【事件の表示】
　昭和６３年　特　許　願　第２１２０３１号「露光方法及びその装置」拒絶査定に対する審判事件〔（平成７年１０月１８日出願公告、特公平７−９７５４９）、特許請求の範囲に記載された請求項の数（１２）〕について、次のとおり審決する。
【結論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許をすべきものとする。
【理由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は昭和６３年８月２６日（優先権主張昭和６２年８月２８日）の出願であって、その請求項１〜１２に係る発明は、出願公告後の平成１１年７月２２日付け手続補正書にて補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜１２に記載された次のとおりのものと認められる。
　「（１）半導体ウエハを回転させる工程と、前記半導体ウエハの周縁部上に露光を施す工程と、前記半導体ウエハの回転速度を当該半導体ウエハのオリエンテーションフラット部が露光領域にきたところで選択的こ遅らせる工程と、を具備することを特徴とする露光方法。
　（２）前記露光処理は、前記オリエンテーンョンフラット部に複数回施すものであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の露光方法。
　（３）前記オリエンテーションフラット部に施す露光処理の光量が、前記オリエンテーションフラット部以外の周縁部に施す光量よりも多いことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の露光方法。
　（４）前記露光領域の長さは、前記半導体ウエハの外周側端部から前記半導体ウエハの中心に向かう所定の距離までであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の露光方法。
　（５）前記半導体ウエハの外周端面を検知する手段に、光センサーが用いられていることを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の露光方法。
　（６）前記光センサーは、固体撮像素子であることを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の露光方法。
　（７）半導体ウエハを所定の回転速度で回転させながら、この半導体ウエハの周縁部を露光する露光機構と、前記半導体ウエハのオリエンテーションフラット部に対し、その他の周縁部に比べて前記露光機構の光量を多くする又は／及び前記回転速度を遅くする制御手段とを具備したことを特徴とする露光装置。
　（８）半導体ウエハを所定の回転速度で回転させながら、この半導体ウエハの周縁部を露光する露光機構と、前記半導体ウエハのオリエンテーションフラット部に対し、その他の周縁部に比べて前記露光機構の露光量を所定の量だけ多く制御する制御手段と、前記露光機構を前記オリエンテーションフラット部に対し、所定の移動速度で実質的に平行移動させる移動手段とを具備したことを特徴とする露光装置。
　（９）前記露光機構は、前記半導体ウエハのオリエンテーションフラット部に対し、露光を複数回施すものであることを特徴とする特許請求の範囲第８項記載の露光装置。
　（１０）前記露光機構は、前記半導体ウエハの外周端面を検知する端面検出手段からの信号をうけて動作するものであること特徴とする特許請求の範囲第９項記載の露光装置。
　（１１）前記半導体ウエハの外周端面を検知する手段に、光センサーが用いられていることを特徴とする特許請求の範囲第１０項記載の露光装置。
　（１２）前記光センサーは、固体撮像素子であることを特徴とする特許請求の範囲第１１項記載の露光装置。」（以下、それぞれ「本願発明１〜１２」という。）
２．原査定の理由
　これに重して、原査定の拒絶理由である特許異議の決定の理由の概要は、平成８年１２月２６日付け手続補正にて補正された請求項１〜１３に係る発明は、特開昭６３−１６０３３２号公報、特開昭５９−１５８５２０号公報及び特開昭６０−１６９１３６号公報に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものであるから特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない（なお、本願は特許法第４２条の２第１項の規定による優先権を主張するものであるが、本願の各発明は優先権の基礎となる出願に記載されていない事項であるため進歩性の判断に当たっては、現実の出願日を適用する）というものである。
３，引用例の記載事項　
　引用例１：特開昭６３−１６０３３２号公報
　引用例２：特開昭５９−１５８５２０号公報
　引用例３：特開昭６０−１６９１３６号公報
　なお、本願は特許法第４２条の２第１項の規定による優先権を主張するものであるが、本願の各発明は優先権の基礎となる出願に記載されていない事項であるため新規性・進歩性の判断に当たっては、現実の出願日を適用する。
［引用例１］
　ロ−ラによってウエハの周縁部を検出し、回転するウエハの周縁部を露光し、オリエンテーションフラット部を含む周縁部のレジストを除去する方法及び装置が記載されている。また、ウエハ端部の検出手段として光センサを使用できることが示唆されている。
［引用例２］
　周縁の内側と外側にわたって形成された受光部および上記内側と外側にわたって形成され上記周縁の一部に対向して設けられて上記受光部から入射した光を上記内側に所定距離偏位して射出する射光部をもった光学系と、上記周縁の一部により一部分が遮られた投射光を上記受光部に照射する光源装置を用いて、周縁が不規則な形状をしていても、これに沿って縁取り状に、ウエハ上の周縁を作業性よく照射する照射装置が記載されている。
［引用例３］
　半導体装置において、適正露光量よりわずかに少ない露光エネルギーを与える粗露光と、残りの必要とされる露光エネルギーを与える修正露光との２段階に分けることにより、全体として露光エネルギーのバラツキを抑制することを可能にする露光制御方法及びその装置が記載されている。
４．対比・判断
４−１．本願発明１及び本願発明７
　本願発明１及び本願発明７と引用例１又は引用例２に記載された発明とを対比すると、両者は、半導体ウエハを回転させながら、オリエンテーションフラット部を含む半導体ウエハの周縁部に露光を施す露光方法又は露光装置である点で一致し、本願発明１及び本願発明７は「オリエンテーションフラット部に対し、他の周縁部に比べて露光機構の光量を多くする」又は「半導体ウエハの回転速度を半導体ウエハのオリエンテーションフラット部が露光量域にきたところで選択的に遅らせる」ことによりオリエンテーションフラット部の露光量を他の周縁部に比べて多くしているのに対し、引用例１又は引用例２に記載された発明では、オリエンテーションフラット部の露光量を他の周縁部に比べて多くするための回転速度、光量の考慮が払われてない点で相違する。
　そこで、上記相違について検討するに、引用例３において、半導体装置の露光において、必要な露光量を達成するために粗露光と修正露光との複数回の露光を行うことが公知である。また、一般に露光量を増やすためには、露光時間を長くすること、光量を大きくすることが周知である。しかし、半導体ウエハ周縁部．の露光において、オリエンテーションフラット部の露光量を他の周縁部より大きくするという着想は引用例１〜３のいずれにも記載ないしは示唆されておらず、他に、この点が当業者に周知の事項であったとする根拠は見出せない。
　そして、本願発明１及び本願発明７は、オリエンテーションフラット部の露光量を他の周縁部より大きくする点で、レジスト等の除去の境界部の盛り上がりをなくし、明細書記載の効果を生じるものと認められる。
　よって、本願発明１及び本願発明７は、引用例１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものとすることはできない。
４−２．本願発明２〜６、８〜１２
　本願発明２〜６及び本願発明８〜１２は、本願発明１又は本願発明７の発明を前提とし、それらの発明を特定する技術事項を、さらに限定したものである。してみると、本願発明２〜６及び本願発明８〜１２と引用例１又は２に記載された発明とを比較すると、４−１で述べた本願発明は「オリエンテーションフラット部に対し、他の周縁部に比べて露光機構の光量を多くする」又は「半導体ウエハの回転速度を半導体ウエハのオリエンテーションフラット部が露光量域にきたところで選択的に遅らせる」ことによりオリエンテーションフラット部の露光量を他の周縁部に比べて多くしているのに対し、引用例１又は引用例２に記載された発明では、オリエンテーションフラット部の露光量を他の周縁部に比べて多くするための回転速度、光量の考慮が払われてない点で相違する。
　そして、引用例１〜３に、半導体ウエハ周縁部の露光において、オリエンテーションフラット部の露光量を他の周縁部より大きくするという着想が記載ないしは示唆されておらず、他に、この点が当業者に周知の事項であったとする根拠が見出せない以上４−１で述べた理由と同じ理由により本願発明２〜６及び本願発明８〜１２は、引用例１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものとすることはできない。
５．むすび
　以上のとおり、本願発明１〜１２は、引用例１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。