(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップ（１０）の一面（１１）側とリードフレーム（２０）の一面（２１）側とを半田（３０）を用いて接続してなる半導体装置において、
前記半導体チップは、その一部が前記半導体チップの一面側から薄膜化されており、
前記半導体チップの一面における厚さの厚い部分が凸部（１５）、前記半導体チップの一面における厚さの小さい部分が凹部（１６）となっており、
前記リードフレームの一面には、前記半導体チップの凸部が挿入可能な溝状の窪み部（２５）が設けられ、
前記窪み部の底部には、前記半導体チップの凸部に接するように、前記窪み部の底部から一段高くなった段差部（２６）が少なくとも３箇所形成されており、
前記段差部の高さは、前記半導体チップの凹部の底面と前記リードフレームの一面との間に隙間が形成されるように設定されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
半導体チップ（１０）の一面（１１）側とリードフレーム（２０）の一面（２１）側とを半田（３０）を用いて接続してなる半導体装置において、
前記半導体チップは、その一部が前記半導体チップの一面側から薄膜化されており、
前記半導体チップの一面における厚さの厚い部分が凸部（１５）、前記半導体チップの一面における厚さの小さい部分が凹部（１６）となっており、
前記リードフレームの一面には、前記半導体チップの凸部が挿入可能な溝状の窪み部（２５）が設けられ、
前記窪み部の底部には、前記半導体チップの凸部に接するように、前記窪み部の底部から一段高くなっており且つ前記窪み部の溝幅よりも幅の狭い突起部（２７）が少なくとも３箇所形成されており、
前記突起部の高さは、前記半導体チップの凹部の底面と前記リードフレームの一面との間に隙間が形成されるように設定されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
前記半導体チップ（１０）には、前記半導体チップの一面（１１）側から薄膜化された部分が複数個分割されて形成されており、
各々の前記薄膜化された部分の間は、前記半導体チップの凸部（１５ａ）として構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の半導体装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１つに記載の半導体装置を製造する方法であって、
前記半導体チップ（１０）の一面（１１）側に前記半田（３０）を配設した後、押さえ治具（Ｋ１）を用いて、前記半導体チップにおける一面とは反対側の他面（１２）の全域を一定の力で加圧しつつ、前記半導体チップの一面側と前記リードフレーム（２０）の一面（２１）側とを圧着させた状態で、前記半田の溶融及び固化を行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子の性能を向上させるために薄膜化された半導体チップをリードフレーム上に半田接続してなる半導体装置およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の半導体装置は、半導体チップの一面側とリードフレームの一面側とを半田を用いて接続してなるものである。近年、半導体素子の性能（ＯＮ抵抗、周波数特性、放熱性等）を向上させるために、半導体チップの薄膜化（例えば１００μｍ以下）が進められている。しかし、単純にチップを薄膜化しただけでは、チップが反ったり、破損したりするという問題がある。
【０００３】
この問題に対して、例えば、特開平６−３３４１９７号公報では、次のようにしている。半導体チップを、その素子部のみが半導体チップの一面側から薄膜化され、半導体チップの一面における厚さの厚い部分が凸部、半導体チップの一面における厚さの小さい部分が凹部となっているものとする。そして、半導体チップの凹部に金属を埋め込み、半導体チップの強度向上を図っている。
【０００４】
しかしながら、上記公報では、リードフレームの一面へ、半導体チップの一面側を半田付けするために、チップ一面の凹部に選択的に金属を埋めなければならず、製造工程が複雑になってしまう。
【０００５】
また、従来における、半導体チップをリードフレーム上へ半田接続する方法（半導体装置の製造方法）を、図１２に示す。一面側に電極（裏面電極）１８が形成された半導体チップＪ１０の一面Ｊ１１側に半田３０を配設した（図１２（ａ）、（ｂ））後、別体の位置決め治具Ｋ１０を用いて、リードフレームＪ２０の一面Ｊ２１に半導体チップＪ１０を搭載する（図１２（ｃ））。
【０００６】
この後、半田３０を溶融（リフロー）・固化することで半田接続がなされ、半導体装置が製造される。このように、従来においては、リードフレームと半導体チップとを位置合わせするために、別体の位置決め治具が必要となり、手間がかかる。
【０００７】
また、半田を冷却して固化すると、半導体チップが薄膜化されているため、図１３（ａ）に示す様に、軽量化された半導体チップＪ１０が半田３０によって浮き上がり、半田３０の厚みに偏りが生じたり、図１３（ｂ）に示す様に、冷却による半田３０の収縮等に伴う熱応力に起因して、半導体チップＪ１０が凸形状に反ったりする。これらのことから、半導体チップの平行度を確保することができない。
【０００８】
ちなみに、特開平１０−７４７７８号公報では、半導体チップの裏面（リードフレームとの接続面）に凹部を設けたり、チップ側面（端面）にノッチを設け、該凹部やノッチを、リードフレーム側に形成された凸部と機械的に噛み合わせることで、上記した半導体チップの浮き上がりや反りを抑制することが提案されている。
【０００９】
しかしながら、半導体チップの薄膜化が進むと、半導体チップの裏面に形成する凹部の深さを十分に確保することは難しく、また、半導体チップの側面にノッチを形成することは難しくなる。その結果、リードフレームの凸部との噛み合わせが不十分となり、半導体チップの浮き上がりや反りを抑制する効果は小さくなってしまう。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来においては、半導体チップとリードフレームとの位置決めに手間がかかること、リードフレームへの半導体チップの半田付けにおいて複雑な追加工程を要すること、半田付け時において半導体チップが浮き上がること、半田付け時において熱応力に起因した半導体チップの反りが発生すること、といった諸問題がある。
【００１１】
そこで、本発明は、上記した諸問題のうち少なくとも１つを解決できるような新規な半導体装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、半導体チップ（１０）の一面（１１）側とリードフレーム（２０）の一面（２１）側とを半田（３０）を用いて接続してなる半導体装置において、半導体チップは、その一部が半導体チップの一面側から薄膜化されており、半導体チップの一面における厚さの厚い部分が凸部（１５）、半導体チップの一面における厚さの小さい部分が凹部（１６）となっており、リードフレームの一面には、半導体チップの凸部が挿入可能な溝状の窪み部（２５）が設けられ、窪み部の底部には、半導体チップの凸部に接するように、窪み部の底部から一段高くなった段差部（２６）が少なくとも３箇所形成されており、段差部の高さは、半導体チップの凹部の底面とリードフレームの一面との間に隙間が形成されるように設定されていることを特徴とする。
【００１３】
それによれば、半導体チップ（１０）は、薄膜部としての凹部（１６）に素子部を形成することができ、半導体素子の性能を向上させるという薄膜化の効果を発揮することができる。
【００１４】
そして、この半導体チップには厚肉部である凸部（１５）が形成され、一方、リードフレーム（２０）の一面（２１）には、当該凸部が挿入可能な溝状の窪み部（２５）が形成されているから、これら凸部と窪み部とを一致させることにより、従来のように、位置決め治具を用いることがなくなり、半導体チップとリードフレームとの位置決めを容易に行うことができる。
【００１５】
また、リードフレーム（２０）の一面（２１）において、窪み部（２５）の底部に、半導体チップ（１０）の凸部（１５）に接するように、窪み部の底部から一段高くなった段差部（２６）が少なくとも３箇所形成されているため、半導体チップは、各段差部に接触し、少なくとも３点以上の段差部にて平面的に支持される。
【００１６】
また、段差部（２６）と半導体チップ（１０）との間の余分な半田（３０）は、半田付け時に、段差部の外周囲の窪み部（２５）に押し出されるため、半田による半導体チップの浮き上がりを防止することができる。
【００１７】
また、段差部（２６）の高さが、半導体チップ（１０）の凹部（１６）の底面とリードフレーム（２０）の一面（２１）との間に隙間が形成されるように設定されているため、当該隙間に半田を充填することができ、半導体チップの凹部の底面とリードフレームとの電気的及び機械的な接続を十分に確保することができる。なお、半導体チップの凹部に充填された半田も、余分なものは、半田付け時に、リードフレームの窪み部へ押し出されるため、半田による半導体チップの浮き上がりは生じない。
【００１８】
それによって、上記した半導体素子が形成される薄膜部であり装置上、重要な部分である半導体チップの凹部も、半田を介してリードフレームに支持され、強度は確保される。そのため、従来のように、半導体チップの凹部に選択的に金属を埋め込む等の複雑な工程が不要となる。
【００１９】
以上のように、本発明によれば、半導体チップとリードフレームとの位置決めを容易にできること、リードフレームへの半導体チップの半田付けにおいて複雑な追加工程を不要にすること、半田付け時における半導体チップの浮き上がりを防止することが可能な半導体装置を提供することができる。
【００２０】
また、請求項２に記載の発明では、半導体チップ（１０）の一面（１１）側とリードフレーム（２０）の一面（２１）側とを半田（３０）を用いて接続してなる半導体装置において、半導体チップは、その一部が半導体チップの一面側から薄膜化されており、半導体チップの一面における厚さの厚い部分が凸部（１５）、半導体チップの一面における厚さの小さい部分が凹部（１６）となっており、リードフレームの一面には、半導体チップの凸部が挿入可能な溝状の窪み部（２５）が設けられ、窪み部の底部には、半導体チップの凸部に接するように、窪み部の底部から一段高くなっており且つ窪み部の溝幅よりも幅の狭い突起部（２７）が少なくとも３箇所形成されており、突起部の高さは、半導体チップの凹部の底面とリードフレームの一面との間に隙間が形成されるように設定されていることを特徴とする。
【００２１】
本発明は、上記請求項１に記載の半導体装置における段差部を、窪み部（２５）の底部から一段高くなっており且つ窪み部の溝幅よりも幅の狭い突起部（２７）に置き換えたものである。
【００２２】
本発明によれば、上記請求項１の発明と同様の作用効果を発揮するとともに、上記段差部に代えて、半導体チップとの接触面積がより小さい突起部を設けたものとしているので、半田付け時に、突起部（２７）と半導体チップ（１０）との間の余分な半田（３０）が、突起部の外周囲の窪み部（２５）に押し出されやすくなる。
【００２３】
また、請求項３に記載の発明では、半導体チップ（１０）には、半導体チップの一面（１１）側から薄膜化された部分が複数個分割されて形成されており、各々の薄膜化された部分の間は、半導体チップの凸部（１５ａ）として構成されていることを特徴とする。
【００２４】
本発明は、半導体チップにおいて、薄膜化された部分（薄膜部）が、分割して２箇所以上必要な場合、あるいは、非常に広い面積の薄膜部が形成されていて或る部分で補強する必要がある場合に、有効なものである。
【００２５】
この場合も、分割された各薄膜部間が、厚肉部である凸部（１５）として形成されるので、リードフレーム（２０）の一面（２１）側にも、各薄膜部間の凸部に対応して窪み部が形成されることは勿論である。そして、本発明においても、上記請求項１または請求項２の発明と同様の効果が得られる。
【００２６】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれか１つに記載の半導体装置を製造する方法であって、半導体チップ（１０）の一面（１１）側に半田（３０）を配設した後、押さえ治具（Ｋ１）を用いて、半導体チップにおける一面とは反対側の他面（１２）の全域を一定の力で加圧しつつ、半導体チップの一面とリードフレーム（２０）の一面（２１）とを圧着させ、この圧着状態にて半田の溶融及び固化を行うことを特徴とする。
【００２７】
上記したように、半田付け時において熱応力に起因する半導体チップの反りは、半導体チップの他面側へ凸となる反りであるが、本発明の製造方法では、半導体チップにおける一面とは反対側の他面の全域を一定の力で加圧しつつ、半導体チップの一面とリードフレームの一面とを圧着させた状態にて半田の溶融及び固化を行うから、この加圧によって、上記半導体チップの反りを防止できる。
【００２８】
従って、本製造方法によれば、上記請求項１〜３の発明の効果を発揮できるとともに、半田付け時において熱応力に起因する半導体チップの反りを防止可能な半導体装置の製造方法を提供することができる。
【００２９】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【００３０】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下、本発明を図に示す実施形態について説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る半導体チップ１０の外観斜視図、図２において、（ａ）、（ｂ）は、本実施形態に係るリードフレーム２０の、それぞれ第１の例、第２の例を示す平面図、（ｃ）は（ａ）及び（ｂ）中のＡ−Ａ’断面図、（ｄ）は（ａ）中のＢ−Ｂ’断面図、（ｅ）は（ｂ）中のＣ−Ｃ’断面図である。なお、図２（ａ）、（ｂ）中のハッチングは、識別のためのもので断面を示すものではない。
【００３１】
また、図３は、本実施形態に係る半導体装置、すなわち、半導体チップ１０の一面１１側とリードフレーム２０の一面２１側とが半田３０を用いて接続してなる構造を示す断面図である。
【００３２】
図３において、（ａ）は上記第１の例のリードフレーム２０を用いたもので、上記図２（ａ）中のＢ−Ａ’断面に相当するものであり、（ｂ）は上記第２の例のリードフレーム２０を用いたもので、上記図２（ｂ）中のＣ−Ａ’断面に相当するものである。
【００３３】
図１に示す様に、半導体チップ１０は矩形平板形状をなし、その中央部が半導体チップ１０の一面１１側から薄膜化されており、半導体チップ１０の一面１１における厚さの厚い部分（厚肉部）が凸部１５、半導体チップ１０の一面１１における厚さの小さい部分（薄膜部）が凹部１６となっている。
【００３４】
半導体チップ１０の薄膜部においては、半導体チップ１０の一面１１とは反対側の他面１２側に、例えばトランジスタ等の半導体素子（図示せず）が形成されており、当該薄膜部は、半導体チップ１０における素子部形成領域となっている。そして、図示例では、凸部１５は、半導体チップ１０の一面１１において、半導体チップ１０の外周部に矩形枠状に形成されている。
【００３５】
このような半導体チップ１０は例えばシリコン基板より構成され、凹部１６は、半導体チップ１０の一面１１側から異方性エッチングを施す等により形成される。また、限定するものではないが、半導体チップ１０の凹部１６（薄膜部）の厚さは、例えば１００μｍ以下であり、凸部１５（厚肉部）の厚さは、例えば３００μｍ〜４００μｍ程度とすることができる。
【００３６】
そして、図３に示す様に、半導体チップ１０は、その一面１１の略全域に裏面電極（例えばＴｉ／Ｎｉの２層構造のもの）１８が形成された状態で、半田３０を介して、リードフレーム２０の一面２１側と、電気的、機械的に接続されている。
【００３７】
一方、図２及び図３に示す様に、リードフレーム２０は、第１および第２の例共に、その一面２１に半導体チップ１０の凸部１５が挿入可能な矩形溝状の窪み部２５が設けられた平面矩形の段付き板状をなしている。
【００３８】
窪み部２５の底部には、半導体チップ１０の凸部１５に接するように（図３参照）、窪み部２５の底部から一段高くなった段差部２６が４箇所形成されている。なお、図２（ａ）、（ｂ）の平面図中には、段差部２６の表面には斜線ハッチングが施してある。
【００３９】
第１の例のリードフレーム２０では、段差部２６は、矩形溝状の窪み部２５の４つの隅部に形成されており（図２（ａ）参照）、第２の例のリードフレーム２０では、段差部２６は、矩形溝状の窪み部２５の４つの辺部に形成されている（図２（ｂ）参照）。なお、段差部２６は少なくとも３箇所以上形成されていれば良い。
【００４０】
そして、図３に示す様に、第１および第２の例のリードフレーム２０において、段差部２６の高さは、半導体チップ１０の凹部１６の底面とリードフレーム２０の一面２１との間に、隙間が形成されるように設定されている。
【００４１】
この隙間は、半田３０が充填可能な程度の大きさであり、図３に示す様に、半導体チップ１０の凹部１６の底面とリードフレーム２０の一面２１との間には、半田３０が充填されて、凹部１６とリードフレーム２０の一面２１とを接合している。
【００４２】
このようなリードフレーム２０は、Ｃｕ（銅）にＮｉ（ニッケル）をメッキしたものよりなり、平板素材にプレス加工を施す等により、上記窪み部２５、段差部２６が形成された段付き板状に形成される。
【００４３】
次に、本実施形態のリードフレーム２０を用いた半導体装置の製造方法について、図４を参照して述べる。図４（ａ）〜（ｄ）は、上記第２の例に準じて本実施形態の製造方法を示すものであり、上記図２（ｂ）中のＣ−Ａ’断面に対応した断面にて示すものである。なお、第１の例の製造方法も、以下同様である。
【００４４】
まず、上述したように、半導体プロセスにより他面（表面）１２側に半導体素子を形成し、一面（裏面）１１側から異方性エッチング等により凹部１６を形成した半導体チップ１０を用意する（半導体チップ形成工程）。
【００４５】
そして、図４（ａ）に示す様に、この半導体チップ１０の一面１１の略全域に、上記裏面電極１８を形成する（裏面電極形成工程）。裏面電極１８は、例えば、スパッタ法により、Ｔｉ層（例えば厚さ２５０ｎｍ）の上にＮｉ層（例えば厚さ５５０ｎｍ）を積層したＴｉ／Ｎｉより構成することができる。なお、ここまでの工程は、通常ウェハ状態で行い、裏面電極形成後、ダイシングカットして半導体チップとする。
【００４６】
次に、図４（ｂ）に示す様に、半導体チップ１０の一面１１側の略全域に半田３０を配設する（迎えハンダ工程）。次に、図４（ｃ）に示す様に、コレット（チップ吸引治具）Ｋ１を用いて、真空ポンプ等の吸引により、半導体チップ１０をその他面１２側から拾い上げ、半導体チップ１０の凸部１５とリードフレーム２０の窪み部２５とを位置合わせする（位置決め工程）。
【００４７】
このとき、コレットＫ１は、本発明でいう押さえ治具に相当し、図４（ｃ）に示す様に、半導体チップ１０の他面１２の全域に接触している。そして、コレット（押さえ治具）Ｋ１を下方に移動させ、半導体チップ１０の凸部１５をリードフレーム２０の窪み部２５へ挿入する。
【００４８】
引き続き、コレットＫ１によって、半導体チップ１０の他面１２の全域を一定の力で下方へ加圧しつつ、半導体チップ１０の一面１１とリードフレーム２０の一面２１とを圧着させる。すると、半田３０を介して、半導体チップ１０の凸部１５と、リードフレーム２０の窪み部２５内の段差部２６とが圧着する。
【００４９】
続いて、この圧着状態にて半田３０を加熱して溶融させ、さらに、圧着状態にて、半田３０を冷却して固化させる（半田付け工程）。この半田付け工程によって、半田３０が固化して、半導体チップ１０の一面側とリードフレーム２０の一面２１側とが半田接続される。この状態を、図４（ｄ）に示す。
【００５０】
この半田付け工程においては、半田３０の厚さが図４（ｃ）から図４（ｄ）に示すように変化する。すなわち、段差部２６と半導体チップ１０との間の余分な半田３０は、半田付け時に溶融して、段差部２６の外周囲の窪み部２５に押し出される。また、半導体チップ１０の凹部１６に充填された半田３０も、余分なものは、半田付け時に溶融して、リードフレーム２０の窪み部（段差部２６の無い部分の窪み部）２５へ押し出される。
【００５１】
以上の工程の後、半導体チップ１０の他面１２からコレットＫ１を取り外す。こうして、上記図３に示すような本実施形態の第１及び第２の例としての半導体装置ができあがる。
【００５２】
ところで、本実施形態によれば、半導体チップ１０は、薄膜部としての凹部１６に素子部を形成することができ、半導体素子の性能を向上させるという薄膜化の効果を十分に発揮することができる。
【００５３】
そして、半導体チップ１０には厚肉部である凸部１５が形成され、一方、リードフレーム２０の一面２１には、凸部１５が挿入可能な溝状の窪み部２５が形成されているから、これら凸部１５と窪み部２５とを一致させることにより、従来のように、別体の位置決め治具を用いることがなくなり、半導体チップ１０とリードフレーム２０との位置決めを容易に行うことができる。
【００５４】
また、リードフレーム２０の一面２１において、窪み部２５の底部に、半導体チップ１０の凸部１５に接するように、窪み部２５の底部から一段高くなった段差部２６が少なくとも３箇所（上記例では４箇所）形成されているため、半導体チップ１０は、各段差部２６に接触し、少なくとも３点以上の段差部２６にて平面的に支持される。
【００５５】
また、段差部２６と半導体チップ１０との間の余分な半田３０は、半田付け時に溶融して、段差部２６の外周囲の窪み部２５に押し出されるため、半田３０による半導体チップ１０の浮き上がりを防止することができる。
【００５６】
また、段差部２６の高さが、半導体チップ１０の凹部１６の底面とリードフレーム２０の一面２１との間に隙間が形成されるように設定されているため、当該隙間に半田３０を充填することができ、半導体チップ１０の凹部１６の底面とリードフレーム２０の一面２１との電気的及び機械的な接続を十分に確保することができる。
【００５７】
それによって、薄膜部であり装置上、重要な素子部である半導体チップ１０の凹部１６も、半田３０を介してリードフレーム２０に支持され、強度は確保される。そのため、従来のように、半導体チップの凹部に選択的に金属を埋め込む等の複雑な工程が不要となる。
【００５８】
なお、上述したように、半導体チップ１０の凹部１６に充填された半田３０も、余分なものは、上記半田付け工程時に、リードフレーム２０の窪み部２５へ押し出されるため、半田３０による半導体チップ１０の浮き上がりは生じない。
【００５９】
以上のように、本実施形態の半導体装置によれば、半導体チップ１０とリードフレーム２０との位置決めの容易化、リードフレーム２０への半導体チップ１０の半田付けにおいて複雑な追加工程が不要になること、半田付け時における半導体チップ１０の浮き上がりの防止、といった各種の効果を実現することができる。
【００６０】
また、上記した本実施形態の半導体装置の製造方法によれば、半導体チップ１０における一面１１とは反対側の他面１２の全域を一定の力で加圧しつつ、半導体チップ１０の一面１１とリードフレーム２０の一面２１とを圧着させた状態にて半田３０の溶融及び固化を行うようにしている。
【００６１】
上記したように、半田付け時において熱応力に起因する半導体チップの反りは、半導体チップの他面（半田とは反対側の面）側へ凸となる反りであるが、本製造方法では、上記した半導体チップ１０の他面１２の全域を一定の力で加圧するによって、半導体チップ１０の反りを防止することができる。
【００６２】
従って、本実施形態の半導体装置を上記した製造方法を用いて製造することにより、上記した各種の効果に加えて、さらに、半田付け時において熱応力に起因する半導体チップ１０の反りを防止した半導体装置を提供することができる。
【００６３】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態に係るリードフレーム２０を図５に、半導体装置を図６に示す。本実施形態は、上記第１実施形態に示した半導体装置における段差部２６を、窪み部２５の底部から一段高くなっており且つ窪み部２５の溝幅よりも幅の狭い突起部２７に置き換えたものであり、他の部分は第１実施形態と同一である。
【００６４】
図５において、（ａ）、（ｂ）は、本実施形態に係るリードフレーム２０の、それぞれ第１の例、第２の例を示す平面図、（ｃ）は（ａ）及び（ｂ）中のＡ−Ａ’断面図、（ｄ）は（ａ）中のＢ−Ｂ’断面図、（ｅ）は（ｂ）中のＣ−Ｃ’断面図である。なお、図５（ａ）、（ｂ）中のハッチングは、識別のためのもので断面を示すものではない。
【００６５】
また、図６は、本実施形態の第２の例のリードフレーム２０を用いて、半導体チップ１０の一面１１側とリードフレーム２０の一面２１側とが半田３０を用いて接続してなる半導体装置を示す断面図である。この図６は、上記図５（ｂ）中のＣ−Ｃ’断面に相当するものである。
【００６６】
図５に示す様に、本実施形態の第１の例のリードフレーム２０は、上記第１実施形態の第１の例のリードフレーム２０において、段差部２６を突起部２７に置き換えたものであり、本実施形態の第２の例のリードフレーム２０は、上記第１実施形態の第２の例のリードフレーム２０において、段差部２６を突起部２７に置き換えたものである。なお、図５（ａ）、（ｂ）の平面図中には、突起部２７の表面には斜線ハッチングが施してある。
【００６７】
上記第１実施形態における段差部２６は、窪み部２５の所定領域において、窪み部２５の溝幅と同じ幅の分、窪み部２５の底部が一段と高くなっていたが、本実施形態の突起部２７は、図５からわかるように、窪み部２５の所定領域において、窪み部２５の底部から一段高くなっているとともに、窪み部２５の溝幅よりも幅の狭いものとなっている。
【００６８】
そして、図６に示す様に、上記図１に示した半導体チップ１０を用いてリードフレーム２０に半田接続した半導体装置においては、半導体チップ１０の凸部１５が、リードフレーム２０の突起部２７に接した状態で支持されている。
【００６９】
また、突起部２７の高さは、半導体チップ１０の凹部１６の底面とリードフレーム２０の一面２１との間に、隙間が形成されるように設定されている。そのため、図６に示す様に、半導体チップ１０の凹部１６の底面とリードフレーム２０の一面２１との間には、半田３０が充填されて、凹部１６とリードフレーム２０の一面２１とを接合している。
【００７０】
次に、本実施形態の第２の例のリードフレーム２０を用いた半導体装置の製造方法について、図７を参照して述べる。図７（ａ）〜（ｄ）は、図６と同様に、上記図５（ｂ）中のＣ−Ｃ’断面に対応した断面にて示すものである。
【００７１】
まず、上記第１実施形態と同様に、半導体チップ形成工程を行って半導体チップ１０を用意し、図７（ａ）、（ｂ）に示す様に、裏面電極形成工程、迎えハンダ工程を行い、次に、図７（ｃ）に示す様に、コレットＫ１を用いて、半導体チップ１０の凸部１５とリードフレーム２０の窪み部２５とを位置合わせする（位置決め工程）。
【００７２】
そして、上記第１実施形態と同様に、コレットＫ１を下方に移動させ、半導体チップ１０の凸部１５をリードフレーム２０の窪み部２５へ挿入し、引き続き、コレットＫ１によって、半導体チップ１０の他面１２の全域を一定の力で下方へ加圧しつつ、半導体チップ１０の一面１１とリードフレーム２０の一面２１とを圧着させる。すると、半田３０を介して、半導体チップ１０の凸部１５と、リードフレーム２０の窪み部２５内の突起部２７とが圧着する。
【００７３】
続いて、上記第１実施形態と同様に、この圧着状態にて、半田３０の加熱溶融、冷却固化を行い（半田付け工程）、図７（ｄ）に示す様に、半導体チップ１０の一面側とリードフレーム２０の一面２１側とを半田接続する。この半田付け工程においては、半田３０の厚さが図７（ｃ）から図７（ｄ）に示すように変化する。
【００７４】
すなわち、突起部２７と半導体チップ１０との間の余分な半田３０は、半田付け時に溶融して、突起部２７の外周囲の窪み部２５に押し出される。また、半導体チップ１０の凹部１６に充填された半田３０も、余分なものは、半田付け時に溶融して、リードフレーム２０の窪み部（突起部２７の無い部分の窪み部）２５へ押し出される。
【００７５】
以上の工程の後、半導体チップ１０の他面１２からコレットＫ１を取り外し、上記図６に示すような本実施形態の半導体装置ができあがる。
【００７６】
このように、本実施形態によれば、上記第１実施形態と同様の作用効果を発揮するとともに、上記段差部２６に代えて、半導体チップ１０の凸部１５との接触面積がより小さい突起部２７を設けたものとしているので、半田付け時に、突起部２７と半導体チップ１０との間の余分な半田３０が、突起部の外周囲の窪み部２５に押し出されやすくなる。すなわち、半田３０による半導体チップ１０の浮き上がりを、より効果的に防止することができる。
【００７７】
なお、第１の例のリードフレーム２０を用いた本実施形態の半導体装置の構成および製造方法については、図示されていないが、上記図６及び図７に示す第２のリードフレーム２０を用いた場合と、同様の作用効果を持つことは明らかである。
【００７８】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態に係る半導体チップの外観斜視図を図８に示す。本実施形態は、上記第１実施形態に示した半導体装置における半導体チップ１０において、半導体チップ１０の一面１１側から薄膜化された部分（薄膜部）が複数個（本例では２個）分割されて形成されており、各々の薄膜化された部分の間が、半導体チップ１０の凸部（厚肉部）１５として構成されているものである。
【００７９】
本実施形態の半導体チップ１０は、分割された各薄膜部が素子部（パワー部）となっている場合、あるいは、非常に広い面積の薄膜部が形成されていて或る部分で補強する必要がある場合に、有効なものである。
【００８０】
図８に示す半導体チップ１０は、上記図１に示すものと同様に、その中央部が半導体チップ１０の一面１１側から薄膜化されて凹部１６となり、その外周部が矩形枠状の凸部１５となっている。ここで、凸部１５は更に、凹部１６の中間部を横断する梁状に形成されており、凹部（薄膜部）１６を２分割している。以下、この薄膜部間の凸部１５を、梁部１５ａとして説明していく。
【００８１】
この場合も、分割された各薄膜部間の梁部１５ａが、厚肉部である凸部として形成されるので、リードフレーム２０の一面２１側にも、梁部１５ａに対応して上記窪み部２５が形成される。
【００８２】
図９（ａ）、（ｂ）は、本実施形態に係るリードフレーム２０の、それぞれ第１の例、第２の例を示す平面図であり、図中、段差部２６に施されたハッチングは、識別のためのもので断面を示すものではない。また、図１０は、上記図９（ｂ）に示す第２の例のリードフレーム２０を用いた半導体装置を示す概略断面図であり、図９（ｂ）中のＣ−Ｃ’断面に対応した断面にて示してある。
【００８３】
図９に示す様に、本実施形態の第１の例、第２の例のリードフレーム２０は、それぞれ、上記第１実施形態の第１の例、第２の例のリードフレーム２０において、更に、半導体チップ１０の梁部１５ａに対応した部位にも窪み部及び段差部２６が形成されたものである。
【００８４】
もちろん、この梁部１５ａに対応した窪み部２５においても、当該窪み部２５は、半導体チップ１０の凸部１５である梁部１５ａが挿入可能な溝状のものであり、段差部２６も、半導体チップ１０の梁部１５ａに接するように（図１０参照）、当該窪み部２６の底部から一段高くなっている。
【００８５】
また、図１０に示す様に、段差部２６の高さは、半導体チップ１０の凹部１６の底面とリードフレーム２０の一面２１との間に隙間が形成されるように設定されている。図９（ｂ）に示す第２の例のリードフレーム２０では、計５個の段差部２６形成されている。
【００８６】
次に、本実施形態に係る図１０に示す半導体装置の製造方法について、図１１を参照して述べる。図１１（ａ）〜（ｄ）は、上記図９（ｂ）中のＣ−Ｃ’断面に対応した断面にて示すものである。
【００８７】
まず、上記第１実施形態と同様に、半導体チップ形成工程を行って半導体チップ１０を用意する。ここで、２個の分割された凹部１６は、半導体チップ１０の一面１１側から異方性エッチングを行う際のマスクパターンを変えることで、同様に形成することができる。
【００８８】
次に、図１１（ａ）、（ｂ）に示す様に、裏面電極形成工程、迎えハンダ工程を行い、次に、図１１（ｃ）に示す様に、コレットＫ１を用いて、半導体チップ１０の凸部１５とリードフレーム２０の窪み部２５とを位置合わせする（位置決め工程）。
【００８９】
そして、上記第１実施形態と同様に、コレットＫ１によって、半導体チップ１０の他面１２の全域を一定の力で下方へ加圧しつつ、半導体チップ１０の一面１１とリードフレーム２０の一面２１とを圧着させる。すると、半田３０を介して、半導体チップ１０の凸部１５と、リードフレーム２０の窪み部２５内の段差部２６とが圧着する。
【００９０】
続いて、上記第１実施形態と同様に、半田付け工程を行い（図１１（ｄ）参照）、その後、半導体チップ１０の他面１２からコレットＫ１を取り外す。こうして、上記図１０に示すような本実施形態の半導体装置ができあがる。
【００９１】
以上述べた本実施形態の半導体装置およびその製造方法においても、上記第１実施形態と同様の作用効果を発揮することができる。なお、本実施形態において、各段差部２６を、上記突起部２７に置き換えても良く、その場合、上記第２実施形態と同様の作用効果が発揮される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る半導体チップの外観斜視図である。
【図２】上記第１実施形態に係るリードフレームの平面構成および断面構成を示す図である。
【図３】上記第１実施形態に係る半導体装置を示す概略断面図である。
【図４】上記第１実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す概略断面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係るリードフレームの平面構成および断面構成を示す図である。
【図６】上記第２実施形態に係る半導体装置を示す概略断面図である。
【図７】上記第２実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す概略断面図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係る半導体チップの外観斜視図である。
【図９】上記第３実施形態に係るリードフレームの平面構成を示す図である。
【図１０】上記第３実施形態に係る半導体装置を示す概略断面図である。
【図１１】上記第３実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す概略断面図である。
【図１２】従来の一般的な半導体装置の製造方法を示す概略断面図である。
【図１３】従来の半導体装置における半導体チップの浮き上がりおよび半導体チップの反りを示す概略断面図である。
【符号の説明】
１０…半導体チップ、１１…半導体チップの一面、
１２…半導体チップの他面、１５…半導体チップの凸部、
１５ａ…半導体チップの梁部、１６…半導体チップの凹部、
２０…リードフレーム、２１…リードフレームの一面、
２５…窪み部、２６…段差部、２７…突起部、３０…半田、Ｋ１…コレット。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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