【事件の表示】
　特願２００２−５６４６７０「屈折率変更により光イメージングの性能を変化させる方法およびシステム」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年　８月２２日国際公開、ＷＯ０２／６５２１３、平成１６年　６月２４日国内公表、特表２００４−５１９１０１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、２００１年１１月７日（優先権主張２０００年１１月７日、米国）を国際出願日とする出願であって、平成２１年３月３１日付けでなされた拒絶査定に対して、同年７月３１日付けで審判請求がなされるとともに、同日付けで手続補正書が提出されたものであって、当審において、平成２３年１月１２日付けで拒絶理由が通知され、これに対して、同年４月１２日付けで意見書及び手続補正書が提出され、同年５月９日付けで最後の拒絶理由が通知され、これに対して、同年８月３日付けで意見書が提出された（手続補正書の提出はない）ものである。
　
　本願の請求項１〜３１に係る発明は、平成２３年４月１２日付けの手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１〜３１に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）は次のとおりである。
　
　「【請求項１】
　リソグラフィの印刷ツールの投影光学部材の挙動を制御するための指数変更システムであって、
　放射線の吸収に起因する温度変化を抑制する２種類以上の非吸収気体を投影光学部材に提供する２種類以上の気体供給器であって、前記２種類以上の気体供給器のうちの少なくとも１つは、前記２種類以上の非吸収気体のうちの少なくとも１つを含む気体供給器と、
　前記２種類以上の気体供給器に結合された２つ以上の質量流量制御器であって、前記２種類以上の気体供給器によって供給される前記２種類以上の非吸収気体の流量を調整する質量流量制御器と、
　前記投影光学部材へのアクセスを有するフローゲージであって、前記フローゲージは、第１及び第２の開口部を有し、前記第１の開口部は、前記２つ以上の質量流量制御器に結合され、前記第２の開口部は、前記投影光学部材の内部へのアクセスを有するように配置されるフローゲージと、
　前記フローゲージの前記第２の開口部に結合されて、屈折率勾配を起こさずに前記投影光学部材への前記２種類以上の非吸収気体の層流を確保するフィルタ装置と、
　前記２つ以上の質量流量制御器及び前記フローゲージに電気的に結合されたモニター及び制御システムと、を備え、
　前記モニター及び制御システムは、所定の屈折率を生成するために前記２種類以上の非吸収気体の比率が変わるように、前記２つ以上の質量流量制御器及び前記フローゲージを介して前記２種類以上の非吸収気体の流量を調節し、高度変化による大気圧変化に起因する光学収差を補償する、指数変更システム。」
　
　なお、本願発明１の「放射線の吸収に起因する温度変化を抑制する２種類以上の非吸収気体」は、平成２３年４月１２日付けの手続補正により付加されたものであり、そのうち、「放射線の吸収に起因する温度変化を抑制する」の表現は、出願当初の明細書には明示的な記載がないが、ここでは一応そのまま認定しておく。
　
　
２．引用刊行物の記載事項
　これに対して、当審において平成２３年５月９日付けで通知した拒絶理由に引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である、
　特開平７−１７６４７７号公報（以下、「刊行物１」という。）、
　特開昭６１−７９２２８号公報（以下、「刊行物２」という。）、
　特開平５−２１００４９号公報（以下、「刊行物３」という。）、 
　特開平８−４５８２７号公報（以下、「刊行物４」という。）
　には、図面とともに以下の事項が記載されている。なお、下線は当審で付した。
　
（１）刊行物１ 
　（１ａ）「【特許請求の範囲】 
【請求項１】 マスク上のパターン像を投影光学系を介して感光基板上に投影露光する露光処理部と、該露光処理部を外気から隔離する環境維持室と、該環境維持室内に温度調節された気体を供給する送風手段とを有し、温度調節された雰囲気内で前記感光基板への投影露光を行う投影露光装置において、 
前記環境維持室の内部の気体の圧力を計測する気圧モニタ手段と、 
前記送風手段に前記環境維持室内に供給するための所定の気体を供給する気体供給手段と、 
前記気圧モニタ手段の計測結果に応じて、前記送風手段から前記環境維持室内に供給する前記所定の気体の状態を変えることにより、前記環境維持室内での前記所定の気体の屈折率を制御する屈折率制御手段と、を有することを特徴とする投影露光装置。 
【請求項２】 前記環境維持室内での前記所定の気体の屈折率を計測する屈折率モニタ手段を設け、該屈折率モニタ手段及び前記気圧モニタ手段の計測結果に応じて前記屈折率制御手段が前記所定の気体の状態を変えることを特徴とする請求項１記載の投影露光装置。 
【請求項３】 前記屈折率制御手段は、複数の異なる種類の気体の混合比を変えることにより前記所定の気体の屈折率を制御することを特徴とする請求項２記載の投影露光装置。」 
　 
　（１ｂ）「【０００３】
図３は従来の投影露光装置
【０００４】露光光ＩＬのもとで、レチクル２上のパターン像が投影光学系４を介してウエハステージ９上に保持されたウエハ８の各ショット領域に投影露光される。その際の
ウエハ８上の投影像は、投影光学系ＰＬの雰囲気の大気圧の変化に伴い、種々の収差を含む像となってしまう
即ち、投影光学系４は大気圧が所定の値であるという条件下で設計されている
そこで、大気圧がその所定の値から変化した場合、投影光学系４を構成するレンズ間の気体の屈折率が変化して、設計条件から外れてしまい、結像特性
像面湾曲
等の収差
が変動する
【０００５】これを回避するため従来は、大気圧センサ１０で大気圧を計測し、この計測値を制御装置１１で常時モニタしている。そして、その変化量に応じて制御装置１１は、投影光学系３内の第ｎレンズ１４（ｎは所定の整数）と第（ｎ＋１）レンズ１５との間の圧力室１６内の気体圧力を圧力制御装置１２を介して調整するか、又は駆動制御装置１７を介して投影光学系４の駆動部６Ａ，６Ｂを動作させて、補正光学部材７の位置若しくは傾斜角を変えることにより、大気圧変化に伴う投影像の収差を緩和させていた。投影光学系内の特定の圧力室の圧力を制御して結像特性を変化させることは、特開昭６０−７８４５４号公報等に開示されており、投影光学系内の一部のレンズエレメントを駆動して、結像特性を変化させることは、特開平４−１３４８１３号公報等に開示されている。 
【０００６】 
【発明が解決しようとする課題】上記の如き従来の技術においては、投影光学系４内の特定のレンズエレメント間で形成される特定の圧力室のみの圧力を変えて、投影光学系内の部分的な空気の屈折率を変えたり、レチクル２とウエハ８との間の距離や投影光学系内のレンズエレメント間距離等を変えることで、大気圧の変化に伴う雰囲気気体の屈折率の変化に対応していた。これに関して、投影光学系４による投影像の歪みの要因には種々の態様があり、許容できる収差の幅も厳しい値が要求されている。即ち、大気圧の変化に応じて投影像が歪む一要因としては、レチクルとウエハとの間でフォーカス位置が変化するデフォーカスによる収差がある。また、他に変化する収差としては、像面湾曲、コマ収差、非点収差、倍率、ディストーション等の全てがある。従って、レチクル２とウエハ８との間の距離を変えたり、
投影光学系４内の一部のレンズ条件（レンズの空気室の圧力、レンズエレメント間距離）を変えるのみでは、投影像の全ての収差を最近の要求レベルまで制御することは困難になりつつある
【０００７】また、照明光学系１内の光源としてエキシマレーザ等のレーザ光源を用いた場合は、狭帯化したレーザ光の波長をシフトさせることで大気圧が変化した場合と同様の効果を奏する。しかしながら、これを応用して大気圧変動に伴う投影像の収差を補正するのは現状では技術的に困難である。また、レーザ光の波長が変化すると、ウエハ上のフォトレジストの吸収特性等も同時に変化してしまうという不都合がある。 
【０００８】本発明は斯かる点に鑑み、
大気圧が変化しても、投影像の結像特性が悪化しない投影露光装置を提供することを目的とする
　 
　図３、図１は次のとおり。 
 
　 
  
　（１ｃ）「【０００９】 
【課題を解決するための手段】本発明による
投影露光装置
図１
マスクのパターン像を投影光学系を介して感光基板上に投影露光する露光処理部（４４）と、この露光処理部を外気から隔離する環境維持室（４２）と、この環境維持室内に温度調節された気体を供給する送風手段（２７，３２）とを有し、温度調節された雰囲気内でその感光基板への投影露光を行う投影露光装置において、環境維持室（４２）の内部の気体の圧力を計測する気圧モニタ手段（４６）と、その送風手段に環境維持室（４２）内に供給するための所定の気体を供給する気体供給手段（２３〜２５）と、気圧モニタ手段（４６）の計測結果に応じて、その送風手段から環境維持室（４２）内に供給するその所定の気体の状態を変えることにより、環境維持室（４２）内でのその所定の気体の屈折率を制御する屈折率制御手段（４８，２６）と、を有する
【００１０】この場合、環境維持室（４２）内でのその所定の気体の屈折率を計測する屈折率モニタ手段（４９，５１）を設け、この屈折率モニタ手段及び気圧モニタ手段（４６）の計測結果に応じて屈折率制御手段（４８，２６）がその所定の気体の状態を変えることが望ましい。また、
その屈折率制御手段の一例は、複数の異なる種類の気体の混合比を変えることによりその所定の気体の屈折率を制御する
【００１１】 
【作用】斯かる本発明によれば、
大気圧が変化して環境維持室（４２）内の気体の圧力が変化した場合には、気圧モニタ手段（４６）によりその気圧の変化を検出し、屈折率制御手段（４８，２６）により、投影光学系を含む露光処理部（４４）が収納される環境維持室（４２）内の全体の気体の屈折率を変化させる。これにより、露光処理部（４４）におけるマスクと感光性の基板との間の気体の屈折率が全て変化して、例えば大気圧が変化する前の屈折率と同じ値に戻され、大気圧が変化する前の状態に戻されたのと同一の作用効果が得られる
【００１２】
即ち、大気圧が変化しても、それを相殺するように環境維持室（４２）内の気体の屈折率を変えることにより、投影光学系の投影像の収差による変化を完全に０に抑えることができる
【００１３】 
【数１】（当審注：式は省略） 
【００１４】この公式から明らかなように、標準状態（大気圧Ｐが７６０ｍｍＨｇ、温度ｔが１５℃の状態）から大気圧Ｐが△Ｐ、温度ｔが△ｔだけ変化すると、気体の屈折率ｎ（Ｐ，ｔ）が所定量だけ変化する。そこで、この屈折率の変化を相殺するように、気体の屈折率を変えることにより、大気圧変化に関係なく、投影像の結像特性を良好に保つことが出来る（但し湿度による誤差は省略してある）。 
【００１５】この場合、実際に環境維持室（４２）内の気体の屈折率を屈折率モニタ手段（４９，５１）でモニタすることにより、より正確に屈折率を所定の値に維持することができる。また、
気体の屈折率を変える方法としては、その気体の屈折率の異なる複数種類の気体より構成し、その混合比を変える方法がある
　 
　（１ｄ）「【００１６】 
【実施例】以下、本発明による投影露光装置の一実施例につき図１及び図２を参照して説明する。本実施例では投影露光装置として、
図３に示した投影露光装置を使用する
【００１７】本実施例の空調機構において、図示省略された
第１供給源から配管２２を介して気体比調整室２３内に、環境チャンバ４２の外部の空気（大気）より僅かに高い圧力の空気を供給する
これと平行して第２供給源から配管２１を介して気体比調整室２３内に、空気とは屈折率の異なる気体（例えば窒素、ヘリウム等）を供給する
気体比制御装置２６が弁２４及び２５の開閉を調整して、気体比調整室２３内、ひいては環境チャンバ４２内の気体の混合比を調整する
【００１８】送風機２８により送風された気体は、
温度センサ３１
エアーコンプレッサ３４が冷却部３５及び加熱部３６の温度を制御して、温度調節室３２内を通過する気体の温度を所望の温度に設定する
別の温度センサ３７
第１拡散室３９
【００１９】また、第１拡散室３９では、気体を拡散することにより温度分布にむらが生じない様にする。第１拡散室３９を通過した
気体が、環境チャンバ４２への吹き出しを均一化するための第２拡散室４０に流入し
第２拡散室４０から吹き出された空気が、塵除去用のＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulate Air Filter）４１を経て環境チャンバ４２内に吹き出される。更に、第１拡散室３９から別の配管４３が、環境チャンバ４２内の投影露光装置４４に接続されているが、この配管４３を通る気体は、図３の圧力制御装置１２に供給されている
【００２０】そして、環境チャンバ４２内の気体は、環境チャンバ４２の排出口に接続された保温管４５を通って気体比調整室２３に戻される。但し、既に説明したように、環境チャンバ４２の側壁等には小さな開口があるため、環境チャンバ４２内に供給された気体の全部が保温管４５を通って気体比調整室２３に戻される訳ではない。
【００２１】また、本実施例では、環境チャンバ４２内でＨＥＰＡフィルタ４１から気体が吹き出される位置に、第１の屈折率測定装置４９を配置し、保温管４５に続く環境チャンバ４２からの排出口の近くに第２の屈折率測定装置５１を配置し、環境チャンバ４２内の投影露光装置４４の近くに気体の圧力センサ４６を配置する。屈折率測定装置４９及び５１は同一構成であり、それぞれ後述のようにヘテロダイン干渉方式でその近傍の気体の屈折率に応じて変化する信号を生成し、この信号をそれぞれ信号処理装置５０及び５２に供給する。信号処理装置５０及び５２は、供給された信号から算出した屈折率の情報を装置全体の動作を制御する制御装置４８に供給する。同様に、圧力センサ４６は気体の圧力に応じて変化する信号を信号処理装置４７に供給し、信号処理装置４７は投影露光装置４４の近傍の気体の圧力の情報を制御装置４８に供給する。
【００２２】
制御装置４８は、供給された気体の圧力に応じて気体比制御装置２６を介して弁２４及び２５の開閉を制御することにより気体の混合比を調整して、環境チャンバ４２内の気体の屈折率を一定に維持する
大気圧だけでなく、温度又は湿度等が変化した場合にも気体の屈折率が変化するため、現在の実際の屈折率を確認するために圧力センサ４６が使用される。即ち、圧力センサ４６と屈折率測定装置４９（及び５１）との情報に基づいて、制御装置４８は、気体比制御装置２６を制御する
【００２３】例えば、投影露光装置内の投影光学系の温度（通常は厳密に一定温度に保たれている）と、屈折率測定装置４９（及び５１）が設けられた場所の温度とに差が生じていた場合、屈折率測定装置４９（及び５１）からの情報に基づいて、気体比制御装置２６を制御して屈折率を一定に維持しても、実際に投影露光装置内での屈折率は所望の値から温度差に相当する分だけオフセットを持ってしまう。そこで、制御装置４８は圧力センサ４６の情報に基づいて、投影露光装置内での屈折率を求め、屈折率測定装置４９（及び５１）により得られた屈折率と、圧力センサ４６の情報に基づいて求められた屈折率の差をオフセットとして求める。そして、制御装置４８は、このオフセットを補正した屈折率となるように、屈折率測定装置４９（及び５１）からの屈折率をモニタしながら、気体比制御装置２６を制御して、気体の混合比を調整する。」 
　 
　（１ｅ）「【００２６】以上の様に本実施例によれば、
大気圧が変化した時にそれを相殺する様に、環境チャンバ４２内に供給される気体の屈折率を全て変えているので、投影露光装置４４内での投影像の収差変動を殆ど０に抑えることができる
従来より、投影光学系内の複数のレンズ室内の特定の圧力室内の空気の屈折率を変えるために、特定の圧力室内の空気の気体成分の混合比を変えるシステムは特開昭６１−７９２２８号公報で知られている
【００２７】更に、この気体混合システムを従来技術の投影光学系内の空気圧制御機構や、投影光学系のテレセントリック性の補正機構と併用して使用してもよい。例えば、大気圧変化に伴う結像特性変動の補正に対しては、本実施例で説明した環境チャンバ４２内の気体屈折率を調整する気体混合システムを使用し、露光光の照射によるレンズ温度上昇や、照明光学系の方式変更（例えば特開平４−２２５５１４号公報等に開示されている所謂変形光源法への切り替え等。即ち、レチクル上のパターンに対する投影光学系のフーリエ変換面内での照明光の強度分布の変更）等による収差変動は、特開昭６０−７８４５４号公報等に開示された投影光学系内の特定の圧力室のみの圧力を変化させたり、特開平４−１３４８１３号公報に開示された投影光学系内の一部のレンズエレメントを駆動して結像特性を変化させるという従来技術で補足することで、ほとんどの収差変動を抑えることができる。更に、本実施例では２種類の気体を混合して、空気の屈折率が一定となるようにして結像特性を制御することとしたが、空調機構に加湿、除湿機能を持たせ、結露しないレベルで空調機構により気体の湿度を変えたり、システムに悪影響を及ぼさないレベルで空調機構（エアコンプレッサ３４）で気体の温度を変えることでも、大気圧が変わっても空気の屈折率が一定になる様な制御を行うことができる。」 
　 
　（１ｆ）「【００３８】以上の様に、
大気圧の変化による屈折率の変化を相殺するように、チャンバー内の気体混合率を変えれば、見かけ上屈折率が変化しない事になるので、大気圧により投影光学系の収差が悪化する事は無い
　 
　これら記載によれば、刊行物１には次の発明（以下、「刊行物１記載の発明」という。）が記載されているものと認められる。なお、発明全体を「投影露光装置の制御システム」の表現で認定した。 
　 
　「マスクのパターン像を投影光学系を介して感光基板上に投影露光する露光処理部（４４）と、この露光処理部を外気から隔離する環境維持室（４２）と、この環境維持室内に温度調節された気体を供給する送風手段（２７，３２）とを有し、温度調節された雰囲気内でその感光基板への投影露光を行う投影露光装置において、環境維持室（４２）の内部の気体の圧力を計測する気圧モニタ手段（４６）と、その送風手段に環境維持室（４２）内に供給するための所定の気体を供給する気体供給手段（２３〜２５）と、気圧モニタ手段（４６）の計測結果に応じて、その送風手段から環境維持室（４２）内に供給するその所定の気体の状態を変えることにより、環境維持室（４２）内でのその所定の気体の屈折率を制御する屈折率制御手段（４８，２６）と、を有する、投影露光装置の制御システムであって、 
　前記屈折率制御手段（４８，２６）は、複数の異なる種類の気体の混合比を変えることによりその所定の気体の屈折率を制御するものであり、 
　第１供給源から配管（２２）を介して気体比調整室（２３）内に、環境維持室（４２）の外部の空気（大気）より僅かに高い圧力の空気を供給し、これと平行して第２供給源から配管（２１）を介して気体比調整室（２３）内に、空気とは屈折率の異なる気体（例えば窒素、ヘリウム等）を供給し、 
　混合された気体が、環境維持室（４２）への吹き出しを均一化するための第２拡散室（４０）に流入し、第２拡散室（４０）から吹き出された空気が、塵除去用のＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulate Air Filter）（４１）を経て環境維持室（４２）内に吹き出され、更に、第１拡散室（３９）から別の配管（４３）が、環境維持室（４２）内の投影露光装置（４４）に接続され、管（４３）を通る気体は、圧力制御装置（図３の（１２））に供給されており、 
　大気圧の変化による屈折率の変化を相殺するように、環境維持室（４２）内の気体混合率を変えて、見かけ上屈折率が変化しない事にして、大気圧により投影光学系の収差（像面湾曲等）が悪化する事が無いようにした、 
　投影露光装置の制御システム。」 
　 
（２）刊行物２ 
　（２ａ）「２．特許請求の範囲 
（１）マスクのパターンを投影光学系を介して被投影基板に投影する装置において、 
　
前記マスクから被投影基板までの光路中に外気から遮断された気密空間を形成する手段と；該気密空間内に屈折率が変化し得る気体を供給する気体供給手段とを具備し、該気体の屈折率を変化させて前記マスクから被投影基板までの投影光学特性を調整することを特徴とする投影光学装置
 （２）
前記気体供給手段は、互いに屈折率の異なる複数の気体を、任意の割合で混合して前記気密空間に供給するための混合器を有する
　 
　（２ｂ）「（実施例） 
 　第１図は本発明の第１の実施例による縮小投影型露光装置の概略的な構成を示す図である。露光光を集光するコンデンサーレンズ１は光源からの光を均一な照度分布にしてレチクルやマスク（以下マスクと総称する）２に照射する。マスク２に描かれたパターンの光像は投影レンズ３によって１／５又は１／１０に縮小されて、感光剤を塗布したウェハ４上に結像する。ウェハ４はステップアンドリピート型の移動ステージ５に載置されている。投影レンズ３は複数のレンズ素子で構成されているが、本実施例ではそのうち
特定のレンズ素子３ａ，３ｂに挾まれた空気間隔３ｃと、レンズ素子３ｄ，３ｅに挾まれた空気間隔３ｆとに空気とは屈折率に関して圧力特性の異なる気体を密封して、大気圧変化に伴った倍率変動と焦点変動とを自己補正する
　さて本実施例では投影レンズ３内の２つの空気間隔３ｃ，３ｆを使って、大気圧変化による光学特性の変動を自己補正するようにするが、ここでは
空気間隔３ｃ内の気体の屈折率を変えることで例えば投影レンズ３の投影倍率が調整でき、空気間隔３ｆ内の気体の屈折率を変えることで焦点変動が調整できる
　 
　（２ｃ）第３図は次のとおり。   
　
　（２ｄ）第３図に関して、第５頁に次の記載がある。なお、本公報は、第４頁が欠落しているが、第５頁の下記記載は、第３図に関するものであることは明らかである。 
　「さて、上記構成においでマスク２を使った露光が開始されると、露光光の入射により倍率変動や焦点変動が生じる。その量は逐次、制御装置６０に入力されるので、その変動量を補正するように２つの気体Ｇ１，Ｇ２の混合比が決定される。混合比と、混合気体の屈折率との関係はあらかじめ実験等によりわかっているものとし、さらに、混合気体の屈折率の変化（混合比の変化）と倍率や、焦点位置の変化との関係も予め実験的に求めてあるものとする。制御装置６０はそれらの関係を表わす演算式を記憶しており、その式に基づいて混合比を決定する。その混合比は例えば単位時間あたりに混合室４０，４１に流れ込む気体Ｇ１の量（体積）と気体Ｇ２の量（体積）との比を流量計等で検出することによって計測される。 
　
以上のように本実施例では屈折率の異なる少なくとも２つの気体の混合比を変えることによって、気体レンズのパワーを変化させる
　 
（３）刊行物３ 
　（３ａ）「【特許請求の範囲】 
【請求項１】 レチクル上のパターンを投影光学系を介してウェハ上に投影露光するための
投影レンズのレンズ間に屈折率の異なる２種類以上のガスを供給し、前記ガスの混合率を変えることにより投影レンズの屈折率を変化させてその倍率を補正する
【請求項２】 レチクル上のパターンを投影光学系を介してウェハ上に投影露光するための投影レンズに対して、屈折率の異なる２種類以上のガスを投影レンズのレンズ間に供給するためのガス供給手段と、この混合ガスを投影レンズ外に排出するためのガス排出手段と、混合ガスを構成するそれぞれのガスの流量を制御してその混合率および圧力を可変するためのバルブとを備えた投影レンズ倍率補正装置。 
【請求項３】 投影レンズ内のガス圧力を検出する圧力センサと、投影レンズ外の気圧を検出する環境センサと、これらのセンサからの検出値を基に投影レンズ内のガス混合率およびその圧力を制御する投影レンズ倍率補正制御器とを備えた請求項２記載の投影レンズ倍率補正装置。 
【請求項４】 投影レンズ内の温度を検出する温度センサを備え、その検出値を投影レンズ倍率補正制御器における倍率補正の際の要素とする請求項３記載の投影レンズ倍率補正装置。」 
　 
　（３ｂ）「【００１３】
【作用】本発明は、上記構成により、圧力センサおよび環境センサからの検出値を投影レンズ倍率補正制御器に取り込んで計算し、その結果に基づいてバルブを制御し、投影レンズ内のガスの混合率を変えることにより、投影レンズの屈折率を指定の値に制御するようにしたものであり、これにより、環境の変化があった場合にも倍率の移動を最小限に保つことができ、従来のような投影レンズ内外に圧力差が生じることがないので、レンズに撓みを生じさせることもなく、歪のない正確な像を結像させることができる。」 
　 
（４）刊行物４ 
　（４ａ）「【特許請求の範囲】
【請求項１】  第１物体面上のパターンを投影光学系により第２物体面上に投影露光する投影露光装置において該投影光学系を構成する少なくとも１つのレンズ周辺部をリング状に加熱する加熱手段、該レンズ周辺部が所定温度となるように制御するレンズ温度制御手段、該投影光学系を構成するレンズに挟まれている複数のレンズ空間に気体を供給及び排気させる気体供給排気手段、そして該気体が所定温度となるように制御する気体温度制御手段とを設け、該レンズ温度制御手段と該気体温度制御手段による温度制御を予め設定した所定温度となるように連動して作動させたことを特徴とする投影露光装置。
【請求項２】  前記気体供給排気手段はレンズ空間内に気体を供給させる気体供給手段と気体を排気させる気体排気手段とをダクトで連結させ、該レンズ空間を介して密閉系内で該気体を循環させていることを特徴とする請求項１の投影露光装置。
【請求項３】  前記
気体供給排気手段はレンズ空間内に気体を供給する供給口と気体を排気させる排気口に各々気体の流れを層流にする層流手段を有している
　
　（４ｂ）「【００２６】
図３
【００２７】同図に示すように供給配管１５と排気配管１６はレンズ空間付近で二股に分かれている。５２は鏡筒であり、供給配管１５、排気配管１６の配管の為に穴を開けている。更に
気体流入口（気体供給口）と気体排気口にはレンズ空間内の気体の流れを層流に制御し、まんべんなく冷却気体を流入させ、回収する為に開口率３０〜４０％程度のパンチングプレート（層流手段）６０〜６３を設けている
　
　図３は次のとおり。　
　
３．対比
　本願発明１と刊行物１記載の発明とを対比すると、  
　刊行物１記載の発明の  
　「投影光学系」、  
　「第１供給源」及び「第２供給源」、  
　「屈折率制御手段（４８，２６）」、  
　は、それぞれ、  
　本願発明１の  
　「リソグラフィの印刷ツールの投影光学部材」、  
　「２種類以上の気体供給器」、  
　「モニター及び制御システム」、  
　に実質的に相当する。  
　  
　刊行物１記載の発明の「投影露光装置の制御システム」は、  
　「大気圧の変化による屈折率の変化を相殺するように、環境維持室（４２）内の気体混合率を変えて、見かけ上屈折率が変化しない事にして、大気圧により投影光学系の収差（像面湾曲等）が悪化する事が無いようにした」ものであるから、  
　本願発明１の「前記モニター及び制御システムは、所定の屈折率を生成するために前記２種類以上の非吸収気体の比率が変わるように、前記２つ以上の質量流量制御器及び前記フローゲージを介して前記２種類以上の非吸収気体の流量を調節し、高度変化による大気圧変化に起因する光学収差を補償する、指数変更システム」とは、
　「前記モニター及び制御システムは、所定の屈折率を生成するために前記２種類以上の気体の比率が変わるように、前記２種類以上の気体の流量を調節し、大気圧変化に起因する光学収差を補償する、指数変更システム」の点で共通するということができる。  
　  
　また、両発明は、「リソグラフィの印刷ツールの投影光学部材の挙動に関係する事項を制御するための指数変更システム」の点で共通するといえる。
　
　そうすると、両者の一致点、相違点は次のとおりと認められる。 
　
［一致点］  
　「リソグラフィの印刷ツールの投影光学部材の挙動に関係する事項を制御するための指数変更システムであって、  
　２種類以上の気体を投影光学部材に提供する２種類以上の気体供給器であって、前記２種類以上の気体供給器のうちの少なくとも１つは、前記２種類以上の気体のうちの少なくとも１つを含む気体供給器と、  
　モニター及び制御システムを備え、  
　前記モニター及び制御システムは、所定の屈折率を生成するために前記２種類以上の気体の比率が変わるように、前記２種類以上の気体の流量を調節し、大気圧変化に起因する光学収差を補償する、  
　指数変更システム。」  
　  
［相違点１］  
　リソグラフィの印刷ツールの投影光学部材の挙動に関係する事項を制御するための指数変更システムが、  
　本願発明１は、リソグラフィの印刷ツールの投影光学部材の挙動を制御するための指数変更システムであり、高度変化による大気圧変化に起因する光学収差を補償するのに対して、  
　刊行物１記載の発明は、大気圧の変化による屈折率の変化を相殺するように、露光処理部（４４）を外気から隔離する環境維持室（４２）内の気体混合率を変えて、見かけ上屈折率が変化しない事にして、大気圧（高度変化による大気圧変化の限定なし）により投影光学系の収差（像面湾曲等）が悪化する事が無いようにし、さらに、環境維持室（４２）内の投影露光装置（４４）にも混合気体が供給されている点。
　  
［相違点２］  
　本願発明１は、前記２種類以上の気体供給器に結合された２つ以上の質量流量制御器であって、前記２種類以上の気体供給器によって供給される前記２種類以上の気体の流量を調整する質量流量制御器を備えているのに対して、  
　刊行物１記載の発明は、そのような質量流量制御器は明記されていない点。  
　  
［相違点３］  
　本願発明１は、  
　前記投影光学部材へのアクセスを有するフローゲージであって、前記フローゲージは、第１及び第２の開口部を有し、前記第１の開口部は、前記２つ以上の質量流量制御器に結合され、前記第２の開口部は、前記投影光学部材の内部へのアクセスを有するように配置されるフローゲージと、  
　前記フローゲージの前記第２の開口部に結合されて、屈折率勾配を起こさずに前記投影光学部材への前記２種類以上の気体の層流を確保するフィルタ装置と、
　前記２つ以上の質量流量制御器及び前記フローゲージに電気的に結合されているモニター及び制御システムを備えているのに対して、  
　刊行物１記載の発明は、詳細が明らかでない点。
　 
［相違点４］ 
　２種類以上の気体が、 
　本願発明１は、放射線の吸収に起因する温度変化を抑制する２種類以上の非吸収気体であるのに対して、 
　刊行物１記載の発明は、空気と、空気と屈折率の異なる気体（例えば窒素、ヘリウム等）である点。
　
　
４．当審の判断 　  
　そこで、相違点について検討する。 
　 
（相違点１について）  
　まず、大気圧の変化要因として高度変化があることは、常識であるから、刊行物１記載の発明において、高度変化による大気圧変化に起因する光学収差を補償することに、困難性はない。  
　次に、刊行物１記載の発明は、環境維持室（４２）内の気体混合率を変えることを主眼としているが、環境維持室（４２）内の投影露光装置（４４）に混合気体を供給することも考慮している。 
　また、刊行物１の【００２６】（上記２．（１ｅ）参照）の記載、あるいは、刊行物２にみるように、「投影光学系内の複数のレンズ室内の特定の圧力室内の気体の屈折率を変えるために、特定の圧力室内の気体成分の混合比を変えるシステム」は公知でもある。刊行物３にも、同様の技術手段が記載されている。  
　したがって、刊行物１記載の発明において、「投影光学系内の複数のレンズ室内の特定の圧力室内の気体の屈折率を変えるために、特定の圧力室内の気体成分の混合比を変え」て、相違点１に係る本願発明１のごとくなすことは、当業者が容易に想到し得ることである。
　
（相違点２について）  
　刊行物１には、「気体比制御装置２６が弁２４及び２５の開閉を調整して、気体比調整室２３内、ひいては環境チャンバ４２内の気体の混合比を調整する」（【００１７】。上記２．（１ｄ）参照。）という記載があり、これから、本願発明１のように「２種類以上の気体供給器に結合された２つ以上の質量流量制御器であって、前記２種類以上の気体供給器によって供給される前記２種類以上の気体の流量を調整する質量流量制御器」を設けることは、当業者が容易になし得ることである。  
　
 （相違点３について）  
　刊行物１には、「投影光学部材へのアクセスを有するフローゲージ」や「屈折率勾配を起こさずに前記投影光学部材への前記２種類以上の気体の層流を確保するフィルタ装置」の記載はない。  
　しかし、刊行物１記載の発明において、何らかのフローゲージを設けることに困難性はない。なお、圧力調整器をフィードバック制御することは本願出願前に周知である。例えば、特開平５−２７５３０７号公報（【００２１】等）、特開平５−７０４５号公報（【００５７】等）、特開昭６３−３０３４０９号公報（特許請求の範囲等）、特開昭６２−６９６１７号公報（第２頁右下欄最下行〜第３頁左上欄、等）を参照。 
　
　また、屈折率の変動を防止するために光路中の媒質を層流にする必要性は、例えば、特開２０００−５５６１２号公報（【０００６】【０００７】等）、特開平１０−１２５５８４号公報（【００１２】〜【００１４】、【００１８】【００２８】等）、特開平１０−８２６１０号公報（【０００７】【０００８】等）、特開平８−１６６２０７号公報（【０００７】〜【０００９】等）、特開平８−８２５０９号公報（請求項１，【００３４】、【００４５】〜【００４６】等）に記載されているように、当該技術分野でよく知られていることである（特に、特開平１０−１２５５８４号公報には、ＨＥＰＡフィルターを使用したとしても層流条件を満足するように風量を制御する旨記載されている）。したがって、刊行物１記載の発明において、「屈折率勾配を起こさずに前記投影光学部材への前記２種類以上の気体の層流を確保するフィルタ装置」を設けることは、当業者が容易に想到し得ることである。なお、刊行物４の図３、【００２７】にも、パンチングプレートからなる層流手段が記載されている。 
　
　さらに、刊行物１の【００２２】には、「制御装置４８は、供給された気体の圧力に応じて気体比制御装置２６を介して弁２４及び２５の開閉を制御することにより気体の混合比を調整して、環境チャンバ４２内の気体の屈折率を一定に維持する」（上記２．（１ｄ）参照。）という記載があるから、刊行物１記載の発明において、本願発明１のように「前記２つ以上の質量流量制御器及び前記フローゲージに電気的に結合されているモニター及び制御システム」とすることは、当業者が容易になし得ることである。 
　
（相違点４について） 
　一般に、短波長の紫外線（１５７ｎｍのＦ２レーザ等）を露光に用いる場合、酸素による吸収などの影響で光の強度が低下したり、有害なオゾンガスを発生させる問題があること、この問題を回避するために、窒素やヘリウムのような酸素を含まない気体により、露光装置内のガスを置換することは、本願の優先日前に周知の知見、手法である。必要であれば、特開平６−２６０３８６号公報の【０００４】〜【０００７】等、特開平１１−１９５５８３号公報の請求項１〜４，【０００３】〜【０００４】、【００１２】、【０１０２】〜【０１０９】、国際公開第００−４８２３７号の第５〜６頁、第１３頁等を参照。 
　そうすると、刊行物１記載の発明において、１５７ｎｍのＦ２レーザ等、短波長の光を用いる場合に、上記周知の知見、手法に従って、「空気と、空気と屈折率の異なる気体（例えば窒素、ヘリウム等）とからなる混合気体」に換えて、「窒素やヘリウムのような酸素を含まない気体から２種類以上を選択して混合した気体」を採用することは、当業者が容易に想到し得ることである。
　なお、本願発明１の「放射線の吸収に起因する温度変化を抑制する２種類以上の非吸収気体」との規定は、「放射線の吸収に起因する温度変化を抑制する」という作用を含む表現になっているが、本願明細書【００２１】の「酸素などの大気ガスによる１５７ｎｍの放射線の吸収率が高くならないように、窒素、ヘリウムおよび／または他の非吸収気体」を用いる旨の記載等を参酌すると、本願発明１の上記規定は、構成の実体としてみれば、「窒素やヘリウムのような酸素を含まない気体から２種類以上を選択して混合した気体」と同じである。
　
（本願発明１の効果について）
　請求人は、意見書で、本願発明１の効果（特に上記相違点４に係る構成の効果）として、放射線吸収に起因する非吸収気体の温度変化を抑制できるため、その温度変化に伴う各非吸収気体の屈折率変動は無視できる程度に小さく、各非吸収気体の屈折率変動分を加味してその混合比を調整する必要がない旨を主張する。
　しかし、そのような効果は、本願明細書に明記されていない。また、請求人の主張する効果が、仮に本願明細書の【００２１】【００５７】等に示唆されているとか、あるいは、技術常識等からみて自明であるとしても、上記のとおり構成の容易想到性が十分に論理付けられる以上、格別な効果ということはできない。
　
（請求人の主張について）
　請求人は、意見書で、『請求項１に記載の「非吸収気体」は、「酸素による吸収などの影響で光の強度が低下したり、或いは有害なオゾンガスを発生させたりする」という問題を解決するための気体ではなく、「放射線吸収に起因する温度変化に伴う屈折率変動の抑制」という課題を解決するための気体である点に留意されたい。』と主張する。
　しかし、本願発明１は、「放射線吸収に起因する温度変化に伴う屈折率変動を抑制する」方法の発明ではなく、実質的に「窒素やヘリウムのような酸素を含まない気体から２種類以上を選択して混合した気体」を用いた「指数変更システム」という物の発明である（一般に「システム」は「物」のカテゴリーを意味するものと解される。）。
　そうすると、進歩性の判断において、請求人の主張するような「放射線吸収に起因する温度変化に伴う屈折率変動の抑制」という課題に必ず着目しなければならないということはなく、別の観点から、「窒素やヘリウムのような酸素を含まない気体から２種類以上を選択して混合した気体」を用いることにたやすく到達できるのであれば、それは容易といってよいものである。
　本件の場合、上記周知技術における「酸素による吸収などの影響で光の強度が低下したり、有害なオゾンガスを発生させる問題を回避するために、窒素やヘリウムのような酸素を含まない気体により、露光装置内のガスを置換する」という観点から、刊行物１記載の発明における混合気体を、「窒素やヘリウムのような酸素を含まない気体から２種類以上を選択して混合した気体」に変更することは、当業者であれば、請求人の主張するような課題によらなくても、容易に想到し得るものである。
　
　また、請求人は、『「放射線吸収に起因する温度変化に伴う屈折率変動の抑制」という課題は「２種類以上の気体の混合比を変えることにより、投影光学部材の屈折率を調整する」という局面に直面して初めて検討を要するものであるところ、特開平６−２６０３８６号、特開平１１−１９５５８３号、及び国際公開第００−４８２３７号には、「２種類以上の気体の混合比を変えることにより、投影光学部材の屈折率を調整する」という技術思想は開示も示唆もされていないのであるから、特開平６−２６０３８６号、特開平１１−１９５５８３号、及び国際公開第００−４８２３７号に開示の「窒素やヘリウム等の気体」を「放射線吸収に起因する温度変化に伴う屈折率変動を抑制するための非吸収気体」として用いるという技術思想は、容易に着想し得るものではないものと思料する。』とも主張する。
　確かに、周知技術（例示文献は、特開平６−２６０３８６号公報、特開平１１−１９５５８３号公報、及び国際公開第００−４８２３７号）は、「２種類以上の気体の混合比を変えることにより、投影光学部材の屈折率を調整する」という技術思想に関するものではない。
　しかし、周知技術における「酸素による吸収などの影響で光の強度が低下したり、有害なオゾンガスを発生させる問題を回避するために、窒素やヘリウムのような酸素を含まない気体により、露光装置内のガスを置換する」事項に接した当業者であれば、刊行物１記載の発明における「空気と、空気と屈折率の異なる気体（例えば窒素、ヘリウム等）とからなる混合気体」についても、周知技術の知見及び手法が適用可能であることを難なく想起でき、「窒素やヘリウムのような酸素を含まない気体から２種類以上を選択して混合した気体」に変更することができる。
　よって、請求人の主張は採用できない。
　
（まとめ）
　したがって、本願発明１は、刊行物１〜４に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　
５．むすび
　以上のとおりであるから、本願の請求項１に係る発明は特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないので、他の請求項について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。