【手続補正書】
【提出日】平成17年6月24日(2005.6.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの周期的な増分信号（ＩＮＣ0,ＩＮＣ90の外に、目盛板（２）とこれに対して相対運動する走査ユニット（１）の一定の基準位置（ｘREF ) で少なくとも１つの基準パルス信号（ＲＥＦ）を出力する光学位置測定装置に対する走査ユニットにあって、目盛板（２）の上で少なくとも１つの基準マーク視野（７；７０；３７）を増分目盛トラック（９；９０；３９）内に組込配置し、走査ユニット（１）には測定方向（ｘ）に多数の隣接配置された検出器領域（Ｄ1 〜Ｄ44；Ｄ100 〜Ｄ107;Ｄ401 〜Ｄ428;Ｄ501 〜ＤＤ548;Ｄ606 〜Ｄ631;Ｄ35〜Ｄ39；Ｄ35' 〜Ｄ39' ）を有する検出器配置（６；６０；４０６；５０６；６０６；３６）がある走査ユニットにおいて、
−基準パルス信号（ＲＥＦ）を発生する基準パルス信号の検出器領域としてのそれ等のうちの１つ又は多数の検出器領域が、（Ｄ100,Ｄ101,Ｄ106,Ｄ107;Ｄ13〜Ｄ16, Ｄ21〜Ｄ24, Ｄ33〜Ｄ36, Ｄ37〜Ｄ40；Ｄ409,Ｄ410,Ｄ413,Ｄ414,Ｄ421,Ｄ422;Ｄ517,Ｄ518,Ｄ525,Ｄ526,Ｄ537,Ｄ538,Ｄ541,Ｄ542;Ｄ612,Ｄ617,Ｄ626,Ｄ627;Ｄ35〜Ｄ39, Ｄ35' 〜Ｄ39' ）として使用され、この場合、基準パルス信号の検出器領域（Ｄ100,Ｄ101,Ｄ106,Ｄ107;Ｄ13〜Ｄ16, Ｄ21〜Ｄ24, Ｄ33〜Ｄ36, Ｄ37〜Ｄ40；Ｄ409,Ｄ410,Ｄ413,Ｄ414,Ｄ421,Ｄ422;Ｄ517,Ｄ518,Ｄ525,Ｄ526,Ｄ537,Ｄ538,Ｄ541,Ｄ542;Ｄ612,Ｄ617,Ｄ626,Ｄ627;Ｄ35〜Ｄ39, Ｄ35' 〜Ｄ39' ）の測定方向（ｘ）の相対配置は目盛板（２；３２）の基準マーク視野（７；７０；３７）のパターン構造に応じて選択され、
−増分信号の検出器領域としての１つ又は多数の別の検出器領域（Ｄ102 〜Ｄ105;Ｄ17〜Ｄ20, Ｄ25〜Ｄ32；Ｄ113 〜Ｄ116,Ｄ118 〜Ｄ125;Ｄ401 〜Ｄ408,Ｄ411,Ｄ412,Ｄ415 〜Ｄ420,Ｄ423 〜Ｄ428;Ｄ501 〜Ｄ516,Ｄ519 〜Ｄ524,Ｄ527 〜Ｄ536,Ｄ539,Ｄ540,Ｄ543 〜Ｄ548;Ｄ600 〜Ｄ611,Ｄ613 〜Ｄ616,Ｄ618 〜Ｄ625,Ｄ628 〜Ｄ631 ）が、少なくとも１つの増分信号（ＩＮＣ0,ＩＮＣ90) を発生させるために使用される走査ユニット。
【請求項２】
検出器配置（６；６０；４０６；５０６；６０６；３６）は、測定方向（ｘ）に沿って少なくとも３つの隣接配置された検出器領域（Ｄ1 〜Ｄ44；Ｄ100 〜Ｄ107;Ｄ401 〜Ｄ428;Ｄ501 〜ＤＤ548;Ｄ606 〜Ｄ631;Ｄ35〜Ｄ39；Ｄ35' 〜Ｄ39' ）を有する走査ユニットにおいて、
−基準パルス信号（ＲＥＦ）を発生する基準パルス信号の検出器領域としてのそれ等のうちの２つの検出器領域が、（Ｄ100,Ｄ101,Ｄ106,Ｄ107;Ｄ13〜Ｄ16, Ｄ21〜Ｄ24, Ｄ33〜Ｄ36, Ｄ37〜Ｄ40；Ｄ409,Ｄ410,Ｄ413,Ｄ414,Ｄ421,Ｄ422;Ｄ517,Ｄ518,Ｄ525,Ｄ526,Ｄ537,Ｄ538,Ｄ541,Ｄ542;Ｄ612,Ｄ617,Ｄ626,Ｄ627;Ｄ35〜Ｄ39, Ｄ35' 〜Ｄ39' ）として使用され、基準パルス信号の検出器領域（Ｄ100,Ｄ101,Ｄ106,Ｄ107;Ｄ13〜Ｄ16, Ｄ21〜Ｄ24, Ｄ33〜Ｄ36, Ｄ37〜Ｄ40；Ｄ409,Ｄ410,Ｄ413,Ｄ414,Ｄ421,Ｄ422;Ｄ517,Ｄ518,Ｄ525,Ｄ526,Ｄ537,Ｄ538,Ｄ541,Ｄ542;Ｄ612,Ｄ617,Ｄ626,Ｄ627;Ｄ35〜Ｄ39, Ｄ35' 〜Ｄ39' ）の測定方向（ｘ）の相対配置は目盛板（２；３２）の基準マーク視野（７；７０；３７）のパターン構造に応じて選択され、
−両基準パルス信号の検出器領域（Ｄ100,Ｄ101,Ｄ106,Ｄ107;Ｄ13〜Ｄ16, Ｄ21〜Ｄ24, Ｄ33〜Ｄ36, Ｄ37〜Ｄ40；Ｄ409,Ｄ410,Ｄ413,Ｄ414,Ｄ421,Ｄ422;Ｄ517,Ｄ518,Ｄ525,Ｄ526,Ｄ537,Ｄ538,Ｄ541,Ｄ542;Ｄ612,Ｄ617,Ｄ626,Ｄ627;Ｄ35〜Ｄ39, Ｄ35' 〜Ｄ39' ）間に配置された増分信号の検出器領域（Ｄ102 〜Ｄ105;Ｄ17〜Ｄ20, Ｄ25〜Ｄ32；Ｄ113 〜Ｄ116,Ｄ118 〜Ｄ125;Ｄ401 〜Ｄ408,Ｄ411,Ｄ412,Ｄ415 〜Ｄ420,Ｄ423 〜Ｄ428;Ｄ501 〜Ｄ516,Ｄ519 〜Ｄ524,Ｄ527 〜Ｄ536,Ｄ539,Ｄ540,Ｄ543 〜Ｄ548;Ｄ600 〜Ｄ611,Ｄ613 〜Ｄ616,Ｄ618 〜Ｄ625,Ｄ628 〜Ｄ631 ）が、少なくとも１つの増分信号（ＩＮＣ0,ＩＮＣ90) を発生させるために使用される走査ユニット。
【請求項３】
異なる検出器領域（Ｄ１〜Ｄ４４）を有する検出器配置（６）は、パターン構造を付けた検出器配置として形成されていて、この検出器配置（６）は、多数のビームに敏感な検出領域（Ｄ１〜Ｄ４４）を１つの共通の半導体基板上に有しかつ同じ形の多数のビームに敏感な検出器領域（Ｄ１〜Ｄ４４）を有し、これらの検出器領域（Ｄ１〜Ｄ４４）は、測定方向（ｘ）に互いに隣接配置されている請求項１に記載の走査ユニット。
【請求項４】
差形成素子（ＤＩＦ30；ＤＩＦ3 ；ＤＩＦ40；ＤＩＦ503 ；ＤＩＦ603)が設けられていて、この差形成素子の一方の入力端には、基準パルス信号の検出器領域（Ｄ100,Ｄ101,Ｄ106,Ｄ107;Ｄ13〜Ｄ16，Ｄ21〜Ｄ24，Ｄ33〜Ｄ36，Ｄ37〜Ｄ40；Ｄ409,Ｄ410,Ｄ413,Ｄ414,Ｄ421,Ｄ422;Ｄ517,Ｄ518,Ｄ525,Ｄ526,Ｄ537,Ｄ538,Ｄ541,Ｄ542;Ｄ612,Ｄ617,Ｄ626,Ｄ627 ）の出力信号が入力し、差形成素子（ＤＩＦ30；ＤＩＦ3 ；ＤＩＦ40；ＤＩＦ503 ；ＤＩＦ603)の他方の入力端には、基準信号が入力する請求項１〜３の何れか１項に記載の走査ユニット。
【請求項５】
異なる検出器領域（Ｄ1 〜Ｄ44；Ｄ100 〜Ｄ107;Ｄ401 〜Ｄ428;Ｄ501 〜ＤＤ548;Ｄ606 〜Ｄ631;Ｄ35〜Ｄ39；Ｄ35' 〜Ｄ39' ）は、基準パルス信号（ＲＥＦ）に対する周期的な増分信号成分の濾波が行われるように結線されている請求項１に記載の走査ユニット。【請求項６】
各基準パルス信号の検出器領域（Ｄ13〜Ｄ16，Ｄ21〜Ｄ24，Ｄ33〜Ｄ36，Ｄ37〜Ｄ40）は、 90 °位相のずれた出力信号を出力する隣接した４つの検出器領域を有し、全ての基準パルス信号の検出器領域（Ｄ13〜Ｄ16，Ｄ21〜Ｄ24，Ｄ33〜Ｄ36，Ｄ37〜Ｄ40）の位相の等しい出力信号を出力する検出器領域を互いに接続し、位相の等しい出力信号を１つの加算素子（ＳＵＭ6 ）に導入し、この加算素子の出力信号が差形成素子（ＤＩＦ3 ）の入力端に基準信号として入力する請求項４又は５に記載の走査ユニット。
【請求項７】
異なった基準パルス信号成分（ＲＴ，ＲＧＴ）が発生可能であり、これ等の組み合わせから基準パルス信号に対する周期的な増分信号成分が除去可能である請求項６に記載の走査ユニット。
【請求項８】
差形成素子（ＤＩＦ403 ）の入力端の基準信号（ＲＧＴ）は、積算された増分信号成分から形成され、これ等の増分信号成分は、増分信号の検出器領域（Ｄ401 〜Ｄ408,Ｄ411,Ｄ412,Ｄ415 〜Ｄ420,Ｄ423 〜Ｄ428 ）から生じる請求項７に記載の走査ユニット。
【請求項９】
異なった増分信号の検出器領域および基準パルス信号の検出器領域（Ｄ501 〜Ｄ548 ）から出力する信号の振幅は、増幅素子（ＡＭＰ1 〜ＡＭＰ7 ）により一定に調節される請求項１に記載の走査ユニット。
【請求項１０】
検出器領域の少なくとも一部は、基準パルス信号を発生させるためにも、また増分信号を発生させるためにも使用されることを特徴とする請求項１に記載の走査ユニット。
【請求項１１】
その他の基準パルス信号の検出器領域の加算された信号が、基準信号を形成する請求項４に記載の走査ユニット。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の走査ユニットを有する互いに相対移動する２つの目盛の相対位置を測定する光学位置測定装置。