【手続補正書】
【提出日】平成17年7月15日(2005.7.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電界をプロセスチャンバ内に発生するアンテナ構成であって、
前記アンテナ構成は、アンテナ軸の周囲に配置された第１ループを備え、
前記第１ループは、
第１ターンギャップを持つ第１ターンであって、前記第１ターンの第１端部は、前記第１ターンギャップの第１の側にあり、前記第１ターンの第２端部は、前記第１ターンギャップの第２の側にある、第１ターンと、
第２ターンギャップを持つ第２ターンであって、前記第２ターンの第１端部は、前記第２ターンギャップの第１の側にあり、前記第２ターンの第２端部は、前記第２ターンギャップの第２の側にあり、前記第２ターンは、前記第１ターンと同心円状であり、かつ同一平面上にあり、前記第１ターンから間隔が空けられ、前記アンテナ軸は前記第１ターンおよび前記第２ターンの中心を通る、第２ターンと、
前記第１ターンおよび前記第２ターンに電気的に接続された第１電流パスコネクタであって、前記第１電流パスコネクタは、前記第１ターンおよび前記第２ターンの間にあり、かつ前記第１ターンおよび前記第２ターンと同一平面上にあり、前記第１ターンギャップおよび前記第２ターンギャップをつなぐスパニング部を備える、第１電流パスコネクタと、
を備える、アンテナ構成。
【請求項２】
請求項１に記載のアンテナ構成であって、
前記第１ターンの前記第１端部の一部は、前記第１ターンの前記第２端部の一部と前記アンテナ軸との距離に等しいだけ前記アンテナ軸から距離を置かれ、前記第２ターンの前記第１端部の一部は、前記第２ターンの前記第２端部の一部と前記アンテナ軸との距離に等しいだけ前記アンテナ軸から距離を置かれるアンテナ構成。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のアンテナ構成であって、
前記第１ターンギャップは前記第１ターンの１０°未満の中心角をなし、前記第２ターンギャップは前記第２ターンの１０°未満の中心角をなすアンテナ構成。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載のアンテナ構成であって、
前記第１ターンギャップは、前記第１ターンギャップの長さの５０％および−５０％の間の距離だけ前記第２ターンギャップと重なり合うアンテナ構成。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載のアンテナ構成であって、
前記第１電流パスコネクタは、前記第１ターンおよび前記第２ターンの間に接続され、
第１端部および第２端部を持つスパニング部であって、前記スパニング部は前記第１ターンの周囲に実質的に平行であるスパニング部と、
前記スパニング部の前記第１端部および前記第１ターンの前記第２端部の間に接続された第１ターンコネクタレッグであって、前記第１ターンコネクタレッグは前記第１ターンに対して実質的に半径方向である第１ターンコネクタレッグと、
前記スパニング部の前記第２端部および前記第２ターンの前記第１端部の間に接続された第２ターンコネクタレッグであって、前記第２ターンコネクタレッグは前記第２ターンに対して実質的に半径方向である第２ターンコネクタレッグと、
を備えるアンテナ構成。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載のアンテナ構成であって、
前記第１ターンは実質的に円形であり、前記第２ターンは実質的に円形であるアンテナ構成。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載のアンテナ構成であって、
前記第１ターンおよび前記第２ターンの間に配置されることによってそれらの間のアークを除去する誘電体媒体をさらに備えるアンテナ構成。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載のアンテナ構成であって、
前記第１ループに結合された第２ループであって、前記第２ループは前記第１ループの幾何学的形状と実質的に同様の幾何学的形状を持ち、前記第２ループは鉛直方向に前記第１ループからずらされて配置され、前記アンテナ軸の回りに配置されることによって前記第１ループおよび第２ループは前記アンテナ軸について対称的にアラインされ、前記第１ループおよび第２ループは前記アンテナ軸の回りに同じ向きの電流を流し、前記第２ループは、
第３ターンギャップを持つ第３ターンと、
第４ターンギャップを持つ第４ターンと、
を備える、アンテナ構成。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載のアンテナ構成であって、
前記第１ループおよび前記第２ループに結合されたＲＦ電源をさらに備えるアンテナ構成。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかに記載のアンテナ構成であって、
前記第１および第２ループは、前記アンテナ構成を通して伝送されるエネルギーの波長よりも短い総延長を持つアンテナ構成。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれかに記載のアンテナ構成であって、
前記第２ループは前記第１ループの端子電圧を有効に遮蔽するアンテナ構成。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかに記載のアンテナ構成であって、
第１ＲＦ電源によって発生される第１ＲＦエネルギーを用いて前記第１および第２ループは協働して方位角について対称な電界をプロセスチャンバ内に形成し、前記方位角について対称な電界は、実質的に方位角について対称なプラズマを形成し、前記プロセスチャンバの内側に配置された基板の表面にわたってこのプラズマが実質的に均一な処理速度を生むアンテナ構成。
【請求項１３】
基板を処理するプラズマ処理装置であって、
前記処理のためにプラズマが点火され、かつ維持されるプロセスチャンバと、
前記プロセスチャンバ内のＲＦエネルギーを介して電界を発生するように構成される多層アンテナであって、前記アンテナは第１ループおよび第２ループを有し、これらアンテナは互いに実質的に類似であり、かつアンテナ軸について対称にアラインされ、前記第１ループは、
第１ターンギャップを持つ第１ターンであって、前記第１ターンの第１端部は前記第１ターンギャップの第１の側にあり、前記第１ターンの第２端部は前記第１ターンギャップの第２の側にある、第１ターンと、
第２ターンギャップを持つ第２ターンであって、前記第２ターンの第１端部は前記第２ターンギャップの第１の側にあり、前記第２ターンの第２端部は前記第２ターンギャップの第２の側にあり、前記第２ターンは、前記第１ターンと同心円状であり、かつ同一平面上にあり、前記第１ターンから間隔が空けられ、前記アンテナ軸は前記第１ターンおよび前記第２ターンの中心を通る、第２ターンと、
前記第１ターンの前記第２端部および前記第２ターンの前記第１端部の間に電気的に接続された第１ターン−第２ターンコネクタであって、前記第１ターン−第２ターンコネクタは、前記第１ターンおよび前記第２ターンの間にあり、かつ前記第１ターンおよび前記第２ターンと同一平面上にあり、前記第１ターンギャップおよび前記第２ターンギャップをつなぐスパニング部を備える、第１ターン−第２ターンコネクタと、
を備える、多層アンテナと、
前記アンテナから前記プロセスチャンバへの前記ＲＦエネルギーの通過を可能にするよう構成される多層ウィンドウであって、前記ウィンドウは第１レイヤおよび第２レイヤを有し、前記第２レイヤは、前記プラズマおよび前記アンテナの間に起こりえる容量性結合を抑制するよう構成される多層ウィンドウと、
を備えるプラズマ処理装置。
【請求項１４】
プロセスチャンバ内に電界を発生するアンテナ構成であって、
第１ターンギャップを持つ第１ターンであって、前記第１ターンの第１端部は、前記第１ターンギャップの第１の側にあり、前記第１ターンの第２端部は、前記第１ターンギャップの第２の側にあり、前記第１ターンギャップは５°未満の中心角をなす、第１ターンと、
第２ターンギャップを持つ第２ターンであって、前記第２ターンの第１端部は、前記第２ターンギャップの第１の側にあり、前記第２ターンの第２端部は、前記第２ターンギャップの第２の側にあり、前記第２ターンの第２端部は前記第２ターンギャップの第２の側にあり、前記第２ターンは、前記第１ターンと同心円状であり、かつ同一平面上にあり、前記第１ターンから間隔が空けられ、前記アンテナ軸は前記第１ターンおよび前記第２ターンの中心を通り、前記第２ターンギャップは５°未満の中心角をなし、前記第１ターンギャップは、前記第１ターンギャップの長さの５０％および−５０％の間の距離だけ前記第２ターンギャップと重なり合る第２ターンと、
前記第１ターンおよび前記第２ターンに電気的に接続された第１電流パスコネクタであって、前記第１電流パスコネクタは、前記第１ターンギャップおよび前記第２ターンギャップをつなぐスパニング部を備える、第１電流パスコネクタと、
を備えるアンテナ構成。