(57)【要約】【課題】太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法を提供する。【解決手段】本発明の太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法について、透明な導電膜にバリア層が形成される工程と、前記バリア層に第一マスクが形成される工程であって、前記第一マスクにより一部の前記バリア層が被覆される、工程と、前記バリア層に対してエッチングが施されて前記第一マスクにより被覆されていない部分が除去され、且つ前記第一マスクにより被覆される部分が残留する工程と、前記第一マスクが除去されて、前記残留するバリア層が露出される工程と、前記透明な導電膜に第二マスクが形成される工程であって、前記第二マスクは前記残留するバリア層の少なくとも一部分が露出される開口部を有する、工程と、前記開口部中のバリア層に電気めっきにより銅層が形成される工程と、前記銅層に電気めっきにより保護層が形成される工程と、前記保護層が形成された後に前記第二マスクが除去される工程と、を含む。【選択図】図３ｆ−１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明な導電膜にバリア層が形成される工程と、
前記バリア層に第一マスクが形成される工程であって、前記第一マスクにより一部の前記バリア層が被覆される、工程と、
前記バリア層に対してエッチングが施されて前記第一マスクにより被覆されていない部分が除去され、且つ前記第一マスクにより被覆される部分が残留する工程と、
前記第一マスクが除去されて、前記残留するバリア層が露出される工程と、
前記透明な導電膜に第二マスクが形成される工程であって、前記第二マスクは前記残留するバリア層の少なくとも一部分が露出される開口部を有する、工程と、
前記開口部中のバリア層に電気めっきにより銅層が形成される工程と、
前記銅層に電気めっきにより保護層が形成される工程と、
前記保護層が形成された後に前記第二マスクが除去される工程と、
を含むことを特徴とする太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法。
【請求項２】
前記残留するバリア層は、上面を有し、且つ前記第二マスクにより前記上面の少なくとも一縁端部分が遮蔽されることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法。
【請求項３】
前記残留するバリア層は上面及び前記上面に連接される複数の側面を有し、前記複数の側面の少なくとも一部分は前記第二マスクにより遮蔽されないことを特徴とする、請求項１に記載の透明な導電膜太陽電池の透明な導電膜に電気めっきの工程を実施する方法。
【請求項４】
前記残留するバリア層は上面及び前記上面に連接される複数の側面を有し、前記複数の側面は前記第二マスクにより完全に遮蔽されることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法。
【請求項５】
前記透明な導電膜は酸化インジウムスズで製造されることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法。
【請求項６】
前記バリア層はニッケル或いはチタンを含むことを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法。
【請求項７】
前記保護層はスズ或いは銀を含むことを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法。
【請求項８】
透明な導電膜にバリア層が形成される工程と、
前記バリア層に第一マスクが形成される工程であって、前記第一マスクは前記バリア層の少なくとも一部分が露出される開口部を有する、工程と、
前記開口部中のバリア層に電気めっきにより銅層が形成される工程と、
前記銅層に電気めっきにより保護層が形成される工程と、
前記保護層が形成された後に前記第一マスクが除去される工程と、
第二マスクが形成されることで前記保護層及び前記銅層が被覆される工程と、
前記バリア層に対してエッチングが施されて、前記第二マスクにより被覆されていない部分が除去される工程と、
前記エッチングの後に前記第二マスクが除去される工程と、
を含むことを特徴とする太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法。
【請求項９】
前記透明な導電膜は酸化インジウムスズで製造されることを特徴とする、請求項８に記載の太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法。
【請求項１０】
前記バリア層はニッケル或いはチタンを含むことを特徴とする、請求項８に記載の太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法。
【請求項１１】
前記保護層はスズ或いは銀を含むことを特徴とする、請求項８に記載の太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明な導電膜に電気めっきを実施し、太陽電池の電極を形成する方法に関する。本技術の特徴は、二段階のマスクの製造に電気めっき工程を組み合わせることにより、金属電極構造のパターンを精確に制御して形成される。前記方式により、製造過程でエッチング剤のサイドエッチングにより発生する「アンダーカット」(undercut)現象のため、エッチングによってバリア層に精確にパターンを形成できなくなる事態を有効に回避することができる。これにより、最終的に形成される金属電極構造がエッチング剤により浸食されない、太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、化石燃料の欠乏及びエネルギーの需要量の高まりを受けて、再生エネルギー(Renewable energy)の開発が非常に重要な課題となっている。再生エネルギーとは、永続的に使用でき、汚染のない天然エネルギーを指し、太陽光エネルギー、風力エネルギー、水力エネルギー、潮力エネルギー、バイオマスエネルギー等がある。その中でも、太陽光エネルギーの開発はエネルギー開発の研究において重要でこの数年において非常に期待されている。太陽電池は太陽光エネルギーを電気エネルギーに変換させる装置である。
【０００３】
従来の結晶シリコン太陽電池は主に、光エネルギーを電気エネルギーに変換させる基板と、電流の伝導に用いられる前面電極及び背面電極とを備える。前述の前面電極及び背面電極は、製造工程で、電気めっき或いはスクリーン印刷方式により形成される。
【０００４】
図１は従来の太陽電池の構成を示す概略図である。従来の太陽電池は、単結晶或いは多結晶のシリコン基板１１０を備え、前記シリコン基板１１０のドーピングの型はＮ型である。シリコン基板１１０は受光面１１１及び前記受光面１１１に対する背面１１２を有する。受光面１１１及び背面１１２には真性の水素化アモルファスシリコン(intrinsic hydrogenated amorphous silicon; i a-Si:H)層１２１及び１２２が各々形成される。真性の水素化アモルファスシリコン層１２１にはシリコン基板１１０とは異なるドーピングの型のＰ＋水素化アモルファスシリコン層１３０が形成されてエミッタとなり、ｐ‐ｎ接合(p-n junction)が形成される。真性の水素化アモルファスシリコン層１２２にはシリコン基板１１０と同じドーピングの型のＮ＋水素化アモルファスシリコン層１４０が形成されて裏面電界(Back Surface Field; BSF)となる。Ｐ＋水素化アモルファスシリコン層１３０及びＮ＋水素化アモルファスシリコン層１４０には透明な導電膜１５１及び１５２が各々形成され、例えば、酸化インジウムスズ(Indium Tin Oxide; ITO)で製造される透明な導電膜等である。透明な導電膜１５１には前面電極１７０が形成され、透明な導電膜１５２には背面電極１８０が形成される。
【０００５】
なお、図２は上述した太陽電池の前面電極１７０を示す詳細な構造である。前面電極１７０は電気めっき方式により形成され、バリア層(barrier layer)１７１と、銅層１７２と、保護層１７３とを備える。バリア層１７１は透明な導電膜１５１で成長し、銅層１７２の銅がシリコン基板１１０に拡散しないように防止させる。銅層１７２はバリア層１７１に電気めっきされ、保護層１７３は銅層１７２に形成され、銅層１７２の酸化を防止させる。
【０００６】
上述の前面電極１７０の製造方法は、先ずスパッタリング或いは物理的気相成長等の方式により透明な導電膜１５１上で一層の連続的なニッケル層或いはチタン層を成長させ、後続のバリア層１７１の形成に用いられる。その後、上述のニッケル層或いはチタン層上でパターン化されたマスクを成長させ、前記マスクはパターン化された開口部を有し、銅層１７２のバリア層１７１上での位置に対応させる。続いて、マスクが酸性の銅を含む電気めっき液に浸され、マスク開口部内のニッケル層或いはチタン層で電気めっきにより銅層１７２が形成される。銅層１７２が形成された後、電気めっき方式により銅層１７２にスズ層或いは銀層が形成されて保護層１７３となる。次に、アルカリ性溶液によりマスクが除去され、ニッケル層或いはチタン層が露出される。そして、酸性エッチング液や酸化剤等のエッチング剤によりニッケル層或いはチタン層に対してエッチングが施され、銅層１７２の真下の外にある連続的なニッケル層或いはチタン層の他の部分が除去され、すなわち、ニッケル層或いはチタン層が銅層１７２の下方の外にある部分が除去され、銅層１７２の下方に位置される部分のみが保留され、前面電極１７０のバリア層１７１が形成される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、前述した従来の技術では、上述のように、バリア層１７１が形成され、ニッケル層或いはチタン層に対するエッチングに使用されるエッチング剤が先に形成された銅層１７２及び保護層１７３に接触されることで浸食され、且つニッケル層或いはチタン層の銅層１７２の真下に位置される部分がエッチング剤のサイドエッチングによって「アンダーカット」(undercut)現象が発生することで、バリア層１７１に必要なパターンが精確に形成されなくなる。
【０００８】
そこで、本発明者は上記の欠点が改善可能と考え、鋭意検討を重ねた結果、合理的設計で上記の課題を効果的に改善する本発明の提案に到った。
【０００９】
本発明は、以上の従来技術の課題を解決する為になされたものである。即ち、本発明は、太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の第１実施形態に係る太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法は、
透明な導電膜にバリア層が形成される工程と、
前記バリア層に第一マスクが形成される工程であって、前記第一マスクにより一部の前記バリア層が被覆されることと、
前記バリア層に対してエッチングが施されて前記第一マスクにより被覆されていない部分が除去され、且つ前記第一マスクにより被覆される部分が残留する工程と、
前記第一マスクが除去されて、前記残留するバリア層が露出される工程と、
前記透明な導電膜に第二マスクが形成される工程であって、前記第二マスクは前記残留するバリア層の少なくとも一部分が露出される開口部を有する、工程と、
前記開口部中のバリア層に電気めっきにより銅層が形成される工程と、
前記銅層に電気めっきにより保護層が形成される工程と、
前記保護層が形成された後に前記第二マスクが除去される工程と、
を含むことを特徴とする。
【００１１】
本発明の第１実施形態に係る太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法において、銅層が電気めっきにより形成された後には如何なるエッチングプロセスも行う必要がなく、このため、銅層及び保護層がエッチング剤により浸食されることがなくなる。また、エッチングプロセスは銅層及び保護層の形成前に実施されるため、エッチング剤の選択において銅層及び保護層が浸食されるかどうかを考慮する必要がなくなり、使用されるエッチング剤にはバリア層に対して高いエッチング率のものを選択して、エッチングの速度を加速させることができる。
【００１２】
また、本発明の第２実施形態に係る太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法は、
透明な導電膜にバリア層が形成される工程と、
前記バリア層に第一マスクが形成される工程であって、前記第一マスクは前記バリア層の少なくとも一部分が露出される開口部を有する、工程と、
前記開口部中のバリア層に電気めっきにより銅層が形成される工程と、
前記銅層に電気めっきにより保護層が形成される工程と、
前記保護層が形成された後に前記第一マスクが除去される工程と、
第二マスクが形成されることで前記保護層及び前記銅層が被覆される工程と、
前記バリア層に対してエッチングが施されて、前記第二マスクにより被覆されていない部分が除去される工程と、
前記エッチングの後に前記第二マスクが除去される工程と、
を含むことを特徴とする。
【００１３】
本発明の第２実施形態に係る太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法において、銅層及び保護層は第二マスクで被覆されるため、エッチング剤により浸食されない。また、銅層及び保護層はエッチング剤に接触されないため、エッチング剤の選択において銅層及び保護層が浸食されるかどうかを考慮する必要がなくなり、使用されるエッチング剤はバリア層に対して高いエッチング率のものを選択して、エッチングの速度を加速させることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、図１に示す太陽電池の電極が形成される。但し、これに限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】従来の太陽電池の構成を示す概略図である。
【図２】図１に示すＡ部分を示す一部の拡大図である。
【図３ａ】本発明の第１実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【図３ｂ】本発明の第１実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【図３ｃ】本発明の第１実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【図３ｄ】本発明の第１実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【図３ｅ−１】本発明の第１実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【図３ｅ−２】本発明の第１実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【図３ｅ−３】本発明の第１実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【図３ｆ−１】本発明の第１実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【図３ｆ−２】本発明の第１実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【図３ｆ−３】本発明の第１実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【図３ｇ−１】本発明の第１実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【図３ｇ−２】本発明の第１実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【図３ｇ−３】本発明の第１実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【図４ａ】本発明の第２実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【図４ｂ】本発明の第２実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【図４ｃ】本発明の第２実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【図４ｄ】本発明の第２実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【図４ｅ】本発明の第２実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【図４ｆ】本発明の第２実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【図４ｇ】本発明の第２実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明における好適な実施の形態について、添付図面を参照して説明する。尚、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を限定するものではない。また、以下に説明される構成の全てが、本発明の必須要件であるとは限らない。
【実施形態】
【００１７】
（第１実施形態）
まず、本発明の太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法の実施形態について説明する。図３ａ乃至図３ｇ‐３は本発明の第１実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法である。まず、透明な導電膜２１０が提供され、且つ前記透明な導電膜２１０で一層の連続的なバリア層２２０が成長する。ある実施形態において、透明な導電膜２１０は酸化インジウムスズ(Indium Tin Oxide; ITO)で製造される透明な導電膜であり、連続的なバリア層２２０はニッケル層或いはチタン層等の金属層であり、スパッタリングや物理的気相成長(Physical Vapor Deposition; PVD)等の方式で形成される（図３ａ参照）。
【００１８】
その後、バリア層２２０上で第一マスク２９１が成長し、前記第一マスク２９１は一部のバリア層２２０を被覆させる。すなわち、第一マスク２９１はバリア層２２０の少なくとも一部分を被覆させ、且つバリア層２２０の他の部分が露出される（図３ｂ参照）。ちなみに、第一マスク２９１は本実施形態では１つで例示するが、１つのみに限定するわけではない。
【００１９】
続いて、第一マスク２９１により被覆されるバリア層２２０に対するエッチングが施され、バリア層２２０の第一マスク２９１により被覆されない部分がエッチングされて、第一マスク２９１に被覆される部分のみが残留する。ちなみに、バリア層２２０の第一マスク２９１の真下に位置される部分は保留され、第一マスク２９１の真下の外に位置される部分はエッチングされる。ある実施形態において、酸性エッチング液或いは酸化剤等のエッチング剤が使用されて第一マスク２９１により被覆されるバリア層２２０に対してウェットエッチング(wet etching) が施される（図３ｃ参照）。ちなみに、第一マスク２９１を形成させる材質は前記エッチング剤に対して高いエッチング選択比(etch selectivity)を有し、第一マスク２９１が過度にエッチングされて、バリア層２２０が精確にエッチングされなくなり、必要なパターンが形成できなくなる事態を防止させる。
【００２０】
次に、アルカリ性溶液が利用されて第一マスク２９１が除去され、残留するバリア層２２０が露出される（図３ｄ参照）。
【００２１】
図３ｅ‐１、図３ｅ‐２及び図３ｅ‐３に示すように、透明な導電膜２１０で第二マスク２９２が成長する。第二マスク２９２の設置方式は、少なくとも下述の３種類の態様が存在する。第１態様は、第二マスク２９２が開口部２９５を有し、且つ前記開口部２９５により残留するバリア層２２０の全ての上面２２１及び前記上面２２１に連接される全ての複数の側面２２３が露出される（図３ｅ‐１参照）。第２態様は、第二マスク２９２の開口部２９５により残留するバリア層２２０の全ての上面２２１が露出されるが、但し、第二マスク２９２により残留するバリア層２２０の全ての側面２２３が遮蔽され、すなわち、残留するバリア層２２０の全ての上面２２１が露出されるが、全ての側面２２３が第二マスク２９２により遮蔽される（図３ｅ‐２参照）。第３態様は、第二マスク２９２の開口部２９５により残留するバリア層２２０の一部の上面２２１が露出され、且つ第二マスク２９２により残留するバリア層２２０の全ての側面２２３が遮蔽され、すなわち、残留するバリア層２２０の上面２２１の中央部分が露出されるが、上面２２１の縁端部分及び全ての側面２２３が共に第二マスク２９２により遮蔽される（図３ｅ‐３参照）。上述の３種類の態様のほか、第二マスク２９２により一部のみが残留するバリア層２２０の側面２２３を遮蔽させてもよく、開口部２９５により残留するバリア層２２０の一部或いは全ての上面２２１が露出される。
【００２２】
続いて、電気めっき工程が行われ、残留するバリア層２２０が酸性の銅を含む電気めっき液に浸され、第二マスク２９２の開口部２９５内の残留するバリア層２２０に銅層２３０が形成され、前記銅層２３０が形成された後に突出される上面２３１を有する。その後、電気めっき方式により銅層２３０の上面２３１にスズ層或いは銀層が形成されて保護層(capping layer)２４０となり、銅層２３０の酸化を防止させる（図３ｆ‐１、図３ｆ‐２及び図３ｆ‐３参照）。
【００２３】
最後に、アルカリ性溶液により第二マスク２９２が除去され、図３ｇ‐１、図３ｇ‐２或いは図３ｇ‐３に示す構造が形成される。図３ｇ‐１、図３ｇ‐２及び図３ｇ‐３は、図３ｅ‐１、図３ｅ‐２及び図３ｅ‐３に示す工程を経て最終的に形成された構造をそれぞれ図示する。
【００２４】
前述の従来の方法を比較すると、本発明の第１実施形態に係る太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法は、銅層２３０が電気めっきにより形成された後には如何なる金属エッチングプロセスも行う必要がないため、銅層２３０及び保護層２４０がエッチング剤に浸食されない。また、エッチングプロセスは銅層２３０及び保護層２４０の形成前に実施されるため、エッチング剤の選択において銅層２３０及び保護層２４０が浸食されるかどうかを考慮する必要がなくなり、使用されるエッチング剤はバリア層２２０に対して高いエッチング率のものを選択して、エッチングの速度を加速させることができる。
【００２５】
ちなみに、図３ｅ‐１及び図３ｆ‐１に示す工程を経て図３ｇ‐１に示す構造が形成され、保護層２４０が銅層２３０の上面２３１に形成される以外、銅層２３０の側面２３３が被覆され、これにより、銅層２３０の酸化を更に防止させる。
【００２６】
（第２実施形態）
図４ａ乃至図４ｇは本発明の第２実施形態による太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法である。まず、透明な導電膜３１０が提供され、且つ前記透明な導電膜３１０に一層の連続的なバリア層３２０が成長する。ある実施形態において、透明な導電膜３１０は酸化インジウムスズで製造される透明な導電膜であり、連続的なバリア層３２０はニッケル層或いはチタン層等の金属層であり、スパッタリングや物理的気相成長等の方式により形成される（図４ａ参照）。
【００２７】
そして、バリア層３２０に第一マスク３９１が成長し、前記第一マスク３９１は開口部３９５を有し、バリア層３２０の少なくとも一部分が露出される（図４ｂ参照）。ちなみに、開口部３９５は本実施形態では１つで例示するが、但し１つのみに限定するわけではない。
【００２８】
次に、電気めっき工程が行われ、バリア層３２０が酸性の銅を含む電気めっき液に浸され、第一マスク３９１の開口部３９５内のバリア層３２０で銅層３３０が形成され、前記銅層３３０が形成された後に突出される上面３３１を有する。その後、電気めっき方式により銅層３３０の上面３３１にスズ層或いは銀層が形成されて保護層３４０となり、銅層３３０の酸化を防止させる（図４ｃ参照）。
【００２９】
続いて、アルカリ性溶液により第一マスク３９１が除去される（図４ｄ参照）。
【００３０】
そして、保護層３４０に第二マスク３９２が成長し、保護層３４０及び銅層３３０の側面３３３が完全に被覆され、且つ銅層３３０の側にある一部のバリア層３２０が被覆される（図４ｅ参照）。
【００３１】
その後、第二マスク３９２により被覆されるバリア層３２０に対するエッチングが施され、バリア層３２０の第二マスク３９２により被覆されない部分がエッチングされ、第二マスク３９２により被覆される部分、保護層３４０及び銅層３３０が残留する（図４ｆ参照）。ある実施形態において、酸性エッチング液或いは酸化剤等のエッチング剤が使用されて第二マスク３９２により被覆されるバリア層３２０に対するウェットエッチングが行われる。ちなみに、第二マスク３９２を形成させる材質は前記エッチング剤に対して高いエッチング選択比を有するため、第二マスク３９２が過度にエッチングされて、バリア層３２０が精確にエッチングされなくなって必要なパターンが形成されなくなる事態を防止させる。
【００３２】
最後に、アルカリ性溶液により第二マスク３９２が除去され、図４ｇに示す構造が形成される。
【００３３】
前述の従来の方法を比較すると、本発明の第２実施形態に係る太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法は、銅層３３０及び保護層３４０が第二マスク３９２に被覆されることで、エッチング剤により浸食されなくなる。また、銅層３３０及び保護層３４０がエッチング剤に接触されないため、エッチング剤の選択において銅層２３０及び保護層２４０が浸食されるかどうかを考慮する必要がなくなり、使用されるエッチング剤はバリア層３２０に対して高いエッチング率のものを選択して、エッチングの速度を加速させることができる。
【００３４】
本発明に係る太陽電池の透明な導電膜に電気めっき工程を実施する方法は、太陽電池の電極の形成に用いられ、例えば、図１に示す太陽電池の前面電極１７０の形成に用いられるが、但しこれに限定されない。
【００３５】
従って、本明細書に開示された実施形態は、本発明を限定するものではなく、説明するためのものであり、このような実施形態によって本発明の思想と範囲が限定されるものではない。本発明の範囲は特許請求の範囲により解釈すべきであり、それと同等の範囲内にある全ての技術は、本発明の権利範囲に含まれるものと解釈すべきである。
【符号の説明】
【００３６】
１１０  シリコン基板
１１１  受光面
１１２  背面
１２１  真性の水素化アモルファスシリコン層
１２２  真性の水素化アモルファスシリコン層
１３０  Ｐ＋水素化アモルファスシリコン層
１４０  Ｎ＋水素化アモルファスシリコン層
１５１  透明な導電膜
１５２  透明な導電膜
１７０  前面電極
１７１  バリア層
１７２  銅層
１７３  保護層
１８０  背面電極
２１０  透明な導電膜
２２０  バリア層
２２１  上面
２２３  側面
２３０  銅層
２３１  上面
２３３  側面
２４０  保護層
２９１  第一マスク
２９２  第二マスク
２９５  開口部
３１０  透明な導電膜
３２０  バリア層
３３０  銅層
３３１  上面
３３３  側面
３４０  保護層
３９１  第一マスク
３９２  第二マスク
３９５  開口部
【図１】
2017208524.tif 000003
【図２】
2017208524.tif 000004
【図３ａ】
2017208524.tif 000005
【図３ｂ】
2017208524.tif 000006
【図３ｃ】
2017208524.tif 000007
【図３ｄ】
2017208524.tif 000008
【図３ｅ−１】
2017208524.tif 000009
【図３ｅ−２】
2017208524.tif 000010
【図３ｅ−３】
2017208524.tif 000011
【図３ｆ−１】
2017208524.tif 000012
【図３ｆ−２】
2017208524.tif 000013
【図３ｆ−３】
2017208524.tif 000014
【図３ｇ−１】
2017208524.tif 000015
【図３ｇ−２】
2017208524.tif 000016
【図３ｇ−３】
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【図４ａ】
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【図４ｂ】
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【図４ｃ】
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【図４ｄ】
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【図４ｅ】
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【図４ｆ】
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【図４ｇ】
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