(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリイミド樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、フタル酸ジアクリル重合体の中から選択される熱硬化性樹脂からなり、かつ多孔質を有する、実質的に粘着性を有していない熱硬化性樹脂層がクリーニング層としてなるクリーニングシート。
【請求項２】
支持体の片面に、ポリイミド樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、フタル酸ジアクリル重合体の中から選択される熱硬化性樹脂からなり、かつ多孔質を有する、実質的に粘着性を有していない熱硬化性樹脂層がクリーニング層として設けられているクリーニングシート。
【請求項３】
ポリイミド樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、フタル酸ジアクリル重合体の中から選択される熱硬化性樹脂からなり、かつ多孔質を有する、実質的に粘着性を有していない熱硬化性樹脂層がクリーニング層としてなるシート状物の片面に、熱可塑性樹脂からなる粘着剤層が設けられてなるクリーニングシート。
【請求項４】
支持体の片面に、ポリイミド樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、フタル酸ジアクリル重合体の中から選択される熱硬化性樹脂からなり、かつ多孔質を有する、実質的に粘着性を有していない熱硬化性樹脂層がクリーニング層として設けられ、他面に熱可塑性樹脂からなる粘着剤層が設けられてなるクリーニングシート。
【請求項５】
請求項３又は４記載のクリーニングシートが、熱可塑性樹脂からなる粘着剤層を介して搬送部材に設けられてなるクリーニング機能付き搬送部材。
【請求項６】
請求項１又は２記載のクリーニングシート、もしくは請求項５記載のクリーニング機能付き搬送部材を、搬送することを特徴とするクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば各種の基板処理装置や微細加工時の露光マスク（レチクル）の搬送系などをクリーニングするシート、及びこれを用いたこれらのクリーニング方法に関し、例えば、半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板などの製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置、微細加工時の露光マスク（レチクル）の搬送系などのクリーニングシート及びクリーニング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば各種基板処理装置は、各搬送系と基板とを物理的に接触させながら搬送する。その際、基板や搬送系に異物が付着していると、後続の基板を次々に汚染することになり、定期的に装置を停止させ、洗浄処理をする必要があった。このため、稼働率低下や多大な労力が必要になるという問題があった。これらの問題を解決するため、粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する方法が提案されている（例えば特開平１０−１５４６８６号）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する方法は、前述の課題を克服する有効な方法である。しかしこの方法では粘着性物質と装置接触部とが強く接着しすぎて剥れない恐れがあり、基板を確実に搬送できない，あるいは搬送装置を破損させる恐れがあった。
さらに，通常粘着剤はガラス転移点温度が１５０℃未満であるため，１５０℃以上で熱処理をする装置，例えばオゾンアッシャー，レジストコータ，酸化拡散炉，常圧ＣＶＤ（Chemical  Vapor  Deposition）装置，減圧ＣＶＤ装置，プラズマＣＶＤ装置などにおいては，耐熱性に劣り使用できない場合があるという問題があった。
本発明は、このような事情に照らし、特に基板処理装置内や他の搬送系内の温度が高温である装置や搬送系内にも基板を確実に搬送できると共に、該装置内や搬送系に付着している異物を簡便かつ確実に除去できるクリーニングシート及びクリーニング方法を提供することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の目的を達成するために、鋭意検討した結果、クリーニング層を有するシートあるいはこのシートを固着した基板などの搬送部材を搬送することにより、基板処理装置内などに付着した異物をクリーニング除去するにあたり、多孔質を有する熱硬化性樹脂からなるクリーニング層を使用することにより、前記問題を生じることなく、さらに異物を簡便かつ確実に剥離除去できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００５】
即ち、本発明は、ポリイミド樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、フタル酸ジアクリル重合体の中から選択される熱硬化性樹脂からなり、かつ多孔質を有する、実質的に粘着性を有していない熱硬化性樹脂層がクリーニング層としてなるクリーニングシート（請求項１）、支持体の片面に、ポリイミド樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、フタル酸ジアクリル重合体の中から選択される熱硬化性樹脂からなり、かつ多孔質を有する、実質的に粘着性を有していない熱硬化性樹脂層がクリーニング層として設けられているクリーニングシート（請求項２）、ポリイミド樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、フタル酸ジアクリル重合体の中から選択される熱硬化性樹脂からなり、かつ多孔質を有する、実質的に粘着性を有していない熱硬化性樹脂層がクリーニング層としてなるシート状物の片面に、熱可塑性樹脂からなる粘着剤層が設けられてなるクリーニングシート（請求項３）、支持体の片面に、ポリイミド樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、フタル酸ジアクリル重合体の中から選択される熱硬化性樹脂からなり、かつ多孔質を有する、実質的に粘着性を有していない熱硬化性樹脂層がクリーニング層として設けられ、他面に熱可塑性樹脂からなる粘着剤層が設けられてなるクリーニングシート（請求項４）などに係るものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明のクリーニングシートにおけるクリーニング層は、多孔質を有する熱硬化性樹脂からなる。  本発明においては、クリーニング層に熱硬化性樹脂を用いることにより、搬送トラブルを発生することなく、他方，多孔質を有するクリーニング層により各種サイズの異物を捕集できかつ落下させることなく確実に除去することができる。
該熱硬化性樹脂は、熱により３次元構造または網状構造となる限り特に限定されないが、例えばポリイミド樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、フタル酸ジアクリル重合体などがあげられる。
本発明において熱硬化性樹脂からなるクリーニング層は、多孔質を有し、その孔の形状、大きさは特に限定されないが、異物のサイズより大きい孔が多すぎると異物の捕獲効果が低下するおそれがある。  その孔径は、通常０．０１〜５０μｍ程度、好ましくは０．０５〜２μｍ程度で、また空隙率は、通常３０〜９５％程度、好ましくは４０〜９０％程度である。
またクリーニング層の厚さは特に限定されず、通常５〜１００μｍ程度で適宜選択することができる。  また該クリーニング層をシリコンウエハのミラー面に幅１０ｍｍで貼り付け、ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じて測定した、シリコンウエハに対する１８０°引き剥がし粘着力が、０．０５Ｎ／１０ｍｍ以下であることが好ましく、これ以下であれば本発明においてクリーニング層が実質的に粘着性を有さないといえる。
【０００７】
また、上記熱硬化性樹脂には、その特性を損なわない範囲で、表面平滑性を出すための平滑剤、レベリング剤、脱泡剤などの各種添加剤を必要に応じて添加してもよい。
【０００８】
本発明は、支持体の片面に、多孔質を有する熱硬化性樹脂層がクリーニング層として設けられているクリーニングシート（請求項２）、多孔質を有する熱硬化性樹脂層がクリーニング層としてなるシート状物の片面に、熱可塑性樹脂からなる粘着剤層が設けられてなるクリーニングシート（請求項３）、支持体の片面に、多孔質を有する熱硬化性樹脂層がクリーニング層として設けられ、他面に熱可塑性樹脂からなる粘着剤層が設けられてなるクリーニングシート（請求項４）も提供する。
この熱可塑性樹脂からなる粘着剤層は、粘着機能を満たし、ある程度の耐熱性があれば特に限定されないが、例えばポリカルボジイミド、ポリイミド、耐熱性アクリル樹脂、フッ素系樹脂、ポリエステル樹脂などを用いることができる。
特に、ポリカルボジイミドは、４００℃以上の高温にさらしても揮発性ガスや分解モノマーを生成しないという点で本発明のクリーニングシートの上記熱可塑性樹脂からなる粘着剤層として好適である。その中でも特に特願平１０−３０５２０１号記載の下式（１）
【化１】
0004125505.tif 000002
で表される構成単位を有するポリカルボジイミドが、高い耐熱性（Ｔｇが２００℃以上）を有し、また接着性、低温加工性及び耐湿性にも優れている点から、特に本発明のクリーニングシートの上記熱可塑性樹脂からなる粘着剤層として、より好適である。但し、本発明は何ら本構造を有するカルボジイミド樹脂に限定されるものではない。
かかる構成とすることにより、クリーニングシートを熱可塑性樹脂からなる粘着剤層により各種基板や他のテープ・シートなどの搬送部材に貼り付けて、クリーニング機能付き搬送部材（請求項５）として装置内や搬送系内に搬送して、被洗浄部位に接触させてクリーニングすること（請求項６）ができる。
【０００９】
また本発明のクリーニングシートは支持体にクリーニング層を設けたシートとすることもできる。この支持体としては使用する温度に合致する耐熱性を有する限り特に限定されないが、例えばポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリアミド、ポリイミド、ポリカルボジイミドなどのプラスチックフィルムなどが挙げられる。  その厚みは通常１０〜１００μｍ程度である。
クリーニングシートが貼り付けられる搬送部材としては特に限定されないが、例えば半導体ウエハ、ＬＣＤ、ＰＤＰなどのフラットパネルディスプレイ用基板、その他コンパクトディスク、ＭＲヘッドなどの基板などが挙げられる。
【００１０】
【実施例】
以下、本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。  なお、以下、部とあるのは重量部を意味するものとする。
実施例
攪拌装置，滴下漏斗，還流冷却器を取付けた500mlの四つ口フラスコに、１、４−ビス（４−アミノフェニルイソプロピリデン）ベンゼン（17g、49．35mmol）、トリエチルアミン（9.99g, 98.70mmol）、テトラヒドロフラン146.24gを仕込んだ。フラスコを氷浴で冷却し、滴下漏斗にフェニルクロロホルメート(15.45g, 98.70mmol)を入れ、1分かけて滴下した。その後室温で120分間攪拌した。カーバメートの生成をIRで確認した後、トリメチルクロロシラン（10.72g, 98.70mmol）、トリエチルアミン(9.99g, 98.70mmol)、カルボジイミド化触媒(3メチル-フェニル‐２-ホスホレン-１-オキシド)(472.2mg, 2.47mmol)を仕込み、60℃で1時間、続いて67℃で7時間攪拌してイソシアネート化及び重合を行った。
IRスペクトルによりカルボジイミド化（前記式１の構造）を確認し、生成したトリエチルアミン塩酸塩を濾過により除去し、ワニスを得た。
上記ワニスをガラス板上にキャスティングし、90℃にて30分間、さらに２５０℃で30分間乾燥してかとう性を有するフィルムを得た。得られたフィルムの熱的特性を評価したところ、ガラス転移温度は、220.8℃であった。
【００１１】
上記ワニスを、幅２５０ｍｍ、厚み５０μｍ，微細孔径０．０５〜２μｍの多孔質熱硬化性ポリイミドフィルム上にスピンコートにより塗工し、90×30min、次いで250℃×30minで乾燥して、厚みが２0μｍであるクリーニングシートを作製した。得られたクリーニングシートのカルボジイミド側を２３０℃に熱したＳＵＳ板上に置いた８ｉｎシリコンウエハのミラー面に、貼付，クリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハＡを作製した。かかるクリーニング層の表面は実質的に粘着性は有していなかった。  また、このクリーニング層の空隙率は４０〜９０％であった。  また、クリーニング層をシリコンウエハのミラー面に幅１０ｍｍで貼り付け、ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じてシリコンウエハに対する１８０°引き剥がし粘着力を測定した結果、０．０００９Ｎ／１０ｍｍで実質的に粘着性を有さないことが確認できた。
得られたクリーニングウエハＡを装置内の温度が200℃に加温されているオゾンアッシャー内をクリーニング搬送させたところ、問題なくウエハを搬送でき、搬送前に8インチウエハ内で0.2μｍ以上で23500個あった異物が、搬送後に5800個まで減少しており、初期の７５．３％を除去することが出来，クリーニング効果が確認できた。
【００１２】
比較例
多孔質でない熱硬化性ポリイミドフィルムを用いた以外は上記と同様にしてクリーニングウエハＢを作製した。得られたクリーニングウエハＢを実施例と同様，２００℃に加温されたオゾンアッシャー内に搬送させたところ，問題なくウエハを搬送でき、搬送前に8インチウエハ内で0.2μｍ以上で２５０００個あった異物が、搬送後には１５０００個であり、初期の４０％しか除去できなかった。
【００１３】
【発明の効果】
以上のように本発明のクリーニングシートによれば、特に内部が高温の基板処理装置内や搬送系内を確実に搬送できると共に、装置内や搬送系に付着している異物を簡便かつ確実に除去できる。