(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板テーブル(7)に対してＸ軸方向に移動自在なＸ軸テーブル(1)と、前記Ｘ軸テーブル(1)にＹ軸方向に移動自在に設けられたＹ軸テーブル(2)と、前記Ｙ軸テーブル(2)に対して直交し移動自在に設けられた立板(21)と、前記立板(21)に設けられたラック(10)に接続されＸ軸用カム(110A)及びＹ軸用カム(110B)を有する調心軸(110)と、前記各テーブル(1,2)に設けられ前記各カム(110A,110B)に係合するＸ軸用カム孔(1a)及びＹ軸用カム孔(2a)と、前記基板テーブル(7)に設けられ前記調心軸(110)が挿入される調心ガイド(9)と、前記Ｙ軸テーブル(2)に設けられたホルダ(19)に出入自在に設けられた保持軸(17)を介して設けられたローラベアリング(16)と、前記Ｙ軸テーブル(2)と平行に設けられ前記調心軸(110)の軸方向にばね付勢手段であるスプリング(22)を有する支持ホルダ(23)により移動可能に設けられたリフトアップテーブル(12)と、前記リフトアップテーブル(12)に設けられた駆動モータにより回転し前記ラック(10)に噛合するピニオン(27)と、前記リフトアップテーブル(12)にこれと直交して接続された縦リフトアップテーブル(11)と、前記リフトアップテーブル(12)に接続さればね部材(29A,29B)により開閉自在に付勢された一対の位置決めスライダ(28A,28B)と、前記各位置決めスライダ(28A,28B)の一端に形成され前記ローラベアリング(16)と摺接するテーパ部(28a,28b)と、前記縦リフトアップテーブル(11)の前記位置決めスライダ(28A,28B)とは離れた位置に設けられ開閉自在な一対のクランプ爪(25A,25B)とよりなり、前記Ｙ軸用カム(110B)は前記リフトアップテーブル(12)と前記Ｘ軸用カム(110A)との間に位置しており、前記ラック(10)とピニオン(27)を介して調心軸(110)を前記調心ガイド(9)に挿入して調心ガイド(9)の底部(9a)に当接した後も継続して前記ラック(10)とピニオン(27)により調心軸(110)を付勢すると、前記ピニオン(27)、各クランプ爪(25A,25B)、リフトアップテーブル(12)、縦リフトアップテーブル(11)及び各位置決めスライダ(28A,28B)が前記調心軸(110)の挿入方向とは逆方向に移動し、前記各位置決めスライダ(28A,28B)のテーパ部(28a,28b)間に前記ローラベアリング(16)が介装される構成としたことを特徴とする調心機能付チャッキング機構。
【請求項２】
前記リフトアップテーブル(12)に接続された前記縦リフトアップテーブル(11)に設けられた一対の支持体部(101,102)と、前記各支持体部(101,102)間に設けられたガイド軸(14)に前記ばね部材(29A,29B)によって付勢された一対のスライド軸受(20A,20B)とを備え、前記各スライド軸受(20A,20B)に前記各位置決めスライダ(28A,28B)が設けられていることを特徴とする請求項1記載の調心機能付チャッキング機構。
【請求項３】
前記各クランプ爪(25A,25B)には、複数のボールブッシュ(26)が設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の調心機能付チャッキング機構。
【請求項４】
前記基板テーブル(7)はＹ軸方向に移動自在に設けられていることを特徴とする請求項１ないし３の何れかに記載の調心機能付チャッキング機構。
【請求項５】
前記Ｘ、Ｙ軸テーブル(1,2)に取付けられたＸ，Ｙ軸方向ダンパ(3,4)により前記各テーブル(1,2)の自由状態における外乱による揺動の抑制静定を行うように構成したことを特徴とする請求項１ないし４の何れかに記載の調心機能付チャッキング機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、調心機能付チャッキング機構に関し、特に、調心軸を用いてＸ，Ｙ軸テーブルの位置決めをすると共に、クランプ爪を有する縦リフトアップテーブルに設けられた一対の位置決めスライダにＹ軸テーブルに設けたローラベアリングを介装することにより被搬送体の姿勢のバラツキを吸収するための新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、用いられていたこの種のチャッキング機構としては、一対のクランプ爪で被搬送体をチャッキングし、掴み上げて他の場所に移送させていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来のチャッキング機構は、以上のように構成されていたため、次のような課題が存在していた。すなわち、搬送装置のクランプ爪で強制的に被搬送体をチャッキングするため、被搬送体の位置ずれを修正することができず、次の工程への送り込みが難しく、搬送装置の寿命や信頼性の低下となることもあった。
【０００４】
本発明は、以上のような課題を解決するためになされたもので、特に、調心軸を用いてＸ，Ｙ軸テーブルの位置決めをすると共に、クランプ爪を有する縦リフトアップテーブルに設けられた一対の位置決めスライダにＹ軸に設けたローラベアリングを介装することにより被搬送体の姿勢のバラツキを吸収するようにした調心機能付チャッキング機構を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明による調心機能付チャッキング機構は、基板テーブルに対してＸ軸方向に移動自在なＸ軸テーブルと、前記Ｘ軸テーブルにＹ軸方向に移動自在に設けられたＹ軸テーブルと、前記Ｙ軸テーブルに対して直交し移動自在に設けられた立板と、前記立板に設けられたラックに接続されＸ軸用カム及びＹ軸用カムを有する調心軸と、前記各テーブルに設けられ前記各カムに係合するＸ軸用カム孔及びＹ軸用カム孔と、前記基板テーブルに設けられ前記調心軸が挿入される調心ガイドと、前記Ｙ軸テーブルに設けられたホルダに出入自在に設けられた保持軸を介して設けられたローラベアリングと、前記Ｙ軸テーブルと平行に設けられ前記調心軸の軸方向にばね付勢手段であるスプリングを有する支持ホルダにより移動可能に設けられたリフトアップテーブルと、前記リフトアップテーブルに設けられた駆動モータにより回転し前記ラックに噛合するピニオンと、前記リフトアップテーブルにこれと直交して接続された縦リフトアップテーブルと、前記リフトアップテーブルに接続さればね部材により開閉自在に付勢された一対の位置決めスライダと、前記各位置決めスライダの一端に形成され前記ローラベアリングと摺接するテーパ部と、前記縦リフトアップテーブルの前記位置決めスライダとは離れた位置に設けられ開閉自在な一対のクランプ爪とよりなり、前記Ｙ軸用カムは前記リフトアップテーブルと前記Ｘ軸用カムとの間に位置しており、前記ラックとピニオンを介して調心軸を前記調心ガイドに挿入して調心ガイドの底部に当接した後も継続して前記ラックとピニオンにより調心軸を付勢すると、前記ピニオン、各クランプ爪、リフトアップテーブル、縦リフトアップテーブル及び各位置決めスライダが前記調心軸の挿入方向とは逆方向に移動し、前記各位置決めスライダのテーパ部間に前記ローラベアリングが介装される構成であり、また、前記リフトアップテーブルに接続された前記縦リフトアップテーブルに設けられた一対の支持体部と、前記各支持体部間に設けられたガイド軸に前記ばね部材によって付勢された一対のスライド軸受とを備え、前記各スライド軸受に前記各位置決めスライダが設けられている構成であり、また、前記各クランプ爪には、複数のボールブッシュが設けられている構成であり、さらに、前記基板テーブルはＹ軸方向に移動自在に設けられている構成であり、さらに、Ｘ、Ｙ軸テーブルに取付けられたＸ，Ｙ軸方向ダンパにより、各テーブルの自由状態における外乱による揺動の抑制静定を行う構成である。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、図面と共に本発明による調心機能付チャッキング機構の好適な実施の形態について説明する。
図１及び図２において符号７で示されるものはリニアガイド７ａを介して搬送路７ｂ上をＹ軸方向Ｙに沿って往復動自在に設けられた基板であり、このＹ軸方向を水平方向とし、この搬送路７ｂが地面又は船上等に配設されて用いられる。
【０００７】
前記基板７には、Ｙ軸方向Ｙと直交するＸ軸方向Ｘに沿うＸ軸方向スライドウェイ５Ａ，５Ｂを介してＸ軸テーブル１が移動自在に設けられており、このＸ軸テーブル１には図２で示すＹ軸方向スライドウェイ６Ａ，６Ｂを介してＹ軸テーブル２が移動自在に設けられている。前記各テーブル１，２には、図１及び図２で示されるように各テーブル１，２が移動時の緩衝を行うためのＸ軸方向ダンパー３及びＹ軸方向ダンパー４が設けられ、各軸方向Ｘ，Ｙに約±５ミリの自由度の全域において揺動が抑制されている。すなわち、各ダンパー３，４により各テーブル１，２の自由状態における外乱による揺動を抑制静定させることができるように構成されている。
【０００８】
前記各テーブル１，２には、テーパ状に形成されたＸ軸用カム孔１ａ及びＹ軸用カム孔２ａが形成され、前記基板７側には、これらの各カム孔１ａ，２ａと同一中心を有するように整列配置の凹状の調心ガイド９が形成されている。前記Ｙ軸テーブル２の一端２Ａには柱状の支持ホルダ２３が直交配置されており、この支持ホルダ２３に設けられたスプリング２２及びボールスライダ２４を介して前記Ｙ軸テーブル２と平行配置のリフトアップテーブル１２が矢印Ａの方向に作動自在に設けられ、常時Ｙ軸テーブル２側へ付勢されている。
【０００９】
前記リフトアップテーブル１２の一端には、このリフトアップテーブル１２の面方向と直交するように縦リフトアップテーブル１１が一体状に接続されており、この縦リフトアップテーブル１１の端部１１ａには、図３から図５で示されるように一対の位置決めスライダ２８Ａ，２８Ｂが設けられていると共に、係合凹部１３ａを有するリフトアップフック１３が取付けられている。また、この縦リフトアップテーブル１１の前記端部１１ａから離れた反対位置には図１では示されていないが図２で示される一対のクランプ爪２５Ａ，２５Ｂがモータ１００及び図示しない歯車を介して周知の構成により開閉自在に設けられており、各クランプ爪２５Ａ，２５Ｂには内側にわずかに突出して複数のボールブッシュ２６が配設されている。
【００１０】
前記縦リフトアップテーブル１１に設けられた前記各位置決めスライダ２８Ａ，２８Ｂは、図３から図５で示されるように、前記縦リフトアップテーブル１１に設けられた一対の支持体部１０１，１０２間に設けられたガイド軸１４に、ばね２９Ａ，２９Ｂを介して同軸状に設けられた一対のスライド軸受２０Ａ，２０Ｂに固定されていることにより、各位置決めスライダ２８Ａ，２８Ｂは互いに接合して配設され、各位置決めスライダ２８Ａ，２８Ｂの一端に形成されたテーパ部２８ａ，２８ｂが互いに接合している。
【００１１】
前記Ｙ軸テーブル２に固定された枠型のホルダ１９には、保持軸１７が設けられ、この保持軸１７にはローラベアリング１６がローラ軸１５を介して回転自在に設けられた筒体１６Ａがばね１８を介して先端側に付勢されており、この各位置決めスライダ２８Ａ，２８Ｂがリフトアップテーブル１２と共に上昇すると、ローラベアリング１６が各テーパ部２８ａ，２８ｂを介して各位置決めスライダ２８Ａ，２８Ｂ間に介装され、リフトアップテーブル１２とＹ軸テーブル２間の位置決め、すなわち、各クランプ爪２５Ａ，２５Ｂでチャッキングされる円筒形状の被搬送体１０３のチャッキング時の姿勢バラツキを吸収することができる。
【００１２】
前記縦リフトアップテーブル１１と平行に配設されガイド部材１１ａを介して矢印Ｂの方向に往復移動自在に設けられた立板２１には、ラック１０及びこのラック１０に一体的に接続された調心軸１１０がこの立板２１に対して平行に配設されている。この調心軸１１０には、前記Ｘ軸用カム孔１ａ及びＹ軸用カム孔２ａに係合するためのＸ軸用カム及びＹ軸用カム１１０Ａ，１１０Ｂが設けられ、このラック１１に噛合するピニオン２７の駆動モータ（図示せず）は前記リフトアップテーブル１２側に固定されている。
【００１３】
次に、動作について説明する。まず、各クランプ爪２５Ａ，２５Ｂによって被搬送体１０３がチャッキングされると、この被搬送体１０３の係止部３Ａにリフトアップテーブル１２のリフトアップフック１３が係合し、この状態でモータを駆動してピニオン２７を回転させてラック１０を介して調心軸１１０を図１の右方へ移動させると、Ｘ軸用カム孔１ａ及びＹ軸用カム孔２ａにＸ軸用カム１１０Ａ及びＹ軸用カム１１０Ｂが係合すると同時にその先端１１０Ｃが調心ガイド９の底部９ａに当接することにより、Ｘ，Ｙテーブル１，２の位置合わせが達成される。この状態で、なお継続してピニオン２７を介してラック１０を同一方向へ付勢すると、このピニオン２７及びモータ（図示せず）が接続されたリフトアップテーブル１２が調心軸１１０が移動した方向と逆方向すなわち矢印Ｃの方向に移動するため、各位置決めスライダ２８Ａ，２８Ｂも矢印Ｃ側へ移動して各テーパ部２８ａ，２８ｂ間を経てローラベアリング１６が介装される。この場合、開いた状態に各位置決めスライダ２８Ａ，２８Ｂが保持されるため、Ｙ軸テーブル２とリフトアップテーブル１２の位置決めがなされると共に、被搬送体１０３の周回方向に対する各クランプ爪２５Ａ，２５Ｂの位置決めも修正される。なお、この場合、各クランプ爪２５Ａ，２５Ｂの各ボールブッシュ２６の内端が被搬送体１０３の外周に点状に接触しているため、被搬送体１０３は各クランプ爪２５Ａ，２５Ｂに対して周回しやすく構成されている。
【００１４】
【発明の効果】
本発明による調心機能付チャッキング機構は、以上のように構成されているため次のような効果を得ることができる。すなわち、調心軸を用いてＸ，Ｙ軸テーブルの位置決めをすると共に、クランプ爪を有する縦リフトアップテーブルに設けられた一対の位置決めスライダにＹ軸テーブルに設けたローラベアリングを介装しているため、チャッキングした被搬送体の姿勢位置を正確に位置決めすることができ、次工程に搬送した場合の受け渡し等を正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による調心機能付チャッキング機構を示す正面図である。
【図２】図１にクランプ爪を示した状態の左側面図である。
【図３】図１の要部を示す断面図である。
【図４】図３の左側面図である。
【図５】図１の要部を示す一部断面つき平面図である。
【符号の説明】
１    Ｘ軸テーブル
２    Ｙ軸テーブル
１ａ    Ｘ軸用カム孔
２ａ    Ｙ軸用カム孔
７    基板テーブル
９    調心ガイド
９ａ    底部
１０    ラック
１１    縦リフトアップテーブル
１２    リフトアップテーブル
１４    ガイド軸
１６    ローラベアリング
２１    立板
２５Ａ，２５Ｂ    クランプ爪
２６    ボールブッシュ
２７    ピニオン
２８Ａ，２８Ｂ    位置決めスライダ
２８ａ，２８ｂ    テーパ部
２９Ａ，２９Ｂ    ばね部材
２０Ａ，２０Ｂ    スライド軸受
１１０    調心軸
１１０Ａ    Ｘ軸用カム
１１０Ｂ    Ｙ軸用カム
１０１，１０２    支持体部
【図１】
0004157950.tif 000002
【図２】
0004157950.tif 000003
【図３】
0004157950.tif 000004
【図４】
0004157950.tif 000005
【図５】
0004157950.tif 000006