(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の対物レンズを装着したレボルバを回転させて１つの前記対物レンズを観察光路に挿入するレボルバ連動照明制御装置において、
前記対物レンズが前記観察光路に挿入されていないときにダミー像を前記観察光路に投影するダミー像投影手段、
を具備したことを特徴とするレボルバ連動照明制御装置。
【請求項２】
前記対物レンズが前記観察光路に挿入されていないときに前記観察光路に投影される前記ダミー像の色調を選択する色調選択手段を備えたことを特徴とする請求項１記載のレボルバ連動照明制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば顕微鏡おける対物レンズを切り替えるときの観察光路に対する照明を制御するレボルバ連動照明制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、生物分野における研究を初め各種工業分野の検査工程等においては、微細な標本を拡大観察したり、又は観察像をビデオ画像として記録することのできる顕微鏡が幅広く利用されている。近年、顕微鏡を使用した検査工程は、生物、医療系分野及び各種工業系分野において益々増加している。特に半導体検査工程では、長時間接眼レンズを覗いたまま顕微鏡をブラインド操作することが行われている。このため、観察者により少ない疲労で操作を行うことができる顕微鏡が望まれている。これらの顕微鏡は、観察者の疲労軽減や操作の省力化、簡単化を目指し、少ない操作で顕微鏡の設定を最適化できる構成となっている。又、倍率の異なる対物レンズ間で接眼像が同等の明るさになる制御を有するなどの工夫がなされている。
【０００３】
第１の例は、観察法切り替え時の絞り操作や照明光の明るさ調整操作を自動化し、観察法や観察者の好みの観察状態を簡単に再現可能とするもので、例えば特開平８−２１１２９５号公報には、観察法を切替え可能な顕微鏡において観察法と対物レンズとの組み合わせに対応して視野絞り及び開口絞りの絞り条件が定められ、観察法及び対物レンズのいずれかに対応して照明光の明るさ条件が定められた制御パラメータテーブルを備えている。そして、観察法の切り替え時には、制御パラメータテーブルから切り替え後の観察法に対応した照明光の明るさ条件を読み出し、当該明るさ条件に応じた照明光を照明光制御手段に指示し、これと共に制御パラメータテーブルから切り替え後の観察法に対応した絞り条件を読み出して当該絞り条件に応じた絞り径を制御手段に指示する顕微鏡が記載されている。
【０００４】
第２の例は、レボルバの回転開始時に、次にセットされる対物レンズを認識し、次の対物レンズに対応した適正な明るさＮＤフィルタを設定可能とするもので、例えば特開平５−３４１１９７号公報には、レボルバ上に形成された小型永久磁石の位置変化をセンサを介して回転方向検出部で検知してレボルバの停止位置を確認し、次にレボルバを回転させた際に小型永久磁石が僅かに検出位置から所定の回転方向へずれるのをセンサを介して回転方向検出部で検知してレボルバの回転動作開始時にレボルバ正逆転方向信号を出力する。これに併せて小型永久磁石をセンサで検知してレボルバ番地検出部でレボルバ停止位置における対物レンズのレボルバ番地信号を出力する。又、レボルバ回転方向検出部とレボルバ番地検出部とにより特定された対物レンズに対応する適性光を設定可能な可変調光部と、この可変調光部の適性調光動作量を記憶する記憶部とを有し、この記憶部から対物レンズに対応する適性調光動作量を読み出し、レボルバの回転動作が行われるのと平行して可変調光部に所定の動作指令を出力する制御部とを備えたレボルバ回転動作検出装置及び調光装置が記載されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記顕微鏡は、いずれも対物レンズの切り替えに際して、対物レンズを切り替える前の対物レンズが観察光路中にある状態と、対物レンズを切り替えた後の対物レンズが観察光路中にある状態との２つの状態に着目したもので、対物レンズを切り替える前の対物レンズが観察光路中にある状態での接眼レンズの明るさと、対物レンズを切り替えた後の対物レンズが観察光路中にある状態での接眼レンズの明るさとを最適な明るさである数［ｌｘ］になるようＮＤフィルタ、開口絞り、光源などの各種光学部材で制御している。
【０００６】
このため、対物レンズの切り替えに際して、対物レンズを切り替える前の対物レンズが観察光路中にある状態と、対物レンズを切り替えた後の対物レンズが観察光路中にある状態との間の過渡的な状態、すなわちいずれの対物レンズも観察光路中にない状態では、観察者は、シャッタなどにより遮光された真っ暗な像か、又は何等制御されていない対物レンズが切り替わる前の対物レンズが観察光路中にあるときの像が切り替えに連れて移動し、いずれの対物レンズも観察光路中にない暗い像になり、そして対物レンズを切り換えた後の像を観察するものとなる。このとき、対物レンズの切り替えに要する時間は、通常、０．５［ｓ］〜１［ｓ］を要する。この対物レンズの切り替えに際して観察者は、自分の意思に依らずいずれの対物レンズも観察光路中にない状態の暗い像に順応してしまいその疲労は少なくない。
【０００７】
そこで本発明は、対物レンズの切り替えに際して接眼像の急激な光量変化を防止して観察者の疲労を軽減できるレボルバ連動照明制御装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１によれば、複数の対物レンズを装着したレボルバを回転させて１つの対物レンズを観察光路に挿入するレボルバ連動照明制御装置において、
対物レンズが観察光路に挿入されていないときにダミー像を観察光路に投影するダミー像投影手段を備えたレボルバ連動照明制御装置である。
【０００９】
請求項２によれば、請求項１記載のレボルバ連動照明制御装置において、対物レンズが観察光路に挿入されていないときに観察光路に投影されるダミー像の色調を選択する色調選択手段を備えた。
【００１０】
【発明の実施の形態】
(1) 以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１はレボルバ連動照明制御装置を適用した顕微鏡装置の全体構成図である。例えばハロゲンランプである照明用光源１から放射される照明用光の光路上には、コレクタレンズ２、分割ブリズム３が配置され、この分割ブリズム３により分割された一方の光路ａ上には、ＮＤフィルタユニット４、視野絞り５、反射ミラー６が配置され、さらにこの反射ミラー６の反射光路上には開口絞り７、コンデンサ８が配置され、ステージ９上に載せられた標本Ｓに対する照明光学系が構成されている。
【００１１】
このうちＮＤフィルタユニット４は、円形ＮＤフィルタ４ａ、原点センサ４ｂ及び円形ＮＤフィルタ４ａを所定の角度づつ回転させるパルスモータ４ｃから構成されている。円形ＮＤフィルタ４ａは、図２に示すように円周方向に透過率Ｔが連続的に変化するものである。この円形ＮＤフィルタ４ａの中心回転軸は、パルスモータ４ｃに連結されており、光軸と平行に配置され、回転角θにより所望の透過率Ｔの部分を光路上に配置できるものとなっている。又、原点センサ４ｂは、円形ＮＤフィルタ４ａに形成された原点スリット４ｄを検出する機能を有している。パルスモータ４ｃは、例えば２５６ステップで円形ＮＤフィルタ４ａを一回転駆動するものとなっている。
【００１２】
ステージ９は、標本Ｓを観察光路の光軸と直交する平面内で二次元移動して標本Ｓの操作が自在になっているとともに、ピント合わせのために観察光路の光軸方向に移動自在に構成されている。このステージ９の上方には、レボルバ１０が回転自在に設けられ、このレボルバ１０に装着された複数の対物レンズ１１ａ〜１１ｃのうち１つの対物レンズを切り替えて観察光路中に挿入するようになっている。レボルバ１０は、例えば顕微鏡のアーム先端に回転自在に取り付けられている。そして、このアーム先端部の観察光路上には、分割プリズム１２が配置されている。この分割プリズム１２の透過光路上には、観察用プリズム１３が配置され、この観察用プリズム１３により分岐された光路上に接眼レンズ１４が配置されるとともに透過光路上にレンズ１５を介してカメラ等が配置されている。
【００１３】
一方、上記分割ブリズム３により分割された他方の光路ｂ上には、ダミー像投影系として反射ミラー１６を介してＮＤフィルタユニット１７、フロスト１８及びレンズ１９が配置され、さらに分割プリズム１２に導くようになっている。このうちＮＤフィルタユニット１７は、円形ＮＤフィルタ１７ａ、原点センサ１７ｂ及び円形ＮＤフィルタ１７ａを所定の角度づつ回転させるパルスモータ１７ｃから構成されている。円形ＮＤフィルタ１７ａは、上記図２に示すと同様に円周方向に透過率Ｔが連続的に変化して形成されている。この円形ＮＤフィルタ１７ａの中心回転軸は、パルスモータ１７ｃに連結されており、光軸と平行に配置され、回転角θにより所望の透過率Ｔの部分を光路上に配置できるものとなっている。又、原点センサ１７ｂは、円形ＮＤフィルタ１７ａに形成された原点スリットを検出する機能を有している。パルスモータ１７ｃは、例えば２５６ステップで円形ＮＤフィルタ１７ａを一回転駆動するものとなっている。
【００１４】
制御部２０は、各ＮＤフィルタユニット４、１７及びレボルバ１０を駆動制御して顕微鏡装置を統括制御するもので、図４に示すようにＣＰＵ２１に対してＲＯＭ２２、ＲＡＭ２３及びスイッチ入力部（ＳＷ入力部）２４が接続され、かつレボルバ駆動回路２５に対して指令を発するとともに、各原点センサ４ｂ、１７ｂの出力信号を受けて各ＮＤフィルタユニット４、１７の駆動回路２６、２７に対して指令を発する機能を有している。
【００１５】
ＲＯＭ２２には図５に示す制御内容を記述したプログラムが記憶され、ＲＡＭ２３には制御演算用のデータが格納されるものとなっている。
スイッチ入力部２４は、２つの対物レンズ切替えスイッチＳＷ1 、ＳＷ2 が設けられており、このうち対物レンズ切替えスイッチＳＷ1 は、各対物レンズ１１ａ〜１１ｃを対物レンズ１１ｂ→１１ｃの方向に切替え、他方の対物レンズ切替えスイッチＳＷ2 は、各対物レンズ１１ａ〜１１ｃを対物レンズ１１ｂ→１１ａの方向に切替えるものである。
【００１６】
レボルバ駆動回路２５は、レボルバ１０を回転駆動するためのパルスモータ（不図示）が接続され、ＣＰＵ２１から発せられる指令によりそのパルスモータを回転駆動する機能を有している。
【００１７】
駆動回路２６は、ＮＤフィルタユニット４のパルスモータ４ｃが接続され、ＣＰＵ２１から発せられる指令によりそのパルスモータ４ｃを回転駆動する機能を有している。しかるに、ＣＰＵ２１は、原点センサ４ｂにより検出される円形ＮＤフィルタ４ａの原点スリット４ｄの出力信号を受け、例えばアドレス情報Ｘ：０〜２５５により原点スリット４ｄからの回転角に基づいてＮＤフィルタユニット４での透過率を制御するものとなっている。
【００１８】
駆動回路２７は、ＮＤフィルタユニット１７のパルスモータ１７ｃが接続され、ＣＰＵ２１から発せられる指令によりそのパルスモータ１７ｃを回転駆動する機能を有している。しかるに、ＣＰＵ２１は、上記同様に、原点センサにより検出される円形ＮＤフィルタ１７ａの原点スリットの出力信号を受け、例えばアドレス情報Ｘ：０〜２５５により原点スリットからの回転角に基づいてＮＤフィルタユニット１７での透過率を制御するものとなっている。
【００１９】
次に上記の如く構成された装置の作用について図５に示す制御フローチャートに従って説明する。
通常観察の初期状態として、対物レンズ１１ｂが観察光路上に挿入されており、観察光路側のＮＤフィルタユニット４の透過率が〜１００［％］で例えばアドレス情報：６２に設定され、ダミー像投影側のＮＤフィルタユニット１７の透過率が〜０［％］で例えばアドレス情報：１９２に設定されている。
【００２０】
対物レンズを切り替えるためにスイッチ入力部２４の対物レンズ切替えスイッチＳＷ1 が押し操作されると、ＣＰＵ２１は、ステップ＃１において対物レンズ切替えスイッチＳＷ1 の押し操作を判断し、次のステップ＃２において標本照明光を減光しつつ、続くステップ＃３でダミー照明光を増光する。すなわち、ＣＰＵ２１は、ＮＤフィルタユニット４の透過率を１００→０［％］になるように駆動パルス数を算出し、円形ＮＤフィルタ４ａの回転方向を判定（例えば駆動パルス数：１３１、回転方向：照明用光源１側から見て反時計回り）し、駆動回路２６を介してパルスモータ４ｃの回転駆動を開始する。
【００２１】
続いて、ＣＰＵ２１は、ＮＤフィルタユニット１７の透過率を０→１００［％］になるように駆動パルス数を算出し、円形ＮＤフィルタ１７ａの回転方向を判定（例えば駆動パルス数：１３１、回転方向：照明用光源１側から見て時計回り）し、駆動回路２７を介してパルスモータ１７ｃの回転駆動を開始する。
【００２２】
次に、ＣＰＵ２１は、ステップ＃４においてダミー像投影の終了、すなわち標本照明光の減光とダミー照明光の増光が完了したか否かを待つ。そして、ＣＰＵ２１は、駆動回路２６からの終了信号を受け取り、かつ駆動回路２７からの終了信号を受け取ると、ダミー像投影の終了と判断する。
【００２３】
このようにＮＤフィルタユニット４の透過率を１００→０［％］にし、かつＮＤフィルタユニット１７の透過率を０→１００［％］にすると、分割プリズム３からＮＤフィルタユニット４、視野絞り５、反射ミラー６、開口絞り７、コンデンサ８、ステージ９上の標本Ｓ、対物レンズ１１ｂ、分割プリズム１２を通って接眼レンズに向かう標本像の明るさは、図６に示すように減光し、これと共に分割プリズム３からＮＤフィルタユニット１７、フロスト１８、レンズ１９、分割プリズム１２を通って接眼レンズに向かうダミー像の明るさは、増光する。
【００２４】
ダミー像投影が終了すると、ＣＰＵ２１は、ステップ＃５においてレボルバ駆動回路２５に対して例えば対物レンズ１１ｂ→１１ｃの方向へ移動させるレボルバ駆動指令を発し、次のステップ＃６において対物レンズが１１ｂ→１１ｃに切り替わりレボルバ駆動終了を待つ。
【００２５】
そして、レボルバ駆動が終了すると、ＣＰＵ２１は、ステップ＃７に移って標本照明光を増光しつつ、続くステップ＃８でダミー照明光を減光する。すなわち、ＣＰＵ２１は、ＮＤフィルタユニット４の透過率を０→１００［％］になるように駆動パルス数を算出し、円形ＮＤフィルタ４ａの回転方向を判定し、駆動回路２６を介してパルスモータ４ｃの回転駆動を開始する。
【００２６】
続いて、ＣＰＵ２１は、ＮＤフィルタユニット１７の透過率を１００→０［％］になるように駆動パルス数を算出し、円形ＮＤフィルタ１７ａの回転方向を判定し、駆動回路２７を介してパルスモータ１７ｃの回転駆動を開始する。
【００２７】
次に、ＣＰＵ２１は、ステップ＃９においてダミー像投影から標本像投影に戻るのを待ち、駆動回路２６からの終了信号を受け取り、かつ駆動回路２７からの終了信号を受け取ると、通常の観察状態と判断してステップ＃１に復帰する。
【００２８】
このように上記第１の実施の形態においては、対物レンズ１１ａ〜１１ｃが観察光路に挿入されていないときにダミー像を観察光路に投影するようにしたので、対物レンズ１１ａ〜１１ｃが観察光路中にある標本観察中の接眼像と、対物レンズ１１ａ〜１１ｃの切り替えに際して対物レンズ１１ａ〜１１ｃが観察光路中に無いときの接眼像との各明るさの変化を少なくでき、対物レンズ１１ａ〜１１ｃの切り替えに際して接眼像の急激な光量変化を防止して観察者の疲労を軽減できる。
【００２９】
なお、ＮＤフィルタユニット４及びＮＤフィルタユニット１７は、上記する構成に限らず、例えば液晶ＮＤフィルタ等を用いてもよい。
(2) 次に、本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図１及び図４と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００３０】
図７はレボルバ連動照明制御装置を適用した顕微鏡装置の全体構成図である。例えばハロゲンランプから成るダミー照明用光源３０が設けられている。このダミー照明用光源３０から放射されるダミー照明光の光路上には、コレクタレンズ３１、フロスト１８、ＮＤフィルタユニット１７、カラーフィルタターレット３２及びレンズ１９が配置され、分割プリズム１２に導くものとなっている。
【００３１】
このうちカラーフィルタターレット３２は、４つのスロットを有し、これらスロットにそれぞれグリーンフィルタ３２ａ、ブルーフィルタ３２ｂ、イエローフィルタ３２ｃ、無色フィルタ３２ｄが装着されている。これらフィルタ３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄは、パルスモータ３２ｅの回転駆動によりダミー照明光の光路上に挿入されるようになっている。
【００３２】
一方、制御部３３は、各ＮＤフィルタユニット４、１７、レボルバ１０及びカラーフィルタターレット３２を駆動制御して顕微鏡装置を統括制御するもので、図８に示すようにＣＰＵ３４に対してＲＯＭ２２、ＲＡＭ２３及びスイッチ入力部２４が接続され、かつレボルバ駆動回路２５に対して指令を発するとともに、各原点センサ４ｂ、１７ｂの出力信号を受けて各ＮＤフィルタユニット４、１７の駆動回路２６、２７に対して指令を発し、さらにカラーフィルタターレット駆動回路３５に指令を発して駆動制御する機能を有している。このうちカラーフィルタターレット駆動回路３５は、パルスモータ３２ｅが接続され、ＣＰＵ３４から発せられる指令を受けてカラーフィルタターレット３２を回転駆動する機能を有している。
【００３３】
次に上記の如く構成された装置の作用について上記図５及び図９に示す制御フローチャートに沿って説明する。
通常観察の初期状態として、対物レンズ１１ｂが観察光路上に挿入されており、観察光路側のＮＤフィルタユニット４の透過率が〜１００［％］で例えばアドレス情報：６２に設定され、かつダミー像投影側のＮＤフィルタユニット１７の透過率が〜０［％］で例えばアドレス情報：１９２に設定されている。
【００３４】
又、カラーフィルタターレット３２は、例えばダミー照明光の光軸上にグリーンフィルタ３２ａが挿入されている。
対物レンズを切り替えるためにスイッチ入力部２４の対物レンズ切替えスイッチＳＷ1 が押し操作されると、ＣＰＵ３４は、上記同様に、ステップ＃１においてＮＤフィルタユニット４の透過率を１００→０［％］になるように駆動パルス数を算出し、円形ＮＤフィルタ４ａの回転方向を判定し、駆動回路２６を介してパルスモータ４ｃの回転駆動を開始する。
【００３５】
続いて、ＣＰＵ３４は、ステップ＃３においてＮＤフィルタユニット１７の透過率を０→１００［％］になるように駆動パルス数を算出し、円形ＮＤフィルタ１７ａの回転方向を判定し、駆動回路２７を介してパルスモータ１７ｃの回転駆動を開始する。
【００３６】
次に、ＣＰＵ３４は、ステップ＃４においてダミー像投影の終了を待ち、駆動回路２６からの終了信号を受け取り、かつ駆動回路２７からの終了信号を受け取ると、ダミー像投影の終了と判断する。
【００３７】
このようにＮＤフィルタユニット４の透過率を１００→０［％］にし、かつＮＤフィルタユニット１７の透過率を０→１００［％］にしたときの接眼レンズに向かう標本像の明るさは、上記図６に示すように減光する。
【００３８】
一方、ダミー像の明るさは増光し、かつこのダミー像は、カラーフィルタターレット３２のグリーンフィルタ３２ａを透過することによりグリーン色になつて接眼レンズに到達する。
【００３９】
ダミー像投影が終了すると、ＣＰＵ３４は、上記同様にステップ＃５においてレボルバ駆動回路２５に対して例えば対物レンズ１１ｂ→１１ｃの方向へ移動させるレボルバ駆動指令を発し、次のステップ＃６において対物レンズが１１ｂ→１１ｃに切り替わりレボルバ駆動終了を待つ。そして、レボルバ駆動が終了すると、ＣＰＵ３４は、ステップ＃７に移って標本照明光を増光しつつ、続くステップ＃８でダミー照明光を減光する。
【００４０】
次に、ＣＰＵ３４は、ステップ＃９においてダミー像投影から標本像投影に戻るのを待ち、駆動回路２６からの終了信号を受け取り、かつ駆動回路２７からの終了信号を受け取ると、通常の観察状態と判断してステップ＃１に復帰する。
【００４１】
一方、カラーフィルタを切り替えるためにスイッチ入力部２４のカラーフィルタ切替えスイッチＳＷ2 が押し操作されると、ＣＰＵ３４を図９に示すステップ＃１０においてカラーフィルタ切替えスイッチＳＷ2 の入力を検知し、ステップ＃１１においてフィルタスターレット駆動回路３５を介してカラーフィルタスターレット３２の回転駆動を開始する。次にＣＰＵ３４は、ステップ＃１２においてカラーフィルタの切替え終了待ち、例えば駆動開始後からの所定時間の経過によりカラーフィルタの切替え終了と判断する。
【００４２】
このように上記第２の実施の形態においては、ダミー照明光の光路上にグリーンフィルタ３２ａ、ブルーフィルタ３２ｂ、イエローフィルタ３２ｃ及び無色フィルタ３２ｄを装着したカラーフィルタターレット３２を配置したので、対物レンズ１１ａ〜１１ｃが観察光路中にある標本観察中の接眼像と、対物レンズ１１ａ〜１１ｃの切り替えに際して対物レンズ１１ａ〜１１ｃが観察光路中に無いときの接眼像との各明るさの変化を少なくでき、対物レンズ１１ａ〜１１ｃの切り替えに際して接眼像の急激な光量変化を防止でき、さらに肉眼に優しい色調、又は好みの色調のダミー照明光を選ぶことができて観察者の疲労を軽減できる。
【００４３】
又、ダミー照明用光源３０を有するので、これを顕微鏡鏡筒部等に配置することが可能であり、顕微鏡内部の光路構成を簡単にすることができる。
なお、本発明は、上記第１及び第２の実施の形態に限定されるものでなく次の通り変形してもよい。
【００４４】
例えば、上記第２の実施の形態では、ダミー照明用光源３０のダミー照明光路上にカラーフィルタターレット３２を配置しているが、このカラーフィルタターレット３２を上記第１の実施の形態におけるダミー像投影系に配置してもよいことは言うまでもない。
【００４５】
又、ダミー照明用光源３０は、高輝度ＬＥＤ等を用いてもよく、この場合、ＮＤフィルタユニット１９に代わり例えばＣＰＵ３４からのＰＷＭ制御により高輝度ＬＥＤを調光することが可能であり、より簡単な構成とすることができる。カラーフィルタターレット３２は、４つのスロットにグリーンＬＥＤ、ブルーＬＥＤ、イエロＬＥＤ、白色（無色）ＬＥＤを配置する構成をとってもよい。
【００４６】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明の請求項１、２によれば、対物レンズの切り替えに際して接眼像の急激な光量変化を防止して観察者の疲労を軽減できるレボルバ連動照明制御装置を提供できる。
【００４７】
又、本発明の請求項２によれば、肉眼に優しい色調又は好みの色調のダミー照明光を選ぶことができて観察者の疲労を軽減できるレボルバ連動照明制御装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わるレボルバ連動照明制御装置を適用した顕微鏡装置の第１の実施の形態を示す全体構成図。
【図２】同装置における連続的に変化する円形ＮＤフィルタの構成図。
【図３】同装置における円形ＮＤフィルタの構成図。
【図４】同装置における制御部の具体的な構成図。
【図５】同装置における制御フローチャートを示す図。
【図６】接眼レンズに向かう標本像の明るさとダミー像の明るさとを示す図。
【図７】本発明に係わるレボルバ連動照明制御装置を適用した顕微鏡装置の第２の実施の形態を示す全体構成図。
【図８】同装置における制御部の具体的な構成図。
【図９】同装置における制御フローチャートを示す図。
【符号の説明】
１：照明用光源、
３：分割ブリズム、
４：ＮＤフィルタユニット、
９：ステージ、
１０：レボルバ、
１１ａ〜１１ｃ：対物レンズ、
１２：分割プリズム、
１７：ＮＤフィルタユニット、
２０，３３：制御部、
２１，３４：ＣＰＵ、
２４：スイッチ入力部（ＳＷ入力部）、
２５：レボルバ駆動回路、
ＳＷ1 ，ＳＷ2 ：対物レンズ切替えスイッチ、
２６，２７：駆動回路、
３０：ダミー照明用光源、
３２：カラーフィルタターレット、
３２ａ：グリーンフィルタ、
３２ｂ：ブルーフィルタ、
３２ｃ：イエローフィルタ、
３２ｄ：無色フィルタ、
３２ｅ：パルスモータ、
３５：カラーフィルタターレット駆動回路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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