【事件の表示】
　特許第６３７３９３３号発明「窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第６３７３９３３号の請求項１〜６に係る特許を維持する。
【理　由】
　第１　手続の経緯
　本件特許第６３７３９３３号（以下、「本件特許」という。）の請求項１〜９に係る特許についての出願は、平成２８年１１月２日に出願され、平成３０年７月２７日に特許権の設定登録がされ、同年８月１５日に特許掲載公報が発行され、その後、それらの特許のうちの請求項１〜６に係る特許に対し、平成３１年２月１５日付けで特許異議申立人　廣瀬妙子（以下「異議申立人」という。）により、特許異議の申立てがされたものである。
第２　本件特許発明
　本件特許の請求項１〜６に係る発明（以下、それぞれ「本件特許発明１」〜「本件特許発明６」ということがあり、また、これらを、まとめて、「本件特許発明」ということがある。）は、その特許請求の範囲の請求項１〜６に記載された事項により特定される以下のとおりのものであると認める。
「【請求項１】
　窒化アルミニウムと平均粒子径が２μｍ以下の焼結助剤相とからなり、前記焼結助剤相の粒子が、鏡面研磨面において４００μｍ２あたり１０個以上析出し、前記焼結助剤相がＹＡＧ及び／又はＹＡＬのみからなり、その含有量がＹ２Ｏ３換算で２．５〜５重量％であり、熱伝導率が１６０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、且つ、曲げ強度が５００ＭＰａ以上である窒化アルミニウム焼結体。
【請求項２】
　窒化アルミニウムと平均粒子径が２μｍ以下の焼結助剤相とからなり、前記焼結助剤相の粒子が、鏡面研磨面において４００μｍ２あたり１０個以上析出し、前記鏡面研磨面において、ボイドの個数が、１００００μｍ２あたり３個以下であり、前記焼結助剤相がＹＡＧ及び／又はＹＡＬのみからなり、その含有量がＹ２Ｏ３換算で２．５〜６重量％である窒化アルミニウム焼結体。
【請求項３】
　熱伝導率が１６０Ｗ／ｍ・Ｋ以上である請求項２に記載の窒化アルミニウム焼結体。
【請求項４】
　曲げ強度が４５０ＭＰａ以上である請求項２又は３に記載の窒化アルミニウム焼結体。
【請求項５】
　窒化アルミニウムと平均粒子径が２μｍ以下の焼結助剤相とからなり、前記焼結助剤相の粒子が、鏡面研磨面において４００μｍ２あたり１０個以上析出し、前記鏡面研磨面において、ボイドの個数が、１００００μｍ２あたり３個以下であり、曲げ強度が４５０ＭＰａ以上であり、熱伝導率が１６０Ｗ／ｍ・Ｋ以上である窒化アルミニウム焼結体。
【請求項６】
　少なくとも一方の表面が鏡面研磨されていることを特徴とする請求項１乃至５に記載の窒化アルミニウム焼結体。」
　第３　申立理由の概要
　申立人は、以下の甲第１号証〜甲第３号証を提出して、本件特許発明１〜６は、甲第２号証および甲第３号証の記載事項を参照すれば、甲第１号証の実施例１に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件特許発明１〜６の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである旨主張している。
［異議申立人が提出した証拠方法］
甲第１号証：特開２０００−３２７４３０号公報
甲第２号証：特開平１０−２５１６０号公報
甲第３号証：特開２００３−８１６７６号公報
　なお、甲第１号証〜甲第３号証を、以下では、それぞれ、「甲１」〜「甲３」ということがある。
　第４　甲各号証の記載事項（当審注：「…」は記載の省略を表す。以下、同じ。）、及び、甲１発明
１．　甲１の記載事項、及び、甲１発明
１ア．　「【請求項１】窒化アルミニウムと焼結助剤とからなる焼結体において、粒界相結晶粒子が均一に分布し、かつ、焼結体の任意の切断面における粒界相結晶粒子の累積値７５％粒子径と窒化アルミニウム結晶粒子の累積値５０％粒子径との比が０．５〜１．５であることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。」
１イ．　「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高い機械的強度と高い熱伝導率とを併せ有する窒化アルミニウム焼結体に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体の高集積化に伴ない、従来のアルミナに代わる放熱特性の優れた半導体実装用基板用材料が求められている。その中でも窒化アルミニウム焼結体は、優れた電気絶縁性と、アルミナと比較して十数倍も高い熱伝導率を有する材料であることから、半導体実装用基板をはじめ、各種放熱部品材料及び絶縁用基板として利用範囲が広がっている。」
１ウ．　「【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の窒化アルミニウム焼結体は、窒化アルミニウムと焼結助剤とからなる焼結体であり、かつ以下の性質を有していることが必要である。
【００１４】本発明の窒化アルミニウム焼結体は、粒界相結晶粒子を有していることが必要である。
【００１５】上記粒界相は、窒化アルミニウム結晶粒子の粒界に存在する相である。
【００１６】また、粒界相結晶粒子は、上記粒界相を構成する、焼結助剤単独、焼結助剤同士の反応生成物、または焼結助剤と窒化アルミニウム中の不純物酸素との反応生成物等よりなる結晶粒子である。例えば、焼結助剤が酸化イットリウムの場合、一般的に窒化アルミニウム原料粉末中に含まれる不純物酸素と反応して３Ｙ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３（ＹＡＧ）、Ｙ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３（ＹＡＬ）、２Ｙ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３（ＹＡＭ）等からなる粒界相結晶粒子を形成する。」
１エ．　「【００２７】また、本発明の窒化アルミニウム焼結体は、粒界相結晶粒子が均一に分布していることが必要であり、とくに重心間距離法における分散度が、０．４０〜０．６０の範囲である均一分布が好適である。」
１オ．　「【００６１】なお、以下の実施例及び比較例における各種の物性の測定は次の方法により行なった。
…
２）窒化アルミニウム結晶粒子径及び粒界相結晶粒子径
焼結体微構造の写真から、画像解析システム（ＩＰ−１０００ＰＣ、旭化成工業製）を使用して以下の方法により各粒子径を求めた。
【００６２】まず、評価する焼結体の任意の断面を鏡面に研磨し、窒化アルミニウム結晶粒子の粒成長が起こらない温度である、１６００〜１６５０℃で数分間熱処理した。この処理により、結晶粒界でのエッチング速度が他の部分に比べて大きいため結晶粒界部分のみがエッチングされて、窒化アルミニウム結晶粒子及び粒界相結晶粒子の一つ一つが識別できる表面を得ることができる。
【００６３】次いで、その表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて観察し、なるべく平均的な組織であって、観察粒子２００〜３００個が一つの視野に入るような倍率で微構造の写真を得て、観察粒子数が１０００〜２０００個になるように複数枚の写真を用意した。微構造の写真では、図１および図２に示すように、窒化アルミニウム結晶粒子がグレー〜黒色、粒界相結晶粒子が白色で表されるので、これらの粒子の識別は容易に行なうことができる。
【００６４】最後にこれらの微構造の写真を画像を、コンピューターによる画像解析システムを使って窒化アルミニウム結晶粒子の１０００〜２０００の個々の粒子の面積と円相当径を求めた。前記微構造の写真における粒界相結晶粒子についても、窒化アルミニウム結晶粒子と同様に、面積と円相当径を求めた。なお、窒化アルミニウム結晶粒子や粒界相結晶粒子はほぼ等軸状であり、粒子径は円相当径であらわすことができる。また、解析の際、解析画像端部で粒子が切れている結晶粒子については評価の対象から外した。さらに、２つ以上の粒界相結晶粒子が接触している場合、２つの結晶粒子の境界の長さがそれら粒子の平均粒子径より大きい場合にはそれらの結晶粒子を合わせた粒子を１粒子として扱った。
３）粒界相結晶粒子の分散度の測定
上記結晶粒子径の測定に使った微構造の写真を使い、上記画像解析システムを使って、重心間距離法（近接する粒子の重心間距離より分散度を求める方法）により粒界相粒子の焼結体中の分散度を求めた。分散度は粒子間距離の平均偏差と平均粒子間距離の比で表され、値が小さいほうが分散が良好である。
４）曲げ強度の測定
ＪＩＳ  Ｒ１６０１に従い、クロスヘッド速度０．５ｍｍ／分、スパン３０ｍｍで３点曲げ試験を行なった。試験片の幅は４ｍｍで、焼結体を６ｍｍ幅に切り出し、両端を１ｍｍ研削加工して所定の幅にした。また、厚みはシート加工した試料は焼結体そのものの厚みとし、試験片の上下面は研削及び研磨加工しない焼結体の表面とした。」
１カ．　「【００６５】実施例１
内容積が２．４Ｌのナイロン製ポットに、直径１０ｍｍのアルミナ製ボール（表面硬度１１００ｋｇｆ／ｍｍ２、密度３．６ｇ／ｃｍ３）を入れ、次いで、平均粒径が１．５μｍ、比表面積２．６ｍ２／ｇ、酸素濃度０．８ｗｔ％の窒化アルミニウム粉末１００重量部、焼結助剤として比表面積１２．５ｍ２／ｇの酸化イットリウム粉末を５重量部、表面活性剤として、ソルビタントリオレート２重量部及び溶媒としてトルエン、エタノール、ブタノールを合わせて３５重量部（それぞれの体積比が７５：２０：５）を加えて湿式混合した。この時、前記アルミナ製ボールはポットの内容積の４０％（見かけの体積）充填した。混合はポットの回転数７０ｒｐｍで２４時間行なった。さらに、得られたスラリーに、有機バインダーとしてポリビニルブチラールを１１重量部、可塑剤としてジ−ｎ−ブチルフタレート３．５重量部及び溶媒としてトルエン、エタノール、ブタノールを合わせて４５重量部（それぞれの体積比が７５：２０：５）を加えて、さらに２回目の湿式混合を１８時間行ない、得られたスラリーを１００００〜２５０００ｃｐｓの粘度になるまで脱溶媒し、ドクターブレード法によりシート状の０．７５ｍｍの厚みのグリーン体を作製した。さらに、シート状グリーン体を、打ち抜きプレス加工機により、長辺６３ｍｍ、短辺４４ｍｍのグリーン体に加工した。
【００６６】得られたグリーン体を乾燥空気中で６００℃の温度で２４０分間脱脂処理し、酸素濃度が２．２ｗｔ％の脱脂体を得た。
【００６７】さらに、上記脱脂体を窒化ホウ素製の焼成容器に入れ、窒素ガス雰囲気中で１７４０℃の温度で４時間焼成し、密度３．２８ｇ／ｃｍ３以上の緻密で透光性の焼結体を得た。焼結体の作製条件を表１に、焼結体の微構造と特性を表２に示した。」
１キ．　「【００７６】
…
【表２】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
１ク．　「【００３１】本発明の窒化アルミニウム焼結体の一態様例を図１に…に示す。なお、黒色部分が窒化アルミニウム結晶粒子、白色部分が粒界相結晶粒子を示す。」
１ケ　「【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の窒化アルミニウム焼結体の微構造ＳＥＭ写真（倍率２０００倍）である。」
１コ．　「【図１】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
１サ．　上記１ア．によれば、甲１には、窒化アルミニウムと焼結助剤とからなる焼結体において、粒界相結晶粒子が均一に分布し、かつ、焼結体の任意の切断面における粒界相結晶粒子の累積値７５％粒子径と窒化アルミニウム結晶粒子の累積値５０％粒子径との比が０．５〜１．５である窒化アルミニウム焼結体に係る発明が記載されていると認められる。
１シ．　上記１イ．によれば、窒化アルミニウム焼結体は、優れた電気絶縁性と、アルミナと比較して十数倍も高い熱伝導率を有する材料であることから、半導体実装用基板をはじめ、各種放熱部品材料及び絶縁用基板として利用範囲が広がっているところ、１サ．に示した窒化アルミニウム焼結体は、高い機械的強度と高い熱伝導率とを併せ有するものとされている。
１ス．　上記１ウ．〜１エ．によれば、窒化アルミニウム焼結体は、窒化アルミニウムと焼結助剤とからなる焼結体であり、粒界相結晶粒子を有していることが必要とされ、また、粒界相結晶粒子が均一に分布していることが必要であり、とくに重心間距離法における分散度が、０．４０〜０．６０の範囲である均一分布が好適とされている。
１セ．　上記１カ．によれば、実施例１では、平均粒径が１．５μｍ、比表面積２．６ｍ２／ｇ、酸素濃度０．８ｗｔ％の窒化アルミニウム粉末１００重量部、焼結助剤として比表面積１２．５ｍ２／ｇの酸化イットリウム粉末を５重量部、表面活性剤２重量部及び溶媒３５重量部を加えて湿式混合を２４時間行なって得られたスラリーに、有機バインダー１１重量部、可塑剤３．５重量部及び溶媒４５重量部を加えて、さらに２回目の湿式混合を１８時間行ない、得られたスラリーを１００００〜２５０００ｃｐｓの粘度になるまで脱溶媒し、ドクターブレード法によりシート状の０．７５ｍｍの厚みのグリーン体を作製し、さらに、シート状グリーン体を、打ち抜きプレス加工機により、長辺６３ｍｍ、短辺４４ｍｍのグリーン体に加工し、得られたグリーン体を乾燥空気中で６００℃の温度で２４０分間脱脂処理し、酸素濃度が２．２ｗｔ％の脱脂体を得、さらに、上記脱脂体を窒化ホウ素製の焼成容器に入れ、窒素ガス雰囲気中で１７４０℃の温度で４時間焼成し、密度３．２８ｇ／ｃｍ３以上の緻密で透光性の窒化アルミニウム焼結体を得たとされている。
１ソ．　そして、上記１キ．によれば、実施例１の窒化アルミニウム焼結体は、上記１サ．に示した、焼結体の任意の切断面における粒界相結晶粒子の累積値７５％粒子径（以下、「Ｄ５０粒界相」という。)と窒化アルミニウム結晶粒子の累積値５０％粒子径（以下、「Ｄ５０ＡｌＮ」という。)との比が１．１であり、また、Ｄ５０ＡｌＮには２．３μｍであり、当該Ｄ５０ＡｌＮに対する、粒界結晶粒子の累積５０％の粒子径（以下、「Ｄ５０粒界相」という。)の比率が０．９であり、分散度が０．５７であり、曲げ強度が５６．７ｋｇｆ／ｍｍ２であり、熱伝導率が１８０Ｗ／ｍＫであったとされている。
１タ．　上記１サ．〜１ソ．の検討を踏まえ、実施例１の窒化アルミニウム焼結体に注目すると、甲１には、次のような発明（以下、「甲１発明」という。）が記載されていると認められる。
「窒化アルミニウムと焼結助剤とからなる窒化アルミニウム焼結体であって、粒界相結晶粒子が均一に分布し、かつ、焼結体の任意の切断面におけるＤ７５粒界相／Ｄ５０ＡｌＮが１．１であり、平均粒径が１．５μｍ、比表面積２．６ｍ２／ｇ、酸素濃度０．８ｗｔ％の窒化アルミニウム粉末１００重量部と焼結助剤として比表面積１２．５ｍ２／ｇの酸化イットリウム粉末を５重量部とを用いて、湿式混合し脱溶媒してから作製したシート状グリーン体を脱脂処理し、窒素ガス雰囲気中で１７４０℃の温度で４時間焼成して得たものであり、Ｄ５０ＡｌＮが２．３μｍであり、Ｄ５０粒界相／Ｄ５０ＡｌＮが０．９であり、分散度が０．５７であり、曲げ強度が５６．７ｋｇｆ／ｍｍ２であり、熱伝導率が１８０Ｗ／ｍＫである、窒化アルミニウム焼結体。」
２．　甲２の記載事項
２ア．　「【請求項１】  窒化アルミニウムよりなる主相と２Ｙ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３或いはＹ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３或いは３Ｙ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３のいずれかの単一成分よりなる副相とから構成され、熱伝導率が２００Ｗ／ｍ・Ｋ以上で、且つ曲げ強度が４０ｋｇ／ｍｍ２以上である窒化アルミニウム焼結体。
【請求項２】  該主相を構成する窒化アルミニウム結晶粒子の平均粒径が２〜１０μｍである請求項１記載の窒化アルミニウム焼結体。
【請求項３】  Ｙ２Ｏ３の含有量が１．０〜４．６重量％である請求項１記載の窒化アルミニウム焼結体。」
２イ．　「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、新規な、窒化アルミニウム焼結体に関する。詳しくは、ハロゲンを含有しない焼結助剤を使用して得ることができる、高熱伝導性と高い機械強度とを併せ持つ窒化アルミニウム焼結体である。」
２ウ．　「【００２８】Ｙ２Ｏ３の添加量は、焼成により実質的にＹ２Ｏ３が焼結体外へ揮散することがなく、窒化アルミニウム焼結体中のＹ２Ｏ３の含有量と同じ１．０〜４．６重量％であることが好ましく、１．０〜４．２重量％であることが更に好ましい。
【００２９】本発明の効果である高熱伝導性と高い機械強度を有する窒化アルミニウム焼結体を製造するにあたっては、副相がアルミン酸イットリウムの単一成分となるよう、Ｙ２Ｏ３の添加量を調整しなければならない。
…
【００３３】本発明におけるＹ２Ｏ３添加量は、該反応不純物酸素濃度をＡｌ２Ｏ３のモル数に換算した後、副相を構成せしめる２Ｙ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３又は３Ｙ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３のいずれかの目的とするアルミン酸イットリウムとの化学量論比より求めることができる。」
２エ．　「【００４４】…窒化アルミニウムグリーン体は、脱脂、焼成される。…脱脂後の窒化アルミニウムグリーン体は、非酸化性雰囲気中１７００〜１９００℃の任意の温度で１〜１５時間焼成されるが、焼結助剤として添加したＹ２Ｏ３と窒化アルミニウムの不純物酸素とを緻密化前に、十分に反応させ、窒化アルミニウム焼結体の副相を単一相とするためには、昇温途中の１３５０〜１６００℃で２０分〜５時間保持することが好ましい。
【００４５】上記製造方法の最も好ましい態様を具体的に示せば、酸素含有量０．８重量％以下の窒化アルミニウム粉末に対して、Ｙ２Ｏ３を１〜４．６重量％及び結合剤よりなる組成のグリーン体を、３００〜７００℃の空気或いは窒素雰囲気中で脱脂後、非酸化性雰囲気中で１３５０〜１６００℃の温度で２０分〜５時間保持し、次いで、１７００〜１９００℃の温度で１〜１５時間焼成する方法である。」
２オ．　「【００６２】実施例１
表１に示す窒化アルミニウム粉末Ａを使用して、窒化アルミニウム粉末１００重量部に対して、Ｙ２Ｏ３を２．０重量部、表面活性剤としてテトラグリセリンモノオレート１．０重量部、溶剤としてトルエン４０重量部を添加してボールミル混合を十分に行った後、この混合物に結合剤として、ポリｎ−ブチルメタクリレート１２重量部を加え、可塑剤としてジブチルフタレート４．２重量部、トルエン１０重量部、酢酸ブチル５重量部を加えて、更に、ボールミル混合を行い、白色の泥しょうを得た。
【００６３】
【表１】
【００６４】こうして得られた泥しょうを脱溶媒し、粘度を１００００〜２００００ｃｐｓに調整した後、ドクターブレード法によりシート成形を行い、室温で１時間、６５℃で３時間、１００℃で１時間乾燥して、幅３０ｃｍ、厚さ１．１〜１．２ｍｍのグリーンシートを作製した。
【００６５】その後、グリーンシートを６５ｍｍ角の金型で所定の形状に打ち抜いた後、空気中５６０℃で３時間脱脂し、脱脂体の酸素濃度を測定した。次いで、封止性の良い窒化アルミニウム製るつぼに入れ、窒素雰囲気中１７８０℃で６時間焼成し、焼結体を得た。焼結体中のＹ２Ｏ３の含有量は、Ｙ２Ｏ３の添加量と同じであることが確認された。焼結体の副相の同定は、Ｘ線回折法により行い、いずれも、単一相であり、その組成と焼結体の熱伝導率、曲げ強度を、平均粒径の測定結果を表２の実験Ｎｏ．１に示した。
【００６６】実施例２、３
実施例１において、Ｙ２Ｏ３の添加量を表２に示す量に変更したこと以外は実施例１と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。焼結体の副相の同定、熱伝導率、曲げ強度、平均粒径の測定結果を表２に示した。
【００６７】実施例４、５
実施例１において、窒化アルミニウム粉末として表１のＢ、Ｃを使用し、Ｙ２Ｏ３の添加量を変更したこと以外は実施例１と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。焼結体の副相の同定、熱伝導率、曲げ強度、平均粒径の測定結果を表２に示した。
【００６８】実施例６、７
実施例１において、焼成時間を表２に示すように変更したこと以外は実施例１と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。焼結体の副相の同定、熱伝導率、曲げ強度、平均粒径の測定結果を表２に示した。
【００６９】比較例１、２
実施例１において、Ｙ２Ｏ３の添加量を表２に示すように変更したこと以外は実施例１と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。焼結体の副相の同定、熱伝導率、曲げ強度，平均粒径の測定結果を表２に示した。
【００７０】
【表２】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
３．　甲３の記載事項
３ア．　「【請求項１】  焼結助剤成分として希土類酸化物を含む窒化アルミニウム焼結体を具備する窒化アルミニウム基板であって、
前記窒化アルミニウム基板は算術平均粗さＲaが0.5μm以下となるように加工された表面を有し、かつ前記加工表面に存在する前記焼結助剤成分の凝集体の大きさが20μm以下であると共に、前記加工表面の単位面積当りに占める前記凝集体の面積の総和が5％以下であることを特徴する窒化アルミニウム基板。
…
【請求項１５】  窒化アルミニウム結晶粒の平均粒径が3〜5μmの範囲で、かつ粒径分布の標準偏差が2μm以下である窒化アルミニウム焼結体を作製する工程と、
前記窒化アルミニウム焼結体の表面を、加工後の表面のスキューネスＲskが-1以上となるように、ダイヤモンド砥石で中仕上げ加工する工程と、
前記中仕上げ加工された前記窒化アルミニウム焼結体の表面を、算術平均粗さＲaが0.05μm以下となるように鏡面加工し、加工表面のスキューネスＲskを0以上1以下に仕上げ加工して、窒化アルミニウム基板を作製する工程と、
前記窒化アルミニウム基板の前記加工表面上に金属薄膜を形成する工程とを具備することを特徴とする薄膜基板の製造方法。」
３イ．　「【００２４】上述したＡｌＮ基板１においては、図２の拡大模式図に示すように、Ｒaが0.5μm以下となるように加工した後の表面１ａに存在する焼結助剤成分の凝集体４の大きさが20μm以下とされている。これによって、鏡面加工後や酸洗い後に大きな凹部（陥没部）が基板表面１ａに発生することを防止している。なお、図２において、符号５はＡｌＮ結晶粒を示している。
【００２５】すなわち、希土類酸化物などの焼結助剤は、例えばＡｌＮもしくはＡｌＮ粉末中の不純物アルミナ（不純物酸素）と反応して、希土類元素−Ａｌ−Ｏ（−Ｎ）系化合物などとして粒界相に存在する。そして、希土類酸化物を含む焼結助剤成分は、粒界相を構成する化合物の形態で、もしくはそれより希土類元素がリッチな化合物などとして、ＡｌＮ焼結体の表面に析出して凝集体４を形成する。このような焼結助剤成分の凝集体４の大きさが20μmを超えると、鏡面加工時や酸洗い工程時に凝集体４の脱落や溶解が起こりやすくなる。特に、上記した粒界相を構成する化合物は酸に溶けやすいため、鏡面加工後の酸洗い工程時に凝集体４が溶解することで大きな凹部（陥没部）が発生してしまう。焼結助剤成分の凝集体４が脱落や溶解することで、ＡｌＮ結晶粒５の脱粒なども生じやすくなる。
【００２６】そこで、本発明においては、ＡｌＮ基板１の加工表面１ａに存在する焼結助剤成分の凝集体４の大きさを20μm以下に制御している。ここで言う焼結助剤成分の凝集体４の大きさとは最大径を示すものである。このように、ＡｌＮ焼結体の表面における焼結助剤成分の凝集を抑え、ＡｌＮ基板１の加工表面１ａに存在する凝集体４の大きさを20μm以下に制御することによって、鏡面加工工程や酸洗い工程における凝集体４の脱落や溶解に起因する凹部（陥没部）の発生を抑制することができる。ＡｌＮ基板１の加工表面１ａに存在する焼結助剤成分の凝集体４の大きさは10μm以下であることがより好ましい。
【００２７】さらに、ＡｌＮ基板１は加工表面１ａの単位面積（例えば100×100μm）当りに占める焼結助剤成分の凝集体４の面積の総和を5％以下としている。凝集体４の個々の大きさを小さくすることに加えて、加工表面１ａの単位面積当りに占める凝集体４の総面積の比率を小さくすることによって、凝集体４の脱落や溶解に起因する凹部の発生量を低減することができる。ＡｌＮ基板１の加工表面１ａの単位面積当りに占める焼結助剤成分の凝集体４の総面積の比率は3％以下とすることがより好ましい。」
３ウ．　「【図２】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
３エ．　「【００６０】
【実施例】次に、本発明の具体的な実施例およびその評価結果について述べる。
…
【００７６】実施例１５〜１９、比較例１０〜１２
上述した実施例３と同様にして、複数のＡｌＮ焼結体を作製した。ただし、焼成温度は1730〜1840℃、焼成時間は3〜6時間の範囲で変化させた。得られた各ＡｌＮ焼結体の平均結晶粒径、結晶粒径分布の標準偏差、および熱伝導率は表６に示す通りである。これらは実施例１と同様して測定した。
【００７７】次に、上記した各ＡｌＮ焼結体に対して、表６に示す条件でそれぞれダイヤモンド砥石による中仕上げ加工（第１の加工工程）と鏡面加工（第２の加工工程）を施し、鏡面加工面の表面状態が異なる複数のＡｌＮ基板を作製した。このようにして得た各ＡｌＮ基板について、鏡面加工面に存在する焼結助剤成分の凝集体およびポアの数や面積比、さらに鏡面加工面のスキューネスＲsk、ポア（ＡｌＮ結晶粒および凝集体の脱粒痕）の最大径を測定した。これらの測定結果を表７に示す。
【００７８】なお、スキューネスＲskは表面粗さ測定器・フォームタリサーフS4C（テーラーボブソン社製）を用いて測定した。焼結助剤成分の凝集体およびポアの存在形態については、鏡面加工面の任意の3箇所をＳＥＭおよびＥＰＭＡにて観察し、これらの観察結果から大きさ10μm以上の凝集体およびポアの単位面積（100×100μm）当りの存在数、さらに大きさ10μm未満の凝集体およびポアの単位面積（100×100μm）当りの存在比率（面積比）を、それぞれ平均値として求めた。ポアの最大径については、鏡面加工面の任意の3箇所について測定し、そのうちの最大径の大きさで示した。
【００７９】
【表６】
【００８０】
【表７】
【００８１】表６および表７に示したように、実施例１５〜１９による各ＡｌＮ基板は、いずれも160W/m K以上の熱伝導率を有すると共に、鏡面加工面のスキューネスＲskが0以上1以下という値を示している。このような表面状態に基づいて、ＡｌＮ結晶粒の脱粒痕の最大値が小さいことが分かる。このことはＡｌＮ結晶粒の脱粒が抑制されていることを示す。」
第５　当審の判断 
　上記第３に示した、本件特許発明１〜６は、甲第２号証および甲第３号証の記載事項を参照すれば、甲第１号証の実施例１に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである旨の申立理由につき、以下に順次検討する。 
１．　本件特許発明と甲１発明との対比・検討 
（１）　本件特許発明１と甲１発明との対比・検討 
ア．　本件特許発明１と上記第４の１タ．に示した甲１発明とを対比する。
　甲１発明における「窒化アルミニウムと焼結助剤とからなる」ことは、本件特許発明１における「窒化アルミニウムと」「焼結助剤相とからな」ることに相当し、また、甲１発明における「曲げ強度が５６．７ｋｇｆ／ｍｍ２であ」ること、「熱伝導率が１８０Ｗ／ｍＫである」ことは、それぞれ、本件特許発明１における「曲げ強度が５００ＭＰａ以上である」こと、「熱伝導率が１６０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であ」ることに相当する。
　また、甲１発明における「窒化アルミニウムと焼結助剤とからなる窒化アルミニウム焼結体であって、」「窒化アルミニウム粉末１００重量部と焼結助剤として比表面積１２．５ｍ２／ｇの酸化イットリウム粉末を５重量部とを用いて」「窒素ガス雰囲気中で１７４０℃の温度で４時間焼成して得た」窒化アルミニウム焼結体は、当該焼結体における焼結助剤の含有割合が、５／（１００＋５）＝４．７６重量％と算出できるところ、その含有割合は、酸化イットリウムの含有量、すなわち、Ｙ２Ｏ３換算での含有量であるから、本件特許発明１における「焼結助剤相」「の含有量がＹ２Ｏ３換算で２．５〜５重量％であ」ることに相当する。
　してみると、両者は、以下の点で一致し、以下の点で相違していると認められる。
＜一致点＞
「窒化アルミニウムと焼結助剤相とからなり、前記焼結助剤相の含有量がＹ２Ｏ３換算で２．５〜５重量％であり、熱伝導率が１６０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、且つ、曲げ強度が５００ＭＰａ以上である窒化アルミニウム焼結体」の点。
＜相違点＞
相違点１−１：　焼結助剤相が、本件特許発明１では「平均粒子径が２μｍ以下の焼結助剤相」という発明特定事項を備えているのに対し、甲１発明では、前記の発明特定事項を備えているのか明らかではない点。
相違点１−２：　焼結助剤相について、本件特許発明１では「前記焼結助剤相の粒子が、鏡面研磨面において４００μｍ２あたり１０個以上析出し」ているという発明特定事項を備えているのに対し、甲１発明では、前記の発明特定事項を備えているのか明らかではない点。
相違点１−３：　焼結助剤相について、本件特許発明１では「前記焼結助剤相がＹＡＧ及び／又はＹＡＬのみからな」るという発明特定事項を備えているのに対し、甲１発明では、前記の発明特定事項を備えているのか明らかではない点。
イ．　そこで、まず、上記相違点１−１について検討するに、「焼結助剤相の平均粒子径」について、本件特許の明細書には、２０００倍のＳＥＭ写真をＩｍａｇｅＪを用いて画像解析して算出するとの手法によって求めたところ、実施例１〜６の窒化アルミニウム焼結体における「焼結助剤相粒子の平均粒子径」は１．１５〜１．４６μｍと小さかった旨記載されている（【００３６】、【００５４】〜【００５５】）のに対し、甲１全体の記載を参照しても、そのような手法によって「焼結助剤相の平均粒子径」を求めた旨の記載は見当たらない。
　甲１発明においては、一応、上記第４の１タ．に示したとおり、Ｄ５０ＡｌＮが２．３μｍであり、Ｄ５０粒界相／Ｄ５０ＡｌＮが０．９であるため、Ｄ５０粒界相＝０．９×２．３μｍ＝２．０７μｍと求まるところ、このＤ５０粒界相が「焼結助剤相の平均粒子径」を表しているとすると、焼結助剤相の平均粒子径は２．００μｍを越えているから、２μｍ以下とはいえない。
　また、上記第４の２ア．〜２オ．等の甲２の記載を参照してみても、窒化アルミニウムの結晶粒子の平均粒径を２〜１０μｍにすることが記載されている（【請求項２】、【００７０】）だけであり、焼結助剤相の平均粒子径についての記載は見当たらないし、上記第４の３ア．〜３エ．等の甲３の記載を参照してみても、窒化アルミニウム結晶粒の平均粒径を３〜５μｍの範囲にすることが記載されている（【請求項１５】、【００７９】）だけであり、焼結助剤相の平均粒子径についての記載は見当たらない。
　してみると、甲１発明に甲２〜甲３の記載事項を組み合わせたとしても、上記相違点１−１に係る本件特許発明１の発明特定事項を備えたものとはなり得ない。
ウ．　次に、上記相違点１−２について検討するに、「焼結助剤相の個数」について、本件特許の明細書には、１０００倍のＳＥＭ写真に対し、４００μｍ２の正方形の枠を２０ヵ所、範囲が重ならないように選び、それぞれの内側にある焼結助剤相の粒子の個数を数えて平均化するとの手法によって求めたところ、実施例１〜６の窒化アルミニウム焼結体における「焼結助剤相粒子の個数」は１２．８〜１６．１個であった旨記載されている（【００３６】、【００５４】〜【００５５】）のに対し、甲１全体の記載を参照しても、そのような手法によって「焼結助剤相の個数」を求めた旨の記載は見当たらない。
　また、甲１には、上記第４の１エ．によれば、粒界相結晶粒子が均一に分布していることが必要であるとされ、上記第４の１ク．〜１コ．によれば、窒化アルミニウム焼結体の一態様例としての２０００倍のＳＥＭ写真が、図１（上記第４の１コ．）に示されているものの、上記第４の１オ．の「３）」によれば、粒界相結晶粒子が均一に分布しているとは、粒子間距離の平均偏差と平均粒子間距離の比で表される分散度の値が小さいことを意味しているのであって、個数の観点で、粒界相結晶粒子が均一であることを意味しているわけではないし、そして、この図１は実施例１のＳＥＭ写真というわけでもないし、また、この図１を見ても、４００μｍ２の正方形の枠を複数箇所、範囲が重ならないように設定したときに、焼結助剤相である白色部分が平均して１０個以上析出していることまでの技術事項を把握できるともいえない。
　また、上記第４の２ア．〜２オ．等の甲２の記載を参照してみても、焼結助剤相の個数についての記載は見当たらないし、上記第４の３ア．〜３エ．等の甲３の記載を参照してみても、焼結助剤相の凝集体とポアについて、大きさ１０μｍ以上の単位面積当たりの数（個）と大きさ１０μｍ未満の単位面積当たりの面積比（％）とが記載されている（上記第４の３エ．）だけであり、４００μｍ２の正方形の枠を複数箇所、範囲が重ならないように設定したときに、焼結助剤相である白色部分が平均して１０個以上析出していることまでの技術事項を把握できるとはいえない。
　してみると、甲１発明に甲２〜甲３の記載事項を組み合わせたとしても、上記相違点１−２に係る本件特許発明１の発明特定事項を備えたものになり得るとはいえない。
エ．　次に、上記相違点１−３について検討するに、焼結助剤相の成分について、本件特許の明細書には、窒化アルミニウム焼結体を粉砕してＸ線回折を行うという手法によって求めたところ、実施例１〜６の窒化アルミニウム焼結体における焼結助剤相の成分ＹＡＧ及び／又はＹＡＬのみからなっていた旨記載されている（【００３８】、【００５４】）のに対し、甲１全体の記載を参照しても、そのような手法によって焼結助剤相の成分を求めた旨の記載は見当たらない。
　ところで、甲１には、一応、窒化アルミニウム焼結体は、粒界相結晶粒子を有していることが必要であり、例えば、焼結助剤が酸化イットリウムの場合、一般的に窒化アルミニウム原料粉末中に含まれる不純物酸素と反応して３Ｙ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３（ＹＡＧ）、Ｙ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３（ＹＡＬ）、２Ｙ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３（ＹＡＭ）等からなる粒界相結晶粒子を形成するとの記載があり（上記第４の１ウ．）、甲２には、窒化アルミニウムよりなる主相と２Ｙ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３（以下、「ＹＡＭ」という。）或いはＹ２Ｏ３・Ａｌ２Ｏ３（以下、「ＹＡＬ」という。）或いは３Ｙ２Ｏ３・５Ａｌ２Ｏ３（以下、「ＹＡＧ」という。）のいずれかの単一成分よりなる副相とから構成され、熱伝導率が２００Ｗ／ｍ・Ｋ以上で、且つ曲げ強度が４０ｋｇ／ｍｍ２以上である窒化アルミニウム焼結体についての記載もある（上記第４の２ア．）。
　しかしながら、甲２に記載されているのは、酸素含有量０．８重量％以下のＡｌＮ粉末に添加するＹ２Ｏ３の添加量を、ＡｌＮ焼結体の副相を構成せしめるＹＡＭ、ＹＡＬ、又はＹＡＧのいずれかとの化学量論比を満たす量にすると、単一成分よりなる副相を構成できるという技術事項であり（上記第４の２ア．〜２エ．）、その技術事項が実施例１〜７と比較例１〜２とによって実証されているというものである（上記第４の２オ．）。具体的には、例えば、酸素含有量０．６１重量％のＡｌＮ粉末を用いた、実施例１〜３、実施例６〜７、比較例１〜２においては、当該ＡｌＮ粉末に添加するＹ２Ｏ３の添加量（ｗｔ％）を、化学量論比を満たす２．０にするとＹＡＬよりなる副相を構成でき、化学量論比を満たす１．２にするとＹＡＧよりなる副相を構成でき、化学量論比を満たす４．０にするとＹＡＬよりなる副相を構成できるのに対し、化学量論比を満たさない２．８にすると副相はＹＡＬとＹＡＭとで構成され、化学量論比を満たさない１．６にすると副相はＹＡＧとＹＡＬとで構成されるという技術事項が甲２に開示されている。
　そして、甲２開示のこのような技術事項に対して、甲１発明は、上記第４の１タ．に示したように、酸素含有量０．８重量％のＡｌＮ粉末１００重量部にＹ２Ｏ３を５重量部添加したものであるから、Ｙ２Ｏ３の添加量が５／（１００＋５）＝４．７６重量％のＡｌＮ焼結体であるところ、その含有量が化学量論比を満たす量であるのかは定かではないが、甲１発明におけるＹ２Ｏ３の添加量は、甲２において、その添加量が最大量である実施例２よりも多いのであるから、必然的に、副相はＹＡＭを含むもので構成されることとなる。
　また、上記第４の３ア．〜３エ．等の甲３の記載を参照してみても、焼結助剤相の成分についての記載は見当たらない。
　してみると、甲１発明に甲２〜甲３の記載事項を組み合わせたとしても、上記相違点１−３に係る本件特許発明１の発明特定事項を備えたものとはなり得ない。
オ．　上記イ．〜エ．の検討によれば、本件特許発明１は、甲１発明に甲２〜甲３の記載事項を組み合わせたとしても、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
（２）　本件特許発明２と甲１発明との対比・検討 
カ．　本件特許発明２と上記第４の１タ．に示した甲１発明とを対比する。
　甲１発明における「窒化アルミニウムと焼結助剤とからなる」ことは、本件特許発明２における「窒化アルミニウムと」「焼結助剤相とからな」ることに相当し、また、甲１発明における「窒化アルミニウムと焼結助剤とからなる窒化アルミニウム焼結体であって、」「窒化アルミニウム粉末１００重量部と焼結助剤として比表面積１２．５ｍ２／ｇの酸化イットリウム粉末を５重量部とを用いて」「窒素ガス雰囲気中で１７４０℃の温度で４時間焼成して得た」窒化アルミニウム焼結体は、当該焼結体における焼結助剤の含有割合が、５／（１００＋５）＝４．７６重量％と算出できるところ、その含有割合は、酸化イットリウムの含有量、すなわち、Ｙ２Ｏ３換算での含有量であるから、本件特許発明１における「焼結助剤相」「の含有量がＹ２Ｏ３換算で２．５〜５重量％であ」ることに相当する。
　してみると、両者は、以下の点で一致し、以下の点で相違していると認められる。
＜一致点＞
「窒化アルミニウムと焼結助剤相とからなり、前記焼結助剤相の含有量がＹ２Ｏ３換算で２．５〜５重量％である窒化アルミニウム焼結体」の点。
＜相違点＞
相違点２−１：　焼結助剤相が、本件特許発明２では「平均粒子径が２μｍ以下の焼結助剤相」という発明特定事項を備えているのに対し、甲１発明では、前記の発明特定事項を備えているのか明らかではない点。
相違点２−２：　焼結助剤相について、本件特許発明２では「前記焼結助剤相の粒子が、鏡面研磨面において４００μｍ２あたり１０個以上析出し」ているという発明特定事項を備えているのに対し、甲１発明では、前記の発明特定事項を備えているのか明らかではない点。
相違点２−３：　焼結助剤相について、本件特許発明２では「前記焼結助剤相がＹＡＧ及び／又はＹＡＬのみからな」るという発明特定事項を備えているのに対し、甲１発明では、前記の発明特定事項を備えているのか明らかではない点。
相違点２−４：　ボイドの個数について、本件特許発明２では「鏡面研磨面において、１００００μｍ２あたり３個以下であ」るという発明特定事項を備えているのに対し、甲１発明では、前記の発明特定事項を備えているのか明らかではない点。
キ．　そこで、上記相違点２−１〜２−３について検討するに、これらの相違点は、それぞれ、上記相違点１−１〜１−３と同じ相違点であるから、上記（１）のイ．〜エ．での検討と同様にして、甲１発明に甲２〜甲３の記載事項を組み合わせたとしても、上記相違点２−１に係る本件特許発明１の発明特定事項を備えたものとはなり得ないし、また、甲１発明に甲２〜甲３の記載事項を組み合わせたとしても、上記相違点１−２に係る本件特許発明１の発明特定事項を備えたものになり得るとはいえないし、甲１発明に甲２〜甲３の記載事項を組み合わせたとしても、上記相違点１−３に係る本件特許発明１の発明特定事項を備えたものとはなり得ない。
ク．　念のため、上記相違点２−４についても検討してみるに、「ボイドの個数」について、本件特許の明細書には、１０００倍の倍率で１００００μｍ２の範囲を任意に５箇所選び、その範囲内のボイドの数を数えるという手法によって平均個数を求めたところ、実施例１〜６の窒化アルミニウム焼結体におけるボイドの個数は、０．８個〜２．６個であった旨記載されている（【００３７】、【００５４】〜【００５５】）のに対し、甲１全体の記載を参照しても、そのような手法によってボイドの個数を求めた旨の記載は見当たらない。
　また、上記第４の２ア．〜２オ．等の甲２の記載を参照してみても、「ボイドの個数」についての記載は見当たらないし、上記第４の３ア．〜３エ．等の甲３の記載を参照してみても、焼結助剤相の凝集体とポアについて、大きさ１０μｍ以上の単位面積当たりの数（個）と大きさ１０μｍ未満の単位面積当たりの面積比（％）とが記載されている（上記第４の３エ．）だけであり、「ボイドの個数」について、１０００倍の倍率で１００００μｍ２の範囲を任意に５箇所選び、その範囲内のボイドの数を数えて、平均個数を求めると、３個以下であることまでの技術事項を把握できるとはいえない。
　してみると、甲１発明に甲２〜甲３の記載事項を組み合わせたとしても、上記相違点２−４に係る本件特許発明２の発明特定事項を備えたものになり得るとはいえない。
ケ．　上記キ．〜ク．の検討によれば、本件特許発明２は、甲１発明に甲２〜甲３の記載事項を組み合わせたとしても、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
（３）　本件特許発明３〜４と甲１発明との対比・検討 
　本件特許発明３〜４は、請求項２を引用するものであり、本件特許発明２の発明特定事項を全て備えたものであるから、上記（２）での検討と同様にして、甲１発明に甲２〜甲３の記載事項を組み合わせたとしても、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
（４）　本件特許発明５と甲１発明との対比・検討 
サ．　本件特許発明５と上記第４の１タ．に示した甲１発明とを対比する。
　甲１発明における「窒化アルミニウムと焼結助剤とからなる」ことは、本件特許発明５における「窒化アルミニウムと」「焼結助剤相とからな」ることに相当し、また、甲１発明における「曲げ強度が５６．７ｋｇｆ／ｍｍ２であ」ること、「熱伝導率が１８０Ｗ／ｍＫである」ことは、それぞれ、本件特許発明５における「曲げ強度が４５０ＭＰａ以上である」こと、「熱伝導率が１６０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であ」ることに相当する。
　してみると、両者は、以下の点で一致し、以下の点で相違していると認められる。
＜一致点＞
「窒化アルミニウムと焼結助剤相とからなり、曲げ強度が４５０ＭＰａ以上であり、熱伝導率が１６０Ｗ／ｍ・Ｋ以上である窒化アルミニウム焼結体」の点。
＜相違点＞
相違点４−１：　焼結助剤相が、本件特許発明５では「平均粒子径が２μｍ以下の焼結助剤相」という発明特定事項を備えているのに対し、甲１発明では、前記の発明特定事項を備えているのか明らかではない点。
相違点４−２：　焼結助剤相について、本件特許発明５では「前記焼結助剤相の粒子が、鏡面研磨面において４００μｍ２あたり１０個以上析出し」ているという発明特定事項を備えているのに対し、甲１発明では、前記の発明特定事項を備えているのか明らかではない点。
相違点４−３：　ボイドの個数について、本件特許発明２では「鏡面研磨面において、１００００μｍ２あたり３個以下であ」るという発明特定事項を備えているのに対し、甲１発明では、前記の発明特定事項を備えているのか明らかではない点。
シ．　そこで、まず、上記相違点４−１〜４−２について検討するに、これらの相違点は、それぞれ、上記相違点１−１〜１−２と同じ相違点であるから、上記（１）のイ．〜ウ．での検討と同様にして、甲１発明に甲２〜甲３の記載事項を組み合わせたとしても、上記相違点４−１に係る本件特許発明１の発明特定事項を備えたものとはなり得ないし、また、甲１発明に甲２〜甲３の記載事項を組み合わせたとしても、上記相違点４−２に係る本件特許発明１の発明特定事項を備えたものとはなり得るとはいえない。
ス．　次に、上記相違点４−３についても検討してみるに、この相違点は、上記相違点２−４と同じ相違点であるから、上記（１）のイ．〜ウ．での検討と同様にして、甲１発明に甲２〜甲３の記載事項を組み合わせたとしても、上記相違点４−３に係る本件特許発明５の発明特定事項を備えたものになり得るとはいえない。
セ．　上記シ．〜ス．の検討によれば、本件特許発明５は、甲１発明に甲２〜甲３の記載事項を組み合わせたとしても、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
（５）　本件特許発明６と甲１発明との対比・検討 
　本件特許発明６は、請求項１〜５を引用するものであり、本件特許発明１〜５の発明特定事項を全て備えたものであるから、上記（１）〜（４）での検討と同様にして、甲１発明に甲２〜甲３の記載事項を組み合わせたとしても、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
２．　補足
（２−１）　異議申立人の主張
　異議申立人は、特許異議申立書において、甲１発明に甲２〜甲３の記載事項を組み合わせることに関し、以下の主張をしている。
１ａ．　甲１に記載の「Ｄ５０粒界相」は本件特許発明における「（焼結助剤相の）平均粒子径」に相当し、甲１の実施例１は、Ｄ５０ＡｌＮが２．３μｍであり、Ｄ５０粒界相／Ｄ５０ＡｌＮが０．９であるため、Ｄ５０粒界相は０．９×２．３μｍ≒２μｍである、すなわち、甲１記載の「窒化アルミニウムと、焼結助剤の結晶粒子により構成されＤ５０粒界相が約２μｍである粒界相と、からなる」構成は、本件特許発明１における「窒化アルミニウムと平均粒子径が２μｍの焼結助剤相とからなる」構成に相当する。
１ｂ．　本件特許発明１における「焼結助剤相の粒子が、平面において４００μｍ２あたり１０個以上析出する」構成は、甲１の図１に対し、２０μｍ×２０μｍ＝４００μｍ２の単位面積の枠を設定すると、その枠内の比較的大きな白色部の個数は１６個以上であるので、甲１の図１には、「粒界相結晶粒子が、平面において４００μｍ２あたり１６個以上析出する」構成は、本件特許発明１における「焼結助剤相の粒子が、平面において４００μｍ２あたり１０個以上析出する」に相当する。
１ｃ．　甲１に記載の「ＹＡＧ，ＹＡＬ等からなる粒界相結晶粒子」は、本件特許発明１における「焼結助剤相がＹＡＧ及び／又はＹＡＬのみからなる」構成に相当する。
　仮に、本件特許発明１における「焼結助剤相がＹＡＧ及び／又はＹＡＬのみからなる」構成が甲１に開示されていない場合であっても、焼結助剤相をＹＡＧ及び／又はＹＡＬのみで構成することは甲２記載の周知技術であるし、甲２の実施例１における脱脂、焼成条件は、甲１の実施例１における脱脂、焼成条件と実質同一条件であり、甲２の実施例１における副相がＹＡＬ単相であることから、甲１の実施例１における粒界相がＹＡＬ単相であることは明らかである。
１ｄ．　甲３の表７の実施例１８は１０μｍ以上の凝集体およびポアの合計値が０個であり、１０μｍ未満の凝集体およびポアは０．８％と非常に小さいので、本件特許発明２における「鏡面研磨面において、ボイドの個数が、１００００μｍ２あたり３個以下である」構成を、甲１および甲３に基づいて想起することは、当業者が容易に想到し得ることである。
（２−２）　当審の判断
２ａ．　異議申立人の上記（２−１）の１ａ．の主張については、上記１．（１）イ．で検討したとおり、「焼結助剤相の平均粒子径」とは、本件特許の明細書によれば、２０００倍のＳＥＭ写真をＩｍａｇｅＪを用いて画像解析して算出するとの手法によって求めたものであるところ、甲１〜甲３には、そのような手法によって求めた「焼結助剤相の平均粒子径」についての開示はないし、また、仮に、甲１記載のＤ５０粒界相が「焼結助剤相の平均粒子径」を表しているとしても、甲１記載のＤ５０粒界相は２．００μｍを越えており、２μｍ以下とはいえない。
　異議申立人の前記１ａ．の主張は、本件特許の明細書の記載を正解しないことに基づく主張であって、採用できない。
　
２ｂ．　異議申立人の上記（２−１）の１ｂ．の主張については、上記１．（１）ウ．で検討したとおり、「焼結助剤相の個数」について、本件特許の明細書によれば、１０００倍のＳＥＭ写真に対し、４００μｍ２の正方形の枠を２０ヵ所、範囲が重ならないように選び、それぞれの内側にある焼結助剤相の粒子の個数を数えて平均するとの手法によって求めたものであるところ、甲１〜甲３には、そのような手法によって求めた「焼結助剤相の個数」についての開示はないし、また、甲１の上記第４の１ク．〜１コ．によれば、窒化アルミニウム焼結体の一態様例としての２０００倍のＳＥＭ写真が、甲１の図１（上記第４の１コ．）に示されているが、この図１は実施例１のＳＥＭ写真というわけではないし、また、この図１を見ても、４００μｍ２の正方形の枠を複数箇所、範囲が重ならないように設定したときに、焼結助剤相である白色部分が平均して１０個以上析出していることまでの技術事項を把握できるともいえない。
　また、特許異議申立書において甲１の図１に対して異議申立人によって設定された赤枠内を見ても、その枠内の比較的大きな白色部の個数が１６個以上であるということは、客観的には認められない。
　異議申立人の前記１ｂ．の主張は、本件特許の明細書の記載を正解しないことに基づく主張であるし、客観性を欠く主張であって、採用できない。
２ｃ．　異議申立人の上記（２−１）の１ｃ．の主張については、上記１．（１）エ．で検討したとおりであり、異議申立人の前記１ｃ．の主張は、甲２の記載事項を正解しないことに基づく主張であって、採用できない。
２ｄ．　異議申立人の上記（２−１）の１ｄ．の主張については、上記１．（２）ク．で検討したとおり、「ボイドの個数」について、１０００倍の倍率で１００００μｍ２の範囲を任意に５箇所選び、その範囲内のボイドの数を数えて、平均個数を求めると、３個以下であることまでの技術事項は甲１〜甲３の記載から把握できるとはいえないことからして、異議申立人の前記１ｄ．の主張は、本件特許の明細書の記載を正解しないことに基づく主張である。
　また、上記第４の３．の３エ．によれば、甲３の表７の実施例１８は１０μｍ以上の凝集体およびポアの単位面積（１００×１００μｍ）当りの合計値が０個であり、１０μｍ未満の凝集体およびポアの単位面積（１００×１００μｍ）当りの面積比は０．８％であり、すなわち、８０μｍ２であり、鏡面加工面の任意の３箇所について測定した脱粒痕の大きさの最大径が５μｍ、すなわち最大のポアの面積が１５．７μｍ２であったとされていることからして、甲３の表７の実施例１８のＡｌＮ焼結体における、任意の１箇所の単位面積（１００×１００μｍ）当りのポア（ボイド）の数でさえ、３個以下であるとの特定事項を満たしていたかは疑問であるところ、この実施例１８のＡｌＮ焼結体のＡｌＮ結晶の平均粒径は、甲３の表６によれば、４μｍであり、ＡｌＮ結晶のＤ５０ＡｌＮが２．３μｍである、甲１の実施例１のＡｌＮ焼結体とは、直ちには、組み合わせることができないものである。
　したがって、異議申立人の前記１ｄ．の主張は、本件特許の明細書の記載を正解しないことに基づく主張であるし、また、甲１の記載事項と甲３の記載事項とを正解しないことにも基づく主張であって、採用できない。
　第６　むすび
　したがって、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、請求項１〜６に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に請求項１〜６に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
令和１年６月４日（２０１９．６．４）