(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステータ(2)を有するモータケース(20)に軸受(21)を介してロータ(1)を回転自在に有し、前記ロータ(1)に回転検出器(40)の検出器ロータ(12)を設け、前記ロータ(1)と検出器ロータ(12)とは真空側に位置し、前記検出器ロータ(12)は磁性材で形成された磁性歯車よりなり、前記モータケース(20)には前記磁性歯車(12)に対応して磁気センサ体(11)が設けられ、前記磁気センサ体(11)の内端(11Ba)は真空側に、前記磁気センサ体(11)の外端(11Bc)は大気側に位置するように構成した真空モータ構造において、前記磁気センサ体(11)は、全体がカップ型をなし鍔部(11A)を有するカバー(11B)と、前記カバー(11B)内に設けられ表側に磁気センサ(11a)を有するプリント基板(11b)と、前記プリント基板(11b)の裏側に設けられたバイアス用マグネット(11c)と、前記カバー(11B)内に充填され前記プリント基板(11b)の保持をするための樹脂充填材(11e)とよりなり、前記鍔部(11A)が前記モータケース(20)の外面側に固定され、前記カバー(11B)の前記内端(11Ba)が前記モータケース(20)の内側に位置していることを特徴とする真空モータ構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空モータ構造に関し、特に、ロータに磁性歯車を設けてモータケースに磁気センサ体を設けることにより、真空側に配置する光源、エンコーダディスク及び受光素子を不要とし、構造の簡略化及び信頼性の向上を得るための新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、用いられていたこの種の真空モータ構造としては、図３に示す光学式エンコーダを内蔵した構成が採用されていた。すなわち、図３において符号１で示されるものは、ステータコア２ａとステータ巻線２ｂとからなるステータ２を有するモータケース２０に軸受２１を介して回転自在に設けられたロータであり、このモータケース２０の一部に形成された取付孔２０ａにはＯリング８を介してコネクタ７が設けられている。このロータ１の外周には、ロータマグネット１０が設けられている。
【０００３】
前記モータケース２０内には、光源５及び受光素子６が互いに離間しかつ対向して固定配設されていると共に、前記ロータ１の端部１ａにはエンコーダディスク４が設けられ、このエンコーダディスク４は前記光源５と受光素子６の間に位置している。
従って、前述のロータ１、光源５、エンコーダディスク４及び受光素子６は真空側に位置し、モータケース２０と一体の隔壁３によってステータ２は大気側に位置している。なお、光源５、受光素子６及びエンコーダディスク４により光学式の回転検出器４０を構成している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来の真空モータ構造は、以上のように構成されているため、次のような課題が存在していた。すなわち、内蔵のエンコーダが光学式であるため、光源と受光素子との間には隔壁を設けることができず、光源及び受光素子のリード線をコネクタを介して外部に引出さなくてはならず、コネクタ内側の真空側とコネクタ外側の大気側とを完全に維持することは、コネクタの構造上からも難しく、真空モータを使用する場合のネックとなっていた。
【０００５】
本発明は、以上のような課題を解決するためになされたもので、特に、ロータに磁性歯車を設けてモータケースに磁気センサ体を設けることにより、真空側に配置する光源、エンコーダディスク及び受光素子を不要とし、構造の簡略化及び信頼性の向上を得るようにした真空モータ構造を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明による真空モータ構造は、ステータを有するモータケースに軸受を介してロータを回転自在に有し、前記ロータに回転検出器の検出器ロータを設け、前記ロータと検出器ロータとは真空側に位置し、前記検出器ロータは磁性材で形成された磁性歯車よりなり、前記モータケースには前記磁性歯車に対応して磁気センサ体が設けられ、前記磁気センサ体の内端は真空側に、前記磁気センサ体の外端は大気側に位置するようにした真空モータ構造において、前記磁気センサ体は、全体がカップ型をなし鍔部を有するカバーと、前記カバー内に設けられ表側に磁気センサを有するプリント基板と、前記プリント基板の裏側に設けられたバイアス用マグネットと、前記カバー内に充填され前記プリント基板の保持をするための樹脂充填材とよりなり、前記鍔部が前記モータケースの外面側に固定され、前記カバーの前記内端が前記モータケースの内側に位置している構成である。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、図面と共に本発明による真空モータ構造の好適な実施の形態について説明する。なお、従来例と同一又は同等部分については同一符号を用いて説明する。
図１において符号１で示されるものは、ステータコア２ａとステータ巻線２ｂとからなるステータ２を有するモータケース２０に軸受２１を介して回転自在に設けられたロータであり、このモータケース２０の一部に形成された取付孔２０ａにはＯリング８を介して磁気センサ体１１が密合して固定されている。
【０００８】
前記ロータ１の外周には、ロータマグネット１０が設けられていると共に、このロータ１の端部１ａの外周には磁性材料よりなると共に検出器ロータである磁性歯車１２が設けられている。この磁性歯車１２の歯車１２ａに対向して前記磁気センサ体１１が位置している。なお、この磁性歯車１２と磁気センサ体１１によって磁気式の回転検出器４０を構成している。
【０００９】
前記磁気センサ体１１は、図２で示されるように構成されており、この磁気センサ体１１のカップ型をなすと共に鍔部１１Ａを有するカバー１１Ｂの内端１１Ｂａ側の段部１１Ｂｂには表側に周知の磁気センサ１１ａを有するプリント基板１１ｂが設けられ、このプリント基板１１ｂの裏側にはバイアスマグネット１１ｃが設けられている。前記カバー１１Ｂの内部には樹脂充填材１１ｅが充填され、この樹脂充填材１１ｅによってプリント基板１１ｂが段部１１Ｂｂに保持されている。
従って、前記磁気センサ体１１の内端１１Ｂａがモータケース２０の内側に位置し、モータケース２０の延長部である隔壁３によってステータ２が大気側に位置している。
【００１０】
前述の構成により、前記ロータ１、磁性歯車１２及び磁気センサ体１１の内端１１Ｂａが真空側に位置し、ステータ２及び磁気センサ体１１の外端１１Ｂｃが大気側に位置している。なお、この磁気センサ１１ａが設けられたプリント基板１１ｂに接続されたリード線３０はこの樹脂充填材１１ｅを経て外部に導出されている。
また、前述の磁気センサ体１１の内部構造は、図２に示す構成は１例であり、周知の他のセンサ構造を用いることもできる。
【００１１】
【発明の効果】
本発明による真空モータ構造は、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。すなわち、真空モータに内蔵されたエンコーダを従来の光学式から磁気式に変更したことによりモータケースには磁気センサ体を直接設けるのみとなり、真空側から大気側への漏れがなくなり、かつ、真空側での配線も不要となり、構造の簡略化と信頼性の向上を得ることができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明による真空モータ構造を示す断面図である。
【図２】  図１の磁気センサ体を示す拡大断面図である。
【図３】  従来の真空モータ構造を示す断面図である。
【符号の説明】
１    ロータ
２    ステータ
１２    検出器ロータ（磁性歯車）
１１    磁気センサ体
１１Ｂａ    内端
１１Ｂｃ    外端
１１Ａ    鍔部
１１Ｂ    カバー
１１ａ    磁気センサ
１１ｂ    プリント基板
１１ｅ    樹脂充填材
２０    モータケース
【図１】
0004046303.tif 000002
【図２】
0004046303.tif 000003
【図３】
0004046303.tif 000004