(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を水平面に対し角度を有する第１の軸線の方向に間隔をおいて収容するカセットを設置する装置であって、前記第１の軸線の方向へ伸びる長尺部材と、該長尺部材に該長尺部材の長手方向に間隔をおいて装着された複数の受け部材と、前記長尺部材を前記受け部材が前記カセット内に位置する第１の位置と前記カセット外に位置する第２の位置とに選択的に変位可能に支持する支持手段とを含み、
前記支持手段は、ベースと、水平方向へ伸びる第２の軸線の周り角度的に回転可能に前記ベースに支持された板状の支持台であって前記カセットを受ける支持台と、該支持台を前記ベースに対し前記第２の軸線の周り角度的に回転させるシリンダと、前記支持台に前記第１の軸線の方向に間隔をおいて配置されて前記長尺部材を該長尺部材の軸線の周りに角度的に回転可能に支持する一対のブラケットと、前記長尺部材に組み付けられた駆動手段であって前記長尺部材を該長尺部材の軸線の周りに角度的に回転させて前記第１及び第２の位置に選択的に変位させる駆動手段とを備える、基板用カセット設置台。
【請求項２】
前記受け部材は、前記カセット内の基板の収容ピッチと同じピッチで前記長尺部材に装着されている、請求項１に記載の設置台。
【請求項３】
前記駆動手段は、前記長尺部材に組み付けられて前記長尺部材を前記第１及び第２の位置に選択的に変位させるハンドルを含む、請求項１及び２のいずれか１項に記載の設置台。
【請求項４】
前記受け部材は、該受け部材が前記第１の位置に位置されているとき、前記カセットの基板支持部間の中央領域を前記第１の軸線の方向に伸びている、請求項１から３のいずれか１項に記載の設置台。
【請求項５】
前記支持手段は前記長尺部材を該長尺部材の長手方向へ変位させる変位手段を含む、請求項１から４のいずれか１項に記載の設置台。
【請求項６】
前記支持手段は、さらに、前記支持台と平行の面内で二次元的に移動可能に前記支持台に支持されて前記カセットを受けるフリーステージを含む、請求項１から５のいずれか１項に記載の設置台。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示基板のような基板の検査装置に用いられるカセット設置装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示基板のような表示用基板は、製造、検査等の過程において、保管、搬送、加工処理等の取り扱いを容易にする目的でカセットに収納されている。カセットは、複数の基板をそれらに垂直の方向に間隔をおいて収容すると共に、各基板の長手方向又は幅方向の端部を支持する。カセットは、基板の製造装置や検査装置等に備えられカセット設置台に設置される。
【０００３】
基板の良否の検査においては、未検査の基板をカセットから１枚ずつ取り出して検査し、検査済みの基板を元のカセット又は他のカセットに収納する受け渡しが受け渡しロボットのような受け渡し装置により行われている。カセットに対する基板の受け渡しは、受け渡し装置の受け渡しアームを、カセットの開口を介して出し入れすることにより行われる。
【０００４】
【解決しようとする課題】
しかし、カセットを使用する装置においては、基板が垂直となるようにカセットを使用するのみならず、基板が水平又は斜めとなるようにカセットを使用することがある。そのような場合、基板が対向する端部でカセットに支持されているにすぎないにもかかわらず、基板が水平又は斜めの状態に維持されるから、基板がカセット内で大きく撓むことをさけることができない。
【０００５】
そのように基板がカセット内で大きく撓んでいると、受け渡し装置によるカセットに対する基板の受け渡しの際に、撓んでいる基板がカセットに対する受け渡しアームの出し入れの妨げになり、基板を損傷するか、カセットに対する基板の受け渡しをすることができない。
【０００６】
本発明の目的は、カセット内の基板の撓みを防止することにある。
【０００７】
【解決手段、作用及び効果】
本発明は、複数の基板を水平面に対し角度を有する第１の軸線の方向に間隔をおいて収容するカセットを設置する装置に適用される。そのような基板用カセット設置台は、前記第１の軸線の方向へ伸びる長尺部材と、該長尺部材に該長尺部材の長手方向に間隔をおいて装着された複数の受け部材と、前記長尺部材を前記受け部材が前記カセット内に位置する第１の位置と前記カセット外に位置する第２の位置とに選択的に変位可能に支持する支持手段とを含む。
【０００８】
前記支持手段は、ベースと、水平方向へ伸びる第２の軸線の周り角度的に回転可能に前記ベースに支持された板状の支持台であって前記カセットを受ける支持台と、該支持台を前記ベースに対し前記第２の軸線の周り角度的に回転させるシリンダと、前記支持台に前記第１の軸線の方向に間隔をおいて配置されて前記長尺部材を該長尺部材の軸線の周りに角度的に回転可能に支持する一対のブラケットと、前記長尺部材に組み付けられた駆動手段であって前記長尺部材を該長尺部材の軸線の周りに角度的に回転させて前記第１及び第２の位置に選択的に変位させる駆動手段とを備える。
【０００９】
カセットが設置されていないとき、長尺部材は第２の位置に変位されている。この状態においてカセットが設置されると、長尺部材は第１の位置に変位される。これにより、各受け部材はカセット内の隣り合う基板の間に入り、その上側に位置する基板を受けて支持する。その結果、カセット内の基板は、たとえこれが水平又は斜めの状態に維持されていても、撓みを小さくされる。
【００１０】
また、長尺部材を第１の軸線の周りに角度的に回転させることにより長尺部材を第１及び第２の位置に選択的に変位させることができるから、長尺部材を移動させる場合に比べ、長尺部材を変位させる作業が容易になるし、長尺部材及び受け部材の配置空間が小さくなり、さらに支持手段の構造が簡単になる。
【００１１】
前記受け部材は、前記カセット内の基板の収容ピッチと同じピッチで前記長尺部材に装着されていることができる。
【００１２】
前記駆動手段は、前記長尺部材に組み付けられて前記長尺部材を前記第１及び第２の位置に選択的に変位させるハンドルを含むことができる。そのようにすれば、長尺部材を人手により容易に変位させることができる。
【００１３】
前記受け部材は、該受け部材が前記第１の位置に位置されているとき、前記カセットの基板支持部間の中央領域を横切って伸びることができる。そのようにすれば、カセット内の基板は、カセットによる被支持部間の中央において受け部材に受けられるから、基板の被支持部と受け部材に受けられた箇所との間における撓みが著しく小さくなる。
【００１４】
前記支持手段は前記長尺部材を該長尺部材の長手方向へ変位させる変位手段を含むことができる。そのようにすれば、受け部材をこれに受けるべき基板の下側の基板側に位置させた状態で長尺部材を第２の位置から第１の位置に変位させ、次いで受け部材が対応する基板を受ける位置に長尺部材を変位させることができ、したがって基板を受け部材の変位により損傷するおそれがない。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図１から図５において、カセット設置装置１０は、複数の基板１２をそれらの厚さ方向に間隔をおいて収容可能のカセット１４を設置する装置として、基板１２の製造装置や検査装置等に用いられる。以下、検査装置に用いられるものとして説明する。
【００１６】
基板１２は、液晶表示パネルや有機ＥＬ(electroluminescense)のような表示用パネルや、表示用パネルの製造に用いるガラス基板等、短冊状の平板状被検査体である。そのような基板１２として、携帯電話用の表示パネルのような小型のセルを複数個一体的に備えるいわゆる複数個取りの基板をあげることができる。しかし、本発明は、基板が単一のセルやパネルからなる場合にも適用することができる。
【００１７】
カセット１４は、図５に示すように、上下に開放した矩形のフレーム２０内に基板１２の配列方向に伸びる一対の基板受け２２を平行に配置している。各基板受け２２は、基板１２の長手方向の端部を受け入れる複数のスロット２４を基板受け２２の長手方向に所定の配置ピッチで間隔をおいて形成し、スロット２４の下端を長い板状の底部２６により塞いでいる。
【００１８】
各スロット２４は、相手の基板受け２２側に開放していると共に、上方に開放されている。両基板受け２２は、スロット２４が対向する状態に、フレーム２０に組み付けられている。各基板受け２２は、各スロット２４に連通する穴２８を底２６に有している。各穴２８は、これがスロット２４に連通するから、カセット１４への基板１２の配置箇所に対応されている。
【００１９】
カセット設置装置１０は、検査装置のフレームに組み付けられた板状の固定ベース３０と、固定ベース３０に第１及び第２の位置に移動可能に受けられた可動ベース３２と、カセット１４を受けるように可動ベース３２に支持されたカセット設置台（カセットステージ）３４と、カセット設置台３４を可動ベース３２に対し水平方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させるエアーシリンダ３６と、第１の可動ベース位置におけるカセット１４の下方に配置された一対のセンサ３８と、両センサ３８を第１の位置におけるカセット１４に対して同期して移動させる移動機構４０と、基板１２の撓みを防止する撓み防止機構４２とを含む。
【００２０】
固定ベース３０は、第１の可動ベース位置から第２の可動ベース位置まで伸びている。第１の可動ベース位置は、カセット１４に対する基板１２の受け渡しを行ういわゆる基板受け渡し位置であり、図２に示す位置である。これに対し、第２の可動ベース位置は、カセット設置台３４に対するカセット１４の受け渡しを行ういわゆるカセット受け渡し位置であり、図２において第１の位置に対し右方の位置である。
【００２１】
可動ベース３２は、第１の可動ベース位置から第２の可動ベース位置まで平行に伸びる状態に固定ベース３０に組み付けられた一対のガイドレール４４と、各ガイドレール４４に滑動可能に組み付けられた複数のリニアガイド４６とを介して、固定ベース３０に支持されており、また下面においてリニアガイド４６に組み付けられている。
【００２２】
カセット設置台３４は、板状の支持台４８を後に説明するように可動ベース３２に支持させ、カセット１４を載せる板状のフリーステージ５０を支持台４８にこれと平行の面内で二次元的に移動可能に載せている。
【００２３】
フリーステージ５０は、可動ベース３２の移動方向に長い長方形の形状と、基板１２の長さ寸法より小さい幅寸法とを有しており、また支持台４８の上に間隔をおいて取り付けられた複数のボール５２を介して支持台４８の中央に配置されている。
【００２４】
カセット１４は、収容している基板１２の配列方向が可動ベース３２の移動方向（Ｘ方向）となるように、第２の可動ベース位置においてフリーステージ５０に載置される。この際、カセット１４は、支持台４８の矩形の各辺に対応する箇所に組み付けられた１以上のガイド５４により、カセット設置台３４上の所定の位置に案内される。
【００２５】
フリーステージ５０に載せられたカセット１４は、支持台４８の矩形の隣り合う２つの辺に対応する箇所に組み付けられた１以上のプッシャ５６により、対向する辺に配置されたガイド５４に向けて押される（図２及び図３参照）。これにより、カセット１４は、フリーステージ５０と共に支持台４８に対し支持台４８と平行な面内で二次元的に移動されて、所定のガイド５４に接触し、カセット設置台３４に対して位置決められる。プッシャ５６は、エアーシリンダのような駆動源５８により移動される。
【００２６】
カセット設置台３４に対するカセット１４の移動は、フリーステージ５０が支持台４８に対しボール５２を介して移動することにより達成される。このため、カセット設置台３４に対するカセット１４の移動が円滑になる。
【００２７】
支持台４８の先端部（図２において左端部）は可動ベース３２から上方へ伸びる複数の支柱６０の上部に枢軸ピン６２により組み付けられ、支持体４８の中央部がエアーシリンダ３６のロッドに枢軸ピン６４により結合されている。これにより、カセット設置台３４は可動ベース３２に支持されている。枢軸ピン６２，６４は、可動ベース３２の移動方向（Ｘ方向）と直交するＹ方向へ平行に伸びている。
【００２８】
エアーシリンダ３６は、可動ベース３２から上方へ伸びるように、シリンダにおいて可動ベース３２に枢軸ピン６６により連結されている。枢軸ピン６６は、枢軸ピン６２，６４と平行にＹ方向へ伸びている。このため、カセット設置台３４は、エアーシリンダ３６の伸縮により、支持台４８が水平となる水平状態と、支持台４８が水平線に対し４５度傾斜する傾斜状態とに選択的に変位される。
【００２９】
各センサ３８は、レーザ光のような光線を用いる光学的センサであり、光線をカセット設置台３４上のカセット１４の底にほぼ垂直に照射してカセット１４からの反射光を受光するように、第１の可動ベース位置におけるカセット１４内の基板１２の長手方向の端部下方に配置されている。
【００３０】
センサ３８は、受光した反射光の急激な変化を検出することにより、カセット１４の穴２８を感知する。支持台４８は、センサ３８からの光線及びセンサ３８に向かう反射光の通過を許す一対の長穴６８を有する。各長穴６８は、可動ベース３２の移動方向に長い。
【００３１】
移動機構４０は、第１の可動ベース位置におけるカセット１４内の基板１２の長手方向における中央に位置するように可動ベース３２に設置された逆転可能のモータ７０と、このモータ７０の回転軸に結合されたリードスクリュー７２と、リードスクリュー７２に螺合されたリードナット７４（図２参照）と、リードナット７４から基板１２の長手方向に及び互いに逆方向へ伸びる一対の取り付けバー７６と、可動ベース３２の移動方向への各取り付けバー７６の移動を案内するガイド機構７８とを備える。
【００３２】
リードスクリュー７２は可動ベース３２の移動方向に伸びており、各センサ３８は取り付けバー７６の先端部に取り付けられている。このため、モータ７０が回転されると、センサ３８は支持台４８の下側を可動ベース３２の移動方向へ移動される。ガイド機構７８は、可動ベース３２に取り付けられたガイドレールと、該レールに滑動可能に結合されたリニアガイドとを用いることができる。
【００３３】
一方の取り付けバー７６には、ターゲット８０が片持ち梁状に取り付けられている。ターゲット８０は、先端を受け渡し装置（図示せず）に感知されるように、可動ベース３２及びカセット設置台３４から前方（図２において左方）へ突出している。
【００３４】
受け渡し装置は、図２においてカセット設置装置１０の左方に配置されており、カセット１４が傾斜された状態において基板１２をカセット１４に対して受け渡す。受け渡し装置は、ターゲット８０の先端を光学的に感知する感知器を備えている。
【００３５】
撓み防止機構４２は、支持台４８とスルーステージ５０との間を可動ベース３２の移動方向（Ｘ方向）へ伸びる棒状又は板状の長尺部材８２と、長尺部材８２にこれの長手方向（Ｘ方向）に間隔をおいて一列に組み付けられた棒状又は板状の複数の受け部材８４と、受け部材８４を第１及び第２の受け部材位置に選択的に回転移動させるように長尺部材８２を角度的回転可能に支持する一対のブラケット８６と、長尺部材８２の後端部（図２において右端部）に組み付けられたハンドル８８とを含む。
【００３６】
受け部材８４は、カセット１４内の基板１２の収容ピッチと同じピッチで、及び、長尺部材８２から半径方向へ平行に伸びる状態に、長尺部材８２の外周に装着されている。ブラケット８６は、長尺部材８２が基板受け２２の間の中央に対応する箇所をＸ方向へ伸び、かつ受け部材が隣り合う基板１２間を上下方向（Ｚ方向）へ伸びるように、支持台４８に装着されている。
【００３７】
第１の受け部材位置は受け部材８４がカセット１４内を伸びる位置であり、第２の受け部材位置は受け部材８４がカセット１４外に位置する位置である。このため、フリーステージ５０は、受け部材８４がカセット１４内に出入りする開口９０を有している。
【００３８】
次に、カセット設置装置１０がローダ側専用の装置として検査装置に用いられる場合の動作について説明する。
【００３９】
先ず、カセット設置台３４が水平に維持された状態で、可動ベース３２が駆動機構９２により第２の可動ベース位置に移動される。駆動機構９２は、エアーシリンダのような直線運動アクチュエータを用いる機構であってもよいし、電動機のような回転運動アクチュエータを用いる機構であってもよい。しかし、可動ベース３２を手動で第１及び第２の可動ベース位置に選択的に移動させてもよい。
【００４０】
次いで、第２の可動ベース位置において、カセット設置台３４に対するカセット１４の交換が行われる。この状態においては、長尺部材８２は、図１及び図３に実線で示すように、受け部材８４がカセット１４の外をＹ方向へ伸びる第２の受け部材位置に維持されている。
【００４１】
このカセット交換作業は、カセット設置台３４上の空のカセット１４をカセット設置台３４から除去し、未検査の基板を収容しているカセット１４をカセット設置台３４に設置することにより、行われる。新たなカセット１４は、内部の基板１２がＸ方向に間隔をおいてＹ方向へ伸び、さらに垂直となるように、カセット設置台３４に載せられる。
【００４２】
次いで、可動ベース３２が第１の可動ベース位置に移動され、その状態で両センサ３８が、移動機構４０により可動ベース３２の移動方向へ移動されて図１及び図２に示すように所定の穴２８、例えば最先端（図２における左方端）に位置する穴２８を感知する位置に停止される。
【００４３】
この時点までに、作業者が撓み防止機構４２のハンドル８８を操作することにより長尺部材８２がほぼ９０度回転移動されて、図１に２点鎖線で示しかつ図２に実線で示すように、受け部材８４がカセット１４内に移動されて、隣り合う基板１２の間をＺ方向へ伸びる第１の受け部材位置に移動される。
【００４４】
次いで、エアーシリンダ３６が伸張されて、図２に２点鎖線で示すように、カセット設置台３４が水平線に対し４５度の状態に傾斜される。カセット設置台３４が傾斜されると、カセット１４内の基板１２は、カセット１４による支持位置間おいて自重により下方に撓む。
【００４５】
しかし、カセット設置台３４が傾斜されると、図４に示すように、基板１２がカセット１４による被支持部間の中央部において受け部材８４に接触して受け部材８４に支持されるから、基板１２の大きな撓みは防止される。特に、カセット設置装置１０においては、基板１２の長手方向中央部が受け部材８４に接触するから、基板１２の撓みは小さい。
【００４６】
カセット１４内の基板１２は、カセット設置台３４が傾斜された状態において、検査のために図示しない受け渡し装置によりカセット１４から引き出される。カセット１４に対する基板１２の受け渡しは、受け渡し装置の搬送アーム（受け渡しアーム）を撓み防止機構４２と反対側からカセット１４に出し入れすることにより行われる。この受け渡しの際、基板１２の撓みが上記のように小さいから、基板１２がカセット１４に対する搬送アームの出し入れの妨げにならない。
【００４７】
全ての基板１２がカセット１４から引き出されると、エアーシリンダ３６が収縮されて、カセット設置台３４が水平の状態に戻され、次いで可動ステージ３２が第２の可動ベース位置に移動される。
【００４８】
カセット設置装置１０は、ローダ側専用の装置のみならず、アンローダ側専用の装置や、ローダ側兼アンローダ側兼用の装置としても用いることができる。
【００４９】
カセット設置台３４から除去されるカセット１４は、カセット設置装置１０がアンローダ側専用の装置又はローダ側兼アンローダ側兼用の装置として用いられる場合は検査済みの基板を収容したカセットである。
【００５０】
カセット設置台３４に新たに設置されるカセット１４は、カセット設置装置１０がアンローダ側専用の装置として用いられる場合は空のカセットであり、ローダ側専用の装置又はローダ側兼アンローダ側兼用の装置として用いられる場合は未検査の基板を収容しているカセットである。
【００５１】
図６を参照するに、カセット設置装置１１０は、複数の基板１１２を上下方向へ間隔をおいて水平の状態に収容するカセット１１４に用いられる。カセット１１４は、前後に開口する角筒状の形状を有しており、基板１２の端部を支持する一対の基板受け（図示せず）を左右方向に間隔をおいて有している。
【００５２】
カセット設置装置１１０は、カセット１１４を載置するカセット台（図示せず）と、カセット１１４の設置箇所の前側に配置されて基板１１２の撓みを防止する撓み防止機構１１６とを含む。このため、カセット設置装置１１０の場合、後に説明するようにカセット１１４に対する基板１１２の受け渡しは、撓み防止機構１１６と反対側（後側）において行われる。
【００５３】
撓み防止機構１１６は、棒状（又は、板状）をした複数の受け部材１２０を長尺部材１２２にこれの長手方向に間隔をおいて一列に装着し、長尺部材１２２を支持機構１２４によりカセット１１４の前を上下方向へ伸びる状態にカセット台に組み付けている。
【００５４】
受け部材１２０は、カセット１１４内の基板１１２の収容ピッチと同じピッチで、及び、長尺部材１２２から半径方向へ平行に伸びる状態に、一端部において長尺部材１２２の外周に装着されている。
【００５５】
支持機構１２４は、長尺部材１２２を、受け部材１２０がカセット１１４内を伸びる第１の受け部材位置と、受け部材１２０がカセット１１４の外に位置する第２の受け部材位置とに選択的に移動させると共に、長尺部材１２２を介して受け部材１２０を上下方向にわずかに変化させる。
【００５６】
カセット設置装置１１０において、カセット１１４がカセット台に設置されていないとき、及び、カセット１１４を支持台に対し着脱するとき、撓み防止機構１１６は、図６に実線で示すように、受け部材１２０がカセット１１４の外を左右方向（Ｘ方向）へ伸びる第２の受け部材位置に維持されている。
【００５７】
この状態で、カセット１１４がカセット台に設置され、次いで長尺部材１２２が支持機構１２４によりほぼ９０度回転移動されて、受け部材１２０がカセット１１４内を前後方向（Ｙ方向）へ伸びる第１の受け部材位置に変位される。設置されたカセット１１４に複数の基板１１２が収容されていると、各受け部材１２０は、これの上側に位置する基板１１２の被支持部間の中央部分を受けて支持する。
【００５８】
上記の結果、カセット１１４内の基板１１２の撓みは小さくされる。この状態において、カセット１１４に対する基板１１２の受け渡しが受け渡し装置により行われる。この受け渡しは、カセット設置装置１１０の場合、受け渡し装置の搬送アームを撓み防止機構１１６と反対側からカセット１１４に出し入れすることにより行われる。この受け渡しの際、基板１１２の撓みが上記のように小さいから、基板１１２がカセット１１４に対する搬送アームの出し入れの妨げにならない。
【００５９】
カセット設置装置１１０においては、カセット１１４が基板１１２を水平の状態で上下方向に間隔をおいて収容しているから、カセット１１４内の基板１１２はカセット１１４による被支持部間において自重により撓んでいる。
【００６０】
このため、撓み防止機構１１６においては、受け部材１２０をカセット１１４内に回転移動させるとき、先ず図７（Ａ）に示すように長尺部材１２２を支持機構１２４により上下方向へ移動させて受け部材１２０をこれに受けるべき基板１１２の撓んだ箇所の高さ位置よりわずかに下方に変位させる。次いで、上記状態で図７（Ｂ）に示すように長尺部材１２２をほぼ９０度回転移動させて受け部材１２０を第１の受け部材位置に変位させる。次いで図７（Ｃ）に示すように長尺部材１２２を支持機構１２４によりわずかに上昇させて、受け部材１２０を上昇させる。
【００６１】
上記の結果、基板１１２がカセット１１４による被支持部間の中央部分を下側の受け部材１２０により押し上げられから、基板１１２の撓みは小さくされ、基板１２がカセット１４に対する受け渡し装置の搬送アームの出し入れの妨げにならない。
【００６２】
また、撓み防止機構１１６においては、基板１１２を収容しているカセット１１４をカセット台から除去するとき、上記とは逆に、長尺部材１２２を支持機構１２４によりわずかに下げて受け部材１２０をこれに受けている基板１１２の高さ位置よりわずかに下方に変位させ、その状態で長尺部材１２２をほぼ９０度回転移動させて受け部材１２０を第２の受け部材位置に変位させる。
【００６３】
上記のように、受け部材１２０をわずかに下降させて状態で、長尺部材１２２を角度的に回転させるならば、受け部材１２０を第１の受け部材位置から第２の受け部材位置に又はその逆に変位させるとき、受け部材１２０が基板１１２から離れた状態で変位することになるから、受け部材１２０がこれの変位時に基板を擦るおそれがなく、基板１１２の損傷が防止される。
【００６４】
図９を参照するに、カセット設置装置１３０は、複数の基板１３２を上下方向へ間隔をおいて水平の状態に収容するカセット１３４に用いられる。カセット１３４は、前方に開口する箱の形を有しており、基板１３２の端部を支持する一対の基板受け（図示せず）を左右方向に間隔をおいて有している。
【００６５】
カセット設置装置１３０は、カセット１３４を載置するカセット台（図示せず）と、カセット１３４の設置箇所の前側に配置されて基板１３２の撓みを防止する撓み防止機構１３６とを含む。
【００６６】
カセット設置装置１３０の場合には、後に説明するようにカセット１３４に対する基板１３２の受け渡しは、撓み防止機構１３６側（前側）において行うことができる。しかし、前後に開口する角筒状のカセットを用いる場合には、基板の受け渡しを撓み防止機構１３６側と反対側において行うようにしてもよい。
【００６７】
撓み防止機構１３６は、棒状（又は、板状）をした１つの受け部材１４０を長尺部材１４２の上部に装着し、長尺部材１４２を支持機構（図示せず）によりカセット１３４の前を上下方向へ伸びる状態にカセット台に組み付けている。
【００６８】
受け部材１４０は、長尺部材１４２から半径方向へ伸びる状態に、一端部において長尺部材１４２の上部外周に装着されている。支持機構は、長尺部材１４２を、受け部材１４０がカセット１３４内を伸びる第１の受け部材位置と、受け部材１４０がカセット１３４の外に位置する第２の受け部材位置とに選択的に移動させると共に、長尺部材１４２を介して受け部材１４０を上下方向に移動させる。
【００６９】
カセット設置装置１３０においても、カセット１３４がカセット台に設置されていないとき、及び、カセット１３４を支持台に対し着脱するとき、撓み防止機構１３６は、受け部材１４０がカセット１３４の外を左右方向（Ｘ方向）へ伸びる第２の受け部材位置に維持されている。
【００７０】
この状態で、カセット１３４がカセット台に設置され、次いで長尺部材１４２が支持機構によりほぼ９０度回転移動されて、受け部材１４０がカセット１３４内を前後方向（Ｙ方向）へ伸びる第１の受け部材位置に変位される。これにより、受け部材１４０は、これの上に位置する基板１３２の被支持部間の中央部分を受けて支持して、その基板１３２の撓みを小さくする。
【００７１】
上記の状態で、その基板１３２は受け渡し装置の搬送アーム１４６よりカセット１３４から引き出される。カセット設置装置１３０においては、１つの受け部材１４０を備えているにすぎないから、受け部材１４０を第１及び第２の受け部材位置に変位させる動作と、長尺部材１４２を支持機構により基板１３２の１配列ピッチ分だけ上下方向へ移動させる動作と、基板１３２をカセット１３４から引き出す動作とが基板１３２毎に行われる。
【００７２】
カセット１３４に対する基板１３２の受け渡しは、図８に示すように、撓み防止機構１３６側において受け渡し装置の搬送アーム１４６を用いて、上方又は下方に位置する基板１３２から順次行われる。搬送アーム１４６は、撓み防止機構１３６が基板１３２間への搬送アーム１４６の出し入れの妨げにならないように、二股状に形成されている。
【００７３】
基板１３２の受け渡しは、以下のように行うことができる。
【００７４】
先ず、受け部材１４０が最上部に位置する基板１３２を受ける位置に棒状部材１４０を支持機構により移動させ、受け部材１４０を第２の受け部材位置から第１の受け部材位置に移動させて、最上部に位置する基板１３２の被支持部間の中央部分を受け部材１４０に受けて支持し、その基板１３２の撓みを小さくした状態で、その基板１３２を搬送アーム１４６よりカセット１３４から引き出し、その後受け部材１４０を第１の受け渡し位置から第２の受け部材位置に移動させる。
【００７５】
次いで、受け部材１４０が上方から２番目に位置する基板１３２を受けるように、長尺部材１４２を支持機構により基板１３２の１配列ピッチ分だけ下げ、受け部材１４０を第２の受け部材位置から第１の受け部材位置に移動させて、２番目の基板１３２の被支持部間の中央部分を受け部材１４０に受けて支持し、その基板１３２の撓みを小さくした状態で、その基板１３２を搬送アーム１４６よりカセット１３４から引き出し、その後受け部材１４０を第１の受け渡し位置から第２の受け部材位置に移動させる。
【００７６】
以下、同様の動作を基板１３２毎に行う。上記のような受け渡しの際、基板１３２の撓みが小さいから、基板１３２がカセット１３４に対する搬送アーム１４６の出し入れの妨げにならない。
【００７７】
カセット設置装置１３０においても、カセット１３４が基板１３２を水平の状態で上下方向に間隔をおいて収容しているから、カセット１３４内の基板１３２はカセット１３４による被支持部間において自重により撓んでいる。
【００７８】
このため、撓み防止機構１３６においては、受け部材１４０をカセット１３４内に回転移動させるとき、先ず図９（Ａ）に示すように長尺部材１４２を支持機構により上下方向へ移動させて受け部材１４０をこれに受けるべき基板１３２の撓んだ箇所の高さ位置よりわずかに下方に変位させる。次いで、上記状態で図９（Ｂ）に示すように長尺部材１４２をほぼ９０度回転移動させて受け部材１４０を第１の受け部材位置に変位させる。次いで図９（Ｃ）に示すように長尺部材１４２を支持機構によりわずかに上昇させて、受け部材１４０を上昇させる。
【００７９】
上記の結果、基板１３２がカセット１３４による被支持部間の中央部分を下側の受け部材１４０により押し上げられから、基板１１２の撓みは小さくされ、基板１３２がカセット１３４に対する搬送アーム１４６の出し入れの妨げにならない。又、既に述べた撓み防止機構１１６と同様に、受け部材１４０がこれの変位時に基板を擦るおそれがなく、基板１３２の損傷が防止される。
【００８０】
また、受け部材１４０を第１の受け部材位置から第２の受け部材位置に移動させるとき、長尺部材１４２を支持機構によりわずかに下げて受け部材１４０をこれに受けている基板１３２の高さ位置よりわずかに下方に変位させ、その状態で長尺部材１４２をほぼ９０度回転移動させて受け部材１４０を第２の受け部材位置に変位させる。
【００８１】
本発明は、上記実施例に限定されない。例えば、受け部材を直線的に移動させることにより、受け部材を第１及び第２の受け部材位置に移動させてもよいし、そのような駆動機構を支持部材に配置してもよい。
【００８２】
本発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係るカセット設置装置の一実施例を示す図である。
【図２】  図１における２−２線に沿って得た断面図である。
【図３】  図１及び図２に示すカセット設置装置の平面図である。
【図４】  図１に示すカセット設置装置におけるカセット内の基板と受け部材との関係を示す図である。
【図５】  カセットの一実施例を示す斜視図である。
【図６】  本発明に係るカセット設置装置の他の実施例を示す概略的な斜視図である。
【図７】  図６に示すカセット設置装置における受け部材の動作を説明するための斜視図である。
【図８】  本発明に係るカセット設置装置のさらに他の実施例を示す概略的な斜視図である。
【図９】  図８に示すカセット設置装置における受け部材の動作を説明するための斜視図である。
【符号の説明】
１０，１１０，１３０  カセット設置装置
１２，１１２，１３２  基板
１４，１１４，１３４  カセット
３０  固定ベース
３２  可動ベース
３４  カセット設置台
３６  エアーシリンダ
４０  移動機構
４２，１１６，１３６  撓み防止機構
８２，１２２．１４２  長尺部材
８４，１２０，１４０  受け部材
８６  ブラケット
８８  ハンドル
１２４  支持機構
【図１】
0004185673.tif 000002
【図２】
0004185673.tif 000003
【図３】
0004185673.tif 000004
【図４】
0004185673.tif 000005
【図５】
0004185673.tif 000006
【図６】
0004185673.tif 000007
【図７】
0004185673.tif 000008
【図８】
0004185673.tif 000009
【図９】
0004185673.tif 000010