(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
残渣を有するキャリアプレートを洗浄液により洗浄する洗浄機構をそれぞれ有する第一ないし第三の洗浄槽を備える洗浄部と、該洗浄部により洗浄された前記キャリアプレートに付着した前記洗浄液を乾燥させる乾燥部機構を有する乾燥槽により構成される乾燥部とを備えてなるキャリアプレートの接着装置において、
前記乾燥機構は、前記キャリアプレートを、温水で加熱して該温水の蒸発により乾燥させる温浴機構と、該温浴機構により乾燥した前記キャリアプレートを加熱する加熱装置とを備え、
前記温浴機構は、前記キャリアプレートを温水で加熱する温浴部と、該温浴部から前記キャリアプレートを取り出してこれを前記加熱装置へ搬出する搬出部とを備え、
前記温浴部は、キャリアプレートを前記加熱装置での加熱に対する予備加熱として加熱するものであって、前記乾燥槽内の底面に温水を前記キャリアプレートに噴出する噴出ノズルが設けられ、
前記第一ないし第三の洗浄槽および乾燥槽は、それぞれ等間隔に配置され、
前記搬出部は、前記キャリアプレートを移送するものであって、前記第一ないし第三の洗浄槽および前記乾燥槽が配置される方向に設置される軌道体と、五基の移送体とから構成され、これら移送体は、前記第一ないし第三の洗浄槽および前記乾燥槽の上方に位置してそれぞれ等間隔に配置されたものであって、前記軌道体に水平方向および上下方向に移動自在に配置された移送部材と、この移送部材に連結され前記キャリアプレートを挟持および挟持解除自在な一対の挟持体とから構成され、
移送部材は、水平方向に移動自在とされ、上下方向には、前記キャリアプレートが前記洗浄槽および前記乾燥槽外にあり、前記移送部材により水平方向に移送される位置と、前記キャリアプレートが前記洗浄槽および前乾燥槽内でそれぞれ洗浄、乾燥される位置との間で移動自在とされるとともに、
これら移送体のうち、前記キャリアプレートの搬入側の移送体は、一体的に作動する構成とされ、前記加熱装置へ搬出する移送体は、上下方向の移動に関しては単独作動が可能な構成とされていることを特徴とするキャリアプレートの接着装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体ウェハをキャリアプレートに接着するキャリアプレートの接着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、シリコン単結晶などの半導体ウェーハ（以下ウェーハ）は、集積回路等を形成する前に研磨工程を設けて、表面を平滑にすると共にその平坦度を向上させている。
この研磨工程においては、工程時間の短縮および他の工程で直接ウェーハを保持して損傷を与えることを防ぐために、キャリアプレート上にウェーハを複数接着した状態で研磨を施している。
【０００３】
図５にキャリアプレート上にウェーハを接着する装置の概略構成の一例を示す。
この図において、符号１は接着装置構成体である。
接着装置構成体１は、ウェーハ（図示せず）に接着剤を塗布する塗布装置２と、キャリアプレート（図示せず）をストックするストッカー３からキャリアプレートを搬入する搬入装置４と、搬入されたキャリアプレートを洗浄する洗浄装置５と、洗浄されたキャリアプレートを加熱する加熱装置６と、接着剤を塗布されたウェーハを加熱されたキャリアプレートに接着する接着装置７と、ウェーハが接着されたキャリアプレートを冷却する冷却装置８と、冷却されたキャリアプレートを搬出する搬出装置９とから概略構成されている。
【０００４】
そして、接着装置構成体１から搬出されたキャリアプレートは、図示しない研磨装置へ送出され、研磨される。
その後、剥離装置（図示せず）においてウェーハを剥離されたキャリアプレートは、再使用されるためストッカー３へ送られる。
【０００５】
このように、キャリアプレートは、前回使用時の接着剤残渣が表面に残っている状態でストッカーにストックされているので、次回ウェーハを円滑に接着させるためにはこの接着剤残渣を完全に除去する必要がある。
洗浄装置５は、この接着剤残渣を除去するために設けられたものである。
【０００６】
図６は、従来技術による洗浄装置の一例を示す図である。
洗浄装置５は、第一、第二、第三の洗浄槽１１，１２，１３と、これらの洗浄槽１１，１２，１３にキャリアプレート１０を順次移送する移送装置（図示せず）とから構成されている。
第一、第二、第三の洗浄槽１１，１２，１３内には、それぞれ、回転ローラ１４とブラシ２５とが配置されており、また、第一の洗浄槽１１内には洗浄液が貯留されている。
【０００７】
回転ローラ１４は、載置されたキャリアプレート１０を支持すると共に、キャリアプレート１０にその軸線回りの回転を与えるもので、キャリアプレート１０の周面および下面に配置されている。
洗浄ノズル１５は、キャリアプレートを浸漬洗浄した後、搬出時に再付着した残渣を洗い流すために第二の洗浄槽１２の上部および側面方向に配置されている。
【０００８】
ブラシ２５は、キャリアプレート１０上の接着材残渣を除去するものであって、キャリアプレート１０の両面および周面近傍に回転かつ、移動可能に配置されている。
洗浄ノズル１６は、キャリアプレート洗浄後の洗浄液を洗い流すために第三の洗浄槽１３の側面および円周方向に配置されている。
【０００９】
上記の構成の洗浄装置５により、キャリアプレート１０が洗浄乾燥される動作を以下に説明する。
まず、キャリアプレート１０が、移送装置により第一の洗浄槽１１内に移送され、回転ローラ１４上に載置される。
このとき、ブラシは、予めキャリアプレート１０の載置に支障のない位置に揺動するので載置は滞りなく行われ、その後、所定の位置に配置される。
【００１０】
次に、回転ローラ１４により回転を与えられたキャリアプレート１０は、洗浄液中において浸漬洗浄される。
この状態で、ブラシが押圧回転して、キャリアプレート１０上の接着剤残渣を除去する。
浸漬洗浄後、キャリアプレート１０は、回転を停止して移送装置により第二の洗浄槽１２内へ移送される。
【００１１】
第二の洗浄槽１２内において、キャリアプレート１０は、上記と同様の浸漬洗浄が行われた後、移送装置において第三の洗浄槽１３内へ移送される。
この移送の際、キャリアプレート１０は、第二洗浄槽１２より引き上げられている時に、洗浄ノズル１５から噴出されるクリーンな洗浄液により再付着した残渣等が洗い流される。
第三の洗浄槽１３内においては、上記第一、第二の洗浄槽１１，１２と異なる洗浄が行われる。
この場合、洗浄ノズル１６からの噴出には純水が使用され、この純水は、第一、第二の洗浄槽１１，１２で使用された薬液を洗浄するものである。
こうして洗浄が終了したキャリアプレート１０は、第三の洗浄槽１３から加熱装置６へ送られて加熱された後に、接着装置７においてその表面にウェーハを接着される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、上述したような従来のキャリアプレートの接着方法およびその接着装置には、以下のような問題が存在する。
洗浄の都度、洗浄液を持ち込む必要があり、作業効率低下の原因になっている。
また、乾燥のための設備が別途必要になるため、設備の増加にもなっていた。            
【００１３】
一方、加熱装置６においては、キャリアプレート１０を１１０℃程度迄加熱するが、洗浄乾燥されたキャリアプレート１０は、常温程度になっている。
そのため、キャリアプレート１０を加熱するために時間が掛かり、一層効率を下げていた。
【００１４】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、作業効率の向上と共に設備の簡素化に寄与するキャリアプレートの接着方法およびその接着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明のキャリアプレートの接着方法は、残渣を有するキャリアプレートを洗浄液により洗浄する洗浄工程と、該洗浄工程により洗浄された前記キャリアプレートに付着した前記洗浄液を乾燥させる乾燥工程とを有するキャリアプレートの接着方法において、前記乾燥工程は、前記キャリアプレートを温水で加熱して該温水の蒸発により乾燥させ、その直後に、該キャリアプレートを加熱することを特徴とするものである。
【００１６】
従って、本発明のキャリアプレートの接着方法によれば、乾燥工程でキャリアプレートを温水で加熱することにより、キャリアプレートに付着した温水を蒸発させて乾燥させることができる。
そのため、この乾燥工程では、予めキャリアプレートを予備的に加熱することができる。
【００１７】
本発明のキャリアプレートの接着装置は、残渣を有するキャリアプレートを洗浄液により洗浄する洗浄機構をそれぞれ有する第一ないし第三の洗浄槽を備える洗浄部と、該洗浄部により洗浄された前記キャリアプレートに付着した前記洗浄液を乾燥させる乾燥部機構を有する乾燥槽により構成される乾燥部とを備えてなるキャリアプレートの接着装置において、前記乾燥機構は、前記キャリアプレートを、温水で加熱して該温水の蒸発により乾燥させる温浴機構と、該温浴機構により乾燥した前記キャリアプレートを加熱する加熱装置とを備えることを特徴とするものである。 
【００１８】
従って、本発明のキャリアプレートの接着装置によれば、乾燥機構である温浴機構において、キャリアプレートを温水により加熱するので、加熱後に温水は蒸発してキャリアプレートを乾燥させることができる。
また、このキャリアプレートは、温浴機構で予め予備的に加熱された後に、加熱装置で加熱される。
【００１９】
本発明のキャリアプレートの接着装置は、前記温浴機構は、前記キャリアプレートを温水で加熱する温浴部と、該温浴部から前記キャリアプレートを取り出してこれを前記加熱装置へ搬出する搬出部とを備えていることを特徴とするものである。 
【００２０】
従って、本発明のキャリアプレートの接着装置によれば、温浴部により加熱されたキャリアプレートは、搬出部によって温浴部から加熱装置へと搬出される。
また、本発明では、前記温浴部は、キャリアプレートを加熱するものであって、前記乾燥槽内に温水を前記キャリアプレートに噴出する噴出ノズルが設けられ、
前記第一ないし第三の洗浄槽および乾燥槽は、それぞれ等間隔に配置され、
前記搬出部は、前記キャリアプレートを移送するものであって、前記第一ないし第三の洗浄槽および前記乾燥槽が配置される方向に設置される軌道体と、五基の移送体とから構成され、これら移送体は、前記第一ないし第三の洗浄槽および前記乾燥槽の上方に位置してそれぞれ等間隔に配置されたものであって、前記軌道体に水平方向および上下方向に移動自在に配置された移送部材と、この移送部材に連結され前記キャリアプレートを挟持および挟持解除自在な一対の挟持体とから構成され、
移送部材は、水平方向に移動自在とされ、上下方向には、前記キャリアプレートが前記洗浄槽および前記乾燥槽外にあり、前記移送部材により水平方向に移送される位置と、前記キャリアプレートが前記洗浄槽および前乾燥槽内でそれぞれ洗浄、乾燥される位置との間で移動自在とされるとともに、
これら移送体のうち、前記キャリアプレートの搬入側の移送体は、一体的に作動する構成とされ、前記加熱装置へ搬出する移送体は、上下方向の移動に関しては単独作動が可能な構成とされていることができる。
上記の構成では、温浴部（噴出部）の噴出ノズルからキャリアプレートに向かって温水が噴出されて、キャリアプレートは温浴加熱される。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係るキャリアプレートの接着方法によれば、洗浄工程と乾燥工程とを有しており、この乾燥工程はキャリアプレートを温水で加熱して、その温水の蒸発により乾燥させ、その直後に加熱する構成となっている。
これにより、洗浄工程における乾燥が不要になると共に、キャリアプレートが乾燥工程で予備的に加熱されるので加熱装置で加熱される時間も短縮され、作業効率が大幅に向上できるという優れた効果を奏する。
また、温水の蒸発によりキャリアプレートを乾燥させるので、エアーノズルやエアー供給装置等の設備が不要になり、設備の簡素化が実現できるという効果を奏するものである。
【００２２】
本発明のキャリアプレートの接着装置によれば、洗浄機構と乾燥機構とを有しており、この乾燥機構は、キャリアプレートを温水で加熱してその温水の蒸発によって乾燥させる温浴機構と、該温浴機構で乾燥させたキャリアプレートを加熱する加熱装置とを備える構成となっている。
これにより、乾燥機構は、温浴機構という簡単な機構で構成されるので設備の簡素化が実現できるという効果を奏する。
また、温水に温浴させるため、キャリアプレートは予備加熱される。
即ち、加熱装置で加熱する時間も短縮されるという効果を奏するものである。
【００２３】
本発明に係るキャリアプレートの接着装置によれば、温浴機構はキャリアプレートを温水により加熱する温浴部と、温浴部からキャリアプレートを取り出して加熱装置へ搬出する搬出部とを備える構成となっている。
これにより、乾燥のための操作もキャリアプレートを洗浄乾燥装置から搬出するための搬出部によって行うことが可能になり、従って、別途乾燥用装置設ける必要がないため、一層設備の簡素化が実現できるという優れた効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明のキャリアプレートの接着方法およびその接着装置の第１の実施の形態を、図１ないし図３を参照して説明する。
ここでは、例えば、洗浄工程として、それぞれ洗浄機構を有する第一ないし第三の洗浄槽を使用し、乾燥工程として、乾燥機構を有する乾燥槽を使用する場合の例を用いて説明する。
これらの図において、従来例として示した図５および図６と同一の構成要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
【００２５】
図１において、符号５１は接着装置である。
接着装置５１は、洗浄乾燥装置５と加熱装置６とを備えるものである。
洗浄乾燥装置５は、図示しないストッカーから搬入されるキャリアプレート１０を洗浄乾燥する装置であって、洗浄部１７と乾燥部１８と移送部１９とから構成されている。
洗浄部１７は、第一ないし第三の洗浄槽２０，２１，２２とから構成されており、これらはキャリアプレート１０を洗浄する洗浄機構２３をそれぞれ備えている。
また、第一および第二の洗浄槽２０，２１は、その内部に図示しないアルカリ液（洗浄液）を貯留するものである。
【００２６】
図２に示すように、洗浄機構２３は、各洗浄槽２０，２１，２２の下部に位置して、移送されたキャリアプレート１０を保持する一対の保持板２４と、回転ブラシ２５と回転ローラ１４とから構成されている。
回転ローラ１４は、移送されたキャリアプレート１０を支持すると共に、キャリアプレート１０にその軸線回りの回転を与えるもので、キャリアプレート１０の周面に接して配置されている。
【００２７】
回転ブラシ２５は、回転するキャリアプレート１０上の接着剤残渣を押圧して除去するものであって、このキャリアプレート１０の両面に対向するように配置されている。
また、図３に示すように、これら回転ブラシ２５および回転ローラ１４は、それぞれモータ２６，２７からベルト２８，２９を介して伝達される動力によって強制回転するものである。
一方、第三の洗浄槽２２には、上記洗浄機構２３に加えて、その内面に対向するように図示しない純水（洗浄液）を噴出する二対の洗浄ノズル１６が設けられている。
【００２８】
乾燥部１８は、キャリアプレート１０を乾燥させるものであって、乾燥槽３１により構成されており、この乾燥槽３１は乾燥機構３０を備えるものである。
この乾燥機構３０は、洗浄槽３１の下部に位置して、移送されたキャリアプレート１０を支持する支持部材３５と、保持板２４と、乾燥槽３１内に温浴機構３２を備えてなるものである。
【００２９】
温浴機構３２は、貯留部３３（温浴部）と、該貯留部３３からキャリアプレート１０を取り出して外部へ搬出する移送体３７ｅ（搬出部）とから構成されるものである。
貯留部３３は、キャリアプレート１０を加熱するものであって、乾燥槽３１内に純水を８０℃程度に加熱して得られたクリーンな温水を貯留している。
また、上記第一ないし第三の洗浄槽２０，２１，２２および乾燥槽３１は、それぞれ距離Ｓを隔てて等間隔に配置されている。
【００３０】
移送部１９は、キャリアプレート１０を移送するものであって、第一ないし第三の洗浄槽２０，２１，２２および乾燥槽３１が配置される方向に設置される軌道体３６と、五基の移送体３７ａ，…，３７ｅとから構成されている。
移送体３７ａ，…，３７ｅは、第一ないし第三の洗浄槽２０，２１，２２および乾燥槽３１の上方に位置してそれぞれ距離Ｓを隔てて等間隔に配置されたものであって、軌道体３６に水平方向および上下方向に移動自在に配置された移送部材３８と、この移送部材３８に連結されキャリアプレート１０を挟持および挟持解除自在な一対の挟持体３９とから構成されている。
【００３１】
移送部材３８は、水平方向には工程長Ｓをもって移動自在とされ、上下方向には位置Ａと位置Ｂとの間で移動自在とされるものである。
位置Ａは、キャリアプレート１０が上記洗浄槽２０，２１，２２および乾燥槽３１外にあり、移送部材３８により水平方向に移送される位置である。
位置Ｂは、キャリアプレート１０が上記洗浄槽２０，２１，２２および乾燥槽３１内でそれぞれ洗浄、乾燥される位置である。
【００３２】
これら移送体３７ａ，…，３７ｅのうち、キャリアプレート１０の搬入側の移送体３７ａ，…，３７ｄは、一体的に作動する構成とされ、移送体３７ｅは、上下方向の移動に関しては単独作動が可能な構成とされている。
【００３３】
上記の構成の洗浄乾燥装置５によりキャリアプレート１０を洗浄乾燥する動作を以下に説明する。
まず、図１中、移送体３７ａの挟持体３９が位置Ａから降下して、ストッカーから移送されて位置Ｂにあるキャリアプレート１０を挟持する。
このとき、キャリアプレート１０は、第一の洗浄槽２０における洗浄位置より距離Ｓ分離間した位置に移送されているため支障なく挟持される。
【００３４】
次に、一旦位置Ａに上昇した移送体３７は、水平方向左側へ距離Ｓ移動した後、
第一の洗浄槽２０内に降下して、位置Ｂにてキャリアプレート１０の挟持を解除する。
このとき、キャリアプレート１０は、一対の保持板２４間内で保持されると共に回転ローラ１４にその周面を支持された状態で、第一の洗浄槽２０のアルカリ液内に浸漬されている。
【００３５】
そして、洗浄機構２３が作動し、モータ２６，２７からベルト２８，２９を介して動力が伝達されると、回転ブラシ２５および回転ローラ１４が回転を開始する。
これにより、キャリアプレート１０は、回転すると共に回転する回転ブラシ２５に押圧され、その両面の接着剤残渣は洗浄除去される。
洗浄されたキャリアプレート１０は、移送体３７ｂの挟持体３９によって挟持されて位置Ａへ移送される。
【００３６】
この後、キャリアプレート１０は、より確実な接着剤残渣の除去のため、第二の洗浄槽２１内へ移送され、洗浄機構２３により第一の洗浄槽２０内と同様に洗浄される。
洗浄後、キャリアプレート１０は、移送体３７ｃによって第二の洗浄槽２１より引き上げられている際に、洗浄ノズル１５から噴出されるクリーンなアルカリ液により表面に付着した残渣等が洗い流され、第三の洗浄槽２２内の位置Ｂへ移送される。
【００３７】
第三の洗浄槽２２内で洗浄機構２３が作動すると、上記同様回転ブラシ２５および回転ローラ１４が回転することにより、キャリアプレート１０は回転すると共に回転する回転ブラシ２５によりその両面が押圧される。
このとき、第三の洗浄槽２２の内面に対向するように設けられた洗浄ノズル１６からは、純水が噴出する。
これにより、第一，第二の洗浄槽２０，２１内で付着したキャリアプレート１０上のアルカリ液は洗浄される。
かくして、洗浄乾燥装置５の洗浄工程が完了する。
【００３８】
洗浄工程で洗浄されたキャリアプレート１０は、第三の洗浄槽２２内から乾燥工程を経るために、移送体３７ｄによって乾燥槽３１内の位置Ｂへ移送される。  移送されたキャリアプレート１０は、保持板２４に保持されると共に支持部材３５にその周面を支持される。
このとき、乾燥槽３１内の貯留部３３には、純水を８０℃程度に加熱した温水が貯留および循環されており、キャリアプレート１０は、この温水に浸漬することにより加熱される。
【００３９】
そして約３０秒程加熱されたキャリアプレート１０は、移送体３７ｅによって貯留部３３から引き上げられる。
移送体３７ｅは、上下方向の作動に関しては他の移送体３７ａ，…，３７ｄと追従せず、単独作動が可能である。
そのため、貯留部３３から引き上げられたキャリアプレート１０は、約２０秒程かけてゆっくり位置Ａへ移送される。
【００４０】
この間に、キャリアプレート１０の表面に付着した温水は蒸発することになり、従って、キャリアプレート１０は乾燥される。
かくして、洗浄乾燥装置５の乾燥工程が完了して、洗浄乾燥されたキャリアプレート１０は、移送体３７ｅにより加熱装置６へ送られて加熱された後に、公知の接着技術によりその表面にウェーハを接着される。
【００４１】
本実施の形態のキャリアプレートの接着方法およびその接着装置によれば、乾燥工程においてキャリアプレート１０を乾燥させるので、洗浄工程における乾燥が不要になり、従って、作業効率が向上する。
また、温水の蒸発によりキャリアプレート１０を乾燥させることに加えて、この乾燥のための操作もキャリアプレート１０を洗浄乾燥装置５から移送するための移送体３７ｅを利用しているので、エアーノズルやエアー供給装置等の設備が不要になる。
【００４２】
さらに、キャリアプレート１０は、温浴機構３２により８０℃程度の温水に浸漬されているので、キャリアプレート１０自体も８０℃程度に加熱されている。  従って、この工程が加熱装置６での加熱に対する予備加熱になっており、これにより、キャリアプレート１０を１１０℃程度に加熱される時間も短縮され、作業効率が一層向上する。
【００４３】
図４は、本発明のキャリアプレートの洗浄乾燥方法およびその洗浄乾燥装置の第２の実施の形態を示す図である。
この図において、図１ないし図３に示す第１の実施の形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
第２の実施の形態と上記の第１の実施の形態とが異なる点は、乾燥槽３１内の貯留部３３の代わりに噴出部４０（温浴部）を設けたことである。
【００４４】
噴出部４０は、乾燥槽３１の底面に設けられた噴出ノズル４１から構成されており、この噴出ノズル４１は、純水を８０℃程度に加熱したクリーンな温水を噴出するものである。
【００４５】
この構成の洗浄乾燥装置５において、洗浄工程で洗浄されたキャリアプレート１０は、移送体３７ｄによって乾燥槽３１内の位置Ｂへ移送される。
移送されたキャリアプレート１０は、保持板２４に保持されると共に支持部材３５にその周面を支持される。
そして、噴出部４０の噴出ノズル４１からキャリアプレート１０に向かって温水が噴出されて、キャリアプレート１０は温浴加熱される。
約３０秒程温浴加熱されたキャリアプレート１０は、移送体３７ｅによって約２０秒程かけてゆっくり位置Ａへ移送される。
【００４６】
これにより、キャリアプレート１０の表面に付着した温水は蒸発することになり、従って、キャリアプレート１０は乾燥される。
かくして、洗浄乾燥装置５の乾燥工程が完了して、洗浄乾燥されたキャリアプレート１０は、加熱装置６へ送られて加熱された後に、公知の接着技術によりその表面にウェーハを接着される。
【００４７】
本実施の形態のキャリアプレートの接着方法およびその接着装置によれば、上記第１の実施の形態と同様の効果が得られることに加えて、使用する温水が少量で済むという効果も得られる。
【００４８】
なお、上記実施の形態において、温水の温度を８０℃程度としたが、これに限られることなく適宜変更してもよい。
また、洗浄部を第一ないし第三の洗浄槽からなる構成としたが、これに限られることなく適宜増減させてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図であって、洗浄乾燥装置の断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態を示す図であって、洗浄部および乾燥部の要部の断面図である。
【図３】本発明の洗浄乾燥装置の右側面図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態を示す図であって、洗浄部および乾燥部の要部の断面図である。
【図５】キャリアプレートにウェーハを接着する接着装置構成体の概略構成図である。
【図６】従来技術による洗浄装置の要部の断面図である。
【符号の説明】
【００５０】
６  加熱装置
１０  キャリアプレート
２３  洗浄機構
３０  乾燥機構
３２  温浴機構
３３  貯留部（温浴部）
３７ｅ  移送体（搬出部）
４０  噴出部（温浴部）
５１  接着装置
【図１】
0004125261.tif 000002
【図２】
0004125261.tif 000003
【図３】
0004125261.tif 000004
【図４】
0004125261.tif 000005
【図５】
0004125261.tif 000006
【図６】
0004125261.tif 000007