(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの出入口が平行であることを除く任意の角度をもって形成されているロードロック室を通して基板を搬送する基板搬送装置であって、ロードロック室内にカセット昇降ステージを配設してその上に基板カセットを載置するカセット旋回ステージを旋回可能に配置し、カセット昇降ステージにカセット旋回ステージに形成された係合溝に嵌入係合してその旋回を阻止するストッパを設け、かつカセット昇降ステージが原点位置に下降したときストッパを解除する手段を設け、カセット旋回ステージに扇形又は円形に従動側マグネットを取付け、ロードロック室外で、カセット旋回ステージが原点位置にあるとき前記従動側マグネットと隔壁を挟んで対向する位置に円形の駆動側マグネットを配設し、駆動側マグネットの回転手段を配設したことを特徴とする基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ロードロック室を通して基板カセットを搬送する基板搬送装置に関し、特に２つの出入口が平行であることを除く任意の角度をもって形成されているロードロック室を通した基板搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
真空処理装置において、基板カセットをロードロック室に搬入する形態をとる場合、一般に装置正面にロードロック室の出入口を形成し、基板カセットの受け渡し機構は装置正面の出入口を通してロードロック室に基板カセットを搬入搬出するように構成されている。
【０００３】
これに対して、多角形の真空容器から成る搬送室に搬送アームが配設され、その搬送室の各側面に処理室やロードロック室を配設した真空処理装置において、２つ以上の側面にロードロック室を配設したものにおいては、ロードロック室と搬送室の間の出入口は搬送室の中心を向き、ロードロック室と外部間の出入口は装置正面を向くため、そのロードロック室の２つの出入口は平行であることを除く任意の角度をもって形成されることになる。そのため、ロードロック室に基板カセットを搬入した後、このロードロック室で基板カセットを必要な角度だけ回転させるか、ロードロック室に基板カセットを搬入する際に予め基板カセットを必要な角度だけ回転させた状態にしておかなければ、基板を処理装置との間で適正に搬送できない。
【０００４】
そこで、従来のこの種の真空処理装置においては、ロードロック室に搬入した基板カセットを載置するカセット旋回ステージを設け、このカセット旋回ステージを回転駆動機構にて必要な角度回転させるように構成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の構成ではカセット旋回ステージを回転させる回転駆動機構がロードロック室内に配設する必要があるため、その回転駆動機構からの発塵によって基板の歩留りが悪くなるという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、低発塵で基板カセットを必要な角度回転させることができる基板搬送方法及び装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の基板搬送装置は、２つの出入口が平行であることを除く任意の角度をもって形成されているロードロック室を通して基板を搬送する基板搬送装置であって、ロードロック室内にカセット昇降ステージを配設してその上に基板カセットを載置するカセット旋回ステージを旋回可能に配置し、カセット昇降ステージにカセット旋回ステージに形成された係合溝に嵌入係合してその旋回を阻止するストッパを設け、かつカセット昇降ステージが原点位置に下降したときストッパを解除する手段を設け、カセット旋回ステージに扇形又は円形に従動側マグネットを取付け、ロードロック室外で、カセット旋回ステージが原点位置にあるとき前記従動側マグネットと隔壁を挟んで対向する位置に円形の駆動側マグネットを配設し、駆動側マグネットの回転手段を配設したものであり、カセット旋回ステージをロードロック室外の回転手段にて非接触で旋回駆動できるので、低発塵にてカセット旋回ステージを任意の角度旋回させることができ、またカセット旋回ステージの駆動手段がロードロック室の壁面を貫通しないので、無摺動シールとなってリークに対して高い信頼性を確保できる。
【０００９】
また、カセット旋回ステージに扇形又は円形に従動側マグネットを取付け、ロードロック室外で、カセット旋回ステージが原点位置にあるとき前記従動側マグネットと隔壁を挟んで対向する位置に円形の駆動側マグネットを配設し、駆動側マグネットの回転手段を配設したので、駆動側マグネットを回転する簡単な構成にてカセット旋回ステージを任意の角度旋回させることができる。
【００１０】
また、ロードロック室内にカセット昇降ステージを配設してその上にカセット旋回ステージを旋回可能に配置し、カセット昇降ステージにカセット旋回ステージに形成された係合溝に嵌入係合してその旋回を阻止するストッパを設け、かつカセット昇降ステージが原点位置に下降したときストッパを解除する手段を設けたので、カセット昇降ステージを原点位置に位置させてカセット旋回ステージを任意の角度旋回させ、その後カセット昇降ステージを上昇させることで不測に基板カセットの向きが変わるのを防止でき、基板の円滑な搬送を確保できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の基板搬送装置の一実施形態について、図１〜図３を参照して説明する。
【００１２】
図１において、１はロードロック室、２は搬送室である。搬送室２は多角形状に形成されるとともに、その各側面に２つのロードロック室１と各種処理室（図示せず）が接続され、この搬送室２の中心に配設された搬送アーム３にてロードロック室１及び各処理室間で基板を移載するように構成されている。両ロードロック室１は、外部との出入口１ａが共に装置前面に相対する向きで形成され、搬送室２との出入口１ｂとは、平行状態に対して所定の角度傾斜した状態で形成されている。
【００１３】
ロードロック室１内には、搬入された基板カセット４を上下させるためのカセット昇降ステージ５が設けられている。カセット昇降ステージ５は、ロードロック室１の底壁を貫通して昇降可能な昇降軸６の上端に固定されるとともに、ガイドシャフト７にて昇降可能に支持されている。昇降軸６の下端は、ボールネジ１０に螺合するナット部材９を固定された昇降部材８に固定され、ボールネジ１０をパルスモータ１１にて回転駆動することにより、カセット昇降ステージ５を任意の位置に昇降駆動できるように構成されている。６ａは昇降軸６の周囲をロードロック室１内とのシールを確保して取り囲む蛇腹管、７ａはガイドシャフト７の周囲をロードロック室１内とのシールを確保して取り囲むシール筒である。
【００１４】
カセット昇降ステージ５上には、カセット旋回ステージ１２が設置されてその上に基板カセット４を載置するように構成されている。また、カセット旋回ステージ１２をカセット昇降ステージ５に固定するためのストッパ１３がカセット昇降ステージ５に配設されている。ストッパ１３は、その突起部がカセット旋回ステージ１２に形成された係合溝１４に嵌入係合するように引張ばね（図示せず）にて付勢されており、カセット旋回ステージ１２が任意の上下位置で回転しないように構成されている。ただし、図示の如くカセット昇降ステージ５がロードロック室１の底部の原点位置に来ると、ストッパ１３がロードロック室１内の下面に取付けられたカムフォロア等からなる解除手段１５に係合してその突起部がカセット旋回ステージ１２の係合溝１４から離脱し、カセット旋回ステージ１２が旋回可能となるように構成されている。
【００１５】
また、カセット旋回ステージ１２を旋回させるために、その外周に扇形又は円形の従動側マグネット１６が取付けられ、ロードロック室１の壁面を挟んだ外側に円形の駆動側マグネット１７が配設されている。これら従動側マグネット１６及び駆動側マグネット１７は、その外周に互いに逆極性の磁極が交互に形成されており、駆動側マグネット１７をその軸芯回りに回転させることにより、従動側マグネット１６が移動してカセット旋回ステージ１２が旋回するように構成されている。駆動側マグネット１７はロータリアクチュエータ１９にて歯車列１８を介して回転駆動される。
【００１６】
以上のような構成において、カセット旋回ステージ１２が図１に示すように基板カセット４の交換位置にあるとき、ロードロック室１に対して外部から出入口１ａを通して基板カセット４の挿入、取り出しを行う。その後、カセット昇降ステージ５を原点位置に下降させて、カセット旋回ステージ１２をカセット昇降ステージ５に固定するストッパ１３を解除し、ロードロック室１外の駆動側マグネット１７をロータリアクチュエータ１９にて回転させることにより、従動側マグネット１６が取付けられているカセット旋回ステージ１２とその上の基板カセット４を所望の角度だけ旋回させ、搬送室２の搬送アーム３にて基板カセット４に対して基板の取り出し、収納ができる姿勢とする。
【００１７】
このようにカセット旋回ステージ１２を、ロードロック室１外の駆動側マグネット１７とロードロック室１内の従動側マグネット１６から成る磁気カップリングにて非接触で旋回駆動するので、ロードロック室１外に配設された駆動手段にて低発塵にてカセット旋回ステージ１２を任意の角度旋回させることができ、また駆動手段がロードロック室１の壁面を貫通しないので、無摺動シールとなってリークに対して高い信頼性が確保される。
【００１８】
その後、カセット昇降ステージ５をパルスモータ１１にて原点位置より上昇させてカセット旋回ステージ１２をカセット昇降ステージ５にストッパ１３にて固定し、その状態でさらにカセット昇降ステージ５を昇降させて基板カセット４内の任意の基板を搬送室２の搬送アーム３による搬送高さに位置決めし、搬送アーム３にて基板カセット４から基板を取り出して搬送し、また基板を基板カセット４内に収納する。
【００１９】
【発明の効果】
本発明の基板搬送装置によれば、以上のようにカセット旋回ステージをロードロック室外の駆動手段にて非接触で旋回駆動でき、したがって低発塵にてカセット旋回ステージを任意の角度旋回させることができ、また駆動手段がロードロック室の壁面を貫通しないので、無摺動シールとなってリークに対して高い信頼性を確保できる。
【００２１】
また、カセット旋回ステージに扇形又は円形に従動側マグネットを取付け、ロードロック室外で、カセット旋回ステージが原点位置にあるとき前記従動側マグネットと隔壁を挟んで対向する位置に円形の駆動側マグネットを配設し、駆動側マグネットの回転手段を配設したので、駆動側マグネットを回転する簡単な構成にてカセット旋回ステージを任意の角度旋回させることができる。
【００２２】
また、ロードロック室内にカセット昇降ステージを配設してその上にカセット旋回ステージを旋回可能に配置し、カセット昇降ステージにカセット旋回ステージに形成された係合溝に嵌入係合してその旋回を阻止するストッパを設け、かつカセット昇降ステージが原点位置に下降したときストッパを解除する手段を設けたので、カセット昇降ステージを原点位置に位置させてカセット旋回ステージを任意の角度旋回させ、その後カセット昇降ステージを上昇させることで不測に基板カセットの向きが変わるのを防止でき、基板の円滑な搬送を確保できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基板搬送装置の一実施形態の全体概略構成を示す平面図である。
【図２】同実施形態におけるロードロック室の平面図である。
【図３】同実施形態におけるロードロック室の縦断面図である。
【符号の説明】
１  ロードロック室
１ａ、１ｂ  出入口
４  基板カセット
５  カセット昇降ステージ
１２  カセット旋回ステージ
１３  ストッパ
１４  係合溝
１５  解除手段
１６  従動側マグネット
１７  駆動側マグネット
１９  ロータリアクチュエータ
【図１】
0004056141.tif 000002
【図２】
0004056141.tif 000003
【図３】
0004056141.tif 000004