【事件の表示】
　特願２００５−３２１６５４「リソグラフィ装置およびデバイス製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１８年　５月２５日出願公開、特開２００６−１３３７８４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２００５年１１月７日（パリ条約による優先権主張　２００４年１１月８日　米国）の出願（特願２００５−３２１６５４号）であって、平成２０年９月８日付けで拒絶理由が通知され、同年１２月１１日付けで意見書が提出され、同日付けで手続補正がなされ、平成２１年６月３０日付けで拒絶理由（最後）が通知され、平成２２年１月４日付けで意見書が提出され、同年８月２日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年１２月９日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、同日付けで手続補正がなされたものである。
　その後、当審において平成２３年６月６日付けで請求人に事前の意見を求める審尋がなされ、これに対して、同年１０月４日付けで回答書が提出された。
　
第２　平成２２年１２月９日付けの手続補正についての補正の却下の決定について
　
［補正の却下の決定の結論］
　平成２２年１２月９日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
１　本件補正について
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１については、平成２０年１２月１１日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１の、
　
「リソグラフィ装置であって、
　放射線のビームを供給する照明システムと、
　ビームにパターンを形成するパターニングシステムとを有し、各パターニングシステムは、個々に制御可能な要素のアレイを有し、さらに、
　パターン形成されたビームを基板の目標部分に投影する複数の投影システムを有し、各投影システムは、レンズのアレイを有し、アレイの各レンズはパターン形成されたビームの対応する部分を基板へと配向し、さらに、
　基板の全体にわたって所定の走査方向でビームが走査されるように、基板と複数の投影システムの間に相対的変位を引き起こす変位システムを有し、
　複数の投影システムは、各投影システムによって投影されたビームが基板の表面上の部分的に重なり合う複数のトラックのうちの対応するひとつのトラックを走査するように配置され、
　さらに、各投影システムによって投影されたビームのうち、そのビームが走査するトラックと隣接トラックとが重なり合う部分に投影されたビームの強度が、複数の投影システムによって投影されたビーム間の位置合わせ不良に基づいて決定されることを特徴とするリソグラフィ装置。」が　
　
「リソグラフィ装置であって、
　放射線のビームを供給する照明システムと、
　ビームにパターンを形成するパターニングシステムとを有し、各パターニングシステムは、個々に制御可能な要素のアレイを有し、さらに、
　パターン形成されたビームを基板の目標部分に投影する複数の投影システムを有し、各投影システムは、レンズのアレイを有し、アレイの各レンズはパターン形成されたビームの対応する部分を基板へと配向し、さらに、
　基板の全体にわたって所定の走査方向でビームが走査されるように、基板と複数の投影システムの間に相対的変位を引き起こす変位システムを有し、
　複数の投影システムは、各投影システムによって投影されるビームが基板の表面上の部分的に重なり合う複数のトラックのうちの対応するひとつのトラックを走査するように配置され、
　走査される隣接トラック間には重なりが設けられ、
　隣接するビーム間の位置合わせ不良が無ければ、全体が所望のビーム強度となるように、各投影システムによって投影されるビームのうち、そのビームが走査するトラックと隣接トラックとが重なり合う部分に投影されるビームの強度が調節され、
　隣接するビーム間に位置合わせ不良が生じたとしても、その位置合わせ不良による悪影響を抑えるべく、各投影システムによって投影されるビームのうち、そのビームが走査するトラックと隣接トラックとが重なり合う部分に投影されるビームの最大強度が、隣接トラックの縁部における値からそのビームが走査するトラックの縁部におけるゼロ強度まで漸進的に低下することを特徴とするリソグラフィ装置。」と補正されたものである。
　
　本件補正は、請求項１についての補正であって、本件補正前における
「各投影システムによって投影されたビームのうち、そのビームが走査するトラックと隣接トラックとが重なり合う部分に投影されたビームの強度が、複数の投影システムによって投影されたビーム間の位置合わせ不良に基づいて決定される」の特定事項（以下「補正前特定事項」という。）を、本件補正後の
「走査される隣接トラック間には重なりが設けられ、
　隣接するビーム間の位置合わせ不良が無ければ、全体が所望のビーム強度となるように、各投影システムによって投影されるビームのうち、そのビームが走査するトラックと隣接トラックとが重なり合う部分に投影されるビームの強度が調節され、
　隣接するビーム間に位置合わせ不良が生じたとしても、その位置合わせ不良による悪影響を抑えるべく、各投影システムによって投影されるビームのうち、そのビームが走査するトラックと隣接トラックとが重なり合う部分に投影されるビームの最大強度が、隣接トラックの縁部における値からそのビームが走査するトラックの縁部におけるゼロ強度まで漸進的に低下する」の特定事項（以下「補正後特定事項」という。）に変更する補正事項を含む。
　
２　本件補正の目的
（１）上記の補正前特定事項と補正後特定事項を比較すると、補正前特定事項における「投影されたビームの強度が、複数の投影システムによって
投影されたビーム間の位置合わせ不良に基づいて決定
投影されたビーム間の位置合わせ不良に基づいて決定
　
（２）ア　詳述すると、上記の補正前特定事項の「投影されたビーム間の位置合わせ不良に基づいて決定される」は、「投影
された
　
イ　上記「ア」については、請求人（出願人）が、平成２２年１月４日付けで提出した意見書の主張からも明らかである。上記意見書には、次の事項が記載されている。（下線は当審において付した。）
　
「本願明細書の段落［０００８］には、「走査される隣接トラック間に重なりを設け、重ならない領域と比較して重なる領域に投影される放射線の強度を調節することにより、個々のトラックの縁部領域における露光強度に大きい段階的変化が生じるのを回避することができる。したがって、異なる光学エンジンによって走査されるトラックは、隣接トラックの相対的位置の間の位置合わせ不良による悪影響を最小限に抑える方法で、相互に継ぎ合わせることができる。」と記載されています。したがって、走査される隣接トラック間に重なりを設け、位置合わせ不良による悪影響を最小限に抑えるように、重ならない領域と比較して重なる領域に投影される放射線の強度を調節することは、段落［０００８］に記載されているに等しい事項です。ここで段落［０００８］の「隣接トラックの相対的位置の間の位置合わせ不良」は、隣接トラックに投影されたビーム間の位置合わせ不良であるとも言えます。
　そして
段落［０００８］に記載されているに等しい「走査される隣接トラック間に重なりを設け、位置合わせ不良による悪影響を最小限に抑えるように、重ならない領域と比較して重なる領域に投影される放射線の強度を調節すること」は、請求項１の「投影システムによって投影されたビームのうち、そのビームが走査するトラックと隣接トラックとが重なり合う部分に投影されたビームの強度が、複数の投影システムによって投影されたビーム間の位置合わせ不良に基づいて決定されること」の下位概念です。「位置合わせ不良による悪影響を最小限に抑えるように」は、「位置合わせ不良に基づいて」の下位概念だからです。
　また段落［００６１］−［００６３］には、各投影システムによって投影されたビームのうち、そのビームが走査するトラックと隣接トラックとが重なり合う部分に投影されたビームの強度としてテーパ状を採用することにより、ビーム間に多少の位置合わせ不良、例えば１０％の位置合わせ不良がある場合でも、その位置合わせ不良の重大性を大幅に低減できることが記載されています。
　また段落［００６４］には、各投影システムによって投影されたビームのうち、そのビームが走査するトラックと隣接トラックとが重なり合う部分に投影されたビームの強度として階段状を採用することにより、ビーム間に例えば図９の領域２８の幅の４分の１以内の位置合わせ不良がある場合でも、その位置合わせ不良の重大性を低減できることが記載されています。
　したがって段落［００６１］−［００６４］には、予測される位置合わせ不良の程度によって、採用するビームの強度の形状を変えることができることが記載されているに等しいと言えます。例えば、予測される位置合わせ不良が図９の領域２８の幅の４分の１程度まで見込まれる場合はビームの強度として階段状を採用し、１０％程度しか見込まれない場合はテーパ状を採用します。これは請求項１の「各投影システムによって投影されたビームのうち、そのビームが走査するトラックと隣接トラックとが重なり合う部分に投影されたビームの強度が、複数の投影システムによって投影されたビーム間の位置合わせ不良に基づいて決定されること」の一例です。
　以上より、請求項１の「各投影システムによって投影されたビームのうち、そのビームが走査するトラックと隣接トラックとが重なり合う部分に投影されたビームの強度が、複数の投影システムによって投影されたビーム間の位置合わせ不良に基づいて決定されること」については本願明細書中に少なくとも上記の例示があります。したがってこれらの例示から、請求項１の「各投影システムによって投影されたビームのうち、そのビームが走査するトラックと隣接トラックとが重なり合う部分に投影されたビームの強度が、複数の投影システムによって投影されたビーム間の位置合わせ不良に基づいて決定されること」は本願明細書に接した当業者であれば出願時の技術常識に照らして、その意味であることが明らかであってその事項がそこに記載されているのと同然であると理解する事項です。」
　
ウ　仮に上記「イ」の請求人の主張（特に下線を付した箇所の記載参照）のとおり、段落［０００８］に記載された上記の事項（以下「０００８記載事項」という。）が、請求項１の上記特定事項（以下「請求項１事項」という。）の下位概念であるとすると、請求項１事項は、０００８記載事項を上位概念化して、補正前の請求項１に追加して特定された事項である。
　すると、請求項１事項は、０００８記載事項以外の事項を含むものであるということになり、請求人もその点は認めているということになる。
　そして、上記「ア」で述べたように、請求項１事項であって０００８記載事項以外の事項が、「投影された（後の）ビーム間の位置合わせ不良を検出（又は測定）し、当該検出結果（又は測定結果）に基づいて決定する」ことであるといえる。すなわち、補正前特定事項には、上記の「投影された（後の）ビーム間の位置合わせ不良を検出（又は測定）し、当該検出結果（又は測定結果）に基づいて決定する」ことを必然的に包含するものであることは明らかといえる。
　
エ　これに対して、補正後特定事項における「ビームの強度」の「調節」は、「投影
される
　したがって、補正前特定事項における「投影されたビームの強度が、複数の投影システムによって投影されたビーム間の位置合わせ不良に基づいて決定される」については、補正後特定事項には特定されていない事項であって、補正前の請求項１から削除されたものである。
　
（３）すると、補正前特定事項を補正後特定事項に変更する補正を含む本件補正は、減縮を目的とするものではないから、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法（以下「平成１８年改正前特許法」という。）第１７条の２第４項第２号に掲げる事項を目的とするものではない。また、本件補正が、同法第１７条の２第４項第１，３，４号に掲げる事項を目的とするものではないことは明らかである。
　
３　むすび
　以上のとおりであり、本件補正は、平成１８年改正前特許法第１７条の２第４項第１ないし４号に掲げるいずれの事項をも目的とするものではない補正事項を含むから、同法第１７条の２第４項の規定に違反するものである。
　よって、本件補正は、同法第１７条の２第４項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定によって却下されるべきものである。
　
 第３　本願発明について
１　本願発明
　平成２２年１２月９日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２０年１２月１１日付け手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものである。（上記「第２　平成２２年１２月９日付けの手続補正についての補正の却下の決定について」の「１　本件補正について」の記載参照。）
　
２　原査定の拒絶の理由
（１）原審における平成２１年６月３０日付け拒絶理由通知書に記載した拒絶の理由は次のとおりである。
　
「平成２０年１２月１１日付けでした手続補正は、下記の点で願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものでないから、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　補正により、「各投影システムによって投影されたビームのうち、そのビームが走査するトラックと隣接トラックとが重なり合う部分に投影されたビームの強度が、複数の投影システムによって投影されたビーム間の位置合わせ不良に基づいて決定される」ことが追加された。
　しかしながら、願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲及び図面には、重なり合う部分に投影されるビームの強度を比例配分的に変化させる旨の記載は認められるものの、位置合わせ不良に基づいてビームの強度を決定することは記載されていない。
　出願人が補正の根拠として主張する段落［００６３］−［００６４］の記載は、ある範囲で位置合わせ不良が生じた場合のビーム強度の変動量を記載したものに過ぎない。仮に、トラックの幅方向の位置合わせ不良に基づいてビーム強度を決定しているのであれば、ビーム強度が変化する幅方向の位置を変化させ、合計のビーム強度が名目１００％となるように調整するのが一般的であると思われるが、位置ずれ量に応じて重なり合う部分の幅、ビーム強度の変化率、ビーム強度のステップ幅等を調整することに関する記載もない。また、２つの例におけるビーム強度の変動量も異なっており（±１０％、±２０％）、一貫性がない。よって、段落［００６３］−［００６４］の記載が、位置合わせ不良に基づいてビーム強度を決定することを意味しているとは認められない。」
　
（２）原審の拒絶査定は、「この出願については、平成２１年　６月３０日付け拒絶理由通知書に記載した理由によって、拒絶をすべきもの」とし、備考として次の事項が記載されている。
　
「トラックの幅方向縁部のビーム強度に関し、本願の願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲及び図面から以下の（１）〜（３）の事項が把握できる。
（１）隣接する２本のトラックの幅方向縁部が重なるようにする。
（２）隣接するビーム間の位置合わせ不良が無ければ、全体が所望のビーム強度
となるように、縁部のビーム強度を連続的又は段階的に減少させる。
（３）上記（１）及び（２）より、隣接するビーム間に位置合わせ不良が生じたとしても、露光強度に大きい段階的変化が生じるのを回避することができる。
　すなわち、位置合わせ不良の程度に応じて、結果的に基板上のビーム強度分布が定まるのであって、あらかじめ位置合わせ不良を把握し、それによるビーム強度分布の変化を相殺するようにビーム強度を決定することは記載されておらず、本願の願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面の記載から自明なこととも認められない。」
　
３　請求人の主張
（１）補正の根拠について
　平成２０年１２月１１日付け手続補正によって請求項１において「各投影システムによって投影されたビームのうち、そのビームが走査するトラックと隣接トラックとが重なり合う部分に投影されたビームの強度が、複数の投影システムによって投影されたビーム間の位置合わせ不良に基づいて決定される」ことを追加した補正の根拠について、上記手続補正と同日付けで提出された意見書には、次の事項が記載されている。
　
「請求項１の「さらに、各投影システムによって投影されたビームのうち、そのビームが走査するトラックと隣接トラックとが重なり合う部分に投影されたビームの強度が、複数の投影システムによって投影されたビーム間の位置合わせ不良に基づいて決定されること」は、主に段落［００６３］および段落［００６４］に基づいており、新規事項を追加するものではありません。この理由を説明いたします。
　段落［００６３］には「図７の中心トラック２３の露光に寄与する３本のビームに多少の位置合わせ不良、例えば１０％の位置合わせ不良があった場合、全体的な強度分布は多少変動するが、せいぜい名目１００％強度値の±１０％である」とあります。この記載から、ビーム間の位置合わせ不良が１０％であると予め分かっている場合は、その位置合わせ不良が起こったとしてもそれによる全体的な強度分布の変動が名目１００％強度値の±１０％となるように、各投影システムによって投影されるビームの強度を決定する、という思想を当業者が読み取ることができることは明らかです。
　段落［００６４］には「図９で示すケースでは、個々の段がそれぞれ、全体的な名目１００％強度の２０％を表す」、および「位置合わせ不良がこれらの５段階のうち１つの幅以内であったと仮定すると、全体的な強度線量は名目値から±２０％を超えて発散しない」とあります。この記載から、ビーム間の位置合わせ不良が図９の領域２８の幅の４分の１以内であると予め分かっている場合は、その位置合わせ不良が起こったとしてもそれによる全体的な強度線量が名目値から±２０％を超えて発散しないように、各投影システムによって投影されるビームの強度を決定する、という思想を当業者が読み取ることができることは明らかです。
　以上より、請求項１の「さらに、各投影システムによって投影されたビームのうち、そのビームが走査するトラックと隣接トラックとが重なり合う部分に投影されたビームの強度が、複数の投影システムによって投影されたビーム間の位置合わせ不良に基づいて決定されること」は本願明細書の実施の形態の記載から自明な事項と言えます。」
　
（２）拒絶理由に対する意見書の記載
　平成２１年６月３０日付け拒絶理由に対して、平成２２年１月４日付けで提出された意見書の内容は、上記「第２」の「２」の「（２）」の「イ」で記載したとおりである。
　
４　当審の判断
　
（１）上記「第２」の「２」の「（２）」の「ウ」でも述べたように、仮に請求人の主張のとおり、「０００８記載事項」が、「請求項１事項」の下位概念であるとすると、請求項１事項は、０００８記載事項を上位概念化して、平成２０年１２月１１日付け手続補正による補正がなされる前の請求項１に追加して特定された事項である。
　そして、０００８記載事項を上位概念化して特定された、請求項１事項については、本願の願書に最初に添付した特許請求の範囲、明細書及び図面（以下「当初明細書等」という。）のどこにも直接的には記載されていない。
　すると、この点において、上記の請求項１事項を追加する請求項１の補正は、当初明細書等の記載から、一義的かつ直接的に補正するものではないから、新規事項を追加するものともいえるが、さらに上記の請求項１事項について検討する。
　
（２）上記（１）で仮定したように、仮に請求人の主張のとおり、０００８記載事項が、請求項１事項の下位概念であるとすると、０００８記載事項の上位概念である請求項１事項は、０００８記載事項以外の事項をも含むものであるといえる。
　そして、請求項１事項における「投影
された
された（後に）
　
（３）これに対して、平成２０年１２月１１日付け及び平成２２年１月４日付けで提出された意見書（それぞれ、上記「３　請求人の主張」の「（１）」及び「（２）」参照）において補正の根拠とされた、当初明細書等の【０００８】並びに【００６１】ないし【００６４】には、請求項１事項に含まれる「投影
された（後に）
　すなわち、【０００８】並びに【００６１】ないし【００６４】に記載されている事項は、トラック間の重なる領域においては、トラックの縁部に向けて露光強度を連続的又は段階的に下降させ、それによって、結果として、投影されるビームに位置合わせ不良があったとしても、悪影響を抑える（強度分布の変動を吸収する）ことができること、すなわち、「投影されるビーム」についての事前の強度設定に関する事項であり、上記の「投影された（後に）ビーム間の位置合わせ不良を検出（又は測定）し、当該検出結果（又は測定結果）に基づいて決定する」ことは、上記の【０００８】並びに【００６１】ないし【００６４】を含めて当初明細書等のどこにも記載されていないし、示唆もされていない。
　
（４）上記のとおりであり、平成２０年１２月１１日付け手続補正により請求項１事項を追加して特定する補正は、本願の願書に最初に添付した特許請求の範囲、明細書の発明の詳細な説明及び図面のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入しないものということはできない。
　よって、本件出願は、特許法第１７条の２第３項の規定に違反しているから、拒絶されるべきものである。
　
＜付言＞
　上記のように当審決においては、審判請求時に補正された特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「本願補正発明」という。）に関する発明の進歩性についての判断を述べる余地（必要性）はないが、付言として本願補正発明に対する発明の進歩性についての当審の判断を簡単に述べる。
　本願補正発明と、原査定の拒絶理由で引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開２００３−１９５５１２号公報（以下「引用例１」という。）において、特に、【００１５】〜【００３５】及び【０１０３】〜【０１１０】並びに【図１】〜【図３】及び【図１０】に記載された発明（以下「引用発明」という。）とを対比すると、
　引用発明の「照明光学系２６」「ＤＭＤ素子２７」「結像光学系２８」及び「描画テーブル１６が一対のガイドレール１４に沿ってそれらの長手方向に相対移動させられる機構」が、それぞれ、本願補正発明の「照明システム」「（パターニングシステムの）要素のアレイ」「投影システム」及び「基板と複数の投影システムの間に相対的変位を引き起こす変位システム」に相当し、また、引用例１の【０１０３】〜【０１１０】の記載から、引用発明は、作動するマイクロミラーの数を調節することによって「ビームが走査するトラックと隣接トラックとが重なり合う部分に投影されるビームの強度が調節され」、また、「そのビームが走査するトラックと隣接トラックとが重なり合う部分に投影されるビームの最大強度が、隣接トラックの縁部における値からそのビームが走査するトラックの縁部におけるゼロ強度まで漸進的に低下する」ものであるといえることから、
　本願補正発明と引用発明は、本願補正発明が「投影システムは、レンズのアレイを有し、アレイの各レンズはパターン形成されたビームの対応する部分を基板へと配向」するものである点（以下「相違点」という。）のみで相違し、その他の点では一致する。
　そして、上記相違点についての構成は、原査定の拒絶理由で引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である特表２００１−５００６２８号公報（以下「引用例２」という。）に「マイクロレンズアレイ２」として記載されている。（特に図２参照。）
　引用発明において、結像光学系の構成として、必要に応じて引用例２に記載された「マイクロレンズアレイ」を採用し、上記相違点に係る構成を得ることは当業者が容易に想到し得たことである。
　そして、本願補正発明によってもたらされる効果は、引用発明及び引用例２に記載された発明から当業者が予測し得る程度のものである。
　以上のとおりであるから、本願補正発明は、引用発明及び引用例２に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　なお、平成２３年１０月４日付けで提出された回答書において請求人は「引用文献１には、ステップ・アンド・リピート方式を走査露光方式に変更した場合に、いかにして上記連続性又は一体性が損なわれないようにするかについては記載されておらず、またそれは引用文献１の記載から当業者が容易に推考しうるものであるとも認められません。」と主張するが、引用例１の【００３５】に、描画方式について「描画テーブル１６を一定速度で移動させつつ同時に描画動作を行う方式であってもよい。」と記載されており、引用発明として、走査露光方式のものを認定し得るのであって、露光方式の点は相違点とはならないのであるから、上記の請求人の主張は採用することができない。
　また、上記回答書において示された補正案についても、補正案によって追加して特定される事項における「階段状に変化する」点は引用例１に記載されている事項であることからして、補正案によって追加して特定される事項によって発明の進歩性が生じるものではない。
　
５　むすび
　以上のとおりであるから、本件出願は特許法第１７条の２第３項の規定に違反しており、拒絶されるべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。