(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状をした電気絶縁性のベース部材と、該ベース部材に第１の方向に間隔をおいて該第１の方向に対し交差する第２の方向へ伸びる状態に形成された複数の配線であってそれぞれが装着領域を有する複数の配線と、導電性の接着剤により前記各装着領域に装着された導電性の板状部材とを含み、
前記配線は、前記ベース部材の一方の面に前記第１の方向に間隔をおいて形成された複数の第１の配線と、前記ベース部材の他方の面に前記第１の方向に間隔をおいて形成された複数の第２の配線とを含み、各第１の配線の前記装着領域は当該第１の配線の主体部の一部であり、各第２の配線の前記装着領域は当該第２の配線の主体部から前記ベース部材を厚さ方向に貫通して前記ベース部材の一方の面に達している中継部である、電気的接続用シート。
【請求項２】
さらに、前記各板状部材の前記装着領域の側と反対側の面に形成された１以上の接触子であって前記板状部材から前記装着領域の側と反対側に突出する接触子を含む、請求項１に記載の電気的接続用シート。
【請求項３】
前記第１の方向における前記板状部材の寸法は同方向における前記装着領域の寸法より大である、請求項１及び２のいずれか１項に記載の電気的接続用シート。
【請求項４】
前記板状部材は前記第２の方向に伸びている、請求項１から３のいずれか１項に記載の電気的接続用シート。
【請求項５】
前記接触子は、前記第２の方向へ伸びる多角柱の形状を有しており、また断面多角形の１つの角部と反対側の部位において前記板状部材に装着されている、請求項１から４のいずれか１項に記載の電気的接続用シート。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネル、集積回路等の平板状被検査体の検査に用いるプローブシートのような電気的接続用のシートに関する。
【０００２】
【従来の技術】
集積回路、液晶パネル等の平板状被検査体は、一般に、プローブカードのようなプローブ装置を用いて検査される。この種のプローブ装置の１つとして、互いに平行に伸びる複数の配線を電気絶縁性のフィルム又はガラス板の一方の面に形成したプローブシートを用いるものがある。そのようなプローブシートは、平坦であることから、フィルム状プローブ、シート状プローブ、面プローブ等とも称されている。
【０００３】
また、液晶パネル用の他のプローブ装置においては、上記のようなプローブシート又はニードルタイプの複数のプローブ（プローブ針）を用いたプローブブロック、ＴＡＢ（タブ＝テープ自動化実装）及びＦＰＣ（フレキシブル印刷配線板）を用い、プローブシートの配線又はニードルタイプのプローブとＴＡＢの配線とを押圧接触させて電気的に接続し、ＴＡＢの配線とＦＰＣの配線とを押圧接触させて電気的に接続している。
【０００４】
【解決しようとする課題】
上記のようなプローブシート、ＴＡＢ、ＦＰＣ等の電気的接続用シートにおいては、フィルム、ガラス板等からなるベース部材に形成された配線が薄い帯状であることから、電気的接続用シートの配線自体を、被検査体の電極、プローブ針、プローブシートの配線、ＴＡＢの配線、ＦＰＣの配線等、相手の電極部に直接押圧接触させようとすると、ベース部材自体が相手の本体部に当接し、その結果シートの配線と相手の電極部との接触が不完全になり、両者の電気的接続が不確実になる。
【０００５】
上記のことから、従来のプローブシートにおいては、突起電極のような小さな接触子を各配線に設けて、接触子を被検査体の電極に押圧接触させる構造にしている。しかし、従来では、メッキ、スパッタリング等の技術により小さな接触子を配線に形成しているから、小さくしかも突出量の大きい接触子を配線に形成することができず、したがってベース部材が被検査体の本体部に当接することが多い。その結果、接触子と電極部材との接触が不完全になり、両者の電気的接続が不確実になる。
【０００６】
それゆえに、電気的接続用シートにおいては、ベース部材自体が被検査体のような相手の本体部に当接しないようにすることが重要である。
【０００７】
【解決手段、作用及び効果】
本発明に係る電気的接続用シートは、シート状をした電気絶縁性のベース部材と、該ベース部材に第１の方向に間隔をおいて該第１の方向に対し交差する第２の方向へ伸びる状態に形成された複数の配線であってそれぞれが装着領域を有する複数の配線と、導電性の接着剤により前記各装着領域に装着された導電性の板状部材とを含む。
【０００８】
板状部材は配線とは別個に製造され、したがって接触子より大きい板状部材を容易に製造することができる。電気的接続用シートにおいては、板状部材自体又は板状部材に形成された接触子が被検査体のような相手の電極部に押圧接触される。このとき、板状部材は、ベース部材と相手の本体との間の距離を大きくし、ベース部材が相手の本体部に当接し難くしている。それゆえに、本発明によれば、ベース部材が相手の本体部に当接し難い。
【０００９】
本発明に係る電気的接続用シートにおいて、前記配線は、前記ベース部材の一方の面に前記第１の方向に間隔をおいて形成された複数の第１の配線と、前記ベース部材の他方の面に前記第１の方向に間隔をおいて形成された複数の第２の配線とを含み、各第１の配線の前記装着領域は当該第１の配線の主体部の一部であり、各第２の配線の前記装着領域は当該第２の配線の主体部から前記ベース部材を厚さ方向に貫通して前記ベース部材の一方の面に達している中継部である。これにより、本発明によれば、さらに、配線のピッチを小さくし、配線の配置密度を高めることができる。
【００１１】
前記第１の方向における前記板状部材の寸法は同方向における前記装着領域の寸法より大であってもよい。そのようにすれば、相手の電極部がプローブ針や突起電極のように先鋭な先端を有していても、そのような先端が板状部材に確実に接触する。
【００１２】
前記板状部材は前記第２の方向に伸びていてもよい。そのようにすれば、装着領域の長手方向における板状部材の寸法が大きくなり、しがって配線への板状部材の装着面積及び相手の電極部に対する接触可能面積が大きくなる。
【００１３】
前記接触子は、前記第２の方向へ伸びる多角柱の形状を有しており、また断面多角形の１つの角部と反対側の部位において前記板状部材に装着されていることができる。そのようにすれば、相手の電極部に接触する部位が第２の方向に長いから、押圧接触にともなう摩耗が少なく、長命になる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、被検査体の側を前方といい、それと反対側を後方という。
【００２０】
【シートの実施例１】
図１を参照するに、電気的接続に用いるシート１０は、シート状のベース部材１２と、ベース部材１２の一方の面に形成された複数の配線１４と、各配線１４の一端部に装着された板状部材１６とによりシート状に形成されている。ベース部材１２は、ポリイミドのような電気絶縁性の樹脂により可撓性を有する弾性変形可能のフィルムの形に形成されている。
【００２１】
配線１４は、銅、ニッケル等の導電性材料から帯状に形成されており、またベース部材１２の一方の面を第１の方向に間隔をおいて第１の方向と直行する第２の方向へ伸びている。図示の例では、配線１４は、第２の方向におけるベース部材１２の一端部から他端部に伸びており、また第２の方向における一端部を板状部材１６が装着されている装着領域としている。
【００２２】
各配線１４は、一般的な長方形、正方形当の四角形の断面形状を有しており、その四角形の１つの辺を形成する面においてベース部材１２に装着されている。しかし、各配線１４の断面形状は、相手の電極部との接触面に利用する面と、配線への装着に利用する面とを有する形状であれば、他の形状であってもよい。
【００２３】
配線１４は、例えば、ベース部材１２の少なくとも一方の面に銅やニッケルのような導電体層を配置した基材を用い、完成後の隣り合う配線間の領域に対応する導電体層の領域にエッチング加工を施すことにより形成することができる。しかし、印刷配線技術のような他の公知の技術により、配線１４をベース部材１２に形成してもよい。
【００２４】
板状部材１６は、第２の方向に長い長円形の形状を有しており、半田のような導電性の接着剤により配線１４に接着されている。板状部材１６の幅寸法は、配線１４の幅寸法以上の大きさを有する。シート１０においては、板状部材１６が被検査体のような相手の電極部に押圧接触される。
【００２５】
板状部材１６は、例えば、主面を有する基台を用意し、その基台の主面にホトレジストを適宜な厚さ寸法に塗布し、板状部材１６の形状に応じたホトレジストの領域を露光して現像処理をし、この現像処理により形成された凹所に銅のような導電性材料をメッキにより配置し、ホトレジストの残部を除去し、その後メッキにより形成された導電性材料を基台から剥離することにより、製作することができる。基台は、ステンレス板とすることができる。
【００２６】
１以上の接触子を各板状部材１６に形成してもよい。この場合、接触子は、角錐形、円錐形、半球状等の突起電極とすることができる。複数の接触子を各板状部に設ける場合、それらの接触子を板状部材の長手方向（第２の方向）に間隔をおいて形成することができる。いずれの場合も、接触子よりも大きい板状部材１６を容易に製造することができる。
【００２７】
【シートの実施例２】
図２及び図３を参照するに、電気的接続用シート２０は、ベース部材２２の一方の面に複数の第１の配線２４を第１の方向に間隔をおいて形成し、ベース部材２２の他方の面に複数の第２の配線２６を第１の方向に間隔をおいて形成している。ベース部材２２は、先に述べたベース部材１２と同じである。
【００２８】
第１及び第２の配線２４，２６は、第２の方向における一端部から他端部まで伸びており、また第２の方向における一端部に板状部材２８を装着している。各配線において、板状部材２８が装着されている装着領域は、第１の配線２４においては第１の配線２４の一部（第２の方向における一端部）であり、第２の配線２６においては第２の配線２６からベース部材２２を厚さ方向に貫通してベース部材２２の一方の面に達する中継部３０である。
【００２９】
各板状部材２８は、第２の方向に伸びており、また対応する配線２４又は中継部３０の幅寸法以上の幅寸法を有する。板状部材２８は、図４に示すように、相手の電極部に押圧される接触子３２を一端部に有する。板状部材２８は、接触子３２が同じ側へ突出する状態に、配線２４，２６の装着領域に半田のような導電性接着剤により接着されている。
【００３０】
接触子３２は、図示の例では、角錐形の突起電極であるが、円錐形、半球状等、他の形状を有していてもよい。また、図５に示すように、各板状部材２８をその先端部、特に接触子３２の装着領域が対応する配線２４，２６の一端から突出する状態に、対応する配線に装着してもよい。図５に示す実施例によれば、接触子３２を相手の電極部に押圧すると、板状部材２８が配線から突出する部分において湾曲可能である。
【００３１】
複数の接触子３２を各板状部材２８にこれの長手方向（第２の方向）に間隔をおいて形成してもよい。また、図６に示す接触子３４のように、第２の方向へ伸びる多角柱の形状を有する接触子を用いてもよい。図６に示す接触子３４は、三角柱の形状をしており、また断面三角形（多角形）の１つの角部（頂角）と反対側の部位（対向する部位）において板状部材２８に装着されている。いずれの場合も、接触子３２，３４よりも大きい板状部材２８を容易に製造することができる。
【００３２】
【板状部材及び接触子の製造方法】
図４に示す板状部材２８は、例えば、以下のように製造することができる。
【００３３】
先ず、図７（Ａ)に示すように、ステンレス板のような基台４０が用意される。基台４０は、主面４２を有すると共に、主面４２に図４における接触子３２に対応する１以上の凹所４４を有する。
【００３４】
次いで、図７（Ｂ)に示すように、基台４０の主面４２にホトレジスト４６が塗布される。
【００３５】
次いで、ホトレジスト４６が図４における接触子３２及び板状部材２８に対応する領域に露光され、露光された領域が現像処理される。これにより、図７（Ｃ)に示すように、図４における板状部材２８及び接触子３２の形状に対応する凹所４８及び４４がホトレジスト４６に形成される。
【００３６】
次いで、図７（Ｄ)に示すように、ホトレジスト４６の凹所４８がメッキにより、銅やニッケルのような導電性材料５０で満たされる。
【００３７】
次いで、ホトレジスト４６が除去され、導電性材料５０が基台４０から剥がされる。これにより、図７（Ｅ)に示すように、１以上の接触子３２を一体的に有する板状部材２８が接触子３２と同時に製造される。
【００３８】
図６に示す板状部材２８は、例えば、図７における凹所４４の代わりに、図６に示す接触子３４に対応する凹所を有する基台４０を用いることを除いて、上記と同じ手法で製造することができる。同様に、接触子３２を備えていない図１に示す板状部材１６は、例えば、凹所４４を備えていない基台４０を用いることを除いて、上記と同じ手法で製造することができる。いずれの場合も、接触子よりも大きい板状部材をメッキ技術により容易に製造することができる。
【００３９】
【シートの製造方法の実施例】
図２及び図３に示すシート２０は、例えば、以下のように製造することができる。
【００４０】
先ず、図８（Ａ)に示すような基材５０が用意される。基材５０は、シート状をした電気絶縁性のベース部材２２の両面に銅のような導電体層５２，５４を有する。
【００４１】
次いで、図８（Ｂ)に示すように、ホトレジスト５６及び５８がそれぞれ導電体層５２及び５４に塗布される。
【００４２】
次いで、ホトレジスト５６及び５８がそれぞれ図２及び図３における第１及び第２の配線２４及び２６に対応する領域を残して露光され、現像処理をされる。これにより、図８（Ｃ)に示すように、ホトレジスト５６及び５８がそれぞれ図２及び図３における第１及び第２の配線２４及び２６に対応する領域を除いて除去される。
【００４３】
次いで、両導電体層５２，５４がエッチング処理をされ、残存しているホトレジスト５６，５８が除去される。これにより、図８（Ｄ)に示すように、導電体層５２及び５４がそれぞれ図２及び図３における第１及び第２の配線２４及び２６に対応する領域を除いて除去されて、ベース部材２２の一方及び他方の面にそれぞれ第１及び第２の配線２４及び２６が形成される。
【００４４】
次いで、図９（Ａ）に示すように、ベース部材２２の両面にホトレジスト６０，６２が塗布される。これにより、第１及び第２の配線２４及び２６は、それぞれ、ホトレジスト６０及び６２により覆われる。
【００４５】
次いで、ホトレジスト６０及びベース部材２２がレーザ加工により図２及び図３における中継部３０に対応するパターンに加工される。これにより、図９（Ｂ）に示すように、ホトレジスト６０及びベース部材２２が中継部３０に対応するパターンに除去され、中継部３０に対応する開口６４がホトレジスト６０及びベース部材２２に形成される。各開口６４は、ベース部材２２を貫通して第２の配線２６に達している。しかし、ホトレジスト６０に露光・現像処理をし、ベース部材２２にエッチング処理をすることにより、ホトレジスト６０及びベース部材２２に開口６４を形成してもよい。
【００４６】
次いで、図９（Ｃ)に示すように、銅やニッケルのような導電性材料６６がメッキにより各開口６４に配置される。導電性材料６６は、これが第１の配線２４の厚保さ寸法と同じ寸法だけベース部材２２から突出するように、配置される。これにより、ベース部材２２を貫通して第２の配線２６に電気的に接続された中継部３０が形成される。
【００４７】
次いで、ホトレジスト６０，６２が除去される。これにより、図９（Ｄ)に示すように、シート状のベース部材２２、第１及び第２の配線２４及び２６並びに中継部３０を備えたシート状部材６８が形成される。
【００４８】
次いで、図１０に示すように、接触子３２を有する板状部材２８が導電性接着剤によりシート状部材６８の各第１の配線２４及び各中継部３０に装着される。
【００４９】
【シートの使用例１】
図１１を参照するに、プローブ装置７０は、液晶パネル７２の点灯検査装置のような通電検査装置にプローブユニットとして用いられる。液晶パネル７２は、長方形の形状をしており、また帯状をした複数の電極７４を長方形の１以上の辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。
【００５０】
プローブ装置７０は、プローブブロック（プローブ組立体）８０を含む。プローブブロック８０は、プローブシート８２と、プローブシート８２に接続された第１の接続シート８４と、第１の接続シート８４に接続された第２の接続シート８６と、シート８２及び８４が装着されたプローブホルダ８８と、シート８６が装着された板状のプローブベース１０２とにより形成されている。
【００５１】
プローブシート８２は、複数の配線１４をベース部材１２の一方の面に第１の方向に間隔をおいて第２の方向へ伸びるように形成し、複数の接触子３２を有する板状部材３２を各配線１４の一端部に形成した電気的接続用シートであり、フィルム状プローブ（面プローブ）の形に製作されている。
【００５２】
プローブシート８２は、紙面と垂直の方向に長い長方形の形状を有しており、また長手方向を第１の方向とし、幅方向を第２の方向（前後方向）としている。プローブシート８２は、配線１４を下方とした状態に、プローブホルダ８８の先端部下面に装着されている。プローブシート８２の後端部は、上方に折り返されて配線１４の後端部を上側とされている。
【００５３】
第１の接続シート８４は、帯状をした複数の配線９０及び９２を印刷配線技術によりポリイミドのような電気絶縁性フィルム９４の一方の面に形成し、配線９０，９２に電気的に接続された駆動用集積回路９６をフィルム９４の一方の面に有するタブ（ＴＡＢ＝テープ自動化実装）である。接続シート８４は、角錐形の突起電極のような接触子９８を各配線９２の後端部に有している。
【００５４】
第１の接続シート８４は、配線９０，９２を下方とした状態に、プローブホルダ８８の後端下面に装着されている。第１の接続シート８４の後端部も、上方に折り返されて配線９２の後端部を上側とされている。第１の接続シート８４の各配線９０は、プローブシート８２の各配線１４に一対一の形に対応されている。プローブシート８２の各配線１４は、その後端部を第１の接続シート８４の対応する配線９０に押圧されて、その配線９０に電気的に接続されている。
【００５５】
集積回路９６は、液晶パネル７２の駆動に用いられ、駆動用制御信号を配線９２から受けて、駆動信号を配線９０に出力する。プローブシート８２と第１の接続シート８４とは、加熱圧着、接着等の適宜な手法により接合することができる。
【００５６】
第２の接続シート８６は、複数の配線１４をベース部材１２の一方の面に第１の方向に間隔をおいて第２の方向へ伸びるように形成し、接触子３２を有していない板状部材１６を各配線１４の一端部に形成した電気的接続用シートであり、フレキシブル印刷配線板（ＦＰＣ）の形に製作されている。
【００５７】
第１の接続シート８４の各配線９２は、第２の接続シート８６の配線１４に一対一の形に対応されており、接触子９８をゴム板のような弾性体１００により第２の接続シート８６の対応する配線１４の板状部材１６に押圧されて、第２の接続シート８６の対応する配線１４に電気的に接続されている。
【００５８】
プローブホルダ８８は、電気絶縁材料から形成されており、また板状のプローブベース１０２の下面に複数のねじ部材１０４により装着されている。シート８２，８４は、接着、ねじ止め等の適宜な手法によりプローブホルダ８８に装着されている。シート８６は、接着、ねじ止め等の適宜な手法によりプローブベース１０２の下面に装着されている。プローブベース１０２は、検査装置のフレーム（図示せず）に直接的又は間接的に組み付けられる。
【００５９】
プローブシート８２の各配線１４の前端部、その前端部に対応するベース部材１２の部位、板状部材２８及び接触子３２は、プローブ要素として作用する。したがって、プローブシート８２の前端部、特に接触子３２が形成された領域は、プローブ領域として作用し、またプローブホルダ８８から前方（液晶パネル７２側）へ突出されている。
【００６０】
プローブ装置７０は、また、プローブベース１０２に連結されたアーム１０４と、アーム１０４の前端部に配置されてプローブシート８２の前端部を下方へ押する押圧機構１０６と、押圧機構１０６がプローブシート８２を押圧している状態に解除可能にアーム１０４を維持する複数のねじ部材１０８とを含む。プローブシート８２の前端部を、押圧機構１０６から前方へ大きく突出させてもよい。
【００６１】
アーム１０４は、プローブシート８２の幅方向（第２の方向）における一端部（前部）及び他端部（後部）によりほぼへ字状の形をしており、また第１の方向へ伸びる枢軸１１０と第１の方向へ間隔をおいた一対のブラケット１１２とにより他端部においてプローブベース１０２に結合されている。
【００６２】
アーム１０４の一端部はプローブホルダ８８及びプローブベース１０２の前側を斜め上下方向へ伸びており、またアーム１０４の他端部はプローブベース１０２の上側に位置している。ブラケット１１２は、プローブベース１０２に設けられている。ねじ部材１０８は、プローブベース１０２に形成されたねじ穴に螺合されている。
【００６３】
押圧機構１０６は、アーム１０４の前端部下側に配置された角柱状のベース部材１１４と、アーム１０４の前端部を上下方向に貫通してベース部材１１４に螺合する１以上の調整ねじ（図示せず）と、アーム１０４とベース部材１１４との間に配置されてベース部材１１４をアーム１０４に対し下方へ付勢する一対以上の第１の弾性体１１８と、ベース部材１１４の下面に配置されてプローブシート８２の前端部上面に接触する第２の弾性体１２０と、調整ねじを間にして左右方向に間隔をおいて上下方向へ伸びる一対以上のガイドピン１２２とを備える。
【００６４】
調整ねじは、アーム１０４の先端部を上下方向に貫通してベース部材１１４に螺合されており、接触子３２が電極７４に押圧されない状態においてプローブシート８２を変形させないように、ベース部材１１４へのねじ込み量を調整されている。
【００６５】
ベース部材１１４は、第１の方向へ伸びており、また調整ねじ及びガイドピン１２２によりアーム１０４に上下方向へ移動可能に組み付けられている。ガイドピン１２２は、アーム１０４及びベース部材１１４のいずれか一方に支持されていると共にアーム１０４及びベース部材１１４の他方に上下方向へ相対的移動可能に受け入れられており、また第１の弾性体１１８を貫通して伸びている。
【００６６】
第１の弾性体１１８は、図示の例では圧縮コイルばねであるが、ゴムのような他の部材であってもよい。第２の弾性体１２０は、シリコーンゴムのような弾性材料により厚板状に形成されており、またベース部材１１４に第１の方向へ伸びる状態に組み付けられている。プローブシート８２は、前端部を押圧機構１０６から前方に突出させている。
【００６７】
プローブ装置７０において、第２の接続シート８６の板状部材１６は、配線１４の長手方向に長いと共に、配線１４の幅寸法以上の大きさの幅寸法を有する。これにより、接触子９８と板状部材１６との間に多少の相対的変位が生じても、両者の接触状態が解除されるおそれはない。
【００６８】
第１の接続シート８４のフィルム９４及び配線９２と、第２の接続シート８６のベース部材１２及び配線１４とは、第１の接続シート８４の接触子９８と第２の接続シート８６の板状部材１６とにより、大きく離されている。これにより、第１の接続シート８４のフィルム９４又は配線９２が第２の接続シート８６のベース部材１２に直接接触すること、並びに、第２の接続シート８６のベース部材１２又は配線１４が第１の接続シート８４のフィルム９４に直接接触することが防止され、板状部材１６と接触子９８との電気的接続が不能になるおそれはない。
【００６９】
検査時、先ずプローブ装置７０と液晶パネル７２とが相寄る方向へ相対的に移動される。これにより、プローブシート８２の上方への湾曲が押圧機構１０６により阻止された状態で、オーバードライブがプローブシート８２の先端部すなわちプローブ領域に作用するから、プローブシート８２が弾性体１１８の力に抗してわずかに弾性変形し、接触子３２が電極７４に押圧される。
【００７０】
プローブシート８２の接触子３２が液晶パネル７２の電極７４に押圧されたとき、液晶パネル７２及びその電極７４と、プローブシート８２のベース部材１２及びの配線１４とは、プローブシート８２の板状部材２８と接触子３２とにより、大きく離されている。これにより、液晶パネル７２及びその電極７４がプローブシート８２のベース部材１２に直接接触すること、並びに、プローブシート８２のベース部材１２又は配線１４が液晶パネル７２に直接接触することが防止され、接触子３２と電極７４との電気的接続が不能になるおそれはない。
【００７１】
【シートの使用例２】
図１２及び図１３を参照するに、プローブ装置１３０は、液晶パネル７２の点灯検査装置のような通電検査装置にプローブユニットとして用いられる。
【００７２】
プローブ装置１３０は、プローブブロック１３２を含む。プローブブロック１３２は、液晶パネル７２の電極７４に電気的に接続されるプローブ要素として、ブレードタイプの複数のプローブ１３４を用いている。プローブ１３４は、先端部及び後端部が互いに逆に曲げられたクランクの形状を有しており、また電気絶縁性の接着剤１３６により板状のプローブホルダ１３８の下面に並列的に装着している。
【００７３】
プローブホルダ１３８は板状のプローブベース１４０の下面に複数のねじ部材１４２により組み付けられており、プローブベース１４０は検査装置のフレーム（図示せず）に装着されるベースプレート１４４の下側に複数のねじ部材１４６により組み付けられている。
【００７４】
プローブ装置１３０は、また、第１及び第２の接続シート１４８及び１５０を含む。
【００７５】
第１の接続シート１４８は、帯状をした複数の配線９０及び９２を印刷配線技術によりポリイミドのような電気絶縁性フィルム９４の一方の面に形成し、配線９０，９２に電気的に接続された駆動用集積回路９６をフィルム９４の一方の面に有するタブである。接続シート１４８は、板状部材１６を各配線９０の先端部に導電性接着材により装着して電気的接続用シートの形に形成されている。
【００７６】
第２の接続シート１５０は、複数の配線１５２を電気絶縁性フィルム１５４の一方の面に並列的に形成したフレキシブル印刷配線板（ＦＰＣ）である。第１及び第２の接続シート１４８及び１５０は、両者の配線の端部を接触させた状態で、加熱圧着、接着等の適宜な手法により接合することができる。
【００７７】
各プローブ１３４は、第１の接続シート１４８の板状部材１６に一対一の形に対応されて、後端部を対応する板状部材１６に押圧されている。第２の接続シート１５０の各配線１５２は、第１の接続シート１４８の配線９２に一対一の形に対応されて、先端部において対応する配線９２に電気的に接続されている。
【００７８】
プローブ装置１３０において、第１の接続シート１４８の板状部材１６が配線９０の長手方向に長いと共に、配線９０の幅寸法より大きい幅寸法を有する。これにより、プローブ１３４の後端と板状部材１６との間に多少の相対的変位が生じても、両者の接触状態が解除されるおそれはない。
【００７９】
上記のいずれの実施例も、ベース部材として電気絶縁性のフィルムを用いているが、電気絶縁性の樹脂やガラス等から板状の部材をベース部材として用いてもよい。また、配線に対する板状部材の寸法及び形状は、上記実施例以外の値及び形状であってもよい。例えば、板状部材は、長円形の形状のみならず、円形、楕円形、多角形等であってもよい。
【００８０】
本発明は、上記実施例に限定されない。本発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る電気的接続用シートの一実施例を示す斜視図
【図２】本発明に係る電気的接続用シートの他の実施例を示す斜視図
【図３】図２における３−３線に沿って得た断面図
【図４】図２に示す電気的接続用シートで用いる板状部材及び接触子の一実施例を示す斜視図
【図５】図２に示す電気的接続用シートの変形例を示す斜視図
【図６】接触子の他の実施例を示す斜視図
【図７】図４に示す板状部材の製造方法を説明するための図
【図８】図２に示す電気的接続用シートの製造方法を説明するための図
【図９】図８に続く工程を説明するための図
【図１０】図９に続く工程を説明するための図
【図１１】本発明に係る電気的接続用シートを用いたプローブ装置の一実施例を示す断面図
【図１２】電気的接続用シートを用いたプローブ装置の他の実施例を示す断面図
【図１３】図１２に示すプローブ装置におけるプローブと板状部材の電気的接続状態を示す斜視図
【符号の説明】
１０，２０  電気的接続用シート
１２，２２  ベース部材
１４，２４，２６  配線
１６，２８  板状部材
３０  中継部
３２，３４  接触子
４０  基材
４２  主面
４４  接触子用の凹所
４６，５６，５８，６０，６２  ホトレジスト
５０  導電性材料
５２，５４  導電体層
７０，１３０  プローブ装置
７２  液晶パネル
７４  液晶パネルの電極
８０，１３８  プローブブロック
８２  プローブシート（電気的接続用シート）
８４  第１の接続シート（タブ）
８６  第２の接続シート（電気的接続用シート）
１３４  プローブ
１４８  第１の接続シート（電気的接続用シート）
１５０  第２の接続シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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