(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を収納可能なＦＯＵＰが置載されるスライドテーブルの所定位置に上記ＦＯＵＰをクランプして固定するＦＯＵＰクランプ機構において、上記ＦＯＵＰをクランプして上記スライドテーブルに押さえ付けるクランプ部材と、上記クランプ部材をクランプ可能位置とこのクランプ可能位置から退避した非クランプ位置との間で回動させる第１のカム部材と、上記クランプ部材を上記クランプ可能位置から上記ＦＯＵＰを上記スライドデーブルに押さえ付けるように引込みクランプさせる第２のカム部材と、上記第１のカム部材を動作させてから上記第２のカム部材を動作させる唯一の動作源であるアクチュエータとを備えてなることを特徴とするＦＯＵＰクランプ機構。
【請求項２】
複数の基板を収納可能なＦＯＵＰと、該ＦＯＵＰを置載してポートドアに密着させロードポートにドッキングさせるスライドテーブルと、爪部を上記ＦＯＵＰに引っ掛けることのできるクランプ可能位置とこのクランプ可能位置から退避した非クランプ位置との間を回動可能かつクランプ可能位置で軸方向に移動して上記爪部を上記ＦＯＵＰに引っ掛けるクランプ部材と、該クランプ部材を回動させる回動機構と、上記クランプ部材を軸方向に移動させる移動機構と、上記クランプ部材を回動させてから移動させるようにこれら回動機構および移動機構を順次動作させる唯一の動作源であるアクチュエータとからなることを特徴とするＦＯＵＰクランプ機構。
【請求項３】
上記回動機構は、上記アクチュエータの動作に応じて位置を変える第１のカム部材と、この第１のカム部材に追従して上記クランプ部材を回転させるカムフォロアとからなることを特徴とする請求項２記載のＦＯＵＰクランプ機構。
【請求項４】
上記第１のカム部材における上記クランプ部材を上記クランプ可能位置に回動させる回動動作範囲を制限して上記クランプ部材の上記クランプ可能位置への回動角を規制する度当たりを備えることを特徴とする請求項１または３記載のＦＯＵＰクランプ機構。
【請求項５】
上記第２のカム部材の動きを上記第１のカム部材の動きから独立させ、上記度当たりによって上記第１のカム部材の動きが止められた後にこの第２のカム部材が別個独立に動くことを可能としていることを特徴とする請求項４記載のＦＯＵＰクランプ機構。
【請求項６】
上記ＦＯＵＰには、上記クランプ部材が挿入され、かつ回動可能な空間を有するクランプ用の溝部が形成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のＦＯＵＰクランプ機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＦＯＵＰ（Front Open Unified Pod）をクランプする装置に関する。さらに詳述すると、本発明はＦＯＵＰをロードポートにドッキングさせて密着した状態で蓋を開け、クリーン度が保たれた状況下で基板を搬送する際、ＦＯＵＰを移動させるスライドテーブル上の所定位置にこのＦＯＵＰを固定するための機構の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、回路原版用基板、液晶ディスプレイパネル用基板やプラズマディスプレイパネル用基板等の表示パネル基板（ガラス基板）、ハードディスク用基板（磁性体基板）、半導体装置等の電子デバイス用のウェハ（あるいは樹脂基板）等の基板１０２を収納、運搬および保管する基板収納治具であるＦＯＵＰ１０１とそれを開閉するロードポート機構を備えた基板収納治具搬送装置が利用されている（図７参照）。
【０００３】
このような基板収納治具搬送装置においては、ＦＯＵＰ１０１から例えばＦＩＭＳ（Front opening Interface Mechanical Standard）へと基板１０２を搬送する際、ＦＩＭＳ内部へのパーティクル（異物微粒子）の侵入防止と化学的な汚染防止を図ることにより集積回路を高歩留まりで生産することが要求される。そこで、従来、ＦＯＵＰ１０１をスライドテーブルに置載し、ＦＩＭＳ側に搬送し、ドア１０３をポートドアに押し付けるようにして密閉状態でロードポートにドッキングするようにしているが、この場合、ＦＯＵＰ１０１がずれたり傾いたりすると密閉状態が保たれ得ないことから、ＦＯＵＰ１０１はこの押し付け力に左右されない程度の力でスライドテーブル上の所定位置に固定されている必要がある。このようにＦＯＵＰ１０１をスライドテーブル上に固定するための一手段としては、従来、ＦＯＵＰ底部のクランプ用凹部１０４にクランプレバーの爪を引っ掛け、この爪を引込むようにしてスライドテーブルに押し付けるというクランプ機構が用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ＦＯＵＰ１０１についての規格を定めるＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）がクランプ用凹部１０４の形状についても規格化しているという現状から、従来のＦＯＵＰクランプ機構は、以下に示すような種々の要求、すなわち、
▲１▼ＳＥＭＩの規格化するクランプ用凹部１０４を利用してＦＯＵＰ１０１をクランプできること
▲２▼ＳＥＭＩによりロードポート高さ、スライドテーブルの面積が決められているため、ロードポートの他機能と干渉の可能性がある高さを抑えた、可能な限りコンパクトなクランプ機構であること
▲３▼スライドテーブル下部のカバーの開口部は最小に抑えること。
▲４▼ＳＥＭＩの規定するクランプ力（１７５Ｎ以上）を確保すること。
といった要求があるのに対し、これらを全て満足することが困難だという点で問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は、クランプの仕様に関する規格の要求を満たしつつコンパクト化を図ることのできるＦＯＵＰクランプ機構を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するため、請求項１記載の発明は、複数の基板を収納可能なＦＯＵＰが置載されるスライドテーブルの所定位置にＦＯＵＰをクランプして固定するＦＯＵＰクランプ機構において、ＦＯＵＰをクランプしてスライドテーブルに押さえ付けるクランプ部材と、クランプ部材をクランプ可能位置とこのクランプ可能位置から退避した非クランプ位置との間で回動させる第１のカム部材と、クランプ部材をクランプ可能位置からＦＯＵＰをスライドデーブルに押さえ付けるように引込みクランプさせる第２のカム部材と、第１のカム部材を動作させてから第２のカム部材を動作させる唯一の動作源であるアクチュエータとを備えてなることを特徴とするものである。
【０００７】
また、請求項２記載の発明のＦＯＵＰクランプ機構は、複数の基板を収納可能なＦＯＵＰと、該ＦＯＵＰを置載してポートドアに密着させロードポートにドッキングさせるスライドテーブルと、爪部をＦＯＵＰに引っ掛けることのできるクランプ可能位置とこのクランプ可能位置から退避した非クランプ位置との間を回動可能かつクランプ可能位置で軸方向に移動して爪部をＦＯＵＰに引っ掛けるクランプ部材と、該クランプ部材を回動させる回動機構と、クランプ部材を軸方向に移動させる移動機構と、クランプ部材を回動させてから移動させるようにこれら回動機構および移動機構を順次動作させる唯一の動作源であるアクチュエータとからなることを特徴としている。
【０００８】
ＦＯＵＰクランプ機構を利用する場合、規格に定められるような形状のクランプ用凹部に対しては、クランプ部材の爪部を非クランプ位置からクランプ位置まで逃がす動作と、クランプするためにこのクランプ部材を引込む動作の両方からなる複合動作が必要となる。これに対し、本願発明にかかるＦＯＵＰクランプ機構では、回動可能かつ軸方向に移動可能なクランプ部材の回動動作は第１のカム部材（あるいは回動機構）によって行い、移動動作は第２のカム部材（あるいは移動機構）によって行うと共に、これら一連の動作を唯一のアクチュエータで実現することにより、必要なクランプ力を確保しつつ機構のコンパクト化を可能としている。この場合、必要な設置スペース（特に高さ）を抑えることが可能となるため、スライドテーブル下部のカバー開口部の大きさを小さく抑えることによってクリーン度を保ちやすくなる。
【０００９】
ここで、請求項２記載の発明における回動機構は、アクチュエータの動作に応じて位置を変える第１のカム部材と、この第１のカム部材に追従してクランプ部材を回転させるカムフォロアとから構成することができる。
【００１０】
また、ＦＯＵＰクランプ機構は、第１のカム部材におけるクランプ部材をクランプ可能位置に回動させる回動動作範囲を制限して上記クランプ部材のクランプ可能位置への回動角を規制する度当たりを備えていることが好ましい。この場合、クランプ部材およびその先端部の爪部の回動角が所定量に制限されることから、爪部を適正なクランプ可能位置で精度よく停止させることが容易となる。
【００１１】
また、このような度当たりを備える場合、第２のカム部材の動きを第１のカム部材の動きから独立させ、度当たりによって第１のカム部材の動きが止められた後にこの第２のカム部材が別個独立に動くことを可能としていることが好ましい。こうした場合、第１のカム部材が完全に停止した後で第２のカム部材を作用させることが可能となることから、回動動作を完全に終了させた後に移動動作させるという順次動作が行いやすくなる。しかも、両カム部材が互いに別個独立となることから、第１のカム部材の動作位置、動作範囲等にかかわらず第２カム部材の動作位置、動作範囲等を調整することができて便宜である。
【００１２】
また、ＦＯＵＰには、クランプ部材が挿入され、かつ回動可能な空間を有するクランプ用凹部が形成されている場合にもＦＯＵＰクランプ機構を適用することが可能である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の構成を図面に示す実施の形態の一例に基づいて詳細に説明する。
【００１４】
図１〜図６に、本発明の一実施形態を示す。本発明にかかるＦＯＵＰクランプ機構１は、ＦＯＵＰ（Front Open Unified Pod）２をスライドテーブル３上でクランプするための機構であり、クランプしてスライドテーブル３上の所定位置に固定することにより、ＦＯＵＰ２をポートドア１０に密着させてロードポート（図示省略）にドッキングさせる際、ＦＯＵＰ２が傾いたりずれたりするのを防止してクリーン度を保った気密状況下で基板９を搬送することを可能としている。
【００１５】
以下に示す実施形態では、一体のＦＯＵＰ２を前後動させてロードポートにドッキングさせるようにした形態を説明する（図５参照）。基板搬送ロボットについては特に図示していないが、ここで用いられるロボットは旋回可能なアーム（あるいはハンド）によって基板９をＦＯＵＰ２から取り出し搬送することができる公知のものである。本実施形態では、前後動可能なスライドテーブル３を設け、このスライドテーブル３にＦＯＵＰ２を置載して移動させるようにしている。スライドテーブル３の上面には例えば３箇所の位置決めピン２３が突設され、ＦＯＵＰ２の底面にはこれら位置決めピンが嵌る図示しない位置決めピン孔が対応する箇所に設けられている。ＦＯＵＰ２は、位置決めピン２３によって定まる所定位置に置載された後、本発明に係るＦＯＵＰクランプ機構１によってスライドテーブル３に固定される。
【００１６】
クランプの対象となるＦＯＵＰ２は、回路原版用基板、液晶ディスプレイパネル用基板やプラズマディスプレイパネル用基板等の表示パネル基板、ハードディスク用基板、半導体装置等の電子デバイス用のウェハ等の基板の用いられるガラス基板、磁性体基板、樹脂基板等の種々の基板９に適用可能な基板収納治具であり、例えば本実施形態では３００ｍｍのウェハ用ポッドとして使用される。本実施形態のＦＯＵＰ２は、ポッド本体であるＦＯＵＰ筐体２５と、ポッド本体に対する開閉自在な蓋であって閉じられた状態でＦＯＵＰ筐体２５のシール面（ＦＯＵＰシール面）とに密着してＦＯＵＰ筐体２５内部へのパーティクルの侵入防止および化学的な汚染防止を図る開閉扉部であるドア２６を有している。
【００１７】
ＦＯＵＰ筐体２５は、機械的強度の向上を図るとともに、乾燥温度を上げるために、樹脂に代えて金属で作られた筐体であって、図示しないＯＨＴ部（ＯＨＴ：Overhead Hoist Transfer）で掴持して釣り上げるためのマッシュルーム２７、スライドテーブル３に突設された位置決めピン２３が挿入された状態でこの筐体自体を所定位置に位置決めするための位置決めピン孔を備えている。
【００１８】
ドア２６は、擦れによる金属汚染を抑制するために、樹脂または金属を主材として形成されており、密閉性を保つためにドア２６に周設されたシール材（パッキン）２８、ドア２６の機械的開閉機構であるドアクランピング機構部２９、基板押さえ機構であるリテーナ３０を備えている。ドアクランピング機構部２９は、異物や汚染物質混入に起因する異物の問題や化学汚染を防止するために、樹脂を主材とした構成、または樹脂でコーティングされた構成となっている。リテーナ３０は、基板９への金属汚染を防止するために樹脂を主材として形成されている。ドア２６自体は樹脂でも金属でもどちらでも良いが、ＦＯＵＰ筐体２５と強く擦れるドアクランピング機構部２９を樹脂製とすることで金属汚染を抑えることができる。基板９に直接触れるのはリテーナ３０およびウェハティース部３１のみであるため、リテーナ３０およびウェハティース部３１の材質を樹脂にすることで金属汚染を抑えることができる。ドア２６は、ポートドア１０に受け支えられた状態で、ポートドア１０およびドア２６を移動させる図示しない開閉装置によって開閉される。
【００１９】
このＦＯＵＰ２の底部には、少なくともクランプ部材４の爪部４ａが収まり、かつ挿入後に回動したクランプレバー４の爪部４ａが引っ掛かる被クランプ段部８ａを備えたクランプ用凹部８が形成されている。本実施形態のクランプ用凹部８は図２に示すように底面形状が略矩形であって、かつ内周部（好ましくはポートドア１０側を向く内周部）に爪部４ａの一部が入り込む被クランプ段部８ａが設けられている。このような被クランプ段部８ａに対し、爪部４ａは、図２に想像線で示す位置（本明細書では非クランプ位置と称する）から９０度回動しクランプ可能となる実線で示す位置（本明細書ではクランプ可能位置と称する）となったときその一部を被クランプ段部８ａのあるスペース内に滑り込ますことができる（図１参照）。
【００２０】
クランプ部材４はその先端部の爪部４ａを上述の被クランプ段部８ａに引っ掛けてクランプすることによりＦＯＵＰ２をスライドテーブル３上の所定位置に固定する部材で、スライドテーブル３に設けられたフランジ付きの軸受１１によって回動可能かつ軸方向に移動可能に設けられている。本実施形態の場合、爪部４ａはクランプ部材４の先端部から着脱可能であって、図示するようにボルト３２によって固定されている。
【００２１】
また、このクランプ部材４の基端部（爪部４ａとは逆側の端部）には、回動機構５および移動機構６のカムに追従してクランプ部材４に所定の回動動作と移動動作とを行わせる２つのカムフォロワ、具体的には、第１のカム５ｂの溝カムに追従してこのクランプ部材４を回動させるカムフォロワ４ｂと、第２のカム部材６ｃの引込み用カムに追従してこのクランプ部材４を引き下げるカムフォロワ４ｃとが設けられている。このうち、カムフォロワ４ｂは、クランプ部材４に回転不可能に固着された径方向に突出するレバー４ｄの先端に取り付けられた円柱ないし円筒形のカムで、第１のカム部材５ｂの溝カムの内側に位置し、この第１のカム部材５ｂの動きに追従してクランプ部材４を例えば９０度回動させるように設けられている。一方、カムフォロワ４ｃは、クランプ部材４の基端部（本実施形態の基端部は、図示するように先割れ形状となっている）に取り付けられたホイール状の従動カムで、ピン４ｅによって回転可能に支持されており、第２のカム部材６ｃの三角カムの傾斜面に押されてクランプ部材４を下方に引込む（図４参照）。
【００２２】
回動機構５はクランプ部材４を回動させる機構であり、移動機構６は回動したクランプ部材４を軸方向に引込むように設けられた機構で、本実施形態では、唯一のアクチュエータ７により、まず回動機構５が動作し、続いて移動機構６が動作するというように順次動作するように設けられている。アクチュエータ７はこれら回動機構５と移動機構６に所定の動作をさせる駆動源で、本実施形態では水平方向に所定量ストロークさせることのできる手段（例えばピストンとシリンダからなる往復動装置）を用いている。このアクチュエータ７にはブラケット１２がボルト１３によって固定され、このブラケット１２に第１のカム部材５ｂや第２のカム部材６ｃが取り付けられている。また、このブラケット１２には、ストローク時に横方向へずれないように、スライドテーブル３の底面側のガイドレール１５に沿って案内されるスライダ１４が設けられている。
【００２３】
回動機構５は、水平移動するブラケット１２およびこのブラケット１２に取り付けられた支持軸５ａ、この支持軸５ａの先端部にナット２１等で固着された第１のカム部材５ｂ等によって構成されている。水平移動する第１のカム部材５ｂは、スライドテーブル３の下面に取り付けられた度当たり１７によってストローク幅が一定幅（具体的にはクランプ部材４の回動角度が９０度になるようなストローク幅）に規制される。度当たり１７には度当たり位置を調節可能とするボルト１７ａとナット１７ｂが設けられ、第１のカム部材５ｂにはこのボルト１７ａの先端と当接する度当たりピン５ｃが設けられている。
【００２４】
上述の支持軸５ａは、ブラケット１２上の軸受１８によって軸方向にスライド可能に支持されており、ブラケット１２に対し相対移動可能となっている。この支持軸５ａと第１のカム部材５ｂは、支持軸５ａの周囲に設けられた圧縮コイルスプリングからなる付勢手段１９によってブラケット１２から遠ざかるように付勢されている。この場合、支持軸５ａの端部に設けられたストッパ２０がこの支持軸５ａが軸受１８から抜けるのを防止する抜け止めとして機能している。
【００２５】
移動機構６は、水平移動するブラケット１２およびこのブラケット１２に例えばボルト１６で固着された第２のカム部材６ｃによって構成されている。引込み用カム６ｃは、例えば図示するような傾斜面を有する三角カムのように、水平移動した際にカムフォロワ４ｃを介してクランプ部材４を下方に引込むカム形状を有している。また、第２のカム部材６ｃはクランプ部材４の先割れ状基端部の隙間に入り込んでカムフォロワ４ｃを引込みうる厚さとされている（図３、図４参照）。
【００２６】
続いて、本実施形態のＦＯＵＰクランプ機構１の動きを中心に、ＦＯＵＰ２をスライドテーブル３に置載してからロードポートにドッキングさせるまでの動作を説明する。まず、手前側で待機しているスライドテーブル３にＦＯＵＰ２を位置決めピン２３によって所定位置に位置決めしつつ置載する（図５参照）。このとき、クランプ部材４の爪部４ａを含む先端部が横を向いた状態でクランプ用凹部８に入り込み、非クランプ位置に位置する（図２参照）。このＦＯＵＰクランプ機構１を動作させる前の段階において、アクチュエータ７は想像線で示すようにブラケット１２ならびに第１のカム部材５ｂと第２のカム部材６ｃをアクチュエータ本体側に引き寄せている（図１、図３および図４参照）。
【００２７】
アクチュエータ７を起動してストロークさせると、ブラケット１２、支持軸５ａ、第１のカム部材５ｂおよび第２のカム部材６ｃ等が一体となって平行移動する。このとき、第１のカム部材５ｂの溝カムに追従するカムフォロワ４ｂが、第１のカム部材５ｂが度当たり１７に当接するまでレバー４ｄを回動させる。これに伴い、クランプ部材４が図２に示すように回動し、爪部４ａがクランプ用凹部８の奥に潜り込んだクランプ可能位置に位置する。
【００２８】
ここで、第１のカム部５ｂおよび支持軸５ａは度当たり１７に当接した以降の動きが規制されるが、ブラケット１２はこれら第１のカム部５ｂおよび支持軸５ａに規制されることなく、付勢手段１９を押し縮めながらさらに移動して第２のカム部材６ｃをカムフォロワ４ｃに摺接させることが可能である（図４参照）。この場合、クランプ部材４は第２のカム部材６ｃの引込み用カムの作用によって下方に引込まれ、爪部４ａを被クランプ段部８ａに引っ掛けるようにしてＦＯＵＰ２をクランプし、ＦＯＵＰ２をスライドテーブル３の所定位置に固定する。この後、スライドテーブル３を移動させ、ポートドア１０に押し付けてロードポートとドッキングさせる（図５参照）。
【００２９】
以上のようなＦＯＵＰクランプ機構１によれば、ＦＯＵＰ２をスライドテーブル３上に押し付けるようにクランプすることによってこのスライドテーブル３の所定位置に固定することが可能となり、ロードポートにドッキングさせた場合にＦＯＵＰ２がずれたり浮いたり傾いたりすることを防止し、このロードポートとの間の密着度を保つことができる。このため、ＦＯＵＰ２内に収納された基板９を搬送する際における搬送経路のクリーン度を保持することが可能となることから、作業部屋全体を所定のクリーン度に維持する必要がなくなり、その分のコストの削減を図ることが可能となる。
【００３０】
しかも、本実施形態のＦＯＵＰクランプ機構１では唯一の動作源であるアクチュエータ７によって回動機構５および移動機構６を順次動作させているため、ＦＯＵＰ２をクランプするのに必要な機構が簡素化され、必要な設置スペース（特に高さ）を抑えることが可能となる。このため、ＳＥＭＩ規格によって定められているクランプ形状（具体的にはＦＯＵＰ２の下部に設けられたクランプ用凹部８の形状）を保ち、規定のクランプ位置やクランプ力を実現しつつ、ロードポートの他の部位と干渉するのを防ぐことが可能となる。また、スライドテーブル３の下部を下から包み覆うカバーの開口部の開口面積を抑えることが可能となる。
【００３１】
また、回動動作を完全に終了させた後に移動動作させるようにした本実施形態のＦＯＵＰクランプ機構１においては、クランプ用凹部８の被クランプ段部８ａに対し爪部４ａを真上から真っ直ぐ下向きに押し付けることができる。したがって、スクリューのようにクランプ部材を旋回させながら被クランプ段部に押し付けるような動作をさせた場合に生じるおそれのある問題（例えば爪部４ａや被クランプ段部８ａに擦り傷が生じたりこれに伴い塵埃が生じたりするような問題）がない。すなわち、本実施形態のＦＯＵＰクランプ機構１はクリーンな環境が要求される基板搬送装置においてクリーン度を維持する上で好適である。
【００３２】
なお、上述の実施形態は本発明の好適な実施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。例えば、本実施形態では、アクチュエータ７によってブラケット１２等を押し出す際の動きによってＦＯＵＰクランプ機構１を動作させるようにしたが、これは動作の一例に過ぎず、このようなものに限定されることはない。例えば、第２のカム部材６ｃの傾きを逆にし、度当たり１７の取付位置を変更する等により、逆にブラケット１２を引込むようにした動きによってＦＯＵＰクランプ機構１を動作させることも可能である。
【００３３】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、請求項１記載のＦＯＵＰクランプ機構によると、ＳＥＭＩの規格化するクランプ用凹部を利用し、規定されるクランプ力を確保した上でＦＯＵＰをクランプしてスライドテーブル上の所定位置に固定することができる。しかも、本願発明にかかるＦＯＵＰクランプ機構では、クランプ部材の回動と軸方向移動という一連の動作を唯一のアクチュエータで実現することにより機構のコンパクト化を可能としている。この場合、必要な設置スペース（特に高さ）を抑えることが可能となるため、ロードポートの他機能と干渉の可能性がある高さを抑えることが可能となる。また、スライドテーブル下部のカバー開口部の大きさを抑えることによってクリーン度を保ちやすくなる。
【００３４】
また、請求項２記載の発明によっても、請求項１記載のＦＯＵＰクランプ機構と同様、規定されるクランプ力を確保した上でＦＯＵＰをクランプしてスライドテーブル上の所定位置に固定することができるし、一連の動作を唯一のアクチュエータで実現することにより機構のコンパクト化を図ることもできる。
【００３５】
また、請求項３記載のＦＯＵＰクランプ機構によると、アクチュエータの動作に応じて位置を変える第１のカム部材と、この第１のカム部材に追従してクランプ部材を回転させるカムフォロアとから回動機構を構成し、クランプ部材に回動動作させることができる。
【００３６】
請求項４記載のＦＯＵＰクランプ機構によると、クランプ部材およびその先端部の爪部の回動角を度当たりによって所定量に制限し、爪部を適正なクランプ可能位置で精度よく停止させることが容易となる。したがって、所望のクランプ力を確実に得られやすくなる点で有利である。
【００３７】
さらに請求項５記載のＦＯＵＰクランプ機構によると、第１のカム部材が完全に停止した後で第２のカム部材を作用させることが可能となることから、回動動作を完全に終了させた後に移動動作させるという順次動作が行いやすくなる。しかも、両カム部材が互いに別個独立となることから、第１のカム部材の動作位置、動作範囲等にかかわらず第２カム部材の動作位置、動作範囲等を調整することができて便宜である。
【００３８】
また、請求項６記載のＦＯＵＰクランプ機構は、クランプ部材が挿入され、かつ回動可能な空間を有するクランプ用凹部が形成されている場合にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るＦＯＵＰクランプ機構を示す側面図である。
【図２】ＦＯＵＰクランプ機構の部分平面図である。
【図３】ＦＯＵＰクランプ機構の底面図である。
【図４】ＦＯＵＰクランプ機構の図１とは反対側からの側面図である。
【図５】基板搬送装置の全体の概略を示す側面図である。
【図６】ＦＯＵＰの構造例を示す斜視図である。
【図７】クランプ用凹部の形状例を示す従来のＦＯＵＰの概略図と部分拡大図で、（Ａ）は側面からみた拡大図、（Ｂ）は底面からみた拡大図を示す。
【符号の説明】
１  ＦＯＵＰクランプ機構
２  ＦＯＵＰ
３  スライドテーブル
４  クランプ部材
４ａ  爪部
５  回動機構
５ｂ  第１のカム部材
６  移動機構
６ｃ  第２のカム部材
７  アクチュエータ
８  クランプ用凹部
９  基板
１０  ポートドア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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