(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に電子部品を実装する部品実装装置において、
基板を支持する支持機構と、
前記支持機構により支持された前記基板の辺に電子部品や接続部材等の被圧着物を圧着する圧着機構とを備え、
前記支持機構は、ステージと、このステージ上に設けられ前記基板を吸着保持する複数の吸着保持部とを有し、
この吸着保持部は、前記ステージの上面から突出し、弾性体からなる吸着パッドを有し、
前記吸着パッドの各々が弾性変形することにより、前記圧着機構による圧着時に前記基板に加えられる押圧力に応じて前記基板の傾斜角度を変化させることを特徴とする部品実装装置。
【請求項２】
前記吸着パッドは突出方向に向かって付勢されていることを特徴とする請求項１記載の部品実装装置。
【請求項３】
前記吸着保持部は前記ステージの上面に沿って平面状に延びる弾性体を有することを特徴とする請求項１記載の部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は基板上に電子部品を実装する部品実装装置に係り、とりわけ液晶パネル等のフラットパネルディスプレイを製造するための部品実装装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、液晶パネル等のフラットパネルディスプレイを製造するための部品実装装置として、液晶基板（以下「セル」という）上にテープキャリア部品等の電子部品を実装する部品実装装置が知られている。
【０００３】
このような部品実装装置においては、図５（ａ）（ｂ）に示すように、支持機構１であるステージ２およびバックアップ台５によりセル２１を支持した状態で、バックアップ台５の上方に配置された圧着ヘッド４によりセル２１の一辺に異方性導電テープ２３を介して電子部品２２を圧着している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の部品実装装置では、複数の真空吸引孔２ｂを有するステージ２上でセル２１を直接吸着保持しているので、バックアップ台５の上面の高さとステージ２の上面の高さとが調整ミス等により同一とならない場合には、図５（ａ）に示すように、セル２１のうち、例えばステージ２またはバックアップ台５の端部に対応するＡ部分に応力がかかり、ひずみ等に起因した吸着跡がセル２１に残りやすいという問題がある。
【０００５】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、電子部品等の圧着時に基板にかかる応力を効果的に除去し、ひずみ等に起因した吸着跡が基板上に残ることを防止することができる部品実装装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、基板上に電子部品を実装する部品実装装置において、基板を支持する支持機構と、前記支持機構により支持された前記基板の辺に電子部品や接続部材等の被圧着物を圧着する圧着機構とを備え、前記支持機構は、ステージと、このステージ上に設けられ前記基板を吸着保持する複数の吸着保持部とを有し、この吸着保持部は、前記ステージの上面から突出し、弾性体からなる吸着パッドを有し、前記吸着パッドの各々が弾性変形することにより、前記圧着機構による圧着時に前記基板に加えられる押圧力に応じて前記基板の傾斜角度を変化させることを特徴とする部品実装装置である。
【０００７】
本発明によれば、基板に加えられる押圧力に応じて基板の傾斜角度が適宜変化するので、電子部品等の圧着時に基板にかかる応力を効果的に除去することができ、このため、ひずみ等に起因した吸着跡が基板上に残ることを防止することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１、図２および図４（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明による部品実装装置の一実施の形態を説明するための図である。
【０００９】
まず、図４（ａ）（ｂ）（ｃ）により、本実施の形態に係る部品実装装置の概要について説明する。図４（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、本実施の形態に係る部品実装装置においては、まず、支持機構１上でセル２１を吸着保持するとともに、このようにして吸着保持されたセル２１の一辺に圧着ヘッド７により異方性導電テープ２３を圧着する（図４（ａ）参照）。その後、このようにして異方性導電テープ２３が圧着されたセル２１の一辺に複数の電子部品２２を仮圧着した後（図４（ｂ）参照）、これら複数の電子部品２２を圧着ヘッド４により一括して加熱および加圧してセル２１に本圧着し、液晶パネル２０を製造する（図４（ｃ）参照）。なおこのとき、セル２１の下面のうち異方性導電テープ２３または電子部品２２の圧着位置に対応する部分はバックアップ台８またはバックアップ台５により支持される。
【００１０】
次に、図１により、図４（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す実装工程のうち図４（ｃ）に示す本圧着工程を例にとり、本実施の形態に係る部品実装装置の詳細について説明する。
【００１１】
図１に示すように、部品実装装置１０は、セル２１を支持する支持機構１と、支持機構１により支持されたセル２１の一辺に電子部品２２を圧着するための圧着ヘッド４およびバックアップ台５（圧着機構）とを備えている。
【００１２】
このうち、支持機構１は、ステージ２と、このステージ２の上面に設けられた複数の凹部２ａのそれぞれに埋設された複数の吸着パッド（吸着保持部）３とを有している。ここで、各吸着パッド３は弾性体からなるとともにステージ２の上面から突出しており、各吸着パッド３の上面でセル２１を吸着保持するようになっている。
【００１３】
また、圧着ヘッド４は、上下動自在に支持されており、支持機構１の吸着パッド３およびバックアップ台５によりセル２１を支持した状態で、セル２１上に異方性導電テープ２３を介して仮圧着された電子部品２２を押圧することにより、セル２１上に電子部品２２を圧着することができるようになっている。
【００１４】
次に、図１に示す部品実装装置の作用について説明する。
【００１５】
まず、支持機構１のうちステージ２の上面から突出した複数の吸着パッド３の上面でセル２１を吸着保持するとともに、このようにして吸着保持されたセル２１の下面のうち電子部品２２の圧着位置に対応する部分をバックアップ台５により支持する。
【００１６】
その後、このようにしてセル２１を支持した状態で、圧着ヘッド４を下降させ、セル２１上に異方性導電テープ２３を介して仮圧着された電子部品２２を押圧することにより、セル２１上に電子部品２２を圧着する。
【００１７】
なおこのとき、セル２１は、ステージ２の上面から突出した弾性体からなる各吸着パッド３の上面で吸着保持されているので、図２に示すように、圧着ヘッド４によりセル２１に加えられる押圧力に応じて各吸着パッド３が弾性変形することにより、セル２１の傾斜角度を適宜変化させることができる。
【００１８】
このように本実施の形態によれば、圧着ヘッド４によりセル２１に加えられる押圧力に応じてセル２１の傾斜角度が適宜変化するので、セル２１を支持するバックアップ台５の上面の高さとステージ２の上面の高さとが完全に同一でなくとも、電子部品２２の圧着時にセル２１にかかる応力を効果的に除去することができ、このため、ひずみ等に起因した吸着跡がセル２１上に残ることを防止することができる。
【００１９】
なお、上述した実施の形態においては、セル２１上に電子部品２２を本圧着する場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、図４（ａ）に示す工程のようにセル２１上に異方性導電テープ２３を圧着する場合や、図４（ｂ）に示す工程のようにセル２１上に電子部品２２を仮圧着する場合についても同様に適用することができる。
【００２０】
また、上述した実施の形態においては、吸着パッド３の弾性変形を利用してセル２１の傾斜角度を変化させるようにしているが、これに限らず、例えば、ステージ２の凹部２ａ内に配置されたばね等の弾性部材によって吸着パッド３を突出方向に向かって付勢することとし、このばね等の弾性部材の弾性変形を利用してセル２１の傾斜角度を変化させるようにしてもよい。
【００２１】
他の実施の形態
次に、図３により、本発明による部品実装装置の他の実施の形態について説明する。図３に示すように、この部品実装装置は、支持機構１の吸着保持部として、図１に示す吸着パッド３の代わりに、ステージ２の上面に沿って平面状に延びる吸着性の弾性体６を有している。
【００２２】
本実施の形態によれば、図１に示す部品実装装置と同様に、圧着ヘッド４等によりセル２１に加えられる押圧力に応じて弾性体６が弾性変形し、セル２１の傾斜角度が適宜変化するので、セル２１を支持するバックアップ台５の上面の高さとステージ２の上面の高さとが完全に同一でなくとも、電子部品２２等の圧着時にセル２１にかかる応力を効果的に除去することができ、このため、ひずみ等に起因した吸着跡がセル２１上に残ることを防止することができる。
【００２３】
なお、上述した図３に示す実施の形態においては、弾性体６自体が持つ吸着性によりセル２１を吸着保持しているが、これに限らず、例えば、弾性体６内に真空吸引孔や吸着パッド等を設けることによりセル２１を吸着保持するようにしてもよい。
【００２４】
また、上述した図１および図２に示す実施の形態、および図３に示す実施の形態においては、液晶パネル２０等のフラットパネルディスプレイを製造するための部品実装装置を例に挙げて説明したが、これに限られるものではなく、ひずみ等に起因する吸着跡が残りやすい基板に部品を実装するための部品実装装置であれば同様にして適用することができる。
【００２５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、基板に加えられる押圧力に応じて基板の傾斜角度が適宜変化するので、電子部品等の圧着時に基板にかかる応力を効果的に除去することができ、このため、ひずみ等に起因した吸着跡が基板上に残ることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による部品実装装置の一実施の形態を示す図。
【図２】図１に示す部品実装装置の作用を説明するための図。
【図３】本発明による部品実装装置の他の実施の形態を示す図。
【図４】液晶パネルの製造工程のうち基板上に電子部品を実装する工程を説明するための図。
【図５】従来の部品実装装置を示す図。
【符号の説明】
１  支持機構
２  ステージ
２ａ  凹部
２ｂ  真空吸引孔
３  吸着パッド（吸着保持部）
４，７  圧着ヘッド
５，８  バックアップ台
６  弾性体
２０  液晶パネル
２１  セル（液晶基板）
２２  電子部品
２３  異方性導電テープ（接続部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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