【手続補正書】
【提出日】平成18年10月27日(2006.10.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
超臨界二酸化炭素（ＳＣＣＯ２）と、アルコールと、フッ素源と、アンモニウムイオン錯化剤とを含み、さらに必要に応じて防蝕剤とを含む洗浄組成物であって、前記洗浄組成物が、その上にアルミニウム／ＳｉＮ／Ｓｉポストエッチ残留物を有する基板から前記ポストエッチ残留物を除去するのに有用な、洗浄組成物。
【請求項２】
前記アルコールが、少なくとも１つのＣ１〜Ｃ４アルコールを含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
前記アルコールが、メタノールを含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項４】
前記フッ素源が、フッ化水素（ＨＦ）と、化学式、ＮＲ３（ＨＦ）３の三フッ化水素アミン化合物（式中、各Ｒは、それぞれ独立に、水素および低級アルキルから選択される）と、フッ化水素ピリジン（ｐｙｒ−ＨＦ）と、化学式、Ｒ４ＮＦのフッ化アンモニウム（式中、各Ｒは、それぞれ独立に、水素および低級アルキルから選択される）と、からなる群から選択されるフッ素含有化合物を含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項５】
前記フッ素源が、トリエチルアミン三フッ化水素（triethylamine  trihydrogen  fluoride）を含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項６】
前記アルミニウムイオン錯化剤が、サリチル酸と、ＥＤＴＡと、シュウ酸と、β−ジケトンと、没食子酸と、ニトリロ三酢酸と、３−ヒドロキシ−２−ナフトエ酸と、オキシンとからなる群から選択される錯化剤を含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項７】
前記アルミニウムイオン錯化剤が、サリチル酸と、ＥＤＴＡと、没食子酸と、ニトリロ三酢酸と、３−ヒドロキシ−２−ナフトエ酸と、オキシンと、からなる群から選択される錯化剤を含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項８】
防蝕剤をさらに含み、前記防蝕剤が、ホウ酸を含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項９】
前記アルコールが、かかるアルコールが不足する対応組成物に対して、アルミニウム／ＳｉＮ／Ｓｉポストエッチ残留物に存在する無機塩類および極性有機化合物に対する組成物の溶解度を増加させる、請求項１に記載の組成物。
【請求項１０】
サリチル酸と、ホウ酸とを含む、請求項８に記載の組成物。
【請求項１１】
前記アルミニウムイオン錯化剤が、前記洗浄組成物の総重量に基づき、約０．０１〜約２．０重量％の濃度を有する、請求項１に記載の組成物。
【請求項１２】
約１．５０：１．５３：１．０（フッ化アンモニウム：サリチル酸：ホウ酸）のモル比で、フッ化アンモニウムと、サリチル酸と、ホウ酸とを含む、請求項１０に記載の組成物。
【請求項１３】
約１．１０：１．０：０．７３（フッ化アンモニウム：サリチル酸：ホウ酸）のモル比で、フッ化アンモニウムと、サリチル酸と、ホウ酸とを含む、請求項１０に記載の組成物。
【請求項１４】
メタノールと、サリチル酸と、ホウ酸とを含み、前記サリチル酸が、前記組成物の総重量に基づき、約０．０１〜約４．０重量％の濃度で存在する、請求項８に記載の組成物。
【請求項１５】
前記ＳＣＣＯ２および前記メタノールは、ＳＣＣＯ２／メタノール溶液を形成し、前記メタノールは、その中にメタノールが不足する対応組成物に対して、前記組成物をアルミニウム／ＳｉＮ／Ｓｉポストエッチ残留物に暴露させる際に、無機塩類および極性有機化合物に対する前記組成物の溶解度を増加させる、請求項３に記載の組成物。
【請求項１６】
防蝕剤を含み、前記アルミニウムイオン錯化剤が、前記組成物の総重量に基づき、約０．０１〜約２．０重量％の濃度を有する、請求項１に記載の組成物。
【請求項１７】
前記アルコールがメタノールを含み、前記フッ素源がトリエチルアミン三フッ化水素を含み、前記アルミニウムイオン錯化剤が、サリチル酸を含み、前記防蝕剤が、ホウ酸を含む、請求項８に記載の組成物。
【請求項１８】
アルミニウム／ＳｉＮ／Ｓｉポストエッチ残留物をさらに含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項１９】
その上にアルミニウム／ＳｉＮ／Ｓｉポストエッチ残留物を有する基板から前記ポストエッチ残留物を除去する方法であって、前記基板から前記アルミニウム／ＳｉＮ／Ｓｉポストエッチ残留物を除去するのに十分な時間かつ十分な接触条件下で、ポストエッチ残留物を、ＳＣＣＯ２と、アルコールと、フッ素源と、アルミニウムイオン錯化剤とからなり必要に応じて防蝕剤を含む洗浄組成物に接触させることを含む、方法。
【請求項２０】
前記アルミニウムイオン錯化剤が、サリチル酸と、ＥＤＴＡと、シュウ酸と、β−ジケトンと、没食子酸と、ニトリロ三酢酸と、３−ヒドロキシ−２−ナフトエ酸と、オキシンと、からなる群から選択される錯化剤を含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
前記接触条件が、約２０００〜約４０００ｐｓｉの範囲内の圧力と、約１〜約３５分の範囲内の接触時間とからなる群から選択される、請求項１９に記載の方法。
【請求項２２】
前記フッ素源が、フッ化水素（ＨＦ）と、化学式、ＮＲ３（ＨＦ）３の三フッ化水素アミン化合物（式中、各Ｒは、それぞれ独立に、水素および低級アルキルから選択される）と、フッ化水素ピリジン（ｐｙｒ−ＨＦ）と、化学式、Ｒ４ＮＦのフッ化アンモニウム（式中、各Ｒは、それぞれ独立に、水素および低級アルキルから選択される）とからなる群から選択されるフッ素含有化合物を含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項２３】
前記フッ素源が、トリエチルアミン三フッ化水素（triethylamine  trihydrogen  fluoride）を含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項２４】
前記アルコールが、少なくとも１つのＣ１〜Ｃ４アルコールを含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項２５】
前記アルミニウム／ＳｉＮ／Ｓｉポストエッチ残留物が灰化処理されていないアルミニウム／ＳｉＮ／Ｓｉポストエッチ残留物を含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項２６】
前記洗浄組成物が、防蝕剤をさらに含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項２７】
前記組成物が、前記アルコールとしてメタノールを、前記アルミニウムイオン錯化剤としてサリチル酸を含み、前記組成物が、ホウ酸を含む防蝕剤をさらに含み、前記洗浄組成物の総重量に基づいて、前記サリチル酸が、約０．０１〜約２．０重量％の濃度で存在する、請求項１９に記載の方法。
【請求項２８】
前記ＳＣＣＯ２および前記メタノールが、ＳＣＣＯ２／メタノール溶液を形成し、前記メタノールが、その中にメタノールが不足する対応組成物に対して、前記組成物をアルミニウム／ＳｉＮ／Ｓｉポストエッチ残留物に暴露させる際に、無機塩類および極性有機化合物に対する前記組成物の溶解度を増加させる、請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
前記ＳＣＣＯ２を基礎とする組成物が、約１．５０：１．５３：１．０（フッ化アンモニウム：サリチル酸：ホウ酸）のモル比においてフッ化アンモニウムと、サリチル酸と、ホウ酸とを含む、請求項２７に記載の方法。
【請求項３０】
前記接触時間が、約１〜約１５分の範囲内にある、請求項２５に記載の方法。
【請求項３１】
前記アルミニウム／ＳｉＮ／Ｓｉポストエッチ残留物が、灰化処理されたアルミニウム／ＳｉＮ／Ｓｉポストエッチ残留物を含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項３２】
前記組成物が、約１．１０：１．０：０．７３（フッ化アンモニウム：サリチル酸：ホウ酸）のモル比で、フッ化アンモニウムと、サリチル酸と、ホウ酸とを含む、請求項２７に記載の方法。
【請求項３３】
前記ポストエッチ残留物を組成物に接触させる工程が、（ｉ）前記組成物を前記ポストエッチ残留物に動的フロー接触させることと、（ｉｉ）前記洗浄組成物を前記ポストエッチ残留物に静的ソーク接触させることとを含む洗浄サイクルを含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項３４】
前記洗浄サイクルが、前記ポストエッチ残留物に関して（ｉ）動的フロー接触と、（ｉｉ）静的ソーク接触とを交互にかつ繰り返し実行することを含む、請求項３３に記載の方法。
【請求項３５】
前記洗浄サイクルが、（ｉ）動的フロー接触と（ｉｉ）静的ソーク接触とを順番に実行し、前記順番を３回繰り返すことを含む、請求項３３に記載の方法。
【請求項３６】
前記洗浄サイクル中、前記（ｉ）動的フロー接触および（ｉｉ）静的ソーク接触の各々が、約２．５〜約５分の接触時間で実行される、請求項３５に記載の方法。
【請求項３７】
前記洗浄サイクルにおける合計接触時間が、約１５〜約３５分である、請求項３１に記載の方法。
【請求項３８】
１回目の洗浄工程ではＳＣＣＯ２／アルコール洗浄溶液、２回目の洗浄工程ではＳＣＣＯ２により、前記基板を前記アルミニウム／ＳｉＮ／Ｓｉポストエッチ残留物が除去された領域において洗浄して、前記１回目の洗浄工程において残留沈殿化学添加物を除去し、前記２回目の洗浄工程において残留沈殿化学添加物および／または残留するアルコールを除去するステップをさらに含む、請求子１９に記載の方法。
【請求項３９】
前記ＳＣＣＯ２／アルコール洗浄溶液が、メタノールを含む、請求項３８に記載の方法。
【請求項４０】
防蝕剤を含み、
前記アルコールがメタノールを含み、前記フッ素源が、トリエチルアミン三フッ化水素を含み、前記アルミニウムイオン錯化剤が、サリチル酸を含み、前記防蝕剤がホウ酸を含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項４１】
前記組成物が、アルミニウム／ＳｉＮ／Ｓｉポストエッチ残留物をさらに含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項４２】
前記アルミニウムイオン錯化剤が、サリチル酸と、ＥＤＴＡと、没食子酸と、ニトリロ三酢酸と、３−ヒドロキシ−２−ナフトエ酸と、オキシンと、からなる群から選択される錯化剤を含む、請求項１９に記載の方法。