【事件の表示】
　特願２００７−５０６４３９「フォトリソグラフィ用光源」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年１０月２０日国際公開、ＷＯ２００５／０９８５３７、平成１９年１１月　１日国内公表、特表２００７−５３１３２７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　
　本願は、平成１７年３月２８日（パリ条約による優先権主張　平成１６年３月３１日　米国）の出願であって、平成２１年７月１日付けで拒絶理由が通知され、同年１０月２日付けで手続補正がなされ、同年１１月２６日付けで拒絶査定がなされ、これに対して平成２２年４月１日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに同日付けで手続補正がなされたものである。
　その後、前置報告書の内容について、審判請求人の意見を求めるために平成２３年２月２１日付けで審尋がなされ、同年５月２３日付けで当該審尋に対する回答書が提出された。
　
　
　
２．補正の却下の決定
　
[補正の却下の決定の結論]
　
　平成２２年４月１日付け手続補正（以下「本件補正」という）を却下する。
　
[理由]
　
２−１．本願補正発明
　
　本件補正は、本件補正前の特許請求の範囲の請求項１の記載を以下のとおり補正することを含むものである。
　
「　光源ヘッド；
　前記ヘッドと結合する第1の組のポール；及び、
　前記第1組のポールと前記ヘッドの中心との間に設置されている、前記ヘッドと結合する第2の組のポール；
　を有する光源であって、
　前記第1組のポール及び前記第2組のポールは、前記光源の特性を変化させるために
互いに独立して
　前記第1組のポール及び前記第2組のポールは、焦点深度(DOF)許容度を最適化するために調節可能である、
　ことを特徴とする光源。」（下線は補正箇所を示す）
　
　本件補正による特許請求の範囲の請求項１に係る補正は、本件補正前の特許請求の範囲の請求項１に記載した発明を特定するための事項である「第1組のポール」及び「第2組のポール」の「調節」について、「互いに独立して」行うものと限定するものであり、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法（以下「平成１８年改正前特許法」という。）第１７条の２第４項第２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする補正に該当する。
　
　そこで、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に記載した発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか、すなわち平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するかについて以下に検討する。
　
　本件補正後の特許請求の範囲の請求項１の記載には、「第1の組のポール」と「第1組のポール」が存在するが、両者が同じ事項を表すことは明かであり、「第2の組のポール」と「第2組のポール」についても同様であるので、以下のものを本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「本願補正発明」という）と認定する。
　
「　光源ヘッド；
　前記ヘッドと結合する第1の組のポール；及び、
　前記第1の組のポールと前記ヘッドの中心との間に設置されている、前記ヘッドと結合する第2の組のポール；
　を有する光源であって、
　前記第1の組のポール及び前記第2の組のポールは、前記光源の特性を変化させるために互いに独立して調節することが可能で、かつ
　前記第1の組のポール及び前記第2の組のポールは、焦点深度(DOF)許容度を最適化するために調節可能である、
　ことを特徴とする光源。」
　
　
２−２．引用発明
　
２−２−１．刊行物の記載事項　
　
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開平９−７９３７号公報（以下「引用例」という）には、以下の技術事項が記載されている（後述の「２−２−２．引用発明の認定」において引用した記載に下線を付した）。
　
記載事項ａ．【０００８】
「【０００８】図７及び図８は共にウェーハ上での光強さ分布は極大点と極小点を形成し、特に極小点では光強さが０であるので光強さ分布が不連続的で全体的にウェーハ上で光強さは均一な分布を成されない。」
　
記載事項ｂ．【００２２】乃至【００２４】
「【００２２】図６は本発明による変形露光装置を示した図面である。具体的に、本発明の変形
露光装置
光源から出る光を平行光として放出するフライアイレンズ６ａと前記フライアイレンズ６ａから出る光を制限するフィルタ６ｂ
【００２３】
前記フィルタ６ｂは、
８個の露光ホール
この８個のホールは幾何学的な配列形態により２グループのホール、即ち、第１グループホールＨ３、Ｈ４、Ｈ５、Ｈ６および第２グループホールＨ１、Ｈ２、Ｈ７、Ｈ８に分けられ
【００２４】
前記第１グループホールと第２グループホールはそれぞれ４個のホールを具備し
前記第１グループホールを構成する４個のホールＨ３、Ｈ４、Ｈ５、Ｈ６は前記フィルタ６ｂの中心から一定な距離（以下、“第１距離”と言う）に形成されており、
前記第２グループホールを構成する４個のホールＨ１、Ｈ２、Ｈ７、Ｈ８は前記フィルタの中心から前記第１グループホールの４個のホールＨ３、Ｈ４、Ｈ５、Ｈ６が形成された距離より遠い距離（以下、“第２距離”と言う）に形成されて
　
記載事項ｃ．【００２７】
「【００２７】一方、本発明の変形露光装置は
従来の四重極フィルタ
ウェーハ６ｆ上に従来より均一な光大きさ分布を形成することができる
　
記載事項ｄ．【００３３】
「【００３３】図９は本発明によるウェーハ上での光の強さ分布を示した図面である。図９を参照すれば、
ウェーハ９４上で
均一な光の強さ分布
　
記載事項ｅ．図５
「
」
　
記載事項ｆ．図６
「
」
　
記載事項ｇ．図７乃至図９
「
」
　
２−２−２．引用発明の認定
　
　記載事項ａ（【０００８】）、記載事項ｂ（【００２２】）、記載事項ｃ（【００２７】）、記載事項ｆ（図６）及び記載事項ｇ（図７乃至図９）から、引用例の「露光装置」は、「フィルタ」の「第１グループホール」及び「第２グループホール」を通過した光により、従来の四重極フィルタを用いたものよりも、「ウェーハ」上での光の強さ分布がより均一となるように構成されていると認められる。
　記載事項ｆ（図６）から、引用例の「フィルタ」は、フライアイレンズ上に配置されていると認められる。
　
　上記事項及び記載事項ａ乃至記載事項ｇの記載内容から、引用例１には、
　
「　光源から出る光を平行光として放出するフライアイレンズと、
　前記フライアイレンズ上に配置され、前記フライアイレンズから出る光を制限するフィルタと、
　を有し、
　前記フィルタ６ｂは、８個の露光ホールを備え、この８個のホールは幾何学的な配列形態により２グループのホール、即ち、第１グループホールＨ３、Ｈ４、Ｈ５、Ｈ６および第２グループホールＨ１、Ｈ２、Ｈ７、Ｈ８に分けられ、前記第１グループホールと第２グループホールはそれぞれ４個のホールを具備し、前記第１グループホールを構成する４個のホールＨ３、Ｈ４、Ｈ５、Ｈ６は前記フィルタ６ｂの中心から一定な距離に形成されており、前記第２グループホールを構成する４個のホールＨ１、Ｈ２、Ｈ７、Ｈ８は前記フィルタの中心から前記第１グループホールの４個のホールＨ３、Ｈ４、Ｈ５、Ｈ６が形成された距離より遠い距離に形成されており、
　フィルタの第１グループホール及び第２グループホールを通過した光により、従来の四重極フィルタを用いたものよりも、ウェーハ上での光の強さ分布がより均一となるように構成されている、
　露光装置。」
　
（以下「引用発明」という）が記載されていると認められる。
　
　
２−３．対比
　
　本願補正発明と引用発明を対比する。
　
　本願の明細書の【００１１】乃至【００１２】及び図２の記載内容から、本願補正発明における「光源ヘッド」とは、光源系の基礎部分を漠然と指し示すものと解される。よって、引用発明における、「光源から出る光を平行光として放出するフライアイレンズ」が、本願補正発明の「光源ヘッド」に相当する。
　本願明細書の【００１２】及び図２等の記載内容から、本願補正発明における「ポール」とは、光源系において、光源からの光が射出する部位を表すものと解される。また、【００１２】及び図２等の記載内容から、本願発明の「（ヘッドと）結合する」とは、光源ヘッド上に配置されていることを表すものと解される。よって、引用発明における「前記フライアイレンズ上に配置され」た「フィルタ」の「ホール」が、本願補正発明の「ヘッドと結合する」「ポール」に相当する。
　引用発明の「第２グループホール」が「フィルタの中心から前記第１グループホールの４個のホールＨ３、Ｈ４、Ｈ５、Ｈ６が形成された距離より遠い距離に形成されて」いることは、本願発明の「第2の組のポール」が「第1のポール」と「ヘッドの中心との間に設置されている」ことに相当するので、引用発明の「第１グループホール」及び「第２グループホール」はそれぞれ、本願補正発明の「第2の組のポール」及び「第1の組のポール」に相当する。
　本願の明細書及び図面の記載内容から、本願補正発明における「光源」は、（レーザーやランプ等の）光源を含めた照明系全体を表すものと解される。よって、引用発明の「光源」、「フライアイレンズ」及び「フィルタ」からなる系が、本願補正発明の「光源」に相当する。
　本願明細書の【０００４】、【０００５】、【０００６】、【０００７】、【００１５】等の記載内容から、本願補正発明の「光源の特性」とは、「ポール」からの光により、光源の光が照射される被照射物（基板としてのウェーハやフォトレジスト等）上での光学的な諸特性を表すと認められるので、引用発明の「フィルタの第１グループホール及び第２グループホールを通過した光により、従来の四重極フィルタを用いたものよりも、ウェーハ上での光の強さ分布がより均一となるように構成されている」ことは、本願補正発明の「前記第1の組のポール及び前記第2の組のポールは、前記光源の特性を変化させる」ことに相当する。
　本願の明細書の【００２２】乃至【００２８】及び図５の記載内容から、本願補正発明の「第1の組のポール」及び「第2の組のポール」について、「調節することが可能」であることとは、設計段階（製造段階）において、所望の性能となるように、「第1の組のポール」及び「第2の組のポール」の位置等を決定可能であることを表していると解される。引用発明では、「フィルタの第１グループホール及び第２グループホールを通過した光により、従来の四重極フィルタを用いたものよりも、ウェーハ上での光の強さ分布がより均一となるように構成されている」ので、設計段階（製造段階）において、所望の光の強さの分布となるように、「フィルタ」の「ホール」の形状が決定可能であることは明かであると認められる。よって、引用発明の「フィルタの第１グループホール及び第２グループホールを通過した光により、従来の四重極フィルタを用いたものよりも、ウェーハ上での光の強さ分布がより均一となるように構成されている」ことは本願補正発明の「前記第1の組のポール及び前記第2の組のポールは、前記光源の特性を変化させるために調節することが可能で」あることに相当する。
　
　したがって、引用発明と本願補正発明とは、
　
「　光源ヘッド、
　前記ヘッドと結合する第1の組のポール、及び、
　前記第1の組のポールと前記ヘッドの中心との間に設置されている、前記ヘッドと結合する第2の組のポール、
　を有する光源であって、
　前記第1の組のポール及び前記第2の組のポールは、前記光源の特性を変化させるために調節することが可能である、
　光源。」
　
　である点で一致し、以下の点で相違する。
　
（相違点１）
　本願補正発明は、「第1の組のポール」及び「第2の組のポール」に対する「光源の特性を変化させるため」の「調節」が、「互いに独立して」行われるものであるのに対し、引用発明では当該特定事項を有していない点。
　
（相違点２）
　本願補正発明は、「第1の組のポール」及び「第2の組のポール」について、「焦点深度(DOF)許容度を最適化するために調節可能である」のに対し、引用発明では当該特定事項を有していない点。
　
　
２−４．判断
　
２−４−１．相違点１について
　
　審判請求書において補正の根拠として挙げられている本願明細書の【０００９】の記載内容から、本願補正発明の「前記第1の組のポール及び前記第2の組のポールは、前記光源の特性を変化させるために互いに独立して調節する」こととは、第1の組のポール及び第2の組のポールが、素子毎にそれぞれ異なるピッチに適するように調節することであると認められる。当業者の技術常識から、光源系の中心から遠い距離から発せられた光がより小さなピッチに適するといえるから（本願明細書の【００１４】にも同様の事項が記載されている）、引用発明の「フィルタの中心から前記第１グループホールの４個のホールＨ３、Ｈ４、Ｈ５、Ｈ６が形成された距離より遠い距離に形成され」ている「第２グループホールを構成する４個のホールＨ１、Ｈ２、Ｈ７、Ｈ８」は、相対的に小さなピッチに適するように調節されたものであり、同じく「第１グループホールの４個のホールＨ３、Ｈ４、Ｈ５、Ｈ６」は、相対的に大きなピッチに適するように調節されたものであり、それぞれ異なるピッチに適するように調節されたものであると認められる。してみれば、引用発明の「第１グループホールの４個のホールＨ３、Ｈ４、Ｈ５、Ｈ６」と「第２グループホールを構成する４個のホールＨ１、Ｈ２、Ｈ７、Ｈ８」は、「互いに独立して」「調節」されているといえる。よって、相違点１は実質的な相違点ではない。
　
２−４−２．相違点２について
　
　露光装置の照明系において、（光源の）照明形状を、焦点深度を最適化するように調節することは周知である（原査定の拒絶の理由に引用された、特開２００２−３３４８３６号公報（【００４１】参照））。
　また、本願明細書【０００４】及び【０００９】等の記載内容から、本願補正発明における「焦点深度(DOF)許容度」とは、焦点が離れてもエラーがなくパターンの形成が行われる許容範囲、すなわち、焦点深度自体を表すものと認められる。
　してみれば、引用発明において、照明形状を決定している「第１グループホール」及び「第２グループホール」を、焦点深度を最適化するために調節することにより、相違点２に係る構成を得ることは、当業者であれば容易に想到できたものである。
　
　
２−５．本願補正発明の効果について
　
　本願補正発明による効果は、引用発明及び周知技術に基いて、当業者が予測し得る範囲内のものに過ぎず、格別なものとはいえない。
　
　
２−６．補正の却下の決定のむすび
　
　以上のとおり、本願補正発明は、引用発明及び周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　したがって、本件補正は、平成１８年改正前特許法１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
　なお、回答書には補正案が記載されているが、当該補正案を参照しても、上記判断に変わりはない。
　
　
　
３．本願発明について
　
３−１．本願発明
　
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という）は、平成２１年１０月２日付け手続補正により補正された以下のとおりのものである。
　
「　光源ヘッド；
　前記ヘッドと結合する第1の組のポール；及び、
　前記第1組のポールと前記ヘッドの中心との間に設置されている、前記ヘッドと結合する第2の組のポール；
　を有する光源であって、
　前記第1組のポール及び前記第2組のポールは、前記光源の特性を変化させるために調節することが可能で、かつ
　前記第1組のポール及び前記第2組のポールは、焦点深度(DOF)許容度を最適化するために調節可能である、
　ことを特徴とする光源。」
　
　
３−２．引用発明
　
　引用例びその記載事項は、前記「２−２．引用発明」に記載したとおりである。
　
　
３−３．対比・判断
　
　本願発明は、本願補正発明から、「第1の組のポール」及び「第2の組のポール」に対する「光源の特性を変化させるため」の「調節」について、「互いに独立して」行うものと限定のあるところを、削除したものに相当する。
　そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、更に他の要件を付加したものに相当する本願補正発明が前記「２．補正の却下の決定」で述べた理由により、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　
３−４．むすび
　
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受ける事が出来ない。
　
　したがって、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。