【事件の表示】
　平成３年　特　許　願　第１３０３９０号「縦型拡散・ＣＶＤ装置」拒絶査定に対する審判事件〔（平成７年１１月１日出願公告、特公平７−１０１６７５）、特許請求の範囲に記載された請求項の数（２）〕について、次のとおり審決する。
【結論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許をすべきものとする。
【理由】
１．本願の経緯および本願発明の要旨
　本願は、平成３年５月１日の出願であって、平成７年１１月１日に出願公告されたところ、特許異議の申立てがあり、その特許異議の申立ては理由があるものと決定され、その特許異議決定の理由により拒絶査定されたものである。
　本願の請求項１及び２に係る発明は、出願公告後、平成９年１１月６日付けの手続補正書で補正された明細書及び図面からみて、その特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された次のとおりのものと認める。
「【請求項１】反応室と、複数枚のウェーハを保持するボートと、前記ボートとカセットとの間でウェーハを移載する移載機とを収容したロードロック室と、複数枚のウェーハを収納した前記カセットを収容した気密カセット室とを備え、前記反応室とロードロック室間およびロードロック室と気密カセット室間をそれぞれ仕切弁を介して接続してなる縦型拡散・ＣＶＤ装置において、前記気密カセット室は真空ガス置換を行う気密容器とする一方、前記ロードロック室は真空排気せず、大気圧の下でＮ２ガスにより該ロードロック室内の雰囲気を置換する事を特徴とする縦型拡散・ＣＶＤ装置。
　【請求項２】前記ロードロック室は、移載機および移載機エレベータを収容する移載部と、ボートおよびボートエレベータとを収容するボート部とからなり、前記移載部と前記ボート部との間はゲート弁で仕切られている事を特徴とする請求項１に記載の縦型拡散・ＣＶＤ装置。」
２．原査定の理由の概要
　原査定の理由は、概要、「本願請求項１および２に係る発明は、特開平３−５５８４０号公報（以下、「甲第１号証」という）および、「電子材料」（１９８９年３月）第３７〜４２頁（以下、「甲第２号証」という）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。」というものである。
３．原査定に引用された刊行物に記載された発明
　甲第１号証には、「さらに、ボート１８がプロセスチューブ１０より完全にアンローディングされた後には、シャッター２８が閉鎖駆動され、プロセスチューブ１０の下端開口部を密閉するようにしている。さらに、本実施例装置では前記ウエハ２０への自然酸化膜の生成を極力低減するために、第２図に示すようなロードロック方式を採用している。すなわち、前記プロセスチューブ１０の下方の領域であって、前記ボートエレベータ２６の上下動機構等を含む空間は、第１のロードロックチャンバ４０内に設定されている。また、この第１のロードロックチャンバ４０の第２図の左側には、第２のロードロックチャンバ４２が配置され、右側には第３のロードロックチャンバ４４が配置されている。前記第１のロードロックチャンバ４０は、その内部を真空置換し、その後不活性ガス等によるパージを実施できるようにガス導入管４０ａ、排気管４０ｂが接続されている。同様に、第２，第３のロードロックチャンバ４２，４４にも、それぞれガス導入管４２ａ、４４ａ及び排気管４２ｂ、４４ｂが接続されている。さらに、各ロードロックチャンバ間を気密に遮断し、あるいは大気と遮断するために、各ロードロックチャンバ４０，４２、４４の両側には、ゲートバルブ４６〜５２が設けられている。そして、本実施例装置では、複数枚のウエハ２０を搭載したキャリアを前記第２のロードロックチャンバ４２内に設定し、このキャリアより１枚ずつウエハ２０を取り出して、第１のロードロックチャンバ４０内部に配置されている前記ボート１８にウエハ２０を移し換えるようにしている。」（第３頁右上欄第１４行〜右下欄第５行）、
「同図に示すように、第１のロードロックチャンバ４０内部には、ウエハ２０の移し換え動作を行うためのハンドラー７０が配置されている。」（第３頁右下欄第１７〜１９行）、
「不活性ガスとしてのＮ２またはＡｒ、あるいは水素ガスＨ２を挙げることができる。」（第４頁右上欄第１６〜１８行）が図面と共に記載されている。
　したがって、上記各記載から、甲第１号証には、「プロセスチューブと、複数枚のウエハを保持するボートと、前記ボートとキャリアとの間でウエハを移し換えるハンドラーとを収容した第１のロードロックチャンバと、複数枚のウエハを収納した前記キャリアを収納した第２のロードロックチャンバとを備え、前記プロセスチューブと第１のロードロックチャンバ間をシャッターを介して、また、第１のロードロックチャンバと第２のロードロックチャンバ間をゲートバルブを介して接続してなる縦型処理装置において、前記第２のロードロックチャンバは真空ガス置換を行う気密容器であり、前記第１のロードロックチャンバも真空ガス置換を行う気密容器であることを特徴とする縦型処理装置。」が記載されているものと認められる。
　甲第２号証には、「プロセスチャンバの下側でボートの移動する周辺をＳＵＳ板で覆い、窒素でパージして酸素を置換する。この方法はわりと簡単にできコストも安いが、雰囲気の遮断が不完全でとてもｐｐｍのレベルにはならない。」（第３９頁左欄第１３〜１６行）が図３と共に記載されている。
　したがって、上記各記載から、甲第２号証には、「ＳＵＳ板で覆われた空間を真空排気せず、大気圧の下でＮ２ガスにより該空間内の雰囲気を置換する方法」が記載されているものと認められる。
４．対比・判断
（請求項１に係る発明について）
　本願請求項１に係る発明（以下、「第１発明」という。）と、甲第１号証記載の発明とを対比すると、本願第１発明の「反応室」、「ウェーハ」、「カセット」、「移載機」、「ロードロック室」、「気密カセット室」は、それぞれ甲第１号証記載の発明の「プロセスチューブ」、「ウエハ」、「キャリア」、「ハンドラー」、「第１のロードロックチャンバ」及び「第２のロードロックチャンバ」に相当し、また、甲第１号証記載の発明の「シャッター」及び「ゲートバルブ」は共に本願第１発明の「仕切弁」に相当する。
　従って、本願第１発明と甲第１号証記載の発明とは、「反応室と、複数枚のウェーハを保持するボートと、前記ボートとカセットとの間でウェーハを移載する移載機とを収容したロードロック室と、複数枚のウェーハを収納した前記カセットを収容した気密カセット室とを備え、前記反応室とロードロック室間およびロードロック室と気密カセット室間をそれぞれ仕切弁を介して接続してなる縦型処理装置において、前記気密カセット室は真空ガス置換を行う気密容器である事を特徴とする縦型処理装置。」である点で一致する。
　一方、本願第１発明では、ロードロック室は「真空排気せず、大気圧の下でＮ２ガスにより該ロードロック室内の雰囲気を置換」する方法でガス置換しており、気密カセット室の「真空ガス置換」とは異なるガス置換の方法を採用しているのに対して、甲第１号証に記載された発明では、ロードロック室内のガス置換の方法として、気密カセット室のガス置換の方法と同一の「真空ガス置換」を採用している。
　すなわち、両者は、本願第１発明が、「真空排気せず、大気圧の下でＮ２ガスにより該ロードロック室内の雰囲気を置換」するロードロック室と、「真空ガス置換」する気密カセット室とを、仕切弁を介して接続する構造を有するのに対して、甲第１号証に記載された発明は、「真空ガス置換」するロードロック室と、同じく「真空ガス置換」する気密カセット室とを、仕切弁を介して接続する構造を有するという点において相違する。
　すなわち、甲第１号証には、本願第１発明の構成要件である、前記「真空排気せず、大気圧の下でＮ２ガスにより該ロードロック室内の雰囲気を置換」するロードロック室と、「真空ガス置換」する気密カセット室とを、仕切弁を介して接続する構造は、開示も示唆もされていない。
　次に、本願第１発明と、甲第２号証に記載された発明とを対比すると、本願第１発明の「ロードロック室」は甲第２号証に記載された発明の「ＳＵＳ板で覆われた空間」に相当するから、甲第２号証には、「真空排気せず、大気圧の下でＮ２ガスによりロードロック室内の雰囲気を置換」するロードロック室が記載されていると認められる。
　一方、甲第２号証には、該ロードロック室に接続される気密カセット室は記載されていない。
　すなわち、甲第２号証にも、本願第１発明の構成要件である、「真空排気せず、大気圧の下でＮ２ガスにより該ロードロック室内の雰囲気を置換」するロードロック室と、「真空ガス置換」する気密カセット室とを、仕切弁を介して接続するという構造は、開示も示唆もされていない。
　そして、甲第１号証の記載と甲第２号証の記載を組み合わせても、ロードロック室と気密カセット室のガス置換方法を異ならせることを当業者が容易に発明することができたとは認められないし、さらにまた、甲第１号証に記載された発明のロードロック室のガス置換方法を、甲第２号証において「雰囲気の遮断が不完全でとてもｐｐｍのレベルにはならない」と評価されている「真空排気せず、大気圧の下でＮ２ガスにより該ロードロック室内の雰囲気を置換」する方法に変更ことを当業者が容易に想到し得たともいえない。
　そして、本願第１発明は、「真空排気せず、大気圧の下でＮ２ガスにより該ロードロック室内の雰囲気を置換」するロードロック室と、「真空ガス置換」する気密カセット室とを、仕切弁を介して接続したことにより、「Ｎ２ガスで充満させたロードロック室内の圧力は大気圧のため薄板構造にでき、装置全体の軽量化と低価格化を図ることができる」という効果と、「ロードロック室は気密構造でＮ２ガスで充満されているため、酸素の混入を防止することができ、従来の全ての容器を真空ガス置換した場合と同等の低酸素濃度化を図ることができ、自然酸化膜の形成を最小にすることができる」という効果を、同時に達成できるという、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明からは予測されない顕著な効果を奏するものと認められる。
　したがって、本願第１発明は甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものではない。
（請求項２に係る発明について）
　請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明を更に限定したものであるから、上記請求項１に係る発明についての判断と同様の理由により、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。