【手続補正書】
【提出日】平成17年9月2日(2005.9.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  第一ポート（３０）と第二ポート（３２）間のチャンネル（２８）を形成するハウジング（１２）と、
前記ハウジング（１２）内部に配置され、前記第一ポート（３０）と前記第二ポート（３２）間の連絡を可能にする収容位置と、前記第一ポート（３０）と前記第二ポート（３２）間を分断する展開位置との間を移動可能なゲート（１４）と、
を備え、
前記ゲート（１４）は、
第一及び第二密閉部材（３６Ａ，３６Ｂ）と、
第一直立部（６４Ａ）と、前記第一密閉部材（３６Ａ）と前記第二密閉部材（３６Ｂ）との間に位置して前記第一直立部（６４Ａ）と結合した第一中央ブロック（９０Ａ）と、第二直立部（６４Ｂ）と、前記第一密閉部材（３６Ａ）と前記第二密閉部材（３６Ｂ）との間に位置して前記第二直立部（６４Ｂ）と結合した第二中央ブロック（９０Ｂ）と、
前記第一及び第二密閉部材（３６Ａ，３６Ｂ）を第一及び第二中央ブロック（９０Ａ，９０Ｂ）へ偏らせる少なくとも一つのばね（１０６）と、
前記第一と前記第二中央ブロック（９０Ａ，９０Ｂ）との間、且つ、前記第一と前記第二密閉部材（３６Ａ，３６Ｂ）との間に配置されると共に、前記ゲート（１４）が前記収容位置と前記展開位置との間を移動可能な第一状態から、前記ゲート（１４）が前記展開位置に位置した状態において該拡張可能部材（８２）が膨張することにより第一及び第二密閉部材（３６Ａ，３６Ｂ）を互いに離して偏らせ前記第一密閉部材（３６Ａ）を前記第一ポート（３０）に噛合わせて密閉させる第二状態へ膨張可能とされた拡張可能部材（８２）と、
を有するアイソレーションバルブ。
【請求項２】  前記第二状態において、前記第二密閉部材（３６Ｂ）は前記第二ポート（３２）に噛合い密閉する、請求項１に記載のバルブ。
【請求項３】前記第一及び前記第二密閉部材（３６Ａ，３６Ｂ）を互いにほぼ平行に配置する、請求項１に記載のバルブ。
【請求項４】  前記第一及び前記第二密閉部材（３６Ａ，３６Ｂ）が略平らなプレートを含む、請求項１に記載のバルブ。
【請求項５】  前記拡張可能部材（８２）が膨張可能部材を含む、請求項１に記載のバルブ。
【請求項６】  前記拡張可能部材（８２）が弾性空気袋を含む、請求項５に記載のバルブ。
【請求項７】  前記拡張可能部材（８２）がベローズを含む、請求項１に記載のバルブ。
【請求項８】  前記第一密閉部材（３６Ａ）が第一ガスケット（４８Ａ）を含み、前記第二密閉部材（３６Ｂ）が第二ガスケット（４８Ｂ）を含む、請求項１に記載のバルブ。
【請求項９】  前記第二状態において、前記第一ポート（３０）と前記チャンネル（２８）との間の流体の連絡が阻止されている、請求項１に記載のバルブ。
【請求項１０】  複数の前記ばね（１０６）が前記第一及び前記第二密閉部材（３６Ａ，３６Ｂ）を前記第一及び前記第二中央ブロック（９０Ａ，９０Ｂ）の方へ偏らせる、請求項１に記載のバルブ。
【請求項１１】  少なくとも一対のばね（１０６Ａ，１０６Ｂ）を含み、前記一対のばねのうち一方の第一ばね（１０６Ａ）は前記第一密閉部材（３６Ａ）をセンタリング機構（１００）に結合し、前記一対のばねのうち第二ばね（１０６Ｂ）は前記第一密閉部材（３６Ｂ）を前記センタリング機構（１００）に結合する、請求項１０に記載のバルブ。
【請求項１２】  前記収容位置と前記展開位置間に前記ゲート（１２）を選択的に移動させるアクチュエータ（１６）を含む、請求項１に記載のバルブ。
【請求項１３】  前記アクチュエータ（１６）を前記ゲート（１４）に結合するフレーム（６２）であって、前記アクチュエータ（１６）に結合し、前記第一及び前記第二直立部（６４Ａ，６４Ｂ）がそれぞれ結合された第一及び第二端部を有する横断交差部材（６０）を有するフレーム（６２）を備えた、請求項１２に記載のバルブ。
【請求項１４】  前記交差部材（６０）に固定された下側エッジ（５４Ａ）と第一密閉部材（３６Ａ）に固定された上側エッジ（５２Ａ）とを有する第一湾曲部（５０Ａ）と、前記交差部材（６０）に固定された下側エッジ（５４Ｂ）と第二密閉部材（３６Ｂ）に固定された上側エッジ（５２Ｂ）とを有する第二湾曲部（５０Ｂ）と、を備える、請求項１３に記載のバルブ。
【請求項１５】  前記拡張可能部材（８２）を膨張し、前記第一及び前記第二湾曲部（５０Ａ，５０Ｂ）間に配置された第一導管（１１０）を含む、請求項１４に記載のバルブ。
【請求項１６】  前記拡張可能部材（８２）を収縮させ、前記第一及び前記第二湾曲部（５０Ａ，５０Ｂ）間に配置された第二導管（１１０）を含む、請求項１５に記載のバルブ。
【請求項１７】  前記ハウジング（１２）は、流体源（１１６）に接続されて、前記ハウジング（１２）の加圧及び減圧を可能とする導管（１１４）を含む、請求項１に記載のバルブ。
【請求項１８】  前記ハウジング（１２）に通気して周囲圧力とする、請求項１７のバルブ。
【請求項１９】  前記第二状態において、前記ゲート（１４）が前記第一ポート（３０）と前記第二ポート（３２）との間の流体の連絡が阻止されている請求項１に記載のバルブ。
【請求項２０】  第一及び第二処理チャンバ（３００’３００”）と、
前記第一及び前記第二チャンバ（３００’３００”）間に配設され、前記第一チャンバ（３００’）への第一基板通路（３１２Ａ）を形成する第一バルブハウジング（３０４Ｂ’）と、
前記第一バルブハウジング（３０４Ｂ’）内部に配設され、前記第一基板通路（３１２Ａ）が開く第一位置と前記第一基板通路（３１２Ａ）が密閉される第二位置との間を移動可能な第一ゲート（３１０Ａ”）と、
第一フレーム（３０６Ｂ）内部に配設され、前記第一ゲート（３１０Ａ”）に結合された第一アクチュエータ機構（３０７Ａ）と、
前記第二チャンバ（３００”）と前記第一バルブハウジング（３０４Ｂ’）間に配設され、前記第二チャンバ（３００”）への第二基板通路（３１２Ｂ）を形成する第二バルブハウジング（３０４Ａ”）と、
前記第二バルブハウジング（３０４Ａ”）内部に配設され、前記第二基板通路（３１２Ｂ）が開く第一位置と前記第二基板通路（３１２Ｂ）が密閉される第二位置との間を移動可能な第二ゲート（３１０Ｂ’）と、
第二フレーム（３０６Ａ”）内部に配設され、前記第二ゲート（３１０Ｂ’）に結合された第二アクチュエータ機構（３０７Ｂ）と、
を含む基板処理装置であって、
各前記アクチュエータ機構（３０７Ａ，３０７Ｂ）が
前記第一又は前記第二ゲート（３１０Ａ”,３１０Ｂ’）に接続されて、前記第一位置と各第一と第二基盤通路（３１２Ａ,３１２Ｂ）に対向する中間位置との間の動きを制御するリフト機構（３０８）と、
第一位置及び第二位置を持ち、第一及び第二位置間での回転機構の動きにより第一又は第二ゲート（３１０Ａ”，３１０Ｂ’）が前記中間位置と前記第二位置との間で回転する回転機構（３０９）と、
を持つ基盤処理装置。
【請求項２１】  前記第一バルブハウジング（３０４Ｂ’）が第二アクチュエータ機構フレーム（３０６Ａ”）と少なくとも部分的に重なるように、それぞれのバルブハウジング（３０４Ｂ’，３０４Ａ”）とアクチュエータ機構フレーム（３０６Ｂ’３０６Ａ”）を非対称に形成する、請求項２０に記載の装置。
【請求項２２】  前記第一バルブハウジング（３０４Ｂ’）が前記第一チャンバ（３００’）と一体成形され、前記第二バルブハウジング（３０４Ａ”）が前記第二チャンバ（３００”）と一体成形される、請求項２０に記載の装置。
【請求項２３】  リフト機構（３０８Ａ，３０８Ｂ）が
リフトシリンダ（３１８’，３１８”）と、
前記リフトシリンダ（３１８’，３１８”）に結合されたピストン棒（３１９’，３１９”）と、
前記ピストン棒（３１９’，３１９”）に結合されたリフト板（３２０）と、
第一端で前記リフト板（３２０）と第二端で前記第一又は前記第二ゲート（３１０Ａ”，３１０Ｂ’）に結合された少なくとも一つのシャフト（３３０）と、を含む請求項２０に記載の装置。
【請求項２４】  前記回転機構（３０９）が、前記ゲート（３１０Ａ”，３１０Ｂ’）を前記中間位置と前記第二位置との間で回転させる少なくとも一つのプッシュシリンダ（３３４）を含む、請求項２０に記載の装置。
【請求項２５】  前記第一又は前記第二ゲート（３１０Ａ”，３１０Ｂ’）の垂直軸が前記シャフト（３３０）の垂直軸からずれている、請求項２３に記載の装置。
【請求項２６】  前記第一又は前記第二ゲートがそれぞれの前記中間位置にある場合に、前記第一又は前記第二ゲート（３１０Ａ”，３１０Ｂ’）の上部がそれぞれの前記通路（３１２Ａ，３１２Ｂ）から離れて傾くように、前記第一又は前記第二ゲート（３１０Ａ”，３１０Ｂ’）の垂直軸が前記シャフト（３３０）の垂直軸から少なくとも０．５度だけずれる、請求項２５に記載の装置。
【請求項２７】  前記第一又は前記第二ゲート（３１０Ａ”，３１０Ｂ’）がそれぞれ前記第一位置にある場合に、前記第一又は前記第二ゲート（３１０Ａ”，３１０Ｂ’）の上部が実質的にそれぞれの前記通路（３１２Ａ、３１２Ｂ）の底部と少なくとも同じ低さにある、請求項２５に記載の装置。
【請求項２８】  第一チャンバ（３００’）と第二チャンバ（３００”）間にチャンネル（２８）を形成するハウジング（１２）と、
前記ハウジング（１２）内部に配設したゲートアセンブリ（１４）と、
前記第一チャンバ（３００’）に連絡する第一ポート（３０）と前記第二チャンバ（３００”）に連絡する第二ポート（３２）間にゲートアセンブリ（１４）を配置する手段と、
前記第一チャンバ（３００’）を前記第二チャンバ（３００”）からはじめに密閉するように前記ゲートアセンブリ（１４）を前記第一ポート（３０）に噛合わせる手段と、
前記第一チャンバ（３００’）を前記第二チャンバ（３００”）から更に密閉するように前記ハウジング（１２）内部の圧力を変える手段と、を含むアイソレージョンバルブ。
【請求項２９】  ハウジング（１２）とゲートアセンブリ（１４）とを有するバルブ（１０）により、第一チャンバ（３００’）を第二チャンバ（３００”）から密閉する方法において、
前記第一チャンバ（３００’）に連絡する第一ポート（３０）と前記第二チャンバ（３００”）に連絡する第二ポート（３２）との間にゲートアセンブリ（１４）を配置し、
前記第一チャンバ（３００’）を前記第二チャンバ（３００”）からはじめに密閉するようにゲートアセンブリ（１４）を第一ポート（３０）に噛合わせ、
前記第一チャンバ（３００’）を前記第二チャンバ（３００”）から更に密閉するように前記ハウジング（１２）内部の圧力を変えることを含む密閉方法。
【請求項３０】  圧力を変えることが前記第一チャンバ（３００’）内の圧力を超えるような圧力に高めることである、請求項２９に記載の方法。
【請求項３１】  圧力を変えることが前記チャンバの外側の周囲圧力を超えるような圧力に高めることである、請求項２９に記載の方法。
【請求項３２】  圧力を変えることが前記第一チャンバ（３００’）内の圧力より低い圧力に減少させることである、請求項２９に記載の方法。
【請求項３３】  第一ポート（３０）と第二ポート（３２）間のチャネル（２８）を形成するハウジング（１２）と、
前記ハウジング（１２）内に配置されて、前記チャンネル（２８）を開放する収容位置と前記チャンネル（２８）を封止する展開位置との間を移動可能なゲート（１４）であって、
第一及び第二密閉部材（３６Ａ，３６Ｂ）と、
前記第一密閉部材（３６Ａ）と前記第二密閉部材（３６Ｂ）との間に配置され、第一状態から第二状態に膨張可能で、且つ、前記第二状態から前記第一状態に収縮可能な拡張可能部材（８２）であって、前記第一状態では前記ゲート（１４）が前記収容位置と前記展開位置との間を移動可能とされ、前記第二状態では前記ゲート（１４）が前記展開位置に位置した状態で該拡張可能部材（８２）が膨張することにより第一及び第二密閉部材（３６Ａ，３６Ｂ）を互いに離して偏らせてチャンネル（２８）を封止することとされている拡張可能部材（８２）と、
を有するゲート（１４）と、
前記収容及び前記展開位置間に前記ゲート（１４）を選択的に移動させるアクチュエータ（１６）と、
前記アクチュエータ（１６）に結合すると共に第一及び第二直立部（６４Ａ，６４Ｂ）がそれぞれ結合された第一及び第二端部を有する横断交差部材（６０）を含み、前記アクチュエータ（１６）と前記ゲート（１４）とを結合するフレーム（６２）と、
前記交差部材（６０）に固定された下側エッジ（５４Ａ）と前記第一密閉部材（３６Ａ）に固定された上側エッジ（５２Ａ）とを有する第一湾曲部（５０Ａ）と、前記交差部材（６０）に固定された下側エッジ（５４Ｂ）と第二密閉部材（３６Ｂ）に固定された上側エッジ（５２Ｂ）とを有する第二湾曲部（５０Ｂ）と、
を備える、アイソレーションバルブ。
【請求項３４】  前記拡張可能部材（８２）を膨張させると共に前記第一及び前記第二湾曲部（５０Ａ，５０Ｂ）間を通る第一導管（１１０）を含む、請求項３３に記載のバルブ。
【請求項３５】  前記拡張可能部材（８２）を収縮させると共に前記第一及び前記第二湾曲部（５０Ａ，５０Ｂ）間を通る第二導管（１１０）を含む、請求項３４に記載のバルブ。
【請求項３６】  前記ゲート（１４）が収容位置に位置し、前記拡張可能部材（８２）が前記第二状態となると、前記第二密閉部材（３６Ｂ）が前記第二ポート（３２）と噛み合う、請求項３３に記載のバルブ。
【請求項３７】  前記第一及び前記第二密閉部材（３６Ａ，３６Ｂ）を互いに略一列に並べ、且つ、平行にする、請求項３３に記載のバルブ。
【請求項３８】  前記第一及び前記第二密閉部材（３６Ａ，３６Ｂ）が略平らなプレートを含む、請求項３３に記載のバルブ。
【請求項３９】  前記拡張可能部材（８２）が膨張可能部材を含み、前記膨張可能部材は前記第一及び前記第二密閉部材（３６Ａ，３６Ｂ）と連続的して横方向に同一の広がりを持つ、請求項３３に記載のバルブ。
【請求項４０】  前記拡張可能部材（８２）が弾性空気袋を含む、請求項３９に記載のバルブ。
【請求項４１】  前記拡張可能部材（８２）がベローズを含む、請求項３３に記載のバルブ。
【請求項４２】  前記第一密閉部材（３６）Ａが第一ガスケット（４８Ａ）を含み、前記第二密閉部材（３６Ｂ）が第二ガスケット（４８Ｂ）を含む、請求項３３に記載のバルブ。
【請求項４３】  前記ハウジング（１２）が更にベイ（３４）を持ち、前記拡張可能部材（８２）が前記第一状態にあり、前記ゲート（１４）が前記収容位置にある場合に、前記ゲート（１４）が前記ベイ（３４）内に存在する、請求項３３に記載のバルブ。
【請求項４４】  前記第一と前記第二密閉部材（３６Ａ，３６Ｂ）とを互いの方向に偏らせる少なくとも一つのばね（１０６）を備える、請求項３３に記載のバルブ。
【請求項４５】  各対の第一ばね（１０６Ａ）が前記第一密閉部材（３６Ａ）をフレーム（６２）に結合し、且つ、各対の第二ばね（１０６Ｂ）が前記第二密閉部材（３６Ｂ）をフレーム（６２）に結合し、前記第一ばね（１０６Ａ）が前記第二ばね（１０６Ｂ）と軸上に一列に揃った複数の対の引張り張力ばねを含む、請求項４４に記載のバルブ。
【請求項４６】  前記ハウジング（１２）が、流体源（１１６）に接続された導管（１１４）を備える、請求項３３に記載のバルブ。
【請求項４７】  前記ハウジング（１２）に通気して周囲圧力とする、請求項４６に記載のバルブ。
【請求項４８】  前記ゲート（１４）が展開位置にあり、前記拡張可能部材（８２）が前記第二状態となると、前記ゲート（１４）が前記第一及び前記第二ポート（３０，３２）と、前記チャンネル（２８）との間の流体の連絡ができない請求項４６に記載のバルブ。
【請求項４９】  前記第一と前記第二直立部（６４Ａ，６４Ｂ）は、それぞれ第一と第二中央ブロック（９０Ａ，９０Ｂ）を有し、前記第一と前記第二中央部ロック（９０Ａ，９０Ｂ）は前記第一と前記第二密閉部材（３６Ａ，３６Ｂ）との間に配置される、請求項３３に記載のバルブ。
【請求項５０】  第一シート面（１２２Ａ）に位置する第一ポート（３０）と第二シート面（１２２Ｂ）に位置する第二ポート（３２）との間のチャンネル（２８）を形成するハウジング（１２）と、
前記ハウジング（１２）内に配置されたゲート（１４）を備え、
前記ゲート（１４）は、
前記第一ポート（３０）と前記第二ポートに接触するように構成された第一及び第二密閉部材（３６Ａ，３６Ｂ）と、
前記第一と前記第二密閉部材（３６Ａ，３６Ｂ）の間に配置され、前記第一密閉部材（３６Ａ）を前記第一ポート（３０）に噛み合い密閉するように偏らせ、前記第二密閉部材（３６Ｂ）を前記第二シート面（１２２Ｂ）に噛み合い密閉するように偏らせるように構成された部材（８２）と、
を有する、アイソレーションバルブ。
【請求項５１】  前記ゲート（１４）は、前記第一ポート（３０）と前記第二ポート（３２）との間の連絡が可能な収容位置と、前記ゲート（１４）が前記第一ポート（３０）と前記第二ポート（３２）との間を分断する展開位置と、の間を移動可能であり、前記部材（８２）は、前記ゲート（１４）が前記収容位置と前記展開位置との間を移動可能な第一状態から、前記ゲート（１４）が前記展開位置に位置した状態において膨張することにより前記第一及び前記第二密閉部材（３６Ａ，３６Ｂ）が互いに離れて偏らせ前記第一密閉部材（３６Ａ）が前記第一ポート（３０）に噛み合い密閉させて第二状態へ膨張可能とされた、請求項５０に記載のバルブ。
【請求項５２】  前記収容位置と前記展開位置との間に前記ゲート（１４）を配置させるアクチュエータ（１６）を備える請求項５１に記載のバルブ。
【請求項５３】  前記部材（８２）は、遠隔源（１１２）と接続して選択的にガスを前記部材（８２）内への導入し、前記部材（８２）から排出する、請求項５０に記載のバルブ。
【請求項５４】  前記部材（８２）は、該部材（８２）内にガスが導入されることにより、前記第一及び前記第二密閉部材（３６Ａ，３６Ｂ）を偏らせるように構成されている、請求項５３に記載のバルブ。
【請求項５５】  前記部材（８２）は、該部材（８２）内にガスが導入されることにより、前記第一密閉部材（３６Ａ）を偏らせて前記第一ポート（３０）と噛み合い密閉するように構成されている、請求項５３に記載のバルブ。
【請求項５６】  前記遠隔源（１１２）は、ハウジング（１２）の外部に配置される、請求項５３に記載のバルブ。
【請求項５７】  前記部材（８２）はベローズを備える、請求項５３に記載のバルブ。
【請求項５８】  前記第一密閉部材（３６Ａ）は、前記第一シート面（１２２Ａ）と接続するための要素（４８Ａ）を含む、請求項５０に記載のバルブ。
【請求項５９】  前記第二密閉部材（３６Ｂ）はプレート（３８Ｂ）を備え、該プレート（３８Ｂ）は、前記ゲート（１４）の境界を形成し、前記第二シート面（１２２Ｂ）と接続されるように構成されている、請求項５０に記載のバルブ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本出願は、１９９７年１０月８日に出願の同時継続米国特許出願、発明の名称「モジュラーオンライン処理装置」出願番号08/946,922、及び本出願と共に係属中の出願のＰＣＴ公開公報;（１）ＷＯ９９／４０６１２；（２）ＷＯ９９／６０４６９；（３）ＷＯ９９／４０６１０；（４）ＷＯ９９／６１３５０；（５）ＷＯ９９／５９９２６；（６）ＷＯ９９／４０４１１；（７）ＷＯ９９／１８６０３に関連する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
上述のように、バルブハウジング３０４Ｂはチャンバ側壁３０１Ｃ、３０１Ｄに平行な方向でバルブハウジング３０４Ａよりも幾分広い。図８と図１８において、バルブハウジング３０４Ｂは、プロセスチャンバ間に基板を転送する基板転送シャトルの駆動機構３５０又は他の基板転送機構（図示しない）の真空フィードスルーとして機能する一つ以上の開口部３５２を持つ。図示の実施では、この開口部３５２を開口部３４４の一つに隣接して置き、駆動機構３５０をバルブハウジング３０４Ｂ内部に配置する。代表的駆動機構３５０と基板転送シャトルの更に詳細な説明はＰＣＴ公開公報ＷＯ９９／１８６０３に記述される。