【手続補正書】
【提出日】平成18年7月12日(2006.7.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】化学メッキ及び電気メッキを使って銅メッキを行うための装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  ワークピースの表面に金属をメッキするためのリアクタにおいて、
中に電気メッキ溶液を入れるように形成されたリアクタボウルと、
前記リアクタボウル中に電気メッキ溶液と接触して配置された陽極と、
前記リアクタボウル内の前記陽極から間隔をおいて配置された接点アッセンブリと
を備え、
前記接点アッセンブリが、
ワークピースより大きな開口を形成する内壁を有する接点支持部材、及び
前記接点支持部材に固着された第１端部と、前記内壁から放射方向内向きに延びかつ前記第１端部から上向きに折れ曲がって前記ワークピースの表面の周辺縁部に接するように配置された第２端部を有する複数の片持ち接点
を有し、
前記複数の片持ちが、ワークピースと係合する際にはワークピースの表面に対してワイピング動作を行うことを特徴とするリアクタ。
【請求項２】  前記複数の接点が、別々の屈曲した形態であることを特徴とする請求項１に記載のリアクタ。
【請求項３】  前記複数の接点が皿ばね状環状接点の形態であることを特徴とする請求項１に記載のリアクタ。
【請求項４】  前記複数の接点及び前記ワークピースの周辺縁部にパージガスを供給するために前記接点アッセンブリ中に配置された流路を更に備えていることを特徴とする請求項１に記載のリアクタ。
【請求項５】  前記接点アッセンブリが、 
誘電性材料から形成されている外側本体部材と、
前記接点支持部材と
を有し、
前記接点支持部材が、前記外側本体部材を支持し、かつ前記接点支持部材が導電性材料から形成されていることを特徴とする請求項１に記載のリアクタ。
【請求項６】  前記接点支持部材及び前記複数の接点が白金チタンから成ることを特徴とする請求項５に記載のリアクタ。
【請求項７】  前記複数の接点が別々の屈曲した形態であり、前記別々の屈曲部のそれぞれが、前記接点支持部材と外側本体部材の間に画定された対応する屈曲チャネル内に配置されていることを特徴とする請求項５に記載のリアクタ。
【請求項８】  前記別々の屈曲部と協力して前記接点支持部材の対応する溝を係合させ、それにより前記別々の屈曲部を接点支持部材と固定するために配置された楔部材を更に備えていることを特徴とする請求項７に記載のリアクタ。
【請求項９】  ワークピースが前記接点アッセンブリと係合状態になる際に、前記楔部材の少なくとも一部が前記屈曲接点の屈曲性を剛性化することを支援することを特徴とする請求項８に記載のリアクタ。
【請求項１０】  前記複数の接点が、前記接点支持部材の内側面のノッチに配置された共通部を有する皿ばね状環状接点の形態であることを特徴とする請求項５に記載のリアクタ。
【請求項１１】  前記接点支持部材の内側に放射状に配置されたワークピースガイドを更に備えていることを特徴とする請求項５に記載のリアクタ。
【請求項１２】  前記外側本体部材が、前記接点支持部材に連結された外側部と、該外側部から放射方向内向きに突出してワークピースの表面に係合するリップとを備えていることを特徴とする請求項５に記載のリアクタ。
【請求項１３】  前記リアクタが、さらに、前記外側本体部材により支持され前記ワークピースの表面と係合するエラストマーシール部材を更に備えていることを特徴とする請求項５に記載のリアクタ。
【請求項１４】  前記接点アッセンブリが、少なくとも１つのラッチ機構を使って前記リアクタに取り外し可能に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のリアクタ。
【請求項１５】  前記リアクタが、さらに、前記接点アッセンブルリを含んでおり、且つステータ部と前記接点アッセンブリを含むローター部とを含んでいる処理ヘッドを更に備えていることを特徴とする請求項１に記載のリアクタ。
【請求項１６】  前記接点アッセンブリが、少なくとも１つのラッチ機構により前記ローター部に取り外し可能に接合されていることを特徴とする請求項１５に記載のリアクタ。
【請求項１７】  バッキング部材と駆動機構を更に備えており、前記バッキング部材と接点アッセンブリは前記駆動機構によりワークピースを取り付ける状態とワークピースを処理する状態の間で互いに相対的に動かされ、前記ワークピースは前記ワークピースを処理する状態では前記バッキング部材により前記接点アッセンブリの前記複数の接点に対して付勢されることを特徴とする請求項１５に記載のリアクタ。
【請求項１８】  前記駆動機構がベロウ部材に囲まれていることを特徴とする請求項１７に記載のリアクタ。
【請求項１９】  ワークピースの表面に金属をメッキするためのリアクタアッセンブリにおいて、
中に電気メッキ溶液を入れるように形成されたボウルと、
前記ボウル中に配置された陽極と、
接点アッセンブリとバッキングプレートを有する処理ヘッドと
を包含し、
前記接点アッセンブリは、ワークピースを受け入れる大きさの開口を有する支持リング、及び該支持リングに固着された第１端部及び該第１端部から放射方向内向きかつ上向きに突出した第２端部を有する複数の片持ち接点を備え、
前記バッキングプレートは、処理位置の前記接点の第２端部に抗してワークピースを駆動するために接点アッセンブリに関し移動可動である
ことを特徴とするリアクタアッセンブリ。
【請求項２０】  前記片持ち接点が、前記支持リング取り付けられた第１端部と、前記第１端部から上向きにかつ前記支持リングから内向きに突出した第２端部を有することを特徴とする請求項１９に記載のリアクタアッセンブリ。
【請求項２１】  前記片持ち接点が、導電性アーチ形部と一体の形状を有し、該導電性アーチ形部が前記支持リングに取り付けられていることを特徴とする請求項１９に記載のリアクタアッセンブリ。
【請求項２２】  前記片持ち接点及び導電性アーチ形部が、導電性皿ばね状環を形成することを特徴とする請求項２１に記載のリアクタアッセンブリ。
【請求項２３】  前記処理ヘッドが、さらに、ステータ部とローター部を有し、前記接点アッセンブリが前記ローター部によって支えられていることを特徴とする請求項１９に記載のリアクタアッセンブリ。
【請求項２４】  前記処理ヘッドが、さらに、ステータ部と、ローター部と、該ローター部に連結されたベロウシールを包含し、前記接点アッセンブリが前記ロータ部によって支持され、前記バッキングプレートが前記ベロウシールに連結されたことを特徴とする請求項１９に記載のリアクタアッセンブリ。
【請求項２５】  前記片持ち接点が、前記支持リングの半径に対し角度をもって内向きに突出していることを特徴とする請求項１９に記載のリアクタアッセンブリ。
【請求項２６】  前記リアクタアッセンブリが、さらに、前記支持リングに連結されたバリアを備え、該バリアは、ワークピースと係合するために前記接点の第２端部の半径方向内向きに位置するリップに終わる横断部を有していることを特徴とする請求項１９に記載のリアクタアッセンブリ。
【請求項２７】  前記リアクタアッセンブリが、さらに、前記支持リングに連結されたバリアを有し、該バリアは、前記接点の前記第２端部の半径方向内向きに位置するリップに終わる横断部を有し、該リップはワークピースと係合するように形成されたエラストマーシールを有していることを特徴とする請求項１９に記載のリアクタアッセンブリ。
【請求項２８】  前記処理ヘッドが、さらに、前記接点アッセンブリに連結されたラッチ機構を有し、該ラッチ機構はロック位置と開放位置の間で動くアクチュエータを有し、前記ラッチ機構は、前記接点アッセンブリを前記処理ヘッドに保持するためにロック位置で前記接点アッセンブリに係合し、また、前記ラッチ機構は、前記接点アッセンブリを前記処理ヘッドからは外すために開放位置で前記接点アッセンブリと非係合となることを特徴とする請求項１９に記載のリアクタアッセンブリ。