(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
チップが貼着されたウェハシートの下方に配設される突上げユニットと、突上げユニットをＸ方向に水平移動させるＸテーブルと、ＸテーブルをＹ方向へ水平移動させるＹテーブルと、突上げユニットの移動を規制する移動限度規制手段とを備え、
前記移動限度規制手段が、一端部が水平回転自在に軸着された２個のロッドと、Ｘテーブルに設けられたリニアガイドと、リニアガイドにＸ方向にスライド自在に嵌合し、２個のロッドの他端部がそれぞれ水平回転自在に軸着されたスライダと、２個のロッドの他端部にそれぞれ設けられた被検知部と、突上げユニットに装着された検知部とから成り、２個のロッドの他端部にそれぞれ設けられた被検知部の間でＸ方向に移動する検知部によって何れかの被検知部が検知されると前記Ｘテーブルと前記Ｙテーブルの駆動を停止することを特徴とするダイエジェクタ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェハシート上のチップをニードルにより下方から突上げるダイエジェクタ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
円形の開口部を有するウェハホルダに張設されたウェハシート上のチップをリードフレームや回路基板などの実装対象物に実装する場合、チップをダイエジェクタ装置のペパーポットから突出するニードルにより下方から突上げて移載ヘッドのノズルに真空吸着してピックアップし、この移載ヘッドを実装対象物上へ移動させて、所定の座標位置に搭載するようになっている。
【０００３】
ウェハシートには多数のチップが貼着されており、このためペパーポットをＸ方向移動手段とＹ方向移動手段によりＸ方向やＹ方向へ水平移動させてペパーポットを突上げ対象となるチップの直下へ移動させ、そこでニードルによりこのチップを突上げて移載ヘッドのノズルに真空吸着してピックアップするようになっている。
【０００４】
ウェハシート上のチップはウェハをマトリクス状にダイシングして形成されたものであり、ウェハシートが張設されたウェハホルダの円形の開口部の円内に分布している。したがってペパーポットはこの円内を移動エリアとしてＸ方向やＹ方向へ移動する必要があるが、誤って円外まで移動（オーバーラン）した場合、ウェハホルダ等に干渉して破損してしまう。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来、ペパーポットのオーバーランを阻止するために、Ｘ方向移動装置やＹ方向移動装置の制御に複雑な演算が必要となり、またこれらが誤動作した場合、上記のようにペパーポットが破損するなどの事故が発生していた。
【０００６】
したがって本発明は、簡単な機構により、ペパーポットが誤って所定のエリア外まで移動（オーバーラン）するのを確実に防止することができるオーバーラン防止機構を備えたダイエジェクタ装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１の本発明のダイエジェクタ装置は、チップが貼着されたウェハシートの下方に配設される突上げユニットと、突上げユニットをＸ方向に水平移動させるＸテーブルと、ＸテーブルをＹ方向へ水平移動させるＹテーブルと、突上げユニットの移動を規制する移動限度規制手段とを備え、前記移動限度規制手段が、一端部が水平回転自在に軸着された２個のロッドと、Ｘテーブルに設けられたリニアガイドと、リニアガイドにＸ方向にスライド自在に嵌合し、２個のロッドの他端部がそれぞれ水平回転自在に軸着されたスライダと、２個のロッドの他端部にそれぞれ設けられた被検知部と、突上げユニットに装着された検知部とから成り、２個のロッドの他端部にそれぞれ設けられた被検知部の間でＸ方向に移動する検知部によって何れかの被検知部が検知されると前記Ｘテーブルと前記Ｙテーブルの駆動を停止する。
【０００９】
上記構成の本発明によれば、ペパーポットのＸ方向やＹ方向への移動限度は、移動限度規制手段により規制される。したがってペパーポットの移動エリアは、所定のエリア内に規制されることとなり、誤ってエリア外まで移動してしまうのを確実に防止できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。図１（ａ）は本発明の一実施の形態におけるダイエジェクタ装置の斜視図、図１（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるダイエジェクタ装置の底面図、図２（ａ）は本発明の一実施の形態におけるダイエジェクタ装置の斜視図、図２（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるダイエジェクタ装置の底面図、図３（ａ）は本発明の一実施の形態におけるダイエジェクタ装置の斜視図、図３（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるダイエジェクタ装置の底面図、図４は本発明の一実施の形態におけるダイエジェクタ装置の側断面図、図５は本発明の一実施の形態におけるダイエジェクタ装置の部分斜視図である。
【００１１】
図１（ａ）において、１は突上げユニットであり、駆動ケース２上に円筒形のペパーポット３を立設して成っている。４は駆動ケース２に付設された駆動手段としてのモータであり、モータ４が駆動することにより、ペパーポット３に内臓されたニードル５（図４）を上下動させ、ペパーポット３上面の小孔６から突没させる。これにより、ウェハシート上に貼着されたチップをこのウェハシートから剥離する。なおペパーポット３に内蔵されたニードル５は複数本でもよい。さらにウェハシートを吸引する吸引手段を設けてもよく、また、吸引手段によってチップを剥離可能な場合は、ニードルは使用しなくてもよい。
【００１２】
駆動ケース２はＸ方向移動手段としてのＸテーブル１１上に設けられている。ＭＸはＸテーブル１１のＸ軸モータである。図４において、Ｘテーブル１１内にはＸ軸モータＭＸに駆動されるＸ方向の送りねじ１５が備えられており、駆動ケース２の下部に設けられたナット１６に螺入している。したがってＸ軸モータＭＸが駆動すると、送りねじ１５は回転し、突上げユニット１はＸ方向へ移動する。なお図４は、図３（ａ）の状態を示している。
【００１３】
図１（ａ）において、Ｘテーブル１１は互いに平行に配設されたＹ方向移動手段としてのＹテーブル１２とＹ方向のリニアガイド１３上に架設されている。１４はリニアガイド１３の基台である。Ｘテーブル１１の下面端部に設けられたスライダ１８は、リニアガイド１３にスライド自在に嵌合している。ＭＹはＹテーブル１２のＹ軸モータである。したがって図示しないが、Ｙテーブル１２にもＹ方向の送りねじが備えられており、Ｘテーブル１１の下部に設けられたナットに螺入している。したがってＹ軸モータＭＹが駆動すると、突上げユニット１はＹ方向へ水平移動する。なおこのようなＸテーブル、Ｙテーブル、送りねじ、ナットから成るＸ方向移動手段やＹ方向移動手段は公知である。
【００１４】
図４において、突上げユニット１にはアーム７が突設されており、アーム７には検知部８が装置されている。本実施の形態の検知部８は発光素子８ａと受光素子８ｂから成る光学検知手段から成っている。
【００１５】
図１（ａ）において、２０はＹテーブル１２とリニアガイド１３の間に設けられた軸部であり、回転部材としての２個のロッド２１，２２の一端部が水平回転自在に軸着されている。図１（ｂ）、図５において、ロッド２１，２２の他端部にはそれぞれスライダ２３，２４が水平回転自在に軸着して装着されている。Ｘテーブル１１の底部にはこれとＸ方向のリニアガイド１７が設けられており、スライダ２３，２４はリニアガイド１７にＸ方向にスライド自在に嵌合している。なお図１（ｂ）、図２（ｂ）、図３（ｂ）は簡略に描いている。
【００１６】
図１（ａ）、図４において、ロッド２１，２２の他端部（先端部）には、上記検知部８に検知される被検知部としてのドグ２５，２６が起立して設けられている。軸部２０、ロッド２１，２２、検知部８、スライダ２３，２４、ドグ２５，２６等は、ペパーポット３の移動エリアをウェハシート上のチップが分布する円Ａ内に規制する移動限度規制手段となっている。なお、検出部をロッド側に設け、被検知部を突き上げユニット側に設けてもよい。この場合、検出部は２個、被検出部は１個設けることとなる。
【００１７】
図１（ａ）において、３０はウェハホルダであり、その中央には円形の開口部３１が開口されている。図示しないがウェハホルダ３０にはウェハシートが張設されており、ウェハシート上にはウェハのチップが開口部３１の円内に多数分布している。
【００１８】
このダイエジェクタ装置は上記のような構成より成り、次にペパーポット３の移動動作について説明する。図１（ａ），（ｂ）は、突上げユニット１がＹ方向の一方の極限付近まで移動した状態（左右のロッド２１，２２が最小角度まで閉じた状態）を示している。また図２（ａ），（ｂ）は突上げユニット１がＹ方向の中間位置にある状態（左右のロッド２１，２２が１８０°に開いた状態）を示している。また図３（ａ），（ｂ）は突上げユニット１かＹ方向の他方の極限付近まで移動した状態（左右のロッド２１，２２が最小角度まで閉じた状態）を示している。
【００１９】
図１又は図３に示す位置まで突上げユニット１が移動すると、その移動可能エリアはドグ２５と２６で囲まれた狭いエリアとなる。図１（ａ）において検知部８が左方へ移動するときは左方のドグ２５が検知され、また検知部が右方へ移動するときは右方のドグ２６が検知されることとなり、検知部８により何れかのドグ２５または２６が確実に検知される。また、図１（ａ）において検出部８がさらに上方へ移動するときは、左右のロッドがさらに閉じることによりドグ２５または２６が検出部８に接近し、検出部８により何れかのドグ２５または２６が検知される。このようにドグ２５または２６が検知部８で検知された状態で、突上げユニット１はそれ以上Ｘ方向やＹ方向へ移動することはできない。
【００２０】
また図２に示す位置まで突上げユニット１が移動すると、その移動可能エリアは最大となるが、この場合でも突上げユニット１はドグ２５または２６を越えてＸ方向へ移動することはできない。以上のように、突上げユニット１のＸ方向およびＹ方向への移動限度は、ロッド２１，２２の長さにより規制される。またＸ方向及びＹ方向の移動限度まで移動したことは、ドグ２５，２６が検知部８に検知されることに検知されるので、そこでＸ軸モータＭＸやＹ軸モータＭＹの駆動を停止する。ペパーポット３のＸ方向およびＹ方向の移動エリアはウェハホルダの開口部の円Ａ内に略等しくしてあり、したがってペパーポット３はこの円Ａ内（すなわちウェハホルダの開口エリア）のみをＸ方向やＹ方向へ移動でき、その円外まで移動（オーバーラン）することはない。
【００２１】
【発明の効果】
以上のように本発明は、ペパーポットが誤って所定のエリア外まで移動（オーバーラン）するのを確実に防止することができ、したがってペパーポットが誤ってウェハホルダ等に干渉して破損するのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）本発明の一実施の形態におけるダイエジェクタ装置の斜視図
（ｂ）本発明の一実施の形態におけるダイエジェクタ装置の底面図
【図２】（ａ）本発明の一実施の形態におけるダイエジェクタ装置の斜視図
（ｂ）本発明の一実施の形態におけるダイエジェクタ装置の底面図
【図３】（ａ）本発明の一実施の形態におけるダイエジェクタ装置の斜視図
（ｂ）本発明の一実施の形態におけるダイエジェクタ装置の底面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるダイエジェクタ装置の側断面図
【図５】本発明の一実施の形態におけるダイエジェクタ装置の部分斜視図
【符号の説明】
３  ペパーポット
５  ニードル
８  検知部
１１  Ｘテーブル
１２  Ｙテーブル
２０  軸部
２１，２２  ロッド（回転部材）
２５，２６  ドグ（被検知部）
【図１】
0004196057.tif 000002
【図２】
0004196057.tif 000003
【図３】
0004196057.tif 000004
【図４】
0004196057.tif 000005
【図５】
0004196057.tif 000006