(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一面側に正負一対の電極を有する発光素子と、絶縁性基板の表面に分離して積層された正負一対の外部電極を有する支持体と、その支持体上に載置され前記発光素子を収納する貫通孔を有する外部反射層と、を備えた発光装置において、
前記発光素子の正負一対の電極は、前記支持体の外部電極と同一の材料を少なくとも一種有するバンプを介して、前記貫通孔により露出された外部電極と対向されており、
前記発光素子の正負一対の電極間から前記支持体の正負一対の外部電極間にかけて、前記外部反射層と同一材料からなる内部反射層を有することを特徴とする発光装置。
【請求項２】
前記外部反射層の内壁は、テーパー形状であり、前記内部反射層の外壁は、逆テーパー形状である請求項１に記載の発光装置。
【請求項３】
前記外部反射層は、モールド部材を有する請求項１または２に記載の発光装置。
【請求項４】
前記外部反射層または前記内部反射層は、蛍光物質を含有する請求項１から３のいずれか一項に記載の発光装置。
【請求項５】
同一面側に正負一対の電極を有する発光素子と、絶縁性基板の表面に分離して積層された正負一対の外部電極を有する支持体と、その支持体上に載置され前記発光素子を収納する貫通孔を有する反射層と、を備えた発光装置の製造方法であって、
前記支持体上において、硬化状態で弾力性を有する同一部材により内部反射層および該内部反射層を包囲する外部反射層を成型するとともに、それらの反射層により形成された貫通孔内に前記外部電極の一部を露出させる第１の工程と、
前記貫通孔内の外部電極にバンプを形成する第２の工程と、
前記発光素子の正負一対の電極が前記バンプと対向するように、前記発光素子を前記内部反射層上に配置した後、その発光素子を前記支持体の方向に押しつけて前記外部電極と電気的に接続させる第３の工程と、を有することを特徴とする発光装置の製造方法。
【請求項６】
前記反射層は、内部に離型剤が塗布された金型にて形成される請求項５に記載の発光装置の製造方法。
【請求項７】
前記外部反射層の内壁は、テーパー形状に形成され、前記内部反射層の外壁は、逆テーパー形状に形成される請求項５または６に記載の発光装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、窒化物半導体発光素子を利用した発光装置に関わり、特に発光効率が高く、高輝度に発光可能な信頼性の高い発光装置を提供することを目的とする。
【０００２】
【従来技術】
ＬＥＤチップをフリップチップ実装で支持体の外部電極に接合する場合において、近年超音波を利用した新しい接合技術が登場し主流となりつつある。この超音波接合方式は、以下のようなものである。
【０００３】
まず、ステージ上に載置した支持体の導電体上にＡｕバンプを形成する。
【０００４】
次に、同一面側に正負両電極が設けられているＬＥＤチップの電極面を下側にして、上記Ａｕバンプと、ＬＥＤチップのＡｕを含む正負両電極面とを接触させる。
【０００５】
最後に、外部電極、ＬＥＤチップの正負両電極面、およびＡｕバンプが加温されている状態で、外部電極上面とＬＥＤチップ電極面の間隔が狭くなるように圧力を加えながら、外部電極、ＬＥＤチップの正負両電極面、およびＡｕバンプに超音波振動を当てる。このときの熱と超音波振動による摩擦熱でＡｕバンプの支持体および正負両電極面との接触部分が融解し、これを放置冷却するとＡｕバンプは、支持体の導電体上面および正負両電極面に固着される。
【０００６】
このようにして、Ａｕバンプを介して支持体の外部電極とＬＥＤチップの正負両電極とを接合し、両者の電気的導通が図られる。
【０００７】
ここで、フリップチップ実装とは同一面側に正負両電極が設けられている半導体チップの電極面を下側にして、支持体の導電体に直接面接続する方法をいう。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、青色等の波長の短い光を発光するＬＥＤチップと、Ａｕメッキした支持体とを使用して発光装置を形成する場合、Ａｕは青色等の波長の短い光に対して反射率が低いことから、光取り出し効率の向上が図れない。また、光反射率の高いＡｇ等を支持体上のメッキ材料として使用した場合、支持体のＡｇメッキされた部分の上に形成したＡｕバンプと、ＬＥＤチップのＡｕを含む正負両電極を接合することは、異なる材料間での接合となるため、超音波を利用した接合方式では接合強度の低下を生じ、生産性の低下を招いていた。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の発光装置は、同一面側に正負一対の電極を有する発光素子と、絶縁性基板の表面に分離して積層された正負一対の外部電極を有する支持体と、その支持体上に載置され上記発光素子を収納する貫通孔を有する外部反射層と、を備えた発光装置において、上記発光素子の正負一対の電極は、上記支持体の外部電極と同一の材料を少なくとも一種有するバンプを介して、上記貫通孔により露出された外部電極と対向されており、上記発光素子の正負一対の電極間から上記支持体の正負一対の外部電極間にかけて、上記外部反射層と同一材料からなる内部反射層を有することを特徴とする。
【００１０】
本発明の構成とすることにより、反射層として、拡散剤を含むシリコン樹脂等の柔らかく弾力性に富む樹脂を本発明に独特の形状に成型して使用すると、光取り出し効率を向上させることができるだけでなく、放熱効果も高めることができる。
【００１１】
前記外部反射層の内壁はテーパー形状であり、前記内部反射層の外壁は逆テーパー形状であることが好ましい。
【００１２】
この構成とすることにより、外部反射層を僅かに変形させるだけでＬＥＤチップ側面に密着させることができ、内部反射層をＬＥＤチップの正負両電極間から外部電極間にかけて隙間なく存在させることができる。
【００１３】
上記外部反射層は、モールド部材を有することが好ましい。
【００１４】
この構成とすることにより、発光素子などを外部環境からの外力、塵芥や水分などから保護することが可能である。
【００１５】
上記外部反射層または上記内部反射層は、上記発光素子からの発光波長によって励起され蛍光を発する蛍光物質を含有することができる。
【００１６】
この構成とすることにより、発光素子からの発光波長によって励起された蛍光を発する発光装置とすることができる。
【００１７】
本発明の発光装置の製造方法は、同一面側に正負一対の電極を有する発光素子と、絶縁性基板の表面に分離して積層された正負一対の外部電極を有する支持体と、その支持体上に載置され上記発光素子を収納する貫通孔を有する反射層と、を備えた発光装置の製造方法であって、上記支持体上において、硬化状態において弾力性を有する同一部材により内部反射層および該内部反射層を包囲する外部反射層を成型するとともに、それらの反射層により形成した貫通孔内に上記外部電極の一部を露出させる第１の工程と、上記貫通孔内の外部電極にバンプを形成する第２の工程と、上記発光素子の正負一対の電極が上記バンプと対向するように、上記発光素子を上記内部反射層上に配置した後、その発光素子を上記支持体の方向に押しつけて上記外部電極と電気的に接続させる第３の工程と、を有することを特徴とする。
【００１８】
この方法とすることにより、反射層として、硬化状態において弾力性を有する部材を本発明に独特の形状に成型して使用し、光取り出し効率、および放熱効果を向上させた発光装置が容易に製造できる。即ち、従来はＬＥＤチップを支持体上にダイボンドした後、ＬＥＤチップと支持体との間に隙間なく樹脂等を流し込むのは非常に手間のかかる作業であったが、本発明による方法により、反射層を支持体上に予め成型した後、ＬＥＤチップをダイボンドすることで作業性を向上させることができる。
【００１９】
上記反射層が、内部に離型剤が塗布された金型にて形成されることが好ましい。
【００２０】
この方法とすることにより、硬化状態において弾力性を有する部材を硬化させた後、金型を取り外す際に金型表面への該部材の付着が防止され、金型表面と該部材が剥離しやすくなるため、作業性よく反射層を成型することができる。
【００２１】
同一面側に正負一対の電極を有する発光素子と、絶縁性基板表面に分離して積層された外部電極を有する支持体と、を備えた発光装置において、前記外部電極の上面は、貫通孔を有する反射層にて覆われ、前記発光素子の各電極は、前記外部電極と同一材料を少なくとも一種有するバンプを介して前記貫通孔から露出された外部電極表面と対向している発光装置とする。
【００２２】
この構成とすることにより、同一材料を少なくとも一種有するバンプを介して、発光素子の各電極と外部電極とを超音波ダイボンドすることで、同種類の金属元素を含む部分同士の接合となるため、接合強度を高く保つことが可能である。また、反射層の材料として青色より波長の短い光に対しても高反射率を保つ金属を使用し、青色より波長の短い光を発光する発光装置とした場合、光取り出し効率を向上させることが可能である。
【００２３】
上記発光素子は、モールド部材で封止されていることが好ましい。
【００２４】
この構成とすることにより、発光素子などを外部環境からの外力、塵芥や水分などから保護することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
本発明者は種々の検討の結果、外部電極の上面には、貫通孔を有する反射層と貫通孔から露出された外部電極とを有し、発光素子の各電極は、貫通孔から露出された外部電極と、外部電極に含有された同一材料を少なくとも一種以上有するバンプを介して接続することで光取り出し効率や接合強度を低下させることのない発光装置を提供することを可能とした。即ち、図１に示すように、本発明の一実施例に使用される支持体は、ガラスエポキシ樹脂１１１上にＣｕ、Ｎｉ、Ａｕ、Ａｇ層が順に積層され、絶縁部１１３によって分離されることにより形成された外部電極を有している。本実施例において反射層として使用されるＡｇ層１０７には貫通孔が設けてあり、その貫通孔によってＡｕ層１０８の上面が露出している。そして、本実施例にかかる発光装置は、ＬＥＤチップ１００の正負一対の両電極がフリップチップ実装によりＡｇ層に設けられた貫通孔内のＡｕバンプ１０６を介してＡｕ層１０８とボンディング（接合）されてなる。さらに、Ａｇ層１０７は外部配線７０１と接続されている。
【００２６】
また、図２に示されるように、本発明の別の一実施例に使用される支持体は、ガラスエポキシ樹脂１１１上にＣｕ、Ｎｉ、Ａｕ層が順に積層され、絶縁部１１３によって分離されることにより形成された外部電極を有している。そして、本実施例にかかる発光装置はＬＥＤチップ１００の正負一対の両電極がフリップチップ実装により、Ａｕバンプを介してＡｕ層１０８とボンディング（接合）されてなり、硬化状態において弾力性に富む樹脂からなる外部反射層２０１がＬＥＤチップ１００の周囲に設けられ、内部反射層２０２はＬＥＤチップの電極面と支持体上面との隙間に入り込んでいる。さらに、Ａｕ層１０８は外部配線７０１と接続されている。
【００２７】
ここで、ＬＥＤチップ１００の負電極１０３および正電極１０４と支持体上面の外部電極とのボンディングは、超音波接合方式により行われる。
【００２８】
以下、本発明の実施の形態における各構成について詳述する。
［ＬＥＤチップ１００］
本発明における発光素子として、本実施の形態ではＬＥＤチップ１００が使用される。本発明において使用される半導体発光素子としては、ＺｎＳｅやＧａＮなど種々の半導体を使用したものを挙げることができるが、蛍光物質を使用する場合には、その蛍光物質を効率良く励起できる短波長が発光可能な窒化物半導体（ＩｎＸＡｌＹＧａ１−Ｘ−ＹＮ、０≦Ｘ、０≦Ｙ、Ｘ＋Ｙ≦１）が好適に挙げられる。半導体の構造としては、ＭＩＳ接合、ＰＩＮ接合やｐｎ接合などを有するホモ構造、ヘテロ構造あるいはダブルへテロ構成のものが挙げられる。半導体層の材料やその混晶度によって発光波長を種々選択することができる。また、半導体活性層を量子効果が生ずる薄膜に形成させた単一量子井戸構造や多重量子井戸構造とすることもできる。
【００２９】
窒化物半導体を使用した場合、半導体用基板にはサファイア、スピネル、ＳｉＣ、Ｓｉ、ＺｎＯ等の材料が好適に用いられる。結晶性の良い窒化物半導体を量産性よく形成させるためにはサファイア基板を用いることが好ましい。このサファイア基板上にＭＯＣＶＤ法などを用いて窒化物半導体を形成させることができる。サファイア基板上にＧａＮ、ＡｌＮ、ＧａＡｌＮ等のバッファ層を形成し、その上にｐｎ接合を有する窒化物半導体を形成させる。
【００３０】
窒化物半導体を使用したｐｎ接合を有する発光素子例として、バッファ層上に、ｎ型窒化ガリウムで形成した第１のコンタクト層、ｎ型窒化アルミニウム・ガリウムで形成させた第１のクラッド層、窒化インジウム・ガリウムで形成した活性層、ｐ型窒化アルミニウム・ガリウムで形成した第２のクラッド層、ｐ型窒化ガリウムで形成した第２のコンタクト層を順に積層させたダブルへテロ構成などが挙げられる。
【００３１】
窒化物半導体は、不純物をドープしない状態でｎ型導電性を示す。発光効率を向上させるなど所望のｎ型窒化物半導体を形成させる場合は、ｎ型ドーパントとしてＳｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、Ｃ等を適宜導入することが好ましい。一方、ｐ型窒化物半導体を形成させる場合は、ｐ型ドーパントであるＺｎ、Ｍｇ、Ｂｅ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ等をドープさせる。窒化物半導体は、ｐ型ドーパントをドープしただけではｐ型化しにくいためｐ型ドーパント導入後に、炉による加熱やプラズマ照射等により低抵抗化させることが好ましい。
【００３２】
基板にサファイア等の絶縁性基板を用いた場合、正負両電極形成後、半導体ウエハーからチップ状にカットすることで、同一面側に正負両電極が設けられた窒化物半導体チップが得られ、発光素子を形成することができる。ここで、互いに平行な正負両電極を形成すると、本発明による支持体に対して安定に実装でき、また、電極間を流れる電流が均一になることにより発光素子の発光面からの発光が均一になるため好ましい。
［外部電極１１２］
本発明における外部電極１１２は、絶縁性基板上面に分離して形成される。ここで、本発明における外部電極１１２は、絶縁性基板上面の全面に形成されてもよいが、絶縁性基板上面の一部に様々な導通パターンで形成されてもよい。外部電極１１２を形成する金属は、金属相互間の接着性の良さ、いわゆる濡れ性等を考慮して選択される。Ａｕバンプを介して、Ａｕを含むＬＥＤチップの電極とを超音波ダイボンドにより接合する場合、接合層はＡｕ層とする。ここで、接合層とは、外部電極を構成する層のうちの一つであり、同一面側に正負両電極が設けられたＬＥＤチップの電極とそれぞれ対向しバンプを介して接合される上面を有する層である。
（絶縁性基板）
本発明において絶縁性基板として使用されるガラスエポキシ樹脂１１１は、他のエポキシ樹脂等と比較して容易に入手可能かつ耐熱性に優れ、さらに機械的強度も大きいため、本発明において好適に使用される。
（Ｃｕ層１１０）
絶縁部１１３が形成される部分に金型を設置したガラスエポキシ樹脂の板の上面に無電解メッキにより、Ｃｕ層１１０を形成する。ここで、Ｃｕは他の金属に比較して熱伝導性がよいため、本発明の発光装置における外部電極を形成する金属として好適に利用され、Ｃｕ層は他の外部電極より厚めに形成しても構わない。また、絶縁部１１３が形成される部分の金型の厚さは外部電極１１２全体の厚さより大きいものとする。
（Ｎｉ層１０９）
Ｃｕ層１１０上に、Ｃｕに対して濡れ性のよい金属のうちの一つであるＮｉの層、即ちＮｉ層１０９を無電解メッキにより形成する。Ｎｉ層１０９は、その上に形成されるＡｕ層１０８より熱伝導率が低いため、他の外部電極と比較すると、層の厚さを薄くして形成されることが好ましい。これにより発光装置の放熱性を向上させることができる。
（Ａｕ層１０８）
Ｎｉ層１０９上に、Ｎｉに対して濡れ性のよい金属のうちの一つであるＡｕの層、即ちＡｕ層１０８を電解メッキにより形成する。他の外部電極と比較すると、Ａｕは高価であるため発光装置全体の生産コストを上げることとなる。そこで、膜厚を容易に制御してメッキすることが可能な電解メッキにより、他の外部電極より薄いＡｕ層１０８を形成することが好ましい。
（Ａｇ層１０７）
Ａｇ層１０７の貫通孔の形成個所に金型を設置した後、Ａｕ層１０８上に無電解メッキによりＡｇ層１０７を形成する。Ａｇは、Ａｕに対して濡れ性のよい金属のうちの一つであり、また、発光素子から出光してきた光を反射させて発光観測面に光を取り出すための反射層としても使用される。Ａｇが反射層として使用されると、他の外部電極と比較して青色より短い波長の光に対しても高反射率を保ち、光取り出し効率の向上が図れるため、本発明における外部電極を構成する金属として好適に使用される。Ａｇに代わる他の金属材料としてＡｌ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｗ、Ｔａ、Ｒｅ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等を用いて反射層を形成してもよい。特に、Ａｇに代わる他の金属材料としてＡｌを用いて反射層を形成すると、Ａｌは、他の金属材料と比較して、可視光領域の光だけでなく、青色より短い波長の光に対しても高反射率を保つため、光取り出し効率の向上が図れる。
【００３３】
以上のようにＣｕ層１１０、Ｎｉ層１０９、Ａｕ層１０８、およびＡｇ層１０７を形成した後、絶縁部１１３が形成される部分に設置した金型、およびＡｕ層１０８上の金型を除去すると、ガラスエポキシ樹脂の板上に外部電極が形成された、本発明に独特の支持体が完成される。本発明に独特の支持体は、ＬＥＤチップの他、レーザダイオードなど、同一面側に正負一対の両電極を有する種々の半導体チップに対しても使用可能である。
［バンプ１０６］
本発明において、ＬＥＤチップの正負両電極と外部電極とのダイボンドに使用されるバンプは、正負両電極および外部電極と同一材料を少なくとも一種有するバンプである。例えば、超音波ボンディングにおいて一般的に使用されるＡｕバンプ、Ａｕを含む合金等からなるバンプである。本発明におけるＬＥＤチップの電極に含まれる金属元素であって、反射層の貫通孔から露出された外部電極表面に含まれる金属元素でもある、Ａｕをバンプの材料としても使用することは、同一種類の金属元素を含む材料同士の接合を行うことで接合強度が増すため好ましい。
［反射層］
（外部反射層２０１、内部反射層２０２）
本発明における反射層としては、貫通孔を有するＡｇ層が利用される他、Ａｇ層の代わりに、硬化状態において弾力性を有する部材、例えばシリコン樹脂を使用することにより反射層が形成される。Ａｇ層の代わりに硬化状態において弾力性を有する部材を含む反射層を形成した発光装置の模式断面図を図２に示す。硬化状態において弾力性を有する部材としては、バンプの数も考慮しながら、ＬＥＤチップの電極と外部電極とをバンプを介して接合した際、それらの接合力の方が、収縮した部材の弾性力よりも十分大きく、接合強度の低下を招かない弾力性を有する部材が選択される。
【００３４】
図７（ｊ）および図８に示されるように、ＬＥＤチップ実装前に支持体上に形成した反射層は、外部電極上のバンプ形成箇所から開口方向に広くなる形状（テーパー形状）の貫通孔を少なくとも２つ有し、ダイボンド時にＬＥＤチップを収納可能な厚さを有する反射層である。該反射層の全体の外形は、図８に示されるような直方体型の他、円柱型、多角柱型等いかなる形でもよく、二つの貫通孔の存在により内部反射層２０２の周囲に外部反射層２０１が存在し、二カ所で両者が繋がった形となっている。外部反射層２０１および内部反射層２０２は、外部電極上に同一材料で同時成型される。また、ＬＥＤチップ実装前の上記貫通孔の形状は、円錐状、三角錐状、四角錐状等の多角錐状、等が考えられる。
【００３５】
本実施の形態では、硬化状態において弾力性を有する部材として、硬化後の硬度（ＪＩＳ−Ａ）３２、無色透明のシリコン樹脂が使用されるが、これに限定されない。シリコン樹脂は硬化状態において柔らかく弾力性に富むため、図７（ｊ）に示されるように外部反射層２０１および内部反射層２０２を成型した後、ＬＥＤチップを基板の側から押さえつけるようにして超音波ダイボンドすると、外部反射層２０１は、僅かに変形してＬＥＤチップ側面に密着し、内部反射層２０２は、ＬＥＤチップの正負両電極間から外部電極間にかけて隙間なく存在する状態に変形する。従って、ＬＥＤチップの電極面あるいは側面と樹脂との間に空気がほとんど存在せず、発光素子から出光する光が空気によって複雑に屈折したり、発光素子からの熱が熱伝導率の低い空気を介して放熱したりすることはないため、光取り出し効率が向上し、放熱効果も高まる。特に、ＬＥＤチップの正負両電極間から外部電極間にかけて絶縁部１１３上方に形成される内部反射層２０２は、ダイボンドの前に予め、外部配線７０１を接続する側の外部反射層２０１の高さより数十μｍ厚く形成される。そのため、ＬＥＤチップがダイボンドされる際、内部反射層２０２は、加圧により押し縮められるが柔らかく弾力性に富むため、ＬＥＤチップの電極面と支持体との間に生じる小さな隙間にも入り込み、該隙間は内部反射層を形成する樹脂で満たされる。従来は、ＬＥＤチップを支持体にダイボンドした後、ＬＥＤチップの電極面と支持体との間に生じた隙間を埋めるためにＬＥＤチップの横方向から溶融状態の樹脂を流し込む作業が必要であったが、完全に隙間無く樹脂を流し込むのは非常に手間のかかる作業であり、作業性を低下させていた。しかし、本発明においては、反射層を支持体上に樹脂にて予め成型した後、ＬＥＤチップをダイボンドすることにより作業性を向上させることができる。
（金型６０１）
硬化状態において弾力性を有する部材を含む反射層における上記貫通孔は、図７（ｈ）あるいは図１０に示されるように、Ａｕ層１０８上のバンプ形成箇所に向かって細くなる形状（円錐状、三角錐状、四角錐状等の逆テーパー形状）の部分を有する金型６０１を使用することにより成型される。このような形状部分を有する金型を使用して樹脂を成型後すると、金型は樹脂から剥離し易くなるため好ましい。さらに、このような形状の金型により成型された樹脂は変形し易いため、外部反射層はＬＥＤチップ側面に密着し、内部反射層はＬＥＤチップの正負両電極間から外部電極間にかけて隙間なく存在することとなる。
（離型剤）
金型は、樹脂との接触面に離型剤を塗布され、離型剤の膜が形成されていることが好ましい。このようにしておくと、Ａｕ層１０８上を溶融した樹脂で満たし、樹脂を硬化させた後、金型を取り外す際、金型に樹脂が付着せず、金型と樹脂が離れやすくなるため、作業性よく成型することができる。本実施の形態においては、離型剤としてフッ素系離型剤を使用した。このフッ素系離型剤は、型汚れし難いため、成型する樹脂の表面を汚して透光性の低下を引き起こすことがなく、さらにフッ素系化合物特有の低表面張力、非粘着性、撥水撥油性等を有しており、本実施例のような複雑な形状を有する金型を使用して樹脂を含む反射層を成型する際の使用に最も適している。
（拡散剤）
本実施の形態における反射層として使用される樹脂には、発光装置の発光輝度を向上させるために拡散剤を含有させる。外部反射層２０１、および内部反射層２０２に含有される拡散剤は、発光素子から放出される光のうち発光観測面側に放出される光の散乱吸収を少なくし、光反射層側面に向かう光を多く散乱させることで発光装置の発光輝度を向上させるものである。このような拡散剤としては、酸化バリウム、チタン酸バリウム、酸化バリウム、酸化珪素、酸化チタン、酸化アルミニウム等の無機部材やメラミン樹脂、ＣＴＵグアナミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂などの有機部材が好適に用いられる。
【００３６】
同様に、外来光や発光素子からの不要な波長をカットするフィルター効果を持たすために各種着色剤を添加させることもできる。さらに、発光素子からの発光波長によって励起され蛍光を発する蛍光物質を含有させることもできる。また、樹脂の内部応力を緩和させる各種フィラーを含有させることもできる。
［モールド部材３０１］
本発明において、モールド部材３０１は、ＬＥＤチップ１００および反射層２０１を封止し、又はＬＥＤチップ１００と外部反射層２０１の内壁との隙間を埋め、発光素子などを外部環境からの外力、塵芥や水分などから保護するために用いられる。モールド部材３０１の形状を種々に変えることによって発光素子から放出される光や受光素子が受光する光の指向特性を種々選択することができる。即ち、モールド部材３０１の形状を凸レンズ形状、凹レンズ形状とすることによってレンズ効果をもたすことができる。そのため、所望に応じて、ドーム型、発光観測面側から見て楕円状、立方体、三角柱など種々の形状を選択することができる。
【００３７】
光半導体素子用の具体的モールド部材としては、耐光性、透光性に優れたエポキシ樹脂、アクリル樹脂、イミド樹脂、シリコン樹脂などの有機物質や硝子など無機物質を選択することができる。また、モールド部材に発光素子からの光を拡散させる目的で酸化アルミニウム、酸化バリウム、チタン酸バリウム、酸化珪素などを含有させることもできる。同様に外来光や発光素子からの不要な波長をカットするフィルター効果を持たすために各種着色剤を添加させることもできる。さらに、発光素子からの発光波長によって励起され蛍光を発する蛍光物質を含有させる。また、モールド樹脂の内部応力を緩和させる各種フィラーを含有させることもできる。
（異方性導電層）
本実施の形態において、上記発光素子は、正負一対の電極が設けられた電極形成面側が支持体上の外部電極と対向するように載置され、連続した異方性導電層を介してフリップチップ実装されてもよい。即ち、上述した外部反射層２０１および内部反射層２０２に変えて、該外部反射層２０１および内部反射層２０２と同じ位置に異方性導電層を形成しても構わない。
【００３８】
本発明において異方性導電層は、熱可塑性又は熱硬化性を有する有機物又は無機物からなる接着剤中に、発光素子からの光を効率よく反射することが可能であって、かつ導電性を有する導電粒子が分散されている。具体的導電粒子として、Ｎｉ粒子や、プラスチック、シリカ等の粒子表面にＮｉやＡｕ等からなる金属コートを有するものが挙げられる。本発明において導電粒子の含有量は、前記接着剤に対して０．３ｖｏｌ％以上１．２ｖｏｌ％以下が好ましく、このような異方性導電層は、発光素子を実装する際の加熱及び加圧により容易に層の膜厚方向間において高い導電性を得ることができる。一方、層の面方向では導電粒子の充填量が少ないため導電粒子同士の接触による隣接電極間の短絡が発生せず高い絶縁性を維持することができる。より好ましくは、異方性導電層において１ｍｍ３当たりの粒子数が３５００個以上５０００個以下であると、各電極間のピッチが狭い小型発光素子を信頼性高く基面上の外部電極と微細接続することができる。更に、異方性導電層にて発光素子からの光を効率よく反射散乱させることができる。
【００３９】
本発明において、前記異方性導電層は、それぞれ対向した発光素子表面と外部電極面との間を密閉していると共に、発光素子の側方端面の一部を直接被覆している。これにより、発光素子から発光される光の一部を異方性導電層中に取り込み、前記異方性導電層中の導電粒子にて反射散乱し、発光装置の正面方向へ光を取り出すことができる。また、ＬＥＤチップの電極面と外部電極表面との間には異方性導電層の存在により、隙間が全く存在せず、光取り出し効率が向上し、放熱効果も高まる。
【００４０】
本発明の一実施例における発光装置の形成方法として、液状の異方性導電層材料が、外部電極表面に予め形成したバンプを適度に覆い、かつチップの大きさ程度に広がる状態にした後に超音波接合を行う方法をとる。このような形成方法とすると、チップの電極面と外部電極表面は、異方性導電層に含まれる接着剤、およびバンプの両方を介して接合されるため、その接合強度が倍増する。更には、所望の形状に電極を折り曲げる工程を行う際に発光装置全体に外力が加わった場合であっても、弾力性に富んだ樹脂を含む異方性導電層にて応力が緩和され上記接合を保持することができるので、信頼性の高い発光装置とすることが可能である。
【００４１】
【実施例】
以下、本発明に係る実施例について詳述する。なお、本発明は以下に示す実施例のみに限定されるものではない。
［実施例１］
図１に示すように、本発明の一実施例に使用される支持体は、ガラスエポキシ樹脂１１１上にＣｕ、Ｎｉ、Ａｕ、Ａｇ層が順に積層され、絶縁部１１３によって分離されることにより形成された外部電極を有している。本実施例において反射層として使用されるＡｇ層１０７には貫通孔が設けてあり、その貫通孔によってＡｕ層１０８の上面が露出している。そして、本実施例にかかる発光装置はＬＥＤチップ１００の正負一対の両電極がフリップチップ実装により、Ａｇ層に設けられた貫通孔内のＡｕバンプを介してＡｕ層１０８とボンディング（接合）されてなる。さらに、Ａｇ層１０７は外部配線７０１と接続されている。
【００４２】
本実施例における外部電極１１２の形成方法を、図５および図６を参照しながら、以下、順を追って説明する。さらに、図１に示されるような発光装置の製造方法を説明する。
（工程１）
図５（ａ）および（ｂ）に示すように、ガラスエポキシ樹脂板の上面の所定の位置に、外部電極１１２の厚さ以上の厚さを有する金型４０１を設置した後、銅の融解液に浸し、無電解メッキにより、ガラスエポキシ樹脂の板上に厚さ１８〜７０μｍのＣｕ層１１０を形成する。ここで、ガラスエポキシ樹脂の板の上面は、ＬＥＤチップ基板の上面よりも十分大きい面積を有し、さらにガラスエポキシ樹脂の板の厚さは任意であるものとする。また、本工程で使用する金型４０１は、外部電極を絶縁分離させる絶縁部１１３を形成させるためにマスクとして使用するものである。
（工程２）
Ｃｕ層１１０を形成した後、支持体をニッケルの融解液に浸し、無電解メッキにより、図５（ｃ）に示されるような厚さ４．０μｍのＮｉ層１１０をＣｕ層１１０上に形成する。
（工程３）
Ｎｉ層１０９を形成した後、支持体を金の融解液に浸し、電解メッキにより膜厚を制御しながら、図５（ｄ）に示されるような厚さ０．３〜２．０μｍのＡｕ層１０８をＮｉ層１０９上に形成する。
（工程４）
接合層となるＡｕ層１０８を形成した後、図６（ｅ）に示されるように、Ａｕ層１０８上のバンプ設置個所に金型５０１を設置し、支持体を銀の融解液に浸し、無電解メッキにより、図５（ｆ）に示されるように、Ａｕ層１０８上に厚さ５．０μｍのＡｇ層１０７を形成する。ここで、本工程において使用する金型５０１は、Ａｇ層１０７に対して貫通孔を設けるためにマスクとして使用するものである。
（工程５）
金型４０１及び５０１を取り外すことにより、図６（ｇ）に示されるように、上面に外部電極１１２が形成された支持体を得ることができる。即ち、ガラスエポキシ樹脂１１１上にＣｕ、Ｎｉ、Ａｕ、Ａｇ層が順に積層され、絶縁部１１３によって分離されることにより外部電極１１２が形成されている。本実施例において反射層として使用されるＡｇ層１０７に対しては貫通孔が設けてあり、その貫通孔によりＡｕ層１０８上面が露出している。
（工程６）
以上の工程により形成された２つの貫通孔内のＡｕ層１０８上面に、Ａｕバンプ１０６をそれぞれバンプボンダーによりボンディングする。ここで、それぞれの貫通孔内に複数のバンプをボンディングしてもよい。このようにバンプの数を増やすと、ＬＥＤチップの正負両電極と外部電極のＡｕ層１０８との接合強度が高まるため好ましい。Ａｕバンプ１０６の高さはＡｇ層１０７の厚さより十分高く、かつＡｕバンプ１０６の量はＬＥＤチップの正負両電極と外部電極のＡｕ層１０８との電気的導通が取れる程度であることが好ましい。このようにバンプの量を調節すると、ＬＥＤチップの電極１０３、１０４の大きさが貫通孔の内径よりも大きく貫通孔内に電極が入り込めない場合でも、ＬＥＤチップの電極１０３、１０４は、貫通孔の上方でＡｕバンプと接触しＡｕバンプを介して外部電極のＡｕ層１０８と接合するため、ＬＥＤチップの正負両電極と外部電極のＡｕ層１０８との電気的導通を確実にし製造歩留まりの低下を防ぐことができる。本実施例では、最大径が約８０μｍ、最大高さが約４０μｍのＡｕバンプをボンディングした。
【００４３】
Ａｕバンプ１０６上面にＬＥＤチップの正負両電極面を接触させ、保温状態にあるＬＥＤチップの基板の側から加圧しながら超音波を当てることにより、Ａｕバンプ１０６を介してＬＥＤチップの正負両電極とＡｕ層１０８とを対向させて接合した。上記Ａｕバンプを介した接合強度は、バンプ一個当たり、約５０ｇｆであった。
（工程７）
最後に、ＬＥＤチップごとに支持体をカットし、外部配線７０１と接続すると、図１に示されるような発光装置が一度に複数個得られる。なお、同一の支持体上に複数のＬＥＤチップがダイボンドされているように支持体をカットしても構わない。また、カット後の支持体の形状は、矩形の他、如何なる形状でも構わない。
【００４４】
実施例１のような構成にすると、ＬＥＤチップの電極材料として使用されるＡｕをバンプの材料としても使用しており、同一の金属を使用することで接合強度が増すため好ましい。さらに、Ａｕ層１０８上のバンプ設置個所以外に形成されているＡｇ層１０７は、Ａｕ等と比較して青色より短い波長の光に対しても高反射率を保つため、反射層として使用すると、光取り出し効率の向上を図ることができる。
［実施例２］
図２あるいは図９に示されるように、本発明の別の一実施例に使用される支持体は、ガラスエポキシ樹脂１１１上にＣｕ、Ｎｉ、Ａｕ層が順に積層され、絶縁部１１３によって分離されることにより形成された外部電極を有している。そして、本実施例にかかる発光装置はＬＥＤチップ１００の正負一対の両電極がフリップチップ実装により、Ａｕバンプを介してＡｕ層１０８とボンディング（接合）されてなり、硬化状態において弾力性に富む樹脂からなる外部反射層２０１がＬＥＤチップ１００の周囲に設けられ、内部反射層２０２はＬＥＤチップの電極面と支持体上面との隙間に入り込んでいる。さらに、Ａｕ層１０８は外部配線７０１と接続されている。
【００４５】
本実施例における反射層の形成方法を、図７および図８を参照しながら、以下、順を追って説明する。さらに、図２および図９に示されるような発光装置の製造方法を説明する。ここで、図２および図７は、図９および図８に示されるような発光装置あるいは支持体をそれぞれＡ面において切断したときの模式的な断面図である。
【００４６】
工程１から工程３までは実施例１と同様にして、ガラスエポキシ樹脂の板の上面に対して順にＣｕ層１１０、Ｎｉ層１０９、Ａｕ層１０８を外部電極として形成した後、金型４０１を取り外し、代わりに図７（ｈ）あるいは図１０に示される形状の金型６０１をＡｕ層１０８上に設置する。ここで、図７（ｈ）あるいは図１０に示される形状の金型６０１は、複数の突起部分を備えている。それらの突起部分のうち、二つの突起部分（６０２）がＡｕ層１０８上にて外部配線を接続する部分をマスクし、さらに、他の二つの突起部分（６０３）がＡｕ層１０８上にてバンプをボンディングする部分をマスクする。図７（ｈ）あるいは図１０に示されるように、Ａｕ層１０８上面のバンプ形成箇所に向かって細くなる形状（四角錐状）の突起部分（６０３）を有する金型を使用することにより、樹脂を成型した後、金型は樹脂から剥離し易くなる。また、外部反射層２０１および内部反射層２０２は、樹脂を同一の材料として同時に成型され、外部反射層は僅かに変形するだけでＬＥＤチップ側面に密着し、内部反射層はＬＥＤチップのダイボンドにより押し縮められてＬＥＤチップの電極面と支持体との間を隙間なく埋める。
【００４７】
金型６０１の表面には、樹脂との接触面に対してフッ素系離型剤を塗布し、約１μｍ程度の離型剤の膜を設けておく。このようにしておくと、Ａｕ層１０８上を溶融した樹脂で満たし硬化させた後、金型を取り外す際、金型に樹脂が付着せず、金型と樹脂が離れやすくなるため、作業性よく樹脂からなる反射層を成型することができる。
【００４８】
Ａｕ層１０８上に金型６０１を設置した状態で、図７（ｉ）に示されるように、拡散剤として使用する酸化アルミニウムを含み、溶融したシリコン樹脂を金型６０１の高さまでスキージングにより充填する。
【００４９】
シリコン樹脂が硬化した後、金型６０１を取り外すとシリコン樹脂を材料とした外部反射層２０１および内部反射層２０２が、バンプ形成個所を除く外部電極上面および絶縁部１１３上方に同時に成型される。ここで、外部反射層２０１の内壁はテーパー形状であって、対向する内壁との間隔の最小はＬＥＤチップ１００が収納可能な大きさである。また、内部反射層２０２の外壁は逆テーパー形状であって、対向する外壁との間隔の最小は、ＬＥＤチップの正負両電極の間隔とほぼ等しい。これにより、外部反射層は僅かに変形するだけでＬＥＤチップ側面に密着し、内部反射層はＬＥＤチップの正負両電極間から外部電極間にかけて存在することとなる。
【００５０】
シリコン樹脂からなる反射層を成型した後、実施例１と同様にＡｕバンプ１０６を、Ａｕ層１０８上のバンプ設置個所に実施例１と同程度の量と高さになるように、バンプボンダーによりボンディングする。
【００５１】
次に、ＬＥＤチップの正負両電極面が、Ａｕバンプ１０６の直上にそれぞれ位置して対向するように、ＬＥＤチップ１００を絶縁部１１３上方に存在する内部反射層２０２の上面に載せる。
【００５２】
実施例１と同様に超音波接合方式を使用して、ＬＥＤチップ１００の基板面に対して支持体の方へ垂直に圧力を加え、Ａｕバンプ１０６表面とＬＥＤチップの正負両電極面を接触させた状態で、フリップチップ実装にてＬＥＤチップをダイボンドする。このとき、絶縁部１１３上に存在するシリコン樹脂は、柔らかく弾力性に富むため、上記の圧力によって収縮し、また、ＬＥＤチップの電極面の隙間にもよく入り込む。また、１つの貫通孔内のＡｕバンプの数は、ダイボンドにより押し縮められたシリコン樹脂の弾性力よりもＬＥＤチップの電極と外部電極との接合力のほうが十分大きくなるように、ダイボンド前に予め調節しておく。このようにすると、ＬＥＤチップが、シリコン樹脂の弾性力によって支持体とは逆の方向へ押し戻されることが無く、ＬＥＤチップの電極と外部電極との接合の強度は常に一定に保たれ、ＬＥＤチップの電極と外部電極との電気的導通が断たれることはないため、発光装置の製造歩留まりは低下しない。
【００５３】
最後に実施例１における工程７と同様にして、図２あるいは図９に示されるような発光装置が得られた。
【００５４】
実施例２のような構成にした発光装置は、ＬＥＤチップの電極面および側面と反射層の間に隙間がほぼ無くなる。また、ＬＥＤチップ側面と外部反射層２０１の内壁との間に隙間が生じると、ＬＥＤチップから出光した光が、隙間に存在する空気によって複雑に屈折することで光取り出し効率の低下を招来し、さらに、熱伝導率の低い空気を介して発光素子から放熱することにより放熱効果の低下を招くが、本実施例では隙間が生じないため、発光装置の光取り出し効率が向上し、放熱効果も高まった。
［実施例３］
実施例２と同様に、図２あるいは図９に示されるような発光装置を得た後、支持体表面のうち外部配線７０１と接続される部分をマスクして、外部反射層２０１およびＬＥＤチップの基板上にエポキシ樹脂をスキージング、あるいはスクリーン印刷することによってそれらを封止した。最後に実施例１における工程７と同様にして、図４に示すような、外部反射層２０１上面および発光素子基板面がエポキシ樹脂にてモールドされた発光装置が得られた。
【００５５】
実施例３のような構成にすると、外部反射層２０１の内壁とＬＥＤチップ側面との間に生じた小さな隙間を埋めることができ、外部反射層２０１およびＬＥＤチップを外部環境からの外力、塵芥や水分などから保護することができる。また、ＬＥＤチップ側面と外部反射層２０１の内壁との間に隙間が生じると、ＬＥＤチップから出光した光が該隙間に存在する空気によって複雑に屈折することで光取り出し効率の低下を招来し、さらに、発光装置は熱伝導率の低い空気を介して放熱することにより放熱効果の低下を招くが、本実施例では隙間が生じないため、発光装置の光取り出し効率が向上し、放熱効果も高まった。
［実施例４］
実施例１と同様に、図１に示されるような発光装置を得た後、支持体表面のうち外部配線７０１と接続される部分をマスクして、ＬＥＤチップの基板上にエポキシ樹脂をスキージング、あるいはスクリーン印刷することによってＬＥＤチップを封止した。最後に実施例１における工程７と同様にして、図３に示すような、発光素子がエポキシ樹脂にてモールドされた発光装置が得られた。
【００５６】
実施例４のような構成にすると、ＬＥＤチップを外部環境からの外力、塵芥や水分などから保護することができる。
［実施例５］
実施例１における発光装置を形成した後、実施例２と同様にして、Ａｇ層の上に樹脂による反射層を形成した。
【００５７】
実施例５のような構成にすると、発光素子から取り出した光はＡｇ層表面と、反射層の両方により反射されることにより、発光装置の光取り出し効率を上げることができた。
［実施例６］
実施例１と同様にＡｕバンプ１０６を、Ａｕ層１０８上のバンプ設置個所に実施例１と同程度の量と高さになるように、バンプボンダーによりボンディングする。その後、ＬＥＤチップ１００をダイボンドしようとする部分に、バンプの高さ程度の厚みでバンプを覆うように、かつＬＥＤチップの大きさとほぼ等しい面積で広がるように液状の異方性導電層材料を供給する。
【００５８】
次に、ＬＥＤチップの正負両電極面が、液状の異方性導電層材料を介してＡｕバンプ１０６の直上にそれぞれ対向するように、ＬＥＤチップ１００を載置する。
【００５９】
実施例１と同様に超音波接合方式を使用して、ＬＥＤチップ１００の基板面に対して支持体の方へ垂直に圧力を加え、Ａｕバンプ１０６とＬＥＤチップの正負両電極面を対向させた状態で、フリップチップ実装にてＬＥＤチップをダイボンドする。
【００６０】
以上の工程により、図１１に示されるような発光装置を形成した。本実施例により、従来例を上回る接合強度を得てＬＥＤチップ１００と外部電極との電気的導通をとることができ、さらに発光装置全体の機械的強度も従来例を上回った。また、少なくともＬＥＤチップの電極面と、バンプ設置部分を除く外部電極表面との間には異方性導電層が存在し、隙間が全く存在しないため、発光装置の光取り出し効率が向上し、放熱効果も高まった。
［実施例７］
実施例６と同様にＡｕバンプ１０６を、Ａｕ層１０８上のバンプ設置個所に実施例１と同程度の量と高さになるように、バンプボンダーによりボンディングする。その後、ＬＥＤチップ１００をダイボンドしようとする部分に、バンプの高さ程度の厚みでバンプを覆うように、かつＬＥＤチップの大きさとほぼ等しい面積で広がるように液状のエポキシ樹脂を供給する。なお、ここでエポキシ樹脂の代わりに絶縁性接着剤等を使用しても構わない。
【００６１】
次に、ＬＥＤチップの正負両電極面が、液状のエポキシ樹脂を介してＡｕバンプ１０６の直上にそれぞれ対向するように、ＬＥＤチップ１００を載置する。
【００６２】
実施例１と同様に超音波接合方式を使用して、ＬＥＤチップ１００の基板面に対して支持体の方へ垂直に圧力を加え、Ａｕバンプ１０６表面とＬＥＤチップの正負両電極面を対向させた状態で、フリップチップ実装にてＬＥＤチップをダイボンドする。このとき、ＬＥＤチップの正負両電極面とＡｕバンプ１０６の表面との間に存在する液状のエポキシ樹脂は、超音波により振動するため、外部電極表面にボンディングされ固定されているＡｕバンプ１０６の上部は、エポキシ樹脂の中から露出し、ＬＥＤチップの正負両電極と接触する。従って、ＬＥＤチップの正負両電極とＡｕバンプ１０６が、間にエポキシ樹脂を介することなく接合する。
【００６３】
以上の工程により、異方性導電層２０３の代わりにエポキシ樹脂を使用して図１１に示されるような発光装置を形成した。本実施例により、十分な接合強度を得てＬＥＤチップ１００と外部電極との電気的導通をとることができ、さらに発光装置全体の機械的強度も従来例を上回った。また、少なくともＬＥＤチップの電極面と、バンプ設置部分を除く外部電極表面との間はエポキシ樹脂で満たされ、隙間が全く存在しないため、発光装置の光取り出し効率が向上し、放熱効果も高まった。
［実施例８］
Ａｕバンプ１０６を、ＬＥＤチップ１００の正負両電極面にそれぞれ実施例６と同程度の量と高さになるように、バンプボンダーによりボンディングする。その後、ＬＥＤチップ１００をダイボンドしようとする部分に、バンプの高さ程度の厚みで、かつＬＥＤチップの大きさとほぼ等しい面積で広がるように液状のエポキシ樹脂を供給する。なお、ここでエポキシ樹脂の代わりに絶縁性接着剤等を使用しても構わない。
【００６４】
次に、ＬＥＤチップの正負両電極面上のＡｕバンプ１０６が、液状のエポキシ樹脂を介して外部電極の正負両電極の直上にそれぞれ対向するように、ＬＥＤチップ１００を載置する。
【００６５】
実施例１と同様に超音波接合方式を使用して、ＬＥＤチップ１００の基板面に対して支持体の方へ垂直に圧力を加え、Ａｕバンプ１０６と外部電極表面を対向させた状態で、フリップチップ実装にてＬＥＤチップをダイボンドする。このとき、外部電極とＡｕバンプ１０６の表面との間に存在する液状のエポキシ樹脂は、超音波により激しく振動するため、ＬＥＤチップにボンディングされ固定されているＡｕバンプ１０６の下部は、上記液状のエポキシ樹脂を押し退け、外部電極表面と接触する。従って、外部電極とＡｕバンプ１０６が、間にエポキシ樹脂を介することなく接合する。
【００６６】
以上の工程により、異方性導電層２０３の代わりにエポキシ樹脂を使用して図１１に示されるような発光装置を形成した。本実施例により、十分な接合強度を得てＬＥＤチップ１００と外部電極との電気的導通をとることができ、さらに発光装置全体の機械的強度も従来例を上回った。また、少なくともＬＥＤチップの電極面と、バンプ設置部分を除く外部電極表面との間はエポキシ樹脂で満たされ、隙間が全く存在しないため、発光装置の光取り出し効率が向上し、放熱効果も高まった。
【００６７】
【発明の効果】
同一材料を少なくとも一種有するバンプを介して、発光素子の各電極と外部電極とを超音波ダイボンドすることで、同種類の金属元素を含む部分同士の接合となるため、接合強度を高く保つことが可能である。また、反射層の材料として青色より波長の短い光に対しても高反射率を保つ金属を使用した場合、青色より波長の短い光を発光する発光装置の光取り出し効率が向上する。
【００６８】
さらに、反射層として、硬化状態で柔らかく弾力性に富む部材を本発明に独特の形状に成型して使用した場合、光取り出し効率が向上するだけでなく、放熱効果も高まる。また、硬化状態で柔らかく弾力性に富む部材を含む反射層を予め支持体上に成型した後、ＬＥＤチップをダイボンドすることにより作業性が向上する。
【００６９】
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は、本発明の一実施例による発光装置の模式断面図である。
【図２】  図２は、本発明の一実施例による発光装置の模式断面図である。
【図３】  図３は、本発明の一実施例による発光装置の模式断面図である。
【図４】  図４は、本発明の一実施例による発光装置の模式断面図である。
【図５】  図５は、本発明にかかる外部電極の形成工程を示す支持体の模式断面図である。
【図６】  図６は、本発明にかかる反射層の形成工程を示す支持体の模式断面図である。
【図７】  図７は、本発明にかかる反射層の形成工程を示す支持体の模式断面図である。
【図８】  図８は、本発明にかかる支持体の模式的な斜視図である。
【図９】  図９は、本発明にかかる発光装置の模式的な斜視図である。
【図１０】  図１０は、本発明の一実施例にかかる金型の模式的な斜視図である。
【図１１】  図１１は、本発明の一実施例による発光装置の模式断面図である。
【符号の説明】
１００・・・ＬＥＤチップ
１０１・・・サファイア基板
１０２・・・ｎ型窒化物半導体
１０３・・・負電極
１０４・・・正電極
１０５・・・ｐ型窒化物半導体
１０６・・・バンプ
１０７・・・Ａｇ層
１０８・・・Ａｕ層
１０９・・・Ｎｉ層
１１０・・・Ｃｕ層
１１２・・・外部電極
１１３・・・絶縁部
２０１・・・外部反射層
２０２・・・内部反射層
２０３・・・異方性導電層
３０１・・・モールド部材
４０１、５０１、６０１・・・金型
６０２、６０３・・・金型の突起部分
７０１・・・外部配線
【図１】
0004114364.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0004114364.tif 000009
【図９】
0004114364.tif 000010
【図１０】
0004114364.tif 000011
【図１１】
0004114364.tif 000012