーザ波長検出装置４０は、レーザ・ビーム３８のある種の特性を、以下に詳述するチャープ取得システム４２のような追加の処理回路で使用するために、デジタル信号に正確に変換する。この追加処理回路は、デジタル信号を使用することができ、同調可能なレーザ３４の波長を制御し、レーザ・ビーム３８の様々な他の特性を判断する。レーザ３４は、機械的、光学的、又は、化学的（例えば、レーザ３４のガスの混合を制御することによって）に同調することができるが、レーザを同調するために使用される正確な方法は、本発明に関係しない。
【００１９】
１つの実施形態において、レーザ３４は、毎秒１０００パルス以上のパルスを放出する。理想的には、レーザ波長検出装置４０は、レーザ３４からのパルス・バーストの各パルス波長を検出する。代わりに、レーザ波長検出装置４０は、レーザ３４からのパルス・バーストから抽出されたパルスの部分集合の波長を検出してもよい。
レーザ・ビーム３８のパルスの波長を、例えば１つの実施形態における０．０１から０．０３ｐｍの精度で測定する目的で、業界で使用される、又は、あらゆる出版物において記述される、いかなる技術も使用されてよい。様々な波長検出技術及び装置の例は、本明細書に参照されている前述の特許において説明されている。
【００２０】
（圧電トランスデューサを用いる高速波長補正）
図６から図１１、図１２Ａから図１２Ｄ、図１３Ａ、及び、図１３Ｂは、同調ミラーを枢転させるために圧電トランスデューサの極端に速い応答を利用する波長高速補正技術を説明している。
【００２１】
（高速波長計）
パルス間隔の時間（２０００ヘルツレーザにとっては０．５ミリ秒）よりも短い時間間隔であるような、波長の高速制御をもたらすためには、パルス間隔時間より高速な波長測定が可能である必要がある。一般的な従来技術リソグラフィ・レーザは、波長を測定するのに大体２ミリ秒を必要とする。波長を測定する波長計及び技術の説明は、米国特許第５、９９１、３２４号において準備され、本明細書にその全体が参照されている。以下は類似の波長計の説明であり、その波長計は、必要なデータを記録するために変更が施されており、必要な計算を実行して４２０マイクロ秒未満の速度で波長を決める。
【００２２】
図６に示すように、レーザ・チャンバからの出力ビームは、ビーム・エネルギの約９５．５％を通過させて約４．５％を波長計１２０内に反射する、部分反射ミラー１７０と交差する。
反射されたビームの約４％は、ミラー１７１によってエネルギ検出装置１７２に反射される。エネルギ検出装置は、超高速フォト・セル９２を含み、フォト・セルは、繰返し率が毎秒４、０００パルス以上で発生している個々のパルスのエネルギを測定することができる。一般的なパルス・エネルギは、約１０ミリジュールであり、検出装置６９の出力は、コンピュータ制御装置１０２（図１２）に供給され、コンピュータ制御装置は、特別なアルゴリズム（本明細書に参照されている米国特許第６、００５、８７９号に説明される）を使用してレーザ充電電圧を制御し、個々のパルスのエネルギ変動及びパルス・バーストの全体エネルギを制限するため、保存されたパルス・エネルギ・データに基づいて将来パルスのパルス・エネルギを正確に制御する。上記の全ては、以下に説明される。
【００２３】
ミラー１７１を通過するビームの約４％は、ミラー１７３によりスリット１７７を通ってミラー１７４に反射され、更にミラー１７５に、戻ってミラー１７４に、そして、エシェル回折格子１７６上に反射される。ビームは、焦点距離４５８．４ミリメートル（ｍｍ）を持つレンズ１７８によって平行にされる。回折格子１７６から反射された光は、レンズ１７８を通過して戻り、再びミラー１７４、１７５、及び、再度１７４で反射され、次いでミラー１７９で反射され、そして線型フォト・ダイオード・アレー１８０の左側上に焦点合わせされる。このフォト・ダイオード・アレー上のビーム位置は、出力ビームの相対的な公称波長の荒い尺度である。ミラー１７３を通過するビームの約９０％は、ミラー１８２から反射され、レンズ１８３を通りエタロン１８４内に向かう。エタロン１８４を出るビームは、エタロンの４５８．４ｍｍ焦点長レンズによって焦点合わせされ、図６に示すように２つのミラーから反射された後、線型フォト・ダイオード・アレーの中央及び右側上に干渉フリンジを作りだす。
【００２４】
（線型フォト・ダイオード・アレー）
線型フォト・ダイオード・アレー１８０は、１０２４の個別フォト・ダイオード集積回路、及び、付属の抽出及び保持読み出し回路を含む集積回路チップである。このフォト・ダイオードは、全長２５．６ｍｍ（約１インチ）に対して２５ミクロンのピッチを持つ。それぞれのフォト・ダイオードは、５００ミクロン長である。このようなフォト・ダイオード・アレーは、幾つかの販売元から入手可能である。好ましい供給業者はハママツである。１つの好ましい実施形態において、モデルＳ３９０３−１０２４が使用され、それは、完全な１０２４ピクセル走査を２０００ヘルツを超える速度で読み出すことができるＦＩＦＯベースにおいて２．５×１０6ピクセル／秒の速度で読むことができる。より高速度のアレーは、モデルＲＬ２０４８ＰＡＱであり、カリフォルニア州サニーベール所在のイー・ジー・アンド・ジー・レチコン（ＥＧ＆Ｇ  Ｒｅｔｉｃｏｎ）により供給される。このＰＤＡは、１６．８７５キロヘルツのフレーム速度において２、０４８ピクセルで読まれることができる。
【００２５】
（粗波長の計算）
波長計モジュール１２０の粗波長光学部品は、約０．２５ｍｍ×３ｍｍの矩形画像をフォト・ダイオード・アレー１８０の左側上に作りだす。１０又は１１個の照光したフォト・ダイオードは、受光した照明の強度に比例する信号を発生させることになり、その信号は、波長計制御装置１９７のプロセッサによって読まれ、そしてデジタル化される。この情報と補間アルゴリズムとを使用して、制御装置１９７は、画像の中心位置を計算する。
この位置（ピクセルで計られる）は、２つの較正係数を使用し、また、位置と波長との間に線型関係を仮定して、粗波長値に変換される。これらの較正係数は、以下に説明される原子波長照合線源を基準として決められる。例えば、画像位置と波長との関係は、Ｐを粗い画像中心位置として、以下のアルゴリズムになるであろう。
λ＝（２．３ｐｍ／ピクセル）Ｐ＋２４８、３５０ｐｍ
【００２６】
（精密波長の高速計算）
分光計は、波長と帯域幅とをほぼ実時間で測定しなければならない。レーザの繰返し率が２キロヘルツ以上なので、経済的かつコンパクトな処理用電子装置を用いて目標とする性能を達成するため、正確ではあるが、しかし計算集中型ではないアルゴリズムを使用することが必要である。本出願者は、浮動小数点計算に対して整数値を使用し、また、演算は全て線形である（又は、平方根、正弦、対数などを使用する）ことが好ましい。
【００２７】
この好ましい実施形態において使用される好ましいアルゴリズムの具体的な詳細は、ここで以下に説明される。図６Ｂは、示されるように５個のピークを持つ曲線であり、それは線型フォト・ダイオード・アレー１８０で測定された場合の一般のエタロン干渉信号を表す。中心ピークは、他よりも高さが低く描かれる。光の様々な波長がエタロンに入ると、中心ピークは、上昇及び降下することになり、時折ゼロになる。この態様は、中心ピークを波長測定に対して非適切にする。他のピークは、波長の変化に応じ、中心ピークに向かって、又は、それから離れて移動することになり、これらピーク位置は、波長を決め、一方それらの幅はレーザの帯域幅の長さになる。「データ・ウインドウ」と表示された領域が図６Ｂに示される。このデータ・ウインドウは、中心ピークに最も近いフリンジが解析用として標準的に使用されるように設けられる。しかしながら、波長が変化して、このフリンジを中心ピークに近づき過ぎるように移動させる場合（それは歪みを引き起こし、結果として誤差をもたらすことになる）、２番目に近いピークがデータ・ウインドウの内側になり、ソフトウエアは、そのピークに飛びつくことになる。逆に、波長がシフトして、現在のピークをデータ・ウインドウの外へ、中心ピークから離して移動させる場合、ソフトウエアは、データ・ウインドウ内の内側フリンジに飛びつくことになる。
【００２８】
関連する段階は、以下の通りである。
１．  レーザ・パルスの後、フォト・ダイオード・アレーの出力は、電子的に読み出され、デジタル化される。データ点は、フォト・ダイオード・アレー部材の間隔によって物理的に決められる間隔、この場合２５ミクロンのピッチ、で分離される。
２．  このデジタル・データは、データ・ウインドウのピーク強度値を見出すために調べられる。その前のピーク場所は、開始点として使用される。開始点の左右で小領域が調べられる。この調査領域は、ピークが発見されるまで、小間隔で左右に拡張される。ピークがデータ・ウインドウ外である場合、他のピークが発見されるまで、調査は自動的に継続することになる。
３．  ピーク強度に基づいて、図６Ａに示されるように、５０％レベルが計算される。０％レベルは、パルス間隔において周期的に測定される。計算された５０％レベルに基づいて、各点は、ピークの左右で、５０％レベルの境界を定めるデータ点が見出されるまで調べられる。図６ＡにおいてＡ及びＢで表示される半値位置を見出すために、５０％レベルの境界を定める１対の点の間で線形補間が計算される。これらの位置は、整数データ・フォーマットを使用して、１／１６のようなピクセルの分数まで計算される。
４．  段階２及び３は、２つのデータ・ウインドウに対して反復され、合計で４つの補間された５０％位置を与える。図６Ｂに示されるように、２つの直径が計算される。Ｄ１は内側フリンジ直径であり、一方、Ｄ２は、外側フリンジ直径である。
５．  波長に対する近似値は、前節「粗波長の計算」で説明されたように、粗波長回路によって決められる。
【００２９】
（精密波長の計算）
内側及び外側フリンジ直径Ｄ１及びＤ２（単位はピクセル）は、それぞれ以下の式で波長に変換される。
λ＝λ0＋Ｃｄ（Ｄ2−Ｄ02）＋Ｎ・ＦＳＲ
ここで、λは直径Ｄに対応する波長、
λ0は、較正波長、
Ｄ0は、波長λ0に対応する直径、
Ｃｄは、光学的設計に依存する較正定数、
ＦＳＲは、エタロンの自由スペクトル範囲、
Ｎは、整数０、±１、±２、±３、・・・である。
【００３０】
λ0、Ｋ1、ＦＳＲ、及び、Ｄ0の値は、較正の時点で判断され、保存される。Nに対する値は、λCを粗波長測定値として、
｜λ−λC｜≦１／２ＦＳＲ
であるように選択される。
例えば、好ましい実施形態において、基準波長λ0＝２４８、３２７．１ｐｍ（中空鉄陽極ランプの吸収線に対応する）が選択される。この波長のもとでは、フリンジ直径Ｄ0は３００ピクセルと見出されるだろう。Ｃｄは定数であり、直接測定することも、光学的設計から計算することも、いずれも可能である。好ましい実施形態において、Ｃｄ＝−９．２５×１０-5ｐｍ／平方ピクセルである。従って、例えば、様々な波長のもとで作動しているレーザを用い、フリンジ直径が４０５ピクセルと測定され得る。式（１）による計算で可能な波長は、
0004038340.tif 000002
自由スペクトル範囲がＦＳＲ＝２０ｐｍの場合、λに対する可能な値は、
２４８、２９３．９５ｐｍ      Ｎ＝−２
２４８、３１３．９５ｐｍ      Ｎ＝−１
２４８、３３３．９５ｐｍ      Ｎ＝０
２４８、３５３．９５ｐｍ      Ｎ＝＋１
２４８、３７３．９５ｐｍ      Ｎ＝＋２
を含む。
【００３１】
例えば、粗波長がλC＝２４８、３５０であると測定される場合、プロセッサは、λCに最も近似する解として、λ＝２４８、３５３．９５ｐｍ（Ｎ＝＋１）の値を選択することになる。
図１６Ｂに示されるような内側及び外側フリンジ直径Ｄ１及びＤ２の各々は、波長λ1及びλ2に各々変換される。レーザ波長用に報告される最終値は、これら２つの計算値の平均である。即ち、
λ＝（λ1＋λ2）／２
である。
【００３２】
（帯域幅の計算）
レーザの帯域幅は、（λ2−λ1）／２として計算される。一定の補正係数が、真のレーザ帯域幅に加算されているエタロン・ピークの固有幅を考慮するために適用される。数学的には、デコンボルーション・アルゴリズムが、エタロン固有幅を測定幅から除去するための形式的方法であるが、しかし、これは余りにも計算集中的であり過ぎるであろうから、一定補正Δλεが減算され、それは十分な正確さをもたらす。従って、帯域幅は、
Δλ＝［（Ｄ2−Ｄ1）／２］−Δλε
である。Δλεは、エタロン仕様及び真のレーザ帯域幅の両方に依存する。それは、一般に、ここで説明する適用例に対しては、０．１から１ｐｍの範囲にある。
【００３３】
（波長の較正）
ミラー１８２を通過するビームのうちの約１０％は、ミラー１８６から光ファイバ入力１８８内に反射され、光は光ファイバを通って進み、原子波長基準１９０に行く。この光ファイバは、開口部１９１で原子比較ユニット１９０に接続し、また、光ファイバからの光はミラー６９から反射され、レンズ１９３によってネオン鉄蒸気セル１９４の中心の焦点に焦点合わせされ、レンズ１９５によってフォトダイオード１９６上に再び焦点合わせされる。原子波長基準ユニット１９０は、波長計１２０を較正するために使用される。これは、フォトダイオード１９６の出力を監視しながら、検出装置６９によって示される出力エネルギを一定に保つ一方で、レーザ波長を調節することによって行われる。フォトダイオード６９が公称出力を示しているのに、フォトダイオード１９６が相当な出力減少を示す場合、出力の波長は、２４８．３２７１ｎｍの鉄蒸気吸収線に一致する必要がある。フォトダイオード１９６の出力が最小である時のエタロンフリンジに対応する位置データ及び線型フォトダイオード１８０上に回折格子１７６によって作りだされた画像に対応する位置データは、波長計制御装置１９７によって検出及び記録がなされ、このデータは、波長計制御装置１９７によって波長計１２０を較正するために使用される。
【００３４】
（波長測定用マイクロプロセッサ）
２０００ヘルツレーザのパルス間隔はわずか５００マイクロ秒しかないので、その直前に先行したパルスの波長誤差に対して、これから起こるパルスの補正を行う機会を得るために、波長は、５００マイクロ秒をかなり下回る時間で計算されなければならない。上述のように、フォトダイオード・アレー１８０は、２×１０6ピクセル／秒の速度で読むことができる。データは、読出しの間にデータ処理が開始できるようにバッファ・メモリに読み込まれる。上述の計算を実行するために必要とされるデータ処理は、好ましくはモトローラ・コーポレーションから供給されるモデル６８３３２  ２５メガヘルツマイクロプロセッサを使用して行われる。本出願者は、この余り高価ではないプロセッサは、性能劣化を伴うことなく４３メガヘルツで走らせるためにオーバークロックさせることができると判断した。１つの好ましい構成において、全てのデータは、ＰＤＡ１８０から読み出され、上記の波長計算が４２０マイクロ秒の間になされ、次のバーストの前にミラー１４を移動するのに８０マイクロ秒を与える。
【００３５】
（帯域幅の補正）
図６に示される分光計装置によって行われる帯域幅測定は、真の波長よりも大きい帯域幅をもたらすが、それは、すなわち、全ての分光計が、分光計が単色ビームを監視する場合に表示するであろうスペクトルである「スリット函数」と呼ばれる、それ自身のスペクトルを持つからである。
本出願者は、図６の装置用に、測定されたスペクトルに対して控えめに補正する技術を開発したので、この技術を以下に説明する。
図１５Aは、一般的な分光計スリット函数及び仮想的な真のスペクトルを定性的に示す。測定されたスペクトルは、スリット函数とレーザ・ビームの真のスペクトルとの畳み込みになるであろう。従って、ガス放電レーザからの生のスペクトル・データから真のスペクトルを決定するためには、スリット函数が除去されなければならない。これを数学的に行おうとすれば、極めて困難であるという結果になる。
【００３６】
生のスペクトル・データを補正する本出願者の地味な技術は、非常に単純で、また、従来技術に比べてより控えめである。この技術は、以下の段階に関連する。
１）  分光計装置のスリット函数を、ほぼ単色のレーザ・ビームを使用して測定する。
２）  実際のガス放電レーザのスペクトルを同じ分光計を使用して測定する。
３）  分光計によって測定された生のガス放電レーザ・スペクトル・データの幅ＷRを計算する。
４）  スリット函数と生のガス放電レーザ・データとを畳み込む。
５）  得られた畳み込みスペクトルの前方畳み込み幅ＷFCを計算する。
６）  次式を用い、真のガス放電レーザ・スペクトルの近似幅ＷTを計算する。
ＷT＝ＷR−（ＷFC−ＷR）
これらのＷは、ＦＷＨＭ又は９５％全帯域幅仕様など、幾つかのスペクトル幅のどれであってもよい。
【００３７】
（高速ミラー調節）
図１２、１２Ａ、及び、１２Ｂは、ミラー１４の高速調節を許容する機構を示す。この実施形態は、上述のステッパ・モータ駆動システムに比較して、大変な速度向上であるものの、パルスからパルスへの調節を行うのに十分なほど極めて高速というわけではない。上記の通り、ミラー位置決めに関する以前の方法は、ミラー１４を移動させるのに約７ミリ秒を必要とし、パルスからパルスの波長補正を２０００ヘルツで行うことは問題外であった。その以前の技術においては、レバー・アームが枢軸周囲に枢転し、ステッパ位置の移動と比較して、１対２６．５のミラー移動の引き下げをもたらした。従来技術でのステッパは、全体で１／２インチ（１２．７ｍｍ）の移動、及び、６０００ステップを持ち、その結果、それぞれのステップは、距離にして約２ミクロンである。１対２６．５の引き下げを行うと、１ステップは、約７５ｎｍの移動であり、それは一般に、レーザ波長の波長を約０．１ｐｍ変化させる。図１２Ａに示される高速で作用する技術においては、圧電スタック８０がレバー・アームの枢転位置に追加された。好ましい圧電スタックは、ドイツのバルトブロン所在のフィジク・インストルメンテ有限責任会社により供給されるモデルＰ−８４０．１０である。
【００３８】
このスタックは、２０ボルトの駆動電圧変化で約３．０ミクロンの線形調節をもたらすであろう。この範囲は、ステッパ・モータの約±２０ステップに匹敵する。
このスタックは、制御信号に対し１マイクロ秒未満内で応答し、システムは、２０００ヘルツの周波数で更新された信号に容易に応答することができる。好ましい実施形態において、２０００ヘルツのパルス繰返し数のパルスの各々に対する制御は、１つ前のパルスに基づくのではなく、１つ前のパルスより以前のパルスに基づき、波長計算に対して十分な時間を与える。しかしながら、この実施形態は、７ミリ秒の待ち時間を持って、従来技術の設計に比べ７倍の改善をもたらす。従って、更に高速度のフィードバック制御をもたらすことができる。１つの好ましいフィードバック制御アルゴリズムは、図１２Ｃに説明されている。このアルゴリズムにおいて、波長は、それぞれのパルスに対して測定され、最後４つ及び最後２つのパルスの平均波長が計算される。そのいずれの平均も、目標波長からのずれが０．０２ｐｍ未満である場合、調節は行われない。両方が目標から０．０２ｐｍを超えてずれる場合、圧電スタック８０によってミラー組立体に対して調節がなされ、波長補正が施される。２つの平均のどちらが使用されるかは、最後に調節されてからどれだけ多くの時間が経過したかによって判断される。圧電スタックは、そのスタックがその範囲の３０及び７０パーセント（又は、より利用可能な範囲を準備するために、３０及び７０パーセントの範囲の代わりに４５及び５５パーセントを使用することもできる）に接近すると、ステッパ・モータがステップすることによって、その制御範囲内に維持される。ステッパ・モータは、１ステップ完了に約７ミリ秒を必要とするので、アルゴリズムは、ステッパ・モータのステップの間、幾つかの圧電調節をしてもよい。
【００３９】
（パルスからパルスのフィードバック制御）
図１３Ａ及び１３Ｂは、８０マイクロ秒よりも更に高速のミラー調節を可能にするミラー制御装置を示し、その結果、パルスからパルスへの補正がパルス繰返し数２０００ヘルツのもとで実現可能である。この場合、圧電スタック８０は、金属サポート８０Aによって置換され、また、代わりに、より重量のあるミラー取付台８６Ａに対して移動する締め付けリブ１４Ｂを持つ軽量ミラー１４Ａに対して圧電調節がもたらされる。ミラー１４Ａは、スタック８８Ａ、８８Ｂ、及び、８８Ｃの端部の球状接点に対して、調節可能な張力部材８９によりしっかりと保持される。
【００４０】
この実施形態において、これらの圧電スタックは、ミラー取付台８６Ａに対するミラー１４Aの位置の非常に精密な調節を準備する。上記の例のように、大きな調節は、ステッパ・モータによってもたらされるので、圧電部品８８Ａ、８８Ｂ、及び、８８Ｃの全体の調節範囲は、約１．５ミクロンのように極めて小さくてよい。３つの圧電部品を持つこの軽量ミラーの約０．１ミクロンのような極めて小さな距離に亘る調節は、約１０マイクロ秒の範囲で、極めて高速で実行可能である。ミラー位置の調節は、駆動装置８８Ａを一方向に移動させ、駆動装置８８Ｂ及び８８Ｃを逆方向に移動させるか、又は、駆動装置８８Ａのみを移動させることで調節できる。従来例でのように、図１２Ｄに概要が説明されている好ましい制御アルゴリズムは、圧電位置が制御範囲の最低約３０パーセント又は最高７０パーセントに達する場合、ステッパ・モータのステップを必要とする。このことは、約０．８ｐｍから約１．６ｐｍ（１つの圧電駆動装置が使用されているのか、それとも３つなのかに依存する）に匹敵する１６０ｎｍのステッパ・モータの移動なしの制御範囲をもたらす。従って、超高速圧電制御は、図１５Ａに示すように、一般に±０．１０pm内にある実質的に全てのチャープ変動を制御するのに十分な範囲を持つ。より大きな波長変化は、ステッパ・モータによってもたらされる。
【００４１】
図１２Ｄに概略説明されたアルゴリズムは、レーザ波長のパルスからパルスへの制御を準備し、図１３Ａ、１３Ｂ、及び、１３Ｃに示される超高速ミラー設計を使用した次パルス補正ができるようにする。図１２Ｄに説明されるように、このアルゴリズムは、パルスＮの完了を待ち受け、それをパルスＮ−１として再定義する。アルゴリズムは、パルスの波長を測定し、それを目標パルスと比較し、そしてスタック８８Ａ、８８Ｂ、及び、８８Ｃを、又は、スタック８８Ａを移動させ、目標とする波長補正をもたらす。この全ては、パルスＮに先行して行われ、その結果、パルスＮの時点では、ミラーは移動され、静止状態である。スタックのどれかがその３０％から７０％の範囲を外れる場合、ステッパ・モータがステップを行う。アルゴリズムはその後、範囲が外れたスタックの、３０％から７０％範囲内への移動を引き起こすことになる。スタックの位置は、それらの制御電圧に基づく。アルゴリズムは、ΔλＥの絶対値が波長変動に対する１つの仕様値の２０％である０．０１ｐｍのような特定の小さな値未満の場合、圧電調節が行われないように変更することもできる。
【００４２】
（予備同調及び積極同調）
上記の実施形態は、チャープ補正以外の目的で使用することができる。ある場合には、集積回路リソグラフィ機械のオペレータは、予め決めるやり方で波長の変更を希望するかも知れない。換言すれば、目標波長λTは一定波長ではなく、所定のパターンに従うか、又は、早期の歴史的波長データ又は他のパラメータを使用し、学習アルゴリズムを連続して又は周期的に更新する結果としてか、そのいずれかにより、必要な頻度で変更することができるであろう。
【００４３】
（ミラー位置の測定）
ある場合において、特定のミラー位置を指定することによって波長を制御することが必要であり得る。このことは、図１４及び図１４Ａに示される実施形態を使用して行うことができる。この実施形態において、ダイオード・レーザ８６は、図１４Ｂに示されるように、ミラー１４Ｃから反射されるビームを供給し、その反射ビームは、フォトダイオード・アレー９０に焦点合わせされ、ミラー１４Ｃの枢転位置を決める。この装置は、実際の波長測定のためにレーザを作動させることなく、ミラーの正確な位置決めを可能にする。これは、ミラーの正確な位置決めが必要な場合、重要となり得るであろう。図１４Ａは、ピボット測定の精度を向上させるため、ミラー１４ＣとＰＤＡとの間の光学的距離を増大させる技術を示す。
【００４４】
（圧電駆動装置を用いる詳細設計）
図７は、本発明の好ましい実施形態の詳細特徴を示す図である。この設計は、図１２Ａ及び図１２Ｂに示されるものと類似である。ミラー１４の位置の大きな変化は、２６．５対１のレバー・アーム８４を介してステッパ・モータによって作り出される。この場合、圧電駆動装置８０の端部においてダイヤモンド・パッド８１が準備され、レバー・アーム８４の支点の球状位置決めボールに接触する。レバー・アーム８４の頂上とミラー取付台８６との間の接触は、レバー・アーム上のダウ・ピンと、８５において示されるようなミラー取付台上に装着された４つの球状ボール・ベアリング（その２つだけが示されている）を使用してもたらされる。圧電駆動装置８０は、圧電マウント８０Ａを用いてＬＮＰフレーム上に装着され、また、ステッパ・モータは、そのフレームにステッパ・モータ取付台８２Ａを用いて装着される。ミラー１４は、ミラー取付台８６内に、その１つのみが図７に示されている３つのアルミニウム球体を使用する３点マウントを使用して装着される。３つのスプリング１４Ａは、ミラーを球体に対して保持する圧縮力を加える。
図８は、図７に示されるものからは若干異なる好ましい実施形態である。この実施形態は、ベローズ８７を含み、ＬＮＰ内部の環境から圧電駆動装置を隔離する。この隔離は、圧電素子に対するＵＶ損傷を防ぎ、また、圧電材料から出るガス発生によって引き起こされる可能性のある汚染を回避する。
【００４５】
（目標とする波長を近似するディザ同調ミラー）
上記の、波長と帯域幅との監視機器及び波長同調機器は、レーザ・ビームの帯域幅制御を可能にする。
この技術は、図６に示される波長計を使用して帯域幅を監視することを必要とする。帯域幅が目標とする帯域幅未満の場合、波長制御機器が利用され、頻繁な間隔でミラー１４をディザさせ、パルスからパルスのやり方でスペクトルの極めて微小なシフトを引き起こし、その結果、パルスのウインドウに亘る平均積分スペクトルは、目標とする帯域幅に類似する帯域幅を備えるほぼ一定のスペクトルを近似する。
【００４６】
例えば、スキャナに対する光学的装置が０．４ｐｍの帯域幅用に設計され、そしてフッ素濃度の減少の故に個別パルスの帯域幅が０．３ｐｍである場合、ミラー１４は、その公称位置周囲にディザさせることができ、０．１ｐｍだけの有効増加と同じ公称波長を維持するために、約０．０５ｐｍの公称波長の正及び負のシフトを作りだす。上記で検討した種類の、一般的な市販エキシマ・レーザにとっては、波長の０．０５ｐｍのシフトを作り出すのに、ミラー１４のピボット位置の変化約２ｎｍが必要である。ミラー位置のこの変化は、上記で参照され、また項目８０として図に示される圧電駆動装置によって容易にもたらされる。一般に、集積回路製造において、ウェーハ上のそれぞれのスポットは、ディザ速度が十分であるように、通常約３０から１５０パルスの範囲の多くのパルスを用いて照明され、その結果、ダイ・スポットの各々は、ディザの両側からほぼ等しいパルスの一部分を受ける。
従って、スポットを照明するパルスの数が３０の場合、ディザ速度は少なくともパルス繰返し数の１／４でなければならない。従って、パルス繰返し数が２０００ヘルツである場合、ディザ速度は、好ましくは最低５００ヘルツであろう。このことは、上記で参照される装置及びソフトウエアにとって問題とはならない。
【００４７】
（変形可能な同調ミラー）
図１０は、セグメント化された選択ミラーを示し、そこでは、５つのミラー・セグメントのそれぞれは、それ自身の圧電駆動装置１４Ｂ１−５によって制御される。セグメントのそれぞれは、超高速で作動させることが可能である。この実施形態は、ビームのそれぞれの水平位置が個々に制御できることから、レーザの帯域幅を改善する別の長所を持つ。好ましい実施形態において、それぞれのセグメントは、帯域幅を０．０３±０．０２ｐｍの範囲内などの目標とする範囲に維持するために設計されたフィードバック制御システムとソフトウエアとを使用して個別に制御される。この実施形態はまた、ＰＤＡ１２４を持ち、それぞれのセグメントの位置を測定する。水銀ランプ１１４によって光が準備され、そこではＵＶ光は、スリット１１６とコラミネーティング・レンズ１１８とを通過する。この場合のビームは、レーザ・ビームを拡大するために使用されるのと同じビーム・エクスパンダを通して拡大され、５つの小レンズは、それぞれのミラーからの光をＰＤＡの別々の部分に焦点合わせする。
【００４８】
（回折格子面の浄化）
ライン・ナローイング・パッケージの浄化が知られているが、従来技術では、浄化流が直接的に回折格子面に流れないようにすることを教えており、その結果浄化流は、一般に、回折格子面背部などの位置に設けられたポートを通して供給される。本出願者は、しかしながら、極めて高い繰返し数のもとでは、高温ガス（窒素）の層が回折格子面上に形成され、波長を歪ませることを発見した。この歪みは、上記で検討した積極的な波長制御によって、少なくとも部分的に補正することができる。別のアプローチは、図１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、及び、１１Ｄに示されるように、回折格子面を浄化することである。図１１Ａにおいて、長さ１０インチ、直径３／８インチの浄化管６１の頂部の各小孔（１ｍｍ、又は、１／４インチの間隔）は、浄化流を供給する。他の技術は、図１１Ｂ、１１Ｃ、及び、１１Ｄに示されている。
【００４９】
本発明の特定の実施形態が示され、また説明されてきたものの、本発明のより広い態様から逸脱することなく、変更及び修正がなされ得ることは、当業者にとって明白であろう。例えば、部分的に線が狭められたレーザにおいて、帯域幅は、複数のプリズムを使用して線が狭められ、また、ビームは、同調ミラーを使用して反射される。この技術は、同調ミラーをディザすることを必要とするであろう。これらのディザ技術は、コヒーレンスの問題を取り除くのに役立つこともまた理解されたい。従って、添付の請求範囲により、そのような全ての変更及び修正を本発明の真の精神及び範囲に包含することが意図されている。
【図面の簡単な説明】
【図１】最良の焦点の、波長による変動を示すグラフである。
【図２】一般的な狭帯域ガス放電レーザスペクトルを示す図である。
【図３】空中画像強度の帯域幅による変動を示す図である。
【図４Ａ】臨界寸法の変化の帯域幅による変動を示す図である。
【図４Ｂ】臨界寸法の変化の帯域幅による変動を示す図である。
【図４Ｃ】臨界寸法の変化の帯域幅による変動を示す図である。
【図５】狭帯域レーザシステムのブロック図である。
【図６】波長計の図である。
【図６Ａ】波長の計算方法を示す図である。
【図６Ｂ】波長の計算方法を示す図である。
【図７】本出願者によって製作された１つの好ましい実施形態を示す図である。
【図８】本出願者によって製作された１つの好ましい実施形態を示す図である。
【図９】試験結果を示す図である。
【図１０】好ましい実施形態に従って構成されたレーザ・システムを示す図である。
【図１１Ａ】好ましい実施形態において回折格子面を冷却する技術を示す図である。
【図１１Ｂ】好ましい実施形態において回折格子面を冷却する技術を示す図である。
【図１１Ｃ】好ましい実施形態において回折格子面を冷却する技術を示す図である。
【図１１Ｄ】好ましい実施形態において回折格子面を冷却する技術を示す図である。
【図１２】高速で精密な波長制御をもたらすために提案された技術を示す図である。
【図１２Ａ】高速で精密な波長制御をもたらすために提案された技術を示す図である。
【図１２Ｂ】高速で精密な波長制御をもたらすために提案された技術を示す図である。
【図１２Ｃ】波長制御アルゴリズムを説明するフローチャートである。
【図１２Ｄ】波長制御アルゴリズムを説明するフローチャートである。
【図１３Ａ】高速のミラー調整を可能にするミラー制御装置を示す。
【図１３Ｂ】高速のミラー調整を可能にするミラー制御装置を示す。
【図１４】好ましいライン・ナローイング・パッケージの形態を示す図である。
【図１４Ａ】好ましいライン・ナローイング・パッケージの形態を示す図である。
【図１４Ｂ】好ましいライン・ナローイング・パッケージの形態を示す図である。
【図１５】仮想的な真のスペクトルと比較したスリット関数を示す図である。
【符号の説明】
３０  波長シフト補正システム
３２  レーザ・システム
３４  同調可能レーザ
３６  レーザ波長調節機構
３８  レーザ・ビーム
４０  レーザ波長検出装置
４２  チャープ取得システム
４４  学習アルゴリズム
４６  コンピュータ・システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５】
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【図６】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
0004038340.tif 000015
【図１０】
0004038340.tif 000016
【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１１Ｃ】
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【図１１Ｄ】
0004038340.tif 000020
【図１２】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１２Ｃ】
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【図１２Ｄ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１４】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５】
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