【事件の表示】
　特願２００２−２３５４０９「光学システム及び光学素子の調整方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年　４月２３日出願公開、特開２００３−１２１７９５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成１４年８月１３日（パリ条約による優先権主張２００１年８月２０日、米国）の特許出願であって、平成２０年４月１８日付けで拒絶理由通知がなされ、同年１０月２４日に手続補正がなされたが、平成２２年３月５日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年７月９日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものであって、その請求項に係る発明は、平成２０年１０月２４日に補正された本願明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし１９に記載された事項により特定されるものであるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、次のとおりである。
　
「第１の偏光を備えた第１の周波数成分と第２の偏光を備えた第２の周波数成分とを有するヘテロダインビームを発生するレーザ系と、表面の垂線に対して非零の入射角度で入力ビームを受信するように向きづけられており、前記ヘテロダインビームを前記第１、第２の周波数を備えた第１、第２のビームにそれぞれ分離し、前記第１、第２のビームから測定ビームと基準ビームとを発生する、コーティングされた偏光ビームスプリッタと、を具備する干渉光学系。」
　　
２．引用例
　これに対して、原査定の拒絶理由に引用され、本願優先日前に頒布された特開平７−２０８９１２号公報（以下「引用例」という。）には、図とともに次の記載がある。
　
Ａ　「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、互いに直交する方向に偏光し互いに異なる周波数の２個のビーム成分を有する放射ビームを発生する放射源ユニットであって、コヒーレントな放射ビームを発生する放射源と、ビームスプリッタと、このビームスプリッタにより形成した２個のサブビーム間に周波数差を発生させる音響光学変調装置と、この変調装置から出射した２本のサブビームを１本のビームに結合するビーム結合素子とを具える放射源ユニットに関するものである。さらに、本発明はこのような放射源ユニットを具える干渉計並びに２個の物体の相対位置を検出する装置に関するものである。…」
　
Ｂ　「【００４５】本発明の別の概念によれば、波長安定化されたレーザの成分の周波数差をほとんど放射損失が生ずることなく相当減少させることができる。この目的を実現する実施例を図８に示す。波長安定化したレーザ９０から周波数差が例えば６４０ＭＨｚの２個の相互に直交する方向に偏光したビーム成分を放出する。ウォルストンプリズム４によりビーム９１を２本のサブビーム９２及び９３に分離する。これらレーザビームは互いに直交する偏光方向を有し音響光学変調器４０を互いに異なる方向に伝搬する。この変調器は、周波数が例えば３１０ＭＨｚの信号Ｓ（ｆs ）により駆動する。この結果、一方のサブビームの光周波数は３１０ＭＨｚだけ減少し、他方のサブビームの周波数は３１０ＭＨｚ増大し、変調器を出射するサブビーム間の周波数差すなわち出射ビーム３０のビーム成分間の周波数差は２０ＭＨｚとなる。この周波数差は、音響周波数ｆs を適切に選択することにより任意の値に調整することができるので、波長安定化されたレーザを有する放射源ユニットを一層広い用途に対して用いることができる。
【００４６】同様に、干渉計装置に用いられる例えば５００ＫＨｚの比較的小さい周波数差を有する２本のビーム成分を発生するゼーマンレーザの使用範囲を拡大することができる。この放射源ユニットは図８に示す実施例の波長安定化されたレーザ９０をゼーマンレーザで置き換えることにより得ることができる。
【００４７】図１，２，３，４，５又は６に示す実施例に用いる放射源は波長安定化されたレーザ又はゼーマンレーザとすることもできる。」
　
Ｃ　「【００５０】本発明による放射源ユニットの全ての実施例は音響光学変調器を用いているが、ビームスプリッタ及びビーム結合素子として種々の型式の素子を用いることができ、放射源ユニット用のビームスプリッタ及びビーム結合素子は常に同一の型式ものとする。これらの素子は以下の素子で構成することができる。
・複屈折性のプレート及び楔
・ノマールスキー(Nomarski), ギラード(Girard)又はフランコン(Francon) によるウォルストンプリズムのような種々の型式のウォルストンプリズム
・フレネルプリズム、コイスタプリズム及びロッションプリズム
・偏光感知分離プリズム
・位相格子のような回折格子」
　
Ｄ　「【００５８】上述したように、本発明による放射源ユニットは例えば物体の線形変位量を測定する干渉計に好適に用いることができる。この干渉性を図１４に示す。この干渉計の構成及び動作は１９６９年に発行されたフィリップス  テクニカル  レビューのＮｏ．６，７、第１６０頁〜第１６５頁に記載されている文献“ディスプレイスメント  メジャメント  ウイズ  ア  レーザ  インタフェロメータ(Displacement Measurement with a laser interferometer)に記載されている。この既知の干渉計は放射源ユニットとしてゼーマンレーザを用いているが、新しい干渉計では以後の図面に基づいて説明する構成の放射源ユニットを用いることができる。図１４に示すように、放射源ユニット１５０から出射したビームｂは異なる周波数ｆa 及びｆb を有する２個の互いに直交する偏光成分を有し、このビームｂをニュートラルビームスプリッタ１５１により測定ビームｂm と基準ビームｂr とに分割する。測定ビームｂm は反射器１５２によりビームスプリッタ１５１の方向に反射する。」
　
　上記Ａに記載される放射源ユニットの放射源は、上記Ｂに記載される実施例においては、互いに直交する方向に偏光し互いに異なる周波数の２個のビーム成分を有するレーザであることが理解される。また、このとき、上記Ａに記載される放射源ユニットの音響光学変調装置は、２個のサブビーム間の周波数差を増減させるものであることが理解される。
　また、上記Ｄの記載を参照すると、上記Ａに記載される干渉計が干渉光学系を有することは明らかであり、その干渉光学系は、上記Ａに記載される放射源ユニットから測定ビームと基準ビームを発生するものであることが理解される。
　
　したがって、引用例には、
「互いに直交する方向に偏光し互いに異なる周波数の２個のビーム成分を有する放射ビームを発生する放射源ユニットを具える干渉計の干渉光学系であって、コヒーレントな互いに直交する方向に偏光し互いに異なる周波数の２個のビーム成分を有する放射ビームを発生するレーザでなる放射源と、この放射ビームを互いに直交する方向に偏光し互いに異なる周波数の２個のサブビームに分離するビームスプリッタと、このビームスプリッタにより形成した２個のサブビーム間の周波数差を増減させる音響光学変調装置と、この変調装置から出射した２本のサブビームを１本のビームに結合するビーム結合素子とを具え、この結合されたビームから測定ビームと基準ビームを発生する干渉光学系。」（以下「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。　
　　
３．対比
　本願発明と引用発明を対比する。
　引用発明の「放射源」は、「レーザ」でなり、「互いに直交する方向に偏光し互いに異なる周波数の２個のビーム成分を有する放射ビームを発生する」ものであるから、本願発明の「第１の偏光を備えた第１の周波数成分と第２の偏光を備えた第２の周波数成分とを有するヘテロダインビームを発生するレーザ系」であるといえる。
　また、引用発明の「ビームスプリッタ」は、放射源からのビームを互いに直交する方向に偏光し互いに異なる周波数の２個のサブビームに分離するものであり、また、引用発明において、「測定ビーム」と「基準ビーム」は、このビームスプリッタにより分離された２本のサブビームから発生されるから、引用発明の「ビームスプリッタ」と本願発明の「ビームスプリッタ」はともに、「前記ヘテロダインビームを前記第１、第２の周波数を備えた第１、第２のビームにそれぞれ分離し、前記第１、第２のビームから測定ビームと基準ビームとを発生する、偏光ビームスプリッタ」であるといえる。
　　
　以上のことから、両者は、
「第１の偏光を備えた第１の周波数成分と第２の偏光を備えた第２の周波数成分とを有するヘテロダインビームを発生するレーザ系と、前記ヘテロダインビームを前記第１、第２の周波数を備えた第１、第２のビームにそれぞれ分離し、前記第１、第２のビームから測定ビームと基準ビームとを発生する、偏光ビームスプリッタと、を具備する干渉光学系。」の点で一致する。
　一方、両者は、次の点で相違する。
　本願発明は、「偏光ビームスプリッタ」が『「表面の垂線に対して非零の入射角度で入力ビームを受信するように向きづけられており、」「コーティングされた」「偏光ビームスプリッタ」』であるのに対し、引用発明のビームスプリッタがこのようなものであるか不明な点。
　
　なお、本願明細書には、『「第１の偏光を備えた第１の周波数成分と第２の偏光を備えた第２の周波数成分とを有するヘテロダインビーム」を「前記第１、第２の周波数を備えた第１、第２のビームにそれぞれ分離」する「偏光ビームスプリッタ」』の機能を果たす偏光ビームスプリッタとして、本願図面の図２において符号２２０で示される蒸着偏光ビームスプリッタ２２０と符号２９２で示される偏光ビームスプリッタ２９２が記載されており、これらは、引用例の記載でいえば、それぞれ「ウォルストンプリズム４」と「ニュートラルビームスプリッタ１５１」に対応するものであると認められるところ、偏光ビームスプリッタ２９２について「表面の垂線に対して非零の入射角度で入力ビームを受信するように向きづけられているコーティングされた偏光ビームスプリッタ」である旨の記載は本願明細書になく、「表面の垂線に対して非零の入射角度で入力ビームを受信するように向きづけられているコーティングされた偏光ビームスプリッタ」として記載されているのは蒸着偏光ビームスプリッタ２２０のみであることから、本願発明の「コーティングされた偏光ビームスプリッタ」は、本願明細書に記載される偏光ビームスプリッタ２９２ではなく、蒸着偏光ビームスプリッタ２２０であるとして、上記一致点及び相違点の認定を行った。
　
４．相違点についての検討
　引用例には、上記２．Ｃのように、ビームスプリッタとして種々の型式の素子を用いることができる旨記載されているところ、表面の垂線に対して非零の入射角度で入力ビームを受信するように向きづけられているコーティングされた偏光ビームスプリッタは、例えば、原査定の拒絶理由において引用された特開昭６３−２４９１２２号公報（第３図において偏光分離膜４１が形成された第１偏光分離プリズム４の入射面４２に対して光線１０１が垂直に入射していない点、また、第１図において偏光分離膜１１が形成された第１偏光分離プリズム１への入射角がα１である点。）、その他、特開昭５９−１２９９５０号公報（第２図において光ビーム３０ａは多層膜形成面２３を有する偏光ビーム・スプリッタ１９ａの一境界面２４に入射角δ１で入射している点。）、特開昭６１−１４０８０２号公報（第１〜３図においてビームスプリッタ入射面は入射光３に対して傾いている点、なお、第３頁左下欄第２〜６行に「本発明第５〜８図においては、ビームスプリッタ入射面は入射光３に対して傾いているので該入射面における反射光は光源の方には戻らず、レーザ等のコヒーレント光源の出力を不安定にするという問題は生じない。」と記載されているが、発明の詳細な説明の記載からみて「第５〜８図」は「第１〜４図」のことであると認められる。）、特開平３−９６９３０号公報（第５図及び第６図において２つのガラスプリズムＰｒ１及びＰｒ２並びに誘電性多重層ＶＳからなる偏光ビームスプリッターＰＢＳを傾斜している点。）、特開平４−３２１００１号公報（図２のように２つのプリズムを偏光分離膜を介して密着配置した偏光分離素子において、入射光９をプリズムの入射面に対して斜めに入射している点。）、特開平５−１７３０２０号公報（図３において偏光膜４１を有する偏光ビームスプリッタ４０の入射面４２に対して傾いた入射角で光が入射している点。）にみられるように周知であるから、引用発明におけるビームスプリッタとしてこのような周知の偏光ビームスプリッタの構成を採用して、上記相違点に係る本願発明の発明特定事項とすることは、当業者が容易になし得たものと認められる。　
　
５．むすび
　したがって、本願発明は、引用発明及び上記周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。