【事件の表示】
　特許第６２１１４８１号発明「ノルマルパラフィンまたはパラキシレンの分離方法およびゼオライト膜複合体」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第６２１１４８１号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項［１〜８］、［９〜１２］について訂正することを認める。
　特許第６２１１４８１号の請求項１、３ないし７、９、１１に係る特許を維持する。
　特許第６２１１４８１号の請求項２、８、１０、１２に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。
【理　由】
第１　手続の経緯　  
　特許第６２１１４８１号の請求項１ないし１２に係る特許についての出願は、平成２６年８月１日に出願されたものであって、平成２９年９月２２日に特許権の設定登録がされ、平成２９年１０月１１日にその特許公報が発行され、その後、平成３０年４月６日に、特許異議申立人　登山　恵美子（以下、「以下「特許異議申立人」という。）により特許異議の申立てがされ、平成３０年６月４日付けで取消理由が通知され、その指定期間内である同年８月６日に意見書の提出及び訂正の請求（以下「本件訂正請求」という。）があり、その訂正の請求に対して、特許法第１２０条の５第５項に基づく通知がなされたが、特許異議申立人から何ら意見書は提出されなかった。
第２　訂正の適否についての判断
１　訂正の内容
　本件訂正請求による訂正の内容は以下の訂正事項１〜１１のとおりである。
（１）訂正事項１
　請求項１の「前記ゼオライトは、結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が２０％以下であり、」および「前記ゼオライト膜複合体は、ノルマルパラフィンの分圧が３４ｋＰａで３００℃におけるノルマルパラフィンの透過度が５×１０-８ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、またはパラキシレンの分圧が２５ｋＰａで３００℃におけるパラキシレンの透過度が１×１０-９ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上であることを」との記載を、それぞれ、「前記ゼオライトは、結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が５％以下であり、」および「前記ゼオライト膜複合体は、ノルマルパラフィンの分圧が３４ｋＰａで３００℃におけるノルマルパラフィンの透過度が５×１０-８ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、かつノルマルパラフィン／イソパラフィンの分離係数が１００以上、またはパラキシレンの分圧が２５ｋＰａで３００℃におけるパラキシレンの透過度が１×１０-９ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、かつパラキシレン／メタキシレンの分離係数が２０以上であることを」に訂正する（以下、それぞれ、「訂正事項１−１」、「訂正事項１−２」という。）。
（２）訂正事項２
　請求項２を削除する。
（３）訂正事項３
　請求項３の「請求項１または２」を「請求項１」とする。
（４）訂正事項４
　請求項４の「請求項１〜３のいずれか一つ」を「請求項１または３」
（５）訂正事項５
　請求項５の「請求項１〜４のいずれか一つ」を「請求項１、３、４のいずれか一つ」とする。
（６）訂正事項６
　請求項７の「請求項１〜６のいずれか一つ」を「請求項１、３〜６のいずれか一つ」とする。
（７）訂正事項７
　請求項８を削除する。
（８）訂正事項８
　請求項９の「前記ゼオライトは、結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が２０％以下であり、」および「ノルマルパラフィンの分圧が３４ｋＰａで３００℃におけるノルマルパラフィンの透過度が５×１０-８ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、またはパラキシレンの分圧が２５ｋＰａで３００℃におけるパラキシレンの透過度が１×１０-９ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上であること」との記載を、それぞれ、「前記ゼオライトは、結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が５％以下であり、」および「ノルマルパラフィンの分圧が３４ｋＰａで３００℃におけるノルマルパラフィンの透過度が５×１０-８ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、かつノルマルパラフィン／イソパラフィンの分離係数が１００以上、またはパラキシレンの分圧が２５ｋＰａで３００℃におけるパラキシレンの透過度が１×１０-９ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、かつパラキシレン／メタキシレンの分離係数が２０以上であること」に訂正する（以下、それぞれ、「訂正事項８−１」、「訂正事項８−２」という。）。
（９）訂正事項９
　請求項１０を削除する。
（１０）訂正事項１０
　請求項１１の「請求項９または１０」を「請求項９」とする。
（１１）訂正事項１１
　請求項１２を削除する。
２　目的の適否
（１）上記訂正事項１−１は、ゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合の上限を限定したものといえるから特許請求の範囲の減縮を目的とするものであるといえ、上記訂正事項１−２は、ゼオライト膜複合体のノルマルパラフィン／イソパラフィンの分離係数の下限、パラキシレン／メタキシレンの分離係数の下限を限定したものであるといえるから特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（２）上記訂正事項２，７，９、１１は、請求項を削除するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（３）上記訂正事項３〜６，１０は、引用する請求項の選択肢を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（４）上記訂正事項８−１は、ゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合の上限を限定したものといえるから特許請求の範囲の減縮を目的とするものであるといえ、上記訂正事項８−２は、ゼオライト膜複合体のノルマルパラフィン／イソパラフィンの分離係数の下限、パラキシレン／メタキシレンの分離係数の下限を限定したものであるといえるから特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
３　新規事項についての判断
（１）訂正事項１について
　上記訂正事項１−１の「結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が５％以下であ」ることに関しては、請求項２及び【００３０】に記載があるので、願書に添付した明細書及び特許請求の範囲に記載されているものと認められる。
　また、上記訂正事項１−２の「ノルマルパラフィン／イソパラフィンの分離係数が１００以上」であること及び「パラキシレン／メタキシレンの分離係数が２０以上」であることは、請求項１２及び【００５０】【００５１】に記載があるので、願書に添付した明細書及び特許請求の範囲に記載されているものと認められる。
（２）訂正事項２〜７，９〜１１は、請求項の削除又は引用する請求項の選択肢を削除するものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
（３）訂正事項８−１及び８−２についても、上記（１）で述べたように、願書に添付した明細書及び特許請求の範囲に記載されているものと認められる。
４　実質上特許請求の範囲の拡張又は変更の有無
　上記２，３で検討したとおり、訂正事項１，８は、願書に添付した明細書等に記載された事項の範囲内において、結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合の上限を限定し、ノルマルパラフィン／イソパラフィンの分離係数の下限、パラキシレン／メタキシレンの下限を特定したものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　また、訂正事項２，７，９，１１は請求項を削除するものであり、訂正事項３〜６，１０は、引用する請求項の選択肢を削除するものであるから、いずれも実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
５　一群の請求項について
　訂正事項１に係る訂正前の請求項１〜８について、請求項２〜８はそれぞれ請求項１を直接又は間接的に引用しているものであって、訂正事項１によって記載が訂正される請求項１に連動して訂正されるものである。したがって、訂正前の請求項１〜８に対応する訂正後の請求項１〜８に係る本件訂正請求は、特許法第１２０条の５第４項に規定する一群の請求項に対してされたものである。
　また、訂正事項８に係る訂正前の請求項９〜１２について、請求項１０〜１２はそれぞれ請求項９を直接又は間接的に引用しているものであって、訂正事項８によって記載が訂正される請求項９に連動して訂正されるものである。したがって、訂正前の請求項９〜１２に対応する訂正後の請求項９〜１２に係る本件訂正請求は、特許法第１２０条の５第４項に規定する一群の請求項に対してされたものである。
６　小括 
　以上のとおりであるから、本件訂正請求による訂正は特許法第１２０条の５第２項第１号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第４項、及び、同条第９項において準用する同法第１２６条第５項及び第６項までの規定に適合するので、訂正後の請求項［１〜８］、［９〜１２］について訂正を認める。 
第３　本件特許発明
　本件特許請求の範囲の記載は以下のとおりであり、請求項１，３〜７，９，１１に係る特許発明をそれぞれ、「本件特許発明１」，「本件特許発明３」〜「本件特許発明７」，「本件特許発明９」，「本件特許発明１１」といい、まとめて「本件特許発明」ともいう。
「【請求項１】
　多孔質支持体上にゼオライトを成膜したゼオライト膜複合体により、２種以上の化合物の混合流体からノルマルパラフィンまたはパラキシレンを選択的に分離する分離方法であって、前記ゼオライトは、結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が５％以下であり、
　前記ゼオライト膜複合体は、ノルマルパラフィンの分圧が３４ｋＰａで３００℃におけるノルマルパラフィンの透過度が５×１０-８ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、かつノルマルパラフィン／イソパラフィンの分離係数が１００以上、またはパラキシレンの分圧が２５ｋＰａで３００℃におけるパラキシレンの透過度が１×１０-９ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、かつパラキシレン／メタキシレンの分離係数が２０以上であることを特徴とするノルマルパラフィンまたはパラキシレンの分離方法。
【請求項２】
 （削除）
【請求項３】
　前記ゼオライト膜複合体は、多孔質支持体上にゼオライトを成膜した後、オルトケイ酸エステル含有溶液に浸漬させたものであることを特徴とする請求項１に記載のノルマルパラフィンまたはパラキシレンの分離方法。
【請求項４】
　前記ゼオライトは、ＭＦＩ型ゼオライトであることを特徴とする請求項１または３に記載のノルマルパラフィンまたはパラキシレンの分離方法。
【請求項５】
　前記ゼオライトは、ｓｉｌｉｃａｌｉｔｅ−１であることを特徴とする請求項１、３、４のいずれか一つに記載のノルマルパラフィンまたはパラキシレンの分離方法。
【請求項６】
　前記オルトケイ酸エステルは、オルトケイ酸テトラエチルであることを特徴とする請求項３〜５のいずれか一つに記載のノルマルパラフィンまたはパラキシレンの分離方法。
【請求項７】
　前記ゼオライト膜のＸ線回折スペクトルにおいて、結晶面/結晶面（(101)/(020)）ピーク強度比は１．１０以上であることを特徴とする請求項１、３〜６のいずれか一つに記載のノルマルパラフィンまたはパラキシレンの分離方法。
【請求項８】
（削除）
【請求項９】
　２種以上の化合物の混合流体からノルマルパラフィンまたはパラキシレンを選択的に分離する、多孔質支持体上にゼオライトを成膜したゼオライト膜複合体であって、前記ゼオライトは、結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が５％以下であり、
　ノルマルパラフィンの分圧が３４ｋＰａで３００℃におけるノルマルパラフィンの透過度が５×１０-８ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、かつノルマルパラフィン／イソパラフィンの分離係数が１００以上、またはパラキシレンの分圧が２５ｋＰａで３００℃におけるパラキシレンの透過度が１×１０-９ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、かつパラキシレン／メタキシレンの分離係数が２０以上であることを特徴とするゼオライト膜複合体。
【請求項１０】
（削除）
【請求項１１】
　前記ゼオライト膜中の結晶面/結晶面（(101)/(020)）ピーク強度比は、１．１０以上であることを特徴とする請求項９に記載のゼオライト膜複合体。
【請求項１２】
（削除）」 
 第４　取消理由 
１　特許異議申立人が申し立てた取消理由
　特許異議申立人が申し立てた取消理由の概要は以下のとおりである。
（１ア）訂正前の請求項１，２，４，５，７〜１２に係る特許は、当該請求項に係る発明が、本件優先日前に日本国内又は外国において頒布された下記甲第１号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができないから、特許法第２９条の規定に違反してされたものであり、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
（１イ）訂正前の請求項１〜１２に係る特許は、当該請求項に係る発明が、本件優先日前に日本国内又は外国において頒布された下記甲第１号証に記載された発明及び下記甲第７〜８号証に記載の技術的事項に基いて、当業者が容易に発明することができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないから、特許法第２９条の規定に違反してされたものであり、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
（１ウ）訂正前の請求項１〜１２に係る特許は、その特許請求の範囲の記載が特許法第３６条第６項第１号に適合するものではないから、特許法第３６条第６項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであり、同法第１１３条第４号に該当し、取り消されるべきものである。
（１エ）訂正前の請求項１〜１２に係る特許は、その特許請求の範囲の記載が特許法第３６条第６項第２号に適合するものではないから、特許法第３６条第６項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであり、同法第１１３条第４号に該当し、取り消されるべきものである。
（１オ）訂正前の請求項１〜１２に係る特許は、その発明の詳細な説明の記載が特許法第３６条第４項第１号に適合するものではないから、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであり、同法第１１３条第４号に該当し、取り消されるべきものである。
（２）甲号証
甲第１号証：国際公開第２０１０／１０６８８１号
甲第２号証：平成２９年７月２８日付け意見書
甲第３号証：平成２９年８月３０日付け特許メモ
甲第４号証：Ｃ．Ｌ．Ｆｌａｎｄｅｒｓ　外３名，Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｍｅｍｂｒａｎｅ　Ｓｃｉｅｎｃｅ，１７６（２０００）ｐ．４３−５３
甲第５号証：Ｊｕｎｇｋｙｕ　Ｃｈｏｉ　外３名，Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ，１２（２００６）ｐ．３３９−３６０
甲第６号証：Ｈａｎｓ　Ｈ．Ｆｕｎｋｅ　外３名，Ｉｎｄ．Ｅｎｇ．Ｃｈｅｍ．Ｒｅｓ．，３６，（１９９７）ｐ．１３７−１４３
甲第７号証：特開２０１３−１３８８４号公報
甲第８号証：国際公開第２００７／５８３８８号
甲第９号証：特開２００２−３４８５７９号公報
甲第１０号証：国際公開第２００５／１４４８１号
甲第１１号証：野村幹弘，「シリカライト膜の透過機構と粒界制御に関する研究、第５章　粒界の制御とエタノール透過の関係」東京大学工学部化学システム工学科博士論文（１９９８年）９９−１１４頁
　特許異議申立人は、参照すべき証拠として甲第２〜６，９〜１１号証を提出している。
２　当審が通知した取消理由の概要
（１）訂正前の請求項１〜１２に係る特許に対して平成３０年６月４日付けで当審が特許権者に通知した取消理由の要旨は、次のとおりである。
理由１：訂正前の請求項１〜１２に係る特許は、分離の対象となるノルマルパラフィンとしてノルマルヘキサンの場合にしか具体例がないこと、実施例として透過度が高く、分離係数の大きなものは、全細孔中のゼオライト結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が下限付近の具体例しかないことから当業者が課題が解決できると認識できるように記載されているとはいえず、その特許請求の範囲の記載が特許法第３６条第６項第１号に適合するものではないから、特許法第３６条第６項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであり、同法第１１３条第４号に該当し、取り消されるべきものである。
理由２：訂正前の請求項１〜１２に係る特許は、刊行物１及び刊行物２の記載からみて、ゼオライトには、本件明細書に記載のゼオライトの細孔の測定範囲上限の、２ｎｍより大きい範囲にも粒界が存在していることが技術常識であるから、本件明細書の全細孔中のゼオライト結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合の数値は、全細孔に対するものといえず、請求項において特定された割合のものが得られているとはいえないので、その発明の詳細な説明の記載が特許法第３６条第４項第１号に適合するものではないから、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであり、同法第１１３条第４号に該当し、取り消されるべきものである。
（２）引用刊行物
刊行物１：特開２００２−３４８５７９号公報（甲第９号証）
刊行物２：国際公開２００５／１４４８１５号（甲第１０号証）
  
第５　当審の判断 
　当審は、請求項１，３〜７，９，１１に係る特許は、当審の通知した取消理由及び特許異議申立人が申し立てた取消理由によっては、取り消すことはできないと判断する。
　理由は以下のとおりである。
　
当審が通知した取消理由の判断
１　理由１（特許法第３６条第６第１号）について
（１）本件特許発明に関する特許法第３６条第６項第１号の判断の前提
　特許請求の範囲の範囲の記載が明細書のサポート要件に適合するか否かは、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載とを対比し、特許請求の範囲に記載された発明が、発明の詳細な説明に記載された発明で、発明の詳細な説明の記載又はその示唆により当業者が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否か、また、その記載や示唆がなくとも当業者が出願時の技術常識に照らし当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否かを検討して判断すべきものである。
（２）特許請求の範囲の記載 
　請求項１には、「ゼオライトは、結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が５％以下であること」と、「ゼオライト膜複合体は、ノルマルパラフィンの分圧が３４ｋＰａで３００℃におけるノルマルパラフィンの透過度が５×１０-８ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、かつノルマルパラフィン／イソパラフィンの分離係数が１００以上、またはパラキシレンの分圧が２５ｋＰａで３００℃におけるパラキシレンの透過度が１×１０-９ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上であること、かつパラキシレン／メタキシレンの分離係数が２０以上であること」が特定された「多孔質支持体上にゼオライトを成膜したゼオライト膜複合体により、２種以上の化合物の混合流体からノルマルパラフィンまたはパラキシレンを選択的に分離する分離方法」が記載されている。
　そして、請求項３〜７には、請求項１記載のノルマルパラフィンまたはパラキシレンを選択的に分離する分離方法において、それぞれ、ゼオライト膜複合体は、多孔質支持体上にゼオライトを成膜した後、オルトケイ酸エステル含有溶液に浸漬させたものであること、ゼオライトは、ＭＦＩ型ゼオライトであること、ゼオライトは、ｓｉｌｉｃａｌｉｔｅ−１であること、オルトケイ酸エステルは、オルトケイ酸テトラエチルであること、ゼオライト膜のＸ線回折スペクトルにおいて、結晶面/結晶面（(101)/(020)）ピーク強度比は１．１０以上であることがさらに特定された方法が記載されている。
　さらに、請求項９，１１には、それぞれ、請求項１、７のノルマルパラフィンまたはパラキシレンの分離方法に対応したゼオライト膜複合体の発明が記載されている。
（３）発明の詳細な説明の記載
　発明の詳細な説明には、多孔質支持体上にゼオライトを成膜したゼオライト膜複合体により、２種以上の化合物の混合流体からノルマルパラフィンまたはパラキシレンを選択的に分離する分離方法又は２種以上の化合物の混合流体からノルマルパラフィンまたはパラキシレンを選択的に分離する多孔質支持体上にゼオライトを成膜したゼオライト膜複合体に関して、以下のことが記載されている。 
  
 ア　課題を解決するための手段及び発明の効果について
「【課題を解決するための手段】
【００１６】
　本発明者らは、鋭意検討した結果、ゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きな径の細孔の割合が２０％以下であるゼオライトを製膜したゼオライト膜複合体が、ノルマルパラフィン／イソパラフィンの混合流体からのノルマルパラフィンの分離、またはミックスキシレンからのパラキシレンの分離を高い選択性および透過度で行いうることを見出した。本発明はこれらの知見に基づいて成し遂げられたものである。
【００１７】
　すなわち本発明にかかるノルマルパラフィンまたはパラキシレンの分離方法は、多孔質支持体上にゼオライトを成膜したゼオライト膜複合体により、２種以上の化合物の混合流体からノルマルパラフィンまたはパラキシレンを選択的に分離する分離方法であって、前記ゼオライトは、ゼオライト細孔より大きな細孔の割合が２０％以下であることを特徴とする。前記ゼオライトは、ＭＦＩ型ゼオライトで構成されることが好ましく、前記ＭＦＩ型ゼオライトがｓｉｌｉｃａｌｉｔｅ−１であることがさらに好ましい。
【００１８】
　また、本発明にかかるノルマルパラフィンまたはパラキシレンの分離方法は、上記発明において、前記ゼオライト膜複合体が、多孔質支持体上にゼオライトを成膜した後、オルトケイ酸エステル含有溶液に浸漬させ修復したものであることを特徴とする。
【００１９】
　さらに、本発明にかかるノルマルパラフィンまたはパラキシレンの分離方法は、上記発明において、前記ゼオライト膜のＸ線回折スペクトルにおいて、結晶面/結晶面（(101)/(020)）ピーク強度比は１．１０以上であることを特徴とする。
【００２０】
　さらにまた、本発明にかかるゼオライト膜複合体は、２種以上の化合物の混合流体からノルマルパラフィンまたはパラキシレンを選択的に分離する、多孔質支持体上にゼオライトを成膜したゼオライト膜複合体であって、前記ゼオライトは、結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が２０％以下であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
　本発明によれば、ノルマルパラフィンやパラキシレンの分離に優れたゼオライト膜複合体及びそれを用いたノルマルパラフィンまたはパラキシレンの分離方法により、工業規模のスケールで高純度のノルマルパラフィンやパラキシレンを得ることが可能となる。」
イ　ゼオライトの種類について
「【００２７】
（ゼオライト）
　本発明において、ゼオライト膜を構成するゼオライトの種類は特に限定されないが、ＭＦＩ型ゼオライトが好ましい。ＭＦＩ型ゼオライトは、ＳｉとＡｌの酸化物を主成分とするものであり、本発明の効果を損なわない限り、それ以外の元素が含まれていてもよい。ＭＦＩ構造を有するゼオライトには、ＺＳＭ−５以外に実質的に骨格内にアルミニウムを含まないシリカライト−１構造なども含まれる。」
ウ　ゼオライト中の細孔の割合について
「【００３０】
　また、本発明のゼオライト膜複合体において、ゼオライト中の細孔の割合は、ゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きな径の細孔の割合が２０％以下である。ゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きな径の細孔、すなわち、ゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きな粒界やピンホールの割合を２０％以下とすることにより、ノルマルパラフィンやパラキシレンを選択的に分離することができる。ゼオライト細孔より大きな細孔の割合は、５％以下であることが特に好ましい。」
エ　ゼオライト膜複合体及びその製造条件について
「【００３７】
（ゼオライト膜複合体）
　本発明にかかるゼオライト膜複合体は、多孔質支持体の表面などにゼオライトが膜状に固着しているものであり、例えば、多孔質支持体の表面などにゼオライトを水熱合成や、水蒸気処理により膜状に結晶化させたものが用いられる。
【００３８】
　多孔質支持体上にゼオライトを成膜する場合、多孔質支持体上にゼオライト種晶を付着させた後、ゼオライト膜を水熱合成により形成することが好ましい。一般的に、多孔質支持体にゼオライト種晶を付着させるためには、ゼオライト種晶の粉末を溶剤に分散させた分散液を多孔質支持体上に塗布することが好ましいが、その他、多孔質支持体製造時に原料の一部としてゼオライト種晶粉末を混入させることで、多孔質支持体にゼオライト種晶を付着させることもできる。塗布の方法としては、ゼオライト種晶を含む分散液を多孔質支持体に単純に滴下するだけでも良く、ゼオライト種晶を含む分散液に多孔質支持体を浸漬することでも得られる。また、スピンコート、スプレーコート、ロールコート、スラリーの塗布、濾過など汎用されている方法を用いることもできる。多孔質支持体上の種晶の付着量を再現性よく制御する観点から、ゼオライト種晶を含む分散液を調製し、該分散液に多孔質支持体を浸漬する方法が好ましい。
【００３９】
　ゼオライト種晶は、市販のものを用いてもよく、原料から製造してもよい。原料から製造する場合には、例えばシリカ原料としてケイ酸ナトリウム、シリカゲル、シリカゾル又はシリカ粉末、アルミナ原料としてアルミン酸ナトリウム又は水酸化アルミニウム、構造規定剤としてはＴＰＡＯＨ、ＴＰＡＢｒ、硬化剤として水酸化ナトリウムなどから既知の方法で製造することができる。
【００４０】
　ゼオライト種晶として市販のものを用いる場合には、所望の大きさに粉砕機で粉砕した後、水に分散させ、分散液を調製する。調製した分散液は、適宜上記の方法で多孔質支持体に付着させる。該分散液は、スラリー、ゾル、溶液など、いずれの状態としても良く、採用する塗布方法に応じて適宜調製することができる。多孔質支持体を浸漬してゼオライト種晶を付着する方法を採用する場合には、付着の容易性からスラリー状の分散液であることが好ましい。
【００４１】
　多孔質支持体上へのゼオライト種晶の付着量は、０．５〜２０ｇ／ｍ２とすることが好ましい。多孔質支持体上へのゼオライト種晶の付着量を上記範囲とすることにより、ゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きな径の細孔の割合を低減することができる。ゼオオライト種晶の付着量は、１〜１０ｇ／ｍ２であることが特に好ましい。
【００４２】
　上記方法により得られるゼオライト種晶を付着させた多孔質支持体を用いて水熱合成することで、多孔質支持体上にゼオライト膜を形成する。
【００４３】
　本発明において、水熱合成によるゼオライトの成膜は、一般的な方法をとることができるが、例えば、シリカ源、アルミニウム源、鉱化剤、構造規定剤を水またはアルコール水溶液と混合して前駆液とし、得られた前駆液中にゼオライト種晶を付着した多孔質支持体を浸漬させた状態で、オートクレーブ等で加熱して水熱合成すればよい。
【００４４】
　水熱合成処理の温度は、例えば、８０〜１３０℃とすることが好ましく、８０〜１２０℃で水熱合成することが特に好ましい。８０℃より低い温度では、ゼオライトの結晶化が進行しにくく、１３０℃より高い温度では、ゼオライト結晶の結晶間隙が大きくなる、すなわち、ゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きな径の細孔の割合が大きくなるためである。
【００４５】
　また、水熱合成処理の時間は、８０〜２４０時間とすることが好ましく、１００〜２００時間とすることが特に好ましい。８０時間より短いとノルマルパラフィンまたはパラキシレンの選択性が低下するおそれがあり、２４０時間より長いと透過量が低下するおそれがある。
【００４６】
　多孔質支持体上にゼオライトを成膜後、ゼオライト膜複合体は４５０〜７００℃で２〜１０時間焼成される。焼成処理は、０．１〜１０℃／分の昇温速度で所望の温度まで昇温し、所定時間焼成の後、０．１〜１０℃／分の降温速度で降温して、細孔内の構造規定剤を除去することが好ましい。昇温速度および降温速度を上記範囲とすることにより、ゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きな径の細孔の割合を低減することができる。焼成温度への昇温速度は、０．５〜５℃／分とすることが特に好ましく、降温速度は０．５〜５℃／分とすることが特に好ましい。
【００４７】
　ゼオライト膜の細孔の割合が、結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が２０％以下であるゼオライト膜複合体は、多孔質支持体上へのゼオライト種晶の付着量、水熱合成時の温度、時間、焼成時の昇温速度、降温速度等を適宜調整してゼオライトを成膜することにより製造することができる。」
オ　分離の対象とするノルマルパラフィン／イソパラフィン混合流体の具体例について
「【００４９】
　本発明のゼオライト膜複合体は、パーベーパレーション法、及びベーパーパーミエーション法による液体混合物の分離に極めて有効に使用することができる。本発明のゼオライト膜複合体が分離の対象とするノルマルパラフィン／イソパラフィン混合流体の具体例としては、ブタン／イソブタン、ペンタン／メチルブタン、ヘキサン／メチルペンタン、ヘキサン／ジメチルブタン、オクタン／イソオクタン、デカン／イソデカン、ドデカン／イソドデカン、ヘキサデカン／イソヘキサデカン、オクタデカン／イソオクタデカンなどが挙げられる。混合流体としては２成分に限定されず、３成分以上であっても構わない。また、キシレン混合流体としては、オルトキシレン／メタキシレン／パラキシレンのほか、オルトキシレン／パラキシレン、メタキシレン／パラキシレン、メタキシレン／パラキシレン／エチルベンゼン／トリメチルベンゼンなどが挙げられる。」
カ　ゼオライト膜複合体とその修復処理について
【００５０】
　本発明のゼオライト膜複合体は、ノルマルパラフィンを含む混合流体からのベーパーパーミエーション試験において、ノルマルパラフィンの分圧が３４ｋＰａで３００℃におけるノルマルパラフィンの透過度が１×１０-８ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、かつノルマルパラフィン／イソパラフィンの分離係数が１００以上であることが好ましい。透過度および分離係数が上記の値を満たすことにより、工業規模のスケールで高純度のノルマルパラフィンを得ることが可能となる。ノルマルパラフィンの分圧が３４ｋＰａで３００℃におけるノルマルパラフィンの透過度が５×１０-８ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、かつ分離係数が５００以上であることが特に好ましい。
【００５１】
　また、本発明のゼオライト膜複合体は、パラキシレンを含む混合流体からのベーパーパーミエーション試験において、パラキシレンの分圧が２５ｋＰａで３００℃におけるパラキシレンの透過度が１×１０-９ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、かつパラキシレン／メタキシレンの分離係数が２０以上であることが好ましい。透過度および分離係数が上記の値を満たすことにより、工業規模のスケールで高純度のパラキシレンを得ることが可能となる。パラキシレンの分圧が２５ｋＰａで３００℃におけるパラキシレンの透過度が５×１０-９ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、かつ分離係数が５０以上であることが特に好ましい。
【００５２】
（ゼオライト膜の修復処理）
　また、本発明にかかるゼオライト膜複合体は、多孔質支持体にゼオライトを成膜後に、オルトケイ酸エステル含有する水溶液やアルコール溶液に浸漬させたものが好ましい。ゼオライト膜複合体をオルトケイ酸エステル溶液に浸漬することにより、粒界やピンホールを修復することができる。
【００５３】
　オルトケイ酸エステルとしては、特に制限されないが、オルトケイ酸テトラメチル、オルトケイ酸テトラエチルなどが挙げられる。オルトケイ酸エステル溶液による修復処理は、ゼオライト膜複合体をオルトケイ酸エステル溶液に浸漬した状態で、温度４０〜９０℃、  １〜４８時間、撹拌することにより行うことが好ましい。オルトケイ酸エステル溶液による修復処理後、ゼオライト膜複合体を洗浄、焼成することが好ましい。」
キ　実施例・比較例について
「【実施例】
【００５４】
・・・
（細孔分布の測定）
ゼオライト膜複合体の細孔分布の測定を、以下の条件で行った。
・装置名： 分離膜欠陥構造解析装置 Ｐｏｒｏｍｅｔｅｒ ｎａｎｏ
・測定方式： ケルビンの毛管凝縮式を利用
・測定範囲：０．３〜２．０ｎｍ
・凝縮性ガス：ノルマルヘキサン
・非凝縮性ガス：ヘリウム
　ゼオライト膜複合体に凝縮性ガスと非凝縮性ガスの混合ガスを供給し、非凝縮性ガスの透過量を測定した。凝縮性ガス濃度を徐々に上げていくことで、凝縮性ガスの毛管凝縮による細孔の閉塞が進行し、この際の非凝縮性ガスの透過量の変化から、細孔分布を算出した。測定温度は６０℃、凝縮性ガス濃度は０−２０％の範囲で測定を行った。この時、凝縮性ガス濃度０％での非凝縮性ガス透過量に対する凝縮性ガス濃度１％での非凝縮性ガス透過量の割合をゼオライト細孔より大きな細孔の割合とした。
【００５５】
（実施例１）
・種晶の調製
　水酸化ナトリウム、オルトケイ酸テトラエチル(ＴＥＯＳ)、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド（ＴＰＡＯＨ）、純水を混合し、２４時間室温で撹拌することで、合成溶液を得た。溶液の組成は０．００４Ｎａ２Ｏ：ＳｉＯ２：０．１７６ＴＰＡＯＨ：４３．９Ｈ２Ｏであった。得られた合成溶液を１００℃で２４時間、撹拌条件下で水熱合成を行った。合成後の溶液をろ過し、回収した粉末を５３０℃で８時間焼成を行うことでｓｉｌｉｃａｌｉｔｅ−１種晶を得た。
【００５６】
・種晶付多孔質支持体の調製
　種晶として準備したｓｉｌｉｃａｌｉｔｅ−１粉末を純水中に分散させ、スラリー中の種晶の濃度が１０ｇ／Ｌとなるように種晶懸濁液１を調製した。次に、多孔質支持体として、直径１ｃｍ、長さ３ｃｍの円筒型のα−アルミナ支持体を準備した。支持体の平均孔径は１５０ｎｍであり、気孔率は３７％であった。α−アルミナ支持体を種晶スラリーに１分間浸漬し、種晶付多孔質支持体１を得た。種晶付多孔質支持体の種晶担持量を測定したところ５．６ｇ／ｍ２であり、多孔質支持体の表面及び断面をＳＥＭにて観察したところ、種晶は支持体上に主に担持されていた。
【００５７】
・ゼオライト膜の形成
　オルトケイ酸テトラエチル(ＴＥＯＳ)、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド（ＴＰＡＯＨ）、エタノール、純水を混合し、６０℃で４時間エージングすることで、合成溶液を得た。溶液の組成はＳｉＯ２：０．１２ＴＰＡＯＨ：６６Ｈ２Ｏ：８ＥｔＯＨであった。得られた合成溶液に種晶付多孔質支持体１を浸漬し、１００℃で７日間、水熱合成を行った後、５００℃で８時間焼成を行い、ゼオライト膜複合体を得た。焼成は１℃/ｍｉｎで昇温し、５００℃で８時間保持した後、１℃/ｍｉｎで降温した。実施例１にかかるゼオライト膜複合体の細孔径分布を図１に示す。図１中、○が実施例１にかかるゼオライト膜複合体の細孔分布である。実施例１にかかるゼオライト膜複合体のゼオライトの構造は、ＸＲＤ測定におけるピークパターンからｓｉｌｉｃａｌｉｔｅ−１と決定した。実施例１にかかるゼオライト膜複合体の性状を表１に示す。
【００５８】
（実施例２）
・液相修復処理
　実施例１のゼオライト膜複合体に対して、液相修復処理を行った。修復に用いた溶液はＴＥＯＳ、純水、エタノールを混合することで調製した。修復液の組成はＳｉＯ２：１０Ｈ２Ｏ：ＥｔＯＨであった。修復液にゼオライト膜複合体を浸漬させ、６０℃で２４時間撹拌することで液相修復処理を行い、修復ゼオライト膜複合体を得た。液相修復処理は、図２に示すような装置で行った。容器１０は、固定部３を備えた回転テーブル２と、図示しない加熱部とを備える。ゼオライト膜複合体１は固定部３により回転テーブル２に固定し、容器１０内に修復液４を仕込んだ状態で、加熱部により修復液を６０℃に加温し、回転テーブル２を回転させて、２４時間撹拌処理した。処理後、温水で洗浄し、３５０℃で　４時間焼成を行い、修復ゼオライト膜複合体を得た。実施例２にかかる修復ゼオライト膜複合体の性状を表２に示す。修復層重量は修復処理前後の重量変化から算出した。
【００５９】
（比較例１）
・ゼオライト膜の形成
　オルトケイ酸テトラエチル(ＴＥＯＳ)、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド（ＴＰＡＯＨ）、エタノール、純水を混合し、６０℃で４時間エージングすることで、合成溶液を得た。溶液の組成はＳｉＯ２：０．１２ＴＰＡＯＨ：６６Ｈ２Ｏ：８ＥｔＯＨであった。得られた合成溶液に、実施例１と同様にして調整した種晶付多孔質支持体を浸漬し、１００℃で３日間、水熱合成を行った後、５００℃で８時間焼成を行い、ゼオライト膜複合体を得た。比較例１にかかるゼオライト膜複合体の細孔径分布を図１に示す。図１中、□が比較例１にかかるゼオライト膜複合体の細孔分布である。比較例１のゼオライト膜複合体のゼオライトの構造は、ＸＲＤ測定におけるピークパターンからｓｉｌｉｃａｌｉｔｅ−１と決定した。比較例１にかかるゼオライト膜複合体の性状を表３に示す。
【００６０】
（比較例２）
・液相修復処理
　比較例１のゼオライト膜複合体に対して、実施例２と同様の液相修復処理を行った。修復に用いた溶液はＴＥＯＳ、純水、エタノールを混合することで調製した。修復液の組成はＳｉＯ２：１０Ｈ２Ｏ：ＥｔＯＨであった。修復液に比較例１のゼオライト膜複合体を浸漬させ、６０℃で２４時間撹拌することで液相修復処理を行い、修復ゼオライト膜複合体を得た。比較例２にかかる修復ゼオライト膜複合体の性状を表４に示す。修復層重量は修復処理前後の重量変化から算出した。
【００６１】
（ベーパーパーミエーション試験）
　実施例１、２、ならびに比較例１、２のゼオライト膜複合体および修復ゼオライト膜複合体を用い、図３に概略を示すベーパーパーミエーション装置により分離試験を行った。試験１〜４、試験９〜１２、試験１７および１８では、混合流体としてヘキサン異性体（ノルマルヘキサン、２−メチルペンタン、２，２−ジメチルブタン）を用い、分離膜の温度を変更して混合流体からのノルマルヘキサンの分離性能を評価した。また、試験５〜８、試験１３〜１．１、試験１９および２０では、混合流体としてキシレン異性体（オルトキシレン、メタキシレン、パラキシレン）を用い、分離膜の温度を変更して混合流体からのパラキシレンの分離性能を評価した。供給液タンク２０内の混合流体をヒーターにより加熱して気体とし、ポンプ２１により大気圧に保持した分離セル２３内に供給した。分離セル２３は、図示しないオーブン内に設置されて、透過試験中所定温度に加熱され、円筒型のゼオライト膜複合体１の外側表面に分離する混合流体を供給し、内側表面から透過ガスを得る構造をとる。透過側にはキャリアガスとしてアルゴンガスを３００ｍＬ／ｍｉｎの速度で流した。ゼオライト膜複合体１を透過したガスを含む回収ガスを分取し、ガスクロマトグラフ２４にて分析を行ない、膜を透過してきたガスの透過率（ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１）を評価した。その結果を表１〜４に示す。なお、分離係数とは、下記式で示されるように、供給ガス中の成分Ａ（モル％）と成分Ｂ（モル％）との比に対する透過ガス中の成分Ａ（モル％）と成分Ｂ（モル％）との比の値をいう。 
【００６２】
　分離係数＝（ＰＮ−Ｈ／ＰＤＭＢ）／（ＦＮ−Ｈ／ＦＤＭＢ）
　ＰＮ−Ｈ：透過ガス中のノルマルヘキサン濃度
　ＰＤＭＢ：透過ガス中の２，２−ジメチルブタン濃度
　ＦＮ−Ｈ：供給ガス中のノルマルヘキサン濃度
　ＦＤＭＢ：供給ガス中の２，２−ジメチルブタン濃度
　分離係数＝（ＰＰ−Ｘ／ＰＭ−Ｘ）／（ＦＰ−Ｘ／ＦＭ−Ｘ）
　ＰＰ−Ｘ：透過ガス中のパラキシレン濃度
　ＰＭ−Ｘ：透過ガス中のメタキシレン濃度
　ＦＰ−Ｘ：供給ガス中のパラキシレン濃度
　ＦＭ−Ｘ：供給ガス中のメタキシレン濃度
　【００６３】
　【表１】
　【００６４】
　【表２】
　【００６５】
　【表３】
　【００６６】
　【表４】
（４）検討
ア　本件発明の課題
　発明の詳細な説明の【背景技術】の【０００４】の「【０００４】
　近年、これらの問題を解決すべく耐薬品性、耐酸化性、耐熱安定性、耐圧性が良好な種々の無機膜が提案されてきている。無機膜を用いた分離、濃縮は、蒸留や吸着剤による分離に比べ、エネルギーの使用量を削減できるほか、高分子膜よりも広い温度範囲で分離、濃縮を実施でき、更に劣化の問題により高分子膜では分離できない有機物を含む混合物の分離にも適用できるという利点を有している。その中でもゼオライト膜は、サブナノメートルの規則的な細孔を有しているため、分子ふるいとしての働きをもつので選択的に特定の分子を透過でき、高分離性能を示すことが期待されている。」、【０００９】の
「【０００９】
　ところで、ゼオライトは、分子レベルの細孔径を有する無機酸化物の結晶であり、均一な大きさの細孔をもち，その細孔径分布は非常に狭い。そのようなゼオライトを膜状に合成したゼオライト膜は高性能分離膜として有望な素材となりうる。しかし、ゼオライト膜は多結晶体であり、結晶の間に粒界やピンホールが存在する。また、ゼオライト膜は、熱的、または物理的衝撃を受けることにより、ゼオライト膜に亀裂を生じる。これら粒界、ピンホール、および亀裂により、高い分離性能が得られないことが多い。」との記載、
　【発明が解決しようとする課題】の【００１４】の
「【００１４】
　上記に記載のゼオライト膜複合体を使用したノルマルパラフィンとイソパラフィン混合流体からのノルマルパラフィンの分離や、ミックスキシレンからのパラキシレンの分離技術は、分離係数が十分満足できるものではないために、工業的に要求される純度のものを得ることが困難であるか、または透過度が満足しうるものではなかった。
　【００１５】
　本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、高い分離性能と透過度とを有するとともに、簡便に製膜可能なゼオライト膜複合体を用いた、ノルマルパラフィン／イソパラフィン混合流体からのノルマルパラフィンの分離またはミックスキシレンからのパラキシレンの分離方法およびゼオライト膜複合体を提供することにある。」との記載、
【課題を解決するための手段】の【００１６】の
「【００１６】
　本発明者らは、鋭意検討した結果、ゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きな径の細孔の割合が２０％以下であるゼオライトを製膜したゼオライト膜複合体が、ノルマルパラフィン／イソパラフィンの混合流体からのノルマルパラフィンの分離、またはミックスキシレンからのパラキシレンの分離を高い選択性および透過度で行いうることを見出した。本発明はこれらの知見に基づいて成し遂げられたものである。」との記載及び本件明細書全体の記載を参酌して、本件特許発明の課題は、ゼオライト膜複合体を用いたノルマルパラフィン／イソパラフィンの混合流体からのノルマルパラフィンの分離、またはミックスキシレンからのパラキシレンの分離を高い選択性および透過度で行いうる分離方法の提供及び該分離方法に用いる簡便に成膜可能なゼオライト膜複合体の提供にあるものと認める。
イ　対比判断
（ア）分離の対象となるノルマルパラフィンについて
ａ　特許請求の範囲には、前記（２）に「ゼオライトは、結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が５％以下であること」と、「ゼオライト膜複合体は、ノルマルパラフィンの分圧が３４ｋＰａで３００℃におけるノルマルパラフィンの透過度が５×１０-８ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、かつノルマルパラフィン／イソパラフィンの分離係数が１００以上、またはパラキシレンの分圧が２５ｋＰａで３００℃におけるパラキシレンの透過度が１×１０-９ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上であること、かつパラキシレン／メタキシレンの分離係数が２０以上であること」が特定された「多孔質支持体上にゼオライトを成膜したゼオライト膜複合体により、２種以上の化合物の混合流体から
ノルマルパラフィン
ｂ　一方、発明の詳細な説明の記載においては、【００１６】〜【００２１】のノルマルパラフィン／イソパラフィン混合流体からのノルマルパラフィンの分離を高い選択性および透過度で行いうる課題を解決するための手段及び発明の効果に関する記載（前記摘記ア）、【００４９】の分離の対象とするノルマルパラフィン／イソパラフィン混合流体の具体例に関する記載（前記摘記オ）、【００５４】〜【００６６】のノルマルヘキサンと２−メチルペンタンと２，２−ジメチルブタンに関する実施例、比較例に関する記載（前記摘記キ）から、ノルマルヘキサンの場合に高い分離係数を得たことの記載がある。
　また、特許権者が平成３０年８月６日付けで提出した意見書に添付した資料１（小野嘉夫　外１名編，「ゼオライトの科学と工学」，株式会社講談社，２０００年７月１０日，９８〜９９，１０４〜１０５，１１０〜１１１頁）によると、ゼオライトが吸着分離剤として代表的なものであり、ゼオライトの分子ふるい機能を利用した典型的な応用例として、直鎖アルカンの選択的吸着分離があり、工業的に分離対象となるアルカンは、Ｃ４〜Ｃ２０の範囲であり、工業的に数種の分離プロセスが開発されている点は本願出願時の技術常識であったことが理解できる。
　さらに、甲第６号証表１の結果からノルマルパラフィンの炭素鎖の長さや温度に依存して透過度に変化があることは読み取れる。
ｃ　したがって、上記ノルマルパラフィン／イソパラフィン混合流体からのノルマルパラフィンの分離を高い選択性および透過度で行いうる課題を解決するための手段及び発明の効果に関する記載、ノルマルパラフィン／イソパラフィン混合流体の具体例に関する記載、ノルマルヘキサンと２−メチルペンタンと２，２−ジメチルブタンに関する実施例、比較例に関する記載と、上記技術常識を知見した当業者であれば、実施例に記載されたノルマルヘキサンの分離以外の場合においても、一定程度ゼオライトが分子ふるいの機能を発揮し、本件特許発明の課題を解決できると認識できるといえる。
　また、温度に依存して透過度が変化する傾向を示す甲第６号証表１の結果からみても、該表１の温度以上の３００℃（５７３Ｋ）における透過度としては、当業者であれば、ノルマルヘキサン以外の透過度においても、加熱によって一定の透過度を有していると理解できるといえる。
（イ）結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合について
ａ　特許請求の範囲には、前記（２）で記載したように、「ゼオライトは、結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が５％以下であること」と、「ゼオライト膜複合体は、ノルマルパラフィンの分圧が３４ｋＰａで３００℃におけるノルマルパラフィンの透過度が・・・以上、かつノルマルパラフィン／イソパラフィンの分離係数が・・・以上、またはパラキシレンの分圧が２５ｋＰａで３００℃におけるパラキシレンの透過度が・・・以上であること、かつパラキシレン／メタキシレンの分離係数が・・・以上であること」が特定された「多孔質支持体上にゼオライトを成膜したゼオライト膜複合体により、２種以上の化合物の混合流体からノルマルパラフィンまたはパラキシレンを選択的に分離する分離方法」が記載され、ゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が５％以下であることが特定された発明が記載されている。
ｂ　一方、発明の詳細な説明においては、【００１６】〜【００２１】のノルマルパラフィン／イソパラフィンの混合流体からのノルマルパラフィンの分離、またはミックスキシレンからのパラキシレンの分離を高い選択性および透過度で行いうる課題を解決するための手段及び発明の効果に関する記載（前記摘記ア）、【００３０】の「本発明のゼオライト膜複合体において、ゼオライト中の細孔の割合は、ゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きな径の細孔の割合が２０％以下である。・・・
ゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きな粒界やピンホールの割合を２０％以下とすることにより、ノルマルパラフィンやパラキシレンを選択的に分離することができる。ゼオライト細孔より大きな細孔の割合は、５％以下であることが特に好ましい
（ゼオライト膜複合体）
　本発明にかかるゼオライト膜複合体は、多孔質支持体の表面などにゼオライトが膜状に固着しているものであり、例えば、多孔質支持体の表面などにゼオライトを水熱合成や、水蒸気処理により膜状に結晶化させたものが用いられる。
【００３８】
　多孔質支持体上にゼオライトを成膜する場合、多孔質支持体上にゼオライト種晶を付着させた後、ゼオライト膜を水熱合成により形成することが好ましい。一般的に、多孔質支持体にゼオライト種晶を付着させるためには、ゼオライト種晶の粉末を溶剤に分散させた分散液を多孔質支持体上に塗布することが好ましいが、その他、多孔質支持体製造時に原料の一部としてゼオライト種晶粉末を混入させることで、多孔質支持体にゼオライト種晶を付着させることもできる。塗布の方法としては、ゼオライト種晶を含む分散液を多孔質支持体に単純に滴下するだけでも良く、ゼオライト種晶を含む分散液に多孔質支持体を浸漬することでも得られる。また、スピンコート、スプレーコート、ロールコート、スラリーの塗布、濾過など汎用されている方法を用いることもできる。多孔質支持体上の種晶の付着量を再現性よく制御する観点から、ゼオライト種晶を含む分散液を調製し、該分散液に多孔質支持体を浸漬する方法が好ましい。
【００３９】
　ゼオライト種晶は、市販のものを用いてもよく、原料から製造してもよい。原料から製造する場合には、例えばシリカ原料としてケイ酸ナトリウム、シリカゲル、シリカゾル又はシリカ粉末、アルミナ原料としてアルミン酸ナトリウム又は水酸化アルミニウム、構造規定剤としてはＴＰＡＯＨ、ＴＰＡＢｒ、硬化剤として水酸化ナトリウムなどから既知の方法で製造することができる。
【００４０】
　ゼオライト種晶として市販のものを用いる場合には、所望の大きさに粉砕機で粉砕した後、水に分散させ、分散液を調製する。調製した分散液は、適宜上記の方法で多孔質支持体に付着させる。該分散液は、スラリー、ゾル、溶液など、いずれの状態としても良く、採用する塗布方法に応じて適宜調製することができる。多孔質支持体を浸漬してゼオライト種晶を付着する方法を採用する場合には、付着の容易性からスラリー状の分散液であることが好ましい。
【００４１】
　多孔質支持体上へのゼオライト種晶の付着量は、０．５〜２０ｇ／ｍ２とすることが好ましい。
多孔質支持体上へのゼオライト種晶の付着量を上記範囲とすることにより、ゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きな径の細孔の割合を低減することができる
【００４２】
　上記方法により得られるゼオライト種晶を付着させた多孔質支持体を用いて水熱合成することで、多孔質支持体上にゼオライト膜を形成する。
【００４３】
　本発明において、水熱合成によるゼオライトの成膜は、一般的な方法をとることができるが、例えば、シリカ源、アルミニウム源、鉱化剤、構造規定剤を水またはアルコール水溶液と混合して前駆液とし、得られた前駆液中にゼオライト種晶を付着した多孔質支持体を浸漬させた状態で、オートクレーブ等で加熱して水熱合成すればよい。
【００４４】
　水熱合成処理の温度は、例えば、８０〜１３０℃とすることが好ましく、８０〜１２０℃で水熱合成することが特に好ましい。
８０℃より低い温度では、ゼオライトの結晶化が進行しにくく、１３０℃より高い温度では、ゼオライト結晶の結晶間隙が大きくなる、すなわち、ゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きな径の細孔の割合が大きくなるためである
【００４５】
　また、水熱合成処理の時間は、８０〜２４０時間とすることが好ましく、１００〜２００時間とすることが特に好ましい。
８０時間より短いとノルマルパラフィンまたはパラキシレンの選択性が低下するおそれがあり、２４０時間より長いと透過量が低下するおそれがある
【００４６】
　多孔質支持体上にゼオライトを成膜後、ゼオライト膜複合体は４５０〜７００℃で２〜１０時間焼成される。焼成処理は、０．１〜１０℃／分の昇温速度で所望の温度まで昇温し、所定時間焼成の後、０．１〜１０℃／分の降温速度で降温して、細孔内の構造規定剤を除去することが好ましい。
昇温速度および降温速度を上記範囲とすることにより、ゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きな径の細孔の割合を低減することができる
【００４７】
　
ゼオライト膜の細孔の割合が、結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が２０％以下であるゼオライト膜複合体は、多孔質支持体上へのゼオライト種晶の付着量、水熱合成時の温度、時間、焼成時の昇温速度、降温速度等を適宜調整してゼオライトを成膜することにより製造することができる
ｃ　したがって、上記ノルマルパラフィン／イソパラフィンの混合流体からのノルマルパラフィンの分離、またはミックスキシレンからのパラキシレンの分離を高い選択性および透過度で行いうる課題を解決するための手段及び発明の効果に関する記載、使用するゼオライトにおけるゼオライト細孔より大きな細孔の割合は、５％以下であることが特に好ましいとの記載、ゼオライト膜複合体及びその製造条件に関する記載ノルマルヘキサンの２−メチルペンタンと２，２−ジメチルブタンからの分離、及びパラキシレンのオルトキシレンとメタキシレンからの分離に関する実施例、比較例に関する記載と、
ゼオライト膜の細孔の割合が、結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が一定であるゼオライト膜複合体は、多孔質支持体上へのゼオライト種晶の付着量、水熱合成時の温度、時間、焼成時の昇温速度、降温速度等を適宜調整してゼオライトを成膜することにより製造することができるとして、各条件の好ましい範囲を示している記載
　また、温度に依存して透過度が変化する傾向を示す甲第６号証表１の結果からみても、該表１の温度以上の３００℃（５７３Ｋ）における透過度としては、当業者であれば、ノルマルヘキサン以外の透過度においても、加熱によって一定の透過度を有していると理解できるといえる。
（ウ）請求項３〜７，９，１１に係る発明について
　請求項３〜７に係る発明は、請求項１に係る発明において、さらに技術的に限定したものであるが、それらの技術的限定に関し、【００５０】〜【００５３】【００２７】【００３１】に各技術的限定に関する説明がそれぞれ存在し、これらの説明も考慮すれば、請求項３〜７に係る発明も、発明の詳細な説明に記載されたものといえる。
　また、請求項９，１１に係る発明は、それぞれ、請求項１，７に対応したゼオライト膜複合体の発明であり、【００３７】〜【００５１】にゼオライト複合膜に関して説明が存在し、これらの説明も考慮すれば、請求項９，１１に係る発明も、発明の詳細な説明に記載されたものといえる。
（５）サポート要件のまとめ
　したがって、上記の点において、請求項１，３〜７，９，１１に係る発明は発明の詳細な説明に記載されたものである。
２　理由２（特許法第３６条第４項第１号）について
（１）本件特許発明に関する特許法第３６条第４項第１号の判断の前提
　明細書の発明の詳細な説明の記載が実施可能要件に適合するというためには、物の発明にあっては、当業者が過度な試行錯誤なく、明細書及び図面の記載並びに出願当時の技術常識に基いて、その物を生産でき、かつ、使用できるように、方法の発明にあっては、その方法を使用できるように、それぞれ記載されていることが必要と解される。
（２）発明の詳細な説明の記載
　本件明細書の発明の詳細な説明には、前記１（３）の記載に加えて次の記載がある。
ア　ゼオライト膜に関する記載
「【００２４】
・・・
　本発明において、ゼオライト膜を構成する成分としては、ゼオライト以外にシリカ、アルミナなどの無機バインダー、ポリマーなどの有機物、あるいはゼオライト表面を修飾するシリル化剤などを必要に応じ含んでいてもよい。ゼオライト膜は、一部アモルファス成分などが含有されていてもよいが、好ましくは実質的にゼオライトのみで構成されるゼオライト膜である。
【００２５】
　ゼオライト膜の厚さは特に限定されないが、通常０．１μｍ以上、好ましくは０．６μｍ以上、より好ましくは１．０μｍ以上である。また、通常１００μｍ以下、好ましくは６０μｍ以下、より好ましくは２０μｍ以下の範囲である。ゼオライト膜の膜厚が大きすぎると透過量が低下する傾向があり、小さすぎると選択性が低下したり、膜強度が低下する傾向がある。
【００２６】
　ゼオライト膜を構成するゼオライトの粒子径は特に限定されないが、小さすぎると粒界が大きくなるなどして透過選択性などを低下させる傾向がある。それ故、通常３０ｎｍ以上、好ましくは５０ｎｍ以上、より好ましくは１００ｎｍ以上であり、上限は膜の厚さ以下、例えば、１００μｍ以下である。さらに、ゼオライトの粒子径がゼオライト膜の厚さと同じである場合がより好ましい。ゼオライトの粒子径がゼオライト膜の厚さと同じであるとき、ゼオライトの粒界が最も小さくなる。後に述べる水熱合成で得られたゼオライト膜は、ゼオライトの粒子径とゼオライト膜の厚さが同じになる場合があるので好ましい。」
イ　本発明のゼオライト膜を構成する原料及び構造規定剤に関する記載
「【００２８】
　本発明のゼオライト膜を構成する原料は、特に限定されるものではないが、シリカ源としては、無定形シリカ、アモルファスシリカ、ヒュームドシリカ、コロイダルシリカ、オルトケイ酸テトラエチル（ＴＥＯＳ）、珪酸ナトリウム、珪酸カリウム、珪酸リチウム等、アルミニウム源としては、アルミン酸ナトリウム、アルミン酸カリウム、塩化アルミニウム、硝酸アルミニウム、硫酸アルミニウム、水酸化アルミニウム等を使用することができる。
【００２９】
　また、構造規定剤としては、所望のゼオライトにより種々選択すればよいが、ＭＦＩ型ゼオライトの場合は、例えば、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド（ＴＰＡＯＨ）、テトラプロピルアンモニウムボロミド（ＴＰＡＢｒ）が使用される。また、目的とするゼオライトの種類に応じて、鉱化剤、例えば、アルカリ金属またはアルカリ土類金属の水酸化物を使用してもよい。」
ウ　多孔質支持体に関する記載
「【００３３】
・・・
　多孔質支持体は、その表面などにゼオライトを膜状に結晶化できるような化学的安定性がある多孔質の無機物質であれば如何なるものであってもよい。具体的には、例えば、シリカ、α−アルミナ、γ−アルミナ、ムライト、ジルコニア、チタニア、イットリア、窒化珪素、炭化珪素などのセラミックス焼結体、鉄、ブロンズ、ステンレスなどの焼結金属や、ガラス、カーボン成型体などが挙げられる。このうち、耐熱性、機械的強度、耐薬品性、支持体作成の容易さや、入手容易性の点から、α−アルミナ、ステンレスが好ましい。
【００３４】
　多孔質支持体の形状は、ノルマルパラフィン／イソパラフィン混合流体、ミックスキシレン混合流体からノルマルパラフィンまたはオルトキシレンを有効に分離できるものであれば特に制限されず、具体的には、例えば、平板状、管状のもの、または円筒状、円柱状や角柱状の孔が多数存在するハニカム状のものやモノリスなどが挙げられる。本発明においては、無機多孔質支持体の表面などにゼオライト膜を形成、好ましくはゼオライトを膜状に結晶化させる。
【００３５】
　多孔質支持体が有する平均細孔径は特に制限されないが、細孔径が制御されているものが好ましく、通常０．０２μｍ以上、好ましくは０．０５μｍ以上、より好ましくは０．１μｍ以上であり、通常２０μｍ以下、好ましくは１０μｍ以下、より好ましくは５μｍ以下である。平均細孔径が小さすぎると透過量が小さくなる傾向があり、大きすぎると支持体自体の強度が不十分になったり、緻密なゼオライト膜が形成されにくくなる傾向がある。
【００３６】
　また、多孔質支持体の気孔率は特に制限されず、また特に制御する必要は無いが、気孔率は、通常２０％以上６０％以下であることが好ましい。気孔率は、気体や液体を分離する際の透過流量を左右し、前記下限未満では透過物の拡散を阻害する傾向があり、前記上限超過では支持体の強度が低下する傾向がある。」
（３）判断
ア　本件明細書の実施例１と実施例２、比較例１と比較例２の結果を対比すると、ゼオライト膜の修復処理によって、粒界やピンホールの修復がなされて、分離係数が向上したことが理解できる。
　このことからも理解できるとおり、本件特許発明のゼオライト膜には、一定の粒界やピンホールが存在しているといえ、この粒界やピンホールは請求項に記載の「細孔」に該当するものといえる。
イ　一方、本件明細書によれば、【００５４】に、「【００５４】
  以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
（細孔分布の測定）
ゼオライト膜複合体の細孔分布の測定を、以下の条件で行った。  
・装置名：  分離膜欠陥構造解析装置  Ｐｏｒｏｍｅｔｅｒ  ｎａｎｏ
・測定方式：  ケルビンの毛管凝縮式を利用
・測定範囲：０．３〜２．０ｎｍ  
・凝縮性ガス：ノルマルヘキサン  
・非凝縮性ガス：ヘリウム
  ゼオライト膜複合体に凝縮性ガスと非凝縮性ガスの混合ガスを供給し、非凝縮性ガスの透過量を測定した。凝縮性ガス濃度を徐々に上げていくことで、凝縮性ガスの毛管凝縮による細孔の閉塞が進行し、この際の非凝縮性ガスの透過量の変化から、細孔分布を算出した。測定温度は６０℃、凝縮性ガス濃度は０−２０％の範囲で測定を行った。この時、凝縮性ガス濃度０％での非凝縮性ガス透過量に対する凝縮性ガス濃度１％での非凝縮性ガス透過量の割合をゼオライト細孔より大きな細孔の割合とした。」とのゼオライト膜複合体の細孔分布の測定方法の記載があり、特許権者が平成３０年８月６日付け意見書８〜９頁で説明しているように、本件明細書の細孔分布の測定に使用するケルビンの毛細凝縮式は細孔分布の測定の方式として技術常識であり、本件明細書では、凝縮性ガスの割合を０〜２０％の間で変更し、２０％の混合ガスで２．０ｎｍまでの細孔内で凝縮性ガスが凝縮して細孔が閉塞した結果、非凝縮性が透過しないことが確認されていることから、２ｎｍより大きい範囲に細孔が存在していないことが確認されていると考えられる。
　したがって、【００５４】の手法で測定し、【００５４】で定義した「結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合」（凝縮性ガス濃度０％での非凝縮性ガス透過量に対する凝縮性ガス濃度１％での非凝縮性ガス透過量の割合）を決定した本件明細書の測定結果は、２ｎｍより大きい細孔の存在の可能性も含めた全細孔についての結果であると考えられる。
　したがって、当業者であれば、発明の詳細な説明に記載された、ゼオライト膜及び構成するゼオライトに関する記載、ゼオライト膜を構成する原料及び構造規定剤に関する記載、多孔質支持体に関する記載、ゼオライト膜複合体及びその製造条件に関する記載、ゼオライト膜の修復処理に関する記載と実施例、比較例の記載を参酌すれば、結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合を調節し、一定の高い透過度と分離係数を維持した本件特許発明のノルマルパラフィンまたはパラキシレンの分離方法及びゼオライト膜複合体を過度な試行錯誤なく製造し、使用できるといえる。
（４）特許異議申立人の主張の検討
　特許異議申立人は、申立書第５９〜６２頁において、本件特許明細書の実施例１，比較例１と実施例２、比較例２の比較からゼオライト膜複合体の修復によって分離係数が上昇していることから粒界やピンホールが残存し、甲第９号証、甲第１０号証、甲第１１号証の記載を指摘して、２ｎｍ以上の細孔が粒界に存在し、本件特許明細書ではその範囲のものを測定していない旨主張している。
　しかしながら、確かにゼオライト膜複合体に２ｎｍ以上の細孔が粒界に存在する場合はあるものの、本件特許明細書においては、上述のとおり、【００５４】の手法で測定し、【００５４】で定義した「結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合」（凝縮性ガス濃度０％での非凝縮性ガス透過量に対する凝縮性ガス濃度１％での非凝縮性ガス透過量の割合）が、ゼオライト膜複合体に凝縮性ガスと非凝縮性ガスの混合ガスを供給し、非凝縮性ガスの透過量を測定し、凝縮性ガス濃度を徐々に上げていくことで、凝縮性ガスの毛管凝縮による細孔の閉塞が進行し、この際の非凝縮性ガスの透過量の変化から、細孔分布を算出したことが記載されていることから、適切な細孔分布を算出できているといえ、上述のとおり数値は正しいものと認識できる。
　したがって、特許異議申立人の上記主張は採用できない。
（５）実施可能要件のまとめ
　以上のとおり、発明の詳細な説明の記載は、請求項１，３〜７，９，１１に係る発明を当業者が実施できる程度に明確かつ十分に記載されたものである。
取消理由で採用しなかった特許異議申立理由について
１　特許法第２９条第１項第３号（新規性）及び同法第２９条第２項（進歩性）について
（１）甲号証の記載
（１−１）甲第１号証
　本件優先日前に頒布された刊行物であると認められる甲第１号証には以下の記載がある。
（１ａ）「技術分野
［０００１］
　本発明は、流体を分離するゼオライト分離膜配設体、その製造方法、混合流体の分離方法、及び混合流体分離装置に関する。」
（１ｂ）「［００３１］
（Ｉ）ゼオライト分離膜配設体：
　本発明のゼオライト分離膜配設体は、室温でのＮ２ガスの透過速度が１．０×１０−６ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上であり、且つ室温での１，３，５−トリメチルベンゼン／Ｎ２の透過速度比が０．１７以上であり、且つローダミンＢの染み込みによる染色がないゼオライト膜を備えるゼオライト分離膜配設体である。このゼオライト膜配設体は、ゼオライト結晶固有の細孔を０．７６ｎｍ以下に有し、且つゼオライト結晶固有の細孔でない細孔を０．７６ｎｍ〜２ｎｍに有する。そして、ゼオライト膜は、多孔質材料である支持体上に形成される。ゼオライト膜は、ＭＦＩ膜であることが好ましく、さらにシリカライト膜であることがより好ましい。
［００３２］
（Ｉ−１）細孔：
　本発明のゼオライト分離膜配設体は、異なる２成分以上の混合流体の分離に使用することができる。ゼオライト結晶固有の細孔（ＭＦＩ膜では、０．５〜０．６ｎｍ）よりも大きい（０．７６〜約２ｎｍ）隙間または細孔を有している。具体的には、ゼオライト分離膜配設体は、室温でのＮ２ガスの透過速度が１．０×１０−６ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上である。好ましくは、２．０×１０−６ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上である。細孔の量は多い方が好ましく、Ｎ２ガスの透過速度が上記範囲であるのは、細孔の大きさに関わらず細孔の量が一定量よりも多いことを意味する。
［００３３］
　また、本発明のゼオライト分離膜配設体は、１，３，５−トリメチルベンゼン／Ｎ２の透過速度比が０．１７以上である。好ましくは、０．２０以上である。１，３，５−トリメチルベンゼン／Ｎ２の透過速度比が上記範囲である場合、ゼオライト結晶固有の細孔よりも大きい隙間または細孔が多く存在することを意味する。このため、１，３，５−トリメチルベンゼン（分子径０．７６ｎｍ）よりも分子径の小さい分子を通すことが可能である。
［００３４］
　Ｎ２ガスの透過速度（Ａ）は、全細孔量を意味し、１，３，５−トリメチルベンゼン透過速度（Ｂ）は、ゼオライト結晶固有の細孔よりも大きい隙間または細孔の量を意味する。このため、１，３，５−トリメチルベンゼン／Ｎ２の透過速度比（Ｂ／Ａ）は、全細孔量に対する大きい隙間または細孔の量の割合を意味する。高い透過性と高い分離性の両立には、このＢ／Ａが高いことが重要である。」
（１ｃ）「［００３９］
　具体的な成分系の例としては、直鎖炭化水素と側鎖炭化水素の系では、直鎖体には炭素数５〜９の飽和炭化水素や不飽和炭化水素、例えばｎ−ヘキサン、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、１−ヘキセン、１−ヘプテン、２−オクテンなど、側鎖体には炭素数５〜９の飽和炭化水素や不飽和炭化水素、例えば、２−メチルブタン、２，２−ジメチルブタン、２，３−ジメチルブタン、イソオクタン、２−メチルー１−ブテン、イソオクテンなどが挙げられる。直鎖炭化水素と芳香族炭化水素の系では、直鎖体には炭素数５〜９の飽和炭化水素や不飽和炭化水素、例えばｎ−ヘキサン、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、１−ヘキセン、１−ヘプテン、２−オクテンなど、芳香族にはベンゼン、トルエン、キシレンなどが挙げられる。アルコールと水の系では、アルコールにはエタノール、メタノール、ブタノール、イソプロパノールなどが挙げられる。直鎖炭化水素と無機ガスの系では、直鎖炭化水素にはメタン、エタン、プロパン、プロピレン、ブタン、１−ブテンなど、無機ガスにはＮ２、Ｈｅ、Ａｒなどが挙げられる。」
（１ｄ）「［００５６］
　耐圧容器としては、特に限定されないが、フッ素樹脂製内筒付のステンレス製耐圧容器、ニッケル金属製耐圧容器、フッ素樹脂製耐圧容器等を使用することができる。支持体を種付け用ゾルに浸漬する場合は、少なくともゼオライト種結晶を析出させる箇所を種付け用ゾル内に沈めることが好ましく、支持体全体を種付け用ゾルに沈めてもよい。水熱合成を行う場合の温度は、９０〜１３０℃であり、１００〜１２０℃がより好ましい。９０℃より低温であると、水熱合成が進行しにくく、１３０℃より高温であると、得られるゼオライト種結晶を微粒化することができない。特に、支持体がアルミナ粒子を焼結した多孔体である場合には、水熱合成の温度を上記範囲（９０〜１３０℃）とすることにより、支持体表面に位置するアルミナ粒子のそれぞれの表面をゼオライト種結晶で覆うことが可能となる。また、水熱合成の合成時間は、３〜１８時間であることが好ましく、６〜１２時間であることがより好ましい。３時間より短いと、水熱合成が十分に進行しないことがあり、１８時間より長いと、ゼオライト種結晶が大きくなり過ぎることがある。このように、水熱合成により支持体表面に直接ゼオライト種結晶を析出させると、支持体からゼオライト種結晶が剥離し難くなるため、ゼオライト膜を形成したときに、膜の欠陥や膜厚の不均一等の問題を防止することができる。」
（１ｅ）「［００８５］
（実施例１）
（種付け用ゾルの調製）
　４０質量％のテトラプロピルアンモニウムヒドロキシド溶液（ＳＡＣＨＥＭ社製）３１．２２ｇと、テトラプロピルアンモニウムブロミド（和光純薬工業株式会社製）１６．２９ｇとを混合し、さらに蒸留水７１．２５ｇ、約３０質量％シリカゾル（商品名：スノーテックＳ、日産化学株式会社）８２ｇを加えて、室温にて３０分間マグネチックスターラーで撹拌して種付け用ゾルとした。
［００８６］
（ゼオライト種結晶の生成）
　得られた種付け用ゾル１３ａを、図３に示すように、フッ素樹脂製３００ｍｌ耐圧容器１０内に入れ、両端部にガラスシール（シール部１２）を施した直径３０ｍｍ、長さ１６０ｍｍ、φ３ｍｍのストレート孔が計３７開いたモノリス状の多孔質アルミナ質支持体５１を、外側にフッ素樹脂製テープを被覆した後に浸漬し、１１０℃の熱風乾燥機中で１２時間反応させた。支持体５１は、フッ素樹脂製の受け治具１５より耐圧容器１０に固定した。反応後の支持体５１は外側のフッ素樹脂製テープを除去し、５回の煮沸洗浄の後、８０℃で１６時間乾燥した。反応後の結晶粒子のＸ線回折によりＭＦＩ型ゼオライトであることが確認された。
［００８７］
（膜形成用ゾルの調製）
　４０質量％のテトラプロピルアンモニウムヒドロキシド溶液（ＳＡＣＨＥＭ社製）０．８０ｇと、テトラプロピルアンモニウムブロミド（和光純薬株式会社製）０．４２ｇとを混合し、さらに蒸留水１９３．２６ｇ、約３０質量％シリカゾル（商品名：スノーテックスＳ、日産化学株式会社製）６．３ｇを加えて、室温にて３０分間マグネチックスターラーで撹拌して膜形成用ゾルとした。
［００８８］
（ゼオライト膜の形成）
　得られた膜形成用ゾル１３ｂを、上記「ゼオライト種結晶の生成」の場合と同様に、図３に示すような、フッ素樹脂製３００ｍｌ耐圧容器１０内に入れ、上記ゼオライト種結晶が析出した多孔質アルミナ質支持体５１を、外側にフッ素樹脂製テープを被覆した後に浸漬し、１６０℃まで昇温させ、熱風乾燥機中１６０℃で２４時間反応させ、その後降温させた。反応後の支持体５１は外側のフッ素樹脂製テープを除去し、５回の煮沸洗浄の後、８０℃で１６時間乾燥し、ゼオライト分離膜配設体を得た。その後、ゼオライト分離膜配設体からの構造規定剤の除去工程は、昇温速度０．２℃／ｍｉｎ、加熱温度６００℃で４時間維持、降温速度１℃／ｍｉｎで行った。反応後のチャネル内側の緻密層のＸ線回折によりＭＦＩ型ゼオライトであることが確認された。
［００８９］
（実施例２）
　構造規定剤の除去工程では、ゼオライト分離膜配設体を入れる前に６００℃に昇温し、維持しておいた電気炉に、ゼオライト分離膜配設体を投入（昇温速度は０．２℃／ｍｉｎよりも速い）、静置し、２４時間経過した後、電気炉から取り出した（降温速度は１℃／ｍｉｎよりも速い）。それ以外は実施例１と同様の工程からゼオライト分離膜配設体を得た。反応後のチャネル内側の緻密層のＸ線回折によりＭＦＩ型ゼオライトであることが確認された。
［００９０］
（実施例３）
　実施例１と同様の工程から得られたゼオライト分離膜配設体を用いて、構造規定剤の除去工程は、昇温速度０．１℃／ｍｉｎ、加熱温度６００℃で４時間維持、降温速度０．５℃／ｍｉｎで行った。反応後のチャネル内側の緻密層のＸ線回折によりＭＦＩ型ゼオライトであることが確認された。
［００９１］
（比較例１）
　背景技術に記載の非特許文献１（Ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ　Ｐｕｒｉｆｉｃａｔｉｏｎ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，　２５　（２００１）　２９７−３０６）に準じて作製した。４０質量％のテトラプロピルアンモニウムヒドロキシド溶液（ＳＡＣＨＥＭ社製）１２．６９ｇと、テトラプロピルアンモニウムブロミド（和光純薬工業株式会社製）６．６２ｇとを混合し、さらに蒸留水２０３．０５ｇ、約３０質量％シリカゾル（商品名：スノーテックＳ、日産化学株式会社）２０ｇを加えて、室温にて３０分間マグネチックスターラーで撹拌して種付け用ゾルとした。
［００９２］
　このゾルを、フッ素樹脂製耐圧容器中に入れ、両端部にガラスシールを施した直径３０ｍｍ、長さ１６０ｍｍ、φ３ｍｍのストレート孔が計３７開いたモノリス状の多孔質アルミナ質支持体を外側にフッ素樹脂製テープを被覆した後に浸漬し、１８０℃の熱風乾燥器中で３０時間反応させた。反応後の支持体は、外側のフッ素樹脂製テープを除去し、５回の煮沸洗浄の後、８０℃で１６時間乾燥し、ゼオライト分離膜配設体を得た。その後、ゼオライト分離膜配設体からの構造規定剤の除去工程は、昇温速度０．１℃／ｍｉｎ、加熱温度５００℃で４時間維持、降温速度０．１℃／ｍｉｎで行った。反応後のチャネル内側の緻密層のＸ線回折によりＭＦＩ型ゼオライトであることが確認された。」
（１ｆ）「［００９９］
（単成分ガス透過試験）
　図４に示す装置を用い、単成分ガス（Ｎ２）の透過試験を実施した。ゼオライト分離膜配設体を、その両端外周部にｏ−リング１３３を介してＳＵＳ製ケーシングに収納したもの（ＳＵＳ製モジュール１３７）を所定の位置に設置する。ＳＵＳ製モジュール１３７はｏ−リング１３３、ガラスシール（シール部１２）およびゼオライト膜により、ガス供給側空間１３１とガス透過側空間１３２に区画されることになる。ガス供給側空間１３１はＳＵＳ製モジュール１３７の後段にて閉塞されているため、供給側に接続した評価ガスのボンベにてＳＵＳ製モジュール１３７の供給側空間に、供給ガス導入口１３７ａよりガスを供給し、供給ガス排出口１３７ｂから排出されたガスは留まり、膜に所定の圧力を与える。本実験では、ガス供給側空間１３１はゲージ圧力で０．１ＭＰａとし、透過側空間１３２は大気圧とした。透過流量は安定したことを確認した後、一定の時間でガス回収口１３７ｃ側に備えた乾式ガスメータまたは石鹸膜流量計で測定し、透過速度（ｎｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１）を評価した。
 ［０１００］
（１，３，５−トリメチルベンゼンの単成分浸透気化（パーベーパレーション：ＰＶ）試験）
　パーベーパレーションは、図５及び図６に示すような混合物分離装置１０１を用いて行った。原料タンク３５により、タンク内に入れられた、１，３，５−トリメチルベンゼンを所定の温度（約５０℃）に加熱保持した。
 ［０１０１］
　図５及び図６の構成により、循環ポンプ３６にてＳＵＳ製モジュール３７の原料側空間３１に、供給流体導入口３７ａより原料を供給し、供給流体排出口３７ｂから排出された原料を原料タンク３５に戻すことで原料を循環させた。真空ポンプ３９にて分離膜１１の支持体側を減圧することで、分離膜１１の膜透過側１１ｂへ透過し、透過流体回収口３７ｃから排出される透過蒸気を液体Ｎ２トラップにて回収した。透過側空間３２の真空度は圧力制御機により所定の減圧下（例えば約０．５Ｔｏｒｒ）に制御した。これにより、液体混合物の組成を変化させることができる。
［０１０２］
　試験は、１，３，５−トリメチルベンゼンを５０℃、透過側真空度０．２ｔｏｒｒ、測定時間３０ｍｉｎで行った。得られた液体の質量は電子天秤にて秤量し、液体の組成はガスクロマトグラフィーにて分析した。上記パーベーパレーション試験の結果得られた、透過速度を表１に示す。」
（１ｇ）「
」（２７頁［表１］）
（１ｈ）「［０１１９］
（ｎ−ヘキサン／２，２−ジメチルブタンの浸透気化（ＰＶ）試験）
　上記と同様に、３５℃、透過側真空度０．２ｔｏｒｒ、測定時間１８０ｍｉｎ（開始から０〜１８０分の間）で、ｎ−ヘキサン／２，２−ジメチルブタンの浸透気化（ＰＶ）試験を行った。分離係数とは、下記式で示されるように、供給液中のｎ−ヘキサン濃度（質量％）と２，２−ジメチルブタン濃度（質量％）との比に対する透過液中のｎ−ヘキサン濃度（質量％）と２，２−ジメチルブタン濃度（質量％）との比の値をいう。
［０１２０］
　分離係数＝（（透過液中のｎ−ヘキサン濃度）／（透過液中の２，２−ジメチルブタン濃度））／（（供給液中のｎ−ヘキサン濃度）／（供給液中の２，２−ジメチルブタン濃度））
［０１２１］
　結果を表５に示す。
［０１２２］［表５］
」
（１−２）甲第４号証
　本件優先日前に頒布された刊行物であると認められる甲第４号証には以下の記載がある。
（２ａ）「
」（図６）
（１−３）甲第５号証
　本件優先日前に頒布された刊行物であると認められる甲第５号証には以下の記載がある。
（３ａ）「
」（図８）
（３ｂ）「
」（図９）
（１−４）甲第６号証
　本件優先日前に頒布された刊行物であると認められる甲第６号証には以下の記載がある。
（４ａ）「
」（表１）
（１−５）甲第７号証
　本件優先日前に頒布された刊行物であると認められる甲第７号証には以下の記載がある。
（５ａ）「【０００１】
　本発明は、多孔質支持体―ゼオライト膜複合体の製造方法に関し、さらに詳しくは、多孔質支持体上に水熱合成でゼオライト膜を形成した後に特定の処理を行うゼオライト膜複合体の製造方法、該方法により得られる多孔質支持体―ゼオライト膜複合体などに関する。本発明により得られる多孔質支持体―ゼオライト膜複合体は、有機化合物を含む気体または液体の混合物から、透過性の高い物質を透過して分離し、透過性の低い物質を濃縮することができる。」
（５ｂ）「【００７９】
　ここで、空気透過量とは、後述するとおり、ゼオライト膜複合体を絶対圧５ｋＰａの真空ラインに接続した時の空気の透過量［Ｌ／(ｍ２・ｈ)］である。
　（温水処理）
　本発明の方法においては、上記ゼオライト膜複合体を、温度４０℃以上３００℃以下の水に１時間以上浸漬する。なお、本明細書において、このゼオライト膜複合体の水への浸漬を「温水処理」と略称することがある。
【００８０】
　上記温水処理により、加熱処理（乾燥、焼成など）によってゼオライトの表面に生成したＳｉ−Ｏ−Ｓｉ結合を親水性の高いＳｉ−ＯＨとすることができ、それにより水の透過性能が向上すると考えられる。また、微細な欠陥が、欠陥中に存在するアモルファスシリカなどを原料に修復されるため膜の性能が向上すると考えられる。
　ここで、温水処理における水とは、液状の水であって、沸点以上の温度では、加圧下で液状となっているものも含まれる。この場合の圧力は、自生圧でも加圧でもよい。
【００８１】
　水の温度は、通常４０℃以上、好ましくは６０℃以上、より好ましくは８０℃以上、特に好ましくは１００℃以上であり、通常３００℃以下、好ましくは２００℃以下、より好ましくは１６０℃以下である。水の温度が低すぎると、ゼオライトの表面に生成したＳｉ−Ｏ−Ｓｉ結合を親水性の高いＳｉ−ＯＨとする効果や微細な欠陥が、欠陥中に存在するアモルファスシリカなどを原料に修復される効果が十分に得られないことがある。水の温度が高すぎると、ゼオライトが一部水中に溶出してゼオライト膜が壊れる可能性がある。
【００８２】
　水への浸漬時間は、通常１時間以上、好ましくは５時間以上、より好ましくは７時間以上、特に好ましくは１０時間以上であり、通常１００時間以下、好ましくは５０時間以下、より好ましくは３０時間以下である。浸漬時間が短すぎると、膜表面の変化が十分に進行せず、十分な効果が得られないことがある。浸漬時間が長すぎると、ゼオライトが一部水中に溶出してゼオライトが壊れる可能性がある。
【００８３】
　上記ゼオライト膜複合体は、水への浸漬処理後、そのまま使用してもかまわないが、水洗や必要に応じて乾燥を行っても良い。加熱によって乾燥する場合は通常２０℃以上、好ましくは４０℃以上、より好ましくは１００℃以上、さらに好ましくは１５０℃以上であり、通常５００℃以下、好ましくは４００℃以下、さらに好ましくは３００℃以下である。加熱温度が高すぎると、ゼオライト膜表面が焼成後の状態に近くなり温水処理の効果が失われる可能性がある。
【００８４】
　水中に微量のＯＨ−１イオンを積極的に存在させてもよく、その場合、水中のＯＨ−１イオン濃度は、通常０．０５ｍｏｌ／ｌ以下、好ましくは０．０１ｍｏｌ／ｌ以下、より好ましくは０．００５ｍｏｌ／ｌ以下であり、通常０．０００１ｍｏｌ／ｌ以上、好まし
くは０．０００５ｍｏｌ／ｌ以上、より好ましくは０．００１ｍｏｌ／ｌ以上である。水中にＯＨ−１イオンが存在することによって、存在しない場合よりも短時間で同等の効果を得ることが可能になる。水中のＯＨ−１イオン濃度が高すぎると、ゼオライト膜が溶解して破壊されやすくなり処理時間の厳密なコントロールが必要となる。
【００８５】
　水には、Ｓｉ、Ａｌ、Ｂ、Ｐ等から選ばれる少なくとも１種の元素を含んでいてもよく、これらの中で、Ｓｉ、Ａｌが好ましく、Ｓｉが特に好ましい。
　特に水中にＳｉ元素を含有する場合、膜に存在する欠陥が、水中に含まれるＳｉ元素によって、一部修復されることがあるので好ましい。
　これら元素の濃度は、通常０．００００１質量％以上、好ましくは質量０．００００５％以上、より好ましくは０．０００１質量％以上、さらに好ましくは０．００１質量％以上、特に好ましくは０．０１質量％以上、もっとも好ましく０．１質量％以上であり、通常２０質量％以下、好ましくは１０質量％以下、より好ましくは５質量％以下である。
【００８６】
　またＳｉ元素を含有する場合は、通常０．０１質量％以上、好ましくは０．１質量％以上であり、通常２０質量％以下、好ましくは１０質量％以下、より好ましくは５質量％以下である。
　Ｓｉ元素源としては例えば、テトラエトキシシラン、テトラメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシランなどのアルコキシシラン、無定形シリカ、ヒュームドシリカ、コロイダルシリカ、シリカゲル、ケイ酸ナトリウム、シリケートオリゴマー、シリカゾルなどを用いることができ、反応性の面でアルコキシシランが好ましい。」
（１−６）甲第８号証
　本件優先日前に頒布された刊行物であると認められる甲第８号証には以下の記載がある。
（６ａ）「技術分野
　［０００１］
　本発明は、ゼオライト配向膜配設体に関し、更に詳しくは、支持体表面に対して垂直な方向にゼオライト結晶のｃ軸が配向し、膜厚の薄いゼオライト配向膜が支持体表面に配設されたゼオライト配向膜配設体に関する。」
（６ｂ）「［００６５］
（実施例１）
（種付け用ゾルの調製）
　４０質量％のテトラプロピルアンモニウムヒドロキシド溶液（ＳＡＣＨＥＭ社製）３６．１７ｇと、テトラプロピルアンモニウムブロミド（和光純薬工業株式会社製）１８．８８ｇとを混合し、さらに蒸留水８２．５４ｇ、約３０質量％シリカゾル（商品名：スノーテックスＳ、日産化学株式会社製）９５ｇを加えて、室温で３０分間マグネチックスターラーで撹拌して種付け用ゾルとした。
［００６６］
（ゼオライト種結晶の生成）
　得られた種付け用ゾル３を、図１に示すように、フッ素樹脂製内筒４が内部に配設されたステンレス製３００ｍｌ耐圧容器１内に入れ、直径１２ｍｍ、厚さ１〜２ｍｍ、長さ１６０ｍｍの円筒状の多孔質アルミナ支持体２を浸漬し、１１０℃の熱風乾燥機中で１０時間反応させた。アルミナ支持体２は、フッ素樹脂製の固定治具５，６により耐圧容器１内に固定した。反応後の支持体は、５回の煮沸洗浄の後、８０℃で１６時間乾燥した。反応後の支持体表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察したところ、図２の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真に示すように、多孔質のアルミナ支持体２の表面全体を約０．５μｍのゼオライト結晶粒子（種結晶）１１が隙間無く覆っていた。そして、結晶粒子のＸ線回折によりＭＦＩ型ゼオライトであることが確認された。
［００６７］
（膜形成用ゾルの調製）
　４０質量％のテトラプロピルアンモニウムヒドロキシド溶液（ＳＡＣＨＥＭ社製）０．６６ｇと、テトラプロピルアンモニウムブロミド（和光純薬工業株式会社製）０．３４ｇとを混合し、さらに蒸留水２２９．６ｇ、約３０質量％シリカゾル（商品名：スノーテックスＳ、日産化学株式会社製）５．２ｇを加えて、室温で３０分間マグネチックスターラーで撹拌して膜形成用ゾルとした。
［００６８］
（ゼオライト配向膜（ゼオライト配向膜配設体）の形成）
　得られた膜形成用ゾル３’を、上記「ゼオライト種結晶の生成」の場合と同様に、図１に示すような、フッ素樹脂製内筒４が内部に配設されたステンレス製３００ｍｌ耐圧容器１内に入れ、上記ゼオライト種結晶が析出した多孔質アルミナ支持体２を浸漬し、１８０℃の熱風乾燥機中で６０時間反応させた。反応後の支持体は、５回の煮沸洗浄の後、８０℃で１６時間乾燥した。反応後の支持体表面部分における断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察したところ、図３の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真に示すように、多孔質のアルミナ支持体２の表面に厚さ約１３μｍの緻密層（ゼオライト配向膜）１２が形成されていた。以下に示す条件でこの緻密層のＸ線回折による分析を行ったところ、ＭＦＩ型ゼオライト結晶であることが確認された。Ｘ線回折の測定結果を図５に示す。
［００６９］
　得られた、多孔質アルミナ支持体上に形成されたｃ軸配向のＭＦＩ型ゼオライト膜を、電気炉で５００℃まで昇温し、４時間保持して、テトラプロピルアンモニウムを除去して、ゼオライト配向膜が支持体に配設されたゼオライト配向膜配設体を得た。
［００７０］
（比較例１）
　４０％テトラプロピアンモニウムヒドロキシド溶液（ＳＡＣＨＥＭ社製）１８．７５ｇとテトラプロピルアンモニウムブロミド（和光純薬工業（株）製）９．７８ｇを混合し、さらに蒸留水を１８０．４６ｇ、約３０ｗｔ％シリカゾル（スノーテックスＳ、日産化学（株）製）３０ｇを加えて、室温で３０分間マグネティックスターラーで撹拌して膜形成ゾルを調製した。このゾルを、フッ素樹脂製内筒付ステンレス製３００ｍｌ耐圧容器中に入れ、直径１２ｍｍφ、厚み１〜２ｍｍ、長さ１６０ｍｍの多孔質アルミナ支持体に浸漬させ、１６０℃の熱風乾燥器中で３０時間反応させた。反応後の支持体は、５回の熱水洗浄の後、８０℃で１６時間乾燥した。膜厚は２６μｍであった。
［００７１］
　比較例１により得られたゼオライト膜が形成された支持体の、支持体表面部分における断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察したところ、図４の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真に示すように、多孔質のアルミナ支持体２の表面に、凹凸が多く膜厚が不均一なゼオライト膜１３が形成されていることがわかる。このゼオライト膜を以下に示す「Ｘ線回折１」の条件でＸ線回折による分析を行ったところ、ＭＦＩ型ゼオライト結晶であることが確認された。Ｘ線回折の測定結果を図５に示す。
［００７２］
　実施例１で得られたゼオライト配向膜及び比較例１で得られたゼオライト膜を使用して、水とエタノールとの混合液から、下記方法によるパーベーパレーションによりエタノールを分離（透過）する試験を行った。水とエタノールとの混合液中、エタノールの含有率は１０体積％とした。
［００７３］
（Ｘ線回折１）
　Ｘ線回折（ＸＲＤ）パターンは、第一のエックス線回折装置である（株）リガク製のＭｉｎｉＦｌｅｘを使用し、使用Ｘ線源：ＣｕＫα、管電流：３０ｋＶ、管電圧：１５ｍＡ、フィルター：Ｎｉ、スキャン速度：４°／ｍｉｎとして得た。図４において、縦軸は強度（ａ．ｕ．）を示し、横軸は、２θ（°）を示す。」
（６ｃ）「［００７５］
・・・
単結晶粉末のＭＦＩ型ゼオライトをＸ線回折測定して得られた各ピーク強度の関係を示す。参考例のＭＦＩ型ゼオライト粉末は水熱合成によって得られたものである。
・・・
［００８１］
　実施例１で得られたゼオライト配向膜及び比較例１で得られたゼオライト膜について、以下に示す第二のエックス線回折装置を用いた「Ｘ線回折２」の条件で、エックス線回折（ＸＲＤ）測定を行った。
［００８２］
　上記測定におけるＸ線回折パターンより得られる、特定のピーク強度についての関係を表４，５に示した。・・・
［００８４］［表５］
」
（６ｄ）「 ［００９０］
（実施例２）
（種付け用ゾルの調製）
　４０質量％のテトラプロピルアンモニウムヒドロキシド溶液（ＳＡＣＨＥＭ社製）３３．３２ｇと、テトラプロピルアンモニウムブロミド（和光純薬工業株式会社製）１７．４５ｇとを混合し、さらに蒸留水７６．１７ｇ、約３０質量％シリカゾル（商品名：スノーテックスＳ、日産化学株式会社製）８７．５ｇを加えて、室温で３０分間マグネティックスターラーで撹拌して種付け用ゾルとした。
［００９１］
（ゼオライト種結晶の生成）
　得られた種付け用ゾル６６を、図１０に示すように、フッ素樹脂製内筒６２がステンレス容器６３の内部に配設されて形成されステンレス製３００ｍｌ耐圧容器６１内に入れ、あらかじめ外周をフッ素樹脂製テープで被覆した直径３０ｍｍ、セル（チャネル）内径３ｍｍ、セル（チャネル）数３７、長さ１８０ｍｍのモノリス状の多孔質アルミナ支持体６５（図９参照）を浸漬し、１１０℃の熱風乾燥器中で１０時間反応させた。図１０は、実施例２において、耐圧容器に支持体を固定して、種付け用ゾル６６又は膜形成用ゾル６６’を入れた状態を示す断面図である。アルミナ支持体６５は、フッ素樹脂製の固定治具６４により、耐圧容器６１内に固定した。反応後の支持体は、５回の煮沸洗浄の後、８０℃にて１６時間乾燥した。反応後の支持体表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察したところ、多孔質アルミナ支持体の表面全体を約０．５μｍのゼオライト結晶粒子（ゼオライト種結晶２１）が隙間なく覆っていた。そして、結晶粒子のエックス線回折測定により、ＭＦＩ型ゼオライトであることが確認された。
［００９２］
（膜形成用ゾルの調製）
　４０質量％のテトラプロピルアンモニウムヒドロキシド溶液（ＳＡＣＨＥＭ社製）０．８４ｇと、テトラプロピルアンモニウムブロミド（和光純薬工業株式会社製）０．４４ｇとを混合し、さらに蒸留水２０２．１ｇ及び約３０質量％シリカゾル（商品名：スノーテックスＳ、日産化学株式会社製）６．５８ｇを加えて、室温で３０分間マグネティックスターラーで攪拌して、膜形成用ゾルとした。
［００９３］
（ゼオライト配向膜（ゼオライト配向膜配設体）の形成）
　得られた膜形成用ゾル６６’を、上記「ゼオライト種結晶の生成」の場合と同様に、図１０に示すような、フッ素樹脂製内筒が内部に配設されたステンレス製３００ｍｌ耐圧容器内に入れ、上記ゼオライト種結晶が析出した多孔質アルミナ支持体を浸漬し、１８０℃の熱風乾燥器中で６０時間反応させた（反応操作）。反応後の支持体は、５回の煮沸洗浄（洗浄操作）の後、８０℃で１６時間乾燥（乾燥操作）した。上記反応操作、洗浄操作及び乾燥操作の各操作を有する一連の操作を全部で２回繰り返した。この一連の操作を２回繰り返すことにより得られたものについて、支持体表面部における表面及び断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察したところ、図１１（ａ）、図１１（ｂ）及び図１２の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真に示すように、多孔質のアルミナ支持体６５の内表面に厚さ約１３μｍの緻密層（ゼオライト配向膜７１）が形成されていることが確認された。図１１は、支持体の表面に形成されたゼオライト配向膜の表面を示すＳＥＭ写真であり、図１１（ａ）は１５００倍のＳＥＭ写真であり、図１１（ｂ）は１５０倍のＳＥＭ写真である。図１２は、支持体にゼオライト膜が形成された状態を示す断面ＳＥＭ写真である。この緻密層について、以下に示す「Ｘ線回折２」の条件で、エックス線回折（ＸＲＤ）測定を行ったところ、ＭＦＩ型ゼオライト型結晶であることが確認された。またｃ軸配向に由来するピークの強度が高かったことから、支持体表面に垂直な方向にｃ軸配向した膜が得られたことがわかった。エックス線回折測定の結果を図１７（ａ）に示す。
図１７（ａ）において、縦軸は強度（Ｃｏｕｎｔｓ）を示し、横軸は２θ（ｄｅｇ）を示す。図１７の各グラフの各ピークに合わせて記載された数値は、各ピークに対応する結晶面を示す。得られた多孔質アルミナ支持体表面に形成されたＭＦＩ型ゼオライト膜を電気炉で５００℃まで昇温し、４時間保持して、テトラプロピルアンモニウムを除去して、ゼオライト配向膜が支持体に配設されたゼオライト配向膜配設体を得た。
［００９４］
（実施例３）
（種付け用ゾルの調製）
　４０質量％のテトラプロピルアンモニウムヒドロキシド溶液（ライオンアクゾ社製）３３．３２ｇと、テトラプロピルアンモニウムブロミド（ＳＡＣＨＥＭ社製）１７．４５ｇとを混合し、さらに蒸留水７６．１７ｇ、約３０質量％シリカゾル（商品名：スノーテックスＳ、日産化学株式会社製）８７．５ｇを加えて、室温で３０分間マグネティックスターラーで撹拌して種付け用ゾルとした。
［００９５］
（ゼオライト種結晶の生成）
　得られた種付け用ゾル６６を、図１０に示すように、フッ素樹脂製内筒６２がステンレス容器６３の内部に配設されて形成されステンレス製３００ｍｌ耐圧容器６１内に入れ、あらかじめ外周をフッ素樹脂製テープで被覆した直径３０ｍｍ、セル（チャネル）内径３ｍｍ、セル（チャネル）数３７、長さ１８０ｍｍのモノリス状の多孔質アルミナ支持体６５（図９参照）を浸漬し、１１０℃の熱風乾燥器中で１０時間反応させた。アルミナ支持体６５は、フッ素樹脂製の固定治具６４により、耐圧容器６１内に固定した。反応後の支持体は、５回の煮沸洗浄の後、８０℃にて１６時間乾燥した。反応後の支持体表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察したところ、多孔質アルミナ支持体の表面全体を約０．５μｍのゼオライト結晶粒子（ゼオライト種結晶２１）が隙間なく覆っていた。そして、結晶粒子のエックス線回折測定により、ＭＦＩ型ゼオライトであることが確認された。
［００９６］
（膜形成用ゾルの調製）
　４０質量％のテトラプロピルアンモニウムヒドロキシド溶液（ライオンアクゾ社製）０．８４ｇと、テトラプロピルアンモニウムブロミド（ＳＡＣＨＥＭ社製）０．４４ｇとを混合し、さらに蒸留水２０２．１ｇ及び約３０質量％シリカゾル（商品名：スノーテックスＳ、日産化学株式会社製）６．５８ｇを加えて、室温で３０分間マグネティックスターラーで攪拌して、膜形成用ゾルとした。
［００９７］
（ゼオライト配向膜（ゼオライト配向膜配設体）の形成）
　得られた膜形成用ゾルを、上記「ゼオライト種結晶の生成」の場合と同様に、図１０に示すような、フッ素樹脂製内筒が内部に配設されたステンレス製３００ｍｌ耐圧容器内に入れ、上記ゼオライト種結晶が析出した多孔質アルミナ支持体を浸漬し、１８０℃の熱風乾燥器中で６０時間反応させた（反応操作）。反応後の支持体は、５回の煮沸洗浄（洗浄操作）の後、８０℃で１６時間乾燥（乾燥操作）した。上記反応操作、洗浄操作及び乾燥操作の各操作を有する一連の操作を全部で２回繰り返した。この一連の操作を２回繰り返すことにより得られたものについて、支持体表面部における表面及び断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察したところ、図１３（ａ）、図１３（ｂ）及び図１４の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真に示すように、多孔質のアルミナ支持体６５の内表面に厚さ約１３μｍの緻密層（ゼオライト配向膜７１）が形成されていることが確認された。図１３は、支持体表面形成されたゼオライト膜の表面を示すＳＥＭ写真であり、図１３（ａ）は１５００倍のＳＥＭ写真であり、図１３（ｂ）は１５０倍のＳＥＭ写真である。図１４は、支持体にゼオライト膜が形成された状態を示す断面ＳＥＭ写真である。この緻密層について、以下に示す「Ｘ線回折２」の条件で、エックス線回折（ＸＲＤ）測定を行ったところ、ＭＦＩ型ゼオライト型結晶であることが確認された。またｃ軸配向に由来するピークの強度が高かったことから、支持体表面に垂直な方向にｃ軸配向した膜が得られたことがわかった。エックス線回折測定の結果を図１７（ｂ）に示す。図１７（ｂ）において、縦軸は強度（Ｃｏｕｎｔｓ）を示し、横軸は２θ（ｄｅｇ）を示す。得られた多孔質アルミナ支持体表面に形成されたＭＦＩ型ゼオライト膜を電気炉で５００℃まで昇温し、４時間保持して、テトラプロピルアンモニウムを除去して、ゼオライト配向膜が支持体に配設されたゼオライト配向膜配設体を得た。
［００９８］
（比較例２）
　４０％テトラプロピアンモニウムヒドロキシド溶液（ＳＡＣＨＥＭ社製）１７．７６ｇとテトラプロピルアンモニウムブロミド（和光純薬工業（株）製）９．２８ｇを混合し、さらに蒸留水を９７．６０ｇ、約３０ｗｔ％シリカゾル（スノーテックスＳ、日産化学（株）製）７０ｇを加えて、室温で３０分間マグネティックスターラーで撹拌して膜形成ゾルを調製した。このゾルを、図１０に示すように、フッ素樹脂製内筒６２がステンレス容器６３の内部に配設されて形成されたステンレス製３００ｍｌ耐圧容器中に入れ、あらかじめ外周をフッ素樹脂製テープで被覆した直径３０ｍｍ、セル（チャネル）内径３ｍｍ、セル（チャネル）数３７、長さ１８０ｍｍのモノリス状の多孔質アルミナ支持体６５（図９参照）を浸漬し、１２０℃の熱風乾燥器中で４８時間反応させた。反応後の支持体は、５回の熱水洗浄の後、８０℃で１６時間乾燥した。膜厚は１０μｍであった。
［００９９］
　比較例１により得られたゼオライト膜が形成された支持体の、支持体表面部分における断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察したところ、図１５，１６の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真に示すように、多孔質のアルミナ支持体６５の表面に、凹凸が多く膜厚が不均一なゼオライト膜７２が形成されていることがわかる。このゼオライト膜を以下に示す「Ｘ線回折２」の条件でＸ線回折による分析を行ったところ、ＭＦＩ型ゼオライト結晶であることが確認された。Ｘ線回折の測定結果を図１７（ｃ）に示す。図１７（ｃ）において、縦軸は強度（Ｃｏｕｎｔｓ）を示し、横軸は２θ（ｄｅｇ）を示す。
［０１００］
　実施例２，３で得られたゼオライト配向膜及び比較例２で得られたゼオライト膜を使用して、水とエタノールとの混合液から、パーベーパレーションによりエタノールを分離（透過）する試験を行った。水とエタノールとの混合液中、エタノールの含有率は１０体積％とした。パーベーパレーション試験の方法は、上記実施例１のゼオライト配向膜配設体について行った「パーベーパレーション試験」と同様の方法とした。
［０１０１］
（Ｘ線回折２）
　第二のエックス線回折装置である、「（株）リガク製のＲＩＮＴ−ＴＴＲ　ＩＩＩ」を用いて測定する。測定条件は、使用Ｘ線源：ＣｕＫα、管電流：５０ｋＶ、管電圧：３００ｍＡ、走査軸：２θ／θ、走査モード：連続、サンプリング幅：０．０２°、スキャン速度：１°／ｍｉｎ、発散スリット：１．０ｍｍ、発散縦スリット：１０ｍｍ、散乱スリット：開放、受光スリット：開放、長尺ソーラスリット開口角度：０．１１４°である。
・・・
［０１０５］［表１０］
」
（２）甲第１号証に記載された発明
　上記摘記事項（１ａ）には、甲第１号証が、流体を分離するゼオライト分離膜配設体に関するものであることが記載され、上記摘記事項（１ｂ）には、本発明のゼオライト分離膜配設体は、異なる２成分以上の混合流体の分離に使用することができ、ゼオライト結晶固有の細孔（ＭＦＩ膜では、０．５〜０．６ｎｍ）よりも大きい（０．７６〜約２ｎｍ）隙間または細孔を有していること、本発明のゼオライト分離膜配設体は、１，３，５−トリメチルベンゼン／Ｎ２の透過速度比が０．１７以上である。好ましくは、０．２０以上である。１，３，５−トリメチルベンゼン／Ｎ２の透過速度比が上記範囲である場合、ゼオライト結晶固有の細孔よりも大きい隙間または細孔が多く存在することを意味すること、Ｎ２ガスの透過速度（Ａ）は、全細孔量を意味し、１，３，５−トリメチルベンゼン透過速度（Ｂ）は、ゼオライト結晶固有の細孔よりも大きい隙間または細孔の量を意味するため、１，３，５−トリメチルベンゼン／Ｎ２の透過速度比（Ｂ／Ａ）は、全細孔量に対する大きい隙間または細孔の量の割合を意味し、高い透過性と高い分離性の両立には、このＢ／Ａが高いことが重要であることが記載されている。
　そして、上記摘記事項（１ｅ）〜（１ｈ）には、多孔質アルミナ質支持体上にゼオライト膜を形成したゼオライト分離膜配設体から構造規定剤を除去して製造した実施例１〜３のものを用い、単成分ガス（Ｎ２）透過試験、１，３，５−トリメチルベンゼンの単成分浸透気化気化（ＰＶ）試験によって決定された透過速度比の結果が、表１に０．１７，０．２０，０．１８であったことが示され、上記Ｂ／Ａの定義から全細孔量に対するゼオライト結晶固有の細孔よりも大きい隙間または細孔の量の割合が、１７％（実施例１），２０％（実施例２），１８％（実施例３）であることが示されているといえる。
　そして、ｎ−ヘキサン／２，２−ジメチルブタンの浸透気化（ＰＶ）試験によって、ｎ−ヘキサンを選択透過分離したことが［０１１９］〜［０１２２］に示されている。
　したがって、甲第１号証には、「用いたゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きい隙間又は細孔の割合が１，３，５−トリメチルベンゼンとＮ２の透過速度比から求めたものとして、１７％，２０％，１８％であり、多孔質アルミナ質支持体上にゼオライト膜を形成したゼオライト分離膜配設体から構造規定剤を除去したものを用いた、ｎ−ヘキサン／２，２−ジメチルブタンの浸透気化（ＰＶ）試験によるｎ−ヘキサンの選択透過分離方法」（以下、「引用発明」という。）が開示されているといえる。
（３）対比・判断
（３−１）本件特許発明１について
 ア　対比 
　引用発明との対比
　本件特許発明１と引用発明とを対比すると、引用発明の「多孔質アルミナ質支持体」は、本件特許発明１の「多孔質支持体」に相当し、引用発明の「ゼオライト膜を形成したゼオライト分離膜配設体から構造規定剤を除去したもの」は、本件特許発明１の「ゼオライトを成膜したゼオライト膜複合体」に該当する。
　また、引用発明の「ｎ−ヘキサン／２，２−ジメチルブタンの浸透気化（ＰＶ）試験によるｎ−ヘキサンの選択透過分離」は、ｎ−ヘキサンと２，２−ジメチルブタン混合流体から浸透気化（ＰＶ）試験を行ってｎ−ヘキサンを分離しているのであるから、本件特許発明１の「２種以上の化合物の混合流体からノルマルパラフィンまたはパラキシレンを選択的に分離する」ことのノルマルパラフィンの選択的分離の場合に該当する。 
　したがって、本件特許発明１と引用発明とは、「多孔質支持体上にゼオライトを成膜したゼオライト膜複合体により、２種以上の化合物の混合流体からノルマルパラフィンを選択的に分離する分離方法」である点で一致し、以下の点で相違する。
相違点１：本件特許発明１は、ゼオライトは、「結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が５％以下であり」と特定されているのに対して、引用発明は、用いたゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きい隙間又は細孔の割合が１，３，５−トリメチルベンゼンとＮ２の透過速度比から求めたものとして、１７％，２０％，１８％である点
相違点２：本件特許発明１は、「ゼオライト膜複合体は、ノルマルパラフィンの分圧が３４ｋＰａで３００℃におけるノルマルパラフィンの透過度が５×１０-８ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、かつノルマルパラフィン／イソパラフィンの分離係数が１００以上またはパラキシレンの分圧が２５ｋＰａで３００℃におけるパラキシレンの透過度が１×１０-９ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、かつパラキシレン／メタキシレンの分離係数が２０以上であること」との特定があるのに対して、引用発明においては、そのような形の透過度と分離係数の特定がなされていない点
イ　相違点の判断
　以下、相違点について検討する。
（ア）相違点１の判断について
　本件特許発明１と引用発明の結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が異なっており実質的な相違点であるといえる。
　また、引用発明では、用いたゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きい隙間又は細孔の割合が１，３，５−トリメチルベンゼンとＮ２の透過速度比から求めたものとして、それぞれ、１７％，２０％，１８％であることが示されているといえるが、本件特許発明１においては、結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が５％以下であることが特定されている。
　引用発明においては、甲第１号証の「［００３２］
（Ｉ−１）細孔：
　本発明のゼオライト分離膜配設体は、異なる２成分以上の混合流体の分離に使用することができる。ゼオライト結晶固有の細孔（ＭＦＩ膜では、０．５〜０．６ｎｍ）よりも大きい（０．７６〜約２ｎｍ）隙間または細孔を有している。具体的には、ゼオライト分離膜配設体は、室温でのＮ２ガスの透過速度が１．０×１０−６ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上である。好ましくは、２．０×１０−６ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上である。細孔の量は多い方が好ましく、Ｎ２ガスの透過速度が上記範囲であるのは、細孔の大きさに関わらず細孔の量が一定量よりも多いことを意味する。
  ［００３３］
　また、
本発明のゼオライト分離膜配設体は、１，３，５−トリメチルベンゼン／Ｎ
２
の透過速度比が０．１７以上である。好ましくは、０．２０以上である。１，３，５−トリメチルベンゼン／Ｎ
２
の透過速度比が上記範囲である場合、ゼオライト結晶固有の細孔よりも大きい隙間または細孔が多く存在することを意味する
　［００３４］
　
Ｎ
２
ガスの透過速度（Ａ）は、全細孔量を意味し、１，３，５−トリメチルベンゼン透過速度（Ｂ）は、ゼオライト結晶固有の細孔よりも大きい隙間または細孔の量を意味する。このため、１，３，５−トリメチルベンゼン／Ｎ
２
の透過速度比（Ｂ／Ａ）は、全細孔量に対する大きい隙間または細孔の量の割合を意味する。高い透過性と高い分離性の両立には、このＢ／Ａが高いことが重要である
　したがって、引用発明において結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合を、５％以下に減少させることは、当業者といえども、容易になし得る技術的事項であるとはいえない。
（イ）相違点２の判断について
　甲第１号証には、表５において、３５℃におけるｎ−ヘキサンと２，２−ジメチルブタンの透過流速の値が示され、［０１２０］には、（（透過液中のｎ−ヘキサン濃度）／（透過液中の２，２−ジメチルブタン濃度））／（（供給液中のｎ−ヘキサン濃度）／（供給液中の２，２−ジメチルブタン濃度））との定義によって計算された分離係数αの値が示されているものの、本件特許発明１の「ゼオライト膜複合体は、ノルマルパラフィンの分圧が３４ｋＰａで３００℃におけるノルマルパラフィンの透過度が５×１０-８ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、かつノルマルパラフィン／イソパラフィンの分離係数が１００以上である」のかは、測定条件の相違、測定手法の相違、「透過度」と「透過流速」の相違により換算値を求めることはできず、技術常識から甲第１号証のゼオライト分離膜配設体が、本件特許発明１のゼオライト膜複合体のノルマルパラフィンの透過度やノルマルパラフィン／イソパラフィンの分離係数の特性を有しているともいえない。
　従って、相違点２も実質的な相違点である。
　また、大きな孔を設けることで、通過する物質の量を増加させて透過度を高めることと、適切な大きさの孔を設けることで、特定物質の分子ふるいの機能を高めることで分離係数を高めることとは、一般に両立が困難な特性であるといえる。
　そして、甲第４号証のＨ−ＺＳＭ−５膜を介したｎ−ヘキサンと２，２−ジメチルブタンの浸透気化法における透過度とｎ−ヘキサンと２，２−ジメチルブタンとの５０／５０混合物の供給温度依存性や気体透過法との比較の図を検討しても、明確なデータの換算手法はなく、実験条件によって測定値が異なることが理解できるだけである。
　また、甲第５号証のｎ−ヘキサンの透過度に対するｎ−ヘキサン／２，２−ジメチルブタンの分離係数に関するプロット図において、本件特許発明１の条件を満たすものを作製したケースのプロットがあるからといって、満たさないプロットも多数存在しており、引用発明において、そのような範囲を特定し、実際に透過度と分離係数を両立させたものを作製することが当業者が容易になし得ることにはならない。
　さらに、甲第６号証のｎ−ペンタンからｎ−ノナンの沸点、３６３Ｋ、４０８Ｋの透過度の値の結果を検討しても、ノルマルパラフィンの種類や測定温度条件によって透過度の値が変動することは理解できても、引用発明において、ゼオライト膜複合体がノルマルパラフィンの分圧が３４ｋＰａで３００℃におけるノルマルパラフィンの透過度が５×１０-８ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上でノルマルパラフィン／イソパラフィンの分離係数が１００以上である特性を両立して達成することが容易であることは記載も示唆もされていないといえる。
（ウ）効果について
　本件特許発明１は、【００１４】【００１５】【００１６】【００２１】【００３０】の記載からみて、分離係数が十分満足できるものではないために、工業的に要求される純度のものを得ることが困難であるか、または透過度が満足しうるものではなかったノルマルパラフィンとイソパラフィン混合流体からのノルマルパラフィンの分離や、ミックスキシレンからのパラキシレンの分離技術に関して、ゼオライトの結晶構造に由来する細孔より大きな径の細孔の割合が５％以下であるゼオライトを製膜したゼオライト膜複合体を用いて分離することで、ノルマルパラフィン／イソパラフィンの混合流体からのノルマルパラフィンの分離、またはミックスキシレンからのパラキシレンの分離を高い選択性および透過度で行いうるという効果を奏しているといえる。
　甲第１号証に記載の発明においては、高い透過性と高い分離性の両立には、１，３，５−トリメチルベンゼン透過速度（Ｂ）／Ｎ２ガスの透過速度（Ａ）が高いこと、つまり、ゼオライト結晶固有の細孔よりも大きい隙間または細孔の量を多くすることが重要であるとの認識であるのだから、その割合を一定以下とする本件特許発明１の上記効果は当業者の予測を超える顕著なものといえる。 
  
ウ　小括
　本件特許発明１は、甲第１号証に記載された発明とはいえないし、甲第１号証に記載された発明及び甲第４〜６号証に記載された技術的事項から当業者が容易に発明することができたものともいえない。
 　 
（３−２）本件特許発明４，５について
　本件特許発明４，５は、本件特許発明１において、前記１（２）のとおり、さらに技術的に限定した発明であり、前記本件特許発明１で検討したのと同様に、甲第１号証に記載された発明とはいえないし、甲第１号証に記載された発明及び甲第４〜６号証に記載された技術的事項から当業者が容易に発明することができたものともいえない。
（３−３）本件特許発明３，６，７について
　甲第７号証には、「（温水処理）
　本発明の方法においては、上記
ゼオライト膜複合体を、温度４０℃以上３００℃以下の水に１時間以上浸漬する
【００８０】
　上記
温水処理により、加熱処理（乾燥、焼成など）によってゼオライトの表面に生成したＳｉ−Ｏ−Ｓｉ結合を親水性の高いＳｉ−ＯＨとすることができ、それにより水の透過性能が向上すると考えられる。また、微細な欠陥が、欠陥中に存在するアモルファスシリカなどを原料に修復されるため膜の性能が向上すると考えられる
・・・
【００８５】
　
水には、Ｓｉ、Ａｌ、Ｂ、Ｐ等から選ばれる少なくとも１種の元素を含んでいてもよく、これらの中で、Ｓｉ、Ａｌが好ましく、Ｓｉが特に好ましい
　
特に水中にＳｉ元素を含有する場合、膜に存在する欠陥が、水中に含まれるＳｉ元素によって、一部修復されることがあるので好ましい
・・・
　
Ｓｉ元素源としては例えば、テトラエトキシシラン
甲第８号証には、ゼオライト配向膜（ゼオライト配向膜配設体）として、ゼオライト膜のＸ線回折スペクトルにおいて、測定の結果、結晶面/結晶面（(101)/(020)）ピーク強度比が１．１０以上に該当するものが存在することは示されている。
　しかしながら、そのようなＳｉ元素源を含んだ温水処理によるゼオライトの表面への処理や、ゼオライト膜のＸ線回折スペクトルにおいて(101)/(020)面ピーク強度比が１．１０以上に該当するものが存在するからといって、本件特許発明３，６，７は、本件特許発明１において、前記１（２）のとおり、さらに技術的に限定した発明である以上、前記本件特許発明１で検討したのと同様に、甲第１号証に記載された発明とはいえないし、甲第１号証に記載された発明及び甲第４〜８号証に記載された技術的事項から当業者が容易に発明することができたものともいえない。
（３−４）本件特許発明９，１１について
　本件特許発明９，１１は、それぞれ本件特許発明１，７記載のノルマルパラフィンまたはパラキシレンの分離方法の発明をゼオライト膜複合体の発明として記載しただけの発明であるから、前記本件特許発明１，７で検討したのと同様に、甲第１号証に記載された発明とはいえないし、甲第１号証に記載された発明及び甲第４〜８号証に記載された技術的事項から当業者が容易に発明することができたものともいえない。  
（４）特許異議申立人の主張についての検討
ア　特許異議申立人は、甲第２号証の審査段階の特許権者の提出した意見書や甲第３号証の特許メモの記載に基づいて、甲第１号証のｎ−ヘキサンの透過流速を換算して本件特許発明と対比しているが、そのような換算の内容は不明であり、条件によっても変動することが明らかであるのだから、上記主張を採用することはできない。
イ　特許異議申立人は、甲第４号証の図６から浸透気化法の測定値は蒸気浸透法の測定値と３〜４倍異なるとの前提のもとに本件特許発明の透過率の範囲との対比を行ったり、透過流速と透過度の関係についての技術常識を前提に、甲第１号証の実施例２の透過率が本件特許発明の範囲の透過率となる旨主張しているが、それらはいずれも、ある条件における測定グラフに基づいた前提により推測したに過ぎず、引用発明と本件特許発明の相違点がないことの説明になるとはいえない。
（５）以上のとおり、特許異議申立人の特許法第２９条第１項第３号（新規性）及び特許法第２９条第２項（進歩性）上記主張は採用できない。
２　特許法第３６条第６項第２号（明確性要件）について
（１）特許異議申立人は、特許異議申立書５４頁（４−６−１）において、請求項６の「前記オルトケイ酸エステル」との記載について、引用先である請求項３〜５のうち、請求項４及び請求項５及びそれらのさらに引用先である請求項１及び２に「オルトケイ酸エステル」との文言がないので不明確であることを理由として挙げている。
　しかしながら、請求項４，５を引用する請求項６は、請求項４，５が「オルトケイ酸エステル」との記載がある請求項３を引用する場合、つまり、「オルトケイ酸エステル」が特定事項として存在する場合であることを合理的に理解できるといえるので、上記請求項６の「前記オルトケイ酸エステル」との記載及び引用記載が不明確とまではいえない。
（２）特許異議申立人は、特許異議申立書５５〜５９頁（４−６−２）において、図１中の何れのプロットが、「結晶構造に由来する細孔」に該当するプロットなのか、また、該当しないプロットなのかが、結晶構造に由来する細孔に該当するピークとなるプロットとそれに隣接するプロットの取り扱いが明らかでなく、「結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合」の求め方が不明確となり、本件特許発明が不明確であることを理由として挙げている。
　しかしながら、本願明細書は、【００５４】に「【００５４】
・・・ 
（細孔分布の測定）
ゼオライト膜複合体の細孔分布の測定を、以下の条件で行った。  
・装置名：  分離膜欠陥構造解析装置  Ｐｏｒｏｍｅｔｅｒ  ｎａｎｏ
・測定方式：  
ケルビンの毛管凝縮式を利用
・測定範囲：０．３〜２．０ｎｍ  
・凝縮性ガス：ノルマルヘキサン  
・非凝縮性ガス：ヘリウム
  
ゼオライト膜複合体に凝縮性ガスと非凝縮性ガスの混合ガスを供給し、非凝縮性ガスの透過量を測定した。凝縮性ガス濃度を徐々に上げていくことで、凝縮性ガスの毛管凝縮による細孔の閉塞が進行し、この際の非凝縮性ガスの透過量の変化から、細孔分布を算出した。
凝縮性ガス濃度は０−２０％の範囲で測定を行った
凝縮性ガス濃度０％での非凝縮性ガス透過量に対する凝縮性ガス濃度１％での非凝縮性ガス透過量の割合をゼオライト細孔より大きな細孔の割合とした
　したがって、図１のプロットの値から積算して求めたものとはいえないので、図１の細孔径分布を示す図に基づき「結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合」の求め方が不明確であることを前提とした異議申立人の主張するような明確性要件に関する理由はない。
　したがって、特許異議申立人の特許法第３６条第６項第２号に関する主張は採用できない。
第６　むすび
　以上のとおり、本件請求項１，３〜７，９，１１に係る特許は、取消理由通知に記載した取消理由及び特許異議申立人が申し立てた理由及び証拠によっては、取り消されるべきものとはいえない。
　また、他に本件請求項１，３〜７，９，１１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　さらに、訂正により請求項２，８，１０，１２は削除されたため、本件請求項２，８，１０，１２に係る特許に関する申立てを却下する。 
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成３０年１２月１８日（２０１８．１２．１８）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　多孔質支持体上にゼオライトを成膜したゼオライト膜複合体により、２種以上の化合物の混合流体からノルマルパラフィンまたはパラキシレンを選択的に分離する分離方法であって、前記ゼオライトは、結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が
５
　前記ゼオライト膜複合体は、ノルマルパラフィンの分圧が３４ｋＰａで３００℃におけるノルマルパラフィンの透過度が５×１０−８ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、
かつノルマルパラフィン／イソパラフィンの分離係数が１００以上、
、かつパラキシレン／メタキシレンの分離係数が２０以上
　【請求項２】
（削除）
　【請求項３】
　前記ゼオライト膜複合体は、多孔質支持体上にゼオライトを成膜した後、オルトケイ酸エステル含有溶液に浸漬させたものであることを特徴とする請求項
１に
　【請求項４】
　前記ゼオライトは、ＭＦＩ型ゼオライトであることを特徴とする請求項１
または３
　【請求項５】
　前記ゼオライトは、ｓｉｌｉｃａｌｉｔｅ−１であることを特徴とする請求項１
、３、
　【請求項６】
　前記オルトケイ酸エステルは、オルトケイ酸テトラエチルであることを特徴とする請求項３〜５のいずれか一つに記載のノルマルパラフィンまたはパラキシレンの分離方法。
　【請求項７】
　前記ゼオライト膜のＸ線回折スペクトルにおいて、結晶面／結晶面（（１０１）／（０２０））ピーク強度比は１．１０以上であることを特徴とする請求項１
、３〜６
　【請求項８】
（削除）
　【請求項９】
　２種以上の化合物の混合流体からノルマルパラフィンまたはパラキシレンを選択的に分離する、多孔質支持体上にゼオライトを成膜したゼオライト膜複合体であって、前記ゼオライトは、結晶構造に由来する細孔より大きな細孔の割合が
５
　ノルマルパラフィンの分圧が３４ｋＰａで３００℃におけるノルマルパラフィンの透過度が５×１０−８ｍｏｌ・ｍ−２・ｓ−１・Ｐａ−１以上、
かつノルマルパラフィン／イソパラフィンの分離係数が１００以上、
、かつパラキシレン／メタキシレンの分離係数が２０以上
　【請求項１０】
（削除）
　【請求項１１】
　前記ゼオライト膜中の結晶面／結晶面（（１０１）／（０２０））ピーク強度比は、１．１０以上であることを特徴とする請求項
９
　【請求項１２】
（削除）