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　特願２００５−２１１７５７「弾性表面波装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年　２月　１日出願公開、特開２００７−　２８５３８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯 
　本願は、平成１７年７月２１日の特許出願であって、平成２１年４月２１日付けで拒絶理由が通知され、同年６月１８日付けで手続補正書が提出され、同年７月１０日付けで拒絶理由（最後）が通知され、同年９月２８日付けで拒絶査定され、これに対して同年１２月２８日付けで拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　
　
　　
２．本願発明 
　本願の請求項１に係る発明は、平成２１年６月１８日付け手続補正書によって補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである（以下「本願発明」という）。
　　　　  
「単結晶圧電基板と、この圧電基板の表面に設けたアルミニウムを主成分とする材料により形成された交差指状電極とを備えた弾性表面波装置であって、
　前記交差指状電極の厚さｈを当該交差指状電極の電極間隔λで規格化した規格化膜厚ｈ／λが７〜１１％であり、
　前記単結晶圧電基板は、タンタル酸リチウム基板であり、添加物として鉄を含むことにより３．６×１０１０〜１．５×１０１４Ω・ｃｍの範囲内の体積抵抗率を有し、かつ、Ｘ軸を中心にＹ軸からＺ軸方向に４６°±０．３°の範囲の角度で回転させた方位を有する
　ことを特徴とする弾性表面波装置。」
　
　　　
　　　　 　　　
３．引用例 
　原査定の拒絶の理由に引用された特開平９−１６７９３６号公報（以下、「引用例」という）には、下記の事項が記載されている。
　　　
（ア）「【００２３】
【発明の実施の形態】以下、本発明を、好ましい実施例について詳細に説明する。図７（Ａ）は、本発明の第１実施例によるラダー型弾性表面波フィルタの構成を示す平面図、図７（Ｂ）はその等価回路図である。
【００２４】図７（Ａ）を参照するに、弾性表面波フィルタはＬｉＴａＯ３またはＬｉＮｂＯ３単結晶の回転Ｙ板上に形成され、入力側電極が入力端子ＩＮに接続された第１の櫛形電極Ｒ１と、入力側電極が前記櫛形電極Ｒ１の出力側電極に接続され、さらに出力側電極が出力端子ＯＵＴに接続された第２の櫛形電極Ｒ１’と、入力側電極を櫛形電極Ｒ１’の入力側電極に接続され、出力側電極を接地された第３の櫛形電極Ｒ２と、入力側電極を櫛形電極Ｒ１の出力側電極に接続され、出力側電極を接地された第４の櫛形電極Ｒ２’と、入力側電極を櫛形電極Ｒ１’の出力側電極に接続され、出力側電極を接地された第４の櫛形電極Ｒ２”とを含む。
【００２５】各々の櫛形電極Ｒ１ ，Ｒ１’，Ｒ２，Ｒ２’，Ｒ２”において、入力側電極ｉは、通常の通り、Ｘ軸方向に伝搬する弾性表面波の経路と交差する第１の方向に互いに平行に延在する第１群の電極指を含み、また出力側電極ｏも、通常の通り、前記第１の方向とは反対の第２の方向に平行に延在する第２群の電極指を含み、第１群の電極指と第２群の電極指とは、交互に配設されている。さらに、各々の櫛形電極Ｒ１，Ｒ１’，Ｒ２，Ｒ２’，Ｒ２”には、Ｘ軸方向上の両側に、複数の平行な電極指を両端で短絡させた構成の反射器Ｒ１が形成されている。本実施例では、櫛形電極Ｒ１，Ｒ１’，Ｒ２，Ｒ２’，Ｒ２”はＡｌ−１％Ｃｕ合金より形成され、フィルタの通過帯域波長の１０％に相当する約０．４μｍの厚さに形成されている。
【００２６】図７（Ｂ）は図６（Ａ）のフィルタの等価回路図を示す。図７（Ｂ）を参照するに、櫛形電極Ｒ１およびＲ１’は直列接続され、さらに櫛形電極Ｒ２，Ｒ２’およびＲ２”が並列接続されている。図８は図７（Ａ），（Ｂ）の弾性表面波フィルタについて実験的に得られた最小挿入損失を、ＬｉＴａＯ３単結晶基板１１の様々なカット角θについて示す。最小挿入損失は、表面波の伝搬損失とフィルタの整合損失の双方の効果を含むが、基板のカット角θは整合損失には実質的に寄与しない。」
　　
（イ）「【００３４】図１２は、図７（Ａ），（Ｂ）のフィルタにおいて、様々なカット角で形成されたＬｉＴａＯ３のＹ回転−Ｘ伝搬基板１１上に形成された櫛形電極の厚さを変化させた場合の伝搬損失を計算した結果を示す。図１２の計算においても、先の計算と同様に、Kovacs  他の結晶定数を使った。
【００３５】図１２よりわかるように、カット角が３８°以下の場合、損失は電極厚の増大とともに指数関数的に単調に増加するが、カット角が４０°を越えると損失が電極の厚さと共に減少を始め、特性曲線に極小点が現れるのがわかる。極小点をを過ぎると損失は再び増大に転じる。特に、基板１１のカット角を、先に説明した好ましい角度である４０°から４６°の範囲に設定した場合、このような極小点は、波長に対する電極の厚さが３％以上のところに出現する。換言すると、本実施例のフィルタにおいて、電極を、波長で規格化した厚さが３％以上になるように形成するのが好ましい。一方、電極の厚さが過大になると、電極のエッチングによるパターニングが困難になったり、基板中の音速が電極の膜厚により敏感に変化するようになるため、電極は、厚さが波長に対して１５％以内になるように形成するのが好ましい。図１２より、ＡｌあるいはＡｌ−１％Ｃｕ合金を使った電極の場合、電極の厚さが波長の１５％を越えると、いずれのカット角においても伝搬損失が急増することがわかるが、これは電極からのバルク波の放射が優勢になることを示している。特にカット角が４０〜４６°の範囲では、電極の厚さは０．０７〜０．１５の範囲が、またカット角が４０から４４°の範囲では、電極の厚さは０．０５〜０．１０の範囲であるのが好ましい。」
　
（ウ）上記（イ）には、カット角について「ＬｉＴａＯ３のＹ回転−Ｘ伝搬基板」においてカット角を４０〜４６°の範囲とすることが記載されているので、引用例に記載された「ＬｉＴａＯ３単結晶基板」は、「Ｘ軸を中心にＹ軸からＺ軸方向に４０〜４６°の範囲の角度で回転させた方位を有する」ものといえる。
　　
　
　よって、上記（ア）〜（ウ）及び関連図面から、引用例には、
　
「ＬｉＴａＯ３単結晶基板と、前記ＬｉＴａＯ３単結晶基板の表面に設けたＡｌ−１％Ｃｕ合金により形成された櫛形電極とを備えた弾性表面波フィルタであって、
　波長で規格化した前記櫛形電極の厚さが７〜１５％であり、
　前記ＬｉＴａＯ３単結晶基板は、Ｘ軸を中心にＹ軸からＺ軸方向に４０〜４６°の範囲の角度で回転させた方位を有する弾性表面波フィルタ。」
　
の発明（以下、「引用発明」という）が記載されている。
　　　　
　
　　　　　　　　　  
４．対比 
（１）本願発明と引用発明との対応関係について
（あ）引用発明の「ＬｉＴａＯ３単結晶基板」は、本願発明の「単結晶圧電基板」及び「タンタル酸リチウム基板」に相当している。
　
（い）引用発明の「櫛形電極」については、引用例の段落【００２５】に、
「各々の櫛形電極Ｒ１ ，Ｒ１’，Ｒ２，Ｒ２’，Ｒ２”において、入力側電極ｉは、通常の通り、Ｘ軸方向に伝搬する弾性表面波の経路と交差する第１の方向に互いに平行に延在する第１群の電極指を含み、また出力側電極ｏも、通常の通り、前記第１の方向とは反対の第２の方向に平行に延在する第２群の電極指を含み、第１群の電極指と第２群の電極指とは、交互に配設されている。」
と記載されているので、引用発明の「櫛形電極」は、本願発明の「交差指状電極」に相当している。
　
（う）引用発明の櫛形電極は、「Ａｌ−１％Ｃｕ合金」により形成されているので、「アルミニウムを主成分とする材料により形成」されているといい得るものである。
　
（え）本願明細書の段落【０００２】には、「弾性表面波装置」がフィルタとして利用されていることが記載されているので、引用発明の「弾性表面波フィルタ」は、弾性表面波装置と呼び得るものである。
　
（お）弾性表面波フィルタでは、一方の電極の電極指と他方の電極の電極指とは交互に配設され、隣り合った一方の電極の電極指と他方の電極の電極指との間隔は半波長に設定されるものであることを考慮すれば、引用発明の一方の電極の電極指間隔は１波長であると認められる。
　よって、引用発明の「波長で規格化した前記櫛形電極の厚さ」は、電極指の間隔で規格化した櫛形電極の厚さであるともいえるので、本願発明の「交差指状電極の厚さｈを当該交差指状電極の電極間隔λで規格化した規格化膜厚ｈ／λ」に相当している。
　　
（か）引用発明と本願発明は、規格化膜厚が、「７〜１１％を含む範囲」である点で共通している。
　
（き）引用発明と本願発明は、Ｘ軸を中心にＹ軸からＺ軸方向に回転する角度が、「４６°を含む範囲」である点で共通している。　　
　
　　
（２）本願発明と引用発明の一致点について
　上記の対応関係から、本願発明と引用発明は、
　　
「単結晶圧電基板と、この圧電基板の表面に設けたアルミニウムを主成分とする材料により形成された交差指状電極とを備えた弾性表面波装置であって、
　前記交差指状電極の厚さｈを当該交差指状電極の電極間隔λで規格化した規格化膜厚ｈ／λが７〜１１％を含む範囲であり、
　前記単結晶圧電基板は、タンタル酸リチウム基板であり、Ｘ軸を中心にＹ軸からＺ軸方向に４６°を含む範囲の角度で回転させた方位を有する
　ことを特徴とする弾性表面波装置。」
　
の点で一致している。
　　
　　　
（３）本願発明と引用発明の相違点について
　本願発明と引用発明とは、下記の点で相違する。
　
（相違点１）
　規格化膜厚について、本願発明は「７〜１１％」の範囲としているのに対し、引用発明は「７〜１５％」の範囲としている点。
　
（相違点２）
　単結晶圧電基板について、本願発明は「添加物として鉄を含むことにより３．６×１０１０〜１．５×１０１４Ω・ｃｍの範囲内の体積抵抗率を有し」ているのに対し、引用発明は添加物を含んでおらず、３．６×１０１０〜１．５×１０１４Ω・ｃｍの範囲内の体積抵抗率を有していない点。
　　
（相違点３）
　Ｘ軸を中心にＹ軸からＺ軸方向に回転する角度について、本願発明は「４６°±０．３°の範囲」としているのに対し、引用発明は「４０〜４６°の範囲」としている点。
　
　
　
５．当審の判断 
（１）相違点１について
　本願発明の「規格化膜厚」について、本願明細書の段落【００１５】には、
「ＩＤＴの厚さｈを当該ＩＤＴの電極間隔λで規格化した値である規格化膜厚ｈ／λが略７〜１１％（ｈ／λ≒０．０７〜０．１１）となるよう構成する。」
と記載され、本願図面の図３乃至図５には、規格化膜厚ｈ／λを７％、９％、１１％とした場合の各特性は記載されているものの、他の規格化膜厚とした場合の特性は記載されていないことから、本願明細書及び図面には、規格化膜厚を７％〜１１％の範囲とすることは明記されているものの、当該範囲が好ましいとする根拠は記載されていない。
　
　一方、電極の膜厚の決定について、引用例の段落【００３５】には、
「カット角が３８°以下の場合、損失は電極厚の増大とともに指数関数的に単調に増加するが、カット角が４０°を越えると損失が電極の厚さと共に減少を始め、特性曲線に極小点が現れるのがわかる。極小点をを過ぎると損失は再び増大に転じる。特に、基板１１のカット角を、先に説明した好ましい角度である４０°から４６°の範囲に設定した場合、このような極小点は、波長に対する電極の厚さが３％以上のところに出現する。換言すると、本実施例のフィルタにおいて、電極を、波長で規格化した厚さが３％以上になるように形成するのが好ましい。一方、電極の厚さが過大になると、電極のエッチングによるパターニングが困難になったり、基板中の音速が電極の膜厚により敏感に変化するようになるため、電極は、厚さが波長に対して１５％以内になるように形成するのが好ましい。」
と記載されているように、電極の薄い方の膜厚については損失の極小点が現れる厚さで決定され、電極の厚い方の膜厚についてはパターニングの困難性等の理由から決定されるものであることが開示されている。
　
　してみると、規格化膜厚が「７〜１５％」の範囲とする引用発明において、パターンニングを容易にするために上限の範囲を１１％までとすることは、当業者が適宜なし得る設計的事項にすぎない。
　　
　よって、引用発明において、規格化膜厚を「７〜１１％」の範囲とすることは、当業者が適宜容易になし得たものである。
　　
　
（２）相違点２について
　本願発明の「体積抵抗率」について、本願明細書の段落【００１２】には、
「Ｆｅを上記添加物として使用する場合にはその添加物の添加率を、１．２４ｗｔ％以下とすることが望ましい。この場合、３．６×１０１０Ω・ｃｍ以上の体積抵抗率を有する圧電基板が得られる。Ｆｅの添加率が１．２４ｗｔ％を超えると圧電基板の体積抵抗率が低減しすぎることで、基板に電気が流れやすくなり、ＩＤＴ１２の電極指同士が短絡し、電気特性が劣化する。」
と記載され、また、段落【００２０】には、
「Ｆｅの添加量を調整することによって上記ＬＴ基板１１の体積抵抗率が３．６×１０１０〜１．５×１０１４Ω・ｃｍの範囲内になるようにすることが望ましい。体積抵抗率を１．５×１０１４Ω・ｃｍ以下とすることによりＬＴ基板１１への電荷の蓄積を防ぎ、放電によって電極１２がダメージを受けたり静電破壊が生じることを防止する一方、体積抵抗率を３．６×１０１０Ω・ｃｍ以上とすることによりＩＤＴ１２の電極指同士が短絡することを防ぐためである。」
と記載されているものの、本願明細書及び図面には、「体積抵抗率」が３．６×１０１０Ω・ｃｍより大きくした場合、該値より小さい場合に比べて短絡がどの程度防げるのか、また、「体積抵抗率」が１．５×１０１４Ω・ｃｍより小さくした場合、該値より大きい場合に比べて静電破壊がどの程度防げるのかは記載されていない。
　
　また、平成２１年１２月２８日付け審判請求書の【請求の理由】３．Ｂ．には、体積抵抗率を３．６×１０１０〜１．５×１０１４Ω・ｃｍに限定した点について、
「体積抵抗率を１．５×１０１４Ω・ｃｍ以下とすることによってＬＴ基板への電荷の蓄積を防ぎ、放電によってＩＤＴがダメージを受けたり静電破壊が生じることを防止すると共に、体積抵抗率を３．６×１０１０Ω・ｃｍ以上とすることによりＩＤＴの電極指同士が短絡することを防ぐために過ぎず、当該範囲に体積抵抗率を設定することによって格別な電気特性（共振・反共振特性）を実現しようとするものではない。」
と記載されている。
　　　
　一方、原査定の拒絶理由に引用された特開２００４−２５４１１４号公報には、弾性表面波フィルタを構成するタンタル酸リチウム基板に鉄を添加物として含ませることで、焦電性による表面電荷を自己中和し除去させることが段落【００１８】に記載されている。
　そして、圧電基板の表面の抵抗値について、焦電効果による帯電を防止するために圧電基板の抵抗率を１．０×１０１０〜１．０×１０１２Ω・ｃｍ程度の範囲とすることは、特開２００５−２０４２３号公報の段落【００３０】、特開２００４−３５６９５１号公報の段落【００１２】に記載されているように周知技術である。さらに、圧電基板上に形成された保護膜の抵抗値について、抵抗値の上限が圧電基板に帯電した電荷をどの程度中和されるかを決定するものであり、抵抗値の下限が電極指間のショートをどの程度防止するかを決定するものであることも、特開平１０−３０３６８１号公報の段落【００１２】及び特開平１１−１３６０８１号公報の段落【００３５】に記載されているように周知技術である。
　　
　してみると、焦電性を有することが明らかである引用発明のＬｉＴａＯ３単結晶基板に対して、静電破壊を防止するために鉄を添加物として含ませることは、当業者が適宜なし得たものにすぎず、鉄を添加物として含ませた場合の圧電基板の体積抵抗率を、焦電性による電荷の中和作用を有し、かつ、電極指間のショートを防止できる「３．６×１０１０〜１．５×１０１４Ω・ｃｍ」の範囲とすることは、当業者が適宜設定する設計的事項にすぎない。
　
　よって、引用発明の単結晶圧電基板を、「添加物として鉄を含むことにより３．６×１０１０〜１．５×１０１４Ω・ｃｍの範囲内の体積抵抗率を有し」ているようなものとすることは、当業者が容易に想到し得たものである。
　　　
　　
（３）相違点３について
　弾性表面波フィルタの分野では、カット角等の諸要素を特定するために、多種のサンプルを作成して挿入損失やインピーダンス比等の測定を行い、測定結果から当該諸要素を特定することが一般に行われている。
　　
　また、引用例には、最良の実験結果となるカット角が４２°であることが段落【００２９】に記載されているものの、この実験結果は引用例の図７に記載された特定のラダー型弾性表面波フィルタの結果であることが同段落に記載されており、また、フィルタとして実用できるカット角は４０〜４６°の範囲であることが段落【００３５】に記載され、さらに、カット角が４６°の場合にフィルタを構成することを阻害する要因があることは何ら記載されていない。
　
　してみると、カット角が４０〜４６°の範囲とされた引用発明において、ＬｉＴａＯ３単結晶基板に添加物として鉄を含めた場合に、当該カット角の範囲において作成された複数のカット角のサンプル基板の測定を行い、弾性表面波フィルタとして利用できるカット角として４６°を特定することは、当業者が適宜設定する設計的事項にすぎない。
　
　よって、引用発明の単結晶圧電基板について、Ｘ軸を中心にＹ軸からＺ軸方向に回転する角度を、「４６°±０．３°の範囲」とすることは、当業者が容易に想到し得たものである。
　
　
（４）本願発明の作用効果について　　　
　本願発明の作用効果も、引用発明、引用例の記載、公知技術及び周知技術から当業者が予測できる範囲のものである。　　　　
　
　
　　
６．附記　
　審判請求書の【請求の理由】には、３．Ａ．において、 
「ここで、審査において引用された刊行物に基づいて当業者が焦電性を改善した弾性表面波装置を構成することを考えると、上記刊行物３と刊行物１に接した当業者は、これらの刊行物に基づいて焦電性を改善した弾性表面波装置を構成する場合、カット角４６°のＬＴ基板を使用することは通常なく、４２°または４０°〜４４°のカット角のＬＴ基板を使用するのが自然である。 
　なぜなら、刊行物３の前記記載（段落００２９）から明らかなように、カット角４０°〜４４°、特に４２°の基板が最も電気特性に優れるとされ、これらより電気特性が劣るカット角４６°のＬＴ基板をあえて使用する必然性がないからである。特に、刊行物３は焦電性改善や添加物の添加とは全く無関係なもので、本願発明の中心的な技術思想である「添加物の有無によって基板の最適なカット角が異なる」という知見、ならびに「添加物を加える場合には添加物を加えない通常のＬＴ基板よりも基板のカット角を高角度にすることが電気特性上有利である」という知見が全く存在しない。このため、ＬＴ基板に添加物を加える場合にも、通常の（添加物のない）基板にとって最適なカット角（刊行物３の場合、４２°あるいは４０°〜４４°）を採用するのが当業者として当然である。」
と主張している。
　
　しかしながら、上記５．（３）に記載したように、刊行物３とされる引用例において、電気特性が最も優れるとされたカット角の４２°は、引用例の図７に記載された特定のラダー型弾性表面波フィルタの構成を前提としたものであり、弾性表面波フィルタの分野では、カット角等の諸要素を特定するために、多種のサンプルを作成して測定を行い、良い結果を示した数値範囲から当該諸要素を特定することが一般に行われていることを鑑みれば、刊行物３とされる引用例に接した当業者は、単純に引用例に記載された４２°を採用するわけではなく、適用する使用条件等に基づく測定を実施して適宜カット角を特定するものと認められるので、上記請求人の主張は採用することができない。
　
　
　
７．むすび 
　以上のとおり、本願発明は、引用発明、引用例の記載、公知技術及び周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
　したがって、本願は、他の請求項について検討するまでもなく、拒絶されるべきものである。 
　よって、結論のとおり審決する。