(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表裏面に保護フィルムが貼着されたガラス基板端部近傍に、粘着テープを位置させて、前記ガラス基板の角部端縁に対して前記粘着テープが僅かにはみ出した状態で、前記保護フィルムに前記粘着テープを貼り付け、前記粘着テープを前記ガラス基板の前記保護フィルムに押し付けた後、前記ガラス基板表裏面の各保護フィルムに粘着した前記粘着テープを前記ガラス基板面から引き離して、前記ガラス基板端部近傍の前記保護フィルムを一部剥離し、剥離した前記保護フィルム端部をフィルムチャック装置のチャックで保持し、前記フィルムチャック装置は、前記ガラス基板両面それぞれの幅方向端部近傍に位置し、前記ガラス基板を載置したコンベアに対し前記ガラス基板の送り方向に前記チャックを平行移動させるとともに、前記ガラス基板を戻り方向に移動させて、両面同時に前記保護フィルムを剥離するフィルム剥離方法。
【請求項２】
表裏面に保護フィルムが貼着されたガラス基板端部近傍に、粘着テープを位置させて、前記ガラス基板の角部端縁に対して前記粘着テープが僅かにはみ出した状態で、前記保護フィルムに前記粘着テープを貼り付け、前記粘着テープを前記ガラス基板の前記保護フィルムに押し付けた後、前記粘着テープの前記ガラス基板内側方向のテンションを緩め、この後、前記ガラス基板表裏面の各保護フィルムに粘着した前記粘着テープを前記ガラス基板面から引き離して、前記ガラス基板端部近傍の前記保護フィルムを一部剥離し、剥離した前記保護フィルム端部をフィルムチャック装置のチャックで保持し、前記ガラス基板を移動させて、前記ガラス基板の移動により、両面同時に前記保護フィルムを剥離するフィルム剥離方法。
【請求項３】
前記ガラス基板から前記保護フィルムを一部剥離した状態で、前記保護フィルムとガラス基板との間にエアーを吹き付けながら前記粘着テープを前記ガラス基板面から引き離す請求項１または２記載のフィルム剥離方法。
請求項２記載のフィルム剥離方法。
【請求項４】
表裏面に保護フィルムが貼着されたガラス基板端部近傍に各々位置した粘着テープと、前記ガラス基板表裏面側に各々設けられ前記粘着テープの粘着面を前記ガラス基板側に向けて押圧する剥離ヘッドと、前記保護フィルムに粘着した前記粘着テープを前記ガラス基板面に対して引き離して、前記ガラス基板から前記保護フィルムを一部剥離する粘着テープ移動手段と、剥離した前記保護フィルム端部を保持するフィルムチャック装置と、前記フィルムチャック装置で保持した保護フィルムを前記ガラス基板表裏面から引き剥がす引き剥がし手段と、前記剥離ヘッドに設けられ前記粘着テープを前記ガラス基板面方向へ押圧自在に設けられた押圧維持部材を備え、前記剥離ヘッドが前記粘着テープを介して前記ガラス基板に当接した後、前記剥離ヘッドの退避時に前記押圧維持部材が一時的に前記ガラス基板を押さえて、前記保護フィルムとともに前記ガラス基板が持ち上げられるのを防止するフィルム剥離装置。
【請求項５】
表裏面に保護フィルムが貼着されたガラス基板端部近傍に各々位置した粘着テープと、前記ガラス基板表裏面側に各々設けられ前記粘着テープの粘着面を前記ガラス基板側に向けて押圧する剥離ヘッドと、前記保護フィルムに粘着した前記粘着テープを前記ガラス基板面に対して引き離して、前記ガラス基板から前記保護フィルムを一部剥離する粘着テープ移動手段と、剥離した前記保護フィルム端部を保持するフィルムチャック装置と、前記フィルムチャック装置で保持した保護フィルムを前記ガラス基板表裏面から引き剥がす引き剥がし手段とを設け、前記剥離ヘッドは、前記粘着テープを前記ガラス基板に押し付けた状態で揺動可能に設けられたフィルム剥離装置。
【請求項６】
表裏面に保護フィルムが貼着されたガラス基板端部近傍に各々位置した粘着テープと、前記ガラス基板表裏面側に各々設けられ前記粘着テープの粘着面を前記ガラス基板側に向けて押圧する剥離ヘッドと、前記保護フィルムに粘着した前記粘着テープを前記ガラス基板面に対して引き離して、前記ガラス基板から前記保護フィルムを一部剥離する粘着テープ移動手段と、剥離した前記保護フィルム端部を保持するフィルムチャック装置と、前記フィルムチャック装置で保持した保護フィルムを前記ガラス基板表裏面から引き剥がす引き剥がし手段と、前記剥離ヘッドを前記ガラス基板の保護フィルムに押し付けた状態で、前記粘着テープの前記ガラス基板内側方向のテンションを緩めるテープテンション調節機構を設けたフィルム剥離装置。
【請求項７】
前記剥離ヘッドは、前記ガラス基板角部の一端縁の前記保護フィルムに対して、前記粘着テープが僅かにはみ出した位置に貼り付け可能に位置決めされている請求項４，５又は６記載のフィルム剥離装置。
【請求項８】
前記粘着テープは、粘着テープカセット部に収納され、この粘着テープカセット部は、前記ガラス基板の両面両端部に各々位置している請求項４，５又は６記載のフィルム剥離装置。
【請求項９】
前記フィルムチャック装置は、前記粘着テープカセット部毎に設けられ、前記ガラス基板に対して相対的に前記フィルムチャック装置が移動可能に設けられている請求項８記載のフィルム剥離装置。
【請求項１０】
前記粘着テープを収納した前記粘着テープカセット部は、前記粘着テープカセット部から突出した前記剥離ヘッドを備え、この粘着テープカセット部は、前記粘着テープともに一体に着脱可能に設けられている請求項８記載のフィルム剥離装置。
【請求項１１】
前記粘着テープにより前記保護フィルムを一部剥離した状態で、前記保護フィルムとガラス基板との間にエアーを吹き付けるエアー吹き付け手段を設けた請求項４，５又は６記載のフィルム剥離装置。
【請求項１２】
前記エアー吹き付け手段は、前記基板の一辺に沿って移動可能に設けられ、前記剥離ヘッドにより前記基板コーナー部で剥離した前記保護フィルムの剥がれを、前記基板の一辺に広げる請求項１１記載のフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液晶ディスプレイなどに使用されるガラス基板表面に貼付された保護フィルムの剥離方法と装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイに使用されるガラス基板は、１枚の大型のガラス基板から個々のディスプレイ用に複数のガラス基板を切り出して用いられている。この大型のガラス基板は、近年の大型化により、工場入荷の際には複数枚重ねた状態で運搬され製造工程に置かれる。そして、ガラス基板を使用する際は、複数枚重ねた状態の大型のガラス基板から１枚を取り出して使用している。そのため、各ガラス基板の表裏面には、傷防止のための保護フィルムが貼着され、加工する際にこの保護フィルムを剥離している。【０００３】
保護フィルムを剥離する方法として、例えば特許文献１、２に開示されているような、粘着テープを使用する剥離方法が知られている。特許文献１は、保護フィルムが貼り付けられた基板を吸着プレート上に吸着固定し、基板の保護フィルムを剥離する面の一対の対角間に、一本の長尺状の粘着テープを貼り付けて、その粘着テープの背面をローラで押圧した状態でテープ端部を引き上げるものを開示している。そして、テープ背面を押圧状態で、ローラを回しながら粘着テープを引き上げることにより、フィルム全体を剥離する。特許文献２では、粘着テープの使用量を低減し、さらに剥離後の保護フィルムの処理を容易にした剥離方法が開示されている。この剥離方法は、まず、粘着テープを押しつける押圧ローラを、ガラス基板に貼着された保護フィルムの端部中央近傍に押圧して回転し、保護フィルムの端を押圧ローラに一定角度巻き付けて剥離する。そして、剥離した保護フィルムの端をフィルムクランパにより挟持して、保護フィルム全体を引き剥がしている。さらに、引き剥がした保護フィルムを、フィルムキャッチャーにより挟持して、水平に積層収納することが示されている。
【特許文献１】特開平９−１１４３８４号公報
【特許文献２】特開平６−２７８９３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１では、ガラス基板などの保護フィルムを剥離する面の一対角線上のほぼ全長に、長尺な粘着テープを貼り付けるため、テープの消費量が大きいという問題があった。これにより、製造工程における剥離用のテープの取り替えが頻繁になり、製造ラインの稼働率の低下や、製造速度の低下の原因となっていた。特に、粘着テープの交換はクリーンルーム内でゴム手袋をした状態で行わなければならず、時間のかかる作業であった。また、フィルム剥離に使用したテープは、剥離したフィルムに巻き取られるため、フィルムとテープの材質が異なる場合、分離して廃棄する処理が必要となり、処理が煩わしいという問題がある。【０００５】
他方、上記特許文献２では、保護フィルムを押圧ローラに巻き付けて剥離し、その後クランパにより保持して剥離しているので、保護フィルムの端部がガラス基板に折り込まれていたり、保護フィルムの端部同士がガラス基板の端面で折り重なっている場合には、保護フィルムが押圧ローラに巻き付かないものであった。これにより、保護フィルム剥離工程における剥離ミスにより、製造ラインが停止し、製造工程全体の歩留まりが低下すると言う問題があった。しかも、剥離したフィルムの収納までの一連の動作を機械装置で行うため装置全体の機構が複雑であり、大がかりでコストが掛かるものである。【０００６】
さらに、上記特許文献１及び特許文献２は、ガラス基板など両面に保護フィルムが貼着されている際は、片面単位で保護フィルムの剥離を行う必要がある。このため、剥離工程が煩雑になるとともに工程長も長くなり、コストも掛かるものである。【０００７】
この発明は、上記従来技術の問題を鑑みて成されるもので、粘着テープの消費量が小さく、ガラス基板両面に貼着された保護フィルムを容易且つ確実に剥離することが出来、効率の良いフィルム剥離を可能にするフィルム剥離方法と装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は、表裏面に保護フィルムが貼着されたガラス基板端部近傍に、粘着テープを設けてその粘着面を押し付け、前記ガラス基板表裏面の各保護フィルムに粘着した前記粘着テープを前記ガラス基板面から引き離して、前記ガラス基板端部近傍の前記保護フィルムを一部剥離し、剥離した前記保護フィルム端部をフィルムチャック装置のチャックで保持し、前記ガラス基板を移動させて、前記ガラス基板の移動により、両面同時に前記保護フィルムを剥離するフィルム剥離方法である。さらに、前記ガラス基板角部の端縁に対して、前記粘着テープが僅かにはみ出した状態で、前記保護フィルムに前記粘着テープを貼り付け、前記粘着テープを前記ガラス基板面から引き離すものである。【０００９】
また、前記ガラス基板から前記保護フィルムを一部剥離した状態で、前記保護フィルムとガラス基板との間にエアーを吹き付けながら前記粘着テープを前記ガラス基板面から引き離すフィルム剥離装置である。【００１０】
前記フィルムチャック装置は、前記ガラス基板両面それぞれの幅方向端部近傍に位置し、前記ガラス基板を載置したコンベアに対し前記ガラス基板の送り方向に前記チャックを平行移動させるとともに、前記ガラス基板を戻り方向に移動させて、前記保護フィルムを剥離するものである。
【００１１】
前記粘着テープを前記ガラス基板の前記保護フィルムに押し付けた後、前記粘着テープの前記ガラス基板内側方向のテンションを緩め、この後、前記粘着テープを前記ガラス基板から引き離すようにしても良い。【００１２】
またこの発明は、表裏面に保護フィルムが貼着されたガラス基板端部近傍に各々位置した粘着テープと、前記ガラス基板表裏面側に各々設けられ前記粘着テープの粘着面を前記ガラス基板側に向けて押圧する剥離ヘッドと、前記保護フィルムに粘着した前記粘着テープを前記ガラス基板面に対して引き離して、前記ガラス基板から前記保護フィルムを一部剥離する粘着テープ移動手段と、剥離した前記保護フィルム端部を保持するフィルムチャック装置と、前記フィルムチャック装置で保持した保護フィルムを前記ガラス基板両面から引き剥がす引き剥がし手段とを備えたフィルム剥離装置である。前記剥離ヘッドは、前記ガラス基板角部の一端縁の前記保護フィルムに対して、前記粘着テープが僅かにはみ出した位置に貼り付け可能に位置決めされているものである【００１３】
前記剥離ヘッドは、前記粘着テープを前記ガラス基板表面方向へ押圧移動自在に設けられた押圧維持部材を備え、前記剥離ヘッドが前記粘着テープを介して前記ガラス基板に当接した後、前記剥離ヘッドの退避時に前記押圧維持部材は一時的に前記ガラス基板を押さえて、前記保護フィルムとともに前記ガラス基板が持ち上げられるのを防止するものである。【００１４】
前記剥離ヘッドは、前記粘着テープを前記ガラス基板に押し付けた状態で揺動可能に設けられている。また、前記粘着テープは、粘着テープカセット部に収納され、この粘着テープカセット部は、前記ガラス基板の両面両端部に各々位置している。【００１５】
前記フィルムチャック装置は、前記粘着テープカセット部毎に設けられ、前記ガラス基板に対して相対的に前記フィルムチャック装置が移動可能に設けられている。【００１６】
前記粘着テープを収納した前記粘着テープカセット部は、前記粘着テープカセット部から突出した前記剥離ヘッドを備え、この粘着テープカセット部は、前記粘着テープともに一体に着脱可能に設けられている。また、前記剥離ヘッドを前記ガラス基板の保護フィルムに押し付けた状態で、前記粘着テープの前記ガラス基板内側方向のテンションを緩めるテープテンション調節機構を設けたものである。【００１７】
前記粘着テープにより前記保護フィルムを一部剥離した状態で、前記保護フィルムとガラス基板との間にエアーを吹き付けるエアー吹き付け手段を設けたフィルム剥離装置である。さらに、前記エアー吹き付け手段は、前記基板の一辺に沿って移動可能に設けられ、前記剥離ヘッドにより前記基板コーナー部で剥離した前記保護フィルムの剥がれを、前記基板の一辺に広げるものである。
【発明の効果】
【００１８】
この発明のフィルム剥離方法と装置によれば、保護フィルム端縁部の状態にかかわらず確実に保護フィルムをガラス基板から剥離することができる。しかも、粘着テープの消費量が少なく、粘着テープの交換サイクルが長く、装置自体のメンテナンスの頻度も極めて少なくて良いものである。さらに、ガラス基板両面に貼着された保護フィルムを、簡単な装置で短い工程により同時に確実に剥離することも可能であり、作業効率が良いものである。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】この発明の第一実施形態のフィルム剥離装置の右側面図である。
【図２】この発明の第一実施形態のフィルム剥離装置の剥離処理部の正面図である。
【図３】この発明の第一実施形態のフィルム剥離装置による剥離状態を表す部分斜視図である。
【図４】この発明の第一実施形態のフィルム貼付ガラス基板を示す平面図である。
【図５】この発明の第二実施形態のフィルム剥離装置によるフィルム剥離を示す部分平面図である。
【図６】この発明の第二実施形態のフィルム剥離装置によるフィルム剥離を示す工程の部分正面図である。
【図７】この発明の第二実施形態のフィルム剥離装置によるフィルム剥離を示す工程の部分右側面図である。
【図８】この発明の第三実施形態のフィルム剥離装置によるフィルム剥離を示す工程の正面図である。
【図９】この発明の第三実施形態のフィルム剥離装置によるフィルム剥離を示す次の工程の部分正面図である。
【図１０】この発明の第四実施形態のフィルム剥離装置によるフィルム剥離を示す工程の正面図である。
【図１１】この発明の第四実施形態のフィルム剥離装置によるフィルム剥離を示す次の工程の部分正面図である。
【図１２】この発明の第五実施形態のフィルム剥離装置によるフィルム剥離を示す工程の正面図である。
【符号の説明】
【００２０】
２  フィルム剥離装置
４，５，７ａ，７ｂ  ローラーコンベア
６  ガラス基板
２０  剥離処理部
２２  除電ブロー
２８  粘着テープカセット部
３０  粘着テープ
３１  送りリール
３２  巻き取りリール
３４  ガイドローラ
３８  粘着面
４０  剥離ヘッド
４６  アクチュエータ
４８  走行レール
５４  保護フィルム
５６  チャック
５８  フィルムチャック装置
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、この発明のフィルム剥離方法と装置の第一実施形態について、図１〜図４を基にして説明する。この実施形態のフィルム剥離装置は、液晶ディスプレイに使用される大型のガラス基板の損傷防止のため貼付された保護フィルムを剥離する装置である。【００２２】
この実施形態のフィルム剥離装置２の構成について説明する。フィルム剥離装置２は、図１の左端から、ローラーコンベア４を備えた投入部１０が設けられ、投入部１０は、ガラス基板６の投入位置のローラーコンベア４上方で、図示しない搬入装置からガラス基板６を受ける昇降可能な基板受け装置８を備える。投入部１０の上方には、図示しない支持構造に支持され、ガラス基板６を次工程へ送る取出し部１２が設けられている。取出し部１２は、ローラーコンベア５を備え、ローラーコンベア５から僅かにガラス基板６を上昇させて、ローラーコンベア５の上方でガラス基板６を支持する昇降可能な基板受け装置９を備える。【００２３】
投入部１０の、図面右隣には、２段のローラーコンベア７ａ，７ｂが一定間隔で配置された昇降部材１４が設けられ、その昇降部材１４を２段階の高さに昇降可能なリフタ１６を備えた連絡部１８が位置している。昇降部材１４の２段階の高さは、まず、降下状態で、下段のローラーコンベア７ａが、投入部１０のローラーコンベア４と同じ高さであり、上段のローラーコンベア７ｂは、後述する剥離処理部２０のローラーコンベア１１と同じ高さである。次に、上昇時には、下段のローラーコンベア７ａが、後述する剥離処理部２０のローラーコンベア１１と同じ高さであり、上段のローラーコンベア７ｂは、取出し部１２のローラーコンベア５と同じ高さである。【００２４】
連絡部１８の図面右隣には、剥離処理部２０が設けられている。剥離処理部２０は、ガラス基板６を送出入するローラーコンベア１１を備え、ガラス基板６の送出入側に、一対の除電ブロー２２がローラーコンベア１１を挟んで上下対称な位置に設置されている。剥離処理部２０のローラーコンベア１１には、ガラス基板６をローラーコンベア１１により剥離処理部２０の図面右側まで送り込んだ状態で、ガラス基板６の左側端部が位置する箇所に、ローラ２４が無い隙間２６が形成されている。この隙間２６の上下には、ローラーコンベア１１のローラ２４の両端部近傍で、各々一対の粘着テープカセット部２８が、ローラーコンベア１１を挟んで上下対称に配置されている。【００２５】
次に、粘着テープカセット部２８について説明する。粘着テープカセット部２８には、粘着テープ３０の送りリール３１と巻き取りリール３２を備える。送りリール３１から送り出された粘着テープ３０は、ガイドローラ３４を経て、粘着面３６でないテープ背面３８が摺接する剥離ヘッド４０に接して転向し、もう一方のガイドローラ３４を経て、巻き取りリール３２に巻き付けられている。これらの部材は、略矩形の板状ケース４２に格納されているが、剥離ヘッド４０は、ケース４２の外側に粘着テープ３０の粘着面３６が突出するように突出して位置している。【００２６】
また、図２に示すように、粘着テープカセット部２８には、巻き取りリール３２を回転させるモータ４４が図示しない駆動連結機構を介して接続されている。さらに、剥離ヘッド４０が、ローラーコンベア１１の隙間２６に一致する位置には、それぞれモータやシリンダ機構等によるアクチュエータ４６が設けられている。アクチュエータ４６は、図示しない支持部により固定され、粘着テープカセット部２８は、このアクチュエータ４６により上下に昇降可能に取り付けられている。さらに粘着テープカセット部２８は、モータ４４やアクチュエータ４６等に対して一体に着脱自在に設けられ、粘着テープ３０を粘着テープカセット部２８により容易に交換可能に設けられている。【００２７】
剥離処理部２０のローラーコンベア１１のローラ両端近傍の外装内面には、ローラーコンベア１１を挟んで上下対称に、ローラーコンベア１１の搬送方向と平行に、走行レール４８が支持部材５０を介してそれぞれ剥離処理部２０に取り付けられている。それぞれの走行レール４８のローラーコンベア１１に面した側面５２には、保護フィルム５４を狭持可能なチャック５６を備えたフィルムチャック装置５８が設けられている。このフィルムチャック装置５８は、走行レール４８に沿ってローラーコンベア１１の搬送方向と平行に移動可能に設けられている。【００２８】
また、剥離処理部２０の図面右隣には、剥がした保護フィルム５４を収納するフィルムストッカ５９を備えたフィルムストッカ部５７が設置されている。【００２９】
次に、このフィルム剥離装置２の動作について説明する。まず、図示しない搬入装置により、複数重ねられたガラス基板から１枚のガラス基板６を投入部１０へ搬入する。搬入されたガラス基板６は、表裏に保護フィルム５４が貼り付けられた状態であり、その状態で基板受け装置８によりローラーコンベア４の上方で支持され、基板受け装置８が降下することにより、ローラーコンベア４上に載置される。次に、ガラス基板６は、投入部１０のローラーコンベア４により、連絡部１８の昇降部材１４側へ送り出される。このときリフタ１６の昇降状態は、下段にあり、ガラス基板６は、ローラーコンベア７ａ上に載せられる。そして、リフタ１６は、ガラス基板６の載った昇降部材１４を上段まで上昇させ、ローラーコンベア７ａによりガラス基板６を剥離処理部２０へ送り出す。【００３０】
剥離処理部２０では、ローラーコンベア１１によりガラス基板６の一端部が、図面右端に達するまで移動される。そして、除電ブロー２２によりフィルム端部に空気を吹きつけて、静電気を除去する。次に、ガラス基板６の表裏に対面した粘着テープカセット部２８を、それぞれのアクチュエータ４６により同時にガラス基板６に近づける。そして、粘着テープカセット部２８の剥離ヘッド４０により、粘着テープ３０の粘着面３６がガラス基板６の保護フィルム５４の表面に押圧される。ローラーコンベア１１の下方の粘着テープカセット部２８は、ローラーコンベア１１の隙間２６から、ガラス基板６の裏面側の保護フィルム５４に接触される。このときの各剥離ヘッド４０の位置は、図３に示すようにガラス基板６の角部端縁６ａに対して、粘着テープ３０が僅かに保護フィルム５４の端縁からはみ出した状態となる位置に設定されている。【００３１】
そして、アクチュエータ４６により粘着テープカセット部２８の剥離ヘッド４０を、ガラス基板６に対して直角方向に離れるように移動させる。すると、図３に示すように粘着テープ３０の粘着面３６に保護フィルム５４が粘着した状態で、剥離ヘッド４０とともに粘着テープ３０に付着して保護フィルム５４がガラス基板６から引き剥がされる。そして、ガラス基板６の幅方向の両端部で剥離された保護フィルム６の縁を、フィルムチャック装置５８のチャック５６により狭持する。【００３２】
次に、フィルムチャック装置５８は、走行レール４８に沿って、図１において右側に移動する。これにより、粘着テープ３０の粘着面３６に付いた保護フィルム５４は、引き剥がされる。同時に、ガラス基板６を、ローラーコンベア１１により図面左に移動していく。このとき、保護フィルム５４の剥離位置が、ローラーコンベア１１の隙間２６と一致するような速度で、ガラス基板６が剥離処理部２０のローラーコンベア１１から左側のローラーコンベア７ｂに移動していく。やがて、ガラス基板６が、連絡部１８の昇降部１４に移動を完了すると、保護フィルム５４の剥離も完了する。走行レール４８の図面右端部に移動したフィルムチャック５８装置は、狭持を解除し、保護フィルム５４をフィルムストッカ５９に落下する。【００３３】
粘着テープカセット部２８の粘着テープ送りについて説明する。フィルムチャック装置５８により、粘着テープ３０に粘着した保護フィルム５４が引き剥がされたのちに、粘着テープ巻き取りリール３２は、剥離ヘッド４０との接触面部分を巻き取り、剥離ヘッド４０の端部に新たな粘着面３６が位置するように回転する。【００３４】
連絡部１８のガラス基板６を搭載した昇降部材１４では、リフタ１６によりガラス基板６が上段に上昇し、ローラーコンベア７ｂにより取出し部１２へ送り出される。取出し部１２では、基板受け装置９が上昇し、ローラーコンベア５上のガラス基板６をさらに僅かに上昇させ、ローラーコンベア５から離れた状態となる。その状態で、図示しない搬送装置によりガラス基板６が運び出され、一連のガラス基板６の保護フィルム５４の引き剥がしが完了となる。【００３５】
次に、連絡部１８の２段のローラーコンベア７ａ，７ｂによるガラス基板６の動きについて説明する。保護フィルム５４が付いたガラス基板６が、投入部１０のローラーコンベア４から下段のローラーコンベア７ａに搬入される際に、剥離処理部２０でのフィルム剥離が行われたガラス基板６が、上段のローラーコンベア７ｂに搬入される。この後、リフタ１６により昇降部材１４が上昇して、下段のローラーコンベア７ａ上のガラス基板６が剥離処理部２０に送られるときに、上段のローラーコンベア７ｂに位置し保護フィルム５４が剥離されたガラス基板６が、基板受け装置９のローラーコンベア５に移される。そして、この動作を繰り返して、効率的にフィルム剥離が行われる。【００３６】
この実施形態のフィルム剥離装置２によれば、剥離処理部２０により、ガラス基板６の表面及び裏面の両面から、同時に保護フィルム５４を引き剥がすため、ガラス基板６の面を反転させる等の必要がなく効率が良い。さらに、剥離ヘッド４０は、図４に示すように、保護フィルム５４の端縁のはみ出ている側のガラス基板６の側縁部の他、保護フィルム５４の端縁が出ている側と、内側に位置している部分とに粘着させて剥離しても良い。この場合、保護フィルム５４がはみ出ている側から剥離する。これにより、ガラス基板６の送り方向を、短辺方向と長辺方向のいずれも選択可能となり、工程上の制約が無くなる。特に、大型のガラス基板６の保護フィルムを剥離する場合は、長手方向に移動させる方がスペース効率が良いものとなる。また、保護フィルム５４の引き剥がしと同時にガラス基板６が連絡部１８に送られ、移動の無駄が無く、処理時間が短い。【００３７】
さらに、保護フィルム５４の全長に粘着テープ３０を付着させて引き剥がすものではないため、処理がし易い。保護フィルム５４の端を剥離する際に使用する粘着テープ３０は、保護フィルム５４の端縁から僅かに一部はみ出して粘着し、保護フィルム５４を引き剥がすので、保護フィルム５４の端縁部に空気が入り、容易に持ち上げられ、確実に保護フィルム５４が引き剥がされる。さらに、剥離ヘッド４０の端面部分のみの面積を使用するため、粘着テープ３０の使用量も少量で済み、コストを抑えることが出来る。【００３８】
さらに、粘着テープ３０は、粘着テープカセット部２８により一体的に交換可能であり、容易に着脱可能であり、クリーンルーム内で手袋をしている状態でも容易に交換作業が可能である。また、引き剥がした保護フィルム５４は、フィルムストッカ５９に収納するため、フィルム処理の手間が掛からない。【００３９】
次に、この発明のフィルム剥離装置の第二実施形態について。図５〜図７を基にして説明する。ここで、上記実施形態と同様の部材は同一の符号を付す。この実施形態では、図５に示すように、保護フィルム５４はガラス基板６の一辺で一部がはみ出した状態に貼付されている。このように貼付された保護フィルム５４を剥離する場合、保護フィルム５４がはみ出した側縁部上方に剥離ヘッド４０を位置させ、剥離ヘッド４０及び粘着テープ３０が、当接状態ではガラス基板６の側縁から一部がはみ出すように配置する。また、一対の剥離ヘッド４０間には、この剥離ヘッド４０間を、ガラス基板６の側縁部近傍で移動可能なエアースクレーパ６０が設けられている。【００４０】
この実施形態のフィルム剥離装置２の剥離ヘッド４０には、粘着テープ３０をガラス基板６の表面方向へ押圧移動自在に設けられた棒状の押圧維持部材６２を備えている。押圧維持部材６２は、剥離ヘッド４０が粘着テープ３０を介してガラス基板６に当接した後、剥離ヘッド４０の退避時に、一時的にガラス基板６を押さえて、保護フィルム５４とともにガラス基板６が持ち上げられるのを防止するためのものである。【００４１】
以下に、この実施形態のフィルム剥離装置２の動作について説明する。まず、図示しない搬入装置により、複数枚重ねられたガラス基板から１枚のガラス基板６を搬入し、剥離処理部２０へ移送する。移送方法は、上記実施形態と同様であるので、説明を省略する。次に、保護フィルム５４を剥離する際に、図６（ａ）に示すように、ガラス基板６に対面した粘着テープカセット部２８を、ガラス基板６側に近づける。そして、図６（ｂ）に示すように、各粘着テープカセット部２８の剥離ヘッド４０により、粘着テープ３０の粘着面３６をガラス基板６の保護フィルム５４の表面に押圧させる。【００４２】
次に、図６（ｃ）及び図７（ａ）に示すように、剥離ヘッド４０を粘着テープ３０とともにガラス基板６の表面から離間させるとともに、押圧維持部材６２を、粘着テープ３０を介してガラス基板６に一時的に押圧させる。これにより、剥離ヘッド４０が移動して粘着テープ３０の粘着面３６とともに保護フィルム５４が一部持ち上げられる。しかし、押圧維持部材６２により、ガラス基板６が押さえられているので、粘着テープ３０の上昇とともにガラス基板６が持ち上げられるのを防止する。【００４３】
この後、図７（ｂ）に示すように、押圧維持部材６２を退避させ、粘着テープ３０を剥離ヘッド４０側に当接させると、保護フィルム５４も剥離ヘッド４０の下面に引き寄せられる。そして、エアースクレーパ６０を、エアー噴射状態で一対の剥離ヘッド４０間を移動させ、保護フィルム５４の端部を確実にガラス基板６の表面から剥離するとともに、上記実施形態と同様にチャックにより保護フィルム５４を保持して、ガラス基板６の表面から引き剥がす。【００４４】
この実施形態のフィルム剥離装置２によれば、ガラス基板６から保護フィルム５４を剥離する際にガラス基板６自体が持ち上げられることを防止し、ガラス基板６に歪みやその他の影響を与えることなく、綺麗に保護フィルム５４を剥離することができる。また、端縁部で剥離した保護フィルム５４の剥離部分にエアースクレーパ６０でエアーを吹き付けることにより、容易且つ確実に保護フィルム５４がガラス基板６から剥がれる。【００４５】
次に、この発明のフィルム剥離装置の第三実施形態について。図８、図９を基にして説明する。ここで、上記実施形態と同様の部材は同一の符号を付す。この実施形態では、フィルム剥離装置２の剥離ヘッド４０は、各々独立に上下可能に押圧部４０ａ，４０ｂに２分割されている。剥離ヘッド４０の両側には、ローラー部材４１，４３が別体に設けられている。この実施形態では、押圧部４０ａが保護フィルム５４を粘着テープ３０に粘着させるもので、押圧部４０ｂは、上記実施形態の押圧維持部材の機能を果たす。【００４６】
この実施形態のフィルム剥離装置２の動作も、上記実施形態と同様に、図示しない搬入装置により、複数重ねられたガラス基板から１枚のガラス基板６を搬入し、剥離処理部２０で保護フィルム５４を剥離する際に、まずガラス基板６に対面した粘着テープカセット部２８を、ガラス基板６側に近づける。そして、図８（ａ）に示すように、各粘着テープカセット部２８の剥離ヘッド４０により、粘着テープ３０の粘着面３６をガラス基板６の保護フィルム５４の表面に押圧させる。【００４７】
次に、図８（ｂ）に示すように、剥離ヘッド４０の分割部４０ａを、ガラス基板６から離間させる。これにより、粘着テープ３０とともにガラス基板６の表面から保護フィルム５４が一部持ち上げられる。しかしこのとき、分割部４０ｂにより、粘着テープ３０及び保護フィルム５４を介してガラス基板６が押圧された状態を維持している。これにより、剥離ヘッド４０の分割部４０ａの移動とともにガラス基板６が持ち上げられるのを防止する。【００４８】
この後、図８（ｃ）に示すように、剥離ヘッド４０の分割部４０ｂも退避させ、粘着テープ３０を剥離ヘッド４０側に引き寄せると、粘着面３６に付いた保護フィルム５４も剥離ヘッド４０の端面に引き寄せられる。さらに、図９（ａ）に示す様に、剥離ヘッド４０をガラス基板６から離間し、図９（ｂ）に示す様に、フィルムチャック装置のチャック５６により、保護フィルム５４を把持する。この後、フィルムチャック装置のチャック５６を保護フィルム５４の引き剥がし方向に相対的に移動させ、保護フィルム５４を確実にガラス基板６の表面から剥離する。【００４９】
この実施形態のフィルム剥離装置２によれば、ガラス基板６から保護フィルム５４を剥離する際にガラス基板６自体が持ち上げられることを防止し、ガラス基板６に歪みやその他の影響を与えることなく、綺麗に保護フィルム５４を剥離することができる。【００５０】
次に、この発明のフィルム剥離装置の第四実施形態について。図１０、図１１を基にして説明する。ここで、上記実施形態と同様の部材は同一の符号を付す。この実施形態のフィルム剥離装置２は、剥離ヘッド４０とその両側のローラー部材４１，４３を備え、ローラー部材４３のテープ送り上流側に、テープテンション調節機構４５が設けられたものである。テープテンション調節機構４５は、テープ送り出し側にテンション調節ローラを設けて、このローラをテープ送り方向と交差する方向に位置調節可能としたものである。また、テープ送り側の送りモータの制御により行っても良い。【００５１】
この実施形態のフィルム剥離装置２の動作は、上記実施形態と同様に、図示しない搬入装置により、複数重ねられたガラス基板から１枚のガラス基板６を搬入し、剥離処理部２０で保護フィルム５４を剥離する際に、まずガラス基板６に対面した粘着テープカセット部２８を、ガラス基板６側に近づける。そして、図１０（ａ）に示すように、各粘着テープカセット部２８の剥離ヘッド４０により、粘着テープ３０の粘着面３６をガラス基板６の保護フィルム５４の表面に押圧させる。【００５２】
次に、図１０（ｂ）に示すように、テープテンション調節機構４５により、ガラス基板６の端縁側ではない内側の粘着テープ６を所定量撓ませる。この後、図１０（ｃ）、に示すように、一対の剥離ヘッド４０をガラス基板６から退避させる。このとき、撓ませた側の粘着テープ６は、剥離ヘッド４０の退避において、撓んだ分だけ移動が遅れ、ガラス基板６の端縁部側の保護フィルム５４が先に剥離ヘッド４０とともに持ち上げられる。この後、図１１（ａ）に示す様に、剥離ヘッド４０をさらにガラス基板６から離間し、粘着テープ３０を剥離ヘッド４０側に引き寄せる。これにより、保護フィルム５４も剥離ヘッド４０の端面側に引き寄せられる。次ぎに、図１１（ｂ）に示す様に、フィルムチャック装置のチャック５６により、保護フィルム５４を把持する。そして、フィルムチャック装置のチャック５６を保護フィルム５４の引き剥がし方向に相対的に移動させるとともに、ガラス基板６を反対方向に移動させ、保護フィルム５４を確実にガラス基板６の表面から剥離する。【００５３】
この実施形態のフィルム剥離装置２によれば、ガラス基板６から保護フィルム５４を剥離する際に、簡単な構造で、ガラス基板６自体が持ち上げられることを防止し、ガラス基板６に歪みやその他の影響を与えることなく、綺麗に保護フィルム５４を剥離することができる。【００５４】
次に、この発明のフィルム剥離装置の第五実施形態について。図１２を基にして説明する。ここで、上記実施形態と同様の部材は同一の符号を付す。この実施形態では、フィルム剥離装置２の剥離ヘッド４０は、両側のローラー部材４１，４３とともにフィルム剥離方向に揺動可能に設けられたものである。この実施形態では、図１２（ａ）に示すように、剥離ヘッド４０が粘着テープ３０を介してガラス基板６に当接し、剥離ヘッド４０により保護フィルム５４を粘着テープ３０に粘着させた後、図１２（ｂ）に示すように、剥離ヘッド４０とローラー部材４１，４３が保護フィルム５４の端部から剥離方向に揺動する。これにより、ローラー部材４３によってガラス基板６を押さえた状態で、保護フィルム５４の端部が剥離される。【００５５】
この後、上記実施形態と同様に、図１１（ａ）のように、剥離ヘッド４０がガラス基板６から離間すると、保護フィルム５４の端部がガラス基板６から剥離され、図１１（ｂ）、（ｃ）に示す様に、チャック５６により保護フィルム５４を把持し、ガラス基板６から保護フィルム５４を確実に剥がすことができる。【００５６】
なお、この発明のフィルム剥離装置は上記実施形態に限定されるものではなく、フィルムチャック装置が、剥離した保護フィルムを狭持する際は、ガラス基板の幅方向両端に位置する縁を同時に狭持するものの他、どちらか一方を狭持してもよい。また、剥離処理部は、上記実施形態のように設置される他、ガラス基板の一連の工程の中に設置されていても良い。またガラス基板以外の基板の保護フィルムの剥離に用いても良いものである。【００５７】
保護フィルムに対する粘着位置は、基板の角部であって保護フィルム端縁近傍であれば良く、剥離ヘッドや粘着テープは、保護フィルムの端縁から僅かにはみ出した状態で粘着させ、引き剥がすとより好ましい。【００５８】
また、保護フィルムを狭持し、粘着テープから保護フィルムを引き剥がす際に、粘着テープからの引き剥がしからガラス基板からの引き剥がしまで一気に行わず、まず、粘着テープから引き剥がした後、ガラス基板から保護フィルムを引き剥がす動作でもよい。この動作は、保護フィルムと粘着テープの素材により適時選択可能なものである。【００５９】
そのほか、粘着テープの粘着力が保護フィルムを粘着し、剥離させるに十分な粘着力があればよいため、粘着テープの送りを減らし、粘着面を繰り返し使用しても良く、これにより、粘着テープの消費量が少なくなり、より効率的である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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