【事件の表示】
　平成　１年　特　許　願　第　６４８２４号「塗布現像装置」拒絶査定に対する審判事件（平成　２年　９月２８日出願公開、特開平　２−２４４６０９）について、次のとおり審決する。
【結論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は平成１年３月１５日の出願であって、その請求項１及び請求項２に係る発明は、平成１０年１月１９日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に記載されたとおりの「塗布現像装置」と認められ、その請求項１にかかる発明は以下のとおりである。
　「夫々ユニット制御手段を有し、当該処理工程プログラムに基づいて前記ユニット制御手段により制御され、単独動作するレジスト塗布現像処理ラインにおける複数のユニットと、
　各前記ユニット制御手段による前記処理工程プログラムの実行を制御する主制御部であって、前記ユニットにおいて実行する動作として点検モードによる所望の前記ユニットによる所望の動作を選択可能とされ、前記点検モードによる所望の前記ユニットによる所望の動作が選択された場合、選択された前記ユニットによる選択された動作の実行指令を前記ユニット制御手段に送出するとともに、選択された前記ユニットによる選択された動作の実行が完了した後、次の動作の選択を可能とする主制御部と
　を具備したことを特徴とする塗布現像装置。」（以下、「本願発明」という。）
２．引用例
　これに対して、原査定で引用された、この出願前に公知の特開昭６２−２９９０２４号公報（以下、「引用例」という。）には、以下の事項が記載されている。
［記載事項月（第２頁左上欄第５行目〜同欄第１５行目）
　「本発明はウエハ処理装置用制御システムに関し、一層詳細には、例えば、ＩＣチップが形成されるウエハの洗浄、レジスト塗布、露光、現像の各処理工程を複数のマシンコントローラにより制御するシステムにおいて、所望の処理工程の動作指示を行う操作パネルを前記マシンコントローラの一つに着脱可能な状態で接続することにより、所望の処理機構の近傍においてアクチュエータ等の動作テストを行うことが出来、操作性を著しく向上させることを可能とするウエハ処理装置の制御システムに関する。」
　［記載事項２］（第３頁左上欄第１４行〜同頁右上欄第１６行、第１図、第２図）
　「第１図において、参照符号１０は本発明に係る制御システムを示し、この制御システム１０はウエハ処理装置１２の動作制御を行うものである。この場合、前記ウエハ処理装置１２は四つの処理工程に分割され、各処理工程を構成する洗浄ユニット　１４ａ、塗布ユニット　１４ｂ、露光ユニット　１４ｃおよび現像ユニット　１４ｄは夫々洗浄ユニットコントローラ１６ａ、塗布ユニットコントローラ１６ｂ、露光ユニットコントローラ　１６ｃおよび現像ユニットコントローラ１６ｄによって制御される。そして、前記各ユニットコントローラ１６ａ乃至１６ｄは
マスタコントローラ１８によって統括制御される。……また、マスタコントローラ１８には、第２図に示すように、接続端子２４が設けられ、この接続端子２４にはハンドヘルドコンピュータ等からなる操作パネル２７が通信ケーブル２９を介して接続可能に構成され、必要に応じこの操作パネル２７を介して各ユニット１４ａ乃至１４ｄの動作テストが行われる。」
［記載事項３］（第６頁左上欄第１６行〜第７頁左上欄第１４行、第１，５図）
　「マスクコントローラ　１８より処理開始信号を受け取った洗浄ユニットコントローラ１６ａでは、洗浄ユニットコントロールＣＰＵ９０がページメモリ１０８に格納された制御プログラムに基づき洗浄ユニット１４ａのアクチュエータ１２４を順次駆動制御する。…（第６頁右上欄第２行〜同頁右下欄第１３行省略）…一方、塗布ユニット１４ｂ、露光ユニット１４ｃおよび現像ユニット１４ｄは、洗浄ユニット１４ａの場合と同様に、フロッピィディスクドライバ２２ｂ乃至２２ｄを介してフロッピィディスクよりロードされた各制御プログラムに基づきユニットコントローラ１６ｂ乃至１６ｄによって駆動制御される。この場合、各ユニットコントローラ１６ｂ乃至１６ｄの動作は洗浄ユニットコントローラ１６ａと同様でありその説明は省略する。そこで、塗布ユニット１４ｂの導入部３４ではカセットよりウエハＷを１枚ずつ取り出し、前記ウエハＷを表面処理部３５に搬送する。表面処理部３５ではフォトレジストの密着力を向上させるためウエハＷが表面処理用溶媒の雰囲気中におかれる。表面処理の終了したウエハＷはレジスト塗布部３６に搬送され、その表面にフォトレジストが塗布される。次いで、前記フォトレジストは、熱処理部３０においてウエハＷ上の溶剤を揮発させる。そして、フォトレジストが塗布されたウエハＷは送出部４０においてカセット内に収納され、次段の露光ユニット１４ｃに搬送される。」
［記載事項４］（第７頁右上欄第９行〜第８頁左上欄第１１行、第１，５図）
　「ここで、以上のように構成されたウエハ処理装置１２に使用される各アクチュエー夕、センサ等は、洗浄液や現像液のような処理液が付着したりあるいはウエハＷを乾燥処理する際に発生する熱によって故障したり誤動作する虞がある。従って、故障等の発生したアクチュエータあるいはセンサは正常な部品に交換する必要がある。この場合、交換されたアクチュエー夕等の部品はユニットコントローラ１６ａ乃至１６ｄの接続端子２５ａ乃至２５ｄあるいはマスクコントローラ１８の接続端子２４に接続される操作パネル２７を介してその動作テストが行われる。例えば、アクチュエー夕等の故障が洗浄ユニット１４ａのアクチュエータ１２４で発生した場合、当該アクチュエータ１２４が正常なものと交換され、その新規なアクチュエータ１２４が洗浄ユニットコントローラ　１６ａのドライバインタフェース　１２０に接続される。……そこで、前
記操作パネル２７を使用してアクチュエータ１２４の動作テストが行われる。この場合、操作パネル２７はフレキシブルな通信ケーブル２９を介して洗浄ユニットコントローラ　１６ａに接続されているため、作業者は所定のアクチュエータ１２４を観察しながら前記操作パネル２７を操作することが出来る。……この場合、前記動作テストコマンドはマスクコントローラ１８の制御用メモリ７８に格納された制御プログラムによって解析され、洗浄ユニットコントローラ　１６ａに対し所定のアクチュエータ１２４の動作プログラムの選択を指令する。……なお、操作パネル２７はユニットコントローラ１６ｂ乃至１６ｄまたはマスクコントローラ１８にも接続可能であり、動作テストを行うアクチュエー夕の観察に適したユニットコントローラ１６ａ乃至１６ｄまたはマスタコントローラ１８に接続されそのテストが行われる。ここで、操作パネル２７からの動作テストコマンド等は全てマスクコントローラ１８のマスクコントロールＣＰＵ６８によって解析され、前記マスクコントロールＣＰＵ６８が所定のユニットコントローラ１６ａ乃至１６ｄを制御している。従って、……操作パネル２７を任意のユニットコントローラ１６ａ乃至１６ｄまたはマスタコントローラ１８に接続し任意のアクチュエー夕の動作テストを行うことも可能である。」
　すなわち、引用例には、上記［記載事項１］〜［記載事項４］らみて
　「夫々洗浄ユニット　１４ａ、塗布ユニット　１４ｂ、露光ユニット１４ｃおよび現像ユニット１４ｄを、マスクコントローラ１８からの処理開始信号を受けて、制御プログラムに基づき制御する洗浄ユニットコントローラ１６ａ、塗布ユニットコントローラ１６ｂ、露光ユニットコントローラ　１６ｃおよび現像ユニットコントローラ　１６ｄを有するウエハ処理装置において、当該制御プログラムに基づいて前記ユニットコントローラにより制御されるドライバインタェースを介して、塗布ユニット１４ｂの導入３４ではカセットよりウエハＷを１枚ずつ取り出し、前記ウエハＷを表面処理部３５に搬送し、表面処理部３５ではフォトレジストの密着力を向上させるためウエハＷが表面処理用溶媒の雰囲気中におかれ、表面処理の終了したウエハＷはレジスト塗布部３６に搬送され、その表面にフォトレジストが塗布され、次いで、前記フォトレジストは、熱処理部３０においてウエハＷ上の溶剤を揮発させ、そして、フォトレジストが塗布されたウエハＷは送出部４０においてカセット内に収納され、次段の露光ユニット　１４ｃに搬送されるされるように制御され、
　故障等の発生したアクチュエータあるいはセンサに代えて交換した正常な部品はユニットコントローラ１６ａ乃至１６ｄの接続端子２５ａ乃至２５ｄあるいはマスタコントローラ１８の接続端子２４に接続される操作パネル２７を介してその動作テストが行われ、この動作テストコマンドはマスタコントローラ１８の制御用メモリ７８に格納された制御プログラムによって解析され、ユニットコントローラに対し所定のアクチュエータの動作プログラムの選択を指令し、ドライバインタフェースを介して前記動作テストを行い、この際、アクチュエー夕の観察に適したユニットコントローラ１６ａ乃至１６ｄまたはマスタコントローラ１８に操作パネル２７を接続して、任意のアクチュエー夕の動作テストを行うことが可能な、ウエハ処理装置」なる発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。
３対比・判断
（１）そこで本願発明と引用発明とを比較する．
　▲１▼本願発明における「ユニット」に関して、発明の詳細な説明には、例えば、明細書第５頁末行〜同第６頁第１２行の説明において「上記の、回転部１、バキューム部　７、レジスト供給部１３、カップ昇降部１７、ベルト駆動部２７、ピン昇降部２９、搬送機構移動部３１のそれぞれについて、その駆動を制御する回転コントローラ３５、バキュームコントローラ３７、レジスト供給コントローラ３９、カップ昇降コントローラ４１．ベルト駆動コントローラ４３、ピン昇降コントローラ４５、搬送機構移動コントローラ４７が接続され、それぞれ単独の所定動作が
制御される。これら各コントローラは、メインコントローラ４９に接続され、メインコントローラ４９内のメモリに記憶された所定の処理プログラムに従って統轄的に制御される。」と記載されている。この記載からみて、本願発明における「ユニット」は、ユニット制御手段である回転コントローラ３５によって動作が制御される対象である、回転部１のようなアクチュエータ、センサ等を含みプログラム制御可能な装置の一部を表現する用語である。してみると、引用発明の所定の「アクチュエータあるいはセンサ」を含む処理装置の一部は、本願発明の「ユニット」に相当する。また、引用例の［記載事項４］よれば、操作パネル２７を使用して任意のアクチュエータの動作テストが行えるよう動作テストコマンドと制御プログラムが構成されているから、引用発明の複数のアクチュエータ、センサ等を含む処理装置の一部（本願発明のユニットに相当）は単独動作が可能である。
　▲２▼引用発明における「ドライバインタフェース」は、マスターコントローラ　１８、ユニットコントローラ１６ａ乃至１６ｄにより制御され、アクチュエータ、センサ等を含む処理装置の一部（本願発明のユニットに相当）の動作を、制御プログラムに基づき実行するとともに、所定のアクチュエータの動作テストを、動作テストコマンドに基づき実行するものであるから、本願発明の「ユニット制御手段」に相当する。
　▲３▼引用発明における「制御プログラム」は本願発明の「処理工程プログラム」に相当する。
　▲４▼引用発明における「洗浄ユニット１４ａ、塗布ユニット１４ｂ、露光ユニット１４ｃおよび現像ユニット１４ｄ」を有する「ウエハ処理装置」は、本願発明の「レジスト塗布現像処理ライン」すなわち、ウエハに洗浄等の前処理を施し、フォトレジスト等の感光材料を塗布し、所望のパターンが露光されたウエハを現像する工程を含むものであることは明らかである。
　▲５▼引用発明において、マスターコントローラ１８は、統括制御するユニットコントローラ１６ａ乃至１６ｄ、さらにドライバインタフェース（本願発明のユニット制御手段に相当）を介して、アクチュエータ、センサ等を含む処理装置の一部（本願発明のユニットに相当）のプログラムに基づく実行を制御しているから、本願発明の「主制御部」に相当する。
　▲６▼また、引用発明における「動作テストコマンドはマスタコントローラ１８の制御用メモリ７８に格納された制御プログラムによって解析され、ユニットコントローラに対し所定のアクチュエータの動作プログラムの選択を指令」すること及び「動作テストコマンド」は、それぞれ、本願発明の「点検モードによる所望の前記ユニットによる所望の動作を選択」すること及び「選択された前記ユニットによる選択された動作の実行指令」に相当する。
（２）してみると、両者は、「夫々ユニット制御手段を有し、当該処理工程プログラムに基づいて前記ユニットが制御され、単独動作するレジスト塗布現像処理ラインにおける複数のユニットと、前記処理工程プログラムの実行を制御する主制御部であって、前記ユニットにおいて実行する動作として点検モードによる所望の前記ユニットによる所望の動作を選択可能とされ、前記点検モードによる所望の前記ユニットによる所望の動作が選択された場合、選択された前記ユニットによる選択された動作の実行指令を前記ユニット制御手段に送出
する塗布現像装置。」の点で一致する。
　そして、本願発明は以下の点で引用発明と相違する。
　［相違点１］本願発明の主制御部は、ユニット制御手段を直接制御しているのに対して、引用発明では、マスタコントローラ　１８（本願発明の主制御部）とドライバインタフェース（本願発明のユニット制御手段に相当）との間にユニットコントローラが介在している点。
　［相違点２］本願発明では、点検モードによる所望の前記ユニットによる所望の動作が選択された場合、選択された前記ユニットによる選択された動作の実行が完了した後、次の動作の選択を可能とするのに対して、引用発明ではこの点が明示されていない点。
（３）そこで、［相違点１］について検討するに、コンピュータを用いた工程制御において、制御対象の機能や規模に応じて、制御の対象を細分化し、小規模の複数の工程に分けたり、逆に制御の対象を統合し、複数の工程を統合した制御装置、プログラムを作成することは、普通に行われている事項であるから、引用発明のユニットコントローラの機能をマスタコントローラまたはドライバインタフェースの機能に統合させることは当業者が格別困難なく想到できた事項である。
　また、［相違点２］１について検討するに、引用例の［記載事項４］によれば、操作パネル２７を使用して任意のアクチュエー夕の動作テストが行えるよう動作テストコマンドと制御プログラムが構成され、さらに制御プログラムは［記載事項３］によれば洗浄、塗布工程等のための通常の動作を行えるように構成されているのであるから、引用発明のマスタコントローラは、種々の動作を指令できるように構成されていることが明らかである。よって、点検モードの動作の終了後、種々の動作から特定の動作を選択できるように、引用発明の制御プログラム等を構成することは、当業者が格別困難なく想到できた事項である。
　そして、［相違点１］及び［相違点２］１における本願発明の構成による効果も、引用発明から予測される範囲のものである。
４．むすび
　以上のとおり、本願発明は引用例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。