(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体バリア放電によってエキシマ分子を生成する放電用ガスが充填された放電空間があって、前記放電用ガスに放電を誘起せしめるための２つの電極のうちの少なくとも一方の電極と前記放電用ガスとの間に誘電体が介在するように構成された誘電体バリア放電ランプと、前記誘電体バリア放電ランプの前記電極に、略周期的な交流の高電圧を印加するための給電装置とを備える誘電体バリア放電ランプ光源装置において、
前記給電装置に、前記略周期的な交流の高電圧の駆動周波数が設定可能であって、かつ調光する際に、前記略周期的な交流の高電圧を前記設定された駆動周波数の低下に応じて増大させる設定手段を備えたことを特徴とする誘電体バリア放電ランプ光源装置。
【請求項２】
前記給電装置は、電源と、電源電圧を調整する電圧調整手段と、前記調整された電圧によって駆動されるインバータと、インバータ用スイッチ素子を駆動するための信号を生成するインバータ用スイッチ素子駆動信号生成手段と、電圧調整用スイッチ素子を駆動するための信号を生成する電圧調整用スイッチ素子駆動信号生成手段と、前記設定手段とから構成され、前記設定手段は、前記インバータ用スイッチ素子駆動信号生成手段に対して、設定されたインバータ駆動周波数信号を出力し、前記インバータ用スイッチ素子駆動信号生成手段から出力されるインバータ用スイッチ素子駆動信号によって、前記インバータを前記設定された駆動周波数で駆動すると共に、該設定手段は、前記電圧調整用スイッチ素子駆動信号生成手段に対して、電圧設定信号を出力し、前記電圧調整用スイッチ素子駆動信号生成手段から出力される電圧調整用スイッチ素子駆動信号によって、前記電圧調整手段から出力される高電圧を、前記設定された駆動周波数に関連して設定するものであることを特徴とする請求項１に記載の誘電体バリア放電ランプ光源装置。
【請求項３】
前記設定手段は、前記インバータ駆動周波数設定信号のデータをアドレスとして適正な電圧設定信号のデータの出力が可能なルックアップテーブルを備えていることを特徴とする請求項２に記載の誘電体バリア放電ランプ光源装置。
２枚の光透過性基板間に形成された光硬化型のシール剤に発散光であるスポット光を照射して光透過性基板を貼り合わせるディスプレイパネルの貼り合わせ装置において、
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、誘電体バリア放電ランプの光源装置に係り、特に、光化学反応用の紫外線光源として使用される放電ランプの一種である、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成し、エキシマ分子から放射される光を利用する誘電体バリア放電ランプの光源装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、誘電体バリア放電ランプ光源装置において調光する際には、大きく分けて下記の２種類の方法があった。
Ａ．ランプ印加電圧を調整する
Ｂ．ランプ印加電圧周波数を調整する
前者の誘電体バリア放電ランプに印加する電圧を調整する方法では、紫外線発光効率の観点から上限があり、また、発光の均一性の観点から下限がある。
【０００３】
例えば、放電容器内に蛍光体を塗布した誘電体バリア放電ランプを画像処理の用途に使用とすると、この下限と上限の範囲が狭く、この方法では、十分な調光を行うことができなかった。
また、後者の方法は、十分広い範囲での調光が可能であるが、周波数を下げて、発光量を小さくしていった際に、発光の均一性が低下するという問題があった。この発光の均一性の低下を回避するために、発光量が小さい状態で、発光の均一性が確保されるようにランプ印加電圧を調整しておくと、逆に周波数を高くして、発光量を大きくした際に、紫外線発光効率が低下するという問題があった。
【０００４】
特開平１１−２３３０７１号公報には、給電手段を２分割して、分割した各々の部分において交流電圧の周波数および直流電源電圧を調整する誘電体バリア放電ランプ光源装置が記載されている。この発明は、複数本の誘電体バリア放電ランプで大面積の被照射体を均一に照射する際に、電圧調整についてはランプ印加電圧を高くしたことによるエキシマ発光の効率低下が容認可能な範囲での電圧の変更を目的としており、周波数調整については複数ランプにおける個々のランプの発光効率のバラツキに起因する不均一を微調整することを目的としている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記公報に開示されている技術は、ランプ印加電圧と周波数とは互いに関連なく独立して調整が行われており、さらには、単独の誘電体バリア放電ランプにおける発光の均一性や発光効率に関する問題については何等認識も示唆もされていない。
【０００６】
以下に、誘電体バリア放電ランプ光源装置における調光時の問題について詳述する。
通常、誘電体バリア放電ランプでは、放電によって放電空間を移動し誘電体に付着した電荷によって電界が形成されるが、この電界がランプ外部から印加された電圧により形成される電界に重畳されることにより、放電開始に必要な外部電圧を略半分に減らす作用を利用している。
【０００７】
しかし、放電が発生して電荷が移動してから次の放電開始までの期間において、外部から誘電体バリア放電ランプに印加される電圧が変化する場合は、放電が終了した放電空間の残留プラズマの電気伝導により、誘電体に付着した電荷が移動して中和されてしまう。
【０００８】
この現象は、誘電体バリア放電ランプに印加するための交流の高電圧を、昇圧トランスによって発生させる給電装置を有する誘電体バリア放電ランプ光源装置においては不可避のことであり、これは昇圧トランスが厳密な直流電圧を発生することが不可能なことによるものである。
【０００９】
通常は、昇圧トランスの２次側に発生する電圧は、零ボルトに向けて漸次減衰傾向を示すものであり、また昇圧トランスのインダクタンスと誘電体バリア放電ランプの静電容量とで決定される共振周波数で振動を始め、さらには、そのときの共振周波数が駆動周波数より高い場合は、リンギング現象により外部から誘電体バリア放電ランプに印加される電圧によって振動的に変化するものである。
【００１０】
そのため、調光のために駆動周波数を低くして発光量を小さくする場合には、非調光時よりも放電の時間間隔が増加するため、前述のごとく、放電が終了した放電空間の残留プラズマの電気伝導により移動して誘電体に付着して中和されてしまう電荷の量が増加し、ランプ外部から印加した電圧によって形成される電界に対して、誘電体に付着した電荷によって形成される電界の増強作用が変化してしまう。このことは、たとえランプ外部から印加される電圧の電圧振幅が、非調光時と調光時とで変化していなくても、放電の強さが非調光時と調光時とで変化してしまうことを意味している。
【００１１】
この状況を図１０および図１１を用いて説明する。
図１０は、誘電体バリア放電ランプ光源装置の一例を示す図であり、この装置はフルブリッジ型インバータにより構成され、電源ＵＳから供給された電圧が、ゲート電圧Ｖｇ１，Ｖｇ２によってゲート制御されるスイッチ素子Ｑ９１〜Ｑ９４と昇圧トランスＴ９１とによって生成されるチョッパ電圧を誘電体バリア放電ランプ１に印加して、誘電体バリア放電を行わせるものである。
【００１２】
図１１（ａ）および図１１（ｂ）は、それぞれ誘電体バリア放電ランプ１両端の電圧波形を表しており、図１１（ｂ）は図１１（ａ）の場合に比べてゲート電圧Ｖｇ１，Ｖｇ２の駆動周波数を低くした場合を示している。なお、ここではスイッチ素子Ｑ９１，Ｑ９４がオンである期間Ｔ１は変わらないが、スイッチ素子Ｑ９１〜Ｑ９４の全てがオフである期間は、図１１（ａ）では短い期間Ｔ２ａであったものが、図１１（ｂ）では長い期間Ｔ２ｂに変化していることを示している。
【００１３】
ここで、電源ＵＳの電圧を変化させないならば、期間Ｔ１における図１１（ａ）と図１１（ｂ）における電圧波形は似た形状となる。従って、ランプ電圧Ｖｅの電圧振幅Ｖｐは、図１１（ａ）と図１１（ｂ）で近似的に同じ値となる。しかし、次の半サイクルでスイッチ素子Ｑ９２，Ｑ９３をオンして、ランプ電圧Ｖｅが負になる直前の電圧は、図１１（ａ）ではＶｔａ、図１１（ｂ）ではＶｔｂとなりＶｔａの方がＶｔｂより大きくなっている。
【００１４】
これは、スイッチ素子Ｑ９１〜Ｑ９４の全てがオフである期間においては、誘電体バリア放電ランプ１の静電容量と昇圧トランスＴ９１の２次側のインダクタンスによるＬＣ共振現象により、ランプ電圧Ｖｅが変化し、図１１（ａ）と図１１（ｂ）では、期間Ｔ２ｂが期間Ｔ２ａより大きいためにランプ電圧Ｖｅの変化量が、図１１（ａ）の場合より図１１（ｂ）の場合の方が大きくなるためである。
【００１５】
この場合、誘電体に付着した電荷は、図１１（ａ）の場合より図１１（ｂ）の場合の方が、電圧Ｖｔａから電圧Ｖｔｂを差し引いた電圧に相当する量だけ多く移動して中和されてしまったことを意味しており、スイッチ素子Ｑ９２，Ｑ９３がオンした時に発生する放電の強さは、図１１（ａ）の場合に比べて図１１（ｂ）の場合の方が弱くなってしまう。
【００１６】
なお、図１１（ａ）および図１１（ｂ）において、スイッチ素子Ｑ９１〜Ｑ９４がオンである期間Ｔ１におけるリンギングは、誘電体バリア放電ランプ１の静電容量と昇圧トランスＴ９１の１次側と２次側の巻線の漏洩インダクタンスによるＬＣ共振によるものであるが、通常、漏洩インダクタンスは小さいのでその共振周波数が高くなる。そのため、この共振の振幅が大きい状態のある位相で、スイッチ素子Ｑ９１〜Ｑ９４の全てがオフになり、直ちにスイッチ素子Ｑ９２，Ｑ９３がオンになった場合は、その位相によっては、周波数を低くした方が放電の強さが強くなる場合もあり得るのである。
【００１７】
このことは、ランプ外部から印加する電圧の電圧振幅が、たとえ非調光時と調光時とで変化していなくても、スイッチ素子Ｑ９１〜Ｑ９４の駆動周波数を変えることによって、放電の強さが非調光時と調光時とでは変化してしまい、この変化が、非調光時に放電の強さを減らすものである場合は、発光の均一性を低下させてしまうし、逆に調光時に放電の強さを増すものである場合には、発光の効率を低下させてしまうことを意味している。
【００１８】
従って、調光のために、駆動周波数を変化させた場合には、駆動周波数に関連してランプ外部から印加する電圧の電圧振幅を変化させて設定する必要があることが理解される。
【００１９】
本発明の目的は、上記の従来の誘電体バリア放電ランプにおける調光に係わる種々の問題点に鑑み、発光量が大きいときには、発光の均一性および紫外線発光効率の観点から最適の状態を実現しつつ所期の調光を行い、また、発光量が小さいときは、従来の発光の均一性低下の問題の解決を可能にした、誘電体バリア放電ランプ光源装置を提供することにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の課題を解決するために、次のような手段を採用した。
【００２１】
第１の手段は、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を生成する放電用ガスが充填された放電空間があって、前記放電用ガスに放電を誘起せしめるための２つの電極のうちの少なくとも一方の電極と前記放電用ガスとの間に誘電体が介在するように構成された誘電体バリア放電ランプと、前記誘電体バリア放電ランプの前記電極に、略周期的な交流の高電圧を印加するための給電装置とを備える誘電体バリア放電ランプ光源装置において、前記給電装置に、前記略周期的な交流の高電圧の駆動周波数が設定可能であって、かつ調光する際に、前記略周期的な交流の高電圧を前記設定された駆動周波数の低下に応じて増大させる設定手段を備えたことを特徴とする。
【００２２】
第２の手段は、第１の手段において、前記給電装置は、電源と、電源電圧を調整する電圧調整手段と、前記調整された電圧によって駆動されるインバータと、インバータ用スイッチ素子を駆動するための信号を生成するインバータ用スイッチ素子駆動信号生成手段と、電圧調整用スイッチ素子を駆動するための信号を生成する電圧調整用スイッチ素子駆動信号生成手段と、前記設定手段とから構成され、前記設定手段は、前記インバータ用スイッチ素子駆動信号生成手段に対して、設定されたインバータ駆動周波数信号を出力し、前記インバータ用スイッチ素子駆動信号生成手段から出力されるインバータ用スイッチ素子駆動信号によって、前記インバータを前記設定された駆動周波数で駆動すると共に、該設定手段は、前記電圧調整用スイッチ素子駆動信号生成手段に対して、電圧設定信号を出力し、前記電圧調整用スイッチ素子駆動信号生成手段から出力される電圧調整用スイッチ素子駆動信号によって、前記電圧調整手段から出力される高電圧を、前記設定された駆動周波数に関連して設定するものであることを特徴とする。
【００２３】
第３の手段は、第２の手段において、前記設定手段は、前記インバータ駆動周波数設定信号のデータをアドレスとして適正な電圧設定信号のデータの出力が可能なルックアップテーブルを備えていることを特徴とする。
【００２４】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図１ないし図９を用いて説明する。
図１は、本発明に係る誘電体バリア放電ランプ光源装置の概要を示す図である。
同図において、誘電体バリア放電ランプ１は、石英ガラス等の誘電体５、６からなる放電容器の外壁に対向する電極３、４を備え、給電装置１０からの交流高電圧が電極３、４間に印加されると、放電プラズマ空間２内に放電プラズマ７を発生するランプである。
【００２５】
図２は、本発明に係る誘電体バリア放電ランプ光源装置の構成を示すブロック図である。
同図において、電源ＵＳの電圧は、電圧調整回路ＵＣで調整され、電圧調整回路ＵＣの出力は、インバータ回路ＵＩで交流に変換され、インバータ回路ＵＩの出力は、昇圧トランス等を用いた昇圧回路ＵＴで昇圧されて、誘電体バリア放電ランプ１に印加される。
【００２６】
調光制御回路ＵＤは、調光信号ＳＬに従って、インバータ用スイッチ素子駆動信号生成回路ＵＦに対して、インバータ駆動周波数設定信号ＳＦによって、インバータの駆動周波数を設定すると共に、電圧調整用スイッチ素子駆動信号生成回路ＵＶに対して、電圧設定信号ＳＶによって、電圧調整回路ＵＣのスイッチ素子の駆動条件を設定する。従って、調光制御回路ＵＤは、略周期的な交流の高電圧の駆動周波数が設定可能であって、かつ略周期的な交流の高電圧の電圧振幅が設定された駆動周波数に応じて設定される設定手段に対応する。
【００２７】
インバータ用スイッチ素子駆動信号生成回路ＵＦは、インバータ用スイッチ素子駆動信号ＧＦによって、インバータ回路ＵＩのスイッチ素子を駆動し、電圧調整用スイッチ素子駆動信号生成回路ＵＶは、電圧調整用スイッチ素子駆動信号ＧＶによって、電圧調整回路ＵＣのスイッチ素子を駆動する。
【００２８】
誘電体バリア放電ランプ光源装置をこのように構成することにより、調光信号ＳＬに従って、インバータ回路ＵＩの周波数とそれに適合する誘電体バリア放電ランプ１への印加電圧とを選択して設定し、発光量が大きいときに、発光の均一性および紫外線発光効率の観点から最適の状態を実現しつつ、所期の調光を行い、発光量を小さくした場合でも、発光の均一性が低下する問題を回避した誘電体バリア放電ランプ光源装置を実現することができる。
より具体的には、調光時に誘電体に付着した電荷の移動が放電の強さが減る場合は、ランプ外部から印加する電圧の電圧振幅を適当量増大し、逆に、調光においても、放電の強さが増大する場合は、ランプ外部から印加する電圧の電圧振幅を適当量減らすことにより、結果的に、発光の均一性の低下や、紫外線発光効率の低下を防止することができる。
【００２９】
また、調光に限らず、駆動周波数を下げて点灯する際に、誘電体バリア放電ランプの放電の強さが減少する場合には、電圧振幅を上げるように設定することによって発光の均一性の低下や、紫外線発光効率の低下を防止することができる。
【００３０】
なお、昇圧回路に用いられる昇圧トランスＵＴの１次側と２次側の巻線の漏洩インダクタンス等に起因して、誘電体バリア放電ランプ１に印加される電圧波形にリンギングやサージなどが含まれる場合は、電圧振幅としては、これによって現れた振動成分や極大、極小が除去されたとしたときの値について考えればよい。
例えば、図１１に示したようにリンギングが生じている期間では、その振動の中央線を想定し、そのピークによって電圧振幅Ｖｐとすればよい。何となれば、これらリンギングやサージなどの成分は、外部から制御もしくは設定可能ではないからである。
【００３１】
なお、本発明に係る誘電体バリア放電ランプ光源装置において、電源ＵＳと電圧調整回路ＵＣの両方の機能が一つになった回路構成としてもよい。あるいは電圧調整回路ＵＣとインバータＵＩの両方の機能が一つになった回路構成としてもよい。さらには電圧調整用スイッチ素子駆動信号生成回路ＵＶとインバータ回路素子駆動信号生成回路ＵＦの両方の機能が一つになった回路構成としてもよい。
【００３２】
また、電圧調整用スイッチ素子駆動信号生成回路ＵＶとインバータ回路素子駆動信号生成回路ＵＦと調光制御回路ＵＤの３つの機能を一つにした回路構成であってもよい。その他にも、図２のブロック図で示した回路構成に明確に分けられないものであっても、機能が同じ回路構成であればよい。
【００３３】
次に、本発明の第１の実施形態を図３ないし図６を用いて説明する。
【００３４】
図３は、図２に示す誘電体バリア放電ランプ光源装置の具体的な構成の一例を示す図である。
なお、同図に示すように、ここでは図２に示した回路スイッチ素子駆動信号生成回路ＵＦと電圧調整用スイッチ素子駆動信号生成回路ＵＶとは明確に分けられない回路構成となっており、また、この誘電体バリア放電ランプ光源装置は、ＦＥＴ等を用いたスイッチ素子Ｑ１１，Ｑ１２と昇圧トランスＴ１１を主たる構成要素とする所謂プッシュプル方式のインバータを用いた給電装置から構成されている。また、ここでは調光制御回路ＵＤは省略されている。
【００３５】
図４は、図３に示す誘電体バリア放電ランプ光源装置の各回路素子におけるタイミングチャートを示す図である。
この誘電体バリア放電ランプ光源装置では、図２に示すように、外部から入力される２値の調光信号ＳＬに従って、調光制御回路ＵＤが生成した、２値のインバータ駆動周波数設定信号ＳＦ１と２値の電圧設定信号ＳＶ１とに従って、インバータ駆動周波数が切換えられ、かつ、昇圧トランスＴ１１の１次側印加電圧が切換えられる。
【００３６】
図４ａに示すように、鋸歯状波発信器ＯＳ１１は、コンデンサＣ１１と抵抗Ｒ１８，Ｒ１９によるＣＲ時定数に関連して決まる周期にて発振する。ＣＲ時定数を大きくした場合は、電圧が傾斜変化する部分の傾斜が緩やかになり、ＣＲ時定数を小さくした場合は傾斜が急になる。
従って、トランジスタＱ１４がオンのときは、抵抗Ｒ１９は抵抗Ｒ１８に並列接続されるために、発振周波数は高くなり、逆に、トランジスタＱ１４がオフのときは、抵抗Ｒ１９はこの発振回路から切断されるために、発振周波数は低くなる。
【００３７】
鋸歯状波発信器ＯＳ１１の出力信号は比較器Ａ１２に入力され、閾値信号ＳＴ１と比較される。
【００３８】
図４ｂに示すように、比較器Ａ１２は、鋸歯状波発信器ＯＳ１１の出力電圧が閾値信号ＳＴ１より高い期間は、ハイレベルの信号を出力し、逆に、鋸歯状波発信器ＯＳ１１の出力電圧が閾値信号ＳＴ１より低い期間は、ローレベルの信号を出力する。
【００３９】
図４ｃ、図４ｄに示すように、比較器Ａ１２の出力信号は、反転フリップフロップＦＦ１１に、クロック信号として入力することにより、反転フリップフロップＦＦ１１は、比較器Ａ１２の出力信号の立下り毎に状態を反転する。
【００４０】
図４ｅ，図４ｆに示すように、反転フリップフロップＦＦ１１の正論理出力と負論理出力のそれぞれは、アンドゲートＧ１１，Ｇ１２に入力され、また、アンドゲートＧ１１，Ｇ１２には、共通に比較器Ａ１２の出力信号を入力することにより、アンドゲートＧ１１，Ｇ１２からは、インバータ用スイッチ素子駆動信号ＧＦ１１，ＧＦ１２として、所定期間のハイレベルの信号が交互に現れる信号を出力する。
【００４１】
インバータ用スイッチ素子駆動信号ＧＦ１１，ＧＦ１２は、バッファ回路Ｂ１１，Ｂ１２を介して、スイッチ素子Ｑ１１，Ｑ１２のゲートを駆動する。
【００４２】
スイッチ素子Ｑ１１，Ｑ１２は、昇圧トランスＴ１１のそれぞれの１次側巻線を駆動し、プッシュプルインバータを構成する。
【００４３】
昇圧トランスＴ１１への入力電源Ｖ１２は、コイルＬ１１、ＦＥＴ等を用いたスイッチ素子Ｑ１３、ダイオードＤ１１、平滑コンデンサＣ１３を主たる構成要素とする、電圧調整回路ＵＣとしての昇圧チョッパにより、電源ＵＳの電圧を昇圧して生成する。
インバータ用スイッチ素子駆動信号ＧＦ１１，ＧＦ１２をオアゲートＧ１３で論理加算して生成した電圧調整用スイッチ素子駆動信号ＧＶ１１は、バッファＢ１３を介してスイッチ素子Ｑ１３のゲートを駆動する。
昇圧チョッパの出力電圧Ｖ１２は、抵抗Ｒ１６，Ｒ１７により分圧されて、演算増幅器Ａ１１の非反転入力端子に入力される。
【００４４】
一方、基準電圧Ｖ１１は、抵抗Ｒ１３，Ｒ１４，Ｒ１５で分圧され、演算増幅器Ａ１１の反転入力端子に入力される。
ただし、トランジスタＱ１５がオフのときは、抵抗Ｒ１５は抵抗Ｒ１４に直列接続されるために、分圧比は高くなり、逆に、トランジスタＱ１５がオンのときは、抵抗Ｒ１５は短絡されるために、分圧比は低くなる。演算増幅器Ａ１１の出力端子と反転入力端子間にはコンデンサＣ１２が接続されているため、積分回路として動作する。
演算増幅器Ａ１１の出力信号は、比較器Ａ１２が鋸歯状波発信器ＯＳ１１の出力電圧と比較するための閾値信号ＳＴ１として働く。
【００４５】
このように構成することにより、もし、インバータへの供給電圧Ｖ１２に対応する信号である演算増幅器Ａ１１の非反転入力端子の電圧が、インバータへの供給電圧の目標値に対応する信号である演算増幅器Ａ１１の反転入力端子の電圧より高い場合は、演算増幅器Ａ１１の出力ＳＴ１は上昇するから、これと鋸歯状波発信器ＯＳ１１の出力電圧との比較結果がハイレベルである期間は短くなるため、電圧調整用スイッチ素子駆動信号ＧＶ１１のデューテイサイクル比が小さくなり、昇圧チョッパの能力が小さくなるため、昇圧チョッパの出力、即ち、インバータへの供給電圧Ｖ１２が低くなり、結果として、インバータへの供給電圧Ｖ１２を目標値に維持するようにフィードバック制御することができる。
【００４６】
当然ながら、このインバータによって１次側が駆動されるトランスＴ１１の２次側に誘電体バリア放電ランプ１が接続されるため、ランプ印加電圧、即ち、その電圧振幅について、目標値を維持するようにフィードバック制御させていることになる。
２値のインバータ駆動周波数設定信号ＳＦ１がハイレベルであるときは、抵抗Ｒ１２を介して、トランジスタＱ１４をオンにし、鋸歯状波発信器ＯＳ１１の発振周波数が高い状態となる。逆に、インバータ駆動周波数設定信号ＳＦ１がローレベルであるときは、発振周波数が低い状態となる。
【００４７】
コンデンサＣ１１の値を先に決めておけば、発振周波数が低い状態における発振周波数は抵抗Ｒ１９により決定され、発振周波数が高い状態における発振周波数は抵抗Ｒ１８と抵抗Ｒ１９の両方により決定されるから、発振周波数が低い状態と高い状態の発振周波数をそれぞれ別々に設定することができる。換言すれば、駆動周波数を低い状態と高い状態のそれぞれ別々に設定することができる。
【００４８】
また、２値の電圧設定信号ＳＶ１がハイレベルであるときは、抵抗Ｒ１１を介して、トランジスタＱ１５がオンし、基準電圧Ｖ１１に対する分圧比が小さくなって、演算増幅器Ａ１１の反転入力端子への電圧が低くなり、インバータへの供給電圧Ｖ１２が低く、誘電体バリア放電ランプ１に印加される交流の高電圧の電圧振幅が低い状態となる。逆に、２値の電圧設定信号ＳＶ１がローレベルであるときは、誘電体バリア放電ランプ１に印加される交流の高電圧の電圧振幅が高い状態となる。
【００４９】
抵抗Ｒ１３，Ｒ１６，Ｒ１７の値を先に決めておけば、誘電体バリア放電ランプ１に印加される交流の高電圧の電圧振幅が低い状態におけるその電圧振幅は、抵抗Ｒ１４により決定され、誘電体バリア放電ランプ１に印加される交流の高電圧の電圧振幅が高い状態におけるその電圧振幅は、抵抗Ｒ１４と抵抗Ｒ１５の両方により決定されるから、誘電体バリア放電ランプ１に印加される交流の高電圧の電圧振幅が低い状態と高い状態の電圧振幅をそれぞれ別々に設定することができる。
【００５０】
前記したように、インバータのスイッチ素子がオンになったときに発生する放電の強さが、周波数が高い場合よりも低い場合の方が弱くなってしまう現象を解決して調光する場合、調光のための調整に際しては、２値の調光信号ＳＬがハイレベルのときに、発光量を大きくする論理であると仮定すると、調光制御回路ＵＤは、２値のインバータ駆動周波数設定信号ＳＦ１をハイレベルに、２値の電圧設定信号ＳＶ１をハイレベルに設定し、高い発振周波数と、低いインバータへの供給電圧において、発光の均一性と紫外線発光効率との観点から最適な条件となるように、抵抗Ｒ１４，Ｒ１８，Ｒ１９の値を設定する。
【００５１】
逆に、２値の調光信号ＳＬがローレベルのときに、発光量を小さくする論理であると仮定すると、調光制御回路ＵＤは、２値のインバータ駆動周波数設定信号ＳＦ１をローレベルに、２値の電圧設定信号ＳＶ１をローレベルに設定し、低い発振周波数と、高いインバータへの供給電圧において、発光の均一性と紫外線発光効率との観点から最適な条件となるように抵抗Ｒ１４，Ｒ１５，Ｒ１９の値を設定する。
【００５２】
なお、このように誘電体バリア放電ランプ光源装置の給電装置を構成することにより、調光信号ＳＬに従って、調光制御回路ＵＤが生成した、インバータ駆動周波数設定信号ＳＦ１と電圧設定信号ＳＶ１とに従って、インバータ駆動周波数と、誘電体バリア放電ランプ１の電圧振幅が切換えられ、発光量が大きいときに、発光の均一性および紫外線発光効率の観点から最適の状態を実現しつつ、所期の調光を行い、発光量を小さくした場合でも、発光の均一性が低下する問題を回避した誘電体バリア放電ランプ光源装置を実現することができる。
【００５３】
また、前記したリンギング現象により、外部から誘電体バリア放電ランプ１に印加される電圧が振動的に変化する場合であっても、調光のために駆動周波数を低くして、発光量を小さくした条件については、駆動周波数を低くすることによる周期の増加分と、この増加分に対応するリンギング現象による振動の位相変化分を適当に評価することにより、２値の電圧設定信号ＳＶ１はハイレベルまたはローレベルの何れが適当であるかを決め、抵抗Ｒ１４，Ｒ１５の値を設定することにより、最適なインバータへの供給電圧、すなわち誘電体バリア放電ランプ１に印加される交流の高電圧の電圧振幅を設定することができる。
【００５４】
図５および図６は、それぞれ本実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ装置である希ガス蛍光ランプ装置の非調光時と調光時における、ランプ電圧波形Ｖｅおよびランプ電流波形Ｉｅを示す図である。
【００５５】
このランプ電圧波形Ｖｅおよびランプ電流波形Ｉｅは、電源ＵＳを２４Ｖ、昇圧トランスＴ１１の１次側巻線のターン数を２０ターン、２次側巻線のターン数を３１５ターン、抵抗Ｒ３３を５．１ｋΩ、同Ｒ３４を５．１ｋΩ、同Ｒ３５を３．０ｋΩの仕様にしたときの、駆動周波数が非調光時は５２．１ｋＨｚ、調光時は３５．４ｋＨｚである。電圧振幅は、非調光時は９３０Ｖ、調光時は１０４０Ｖである。
【００５６】
図５および図６の電圧波形を生成したこの装置では、インバータ用スイッチ素子駆動信号ＧＦ１１、ＧＦ１２のパルス幅が非常に小さいため、リンギングは一山しか発生していない。なお、上記電圧振幅は、図５および図６の電圧波形において、この一山の振動を過ぎてから生じている電圧の極大値をもってその値とした。
【００５７】
インバータ用スイッチ素子駆動信号ＧＦ１１、ＧＦ１２が共にオフである期間における、前記した誘電体バリア放電ランプ１の静電容量とトランスＴ１１の２次側インダクタンスによるＬＣ共振現象によるランプ電圧Ｖｅの低下は、周波数の低い図６の波形のものの方が、周波数の高い図５の波形のものより大きく、そのため、ランプ電流Ｉｅのピーク値に関しては、電圧振幅Ｖｐを高くした図６の波形のものよりも電圧振幅Ｖｐを低くした図５の波形のものの方が大きくなっている。
【００５８】
もし、周波数の低い条件において、電圧振幅Ｖｐを高くしなかったならば、このランプ電流のピーク値の差はさらに大きくなり、ランプの発光の均一性に問題が生じていたものを、この差の程度に抑えることにより、発光の均一性を所定の範囲に確保することができた。
【００５９】
次に、本発明の第２の実施形態の図７を用いて説明する。
【００６０】
図７は、図２に示す誘電体バリア放電ランプ光源装置の具体的な構成の他の一例を示す図である。
なお、同図に示すように、この誘電体バリア放電ランプ光源装置は、回路スイッチ素子駆動信号生成回路ＵＦと電圧調整用スイッチ素子駆動信号生成回路ＵＶが明確に分けられない構成となっている、所謂フライバック方式のインバータを用いた給電装置から構成される。また、ここでも調光制御回路ＵＤは省略されている。
【００６１】
ここで、鋸歯状波発信器ＯＳ３１、演算増幅器Ａ３１、比較器Ａ３２、コンデンサＣ３１，Ｃ３２、抵抗Ｒ３１，Ｒ３２，Ｒ３３，Ｒ３４，Ｒ３５，Ｒ３６，Ｒ３７，Ｒ３８，Ｒ３９、トランジスタＱ３２，Ｑ３３、インバータ駆動周波数設定信号ＳＦ３、電圧設定信号ＳＶ３、の接続や働きは、前記第１の実施形態の図３に示したの鋸歯状波発信器ＯＳ１１、演算増幅器Ａ１１、比較器Ａ１２、コンデンサＣ１１，Ｃ１２、抵抗Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ１３，Ｒ１４，Ｒ１５，Ｒ１６，Ｒ１７，Ｒ１８，Ｒ１９、トランジスタＱ１４，Ｑ１５、インバータ駆動周波数設定信号ＳＦ１、電圧設定信号ＳＶ１と同様である。
【００６２】
比較器Ａ３２の出力信号ＧＦＶ３がハイレベルである期間中、バッファＢ３１を介してＦＥＴ等を用いたスイッチ素子Ｑ３１をオンにする。
【００６３】
この期間に、電源ＵＳからトランスＴ３１に電流が流れ、エネルギーがトランスＴ３１に蓄えられる。
【００６４】
信号ＧＦＶ３がローレベルになると、スイッチ素子Ｑ３１が急にオフになるため、トランスＴ３１に蓄えられたエネルギーが２次側に解放され、トランスＴ３１の巻き比に応じた高電圧が発生し、ランプにおいて放電が発生する。
なお、本実施形態では、ダイオードＤ３１とコンデンサＣ３３、抵抗Ｒ４０、Ｒ４１は電圧振幅を検出する機能を持っている。
【００６５】
トランスＴ３１の２次側で高電圧が発生している期間は、１次側でも巻線比に応じたほぼ相似波形の比較的高い電圧が発生しているため、抵抗Ｒ４０，Ｒ４１で適当に分圧し、ダイオードＤ３１を介して、コンデンサＣ３３に充電することにより、コンデンサＣ３３には、スイッチ素子Ｑ３１の電圧の電圧振幅が保持されることになる。
【００６６】
この電圧は、ランプに印加される電圧の電圧振幅に相関するものであるため、これを抵抗Ｒ３６に接続することにより、結果として、ランプ印加電圧の電圧振幅について、目標値を維持するようにフィードバック制御が行なわれる。
【００６７】
前記したように、インバータ駆動周波数設定信号ＳＦ３、電圧設定信号ＳＶ３の働きは前記第１の実施例の場合のインバータ駆動周波数設定信号ＳＦ１、電圧設定信号ＳＶ１と同じであるから、全く同様に、調光信号ＳＬに従って、調光制御回路ＵＤが生成した、インバータ駆動周波数設定信号ＳＦ３と電圧設定信号ＳＶ３とに従って、インバータ駆動周波数と、誘電体バリア放電ランプ１の電圧振幅が切換えられ、発光量が大きいときに、発光の均一性および紫外線発光効率の観点から最適の状態を実現しつつ、所期の調光を行って、発光量を小さくした場合でも、発光の均一性が低下する問題を回避した誘電体バリア放電ランプ光源装置を実現することができる。
【００６８】
なお、本実施形態の誘電体バリア放電ランプ光源装置を図２に示した誘電体バリア放電ランプ光源装置との関連について説明すると、主としてトランスＴ３１とスイッチ素子Ｑ３１から構成される１個のフライバックインバータが、図２における電圧調整回路ＵＣとインバータ回路ＵＩとの両方を兼ねているという特徴がある。
【００６９】
即ち、比較器Ａ３２の出力信号ＧＦＶ３の周波数が、誘電体バリア放電ランプ１に印加される交流の高電圧の周波数を決め、比較器Ａ３２の出力信号ＧＦＶ３のデューティサイクル比が、誘電体バリア放電ランプ１の電圧振幅を決める。
【００７０】
次に、本発明の第３の実施形態を図８を用いて説明する。
【００７１】
図８は、図２に示す誘電体バリア放電ランプ光源装置の具体的な構成の他の一例を示す図である。
なお、同図に示すように、この誘電体バリア放電ランプ光源装置は、図３に示した第１の実施形態および図４に示した第２の実施形態とは異なり、回路スイッチ素子駆動信号生成回路ＵＦと電圧調整用スイッチ素子駆動信号生成回路ＵＶが別体の回路構成となっている。
【００７２】
本実施形態の誘電体バリア放電ランプ光源装置は、ＦＥＴ等のスイッチ素子Ｑ５１，Ｑ５２，Ｑ５３，Ｑ５４を主たる構成要素とする、所謂フルブリッジ方式のインバータを用いた給電装置から構成されている。なお、ここでも調光制御回路ＵＤは省略されている。
【００７３】
ここで、鋸歯状波発信器ＯＳ５１、コンデンサＣ５２、比較器Ａ５１、フリップフロップＦＦ５１、アンドゲートＧ５１，Ｇ５２からなる部分は、前記第１の実施形態である図３における鋸歯状波発信器ＯＳ１１、コンデンサＣ１１、比較器Ａ１２、フリップフロップＦＦ１１、アンドゲートＧ１１，Ｇ１２からなる部分と同様である。
【００７４】
ただし、図３において抵抗Ｒ１８，Ｒ１９、２値のインバータ駆動周波数設定信号ＳＦ１によりオンオフ制御されるトランジスタＱ１４の部分は、本実施形態では、抵抗Ｒ５６、多値のインバータ駆動周波数設定信号ＳＦ５により多段のアナログ電圧を出力するＤＡ変換器ＤＡ５１と、これにより抵抗値がアナログ的に変化する可変抵抗素子Ｆ５１の部分に変更されている。
【００７５】
従って、インバータ用スイッチ素子駆動信号ＧＦ５１，ＧＦ５２は、インバータ駆動周波数設定信号ＳＦ５によって、周波数を多段階に変化でき、誘電体バリア放電ランプ１に印加する交流の高電圧の駆動周波数を多段階に変化させることができる。
例えば、インバータ駆動周波数設定信号ＳＦ５のデータ長が８ビットであれば、周波数は２５６段階に変化させることができる。
【００７６】
なお、比較器Ａ５１の反転入力端子には、基準電圧Ｖ５１を接続しているため、インバータ用スイッチ素子駆動信号ＧＦ５１，ＧＦ５２のデューティサイクル比は一定である。
【００７７】
インバータ回路への入力電源Ｖ５３は、コイルＬ５１、ＦＥＴ等を用いたスイッチ素子Ｑ５５、ダイオードＤ５１、平滑コンデンサＣ５１を主たる構成要素とする、電圧調整回路ＵＣとしての降圧チョッパにより、電源ＵＳの電圧を降圧して生成している。
【００７８】
また、基準電圧Ｖ５２、抵抗Ｒ５１，Ｒ５２，Ｒ５３，Ｒ５４、演算増幅器Ａ５２、コンデンサＣ５４、比較器Ａ５３、鋸歯状波発信器ＯＳ５２、抵抗Ｒ５５、コンデンサＣ５３からなる部分は、図３における基準電圧Ｖ１１、抵抗Ｒ１３，Ｒ１４，Ｒ１６，Ｒ１７、演算増幅器Ａ１１、コンデンサＣ１２、比較器Ａ１２、鋸歯状波発信器ＯＳ１１、抵抗Ｒ１９、コンデンサＣ１１からなる部分と同様である。
【００７９】
ただし、図３では抵抗Ｒ１５、２値の電圧設定信号ＳＶ１によりオンオフ制御されるトランジスタＱ１５であった部分は、多値の電圧設定信号ＳＶ５により多段のアナログ電圧を出力するＤＡ変換器ＤＡ５２と、これにより抵抗値がアナログ的に変化する可変抵抗素子Ｆ５２の部分に変更されている。
【００８０】
従って、インバータ回路への入力電源Ｖ５３は、電圧設定信号ＳＶ５によって、その電圧を多段階に変化でき、誘電体バリア放電ランプ１に印加する交流の高電圧の電圧振幅を多段階に変化させることができる。例えば、電圧設定信号ＳＶ５のデータ長が８ビットであれば、誘電体バリア放電ランプ１の電圧振幅は２５６段階に変化させることができる。
【００８１】
なお、図３では鋸歯状波発信器ＯＳ１１に接続される時定数抵抗が、トランジスタＱ１４で変更可能であった部分は、本実施形態では、鋸歯状波発信器ＯＳ５２に接続される時定数抵抗は、単純な抵抗Ｒ５５に変更されており、電圧調整用スイッチ素子駆動信号ＧＶ５１の周波数は一定である。
このように、周波数を多段階に設定できるようにすることの利点は、多段階の調光ができることにある。
【００８２】
インバータ駆動周波数設定信号ＳＦ５のデータ長ビット数を大きくすれば、実質上に連続的に調光が可能となる。
【００８３】
調光信号ＳＬも多段階のディジタルデータであるとして、最も簡単なインバータ駆動周波数設定信号ＳＦ５の生成方法としては、調光信号ＳＬをそのまま使用するものとすることができる。
【００８４】
また、誘電体バリア放電ランプ１に印加する交流の高電圧の電圧振幅を多段階に設定できるようにすることの利点は、周波数を変えて多段階の調光を行なったときに、設定されている周波数に合わせて、きめ細かく適正な誘電体バリア放電ランプ１の電圧振幅を設定できることにある。
【００８５】
図９は、図８に示した誘電体バリア放電ランプ光源装置において省略された調光制御回路ＵＤの一例を示す図である。複雑な調光制御を行う場合は、この調光制御回路ＵＤに示すように、インバータ駆動周波数設定信号ＳＦ５のデータをアドレスとして入力すれば、適正な電圧設定信号ＳＶ５のデータが出力されるようにデータを記憶した、ＲＡＭやＲＯＭなどのディジタルメモリを使用してルックアップテーブルＬＵＴ２として実現することができる。
【００８６】
なお、調光信号ＳＬをそのままインバータ駆動周波数設定信号ＳＦ５として使用する場合に、調光信号ＳＬのデータ値に対する発光量の関係が所望のものでないとき、例えば、ＳＬを横軸に、発光量を縦軸にとって、両者の関係をプロットしたときのグラフが直線状にないらないような不都合なものとなったきは、前記と同様に、調光信号ＳＬのデータをアドレスとして入力すれば、適正なインバータ駆動周波数設定信号ＳＦ５のデータが出力されるようにデータを記憶した、ＲＡＭやＲＯＭなどのディジタルメモリを使用したルックアップテーブルＬＵＴ１によって、両者の関係を補正することができる。
【００８７】
さらに、調光制御回路ＵＤにはコンピュータを搭載して、これが調光信号ＳＬを読み取り、プログラムによってインバータ駆動周波数設定信号ＳＦ５のデータと電圧設定信号ＳＶ５のデータを生成するようにしてもよい。その際、インバータ駆動周波数設定信号ＳＦ５のデータに対して、電圧設定信号ＳＶ５のデータは固定的ではなく、ランプ電圧波形測定や、ランプの発光量の測定、発光量分布の測定の結果に基づき、フィードバック機構によって、自動的に電圧設定信号ＳＶ５のデータを定めるようにすることも含まれる。
【００８８】
従って、本実施形態のように構成することにより、多段階、もしくは実質上連続的な調光を行なうことができ、その調光範囲内では発光量が大きいときに、発光の均一性および紫外線発光効率の観点から最適の状態を実現しつつ、所期の調光を行い、発光量を小さくした場合でも、発光の均一性が低下する問題を回避した誘電体バリア放電ランプ光源装置を実現することができる。
【００８９】
なお、本実施形態の図８においては、ＣＲ時定数を可変にするために可変抵抗素子Ｆ５１を使用したものを記載したが、これは、他の実施形態との関連において、説明の簡素化の都合上で選定したものであって、発振周波数を電気的に変更可能な手段であれば、他のどのような手段を用いてもよい。
【００９０】
例えば、専用のＶＣＯ電圧制御発振器を用いることもできる。また、増幅回路のゲインを可変にするために可変抵抗素子Ｆ５２を使用したものを記載したが、これについても同様で、増幅回路のゲインを電気的に変更可能な手段であれば、他のどのような方法でもよい。例えば、乗算型ＤＡ変換器を用いることにより、非常に簡単に所望の機能が実現できる。
【００９１】
上記の各実施形態では、インバータ回路ＵＩとして、プッシュプル、フライバック、フルブリッジ方式を用いた実施形態を示したが、ハーフブリッジやその他の方式のインバータであっても問題なく適用できる。
【００９２】
なお、第１の実施形態においては、電圧調整回路ＵＣとして、昇圧チョッパを用いた実施形態を示したが、降圧チョッパやドロッパなどの、他の方式の電圧調整手段を用いたものでもよい。
【００９３】
また、第２の実施形態においては、電圧調整回路ＵＣは、フライバック方式インバータによって兼用された昇圧チョッパを用いた実施形態を示したが、降圧チョッパやドロッパなどの、電圧調整手段を付加してもよい。
【００９４】
また、第３の実施形態においては、電圧調整回路ＵＣとして、降圧チョッパを用いた実施形態を示したが、昇圧チョッパやドロッパなどの、他の方式の電圧調整手段を用いたものでもよい。
【００９５】
さらに、第１、第２、第３の各実施形態においては、特に、ランプの点灯や消灯を制御する機能を付加しなかったが、これは、本発明を説明する上で本質的でない事項を付加して記載が複雑になることを単に避けるためであり、例えば、図２に示すように、電圧調整回路停止信号ＳＣを電圧調整回路ＵＣに入力し、これに基づいて、例えばチョッパ回路のスイッチ素子のゲート信号を強制的に不活性にしたり、また、インバータ回路停止信号ＳＩをインバータ回路ＵＩに入力して、例えばチョッパ回路のスイッチ素子のゲート信号を強制的に不活性にすることも可能である。
【００９６】
同様に、例えば、安全のためのヒューズや、ノイズフィルタ、電源バイパスコンデンサなど、さらには過電流保護回路や過電圧保護回路などについても適宜設置することが望ましい。
【００９７】
言うまでも無いが、上記の各実施形態で説明した回路動作の詳細事項、例えば、信号の極性であるとか、具体的な回路素子の選択や追加、省略、あるいは素子の入手の便や経済的理由に基づく変更などの創意工夫は、実際の装置の設計業務において、任意に遂行されることであって、例えば、第１の実施形態における回路構成要素である比較器Ａ１２や鋸歯状波発信器ＯＳ１１などの一部や全部を、市販の集積回路、例えば、テキサスインスツルメンツ社製ＴＬ４９４や日本電気株製μＰＣ４９４などを調査して採用するなどの事項は、前記した創意工夫の範囲である。
さらに、本発明の誘電体バリア放電ランプ光源装置が有する優れた効果は、誘電体バリア放電によって発生する光の使われ方の如何にかかわらず、常に有効に発揮される。例えば、ランプ封体ガラスの内面や外面に蛍光体層を形成せしめる場合をも含め、発生する紫外線によって蛍光体を発光させるような応用においても同様に有効である。
【００９８】
請求項１に記載の発明によれば、給電装置に、前記略周期的な交流の高電圧の駆動周波数が設定可能であって、かつ調光する際に、前記略周期的な交流の高電圧を前記設定された駆動周波数の低下に応じて増大させる設定手段を設けたので、発光量が大きいときに、発光の均一性および紫外線発光効率の観点から最適の状態を実現しつつ、所期の調光を行い、発光量を小さくした場合でも、発光の均一性の低下の問題を解決することができる。
【００９９】
請求項２に記載の発明によれば、請求項２に記載のごとく給電装置および設定手段を構成することにより、上記請求項１に記載の発明の効果を容易に実現することができる。
【０１００】
請求項３に記載の発明によれば、前記設定手段に、前記インバータ駆動周波数設定信号のデータをアドレスとして適正な電圧設定信号のデータの出力が可能なルックアップテーブルを備えたので、インバータ駆動周波数を変えて多段階の調光を行う際に、設定されているインバータ駆動周波数に合わせて誘電体バリア放電ランプに印加する高電圧の電圧振幅をきめ細かく適正な値に設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る誘電体バリア放電ランプ光源装置の概要を示す図である。
【図２】本発明に係る誘電体バリア放電ランプ光源装置の構成を示すブロック図である。
【図３】図２に示す誘電体バリア放電ランプ光源装置の具体的な構成の一例を示す図である。
【図４】図３に示す誘電体バリア放電ランプ光源装置の各回路素子におけるタイミングチャートを示す図である。
【図５】  本発明の第１の実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ装置である希ガス蛍光ランプ装置における非調光時のランプ電圧波形Ｖｅおよびランプ電流波形Ｉｅを示す図である。
【図６】  本発明の第１の実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ装置である希ガス蛍光ランプ装置における調光時のランプ電圧波形Ｖｅおよびランプ電流波形Ｉｅを示す図である。
【図７】図２に示す誘電体バリア放電ランプ光源装置の具体的な構成の他の一例を示す図である。
【図８】図２に示す誘電体バリア放電ランプ光源装置の具体的な構成の他の一例を示す図である。
【図９】  図８に示した誘電体バリア放電ランプ光源装置において省略された調光制御回路ＵＤの一例を示す図である。
【図１０】  誘電体バリア放電ランプ光源装置の一例を示す図である。
【図１１】ゲート電圧Ｖｇ１，Ｖｇ２の駆動周波数が異なる場合の誘電体バリア放電ランプの電圧波形を示す図である。
【符号の説明】
１  誘電体バリア放電ランプ
２  放電プラズマ空間
３  電極
４  電極
５  誘電体
６  誘電体
７  放電プラズマ
１０  給電装置
ＵＳ  電源
ＵＣ  電圧調整回路
ＵＩ  インバータ回路
ＵＴ  昇圧回路
ＵＶ  電圧調整用スイッチ素子駆動信号生成回路
ＵＦ  インバータ用スイッチ素子駆動信号生成回路
ＵＤ  調光制御回路
【図１】
0004190734.tif 000002
【図２】
0004190734.tif 000003
【図３】
0004190734.tif 000004
【図４】
0004190734.tif 000005
【図５】
0004190734.tif 000006
【図６】
0004190734.tif 000007
【図７】
0004190734.tif 000008
【図８】
0004190734.tif 000009
【図９】
0004190734.tif 000010
【図１０】
0004190734.tif 000011
【図１１】
0004190734.tif 000012