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　昭和６３年　特　許　願　第７０７２８号「露光方法及び露光装置」拒絶査定に対する審判事件〔（平成７年１１月１３日出願公告、特公平７−１０５３３３）、特許請求の範囲に記載された請求項の数（２）〕について、次のとおり審決する。
【結論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許をすべきものとする。
【理由】
I．本願は、昭和６３年３月２４日の出願であって、その請求項１，２に係る発明は、出願公告がされた後に、平成１１年７月１２日付け手続補正書で補正された明細書及び図面の記載からみて、その請求項１，２に記載された次のとおりのものである。
　請求項１
「半導体ウエハを、回転可能とされたウエハ載置台に載置して吸着保持する工程と、
　 露光機構を前記ウエハ載置台に配置された前記半導体ウエハの円弧状の周縁部の上方に位置させるとともに、前記半導体ウエハを所定の回転速度で回転させ、前記露光機構の光源からの光を、前記円弧状の周縁部に対して照射して露光する工程と、前記半導体ウエハのオリエンテーションフラットを形成する直線状の周縁部上方において前記露光機構を直線的に所定の移動速度で移動させて、前記光源からの光を前記直線状の周縁部に照射して露光する工程とを含む露光工程と、
　前記露光工程の前に、前記半導体ウエハを前記ウエハ載置台に載置する間に前記露光機構が配置されるホームポジションにおいて、当該露光機構から照射される光の光量を、前記半導体ウエハとほぼ同一高さに配置された検出器によって検出する工程と、
　この検出によって所定値以下の光量が検出されたら、警告を発するとともに、前記半導体ウエハの回転速度および前記露光機構の前記移動速度を、いずれも低下せしめる工程とを具備したことを特徴とする露光方法。」
　請求項２
「半導体ウエハを吸着保持して回転可能とされたウエハ載置台と、
　前記ウエハ載置台に配置された前記半導体ウエハの円弧状の周縁部の上方に位置した状態で前記半導体ウエハを所定の回転速度で回転させ、光源からの光を前記円弧状の周縁部に対して照射するとともに、前記半導体ウエハのオリエンテーションフラットを形成する直線状の周縁部上方において直線的に所定の移動速度で移動して、前記光源からの光を前記直線状の周縁部に照射する露光機構と、
　前記半導体ウエハを前記ウエハ載置台に載置する間に前記露光機構が配置されるホームポジションであって、かつ、前記半導体ウエハとほぼ同一高さに配置され、当該露光機構から照射される光の光量を検出する検出手段と、この検出手段によって所定値以下の光量が検出されたら、警告を発するとともに、前記半導体ウエハの回転速度および前記露光機構の前記移動速度を、いずれ低下せしめる工程とを具備したことを特徴とする露光装置。」
II．当審において、平成１１年５月１９日付けで、下記の、その後発見した拒絶の理由を通知した。
　　　　　　　　　記
『本件出願の発明は、その出願前に国内において頒布された下記の刊行物に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が、容易に発明をすることができたものと認められるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　　　　　　　　記
１．引用例１；特開昭５７−１１７２３８号公報
　引用例２；特開昭５９−１５８５２０号公報
　引用例３；特開昭５６−２４５３２号公報
　上記引用例１には、半導体露光焼付装置の発明が記載され、第３頁左上欄には、「本発明の・・・照度計を備えた露光焼付装置によれば、真の光強度すなわち露光面の光強度を測定できるので、この値を、ランプの劣化の判断に用いることができる。」と記載されている。
　上記引用例２には、半導体ウエハの周縁部を露光する手段が開示されている。
　上記引用例３には、半導体ウエハを露光する際に、光源の放射強度を監視し、ウエハの搬送速度を制御することにより、正しい露光を確保する旨記載されている。
２．本件請求項１に係る発明と引用例との対比
　本件請求項１に係る発明と引用例１の発明は、「半導体ウエハを露光する工程とを含む露光工程と、当該露光機構から照射される光の光量を、前記半導体ウエハとほぼ同一高さに配置された検出器によって検出する工程とを具備したことを特徴とする露光方法。」である点において両者は一致し、本件請求項１に係る発明が、「半導体ウエハの円弧状の周縁部に対して、光源からの光を照射する露光機構を相対的に所定の移動速度で移動せしめて、前記円弧状の周縁部を露光する工程と、半導体ウエハのオリエンテーションフラットを形成する直線状の周縁部に対して、光源からの光を照射する露光機構を相対的に所定の移動速度で移動せしめて、前記直線状の周縁部を露光する工程とを含む露光工程」（以下、「ウエハの周縁部を露光する工程」という。）、を有するのに対し、引用例１の発明は、上記露光工程を有していない点（以下、「相違点１」という。）、本件請求項１に係る発明が、「露光工程の前に前記露光機構のホームポジションにおいて、露光機構から照射される光の光量を検出する工程」を有するのに対し、引用例１の発明は、上記露光工程を有していない点（以下、「相違点２」という。）及び本件請求項１に係る発明が、「所定値以下の光量が検出されたら、警告を発するとともに、前記円弧状の周縁部に対する前記移動速度および前記直線状の周縁部に対する移動速度を、いずれも低下せしめる工程」を有するのに対し、引用例１の発明は、上記露光工程を有していない点（以下、「相違点３」という。）において相違する。
　そこで相違点１について検討すると、上記ウエハの周縁部を露光する工程は、上記引用例２にみられるごとく、半導体露光の技術分野においては周知のものであって、引用例１記載のパターン焼付における光量検知手段をウエハの周縁部を露光する手段に適用することは、当業者が容易になし得たものであるので、相違点１に格別の意義は認められない。
　相違点２について検討すると、露光工程の前に露光機構から照射される光の光量を検出することについては、上記引用例１のものも、ランプの劣化の判断をするものであるから、当業者が当然考慮する事項であり、また、露光機構のホームポジションは、単なる呼称上のものにすぎないので、相違点２に格別の意義は認められない。
　相違点３について検討すると、上記引用例３にみられるごとく、光源の放射強度を監視し、ウエハの搬送速度を制御することにより、正しい露光を確保することは周知手段であり、この周知手段をウエハの周縁部を露光する手段に適用することは、当業者が容易になし得たものであって、また、装置の適正でない状態を警告することは一般に行われている慣用手段であることを考慮すると、相違点３に格別の意義は認められない。
　そうすると、本件請求項１に係る発明は、引用例１に記載された発明に対し、引用例２，３及び慣用手段を単に付加することにより当業者が容易に発明できたものと認める。
３．本件請求項２に係る発明と引用例との対比
　本件請求項２に係る発明は、本件請求項１に係る発明を単に装置として表現したものであるので、上記２．に記載した理由により、本件請求項２に係る発明は、引用例１に記載された発明に対し、引用例２，３及び慣用手段を単に付加することにより当業者が容易に発明できたものと認める。』
ＩＩＩ．平成１１年７月１２日付けで補正された本件請求項１に係る発明と引用例１〜３との対比
　本件請求項１に係る発明が、「オリエンテーションフラットを形成する直線状の周縁部上方において前記露光機構を直線的に所定の移動速度で移動させて、前記光源からの光を前記直線状の周縁部に照射して露光する工程」（以下、「構成１」という。）及び「露光工程の前に、前記半導体ウエハを前記ウエハ載置台に載置する間に前記露光機構が配置されるホームポジションにおいて、当該露光機構から照射される光の光量を、検出器によって検出する」（以下、「構成２」という。）を有するのに対し、引用例１〜３の発明はいずれも、上記構成１及び２を有していない。
　そして、本件請求項１に係る発明は上記構成１及び２を有することにより、半導体ウエハの露光機構の移動速度を低下せしめることができ、また、平成１１年７月１２日付け意見書に記載されているように、「本願発明では、半導体ウエハをウエハ載置台に載置する間に露光機構が配置されるホームポジションにおいて、露光工程の前に、露光機構から照射される光の光量を、・・・検出器によって検出するようになっておりますから、半導体ウエハをウエハ載置台に載置している間に光量を検出することができ、光量を検出するために特別な検出時間を設ける必要がなく、また、光量検出のための格別な露光機構の移動動作等の必要がありません。さらに、露光機構がホームポジションにある間は、常時光量を検出することができますから、各半導体ウエハの露光毎に光量を検出することがでぎ、また、何らかの原因により、次の露光を行う半導体ウエハが載置台に載置されず、処理待ちとなっているような場合にも、その間中光量を検出することができます。」という、引用例１〜３に記載された何れの発明にもない効果を有する。
　また、本件請求項２に係る発明が、「オリエンテーションフラットを形成する直線状の周縁部上方において前記露光機構を直線的に所定の移動速度で移動して、前記光源からの光を前記直線状の周縁部に照射する露光機構」（以下、「構成３」という。）及び「半導体ウエハを前記ウエハ載置台に載置する間に前記露光機構が配置されるホームポジションであって、当該露光機構から照射される光の光量を検出する検出手段」（以下、「構成４」という。）を有するのに対し、引用例１〜３の発明はいずれも、上記構成３及び４を有していない。
　そして、本件請求項２に係る発明は上記構成１及び２を有することにより、半導体ウエハの露光機構の移動速度を低下せしめることができ、また、平成１１年７月１２日付け意見書に記載されているように、「本願発明では、半導体ウエハをウエハ載置台に載置する間に露光機構が配置されるホームポジションにおいて、露光工程の前に、露光機構から照射される光の光量を、・・・検出器によって検出するようになっておりますから、半導体ウエハをウエハ載置台に載置している間に光量を検出することができ、光量を検出するために特別な検出時間を設ける必要がなく、また、光量検出のための格別な露光機構の移動動作等の必要がありません。さらに、露光機構がホームポジションにある間は、常時光量を検出することができますから、各半導体ウエハの露光毎に光量を検出することができ、また、何らかの原因により、次の露光を行う半導体ウエハが載置台に載置されず、処理待ちとなっているような場合にも、その間中光量を検出することができます。」という、引用例１〜３に記載された何れの発明にもない効果を有する。
ＩＶ．以上のとおりであるから、本件請求項１、２に係る発明は、引用例１〜３に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明できたものすることができない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって結論のとおり審決する。