(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
頂板と上側壁とを一体的に形成した帽状体の当該上側壁下端部と筒状の真空チャンバの上端部とを当接固定して構成したロード・ロックチャンバの前記帽状体内側にガス流動間隙を介在させて固定されているガス整流用カバーの前記頂板に対向する上面に、ガス拡散フィルターの下端を前記ガス整流用カバーの上面と当該ガス拡散フィルターの下端との間に取付筒を介在させないで固定し、該ガス拡散フィルターの上端側をロード・ロックチャンバの前記頂板を介してガス導入手段に接続すると共に、前記ロード・ロックチャンバを構成する帽状体の頂板と上側壁とが一体的に形成されている隅部内壁を円滑な曲面に形成したことを特徴とする基板処理装置のロード・ロックチャンバ機構。
【請求項２】
前記ガス整流用カバーは、前記帽状体を構成する頂板の内側及び、前記帽状体を構成する上側壁の内側に配備されていることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置のロード・ロックチャンバ機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ロード・ロックチャンバ内のベントガスの流動状態を整然かつ円滑にすることにより基板表面に付着するパーティクルを皆無にすることを目的とし、かつロード・ロックチャンバの上部側壁の下端と、真空チャンバの上端との連結高さを適宜の高さとすることにより、ロード・ロックチャンバ内のメンテナンス、クリーニングを容易にすることを目的とした基板処理装置のロード・ロックチャンバ機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来ロード・ロックチャンバのガス拡散フィルターは、取付筒により整流用カバーの頂面に固定されていたので、ベントガスは前記取付筒に設けた数個の孔を通って拡散していた。またロード・ロックチャンバは、筒状の真空チャンバの上端へ平面状の頂板を当接固定していた。
【０００３】
【発明により解決すべき課題】
前記従来のロード・ロックチャンバのガス拡散フィルターは、取付筒によって固定されていたので、ガスは必然的に取付筒壁の孔を通過してロード・ロックチャンバ内へ拡散されることなり、ロード・ロックチャンバ内への均一なガス拡散を図ることが困難であった。
【０００４】
またロード・ロックチャンバの頂板は平板状であるから、ロード・ロックチャンバの上端開口部には、平板状の頂板が固定され、これによってロード・ロックチャンバの上端開口部と頂板との成す角度が直角乃至はほぼ直角となって、ガスの流動を円滑にすることが困難であった。更に、直角乃至はほぼ直角なロード・ロックチャンバの各隅部には、パーテクル発塵源が堆積しやすく、これが前記不均一なガス流動によって巻き上げられ、基板表面に付着する原因になるという問題点もあった。
【０００５】
また真空チャンバの上端開口部の位置が高い場合には、前記頂板を取外した後のメンテナンスに際し、内側に手が届かない、十分にクリーニングできないという問題点もあった。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】
然るにこの発明は、ガス拡散フィルターの下部全周から、ガスを拡散させるように構成すると共に、ロード・ロックチャンバの隅部内壁を円滑な曲面に形成することにより、前記従来の問題点を解決したのである。
【０００７】
またロード・ロックチャンバの側壁を構成するに際し、真空チャンバの上端の接続部を比較的低くすることにより、メンテナンスにおける作業性を改善したのである。
【０００８】
即ちこの発明は、頂板と上側壁とを一体的に形成した帽状体の当該上側壁下端部と筒状の真空チャンバの上端部とを当接固定して構成したロード・ロックチャンバの前記帽状体内側にガス流動間隙を介在させて固定されているガス整流用カバーの前記頂板に対向する上面に、ガス拡散フィルターの下端を前記ガス整流用カバーの上面と当該ガス拡散フィルターの下端との間に取付筒を介在させないで固定し、該ガス拡散フィルターの上端側をロード・ロックチャンバの前記頂板を介してガス導入手段に接続すると共に、前記ロード・ロックチャンバを構成する帽状体の頂板と上側壁とが一体的に形成されている隅部内壁を円滑な曲面に形成したことを特徴とする基板処理装置のロード・ロックチャンバ機構である。また、ここで、前記ガス整流用カバーは、前記帽状体を構成する頂板の内側及び、前記帽状体を構成する上側壁の内側に配備されていることを特徴とする基板処理装置のロード・ロックチャンバ機構である。
【０００９】
前記のような構成を採用することによって、本発明のロード・ロックチャンバ機構においては、ガス拡散フィルターの下端とガス整流用カバーの上面との間に取付筒が介在されていない。これによって、ガス拡散フィルターの下端からのガスの拡散は、ロード・ロックチャンバの全周囲に対して均一に行われることになる。また、ロード・ロックチャンバの隅部内壁を円滑な曲面に形成しているので、各隅部においてガスの円滑な流れが乱される事はなく、各隅部にパーテクル発塵源が堆積することも防止できる。
【００１０】
これらの構成によって、ベント時におけるベントガスの流れを均一かつスムーズに行わせる事ができ、ロード・ロックチャンバ内における真空から大気圧またはその逆の圧力変化時にガスの乱れた流れが生じないので、チャンバ内に存在するパーテクル発塵源が巻き上げられ、基板表面にパーティクルが付着する事を防止できる。
【００１１】
更に、ロード・ロックチャンバの上部側壁の下端部を、真空チャンバの上端部へ当接固定したことによって、メンテナンスあるいはクリーニング時における作業性を改善する事ができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
この発明は、ロード・ロックチャンバの頂板内側にガス流動間隙を介在させて固定されているガス整流用カバーの上面に、ガス拡散フィルターの下端を固定し、該ガス拡散フィルターの上端側をロード・ロックチャンバの頂板を介してガス導入手段に接続すると共に、前記ロード・ロックチャンバの隅部内壁を円滑な曲面に形成して、ベントガスの円滑な流動を促進したものである。
【００１３】
またロード・ロックチャンバの側壁における真空チャンバの上端の接続高さを適宜に定めることにより、開口して行うメンテナンスに際し、作業性を改善したものである。
【００１４】
【実施例１】
この発明の実施例を図１、図２に基づいて説明する。図２は従来のロード・ロックチャンバを示すものであり、図１図示の本発明の好ましい実施例を説明するにあたり、従来例との対比を容易にすべく、図２の従来例と同一の作用を行う部分については、同一の名称を用いて説明する。
【００１５】
頂板１ａと上側壁１ｂとを一体的に形成した帽状体１の側壁下端部と筒状の真空チャンバ２の上端部とを当接固定してロード・ロックチャンバ３を構成し、前記帽状体１の頂板１ａの中央部にフィルター孔４を設けて、該フィルター孔４へ環状間隙６を介してガス拡散フィルター５を挿入し、その下端を整流用カバー７に固定してある。前記整流用カバー７は帽状体１の内側へ所定大きさのベントガス流動間隙を介して、前記帽状体１の内壁に固定してある。前記ロード・ロックチャンバ３の帽状体１の隅部Ａ、Ｂは比較的大きく湾曲させて、ベントガスが矢示１６、１７のように円滑に流れるようにしてある。図中８はベントガス導入管、９、１０は大小のガス導入バルブ、１１は排気ポンプ、１２は排気バルブ、１３はウエーハ、１４はウエーハカセット、１５はガス拡散フィルターのカバーである。
【００１６】
図２は現に使用されているロード・ロックチャンバ２３である。このロード・ロックチャンバ２３は、平板状の頂板２４を筒状の真空チャンバ２５上へ固定すると共に、頂板２４の中央部へ、ガス拡散フィルター２６を挿入し、その下端は取付筒２７を介して整流用カバー２８に固定したものである。このロード・ロックチャンバ２３によれば、ベントガスは矢示２９、３０のように流動すると共に、矢示３１、３２のように乱流を生じ、隅部ａ、ｂにたまったごみ、又はウエーハ３３の裏面に付着しているごみを舞い上げてウエーハ３３の表面に付着させるので、パーテイクルが発生することになる。従ってパーテイクルを皆無にする為にはベントガスの流入時に乱流を生じないことが必要な条件である。図中８はベントガス導入管、２２は排気ポンプである。
【００１７】
前記図１の実施例において、ロード・ロックチャンバ３は、オートローダ内のカセットにあるウエーハを大気状態でオートローダ搬送ロボットで移送する。その後ロード・ロックチャンバを排気ポンプにより真空とし、ＳＥＰチャンバ内にある搬送ロボットにより１枚づつ取り出して処理チャンバへ搬送する。処理チャンバでの処理が完了したならば、ロード・ロックチャンバへすべての基板を回収する。その後ロード・ロックチャンバを大気圧とし、大気圧になったならば、オートローダー内の搬送ロボットでロード・ロックチャンバにある基板をカセットへ移送し処理が完了する。
【００１８】
前記において、ロード・ロックチャンバを大気圧にするには、先づカセット１４を矢示１９のように上限２１まで上昇させた後、排気ポンプ１１のバルブ１２を閉じる。ついで小さい方のガス導入バルブ９を開いてガスを矢示１８のように少量宛導入し、ついで適正時間（約３０秒〜６０秒）経過後、大きい方のガス導入バルブ１０を開きガスを導入する。
【００１９】
前記において、ベントガスを急激に導入すると、ベントガスに乱流を生じ、ロード・ロックチャンバ内に付着したごみが舞い上るおそれがある為に、ガスの導入は緩徐に行う。
【００２０】
この発明においては、急激なガスの導入がなければ、ベントガスは矢示１６、１７のように整流となって円滑に流入するので、ウエーハ１３にごみが付くおそれがない。実験の結果によれば、サイズ０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ以上でパーテイクルの数が１ヶ以下という厳しい条件でも十分達成することができる。ロード・ロックチャンバ３内が大気圧に達したならば、カセット１４は矢示２０のように下降させる。
【００２１】
以上、本発明の好ましい実施例を説明したが、ここで説明した構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特定的な記載がない限り、本発明の範囲をそれらに限定する趣旨のものではなく、単なる一実施例として説明したものにすぎない。すなわち、本発明は、前記実施例に限定されず、この明細書で開示した発明の技術的範囲に於て種々に変更可能である。
【００２２】
【発明の効果】
この発明によれば、ガス拡散フィルターの四周からガスを拡散させると共に、ロード・ロックチャンバ内の隅部は比較的大きな湾曲面を形成し、ベントガスの乱流を防止しているので、ガス導入時にロード・ロックチャンバ内のごみが舞い上ったり、ウエーハに付着するおそれはないなどの諸効果がある。
【００２３】
またロード・ロックチャンバの上部側壁の下端部と、真空チャンバの上端部との当接部を比較的低くすることにより、真空チャンバ内の清掃などメンテナンス作業を合理化し得る効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例の一部を省略した断面図。
【図２】同じく従来のロード・ロックチャンバの一部を省略した断面図。
【符号の説明】
１  帽状体
２  真空チャンバ
３  ロード・ロックチャンバ
４  フィルター孔
５  ガス拡散フィルター
６  環状間隙
７  整流用カバー
８  ベントガス導入管
９、１０  ガス導入バルブ
１１  排気ポンプ
１２  排気バルブ
１３  ウエーハ
１４  ウエーハカセット
１５  ガス拡散フィルターのカバ
【図１】
0004029188.tif 000002
【図２】
0004029188.tif 000003