【事件の表示】
　特願２００４−２３６８６４「水晶振動子および水晶ユニットの製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年１２月　９日出願公開、特開２００４−３５０３２５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　
　本願は、平成１４年３月６日（優先権主張平成１３年１０月３１日）に出願した特願２００２−６０８２７号の一部を平成１６年７月２０日に新たな特許出願としたものであって、平成２０年２月１４日付けの最初の拒絶理由通知に対して、同年４月２５日付けで１回目の意見書及び手続補正書が提出され、更に同年７月２２日付けの最後の拒絶理由通知に対して、同年９月２９日付けで２回目の意見書及び手続補正書が提出されたが、同年１２月２５日付けで該２回目の手続補正書による手続補正に対して補正却下の決定がなされるとともに同日付で拒絶査定がなされ、これに対し、平成２１年２月９日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに、同年３月９日付けで手続補正がなされたものである。
　
　
第２　平成２１年３月９日付けの手続補正についての補正却下の決定
　
［補正却下の決定の結論］
　平成２１年３月９日付けの手続補正を却下する。
　
［理由］
１．本件補正の補正内容
　平成２１年３月９日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）は、以下のとおり、平成２０年４月２５日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲において、その請求項１、２、４、５を削除して、請求項３（以下、「補正前の請求項３」という。）を補正後の請求項１として繰り上げて変更する補正事項を含むものである。
　
＜補正前の請求項３＞
　「【請求項３】
ケースと蓋と水晶振動子とを備えて構成される水晶ユニットの製造方法であって、前記水晶振動子は音叉基部とその音叉基部に接続された幅と厚みと長さとを有する音叉腕を備えて構成され、屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉型屈曲水晶振動子の前記音叉腕は第１音叉腕と第２音叉腕を備えて構成され、各音叉腕は上面と下面と側面とを備えていて、
準備された水晶ウエハの上面と下面に金属膜を蒸着又はスパッタリングにより形成し、前記金属膜の上にレジストを塗布し、前記金属膜と前記レジストとが音叉形状を残して除去された後に、エッチング加工により第１音叉腕と第２音叉腕と音叉基部とを備えた音叉形状を形成し、前記音叉形状は前記水晶ウエハ上に多数個形成されていて、エッチング加工により前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の上面と下面の各々に溝を形成し、前記溝の溝幅Ｗ２と音叉腕幅Ｗとの比（Ｗ２／Ｗ）が０．３５から０．８５の範囲内にあり、溝を有する前記第１音叉腕と溝を有する前記第２音叉腕と前記基部とを備えた前記音叉形状の面の上に金属膜とレジストを塗布し、前記第１音叉腕の側面に配置された電極と、前記第２音叉腕の上面と下面の各々に形成された溝に配置された電極とが同極となるように接続形成し、前記第１音叉腕の上面と下面の各々に形成された溝に配置された電極と、前記第２音叉腕の側面に配置された電極とが同極となるように接続形成し、かつ、前記溝の側面とその側面に対抗する音叉腕の側面には互いに極性の異なる電極が配置され、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕は逆相で屈曲振動をする音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉型屈曲水晶振動子をケースの固定部に導電性接着剤又は半田により固定し、その固定後に蓋を前記ケースに低融点ガラス又は金属を介して接合し、その接合後に前記音叉型屈曲水晶振動子の周波数調整を行い、その周波数調整後に前記ケースに設けられた穴が金属を用いて真空中で封止されることを特徴とする水晶ユニットの製造方法。」
　
＜補正後の請求項１＞
　「【請求項１】
貫通穴を設けた
準備された水晶ウエハの上面と下面に金属膜を蒸着又はスパッタリングにより形成し、前記金属膜の上にレジストを塗布し、前記金属膜と前記レジストとが音叉形状を残して除去された後に、エッチング加工により第１音叉腕と第２音叉腕と音叉基部とを備えた音叉形状を形成し、前記音叉形状は前記水晶ウエハ上に多数個形成されていて、
その音叉形状を形成した後に、フォトリソ工程と
その溝を形成した後に、
真空中で
真空中での
前記貫通
　
２．本件補正内容についての判断
　本件補正は、以下の補正事項を含むものである。
ア　水晶ユニットの構成要件に関し、「ケースと蓋と水晶振動子とを備えて構成される水晶ユニット」から「
貫通穴を設けた
イ　第１音叉腕と第２音叉腕の上面と下面の各々への溝の形成工程に関し、「エッチング加工により」から「
その音叉形状を形成した後に、フォトリソ工程と
ウ　電極の接続形成配置の工程に関し、新たに「
その溝を形成した後に、
エ　音叉型屈曲水晶振動子の周波数調整に関し、「音叉型屈曲水晶振動子の周波数調整を行い、その周波数調整後に」から「音叉型屈曲水晶振動子の周波数調整を
真空中で
真空中での
オ　ケースに設けた穴の封止に関し、「前記ケースに設けられた穴が金属を用いて真空中で封止される」から「前記ケースに設けられた
前記貫通
　そうすると、上記ア〜オの各補正は、水晶ユニットの構成要件、第１音叉腕と第２音叉腕の上面と下面の各々への溝の形成工程、電極の接続形成配置の工程、音叉型屈曲水晶振動子の周波数調整及びケースに設けた穴の封止に関して、それぞれ限定を付加するものであって、特許法１７条の２第４項２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで，本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下，「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか、すなわち、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するかについて、以下に検討する。
　
２−１．引用例
（１）原査定の拒絶の理由に引用された特開２０００−３０７３６８号公報（以下、「引用例１」という。）には、以下の事項が記載されている。
ア　「【請求項５】  圧電振動子片をベースにマウントする工程と、
前記ベースと蓋体とを位置決めし封止する工程と、
前記ベース又は蓋に設けられた開口部を用いて、前記圧電振動子片の一部をレーザー光又は電子ビームにより周波数調整する工程と、
前記開口部に前記開口部の第１の穴径よりも大きく第２の穴の穴径よりも小さな外形を備えた封止材を適用し、封止用ビームを照射することにより真空雰囲気中で真空封止する工程とを有することを特徴とする圧電振動子の製造方法。」
イ　「【００２３】上述の目的は、請求項５の発明によれば、圧電振動子片をベースにマウントする工程と、前記ベースと蓋体とを位置決めし封止する工程と、前記ベース又は蓋に設けられた開口部を用いて、前記圧電振動子片の一部をレーザー光又は電子ビームにより周波数調整する工程と、前記開口部に前記開口部の第１の穴径よりも大きく第２の穴の穴径よりも小さな外形を備えた封止材を適用し、封止用ビームを照射することにより真空雰囲気中で真空封止する工程とを有する圧電振動子の製造方法により、達成される。」
ウ　「【００２８】
【発明の実施の形態】本発明の圧電振動子の好ましい実施の形態を、圧電振動子片に音叉型の水晶振動子片を用いた、時計用の３２．７６８ＫＨｚ水晶振動子を例として、図面を参照して説明する。
【００２９】（第１の実施形態）図１（ａ）は、本実施形態にかかる圧電振動子１１の平面図、図１（ｂ）は圧電振動子１１の正面図である。
【００３０】これらの図に示すように、２層のセラミック基板１ａ，１ｂが積層されたベース１の表面に金属が被覆され、その表面にＮｉ及びＡｕメッキが施された電極部２ａ、２ｂが間隔ｄを有して形成されている。
【００３１】このベース１の電極部２ａ、２ｂ上に、表面に駆動用の金属電極が形成された圧電振動子片としての例えば音叉型の水晶振動子片３の電極部４ａ、４ｂを、アライメントしてマウントし、導電性の接着剤５で電気的に接続固定している。
【００３２】その後、金属製の蓋体としてのリッド（蓋）６をベース１にアライメントして封止材７を用いて、加熱手段としてのビームの照射手段，例えばレーザー装置あるいは電子ビーム装置等により、あるいは加熱炉等により、封止材７を溶かして第一の封止加工をする。これにより、水晶振動子片３をベース１と蓋体６でなるパッケージ１５に封入している。
【００３３】このベース１の底面には、図１（ｂ）に示されているように、後述するパッケージの内部と、外部を連通する開口部８が形成されている。この場合、開口部８は、ベース１側に設けられており、例えばベース１の上面から下面に貫通するように設けられている。
【００３４】次いで、図２では、ベース１の裏面を上に向けて、次の加工する工程が示されている。
【００３５】ここで水晶振動子片３は、フォトリソ加工により、ひとつの水晶基板から、同一の外形を備えるように、各振動子片が多数配列された状態で形成されて、さらに、各振動子片の表面に、Ｃｒ＋Ａｕ等（例えば、Ｃｒ膜の上にＡｕ膜をスパッタ加工する）の金属膜を電極として形成している。この金属膜の一部にＡｕあるいはＡｇ等の金属膜をさらに形成し、重み効果により周波数をある一定の量で低くしている。
【００３６】その後、水晶振動子片３は水晶基板から折り取られ、図１に示すベース１にマウントされ、蓋体６を用いて封止される。このようにマウント、封止という加工プロセスによる熱履歴や、それによる応力の発生、あるいは封止剤からでるアウトガス等の影響で、水晶振動子片３の共振周波数が変化してしまう。そのため封止後の周波数調整が必要であり、その周波数調整は精度良く行わなければならない。
【００３７】そこで、図２に示すように、開口部８を介して、周波数調整手段としての高温の光ビーム等を集束させる手段，例えばレーザービーム発生装置あるいは電子ビーム発生装置１３により、音叉型の水晶振動子片３の一部の金属電極部分を蒸散させ、水晶振動子片３全体の重さを減じて、周波数調整を行う。
【００３８】そして最後に、真空雰囲気中で、開口部８に図１（ｂ）に示すような封止用の金属製等でなる封止材としての小片９を搭載し、例えば第一の封止と同様にレーザービーム発生装置あるいは電子ビーム発生装置等により、封止材９を溶かして第二の真空封止加工を行う。
【００３９】以上により、小型薄型の表面実装パッケージの水晶振動子１１が完成する。」
エ　「【００８６】図８は、圧電振動子の別の構成例を示しており、図８の圧電振動子５１において、図１の圧電振動子１１と同一の符号を付した箇所は共通の構成であるから、重複する説明は省略して、相違点のみ説明する。
【００８７】図において、圧電振動子５１では、図１の場合と異なり、蓋体をガラスリッド５６によって構成している。この場合、ベース１は、３層構造とされ、２層のセラミック基板１ａ，１ｂの上にさらに、３層目のセラミック基板１ｃを重ねて形成している。この場合、３層目のセラミック基板１ｃは、２層のセラミック基板１ａ，１ｂの周囲の部分だけを囲んで、内部に空間Ｓを形成している。そして、３層目のセラミック基板１ｃの上端に封止材７を介して、ガラスリッド５６を載置し、封止固定するようにしている。
【００８８】このように構成することによって、圧電振動子５１では、その内部の圧電振動子片３を開口部８からではなく、ガラスリッドで形成した蓋体５６を介して、図８（ｂ）の上側から、レーザービーム等により、周波数調整することができるという利点がある。
【００８９】本発明は上述の各実施形態に限定されず、その構成部品の組み合わせは自由である。
【００９０】更に、封止剤７については、その成分はＡｕ−Ｓｎ系、Ｓｎ系、Ｐｂ−Ｓｎ系、Ａｇロウ系等の金属材料や、有機系の接着剤等でよい。又、封止剤７の形態は、クラッドされたものやプリフォームされたものでもよい。
【００９１】以上のような構成によれば、第一の封止工程と周波数調整工程及び第二の封止工程は、レーザー装置等での共通加工することも可能であり、同一装置による一貫加工が行える。」
オ　「【００９４】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、開口部に適用される封止材を、この開口部に確実に配置することができ、このように配置された封止材には、封止用ビームを照射して加熱溶融したので、短時間での瞬間的な昇温を実現でき、確実な加熱温度を実現できるので、気密性の高い圧電振動子を作業性良く製造するための圧電振動子の製造方法を提供することができる。」
　
　上記ア〜オで摘示した記載事項、及び、そこで示される図面（図１、２及び８、特に図８に示される実施態様の構成例）の記載を勘案すると、引用例１には、以下の発明（以下、「引用例１発明」という。）が記載されているといえる。
　「貫通穴を設けたベースと蓋体と水晶振動子片とを備えて構成される圧電振動子の製造方法であって、前記水晶振動子片は、幅と厚みと長さとを有する２本の棒を備えて構成され振動する音叉型の水晶振動子で、フォトリソ加工により、ひとつの水晶基板から、同一の外形を備えるように、各振動子片が多数配列された状態で形成されて、さらに、各振動子片の表面に、Ｃｒ＋Ａｕ等の金属膜を電極として形成したものであり、前記水晶振動子片をべースの電極部に導電性の接着剤により固定し、その固定後に蓋体を前記ベースに金属材料や接着剤から成る封止材を介して接合し、その接合後に前記水晶振動子片の周波数調整を行い、その周波数調整後に前記べースに設けられた前記貫通穴が封止用の金属を用いて真空中で封止される圧電振動子の製造方法。」
　
（２）原査定の拒絶の理由に引用された国際公開００／４４０９２号（以下、「引用例２」という。）には、以下の事項が記載されている。
ア　　「  （第１の実施の形態）
　図１は本発明の第１の実施の形態に係る振動子を示す図である。図１は、例として時計用に用いられる３２ＫＨｚの水晶で構成された音叉型の振動子１００の外観を示している。この振動子１００は、通常二本の振動細棒１２０と基部である固定部１３０とから構成されている。
　固定部１３０は、パッケージとの固定や、電極を外部に取り出すためのパッド部分を形成するために設けられている。
　二本の振動細棒１２０は、これらが互いに近づいたり離れたりする方向に振動する。この振動細棒１２０の表面と裏面のいずれかあるいは両方に溝１２０ａを形成する。溝１２０ａの形成方法は、振動子１００の材料を溶解することが可能なエッチング液を用いてフォトリソグラフィーを応用した加工等が用いられる。水晶製の振動子ならば、弗酸系のエッチング液で加工が可能である。」（明細書９頁７〜１８行）
イ　「また、第５図に示す振動細棒２２０のＸ軸方向の長さは、例えば約１．６ｍｍ程度であり、各振動細棒２２０のＸ軸方向の幅は、例えば０．１ｍｍ程度となっている。このような振動細棒２２０の大きさは、第１０図に示す振動細棒１２の寸法である２．４ｍｍ（Ｙ軸方向）、０．２３ｍｍ（Ｘ軸方向）と比べ、著しく小さくなっている。
　一方、この音叉型水晶振動子２００のＺ軸方向である音叉型水晶振動子の厚みは、例えば約０．１ｍｍ程度となっており、これは、従来の音叉型水晶振動子２００の厚みと略同様となっている。しかし、本実施の形態に係る音叉型水晶振動子２００の振動細棒２２０には、上述のように溝２２０ａが形成されており、この溝２２０ａは、振動細棒２２０上においてＹ軸方向に例えば約１．３ｍｍ程度の長さに形成されている。この溝２２０ａのＸ軸方向の幅は、第５図に示すように例えば約０．０７ｍｍ程度であり、そのＺ軸方向の深さは、例えば約０．０２ｍｍ程度となっている。
　さらに、このような小型の音叉型水晶振動子２００に配置される電極２４０ａ，２４０ｂ，２４０ｃの厚みは、例えば下層Ｃｒが１００Åで上層Ａｕが１０００Åと成っている。
　次に、以上のような小型の音叉型水晶振動子２００の振動細棒２２０の断面を示したのが第６図（ａ）である。第６図（ａ）に示すように振動細棒２２０には溝２２０ａが図において上下方向にそれぞれ設けられているため、その断面形状が略Ｈ形に形成されている。そして、この２カ所の溝２２０ａには、それぞれ電極２４０ａが設けられている。また、振動細棒２２０の両側面にも電極２４０ｂがそれぞれ設けられている。
　このような電極２４０ａ，２４０ｂは、図示しない電源に接続されているとともに、これらの電極２４０ａと電極２４０ｂには、それぞれ極性の異なる電圧が交互に印加されるようになっている。そして、例えば電極２４０ａにプラスの電圧を印加し、電極２４０ｂにマイナスの電圧を印加した場合、第１の実施の形態の第２図の矢印のように電界が発生することになる。
　この電界が生じることによって、振動細棒２２０は、振動し、この音叉型水晶振動子２００が用いられる例えば携帯電話やＩＣカードの発振源の部品として使用されることになる。
　なお、上述のような振動細棒２２０に対する電極２４０ａ，２４０ｂの配置の態様は、第６図（ａ）のような態様だけでなく、第６図（ｂ）や第６図（ｃ）のように構成してもよい。」（明細書１２頁１２行〜１３頁１６行）
ウ　ＦＩＧ．５（第５図）には、音叉型水晶振動子の寸法等が示されており、振動細棒２２０のＸ軸方向の幅として「０．１」が、同じ振動細棒２２０に形成された溝のＸ軸方向の幅として「０．０７」が、共に単位ｍｍで示されている。
　また、ＦＩＧ．６（第６図）の（ａ）〜（ｃ）には、音叉型水晶振動子の振動細棒と電極の配置を示す断面図が示されている。
　
　上記ア〜ウで摘示した記載事項、及び、そこで示される図面（第５図及び第６図（ａ）〜（ｃ））の記載を勘案すると、引用例２には、以下の発明（以下、「引用例２発明」という。）が記載されているといえる。
　「二本の振動細棒が互いに近づいたり離れたりする方向に振動する音叉型水晶振動子を構成する二本の振動細棒それぞれの表面と裏面の両方に、フォトリソとエッチング加工により溝を形成し、溝の溝幅が０．０７ｍｍで、溝を備えた振動細棒の幅が０．１ｍｍであり、該振動細棒の溝に設けられた電極と該振動細棒の側面に設けられた電極には、それぞれ極性の異なる電圧が交互に印加されるように構成した音叉型水晶振動子。」
　
（３）原査定の拒絶の理由に引用された国際公開００／０５８１２号（以下、「引用例３」という。）には、以下の事項が記載されている。
　「（圧電振動子１の製造方法）
　このような構成の圧電振動子１の製造方法を、図４ないし図７を参照して説明する。ここで説明する製造プロセスは、半導体プロセスと共通する部分があるが、半導体プロセスと違って、圧電振動子の場合にはウエーハの両面に同一パターンを形成していく。なお、図４、図５および図６に示す工程断面図は、圧電素子片２の側面部２７１、２７２が湾曲形状をもつ部分２７６、２７７、２７８、２７９における２つの腕部２２、２３のそれぞれの断面に相当する。
　まず、図４（Ａ）に示すように切り出した水晶ウェーハ２０に研磨加工、洗浄を行った後、図４（Ｂ）に示すように、クロム層Ｃｒおよび金層Ａｕをそれぞれ数百オングストローム〜約２０００オングストロームの膜厚で真空蒸着する。ここで、クロム層Ｃｒを形成するのは金層Ａｕだけでは水晶ウェーハ２０に対する密着性が悪いからである。
　次に、音叉形状切り出し用のフォトレジストを形成した後、音叉形状のパターンで焼付け、現像し、図４（Ｃ）に示すように、音叉形状にフォトレジストＲ１を残す。次に、図４（Ｄ）に示すように、フォトレジストＲをマスクとして金層Ａｕおよびクロム層Ｃｒにエッチングを行い、金層Ａｕおよびクロム層Ｃｒを音叉形状に残す。次に、金層Ａｕおよびクロム層Ｃｒをマスクとして、フッ酸およびフッ化アンモニウムを用いたエッチング液で水晶ウェーハ２０のエッチングを行い、図４（Ｅ）に示すように、水晶を音叉形状に成形する。これが圧電振動片２である。
　次に、圧電振動片２上の金層Ａｕおよびクロム層Ｃｒを全て除去し、図５（Ａ）に示すように、改めて、電極パターン４０を形成するためのクロム層Ｃｒおよび金層Ａｕを形成する。
　次に、電極パターン形成用のフォトレジストを形成した後、それを各電極パターン４０のパターン形状に焼付け、現像し、図５（Ｂ）に示すように、フォトレジストＲ２を各電極パターン４０のパターン形状に残す。
　次に、フォトレジストＲ２をマスクとして金層Ａｕおよびクロム層Ｃｒにエッチングを行い、図５（Ｃ）に示すように、金層Ａｕおよびクロム層Ｃｒを電極パターン４０のパターン形状に残す（第１工程）。その結果、クロム層Ｃｒから形成された下地金属膜４１と、金層Ａｕから形成された金電極層４２とを有する電極パターン４０が形成される。」（１３頁１９行〜１４頁末行）
　
　上記摘示した記載事項、及び、そこで示される図面（図４及び図５）の記載を勘案すると、引用例３には、次の技術（以下、それぞれ「引用例３記載の技術（３−１）」及び「引用例３記載の技術（３−２）」という。）が公知技術として記載されているといえる。
（３−１）水晶ウェーハの両面に金属膜を真空蒸着により形成し、前記金属膜の上にフォトレジストを形成し、前記金属膜と前記レジストとが音叉形状を残して除去された後に、エッチング加工により音叉形状に成形する技術。
（３−２）音叉形状に成形された水晶に対して、電極パターン形成用のフォトレジストを形成し、その後所定のパターンの電極を形成する技術。
　
（４）原査定の拒絶の理由に引用された特開昭５６−６５５１７号公報（以下、「引用例４」という。）には、以下の事項が記載されている。
ア　「チューニングフォーク形振動子は以前にも説明されており、例えば米国特許明細書第３９６９６４１号で説明されているように（第１図参照）、多くの場合、チューニングフォークは水晶結晶によって形成され、ギャップにより分割された２つの平行な歯を有している。それぞれの歯には極性の逆な電極を形づくるための導電性沈着物が付加され、これら電極は歯の中に、チューニングフォークを振動させるための圧電歪を発生させる交番電界を作り出すことができる。電極は、各歯の平面における交番電界が歯の長さ方向を横切るように、また２つの歯の間において１８０゜の位相関係となるように配置されて、エネルギー源に接続される。」（第２頁右上欄最下行〜左下欄１３行）
イ　「電極は、それ自体は公知の手法によって電気的に接続されるように設計されている。１方の歯の中央電極と他方の歯の横電極とが、励起電源の１つの極に接続され、逆に第２の歯の中央電極と第１の歯の横電極とが反対の極に接続される。これらの接続はチューニングフォーク自身の上に沈着された適切な巾を有する導電性コーティングによって行うことができる。動作においては、歯の平面上の交番する横方向電界の結果としてのチューニングフォークの歯のたわみにより、振動子の振動が持続されることが可能となる。」（第２頁右下欄４〜１５行）
ウ　上記摘示した「ア」で引用されている米国特許明細書第３９６９６４１号は、複数の日本出願をその優先権主張の基礎としているもので、その内の一つの日本出願に係る特公昭５３−２５６３６号公報（特開昭５０−１１３９３号公報）には、その第２図から明らかなように、２本の振動子において、１方の振動子の上下面電極と他方の振動子の両側面電極とが電源の一方の極に接続され、逆に該他方の振動子の上下面電極と該１方の振動子の両側面電極とが電源の反対の極に接続される構成が明示されている。
　
　上記ア及びイで摘示した記載事項、及び、上記ウに記載した事項を総合すると、以下の技術は周知技術であるといえる。
　「音叉形水晶振動子を構成する２本の振動子において、１方の振動子の上下面電極と他方の振動子の両側面電極とが電源の一方の極に接続され、逆に該他方の振動子の上下面電極と該１方の振動子の両側面電極とが電源の反対の極に接続される構成により、該振動子を持続的に振動させる技術。」
　
　
２−２．対比
　本願補正発明と引用例１発明を対比すると、以下の対応関係を導き出すことができる。
ア　引用例１発明の「ベース」、「蓋体」、「水晶振動子片」、「２本の棒」、「水晶基板」は、それぞれ、本願補正発明の「ケース」、「蓋」、「水晶振動子」、「第１音叉腕と第２音叉腕」、「水晶ウエハ」に相当し、引用例１発明の「べースの電極部」は、水晶振動子片をベースに固定するためのものであるから、本願補正発明の「ケースの固定部」に相当する。
イ　音叉型の水晶振動子の構造形態が、本願補正発明の表現に倣って「音叉基部とその音叉基部に接続された幅と厚みと長さとを有する２本の音叉腕を備えて構成され」ることは、周知の技術的事項であり、該構造形態は引用例１の図１及び８に示される水晶振動子片３の構造からも明らかに視認できるものであるから、引用例１発明の「音叉型の水晶振動子」も、本願補正発明と同様に、「音叉基部とその音叉基部に接続された幅と厚みと長さとを有する２本の音叉腕を備えて構成され振動する音叉型の水晶振動子」といえるものである。
ウ　引用例１発明の「圧電振動子」は「貫通穴を設けたベースと蓋体と水晶振動子片とを備えて構成される」ものであり、本願補正発明の「水晶ユニット」は「貫通穴を設けたケースとガラス製の蓋と水晶振動子とを備えて構成される」ものであり、実質的にその構成要素は同等であるから、引用例１発明の「圧電振動子」は、本願補正発明の「水晶ユニット」に相当する。
　
　以上のア〜ウの対応関係から、本願補正発明と引用例１発明との一致点、及び、相違点を整理すると、以下のようになる。
（一致点）
　貫通穴を設けたケースと蓋と水晶振動子とを備えて構成される水晶ユニットの製造方法であって、前記水晶振動子は音叉基部とその音叉基部に接続された幅と厚みと長さとを有する少なくとも第１音叉腕と第２音叉腕を備えて構成され振動する音叉型の水晶振動子で、水晶ウエハ上に多数個形成され所定の電極が配置されたものであり、前記音叉型の水晶振動子は前記ケースの固定部に導電性接着剤により固定され、前記蓋は前記ケースに金属を介して前記ケースに接合されていて、前記ケースに設けられた前記貫通穴が、周波数調整後に、金属を用いて真空中で封止されている水晶ユニットの製造方法。
　
（相違点１）
　音叉型の水晶振動子の音叉腕の形成工程に関し、本願補正発明は、「準備された水晶ウエハの上面と下面に金属膜を蒸着又はスパッタリングにより形成し、前記金属膜の上にレジストを塗布し、前記金属膜と前記レジストとが音叉形状を残して除去された後に、エッチング加工により第１音叉腕と第２音叉腕と音叉基部とを備えた音叉形状を形成し、前記音叉形状は前記水晶ウエハ上に多数個形成されてい」るのに対し、引用例１発明は、当該水晶振動子が水晶ウエハ上に多数個形成されているものではあるが、上記の工程により形成されることは特定していない点。
　
（相違点２）
　音叉型の水晶振動子の構造、その構造を得るための製造工程及び得られる振動モードに関し、本願補正発明は、「その音叉形状を形成した後に、フォトリソ工程とエッチング加工により前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の上面と下面の各々に溝を形成し、前記溝の溝幅Ｗ２と音叉腕幅Ｗとの比（Ｗ２／Ｗ）が０．３５から０．８５の範囲内にあり、その溝を形成した後に、溝を有する前記第１音叉腕と溝を有する前記第２音叉腕と前記基部とを備えた前記音叉形状の面の上に金属膜とレジストを塗布し、前記第１音叉腕の側面に配置された電極と、前記第２音叉腕の上面と下面の各々に形成された溝に配置された電極とが同極となるように接続形成し、前記第１音叉腕の上面と下面の各々に形成された溝に配置された電極と、前記第２音叉腕の側面に配置された電極とが同極となるように接続形成し、かつ、前記溝の側面とその側面に対抗する音叉腕の側面には互いに極性の異なる電極が配置され、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕は逆相で屈曲振動をする音叉型屈曲水晶振動子」であるのに対し、引用例１発明は、第１及び第２の各音叉腕に溝を設けるものではなく、当然本願補正発明のような溝幅と音叉腕幅との比が規定されるものではなく、また、電極の接続形成及び配置並びに得られる振動モードについても特定していない点。
　
（相違点３）
　ケースに蓋を接合した後に行う周波数調整を、本願補正発明は、真空中で行うのに対し、引用例１発明は、真空中で行うか否かについて特定していない点。
　
　
２−３．当審の判断
（１）上記「２−２．」で抽出した相違点について、以下に検討する。
ア　（相違点１）について
　引用例１発明は、水晶振動子が水晶ウエハ上に多数個形成されるものではあるが、該水晶振動子自体をどのような工程により形成するかについては、明示がないところ、上記「２−１．」の（３）で説示したように、水晶ウェーハの両面に金属膜を真空蒸着により形成し、前記金属膜の上にフォトレジストを形成し、前記金属膜と前記レジストとが音叉形状を残して除去された後に、エッチング加工により音叉形状に成形する技術は、引用例３記載の技術（３−１）として公知技術であり、また、当該公知技術において、エッチング加工により成形される音叉形状が、本願補正発明でいう第１と第２の音叉腕と音叉基部とを備えたものであることは当業者であれば容易に首肯し得る技術的事項であるから、当該公知技術を引用例１発明に適用して相違点１に係る本願補正発明の形成工程とすることは、当業者が容易に想到し得ることである。そして、引用例１発明も当該公知技術も、共に水晶ウエハから多数個の水晶振動子を形成する共通する製造工程に関する技術であることから、引用例１発明への当該公知技術の適用を阻害する要因は見当たらない。
　
イ　（相違点２）について
(ア) 引用例１発明は、その電極形成に当たり、その形成工程について規定していないところ、上記「２−１．」の（３）で説示したように、音叉形状に成形された水晶に対して、電極パターン形成用のフォトレジストを形成し、その後所定のパターンの電極を形成する技術は、引用例３記載の技術（３−２）として公知技術である。
(イ) 上記「２−１．」の（２）で説示したとおり、「二本の振動細棒が互いに近づいたり離れたりする方向に振動する音叉型水晶振動子を構成する二本の振動細棒それぞれの表面と裏面の両方に、フォトリソとエッチング加工により溝を形成し、溝の溝幅が０．０７ｍｍで、溝を備えた振動細棒の幅が０．１ｍｍであり、該振動細棒の溝に設けられた電極と該振動細棒の側面に設けられた電極には、それぞれ極性の異なる電圧が交互に印加されるように構成した音叉型水晶振動子」は、引用例２発明として公知のものであり、その振動モードが屈曲モードであることは自明である。
　また、引用例２発明の２つの振動細棒が、本願補正発明の「第１音叉腕と第２音叉腕」に相当することは明らかで、また、引用例２発明の「溝の溝幅」「０．０７ｍｍ」、及び、「溝を備えた振動細棒（音叉腕）の幅」「０．１ｍｍ」が、それぞれ本願補正発明の「Ｗ２」、及び、「Ｗ」に相当するから、結局、それらの比（Ｗ２／Ｗ）は（０．０７／０．１）＝０．７となり、本願補正発明が特定する「０．３５から０．８５」の範囲を満足するものである。
　そしてまた、引用例２発明における、「該振動細棒の溝に設けられた電極と該振動細棒の側面に設けられた電極には、それぞれ極性の異なる電圧が交互に印加される」との規定は、両方の振動細棒に設けられた電極相互にどのように電圧が印加されるのかまで明示しているものとは言い難いが、上記「２−１．」の（４）で説示したとおり、「音叉形水晶振動子を構成する２本の振動子において、１方の振動子の上下面電極と他方の振動子の両側面電極とが電源の一方の極に接続され、逆に該他方の振動子の上下面電極と該１方の振動子の両側面電極とが電源の反対の極に接続される構成により、該振動子を持続的に振動させる技術」が周知技術であることを鑑みれば、引用例２発明においても、「１方の振動細棒の側面に配置された電極と、他方の振動細棒の上面と下面の各々に形成された溝に配置された電極とが同極となるように接続形成し、該１方の上面と下面の各々に形成された溝に配置された電極と、該他方の振動細棒の側面に配置された電極とが同極となるように接続形成している」ことは、当業者であれば容易に認識し得ることである。そして、その接続形成は、取りも直さず、一つの振動細棒において溝の側面とその側面に対抗する振動細棒の側面には互いに極性の異なる電極が配置されることを意味するものであり、１方の振動細棒と他方の振動細棒は逆相で屈曲振動することを意味することは、当業者においては自明である。
　そうすると、引用例２発明は、本願補正発明の音叉型屈曲水晶振動子を特定する、「フォトリソ工程とエッチング加工により前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の上面と下面の各々に溝を形成し、前記溝の側面とその側面に対抗する音叉腕の側面に極性の異なる電極が配置され、前記溝の溝幅Ｗ２と前記溝を備えた音叉腕の音叉腕幅Ｗとの比（Ｗ２／Ｗ）が０．３５から０．８５の範囲内にあり、前記第１音叉腕の側面に配置された電極と、前記第２音叉腕の上面と下面の各々に形成された溝に配置された電極とが同極となるように接続形成し、前記第１音叉腕の上面と下面の各々に形成された溝に配置された電極と、前記第２音叉腕の側面に配置された電極とが同極となるように接続形成し、かつ、前記溝の側面とその側面に対抗する音叉腕の側面には互いに極性の異なる電極が配置され、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕は逆相で屈曲振動をする」の要件を満足するといえるものである。
 (ウ) 引用例２発明は、振動細棒の形成、該振動細棒への溝の形成、該振動細棒及び該溝への電極の形成について、それぞれを形成する工程の順序を格別規定しているとはいえないが、振動細棒、該振動細棒に形成した溝、該振動細棒及び該溝に形成した電極、それぞれの構造及び構成を勘案すれば、上記溝の形成を、振動細棒（音叉腕）を形成した後に行うようにすること、また、上記電極の形成を、上記溝を形成した後に行うようにすること、それぞれは、共に格別の技術的困難性を伴うものではなく当業者が適宜に採用し得る設計的事項である。
　
　したがって、引用例１発明が特定する水晶ユニットを構成する「音叉型の水晶振動子」は、その構造である「第１音叉腕と第２音叉腕」に溝を設けず、また、該「第１音叉腕と第２音叉腕」に配置される各電極の接続形成、各電極に対する電圧印加の態様及び得られる振動モードを特定していないところ、上記(ア)〜(ウ)の説示から、引用例１発明に対して同じ音叉型屈曲水晶振動子に係る引用例２発明、引用例３記載の公知技術（３−２）を適用することにより、相違点２に係る本願補正発明の構成とすることは、当業者が容易に想到し得ることである。そして、この適用に関しては、上記(ア)〜(ウ)の説示のとおり、引用例１発明に対して、引用例２発明及び引用例３記載の公知技術（３−２）をそれぞれ個別に適用することにより、当該相違点２の克服が図れるといえるものであり、また、それぞれの適用についても阻害要因はない。
　
ウ　（相違点３）について
　上記２．で説示のとおり、相違点３に係る要件は、本件補正により新たに限定された技術的事項であるところ、確かに、引用例１には、周波数調整を行う旨の明示はあるが、それをどのような雰囲気中で行うかについての明示はない。
　しかしながら、例えば、特開平１１−１０３２３０号公報には、圧電振動子の製造方法に関して、【００１０】に「　・・・　レーザーを穴から照射して励振電極１１をトリミングして発振周波数の微調整を行い、次いでハンダＣリング３３を溶融して穴を塞ぐ。蓋３のロウ付け以降の工程、あるいは発振周波数の微調整と穴の封止の工程を真空中で行うことにより、容器内部が真空である水晶振動子が完成する。」と記載されているように、発振周波数の微調整を穴の封止の工程と共に真空中で行うことが明示されており、また、圧電振動子として音叉形の振動片を用いてよいことも【００１６】に明示されている。そうすると、相違点３に係る本願補正発明における真空中での周波数調整は上記のとおり公知の技術であるから、引用例１発明に当該公知の技術を適用することにより、相違点３に係る本願補正発明のようにすることは当業者が容易に想到し得ることである。そして、該適用に当たって、それを阻害する要因は見当たらず、格別の技術的困難性を伴うものでもない。
　
エ　本願補正発明の効果について
　本願補正発明の構成によってもたらされる効果は、引用例１発明、引用例２発明、上記各公知技術及び上記周知技術から、当業者ならば容易に予測することができる程度のものであって、格別のものとはいえない。
　
（２）まとめ
　したがって、本願補正発明は、引用例１発明、引用例２発明、上記各公知技術及び上記周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　なお、請求人は、平成２３年６月８日付け審尋に対する同年８月８日付け回答書において、以下の点を主張している。
　「すなわち、補正後の請求項１に係る水晶ユニットの製造方法においては、真空中での周波数調整後に、ケースに設けられた貫通孔が真空中で封止されます。つまり、周波数調整時には、貫通孔は封止されておらず、ケース内部は真空に引かれている状態にあります。 
　したがって、周波数調整で発生した金属蒸気等は、未だ封止されていない貫通穴から真空状態にあるケース外へと速やかに導かれ、ケース内に残存してケース内や蓋の内側に沈着することがなく、水晶振動子の動作に悪影響を及ぼす恐れがありません。
　また、上記真空中での周波数調整後に、ケースに設けられた前記貫通穴が真空中で封止されますので、周波数調整で発生した金属蒸気等がケース内に残存しない状態で、かつ、ケース内が真空に引かれた状態で、ケースが封止されることになります。
　したがって、補正後の請求項１に係る水晶ユニットの製造方法においては、ケース内に周波数調整で発生した金属蒸気等の沈着がなく、また、ケース内が真空状態にありますので、収容されている水晶振動子の動作に悪影響が及ぶことがないという優れた作用効果が奏されます。」
　しかしながら、周波数調整で金属蒸気等が発生するという課題、また、それがケース外へと速やかに排出され、ケース内に残存してケース内や蓋の内側に沈着することがないという作用効果については、本願明細書、特許請求の範囲又は図面に何ら記載も示唆もないから、当該請求人の主張はそれらに基づく主張ではなく失当である。仮に、上記した周波数調整による課題及び真空中での周波数調整による作用効果が周知の事項であるならば、上記（１）の「ウ」で掲げた公知の技術においても同様に予測し得るものである。
　
　
３．むすび
　以上のとおり、本件補正は、上記改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、特許法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
　
第３　本願発明について
　
１．本願発明 
　本件補正が上記のとおり却下されたので、本願の請求項３に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成２０年４月２５日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項３に記載されたとおりのものであり、それは、上記「第２」の１．において、「＜補正前の請求項３＞」として転記したとおりのものである。
　
２．引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された上記引用例１〜３のそれぞれの記載事項は、上記「第２」の２−１．の（１）〜（３）に摘示記載したとおりであるが、引用例４に関しては、上記「第２」の２−１．の（４）で摘示記載も含めた形で、以下の記載まで摘示する。
ア　「本発明は、第１電極が振動子の１つの表面に設けられ、第２電極との相互作用によって上記表面に十分に平行な方向を有する電界を発生し、この第１電極は少くともその１部分が溝の中に設けられているような、圧電結晶振動子を提供するものである。
　チューニングフォーク形振動子は以前にも説明されており、例えば米国特許明細書第３９６９６４１号で説明されているように（第１図参照）、多くの場合、チューニングフォークは水晶結晶によって形成され、ギャップにより分割された２つの平行な歯を有している。それぞれの歯には極性の逆な電極を形づくるための導電性沈着物が付加され、これら電極は歯の中に、チューニングフォークを振動させるための圧電歪を発生させる交番電界を作り出すことができる。電極は、各歯の平面における交番電界が歯の長さ方向を横切るように、また２つの歯の間において１８０゜の位相関係となるように配置されて、エネルギー源に接続される。
　本発明の実施においては、チューニングフォークの厚さよりも少い深さを持つ、少くとも１つの溝が、各歯の主表面のうちの少くとも第1の表面上に縦に設けられ、また各歯における励起電極は、歯の表裏の主表面に設けられた中央電極と、チューニングフォークの歯の横側面を覆う横電極とから構成され、各歯の中央電極のうちの少くとも１つは、完全に又は部分的に各々の主表面の１つ又はそれ以上の溝の中にあるように構成されている。
　電極は、それ自体は公知の手法によって電気的に接続されるように設計されている。１方の歯の中央電極と他方の歯の横電極とが、励起電源の１つの極に接続され、逆に第２の歯の中央電極と第１の歯の横電極とが反対の極に接続される。これらの接続はチューニングフォーク自身の上に沈着された適切な巾を有する導電性コーティングによって行うことができる。動作においては、歯の平面上の交番する横方向電界の結果としてのチューニングフォークの歯のたわみにより、振動子の振動が持続されることが可能となる。」（第２頁右上欄１４行〜右下欄１５行）
イ　「第６図は、他の構成によるチューニングフォークの２つの歯３３および３４の断面である。溝３５，３６，３７および３８はこれら歯の中にカットされ、溝の１つ１つは各歯の各主表面上に設けられている。中央電極３９，４０，４１および４２はこれら溝の壁面上に沈着され、横電極４３，４４，４５および４６と作用して、上に述べた例と同様に、チューニングフォークを振動状態とするための必要な横断電界を発生させる。」（第５頁左上欄１０〜１９行）
　
　上記ア及びイで摘示した記載事項、及び、そこで示される図面（第６図）の記載を勘案すると、引用例４には、以下の発明（以下、「引用例４発明」という。）が記載されているといえる。
　「音叉形水晶振動子を構成する２本の歯において、該２本の歯の表裏の主表面に溝を設け、１方の歯の表裏主表面中の溝の壁面上に設けた中央電極と他方の歯の両側面電極とが電源の一方の極に接続され、逆に該他方の歯の表裏主表面中の溝の壁面上に設けた中央電極と該１方の歯の両側面電極とが電源の反対の極に接続されるように構成した音叉型水晶振動子。」
　
３．対比
　原査定においては、原査定の拒絶の理由に引用された上記引用例４を主引用例とし、同じ上記引用例１〜３を副引用例として取り扱っているので、それに合わせた形で以下検討する。
　引用例４発明は、上記２．で認定したとおりであるが、引用例４発明（以下、「前者」という。）の２本の歯も、本願発明（以下、「後者」という。）と同様に、「音叉基部とその音叉基部に接続された幅と厚みと長さとを有する音叉腕」である「第１音叉腕と第２音叉腕」といえ、「上面と下面と側面とを備えてい」ることも明らかであり、また、前者の「２本の歯の表裏の主表面に溝を設け」ることは、後者の「第１音叉腕と前記第２音叉腕の上面と下面の各々に溝を形成」することに相当し、前者の「１方の歯の表裏主表面中の溝の壁面上に設けた中央電極と他方の歯の両側面電極とが電源の一方の極に接続され、逆に該他方の歯の表裏主表面中の溝の壁面上に設けた中央電極と該１方の歯の両側面電極とが電源の反対の極に接続されるように構成した」ことは、後者の「第１音叉腕の側面に配置された電極と、前記第２音叉腕の上面と下面の各々に形成された溝に配置された電極とが同極となるように接続形成し、前記第１音叉腕の上面と下面の各々に形成された溝に配置された電極と、前記第２音叉腕の側面に配置された電極とが同極となるように接続形成し、かつ、前記溝の側面とその側面に対抗する音叉腕の側面には互いに極性の異なる電極が配置され」ることに相当する。
　そうすると、本願発明と引用例４発明とを対比して、両者の一致点及び相違点を整理すると以下のようになる。
（一致点）
　水晶振動子は音叉基部とその音叉基部に接続された幅と厚みと長さとを有する音叉腕を備えて構成され振動する音叉型の水晶振動子で、前記音叉型の水晶振動子の前記音叉腕は第１音叉腕と第２音叉腕を備えて構成され、各音叉腕は上面と下面と側面とを備えていて、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の上面と下面の各々に溝を形成し、前記第１音叉腕の側面に配置された電極と、前記第２音叉腕の上面と下面の各々に形成された溝に配置された電極とが同極となるように接続形成し、前記第１音叉腕の上面と下面の各々に形成された溝に配置された電極と、前記第２音叉腕の側面に配置された電極とが同極となるように接続形成し、かつ、前記溝の側面とその側面に対抗する音叉腕の側面には互いに極性の異なる電極が配置された音叉型の水晶振動子。
　
（相違点１）
　本願発明は、ケースと蓋と音叉型屈曲水晶振動子とを備えて構成される水晶ユニットの製造方法であって、前記音叉型屈曲水晶振動子をケースの固定部に導電性接着剤又は半田により固定し、その固定後に蓋は前記ケースに低融点ガラス又は金属を介して接合し、その接合後に前記音叉型屈曲水晶振動子の周波数調整を行い、その周波数調整後に前記ケースに設けられた穴が金属を用いて真空中で封止されるものであるのに対し、引用例４発明は、そのような水晶ユニットの製造方法まで示したものではない点。
　
（相違点２）
　音叉型の水晶振動子の音叉腕の形成工程に関し、本願発明は、「準備された水晶ウエハの上面と下面に金属膜を蒸着又はスパッタリングにより形成し、前記金属膜の上にレジストを塗布し、前記金属膜と前記レジストとが音叉形状を残して除去された後に、エッチング加工により第１音叉腕と第２音叉腕と音叉基部とを備えた音叉形状を形成し、前記音叉形状は前記水晶ウエハ上に多数個形成されてい」るのに対し、引用例４発明は、上記の工程により形成されることまで示したものではない点。
　
（相違点３）
　第１音叉腕と第２音叉腕の上面と下面の各々に形成した溝、第１音叉腕と第２音叉腕に配置された電極、及び、第１音叉腕と第２音叉腕による振動モード、それぞれに関し、本願発明は、当該溝を「その音叉形状を形成した後に、フォトリソ工程とエッチング加工により」形成し、「前記溝の溝幅Ｗ２と音叉腕幅Ｗとの比（Ｗ２／Ｗ）が０．３５から０．８５の範囲内にあ」るもので、当該電極を「その溝を形成した後に、溝を有する前記第１音叉腕と溝を有する前記第２音叉腕と前記基部とを備えた前記音叉形状の面の上に金属膜とレジストを塗布し」て形成するもので、当該振動モードが「前記第１音叉腕と前記第２音叉腕は逆相で屈曲振動をする」ものであるのに対し、引用例４発明は、上記のような溝の形成の仕方、上記のような電極の形成の仕方、及び、上記のような振動モードまで示したものではない点。
　
４．当審の判断
　上記３．で抽出した相違点について、以下に検討する。
ア　（相違点１）について
　引用例４には、引用例４発明に係る音叉型の水晶振動子を腕時計又は携帯用電卓（計算器）などのような携帯機器に用いることが明記されているところ（第２頁右上欄１〜４行）、その際に当該音叉型の水晶振動子をケースと蓋による空間に収納した一つのユニットとして当該腕時計や携帯機器に用いることは、出願人も熟知のとおり周知の技術的事項であり（必要であるならば、引用例１、審尋で示した特開２００１−８５９６３号公報、他にも、特開平１１−３１２９４８号、特開２０００−３０７３６８号の各公報、参照）、その中にあって、上記「第２」の２−１．の（１）で摘示のとおり、「ベースと蓋体と水晶振動子片とを備えて構成される圧電振動子の製造方法であって、前記水晶振動子片は、フォトリソ加工により、ひとつの水晶基板から、同一の外形を備えるように、各振動子片が多数配列された状態で形成されて、さらに、各振動子片の表面に、Ｃｒ＋Ａｕ等の金属膜を電極として形成したものであり、前記水晶振動子片をべースの電極部に導電性の接着剤により固定し、その固定後に蓋体を前記ベースに金属材料や接着剤から成る封止材を介して接合し、その接合後に前記水晶振動子片の周波数調整を行い、その周波数調整後に前記べースに設けられた前記貫通穴が封止用の金属を用いて真空中で封止される圧電振動子の製造方法」は、引用例１に記載されているように公知の技術である（以下、「引用例１記載の公知技術」という。）。そして、上記「第２」の２−２．の「ア」及び「エ」で示したとおり、引用例１記載の公知技術の「ベース」、「蓋体」は、それぞれ、本願発明の「ケース」、「蓋」に相当し、引用例１記載の公知技術の「べースの電極部」は、水晶振動子片をベースに固定するためのものであるから、本願発明の「ケースの固定部」に相当する。また、引用例１記載の公知技術の「圧電振動子」は「ベースと蓋体と水晶振動子片とを備えて構成される」ものであり、本願発明の「水晶ユニット」が「ケースと蓋と水晶振動子とを備えて構成される」もので実質的にその構成要素は同等であるから、当該「圧電振動子」は、本願発明の「水晶ユニット」に相当する。
　そうすると、引用例１記載の公知技術は上記相違点１に係る本願発明の構成に相当するといえるものであり、また、当該公知技術を引用例４発明に適用することに阻害要因も格別の技術的困難性も見い出せないから、引用例４発明に引用例１記載の公知技術を適用して上記相違点１に係る本願発明の構成とすることは、当業者が容易に想到し得ることである。
　なお、本願発明の音叉型水晶振動子は、屈曲振動モードを呈する音叉型屈曲水晶振動子であるが、ケースと蓋と音叉型水晶振動子とを備えた水晶ユニットを製造するに当たり、該音叉型水晶振動子が屈曲振動モードであることは当該製造方法に対して影響を及ぼすものではないから、上記容易想到の判断を妨げる要因にはなり得ず、また、引用例４発明の音叉型水晶振動子が屈曲振動モードを呈するように構成することは、以下の「ウ　（相違点３について）」で説示のとおり、当業者が容易に想到し得たことである。
　
イ　（相違点２）について
　上記「２−１．」の（３）で説示したように、水晶ウェーハの両面に金属膜を真空蒸着により形成し、前記金属膜の上にフォトレジストを形成し、前記金属膜と前記レジストとが音叉形状を残して除去された後に、エッチング加工により音叉形状に成形する技術は、引用例３記載の技術（３−１）として公知技術であり、また、当該音叉形状を水晶ウエハ上に多数個形成することも、当該技術分野においては周知技術といえることである（必要ならば、例えば、上記「ア」で示した引用例１記載の公知技術（それを構成する要件の一つ）、また、上記「２−１．」の（４）の「ウ」で提示した特公昭５３−２５６３６号公報（第３頁第６欄３１〜３５行及び第９−１図、参照）に示されている。）。そして、上記公知技術において、エッチング加工により成形される音叉形状が、本願発明でいう第１と第２の音叉腕と音叉基部とを備えたものであることは当業者であれば容易に首肯し得る技術的事項であるから、上記公知技術及び上記周知技術を引用例４発明に適用して相違点２に係る本願発明の形成工程とすることは、当業者が容易に想到し得ることである。そして、引用例４発明、上記公知技術及び上記周知技術は、共に音叉型の水晶振動子に係る技術分野に関するものであるから、引用例４発明への当該公知技術及び上記周知技術の適用を阻害する要因は見当たらない。
　
ウ　（相違点３）について
(ア)上記「２−１．」の（３）で説示したように、音叉形状に成形された水晶に対して、電極パターン形成用のフォトレジストを形成し、その後所定のパターンの電極を形成する技術は、引用例３記載の技術（３−２）として公知技術である。
(イ)上記「２−１．」の（２）で説示したとおり、「音叉型水晶振動子を構成する２つの振動細棒それぞれの表面と裏面の両方に、フォトリソとエッチング加工により溝を形成し、溝の溝幅が０．０７ｍｍで、溝を備えた振動細棒の幅が０．１ｍｍであり、該振動細棒の溝に設けられた電極と該振動細棒の側面に設けられた電極には、それぞれ極性の異なる電圧が交互に印加されるように構成した音叉型水晶振動子」は、引用例２発明として公知のものであり、その振動モードが屈曲モードであることは自明である。
　また、引用例２発明の２つの振動細棒が、本願発明の「第１音叉腕と第２音叉腕」に相当することは明らかで、また、引用例２発明の「溝の溝幅」「０．０７ｍｍ」、及び、「溝を備えた振動細棒（音叉腕）の幅」「０．１ｍｍ」が、それぞれ本願発明の「Ｗ２」、及び、「Ｗ」に相当するから、結局、それらの比（Ｗ２／Ｗ）は（０．０７／０．１）＝０．７となり、本願発明が特定する「０．３５から０．８５」の範囲を満足するものである。
(ウ) 音叉型水晶振動子における、振動細棒の形成、該振動細棒への溝の形成、該振動細棒及び該溝への電極の形成について、それぞれを形成する工程の順序について翻って検討するに、振動細棒、該振動細棒に形成した溝、該振動細棒及び該溝に形成した電極、それぞれの構造及び構成を勘案すれば、上記溝の形成を、振動細棒（音叉腕）を形成した後に行うようにすること、また、上記電極の形成を、上記溝を形成した後に行うようにすること、それぞれは、共に格別の技術的困難性を伴うものではなく当業者が適宜に採用し得る設計的事項である。
　
　したがって、上記(ア)〜(ウ)の説示から、同じ音叉型屈曲水晶振動子に関する引用例２発明、引用例３記載の技術（３−２）を引用例４発明に適用することにより、相違点３に係る本願発明の構成とすることは、当業者が容易に想到し得ることである。そして、この適用に関しては、上記(ア)〜(ウ)の説示のとおり、引用例４発明に対して、引用例２発明及び引用例３記載の技術（３−２）をそれぞれ個別に適用することにより、当該相違点２の克服が図れるといえるものであり、また、それぞれの適用についても阻害要因はない。
　
エ　本願発明の効果について
　本願発明の構成によってもたらされる効果は、引用例４発明、引用例２発明、上記各公知技術及び上記周知技術から、当業者ならば容易に予測することができる程度のものであって、格別のものとはいえない。
　
５．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例４発明及び引用例２発明、上記各公知技術及び上記周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本願は、他の請求項について検討するまでもなく、拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。