(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の、多数のボンドパッドからなるボンドパッド配列に多数の半田材料製の形状部品を配置し、次いで、前記ボンドパッド上の前記半田材料製の形状部品を再溶融させる方法において、
半田材料製の形状部品（２０）を収容する多数のテンプレート開口（２７、４８、６１、７０）を備えたテンプレート装置（２１、４０、５１、５６、６５、７５）をボンドパッド配列（２９）を備えた基板（２３、４９、６４）に対向させ、半田材料製の形状部品が個々のボンドパッドに関連づけられるように前記テンプレート装置を配置する工程と、
半田材料製の形状部品（２０）を検出する光学的走査装置（３２）を用いて前記テンプレート開口（２７、４８、６１、７０）を走査する工程と、
前記テンプレート装置（２１、４０、５１、５６、６５、７５）の後部に配されたレーザ装置（３９）を用いて、前記テンプレート開口（２７、４８、６１、７０）に収容された前記半田材料製の形状部品にレーザエネルギを加えるに際し、前記テンプレート装置を介して前記半田材料製の形状部品に前記レーザエネルギを加える工程と
を備え、
前記テンプレート装置に収容された多数の半田材料製の形状部品からの前記半田材料製の形状部品の選択がテンプレート装置（４０、５１）内で行われて、開口スクリーン（４１）内に配されたテンプレート開口（４８）を充填することを特徴とする方法。
【請求項２】
前記光学的走査装置（３２）を介して前記半田材料製の形状部品（２０）にレーザエネルギを加えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記開口スクリーンを横切って移動可能かつ前記開口スクリーン側に開く充填室（４７）により、前記テンプレート装置（４０）の前記開口スクリーンに配した前記テンプレート開口（４８）を充填することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記開口スクリーンの表面に平行にガイドされると共に移動軸線（５２）上で回転するパドルホイール装置（５２）により、前記テンプレート装置（５１）の前記開口スクリーン（４１）に配した前記テンプレート開口（４８）を充填することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
基板（４９）の、多数のボンドパッド（５０）からなるボンドパッド配列（２９）に多数の半田材料製の形状部品（２０）を配置し、次いで前記ボンドパッド上の前記半田材料製の形状部品を再溶融させる装置であって、前記ボンドパッド配列（２９）の個々のボンドパッド（５０）に対して割り当てられた前記開口スクリーン（４１）のテンプレート開口（４８）内に、前記半田材料製の形状部品をレーザ装置（３９）によって後部からのレーザエネルギに晒すことができるように、半田材料製の単純な形状部品を露出して収容する開口スクリーン（４１）を備えた装置において、
前記開口スクリーン（４１）はテンプレート装置（４０、５１）の容器壁として構成され、このテンプレート装置は、前記半田材料製の形状部品を前記ボンドパッド配列（２９）に搬送するために用いられ、また、多数の半田材料製の形状部品を保持する容器（４７、５１）を備え、前記開口スクリーンが選択装置（４７、５２）を備えること
を特徴とする装置。
【請求項６】
前記選択装置（４７、５２）が前記開口スクリーン（４１）を横切って移動可能に設けられていることを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記選択装置が、前記開口スクリーン（４１）を横切って移動可能で且つ前記開口スクリーン側に開いている充填室（４７）であることを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記選択装置が、前記開口スクリーン（４１）を横切って移動可能なパドルホイール装置（５２）であり、前記パドルホイール装置のパドル（５４）により区切られ且つ半径方向に開いた搬送コンパートメントを備えることを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項９】
前記開口スクリーン（４１）に対向した後壁（４２）を透明に形成した前記テンプレート装置（４０、５１）により形成される閉空間（４５）内に前記選択装置（４７、５２）が収容されることを特徴とする請求項５〜８のいずれかに記載の装置。
【請求項１０】
基板（６４）の、多数のボンドパッド（６３）からなるボンドパッド配列に多数の半田材料製の形状部品（２０）を配置し、次いで前記ボンドパッド上の前記半田材料製の形状部品を再溶融させる装置であって、半田材料製の形状部品を収容するための多数のテンプレート開口（６０、７０）を備えた開口スクリーン（５８、６６）を含む装置において、
前記開口スクリーン（５８、６６）が、選択装置として構成されたテンプレート装置（５６、６５）のハウジング部分として機能し、また、前記テンプレート装置（５６、６５）が前記開口スクリーンに対向して配された透明な後壁（６７）を備えること
を特徴とする装置。
【請求項１１】
前記開口スクリーン（５８）に形成された前記テンプレート開口（６０）の直径が前記半田材料製の形状部品（２０）の最小直径よりも小さいことを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記開口スクリーン（６６）に設けた前記テンプレート開口（７０）の直径が前記半田材料製の形状部品（２０）の最大直径よりも大きく、また、前記開口スクリーンと前記後壁（６７）との間隔が前記半田材料製の形状部品（２０）の最小直径よりも小さいことを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１３】
前記開口スクリーン（２４、４１、５８、６６、７４）の壁構造、およびまたは、前記開口スクリーンを横切って移動可能な充填室（４７）の側壁（４６）が前記開口スクリーンの領域にわたってフレキシブルであることを特徴とする請求項５ないし９のいずれかに記載の装置。
【請求項１４】
前記壁構造は少なくとも３つの層を備え、２つの耐摩耗性の表面層（７７、７８、８０、８１）の間に挟まれたフレキシブルな圧縮層（７９、８２）を有することを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記圧縮層（７９、８２）がプラスチック材料から構成され、また、前記表面層（７７、７８、８０、８１）が金属から構成されることを特徴とする請求項１４に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、半田材料からなる多数の形状部品を、基板の、多数のボンドパッドからなるボンドパッド配列の上に配置し、次いで、ボンドパッド上の半田材料製の形状部品を再溶融する方法に関する。また、本発明は、上記の方法を実施するに好適な装置に関する。
【０００２】
上述のタイプの方法は、例えば、いわゆるウエファバンピング、いわゆるチップサイズパッケージの製造、あるいは、ボールグリッド配列の製造に使用される。基本的には、上記の方法は、基板表面上で多数のボンドパッドメタライゼーション領域またはコンタクトメタライゼーション領域を特定配列で均一に形成することを含み、そのため現在までは下記の方法が使用されていた。第１の方法は、ボンドパッドへの半田材料デポジットの配置または配列を個々の配置方法の一部として行い、次に、半田材料デポジットまたは半田材料からなる形状部品に熱エネルギたとえばレーザエネルギを個別に印加して再溶融させるものとなっている。第２の方法は、例えばマスク適用プロセスにおいて半田材料デポジットをペースト状材料として塗布し、次に、全ての半田材料デポジットをオーブン内で同時に再溶融させるものとなっている。
【０００３】
第１の方法では半田材料デポジットまたは半田材料製の形状部品に熱エネルギを個々に印加するので、特にレーザエネルギを使用する場合に基板が熱的負荷に殆ど晒されなくなるという利点が奏されるが、この方法の実施速度は遅い。第２の方法は、特に再溶融の進行が速いことから処理能力が大であり、製造数量を増大可能である。しかしながら、その方法の実施には相当の製造コストがかかり、特に設備費用が相当額にのぼる。さらに、処理対象となる基板のタイプによっては、熱的負荷が大であることに起因して問題が生じるおそれがある。
【０００４】
ＷＯ９８／１２７３８に記載された方法では、ボンドパッド配列を備えた基板の上に開口スクリーンが配置され、開口スクリーンに存する開口が基板のボンドパッドに対応するようになっている。その後、真空ピペットにより、半田材料製の個々の形状部品が開口スクリーンの開口に挿入される。上記の構成がオーブン内で予熱された後で、開口スクリーンの反基板側から照射されるキセノンライトの印加により半田材料製の形状部品が溶融する。
【０００５】
本発明の目的は、上記の序論で述べたタイプの方法およびその方法を実施するのに好適な装置を提案することにあり、この方法および装置によれば、基板の熱的露出を可能な限り小さく保ちつつ、半田材料からなる多数の形状部品を可能な限り廉価に基板のボンドパッド上に配置して再溶融させることができる。
上記の目的は、請求項１の特性を備える方法およびその特性を備えた装置により達成される。
【０００６】
本発明の方法では、半田材料製の形状部品を収容する多数のテンプレート開口を備えたテンプレート装置を、先ず、ボンドパッド配列を備えた基板に対向させ、半田材料製の形状部品が個々のボンドパッドに関連づけられるように配置する。次に、半田材料製の形状部品を検出する光学的走査装置を用いてテンプレート開口の走査が行われ、これに続いて、テンプレート装置の後部に配置されたレーザ装置からテンプレート開口に収容された半田材料製の形状部品にレーザエネルギを加え、テンプレート装置を介して半田材料製の形状部品にレーザエネルギを加える。
【０００７】
これにより、欠陥のあるスポットを非常に早期に検出できる。すなわち、再溶融操作後に実行可能な品質保証試験に先だって、欠陥のあるスポットを検出できる。更に、半田材料製の形状部品が特定のボンドパッドに存在する場合にのみレーザ装置をトリガ可能であり、従って、ボンドパッドがレーザエネルギに直接に晒されることに起因する基板の熱的損傷が防止される。
【０００８】
すなわち、本発明の方法は、配置操作を短時間で行うのに特に適したテンプレート方法と、熱的負荷の観点から特に穏やかな基板上でのレーザ再溶融プロセスとを組み合わせたものである。
上記方法ではさらに、テンプレート装置に収容された多数の半田材料製の形状部品から個々の半田材料製の形状部品を利用に供するのに必要な選択が、テンプレート装置の開口スクリーン内に配されたテンプレート開口を充填することによりテンプレート装置自体内で行われる。この方法によれば、テンプレート装置自体が半田材料製の形状部品のリザーバとして機能し、従って、テンプレート装置へ半田材料製の形状部品を供給するための別個の供給装置が不要になる。
【０００９】
本発明とは異なる一つの態様もまた非常に有用であり、この態様では、テンプレート装置の外部に置かれた多数の半田材料製の形状部品から半田材料製の形状部品が移転され、これによりテンプレート装置による半田材料製の形状部品の選択が行われる。上記の移転中、テンプレート装置の開口スクリーンに設けられたテンプレート開口が充填される。
【００１０】
この態様では、テンプレート装置自体が移転装置として機能し、テンプレート装置に半田材料製の形状部品を供給しまた前記テンプレート装置から半田材料製の形状部品を移転するための別個の装置を設ける必要がなくなる。
また、半田材料製の形状部品の検出に使用済みの光学的走査装置を介して半田材料製の形状部品にレーザエネルギを加えるのが特に有用であることが分かっている。
【００１１】
半田材料製の形状部品のリザーバとして機能する上述のテンプレート装置に対して上記態様の方法を適用する場合、開口スクリーンを横切って移動可能かつ前記開口スクリーン側に開く充填室により、テンプレート装置の開口スクリーンに配したテンプレート開口を充填するのが有用である。
テンプレート装置自体が半田材料製の形状部品のリザーバとして機能するようにした本発明方法の上記態様を実現する場合、更に好ましくは、開口スクリーンの表面に平行に移動可能であると共に移動軸線上で回転するパドルホイール装置により、テンプレート装置の開口スクリーンに配したテンプレート開口を充填する。
【００１２】
なお、本発明とは異なるが、テンプレート装置自体が半田材料製の形状部品のリザーバから半田材料製の形状部品を移転する移転装置として機能するようにした態様を実現するにあたり、テンプレート装置の開口スクリーンに配したテンプレート開口を、大気圧を下回る圧力により充填することが有用である。
この場合には、テンプレート開口に収容された半田材料製の形状部品を、テンプレート装置に加えた大気圧を上回る圧力により、ボンドパッドと接触するように圧力に晒すことができる。また、テンプレート装置の機械的圧力を介して接触させることもできる。
【００１３】
本発明の装置は、本発明の方法の実施に特に好適であり、多数の半田材料製の形状部品を収容する容器を備えたテンプレート装置を提供するものになっている。上記容器は、開口スクリーンとして設計された容器壁を備え、この容器壁はボンドパッド配列に半田材料製の形状部品を搬送するようになっている。また、開口スクリーンは選択装置を備え、多数の半田材料製の形状部品から選択され且つボンドパッド配列の個々のボンドパッドに対して割り当てられた半田材料製の形状部品が、開口スクリーンのテンプレート開口に露出して配され、従って、テンプレート装置の後部に配されたレーザ装置によりレーザエネルギに晒すことができるようになっている。
【００１４】
好適実施例によれば、選択装置は開口スクリーンを横切って移動可能に設けられる。この選択装置は、開口スクリーンを横切って移動可能な充填室であっても良く、この充填室は開口スクリーン側に開いている。
更なる有用な態様は、開口スクリーンを横切って移動可能なパドルホイール装置として設計された選択装置からなり、半径方向に開いた搬送コンパートメントは、パドルホイール装置のパドルホイールのパドルにより区切られている。
【００１５】
選択装置の設計にかかわらず、開口スクリーンに対向して配された後壁を透明に形成したテンプレート装置により形成される閉空間内に選択装置を収容する場合、大気圧を上回る圧力を用いて、基板のボンドパッド配列のボンドパッドに対して個々の半田材料製の形状部品をオーバレイ適用可能である。再溶融プロセスの場合も同様である。この状況において、大気圧を上回る圧力を発生させるために保護ガス雰囲気を用いるのが特に有用である。
【００１６】
本発明による装置の別の実施形態では、テンプレート装置自体が選択装置であり、開口スクリーンを有するハウジングを備える。この開口スクリーンは、半田材料製の形状部品を収容する多数のテンプレート開口を備えると共に、開口スクリーンに対向して配置された透明な後壁を備える。
その様なテンプレート装置に大気圧を下回る圧力を印加する場合、テンプレート装置自体が、選択装置として、およびまたは、半田材料製の形状部品を収容したリザーバから半田材料製の形状部品を移転する移転装置として機能する。この場合、リザーバからの半田材料製の形状部品の移転に起因して、大気圧を下回る圧力を印加するとテンプレート開口が自動的に充填される。
【００１７】
開口スクリーンに形成されたテンプレート開口の直径が半田材料製の形状部品の最小直径よりも小さい場合、大気圧を下回る圧力が印加されたとき、テンプレート開口の開口断面に対する部分真空により、半田材料製の成形材料を保持可能であり、選択と同時に、半田材料製の形状部品の露出配列が生じ、これによりテンプレート装置を介して半田材料製の形状部品をボンドパッド配列のボンドパッドに機械的に押圧可能となる。
【００１８】
開口スクリーンに設けたテンプレート開口の直径が半田材料製の形状部品の最大直径よりも大きい場合で且つ開口スクリーンと後壁との間隔が半田材料製の形状部品の最小直径よりも小さい場合、選択配列を維持しつつ、後続の再溶融操作をテンプレート装置内で確実に行えるように、半田材料製の形状部品をテンプレート装置の内部に配列可能になる。
【００１９】
開口スクリーンの壁構造、およびまたは、開口スクリーンを横切って移動可能な充填室の側壁が開口スクリーンの領域にわたってフレキシブルであることが、特に有用である。これにより、基板表面が不均一であっても開口スクリーンを基板表面に確実に接触させることができる。
このため、壁構造は少なくとも３つの層を備え、フレキシブルな圧縮層は２つの耐摩耗性の表面層の間に挟まれる。圧縮層がプラスチック材料から構成され、また、表面層が金属から構成されるのが特に有用である。
【００２０】
以下、本発明の方法の好適態様、およびそのために用いられる本発明の装置の好適態様を図面を参照して詳細に説明する。
図１は、半田材料製の形状部品２０を配置した後で再溶融させる方法を実施する一つの態様を示す概略図である。そのためテンプレート装置２１が設けられ、このテンプレート装置は、基板２３に対向して配された開口スクリーン２４を備えるハウジング２２と、開口スクリーン２４に対向して配された透明な後壁２５と、この後壁２５を開口スクリーン２４に接続する側壁フレーム２６とを備えている。
【００２１】
開口スクリーン２４はテンプレート開口２７を備え、このテンプレート開口に配された半田材料製の形状部品２０が基板２３のボンドパッド配列２９のボンドパッド２８の関連するものに接触するようになっている。
図１から分かるように、テンプレート装置２１は圧力接続体３０を備え、同装置２１の内部空間３１にガス圧力を印加できるようになっている。図１に示した構成は、内部空間３１内に存在する大気圧を上回る圧力を半田材料製の形状部品２０に印加して、半田材料製の形状部品２０と基板２３のボンドパッド２８の関連するものとを接触させるものになっている。この構成において、（以下に説明する）再溶融操作を開始可能である。
【００２２】
図１に例示するように、再溶融操作を実施するため、光学的走査装置３２がテンプレート装置２１の透明な後壁２５の上方に配され、この走査装置は、走査ビーム経路３４内に配された旋回ミラー３３を備えている。本例ではプリズムとして設計されたビーム屈折装置３５を走査ビーム経路３４内に配して、このビーム屈折装置により走査ビーム経路３４から検出器線経路３６をデカップル可能になっている。そして、旋回ミラー３３の回転位置に応じて、検出器線経路３６により、個々の半田材料製形状部品２０と基板２３のボンドパッド２８の関連するものとが光学的に接続される。本例の場合、検出器線経路３６の端には、赤外線検出器３７と例えばＣＣＤカメラである半田材料検出器３８とが設けられている。また、走査ビーム経路３４の端にはレーザ装置３９が設けられ、このレーザ装置により、旋回ミラー３３の回転位置に応じて個々の半田材料製の形状部品にレーザエネルギを印加できるようになっている。
【００２３】
明瞭であるので図１には示さないが、旋回ミラー３３は、図面の平面に交差して延びる旋回軸を備えるばかりではなく、図面の平面に沿う旋回軸をも備え、これにより、テンプレート装置２１あるいはこれに収容された半田材料製の形状部品２０をエリア走査することができる。
再溶融操作を実行するため、半田材料検出器３８によりトリガされて旋回ミラー３３の２軸旋回移動が停止し、また、検出された半田材料製の形状部品２０のそれぞれにレーザエネルギを印加するレーザ装置３９が、半田材料検出器３８によりトリガされて付勢される。レーザ装置３９の動作中、赤外線検出器３７により温度をモニタ可能である。レーザ装置３９のセッティングは必要に応じて変更できる。
【００２４】
図２はテンプレート装置４０を示し、同装置は、図１に示したテンプレート装置２１と同様、開口スクリーン４１、透明な後壁４２、側壁フレーム４３および圧力接続体４４を備えている。内部空間４５に配置された充填室４７は、本例では４つの側壁４６を備え、また、本例では後壁４２及び開口スクリーン４１により頂面および底面がそれぞれ区切られている。充填室４７内に配された多数の半田材料製の形状部品２０は、開口スクリーン４１内のテンプレート開口４８の充填に用いられる。
【００２５】
図２に示したテンプレート装置４０の下方には、本例では曲がりｄを有した表面湾曲を備えた基板４９が設けられている。
図３に示すように、基板４９の表面にテンプレート装置４０を配置すると、開口スクリーン４１が基板４９の表面に適合する。そして、この適合状態に達すると、充填室４７が開口スクリーン４１を横切って並進移動される。このプロセスにおいて、充填室４７内に収容された多数の半田材料製形状部品２０から半田材料製の形状部品２０が開口スクリーン４１のテンプレート開口４８へ選択排出される。
【００２６】
このプロセスを図４に示す。図４は、テンプレート装置４０の頂面図である。後壁４２が透明であるので、テンプレート装置４０の内部空間を視認可能である。
図４の頂面図が明瞭に示すように、充填室４７の並進運動により開口スクリーン４１内のテンプレート開口４８が充填される。開口スクリーン４１が完全に充填され且つ充填室４７が図２に示す初期位置に復帰すると、図１を参照して説明したように、個々の半田材料製の形状部品２０にレーザエネルギを印加可能となる。また、側壁フレーム４３に設けた圧力接続体４４を介して、内部空間４５へ不活性ガス雰囲気を印加可能である。非酸化再溶融の操作とは別に、上記の不活性ガス雰囲気は、基板４９のボンドパッド５０に半田材料製の形状部品２０を押圧するのに必要な圧力を提供可能である（図３）。
【００２７】
図５に示したテンプレート装置５１は、図２ないし図４に示したテンプレート装置４０と同様、開口スクリーン４１、後壁４２、側壁フレーム４３及び圧力接続体４４を備えている。
図２ないし図４に示したテンプレート装置４０とは対照的に、テンプレート装置５１は、テンプレート装置４０と共に使用される充填室４７に代えてパドルホイール装置５２を備える。このパドルホイール装置５２は、特に図７に示すように、内部空間４５の幅方向に延びるパドル５４を有したパドルホイール５３を備えている。図６及び図７に示したように、開口スクリーン４１のテンプレート開口４８を充填するため、パドルホイール装置５２は、回転しつつ開口スクリーン４１に沿って並進移動する。このプロセスにおいて、パドルホイール装置５２は、多数の半田材料製の形状部品２０を前方に押し出すと同時に、好ましくは弾性を具備したパドル５４が半田材料製の形状部品２０を変位させ、これらの半田材料製の形状部品をテンプレート開口４８内に移動させる。
【００２８】
基板４９へのテンプレート装置５１の配置の前に半田材料製の形状部品２０がテンプレート開口４８に残らないようにするため、開口スクリーン４１は、開口スクリーン４１のものと同一の開口パターンを有する閉鎖スクリーン５５を備えている。開口スクリーン４１に対する滑動運動により閉鎖スクリーンが図５に示した閉鎖位置に移動したとき、閉鎖スクリーンはテンプレート開口４８を閉鎖する。また、図６に示した開位置では、閉鎖スクリーン５５内の開口は、テンプレート開口４８に合致するように整合して配置される。
【００２９】
図８及び図９は、リザーバ５７から半田材料製の形状部品２０を移転するための移転装置としても機能するテンプレート装置５６を示している。そのため、開口マスク５８を有したテンプレート装置５６がリザーバ５７まで下げられ、大気圧を下回る圧力が、圧力接続体６１を介してテンプレート装置５６の内部空間５９に印加される。半田材料製の形状部品２０の直径がテンプレート装置５６の開口スクリーン５８のテンプレート開口６０の直径よりも大きいので、テンプレート装置５６がリザーバ５７から復帰したとき、選択された半田材料製の形状部品２０は、テンプレート開口６０の開口断面６２に露出位置で固着されたままになる。
【００３０】
図９は、後続の再溶融操作のための準備段階における、基板６４のボンドパッド６３上での半田材料製の形状部品２０の配置を示す。図９に示すように、本実施形態のテンプレート装置５６では、テンプレート装置に作用した圧力を介して、半田材料製の形状部品２０をボンドパッド６３に押圧させるのに必要な圧力を機械的に印加でき、あるいは、テンプレート装置５６の固有の重量により圧力を印加できる。
【００３１】
図１０及び図１１は、図８及び図９に示したテンプレート装置５６と同様、選択された半田材料製の形状部品２０をリザーバ５７から移転するのに適したものとなっている。図１０は移転位置を示し、一方、図１１は適用位置を示す。図８及び図９に示したテンプレート装置５６の場合と同様、テンプレート装置６５は、開口スクリーン６６、透明な後壁６７および側壁フレーム６８を備えている。図１０に示すように、開口スクリーン６６と後壁６７間のクリアランスにより内部空間６９すなわちギャップが形成され、このクリアランスは半田材料製の形状部品２０の直径ｄよりも小さくなっている。一方、開口スクリーン６６のテンプレート開口７０の直径Ｄは、半田材料製の形状部品の直径ｄよりも大きくなっている。従って、側壁フレーム６８の圧力接続体７１を介して内部空間６９に大気圧を下回る圧力が印加されると、図１０に示すような構成になる。この構成において、半田材料製の形状部品２０はテンプレート開口７０に付着して収容される。
【００３２】
図１１に示した適用位置において、テンプレート装置６５は基板６４の上方に配され、クリアランスは殆どなくなる。そして、半田材料製の形状部品と基板６４のボンドパッド６３の関連するものとを接触させるべく、圧力接続体７１を介して内部空間６９へ大気圧を上回る圧力が適用される。
図１２及び図１３は、開口スクリーン６６を下からみた開口スクリーンの部分図であり、図示のように、開口スクリーン６６は、個々のテンプレート開口７０を相互に接続するチャネル７３を有した接触面７２を備えている。また、図１３に示すように、内部空間６９内の大気圧を上回る圧力に保持されているガスを、チャネル７３により放出可能である。これにより、テンプレート装置６５または開口スクリーン６６の規定の配列について、接触面７２が基板６４に接触可能となる。これなしには、大気圧を上回る圧力に保持されたガスの流出が阻止される。
【００３３】
図１４は、テンプレート装置７５の開口スクリーン７４の頂面図であり、テンプレート装置７５は多数のテンプレートセグメント７６を備えると共に、充填室４７を備えている。充填室の機能および設計については説明済みである。図１５に係る充填室４７の断面図に示すように、開口スクリーン７４の領域を横断する充填室４７の側壁４６は、多層壁構造である。金属からなり耐摩耗性を有する外面層７７、７８の間には、剛体でないプラスチック材料たとえばポリアミドからなる圧縮層７９が設けられている。
【００３４】
図１６は開口スクリーン７４の部分断面図であり、図１７はこの部分断面の拡大部分図である。図１７に示すように、開口スクリーン７４の壁設計は、充填室４７の側壁４６のものにほぼ対応している。そして、剛体でない圧縮層８２は、耐摩耗性の２つの外面層８０、８１の間に挟まれている。
このように設計された側壁４６と充填室４７と開口スクリーン７４との組合せの効果として、図３に例示するような変形性能が得られる。図３に示した開口スクリーン４１の壁設計は、開口スクリーン７４のものと同一である。図３に示すように、その様な壁設計の結果、主表面の湾曲または基板の変形をも補償可能である。結局、基板のボンドパッドに多数の半田材料製の形状部品を配置して再溶融させる方法を、障害を来すことなしに種々の態様により実施可能になる。
【００３５】
図１８は、図５、図６及び図７に示したパドルホイール装置５２の変形例としてのパドルホイール装置８３を示す。パドルホイール装置５２の場合と同様、パドルホイール装置８３の回転軸８５は、テンプレート装置８４において並進可能にガイドされている。このため、本実施形態は、テンプレート装置８４に設けられた側方ガイドスロット９３を備えている。図１８に矢印で示すように、回転軸８５の並進は逆回転を伴うことがある。図１８に示すように、回転軸８５は本実施形態ではドリル穴形式のガス入口８６を備え、このガス入口は回転軸８５に沿って延びるガス出口装置８７に至る。ガス出口装置８７は、例えば、長手方向スロットあるいはドリル穴の列で良い。実施形態にかかわらず、ガス出口装置８７は、パドルホイール装置８３の弾性のパドル８８により区切られた搬送室コンパートメント８９に至る。図１８に示すように、これらのガス出口装置により、搬送室コンパートメント８９内に配された半田材料製の形状部品２０にガス流９０を印加可能である。ガス流９０は、パドル８８に固着可能な半田材料製の形状部品２０を移転させるために使用される。また、ガス流９０は、ドクタブレードのように作用するパドルホイール装置８３の効果を支持するためにも用いられる。
【００３６】
特に、不活性ガスのガス流９０を半田材料製の形状部品２０に印加する場合、テンプレート装置８４の内部空間９１をカバーする透明カバー９２たとえばガラスパンが有用である。乾燥ガスを使用すると、半田材料製の形状部品２０がパドル８８に固着する傾向に対する反作用となり、有用であることが分かっている。ガス流の例として窒素の使用が有用であることが分かっている。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の方法の一実施態様の概略図である。
【図２】  基板表面への配置および再溶融操作の実施に先立って、充填室を備えたテンプレート装置を用いる本発明に係る方法の一実施態様を示す。
【図３】  基板表面への配列後における、図２に示したテンプレート装置を示す。
【図４】  図２及び図３に示したテンプレート装置の頂面図である。
【図５】  基板表面への配置及び再溶融操作に先だって、パドルホイール装置を備えたテンプレート装置を用いる本発明による方法の更なる実施形態を示す。
【図６】  基板表面への配置後での、図５に示したテンプレート装置を示す。
【図７】  図５及び図６に示したテンプレート装置の頂面図である。
【図８】  半田材料製の形状部品の収容後におけるテンプレート装置の更なる実施形態を示す。
【図９】  半田材料製の形状部品の収容後における図８に示したテンプレート装置を示す。
【図１０】  基板表面への配置に先立つテンプレート装置の更なる実施形態を示す。
【図１１】  基板表面への配置後における図１０に示したテンプレート装置を示す。
【図１２】  テンプレート開口を示すと共に、図１０及び図１１に示したテンプレート装置の、これを下方からみた部分図である。
【図１３】  図１２に示した断面ＸＩＩＩ−ＸＩＩＩに沿うテンプレート開口の拡大断面図である。
【図１４】  多数のテンプレートセグメントを有したテンプレート装置の一実施形態の頂面図である。
【図１５】  図１４に示した充填室の断面図である。
【図１６】  図１４に示した断面ＸＶＩ−ＸＶＩに沿う、図１４に示したテンプレートセグメントの断面図である。
【図１７】  図１６に示した断面の拡大部分図である。
【図１８】  図５、図６及び図７に示したパドルホイール装置の一実施形態を示す。
【符号の説明】
２０、５７  半田材料製の形状部品
２１、４０、５１、５６、６５、７５  テンプレート装置
２３、４９、６４  基板
２４、４１、５８、６６、７４  開口スクリーン
２７、４８、６０、６１、７０  テンプレート開口
２９  ボンドパッド配列
３２  光学的走査装置
３９  レーザ装置
４２、６７  後壁
４５  閉空間
４６  側壁
４７  充填室（選択装置）
５０、６３  ボンドパッド
５１  容器
５２  パドルホイール装置（選択装置）
５４  パドル
７７、７８、８０、８１  表面層
７９、８２  圧縮層
【図１】
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【図２】
0004068304.tif 000003
【図３】
0004068304.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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