(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
テーブル上に載置された板状のワーク上に二以上の異なる方向に塗布形成された塗布描画線の塗布高さおよび塗布幅を求める塗布描画線の測定方法であって、
二以上の異なる方向に配設された複数の光源、並びに、各光源の遮光および照光を切り替える複数のシャッター機構を有する帯状光発生手段により、前記塗布描画線の描画方向に応じて選択された一の光源から長さ方向を所望の角度で横截する帯状光を投射し、一の撮像手段により、前記塗布描画線の外郭線とその表面に形成される輝線を同一視野内で撮像し、当該画像情報における輝線形状を画像処理して塗布高さを測定し、当該画像情報における外郭線を画像処理して塗布幅を測定する塗布描画線の測定方法。
【請求項２】
前記テーブルと前記帯状光発生手段とを相対移動して線状液体の始点から終点までの表面を輝線で順次連続的に横截して所望する位置の塗布高さを計測することを特徴とする請求項１の塗布描画線の測定方法。
【請求項３】
前記テーブル上に設置された大きさが既知の冶具に帯状光を照射し、前記冶具表面に形成された輝線を撮像手段で撮像し、校正直後に撮像された前記冶具表面に形成された輝線位置と比較して、位置およびワーク表面に対する俯角、水平角と光軸に対する回転角を調整して帯状光の照射角を調整することを特徴とする請求項１または２の塗布描画線の測定方法。
【請求項４】
同一高さの面上に二以上の異なる方向に塗布描画線が形成された板状のワークが載置されるテーブルと、前記塗布描画線の長さ方向を所望の角度で横截する帯状光を投射する帯状光発生手段と、テーブルと帯状光発生手段とを相対的に移動させる手段と、前記塗布描画線の外郭線とその表面に形成される輝線を同一視野内で撮像する一の撮像手段と、撮像した画像情報における輝線形状を画像処理して塗布高さを測定し、当該画像情報における外郭線を画像処理して塗布幅を測定する画像処理手段と、これらの制御手段と、を備えた塗布描画線の測定装置であって、
前記帯状光発生手段は、二以上の異なる方向に配設された複数の光源、並びに、各光源の遮光および照光を切り替える複数のシャッター機構を有し、
前記制御手段は、前記塗布描画線の描画方向に応じて、前記シャッター機構により輝線を形成する一の光源を切換えることを特徴とする塗布描画線の測定装置。
【請求項５】
前記帯状光発生手段は、ワーク表面上で形成される輝線が直交するように配設された光源を有することを特徴とする請求項４の塗布描画線の測定装置。
【請求項６】
前記制御手段は、前記テーブルと前記帯状光発生手段とを相対移動して塗布描画線の長さ方向に輝線位置を連続的に変移させることを特徴とする請求項４または５の塗布描画線の測定装置。
【請求項７】
前記帯状光発生手段は、テーブル上に設置された大きさが既知の冶具に帯状光を照射し、前記冶具表面に形成された輝線を撮像手段で撮像し、校正直後に撮像された前記冶具表面に形成された輝線位置と比較して、位置およびワーク表面に対する俯角、水平角と光軸に対する回転角を調整して帯状光の照射角を調整可能であることを特徴とする請求項４ないし６のいずれかの塗布描画線の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体の高さおよび幅を測定する方法および装置に係わり、特に、塗布描画された液体の形状、特に塗布高さを、高速に高精度に測定する方法および装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液体材料をワーク上に所望する描画パターンに塗布描画する技術は、例えば、半導体製造工程、液晶パネル製造工程などで使用されているが、高品質に連続して所望する描画パターンとなるよう塗布形成することは、歩留りを低減し生産性を向上させるために重要であり、このため、ワーク上に塗布描画された液体形状を検査して、塗布形状の品質について良・不良が評価されている。
【０００３】
このような塗布形状の評価は、線形状の塗布描画については描画形状の幅および高さを非接触に測定して評価する検査方法が一般的であり、描画形状の幅を測定するには、測定する位置の描画線を撮像手段により撮像し、その画像情報を画像処理して測定する方法が、また、描画形状の高さを測定するには、点状のレーザー光を描画形成された液体の一点に投射し、液体表面で反射された反射光が像を結ぶ位置の差から液体の高さを測定する方法で、液体表面の一点の高さを測定し、レーザー光が集光する液体表面の位置を描画形状の幅方向に順次走査して、得られた高さデータを比較して、液体の高さを求める方法や、帯状光が描画形成された液体を横截するよう、ワーク表面に対して所望する俯角で帯状光を照射し、塗布描画された液体表面に液体の段面形状の外郭を表す輝線を形成させて、この輝線を撮像手段で撮像して得た画像情報を画像処理して液体の高さを求める方法が知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、点状レーザー光を描画形成された液体の一点に投射して液体高さを測定し、レーザー光が集光する液体表面の位置を描画形状の幅方向に順次走査して、得られた高さデータを比較して液体の高さを求める方法では、一回の計測で液体表面の一点を計測するに留まり、液体高さを計測するには、この計測を塗布幅方向に走査する必要があり、時間がかかるという欠点があった。また、線幅が広がると測定点数が多くなるためにさらに時間を要することとなり、また、短い時間で計測するには、測定点数を少なくすることになるので、測定精度が落ちてしまう欠点があった。
【０００５】
また、細く収束した帯状光を斜め方向から描画線に投射し、描画線である液体表面に描画線の段面形状の外郭を表す輝線を形成させ、この輝線を画像認識して液体の高さを求める方法は、輝線が液体表面を横截する必要があるため、輝線の長さ方向と描画線の長さ方向が等しい場合は、輝線が液体を横截することができないため測定不能となるほか、輝線が液体表面を横截する場合においても、輝線の長さ方向と描画線の長さ方向とが等しくなるほど、輝線が形成される液体表面の領域が広範囲となるため撮像精度が落ち、測定誤差が大きくなるという問題があり、さらに、これを回避するために、複雑な描画パターンにおいても、ワークが載置されたテーブルまたは帯状光発生手段を回転する回転機構を設けて、輝線の長さ方向と描画線の長さ方向とがワーク表面において直交させて測定精度を向上させる技術も知られているが、描画線の全長にわたり高速に連続して測定を行うと、回転機構の回転速度も高速になり、そのため振動が生じ、結果として測定精度が落ちるという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明は、これら問題を解決すべく、塗布描画した形状、特に高さ、幅を精度良く高速に連続して計測して、塗布描画形状の塗布高さ、塗布幅を高速に測定する方法および装置を提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、第１の液体の高さ測定方法の発明は、帯状光が、板状のワーク上に塗布形成された塗布描画線の長さ方向の塗布外郭線両端を、前記塗布描画線の長さ方向に対し所望の角度で横截して前記塗布描画線表面に形成する輝線形状の画像情報を画像処理して塗布高さを求める液体の高さ測定方法において、少なくとも二本以上の方向が異なる帯状光発生手段のうち一の帯状光発生手段により輝線を形成させること、および、前記画像情報はいずれの帯状光発生手段が形成した輝線に対しても、一つの撮像手段により撮像することを特徴とする。
【０００８】
第２の発明は、第１の発明において、塗布描画線の描画方向に応じて、輝線を形成する帯状光発生手段を切換えることを特徴とし、第３の発明は、第１または２のいずれかの発明において、輝線を形成する帯状光発生手段を帯状光遮光手段により切り換えることを特徴とし、第４の発明は、第１、２または３のいずれかの発明において、線状液体の始点から終点までの表面を輝線で順次連続的に横截して所望する位置を計測することを特徴とし、第５の発明は、第１ないし４のいずれかの発明において、描画形成された塗布描画線の長さ方向の二の塗布外郭線と、帯状光が前記二の塗布外郭線を前記塗布描画線の長さ方向に対して所望する角度で横截して形成する前記塗布描画線表面の輝線とを同時に含む一の画像情報から塗布幅および塗布高を測定することを特徴とし、第６の発明は、第１ないし５のいずれかの発明において、帯状光を、テーブル上に設置され、大きさが既知の冶具に帯状光を照射し、前記治具表面に形成する輝線を撮像手段で撮像し、校正直前に撮像された前記冶具表面に形成する輝線位置と比較して、位置およびワーク表面に対する俯角、水平角と光軸に対する回転角を調整して帯状光の照射角を調整することを特徴とする。
【０００９】
また、上記課題を解決するために、第７の発明は、板状のワークと、ワーク上に塗布形成された塗布描画線の長さ方向の塗布外郭線両端を前記塗布描画線の長さ方向に対して所望する角度で横截して前記塗布描画線表面に輝線を形成させる帯状光発生手段とを相対的に移動して塗布描画線の高さを測定する線状液体の塗布高さ測定装置において、少なくとも二以上の方向が異なる帯状光発生手段、および前記塗布描画線の高さを測定するための前記帯状光発生手段が形成した輝線を、いずれの前記帯状光発生手段に対しても撮像可能である一つの撮像手段と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
第８の発明は、第７の発明において、少なくとも一組の帯状光発生手段は、ワーク表面上で形成される輝線が直交するように配設することを特徴とし、第９の発明は、第７または８の発明において、塗布描画線の長さ方向に輝線位置を連続的に変移させることを特徴とし、第１０の発明は、第７、８または９のいずれかの発明において、輝線は、塗布描画線の長さ方向に応じた帯状光発生手段により形成することを特徴とし、第１１の発明は、第７ないし１０のいずれかの発明において、撮像手段が撮像する画像は、前記二の塗布外郭線と、前記帯状光が前記二の塗布外郭線を前記塗布描画線の長さ方向に対して所望する角度で横截して形成する前記塗布描画線表面に輝線とを同時に含むとき、塗布幅を測定可能とすることを特徴とし、第１２の発明は、第７ないし１１のいずれかの発明において、帯状光発生手段を、テーブル上に設置され、大きさが既知の冶具に帯状光を照射し、前記冶具表面に形成する輝線を撮像手段で撮像し、校正直前に撮像された前記冶具表面に形成する輝線位置と比較して、位置およびワーク表面に対する俯角、水平角と光軸に対する回転角を調整して帯状光の照射角を調整することを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１は、ワーク１上の点Ｂで折曲した線分ＡＢと線分ＢＣとからなる描画線２に対して、本発明を適用したとときの本発明の作用を説明する概略図であり、図１(a)は、線分ＡＢにおける液の高さを、図１(b)は線分ＢＣにおける液の高さを測定する際の概略図である。また、図２は、図１における描画線２上に映出される輝線５の形状を示す図であり、図１(a)の第１の帯状光発生手段２１から投射された帯状光３の軸方向が描画線２の軸方向に一致した状態で描画線２を帯状光３で横截すると図２(a)に示すような、円弧状に形成され、図１(a)の第１の帯状光発生手段２１から投射された帯状光３の軸方向が描画線２の軸方向に対して一致しない状態で、描画線２を帯状光３で横截すると、図２(b)に示すような円弧状に形成される。
【００１５】
撮像手段２５は、前記輝線５および前記輝線５と描画線進行方向の外郭線とが交わる２位置（ＤおよびＥ）を含んだ領域を撮像してこれを画像情報とし、前記画像情報と撮像手段２５および第１の帯状光発生手段２１の位置情報を画像処理して液体の高さを求める。ここで液体表面上の輝線５は、液体表面よりも十分に明るく映出されるので、撮像手段２５により描画線２の液体表面と輝線５とを明瞭に区別可能な画像情報を得ることができる。
【００１６】
また、描画線を形成する液体表面の色によっては、輝線と液体表面の色を明瞭に区別し難い場合には、光源の光量を調節する、液体表面に輝線を明瞭に帯状光の光源を異種の光源に交換する、または、フィルタを介して液体表面に帯状光を照射する、などして、描画線２の表面と輝線５とを明瞭に区別することが可能である。
【００１７】
たとえば、図１のように、ワーク１表面に塗布形成された描画線２の液体高さを測定する。この描画線２は、線分ＡＢおよび線分ＢＣで構成されている。ここで、ワーク１表面に対して垂直な位置に撮像手段２５を、ワーク１表面に対して帯状光３および帯状光４が４５°の俯角で描画線２の表面を照射し、かつ描画線２の線分ＡＢ間では帯状光３が描画線２の線分ＡＢの長さ方向に対し直交するように第１の帯状光発生手段２１を配設し、および描画線２の線分ＢＣ間では帯状光４が描画線２の線分ＢＣの長さ方向に対し直交するように第２の帯状光発生手段２２を配設した場合には、画像処理手段は、液体を横截する輝線の塗布外郭線に交差する２位置（ＥおよびＤ）を結ぶ画像上の直線において、前記直線と画面上で直交する方向に最も離れた輝線上の点（Ｆ）を液体の最高点を示す輝線上の点とし、前記液体の最高点を示す輝線上の点から前記輝線の塗布外郭線に交差する二位置を結ぶ画像上の直線に直交するように引いた垂線の長さ（Ｆ−Ｆ′）と、輝線を照射する照射角と、から三角測法に基づいて液体の高さを求める。
【００１８】
なお、撮像手段および帯状光発生手段がワーク表面に対して他の所望する既知の角度に配設されていても、回転変換式および三角測法の原理により簡単に求めることが可能である。
【００１９】
このように、本発明は、所望する塗布高さ計測位置を含む画像を画像処理して塗布高さを測定するから、点状レーザー光を描画形成された液体の一点に投射して液体高さを測定し、レーザー光が集光する液体表面の位置を描画形状の幅方向に順次走査して、得られた高さデータを比較して液体の高さを求める方法と比べて、一回の計測で液体表面の一点を計測するに留まり、液体高さを計測するには、この計測を塗布幅方向に走査する必要が無く、計測に時間を要せず、複数点の測定タクトを効果的に短縮ならしめ、また、描画形状が幅広の線形状であっても、測定回数が変わらないため描画形状による測定時間が変異することも無く、測定精度が落ちることも無い。
【００２０】
しかも、前記測定は、描画線の進行方向に適宜移動して所望位置の液体の高さを求めることができるので、連続して撮像し、撮像された画像データを後に画像処理して液体高さを求めることが可能であるから、移動を停止する必要性が全く無く、所望する速度で移動しながら測定が可能である。
【００２１】
また、屈曲点Ｂを挟んで描画線２の線分ＡＢと連続する描画線２の線分ＢＣでは、帯状光４により描画線２の線分ＢＣ間の液体表面上に輝線５が映出され、撮像手段は、前記輝線５および前記輝線５と描画線２の進行方向の外郭線とが交わる二位置を含んだ領域を撮像して画像情報とし、前記画像情報と撮像手段および帯状光発生手段の位置情報を画像処理して液体の高さを求める。
【００２２】
すなわち、帯状光４は、描画線２の線分ＢＣ間において描画方向と直交するから、描画線２の線分ＢＣ間の塗布外郭線と輝線が交わる２点を結ぶ線分は、図１と同様に描画線２の線分ＢＣの長さ方向と直交する。
【００２３】
このとき帯状光３で描画線２のＢＣ間の液体表面を横截すると、輝線の形状は輝線５のようになるが、塗布外郭線と輝線との交点の位置座標がわかるから、回転演算および三角測法で液体高さを求めることが可能であるが、図２(b)のように、輝線が液体の長さ方向に延伸した形状となり、測定には撮像手段が液体表面上に映出する輝線５を全範囲にわたり撮像する必要があるから、撮像された画像の分解能が落ちるため測定精度が下降し、さらに、描画線２の線分ＡＢと線分ＢＣが直交する塗布形状である場合は、帯状光３で描画線２のＢＣ間の液体表面を横截することは、帯状光が液体を縦截するので不可能であるから、帯状光２で照射された輝線で高さを求めることは不可能である。
【００２４】
このように、描画線の塗布方向に依存せずに測定を可能とするためには、少なくとも二以上の帯状光発生手段が必要不可欠である。つまり、複数の帯状光のうち一の帯状光で液体を横截して液体の高さを求めることは、複数の帯状光のうち適正なる一の帯状光を適宜選択して液体を横截することが、複雑な形状の描画パターンにおける塗布高さを所望する位置で測定することを可能としている。
【００２５】
さらに、少なくとも一組の帯状光がワーク表面で直交するよう帯状光発生手段を配設する。前記一組の帯状光はワーク表面において線形独立な輝線を形成するから、ワーク表面上に形成された、いかなる描画パターンにおいても、計測不能となる直線の方向が無くなり、あらゆる角度の描画方向に対しても計測が可能となる。また、あらゆる角度の描画方向に対しても回転機構無くして測定可能であるから、不要な振動を発生することなく、精密な高さ測定が行える。
【００２６】
好ましくは、輝線と輝線が横截する液体領域の進行方向とが塗布描画線の少なくとも直線部においては必ず直交するよう帯状光発生手段を必要な数だけ配設する。常に液体と帯状光発生手段により映出される輝線とが直交するから、回転演算を不要ならしめ、演算が簡素化されることに加えて、輝線が形成される液体表面の領域が広範囲とならないから塗布高さを高速に求めることができるほか、高倍率に撮像することが可能であるから、高精度な測定が行える。
【００２７】
本発明の液体の高さ測定装置は、図３および４に示すように、板状のワークを支持するテーブルおよびテーブル駆動手段と、ワーク上に塗布形成された塗布描画線の長さ方向の塗布外郭線両端を前記塗布描画線の長さ方向に対し所望する角度で横截して前記塗布描画線表面に輝線を形成させる少なくとも２以上の帯状光発生手段と、描画形成された塗布描画線の長さ方向の二の塗布外郭線と前記輝線とを撮像する撮像手段と、制御手段とで構成されているが、塗布パターンの変更に柔軟に対応するために、撮像手段、帯状光発生手段、は図示しない調整手段により所望する角度に調整できるように構成することが好ましい。
【００２８】
《テーブル・テーブル駆動手段》
テーブルおよびテーブル駆動手段は、上面にワーク取付手段を備えたテーブル１３と、水平機枠１１に設けられ、テーブル１３をＸ軸およびＹ軸方向に移動させるＸ軸モータ１４、Ｙ軸モータ１６と、垂直機枠１２に設けられたＺ軸モータ１９により上下方向に調整可能なＺ軸テーブル１８と、Ｚ軸テーブル１８に配設された第１の帯状光発生手段２１、第２の帯状光発生手段２２、遮光手段Ａ１６、遮光手段Ｂ１７、撮像手段２５とで構成され、テーブル１３は、Ｘ軸モータ１４およびＹ軸モータ１６の正または逆の回転により、ＸＹ平面の所望する位置に移動および停止が可能であり、Ｚ軸テーブル１８は、Ｚ軸モータ１９の正転および逆転の回転により上下動するから、ワークの厚みおよび塗布高さに応じて、撮像手段２５の焦点を調整可能に構成してある。
なお、図３中１５はＸ軸ボールネジ、１７はＹ軸ボールネジ、２０はＺ軸ボールネジである。
【００２９】
《帯状光発生手段・遮光手段》
一対の帯状光発生手段を備えており、第１の帯状光発生手段２１および第２の帯状光発生手段２２は、レーザー光源から照射されたレーザー光がスリットを通過して帯状の並行光となるようレーザー光源およびスリットを配設して構成し、ワーク表面に対し４５°の俯角でワーク表面に帯状光を投射する。また、第１の帯状光発生手段２１がワーク表面に映出する輝線５と第２の帯状光発生手段５がワーク表面に映出する輝線５とが、図５に示すようにワーク表面上で直交するよう配設し、あらゆる方向の描画線を横截可能とする。
なお、輝線を明瞭に形成させるために光源の光量を調節可能に構成することが好ましく、また、描画線が複雑なパターンであっても、帯状光を描画線の長さ方向に対し必ず直交させるために必要な数の光源を設置することが好ましい。
【００３０】
また、第１の帯状光発生手段２１および第２の帯状光発生手段２２は、液体表面に形成する輝線を映出する光源を切替る遮光手段２３、２４は、例えば、シャッター機構のように構成して瞬時に遮光および照光を切り替えることが可能である。したがって、第１の遮光手段２３が作動すると、帯状光発生手段２１で射影する帯状光３は第１の遮光手段２３に進路を遮られてワーク１の表面には輝線５が映出されず、第２の遮光手段２４が作動すると、帯状光発生手段２２で射影する帯状光４は第２の遮光手段２４に進路を遮られてワーク１の表面には輝線５が映出されない。
【００３１】
発光初期において光量が不安定となることにより不明瞭な輝線が液体表面上に形成されることを防止し、さらに、光源を発光および消光を繰り返す必要が無いため、発光および消光動作を繰り返すことにより生じる光源の劣化を最小限に抑えることが可能である。
【００３２】
《撮像手段・画像処理》
撮像手段２５は、塗布パターンのいかなる位置においても、液体の長さ方向に対し直交するような輝線５を形成させる帯状光発生手段２１、２２の位置およびワーク１の表面に垂直に撮像カメラを配設する。
撮像手段２５で撮像した画像は画像情報として画像処理手段２６で処理される。入力手段３２から、液体の高さを測定する描画線２の位置座標を予め入力しておく。複数個所の位置座標を指定することができるから、描画線の複数箇所の液体高さを測定することが可能である。
【００３３】
上記のように構成された、テーブル駆動用モータ、撮像手段（撮像カメラ）、遮光手段（光源シャッター）は、図６に示すように主制御部に接続されており、測定開始の信号が主制御部３１に入力されると、入力手段３２により入力された座標位置を順次テーブル１３が移動して液体高さの測定を行う。
テーブル１３を停止させずに連続的に移動して描画線２の所望する計測位置の画像を撮像手段２５で撮像し塗布高さを測定することが可能である。
【００３４】
描画線２の線分ＡＢ間の塗布高さを測定する間、光源Ｂの進路を遮光手段Ｂが遮断し、光源Ａによる帯状光Ａが液体を横截して輝線Ａが液体表面に映出されている。線分ＡＢ間の開始点から線分ＡＢ間の所望する測定位置で順次測定し屈曲点Ｂに到達すると、主制御部からは光源Ａの進路遮断するよう遮光手段Ａに信号が送出され、かつ光源Ｂの進路を開くよう遮光手段Ｂに信号が送出される。従って、液体表面には光源Ｂによる輝線が形成される。
【００３５】
また、描画線２の複数の位置で液体の高さを測定するには、測定位置の第一位置の画像を撮像後、第二位置の画像の撮像前から、液体の塗布高さを画像処理手段２６で求め始め、第二位置以降の液体を撮像する工程と、撮像された画像から塗布高さを求める工程を並行して処理するが、測定位置の画像を順次撮像した後に、測定位置の液体高さをまとめて求めることも可能である。
なお、描画パターンは予め規定されているから、これに応じた位置に撮像手段および帯状光発生手段の位置、液体に対する照射角度を設定して、画像処理手段２６の演算処理の負担を軽減することができる。
【００３６】
さらに、描画線表面の輝線は描画線の断面形状を表すから、描画線表面の窪み、削れ、ごみの付着、断線等を即座に検出することが可能であり、高速に不良検出を行うこともできる。
【００３７】
上記構成の帯状光発生手段２１、２２は、予め規定の位置に規定の角度で描画線２を横截するよう設置するが、長時間の使用により前記帯状光３、４の位置にズレが生じることがあるから、一定の間隔で校正作業を行うことが望ましい。この作業は、予め大きさが既知である治具に帯状光を照射し、前記治具表面に形成する輝線を撮像手段で撮像し、校正直後に撮像された前記治具表面に形成する輝線位置と比較して、帯状光発生手段の位置およびワーク表面に対する俯角、水平角と光軸に対する回転角を調整して帯状光の照射角を調整する。
なお、帯状光発生手段を調整せずに、前記治具表面に形成される輝線の画像情報を画像処理して、帯状光発生手段の照射角を算出し、校正作業前の照射角と比較して高さ測定の出力を補正し正確な測定値を求めることも可能である。
テーブル上に前記校正治具を常時設置し必要に応じて校正できるようにする。
【００３８】
また、本発明は、描画線の外郭線と輝線とを同一視野内で撮像することから、描画線の高さ測定を行う画像で描画線の外郭線を画像処理することにより液体の幅の計測も可能である。
したがって、液体の幅および高さを一の画像を画像処理して求めることが可能である。
【００３９】
【発明の効果】
このように、本発明によると、少なくとも二以上の帯状光発光手段のうち、一の帯状光で液体を横截して液体の高さを求めるから、いかなる形状の描画線の高さを測定することが可能となり、また、測定には、帯状光発生手段またはワークの回転動作が不要であるから、振動の発生を効果的に排除ならしめ、高速かつ高精度な液体の高さ測定が行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用したとときの本発明の作用を説明する概略図である。
【図２】図１における描画線上に映出される輝線の平面図である。
【図３】本発明の高さ測定装置の一実施例の斜視図である。
【図４】本発明の高さ測定装置の一実施例の正面図である。
【図５】図３および図４に示す高さ測定装置におけるワー上に現れた輝線の状態図である。
【図６】本発明の高さ測定装置のブロック図である。
【符号の説明】
１  ワーク
２  描画線
３  第１の帯状光発生手段から投射される帯状光
４  第２の帯状光発生手段から投射される帯状光
５  輝線
１１  水平機枠
１２  垂直機枠
１３  テーブル
１４  Ｘ軸モータ
１５  Ｘ軸ボールネジ
１６  Ｙ軸モータ
１７  Ｙ軸ボールネジ
１８  Ｚ軸テーブル
１９  Ｚ軸モータ
２０  Ｚ軸ボールネジ
２１  第１の帯状光発生手段
２２  第２の帯状光発生手段
２３  第１の遮光手段
２４  第２の遮光手段
２５  撮像手段
２６  画像処理手段
３１  主制御部
３２  入力手段
【図１】
0004068821.tif 000002
【図２】
0004068821.tif 000003
【図３】
0004068821.tif 000004
【図４】
0004068821.tif 000005
【図５】
0004068821.tif 000006
【図６】
0004068821.tif 000007