【事件の表示】
　特願２００４−１３９３３１「真空ポンプ」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年１１月１７日出願公開、特開２００５−３２０９０５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯　
　本願は、平成１６年５月１０日の特許出願であって、平成２２年１２月１４日付けで拒絶査定がなされ、平成２３年３月２日に拒絶査定不服審判の請求がなされると共に、同日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成２３年３月２日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　
【理　由】
（１）補正後の本願の発明
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、
「ポンプケース内で回転可能に支持されたロータの回転運動により、真空チャンバ内のガス分子を吸引して排気する真空ポンプであって、　　
　少なくともポンプの流路を構成する部品の表面に表面処理層が設けられ、
　前記表面処理層は、めっき処理を複数回に分けて成膜してなる二層以上のニッケル合金層から構成されており、　
　
前記二層以上のニッケル合金層のうち、最上層のニッケル合金層の成分は、最下層のニッケル合金層の成分より酸化されやすい成分であり、
　
前記
　前記ニッケル酸化物は、前記最上層のニッケル合金層の表面に酸化剤を反応させて酸化させることにより、前記最上層のニッケル合金層を構成するニッケル金属に生成されている　
ことを特徴とする真空ポンプ。」と補正された（以下、「本願補正発明」という。）。
　
（２）補正の内容
　本件補正は、本件補正前の請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「二層以上のニッケル合金層」に関し、「二層以上のニッケル合金層のうち、最上層のニッケル合金層の成分は、最下層のニッケル合金層の成分より酸化されやすい成分であり」と限定する補正（以下、「補正事項」という。）を含むものである。
　
（３）補正の目的の検討
（３−１）審査官による前置報告
　上記の補正事項に関し、審査官は前置報告書において、以下の点を記載している。
『出願人は審判請求書において、「以上のように、当初明細書の段落［００５５］には、最上層のニッケル合金層（上地ニッケル合金層４３２）では侵食（酸化）が起きる旨の記載があるので、最下層のニッケル合金層（下地ニッケル合金層４３１）と最上層のニッケル合金層（上地ニッケル合金層４３２）とではその成分が異なること、しかも、最上層のニッケル合金層（上地ニッケル合金層４３２）の方が酸化されやすいことは明確である。」と主張している。
　
　確かに出願当初明細書の５４段落には、下地ニッケル合金層と上地ニッケル合金層で成分が異なる構成は開示されている。
　そして、出願人が主張するように、ニッケル合金層全体がプロセスガス（実施例では塩素系、フッ素系、アルゴン、クリプトン、キセノン）に対する耐食性と、酸化剤（実施例では硝酸、シュウ酸、硫酸）に対する酸化反応を兼ね備えた構成であることは認められる。
　しかし、一種のニッケル合金層（例えば上地ニッケル合金層）自体の特性として当該耐食性と当該酸化反応を兼ね備えた特性であるとも解釈可能であり、ニッケル合金層全体が当該特性を有することと、下地ニッケル合金層と上地ニッケル合金層で成分が異なる構成であることだけをもって、「最上層のニッケル合金層の成分は、最下層のニッケル合金層の成分より酸化されやすい成分」であることまでが明示されていたとは認められない。
　
　したがって、平成２３年３月２日付手続補正書でした補正は、願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものでなく、特許法第１７条の２第３項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。』
　
（３−２）請求人の主張
　これに対し、請求人は、以下の主張を行っている。
　平成２３年１０月６日付けの回答書の第３頁第９行から同書の第４頁第５行において、『下地ニッケル合金層と上地ニッケル合金層で成分が異なる構成が出願当初明細書の段落［００５４］に開示されていることは原査定においても争いのないところである。　
　また、本願発明で用いる上地ニッケル合金層（最上層のニッケル合金層）は、表層にニッケル酸化物が生成されるので、酸化可能な成分からなることは、明らかである。　
　また、本願発明で用いる下地ニッケル合金層（最下層のニッケル合金層）は、段落［０００３］にも示されているように、耐食性を向上させるために設けたのであるから、耐食性を有する成分からなることも明らかである。　
　この点に関して、原査定において、審査官は、「一種のニッケル合金層（例えば上地ニッケル合金層）自体の特性として当該耐食性と当該酸化反応を兼ね備えた特性であるとも解釈可能であり、」と述べている。　
　しかし、「酸化」は、本願明細書の段落［００３３］にも記載されているように、例えば、ニッケルと酸化剤との反応において、ニッケルが酸素に電子を奪われる反応である。　
　また「腐食」は、本願明細書の段落［０００３］に記載されているように、例えば、アルミニウムと塩素ガスが反応して塩化アルミニウムが生じる現象であり、この場合、アルミニウムは、塩素に電子を奪われるので「酸化」されたともいえる。このことはアルミニウムをニッケルに代えても同様であり、ニッケルが「腐食」されるとは、ニッケルが電子を奪われて「酸化」されることになる。　　
　すなわち、耐食性を有する（腐食されにくい）とは、酸化されにくいということであり、この結果、「同一のニッケル合金層で耐食性と酸化反応を兼ね備えた特性を有するとも解釈可能である」とする審査官の主張は、同一のニッケル合金層で、酸化されにくいと、酸化されやすいとの相反する特性を有するとの主張に等しく、この主張には明らかな無理がある。　」と主張している。
　さらに、平成２３年１１月２８日付の請求人のファックスにおいて詳細に主張しているが、特に、第４頁第４２行から同頁第４５行において、『二層以上のニッケル合金層のうち、最上層のニッケル合金層の成分が、有効に酸化可能な成分からなり、最下層のニッケル合金層の成分が耐食性に優れた成分からなるとは、「二層以上のニッケル合金層のうち、最上層のニッケル合金層の成分は、最下層のニッケル合金層の成分より参加されやすい成分」からなることになります』と主張している。
　そして、平成２３年１２月１９日付のファックスの第２頁第６行から同頁第８行において、「この限定は、本願の出願当初の明細書（以下、当初明細書という）の段落【００３３】、【００５３】、【００５４】、【００５５】、図４の記載に基づくものであるが、当初明細書には、上記限定内容を直接示す記載はない。」と記載している。
　
（３−３）当審の判断
　請求人が出願当初の明細書の根拠箇所であると主張する【００３３】、【００５３】、【００５４】、【００５５】、図４には、以下の点が記載されている。
「【００３３】
　また、ニッケル合金層４３の表面には、酸化剤を反応させて表面のニッケルを強制的に酸化させたニッケル酸化物４４が生成されている。すなわち、無電解めっきでニッケル合金層４３の下地処理を施した部品を、硝酸やシュウ酸や硫酸などのように酸化剤の水溶液からなる薬液中に浸漬させるものとした。これにより、図３に示したように薬液とニッケル合金層４３との境界面において、薬液中の酸化剤の作用で強制的に激しい侵食反応が起こり、ニッケル合金層４３を構成しているニッケル結晶の表層から酸化が進み、やがてニッケル合金層４３の表面のほぼ全面にわたって黒色に近いニッケル酸化物４４が形成される。」
　
「【００５３】
　なお、このような耐食性と放熱性の双方に優れた表面処理層４２の他の形態として、図４に示した構造を採用することもできる。同図に示した表面処理層４２１が図２の表面処理層４２と異なる点は、ニッケル合金層４３を積層構造としたことである。この表面処理層４２１は、アルミニウム合金製の母材４１の上に、ニッケルをコーティングした下地ニッケル合金層４３１と、下地ニッケル合金層４３１の上に同じくニッケルをコーティングした上地ニッケル合金層４３２が設けられ、さらに上地ニッケル合金層４３２の表面にニッケルを酸化させたニッケル酸化物４４が形成された構造になっている。
【００５４】
　下地ニッケル合金層４３１と上地ニッケル合金層４３２の二層のニッケル合金層を形成するために、前述した無電解ニッケルめっきの工程を二度に分けて成膜している。積層構造は二層に限らず三層以上であっても良く、同種のニッケルによる二層ニッケルや三層ニッケルめっきだけでなく、ニッケルと異種金属との合金めっきを使用でき、これらを任意に組み合わせることも可能である。ニッケルと異種金属との合金の例としてはニッケル−りん合金やニッケル−ボロン合金が挙げられる。
【００５５】
　このように、ニッケル合金層４３を積層構造にする理由は次の二点にある。まず第一点は、最上層に位置する上地ニッケル合金層４３２にはその表面にニッケル酸化物４４が形成されるが、この形成過程において酸化剤でニッケル結晶が侵食され、ニッケルの膜厚が減少するので、その膜厚減少に伴う耐食性の低下を防ぐためである。そして第二点は、図５に示すように、最上層にある上地ニッケル合金層４３２に出現したピンホールｈを、それよりも下層にある下地ニッケル合金層４３２との境界面ｍで分断し、ピンホールｈが上地ニッケル合金層４３２表面から母材４１表面にまで貫通する確率を可能な限り低くするためである。このように、ニッケル合金層４３を積層構造にすることでピンホールｈを通じてアルミニウム合金製の母材４１に侵入する腐食性ガスを確実に遮断できるため、前述した実施形態の作用効果に加え、表面処理層４２に更なる高度な耐食性を持たせることができるという利点がある。」
　
　そして、図４の説明は、【００５３】ないし【００５５】に記載されている。
　
　上記の各記載中の、ニッケル合金層の成分については、以下の点が記載されている。
【００３３】には、「ニッケル合金層４３の表面には、酸化剤を反応させて表面のニッケルを強制的に酸化させたニッケル酸化物４４が生成されている。」と記載され、
　
【００５３】には、「ニッケル合金層４３を積層構造としたことである。この表面処理層４２１は、アルミニウム合金製の母材４１の上に、ニッケルをコーティングした下地ニッケル合金層４３１と、下地ニッケル合金層４３１の上に同じくニッケルをコーティングした上地ニッケル合金層４３２が設けられ、さらに上地ニッケル合金層４３２の表面にニッケルを酸化させたニッケル酸化物４４が形成された構造になっている。」と記載され、さらに、
【００５４】には、「同種のニッケルによる二層ニッケルや三層ニッケルめっきだけでなく、ニッケルと異種金属との合金めっきを使用でき、これらを任意に組み合わせることも可能である。ニッケルと異種金属との合金の例としてはニッケル−りん合金やニッケル−ボロン合金が挙げられる。」と記載されている。
　
　特に、【００５４】の、「同種のニッケルによる二層ニッケルや三層ニッケルめっきだけでなく、ニッケルと異種金属との合金めっきを使用でき、これらを任意に組み合わせることも可能である。ニッケルと異種金属との合金の例としてはニッケル−りん合金やニッケル−ボロン合金が挙げられる。」なる記載からみて、ニッケル合金層の成分として、「ニッケルめっきだけでなく、ニッケルと異種金属との合金めっきを使用でき、これらを任意に組み合わせることも可能である」と記載されているように、「任意に組み合わせる」ことからみて、ニッケル合金層の成分が上の層と下の層とで異なることは記載されていると解されるが、あくまで、「任意に組み合わせる」のであり、「酸化のされやすさ」に応じて組み合わせることを意味する記載ではない。さらに、請求人が根拠であると主張する上記の【００３３】、【００５３】、【００５４】、【００５５】、図４を精査しても、「酸化のされやすさ」に応じて組み合わせることは記載されていないし、示唆する記載もないといえる。
　一方、出願当初の明細書の【０００３】には、「ニッケル合金等の耐食性に優れた金属」と記載されており、同書の【００１６】には、「ニッケルを強制的に酸化・・・ニッケルは酸化しにくい金属である」と記載されているように、ニッケルは耐食性に優れるが、酸化されにくいことから、強い酸で強制的に酸化することを想定していることが出願当初の明細書には記載されている。そして、強い酸で酸化する場合のピンホールによる問題、ニッケル合金メッキが浸食されてしまう問題を解消するために２層とすることが出願当初の明細書の【００１９】、及び、【００３０】等に記載されているといえる。してみると、少なくとも、最上層のニッケル合金層の成分が、有効に酸化可能な成分からなるとの請求人の主張する点が出願当初の明細書には記載されているとはいえない。
　
　以上のとおりであるので、発明を特定するために必要な事項である「二層以上のニッケル合金層」に関し、「二層以上のニッケル合金層のうち、最上層のニッケル合金層の成分は、最下層のニッケル合金層の成分より酸化されやすい成分であり」と特定することが、当業者に自明であるとも、当初明細書等に記載されていたに等しい事項であるともいえず、さらに、当初明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入しないものであるともいえない。
　
　したがって、上記補正事項を含む本件補正は、当初明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものとは認められない。
　よって、本件補正は、特許法第１７条の２第３項の規定に適合しないものである。
　
（４）むすび
　以上のとおりであるから、本件補正は、特許法第１７条の２第３項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下を免れない。
　
３．本願発明について
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成２２年７月９日付け手続補正書により補正された明細書、特許請求の範囲、及び、図面によれば、特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される以下のとおりのものと認められる。
「ポンプケース内で回転可能に支持されたロータの回転運動により、真空チャンバ内のガス分子を吸引して排気する真空ポンプであって、　
　少なくともポンプの流路を構成する部品の表面に表面処理層が設けられ、
　前記表面処理層は、めっき処理を複数回に分けて成膜してなる二層以上のニッケル合金層から構成されており、　
　少なくとも一つのニッケル合金層の成分が他のニッケル合金層の成分と異なり、　
　最上層のニッケル合金層の表層にニッケル酸化物が生成されており、　
　前記ニッケル酸化物は、前記最上層のニッケル合金層の表面に酸化剤を反応させて酸化させることにより、前記最上層のニッケル合金層を構成するニッケル金属に生成されている　
ことを特徴とする真空ポンプ。」
　
（１）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された特開２０００−２０５１８１号公報（以下、「引用例」という。）には、図面と共に以下の事項が記載されている。
　
・「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造等の薄膜工業分野等に広く利用されている工業用真空装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造装置等の成膜反応室（チャンバ）内の排気を行うのに各種の分子ポンプが利用されており、分子ポンプとして、ターボ分子ポンプ、ねじ溝分子ポンプ、及びこれらが複合した複合分子ポンプ等が知られている。いずれも主要な構成は共通であり、即ち、一端部に吸気口を有し他端部に排気口を有するケーシングと、ケーシング内部に固設されるステータと、同ケーシング内部で高速回転可能に構成されるロータとからなり、該ロータの高速回転によりポンプ作用を営み、吸気口に接続される成膜反応室内の排気を行う。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年よく用いられるＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｖａｐｏｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）やＲＩＥ（反応性イオンエッチング装置）の工程にはＨＦ、ＨＣｌ等の腐食性の強いプロセスガスが用いられ、またＡｌＣｌ３等の腐食性の反応生成物が真空ポンプ内にも吸引されポンプ内を急激に腐食してしまうという深刻な問題が生じるようになってきた。特に、真空ポンプのロータは、その軽量化と加工性及び比強度の優位性の見地からアルミニウム合金がその素材として用いられることが多いため、腐食はより深刻な問題であった。
【０００４】構成部品の腐食を阻止するために、従来からＮｉメッキ等様々な工夫もなされてきた。また、分子ポンプの別の重要課題であるところのロータ等の温度上昇を抑制するための熱放散性と耐腐食性の双方を実現するものとしてセラミックコーティングを施すものも見られた。例えば、アルミニウム合金の表面のアルマイト処理や電析処理等である。しかし、こうした処理表面には必ず細孔が形成されており、腐食性のＣｌイオン等はこのメッキ表面の細孔から侵入し、アルミニウム素地を腐食してしまう可能性があった。また、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等のフッ素樹脂でコーティングを施した場合は、処理表面からの放出ガスが多く、真空ポンプの表面処理法としては適したものとは言えなかった。
【０００５】本発明は、これらの問題点を解決し、ロータ等の真空ポンプの構成部品に対し、熱放散性、耐腐食性を向上させ、且つターボ分子ポンプのロータ等の様な複雑な形状の部品にも処理が可能な被膜を施した真空ポンプを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため、本発明に係る真空ポンプは、一方の端部に吸気口を有すると共に他方の端部に排気口を有するケーシングと、該ケーシング内に固設されるステータと、同ケーシング内に回転可能に構成されるロータとを備え、該ロータの回転によりポンプ作用を営む真空ポンプであって、少なくともロータには、ロータの基材表面に直接被覆される金属メッキ層と、該金属メッキ層の上に更設される、セラミックス粒子を分散含有するセラミックス分散金属メッキ層との少なくとも２層以上からなる被膜処理を施し、且つ該セラミックス分散金属メッキ層の膜厚が、分散されるセラミックス粒子の平均粒子径Ｘに対して約０．９〜２．０Ｘとなるようにしたことを特徴としている。
【０００７】金属メッキ層としては例えばＮｉ−Ｐ等の耐食性の高いＮｉ系金属メッキ層が望ましい。また、金属メッキ層に分散させるセラミックス粒子としては、例えばＡｌ２Ｏ３などの酸化物セラミックスやＡｌＮなどの窒化物セラミックス、ＳｉＣなどの炭化物セラミックス、或いはこれらの混合物などが使用される。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る真空ポンプの一実施例を図を用いて説明する。
【０００９】図１は本発明をターボ分子ポンプに採用した一実施例である。図はターボ分子ポンプＡの内部構造を示したものであり、ステータ２と、筒状のケーシング１０と、このケーシング１０を支持するベースフレーム１１と、ケーシング１０内にあってベースフレーム１１に固設されたモータハウジング１２と、このモータハウジング１２とベースフレーム１１とにそれぞれ配設され対をなす軸受１３により両軸端部近傍を支承されたシャフト１４と、このシャフト１４に一体回転可能に固着され内周にモータハウジング１２を収容してなるロータ１とを具備してなる。
【００１０】ロータ１は、ロータ本体１６と、このロータ本体１６の外周面から突設した複数のロータ翼１５とを具備するものである。また、ステータ２は複数の積層可能な円環状の分割体２１とその内周面から突設した複数のステータ翼２２とを具備するものである。そしてこのロータ翼１５とステータ翼２２とは交互に配置されており、吸気口１７から吸い込んだ気体をロータ１５とステータ翼２２との相互作用によって図の下方向へ送り飛ばし、ベースフレーム１１に設けた排気口１８から強制排気し得るように構成している。
【００１１】かかる構成のターボ分子ポンプＡにおいて、本実施例のロータ１およびステータ２は、図２にその一部断面を模式的に示すように、アルミニウム合金製の基材３の表面を金属メッキ層４で被覆している。本実施例では、この金属メッキ層４を、アルミニウム合金よりも耐腐食性、熱放射性に優れたＮｉ、或いはＮｉ−Ｐで構成している。Ｃｒ系金属の使用も可能であるが、耐食性の面でＮｉ系の方が優れている。また、メッキ方法としては電解メッキ、無電解メッキのいずれでも構わないが、膜の均一性面で無電解メッキが望ましい。膜厚は耐食性、熱放射性の効果を発揮できる３〜２０μｍの任意の膜厚としている。
【００１２】そして、さらにこの金属メッキ層４の表面に、金属４１中にセラミックス粒子４２を分散させたセラミックス分散金属メッキ層４０を被覆させている。本実施例では、分散メッキ層４０を構成する金属４１をＮｉ或いはＮｉ−Ｐで構成している。これらの材質は前述したように耐腐食性、熱放射性に優れ、また金属メッキ層４を良好に被覆し剥離し難いという利点がある。また、分散させるセラミックス粒子４２としては例えばＡｌ２Ｏ３を用いている。Ａｌ２Ｏ３などの酸化物セラミックスの他にもＡｌＮなどの窒化物セラミックス、ＳｉＣなどの炭化物セラミックス、或いはこれらの混合物などが利用できるが、Ａｌ２Ｏ３は耐食性が高く、ＣＶＤ等に用いられるＨＦ、ＨＣｌ等の腐食ガスに侵されない上、熱放射性にも優れているので最も望ましい材質と言える。
【００１３】
【実施例】次に本発明に係る真空ポンプのロータへの被膜処理について詳述する。
【００１４】先ず、アルミニウム合金製のロータをアルカリで脱脂洗浄した後、フッ硝酸で酸洗浄する。この酸洗浄によりメッキ膜の密着性をより良好なものとすることができる。その後、ロータを亜鉛置換処理し、公知の手法により膜厚１０μｍの無電解Ｎｉ−Ｐメッキ処理を行った。さらにロータに活性処理を行い、Ａｌ２Ｏ３粒子を分散含有する分散Ｎｉ−Ｐメッキを行った。この際、メッキ液は常時攪拌し、Ａｌ２Ｏ３粒子の沈殿と不均一を防止する。Ａｌ２Ｏ３粒子には４．７μｍのものを用いたため、分散メッキの膜厚を５μｍとした。その後、ロータを水洗し、ブロアで乾燥させ、目的とする２層被膜を得た。ステータ等、ロータ以外の部材に処理する場合も同様の処理を行う。
【００１５】このような被覆処理により得られたメッキ層は図３に示す構成となっている。アルミニウム合金製のロータ基材３の表面にＮｉ−Ｐメッキ層４が形成され、さらにその表面に金属４１中にセラミックス粒子４２を分散させたセラミックス分散金属メッキ層４０が形成されている。本願発明者らは鋭意研究の結果、このときのセラミックス粒子４２の平均粒子径Ｘと分散メッキ層４０の膜厚との最適な関係を導き出すに至った。即ち、分散金属メッキ層４０の膜厚を、その中に分散させるセラミックス粒子４２の平均粒子径Ｘに対して約０．９〜２．０Ｘとなるように調整すれば良好な被膜性能を発揮できることを次の試験データから解明した。」
　
・「【００１９】以上の実験結果から、セラミックス分散金属メッキ層40の膜厚Yを分散粒子の平均粒子径Xに対して約0.9〜2.0Xとなる範囲が最も良好な熱放射率を得られることが判明した。膜厚Yがこの範囲以下になると、分散しているセラミックス粒子が脱離しやすく、また、排気初期の空気摩擦によるロータ、ステータ等の過熱が生じやすくなってしまう。逆に、膜厚Yがこの範囲以上になると、セラミックス粒子の高い熱放射性や耐食性を有効に活かせきれず、その被覆効果が十分発揮できない。」
　
・「【００２４】金属メッキ層４もＮｉ、Ｎｉ−Ｐ、或いはＣｒ系金属等、任意の選択が可能である。また、メッキ方法も無電解メッキに限らず、電解メッキ等、他のメッキ処理方法を採用しても構わない。
【００２５】分散メッキ層４０中に分散させるセラミックス粒子４２の種類もＡｌ２Ｏ３に限らず、Ａｌ２Ｏ３などの酸化物セラミックスの他にもＡｌＮなどの窒化物セラミックス、ＳｉＣなどの炭化物セラミックス、或いはこれらの混合物などが任意に選択され、利用可能である。分散メッキの母材となる金属４１もＮｉに限定されるものではなく、金属メッキ層４同様種々の選択が可能であるが、金属メッキ層４と金属４１とに同じ金属種を選択することにより、両層の密着性が良く熱膨張等でも剥離し難い重層が得られる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る真空ポンプによれば、ポンプの基材表面を耐食性に優れた金属メッキ層及びセラミックス分散金属メッキ層との少なくとも２層以上からなる被膜処理を施すようにしたので、ＨＦ、ＨＣｌ等の腐食性の強いプロセスガスの真空引きにも十分使用可能なものとすることができた。
【００２７】更に、セラミックス分散金属メッキ層の膜厚を分散されるセラミックス粒子径の平均粒子径Ｘに対して約０．９〜２．０Ｘとなるように構成したことにより、セラミックス粒子がＮｉやＮｉ−Ｐメッキ表面に形成される細孔を塞ぎ、細孔から基材に向けて進行する侵食がポンプ基材にまで到達することを防止し、耐食性金属と共働して高い耐食性を発揮することができる。また、セラミックス自身の高い熱放射性を有効に発揮させると同時に該セラミックス粒子が被膜表面から欠落することなく良好に保持することができる。」
　
・図１には、シャフト１４と一体回転するロータ翼１５とステータ翼２２とをケーシング１０内に共に設ける点が示されている。また、図２には、アルミニウム合金製のロータ基材３の表面に下層であるＮｉ−Ｐメッキ層４が形成され、さらにその表面の最上層に金属４１中にセラミックス粒子（Ａｌ２Ｏ３）４２を分散させた分散Ｎｉ−Ｐメッキ層４０が形成されている態様が示されている。　
　
　これらの記載事項及び図示内容を総合すると、引用例には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
「吸気口１７から吸い込んだ気体を、ケーシング１０内に共に設けられた、シャフト１４と一体回転するロータ翼１５とステータ翼２２との相互作用によって送り飛ばし、ベースフレーム１１に設けた排気口１８から強制排気する真空ポンプであって、
　ロータ翼１５とステータ翼２２の表面にアルミニウム合金よりも耐食性、熱放射性に優れた２層被膜が設けられ、
　前記２層被膜は、Ｎｉ−Ｐを含むめっき処理を２回に分けて成膜してなる２層被膜から構成されており、
　無電解Ｎｉ−Ｐメッキ層４と、耐食性と熱放射性に優れたＡｌ２Ｏ３粒子を分散含有する分散Ｎｉ−Ｐメッキ層４０とからなり、
最上層にＡｌ２Ｏ３粒子を分散含有する分散Ｎｉ−Ｐメッキが被膜処理されており、
前記Ａｌ２Ｏ３粒子を分散含有する分散Ｎｉ−Ｐメッキ層４０は、無電解Ｎｉ−Ｐメッキ処理を行って下層である無電解Ｎｉ−Ｐメッキ層４を生成し、さらにロータに活性処理を行い、Ａｌ２Ｏ３粒子を分散含有する最上層の分散Ｎｉ−Ｐメッキを行って被膜処理されている
真空ポンプ。」
　
（２）対比
　そこで、本願発明と引用発明とを対比する。
　
　ここで、本願発明の「ニッケル酸化物は、最上層のニッケル合金層の表面に酸化剤を反応させて酸化させることにより、前記最上層のニッケル合金層を構成するニッケル金属に生成されている」との特定は、「真空ポンプ」という装置の発明において、ニッケル合金層の生成方法を特定しているものといえ、特に、「最上層のニッケル合金層の表面に酸化剤を反応させて」、「前記最上層のニッケル合金層を構成」との記載は、「最上層のニッケル合金層の表面に酸化剤を反応させて」、ニッケル酸化物が「最上層のニッケル合金層」の表層に構成されていることを実質的に特定しているものと解することが自然であるといえる。
　以下の検討では、この点を踏まえて検討する。
　
（ア）後者の「吸気口１７から吸い込んだ気体を、ケーシング１０内に共に設けられた、シャフト１４と一体回転するロータ翼１５とステータ翼２２との相互作用によって送り飛ばし、ベースフレーム１１に設けた排気口１８から強制排気する真空ポンプ」が前者の「ポンプケース内で回転可能に支持されたロータの回転運動により、真空チャンバ内のガス分子を吸引して排気する真空ポンプ」に相当する。
　
（イ）後者の「ロータ翼１５とステータ翼２２」が前者の「少なくともポンプの流路を構成する部品」に相当し、同様に、
「アルミニウム合金よりも耐食性、熱放射性に優れた２層被膜」が「表面処理層」に相当する。
　
（ウ）本願の出願当初の明細書の【００５３】には、「このような耐食性と放熱性の双方に優れた表面処理層４２の他の形態として、図４に示した構造を採用することもできる。同図に示した表面処理層４２１が図２の表面処理層４２と異なる点は、ニッケル合金層４３を積層構造としたことである。この表面処理層４２１は、アルミニウム合金製の母材４１の上に、ニッケルをコーティングした下地ニッケル合金層４３１と、下地ニッケル合金層４３１の上に同じくニッケルをコーティングした上地ニッケル合金層４３２が設けられ、さらに上地ニッケル合金層４３２の表面にニッケルを酸化させたニッケル酸化物４４が形成された構造になっている」と記載され、同書の【００５４】の「下地ニッケル合金層４３１と上地ニッケル合金層４３２の二層のニッケル合金層を形成するために、前述した無電解ニッケルめっきの工程を二度に分けて成膜している。積層構造は二層に限らず三層以上であっても良く、同種のニッケルによる二層ニッケルや三層ニッケルめっきだけでなく、ニッケルと異種金属との合金めっきを使用でき、これらを任意に組み合わせることも可能である。ニッケルと異種金属との合金の例としてはニッケル−りん合金やニッケル−ボロン合金が挙げられる」からみて、後者の「Ｎｉ−Ｐを含むめっき処理を２回に分けて成膜してなる２層被膜」が前者の「めっき処理を複数回に分けて成膜してなる二層以上のニッケル合金層」に相当することは明らかであることから、
後者の「２層被膜は、Ｎｉ−Ｐを含むめっき処理を２回に分けて成膜してなる２層被膜から構成され」る態様が前者の「表面処理層は、めっき処理を複数回に分けて成膜してなる二層以上のニッケル合金層から構成され」る態様に相当する。
　
（エ）後者の「無電解Ｎｉ−Ｐメッキ層４と、耐食性と熱放射性に優れたＡｌ２Ｏ３粒子を分散含有する分散Ｎｉ−Ｐメッキ層４０」は、層の成分に「熱放射性に優れたＡｌ２Ｏ３粒子を分散含有する」点において、前者と同様に、「少なくとも一つのニッケル合金層の成分が他のニッケル合金層の成分と異な」っているといえる。
後者の「Ａｌ２Ｏ３粒子」は、酸化物セラミックス、あるいは酸化アルミニウムとも呼ばれるように、酸化物であることは明らかであり（必要があれば、特開２００４−６７７０号公報の【請求項１０】を参照されたい。）、引用例の【００１２】に、「Ａｌ２Ｏ３などの酸化物セラミックスの他にもＡｌＮなどの窒化物セラミックス、ＳｉＣなどの炭化物セラミックス、或いはこれらの混合物などが利用できるが、Ａｌ２Ｏ３は耐食性が高く、ＣＶＤ等に用いられるＨＦ、ＨＣｌ等の腐食ガスに侵されない上、熱放射性にも優れているので最も望ましい材質と言える」と記載されているように、熱放射性に優れていることが技術常識であることから、
後者の「無電解Ｎｉ−Ｐメッキ層４と、Ａｌ２Ｏ３粒子を分散含有する分散Ｎｉ−Ｐメッキ層４０とからなり」が前者の「少なくとも一つのニッケル合金層の成分が他のニッケル合金層の成分と異なり」に相当し、後者の「無電解Ｎｉ−Ｐメッキ層４と、耐食性と熱放射性に優れたＡｌ２Ｏ３粒子を分散含有する分散Ｎｉ−Ｐメッキ層４０とからなり、最上層にＡｌ２Ｏ３粒子を分散含有する分散Ｎｉ−Ｐメッキが被膜処理されており、Ａｌ２Ｏ３粒子を分散含有する分散Ｎｉ−Ｐメッキ層４０は、無電解Ｎｉ−Ｐメッキ処理を行って下層である無電解Ｎｉ−Ｐメッキ層４を生成し、さらにロータに活性処理を行い、Ａｌ２Ｏ３粒子を分散含有する最上層の分散Ｎｉ−Ｐメッキを行って被膜処理されている」態様と、
前者の「少なくとも一つのニッケル合金層の成分が他のニッケル合金層の成分と異なり、最上層のニッケル合金層の表層にニッケル酸化物が生成されており、前記ニッケル酸化物は、前記最上層のニッケル合金層の表面に酸化剤を反応させて酸化させることにより、前記最上層のニッケル合金層を構成するニッケル金属に生成されている」態様とは、
「少なくとも一つのニッケル合金層の成分が他のニッケル合金層の成分と異なり、最上層のニッケル合金層に耐食性と熱放射性に優れた酸化物が含まれている」との概念で共通する。
　
　したがって、両者は、
「ポンプケース内で回転可能に支持されたロータの回転運動により、真空チャンバ内のガス分子を吸引して排気する真空ポンプであって、
　少なくともポンプの流路を構成する部品の表面に表面処理層が設けられ、
　前記表面処理層は、めっき処理を複数回に分けて成膜してなる二層以上のニッケル合金層から構成されており、
　少なくとも一つのニッケル合金層の成分が他のニッケル合金層の成分と異なり、
　最上層のニッケル合金層に耐食性と熱放射性に優れた酸化物が含まれている、
真空ポンプ。」
の点で一致し、以下の点で相違している。
　
［相違点］
　熱放射性に優れた酸化物を最上層のニッケル合金層に生成する手段に関し、本願発明では「最上層のニッケル合金層の表面に酸化剤を反応させて酸化させることにより」、最上層のニッケル合金層「の表層にニッケル酸化物」が生成されるのに対し、引用発明では、最上層にＡｌ２Ｏ３粒子を分散含有する分散Ｎｉ−Ｐメッキが被膜処理されており、「最上層のニッケル合金層の表面に酸化剤を反応させて酸化させることにより」、最上層のニッケル合金層「の表層にニッケル酸化物」が生成されるものではない点。
　
（３）判断
　上記［相違点］について以下検討する。
　本願発明において、最上層のニッケル合金層の表面に酸化剤を反応させて酸化させることにより、最上層のニッケル合金層の表層にニッケル酸化物が生成されていることによる技術的な意義は出願当初の明細書の【０００８】の「ここで放射率とは、ある物体における熱放射の輝度と同温度の黒体における熱放射の輝度との比率、換言すれば最も放射熱量が大きい黒体に対する物体の放射熱量の割合について黒体を１として表わしたものであり、物体が黒色に近づくほど放射率が高くなり、その表面から放射される熱量が増加する。つまり、腐食性ガスに対する耐食性を向上させるためにアルミニウム合金製のロータに例えばニッケル合金めっきを施すと、ロータ表面から放射される熱量が少なくなって固定側への輻射伝達が行われにくくなり、回転体を効率良く冷却することができなくなるという不具合が生じる。」なる記載、及び、【００１６】の「ニッケル酸化物の生成方法としては、部品の表面に前述のめっき処理を施した後に、その表面に酸化剤を反応させてニッケル合金層の表面のニッケルを強制的に酸化させるものとする。すなわち、ニッケルは酸化しにくい金属であるから、熱放射性を有効に発揮させる程度に酸化させるためには、酸化剤を利用して酸化反応を促進させる必要がある。例えば、無電解ニッケルめっきを施した部品を硝酸やシュウ酸や硫酸などの薬液中に浸漬すれば良く、これによりニッケル合金層と薬液との境界面で酸化剤による侵食反応が強制的に進行し、ニッケル合金層を構成するニッケル結晶の一部が酸化して、その結果黒色に近いニッケル酸化物が析出される。」なる記載からみて、最上層のニッケル合金層の表層を黒色に近いものとして、放射熱量を大きくするものと解することができる。その際、最上層のニッケル合金層の表層を黒色に近いものとする手段として、最上層のニッケル合金層の表面に酸化剤を反応させて酸化させるものであるが、最上層のニッケル合金層の表層を黒色に近いものとする手段を最上層のニッケル合金層の表面に酸化剤を反応させて酸化させる手段に特定したことによる作用効果は出願当初の明細書には記載されていない。
　これに対し、審査官は、平成２２年５月１０日付けの拒絶理由において、「真空ポンプにおいて部材表面を黒色とする技術思想は周知であり（必要であれば引用文献３（特開２００１−１９３６８６号公報）参照。）、ニッケルメッキを黒色とする手段として酸化処理をする技術も、例えば引用文献４（特開平３−６８７８５号公報）、５（特開２００３−１４７５４９号公報）に示されたように周知であるので、引用文献１に示されたニッケル合金層を酸化処理することは、当業者にとって容易に想到できたものである。」と記載している。
　上記の特開２００１−１９３６８６号公報の【０００８】には、「本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、放熱性に優れた黒ニッケルメッキ（「ニッケル合金層」を「黒色に近いもの」とする点に相当）、黒クロムメッキの耐食性を向上させて、真空ポンプの基材表面に、耐食性及び放熱性（「放射熱量を大きくする」に相当）に優れたコーティング層（「最上層」の「表層」に相当）を形成した真空ポンプを提供することを目的とする。」と記載されているように、最上層のニッケル合金層の表層を黒色に近いものとして、放射熱量を大きくする点は周知の技術にすぎない。
　さらに、上記の特開平３−６８７８５号公報の第３頁右上欄第１行から同頁同欄第１７行には、「上記無電解めっきは、通常の条件下に行なわれる。例えば、６５〜８０℃程度の温度下に行なわれ、１５分〜８時間程度で終了する。これにより、膜厚３〜３０μｍ程度のニッケル−リン合金めっき皮膜が形成される。この様にして形成されるニッケル−リン合金めっき皮膜を、第２鉄塩を含有する酸性溶液にて酸化処理する（「酸化剤を反応させて酸化させる」に相当）ことにより、本発明の黒色皮膜（「最上層のニッケル合金層の表層を黒色に近いものとする」に相当）が得られる。第２鉄塩を含有する酸性溶液としては、適当な酸で酸性化した溶液に第２鉄塩を添加したものが使用できる。第２鉄塩溶液が酸性であれば、そのまま使用できる。また第２鉄塩溶液が中性又はアルカリ性の場合には、酸性にするために酸を加えればよい。核酸としてはいかなる酸でもよく、例えば、塩酸、硫酸、硝酸などの鉱酸、カルボン酸、スルホン酸などの有機酸を挙げることができる。」と記載されており、上記の特開２００３−１４７５４９号公報の【００１０】には、「従来技術の抱える上記問題点を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、一般的に耐熱性と経時安定性に優れる金属ニッケルおよびその表面に形成されたニッケル酸化物（「最上層のニッケル合金層の表層を黒色に近いものとする」に相当。なお、ニッケル酸化物が黒色である点は技術常識であるといえる。）に注目し、それらに第３の元素を導入することにより樹脂との接着性にきわめて優れる新たなニッケル系表面処理皮膜を発明するに至った。」と記載され、さらに、【００３０】には、「対象素材に所定のニッケルめっき層を形成した後に、表面に柱状組織層を形成させる。それには、適当な酸化剤を含有した酸に接触させて処理する（「酸化剤を反応させて酸化させる」に相当）のが効果的である。具体的には、リン酸、硫酸、または塩酸をベースとして、これに硝酸、過マンガン酸、第二鉄イオンまたは過酸化水素などの酸化剤を必要量添加すればよい。」と記載されているように、最上層のニッケル合金層の表層を黒色に近いものとする手段として、最上層のニッケル合金層の表面に酸化剤を反応させて酸化させる点は常套手段にすぎない。
　そうすると、「熱放射性に優れたＡｌ２Ｏ３粒子を分散含有する分散Ｎｉ−Ｐメッキ」を最上層に設けたものである引用発明において、さらに熱放射性を向上させることは当業者が当然に考える課題である。そして、その際、ニッケル合金層の素材の中から熱放射性が向上できる素材を選択することを種々試行するものであるが、上記のように、最上層のニッケル合金層の表層を黒色に近いものとして、放射熱量を大きくする点は周知の技術であることから、引用発明の最上層を黒色に近いものとして、放射熱量を大きくすることが当業者にとって容易に想到するものであると認められる。
　また、平成２２年７月９日付けの意見書の第２頁において「ア」ないし（エ）において主張する点は、「ア」、「イ」、及び、「エ」の「耐食性」、「放熱性」、及び、「密着強度」は、引用例の【００１２】に、「耐腐食性」、「熱放射性」、及び、「剥離しがたい」なる用語で記載され、「ウ」の「ピンホール」については、引用例の【００２７】に記載されているようにそれぞれ引用例に引用発明も有する効果として記載されていることから、ニッケル酸化膜をどのような手段で生成するのかは、周知の手段であれば、どの手段を選択するのかは任意であるといえる。そして、最上層のニッケル合金層の表層を黒色に近いものとする手段として、最上層のニッケル合金層の表面に酸化剤を反応させて酸化させる点は常套手段にすぎないことから、最上層のニッケル合金層の表層を黒色に近いものとするための手段として、最上層のニッケル合金層の表面に酸化剤を反応させて酸化させた点は、設計事項にすぎないものと認められる。
　現に、平成２３年１０月１４日付けで当審より請求人に送付したファックスに示した特開２００３−３４２７５２号公報の【０００２】には、「プロセスの真空下、減圧下で使用する機材表面、例えば配管、ポンプインペラ・ロータ、バルブ類、プロセスチャンバなどの接液・接ガス部の表面はプロセス中のこれら腐食性物質のため、およびプロセスの中断若しくは終了時における大気開放時の空気中の水分による腐食促進効果にも助長されて、著しい腐食雰囲気下に曝される。」とあるように「ポンプの流路を構成する部品の表面に表面処理層が設けられ」る点が記載され、【００３０】に「最外層にＮｉＯｘとして成膜し」とあるようにニッケル酸化物を最上層に設ける点が記載され、これにより、【００１２】に記載されているように、「最外層であるニッケルあるいはニッケル酸化物層は、特に説明の必要のない周知の材質であるが、本発明の目的である耐熱耐蝕を同時に適えられる最外層成分として重要な選択である。」と記載されているように、ニッケル酸化物層が耐食性と放熱性とを兼ね備えた材料であることが周知である点が記載されている。さらに、【００２５】には、「（実施例２）図２は本発明の実施例２における真空用耐熱耐蝕コーティング部材の断面図である。本例では基材１の表面に予め０．１〜１０００μｍの凹凸を付けておき、該凹凸面にミキシング層２を実施例１と同様な方法で形成し、更にその外側に薄膜３としてアモルファスカーボン膜を成膜する。基材面の凹凸付与は、サンドブラスト、エッチング、蒸着、レーザーアブレーション、熱処理、酸化など、通常の方法で行うことができる。本例によりカーボン膜の放射率をより高めることが可能である。」と記載されているように、本願発明の構成には特定されていないが、本願の図３に示されるような浸食を酸化と同時に行う点、及び、「真空用耐熱耐蝕コーティング部材」に凹凸面を形成するために「酸化」させる点が記載されており、引用発明において、上記の常套手段を踏まえて、上記の周知の技術を適用することが困難であるとは認められない。
　そうすると、引用発明において、上記の常套手段を踏まえて、上記の周知の技術を適用することにより、相違点に係る本願発明の構成とすることも任意であり、また、そのために格別の技術的困難性が伴うものとも認められない。
　
　なお、審査官は、平成２２年７月９日付けの手続補正書を却下していないが、平成２１年１１月１３日付けの手続補正書に記載された請求項１と平成２２年７月９日付けの手続補正書に記載された請求項１とを比較すると、後者においては「最上層のニッケル合金層の表面に酸化剤を反応させて酸化させる」点を特定している点で実質的に相違するのみであり、この点は本願発明の特徴点であることが明らかであるので、審査官が却下しなくても請求人に不利益があるとは認められない。現に、請求人が平成２３年１０月６日付けの回答書の第５頁以降、及び平成２３年１２月１９日付けのファックスにより提示している補正案においても、上記の点は構成として特定していることと整合するものである。（なお、審査官の査定が維持されるかぎりにおいては、再度の拒絶理由を通知しないことは、当審からの平成２３年１１月１４日付けのファックスの第１頁に記載したとおりです。）
　
　そして、本願発明の全体構成により奏される作用効果も引用発明、上記周知の技術、上記技術常識、及び、上記常套手段から当業者が予測し得る範囲内のものにすぎない。　
　
　よって、本願発明は、引用発明、上記周知の技術、上記技術常識、及び、上記常套手段に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（４）むすび
　
　以上のとおりであるから、本願発明は特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。　
　よって、結論のとおり審決する。