【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３３２７８１７号発明「機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドへの透明窓の形成」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　本件審判の請求は、成り立たない。
　審判費用は、請求人の負担とする。
【理　由】
第１．手続の経緯
　平成　９年　８月１８日　本件出願（優先権主張平成８年８月１６日、ア　　　　　　　　　　　　　メリカ合衆国）　
　平成１４年　７月１２日　設定登録（特許第３３２７８１７号）
　平成１５年　３月２４日　特許異議申立（異議２００３−７０７８１号）
　平成１６年　５月　６日　特許異議の決定（訂正認容、一部取消し）
　平成１６年　９月２３日　訴えの提起（平成１７年（行ケ）第１００２３　　　　　　　　　　　　　号）
　平成１６年１１月　１日　訂正審判請求（訂正２００４−３９２５２号）
　平成１７年　３月３１日　審決（訂正認容）
　平成１７年　５月３０日　判決言い渡し（異議の決定の取り消し）
　平成１７年　７月１２日　特許異議の決定（特許維持）
　平成２２年１１月１５日　無効審判請求（請求項１〜２５に対し）　
　平成２３年　５月１３日　被請求人・口頭審理陳述要領書　
　平成２３年　６月１３日　請求人・口頭審理陳述要領書　
　平成２３年　６月２２日　口頭審理、無効理由通知
　平成２３年　６月３０日　訂正請求、意見書（答弁書）
　平成２３年　７月　５日　補正書（訂正請求に対し）
　
第２．訂正請求について
１．訂正請求の内容
　被請求人が求めた訂正の内容は、訂正請求書（平成２３年７月５日補正書を含む）に添付された全文訂正明細書のとおりであって、しかも口頭審理調書に添付された訂正案のとおり、
（１）請求項１３、１７、２２、２３、２５の「開口」が「貫通する」ものである点を明瞭にすべく訂正、
（２）請求項１７における「部分」と「セクション」の用語を統一すべく訂正、
（３）請求項１３における「研磨面」を用語を統一すべく「ポリッシング面」に訂正、
というものである。
　
２．訂正請求についての当審の判断
　訂正請求について検討する。
　訂正事項（１）は、「開口」が「貫通する」ものである点を明瞭に、すなわち明りょうでない記載の釈明を目的とし、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張、変更するものでもない。
　訂正事項（２）、（３）は、誤記の訂正を目的とし、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張、変更するものでもない。
　したがって、上記訂正は、特許法第１３４条の２第１項の規定に適合し、同条第５項で準用する特許法第１２６条第３項、第４項の規定にも適合するので、上記訂正を認める。
　
第３．本件発明
　本件特許の請求項１ないし２５に係る発明は、訂正された明細書によれば、以下のとおりである。なお、各請求項のＡ．等の分説は、請求人の審判請求書（訂正請求前）によるものに準じた。
　
「【請求項１】
Ａ．機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、
Ｂ．ポリッシング面を有するパッド部と、
Ｃ．前記ポリッシング面に形成され前記パッド部を貫通した開口であって、前記ポリッシング面に隣接し第１の寸法を持つ第１セクションおよび前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションを有する前記開口と、
Ｄ．前記開口の前記第１セクション内に位置決めされた第１部分と、前記開口の前記第２セクション内に位置決めされた第２部分とを有する実質的に透明なプラグと、
Ｅ．前記プラグを前記開口内の前記パッド部に固定する手段とを備えるポリッシングパッド。
【請求項２】
Ｆ．前記プラグがポリウレタン材料で造られている、請求項１に記載のポリッシングパッド。
【請求項３】
Ｇ．前記固定手段が接着材料を有する、請求項１に記載のポリッシングパッド。
【請求項４】
Ｈ．前記接着材料がゴム弾性ポリウレタン材で造られている、請求項３に記載のポリッシングパッド。
【請求項５】
Ｉ．前記プラグの前記第１部分が前記開口の前記第１セクションと実質的に同一寸法であり、前記プラグの前記第２部分が前記開口の前記第２セクションと実質的に同一寸法である、請求項１に記載のポリッシングパッド。
【請求項６】
Ｊ．前記プラグの前記第１部分が、前記ポリッシング面と同じ高さである上面を有する、請求項５に記載のポリッシングパッド。
【請求項７】
Ｋ．前記プラグの前記第２セクションの厚さが前記開口の前記第２セクションの深さより小さい、請求項６に記載のポリッシングパッド。
【請求項８】
Ｌ．前記第１の寸法が前記第２の寸法より大きい、請求項６に記載のポリッシングパッド。
【請求項９】
Ｍ．前記プラグがリムを有する、請求項１に記載のポリッシングパッド。
【請求項１０】
Ｎ．前記固定手段が、前記リム上に配置された接着材料を有する、請求項１に記載のポリッシングパッド。
【請求項１１】
Ｏ．機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、
Ｐ．ポリッシング面を有する第１層と、
Ｑ．前記第１層に隣接する第２層と、
Ｒ．前記第１層および前記第２層を貫通する開口であって、第１の断面積を持つ前記第１層内の第１開口、および、より小さい第２の断面積を持つ前記第２層の第２開口とを有する前記開口と、
Ｓ．前記開口に配置され、前記第１層の前記第１開口内に位置決めされた第１部分と、前記第２層の前記第２開口内に位置決めされた第２部分とを有する実質的に透明なプラグと、
Ｔ．前記プラグを前記開口内の前記第１層と前記第２層に固定する接着材料と、を備えるポリッシングパッド。
【請求項１２】
Ｕ．前記第１層が第１デュロメータ測定値を持ち、前記第２層が第２の、より小さいデュロメータ測定値を持つ、請求項１１に記載のポリッシングパッド。
【請求項１３】
Ｖ．ポリッシング面を持つポリッシングパッドを形成する方法であって、
Ｗ．開口が、前記ポリッシング面に隣接し第１の寸法を持つ第１セクション、および、前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションを有するように、ポリッシングパッドを貫通する前記開口を形成するステップと、
Ｘ．実質的に透明なプラグを、前記プラグが前記開口の前記第１セクション内に位置決めされた第１部分と前記開口の前記第２セクション内に位置決めされた第２部分とを有する状態で、前記開口に配置するステップと、
Ｙ．前記プラグを前記開口内の前記ポリッシングパッドに固定する固定ステップと、を備えるポリッシングパッド形成方法。
【請求項１４】
Ｚ．前記固定ステップが、前記プラグを接着材料で前記開口に固定するステップを有する、請求項１３に記載のポリッシングパッド形成方法。
【請求項１５】
ａ．前記開口を形成するステップが、前記ポリッシングパッドから材料を除去する除去ステップを有する、請求項１３に記載のポリッシングパッド形成方法。
【請求項１６】
ｂ．前記除去ステップが、前記ポリッシングパッドの第１層から前記第１セクションを除去するステップと、前記ポリッシングパッドの第２層から前記第２セクションを除去するステップとを有する、請求項１５に記載のポリッシングパッド形成方法。
【請求項１７】
ｃ．機械化学的ボリッシング装置用のポリッシングパッドであって、
ｄ．ポリッシング面を有する物体と、
ｅ．該物体を貫通して形成された開口であって、該開口は前記ポリッシング面に隣接し第１の寸法を有する第１セクション及び、前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を有する第２セクションとを有する、該開口と、
ｆ．該開口の前記第１セクションに対応する同一の形状を有しており且つ前記第１セクション内において該開ロ内の前記物体に固定された実質的に透明なプラグと、を備えるポリッシングパッド。
【請求項１８】
ｇ．前記物体が、該ポリッシング面を有する第１層と、該第１層に隣接する第２層とを有する請求項１７に記載のポリッシングパッド。
【請求項１９】
ｈ．該開口が、該第１層および該第２層を貫通する請求項１８に記載のポリッシングパッド。
【請求項２０】
ｉ．該開口の該第１部分が該ポリッシング面に隣接し、該開口の該第１部分の寸法が該開口の該第２部分よりも大きい請求項１９に記載のポリッシングパッド。
【請求項２１】
ｊ．該プラグの上面が、該ポリッシング面と実質的に同じ高さにある請求項１７に記載のポリッシングパッド。
【請求項２２】
ｋ．機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、
ｌ．ポリッシング面を有する被覆層及び前記被覆層の下側に位置している裏打ち層を包含する物体と、
ｍ．前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持ち、前記被覆層に形成された第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持ち、前記裏打ち層に形成された第２セクションとを有し、前記被覆層と前記裏打ち層を貫通する開口と、
ｎ．前記開口の前記第１セクション内の前記物体に固定され、前記開口の前記第１セクションの前記第１寸法及び前記被覆層の厚さと夫々実質的に同じ寸法を有する実質的に透明なプラグと、を備えるポリッシングパッド。
【請求項２３】
ｏ．機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、
ｐ．ポリッシング面を有する物体と、
ｑ．前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持つ第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションとを有し、前記物体を貫通する開口と、
ｒ１．前記開口の前記第１セクション内に位置決めされた第１部分と前記第２セクション内に位置決めされた第２部分とを有しており、ｒ２．前記物体に固定され、前記ポリッシング面と実質的に同じ高さである上面を有すると共にｒ３．前記第２部分の厚さが前記開口の前記第２セクションの深さより小さい実質的に透明なプラグと、を備えるポリッシングパッド。
【請求項２４】
ｓ．該上面が、該ポリッシング面のプラグと直に隣接する部分と実質的に共面である請求項２３に記載のポリッシングパッド。
【請求項２５】
ｔ．機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、
ｕ．透過性を低下させる添加物を含むポリウレタンで形成されたポリッシング面を有する物体と、
ｖ．前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持つ第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションとを有し、前記物体を貫通する開口と、
ｗ．前記開口の前記第１セクションに対応する同一の形状を有しており、前記第１セクション内に固定され、透過性を低下させる添加物を含まないポリウレタンで形成された、実質的に透明なプラグと、
を備えるポリッシングパッド。」
　
　上記請求項１７の「ボリッシング装置」は誤記であり正しくは「ポリッシング装置」であると、同様に「開ロ内」は「開口内」であると認める。
　
第４．請求人の主張
１．要点
　請求人は、本件特許の請求項１ないし２５に係る特許発明を無効とするとの審決を求めている。
　その理由は、以下のとおりである（請求書第１９ページ（３））。
　
（ア）請求項１ないし２５に係る特許発明は、甲第１号証〜甲第２５号証に記載された発明に基いて、出願前に当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反する。
　
（イ）請求項１３、請求項１７、請求項２２、請求項２３、請求項２４、請求項２５及びその従属項に係る特許発明は、特許を受けようとする発明が発明の詳細な説明に記載したものではないから、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。
　
（ウ）請求項２４に係る特許発明は、特許を受けようとする発明が明確ではないから、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。
　
　ただし、上記第２．のとおり、訂正請求が認容されたことから、特許法第３６条に係る上記（イ）、（ウ）の主張は取り下げられた（口頭審理調書の「請求人　８」）。
　
２．証拠
　請求人が提出した証拠は、以下のとおりである。
　甲第１号証：特開平７−５２０３２号公報
　甲第２号証：「機械的プラナリゼーション加工の加工終点検出技術の現状　　　　　　　と今後の課題」、精密工学会誌、Ｖｏｌ．６２、Ｎｏ．４、　　　　　　　１９９６、発行日：平成８年４月５日
　甲第３号証：特開平７−７３４８５号公報
　甲第４号証：実開昭６４−１９１９１号公報
　甲第６号証：特開平８−１００２４号公報
　甲第１５号証：特開平５−３０９５５８号公報
　甲第１６号証：特開平５−８０２０１号公報
　甲第１７号証：特開平５−２７１６４２号公報
　甲第１８号証：特表平５−５０５７６９号
　甲第１９号証：特開平７−２３５５２０号公報
　甲第２０号証：本件審査における平成１４年４月２２日付け意見書
　甲第２１号証：本件異議における平成１６年１月８日付け異議意見書
　甲第２２号証：無効２００６−８００７５審決書
　甲第２３号証：平成１９年（行ケ）第１０２５０号判決
　甲第２４号証：特開平５−２１９６７号公報
　甲第２５号証：特開平５−１９３９９１号公報
　甲第２６号証：特開平３−２３４４６７号公報（口頭審理陳述要領書に添　　　　　　　　付）
　甲第２７号証：特開平７−５９７２７号公報（口頭審理陳述要領書に添付　　　　　　　　）
　なお、甲第５号証、甲第７ないし１４号証は、口頭審理において、参考資料とされた（口頭審理調書の「審判長　１」）。
　
３．主張の概要
　請求人の主張の概要は、以下のとおりである。
　なお、原文の丸囲み数字は「丸１」のように置き換えた。行数は、空行を含まない。
　
（１）請求書第２４ページ下から７行〜第２５ページ第３行
「丸２　先行技術発明が存在する事実及び証拠の説明
　本件特許の出願前に頒布された刊行物である甲第１号証（特開平０７−５２０３２号公報）の図１、【００２２】には、本件請求項１に係る特許発明の構成中、Ａ．「ポリシングパッド」、Ｂ．「パッド部」、Ｃ．「開口」、Ｄ．「プラグ」、Ｅ．「固定する手段」に相当する構成「研磨布５」、「研磨布５」、「研磨布窓６」、「透明窓材４」、「透明窓材４を開口内に嵌め込んで固定すること（すなわち「固定する手段」）」が記載されている。
　そして、甲第１号証に記載された発明は、上記の構成により、プラグ（透明窓材４）を適正な位置に収容、保持することができる、という効果を有するものである。」
　
（２）請求書第２６ページ第２〜２２行
「丸３　本件特許発明と先行技術発明との対比
（請求項１）
　本件請求項１に係る特許発明と甲第１号証に記載された発明とを対比すると、両者は、第１部分（大径部）と第２部分（小径部）とを有する実質的に透明なプラグを備えており、当該プラグがポリシングパッドに形成された開口内に位置決め（配置）されている点で一致し、請求項１に係る特許発明は、プラグがポリシングパッドに取り付けられているのに対し、甲第１号証に記載された発明は、プラグ（透明窓材４）が定盤１に取り付けられている点で、両者は相違する。
　しかしながら、甲第２号証には、光学式終点検出技術（本件、甲第１号証はいずれも光学式終点検出技術に関するものである）においては、「定盤や研磨布を貫いて光路を確保・・・する技術開発が求められている」と記載されており、その光路を確保するために、プラグを定盤に取り付けるか又はポリシングパッドに取り付けるかは当業者が必要に応じて適宜選択すべき事項であって、単なる設計事項というべきであるから、甲第１号証記載のプラグ（透明窓材４）を同号証記載のポリシングパッド（研磨布５）に適用することは、当業者にとって容易である。
　そして、甲第１号証記載のプラグ（透明窓材４）を同号証記載のポリシングパッド（研磨布５）に適用するに際して、当該プラグ（透明窓材４）を適切な位置に収容、保持するために、本件特許発明の構成Ｃ．「開口」、Ｄ．「プラグ」を採用することについては、甲第３号証〜甲第８号証、及び甲第２４号証に記載されており、当業者にとって容易である。」
　
（３）請求書第２８ページ下から３行〜第２９ページ第１１行
「（請求項２）
　本件請求項２に係る特許発明と甲第１号証に記載された発明とを対比すると、甲第１号証に記載されたプラグ（透明窓材４）がパイレックス透明ガラス性であるのに対し、本件請求項２に係る特許発明がポリウレタン材料製である点で、両者は相違する。
　しかしながら、甲第１６号証（特開平５−８０２０１号公報）の【０００６】には、光ビームを透過するものとしてポリウレタンが記載されており、甲第２５号証(特開平５−１９３９９１号公報)の特許請求の範囲には、透明なポリウレタンフィルムが記載されており、さらに、本件の明細書の【００１６】には、２段型プラグ６００の材料は、ニュージャージー州ニューアークのRodelから商品名ＥＸ−２０００として入出可能な、実質的に純粋なポリウレタンとすることができる、と記載されているから、甲第１号証に記載されたプラグ（透明窓材４）として、既に公知の光ビームを透過するものとしてポリウレタンを採用することは、当業者が必要に応じて適宜選択すべき事項であって、単なる設計事項というべきである。」
　
（４）請求書第３０ページ第１〜２６行
「（請求項５）
　請求項４に係る特許発明の特徴点であるプラグの第１部分、第２部分がそれぞれ、開口の第１セクション、第２セクションと実質的に同一寸法である点については、甲第３号証〜甲第８号証、甲第２４号証に記載されている。また、このような構成を採ることは、当業者が必要に応じて適宜選択すべき事項であって、単なる設計事項というべきである。
（請求項６）
　請求項６に係る特許発明の特徴点であるプラグの第１部分が、ポリッシング面と同じ高さである上面を有する点については、甲第３号証〜甲第８号証に記載されている。
　そもそも、プラグがポリッシング面よりも突出していると、当該突出したプラグがウエハに当たりこれを損傷させることが自明であり、一方、プラグ上面がポリッシング面よりも低いと、そこにスラリーが溜まって光の透過を阻害することも自明である。よって、プラグの第１部分が、ポリッシング面と同じ高さである上面を有する構成を採ることは自明である。
（請求項７）
　請求項７に係る特許発明の特徴点であるプラグの第２セクションの厚さが開口の第２セクションの深さより小さい点については、甲第３号証〜甲第８号証、甲第２４号証に記載されている。
　そもそも、研磨圧力の負荷の際、プラグの高さとポリッシング面の高さ関係を適正にするためには、プラグの厚さを、パッド材料及びプラグ材料の弾性率差に応じて適宜設定すればよいのであるから、プラグの第２セクションの厚さが開口の第２セクションの深さより小さい点については、単なる設計事項というべきである。また、研磨時にプラグ面とポリッシング面が同一高さと定義するのは研磨時点であるから、非研磨時には、弾性率差に応じて高さの差があることは自明である。」
　
（５）請求書第３１ページ第１５〜２４行
「（請求項１１）
　請求項１１に係る特許発明は、請求項１に記載のパッド部の代わりに、「第１層」、「第２層」を用いている。その余は請求項１と同じである。
　甲第１８号証（特表平５−５０５７６９号）の図２、第３頁右上欄２２〜２８行には、ポリッシング面を有する弾性パッド２１、弾性パッド２１に隣接する可撓性パッド２２を含む二層のポリシングパッド（研磨パッド手段１９）が記載されているから、甲第１号証に記載されたポリシングパッド（研磨布５）として、既に公知の二層のポリシングパッド（研磨パッド手段１９）を採用することは、当業者が必要に応じて適宜選択すべき事項であって、単なる設計事項というべきである。」
　
（６）請求書第３２ページ第２〜５行
「（請求項１３）
　請求項１３に係る特許発明は、カテゴリーが相違するものの実質的に請求項１と同内容であるから、請求項１に対し述べたのと同様の理由により、進歩性が否定されるべきである。」
　
（７）請求書第３２ページ下から２行〜第３３ページ第１行
「（請求項１７）
　請求項１７に係る特許発明は、実質的に請求項１と同内容であるから、請求項１に対し述べたのと同様の理由により、進歩性が否定されるべきである。」
　
（８）請求書第３３ページ第１４〜２０行
「（請求項２２）
　請求項２２に係る特許発明は、実質的に請求項１と同内容であるから、請求項１に対し述べたのと同様の理由により、進歩性が否定されるべきである。
（請求項２３）
　請求項２３に係る特許発明は、実質的に請求項１、請求項６及び請求項７と同内容であるから、請求項１、請求項６及び請求項７に対し述べたのと同様の理由により、進歩性が否定されるべきである。」
　
（９）請求書第３３ページ第２５〜２８行
「（請求項２５）
　請求項２５に係る特許発明は、実質的に請求項２及び請求項５と同内容であるから、請求項２及び請求項５に対し述べたのと同様の理由により、進歩性が否定されるべきである。」
　
（１０）口頭審理陳述要領書第２ページ下から８行〜第３ページ第１５行
「しかし、甲１には、定盤と研磨布に貫通孔を設け、研磨終点を検出するための光路を確保すること、該貫通孔には、研磨液を漏洩しないように透明窓材を固定すること、該透明窓材としては、異なる径部を有する透明なプラグを用いること、が記載されており、研磨液の漏洩を防止するための透明窓材の固定は、前記貫通孔のいずれの部分であってもよいこと、および、甲１において、貫通孔を閉じる部分としては、「定盤」と研磨布が考えられることが、技術常識に照らして、自明であり、異なる径部を有するプラグを固定相手の対応する開口内に固定して孔を閉じることは、甲３〜８、甲２４、さらには甲２７に示されるように、本出願前に周知の技術であり、研磨布と定盤の開口を同一として光路を確保することは、甲１９の図３、甲２６の第１図に示されるように、周知技術である。［甲１では「研磨布」と称し、甲１９では「研磨パッド」と称し、甲２６では「研磨クロス」と称しているが、これらは本件発明１の「ポリッシングパッド」と同義である。］。
　してみると、甲１に記載の、研磨終点を検出するための光路を確保する発明において、研磨布の開口を閉じるように、径部が研磨布の開口内に収納されるようにまた研磨液が漏洩しないように、異なる径部を有する透明なプラグを研磨布の開口内に固定することは当業者が容易に想起できることといえる。そもそも、研磨液が漏洩しないように貫通孔を閉じようとする場合、その態様は、実質的に透明なプラグを定盤に設けられた貫通孔に固定するか、研磨布に設けられた貫通孔に固定するか、両方に固定するかの３通りしかなく、これらの態様のいずれを採用しても、研磨液が漏洩しないようにしつつ、研磨終点を検出するための光路を確保できることが明らかであり、これらの態様のいずれを採用するかは、当業者が必要に応じて適宜選択すべき事項であって、単なる設計事項というべきであるから、実質的に透明なプラグを、ポリッシングパッドのパッド部に固定することは容易である。」
　
（１１）６／２２口頭審理技術説明資料第１４ページ第２〜４行
「甲４、甲２７は、いずれも「液が漏洩しないように」、かつ、「光を通過させるようにする」ために、第１の寸法および第２の寸法を持つ実質的に透明なプラグ（透明窓材）で、光が透過する貫通孔を閉じる構造である点で、本件特許発明１と同様である。」
　
（１２）口頭審理調書の「請求人」欄
「３　進歩性の判断は、甲第１号証を主引用刊行物とすることでよい。
４　「事前連絡メモ」の相違点２について、パッドが硬く、厚いものも甲第　１５号証に記載されている。 
５　流出を手前のパッドで止めるか、後のプラテンで止めるかは、適宜選択　できる。
６　プラテンとパッドは、広義の意味でパッドである。」
　
第５．被請求人の主張
　これに対し、被請求人は、本件審判請求は成り立たないとの審決を求めている。
　その主張の概要は、以下のとおりである。
　
（１）口頭審理陳述要領書第８ページ第１２行〜第１２ページ第５行
「２　本件発明の特徴
　本件発明のうち、ポリッシングパッドをクレームするものの特徴の１つは、第１の寸法を持つ第１セクションと第２の寸法を持つ第２セクションとを含む開口（２段型の開口）がポリッシングパッドのパッド部に形成され、実質的に透明なプラグが開口内に位置決めされ、プラグを開口内に固定する手段を備えることである。
　ポリッシングパッド（のパッド部）は、薄くて柔軟な材料で作られているので、ポリッシングパッド（のパッド部）に開口を形成しても、これに実質的に透明なプラグを良好に固定することは困難である。
（略）
　本件発明の利点の１つは、上記特徴により、実質的に透明なプラグが開口の縁以外の表面でポリッシングパッド（のパッド部）に固定できるようにし、プラグの開口への固定を良好に行うことができるようにしたものである（本件明細書の段落【００１９】、【００２０】）。
（略）
　請求人が提出した公知文献のいずれにも、このような特徴は記載されていないし、薄くて柔軟な材料で作られるポリッシングパッドの開口にプラグを固定しようとする場合の課題やこれを解決する手段は記載も示唆もされていない。
（略）
　さらに、ポリッシングパッドの形成方法に関する本件発明１３〜１６の特徴の１つは、２段型になるようにポリッシングパッドに開口を形成するステップと、実質的に透明なプラグを開口に配置するステップと、プラグを開口内に配置するステップを備えることであるが、この特徴も請求人が提出した公知文献には記載されていない。
（略）
ＩＶ　特許法２９条２項違反を根拠とする無効理由について
　本件発明１〜２５が甲１〜２５に基づき当業者が容易になし得たので、特許法２９条２項違反があるとする請求人の主張には理由がない。
　このことは、以下に詳述するが、概括的に述べれば、請求人が依拠する甲３〜８及び甲２４は、いずれも、ＣＭＰの技術分野に属するものではなく（さらには光学的検出にも関係しない）、ポリッシングパッドのように薄くて柔軟な物体に形成されたウィンドウに関係するものではなく、さらに実質的に透明なプラグをポリッシングパッドの開口に固定する場合の問題について述べるものでもなく、これらに基づいて本件発明が容易想到であるとはいえない。そもそも、ＣＭＰ装置用のポリッシングパッド（のパッド部）の開口に実質的に透明なプラグを固定することは困難であるというＣＭＰ特有の課題に直面した当業者が、課題を解決するために、全く異なる技術分野に属する光学レンズの保持装置（甲３）や時計ガラスの固定構造（甲４）などに関する技術を組み合わせるはずがない。」
　
（２）口頭審理調書の「被請求人」欄
「４　陳述要領書中の「２段型」とは、必ずしも段部を有することを意味し　ない。たとえばテーパ開口も含まれる。 
４　請求項２ないし請求項４、請求項８ないし請求項２０についての進歩性　の判断は、請求項１についての進歩性の判断と同じ結論でよい。 
５　請求項９の「リムを有する」とは、「段差部を有するもの」と同義であ　る。請求項１は段差部を有しないものも含まれる。 
６　請求項２４の「共面」とは、実質的に高さの異なるもの、不連続のもの　を含まない。 
７　「事前連絡メモ」の相違点１について、開口が第１・第２セクションを　有することの効果は、取り付け面積が拡がり固定がしやすいことである。
８　「事前連絡メモ」の相違点２について、ＣＭＰパットは薄くて柔軟なも　のであり、これに固定するものはない。 
９　パッドに固定することによって、スラリがパッドの下に流出するこを防　止することができ、スラリが高額のため実施効果が大きい。 
１０　パッドとともにプラグ交換ができ、高さ調節も容易である。 
１１　本日提出の「被請求人口頭陳述要領」第４１ページの請求項１の効果　は、発明の詳細な説明の段落【００１９】、【００２０】、【図３】等を　踏まえれば、当業者からみて自明である。」
　なお「４」が重複しているが、明白な誤記である。
　
第６．当審の判断
１．本件発明
　本件特許の請求項１ないし２５に係る発明（以下「本件発明１ないし２５」という。）は、上記第３．のとおりと認められる。
　
２．刊行物記載の発明
（１）甲第１号証
　甲第１号証には、以下が記載されている。なお、甲第１号証を主引用刊行物とすることは、請求人も同意している（上記第４．の３．（１２）の「３」）。
　
ア．段落０００１
「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ、特にＳＯＩ(Silicon-on-Insulator)ウエハ等の膜付きウエハの研磨方法及び装置に関する。」
　
イ．段落０００６
「【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、研磨途中でウエハを定盤から離すことなく研磨中の膜の厚さを知ることができ、研磨の高精度な制御が効率よくできるウエハの研磨方法及び装置を提供することを課題とする。」
　
ウ．段落００２２〜００２６
「【００２２】
【実施例】図１、図２に示した実施例について説明する。定盤１は直径３００ｍｍ、厚さ１０ｍｍのアルミニウム製の円盤で、その中心の片面に定盤１を回転するための軸が固定してある。定盤１の軸を固定した面の反対側の面には、中心から放射状に伸びる近接した２本の直線で囲まれ、中心付近から周縁近くまで伸びた溝２が設けてある。溝２の中心側の幅は５ｍｍで周縁側の幅は１５ｍｍ、深さ１ｍｍとなっている。溝２の長手方向中央には、直径１０ｍｍの貫通孔３が設けられ、溝２の反対側では円錐状に拡大している。貫通孔３の溝２側にはパイレックス透明ガラス製の透明窓材４が嵌め込まれ、研磨液が漏れないようにしてある。
【００２３】定盤１の溝２を有する面には、定盤１と同形の厚さ０.７ｍｍのローデルニッタ社製、商品名suba−500ウレタン含浸ポリエステル不織布からなる研磨布５が張り付けられ、溝２に相当する部分は溝２と同形に切り抜かれて、研磨布窓６が形成されている。透明窓材４は定盤１の表面より約０.５ｍｍ突出するが、研磨布５の弾性を考慮しても研磨布５の表面より十分低くなっている。
【００２４】・・・。
【００２５】片面に回転用の軸が固定された直径１１０ｍｍ、厚さ１０ｍｍの円盤状のアルミニウム製のウエハ支持板８に、表面に熱酸化膜を形成した２枚のシリコンウエハを、熱酸化膜を接せしめて接着し、一方のウエハを平面研削して厚さ１５μｍのシリコン膜として直径１００ｍｍのＳＯＩウエハを、平面研削加工していない面をワックスで張り付けた。
【００２６】粒径が０.０１μｍ以下のシリカ粉末を含むアルカリ性溶液からなるローデルニッタ社製、商品名NALCO−2350を２０倍に希釈した研磨液を定盤１の研磨布５の表面に滴下しつつ、定盤１を毎分５０回転させながら、ウエハ支持板８に張り付けたウエハ７を、自転速度毎分４０回転で回転させつつ、研磨布５に、回転中心が透明窓材４の上に位置するように、研磨荷重１０ｋｇｆで押し付けて目標膜厚を１μｍにして研磨を開始した。」
　
エ．図１
　上部に大径部、下部に小径部を有し、研磨布窓６内に大径部が位置決めされた透明窓材４があり、透明窓材４の小径部を溝２に設けられた貫通孔３に嵌め込んだものが看取できる。
　
　これら事項を、図面を参照し、技術常識を勘案しつつ、本件発明１に照らして整理すると、甲第１号証には、以下の発明（以下「甲１発明」という。）が記載されていると認める。
　
「シリカ粉末を含むアルカリ性溶液からなる研磨液を滴下しつつ研磨する研磨装置用の研磨布５であって、
　研磨面を有する研磨布５と、  
　前記研磨面に形成され、研磨布５が張り付けられた定盤１の溝２と同形に研磨布５を切り抜いて形成した研磨布窓６と、  
　上部に大径部、下部に小径部を有し、前記研磨布窓６内に大径部が位置決めされた透明窓材４と、  
　前記透明窓材４の小径部を、研磨布５が張り付けられた定盤１の溝２に設けられた貫通孔３に嵌め込み、前記透明窓材４は研磨布５のポリッシング面より十分低いものである研磨布５。」
　
（２）甲第２号証
　甲第２号証には、光学式終点検出技術において、「定盤や研磨布を貫いて光路を確保したり，リアルタイムで必要な情報を抽出したりする技術開発が求められている．」（第５１２ページ左欄第７〜９行）と記載されている。
　
（３）甲第３号証
　甲第３号証には、レンズホルダーにおいて、レンズ保持部２５の２段型の開口に位置決めされた対物レンズ６０が記載されている。
　
（４）甲第４号証
　甲第４号証には、時計ケース１に形成された開口に位置決めされた時計ガラス４が記載されている。
　
（５）甲第６号証
　甲第６号証には、コンタクトレンズ容器において、キャップ２に形成された凹部１０に、キャップ２の上面とほぼ面一となるよう接着された識別部材１１が記載されている。
　
（６）甲第１５号証
　甲第１５号証には、ウエーハの研磨において、駆動軸２ａに透明体のポリシングパッド１を取り付けたものが記載されている。
　
（７）甲第１６号証
　甲第１６号証には、光ビームを透過するものとしてポリウレタン系プラスチックレンズが記載されている。
　
（８）甲第１７号証
　甲第１７号証には、熱可塑性ポリエステルウレタンゴムを含むポリウレタン接着剤が記載されている。
　
（９）甲第１８号証
　甲第１８号証には、半導体材料の平坦化装置において、ポリッシング面を有する弾性パッド２１、弾性パッド２１に隣接する可撓性パッド２２を含む二層の研磨パッド手段１９が記載されている。
　
（１０）甲第１９号証
　甲第１９号証には、半導体ウエハの機械化学研磨における終了点判定において、鋭いナイフ等の適当な器具を用いて、又は研磨パッド６６の形成時に、パッドを切削して研磨パッド６６にビューイング・アパーチャ７３を形成することが記載されている。
　
（１１）甲第２４号証
　甲第２４号証には、移動端末機器等において、ケース２の開口１５をめくらキャップ５０の栓５２で塞ぐものが記載されている。
　
（１２）甲第２５号証
　甲第２５号証には、航空機のための安全窓ガラスの保護フイルムにおいて、透明なポリウレタンフイルムが記載されている。
　
（１３）甲第２６号証
　甲第２６号証には、スタンバの研磨において、研磨クロス５の表面からわずかに後退してほぼ同一平面になるよう研磨定盤６の取付孔６ｂに、ガラス板４を嵌着するものが記載されている。
　
（１４）甲第２７号証
　甲第２７号証には、開口部５１に形成された段部５３に、レンズカバー３５のフランジ５２を嵌合させた内視鏡カバー３が記載されている。
　
３．本件発明１との対比・判断
（１）対比
　甲１発明の「シリカ粉末を含むアルカリ性溶液からなる研磨液を滴下しつつ研磨する研磨装置用の研磨布５」は本件発明１の「機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッド」に相当し、同様に「研磨面」は「ポリッシング面」に、「研磨布５」は「パッド部」に、「大径部」は「第１部分」に、「小径部」は「第２部分」に、相当する。
　甲１発明の「研磨布５が張り付けられた定盤１の溝２と同形に研磨布５を切り抜いて形成した研磨布窓６」は本件発明１の「パッド部を貫通した開口」に含まれる。
　
　本件発明１と、甲１発明とは、以下の点で一致する。なお、一致点について、両当事者間に争いはない（口頭審理調書の「当事者双方　１」）。
　
「機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、  
　ポリッシング面を有するパッド部と、  
　前記ポリッシング面に形成され前記パッド部を貫通した開口と、  
　前記開口に位置決めされた第１部分を有する実質的に透明なプラグと、  
を備えるポリッシングパッド。」
　
　本件発明１と、甲１発明とは、以下の点で相違する。なお、相違点について、両当事者間に争いはない（口頭審理調書の「当事者双方　１」）。
　相違点１：パッド部を貫通した開口について、本件発明１は、「ポリッシング面に隣接し第１の寸法を持つ第１セクションおよび前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションを有する」ものであるが、甲１発明は、開口の形状が明らかでない点。
　相違点２：プラグについて、本件発明１は、「開口の前記第２セクション内に位置決めされた第２部分」を有し、「開口内の前記パッド部」に固定されるが、甲１発明は、プラグの第２部分が「定盤」に固定される点。
　
（２）判断
　先に、相違点２について検討する。
　開口は、パッド部、定盤を貫通して形成されているところ、パッド部は定盤と比較すると柔軟性を有することが、一般的である。例えば、甲１発明においても、パッド部はウレタン含浸ポリエステル不織布、定盤はアルミニウム製である（上記第６．２．（１）ウ）。
　プラグは、研磨液の漏出防止のためのものであるから、確実な固定が求められる。
　よって、プラグを開口に固定する場合には、確実な固定の観点から、定盤に固定しようとすることが自然である。
　すなわち、プラグを柔軟性を有するパッド部に固定するためには、特別の動機が必要と解されるが、提出された証拠のいずれにも、この点は示されていない。
　本件発明１は、この点により、「スラリがパッドの下に流出するこを防止することができ、スラリが高額のため実施効果が大きい」（上記第５．（２）の９）という効果を有する。
　
　請求人は、固定先は、パッド部か定盤か両方かの三択であるから、設計的事項であると主張する（上記第４．３．（１０））が、上記のとおり、パッド部と定盤とが同格とは言えないから、請求人の主張は根拠がない。
　さらに、本件発明１は、「開口の前記第２セクション内に位置決めされた第２部分」を有し、柔軟性を有するパッド部に固定するために、プラグ形状の工夫がみられる。
　
　以上、相違点２について、困難性なしとすることはできない。
　
　次に、相違点１について検討する。
　開口を形成する場合、加工効率、加工工程数減少の観点から、開口の形成方向において断面形状は同一とする、すなわち上部断面形状と下部断面形状とが同一であることが、一般的である。
　よって、開口が、「ポリッシング面に隣接し第１の寸法を持つ第１セクション」、「ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクション」を有するものとするためには、特別の動機が必要と解されるが、提出された証拠のいずれにも、この点は示されていない。
　本件発明１は、前記相違点１、２が相まって、「取付面積が拡がり固定がしやすい」（上記第５．（２）の７）という効果を有する。
　
　請求人は、甲第４号証、甲第２７号証をもとに、かかる構造が周知である旨、主張する（上記第４．３．（１１））。
　しかし、甲第４号証は時計ガラスの防水に関するもの、甲第２７号証は内視鏡の外れ防止構造に関するものであり、甲１発明とは技術分野が異なり、機能上も甲１発明のように処理液を積極的に利用するものではない。
　すなわち、甲１発明に適用する動機を見出すことはできない。
　
　以上、相違点１について、困難性なしとすることはできない。
　　
　したがって、本件発明１は、証拠に基づき、当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
４．本件発明２ないし４
　本件発明２ないし４は、いずれも本件発明１に従属し、本件発明１の発明特定事項をすべて含むものであるから、同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　なお、被請求人は、請求項２ないし４、８ないし２０に係る発明についての進歩性の判断は、請求項１に係るものと同じ結論で良いとしている（上記第５．（２）の４）。　
　
５．本件発明５
　本件発明５と甲１発明とを対比すると、上記３．（１）の一致点、相違点１ないし２を有し、さらに、以下の点で相違する。
　
　相違点３：本件発明５は、「前記プラグの前記第１部分が前記開口の前記第１セクションと実質的に同一寸法であり、前記プラグの前記第２部分が前記開口の前記第２セクションと実質的に同一寸法である」が、甲１発明は、そのようなものでない点。
　
　相違点１、２については、上記３．における検討と同様に、困難性なしとすることはできない。
　以下、同様な相違点については、判断が同様である旨の記載を省略する。
　
　相違点３について検討する。
　相違点３は、上記相違点１を前提としているから、相違点３についても、困難性なしとすることはできない。
　
　したがって、本件発明５は、証拠に基づき、当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
６．本件発明６
　本件発明６と甲１発明とを対比すると、上記３．（１）の一致点、相違点１ないし２、上記５．の相違点３を有し、さらに、以下の点で相違する。
　
　相違点４：本件発明６は、「前記プラグの前記第１部分が、前記ポリッシング面と同じ高さである上面を有する」が、甲１発明は、「プラグはポリッシング面より十分低いものである」点。
　
　相違点４について検討する。
　プラグの上面を、ポリッシング面と同じ高さとすることは、いずれの証拠にも記載されていない。
　パッド部は柔軟性を有し、変形することから、この相違点４は、プラグをパツド部に固定すること、すなわち相違点２を前提として、可能となるものである。
　本件発明６は、これにより、スラリ集積を防止するという効果を有する。
　なお、甲第２６号証は、ガラス板４を研磨定盤６に固定し、研磨クロス５は柔軟性を有するから、研磨時に傷がつかないよう、ガラス板４を研磨クロス５の表面から、「わずかに後退」させるものであり、技術的意義が異なるものである。
　
　したがって、本件発明６は、証拠に基づき、当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
７．本件発明７
　本件発明７と甲１発明とを対比すると、上記３．（１）の一致点、相違点１ないし２、上記５．の相違点３、上記６．の相違点４を有し、さらに、以下の点で相違する。
　
　相違点５：本件発明７は、「前記プラグの前記第２セクションの厚さが前記開口の前記第２セクションの深さより小さい」が、甲１発明はそのようなものでない点。
　
　相違点５について検討する。
　相違点５は、上記相違点１を前提としているから、相違点５についても、困難性なしとすることはできない。
　
　したがって、本件発明７は、証拠に基づき、当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
８．本件発明８ないし１０
　本件発明８ないし１０は、いずれも本件発明１に従属し、本件発明１の発明特定事項をすべて含むものであるから、同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
９．本件発明１１
（１）甲１発明
　甲１発明は、上記２．（１）のとおりである。
　
（２）対比
　上記３．（１）の対応関係を踏まえ、本件発明１３と、甲１発明とは、以下の点で一致する。
　
「機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、  
　ポリッシング面を有するパッド部と、  
　前記パッド部を貫通する開口と、  
　前記開口内に位置決めされた第１部分を有する実質的に透明なプラグと、
を備えるポリッシングパッド。」
  　
　本件発明１１と、甲１発明とは、以下の点で相違する。
　相違点６：パッド部について、本件発明１１は「ポリッシング面を有する第１層と、前記第１層に隣接する第２層」からなるが、甲１発明は、２層構造でない点。
　相違点７：パッド部を貫通した開口について、本件発明１１は、「第１の断面積を持つ前記第１層内の第１開口、および、より小さい第２の断面積を持つ前記第２層の第２開口とを有する」ものであるが、甲１発明は、開口の形状が明らかでない点。
　相違点８：プラグについて、本件発明１１は、「前記第１層の前記第１開口内に位置決めされた第１部分と、前記第２層の前記第２開口内に位置決めされた第２部分と」を有し、パッド部の「開口」に配置されるが、甲１発明は、プラグの第２部分が「定盤」に固定される点。
　相違点９：本件発明１１は、「プラグを前記開口内の前記第１層と前記第２層に固定する接着材料」を備えるが、甲１発明は、明らかでない点。
　
（３）判断
　相違点６について検討する。
　甲第１８号証に記載された事項は、「半導体材料の平坦化装置において、ポリッシング面を有する弾性パッド、弾性パッドに隣接する可撓性パッド２２を含む二層の研磨パッド手段」というものである。
　甲１発明、甲第１８号証に記載された事項は、ともに研磨パッドに関するものであるから、甲１発明に、甲第１８号証に記載された事項を適用し、相違点６に係るものとすることに困難性は認められない。
　
　相違点７、８について検討する。
　相違点７、８は、実質的に相違点１、２と同様であるから、同様に、困難性なしとすることはできない。
　
　相違点９について検討する。
　接着材料による固定は周知であるとしても、相違点９は、相違点８を前提としているから、相違点９についても、困難性なしとすることはできない。
　
　したがって、本件発明１１は、証拠に基づき、当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
１０．本件発明１２
　本件発明１２は、本件発明１１に従属し、本件発明１１の発明特定事項をすべて含むものであるから、同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
１１．本件発明１３
（１）甲１発明の２
　甲第１号証に記載された事項を、本件発明１３に照らし整理すると、甲第１号証には、以下の発明（以下「甲１発明の２」という。）が記載されていると認める。
　
「研磨面を有する研磨布５を形成する方法であって、
　研磨布５が張り付けられた定盤１の溝２と同形に研磨布５を切り抜いて研磨布窓６を形成するステップと、
　上部に大径部、下部に小径部を有する透明窓材４を、前記研磨布窓６内に大径部が位置決めされた状態で配置するステップと、
　前記透明窓材４の小径部を、研磨布５が張り付けられた定盤１の溝２に設けられた貫通孔３に嵌め込むステップと、
を備える研磨布５形成方法。」
　
（２）対比
　上記３．（１）の対応関係を踏まえ、本件発明１３と、甲１発明の２とは、以下の点で一致する。
　
「ポリッシング面を持つポリッシングパッドを形成する方法であって、
　ポリッシングパッドを貫通する開口を形成するステップと、
　実質的に透明なプラグを、前記開口に配置するステップと、
を備えるポリッシングパッド形成方法。」
　
　本件発明１３と、甲１発明の２とは、以下の点で相違する。
　相違点１０：開口について、本件発明１３は、「前記ポリッシング面に隣接し第１の寸法を持つ第１セクション、および、前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションを有する」ものであるが、甲１発明の２は、開口の形状が明らかでない点。
　相違点１１：プラグについて、本件発明１３は、「前記開口の前記第１セクション内に位置決めされた第１部分と前記開口の前記第２セクション内に位置決めされた第２部分とを有する状態で、前記プラグを前記開口内の前記ポリッシングパッドに固定する固定ステップ」を有するが、甲１発明の２は、プラグの第２部分が「定盤」に固定される点。
　
（３）判断
　相違点１０、１１について検討する。
　相違点１０、１１は、実質的に相違点１、２と同様であるから、同様に、困難性なしとすることはできない。
　
　したがって、本件発明１３は、証拠に基づき、当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
１２．本件発明１４ないし１６
　本件発明１４ないし１６は、いずれも本件発明１３に従属し、本件発明１３の発明特定事項をすべて含むものであるから、同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
１３．本件発明１７
（１）甲１発明
　甲１発明は、上記２．（１）のとおりである。
　
（２）対比
　上記３．（１）の対応関係を踏まえ、本件発明１７と、甲１発明とは、以下の点で一致する。
　
「機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、
　ポリッシング面を有する物体と、
　該物体を貫通して形成された開口と、
　該開口内に配された実質的に透明なプラグと、
を備えるポリッシングパッド。」
　
　本件発明１７と、甲１発明とは、以下の点で相違する。
　相違点１２：物体を貫通した開口について、本件発明１７は、「前記ポリッシング面に隣接し第１の寸法を有する第１セクション及び、前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を有する第２セクションとを有する」ものであるが、甲１発明は、開口の形状が明らかでない点。
　相違点１３：プラグについて、本件発明１７は、「該開口の前記第１セクションに対応する同一の形状を有しており且つ前記第１セクション内において該開口内の前記物体に固定された」ものであるが、甲１発明は、プラグの第２部分が「定盤」に固定される点。
　
（３）判断
　相違点１２、１３について検討する。
　相違点１２、１３は、実質的に相違点１、２と同様であるから、同様に、困難性なしとすることはできない。
　
　したがって、本件発明１７は、証拠に基づき、当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
１４．本件発明１８ないし２０
　本件発明１８ないし２０は、いずれも本件発明１７に従属し、本件発明１７の発明特定事項をすべて含むものであるから、同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
１５．本件発明２１
　本件発明２１と甲１発明とを対比すると、上記１３．（２）の一致点、相違点１２ないし１３を有し、さらに、以下の点で相違する。
　
　相違点１４：本件発明２１は、「該プラグの上面が、該ポリッシング面と実質的に同じ高さにある」が、甲１発明は、「プラグはポリッシング面より十分低い」ものである点。
　
　相違点１４について検討する。
　相違点１４は、実質的に相違点４と同様であるから、同様に、困難性なしとすることはできない。
　
　したがって、本件発明２１は、証拠に基づき、当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
１６．本件発明２２
（１）甲１発明
　甲１発明は、上記２．（１）のとおりである。
　
（２）対比
　上記３．（１）の対応関係を踏まえ、本件発明２２と、甲１発明とは、以下の点で一致する。
　
「機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、
　ポリッシング面を有する層を包含する物体と、
　前記物体を貫通する開口と、
　前記開口内に配された実質的に透明なプラグと、
を備えるポリッシングパッド。」
　
　本件発明２２と、甲１発明とは、以下の点で相違する。
　相違点１５：物体について、本件発明２２は、「被覆層及び前記被覆層の下側に位置している裏打ち層」からなるが、甲１発明は、２層構造でない点。
　相違点１６：物体を貫通した開口について、本件発明２２は、「前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持ち、前記被覆層に形成された第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持ち、前記裏打ち層に形成された第２セクションと」を有するものであるが、甲１発明は、開口の形状が明らかでない点。
　相違点１７：プラグについて、本件発明２２は、「前記第１セクション内の前記物体に固定され、前記開口の前記第１セクションの前記第１寸法及び前記被覆層の厚さと夫々実質的に同じ寸法を有する」ものであるが、甲１発明は、プラグの第２部分が「定盤」に固定される点。
  　
（３）判断
　相違点１５ないし１７について検討する。
　相違点１５、１６、１７は、順に、実質的に相違点６、１、２と同様であるから、同様に、困難性なしとすることはできない。
　
　したがって、本件発明２２は、証拠に基づき、当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
１７．本件発明２３
　本件発明２３は、本件発明７と実質的に同一である。
　したがって、同様の理由により、本件発明２３は、証拠に基づき、当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
１８．本件発明２４
　本件発明２４と甲１発明とを対比すると、上記３．（１）の一致点、相違点１ないし５を有し、さらに、以下の点で相違する。
　
　相違点１８：本件発明２４は、「該上面が、該ポリッシング面のプラグと直に隣接する部分と実質的に共面である」が、甲１発明は、明らかでない点。
　
　相違点１８について検討する。
　プラグの上面を、「ポリッシング面のプラグと直に隣接する部分と実質的に共面」とすることは、いずれの証拠にも記載されていない。
　本件発明２４は、これにより、スラリ集積を防止するという効果を有する。
　
　したがって、本件発明２４は、証拠に基づき、当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
１９．本件発明２５
（１）甲１発明
　甲１発明は、上記２．（１）のとおりである。
　
（２）対比
　上記３．（１）の対応関係を踏まえ、本件発明２５と、甲１発明とは、以下の点で一致する。
　
「機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、
　ポリッシング面を有する物体と、
　前記物体を貫通する開口と、
　前記開口内に配された実質的に透明なプラグと、
を備えるポリッシングパッド。」
　
　本件発明２５と、甲１発明とは、以下の点で相違する。
　相違点１９：ポリッシング面について、本件発明２５は、「透過性を低下させる添加物を含むポリウレタンで形成された」ものであるが、甲１発明は明らかでない点。
　相違点２０：物体を貫通する開口について、本件発明２５は、「前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持つ第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションと」を有するものであるが、甲１発明は、開口の形状が明らかでない点。
　相違点２１：プラグについて、本件発明２５は、「前記第１セクションに対応する同一の形状を有しており、前記第１セクション内に固定され、透過性を低下させる添加物を含まないポリウレタンで形成された」ものであるが、甲１発明は、プラグの第２部分が「定盤」に固定される点。
　
（３）判断
　相違点１９について検討する。
　ポリッシング面を、「透過性を低下させる添加物を含むポリウレタンで形成された」ものとする点は、いずれの証拠にも記載されていない。
　請求人主張（上記第４．３．（３）、（９））の甲第１６号証、甲第２５号証記載のものは、ポリッシング面に関するものではない。
　
　相違点２０について検討する。
　相違点２０は、実質的に相違点１と同様であるから、同様に、困難性なしとすることはできない。
　
　相違点２１について検討する。
　相違点２１は、相違点２に加え、さらに「透過性を低下させる添加物を含まないポリウレタンで形成された」点で相違する。
　よって、同様に、困難性なしとすることはできない。
　
　本件発明２５は、相違点１９、２１により、レーザービームの減衰が最小になるという効果（段落００１４）を有する。
　したがって、本件発明２５は、証拠に基づき、当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　
第７．むすび
　以上、本件発明１ないし２５は、いずれも当業者が容易に発明をすることができたものではないから、本件発明１ないし２５についての特許は、特許法第１２３条第１項第２号の規定に該当せず、無効とすることはできないものである。また、他に、無効とすべき理由を発見しない。
　審判費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、請求人が負担すべきものとする。
　よって、結論のとおり審決する。