(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
前工程のクリーンルームと、
本工程の２系統のクリーンルームと、
次工程のクリーンルームと、
前記本工程の２系統のクリーンルームに設けられた２つの搬送経路と、を備え、
前記本工程の２系統のクリーンルームは、
処理装置と、
清浄環境下における塵の大きさ及び／又は個数を検出する異物・異常検出手段と、
前記異物・異常検出手段を材料及び／又は製品を含む搬送物の搬送路に沿って移動させる移動手段と、
前記異物・異常検出手段の位置を検出する位置検出手段と、をそれぞれ備え、
前記各位置検出手段の位置を監視し、前記各異物・異常検出手段の出力に基づいて塵の状態を監視し、前記異物・異常検出手段の出力が所定の基準値を越えた場合に、前記本工程の２系統のクリーンルームのうち、前記基準値を越えたクリーンルームから他のクリーンルームに搬送経路を変更する監視手段を備え、
前記搬送物は、基板であり、
前記移動手段は、
回転及び伸縮自在に取り付けられたロボットハンドと、
前記ロボットハンドに設けられ、搬送する前記基板を設置する基板設置部と、を備え、
前記異常検知手段は、前記ロボットハンドに設けられ、前記基板設置部付近に装備されていること、
を特徴とする環境監視システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造工程、例えば、ウェハ，フォトマスク等の基板の製造工程などにおいて、超清浄環境下で搬送ロボット等を用いて、材料，製品の搬送等の作業をする際に、その環境の清浄度（クリーン度）等を監視する環境監視システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、清浄環境下の清浄度は、クリーンルームの設置時に測定するのみであった。また、クリーンルーム内に複数個のセンサを配置し、それぞれのポイントで清浄度を測定するものもあった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、近年の描画パターンは、細密化が著しく、従来の発塵対策では、ガラス基板等が致命的な影響を受け、良品率が低下する可能性が高い。
また、搬送ロボットによって、発塵を極力抑制した搬送を行っているが、空調機器や搬送ロボットの故障により周辺環境が悪化した際には、検査工程で歩留まりが悪化するまでは判断がつかず、また、その位置の特定も困難であった。
【０００４】
この問題を解決するために、清浄度環境を監視する装置が提案されているが、生産ライン全体を監視するためには、大量のセンサを複数箇所に設置する必要があるために、設備が高価になるうえ、設置スペースが必要となり、ひいては、製造コストの上昇につながるという問題があった。そのうえ、搬送中の搬送物（ワークなど）付近の清浄度を正確に反映しているわけではなかった。
これらの内容は、発塵のみならず、感光性レジストに対する光の影響、化学増幅型レジストに対するガス汚染といった分野でも同様のことがいえる。
【０００５】
本発明の目的は、前述した課題を解決し、搬送物付近で発塵や異常などが起こった場合に、それらを検知して、直ちに対策をとることができる環境監視システムを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、請求項１の発明は、前記前工程のクリーンルーム（３１）と、本工程の２系統のクリーンルーム（３２Ａ，３２Ｂ）と、次工程のクリーンルーム（３３）と、前記本工程の２系統のクリーンルーム（３２Ａ，３２Ｂ）に設けられた２つの搬送経路（Ａ，Ｂ）と、を備え、前記本工程の２系統のクリーンルーム（３２Ａ，３２Ｂ）は、清浄環境下における塵の大きさ及び／又は個数を検出する異物・異常検出手段（１２）と、前記異物・異常検出手段（１２）を材料及び／又は製品を含む搬送物の搬送路に沿って移動させる移動手段（２０）と、前記異物・異常検出手段（１２）の位置を検出する位置検出手段（１３）と、をそれぞれ備え、前記各位置検出手段（１３）の位置を監視し、前記各異物・異常検出手段（１２）の出力に基づいて塵の状態を監視し、前記異物・異常検出手段（１２）の出力が所定の基準値を越えた場合に、前記本工程の２系統のクリーンルーム（３２Ａ，３２Ｂ）のうち、前記基準値を越えたクリーンルームから他のクリーンルームに搬送経路を変更する監視手段（１１）を備え、前記搬送物は、基板であり、前記移動手段（２０）は、回転及び伸縮自在に取り付けられたロボットハンド（２３）と、前記ロボットハンド（２３）に設けられ、搬送する前記基板を設置する基板設置部（２４）と、を備え、前記異常検知手段（１２）は、前記ロボットハンド（２３）に設けられ、前記基板設置部（２４）付近に装備されていること、を特徴とする環境監視システムである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面などを参照しながら、実施の形態をあげ、本発明をさらに詳細に説明する。
図１は、本発明による環境監視システムの実施形態の概略を示すブロック図である。
この監視システム１０は、搬送ロボット２０やその他の製造装置（不図示）を含むシステム全体を制御し、クロック１１ａから時刻情報が入手可能な集中制御コンピュータ１１と、作業環境下の塵を検知するパーティクルセンサ１２と、パーティクルセンサ１２の位置を検出する位置センサ１３と、作業者Ｐが操作するパソコン等の操作端末１４等とを備えており、それらはネットワーク１５によって接続されている。
なお、この実施形態では、位置センサ１３は、搬送ロボット２０の位置決めドライバから位置情報を得るようにして、特別なセンサを用いないようにしたので、より簡単な監視システムとすることができる。
【００１６】
パーティクルセンサ１２は、塵の大きさや個数等を検知するセンサであり、検知方式は、レーザ式，超音波式などいずれの方式であってもよい。
また、このパーティクルセンサ１２は、製品に影響を与える位置である搬送路付近で発塵を検出するために、移動手段に兼用する搬送ロボット２０に取り付けられており、自ら移動して、複数点を監視することにより、塵の分布を集計することができる。
【００１７】
図２は、本実施形態による環境監視システムのパーティクルセンサの取り付け位置を示した斜視図である。
搬送ロボット２０は、超清浄環境下において、材料や製品等の搬送物を搬送する装置であり、走行レール２１と、走行レール２１上を走行するベース部２２と、ベース部２２に回転及び伸縮自在に取り付けられたロボットハンド２３と、ロボットハンド２３に搬送物である基板を設置する基板設置部２４等とを備えている。
【００１８】
この実施形態では、パーティクルセンサ１２は、搬送ロボット２０のロボットハンド２３の製品設置部２４付近に装備されており、基板設置部２４付近又は基板面Ａ上の塵の状態を監視している。
【００１９】
図３は、本発明による環境監視システムの実施形態の動作を示すフローチャートである。
パーティクルセンサ１２は、常に稼動しており、塵の径、個数等の異物情報Ｘを測定している。上位コンピュータである集中制御コンピュータ１１は、異物情報Ｘが検出される（Ｓ１０１）と、搬送ロボット２０の位置決めドライバから、搬送物の位置情報（塵を検出した位置）Ｙを受け取り、位置情報Ｙ（Ｓ１０２）と、時刻情報Ｚ（Ｓ１０３）とを併せて集中制御コンピュータ１１に入力する。
【００２０】
集中制御コンピュータ１１は、予め塵に関するしきい値（Ｘ０）を設定しており、異物情報Ｘがしきい値Ｘ０を超えた時点（Ｓ１０４）で、操作端末１４に警報を発し（Ｓ１０５）、オペレータＰに知らせる。
【００２１】
また、集中制御コンピュータ１１は、搬送経路が異物の多いエリアから異物の少ないエリアに変更可能か否かを判断し（Ｓ１０６）、変更可能の場合には、直ちに、搬送ロボット２０に経路変更を指示する（Ｓ１０７）。
【００２２】
最後に、異物情報Ｘ（Ｓ１０１）、位置情報Ｙ（Ｓ１０２）、時刻情報Ｚ（Ｓ１０３）等を集計して（Ｓ１０８）、処理を終了する。
【００２３】
図４は、本実施形態に係る環境監視システムの経路変更の動作を説明する図である。
この生産ラインでは、前工程のクリーンルーム３１と、本工程の２系統のクリーンルーム３２Ａ，３２Ｂと、次工程のクリーンルーム３３が備えられている。搬送物は、クリーンルーム３１からクリーンルーム３２Ａ，３２Ｂへ２つのルート（Ａ），（Ｂ）で搬送される。
【００２４】
クリーンルーム３２Ａ，３２Ｂには、それぞれ搬送ロボット２０Ａ，２０Ｂが配置されており、それらには、それぞれパーティクルセンサ１２Ａ，１２Ｂが装備されている。また、クリーンルーム３２Ａ，３２Ｂには、処理装置４２Ａ，４２Ｂが配置されている。
【００２５】
いま、図３のＳ１０７で搬送経路の変更指示が合った場合には、異物の検出がされた搬送経路（Ａ）から、自動的に搬送経路（Ｂ）にルートの変更がなされる。そして、クリーンルーム３２Ａ内の汚染箇所の確認，清掃を行なう。したがって、歩留りが悪化する前に、対処することができる。
【００２６】
以上説明したように、本実施形態によれば、発塵対策として、製品の搬送に使用する搬送ロボット２０のロボットハンド２３に、パーティクルセンサ１２を装備することにより、常に、製品近傍の清浄度を測定し、測定した塵の大きさと量を、測定場所、測定時間等と共に、ネットワーク１５を介して、集中制御コンピュータ１１、作業者Ｐの作業端末１４に伝達する。
従って、搬送途中における発塵汚染の管理を行えるので、万一、搬送経路の周辺が汚染された場合にも、すばやいフィードバックにより、歩留りの悪化を防止することができる。
【００２７】
以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それも本発明の均等の範囲内である。
（１）  ロボットハンドに設置するセンサは、パーティクルセンサーだけではなく、製品に対して障害となるもの、例えば、紫外線などの光に弱い（感光してしまう）製品（レジストを塗った基板等）を搬送する場合には、照度計（光センサ）を設置したり、エッチング工程などでガスの発生する場合には、ガスセンサを設置して、搬送時の製品への影響を測定することができる。
【００２８】
（２）  Ｓ１０５では、警報を発生する例で説明したが、製造システムを一時停止させるようにしてもよい。
（３）  Ｓ１０７では、搬送経路を変える例で説明したが、ファン等の清浄装置の出力を上げたり、自動清掃装置（掃除ロボット）を作動させるようにしてもよい。
【００２９】
（４）  特に、警報等を発することなく、場所ごと、時間ごとの集計を採って、作業現場の改善に役立てるようにしてもよい。
（５）  パーティクルセンサ等を取り付ける装置は、ロボットハンドに限らず、発塵の発生しやすい、製品などが移動する場所であれば、搬送車両（ＡＧＶ）やベルトコンベア等に取り付けてもよい。
【００３０】
（６）  パーティクルセンサ等は、同一平面上であっても、高さの異なる位置に複数取り付けるようにしてもよい。
【００３１】
【発明の効果】
以上詳しく説明したように、本発明によれば、搬送物付近で異物や異常が発生した場合に、それらを検知して、位置情報，時間情報と共に入手して、直ちに対策をとることができる、という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による環境監視システムの実施形態の概略を示すブロック図である。
【図２】本実施形態による環境監視システムのパーティクルセンサの取り付け位置を示した斜視図である。
【図３】本発明による環境監視システムの実施形態の動作を示したフローチャートである。
【図４】本実施形態に係る環境監視システムの経路変更の動作を説明する図である。
【符号の説明】
１０  監視システム
１１  集中制御コンピュータ
１２  パーティクルセンサ
１３  位置センサ
１４  操作端末
１５  ネットワーク
２０  搬送ロボット
２１  走行レール
２２  ベース部
２３  ロボットハンド
２４  基板設置部
３１，３２Ａ，３２Ｂ，３３  クリーンルーム
４２Ａ，４２Ｂ  処理装置
【図１】
0004116209.tif 000002
【図２】
0004116209.tif 000003
【図３】
0004116209.tif 000004
【図４】
0004116209.tif 000005