(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ｐｎ接合を有する発光素子を半導体基板に形成した半導体発光装置において、
第１の多層反射層の上に、第１のクラッド層、発光源となる第１導電型の活性層、および第２のクラッド層をこの順に積層し、前記第２のクラッド層の上に第２の多層反射層を設けた構造を有し、
前記第１のクラッド層および前記第２のクラッド層のエネルギバンドギャップが前記活性層のエネルギバンドギャップよりも大きく、
前記第１の多層反射層および前記第２の多層反射層が異種の半導体膜を積層した反射層を多層形成したものであり、前記第１の多層反射層および前記第２の多層反射層のそれぞれに前記活性層よりもエネルギバンドギャップの大きい半導体膜が含まれている半導体基板と、
基板上面から前記活性層の内部までの基板領域に選択的に形成された第２導電型領域と、
前記半導体基板の第１導電型領域にコンタクトする第１導電側電極と、
前記第２導電型領域にコンタクトする第２導電側電極と
を備え、
前記活性層内に、前記第２導電型領域により形成されたｐｎ接合部分が主たる発光領域となる様に構成し、
前記第２導電型領域が、基板上面から第２導電型不純物を拡散させることにより形成された第２導電型不純物拡散領域であり、該第２導電型不純物拡散領域により基板上面付近に形成された拡散フロントが、溝状にエッチング除去されていることを特徴とする半導体発光装置。
【請求項２】
ｐｎ接合を有する発光素子を半導体基板に形成した半導体発光装置において、
第１の多層反射層の上に、第１のクラッド層、発光源となる第１導電型の活性層、および第２のクラッド層をこの順に積層し、前記第２のクラッド層の上に第２の多層反射層を設けた構造を有し、
前記第１のクラッド層および前記第２のクラッド層のエネルギバンドギャップが前記活性層のエネルギバンドギャップよりも大きく、
前記第１の多層反射層および前記第２の多層反射層が異種の半導体膜を積層した反射層を多層形成したものであり、前記第１の多層反射層および前記第２の多層反射層のそれぞれに前記活性層よりもエネルギバンドギャップの大きい半導体膜が含まれている半導体基板と、
基板上面から前記活性層の内部までの基板領域に選択的に形成された第２導電型領域と、
前記半導体基板の第１導電型領域にコンタクトする第１導電側電極と、
前記第２導電型領域にコンタクトする第２導電側電極と
を備え、
前記活性層内に、前記第２導電型領域により形成されたｐｎ接合部分が主たる発光領域となる様に構成し、
前記半導体基板が、前記第２の多層反射層の上方の基板最上層に電極とオーミックコンタクトを形成するための第１導電型または半絶縁性の半導体キャップ層を有し、前記第２導電側電極が、前記半導体キャップ層内に形成された第２導電型領域である第２導電型半導体キャップ領域にコンタクトし、
前記第２導電型領域が、基板上面から第２導電型不純物を拡散させることにより形成された第２導電型不純物拡散領域であり、該第２導電型不純物拡散領域により前記半導体キャップ層内に形成された拡散フロントが、溝状にエッチング除去されていることを特徴とする半導体発光装置。
【請求項３】
ｐｎ接合を有する発光素子を半導体基板に形成した半導体発光装置において、
第１の多層反射層の上に、第１のクラッド層、発光源となる第１導電型の活性層、および第２のクラッド層をこの順に積層し、前記第２のクラッド層の上に第２の多層反射層を設けた構造を有し、
前記第１のクラッド層および前記第２のクラッド層のエネルギバンドギャップが前記活性層のエネルギバンドギャップよりも大きく、
前記第１の多層反射層および前記第２の多層反射層が異種の半導体膜を積層した反射層を多層形成したものであり、前記第１の多層反射層および前記第２の多層反射層のそれぞれに前記活性層よりもエネルギバンドギャップの大きい半導体膜が含まれている半導体基板と、
基板上面から前記活性層の内部までの基板領域に選択的に形成された第２導電型領域と、
前記半導体基板の第１導電型領域にコンタクトする第１導電側電極と、
前記第２導電型領域にコンタクトする第２導電側電極と
を備え、
前記活性層内に、前記第２導電型領域により形成されたｐｎ接合部分が主たる発光領域となる様に構成し、
前記半導体基板が、前記第２の多層反射層の上方の基板最上層に電極とオーミックコンタクトを形成するための第１導電型または半絶縁性の半導体キャップ層を有し、前記第２導電側電極が、前記半導体キャップ層内に形成された第２導電型領域である第２導電型半導体キャップ領域にコンタクトし、
前記第２導電型領域が、基板上面から第２導電型不純物を拡散させることにより形成された第２導電型不純物拡散領域であり、該第２導電型不純物拡散領域により、前記半導体キャップ層内に形成された拡散フロント、および前記半導体キャップ層とその下の半導体層との界面近傍に形成された拡散フロントが、溝状にエッチング除去されていることを特徴とする半導体発光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ｐｎ接合を有する発光素子を半導体基板に形成した半導体発光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１１は従来の半導体発光装置の発光素子構造を示す断面図である。図１１の発光素子構造は、「P.D.Floyd,B.J.Thibeault,and L.A.Coldren,LEOS'95,SCL14.2,pp414-415(1995) 」に開示されたものであり、ｎ型ＧａＡｓ基板１１の上に、第１の多層反射層であるｎ型ＤＢＲ（Distributed Bragg Reflector ）層１２を設け、その上にクラッド層／多量子井戸型の活性層１３／クラッド層構造を設け、その上に第２の多層反射層であるｐ型ＤＢＲ層１４を設けた半導体基板に、複数の発光素子を形成したものである。上記の半導体基板には、第２の多層反射層（ｐ型ＤＢＲ層）１４を分離するメサエッチング領域１７が形成され、分離されたｐ型ＤＢＲ領域に個別にコンタクトするｐ側電極１５と、ｎ型ＧａＡｓ基板１１にコンタクトするｎ側電極１６とが設けられている。図１１の半導体発光装置では、半導体基板の下面（ｎ型ＧａＡｓ基板１１の下面）からレーザ光が放射される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来の発光素子構造では、半導体基板にメサエッチング領域を設ける必要があるため、このメサエッチング領域によって素子ピッチが制限され、発光素子を高密度に集積することができなかった。また、製造工程において、半導体基板（半導体ウエハ）に設けられたメサエッチング領域（メサエッチング溝）のために、フォトリソ工程でレジスト残留、露光焦点ボケ、電極材料の残留などの欠陥が発生しやすく、また電極配線が断線しやすく、歩留まりが低下するという問題があった。
【０００４】
本発明はこのような従来の問題を解決するためになされたものであり、発光素子を高密度に集積でき、製造歩留まりが高い半導体発光装置を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明の半導体発光装置は、ｐｎ接合を有する発光素子を半導体基板に形成した半導体発光装置において、第１の多層反射層の上に、第１のクラッド層、発光源となる第１導電型の活性層、および第２のクラッド層をこの順に積層し、前記第２のクラッド層の上に第２の多層反射層を設けた構造を有し、前記第１のクラッド層および前記第２のクラッド層のエネルギバンドギャップが前記活性層のエネルギバンドギャップよりも大きく、前記第１の多層反射層および前記第２の多層反射層が異種の半導体膜を積層した反射層を多層形成したものであり、前記第１の多層反射層および前記第２の多層反射層のそれぞれに前記活性層よりもエネルギバンドギャップの大きい半導体膜が含まれている半導体基板と、基板上面から前記活性層の内部までの基板領域に選択的に形成された第２導電型領域と、前記半導体基板の第１導電型領域にコンタクトする第１導電側電極と、前記第２導電型領域にコンタクトする第２導電側電極とを備え、前記活性層内に、前記第２導電型領域により形成されたｐｎ接合部分が主たる発光領域となる様に構成し、
前記第２導電型領域が、基板上面から第２導電型不純物を拡散させることにより形成された第２導電型不純物拡散領域であり、該第２導電型不純物拡散領域により基板上面付近に形成された拡散フロントが、溝状にエッチング除去されていることを特徴とする。
更に別の本発明による半導体発光装置は、ｐｎ接合を有する発光素子を半導体基板に形成した半導体発光装置において、第１の多層反射層の上に、第１のクラッド層、発光源となる第１導電型の活性層、および第２のクラッド層をこの順に積層し、前記第２のクラッド層の上に第２の多層反射層を設けた構造を有し、前記第１のクラッド層および前記第２のクラッド層のエネルギバンドギャップが前記活性層のエネルギバンドギャップよりも大きく、前記第１の多層反射層および前記第２の多層反射層が異種の半導体膜を積層した反射層を多層形成したものであり、前記第１の多層反射層および前記第２の多層反射層のそれぞれに前記活性層よりもエネルギバンドギャップの大きい半導体膜が含まれている半導体基板と、基板上面から前記活性層の内部までの基板領域に選択的に形成された第２導電型領域と、前記半導体基板の第１導電型領域にコンタクトする第１導電側電極と、前記第２導電型領域にコンタクトする第２導電側電極とを備え、前記活性層内に、前記第２導電型領域により形成されたｐｎ接合部分が主たる発光領域となる様に構成し、
前記半導体基板が、前記第２の多層反射層の上方の基板最上層に電極とオーミックコンタクトを形成するための第１導電型または半絶縁性の半導体キャップ層を有し、前記第２導電側電極が、前記半導体キャップ層内に形成された第２導電型領域である第２導電型半導体キャップ領域にコンタクトし、前記第２導電型領域が、基板上面から第２導電型不純物を拡散させることにより形成された第２導電型不純物拡散領域であり、該第２導電型不純物拡散領域により前記半導体キャップ層内に形成された拡散フロントが、溝状にエッチング除去されていることを特徴とする。
更に別の本発明による半導体発光装置は、ｐｎ接合を有する発光素子を半導体基板に形成した半導体発光装置において、第１の多層反射層の上に、第１のクラッド層、発光源となる第１導電型の活性層、および第２のクラッド層をこの順に積層し、前記第２のクラッド層の上に第２の多層反射層を設けた構造を有し、前記第１のクラッド層および前記第２のクラッド層のエネルギバンドギャップが前記活性層のエネルギバンドギャップよりも大きく、前記第１の多層反射層および前記第２の多層反射層が異種の半導体膜を積層した反射層を多層形成したものであり、前記第１の多層反射層および前記第２の多層反射層のそれぞれに前記活性層よりもエネルギバンドギャップの大きい半導体膜が含まれている半導体基板と、基板上面から前記活性層の内部までの基板領域に選択的に形成された第２導電型領域と、前記半導体基板の第１導電型領域にコンタクトする第１導電側電極と、前記第２導電型領域にコンタクトする第２導電側電極とを備え、前記活性層内に、前記第２導電型領域により形成されたｐｎ接合部分が主たる発光領域となる様に構成し、
前記半導体基板が、前記第２の多層反射層の上方の基板最上層に電極とオーミックコンタクトを形成するための第１導電型または半絶縁性の半導体キャップ層を有し、前記第２導電側電極が、前記半導体キャップ層内に形成された第２導電型領域である第２導電型半導体キャップ領域にコンタクトし、前記第２導電型領域が、基板上面から第２導電型不純物を拡散させることにより形成された第２導電型不純物拡散領域であり、該第２導電型不純物拡散領域により、前記半導体キャップ層内に形成された拡散フロント、および前記半導体キャップ層とその下の半導体層との界面近傍に形成された拡散フロントが、溝状にエッチング除去されていることを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】
第１の実施形態
図１は本発明の第１の実施形態の半導体発光装置１の構造を示す断面図である。また、図２および図３は本発明の第１の実施形態の半導体発光装置１の構造を示す上面図である。図１は図２におけるＡ−Ａ’間の断面図である。例えば、第１導電型をｎ型とした場合は、図１の第２導電型不純物拡散領域１１０はｐ型不純物を拡散させることにより形成されたｐ型不純物拡散領域であり、第２導電側電極１０８はｐ型不純物拡散領域にコンタクトするｐ側電極であり、第１導電側電極１０９はｎ型基板にコンタクトするｎ側電極である。また、第１導電型をｐ型とすることも可能である。なお、半導体発光装置１は、半導体基板１００に複数の発光素子を等間隔に集積した発光素子アレイであるが、半導体基板に１個の発光素子を形成したものであっても良い。
【０００７】
半導体発光装置１は、半導体基板１００と、層間絶縁膜１０７と、第２導電側電極１０８と、第１導電側電極１０９と、半導体基板１００に形成された第２導電型不純物拡散領域１１０とを備えている。なお、半導体基板１００は、半導体発光装置１の製造過程においては半導体ウエハである。
【０００８】
半導体基板１００は、第１導電型基板１０１の上に、第１の多層反射層１０２を設け、その上に、第１のクラッド層１０３、第１導電型活性層１０４、第２のクラッド層１０５を設け、その上の基板最上層に、第２の多層反射層１０６を設けた構造である。
【０００９】
活性層１０４の下層および上層となる第１のクラッド層１０３および１０５は、活性層１０４内のｐｎ接合を介して注入された少数キャリアを活性層１０４内に閉じ込め、キャリアの再結合効率を高めるための半導体層である。なお、この第１の実施形態では、第１のクラッド層１０３は第１導電型である。
【００１０】
活性層１０４のエネルギバンドギャップをＥｇ（１０４）、第１のクラッド層１０３のエネルギバンドギャップをＥｇ（１０３）、第２のクラッド層１０５のエネルギバンドギャップをＥｇ（１０５）とすると、
Ｅｇ（１０３）＞Ｅｇ（１０４）、Ｅｇ（１０５）＞Ｅｇ（１０４）（１）である。
【００１１】
第１の多層反射層１０２および第２の多層反射層１０６は、活性層１０４内で発生した光を反射し、誘導放出を生じさせるための半導体層である。第１の多層反射層１０２および第２の多層反射層１０６は、結晶構造、格子定数、屈折率、あるいはエネルギバンドギャップ（エピタキシャル層の場合は組成比）の異なる異種の半導体膜を積層した反射層を多層形成した構造である。なお、この第１の実施形態では、第１の多層反射層１０２は、第１導電型の半導体膜を積層した多層構造である。また、第２の多層反射層１０６は、第１導電型の半導体膜を積層した多層構造、または半絶縁性の半導体膜を積層した多層構造、または第１導電型の半導体膜と半絶縁性の半導体膜を積層した多層構造である。また、第１の多層反射層１０２の反射率は、第２の多層反射層１０６よりも小さいことが望ましい。
【００１２】
第１の多層反射層１０２を構成する半導体膜の最小のエネルギバンドギャップをＥｇ（１０２）、第２の多層反射層１０６を構成する半導体膜の最小のエネルギバンドギャップをＥｇ（１０６）とすると、
Ｅｇ（１０２）＞Ｅｇ（１０４）、Ｅｇ（１０６）＞Ｅｇ（１０４）（２）とすることが望ましい。
【００１３】
第１の多層反射層１０２、第１のクラッド層１０３、活性層１０４、第２のクラッド層１０５、第２の多層反射層１０６は、例えば、Ａｌ組成比ｘが異なるＡｌx Ｇａ1-x Ａｓ（ｘ≧０）層、あるいはＩｎ組成比ｙおよびＡｌ組成比ｘが異なるＩｎy （Ａｌx Ｇａ1-x ）1-y Ｐ（ｙ≧０）層などである。Ａｌx Ｇａ1-x Ａｓは、Ａｌ組成比を変えるとエネルギバンドギャップが変わる。また、Ｉｎy （Ａｌx Ｇａ1-x ）1-y Ｐは、Ｉｎ組成比およびＡｌ組成比を変えるとエネルギバンドギャップが変わる。
【００１４】
第２導電型不純物拡散領域１１０は、固相拡散拡散法あるいは気相拡散拡散法を用い、基板表面（基板上面）から第２導電型不純物を選択的に拡散させることにより、第２の多層反射層１０６の上面から活性層１０４の内部までの基板領域に形成される。第２導電型不純物は、第２導電型がｐ型の場合には、例えばＺｎである。また、第２導電型がｎ型の場合には、例えばＳｎまたはＳｉである。
【００１５】
第２導電型不純物拡散領域１１０を形成することにより、第２の多層反射層１０６には、第２導電型不純物拡散領域と、第２導電型以外（第１導電型、または半絶縁性、または第１導電型および半絶縁性）の半導体領域とが混在することになる。また、第２のクラッド層１０５および活性層１０４には、それぞれ第２導電型不純物拡散領域と第１導電型半導体領域とが混在することになる。
【００１６】
第２導電型不純物拡散領域１１０の拡散フロント１１１は、第２の多層反射層１０６内、第２のクラッド層１０５内、および活性層１０４内に形成される。また、拡散フロント１１１によるｐｎ接合は、第２の多層反射層１０６の第１導電型半導体膜内、第２のクラッド層１０５内、および活性層１０４内に形成され、第２の多層反射層１０６の半絶縁性半導体膜内には形成されない。拡散フロント１１１の底部（半導体基板の積層面に対し略平行な部分）、および拡散フロント１１１によるｐｎ接合の底部は、活性層１０４の内部にある。
【００１７】
第２導電型不純物拡散領域１１０が形成された半導体基板１００の表面上には、層間絶縁膜１０７が形成される。この層間絶縁膜１０７には、第２導電型不純物拡散領域１１０の表面を露出させる開口部が設けられている。層間絶縁膜１０７は、第２導電側電極１０８が第２の多層反射層１０６の第１導電型半導体領域に接触して第２導電型不純物拡散領域１１０と第１導電型半導体領域がショートしないように設けられたものである。層間絶縁膜１０７としては、例えばＳｉＮ膜が形成される。
【００１８】
半導体基板１００の表面（上面）側の第２導電型不純物拡散領域１１０上および層間絶縁膜１０７上には、第２導電型不純物拡散領域１１０にコンタクトする第２導電側電極１０８が形成される。第２導電側電極１０８には、第２導電型不純物拡散領域１１０表面を露出させる開口部１０８ａが設けられており、第２導電側電極１０８は、第２導電型不純物拡散領域１１０の周部領域にコンタクトしている。また、半導体基板１００の裏面（下面）側には、第１導電型基板１０１にコンタクトする第１導電側電極１０９が形成される。第２導電側電極１０８および第１導電側電極１０９としては、コンタクトする半導体の導電型がｐ型の場合は、例えばＡｌからなる電極が形成され、ｎ型の場合は、例えばＡｕ合金からなる電極が形成される。なお、第２導電側電極１０８および第１導電側電極１０９は発生した光に対し遮蔽層となる。
【００１９】
第２導電側電極１０８と、第２導電型不純物拡散領域１１０と、半導体基板１００の第１導電型半導体領域（第１導電型基板１０１、第１の多層反射層１０２、第１のクラッド層１０３、活性層１０４の第１導電型半導体領域）と、第１導電側電極１０９とは、１個の発光素子を構成している。第２導電側電極１０８および第２導電型不純物拡散領域１１０は、発光素子ごとに個別に設けられる。また、第１導電側電極１０８および第１導電型半導体領域は、複数の発光素子に共通に設けられる。
【００２０】
次に、第１の実施形態の半導体発光装置１の動作を説明する。第１導電側電極１０９と、第２導電型側電極１０８の間に順方向の電圧を印加すると、活性層１０４内に形成されたｐｎ接合を通して少数キャリアの注入が起こる。活性層１０４以外にもｐｎ接合が形成されているが、半導体基板１００は式（１）および（２）を満足する構造であり、活性層１０４内に形成されたｐｎ接合の電位障壁（拡散電位）が最も小さいので、主として活性層１０４内のｐｎ接合を通して少数キャリアの注入が起こる。電子は第１導電型半導体領域から活性層１０４内のｐｎ接合を通して第２導電型不純物拡散領域１１０に注入され、正孔は第２導電型不純物拡散領域１１０から活性層１０４内のｐｎ接合を通して第１導電型半導体領域に注入される。注入された少数キャリアは、式（１）によって活性層１０４と第１のクラッド層１０３の界面および活性層１０４と第２のクラッド層１０５の界面にエネルギ障壁が存在するので、第１のクラッド層１０３および第２のクラッド層１０５には拡散することができず、活性層１０４内に閉じ込められ、活性層１０４内のｐｎ接合付近で、注入キャリアと多数キャリアの再結合による光が発生する。発生する光は、活性層１０４のエネルギバンドギャップに相当する波長の光である。
【００２１】
活性層１０４内で発生した光は、第１の多層反射層１０２と第２の多層反射層１０６によって反射され、第１の多層反射層１０２と第２の多層反射層１０６の間を往復し、この光によって誘導放出が起こる。順方向電流がある閾値を越えると、上記の誘導放出によるレーザ光は、第２の多層反射層１０６を通過し、第２導電型側電極１０８の開口部１０８ａから放出される。活性層１０４内で発生した光は、活性層１０４のエネルギバンドギャップに相当する波長の光なので、式（１）および（２）により、第１のクラッド層１０３、第２のクラッド層１０５、第１の多層反射層１０２、および第２の多層反射層１０６で吸収されない。また、誘導放出によるレーザ光も、活性層１０４のエネルギバンドギャップに準じた波長になるので、第１のクラッド層１０３、第２のクラッド層１０５、第１の多層反射層１０２、および第２の多層反射層１０６で吸収されない。従って、発生した光を吸収を受けずに基板外部に取り出すことができる。
【００２２】
このように第１の実施形態によれば、第１の多層反射層１０２の上に、第１のクラッド層１０３、第１導電型活性層１０４、第２のクラッド層１０３を設け、その上に第２の多層反射層１０６を設けた構造を有し、多層反射層１０２，１０６およびクラッド層１０３，１０５のエネルギバンドギャップが活性層１０４のエネルギバンドギャップよりも大きい半導体基板１００を用い、この半導体基板１００に選択的に第２導電型不純物拡散領域１１０を形成することにより、活性層１０４内に発光源となるｐｎ接合を有し、メサエッチング溝がないプレーナ構造の面発光素子を形成できるので、発光素子を高密度に集積することができる。さらには、発光素子と他の素子とを高密度に集積することができる。
【００２３】
また、メサエッチング溝がないので、フォトリソ工程での欠陥の発生および電極配線の断線を低減できるので、製造歩留まりを上げることができる。
【００２４】
なお、上記第１の実施形態では、第１の多層反射層１０２を構成する全ての半導体膜のエネルギバンドギャップを活性層１０４のエネルギバンドギャップＥｇ（１０４）よりも大きいものとしたが、第１の多層反射層１０２は、エネルギバンドギャップがＥｇ（１０４）よりも大きい半導体層と、エネルギバンドギャップがＥｇ（１０４）以下の半導体膜とにより構成されていても良い。同様に、上記第１の実施形態では、第２の多層反射層１０６を構成する全ての半導体膜のエネルギバンドギャップをＥｇ（１０４）よりも大きいものとしたが、第２の多層反射層１０６は、エネルギバンドギャップがＥｇ（１０４）よりも大きい半導体層と、エネルギバンドギャップがＥｇ（１０４）以下の半導体膜とにより構成されていても良い。多層反射層にエネルギバンドギャップがＥｇ（１０４）以下の半導体膜を含む場合には、光の吸収を小さくするために、エネルギバンドギャップがＥｇ（１０４）以下の半導体膜の合計膜厚を薄くすることが望ましい。また、第２の多層反射層１０６にエネルギバンドギャップＥｇ（１０４）以下の半導体膜を含む場合には、エネルギバンドギャップＥｇ（１０４）以下の半導体膜に形成されたｐｎ接合を通してキャリアが注入されないように、エネルギバンドギャップＥｇ（１０４）以下の半導体膜を絶縁性にするか、あるいはエネルギバンドギャップＥｇ（１０４）以下の半導体膜と第２のクラッド層の間にエネルギバンドギャップがＥｇ（１０４）よりも大きい半絶縁性の半導体膜を設ける必要がある。エネルギバンドギャップＥｇ（１０４）以下の半導体膜と第２のクラッド層の間にエネルギバンドギャップがＥｇ（１０４）よりも大きい半絶縁性の半導体膜を設けた場合には、エネルギバンドギャップＥｇ（１０４）以下の半導体膜は、第１導電型であっても良い。
【００２５】
第２の実施形態
図４は本発明の第２の実施形態の半導体発光装置２の構造を示す断面図である。また、図５は本発明の第２の実施形態の半導体発光装置２の構造を示す下面図（半導体基板の下面側から見た図）である。図４は図５におけるＡ−Ａ’間の断面図である。なお、図４および図５において、図１および図２と同じものには同じ符号を付してある。また、半導体発光装置２は、半導体基板に複数の発光素子を等間隔に集積した発光素子アレイでも、半導体基板に１個の発光素子を形成したものでも良い。
【００２６】
半導体発光装置２は、上記第１の実施形態の半導体発光装置１において、レーザ光を基板裏面（基板下面）から取り出すようにしたものであり、半導体基板２００と、層間絶縁膜１０７と、第２導電側電極２０８と、第１導電側電極２０９と、半導体基板２００に形成された第２導電型不純物拡散領域１１０とを備えている。
【００２７】
半導体基板２００は、第１導電型基板２０１の上に、第１の多層反射層１０２を設け、その上に、第１のクラッド層１０３、第１導電型活性層１０４、第２のクラッド層１０５を設け、その上の基板最上層に、第２の多層反射層１０６を設けた構造である。つまり、半導体基板２００は、上記第１の実施形態の半導体基板１００において、第１導電型基板１００を第１導電型基板２００にしたものである。
【００２８】
なお、この第２の実施形態では、第１のクラッド層１０３は第１導電型である。また、第１の多層反射層１０２は第１導電型の半導体膜を積層した多層構造である。また、第２の多層反射層１０６は、第１導電型の半導体膜を積層した多層構造、または半絶縁性の半導体膜を積層した多層構造、または第１導電型の半導体膜と半絶縁性の半導体膜を積層した多層構造である。また、上記第１の実施形態とは逆に、第１の多層反射層１０２の反射率は、第２の多層反射層１０６よりも大きいことが望ましい。
【００２９】
第１導電型基板２０１には、活性層１０４よりもエネルギバンドギャップが大きい半導体基板を用いる。つまり、第１導電型基板２０１のエネルギバンドギャップをＥｇ（２０１）とすると、
Ｅｇ（２０１）＞Ｅｇ（１０４）                                （３）
である。
【００３０】
半導体基板２００の表面側基板領域には、上記第１の実施形態と同様に、第２導電型不純物拡散領域１１０が形成される。また、第２導電型不純物拡散領域１１０が形成された半導体基板２００の表面側には、上記第１の実施形態と同様に、層間絶縁膜１０７が設けられる。
【００３１】
半導体基板２００の表面側の第２導電型不純物拡散領域１１０上および層間絶縁膜１０７上には、第２導電型不純物拡散領域１１０にコンタクトする第２導電側電極２０８が形成される。第２導電側電極２０８は、層間絶縁膜１０７の開口部により露出した第２導電型不純物拡散領域１１０表面を全面的に被覆している。
【００３２】
また、半導体基板２００の裏面側には、第１導電型基板２０１にコンタクトする第１導電側電極２０９が形成される。第２導電型不純物拡散領域１１０には、第１導電型基板２０１を露出させる開口部２０９ａが設けられている。開口部２０９ａは、レーザ光を外部に放射するためのものであり、拡散フロント１１１による活性層１０４内のｐｎ接合に対応する位置に、第２導電型不純物拡散領域１１０ごとに個別に形成される。
【００３３】
第２導電側電極２０８と、第２導電型不純物拡散領域１１０と、半導体基板２００の第１導電型半導体領域（第１導電型基板２０１、第１の多層反射層１０２、第１のクラッド層１０３、活性層１０４の第１導電型半導体領域）と、第１導電側電極２０９とは、１個の発光素子を構成している。この発光素子を複数個並べて発光素子アレイとする場合は、第１導電側電極２０９を共通電極とし、第２導電側電極２０８を個別電極とすれば良い。
【００３４】
次に、第２の実施形態の半導体発光装置２の動作を説明する。なお、第１導電側電極２０９と、第２導電型側電極２０８の間に順方向の電圧を印加すると、活性層１０４内のｐｎ接合付近で、注入キャリアの再結合による光が発生することは、上記第１の実施形態と同じである。
【００３５】
活性層１０４内で発生した光は、第１の多層反射層１０２と第２の多層反射層１０６によって反射され、第１の多層反射層１０２と第２の多層反射層１０６の間を往復し、この光によって誘導放出が起こる。順方向電流がある閾値を越えると、上記の誘導放出によるレーザ光は、第１の多層反射層１０２および第１導電型基板２０１を通過し、第１導電型側電極２０９の開口部２０９ａから放出される。
【００３６】
活性層１０４内で発生した光は、式（１）および（２）により、第１の第１のクラッド層１０３、第２のクラッド層１０５、第１の多層反射層１０２、および第２の多層反射層１０６で吸収されない。また、レーザ光は、式（１）ないし（３）により、第１のクラッド層１０３、第２のクラッド層１０５、第１の多層反射層１０２、第２の多層反射層１０６、および第１導電型基板２０１で吸収されない。従って、発生した光を吸収を受けずに基板外部に取り出すことができる。
【００３７】
このように第２の実施形態によれば、第２導電側電極２０８にレーザ光の取り出し開口部を設けず、基板裏面の第１導電側電極２０９にレーザ光の取り出し開口部２０９ａを設けたことにより、発光素子サイズを小さくしても、上記第１の実施形態よりも第２導電側電極と第２導電型不純物拡散領域１１０のコンタクト面積を大きく取ることができる。
【００３８】
第３の実施形態
図６は本発明の第３の実施形態の半導体発光装置３の構造を示す断面図である。また、図７は本発明の第３の実施形態の半導体発光装置３の構造を示す上面図である。図６は図７におけるＢ−Ｂ’間の断面図である。なお、図６および図７において、図１および図２と同じものには同じ符号を付してある。また、半導体発光装置３は、半導体基板に複数の発光素子を等間隔に集積した発光素子アレイでも、半導体基板に１個の発光素子を形成したものでも良い。
【００３９】
半導体発光装置３は、上記第１の実施形態の半導体発光装置１において、第１導電側電極を基板の表面側に設けたものであり、半導体基板３００と、層間絶縁膜１０７と、第２導電側電極１０８と、第１導電側電極３０９と、半導体基板３００に形成された第２導電型不純物拡散領域１１０とを備えている。
【００４０】
半導体基板３００は、半絶縁性基板３０１の上に、第１の多層反射層１０２を設け、その上に、第１のクラッド層１０３、第１導電型活性層１０４、第２のクラッド層１０５を設け、その上の基板最上層に、第２の多層反射層１０６を設けた構造である。つまり、半導体基板３００は、上記第１の実施形態の半導体基板１００において、第１導電型基板１００を半絶縁性基板３００にしたものである。上記の半絶縁性とは、本発明では真性またはノンドープの半導体の意である。半導体材料によっては、ノンドープでエピタキシャル層等を作製した場合に、真性半導体にならずに、不純物濃度の薄いｎ型あるいは不純物濃度の薄いｐ型の半導体になることがある。半絶縁性基板３０１は、真性半導体基板または抵抗率が１０7 ［Ω・ｃｍ］以上であるようなノンドープの半導体基板の意である。
【００４１】
なお、この第３の実施形態では、第２のクラッド層１０５は第１導電型である。また、第１の多層反射層１０２は、第１導電型の半導体膜を積層した多層構造、または半絶縁性の半導体膜を積層した多層構造、または第１導電型の半導体膜と半絶縁性の半導体膜を積層した多層構造である。また、第２の多層反射層１０６は、第１導電型の半導体膜を積層した多層構造である。また、この第３の実施形態では、上記第１の実施形態と同様に、第１の多層反射層１０２の反射率は、第２の多層反射層１０６よりも小さいことが望ましい。
【００４２】
半導体基板３００の表面側基板領域には、上記第１の実施形態と同様に、第２導電型不純物拡散領域１１０が形成される。また、第２導電型不純物拡散領域１１０が形成された半導体基板３００の表面側には、層間絶縁膜１０７が設けられる。層間絶縁膜１０７には、第２導電型不純物拡散領域１１０を露出させる開口部１０７ａの他に、第２の多層反射層１０６の第１導電型領域を露出させる開口部１０７ｂが形成されている。
【００４３】
半導体基板３００の表面（上面）側の第２導電型不純物拡散領域１１０上および層間絶縁膜１０７上には、上記第１の実施形態と同様に、第２導電型不純物拡散領域１１０にコンタクトする第２導電側電極１０８が形成される。また、半導体基板３００の表面（上面）側の層間絶縁膜１０７の開口部１０７ｂ上には、第２の多層反射層１０６の第１導電型半導体領域にコンタクトする第１導電側電極３０９が形成される（図７参照）。
【００４４】
第２導電側電極１０８と、第２導電型不純物拡散領域１１０と、半導体基板３００の第１導電型半導体領域（活性層１０４の第１導電型半導体領域のおよび第２の多層反射層１０６の第１導電型半導体領域）と、第１導電側電極３０９とは、１個の発光素子を構成している。なお、半導体発光装置３の動作は、上記第１の実施形態の半導体発光装置１と同じである。
【００４５】
半導体発光装置３では、図７に示すように第１導電側電極３０９が第２導電側電極１０８と同じ基板表面側に設けられた構造であり、半導体基板３００の最下層に半絶縁性基板３０１を用いて、複数の発光素子を集積する場合に、マトリクス駆動型の半導体発光装置を作製することが可能である。なお、基板３０１は第２導電型でも良い。マトリクス駆動型の半導体発光装置は、半導体基板を互いに絶縁された複数の半導体ブロックに分割し、ブロックごとに単位個数の第２導電型不純物拡散領域と、１個の第１導電側電極（第１導電側電極パッド）とを設け、それぞれ異なるブロックに形成された複数の第２導電型不純物拡散領域に対し、これら第２導電型不純物拡散領域を電気的に接続する１個の第２導電側電極（第２導電側電極パッド）を設けたものである。マトリクス駆動型では、第１導電側電極および第２導電側電極の電極パッド数を発光素子数よりも少なくできるので、半導体発光装置（半導体基板）をコンパクト化できる。
【００４６】
このように第３の実施形態によれば、第１導電型電極３０９を第２導電側電極１０８と同じ基板表面側に設けたことにより、複数の発光素子を集積する場合に、マトリクス駆動型の半導体発光装置を作製することができるので、装置をコンパクト化できる。
【００４７】
第４の実施形態
図８は本発明の第４の実施形態の半導体発光装置４の構造を示す断面図である。この半導体発光装置４の上面図は図２と同じであり、図８は図２におけるＡ−Ａ’間の断面図に対応する。なお、図８において、図１と同じものには同じ符号を付してある。
【００４８】
半導体発光装置４は、半導体基板４００と、層間絶縁膜１０７と、第２導電側電極１０８と、第１導電側電極１０９と、半導体基板４００に形成された第２導電型不純物拡散領域４１０と、半導体基板４００に形成されたエッチング領域４２１および４２２とを備えている。
【００４９】
半導体基板４００は、第１導電型基板１０１の上に、第１の多層反射層１０２を設け、その上に、第１のクラッド層１０３、第１導電型活性層１０４、第２のクラッド層１０５を設け、その上に第２の多層反射層１０６を設け、その上の基板最上層に半導体キャップ層４２０を設けた構造である。つまり、半導体基板４００は、上記第１の実施形態の半導体基板１００の最上層に、半導体キャップ層４２０を設けたものである。
【００５０】
半導体キャップ層４２０は、第２導電型領域表面と第２導電型側電極１０８との間に確実にオーミックコンタクトを形成するための半導体層である。この半導体キャップ層４２０は第１導電型または半絶縁性の半導体層である。半導体キャップ層４２０としては、例えば層厚が５００〜１０００［Å］のＧａＡｓ層が用いられる。なお、半導体キャップ層４２０のエネルギバンドギャップが活性層１０４のエネルギバンドギャップよりも小さい場合には、半導体キャップ層４２０は第２の多層反射層１０６を通過してきたレーザ光に対し吸収層となる。
【００５１】
第２導電型不純物拡散領域４１０は、基板表面（基板上面）から第２導電型不純物を選択的に拡散させることにより、半導体キャップ層４２０の上面から活性層１０４の内部までの基板領域に形成される。
【００５２】
第２導電型不純物拡散領域４１０を形成したことにより、半導体キャップ層４２０には、第２導電型不純物拡散領域（第２導電型半導体キャップ領域）４１０ａと、第２導電型以外（第１導電型または半絶縁性）の半導体キャップ領域とが混在することになる。また、第２の多層反射層１０６には、第２導電型不純物拡散領域と、第２導電型以外（第１導電型、または半絶縁性、または第１導電型および半絶縁）の半導体領域とが混在することになる。また、第２のクラッド層１０５および活性層１０４には、それぞれ第２導電型不純物拡散領域と第１導電型半導体領域とが混在することになる。
【００５３】
第２導電型不純物拡散領域４１０の拡散フロント４１１は、エッチング領域４２２の形成前には、半導体キャップ層４２０内、第２の多層反射層１０６内、第２のクラッド層１０５内、および活性層１０４内に形成される。また、拡散フロント４１１によるｐｎ接合は、第１導電型であるときの半導体キャップ層４２０内、第２の多層反射層１０６の第１導電型半導体膜内、第２のクラッド層１０５内、および活性層１０４内に形成され、半絶縁性であるときの半導体キャップ層４２０内、および第２の多層反射層１０６の半絶縁性半導体層内には形成されない。拡散フロント４１１の底部、および拡散フロント４１１によるｐｎ接合の底部は、活性層１０４の内部にある。
【００５４】
第２導電型不純物拡散領域４１０の形成が済んだ半導体基板４００の表面に、エッチング領域４２１を形成することにより、第２導電型不純物拡散領域４１０の光取り出し領域となる中心部領域内の第２導電型半導体キャップ領域４１０ａを除去する。ただし、第２導電型半導体キャップ領域４１０ａが光の吸収層として働かなければ、エッチング領域４２１は形成しなくても良い。また、エッチング領域４２２を形成することにより、半導体キャップ層４２０内、および第２の多層反射層１０６内の半導体キャップ層４２０との界面近傍に形成された拡散フロント４１１を除去する。
【００５５】
エッチング領域４２１を形成したことにより、第２導電型半導体キャップ領域４１０ａは、第２導電型不純物拡散領域４１０の周部領域のみに残る。また、エッチング領域４２２を形成したことにより、第２導電型半導体キャップ領域４１０ａと、第１導電型または半絶縁性半導体キャップ領域とは、空間的に分離される。
【００５６】
エッチング領域４２１および４２２が形成された半導体基板４００の表面上には、上記第１の実施形態と同様に、層間絶縁膜１０７が形成される。半導体基板４００の表面側の第２導電型半導体キャップ領域４１０ａ上および層間絶縁膜１０７上には、第２導電型半導体キャップ領域４１０ａにコンタクトする第２導電側電極１０８が形成される。上記第１の実施形態では、第２の多層反射層１０６の半導体材料によって第２導電側電極１０８と第２導電型不純物拡散領域の間にオーミックコンタクトを形成できないことがあったが、第２導電型半導体キャップ領域４１０ａを設けたことにより、第２導電側電極１０８と第２導電型不純物拡散領域４１０の間に常にオーミックコンタクトを形成することができる。また、半導体基板４００の裏面側には、上記第１の実施形態と同様に、第１導電型基板１０１にコンタクトする第１導電側電極１０９が形成される。
【００５７】
つまり、半導体発光装置４は、上記第１の実施形態の半導体発光装置１において、半導体基板１００の最上層に電極とオーミックコンタクトを形成するための半導体キャップ４２０を設け、エッチング領域４２１および４２２を形成することにより、光取り出し領域内の第２導電型半導体キャップ領域４１０ａ、および基板表面付近の拡散フロント４１１を除去したものである。なお、半導体発光装置４の動作は、上記第１の実施形態の半導体発光装置１と同じである。
【００５８】
基板表面付近の拡散フロント、特に上記界面近傍の拡散フロントの形状は、急峻に変化している。また、拡散フロントの形状が急峻に変化する領域では、動作時に高電界が発生する。従って、上記界面近傍の拡散フロントが除去されていない上記第１の実施形態の半導体発光装置１では、動作時に、界面近傍に高電界が発生する。この高電界により、基板表面付近に形成されているｐｎ接合を通してキャリアが注入される。このキャリアの再結合は非発光再結合である。
【００５９】
半導体発光装置４では、半導体キャップ層４２０内に形成された拡散フロント、および第２の多層半導体層１０６内の半導体キャップ層４２０との界面近傍に形成された拡散フロント４１１がエッチング領域４２２により除去され、基板表面付近に高電界領域が発生しないので、上記の基板付近でのキャリア注入をなくし、非発光再結合成分を低減し、発光効率を高くすることができる。
【００６０】
また、半導体キャップ層４２０を第１導電型としても、半導体キャップ層４２０内に形成されたｐｎ接合がエッチング領域４２２により除去されるので、半導体キャップ層４２０のエネルギバンドギャップが活性層１０４のエネルギバンドギャップより小さくても活性層１０４内のｐｎ接合を通して電流を流すことができる。
【００６１】
このように第４の実施形態によれば、半導体基板の最上層にオーミックコンタクト形成のための半導体キャップ層４２０を設けたことにより、第２導電型不純物拡散領域４１０と第２導電側電極１０８の間に常にオーミックコンタクトを形成できる。
【００６２】
また、基板表面付近の拡散フロント４１１をエッチング除去したことにより、基板表面付近に高電界領域が発生しないので、基板表面付近のｐｎ接合を介して注入されるキャリア成分がなくなり、非発光再結合成分を低減させることができるので、上記第１の実施形態よりも発光効率を高くすることができる。
【００６３】
また、半導体半導体キャップ層４２０の導電型および半導体のエネルギバンドギャップに依存せずに半導体キャップ層４２０内でｐｎ接合を通したキャリアの注入が起こることを防止できる。
【００６４】
なお、上記第４の実施形態において、半導体キャップ層４２０のエネルギバンドギャップが活性層１０４のエネルギバンドギャップよりも小さい場合であっても、エッチング領域４２１を形成しない構造としても良い。ただし、この場合には、半導体キャップ層４２０を薄く形成し（例えば５００［Å］以下）、半導体キャップ層４２０での光の吸収を小さくすることが望ましい。
【００６５】
また、上記第４の実施形態において、半導体キャップ層４２０が半絶縁性である場合には、エッチング領域４２２を形成しない構造としても良い。また、半導体キャップ層４２０が第１導電型である場合には、半導体キャップ層４２０内に形成された拡散フロント４１１だけをエッチング除去し、第２の多層反射層１０６内の半導体キャップ層４２０との界面近傍の層領域に形成された拡散フロント４１１を残した構造としても良い。つまり、基板表面から上記の界面までに形成された拡散フロント４１１をエッチング除去した構造としても良い。
【００６６】
また、第２の多層反射層１０６の上面にオーミックコンタクトを形成きる場合には、半導体キャップ層４２０を省略し、第２の多層反射層１０６の表面付近に拡散フロントを除去するためのエッチング領域４２２を形成した構造としても良い。この場合のエッチング領域４２２の深さは、例えば５００〜２０００［Å］である。
【００６７】
第５の実施形態
図９は本発明の第５の実施形態の半導体発光装置５の構造を示す断面図である。この半導体発光装置５の下面図（半導体基板の下面側から見た図）は図５と同じであり、図９は図５におけるＡ−Ａ’間の断面図に対応する。なお、図９において、図４および図８と同じものには同じ符号を付してある。
【００６８】
半導体発光装置５は、上記第４の実施形態の半導体発光装置４において、レーザ光を基板裏面（基板下面）から取り出すようにしたものであり、半導体基板５００と、層間絶縁膜１０７と、第２導電側電極２０８と、第１導電側電極２０９と、半導体基板５００に形成された第２導電型不純物拡散領域４１０と、半導体基板５００に形成されたエッチング領域４２２とを備えている。
【００６９】
半導体基板５００は、第１導電型基板２０１の上に、第１の多層反射層１０２を設け、その上に、第１のクラッド層１０３、第１導電型活性層１０４、第２のクラッド層１０５を設け、その上に第２の多層反射層１０６を設け、その上の基板最上層に半導体キャップ層４２０を設けた構造である。つまり、半導体基板５００は、上記第２の実施形態の半導体基板２００の最上層に、半導体キャップ層４２０を設けたものである。
【００７０】
半導体基板５００の表面側基板領域には、上記第４の実施形態と同様に、第２導電型不純物拡散領域４１０が形成される。また、第２導電型不純物拡散領域４１０の形成が済んだ半導体基板５００の表面には、上記第４の実施形態と同様に、エッチング領域４２２が形成され、基板表面付近の拡散フロント４１１が除去される。ただし、エッチング領域４２１（図８参照）は形成しないので、第２導電型半導体キャップ領域４１０ａは、第２導電型不純物拡散領域４１０の光取り出し領域に全面的に残る。
【００７１】
エッチング領域４２２が形成された半導体基板５００の表面上には、上記第２の実施形態と同様に、層間絶縁膜１０７が形成される。半導体基板５００の表面側の第２導電型半導体キャップ領域４１０ａ上および層間絶縁膜１０７上には、第２導電型半導体キャップ領域４１０ａにコンタクトする第２導電側電極２０８が形成される。また、半導体基板５００の裏面側には、上記第２の実施形態と同様に、第１導電型基板２０１にコンタクトする第１導電側電極２０９が形成される。
【００７２】
つまり、半導体発光装置５は、上記第４の実施形態の半導体発光装置４において、レーザ光を基板裏面（基板下面）から取り出すようにしたものであるとともに、上記第２の実施形態の半導体発光装置２において、半導体基板２００の最上層に電極とオーミックコンタクトを形成するための半導体キャップ４２０を設け、エッチング領域４２２を形成することにより基板表面付近の拡散フロント４１１を除去したものである。なお、半導体発光装置５の動作は、上記第２の実施形態の半導体発光装置２と同じである。
【００７３】
このように第５の実施形態によれば、半導体基板の最上層にオーミックコンタクト形成のための半導体キャップ層４２０を設けたことにより、第２導電型不純物拡散領域４１０と第２導電側電極２０８の間に常にオーミックコンタクトを形成できる。
【００７４】
また、基板表面付近の拡散フロント４１１をエッチング除去したことにより、基板表面付近に高電界領域が発生しないので、基板表面付近のｐｎ接合を介して注入されるキャリア成分がなくなり、非発光再結合成分を低減させることができるので、上記第２の実施形態よりも発光効率を高くすることができる。
【００７５】
また、基板裏面の第１導電側電極２０９にレーザ光の取り出し開口部２０９ａを設けたことにより、発光素子サイズを小さくしても、上記第４の実施形態よりも第２導電側電極と第２導電型拡散層１１０のコンタクト面積を大きく取ることができる。
【００７６】
なお、上記第４の実施形態と同様に、第２の多層反射層１０６の表面にオーミックコンタクトを形成できる場合には、半導体キャップ層を省略し、第２の多層反射層１０６の表面付近にエッチング領域４２２を形成した構造としても良い。
【００７７】
第６の実施形態
図１０は本発明の第６の実施形態の半導体発光装置６の構造を示す断面図である。この半導体発光装置６の上面図は図７と同じであり、図１０は図７におけるＢ−Ｂ’間の断面図に対応する。なお、図１０において、図６および図８と同じものには同じ符号を付してある。
【００７８】
半導体発光装置６は、上記第４の実施形態の半導体発光装置４において、第１導電側電極を基板の表面側に設けたものであり、半導体基板６００と、層間絶縁膜１０７と、第２導電側電極１０８と、第１導電側電極３０９（図７参照）と、半導体基板６００に形成された第２導電型不純物拡散領域４１０と、半導体基板４００に形成されたエッチング領域４２１および４２２とを備えている。
【００７９】
半導体基板６００は、半絶縁性基板３０１の上に、第１の多層反射層１０２を設け、その上に、第１のクラッド層１０３、第１導電型活性層１０４、第２のクラッド層１０５を設け、その上に第２の多層反射層１０６を設け、その上の基板最上層に半導体キャップ層４２０を設けた構造である。つまり、半導体基板６００は、上記第３の実施形態の半導体基板３００の最上層に、半導体キャップ層４２０を設けたものである。
【００８０】
半導体基板６００の表面側基板領域には、上記第４の実施形態と同様に、第２導電型不純物拡散領域４１０の形成が形成される。また、第２導電型不純物拡散領域４１０の形成が済んだ半導体基板６００の表面には、上記第４の実施形態と同様に、エッチング領域４２１および４２２が形成される。
【００８１】
エッチング領域４２１および４２２が形成された半導体基板６００の表面上には、上記第３の実施形態と同様に、層間絶縁膜１０７が形成される。半導体基板６００の表面側の第２導電型半導体キャップ領域４１０ａ上および層間絶縁膜１０７上には、第２導電型半導体キャップ領域４１０ａにコンタクトする第２導電側電極１０８が形成される。また、半導体基板６００の表面側の層間絶縁膜１０７の開口部１０７ｂ（図７参照）上には、第１導電型半導体領域にコンタクトする第１導電側電極３０９が形成される。
【００８２】
つまり、半導体発光装置６は、上記第４の実施形態の半導体発光装置４において、第１導電側電極を基板の表面側に設けたものであるとともに、上記第３の実施形態の半導体発光装置３において、半導体基板３００の最上層に電極とオーミックコンタクトを形成するための半導体キャップ層４２０を設け、エッチング領域４２１および４２２を形成することにより、光取り出し領域内の第２導電型半導体キャップ領域４１０ａ、および基板表面付近の拡散フロント４１１を除去したものである。なお、半導体発光装置６の動作は、上記第３の実施形態の半導体発光装置３と同じである。
【００８３】
このように第６の実施形態によれば、半導体基板の最上層にオーミックコンタクト形成のための半導体キャップ層４２０を設けたことにより、第２導電型不純物拡散領域４１０と第２導電側電極１０８の間に常にオーミックコンタクトを形成できる。
【００８４】
また、基板表面付近の拡散フロント４１１をエッチング除去したことにより、基板表面付近に高電界領域が発生しないので、基板表面付近のｐｎ接合を介して注入されるキャリア成分がなくなり、非発光再結合成分を低減させることができるので、上記第３の実施形態よりも発光効率を高くすることができる。
【００８５】
また、第１導電型電極３０９を第２導電側電極１０８と同じ基板表面側に設けたことにより、複数の発光素子を集積する場合に、マトリクス駆動型の半導体発光装置を作製することができるので、上記第４の実施形態よりも装置をコンパクト化できる。
【００８６】
なお、上記第４および第５の実施形態と同様に、第２の多層反射層１０６の表面にオーミックコンタクトを形成できる場合には、半導体キャップ層を省略し、第２の多層反射層１０６の表面付近にエッチング領域４２２を形成した構造としても良い。
【００８７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の半導体発光装置によれば、第１の多層反射層の上に、第１のクラッド層、第１導電型活性層、第２のクラッド層を設け、その上に第２の多層反射層を設けた構造を有し、多層反射層およびクラッド層のエネルギバンドギャップが活性層のエネルギバンドギャップよりも大きい半導体基板を用い、この半導体基板に選択的に第２導電型領域を形成することにより、メサエッチング溝がないプレーナ構造の面発光素子を形成できるので、発光素子を高密度に集積することができ、製造歩留まりを上げることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態の半導体発光装置の構造を示す断面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態の半導体発光装置の構造を示す上面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態の半導体発光装置の構造を示す上面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態の半導体発光装置の構造を示す断面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態の半導体発光装置の構造を示す下面図である。
【図６】本発明の第３の実施形態の半導体発光装置の構造を示す断面図である。
【図７】本発明の第３の実施形態の半導体発光装置の構造を示す上面図である。
【図８】本発明の第４の実施形態の半導体発光装置の構造を示す断面図である。
【図９】本発明の第５の実施形態の半導体発光装置の構造を示す断面図である。
【図１０】本発明の第６の実施形態の半導体発光装置の構造を示す断面図である。
【図１１】従来の半導体発光装置の構造を示す断面図である。
【符号の説明】
１〜７  半導体発光装置、  １００，２００，３００，４００，５００，６００  半導体基板、  １０１，２０１  第１導電型基板、  １０２  第１の多層反射層、  １０３  第１のクラッド層、  １０５  第２のクラッド層、  １０４  第１導電型活性層、  １０６  第２の多層反射層、  １０７  層間絶縁膜、  １０８，２０８  第２導電側電極、  １０８ａ  第２導電側電極開口部、  １０９，２０９、３０９  第１導電側電極、  １１０，４１０  第２導電型不純物拡散領域、  １１１，４１１  拡散フロント、  ２０９ａ  第１導電側電極開口部、３０１  半絶縁性基板、  ４２０  半導体キャップ層、  ４２１，４２２  エッチング領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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