【事件の表示】
　特許第６１９１５３７号発明「調芯装置」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第６１９１５３７号の請求項１ないし３及び５に係る特許を取り消す。
　特許第６１９１５３７号の請求項４に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　特許第６１９１５３７号の請求項１ないし５に係る特許についての出願は，平成２６年５月１２日に出願され，平成２９年８月１８日にその特許権の設定登録がされ，平成２９年９月６日に特許掲載公報が発行された。その特許についての本件特許異議の申立ての経緯は，次のとおりである。
　平成３０年３月６日　　：　特許異議申立人　鈴木宏和　による特許異議
　　　　　　　　　　　　　　の申立て
　平成３０年６月７日付け：　取消理由通知書（以下，「取消理由」という
　　　　　　　　　　　　　　。）
第２　本件発明
「【請求項１】
　凹球面を有する装置本体と、前記凹球面に嵌合する凸球面を有する調芯部材とを備え、前記凹球面と凸球面との間にエアを供給することにより該凹球面と凸球面とを非接触状態にし、その状態で前記調芯部材を揺動させてワークを対象部位に平行に押し付けるようにした調芯装置において、
　前記調芯装置が、前記凹球面の中心を通るＺ軸の回りの前記調芯部材の回転を規制する回転規制機構を有し、
　前記回転規制機構は、前記調芯部材の回りを取り囲むジョイントフレームと、該ジョイントフレームに、前記Ｚ軸を挟んで該Ｚ軸と直交するＸ軸方向の相対する位置を占めるように形成された孔状又は溝状をなす一対の第１嵌合部と、前記ジョイントフレームに、前記Ｚ軸を挟んで該Ｚ軸及び前記Ｘ軸と直交するＹ軸方向の相対する位置を占めるように形成された孔状又は溝状をなす一対の第２嵌合部と、前記装置本体の前記Ｚ軸を挟んで相対する位置に前記Ｘ軸方向に形成され、前記一対の第１嵌合部に個別に嵌合する一対のＸ軸ピンと、前記調芯部材の前記Ｚ軸を挟んで相対する位置に前記Ｙ軸方向に形成され、前記一対の第２嵌合部に個別に嵌合する一対のＹ軸ピンとを有し、
　前記Ｘ軸ピン及びＹ軸ピンは、均一直径を有する円柱状のピンであり、
　前記第１嵌合部及び第２嵌合部の内壁は、前記Ｘ軸ピン及びＹ軸ピンの先端部側に向けて次第に横幅が拡大する方向に傾斜する傾斜面を有すると共に、該傾斜面の端部に、前記Ｘ軸ピン及びＹ軸ピンが当接する当接部を有する、
ことを特徴とする調芯装置。
【請求項２】
　前記Ｘ軸ピンは、前記第１嵌合部に前記ジョイントフレームの外側から嵌合し、前記Ｙ軸ピンは、前記第２嵌合部に前記ジョイントフレームの内側から嵌合し、前記第１嵌合部の前記傾斜面は、前記ジョイントフレームの外側から内側に向けて該第１嵌合部の横幅が次第に拡大する方向に傾斜し、前記第２嵌合部の前記傾斜面は、前記ジョイントフレームの内側から外側に向けて該第２嵌合部の横幅が次第に拡大する方向に傾斜していることを特徴とする請求項１に記載の調芯装置。
【請求項３】
　前記Ｘ軸ピンは、前記第１嵌合部のＺ軸方向の端部に接触することによって前記ジョイントフレームを支持しており、前記Ｙ軸ピンは、前記第２嵌合部のＺ軸方向の端部と非接触であることを特徴する請求項１又は２に記載の調芯装置。
【請求項４】
　前記第１嵌合部及び第２嵌合部の前記傾斜面は、前記横幅が拡大する方向に直線状に傾斜していることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の調芯装置。
【請求項５】
　前記第１嵌合部及び第２嵌合部はＺ軸方向に延びる溝であり、前記第２嵌合部は、前記ジョイントフレームの前記装置本体側を向く後端面に開口し、前記第１嵌合部は、前記ジョイントフレームの前記後端面と反対側の前端面に開口していることを特徴する請求項１から４の何れかに記載の調芯装置。」
（以下，請求項１ないし５に係る発明を，それぞれ「本件発明１」ないし「本件発明５」という。）
第３　取消理由の概要
　請求項１ないし３及び５に係る特許に対して，当審が平成３０年６月７日付けの取消理由通知書において特許権者に通知した取消理由の要旨は，次のとおりである。
　本件発明１及び２は，甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから，請求項１及び２に係る特許は，特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　本件発明３及び５は，甲第１号証に記載された発明及び甲第５号証の記載に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるから請求項３及び５に係る特許は，特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　よって，請求項１ないし３及び５に係る特許は，取り消されるべきものである。
第４　甲号証の記載
１　甲第１号証
（１）甲第１号証の記載
　取消理由で通知した特開２００７−２７５１６号公報（以下，「甲第１号証」という。）には，図面とともに，次の記載がある。（下線は，当審で付与した。以下同じ。）
「【技術分野】
【０００１】
　
本発明は、凹状半球面と凸状半球面を有する固定部材と可動部材を有し、当該可動部材を対象物（例えば、基板）に押し付けて平行に倣わせるようにした倣い装置に関する。
【０００２】
　例えば、ダイシングされた半導体チップをダイ・ボンディング装置のリードフレーム上に搬送するチップマウンタなどに用いられる倣い装置がある。この倣い装置は、凹状半球面を有する基台に、凸状半球面を有する揺動体が回動可能に支持されている。そして、半導体チップの特定面に、凸状及び凹状半球面の曲率中心にある揺動体のワーク倣い面を当接させると、揺動体が同一平面において互いに直交するＸ軸及びＹ軸を中心に回動する。この回動により、揺動体のワーク倣い面が半導体チップの特定面に合わせて傾動する。これにより、揺動体のワーク倣い面が半導体チップの特定面に対し平行になる。」
「【００１３】
　図１〜図３に示すように、
本実施形態の倣い装置１０は、その主要構成部材として、基台（固定部材）１１と、球面ベース（可動部材）１２と、一対のサイドプレート（支持部材）１３と、回り止めリング（回り止め部材）１４と、押さえ部材１５とを備えている。
【００１４】
　基台１１は、平面視（Ｚ軸方向から見た場合）正方形をなすブロック状に形成されている。
基台１１の一面には、凹状半球面１６が形成されている。
基台１１には、図示しないエアポートが形成されている。エアポートは、図示しない圧力供給源に接続され、その圧力供給源から加圧流体としての加圧エアが基台１１に形成された図示しないエア通路を介して凹状半球面１６に供給されるようになっている。
【００１５】
　
球面ベース１２は、球面部１８とベース部１９とから構成される。球面部１８には、凸状半球面２０が形成されている。凸状半球面２０は、基台１１の凹状半球面１６と同一の曲率半径で形成されている。このため、球面ベース１２は、基台１１に対して装着されると、凸状半球面２０が凹状半球面１６に係合される。
【００１６】
　また、
球面ベース１２には、凸状半球面２０の反対面にベース部１９が形成されている。
ベース部１９の外周には、平坦状に切り欠かれた平坦面２１が形成されている。平坦面２１は、対向する２ヶ所に形成されている。
【００１７】
　
各平坦面２１には、ピン挿入孔２２が形成されている。そして、ベース部１９の各ピン挿入孔２２には、各１本の回動規制ピン（第１突部（突部））２３が装着されている。
回動規制ピン２３は、その先端がベース部１９の外方に突出するように装着されている。一対の回動規制ピン２３は、ベース部１９の径方向に沿って、同一軸線上に配置される。本実施形態において一対の回動規制ピン（第２突部（突部））２３は、Ｘ軸方向に沿って直線的に配置される。
ベース部１９には、押さえ部材１５を装着するための複数（本実施形態では４つ）のねじ孔２４が形成されている。
【００１８】
　サイドプレート１３は、平面視（Ｙ軸方向から見た場合）長方形の平板状に形成されている。サイドプレート１３には、複数（本実施形態では２つ）のねじ孔２５が形成されている。サイドプレート１３は、基台１１に対して図示しないボルトなどの締結具により締結固定されている。
【００１９】
　また、
各サイドプレート１３には、ピン挿入孔２６が形成されている。そして、各サイドプレート１３のピン挿入孔２６には、各１本の回動規制ピン２７が装着されている。
一対の回動規制ピン２７は、サイドプレート１３が基台１１に装着されると、その先端が対向し、同一軸線上に配置される。本実施形態において一対の回動規制ピン２７は、Ｙ軸方向に沿って直線的に配置される。
【００２０】
　
本実施形態の倣い装置１０では、基台１１に対して球面ベース１２と一対のサイドプレート１３が装着されると、各回動規制ピン２３，２７は、図１に示すように、Ｚ軸方向に同一高さ位置で配置される。すなわち、各回動規制ピン２３，２７の中心軸線は、同一高さ位置に配置される。また、球面ベース１２の回動規制ピン２３とサイドプレート１３の回動規制ピン２７は、図２に示すように、直交配置される。本実施形態では、Ｘ軸とＹ軸によって形成されるＸＹ平面において直交配置される。そして、回動規制ピン２３と回動規制ピン２７は、Ｚ軸周りに９０度間隔で、かつ交互に配置される。
【００２１】
　回り止めリング１４は、球面ベース１２の球面部１８と同一径をなす外周面及びベース部１９よりも大きい径をなす内周面を有するリング状に形成されている。
回り止めリング１４は、その内周面で球面ベース１２のベース部１９を包囲するように球面ベース１２に対して装着されている。回り止めリング１４の外周には、平坦状に切り欠かれた平坦面２８が形成されている。平坦面２８は、４ヶ所に形成されている。各平坦面２８には、ピン挿入溝２９が形成されている。ピン挿入溝２９は、断面凹状（矩形溝）に形成されているとともに回り止めリング１４の外周面と内周面とを貫通して形成されている。また、ピン挿入溝２９は、回り止めリング１４の径方向に沿って同一深さで、かつ、直線的に形成されている。
【００２２】
　各ピン挿入溝２９には、回り止めリング１４が球面ベース１２に装着されると、図１及び図２に示すように、
球面ベース１２の回動規制ピン２３とサイドプレート１３の回動規制ピン２７が摺動可能に係合される。各ピン挿入溝２９は、回動規制ピン２３，２７の直径よりも若干大きい溝幅と溝深で形成されている。すなわち、各ピン挿入溝２９は、回動規制ピン２３，２７が挿入された際、ピン挿入溝２９と回動規制ピン２３，２７の外周面との間に若干の隙間（１０μｍ）が設けられるように形成されている。
【００２３】
　押さえ部材１５は、平面視（Ｚ軸方向から見た場合）円形の平板状に形成されている。押さえ部材１５の外径は、回り止めリング１４の外径と同一径で形成されている。押さえ部材１５には、複数（本実施形態では４つ）のねじ孔３０が形成されている。
押さえ部材１５は、球面ベース１２に対して図示しないボルトなどの締結具により締結固定されている。また、押さえ部材１５において球面ベース１２に装着される装着面と反対の面には、例えば、基板などの対象物の上面（特定面）に半導体チップを圧着するための図示しないツールが装着される。
したがって、本実施形態の倣い装置１０では、ツールの先端面がワークに当接する面、すなわち、倣い面となる。
【００２４】
　次に、本実施形態の倣い装置１０で用いられる回動規制ピン２３，２７についてその構成を詳しく説明する。
　
本実施形態の回動規制ピン２３，２７は、図４（ａ），（ｂ）に示すように、先端部（係合部位）３１と挿入部３２とからなる。
挿入部３２は、球面ベース１２のピン挿入孔２２及びサイドプレート１３のピン挿入孔２６に挿入される部位である。
先端部３１は、球面ベース１２及びサイドプレート１３のそれぞれの外方に突出される部位である。回動規制ピン２３，２７は、その径方向断面が円形となる軸状に形成されている。
回動規制ピン２３，２７の先端部３１は、軸方向中央が膨出し、その中央両側が縮径され、その全体が樽形となるように形成されている。
先端部３１は、その全体が曲面をなすように形成されている。
挿入部３２は、軸方向全体に亘って同一径をなす円柱状に形成されている。回動規制ピン２３，２７は、径方向断面が円形をなす平行ピンの先端が樽形となるように旋削などにより削り出すことで作製される。
【００２５】
　このように構成された本実施形態の倣い装置１０では、基台１１に対して球面ベース１２と一対のサイドプレート１３が装着される。そして、
この状態で回り止めリング１４が球面ベース１２に装着されると、図１及び図２に示すように、各ピン挿入溝２９に各回動規制ピン２３，２７が挿入され、係合される。これにより、球面ベース１２は、基台１１に対してＸ軸周り及びＹ軸周りへの回動（揺動）が許容される。一方で、球面ベース１２は、各回動規制ピン２３，２７が回り止めリング１４の各ピン挿入溝２９に係合されることにより、Ｚ軸周りへの回動が規制される。
【００２６】
　以下、本実施形態の倣い装置１０の作用を説明する。
　
倣い装置１０は、エアポートから加圧エアが供給されると、凹状半球面１６に加圧エアが噴出される。これにより、基台１１（凹状半球面１６）と球面ベース１２（凸状半球面２０）との界面に静圧がもたらされ、球面ベース１２は基台１１から離間する。それと同時に、球面ベース１２は、磁石Ｍの磁力によって基台１１に引き寄せられる。したがって、球面ベース１２は、基台１１から離れる力と基台１１に引き寄せられる力とが釣り合うことにより、凹状半球面１６と凸状半球面２０とが非接触な状態で回動可能に支持される。
【００２７】
　
この状態において、倣い装置１０が対象物（基板など）に押し付けられる。このとき、対象物がＹ軸方向に沿って傾斜していれば、その傾斜角度に追従するように球面ベース１２はＸ軸周りに回動する。これにより、対象物がＹ軸方向に傾斜してもいても、ツールの先端面（倣い面）は対象物に対して平行に倣う。一方、対象物がＸ軸方向に沿って傾斜していれば、その傾斜角度に追従するように球面ベース１２はＹ軸周りに回動する。これにより、対象物がＸ軸方向に傾斜していても、ツールの先端面（倣い面）は対象物に対して平行に倣う。
【００２８】
　また、倣い装置１０では、球面ベース１２のＸ軸周り及びＹ軸周りの回動（揺動）を許容するために、回動規制ピン２３，２７の外周とピン挿入溝２９の内周との間に寸法差（本実施形態では１０μｍ）が設けられている。この寸法差は、球面ベース１２のＺ軸周りの回動量、すなわち、回り止め精度に影響するため、その量は僅かな値に設定される。そして、本実施形態の倣い装置１０では、回動規制ピン２３，２７が曲面を有するように形成されているので、組み付け時には回動規制ピン２３，２７とピン挿入溝２９との相対的な位置関係（位置、角度）の調整が不要となる。すなわち、
角部を有するピンの場合（例えば、矩形ピン）には、前記ピンを挿入するピン挿入溝に対する前記ピンの位置や角度を考慮して組み付けないと、球面ベース１２の回動（揺動）により前記ピンがピン挿入溝にこじれることとなる。
【００２９】
　これに対して、
本実施形態の回動規制ピン２３，２７は、曲面を有しているので、ピン挿入溝２９に対してこじれず、当該曲面が逃げの役割を担う。このため、組み付け精度を厳しく設定することなく（ピン挿入溝２９に対する回動規制ピン２３，２７の位置や角度を高精度に調整することなく）、組み付けられる。したがって、組み付け工数の削減を図りつつ、球面ベース１２のＸ軸周り及びＹ軸周りの回動量（揺動量）も確保され、位置決め精度を向上し得る。図５（ａ）は、回り止めリング１４のピン挿入溝２９に回動規制ピン２３，２７が真っ直ぐに挿入された状態を示し、図５（ｂ）は、ピン挿入溝２９に回動規制ピン２３，２７が傾いて挿入された状態を示す。図５（ｂ）に示すように回動規制ピン２３，２７が挿入されても、回動規制ピン２３，２７の先端部３１が曲面を有することでピン挿入溝２９に対してこじれない。本実施形態では、先端部３１が曲面を有することにより、当該先端部３１の先端がピン挿入溝２９の内面に当接せず逃がされ、接触を回避する接触回避部となる。
【００３０】
　したがって、本実施形態によれば、以下に示す効果を得ることができる。
　（１）球面ベース１２の回り止めとなる回動規制ピン２３，２７を、その係合部３１が曲面を有するように形成した。倣い装置１０では、回動規制ピン２３，２７がピン挿入溝２９に挿入されることにより、球面ベース１２のＺ軸周りの回動が規制される。そして、倣い装置１０では、球面ベース１２がＸ軸周り又はＹ軸周りに回動した際、回動規制ピン２３，２７がピン挿入溝２９の内面にてこじれない。このため、倣い装置１０の高精度化（位置決め精度の高精度化）を図ることができる。また、回動規制ピン２３，２７が曲面を有することにより、ピン挿入溝２９の内面でこじないので、倣い装置１０の組み付け時には回動規制ピン２３，２７とピン挿入溝２９との相対的な位置関係（位置や角度）を精度良く調整する必要がない。したがって、製造コスト増を抑制できる。
【００３１】
　（２）回動規制ピン２３，２７は、球面ベース１２及びサイドプレート１３に対して圧入固定又は接着固定した。このため、回動規制ピン２３，２７の組み付けを簡素化することができる。すなわち、回動規制ピン２３，２７がピン挿入溝２９の内面でこじないので、回動規制ピン２３，２７の組み付け精度を厳しく設定する必要がなく、圧入固定や接着固定で対応することができる。したがって、倣い装置１０の製造工程を簡素化でき、製造コスト増を抑制できる。
【００３２】
　（３）回動規制ピン２３，２７を樽形に形成した。このため、回動規制ピン２３，２７を平行ピンなどの丸棒材から旋削などにより簡単に作製することができる。したがって、倣い装置１０の製造コスト増を抑制できる。
【００３３】
　（４）サイドプレート１３を、基台１１に対してボルトなどにより締結固定した。このため、回動規制ピン２３，２７の組み付けを簡素化することができる。すなわち、回動規制ピン２３，２７がピン挿入溝２９の内面でこじないので、回動規制ピン２３，２７の組み付け精度を厳しく設定する必要がなく、締結固定で対応することができる。したがって、倣い装置１０の製造工程を簡素化でき、製造コスト増を抑制できる。」
「【００３５】
　○　
実施形態において、回動規制ピン２３，２７やピン挿入溝２９の形状を、図７及び図８に示すように変更しても良い。
（２）甲第１号証発明について
　上記（１）によれば，甲第１号証には，以下の発明（以下，「甲第１号証発明」という。）が記載されていると認められる。
「凹状半球面１６を形成する基台（固定部材）１１と，凸状半球面２０を形成する球面部１８とベース部１９とから構成される球面ベース１２と，一対のサイドプレート１３と，回り止めリング１４と，球面ベースに装着し装着面と反対の面にツールを装着する押さえ部材１５とを備え，
　エアポートから加圧エアが供給されると，凹状半球面１６に加圧エアが噴出され，凹状半球面１６と凸状半球面２０とを非接触な状態で回動可能に支持し，ツールの先端面（ワークに当接する面）が対象物に対して平行に倣う，倣い装置１０において，
　球面ベース１２のベース部１９を包囲するように球面ベース１２に対して装着されることにより，球面ベース１２が，基台１１に対してＸ軸周り及びＹ軸周りへの回動（揺動）が許容され，Ｚ軸周りへの回動を規制する，回り止めリング１４を有し，
　回り止めリング１４の外周には，平坦状に切り欠かれた平坦面２８を４ヶ所形成し，各平坦面２８にピン挿入溝２９が形成され，ピン挿入溝２９は，断面凹状（矩形溝）に形成し，回り止めリング１４の外周面と内周面とを貫通して形成するとともに，回り止めリング１４の径方向に沿って同一深さで，かつ，直線的に形成し，
　ベース部１９の外周には，Ｘ軸方向に沿って直線的に対向する２ヶ所に平坦状に切り欠かれた平坦面２１を形成し，各平坦面２１には，ピン挿入孔２２が形成され，ピン挿入孔２２に，その先端がベース部１９の外方に突出するように，一対の回動規制ピン２３をＸ軸方向に沿って直線的に配置し，
　各サイドプレート１３には，ピン挿入孔２６を形成し，各１本の回動規制ピン２７を装着し，一対の回動規制ピン２７は，サイドプレート１３が基台１１に装着されると，その先端が対向するよう，Ｙ軸方向に沿って直線的に配置し，
　各回動規制ピン２３，２７は，径方向断面が円形をなす平行ピンの先端部３１は軸方向中央が膨出し，その中央両側が縮径され，その全体が樽形となるようにし，
　各回動規制ピン２３，２７が回り止めリング１４の各ピン挿入溝２９に係合されることにより，Ｚ軸周りへの回動が規制されるとともに，回動規制ピン２３，２７の先端部３１が曲面を有することでピン挿入溝２９に対してこじれない
　倣い装置１０。」
２　甲第５号証
（１）甲第５号証の記載
　取消理由で通知した特開２００２−７６０３０号公報（以下，「甲第５号証」という。）には，図面とともに，次の記載がある。
「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回り止め装置及び倣い装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、ダイシングされた半導体チップをダイ・ボンディング装置のリードフレーム上に搬送するチップマウンタ等に用いられる倣い装置がある。この倣い装置は、凹状半球面を有する基台に、凸状半球面を有する揺動体が回動可能に支持されている。そして、半導体チップの特定面に、凸状及び凹状半球面の曲率中心にある揺動体のワーク当接面（倣い面）を当接させると、揺動体が同一平面において互いに直交するＸ軸及びＹ軸を中心に回動する。この回動により、揺動体のワーク当接面が半導体チップの特定面に合わせて傾動する。これにより、揺動体のワーク当接面が半導体チップの特定面に対し平行になる。
【０００３】
かかる倣い装置においては、基台と揺動体との摩擦抵抗が極めて低いため、揺動体はＸ軸及びＹ軸周りのみならず、Ｘ軸及びＹ軸を含む平面に対して直交するＺ軸周りにも回動してしまう。この結果、倣い精度に悪影響を及ぼす。
「【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、
従来の回り止め装置においては、各揺動ブロック同士を組み付けるために、それらを連結する多くの連結部材が必要となり部品点数が多い。
各ブロックと支持部材とを組み付けるのに多くのネジを用いるため、組付けに手間がかかる。従って、構造が複雑化するとともに製造コストが高くなるという問題がある。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、加工や組み付けを簡単にすることにより、製造コストの低減を図ることが可能な回り止め装置及びこれを用いた倣い装置を提供することにある。
「【００４８】（第２実施形態）次に、この発明の第２の実施形態を、前記第１の実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００４９】さて、この第２の実施形態では、図６，図７，図９，図１０に示すように、揺動体２０の下面には、直方体状をなす第１の部材としての支持部材５１がネジ５２によって取付固定されている。支持部材５１は、揺動体２０の中心を通りかつＸ軸方向に沿って延設されている。本実施形態では、この支持部材５１の先端部が第１突部５１ａとなっており、その第１突部５１ａは揺動体２０の下端周縁よりも外方に突出されている。
【００５０】
揺動体２０の下部周縁は切り欠かれており、その切欠き部分２０ｂには第２の部材としてのリング状部材５３が設けられている。
【００５１】Ｚ軸方向において、第１突部５１ａと第１溝部５３ａとの間には、隙間Ｓ１が形成されている。又、揺動体２０とリング状部材５３との間には隙間Ｓ３が形成されている。この隙間Ｓ１，Ｓ３は、揺動体２０がＹ軸周りに回動すると、隙間Ｓ１，Ｓ３の存在によって、両部材５１，５３同士及び部材２０，５３同士がそれぞれ当たらないように「逃げ」の役割を果たすためである。特に、本実施形態では第１突部５１ａと第１溝部５３ａとが対向する面には、バネ収容穴５４が形成され、その内部には第１圧縮バネ５５が収容されている。この第１圧縮バネ５５の存在により隙間Ｓ１，Ｓ３が適度な間隔に保持される。なお、第１圧縮バネ５５のバネ定数は、１〜１０ｇｆ／ｍｍの範囲に設定されている。
【００５２】図６，図７，図８，図１０に示すように、
基台１１の両側部には第３の部材としてのＬ状支持部材６０がネジ６１によって取付固定されている。Ｌ状支持部材６０の先端部は、揺動体２０の中心を通りかつＹ軸方向に沿って延設されている。本実施形態では、このＬ状支持部材６０の先端部が第２突部６０ａとなっており、その第２突部６０ａは揺動体２０の切欠き部分２０ｂに配置されている。
【００５３】
前記リング状部材５３には、揺動体２０の中心を通りかつＹ軸方向に沿って延びる第２溝部５３ｂが形成されている。この第２溝部５３ｂ内には、前記Ｌ状支持部材６０の先端部にある第２突部６０ａが摺動可能に係合されている。第２突部６０ａの両側面と、第２溝部５３ｂの両側面とは互いに接触している。そして、揺動体２０がＹ軸周りに回動することにより、支持部材５１が揺動体２０と一体的に回動する。
【００５４】
Ｚ軸方向において、第２突部６０ａと第２溝部５３ｂとの間には、隙間Ｓ２が形成されている。この隙間は、揺動体２０がＸ軸周りに回動すると、隙間Ｓ２の存在によって両部材５３，６０同士が当たらないように「逃げ」の役割を果たすためである。特に、本実施形態では第２突部６０ａと第２溝部５３ｂとが対向する面には、バネ収容穴６２が形成され、その内部には第２圧縮バネ６３が収容されている。この第２圧縮バネ６３の存在により前記隙間Ｓ２が適度な間隔に保持される。要するに、リング状部材５３は両圧縮バネ５５，６３を介して支持部材５１及びＬ状支持部材６０に支持されている。
【００５５】なお、支持部材５１及びＬ状支持部材６０は金属から形成され、リング状部材５３はカーボンを含浸した合成樹脂から形成されている。つまり、リング状部材５３は、軽量であって摩擦係数が小さい材料となっている。そのため、各部材５１，５３，６０が相対移動する際に働く摩擦抵抗が低減されるようになっている。
【００５６】次に、第２実施形態における倣い装置１０の作用について説明する。第１実施形態で既に説明したように、揺動体２０は環状多孔質材１２に対して非接触な状態で回動可能に支持された状態で、倣い装置１０全体が下降して基板Ｋに接近すると、ツール２１の先端面が基板Ｋに当接する。ここで、基板Ｋの上面がＹ軸方向に沿って傾斜していれば、その傾斜角度に追従するように、揺動体２０はＸ軸周りに回動する。
【００５７】
こ
【００５８】これに対して、基板Ｋの上面がＸ軸方向に沿って傾斜していれば、その傾斜角度に追従するように、揺動体２０はＹ軸周りに回動する。このとき、支持部材５１は、揺動体２０と一体的にＹ軸周りに回動する。これはリング状部材５３と支持部材５１との間に形成された隙間Ｓ１、及びリング状部材５３と揺動体２０との間に形成された隙間Ｓ３によって、支持部材５１と揺動体２０の移動が許容されているからである。以上のように、基板ＫがＸ軸方向に傾斜していても、ツール２１のワーク当接面２１ａは基板Ｋの表面に対して平行に倣う。
【００５９】ツール２１が基板Ｋに当接される際において、揺動体２０及びツール２１はＺ軸周りに回動することがなく、ツール２１のワーク当接面２１ａは、基板Ｋの表面に対し平行となるように倣う。これは、Ｙ軸方向において、第１突部５１ａの両側面と、第１溝部５３ａの両側面とが接しており、更にＸ軸方向において、第２突部６０ａの両側面と、第２溝部５３ｂの両側面とが互いに接しているからである。」
（２）甲第５号証記載事項について
　上記（１）によれば，甲第５号証には，以下の事項（以下，「甲第５号証記載事項」という。）が記載されていると認められる。
甲第５号証記載事項
「倣い装置において，
　加工や組み付けを簡単にすることにより，製造コストの低減を図るために，
　揺動体２０の下部周縁が切り欠かれ，その切欠き部分２０ｂに第２の部材としてのリング状部材５３が設けられ，
　基台１１の両側部にＬ状支持部材６０がネジ６１によって取付固定され，Ｌ状支持部材６０の先端部が第２突部６０ａとなり，その第２突部６０ａは揺動体２０の切欠き部分２０ｂに配置され，
　前記リング状部材５３には，揺動体２０の中心を通りかつＹ軸方向に沿って延びる第２溝部５３ｂが形成され，
　第２突部６０ａの両側面と，第２溝部５３ｂの両側面とは互いに接触し，摺動可能に係合されている
　こと。」
第５　対比・判断
１　本件発明１について
（１）本件発明１と甲第１号証発明との対比
ア　甲第１号証発明の「倣い装置１０」は，「ツールの先端面（ワークに当接する面）が対象物に対して平行に倣う」装置であるから，本件発明１の「ワークを対象部位に平行に押し付けるように」することと同じ動作をしている認められる。そうすると，甲第１号証の発明の「倣い装置１０」は，本件発明１の「調芯装置」に相当する。
イ　甲第１号証発明の「凹状半球面１６を形成する基台（固定部材）１１」は，本件発明１の「凹球面を有する装置本体」に相当する。
ウ　甲第１号証発明の「凸状半球面２０を形成する球面部１８とベース部１９とから構成される球面ベース１２」の「凸状半球面２０」は，「凹状半球面１６と凸状半球面２０とを非接触な状態で回動可能に支持し」ているから，このことは，本件発明１の「前記凹球面に嵌合する凸球面」に相当する。
　そうすると，甲第１号証発明の「凸状半球面２０を形成する球面部１８とベース部１９とから構成される球面ベース１２」は，本件発明１の「前記凹球面に嵌合する凸球面を有する調芯部材」に相当する。
エ　甲第１号証発明の「エアポートから加圧エアが供給されると，凹状半球面１６に加圧エアが噴出され，凹状半球面１６と凸状半球面２０とを非接触な状態」とすることは，本件発明１の「前記凹球面と凸球面との間にエアを供給することにより該凹球面と凸球面とを非接触状態」にすることに相当し，また，甲第１号証発明の「凹状半球面１６と凸状半球面２０とを非接触な状態で回動可能」にすることは，本件発明１の「該凹球面と凸球面とを非接触状態にし、その状態で前記調芯部材を揺動させ」ることに相当する。
オ　甲第１号証発明の「回り止めリング１４」は「球面ベース１２のベース部１９を包囲するように球面ベース１２に対して装着され」ているから，本件発明１の「前記調芯部材の回りを取り囲むジョイントフレーム」に相当する。
カ　甲第１号証発明の「回り止めリング１４」は，「外周には，平坦状に切り欠かれた平坦面２８を４ヶ所形成し，各平坦面２８にピン挿入溝２９が形成され」ている。そして，この４ヶ所に形成された「ピン挿入溝２９」は，「Ｘ軸方向に沿って直線的に配置」された「一対の回動規制ピン２３」及び「Ｙ軸方向に沿って直線的に配置」された「一対の回動規制ピン２７」と係合される。
　そうすると，甲第１号証発明の４ヶ所に形成された「ピン挿入溝２９」のうち，「Ｘ軸方向に沿って直線的に配置」された「一対の回動規制ピン２３」に係合する「ピン挿入溝２９」は，本件発明１の「前記Ｚ軸を挟んで該Ｚ軸と直交するＸ軸方向の相対する位置を占めるように形成された孔状又は溝状をなす一対の第１嵌合部」に相当する。
　また，甲第１号証発明の４ヶ所に形成された「ピン挿入溝２９」のうち，「Ｙ軸方向に沿って直線的に配置」された「一対の回動規制ピン２７」に係合する「ピン挿入溝２９」は，本件発明１の「前記Ｚ軸を挟んで該Ｚ軸及び前記Ｘ軸と直交するＹ軸方向の相対する位置を占めるように形成された孔状又は溝状をなす一対の第２嵌合部」に相当する。
　さらに，甲第１号証発明の「一対の回動規制ピン２３」及び「一対の回動規制ピン２７」は，それぞれ，本件発明１の「前記装置本体の前記Ｚ軸を挟んで相対する位置に前記Ｘ軸方向に形成され、前記一対の第１嵌合部に個別に嵌合する一対のＸ軸ピン」及び「前記調芯部材の前記Ｚ軸を挟んで相対する位置に前記Ｙ軸方向に形成され、前記一対の第２嵌合部に個別に嵌合する一対のＹ軸ピン」に相当する。
キ　甲第１号証発明の「径方向断面が円形をなす平行ピンの先端部３１は軸方向中央が膨出し，その中央両側が縮径され，その全体が樽形となる」「回動規制ピン２３，２７」と，本件発明１の「前記Ｘ軸ピン及びＹ軸ピン」が「均一直径を有する円柱状のピン」であることとは，「前記Ｘ軸ピン及びＹ軸ピンは，径方向断面が円形をなすピン」である点で共通する。
ク　上記「ア」ないし「キ」から，本件発明１と甲第１号証発明とは以下の点で一致し，また，相違する。
［一致点］
「凹球面を有する装置本体と，前記凹球面に嵌合する凸球面を有する調芯部材とを備え，前記凹球面と凸球面との間にエアを供給することにより該凹球面と凸球面とを非接触状態にし，その状態で前記調芯部材を揺動させてワークを対象部位に平行に押し付けるようにした調芯装置において，
　前記調芯装置が，前記凹球面の中心を通るＺ軸の回りの前記調芯部材の回転を規制する回転規制機構を有し，
　前記回転規制機構は，前記調芯部材の回りを取り囲むジョイントフレームと，該ジョイントフレームに，前記Ｚ軸を挟んで該Ｚ軸と直交するＸ軸方向の相対する位置を占めるように形成された孔状又は溝状をなす一対の第１嵌合部と，前記ジョイントフレームに，前記Ｚ軸を挟んで該Ｚ軸及び前記Ｘ軸と直交するＹ軸方向の相対する位置を占めるように形成された孔状又は溝状をなす一対の第２嵌合部と，前記装置本体の前記Ｚ軸を挟んで相対する位置に前記Ｘ軸方向に形成され，前記一対の第１嵌合部に個別に嵌合する一対のＸ軸ピンと，前記調芯部材の前記Ｚ軸を挟んで相対する位置に前記Ｙ軸方向に形成され，前記一対の第２嵌合部に個別に嵌合する一対のＹ軸ピンとを有し，
　前記Ｘ軸ピン及びＹ軸ピンは，径方向断面が円形をなすピンである，
ことを特徴とする調芯装置。」
［相違点１］
　本件発明１は「前記Ｘ軸ピン及びＹ軸ピンは、均一直径を有する円柱状のピンであり、前記第１嵌合部及び第２嵌合部の内壁は、前記Ｘ軸ピン及びＹ軸ピンの先端部側に向けて次第に横幅が拡大する方向に傾斜する傾斜面を有すると共に、該傾斜面の端部に、前記Ｘ軸ピン及びＹ軸ピンが当接する当接部を有する」のに対して，甲第１号証発明はそのようになっていない点。
（２）相違点に関する当審判断
ア　［相違点１］について
（ア）上記［相違点１］について検討すると，甲第１号証段落【００３５】に「実施形態において、回動規制ピン２３，２７やピン挿入溝２９の形状を、図７及び図８に示すように変更しても良い。」と記載されているように，「回動規制ピン２３，２７」が「ピン挿入溝２９」の内面でこじないようにするために，甲第１号証発明の「回動規制ピン２３，２７」や「ピン挿入溝２９」の形状を変更することは，当業者が容易に為し得る事項である。
（イ）その際に，「回動規制ピン２３，２７」と「ピン挿入溝２９」の形状の関係を逆とし，すなわち，「回動規制ピン２３，２７」を「径方向断面が円形をなす平行ピンの先端部３１は軸方向中央が膨出し，その中央両側が縮径され，その全体が樽形」とし，「ピン挿入溝２９」を「回り止めリング１４の径方向に沿って同一深さで，かつ，直線的に形成」することに換えて，「回動規制ピン２３，２７」を軸方向に沿って同一の形状とし，かつ，直線的に形成し，「ピン挿入溝２９」を回り止めリング１４の径方向に沿って「回動規制ピン２３，２７」の先端に対応する部分について，中央が膨出する形状とすることは，均等物を置換するものであるから，当業者が適宜為し得る設計変更に過ぎない。
（ウ）そして，本件発明１の効果は，「Ｘ軸ピン及びＹ軸ピンと第１嵌合部及び第２嵌合部の加工及び製造が容易になって低コスト化を図ることができる。」（本件特許明細書段落【００１２】）とされているところ，本件発明４のように「直線上に傾斜している」との限定がないから，本件発明１は，第１嵌合部及び第２嵌合部の先端部側の内壁が，先端部側に向けて次第に横幅が拡大する方向に傾斜する曲面であるものを含むものである。
　してみると，甲第１号証発明において，先端が「樽形」となる「回動規制ピン２３，２７」と，「径方向に沿って同一深さで，かつ，直線的に形成」された「ピン挿入溝２９」の組合せが開示されているところ，これに換えて，「均一直径を有する円柱状のピン」と，「回動規制ピン２３，２７」の先端に対応する「内壁」が「傾斜面を有する」「第１嵌合部及び第２嵌合部」の組合せを採用すると，確かにピン自体は加工及び製造が容易になるが，これに反してピン挿入溝の方は曲面を含む複雑な形状になるのであるから，組合せ全体を見れば「加工及び製造が容易になって低コスト化を図ることができる」とは認められず，甲第１号証発明と比して，本件発明１が格別の有利な効果を有するとはいえない。
（エ）したがって，本件発明１は，甲第１号証発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから，請求項１に係る特許は，特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
２　本件発明２について
（１）本件発明２と甲第１号証発明との対比
ア　本件発明２と甲第１号証発明とを対比すると，上記［相違点１］に加え，以下の点で相違し，その余の点で一致する。
［相違点２］
　本件発明２は「前記第１嵌合部の前記傾斜面は、前記ジョイントフレームの外側から内側に向けて該第１嵌合部の横幅が次第に拡大する方向に傾斜し、前記第２嵌合部の前記傾斜面は、前記ジョイントフレームの内側から外側に向けて該第２嵌合部の横幅が次第に拡大する方向に傾斜している」のに対して，甲第１号証発明はそのようになっていない点。
（２）相違点に関する当審判断
ア　［相違点１］について
　上記［相違点１］に係る構成は，上記「１（２）ア」で検討したように，甲第１号証の記載から，当業者が容易に為し得たものである。
イ　［相違点２］について
　甲第１号証発明に，上記「１（２）ア」の設計変更をすれば，甲第１号証発明は，［相違点２］に係る構成と同様の構成を有することは明らかである。
ウ　そして，上記「１（２）ア（ウ）」で検討したように，甲第１号証発明に比して，本件発明２が格別の有利な効果を有するとはいえない。
エ　したがって，本件発明２は，甲第１号証発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから，請求項２に係る特許は，特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
３　本件発明３について
（１）本件発明３と甲第１号証発明との対比
ア　本件発明３と甲第１号証発明とを対比すると，上記［相違点１］及び［相違点２］に加え，以下の点で相違し，その余の点で一致する。
［相違点３］
　本件発明３は「前記Ｘ軸ピンは、前記第１嵌合部のＺ軸方向の端部に接触することによって前記ジョイントフレームを支持して」いるのに対して，甲第１号証発明はそのようになっていない点。
（２）相違点に関する当審判断
ア　［相違点１］及び［相違点２］について
　［相違点１］及び［相違点２］に係る構成は，上記「１（２）ア」及び「２（２）イ」で検討したように，甲第１号証の記載から，当業者が容易に為し得たものである。
イ　［相違点３］について
（ア）甲第５号証記載事項にあるように，甲第５号証には，「前記リング状部材５３には，揺動体２０の中心を通りかつＹ軸方向に沿って延びる第２溝部５３ｂが形成され，第２突部６０ａの両側面と，第２溝部５３ｂの両側面とは互いに接触し，摺動可能に係合されている」構成が示されており，甲第５号証記載事項の「リング状部材５３」，「第２溝部５３ｂ」及び「第２突部６０ａ」は，それぞれ，本件発明３の「ジョイントフレーム」，「第１嵌合部」及び「Ｘ軸ピン」に相当し，甲第５号証には，［相違点３］に係る「ジョイントフレーム」，「第１嵌合部」及び「Ｘ軸ピン」と同様の関係が示されているから，［相違点３］に係る構成は，本件特許の出願日前に公知の構成であったといえる。
（イ）そして，甲第１号証発明において，「加工や組み付けを簡単にすることにより，製造コストの低減を図るために」，「回り止めリング１４」を支持する「押さえ部材１５」に換えて，上記公知の構成を採用し，［相違点３］に係る構成とすることに，格別の困難性は認められない。
ウ　そうすると，本件発明３の効果は，甲第１号証及び甲第５号証の記載に基づいて，当業者が予測しうるものであり，格別のものではない。
エ　したがって，本件発明３は，甲第１号証発明及び甲第５号証の記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから，請求項３に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
４　本件発明４について
（１）特許異議申立人は，本件特許発明４は，甲第１号証発明から容易想到であり，「前記第１嵌合部及び第２嵌合部の前記傾斜面は、前記横幅が拡大する方向に直線状に傾斜している」点（以下，「［相違点４］」という。）は，甲第２号証を参照すれば設計的事項であると主張する。
（２）しかし，甲第１号証発明の「回動規制ピン２３，２７」は，「径方向断面が円形をなす平行ピンの先端部３１は軸方向中央が膨出し，その中央両側が縮径され，その全体が樽形」であるから，上記「１（２）ア」で検討した，「回動規制ピン２３，２７」と「ピン挿入溝２９」の形状の関係を逆としても，「回動規制ピン２３，２７」の先端に対応する「内壁」の「傾斜面を有する」「第１嵌合部及び第２嵌合部」は，曲面を有するものとなるから，［相違点４］に係る構成とはならない。
（３）また，甲第１号証の【図８】にも［相違点４］に係る構成は記載されていない。
　さらに，甲第２号証にも，「調芯装置」において，「ジョイントフレーム」に形成された「第１嵌合部」及び「第２嵌合部」の内壁について，「前記Ｘ軸ピン及びＹ軸ピンの先端部側に向けて次第に横幅が拡大する方向に傾斜する傾斜面」を，「前記横幅が拡大する方向に直線状に傾斜」することは記載されていない。
（４）そうすると，甲第１号証及び甲第２号証の記載から，［相違点４］に係る構成が，設計的事項であるとする根拠は見出せず，［相違点４］に係る構成を，当業者が容易に想到し得るとは，言えない。
（５）そして，甲第１号証発明において，「回動規制ピン２３，２７」と「ピン挿入溝２９」の形状の関係を逆とした場合，ピン挿入溝は曲面を含む複雑な形状になるのであるから，［相違点４］に係る構成，即ち，「前記第１嵌合部及び第２嵌合部の前記傾斜面は、前記横幅が拡大する方向に直線状に傾斜している」構成を有する本件発明４は，甲第１号証発明に比べ，「Ｘ軸ピン及びＹ軸ピンと第１嵌合部及び第２嵌合部の加工及び製造が容易になって低コスト化を図ることができる。」（本件特許明細書段落【００１２】）という格別の効果を有している。
（６）したがって，［相違点４］に係る構成を有する，本件発明４は，甲第１号証及び甲第２号証の記載から当業者が容易に想到し得るものではないから，特許異議申立人の主張する理由によっては，請求項４に係る特許を取り消すことはできない。
５　本件発明５について
（１）本件発明５と甲第１号証発明との対比
ア　本件発明５と甲第１号証発明とを対比すると，上記［相違点１］ないし「相違点３」に加え，以下の点で相違し，その余の点で一致する。
［相違点５］
　本件発明５は「前記第１嵌合部は、前記ジョイントフレームの前記後端面と反対側の前端面に開口している」のに対して，甲第１号証発明はそのようになっていない点。
（２）相違点に関する当審判断
ア　［相違点１］ないし［相違点３］について
　［相違点１］ないし［相違点３］に係る構成は，上記「１（２）ア」，「２（２）イ」，「３（２）イ」で検討したように，甲第１号証及び甲第５号証の記載から，当業者が容易に為し得たものある。
イ　［相違点５］について
　甲第１号証発明に，上記「３（２）イ」で検討した公知の構成を採用すれば，甲第１号証発明は，［相違点５］に係る構成と同様の構成を有することとなることは明らかである。
ウ　そして，本件発明５の効果は，甲第１号証及び甲第５号証の記載に基づいて，当業者が予測しうるものであり，格別のものではない。
エ　したがって，本件発明５は，甲第１号証発明及び甲第５号証の記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから，請求項５に係る特許は，特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
第６　むすび
　以上のとおり，本件発明１及び２は，甲第１号証発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり，また，本件発明３及び５は，甲第１号証発明及び甲第５号証の記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　そうすると，請求項１ないし３及び５に係る特許は，特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　したがって，請求項１ないし３及び５に係る特許は，特許法第１１３条第２号に該当し，取り消されるべきものである。
　また，請求項４に係る特許は，特許異議申立書に記載した特許異議申立理由によっては取り消すことはできない。さらに，他に請求項４に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって，結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成３０年１０月１１日（２０１８．１０．１１）