(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂でできた複数の単面マザースタンパーを繋ぎ合わせた多面マザースタンパーを作製し、この多面マザースタンパーを複製して多面付けスタンパーを作製する方法において、前記多面マザースタンパーを作製するに際し、充填材を流し込むための専用治具を用いて、各単面マザースタンパー間の高さが面一となるように前記単面マザースタンパーを矯正した状態で多数配列し、その状態で充填材を流し込んで硬化させることにより、各単面マザースタンパー間の隙間に充填材をスタンパー表面と面一に埋めるようにしたことを特徴とする多面付けスタンパーの作製方法。
【請求項２】
単面マザースタンパーを多数配列するに際し、必要な面付け数分だけ一度に配列するようにした請求項１記載の多面付けスタンパーの作製方法。
【請求項３】
充填材がシリコーン系樹脂である請求項１又は２記載の多面付けスタンパーの作製方法。
【請求項４】
シリコーン系樹脂として、未硬化時の粘度が低く且つ硬化後の硬度が高いシリコーン樹脂を使用した請求項３記載の多面付けスタンパーの作製方法。
【請求項５】
硬化後のシリコーン樹脂表面がスタンパー表面と面一になるように、シリコーン樹脂の硬化時の収縮が進行する前に複製するようにした請求項３記載の多面付けスタンパーの作製方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、凹凸状情報トラックを有する光カード等の光情報記録媒体を複製するための原版として使用されるスタンパーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、光カード等の光情報記録媒体は高密度記録を達成するために、光記録情報媒体用の基材の上に微細な凹凸状光学的情報パターンを形成する必要がある。このため従来から幾つかの成型法が提案されているが、現在では微細パターンの複製精度が極めて高く設備投資も少なくて済むいわゆる２Ｐ法が主に採用されている。この２Ｐ法は表面に凹凸を有するスタンパーと光情報記録媒体用基材との間に液状の紫外線硬化型樹脂を充填し、該樹脂に紫外線を照射して硬化させた後、スタンパーを剥がすことによって光情報記録媒体を作製するものである。
【０００３】
上記した２Ｐ法で使用するスタンパーは、フォトマスク描画可能面積の関係から光カードの場合でもせいぜい２〜３面程度しか入らないものであり、大量生産には向いていない。このため、複数枚のスタンパーを繋いでパターンを多くした多面付けスタンパーを使用して一度に大量複製をすることが考えられ、この多面付けスタンパーの作製方法として次の２つが提案されている。
【０００４】
第１の方法は特開平７−１５３１２３号公報に記載のもので、樹脂でできた複数の単面マザースタンパーを繋ぎ合わせた多面マザースタンパーを形成し、この多面マザースタンパーを複製して多面付けスタンパーを作製するに際して、単面マザースタンパーの継目に窪みを備えた中間体を一旦形成することにより、この中間体から複製したカバーシートにおけるパターンの継目となる部位に紫外線硬化型樹脂の未硬化部分を残した状態にし、この未硬化部分を均した状態で継目の平坦な多面マザースタンパーを複製するようにしたものである。
【０００５】
また、第２の方法は特開平７−１５３１２４号公報に記載のもので、紫外線硬化型樹脂を用いて基材シート上にマザースタンパーのパターンを連続的に複製するに際し、次のパターンを複製する部分を遮光して露光することによってパターンの継目となる部分の紫外線硬化型樹脂を未硬化状態とし、この未硬化部分にマザースタンパーを移動して基材シートに次のパターンを複製するようにしたものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記した第１及び第２の方法は、いずれも継目が目立たずしかもパターンの間隔を短くした多面付けスタンパーを作製できることを目指したものであるが、第１の方法では、硬化時の樹脂の収縮により継目に段差が生じることがあり、また第２の方法では、基材シートの剥離時に発生する静電気により、継目から樹脂片及び未硬化樹脂が飛び、パターン内に付着することがあり、このため良い品質が得られないと言った問題点がある。
【０００７】
本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、面付け数を増やした場合に、面付け間の段差を小さくして継目を目立たなくし、しかも品質の良いものが得られる多面付けスタンパーの作製方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明は、樹脂でできた複数の単面マザースタンパーを繋ぎ合わせた多面マザースタンパーを作製し、この多面マザースタンパーを複製して多面付けスタンパーを作製する方法において、前記多面マザースタンパーを作製するに際し、充填材を流し込むための専用治具を用いて、各単面マザースタンパー間の高さが面一となるように前記単面マザースタンパーを矯正した状態で多数配列し、その状態で充填材を流し込んで硬化させることにより、各単面マザースタンパー間の隙間に充填材をスタンパー表面と面一に埋めるようにしたものである。そして、単面マザースタンパーを多数配列するに際し、必要な面付け数分だけ一度に配列するのが好ましい。このようにすることで、面付け数を増やした場合に、マザー作製における手間をかけずに済むことになる。
【０００９】
上記の充填材としては、２液常温硬化型のシリコーン樹脂を使用することができる。充填材の使用条件として、まず、充填する際の粘度が低いこと（流動性がよいため、一度に多面を繋ぐことが可能である。）、硬化収縮率が小さく且つ硬化後の硬度が高いことが挙げられる。前記の２液常温硬化型シリコーン樹脂がこの条件を満たしており好ましい。例えば、信越化学製「ＫＥ−１１２」は、硬化前粘度：８（Ｐａ，ｓ）、硬化後硬度：６０度（ＪＩＳ−Ａ）、硬化収縮率：０．５％である。
【００１０】
そして、このようなシリコーン樹脂を使用し、硬化後のシリコーン樹脂表面がスタンパー表面と面一になるように、シリコーン樹脂の硬化時の収縮が進行する前に複製するのが望ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明を実施する第１の方法の具体的な手順について説明する。
【００１２】
まず、２〜３面のマザースタンパーから打抜加工又は切断加工により単面マザースタンパーを作製する。この場合、精度良く且つバリが発生しないようにする。そして、次の工程（１）〜（９）により、この単面マザースタンパーから専用治具を用いて１列の多面マザースタンパーを作製する。
【００１３】
（１）前記単面マザースタンパーを位置決め用のブロックに精度良く貼り込む工程。
（２）単面マザースタンパーの貼り込まれた前記ブロックを精度良く所定のピッチで配列する工程。具体的には、配列する大判のベース板に位置決め用のピンを設けておき、位置決め用の穴を設けた前記ブロックをこのベース板のピンにセットして配列する。
（３）単面マザースタンパーの貼り込まれたブロックが配列された大判のベース板を使用して、充填材を流し込む治具を組み立てる工程。
▲１▼単面マザースタンパーの外のベース板上にクッション材を敷く。
▲２▼上記クッション材を介して枠板をベース板にセットする。
▲３▼単面マザースタンパー及び枠板表面に平面出し用粘着フィルムを気泡、異物等が入らないようにして貼り込む。粘着フィルムが薄い場合は貼り込み時にシワが出やすいため、ベース基材を両面テープで貼り付けて腰を持たせる。
（４）上記治具を粘着フィルム面が下になるように定盤上に置く工程。
（５）ベース板上に重りを載せる工程。（充填材注入時の単面マザースタンパーのパターン面への当該充填材の回り込み防止のため）
（６）枠板の端面に設けられた充填材注入口に充填材を流し込む工程。
（７）充填材を硬化させるためにエージングする工程。
（８）充填材の硬化後に平面出し用粘着フィルムを剥がす工程。
（９）充填材の最表面を硬化させるためにエージングする工程。
【００１４】
上記工程（１）〜（９）により１列の多面マザースタンパーが完成する。次いで、この１列の多面マザースタンパーを用いて２Ｐ法により数回複製し、樹脂でできた１列の多面マザースタンパーを数枚作製する。続いて、数枚作製した１列の多面マザースタンパーから打抜加工又は切断加工により所定寸法の１列の多面マザースタンパーを作製する。この場合、精度良く且つバリが発生しないようにする。そして、次の工程（１）〜（９）により、この１列の多面マザースタンパーから多列の多面マザースタンパーを作製する。
【００１５】
（１）前記１列の多面マザースタンパーを位置決め用のブロックに精度良く貼り込む工程。
（２）１列の多面マザースタンパーの貼り込まれた前記ブロックを精度良く所定のピッチで配列する工程。具体的には、配列する大判のベース板の位置決め用のピンを設けておき、位置決め用の穴を設けた前記ブロックをこのベース板のピンにセットする。
（３）１列の多面マザースタンパーの貼り込まれたブロックが配列された大判のベース板を使用して、充填材を流し込む治具を組み立てる工程。
▲１▼１列の多面マザースタンパーの外のベース板上にクッション材を敷く。
▲２▼上記クッション材を介して枠板をベース板にセットする。
▲３▼１列の多面マザースタンパー及び枠板表面に平面出し用粘着フィルムを気泡、異物等が入らないようにして貼り込む。粘着フィルムが薄い場合は貼り込み時にシワが出やすいため、ベース基材を両面テープで貼り付けて腰を持たせる。
（４）上記治具を粘着フィルム面が下になるように定盤上に置く工程。
（５）ベース板上に重りを載せる工程。（充填材注入時に１列の多面マザースタンパーのパターン面への当該充填材の回り込み防止のため）
（６）枠板の端面に設けられた充填材注入口に充填材を流し込む工程。
（７）充填材を硬化させるためにエージングする工程。
（８）充填材の硬化後に平面出し用粘着フィルムを剥がす工程。
（９）充填材の最表面を硬化させるためにエージングする工程。
【００１６】
上記工程（１）〜（９）により多列の多面マザースタンパーが完成する。次いで、この多列の多面マザースタンパーを用いて２Ｐ法により数回複製し、樹脂でできた多列の多面マザースタンパーを数枚作製する。通常はこの多列の多面マザースタンパーをマスター版として使用する。
【００１７】
次に、本発明を実施する第２の方法の具体的な手順について説明する。
【００１８】
まず、２〜３面のマザースタンパーから打抜加工又は切断加工により単面マザースタンパーを作製する。ここまでは第１の方法と同じであるが、この第２の方法では、次の工程（１）〜（９）により、この単面マザースタンパーから専用治具を用いて一度に多面マザースタンパーを作製する。
【００１９】
（１）前記単面マザースタンパーを位置決め用のブロックに精度良く貼り込む工程。
（２）単面マザースタンパーの貼り込まれた前記ブロックを精度良く所定のピッチで配列する工程。具体的には、配列する大判のベース板に位置決め用のピンを設けておき、位置決め用の穴を設けた前記ブロックをこのベース板のピンにセットして配列する。
（３）単面マザースタンパーの貼り込まれたブロックが配列された大判のベース板を使用して、充填材を流し込む治具を組み立てる工程。
▲１▼単面マザースタンパーの貼り込まれたブロックとベース板間にクッション材を挟みながら前記ブロックをベース板にセットする。
▲２▼ベース板に枠板をセットする。
▲３▼単面マザースタンパー及び枠板表面に平面出し用粘着フィルムを気泡、異物等が入らないようにして貼り込む。粘着フィルムが薄い場合は貼り込み時にシワが出やすいため、ベース基材を両面テープで貼り付けて腰を持たせる。
（４）上記治具を粘着フィルム面が下になるように定盤上に置く工程。
（５）ベース板上に重りを載せる工程。（充填材注入時の単面マザースタンパーのパターン面への当該充填材の回り込み防止のため）
（６）枠板の端面に設けられた充填材注入口に充填材を流し込む工程。
（７）充填材を硬化させるためにエージングする工程。
（８）充填材の硬化後に平面出し用粘着フィルムを剥がす工程。
（９）充填材の最表面を硬化させるためにエージングする工程。
【００２０】
上記工程（１）〜（９）により多面マザースタンパーが完成する。次いで、この多面マザースタンパーを用いて２Ｐ法により数回複製し、樹脂でできた多面付けマザースタンパーを数枚作製する。通常はこの多面付けスタンパーをマスター版として使用する。
【００２１】
【実施例】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
【００２２】
（第１実施例）
まず、マスター版から２Ｐ法により、図１に示す如き２〜３面付けのマザースタンパー１を複製する。次いで、図２に示すように、マザースタンパー１の複製面に保護フィルム２を反対面に両面テープ３をラミネートする。ラミネートする際には異物が混入しないように静電除去をしながら、また気泡が混入しないようにラミネートする。このように保護フィルム２と両面テープ３を貼り付けたマザースタンパー１から打抜加工又は断裁加工により図３に示す如き単面マザースタンパー１ａを作製する。この際、単面マザースタンパー１ａにおける記録パターンの長辺と基材の長辺が平行であること、また単面マザースタンパー１ａの記録パターンの短辺が基材の左右に対して均等に打抜加工又は断裁加工されていることが望ましい。なお、上記マザースタンパー１はＮｉ電鋳したものを使用してもよい。
【００２３】
図４に上記単面マザースタンパー１ａを貼り込むためのブロック４と貼込作業に使用するガイド５を示す。また図５はブロック４の裏側を示した図であり、単面マザースタンパー１ａを精度良く配列するための位置決め用の穴４ａとブロック固定用の雌ネジ４ｂが設けられている。穴４ａは２ヶ所に設けてあり、一方を丸穴とし他方を長丸穴としている。図６はブロック４への単面マザースタンパー１ａの貼込み方を示した説明図であり、同図に示すように、ガイド５にブロック４を嵌め込み、ブロック４の３辺がガイド５の３辺と接触する状態とし、次いで単面マザースタンパー１ａに貼られている両面テープ３の離型紙を剥がした後、長辺の片側をガイド５の一辺に接触させて貼り、ローラー６によりニップして単面マザースタンパー１ａをブロック４に貼り込む。
【００２４】
図７は単面マザースタンパーから１列の多面マザースタンパーを作製するための治具の分解図である。これの組立手順を説明すると、まずベース板１３上に設けられた位置決め用のピン１３ａに単面マザースタンパー１ａが貼られたブロック４をセットする。すなわち、ブロック４をベース板１３に固定するためにベース板１３に設けられたブロック固定用の穴１３ｂにネジを通してブロック４に設けられた雌ネジ４ｂに締め付ける。次に、ベース板１３上にブロック４と接触しないように窓の開いたクッション材１２を敷き、さらにクッション材１２上にブロック４と接触しないように窓の開いた枠板１１をセットする。これらを固定するには、ベース板１３に設けられた固定用の穴１３ｃ（４ヶ所）及びクッション材１２に設けられた固定用の穴１２ａ（４ヶ所）にネジを通して枠板１１に設けられた雌ネジ１１ａ（４ヶ所）に締め付ける。続いて、単面マザースタンパー１ａ上の保護フィルム２を剥がし、枠板１１及び単面マザースタンパー１ａ上に粘着フィルム１０を異物及び気泡が混入しないようにしてラミネートする。この際、粘着フィルム１０が薄く腰がない場合には、図示の如く両面テープ９により予めベース基材８に貼り合わせて腰を持たせた粘着フィルム１０を使用する。そして最後に、粘着フィルム１０及びベース基材８上に平面出し用の定盤７を載せる。この粘着フィルム１０の条件として、剥離時に被着体に粘着剤が残らないことが挙げられる。したがって、接着時に強い接着力があり、剥離時に紫外線を照射して接着力の劣るようなタイプのフィルム、具体的には日東電工（株）製のＵＶ硬化性粘着シート「ＵＥ−１０」又は「ＵＥ−１０８１Ｇ」を使用した。
【００２５】
図８は図７に示す治具の組立を終え、充填材であるシリコーン樹脂を流し込む時の状態を示している。上記のようにして組み立てた治具は図８のように表裏を逆にして設置する。治具を表裏逆にする理由は、シリコーン樹脂が流れやすくすることと気泡が表面に出ないようにするためである。そして、流し込んだシリコーン樹脂が記録パターン部に回り込まないようにベース板１３上に重り１４を載せて荷重をかける。荷重は５０〜１００ｇ／ｃｍ2 とする。シリコーン樹脂は、信越化学工業（株）製のシリコーン樹脂「ＫＥ−１７」（主剤）に対し硬化剤を０．５〜１％混ぜてよく攪拌させたものを使用した。シリコーン樹脂をシリンジ等に入れて枠板１１に設けられたシリコーン樹脂注入口１１ｂから注入する。シリコーン樹脂の注入方法として、向かい合う２辺に設けられた注入口１１ｂの端から順番に少量ずつ注入していく。注入の目安として、シリコーン樹脂注入箇所以外の注入口１１ｂからシリコーン樹脂が溢れた時点で終了とする。
【００２６】
シリコーン樹脂の注入を終えると、その状態のままで４〜８時間放置しシリコーン樹脂を常温硬化させる。４〜８時間経過した後、重り１４を解除してから平面出し用の定盤７以外の一体になった治具を表裏逆にする。粘着フィルム１０がＵＶ硬化性粘着シートの場合、４６０〜１０００ｍｍＪ／ｃｍ2 の紫外線を照射する。そして、粘着フィルム１０を剥がす。剥がす際には除電しながら剥がすようにする。
【００２７】
図９は１列の多面マザースタンパーから２Ｐ法により樹脂でできた１列の多面マザースタンパーを複製する手順を示す工程図である。まず、前記した手順により図９（ａ）に示す１列の多面マザースタンパーが得られる。図中１５はシリコーン樹脂である。そして、図９（ｂ）に示すように、この１列の多面マザースタンパーに液状紫外線硬化型樹脂１６を滴下した後、基材１７の短辺の片側を多面マザースタンパーに接触させ、ローラー１８でニップして液状紫外線硬化型樹脂１６を広げる。次に、図９（ｃ）に示すようにＵＶランプ１９により紫外線を照射量１００〜５００ｍＪ／ｃｍ2 で照射して液状紫外線硬化型樹脂１６を硬化させる。次いで、図９（ｄ）に示すように、基材１７を１列の多面マザースタンパーから剥離し、該基材１７上に情報記録パターン１６ａを形成する。基材１７の剥離は除電しながら行う。
【００２８】
上記のようにして基材１７に情報記録パターン１６ａを複製した後、図１０に示すように、基材１７の複製面に保護フィルム２を反対面に両面テープ３をラミネートする。ラミネートする際には異物が混入しないように静電除去をしながら、また気泡が混入しないようにラミネートする。このように保護フィルム２と両面テープ３を貼り付けた基材１７から打抜加工又は断裁加工により図１１に示す如き１列の多面樹脂マザースタンパー１７ａを作製する。この際、１列の多面樹脂マザースタンパー１７ａにおける記録パターンの長辺と基材の長辺が平行であること、また１列の多面樹脂マザースタンパー１７ａの記録パターンの短辺が基材の左右に対して均等に打抜加工又は断裁加工されていることが望ましい。さらに、基材に加工時のバリがないことが望ましい。
【００２９】
図１２に上記１列の多面樹脂マザースタンパー１７ａを貼り込むためのブロック２０と貼込作業に使用するガイド２１を示す。また、図１３はブロック２０への１列の多面樹脂マザースタンパー１７ａの貼込み方を示した説明図であり、同図に示すように、ガイド２１にブロック２０を嵌め込み、ブロック２０の３辺がガイド２１の３辺と接触する状態とし、次いで１列の多面樹脂マザースタンパー１７ａに貼られている両面テープ３の離型紙を剥がした後、長辺の片側をガイド２１の一辺に接触させて貼り、ローラー２２によりニップして１列の多面樹脂マザースタンパー１７ａをブロック２０に貼り込む。
【００３０】
図１４は１列の多面樹脂マザースタンパーから多面樹脂マザースタンパーを作製するための治具の分解図である。これの組立手順を説明すると、まずベース板２９上に設けられた位置決め用のピン２９ａに１列の多面樹脂マザースタンパー１７ａが貼られたブロック２０をセットする。すなわち、ブロック２０をベース板２９に固定するためにベース板２９に設けられたブロック固定用の穴２９ｂにネジを通してブロック２０に設けられた固定用雌ネジに締め付ける。次に、ベース板２９上にブロック２０と接触しないように窓の開いたクッション材２８を敷き、さらにクッション材２９上にブロック２０と接触しないように窓の開いた枠板２７をセットする。ベース板２９に設けられた固定用の穴２９ｃ（４ヶ所）及びクッション材２８に設けられた固定用の穴２８ａ（４ヶ所）にネジを通して枠板２７に設けられた雌ネジ２７ａ（４箇所）に締め付ける。続いて、１列の多面樹脂マザースタンパー１７ａ上の保護フィルム２を剥がし、枠板２７及び１列の多面樹脂マザー１７ａ上に粘着フィルム２６を異物及び気泡が混入しないようにラミネートする。この際、粘着フィルム２６が薄く腰がない場合には、図示の如く両面テープ２５により予めベース基材２４に貼り合わせて腰を持たせた粘着フィルム２６を使用する。そして最後に、粘着フィルム２６及びベース基材２４上に平面出し用の定盤２３を載せる。この粘着フィルム２６の条件として、前記粘着フィルム１０と同様、剥離時に被着体の粘着剤が残らないことが挙げられる。したがってここでも、接着時に強い粘着力があり、剥離時に紫外線を照射して接着力の劣るようなタイプのフィルム、具体的には日東電工（株）製のＵＶ硬化性粘着シート「ＵＥ−１０」又は「ＵＥ−１０８１Ｇ」を使用した。
【００３１】
図１４に示す治具の組立を終えた後、図８と同様に当該治具を表裏を逆にして設置する。治具を表裏逆にする理由は、前記したのと同様で、シリコーン樹脂が流れやすくすることと気泡が表面に出ないようにするためである。そして、流し込んだシリコーン樹脂が記録パターン部に回り込まないようにベース板２９上に重りを載せて荷重をかける。この場合も荷重は５０〜１００ｇ／ｃｍ2 とする。シリコーン樹脂は、前記したのと同じく、信越化学工業（株）製シリコーン樹脂「ＫＥ−１７」（主剤）に対し硬化剤を０．５〜１％混ぜてよく攪拌させたものを使用した。シリコーン樹脂をシリンジ等に入れて枠板２７に設けられたシリコーン樹脂注入口２７ｂから注入する。シリコーン樹脂の注入方法として、向かい合う２辺に設けられた注入口２７ｂの端から順番に少量ずつ注入していく。注入の目安として、シリコーン樹脂注入箇所以外の注入口２７ｂからシリコーン樹脂が溢れた時点で終了とする。
【００３２】
シリコーン樹脂の注入を終えると、その状態のままで４〜８時間放置しシリコーン樹脂を常温硬化させる。４〜８時間経過後、重りを解除してから平面出し用の定盤２３以外の一体になった治具を表裏逆にする。粘着フィルム２６がＵＶ硬化性粘着シートの場合、４６０〜１０００ｍｍＪ／ｃｍ2 の紫外線を照射する。そして、粘着フィルム２６を剥がす。剥がす時に除電しながら行う。
【００３３】
（実施例２）
この実施例では、実施例１と同様にして単面マザースタンパーの作製とこの単面マザースタンパーのブロックへの貼込みまでを行った後、単面マザースタンパーから多面マザースタンパーを作製する。
【００３４】
図１５は単面マザースタンパーから多面マザースタンパーを作製するための治具の分解図である。これの組立手順を説明すると、まずベース板３０上に設けられた位置決め用のピン３０ａに単面マザースタンパー１ａが貼られたブロック４をセットする。すなわち、ブロック４をベース板３０に固定するためにベース板３０に設けられたブロック固定用の穴３０ｂにネジを通してブロック４に設けられた雌ネジ４ｂに締め付ける。この際に、ブロック４とベース板３０の間にクッション材３１を窓の開いた枠板３２と接触しないように挟む。次に、枠板３２をベース板３０上にセットする。このとき、固定はベース板３０に設けられた固定用の穴３０ｃ（４ヶ所）にネジを通して枠板３２に設けられた雌ネジ３２ａ（４ヶ所）に締め付ける。続いて、単面マザースタンパー１ａ上の保護フィルム２を剥がし、枠板３２及び単面マザースタンパー１ａ上に粘着フィルム３３を異物及び気泡が混入しないようにしてラミネートする。この際、粘着フィルム３３が薄く腰がない場合には、図示の如く両面テープ３４により予めベース基材３５上に平面出し用の定盤３６を載せる。この粘着フィルム３３の条件として、剥離時に被着体に粘着剤が残らないことが挙げられる。したがって、接着時に強い接着力があり、剥離時に紫外線を照射して接着力の劣るようなタイプのフィルム、具体的には日東電工（株）製のＵＶ硬化性粘着シート「ＵＥ−１０」又は「ＵＥ−１０８１Ｇ」を使用した。
【００３５】
図１６は図１５に示す治具の組立を終え、充填材であるシリコーン樹脂を流し込む時の状態を示している。上記のようにして組み立てた治具は図１６のように表裏を逆にして設置する。治具を表裏逆にする理由は、シリコーン樹脂が流れやすくすることと気泡が表面に出ないようにするためである。そして、流し込んだシリコーン樹脂が記録パターン部に回り込まないようにベース板３０上に重り３７を載せて荷重をかける。荷重は３０〜６０ｇ／ｃｍ2 とする。荷重は重りを載せるか治具自体を重くしておけば自重で必要な荷重をカバーできる。シリコーン樹脂は、信越化学工業（株）製のシリコーン樹脂「ＫＥ−１１２」（主剤）に対して硬化剤▲１▼ＣＡＴ−ＲＭ（０．８７５％）及び▲２▼ＣＡＴ−１１２（２．７５％）の２種類を混ぜてよく攪拌させたものを使用した。シリコーン樹脂をシリンジ等に入れて枠板３２に設けられたシリコーン樹脂注入口３２ｂから注入する。シリコーン樹脂の注入方法として、向かい合う２辺に設けられた注入口３２ｂの端から順番に少量ずつ注入していく。注入の目安として、シリコーン樹脂注入箇所以外の注入口３２ｂからシリコーン樹脂が溢れた時点で終了とする。
【００３６】
シリコーン樹脂の注入を終えると、その状態のままで５時間放置しシリコーン樹脂を常温硬化させる。５時間経過した後、重り３７を解除してから平面出し用の定盤３６以外の一体になった治具を表裏逆にする。ここで、シリコーン樹脂の硬化時間はメーカ仕様では８時間とされているが、シリコーン樹脂の硬化収縮があるためシリコーン樹脂の硬化収縮が進行する前で且つ２Ｐ複製可能な硬化状態の条件として５時間という値を得ることができた。この値はシリコーン樹脂の種類により変わる。粘着フィルム３３がＵＶ硬化性粘着シートの場合、４６０〜１０００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外線を照射する。そして、粘着フィルム３３を剥がす。剥がす際には除電しながら剥がすようにする。
【００３７】
図１７及び図１８はシリコーン樹脂を充填した多面マザースタンパーから２Ｐ法により樹脂でできた多面付けマザースタンパーを複製する手順を示す工程図である。まず、前記した手順により図１７（ａ）に示す多面マザースタンパーが得られる。図中３８はシリコーン樹脂である。そして、図１７（ｂ）に示すように、この多面マザースタンパーに液状紫外線硬化型樹脂３９を滴下した後、基材４０の短辺の片側を多面マザースタンパーに接触させ、ローラー４１でニップして液状紫外線硬化型樹脂３９を広げる。次に、図１７（ｃ）に示すようにＵＶランプ４２により紫外線を照射量１００〜５００ｍＪ／ｃｍ2 で照射して液状紫外線硬化型樹脂３９を硬化させる。次いで、図１８に示すように、基材４０を多面マザースタンパーから剥離し、該基材４０上に情報記録パターン３９ａを形成する。基材４０の剥離は除電しながら行う。
【００３８】
このように基材４０に情報記録パターン３９ａを形成したものが多面付けスタンパーとなる。なお、この多面付けスタンパーは樹脂単体で使用してもよく、またＮｉ電鋳してもよい。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、配列された各マザースタンパー間の高さが面一になるように矯正された状態で充填材を流し込み、硬化させるため、段差を小さくして継目を目立たなくすることができる。また、従来のように紫外線硬化型樹脂を未硬化の状態で使用することもないので静電気による樹脂飛びの発生することがなく、品質の良いものを得ることができ、さらに情報記録パターン間のピッチを狭くすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】マスター版から複製されたマザースタンパーの一例を示す斜視図である。
【図２】図１のマザースタンパーに保護フィルムと両面テープをラミネートする様子を示す説明図である。
【図３】単面マザースタンパーを示す斜視図である。
【図４】単面マザースタンパーを貼り込むためのブロックと貼込作業に使用するガイドを示す斜視図である。
【図５】ブロックの裏側を示す斜視図である。
【図６】ブロックへの単面マザースタンパーの貼込み方を示した説明図である。
【図７】単面マザースタンパーから１列の多面マザースタンパーを作製するための治具の分解図である。
【図８】図７に示す治具を組み立てて充填材を流し込む状態を示す斜視図である。
【図９】１列の多面マザースタンパーから２Ｐ法により樹脂でできた１列の多面マザースタンパーを複製する手順を示す工程図である。
【図１０】情報記録パターンを複製した基材に保護フィルムと両面テープをラミネートする様子を示す説明図である。
【図１１】１列の多面樹脂マザースタンパーを示す斜視図である。
【図１２】１列の多面樹脂マザースタンパーを貼り込むためのブロックと貼込作業に使用するガイドを示す斜視図である。
【図１３】ブロックへの１列の多面樹脂マザースタンパーの貼込み方を示した説明図である。
【図１４】１列の多面樹脂マザースタンパーから多面樹脂マザースタンパーを作製するための治具の分解図である。
【図１５】単面マザースタンパーから多面マザースタンパーを作製するための治具の分解図である。
【図１６】図１５に示す治具を組み立てて充填材を流し込む状態を示す斜視図である。
【図１７】多面マザースタンパーから２Ｐ法により樹脂でできた多面付けマザースタンパーを複製する手順を示す工程図である。
【図１８】図１７に続く工程を示す図である。
【符号の説明】
１  マザースタンパー
１ａ  単面マザースタンパー
２  保護フィルム
３  両面テープ
４  ブロック
４ａ  穴
４ｂ  雌ネジ
５  ガイド
６  ローラー
７  定盤
８  ベース基材
９  両面テープ
１０  粘着フィルム
１１  枠板
１１ａ  雌ネジ
１１ｂ  注入口
１２  クッション材
１２ａ  穴
１３ベース板
１３ａ  ピン
１３ｂ  穴
１３ｃ  穴
１４  重り
１５  シリコーン樹脂
１６  液状紫外線硬化型樹脂
１７  基材
１７ａ  多面マザースタンパー
１８  ローラー
１９  ＵＶランプ
２０  ブロック
２１  ガイド
２２  ローラー
２３  定盤
２４  ベース基材
２５  両面テープ
２６  粘着フィルム
２７  枠板
２７ａ  雌ネジ
２７ｂ  注入口
２８  クッション材
２８ａ  穴
２９  ベース板
２９ａ  ピン
２９ｂ  穴
２９ｃ  穴
３０  ベース板
３０ａ  ピン
３０ｂ  穴
３１  クッション材
３２  枠板
３２ｂ  注入口
３３  粘着フィルム
３４  両面テープ
３５  ベース基材
３６  定盤
３７  重り
３８  シリコーン樹脂
３９  液状紫外線硬化型樹脂
３９ａ  情報記録パターン
４０  基材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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