(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する基板カセットの固定装置において、基板カセットを載置する載せ台と、基板カセットを基板処理装置のカセット基準面に押動するシリンダと、載せ台に設けられ、シリンダの動作に連動し、基板カセット底部を載せ台に固定し、支点を軸に回動する固定レバーと、固定レバーに装着され、固定レバーを回動するカムフオロアと、シリンダが固定されるプレートに設けられ、カムフオロアをガイドし、上方に偏移する溝カムを備え、シリンダの動作によりカムフオロアが溝カム内を動くことで、固定レバーが回動し、固定レバーの嵌合部に嵌まり込み、基板カセット底部を載せ台に固定する固定手段と、固定レバーに設けられ、固定レバーの先端を固定レバー嵌合部に嵌合する方向に設けた可動溝と、固定レバーの先端を固定レバー嵌合部に嵌合する方向に付勢する付勢手段を備え、可動溝に嵌装されたカムフォロアが、付勢手段により固定レバーが移動する際に、可動溝内でスライドして可動溝内での位置を偏移することにより、基板カセット底部の寸法誤差を吸収することを特徴とする基板カセット固定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置等における基板カセット固定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図７に従来の基板カセット固定装置の概略図を示す。図７において、１は基板を収納する基板カセット、２は基板カセット１が載置される載せ台、３は基板カセット１を水平方向に押え付ける押し付けシリンダ、４は基板カセット１の底部、５は基板カセット底部固定レバー、８は基板処理装置のカセット基準面、１１は基板カセットの固定を検知する基板カセット固定センサ、１２は基板カセット固定レバー５を作動する基板カセット固定シリンダである。図７に示すような従来の基板カセット固定装置では、載せ台２上に基板カセット１が載置されると、まず、固定シリンダ１２が作動して基板カセット固定レバー５を回動し、基板カセット１の底部４を載せ台２上に固定する。基板カセット１が固定されたことが基板カセット固定センサ１１により確認されると、載せ台２を水平方向に押動する押し付けシリンダ３により、基板カセット１を基板処理装置方向に押動し、基板カセット１を基板処理装置のカセット基準面８に固定する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記した従来の基板カセット固定装置では、基板カセット１を載せ台上に固定する動作と基板カセット１を基板処理装置のカセット基準面８に押動するための動作に、押し付けシリンダ３と固定シリンダ１２の２個の駆動源が用いられており、かつ２つの動作の間に固定センサ１１によるセンシング工程が設けられているため、信頼性が低く、タイムロスが生じ、かつ部品点数が多いという課題があった。
【０００４】
本発明は、基板カセットを高い信頼性で高速に固定することができ、かつ部品点数が少ない基板カセット固定装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために本発明は、基板カセットを基板処理装置のカセット基準面に押動するシリンダの動作に連動して、基板カセットを載せ台上に固定することにより、基板カセットの載せ台上への固定動作と基板処理装置のカセット基準面への固定動作を一つの駆動源により行うようにしたものである。
【０００６】
本発明によると、基板カセットの固定動作と基板カセットを基板処理装置のカセット基準面に押動する動作の駆動源が一つとなるため、センシングが不要となるとともに、基板カセットの固定を高い信頼性で、かつ高速に行うことができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明は、基板を収納する基板カセットの固定装置において、基板カセットを載置する載せ台と、基板カセットを基板処理装置のカセット基準面に押動するシリンダと、載せ台に設けられ、シリンダの動作に連動し、基板カセット底部を載せ台に固定し、支点を軸に回動する固定レバーと、固定レバーに装着され、固定レバーを回動するカムフオロアと、シリンダが固定されるプレートに設けられ、カムフオロアをガイドし、上方に偏移する溝カムを備え、シリンダの動作によりカムフオロアが溝カム内を動くことで、固定レバーが回動し、固定レバーの嵌合部に嵌まり込み、基板カセット底部を載せ台に固定する固定手段と、固定レバーに設けられ、固定レバーの先端を固定レバー嵌合部に嵌合する方向に設けた可動溝と、固定レバーの先端を固定レバー嵌合部に嵌合する方向に付勢する付勢手段を備え、可動溝に嵌装されたカムフォロアが、付勢手段により固定レバーが移動する際に、可動溝内でスライドして可動溝内での位置を偏移することにより、基板カセット底部の寸法誤差を吸収することを特徴とする基板カセット固定装置で、基板カセット底部を載せ台上に固定する動作と
基板カセットを基板処理装置の前面に固定する動作の駆動源が一つになり、かつ、センシングが不要となるため、部品点数が少く、基板カセットの固定を高い信頼性で、かつ高速に行うことができるという有利な作用を有する。
【０００８】
また、固定レバーに設けられ、カムフオロアを固定レバーに偏移可能に嵌装する可動溝と、固定レバーを付勢する付勢手段を備え、付勢手段により固定レバーに設けられた可動溝をスライドし、可動溝に嵌装されるカムフオロアの位置を偏移することにより、基板カセット底部の寸法誤差を吸収するので、基板カセット底部のバラツキを可動溝をスライドして可動溝に嵌装される位置を偏移することにより吸収することが可能となるため、基板カセットの固定の信頼性を一層高めることができる作用を有する。
【０００９】
【実施の形態】
図１〜図４は、本発明に係る実施の形態である基板カセット固定装置の動作工程を示し、図５は、本発明に係る実施の形態である基板カセット固定装置の概略図、図６は、基板カセット固定装置の基板カセット底部固定部の拡大図である。
【００１０】
図１〜図５において、１は基板を収納する基板カセット、２は基板カセット１が載置される載せ台、３は基板カセットを水平方向に押動する押し付けシリンダ、４は基板カセット１の底部、４ａは底部４に設けた固定レバー嵌合部、５は基板カセット底部固定レバー、５ａは固定レバー回動支点、６は押し付けシリンダ３の動作に連動して、固定レバー５を回動するカムフオロア、７はカムフオロア６をガイドする溝カム、８は基板処理装置の前面に設けたカセット基準面、９は固定レバー５に設けられ、カムフオロア６が嵌装されるカムフオロア可動溝、１０は固定レバー５を基板カセット１の底部４方向に付勢するレバー押えバネである。
【００１１】
以下、図１〜図４に示す基板カセット固定装置の動作工程図及び図５に示す基板カセット固定装置の概略図により、本実施の形態における基板カセット固定動作について説明する。図１に示すように、基板カセット１が載せ台２上に載置されると、押し付けシリンダ３が作動し、基板カセット１は前方にスライドされる。この時、固定レバー５に設けたカムフオロア６は溝カム７によってガイドされて上方に偏移するため、固定レバー５は支点５ａを中心に回動し、その結果固定レバー５の先端は、基板カセット底部４の固定レバー嵌合部４ａに嵌合し、図２に示すように、基板カセット１の底部４を載せ台２上に固定する。そのため、基板カセット１は基板処理装置のカセット基準面８に固定される前に載せ台２上に固定される。次に、押し付けシリンダ３がそのまま動作し、基板カセット１を水平方向に押動すると、基板カセット１は基板処理装置のカセット基準面８側にスライドし、図３に示すように、基板処理装置のカセット基準面８に固定される。
【００１２】
次に、図６により、基板カセット１に誤差が生じた場合の寸法誤差の調整動作について説明する。カムフオロア６は、固定レバー５に設けたカムフオロア可動溝９に嵌装され、かつ固定レバー５は、固定レバー押えバネ１０により、固定レバー５の先端が基板カセット１の底部４に設けた固定レバー嵌合部４ａに嵌合するように付勢されているので、基板カセット１の底部４に寸法誤差が生じた場合には、押えバネ１０により固定レバー５が可動し、可動溝に嵌装されたカムフォロア６が、付勢手段により固定レバー５が移動する際に、寸法誤差分だけ可動溝９内でスライドして可動溝９内での位置を偏移させることにより、基板カセット底部４に生じた寸法誤差を吸収する。
【００１３】
このように、本実施の形態によると、載せ台２上に基板カセット１が載置されると、押し付けシリンダ３が作動して、載せ台２を前方に押動し、この動作に連動してカムフオロア６と溝カム７により、固定レバー５は支点５ａを中心に回動し、そのため固定レバー５の先端は基板カセット底部４の固定レバー嵌合部４ａに嵌合し、基板カセット１を固定レバー５により固定する。次に、押し付けシリンダ３がそのまま動作し、基板カセット１を水平方向に押動するため、基板カセット１は基板処理装置のカセット基準面８に固定される。また、基板カセット１の底部４に寸法誤差がある場合は、押えバネ１０により固定レバー５を回動し、可動溝９がスライドして可動溝９に嵌装されるカムフオロア６の位置を偏移することにより、基板カセット底部に生じた寸法誤差を吸収する。
【００１４】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、基板カセット底部を載せ台上に固定する動作と、基板カセットを基板処理装置のカセット基準面に固定する動作を、共通する駆動源により行うため、駆動源が一つになり、かつ、センシングが不要となるため、部品点数が少なくなるとともに、基板カセット底部のバラツキを吸収することも可能となり、基板カセットの固定を高い信頼性で高速に行うことができるという有利な効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】基板カセットが載せ台上に載置された状態を示す図である。
【図２】基板カセット底部に固定された状態を示す図である。
【図３】基板カセットが基板処理装置全面に固定された状態を示す図である。
【図４】基板カセット底部に誤差が生じる場合の状態を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態である基板カセット固定装置の概略図である。
【図６】基板カセット固定装置の基板カセット底部固定部の拡大図である。
【図７】従来の基板カセット固定装置の概念図である。
【符号の説明】
１  基板カセット
２  カセット載せ台
３  押し付けシリンダ
４  基板カセットの底部
４ａ  固定レバー嵌合部
５  基板カセット底部固定レバー
５ａ  固定レバー回動支点
６  カムフオロア
７  溝カム
８  基板処理装置のカセット基準面
９  カムフオロア可動溝
１０  レバー押さえバネ
１１  基板カセット固定センサ
１２  基板カセット固定シリンダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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