(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板および第２の基板が所要の間隔を保持して対向し、該第１および第２の基板の周辺部が気密的に封止されて平面型表示容器が構成され、
上記第１の基板上に、それぞれ複数の電極が平面的に一方向および該一方向と交叉する方向に配列されて成る第１および第２の電極群が、互いに絶縁層を介して平面的に配置され、
上記第２の電極群の各電極の１側方には、該電極と一体に形成された放電電極部が設けられ、
上記放電電極部は、上記絶縁層の開口内に延在して上記第１の電極群の隣り合う各対の電極間の１電極間おきに該対の電極に対して所要の狭間隔を保持して共通の放電電極部として配置され、該放電電極部と上記対の電極との対向部にそれぞれプラズマ放電部が形成され、
上記放電電極部が介在されることなく直接的に隣り合う第１の電極群の電極間に隔壁絶縁層が介在され、
上記隔壁絶縁層と、上記第１および第２の電極群の電極間に介在された絶縁層とが共通の絶縁層によって全体として格子状パターンに形成され、
上記第２の基板に、上記第２の電極群の各電極と重なるように対向して該電極に沿う隔壁と、該隣り合う隔壁間に存する蛍光体層とが形成されて成る
ことを特徴とする平面型プラズマ放電表示装置。
【請求項２】
上記隔壁絶縁層は、上記直接的に隣り合う第１の電極群の電極間間隔以上の高さに設定されて成る
ことを特徴とする請求項１に記載の平面型プラズマ放電表示装置。
【請求項３】
上記第１の基板と、第２の基板の、少なくともいずれか一方が、表示光を透過する透明基板より成る
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の平面型プラズマ放電表示装置。
【請求項４】
上記第１および第２の電極群上に全面的に誘電体層が形成されて成る
ことを特徴とする請求項１、２又は３に記載の平面型プラズマ放電表示装置。
【請求項５】
上記誘電体層の厚さをｔとし、上記プラズマ放電部を形成する上記放電電極部と上記第１の電極群の電極との間隔をｄとするとき、２ｔ＜ｄとした
ことを特徴とする請求項４に記載の平面型プラズマ放電表示装置。
【請求項６】
上記誘電体層上に、該誘電体層に比し仕事関数が小さい表面層が形成されて成る
ことを特徴とする請求項４又は５に記載の平面型プラズマ放電表示装置。
【請求項７】
上記誘電体層上に、耐スパッタ性の表面層が形成されて成る
ことを特徴とする請求項４、５又は６に記載の平面型プラズマ放電表示装置。
【請求項８】
第１の基板および第２の基板が所要の間隔を保持して対向し、該第１および第２の基板の周辺部が気密的に封止されて平面型表示容器が構成され、
上記第１の基板上に、それぞれ複数の電極が平面的に一方向および該一方向と交叉する方向に配列されて成る第１および第２の電極群が、互いに絶縁層を介して平面的に配置され、
上記第２の電極群の各電極の１側方には、該電極と一体に形成された放電電極部が設けられ、
上記放電電極部は、上記絶縁層の開口内に延在して上記第１の電極群の隣り合う各対の電極間の１電極間おきに該対の電極に対して所要の狭間隔を保持して共通の放電電極部として配置され、該放電電極部と上記対の電極との対向部にそれぞれプラズマ放電部が形成され、
上記放電電極部が介在されることなく直接的に隣り合う第１の電極群の電極間に隔壁絶縁層が介在され、
上記隔壁絶縁層と、上記第１および第２の電極群の電極間に介在された絶縁層とが共通の絶縁層によって全体として格子状パターンに形成され、
上記第２の基板に、上記第２の電極群の各電極と重なるように対向して該電極に沿う隔壁と、該隣り合う隔壁間に存する蛍光体層とが形成されて成る平面型プラズマ放電表示装置にあって、
選択されたプラズマ放電部を構成する上記第１の電極群の電極と上記第２の電極群の放電電極部との間に放電開始電圧以上の電圧を印加して目的とする表示を行う
ことを特徴とする平面型プラズマ放電表示装置の駆動方法。
【請求項９】
上記選択されたプラズマ放電部を構成する上記第１の電極群の電極と上記第２の電極群の放電電極部との間に放電開始電圧以上の電圧を印加して目的とする表示を行うに当たり、
第１および第２フィールドによって１フレームを形成する駆動方法とし、第１フィールドにおいては、上記放電電極部によって形成する対のプラズマ放電部の一方のプラズマ放電部による表示を行い、
第２フィールドにおいては、上記放電電極部によって形成する上記対のプラズマ放電部の他方のプラズマ放電部による表示を行う
ことを特徴とする請求項８に記載の平面型プラズマ放電表示装置の駆動方法。
【請求項１０】
上記選択されたプラズマ放電部を構成する上記第１の電極群の電極と上記第２の電極群の放電電極部との間に放電開始電圧以上の電圧を印加して目的とする表示を行うに当たり、
上記放電電極部によって形成する対のプラズマ放電部を同時に駆動放電して表示を行う
ことを特徴とする請求項９に記載の平面型プラズマ放電表示装置の駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、平面型プラズマ放電表示装置と駆動方法に関わる。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、Ｘ電極およびＹ電極と呼称されるそれぞれ複数の平行電極が配列されて成る第１および第２の電極群を有し、両電極群の選択された電極間のプラズマ放電により目的とする表示を行うようにした、２電極方式のいわゆるマトリクス型表示態様をとる平面型プラズマ放電表示装置としては、例えば特開平６−５２８０２号公報に開示されたプラズマパネルがある。
【０００３】
従来の２電極方式の平面型プラズマ放電表示装置は、例えば図１１にその概略断面図を示すように、それぞれ例えばガラス基板より成る第１および第２の基板５１および５２が、両者間に隔壁５３を介在して所要の間隔を保持して対向され、その周辺部がガラスフリット等（図示せず）によってが封着されて成る。
そして、例えば第１の基板５１の内面に、複数の平行電極が配列されて成る第１の電極群６１が形成され、第２の基板５２の内面に、第１の電極群６１の電極と直交して第２の電極群６２とが形成される。
【０００４】
両基板５１および５２の各電極群６１および６２上には、誘電体層５４が印刷等によって積層され、その表面にはＭｇＯ等の表面保護膜（図示せず）が形成される。
また、例えば各隔壁５３によって構成された各放電空間領域部に、放電によって発生する紫外線によって可視光を発光する蛍光体層５５が塗布される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来一般の平面型プラズマ放電表示装置においては、その第１および第２の電極群が、互いに別の基板、すなわち第１および第２の基板５１および５２に形成される。
したがって、これら第１および第２の電極群の相互の位置関係の設定の精度は、各プレートへの各電極群の形成の精度と、両プレートの接合封着に当たっての相互の位置関係に依存する。したがって、各部において、一様な間隔、位置関係の設定において、高い精度を得にくいとか、その組み立てに特段の注意を必要とし、作業性と歩留りの低下という課題がある。
【０００６】
本出願人は、先にこのような課題の解決を図った平面型プラズマ放電表示装置を、特願平１０−３２９８１号出願「平面型プラズマ放電表示装置」で提案した。
この平面型プラズマ放電表示装置は、図１２にその概略斜視図を示し、図１３にその一部を切り欠いた要部の分解斜視図を示すように、第１および第２の基板１および２が所要の間隔を保持して対向され、その周辺部がフリットシールされて気密的に封止された平面型構成とされる。
【０００７】
この表示装置においては、共通の基板１上に、それぞれ複数の電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）および電極Ｙ（Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 ・・・）よりなる第１および第２の電極群１１および１２が配置された構成とされる。
【０００８】
これら電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）およびＹ（Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 ・・・）から導出された各端子ＴX （ＴX1，ＴX2，ＴX3・・・）およびＴY （ＴY1，ＴY2，ＴY3・・・）は、例えば各電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）およびＹ（Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 ・・・）自体の端部を、第１の基板１の第２の基板２より突出させた各辺例えば２辺に導出して形成する。
【０００９】
第１の電極群１１は、図１４にその一例の要部の平面図を示すように、第１の基板１上に、一方向例えば行方向に沿って延び、所要の間隔をもって配列された複数の帯状平行電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）が平面的に配列されて成る。
【００１０】
また、第２の電極群１２は、例えば電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）の延長方向と交叉例えば直交する列方向に沿って延びる帯状の電極部分ＡY （ＡY1，ＡY2，ＡY3・・・）と、放電電極部ＩY とによって構成された電極Ｙ（Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 ・・・）より成る。
これら帯状の電極部分ＡY 下には、例えばＳｉＯ2 による絶縁層１４が、行電極Ｘ上を横切って列方向に帯状に被着形成され、各行電極Ｘとの電気的絶縁がなされる。
【００１１】
放電電極部ＩY は、各電極部分ＡY （ＡY1，ＡY2，ＡY3・・・）からそれぞれ１側方、図においては左側方にそれぞれ隣り合う電極Ｘ1 およびＸ2 間、Ｘ2 およびＸ3 ・・・間に延長して配置され、各１の電極Ｘと所要の狭間隔ｄをもって対向する放電電極部ＩY11 ，ＩY12 ，ＩY13 ・・・，ＩY21 ，ＩY22 ，ＩY23 ・・・，ＩY31 ，ＩY32 ，ＩY33 ・・・によって構成される。
【００１２】
また、図１４においては、第１の電極群１１と、第２の電極群１２の放電電極部ＩY とが、同一導電層によって同時に形成され、第２の電極群１２の電極部分ＡY の形成において、各電極部分ＡY （ＡY1，ＡY2，ＡY3・・・）からそれぞれ側方に延長して接続片１５が形成され、これら接続片１５が対応する各放電電極部ＩY （ＩY11 ，ＩY12 ，ＩY13 ・・・，ＩY21 ，ＩY22 ，ＩY23 ・・・，ＩY31 ，ＩY32 ，ＩY33 ・・・）上に直接接触して電気的接続する構成とされている。
【００１３】
図１５は、この構成による第１および第２の電極群１１および１２の配置関係を模式的に示すものである。すなわち、この構成においては、各放電電極部ＩY （ＩY11 ，ＩY12 ，ＩY13 ・・・，ＩY21 ，ＩY22 ，ＩY23 ・・・，ＩY31 ，ＩY32 ，ＩY33 ・・・）は、それぞれその１側で対向する電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）との間でプラズマ放電部Ｐ（Ｐ11，Ｐ12，Ｐ13・・・，Ｐ21，Ｐ22，Ｐ23・・・，Ｐ31，Ｐ32，Ｐ33・・・）が形成される。
【００１４】
この構成による平面型プラズマ放電表示装置は、第１および第２の両電極群１１および１２を、共通の基板上に配置することによって上述の問題の解決をはかるものである。
【００１５】
ところで、近年、進展著しいパーソナルコンピュータやオフィスワークステーション、あるいは壁掛けテレビジョン等に用いられるディスプレイの性能としては、更なる高精細度化が要求されている。
【００１６】
このような高精細度化を図るために画素数の増加を図るには、電極間の間隔を狭めるとか、電極の幅を小とすることになるが、この場合、製造時において高い精度を必要とし、生産性の低下や歩留りの低下を来す。また、製品における不要部分での放電の発生、耐圧低下による信頼性の低下、電極の抵抗増加による応答速度等の問題が生じる。
【００１７】
本発明は、このような問題の解決を図る。すなわち、本発明においては、電極の幅および間隔を必要幅および間隔に保持した状態で、高精細度、高品位の平面型プラズマ放電表示装置を構成し、上述した製造時における高い精度の維持により、生産性の低下や歩留りの低下を回避する。また、製品における不要部分での放電の発生、耐圧低下等による信頼性の低下、電極の抵抗増加による応答速度等の問題の解決を図る。
また、本発明は、複雑な信号処理回路を用いずに、画像劣化を生じることなくその表示駆動を行う。
また、本発明は、高輝度表示を可能にする表示駆動を行う。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明による平面型プラズマ放電表示装置においては、第１の基板および第２の基板が所要の間隔を保持して対向し、該第１および第２の基板の周辺部が気密的に封止されて平面型表示容器が構成される。第１の基板上には、それぞれ複数の電極が平面的に一方向および該一方向と交叉する方向に配列されて成る第１および第２の電極群が、互いに絶縁層を介して平面的に配置される。第２の電極群の各電極の１側方には、該電極と一体に形成された放電電極部が設けられる。放電電極部は、絶縁層の開口内に延在して上記第１の電極群の隣り合う各対の電極間の１電極間おきに該対の電極に対して所要の狭間隔を保持して共通の放電電極部として配置される。そして、放電電極部と対の電極との対向部にそれぞれプラズマ放電部が形成され、放電電極部が介在されることなく直接的に隣り合う第１の電極群の電極間に隔壁絶縁層が介在される。この隔壁絶縁層と、第１および第２の電極群の電極間に介在された絶縁層とは、共通の絶縁層によって全体として格子状パターンに形成される。第２の基板には、第２の電極群の各電極と重なるように対向して該電極に沿う隔壁と、隣り合う隔壁間に存する蛍光体層とが形成されて構成される。
【００１９】
また、本発明による平面型プラズマ放電表示装置の駆動方法においては、上述の構成による平面型プラズマ放電表示装置に対し、選択されたプラズマ放電部を構成する第１の電極群の電極と第２の電極の放電電極部との間に放電開始電圧以上の電圧を印加して目的とする表示を行うものである。
【００２０】
そして、この駆動方法において、選択されたプラズマ放電部を構成する第１の電極群の電極と第２の電極の放電電極部との間に放電開始電圧以上の電圧を印加して目的とする表示を行うに当たり、第１および第２フィールドによって１フレームを形成する駆動方法とし、第１フィールドにおいては、放電電極部によって形成する対のプラズマ放電部の一方のプラズマ放電部による表示を行い、第２フィールドにおいては、放電電極部によって形成する他方のプラズマ放電部による表示を行う。
【００２１】
また、上述の構成による平面型プラズマ放電表示装置の選択されたプラズマ放電部を構成する第１の電極群の電極と第２の電極の放電電極部との間に放電開始電圧以上の電圧を印加して目的とする表示を行うに当たり、放電電極部によって形成する対のプラズマ放電部を同時に駆動放電して表示を行う。
【００２２】
上述したように、本発明は、第１および第２の電極群によるいわば対の放電電極群を平面的に配列した構成としても、その電極配置、印加電圧等の選定によって、その表示のためのプラズマ放電を確実に発生することができることを見出したことに基いて、対の放電電極群を共通の基板上に配列した構成としたものである。
【００２３】
そして、本発明では、第１の基板上の隔壁絶縁層と、第２の基板上の隔壁とにより区分された１つの放電領域において、１つの放電電極部に対して対のプラズマ放電部を形成するようにしてプラズマ放電電極の個数を減ずることから、画素数の増加、すなわちプラズマ放電部の個数の増加において、電極の幅を充分保持することができる。
【００２４】
また、その駆動においては、後述するところから、より明らかとなるように、特段の信号処理回路等を用いることがなくその駆動を行うことができる。
また、各放電電極部に関する対のプラズマ放電部を同時にオン・オフさせることによって、高輝度表示を行うことができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
本発明による平面型プラズマ放電表示装置の一形態は、図１にその概略斜視図を示し、図２にその一部を切り欠いた要部の分解斜視図を示すように、少なくとも一方が光透過性の例えばガラス基板による第１および第２の基板１および２が所要の間隔を保持して対向され、その周辺部がフリットシールされて気密的に封止され両基板１および２間に偏平ガス空間が形成された平面型表示容器を構成する。
【００２６】
そして、この両基板１および２間に偏平ガス空間にガスが封入される。この封入ガスは、例えばＨｅ，Ｎｅ，Ａｒ，Ｘｅ，Ｋｒのうちの１種以上のガス、例えば，ＮｅとＸｅの混合ガスもしくはＡｒとＸｅの混合ガスのいわゆるペニングガスを用いることができる。
また、その圧力は、例えば０．８〜５気圧程度とすることができる。
【００２７】
この表示装置においては、共通の第１の基板１上に、それぞれ複数の電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）および電極Ｙ（Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 ・・・）よりなる第１および第２の電極群１１および１２が、その少なくとも交叉部に絶縁層１４を介在させて配置された構成とされる。
【００２８】
これら電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）およびＹ（Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 ・・・）から導出された各端子ＴX （ＴX1，ＴX2，ＴX3・・・）およびＴY （ＴY1，ＴY2，ＴY3・・・）は、例えば各電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）およびＹ（Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 ・・・）自体の端部を、第１の基板１の第２の基板２より突出させた辺例えば図１に示すように、隣り合う２辺に導出して形成するとか、あるいは図示しないが、各電極ＸおよびＹをそれぞれもしくは一方については、１つおきに相対向する２辺から導出して形成する。
【００２９】
図３にその一例の要部の平面図を示すように、第１の基板１上に、第１の電極群１１は、一方向例えば行方向に沿って延びるように平行配列された複数の帯状平行電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）が平面的に配列されて成る。
【００３０】
また、第２の電極群１２は、例えば電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）の延長方向と交叉例えば直交する列方向に沿って延びる帯状の電極部分ＡY （ＡY1，ＡY2，ＡY3・・・）と、放電電極部ＩY とによって構成された電極Ｙ（Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 ・・・）より成る。
【００３１】
放電電極部ＩY は、各電極部分ＡY （ＡY1，ＡY2，ＡY3・・・）からそれぞれ１側方、図においては左側方に配置されるが、これら放電電極部ＩY は、第１の電極群Ｘの、隣り合う対の電極を組として、各組において、それぞれの電極Ｘ1 およびＸ2 間、Ｘ3 およびＸ4 間、Ｘ5 およびＸ6 間・・・に配置されたＩY11 ，ＩY12 ，ＩY13 ・・・，ＩY31 ，ＩY32 ，ＩY33 ・・・，ＩY51 ，ＩY52 ，ＩY53 ・・・，によって構成される。つまり、互いに隣り合う他の組の電極間、例えば電極Ｘ2 およびＸ3 間、Ｘ4 およびＸ5 間・・・には、放電電極部ＩY は配置しない。
【００３２】
すなわち、第１および第２の電極群１１および１２の配置の模式図を図４に示すように、この構成により、図１５で説明した放電電極部ＩY21 ，ＩY22 ，ＩY23 ・・・，ＩY41 ，ＩY42 ，ＩY43 ・・・が排除されて放電電極部ＩY が１／２の数に減少される。
【００３３】
そして、各放電電極部ＩY （ＩY11 ，ＩY12 ，ＩY13 ・・・，ＩY31 ，ＩY32 ，ＩY33 ・・・，ＩY51 ，ＩY52 ，ＩY53 ・・・）と、これらと対向する電極Ｘとの間隔は、所要の放電開始電圧をもって放電がなされる狭間隔ｄとされ、各放電電極ＩY （ＩY11 ，ＩY12 ，ＩY13 ・・・，ＩY31 ，ＩY32 ，ＩY33 ・・・，ＩY51 ，ＩY52 ，ＩY53 ・・・）の両側で第１の電極群の電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）との対向部にそれぞれプラズマ放電部Ｐ（Ｐ11，Ｐ12，Ｐ13・・・，Ｐ21，Ｐ22，Ｐ23・・・，Ｐ31，Ｐ32，Ｐ33・・・）を構成する。
【００３４】
放電電極部ＩY が介在することなく隣り合う電極Ｘ2 およびＸ3 間，Ｘ4 およびＸ5 間・・・の間隔Ｄは、例えばＤ＞ｄとする。
【００３５】
また、これら放電電極部ＩY が介在することなく隣り合う他の組の電極Ｘ2 およびＸ3 間，Ｘ4 およびＸ5 間・・・には、その間隔Ｄ以上すなわち間隔Ｄと同等もしくはこれを超える高さ（厚さ）の隔壁絶縁層１４Ｂを介在させる。図示の例では絶縁層１４と同一層をもって隔壁絶縁層１４Ｂを形成した場合である。
このように、放電電極部ＩY が介在することなく隣り合う他の組の電極Ｘ2 およびＸ3 間，Ｘ4 およびＸ5 間・・・に隔壁絶縁層１４Ｂを介在させることにより、各放電電極ＩY （ＩY11 ，ＩY12 ，ＩY13 ・・・，ＩY21 ，ＩY22 ，ＩY23 ・・・，ＩY31 ，ＩY32 ，ＩY33 ・・・）が、それぞれ他のプラズマ放電部Ｐの電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）との間で、異常放電を発生する危険をより確実に回避することができる。
【００３６】
そして、第２の基板２に、図２に示すように、プラズマ放電によって発生する真空紫外線ないしは紫外線によって可視光を発光する蛍光体層１９が形成される。例えばカラー表示が成される場合は、赤、緑および青の各色光を発光する蛍光体Ｒ、ＧおよびＢが塗布される。
【００３７】
また、この蛍光体層１９が形成された第２の基板２には、第２の電極群１２の電極Ｙ（Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３・・・）の各電極部ＡＹ  （ＡＹ１，ＡＹ２，ＡＹ３・・・）と対向して、これに沿って帯状の隔壁１８を突設する。この隔壁１８は、各単位放電領域すなわち各プラズマ放電部Ｐ相互のクロストークを阻止するに供する。
上述した構成においては、図２及び図３の説明から明らかなように、第１の基板１における隔壁絶縁層１４Ｂと、第２の基板２における隔壁１８とにより区分された１つの放電領域内に、放電電極部ＩＹと対の電極Ｘとの間で２つのプラズマ放電部Ｐが形成されることになる。
【００３８】
このようにして、選択されたプラズマ放電部Ｐにおいて、このプラズマ放電部Ｐを構成する第１の電極群１１の電極Ｘと、第２の電極群１２の放電電極部ＩY との間に、直流もしくは交流の所要の電圧を印加することによって選択的に放電させ、蛍光体層１９の所要部を発光させて目的とする表示を行う。
交流駆動においては、少なくとも第１または第２の電極群の形成部を覆って誘電体層１６が形成される。
【００３９】
誘電体層１６上には、この誘電体層１６に比し、仕事関数が小さく、また必要に応じて放電プラズマによって誘電体層１６の表面がスパッタによるダメージを受けることから保護する表面層１７が形成される。
【００４０】
次に、この構成による表示装置の理解を容易にするために、その製造方法の  例を説明する。この例においては、第１の電極群１１の電極Ｘと、第２の電極群１２の放電電極部ＩY とを同一導電層によってすなわち同一工程で形成した場合である。
【００４１】
先ず、第１の基板１に係わる製造工程について説明する。図５に示すように、例えばガラス基板よりなる第１の基板１が用意され、その１主面に、第１の電極群１１の電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）と、第２の電極群１２の電極Ｙ（Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 ・・・）の放電電極部ＩY （ＩY11 ，ＩY12 ，ＩY13 ・・・，ＩY31 ，ＩY32 ，ＩY33 ・・・，ＩY51 ，ＩY52 ，ＩY53 ・・・）を、形成する。
【００４２】
これら電極Ｘおよび放電電極部ＩY の形成は、例えばフォトレジスト層を用いたリフトオフ法によって形成することができる。すなわち、図示しないが、基板１に全面的にフォトレジスト層を塗布し、これに対するパターン露光および現像処理を行って、最終的に形成する各電極Ｘと、各放電電極部ＩY の形成部にフォトレジスト層が除去された開口を形成し、基板１全面に導電層を、例えば蒸着によって形成する。
【００４３】
この導電層は、例えば透明導電層のＩＴＯや、Ａｌ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｆｅ，Ｃｒ，Ｚｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｐｂ等の１種以上の金属層によって構成するとか、あるいはＡｌ層とこれの上にＡｌの酸化を阻止するＣｒ層等の表面層を有するＣｒ／Ａｌの積層構造、もしくは更にその下地層として、例えばガラス基板に対する被着性にすぐれた例えばＣｒ層による下地層を有するＣｒ／Ａｌ／Ｃｒの多層構造の導電層によって構成することができる。
【００４４】
その後、フォトレジスト層を除去することによって、このフォトレジスト上に形成された導電層を除去、すなわちリフトオフし、残された導電層をもって図５で示す電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）と、放電電極部ＩY （ＩY11 ，ＩY12 ，ＩY13 ・・・，ＩY31 ，ＩY32 ，ＩY33 ・・・，ＩY51 ，ＩY52 ，ＩY53 ・・・）を形成する。
【００４５】
次に、図６に示すように、絶縁層１４の形成を行う。この絶縁層１４は、第１の基板１上の前述の第２の電極群１２の電極部ＡY の形成部と、放電電極部ＩY が介在することなく隣り合う電極Ｘ2 およびＸ3 間上、Ｘ4 およびＸ5 間上に形成され、放電電極部ＩY （ＩY11 ，ＩY12 ，ＩY13 ・・・，ＩY31 ，ＩY32 ，ＩY33 ・・・，ＩY51 ，ＩY52 ，ＩY53 ・・・）の形成部に開口１４ｗが形成された格子状パターンに形成する。つまり、この例では、前述した電極間に介在させる絶縁層部分と隔壁絶縁層１４Ｂとを一体に形成した場合である。
【００４６】
この絶縁層１４の形成は、第１の基板１上に、全面的に、絶縁層を構成する例えば感光性ガラスペーストを塗布し、８０℃で２０分間の熱処理を行い、その後、このガラス層に対してパターン露光および現像処理を行うことによって上述した格子状パターンに形成する。その後、６００℃での焼成を行うことによって形成する。
【００４７】
次に、図３で示したように、第２の電極群１２の電極部分ＡY （ＡY1，ＡY2，ＡY3・・・) とこれより延在する接続片１５の形成を行う。この形成においても、リフトオフ法によって形成することができる。すなわち、この場合においても、第１の基板１上に全面的にフォトレジスト層を塗布し、パターン露光および現像処理するフォトレジストのパターニングを行い、その後例えばＡｌによる導電層を全面的に蒸着等によって形成し、フォトレジスト層を剥離することによって電極部分ＡY （ＡY1，ＡY2，ＡY3・・・) とこれより延在する接続片１５とを同時に形成する。
【００４８】
このようにして、第１および第２の電極群１１および１２の形成がなされる。
【００４９】
その後、図７に、鎖線ａをもって示すように、また、図２に示すように、例えば各電極ＸおよびＹの端部によるＴX1，ＴX2，ＴX3・・・ＴY1，ＴY2，ＴY3・・・  等の端子の導出部、すなわち基板１の外周部を除いて全面的にＳｉＯ2 等の誘電体層１６をＣＶＤ（化学的気相成長）法によって形成し、その上に例えば蒸着によって図２で示すＭｇＯ等の表面層１７を形成する。
【００５０】
次に、第２の基板２に係わる製造工程について説明する。この場合においても例えばガラス基板よりなる第２の基板２が用意される。そして、その１主面に図２で示す隔壁１８の形成を行う。この隔壁１８の形成は、基板２の内面に全面的に、例えばラミネート用のガラス材シート例えばグリーンシート（デュポン社製商品名）を貼り付け、２１０℃あるいは４１０℃でプリベーキングする。
その後、フォトレジスト層を塗布し、パターン露光および現像処理を行って隔壁１８を形成する部分、すなわち隔壁１８のパターンにフォトレジスト層を残して他部を除去する。
次に、このフォトレジスト層をマスクとして、パウダービーム加工、あるいはいわゆるサンドブラスト処理を行って、ガラス材シートを、フォトレジスト層の形成部を残して他部を除去する。
その後、フォトレジスト層を除去し、例えば６００℃の焼結処理を施す。このようにして、隔壁１８が形成される。
【００５１】
このようにして、ストライプ状の隔壁１８が形成された、第２の基板２の内面に、各隔壁１８間の凹部の、例えば各２つおきに赤、緑および青の蛍光体Ｒ，ＧおよびＢを、順次形成し、例えば４３０℃で焼成して蛍光体層１９を形成する。
【００５２】
このようにして、第１および第２の電極群１１および１２が形成された第１の基板１と、隔壁１８および蛍光体層１９が形成された第２の基板２とを、第２の電極群１２の各電極Ｙの各電極部分ＡY と、第２の基板２の各隔壁１８とを正対させ、各ストライプ状の蛍光体Ｒ、ＧおよびＢをそれぞれ同一垂直線上のプラズマ放電部に対向させるように、所要の間隔を保持して対向させ、その周辺をガラスフリットで、例えば４３０℃の熱処理を行って封止する。
この場合のフリット位置は、各電極の端子部ＴX およびＴY を外部に導出する位置に選定される。
【００５３】
また、この場合、隔壁１８が、図７中鎖線ｂで示すように、電極Ｙ（Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 ・・・）の、電極部ＡY （ＡY1，ＡY2，ＡY3・・・）に対向する位置関係となるように、その形成位置の選定がなされるが、この位置の設定は、さほど精度を必要とするものではない。
【００５４】
このようにして、第１および第２の基板１および２間に形成された偏平空間内を、例えば３８０℃に加熱した状態で、２時間の排気処理を行い、この偏平空間内に、前述したガスを所要のガス圧をもって封入する。このようにして、本発明による平面型プラズマ放電表示装置が構成される。
【００５５】
このようにして、共通の基板１上に、第１および第２の電極群１１および１２が形成され、かつこれら電極群１１および１２の、各電極ＸおよびＹの互いの交叉部には、絶縁層１４が介在されて相互の電気的絶縁がなされる。
【００５６】
また、隣り合う電極Ｘ2 およびＸ3 間、Ｘ4 およびＸ5 間上には絶縁層１４が存在することにより、クロストークが、より防止される。
【００５７】
尚、上述したような高温の熱処理が、下層の電極群、この例では第１および第２の電極群１１および１２の形成後に行われる場合には、この高温処理前に形成される導電層、すなわち上述した例では、第１の電極群１１の各電極Ｘと、第２の電極群１２の各電極Ｙの各放電電極部ＩY を、例えばＡｌによって構成すると、Ａｌが酸化されるなど特性劣化を生じる問題がある。この場合においては、前述したように、この導電層として例えばＡｌ上にこれを保護し、酸化によって安定な不良導体層を形成するＣｒが形成された多層構造とすることが望ましい。
【００５８】
上述した方法では、各電極群１１および１２を、リフトオフ法によって形成した場合であるが、導電層を全面的に形成し、この導電層上にフォトレジストを塗布し、フォトリソグラフィによってパターニングし、これをマスクに導電層をエッチングすることによって形成することもできるなど上述した例に限られるものではなく、種々の方法を適用することができる。
【００５９】
ここで、放電電極部ＩY （ＩY11 ，ＩY12 ，ＩY13 ・・・，ＩY31 ，ＩY32 ，ＩY33 ・・・，ＩY51 ，ＩY52 ，ＩY53 ・・・）の、電極Ｘ1 およびＸ2 ，Ｘ3 およびＸ4 ，Ｘ5 およびＸ6 ・・・に対する間隔は、前述した間隔ｄに選定され、電極Ｘ2 およびＸ3 間の間隔，Ｘ4 およびＸ5 間の間隔，Ｘ6 およびＸ7 間の間隔は、間隔ｄより大なる間隔Ｄに選定されるが、これらの間隔ｄおよびＤは、上述したように、電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）と、放電電極部ＩY （ＩY11 ，ＩY12 ，ＩY13 ・・・，ＩY31 ，ＩY32 ，ＩY33 ・・・，ＩY51 ，ＩY52 ，ＩY53 ・・・）とを、同一の導電層によって同一工程で形成することによって正確に設定することができる。しかしながら、これらを異なる工程による導電層によって形成することもできる。
【００６０】
また、隔壁１８の高さは、これら隔壁１８と誘電体層１６もしくはこれの表面に形成された表面層１７との間隔が、後述するプラズマ放電が生じ得ない間隔となる高さに選定する。
【００６１】
第１および第２の基板１および２間の偏平空間への封入ガス圧Ｐは、０．３〜５．０気圧とすることができる。
この封入ガス圧Ｐは、パッシェンの法則から、放電開始電圧ＶS を所定の電圧、例えばパッシェン最小値に選定するとき、放電電極間距離、すなわちプラズマ放電部Ｐを形成する平面的に対向する各行電極Ｘ放電電極部ＩY との距離（以下放電電極間の距離という）ｄとの積、Ｐ・ｄが一定となるように選定する。しかしながら、放電開始電圧ＶS を例えばパッシェン最小値に選定するときは、放電電極間の距離ｄは、このとき決まる距離ｄに対して±数十％の変動を許容できる。また、放電開始電圧ＶS を、パッシェン最小値以外に選定する場合においても、このとき決まる電極間距離ｄに対して、実際には±３０％程度の許容度を有する。
【００６２】
そして、これら放電電極間の距離ｄは、５０μｍ以下、例えば５〜２０μｍ、更には５μｍ以下、１μｍ以下等の狭小な間隔に選定することができる。
一方、この放電電極間の距離ｄは、誘電体層１６の厚さｔとの関係においても選定されることが必要である。すなわち、図８Ａにその放電態様を示すように、誘電体層１６の上方においてプラズマ放電がなされるようにするためには、誘電体層１６を厚さ方向に突き抜けて放電がなされる必要があり、図８Ｂに示すように、誘電体層１６中で、両電極ＸおよびＹ間で放電がなされることが回避されることが必要であって、このためには、いま表面層１７の誘電率が誘電体層１６のそれより充分低いとすると、２ｔ＜ｄの関係に選定されることが望まれる。
【００６３】
次に、この構成による表示装置の駆動方法について説明する。
一の形態を図９の電圧波形図を参照して説明する。
この例では、通常のプラズマ放電表示装置におけると同様の、放電期間を前半部分と後半部分とに分け、前半部分が、放電させる画素を決定する走査放電期間であり、後半部分が放電を維持させて発光輝度を増やす維持放電期間とした場合である。
【００６４】
この場合、放電開始は、各プラズマ放電部Ｐにおける第２の電極群１２の放電電極部ＩY （ＩY11 ，ＩY12 ，ＩY13 ・・・，ＩY31 ，ＩY32 ，ＩY33 ・・・，ＩY51 ，ＩY52 ，ＩY53 ・・・）の電圧すなわち電極Ｙ（Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 ・・・）への印加電圧がＶａで、第１の電極群１１の電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）への印加電圧がＶｂが、同時に印加されたときにのみ、そのプラズマ放電部Ｐにおいて放電が開始、すなわちオンされるようにする。この放電を発生させる電圧とタイミングは、平面型プラズマ放電表示装置の特性によって設定することができる。
【００６５】
図９で示す例においては、走査放電期間において、電極Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・に時分割的に順次一定区間τ1 ，τ2 ，τ3 ・・・に上述のオン電圧Ｖｂを印加し、一方、電極Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 ・・・に表示する画像信号に応じたオン電圧Ｖａを入力する。
このようにすると、図９の例では、区間τ1 において、オン状態にある電極Ｘ1 と、画像信号のオン電圧Ｖａが印加された電極Ｙ1 およびＹ2 間によって形成される）図４におけるプラズマ放電部Ｐ11およびＰ12においてＶａ＋Ｖｂが印加されることからこれらプラズマ放電部Ｐ11およびＰ12において放電が開始される。
同様にして、図９の例では、区間τ2 おいてプラズマ放電部Ｐ21が、また、区間τ3 においてプラズマ放電部Ｐ32が放電開始する。
そして、この場合、図９に示すように、プラズマ放電部Ｐを構成することのない例えばＸ2 およびＸ3 間、Ｘ4 およびＸ5 間・・・においては、いずれの区間τ（τ1 ，τ2 ，τ3 ・・・）においても、電圧Ｖａ＋Ｖｂの電圧が印加されることがないことから、これら間に放電が開始されることはない。
【００６６】
そして、通常のように、維持放電期間においては、第１および第２の電極群１１および１２の電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）およびＹ（Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 ・・・）に放電維持のパルス電圧を供給することによって通常のように放電が開始されたプラズマ放電部についてその放電状態すなわち発光状態を維持することができる。
【００６７】
このように、本発明構成においては、各電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）によってスイッチングを行い、電極Ｙ（Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 ・・・）に画像信号を印加することによって、通常マトリクス型のプラズマ放電表示装置と同様の表示動作を行うことができる。
【００６８】
また、本発明構成による平面型プラズマ放電表示装置は、特に、インターレース（飛び越し走査）方式を適用する場合において、このインターレースのための信号処理回路を省略できることから、駆動回路の簡潔化が図れる。
【００６９】
すなわち、本発明構成による平面型プラズマ放電表示装置においては、１つの放電電極部ＩY に関して対のプラズマ放電部Ｐ11およびＰ21Ｐ12およびＰ22，Ｐ13およびＰ23・・・が構成されることから、インターレース駆動において、第１フィールドにおいては、対のプラズマ放電部の各一方のプラズマ放電部Ｐ11，Ｐ12，Ｐ13・・・，Ｐ31，Ｐ32，Ｐ33・・・について動作させ、第２フィールドにおいては、対のプラズマ放電部の各他方のプラズマ放電部Ｐ21，Ｐ22，Ｐ23・・・，Ｐ41，Ｐ42，Ｐ43・・・について動作させる。すなわち、図１０にその駆動波形を示すように、（画像信号に関しては、電極Ｙ1 のみを示している。）第１フィールド期間では、各一方のプラズマ放電部Ｐ11，Ｐ12，Ｐ13・・・，Ｐ31，Ｐ32，Ｐ33・・・に係わる電極Ｘ1 ，Ｘ3 ，Ｘ5 ・・・を順次オンし、第２フィールド期間では、各他方のプラズマ放電部Ｐ21，Ｐ22，Ｐ23・・・，Ｐ41，Ｐ42，Ｐ43・・・に係わる電極Ｘ2 Ｘ4 ，Ｘ6 ・・・を順次オンして、その表示を行う。
【００７０】
このように、本発明装置によれば、インターレース表示を何ら特段の信号処理回路を用いることなく行うことができる。
すなわち、現在の一般のテレビジョン（ＴＶ）放送では、インターレース放送の映像信号が送出されている。したがって、ＴＶ受像機器のほとんどがインターレース対応になっていおり、パッケージメディアもそれに準じたものとなっている。これに対し、パーソナルコンピュータ用のディスプレイやプラズマディスプレイパネル等は、プログレッシブあるいはノンインターレースという順次走査が基本となっており、インターレースの映像表示を行う場合には、信号処理回路で一旦１フレーム（２フィールド）の画像信号を取り込んでメモリし、その後、この信号を順次取り出して駆動表示するという方法が採られる。実際には、半導体メモリ等の素子を用いることで画像信号を保持し、これを順次走査に変換している。
【００７１】
具体的には、ＮＴＳＣの信号を、４８０ラインのディスプレイで表示する場合、次のようになる。送り側は、１フレーム（３０Ｈｚ）に２枚の画面を送出する。１枚の画面は、飛び越し２４０ラインの情報である。したがって、ディスプレイは２枚の画面を受け取ってから４８０ラインを順次走査する。液晶に代表されるフリッカを嫌うディスプレイでは、１フレームで１回だけ４８０ラインを走査する３０Ｈｚの書き込みの場合、フリッカなどの症状が出てしまうため、２回同じ映像を出すか、１フィーフド毎に２４０ラインづつの画像情報を書き換えるという手法を採っている。しかし、２度書きの手法によれば、画像の解像度が落ちてしまい、鈍った映像となる。いづれにせよ、このようなデバイスでインターレース信号を映像を表示させるためには信号処理回路がメモリ機能を有することが必須となる。
ところが、本発明装置および本発明によるインターレース駆動方法によるときは、このようなメモリ機能が不要となることから表示のための回路構成が簡潔化れる。
【００７２】
また、上述した各駆動方法によれば、各対のプラズマ放電部Ｐ（Ｐ11，Ｐ12，Ｐ13・・・，Ｐ21，Ｐ22，Ｐ23・・・，Ｐ31，Ｐ32，Ｐ33・・・）を、独立に放電させた場合、すなわちこれらを、個々の画素として構成した場合であるが、これら対のプラズマ放電部Ｐ11およびＰ21，Ｐ12およびＰ22，Ｐ13およびＰ23・・・を、各対毎に同時にオンさせることによって、その発光輝度を倍増させることができる。つまり、この場合、第１の電極群１１の電極Ｘ1 とＸ2 ，Ｘ3 とＸ4 ，Ｘ5 とＸ6 ・・・を同時にオンし、各対のプラズマ放電部Ｐにおいて、同じ情報の表示を行う。
【００７３】
本発明による平面型プラズマ放電表示装置による発光表示の観察は、第１の基板１または第２の基板２側からなされるものであり、この場合、少なくともその観察がなされる側の基板１または２は、表示発光が透過される透明基板、例えば前述したように、ガラス基板によって構成されるが、両基板１および２を透明基板によって構成する場合、観察側とは反対側の基板２または１の内面には、各電極群もしくは蛍光体層の形成に先立って、Ａｌ蒸着膜等の光反射膜ないしは光遮断膜（図示せず）を形成することによって、観察側に、有効に発光光を導出させ、また背面側からの外部の入射光を遮断できることからコントラストの向上をはかることができる。
【００７４】
また、電極群が形成される第１の基板１側から、観察する場合においては、第１および第２の電極群１１および１２の各電極は、透明導電層、例えばＩＴＯ（ＩｎとＳｎの各複合酸化物）によって構成する。
【００７５】
尚、本発明による平面型プラズマ放電表示装置および駆動方法は、上述した例に限られるものではなく、種々の変形、変更を行うことができる。例えば表示しようとする画像信号を、第１の電極群１１の電極Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・）に入力し、切換え駆動を第２の電極群１２の電極Ｙ（Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 ・・・）によって行うようにすることもできる。
【００７６】
また、例えば放電電極部ＩY の形状も、図示の例では方形として、その相対向する２辺が対の電極Ｘと対向するようにした場合であるが、多角形状、楕円形状とすることができ、また、電極Ｘと放電電極部ＩY との対向部は、電極Ｘの延長方向の例えば行方向（水平方向）の側面に限定されるものではなく、例えば電極Ｘの延長方向、すなわち例えば行方向（水平方向）から、列方向（垂直方向）に延びる延長部を有するパターンとして、この延長部を、放電電極部ＩY との対向部として、プラズマ放電部Ｐを構成することもできる。
また、表示方法として、上述した例では蛍光体発光によった場合であるが、放電発光自体によって表示を行う構成とすることもできるなど、種々の変形、変更を行うことができる。
【００７７】
また、例えば、上述した例では、第１の電極群１１の電極Ｘと第２の電極群１２の電極Ｙの放電電極部ＩY とを同一導電層によって、同一工程で形成した場合であるが、第１の電極群１１とは、別工程をもって、第２の電極群１２の電極Ｙの放電電極部ＩY と、いわゆる給電を行う電極部分ＡY とを、同一導電層によって構成することができる。すなわち、この場合は、第１の電極群１１の電極Ｘのみを形成し、その後、絶縁層１４を形成する。その後、第２の電極群１２の電極Ｙの電極部分ＡY と、これより延長させて放電電極部ＩY とを形成することができる。この場合には、接続片１５が省略される。
【００７８】
尚、直流駆動構成とする場合においては、誘電体層１６および表面層１７は形成されない。そして、この直流放電による場合においては、通常、この放電によって陰極側の電極は酸化され、陽極側の電極は還元されることから、陰極側となる第１もしくは第２の電極群１１もしくは１２を構成する電極は、酸化金属の、例えばＩＴＯ，ＳｎＯ2 ，Ｉｎ2 Ｏ3 等によって構成し、陽極側となる第２もしくは第１の電極群１２もしくは１１を構成する電極は、金属電極の例えばＡｌ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｆｅ，Ｃｒ，Ｚｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｐｂ等、あるいはこれらの１種以上の合金によって構成する。
したがって、この場合には、第１の電極群１１と第２の電極群１２とを同一導電層によって構成することは好ましくなく、この場合においては、第２の電極群１２の各電極Ｙは、その電極部分ＡY と放電部分ＩY とが同一導電層による構成とする。
【００７９】
また、交流駆動および直流駆動のいずれにおいても、例えば第１の電極群１１の電極Ｘを、透明電極等の酸化物電極によって構成する場合、その比抵抗は一般に大きいことから、この場合は帯状の電極に沿って、その行方向に延びる一側縁に導電性にすぐれた、Ａｌ，Ｎｉ，Ｃｕ等の導電層を被着することが望ましい。
【００８０】
上述の本発明構成による平面型プラズマ放電表示装置によれば、各放電電極となる第１および第２の電極群１１および１２を、共通の基板、上述した例では偏平容器を構成する第１の基板１に形成したので、これら電極間の間隔を正確に設定できることから、安定して、良好高い精度を有する表示装置を、容易に製造できる。
【００８１】
そして、このように、各放電電極となる第１および第２の電極群１１および１２を共通の基板に形成することから、放電電極間の距離ｄと、これらを対向する基板に形成する場合におけるこれら間の間隔、すなわち放電空間等とが、互いに制約されることが回避され、これらの選定の自由度が大となり、設計および製造の簡易化がはかられる。
【００８２】
また、放電電極と蛍光体層とを異なる基板１および２に形成することから、蛍光体の形成を、この電極形成部を回避した位置に限定的に形成する必要がなく、各電極と対向する部分に、すなわち隔壁１８の側面のみならず、その底面にも形成することができることから、輝度の向上をはかることができる。
【００８３】
【発明の効果】
上述したように、本発明構成によれば、放電電極と蛍光体とを異なる基板１および２に形成することから、蛍光体の塗布面積が、冒頭に述べたように、放電電極と蛍光体とを同一基板に形成する場合に比し、格段に大となることから、高輝度化が図られる。
【００８４】
また、本発明構成によれば、各放電電極となる第１および第２の電極群１１および１２を、共通の基板、上述した例では偏平容器を構成する第１の基板１に形成したので、これら電極間の間隔を正確に設定できる。
【００８５】
更に、蛍光体層が形成されるカラー表示装置を構成する場合においては、蛍光体層を形成する基板と、各第１および第２の電極群１１および１２を形成する基板が異なる基板であることから、その製造が容易となり量産性が向上する。また、各電極群、蛍光体の形成において互いに他を損傷させるなどの特性劣化を来すことが回避されることから歩留りの向上が図られる。
【００８６】
また、各放電電極となる第１および第２の電極群１１および１２を共通の基板に形成することから、放電電極を構成する各電極ＸおよびＹ間の間隔ｄと、放電空間すなわち第１および第２の基板１および２の間隔等とが、互いに制約されることが回避され、これらの選定の自由度が大となり、設計および製造の簡易化がはかられ、信頼性の高い表示装置を、容易に、作業性良く、したがって、製造の量産化を図ることができる。
【００８７】
また、特に本発明構成による平面型プラズマ放電表示装置によれば、第２の電極群１２の放電電極部ＩY の１つに対して２個のプラズマ放電部を構成するよういしたことから、各電極を幅狭とすることなくプラズマ放電部の個数の増加、すなわち画素の増加と、高密度化を図ることができる。したがって、高品位で、高精細度の表示を行うことができる。
また、各電極の幅の減少させるときは、より高密度化と、小型化が図られる。
【００８８】
また、本発明による表示駆動方法によれば、何ら誤動作を生じることなくその表示を行うことができる。
特に、インターレース方式による場合において、メモリ機能を有する信号処理回路を必要としないことから回路構成の簡略化を図ることができる。
【００８９】
また、対のプラズマ放電部を同時に動作させることができることから、高輝度表示を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による平面型プラズマ放電表示装置の一例の斜視図である。
【図２】本発明による平面型プラズマ放電表示装置の一例の一部を切り欠いた要部の開放斜視図である。
【図３】本発明による平面型プラズマ放電表示装置の一例の第１および第２の電極群が配置された第１の基板の要部の平面図である。
【図４】本発明による平面型プラズマ放電表示装置の電極配置の模式図である。
【図５】本発明による平面型プラズマ放電表示装置の一例の一製造方法の一工程における平面図である。
【図６】本発明による平面型プラズマ放電表示装置の一例の一製造方法の一工程における平面図である。
【図７】本発明による平面型プラズマ放電表示装置の一例の第１の基板側の要部の平面図である。
【図８】放電電極間の距離の選定の説明図である。
【図９】本発明による駆動方法の一例の駆動波形図である。
【図１０】本発明による駆動方法の他の一例の駆動波形図である。
【図１１】従来の平面型プラズマ放電表示装置の断面図である。
【図１２】本発明装置と対比する平面型プラズマ放電表示装置の斜視図である。
【図１３】図１２で示した平面型プラズマ放電表示装置の一部を切り欠いた要部の開放斜視図である。
【図１４】図１２で示した平面型プラズマ放電表示装置の要部の平面図である。
【図１５】図１２で示した平面型プラズマ放電表示装置の電極配置の模式図である。
【符号の説明】
１，５１・・・第１の基板、２，５２・・・第２の基板、１１，６１・・・第１の電極群（行電極群）、１２，６２・・・第２の電極群（列電極群）、１４・・・絶縁層、１４Ｂ・・・隔壁絶縁層、１４Ｗ・・・開口、１５・・・接続片、１６，５４・・・誘電体層、１７・・・表面層、１８，５３・・・隔壁、１９，５５・・・蛍光体層、Ｘ（Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ・・・），Ｙ（Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 ・・・），・・・電極、ＴX （ＴX1，ＴX2，ＴX3・・・）・・・第１の電極群端子、ＴY （ＴY1，ＴY2，ＴY3・・・）・・・第２の電極群端子、ＡY （ＡY1，ＡY2，ＡY3・・・）・・・電極部分、ＩY11 ，ＩY12 ，ＩY13 ・・・，ＩY21 ，ＩY22 ，ＩY23 ・・・，ＩY31 ，ＩY32 ，ＩY33 ・・・放電電極部、Ｐ（Ｐ11，Ｐ12，Ｐ13・・・，Ｐ21，Ｐ22，Ｐ23・・・，Ｐ31，Ｐ32，Ｐ33・・・）・・・プラズマ放電部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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