(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板搬入側から搬出側に、水平方向に、基板搬入領域、上側フィルム剥離領域、下側フィルム剥離領域、及び、基板搬出領域を順次隣接配置してなり、前記基板搬入領域に設けられ、上下両面にフィルムが張り付けられた基板を水平の基板搬送面に沿って搬送する基板搬入装置と、この基板搬入装置の上方位置と前記上側フィルム剥離領域内との間でほぼ水平に往復動自在、且つ、前記基板の上面を吸着して、該基板を水平に保持可能とされた搬送吸着盤と、前記上側フィルム剥離領域内に前記搬送吸着盤が移動したときのその下側位置に配置され、該下側位置と前記下側フィルム剥離領域内との間で水平に往復動自在、且つ、前記基板の下面の略全面を吸着して、該基板を水平に保持可能とされた下側吸着盤と、この下側吸着盤に吸着された状態の基板における上側面に張り付けられた上側フィルムの搬出側先端を剥離し、且つ、めくり上げる上側剥離装置と、該めくり上げられた上側フィルム先端を補捉すると共に、これを基板搬入側に引張る上側引張剥離装置と、前記下側フィルム剥離領域内に前記下側吸着盤が移動したときのその上側位置に配置され、該上側位置と前記下側フィルム剥離領域内との間で水平に往復動自在、且つ、前記基板の上面の略全体を吸着して、該基板を水平に保持可能とされた上側吸着盤と、この上側吸着盤に吸着された状態の基板における下側面に張り付けられた下側フィルムの搬出側先端を剥離し、且つ、めくり下げる下側剥離装置と、前記基板搬出装置における搬入側端近傍に配置され、前記下側剥離装置によりめくり下げられた下側フィルムの先端を捕捉し、且つ、前記基板搬出装置と前記上側フィルム剥離領域との間を通って、前記捕捉した下側フィルムの先端を下方に引張る下側引張剥離装置と、を有してなり、前記下側吸着盤は、前記上側引張剥離装置により上側フィルムを引張るとき、基板を吸着したまま下側フィルム剥離領域にまで移動し、且つ、前記下側剥離装置により下側フィルムを剥離する前に上側フィルム剥離領域内に戻り、前記上側吸着盤は、前記下側引張装置により前記下側フィルムの引張るとき、基板を吸着したまま前記基板搬出領域内に移動し、前記下側フィルムが基板から剥離し、且つ、前記下側吸着盤が基板搬入領域方向に移動して前記上側引張剥離装置の下方向に空白が生じたとき、前記上側引張剥離装置は捕捉していた上側フィルムを解放するようにされたことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２】
請求項１において、前記下側剥離装置は、前記上側吸着盤の搬出側端部近傍位置で、基板搬送面に沿って並列配置された複数の搬送ローラを含んでなり、該複数の搬送ローラは、前記基板搬送面を構成する搬送位置と、これより下方であって、前記下側剥離装置により剥離され、めくり下げられた下側フィルムと非干渉となるまで引き下がった待機位置との間で上下動自在としたことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記下側引張剥離装置は、前記下側剥離装置における下側フィルムの剥離開始先端近傍位置で、その下側近傍から略鉛直下向きに配置され、めくり下げられた下側フィルムの先端を案内するガイド板と、このガイド板の下端近傍に設けられ、ガイド板から下方に突出した前記下側フィルムの先端を捕捉可能とされたフィルム捕捉装置と、このフィルム捕捉装置を自由端側に支持し基端側を中心として、前記ガイド板近傍位置とこれより下方の解放位置との間で揺動自在とされた揺動アームと、を有してなることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項４】
請求項３において、前記下側吸着盤を水平に往復動させる送り桟構の下側剥離領域側端部に前記揺動アームの基端を揺動自在に支持したことを特徴とするフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、プリント配線盤用基板、液晶表示パネル用基板、プラズマディスプレイ用基板等に例示される基板に張り付けられた保護フィルムを剥離する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記のようなプリント配線基板は、次のような工程により製造されている。まず、絶縁性基板上に設けられた導電層上に感光性樹脂（ホトレジスト）層と、これを保護する透光性樹脂フィルム（保護フィルム）とからなる積層体をラミネーティングロールにより熱圧着する。次に配線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフィルム及び前記透光性樹脂フィルムを通して前記感光性樹脂層を所定時間露光する。
【０００３】
次いで、透光性樹脂フィルムを剥離した後、露光されたホトレジスト層を現像してエッチングマスクパターンを形成し、この後、前記導電層の不必要部分をエッチングにより除去し、所定の配線パターンを有するプリント配線基板が形成される。
【０００４】
前記プリント配線基板の製造工程において、前記保護フィルムを基板から自動的に剥離するフィルム剥離装置が種々提案されている。
【０００５】
このような、フィルム剥離装置により基板からフィルムを自動的に剥離させる際に、まず、フィルム先端の、剥離を開始させる部分を上下斜めに押圧したり、ニードル状部材で引掛けて起こしたりしている。
【０００６】
例えば、特公平６−３５５０号公報に開示されるように、基板に張り付けられている感光性樹脂層と透光性樹脂フィルムとからなる積層体フィルムの端部にバイブレータのロッドの振動を与えて叩くことにより、透光性樹脂フィルムの一部を感光性樹脂層から浮上させるものがある。又、例えば特開昭６２−８３９７４号公報に開示されるように、保護フィルム端部を基板と共に圧力車により挟み込んだ状態で該圧力車をフィルム端縁に沿って走行させることにより、該フィルム端縁を浮き上がらせるようにしたものもある。
【０００７】
いずれの場合も、フィルム先端を浮上させた後は、圧縮空気等の気体を吹き付けて浮上した端縁からフィルムをめくり上げ、更には、めくり上がったフィルム端縁をローラやベルトによって挟み込んで基板を進行させつつ、フィルムを完全に剥離してライン外に搬出させるようにしている。
【０００８】
ここで、フィルム端縁をローラやベルトによって挟み込んで剥離させ、ライン外へ搬出させる際に、基板上面から剥離したフィルムは、搬送ローラ等の基板搬送装置があるために、その幅方向外側から搬出することになり、装置の幅が大きくなってしまう。又、フィルム端縁をローラやベルトは上下方向の装置の寸法を大きくしてしまう。
【０００９】
又、フィルム端縁をローラやベルトによって挟み込む装置では、保護フィルムが非常に薄い場合、これを確実に挟持することができない場合がある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
薄いフィルムを基板から確実に剥離させようとする場合は、例えば特開平８−９９７６９号公報に開示されるように、めくり上がったフィルム端縁を挟持片によって挟持し、これを基板に対して引張ることによりフィルムを剥離させるようにした剥離方法及び装置が有効であるが、この場合、基板上面から剥離したフィルムを搬出するために、該フィルムを基板搬送面の側方にまで移動してライン外にフィルムを排出しなければならないという問題点がある。
【００１１】
又、剥離を開始したフィルム先端を挟持片により挟持して引張ることにより、該フィルムを基板から剥離させる際に、例えば前述の特開平８−９９７６９号公報に開示されるように、基板の、剥離されるフィルムと反対側面を吸着装置によって吸着固定しなければならない。
【００１２】
従って、挟持片は、固定状態の基板からフィルムを剥離させるために、該基板の進行方向の長さ分だけ移動する必要があり、これによって更に装置面積が大きくなってしまうという問題点がある。
【００１３】
更に、基板を吸着装置によって固定した状態でフィルムを剥離させるので、フィルムを剥離して基板を次の工程に搬出するまでの時間がかかり、効率が低いという問題点がある。
【００１４】
この発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、薄いフィルムでも確実に剥離できると共に、剥離を開始したフィルム先端を引張って剥離する装置の移動範囲が小さく、又、剥離したフィルムを基板搬送面の側方から搬出する必要がなく、且つフィルム剥離時間の短いフィルム剥離方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
又、本装置発明は、請求項１のように、基板搬入側から搬出側に、水平方向に、基板搬入領域、上側フィルム剥離領域、下側フィルム剥離領域、及び、基板搬出領域を順次隣接配置してなり、前記基板搬入領域に設けられ、上下両面にフィルムが張り付けられた基板を水平の基板搬送面に沿って搬送する基板搬入装置と、この基板搬入装置の上方位置と前記上側フィルム剥離領域内との間でほぼ水平に往復動自在、且つ、前記基板の上面を吸着して、該基板を水平に保持可能とされた搬送吸着盤と、前記上側フィルム剥離領域内に前記搬送吸着盤が移動したときのその下側位置に配置され、該下側位置と前記下側フィルム剥離領域内との間で水平に往復動自在、且つ、前記基板の下面の略全面を吸着して、該基板を水平に保持可能とされた下側吸着盤と、この下側吸着盤に吸着された状態の基板における上側面に張り付けられた上側フィルムの搬出側先端を剥離し、且つ、めくり上げる上側剥離装置と、該めくり上げられた上側フィルム先端を捕捉すると共に、これを基板搬入側に引張る上側引張剥離装置と、前記下側フィルム剥離領域内に前記下側吸着盤が移動したときのその上側位置に配置され、該上側位置と前記下側フィルム剥離領域内との間で水平に往復動自在、且つ、前記基板の上面の略全面を吸着して、該基板を水平に保持可能とされた上側吸着盤と、この上側吸着盤に吸着された状態の基板における下側面に張り付けられた下側フィルムの搬出側先端を剥離し、且つ、めくり下げる下側剥離装置と、前記基板搬出装置における搬入側端近傍に配置され、前記下側剥離装置によりめくり下げられた下側フィルムの先端を捕捉し、且つ、前記基板搬出装置と前記上側フィルム剥離領域との間を通って、前記捕捉した下側フィルムの先端を下方に引張る下側引張剥離装置と、を有してなり、前記下側吸着盤は、前記上側引張剥離装置により上側フィルムを引張るとき、基板を吸着したまま下側フィルム剥離領域にまで移動し、且つ、前記下側剥離装置により下側フィルムを剥離する前に上側フィルム剥離領域内に戻り、前記上側吸着盤は、前記下側引張装置により前記下側フィルムの引張るとき、基板を吸着したまま前記基板搬出領域内に移動し、前記下側フィルムが基板から剥離し、且つ、前記下側吸着盤が基板搬入領域方向に移動して前記上側引張剥離装置の下方向に空白が生じたとき、前記上側引張剥離装置は捕捉していた上側フィルムを解放するようにされたことを特徴とするフィルム剥離装置により、上記目的を達成するものである。
【００１６】
前記フィルム剥離装置において、前記下側剥離装置は、前記上側吸着盤の搬出側端部近傍位置で、基板搬送面に沿って並列配置された複数の搬送ローラを含んでなり、該複数の搬送ローラは、前記基板搬送面を構成する搬送位置と、これより下方であって、前記下側剥離装置により剥離され、めくり下げられた下側フィルムと非干渉となるまで引き下がった待機位置との間で上下動自在としてもよい。
【００１７】
前記フィルム剥離装置において、前記下側引張剥離装置は、前記下側剥離装置における下側フィルムの剥離開始先端近傍位置で、その下側近傍から略鉛直下向きに配置され、めくり下げられた下側フィルムの先端を案内するガイド板と、このガイド板の下端近傍に設けられ、ガイド板から下方に突出した前記下側フィルムの先端を捕捉可能とされたフィルム捕捉装置と、このフィルム捕捉装置を自由端側に支持し基端側を中心として、前記ガイド板近傍位置とこれより下方の解放位置との間で揺動自在とされた揺動アームと、を有して構成してもよい。
【００１８】
前記フィルム剥離装置において、前記下側吸着盤を水平に往復動させる送り桟構の下側剥離領域側端部に前記揺動アームの基端を揺動自在に支持するようにしてもよい。
【００１９】
この発明においては、基板下側面に張り付けられたフィルムを剥離する際に、該基板上面を吸着保持しつつ、基板先端方向に搬送し、同時に剥離を開始した下側フィルムの先端を下方に引張ることによって、基板を搬送しつつ下側フィルムを搬送装置の下方に引張って剥離し、剥離時間を短縮すると共に、剥離したフィルムをそのまま下方に解放、排出することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態の例を図面を参照して詳細に説明する。
【００２１】
図１、図２に示されるように、本発明に係るフィルム剥離装置１０は、同図において左側の基板搬入側から右側の搬出側に向かって、水平方向に、基板搬入領域１１、上側フィルム剥離領域１２、下側フィルム剥離領域１４、及び、基板搬出領域１６を順次隣接配置して構成されていて、基板搬入側から基板搬入領域１１に送り込まれた、上面に上側フィルム１８が、又、下面に下側フィルム２０がそれぞれ張り付けられた基板２２（図３参照）から、前記上側及び下側フィルム１８、２０をこの順で剥離して、基板搬出領域１６から、フィルム剥離後の基板２２を搬出するようにしたものである。
【００２２】
前記基板搬入領域１１には、複数の搬送ローラ２４を水平に並列配置してなる基板搬入装置２６が設けられ、搬送ローラ２４の上端によって形成される基板搬送面２６Ａに沿って、図１において左端の基板搬入端から装入された基板２２全体が基板搬入領域１１内に入り込むまで、これを搬送できるようにされている。
【００２３】
前記基板搬入装置２６の下側位置には、各搬送ローラ２４間の隙間から上方に突出することによって、基板搬送面２６Ａ上の基板２２を押し上げる複数の押し上げ部材３０を備えた押し上げ装置３２が配置されている。
【００２４】
この押し上げ装置３２は、通常は、図１に示されるように、押し上げ部材３０の先端が基板搬送面２６Ａよりも下側にある待機位置とされ、シリンダ装置３４によって基板２２を押し上げる押し上げ位置に駆動され得るようになっている。図１の符号３４Ａは押し上げ部材３０を鉛直方向に案内するためのガイドシャフトを示す。
【００２５】
前記基板搬入領域１１及び上側フィルム剥離領域１２の上方位置には、これらの間を水平に往復動自在とされた搬送吸着盤３５が配置されている。
【００２６】
この搬送吸着盤３５は、その下側面に、負圧が印加される多数の吸引孔（図示省略）が面方向に均一に設けられ、下方から押し付けられた基板２２の上面をその全面に渡って吸着できるようにされている。
【００２７】
又、搬送吸着盤３５は、水平且つ搬送方向に、上記基板搬入領域１１及び上側フィルム剥離領域１２に渡って基板搬送方向に配置されたロッドレスシリンダのガイドレール３５Ａに沿って、ガイドシュー３５Ｂを介して摺動自在に案内され、且つ送り機構（図示省略）により往復動され得るようになっている。
【００２８】
この送り機構による搬送吸着盤３５の移動範囲は、図１に示されるように、基板搬入領域１１内で、前記基板搬入装置２６の真上となる位置及び上側フィルム剥離領域１２内に入り込んだ位置との間とされている。
【００２９】
又、搬送吸着盤３５の高さ、即ち基板搬送面２６Ａからの距離は、前記押し上げ部材３０によって基板２２が押し上げられたとき、該基板２２の上面が搬送吸着盤３５の下側面とほぼ一致するように設定されている。
【００３０】
前記搬送吸着盤３５が、前記上側フィルム剥離領域１２内に入り込んだときの、該搬送吸着盤３５の下面に対向する位置には、下側吸着盤４２が水平に配置され得るようになっている。
【００３１】
この下側吸着盤４２は、その水平の上面に負圧が印加される多数の吸引孔（図示省略）が面方向に均一に設けられていて、ここに、前記基板２２の下側面をその全面に渡って吸着できるようにされている。
【００３２】
この下側吸着盤４２は、昇降シリンダ４２Ａによって上下動自在に支持され、この昇降シリンダ４２Ａは送りねじ機構４６によって水平に、且つ基板搬入領域１１と前記上側フィルム剥離領域１２を通って下側フィルム剥離領域１４の入側部との間で往復動され得るようになっている。送りねじ機構４６は、前記昇降シリンダ４２Ａと一体のナット部４６Ａと、このナット部４６Ａに螺合する水平の送りねじ４６Ｂと、この送りねじ４６Ｂを駆動するモータ４６Ｃと、を含んで構成されている。
【００３３】
又、前記上側フィルム剥離領域１２内には、下側吸着盤４２に吸着されている基板２２上面の上側フィルム１８先端を剥離し、且つめくり上げる上側剥離装置５０が、又、前記下側フィルム剥離領域１４内には、基板２２が上側吸着盤３６に吸着された状態で、その搬送方向先端における下側フィルム２０の先端を剥離し、且つめくり下げる下側剥離装置４８が、それぞれ設けられている。
【００３４】
前記上側フィルム剥離領域１２の出側部から下側フィルム剥離領域１４を通って基板搬出領域１６の上方位置には、これらの間を水平に往復動自在とされた上側吸着盤３６が配置されている。
【００３５】
この上側吸着盤３６は、その下側面に、負圧が印加される多数の吸引孔（図示省略）が面方向に均一に設けられ、下方から押し付けられた基板２２の上面をその全面に渡って吸着できるようにされている。
【００３６】
又、上側吸着盤３６は、水平且つ搬送方向に、上記上側及び下側フィルム剥離領域１２、１４から基板搬出領域１６に渡って基板搬送方向に配置されたねじ機構４０の送りねじ４０Ｂによって、水平方向に移動自在とされている。
【００３７】
この送りねじ機構４０はモータ４０Ａ、このモータ４０Ａに駆動される前記送りねじ４０Ｂ、及び送りねじ４０Ｂに螺合してその回転により進退するナット部４０Ｃと、を有してなり、ナット部４０Ｃが上側吸着盤３６を支持している。送りねじ機構４０による上側吸着盤３６の移動範囲は、図１に示されるように、上側フィルム剥離領域１２内で、出側の終端位置にある前記基板２２の真上となる位置及び、図２に２点鎖線で示されるように、下側フィルム剥離領域１４を超えて基板搬出領域１６内に入り込んだ位置との間とされている。
【００３８】
又、上側吸着盤３６の高さ、即ち基板搬送面２６Ａからの距離は、前記下側吸着盤４２によって基板２２が押し上げられたとき、該基板２２の上面が上側吸着盤３６の下側面とほぼ一致するように設定されている。
【００３９】
前記上側吸着盤３６が、前記上側フィルム剥離領域１２内に入り込んだときの、該上側吸着盤３６の下面に対向する位置には、前記下側吸着盤４２が水平に配置され得るようになっている。
【００４０】
なお、上側フィルム１８及び下側フィルム２０は、図３に示されるように、それぞれ基板２２の上面及び下面において、該基板２２の搬送方向先端よりもわずかに後方にずれた位置にその先端があるように張り付けられている。
【００４１】
前記上側剥離装置５０は、図４に拡大して示されるように、下側吸着盤４２に吸着されている基板２２の上側フィルム１８の先端部に対して、昇降して離接自在、且つ基板幅方向（図１において紙面と垂直方向）にわずかに（約３０ｍｍ）往復動自在の剥離ロール５０Ａを備え、この剥離ロール５０Ａを上側フィルム１８の先端に押し付けつつ基板幅方向にわずかに往復させることによって、該上側フィルム１８先端を基板２２上面から浮き上がらせるようになっている。
【００４２】
又、上側剥離装置５０は、前記剥離ロール５０Ａによって基板２２上面から浮き上がった上側フィルム１８の先端と基板２２の下面との間に圧縮空気を吹き付けて、該上側フィルム１８先端を剥離し、且つめくり上げるようにした剥離ノズル５０Ｂを備えている。
【００４３】
なお、前記剥離ロール５０Ａは、リニアガイド５０Ｄにより、下側吸着盤４２に吸着されている状態の基板２２の上側面に圧接する剥離位置と、図１、図４に示されるように、基板搬送面２６Ａから上方にある待機位置との間で昇降され得るようになっている。図１、４の符号５０Ｅは、剥離ロール５０Ａを基板幅方向にわずかに往復動するためのスライドテーブルを示す。なお、剥離ロール５０Ａを往復動させるためのエアシリンダは図示省略する。又、前記スライドテーブル５０Ｅ、及び、剥離ノズル５０Ｂは、エアシリンダ５０Ｃにより全体としてわずかに上下動され得るようになっている。
【００４４】
前記下側剥離装置４８は、図５に拡大して示されるように、前記上側剥離装置５０におけると同様に、剥離ロール４８Ａ、剥離ノズル４８Ｂ、エアシリンダ４８Ｃ、リニアガイド４８Ｄ、及び、スライドテーブル４８Ｅを備えて構成されている。
【００４５】
又、基板搬送方向最先端側であって、前記剥離ロール４８Ａの入側に隣接する位置に、シリンダ装置２８によって基板搬送面２６Ａを構成する搬送位置と、図１において実線で示されるように、搬送位置から大きく下降した待機位置との間で上下動自在とされた２個の搬送ローラ２５を備えている。
【００４６】
なお、前記剥離ロール４８Ａは、リニアガイド４８Ｄにより、下側吸着盤４２に吸着されている状態の基板２２の下側面に圧接する剥離位置と、図２、図５に実線で示されるように、基板搬送面２６Ａから下方にある待機位置との間で昇降され得るようになっている。剥離ロール４８Ａを往復動させるためのエアシリンダは図示省略する。又、前記搬送ローラ２５、スライドテーブル４８Ｅ、及び、剥離ノズル４８Ｂは、エアシリンダ４８Ｃにより全体としてわずかに上下動され得るようになっている。
【００４７】
図５に拡大して示されるように、前記昇降自在の搬送ローラ２５に隣接する位置に鉛直方向にガイド板５２が配置されている。
【００４８】
前記下側フィルム剥離領域１４内での下側フィルム２０の剥離開始位置における上側吸着盤３５の下方には、前記ガイド板５２からはみ出して垂下した下側フィルム２０の先端を捕捉して、これを下方に引張ることによって、下側フィルム２０を基板２２から剥離させるための下側引張剥離装置５４が設けられている。
【００４９】
この下側引張剥離装置５４は、支柱５３に、基端においてピン５６Ａにより揺動自在（揺動駆動源は図示省略）に枢支され、図２、図５に示されるように、水平状態から、時計方向に約１００°の範囲で揺動自在とされた揺動アーム５６と、この揺動アーム５６の先端近傍に取り付けられ、前記ガイド板５２の下端からはみ出して垂下する下側フィルム２０の先端を捕捉且つ解放自在の捕捉装置５８とを備えて構成されている。
【００５０】
前記捕捉装置５８は、前記ガイド板５２の下端に連続して垂直に配置された受け板５８Ａと、自由端が該受け板５８Ａ下側位置及び外側位置に臨んで配置され、基端においてピン５８Ｂにより揺動自在に支持された捕捉レバー５８Ｃと、エアシリンダ５８Ｄとを備えて構成され、該エアシリンダ５８Ｄは、突出時に前記捕捉レバー５８Ｃを、その先端が、前記下側フィルム２０下端を受け板５８Ａとの間に挟み込むように、図５において反時計方向に揺動させ、且つ引き込み時には捕捉レバー５８Ｃを図５において時計方向に揺動して、下側フィルム２０の先端を解放させるようにされている。
【００５１】
前記上側フィルム剥離領域１２内には、図１、図４に示されるように、前記上側剥離装置５０により基板２２の上面から剥離され、且つめくり上げられた上側フィルム１８の先端を捕捉して、剥離方向に引張る上側引張剥離装置６０が設けられている。
【００５２】
この上側引張剥離装置６０は、前記下側引張剥離装置５４における捕捉装置５８と同様の捕捉装置６２と、この捕捉装置６２を図１、図４において上下に昇降させるための昇降シリンダ６４と、この昇降シリンダ６４を基板搬送方向に水平に往復動自在に支持する移動装置６６と、を備えて構成されている。
【００５３】
前記捕捉装置６２は、前記捕捉装置５８と同様に、鉛直方向の受け板６２Ａと、この受け板６２Ａに沿ってめくり上げられた上側フィルム１８の先端（上端）を受け板６２Ａ上端との間で挟み込み、且つ挟み込んで捕捉し、且つ解放可能とされた捕捉レバー６２Ｃと、この捕捉レバー６２Ｃを揺動自在に支持するピン６２Ｂと、捕捉レバー６２Ｃをピン６２Ｂ前に揺動させるエアシリンダ６２Ｄとを備えて構成されている。
【００５４】
前記移動装置６６は、前記昇降シリンダ６４を基板搬送方向に摺動自在に支持するガイドバー６６Ａと、昇降シリンダ６４をガイドバー６６Ａに沿って往復動させるロッドレスシリンダ６６Ｂと、を備えて構成されている。
【００５５】
前記基板搬出領域１６には、前記上側吸着盤３６が該基板搬出領域１６内の終端位置に移動したとき、その真下位置に、下方から上昇して、上側吸着盤３６に吸着されている基板２２を下方から受け取り、且つ基板搬出領域１６から図１において右側に搬出するための基板搬出装置６８が設けられている。
【００５６】
この基板搬出装置６８は、前記基板搬入装置２６と同一の構成であって、複数の搬送ローラ６８Ａを含んでなり、その下方には押し上げ装置３２と同一構成・作用の押し上げ装置６９が配置されている。この押し上げ作用装置６９は押し上げ部材６９Ａと、シリンダ装置６９Ｂと、ガイドシャフト６９Ｃとを備えている。
【００５７】
図２の符号７０は制御盤を示す。この制御盤７０には、前記基板搬入装置２６、シリンダ装置２８、３４、６９Ｂ、押し上げ装置３２、６９のシリンダ装置３４、６９Ｂ、モータ４０Ａ、４６Ｃ、上側及び下側吸着盤３６、４２への負圧のオン・オフ、昇降シリンダ４２Ａ、ロッドレスシリンダ６６Ｂ、下側及び上側剥離装置４８、５０、下側及び上側引張剥離装置５４、６０、基板搬出装置６８を制御する制御装置７２が設けられている（図６参照）。
【００５８】
次に上記フィルム剥離装置１０により、基板２２から上側フィルム１８及び下側フィルム２０を剥離する工程について説明する。
【００５９】
まず、上下面にフィルムが張られた基板２２を、基板搬入装置２６の入側（図１の左側）から水平に装入し、該基板搬入装置２６によって、基板２２が基板搬入領域１１内に入り込むまで搬送して停止する。
【００６０】
次に、所定位置に停止した基板２２を、その真上位置に予めセットされている搬送吸着盤３５に接触するまで前記押し上げ装置３２によって上方に押し上げる。
【００６１】
搬送吸着盤３５には、予め負圧を印加しておけば、基板２２が該搬送吸着盤３５の下側面に接近したとき、その負圧によって基板２２を吸い上げて、吸着保持できることになる。
【００６２】
次に、前記押し上げ装置３２は、図１に示される位置まで下降される。次いで前記搬送吸着盤３５を送り機構によりレール３５Ａに沿って、上側フィルム剥離領域１２方向に水平に移動させる。
【００６３】
基板２２は、搬送吸着盤３５によって更に移動され、上側フィルム剥離領域１２内で、予め入側端側に移動されている前記下側吸着盤４２の真上位置にきたとき停止される。
【００６４】
次に、前記下側吸着盤４２を、負圧を印加しつつ昇降シリンダ４２Ａによって上昇させる。一方、前記搬送吸着盤３５は、下側吸着盤４２が接近したとき負圧が解除され、基板２２は搬送吸着盤３５から下側吸着盤４２に受け渡される。
【００６５】
この受け渡し後に、前記搬送吸着盤３５は図１に示されるように基板搬入領域１１内に戻される。
【００６６】
基板２２を吸着した下側吸着盤４２は、昇降シリンダ４２Ａによって図１に示される位置まで下降され、停止する。
【００６７】
この状態で、前記上側剥離装置５０の剥離ロール５０Ａを下降させ、基板２２の上面に張られている上側フィルム１８の先端を圧接しつつ基板幅方向に往復させる。これによって、上側フィルム１８は基板２２から剥離され、且つ剥離ノズル５０Ｂからの圧縮空気の吹き付けによってめくり上げられ、前記上側引張装置６０における受け板６２Ａに沿う状態となる。
【００６８】
この状態では、受け板６２Ａの上端外側に上側フィルム１８の先端が位置しているので、エアシリンダ６２Ｄによって予め図７のように反時計方向に揺動させておいた捕捉レバー６２Ｃを時計方向に揺動させることによって、該捕捉レバー６２Ｃの先端と受け板６２Ａの上端との間で、めくり上げられた上側フィルム１８の先端を捕捉する。
【００６９】
次に、上側フィルム１８を捕捉した状態で、前記昇降シリンダ６４により捕捉装置６２を上昇させ、且つ移動装置６６により、下側フィルム剥離領域１４方向に水平に移動させる。
【００７０】
このとき、同時に、前記下側吸着盤４２も送りねじ機構４６によって下側フィルム剥離領域１４方向に水平に移動させる。これにより、上側フィルム１８は基板２２の上面から強制的に剥離される。
【００７１】
基板２２が、上側フィルム１８を剥離しつつ下側吸着盤４２によって下側フィルム剥離領域１４にまで移動されたとき、前記捕捉装置６２は、図１において二点鎖線で示される位置まで移動され、その捕捉レバー６２Ｃと受け板６２Ａとの間には、剥離された上側フィルム１８が保持されている。
【００７２】
一方、前述の如く、下側吸着盤４２は下側フィルム剥離領域１４に移動しているので、上側引張剥離装置６０の下方は解放状態となっていて、捕捉レバー６２Ｃを反時計方向に揺動させると、捕捉されていた上側フィルム１８が解放されて自由落下し、上側フィルム剥離領域１２下端から排出されることになる。
【００７３】
下側吸着盤４２によって下側フィルム剥離領域１４内に移動された基板２２は、該下側吸着盤４２から、上方から下降してくる上側吸着盤３６の吸着により受け渡される。
【００７４】
上側吸着盤３６には、予め負圧を印加しておけば、基板２２が該上側吸着盤３６の下側面に接近したとき、その負圧によって基板２２を吸い上げて、吸着保持することになる。
【００７５】
次に、上側フィルム１８が剥がされた基板２２を、上側吸着盤３６によって、下側フィルム剥離領域１４内に入り込むまで搬送して、下側フィルム２０の先端が、前記下側剥離装置４８の剥離ロール４８Ａの位置に到達したとき、搬送を停止する。
【００７６】
なお、このとき、前記昇降自在の搬送ローラ２５は、シリンダ装置３４によって、図５で２点鎖線で示されるように、基板搬送面２６Ａの位置まで押し上げておき、基板２２の先端の垂れ下がりを防止する。
【００７７】
次に、下側剥離装置４８の剥離ロール４８Ａを基板２２下側面に張り付けられている下側フィルム２０に圧接する位置まで上昇させてから基板幅方向にこれを往復動させる。このとき、搬送ローラ２５によって押えられているので基板２２が、がたつくことがない。
【００７８】
従って、下側フィルム２０の先端は剥離ロール４８Ａによって基板２２からわずかに剥がされ、ここに、剥離ノズル４８Ｂから圧縮空気が吹き付けられ、該圧縮空気が下側フィルム２０と基板２２との隙間に入り込むことによって、下側フィルム２０をめくり下げることになる。
【００７９】
下側フィルム２０先端の剥離動作を終了した後は、前記剥離ロール４８Ａ及び搬送ローラ２５は、基板搬送面２６Ａの下方に退避する。
【００８０】
剥離ノズル４８Ｂは、わずかに下降して、再度圧縮空気を噴出し、初回の噴出でめくり下げることができなかった部分を完全にめくり下げる。
【００８１】
基板２２から剥離された下側フィルム２０の先端（下端）は、前記ガイド板５２に沿って垂直に垂れ下がる。このとき、ガイド板５２が金属製の場合、下側フィルム２０は、それ自体が有する静電気によって、ガイド板５２に密着する。
【００８２】
ガイド板５２の下端から垂れ下がった下側フィルム２０の先端は、ガイド板５２の下方に垂直に連続する受け板５８Ａにまで至る。
【００８３】
この状態で、予め図８に示されるように、時計方向に揺動されていた捕捉レバー５８Ｃをエアシリンダ５８Ｄによって反時計方向に揺動すると、該捕捉レバー５８Ｃと受け板５８Ａとの間で前記垂れ下がった下側フィルム２０の先端が捕捉される。
【００８４】
次に、図９に示されるように、前記下側フィルム２０の先端を捕捉したまま、前記揺動アーム５６を図において時計方向に揺動させ、同時に、前記上側吸着盤３６を送りねじ機構４０によって、下側フィルム剥離領域１４方向に水平に移動させる。
【００８５】
従って、上側吸着盤３６の移動速度及び揺動アーム５６による下側フィルム２０の引張り速度を調整することによって、下側フィルム２０の剥離点がガイド板５２の上方位置となる状態で、下側フィルム２０を基板２２から円滑に剥離することができる。
【００８６】
このとき、上側吸着盤３６の移動速度を、下側引張剥離装置５４による下側フィルム２０の下方への引張り速度よりもわずかに速くすれば、下側フィルム２０の剥離点がガイド板５２よりも必ず下側フィルム剥離領域１４側にずれた位置となり、剥離中の下側フィルム２０がガイド板５２の上端にこすれたりすることがない。
【００８７】
このようにして、上側吸着盤３６を移動させつつ下側フィルム２０を下方に引張って剥離し、剥離終了後は、該下側引張剥離装置５４の下方に、前記捕捉レバー５８Ｃを解放動作させることによって、下側フィルム２０を下方に落下配置することができる。
【００８８】
即ち、下側フィルム２０は、基板搬入装置２６の下側フィルム剥離領域１４側の端部の隙間を通って下方に引張られつつ剥離され、且つ、排出されることになる。
【００８９】
基板２２は、上側吸着盤３６によって更に移動され、基板搬出領域１６内で、前記搬送ローラ６８Ａの真上位置にきたとき停止される。
【００９０】
次に、前記押し上げ装置６９の押し上げ部材６９Ａをシリンダ装置６９Ｂによって上昇させる。一方、前記上側吸着盤３６は、押し上げ部材６９Ａが接近したとき負圧が解除され、基板２２は上側吸着盤３６から押し上げ部材６９Ａに受け渡される。
【００９１】
この受け渡し後に、前記上側吸着盤３６は図２に示されるように下側フィルム剥離領域１４内に戻される。前記押上げ部材６９Ａは下降することによって基板２２を搬送ローラ６８Ａ上に受け渡し、基板２２は搬送ローラ６８Ａによってライン外へ搬出される。
【００９２】
上記のような工程を繰り返して、順次搬入されてくる基板２２から上側及び下側フィルム１８、２０を剥離していく。
【００９３】
なお、上記フィルム剥離装置１０において、基板搬入装置２６上に搬入されてきた基板２２は、押し上げ装置３２によって搬送吸着盤３５の位置まで押し上げられるが、本発明はこれに限定されるものでなく、搬送吸着盤３５を、基板搬入装置２６及び基板２２を損傷することなく、下降して吸着するようにしてもよい。
【００９４】
又、上記下側及び上側剥離装置４８、５０は、剥離ロール及び剥離ノズルによってフィルムの先端を剥離、且つめくり下げ、あるいはめくり上げるものであるが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えばフィルム先端をフック状部材によって引掛けて剥離させるようにしたものであってもよい。
【００９５】
又、上記下側フィルム剥離領域１４内の搬送ローラ２５は、シリンダ装置２８によって昇降自在とされているが、これは、基板２２が薄くて垂れ下がり易い場合に必要なものであり、基板２２が十分に厚くて先端が垂れ下がらないような場合は、搬送ローラ２５は不要である。
【００９６】
又、上側フィルム１８及び下側フィルム２０は、図３に示されるように、それぞれ基板２２の上面及び下面において、該基板２２の搬送方向先端よりもわずかに後方にずれた位置にその先端があるように張り付けられているがこれは基板２２の先端と一致させてもよい。
【００９７】
又、上側吸着盤３６は送りねじ機構４０によって、又、下側吸着盤４２は送りねじ機構４６によって、それぞれ移動されるがこれは位置決め精度が高いので利用されている。従って、位置決め精度が確保できれば、ロッドレスシリンダ等の他の移動手段であってもよい。
【００９８】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成したので、フィルム剥離装置の装置面積を大幅に縮小させることができると共に、短時間で効率良くフィルムを剥離させることができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の例に係るフィルム剥離装置の前半部を示す断面図
【図２】本発明の実施の形態の例に係るフィルム剥離装置の後半部を示す断面図
【図３】剥離されるフィルムが張られている基板を示す拡大断面図
【図４】上側引張剥離装置近傍を拡大して示す側面図
【図５】同フィルム剥離装置における下側引張剥離装置近傍を拡大して示す側面図
【図６】同フィルム剥離装置の制御系を示すブロック図
【図７】上記上側引張剥離装置により上側フィルムを捕捉する過程を拡大して示す側面図
【図８】上記下側引張剥離装置により下側フィルムを捕捉する過程を拡大して示す側面図
【図９】同下側引張剥離装置により下側フィルムを引張る過程を拡大して示す側面図
【符号の説明】
１０…フィルム剥離装置
１１…基板搬入領域
１２…上側フィルム剥離領域
１４…下側フィルム剥離領域
１６…基板搬出領域
１８…上側フィルム
２０…下側フィルム
２２…基板
２４、２５…搬送ローラ
２６…基板搬入装置
２６Ａ…基板搬送面
３５…搬送吸着盤
３６…上側吸着盤
４２…下側吸着盤
４８…下側剥離装置
５０…上側剥離装置
５２…ガイド板
５４…下側引張剥離装置
５８、６２…捕捉装置
５８Ａ、６２Ａ…受け板
５８Ｃ、６２Ｃ…捕捉レバー
６０…上側引張剥離装置
６６…移動装置
６８…基板搬出装置
７０…制御盤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0004068751.tif 000007
【図７】
0004068751.tif 000008
【図８】
0004068751.tif 000009
【図９】
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