【事件の表示】
　平成７年特許願第６１８８５号「回転式基板洗浄装置」拒絶査定に対する審判事件（平成８年６月４日出願公開、特開平８−１４１５１９）について、次のとおり審決する。
【結論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理由】
１．本願発明
　本願は、平成７年２月２３日の出願であって、その請求項１に係る発明は、補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次の通りのものと認める。
「【請求項１】基板を鉛直方向の軸芯周りで回転可能に保持する基板保持手段と、
基板表面に対する洗浄作用面の最大長さ部分が、前記基板の回転中心とそれに最も近い基板外周端縁部分との距離より短い長さを有し、前記洗浄作用面により基板表面を洗浄する洗浄具と、
前記洗浄具を鉛直方向の軸芯周りで回転させる洗浄具回転手段と、
前記洗浄具を基板表面に沿って水平方向に変位する洗浄具移動手段と、
基板表面の前記洗浄具による洗浄箇所に洗浄液を供給する洗浄液供給手段とを備えた回転式基板洗浄装置において、
前記洗浄具を前記基板に対して昇降可能に支持する昇降支持手段と、
前記洗浄具の前記基板に対する押圧力を付与する押圧手段と、
前記基板に対する前記洗浄具の押圧力を感知する押圧力感知手段と、
その押圧力感知手段によって感知した圧力が一の基板の表面全面に渡って設定範囲内に維持されるように前記押圧手段を自動的に作動して前記洗浄具を前記基板に対して昇降する押圧力制御機構と、
を備えたことを特徴とする回転式基板洗浄装置。」
２．引用刊行物記載の発明
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願の日前である平成３年３月６日に頒布された「特開平３−５２２２８号公報」（以下「引用刊行物１」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。
Ａ．「この洗浄装置は、第４図に概略的に示すように、半導体ウエハ１０がスピンチャック１２上に、例えば真空吸着あるいはベルヌイチャック方式等によって固定可能となっていて、このスピンチャック１２の回転により上記半導体ウエハ１０を比較的低速にて回転可能である。」（公報第２頁右下欄第１１行〜第１６行）
Ｂ．「半導体ウエハ１０を洗浄するためのスクライビングブラシ２２は、アーム１６の一端側に固着され、かつ、そのアーム１６の他端側はスキャナ１８に支持されている。そして、このスキャナ１８の駆動によりアーム１６を介して上記スクライビングブラシ２２を、第４図に示す揺動範囲にわたって揺動（公転駆動）可能としている。」（同第２頁右下欄第２０行〜第３頁左上欄第６行）
Ｃ．「また、上記の洗浄効果をさらに高めるために、スクライビングブラシ２２を第４図の矢印Ｃ方向に時点駆動可能としている」（同第３頁左上欄第１３行〜第１６行）
Ｄ．「半導体ウエハ洗浄時には、上記の洗浄液供給経路を介して、スクライビングブラシ２２の中央部より洗浄液を吐出可能となっている。」（同第３頁左下欄第１行〜第４行）
Ｅ．「この垂直固定ブロック５２は、前記アーム支持ブロック４２との間にリニアベアリング５４を有し、このリニアベアリング５４により前記アーム１６をアーム支持ブロックに対して上下動可能としている。」（同第３頁右下欄第６行〜第１０行）
Ｆ．「また、ＣＰＵ８０は、シリンダ６０の駆動によって得られるスクライビングブラシ２２のコンタクト圧を計算し、このコンタクト圧を表示駆動部８６を介してディジタル表示部８８に数値表示するようにしている。また、オペレータにより所望のコンタクト圧を設定するために操作入力部９０が設けられ、ＣＰＵは操作入力部９０を介して情報の入力があった場合には、その情報に基づきシリンダ６０のストローク制御を行うようになっている。」（同第４頁右上欄第１７行〜左下欄第６行）
　これらの記載事項及び図面に示された事項によると、引用刊行物１には「基板（「半導体ウエハ１０」が相当）を鉛直方向の軸芯周りで回転可能に保持する基板保持手段（「スピンチャック１２」が相当）と、
基板表面に対する洗浄作用面の最大長さ部分が、前記基板の回転中心とそれに最も近い基板外周端縁部分との距離より短い長さを有し（図面より明らか）、前記洗浄作用面により基板表面を洗浄する洗浄具（「スクライビングブラシ２２」が相当）と、
前記洗浄具を鉛直方向の軸芯周りで回転させる洗浄具回転手段と（上記記載（Ｃ）より明らか）、
前記洗浄具を基板表面に沿って水平方向に変位する洗浄具移動手段（「アーム１６」が相当）と、
基板表面の前記洗浄具による洗浄箇所に洗浄液を供給する洗浄液供給手段とを備え（上記記載（Ｄ）より明らか）た回転式基板洗浄装置において、
前記洗浄具を前記基板に対して昇降可能に支持する昇降支持手段（前記記載（Ｅ）より明らか）と、
前記洗浄具の前記基板に対する押圧力を付与する押圧手段（前記記載（Ｆ）より明らか）と、
を備えたことを特徴とする回転式基板洗浄装置」の発明が記載されているものと認められる。
　また、原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願の日前である昭和５９年１１月１日に頒布された「特開昭５９−１９３０２９号公報」（以下「引用刊行物２」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。
Ｇ．「被洗浄物を保持するステージと、被洗浄物に洗浄液を供給する洗浄液供給機構と、被洗浄物の洗浄面をこするブラシと、前記ブラシを被洗浄物の洗浄面に接近離反させる駆動部と、前記被洗浄物に接触するブラシの接触圧を検出する接触圧検出部と、この接触圧検出部の情報に基づいて設定圧となるように前記駆動部を制御する制御部と、を有することを特徴とする洗浄装置。」（特許請求の範囲第１項）
Ｈ．「前記ブラシは回動しかつステージも回動する」（特許請求の範囲第３項）
　これらの記載事項及び図面に示された事項によると、引用刊行物２には「基板（「被洗浄物」が相当）を鉛直方向の軸芯周りで回転可能に保持する基板保持手段（「ステージ」が相当）と、
洗浄作用面により基板表面を洗浄する洗浄具（「ブラシ」が相当）と、
前記洗浄具を回転させる洗浄具回転手段（上記記載（Ｈ）から明らか）と、
基板表面の前記洗浄具による洗浄箇所に洗浄液を供給する洗浄液供給手段（「洗浄液供給機構」が相当）とを備えた回転式基板洗浄装置において、
前記洗浄具を前記基板に対して昇降可能に支持する昇降支持手段（「駆動部」が相当）と、
前記洗浄具の前記基板に対する押圧力を付与する押圧手段と、
前記基板に対する前記洗浄具の押圧力を感知する押圧力感知手段（「接触圧検出部」が相当）と、
その押圧力感知手段によって感知した圧力が一の基板の表面全面に渡って設定範囲内に維持されるように前記押圧手段を自動的に作動して前記洗浄具を前記基板に対して昇降する押圧力制御機構（「制御部」が相当）と、
を備えたことを特徴とする回転式基板洗浄装置」の発明が記載されているものと認められる。
３．対比
　請求項１に係る発明と、引用刊行物１記載の発明を対比すると、両者は、「基板を鉛直方向の軸芯周りで回転可能に保持する基板保持手段と、
基板表面に対する洗浄作用面の最大長さ部分が、前記基板の回転中心とそれに最も近い基板外周端縁部分との距離より短い長さを有し、前記洗浄作用面により基板表面を洗浄する洗浄具と、
前記洗浄具を鉛直方向の軸芯周りで回転させる洗浄具回転手段と、
前記洗浄具を基板表面に沿って水平方向に変位する洗浄具移動手段と、
基板表面の前記洗浄具による洗浄箇所に洗浄液を供給する洗浄液供給手段とを備えた回転式基板洗浄装置において、
前記洗浄具を前記基板に対して昇降可能に支持する昇降支持手段と、
前記洗浄具の前記基板に対する押圧力を付与する押圧手段と、
を備えたことを特徴とする回転式基板洗浄装置」である点で一致しており、一方、
　請求項１に係る発明は、「基板に対する前記洗浄具の押圧力を感知する押圧力感知手段」と、
「押圧力感知手段によって感知した圧力が一の基板の表面全面に渡って設定範囲内に維持されるように前記押圧手段を自動的に作動して前記洗浄具を前記基板に対して昇降する押圧力制御機構」とを備えているのに対し、引用刊行物１に記載された発明では備えていない点で相違する。
４．当審の判断
　上記相違点について検討すると、引用刊行物２に、「基板に対する前記洗浄具の押圧力を感知する押圧力感知手段」及び「押圧力感知手段によって感知した圧力が一の基板の表面全面に渡って設定範囲内に維持されるように前記押圧手段を自動的に作動して前記洗浄具を前記基板に対して昇降する押圧力制御機構」が記載されており、請求項１に係る発明は、引用刊行物１に記載された発明に引用刊行物２に記載された発明を組み合わせたものに相当するが、何れも、請求項１に係る発明と同じ半導体ウエハ等の洗浄に関する技術分野に属するものであって、これらを組み合わせることに格別の困難性は認められない。
　また、請求人は審判請求理由補充書において、「引用文献４（上記引用刊行物２）に開示された構成では、基板の回転中心から、基板外周縁部までを常に一定の押圧力（接触圧）で押圧するのであるから、基板に局所的な反りが生じていた場合には、その局所的な反りのある箇所のみ押圧力を調整することは不可能である」旨の主張をしているが、この点は、ブラシの接触面と基板の相対的位置によって効果の程度の差が現れる程度のものであって、引用刊行物２のものが局所的な反りに全く効果を奏しないとする根拠はなく、むしろ、引用刊行物２のものは押圧力を感知しながら能動的に押圧力を制御していることから、当業者であれば、基板の局所的な反り等にもある程度の効果を持つものであることは、容易に想像できるものと認められるから、引用刊行物１に記載の発明と引用刊行物２に記載の発明を組み合わせることによって得られる効果は、それぞれの発明の持つ効果の和以上の格別のものではない。
　したがって、請求項１に係る発明は、引用刊行物１、２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとするのが相当であって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
５．むすび
　以上のとおりであるから、本願は、他の請求項に係る発明について審理するまでもなく、拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。