【事件の表示】
　特許第６２３０４１５号発明「パーフルオロエラストマー組成物、並びにシール材及びその製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第６２３０４１５号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１−７〕について訂正することを認める。
　特許第６２３０４１５号の請求項１及び３ないし７に係る特許を維持する。
　特許第６２３０４１５号の請求項２に係る特許に対する特許異議の申立てを却下する。
【理　由】
第１　手続の経緯・本件異議申立の趣旨
　
１．本件特許の設定登録までの経緯
　本件特許第６２３０４１５号（以下、単に「本件特許」という。）に係る出願（特願２０１３−２７１３４５号、以下「本願」という。）は、平成２５年１２月２７日に出願人日本バルカー工業株式会社によりされた特許出願であり、平成２９年１０月２７日に特許権の設定登録（請求項の数７）がされ、平成２９年１１月１５日に特許公報の発行がされたものである。
　
２．本件異議申立の趣旨
　本件特許につき平成３０年５月１４日に特許異議申立人河井清悦（以下「申立人」という。）により「特許第６２３０４１５号の特許請求の範囲の請求項１ないし７に記載された発明についての特許は取り消されるべきものである。」という趣旨の本件異議申立がされた。
　
３．以降の手続の経緯
　以降の手続の経緯は、以下のとおりである。
　
　平成３０年　７月２３日付け　取消理由通知
　平成３０年　９月１９日　　　意見書・訂正請求書
　平成３０年　９月２５日付け　通知書（申立人あて）
　平成３０年１０月２６日　　　意見書（申立人）
　平成３１年　１月１１日付け　取消理由通知（決定の予告）
　平成３１年　３月１３日　　　意見書・訂正請求書
　平成３１年　３月２５日付け　通知書（申立人あて）
　平成３１年　４月２３日　　　意見書（申立人）
　
　なお、平成３１年２月１４日付けで日本バルカー工業株式会社から登録名義人の表示変更申請がされ、株式会社バルカー（以下「特許権者」ということがある。）となった。
　また、平成３１年３月１３日付けで訂正請求がされたことにより、平成３０年９月１９日付けの訂正請求は、取り下げられたものとみなす。
　
第２　申立人が主張する取消理由
　申立人は、本件特許異議申立書（以下「申立書」という。）において、下記甲第１号証ないし甲第５号証を提示し、概略、以下の取消理由１ないし３が存するとしているものと認められる。
　
取消理由１：本件発明１ないし７は、いずれも、甲第１号証ないし甲第５号証のいずれかに記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号の規定に該当し、特許を受けることができるものではなく、それらの発明についての特許は、同法第２９条に違反してされたものであるから、同法第１１３条第２号の規定に該当し、取り消されるべきものである。
取消理由２：本件特許に係る明細書（以下「本件特許明細書」という。）の発明の詳細な説明の記載では、本件発明１を当業者が実施できる程度に明確かつ十分に記載されたものでなく、本件発明１の発明特定事項を包含する本件発明２ないし７についても同様であるから、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は、特許法第３６条第４項第１号の規定を満たしていないものであって、本件発明１ないし７についての特許は、同法第３６条第４項第１号の規定を満たしていない特許出願にされたものであるから、同法第１１３条第４号に該当し、取り消されるべきものである。
取消理由３：本件特許の請求項１ないし７に係る発明は、その解決課題を解決できるか否か推測困難な実施態様を含むものであり、本件特許明細書の発明の詳細な説明に記載したものとはいえないから、本件特許に係る請求項１ないし７の記載は、特許法第３６条第６項第１号に適合するものではなく、同条同項（柱書）の規定を満たしていないものであって、本件特許は、同法第３６条第６項の規定を満たしていない特許出願にされたものであり、同法第１１３条第４号に該当し、取り消されるべきものである。
　
・申立人提示の甲号証
甲第１号証：国際公開第２０１２／０４０２５０号
（翻訳文として、特表２０１４−５０２２８４号公報添付）
甲第２号証：特表２０１３−５２５５７０号公報
（発行（公表）日：平成２５年６月２０日）
甲第３号証：特表２０１１−５１６６９３号公報
甲第４号証：特許４４８０３１４号公報
（発行日：平成２２年６月１６日）
甲第５号証：特開２００２−２９３８３１号公報
（以下、上記甲第１号証ないし甲第５号証につき「甲１」ないし「甲５」と略していう。）
　
第３　当審が通知した取消理由の概要
　当審が上記平成３１年１月１１日付けで通知した取消理由（決定の予告）の概要は、以下のとおりである。
　
「当審は、
職権により、新たに発見した下記取消理由ａにより、本件訂正後の請求項１及び３ないし７に係る発明についての特許は、依然としていずれも取り消すべきもの、及び
本件訂正後の請求項２に対する特許異議の申立ては、不適法なものであり、却下すべきもの、
と判断する。
　以下、取消理由ａにつき詳述する。
　　
取消理由ａ：本件特許の請求項１及び３ないし７に係る発明は、いずれも甲１に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、その特許は同法第１１３条第２号の規定に該当し、取り消すべきものである。
・・（中略）・・
３．取消理由ａについての検討のまとめ
　以上のとおり、本件発明１及び３ないし７は、いずれも甲１に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　よって、本件の請求項１及び３ないし７に係る発明についての特許は、いずれも特許法第２９条の規定に違反してされたものであるから、同法第１１３条第２号に該当し、取り消すべきものである。」
　
第４　平成３１年３月１３日付けの訂正請求について
　上記平成３１年３月１３日付けの訂正請求書による訂正の適否につき検討する。
　
１．訂正内容
　本件訂正は、本件特許に係る特許請求の範囲を、上記訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１ないし７について一群の請求項ごとに訂正するものであって、具体的な訂正事項は以下のとおりである。
　
（１）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１に
「テトラフルオロエチレン由来の構成単位、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）又はパーフルオロ（アルコキシアルキルビニルエーテル）由来の構成単位、及びニトリル基含有パーフルオロビニルエーテル由来の構成単位を含有するパーフルオロエラストマー」
と記載されているのを、
「テトラフルオロエチレン由来の構成単位、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）又はパーフルオロ（アルコキシアルキルビニルエーテル）由来の構成単位、及びニトリル基含有パーフルオロビニルエーテル由来の構成単位を含有する
２種以上の
に訂正する（請求項１の記載を引用する請求項３〜７も同様に訂正する）。
　
（２）訂正事項２
　特許請求の範囲の請求項１において、
「下記一般式（１）：
【化１】
　
で表わされるビス（アミノフェノール）化合物、下記一般式（２）：
【化２】
　
で表わされるビス（アミノチオフェノール）化合物、及び下記一般式（３）：
【化３】
　
で表わされるテトラアミン化合物〔式（１）〜（３）においてＡは、ＳＯ２、Ｏ、Ｃ＝Ｏ、炭素数１〜６のアルキレン基、炭素数１〜１０のパーフルオロアルキレン基、又は２つのベンゼン環を直接結合させる炭素−炭素結合である。式（１）及び（２）において、同一のベンゼン環上にあるＮＨ２基とＯＨ基又はＳＨ基とは互いに隣接しており、かつＮＨ２基、及びＯＨ基又はＳＨ基は基Ａに対してメタ位又はパラ位にある。〕からなる群から選択される少なくとも１種の架橋剤と」
と記載されているのを、
「
２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン１．５５重量部以上５重量部以下
に訂正する（請求項１の記載を引用する請求項３〜７も同様に訂正する）。
　
（３）訂正事項３
　特許請求の範囲の請求項２を削除する。
　
（４）訂正事項４
　特許請求の範囲の請求項３において、
「請求項１又は２に記載の」
と記載されているのを、
「請求項
１に
に訂正する（請求項３の記載を引用する請求項４〜７も同様に訂正する）。
　
（５）訂正事項５
　特許請求の範囲の請求項４において、
「請求項１〜３のいずれか１項に記載の」
と記載されているのを、
「請求項１
又は３に
に訂正する（請求項４の記載を引用する請求項５〜７も同様に訂正する）。
　
（６）訂正事項６
　特許請求の範囲の請求項６に、
「請求項１〜３のいずれか１項に記載の」
と記載されているのを、
「請求項１
又は３に
に訂正する（請求項６の記載を引用する請求項７も同様に訂正する）。
　
（７）一群の請求項等について
　本件訂正前の旧請求項２ないし７は、いずれも旧請求項１を直接又は間接的に引用するものであるから、本件訂正前の請求項１ないし７は、特許法第１２０条の５第４項に規定する一群の請求項であり、本件訂正は、訂正前の請求項１ないし７につき一群の請求項ごとに訂正が請求されたものである。
　
２．検討
　なお、以下の検討において、この訂正請求による訂正を「本件訂正」といい、本件訂正前の特許請求の範囲における請求項１ないし７を「旧請求項１」ないし「旧請求項７」、本件訂正後の特許請求の範囲における請求項１ないし７を「新請求項１」ないし「新請求項７」という。
　
（１）訂正の目的要件について
　
ア．訂正事項１及び２について
　上記訂正事項１及び２による訂正の目的につき検討すると、旧請求項１の「パーフルオロエラストマー組成物」に係る発明につき、それぞれ、本件特許に係る明細書の発明の詳細な説明の記載に基づき、訂正事項１に係る訂正では、「パーフルオロエラストマー」について「２種以上」含むことに限定し、また、訂正事項２による訂正では、「架橋剤」の種別を「２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン」に限定した上で、その使用量比を「１．５５重量部以上５重量部以下」に限定して、新請求項１とすることにより、請求項１の範囲を減縮しているものと認められる。
　してみると、旧請求項１から新請求項１に訂正することにより、請求項１の特許請求の範囲が実質的に減縮されていることが明らかであるから、訂正事項１及び２に係る訂正は、いずれも、特許請求の範囲の減縮を目的とするものと認められる。
　したがって、上記訂正事項１及び２に係る訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる目的要件に適合するものである。
　
イ．訂正事項３について
　上記訂正事項３による訂正の目的につき検討すると、訂正事項３に係る訂正では、旧請求項２に記載された事項を全て削除しているものであるから、請求項２の特許請求の範囲の減縮を目的とするものと認められる。
　したがって、上記訂正事項３に係る訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる目的要件に適合するものである。
　
ウ．訂正事項４ないし６について
　上記訂正事項４ないし６による各訂正の目的につき検討すると、訂正事項４ないし６に係る各訂正では、旧請求項３、４及び６の旧請求項２を引用して記載していたものにつき、訂正事項３による訂正により旧請求項２が削除されたことに伴い、引用関係が不整合となり不明瞭となったものを単に正したものであるから、明瞭でない記載の釈明を目的とするものと認められる。
　したがって、上記訂正事項４ないし６に係る各訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に掲げる目的要件に適合するものである。
　
（２）新規事項の追加及び特許請求の範囲の実質的拡張・変更について
　上記（１）に示したとおり、訂正事項１ないし３に係る訂正により、新請求項１及び新請求項１の記載を引用する新請求項３ないし７の特許請求の範囲が、明細書の発明の詳細な説明の記載（【００２６】及び【００５１】【表１】）に基づいて、旧請求項１及び同項を引用する旧請求項２ないし７の特許請求の範囲に対して実質的に減縮されていることが明らかであって、また、訂正事項４ないし６に係る訂正は、いずれも引用関係の不備を単に正したものであるから、上記訂正事項１ないし７による各訂正は、いずれも新たな技術的事項を導入しないものであり、また、特許請求の範囲を実質的に拡張又は変更するものではないことが明らかである。
　してみると、上記訂正事項１ないし７による各訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定を満たすものである。
　
（３）独立特許要件について
　なお、本件の特許異議の申立ては、いずれも、旧請求項１ないし７に係る全ての発明についての特許につき、申立てがされているから、訂正の適否の検討において独立特許要件につき検討すべき請求項が存するものではない。
　
３．訂正に係る検討のまとめ
　以上のとおり、本件訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号及び第３号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第４項及び第９項において準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するので、訂正後の請求項１ないし７について訂正を認める。
　
第５　訂正後の本件特許に係る請求項に記載された事項
　上記訂正後の本件特許に係る請求項１ないし７には、以下の事項が記載されている。
「【請求項１】
　テトラフルオロエチレン由来の構成単位、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）又はパーフルオロ（アルコキシアルキルビニルエーテル）由来の構成単位、及びニトリル基含有パーフルオロビニルエーテル由来の構成単位を含有する
２種以上の
　フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）３重量部以上２０重量部以下と、
　
２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン１．５５重量部以上５重量部以下
を含む、パーフルオロエラストマー組成物。
【請求項２】（削除）
【請求項３】
　無機充填剤を含まない、請求項
１に
【請求項４】
　請求項１
又は３に
【請求項５】
　半導体製造装置用である、請求項４に記載のシール材。
【請求項６】
　請求項１
又は３に
【請求項７】
　前記架橋成形する工程は、電離性放射線により架橋させる工程を含む、請求項６に記載の製造方法。」
（以下、上記請求項１に係る発明につき「本件発明」という。）
　
第６　当審の判断
　当審は、
職権により当審が通知した上記取消理由ａ及び申立人が主張する上記取消理由１ないし３はいずれも理由がなく、本件訂正後の請求項１及び３ないし７に係る発明についての特許は、いずれも維持すべきもの、及び
本件訂正後の請求項２に対する特許異議の申立ては、不適法なものであり、却下すべきもの、
と判断する。
　以下、まず、取消理由ａにつき検討し、引き続き取消理由１ないし３につき、順次、検討・詳述する。
　　
１．甲号証に記載された事項及び甲号証に記載された発明
　以下、上記取消理由ａ及び取消理由１につき検討するにあたり、当該各理由は特許法第２９条に係るものであるから、上記甲１ないし甲５に記載された事項を確認・摘示するとともに、各甲号証に記載された発明の認定を行う。（なお、各摘示における下線は当審が付した。）
　
（１）甲１
　
ア．甲１に記載された事項
　なお、甲１については、翻訳文として提示された特表２０１４−５０２２８４号公報の記載及び段落番号等により記載事項を摘示して、原文の記載箇所につき付記する。
　甲１には、以下の事項が記載されている。
　
（ａ−１）
「【請求項１】
硬化可能なフッ素含有エラストマー組成物であって、該組成物は、
　テトラフルオロエチレンと、第一のパーフルオロアルキルビニルエーテルと、少なくとも１つの硬化部位を有する少なくとも１つの第一の硬化部位単量体とを含む第一の硬化可能なパーフルオロポリマーであって、ここでテトラフルオロエチレンが、該第一の硬化可能なパーフルオロポリマー中に、少なくとも約５０モルパーセントの量で存在する、第一の硬化可能なパーフルオロポリマー；
　テトラフルオロエチレンと、第二のパーフルオロアルキルビニルエーテルと、少なくとも１つの硬化部位を有する少なくとも１つの第二の硬化部位単量体とを含む第二の硬化可能なパーフルオロポリマーであって、ここで該第二の硬化可能なパーフルオロポリマーが、その中にフッ素樹脂粒子を含む、第二の硬化可能なパーフルオロポリマー；および
　少なくとも１つの硬化剤を含む、
硬化可能なフッ素含有エラストマー組成物。
・・（中略）・・
【請求項５】
前記組成物は、前記第一の硬化可能なパーフルオロポリマーおよび前記第二の硬化可能なパーフルオロポリマーを約２５モルパーセント　対　約７５モルパーセント〜約７５モルパーセント　対　約２５モルパーセントの比で含む、請求項１に記載の硬化可能なフッ素含有エラストマー組成物。
・・（中略）・・
【請求項８】
前記少なくとも１つの硬化部位単量体の各々は、前記第一の硬化可能なパーフルオロポリマーおよび前記第二の硬化可能なパーフルオロポリマーの各々において、それぞれ約０．０１モルパーセント〜約１０モルパーセントの量で存在する、
【請求項９】
前記
少なくとも１つの硬化剤は、前記組成物中の、前記パーフルオロポリマーの１００重量部当たり、約０．０１重量部〜約５重量部の量で存在する、
・・（中略）・・
【請求項１１】
前記
第一の硬化可能なパーフルオロポリマー中の、前記少なくとも１つの硬化部位単量体における前記少なくとも１つの硬化部位は、窒素含有の硬化部位である、
【請求項１２】
前記
第一の硬化可能なパーフルオロポリマー中の、前記少なくとも１つの硬化部位単量体における前記少なくとも１つの硬化部位は、シアノ、カルボキシル、カルボニル、アルコキシカルボニル、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される
【請求項１３】
前記
フッ素樹脂粒子は、溶融ブレンド
の結果として前記第二の硬化可能なフルオロポリマーに存在する、
【請求項１４】
前記第二の硬化可能なフルオロポリマーは、ラテックス重合中のブレンドの結果としてフッ素樹脂粒子を含み、該フッ素樹脂粒子は、窒素含有の硬化部位単量体を含み、ここで該第二の硬化可能なフルオロポリマーは、ハロゲン、窒素含有基、カルボキシル、アルコシキカルボニル、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される硬化部位を有する硬化部位単量体を含む、請求項１３に記載の硬化可能なフッ素含有エラストマー組成物。
【請求項１５】
前記
少なくとも１つの硬化剤は、
ビスアミノフェノール；
ビスアミノチオフェノール；ビスジアミノフェニル；式（ＩＩ）：
【化５２】
　
（式中、Ｒ
１
は、同じかまたは異なり、それぞれは、−ＮＨ
２
、−ＮＨＲ
２
、−ＯＨ、または−ＳＨであり；Ｒ
２
は、一価の有機基である）
によって表される少なくとも２つの架橋可能な基を有する芳香族アミン
・・（中略）・・およびそれらの組み合わせ
からなる群から選択され、ここで該少なくとも硬化剤は、前記組成物中の、前記少なくとも１つの第一のパーフルオロポリマーにおける前記少なくとも１つの硬化部位と、前記第二のパーフルオロポリマーにおける前記少なくとも１つの硬化部位とを反応させて、該少なくとも１つのパーフルオロポリマーと該少なくとも１つの第二のパーフルオロポリマーを架橋することが可能である
【請求項１６】
前記
少なくとも１つの硬化剤は、式（ＩＩ）
ビスアミノフェノール
である）によって表される少なくとも２つの架橋可能な基を有する芳香族アミンからなる群から選択される、
【請求項１７】
前記少なくとも１つの硬化剤は、
【化５７】（式は省略）
ビスアミノフェノール、ビスアミノフェノール　ＡＦ、
からなる群から選択される、
・・（中略）・・
【請求項２２】
前記
第一の硬化可能なフルオロポリマーおよび／または前記第二の硬化可能なフルオロポリマーにおける前記硬化部位単量体は、ＣＦ
２
＝ＣＦＯ（ＣＦ
２
）
５
ＣＮである、
【請求項２３】
硬化可能なパーフルオロエラストマー組成物であって、該組成物は、
　
テトラフルオロエチレンと、第一のパーフルオロアルキルビニルエーテルと、少なくとも１つの硬化部位を有する少なくとも１つの第一の硬化部位単量体とを含む第一の硬化可能なパーフルオロポリマーであって、ここで該テトラフルオロエチレンが、該第一の硬化可能なパーフルオロポリマー中に、少なくとも約５０モルパーセントの量で存在する、第一の硬化可能なパーフルオロポリマー；
　
テトラフルオロエチレンと、第二のパーフルオロアルキルビニルエーテルと、少なくとも１つの硬化部位を有する少なくとも１つの第二の硬化部位単量体とを含む第二の硬化可能なパーフルオロポリマーであって、ここで該第二の硬化可能なパーフルオロポリマーが、その中にフッ素樹脂粒子を含む、第二の硬化可能なパーフルオロポリマー；および
　少なくとも１つの硬化剤であって、該少なくとも１つの硬化剤は、
【化６１】
　
ビスアミノフェノール、ビスアミノフェノール　ＡＦ
からなる群から選択される、少なくとも１つの硬化剤、
を含み、
ここで該第一の硬化可能なパーフルオロポリマーにおける該硬化部位単量体および該第二の硬化可能なパーフルオロポリマーにおける該硬化部位単量体のうちの少なくとも１つは、ＣＦ
２
＝ＣＦＯ（ＣＦ
２
）
５
ＣＮであり、ここで該第二の硬化可能なフルオロポリマーは、ラテックス重合中のブレンドの結果としてフッ素樹脂粒子を含み、該フッ素樹脂粒子は、窒素含有の硬化部位単量体を含む、硬化可能なパーフルオロエラストマー組成物。
・・（中略）・・
【請求項２７】
硬化されたフッ素含有エラストマーであって、該エラストマーは、
　テトラフルオロエチレンと、第一のパーフルオロアルキルビニルエーテルと、少なくとも１つの硬化部位を有する少なくとも１つの第一の硬化部位単量体とを含む第一の硬化可能なパーフルオロポリマーであって、ここでテトラフルオロエチレンが、該第一の硬化可能なパーフルオロポリマー中に、少なくとも約５０モルパーセントの量で存在する、第一の硬化可能なパーフルオロポリマー；
　テトラフルオロエチレンと、第二のパーフルオロアルキルビニルエーテルと、少なくとも１つの硬化部位を有する少なくとも１つの第二の硬化部位単量体とを含む第二の硬化可能なパーフルオロポリマーであって、ここで該第二の硬化可能なパーフルオロポリマーが、その中にフッ素樹脂粒子を含む、第二の硬化可能なパーフルオロポリマー；および
　少なくとも１つの硬化剤
のブレンドを含む硬化可能なフッ素含有組成物を硬化させることによって形成される、硬化されたフッ素含有エラストマー。
【請求項２８】
成形品であって、該成形品は、
　テトラフルオロエチレンと、第一のパーフルオロアルキルビニルエーテルと、少なくとも１つの硬化部位を有する少なくとも１つの第一の硬化部位単量体とを含む第一の硬化可能なパーフルオロポリマーであって、ここでテトラフルオロエチレンが、該第一の硬化可能なパーフルオロポリマー中に、少なくとも約５０モルパーセントの量で存在する、第一の硬化可能なパーフルオロポリマー；
　テトラフルオロエチレンと、第二のパーフルオロアルキルビニルエーテルと、少なくとも１つの硬化部位を有する少なくとも１つの第二の硬化部位単量体とを含む第二の硬化可能なパーフルオロポリマーであって、該第二の硬化可能なパーフルオロポリマーが、その中にフッ素樹脂粒子を含む、第二の硬化可能なパーフルオロポリマー；および
　少なくとも１つの硬化剤
のブレンドを含む組成物を
成形法によって形成する、成形品。
（甲１：第４１頁第３行〜第４７頁第１６行、「ＣＬＡＩＭＳ」の欄）
　
（ａ−２）
「【０００２】
　発明の背景
　発明の分野
　
本発明は、硬化可能および硬化されたパーフルオロエラストマー（ＦＦＫＭ）組成物、およびそこから作製される構成要素（例えば、密閉材料）の分野に関し、その組成物は、種々の高温の最終適用、特に化学蒸着法（ＣＶＤ）および他の半導体加工技術における半導体領域での使用に適している。
（甲１：第１頁第９行〜第１８行、［０００３］）
　
（ａ−３）
「【０００３】
　関連技術の説明
　
テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）および他のフッ素化単量体単位を含むフッ素含有エラストマー、特にパーフルオロエラストマー（ＦＦＫＭ）は、優れた化学抵抗性、溶媒抵抗性、および熱抵抗性を示し、従って、密閉（ｓｅａｌｉｎｇ）および苛酷な環境において使用されることを意図される他の材料のために広く使用される。技術が進むに従って、そのような高度に抵抗性の化合物についてさえ要求される特徴は、より厳しくなり続ける。航空学、航空宇宙学、半導体、ならびに化学的製造および薬学的製造の分野において、密閉特性は、少なくとも３００℃の高温環境にも供される苛酷な化学的環境にさらされ、高温環境によく耐えるためのそのような材料の能力は、ますます重要になってきている。
【０００４】
　
パーフルオロエラストマーの材料はまた、それらの化学抵抗性およびプラズマ抵抗性で知られる。しかし、許容可能な圧縮永久ひずみ抵抗性を必要とする組成物において使用される場合、機械的特性は、一般にフィラーまたは強化システムを含む。そのような相当な高温および環境上抵抗性の材料を使用して、変形によく耐えることができ、そのような厳しい条件において維持する成形パーツを形成することが目標である。ＦＦＫＭ材料は、代表的に過フッ素化単量体から調製され、少なくとも１つの過フッ素化硬化部位単量体を含む。上記単量体は、重合されて、その上に硬化部位を有する硬化可能な過フッ素化ポリマーを形成し、それは、硬化剤（ｃｕｒａｔｉｖｅ）または硬化剤（ｃｕｒｉｎｇ　ａｇｅｎｔ）と反応すると架橋することが意図される。上記材料は、硬化（架橋）すると、エラストマーの材料を形成する。代表的なＦＦＫＭ組成物は、上で言及したような重合したパーフルオロポリマー、上記硬化部位単量体上の反応性硬化部位の基と反応する硬化剤、および任意の所望されるフィラーを含む。得られた硬化されたパーフルオロエラストマーの材料は、エラストマーの特徴を示す。
【０００５】
　
ＦＦＫＭはまた、それらの高い度合いの純度、熱抵抗性、ならびにプラズマ、化学物質、および他の苛酷な環境に対する抵抗性に起因して、最高級の密閉適用のための、Ｏ−リングとして、および関連する密閉パーツにおいての使用について一般に知られる。ＦＦＫＭおよびＦＦＫＭに基づく組成物によって満たされるべき常に増大する需要および課題に起因して、さらにより高いレベルの熱抵抗性、化学抵抗性、およびプラズマ抵抗性を提供するために、新しいパーフルオロエラストマー組成物の開発が続いている。特に半導体領域における産業の需要は、ますます強烈な環境を有する新しい最終用途への適用、ならびにますます低いコンタミネーションおよび粒子状化（ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｉｏｎ）の要求に応じるために、そのようなシールの高められた性能を要求し続けている。従って、「きれいな」化合物に由来する、すなわち、有害な夾雑物を最終用途の環境へほとんど導入しないか、または全く導入しないものに由来する外に、より良好な特性に対する必要性が常に存在する。
【０００６】
　当該分野において認識されるように、異なるＦＦＫＭ組成物は、異なる硬化剤（硬化剤としても公知である）を含み得、それは、使用される硬化部位単量体（ＣＳＭ）構造の型、および上記硬化部位単量体上の機能的な活性硬化部位を上記硬化剤と反応させることに適用される対応する硬化化学（ｃｕｒｉｎｇ　ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ）に依存する。そのような組成物はまた、標的の機械的特性、圧縮永久ひずみ、または改善された化学抵抗性およびプラズマ抵抗性を達成するために多様なフィラー、およびフィラーの組み合わせを含み得る。
【０００７】
　
半導体密閉の適用について、無機フィラーおよび有機フィラーの両方は、プラズマ化学の型に依存してプラズマ抵抗性を改善するために使用されている。半導体および他の産業において公知である代表的なフィラーとしては、カーボンブラック、シリカ、アルミナ、ＴＦＥベースのフッ素樹脂、硫酸バリウム、および他のポリマー、およびプラスチックが挙げられる。半導体への適用のためにいくつかのＦＦＫＭ組成物において使用されるフィラーとしては、特に、マイクロ粒子またはナノマーサイズの粒子の、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）または溶融加工可能過フッ素化コポリマー（例えば、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）とヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）とのコポリマー（ＦＥＰ型コポリマーとも称される）、またはＴＦＥとパーフルオロアルキルビニルエーテル（ＰＡＶＥ）とのコポリマー（ＰＦＡ型コポリマーとして知られる））から形成されるフッ素樹脂フィラー粒子が挙げられる。
【０００８】
　そのようなＦＦＫＭ組成物は、単一のＦＦＫＭの硬化可能なポリマーのみ、または時折、１つもしくはそれより多くのＦＦＫＭの硬化可能なポリマーのブレンドを含み得る。同様に、上記組成物中で使用される硬化可能なパーフルオロポリマー中の硬化部位単量体上に単一の硬化部位のみを有するＦＦＫＭ、および同じかもしくは異なる硬化部位を有する１つより多くの硬化部位単量体を有するＦＦＫＭが存在する。よりきれいでより化学的抵抗性の化合物に対する需要が増大するに従って、ほとんどフィラーを有さないか、または全く有さないＦＦＫＭにおいて特性を達成するための必要性は、もっと差し迫った必要性となる。従って、使用され得る材料の、多くの潜在的な組み合わせが存在し、
課題は、機械的特性および密閉特性を犠牲にすることなく、種々の最終適用に対する、より高い熱抵抗特性、化学抵抗特性、およびプラズマ抵抗特性の要求を達成することである。
【０００９】
　
半結晶性フッ素樹脂粒子フィラー（例えば、ＰＴＦＥまたはコポリマー（例えば、ＰＦＡ型のもの）のマイクロ粒子またはナノ粒子）を含むＦＦＫＭ組成物は、良好な物理的特性、プラズマ抵抗性、および優れた純度を提供する。半導体への適用について、そのようなシステムはまた、無機のフィラー（例えば、金属酸化物）を有するＦＦＫＭと比較して、改善されたレベルで金属性粒子状化および夾雑を避けることを助ける。
（甲１：第１頁第１９行〜第３頁第３１行、［０００４］〜［００１０］）
　
（ａ−４）
「【００１９】
　ブレンドされたＦＦＫＭはまた、独特の特性を達成するために開発されている。ＦＦＫＭ（例えば、特許文献６、および特許文献７から形成されるようなもの）および他のＦＦＫＭも、特許文献８に記載されるようにブレンドされている。その刊行物は、そのようなポリマーを有する組成物、ならびに１つまたはそれより多くのさらなるＦＦＫＭを有する組成物を記載し、ここで
上記組成物中のＦＦＫＭ化合物のうちの２つは、それらのパーフルオロアルキルビニルエーテル（ＰＡＶＥ）単量体含有量に関して約５モルパーセント〜約２５モルパーセント分、異なる。そのようなブレンドは、フッ素樹脂フィラーの使用なしで良好に機能し得る組成物を形成する能力を提供し、そのような充填された材料に対する代替となるものであり、いくつかの場合、そのような充填された材料と比べて改善となるものである。そのようなブレンドはまた、溶融ブレンドされた組成物において必要とされるような高温混合を必要とせず、苛酷な化学物質（ｈａｒｓｈ　ｃｈｅｍｉｃａｌ）の存在下での亀裂抵抗性、ならびに良好な熱抵抗特性およびプラズマ抵抗特性を提供する。
【００２０】
　
従って、きれいな、もしくは充填していない（ｕｎｆｉｌｌｅｄ）化合物を形成することによって、および／または上で言及した特許および刊行物に記載されるようにＦＦＫＭを様々なＰＡＶＥ含有物とブレンドすることによって、ＦＦＫＭを改善するために、種々のブレンド、独特の硬化システムおよびフィラーが上で言及したように提供されるが、硬化の際に良好でより低い圧縮永久ひずみの値、良好なプラズマ抵抗性、および良好な物理的特性（例えば、比較的低い硬度、ならびに十分な強度および伸び）を保持し、また、特に高温環境に直面する半導体加工のもののような最高級の密閉適用における使用の増大する厳しい要求に応じ続け得るパーフルオロエラストマー組成物に対するさらなる改善が当該分野において必要であり続けている。
（甲１：第５頁第７行〜第２６行、［００１６］〜［００１７］）
　
（ａ−５）
「【００２７】
　
上記少なくとも１つの硬化剤は、
ビスアミノフェノール；
ビスアミノチオフェノール（ｂｉａｓｍｉｎｏｔｈｉｏｐｈｅｎｏｌ）；ビスジアミノフェニル；式（ＩＩ）：
【００２８】
【化３】
　
【００２９】
（式中、Ｒ
１
は、同じかまたは異なり、それぞれは、−ＮＨ
２
、−ＮＨＲ
２
、−ＯＨ、または−ＳＨであり；Ｒ
２
は、一価の有機基である）
によって表される少なくとも２つの架橋可能な基を有する芳香族アミン
【００３７】
・・（中略）・・
によって表される化合物
からなる群から選択され得、ここで上記少なくとも硬化剤は、上記組成物中の、上記少なくとも１つの第一のパーフルオロポリマーにおける上記少なくとも（ｔｈｅ　ｌｅａｓｔ）１つの硬化部位と、上記第二のパーフルオロポリマーにおける上記少なくとも１つの硬化部位とを反応させて、上記少なくとも１つのパーフルオロポリマーと上記少なくとも１つの第二のパーフルオロポリマーを架橋することが可能である。
【００３８】
　上記
少なくとも１つの硬化剤は、
ビスアミノフェノール；
からなる群から選択される。
【００３９】
　１つの実施形態において、上記硬化可能なフッ素含有エラストマー組成物は、
【００４０】
【化８】
　
【００４１】
ビスアミノフェノール、ビスアミノフェノール　ＡＦ
からなる群から選択される化合物
【００４２】
　なおさらなる実施形態において、上で言及したような本明細書中の組成物において、上記エラストマー組成物は、パーフルオロエラストマー組成物であり、上記少なくとも１つの硬化剤は、
【００４３】
【化９】
　
【００４４】
を含む。
【００４５】
　
そのような実施形態において、上記少なくとも１つの硬化剤は、ビスアミノフェノールまたはビスアミノフェノール　ＡＦをさらに含み得る。
【００４６】
【化１０】（式は省略）
【００４７】
をさらに含み得る。」
（甲１：第７頁第３行〜第９頁第５行、［００２３］〜［００２７］）
　
（ａ−６）
「【００５１】
　これについての１つの実施形態において、
上記第一の硬化可能なフルオロポリマーおよび／または上記第二の硬化可能なフルオロポリマーにおける上記硬化部位単量体は、ＣＦ
２
＝ＣＦＯ（ＣＦ
２
）
５
ＣＮであることがさらに好ましい。本発明はまた、テトラフルオロエチレンと、第一のパーフルオロアルキルビニルエーテルと、少なくとも１つの硬化部位を有する少なくとも１つの第一の硬化部位単量体とを含む第一の硬化可能なパーフルオロポリマーであって、ここで上記テトラフルオロエチレンが、上記第一の硬化可能なパーフルオロポリマー中に、少なくとも約５０モルパーセントの量で存在する、第一の硬化可能なパーフルオロポリマー；テトラフルオロエチレンと、第二のパーフルオロアルキルビニルエーテルと、少なくとも１つの硬化部位を有する少なくとも１つの第二の硬化部位単量体とを含む第二の硬化可能なパーフルオロポリマーであって、ここで上記第二の硬化可能なパーフルオロポリマーが、その中にフッ素樹脂粒子を含む、第二の硬化可能なパーフルオロポリマー；および少なくとも１つの硬化剤であって、上記少なくとも１つの硬化剤は、
【００５２】
【化１２】
　
【００５３】
ビスアミノフェノール、ビスアミノフェノール　ＡＦ、
からなる群から選択される、少なくとも１つの硬化剤を含む、硬化可能なパーフルオロエラストマー組成物
第二の硬化可能なフルオロポリマーは、ラテックス重合中のブレンドの結果としてフッ素樹脂粒子を含み、上記フッ素樹脂粒子は、窒素含有の硬化部位単量体を含む。
【００５４】
　
この実施形態において、テトラフルオロエチレンは、好ましくは、上記第一の硬化可能なパーフルオロポリマー中に、少なくとも約６０モルパーセントの量で、そして好ましくは少なくとも約７０モルパーセントの量で存在する。上記テトラフルオロエチレンはまた、上記第一の硬化可能なパーフルオロポリマー中に、約６０モルパーセント〜約９５モルパーセントの量で存在し得る。
（甲１：第９頁第１０行〜第１０頁第１４行、［００２９］〜［００３０］）
　
（ａ−７）
「【００６４】
　本明細書中に記載されるように、本発明は、硬化可能なフッ素含有組成物、好ましくは硬化可能なパーフルオロエラストマー組成物、硬化された組成物、好ましくは硬化されたパーフルオロエラストマー組成物、および上記のものから形成された成形品を含む。
【００６５】
　
そのようなパーフルオロエラストマー組成物は、好ましくは２つまたはそれより多くの硬化可能な（ｃｕｒａｂｌｙ）パーフルオロポリマー、好ましくはパーフルオロコポリマーを含み、それらのパーフルオロポリマーのうちの少なくとも１つは、高含有量のテトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）を有する。他の適したコモノマー（ｃｏ−ｍｏｎｏｍｅｒ）は、他のエチレン性（ｅｔｈｙｌｅｎｉｃａｌｌｙ）不飽和のフルオロ単量体を含み得る。両方のポリマーは、好ましくはＴＦＥまたは別の同様の過フッ素化オレフィン単量体を有するが、少なくとも１つは、高ＴＦＥパーフルオロポリマーである。各ポリマーはまた、好ましくは１つまたはそれより多くのパーフルオロアルキルビニルエーテル（ＰＡＶＥ）を有し、それは、直鎖または分枝鎖状であり得るアルキルまたはアルコキシ基を含み、かつエーテル結合も含み得、ここで本明細書中で使用される好ましいＰＡＶＥとしては、例えば、パーフルオロメチルビニルエーテル（ＰＭＶＥ）、パーフルオロエチルビニルエーテル（ＰＥＶＥ）、パーフルオロプロピルビニルエーテル（ＰＰＶＥ）、パーフルオロメトキシビニルエーテル、および他の同様の化合物が挙げられ、特に好ましいＰＡＶＥは、ＰＭＶＥ、ＰＥＶＥ、およびＰＰＶＥであり、最も好ましくは、本明細書中の硬化可能な組成物を硬化することから形成された、得られた物品に対して優れた機械的強度を提供するＰＭＶＥである。上記ＰＡＶＥは、その使用法が、本明細書中に記載されるように、本発明と一致する限り、上記硬化可能なパーフルオロポリマー内および最終的な硬化可能な組成物中で、単独で、または上で言及したＰＡＶＥ型の組み合わせにおいて使用され得る。
【００６６】
　
好ましいパーフルオロポリマーは、ＴＦＥと、少なくとも１つのＰＡＶＥと、および上記硬化可能なポリマーの架橋を可能にするために硬化部位または官能基を組み込んだ、少なくとも１つの過フッ素化硬化部位単量体とのコポリマーである。
【００６７】
　
例示的な硬化部位単量体は、下に列挙され、それらのうちのほとんどは、構造に関してＰＡＶＥベースであり、反応部位を有する。上記ポリマーは、様々であり得るが、好ましい構造は、以下の構造（Ａ）：
【００６８】
【化１３】
　
【００６９】
（式中、ｍは０または１〜５の整数であり、ｎは１〜５の整数であり、Ｘ
１
は窒素含有基（例えば、ニトリルまたはシアノ）である）
を有するものである。
最も好ましくは、本明細書中の組成物における上記第一および上記第二の硬化可能なパーフルオロポリマーのうちのいずれか、または両方における上記硬化部位単量体は、上で言及した（Ａ）と一致し、ここでｍは０であり、ｎは５である。本明細書中に言及される上記硬化部位または官能基Ｘ
１
（例えば、窒素含有基）は、硬化剤と反応する場合に架橋するための反応部位を含む。式（Ａ）に従う化合物は、単独で、またはその種々の任意選択の組み合わせにおいて使用され得る。架橋の観点から、架橋官能基は、窒素含有基、好ましくはニトリル基であることが好ましい。
・・（中略）・・
【００７３】
（
式中、Ｘ
２
は、単量体反応部位サブユニット（例えば、ニトリル（−ＣＮ）
であり得る）。
【００７４】
　
適切な硬化部位単量体は、好ましい架橋反応性のために、好ましくは、窒素含有の硬化部位（例えば、ニトリルまたはシアノ硬化部位）を有するものを含む。
（甲１：第１２頁第２９行〜第１６頁第８行、［００４０］〜［００４５］）
　
（ａ−８）
「【００７６】
　本明細書中で使用される上記第二のパーフルオロポリマーは、上記高ＴＦＥの第一のパーフルオロポリマーとして使用するために上で言及したものと比較して、同じであっても異なっていてもよいが、高含有量のＴＦＥを有する必要はない。好ましくは上記
第二のパーフルオロポリマーは、フッ素樹脂材料が上記ポリマーにブレンドされたものであり、微粒子形態でポリマー内に存在し、その微粒子形態は、好ましくはマイクロ微粒子形態またはナノ微粒子形態であるが、粒径は、使用される製造プロセスに依存して様々であり得る。上記粒子は、多様な形態で、多様な技術を用いて提供され得る。フッ素樹脂、例えば、ＰＴＦＥ、およびその溶融加工可能なコポリマー（ＦＥＰおよびＰＦＡ型のポリマー）、多様なサイズのコア−シェルポリマー（マイクロ粒子、およびナノ粒子など）は、機械的手段または化学処理（ｃｈｅｍｉｃａｌ　ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ）および／もしくは重合によって上記材料に組み込まれ得る。好ましくは、上記フルオロ粒子は、マイクロ粒径またはナノ粒径のものであり、そして／または溶融ブレンドもしくはラテックス重合技術を用いて上記第二のパーフルオロポリマーに組み込まれる。溶融ブレンド技術（例えば、米国特許第４，７１３，４１８号、および同第７，４７６，７１１号（それらのそれぞれは、そのような溶融加工技術に関して本明細書中で参考として援用される）に記載されるもの）が用いられ得る。ラテックス重合技術も有用であり、フッ素樹脂を本明細書における上記第二のパーフルオロポリマーに組み込むことに対して最も好ましい。適切なプロセス、ならびにコア−シェルおよび他の粒子（上記粒子に組み込まれた硬化部位を有する）も組み込んだ、得られたパーフルオロポリマーは、米国特許第７，０１９，０８３号に記載されており、フッ素樹脂粒子を有するそのようなパーフルオロポリマーおよび上記のものを作製するための方法に関しては、また本明細書中で参考として援用され、上記得られたパーフルオロポリマーは、上記単量体含有量およびそこに記載される材料の組み合わせを有し得る。適切なそのようなポリマーは、３Ｍ　Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ（Ｓｔ．Ｐａｕｌ，Ｍｉｎｎｅｓｏｔａ）から市販されている。
【００７７】
　パーフルオロポリマー、および硬化部位単量体（例えば、上で言及したもの）を用いてそこから形成された、得られたエラストマーの例はまた、ＷＯ　００／２９４７９　Ａ１において見出され得、そのようなパーフルオロエラストマーに関する適切な部分、それらの内容および上記のものを作製する方法について、本明細書中で援用される。参照はまた、米国特許第６，５１８，３６６号、同第６，８７８，７７８号、および米国公開特許出願第２００８−０２８７６２７号、ならびに米国特許第７，０１９，０８３号に対してなされる。」
（甲１：第１６頁第２１行〜第１７頁第１７行、［００４６］〜［００４７］）
　
（ａ−９）
「【００８４】
　種々の硬化可能なフッ素含有組成物および本発明のエラストマー含有組成物とともに使用するための硬化剤（本明細書中で架橋剤または硬化剤とも称される）は、本明細書中に記載される種々の硬化部位とともに使用するためのものであり、架橋を形成するために、上記組成物中の、上記硬化部位単量体（複数可）の硬化部位もしくは官能基、または種々の硬化されていないパーフルオロポリマーにおける硬化部位と、硬化可能である（すなわち、架橋可能である）か、または他の方法で、硬化反応を経ることが可能であるべきである。好ましい架橋剤または硬化剤は、オキサゾール、チアゾール、イミダゾール、またはトリアジン環を有する架橋を形成するものである。そのような化合物ならびに他の硬化剤（アミドキシム、テトラアミン、およびアミドラゾンが挙げられる）は、架橋のために本発明において使用され得る。これらの中で、イミダゾールは、優れた機械的強度、熱抵抗性、化学抵抗性、低温抵抗性を提供する架橋品、特に、熱抵抗性および低温抵抗性に関して、バランスがとれていて、かつ優れている硬化品が達成可能である点で好ましい。
【００８５】
　
窒素含有の硬化部位について、他の硬化剤（例えば、ビスフェニルベースの硬化剤およびその誘導体）が使用され得、それには、ビスアミノフェノールおよびその塩（例えば、ビスアミノフェノール　ＡＦ）、ビスアミノチオフェノール（ｂｉｓａｍｉｎｏｔｈｉｐｈｅｎｏｌ）、パラベンゾキノンジオキシム（ＰＢＱＤ）、およびテトラフェニルスズが挙げられる。
【００８６】
　
最も好ましいのは、下の式（Ｉ）および（ＩＩ）またはそれらの組み合わせにおけるような、少なくとも２つの架橋可能な基を有する芳香族アミンである硬化剤で硬化された、シアノ基含有の硬化部位であり、それは、硬化の際にベンゾイミダゾール架橋構造を形成する。
【００８７】
【化２９】
　
【００８８】
式中、Ｒ
１
は、式（ＩＩ）に従う各基において、同じかまたは異なり、ＮＨ
２
、ＮＨＲ
２
、ＯＨ、ＳＨ、
【００８９】
　
有機アミンに組み込まれた式（Ｉ）または（ＩＩ）を有する構造物は、少なくとも２つの架橋反応基が提供されるように、式（Ｉ）または（ＩＩ）のうちの少なくとも２つのそのような基を含むべきである。
・・（中略）・・
【０１００】
　
式（ＩＩ）におけるような少なくとも２つの基を有する化合物、およびその上に２個〜３個の架橋可能な反応基、より好ましくは２個の架橋可能な基を有する化合物が、好ましい。
【０１０１】
　
上の好ましい式に基づく例示的な硬化剤は、少なくとも２つの官能基、
以下の構造式
（ＶＩＩＩ）を含む。
・・（中略）・・
【０１０６】
　
容易な合成の観点から、好ましい架橋剤は、式（ＩＩ）によって表されるような２つの架橋可能な反応基を有する化合物であり、下の式（ＶＩＩＩ）に示される。
【０１０７】
【化３５】
　
【０１０８】
（式中、Ｒ
１
は、上記の通りであり、Ｒ
６
は、−ＳＯ
２
−、−Ｏ−、−ＣＯ−、１個〜約６個の炭素原子のアルキレン基、１個〜約１０個の炭素原子を有するパーフルオロアルキレン基、単結合、
【０１０９】
【化３６】（式は省略）　
【０１１０】
に示されるような基であり、
１個〜約６個の炭素原子のアルキレン基の好ましい例は、メチレン、エチレン、プロピレン、ブチレン、ペンチレン、およびヘキシレンなどである。
１個〜約１０個の炭素原子のパーフルオロアルキレン基の例は、
【０１１１】
【化３７】
　
【０１１２】
などである。これらの化合物は、ビスアミノフェニル化合物の例として公知である。この構造に従う好ましい化合物は、
式（Ｘ）：
【０１１３】
【化３８】
　
【０１１４】
（式中、Ｒ
７
は、各例において、同じかまたは異なり、各Ｒ
７
は、水素、
のものを含む。
【０１１５】
　硬化剤の非限定的な例としては、２，２−ビス（２，４−ジアミノフェニルヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−４−（Ｎ−メチルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−４−（Ｎ−エチルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−４−（Ｎ−プロピルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−４−（Ｎ−フェニルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−４−（Ｎ−パーフルオロフェニルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−４（Ｎ−ベンジルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、および同様の化合物が挙げられる。それらの中で、好ましい優れた熱抵抗特性について、２，２−ビス［３−アミノ−４（Ｎ−メチルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−４−（Ｎ−エチルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−４−（Ｎ−プロピルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、および２，２−ビス［３−アミノ−４−（Ｎ−フェニルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパンが好ましい。熱抵抗特性について好ましいのはまた、テトラアミン（例えば、４，４’−［２，２，２−トリフルオロ−１−（トリフルオロメチル）エチリデン］ビス［Ｎ１−フェニル−１，２−ベンゼンジアミン］）であるか、または２，２−ビス［３−アミノ−４−（Ｎ−フェニルアミノフェニル）］ヘキサフルオロプロパンが好ましい。
【０１１６】
　他の適切な硬化剤としては、当該分野において公知であるように、または開発されるべきものとして、オキサゾール環形成硬化剤、イミダゾール環形成硬化剤、チアゾール環形成硬化剤、およびトリアジン環形成硬化剤、アミドキシムおよびアミドラゾン架橋剤、ならびに
特にビスアミノフェノール、ビスアミノチオフェノール、ビスアミジン、
が挙げられ、
上記
ビスアミノフェノール、ビスアミノチオフェノール、またはビスジアミノフェニル硬化剤は、上記パーフルオロポリマー中の、ニトリル基もしくはシアノ基、
と反応して、
好ましいパーフルオロエラストマーを形成し得、それは、本明細書中の上記組成物から形成された、得られた硬化品において、架橋としてオキサゾール環、チアゾール環、イミダゾール環、またはトリアジン環を有する。
【０１１７】
　本明細書中での１つの実施形態において、式（Ｉ）または（ＩＩ）におけるような架橋反応基を有する少なくとも２つの化学基を含む化合物は、熱抵抗性を増大させ、芳香族環系を安定にするために使用され得る。２個〜３個のそのような基を有する基（例えば、（Ｉ）または（ＩＩ）におけるような）について、より少ない数の基を有することは、十分な架橋を提供しない場合があるので、各基（Ｉ）または（ＩＩ）において少なくとも２つを有することが好ましい。
・・（中略）・・
【０１１９】
　上記硬化可能なパーフルオロポリマーの各々における上記少なくとも１つの硬化部位単量体の各々は、好ましくは、それぞれ約０．０１モルパーセント〜約１０モルパーセントの量で、そして上記第一の硬化可能なパーフルオロポリマーおよび上記第二の硬化可能なパーフルオロポリマーの各々において個々に存在する。
上記少なくとも１つの硬化剤は、好ましくは、上記組成物中の、上記パーフルオロポリマーの１００重量部当たり、約０．０１重量部〜約５重量部の量、そしてより好ましくは、上記組成物中の、上記パーフルオロポリマーの１００重量部当たり、約０．０１重量部〜約２重量部の量で存在する。
（甲１：第１８頁第３１行〜第２５頁第２４行、［００５５］〜［００６８］）
　
（ａ−１０）
「【０１４７】
　
本明細書中に言及されるような硬化可能なパーフルオロエラストマー組成物から形成されたそのような硬化されたパーフルオロエラストマー組成物は、成形品（複数可）を形成するように硬化され得、形作られ得る。一般に、上記成形品は、密閉部材（例えば、Ｏ−リング、シール、ガスケット、およびインサートなど）として形成される
【０１４８】
　
上記成形品は、例えば、ボンデッドシールを形成するために表面に接合され（ｂｏｎｄｅｄ）得る。そのようなボンデッドシールは、例えば、半導体加工において使用するための、例えば、プレボンデッド（ｐｒｅ−ｂｏｎｄｅｄ）ドア、ゲート、およびスリットバルブドアを形成するために使用され得る。
【０１４９】
　上記接合剤は、Ｏ−リングを作製するための型（ｍｏｌｄ）において、押出しポリマーの最初の硬化後に、および表面（例えば、ドア）に上記シールを結合させる前に、Ｏ−リングもしくはドアの溝に対して適用され得るか、または上記接合剤は、上記接合剤が結合されるべき上記表面（ドア）においてインサイチュで成形され硬化され得る押出しポリマーに適用され得るかのいずれかであり、その結果、熱硬化の際に、上記パーフルオロポリマーは、Ｏ−リングにおいて、および接合剤内でも同時に硬化される。好ましくは、必ずではないが、上記接合剤において使用される上記パーフルオロポリマーは、本明細書中に記載されるパーフルオロエラストマー組成物中の上記パーフルオロポリマーのうちの少なくとも１つと同じである。上記接合剤はまた、好ましくは、本明細書中に記載される上記硬化可能なパーフルオロエラストマー組成物において使用される両方のパーフルオロポリマーを含み得、そして／または意図される表面に上記組成物を結合させるために硬化可能である任意の適切な硬化可能なパーフルオロポリマーを用いた上記接合剤は、有用であり得る。」
（甲１：第３０頁第１行〜第２６行、［００７７］〜［００７９］）
　
（ａ−１１）
「【０１５２】
　
所望される場合、そして不必要ではあるが、添加剤がまた、この点で上記組成物に混合され得る。添加剤は、第一および第二の硬化可能なパーフルオロポリマーの相互作用の独特の性質、およびブレンドされた組成物によって伝えられる特性に起因して、任意選択であり必要とされない。しかし、特定の特性を変更することが所望される場合、
フルオロポリマー（マイクロパウダー、ペレット、繊維、およびナノパウダー形態で、当該分野において公知であるような、ＴＦＥ、およびその溶融加工可能なコポリマー、ならびにコア−シェル改変フルオロポリマー）
などは、当該分野において公知の量で使用され得、そして／またはそれは、異なる特性について様々であり得る。本明細書中のフィラーの全ては、単独で、または２つもしくはそれより多くのそのようなフィラーおよび添加剤の組み合わせで使用され得る。
【０１５３】
　好ましくはあらゆる任意選択のフィラーは、上記組成物中の合わせた硬化可能なパーフルオロポリマーの１００部当たり、約３０部未満の総量を使用した。熱抵抗性、およびプラズマ抵抗性（プラズマの放出における低減した粒子の数、および低い重量減少率）を提供する有機フィラーとしては、上に記載したものの中でも、有機顔料、イミド構造（例えば、ポリイミド、ポリアミドイミド、およびポリエーテルイミド）を有するイミドフィラー、ならびにＰＥＥＫ、およびＰＥＫのようなケトンベースの加工プラスチックが挙げられ、有機顔料が好ましい。
【０１５４】
　熱抵抗性および化学抵抗性について好ましく、本明細書中に記載される組成物から形成される成形品の最終特徴に、より作用を与えない着色（ｐｉｇｍｅｎｔｅｄ）フィラーとしては、キナクリドン、ジケトピロロピロール、およびアントラキノンの顔料および色素が挙げられ、キナクリドンが好ましい。
【０１５５】
　無機フィラーの中でも、プラズマ効果を保護するための好ましいフィラーとしては、酸化アルミニウム、酸化イットリウム、酸化ケイ素、ポリイミド、およびフッ素化炭素が挙げられる。」
（甲１：第３１頁第６行〜第３２頁第２行、［００８２］〜［００８５］）
　
（ａ−１２）
「【実施例】
【０１６２】
　比較実施例
　３Ｍ　Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ，Ｓｔ．Ｐａｕｌ，Ｍｉｎｎｅｓｏｔａから入手可能である基本材料のポリマー、
Ｄｙｎｅｏｎ（登録商標）ＰＦＥ−１３３ＴＺ（ポリマーＡ）フッ素樹脂含有の硬化可能なパーフルオロポリマーを用いて、以下の配合で化合物を作製した。ＰＦＥ　１３３　ＴＺは、以前のＤｙｎｅｏｎ（登録商標）ＰＦＥ　１３３　ＴＢＸと同じ基本構造のものであるが、ＰＦＯＡなしで作製される。そのようなポリマーは、ＴＦＥを含むパーフルオロポリマー、ＰＡＶＥ、およびシアノ含有硬化部位単量体を含む硬化可能なパーフルオロポリマーマトリックス内に約２０％の量で、シアノ機能化ＰＦＡパーフルオロ樹脂を含む。
このポリマーを、ＧＡ−５００ＰＲ（ポリマーＢ）として入手可能であるＤａｉｋｉｎ　Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓ，Ｌｔｄ．からの硬化可能なパーフルオロポリマーである高−ＴＦＥフルオロポリマーと組み合わせ、それは、６９．４　ＴＦＥ、３０．２　パーフルオロメチルビニルエーテル（ＰＭＶＥ）、および０．４３　硬化部位単量体のモル量でＴＦＥ／ＰＭＶＥ／硬化部位単量体を含み、ここで例示のポリマーにおける硬化部位単量体は、ＣＦ
２
＝ＣＦＯ（ＣＦ
２
）
５
ＣＮであった。
これらの実施例において使用された硬化剤としては、
【０１６３】
【化４９】（式は省略）
【０１６４】
および
ビスアミノフェノール（ＢＯＡＰ）が挙げられる。１つの実施例において、Ｅ．Ｉ．ＤｕＰｏｎｔ　ｄｅ　Ｎｅｍｏｕｒｓ　＆　Ｃｏ．，Ｗｉｌｍｉｎｇｔｏｎ，Ｄｅｌａｗａｒｅから入手可能であるフルオロポリマーフィラー微粉末、Ｚｏｎｙｌ（登録商標）ＭＰ　１５００をサンプルに提供した。
【０１６５】
　実施例
　
一連のパーフルオロポリマーを評価し、２つの好ましいパーフルオロポリマーを、以下の実施例における使用のために同定した。これらの実施例に含まれる２つの硬化可能なパーフルオロポリマーは、ＰＦＥ　１３３　ＴＺ（ポリマーＡ）と示される、３Ｍ　Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ，Ｓｔ．Ｐａｕｌ，Ｍｉｎｎｅｓｏｔａから入手可能なフッ素樹脂含有の硬化可能なパーフルオロポリマー、Ｄｙｎｅｏｎ（登録商標）ＰＦＥ　１３３　ＴＺ（ポリマーＡ）であり、それは、以前のＤｙｎｅｏｎ（登録商標）ＰＦＥ　１３３　ＴＢＸと同じ基本構造のものであるが、ＰＦＯＡなしで作製される。そのようなポリマーは、ＴＦＥを含むパーフルオロポリマー、ＰＡＶＥ、およびシアノ含有硬化部位単量体を含む硬化可能なパーフルオロポリマーマトリックス内に約２０％の量で、シアノ機能化ＰＦＡパーフルオロ樹脂を含む。
【０１６６】
　また、
高−ＴＦＥフルオロポリマーとして本明細書中に援用するのは、ＧＡ−５００ＰＲ（ポリマーＢ）として入手可能であるＤａｉｋｉｎ　Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓ，Ｌｔｄ．からの硬化可能なパーフルオロポリマーであり、それは、６９．４　ＴＦＥ、３０．２　パーフルオロメチルビニルエーテル（ＰＭＶＥ）、および０．４３　硬化部位単量体のモル量でＴＦＥ／ＰＭＶＥ／硬化部位単量体を含み、ここで例示のポリマーにおける硬化部位単量体は、ＣＦ
２
＝ＣＦＯ（ＣＦ
２
）
５
ＣＮであった。
【０１６７】
　硬化剤として、両方において、上記化合物は、Ｄａｉｋｉｎ　Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓ，Ｌｔｄ．からの４，４’−［２，２，２−トリフルオロ−１−（トリフルオロメチル）エチリデン］ビス［Ｎ１−フェニル−１，２−ベンゼンジアミン］（「Ｎｐｈ−ＡＦ」）である。
【０１６８】
【化５０】
　
【０１６９】
　また、下に示される構造を有するＦｅｄｅｒａｌ　Ｓｔａｔｅ　Ｕｎｉｔａｒｙ　Ｅｎｔｅｒｐｒｉｓｅ　Ｓ．Ｖ．Ｌｅｂｅｄｅｖ　Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ　ｏｆ　Ｓｙｎｔｈｅｔｉｃ　Ｒｕｂｂｅｒ，Ｐｅｔｅｒｓｂｕｒｇ，Ｒｕｓｓｉａからのさらなるイミドイルベースの硬化剤ＤＰＩＡ−６５を、本明細書中で使用する。
【０１７０】
【化５１】（式は省略）
【０１７１】
　
試験したさらなる硬化剤は、ビスアミノフェノール（ＢＯＡＰ）
を配合物のうちのいくつかに組み込んだ。
【０１７２】
　ポリマー（Ａ）およびポリマー（Ｂ）を、上で言及した１つまたはそれより多くの硬化剤（架橋剤）と合わせ、表１に示される量で混合した。上記組成物を、開放型ロールを用いて５０℃で練って、架橋可能なフッ素含有エラストマー組成物を調製した。
【０１７３】
　
このフッ素含有エラストマー組成物を、表１に示される種々の硬化サイクルを用いて硬化することによって架橋させ、試験サンプルのＯ−リングを作製した。
【０１７４】
　架橋能力：各架橋可能な組成物に関して、加硫曲線を、ＪＳＲ型Ｃｕｒａｓｔｏｍｅｔｅｒ　Ｍｏｄｅｌ　ＩＩを用いることによって、１８０℃で得、最小トルク（ＭＬ）、最大トルク（ＭＨ）、および誘導時間（ＴＳ２）、および最適加硫時間（Ｔ９０）を決定した。
【０１７５】
　通常状態における物理的特性：表３に明記されるＡＳＴＭ　Ｓｔａｎｄａｒｄｓに従って、通常状態（２５℃）における、５０％モジュラス（Ｍ５０）および１００％モジュラス（Ｍ１００）、引張り強さ（ＴＢ）、伸び（ＥＢ）、ならびにＳｈｏｒｅ　Ａ硬度およびＳｈｏｒｅ　Ｍ硬度を、比重とともに測定した。Ｓｈｏｒｅ　Ａ硬度を別として、サンプルのそれぞれを、９２１４サイズのＯ−リングにおいて試験した。
【０１７６】
　試験を表３に示される以下の情報に従って行った。
【０１７７】
【表１−１】
　
【０１７８】
【表１−２】
　
【０１７９】
【表２】
　
【０１８０】
【表３】
　
【０１８１】
　上に記載された実施形態に対して、その広い発明の概念から外れることなく変更がなされ得ることが当業者によって認識される。従って、本発明は、開示される特定の実施形態に限定されないが、添付の特許請求の範囲によって定義されるような本発明の趣旨および範囲内に改変を含むことが意図されることが理解される。」
（甲１：第３３頁第１７行〜第４０頁第９行、［００９２］〜［０１０３］）
　
イ．甲１に記載された発明
　甲１には、上記ア．の（ａ−１）ないし（ａ−１２）の記載事項（特に下線部の記載）からみて、特に請求項に記載された事項からみると、
「硬化可能なフッ素含有エラストマー組成物であって、該組成物は、
　テトラフルオロエチレンと、第一のパーフルオロアルキルビニルエーテルと、少なくとも１つのシアノ基である硬化部位を有する少なくとも１つの第一の硬化部位単量体とを含む第一の硬化可能なパーフルオロポリマーであって、ここでテトラフルオロエチレンが、該第一の硬化可能なパーフルオロポリマー中に、少なくとも５０モルパーセントの量で存在する、第一の硬化可能なパーフルオロポリマー；
　テトラフルオロエチレンと、第二のパーフルオロアルキルビニルエーテルと、少なくとも１つのシアノ基である硬化部位を有する少なくとも１つの第二の硬化部位単量体とを含む第二の硬化可能なパーフルオロポリマーであって、ここで該第二の硬化可能なパーフルオロポリマーが、その中にフッ素樹脂粒子を含む、第二の硬化可能なパーフルオロポリマー；および
　ビスアミノフェノール、ビスアミノチオフェノール、ビスジアミノフェニルからなる群から選ばれる芳香族アミンである少なくとも１つの硬化剤を組成物中の前記パーフルオロポリマーの１００重量部当たり、０．０１重量部〜５重量部の量で含む、
硬化可能なフッ素含有エラストマー組成物。」
に係る発明（以下「甲１発明１」という。）が記載され、
また、発明の詳細な説明の記載（特に摘示（ａ−１２）の記載）からみると、
「ＴＦＥ、ＰＡＶＥ、およびシアノ含有硬化部位単量体を含む硬化可能なパーフルオロポリマーマトリックス内に約２０％の量でシアノ機能化ＰＦＡパーフルオロ樹脂を含む「Ｄｙｎｅｏｎ（登録商標）ＰＦＥ−１３３ＴＺ」なる商品名のフッ素樹脂含有の硬化可能なパーフルオロポリマー（ポリマーＡ）５０重量部及びＴＦＥ、パーフルオロメチルビニルエーテル（ＰＭＶＥ）及びＣＦ２＝ＣＦＯ（ＣＦ２）５ＣＮである硬化部位単量体をモル量でＴＦＥ６９．４／ＰＭＶＥ３０．２／硬化部位単量体０．４３の割合で含む「ＧＡ−５００ＰＲ」なる商品名の硬化可能なパーフルオロポリマー（ポリマーＢ）５０重量部を含むポリマー組成物に対して、硬化剤としての、４，４’−［２，２，２−トリフルオロ−１−（トリフルオロメチル）エチリデン］ビス［Ｎ１−フェニル−１，２−ベンゼンジアミン］（Ｎｐｈ−ＡＦ）なるテトラアミン、ビスアミノフェノール（ＢＯＡＰ）又はそれらの混合物を合計量で１〜２．１重量部含有してなる硬化可能なフッ素含有エラストマー組成物。」
に係る発明（以下「甲１発明２」という。）がそれぞれ記載されている。
　
（２）甲２
　
ア．甲２に記載された事項
　甲２には、以下の事項が記載されている。
　
（ｂ−１）
「【請求項１】
　
硬化性パーフルオロエラストマー配合物を製造する方法であって、ｉ）テトラフルオロエチレン、過フッ化ビニルエーテルおよびニトリル基含有キュアサイトモノマーの共重合単位を含むパーフルオロエラストマー、ｉｉ）前記パーフルオロエラストマー１００重量部当たり１〜２０重量部のフィブリル化ＰＴＦＥおよびｉｉｉ）硬化性配合物を形成するための硬化剤を、
混合する工程を含む方法。
・・（中略）・・
【請求項３】
　前記
硬化剤が、
ビス（アミノフェノール）、ビス（アミノチオフェノール）、テトラミン、
から選択される、
【請求項４】
　
硬化された物品を調製する方法であって、
Ａ．ｉ）テトラフルオロエチレン、過フッ化ビニルエーテルおよびニトリル基含有キュアサイトモノマーの共重合単位を含むパーフルオロエラストマー、ｉｉ）前記パーフルオロエラストマー１００重量部当たり１〜２０重量部のフィブリル化ＰＴＦＥおよびｉｉｉ）硬化性配合物を形成するための硬化剤を、
混合する工程と、
Ｂ．前記配合物を硬化させて、架橋された物品を形成する工程とを含む方法。
・・（中略）・・
【請求項６】
　前記
硬化剤が、
ビス（アミノフェノール）、ビス（アミノチオフェノール）、テトラミン、
から選択される、請求項４に記載の方法。
　
（ｂ−２）
「【技術分野】
【０００１】
　
本発明は、パーフルオロエラストマー１００部当たり１〜２０重量部のフィブリル化ＰＴＦＥ（ｆｉｂｒｉｌｌａｔｉｎｇ　ＰＴＦＥ）を含有するパーフルオロエラストマー配合物およびパーフルオロエラストマー配合物から製造された硬化された物品の製造に関する。
【背景技術】
【０００２】
　
パーフルオロエラストマーは際だった商業的成功を達成し、過酷な環境における多様な用途、特に高温および強力な化学薬品に曝される最終用途において用いられている。例えば、これらのポリマーは、
高温にて用いられる工業装置用のシールエレメントにおいてしばしば用いられる。
【０００３】
　
パーフルオロエラストマーの際だった特性は、これらの組成物におけるポリマー主鎖の主要部分を構成する共重合過フッ化モノマー単位の安定性および不活性によるところが大きい。こうしたモノマーは、テトラフルオロエチレンおよび過フッ化ビニルエーテルを含む。ゴム状弾性を十分に発現するために、パーフルオロエラストマーは、典型的には、架橋、すなわち、架硫される。この目的のために、少量のキュアサイトモノマーが、過フッ化モノマー単位と共重合される。少なくとも１個のニトリル基を含むキュアサイトモノマー、例えば、パーフルオロ−８−シアノ−５−メチル−３，６−ジオキサ−１−オクテンが特に好ましい。
【０００４】
　
パーフルオロエラストマー製物品は、最終用途における環境のために適した弾性率または硬度を実現するために
非フィブリル化フッ素樹脂充填剤をしばしば含有する。フッ素樹脂充填剤は、幾つかの最終用途、例えば、パーフルオロエラストマー製シールが反応性プラズマに曝される半導体製造に適している。プラズマは、パーフルオロエラストマーポリマーおよびいかなる非フィブリル化フッ素樹脂充填剤も侵蝕する。しかし、無機充填剤を含有するシールは、ポリマーが侵蝕されるにつれて充填剤を放出し、この充填剤は半導体を汚染する恐れがある。
【０００５】
　非フィブリル化フッ素樹脂充填剤を多く充填すること（例えば、パーフルオロエラストマー１００部当たり３０重量部超）は、望ましい弾性率および硬度を有するパーフルオロエラストマー製物品の実現のために必要とされる。残念ながら、非フィブリル化フッ素樹脂充填剤の充填量が多ければ多いほど、パーフルオロエラストマー製物品の圧縮セット抵抗は高くなる。漏れのないシールを実現するためには、圧縮セット抵抗を低く抑える必要がある。
【０００６】
　米国特許第４，５２０，１７０号明細書は、パーフルオロエラストマー１００部当たり１〜４０重量部のフィブリル化ポリ（テトラフルオロエチレン）（すなわち、「ＰＴＦＥ」）入りのパーフルオロエラストマーの配合物を開示している。この配合物は、パーフルオロエラストマーとフィブリル化ＰＴＦＥのブレンドを低温粉砕して粉状にすることにより製造される。
【０００７】
　
架橋された時に、半導体製造装置において用いるために良好なシール特性、十分な強度の組み合わせを提供するとともに、反応性プラズマに曝された後に粒子を殆ど放出しないパーフルオロエラストマー組成物を有することが望ましい。更には、組成物の製造において従来のゴム加工装置のみを用いる、すなわち、低温粉砕を用いないことが望ましい。
　
（ｂ−３）
「【００１０】
　
パーフルオロエラストマーは、一般的には、少なくとも２種の主たる過フッ化モノマーの共重合単位を有する非晶質高分子組成物である。主たるモノマーの一方がパーフルオロオレフィンであるのに対して、他方はパーフルオロビニルエーテルである。代表的な過フッ化オレフィンは、テトラフルオロエチレンおよびヘキサフルオロプロピレンを含む。
式ＣＦ２＝ＣＦＯ（Ｒｆ’Ｏ）ｎ（Ｒｆ’’Ｏ）ｍＲｆ　（Ｉ）
（式中、Ｒｆ’およびＲｆ’’は、炭素原子数２〜６の異なる直鎖または分枝のパーフルオロアルキレン基であり、ｍおよびｎは独立して０〜１０であり、Ｒｆは炭素原子数１〜６のパーフルオロアルキル基である）の過フッ化ビニルエーテルを含む。
・・（中略）・・
【００１５】
　
好ましいパーフルオロエラストマーコポリマーは、主たるモノマー単位としてテトラフルオロエチレンと少なくとも１種の過フッ化ビニルエーテルとを含む。こうしたコポリマーにおいて、共重合過フッ化エーテル単位は、ポリマー中の全モノマー単位の約１５〜５０モル％を構成する。
【００１６】
　
パーフルオロエラストマーは、一般に０．１〜５モル％の量で少なくとも１種のニトリル基含有キュアサイトモノマーの共重合単位を更に含む。
適するキュアサイトモノマーは、ニトリル含有フッ化オレフィンおよびニトリル含有フッ化ビニルエーテルを含む。
　ＣＦ２＝ＣＦ−Ｏ（ＣＦ２）ｎ−ＣＮ　（ＶＩ）
（式中、ｎ＝２〜１２、好ましくは２〜６）
　ＣＦ２＝ＣＦ−Ｏ［ＣＦ２−ＣＦ（ＣＦ３）−Ｏ］ｎ−ＣＦ２−ＣＦＣＦ３−ＣＮ　（ＶＩＩ）
（式中、ｎ＝０〜４、好ましくは０〜２）、および
　ＣＦ２＝ＣＦ−［（ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）］ｘ−Ｏ−（ＣＦ２）ｎ−ＣＮ　（ＶＩＩＩ）
（式中、ｘ＝１〜２、ｎ＝１〜４）
【００１７】
　式（ＶＩＩＩ）のニトリル含有キュアサイトモノマーが好ましい。特に好ましいキュアサイトモノマーは、ニトリル基およびトリフルオロビニルエーテル基を有する過フッ化ポリエーテルである。最も好ましいキュアサイトモノマーは、
　ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＮ（ＩＸ）
すなわち、パーフルオロ（８−シアノ−５−メチル−３，６−ジオキサ−１−オクテン）、または、８−ＣＮＶＥである。
【００１８】
　
特に好ましいパーフルオロエラストマーは、５３．０〜７９．９モル％のテトラフルオロエチレン、２０．０〜４６．９モル％のパーフルオロ（メチルビニルエーテル）および０．４〜１．５モル％のニトリル基含有キュアサイトモノマーの共重合単位を含む。これらのモル％は、パーフルオロエラストマー中のすべての共重合モノマー単位の全モルに基づいている。
　
（ｂ−４）
「【００１９】
　
フィブリル化ポリ（テトラフルオロエチレン）（ＰＴＦＥ）は公知である。
【００２０】
　
本発明の方法により製造された硬化性組成物および硬化された物品は、パーフルオロエラストマーと、１〜２０（好ましくは８〜１２）ｐｈｒのフィブリル化ＰＴＦＥと硬化剤とを含む。「ｐｈｒ」という用語は、ゴム（すなわち、パーフルオロエラストマー）１００重量部当たりの成分原料の重量部を意味する。２０ｐｈｒより多いフィブリル化ＰＴＦＥは組成物を実質的に非加工性にする一方で、１ｐｈｒ未満のフィブリル化ＰＴＦＥは補強がごく僅かの組成物をもたらす。
　
（ｂ−５）
「【００２１】
　
パーフルオロエラストマーがニトリル含有キュアサイトモノマーの共重合単位を有するので、
硬化系を用いることが可能である。
【００２２】
　
好ましい他の硬化系は、式
【００２３】
【化１】
　
【００２４】
のビス（アミノフェノール）またはビス（アミノチオフェノール）もしくは式
【００２５】
【化２】
　
【００２６】
のテトラアミンを用いる。
【００２７】
　
ここで、式中、Ａは、ＳＯ
２
、Ｏ、ＣＯ、炭素原子数１〜６のアルキレン、炭素原子数１〜１０のパーフルオロアルキレンまたは２個の芳香族環を連結する炭素−炭素結合である。上の式ＸおよびＸＩ中のアミノ基およびヒドロキシル基またはチオ基はベンゼン環上で互いに隣接しており、基Ａに対して互換可能なようにメタ位およびパラ位にある。
硬化剤は、４，４’−［２，２，２−トリフルオロ−１−（トリフルオロメチル）エチリデン］ビス（２−アミノフェノール）、４，４’−スルホニルビス（２−アミノフェノール）、３，３’−ジアミノベンジジンおよび３，３’，４，４’−テトラアミノベンゾフェノンからなる群から選択された化合物である。これらの内の
ビス（アミノフェノール）ＡＦ（または、ＤＡＢＰＡＦ）と呼ばれる。
一般的に、パーフルオロエラストマー中に存在するすべてのキュアサイトと反応するために必要とされる量を超える僅かに過剰の硬化剤が用いられる。典型的には、エラストマー１００部当たり０．５〜５重量部の硬化剤が必要とされる。好ましい範囲は１〜２ｐｈｒである。
　
（ｂ−６）
「【００３１】
　
本発明の硬化されたパーフルオロエラストマー製物品は、良好なシール特性、反応性プラズマに曝された時の粒子放出の抑制および半導体製造において用いるために十分な引張特性を有する。物品は、シールおよびガスケットなどの多くの用途において有用である。
　
（ｂ−７）
「【実施例】
・・（中略）・・
【００３８】
実施例１〜２および対照Ａ
　実施例および対照Ａにおいて用いられたパーフルオロエラストマー（ＦＦＫＭ１）は、６８．２モル％のテトラフルオロエチレン、３１．０モル％のパーフルオロ（メチルビニルエーテル）および０．８０モル％のパーフルオロ（８−シアノ−５−メチル−３，６−ジオキサ−１−オクテン）の共重合単位を含み、
【００３９】
　用いられた
フィブリル化ＰＴＦＥまたは微小繊維化されたＰＴＦＥは、ＤｕＰｏｎｔから入手できるテフロン（Ｔｅｆｌｏｎ）（登録商標）６０またはテフロン（登録商標）７Ａであった。非フィブリル化フッ素樹脂（テフロン（登録商標）ＭＰ　１６００）を対照組成物中で用いた。
【００４０】
　
本発明の組成物（実施例１〜２）および対照Ａの組成物は、パーフルオロエラストマー、フルオロポリマー充填剤およびビス（アミノフェノール）ＡＦ（「ＤＡＢＰＡＦ」）硬化剤を開放二本ロール機で４０℃で混合することにより製造した。成分原料、比率および混合時間を表Ｉにおいて示している。硬化特性および引張特性を試験方法に従い測定し、これらも表Ｉにおいて示している。
【００４１】
【表１】
　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
イ．甲２に記載された発明
　甲２には、上記ア．の記載事項（特に下線部）からみて、
「ｉ）テトラフルオロエチレン、過フッ化ビニルエーテルおよびニトリル基含有キュアサイトモノマーの共重合単位を含むパーフルオロエラストマー、ｉｉ）前記パーフルオロエラストマー１００重量部当たり１〜２０重量部のフィブリル化ＰＴＦＥおよびｉｉｉ）ビス（アミノフェノール）、ビス（アミノチオフェノール）及びテトラミンから選択される硬化性配合物を形成するための硬化剤をエラストマー１００部当たり０．５〜５重量部混合してなる硬化性パーフルオロエラストマー配合物。」
に係る発明（以下「甲２発明」という。）が記載されている。
　
（３）甲３
　
ア．甲３に記載された事項
　甲３には、以下の事項が記載されている。
　
（ｃ−１）
「【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ｉ）少なくとも１個のシアノ基を有する少なくとも１種の硬化部位含有モノマーからなるフルオロポリマー；
（ｉｉ）官能性ビフェニル系化合物および
式（Ｉ）：
　ＨＯＮ＝Ｒ
１
＝ＮＯＨ
（Ｒ
１
は、炭素数１〜１０のアルキル基および炭素数１〜１０のアリール基から選ばれる）で示されるジオキシム化合物；
【化１】
　
（Ｙは、置換または非置換のアルキル基、アリール基またはアラルキル基もしくは非置換または置換の、全部または一部がハロゲン化された炭素数〜２２のアルキル基、アリール基またはアラルキル基から選ばれ；Ｒ４は、水素原子または炭素数１〜６の置換または非置換の低級アルキル基またはアミノ基から選ばれ；Ｒ５は、独立して水素原子、炭素数１〜６の置換または非置換の低級アルキル基、アミノ基またはヒドロキシル基から選ばれる）で示されるモノアミジン系化合物；および／または
パーフルオロポリエーテルの少なくとも１種
を含む硬化系
を含む硬化性フルオロエラストマー組成物。
【請求項２】
フルオロポリマーが、さらにテトラフルオロエチレンおよびパーフルオロアルキルビニルエーテルを含む
・・（中略）・・
【請求項４】
官能性ビフェニル系化合物が、２，２−ビス［３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル］ヘキサフルオロプロパンである
【請求項５】
硬化部位含有モノマーがシアノ基を２〜５個有する請求項１記載の組成物。
・・（中略）・・
【請求項７】
硬化系が、官能性ビフェニル系化合物を約０．５部〜約２．０部含み、ジオキシム化合物を約０．２５部〜約２．０重量部含む請求項１記載の組成物。
・・（後略）」
　
（ｃ−２）
「【００１３】
　
パーフルオロエラストマー組成物は、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）；ヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）などのパーフルオロオレフィン；およびパーフルオロ（メチルビニルエーテル）、パーフルオロ（エチルビニルエーテル）、パーフルオロ（プロピルビニルエーテル）および類似の化合物などの直鎖または分岐鎖状のアルキル基を有し、１種以上のエーテル結合を有するパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）（ＰＡＶＥ）などの少なくとも１種の含フッ素エチレン性不飽和モノマーからなる２種以上の各種パーフルオロ共重合体を含んでいてもよい。
ＴＦＥおよびＰＡＶＥを含む三元重合体または四元重合体であるパーフルオロポリマーであって、三元重合体の架橋を可能にする官能基を含む少なくとも１種のパーフルオロ硬化部位含有モノマーからなるパーフルオロポリマーを用いることが望ましく、本明細書に記載の特定の硬化系を用いて硬化させてもよい。本発明の実施形態において、パーフルオロポリマーは、少なくともテトラフルオロエチレン、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）および少なくとも１種の硬化部位含有モノマー（以下に記載）などの各モノマーを含む。
【００１４】
　また、ＴＦＥ、ビニリデンフルオライド（ＶＦ２）およびパーフルオロポリマーに関して上に述べたモノマーなどを含む共重合体であるフルオロポリマーを用いることが望ましい。好ましくは、フルオロポリマーは、標準の硬化剤および／または本明細書に記載の好ましい硬化剤によって硬化され得る硬化部位含有モノマーを含み、本発明における好ましい促進剤によってかかる硬化を促進し得るものである。また、用いるフルオロポリマーは、この技術の分野において公知のより高度にフッ素化されたフルオロポリマーのグループに含まれるものであることが好ましい。
【００１５】
　
本発明の実施において用いられるフルオロポリマーおよびパーフルオロポリマーは、少なくとも１個のシアノ基を有する少なくとも１種の硬化部位含有モノマー（「シアノ硬化部位含有モノマー」）を含むものである
−ＣＦ２＝ＣＦ−Ｏ−［ＣＦ２］ｎ−ＣＮ（式中、ｎは２〜約１２または２〜６の整数）；・・（中略）・・などがあげられる。また、共重合体中の第１の硬化部位含有モノマーと第２の硬化部位含有モノマーのモル比は、約１：１〜約１０：１または９：１であってもよい。」
　
（ｃ−３）
「【００１９】
　
官能性ビフェニル系硬化剤は、この分野の技術において公知のまたは開発されるいかなるものであってもよく；官能性ビフェニル系硬化剤は、１種またはいかなる種類の組合せであってもよい。官能性ビフェニル系硬化剤は、たとえば、２，２−ビス［３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル］ヘキサフルオロプロパン（「ＢＯＡＰ」）またはその誘導体化合物であってもよい。
・・（中略）・・
【００２３】
　
少なくとも官能性ビフェニル系硬化剤およびジオキシム化合物を含む選択された硬化系は、ある量で組成物中に存在し、その量は、
官能性ビフェニル系硬化剤が存在する場合は、その含有量は約０．００１〜約２部（ｐｈｒ）
であることが望ましい。
　
（ｃ−４）
「【００２９】
　
発明を構成する組成物
は、他の添加剤、たとえば、
フィラー、その他のポリマーまたはポリマー混合物（粉末、溶融ブレンド、粒子）
を含んでもよい。かかる添加剤の例としては、
フルオロポリマー粒子、
の粒子、
などがあげられる。
【００３０】
　実施の形態において、組成物は、
ＰＴＦＥ粒子または粉末
を含む。
　
（ｃ−５）
「【００３８】
　さらに、本発明を下記の実施例にしたがって説明するが、本発明はかかる実施例に限定されるものではない。・・（中略）・・
【００３９】
　実施例における粘着力を測定するための試験は、内径０．９８４±０．０１０インチで、断面が０．０１３９±０．００４インチの寸法を有するＯ−リングサンプルを用いて行った。Ｏ−リングサンプルは、プレートの間に固定され、２５％の圧縮を加える。固定具およびサンプルは、３９２°Ｆで２４時間強制空気加熱オーブン中に置かれる。固定具を冷却し、プレートが引き離される力を測定する。この力が粘着力である。各サンプルの３点のデータをとり、平均して、平均粘着力を得る。
【００４０】
実施例１：パーフルオロエラストマー組成物の調製および耐酸素プラズマ性と粘着力の評価
　下記に示すパーフルオロエラストマー組成物Ａ〜Ｒを、表１に示す成分を混合して調製した。それぞれについて、耐酸素プラズマ性と粘着力のデータを示す。表に示すＣ１は、比較用の組成物である。
【００４１】
【表１】
　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
イ．甲３に記載された発明
　甲３には、上記ア．の記載事項（特に下線部）からみて、
「（ｉ）ＴＦＥ、ＰＡＶＥ及び少なくとも１個のシアノ基を有する少なくとも１種の硬化部位含有モノマーからなるフルオロポリマー；（ｉｉ）２，２−ビス［３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル］ヘキサフルオロプロパン（ＢＯＡＰ）などの官能性ビフェニル系化合物および式（Ｉ）：（式及びその説明は省略）で示されるジオキシム化合物；式（ＩＶ）：（式及びその説明は省略）で示されるモノアミジン系化合物；および／またはパーフルオロポリエーテルの少なくとも１種を含む硬化系並びに任意にＰＴＦＥ粒子又は粉末を含む硬化性フルオロエラストマー組成物」
に係る発明（以下「甲３発明」という。）が記載されている。
（４）甲４
　
ア．甲４に記載された事項
　甲４には、以下の事項が記載されている。
　
（ｄ−１）
「【請求項１】
含フッ素エラストマー粒子のエマルションと、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレンと式：ＣＦ
２
＝ＣＦ−Ｏ−Ｒ
ｆ
１
（Ｒ
ｆ
１
は１個以上のエーテル型酸素原子を有していてもよい直鎖状または分岐鎖状のフルオロ−もしくはパーフルオロアルキル基、またはフルオロ−もしくはパーフルオロオキシアルキル基）との共重合体、およびテトラフルオロエチレンとＣＦ
２
＝ＣＦ−Ｒ
ｆ
１
（Ｒ
ｆ
１
は前記と同じ）との共重合体よりなる群から選ばれる少なくとも１種であって平均粒径が２０〜１００ｎｍのフッ素樹脂微粒子のエマルションとを混合した
フッ素樹脂微粒子が微細に分散している透明な含フッ素エラストマー組成物を加硫成形して得られる、含フッ素エラストマーにフッ素樹脂微粒子が微細に分散している充填剤を含まないヘイズ値が５０％以下の透明な含フッ素エラストマー成形品
　
（ｄ−２）
「【００１８】
　本発明で用いるマトリックス用のエラストマーは粒子の状態でエマルションを形成し得る透明なエラストマーであり、かつフッ素樹脂と親和性を有するものであればよい。この点から含フッ素エラストマーが好ましい。
【００１９】
　
含フッ素エラストマーとしては、たとえば式（１）：
【００２０】
【化１】
　
（式中、ｍ／ｎ＝９５〜５０／５〜５０（モル％。以下同様）、Ｒ
ｆ
は炭素数１〜８のパーフルオロアルキル基）で示される２元共重合体エラストマー（テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）／パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）（ＰＡＶＥ）系エラストマー）、
などがあげられる。
【００２６】
　
より具体的には、ＴＦＥ／ＰＡＶＥ共重合体エラストマー、ビニリデンフルオライド（ＶｄＦ）／ヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）共重合体エラストマー、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥ共重合体エラストマー、ＶｄＦ／ＴＦＥ／ＰＡＶＥ共重合体エラストマーなどがあげられ、これらのエラストマーはさらに少量の架橋性反応基を含有するモノマーが共重合されていてもよい。架橋性反応基としては、たとえば
ニトリル基
などがあげられる。
【００２７】
　これらの含フッ素エラストマーは、通常の乳化重合法で製造することができ、得られる重合反応物であるエマルションはそのまま、または適宜濃度を調整して後述する共凝析に使用することができる。または、一旦乾燥したのち再乳化分散させてもよい。」
　
（ｄ−３）
「【００２９】
　エマルション中のエラストマー粒子の平均粒径は特に制限されず、たとえば１０〜８００ｎｍ、好ましくは２０〜５００ｎｍである。しかし１０ｎｍよりも小さすぎると凝析しにくくなり、８００ｎｍよりも大きすぎるとエマルションが不安定となり共凝析を行ないにくくなる。
【００３０】
　
エラストマーに微分散させるフッ素樹脂微粒子は特に制限されず、たとえば
（１）ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）；
（２）ＴＦＥ／ＣＦ
２
＝ＣＦ−Ｏ−Ｒ
ｆ
１
（ＦＶＥ）共重合体（ただし、非エラストマー性を示す組成範囲。たとえばＣＦ
２
＝ＣＦ−Ｏ−Ｒ
ｆ
１
が１５モル％以下。Ｒ
ｆ
１
は１個以上のエーテル型酸素原子を有していてもよい直鎖状または分岐鎖状のフルオロ−もしくはパーフルオロアルキル基、またはフルオロ−もしくはパーフルオロオキシアルキル基である。）、たとえばＴＦＥ／ＰＡＶＥ共重合体（ＰＦＡ）；
（３）ＴＦＥ／ＣＦ
２
＝ＣＦ−Ｒ
ｆ
１
共重合体（ただし、非エラストマー性を示す組成範囲、たとえば、ＣＦ
２
＝ＣＦ−Ｒ
ｆ
１
が１５モル％以下。Ｒ
ｆ
１
は前記と同じ）、たとえばＴＦＥ／ＨＦＰ共重合体（ＦＥＰ）；
（４）エチレン／ＴＦＥ（３０〜６０／７０〜４０。モル％。以下同様）共重合体；
（５）ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）；
（６）エチレン／クロロトリフルオロエチレン（ＣＴＦＥ）（３０〜６０／７０〜４０）共重合体；
（７）ポリビニリデンフルオライド（ＰＶｄＦ）；
（８）ビニリデンフルオライド（ＶｄＦ）／ＴＦＥ（７０〜９９／３０〜１）共重合体；
（９）ＶｄＦ／ＴＦＥ／ＣＴＦＥ（５０〜９９／３０〜０／２０〜１）共重合体；
（１０）ＶｄＦ／ＴＦＥ／ＨＦＰ（６０〜９９／３０〜０／１０〜１）共重合体；
（１１）エチレン／ＴＦＥ／ＨＦＰ（６〜６０／４０〜８１／１〜３０）共重合体；
（１２）３，３，３−トリフルオロプロピレン−１，２−トリフルオロメチル−３，３，３−トリフルオロプロピレン−１／ＰＡＶＥ（４０〜６０／６０〜４０）共重合体
などの微粒子があげられる。これらのうち、成形品への低摩擦性を付与する場合、前記（１）が好ましく、特にパーフルオロエラストマー成分の相溶性を向上させる点からは前記（２）、（３）が好ましい。
【００３１】
　なお、前記（１）のＰＴＦＥにはＴＦＥの単独重合体だけでなく、溶融流動性を与えない範囲で少量の共単量体を共重合した変性ＰＴＦＥも含む。共単量体としては、ＨＦＰ、ＣＴＦＥ、パーフルオロビニルエーテル、トリフルオロエチレン、パーフルオロアルキルエチレンなどがあげられ、パーフルオロビニルエーテルを共単量体とする場合は２重量％まで、好ましくは０．００１〜１重量％、より好ましくは０．０１〜１重量％の量で共重合する。」
　
（ｄ−４）
「【００３４】
　
エラストマーとフッ素樹脂との混合比率は、成形品に与えたい特性などによって適宜選定すればよいが、エラストマー１００重量部に対し、フッ素樹脂は補強効果を得る点から１重量部以上、好ましくは５重量部以上、また得られる架橋物のゴム加工が容易な点から１５０重量部以下、好ましくは１００重量部以下、より好ましくは５０重量部以下とすることが望ましい。
　
（ｄ−５）
「【００４３】
　
本発明のエラストマー組成物に架橋剤、さらに架橋促進剤を配合することにより、架橋性のエラストマー組成物とすることができる。
【００４４】
　
架橋系としてはエラストマーに通常採用されている架橋系が適用でき、たとえばオキサゾール架橋系、イミダゾール架橋系、チアゾール架橋系、
などがあげられる。また、放射線や電子線、紫外線などによる架橋も可能である。
【００４５】
　
オキサゾール架橋系、イミダゾール架橋系、チアゾール架橋系に使用する架橋剤としては、たとえば式（Ｉ）：
【００４６】
【化７】
　
（式中、Ｒ
１
は−ＳＯ
２
−、−Ｏ−、−ＣＯ−、炭素数１〜６のアルキレン基、炭素数１〜１０のパーフルオロアルキレン基または結合手であり、Ｒ
２
およびＲ
３
は一方が−ＮＨ
２
であり他方が−ＮＨ
２
、−ＯＨまたは−ＳＨである）で示されるビスアミノ（チオ）フェノール系架橋剤あるいはテトラアミン系架橋剤
などがあげられる。
【００５０】
　また、必要に応じて架橋促進剤を併用してもよい。
【００５１】
　
配合量は、エラストマー１００重量部に対して、架橋剤が０．５〜１０重量部、好ましくは１〜５重量部であり、
　
（ｄ−６）
「【００６７】
　
充填剤の有無に拘わらず、本発明の架橋成形物は機械的強度、後加工性、耐プラズマ性、ガスバリヤー性に優れている。また、微分散しているフッ素樹脂微粒子はマトリックスのエラストマーから脱落しにくいため、たとえば半導体製造装置の封止材として使用してもパーティクルを発生する恐れが少ない。
　
（ｄ−７）
「【実施例】
【００７３】
　つぎに本発明を合成例および実施例をあげて説明するが、本発明はかかる合成例および実施例のみに限定されるものではない。
・・（中略）・・
【００７８】
合成例２（フッ素樹脂微粒子のエマルションの製造）
　着火源をもたない内容積６リットルのステンレススチール製オートクレーブに、純水３リットルおよび乳化剤としてＣ３Ｆ７ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＯＯＮＨ４を３０ｇ、ｐＨ調整剤としてリン酸水素二ナトリウム・１２水塩０．２７ｇを仕込み、系内を窒素ガスで充分に置換し脱気したのち、６００ｒｐｍで撹拌しながら、８０℃に昇温し、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）とパーフルオロ（メチルビニルエーテル）（ＰＭＶＥ）の混合ガス（ＴＦＥ／ＰＭＶＥ＝８８／１２モル比）を、内圧が０．２０ＭＰａになるように仕込んだ。ついで、過硫酸アンモニウム（ＡＰＳ）の２．５ｍｇ／ｍｌ濃度の水溶液４ｍｌを窒素圧で圧入して反応を開始した。
【００７９】
　重合の進行により内圧が、０．１５ＭＰａまで降下した時点で、ＴＦＥ／ＰＭＶＥの混合ガス（ＴＦＥ／ＰＭＶＥ＝９５／５モル比）を内圧が０．２０ＭＰａになるように窒素ガスで圧入した。以後、反応の進行にともない同様にＴＦＥ／ＰＭＶＥ混合ガス（９５／５モル比）を圧入し、０．１５〜０．２０ＭＰａの間で昇圧、降圧を繰り返した。
【００８０】
　重合反応の開始から４．５時間後、ＴＦＥおよびＰＭＶＥの合計仕込み量が３３１ｇになった時点で、オートクレーブを冷却し、未反応モノマーを放出して固形分濃度９．７重量％のフッ素樹脂微粒子（平均粒径：４４ｎｍ）のエマルション（Ｂ−１）を得た。平均粒径はエマルション１２０ｍｇをジメチルスルホキシド４．４ｇと混合し、大塚電子（株）製のＬＰＡ−３０００、３１００で測定した。
【００８１】
　このエマルションの一部を取り出し、硝酸を加えて凝析し、析出物を洗浄、乾燥して白色の
フッ素樹脂微粉末
組成比はＴＦＥ／ＰＭＶＥ＝９４．５／５．５（モル％）であり、ＤＳＣで測定した融点は２９０℃であった。
・・（中略）・・
【００８６】
合成例４（含フッ素エラストマー粒子のエマルションの製造）
　着火源をもたない内容積３リットルのステンレススチール製オートクレーブに、純水１リットルおよび乳化剤としてＣ３Ｆ７ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＯＯＮＨ４を１０ｇ、ｐＨ調整剤としてリン酸水素二ナトリウム・１２水塩０．０９ｇを仕込み、系内を窒素ガスで充分に置換し脱気したのち、６００ｒｐｍで撹拌しながら、５３℃に昇温し、
テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）とパーフルオロ（メチルビニルエーテル）（ＰＭＶＥ）
【００８７】
　重合の進行により内圧が、０．６９ＭＰａまで降下した時点で、
ＣＦ
２
＝ＣＦＯＣＦ
２
ＣＦ（ＣＦ
３
）ＯＣＦ
２
ＣＦ
２
ＣＮ（ＣＮＶＥ）
【００８８】
　重合反応の開始から６時間後、ＴＦＥおよびＰＭＶＥの合計仕込み量が１３０ｇになった時点で、オートクレーブを冷却し、未反応モノマーを放出して固形分濃度１１．３重量％の含フッ素エラストマー粒子のエマルション（Ａ−２）１１６０ｇを得た。
【００８９】
　このエマルションのうちの１００ｇを水３００ｇで希釈し、３．５重量％塩酸水溶液２８０ｇ中に撹拌しながらゆっくりと添加した。添加後、さらに５分間撹拌し、得られた凝析物をろ別した。得られたエラストマー粒子をさらに２００ｇのＨＣＦＣ−１４１ｂにより洗浄し、ろ別した。ＨＣＦＣ−１４１ｂでの洗浄およびろ別を４回繰返したのち６０℃で７２時間真空乾燥して、１１．２ｇの
含フッ素エラストマー
【００９０】
　この含フッ素エラストマーについて１９Ｆ−ＮＭＲ分析により
組成比を求めたところ、ＴＦＥ／ＰＭＶＥ／ＣＮＶＥ＝６０．４／３８．９／０．７（モル％）であった。
・・（中略）・・
【０１１１】
実施例１１
　
合成例４で得られた含フッ素エラストマー粒子（Ａ−２）
と合成例２で得られたフッ素樹脂微粒子（Ｂ−１）
を含フッ素エラストマー／フッ素樹脂＝８５／１５（重量比）で混合し
含フッ素エラストマーにフッ素樹脂微粒子が微分散した透明なエラストマー組成物（ヘイズ値：１８％）を得た。
【０１１２】
実施例１２
　
実施例１１で製造したエラストマー組成物１００重量部に対して、架橋剤として２，２−ビス−［（３−アミノ−４−フェニルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン
１．４５重量部をオープンロールにより混練して架橋性エラストマー組成物を調製した。
【０１１３】
加硫性（１７０℃）
　最低トルク：０．４５ｋｇ
　最大トルク：２．９０ｋｇ
　誘導時間：４．４分
　最適加硫時間：８．７分
【０１１４】
　
さらにこの架橋性エラストマー組成物を１７０℃で１５分間プレス架橋したのち２０４℃で１８時間、ついで２８８℃で１８時間のオーブン架橋を行なって架橋物を製造した。得られた架橋物についても前記と同様に常態物性を測定し、また前記と同様の条件でＯ−リング（Ｐ−２４）を作製し、その圧縮永久歪みを測定した。
【０１１５】
常態物性
　１００％モジュラス：２．９ＭＰａ
　引張強度：１９．４ＭＰａ
　伸び：２５２％
　硬度（ＪＩＳ　Ａ）：７４
【０１１６】
圧縮永久歪み（２００℃、７０時間、２５％圧縮）
　圧縮永久歪み：１５％」
　
イ．甲４に記載された発明
　甲４には、上記ア．の記載事項（特に下線部）からみて、
「テトラフルオロエチレン、パーフルオロアルキルビニルエーテル及び少量のニトリル基などの架橋性反応基を含有するモノマーの共重合体である含フッ素エラストマーと、該エラストマー１００重量部に対し５重量部以上５０重量部以下の、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレンと式：ＣＦ２＝ＣＦ−Ｏ−Ｒｆ１（Ｒｆ１は１個以上のエーテル型酸素原子を有していてもよい直鎖状または分岐鎖状のフルオロ−もしくはパーフルオロアルキル基、またはフルオロ−もしくはパーフルオロオキシアルキル基）との共重合体、およびテトラフルオロエチレンとＣＦ２＝ＣＦ−Ｒｆ１（Ｒｆ１は前記と同じ）との共重合体よりなる群から選ばれる少なくとも１種であって平均粒径が２０〜１００ｎｍのフッ素樹脂微粒子とを混合し、さらにビスアミノ（チオ）フェノール系架橋剤あるいはテトラアミン系架橋剤をエラストマー１００重量部に対して０．５〜１０重量部配合したフッ素樹脂微粒子が微細に分散している透明な架橋性含フッ素エラストマー組成物。」
に係る発明（以下「甲４発明」という。）が記載されている。
　
（５）甲５
　
ア．甲５に記載された事項
　甲５には、以下の事項が記載されている。
　
（ｅ−１）
「【請求項１】　融点が２３０〜３００℃でかつ溶融加工ができない平均粒径が１００ｎｍ以下のフッ素樹脂粒子であって、ＡＳＴＭ　Ｄ３３０７に準じて３２７℃、５ｋｇ荷重で測定したメルトフローレートが０．００５〜０．１ｇ／１０ｍｉｎである
フッ素樹脂粒子。
【請求項２】　
フッ素樹脂粒子が、テトラフルオロエチレンとテトラフルオロエチレン以外のパーフルオロオレフィンとの含フッ素共重合体粒子である
【請求項３】　
含フッ素共重合体粒子がテトラフルオロエチレン単位を９０モル％以上含む請求項２記載のフッ素樹脂粒子
・・（中略）・・
【請求項５】　テトラフルオロエチレンと共重合するパーフルオロオレフィンが、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）である請求項２〜４のいずれかに記載のフッ素樹脂粒子。
・・（中略）・・
【請求項７】　
含フッ素エラストマーと請求項１〜５のフッ素樹脂粒子からなる含フッ素エラストマー組成物。
【請求項８】　
含フッ素エラストマーがパーフルオロエラストマーである請求項７記載の含フッ素エラストマー組成物。
【請求項９】　
請求項７または８記載のエラストマー組成物から成形して得られる半導体製造装置用のシール用部品
　
（ｅ−２）
「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置のＯ−リングやガスケットなどのシール用部品などに特に好適に使用されるエラストマーや樹脂成形品などに充填するフッ素樹脂粒子に関する。かかる充填剤は、得られるシール材にクリーン性、耐熱性、強度を与えるものである。
【０００２】
【従来の技術】含フッ素エラストマーにフッ素樹脂粒子を充填剤として添加し、成形品の耐摩耗性を向上させたり摩擦係数を低くしたりすることは、従来から行なわれている。近年、こうした成形品のフッ素樹脂の耐薬品性や耐熱性などを利用し、半導体の製造装置のシール用部品（Ｏ−リングやガスケットなど）への使用が進められている。
・・（中略）・・
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、含フッ素エラストマーや樹脂に充填するフッ素樹脂粒子であって、フッ素樹脂粒子の融点を超えた温度であってもエラストマー加硫物などに良好な特性を付与できるフッ素樹脂粒子を提供することを目的とする。
　
（ｅ−３）
「【０００７】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、融点が２３０〜３００℃でかつ溶融加工ができない平均粒径が１００ｎｍ以下のフッ素樹脂粒子であって、ＡＳＴＭ　Ｄ３３０７に準じて３２７℃、５ｋｇ荷重で測定したメルトフローレート（ＭＦＲ）が０．００５〜０．１ｇ／１０ｍｉｎであるフッ素樹脂粒子に関する。
【０００８】
フッ素樹脂粒子としては、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）とＴＦＥ以外のパーフルオロオレフィンとの含フッ素共重合体、特にＴＦＥ単位を９０モル％以上含むフッ素樹脂粒子が好ましい。
【０００９】
ＴＦＥ以外のパーフルオロエチレン単位の含有量は２〜９モル％が好ましく、ＴＦＥと共重合するパーフルオロオレフィンとしてはパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）（ＰＡＶＥ）、特にパーフルオロ（メチルビニルエーテル）が好ましくあげられる。
　
（ｅ−４）
「【００２１】さらに
本発明は、含フッ素エラストマーまたは溶融加工可能なフッ素樹脂などのマトリックスポリマーに前記特定のフッ素樹脂粒子が充填剤として含まれてなる組成物にも関する。
【００２２】
本発明の組成物で用いるマトリックス用のエラストマーは粒子の状態でエマルションを形成し得るエラストマーであり、かつフッ素樹脂粒子と親和性を有するものであればよい。この点から含フッ素エラストマーが好ましい。
【００２３】マトリックスポリマーとして含フッ素エラストマーを使用する場合は、本発明のフッ素樹脂粒子を充填したときは、高温での混練や加硫においても充填剤としての特性が大きくは損なわれない。
【００２４】
含フッ素エラストマーとしては、たとえば式（１）：
【００２５】
【化１】
　
【００２６】
（式中、ｍ／ｎ＝９５〜５０／５〜５０（モル％。以下同様）、Ｒ
ｆ
は炭素数１〜８のパーフルオロアルキル基）で示される２元共重合体エラストマー（テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）／パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）（ＰＡＶＥ）系エラストマー）、
などがあげられる。
【００３７】
より具体的には、ＴＦＥ／ＰＡＶＥ共重合体エラストマー、
などがあげられ、これらのエラストマーはさらに少量の架橋性反応基を含有するモノマーが共重合されていてもよい。架橋性反応基としては、たとえば
ニトリル基
などがあげられる。
　
（ｅ−５）
「【００４１】
含フッ素エラストマーと特定のフッ素樹脂粒子との混合比率は、成形品に与えたい特性などによって適宜選定すればよいが、含フッ素エラストマー１００重量部に対し、フッ素樹脂粒子は補強効果を得る点から１重量部以上、好ましくは５重量部以上、また得られる架橋物のゴム加工が容易な点から１５０重量部以下、好ましくは１００重量部以下、より好ましくは５０重量部以下とすることが望ましい。
　
（ｅ−６）
「【００４９】
本発明の含フッ素エラストマー組成物に架橋剤、さらに架橋促進剤を配合することにより、架橋性の含フッ素エラストマー組成物とすることができる。
【００５０】
架橋系としては含フッ素エラストマーに通常採用されている架橋系が適用でき、たとえばオキサゾール架橋系、イミダゾール架橋系、チアゾール架橋系、
などがあげられる。また、放射線や電子線、紫外線などによる架橋も可能である。
【００５１】
オキサゾール架橋系、イミダゾール架橋系、チアゾール架橋系に使用する架橋剤としては、たとえば式（Ｉ）：
【００５２】
【化７】
　
【００５３】
（式中、Ｒ
１
は−ＳＯ
２
−、−Ｏ−、−ＣＯ−、炭素数１〜６のアルキレン基、炭素数１〜１０のパーフルオロアルキレン基または結合手であり、Ｒ
２
およびＲ
３
は一方が−ＮＨ
２
であり他方が−ＮＨ
２
、−ＯＨまたは−ＳＨである）で示されるビスアミノ（チオ）フェノール系架橋剤あるいはテトラアミン系架橋剤、
などがあげられる。
【００６４】また、必要に応じて架橋促進剤を併用してもよい。
【００６５】
配合量は、含フッ素エラストマー１００重量部に対して、架橋剤が０．５〜１０重量部、好ましくは１〜５重量部であり、
　
（ｅ−７）
「【００８１】
本発明の成形品は耐熱性、機械的強度、後加工性、耐プラズマ性、ガスバリヤー性に優れている。また、微分散しているフッ素樹脂微粒子はマトリックスのエラストマーから脱落しにくいため、たとえば半導体製造装置のシール用部品として使用してもパーティクルを発生する恐れが少ない。
　
（ｅ−８）
「【００９８】
【実施例】つぎに本発明を合成例および実施例をあげて説明するが、本発明はかかる合成例および実施例のみに限定されるものではない。
【００９９】
合成例１（フッ素樹脂微粒子のエマルションの製造）
着火源をもたない内容積６リットルのステンレススチール製オートクレーブに、純水３リットルおよび乳化剤としてＣ３Ｆ７ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＯＯＮＨ４を３０ｇ、ｐＨ調整剤としてリン酸水素二ナトリウム・１２水塩０．２７ｇを仕込み、系内を窒素ガスで充分に置換し脱気したのち、６００ｒｐｍで撹拌しながら、８０℃に昇温し、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）とパーフルオロ（メチルビニルエーテル）（ＰＭＶＥ）の混合ガス（ＴＦＥ／ＰＭＶＥ＝８８／１２モル比）を、内圧が０．２０ＭＰａになるように仕込んだ。ついで、過硫酸アンモニウム（ＡＰＳ）の２．５ｍｇ／ｍｌ濃度の水溶液４ｍｌを窒素圧で圧入して反応を開始した。
【０１００】重合の進行により内圧が、０．１５ＭＰａまで降下した時点で、ＴＦＥ／ＰＭＶＥの混合ガス（ＴＦＥ／ＰＭＶＥ＝９５／５モル比）を内圧が０．２０ＭＰａになるように窒素ガスで圧入した。以後、反応の進行にともない同様にＴＦＥ／ＰＭＶＥ混合ガス（９５／５モル比）を圧入し、０．１５〜０．２０ＭＰａの間で昇圧、降圧を繰り返した。
【０１０１】重合反応の開始から４．５時間後、ＴＦＥおよびＰＭＶＥの合計仕込み量が３３１ｇになった時点で、オートクレーブを冷却し、未反応モノマーを放出して固形分濃度９．７重量％のフッ素樹脂微粒子（平均粒径：４４ｎｍ）のエマルションを得た。平均粒径はエマルション１２０ｍｇをジメチルスルホキシド４．４ｇと混合し、大塚電子（株）製のＬＰＡ−３０００、３１００で測定した。
【０１０２】このエマルションの一部を取り出し、硝酸を加えて凝析し、析出物を洗浄、乾燥して
白色のフッ素樹脂微粒子を得た。このものは
１９
Ｆ−ＮＭＲ分析での組成比がＴＦＥ／ＰＭＶＥ＝９４．５／５．５（モル％）であった。
【０１０３】このフッ素樹脂粒子のメルトフローレート（ＭＦＲ）は荷重５ｋｇ、３７２℃５分間保持の条件で０．０１ｇ／１０ｍｉｎであり、ＤＳＣで測定した初期（１ｓｔｒｕｎ）溶融温度は２９０℃であり、融点（２ｎｄｒｕｎ）は２６４℃であった。
・・（中略）・・
【０１０８】
合成例４（含フッ素エラストマー粒子のエマルションの製造）
着火源をもたない内容積３リットルのステンレススチール製オートクレーブに、純水１リットルおよび乳化剤としてＣ３Ｆ７ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＯＯＮＨ４を１０ｇ、ｐＨ調整剤としてリン酸水素二ナトリウム・１２水塩０．０９ｇを仕込み、系内を窒素ガスで充分に置換し脱気したのち、６００ｒｐｍで撹拌しながら、５３℃に昇温し、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）とパーフルオロ（メチルビニルエーテル）（ＰＭＶＥ）の混合ガス（ＴＦＥ／ＰＭＶＥ＝２５／７５モル比）を、内圧が０．７８ＭＰａになるように仕込んだ。ついで、過硫酸アンモニウム（ＡＰＳ）の２６４ｍｇ／ｍｌ濃度の水溶液２０ｍｌを窒素圧で圧入して反応を開始した。
【０１０９】重合の進行により内圧が、０．６９ＭＰａまで降下した時点で、ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＮ（ＣＮＶＥ）を２．２ｇ窒素圧にて圧入した。ついで圧力が０．７８ＭＰａとなるように、ＴＦＥを４．７ｇおよびＰＭＶＥを５．３ｇそれぞれ自圧にて圧入した。以後、反応の進行にともない同様にＴＦＥおよびＰＭＶＥを圧入し、０．６９〜０．７８ＭＰａの間で昇圧、降圧を繰り返すとともに、ＴＦＥとＰＭＶＥの合計量が７０ｇになった時点でＣＮＶＥを２．２ｇ窒素圧にて圧入した。
【０１１０】重合反応の開始から６時間後、ＴＦＥおよびＰＭＶＥの合計仕込み量が１３０ｇになった時点で、オートクレーブを冷却し、未反応モノマーを放出して固形分濃度１１．３重量％の含フッ素エラストマー粒子のエマルション（Ａ−２）１１６０ｇを得た。
【０１１１】このエマルションのうちの１００ｇを水３００ｇで希釈し、３．５重量％塩酸水溶液２８０ｇ中に撹拌しながらゆっくりと添加した。添加後、さらに５分間撹拌し、得られた凝析物をろ別した。得られたエラストマー粒子をさらに２００ｇのＨＣＦＣ−１４１ｂにより洗浄し、ろ別した。ＨＣＦＣ−１４１ｂでの洗浄およびろ別を４回繰返したのち６０℃で７２時間真空乾燥して、１１．２ｇの含フッ素エラストマーを得た。
【０１１２】この
含フッ素エラストマーについて
１９
Ｆ−ＮＭＲ分析により組成比を求めたところ、ＴＦＥ／ＰＭＶＥ／ＣＮＶＥ＝６０．４／３８．９／０．７（モル％）であった。
【０１１３】実施例１
合成例４で得られた含フッ素エラストマー粒子のエマルションと合成例１〜３でそれぞれ得られたフッ素樹脂微粒子のエマルションを混合し（固形分比：含フッ素エラストマー／フッ素樹脂＝８５／１５重量比）、攪拌している９％硝酸水溶液中に１０分間かけて滴下して共凝析を行なった。得られた共凝析物を水洗し、乾燥して含フッ素エラストマーにフッ素樹脂微粒子が微分散したエラストマー組成物を得た。
【０１１４】
ついで得られたエラストマー組成物１００重量部に架橋剤として２，２−ビス−［（３−アミノ−４−フェニルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン（ジャーナル・オブ・ポリマー・サイエンス、ポリマー・ケミストリー編、Ｖｏｌ．２０、２３８１〜２３９３（１９８２）記載の方法で合成した）１．７５重量部を混合し、オープンロールにより４０℃にて混練りして架橋性エラストマー組成物を得た。
【０１１５】
さらに架橋性エラストマー組成物を１７０℃で１５分間プレス架橋したのち２０４℃で１８時間、ついで２８８℃で１８時間オーブン架橋を行ない、架橋物を得た。この架橋物について常態物性を測定した。また、同様の架橋条件でＯ−リング（Ｐ−２４）を製造し圧縮永久歪み（ＣＳ）を測定した。
【０１１６】（ロール巻付き性）
○：ロール表面温度が室温で充分にロールに巻きつく。
△：ロール表面温度を５０℃にすると巻きつく。
×：ロール表面温度を５０℃にしても巻きつかない。
【０１１７】（常態物性）
ＪＩＳ　Ｋ６３０１に準じて常態（２５℃）での１００％モジュラス、引張強度、引張伸びおよび硬度（ＪＩＳ　Ａ硬度）を測定する。
【０１１８】（圧縮永久歪み）
ＪＩＳ　Ｋ６３０１に準じて２７５℃、２５％圧縮で７０時間後の圧縮永久歪み（％）を測定する。
【０１１９】
【表４】
　
【０１２０】　表４に示すとおり、本発明の特定のフッ素樹脂粒子を充填剤として配合するときは、機械的物性にバランスよく優れ、しかも２７５℃という高温においても小さい値の圧縮永久歪みを与えることができる。」
　
イ．甲５に記載された発明
　甲５には、上記ア．の記載事項（特に下線部）からみて、
「少量のニトリル基などの架橋性反応基を含有するモノマーが共重合されているテトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）／パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）（ＰＡＶＥ）系エラストマーである含フッ素エラストマー、含フッ素エラストマー１００重量部に対し５重量部以上５０重量部以下のフッ素樹脂粒子及び含フッ素エラストマー１００重量部に対して０．５〜１０重量部のビスアミノ（チオ）フェノール系架橋剤あるいはテトラアミン系架橋剤からなる架橋性含フッ素エラストマー組成物。」
に係る発明（以下「甲５発明」という。）が記載されている。
　
２．取消理由ａについて
　以下、本件発明と上記甲１号証に係る発明（甲１発明１及び甲１発明２）とをそれぞれ対比・検討する。
　
（１）甲１発明１に基づく検討
　
ア．対比
　本件発明と甲１発明１とを対比すると、甲１発明１における「テトラフルオロエチレンと、第一のパーフルオロアルキルビニルエーテルと、少なくとも１つのシアノ基である硬化部位を有する少なくとも１つの第一の硬化部位単量体とを含む第一の硬化可能なパーフルオロポリマーであって、ここでテトラフルオロエチレンが、該第一の硬化可能なパーフルオロポリマー中に、少なくとも５０モルパーセントの量で存在する、第一の硬化可能なパーフルオロポリマー」及び「テトラフルオロエチレンと、第二のパーフルオロアルキルビニルエーテルと、少なくとも１つのシアノ基である硬化部位を有する少なくとも１つの第二の硬化部位単量体とを含む第二の硬化可能なパーフルオロポリマーであって、ここで該第二の硬化可能なパーフルオロポリマー」は、いずれも「テトラフルオロエチレンと、パーフルオロアルキルビニルエーテルと、シアノ基である硬化部位を有する硬化部位単量体を含むパーフルオロポリマー」であって、その単量体構成からみて、当業者に「フッ素ゴム」の一種として周知のいわゆる「ＴＦＥ−ＰＦＶＥ」型のものであり（必要ならば下記参考文献参照。）、実質的に「エラストマー」であるものと理解するのが自然であるから、本件発明における「テトラフルオロエチレン由来の構成単位、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）又はパーフルオロ（アルコキシアルキルビニルエーテル）由来の構成単位、及びニトリル基含有パーフルオロビニルエーテル由来の構成単位を含有する２種・・のパーフルオロエラストマー」に相当する。
　また、甲１発明１における「フッ素樹脂粒子」は、本件発明における「フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）」に相当することが明らかである。
　さらに、甲１発明１における「ビスアミノフェノール・・からなる群から選ばれる芳香族アミンである少なくとも１つの硬化剤」は、本件発明における「２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン」が、別名ビスアミノフェノールＡＦと称呼されるものであるとおり、ビスアミノフェノールである点で一致するものと認められる。
　そして、甲１発明１の「硬化可能なフッ素含有エラストマー組成物」が、本件発明の「パーフルオロエラストマー組成物」に相当することは明らかである。
　してみると、本件発明と甲１発明１とは、
「テトラフルオロエチレン由来の構成単位、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）又はパーフルオロ（アルコキシアルキルビニルエーテル）由来の構成単位、及びニトリル基含有パーフルオロビニルエーテル由来の構成単位を含有する２種のパーフルオロエラストマーと、
　フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）と、
　ビス（アミノフェノール）化合物と、
を含む、パーフルオロエラストマー組成物。」
で一致し、以下の点で相違する。
　
相違点ａ１：本件発明では「パーフルオロエラストマー１００重量部と、フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）３重量部以上２０重量部以下と」を含むのに対して、甲１発明１では「硬化可能なパーフルオロポリマー」全体に対する「フッ素樹脂粒子」の含有量につき特定されていない点
相違点ａ２：本件発明では「２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン」であるのに対して、甲１発明１では「ビスアミノフェノール・・からなる群から選ばれる芳香族アミンである少なくとも１つの硬化剤」であり、ビスアミノフェノールに係る連結基の種別及びベンゼン環上の置換基の位置につき特定されていない点
相違点ａ３：本件発明では「パーフルオロエラストマー１００重量部と、」「２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン１．５５重量部以上５重量部以下と」を含むのに対して、甲１発明１では「ビスアミノフェノール、ビスアミノチオフェノール、ビスジアミノフェニルからなる群から選ばれる芳香族アミンである少なくとも１つの硬化剤を組成物中の前記パーフルオロポリマーの１００重量部当たり、０．０１重量部〜５重量部の量で含む」点
　
参考文献：宮坂啓象ら編「プラスチック事典」１９９７年９月２０日（第２刷）、株式会社朝倉書店発行、第５０８〜５１３頁（「２．１４．２　フッ素ゴム」の欄）
　
イ．検討
　事案に鑑み、まず、上記相違点ａ２及びａ３につき併せて検討し、必要に応じて相違点ａ１についても引き続き検討を行う。
　
（ア）相違点ａ２及びａ３について
　上記相違点ａ２及びａ３につき併せて検討すると、甲１には、硬化剤としての「ビスアミノフェノール、ビスアミノチオフェノール、ビスジアミノフェニル」化合物として、
「式（ＩＩ）：
　
（式中、Ｒ１は、同じかまたは異なり、それぞれは、−ＮＨ２、−ＮＨＲ２、−ＯＨ、または−ＳＨであり；Ｒ２は、一価の有機基である）
によって表される少なくとも２つの架橋可能な基を有する芳香族アミン」（摘示（ａ−５）【００２７】〜【００２９】）及び
「上記少なくとも１つの硬化剤は、より好ましくは、式（ＩＩ）（式中、Ｒ１は、−ＮＨＲ２である）によって表される少なくとも２つの架橋可能な基を有する芳香族アミン；フッ化イミドイルアミジン；ビスアミノフェノール；およびそれらの組み合わせからなる群から選択される。」（摘示（ａ−５）【００３８】）
と具体的に例示記載されているところ、上記「Ｒ１」基が、「−ＯＨ」基であって、当該「−ＯＨ」基のパラ位（４位）で２つの式（ＩＩ）の部分を連結する連結基が２，２−ヘキサフルオロプロピリデン基である場合、本件発明における「２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン」であることは明らかである。
　しかしながら、更に甲１の記載（特に摘示（ａ−６）及び（ａ−９））を検討すると、一応、ビスアミノフェノールを単独使用する場合につき記載されているかに見えるものの、「Ｎｐｈ−ＡＦ」なるテトラアミン化合物又はフッ化イミドイルアミジンなどの他の硬化剤と組み合わせて使用することを主として記載されており、それら複数種の硬化剤をパーフルオロポリマー１００重量部あたり合計量として０．０１〜５重量部使用することが記載されているのみであって、２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパンを１．５５〜５重量部で使用することを具体的に開示しているものとはいえない。
　また、甲１には、甲１発明１に係る実施例１において、硬化剤として「Ｎｐｈ−ＡＦ」なるテトラアミン化合物１重量部とともに「ＢＯＡＰ」なる２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパンを０．５重量部を併用するものがあるものの、甲１発明１に係る比較例３として「ＢＯＡＰ」なる２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパンを１．１重量部単独使用した場合が開示されていることからみても、甲１発明１において、２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパンを１．５５〜５重量部の範囲で使用することを直ちに想起し得るものとはいえない。
　してみると、上記相違点ａ２及びａ３は、甲１発明１において、当業者が適宜なし得ることということはできない。
　
（イ）本件発明の効果について
　本件発明の効果につき本件特許に係る明細書の発明の詳細な説明の記載（特に実施例（比較例）の記載）に基づいて検討すると、架橋剤として「ＢＯＡＰ」なる２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパンを単独使用した場合である本件発明に係る実施例１ないし４に係る結果と、本件発明に係る架橋剤種別及び使用量の事項のみを具備しない比較例２ないし４に係る結果との対比において、硬度、引張強度、破断伸び及び１００％モジュラスの各点においてはほぼ維持され、圧縮永久歪の点で低減化が図られるということが看取できるから、本件発明１が、上記相違点ａ２及びａ３に係る事項により、甲１発明１の効果に比して、格別顕著な効果を奏するものとも認められる。
　
ウ．小括
　よって、本件発明は、上記相違点ａ１につき検討するまでもなく、甲１発明１、すなわち甲１に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
　
（２）甲１発明２に基づく検討
　
ア．対比
　本件発明と甲１発明２とを対比すると、甲１発明２における『「Ｄｙｎｅｏｎ（登録商標）ＰＦＥ−１３３ＴＺ」なる商品名のフッ素樹脂含有の硬化可能なパーフルオロポリマー（ポリマーＡ）』に含まれる「ＴＦＥ、ＰＡＶＥ、およびシアノ含有硬化部位単量体を含む硬化可能なパーフルオロポリマー」及び「ＴＦＥ、パーフルオロメチルビニルエーテル（ＰＭＶＥ）及びＣＦ２＝ＣＦＯ（ＣＦ２）５ＣＮである硬化部位単量体をモル量でＴＦＥ６９．４／ＰＭＶＥ３０．２／硬化部位単量体０．４３の割合で含む「ＧＡ−５００ＰＲ」なる商品名の硬化可能なパーフルオロポリマー（ポリマーＢ）」は、いずれも、テトラフルオロエチレンと、パーフルオロメチルビニルエーテル（ＰＭＶＥ）を含むＰＡＶＥ（パーフルオロアルキルビニルエーテル）と、シアノ基（ニトリル基）含有パーフルオロアルキルビニルエーテルなどのシアノ基である硬化部位を有する硬化部位単量体を含むパーフルオロポリマー」であって、その単量体構成からみて、実質的に「エラストマー」であるものと理解するのが自然であるから、本件発明における「テトラフルオロエチレン由来の構成単位、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）・・由来の構成単位、及びニトリル基含有パーフルオロビニルエーテル由来の構成単位を含有する・・パーフルオロエラストマー」に相当することが明らかであり、甲１発明２では、それら２種が併用されているのであるから、本件発明における「２種・・のパーフルオロエラストマー」に相当するとともに、甲１発明２における「シアノ機能化ＰＦＡパーフルオロ樹脂」が、本件発明における「フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）」に相当することも明らかである。
　また、甲１発明２における「硬化剤としての、４，４’−［２，２，２−トリフルオロ−１−（トリフルオロメチル）エチリデン］ビス［Ｎ１−フェニル−１，２−ベンゼンジアミン］（Ｎｐｈ−ＡＦ）なるテトラアミン、ビスアミノフェノール（ＢＯＡＰ）又はそれらの混合物」は、当該硬化剤は、上記各「パーフルオロポリマー」が有する「シアノ基」である「硬化部位」に対して反応し、各「パーフルオロポリマー」分子を架橋して硬化させる硬化剤であるとともに、本件発明における「２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン」が上記「ビスアミノフェノール（ＢＯＡＰ）」に包含されることが当業者に自明であるから、ビスアミノフェノールである点で一致する。
　さらに、甲１発明２における「硬化可能なフッ素含有エラストマー組成物」は、本件発明における「パーフルオロエラストマー組成物」に相当することも明らかである。
　してみると、本件発明と甲１発明２とは、
「テトラフルオロエチレン由来の構成単位、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）又はパーフルオロ（アルコキシアルキルビニルエーテル）由来の構成単位、及びニトリル基含有パーフルオロビニルエーテル由来の構成単位を含有する２種のパーフルオロエラストマーと、
　フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）と、
　ビスアミノフェノールと、
を含む、パーフルオロエラストマー組成物。」
の点で一致し、下記の点で相違する。
　
相違点ｂ１：本件発明では「パーフルオロエラストマー１００重量部と、フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）３重量部以上２０重量部以下と」「を含む」のに対して、甲１発明２では「硬化可能なパーフルオロポリマーマトリックス内に約２０％の量でシアノ機能化ＰＦＡパーフルオロ樹脂を含む・・フッ素樹脂含有の硬化可能なパーフルオロポリマー（ポリマーＡ）５０重量部及び・・硬化可能なパーフルオロポリマー（ポリマーＢ）５０重量部を含む」点
相違点ｂ２：本件発明では「２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン」であるのに対して、甲１発明２では「硬化剤としての、４，４’−［２，２，２−トリフルオロ−１−（トリフルオロメチル）エチリデン］ビス［Ｎ１−フェニル−１，２−ベンゼンジアミン］（Ｎｐｈ−ＡＦ）なるテトラアミン、ビスアミノフェノール（ＢＯＡＰ）又はそれらの混合物」である点
相違点ｂ３：本件発明では「パーフルオロエラストマー１００重量部と、」「２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン１．５５重量部以上５重量部以下と、を含む」のに対して、甲１発明２では、「硬化剤」「を合計量で１〜２．１重量部含有してなる点
　
イ．検討
　事案に鑑み、まず、上記相違点ｂ２及びｂ３につき併せて検討し、必要に応じて相違点ｂ１についても引き続き検討を行う。
　
（ア）相違点ｂ２及びｂ３について
　上記相違点ｂ２及びｂ３につき併せて検討すると、甲１には、甲１発明２に係る実施例１において、硬化剤として「Ｎｐｈ−ＡＦ」なるテトラアミン化合物１重量部とともに「ＢＯＡＰ」なる２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパンを０．５重量部を併用する場合及び比較例３として「ＢＯＡＰ」なる２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパンを１．１重量部単独使用した場合が記載されているのみであり、甲１発明２において、パーフルオロポリマー１００重量部あたり、２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパンを１．５５〜５重量部の範囲で使用することを直ちに想起し得る記載が存するものとはいえない。
　また、甲１には、パーフルオロポリマー１００重量部あたり、２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパンを１．５５〜５重量部の範囲で使用することを当業者が想起することができる他の記載又は示唆が存するものとも認められない。
　してみると、上記相違点ｂ２及びｂ３は、甲１発明１において、当業者が適宜なし得ることということはできない。
　
（イ）本件発明の効果について
　本件発明の効果につき本件特許に係る明細書の発明の詳細な説明の記載（特に実施例（比較例）の記載）に基づいて検討すると、架橋剤として「ＢＯＡＰ」なる２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパンを単独使用した場合である本件発明に係る実施例１ないし４に係る結果と、本件発明に係る架橋剤種別及び使用量の事項のみを具備しない比較例２ないし４に係る結果との対比において、硬度、引張強度、破断伸び及び１００％モジュラスの各点においてはほぼ維持され、圧縮永久歪の点で低減化が図られるということが看取できるから、本件発明１が、上記相違点ｂ２及びｂ３に係る事項により、甲１発明２の効果に比して、格別顕著な効果を奏するものとも認められる。
　
ウ．小括
　よって、本件発明は、上記相違点ｂ１につき検討するまでもなく、甲１発明２、すなわち甲１に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
　
（３）本件発明に係るまとめ
　以上のとおりであるから、本件発明は、甲１に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
　
（４）取消理由ａについてのまとめ
　本件訂正後の請求項３ないし７に係る発明は、いずれも、本件発明、すなわち請求項１に係る発明を直接又は間接的に引用するものであるから、上記（１）ないし（３）で説示した理由と同一の理由により、甲１に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
　よって、当審が通知した上記取消理由ａは理由がない。
　
３．取消理由１について
　まず、本件発明につき、甲１発明１、甲１発明２、甲２発明、甲３発明、甲４発明及び甲５発明と本件発明とをそれぞれ対比・検討し、さらに、本件訂正後の請求項３ないし７に係る発明につき検討する。
　
（１）甲１発明１及び甲１発明２に基づく検討
　
ア．対比・検討
　本件発明と甲１発明１又は甲１発明２とをそれぞれ対比すると、上記２．（１）ア．で示した相違点ａ１ないしａ３又は上記２．（２）ア．で示した相違点ｂ１ないしｂ３の各点で相違し、その余でそれぞれ一致している。
　そして、少なくとも当該相違点ａ２及びａ３又は相違点ｂ２及びｂ３は、いずれも実質的な相違点であることが明らかであるから、本件発明は、甲１発明１又は甲１発明２、すなわち、甲１に記載された発明であるということはできない。
イ．小括
　したがって、本件発明は、甲１に記載された発明であるということはできないから、甲１に記載された発明に基づく取消理由１は理由がない。
　
（２）甲２発明に基づく検討
　
ア．対比
　本件発明と甲２発明とを対比すると、甲２発明における「ｉ）テトラフルオロエチレン、過フッ化ビニルエーテルおよびニトリル基含有キュアサイトモノマーの共重合単位を含むパーフルオロエラストマー」は、本件発明における「テトラフルオロエチレン由来の構成単位、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）・・由来の構成単位、及びニトリル基含有パーフルオロビニルエーテル由来の構成単位を含有する・・パーフルオロエラストマー」に相当し、甲２発明における「ｉｉ）・・フィブリル化ＰＴＦＥ」は、「ＰＴＦＥ」がフッ素樹脂であることが当業者に自明であるから、本件発明における「フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）」に相当すると共に、その使用量比についても、甲２発明における「前記パーフルオロエラストマー１００重量部当たり１〜２０重量部」は、本件発明における「パーフルオロエラストマー１００重量部と、フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）３重量部以上２０重量部以下」なる範囲と大部分で重複する。
　また、甲２発明における「ｉｉｉ）ビス（アミノフェノール）・・から選択される硬化性配合物を形成するための硬化剤」は、本件発明における「２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン」が当該「ビス（アミノフェノール）」に包含される点で一致し、その使用量比についても、甲２発明における「エラストマー１００部当たり０．５〜５重量部混合してなる」は、本件発明における「パーフルオロエラストマー１００重量部と、・・２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン１．５５重量部以上５重量部以下と、を含む、」なる範囲と重複する。
　そして、甲２発明における「硬化性パーフルオロエラストマー配合物」は、本件発明における「パーフルオロエラストマー組成物」に相当する。
　してみると、本件発明と甲２発明とは、
「テトラフルオロエチレン由来の構成単位、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）由来の構成単位、及びニトリル基含有パーフルオロビニルエーテル由来の構成単位を含有するパーフルオロエラストマー１００重量部と、
　フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）３重量部以上２０重量部以下と、
　ビス（アミノフェノール）１．５５重量部以上５重量部以下と、
を含む、パーフルオロエラストマー組成物。」
で一致し、下記の点で相違する。
　
相違点ｃ１：本件発明では「２種以上のパーフルオロエラストマー」を使用するのに対して、甲２発明では、２種以上のパーフルオロエラストマーを使用することにつき特定されていない点
相違点ｃ２：本件発明では「２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン」を使用するのに対して、甲２発明では、「ｉｉｉ）ビス（アミノフェノール）、ビス（アミノチオフェノール）及びテトラミンから選択される硬化性配合物を形成するための硬化剤」を使用する点
　
イ．検討
　上記相違点ｃ１につき検討すると、甲２には、パーフルオロエラストマーを２種以上併用することにつき開示されていないから、甲２に基づいて、パーフルオロエラストマーを２種以上併用することを当業者が想起することができるものと解することができない。
　してみると、上記相違点ｃ１は、実質的な相違点であるということができる。
　
ウ．小括
　したがって、本件発明は、上記相違点ｃ２につき検討するまでもなく、甲２発明、すなわち甲２に記載された発明であるということはできないから、甲２発明に基づく取消理由１は理由がない。
　
（３）甲３発明に基づく検討
　
ア．対比
　本件発明と甲３発明とを対比すると、甲３発明における「（ｉ）ＴＦＥ、ＰＡＶＥ及び少なくとも１個のシアノ基を有する少なくとも１種の硬化部位含有モノマーからなるフルオロポリマー」は、本件発明における「テトラフルオロエチレン由来の構成単位、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）・・由来の構成単位、及びニトリル基含有パーフルオロビニルエーテル由来の構成単位を含有する・・パーフルオロエラストマー」に相当し、甲３発明における「（ｉｉ）２，２−ビス［３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル］ヘキサフルオロプロパン（ＢＯＡＰ）などの官能性ビフェニル系化合物・・を含む硬化系」は、本件発明における「２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン」を包含する点で一致する。
　また、甲３発明における「ＰＴＦＥ粒子又は粉末」は、「ＰＴＦＥ」がフッ素樹脂であることが当業者に自明であるから、本件発明における「フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）」に相当し、甲３発明における「硬化性フルオロエラストマー組成物」は、本件発明における「パーフルオロエラストマー組成物」に相当する。
　してみると、本件発明と甲３発明とは、
「テトラフルオロエチレン由来の構成単位、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）由来の構成単位、及びニトリル基含有パーフルオロビニルエーテル由来の構成単位を含有するパーフルオロエラストマーと、
　フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）と、
　２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパンと、
を含む、パーフルオロエラストマー組成物。」
の点で一致し、以下の点で相違する。
　
相違点ｄ１：本件発明では「２種以上のパーフルオロエラストマー」を使用するのに対して、甲３発明では２種以上のフルオロポリマーを使用することにつき特定されていない点
相違点ｄ２：本件発明では「パーフルオロエラストマー１００重量部と、フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）３重量部以上２０重量部以下と、２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン１．５５重量部以上５重量部以下と、を含む」のに対して、甲３発明では、各成分の組成比につき特定されていない点
相違点ｄ３：甲３発明では「式（Ｉ）：（式及びその説明は省略）で示されるジオキシム化合物；式（ＩＶ）：（式及びその説明は省略）で示されるモノアミジン系化合物；および／またはパーフルオロポリエーテルの少なくとも１種を含む」のに対して、本件発明では当該各成分を含むことが特定されていない点
　
イ．検討
　
（ア）相違点ｄ１について
　上記相違点ｄ１につき検討すると、甲３には、「パーフルオロエラストマー組成物は、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）；ヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）などのパーフルオロオレフィン；およびパーフルオロ（メチルビニルエーテル）、パーフルオロ（エチルビニルエーテル）、パーフルオロ（プロピルビニルエーテル）および類似の化合物などの直鎖または分岐鎖状のアルキル基を有し、１種以上のエーテル結合を有するパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）（ＰＡＶＥ）などの少なくとも１種の含フッ素エチレン性不飽和モノマーからなる
２種以上の各種パーフルオロ共重合体を含んでいてもよい。
　してみると、上記相違点ｄ１は、実質的な相違点であるということができる。
　
ウ．小括
　したがって、本件発明は、上記相違点ｄ２及びｄ３につき検討するまでもなく、甲３発明、すなわち甲３に記載された発明であるということはできないから、甲３発明に基づく取消理由１については理由がない。
　
（４）甲４発明に基づく検討
　
ア．対比
　本件発明と甲４発明とを対比すると、甲４発明における「テトラフルオロエチレン、パーフルオロアルキルビニルエーテル及び少量のニトリル基などの架橋性反応基を含有するモノマーの共重合体である含フッ素エラストマー」は、本件発明における「テトラフルオロエチレン由来の構成単位、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）・・由来の構成単位、及びニトリル基含有パーフルオロビニルエーテル由来の構成単位を含有する・・パーフルオロエラストマー」に相当し、甲４発明における「ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレンと式：ＣＦ２＝ＣＦ−Ｏ−Ｒｆ１（Ｒｆ１は１個以上のエーテル型酸素原子を有していてもよい直鎖状または分岐鎖状のフルオロ−もしくはパーフルオロアルキル基、またはフルオロ−もしくはパーフルオロオキシアルキル基）との共重合体、およびテトラフルオロエチレンとＣＦ２＝ＣＦ−Ｒｆ１（Ｒｆ１は前記と同じ）との共重合体よりなる群から選ばれる少なくとも１種であって平均粒径が２０〜１００ｎｍのフッ素樹脂微粒子」は、本件発明における「フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）」に相当すると共に、その使用量比についても、甲４発明における「前記パーフルオロエラストマー１００重量部当たり１〜２０重量部」は、本件発明における「パーフルオロエラストマー１００重量部と、フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）３重量部以上２０重量部以下」なる範囲と大部分で重複する。
　また、甲４発明における「ビスアミノ（チオ）フェノール系架橋剤あるいはテトラアミン系架橋剤」は、本件発明における「２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン」が当該「ビスアミノ（チオ）フェノール」に包含される点で一致し、その使用量比についても、甲４発明における「エラストマー１００重量部に対して０．５〜１０重量部配合した」は、本件発明における「パーフルオロエラストマー１００重量部と、・・２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン１．５５重量部以上５重量部以下と、を含む、」なる範囲と重複する。
　そして、甲４発明における「架橋性含フッ素エラストマー組成物」は、本件発明における「パーフルオロエラストマー組成物」に相当する。
　してみると、本件発明と甲４発明とは、
「テトラフルオロエチレン由来の構成単位、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）由来の構成単位、及びニトリル基含有パーフルオロビニルエーテル由来の構成単位を含有するパーフルオロエラストマー１００重量部と、
　フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）３重量部以上２０重量部以下と、
　ビスアミノ（チオ）フェノール１．５５重量部以上５重量部以下と、
を含む、パーフルオロエラストマー組成物。」
で一致し、下記の点で相違する。
　
相違点ｅ１：本件発明では「２種以上のパーフルオロエラストマー」を使用するのに対して、甲４発明では、２種以上のパーフルオロエラストマーを使用することにつき特定されていない点
相違点ｅ２：本件発明では「２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン」を使用するのに対して、甲４発明では、「ビスアミノ（チオ）フェノール系架橋剤あるいはテトラアミン系架橋剤」を使用する点
　
イ．検討
　上記相違点ｅ１につき検討すると、甲４には、パーフルオロエラストマーを２種以上併用することにつき開示されていないから、甲４に基づいて、パーフルオロエラストマーを２種以上併用することを当業者が想起することができるものと解することができない。
　してみると、上記相違点ｅ１は、実質的な相違点であるということができる。
　
ウ．小括
　したがって、本件発明は、上記相違点ｅ２につき検討するまでもなく、甲４発明、すなわち甲４に記載された発明であるということはできないから、甲４発明に基づく取消理由１は理由がない。
　
（５）甲５発明に基づく検討
　
ア．対比
　本件発明と甲５発明とを対比すると、甲５発明における「少量のニトリル基などの架橋性反応基を含有するモノマーが共重合されているテトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）／パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）（ＰＡＶＥ）系エラストマーである含フッ素エラストマー」は、本件発明における「テトラフルオロエチレン由来の構成単位、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）・・由来の構成単位、及びニトリル基含有パーフルオロビニルエーテル由来の構成単位を含有する・・パーフルオロエラストマー」に相当し、甲５発明における「フッ素樹脂粒子」は、本件発明における「フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）」に相当すると共に、その使用量比についても、甲５発明における「含フッ素エラストマー１００重量部に対し５重量部以上５０重量部以下」は、本件発明における「パーフルオロエラストマー１００重量部と、フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）３重量部以上２０重量部以下」なる範囲と大部分で重複する。
　また、甲５発明における「ビスアミノ（チオ）フェノール系架橋剤あるいはテトラアミン系架橋剤」は、本件発明における「２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン」が当該「ビスアミノ（チオ）フェノール」に包含される点で一致し、その使用量比についても、甲５発明における「含フッ素エラストマー１００重量部に対して０．５〜１０重量部」なる範囲は、本件発明における「パーフルオロエラストマー１００重量部と、・・２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン１．５５重量部以上５重量部以下と、を含む、」なる範囲と重複する。
　そして、甲５発明における「架橋性含フッ素エラストマー組成物」は、本件発明における「パーフルオロエラストマー組成物」に相当する。
　してみると、本件発明と甲５発明とは、
「テトラフルオロエチレン由来の構成単位、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）由来の構成単位、及びニトリル基含有パーフルオロビニルエーテル由来の構成単位を含有するパーフルオロエラストマー１００重量部と、
　フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）５重量部以上２０重量部以下と、
　ビスアミノ（チオ）フェノール１．５５重量部以上５重量部以下と、
を含む、パーフルオロエラストマー組成物。」
で一致し、下記の点で相違する。
　
相違点ｆ１：本件発明では「２種以上のパーフルオロエラストマー」を使用するのに対して、甲５発明では、２種以上のパーフルオロエラストマーを使用することにつき特定されていない点
相違点ｆ２：本件発明では「２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン」を使用するのに対して、甲５発明では、「ビスアミノ（チオ）フェノール系架橋剤あるいはテトラアミン系架橋剤」を使用する点
　
イ．検討
　上記相違点ｆ１につき検討すると、甲５には、含フッ素エラストマーを２種以上併用することにつき開示されていないから、甲５に基づいて、含フッ素エラストマーを２種以上併用することを当業者が想起することができるものと解することができない。
　してみると、上記相違点ｆ１は、実質的な相違点であるということができる。
　
ウ．小括
　したがって、本件発明は、上記相違点ｆ２につき検討するまでもなく、甲５発明、すなわち甲５に記載された発明であるということはできないから、甲５発明に基づく取消理由１は理由がない。
　
（６）本件発明についてのまとめ
　以上のとおり、本件発明については、甲１ないし甲５のいずれかに記載された発明であるということはできないから、本件発明について取消理由１は理由がない。
　
（７）取消理由１についてのまとめ
　本件訂正後の請求項３ないし７に係る発明は、いずれも、本件発明、すなわち請求項１に係る発明を直接又は間接的に引用するものであるから、上記（１）ないし（６）で説示した理由と同一の理由により、甲１ないし甲５のいずれかに記載された発明であるということはできない。
　よって、申立人が主張し、当審も通知した上記取消理由１は理由がない。
　
４．取消理由２について
　申立人が主張する取消理由２は、申立書第９１頁第１１行ないし第９２頁第２３行の記載から要約すると、本件訂正前の請求項１において、「架橋剤」につき、一般式（１）、一般式（２）及び一般式（３）のいずれかで表される化合物の群から選択される少なくとも１種であると規定されているところ、本件特許に係る明細書（以下「本件特許明細書」という。）の発明の詳細な説明における実施例で使用された架橋剤が、一般式（１）のビス（アミノフェノール）化合物である「ＢＯＡＰ」なる２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパンのみであって、架橋剤として他の化合物を使用した場合に、同様の硬化後の組成物の耐熱性や機械的強度を示すことを当業者が推測することは困難であるから、本件特許明細書の発明の詳細な説明は、請求項１に係る発明について、当業者が発明を実施できる程度に明確かつ十分に記載されたものではなく、請求項１を引用する請求項２ないし７についても同様であるというものと認められる。
　しかしながら、本件訂正後の請求項１では、当該「架橋剤」につき、「２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン１．５５重量部以上５重量部以下」と限定されたことにより、上記主張は根拠を欠くものとなったものと認められるから、申立人が主張する取消理由２は、いずれも理由がない。
　
５．取消理由３について
　
（１）取消理由３の趣旨
　申立人が主張する取消理由３は、申立書第９２頁第２５行ないし第９４頁第１０行及び同書第９４頁第１１行ないし第９５頁第１４行の各記載から要約すると、以下の（Ａ）及び（Ｂ）のとおりの理由により、本件訂正前の請求項１及び同項を引用する請求項２ないし７は、本件特許明細書の発明の詳細な説明において裏付けられた範囲を超える発明を含むものであるから、発明の詳細な説明に記載された発明を記載したものではないというものと認められる。
（Ａ）本件訂正前の請求項１において、「架橋剤」につき、一般式（１）、一般式（２）及び一般式（３）のいずれかで表される化合物の群から選択される少なくとも１種であると規定されているところ、本件特許明細書の発明の詳細な説明における実施例で使用された架橋剤が、一般式（１）のビス（アミノフェノール）化合物である「ＢＯＡＰ」なる２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパンのみであって、架橋剤として他の化合物を使用した場合に、同様の硬化後の組成物の耐熱性や機械的強度を示すことを当業者が推測することは困難であるから、本件特許明細書の発明の詳細な説明における実施例に係る記載に基づき、請求項１に係る広範な架橋剤にまで拡張ないし一般化できない。
（Ｂ）本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載（【０００６】）からみて、本件発明の解決課題は「良好な耐熱性（圧縮永久歪特性）を維持しつつ、機械的強度（硬度やモジュラス）にも優れるシール材を形成できるパーフルオロエラストマー組成物、並びにこれを用いたシール材及びその製造方法」の提供にあるところ、本件特許明細書の発明の詳細な説明における実施例及び比較例の結果の対比において、耐熱性（圧縮永久歪特性）につき実施例の方が圧縮永久歪（残率）（％）が小さく、比較例の結果に比して劣るとし、本件特許明細書の発明の詳細な説明には、本件請求項１に記載された構成事項を備えれば本件特許発明の上記課題を解決できると当業者が認識できる程度に具体例又は（発明の詳細な）説明が記載されていないから、本件の請求項１に係る発明の範囲まで、本件特許明細書の発明の詳細な説明において開示された内容を一般化できない。
　
（２）検討
　上記（Ａ）の理由につき検討すると、本件訂正後の請求項１では、当該「架橋剤」につき、「２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン１．５５重量部以上５重量部以下」と限定されたことにより、上記主張は根拠を欠くものとなったものと認められるから、上記（Ａ）の理由については理由がない。
　上記（Ｂ）の理由につき検討すると、圧縮永久歪（％）は、（一定時間後の歪残量（復元できなかった厚さ））／（圧縮減量（圧縮による厚さの減少量））の比で表される数値（％）であり、歪残量が少ない方、すなわち圧縮永久歪（％）が小さい方が圧縮永久歪特性に優れることが当業者に自明であるから、高温状態の同一の測定条件下における上記実施例と比較例の結果の対比において、圧縮永久歪（％）が小さい実施例の場合の方が圧縮永久歪特性、すなわち耐熱性に優れるものと評価すべきものであって、申立人が主張する上記（Ｂ）の理由は、技術的根拠を欠くことが明らかであり、（Ｂ）の理由は、理由がない。
　
（３）小括
　したがって、申立人が主張する上記（Ａ）及び（Ｂ）の理由はいずれも理由がなく、よって、取消理由３は理由がない。
　
６．請求項２について
　本件の請求項２に係る特許に対する本件異議の申立ては、上記第４に示した適法な訂正により同項に記載された内容が全て削除されたことによって、申立ての対象を欠く不適法なものとなり、その補正ができないものであるから、特許法第１２０条の８第１項で準用する同法第１３５条の規定により却下すべきものである。
　
７．当審の判断のまとめ
　以上のとおり、本件訂正後の請求項１及び３ないし７に係る発明についての特許は、当審が通知した取消理由ａ、申立人が主張し当審が通知した取消理由１及び申立人が主張した取消理由２及び３によって、取り消すことはできない。
　
第７　むすび
　以上のとおりであるから、特許第６２３０４１５号の特許請求の範囲を平成３１年３月１３日付けの訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１〜７〕について訂正することを認めるべきものである。
　また、上記訂正後の特許第６２３０４１５号の請求項１及び３ないし７に係る特許を維持すべきものである。
　そして、上記訂正後の特許第６２３０４１５号の請求項２に係る特許に対する本件特許異議の申立ては却下すべきものである。
　よって、上記結論のとおり決定する。
【異議決定日】
令和１年７月２日（２０１９．７．２）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　テトラフルオロエチレン由来の構成単位、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）又はパーフルオロ（アルコキシアルキルビニルエーテル）由来の構成単位、及びニトリル基含有パーフルオロビニルエーテル由来の構成単位を含有する
２種以上の
　フッ素樹脂（ただし、パーフルオロエラストマーを除く。）３重量部以上２０重量部以下と、
　
２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン１．５５重量部以上５重量部以下
を含む、パーフルオロエラストマー組成物。
　【請求項２】
（削除）
　【請求項３】
　無機充填剤を含まない、請求項
１
　【請求項４】
　請求項１
又は３に
　【請求項５】
　半導体製造装置用である、請求項４に記載のシール材。
　【請求項６】
　請求項１
又は３に
　【請求項７】
　前記架橋成形する工程は、電離性放射線により架橋させる工程を含む、請求項６に記載の製造方法。