(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
移載機と、収容する板状物のサイズが異なる複数のカセットを上下方向に装着して、板状物を上下方向に複数枚収容可能としたバッファカセットと、該バッファカセットに収容される板状物を押圧する押圧手段とを備える無人搬送車であって、該押圧手段は、板状物に対する押圧力を制限するストッパを設けるとともに、板状物を押圧する押圧位置と、バッファカセットの左右中央部の押圧解除位置と、バッファカセットの側方にある待機位置との間を移動可能であり、前記押圧手段に具備される押圧部材は、板状物を押圧する弾性部材を備えた上下に長い長尺形状であるとともに、前記押圧位置において、長手方向の略中央部を支点として上部又は下部がバッファカセット側に近付く方向に揺動可能であることを特徴とする無人搬送車。
【請求項２】
前記押圧手段は、押圧部材の揺動範囲を制限する揺動ストッパを、弾性変形可能な部材で構成するとともに、前記押圧部材の前記支点の上方と下方に設けたことを特徴とする請求項１に記載の無人搬送車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、バッファカセットに収容したウエハ等の板状物を目的位置まで搬送する無人搬送車における、ウエハ飛び出し防止用の押圧手段の構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイス製造用に用いられるシリコン単結晶等からなるウエハ等を搬送する場合、複数枚のウエハが一定間隔を設けた積層状態で収容されたバッファカセットを、無人搬送車（Automated Guided Vehicle）により所定の目的地まで搬送するように構成した搬送システムが検討されている。
該バッファカセットは無人搬送車に装備されており、ウエハを出し入れ可能な開口部を有している。また、該無人搬送車には、バッファカセットの開口部近傍に、バッファカセットに収容したウエハが搬送途中に振動等で飛び出すことを防止するための、押圧手段が設けられている。
【０００３】
例えば、図８に示すバッファカセット１０１は、下部に１２インチサイズのウエハＷｂを複数収容可能な下部カセット１１１が設けられ、上部に８インチサイズのウエハＷｓを複数収容可能な上部カセット１１２が設けられている。
該バッファカセット１０１は、その一側面が開口して開口部１０１ａが形成されており、該開口部１０１ａの外側近傍には押圧手段１０２が配設されている。押圧手段１０２は、バッファカセット１０１の載置面１５０から上方へ延出している基部１０２ａと、該基部１０２ａに固設され、該基部１０２ａから上方へ延設される押圧部１０２ｂとで構成されている。
押圧部１０２ｂは、図９に示すように、ウエハＷｂ・Ｗｓを押圧するための弾性部材１２２を支持部材１２１により支持して構成されており、上下方向におけるウエハＷｂ・Ｗｓの収容範囲よりも若干広い範囲をカバーできる長さを有している。
そして、該押圧部１０２ｂをバッファカセット１０１側へ押圧して、弾性部材１２２を開口部１０１ａから突出しているウエハＷｂ・Ｗｓに圧接させることで、該ウエハＷｂ・Ｗｓが上下部カセット１１１・１１２内で動いたり、外部へ飛び出したりすることを防止している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
前述のバッファカセット１０１においては、押圧手段１０２はシリンダ１３１により押圧されているが、該シリンダ１３１の押圧力は、上下部カセット１１１・１１２にウエハＷｂ・Ｗｓがフルに収容された状態で、該ウエハＷｂ・Ｗｓが動かないような強さで押圧手段１０２を押圧するように設定されているため、上下部カセット１１１・１１２に収容されるウエハＷｂ・Ｗｓの枚数が少ないときには、各ウエハＷｂ・Ｗｓにかかる押圧手段１０２からの押圧力が大きすぎて、該ウエハＷｂ・Ｗｓが破損する恐れがあった。
また、追加の課題として、バッファカセット１０１への上下部カセット１１１・１１２の取付位置誤差等により、上部カセット１１２に収容されるウエハＷｓと下部カセット１１１に収容されるウエハＷｂとの、開口部１０１ａからの突出寸法が異なる場合があり、例えば、図８に示すようにウエハＷｓの突出寸法がウエハＷｂの突出寸法が小さかった場合には、該ウエハＷｓと押圧部１０２ｂとの間に間隙ｄができて、ウエハＷｓを押さえることができなくなってしまうという問題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、以上のような課題を解決すべく、次のような手段を用いるものである。即ち、請求項１の発明においては、移載機と、収容する板状物のサイズが異なる複数のカセットを上下方向に装着して、板状物を上下方向に複数枚収容可能としたバッファカセットと、該バッファカセットに収容される板状物を押圧する押圧手段とを備える無人搬送車であって、該押圧手段は、板状物に対する押圧力を制限するストッパを設けるとともに、板状物を押圧する押圧位置と、バッファカセットの左右中央部の押圧解除位置と、バッファカセットの側方にある待機位置との間を移動可能であり、前記押圧手段に具備される押圧部材は、板状物を押圧する弾性部材を備えた上下に長い長尺形状であるとともに、前記押圧位置において、長手方向の略中央部を支点として上部又は下部がバッファカセット側に近付く方向に揺動可能とした。
【０００６】
また、請求項２の発明においては、前記押圧手段は、押圧部材の揺動範囲を制限する揺動ストッパを、弾性変形可能な部材で構成するとともに、前記押圧部材の前記支点の上方と下方に設けた。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を、添付の図面より説明する。図１は本発明にかかる無人搬送車を示す側面図、図２は無人搬送車に装備されるバッファカセットを示す側面図、図３は同じくバッファカセットを示す平面図、図４は押圧手段を示す図２におけるＡ−Ａ断面図、図５は押圧手段の揺動可能な状態を示す側面図、図６は押圧手段を示す図２におけるＢ−Ｂ断面図、図７は揺動ストッパが無かった場合の押圧部材の姿勢を示す側面図、図８は従来のバッファカセットを示す側面図、図９は従来の押圧手段を示す平面図である。
【０００９】
まず、本発明の無人搬送車の構成について簡単に説明する。
図１に示す無人搬送車１は、車輪９・９・・・により走行可能とされる本体２の上部に、シリコン単結晶等からなるウエハＷｂ・Ｗｓを複数枚収容可能なバッファカセット５、該ウエハＷｂ・Ｗｓの押圧手段６、ウエハＷｂ・Ｗｓを移載する移載装置３、及びウエハＷｂ・Ｗｓの方向や位置等の姿勢を揃える姿勢合わせ装置４を配設して構成されている。
そして、該無人搬送車１は、バッファカセット５内に収容したウエハＷｂ・Ｗｓを所定の目的地まで搬送し、枚葉式移載装置に構成される移載装置３により、該ウエハＷｂ・Ｗｓを、目的地に配設される処理装置やストッカへ一枚ずつ移載可能としている。
【００１０】
次に、無人搬送車１に備えられるバッファカセット５及び押圧手段６の構成について説明する。図２乃至図４に示すように、バッファカセット５の下部には下部カセット１１が装着され、上部には上部カセット１２が装着されている。下部カセット１１と上部カセット１２とは、それぞれ異なるサイズのウエハを収容可能としており、例えば、下部カセット１１には１２インチサイズのウエハＷｂが収容可能で、上部カセット１２には８インチサイズのウエハＷｓが収容可能となっている。また、下部カセット１１及び上部カセット１２は、複数枚のウエハＷｂ・Ｗｓを所定の間隔を設けた積層状態で複数枚収容可能としている。
【００１１】
バッファカセット５は、その一側面が開口して開口部５ａが形成されており、該開口部５ａの外側（図２における左側）近傍には、押圧手段６が配設されている。
押圧手段６は、バッファカセット５の載置面２ａから上方へ延出する支柱２１と、該支柱２１に支持される押圧部材２２とで構成されている。
【００１２】
押圧部材２２は上下に長い長尺形状に形成され、その上下略中央部を、支柱２１に固設される支持部材２３により揺動自在に支持されている。
また、押圧部材２２は、エラストマー等にて構成されウエハＷｂ・Ｗｓを押圧するための弾性部材２２ｂと、該弾性部材２２ｂを保持する保持部材２２ａとで構成されている。
弾性部材２２ｂは、上下方向におけるウエハＷｂ・Ｗｓの収容範囲よりも広い範囲をカバーできるだけの長さを有しており、下部カセット１１及び上部カセット１２に満載されたウエハＷｂ・Ｗｓの全てを押圧することができる。
【００１３】
押圧部材２２によるウエハＷｂ・Ｗｓの押圧状態及び押圧状態の解除の切り換えは、支柱２１の下端部に設けられるシリンダ３１の伸縮動作により行われ、例えば、該シリンダ３１を縮小して押圧部材２２をバッファカセット５側へ移動させると押圧状態となり、シリンダ３１を伸張して押圧部材２２を反バッファカセット５側へ移動させると押圧状態が解除される。
押圧部材２２によりウエハＷｂ・Ｗｓを押圧する場合は、弾性部材２２ｂがウエハＷｂ・Ｗｓの端面に当接した状態から、さらに所定の寸法だけ押圧部材２２をウエハＷｂ・Ｗｓ側へ移動させて、該ウエハＷｂ・Ｗｓを弾性部材２２ｂに食い込ませ、該弾性部材２２ｂの弾性力によりウエハＷｂ・Ｗｓを押圧するようにしている。
【００１４】
しかし、押圧部材２２のバッファカセット５側への移動量が大きすぎると、ウエハＷｂ・Ｗｓへかかる力が大きくなりすぎて、特に、収容される枚数が少なかった場合にはウエハＷｂ・Ｗｓが割れる等、破損する恐れがある。
そこで、シリンダ３１にシリンダストッパ３２を設けて、該シリンダ３１の伸縮量を規制している。本例の場合は、シリンダストッパ３２によりシリンダ３１の縮小量を一定寸法に規制して、押圧部材２２のウエハＷｂ・Ｗｓへの食い込み量が所定寸法以上にならないようにしている。
これにより、ウエハＷｂ・Ｗｓに過大な力がかかることがなくなり、該ウエハＷｂ・Ｗｓが破損することを防止できる。
【００１５】
このように構成される押圧手段６は、ガイド板８に形成されるＬ字形状のガイド孔８ａに沿って移動可能であり、バッファカセット５に収容されるウエハＷｂ・Ｗｓを移載装置３により移載する場合等、ウエハＷｂ・Ｗｓを押圧しない場合には、バッファカセット５の一側方の待機位置Ｔに位置しており、ウエハＷｂ・Ｗｓを搬送するために無人搬送車１が移動する場合等には、押圧位置Ｐへ移動してウエハＷｂ・Ｗｓを押圧するように構成されている。
【００１６】
待機位置Ｔは、バッファカセット５の前後方向（図２、図３における左右方向）位置においては、押圧位置Ｐよりもバッファカセット５から離れて位置している。
そして、待機位置Ｔにある押圧手段６は、一旦バッファカセット５の一側方にある待機位置Ｔから、左右（図３における上下）中央部の押圧解除位置Ｋまで移動した後、バッファカセット５側の押圧位置Ｐまで移動してウエハＷｂ・Ｗｓを押圧する、といったように、ガイド孔８ａにそってＬ字形に移動する。
【００１７】
そして、押圧手段６が左右中央部の押圧解除位置Ｋにある押圧解除状態と、押圧位置Ｐにある押圧状態との切り換えは、支柱２１の下端部に設けられるシリンダ３１の伸縮動作により行われ、該シリンダ３１を縮小して押圧部材２２をバッファカセット５側へ移動させると押圧状態となり、シリンダ３１を伸張して押圧部材２２を反バッファカセット５側へ移動させると押圧状態が解除される。
押圧部材２２によりウエハＷｂ・Ｗｓを押圧する場合は、弾性部材２２ｂがウエハＷｂ・Ｗｓの端面に当接した状態から、さらに所定の寸法だけ押圧部材２２をウエハＷｂ・Ｗｓ側へ移動させて、該ウエハＷｂ・Ｗｓを弾性部材２２ｂに食い込ませ、該弾性部材２２ｂの弾性力によりウエハＷｂ・Ｗｓを押圧するようにしている。
【００１８】
このように、まず左右中央部まで移動してからウエハＷｂ・Ｗｓを押圧するように構成することで、押圧手段６を押圧位置Ｐからそのまま左右方向へ移動させるように構成した場合のように、弾性部材２２ｂとウエハＷｂ・Ｗｓとが摺接して、該弾性部材２２ｂが切れる等の破損を防止することができる。
【００１９】
また、図５、図６に示すように、押圧部材２２は、支持部材２３により支持された部分を中心として揺動自在であるが、その揺動範囲は、支持部材２３の上方及び下方における支柱２１に固設される揺動ストッパ２５・２５により制限されている。
支柱２１と押圧部材２２との間に介装される揺動ストッパ２５・２５は、前記弾性部材２２ｂと同様にエラストマ−等で構成されており、押圧部材２２に当接して、該押圧部材２２が自由に揺動することを規制している。
【００２０】
これにより、押圧部材２２に外部からの力がかかっていないときには、該押圧部材２２は略垂直な姿勢に保持されることとなる。
そして、押圧部材２２における、支持部材２３より上方又は下方の位置の揺動方向に、揺動ストッパ２５の弾性力よりも大きな力がかかった場合に、押圧部材２２が揺動するように構成されている。
【００２１】
ここで、例えば、揺動ストッパ２５・２５が設けられていない場合を考えると、図７に示すように、押圧部材２２は、前後方向における反バッファカセット５側寄りを支持部材２３により支持されているので、自由に揺動することができるとなると、上部がバッファカセット５に近づく方向へ自重で傾いてしまう。
【００２２】
このように、押圧部材２２が傾いてしまうと、バッファカセット５が下部カセット１１の下部に数枚のウエハＷｂが収容されているだけの状態にあった場合には、シリンダ３１が縮小して押圧部材２２がバッファカセット５側へ移動したとしても、該シリンダ３１の縮小量がシリンダストッパ３２により規制されているため、ウエハＷｂと押圧部材２２の下部との間に隙間が生じて、該ウエハＷｂを押圧することができなくなってしまう。
この場合、例えば、支持部材２３と、該支持部材２３に回動可能に支持される押圧部材２２との間の隙間を小さくして、両者間の摩擦力を大きくし、押圧部材２２が自重で傾かないように構成することが考えられる。
しかし、このような構成では、押圧部材２２がウエハＷｂ・Ｗｓに当接した際に、ウエハＷｂ・Ｗｓに強い力を加えることなく押圧部材２２を傾かせることができるように、支持部材２３と押圧部材２２との間の摩擦力を調整するのに時間がかかってしまう恐れがある。
従って、前述のように、揺動ストッパ２５・２５により、押圧部材２２が自重で傾くことなく垂直な姿勢を保持するようにして、数枚のウエハＷｂしか収容されていない状態でも、該ウエハＷｂを容易に、確実に押圧することができるようにしている。
【００２３】
一方、図８に示した場合のように、下部カセット１１内に収容されるウエハＷｂのバッファカセット５からの突出量が、上部カセット１２内に収容されるウエハＷｓのバッファカセット５からの突出量よりも大きかった場合には、押圧部材２２がバッファカセット５側へ移動して下部のウエハＷｂに当接した後に、さらにバッファカセット５側へ移動すると、下方の揺動ストッパ２５が弾性変形して、押圧部材２２は上部がバッファカセット５側近づく方向へ揺動して、該押圧部材２２により上部のウエハＷｓもが押圧される。
【００２４】
このように、押圧部材２２を揺動可能に構成しつつ、揺動ストッパ２５により、その揺動動作を規制することで、バッファカセット５に収容されるウエハＷｂ・Ｗｓのバッファカセット５からの突出量が異なっていた場合や、収容されるウエハＷｂ・Ｗｓが少量であった場合等においても、全てのウエハＷｂ・Ｗｓを確実に押圧することが可能となる。
【００２５】
尚、弾性部材２２ｂ内部には空洞２２ｃを形成して、ウエハＷｂ・Ｗｓが同じ力で圧接した際の弾性部材２２ｂの凹み度合いが、空洞２２ｃが形成されない場合よりも大きくなるようにしている。
これにより、ウエハＷｂ・Ｗｓをより深く弾性部材２２ｂに食い込ませることが可能となって、ウエハＷｂ・Ｗｓを押圧できる前後方向の範囲を大きくすることができ、ウエハＷｂ・Ｗｓのバッファカセット５からの突出量の違いが大きくても、確実に押圧することができるようになっている。
【００２６】
【発明の効果】
本発明は以上の如く構成したので、次のような効果を奏するのである。即ち、請求項１記載の如く、移載機と、収容する板状物のサイズが異なる複数のカセットを上下方向に装着して、板状物を上下方向に複数枚収容可能としたバッファカセットと、該バッファカセットに収容される板状物を押圧する押圧手段とを備える無人搬送車であって、該押圧手段は、板状物に対する押圧力を制限するストッパを設けるとともに、板状物を押圧する押圧位置と、バッファカセットの左右中央部の押圧解除位置と、バッファカセットの側方にある待機位置との間を移動可能であり、前記押圧手段に具備される押圧部材は、板状物を押圧する弾性部材を備えた上下に長い長尺形状であるとともに、前記押圧位置において、長手方向の略中央部を支点として上部又は下部がバッファカセット側に近付く方向に揺動可能であることとしたので、
該ストッパにより、板状物へかかる押圧手段からの押圧力を制限することができ、該板状物が破損することを防止できる。
また、バッファカセットに装着される複数のカセットの取付位置に誤差等があることにより、バッファカセットに収容される板状物の、該バッファカセットからの突出量が上部と下部とで異なっていた場合や、収容される板状物が少量であった場合でも、押圧部材は、押圧位置において、上部又は下部がバッファカセット側に近付く方向に揺動するため、全ての板状部材を確実に押圧することが可能となる。
また、押圧手段は、板状物を押圧する押圧位置と、バッファカセットの左右中央部の押圧解除位置と、バッファカセットの側方にある待機位置との間を移動可能であるため、まず待機位置から押圧解除位置まで移動してから、押圧位置で板状物を押圧することができ、押圧手段を押圧位置からそのまま左右方向に移動させるように構成した場合のように、押圧手段に具備される弾性部材と板状物とが摺接して、該弾性部材が切れる等の破損を防止することができる。
【００２７】
さらに、請求項２記載の如く、前記押圧手段は、押圧部材の揺動範囲を制限する揺動ストッパを、弾性変形可能な部材で構成するとともに、前記押圧部材の前記支点の上方と下方に設けたので、
押圧部材を揺動可能に構成しつつ、揺動ストッパにより、その揺動動作を規制することで、バッファカセットに収容される板状物のバッファカセットからの突出量が異なっていた場合や、収容される板状物が少量であった場合等においても、全ての板状物を確実に押圧することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明にかかる無人搬送車を示す側面図である。
【図２】  無人搬送車に装備されるバッファカセットを示す側面図である。
【図３】  同じくバッファカセットを示す平面図である。
【図４】  押圧手段を示す図２におけるＡ−Ａ断面図である。
【図５】  押圧手段の揺動可能な状態を示す側面図である。
【図６】  押圧手段を示す図２におけるＢ−Ｂ断面図である。
【図７】  揺動ストッパが無かった場合の押圧部材の姿勢を示す側面図である。
【図８】  従来のバッファカセットを示す側面図である。
【図９】  従来の押圧手段を示す平面図である。
【符号の説明】
１  無人搬送車
５  バッファカセット
６  押圧手段
１１  下部カセット
１２  上部カセット
２２  押圧部材
２５  揺動ストッパ
３１  シリンダ
３２  ストッパ
Ｗｂ・Ｗｓ  ウエハ
【図１】
0004102063.tif 000002
【図２】
0004102063.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
0004102063.tif 000006
【図６】
0004102063.tif 000007
【図７】
0004102063.tif 000008
【図８】
0004102063.tif 000009
【図９】
0004102063.tif 000010