(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
隔離壁により仕切られている少なくとも第１および第２のインク圧力室と、各インク圧力室にそれぞれ連通している第１および第２のインクノズルと、各インク圧力室の一部を規定している面外方向に弾性変位可能な第１および第２の振動板と、各振動板に対峙している第１および第２の個別電極とを有し、前記第１の振動板と前記第１の個別電極の間、および前記第２の振動板と前記第２の個別電極の間に、駆動電圧を印加して各振動板を弾性変位させることにより前記第１および第２のインクノズルからインク液滴を吐出させる静電式インクジェットヘッドの駆動方法において、
前記第１および第２の振動板をそれぞれ前記第１および第２の個別電極の側に吸引して当該個別電極に吸着させる吸着工程と、
前記吸着工程後に、前記第１および第２の振動板を前記第１および第２の個別電極に吸着させた状態で、保持する保持工程と、
前記保持工程に続いて、前記第２の振動板を前記第２の個別電極に吸着させた状態で、前記第１の振動板を前記第１の個別電極から離脱させることにより弾性変位させて前記第１のインクノズルからインク液滴の吐出を行わせる吐出工程と、
前記吐出工程の後に、前記第２の振動板を前記第２の個別電極に吸着させた状態を保持すると共に、再度、前記第１の振動板を前記第１の個別電極に吸着させて保持する第２の保持工程とを含むことを特徴とする静電式インクジェットヘッドの駆動方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記第２の保持工程の後に、前記第１及び第２の振動板を前記第１及び第２の個別電極から離脱させる離脱工程を含み、
当該離脱工程では、前記第１及び第２のインクノズルからインク液滴が吐出することのない速度で前記第２の振動板を離脱させることを特徴とする静電式インクジェットヘッドの駆動方法。
【請求項３】
インクを外部に吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通して設けられ、静電力が印加されることによって前記複数のノズルからインクが吐出しない方向に変位される複数の振動板と、を備え、
前記複数の振動板は、前記印加された静電力を急激に解除されることにより、それぞれ連通する前記複数のノズルからインクを吐出する方向に変位されて当該ノズルからインクを吐出して記録媒体に印字を行う静電式インクジェットプリンタにおいて、
前記複数のノズルが、インクを吐出させる駆動ノズルと、インクを吐出させない非駆動ノズルとを含むとき、前記駆動ノズルに連通する第１の振動板と前記非駆動ノズルに連通する第２の振動板とに前記静電力を所定時間印加し、その後前記第２の振動板への前記静電力を印加したまま前記第１の振動板への静電力の印加を解除し、その後前記第２の振動板への前記静電力を印加したまま前記第１の振動板へ静電力を再印加するよう制御する制御手段を備えたことを特徴とする静電式インクジェットプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクノズルに連通しているインク圧力室の一部を規定している振動板を静電力により弾性変位させてインク液滴の吐出を行う静電式インクジェットヘッドの駆動方法に関するものである。
【０００２】
さらに詳しくは、インク圧力室が高密度配置されている場合でも、隣接インク圧力室間でのインク圧力のクロストークを防止可能な静電式インクジェットヘッドの駆動方法に関するものである。
【０００３】
【従来の技術】
静電式インクジェットヘッドは、例えば、特開平２−２１９３５１号公報に開示されているように、インク流路を構成しているインク圧力室の底面に形成された共通電極としての振動板と、この振動板に対して僅な隙間を隔てて対峙している個別電極としての電極板とを有している。これらの対向電極間に駆動電圧を印加し静電力を作用させて振動板を撓ませることによりインク圧力室内の容積を変化させ、これにより生ずるインク圧力変動を利用して、インク圧力室に連通しているインクノズルからインク液滴を吐出させて記録を行うものである。
【０００４】
このような静電式インクジェットヘッドにおいて、出力画像の高品質化を図るためには多数のインクノズルを高密度配置する必要がある。このためには、各インクノズルが連通しているインク流路、すなわち、各インク圧力室も高密度配置する必要があり、この結果、インク圧力室間を仕切っている隔離壁も薄くする必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、インク圧力室間を仕切っている隔離壁が薄くなると、インク圧力室の内圧変動によって当該隔離壁も撓む可能性がある。すなわち、図１１（ａ）に示すように、インク液滴の吐出を行う駆動インクノズル２１（３）が連通しているインク圧力室２２（３）の振動板２３（３）を個別電極２５（３）に吸引した場合、当該インク圧力室２２（３）の内圧変動によって隔離壁２４（２）、２４（３）が撓むおそれがある。
【０００６】
同様に、図１１（ｂ）に示すように、インク吐出時においても、振動板２３（３）を個別電極２５（３）から離脱させた場合に、当該インク圧力室２２（３）の内圧変動によって隔離壁２４（２）、２４（３）が撓むおそれがある。
【０００７】
インク吐出時に隔離壁が撓んでしまうと、インク圧力室２２（３）に圧力損失が発生し、駆動インクノズル２１（３）から適切な量あるいは粒径のインク液滴が吐出されないおそれがある。
【０００８】
また、駆動インクノズル２１（３）に隣接している非駆動インクノズル２１（２）、２１（４）の側においては、隔離壁２４（２）、２４（３）が撓むことにより、当該非駆動インクノズル側のインク圧力室２２（２）、２２（４）に内圧変動が起き、場合によっては、僅かの量のインク液滴が不必要に吐出してしまうおそれもある。
【０００９】
さらには、このように隔離壁２４（２）、２４（３）を介して圧力変動が隣接インク圧力室に漏れるために、換言すると、圧力のクロストークが発生するために、一つのインクノズルにおいて、隣接インクノズルが同時に駆動される場合と、駆動されない場合とでは、インク圧力室内に発生する圧力変動状態が異なってしまう。この結果、一つのインクノズルのインク吐出特性（インク吐出速度、インク吐出量）が、隣接インクノズルの駆動状態に応じて変動して、印刷品位の低下を招くおそれもある。
【００１０】
これに対して、特開平５−６９５４４号公報や同７−１７０３９号公報では偶数ノズルと奇数ノズルの相互に隣接するノズルからのインク液滴の吐出時間を遅延回路により遅延させて吐出させることにより対応していた。しかしながら、これら従来の技術では、更に駆動装置が複雑化してしまうという課題や、印刷に要する時間が長くなってしまうという更なる課題を有していた。
【００１１】
本発明の課題は、このような問題点に鑑みて、インク圧力室間の隔離壁を撓ませることなくインク吐出動作を行い得るようにし、以て、高密度化してもインク圧力室間での圧力のクロストークを防止し、インクジェットヘッドの駆動装置の複雑化を招かずに、高精細で緻密な印字品位を印刷速度の低下を招かず容易に確保できる静電式インクジェットヘッドの駆動方法およびその装置を提案することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明は、隔離壁により仕切られている少なくとも第１および第２のインク圧力室と、各インク圧力室にそれぞれ連通している第１および第２のインクノズルと、各インク圧力室の一部を規定している面外方向に弾性変位可能な第１および第２の振動板と、各振動板に対峙している第１および第２の個別電極とを有し、前記第１の振動板と前記第１の個別電極の間、および前記第２の振動板と前記第２の個別電極の間に、駆動電圧を印加して各振動板を弾性変位させることにより前記第１および第２のインクノズルからインク液滴を吐出させる静電式インクジェットヘッドの駆動方法において、前記第１および第２の振動板をそれぞれ前記第１および第２の個別電極の側に吸引して当該個別電極に吸着させる吸着工程と、前記吸着工程後に、前記第１および第２の振動板を前記第１および第２の個別電極に吸着させた状態で、保持する保持工程と、前記保持工程に続いて、前記第２の振動板を前記第２の個別電極に吸着させた状態で、前記第１の振動板を前記第１の個別電極から離脱させることにより弾性変位させて前記第１のインクノズルからインク液滴の吐出を行わせる吐出工程と、前記吐出工程の後に、前記第２の振動板を前記第２の個別電極に吸着させた状態を保持すると共に、再度、前記第１の振動板を前記第１の個別電極に吸着させて保持する第２の保持工程とを含むことを特徴とする。
【００１３】
また好ましくは、前記静電式インクジェットヘッドの駆動方法において、前記第２の保持工程の後に、前記第１及び第２の振動板を前記第１及び第２の個別電極から離脱させる離脱工程を含み、当該離脱工程では、前記第１及び第２のインクノズルからインク液滴が吐出することのない速度で前記第２の振動板を離脱させることを特徴とする。
【００１４】
さらに、本発明の静電式インクジェットヘッドの駆動装置は、前記駆動方法を実行する静電式インクジェットヘッドの駆動装置であって、前記第１及び第２の振動板の電位と前記第１及び第２の個別電極の電位を切り替える切り替え手段と、駆動パルスを発生する駆動パルス発生手段とからなり、該駆動パルス発生手段で生成された駆動パルスを前記切り替え手段により切り替えて、前記静電式インクジェットヘッドを駆動することを特徴とする。
【００１５】
本発明による静電式インクジェットヘッドの駆動方法および装置においては、駆動側である第１のインクノズルからインク液滴が吐出されるときには、非駆動側である第２のインクノズルが連通している第２のインク圧力室の第２の振動板が第２の個別電極の側に吸引された状態とされる。従って、当該第２の振動板の弾性変位が拘束されてその剛性が高い状態に保持され、当該第２のインク圧力室のコンプライアンスが小さくなるように設定される。この結果、当該第２のインク圧力室と駆動側の第１のインク圧力室を仕切っている隔離壁の撓みが阻止され、当該隔離壁を介しての圧力のクロストークが防止あるいは抑制される。
【００１６】
また、本発明の静電式インクジェットヘッドは、
隔離壁により仕切られている少なくとも第１および第２のインク圧力室と、
各インク圧力室にそれぞれ連通している第１および第２のインクノズルと、
各インク圧力室の一部を規定している面外方向に弾性変位可能な第１および第２の振動板と、各振動板に対峙している第１および第２の個別電極と、を有し、前記第１の振動板と前記第１の個別電極の間、および前記第２の振動板と前記第２の個別電極の間に、駆動電圧を印加して各振動板を弾性変位させることにより前記第１および第２のインクノズルからインク液滴を吐出させる静電式インクジェットヘッドにおいて、
前記第１および第２の振動板をそれぞれ前記第１および第２の個別電極の側に吸引して当該個別電極に吸着させ、前記第１および第２の振動板を前記第１および第２の個別電極に吸着させた状態で保持させ、前記第１の振動板を弾性変位させて前記第１のインクノズルからインク液滴の吐出を行わせ、該吐出後に再度前記第１の振動板を前記第１の個別電極に吸着させて保持するよう制御する制御手段を含むことを特徴とする。
【００１７】
さらに、本発明のインクジェットプリンタは、インクを外部に吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通して設けられ、静電力が印加されることによって前記複数のノズルからインクが吐出しない方向に変位される複数の振動板と、を備え、前記複数の振動板は、前記印加された静電力を急激に解除されることにより、それぞれ連通する前記複数のノズルからインクを吐出する方向に変位されて当該ノズルからインクを吐出して記録媒体に印字を行う静電式インクジェットプリンタにおいて、前記複数のノズルが、インクを吐出させる駆動ノズルと、インクを吐出させない非駆動ノズルとを含むとき、前記駆動ノズルに連通する第１の振動板と前記非駆動ノズルに連通する第２の振動板とに前記静電力を所定期間印加し、その後前記第２の振動板への前記静電力を印加したまま前記第１の振動板への静電力の印加を解除し、その後前記第２の振動板への前記静電力を印加したまま前記第１の振動板へ静電力を再印加するよう制御する制御手段を備えたことを特徴とする。
【００１８】
ここで、非駆動ノズルは、駆動ノズルの相隣接する非吐出ノズルに限らず、全非吐出ノズルにすることが望ましい。こうすることによって、非駆動ノズルがすべて低いコンプライアンスとして作用できる。
【００１９】
これらの構成によれば、簡単な制御で高精細で高速に行うことができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した静電式インクジェットヘッドの駆動方法を説明する。
【００２１】
（全体構成）
まず、図１〜３を参照して、本発明の駆動方法を適用可能な静電式インクジェットヘッドの構成を説明する。ここで、図１は本例の静電式インクジェットヘッドの横断面図であり、図２はその平面図であり、図３は縦断面図である。
【００２２】
これらの図に示すように、本例の静電式インクジェットヘッド１は、シリコン基板２を挟み、上側に同じくシリコン製のノズルプレート３、下側にシリコンと熱膨張率が近いホウ珪酸ガラス基板４がそれぞれ積層された３層構造となっている。
【００２３】
中央のシリコン基板２には、（１１０）面方位のその表面からＫＯＨ（水溶液による異方性のウエットエッチングを施すことにより、独立した５つの細長いインク圧力室５（１）〜５（５）と、１つの共通インク室６と、この共通インク室６を各インク圧力室５（１）〜５（５）に連通しているインク供給口７としてそれぞれ機能する溝が加工されている。これらの溝がノズルプレート３によって塞がれ、各部分５、６、７が区画形成されている。各インク圧力室５（１）〜５（５）は、それぞれ隔離壁８（１）〜８（４）によって仕切られている。
【００２４】
また、インク供給口７に連通するように、共通インク室６の下面を規定する部分に、インク取入れ口１２が形成されている。したがって、インクは、外部のインクタンク（不図示）から、インク取入れ口１２を通って共通インク室６に供給され、さらにここから各インク供給口７を通って、独立した各インク圧力室５（１）〜５（５）に供給される。
【００２５】
ノズルプレート３には、各インク圧力室５（１）〜５（５）の先端側の部分に対応する位置、すなわち、インク供給口７とは反対側となる位置に、インクノズル１１（１）〜１１（５）が形成されており、これらがそれぞれ対応する各圧力室５（１）〜５（５）に連通している。
【００２６】
独立した各インク圧力室５（１）〜５（５）の底面は、薄肉で、面外方向、すなわち、図１において上下方向に弾性変位可能な振動板５１（１）〜５１（５）として機能するように設定されている（図においては振動板５１（１）のみを示してある。）。
【００２７】
次に、シリコン基板２の下側に位置しているガラス基板４において、シリコン基板２に接合されるその上面には、シリコン基板２の各圧力室５（１）〜５（５）の底面を規定している各振動板５１（１）〜５１（５）に対峙する位置に、浅くエッチングされた凹部９（１）〜９（５）がそれぞれ形成されている。各凹部９（１）〜９（５）の底面には振動板５１（１）〜５１（５）にそれぞれ対応する個別電極１０（１）〜１０（５）が形成されている。各個別電極１０（１）〜１０（５）は、それぞれ、ＩＴＯからなるセグメント電極１０ａと端子部１０ｂを有している。
【００２８】
ガラス基板４をシリコン基板２に接合することにより、各インク圧力室５の底面を規定している振動板５１（１）〜５１（５）と、対応する個別電極におけるセグメント電極１０ａとは、非常に狭い隙間Ｇを隔てて対向している。この隙間Ｇは、シリコン基板２とガラス基板４の間に配置された封止剤６０によって封止され、密閉状態とされている。
【００２９】
シリコン基板２には、ノズルプレート３側のその表面に白金等の貴金属薄膜を付着させて共通電極端子２２が形成されており、ここと各個別電極１０（１）〜１０（５）との間に、電圧印加手段２１によって、駆動電圧パルスが印加される。シリコン基板２は導電性があるので、各振動板５１（１）〜５１（５）は共通電極として機能する。
【００３０】
振動板５１（１）〜５１（５）と個別電極１０（１）〜１０（５）の間に駆動電圧を印加することにより発生する静電力により、各振動板５１（１）〜５１（５）を個別電極側に吸引すると、振動板５１（１）〜５１（５）が弾性変位してセグメント電極１０ａの側に撓み、当該セグメント電極１０ａの表面に吸着する。この結果、インク圧力室５（１）〜５（５）の容積が拡大して、インク供給口７からインク圧力室５（１）〜５（５）にインクが供給される。
【００３１】
静電吸引力が解除されると、振動板５１（１）〜５１（５）はその弾性力によってセグメント電極１０ａの表面から離れて初期状態に復帰し、インク圧力室５（１）〜５（５）の容積が急激に減少する。このときインク圧力室内に発生するインク圧力振動により、インク圧力室内のインクの一部が、このインク圧力室５（１）〜５（５）に連通しているインクノズル１１からインク液滴として吐出される。
【００３２】
本例では、基板３上面に設けたノズル孔からインク液滴を吐出させるフェイスイジェクトタイプであるが、インク液滴を基板の端部に設けたノズル孔から吐出させるエッジイジェクトタイプでもよい。
【００３３】
（駆動方法）
図４を参照して、本例のインクジェットヘッド１の駆動方法の概要を説明する。いま、インク液滴が吐出されるインクノズル（「駆動ノズル」と呼ぶ）がインクノズル１１（３）であるとする。また、この駆動ノズル１１（３）の両側に隣接しているインクノズル１１（２）、１１（４）はインク液滴の吐出が行われないインクノズル（「非駆動ノズル」と呼ぶ）であるとする。
【００３４】
本例の駆動方法では、まず、各インクノズル１１（２）〜１１（４）における振動板５１（２）〜５１（４）と個別電極１０（２）〜１０（４）の間に電圧を印加して電位差を生じさせ、各振動板５１（２）〜５１（４）を同時に個別電極１０（２）〜１０（４）に吸引する。これにより、図４（ａ）に示すような各振動板５１（２）〜５１（４）の吸着状態が形成される。吸着状態のまま電位差を保ちつづけて、各振動板５１（２）〜５１（４）を吸着状態のまま保持して、待機する。（待機状態）この時、吸着状態を保持するために振動板５１（２）〜５１（４）と個別電極１０（２）〜１０（４）の間に印加される電圧は、吸着状態を形成するときに印加される電圧よりも低くしてもよい。一旦吸着状態が確保されれば、吸着を保持するに要する電圧は、低くても、静電圧力は大きいからである。
【００３５】
次に、非駆動ノズル１１（２）、１１（４）の振動板５１（２）、５１（４）を個別電極１０（２）、１０（４）に吸着したままの状態で、駆動ノズル１１（３）の振動板５１（３）を個別電極１１（３）から素早く離脱させる。振動板５１（３）を個別電極１１（３）から素早く離脱させるには、個別電極１０（３）駆動電圧を印加して、振動板５１（３）と同電位とし、これら対向電極間の電荷を素早く放電させる。この結果、図４（ｂ）に示すように、当該振動板５１（３）が弾性復帰して、インク圧力室５（３）の容積が急激に減少して、駆動ノズル１１（３）からインク液滴が吐出する。
【００３６】
駆動ノズル１１（３）からのインク液滴吐出後、再び振動板５１（３）を個別電極１０（３）に吸引させて吸着状態とし、振動板５１（３）を個別電極１０（３）に吸着・保持して、再び図４（ａ）に示す待機状態とする。
【００３７】
以上の工程を経て、インク液滴の１回の吐出動作が終了する。インク液滴を繰り返し吐出する際には以上の工程を繰り返し行う。
【００３８】
一連の吐出動作が終了し、待機状態を解除する際には、待機状態にあるノズル１１（２）〜１１（４）の振動板５１（２）〜５１（４）を個別電極１０（２）〜１０（４）から離脱させる。この離脱速度は、ノズル１１（２）〜１１（４）からインク液滴が吐出することのない遅い速度で行われる。
【００３９】
（フローチャート）
図５に図４を参照して説明した本例のインクジェットヘッド１の駆動方法を説明するフローチャートを示す。ＳＳ０で印刷データが送信されると、印刷を開始する。振動板の吸着工程ＳＳ１では、全インクノズル１１に対応する全ての振動板５１と個別電極１０の間に電圧を印加して電位差を生じさせて、振動板５１を個別電極１０に吸引し、吸着状態とする。振動板保持工程ＳＳ２ではこれらの振動板５１と個別電極１０の間に電位差を保ち続けて、吸着状態を保持し、待機する。ＳＳ５において、駆動ノズル１１（３）である場合には、吐出工程ＳＳ６の工程にて駆動ノズル１１（３）の振動板５１（３）を個別電極１１（３）から素早く離脱させて、インク液滴を吐出させる。ＳＳ５において、非駆動ノズル１１（２）、１１（４）である場合は、振動板５１（２）、５１（４）を個別電極１０（２）、１０（４）へ吸着したままの状態を保持する。すなわち、振動板保持工程ＳＳ２の待機状態を維持する。
【００４０】
吐出工程ＳＳ６にてインク液滴を吐出させた後は、振動板の吸着工程ＳＳ７にて駆動ノズル１１（３）の振動板５１（３）を個別電極１１（３）へ再度吸引して吸着する。その後、振動板保持工程ＳＳ２に復帰して再度、振動板５１（３）が個別電極１１（３）に吸着して保持された待機状態となる。
【００４１】
ＳＳ４にて印刷データが終了または、印刷の待機状態を解除して他の動作を行なう等の理由により待機状態を終了する場合は、振動板離脱工程ＳＳ８にて、待機状態にある全てのノズルの振動板を個別電極から離脱させて、保持した状態から解除する。この時の振動板の離脱はインク液滴がノズルより吐出することのないように遅い速度で行われる。
【００４２】
（タイミングチャート）
図６には、上記の動作を実現するために、共通電極である振動板と個別電極の間に印加される駆動電圧のパルス波形の一例を示してある。このような駆動電圧パルスは、駆動制御装置１００によって生成されるものである。
【００４３】
図６では図４を参照して説明した一連のインク液滴の吐出を伴う、振動板と個別電極の間に印加される駆動電圧のパルス波形の一例が時点ｔ１からｔ７までの期間に示されている。この期間において、例では、２回のインク液滴の吐出を行なう。また、時点ｔ８からｔ１０にはインク液滴の吐出を伴わない電位反転制御を行なうための駆動パターンが示されている。電位反転制御については後述する。
【００４４】
まず、図６（ｂ）には駆動電圧の基本電圧パルス波形Ｖｐを示してある。この基本電圧パルス波形Ｖｐの１パルス毎に１回のインク液滴の吐出動作が行われる。例えば、時点ｔ２〜ｔ４の間、時点ｔ４〜ｔ６の間がそれぞれ１回分の吐出サイクルである。基本電圧パルス波形Ｖｐのそれぞれ時点ｔ３と時点ｔ５における電圧波形の急激な変化によりインク液滴がインクノズルから吐出される。これらの第１および第２の吐出サイクルが繰り返し実行される。この基本電圧波形パルスＶｐでは、その立ち上がり（時点ｔ３およびｔ５から始まる電圧Ｖｈまでの電圧の変化）が急峻であり、その立ち下がり（時点ｔ４とｔ６で始まる接地電位ＧＮＤまでの変化）は立ち上がりに比べて緩やかな勾配とされている。
【００４５】
また、図６（ａ）に示すＶｈは高耐圧系の電源電位である。Ｖｈは時点ｔ１からの立ち上がりと時点ｔ７からの立ち下がりの傾きは同じ変化量となっていて、この変化量はＶｈとＧＮＤ電位とによる電位差の変化が振動板と個別電極の間作用してもインク液滴が吐出しないよう緩やかな勾配となっている。
【００４６】
図４に示す３個のインクノズル１１（２）〜１１（４）を例にあげて説明すると、共通電極として機能する各振動板５１（２）〜５１（４）の印加電圧は、図６（ｃ）に示すように、時点ｔ１から時点ｔ７では高耐圧系の電源電位Ｖｈと同一形状の電圧とされている。時点ｔ２以降、振動板５１（２）〜５１（４）は、個別電極１０（２）〜１０（４）に吸着されて保持され、待機状態となる。また、電位反転制御を行なう時点ｔ８から時点ｔ１０では接地電位ＧＮＤに保持される。
【００４７】
駆動ノズル１１（３）の個別電極電位、すなわち振動板５１（３）の電位は、図６（ｄ）に示すように、吐出サイクルにおいては、時点ｔ１から時点ｔ７までの間は基本電圧パルス波形Ｖｐと同一形状の電圧とされている。第１の吐出サイクルでは時点ｔ３において急峻に共通電極電位であるＶｈまで立ち上げられ、この後は、時点ｔ４まで共通電極電位と同一電位に保持される。時点ｔ４の後、再び、接地電位のＧＮＤに保持される。また、第２の吐出サイクルにおいては、時点ｔ５において急峻に電位が立ち上げあれ、時点ｔ６まで高電位に保持され、時点ｔ６の後、再び、接地電位ＧＮＤに保持される。
【００４８】
この結果、駆動ノズル１１（３）における振動板５１（３）と個別電極１０（３）の電位差は、図６（ｅ）に示すように、待機状態における時点ｔ２〜ｔ３の間は正電位差状態に保持され、第１の吐出サイクルである時点ｔ３〜ｔ４の間と、第２の吐出サイクルにおける時点ｔ５〜ｔ６の間は電位差無しの状態に保持される。換言すると、振動板を個別電極に吸引する静電力が発生しない。これら以外の時点では正電位差状態に保持され、振動板と個別電極を吸引する静電力が作用し、振動板を個別電極に吸着保持する。
【００４９】
よって、第１の吐出サイクルでは、時点ｔ３から振動板５１（３）が急激に個別電極１０（３）から離脱して弾性復帰し、この振動板の動作によって、駆動ノズル１１（３）からは、時点ｔ３から所定時間後の時点でインク液滴が吐出される。その後、時刻ｔ４にて振動板５１（３）は個別電極１０（３）に吸着された状態になり、待機状態に復帰する。同様に、第２の吐出サイクルでは、時点ｔ５から振動板５１（３）が急激に個別電極１０（３）から離脱して弾性復帰し、この振動板の動作によって、駆動ノズル１１（３）からは、時点ｔ５から所定時間後の時点でインク液滴が吐出される。その後、時刻ｔ６にて振動板５１（３）は個別電極１０（３）に吸着された状態になり、待機状態に復帰する。
【００５０】
これに対して、駆動ノズル１１（３）に隣接している非駆動ノズル１１（２）においては、第１および第２の吐出サイクルを通じて、個別電極電位が図６（ｆ）に示すように、接地電位に保持される。
【００５１】
この結果、非駆動ノズル１１（２）における振動板５１（２）と個別電極１０（２）の電位差状態は、図６（ｇ）に示すように、第１の吐出サイクルおよび第２の吐出サイクルにおいて、高耐圧系の電源電位のＶｈと相似の状態となる。
【００５２】
従って、第１の吐出サイクルにおける時点ｔ１から振動板５１（２）が個別電極１０（２）に吸引されて、時点ｔ７まで吸着状態に保持されている。
【００５３】
待機状態の終了に際し、時点ｔ７の後は、電位差が徐々に減少する。すなわち、両電極間の放電が徐々に行われる。このために、時点ｔ７以降の電位差が消失するまでの間の位置で、振動板５１（２）〜５１（４）の離脱が始まり、吸引時に比べて遅い速度で弾性復帰する。
【００５４】
図６（ｈ）には前述の図６（ｅ）に示した、駆動ノズル１１（３）における振動板５１（３）と個別電極１０（３）の電極間電位差によって駆動される振動板５１（３）の各時点における変位の様子を示す。また、図６（ｉ）には前述の（ｇ）に示した、非駆動ノズル１１（２）、１１（４）における振動板５１（２）、５１（４）と個別電極１０（２）、１０（４）の電極間電位差によって動作する振動板５１（２）、５１（４）の各時点における変位の様子を示す。
【００５５】
図６（ｈ）および（ｉ）に示すチャートの縦方向は、振動板の変位量を、横方向は時刻の経過を示す。また、Ｇは振動板５１と個別電極１０の電極間に電界を作用させない時の隙間を示す。振動板５１と個別電極１０の間隔が小さくなる方向を（−）、大きくなる方向を（＋）としている。
【００５６】
ここで、図６（ｈ）と図５を対比して説明する。
【００５７】
ｔ１〜ｔ２：駆動ノズル１１（３）の振動板５１（３）は時点ｔ１から時点ｔ２の間で個別電極１０（３）に吸着される。（第１の振動板吸着工程ＳＳ１）
ｔ２〜ｔ３：振動板５１（３）は吸着後、時点ｔ３までの間個別電極１０（３）に吸着された状態で、保持される。（第１の振動板保持工程ＳＳ２）
ｔ３〜ｔ４：時点ｔ３において、振動板５１（３）は急激に離脱して復帰し、圧力室５（３）内のインクを加圧して、矢印ｈ１の時点で駆動ノズル１１（３）からインク液滴を吐出する。（吐出工程ＳＳ６）
その後、振動板５１（３）は振動して、振動板の変位量が（−）に向かう時点の振動板５１（３）の振動周期にほぼ一致する時点において、再度電極間電位差が生ずるようにに個別電極１０（３）に電位を与えられ、時点ｔ４では再度個別電極１０（３）に吸着する。（第２の振動板吸着工程ＳＳ７）
ｔ４〜ｔ５：その後、時点ｔ５までは、次の吐出に備えて、振動板５１（３）は時点ｔ５までの間、個別電極１０（３）に吸着された状態で、保持される。（第２の振動板保持工程ＳＳ２）。
【００５８】
ｔ５〜ｔ７：駆動ノズル１１（３）では、更に、時点ｔ５からｔ７までの間に同様なサイクル（吐出工程ＳＳ６から振動板吸着工程ＳＳ７を経て振動板保持工程ＳＳ２に至るサイクル）により、振動板５１（３）が駆動され、矢印ｈ２に示す時点でインク液滴を吐出する（２回以上吐出する場合、ｔ５〜ｔ７を繰り返す）。
【００５９】
ｔ７〜ｔ８：駆動ノズル１１（３）では、時点ｔ７で徐々に振動板５１（３）が個別電極１０（３）から離脱して、一連の印刷制御工程（待機状態）を終了する。この時、ノズル１１（３）からインク液滴は吐出しない。（振動板離脱工程ＳＳ８）
図６（ｉ）において、非駆動ノズル１１（２）、１１（４）の振動板５１（２）、５１（４）は時点ｔ１から時点ｔ２の間で個別電極１０（２）、１０（４）にそれぞれ吸着される。（振動板の吸着工程ＳＳ１）振動板５１（２）、５１（４）は吸着後、時点ｔ７までの間、個別電極１０（２）、１０（４）にそれぞれ吸着された状態で、保持される。（振動板保持工程ＳＳ２）これらの非駆動ノズル１１（２）、１１（４）では、インク液滴を吐出しないので、駆動ノズル１１（３）が吐出工程にあるときも、振動板５１（２）、５１（４）は個別電極１０（２）、１０（４）に吸着されて保持されており、これらのインク室５（２）、５（４）の流路のコンプライアンスは小さい状態となっている。保持工程においては、これら流路のコンプライアンスが小さいので、駆動ノズル１１（３）の吐出工程においても隔壁８（１）〜８（４）が変形して、駆動ノズル１１（３）の圧力室５（３）の圧力損失を生じないので、駆動ノズル１１（３）からはばらつきがなく、安定したインク液滴の吐出が可能となる。
【００６０】
駆動ノズル１１（２）、１１（４）では、時点ｔ７で徐々に振動板５１（２）、５１（４）が個別電極１０（２）、１０（４）からそれぞれ離脱して、一連の印刷制御工程における待機状態を終了する。この時、ノズル１１（２）、１１（４）からインク液滴は吐出しない。（振動板離脱工程ＳＳ８）
このように、非駆動ノズル１１（２）の側では、駆動ノズル１１（３）の側の振動板５１（３）の離脱と吸引動作の期間中は振動板５１（２）が吸引保持されていて、図４（ａ）に示す待機状態においては、全てのノズルが個別電極に吸着された状態になる。次に、この吸着保持状態において、駆動ノズル１１（３）からインク液滴が吐出される。待機状態の終了に際しては、非駆動ノズル１１（２）の側の振動板５１（２）は個別電極１０（２）から離脱して緩やかに弾性復帰する。この振動板の弾性復帰速度を調整することにより、当該振動板５１（２）の弾性復帰時に、非駆動ノズル１１（２）からインク液滴が吐出することを完全に阻止できる。
【００６１】
なお、非駆動ノズル１１（４）も非駆動ノズル１１（２）と同様に動作する。
【００６２】
以上のように、本例の静電式インクジェットヘッドの駆動方法においては、駆動ノズル１１（３）に隣接している非駆動ノズル１１（２）、１１（４）においても振動板５１（２）、５１（４）を個別電極１０（２）、１０（４）に吸着保持することにより、その剛性を高い状態に保持している。この結果、非駆動ノズルのインク圧力室５（２）、５（４）のコンプライアンスを小さくできる。
【００６３】
よって、コンプライアンスが小さい駆動ノズル側のインク圧力室５（３）と、同じくコンプラインスが小さい非駆動ノズル側のインク圧力室５（２）、５（４）とを仕切っている隔離壁８（２）、８（４）が、駆動ノズル側のインク圧力室の圧力変動によって撓んでしまうとを阻止あるいは抑制できる。
【００６４】
従って、隣接したインクノズルの駆動の有無にかかわらず、インク圧力室の圧力のクロストークを防止あるいは抑制できるので、インクジェットヘッドを高密度化して隔離壁が薄くなったとしても、その撓みに起因した各インクノズルのインク吐出特性の劣化を防止あるいは抑制できる。このために、本例の駆動方法を採用すれば、高精細で緻密な印刷品位を容易に確保できる。
【００６５】
なお、時点８以降において個別電極と共通電極の間の電位差の極性を反転させているのは、電位差の極性が常に同一であると、これらの電極間に電荷が蓄積して、所望の静電吸引力が得られなくなるおそれがあるからである。これらの制御を行なうことにより、電極間に蓄積した電荷を一掃して、常に安定した振動板の動作が得られるようにしている。これらの制御のことを電位反転制御と称している。
【００６６】
電位反転制御とは、静電気力を用いて振動板を変形させることによりインク液滴の吐出を行なう形式のインクジェットヘッドの駆動方法であって、振動板に残留する残留電荷の影響を排除して常に良好なインク液滴の吐出動作を行なうことを目的として行われるインクジェットヘッドの駆動制御方法であり、本出願人による別の発明である。
【００６７】
前記振動板と前記電極の間に第１の極性の電圧を印加する第１の駆動形態で前記振動板を変形させて前記ノズルからインク液滴の吐出を行なわせると共に、前記第１の駆動形態によるインク液滴の吐出動作を行なう一定の期間毎に、前記ノズルからインク液滴の吐出を行なわせない様に前記振動板と前記電極の間に前記第１の極性とは逆の第２の極性の電圧を印加する第２の駆動形態で前記振動板を変形させる静電式インクジェットヘッドの駆動方法であって、第２の駆動形態では、第１の駆動形態にて蓄積した残留電荷を除去することを特徴とするインクジェットヘッドの駆動方法である。
【００６８】
第１の駆動形態と第２の駆動形態の頻度が異なることにより、電荷の蓄積が懸念されるので、例えば、印刷媒体上をインクジェットヘッドが副走査して印刷媒体の走査により印刷を行なう形態の記録装置では、駆動パス毎に第２の形態の電位反転制御を行なう。また更に、印刷媒体の主走査のみにより印刷を行なうラインタイプのインクジェットヘッドでは、１トランザクション印刷毎に第２の形態の電位反転制御を行なう。これにより、第１の駆動形態と第２の駆動形態の頻度が異なることにより振動板に残留する残留電荷の蓄積は抑制され、その影響は実用上無視できるレベルとなる。
【００６９】
さて、時点ｔ８以降における電位反転制御においては、図６（ｃ）に示す共通電極電位は、接地電位のＧＮＤレベルとされる。また、図６（ｄ）と（ｆ）に示される各個別電極電位は何れも高耐圧系の電源電位のＶｈと同じ電位とされる。これにより、図６（ｅ）と（ｇ）に示される電極間の電位差は何れも高耐圧系の電源電位のＶｈとは逆の相似形の電位差波形となる。
【００７０】
時点ｔ１〜ｔ７までの駆動形態を第１の駆動形態とし、時点ｔ８〜ｔ１０の駆動形態を第２の駆動形態として、前述の電位反転制御を行い、本発明の静電式インクジェットヘッドの制御方法に電位反転制御を適用し、振動板の動作を安定させ、インク液滴の吐出性能を確保することが可能である。
【００７１】
なお、図６にて説明した駆動方法においては、残留電荷を除去し、振動板の動作を安定させるために電位反転制御を適用したが、本発明の静電式インクジェットヘッドの駆動方法において、残留電荷を除去するために、前述のインク液滴吐出動作を行なう駆動形態の前又は後に、静電式インクジェットヘッドの予備動作として、その駆動電界極性とは逆極性で駆動する増粘インクをインクノズルの外部に除去又はインク室内に拡散するための駆動を行なってもよい。この場合も前述の電位反転制御と同じく、全てのノズルを一斉に動作させて駆動させる。
【００７２】
また、図６に示す駆動電圧波形は、本発明の駆動方法を実現するための一例であり、これとは異なる駆動形態を採用することも可能である。
【００７３】
（駆動装置）
以下に図面を参照して上述の駆動方法を適用した本発明の静電式インクジェットヘッドの駆動装置を説明する。
【００７４】
図７は、本発明を適用したインクジェットヘッドの駆動制御装置の概略ブロック図である。この図に示す駆動制御装置１００により駆動制御されるインクジェットヘッドは図１に示すものと同一であるので、同一の符号を付してその説明は省略するものとする。
【００７５】
インクジェットヘッドの駆動制御装置１００はインクジェットヘッド制御部１０２を有し、このインクジェットヘッド制御部１０２は、ＣＰＵを中心に構成されている。すなわち、ＣＰＵには外部装置１０３からバスを介して印刷情報が供給される。ＣＰＵには、内部バスを介してＲＯＭ、ＲＡＭおよびキャラクタジェネレータ１０４が接続されており、ＲＡＭ内の記憶領域を作業領域として用いて、ＲＯＭ内に格納されている制御プログラムを実行し、キャラクタージェネレータ１０４から発生するキャラクター情報に基づき、インクジェットヘッド駆動用の制御信号を生成する。ゲートアレイ１０５はＣＰＵから制御信号によりヘッドドライバＩＣ１０９へ印刷情報に対応した駆動制御信号を供給するとともに、駆動電圧パルス発生回路１０６へ、駆動電圧パルスを生成するための制御信号を供給する。
【００７６】
駆動電圧パルス発生回路１０６はゲートアレイから制御信号を供給されて、駆動電圧パルスを発生し、ヘッドドライバＩＣ１０９へ駆動パルスＶｐを供給する。駆動電圧パルス発生回路１０６ではデジタル情報としての制御信号をＤ／Ａ（デジタル−アナログ）変換器によりアナログの駆動電圧パルス波形へと変換する。すなわち、駆動電圧パルス発生回路１０６では駆動電圧パルスのパルス長、電圧、パルスの立ち上がり時間、立ち下がり時間等パルス信号波形生成条件に関する制御信号より、駆動パルス波形を生成する。駆動パルス発生回路１０６をＤ／Ａ変換器により構成することにより、駆動電圧パルス波形を精度良く生成するには、波形の分解能を上げるために使用するＤ／Ａ変換器のビット数を増やすのみでよいので、駆動電圧パルス波形の精度を容易に向上することが可能である。駆動パルス発生回路１０６をＣＲ回路により構成してもよい。駆動パルス発生回路１０６をＣＲ回路により構成すれば、Ｄ／Ａ変換器により構成する場合より安価な回路構成とすることが可能である。
【００７７】
駆動制御信号および駆動電圧パルスはコネクタ１０７を経由して、ヘッド基板１０８に形成されたヘッドドライバＩＣ１０９に供給される。ヘッドドライバＩＣ１０９は電源回路１１０から高電圧系の駆動電圧Ｖｈおよび論理回路系の駆動電圧Ｖｃｃを供給されて動作し、供給された駆動制御信号により、駆動電圧パルスとＧＮＤ電位を切り換えて、インクジェットヘッド１の各インクノズルに対応する対向電極間に印加する。この結果、対向電極間に駆動パルスにより、電位差が生じた振動板５１は対向電極へ吸引され、電位差が保持されている対向電極間では、振動板５１は対向電極１０に吸引された状態で保持され、電位差が急激に解除され変化が生じたインクノズルでは振動板５１が振動してインク液滴が吐出される。
【００７８】
図８は、図７のブロック図に示された、本発明を適用したヘッドドライバＩＣ１０９の内部の概略ブロック図である。ヘッドドライバＩＣ１０９は電源回路１１０から高電圧系の駆動電圧Ｖｈおよび論理回路系の駆動電圧Ｖｃｃを供給されて動作する。また、ヘッドドライバＩＣ１０９は、供給された駆動制御信号により、駆動電圧パルスＶｐとＧＮＤ電位を切り換えて、インクジェットヘッド１の各インクノズルに対応する対向電極間に印加する。
【００７９】
ここでヘッドドライバＩＣ１０９は、ＣＭＯＳの６４ビット出力の高耐圧ドライバとして説明する。ヘッドドライバＩＣ１０９は図２においては、電圧印加手段２１に相当し、ヘッドドライバＩＣ１０９の各ビット構成を５ビットとすることにより、電圧印加手段２１の構成となる。
【００８０】
図８において、９１は６４ビットのシフトレジスタであり、シリアルデータとして論理ゲートアレイ５より送信された６４ビット長のＤＩ信号入力を、ＤＩ信号に同期する基本クロックパルスであるところのＸＳＣＬパルス信号入力によりデータをシフトアップし、シフトレジスタ９１内のレジスタに格納するスタティクシフトレジスタとなっている。ＤＩ信号は、６４のノズルの各ノズルの選択情報をＯＮ／ＯＦＦによる制御信号がシリアルデータとして送信される。
【００８１】
９２は６４ビットのラッチ回路であり、シフトレジスタ６１内に格納された６４ビットデータをラッチパルスＬＰによりラッチしてデータを格納し、格納されたデータを、６４ビット反転回路９３に信号出力するスタティクラッチである。ラッチ回路９２では、シリアルデータのＤＩ信号が各ノズルの駆動を行なうための６４のセグメント出力を行なうための６４ビットのパラレルの信号へと変換される。
【００８２】
反転回路９３では、ラッチ回路９２から入力される信号と、ＲＥＶ信号との排他的論理和をレベルシフタ９４へ出力する。レベルシフタ９４は、反転回路９３からの信号の電圧レベルをロジック系の電圧レベル（５Ｖレベル又は３．３Ｖレベル）からヘッド駆動系の電圧レベル（０Ｖ〜４５Ｖレベル）に変換するレベルインターフェイス回路である。
【００８３】
ＳＥＧドライバ９５は６４チャンネルのドランスミッションゲート出力となっていて、レベルシフタ９４の入力により、ＳＥＧ１〜ＳＥＧ６４のセグメント出力に対して、駆動電圧パルスＶｐ（＝Ｖｐ１）入力か又はＧＮＤ入力かの何れかを出力する。
【００８４】
ＣＯＭドライバ９６は、Ｖｓｅｌ入力がＨ（論理）の時、ＲＥＶ入力に対して、駆動電圧パルスＶｐ（＝Ｖｐ１）入力か又はＧＮＤ入力かの何れかをＣＯＭ出力へ出力する。また、Ｖｓｅｌ入力がＬ（論理）の時、ＣＯＭドライバ９６はＲＥＶ入力に対してＶｐ２入力かＶｈ入力の何れかをＣＯＭ出力へ出力する。図６に示された駆動方法を実現するためには、Ｖｐ１入力に駆動電圧パルスＶｐを接続する。また、Ｖｐ２にはＧＮＤを接続する。このように構成し、Ｖｓｅｌ入力をＬに設定することにより容易に前述の電位反転制御を可能とする。また、Ｖｓｅｌ入力をＨに設定することにより、前述の予備動作としての駆動である、駆動パターンにおける逆極性での駆動も、交互に駆動電界極性を入れ替えた駆動も容易に実現可能となる。
【００８５】
ＳＥＧ１〜ＳＥＧ６４のセグメント出力は、インクジェットヘッド１の対応するインクノズル１１の対向電極１０の端子１０ｂにそれぞれ電気的に接続される。また、ＣＯＭ出力は、共通電極２２を介して振動板５１へ電気的に接続される。
【００８６】
ＸＳＣＬ、ＤＩ、ＬＰとＲＥＶの各信号は、ロジック系の電圧レベルの信号であり、論理ゲートアレイ１０５よりヘッドドライバーＩＣ１０９に送信される信号である。
【００８７】
このように、ヘッドドライバＩＣ１０９を構成することにより、駆動するセグメント数（ノズル数）が増加した場合においても容易にヘッドの各ノズルの駆動する駆動電圧パルスＶｐとＧＮＤとを切り換え、かつ前述の電位反転制御を容易に実現することが可能となる。
【００８８】
図９は上述のヘッドドライバＩＣ１０９の主要部分の内部の概略回路構成を示している。図９（ａ）にはＳＥＧドライバ９５の１ビット分のドライバのＣＭＯＳ回路構成を示し、（ｂ）にはＣＯＭドライバ９６のＣＭＯＳ回路構成を示す。
【００８９】
ＳＥＧドライバ９５はＳＥＧｎ（ｎ＝１，２，・・，６４）出力に対して、Ｖｐ１またはＧＮＤを切り替えて出力する。ＣＯＭドライバ９６はＣＯＭ出力に対して、Ｖｈ、Ｖｐ１、Ｖｐ２またはＧＮＤのいずれかを切り替えて出力するように構成されている。ここでＣＯＭドライバ９６は双方向のトランスミッションゲートとして回路構成されている。
【００９０】
このようにＳＥＧドライバ９５とＣＯＭドライバ９６を構成することにより、前述の図６のタイミングチャートで説明した、共通電極側の振動板５１と個別電極１０の電位の反転を行い、静電アクチュエータ内に蓄積した電荷を消去するための電位反転制御等の多様な静電式アクチュエータの駆動制御を容易に実現している。
【００９１】
（インクジェットプリンタ）
次に、図１０に本発明による印刷装置の実施例の外観斜視図を示す。印刷装置２００には静電式インクジェットヘッド２０１が搭載されている。インクジェットヘッド２０１はラインインクジェットヘッドとして印刷装置２００に搭載されている。インクジェットヘッド２０１には７０μmピッチ（３６０ｄｐｉ＝ドットパーインチ）にて１４４０のインクノズルが記録紙２１０に対向する面に、長手方向に一列に配列されている。
【００９２】
図１０において、印刷装置２００は、記録紙の搬送機構２０２により、記録紙２１０を矢印Ａ方向に搬送し、記録紙２１０の搬送速度に同期してインクジェットヘッド２０１からインク液滴を吐出し、これにより印刷を行う。２０３はインク供給機構の収納部である。インク供給機構は更に、不図示のインクを収容するインクタンクと、インクをラインインクジェットヘッド２０１に送ると同時に回収するインク循環ポンプ機構（不図示）と、インクタンクとインク循環ポンプ機構およびラインインクジェットヘッド２０１の間に配管されたインクパイプとからなり、これらがインク供給機構の収納部２０３に収納されている。
【００９３】
印刷装置２００は、このほかに図７にて示した駆動制御装置１００が含まれた構成となっている。駆動制御装置１００は、ラインインクジェットヘッド２０１、搬送機構２０２、インク供給機構２０３を駆動制御すると共に、バーコードスキャナーや、ネットワーク等の上位装置とのデータの受送信を行ない、データの印刷処理を行なう。
【００９４】
上述の例では、インクジェットヘッド２０１は印刷装置に固定して記録紙２１０を搬送して印刷を行なうラインタイプのインクジェットプリンタについて説明したが、本発明の印刷装置としては、インクジェットヘッドを記録紙上を副走査させてインク液滴を吐出し、記録紙を主走査方向に搬送しながら印刷を行なうシリアルタイプのインクジェットプリンタでもよい。
【００９５】
本発明の印刷装置によれば、高密度のインクジェットヘッド２０１を印刷装置に取り付けて、前述の駆動装置により静電式インクジェットヘッドの駆動を行なって、印刷を行なうので、高精細な印刷を高速に行なうことが可能である。また、インクジェットヘッドの複雑な制御を必要としないので、記録紙上をインクジェットヘッドの走査回数も少なく、簡単な制御で前述の高精細で高速な印刷装置を実現できる。
【００９６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の静電式インクジェットヘッドの駆動方法およびその装置においては、駆動ノズルである第１のインクノズルの振動板だけでなく、隣接している非駆動ノズルである第２のインクノズルの振動板も個別電極に吸引して吸着状態とし、この吸着状態を保持しながら駆動ノズルからインク液滴を吐出するようにしている。
【００９７】
従って、駆動ノズルを駆動する際、非駆動ノズル側のインク圧力室のコンプライアンスを小さくできるので、駆動ノズルのインク圧力室と非駆動ノズルのインク圧力室を仕切っている隔離壁の変形を防止あるいは抑制できる。よって、隔離壁を介しての圧力のクロストークを防止あるいは抑制できるので、当該クロストークに起因したインク吐出特性の劣化を防止あるいは抑制できる。
【００９８】
この結果、本発明の駆動方法および装置によれば、インクジェットヘッドの高密度化を、インク吐出特性の劣化を招くことなく実現できるので、高精細で緻密な印刷品位での印刷を達成できる。
【００９９】
加えて、インクジェットヘッドの高密度化を、駆動装置の複雑化と印刷速度の低下を招くことなく実現できるので、印刷速度を確保しつつ、容易に実現可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した静電式インクジェットヘッドの一例を示す概略縦断面図である。
【図２】図１に示す静電式インクジェットヘッドの概略平面構成図である。
【図３】図１に示す静電式インクジェットヘッドを直交する方向で切断した場合の概略横断面図である。
【図４】図１の静電式インクジェットヘッドの動作を示すための説明図である。
【図５】本発明のインクジェットヘッドの駆動方法を説明するフローチャート。
【図６】図４の動作を実現するための駆動電圧波形の一例を示すタイミングチャートである。
【図７】図６の動作を実現するための駆動装置の一例を示すブロック図である。
【図８】図７におけるヘッドドライバＩＣ内部のブロック図である。
【図９】図８におけるヘッドドライバＩＣのＳＥＧドライバ部（ａ）とＣＯＭドライバ部（ｂ）の概略回路構成図である。
【図１０】本発明のインクジェットプリンタを表す図。
【図１１】従来のインクジェットヘッドの駆動方法における不具合を説明するための説明図である。
【符号の説明】
１    静電式インクジェットヘッド
２    シリコン基板
３    ノズルプレート
４    ガラス基板
５（１）〜５（５）    圧力室
６    共通インク室
７    インク供給口
８（１）〜８（５）    隔離壁
９（１）〜９（５）    凹部
１０（１）〜１９（５）    個別電極
１０ａ    セグメント電極
１０ｂ    端子部
１１（１）〜１１（５）    インクノズル
１２    インク取出し口
２１    電圧印加手段
２２    共通電極端子
５１（１）〜５１（５）    振動板
６０    封止剤
１００    インクジェットヘッド制御装置
１０２    インクジェット制御部
１０９    ヘッドドライバＩＣ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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