(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
端部にフランジを有する２本の配管を相対するフランジを押圧して接続するためのフランジ圧接用の溝を有する複数のクランプ本体と、
前記クランプ本体に連結された複数のクランプ連結部材と、
前記クランプ本体と前記クランプ連結部材とが、ピンによって相互に回動自在に連結されており、また、前記クランプ本体と前記クランプ連結部材とが前記ピンを軸として回動し前記クランプ本体に形成されているフランジ圧接用の溝側に屈曲するように付勢手段とを備え、
前記付勢手段が、隣接する前記クランプ本体間、もしくは隣接する前記クランプ連結部材間に張設された引っ張りバネ材であることを特徴とするクランプチェーン式配管継手。
【請求項２】
前記クランプ本体と前記クランプ連結部材とが、前記クランプ本体に形成されたフランジ圧接用の溝側とは反対側に屈曲しないように回動規制手段を備え、
前記回動規制手段が、前記クランプ連結部材の端部に形成された屈曲部であることを特徴とする請求項１に記載のクランプチェーン式配管継手。
【請求項３】
前記クランプ本体と前記クランプ連結部材とが、前記クランプ本体に形成されたフランジ圧接用の溝側とは反対側に屈曲しないように回動規制手段を備え、
前記回動規制手段が、前記クランプ本体側面に形成された案内溝とこの案内溝に嵌合する突起部であることを特徴とする請求項１に記載のクランプチェーン式配管継手。
【請求項４】
前記クランプ本体と前記クランプ連結部材とが、前記クランプ本体に形成されたフランジ圧接用の溝側とは反対側に屈曲しないように回動規制手段を備え、
前記回動規制手段が、前記クランプ本体に形成されたフランジ圧接用の溝側とは反対側の表面を延設して形成された突出部であることを特徴とする請求項１に記載のクランプチェーン式配管継手。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造工程において用いられる各種の半導体製造装置の排気配管系を接続するのに好適なクランプチェーン式配管継手に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造プロセスでは、ＣＶＤ装置やドライエッチング装置に代表されるように、反応ガスを用いて半導体ウエハに薄膜形成等の所望の処理を施すことが行われている。そして、この反応ガスを使用しているＣＶＤ装置には、環境汚染を防止する目的で、必ずその反応ガスを除害するための除害設備等の付帯設備が設置されている。更に、ＣＶＤ装置から付帯装置に至る排気経路には反応ガスを付帯装置に導くためのプロセス排気配管が設けられている。このプロセス排気配管にはＣＶＤ装置で薄膜形成等に使用された反応ガスの一部が未反応ガスとして排出ガスに混在して送り込まれる。これらのガスは、配管内壁と接触すると温度が低下して反応し、排気配管内に副生成物として付着し、ＣＶＤ装置の排気圧力が保持できなくなる。このため、装置の稼動を停止し、配管を清掃し、メンテナンスする必要がある。
【０００３】
一般的に、ＣＶＤ装置から付帯装置間のプロセス排気配管は、１乃至１．５ｍ単位程度の所定の長さに分割され、クランプ継手によって締結し、メインテナンス時には分解取り外し可能としている。すなわち、清掃時、１乃至１．５ｍ程度の配管をそれぞれ一本づつ取り外し、清掃している。このため、配管の分解組み立てを含めた清掃時間が長くかかるという技術的課題があった。また、この半導体製造装置は近年大型化しており、この分割・組み立て作業は高所作業となるため、作業を簡素化することが求められている。
【０００４】
そこで、半導体製造装置の排気配管の分解組み立てを容易にするために、クランプ継手を工夫した技術として、例えば、特開平２−１１９９２号が知られている。これは配管の端部にそれぞれにフランジ部を形成する如く設けたフェルールを押圧状態に保持して配管を接続するクランプ継手であって、レバーの回動操作により締め付け用部材を締め付け状態に保持および解放方向に押圧するファスナを備えたものである。
しかしながら、このクランプ継手は、配管への巻き付けは手動で行わなければならず、また重量も大きいため、半導体製造装置の置かれる狭いスペースにおいては、継手の操作性は良くなかった。
【０００５】
また、最近では、クランプ継手を多関節構造とし、配管への締め付け力が均等にかかり、ズレにくいようにしたクランプチェーン式配管継手が市販されている。
この市販されているクランプチェーン式配管継手について説明する。図４（ａ）が、このクランプチェーン式配管継手の配管軸方向からみた側面図であり、（ｂ）が配管軸に直交する方向から見た正面図である。このクランプチェーン式配管継手は、フランジ圧接用の溝４ａを有するほぼ直方体の形状をしている複数のクランプ本体４と、このクランプ本体の側面にピン４ｂにより回動自在に取り付けられた複数のクランプ連結部材５とからなっている。そして、その両端には、締め付けボルト７が配設されており、この配管継手を配管に巻き付けた後、この締め付けボルト７によって、この配管継手を配管の周囲に締め付けられるようになっている。配管継手を配管に巻き付けた状況を図５に示す。図５は配管の軸方向断面図であり、配管１，２の端部に形成されている外周がコーン状を呈しているフランジ１ａ，２ａをクランプ本体４の溝４ａが挟持するようにクランプ本体４を配設し、締め付けボルト７を締め付けることによって配管継手の径が小径化し、その結果、フランジ１ａ，２ａは相互に圧接されガスケット３を圧縮して配管１，２がシールされることになる。
この図４に示すようなクランプチェーン式配管継手は、上述のメリットがある反面、クランプ本体４とクランプ連結部材５とは回動自在にピン４ｂによって結合されているため、締め付け方向と反対方向にも曲がることができるため、限られたスペース内での作業性に支障をきたすという技術的課題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明の目的は、上記した半導体製造装置の配管を接続するための配管継手における技術的課題を解決するためになされたものであり、配管継手の巻き付けを容易にし、かつ配管継手が作業者の意図しない方向には、曲がらないように規制することによって半導体製造装置配管締結作業の作業性を改善したクランプチェーン式配管継手を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような課題を解決するために成されたクランプチェーン式配管継手である。
すなわち、第１の本発明は、端部にフランジを有する２本の配管を相対するフランジを押圧して接続するためのフランジ圧接用の溝を有する複数のクランプ本体と、前記クランプ本体に連結された複数のクランプ連結部材と、前記クランプ本体と前記クランプ連結部材とが、ピンによって相互に回動自在に連結されており、また、前記クランプ本体と前記クランプ連結部材とが前記ピンを軸として回動し前記クランプ本体に形成されているフランジ圧接用の溝側に屈曲するように付勢手段とを備え、前記付勢手段が、隣接する前記クランプ本体間、もしくは隣接する前記クランプ連結部材間に張設された引っ張りバネ材であることを特徴とするクランプチェーン式配管継手である。
【００１０】
また、上記第１の本発明において、前記回動規制手段が、前記クランプ連結部材の端部に形成された屈曲部、あるいは前記クランプ本体側面に形成された案内溝とこの案内溝に嵌合する突起部で構成される機構、あるいは前記クランプ本体に形成されたフランジ圧接用の溝側とは反対側の表面を延設して形成された突出部によって構成することができる。これらの機構によって、本発明のクランプチェーン式配管継手を配管周囲に捲装する際に、作業者が所望しない方向にクランプチェーン式配管継手が回動屈曲することを防止できるため、配管締結作業が容易になる。
【００１１】
さらに、クランプ本体４に形成されているフランジ圧接用の溝４ａは、配管端部に形成されているコーン形状を呈しているフランジ１ａ，２ａと嵌合し、クランプチェーンを締め付けることで、フランジ１ａ，２ａを相互に圧接する力が働くように、断面台形状であることが好ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のクランプチェーン式配管継手における実施の形態を図に基づいて説明する。尚、各図において同一箇所には同一符号を付している。
【００１３】
（第１の実施の形態）
図１は本発明の第１の実施形態にかかるクランプチェーン式配管継手の要部を示している。したがって、クランプチェーンの両端部となる２個のクランプ間の締め付けボルトは図示していない。
図１において、クランプ本体４は、接合する配管端部に設けられたコーン状フランジに略合わせた凹部４ａが形成されている。図１に示されるように鞍型をしたクランプ本体４の両側面にはクランプ連結部材５、５が取り付けられており、複数のクランプ本体４を複数のクランプ連結部材５で連結するとともに、両端部のクランプ本体４にはボルトとナットのような締め付け手段が配設されクランプチェーンを構成している。クランプ本体４へのクランプ連結部材５の取り付けは、例えば、クランプ本体４にピン４ｂを立設させることで実現することができる。さらにクランプ本体４を介して隣り合うクランプ連結部材５，５間には、引張りバネ６が張架してあり、この引っ張りバネ６の復帰力によって、上記クランプ本体４と上記クランプ連結部材５のそれぞれの長手方向の軸のなす角度の内、配管接触側の角度が狭くなる方向にピン４ｂを軸として回動するように付勢されている。したがって、クランプチェーン式配管継手は、作業者がクランプチェーンを手作業によって行うことを必要とせず自動的に配管に巻きつくようになる。
さらに、クランプ連結部材５，５の端部５ａ，５ｂは、クランプ本体４の上端面に接触するようにクランプ本体４側に屈曲され、クランプ本体４とクランプ連結部材５の自由な回動を抑制する係止片として機能するように形成されている。この係止片の働きにより、クランプチェーン式配管継手の動きは規制され、作業者が意図しない方向には、曲がらなくなる。
【００１４】
（第２の実施の形態）
図２は本発明の第２の実施形態にかかるクランプチェーン式配管継手の要部を示している。図１と同様、締め付けボルトは図示していない。
図２において、クランプ本体４は接合する配管端部に設けられたコーン状フランジに略合わせた凹部４ａが形成されている。図２に示されるように鞍型をしたクランプ本体４の両側面にはクランプ連結部材５、５が取り付けられている。この取り付けは、例えば、クランプ本体４にピン４ｂを立設させることで実現できる。隣り合うクランプ本体４，４には、引張りバネ６が張架してある。したがって、クランプチェーン式配管継手は、自働的に配管に巻きつくようになる。さらに、クランプ本体４，４の側面には、ピン４ｂを回転中心としたクランプ連結部材５，５の動きを規制するための案内溝４ｃ、４ｃが形成してある。一方、クランプ連結部材５，５には、該案内溝４ｃ，４ｃに嵌るピン５ｃ，５ｃがピン４ｂから離間した位置に設けてある。
このように、クランプ連結部材５の回動可動範囲が案内溝４ｃとピン５ｃとで規制されることから、クランプチェーン式配管継手全体の動きも規制され、作業者が意図しない方向に、屈曲することが防止される。
【００１５】
（第３の実施の形態）
図３は本発明の第３の実施形態にかかるクランプチェーン式配管継手の要部を示している。図１と同様、締め付けボルトは図示していない。図３において、クランプ本体４は接合する配管端部に設けられたコーン状フランジに略合わせた凹部４ａが形成されている。図２に示されるように鞍型をしたクランプ本体４の両側面にはクランプ連結部材５、５が取り付けられている。この取り付けは、例えば、クランプ本体４にピン４ｂを立設させることで実現できる。隣り合うクランプ本体４，４には、引張りバネ６が張架してある。したがって、クランプチェーン式配管継手は、配管に巻きつくようになる。第３の実施形態では、クランプ本体４には軸心４ｃを中心としたクランプ連結部材５の可動範囲を規制するための、前記クランプに形成されたフランジ圧接用の溝側とは反対側の表面を延設して形成された突出部であるオーバーハング部４ｄが形成されている。そして、クランプ連結部材５は、ピン４ｂを中心として回動する際に、クランプ連結部材５がこのオーバーハング部４ｄに接触して所定角度以上の回動を抑制するようになっている。したがって、クランプチェーン式配管継手全体の動きも規制され、作業者が意図しない方向には、曲がらなくなる。
【００１６】
本発明は上記実施の形態に記載した付勢手段および回動規制手段の組み合わせ以外の組み合わせにおいても上記実施の形態と同等の機能を有する機構を実現することは可能であり、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内で行われる種々の変形も、本発明の範囲内に含まれるものであることはいうまでもない。
【００１７】
【発明の効果】
本発明のクランプチェーン式配管継手によれば、配管の接合の際、自働的に配管に巻きつくようになるので、作業効率が著しく向上する。また、クランプチェーン式配管継手全体の動きも規制され、作業者が意図しない方向には曲がらなくなるので、安全性が著しく向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明にかかるクランプチェーン式配管継手の第１の実施形態の要部を示す説明図である。
【図２】  本発明にかかるクランプチェーン式配管継手の第２の実施形態の要部を示す説明図である。
【図３】  本発明にかかるクランプチェーン式配管継手の第３の実施形態の要部を示す説明図である。
【図４】  従来のクランプチェーン式配管継手の構成を示す説明図である。
【図５】  従来のクランプチェーン式配管継手の管軸方向の断面図である。
【符号の説明】
１、２：配管
３：ガスケット
４：クランプ本体
５：クランプ連結部材
６：引張りバネ
７：締め付けボルト
【図１】
0004114736.tif 000002
【図２】
0004114736.tif 000003
【図３】
0004114736.tif 000004
【図４】
0004114736.tif 000005
【図５】
0004114736.tif 000006