(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被記録媒体に印字を行うための記録ヘッドに用いられ、電気エネルギーを印字エネルギーに変換するためのエネルギー変換素子と、電源電圧を印加されると定電流が流れる回路とが形成された記録ヘッド用基板において、前記回路の外部から入力され、外部と切り離された場合にアクティブとなるように前記基板内でプルダウンまたはプルアップされている制御信号に基づいて、前記電源から前記回路へ入力する定電流を遮断するための電流遮断手段が、前記電源電圧が印加されると定電流が流れる回路内に設けられていることを特徴とする記録ヘッド用基板。
【請求項２】
前記制御信号が、印字動作をスタンバイ状態とするためのリセット信号である請求項１記載の記録ヘッド用基板。
【請求項３】
前記電源電圧が印加されると定電流が流れる回路が、電源電圧を所定の値に降圧するための降圧回路である請求項１または２記載の記録ヘッド用基板。
【請求項４】
前記電源電圧が印加されると定電流が流れる回路が、発熱抵抗体の抵抗値の製造ばらつきを測定するために設けられたランク抵抗の抵抗値を測定するためのランク抵抗測定回路である請求項１または２記載の記録ヘッド用基板。
【請求項５】
前記電源電圧が印加されると定電流が流れる回路が、温度測定回路である請求項１または２記載の記録ヘッド用基板。
【請求項６】
前記電気エネルギーを印字エネルギーに変換するためのエネルギー変換素子が、電気エネルギーを液体を吐出するための吐出エネルギーに変換するためのエネルギー変換素子である請求項１から５のいずれか１項記載の記録ヘッド用基板。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項記載の記録ヘッド用基板と、前記記録ヘッド用基板とボンディングワイヤを介して接続される配線基板とを有する記録ヘッド。
【請求項８】
液体を吐出する複数の吐出口と前記吐出口と連通する複数の液流路とを構成する部材を、さらに有する請求項７記載の記録ヘッド。
【請求項９】
請求項７または８記載の記録ヘッドと、該記録ヘッドを駆動するための駆動信号を前記記録ヘッドに供給する駆動信号供給手段と、前記記録ヘッドにより印字される被記録媒体を搬送する被記録媒体搬送手段とを有する記録装置。
【請求項１０】
請求項１記載の記録ヘッド用基板を用いて電源電圧の配線と他の回路素子との絶縁が確保されているどうかの検査する、記録ヘッド用基板の検査方法であって、
電源電圧を印加するとともに前記制御信号をアクティブとし、他のロジック回路を制御するための信号をインアクティブとするステップと、
前記電源電圧を印加した際に発生する電流の電流値を測定するステップと、
前記電流値が一定値以上である場合には、電源電圧を印加するための配線と本来接続されていないはずの回路素子との間の絶縁が確保されていないと判定し、前記電流値が前記一定値より小さい場合には、電源電圧を印加するための配線と本来接続されていないはずの回路素子との間の絶縁が確保されていると判定するステップと
を有する記録ヘッド用基板の検査方法。
【請求項１１】
前記制御信号が、印字動作をスタンバイ状態とするためのリセット信号である請求項１０記載の記録ヘッド用基板の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被記録媒体に印字を行うための記録ヘッドに用いられ、電気エネルギーを印字エネルギーに変換するためのエネルギー変換素子が形成された記録ヘッド及びその製造方法に関し、特に、印字エネルギーを発生させるための印字エネルギー発生素子等が形成された半導体基板である記録ヘッド用基板及びその製造方法に関する。
【０００２】
ここで被記録媒体への印字には、文字を印刷する動作だけでなく記号、図形等の文字以外のものを印刷する動作をも含むものとする。
【０００３】
【従来の技術】
熱等のエネルギーをインク等の液体に与えることで、インクに急峻な体積変化（気泡の発生）を伴う状態変化を生じさせ、この状態変化に基づく作用力によって吐出口からインクを吐出し、これを被記録媒体上に付着させて画像形成を行なうインクジェット記録方法、いわゆるバブルジェット記録方法が従来知られている。このバブルジェット記録方法を用いる記録装置には、米国特許第４,７２３,１２９号明細書等の公報に開示されているように、インクを吐出するための吐出口と、この吐出口に連通するインク流路と、インク流路内に配されたインクを吐出するためのエネルギー変換素子としての発熱抵抗体が一般的に配されている。
【０００４】
この様な記録方法によれば、品位の高い画像を高速、低騒音で記録することができるとともに、この記録方法を行うヘッドではインクを吐出するための吐出口を高密度に配置することができるため、小型の装置で高解像度の記録画像、さらにカラー画像をも容易に得ることができるという多くの優れた点を有している。このため、このバブルジェット記録方法は、近年、プリンタ、複写機、ファクシミリ等の多くのオフィス機器に利用されており、さらに、捺染装置等の産業用システムにまで利用されるようになってきている。
【０００５】
ところで、インクを吐出するためのエネルギーを発生させるための発熱抵抗体は、半導体製造プロセスを用いて作製することができる。そのため、バブルジェット技術を利用した従来のヘッドは、シリコン基板からなる素子基板（記録ヘッド用基板）上に発熱抵抗体を形成し、その上に、インク流路を形成するための溝を形成した、ポリサルフォン等の樹脂やガラス等からなる天板を接合した構成となっている。
【０００６】
また、素子基板がシリコン基板からなることを利用し、発熱抵抗体を素子基板上に構成するだけでなく、発熱抵抗体を駆動するためのドライバや、発熱抵抗体をヘッドの温度に応じて制御する際に用いられる温度センサおよびその駆動制御部等を素子基板上に構成したものもある（特開平７−５２３８７号公報等）。このようにドライバや温度センサおよびその駆動制御部等を素子基板上に構成したヘッドは実用に供されており、記録ヘッドの信頼性の向上及び装置の小型化に寄与している。
【０００７】
このような記録ヘッド用基板である素子基板を記録ヘッドの支持板１０２上に配接した構成を図１０に示す。記録ヘッド支持板１０２上には、素子基板１０１と、配線基板１０５とが配置され、素子基板１０１と配線基板１０５はワイヤボンディングにて接続されている。そして、配線基板１０５には、プリンタ本体との接続を行うためのコンタクトパッド１０６が設けられている。
【０００８】
次に、この素子基板１０１上に構成される回路素子の構成を図１１のブロック図に示す。
【０００９】
この素子基板１０１上には、図１１に示されるように、ヒータ部２０１と、駆動回路部２０２と、保持回路部２０３と、転送回路部２０４と、降圧回路部９０５と、ランク抵抗測定回路部９０６と、温度測定回路部９０７とが形成されている。
【００１０】
ヒータ部２０１は、複数の発熱抵抗体により構成されている。転送回路部２０４は、シフトレジスタ等により構成され、印刷を行うためのシリアルデータを順次転送してパラレルデータに変換している。保持回路部２０３は、転送回路部２０４によって変換されたパラレルデータをラッチして保持するための回路である。駆動回路部２０２は、保持回路部２０４においてラッチされたデータに基づいて、ヒータ部２０１の各発熱抵抗体をそれぞれ駆動している。また、保持回路部２０３には、印字動作をスタンバイ状態とするためのリセット信号２１０が入力されていて、リセット信号２１０がアクティブであるハイレベル（以下Ｈとする）の場合には、保持回路部２０３は駆動回路部２０２が動作を行わないようなデータを出力する。
【００１１】
降圧回路部９０５は、ヒータ駆動用電源ＶＨの電圧値を一定値だけ低くして出力するための回路である。ランク抵抗測定回路部９０６は、素子基板１０１上に形成されたランク抵抗の抵抗値を測定するための回路である。ここでランク抵抗とは、ヒータ部２９１内に形成されている発熱抵抗体の抵抗値の製造ばらつきを測定するために設けられた抵抗であり、他の回路とは切り離され抵抗値を測定するためだけに設けられた抵抗体である。温度測定回路部９０７は、インクジェットヘッドの温度を測定するための回路であり、インクの温度を測定するためのセンサであり、ダイオードの順方向電圧が温度により変化することを用いてインクの温度の測定を行っている。
【００１２】
降圧回路部９０５、駆動回路部２０２、ヒータ部２０１の具体的な回路構成の一例を図１２に示す。
【００１３】
降圧回路部９０５は、抵抗２１、２２、２４と、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ２３とから構成されている。ヒータ部２０１は、複数の発熱抵抗体５０により構成されている。駆動回路部２０２は、ヒータ部２０１の１つの発熱抵抗体５０に対して、抵抗２５と、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ２６〜２８と、ＰチャネルＭＯＳトランジスタ２９とがそれぞれ設けられている。
【００１４】
降圧回路部９０５は、入力されたヒータ用電源ＶＨを抵抗２１、２２により分割してある電圧とし、その電圧からＮチャネルＭＯＳトランジスタ２３のしきい値電圧だけ低い電圧を出力している。そして、降圧回路部９０５では、抵抗２１、２２によりヒータ用電源ＶＨを分割しているため、記録ヘッドの動作状態に関わらず定電流Ｉ0が流れてしまう。駆動回路部２０２では、保持回路部２０３に保持されているデータに基づいてＮチャネルＭＯＳトランジスタ２８のオン／オフの制御を行い発熱抵抗体５０の駆動を行っている。
【００１５】
ここで、定電流とは、通常の動作状態において、電源電圧を印加すると出力状態等に影響されずに回路に流れる一定の電流をいう。
【００１６】
上記のようにヒータ用電源ＶＨを所定の値だけ降圧させてから出力する降圧回路部９０５が設けられているのは下記のような理由による。
【００１７】
発熱抵抗体５０に印加されるヒータ用電源ＶＨはロジック用電源ＶＤＤよりも高い電圧となっているため、発熱抵抗体５０を駆動するためのＮチャネルＭＯＳトランジスタ２８には高いドライブ能力が必要とされる。しかし、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ２８のゲートには、ロジック用電源ＶＤＤと同じ電圧であるロジック信号を直接印加しただけでは、充分なドライブ能力が実現することは難しい。そのため、ロジック用電源ＶＤＤよりも高い電圧をＮチャネルＭＯＳトランジスタ２８のゲートに印加する必要がある。そのため、ヒータ用電圧ＶＨでＮチャネルＭＯＳトランジスタ２８を制御するために、駆動回路部２０２には、抵抗２５、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ２６、２７、ＰチャネルＭＯＳトランジスタ２９等の回路が構成されている。
【００１８】
しかし、このＮチャネルＭＯＳトランジスタ２８の全段のＰチャネルＭＯＳトランジスタ２９のソースの耐圧がヒータ用電源ＶＨの電圧値より低い場合、ヒータ用電源ＶＨをＰチャネルＭＯＳトランジスタ２９に直接接続したのでは、ＰチャネルＭＯＳトランジスタ２９が破壊されてしまう。そのため、降圧回路部９０５を用いてヒータ用電源ＶＨを所定の値だけ降圧させてからＰチャネルＭＯＳトランジスタ２９のソースに印加するようにしているのである。
【００１９】
次に、ランク抵抗測定回路部９０６の一例を図１３に示す。ランク抵抗測定回路部９０６は、図１３に示されるように、抵抗３１〜３３と、ランク抵抗３４と、演算増幅器３５とから構成されている。ランク抵抗測定回路部９０６に入力されたロジック用電源ＶＤＤは、抵抗３１、３２に分割されて演算増幅器３５の非反転入力端子に入力される。そして、その電圧値は、抵抗３３およびランク抵抗３４の抵抗値に基づくゲインで増幅されて出力電圧（ＲＡＮＫ）として出力される。従って、抵抗３１〜３３の抵抗値が予め既知であれば、この出力電圧からランク抵抗３４の抵抗値を求めることができる。そして、ランク抵抗測定回路部９０６においても、抵抗３１、３２によりロジック用電源ＶＤＤを分割しているため、記録ヘッドの動作状態に関わらず定電流Ｉ0が流れてしまう。
【００２０】
次に、温度測定回路部９０７の一例を図１４に示す。温度測定回路部９０７は、図１４に示されるように、抵抗４１〜４３と、ダイオード温度センサ４４と、演算増幅器４５とから構成されている。温度測定回路部９０７は、図１３に示したランク抵抗測定回路部９０６において、ランク抵抗３４の代わりにダイオード温度センサ４４を置き換えた回路構成となっており、ダイオード温度センサ４４の順方向電圧が温度によって変化することを用いて温度の測定が行われる。そして、温度測定回路部９０７においても、抵抗４１、４２によりロジック用電源ＶＤＤを分割しているため、記録ヘッドの動作状態に関わらず定電流Ｉ0が流れてしまう。
【００２１】
一般的に、上記で説明したような半導体基板からなる記録ヘッド用基板を製造する際には、ロジック用電源ＶＤＤ、ヒータ用電源ＶＨ等の電源電圧を印加するための配線と他の回路素子との絶縁が確保されているどうかの検査が行われる。この検査を行う方法としては、ロジック用電源ＶＤＤ、ヒータ用電源ＶＨ等の電源電圧に電圧を印加しリーク電流が発生するか否かの確認が行われる。
【００２２】
しかし、上記で説明した降圧回路部９０５、ランク抵抗測定回路部９０６、温度測定回路部９０７等の回路は、ロジック用電源ＶＤＤやヒータ用電源ＶＨ等の電源電圧を印加した途端に定電流が流れてしまう。
【００２３】
そのため、インクジェット記録装置の高機能化に伴って発熱抵抗体だけでなく各種の回路を素子基板上に形成するようになってくると、従来の記録ヘッド用基板では、定電流が流れる回路を素子基板１０１上に形成した場合、リーク電流を精度よく測定することができなかった。
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の記録ヘッド用基板では、定電流が流れる回路を発熱抵抗体とともに形成した場合、ロジック用電源やヒータ用電源等の電源電圧を印加した途端に定電流が発生するため、リーク電流を精度よく測定することができないという問題点があった。
【００２５】
本発明の目的は、定電流が流れる回路を発熱抵抗体とともに形成した場合であっても、リーク電流を精度よく測定することができる記録ヘッド用基板を提供することである。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の記録ヘッド用基板は、被記録媒体に印字を行うための記録ヘッドに用いられ、電気エネルギーを印字エネルギーに変換するためのエネルギー変換素子と、電源電圧を印加されると定電流が流れる回路とが形成された記録ヘッド用基板において、
前記回路の外部から入力され、外部と切り離された場合にアクティブとなるように前記基板内でプルダウンまたはプルアップされている制御信号に基づいて、前記電源から前記回路へ入力する定電流を遮断するための電流遮断手段が、前記電源電圧が印加されると定電流が流れる回路内に設けられていることを特徴とする。
【００２７】
本発明によれば、制御信号がアクティブとなると電流遮断回路は電源電圧を印加されると定電流が流れる回路における定電流を遮断するようにしているので、記録ヘッド用基板において電源電圧の配線と他の回路素子との絶縁が確保されているどうかの検査を行うためにリーク電流を測定する際にその制御信号をアクティブとすることにより定電流が遮断され、通常の動作状態では定電流が流れる回路を発熱抵抗体とともに素子基板上に形成した場合であっても、リーク電流を精度よく測定することができる。また、本発明によれば、記録ヘッドが記録装置からはずされた場合にリセット信号がアクティブとなるように、リセット信号をプルアップまたはプルダウンするようにしているので、記録ヘッドと記録装置との間の接続が何かの原因により接触不良または切断された場合であっても、リセット信号はアクティブとなり、誤った印刷が行われてしまうことを防ぐことができる。
【００２８】
また、前記制御信号を、印字動作をスタンバイ状態とするためのリセット信号とするようにしてもよい。
【００２９】
本発明によれば、記録装置において印字動作が行われないスタンバイ状態では、リセット信号がアクティブとなることにより、電流遮断回路が動作して定電流を遮断するため消費電力を削減することができる。さらに、本発明によれば、電流遮断回路を制御するための制御信号としてリセット信号を用いているため、記録ヘッド用基板と配線基板との間を接続するための端子数を増やす必要がなく、コストアップ無しで電流遮断回路を設けることができる。
【００３２】
また、本発明の他の記録ヘッド用基板によれば、前記電源電圧が印加されると定電流が流れる回路を、電源電圧を所定の値に降圧するための降圧回路、発熱抵抗体の抵抗値の製造ばらつきを測定するために設けられたランク抵抗の抵抗値を測定するためのランク抵抗測定回路、または、温度測定回路としてもよい。
【００３４】
さらに、前記電気エネルギーを印字エネルギーに変換するためのエネルギー変換素子を、電気エネルギーを液体を吐出するための吐出エネルギーに変換するためのエネルギー変換素子としてもよい。
【００３５】
また、本発明の記録ヘッドは、上記いずれかの記録ヘッド用基板と、
前記記録ヘッド用基板とボンディングワイヤを介して接続される配線基板とを有する。
【００３６】
さらに、本発明の記録ヘッドは、液体を吐出する複数の吐出口と前記吐出口と連通する複数の液流路とを構成する部材を、さらに有するようにしてもよい。
【００３７】
また、本発明の記録装置は、上記の記録ヘッドと、該記録ヘッドを駆動するための駆動信号を前記記録ヘッドに供給する駆動信号供給手段と、前記記録ヘッドにより印字される被記録媒体を搬送する被記録媒体搬送手段とを有する。
【００３８】
また、本発明の記録ヘッド用基板の検査方法は、上記の記録ヘッド用基板を用いて電源電圧の配線と他の回路素子との絶縁が確保されているどうかの検査する、記録ヘッド用基板の検査方法であって、
電源電圧を印加するとともに前記制御信号をアクティブとし、他のロジック回路を制御するための信号をインアクティブとするステップと、
前記電源電圧を印加した際に発生する電流の電流値を測定するステップと、
前記電流値が一定値以上である場合には、電源電圧を印加するための配線と本来接続されていないはずの回路素子との間の絶縁が確保されていないと判定し、前記電流値が前記一定値より小さい場合には、電源電圧を印加するための配線と本来接続されていないはずの回路素子との間の絶縁が確保されていると判定するステップとを有する。
【００３９】
さらに、本発明の記録ヘッド用基板の検査方法は、前記制御信号を、印字動作をスタンバイ状態とするためのリセット信号としてもよい。
【００４０】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態の記録ヘッド用基板の構成を示すブロック図である。図１において、図１１中の構成要素と同一の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略するものとする。
【００４１】
本実施形態の記録ヘッド用基板である素子基板１０７は、図１１に示した従来の記録ヘッド用基板である素子基板１０１に対して、降圧回路部９０５、ランク抵抗測定回路部９０６、温度測定回路部９０７を、降圧回路部２０５、ランク抵抗測定回路部２０６、温度測定回路部２０７にそれぞれ置き換えたものである。
【００４２】
降圧回路部２０５は、図２に示すように、図１２に示した従来の記録ヘッド用基板における降圧回路部９０５に対して、ヒータ用電源ＶＨと抵抗２１との間に電流遮断回路２０が新たに設けられたものである。電流遮断回路２０は、リセット信号２１０がインアクティブであるＬの場合にはオフとなり、リセット信号２１０がアクティブであるＨの場合にはオンとなる。
【００４３】
ランク抵抗測定回路部２０６は、図３に示すように、図１３に示した従来の記録ヘッド用基板におけるランク抵抗測定回路部９０６に対して、ロジック用電源ＶＤＤと抵抗３１との間に電流遮断回路３０が新たに設けられたものである。電流遮断回路３０は、リセット信号２１０がインアクティブであるＬの場合にはオフとなり、リセット信号２１０がアクティブであるＨの場合にはオンとなる。
【００４４】
温度測定回路部２０７は、図４に示すように、図１４に示した従来の記録ヘッド用基板における温度測定回路部９０７に対して、ロジック用電源ＶＤＤと抵抗４１との間に電流遮断回路４０が新たに設けられたものである。電流遮断回路４０は、リセット信号２１０がインアクティブであるＬの場合にはオフとなり、リセット信号２１０がアクティブであるＨの場合にはオンとなる。
【００４５】
電流遮断回路２０、３０、４０の具体的な回路の一例を、電流遮断回路２０を代表して図５に示す。図５に示される電流遮断回路２０（３０、４０）は、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ５１と、抵抗５２と、ＰチャネルＭＯＳトランジスタ５３とから構成されている。また、リセット信号２１０は、素子基板１０７内においてプルアップ抵抗５４によりロジック用電源ＶＤＤにプルアップされている。
【００４６】
ＮチャネルＭＯＳトランジスタ５１は、ゲートにリセット信号２１０が印加され、ソースがグランド電位に接続され、ドレインが抵抗５２の一端に接続されている。抵抗５２の他端は、ロジック用電源ＶＤＤ（又はヒータ用電源ＶＨ）に接続されている。ＰチャネルＭＯＳトランジスタ５３は、ゲートがＮチャネルＭＯＳトランジスタ５１のドレインに接続され、ソースがロジック用電源ＶＤＤ（又はヒータ用電源ＶＨ）に接続され、ドレインインが抵抗２１（３１、４１）に接続されている。
【００４７】
この電流遮断回路２０（３０、４０）では、リセット信号２１０がＨとなるとＮチャネルＭＯＳトランジスタ５１がオンし、ＰチャネルＭＯＳトランジスタ５３のゲートがＬとなる。そのため、ＰチャネルＭＯＳトランジスタ５３はオフとなり、ロジック用電源ＶＤＤ（又はヒータ用電源）と抵抗２１（３１、４１）との間は遮断され、定電流は流れなくなる。
【００４８】
また、リセット信号２１０がＬとなるとＮチャネルＭＯＳトランジスタ５１がオフとなり、ＰチャネルＭＯＳトランジスタ５３のゲートがＨとなる。そのため、ＰチャネルＭＯＳトランジスタ５３はオンとなり、ロジック用電源ＶＤＤ（又はヒータ用電源）と抵抗２１（３１、４１）との間は接続され、定電流が流れることとなる。
【００４９】
本実施形態の記録ヘッド用基板では、印字動作をスタンバイ状態とするためのリセット信号２１０がアクティブであるＨとなると、降圧回路部２０５、ランク抵抗測定回路部２０６、温度測定回路部２０７にそれぞれ設けられた電流遮断回路２０、３０、４０が動作して定電流が遮断される。そのため、記録ヘッド用基板において電源電圧の配線と他の回路素子との絶縁が確保されているどうかの検査を行うためにリーク電流を測定する際にリセット信号２１０をＨとすることにより定電流が遮断され、通常の動作状態では定電流が流れる回路を発熱抵抗体とともに素子基板上に形成した場合であっても、リーク電流を精度よく測定することができる。
【００５０】
また、記録装置において印字動作が行われないスタンバイ状態では、リセット信号２１０がアクティブとなり、電流遮断回路２０、３０、４０が動作して定電流を遮断するため消費電力を削減することができる。
【００５１】
さらに、本実施形態では、電流遮断回路２０、３０、４０、７０を制御するための制御信号としてリセット信号２１０を用いているため、素子基板と配線基板との間を接続するための端子数を増やす必要がなく、コストアップ無しで電流遮断回路２０、３０、４０、７０を設けることができる。しかし、電流遮断回路２０、３０、４０、７０を制御するための制御信号としてリセット信号２１０以外の信号または専用の信号を用いてもよい。
【００５２】
次に、本実施形態の記録ヘッド用基板を用いて電源電圧の配線と他の回路素子との絶縁が確保されているどうかの検査する検査方法を図６を参照して説明する。
【００５３】
先ず、検査を行う素子基板の端子に、検査をするための回路または装置を接続する（ステップ６１）。そして、ロジック用電源ＶＤＤ、ヒータ用電源ＶＨをオンとする（ステップ６２）。この際には、まだリセット信号２１０はＬであるため定電流が流れることとなる。
【００５４】
そして、リセット端子をＨとしてリセット信号２１０をＨとし、他のロジック端子をＬとする（ステップ６３）。このことにより定電流は遮断され電源電圧お配線と本来接続されていないはずの他の回路素子との間の絶縁が確保されていればリーク電流は測定されないはずである。
【００５５】
この状態において、ロジック用電源ＶＤＤのリーク電流を測定し（ステップ６４）、その電流値が一定値以上であればロジック用電源ＶＤＤの配線と本来接続されていないはずの回路素子との間の絶縁が確保されていないと判定し、その素子基板は不良品であると判定する（ステップ６５）。
【００５６】
ステップ６５において、リーク電流が全く測定されないか、または測定されたリーク電流が一定値より小さい場合には、その素子基板は良品であると判定され、ヒータ用電源ＶＨのリーク電流を測定する（ステップ６６）。そして、その電流値が一定値以上であればヒータ用電源ＶＨの配線と本来接続されていないはずの回路素子との間の絶縁が確保されていないと判定し、その素子基板は不良品であると判定する（ステップ６７）。
【００５７】
ステップ６７において、リーク電流が全く測定されないか、または測定されたリーク電流が一定値より小さい場合には、その素子基板は最終的に良品であると判定される。
【００５８】
以上の説明においては、リセット信号２１０がＨの状態がアクティブな状態である場合を用いて説明したが、本発明はこのような場合に限定されるものではなくリセット信号２１０がＬの状態がアクティブな状態である場合にも同様に適用することができるものである。この場合には、電流遮断回路２０、３０、４０の代わりに、リセット信号がアクティブであるＬの場合に定電流を遮断する図７に示すような電流遮断回路７０を用いればよい。
【００５９】
この電流遮断回路７０は、図７に示すように、ゲートにリセット信号２１０が印加され、ソースがロジック用電源ＶＤＤに接続され、ドレインが抵抗２１（３１、４１）に接続されているＰチャネルＭＯＳトランジスタ７１から構成されている。また、このような場合には、リセット信号２１０は、素子基板内においてプルダウン抵抗７２によりグランド電位にプルダウンする。
【００６０】
尚、電流遮断回路２０、３０、４０、７０は、リセット信号２１０がアクティブである論理状態の場合に定電流を遮断するような回路であれば、図５、図７に示されるような回路に限定されるものではなく、他の回路構成の場合であってもよい。
【００６１】
さらに、本実施形態では、記録ヘッドを記録装置からはずした場合にリセット信号２１０がアクティブとなるように、リセット信号２１０をプルアップまたはプルダウンするようにしているので、インクジェット記録ヘッドとインクジェット記録装置との間の接続が何かの原因により接触不良または切断された場合であっても、リセット信号２１０はアクティブとなり、誤った印刷が行われしまうことを防ぐことができる。
【００６２】
このようにして構成された記録ヘッド用基板を用いた記録ヘッドであるインクジェット記録ヘッドの一例を図８に示す。図８に示すように、記録ヘッド用基板４０１には、複数の吐出口４０２に連通する液路４０３を形成するための流路壁部材４０４と、インク供給口４０５を有する天板４０６とが取り付けられており、各液路４０３とインク供給口４０５とは、共通液室４０７を介して連通されている。また、各液路４０３内には、基板４０１に設けられた吐出口４０２近傍の発熱部４０８とこの発熱部４０８への配線４０９とが配置されている。このように構成されたインクジェット記録方式の記録ヘッド４１０では、インク供給口４０５から注入されるインクが内部の共通液室４０７へ蓄えられて各液路４０３へ供給され、その状態で基板４０１の発熱部４０８を駆動することにより吐出口４０２からインクの吐出がなされる。
【００６３】
尚、上記においては天板４０６と流路壁部材４０４がそれぞれ別の部材により構成されている場合を用いて説明したが、天板４０６と流路壁部材４０４が一体成形された１つの部材により構成される場合もある。
【００６４】
以上述べた記録ヘッド４１０を記録装置本体に装着して装置本体から記録ヘッド４１０に信号を付与することにより、高速記録、高画質記録を行うことができるインクジェット記録装置を得ることができる。
【００６５】
次に、上述した記録ヘッドを搭載する記録装置の概略について説明する。
【００６６】
図９は、本発明の記録ヘッドを装着して適用することのできる記録装置の一例であるインクジェット記録装置６００の概略斜視図である。
【００６７】
図９において、インクジェットヘッドカートリッジ６０１は、上述した記録ヘッドとこの記録ヘッドに供給するインクを保持するインクタンクとが一体となったものである。このインクジェットヘッドカートリッジ６０１は、駆動モータ６０２の正逆回転に連動して駆動力伝達ギア６０３、６０４を介して回転するリードスクリュ６０５の螺旋溝６０６に対して係合するキャリッジ６０７上に搭載されており、駆動モータ６０２の動力によってキャリッジ６０７とともにガイド６０８に沿って矢印ａ、ｂ方向に往復移動される。被記録媒体Ｐは、図示しない被記録媒体搬送手段によってプラテンローラ６０９上を搬送され、紙押え板６１０によりキャリッジ６０７の移動方向にわたってプラテンローラ６０９に対して押圧される。
【００６８】
リードスクリュ６０５の一端の近傍には、フォトカプラ６１１，６１２が配設されている。これらはキャリッジ６０７のレバー６０７ａのこの域での存在を確認して駆動モータ６０２の回転方向切り換え等を行うためのホームポジション検知手段である。
【００６９】
支持部材６１３は、上述のインクジェットヘッドカートリッジ６０１の吐出口のある前面（吐出口面）を覆うキャップ部材６１４を支持するものである。また、インク吸引手段６１５は、キャップ部材６１４の内部にインクジェットヘッドカートリッジ６０１から空吐出等されて溜まったインクを吸引するものである。このインク吸引手段６１５によりキャップ内開口部６１６を介してインクジェットヘッドカートリッジ６０１の吸引回復が行われる。インクジェットヘッドカートリッジ６０１の吐出口面を払拭するためのクリーニングブレード６１７は、移動部材６１８により前後方向（上記キャリッジ６０７の移動方向に直交する方向）に移動可能に設けられている。これらクリーニングブレード６１７及び移動部材６１８は、本体支持体６１９に支持されている。クリーニングブレード６１７は、この形態に限らず、他の周知のクリーニングブレードであってもよい。
【００７０】
記録ヘッドの吸引回復操作にあたって、吸引を開始させるためのレバー６２０は、キャリッジ６０７と係合するカム６２１の移動に伴って移動し、駆動モータ６０２からの駆動力がクラッチ切り換え等の公知の伝達手段で移動制御される。インクジェットヘッドカートリッジ６０１の記録ヘッドに設けられた発熱体に信号を付与したり、前述した各機構の駆動制御を司ったりするインクジェット記録制御部は装置本体側に設けられており、ここには図示しない。
【００７１】
上述の構成を有するインクジェット記録装置６００は、図示しない被記録媒体搬送手段によりプラテンローラ６０９上を搬送される被記録媒体Ｐに対し、インクジェットヘッドカートリッジ６０１は被記録媒体Ｐの全幅にわたって往復移動しながら被記録媒体Ｐにインクを付着させることで記録を行う。また、インクジェット記録装置６００は、図示されてはいないが、記録ヘッドからインクを吐出させるための駆動信号を記録ヘッドに供給する駆動信号供給手段を有している。
【００７２】
以上の説明においては、電気エネルギーをインクを吐出するための吐出エネルギーに変換するためのエネルギー変換素子として、熱等のエネルギーをインクに与える発熱抵抗体を用いた場合について説明したが、ピエゾ素子を電気エネルギーをインクを吐出するための吐出エネルギーに変換するためのエネルギー変換素子として用いた場合でも本発明は同様に適用することができるものである。
【００７３】
さらに、以上の説明においては、半導体基板である素子基板をインクジェット方式の記録ヘッドに採用した例について説明したが、本発明は、例えば、サーマルヘッド用基板にも同様に応用することができるものである。
【００７４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の記録ヘッド用基板によれば、下記のような効果を得ることができる。
（１）定電流が流れる回路を発熱抵抗体とともに形成した場合であっても、リーク電流を精度よく測定することができる。
（２）印字を行わないスタンバイ状態の場合、つまりリセット信号がアクティブの場合には、定電流を遮断するようにしているので、消費電流を削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の記録ヘッド用基板の構成を示すブロック図である。
【図２】図１中の降圧回路部２０５、駆動回路部２０２、ヒータ部２０１の構成を示す回路図である。
【図３】図１中のランク抵抗測定回路部２０６の構成を示す回路図である。
【図４】図１中の温度測定回路部２０７の構成を示す回路図である。
【図５】リセット信号２１０がＨの状態がアクティブな状態である場合の電流遮断回路の具体的な回路図の一例である。
【図６】検査方法を示すフローチャートである。
【図７】リセット信号２１０がＬの状態がアクティブな状態である場合の電流遮断回路の具体的な回路図の一例である。
【図８】本発明の記録ヘッド用基板を用いたインクジェット記録ヘッドの構成の一例を示す図である。
【図９】本発明の記録ヘッドを装着して適用することのできる記録装置の一例であるインクジェット記録装置の概略斜視図である。
【図１０】素子基板を記録ヘッドの支持板１０２上に配接した構成を示す図である。
【図１１】従来の記録ヘッド用基板の構成を示すブロック図である。
【図１２】図１１中の降圧回路部９０５、駆動回路部２０２、ヒータ部２０１の具体的な回路構成の一例を示す図である。
【図１３】図１１中のランク抵抗測定回路部９０６の構成を示す回路図である。
【図１４】図１１中の温度測定回路部９０７の構成を示す回路図である。
【符号の説明】
２０    電流遮断回路
２１、２２    抵抗
２３    ＮチャネルＭＯＳトランジスタ
２４、２５    抵抗
２６〜２８    ＮチャネルＭＯＳトランジスタ
２９    ＰチャネルＭＯＳトランジスタ
３０    電流遮断回路
３１〜３３    抵抗
３４    ランク抵抗
３５    演算増幅器
４０    電流遮断回路
４１〜４３    抵抗
４４    ダイオード温度センサ
４５    演算増幅器
５０    発熱抵抗体
５１    ＮチャネルＭＯＳトランジスタ
５２    抵抗
５３    ＰチャネルＭＯＳトランジスタ
５４    プルアップ抵抗
６１〜６７    ステップ
７０    電流遮断回路
７１    ＰチャネルＭＯＳトランジスタ
７２    プルダウン抵抗
１０１    素子基板
１０２    記録ヘッド支持板
１０５    配線基板
１０６    コンタクトパッド
１０７    素子基板
２０１    ヒータ部
２０２    駆動回路部
２０３    保持回路部
２０４    転送回路部
２０５    降圧回路部
２０６    ランク抵抗測定回路部
２０７    温度測定回路部
２１０    リセット信号
４０１    記録ヘッド用基板
４０２    吐出口
４０３    液路
４０４    流路壁部材
４０５    インク供給口
４０６    天板
４０７    共通液室
４０８    発熱部
４０９    配線
４１０    記録ヘッド
６００    インクジェット記録装置
６０１    インクジェットヘッドカートリッジ
６０２    駆動モータ
６０３、６０４    駆動力伝達ギア
６０５    リードスクリュ
６０６    螺旋溝
６０７    キャリッジ
６０７ａ  レバー
６０８    ガイド
６０９    プラテンローラ
６１０    紙押え板
６１１、６１２    フォトカプラ
６１３    支持部材
６１４    キャップ部材
６１５    インク吸引手段
６１６    キャップ内開口部
６１７    クリーニングブレード
６１８    移動部材
６１９    本体支持体
６２０    レバー
６２１    カム
９０５    降圧回路部
９０６    ランク抵抗測定回路部
９０７    温度測定回路部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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