(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パネルを排気するための真空排気系と、前記パネルに設けられた排気管に接続するための排気ヘッドと、前記排気ヘッドの内部に冷却水を供給し回収するための冷却配管と、一端が前記排気ヘッドに接続され他端が前記真空排気系に接続された排気パイプとを有し、前記冷却配管と前記排気パイプとは弾性を持たせるとともに、蛇行形状に形成し、かつ前記冷却配管と前記排気パイプとを密接させるとともに、前記冷却配管と前記排気パイプとを断熱材で覆ったことを特徴とする排気装置。
【請求項２】
前記冷却配管および前記排気パイプを支持するように、前記冷却配管および前記排気パイプの鉛直方向の弾性力を調節するための弾性力調整手段を設けた請求項１記載の排気装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はプラズマディスプレイパネルや蛍光表示管等の平板型ディスプレイパネルの真空排気を行うための排気装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のプラズマディスプレイパネル等の製造工程で用いられる排気装置について、図７および図８を用いて説明する。図７は従来の排気装置の側面図であり、図８は図７のＸ−Ｘ線から見た平面図である。
【０００３】
図７および図８に示すように、台車１の底部には真空ポンプからなる真空排気系２が内蔵されており、真空排気系２に連結されたステンレス等からなる排気パイプ３の端部には排気ヘッド４が設けられている。また、排気ヘッド４を冷却するためのステンレス等からなる冷却配管５が設けられている。この台車１上にガラス製の排気管６がそれぞれ設けられた複数のガラス製のパネル７を設置し、排気管６を排気ヘッド４に接続して、加熱炉８の内部に台車１を移動させる。図７および図８は台車１を加熱炉８の内部に移動させた時の状態を示している。図７では加熱炉８の側壁部８ａ（図８参照）を省略している。
【０００４】
次に、加熱炉８を約２時間かけて約３５０℃まで昇温加熱して、その温度で２時間保持した後、約２時間かけて約１００℃まで降温し、この時点で台車１を加熱炉８から引き出してパネル７の温度が常温になるまで約１時間自然空冷する。パネル７の温度が常温になってから、パネル７に所定のガスを封入した後、排気管６をガスバーナで加熱して封止を完了する。封止が完了したパネル７を台車１から取り出した後、未排気のパネルを設置して上記動作を繰り返してパネルの排気を順次行う。
【０００５】
このような従来の排気装置の排気ヘッド４等のあたりを拡大して図９に示す。図１０は図９の矢印Ａの方向から見た図である。図９または図１０に示すように、パネル７に固定された排気管６は排気ヘッド４に接続され、排気ヘッド４の内部には真空シールのためのＯリング（図示せず）が設けられており、Ｏリングは熱に弱いため、排気ヘッド４に冷却水を流すための冷却配管５が設けられている。冷却配管５は、周囲との断熱を図るため断熱材９で覆われている。また、排気ヘッド４には金具１０が固定されており、金具１０を支え台１１の上に載置することにより、排気ヘッド４を支持している。排気パイプ３の一端部は排気ヘッド４を介して排気管６と接続され、他端部は連結用配管１２を介して真空排気系２（図７参照）に接続されており、冷却配管５は連結用配管１３を介して冷却水循環用ポンプ（図示せず）に接続されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の排気パイプ３や冷却配管５等を有する台車１にパネル７を設置して加熱炉８内で昇温加熱すると、排気パイプ３は図９中に矢印Ｂで示した向きに熱膨張する。一方、冷却配管５には冷却水が常時流れているため、冷却配管５の温度上昇はほとんどなく熱膨張しない。このため排気ヘッド４は、排気パイプ３の熱膨張により同図中に矢印Ｃで示した向きに回転するため、金具１０が支え台１１に密着する。この状態でパネル７が熱膨張により図１０中に矢印Ｄで示した方向に熱膨張した場合、排気ヘッド４は矢印Ｄの方向に円滑に動かないため、排気管６に矢印Ｄの方向のたわみが発生し、排気管６が折れるという課題があった。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、排気管が折れることがなく、信頼性の高い排気装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために、本発明の排気装置は、パネルを排気するための真空排気系と、前記パネルに設けられた排気管に接続するための排気ヘッドと、前記排気ヘッドの内部に冷却水を供給し回収するための冷却配管と、一端が前記排気ヘッドに接続され他端が前記真空排気系に接続された排気パイプとを有し、前記冷却配管と前記排気パイプとは弾性を持たせるとともに、蛇行形状に形成し、かつ前記冷却配管と前記排気パイプとを密接させるとともに、前記冷却配管と前記排気パイプとを断熱材で覆ったことを特徴とするものである。
【０００９】
この構成により、パネルの熱膨張による排気管が移動した場合においても、排気管の移動に伴って排気ヘッドが円滑に移動することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１１】
本発明の一実施の形態のプラズマディスプレイパネル等の製造工程で用いられる排気装置について、図４および図５を用いて説明する。図４は本実施の形態の排気装置の側面図であり、図５は図４のＹ−Ｙ線から見た平面図である。
【００１２】
図４および図５に示すように、台車１の底部には真空ポンプからなる真空排気系２が内蔵されており、真空排気系２に連結された排気パイプ１４の端部には排気ヘッド４が設けられている。また、排気ヘッド４を冷却するための冷却配管１５が設けられている。この台車１上にガラス製の排気管６がそれぞれ設けられた複数のガラス製のパネル７を設置し、排気管６を排気ヘッド４に接続して、加熱炉８の内部に台車１を移動させる。図４および図５は台車１を加熱炉８の内部に移動させた時の状態を示している。図４では加熱炉８の側壁部８ａ（図５参照）を省略している。
【００１３】
次に、加熱炉８を約２時間かけて約３５０℃まで昇温加熱して、その温度で２時間保持した後、約２時間かけて約１００℃まで降温し、この時点で台車１を加熱炉８から引き出して図６に示す状態でパネル７の温度が常温になるまで約１時間自然空冷する。パネル７の温度が常温になってから、パネル７に所定のガスを封入した後、排気管６をガスバーナで加熱して封止を完了する。封止が完了したパネル７を台車１から取り出した後、未排気のパネルを設置して上記動作を繰り返してパネルの排気を順次行う。
【００１４】
図１は図４の排気ヘッド４等のあたりを拡大して示したものであり、図２は図１の矢印Ｅの方向から見た図である。排気ヘッド４には冷却水を循環させるための冷却配管１５が接続されており、冷却配管１５は冷却水を供給するための供給配管１５ａと冷却水を回収するための回収配管１５ｂとからなる。排気パイプ１４の一端部は排気ヘッド４を介して排気管６と接続され、他端部は連結用配管１２を介して真空排気系２（図４参照）に接続されており、供給配管１５ａおよび回収配管１５ｂは連結用配管１３を介して冷却水循環用ポンプ（図示せず）に接続されている。
【００１５】
排気パイプ１４と、供給配管１５ａおよび回収配管１５ｂからなる冷却配管１５とは、いずれも弾性を持つ金属製のフレキシブルパイプ、例えばステンレスからなるフレキシブルパイプで構成されており、排気パイプ１４、供給配管１５ａおよび回収配管１５ｂを互いに密接させてその周囲を断熱材１６で覆うようにしている。図１および図２中では、排気パイプ１４、供給配管１５ａおよび回収配管１５ｂの表面を単純な直線または曲線で示しているが、実際の排気パイプ１４は、図３に示すようにじゃばら状になっている。この構造により、排気パイプ１４は弾性を有している。供給配管１５ａおよび回収配管１５ｂも排気パイプ１４と同じくじゃばら状になっている。さらに排気ヘッド４と連結用配管１２，１３との間で、排気パイプ１４と供給配管１５ａおよび回収配管１５ｂからなる冷却配管１５とは、蛇行した状態で取り付けており、本実施の形態ではＳ字状にくねらせて取り付けた例を示している。蛇行した状態にすることにより、排気パイプ１４と供給配管１５ａおよび回収配管１５ｂからなる冷却配管１５とに柔軟性をもたせている。また、高耐熱性のステンレス等の耐熱材料からなるばね１７は、排気パイプ１４と供給配管１５ａおよび回収配管１５ｂからなる冷却配管１５とを支持するように設けられており、排気パイプ１４と供給配管１５ａおよび回収配管１５ｂからなる冷却配管１５との鉛直方向の弾性力を調節するための弾性力調整手段である。
【００１６】
このように排気パイプ１４、供給配管１５ａおよび回収配管１５ｂを互いに密接させその周囲を断熱材１６で覆うことにより、加熱炉内で排気パイプ１４が加熱されても、排気パイプ１４の温度は供給配管１５ａおよび回収配管１５ｂとほぼ同程度の低い温度に保たれるため排気パイプ１４の熱膨張はほとんどなくなり、従来の排気装置で発生していた排気ヘッド４を回転させる方向の力が発生することを抑制することができる。また、従来の排気装置では排気ヘッドを支持している金具および支え台が設けられていないため、従来発生していた金具と支え台との接触摩擦がない。さらに、排気パイプ１４、供給配管１５ａおよび回収配管１５ｂは弾性を有し柔軟性のある金属製のフレキシブルパイプで構成されているため、パネル７の熱膨張による排気管６のＦ方向およびＧ方向（図２参照）の動きが発生しても排気管６の動きに伴って排気ヘッド４も円滑に移動することができるため、排気管６にかかる負荷が極めて小さくなり、排気管６が折れることを抑制することができる。
【００１７】
また、ばね１７を用いて排気パイプ１４、供給配管１５ａおよび回収配管１５ｂを支えることにより、排気パイプ１４、供給配管１５ａおよび回収配管１５ｂの鉛直方向の弾性力が弱い場合に、排気管６に作用する排気ヘッド４の力を極力弱めることができる。
【００１８】
以上説明した本実施の形態の排気装置を用いてプラズマディスプレイパネルの排気を行ったところ、排気管６は破損しなかった。一方、従来の排気装置を用いた場合に排気管６が破損した割合は約３％であり、本実施の形態の排気装置を用いることにより排気管６が破損することがなく、信頼性の高い排気を行うことができる。
【００１９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は排気ヘッドに接続された排気パイプおよび冷却配管を弾性を有するフレキシブルパイプで構成するとともに、排気パイプと冷却配管とを蛇行形状に形成することにより、排気管の破損が抑制され、高い信頼性を有する排気装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の排気ヘッド周辺部の側面図
【図２】図１のＥの方向から見た図
【図３】本発明の一実施の形態の排気パイプの正面図
【図４】本発明の一実施の形態の排気装置の側面図
【図５】図４のＹ−Ｙ線から見た平面図
【図６】本発明の一実施の形態の排気装置の動作を説明するための側面図
【図７】従来の排気装置の側面図
【図８】図７のＸ−Ｘ線から見た平面図
【図９】従来の排気ヘッド周辺部の側面図
【図１０】図９の矢印Ａの方向から見た図
【符号の説明】
１  台車
２  真空排気系
４  排気ヘッド
６  排気管
７  パネル
８  加熱炉
１２、１３  連結用配管
１４  排気パイプ
１５  冷却配管
１６  断熱材
１７  ばね
【図１】
0004174885.tif 000002
【図２】
0004174885.tif 000003
【図３】
0004174885.tif 000004
【図４】
0004174885.tif 000005
【図５】
0004174885.tif 000006
【図６】
0004174885.tif 000007
【図７】
0004174885.tif 000008
【図８】
0004174885.tif 000009
【図９】
0004174885.tif 000010
【図１０】
0004174885.tif 000011