【手続補正書】
【提出日】平成18年6月15日(2006.6.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  少なくとも１種類の成分を回収し、新しいスラリーの製造に再使用しうるように、シリコンインゴットからシリコンウエハをスライスするのに使用した砥粒成分および潤滑液成分を含んで成る使用済スラリーを処理する方法であって、該方法が、
使用済スラリーを加熱して粘度を減少し；
該加熱スラリーを液体部分および固体部分に分離し、液体部分が潤滑成分を含み；および
分離した液体部分を収集し、該液体部分が、さらに分離することなく、新しいスラリーの製造に再使用しうる；
ことを含んで成る方法。
【請求項２】  使用済スラリーを加熱して、粘度を約５５ｃｐｓ〜約１５０ｃｐｓに減少する請求項１に記載の方法。
【請求項３】  潤滑液成分がポリエチレングリコールである請求項１に記載の方法。
【請求項４】  加熱スラリーを、濾過によって液体部分および固体部分に分離する請求項１に記載の方法。
【請求項５】  固体部分に水を添加して固体／液体混合物を形成し、該固体部分がシリコン粒子および砥粒成分を含み、該砥粒成分がさらに消耗砥粒成分部分および非消耗砥粒成分部分を含む請求項１に記載の方法。
【請求項６】  固体部分に水を添加して、約２０〜約３０ｇ／Ｌの合計固形分を有する固体／液体混合物を形成する請求項５に記載の方法。
【請求項７】  固体／液体混合物を廃棄物および循環物に分離し、該破棄物が該シリコン粒子および該消耗砥粒成分部分を含み、該循環部分が該非消耗砥粒成分部分を含む請求項５に記載の方法。
【請求項８】  サイクロン分離機を使用して、該固体／液体混合物を分離する請求項７に記載の方法。
【請求項９】  該循環物から水を除去して該非消耗砥粒成分部分を収集し、該非消耗砥粒成分部分が新しいスラリーの製造に再使用しうる請求項７に記載の方法。
【請求項１０】  該非消耗砥粒成分部分が、約２重量％未満のシリコン粒子含有量を有する請求項９に記載の方法。
【請求項１１】  少なくとも１種類の成分を回収し、新しいスラリーの製造に再使用しうるように、シリコンインゴットからシリコンウエハをスライスするのに使用した砥粒成分および潤滑液成分を含んで成る使用済スラリーを処理する方法であって、該方法が、
使用済スラリーを加熱して粘度を減少し；
該加熱スラリーを液体部分および固体部分に分離し、該固体部分がシリコン粒子および砥粒成分を含み、該砥粒成分がさらに消耗砥粒成分部分および非消耗砥粒成分部分を含み；
該固体成分を水と混合して、固体／液体混合物を形成し；
該固体／液体混合物を、廃棄物部分および循環部分に分離し、該廃棄物部分が該シリコン粒子および該消耗砥粒成分部分を含み、該循環分が該非消耗砥粒成分部分を含み；および
非消耗砥粒成分部分を循環部分から単離して、新しいスラリーの製造に再使用する；
ことを含んで成る方法。
【請求項１２】  使用済スラリーを加熱して、該スラリーの粘度を約５５ｃｐｓ〜約１５０ｃｐｓに減少する請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】  潤滑液成分がポリエチレングリコールである請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】  該固体／液体混合物が、約２０〜約３０ｇ／Ｌの固形分を有する請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】  サイクロン分離機を使用して、該固体／液体混合物を分離する請求項１１に記載の方法。
【請求項１６】  循環部分において、水から砥粒成分部分を分離することによって、循環部分から非消耗砥粒成分部分を単離する請求項１１に記載の方法。
【請求項１７】  分離後に、非消耗砥粒成分部分が乾燥されて、約１０００ｐｐｍ未満の残留水分を有する請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】  非消耗砥粒成分部分が、約２重量％未満のシリコン粒子を含有する請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】  分離後に、非消耗砥粒成分部分が乾燥されて、約５００ｐｐｍ未満の残留水分を有する請求項１６に記載の方法。
【請求項２０】  非消耗砥粒成分部分が、約２重量％未満のシリコン粒子を含有する請求項１９に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
一般的シリコンウエハ製造法によって生じる廃棄物の量を減少し、シリコンウエハの製造に要するコストを節減するために、シリコンウエハがそれから得られるシリコンインゴットをスライスするのに使用した消耗研磨スラリーを、再生するかまたは循環するのが好ましい。特に、インゴットをスライスするのにまだ適しているスラリー成分（即ち、冷却または潤滑液および非消耗砥粒）を、スラリーの残りから単離し、それらを新しいスラリーの製造に使用するのが好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
好ましい実施態様において、スラリーを直接的に加熱する、即ち、加熱の前にスラリーを水または他の溶剤で稀釈しない、ことにも注意すべきである。基礎をなす液体を固形物から分離した際に、その液体が、さらに分離または処理せずにインゴットスライススラリーに再使用するのに適している故に、そのような方法が好ましい。しかし、例えば水または他の適切な溶剤（例えば、グリコールを基剤とするスラリーに関してはメタノール）を添加することによって、スラリーの粘度を減少させることもできる。このようにしてスラリーを稀釈して粘度を減少させる場合に、稀釈したスラリーを、直接的に、または添加する溶剤を先ず加熱することによって、加熱することもできる。しかし、溶剤が使用される場合、一般に、得られる潤滑または冷却液を、インゴットスライススラリーに再使用する前に、濃縮しなければならない（例えば蒸留によって）。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
一般的に言えば、サイクロン分離器において、所定重量より軽い固体粒子を含有する液体を上部出口から吐出し、一方、所定重量と同じかまたはそれより重い粒子を含有する液体を下部出口から吐出する。本発明において、所定重量は、砥粒と比較してかなり小さい直径を有するシリコン粒子および消耗砥粒から、再使用可能な砥粒を分離することを可能にする大きさの粒子に対応する。従って、固体／液体混合物を分離した後に、２種類の懸濁液が残る。第一懸濁液は、シリコンインゴットスライススラリーに再使用するのに好適な砥粒を含み、一方、第二懸濁液は、シリコン粒子および消耗砥粒を含む。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
固体／液体混合物を２種類の懸濁液に分離する際に、いくらかのシリコン粒子が第一懸濁液に残留する場合がある、即ち、少量のシリコン粒子が循環される砥粒とともに存在する場合があることにも注意すべきである。どのような特定の理論にも縛られるものではないが、シリコン粒子の存在は、使用される分離手段のタイプに依存して（例えば、サイクロン分離が使用される場合）、いくらかのシリコン粒子が、少なくとも所定分離重量と同じ重量であることによると考えられる。あるいは、いくらかのシリコン粒子が大きい砥粒の表面に付着していたと考えられる。しかし、炭化珪素のような砥粒中のシリコン粒子の量は一般に約２重量％未満、好ましくは約１重量％未満、最も好ましくは約０.５重量％未満である。