(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
発熱体により流体を加熱して感光材料を含む被加熱物に供給する流体加熱供給装置において、
前記流体の流入口を有し、内周部に沿って前記流体の通路が形成される中空状の外装体と、
前記流体の流出口を有し、前記外装体に内装され、中空部が前記通路に連通する中空状の内装体と、
前記内装体に内装され、前記通路を介して前記内装体の中空部に供給される前記流体を加熱する発熱体と、
前記流体の通路がラビリンス状に形成され、前記流出口に連通する遮光室と、
を備え、前記発熱体により加熱された前記流体を前記遮光室を介して外部に導出させて前記被加熱物に供給することを特徴とする流体加熱供給装置。
【請求項２】
請求項１記載の装置において、
前記外装体と前記内装体との間には、さらに他の内装体が介挿され、前記外装体と前記他の内装体と前記内装体との間に形成される複数の通路が、前記外装体、前記他の内装体および前記内装体の長手方向に連通されることを特徴とする流体加熱供給装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の装置において、
前記遮光室は、前記流体の通路をラビリンス状に形成して前記流出口に配設される第１遮光室と、前記流体の通路をラビリンス状に形成して前記第１遮光室に連結され、前記流体を外部に導出する第２遮光室とを備えることを特徴とする流体加熱供給装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の装置において、
前記遮光室の内壁には、耐熱性の遮光塗料が塗布されることを特徴とする流体加熱供給装置。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の装置において、
前記遮光室の内壁には、粗面加工が施されることを特徴とする流体加熱供給装置。
【請求項６】
請求項１または２記載の装置において、
前記発熱体は、円形に巻回された加熱コイルからなり、その内周側中空部には、金属線が配設されることを特徴とする流体加熱供給装置。
【請求項７】
請求項１または２記載の装置において、
前記発熱体は、円形に巻回された加熱コイルからなり、その外周部には、金属線が巻装されることを特徴とする流体加熱供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、発熱体により流体を加熱して被加熱物に供給する流体加熱供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、被加熱物の乾燥処理、半田付けを行う前の回路素子等の予熱処理、あるいは、製品をラッピングするための熱収縮性シートの加熱処理等を行うことのできる装置として、エアー等の流体を加熱して被加熱物に供給する流体加熱供給装置が使用されている。
【０００３】
このような流体加熱供給装置は、一般的には、エアーを加熱コイル中に通過させることで熱風とし、被加熱物に供給するように構成される。代表例としては、ドライヤや温風ヒータを挙げることができる。しかしながら、これらの流体加熱供給装置は、被加熱物を加工させるほどの高温のエアーを得ることを目的として構成されたものではない。
【０００４】
これに対し、エアーを高温加熱できる装置として、例えば、ディーゼル機関等から排出される煤等の可燃性の微粒子であるパティキュレートを燃焼させる排ガス浄化装置がある（特開平１１−２６４３１３号公報参照）。
【０００５】
この排ガス浄化装置は、図１に示すように、ディーゼル機関等の排出口に接続されるガス流入口２を備えた第１筒状部材４の内周部に第２筒状部材６および第３筒状部材８が入れ子状に配設され、ガス流出口１０を備えた最内部の第３筒状部材８の中空部にセラミックス等からなるフィルタ１２が配設される。第１筒状部材４および第２筒状部材６間、第２筒状部材６および第３筒状部材８間、フィルタ１２間には、加熱コイル１４が巻装されている。
【０００６】
ガス流入口２から流入した排ガスＧは、第１筒状部材４および第２筒状部材６間、第２筒状部材６および第３筒状部材８間を流通することで、加熱コイル１４によって高温に加熱される。この場合、排ガスＧ中に含まれるパティキュレートは、加熱コイル１４の熱によって燃焼除去される。加熱された排ガスＧは、さらに、フィルタ１２によって浄化された後、外部に排出される。
【０００７】
このように構成される排ガス浄化装置においては、排ガスＧの通路が入れ子状に構成された第１筒状部材４、第２筒状部材６および第３筒状部材８によって長尺に構成されており、それらを通過する間に排ガスＧが十分に加熱される。
【０００８】
しかしながら、前記の排ガス浄化装置の構造では、排ガスＧを十分に加熱することはできるが、加熱コイル１４から発生した熱が第１筒状部材４を介して当該装置の外周部にも漏洩するおそれがある。そのため、このままの構成では、例えば、回路素子等の予熱処理を行う流体加熱供給装置のように、周囲の回路素子に対して熱的影響を与えることなく加熱を行いたいような場合に適用することはできない。
【０００９】
また、感光材料等のように、作業に遮光性を要する材料を使用する環境においては、前記排ガス浄化装置の場合、ガス流出口１０から加熱コイル１４が露出した状態となっているため、加熱コイル１４が加熱された際に生じる赤熱光が感光材料を感光してしまうおそれがある。同様に、装置が相当に高温化されると、第１筒状部材４自体も赤熱化し、それから発する光によって材料を感光してしまうおそれがある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、装置自体の加熱による熱の周囲機構に対する影響のない流体加熱供給装置を提供することを目的とする。
【００１１】
また、本発明は、装置自体の加熱による赤熱光の被加熱物を含む周囲機構に対する影響のない流体加熱供給装置を提供することを目的とする。
【００１２】
さらに、本発明は、流体を効率的に加熱して被加熱物に供給し、被加熱物を効果的に加熱することのできる流体加熱供給装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決するために、本発明では、流入口から外装体の中空部に流入させた流体を外装体の内周部に沿って流動させた後、外装体に内装される内装体の中空部に流入させ、この中空部に配設した発熱体によって加熱し、内装体の流出口から加熱流体として被加熱物に供給して加熱を行う。
【００１４】
この場合、発熱体によって直接的に加熱される以前の低温の流体が外装体の内周部に沿って流動するため、発熱体による熱が外装部から外部に伝達されるおそれが少なく、従って、加熱流体が直接供給される被加熱物以外の部位に対する熱の影響を回避することができる。
【００１５】
外装体と内装体との間に、さらに他の内装体を配設することにより、外装体の外部に対する断熱効果をより高めることができる。
【００１６】
また、通路をラビリンス状に形成した遮光室を流体の流出口に配設すれば、発熱体の赤熱光による被加工物を含む周囲機構に対する悪影響を回避することができる。すなわち、感光材料等の加工処理を行う装置に対して本発明の装置を適用した場合、材料を光によって損傷することなく、好適な加熱処理を施すことができる。
【００１７】
なお、遮光室を第１遮光室および第２遮光室から構成し、これらを介して加熱流体を被加熱物に供給するように構成することにより、遮光性をより高めることができる。また、遮光室の内壁に耐熱性の遮光塗料を塗布し、あるいは、内壁を粗面加工することで赤熱光を乱反射させるように構成してもよい。
【００１８】
さらに、装置を外装体と内装体との二重構造とし、発熱体と流体との接触面積が大きくなるように構成することにより、流体を効率的に加熱することができる。
【００１９】
さらにまた、コイル状に巻回された発熱体の内周側中空部に金属線を配設することにより、流入した流体をより効率的に加熱することができる。この場合、金属線は、コイル状のものであることが望ましく、さらに望ましくは、接触表面積を確保し、且つ、流体の流れを大きく妨げないものとして、ステンレス鋼等の錆びにくい金属線を小径に巻いてスプリング状とし、これをさらにコイル状として発熱体の内周側中空部に配設すると好適である。
【００２０】
また、発熱体の外周部に金属線を巻装し、これによって、発熱体とその外周側に配設される内装体あるいは外装体との接触を回避し、一層高い断熱効果を得ることができる。この場合、金属線としては、単線を発熱体の外周部に巻装させるだけでもよいが、コイルスプリング状としたものを巻装させ、流体を導入可能に構成することが望ましい。
【００２１】
【発明の実施の形態】
図２は、本実施形態の流体加熱供給装置が適用されるフイルム製造工程の最終工程を示す。
【００２２】
この最終工程において、ロール状に巻回された感光材料Ｆの端部には、遮光シート２０の一端部が連結される。また、遮光シート２０の他端部には、貼着シール２２ａ、２２ｂが装着され、遮光シート２０の両側部には、所定の熱が加えられると収縮する性質を備えた熱収縮性シート２４ａ、２４ｂが装着される。
【００２３】
感光材料Ｆに対して遮光シート２０が巻き付けられた後、貼着シール２２ａ、２２ｂが遮光シート２０に貼着される。次いで、ロール状の感光材料Ｆを回転させながら、その側部に配設された本実施形態の流体加熱供給装置を構成するヒータ本体２６ａ、２６ｂから熱収縮性シート２４ａ、２４ｂに対して加熱エアーを供給する。熱収縮性シート２４ａ、２４ｂは、加熱されることで収縮し、感光材料Ｆの側部を光密にシールする。
【００２４】
次に、前記のフイルム製造工程に適用される流体加熱供給装置の詳細な構成について説明する。
【００２５】
図３は、本実施形態の流体加熱供給装置３０の構成を示すブロック図である。この流体加熱供給装置３０は、ヒータ本体２６ａ、２６ｂと、ヒータ本体２６ａ、２６ｂに電力を供給するヒータ電源３２と、ヒータ本体２６ａ、２６ｂにエアーを供給するエアーコンプレッサ３４と、供給されるエアーの流量を検出する流量センサ３６と、ヒータ本体２６ａ、２６ｂに内装される後述する加熱コイルの温度を検出する加熱コイル温度センサ３８と、ヒータ本体２６ａ、２６ｂから吐出されるエアーの温度を検出する吐出エアー温度センサ４０と、これらを制御する制御回路４２とから基本的に構成される。
【００２６】
図４は、ヒータ本体２６ａ、２６ｂの断面構成図である。ヒータ本体２６ａ、２６ｂは、円筒状の外装体４４と、外装体４４に内装される円筒状の第１内装体４６と、第１内装体４６にさらに内装される円筒状の第２内装体４８とを備える。第２内装体４８の中空部には、二重螺旋状に巻回された加熱コイル５０が配設される。加熱コイル５０に接続されるリード線５２は、外装体４４の一端部を介してヒータ本体２６ａ、２６ｂの外部に導出され、ヒータ電源３２に接続されている。
【００２７】
外装体４４は、リード線５２が導出される一端部側の外周部に、エアーコンプレッサ３４からのエアーが流入する流入口５４を有するとともに、他端部側の外周部に、加熱コイル温度センサ３８を挿入するセンサ挿入孔５６を有する。なお、センサ挿入孔５６より挿入された加熱コイル温度センサ３８の先端部は、第２内装体４８を貫通して加熱コイル５０に到達する。また、外装体４４の内周部と第１内装体４６の外周部との間には、外装体４４の長手方向に沿ってエアーの流通する第１通路５８が形成される。
【００２８】
第１内装体４６は、流入口５４側の一端部側外周部に沿って複数の孔部６０を有する。第１内装体４６は、外装体４４のセンサ挿入孔５６の近傍まで延在しており、第１内装体４６の内周部と第２内装体４８の外周部との間には、第１通路５８に連通する第２通路６２が形成される。
【００２９】
第２内装体４８は、外装体４４の他端部側内周壁に連結されており、内装される加熱コイル５０の加熱コイル温度センサ３８寄りの部位には、隔壁６４が形成されている。この隔壁６４の中央部には、孔部６６が形成される。第２内装体４８の内周部と加熱コイル５０の外周部との間には、第２通路６２に連通する第３通路６８が形成され、加熱コイル５０の中央部には、孔部６６に連通する第４通路７０が形成される。
【００３０】
第２内装体４８の隔壁６４と外装体４４の他端部との間には、第１遮光室７２が形成される。この第１遮光室７２の中央部には、孔部６６の直径よりも大きく、且つ、第２内装体４８の内径よりは小さい直径からなる遮光板７４がリブ７６を介して配設される。
【００３１】
さらに、外装体４４の他端部中央部には、第１遮光室７２に連通する孔部７８が形成される。そして、外装体４４の他端部には、第２遮光室８０が形成される。第２遮光室８０は、外装体４４に連結される外装体８２と、外装体８２に内装される内装体８４と、内装体８４にさらに内装されるノズル部８６とから構成される。
【００３２】
内装体８４は、有底円筒状に構成されており、その底部の直径は、第１遮光室７２に連通する孔部７８の直径よりも大きく設定される。また、内装体８４に内装されるノズル部８６は、円筒状に構成される。なお、外装体８２の外周部には、センサ挿入孔８８が形成される。このセンサ挿入孔８８より挿入された吐出エアー温度センサ４０の先端部は、内装体８４およびノズル部８６を貫通して、ノズル部８６の中央部に到達する。
【００３３】
本実施形態に係る流体加熱供給装置３０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその作用効果について説明する。
【００３４】
制御回路４２は、感光材料Ｆが図２に示すヒータ本体２６ａ、２６ｂの近傍に配置された際、エアーコンプレッサ３４を駆動し、エアーをヒータ本体２６ａ、２６ｂに対して供給するとともに、ヒータ電源３２を介してヒータ本体２６ａ、２６ｂの加熱コイル５０に通電する。
【００３５】
エアーコンプレッサ３４より供給されたエアーは、流量センサ３６によって流量が調整され、外装体４４の流入口５４からヒータ本体２６ａ、２６ｂの内部に供給される。エアーは、外装体４４の内周部と第１内装体４６の外周部との間の第１通路５８を通り、次いで、第１内装体４６の内周部と第２内装体４８の外周部との間の第２通路６２を通り、第２内装体４８の中空部である第３通路６８および第４通路７０に供給される。なお、流入口５４から供給されたエアーの一部は、第１内装体４６に形成された孔部６０を介して直接第３通路６８および第４通路７０に供給される。
【００３６】
第２内装体４８の中空部に供給されたエアーは、第３通路６８を通過する間および第４通路７０を通過する間、加熱コイル５０から発生する熱によって加熱され、加熱エアーとされる。
【００３７】
この場合、エアーは、第２通路６２を通過する間、第２内装体４８を介して供給される輻射熱により予備加熱された後、第３通路６８および第４通路７０を通過することで効率的に加熱される。また、エアーを加熱するための加熱コイル５０は、二重螺旋状に形成されているため、十分な熱量をエアーに与えることができる。従って、ヒータ本体２６ａ、２６ｂを長尺に構成することなく、小型化を図ることができる。
【００３８】
さらに、エアーを予備加熱するための第２通路６２の外側には、第１通路５８が形成されている。従って、加熱コイル５０によって発生した熱は、この第１通路５８を通過するエアーによって十分に遮断され、ヒータ本体２６ａ、２６ｂの外部に伝達されるおそれは殆どない。このため、外装体４４からの熱輻射が感光材料Ｆやその他の部位に悪影響を与えるおそれがなく、また、ヒータ本体２６ａ、２６ｂに特殊な断熱材を使用する必要もない。なお、外装体４４の材質としては、ステンレスやセラミックス等を選択することができる。
【００３９】
前記のようにして加熱されたエアーは、隔壁６４の中央部に形成された孔部６６を介して第１遮光室７２に供給される。第１遮光室７２に流入した加熱エアーは、遮光板７４によって進行方向が略９０゜変換された後、この遮光板７４を回り込んで孔部７８から第２遮光室８０に供給される。次いで、内装体８４の底部によって、進行方向が再び略９０゜変換された後、内装体８４内に流入し、ノズル部８６を介して外部に導出される。
【００４０】
ノズル部８６から導出された加熱エアーは、図２に示すように、遮光シート２０が巻回された感光材料Ｆの側部の熱収縮性シート２４ａ、２４ｂに供給される。熱収縮性シート２４ａ、２４ｂは、加熱エアーの熱によって収縮する。この結果、感光材料Ｆは、遮光シート２０および熱収縮性シート２４ａ、２４ｂによって完全な遮光状態のものとして製造される。
【００４１】
ここで、熱収縮性シート２４ａ、２４ｂに供給される加熱エアーは、通路がラビリンス状に構成された第１遮光室７２および第２遮光室８０を介して導出されるので、例えば、加熱された加熱コイル５０が発熱光を発する場合であっても、その光がノズル部８６から外部に導出されるおそれはない。従って、感光材料Ｆを製造するための暗室の光密性が十分に確保されることになる。
【００４２】
また、ノズル部８６の形状を適宜調整することにより、加熱エアーを熱収縮性シート２４ａ、２４ｂのみに集中的に照射することができる。従って、加熱エアーの熱によって感光材料Ｆの乳剤が加熱され、熱かぶりが生じるような事態を回避することができる。
【００４３】
なお、第１遮光室７２および第２遮光室８０の内壁部には、耐熱性を有した黒いつや消し塗料、例えば、チタンセラミックス樹脂やセラミックコーティングを塗布し、あるいは、ショットピーニングや粗砥石による加工を施すことで粗面を形成することにより、加熱コイル５０の赤熱光のノズル部８６からの導出を一層効果的に回避することができる。
【００４４】
一方、ノズル部８６から導出される加熱エアーの温度は、先端部がノズル部８６内に配設された吐出エアー温度センサ４０により検出され、制御回路４２によってヒータ電源３２にフィードバックさせることで、正確な温度設定が行われる。また、吐出するエアーの量は、流量センサ３６によって常時監視されているので、流量変動に起因する温度変動が生じるおそれもない。このため、一層安定した温度からなる加熱エアーを得ることができる。
【００４５】
なお、先端部が加熱コイル５０の近傍に配設された加熱コイル温度センサ３８は、加熱コイル５０の表面温度を監視し、加熱コイル５０が過熱状態となったことを検知した際、制御回路４２がヒータ電源３２による通電を遮断することにより、エアーあるいはヒータ本体２６ａ、２６ｂの過剰過熱を事前に回避することができる。
【００４６】
図５は、図４に示すヒータ本体２６ａ、２６ｂの先端部に形成される第２遮光室８０の他の実施形態を示す図である。この実施形態における第２遮光室９０は、外装体４４の端部に装着される外装体９２と、外装体９２の中央部にリブ９４を介して配設される遮光板９６とから構成される。また、外装体９２の中央部には、センサ挿入孔９８を介して吐出エアー温度センサ４０が挿入される。
【００４７】
このように構成される第２遮光室９０では、その内壁部に耐熱性の遮光塗料を塗布し、あるいは、粗面加工を施すことにより、十分な遮光効果を得ることができる。
【００４８】
図６は、図４に示すヒータ本体２６ａ、２６ｂの他の実施形態を示す図である。このヒータ本体２７は、図４に示すヒータ本体２６ａ、２６ｂを構成する加熱コイル５０の内周側中空部である第４通路７０にコイル状金属線２９を配設するとともに、加熱コイル５０の外周部にコイル状金属線３１を巻装させたものである。
【００４９】
コイル状金属線２９は、例えば、ＳＵＳ等からなる小径のコイルスプリングをさらにコイル状に変形させて第４通路７０に配設したものである。この場合、導入されたエアーは、第４通路７０をそのまま通過するのではなく、コイル状金属線２９から抵抗を受けてその流速を低下させ、その間、加熱コイル５０から発生する熱が直接あるいはコイル状金属線２９を介して有効にエアーに付与される。この結果、エアーは、高い熱交換率で加熱されることになる。
【００５０】
また、コイル状金属線３１は、例えば、上述したコイル状金属線２９と同様のものが加熱コイル５０の外周部に巻装される。この場合、加熱コイル５０の外周部が、コイル状金属線３１によって邪魔されるために、第２内装体４８の内周部に接触することがなく、従って、第２内装体４８が過剰加熱される事態を回避することができる。しかも、コイル状金属線３１は、エアーが流通する間隙を備えており、導入されたエアーの一部がこの間隙を介して流通し、この間、加熱コイル５０からの熱を吸収して加熱されるため、断熱効果および加熱効率の向上をともに実現することができる。
【００５１】
図７は、さらに他の実施形態であるヒータ本体１００の断面構成を示す。このヒータ本体１００は、円筒状の外装体１０２の一端部側にエアーの流入口１０４が形成され、略中央部に加熱コイル温度センサ３８のセンサ挿入孔１０６が形成され、他端部側に吐出エアー温度センサ４０のセンサ挿入孔１０８が形成される。外装体１０２のセンサ挿入孔１０６および１０８間の内周壁には、中央部に孔部１１０が形成された隔壁１１２が配設される。
【００５２】
隔壁１１２と外装体１０２の一端部との間の中空部は、加熱室１１４を構成する。この加熱室１１４には、有底円筒状の内装体１１６が配設される。そして、内装体１１６の外周部と外装体１０２の内周部との間には、加熱コイル１１８が配設される。
【００５３】
隔壁１１２と外装体１０２の他端部との間の中空部は、遮光室１２０を構成する。この遮光室１２０には、内装体１１６の底部に隔壁１１２の孔部１１０を介して連結される有底円筒状の内装体１２２が配設される。また、内装体１２２には、ノズル部１２４が内装される。
【００５４】
以上のように構成されるヒータ本体１００において、流入口１０４から外装体１０２の加熱室１１４に供給されたエアーは、内装体１１６の中空部に一旦導入されることで予備加熱された後、内装体１１６と外装体１０２との間を通過することにより、加熱コイル１１８によって所定温度まで加熱される。加熱されたエアーは、隔壁１１２の孔部１１０を介して遮光室１２０に導かれ、隔壁１１２およびノズル部１２４によって構成されるラビリンス状の通路を介して外部に導出される。
【００５５】
この場合、エアーは、内装体１１６の中空部および内装体１１６、外装体１０２間の通路を通過することで十分に加熱され、且つ、遮光室１２０を介して熱収縮性シート２４ａ、２４ｂ側に供給されるため、加熱コイル１１８の赤熱光の影響を受けることなく、熱収縮性シート２４ａ、２４ｂを効率的に加熱することができる。なお、この実施形態においては、外装体１０２からの外部への熱輻射の影響が懸念されるが、外装体１０２を、例えば、セラミックス等の熱伝導率の低い材質とすることにより、その影響を回避することが可能である。
【００５６】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、外周部に加熱前の流体が通過する通路を形成しているので、発熱体による熱の外部への伝達を抑制し、断熱効果の高い流体加熱供給装置を提供することができる。この場合、当該装置の周囲に配置される被加熱物以外のものに対する熱による影響を回避することができる。なお、発熱体の外周部に金属線を巻装させ、発熱体を内装体あるいは外装体に接触しないように構成すれば、一層高い断熱効果を得ることができる。
【００５７】
また、流体の流出口側にラビリンス構造からなる遮光室を設けることにより、発熱体の赤熱光が被加熱物側に漏洩することがない。従って、被加熱物が感光性のものである場合であっても、この赤熱光の影響を受けることなく加熱処理を遂行することができる。なお、流体加熱供給装置の外周部に加熱前の流体が通過する通路を形成することにより、発熱体による熱によって当該装置の外周部が赤熱して発光することもないため、それによる感光材料に対する影響も生じない。
【００５８】
さらに、流体を外装体、内装体間に形成される通路を介して流通させて発熱体に供給することにより、流体を効率的に加熱することができるとともに、装置を小型に構成することが可能となる。
【００５９】
さらにまた、コイル状に巻回された発熱体の内周側中空部に金属線を配設することにより、流入した流体を発熱体に積極的に接触させて加熱し、あるいは、発熱体によって加熱された金属線を介して流体をより効率的に加熱することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来技術に係る排ガス浄化装置の断面構成図である。
【図２】本実施形態の流体加熱供給装置が適用されるフイルム製造工程の最終工程を示す図である。
【図３】本実施形態の流体加熱供給装置の構成ブロック図である。
【図４】本実施形態の流体加熱供給装置を構成するヒータ本体の断面構成図である。
【図５】本発明の流体加熱供給装置における遮光室の他の実施形態の断面構成図である。
【図６】本発明の流体加熱供給装置の他の実施形態を構成するヒータ本体の断面構成図である。
【図７】本発明の流体加熱供給装置のさらに他の実施形態を構成するヒータ本体の断面構成図である。
【符号の説明】
２４ａ、２４ｂ…熱収縮性シート
２６ａ、２６ｂ、２７、１００…ヒータ本体
２９、３１…コイル状金属線        ３２…ヒータ電源
３４…エアーコンプレッサ          ３６…流量センサ
３８…加熱コイル温度センサ        ４０…吐出エアー温度センサ
４２…制御回路                    ４４、８２、９２、１０２…外装体
４６…第１内装体                  ４８…第２内装体
５０、１１８…加熱コイル          ７２…第１遮光室
８０、９０…第２遮光室            ８４、１１６、１２２…内装体
８６、１２４…ノズル部            １１４…加熱室
１２０…遮光室                    Ｆ…感光材料
【図１】
0004074741.tif 000002
【図２】
0004074741.tif 000003
【図３】
0004074741.tif 000004
【図４】
0004074741.tif 000005
【図５】
0004074741.tif 000006
【図６】
0004074741.tif 000007
【図７】
0004074741.tif 000008