(57)【要約】【課題】被測定物の広帯域にわたる周波数特性の測定を容易にする。【解決手段】測定装置１は、被測定物２に、１フェムト秒以上１０００フェムト秒以下の幅のパルスを与えて得られた応答信号を時間領域で測定する応答波形取得部２５と、パルスを周波数領域に変換する入力周波数領域変換部２４と、応答波形取得部２５の測定結果を周波数領域に変換する応答周波数領域変換部２６と、入力周波数領域変換部２４の変換結果と、応答周波数領域変換部２６の変換結果とから、被測定物２の周波数特性を取得する周波数特性取得部２８とを備える。１フェムト秒以上１０００フェムト秒以下の幅のパルスの周波数帯域は広い帯域にわたるものであるため、被測定物２から得られた応答信号は、広帯域にわたる被測定物２の周波数特性を反映したものである。よって、応答信号の測定により、被測定物２の広帯域にわたる周波数特性を測定できる。【選択図】図３
2017058269.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物に、１フェムト秒以上１０００フェムト秒以下の幅のパルスを与えて得られた応答信号を時間領域で測定する応答信号測定部と、
前記パルスを周波数領域に変換する入力周波数領域変換部と、
前記応答信号測定部の測定結果を周波数領域に変換する応答周波数領域変換部と、
前記入力周波数領域変換部の変換結果と、前記応答周波数領域変換部の変換結果とから、前記被測定物の周波数特性を取得する周波数特性取得部と、
を備えた測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の測定装置であって、
前記被測定物に接触するプローブチップと、
前記プローブチップに接続されており、前記パルスおよび前記応答信号を伝送する伝送線路と、
前記パルスを生成するパルス信号源と、
前記応答信号を検出する応答信号検出器と、
を備え、
前記応答信号測定部は、前記応答信号検出器の検出結果に基づき、前記応答信号を時間領域で測定する、
測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の測定装置であって、
前記伝送線路には、バイアス電圧が印加されておらず、
前記伝送線路に、前記パルス信号源および前記応答信号検出器が直接接続している、
測定装置。
【請求項４】
請求項２に記載の測定装置であって、
前記伝送線路には、バイアス電圧が印加されており、
前記伝送線路に、前記パルス信号源および前記応答信号検出器が電磁結合している、
測定装置。
【請求項５】
請求項１に記載の測定装置であって、
前記パルスにおいて弱い低域周波数の信号を、前記被測定物に入射する入射信号源と、
前記入射信号源が入射する入射信号を測定する入射信号測定部と、
前記被測定物に前記入射信号を入射して得られた取得信号を測定する取得信号測定部と、
前記入射信号測定部および前記取得信号測定部の測定結果から、前記被測定物の周波数特性を測定する周波数特性測定部と、
を備えた測定装置。
【請求項６】
請求項１に記載の測定装置であって、
前記パルスと前記応答信号との時間差を測定する時間差測定部を備え、
前記応答信号測定部が、前記パルスの発生から前記時間差に基づく時間だけ経過した後で、前記応答信号の時間領域での測定を行う、
測定装置。
【請求項７】
被測定物に、１フェムト秒以上１０００フェムト秒以下の幅のパルスを与えて得られた応答信号を時間領域で測定する応答信号測定工程と、
前記パルスを周波数領域に変換する入力周波数領域変換工程と、
前記応答信号測定工程の測定結果を周波数領域に変換する応答周波数領域変換工程と、
前記入力周波数領域変換工程の変換結果と、前記応答周波数領域変換工程の変換結果とから、前記被測定物の周波数特性を取得する周波数特性取得工程と、
備えた測定方法。
【請求項８】
測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記測定処理が、
被測定物に、１フェムト秒以上１０００フェムト秒以下の幅のパルスを与えて得られた応答信号を時間領域で測定する応答信号測定工程と、
前記パルスを周波数領域に変換する入力周波数領域変換工程と、
前記応答信号測定工程の測定結果を周波数領域に変換する応答周波数領域変換工程と、
前記入力周波数領域変換工程の変換結果と、前記応答周波数領域変換工程の変換結果とから、前記被測定物の周波数特性を取得する周波数特性取得工程と、
備えたプログラム。
【請求項９】
測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記測定処理が、
被測定物に、１フェムト秒以上１０００フェムト秒以下の幅のパルスを与えて得られた応答信号を時間領域で測定する応答信号測定工程と、
前記パルスを周波数領域に変換する入力周波数領域変換工程と、
前記応答信号測定工程の測定結果を周波数領域に変換する応答周波数領域変換工程と、
前記入力周波数領域変換工程の変換結果と、前記応答周波数領域変換工程の変換結果とから、前記被測定物の周波数特性を取得する周波数特性取得工程と、
備えた記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定物の広帯域にわたる周波数特性の測定に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、被測定物のＳパラメータを測定する場合、導波管を使用することが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−５８１６６号公報
【特許文献２】特表２０１４−５０６６７２号公報
【特許文献３】特開平７−１５１８３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、導波管は狭帯域であり、広帯域にわたる周波数特性の測定が困難である。
【０００５】
例えば、導波管を使用して、110〜1100GHzという帯域にわたる周波数特性を測定するためには、導波管を多数の種類（例えば、110〜170GHz、140-220GHz、220-325GHz、325-500GHz、500-750GHz、750-1100GHz(WR1.0)の帯域を透過する６種類の導波管）交換しながら用いなければならず、測定を困難なものとしている。
【０００６】
そこで、本発明は、被測定物の広帯域にわたる周波数特性の測定を容易にすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明にかかる測定装置は、被測定物に、１フェムト秒以上１０００フェムト秒以下の幅のパルスを与えて得られた応答信号を時間領域で測定する応答信号測定部と、前記パルスを周波数領域に変換する入力周波数領域変換部と、前記応答信号測定部の測定結果を周波数領域に変換する応答周波数領域変換部と、前記入力周波数領域変換部の変換結果と、前記応答周波数領域変換部の変換結果とから、前記被測定物の周波数特性を取得する周波数特性取得部とを備えるように構成される。
【０００８】
上記のように構成された測定装置によれば、応答信号測定部が、被測定物に、１フェムト秒以上１０００フェムト秒以下の幅のパルスを与えて得られた応答信号を時間領域で測定する。入力周波数領域変換部が、前記パルスを周波数領域に変換する。応答周波数領域変換部が、前記応答信号測定部の測定結果を周波数領域に変換する。周波数特性取得部が、前記入力周波数領域変換部の変換結果と、前記応答周波数領域変換部の変換結果とから、前記被測定物の周波数特性を取得する。
【０００９】
なお、本発明にかかる測定装置は、前記被測定物に接触するプローブチップと、前記プローブチップに接続されており、前記パルスおよび前記応答信号を伝送する伝送線路と、前記パルスを生成するパルス信号源と、前記応答信号を検出する応答信号検出器とを備え、前記応答信号測定部は、前記応答信号検出器の検出結果に基づき、前記応答信号を時間領域で測定するようにしてもよい。
【００１０】
なお、本発明にかかる測定装置は、前記伝送線路には、バイアス電圧が印加されておらず、前記伝送線路に、前記パルス信号源および前記応答信号検出器が直接接続しているようにしてもよい。
【００１１】
なお、本発明にかかる測定装置は、前記伝送線路には、バイアス電圧が印加されており、前記伝送線路に、前記パルス信号源および前記応答信号検出器が電磁結合しているようにしてもよい。
【００１２】
なお、本発明にかかる測定装置は、前記パルスにおいて弱い低域周波数の信号を、前記被測定物に入射する入射信号源と、前記入射信号源が入射する入射信号を測定する入射信号測定部と、前記被測定物に前記入射信号を入射して得られた取得信号を測定する取得信号測定部と、前記入射信号測定部および前記取得信号測定部の測定結果から、前記被測定物の周波数特性を測定する周波数特性測定部とを備えるようにしてもよい。
【００１３】
なお、本発明にかかる測定装置は、前記パルスと前記応答信号との時間差を測定する時間差測定部を備え、前記応答信号測定部が、前記パルスの発生から前記時間差に基づく時間だけ経過した後で、前記応答信号の時間領域での測定を行うようにしてもよい。
【００１４】
本発明は、被測定物に、１フェムト秒以上１０００フェムト秒以下の幅のパルスを与えて得られた応答信号を時間領域で測定する応答信号測定工程と、前記パルスを周波数領域に変換する入力周波数領域変換工程と、前記応答信号測定工程の測定結果を周波数領域に変換する応答周波数領域変換工程と、前記入力周波数領域変換工程の変換結果と、前記応答周波数領域変換工程の変換結果とから、前記被測定物の周波数特性を取得する周波数特性取得工程と備えた測定方法である。
【００１５】
本発明は、測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記測定処理が、被測定物に、１フェムト秒以上１０００フェムト秒以下の幅のパルスを与えて得られた応答信号を時間領域で測定する応答信号測定工程と、前記パルスを周波数領域に変換する入力周波数領域変換工程と、前記応答信号測定工程の測定結果を周波数領域に変換する応答周波数領域変換工程と、前記入力周波数領域変換工程の変換結果と、前記応答周波数領域変換工程の変換結果とから、前記被測定物の周波数特性を取得する周波数特性取得工程と備えたプログラムである。
【００１６】
本発明は、測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記測定処理が、被測定物に、１フェムト秒以上１０００フェムト秒以下の幅のパルスを与えて得られた応答信号を時間領域で測定する応答信号測定工程と、前記パルスを周波数領域に変換する入力周波数領域変換工程と、前記応答信号測定工程の測定結果を周波数領域に変換する応答周波数領域変換工程と、前記入力周波数領域変換工程の変換結果と、前記応答周波数領域変換工程の変換結果とから、前記被測定物の周波数特性を取得する周波数特性取得工程と備えた記録媒体である。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第一の実施形態にかかる測定装置１の構成を示す図である。
【図２】第一の実施形態にかかるプローブ本体１０の構成を示す図である。
【図３】第一の実施形態にかかる信号処理装置２０の構成を示す機能ブロック図である。
【図４】第二の実施形態にかかるプローブ本体１０の構成を示す図である。
【図５】第三の実施形態にかかる測定装置１の構成を示す図である。
【図６】第三の実施形態にかかるベクトルネットワークアナライザ３０の構成を示す図である。
【図７】第四の実施形態にかかる信号処理装置２０の構成を示す機能ブロック図である。
【図８】第四の実施形態にかかる応答信号（図８（ａ））とパルス信号源１４の生成したパルス（図８（ｂ））とを示す図である。
【図９】第四の実施形態にかかるパルスと応答信号との時間差Δt0の測定法を示す図である。
【図１０】第四の実施形態にかかる応答信号の時間領域での測定開始のタイミングを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
【００１９】
第一の実施形態
図１は、本発明の第一の実施形態にかかる測定装置１の構成を示す図である。
【００２０】
本発明の第一の実施形態にかかる測定装置１は、プローブ本体１０、信号処理装置２０を備える。測定装置１は、被測定物２を測定するためのものである。
【００２１】
プローブ本体１０にはプローブチップ(probe tip)３が取り付けられている。プローブチップ３は、基板４に設けられた被測定物２に接触している。被測定物２は、例えば、基板４上の配線である。ただし、基板４が積層基板であって、積層基板中の配線が被測定物２であってもよい。
【００２２】
プローブ本体１０は、ポンプ光およびプローブ光を受ける。また、プローブ本体１０は信号処理装置２０に接続されている。
【００２３】
図２は、第一の実施形態にかかるプローブ本体１０の構成を示す図である。第一の実施形態にかかるプローブ本体１０は、伝送線路１２、パルス信号源１４、応答信号検出器１６を有する。
【００２４】
パルス信号源１４は、パルスを生成する。応答信号検出器１６は、応答信号（被測定物２に、パルス信号源１４が生成したパルスを与えて得られた信号）を検出する。パルス信号源１４および応答信号検出器１６は、例えば、光伝導アンテナである。なお、パルス信号源１４の生成したパルスおよび応答信号検出器１６の検出結果は、信号処理装置２０に送られる。
【００２５】
パルス信号源１４には、ポンプ光（例えば、波長1550nm、パルス幅１〜１０００フェムト秒のレーザパルス）が与えられる。すると、パルス信号源１４から、１フェムト秒以上１０００フェムト秒以下の幅のパルスが出力される。
【００２６】
応答信号検出器１６には、プローブ光（例えば、波長1550nm、パルス幅１〜１０００フェムト秒のレーザパルス）が与えられる。すると、応答信号検出器１６にプローブ光が与えられた時点の応答信号の強度が応答信号検出器１６により検出される。この検出結果に基づき、周知のポンプ・プローブ法により、応答信号を測定することができる。
【００２７】
例えば、ポンプ光が繰り返し周期Ｔのパルスであるとする。この場合、プローブ光も繰り返し周期Ｔのパルスとして、さらにプローブ光の光路長を変化させることで、応答信号を測定することができる。または、プローブ光の繰り返し周期をＴからわずかな時間（応答信号のパルス幅よりも短い時間とする）ずらすことで、応答信号を測定することができる。このわずかな時間は一定でもよいし、変化させてもよい。
【００２８】
伝送線路１２に、パルス信号源１４および応答信号検出器１６が直接接続している。伝送線路１２は、パルスおよび応答信号を伝送する。伝送線路１２の一端１２ａには、プローブチップ３が接続されている。伝送線路１２の他端は、抵抗を介して接地されている。伝送線路１２には、バイアス電圧が印加されていない。
【００２９】
図３は、第一の実施形態にかかる信号処理装置２０の構成を示す機能ブロック図である。第一の実施形態にかかる信号処理装置２０は、入力周波数領域変換部２４、応答波形取得部（応答信号測定部）２５、応答周波数領域変換部２６、周波数特性取得部２８を有する。
【００３０】
入力周波数領域変換部２４は、パルス信号源１４からパルスを受け、周波数領域に変換する（例えば、ＦＦＴにより周波数領域に変換する）。
【００３１】
応答波形取得部（応答信号測定部）２５は、応答信号検出器１６の検出結果に基づき、先に述べた周知のポンプ・プローブ法により、応答信号を時間領域で測定する。応答信号検出器１６の検出結果は、プローブ光を受けた時点で、応答信号を測定したものに過ぎない。ここで、応答信号検出器１６の検出結果を補間することで、応答信号の波形を取得、すなわち応答信号を時間領域で測定することができる。
【００３２】
応答周波数領域変換部２６は、応答波形取得部２５の測定結果を周波数領域に変換する（例えば、ＦＦＴにより周波数領域に変換する）。
【００３３】
周波数特性取得部２８は、入力周波数領域変換部２４の変換結果と、応答周波数領域変換部２６の変換結果とから、被測定物２の周波数特性を取得する。
【００３４】
次に、第一の実施形態の動作を説明する。
【００３５】
まず、ポンプ光（フェムト秒レーザパルス）をパルス信号源１４に与える。すると、パルス信号源１４から、１フェムト秒以上１０００フェムト秒以下の幅のパルスが出力される。パルス信号源１４の出力したパルスは、伝送線路１２およびプローブチップ３を介して、被測定物２に与えられる。
【００３６】
パルスは、被測定物２によって反射されて応答信号となり、プローブチップ３および伝送線路１２を介して、応答信号検出器１６に与えられる。応答信号検出器１６は、プローブ光（フェムト秒レーザパルス）を受けた時点で、応答信号の強度を検出する。
【００３７】
なお、ポンプ光は繰り返し出力されるパルスであるので、パルス信号源１４もパルスを繰り返し出力する。よって、応答信号も、応答信号検出器１６に繰り返し与えられる。応答信号検出器１６は、繰り返し与えられる応答信号を、プローブ光（繰り返し出力されるパルスである）を受けた時点で検出する。
【００３８】
応答波形取得部２５は、応答信号検出器１６の検出結果に基づき、先に述べた周知のポンプ・プローブ法により、応答信号を時間領域で測定する。
【００３９】
入力周波数領域変換部２４は、パルス信号源１４からパルスを受け、周波数領域に変換する（例えば、ＦＦＴにより周波数領域に変換する）。応答周波数領域変換部２６は、応答波形取得部２５の測定結果を周波数領域に変換する（例えば、ＦＦＴにより周波数領域に変換する）。周波数特性取得部２８は、入力周波数領域変換部２４の変換結果と、応答周波数領域変換部２６の変換結果から、被測定物２の周波数特性を取得する。
【００４０】
第一の実施形態によれば、被測定物２の広帯域にわたる周波数特性の測定を容易にできる。
【００４１】
すなわち、パルス信号源１４から出力される１フェムト秒以上１０００フェムト秒以下の幅のパルスの周波数帯域は広い帯域にわたるものであるため、被測定物２から得られた応答信号は、広帯域にわたる被測定物２の周波数特性を反映したものである。よって、応答信号の測定により、被測定物２の広帯域にわたる周波数特性を測定できる。
【００４２】
ここで、従来のように導波管を使用した場合は、導波管を多数種類交換しながら用いなければならないが、第一の実施形態によれば、導波管の交換の手間を省くことができ、測定を容易にすることができる。
【００４３】
第二の実施形態
第二の実施形態にかかる測定装置１は、伝送線路１２に、パルス信号源１４および応答信号検出器１６が電磁結合している点が第一の実施形態と異なる。
【００４４】
図４は、第二の実施形態にかかるプローブ本体１０の構成を示す図である。第二の実施形態にかかるプローブ本体１０は、伝送線路１２、バイアス電源１３、パルス信号源１４、応答信号検出器１６を有する。以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
【００４５】
パルス信号源１４および応答信号検出器１６は、第一の実施形態と同様であり説明を省略する。ただし、パルス信号源１４および応答信号検出器１６は、伝送線路１２に電磁結合している。
【００４６】
なお、伝送線路１２の他端１２ｂには、バイアス電源１３が、LPF（ローパスフィルタ）およびインダクタンスを介して接続されている。これにより、伝送線路１２には、バイアス電圧が印加されている。バイアス電源１３は、直流電圧である。
【００４７】
また、伝送線路１２の他端１２ｂは、抵抗およびキャパシタンスを介して、接地されている。
【００４８】
なお、第二の実施形態にかかる測定装置１の信号処理装置２０は、第一の実施形態と同様であり説明を省略する。
【００４９】
次に、第二の実施形態の動作を説明する。
【００５０】
まず、ポンプ光（フェムト秒レーザパルス）をパルス信号源１４に与える。すると、パルス信号源１４から、１フェムト秒以上１０００フェムト秒以下の幅のパルスが出力される。パルス信号源１４の出力したパルスは、パルス信号源１４に電磁結合された伝送線路１２を介して、プローブチップ３に与えられ、さらに被測定物２に与えられる。
【００５１】
パルスは、被測定物２によって反射されて応答信号となり、プローブチップ３および伝送線路１２を介して、伝送線路１２に電磁結合された応答信号検出器１６に与えられる。応答信号検出器１６は、プローブ光（フェムト秒レーザパルス）を受けた時点で、応答信号の強度を検出する。
【００５２】
なお、ポンプ光は繰り返し出力されるパルスであるので、パルス信号源１４もパルスを繰り返し出力する。よって、応答信号も、応答信号検出器１６に繰り返し与えられる。応答信号検出器１６は、繰り返し与えられる応答信号を、プローブ光（繰り返し出力されるパルスである）を受けた時点で検出する。
【００５３】
信号処理装置２０の動作は第一の実施形態と同様であり説明を省略する。
【００５４】
第二の実施形態によれば、第一の実施形態と同様の効果を奏する。
【００５５】
第三の実施形態
第三の実施形態にかかる測定装置１は、ベクトルネットワークアナライザ３０を備えた点が第一および第二の実施形態にかかる測定装置１と異なる。ただし、第三の実施形態にかかる測定装置１におけるプローブ本体１０は、第一の実施形態（図２参照）に示すものでも、第二の実施形態（図４参照）に示すものでもかまわない。
【００５６】
図５は、第三の実施形態にかかる測定装置１の構成を示す図である。第三の実施形態にかかる測定装置１は、プローブ本体１０、信号処理装置２０、ベクトルネットワークアナライザ３０を備える。プローブ本体１０、信号処理装置２０は、第一および第二の実施形態と同様であり、説明を省略する。ベクトルネットワークアナライザ３０は、プローブ本体１０の伝送線路１２に接続されている。
【００５７】
図６は、第三の実施形態にかかるベクトルネットワークアナライザ３０の構成を示す図である。ベクトルネットワークアナライザ３０は、入射信号源３２、ブリッジ３４ａ、３４ｂ、入射信号測定部３６ａ、反射信号測定部（取得信号測定部）３６ｂ、周波数特性測定部３８を有する。
【００５８】
入射信号源３２は、パルス信号源１４の生成したパルスにおいて弱い低域周波数の信号を、プローブ本体１０の伝送線路１２を介して、被測定物２に入射する。パルス信号源１４の生成したパルスの周波数帯域は広い帯域にわたるものの、低域周波数の成分は、高周波成分（例えば、テラヘルツ成分）に比べると弱い。この低域周波数の成分を、入射信号源３２は出力し、被測定物２に入射する。なお、入射信号源３２は、低域周波数の帯域において、周波数を可変とする。
【００５９】
ブリッジ３４ａは、入射信号源３２から出力された信号を入射信号測定部３６ａに与える。入射信号測定部３６ａは、入射信号源３２が被測定物２に入射する入射信号（のＳパラメータ）を測定する。
【００６０】
ブリッジ３４ｂは、被測定物２に入射信号を入射して得られた取得信号（例えば、パルスが被測定物２から反射された信号）を反射信号測定部（取得信号測定部）３６ｂに与える。反射信号測定部（取得信号測定部）３６ｂは、取得信号（のＳパラメータ）を測定する。
【００６１】
周波数特性測定部３８は、入射信号測定部３６ａおよび反射信号測定部３６ｂの測定結果から、被測定物２の周波数特性を測定する。
【００６２】
次に、第三の実施形態の動作を説明する。
【００６３】
プローブ本体１０および信号処理装置２０の動作は第一の実施形態と同様であり説明を省略する。
【００６４】
ベクトルネットワークアナライザ３０においては、入射信号源３２が、低域周波数の信号を、被測定物２に入射する。なお、パルス信号源１４の生成したパルスにおいては、低域周波数の成分が弱い。
【００６５】
入射信号測定部３６ａは、ブリッジ３４ａから入射信号を受け、入射信号（のＳパラメータ）を測定する。反射信号測定部３６ｂは、ブリッジ３４ｂから取得信号（反射信号）を受け、取得信号（のＳパラメータ）を測定する。入射信号測定部３６ａおよび反射信号測定部３６ｂの測定結果から、周波数特性測定部３８が被測定物２の周波数特性を測定する。
【００６６】
第三の実施形態によれば、第一の実施形態と同様の効果を奏する。
【００６７】
しかも、第一の実施形態および第二の実施形態においては、パルス信号源１４の生成したパルスにおいて低域周波数の成分が弱いため低周波帯域の被測定物２の周波数特性を測定し難い場合があるという短所がある。
【００６８】
しかし、第三の実施形態によれば、低域周波数の成分を入射信号源３２が出力し、被測定物２に与えることで、ベクトルネットワークアナライザ３０により低周波帯域の被測定物２の周波数特性を測定できるので、第一の実施形態および第二の実施形態における短所を克服できる。
【００６９】
第四の実施形態
第四の実施形態にかかる測定装置１は、信号処理装置２０が時間差測定部２２を有する点が第一および第二の実施形態にかかる測定装置１と異なる。ただし、第四の実施形態にかかる測定装置１におけるプローブ本体１０は、第一の実施形態（図２参照）に示すものでも、第二の実施形態（図４参照）に示すものでもかまわない。
【００７０】
図７は、第四の実施形態にかかる信号処理装置２０の構成を示す機能ブロック図である。第四の実施形態にかかる信号処理装置２０は、時間差測定部２２、時間差記録部２３、入力周波数領域変換部２４、応答波形取得部（応答信号測定部）２５、応答周波数領域変換部２６、周波数特性取得部２８を有する。以下、第一の実施形態と同様な部分は、同一の番号を付して説明を省略する。
【００７１】
時間差測定部２２は、パルス信号源１４の生成したパルスと、応答信号との時間差Δt0（図８〜図１０参照）を測定する。時間差記録部２３は、時間差Δt0を記録する。
【００７２】
入力周波数領域変換部２４、応答波形取得部２５、応答周波数領域変換部２６、周波数特性取得部２８は第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【００７３】
ただし、応答波形取得部（応答信号測定部）２５は、時間差記録部２３から時間差Δt0を読み出し、パルス信号源１４におけるパルスの発生を受け、その時点から時間差Δt0に基づく時間（例えば、Δt0よりもわずかに短い時間：図１０参照）だけ経過した後で、応答信号の時間領域での測定を行う。
【００７４】
次に、第四の実施形態の動作を説明する。
【００７５】
図８は、第四の実施形態にかかる応答信号（図８（ａ））とパルス信号源１４の生成したパルス（図８（ｂ））とを示す図である。
【００７６】
パルス信号源１４によるパルスの生成から、応答信号が応答信号検出器１６に到達するまでには、時間差Δt0が経過する。この時間差Δt0は、パルスおよび応答信号の繰り返し周期Ｔよりも、かなり長い。このため、もし、応答波形取得部２５が、パルス信号源１４によるパルスの生成と同時に、応答信号の時間領域での測定を開始すれば、長時間である時間差Δt0の分の測定結果が無駄になる。
【００７７】
図９は、第四の実施形態にかかるパルスと応答信号との時間差Δt0の測定法を示す図である。
【００７８】
まず、パルス信号源１４によりパルスを１個だけ生成する（図９（ｂ）参照）。そして、応答信号を応答信号検出器１６により検出する（図９（ａ）参照）。時間差測定部２２は、パルス信号源１４からパルスの生成時点を、応答信号検出器１６から応答信号の検出時点を取得して、パルスと応答信号との時間差Δt0を測定する。測定された時間差Δt0は、時間差記録部２３に記録される。
【００７９】
図１０は、第四の実施形態にかかる応答信号の時間領域での測定開始のタイミングを示す図である。
【００８０】
次に、パルス信号源１４がパルスを繰り返し生成する（図１０（ｂ）参照）。応答波形取得部（応答信号測定部）２５は、パルス信号源１４におけるパルスの発生を受け、その時点から時間差Δt0よりもわずかに短い時間（図１０（ａ）参照）だけ経過した後から、応答信号の時間領域での測定を行う。なお、応答波形取得部２５は、時間差記録部２３から時間差Δt0を読み出して使用する。これ以降の動作は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【００８１】
第四の実施形態によれば、応答信号検出器１６が応答信号を検出する直前から、応答波形取得部２５による応答信号の時間領域での測定を開始できるので、およそ時間差Δt0の分の測定を無駄に行わずにすむ。
【００８２】
なお、第四の実施形態においては、応答波形取得部（応答信号測定部）２５が、時間差記録部２３から時間差Δt0を読み出すこととしている。しかし、以下のようにしても、パルス信号源１４におけるパルスの発生から時間差Δt0に基づく時間だけ経過した後で、応答信号の時間領域での測定を行うことができる。
【００８３】
例えば、図示省略したプローブ光を生成するプローブ光源が時間差記録部２３から時間差Δt0を読み出して、パルス信号源１４におけるパルスの発生から時間差Δt0よりもわずかに短い時間だけ経過した後にプローブ光を生成してもよい。
【００８４】
または、応答信号検出器１６が、時間差記録部２３から時間差Δt0を読み出して、パルス信号源１４におけるパルスの発生から時間差Δt0よりもわずかに短い時間だけ経過した後に応答信号の検出を開始してもよい。
【００８５】
以上のようにしても、パルス信号源１４におけるパルスの発生から時間差Δt0に基づく時間だけ経過した後で、応答信号の時間領域での測定を行うことができる。
【００８６】
また、上記の実施形態は、以下のようにして実現できる。ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み取り装置を備えたコンピュータに、上記の各部分、例えば信号処理装置２０を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、上記の機能を実現できる。
【符号の説明】
【００８７】
Δt0  時間差
Ｔ  繰り返し周期
１  測定装置
２  被測定物
３  プローブチップ
４  基板
１０  プローブ本体
１２  伝送線路
１４  パルス信号源
１６  応答信号検出器
２０  信号処理装置
２２  時間差測定部
２３  時間差記録部
２４  入力周波数領域変換部
２５  応答波形取得部（応答信号測定部）
２６  応答周波数領域変換部
２８  周波数特性取得部
３０  ベクトルネットワークアナライザ
３２  入射信号源
３４ａ、３４ｂ  ブリッジ
３６ａ  入射信号測定部
３６ｂ  反射信号測定部（取得信号測定部）
３８  周波数特性測定部
【図１】
2017058269.tif 000003
【図２】
2017058269.tif 000004
【図３】
2017058269.tif 000005
【図４】
2017058269.tif 000006
【図５】
2017058269.tif 000007
【図６】
2017058269.tif 000008
【図７】
2017058269.tif 000009
【図８】
2017058269.tif 000010
【図９】
2017058269.tif 000011
【図１０】
2017058269.tif 000012