【手続補正書】
【提出日】平成17年8月3日(2005.8.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板内に光信号を伝搬させるための基板であって、合計内部反射で第１の平面に沿って基板内の第１の方向に光信号を伝搬させる基板と、
基板の頂部表面上に配置されて、光信号が第１の方向を移動し続けるように、実質的に光信号とエバネッセントフィールドカップリングでない第１の位置と、第１の平面と鋭角を形成する第２の平面に沿って基板内の第２の伝搬方向に光信号の伝搬方向を変更するように、光信号とエバネッセントフィールドカップリングである第２の位置との間で移動可能である回折光学要素とを有する光学スイッチ。
【請求項２】
前記基板は、クォーツ及びサファイアからなる材料で形成されている請求項１記載の光学スイッチ。
【請求項３】
前記回折光学要素は、ホログラフィー光学要素である請求項１記載の光学スイッチ。
【請求項４】
前記回折光学要素は、回折格子を形成している多数のストリップから形成されており、
各ストリップは、各々本質的に等しい幅を有しており、かつ、各々別々に本質的に等しい間隔で配置されている請求項１記載の光学スイッチ。
【請求項５】
前記幅は、本質的に間隔と同一である請求項４記載の光学スイッチ。
【請求項６】
前記回折格子は、基板中の光信号の光の波長に本質的に等しい格子間隔（ａ）を有している請求項４記載の光学スイッチ。
【請求項７】
前記回折格子は、０．５λと３λとの間にある格子間隔（ａ）を有しており、
ここで、λは基板中の光信号の波長である請求項４記載の光学スイッチ。
【請求項８】
前記ストリップは、前記第１の位置と前記第２の位置との間の回折光学要素を移動させるために、可撓性である請求項４記載の光学スイッチ。
【請求項９】
前記ストリップは、基板に固定して配置されているアンカーで保持されている請求項８記載の光学スイッチ。
【請求項１０】
前記ストリップは、可撓性部材によって第１のアンカー及び第２のアンカーで保持され、
前記第１のアンカー及び前記第２のアンカーの両方は、基板に固定して配置され、
前記可撓性部材は、第１の位置と第２の位置との間で回折光学要素を移動させる請求項４記載の光学スイッチ。
【請求項１１】
前記ストリップは、第２の位置で偏倚され、
電極が、第１の位置へストリップを移動させるために、ストリップと近接するように配置されている請求項４記載の光学スイッチ。
【請求項１２】
前記ストリップは、線形であり、かつ、入力信号を含んでいる平面と出力信号を含んでいる平面との間で角度（θp）を２分する線に本質的に垂直である請求項４記載の光学スイッチ。
【請求項１３】
さらに、ストリップ間で形成さている交差接続からなる請求項４記載の光学スイッチ。
【請求項１４】
前記ストリップは、アモルファスシリコン、結晶性シリコン、及び、ポリシリコンからなる群から選択される材料から形成されている請求項４記載の光学スイッチ。
【請求項１５】
前記ストリップは、アルミナ、サファイア、窒化ケイ素、及び、ポリシリコン／ポリゲルマニウムの合金からなる群から選択される材料から形成されている請求項４記載の光学スイッチ。
【請求項１６】
前記ストリップは、基板の屈折率より高い屈折率を有している請求項４記載の光学スイッチ。
【請求項１７】
前記ストリップは、約１μｍの厚さを有している請求項４記載の光学スイッチ。
【請求項１８】
前記ストリップは、第２の方向で光信号の強度を最大にするように選択される厚さを有している請求項１７記載の光学スイッチ。
【請求項１９】
前記ストリップ幅は、第２の方向で光信号の強度を最大にするために選択される請求項４記載の光学スイッチ。
【請求項２０】
前記回折光学要素は、第２の位置にあるとき、基板の頂部表面と物理的に接触している請求項１記載の光学スイッチ。
【請求項２１】
第２の方向で伝搬する光信号は、合計内部反射で伝搬する請求項１記載の光学スイッチ。
【請求項２２】
前記光信号は、合計内部反射で基板の頂部表面から反射する請求項１記載の光学スイッチ。
【請求項２３】
前記光信号は、合計内部反射で基板の頂部表面及び底部表面から反射する請求項１記載の光学スイッチ。
【請求項２４】
前記回折光学要素は、本質的に透明光学材料からなる請求項１記載の光学スイッチ。
【請求項２５】
前記回折光学要素は、合計内部反射で作用する請求項１記載の光学スイッチ。
【請求項２６】
前記回折光学要素は、回折格子を形成している多数のストリップから形成されており、
各ストリップは、変化する、それらに関連する幅及び間隔距離を有している請求項１記載の光学スイッチ。
【請求項２７】
基板中で回折パターンを生成するために、ストリップは光信号の第１の位置を集合的に受け取り、かつ、基板の頂部表面から反射する光信号の第２の位置からシフトする出力信号相を生成するように、光学透明材料から形成されており、かつ、基板の頂部表面上に配置されている多数の別々に間隔を置かれたストリップと、
多数のストリップと近接し、かつ、ストリップを、入射光信号がホログラフィー光学要素によって変化する第１の位置、及び、入射光信号がホログラフィー光学要素によって変化しない第２の位置から移動させるために配置されている保持部材とからなる、入射光信号は合計内部反射で基板の頂部表面から反射する主要な伝搬の方向で基板中で伝搬する光学基板を有する使用のためのホログラフィー光学要素。
【請求項２８】
保持部材は、多数のマウント部材によって基板の頂部表面に配置される、多数の可撓性アームを備えており、
前記可撓性アームは、ストリップに連結されている請求項２７記載のホログラフィー光学要素。
【請求項２９】
ストリップが第１の位置で偏倚しているように、マウント部材は高さを有している請求項２８記載のホログラフィー光学要素。
【請求項３０】
前記可撓性アームは、第２の位置のストリップを第１の位置に返すために偏倚している請求項２８記載のホログラフィー光学要素。
【請求項３１】
前記可撓性アームは、第１の位置及び第２の位置のストリップを均一に移動させるために、ストリップと連結している請求項２８記載のホログラフィー光学要素。
【請求項３２】
前記可撓性アームは、ストリップの厚さに等しい厚さを有している請求項２８記載のホログラフィー光学要素。
【請求項３３】
前記保持部材は、基板の頂部表面上に伸びていない請求項２７記載のホログラフィー光学要素。
【請求項３４】
前記基板は、サファイアから形成されている請求項２７記載のホログラフィー光学要素。
【請求項３５】
前記回折パターンは、０．７５λと３λとの間である格子間隔（ａ）を有しており、
ここで、λは、入射光信号の波長である請求項２７記載のホログラフィー光学要素。
【請求項３６】
さらに、第１の位置及び第２の位置のストリップを移動させるために、ストリップ上に配置されている電極を備えている請求項２７記載のホログラフィー光学要素。
【請求項３７】
前記ストリップは、線形であり、かつ、入力信号を含んでいる平面と出力信号を含んでいる平面との間で角度（θ）を２分する線に本質的に垂直である請求項２７記載のホログラフィー光学要素。
【請求項３８】
さらに、ストリップ間で形成さている交差接続からなる請求項２７記載のホログラフィー光学要素。
【請求項３９】
前記ストリップは、アモルファスシリコン、結晶性シリコン、及び、ポリシリコンからなる群から選択される材料から形成されている請求項２７記載のホログラフィー光学要素。
【請求項４０】
前記ストリップは、アルミナ、サファイア、窒化ケイ素、ポリシリコン、及び、ゲルマニウムからなる群から選択される材料から形成されている請求項２７記載のホログラフィー光学要素。
【請求項４１】
前記ストリップは、基板の屈折率より高い屈折率を有している請求項２７記載のホログラフィー光学要素。
【請求項４２】
前記ストリップは、出力方向の伝搬で出力信号の大きさを最大にするように選択される厚さを有している請求項２７記載のホログラフィー光学要素。
【請求項４３】
第２の方向に伝搬する光信号は、合計内部反射で基板中で伝搬する請求項２７記載のホログラフィー光学要素。
【請求項４４】
光信号が合計内部反射で第１の方向で基板中で伝搬する基板と、
光信号が第１の方向で移動し続けるように、基板の頂部表面上で配置されており、かつ、本質的に光信号とエバネッセントフィールドカップリングでない第１の位置と、第２の方向へ光信号の伝搬を変更するために光信号とエバネッセントフィールドカップリングである第２の位置との間で基板に関して各々移動可能であるＮ回折光学要素とからなり、
Ｎは、０より大きい整数である１×Ｎ光学スイッチ。
【請求項４５】
各回折光学要素は、回折格子を形成している多数のストリップから形成されており、
各ストリップは、本質的に等しい幅を有しており、かつ、各々別々に本質的に等しい間隔で配置されている請求項４４記載の１×Ｎ光学スイッチ。
【請求項４６】
各ストリップは、間隔距離で別々に配置されており、かつ、ストリップ幅を有しており、さらに、間隔距離とストリップ幅の合計（ａ）は選択されており、基板に関する移動のために基板の頂部表面上に配置されている多数のストリップからなる光学スイッチであり、
光信号は、第１の平面に沿って合計内部反射で基板中で移動し、ストリップ下の頂部表面のエリア上の入射は、第１の平面に関して鋭角（θp）を定める第２の平面に沿って基板中で伝搬する反射方向の伝搬で基板中で伝搬する第１の回折オーダーへ反射する、基板と使用する光学スイッチ。
【請求項４７】
前記合計（ａ）は、０．５λと３λとの間であり、
ここで、λは、基板中の光信号の波長である請求項４６記載の光学スイッチ。
【請求項４８】
前記光信号は、３５°以上の角度（θ）で回折格子で入射し、
前記θは、法線から基板中に伸びている基板の頂部表面までで測定され、
θpが２０°以上であり、好ましくは約９０°と約１４５°との間であるように合計（ａ）は選択される請求項４６記載の光学スイッチ。