(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）複数の封止用基板のうち１つを、準備セクションから方向補正セクションに搬送し、
（ｂ）前記方向補正セクションで、１つの前記封止用基板の方向を補正し、
（ｃ）１つの前記封止用基板を、前記方向補正セクションから取り付けセクションに搬送し、
（ｄ）前記取り付けセクションで、複数の封止対象物のうちの１つを封止するように、１つの前記封止用基板の取り付けを行うことを含み、
前記（ａ）から（ｄ）の工程を複数サイクル行い、
いずれかのサイクルでの前記（ｃ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ａ）工程の少なくとも一部と、を同時に行う封止用基板の取り付け方法。
【請求項２】
請求項１記載の封止用基板の取り付け方法において、
いずれかのサイクルでの前記（ｃ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ｂ）工程の少なくとも一部と、を同時に行う封止用基板の取り付け方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載の封止用基板の取り付け方法において、
いずれかのサイクルでの前記（ｄ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ｂ）工程の少なくとも一部と、を同時に行う封止用基板の取り付け方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の封止用基板の取り付け方法において、
１つの前記封止用基板を保持するピックアップ器によって前記（ａ）工程を行い、
１つの前記封止用基板を保持するとともに取り付けを行うマウンタによって前記（ｃ）及び前記（ｄ）工程を行い、
前記ピックアップ器及び前記マウンタは、前記（ａ）及び前記（ｃ）工程で、連動して移動する封止用基板の取り付け方法。
【請求項５】
請求項４記載の封止用基板の取り付け方法において、
いずれかのサイクルでの前記（ｄ）工程後に、前記ピックアップ器を前記準備セクションに移動させる（ｅ）工程をさらに含み、
いずれかのサイクルでの前記（ｅ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ｂ）工程の少なくとも一部と、を同時に行う封止用基板の取り付け方法。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の封止用基板の取り付け方法において、
いずれかのサイクルでの前記（ｂ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ａ）工程の少なくとも一部と、を同時に行う封止用基板の取り付け方法。
【請求項７】
（ａ）複数の封止用基板のうち１つを、準備セクションから方向補正セクションに搬送し、
（ｂ）前記方向補正セクションで、１つの前記封止用基板の方向を補正し、
（ｃ）１つの前記封止用基板を、前記方向補正セクションから取り付けセクションに搬送し、
（ｄ）前記取り付けセクションで、複数の表示部のうちの１つを封止するように、１つの前記封止用基板の取り付けを行うことを含み、
前記（ａ）から（ｄ）の工程を複数サイクル行い、
いずれかのサイクルでの前記（ｃ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ａ）工程の少なくとも一部と、を同時に行う表示装置の製造方法。
【請求項８】
請求項７記載の表示装置の製造方法において、
いずれかのサイクルでの前記（ｃ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ｂ）工程の少なくとも一部と、を同時に行う表示装置の製造方法。
【請求項９】
請求項７又は請求項８記載の表示装置の製造方法において、
いずれかのサイクルでの前記（ｄ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ｂ）工程の少なくとも一部と、を同時に行う表示装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項７から請求項９のいずれかに記載の表示装置の製造方法において、
１つの前記封止用基板を保持するピックアップ器によって前記（ａ）工程を行い、
１つの前記封止用基板を保持するとともに取り付けを行うマウンタによって前記（ｃ）及び前記（ｄ）工程を行い、
前記ピックアップ器及び前記マウンタは、前記（ａ）及び前記（ｃ）工程で、連動して移動する表示装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項１０記載の表示装置の製造方法において、
いずれかのサイクルでの前記（ｄ）工程後に、前記ピックアップ器を前記準備セクションに移動させる（ｅ）工程をさらに含み、
いずれかのサイクルでの前記（ｅ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ｂ）工程の少なくとも一部と、を同時に行う表示装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項７から請求項１１のいずれかに記載の表示装置の製造方法において、
いずれかのサイクルでの前記（ｂ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ａ）工程の少なくとも一部と、を同時に行う表示装置の製造方法。
【請求項１３】
複数の封止用基板が配置される準備セクションと、
１つの前記封止用基板の方向を補正する方向補正セクションと、
前記複数の封止用基板によって封止される複数の封止対象物が配置され、前記封止用基板の取り付けが行われる取り付けセクションと、
１つの前記封止用基板を前記準備セクションから前記方向補正セクションに搬送するピックアップ器と、
１つの前記封止用基板を、前記方向補正セクションから前記取り付けセクションに搬送して前記取り付けセクションで１つの前記封止対象物を封止するように取り付けるマウンタと、
を有し、
前記ピックアップ器が１つの前記封止用基板を搬送する動作の少なくとも一部と、前記マウンタが他の１つの前記封止用基板を搬送する動作の少なくとも一部と、を同時に行う封止用基板の取り付け装置。
【請求項１４】
請求項１３記載の封止用基板の取り付け装置において、
前記方向補正セクションは、１つの前記封止用基板を載せる台と、前記１つの封止用基板の方向を検出する検出器と、前記検出器で検出された前記１つの封止用基板の方向に基づいてその方向を補正するように前記台を移動させる駆動部と、を有する封止用基板の取り付け装置。
【請求項１５】
請求項１３又は請求項１４記載の封止用基板の取り付け装置において、
前記マウンタによって１つの前記封止用基板を前記方向補正セクションから前記取り付けセクションに搬送している間に、前記方向補正セクションで他の１つの前記封止用基板の方向補正動作の少なくとも一部を行う封止用基板の取り付け装置。
【請求項１６】
請求項１３から請求項１５のいずれかに記載の封止用基板の取り付け装置において、
前記マウンタによる１つの前記封止用基板の取り付けを行っている間に、前記方向補正セクションで他の１つの前記封止用基板の方向補正動作の少なくとも一部を行う封止用基板の取り付け装置。
【請求項１７】
請求項１３から請求項１６のいずれかに記載の封止用基板の取り付け装置において、
前記方向補正セクションで１つの前記封止用基板の方向補正動作を行っている間に、前記ピックアップ器による他の１つの前記封止用基板の前記準備セクションから前記方向補正セクションへの搬送動作の少なくとも一部を行う封止用基板の取り付け装置。
【請求項１８】
請求項１３から請求項１７のいずれかに記載の封止用基板の取り付け装置において、
前記ピックアップ器及び前記マウンタは、支持部に支持され、連動して移動する封止用基板の取り付け装置。
【請求項１９】
請求項１８記載の封止用基板の取り付け装置において、
前記ピックアップ器は、前記マウンタによる１つの前記封止用基板の取り付けが行われる間、前記取り付けセクションに位置し、前記マウンタによる前記１つの封止用基板の取り付け終了後に、前記取り付けセクションから前記準備セクションに移動し、
前記ピックアップ器が前記取り付けセクションから前記準備セクションに移動する間に、前記方向補正セクションで他の１つの前記封止用基板の方向補正動作の少なくとも一部を行う封止用基板の取り付け装置。
【請求項２０】
複数の封止用基板が配置される準備セクションと、
１つの前記封止用基板の方向を補正する方向補正セクションと、
前記複数の封止用基板によって封止される複数の表示部が配置され、前記封止用基板の取り付けが行われる取り付けセクションと、
前記準備セクションで１つの前記封止用基板を前記方向補正セクションに搬送するピックアップ器と、
１つの前記封止用基板を、前記方向補正セクションから前記取り付けセクションに搬送して前記取り付けセクションで１つの前記表示部を封止するように取り付けるマウンタと、
を有し、
前記ピックアップ器が１つの前記封止用基板を搬送する動作の少なくとも一部と、前記マウンタが他の１つの前記封止用基板を搬送する動作の少なくとも一部と、を同時に行う表示装置の製造装置。
【請求項２１】
請求項２０記載の表示装置の製造装置において、
前記方向補正セクションは、１つの前記封止用基板を載せる台と、前記１つの封止用基板の方向を検出する検出器と、前記検出器で検出された前記１つの封止用基板の方向に基づいてその方向を補正するように前記台を移動させる駆動部と、を有する表示装置の製造装置。
【請求項２２】
請求項２０又は請求項２１記載の表示装置の製造装置において、
前記マウンタによって１つの前記封止用基板を前記方向補正セクションから前記取り付けセクションに搬送している間に、前記方向補正セクションで他の１つの前記封止用基板の方向補正動作の少なくとも一部を行う表示装置の製造装置。
【請求項２３】
請求項２０から請求項２２のいずれかに記載の表示装置の製造装置において、
前記マウンタによる１つの前記封止用基板の取り付けを行っている間に、前記方向補正セクションで他の１つの前記封止用基板の方向補正動作の少なくとも一部を行う表示装置の製造装置。
【請求項２４】
請求項２０から請求項２３のいずれかに記載の表示装置の製造装置において、
前記方向補正セクションで１つの前記封止用基板の方向補正動作を行っている間に、前記ピックアップ器による他の１つの前記封止用基板の前記準備セクションから前記方向補正セクションへの搬送動作の少なくとも一部を行う表示装置の製造装置。
【請求項２５】
請求項２０から請求項２４のいずれかに記載の表示装置の製造装置において、
前記ピックアップ器及び前記マウンタは、支持部に支持され、連動して移動する表示装置の製造装置。
【請求項２６】
請求項２５記載の表示装置の製造装置において、
前記ピックアップ器は、前記マウンタによる１つの前記封止用基板の取り付けが行われる間、前記取り付けセクションに位置し、前記マウンタによる前記１つの封止用基板の取り付け終了後に、前記取り付けセクションから前記準備セクションに移動し、
前記ピックアップ器が前記取り付けセクションから前記準備セクションに移動する間に、前記方向補正セクションで他の１つの前記封止用基板の方向補正動作の少なくとも一部を行う表示装置の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、封止用基板の取り付け方法及びその取り付け装置、表示装置の製造方法及びその製造装置、表示装置並びに電子機器に関する。
【０００２】
【背景技術】
水分や酸素の影響を受けやすい発光材料や電極を使用した素子（例えば有機ＥＬ（Electroluminescence）素子）は、封止構造によって外部から遮断することが要求される。封止構造に封止用基板を使用した場合、素子が形成された基板と封止用基板は位置合わせが難しいため、封止用基板の取り付け工程を円滑に行うことが難しかった。
【０００３】
本発明は、従来の問題点を解決するものであり、その目的は、封止用基板の取り付けを円滑に行うことにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
（１）本発明に係る封止用基板の取り付け方法は、（ａ）複数の封止用基板のうち１つを、準備セクションから方向補正セクションに搬送し、
（ｂ）前記方向補正セクションで、１つの前記封止用基板の方向を補正し、
（ｃ）１つの前記封止用基板を、前記方向補正セクションから取り付けセクションに搬送し、
（ｄ）前記取り付けセクションで、複数の封止対象物のうちの１つを封止するように、１つの前記封止用基板の取り付けを行うことを含み、
前記（ａ）から（ｄ）の工程を複数サイクル行い、
いずれかのサイクルでの前記（ｃ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ａ）工程の少なくとも一部と、を同時に行う。
【０００５】
本発明によれば、１つの封止用基板の方向補正セクションから取り付けセクションへの搬送と、他の封止用基板の準備セクションから方向補正セクションへの搬送と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けを円滑に行うことができる。
【０００６】
（２）この封止用基板の取り付け方法において、
いずれかのサイクルでの前記（ｃ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ｂ）工程の少なくとも一部と、を同時に行ってもよい。
【０００７】
これによれば、１つの封止用基板の方向補正セクションから取り付けセクションへの搬送と、他の封止用基板の方向の補正と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けをさらに円滑に行うことができる。
【０００８】
（３）この封止用基板の取り付け方法において、
いずれかのサイクルでの前記（ｄ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ｂ）工程の少なくとも一部と、を同時に行ってもよい。
【０００９】
これによれば、１つの封止用基板の取り付けと、他の封止用基板の方向の補正と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けをさらに円滑に行うことができる。
【００１０】
（４）この封止用基板の取り付け方法において、
１つの前記封止用基板を保持するピックアップ器によって前記（ａ）工程を行い、
１つの前記封止用基板を保持するとともに取り付けを行うマウンタによって前記（ｃ）及び前記（ｄ）工程を行い、
前記ピックアップ器及び前記マウンタは、前記（ａ）及び前記（ｃ）工程で、連動して移動してもよい。
【００１１】
（５）この封止用基板の取り付け方法において、
いずれかのサイクルでの前記（ｄ）工程後に、前記ピックアップ器を前記準備セクションに移動させる（ｅ）工程をさらに含み、
いずれかのサイクルでの前記（ｅ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ｂ）工程の少なくとも一部と、を同時に行ってもよい。
【００１２】
これによれば、ピックアップ器の取り付けセクションから準備セクションへの移動と、封止用基板の方向の補正と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けをさらに円滑に行うことができる。
【００１３】
（６）この封止用基板の取り付け方法において、
いずれかのサイクルでの前記（ｂ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ａ）工程の少なくとも一部と、を同時に行ってもよい。
【００１４】
これによれば、１つの封止用基板の方向の補正と、他の封止用基板の準備セクションから方向補正セクションへの搬送と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けを円滑に行うことができる。
【００１５】
（７）本発明に係る表示装置の製造方法は、（ａ）複数の封止用基板のうち１つを、準備セクションから方向補正セクションに搬送し、
（ｂ）前記方向補正セクションで、１つの前記封止用基板の方向を補正し、
（ｃ）１つの前記封止用基板を、前記方向補正セクションから取り付けセクションに搬送し、
（ｄ）前記取り付けセクションで、複数の表示部のうちの１つを封止するように、１つの前記封止用基板の取り付けを行うことを含み、
前記（ａ）から（ｄ）の工程を複数サイクル行い、
いずれかのサイクルでの前記（ｃ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ａ）工程の少なくとも一部と、を同時に行う。
【００１６】
本発明によれば、１つの封止用基板の方向補正セクションから取り付けセクションへの搬送と、他の封止用基板の準備セクションから方向補正セクションへの搬送と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けを円滑に行うことができる。
【００１７】
（８）この表示装置の製造方法において、
いずれかのサイクルでの前記（ｃ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ｂ）工程の少なくとも一部と、を同時に行ってもよい。
【００１８】
これによれば、１つの封止用基板の方向補正セクションから取り付けセクションへの搬送と、他の封止用基板の方向の補正と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けをさらに円滑に行うことができる。
【００１９】
（９）この表示装置の製造方法において、
いずれかのサイクルでの前記（ｄ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ｂ）工程の少なくとも一部と、を同時に行ってもよい。
【００２０】
これによれば、１つの封止用基板の取り付けと、他の封止用基板の方向の補正と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けをさらに円滑に行うことができる。
【００２１】
（１０）この表示装置の製造方法において、
１つの前記封止用基板を保持するピックアップ器によって前記（ａ）工程を行い、
１つの前記封止用基板を保持するとともに取り付けを行うマウンタによって前記（ｃ）及び前記（ｄ）工程を行い、
前記ピックアップ器及び前記マウンタは、前記（ａ）及び前記（ｃ）工程で、連動して移動してもよい。
【００２２】
（１１）この表示装置の製造方法において、
いずれかのサイクルでの前記（ｄ）工程後に、前記ピックアップ器を前記準備セクションに移動させる（ｅ）工程をさらに含み、
いずれかのサイクルでの前記（ｅ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ｂ）工程の少なくとも一部と、を同時に行ってもよい。
【００２３】
これによれば、ピックアップ器の取り付けセクションから準備セクションへの移動と、封止用基板の方向の補正と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けをさらに円滑に行うことができる。
【００２４】
（１２）この表示装置の製造方法において、
いずれかのサイクルでの前記（ｂ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの前記（ａ）工程の少なくとも一部と、を同時に行ってもよい。
【００２５】
これによれば、１つの封止用基板の方向の補正と、他の封止用基板の準備セクションから方向補正セクションへの搬送と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けを円滑に行うことができる。
【００２６】
（１３）本発明に係る表示装置は、上記方法によって製造されてなる。
【００２７】
（１４）本発明に係る電子機器は、上記表示装置を有する。
【００２８】
（１５）本発明に係る封止用基板の取り付け装置は、複数の封止用基板が配置される準備セクションと、
１つの前記封止用基板の方向を補正する方向補正セクションと、
前記複数の封止用基板によって封止される複数の封止対象物が配置され、前記封止用基板の取り付けが行われる取り付けセクションと、
１つの前記封止用基板を前記準備セクションから前記方向補正セクションに搬送するピックアップ器と、
１つの前記封止用基板を、前記方向補正セクションから前記取り付けセクションに搬送して前記取り付けセクションで１つの前記封止対象物を封止するように取り付けるマウンタと、
を有し、
前記ピックアップ器が１つの前記封止用基板を搬送する動作の少なくとも一部と、前記マウンタが他の１つの前記封止用基板を搬送する動作の少なくとも一部と、を同時に行う。
【００２９】
本発明によれば、１つの封止用基板の準備セクションから方向補正セクションへの搬送と、他の封止用基板の方向補正セクションから取り付けセクションへの搬送と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けを円滑に行うことができる。
【００３０】
（１６）この封止用基板の取り付け装置において、
前記方向補正セクションは、１つの前記封止用基板を載せる台と、前記１つの封止用基板の方向を検出する検出器と、前記検出器で検出された前記１つの封止用基板の方向に基づいてその方向を補正するように前記台を移動させる駆動部と、を有してもよい。
【００３１】
（１７）この封止用基板の取り付け装置において、
前記マウンタによって１つの前記封止用基板を前記方向補正セクションから前記取り付けセクションに搬送している間に、前記方向補正セクションで他の１つの前記封止用基板の方向補正動作の少なくとも一部を行ってもよい。
【００３２】
これによれば、１つの封止用基板の方向補正セクションから取り付けセクションへの搬送と、他の封止用基板の方向の補正と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けをさらに円滑に行うことができる。
【００３３】
（１８）この封止用基板の取り付け装置において、
前記マウンタによる１つの前記封止用基板の取り付けを行っている間に、前記方向補正セクションで他の１つの前記封止用基板の方向補正動作の少なくとも一部を行ってもよい。
【００３４】
これによれば、１つの封止用基板の取り付けと、他の封止用基板の方向の補正と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けをさらに円滑に行うことができる。
【００３５】
（１９）この封止用基板の取り付け装置において、
前記方向補正セクションで１つの前記封止用基板の方向補正動作を行っている間に、前記ピックアップ器による他の１つの前記封止用基板の前記準備セクションから前記方向補正セクションへの搬送動作の少なくとも一部を行ってもよい。
【００３６】
これによれば、１つの封止用基板の方向の補正と、他の封止用基板の準備セクションから方向補正セクションへの搬送と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けをさらに円滑に行うことができる。
【００３７】
（２０）この封止用基板の取り付け装置において、
前記ピックアップ器及び前記マウンタは、支持部に支持され、連動して移動してもよい。
【００３８】
（２１）この封止用基板の取り付け装置において、
前記ピックアップ器は、前記マウンタによる１つの前記封止用基板の取り付けが行われる間、前記取り付けセクションに位置し、前記マウンタによる前記１つの封止用基板の取り付け終了後に、前記取り付けセクションから前記準備セクションに移動し、
前記ピックアップ器が前記取り付けセクションから前記準備セクションに移動する間に、前記方向補正セクションで他の１つの前記封止用基板の方向補正動作の少なくとも一部を行ってもよい。
【００３９】
これによれば、ピックアップ器の取り付けセクションから準備セクションへの移動と、封止用基板の方向の補正と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けを円滑に行うことができる。
【００４０】
（２２）本発明に係る表示装置の製造装置は、複数の封止用基板が配置される準備セクションと、
１つの前記封止用基板の方向を補正する方向補正セクションと、
前記複数の封止用基板によって封止される複数の表示部が配置され、前記封止用基板の取り付けが行われる取り付けセクションと、
前記準備セクションで１つの前記封止用基板を前記方向補正セクションに搬送するピックアップ器と、
１つの前記封止用基板を、前記方向補正セクションから前記取り付けセクションに搬送して前記取り付けセクションで１つの前記表示部を封止するように取り付けるマウンタと、
を有し、
前記ピックアップ器が１つの前記封止用基板を搬送する動作の少なくとも一部と、前記マウンタが他の１つの前記封止用基板を搬送する動作の少なくとも一部と、を同時に行う。
【００４１】
本発明によれば、１つの封止用基板の方向補正セクションから取り付けセクションへの搬送と、他の封止用基板の準備セクションから方向補正セクションへの搬送と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けを円滑に行うことができる。
【００４２】
（２３）この表示装置の製造装置において、
前記方向補正セクションは、１つの前記封止用基板を載せる台と、前記１つの封止用基板の方向を検出する検出器と、前記検出器で検出された前記１つの封止用基板の方向に基づいてその方向を補正するように前記台を移動させる駆動部と、を有してもよい。
【００４３】
（２４）この表示装置の製造装置において、
前記マウンタによって１つの前記封止用基板を前記方向補正セクションから前記取り付けセクションに搬送している間に、前記方向補正セクションで他の１つの前記封止用基板の方向補正動作の少なくとも一部を行ってもよい。
【００４４】
これによれば、１つの封止用基板の方向補正セクションから取り付けセクションへの搬送と、他の封止用基板の方向の補正と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けをさらに円滑に行うことができる。
【００４５】
（２５）この表示装置の製造装置において、
前記マウンタによる１つの前記封止用基板の取り付けを行っている間に、前記方向補正セクションで他の１つの前記封止用基板の方向補正動作の少なくとも一部を行ってもよい。
【００４６】
これによれば、１つの封止用基板の取り付けと、他の封止用基板の方向の補正と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けをさらに円滑に行うことができる。
【００４７】
（２６）この表示装置の製造装置において、
前記方向補正セクションで１つの前記封止用基板の方向補正動作を行っている間に、前記ピックアップ器による他の１つの前記封止用基板の前記準備セクションから前記方向補正セクションへの搬送動作の少なくとも一部を行ってもよい。
【００４８】
これによれば、１つの封止用基板の方向の補正と、他の封止用基板の準備セクションから方向補正セクションへの搬送と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けをさらに円滑に行うことができる。
【００４９】
（２７）この表示装置の製造装置において、
前記ピックアップ器及び前記マウンタは、支持部に支持され、連動して移動してもよい。
【００５０】
（２８）この表示装置の製造装置において、
前記ピックアップ器は、前記マウンタによる１つの前記封止用基板の取り付けが行われる間、前記取り付けセクションに位置し、前記マウンタによる前記１つの封止用基板の取り付け終了後に、前記取り付けセクションから前記準備セクションに移動し、
前記ピックアップ器が前記取り付けセクションから前記準備セクションに移動する間に、前記方向補正セクションで他の１つの前記封止用基板の方向補正動作の少なくとも一部を行ってもよい。
【００５１】
これによれば、ピックアップ器の取り付けセクションから準備セクションへの移動と、封止用基板の方向の補正と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板の取り付けをさらに円滑に行うことができる。
【００５２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１〜図８は、本発明の実施の形態で使用する封止用基板の製造方法を説明する図である。本実施の形態では、図１に示すように、基板１０にマスク１２を設ける。図２，３，４は、それぞれ、図１のII−II線、III−III線、IV−IV線断面図である。
【００５３】
基板１０は、酸素や水分を透過しない又は透過しにくいものである。基板１０は、無機酸化物（ガラス（ソーダライムガラス、ホウケイ酸ガラス、アルミノケイ酸ガラス、ケイ酸ガラス等）、石英、セラミックス等）から形成されていてもよい。本実施の形態では、基板１０は、光透過性を有し、特定の波長の光のみを透過するものであってもよい。変形例として、基板１０は光を透過しないものであってもよい。すなわち、基板１０は、透明、不透明のいずれであってもよいし、カラーフィルタの機能を有していてもよい。
【００５４】
マスク１２は、複数の開口（本実施の形態では、１つ又はそれ以上の第１の開口１４と、１つ又はそれ以上の第２の開口１６と、１つ又はそれ以上の第３の開口１８）を有する。第１の開口１４は、封止用基板３０の凹部２０の開口に対応する形状（例えば四辺形（長方形及び正方形を含む。）等の多角形）をなしている。図１に示すように、複数の第１の開口１４が、マトリクス状に配列されていてもよい。
【００５５】
第２及び第３の開口１６，１８は、同じ形状であってもよいが、本実施の形態では、異なる形状になっている。第２の開口１６は、Ｌ字状（例えばライン幅０．２ｍｍ以下）をなしている。第３の開口１８は、円形（例えば直径０．２ｍｍ以下）である。第２及び第３の開口１６，１８の形状は、これらに限定されるものではなく、十字（Ｘ字）状（例えばライン幅０．２ｍｍ以下）であってもよい。
【００５６】
１つの第１の開口１４の隣に、第１の開口１４以外の少なくとも１つの開口（例えば、少なくとも１つの第２の開口１６と、少なくとも１つの第３の開口１８と、の一方又は両方）が形成されている。第１の開口１４が多角形である場合、その１つの角部の隣に、第１の開口１４以外の１つの開口（第２又は第３の開口１６，１８）が形成されていてもよい。第１の開口１４の対向する一対の角部（対角線の両端にある角部）のうち、一方の角部の隣に第２の開口１６を形成し、他方の角部の隣に、第２の開口１６とは形状の異なる第３の開口１８を形成してもよい。第１の開口１４の１つの辺の両端に位置する一対の角部の隣に、同じ形状の１対の開口（例えば一対の第２の開口１６又は一対の第３の開口１８）を形成してもよい。Ｌ字の開口（第２の開口１６）は、その内角側を、第１の開口１４の角部に向けて配置されるように形成してもよい。
【００５７】
マスク１２は、樹脂（例えばエネルギー（光等）に感応する樹脂）で形成することができる。樹脂を使用する場合、基板１０に樹脂層を形成してフォトリソグラフィによって開口を形成してもよいし、スクリーン印刷等によって開口を有する樹脂層を形成してもよいし、予め開口を有するフィルムを形成し、これをマスク１２として基板１０に貼り付けてもよい。
【００５８】
次に、基板１０におけるマスク１２の開口（第１，２，３の開口１４，１６，１８）から露出した部分を削る。その方法として、サンドブラスト、エッチング（例えばウェットエッチング）等を適用することができる。基板１０を削ることは、マスク１２の全ての開口（第１，２，３の開口１４，１６，１８）からの露出部に対して同時に行う。
【００５９】
図５は、一部が削られた基板１０を示す図であり、図６，７，８は、それぞれ、図５のVI−VI線、VII−VII線、VIII−VIII線断面図である。一部を削ることで、基板１０に、１つ又はそれ以上の凹部２０と、それぞれの凹部２０の隣に位置するマーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）と、を同時に形成する。これによれば、凹部２０を形成するときに、同時にマーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）を形成するので、工程は増えない。また、マスク１２の開口からの露出部を削って凹部２０及びマーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）を形成するので、これらの相対的な位置精度が高い。
【００６０】
凹部２０は、基板１０におけるマスク１２の第１の開口１４からの露出部を削って形成したものである。凹部２０は、例えば四辺形（長方形及び正方形を含む。）等の多角形をなしている。図５に示すように、複数の凹部２０が、マトリクス状に配列されていてもよい。凹部２０の深さは、封止用基板３０によって封止される封止対象物（例えば表示部）１０２の厚み以上であってもよい（図１７参照）。凹部２０の底面は、基板１０の表裏面よりも粗面（例えば凹凸面）であってもよい。
【００６１】
マーク（第１及び第２のマーク２２，２４）は、基板１０におけるマスク１２の第１の開口以外の開口（第２及び第３の開口１６，１８）からの露出部を削って形成したものである。
【００６２】
第１及び第２のマーク２２，２４は、同じ形状であってもよいが、本実施の形態では、異なる形状になっている。第１のマーク２２は、Ｌ字状（例えばライン幅０．２ｍｍ以下）をなしている。第２のマーク２４は、円形（例えば直径０．２ｍｍ以下）である。第１及び第２のマーク２２，２４の形状は、これらに限定されるものではなく、十字（Ｘ字）状（例えばライン幅０．２ｍｍ以下）であってもよい。なお、マーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）は、凹部２０よりも浅く形成してもよい。
【００６３】
１つの凹部２０の隣に、少なくとも１つのマーク（例えば、少なくとも１つの第１のマーク２２と、少なくとも１つの第２のマーク２４と、の一方又は両方）が形成されている。凹部２０の開口が多角形である場合、その１つの角部の隣に、１つのマーク（第１又は第２のマーク２２，２４）が形成されていてもよい。凹部２０の対向する一対の角部（対角線の両端にある角部）のうち、一方の角部の隣に第１のマーク２２を形成し、他方の角部の隣に、第１のマーク２２とは形状の異なる第２のマーク２４を形成してもよい。これによれば、向きが反対になっていてもそれを認識できる封止用基板３０（図１３参照）を製造することができる。
【００６４】
凹部２０の１つの辺の両端に位置する一対の角部の隣に、同じ形状の１対のマーク（例えば一対の第１のマーク２２又は一対の第２のマーク２４）を形成してもよい。Ｌ字の第１のマーク２２は、その内角側を、凹部２０の角部に向けて配置されるように形成してもよい。本実施の形態では、複数のマーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）を離れた位置に形成するので、位置決めを行い易い封止用基板３０（図１３参照）を製造することができる。
【００６５】
基板１０の表裏面の状態は、ＪＩＳ  Ｂ０６０１の定義に従った場合、次の条件を満たしていてもよい。
【００６６】
平均面粗さ：０．００１μｍ≦Ｒａ≦０．０５μｍ
最大高低差：０．１μｍ≦Ｐ−Ｖ≦１．０μｍ
自乗平均面粗さ：０．００５μｍ≦ＲＭＳ≦０．０７μｍ
１０点平均面粗さ：０．０１μｍ≦Ｒｚ≦０．５０μｍ
この場合、凹部２０又はマーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）の底面は、次の条件を満たしていてもよい。
【００６７】
平均面粗さ：０．０５μｍ≦Ｒａ≦２．０μｍ
最大高低差：１．０μｍ≦Ｐ−Ｖ≦１５μｍ
自乗平均面粗さ：０．０７μｍ≦ＲＭＳ≦２．０μｍ
１０点平均面粗さ：０．５０μｍ≦Ｒｚ≦１０μｍ
基板１０の表裏面とは異なる粗さの底面を有するようにマーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）を形成し、基板１０が光透過性を有する場合、基板１０を透過する光によって、マーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）を認識することができる。これによれば、マーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）の形成面とは反対側の面からそのマーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）を認識することができる。
【００６８】
基板１０を削ることが終了したら、マスク１２を除去し、次に、基板１０を切断する。その切断ラインＬは、図５に示すように、凹部２０及びマーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）を避けて位置する。また、少なくとも１つの切断ラインＬは、複数の凹部２０を区画している部分にあって、かつ、隣同士の１対の凹部２０に対応した１対のマーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）の間に位置している。切断ラインＬによって、１つの凹部２０及びマーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）を有する領域が囲まれる。切断ラインＬの位置は、マーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）によって決めてもよい。これによれば、高い位置精度で基板１０を切断するので、封止用基板３０の形状を一定にすることができる。
【００６９】
基板１０の切断方法は、スクライバ等によって基板１０に溝又は傷を入れて割ってもよいし、カッタ等によって基板１０をフルカットしてもよいし、基板１０にカッタ等を押しつけて応力によって切断してもよいし、基板１０に熱によって圧縮応力を加えた直後にこれを冷却して引張応力を加えて切断してもよい。
【００７０】
本実施の形態では、基板１０を切断して複数の封止用基板（チップ基板）３０を得る。それぞれの封止用基板３０は、１つの凹部２０とマーク（１つ又はそれ以上の第１のマーク２２と、１つ又はそれ以上の第２のマーク２４と、の一方又は両方））を有する。封止用基板３０は、凹部２０の底面を形成するプレート部３２と、凹部２０の内壁面を形成するフレーム部３４と、を有する。フレーム部３４は、少なくとも封止対象物（例えば表示部）１０２（図１７参照）を囲む形状をなしている。フレーム部３４は、角リング状であってもよい。凹部２０の内壁面は、底面に対して直角になっていてもよいし、傾斜していてもよい。封止用基板３０には、凹部２０（詳しくはその底面）に乾燥剤３６（図１７参照）を取り付けてもよい。
【００７１】
本実施の形態によれば、凹部２０及びマーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）を有する封止用基板３０を製造することができる。この封止用基板３０は、マーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）を利用して簡単に位置合わせを行うことができる。封止用基板３０は、少なくとも２つのマーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）を有しているので、その方向を検出することができる。また、複数の封止用基板３０の凹部２０及びマーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）を同時に形成するので生産性が高い。
【００７２】
図９及び図１０は、本実施の形態に係る封止用基板の取り付け装置（以下、取り付け装置という。）を示す図である。取り付け装置は、表示装置の製造装置である。
【００７３】
取り付け装置は、準備セクション４０を有する。準備セクション４０には、複数の封止用基板３０が配置される。そのため、準備セクション４０は、準備トレイ４２を有する。準備トレイ４２は、複数の封止用基板３０を載せる面を有する。準備トレイ４２は、それぞれの封止用基板３０の方向を、ある程度揃えるための凹部又は区画部を有していてもよい。複数の封止用基板３０は、マトリクス状（複数行複数列）に配列してもよい。準備トレイ４２は、二次元方向に移動してもよいし、三次元方向に移動してもよい。
【００７４】
準備トレイ４２は、封止用基板３０が並ぶ行及び列の少なくとも一方（一方のみあるいは両方）に沿って移動してもよい。例えば、図９に示す例では、封止用基板３０は、複数行複数列で並んでおり、列数（５列）が、行数（３行）より多い。準備トレイ４２は、封止用基板３０が並ぶ行及び列のうち行数又は列数の多い方（図９の例では列）のみに沿って移動してもよい。この場合、行及び列のうち行数又列数の少ない方（図９の例では行）に並ぶ２つ以上の封止用基板３０の数（図９の例では５つ）は、行及び列のうち行数又列数の多い方（図９の例では列）に並ぶ封止用基板３０の数（図９の例では３つ）よりも多い。これにより、図９に二点鎖線で示すように準備トレイ４２が移動することで、行及び列のうち行数又列数の少ない方（図９の例では行）に沿って並ぶ１行又は１列（図９の例では１行）の封止用基板３０を、１行又は１列（図９の例では１行）ごとに送り出すことができる。
【００７５】
取り付け装置は、方向補正セクション５０を有する。方向補正セクション５０では、１つの封止用基板３０の方向を補正する。方向補正セクション５０は、台（例えばテーブル）５２を有する。台５２は、封止用基板３０を載せる面を有する。台５２は、駆動部５４によって移動（少なくとも封止用基板３０を載せる面に直交する軸回りに回転）する。駆動部５４は、封止用基板３０の方向を補正するように、台５２を移動（例えば回転）させる。この移動は、検出器５６で検出された封止用基板３０の方向に基づいて行ってもよい。
【００７６】
台５２は、封止用基板３０を載せるかピックアップするための位置と、方向補正を行う位置との間を移動するようになっていてもよい。その移動は、、二次元的な移動であってもよいし、三次元的な移動であってもよい。図９に示す台５２は、実線で示す第１の位置と、二点鎖線で示す第２の位置との間を移動するようになっている。この移動は、駆動部５４によって行ってもよいし、他の手段によって行ってもよい。
【００７７】
方向補正セクション５０は、少なくとも１つの（図９に示す例では複数（例えば２つ）の）検出器５６を有する。検出器５６は、１つの封止用基板３０の方向を検出する。検出器５６は、第１及び第２の位置のうち一方（図９の例では二点鎖線で示す第２の位置）に台５２が位置しているときに、その上に載せられた封止用基板３０の方向を検出する。検出器５６は、撮像器（例えばカメラ）を有してもよい。その場合、検出器５６によって、封止用基板３０の少なくとも一部の画像を取得する。そして、適正な方向を向く封止用基板３０の画像を予め記憶部等に記憶しておき、検出器５６は、取得した画像の情報と、適正な方向を向く封止用基板３０の画像の情報と、を比較して、実際の封止用基板３０の方向を検出してもよい。
【００７８】
取り付け装置は、取り付けセクション６０を有する。取り付けセクション６０は、取り付けトレイ６２を有する。取り付けセクション６０では、封止用基板３０の取り付けが行われる。取り付けセクション６０には、１つの封止用基板３０によってそれぞれが封止される複数の封止対象物（例えば表示部）１０２が配置される。封止対象物１０２は、基板１００に設けられている。取り付けトレイ６２は、封止対象物１０２を支持する面（基板１００を載せる面）を有する。
【００７９】
取り付けトレイ６２は、二次元方向に移動してもよいし、三次元方向に移動してもよい。複数の封止対象物１０２は、マトリクス状（複数行複数列）に並んでいてもよい。取り付けトレイ６２は、封止対象物１０２が並ぶ行及び列の少なくとも一方（一方のみあるいは両方）に沿って移動してもよい。例えば、図９に示す例では、封止対象物１０２は、複数行複数列で並んでおり、列数（５列）が、行数（３行）より多い。取り付けトレイ６２は、封止対象物１０２が並ぶ行及び列のうち行数又は列数の多い方（図９の例では列）のみに沿って移動してもよい。この場合、行及び列のうち行数又列数の少ない方（図９の例では行）に並ぶ２つ以上の封止対象物１０２の数（図９の例では５つ）は、行及び列のうち行数又列数の多い方（図９の例では列）に並ぶ封止対象物１０２の数（図９の例では３つ）よりも多い。これにより、図９に二点鎖線で示すように取り付けトレイ６２が移動することで、行及び列のうち行数又列数の少ない方（図９の例では行）に沿って並ぶ１行又は１列（図９の例では１行）の封止対象物１０２を、１行又は１列（図９の例では１行）ごとに移動させることができる。
【００８０】
取り付け装置は、ピックアップ器（例えば吸着器）７０を有する。ピックアップ器７０は、１つの封止用基板３０をピックアップ（例えば吸着）することができる。吸着は、真空引きによるものであってもよいし、静電気の引力によるものであってもよい。ピックアップ器７０は、上下動してもよい。また、ピックアップ器７０は、封止用基板３０を準備セクション４０から方向補正セクション５０に搬送する。そのため、ピックアップ器７０は、一次元的又は二次元的に移動してもよい。図９に示すピックアップ器７０は、直線往復移動するようになっている。ピックアップ器７０の移動は、図示しないモータ等の駆動部によって行ってもよい。以上のことから、ピックアップ器７０は、一次元、二次元又は三次元方向に移動するようになっている。
【００８１】
取り付け装置は、マウンタ８０を有する。マウンタ８０は、１つの封止用基板３０をピックアップ（例えば吸着）することができる。吸着は、真空引きによるものであってもよいし、静電気の引力によるものであってもよい。マウンタ８０は、上下動してもよい。また、マウンタ８０は、封止用基板３０を方向補正セクション５０から取り付けセクション６０に搬送する。そのため、マウンタ８０は、一次元的又は二次元的に移動してもよい。図９に示すマウンタ８０は、直線往復移動するようになっている。マウンタ８０の移動は、図示しないモータ等の駆動部によって行ってもよい。以上のことから、マウンタ８０は、一次元、二次元又は三次元方向に移動するようになっている。
【００８２】
さらに、マウンタ８０は、取り付けセクション６０で、１つの封止対象物１０２を封止するように、１つの封止基板３０を取り付ける。その取り付け（例えば接着剤３８（図１４（Ｃ）参照）の硬化のため）に必要なエネルギーをマウンタ８０は供給できるようになっている。例えば、マウンタ８０は、紫外線、光、電子線等のビームを照射するビーム出射部８２（図１４（Ｃ）参照）を有していてもよい。ビーム出射部８２は、図示しないビーム生成器に接続された光導波路（光ファイバ等）の先端であってもよい。マウンタ８０は、封止基板３０に対して押圧力を加えためにプレスに取り付けられていてもよい。マウンタ８０は、熱を供給するためのヒータを有していてもよい。
【００８３】
本実施の形態では、ピックアップ器７０及びマウンタ８０は、支持部７２によって支持されていてもよい。例えば、支持部７２に、駆動部７４，８４が固定され、駆動部７４，８４が、それぞれ、ピックアップ器７０及びマウンタ８０を上下動させるようになっていてもよい。これによれば、支持部７２を移動させると、ピックアップ器７０及びマウンタ８０が連動して移動する。
【００８４】
本実施の形態に係る取り付け装置は、上述したように構成されており、以下、封止用基板の取り付け方法を説明する。封止用基板の取り付け方法は、表示装置の製造方法でもある。本実施の形態では、封止用基板の取り付け方法は、次のように行われる。
【００８５】
（ａ）複数の封止用基板３０のうち１つを、準備セクション４０から方向補正セクション５０に搬送する。（ｂ）方向補正セクション５０で、１つの封止用基板３０の方向を補正する。（ｃ）１つの封止用基板３０を、方向補正セクション５０から取り付けセクション６０に搬送する。（ｄ）取り付けセクション６０で、複数の封止対象物１０２のうちの１つを封止するように、１つの封止用基板３０の取り付けを行う。
【００８６】
図１１は、本実施の形態に係る封止用基板の取り付け方法を説明する図である。上述した（ａ）から（ｄ）の工程は、複数サイクル行われる。図１１には、３サイクルの工程において、（ａ）から（ｄ）の工程のタイミングが示されている。そして、（ｅ）いずれかのサイクルでの（ｄ）工程後に、その２つ後のサイクルでの（ａ）工程のために、ピックアップ器７０を準備セクション４０に移動させる。
【００８７】
図１２（Ａ）〜図１５（Ｂ）は、本実施の形態に係る封止用基板の取り付け方法の一例を説明する図である。図１２（Ａ）に示すように、ピックアップ器７０によって１つの封止用基板３０をピックアップして、これを準備セクション４０から方向補正セクション５０に移動させる。図１２（Ｂ）に示すように、方向補正セクション５０で、封止用基板３０を台５２に載せてもよい。封止用基板３０が載せられた台５２は、図９に示すように、一補正を行う位置（二点鎖線で示す位置）に移動してもよい。第１番目の封止用基板３０の搬送が終了すると、図１２（Ｃ）に示すように、ピックアップ器７０を、方向補正セクション５０から準備セクション４０に戻す。
【００８８】
図１３（Ａ）に示すように、台５２上に封止用基板３０が載せられると、検出器５６（図９参照）によって、マーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）が撮像される。詳しくは、封止用基板３０を光が透過して、封止用基板３０における検出器５６とは反対側の面に形成された（彫り込まれた）マーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）を撮像する。検出器５６の撮像領域５８内で、マーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）が撮像される。撮像により実際に得られた画像（以下、実際の画像という。）は、記憶部に記憶される。また、封止用基板３０が正確な方向を向いた場合に撮像されて得られるマーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）の画像（以下、正確な画像という。）を予め記憶部に記憶しておき、実際の画像と正確な画像とを比較する。比較の結果、両者がずれていることが判明すれば、台５２を移動（例えば回転）させる。そして、例えば、台５２の移動と、実際の画像と正確な画像との比較と、を繰り返し、実際の画像と正確な画像が最も近くなる位置で、台５２を停止させる。あるいは、実際の画像と正確な画像のずれから、どの方向にどれだけずれているかを算出して、その値に基づいて台５２を移動させてもよい。こうして、封止用基板３０の配置方向を補正することができる。方向の補正が終わると、台５２は、図９に示すように、封止用基板３０を載せるかピックアップする位置（実線で示す位置）に戻ってもよい。
【００８９】
なお、本実施の形態では、封止用基板３０に、異なる形の複数のマーク（例えば第１及び第２のマーク２２，２４）が形成されており、少なくとも２箇所にあるマークを撮像する。例えば、封止用基板３０の対向する一対の角部を対象とする一対の撮像領域５８で、第１及び第２のマーク２２，２４を撮像する。第１のマーク２２が撮像されるべき撮像領域５８で、第２のマーク２４が撮像されると、封止用基板３０の向きが反対である（角度が１８０°ずれている）ことが判明する。その場合、台５２を１８０°回転させてから、封止用基板３０の配置方向の補正を行う。これによれば、封止用基板３０の向きが反対になっていてもそれを補正することができる。
【００９０】
次に、方向補正セクション５０に封止用基板３０が配置されているときに、次の封止用基板３０を準備セクション４０から方向補正セクション５０に搬送するための動作を開始する。例えば、図１３（Ｂ）に示すように、ピックアップ器７０で封止用基板３０をピックアップし、ピックアップ器７０が方向補正セクション５０に向けて移動する。ピックアップ器７０が移動するとマウンタ８０も移動し、図１３（Ｃ）に示すように、方向補正セクション５０で、マウンタ８０が、方向補正のなされた封止用基板３０をピックアップする。
【００９１】
図１４（Ａ）に示すように、マウンタ８０によって、封止用基板３０を方向補正セクション５０から取り付けセクション６０に搬送する。そして、ピックアップ器７０によって、準備セクション４０から搬送してきた封止用基板３０を方向補正セクション５０に配置する。例えば、台５２上に封止用基板３０を載せる。方向補正セクション５０では、封止用基板３０の方向補正が行われる。
【００９２】
図１４（Ｂ）に示すように、マウンタ８０によって、封止用基板３０を、封止対象物１０２を封止するように取り付ける。例えば、基板１００に封止用基板３０を取り付ける。図１４（Ｃ）に示すように、基板１００と封止用基板３０（そのフレーム部３４）との間に接着剤３８を設けてもよい。また、接着剤３８の性質に応じた硬化処理（例えば加熱や、紫外線、光、電子線等のビームの照射）を行ってもよい。ビームは、マウンタ８０のビーム出射部８２から照射してもよい。
【００９３】
図１５（Ａ）に示すように、封止用基板３０の取り付けが終わると、ピックアップ器７０は準備セクション４０に戻る。そして、次に封止用基板３０をピックアップする。その後、上述した工程を繰り返す。図９に示すように、準備トレイ４２上の１行又は１列（図９の例では１行）の封止用基板３０のピックアップが終わると、準備トレイ４２は、次の行又は列（図９の例では行）の封止用基板３０のピックアップを行うために移動する。また、取り付けトレイ６２上の１行又は１列（図９の例では１行）の封止用基板３０の取り付けが終わると、取り付けトレイ６２は、次の行又は列（図９の例では行）の封止用基板３０の取り付けを行うために移動する。そして、図１５（Ｂ）に示すように、準備セクション４０に配置された全ての封止用基板３０の取り付けを行う。
【００９４】
なお、上記実施の形態では、準備トレイ４２及び取り付けトレイ６２が直線的にのみ移動するようになっているが、これを、二次元的に移動できるように構成してもよい。その場合、１つのピックアップ位置にそれぞれの封止用基板３０を配置するように準備トレイ４２を移動させてもよい。また、１つの取り付け位置にそれぞれの封止対象物１０２を配置するように取り付けトレイ６２を移動させてもよい。全ての封止用基板３０をピックアップする位置が同じであって、全ての封止用基板３０を取り付ける位置が同じであり、全ての封止用基板３０を方向補正のために受け取る位置が同じであってもよい。その場合、準備セクション４０で封止用基板３０をピックアップする動作と、方向補正セクション５０で封止用基板３０をピックアップする動作を同時に行うことができる。また、方向補正セクション５０の台５２に封止用基板３０を載せる動作と、取り付けセクション６０で封止用基板３０を取り付ける動作を同時に行うことができる。
【００９５】
本実施の形態では、次の工程が行われる。
【００９６】
（ａ）複数の封止用基板３０のうち１つを、準備セクション４０から方向補正セクション５０に搬送する。
【００９７】
（ｂ）方向補正セクション５０で、１つの封止用基板３０の方向を補正する。
【００９８】
（ｃ）１つの封止用基板３０を、方向補正セクション５０から取り付けセクション６０に搬送する。
【００９９】
（ｄ）取り付けセクション６０で、複数の封止対象物１０２のうちの１つを封止するように、１つの封止用基板３０の取り付けを行う。
【０１００】
（ｅ）いずれかのサイクルでの（ｄ）工程後に、その２つ後のサイクルでの（ａ）工程のために、ピックアップ器７０を準備セクション４０に移動させる。
【０１０１】
図１１に示すように、いずれかのサイクルでの（ｃ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの（ａ）工程の少なくとも一部と、を同時に行ってもよい（図１３（Ｃ）及び図１４（Ａ）参照）。これによれば、１つの封止用基板３０の方向補正セクション５０から取り付けセクション６０への搬送と、他の封止用基板３０の準備セクション４０から方向補正セクション５０への搬送と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板３０の取り付けを円滑に行うことができる。
【０１０２】
図１１に示すように、いずれかのサイクルでの（ｃ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの（ｂ）工程の少なくとも一部と、を同時に行ってもよい（図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）参照）。これによれば、１つの封止用基板３０の方向補正セクション５０から取り付けセクション６０への搬送と、他の封止用基板３０の方向の補正と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板３０の取り付けをさらに円滑に行うことができる。
【０１０３】
図１１に示すように、いずれかのサイクルでの（ｄ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの（ｂ）工程の少なくとも一部と、を同時に行ってもよい（図１４（Ｂ）及び図１４（Ｃ）参照）。これによれば、１つの封止用基板３０の取り付けと、他の封止用基板３０の方向の補正と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板３０の取り付けをさらに円滑に行うことができる。
【０１０４】
図１１に示すように、いずれかのサイクルでの（ｅ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの（ｂ）工程の少なくとも一部と、を同時に行ってもよい（図１５（Ａ）参照）。これによれば、ピックアップ器７０の取り付けセクション６０から準備セクション４０への移動と、封止用基板３０の方向の補正と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板３０の取り付けをさらに円滑に行うことができる。
【０１０５】
図１１に示すように、いずれかのサイクルでの（ｂ）工程の少なくとも一部と、その次のサイクルでの（ａ）工程の少なくとも一部と、を同時に行ってもよい（図１５（Ａ）参照）。これによれば、１つの封止用基板３０の方向の補正と、他の封止用基板３０の準備セクション４０から方向補正セクション５０への搬送と、を少なくとも部分的に同時に行うので、封止用基板３０の取り付けを円滑に行うことができる。
【０１０６】
以上の工程を経て、図１６に示すように、基板１００に複数の封止用基板３０を取り付けることができる。基板１００は、それぞれの封止用基板３０を囲む領域で切断する。基板（板状素材）１００を、複数の基板（チップ）１０１に分割する。基板１００に形成された封止対象物１０２が表示部である場合、図１７に示すように、表示装置を得ることができる。表示装置は、基板（チップ）１０１と、その上に形成された封止対象物（表示部）１０２と、封止用基板３０と、を有する。
【０１０７】
表示装置は、例えば有機ＥＬ（Electroluminescence）パネルである。封止用基板３０によって少なくとも封止対象物（表示部）１０２が封止される。封止された空間は、窒素が充填されるか真空になっていてもよい。この表示装置では、封止対象物（表示部）１０２で生成された光は、基板１０１側に出射される。すなわち、基板１０１側に画像が表示される。変形例として、乾燥剤３６をなくして、封止用基板３０側に画像が表示されるように封止対象物（表示部）１０２を構成してもよい。その他の詳細は、上述した通りである。
【０１０８】
図１８は、封止対象物（表示部１０２）が設けられた基板１０１の詳細を説明する図である。基板１０１は、光透過性を有しており、ガラス基板又はプラスチック基板であってもよい。基板１０１には、封止用基板３０によって封止される領域内に、封止対象物（表示部１０２）が設けられている。基板１０１には、封止対象物（表示部１０２）を駆動するための走査側駆動回路１１０（及びこれに接続される配線）が形成されている。本実施の形態では、走査側駆動回路１１０（及びこれに接続される配線の一部）も、封止用基板３０によって封止される領域内に形成されている。基板１０１には、赤、緑、青の３色に応じて電源線１１２，１１４，１１６が形成されている。基板１０１には、陰極用配線１１８が形成されている。基板１０１には、集積回路チップ１２０が実装されたフレキシブル基板１２２が取り付けられている。集積回路チップ１２０は、基板１０１に形成された種々の配線と電気的に接続されている。集積回路チップ１２０は、データ側駆動回路を有する。
【０１０９】
図１９は、封止対象物（表示部１０２）の詳細を示す図である。封止対象物（表示部１０２）において、基板１０１上には複数のスイッチング素子１２４（例えば薄膜トランジスタ）が形成されている。封止対象物（表示部１０２）は、複数色（例えば赤、緑、青の３色）の光を発光する複数の発光素子１３０を有する。スイッチング素子１２４は、発光素子１３０の制御を行うものである。発光素子１３０は、画素電極１３２及び陰極１３６（詳しくはその一部）と、これらの間の発光層１３４とを含む。画素電極１３２は、図１８に示す電源線１１２，１１４，１１６に電気的に接続されている。陰極１３６は、図１８に示す陰極用配線１１８に電気的に接続されている。画素電極１３２から供給される電流により発光層１３４が発光する。
【０１１０】
隣同士の発光層１３４は、バンク部１３８で区画されている。発光層１３４は、高分子であっても低分子であってもよい。発光層１３４として高分子材料を使用した場合、酸素や水分から遮断することが重要であり、本発明に係る封止用基板を使用することが効果的である。
【０１１１】
本発明の実施の形態に係る表示装置を有する電子機器として、図２０にはノート型パーソナルコンピュータ１０００が示され、図２１には携帯電話２０００が示されている。
【０１１２】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の実施の形態で使用する封止用基板の製造方法を説明する図である。
【図２】図２は、図１のII−II線線断面図である。
【図３】図３は、図１のIII−III線断面図である。
【図４】図４は、図１のIV−IV線断面図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態で使用する封止用基板の製造方法を説明する図である。
【図６】図６は、図５のVI−VI線断面図である。
【図７】図７は、図５のVII−VII線断面図である。
【図８】図８は、図５のVIII−VIII線断面図である。
【図９】図９は、本発明の実施の形態に係る封止用基板の取り付け装置又は表示装置の製造装置を示す図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施の形態に係る封止用基板の取り付け方法又は表示装置の製造方法を説明する図である。
【図１１】図１１は、本発明の実施の形態に係る封止用基板の取り付け方法又は表示装置の製造方法を説明する図である。
【図１２】図１２（Ａ）〜図１２（Ｃ）は、本発明の実施の形態に係る封止用基板の取り付け方法又は表示装置の製造方法を説明する図である。
【図１３】図１３（Ａ）〜図１３（Ｃ）は、本発明の実施の形態に係る封止用基板の取り付け方法又は表示装置の製造方法を説明する図である。
【図１４】図１４（Ａ）〜図１４（Ｃ）は、本発明の実施の形態に係る封止用基板の取り付け方法又は表示装置の製造方法を説明する図である。
【図１５】図１５（Ａ）〜図１５（Ｂ）は、本発明の実施の形態に係る封止用基板の取り付け方法又は表示装置の製造方法を説明する図である。
【図１６】図１６は、本発明の実施の形態に係る封止用基板が取り付けられた基板を示す図である。
【図１７】図１７は、本発明の実施の形態に係る表示装置を示す図である。
【図１８】図１８は、表示部が形成された基板を説明する図である。
【図１９】図１９は、表示部を説明する図である。
【図２０】図２０は、本発明の実施の形態に係る電子機器を示す図である。
【図２１】図２１は、本発明の実施の形態に係る電子機器を示す図である。
【符号の説明】
３０  封止用基板
４０  準備セクション
４２  準備トレイ
５０  方向補正セクション
５２  台
５４  駆動部
５６  検出器
６０  取り付けセクション
７０  ピックアップ器
７２  支持部
８０  マウンタ
１０２  封止対象物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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