(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つの光線を使用して紙又は被覆されたキャリヤ材料を含む連続帯状物もしくはシート状材料の表面を走査する装置であって、
光線を使用して互いに隣り合って配置されたライン部分のパターンにしたがって物体を走査するための光源と、
前記ライン部分はそのライン部分の始めからそのライン部分の終わりまで走査される光線走査手段と、
物体によって反射された又は物体を透過した光線を検出してレシーバ信号を生成するレシーバ装置と、
前記光線走査手段に同期して制御信号を生成するタイミング回路と、前記制御信号に基づいて前記レシーバ信号を切り換える信号切り換え手段と、前記信号切り換え手段によって切り換えられたレシーバ信号を保持するコンデンサとを有し、ライン部分のうちの第１のライン部分が走査されるときにそのレシーバ信号の始めの部分においてレシーバ信号値をサンプリングして前記コンデンサに保持し、第１のライン部分に続いて第２のライン部分の始めが走査される初期周期中に、前記コンデンサに保持されたレシーバ信号値を出力するサンプリング及び保持回路と、
を有することを特徴とする物体の表面を走査する装置。
【請求項２】
第１の及び第２のライン部分は同じ方向に走査されることを特徴とする、請求項１記載の装置。
【請求項３】
第１の及び第２のライン部分は互いに反対方向に走査されることを特徴とする、請求項１記載の装置。
【請求項４】
ライン部分はそれぞれほぼ同じ長さであることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項記載の装置。
【請求項５】
ライン部分はそれぞれ少なくとも実質的に直線であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項記載の装置。
【請求項６】
ライン部分は少なくとも実質的に互いに平行に向けられることを特徴とする、請求項５記載の装置。
【請求項７】
少なくとも一つの光線を使用して紙又は被覆されたキャリヤ材料を含む連続帯状物もしくはシート状材料の表面を走査する方法であって、
光線走査手段が、物体が光線を使用して互いに隣り合って配置されたライン部分のパターンにしたがって走査されるように、前記ライン部分の始めからそのライン部分の終わりまで走査し、
レシーバ装置が、物体によって反射された又は物体によって透過した光線が検出されてレシーバ信号を生成し、
サンプリング及び保持回路は、前記光線走査手段に同期して制御信号を生成するタイミング回路と、前記制御信号に基づいて前記レシーバ信号を切り換える信号切り換え手段と、前記信号切り換え手段によって切り換えられたレシーバ信号を保持するコンデンサとを有し、ライン部分のうちの第１のライン部分が走査されるときにそのレシーバ信号の始めの部分においてレシーバ信号値がサンプリングして前記コンデンサに保持し、第１のライン部分に続いて第２のライン部分の始めが走査される初期周期中に、前記コンデンサに保持されたレシーバ信号値を出力することを特徴とする、物体の表面を走査する方法。
【請求項８】
第１の及び第２のライン部分は同じ方向に走査されることを特徴とする、請求項８記載の方法。
【請求項９】
第１の及び第２のライン部分は互いに反対の方向に走査されることを特徴とする、請求項８記載の方法。
【請求項１０】
ライン部分はそれぞれほぼ同じ長さを有することを特徴とする、請求項８乃至９のいずれか１項記載の方法。
【請求項１１】
ライン部分はそれぞれ少なくとも実質的に直線であることを特徴とする、請求項８乃至１０のいずれか１項記載の方法。
【請求項１２】
ライン部分は少なくとも実質的に互いに平行に向けられることを特徴とする、請求項１１記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、少なくとも一つの光線を使用して、物体の表面、例えば、紙又は被覆されたキャリヤ材料の表面を走査する装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
このような装置及び方法は公知であり、典型的には、連続的に移動するシート、例えば印画紙、被覆されたベース材料等を走査するために使用される。シートはシートの移動方向に垂直な方向に走査されてシートの欠陥を検出する。光線は表面を介して反射されるか又はシートを介して透過する。処理装置はレシーバ信号を処理して許容不可能な欠陥、例えば、シートの表面の突出物、又はくぼみ、シートの含有物、表面の被覆の欠陥又はシートに付着するほこり粒子をシートが示しているか評価する。レシーバ信号が、例えば時間単位で不適当な変化をした場合、欠陥があると結論付けることができる。
【０００３】
公知の装置及び方法では、レシーバ信号がサンプリングされ保持されたときに、第１のライン部分の終わりが走査される。これは、次の第２のライン部分の始めが走査される第２の周期中に、同時レシーバ信号が、第１のライン部分の終わりに関連するレシーバ信号のサンプリング値と共に、処理装置に入力されることを意味する。この理由は、エレクトロニクスは処理装置の信号をより早く安定させることができるためであり、その結果、誤り検出はレシーバ信号の変化に基づくため、第２のライン部分の走査中に誤り検出をより早く開始することができ、第２のライン部分の始めの走査に、第１のライン部分の終わりのレシーバ信号の値を利用することによって、第２のライン部分の走査が開始した直後に誤り検出を開始することができる。
【０００４】
公知の装置及び方法の欠点は、第２のライン部分の始めに、疑似欠陥が度々レポートされることである。処理装置は物体に欠陥を検出していると思われるが、さらなる分析では欠陥は存在しないことが示される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、この問題に対する解決策を提供することであり、そのために、本発明は、装置に関して、保持されたレシーバ信号が第２のライン部分の始めに隣接して配置された第１のライン部分の参照部分に関連することを特徴とする。
【０００６】
本発明は、第１のライン部分の参照部分が第２のライン部分の始めに隣接して配置される場合により信頼性のある誤り検出が実行され得るという見解に基づく。事実そうでないならば、参照部分は、第２のライン部分の始めに関するレシーバ信号からかなり外れたレシーバ信号を得る可能性が高くなる。これらの偏差は、例えば、物体の横方向の断面のゆるやかな変動の結果として生じる。このようなゆるやかな変動はキャリヤ材料及び／又は被覆層の欠陥を含まないが、第１のラインの部分の終わりに実際の欠陥信号を得るかもしれない。これは、処理装置が参照部分に関するレシーバ信号と第２のライン部分の始めに関するレシーバ信号との差が大きすぎると評価するため、依然として欠陥として検出される。実際、処理装置は通常しきい値回路を含み、そのしきい値はしきい値回路に既に入力されたレシーバ信号のレベルによって決定される。しきい値回路のしきい値が、第２のライン部分の始めが走査されるときに第２のライン部分の始めに隣接して配置される第１のライン部分の参照部分によって（部分的に）決定される場合、通常、実際の欠陥のみが検出される。
【０００７】
本発明のさらなる利点は、走査されているライン部分のより大きい部分を誤り検出を実行するために使用することができることである。換言すると、検査幅が、公知の装置で使用される検査幅よりも拡大される。
【０００８】
特に、第１の及び第２のライン部分は同じ方向に走査され、第１のライン部分の参照部分は第１のライン部分の始めにある。別の実施の形態によると、第１の及び第２のライン部分は互いに反対方向に走査される。この場合も、第１のライン部分の参照部分は第１のライン部分の終わりにあるため、第１のライン部分の参照部分が第２のライン部分の始めに隣接することが確実となる。
【０００９】
本発明のさらなる利点は、サンプリング及び保持回路では比較的大きなキャパシタンスのコンデンサが使用されるため、レシーバ信号のノイズが処理装置の動作に影響を与えないことである。このコンデンサはこのようなノイズをフィルタリングする。さらに、レシーバ装置は小さな欠陥に対する感度が高い。
【００１０】
本発明による方法は、保持されたレシーバ信号が、第２のライン部分の始めに隣接して配置される第１のライン部分の参照部分に関連することを特徴とする。
【００１１】
これら全ては図面を参照してさらに説明される。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の物体の表面を走査する装置によれば、少なくとも一つの光線を使用して紙又は被覆されたキャリヤ材料を含む連続帯状物もしくはシート状材料の表面を走査する装置であって、光線を使用して互いに隣り合って配置されたライン部分のパターンにしたがって物体を走査するための光源と、前記ライン部分はそのライン部分の始めからそのライン部分の終わりまで走査される光線走査手段と、物体によって反射された又は物体を透過した光線を検出してレシーバ信号を生成するレシーバ装置と、前記光線走査手段に同期して制御信号を生成するタイミング回路と、前記制御信号に基づいて前記レシーバ信号を切り換える信号切り換え手段と、前記信号切り換え手段によって切り換えられたレシーバ信号を保持するコンデンサとを有し、ライン部分のうちの第１のライン部分が走査されるときにそのレシーバ信号の始めの部分においてレシーバ信号値をサンプリングして前記コンデンサに保持し、第１のライン部分に続いて第２のライン部分の始めが走査される初期周期中に、前記コンデンサに保持されたレシーバ信号値を出力するサンプリング及び保持回路と、を有する。
【００１３】
請求項７に記載の発明によれば、少なくとも一つの光線を使用して紙又は被覆されたキャリヤ材料を含む連続帯状物もしくはシート状材料の表面を走査する方法であって、物体は、光線を使用して互いに隣り合って配置されたライン部分のパターンにしたがって走査され、光線走査手段が、前記ライン部分の始めからそのライン部分の終わりまで走査し、レシーバ装置が、物体によって反射された又は物体によって透過した光線が検出されてレシーバ信号を生成し、サンプリング及び保持回路は、前記光線走査手段に同期して制御信号を生成するタイミング回路と、前記制御信号に基づいて前記レシーバ信号を切り換える信号切り換え手段と、前記信号切り換え手段によって切り換えられたレシーバ信号を保持するコンデンサとを有し、ライン部分のうちの第１のライン部分が走査されるときにそのレシーバ信号の始めの部分においてレシーバ信号値がサンプリングして前記コンデンサに保持し、第１のライン部分に続いて第２のライン部分の始めが走査される初期周期中に、前記コンデンサに保持されたレシーバ信号値を出力することを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
最初に、図１〜４を参照して、光線を使用して物体の表面を走査する公知の装置について説明する。物体は、紙、被覆物が施されたキャリヤ材料等からなる。
【００１５】
シートとして前進し、図１に表される装置を使用して検査される材料の形態の物体１が支持され、支持ローラ４によって曲げられ、矢印６で示される長手方向に連続的に前進される。この装置２は、光ビーム１０を射出するレーザ光源８を含む。レーザ光ビーム１０は回転ポリゴンミラー１２によって反射され、該回転ポリゴンミラーは、この例では反射ファセット１２ａを有する１２面体プリズムの形状を有する。
【００１６】
ポリゴンミラー１２は入射レーザ光ビーム１０ａを受け取り、物体１をライン部分１４に沿って走査するための走査ビーム１０ｂを方向付ける。走査ビームは物体１によって反射される。その反射の際に物体１によって変調される走査ビームは線状光受容装置１６に当たり、該線状光受容装置は光の反射量を検出し、検出光線を表すレシーバ信号Ｏを生成する。レシーバ信号はライン１８、１９、サンプリング及び保持回路２０を介して処理装置２２へ送出され、レシーバ信号を処理する。
【００１７】
ポリゴンミラー１２が時計回りに駆動され物体１が矢印６の方向に前進されると、物体は、図３に概略的に示されるように、互いに隣り合って配置されるライン部分２４．ｉ（ｉ＝１，２，３，．．．）のパターンにしたがって走査される。各ライン部分２４．ｉはライン部分の始めからライン部分の終わりまで走査される。この例では、ライン部分２４．ｉはそれぞれ同じ方向、即ち左から右へ矢印８の方向に走査される。さらに、この例では、ライン部分はそれぞれほぼ同じ長さであり、ライン部分はそれぞれ少なくともほぼ直線である。しかし、ライン部分は折り曲げられ、互いに異なる長さを有し得る。さらに、この例では、ライン部分は少なくとも互いにほぼ平行に向けられる。しかし、これは本発明にとって必須ではない。
【００１８】
図２は、図１のサンプリング及び保持装置２０の可能なさらなる詳細を概略的に示す。サンプリング及び保持回路２０は切り換え手段２６、コンデンサ２８及びタイミング回路３０を含む。切り換え手段は、この例では、レシーバ装置１６の出力信号がライン１８を介して入力される単一のスイッチ２６からなる。スイッチ２６はタイミング回路３０によって制御される。スイッチ２６の出力３２はコンデンサ２８を介してアースに接続される。コンデンサ２８と出力３２との接合部はライン１９を介して処理ユニット２２に接続される。コンデンサ２８は５０ｐＦの値を有する。
【００１９】
図１〜４による装置の動作は以下の通りである。
【００２０】
述べたように、物体は図３のパターンにしたがって走査される。この点に関して、時間ｔ＝０とは、各ライン部分２４．ｉ（ｉ＝１，２，３，．．，ｎ）の走査が開始される時間として定義される。さらに、時間ｔ＝ｔ1 は、時間ｔ＝０に対してライン２４．ｉの走査が終了した時間として定義される。さらに、時間ｔ＝ｔ2 でスイッチ２６はライン部分２４．ｉの走査中に閉じられる（Ｓ26＝１、図４参照）。スイッチ２６は、時間ｔ＝ｔ3 に到達するまで、閉じられたままである。これは、時間ｔ＝ｔ3 にスイッチが再び開くことを意味する（Ｓ26＝０、図４参照）。さらに、時間ｔ＝ｔ4 で、処理ユニット２２は、検出した光線を表す信号の処理を開始し、該信号はライン部分２４．ｉの走査で得られ物体１の誤り検出のためにライン１９を介して処理ユニット２２へ入力される（Ｖ＝１、図４参照）。時間ｔ＝ｔ5 （Ｖ＝０、図４参照）で、処理装置２２は、ライン部分２４．ｉの走査で得られたレシーバ信号Ｏのさらなる処理を終える。この例において、ｔ3 ＝ｔ5 である。
【００２１】
タイミング回路３０は制御信号Ｓを生成し、該制御信号はスイッチ２６及び処理装置２２に入力されてスイッチ２６を開閉し、処理装置２２による信号処理を開始したり終了したりする。ポリゴンミラー１２は、タイミング回路３０の同期信号を生成する固有のジェネレータ１２’を有する。
【００２２】
ライン部分２４．ｉが走査されているとき、レシーバ信号は周期ｔ2 〜ｔ3 中にコンデンサ２８に入力される。したがってコンデンサは入力されたレシーバ信号のレベルまで帯電し、レシーバ信号の変化にならう。また、ライン２４．ｉに関する周期ｔ4 〜ｔ5 中に、関連レシーバ信号は誤り検出のために処理装置２２によって処理される。時間ｔ＝ｔ3 でスイッチ２６が開かれ、処理装置２２によるレシーバ信号の処理が終了する。結果として、コンデンサ２８は、レシーバ信号がライン２４．ｉの走査の際におよそ時間ｔ＝ｔ3 で生成されるようにこれを保持する。ライン部分２４．ｉの最後の部分が走査される周期に関する時間ｔ＝ｔ3 と時間ｔ＝ｔ1 との間、レシーバ信号はスイッチ２６が開かれるまで処理されない。しかし、ライン部分２４．ｉに関する時間ｔ＝ｔ3 からライン部分２４．（ｉ＋１）に関する時間ｔ＝ｔ2 まで、コンデンサ２８によって保持された信号が処理装置２２に与えられる。続いて、ライン部分２４．（ｉ＋１）に関する時間ｔ＝ｔ2 で、スイッチ２６は再び閉じられる。これは、そのときから、レシーバ信号がコンデンサ２８によって保持されるレシーバ信号の値Ｓ／Ｈ（図４の点線で示される）と共に処理装置２２に入力されることを意味する。ライン部分２４．（ｉ＋１）に関する時間ｔ＝ｔ4 から、処理装置が誤り検出のために入力された信号をさらに処理するように起動される。ライン部分２４．ｉに関する時間ｔ＝ｔ3 からライン部分２４．（ｉ＋１）に関する時間ｔ＝ｔ2 までの周期中、コンデンサ２８によって保持された信号は処理装置２２に入力されるため、これは、新しいライン部分２４．（ｉ＋１）の始めの走査に、処理装置２２がレシーバ信号のさらなる処理のためにすぐに起動されることができるという効果を有する。公知の処理装置２２はすぐに安定される。
【００２３】
述べたように、処理装置２２は、処理装置２２に入力された信号に起こる変化に基づいて欠陥を検出する。上述の公知の装置に現れる問題は、処理装置２２が、特に時間ｔ＝ｔ4 の直後に、欠陥を知らせることであり、この欠陥はさらなる検査によって物体に存在しないことが判明する。本発明の見解によると、これは、ライン部分２４．ｉに関する時間ｔ＝ｔ3 のレシーバ信号、即ち、次のライン部分２４．（ｉ＋１）の走査中に処理装置２２にライン部分２４．（ｉ＋１）に関する同時レシーバ信号と共に、入力されるように保持されるレシーバ信号の値が、ライン部分２４．（ｉ＋１）に関するこの同時レシーバ信号からかなりの程度外れている状況によることが分かる。換言すると、時間ｔ＝ｔ3 に走査されるライン部分２４．ｉの領域の表面構造は、時間ｔ＝ｔ2 に走査されるライン部分２４．（ｉ＋１）の領域の表面構造から外れている。これらの差は大きいため、いわゆる疑似誤りが処理装置２２によって検出される。
【００２４】
図１及び図５〜７を参照して、上述の欠点を満たす本発明による装置の第１の可能な実施の形態を説明する。
【００２５】
図５では、図２に対応する要素が同じ参照番号で提供される。図５のサンプリング及び保持回路にはコンデンサ２８’が設けられており、該コンデンサは一方の側が出力３２に接続され、他方の側がスイッチ３８を介してアースに接続される。スイッチ３８はタイミング回路３０’によって同様に制御される。さらに、抵抗器３４が加えられた。コンデンサ２８’の値は、この例では１５００ｐＦであり、抵抗器３４の値は２２ＭΩである。
【００２６】
この装置の動作は以下の通りである。この装置を使用して、物体は図６に示されるライン部分のパターンにしたがって走査され、これから、ライン部分はそれぞれ同じ方向に走査されることが分かる。図７は、第１のライン部分２４．ｉ及び第２のライン部分２４．（ｉ＋１）に関するスイッチ２６及び３８の種々の位置を概略的に示す。
【００２７】
図７では、時間ｔ＝０はライン部分２４．ｉ（ｉ＝１，２，３，．．．ｎ）の走査が開始される時間として定義される。時間ｔ＝ｔ1 は各ライン部分２４．ｉの走査が終了する時間である。さらに、図７から、時間ｔ＝ｔ2 でスイッチ２６は閉じられ時間ｔ＝ｔ3 で再び開かれることが各ラインに当てはまることが分かる。さらに、時間ｔ＝ｔ4 の各ライン部分２４．ｉの走査中に、処理装置２２が起動されてライン１９を介して入力された信号を処理する。これらの信号の処理は時間ｔ＝ｔ5 に終わる。この例では、時間ｔ＝ｔ3 は時間ｔ＝ｔ5 に等しい。さらに、図７から、スイッチ３８はライン部分２４．ｉに関する時間ｔ＝ｔ6 （Ｓ38＝１、図７参照）で閉じられ、このスイッチは次のライン部分２４．（ｉ＋１）に関する時間ｔ＝ｔ7 （Ｓ38＝０、図７参照）で再び開かれることが各ライン部分に当てはまることが分かる。この例では、各ライン部分を保持し、時間ｔ6 は時間ｔ3 及びｔ5 に一致することが各ライン部分に当てはまる。また、ライン部分２４．ｉに関する時間ｔ＝ｔ7 はライン部分２４．ｉに関する時間ｔ＝ｔ4 に先行することも当てはまる（ｉ＝１，２，３，．．．，ｎ）。
【００２８】
２４．ｉの走査において、周期ｔ2 〜ｔ7 中に、レシーバ信号がライン１９に入力される。同時にスイッチ３８が閉じられているため、コンデンサ２８’はレシーバ信号の値を受け取る。コンデンサ２８’はレシーバ信号の変化にならう。同時に、コンデンサ２８’は、比較的高いキャパシタンス値によるノイズをレシーバ信号からフィルタリングする。続いて時間ｔ7 でスイッチ３８が開かれると、コンデンサ２８’はレシーバ信号のノイズの平均値で同時値を保持する。換言すると、ライン部分２４．ｉが走査される時間ｔ＝ｔ7 で有効なレシーバ信号値がサンプリングされ保持される。保持されたレシーバ信号は、次のライン部分２４．（ｉ＋１）の始め４６に隣接するライン部分２４．ｉの参照部分４４に関連する（図６参照）。その後、ライン部分２４．ｉに関する時間ｔ＝ｔ7 からライン部分２４．ｉに関する時間ｔ＝ｔ6 まで、レシーバ信号は直接レシーバ装置２２に入力される。スイッチ３８はこの周期中に開いているため、レシーバ信号はその全帯域幅にわたって処理装置２２に入力される。レシーバ信号はフィルタリングされずに処理装置２２に入力されるため、処理装置は比較的高精度でレシーバ信号を分析することができる。これは、レシーバ信号がコンデンサ２８によってフィルタリングされる図２による装置と対照的である。
【００２９】
ライン部分２４．ｉに関する時間ｔ＝ｔ4 から、処理装置２２は入力されたレシーバ信号の処理を事実上開始する。時間ｔ＝ｔ4 はライン部分２４．ｉの位置４８に対応する。ライン部分２４．ｉのレシーバ信号の処理は時間ｔ3 ＝ｔ5 ＝ｔ6 に終わる。この位置は図６の参照番号５０で示される。ライン部分２４．ｉに関する時間ｔ＝ｔ6 から、スイッチ２６が開かれ、スイッチ３８が閉じられる。これは、コンデンサ２８’が処理装置２２に接続されるという効果を有する。したがって、このときから、サンプリングされ保持された信号は処理装置に入力される。抵抗器３４の機能は、周期ｔ2 〜ｔ3 におけるコンデンサ２８’の漏れのロスを補償することである。そこで、ライン部分２４．ｉ（ｉ＋１）の走査中に時間ｔ＝ｔ2 でスイッチ２６が再び閉じられる。これは、次のライン部分２４．（ｉ＋１）の始めが走査される初期周期ｔ2 〜ｔ7 中に、レシーバ信号の保持値Ｓ／Ｈ（図７に点線で示される）が処理装置２２に入力されることを意味する。この初期周期において、さらに、レシーバ信号は処理装置２２に送出される。次に、処理装置２２は、レシーバ信号をさらに分析するために上述のしきい値を比較的迅速に決定する。保持されたレシーバ信号は、ライン部分２４．（ｉ＋１）の始めに隣接するライン部分２４．ｉの参照部分４４に関連するため、エッジに隣接する物体１の不均一な表面構造によっても処理装置２２は疑似誤りを検出せず、これは物体の不均一なエッジは、例えば正面図では、ライン部分２４．ｉの参照部分４４及びライン部分２４．（ｉ＋１）の始め４６の両方にあるためである。図２による装置の場合と対照的に、物体１のエッジに隣接する不均一な表面は、次のライン部分２４．（ｉ＋１）の始めが走査される初期周期中に、保持信号とレシーバ信号との間に差を生じさせない。この例では、スイッチ２６が開かれるとスイッチ３８は閉じられることもさらに当てはまる。結果的に、この周期では、保持された信号は処理装置２２にも入力される。処理装置２２の迅速な安定化が達成され、その結果、処理装置は図２による装置の場合よりも迅速に起動されて誤りを検出する。換言すると、時間ｔ＝ｔ4 は、図２による装置よりも本発明による装置のｔ＝０に近い。
【００３０】
したがって、上記から、タイミング回路３０はスイッチ２６及びスイッチ３８を以下のように制御する。
初期周期中、コンデンサ及びレシーバ装置は処理装置に並列に接続される。
初期周期後の周期中、レシーバ装置は処理装置に接続され、コンデンサはレシーバ装置及び処理装置からの接続を外される。
第１のライン部分が走査される周期と第２のライン部分が走査される周期の間の周期中、コンデンサは処理装置に接続され、レシーバ装置はコンデンサ及び処理装置からの接続を外される。
【００３１】
さらに言えることは、タイミング回路は、第１のライン部分の始めが走査される周期中、コンデンサ及びレシーバ装置が処理装置に並列に接続されるように、切り換え手段を制御することである。
【００３２】
さらに言えることは、タイミング回路は、レシーバ装置がコンデンサ及び処理装置からの接続を外される少なくとも周期中、コンデンサが処理装置に接続されるように、切り換え手段を制御することである。
【００３３】
さらに言えることは、タイミング回路は、処理装置が、初期周期に続いて開始する信号処理周期において、第２のライン部分の走査に関して処理装置に送出される信号を処理するように、切り換え手段を制御することである。
【００３４】
さらに言えることは、第１のサブ周期（ｔ＝ｔ7 ）の終わりと処理周期の始め（ｔ＝ｔ4 ）との間の時間経過ｔ4 〜ｔ7 は、この例では、ｔ2 〜ｔ7 の第１のサブ周期の持続時間よりも短い。しかし、第１のサブ周期の持続時間を、必要ならば、他の要素の使用によって早めることができる。
【００３５】
初期周期の持続時間は、初期周期の終わりと処理周期の開始ｔ4 との間の時間経過よりも短いことも考えられる。
【００３６】
この例では、ライン部分２４．（ｉ＋１）の信号処理周期は、このライン部分に関するレシーバ信号が処理装置に入力される周期の終了時に終了する。換言すると、ｔ3 ＝ｔ5 である。しかし、時間ｔ5 を時間ｔ3 より前にすることも可能である。
【００３７】
図１、５〜７による装置の例では、ライン部分はそれぞれ同じ方向に走査される。以下に述べられる図１、５、８及び９による装置の例では、ライン部分は反対方向に交互に走査される。
【００３８】
図８及び９では、図６及び７に対応する部分には同じ参照番号が施されている。重要な違いは、時間ｔ＝ｔ5 が時間ｔ＝ｔ3 より先に起こることが各ライン部分に当てはまることである。また、各ライン部分に言えることは、時間ｔ＝ｔ6 は時間ｔ＝ｔ3 と時間ｔ＝ｔ5 との間にあることである。結果として、例えば、ライン部分２４．ｉの周期ｔ＝ｔ6 〜ｔ＝ｔ3 中、コンデンサ２８’はレシーバ信号の値を受け取る。ライン部分２４．ｉの時間ｔ＝ｔ3 にスイッチ２６が開かれると、結果的に、コンデンサはレシーバ信号の同時値を保持する。この保持されたレシーバ信号は、周期ｔ2 〜ｔ7 の次のライン部分２４．（ｉ＋１）の走査中に、レシーバ信号と共に処理装置に入力される。したがって、この周期中、ライン２４．（ｉ＋１）の走査のための処理装置の安定化に関して、図６及び７に関して述べたのと同じことが起こる。しかし、この例で言えることは、ライン部分２４．ｉの参照部分４４がライン部分の終わり５２に配置されることである（図８参照）。ライン部分２４．ｉ及び２４．（ｉ＋１）は反対方向に走査されるため、ライン部分２４．ｉの終わり５２はライン部分２４．（ｉ＋１）の始め４６に隣接することが言える。結果的に、ライン部分２４．ｉの参照部分４４はライン部分２４．（ｉ＋１）の始め４６に隣接する。この例でも、疑似欠陥レポートは少なくとも実質的になくなることが言える。もちろん、全体的に類似した方法で、この保持された信号をスタートで、即ちライン部分２４．（ｉ＋２）の走査の始めで使用するために、レシーバ信号の関連値をライン部分２４．（ｉ＋１）の終わりに隣接させて保持する。時間ｔ1 〜ｔ7 及び本発明による装置の関連する動作は、それぞれ走査されたライン部分２４．ｉ（ｉ＝１，２，３，．．．，ｎ）に対して同一である。タイミング回路は、第１のライン部分の始めが走査される周期中及び第２のライン部分の終わりが走査される周期中、コンデンサ及びレシーバ装置が処理装置に並列に接続されるように、切り換え手段を制御することが言える。
【００３９】
本発明は、決して上述の実施の形態に限定されない。したがって、ライン部分は互いに異なる長さであり得る。また、ライン部分は直線でなく円周の一部にならうことも可能である。このような変更は全て本発明の範囲内にあることが理解される。
【図面の簡単な説明】
【図１】光線を使用して物体の表面を走査する装置の図的表示である。
【図２】図１の装置で用いられ得る公知のサンプリング及び保持回路を示す図である。
【図３】パターンによって図１及び２による装置が物体を走査することができる、互いに隣り合って配置されるライン部分のパターンを表示する図である。
【図４】図２によるサンプリング及び保持回路の動作の図的表示である。
【図５】図１による装置で使用できる本発明によるサンプリング及び保持回路を示す図である。
【図６】パターンによって図１及び５による装置が物体を走査できる、互いに隣り合って配置されたライン部分のパターンを表示する図である。
【図７】物体が図６によって走査された場合の図１及び５によるサンプリング及び保持回路の動作の概略的な例示である。
【図８】パターンによって図１及び５による装置が物体を走査できる、別のパターンを表示する図である。
【図９】物体が図８のパターンによって走査された場合の図１及び５による装置の動作の概略的な表示である。
【符号の説明】
２    走査装置
１２    回転ポリゴンミラー
８    レーザ光源
１６    線状光受容体
２０    サンプリング及び保持回路
２２    処理装置
３０    タイミング回路
整理番号  ＩＶＥ９８０１
【図１】
0004068740.tif 000002
【図２】
0004068740.tif 000003
【図３】
0004068740.tif 000004
【図４】
0004068740.tif 000005
【図５】
0004068740.tif 000006
【図６】
0004068740.tif 000007
【図７】
0004068740.tif 000008
【図８】
0004068740.tif 000009
【図９】
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