【手続補正書】
【提出日】平成17年11月16日(2005.11.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンポーネントをテストし、テストデータを生成するように構成されたテスト部と
該テスト部に接続されたコンピュータであって、該テストデータを受け取り、該テストデータ内のアウトライヤーを識別し、該識別されたアウトライヤーを含む出力報告を生成するように構成されたコンピュータと
を備えたテストシステム。
【請求項２】
前記コンピュータは、レシピファイルの構成データのセットと関連して動作するように構成されている、請求項１に記載のテストシステム。
【請求項３】
前記テストデータは、ウエハ上のコンポーネントのセクション群に対応する、請求項１に記載のテストシステム。
【請求項４】
前記コンピュータは、前記テストデータに対する該コンピュータの感度を自動的に較正するように構成されている、請求項１に記載のテストシステム。
【請求項５】
前記コンピュータは、前記テストデータに相関するように構成されたデータ相関エレメントをさらに備えている、請求項１に記載のテストシステム。
【請求項６】
前記コンピュータは、ランタイムに、前記アウトライヤーを識別するように構成されている、請求項１に記載のテストシステム。
【請求項７】
前記コンピュータは、前記テストデータを受け取り、該テストデータをスムージングするように構成されたデータスムージングエレメントをさらに備え、該コンピュータは、該スムージングされたテストデータを受け取り、該スムージングされたテストデータ内の前記アウトライヤーを識別するように構成されている、請求項１に記載のテストシステム。
【請求項８】
コンピュータシステムを備えた半導体テストデータのためのデータ解析システムであって、
該コンピュータシステムは、
該半導体テストデータ内のアウトライヤーを識別するように構成された補助データ解析エレメントと、
該識別されたアウトライヤーを含む出力報告を生成するように構成された出力エレメントと
を動作させるように構成されている、データ解析システム。
【請求項９】
前記補助データ解析エレメントは、レシピファイル内の構成データのセットに関連して動作するように構成されている、請求項８に記載のデータ解析システム。
【請求項１０】
前記テストデータは、ウエハ上のコンポーネントのセクション群に対応する、請求項８に記載のデータ解析システム。
【請求項１１】
前記補助データ解析エレメントは、前記テストデータに対するアウトライヤー識別エレメントの感度を自動的に較正するように構成されている、請求項８に記載のデータ解析システム。
【請求項１２】
前記補助データ解析エレメントは、前記テストデータに相関するように構成されたデータ相関エレメントを含む、請求項８に記載のデータ解析システム。
【請求項１３】
前記補助データ解析エレメントは、ランタイムに、前記アウトライヤーを識別するように構成されている、請求項８に記載のデータ解析システム。
【請求項１４】
前記補助データ解析エレメントは、前記テストデータを受け取り、該テストデータをスムージングするように構成されたデータスムージングエレメントを備え、前記補助データ解析エレメントは、該スムージングされたテストデータ内の前記アウトライヤーを識別するように構成されている、請求項８に記載のデータ解析システム。
【請求項１５】
半導体をテストするための方法であって、
複数のコンポーネントについてのテストデータを生成することと、
コンピュータシステムを用いて、ランタイムに該テストデータ内のアウトライヤーを自動的に識別することと
を包含する、方法。
【請求項１６】
前記コンピュータシステムを用いて、レシピファイルから構成データを読み出すことをさらに包含し、
前記アウトライヤーを識別することは、該レシピファイル内の該構成データに従って該アウトライヤーを識別することを包含する、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記テストデータは、ウエハ上のコンポーネントのセクション群に対応する、請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
前記コンピュータシステムを用いて、前記テストデータ内の前記アウトライヤーを識別するための感度を較正することをさらに包含する、請求項１５に記載の方法。
【請求項１９】
前記コンピュータシステムを用いて、前記テストデータをスムージングすることをさらに包含する、請求項１５に記載の方法。
【請求項２０】
前記コンピュータシステムを用いて、前記テストデータ内の類似度を識別するように該テストデータを相関させることをさらに包含する、請求項１５に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
本実施形態において、データは、１つ以上の付加的なスムージングのフェーズを実行するかどうかを判定するために解析される。データは、任意の適切な判断基準に応じて解析され、補足のスムージングが適用され得るかどうかを判定する（ステップ８１２）。例えば、スムージングシステムは、複数の調節されたデータポイントと前述のデータに対する生データポイントとを比較し、かつ、実質的に全ての既に調整されたデータが、実質的に全ての対応する生データとの通常の関連（より小さい、より大きい、または、等しい等）を共有するかどうかに従って、比較結果を生成すること等によって、データのトレンドを分類することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
例えば、図６Ａ〜６Ｂを参照すると、シグネチャー解析プロセス６００は、最初に、テストデータの特定のセットおよび特定のセクションおよびテストに対応する制御制限のためにカウントを計算し得る（ステップ６０２）。次いで、シグネチャー解析プロセス６００は、適切なシグネチャー解析アルゴリズムをデータポイントに適用する（ステップ６０４）。シグネチャー解析が各所望のシグネチャーアルゴリズムに対して行われ、次いで、各テストおよび各セクションが解析される。シグネチャー解析、トレンド結果、およびにシグネチャー結果よって分類されたエラーも、格納される（ステップ６０６）。各シグネチャーアルゴリズム（ステップ６０８）、テスト（ステップ６１０）、およびセクション（ステップ６１２）に対するプロセスが繰り返される。完了時、補足データ解析エレメント２０６は、エラー（ステップ６１４）、傾向結果（ステップ６１６）、シグネチャー結果（ステップ６１８）、および格納システムにおける任意の他の所望のデータを記録する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
アウトライヤー分類エレメントは、コンポーネント１０６、出力テストデータ、および、任意の適切なアルゴリズムによる出力テストデータにおけるアウトライヤーである解析結果を分類および／または分類するように適切に構成される。アウトライヤー分類エレメントはまた、出力テスト結果および補足の解析エレメント２０６によって生成される情報に応じたコンポーネント１０６と選択されたアウトライヤーとを分類および分類し得る。例えば、アウトライヤー分類エレメントは、臨界の／最低限の／良い部分のカテゴリにコンポーネント１０６を分類するために適切に構成される。そのカテゴリは、例えば、ユーザ定義された判定基準；ユーザ定義された良い／悪い空間的なパターン認識；テスタデータ圧縮に対する適正なデータの分類；その場の感度能力（ｑｕａｌｉｆｉｃａｔｉｏｎｓ）および解析；テスタ収率（ｙｉｅｌｄ）標準化（ｌｅｖｅｌｉｎｇ）解析；動的ウエハマップおよび／または部分性質に対するテストストリップマッピングおよび動的再テスト；または、テストプログラム最適化解析である。アウトライヤー分類エレメントは、データを特徴付けるために、ウエスタンエレクトリックルール（Ｗｅｓｔｅｒｎ  Ｅｌｅｃｔｒｉｃ  ｒｕｌｅ）または、ネルソンルール（Ｎｅｌｓｏｎ  ｒｕｌｅ）などの従来のＳＰＣ制御ルールにしたがってデータを分類する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
セルコントローラレベルの補足的データ解析は、プローブの質の制御を向上させ、これにより最終テスト歩留まりを向上させる傾向がある。さらに、質の問題は、製品実行時にて分類され得、これより後には分類されない。さらに、補助データ解析および署名解析は、ダウンストリームおよびオフライン解析ツール、ならびにテスト技術者または他の人員に提供されたデータの質を、アウトライヤーを分類することによって向上させる傾向がある。例えば、コンピュータ１０８は、製造プロセスにおける不合格を示す署名解析を有する１群のコンポーネントを分類するウエハマップに関する情報を含み得る。従って、署名解析システムは、従来のテスト解析を用いて検出されなかった、潜在的な欠陥製品を分類し得る。