(57)【要約】【課題】長手方向の温度分布を調整可能な赤外線ヒーターを提供する。【解決手段】赤外線ヒーター２０は、外管２４と、第１ヒーター本体３０ａと、第２ヒーター本体３０ｂと、冷媒流路２８と、を備えている。第１ヒーター本体３０ａは、加熱されると赤外線を放射する第１発熱領域３３ａを有する第１発熱体３２ａと、第１発熱体３３ａを覆い外管２４の内側に配設され赤外線の少なくとも一部を透過する円筒状の第１小径内管３５ａ，第１大径内管３６ａと、を備えている。第２ヒーター本体３０ｂは、加熱されると赤外線を放射する第２発熱領域３３ｂを有する第２発熱体３２ｂと、第２発熱体２３ｂを覆い外管２４の内側に配設され赤外線の少なくとも一部を透過する円筒状の第２小径内管３５ｂ，第２大径内管３６ｂと、を備えている。第２発熱領域３３ｂは第１発熱領域３３ａに対して長手方向（左右方向）にずれて配設されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向を有する長尺な赤外線ヒーターであって、
赤外線の少なくとも一部を透過する外管と、
加熱されると赤外線を放射する第１発熱領域を有する第１発熱体と、該第１発熱体を覆い前記外管の内側に配設され赤外線の少なくとも一部を透過する円筒状の第１内管と、を備えた第１ヒーター本体と、
加熱されると赤外線を放射する第２発熱領域を有する第２発熱体と、該第２発熱体を覆い前記外管の内側に配設され赤外線の少なくとも一部を透過する円筒状の第２内管と、を備え、前記第２発熱領域が前記第１発熱領域に対して前記長手方向にずれて配設されている第２ヒーター本体と、
前記第１，第２ヒーター本体と前記外管との間に形成された冷媒流路と、
を備えた赤外線ヒーター。
【請求項２】
前記第１内管は、前記外管よりも前記長手方向の長さが短く、該外管の該長手方向の一端側に位置しており、
前記第２内管は、前記外管よりも前記長手方向の長さが短く、該外管の該長手方向の他端側に位置している、
請求項１に記載の赤外線ヒーター。
【請求項３】
前記第１ヒーター本体は、前記外管から前記長手方向に挿抜可能であり、
前記第２ヒーター本体は、前記外管から前記長手方向に挿抜可能である、
請求項２に記載の赤外線ヒーター。
【請求項４】
請求項３に記載の赤外線ヒーターであって、
前記外管の前記長手方向外側に取り付け可能な部材であり、該部材の前記長手方向の長さによって前記第１ヒーター本体の前記外管への該長手方向の挿入位置を調整可能な第１位置調整部材、
を備えた赤外線ヒーター。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の赤外線ヒーターであって、
前記外管の内側に配設され、前記長手方向で前記第１発熱領域を含むように前記第１内管を覆って前記第１ヒーター本体を保持する第１保持管と、
前記外管の内側に配設され、前記長手方向で前記第２発熱領域を含むように前記第２内管を覆って前記第２ヒーター本体を保持する第２保持管と、
を備えた赤外線ヒーター。
【請求項６】
前記冷媒流路は、前記第１保持管及び前記第２保持管の外周面と前記外管の内周面との間の空間であり、
前記外管は、前記長手方向にずれて配置され前記冷媒流路と連通する複数の冷媒出入口を有しており、
前記第１保持管及び前記第２保持管は、前記複数の冷媒出入口のうち前記長手方向の両端に位置する２つの冷媒出入口よりも該長手方向の両外側まで存在している、
請求項５に記載の赤外線ヒーター。
【請求項７】
前記第１保持管及び前記第２保持管は、前記外管を長手方向の両側に貫通している、
請求項５又は６に記載の赤外線ヒーター。
【請求項８】
請求項５〜７のいずれか１項に記載の赤外線ヒーターであって、
前記第１保持管の外周面の一部に配設され赤外線の少なくとも一部を反射する第１反射層と、
前記第２保持管の外周面の一部に配設され赤外線の少なくとも一部を反射する第２反射層と、
を備えた赤外線ヒーター。
【請求項９】
前記冷媒流路は、前記第１保持管及び前記第２保持管の外周面と前記外管の内周面との間の空間であり、
前記第１反射層は、前記第１保持管の外周面のうち前記外管の内周面に最も近い部分に配設されており、
前記第２反射層は、前記第２保持管の外周面のうち前記外管の内周面に最も近い部分に配設されている、
請求項８に記載の赤外線ヒーター。
【請求項１０】
請求項２〜４のいずれか１項に記載の赤外線ヒーターであって、
前記外管の内側に配設され、前記第１ヒーター本体の前記長手方向の他端側を保持する第１保持部材と、
前記外管の内側に配設され、前記第２ヒーター本体の前記長手方向の一端側を保持する第２保持部材と、
を備えた赤外線ヒーター。
【請求項１１】
前記外管は、前記冷媒流路と連通する第１冷媒入口，第１冷媒出口，第２冷媒入口，第２冷媒出口を有しており、
前記第２冷媒入口と前記第２冷媒出口とは、前記第１冷媒入口及び前記第１冷媒出口に対して前記長手方向で同じ側にずれて配置され、
前記長手方向で前記第１冷媒入口と前記第１冷媒出口との間には前記第１発熱領域の少なくとも一部が存在し、
前記長手方向で前記第２冷媒入口と前記第２冷媒出口との間には前記第２発熱領域の少なくとも一部が存在している、
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の赤外線ヒーター。
【請求項１２】
対象物に赤外線を放射して赤外線処理を行う赤外線処理装置であって、
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の赤外線ヒーターと、
前記赤外線ヒーターから放射された赤外線により前記赤外線処理を行う空間である処理空間を形成する炉体と、
を備えた赤外線処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、赤外線ヒーター及び赤外線処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、長手方向を有する長尺な赤外線ヒーターとしては、赤外線を放出する発熱体と、発熱体を覆う筒形状の保護管とを備えたものが知られている（例えば特許文献１）。また、特許文献１には、長尺な赤外線ヒーターを炉内に配置して、塗膜の乾燥を行うことが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４７９００９２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、長手方向を有する長尺な赤外線ヒーターを用いて対象物に赤外線を放射する場合、例えば炉内の状態が不均一であることなどに起因して、対象物や炉内の温度分布が赤外線ヒーターの長手方向で不均一になる場合があった。このような場合、長手方向の温度分布を調整したいという要望があった。
【０００５】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、長手方向の温度分布を調整可能な赤外線ヒーターを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述した主目的を達成するために以下の手段を採った。
【０００７】
本発明の赤外線ヒーターは、
長手方向を有する長尺な赤外線ヒーターであって、
赤外線の少なくとも一部を透過する外管と、
加熱されると赤外線を放射する第１発熱領域を有する第１発熱体と、該第１発熱体を覆い前記外管の内側に配設され赤外線の少なくとも一部を透過する円筒状の第１内管と、を備えた第１ヒーター本体と、
加熱されると赤外線を放射する第２発熱領域を有する第２発熱体と、該第２発熱体を覆い前記外管の内側に配設され赤外線の少なくとも一部を透過する円筒状の第２内管と、を備え、前記第２発熱領域が前記第１発熱領域に対して前記長手方向にずれて配設されている第２ヒーター本体と、
前記第１，第２ヒーター本体と前記外管との間に形成された冷媒流路と、
を備えたものである。
【０００８】
この赤外線ヒーターは、第１発熱領域を有する第１ヒーター本体と第２発熱領域を有する第２ヒーター本体とを、外管の内側に備えている。そして、第１ヒーター本体と第２ヒーター本体とは、第１発熱領域と第２発熱領域とが長手方向にずれるように配設されている。そのため、第１発熱体への供給電力と第２発熱体への供給電力とを別々に調整することで、例えば対象物の長手方向の一端側と他端側とで温度が不均一になることを抑制できる。すなわち、長手方向の温度分布を調整することができる。
【０００９】
本発明の赤外線ヒーターにおいて、前記第１内管は、前記外管よりも前記長手方向の長さが短く、該外管の該長手方向の一端側に位置しており、前記第２内管は、前記外管よりも前記長手方向の長さが短く、該外管の該長手方向の他端側に位置していてもよい。すなわち、第１内管と第２内管とが長手方向にずれて配置されていてもよい。
【００１０】
この場合において、前記第１ヒーター本体は、前記外管から前記長手方向に挿抜可能であり、前記第２ヒーター本体は、前記外管から前記長手方向に挿抜可能であってもよい。こうすれば、発熱体が寿命を迎えた場合などに、ヒーター本体を外管から抜いて交換できるため、メンテナンスが容易になる。
【００１１】
第１，第２ヒーター本体が挿抜可能な態様の本発明の赤外線ヒーターは、前記外管の前記長手方向外側に取り付け可能な部材であり、該部材の前記長手方向の長さによって前記第１ヒーター本体の前記外管への該長手方向の挿入位置を調整可能な第１位置調整部材を備えていてもよい。こうすれば、第１調整部材によって第１発熱領域と第２発熱領域との長手方向の位置関係を調整することで、対象物等の長手方向の温度分布を調整することができる。
【００１２】
第１，第２ヒーター本体が挿抜可能な態様の本発明の赤外線ヒーターは、前記外管の内側に配設され、前記長手方向で前記第１発熱領域を含むように前記第１内管を覆って前記第１ヒーター本体を保持する第１保持管と、前記外管の内側に配設され、前記長手方向で前記第２発熱領域を含むように前記第２内管を覆って前記第２ヒーター本体を保持する第２保持管と、を備えていてもよい。こうすれば、挿抜可能な第１，第２ヒーター本体を第１，第２保持管で適切に保持しやすい。
【００１３】
この場合において、前記冷媒流路は、前記第１保持管及び前記第２保持管の外周面と前記外管の内周面との間の空間であり、前記外管は、前記長手方向にずれて配置され前記冷媒流路と連通する複数の冷媒出入口を有しており、前記第１保持管及び前記第２保持管は、前記複数の冷媒出入口のうち前記長手方向の両端に位置する２つの冷媒出入口よりも該長手方向の両外側まで存在していてもよい。こうすれば、冷媒流路のうち冷媒出入口の間の断面形状（長手方向に垂直な断面の形状）が長手方向で変化しないため、冷媒の流れが均一化しやすい。
【００１４】
第１，第２保持管を備える態様の本発明の赤外線ヒーターにおいて、前記第１保持管及び前記第２保持管は、前記外管を長手方向の両側に貫通していてもよい。こうすれば、第１，第２保持管を固定しやすい。
【００１５】
第１，第２保持管を備える態様の本発明の赤外線ヒーターは、前記第１保持管の外周面の一部に配設され赤外線の少なくとも一部を反射する第１反射層と、前記第２保持管の外周面の一部に配設され赤外線の少なくとも一部を反射する第２反射層と、を備えていてもよい。こうすれば、反射層によって赤外線を特定の方向に集中的に放射でき、効率よく対象物に赤外線を放射できる。また、第１，第２保持管の外周面に反射層を形成することで、第１，第２内管の外周面に形成する場合と比較してヒーター本体の挿抜時に反射層が損傷するのを抑制できる。
【００１６】
この場合において、前記冷媒流路は、前記第１保持管及び前記第２保持管の外周面と前記外管の内周面との間の空間であり、前記第１反射層は、前記第１保持管の外周面のうち前記外管の内周面に最も近い部分に配設されており、前記第２反射層は、前記第２保持管の外周面のうち前記外管の内周面に最も近い部分に配設されていてもよい。ここで、保持管の外周面と外管の内周面とが最も近い部分は、冷媒流路が狭く冷媒が流れにくいため、この部分の外管が過熱しやすい。第１，第２保持管の外周面のうち外管の内周面に最も近い部分に反射層を設けることで、このような外管の過熱を抑制できる。
【００１７】
第１，第２内管が外管よりも長手方向の長さが短い態様の本発明の赤外線ヒーターは、前記外管の内側に配設され、前記第１ヒーター本体の前記長手方向の他端側を保持する第１保持部材と、前記外管の内側に配設され、前記第２ヒーター本体の前記長手方向の一端側を保持する第２保持部材と、を備えていてもよい。こうすれば、第１，第２ヒーター本体を第１，第２保持部材で適切に保持しやすい。
【００１８】
本発明の赤外線ヒーターにおいて、前記外管は、前記冷媒流路と連通する第１冷媒入口，第１冷媒出口，第２冷媒入口，第２冷媒出口を有しており、前記第２冷媒入口と前記第２冷媒出口とは、前記第１冷媒入口及び前記第１冷媒出口に対して前記長手方向で同じ側にずれて配置され、前記長手方向で前記第１冷媒入口と前記第１冷媒出口との間には前記第１発熱領域の少なくとも一部が存在し、前記長手方向で前記第２冷媒入口と前記第２冷媒出口との間には前記第２発熱領域の少なくとも一部が存在していてもよい。こうすれば、第１発熱領域に起因する赤外線ヒーターの過熱を第１冷媒入口から第１冷媒出口へ向かう冷媒の流れで抑制でき、第２発熱領域に起因する赤外線ヒーターの過熱を第２冷媒入口から第２冷媒出口へ向かう冷媒の流れで抑制できる。また、２つの冷媒の流れを別々に調整可能なため、第１発熱領域付近と第２発熱領域側付近とで過熱の程度が異なる場合でも適切に冷却を行うことができる。
【００１９】
本発明の赤外線処理装置は、
対象物に赤外線を放射して赤外線処理を行う赤外線処理装置であって、
上述したいずれかの態様の本発明の赤外線ヒーターと、
前記赤外線ヒーターから放射された赤外線により前記赤外線処理を行う空間である処理空間を形成する炉体と、
を備えたものである。
【００２０】
この赤外線処理装置は、上述したいずれかの態様の赤外線ヒーターを備えている。そのため、上述した本発明の赤外線ヒーターと同様の効果、例えば対象物の長手方向の温度分布を調整することができる効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】赤外線処理装置１０の縦断面図。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図。
【図３】冷媒出入口２５，２５と冷媒流路２８との関係を示す断面模式図。
【図４】交換時に第１ヒーター本体３０ａを抜く様子を示す説明図。
【図５】変形例の赤外線ヒーター２０Ａの断面図。
【図６】変形例の赤外線ヒーター２０Ｂの断面図。
【図７】変形例の赤外線ヒーター２０Ｃの断面図。
【図８】変形例の赤外線ヒーター２０Ｄの断面図。
【図９】変形例の赤外線ヒーター２０Ｅの断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
次に、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。図１は、本発明の一実施形態である赤外線処理装置１０の説明図である。図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。図３は、赤外線ヒーター２０における冷媒出入口２５，２５と冷媒流路２８との関係を示す断面模式図である。なお、図１の破線枠の拡大部分は、図２のＢ−Ｂ断面図に相当する。また、本実施形態において、上下方向，左右方向及び前後方向は、図１〜３に示した通りとする。
【００２３】
赤外線処理装置１０は、シート８３上に塗布された対象物としての塗膜８４の赤外線処理（本実施形態では乾燥処理）を赤外線を用いて行うものである。赤外線処理装置１０は、炉体１１と、複数の赤外線ヒーター２０と、電力供給源７０と、冷媒供給源７２と、コントローラー９０と、を備えている。また、赤外線処理装置１０は、炉体１１の前方に設けられたロール８１と、炉体１１の後方に設けられたロール８２とを備えている。この赤外線処理装置１０は、塗膜８４が上面に形成されたシート８３を、ロール８１，８２により連続的に搬送して乾燥を行う、ロールトゥロール方式の乾燥炉として構成されている。
【００２４】
炉体１１は、塗膜８４の赤外線処理を行う処理空間１２を形成するものである。炉体１１は、略直方体に形成された断熱構造体であり、前端面１３，後端面１４，右端面１５，左端面１６と（図１，２参照）、内部の空間である処理空間１２と、炉体１１の前端面１３及び後端面１４にそれぞれ形成され外部から処理空間１２への出入口となる開口１７，１８とを有している。この炉体１１は、前端面１３から後端面１４までの長さが例えば２〜１０ｍである。片面に塗膜８４が塗布されたシート８３は、処理空間１２を開口１７から開口１８まで略水平に通過していく。処理空間１２には、複数（本実施形態では４本）の赤外線ヒーター２０が天井付近に前後方向に並べて略等間隔に配設されている。
【００２５】
赤外線ヒーター２０は、炉体１１内の塗膜８４に赤外線を放射する長尺なヒーターであり、長手方向が塗膜８４の幅方向（左右方向）に沿うように配設されている。炉体１１内に配設された４本の赤外線ヒーター２０はいずれも同じ構成をしている。この赤外線ヒーター２０は、第１ヒーター本体３０ａと、第１ヒーター本体３０ａの後方に配置された第２ヒーター本体３０ｂと、第１ヒーター本体３０ａを保持する第１保持管２２ａと、第２ヒーター本体３０ｂを保持する第２保持管２２ｂと、第１，第２保持管２２ａ，２２ｂを囲む外管２４と、を備えている。また、赤外線ヒーター２０は、第１保持管２２ａの外周面に形成された第１反射層２６ａと、第２保持管２２ｂの外周面に形成された第２反射層２６ｂと、外管２４と第１，第２保持管２２ａ，２２ｂとの間の空間である冷媒流路２８と、を備えている。第１ヒーター本体３０ａは外管２４の右端側（一端側）に位置しており、第２ヒーター本体３０ｂは外管２４の左端側（他端側）に位置している。
【００２６】
第１ヒーター本体３０ａは、長手方向が左右方向に沿って配置された長尺なヒーターであり、第１保持管２２ａ内に右側から挿入されて第１保持管２２ａにより保持されている。第１ヒーター本体３０ａは、図２に示すように、第１発熱体３２ａと、第１発熱体３２ａを囲む第１小径内管３５ａと、第１小径内管３５ａを囲む第１大径内管３６ａと、第１小径内管３５ａ及び第１大径内管３６ａの右端に配設された第１キャップ３７ａと、を備えている。なお、第１小径内管３５ａ及び第１大径内管３６ａが本発明の第１内管に相当する。
【００２７】
第１発熱体３２ａは、加熱されると第１発熱領域３３ａ（図２参照）から赤外線を放射する長尺なフィラメントであり、本実施形態ではＷ（タングステン）製の電線を螺旋状に巻いたものとした。なお、第１発熱体３２ａの材料としては、他にＮｉ−Ｃｒ合金，Ｍｏ，Ｔａ，及びＦｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金などを挙げることができる。この第１発熱体３２ａは、電力供給源７０から電力が供給されて、例えば７００〜１７００℃に通電加熱されると、波長が３．５μｍ以下（例えば２〜３μｍ付近）の赤外線領域にピークを持つ赤外線を放射する。
【００２８】
第１小径内管３５ａ，第１大径内管３６ａは、軸方向が左右方向に沿った円筒状の管であり、第１発熱体３２ａを覆うと共に外管２４の内側に配設されている。図３に示すように、第１小径内管３５ａの外周面の下側には、第１大径内管３６ａとの位置関係を保つための突起が２箇所形成されている。第１大径内管３６ａは、左端側に底部を有している。第１小径内管３５ａ及び第１大径内管３６ａは、外管２４と比べて左右方向の長さが短く、第１ヒーター本体３０ａ全体の長さも外管２４より短い。第１小径内管３５ａ及び第１大径内管３６ａは、第１発熱体３２ａから放射された赤外線の少なくとも一部を透過する。本実施形態では、第１小径内管３５ａ及び第１大径内管３６ａは、３．５μｍ以下の波長の赤外線を通過し３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収するフィルタとして機能する赤外線吸収材料で形成されている。このような赤外線吸収材料としては、例えば、石英ガラスなどが挙げられる。第１小径内管３５ａの内部、すなわち第１発熱体３２ａが配置された空間は、アルゴンガスにハロゲンガスを添加した雰囲気となっている。
【００２９】
第１キャップ３７ａは、第１小径内管３５ａ及び第１大径内管３６ａの右端に取り付けられて、第１小径内管３５ａ及び第１大径内管３６ａの内部の空間を封止している。第１キャップ３７ａの外径は第１保持管２２ａの内径と略同じであり、第１キャップ３７ａの外周面は第１保持管２２ａの内周面に接触している。これにより、第１ヒーター本体３０ａは第１キャップ３７ａの部分で第１保持管２２ａに保持されている。なお、第１キャップ３７ａの外周部分は樹脂などの弾性体で形成されていてもよい。第１キャップ３７ａには、第１キャップフランジ３８ａが配設されており、第１保持管２２ａの第１保持管フランジ２３ａと左右方向に当接している。また、第１キャップ３７ａには２つの第１端子３９ａ，３９ａが配設されている。第１発熱体３２ａの両端はこの第１端子３９ａに電気的に接続されている。なお、第１発熱体３２ａの左端は、第１小径内管３５ａと第１大径内管３６ａとの間の空間を引き回された電気配線を介して、第１端子３９ａに接続されている。２つの第１端子３９ａにそれぞれ接続された電気配線４０ａ，４０ａは、電力供給源７０に接続されている。このように、第１ヒーター本体３０ａは、第１ヒーター本体３０ａの片側（右側）から第１端子３９ａ，３９ａが引き出された、片出しタイプのヒーターとして構成されている。
【００３０】
こうして構成された第１ヒーター本体３０ａは、第１保持管２２ａ内に右端から挿入されており、第１保持管２２ａからの挿抜が可能である。これにより、作業者が第１ヒーター本体３０ａを容易に交換できるようになっている。図４は、交換時に第１ヒーター本体３０ａを抜く様子を示す説明図である。
【００３１】
第２ヒーター本体３０ｂは、第２保持管２２ｂ内に左側から挿入されている点、及び第１ヒーター本体３０ａと左右逆向きに配置されている点以外は、第１ヒーター本体３０ａと同様の構成をしている。そのため、第２ヒーター本体３０ｂの各構成要素については説明を省略する。なお、第２ヒーター本体３０ｂの各構成要素は、第１ヒーター本体３０ａの各構成要素の「第１」及び「ａ」を、「第２」及び「ｂ」に代えて表記する。図２に示すように、第２ヒーター本体３０ｂは、第１ヒーター本体３０ａに対して左方及び後方にずれて位置している。また、第２発熱領域３３ｂは、第１発熱領域３３ａに対して左方及び後方にずれて位置している。これにより、第１発熱体３２ａからの赤外線は主に塗膜８４の右側に放射され、第２発熱体３２ｂからの赤外線は主に塗膜８４の左側に放射される。なお、本実施形態では、第１発熱領域３３ａの左端と第２発熱領域３３ｂの右端とが左右方向で略同じ位置にあるものとし、第１発熱領域３３ａと第２発熱領域３３ｂとは左右方向で重複していないものとした。ただし、第１発熱領域３３ａと第２発熱領域３３ｂとが左右方向にずれていればよく、両者が左右方向で一部重複していてもよいし、両者が左右方向に離れていてもよい。また、第１ヒーター本体３０ａと第２ヒーター本体３０ｂとの上下方向の位置は同じであり、第１発熱体３２ａ及び第２発熱体３２ｂの塗膜８４からの上下方向の距離も同じである。なお、第２小径内管３５ｂ及び第２大径内管３６ｂが本発明の第２内管に相当する。
【００３２】
第１保持管２２ａは、第１ヒーター本体３０ａを覆う円筒状の管である。第１保持管２２ａは、軸方向の長さが外管２４よりも長く、外管２４を貫通して外管２４の左右両側の底部から突出して配設されている。第１保持管２２ａは、長手方向で第１発熱領域３３ａを含むように配設されている。第１保持管２２ａは左端部に底部を有し、第１保持管２２ａの右端部は炉体１１の外部に開口している。そのため、第１保持管２２ａの内部の空間は、外管２４と第１保持管２２ａとの間に形成された冷媒流路２８や、処理空間１２とは連通していない。また、第１保持管２２ａの右端部には第１保持管フランジ２３ａが配設されており、第１キャップフランジ３８ａと当接している。第１保持管２２ａは、上述した赤外線吸収材料で形成されており、本実施形態では石英ガラス製である。第１保持管２２ａは、外管２４の左右両側の底部と溶接されて、外管２４に左右両側で固定及び支持されている。第１保持管２２ａの内径Ｄ１と第１大径内管３６ａの外径ｄ１との差ΔＤ１は、第１ヒーター本体３０ａの挿抜に支障がない程度に大きい値とすることが好ましく、例えば１ｍｍ以上とすることが好ましい。また、差ΔＤ１が大きすぎると、第１大径内管３６ａが第１保持管２２ａに接触せず第１ヒーター本体３０ａが第１キャップ３７ａ部分のみで第１保持管２２ａに保持されることになるため、保持が不安定になる場合がある。そのため、差ΔＤ１は、第１大径内管３６ａの外周面が第１保持管２２ａの内周面に軽く接触して第１保持管２２ａに保持される程度に小さい値とすることが好ましく、例えば３ｍｍ以下とすることが好ましい。
【００３３】
第２保持管２２ｂは、第２ヒーター本体３０ｂを覆う円筒状の管である。第２保持管２２ｂは、軸方向の長さが外管２４よりも長く、外管２４を貫通して外管２４の左右両側の底部から突出して配設されている。第２保持管２２ｂは、長手方向で第２発熱領域３３ｂを含むように配設されている。第２保持管２２ｂは右端部に底部を有し、第２保持管２２ｂの左端部は炉体１１の外部に開口している。そのため、第２保持管２２ｂの内部の空間は、外管２４と第２保持管２２ｂとの間に形成された冷媒流路２８や、処理空間１２とは連通していない。また、第２保持管２２ｂの左端部には第２保持管フランジ２３ｂが配設されており、第２キャップフランジ３８ｂと当接している。第２保持管２２ｂは、上述した赤外線吸収材料で形成されており、本実施形態では石英ガラス製である。第２保持管２２ｂは、外管２４の左右両側の底部と溶接されて、外管２４に左右両側で固定及び支持されている。第２保持管２２ｂの内径Ｄ２と第２大径内管３６ｂの外径ｄ２との差ΔＤ２は、上述した差ΔＤ１と同様に、第２ヒーター本体３０ｂの挿抜に支障がなく、且つ第２大径内管３６ｂの外周面が第２保持管２２ｂの内周面に軽く接触する程度に小さい値にすることが好ましい。差ΔＤ２は、上述した差ΔＤ１と同様に、１ｍｍ以上３ｍｍ以下とすることが好ましい。
【００３４】
外管２４は、赤外線ヒーター２０の最外周面を構成する部材であり、左右両端に底部を有する。外管２４は、長手方向が炉体１１の右端面１５と左端面１６との距離よりも長く、炉体１１を左右方向に貫通しつつ炉体１１に固定されている。外管２４は、上述した赤外線吸収材料で形成されており、本実施形態では石英ガラス製である。図１に示すように、第１発熱体３２ａ及び第２発熱体３２ｂは、外管２４の上下方向の中央に位置している。この外管２４の内周面と第１保持管２２ａ及び第２保持管２２ｂの外周面とで囲まれた空間は、冷媒流路２８として形成されている。また、図３に示すように、外管２４の左右両端付近の上端には、冷媒流路２８と連通する冷媒出入口２５，２５が配設されている。冷媒出入口２５の一方（図３では左側）から冷媒供給源７２から冷媒が供給されると、外管２４内に流入した冷媒は冷媒流路２８を流通して他方（図３では右側）の冷媒出入口２５から流出する。冷媒は、例えば空気や不活性ガスなどの気体であり、第１，第２保持管２２ａ，２２ｂや外管２４に接触して熱を奪うことにより、これらや第１，第２ヒーター本体３０ａ，３０ｂを冷却する。なお、冷媒出入口２５，２５の左右方向の間には、第１発熱領域３３ａの少なくとも一部と第２発熱領域３３ｂの少なくとも一部とが存在していることが好ましい。
【００３５】
第１反射層２６ａは、第１保持管２２ａの外周面のうち、第１発熱体３２ａからみて塗膜８４とは反対側（上側）を含む領域に配設され、第１発熱体３２ａの周囲の一部のみを覆うように設けられている。第１反射層２６ａは、第１発熱体３２ａから放射される赤外線の少なくとも一部を反射する赤外線反射材料で形成されている。赤外線反射材料としては、例えば金，白金，アルミニウムなどが挙げられる。第１反射層２６ａは、特に、第１発熱体３２ａから放射される波長３．５μｍ以下の赤外線の反射率が高いことが好ましい。第１反射層２６ａは、第１保持管２２ａの表面に塗布乾燥、スパッタリングやＣＶＤ、溶射といった成膜方法を用いて赤外線反射材料を成膜することで形成されている。本実施形態では、図１に示すように、第１反射層２６ａは第１保持管２２ａの上側半分を全て覆っているものとした。また、第１反射層２６ａは、第１保持管２２ａの外周面のうち、前端から下方に向けて角度θ１の領域も覆っているものとした。これにより、第１反射層２６ａは、第１保持管２２ａの外周面のうち外管２４の内周面に最も近い部分である第１最接近部分２９ａ（図１参照）及びその周辺を覆うように配設されている。なお、θ１が大きすぎると第１発熱体３２ａから下方の塗膜８４に向かう赤外線まで反射してしまうため、θ１は０°超過４５°未満とすることが好ましく、３０°以下としてもよい。
【００３６】
第２反射層２６ｂは、第２保持管２２ｂの外周面のうち、第２発熱体３２ｂからみて塗膜８４とは反対側（上側）を含む領域に配設され、第２発熱体３２ｂの周囲の一部のみを覆うように設けられている。第２反射層２６ｂは、第２発熱体３２ｂから放射される赤外線の少なくとも一部を反射する赤外線反射材料で形成されている。赤外線反射材料としては、例えば金，白金，アルミニウムなどが挙げられる。第２反射層２６ｂは、特に、第２発熱体３２ｂから放射される波長３．５μｍ以下の赤外線の反射率が高いことが好ましい。第２反射層２６ｂは、第２保持管２２ｂの表面に塗布乾燥、スパッタリングやＣＶＤ、溶射といった成膜方法を用いて赤外線反射材料を成膜することで形成されている。本実施形態では、図１に示すように、第２反射層２６ｂは第２保持管２２ｂの上側半分を全て覆っているものとした。また、第２反射層２６ｂは、第２保持管２２ｂの外周面のうち、後端から下方に向けて角度θ２の領域も覆っているものとした。これにより、第２反射層２６ｂは、第２保持管２２ｂの外周面のうち外管２４の内周面に最も近い部分である第２最接近部分２９ｂ（図１参照）及びその周辺を覆うように配設されている。なお、θ２は、θ１と同様に０°超過４５°未満とすることが好ましく、３０°以下としてもよい。
【００３７】
シート８３は、ＰＥＴフィルムからなるものである。シート８３は、特に限定するものではないが、例えば厚さ１０〜１００μｍ，幅２００〜１０００ｍｍである。また、塗膜８４は、シート８３の上面に塗布されたものであり、例えば乾燥後にＭＬＣＣ（積層セラミックコンデンサ）用の薄膜として用いられるものである。塗膜８４は、例えばセラミックス粉末又は金属粉末と、有機バインダーと、有機溶剤とを含むものである。
【００３８】
コントローラー９０は、ＣＰＵを中心とするマイクロプロセッサーとして構成されており、各種処理プログラムや各種データなどを記憶したフラッシュメモリーや、一時的にデータを記憶するＲＡＭなどを備えている。このコントローラー９０は、電力供給源７０や冷媒供給源７２に制御信号を出力したり、ローラー８１，８２の図示しないモーターに制御信号を出力したりする。また、コントローラー９０は、図示しない表示操作パネルを介して、作業者からの操作指示を入力したり、作業者に各種情報を出力したりする。
【００３９】
こうして構成された赤外線処理装置１０を用いて塗膜８４を乾燥する様子について説明する。まず、コントローラー９０がローラー８１，８２を回転させ、シート８３の搬送を開始する。これにより、赤外線処理装置１０の左端に配置されたローラー８１からシート８３が巻き外されていく。また、シート８３は開口１７から炉体１１内に搬入される直前に図示しないコーターによって上面に塗膜８４が塗布される。そして、塗膜８４が塗布されたシート８３は、炉体１１内に搬送される。このとき、コントローラー９０は、電力供給源７０，冷媒供給原７２を制御する。これにより、シート８３が炉体１１の処理空間１２内を通過する間に、シート８３の上面に形成された塗膜８４は、赤外線ヒーター２０からの赤外線が照射されることによって乾燥される。乾燥された塗膜８４は薄膜となり、開口１８から搬出される。そして、この薄膜（塗膜８４）は、炉体１１の右端に設置されたロール８２にシート８３とともに巻き取られる。その後、薄膜はシート８３から剥離され、所定形状に切断されて積層され、ＭＬＣＣが製造される。
【００４０】
ここで、塗膜８４を乾燥する際の赤外線ヒーター２０の動作について詳細に説明する。コントローラー９０は、電力供給源７０及び冷媒供給源７２に制御信号を出力して、各赤外線ヒーター２０の第１発熱体３２ａ，第２発熱体３２ｂに電力を供給すると共に、各赤外線ヒーター２０の冷媒流路２８に冷媒を流通させる。これにより、第１，第２発熱体３２ａ，３２ｂからは波長が３．５μｍ以下にピークを持つ赤外線が放射され、そのうち主に３．５μｍ以下の波長の赤外線（波長０．７μ〜３．５μｍの近赤外線）が第１，第２小径内管３５ａ，３５ｂ、第１，第２大径内管３６ａ，３６ｂ、第１，第２保持管２２ａ，２２ｂ、及び外管２４を通過して炉体１１内部に放射される。このとき、赤外線ヒーター２０の各管は、上述したように３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収するが、冷媒流路２８を流れる冷媒によって冷却されることで（例えば２００℃以下）、自身が赤外線の二次放射体となることを抑制可能である。冷媒流路２８に流す冷媒の流量は、例えば予め定められていてもよいし、赤外線ヒーター２０の外管２４の外周面に温度センサを取り付けて、外管２４の温度が目標値になるようにコントローラー９０が流量を調整してもよい。なお、複数の赤外線ヒーター２０の冷媒流路２８に冷媒を流通させる場合、冷媒の流通方向が交互になるようにすることが好ましい。例えば、図１の前方から１番目，３番目の赤外線ヒーター２０の冷媒流路２８には、図３のように左側の冷媒出入口２５から冷媒を流入させ、図１の前方から２番目，４番目の赤外線ヒーター２０の冷媒流路２８には、図３とは逆に右側の冷媒出入口２５から冷媒を流入させることが好ましい。こうすることで、処理空間１２の温度が左右方向に不均一になりにくい。
【００４１】
また、コントローラー９０は、処理空間１２内の右側と左側とにそれぞれ配設された図示しない温度センサからの検出信号に基づいて、塗膜８４の右側の温度と左側の温度がそれぞれ所定範囲内に収まるようにフィードバック制御により第１発熱体３２ａ，第２発熱体３２ｂに供給する電力を個別に調整する。これにより、処理空間１２内の塗膜８４の左右方向の温度分布が均一になるよう（例えば±５℃以下など）に調整することができ、塗膜８４の乾燥むらなどを抑制して乾燥後の薄膜の品質低下を抑制できる。なお、フィードバック制御を用いず、各赤外線ヒーター２０の第１発熱体３２ａ，第２発熱体３２ｂに供給する電力が予め個別に定められているだけでもよい。こうしても、例えば炉体１１の構造などに起因して塗膜８４の左右方向の温度分布が不均一になることを抑制することはできる。
【００４２】
以上詳述した本実施形態の赤外線ヒーター２０によれば、第１ヒーター本体３０ａと第２ヒーター本体３０ｂとは、第１発熱領域３３ａと第２発熱領域３３ｂとが長手方向（左右方向）にずれるように配設されている。そのため、第１発熱体３２ａへの供給電力と第２発熱体３２ｂへの供給電力とを別々に調整することで、例えば塗膜８４の長手方向（左右方向）の一端側と他端側とで温度が不均一になることを抑制できる。すなわち、長手方向の温度分布を調整することができる。また、第１，第２ヒーター本体３０ａ，３０ｂを１つの赤外線ヒーター２０としてまとめている。そのため、第１ヒーター本体３０ａ，第２ヒーター本体３０ｂを別々のヒーターとして処理空間１２内に配置する場合と比べて、冷媒流路となる空間を１つにまとめることができ、結果的に赤外線ヒーター２０は前後方向の長さをコンパクトにできる。
【００４３】
また、第１小径内管３５ａ及び第１大径内管３６ａは、外管２４よりも長手方向の長さが短く、外管２４の長手方向の一端側（右側）に位置しており、第２小径内管３５ｂ及び第２大径内管３６ｂは、外管２４よりも長手方向の長さが短く、外管２４の長手方向の他端側（左側）に位置している。
【００４４】
さらに、第１ヒーター本体３０ａは、外管２４から長手方向（右方向）に挿抜可能であり、第２ヒーター本体３０ｂは、外管２４から長手方向（左方向）に挿抜可能である。そのため、発熱体が寿命を迎えた場合などに、ヒーター本体を外管２４から抜いて交換でき、メンテナンスが容易になる。また、赤外線ヒーター２０が挿抜可能な１本のヒーター本体のみを備えている場合、第１，第２ヒーター本体３０ａ，３０ｂよりも長いヒーター本体が必要になる。このとき、作業者がヒーター本体を挿抜する際の取り回しが悪くなったり、炉体１１の左右の少なくとも一方にヒーター本体を抜く作業のためのより広いスペースが必要になったりするなどの問題が生じる場合がある。本実施形態の赤外線ヒーター２０では、２つのヒーター本体で塗膜８４の幅方向をカバーするため、ヒーター本体１本あたりの長さを短くでき、上記の問題が生じにくい。特に、赤外線ヒーター２０が１本のヒーター本体のみを備えているとすると発熱体の必要長さが１０００ｍｍ以上となってしまうような幅広の塗膜８４の乾燥を行う場合において、赤外線ヒーター２０が複数の挿抜可能なヒーター本体を備える意義が高い。
【００４５】
さらにまた、赤外線ヒーター２０は、外管２４の内側に配設され、長手方向で第１発熱領域３３ａを含むように第１小径内管３５ａ及び第１大径内管３６ａを覆って第１ヒーター本体３０ａを保持する第１保持管２２ａと、外管２４の内側に配設され、長手方向で第２発熱領域３３ｂを含むように第２小径内管３５ｂ及び第２大径内管３６ｂを覆って第２ヒーター本体３０ｂを保持する第２保持管２２ｂと、を備えている。このような円筒状の第１，第２保持管２２ａ，２２ｂを用いることで、挿抜可能な第１，第２ヒーター本体３０ａ，３０ｂを適切に保持しやすい。
【００４６】
そしてまた、冷媒流路２８は、第１，第２保持管２２ａ，２２ｂの外周面と外管２４の内周面との間の空間であり、外管２４は、長手方向にずれて配置され冷媒流路２８と連通する複数の冷媒出入口２５，２５を有しており、第１，第２保持管２２ａ，２２ｂは、長手方向の両端に位置する２つの冷媒出入口２５，２５よりも長手方向（左右方向）の両外側まで存在している。こうすれば、冷媒流路２８のうち冷媒出入口２５，２５の間の断面形状（図１に示すような前後上下方向に沿った断面における冷媒流路２８の形状）が長手方向で変化しないため、冷媒の流れが均一化しやすい。
【００４７】
そしてまた、第１，第２保持管２２ａ，２２ｂは、外管２４を長手方向の両側に貫通しているため、第１，第２保持管２２ａ，２２ｂを固定しやすい。また、第１，第２保持管２２ａ，２２ｂが外管２４を貫通していることで冷媒流路２８の断面形状が外管２４の右端から左端までに亘って長手方向のいずれの断面でも変化しないため、冷媒の流れがさらに均一化しやすい。
【００４８】
そしてまた、赤外線ヒーター２０は、第１，第２反射層２６ａ，２６ｂを備えているため、これによって赤外線を特定の方向（本実施形態では下方）に集中的に放射でき、効率よく塗膜８４に赤外線を放射できる。また、第１，第２保持管２２ａ，２２ｂの外周面に第１，第２反射層２６ａ，２６ｂを形成することで、例えば第１，第２小径内管３５ａ，３５ｂの外周面に形成する場合と比較して第１，第２ヒーター本体３０ａ，３０ｂの挿抜時に第１，第２反射層２６ａ，２６ｂが損傷するのを抑制できる。
【００４９】
そしてまた、第１，第２反射層２６ａ，２６ｂは、第１，第２保持管２２ａ，２２ｂの外周面のうち外管２４の内周面に最も近い第１，第２最接近部分２９ａ，２９ｂに配設されている。ここで、第１，第２保持管２２ａ，２２ｂの外周面と外管２４の内周面とが最も近い部分は、冷媒流路２８が狭く冷媒が流れにくいため、この部分の外管２４が過熱しやすい。第１，第２最接近部分２９ａ，２９ｂに第１，第２反射層２６ａ，２６ｂを設けることで、このような外管２４の過熱を抑制できる。
【００５０】
また、赤外線処理装置１０は、赤外線ヒーター２０と、赤外線ヒーター２０から放射された赤外線により赤外線処理（塗膜８４の乾燥処理）を行う空間である処理空間１２を形成する炉体１１を備えている。
【００５１】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
【００５２】
例えば、上述した実施形態では、第１，第２保持管２２ａ，２２ｂにより第１，第２ヒーター本体３０ａ，３０ｂを保持したが、これに限られない。図５は、変形例の赤外線ヒーター２０Ａの断面図である。この赤外線ヒーター２０Ａは、第１，第２保持管２２ａ，２２ｂを備えない代わりに、第１，第２保持部材５０ａ，５０ｂを備えている。第１保持部材５０ａは、外管２４の内側に配設され、第１ヒーター本体３０ａの長手方向の他端側（左側）を保持する部材である。第１保持部材５０ａは、有底の円筒状に形成されて内周面が第１大径内管３６ａの外周面に接触する保持部５２と、保持部５２を外管２４の内周面に接続する接続部５４とを備えている。接続部５４は、保持部５２と外管２４との溶接部分としてもよいし、接着剤などとしてもよい。これにより、第１ヒーター本体３０ａは、外管２４の右側の端部と第１保持部材５０ａとで挿抜可能に保持されている。第２保持部材５０ｂについても、第１保持部材５０ａと同様に保持部５２及び接続部５４を備えており、第２ヒーター本体３０ｂの長手方向の一端側（右側）を保持する。なお、赤外線ヒーター２０Ａでは、外管２４は左右の２つの円筒管を溶接部２７で溶接した部材として構成されている。こうすることで、２つの円筒管の各々に第１，第２保持部材５０ａ，５０ｂを取り付けてから溶接して外管２４を形成することができ、第１，第２保持部材５０ａ，５０ｂを外管２４内部に取り付けやすい。ただし、第１，第２保持部材５０ａ，５０ｂを外管２４内部に取り付けることができれば、これに限られない。この赤外線ヒーター２０Ａでも、赤外線ヒーター２０と同様に長手方向の温度分布を調整できる効果が得られる。ただし、赤外線ヒーター２０Ａでは冷媒流路２８内に第１，第２保持部材５０ａ，５０ｂが存在することで冷媒の流れが乱れやすいため、第１，第２保持管２２ａ，２２ｂを用いて第１，第２ヒーター本体３０ａ，３０ｂを保持することが好ましい。なお、赤外線ヒーター２０Ａにおいて、第１小径内管３５ａの外周面や第２小径内管３５ｂの外周面に第１，第２反射層２６ａ，２６ｂと同様の反射層を配設してもよい。また、赤外線ヒーター２０Ａにおいて、第１，第２保持部材５０ａ，５０ｂを備えないものとしてもよい。こうしても、第１，第２キャップ３７ａ，３７ｂが外管２４に保持されることで、第１，第２ヒーター本体３０ａ，３０ｂを保持することはできる。
【００５３】
上述した実施形態の赤外線ヒーター２０において、第１，第２ヒーター本体３０ａ，３０ｂの外管２４への長手方向の挿入位置が調整可能であってもよい。図６は、変形例の赤外線ヒーター２０Ｂの断面図である。この赤外線ヒーター２０Ｂは、外管２４の左右方向外側において、第１キャップフランジ３８ａと第１保持管フランジ２３ａとの左右方向の間に、リング状の第１位置調整部材６０ａを取り付け可能である。同様に、第２キャップフランジ３８ｂと第２保持管フランジ２３ｂとの左右方向の間に、リング状の第１位置調整部材６０ｂを取り付け可能である。こうすることで、第１位置調整部材６０ａの左右方向の長さによって第１ヒーター本体３０ａの外管２４への左右方向の挿入位置を調整可能である。すなわち、第１発熱領域３３ａの左右方向の位置を調整可能である。同様に、第２位置調整部材６０ｂの左右方向の長さによって第２発熱領域３３ｂの左右方向の位置を調整可能である。これにより、第１，第２調整部材６０ａ，６０ｂによって第１，第２発熱領域３３ａ，３３ｂの長手方向の位置関係を調整でき、塗膜８４の長手方向の温度分布を調整することができる。例えば、塗膜８４の幅方向（左右方向）の中央の温度が上昇しやすい場合に第１発熱領域３３ａと第２発熱領域３３ｂとを左右方向に離すことで温度上昇を抑制することができる。なお、第１，第２調整部材６０ａ，６０ｂの一方のみ取り付け可能な場合でも、第１発熱領域３３ａと第２発熱領域３３ｂとの相対的な位置関係を調整することはできるため、左右方向の温度分布を調整することはできる。また、位置関係の調整は、第１調整部材６０ａの取り付けの有無により行ってもよいし、左右方向の長さの異なる複数種類の第１位置調整部材６０ａを付け替えることによって行ってもよい。あるいは、第１位置調整部材６０ａ自身が左右方向の長さを調整可能（伸縮可能）であってもよい。これらは、第２位置調整部材６０ｂについても同様である。また、図５の赤外線ヒーター２０Ａにおいても、外管２４と第１，第２ヒーター本体３０ａ，３０ｂとの間に第１位置調整部材６０ａ，６０ｂを取り付け可能であってもよい。
【００５４】
上述した実施形態では、外管２４は２つの冷媒出入口２５，２５を備えていたが、これに限らず３つ以上の冷媒出入口が配設されていてもよい。例えば図３における冷媒出入口２５，２５の左右方向の中央にさらに冷媒出入口を備えていてもよい。この場合、左右両端の冷媒出入口を冷媒入口とし中央の冷媒出入口を冷媒出口としてもよいし、冷媒の出入をそれとは逆にしてもよい。また、例えば図７に示す変形例の赤外線ヒーター２０Ｃのように４箇所の冷媒出入口を設けてもよい。この変形例の赤外線ヒーター２０Ｃでは、外管２４は、冷媒流路２８と連通する第１冷媒入口２５ａ，第１冷媒出口２５ｂ，第２冷媒入口２５ｄ，第２冷媒出口２５ｃを有している。第２冷媒入口２５ｄと第２冷媒出口２５ｃとは、第１冷媒入口２５ａ及び第１冷媒出口２５ｂに対して左右方向で同じ側（左側）にずれて配置されている。左右方向で第１冷媒入口２５ａと第１冷媒出口２５ｂとの間には第１発熱領域３３ａの少なくとも一部が存在し、左右方向で第２冷媒入口２５ｄと第２冷媒出口２５ｃとの間には第２発熱領域３３ｂの少なくとも一部が存在している。この赤外線ヒーター２０Ｃでは、第１発熱領域３３ａに起因する赤外線ヒーター２０Ｃの過熱（赤外線ヒーター２０Ｃの右側の過熱）を第１冷媒入口２５ａから第１冷媒出口２５ｂへ向かう冷媒の流れで抑制できる。同様に、第２発熱領域３３ｂに起因する赤外線ヒーター２０Ｃの過熱（赤外線ヒーター２０Ｃの左側の過熱）を第２冷媒入口２５ｄから第２冷媒出口２５ｃへ向かう冷媒の流れで抑制できる。また、出入口が２つずつ存在することで、２つの冷媒の流れを別々に調整可能なため、第１発熱領域３３ａ付近と第２発熱領域３３ｂ側付近とで過熱の程度が異なる場合でも適切に冷却を行うことができる。さらに、左右両側から冷媒を冷媒流路２８に流入させることで、比較的耐熱性が低い場合が多い第１，第２キャップ３７ａ，３７ｂ部分の過熱を抑制しやすい。なお、第１冷媒入口２５ａと第１冷媒出口２５ｂとで冷媒の出入りの向きを逆にしてもよい。同様に、第２冷媒入口２５ｄと第２冷媒出口２５ｃとで冷媒の出入りの向きを逆にしてもよい。長手方向の中央付近から冷媒を冷媒流路２８内に流入させることで、赤外線ヒーター２０の長手方向のうち炉体１１内部で過熱しやすい中央部分の温度上昇を抑制しやすい。
【００５５】
上述した実施形態では、第１保持管２２ａは外管２４を貫通していたが、これに限られない。例えば、第１保持管２２ａの左端面が外管２４の左端面と同じ面上に位置していてもよい。あるいは、図８に示す変形例の赤外線ヒーター２０Ｄのように、第１保持管２２ａの左端面が外管２４の内部に位置していてもよい。この場合、図８に示すように、第１保持管２２ａの左側が支持部材５５，５６を介して外管２４により支持されていてもよい。支持部材５５は、第１保持管２２ａの左端面と外管２４の底部の内側面との間を接続している。支持部材５６は、第１保持管２２ａの左側下面と外管２４の内周面との間を接続している。こうしても、第１保持管２２ａにより第１ヒーター本体３０ａを保持することはできる。なお、支持部材５５，５６はいずれか一方としてもよいし、第１保持管２２ａが外管２４により支持されれば、他の形状の支持部材を用いてもよい。なお、第１保持管２２ａの左端面が外管２４の内部に位置している場合、第１保持管２２ａの底部がなく第１保持管２２ａの内部が冷媒流路２８と連通していてもよい。また、第１保持管２２ａの底部がなく第１保持管２２ａの左端部よりも左側に第１ヒーター本体３０ａが突出していてもよい。ただし、第１保持管２２ａの左端面が外管２４の内部に位置している場合でも、第１ヒーター本体３０ａを適切に保持しやすいため第１保持管２２ａは長手方向で第１発熱領域３３ａを含むように第１小径内管３５ａ及び第１大径内管３６ａを覆っていることが好ましい。以上の内容は、第２保持管２２ｂについても同様である。
【００５６】
上述した実施形態では、赤外線ヒーター２０は２つの第１，第２ヒーター本体３０ａ，３０ｂを備えていたが、３つ以上のヒーター本体を備えていてもよい。この場合も、少なくとも２つのヒーター本体の発熱領域が互いに長手方向にずれて配設されていればよい。また、例えば赤外線ヒーターが３つのヒーター本体を備える場合、図９の変形例の赤外線ヒーター２０Ｅに示すように、上方に２つの第１，第２ヒーター本体３０ａ，３０ｂを配設し、下方に１つの第３ヒーター本体３０ｃを配設することが好ましい。赤外線ヒーター２０Ｅでは、逆三角形の頂点の位置に第１〜第３保持管２２ａ〜２２ｃが配設され、その内部に第１〜第３ヒーター本体３０ａ〜３０ｃがそれぞれ挿抜可能に挿入されている。このように下方に位置するヒーター本体を少なくする方が、他のヒーター本体の赤外線を下方のヒーター本体が遮りにくいため、好ましい。なお、３つのヒーター本体の発熱領域が互いに長手方向にずれており、例えば第１発熱領域３３ａと第２発熱領域３３ｂとの間に第３発熱領域３２ｃの発熱領域（第３発熱領域）が位置していてもよい。
【００５７】
上述した実施形態では、第１ヒーター本体３０ａが外管２４の右側から挿抜可能であり、第２ヒーター本体３０ｂが外管２４の左側から挿抜可能であったが、これに限らず両者が同じ側から挿抜可能であってもよい。ただし、第１発熱領域３３ａが右側に位置し第２発熱領域３３ｂが左側に位置していることから、左右のうち発熱領域の近い側から挿抜可能にした方がヒーター本体を短くしやすいため好ましい。
【００５８】
上述した実施形態では、第１ヒーター本体３０ａと第２ヒーター本体３０ｂとは前後にずれていたが、これに限らず互いの中心軸が同軸になるように左右にずれて配置されていてもよい。ただし、この場合は第１発熱領域３３ａと第２発熱領域３３ｂとが左右方向に離れて塗膜８４の中央の温度が低下しやすい。そのため、第１ヒーター本体３０ａと第２ヒーター本体３０ｂとを前後方向にずらして第１発熱領域３３ａの左端と第２発熱領域３３ｂの右端とが左右方向で略同じ位置にあるようにすることが好ましい。また、第１ヒーター本体３０ａと第２ヒーター本体３０ｂとは、上下の高さが同じとしたが、異なっていてもよい。
【００５９】
上述した実施形態では、赤外線ヒーター２０は塗膜８４に主に波長３．５μｍ以下の波長領域の赤外線を放射する近赤外線ヒーターとして構成したが、これに限らず赤外線ヒーターであればよい。また、赤外線ヒーター２０を構成する各管は赤外線吸収材料からなるものとしたが、対象物に放射したい波長領域の赤外線を少なくとも透過する材質であればよい。
【００６０】
上述した実施形態では、第１，第２ヒーター本体３０ａ，３０ｂは挿抜して交換可能としたが、第１，第２保持管２２ａ，２２ｂに挿抜不可能に固定されていてもよい。図５の赤外線ヒーター２０Ａのように第１，第２保持管２２ａ，２２ｂがない場合には、第１，第２ヒーター本体３０ａ，３０ｂが外管２４に挿抜不可能に固定されていてもよい。
【００６１】
上述した実施形態では、第１ヒーター本体３０ａは、片側（右側）から第１端子３９ａ，３９ａが引き出された、片出しタイプのヒーターとしたが、これに限らず左右両側に端子が引き出された、両出しタイプのヒーターとしてもよい。この場合、第１ヒーター本体３０ａは外管２４を左右方向に貫通しており、外管２４により挿抜不可能に固定されていてもよい。第２ヒーター本体３０ｂについても同様である。この場合でも、第１発熱領域３３ａと第２発熱領域３３ｂとが長手方向にずれて配設されるようにしておけば長手方向の温度分布を調整することはできる。
【００６２】
上述した実施形態では、コントローラー９０が第１発熱体３２ａ，第２発熱体３２ｂに供給する電力を個別に調整したが、これに限られない。すなわち、赤外線ヒーター２０は長手方向の温度分布を調整可能な構成をしていればよく、実際の使用において第１発熱体３２ａ，第２発熱体３２ｂに同じ電力が供給される場合など、長手方向の温度分布を調整せずに用いられる場合があってもよい。
【００６３】
上述した実施形態では、赤外線処理装置１０は、赤外線ヒーター２０からの赤外線のみにより塗膜８４を乾燥させるものとしたが、例えば空気などの熱風を炉体１１内に送風する給気装置を備えるものとし、熱風と赤外線とにより塗膜８４を乾燥させてもよい。赤外線処理装置１０は、熱風に限らず、炉体１１内に送風する給気装置を備えていてもよい。なお、赤外線処理装置１０は、赤外線ヒーター２０に加えて、これとは別の加熱源を１又は複数備えていてもよい。加熱源としては、例えば、遠赤外線ヒーターや熱風を供給する給気装置などが挙げられる。例えば、赤外線処理装置１０は、赤外線ヒーター２０と遠赤外線ヒーターとを併用して対象物の乾燥を行う乾燥炉として構成してもよい。
【００６４】
上述した実施形態では、赤外線処理装置１０は、塗膜８４を連続的に搬送して乾燥を行うロールトゥロール方式の乾燥炉としたが、これに限られない。例えば、赤外線処理装置１０を、ロールトゥロール方式以外の連続炉として構成してもよいし、塗膜８４が炉体１１内で停止した状態で乾燥を行うバッチ炉として構成してもよい。
【００６５】
上述した実施形態では、赤外線処理装置１０は赤外線処理として塗膜８４の乾燥処理を行うものとしたが、これに限られない。赤外線処理装置１０は処理対象に赤外線を放射して処理を行うものであればよい。赤外線処理として、例えば加熱処理，乾燥処理，脱水処理などを行うものとしてもよい。また、赤外線処理として、処理対象を脱水環化反応させるなど、化学反応させる処理を行うものとしてもよい。
【００６６】
上述した実施形態では、処理対象である塗膜８４として、ＭＬＣＣ（積層セラミックコンデンサ）用の薄膜として用いられる塗膜を例示したが、処理対象はこれに限られない。例えば、乾燥後にリチウムイオン二次電池用の電極となる塗膜を処理対象としてもよい。あるいは、塗膜８４は、ＬＴＣＣ（低温焼成セラミックス）やその他のグリーンシート用の薄膜として用いられるものとしてもよい。
【符号の説明】
【００６７】
１０  赤外線処理装置、１１  炉体、１２  処理空間、１３  前端面、１４  後端面、１５  右端面、１６  左端面、１７，１８  開口、２０  赤外線ヒーター、２２ａ，２２ｂ  第１，第２保持管、２３ａ，２３ｂ  第１，第２保持管フランジ、２４  外管、２５  冷媒出入口、２５ａ  第１冷媒入口、２５ｂ  第１冷媒出口、２５ｃ  第２冷媒出口、２５ｄ  第２冷媒入口、２６ａ，２６ｂ  第１反射層、第２反射層、２７  溶接部、２８  冷媒流路、２９ａ，２９ｂ  第１，第２最接近部分、３０ａ，３０ｂ  第１，第２ヒーター本体、３２ａ，３２ｂ  第１，第２発熱体、３３ａ，３３ｂ  第１，第２発熱領域、３５ａ，３５ｂ  第１，第２小径内管、３６ａ，３６ｂ  第１，第２大径内管、３７ａ，３７ｂ  第１，第２キャップ、３８ａ，３８ｂ  第１，第２キャップフランジ、３９ａ，３９ｂ  第１，第２端子、４０ａ，４０ｂ  電気配線、５０ａ，５０ｂ  第１，第２保持部材、５２  保持部、５４  接続部、５５，５６  支持部材、６０ａ，６０ｂ  第１，第２位置調整部材、７０  電力供給源、７２  冷媒供給源、８１，８２  ローラー、８３  シート、８４  塗膜、９０  コントローラー。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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