(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
サーメットまたは金属を基材とし中空室を有するように形成され先端部が閉鎖された筒形状の主保護管と、主保護管の中空室の先端部の側に配設された温度測定用センサと、温度測定用センサの少なくとも一部または温度測定用センサからの導線を覆うように主保護管の中空室に配置されたアルミナを基材とするセンサ保護管とを具備する測温プローブ装置において、
センサ保護管の先端部を除く基端部側を包囲するように保護層がセンサ保護管の基端部に積層されていることを特徴とする測温プローブ装置。
【請求項２】
請求項１において、保護層は、ジルコニア、アルミナ、マグネシア、炭化珪素、ムライト、シリカ、イットリアのうちの少なくとも１種を主要成分とする層、または、金属で形成された層で形成されていることを特徴とする測温プローブ装置。
【請求項３】
請求項１〜請求項２のいずれか一項において、主保護管の内周部とセンサ保護管の外周部との間には、センサ保護管の先端部の側からセンサ保護管の基端部の側に蒸気が流入することを抑制する蒸気流入抑制部が設けられていることを特徴とする測温プローブ装置。
【請求項４】
サーメットまたは金属を基材とし中空室を有するように形成され先端部が閉鎖された筒形状の主保護管をもつ測温プローブ装置に使用されアルミナを基材とする測温プローブ装置用センサ保護管であって、
センサ保護管の先端部を除く基端部側を包囲するように保護層がセンサ保護管の基端部に積層されていることを特徴とする測温プローブ装置用センサ保護管。
【請求項５】
請求項４において、保護層は、ジルコニア、アルミナ、マグネシア、炭化珪素、ムライト、シリカ、イットリアのうちの少なくとも１種を主要成分とする層、または、金属で形成されていることを特徴とする測温プローブ装置用センサ保護管。
【請求項６】
請求項４または請求項５において、センサ保護管には、センサ保護管の先端部の側からセンサ保護管の基端部の側に蒸気が流入することを抑制する蒸気流入抑制部が設けられていることを特徴とする測温プローブ装置用センサ保護管。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は金属溶湯や高温ガス等の測温対象物の温度を測定する測温プローブ装置に関し、殊に、サーメットまたは金属を基材とする主保護管を有する測温プローブ装置に関する。更に測温プローブ装置に使用されるアルミナ保護管等のセンサ保護管に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、金属溶湯や高温ガス等の温度を測定する測温プローブ装置が提供されている。測温プローブ装置として、サーメットを基材とし中空室を有するように形成され先端部が閉鎖された筒形状の主保護管と、主保護管の中空室の先端部の側に配設された温度測定用センサと、温度測定用センサの少なくとも一部または温度測定用センサからの導線を覆うように主保護管の中空室に配置されたアルミナ等を基材とするセンサ保護管とを備えている。高温の金属溶湯や高温ガス等の測温対象物に主保護管の先端部を挿入した状態で、金属溶湯や高温ガス等の温度を温度測定用センサにより測定することができる。温度測定用センサは主保護管により保護されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら金属溶湯や蒸気等の測温対象物の温度は高温となるため、主保護管の中空室の内部はかなり高温領域となる。主保護管はサーメットを基材とするため、サーメットの金属相から飛散した蒸気が主保護管の中空室に発生する。サーメットはセラミックス相と金属相との混合物である。このため、金属相の成分が熱で蒸気化したり、金属成分が熱で酸素と反応してガス化し易い酸化物を生成したりすることがある。このような蒸気が主保護管の中空室の低温側に流入すると、つまり、センサ保護管の基端部の側に流入すると、蒸気成分が冷却され、センサ保護管の基端部において凝縮し、凝縮物が固着するおそれがある。つまり蒸気成分がセンサ保護管の基端部に凝着するおそれがある。この場合、センサ保護管の基端部と凝着物とが反応してセンサ保護管の基端部が劣化するおそれがある。場合によってはセンサ保護管の基端部が折損することがある。
【０００４】
本発明は上記した実情に鑑みてなされたものであり、凝着に起因するアルミナ保護管等のセンサ保護管の劣化を抑制するのに有利であり、耐久性の向上、長寿命化に有利な測温プローブ装置及び測温プローブ装置用センサ保護管を提供することを課題とするにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る測温プローブ装置は、サーメットまたは金属を基材とし中空室を有するように形成され先端部が閉鎖された筒形状の主保護管と、主保護管の中空室の先端部の側に配設された温度測定用センサと、温度測定用センサの少なくとも一部または温度測定用センサからの導線を覆うように主保護管の中空室に配置されたアルミナを基材とするセンサ保護管とを具備する測温プローブ装置において、センサ保護管の先端部を除く基端部側を包囲するように保護層がセンサ保護管の基端部に積層されていることを特徴とするものである。
【０００６】
本発明にかかる測温プローブ装置用センサ保護管は、サーメットまたは金属を基材とし中空室を有するように形成され先端部が閉鎖された筒形状の主保護管をもつ測温プローブ装置に使用されるアルミナを基材とする測温プローブ装置用センサ保護管であって、センサ保護管の先端部を除く基端部側を包囲するように保護層がセンサ保護管の基端部に積層されていることを特徴とするものである。
【０００７】
本発明によれば、センサ保護管の基端部側の外壁面にセンサ保護管の外壁面を包囲する保護層が積層されているため、蒸気成分の凝着が生じたとしても、温度測定用のセンサを保護する機能を有するセンサ保護管と凝着物質とが反応することが抑制され、凝着に起因するセンサ保護管の劣化が抑制される。保護層は、ジルコニア、アルミナ、マグネシア、炭化珪素、ムライト、シリカ、イットリアのうちの少なくとも１種を主要成分とする層、または、金属で形成されている構成を採用できる。保護層を形成する金属としては、ステンレス鋼等の合金鋼、チタン合金等を採用できる。ステンレス鋼としてはオーテナイト系、フェライト系、マルテンサイト系のいずれでも良い。
【０００８】
保護層は、アルミナ保護管等のセンサ保護管の基端部の外壁面に積層されている構成を採用できる。アルミナ保護管等のセンサ保護管の基端部は、高温の金属溶湯や高温のガス等の高温の測温対象物から離れているため、アルミナ保護管等のセンサ保護管の先端部よりも低温となり、蒸気成分の凝着が生じやすいためである。アルミナ保護管等のセンサ保護管の外周面と保護層の内周面との境界は、バインダ等のシール部でシールされていることが好ましい。この場合、保護層の内周面の全域とアルミナ保護管等のセンサ保護管の外周面との境界をバインダ等のシール部でシールしても良いし、あるいは、保護層の内周面の軸長方向の端部とアルミナ保護管等のセンサ保護管の外周面との境界をバインダ等のシール部でシールしても良い。
【０００９】
本発明によれば、主保護管とセンサ保護管との間には、主保護管から発生した蒸気がセンサ保護管の基端部の側に流入することを抑制する蒸気流入抑制部が設けられている構成を採用できる。この場合、当該蒸気がセンサ保護管の基端部の側に流入することが抑制されるため、センサ保護管の基端部の側において蒸気成分が凝着されることが抑制され、センサ保護管の耐久性の向上に一層有利である。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の代表的な実施形態を図１を参照して説明する。本実施形態に係る測温プローブ装置は、サーメットを基材とし中空室１０を有するように形成され先端部１ａが閉鎖された筒形状の主保護管１と、主保護管１の中空室１０の先端部の側にセンサ部である接点４０が配設された温度測定用センサとしての熱電対４と、熱電対４の導線部分４１を覆うように主保護管１の中空室１０に配置されたセンサ保護管としてのアルミナ保護管３とを具備する。
【００１１】
図１に示すように、主保護管１は、サーメットを基材とし中空室１０を有するように形成され先端部１ａが閉鎖された有底筒形状の第１主保護管１１と、第１主保護管１１の上部に連結された金属製（例えばステンレス鋼（ＳＵＳ））の第２主保護管１２とで形成されている。主保護管１の中空室１０は大気に連通している。
【００１２】
上記したサーメットはセラミックス相と金属相との混合物で形成されている。セラミックス相はジルコニアで形成されている。金属相はモリブデンで形成されている。第１主保護管１１の上部のねじ部１３に第２主保護管１２の下部のねじ部１４がねじ込まれて、第１主保護管１１及び第２主保護管１２は脱着可能に連結されている。第２主保護管１２には、熱電対４を外部に導出させるターミナル１５、測温プローブ装置を取り付けるための取り付け用のフランジ１６が設けられている。主保護管１の第１主保護管１１の外周部には、第１主保護管１１を保護するためのセラミックス（アルミナ、アルミナ−カーボン等）で形成された厚肉筒形状をなす保護スリーブ２が積層されている。保護スリーブ２は主保護管１の第１主保護管１１を保護するためのものである。なお、保護スリーブ２の下端部２ｄは第１主保護管１１の先端部１ａに到達していないので、第１主保護管１１の先端部１ａは露出されている。
【００１３】
アルミナ保護管３は主保護管１に同軸的に配置される中空円筒形状をなしており、アルミナを基材とするものである。アルミナ保護管３の先端部３ａは主保護管１の先端部１ａの内底面に到達または接近している。アルミナ保護管３の基端部３ｃはターミナル１５に到達または接近している。アルミナ保護管３の外径は例えば３〜８ミリメートルとすることができ、内径は例えば２〜５ミリメートルとすることができるが、これに限定されるものではない。
【００１４】
アルミナ保護管３内には保持具２０が装入されている。保持具２０の通路には熱電対４の導線部分４１が挿通されて保持されている。熱電対４の先端に設けられている測温用の接点４０は、保持具２０の下端部から露出しており、アルミナ保護管３の先端部３ａの内壁面に接近または当接しつつ対面している。
【００１５】
熱電対４を保持するアルミナ保護管３の基端部３ｃの外壁面に、これを包囲するように保護層５（図１に示すアルミナ保護管３の上部の外周面においてハッチングで示す領域）が一体的に積層されている。ジルコニア、アルミナ、マグネシア、炭化珪素、ムライト、シリカ、イットリアのうちの少なくとも１種を主要成分とするセラミックスと、水ガラス等の無機バインダとを混合したスラリー状の混合物を用い、スラリー状の混合物をアルミナ保護管３の基端部３ｃの外壁面に塗布して乾燥させることにより、保護層５はアルミナ保護管３の基端部３ｃの外壁面に被覆されている。これによりアルミナ保護管３の上部の外周面と保護層５の内周面との境界は、シールされている。なお保護層５の厚みは適宜選択できるものの、例えば０．２〜０．５ミリメートル、０．５〜１．０ミリメートルとすることができる。ただしこれらに限定されるものではない。
【００１６】
保護層５は、アルミナ保護管３の基端部３ｃの外壁面を１周するように積層されている。アルミナ保護管３の基端部３ｃは、金属溶湯や高温のガスに近いアルミナ保護管３の先端部３ａよりも低温（一般的には１００〜５００℃）となり、凝着が生じやすい。このため保護層５は、アルミナ保護管３の基端部３ｃの外壁面に積層されており、アルミナ保護管３の先端部３ａの外壁面には積層されていない。アルミナ保護管３の先端部３ａは高温の金属溶湯や高温ガス等の測温対象物に近いため、高温領域となり、蒸気の凝着が生じにくい。
【００１７】
本実施形態によれば、測温の際には、高温の金属溶湯や高温ガス等の測温対象物に主保護管１の先端部１ａを挿入して接触させる。この状態で、金属溶湯や高温ガス等の温度を熱電対４により測定することができる。熱電対４は主保護管１により保護されている。本実施形態によれば、主保護管１を形成するサーメットの金属成分が主保護管１の中空室１０内において蒸気化したときであっても、あるいは、当該金属成分が熱で酸素と反応してガス化し易い酸化物を生成したときであっても、アルミナ保護管３の基端部３ｃが保護層５で積層されているため、凝着物が生成するようなときであっても、凝着物とアルミナ保護管３とが反応することが抑制される。故に、凝着に起因するアルミナ保護管３の基端部３ｃの劣化が抑制される。ひいては凝着に起因するアルミナ保護管３の基端部３ｃの折損等が抑制され、アルミナ保護管３の耐久性の向上、長寿命化を図ることができる。ひいては熱電対４の耐久性の向上、長寿命化を図ることができる。
【００１８】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態を図２を参照して説明する。本実施形態に係る測温プローブ装置は、サーメットを基材とし中空室１０を有するように形成され先端部１ａが閉鎖された筒形状の主保護管１と、主保護管１の中空室１０の先端部の側にセンサ部である接点４０が配設された温度測定用センサとしての熱電対４と、熱電対４の導線部分４１を覆うように主保護管１の中空室１０に配置されたアルミナを基材とするアルミナ保護管３とを具備する。主保護管１は、サーメットを基材とし中空室１０を有するように形成され先端部１ａが閉鎖された筒形状の第１主保護管１１と、第１主保護管１１の上部に連結された金属製の第２主保護管１２とで形成されている。
【００１９】
そして熱電対４を保持するアルミナ保護管３の基端部３ｃの外壁面に、これを包囲するように保護層５Ｂ（図２に示すアルミナ保護管３の上部の外周面においてハッチングで示す領域）が積層されている。ステンレス鋼等の耐熱性及び高温耐腐食性に優れた合金鋼で形成された金属シートをアルミナ保護管３の基端部３ｃの外壁面に被覆させることにより、保護層５Ｂは形成されている。保護層５Ｂの厚みは適宜選択できるものの、例えば０．１〜０．３ミリメートル、０．５〜１．０ミリメートルとすることができる。ただしこれらに限定されるものではない。なお図２に示すように、保護層５Ｂの両方の端部のうちの一方または双方に、保護層５Ｂの端部をリング状に覆うシール部５０を設けることもできる。シール部５０は保護層５Ｂとアルミナ保護管３の外周面との境界をシールする。よって保護層５Ｂの端部から保護層５Ｂの内面側に蒸気成分が進入することを、シール部５０によって抑えることができる。なお、保護層５Ｂの下端部の他に保護層５Ｂの上端部を覆うシール部を設けることもできる。
【００２０】
図２に示すように、主保護管１の内周部とアルミナ保護管３の外周部との間には、蒸気流入抑制部６が設けられている。蒸気流入抑制部６は、中空室１０で発生した蒸気がアルミナ保護管３の高温側の先端部３ａの側からアルミナ保護管３の低温側の基端部３ｃの側に流入することを抑制するためのものであり、軸長方向において主保護管１を構成する第１主保護管１１と第２主保護管１２との間に配置されている。この場合、主保護管１を構成するサーメットから蒸気化した蒸気がアルミナ保護管３の先端部３ａの側からアルミナ保護管３の基端部３ｃの側に流入することが抑制されるため、アルミナ保護管３の基端部３ｃの側において蒸気が凝着され金属酸化物（凝着物）が形成されることが抑制される。
【００２１】
蒸気流入抑制部６は、主保護管１の内周部とアルミナ保護管３の外周部との間を塞ぐ板部材で形成されており、アルミナ保護管３を挿入する通口６１をもつ。この場合、蒸気がアルミナ保護管３の基端部３ｃの側に矢印Ｙ方向へ流入することが抑制されるため、アルミナ保護管３の基端部３ｃの側において蒸気が金属酸化物（凝着物）として凝着されることが抑制される。
【００２２】
図２に示すように、別形態に係る蒸気流入抑制部６Ｃは、主保護管１とアルミナ保護管３との間を塞ぐ板部材で形成されており、アルミナ保護管３を挿入する通口６１と、アルミナ保護管３の先端部３ａと基端部３ｃとを連通させる複数の通気孔６３とをもつ。この場合にも、蒸気化した蒸気がアルミナ保護管３の基端部３ｃの側に矢印Ｙ方向へ流入することが蒸気流入抑制部６Ｃにより抑制されるため、アルミナ保護管３の基端部３ｃの側において蒸気が金属酸化物（凝着物）として凝着されることが抑制される。
【００２３】
図２に示すように、別形態に係る蒸気流入抑制部６Ｄは、主保護管１の内周部とアルミナ保護管３の外周部との間を繋ぐような複数の腕部材６５で形成されている。腕部材６５間は空間６５ｍとされている。この場合、蒸気化した蒸気がアルミナ保護管３の基端部３ｃの側に矢印Ｙ方向へ流入することが抑制されるため、アルミナ保護管３の基端部３ｃの側において蒸気が金属酸化物として凝着されることが抑制される。
【００２４】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態を図３を参照して説明する。本実施形態に係る測温プローブ装置は、サーメットを基材とし中空室１０を有するように形成され先端部１ａが閉鎖された筒形状の主保護管１と、主保護管１の中空室１０の先端部の側にセンサ部である接点４０が配設された温度測定用センサとしての熱電対４と、熱電対４の導線部分４１を覆うように主保護管１の中空室１０に配置されたアルミナを基材とするアルミナ保護管３とを具備する。主保護管１は、サーメットを基材とし中空室１０を有するように形成され先端部１ａが閉鎖された筒形状の第１主保護管１１と、第１主保護管１１に連結された金属製の第２主保護管１２とで形成されている。
【００２５】
本実施形態においても、熱電対４を保持するアルミナ保護管３の基端部３ｃの外壁面に、これを包囲するように保護層５が積層されている。ジルコニア、アルミナ、マグネシア、炭化珪素、ムライト、シリカ、イットリアのうちの少なくとも１種を主要成分とするセラミックスと、水ガラス等の無機バインダとを混合したスラリー状の混合物を用い、スラリー状の混合物をアルミナ保護管３の基端部３ｃの外壁面に塗布して乾燥させることにより、保護層５はアルミナ保護管３の基端部３ｃの外壁面に被覆されている。故に、アルミナ保護管３の基端部３ｃの外壁面と保護層５との境界は、蒸気等が進入しないようにシールされている。
【００２６】
図３に示すように、主保護管１の内周部とアルミナ保護管３の外周部との間には、蒸気流入抑制部６Ｅが設けられている。蒸気流入抑制部６Ｅは、アルミナ保護管３の先端部３ａの側からアルミナ保護管３の基端部３ｃの側に、凝着物となる蒸気が流入することを抑制するためのものである。蒸気流入抑制部６Ｅは、主保護管１の第１主保護管１１と第２主保護管１２との間に配置されている。この場合、サーメットから蒸気化した蒸気がアルミナ保護管３の先端部３ａの側からアルミナ保護管３の基端部３ｃの側に流入することが抑制されるため、アルミナ保護管３の基端部３ｃの側において蒸気が凝着され金属酸化物が形成されることが抑制される。
【００２７】
図３に示すように、蒸気流入抑制部６Ｅは、主保護管１の内周部とアルミナ保護管３の外周部との間を塞ぐ板部材で形成されており、アルミナ保護管３を挿入する通口６１と、アルミナ保護管３の先端部３ａの側からアルミナ保護管３の基端部３ｃの側に連通する連通孔６６と、連通孔６６を閉鎖可能及び開放可能な逆止弁６７と、逆止弁６７の脱落を防止する蓋６８とをもつ。
【００２８】
この場合、蒸気流入抑制部６Ｅを構成する板部材が主保護管１の内周部とアルミナ保護管３の外周部との間を塞いでいる。このため、発生した蒸気がアルミナ保護管３の先端部３ａの側からアルミナ保護管３の基端部３ｃの側に流入することが抑制される。故に、アルミナ保護管３の基端部３ｃの側において蒸気が金属酸化物（凝着物）として凝着されることが抑制される。さらに、主保護管１の中空室１０で蒸気化した蒸気の圧力が過剰に増加すると、逆止弁６７が蒸気圧で持ち上がって開弁し、連通孔６６が自動的に開放する。このため過剰な蒸気がアルミナ保護管３の基端部３ｃの側に矢印Ｙ方向へ流入できるため、主保護管１の中空室１０の内圧が過剰に高くなることが抑制される。
【００２９】
（第４実施形態）
本発明の第４実施形態を図４を参照して説明する。本実施形態に係る測温プローブ装置では、熱電対４を保持するアルミナ保護管３の低温側の基端部３ｃの外壁面を包囲するように、金属製の筒パイプ形状をなす保護層５Ｆ(図４に示すアルミナ保護管３の上部の外周面においてハッチングで示す領域）が嵌合状態でバインダ等でアルミナ保護管３に接合して密着状態に固定されている。アルミナ保護管３の上部の外周面と保護層５Ｆの内周面との境界は上記バインダ等で蒸気が進入しないようにシールされている。筒パイプ形状をなす保護層５Ｆは、ステンレス鋼等の耐熱性及び高温耐腐食性に優れた合金鋼に代表される金属で形成されている。図４に示すように、金属パイプ形状の保護層５Ｆの軸長方向の都中部の外周部には、鍔状の蒸気流入抑制部６Ｆが径外方向に延設されており、中空室１０の上部空間を閉鎖または実質的に閉鎖している。鍔状の蒸気流入抑制部６Ｆは、主保護管１を構成する第１主保護管１１の上面１１ｒに載せられている。蒸気流入抑制部６Ｆは、中空室１０で発生した蒸気がアルミナ保護管３の高温側の先端部３ａの側からアルミナ保護管３の低温側の基端部３ｃの側に流入することを抑制するためのものであり、軸長方向において主保護管１を構成する第１主保護管１１と第２主保護管１２との間に配置されている。この場合、主保護管１を構成するサーメットから蒸気化した蒸気がアルミナ保護管３の先端部３ａの側からアルミナ保護管３の基端部３ｃの側に流入することが抑制される。このため、アルミナ保護管３の基端部３ｃの側において蒸気が凝着され金属酸化物（凝着物）が形成されることが抑制される。
【００３０】
（その他）
上記した実施形態によれば、サーメットのセラミックス相はジルコニアで形成されており、金属相はモリブデンで形成されているが、これに限られるものではない。上記した実施形態によれば、主保護管１はサーメットを基材としているが、これに限らず、モリブデン等の金属を基材として形成されていても良い。サーメットのセラミックス相としてはジルコニアの他に、アルミナ、炭化珪素、マグネシア、ムライト、スピネル、イットリアのうちの少なくとも１種で形成されていても良いし、サーメットの金属相はモリブデンの他にタングステン、ニオブ、チタンの少なくとも１種で形成されていても良い。主保護管１は、サーメットを基材とする筒形状の第１主保護管１１と、第１主保護管１１の上部に連結された金属製の第２主保護管１２とで形成されているが、これに限らず、主保護管はサーメットのみを基材とする形態でも良い。温度センサとしては熱電対４に限定されるものではなく、他の測温機能を有する温度センサでも良い。
【００３１】
熱電対４の導線部分４１を保持するアルミナ保護管３の基端部３ｃの外壁面に耐火筒を保護層として無機バインダ（例えば水ガラス系）を介して被せても良い。耐火筒は、ジルコニア、アルミナ、マグネシア、炭化珪素、ムライト、シリカ、イットリアのうちの少なくとも１種を主要成分とするセラミックスで形成することができる。耐火筒の厚みは適宜選択できるものの、例えば０．３〜０．５ミリメートル、０．５〜１．０ミリメートルとすることができる。ただしこれらに限定されるものではない。その他、本発明は上記し且つ図面に示した実施形態のみに限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲内で必要に応じて適宜変更して実施できるものである。上記した記載から次の技術的思想も把握できる。
【００３２】
（付記項１）各請求項において、保護層の軸長方向の少なくとも端部とセンサ保護管の外周面との境界をシールするシール部が設けられていることを特徴とする測温プローブ装置または測温プローブ装置用センサ保護管。凝着に起因するアルミナ保護管等のセンサ保護管の劣化の抑制に一層有利である。
【００３３】
【発明の効果】
本発明によれば、アルミナ保護管等のセンサ保護管の先端部を除く基端部側を包囲するように保護層がセンサ保護管の基端部に積層されているため、凝着に起因するアルミナ保護管等のセンサ保護管の劣化が抑制され、アルミナ保護管等のセンサ保護管の長寿命化が図られる。ひいては熱電対等の温度測定用センサをの長寿命化に貢献できる。
ひいては測温プローブ装置の長寿命化に貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態にかかる測温プローブ装置の断面図である。
【図２】第２実施形態にかかる測温プローブ装置の断面図である。
【図３】第３実施形態にかかる測温プローブ装置の断面図である。
【図４】第４実施形態にかかる測温プローブ装置の断面図である。
【符号の説明】
図中、１は主保護管、１０は中空室、３はアルミナ保護管（センサ保護管）、４は熱電対、（温度センサ）、４０は接点（センサ部）、５は保護層を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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