(57)【要約】【課題】配線部材等の開口に挿通される貫通構造物が当該開口の縁で削れたり破損したりすることが抑制された液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】液体が噴射されるノズル（２４）、ノズル（２４）に連通する圧力室（３０）、及び、圧力室（３０）内の液体に圧力変動を生じさせる駆動素子（３２）を備えた液体噴射ヘッド（３）であって、駆動素子（３２）を駆動するための回路基板（１５）と、回路基板（１５）を収容する収容空間（６８）、及び、収容空間（６８）に連通し、貫通構造物（１１）が挿抜可能な開口（７６）が形成された金属シールド（１６）と、を備え、収容空間（６８）の内側における開口（７６）の縁が、曲面に形成されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が噴射されるノズル、前記ノズルに連通する圧力室、及び、前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる駆動素子を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記駆動素子を駆動するための回路基板と、
前記回路基板を収容する収容空間、及び、前記収容空間に連通し、貫通構造物が挿抜可能な開口が形成された金属シールドと、を備え、
前記収容空間の内側における前記開口の縁が、曲面に形成されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記曲面は、少なくとも前記収容空間の内側における前記開口の縁のうち、前記収容空間の外側で一側に屈曲した前記貫通構造物の屈曲方向における前記一側とは反対側の縁に形成されたことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記金属シールドは、前記開口の縁から前記収容空間の外側に向けて起立した壁を備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記金属シールドは、前記開口が形成された鉛直方向に交差する第１の面と、前記第１の面から当該第１の面と交差する方向に起立した第２の面とを有し、
前記第１の面のうち前記開口よりも前記第２の面側の領域は、前記第１の面のうち前記開口よりも前記第２の面とは反対側の領域よりも前記鉛直方向の下方に形成されたことを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記金属シールドは、前記回路基板が固定され、電気的に接地された金属ベースと、前記回路基板に対して間隔を空けて覆う状態に配置された金属カバーと、を備え、
前記金属ベースと前記金属カバーとは、導通機構により導通且つ接合されたことを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記金属ベースと前記金属カバーとは、前記金属ベースの長手方向における複数の箇所で前記導通機構により導通且つ接合されたことを特徴とする請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記金属カバーは、前記金属ベースを間に挟んで互いに向き合う側面を有し、
前記側面で前記金属ベースと前記金属カバーとが前記導通機構により導通且つ接合されたことを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
前記側面に垂直な方向において、互いに向き合う前記側面の間の寸法は、当該側面の間に挟まれた金属ベースの寸法よりも大きいことを特徴とする請求項７に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項９】
前記回路基板は、前記側面に沿って配置されたことを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
前記回路基板は、回路が形成された回路基材と、前記貫通構造物の一種である配線部材が接続されるコネクターと、を備え、
前記回路基材は、互いに向き合う前記側面のうち一の側面寄りに配置され、
前記コネクターは、前記回路基材の前記一の側面とは反対側の面に配置されたことを特徴とする請求項９に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１１】
液体が噴射されるノズル、前記ノズルに連通する圧力室、及び、前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる駆動素子を備えた液体噴射ユニットを複数備え、
前記液体噴射ユニットは、前記金属ベースの長手方向に沿って複数並べられたことを特徴とする請求項５から請求項１０の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１２】
前記複数の液体噴射ユニットに液体を供給する流路部材を備え、
前記流路部材は、前記収容空間の外側に設けられたことを特徴とする請求項１１に記載の液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を噴射するインクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドが搭載される液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも液体噴射ヘッドが応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置、バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
上記の液体噴射ヘッドは、液体が噴射されるノズル、ノズルに連通する圧力室、及び、圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧電素子等の駆動素子を備えている。また、液体噴射ヘッドとしては、圧力室に液体を送る流路部材や駆動素子へ駆動信号（電圧信号の一種）を送信する回路基板を覆うカバー部材を備えたものがある（例えば、特許文献１）。回路基板にはコネクターが配置されており、液体噴射ヘッドの外部からの配線が接続される。そして、カバー部材には、このコネクターを露出するための開口が形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１９３１５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、回路基板には、電磁波がノイズ（以下、電磁波ノイズという）として放射される問題がある。特に、特許文献１のようなヘッド本体を複数有する液体噴射ヘッド（いわゆるラインヘッド）においては、回路基板内の配線が複雑になり、電磁波ノイズが大きくなり易い。このため、回路基板を収容するカバー部材として、金属製のものを用いると共に、当該カバー部材を電気的に接地することで、回路基板から発生する電磁波ノイズを遮蔽することが考えられている。しかしながら、このような金属製のカバー部材は、打ち抜き加工やプレス加工等の板金加工により形成されるため、回路基板のコネクターを露出する開口の縁（具体的には、開口の内側の縁（所謂、エッジ））が尖った状態に形成され易い。このため、部品の交換時や、液体噴射ヘッドの検査時等において、ＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等の配線部材をコネクターに抜き差しする際に、当該配線部材が開口の内側の縁に当たって削れたり破損したりする虞があった。その結果、例えば、配線部材から削れた異物がコネクターと配線部材との接続箇所等に挟まって、ショート等の不具合が発生する虞があった。なお、流路部材にチューブ等の管状部材を接続する接続箇所においても、管状部材を抜き差しする際に、管状部材が当該管状部材の接続箇所を露出する開口の内側の縁に当たって削れたり破損したりする虞があった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、電磁波ノイズを抑制した液体噴射ヘッドを提供すること、および、配線部材等の開口に挿通される貫通構造物の抜き差しが容易な液体噴射ヘッドを提供することの少なくとも１つにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明における液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、液体が噴射されるノズル、前記ノズルに連通する圧力室、及び、前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる駆動素子を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記駆動素子を駆動するための回路基板と、
前記回路基板を収容する収容空間、及び、前記収容空間に連通し、貫通構造物が挿抜可能な開口が形成された金属シールドと、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
また、上記構成において、前記収容空間の内側における前記開口の縁が、曲面に形成されたことが望ましい。
【０００９】
本発明によれば、金属シールドの開口内から貫通構造物を引き抜いたり、金属シールドの開口内へ貫通構造物を差し込んだりする際において、貫通構造物が開口の収容空間側の縁に当たったとしても、貫通構造物が削れたり破損したりすることを抑制できる。
【００１０】
また、上記各構成のいずれかにおいて、前記曲面は、少なくとも前記収容空間の内側における前記開口の縁のうち、前記収容空間の外側で一側に屈曲した前記貫通構造物の屈曲方向における前記一側とは反対側の縁に形成されることが望ましい。
【００１１】
この構成によれば、一側に屈曲した貫通構造物が削れたり破損したりすることを効率よく抑制できる。
【００１２】
さらに、上記各構成のいずれかにおいて、金属シールドは、前記開口の縁から前記収容空間の外側に向けて起立した壁を備えることが望ましい。
【００１３】
この構成によれば、抜き差しにより金属シールドの外側で液体がこぼれたとしても、開口を介して収容空間内に液体が進入することを抑制できる。
【００１４】
また、上記各構成のいずれかにおいて、前記金属シールドは、前記開口が形成された鉛直方向に交差する第１の面と、前記第１の面から当該第１の面と交差する方向に起立した第２の面とを有し、
前記第１の面のうち前記開口よりも前記第２の面側の領域は、前記第１の面のうち前記開口よりも前記第２の面とは反対側の領域よりも前記鉛直方向の下方に形成されることが望ましい。
【００１５】
この構成によれば、抜き差しにより金属シールドの外側で液体がこぼれたとしても、第１の面の第２の面側の領域に液体を集めることができ、第１の面の第２の面とは反対側から液体が垂れることを抑制できる。
【００１６】
さらに、上記各構成のいずれかにおいて、前記金属シールドは、前記回路基板が固定され、電気的に接地された金属ベースと、前記回路基板に対して間隔を空けて覆う状態に配置された金属カバーと、を備え、
前記金属ベースと前記金属カバーとは、導通機構により導通且つ接合されることが望ましい。
【００１７】
この構成によれば、回路基板を金属ベースと金属カバーとの間に収容し易くなる。また、金属ベースと金属カバーとが導通されたので、間隔を空けて配置された回路基板と金属カバーとがアンテナとして機能することを抑制できる。その結果、回路基板から発生する電磁波ノイズが金属シールドの外側に漏れることを抑制できる。
【００１８】
また、上記各構成のいずれかにおいて、前記金属ベースと前記金属カバーとは、前記金属ベースの長手方向における複数の箇所で前記導通機構により導通且つ接合されることが望ましい。
【００１９】
この構成によれば、金属ベースが長手方向に長くなったとしても、回路基板と金属カバーとがアンテナとして機能することを抑制できる。その結果、回路基板から発生する電磁波ノイズが金属シールドの外側に漏れることを抑制できる。
【００２０】
さらに、上記各構成のいずれかにおいて、前記金属カバーは、前記金属ベースを間に挟んで互いに向き合う側面を有し、
前記側面で前記金属ベースと前記金属カバーとが前記導通機構により導通且つ接合されることが望ましい。
【００２１】
この構成によれば、抜き差しにより金属シールドの外側でこぼれた液体が金属カバーの外側の側面を伝って垂れたとしても、収容空間内に液体が進入し難いため、回路基板を液体から保護することができる。
【００２２】
また、上記各構成のいずれかにおいて、前記側面に垂直な方向において、互いに向き合う前記側面の間の寸法は、当該側面の間に挟まれた金属ベースの寸法よりも大きいことが望ましい。
【００２３】
この構成によれば、金属ベースを金属カバーの側面間に容易に挿入することができ、ひいては液体噴射ヘッドの製造が容易になる。
【００２４】
さらに、上記各構成のいずれかにおいて、前記回路基板は、前記側面に沿って配置されることが望ましい。
【００２５】
この構成によれば、互いに向き合う前記側面の間の寸法を小さくでき、ひいては液体噴射ヘッドを小型化できる。
【００２６】
また、上記各構成のいずれかにおいて、前記回路基板は、回路が形成された回路基材と、前記貫通構造物の一種である配線部材が接続されるコネクターと、を備え、
前記回路基材は、互いに向き合う前記側面のうち一の側面寄りに配置され、
前記コネクターは、前記回路基材の前記一の側面とは反対側の面に配置されることが望ましい。
【００２７】
この構成によれば、回路基板が固定された金属ベースに対して当該回路基板を覆うように金属カバーを取り付ける際に、金属カバーがコネクターに接触することを抑制できる。その結果、コネクターの破損等を抑制できる。
【００２８】
さらに、上記各構成のいずれかにおいて、液体が噴射されるノズル、前記ノズルに連通する圧力室、及び、前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる駆動素子を備えた液体噴射ユニットを複数備え、
前記液体噴射ユニットは、前記金属ベースの長手方向に沿って複数並べられることが望ましい。
【００２９】
この構成によれば、液体噴射ユニット毎に交換が可能になる。このため、修理時におけるコストを削減できる。
【００３０】
また、上記各構成のいずれかにおいて、前記複数の液体噴射ユニットに液体を供給する流路部材を備え、
前記流路部材は、前記収容空間の外側に設けられることが望ましい。
【００３１】
この構成によれば、流路部材が金属シールドの内側に配置される場合と比べて、金属シールドを小型化できる。その結果、液体噴射ヘッドの重さを軽くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】プリンターの内部構成を説明する斜視図である。
【図２】記録ヘッドを斜め上方から観た分解斜視図である。
【図３】記録ヘッドの断面図である。
【図４】記録ヘッドの底面図である。
【図５】単位ヘッドの断面図である。
【図６】記録ヘッドの配線部材とコネクターとの接続部を拡大した断面図である。
【図７】記録ヘッドの液体流出口との液体流入口との接続部を拡大した断面図である。
【図８】第２の実施形態における記録ヘッドの配線部材とコネクターとの接続部を拡大した断面図である。
【図９】第３の実施形態における記録ヘッドの配線部材とコネクターとの接続部を拡大した断面図である。
【図１０】第４の実施形態における記録ヘッドの配線部材とコネクターとの接続部を拡大した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射ヘッドとして、液体噴射装置の一種であるインクジェット式プリンター（以下、プリンター）１に搭載されたインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）３を例に挙げて行う。
【００３４】
プリンター１の構成について、図１を参照して説明する。プリンター１は、記録紙等の記録媒体２の表面に対して液体状のインクを噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、複数の液体噴射ユニット４を備える記録ヘッド３、記録媒体２を搬送する搬送機構５、及び、液体噴射ユニット４のノズル面に対向する位置に搬送された記録媒体２を支持する媒体支持部６（プラテンとも呼ばれる）等を装置本体７の内部に備えている。
【００３５】
本実施形態における記録ヘッド３は、記録媒体２の搬送方向（図１等におけるＸ方向）に交差する方向（図１等におけるＹ方向）に複数（本実施形態では４つ）の液体噴射ユニット４を並べて取り付けた当該方向（Ｙ方向）に長尺なラインヘッドである。この記録ヘッド３には、液体の一種であるインクを貯留したインクカートリッジ８の内部と連通する液体供給チューブ９が接続されている。インクカートリッジ８からのインクは、液体供給チューブ９を介して記録ヘッド３に供給される。なお、インクカートリッジを記録ヘッド上に装着する構成を採用することもできる。また、記録ヘッド３には、図示しないポンプを用いて気体（本実施形態では空気）を記録ヘッドに供給する気体供給チューブ１０、及び、図示しない制御部からの駆動信号等を記録ヘッドに供給するＦＦＣ等の配線部材１１が接続されている。
【００３６】
搬送機構５は、媒体支持部６よりも記録媒体２の搬送方向における上流側に上下一対に配置された第１の搬送ローラー１２ａと、媒体支持部６よりも搬送方向における下流側に上下一対に配置された第２の搬送ローラー１２ｂと、を備えている。供給側からの記録媒体２は、これらの搬送ローラー１２ａ，１２ｂの駆動により、上下のローラーに挟まれた状態で媒体支持部６上を通過して排出側に向けて搬送される。なお、図１において、上下一対のローラーのうち、上側のローラーの図示は省略されている。また、搬送機構が、無端ベルトやドラムにより構成されるものもあり、このような構成では、ベルトやドラムが媒体支持部として機能する。さらに、媒体支持部としては、記録媒体を静電力により吸着させる構成のものや、負圧を発生させることで記録媒体を吸着させる構成のものを採用することもできる。
【００３７】
図２は、記録ヘッド３の構成を示す分解斜視図である。図３は、記録ヘッド３の断面図である。図４は、記録ヘッド３の底面図（あるいは下面図）である。なお、以下においては、記録ヘッド３の各構成部材の積層方向（Ｚ方向）を、適宜上下方向として説明する。本実施形態における記録ヘッド３は、図２及び図３に示すように、各液体噴射ユニット４へインクを供給する流路が形成された流路部材１３と、内部を流れるインクの圧力を調整する圧力調整部材１４と、各液体噴射ユニット４を制御する駆動信号を送信する回路基板１５と、圧力調整部材１４及び回路基板１５を内部に収容する金属シールド１６と、金属シールド１６の底面を構成する金属ベース５１の下面に取り付けられた液体噴射ユニット４と、を備えている。
【００３８】
流路部材１３は、内部にインクが流れる液体流路及び空気が流れる気体流路（何れも図示せず）が形成された、各液体噴射ユニット４にインクを供給する合成樹脂製の板状部材である。図２に示すように、この流路部材１３の上面には、各色に対応したインク供給チューブが接続される液体供給チューブ接続部４１が複数（本実施形態では４つ）形成されている。液体供給チューブ接続部４１は、流路部材１３の内部の液体流路を介して流路部材１３の下面に形成された液体流出口４２と連通されている。本実施形態における液体流路は、１つの液体供給チューブ接続部４１から流入したインクが４つの液体噴射ユニット４に分配されるように途中で分岐され、４つの液体流出口４２と連通されている。すなわち、１つの液体供給チューブ接続部４１は、液体流路を介して４つの液体流出口４２と連通する。また、流路部材１３の上面には、気体供給チューブ１０が接続される気体供給チューブ接続部４３が複数（本実施形態では２つ）形成されている。気体供給チューブ接続部４３は、流路部材１３の内部の気体流路を介して流路部材１３の下面に形成された気体流出口４４と連通されている。本実施形態における気体流路も途中で分岐され、４つの気体流出口４４と連通されている。すなわち、１つの気体供給チューブ接続部４３は、気体流路を介して４つの気体流出口４４と連通する。なお、本実施形態における流路部材１３は、後述する金属カバー５２の上面６５に載置されている。すなわち、流路部材１３は、後述する収容空間６８の外側に配置されている。
【００３９】
なお、本実施形態における気体流出口４４は、流路部材１３の短手方向（Ｘ方向）の略中央において、流路部材１３の長手方向（Ｙ方向）に沿って複数（具体的には、８つ）形成されている。また、本実施形態における液体流出口４２は、気体流出口４４の列のＸ方向の両側において、それぞれＹ方向に沿って並設されている。すなわち、複数（具体的には、８つ）の液体流出口４２が並べられてなる液体流出口４２の列が、気体流出口４４の列を挟んで２列に形成されている。さらに、本実施形態における液体流出口４２及び気体流出口４４は、円筒状に形成され、流路部材１３の下面から下方に向けて突設されている。この液体流出口４２の径は、気体流出口４４の径よりも小さく形成されている。
【００４０】
圧力調整部材１４は、後述する金属カバー５２を間に挟んで流路部材１３の下方（液体噴射ユニット４側）に接続された合成樹脂製の部材である。この圧力調整部材１４の上面には、流路部材１３の液体流出口４２に対応する液体流入口４６、及び、流路部材１３の気体流出口４４に対応する気体流入口４７がそれぞれ複数形成されている。図３に示すように、液体流出口４２と液体流入口４６との接続部、及び、気体流出口４４と気体流入口４７との接続部は、金属カバー５２（詳しくは、金属カバー５２の上面６５）の下方（すなわち、後述する収容空間６８内）で接続されている。液体流入口４６は、圧力調整部材１４の内部に形成された図示しない液体流路を介して圧力調整部材１４の下方に突設された液体流出管４８と連通されている。なお、この圧力調整部材１４の内部の液体流路は、気体流入口４７から流入した空気により当該液体流路内のインクを加圧可能に構成されている。このため、ポンプを駆動させて気体供給チューブ１０、流路部材１３及び気体流入口４７を介して圧力調整部材１４に空気を送れば、液体流路内のインクの圧力を高めることができ、ひいては、液体噴射ユニット４内のインクの圧力を高めることができる。そして、この液体噴射ユニット４内のインクの圧力を制御することで、記録ヘッド３は、例えば、各ノズル２４からインクを強制的に排出するクリーニング動作等を行う。
【００４１】
図３に示すように、金属シールド１６は、内部に圧力調整部材１４及び回路基板１５を収容する収容空間６８が形成された金属製の部材である。この金属シールド１６は、上面に圧力調整部材１４及び回路基板１５が取り付けられ、下面に複数の液体噴射ユニット４が固定される剛性が高い金属ベース５１と、圧力調整部材１４及び回路基板１５を覆う薄板以状の金属カバー５２と、を備えている。金属ベース５１は、図２に示すようにＹ方向に長尺なＸ−Ｙ面に沿った板材であり、図３に示す接地線Ｇに電気的に接続されることで接地されている。この金属ベース５１の圧力調整部材１４が固定される領域には、圧力調整部材１４の液体流出管４８が挿通されるベース貫通孔５９が板厚方向に貫通した状態で複数開設されている。図３に示すように、圧力調整部材１４の液体流出管４８は、ベース貫通孔５９に挿通されて液体噴射ユニット４（詳しくは、液体導入口６０）と接続されている。
【００４２】
また、金属ベース５１のＸ方向における一側（図２及び図３における右側）の端部には、金属ベース５１の上面が一段下がった段差５４が形成されている。図２に示すように、この段差５４の側面には、回路基板固定用ネジ穴５５が開設されている。これにより、回路基板１５（詳しくは回路基材６２）を段差５４の側面（すなわち、Ｙ−Ｚ面）に沿うようにして段差５４の上面に載置した状態で、回路基板１５に形成された基板貫通孔５６を通じて回路基板固定用ネジ穴５５に回路基板固定用ネジ５７を固定することで、回路基板１５が金属ベース５１に固定される。すなわち、本実施形態における回路基板１５は、Ｙ−Ｚ面に沿って金属ベース５１から起立した状態に固定される。これにより、金属カバー５２を金属ベース５１に取り付けた状態において、回路基板１５は、金属カバー５２の一側（段差５４側）の側面６６に沿って配置されることになる。なお、回路基板固定用ネジ５７により、回路基板１５内の設置電位となる配線と、金属ベース５１とが導通される。
【００４３】
ここで、回路基板１５は、配線等からなる圧電素子３２を駆動するための回路等が形成されたＹ方向に長尺な回路基材６２と、回路基材６２に形成された配線部材１１が接続されるコネクター６３と、を備えている。本実施形態におけるコネクター６３は、回路基材６２の上端部であって、Ｙ方向における一側（図２における左側）寄りに１つ配置されている。また、コネクター６３は、回路基材６２における内側（圧力調整部材１４側）の面に配置されている。すなわち、回路基材６２は、互いに向き合う金属カバー５２の側面６６のうち一の側面６６寄りに配置され、コネクター６３は、回路基材６２における金属カバー５２の一の側面６６とは反対側の面に配置されている。なお、コネクター６３に接続される配線部材１１は、図３に示すように、収容空間６８の外側であってコネクター６３の直上（すなわち、後述する第１の開口７６の直上）でＸ方向（金属ベース５１の短手方向）における一側（詳しくは、第２の面７５とは反対側）に屈曲されている。
【００４４】
金属カバー５２は、圧力調整部材１４及び回路基板１５に対して間隔を空けて覆う状態に形成されたＹ方向に長尺な金属製のカバー部材である。すなわち、金属カバー５２は、図３に示すように、金属ベース５１に取り付けられて、金属ベース５１との間で収容空間６８を形成する。具体的には、この金属カバー５２は、例えば、０．４ｍｍの金属製の板からなり、圧力調整部材１４の上面を覆うＸ−Ｙ面に沿った上面６５、この上面６５のＸ方向における一側の端部から一段下がった段差状に形成された上面段差部６７、及び、Ｙ−Ｚ面に沿った互いに向き合う２つの側面６６を備えている。図２及び図３に示すように、この金属カバー５２の上面６５には、流路部材１３が取り付けられている。なお、図３に示すように、圧力調整部材１４の下面（金属カバー５２の上面６５に対向する面）には、その４隅に位置決めピン６４が立設されている。圧力調整部材１４は、この位置決めピン６４を金属カバー５２の上面６５に当接して、Ｚ方向の位置決めを行っている。
【００４５】
また、金属カバー５２の側面６６の下端部には、当該側面６６を板厚方向に貫通するカバー貫通孔７１が開設されている。図３に示すように、互いに向き合う側面６６の間に金属ベース５１を挿入した状態（換言すると金属ベース５１を側面６６間に挟んだ状態）で、カバー貫通孔７１を通じて、金属ベース５１の短手方向（Ｘ方向）における側面（すなわち、金属カバー５２の側面６６に対向する面）に形成された金属カバー固定用ネジ穴７０に金属カバー固定用ネジ７２（本発明における導通機構に相当）を固定することで、金属カバー５２の側面６６が金属ベース５１に固定されている。なお、金属カバー固定用ネジ７２により金属ベース５１と金属カバー５２とが導通されるため、金属カバー５２は接地電位となる。すなわち、金属カバー固定用ネジ７２により、金属ベース５１と金属カバー５２とが側面６６で導通且つ接合されている。本実施形態においては、金属カバー固定用ネジ７２により、金属ベース５１の長手方向（Ｙ方向）における複数の箇所（具体的には、一側の側面６６及び他側の側面６６に４箇所ずつ合計８箇所）で金属カバー５２の側面６６が金属ベース５１に固定されている。すなわち、金属カバー５２の側面６６にはカバー貫通孔７１が、金属ベース５１の側面には金属カバー固定用ネジ穴７０がそれぞれＹ方向に沿って複数形成されている。ここで、図３に示すように、Ｘ方向（すなわち、側面６６に垂直な方向）において、互いに向き合う金属カバー５２の側面６６の間の寸法Ｗ１は、当該側面６６の間に挟まれた金属ベース５１の寸法Ｗ２よりも大きく形成されている。このため、金属カバー５２の側面６６と金属ベース５１との間には僅かな隙間が形成される。なお、金属カバー固定用ネジ７２を締める際に、金属カバー５２の側面６６（或いは、カバー貫通孔７１の周囲）を僅かに撓ませて、金属カバー５２の側面６６が金属ベース５１に当接するようにしても良い。
【００４６】
金属カバー５２の上面段差部６７は、図２及び図３に示すように、鉛直方向（Ｚ方向）に交差（本実施形態では直交）する第１の面７４と、第１の面７４から当該第１の面７４と交差する方向に起立した第２の面７５とを有している。具体的には、上面段差部６７は、上面６５よりも下方に位置するＸ−Ｙ面に沿った第１の面７４と、第１の面７４と上面６５との間を接続するＹ−Ｚ面に沿った第２の面７５とからなる。そして、第１の面７４に配線部材１１が挿通される第１の開口７６が形成されている。この第１の開口７６に配線部材１１が挿通されて、第１の開口７６よりも下方において配線部材１１と回路基板１５のコネクター６３とが接続される。なお、金属カバー５２の上面６５にも、流路部材１３の液体流出口４２が挿通される第２の開口７７及び流路部材１３の気体流出口４４が挿通される第３の開口７８が形成されている。すなわち、流路部材１３の液体流出口４２は第２の開口７７に挿通されて、この第２の開口７７よりも下方に位置する圧力調整部材１４の液体流入口４６に接続される。また、流路部材１３の気体流出口４４は第３の開口７８に挿通されて、この第３の開口７８よりも下方に位置する圧力調整部材１４の気体流入口４７に接続される。すなわち、第１の開口７６、第２の開口７７、及び、第３の開口７８は、収容空間６８と連通して当該収容空間６８の内側の空間と外側の空間とを繋ぐ接続口となっている。そして、第１の開口７６、第２の開口７７、及び、第３の開口７８が本発明における開口に相当し、これらに挿通される配線部材１１、液体流出口４２、及び、気体流出口４４が本発明における貫通構造物に相当する。なお、第１の開口７６、第２の開口７７、及び、第３の開口７８の形状に関し、詳しくは後述する。
【００４７】
本実施形態における液体噴射ユニット４は、金属ベース５１の下面（すなわち、媒体支持部６側の面）に、それぞれ相対位置が規定された状態でＹ方向に並べてねじ止め若しくは接着剤により固定されている。図２に示すように、各液体噴射ユニット４は、複数の単位ヘッド８３（ヘッドチップともいう）と、各単位ヘッド８３に供給するインクが流れる供給流路（図示せず）が形成された流路構造体８４と、各単位ヘッド８３を保護する保護板８５を備えている。単位ヘッド８３は、後述するようにノズル２４が開設されたノズルプレート２３や、ノズル２４と連通する流路が形成された基板や、インクを吐出させる駆動源であるアクチュエーターユニット１７等の構成部材が積層されて構成されている。単位ヘッド８３は、ノズルプレート２３の下面（ノズル２４からインクが噴射される側の面）からの平面視で略平行四辺形状を呈する。すなわち、図４に示すように、複数のノズル２４が並設されてなるノズル列２４ａが、記録媒体２の搬送方向（Ｘ方向）および液体噴射ユニット４の並設方向（Ｙ方向）に対して傾斜して設けられており、このノズル列２４ａの傾斜に合わせて単位ヘッド８３の外形が略平行四辺形となるように形成されている。なお、ノズル列２４ａの傾斜角は、ノズル２４の形成ピッチやＸ方向における記録解像度に応じて定められる。本実施形態においては、１つの単位ヘッド８３に合計２条のノズル列２４ａが設けられている。そして、各液体噴射ユニット４においては、合計６つの単位ヘッド８３が、液体噴射ユニット４の並設方向であるＹ方向に沿って並べて配置されている。したがって、本実施形態においては、各液体噴射ユニット４がそれぞれ１２条のノズル列２４ａを有していることになる。
【００４８】
保護板８５は、液体噴射ユニット４に設けられている各単位ヘッド８３に共通な金属製の板状板材である。この保護板８５には、各単位ヘッド８３のノズルプレート２３に対応する位置に、当該ノズルプレート２３に形成されたノズル２４を露出させるノズル露出開口８６が開口されている。本実施形態におけるノズル露出開口８６は、ノズル列方向（Ｘａ方向）に長尺な平行四辺形状を呈している。各単位ヘッド８３は、対応するノズル露出開口８６にノズル２４を露出させた状態で、保護板８５の上面（媒体支持部６側とは反対側の面）に接着剤により接合される。
【００４９】
流路構造体８４は、インクカートリッジ８から送られてきたインクを、当該流路構造体８４の下面側に接合された各単位ヘッド８３に分配・供給する複数の部材が積層されてなる部材である。この流路構造体８４の上面には、複数の液体導入口６０が開設されており、この液体導入口６０から内部の流路にインクを導入する。本実施形態においては、合計４色のインクに対応して液体導入口６０が流路構造体８４に設けられている。流路構造体８４の内部の各色に対応した供給流路の途中には、図示しないフィルターがそれぞれ配設されており、供給流路を流れるインクから気泡や異物を除去する。各供給流路は、流路構造体８４の内部において液体噴射ユニット４に設けられた単位ヘッド８３の数に応じた数の分岐流路に分岐され、当該複数の単位ヘッド８３の液体導入路２１と連通する。
【００５０】
図５は、単位ヘッド８３の断面図である。本実施形態における単位ヘッド８３は、図５に示すように、アクチュエーターユニット１７及び流路ユニット１８が積層された状態でヘッドケース１９に取り付けられている。
【００５１】
本実施形態におけるヘッドケース１９は、合成樹脂製の箱体状部材である。図５に示すように、ヘッドケース１９の中央部には、ノズル列方向に沿って長尺な空間であるアクチュエーター収容空間２０及び貫通空間２２が形成されている。アクチュエーター収容空間２０は、アクチュエーターユニット１７が収容される空間であり、アクチュエーターユニット１７の厚さの分だけヘッドケース１９の下面から板厚方向（すなわち、下面に直交する方向）の途中まで凹んだ状態に形成されている。貫通空間２２は、このアクチュエーター収容空間２０の上面側の天井面に連通し、ヘッドケース１９を板厚方向に貫通した状態に形成されている。貫通空間２２及びアクチュエーター収容空間２０には、圧電素子３２（後述）に駆動信号を供給するフレキシブル基板３５が配置される。なお、図示を省略するが、フレキシブル基板３５は、貫通空間２２の上面開口から単位ヘッド８３の外側まで延在し、流路構造体８４に設けられた集合基板に接続されている。そして、集合基板は、図示しないケーブルを介して回路基板１５に接続されている。例えば、このケーブルは、金属ベース５１と金属カバー５２との隙間を通じて回路基板１５に接続される。また、図５に示すように、ヘッドケース１９の内部にはインクが流れる液体導入路２１が形成されている。この液体導入路２１の下端は、後述する共通液室２６と接続されている。本実施形態では、２列に形成されたノズル列２４ａに対応して、液体導入路２１が２つ形成されている。
【００５２】
ヘッドケース１９の下面には、流路ユニット１８が接続されている。この流路ユニット１８は、連通基板２５、ノズルプレート２３、及びコンプライアンス基板３７が積層されて成るノズル列方向に沿って長尺な基板である。連通基板２５は、例えばシリコン単結晶基板から作製される基板である。この連通基板２５には、図５に示すように、液体導入路２１と連通し、各圧力室３０に共通なインクが貯留される共通液室２６と、この共通液室２６からのインクを各圧力室３０に個別に供給する個別連通路２７と、圧力室３０とノズル２４とを連通するノズル連通路２８とが、異方性エッチングにより形成されている。共通液室２６は、ノズル列方向に沿った長尺な空部であり、液体導入路２１対応して２列に形成されている。個別連通路２７及びノズル連通路２８は、圧力室３０の並設方向（換言すると、ノズル列方向）に沿って複数形成されている。
【００５３】
ノズルプレート２３は、連通基板２５の下面（すなわち、圧力室形成基板２９とは反対側の面）に接合されたシリコン製の基板（例えば、シリコン単結晶基板）である。本実施形態のノズルプレート２３は、コンプライアンス基板３７と重ならないように、コンプライアンス基板３７から外れた領域に接合されている。換言すると、ノズルプレート２３は、連通基板２５の共通液室２６の下面側の開口から外れた中央の領域に接合されている。このノズルプレート２３には、複数のノズル２４がノズルプレート２３の長手方向に沿って直線状（換言すると、列状）に開設されている。すなわち、ノズル列２４ａが形成されている。この並設された複数のノズル２４（ノズル列２４ａ）は、一端側のノズル２４から他端側のノズル２４までドット形成密度に対応したピッチで等間隔に設けられている。
【００５４】
コンプライアンス基板３７は、連通基板２５の下面であって、共通液室２６に対応する領域に接合された可撓性を有する基板である。すなわち、コンプライアンス基板３７は、連通基板２５のノズルプレート２３に覆われていない領域に接合されている。本実施形態におけるコンプライアンス基板３７は、金属等の硬質な材料からなる固定基板３８に、剛性が低く可撓性を有する封止膜３９が積層された板材である。固定基板３８の共通液室２６に対向する領域は、厚さ方向に除去された開口部となっている。このため、共通液室２６の下面は、封止膜３９のみで封止され、共通液室２６内のインクの圧力変動を吸収するコンプライアンス部として機能する。
【００５５】
本実施形態におけるアクチュエーターユニット１７は、図５に示すように、圧力室形成基板２９、振動板３１、及び、封止板３３等の基板が積層されて成る複合基板である。このアクチュエーターユニット１７は、ヘッドケース１９のアクチュエーター収容空間２０内に収容可能な大きさに形成され、このアクチュエーター収容空間２０内に収容されている。
【００５６】
圧力室形成基板２９は、例えばシリコン単結晶基板から作製される基板である。この圧力室形成基板２９には、異方性エッチング等により一部が板厚方向に完全に除去されて、圧力室３０となるべき空間がノズル列方向に沿って複数並設されている。この空間は、下方が連通基板２５により区画され、上方が振動板３１により区画されて、圧力室３０を構成する。また、この空間、すなわち圧力室３０は、ノズル列方向に直交する方向に長尺に形成され、長手方向の一側の端部に個別連通路２７が連通すると共に、他側の端部にノズル連通路２８が連通する。また、本実施形態における圧力室３０は、ノズル列方向に沿って複数形成されている。
【００５７】
振動板３１は、例えば、圧力室形成基板２９の上面（すなわち、連通基板２５側とは反対側の面）に形成された二酸化シリコン（ＳｉＯ２）からなる弾性膜と、この弾性膜上に形成された二酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）からなる絶縁体膜と、から成る薄膜状の部材である。この振動板３１によって、圧力室３０となるべき空間の上部開口が封止されている。換言すると、振動板３１によって、圧力室３０の上面が区画されている。この振動板３１における圧力室３０（詳しくは、圧力室３０の上部開口）に対応する部分は、圧電素子３２の撓み変形に伴ってノズル２４から遠ざかる方向あるいは近接する方向に変位する変位部として機能する。すなわち、振動板３１における圧力室３０の上部開口に対応する領域が、撓み変形が許容される駆動領域となる。そして、この駆動領域（変位部）の変形（変位）により、圧力室３０の容積は変化する。一方、振動板３１における圧力室３０の上部開口から外れた領域が、撓み変形が阻害される非駆動領域となる。
【００５８】
振動板３１（詳しくは振動板３１の絶縁体膜）の上面（すなわち、振動板３１の圧力室形成基板２９側とは反対側の面）における各圧力室３０に対応する領域（すなわち、駆動領域）には、圧電素子３２（本発明における駆動素子に相当）がそれぞれ積層されている。本実施形態における圧電素子３２は、所謂撓みモードの圧電素子である。この圧電素子３２は、各ノズル２４に対応してノズル列方向に沿って複数並設されている。各圧電素子３２は、例えば、振動板３１上から順に、個別電極となる下電極層、圧電体層及び共通電極となる上電極層が順次積層されてなる。なお、駆動回路や配線の都合によって、下電極層を共通電極、上電極層を個別電極にすることもできる。このように構成された圧電素子３２は、下電極層と上電極層との間に両電極の電位差に応じた電界が付与されると、ノズル２４から遠ざかる方向あるいは近接する方向に撓み変形する。
【００５９】
封止板３３は、図５に示すように、圧電素子３２を収容可能な圧電素子収容空間３４が形成された基板である。この封止板３３は、圧電素子収容空間３４内に圧電素子３２を収容した状態で、振動板３１上に接合されている。本実施形態では、２列に形成された圧電素子３２の列に対応して、圧電素子収容空間３４が２列形成されている。この２つの圧電素子収容空間３４の間には、封止板３３が板厚方向に除去された接続空間３６が形成されている。接続空間３６は貫通空間２２と連通し、その内部には貫通空間２２に挿通されたフレキシブル基板３５の端部が配置される。そして、この接続空間３６において、フレキシブル基板３５と圧電素子３２から延在したリード配線（図示せず）と、が接続されている。
【００６０】
そして、上記のように形成された記録ヘッド３では、インクカートリッジ８からのインクの供給により、流路部材１３、圧力調整部材１４及び流路構造体８４を介して個々の単位ヘッド８３内にインクが導入される。そして、単位ヘッド８３は、液体導入路２１から圧力室３０に至るまでの流路がインクで満たされた状態で、制御部からの駆動信号が配線部材１１、回路基板１５、フレキシブル基板３５等を介して圧電素子３２に供給されることにより、圧力室３０の容積を変化させる。この容積の変化に伴う圧力室３０内のインクの圧力変動を利用することで、ノズル連通路２８を介して圧力室３０と連通するノズル２４からインク滴を噴射する。
【００６１】
次に、第１の開口７６、第２の開口７７、及び、第３の開口７８の形状に関して詳しく説明する。図６は、配線部材１１とコネクター６３との接続部、すなわち第１の開口７６の周辺を拡大した断面図である。図７は、液体流出口４２との液体流入口４６との接続部、すなわち第２の開口７７の周辺を拡大した断面図である。
【００６２】
第１の開口７６は、図６に示すように、回路基板１５のコネクター６３に対応する位置において、当該コネクター６３に接続される配線部材１１が挿抜可能な大きさに形成されている。具体的には、この第１の開口７６は、図２に示すように、金属カバー５２の長手方向（Ｙ方向）における第１の面７４の一側（図２における左側）寄りに開口されている。本実施形態における第１の開口７６は、ＦＦＣ等の配線部材１１が挿抜可能なように、平面視において、Ｙ方向に長尺な矩形状を呈している。そして、図６に示すように、この第１の開口７６の縁は、プレス機を用いた打ち抜き加工等の板金加工により、第１の面７４における金属カバー５２が外側に向けて略垂直に屈曲した状態に形成されている。すなわち、金属カバー５２は、第１の開口７６の縁から収容空間６８の外側に向けて起立した第１の壁８８を、当該第１の開口７６の周縁に平面視で矩形状に備えている。このように、第１の開口７６の縁を板金加工により外側に屈曲させることで、収容空間６８の内側（すなわち、コネクター６３側）における開口の縁に曲面Ｒ１が形成される。なお、第１の開口７６の内側の縁の曲面Ｒ１は、打ち抜き加工時のパンチの形状等の条件を変えることで、適宜にその曲率を変えることができる。また、一度打ち抜き加工により開口を形成した後、バーリング加工等のプレス加工により外側に壁を形成しつつ、内側に曲面を形成することもできる。
【００６３】
第２の開口７７は、図７に示すように、圧力調整部材１４の液体流入口４６に対応する位置において、当該液体流入口４６に接続される流路部材１３の液体流出口４２が挿抜可能な大きさに形成されている。具体的には、この第２の開口７７は、図２に示すように、金属カバー５２の上面に複数開口されている。本実施形態における第２の開口７７は、円筒状の液体流出口４２が挿抜可能なように、平面視において、円形状を呈している。そして、図７に示すように、この第２の開口７７の縁は、第１の開口７６の縁と同様に、プレス機を用いた打ち抜き加工等の板金加工により、上面６５における金属カバー５２が外側に向けて略垂直に屈曲した状態に形成されている。すなわち、金属シールド１６は、第２の開口７７の縁から収容空間６８の外側に向けて起立した第２の壁８９を、当該第２の開口７７の周縁に平面視で円形状に備えている。そして、第１の開口７６の縁と同様に、第２の開口７７の収容空間６８の内側における開口の縁には、曲面Ｒ２が形成されている。なお、第２の開口７７の内側の縁の曲面Ｒ２も、第１の開口７６の内側の縁の曲面Ｒ１と同様に、適宜にその曲率を変えることができる。
【００６４】
第３の開口７８は、圧力調整部材１４の気体流入口４７に対応する位置において、当該気体流入口４７に接続される流路部材１３の気体流出口４４が挿抜可能な大きさに形成されている。具体的には、この第３の開口７８は、図２に示すように、金属カバー５２の上面６５に複数開口されている。本実施形態における第３の開口７８は、円筒状の気体流出口４４が挿抜可能なように、平面視において、円形状を呈している。なお、第３の開口７８の形状は、開口径の大きさが異なることを除いて、図７に示す第２の開口７７と略同じ形状である。すなわち、第３の開口７８の縁には、収容空間６８の外側に向けて起立した壁（第３の壁と称する）と、収容空間６８の内側の曲面とが形成される。そして、これらの構成は、図７に示す第２の開口７７の縁と略同じであるため、詳しい説明を省略する。なお、第１の壁８８、第２の壁８９、及び、第３の壁が本発明における壁に相当する。
【００６５】
このように、第１の開口７６、第２の開口７７、及び、第３の開口７８の内側における開口の縁が、曲面に形成されたので、これらの開口に抜き差しされる貫通構造物が、開口の縁に当たって削れたり破損したりすることを抑制できる。すなわち、第１の開口７６においては、例えば、記録ヘッド３の組み立て時や液体噴射ユニット４の交換時等に、コネクター６３へ配線部材１１を差し込んだり、コネクター６３から配線部材１１を抜き取ったりする際に、当該配線部材１１が第１の開口７６の内側の縁に当たったとしても、当該縁の曲面Ｒ１により、配線部材１１が削れたり破損したりすることを抑制できる。特に、配線部材１１は、コネクター６３から抜き取られる際に第１の開口７６の内側の縁に当たり易いため、配線部材１１の削れ等を効率よく抑制することができる。その結果、配線部材１１から出た異物がコネクター６３に入り込みショート等を起こす不具合を抑制できる。また、第２の開口７７においては、圧力調整部材１４の液体流入口４６へ流路部材１３の液体流出口４２を差し込んだり、圧力調整部材１４の液体流入口４６から流路部材１３の液体流出口４２を抜き取ったりする際に、当該液体流出口４２が第２の開口７７の内側の縁に当たったとしても、当該縁の曲面Ｒ２により、液体流出口４２が削れたり破損したりすることを抑制できる。さらに、第３の開口７８においては、圧力調整部材１４の気体流入口４７へ流路部材１３の気体流出口４４を差し込んだり、圧力調整部材１４の気体流入口４７から流路部材１３の気体流出口４４を抜き取ったりする際に、当該気体流出口４４が第３の開口７８の内側の縁に当たったとしても、当該縁に形成された曲面により、気体流出口４４が削れたり破損したりすることを抑制できる。
【００６６】
また、本実施形態においては、第１の開口７６、第２の開口７７、及び、第３の開口７８の縁に外側に向けて起立した壁（第１の壁８８、第２の壁８９、及び、第３の壁）を備えたので、金属シールド１６の外側でインクがこぼれたとしても、これらの開口を介して収容空間６８内にインクが進入することを抑制できる。例えば、液体流出口４２を第２の開口７７から引き抜いて、流路部材１３を記録ヘッド３から取り外す際に、液体流出口４２からこぼれて金属カバー５２の表面にインクが付着したとしても、このインクが流れて（或いは垂れて）、第１の開口７６、第２の開口７７、及び、第３の開口７８内に入ることをこれらの周縁に形成された壁により阻止できる。さらに、金属カバー５２は、金属ベース５１に固定された回路基板１５に対して間隔を空けて配置されたので、回路基板１５を金属ベース５１と金属カバー５２との間、すなわち収容空間６８内に収容し易くなる。換言すると、回路基板１５が取り付けられた金属ベース５１に金属カバー５２を取り付け易くなる。また、金属ベース５１と金属カバー５２とが、金属カバー固定用ネジ７２により導通且つ接合されたので、すなわち、電気的に接地されたので、間隔を空けて配置された回路基板１５と金属シールド１６とがアンテナとして機能することを抑制できる。その結果、回路基板１５から発生する電磁波ノイズが金属シールド１６の外側に漏れることを抑制できる。さらに、金属ベース５１と金属カバー５２とは、金属ベース５１の長手方向における複数の箇所で金属カバー固定用ネジ７２により接合されたので、金属ベース５１が長手方向に長くなったとしても、回路基板１５と金属カバー５２とがアンテナとして機能することを抑制できる。その結果、回路基板１５から発生する電磁波ノイズが金属シールド１６の外側に漏れることを抑制できる。また、金属ベース５１と金属カバー５２は、側面６６で接合されたので、収容空間６８内にインクが進入し難くなる。例えば、金属シールド１６の外側でこぼれたインクが金属カバー５２の側面６６の外側の表面を伝って垂れたとしても、収容空間６８は側面６６の接合部よりも上方に形成されるため、この収容空間６８内にインクが浸入し難い。このため、回路基板１５等をインクから保護することができる。
【００６７】
さらに、金属カバー５２の側面６６の間の寸法Ｗ１は、当該側面６６の間に挟まれた金属ベース５１の寸法Ｗ２よりも大きく形成されたので、金属ベース５１を金属カバー５２の側面６６間に容易に挿入することができる。その結果、金属ベース５１と金属カバー５２との組立が容易になり、ひいては記録ヘッド３の製造が容易になる。また、回路基板１５は、金属カバー５２の側面６６に沿って配置されたので、互いに向き合う側面６６の間の寸法を小さくでき、ひいては記録ヘッド３を小型化できる。また、回路基材６２は、互いに向き合う金属カバー５２の側面６６のうち一の側面６６寄りに配置され、コネクター６３は、回路基材６２における金属カバー５２の一の側面６６とは反対側の面に配置されたので、回路基板１５が固定された金属ベース５１に対して当該回路基板１５を覆うように金属カバー５２を取り付ける際に、金属カバー５２がコネクター６３に接触することを抑制できる。その結果、コネクター６３の破損等を抑制できる。そして、記録ヘッド３は、液体噴射ユニット４を複数備えたので、例えば、複数の液体噴射ユニット４のうち１つに不具合が生じたとしても、不具合が生じた液体噴射ユニット４の交換だけで修理が可能になる。このように、液体噴射ユニット４毎に交換が可能になるため、修理時におけるコストを削減できる。また、複数の液体噴射ユニット４に液体を供給する流路部材１３は、収容空間６８の外側（すなわち、金属カバー５２の外側）に設けられたので、流路部材１３が金属シールド１６の内側に配置される場合と比べて、金属シールド１６を小型化できる。その結果、液体噴射ヘッドの重さを軽くすることができ、ひいてはプリンター１の重さを軽くすることができる。
【００６８】
なお、図６に示すように、配線部材１１は、第１の開口７６の外側で、Ｘ方向における一側（詳しくは、第２の面７５とは反対側）に屈曲されているため、当該配線部材１１をコネクター６３から引き抜く際に、配線部材１１には屈曲方向に向けた力がかかり易い。このため、配線部材１１のコネクター６３に接合された端部は、図６の矢印に示すように、屈曲方向に向けて斜め上方に引き抜かれることになり、当該屈曲方向における一側とは反対側の第１の開口７６の縁に当たり易い。このため、第１の開口７６の内側の縁の曲面Ｒ１は、少なくとも収容空間６８の内側における第１の開口７６の縁のうち、配線部材１１の屈曲方向における一側とは反対側の縁に形成されていればよい。例えば、後述する第４の実施形態のように、樹脂テープ９４を貼って曲面を形成するような場合には、屈曲方向における一側とは反対側の第１の開口７６の縁に樹脂テープ９４を積極的に貼るようにすれば、一側に屈曲した配線部材１１が削れたり破損したりすることを効率よく抑制できる。その他、板金加工により配線部材１１の屈曲方向における一側とは反対側の第１の開口７６の縁だけを曲面にすることもできる。ただし、曲面は、第１の開口７６の内側の縁の全周に亘って形成されることが望ましい。
【００６９】
ところで、上記した第１の実施形態では、第１の開口７６が形成された金属カバー５２の第１の面７４が鉛直方向（Ｚ方向）に直交するように形成されたが、すなわちＸ−Ｙ面に沿って形成されたが、これには限られない。図８に示す第２の実施形態では、第１の面７４′がＸ−Ｙ面に対して僅かに傾斜して形成されている。
【００７０】
具体的には、本実施形態における金属カバー５２′の上面段差部６７′は、図８に示すように、側面６６側から当該側面６６とは反対側（すなわち、第２の面７５′側）に向けて下り傾斜した第１の面７４′と、Ｙ−Ｚ面に沿った第２の面７５′とを有している。すなわち、第１の面７４′のうち第２の面７５′側の端部（換言すると、第１の面７４′と第２の面７５′とが交差する境界部分）が、Ｘ方向における第１の面７４′の最も低い位置となる。そして、この傾斜した第１の面７４′のＸ方向における途中に第１の開口７６が形成されている。このため、第１の面７４′のうち第１の開口７６よりも第２の面７５′側の領域Ａ１は、第１の面７４′のうち第１の開口７６よりも第２の面７５′とは反対側の領域Ａ２よりも鉛直方向（Ｚ方向）の下方に形成される。これにより、金属カバー５２′の外側で液体がこぼれたとしても、第１の面７４′の第２の面７５′側の領域Ａ２（特に第２の面７５′側の端部）にインクを集めることができ、第１の面７４′の第２の面７５′とは反対側の端から側面６６を伝ってインクが垂れることを抑制できる。なお、第１の面７４′は、金属カバー５２′の長手方向（Ｙ方向）においても、何れか一方の端から他方の端に向けて僅かに下り傾斜している。このため、第１の面７４′の第２の面７５′側の領域Ａ２に集められたインクは、第１の面７４′と第２の面７５′との境界を伝ってＹ方向に沿って流れ、他方の端から鉛直方向の下方に垂れる。そして、このインクが垂れる位置に、図示しない液体捕集部材が設けられている。これにより、上面段差部６７′から垂れたインクを液体捕集部材に捕集することができる。なお、その他の構成は、上記した第１の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【００７１】
また、上記した第１の実施形態では、第１の開口７６の内側の縁に形成された曲面Ｒ１が板金加工により金属カバー５２を曲げることで形成されたが、これには限られない。図９に示す第３の実施形態や、図１０に示す第４の実施形態では、上面段差部６７″に形成された第１の開口の周縁に他の部材を取り付けて曲面を形成している。
【００７２】
具体的には、図９に示す第３の実施形態では、金属カバー５２″の第１の開口７６′の縁にエラストマー等の樹脂から成る環状の樹脂部材９１が取り付けられている。なお、本実施形態における金属カバー５２″の第１の開口７６′の縁は、外側に屈曲して形成されず、略平坦（完全な平坦ではなく、エッジにバリ等が形成された状態も含む）に形成されている。この第１の開口７６′の縁に取り付けられる樹脂部材９１の外側の側面には、金属カバー５２″の第１の開口７６′の周縁が嵌まる溝９２が形成されている。この溝９２の幅（Ｚ方向における寸法）は、金属カバー５２″の第１の開口７６′の縁の板厚（Ｚ方向における寸法）よりも狭く形成されている。このため、樹脂部材９１の溝９２に金属カバー５２″の第１の開口７６′の周縁を嵌めるだけで、当該樹脂部材９１が第１の開口７６′に保持される。また、本実施形態における樹脂部材９１は、Ｘ−Ｚ面における断面視で角が丸められた四角形状に形成されている。このため、この樹脂部材９１が取り付けられた第１の開口７６′の内側の縁には、樹脂部材９１からなる曲面Ｒ１′が形成される。これにより、第１の開口７６′に抜き差しされる配線部材１１が、第１の開口７６′の縁に当たって削れたり破損したりすることを抑制できる。なお、樹脂部材９１の厚さ（Ｚ方向における寸法）は、金属カバー５２″の第１の開口７６′の縁の板厚（Ｚ方向における寸法）よりも厚く形成されているため、樹脂部材９１の上部は、第１の面７４″よりも上方に突出する。すなわち、樹脂部材９１の上部は、第１の開口７６′の縁から収容空間６８の外側に向けて起立した壁となる。このため、金属カバー５２″の外側でインクがこぼれたとしても、樹脂部材９１により第１の開口７６′内にインクが進入することを抑制できる。なお、その他の構成は、上記した第１の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【００７３】
また、図１０に示す第４の実施形態では、金属カバー５２″の第１の開口７６″の内側の縁を覆うように、樹脂テープ９４が貼り付けられている。なお、本実施形態における金属カバー５２″の第１の開口７６″の縁も、第３の実施形態と同様に、略平坦に形成されている。この樹脂テープ９４は、環状に形成され、粘着力のある貼着面を上側（金属カバー５２″側）にして、金属カバー５２″の第１の開口７６″の縁の周辺に内側（収容空間６８側）から貼り付けられている。そして、第１の開口７６″の縁において、樹脂テープ９４は上方に折り曲げられ、第１の開口７６″の内周面に貼り付けられている。このため、折り曲げられた部分の外側が曲面Ｒ１″となる。これにより、第１の開口７６″に抜き差しされる配線部材１１が、第１の開口７６″の縁に当たって削れたり破損したりすることを抑制できる。なお、曲面Ｒ１″の曲率は、樹脂テープ９４の厚さを変えることで適宜に変更し得る。また、その他の構成は、上記した第１の実施形態と同じであるため、説明を省略する。さらに、上記した第３の実施形態及び第４の実施形態では、第１の開口を例に挙げて説明したが、これには限られない。例えば、流路部材の液体流出口が挿通される第２の開口や、流路部材の気体流出口が挿通される第３の開口においても、第３の実施形態や第４の実施形態と同様の形状をとることができる。
【００７４】
ところで、上記した各実施形態では、平面視において、第１の開口７６が矩形状を呈し、第２の開口７７及び第３の開口７８が円形状を呈していたが、これには限られない。これらの開口７６、７７、７８の形状は、挿通される配線部材、液体流出口、及び、気体流出口等の貫通構造物の形状に応じて適宜に変更し得る。また、記録ヘッド３として、液体噴射ユニット４を複数備えたラインヘッドを例示したが、これには限られない。記録媒体の搬送方向と直交する方向（Ｙ方向）に走査（往復移動）しつつインクの吐出を行う所謂シリアルヘッドにも本発明を適用できる。さらに、回路基板１５は、圧力調整部材１４の一側に１つ設けられたが、これには限られない。例えば、圧力調整部材の両側に回路基板を配置した構成を採用することもできる。すなわち、回路基板を収容空間内に複数収容した液体噴射ヘッドにも本発明を適用できる。また、液体供給チューブ９及び気体供給チューブ１０は、流路部材１３を介して、圧力調整部材１４と接続されたがこれには限られない。流路部材を介さずに、液体供給チューブや気体供給チューブを圧力調整部材に直接接続する構成を採用することもできる。この場合、液体供給チューブが第２の開口に挿通され、圧力調整部材の液体流入口へ接続される。また、気体供給チューブが第３の開口に挿通され、圧力調整部材の気体流入口へ接続される。従って、この場合、液体供給チューブや気体供給チューブが本発明における貫通構造物に相当する。
【００７５】
そして、以上においては、液体噴射ヘッドとしてインクジェット式記録ヘッド３を例に挙げて説明したが、本発明は、回路基板を収容する金属シールドを備えた他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドでは液体の一種としてＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液体の一種として液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは液体の一種として生体有機物の溶液を噴射する。
【符号の説明】
【００７６】
１…プリンター，２…記録媒体，３…記録ヘッド，４…液体噴射ユニット，５…搬送機構，６…媒体支持部，７…装置本体，８…インクカートリッジ，９…液体供給チューブ，１０…気体供給チューブ，１１…配線部材，１２ａ…第１の搬送ローラー，１２ｂ…第２の搬送ローラー，１３…流路部材，１４…圧力調整部材，１５…回路基板，１６…金属シールド，１７…アクチュエーターユニット，１８…流路ユニット，１９…ヘッドケース，２０…アクチュエーター収容空間，２１…液体導入路，２２…貫通空間，２３…ノズルプレート，２４…ノズル，２４ａ…ノズル列，２５…連通基板，２６…共通液室，２７…個別連通路，２８…ノズル連通路，２９…圧力室形成基板，３０…圧力室，３１…振動板，３２…圧電素子，３３…封止板，３４…圧電素子収容空間，３５…フレキシブル基板，３６…接続空間，３７…コンプライアンス基板，３８…固定基板，３９…封止膜，４１…液体供給チューブ接続部，４２…液体流出口，４３…気体供給チューブ接続部，４４…気体流出口，４６…液体流入口，４７…気体流入口，４８…液体流出管，５１…金属ベース，５２…金属カバー，５４…段差，５５…回路基板固定用ネジ穴，５６…基板貫通孔，５７…回路基板固定用ネジ，５９…ベース貫通孔，６０…液体導入口，６２…回路基材，６３…コネクター，６４…位置決めピン，６５…上面，６６…側面，６７…上面段差部，６８…収容空間，７０…金属カバー固定用ネジ穴，７１…カバー貫通孔，７２…金属カバー固定用ネジ，７４…第１の面，７５…第２の面，７６…第１の開口，７７…第２の開口，７８…第３の開口，８３…単位ヘッド，８４…流路構造体，８５…保護板，８６…ノズル露出開口，８８…第１の壁，８９…第２の壁，９１…樹脂部材，９２…溝，９４…樹脂テープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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