【手続補正書】
【提出日】平成17年9月16日(2005.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体エッチング剤内で固体の化学エッチングをリアルタイムで動的に分析するための装置において、
少なくとも２つの時点で前記液体エッチング剤を通して電磁放射線のビームを通過させるために動作する光学素子と、
前記液体エッチング剤の少なくとも１つの光学的特性の少なくとも１つの変化を検出するために、前記電磁放射線のビームがちょうどよいタイミングで前記少なくとも２つの点で、前記電磁放射線のビームが前記液体エッチング剤を通過した後で、前記電磁放射線のビームの所定のスペクトル範囲内の離れた位置で非接触で走査検出を行うために動作する検出装置と、
前記固体のエッチング速度を提供するために、前記検出装置から受信した前記液体エッチング剤の前記少なくとも１つの光学的特性の前記少なくとも１つの変化を比較するために動作するプロセッサとから成る装置。
【請求項２】
前記光学素子が、
ｉ）前記電磁放射線のビームを放射するために動作し、さらに、電磁放射線の基準ビームを放射するように構成される電磁放射線源と、
ｉｉ）前記電磁放射線源から前記液体エッチング剤のサンプルを含むサンプリング素子を通して前記電磁放射線のビームを放射するために動作する第１の光学放射素子と、
ｉｉｉ）前記サンプリング素子から前記検出装置に前記電磁放射線を運ぶために動作する第２光学放射素子から成る、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記プロセッサが、更に、ある時間の間の前記液体エッチング剤の少なくとも１つの化学成分の消費速度を提供するために動作する、請求項１及び２に記載の装置。
【請求項４】
前記プロセッサが、更に前記液体エッチング剤の少なくとも１つの化学成分の前記消費速度の誘導関数を提供するために動作する、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記サンプリング素子がほぼ透明なチューブから成る、請求項２に記載の装置。
【請求項６】
前記ほぼ透明なチューブが、前記所定のスペクトル範囲内で透明な材料からなる、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記材料が、テフロン、ガラス、ポリエチレン、ポリプロピレン、ＰＥＴ、塩化ポリビニール、ナイロン、タイゴン、ポリスチレン、シリコンゴムＰＶＡおよびクォーツの中の少なくとも１つを含む、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記液体エッチング剤が、前記ほぼ透明なチューブを通して流れることを特徴とする、請求項６に記載の装置。
【請求項９】
前記プロセッサが、さらに、前記液体エッチング剤の複数の化学成分の光学的特性の変化を、前記複数の化学成分の中の少なくとも１つの濃度の変化の速度に変換するように構成される、前記請求項の何れか１項に記載の装置。
【請求項１０】
前記プロセッサが、データ、すなわち、主成分分析、部分最小二乗法分析、多重線形回帰分析、およびニューラル・ネットワーク分析のうちの少なくとも１つを使用して、前記データに関して操作を行うための、アルゴリズムを動作する、前記請求項の何れか１項に記載の装置。
【請求項１１】
前記エッチング速度を調整するために、前記液体エッチング剤において少なくとも１つの化学成分を補充するように動作する化学修正システムをさらに備える、前記請求項の何れか１項に記載の装置。
【請求項１２】
前記プロセッサが、さらに、前記アルゴリズムからの出力データに対してケモメトリックな操作を行うために動作する、前記請求項の何れか１項に記載の装置。
【請求項１３】
前記所定のスペクトル範囲が近赤外線領域（７００〜２５００ナノメーター）である、前記請求項の何れか１項に記載の装置。
【請求項１４】
ちょうどよいタイミングで少なくとも２つの時点で前記液体エッチング剤が前記固体をエッチングするために動作する液体エッチング剤を通して、電磁放射線源からの電磁放射線を通過させるステップと、
前記液体エッチング剤の少なくとも１つの光学的特性において少なくとも１つの変化を検出するために、ちょうどよいタイミングで前記少なくとも２つの時点で検出装置により、前記液体エッチング剤を通過した前記電磁放射線の所定のスペクトル範囲内で、離れた位置で非接触走査検出を行うステップと、
前記固体のエッチング速度を提供するために、プロセッサのアルゴリズムにより、ちょうどよいタイミングで前記少なくとも２つの時点で前記少なくとも１つの光学的特性の前記少なくとも１つの変化を比較するステップとを含む液体エッチング剤の固体の化学エッチングをリアルタイムで動的に分析するための方法。
【請求項１５】
前記電磁放射線を通過させるステップが、
ｉ）電磁放射線源から前記所定のスペクトル範囲内の電磁放射線を放射するステップと、
ｉｉ）前記液体エッチング剤のサンプルを含むサンプリング素子を通して、前記電磁放射線源から第１光学放射素子を介して、前記電磁放射線を透過させるステップと、
ｉｉｉ）前記検出装置への第２光学放射素子を介して、前記液体エッチング剤の前記サンプルからの出力電磁放射線を運ぶステップとを含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記比較ステップが、前記少なくとも１つの光学的特性において、前記少なくとも１つの変化に関連するデータに対してケモメトリック操作を行うステップをさらに含む、請求項１４又は１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記アルゴリズムが、さらに、ある時間内の前記固体の前記エッチングの変化の速度の違いを提供する、請求項１４乃至１６の何れか１項に記載の方法。
【請求項１８】
前記アルゴリズムが、さらに、ある時間内の前記液体エッチング剤の少なくとも１つの化学的成分の消費速度を提供する、請求項１４乃至１７の何れか１項に記載の方法。
【請求項１９】
前記アルゴリズムが、さらに、前記液体エッチング剤の濃度の関数として前記固体のエッチング速度を提供する、請求項１４乃至１８の何れか１項に記載の方法。
【請求項２０】
前記液体エッチング剤が、ハロゲン化物イオン、硫酸イオン、亜硫酸イオン、亜硝酸イオン、硝酸イオン、および窒化物イオンからなるグループから選択されたイオンを含む、請求項１４から１９の何れか１項に記載の方法。
【請求項２１】
前記通過ステップが、ほぼ透明なサンプリング・チューブを有するサンプリング素子を通して、前記液体エッチング剤を通過させるステップをさらに含む、請求項１４乃至２０の何れか１項に記載の方法。
【請求項２２】
前記比較ステップが、前記液体エッチング剤の前記少なくとも１つの光学的特性の前記少なくとも１つの変化を、前記液体エッチング剤の少なくとも１つの化学成分の濃度パラメータに変換するステップをさらに含む、請求項１４乃至２１の何れか１項に記載の方法。
【請求項２３】
前記比較ステップが、前記液体エッチング剤の少なくとも１つの化学成分の濃度を提供するステップをさらに含む、請求項１４乃至２２の何れか１項に記載の方法。
【請求項２４】
前記比較ステップが、前記少なくとも１つの化学成分の濃度の変化速度を提供するステップをさらに含む、請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
ａ）複数の液体エッチング剤のサンプルを入手するステップであって、前記複数の液体エッチング剤の各サンプルが既知のエッチング速度を有するステップと、
ｂ）ＮＩＲで前記複数の液体エッチング剤のサンプルを照射し、前記所定のスペクトル範囲内のその各スペクトル走査放射輝度を記録するステップと、
ｃ）前記複数のサンプルのスペクトル放射を前記既知のエッチング速度と相互に関連付けるために、前記所定のスペクトル範囲内のその各スペクトル走査放射輝度の変化を比較するステップであって、前記既知のエッチング速度が厚さの測定値で決まるステップと、 ｄ）ステップ（ｃ）の結果に基づいて校正モデルを開発するステップと、
ｅ）前記校正モデル基づき、前記液体エッチング剤のエッチング速度および濃度のうちの少なくとも一方を測定するために、更なる液体エッチング剤のサンプルの前記所定のスペクトル範囲内の走査スペクトル放射を測定するステップとをさらに含む、請求項１４乃至２４の何れか１項に記載の方法。
【請求項２６】
前記液体エッチング剤の補充化学成分の追加速度の欠陥を検出するステップをさらに含む、請求項１４乃至２５の何れか１項に記載の方法。
【請求項２７】
前記比較ステップが、前記液体エッチング剤の泡を検出するステップをさらに含む、請求項１４乃至２６の何れか１項に記載の方法。
【請求項２８】
前記比較ステップが、９５％を超える信頼レベルで、前記液体エッチング剤内の複数の化学的成分のうちの少なくとも１つの濃度を測定するステップをさらに含む、請求項１４〜２７の何れか１項に記載の方法。
【請求項２９】
前記方法が、前記液体エッチング剤内の泡の存在とは無関係である、請求項１４〜２８の何れか１項に記載の方法。
【請求項３０】
前記方法が、前記液体エッチング剤の温度とは無関係である、請求項１４乃至２９の何れか１項に記載の方法。
【請求項３１】
更新したアルゴリズムを提供するために、前記少なくとも１つの光学的特性における前記少なくとも１つの変化に関連するデータにコンピュータ・ソフトウェアを適用するステップと、
新しいサンプル内の前記固体のエッチング速度をさらに提供するために、前記液体エッチング剤の前記新しいサンプルのデータに、前記更新したアルゴリズムを適用するステップとをさらに含む、請求項１４乃至３０の何れか１項に記載の方法。
【請求項３２】
ＨＦ：Ｈ２Ｏ、ＨＦ１：５、ＨＦ１：５０、ＢＯＥ、Ｈ２ＳＯ４：ＨＮＯ３：ＨＦ、ＥＧ＋ＨＦ、酢酸、ＮＨ４Ｆ、Ｈ３ＰＯ４：ＨＮＯ３：酢酸、ＨＮＯ３：ＨＦ、酸、塩基、市販の酸化物エッチング剤、市販のシリコン・エッチング剤、市販の金属エッチング剤、Ｈ２ＳＯ４：Ｈ２Ｏ２、Ｈ２ＳＯ４：ＨＮＯ３およびＨ２ＳＯ４：過硫酸塩の中の少なくとも１つの濃度を測定するステップをさらに含む、請求項１４乃至３１の何れか１項に記載の方法。
【請求項３３】
前記所定のスペクトル範囲が、近赤外線領域（７００〜２５００ナノメーター）である、請求項１４乃至３２の何れか１項に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2005504290.tif 000001
【図２】
2005504290.tif 000002
【図３Ａ】
2005504290.tif 000003
【図３Ｂ】
2005504290.tif 000004
【図４】
2005504290.tif 000005
【図５】
2005504290.tif 000006
【図６】
2005504290.tif 000007
【図７】
2005504290.tif 000008
【図８】
2005504290.tif 000009
【図９】
2005504290.tif 000010
【図１０】
2005504290.tif 000011
【図１１】
2005504290.tif 000012
【図１２】
2005504290.tif 000013
【図１３】
2005504290.tif 000014
【図１４】
2005504290.tif 000015
【図１５】
2005504290.tif 000016
【図１６Ａ】
2005504290.tif 000017
【図１６Ｂ】
2005504290.tif 000018
【図１７】
2005504290.tif 000019