【手続補正書】
【提出日】平成17年7月27日(2005.7.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板（５）を処理するための圧力チャンバアセンブリ（４００Ｃ）であって、前記圧力チャンバアセンブリは、
ａ）密閉圧力チャンバ（４１０）を規定する圧力容器と、
ｂ）前記圧力チャンバ内に配置され、前記基板を保持するように適合された基板ホルダ（５５２）と、
ｃ）前記基板ホルダを動かすように動作する駆動アセンブリ（５８０）と、
ｄ）周囲大気圧よりも高い圧力に加圧された流体を、前記圧力チャンバ内に供給する手段と
を含み、前記駆動アセンブリは、
前記圧力容器に対して基板ホルダとともに動く、基板ホルダに接続された第１の駆動部材（５９０）と、
前記第１の駆動部材および前記圧力チャンバから流体的に絶縁された第２の駆動部材（５９２）と、
前記第２の駆動部材を動かすように動作し、前記第１の駆動部材および前記圧力チャンバから流体的に絶縁された駆動ユニット（５８２）と
を含み、前記駆動ユニットが前記第１および第２の駆動部材を介して前記基板ホルダを動かすことができるように、前記第２の駆動部材が前記第１の駆動部材と非機械的に連結する圧力チャンバアセンブリ。
【請求項２】
前記第２の駆動部材が前記第１の駆動部材と磁気的に連結する請求項１の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項３】
前記第１の駆動部材に取り付けられた第１の磁石（Ｍ１）と、
前記第１の磁石と隣接しかつ間隔を置いて設けられた前記第２の駆動部材に取り付けられた第２の磁石（Ｍ２）と、
前記第１および第２の磁石が相互に流体的に絶縁されるように、前記第１の磁石と前記第２の磁石との間に挿間されたハウジング（５８７）と
を含む請求項２の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項４】
前記駆動アセンブリが、前記圧力容器と気密シールを形成するとともに、前記圧力チャンバと流体連通する二次チャンバ（５６５）を規定するハウジング（５８５）を含み、かつ
前記第１の駆動部材が前記二次チャンバ内に配置され、前記第２の駆動部材が前記二次チャンバ外に配置される請求項１の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項５】
前記第１の駆動部材が前記基板ホルダに接続されたシャフト（５６０）を含み、前記駆動アセンブリが前記シャフトと前記ハウジングとの間に挿間された軸受（５８６）をさらに含む請求項４の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項６】
前記駆動アセンブリが前記圧力容器に対して前記基板ホルダを回転させるように動作する請求項１の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項７】
前記加圧された流体を供給する手段が、ＣＯ2流体の供給源を含む請求項１の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項８】
前記ＣＯ2流体の供給源が、高密度相ＣＯ2を含む請求項７の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項９】
前記ＣＯ2流体の供給源が、液体ＣＯ2及び／又は超臨界ＣＯ2を含む請求項８の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項１０】
前記加圧された流体を供給する手段が、前記圧力チャンバ内に少なくとも４００ｐｓｉの圧力でＣＯ2流体を提供するように適合されている請求項７の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項１１】
前記加圧された流体を供給する手段が、前記圧力チャンバ内に約８００ｐｓｉから３０００ｐｓｉまでの圧力でＣＯ2流体を提供するように適合されている請求項１０の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項１２】
前記加圧された流体を供給する手段が、加圧された流体の供給源を収納したタンクを含み、このタンクが圧力チャンバと流体連通する請求項１の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項１３】
前記加圧された流体を供給する手段が、ポンプを含む請求項１２の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項１４】
基板（５）を処理するための圧力チャンバアセンブリ（４００Ｃ）であって、
ａ）密閉圧力チャンバ（４１０）を規定する圧力容器と、
ｂ）前記圧力チャンバ内に配置され、前記基板を保持するように適合された基板ホルダ（５５２）と、
ｃ）前記圧力容器に対して前記基板ホルダを動かすように動作する磁気駆動アセンブリ（５８０）と、
ｄ）周囲大気圧よりも高い圧力に加圧された流体を、前記圧力チャンバ内に供給する手段と
を含む圧力チャンバアセンブリ。
【請求項１５】
前記加圧された流体を供給する手段が、ＣＯ2流体の供給源を含む請求項１４の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項１６】
前記ＣＯ2流体の供給源が、高密度相ＣＯ2を含む請求項１５の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項１７】
前記ＣＯ2流体の供給源が、液体ＣＯ2及び／又は超臨界ＣＯ2を含む請求項１６の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項１８】
前記加圧された流体を供給する手段が、前記圧力チャンバ内に少なくとも４００ｐｓｉの圧力でＣＯ2流体を提供するように適合されている請求項１５の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項１９】
前記加圧された流体を供給する手段が、前記圧力チャンバ内に約８００ｐｓｉから３０００ｐｓｉまでの圧力でＣＯ2流体を提供するように適合されている請求項１８の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項２０】
前記加圧された流体を供給する手段が、加圧された流体の供給源を収納したタンクを含み、このタンクが圧力チャンバと流体連通する請求項１４の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項２１】
前記加圧された流体を供給する手段が、ポンプを含む請求項２０の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項２２】
基板（５）を処理するための圧力チャンバアセンブリ（４００Ｃ）であって、
ａ）密閉圧力チャンバ（４１０）を規定する圧力容器と、前記圧力チャンバと流体連通する外部開口（５６７）と、
ｂ）前記圧力チャンバ内に配置され、前記基板を保持するようにされた基板ホルダ（５５２）と、および
ｃ）前記圧力容器に対して前記基板ホルダを動かすように動作するとともに、前記圧力チャンバの前記外部開口を密閉するように前記外部開口を覆うハウジング（５８５）を含む駆動アセンブリ（５８０）と、
ｄ）周囲大気圧よりも高い圧力に加圧された流体を、前記圧力チャンバ内に供給する手段と
を含む圧力チャンバアセンブリ。
【請求項２３】
前記駆動アセンブリが、前記外部開口まで延在するとともに前記基板ホルダに接続された駆動部材（５６０）を含む請求項２２の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項２４】
前記加圧された流体を供給する手段が、ＣＯ2流体の供給源を含む請求項２２の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項２５】
前記ＣＯ2流体の供給源が、高密度相ＣＯ2を含む請求項２４の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項２６】
前記ＣＯ2流体の供給源が、液体ＣＯ2及び／又は超臨界ＣＯ2を含む請求項２５の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項２７】
前記加圧された流体を供給する手段が、前記圧力チャンバ内に少なくとも４００ｐｓｉの圧力でＣＯ2流体を提供するように適合されている請求項２４の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項２８】
前記加圧された流体を供給する手段が、前記圧力チャンバ内に約８００ｐｓｉから３０００ｐｓｉまでの圧力でＣＯ2流体を提供するように適合されている請求項２７の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項２９】
前記加圧された流体を供給する手段が、加圧された流体の供給源を収納したタンクを含み、このタンクが圧力チャンバと流体連通する請求項２２の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項３０】
前記加圧された流体を供給する手段が、ポンプを含む請求項２９の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項３１】
基板（５）を処理するための圧力チャンバアセンブリ（４００Ｃ）であって、前記圧力チャンバアセンブリは、
ａ）密閉圧力チャンバ（４１０）を規定する圧力容器と、
ｂ）前記圧力チャンバ内に配置され、前記基板を保持するように適合された基板ホルダ（５５２）と、
ｃ）前記基板ホルダを動かすように動作する駆動アセンブリ（５８０）と、
ｄ）前記圧力チャンバと流体連通するＣＯ2流体の供給源と
を含み、前記駆動アセンブリは、
前記圧力容器に対して基板ホルダとともに動く、基板ホルダに接続された第１の駆動部材（５９０）と、
前記第１の駆動部材および前記圧力チャンバから流体的に絶縁された第２の駆動部材（５９２）と、
前記第２の駆動部材を動かすように動作し、前記第１の駆動部材および前記圧力チャンバから流体的に絶縁された駆動ユニット（５８２）と
を含み、前記駆動ユニットが前記第１および第２の駆動部材を介して前記基板ホルダを動かすことができるように、前記第２の駆動部材が前記第１の駆動部材と非機械的に連結する圧力チャンバアセンブリ。
【請求項３２】
前記ＣＯ2流体の供給源を収納したタンクを含み、このタンク内の前記ＣＯ2流体の供給源が、周囲大気圧よりも高い圧力に維持される請求項３１の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項３３】
前記ＣＯ2流体の供給源が、高密度相ＣＯ2を含む請求項３２の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項３４】
前記タンク内の前記ＣＯ2流体の供給源が、少なくとも４００ｐｓｉの圧力に加圧されている請求項３２の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項３５】
基板（５）を処理するための圧力チャンバアセンブリ（４００Ｃ）であって、
ａ）密閉圧力チャンバ（４１０）を規定する圧力容器と、
ｂ）前記圧力チャンバ内に配置され、前記基板を保持するように適合された基板ホルダ（５５２）と、
ｃ）前記圧力容器に対して前記基板ホルダを動かすように動作する磁気駆動アセンブリ（５８０）と、
ｄ）前記圧力チャンバと流体連通するＣＯ2流体の供給源と
を含む圧力チャンバアセンブリ。
【請求項３６】
前記ＣＯ2流体の供給源を収納したタンクを含み、このタンク内の前記ＣＯ2流体の供給源が、周囲大気圧よりも高い圧力に維持される請求項３５の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項３７】
前記ＣＯ2流体の供給源が、高密度相ＣＯ2を含む請求項３６の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項３８】
前記タンク内の前記ＣＯ2流体の供給源が、少なくとも４００ｐｓｉの圧力に加圧されている請求項３６の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項３９】
基板（５）を処理するための圧力チャンバアセンブリ（４００Ｃ）であって、
ａ）密閉圧力チャンバ（４１０）を規定する圧力容器と、前記圧力チャンバと流体連通する外部開口（５６７）と、
ｂ）前記圧力チャンバ内に配置され、前記基板を保持するようにされた基板ホルダ（５５２）と、および
ｃ）前記圧力容器に対して前記基板ホルダを動かすように動作するとともに、前記圧力チャンバの前記外部開口を密閉するように前記外部開口を覆うハウジング（５８５）を含む駆動アセンブリ（５８０）と、
ｄ）前記圧力チャンバと流体連通するＣＯ2流体の供給源と
を含む圧力チャンバアセンブリ。
【請求項４０】
前記ＣＯ2流体の供給源を収納したタンクを含み、このタンク内の前記ＣＯ2流体の供給源が、周囲大気圧よりも高い圧力に維持される請求項３９の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項４１】
前記ＣＯ2流体の供給源が、高密度相ＣＯ2を含む請求項４０の圧力チャンバアセンブリ。
【請求項４２】
前記タンク内の前記ＣＯ2流体の供給源が、少なくとも４００ｐｓｉの圧力に加圧されている請求項４０の圧力チャンバアセンブリ。