【手続補正書】
【提出日】平成17年11月22日(2005.11.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高速酸素燃料（ＨＶＯＦ）と、少なくとも１種類の非溶融ポリマーを含有するＨＶＯＦストリームを前記ＨＶＯＦの下流にあり、かつ流体連通している細長いノズルからスプレーすることを含むプロセスを用いて前記物品がスプレーコートされ、前記細長いノズルが入口開口部と出口開口部とを備えた中央孔を有するバレルの外部周囲を循環する冷却液を含み、前記少なくとも１種類の非溶融ポリマーが、前記入口開口部の下流にある前記細長いノズル内のある点で前記ＨＶＯＦストリームへ供給され、前記物品を前記少なくとも１種類の非溶融ポリマーでコートすることを特徴とする少なくとも１種類の非溶融ポリマーでスプレーコートされたことを特徴とする物品。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
摩擦係数に関して、実験によれば、充填材料は未充填のものより低い摩擦係数を示した。摩耗率に加えて、ＣＯＦの結果は、アルミニウムのコーティングは鋼のものより耐摩耗性が低く、凝集力が減じたことからＣＯＦも低いという仮定を支持した。鋼とアルミニウム基材のコーティング間の焼結による均一化の影響も示されなかった。従って、本発明によれば、ここに規定した目的および利点を完全に満足する、ＨＶＯＦを用いて非溶融ポリマーをスプレーコーティングする方法が提供されることが明らかである。本発明を特定の実施形態について説明してきたが、多くの変形、修正および変更が当業者に明白であることは明らかである。従って、本発明の技術思想および範囲内に含まれる全てのかかる変形、修正および変更が包含されるものとする。
本発明は以下の実施の態様を含むものである。
１．高速酸素燃料（ＨＶＯＦ）と、少なくとも１種類の非溶融ポリマーを含有するＨＶＯＦストリームを前記ＨＶＯＦの下流にあり、かつ流体連通している細長いノズルからスプレーすることを含むプロセスを用いて前記物品がスプレーコートされ、前記細長いノズルが入口開口部と出口開口部とを備えた中央孔を有するバレルの外部周囲を循環する冷却液を含み、前記少なくとも１種類の非溶融ポリマーが、前記入口開口部の下流にある前記細長いノズル内のある点で前記ＨＶＯＦストリームへ供給され、前記物品を前記少なくとも１種類の非溶融ポリマーでコートすることを特徴とする少なくとも１種類の非溶融ポリマーでスプレーコートされた物品。
２．スプレーコートされた前記物品が腐食環境に晒され、前記スプレーコートされた物品が前記腐食環境からの劣化から保護されていることを特徴とする前記１記載の物品。
３．前記少なくとも１種類の非溶融ポリマーが、１種または複数種のポリフェニレン、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンスルフィド、ポリイミドチオエーテル、ポリオキサミド、ポリイミン、ポリスルホンアミド、ポリイミド、ポリスルホンイミド、ポリイミジン、ポリピラゾール、ポリイソオキサゾール、ポリベンゾオキサゾール、ポリベンゾイミダゾール、ポリチアゾール、ポリベンゾチアゾール、ポリオキサジアゾール、ポリトリアゾール、ポリトリアゾリン、ポリテトラゾール、ポリキノリン、ポリアントラゾリン、ポリピラジン、ポリキノキサリン、ポリキノキサロン、ポリキナゾロン、ポリトリアジン、ポリテトラジン、ポリチアゾン、ポリピロン、ポリフェナントロリン、ポリカルボシランおよびポリシロキサンを含むことを特徴とする前記１記載の物品。
４．スプレーコーティングの前に、２５０マイクロメートル未満またはこれに等しい粗さを有する平滑表面を備えることを特徴とする前記１記載の物品。
５．スプレーコーティングを適用する前に粗面化された平滑表面をさらに備えることを特徴とする前記４記載の物品。
６．前記粗面化された平滑表面は、物品のメディアブラストされる平滑表面を含むことを特徴とする前記５記載の物品。
７．前記物品が有機材料または無機材料を含むことを特徴とする前記１記載の物品。
８．前記有機材料が、カーボン、グラファイト、ポリマーおよびポリマー複合体のうち少なくとも１種類の材料を含むことを特徴とする前記７記載の物品。
９．前記無機材料が金属およびセラミックスのうち少なくとも１種類の材料を含むことを特徴とする前記７記載の物品。
１０．前記ポリマーがポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、エポキシ、アラミド、ビスマレイミド、フェノール、フラン、ウレア、不飽和ポリエステル、エポキシアクリレート、ジアリルフタレート、ビニルエステル、メラミン、ナイロンポリマー、液体芳香族ポリアミドポリマー、ポリエステルポリマー、液体芳香族ポリエステルポリマー、ポリプロピレンポリマー、ポリエーテルスルホンポリマー、ポリフェニレンスルフィドポリマー、ポリエーテルエーテルケトンポリマー、ポリスルホンポリマー、ポリ塩化ビニルポリマー、ビニロンポリマー、ポリベンゾイミダゾール、アラミドポリマーおよび／またはフルオロポリマーからなる材料の群より選択されることを特徴とする前記８記載の物品。
１１．前記ポリマー複合体が、前記１０記載のポリマーと、少なくとも１種類の強化材料とを含み、前記少なくとも１種類の強化材料が有機強化材料および／または無機強化材料を含むことを特徴とする前記８記載の物品。
１２．前記強化材料が粒子、ウィスカー、チョップトファイバー、ファイバー、布地およびブレードのうち少なくとも１種類を含むことを特徴とする前記１１記載の物品。
１３．前記有機強化材料が、カーボン、アラミドポリマー、ポリ（パラフェニレンベンゾビスアキサゾール）、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、フルオロポリマーおよび／またはグラファイトを含むことを特徴とする前記１１記載の物品。
１４．前記無機強化材料がガラス、クレーおよび／またはマイカを含むことを特徴とする前記１１記載の物品。
１５．前記金属が、鋼、アルミニウム、銅、チタン、青銅、金、鉛、ニッケル、タングステン、銀および金属合金からなる材料の群より選択されることを特徴とする前記９記載の物品。
１６．前記セラミックスが、二酸化ケイ素、二酸化アルミニウム、酸化イットリウム、酸化クロム、炭化クロム、炭化タングステン、炭化タングステン−コバルト、酸化ジルコニウム、酸化ジルコニウム−酸化イットリウム、アルミナ／チタニア複合体、炭化クロム−ニッケル−クロムおよび炭化ケイ素からなる材料の群より選択されることを特徴とする前記９記載の物品。
１７．少なくとも１種類の非溶融ポリマーでスプレーコートされた前記物品が、後硬化されることを特徴とする前記１または５記載の物品。
１８．後硬化されることは、少なくとも１種類の非溶融ポリマーのスプレーコーティングが、前記物品に焼結されることを含むことを特徴とする前記１７記載の物品。
１９．焼結されることは、前記物品にスプレーコートされた前記少なくとも１種類の非溶融ポリマーを加熱することを含み、前記加熱が、酸素のない雰囲気を有する密閉容器中で４５０℃の最大温度を超えないことを特徴とする前記１８記載の物品。
２０．前記物品がチャンバーであることを特徴とする前記１記載の物品。
２１．前記チャンバーが、１個または複数個の上部電極、下部電極、内壁、側壁およびウェーハステージを含む構成部品を有することを特徴とする前記１記載の物品。
２２．腐食環境に晒される前記チャンバーが、前記非溶融ポリマーでスプレーコートされた少なくとも１個または複数個の構成部品を有することを特徴とする前記２１記載の物品。
２３．前記チャンバーが、プラズマエッチングチャンバーであることを特徴とする前記２２記載の物品。
２４．前記プラズマエッチングチャンバーが、プラズマ状態に励起されているガスを含有することを特徴とする前記２３記載の物品。
２５．前記少なくとも１種類の非溶融ポリマーでスプレーコートされた前記物品が、前記スプレーコートされた物品の摩擦および摩耗率を減少させることを特徴とする前記１記載の物品。
２６．前記スプレーコートされた物品が、前記物品の絶縁性を改善して前記物品を介した熱伝達を減少させることを特徴とする前記１記載の物品。
２７．前記スプレーコートされた物品が、前記物品の絶縁性を改善して前記物品を介した電気伝達を減少させることを特徴とする前記１記載の物品。
２８．前記スプレーコートされた物品が、前記物品の伝導性を改善して前記物品を介した電気伝達を増加させることを特徴とする前記１記載の物品。