【手続補正書】
【提出日】平成17年11月8日(2005.11.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  テトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）と３フッ化窒素（ＮＦ3）とを含む混合物を共留剤の存在下で蒸留する工程を具えたことを特徴とする３フッ化窒素（ＮＦ3）からテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）を分離するための方法。
【請求項２】  前記共留剤の存在下において、テトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）または３フッ化窒素（ＮＦ3）の一方の揮発度が、他方に比較して増大することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】  ａ）  ３フッ化窒素（ＮＦ3）とテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）とを含む前記混合物を前記共留剤と接触させて、第２の混合物を形成する工程と、
ｂ）  前記第２の混合物を蒸留する工程と、
ｃ）  テトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）を蒸留塔オーバーヘッド流として回収し、ならびに、共留剤および３フッ化窒素（ＮＦ３）を蒸留塔ボトム流として回収する工程と
を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】  ３フッ化窒素（ＮＦ3）とテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）とを含む前記混合物が、テトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）と３フッ化窒素（ＮＦ3）との共沸性組成物または共沸混合物様組成物であることを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】  前記共留剤は、９５〜９０モル％の亜酸化窒素（Ｎ２Ｏ）と５〜１０モル％のトリフルオロメタン（ＨＦＣ−２３）とから本質的に構成される共沸性組成物または共沸混合物様組成物であり、前記組成物は１３ｐｓｉａ（約８９．６ｋＰａ）における−９０℃から８２４ｐｓｉａ（約５．６８ＭＰａ）における２５℃までの沸点を有することを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項６】  前記共留剤は、７６〜８３モル％の亜酸化窒素（Ｎ２Ｏ）と２４〜１７モル％の塩化水素（ＨＣｌ）とから本質的に構成される共沸性組成物または共沸混合物様組成物であり、前記組成物は１４ｐｓｉａ（約９６．５ｋＰａ）における−９０℃から８２８ｐｓｉａ（約５．７１ＭＰａ）における２５℃までの沸点を有することを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項７】  前記共留剤は、炭化水素類、ヒドロフルオロカーボン類、ヒドロクロロフルオロカーボン類、ヒドロクロロカーボン類、塩化水素、および酸化物類からなる群から選択されることを特徴とする請求項３の方法。
【請求項８】  前記炭化水素類は、エタン、エチレン、プロパンおよびプロピレンからなる群から選択され；前記ヒドロフルオロカーボン類は、フッ化メチル（ＨＦＣ−４１）、ジフルオロメタン（ＨＦＣ−３２）、１，１，１−トリフルオロエタン（ＨＦＣ−１４３ａ）、ペンタフルオロエタン（ＨＦＣ−１２５）、およびフルオロエタン（ＨＦＣ−１６１）からなる群から選択され；前記ヒドロクロロフルオロカーボン類は、クロロジフルオロメタン（ＨＣＦＣ−２２）であり；前記ヒドロクロロカーボン類は、塩化メチル（ＨＣＣ−４０）であり；および前記酸化物類は、二酸化炭素（ＣＯ2）および亜酸化窒素（Ｎ2Ｏ）からなる群から選択されることを特徴とする請求項７の方法。
【請求項９】  テトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）と３フッ化窒素（ＮＦ3）とを含む前記混合物が、
ａ）  前記混合物を共留剤としての塩化水素（ＨＣｌ）と接触させて、第２の混合物を形成する工程と、
ｂ）  前記第２の混合物を蒸留する工程と、
ｃ）  塩化水素（ＨＣｌ）およびテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）の共沸性組成物または共沸混合物様組成物を蒸留塔オーバーヘッド流として回収し、および実質的に純粋な３フッ化窒素（ＮＦ３）を蒸留塔ボトム流として回収する工程と
によって分離されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１０】  前記共沸性組成物または共沸混合物様組成物は、７〜９モル％の塩化水素（ＨＣｌ）と９３〜９１モル％のテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）とから本質的に構成され、前記組成物は７７ｐｓｉａ（約５３１ｋＰａ）における−１００℃から４９７ｐｓｉａ（約３．４３ＭＰａ）における−５０℃までの沸点を有することを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】  ３フッ化窒素（ＮＦ3）またはテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）が、不純物を実質的に含まずに回収されることを特徴とする請求項１または３に記載の方法。
【請求項１２】  ３フッ化窒素（ＮＦ3）が、約１０ｐｐｍ−モル濃度未満の不純物を含んで回収されることを特徴とする請求項１または３に記載の方法。
【請求項１３】  前記３フッ化窒素（ＮＦ3）が、テトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）を実質的に含まずに回収されることを特徴とする請求項１または３に記載の方法。
【請求項１４】  前記３フッ化窒素（ＮＦ3）が、１０ｐｐｍ−モル濃度未満のテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）を含んで回収されることを特徴とする請求項１または３に記載の方法。
【請求項１５】  前記３フッ化窒素（ＮＦ3）が、３ｐｐｍ−モル濃度未満のテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）を含んで回収されることを特徴とする請求項１または３に記載の方法。
【請求項１６】  前記３フッ化窒素（ＮＦ3）が、１ｐｐｍ−モル濃度未満のテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）を含んで回収されることを特徴とする請求項１または３に記載の方法。
【請求項１７】  テトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）および３フッ化窒素（ＮＦ3）からなる群から選択されるフルオロ化合物と他の化合物とを含む第１の混合物から、前記フルオロ化合物を分離する方法であって：
ａ）  前記第１の混合物を塩化水素（ＨＣｌ）共留剤と接触させて、第２の混合物を形成する工程と、
ｂ）  前記第２の混合物を蒸留して、前記フルオロ化合物と塩化水素（ＨＣｌ）とを含む共沸性組成物または共沸混合物様組成物を形成する工程と、
ｃ）前記フルオロ化合物と塩化水素（ＨＣｌ）とを含む前記共沸性組成物または共沸混合物様組成物を蒸留塔オーバーヘッド流として回収し、および前記他の化合物を蒸留塔ボトム流として回収する工程と
を具えたことを特徴とする方法。
【請求項１８】  前記フルオロ化合物が３フッ化窒素（ＮＦ3）であり、および前記共沸性組成物または共沸混合物様組成物は、９４〜９３モル％の３フッ化窒素（ＮＦ3）と６〜７モル％の塩化水素（ＨＣｌ）とから本質的に構成され、前記組成物は７９ｐｓｉａ（約５４５ｋＰａ）における−１００℃から４８７ｐｓｉａ（約３．３６ＭＰａ）における−５０℃までの沸点を有することを特徴とする請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】  前記他の化合物は、ヘキサフルオロエタン（ＰＦＣ−１１６）、オクタフルオロプロパン（ＰＦＣ−２１８）、二酸化炭素（ＣＯ２）、６フッ化硫黄（ＳＦ６）、亜酸化窒素（Ｎ２Ｏ）、エタン（Ｃ２Ｈ６）およびテトラフルオロエチレン（Ｃ２Ｆ４）からなる群から選択されることを特徴とする請求項１７に記載の方法。
【請求項２０】  前記フルオロ化合物が、前記他の化合物を実質的に含まずに回収されることを特徴とする請求項１７に記載の方法。
【請求項２１】  前記３フッ化窒素（ＮＦ3）が、１０ｐｐｍ−モル濃度未満の前記他の化合物を含んで回収されることを特徴とする請求項１７に記載の方法。
【請求項２２】  ３フッ化窒素（ＮＦ3）およびテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）の第１の混合物から３フッ化窒素（ＮＦ3）を分離する方法であって、前記第１の混合物中の３フッ化窒素（ＮＦ3）の量は、３フッ化窒素（ＮＦ3）およびテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）の共沸性組成物または共沸混合物様組成物中の３フッ化窒素（ＮＦ3）の量を越えており、前記方法は：
ａ）  前記第１の混合物を蒸留して、第２の混合物として３フッ化窒素（ＮＦ3）およびテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）の共沸性組成物または共沸混合物様組成物を形成する工程と、
ｂ）  前記第２の混合物を蒸留塔オーバーヘッド流として回収し、および３フッ化窒素（ＮＦ3）を蒸留塔ボトム流として回収する工程と
を具えたことを特徴とする方法。
【請求項２３】  ３フッ化窒素（ＮＦ3）およびテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）の第１の混合物からテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）を分離する方法であって、前記第１の混合物中のテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）の量は、３フッ化窒素（ＮＦ3）およびテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）の共沸性組成物または共沸混合物様組成物中のテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）の量を越えており、前記方法は：
前記第１の混合物を蒸留して、第２の混合物として３フッ化窒素（ＮＦ3）およびテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）の共沸性組成物または共沸混合物様組成物を形成する工程と、
前記第２の混合物を蒸留塔オーバーヘッド流として回収し、およびテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）を蒸留塔ボトム流として回収する工程と
を具えたことを特徴とする方法。
【請求項２４】  前記共沸性組成物または共沸混合物様組成物は、２０〜５５モル％のテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）と８０〜４５モル％の３フッ化窒素（ＮＦ3）とから本質的に構成され、前記組成物は４７ｐｓｉａ（約３２４ｋＰａ）における−１１０℃から６４５ｐｓｉａ（約４．４５ＭＰａ）における−４０℃までの沸点を有することを特徴とする請求項２２または２３に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
図２は、本発明の抽出蒸留プロセスの態様を実施するために用いることができる系を概略的に図示する。ＮＦ3およびＰＦＣ−１４を含む第１の混合物は、導管２８を経由して蒸留塔２９に供給される。少なくとも１つの共留剤（たとえばエタン）は導管３０を経由して分離される混合物（たとえばＰＦＣ−１４およびＮＦ3）の供給点よりも高い塔内の供給点において、蒸留塔２９に供給される。塔からのオーバーヘッド留出物は導管３１を経由して、凝縮器３２に供給される。凝縮された留出物流の一部は、導管３３を経由して、還流として蒸留塔２９へと戻される。凝縮された留出物の残余は、ＮＦ3およびエタンを実質的に持たないＰＦＣ−１４生成物として導管３４を経由して回収される。ＰＦＣ−１４を実質的に持たないエタンおよびＮＦ3を含む流れは、導管３５を経由して蒸留塔２９ボトムから回収され、および生成物として回収してもよい。あるいはまた、塔ボトム流３５を、任意選択の凝縮器３６へ送り、およびそこから蒸留塔３７に供給してもよく、その蒸留塔３７は共留剤から共留剤以外の化合物を取り除くように運転される。塔３７からの留出物は、導管３８を経由して凝縮器３９へと供給されてもよい。凝縮器３９から、凝縮された留出物のいくらかの量は、導管４０を経由して還流として塔３７へと戻してもよく、同時に残余は、たとえばＰＦＣ−１４および抽出剤を実質的に持たないＮＦ3のような生成物として導管４１を経由して回収される。流れ３５における非エタン化合物の濃度に比較して減少された非エタン化合物の濃度を有する抽出剤（たとえばエタン）が、蒸留塔ボトム４２として得られる。流れ４２を、必要に応じて冷却器４３へ供給して、そして次に抽出剤供給物として蒸留塔２９へと戻し、分離される混合物（たとえばＰＦＣ−１４およびＮＦ3）の供給点よりも高い塔の供給点において供給してもよいし、あるいは必要に応じて流れ３０と混合してもよい。
以下に、本発明の好ましい態様を示す。
１．  １０百万分率モル濃度未満の不純物を含有する３フッ化窒素（ＮＦ3）。
２．  １０百万分率モル濃度未満のフッ素化された不純物を含有する３フッ化窒素（ＮＦ3）。
３．  １０百万分率モル濃度未満のテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）を含有する３フッ化窒素（ＮＦ3）。
４．  ３百万分率モル濃度未満のテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）を含有する３フッ化窒素（ＮＦ3）。
５．  百万分率モル濃度未満のテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）を含有する３フッ化窒素（ＮＦ3）。
６．  ９９．９９９モル％純粋な３フッ化窒素（ＮＦ3）。
７．  ９９．９９９９モル％純粋な３フッ化窒素（ＮＦ3）。
８．  約２０から約５５モル％のテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）および約８０から約４５モル％の３フッ化窒素（ＮＦ3）から本質的に構成される共沸性組成物または共沸混合物様組成物であって、前記組成物は４７ｐｓｉａにおける約−１１０℃から６４５ｐｓｉａにおける約−４０℃までの沸点を有することを特徴とする共沸性組成物または共沸混合物様組成物。
９．  約７から約９モル％の塩化水素（ＨＣｌ）および約９３から約９１モル％のテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）から本質的に構成される共沸性組成物または共沸混合物様組成物であって、前記組成物は７７ｐｓｉａにおける約−１００℃から４９７ｐｓｉａにおける約−５０℃までの沸点を有することを特徴とする共沸性組成物または共沸混合物様組成物。
１０．  約９４から約９３モル％の３フッ化窒素（ＮＦ3）および約６から約７モル％の塩化水素（ＨＣｌ）から本質的に構成される共沸性組成物または共沸混合物様組成物であって、前記組成物は７９ｐｓｉａにおける約−１００℃から４８７ｐｓｉａにおける約−５０℃までの沸点を有することを特徴とする共沸性組成物または共沸混合物様組成物。
１１．  約９５から約９０モル％の亜酸化窒素（Ｎ2Ｏ）および約５から約１０モル％のトリフルオロメタン（ＨＦＣ−２３）から本質的に構成される共沸性組成物または共沸混合物様組成物であって、前記組成物は１３ｐｓｉａにおける約−９０℃から８２４ｐｓｉａにおける約２５℃までの沸点を有することを特徴とする共沸性組成物または共沸混合物様組成物。
１２．  約７６から約８３モル％の亜酸化窒素（Ｎ2Ｏ）および約２４から約１７モル％の塩化水素（ＨＣｌ）から本質的に構成される共沸性組成物または共沸混合物様組成物であって、前記組成物は１４ｐｓｉａにおける約−９０℃から８２８ｐｓｉａにおける約２５℃までの沸点を有することを特徴とする共沸性組成物または共沸混合物様組成物。
１３．  ３フッ化窒素（ＮＦ3）とテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）とを含む第１の混合物から３フッ化窒素（ＮＦ3）を分離するための方法であって、そこで前記第１の混合物中の３フッ化窒素（ＮＦ3）の量は、３フッ化窒素（ＮＦ3）とテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）とを含む共沸性組成物または共沸混合物様組成物における３フッ化窒素（ＮＦ3）の量を超過しており、前記方法は：
第１の混合物を蒸留して、３フッ化窒素（ＮＦ3）とテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）とを含む共沸性組成物または共沸混合物様組成物を含む第２の混合物を形成する工程と、
前記第２の混合物を蒸留塔オーバーヘッド流として回収する工程と、
蒸留塔ボトム流として３フッ化窒素（ＮＦ3）を回収する工程と
を具えたことを特徴とする方法。
１４．  ３フッ化窒素（ＮＦ3）とテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）とを含む第１の混合物から３フッ化窒素（ＮＦ3）を分離するための方法であって、そこで前記第１の混合物中のテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）の量は、３フッ化窒素（ＮＦ3）とテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）とを含む共沸性組成物または共沸混合物様組成物におけるテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）の量を超過しており、前記方法は：
第１の混合物を蒸留して、３フッ化窒素（ＮＦ3）とテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）とを含む共沸性組成物または共沸混合物様組成物を含む第２の混合物を形成する工程と、
前記第２の混合物を蒸留塔オーバーヘッド流として回収する工程と、
蒸留塔ボトム流としてテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）を回収する工程と
を具えたことを特徴とする方法。
１５．  テトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）と３フッ化窒素（ＮＦ3）とを含む混合物を共留剤の存在下で蒸留する工程を具えたことを特徴とする３フッ化窒素（ＮＦ3）からテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）を分離するための方法。
１６．  共留剤の存在下において、テトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）または３フッ化窒素（ＮＦ3）の一方の揮発度が、他方に比較して増大することを特徴とする１５．に記載の方法。
１７．  テトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）と３フッ化窒素（ＮＦ3）とからなる群から選択されるフルオロ化合物を、前記フルオロ化合物と他の化合物とを有する第１の混合物から分離する方法であって、前記方法は：
前記第１の混合物を塩化水素（ＨＣｌ）と接触させて、第２の混合物を形成する工程と、
前記第２の混合物を蒸留して、フルオロ化合物と塩化水素（ＨＣｌ）とを含む共沸性組成物または共沸混合物様組成物を形成し、および前記共沸性組成物または共沸混合物様組成物を蒸留塔オーバーヘッド流として回収する工程と
を具えたことを特徴とする方法。
１８．  テトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）および３フッ化窒素（ＮＦ3）を含む第１の混合物からテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）を分離する方法であって、前記方法は：
前記第１の混合物を塩化水素（ＨＣｌ）と接触させて、第２の混合物を形成する工程と、
前記第２の混合物を蒸留して、塩化水素（ＨＣｌ）と３フッ化窒素（ＮＦ3）とを含む共沸性組成物または共沸混合物様組成物を蒸留塔オーバーヘッド流として回収する工程と、
テトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）を含む組成物を、蒸留塔ボトム流として回収する工程と
を具えたことを特徴とする方法。
１９．  テトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）および３フッ化窒素（ＮＦ3）を含む第１の混合物から３フッ化窒素（ＮＦ3）を分離する方法であって、前記方法は：
前記第１の混合物を塩化水素（ＨＣｌ）と接触させて、第２の混合物を形成する工程と、
前記第２の混合物を蒸留して、塩化水素（ＨＣｌ）とテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）とを含む共沸性組成物または共沸混合物様組成物を蒸留塔オーバーヘッド流として回収する工程と、
３フッ化窒素（ＮＦ3）を含む組成物を、蒸留塔ボトム流として回収する工程と
を具えたことを特徴とする方法。
２０．  ３フッ化窒素（ＮＦ3）およびテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）を含む第１の混合物を共留剤と接触させて第２の混合物を形成する工程と、
前記第２の混合物を蒸留し、そしてテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）を含む蒸留塔オーバーヘッド流と、共留剤および３フッ化窒素（ＮＦ3）を含む蒸留塔ボトム流とを回収する工程と
を具えたことを特徴とする３フッ化窒素（ＮＦ3）とテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）とを分離するための方法。
２１．  前記第１の混合物は、３フッ化窒素（ＮＦ3）とテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）とを有する共沸性組成物または共沸混合物様組成物を含むことを特徴とする２０．の方法。
２２．  前記共留剤は、炭化水素類、ヒドロフルオロカーボン類、ヒドロクロロフルオロカーボン類、ヒドロクロロカーボン類、塩化水素、および酸化物類からなる群から選択されることを特徴とする２０．の方法。
２３．  前記炭化水素類は、エタン、エチレン、プロパンおよびプロピレンからなる群から選択され；前記ヒドロフルオロカーボン類は、フッ化メチル（ＨＦＣ−４１）、ジフルオロメタン（ＨＦＣ−３２）、１，１，１−トリフルオロエタン（ＨＦＣ−１４３ａ）、ペンタフルオロエタン（ＨＦＣ−１２５）、およびフルオロエタン（ＨＦＣ−１６１）からなる群から選択され；前記ヒドロクロロフルオロカーボン類は、クロロジフルオロメタン（ＨＣＦＣ−２２）からなる群から選択され；前記ヒドロクロロカーボン類は、塩化メチル（ＨＣＣ−４０）からなる群から選択され；および前記酸化物類は、二酸化炭素（ＣＯ2）および亜酸化窒素（Ｎ2Ｏ）からなる群から選択されることを特徴とする２２．の方法。
２４．  ３フッ化窒素（ＮＦ3）またはテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）は、不純物を実質的に持たずに回収されることを特徴とする１５．、１８．、１９．、または２０．の方法。
２５．  ３フッ化窒素（ＮＦ3）またはテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）は、フッ素化された不純物を実質的に持たずに回収されることを特徴とする１５．、１８．、１９．、または２０．の方法。
２６．  ３フッ化窒素（ＮＦ3）は、テトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）を実質的に持たずに回収されることを特徴とする１５．、１８．、１９．、または２０．の方法。
２７．  ３フッ化窒素（ＮＦ3）は、１０ｐｐｍ−モル濃度未満の不純物を含有して回収されることを特徴とする２５．または２６．の方法。
２８．  ３フッ化窒素（ＮＦ3）は、１０ｐｐｍ−モル濃度未満のテトラフルオロメタン（ＰＦＣ−１４）を含有して回収されることを特徴とする２５．または２６．の方法。