(57)【要約】【課題】内蔵する有機ＥＬ素子の劣化が良好に抑制された有機ＥＬ発光モジュールを高精度且つ高効率で製造しつつ、有機ＥＬ素子の寸法に応じた切り替えを容易に行うことができる有機ＥＬ発光モジュールの製造システムを、及びその製造方法を提供すること。【解決手段】吸湿層５および保護層６が積層された封止部材１０を作製する封止部材作製装置１００と、封止部材１０を移載する移載装置１７０と、有機ＥＬ素子３が形成されている基板２の一方の面２１に封止部材１０を貼り合せて有機ＥＬ素子３を封止する封止部材貼り合せ装置４００とを備える。封止部材作製装置１００は、シート状部材吸着部１６０、第１平板状吸着プレート１３０、第１位置決め用プレート１４０、第２位置決め用プレート１４５を用いた位置決めを行いつつ封止部材１０を作製する。【選択図】図３
2017208229.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機ＥＬ発光モジュールの製造システムにおいて、
第１シート状部材、および前記第１シート状部材よりも広い面を有する第２シート状部材が積層された封止部材を作製する封止部材作製装置と、
前記封止部材を移載する移載装置と、
有機ＥＬ素子が形成されている基板の一方の面に前記封止部材を貼り合せて、前記基板と前記封止部材との間に前記有機ＥＬ素子を封止する封止部材貼り合せ装置と、を備え、
前記封止部材作製装置は、
多孔質吸着テーブルおよび前記多孔質吸着テーブルに接続された吸引機構を有するシート状部材吸着部と、
前記第１シート状部材を１以上配置可能な表面積を有するとともに前記第１シート状部材を吸引して吸着するための複数の吸着孔を設けられ、前記シート状部材吸着部の吸引によって前記シート状部材吸着部に吸着固定される第１平板状吸着プレートと、
前記第１シート状部材を所定の配置とするための開口部を１以上有し、前記シート状部材吸着部に対して位置決めされつつ、前記第１平板状吸着プレート上に着脱自在に保持される第１位置決め用プレートと、
前記第２シート状部材を所定の配置とするための開口部を１以上有し、前記第１位置決め用プレートが取り外された状態において、前記シート状部材吸着部に対して位置決めされつつ、前記第１平板状吸着プレート上に着脱自在に保持される第２位置決め用プレートと、を備える有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。
【請求項２】
前記封止部材作製装置は、積層された前記第１シート状部材および前記第２シート状部材に対して前記第２シート状部材側から押圧して熱圧着処理を行う加熱ピンと、積層された前記第１シート状部材および前記第２シート状部材に対して前記加熱ピンを移動自在に支持する移動機構と、を備える熱圧着部を更に含む請求項１に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。
【請求項３】
前記移載装置は、
前記第１平板状吸着プレートと同一以上の寸法を備える第２平板状吸着プレートと、
前記熱圧着処理を施された前記封止部材と前記第２位置決め用プレートを覆うように前記第２平板状吸着プレートを配置して、前記第１平板状吸着プレートと前記第２平板状吸着プレートとの間に前記封止部材及び前記第２位置決め用プレートを固定する固定手段と、
前記シート状部材吸着部の吸着を開放した後に、前記封止部材、前記第２位置決め用プレート、前記第１平板状吸着プレート、及び前記第２平板状吸着プレートを一体のまま移載する移載手段と、を有し、
前記第１平板状吸着プレートおよび前記第２平板状吸着プレートは、いずれか一方が磁石を含有し、他方が磁性体からなる請求項２に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。
【請求項４】
前記封止部材を前記基板に貼り合せるための粘着材を前記封止部材に貼り合せる粘着材貼り合せ装置をさらに備え、
前記粘着材は、シート状に形成されており、シート状に形成された前記粘着材の一の面には剥離紙が貼付され、前記剥離紙の前記一の面とは反対の面は帯状のテープ部材に貼付され、
前記粘着材貼り合せ装置は、
前記粘着材が貼付された前記テープ部材における前記粘着材が貼付されている面の反対側の面を吸着する吸着動作を行うテープ部材吸着部と、
円筒状に形成されて中心軸周りに回転するローラ部とを含み、
前記テープ部材吸着部は、前記第１シート状部材が上面の一部をなすように載置テーブルに載置されている前記封止部材の上方で前記テープ部材を吸着して保持し、
前記ローラ部は、前記テープ部材吸着部から前記テープ部材を剥離しながら前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を帯状の前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動するとともに、周面によって前記テープ部材側から前記粘着材を前記封止部材に押しつけて前記粘着材を前記封止部材に貼り合せる請求項１乃至３のいずれか１項に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。
【請求項５】
前記テープ部材吸着部は、前記ローラ部が前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部側から前記テープ部材を剥離していくときに、前記テープ部材の他方の端部側において前記吸着動作を継続する請求項４に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。
【請求項６】
前記テープ部材は、前記剥離紙が貼付される貼付領域と前記貼付領域の外方にある余白領域とを有し、
前記ローラ部は、前記テープ部材の長手方向の一方の端部の前記余白領域から他方の端部の方向へ、前記貼付領域に亘り前記粘着材を前記封止部材に貼り合せるように転動する請求項４または請求項５に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。
【請求項７】
前記粘着材貼り合せ装置は、
前記テープ部材吸着部の上方を覆う上面部と、前記載置テーブルの下方を覆う下面部と、前記上面部と前記下面部とに挟まれた空間の側方を覆う側面部とを含み、
前記下面部と前記上面部とが相対的に近づくことによって、前記上面部に前記側面部の上端が当接し、前記側面部の下端に前記下面部が当接した状態であって、前記テープ部材を吸着している前記テープ部材吸着部および前記封止部材が載置されている前記載置テーブルを収容した前記空間内を密閉する第１状態と、前記下面部が前記上面部から離間することによって、前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を前記ローラ部が転動可能な隙間を有する第２状態との間で相互に遷移し、
少なくとも前記下面部を収容した真空チャンバにおいて、前記第１状態とされたときに前記空間から空気を排出して減圧状態とするとともに、前記第２状態においても前記空間内を減圧状態に維持する請求項４乃至６のいずれか１項に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。
【請求項８】
前記テープ部材とともに前記テープ部材に貼付された前記剥離紙を前記粘着材から剥離するテープ部材剥離装置をさらに備え、
前記テープ部材剥離装置は、
窒素雰囲気中に設置され、
前記テープ部材において前記剥離紙が貼付された貼付領域の外方にある余白領域を把持し、前記テープ部材とともに前記テープ部材に貼付された前記剥離紙を前記粘着材から剥離する把持部と、
前記把持部が前記粘着材から剥離した前記テープ部材および前記剥離紙が載置され、前記テープ部材を載置可能な上面を有する載置台とを含み、
窒素雰囲気と外気とを仕切るための仕切り部材には、前記載置台が上方に移動すると前記載置台と嵌合する貫通孔が天面に設けられるとともに、前記貫通孔を外方から覆う蓋部が設置され、
前記載置台は、上方に移動すると前記テープ部材が載置された前記上面によって前記蓋部を押し上げる請求項４乃至７のいずれか１項に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。
【請求項９】
前記封止部材貼り合せ装置は、
前記基板を吸着する基板吸着上面部と、
前記吸着上面部の下方に位置し、前記基板の端部のみを下方から支持可能な支持台部と、
前記基板吸着上面部の下方に位置し、前記封止部材が載置される部材セット部と、
前記基板吸着上面部の中央に設けられた、前記基板の中央部を吸着可能でかつ上下に移動可能な可動式吸着部とを含み、
前記基板が、前記基板吸着上面部と前記可動式吸着部とにより吸着された状態から、前記基板吸着上面部の吸着を停止することによって前記可動式吸着部と前記支持台部とにより支持される状態とし、
その後、前記可動式吸着部を下方に移動させることにより前記基板の中央部を前記支持台部より下方に押し下げた状態とし、
次いで、前記可動式吸着部による前記基板の吸着を維持したまま、前記封止部材が載置された前記部材セット部を上方に移動させ、前記基板と前記可動式吸着部とを連動させながら、前記部材セット部を前記基板と前記封止部材とともに前記吸着上面部に押し付けることで、前記基板の中央部から端部に向かって順次前記基板と前記封止部材とを貼り合わせる請求項１乃至８のいずれか１項に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。
【請求項１０】
前記封止部材と前記基板とを熱圧着する熱圧着装置をさらに備え、
前記熱圧着装置は、
前記封止部材を前記基板に押しつけるとともに前記封止部材を加熱する封止部材熱圧着処理を行うホットプレート部を含み、
前記ホットプレート部は、前記封止部材の端部に対応する位置に凸部が設けられている請求項１乃至９のいずれか１項に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造システム。
【請求項１１】
有機ＥＬ発光モジュールの製造方法であって、
第１シート状部材、および前記第１シート状部材よりも広い面を有する第２シート状部材が積層された封止部材を作製する封止部材作製装置の、前記第１シート状部材および前記第２シート状部材を順次載置可能なステージ面を有するステージ部に、前記第１シート状部材が載置される第１シート状部材載置ステップと、
前記ステージ部において、前記第１シート状部材が載置された領域を含む領域に前記第２シート状部材が載置される第２シート状部材載置ステップと、
有機ＥＬ素子が形成されている基板に対して前記封止部材を貼り合わせるための貼り合わせ位置に前記封止部材を移動させる封止部材移動ステップと、
封止部材貼り合せ装置が、有機ＥＬ素子が形成されている基板の一方の面に前記封止部材を貼り合せて、前記基板と前記封止部材との間に前記有機ＥＬ素子を封止する有機ＥＬ封止ステップと、を有し、
前記第１シート状部材載置ステップは、
多孔質吸着テーブルおよび前記多孔質吸着テーブルに接続された吸引機構を有するシート状部材吸着部に対して、前記第１シート状部材を１以上配置可能な表面積を有するとともに前記第１シート状部材を吸引して吸着するための複数の吸着孔が設けられた第１平板状吸着プレートを、前記シート状部材吸着部の吸引によって前記シート状部材吸着部に吸着固定する第１平板状吸着プレート吸着固定ステップと、
前記第１シート状部材を所定の配置とするための開口部を１以上有する第１位置決め用プレートを、前記シート状部材吸着部に対して位置決めしつつ、前記第１平板状吸着プレート上に着脱自在に保持する第１位置決め用プレート保持ステップと、
前記第１シート状部材を前記第１位置決め用プレートの開口部に載置し、前記吸引機構による吸引によって前記第１シート状部材を吸着固定する第１シート状部材吸着固定ステップと、
前記第１位置決め用プレートを前記第１平板状吸着プレートから取り外す第１位置決め用プレート取外しステップと、を含み、
前記第２シート状部材載置ステップは、
前記第２シート状部材を所定の配置とするための開口部を１以上有する第２位置決め用プレートを、前記シート状部材吸着部に対して位置決めしつつ、前記第１平板状吸着プレート上に着脱自在に保持する第２位置決め用プレート保持ステップと、
前記第２シート状部材を前記第２位置決め用プレートの開口部に載置する第２シート状部材載置ステップと、を含む有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【請求項１２】
第２シート状部材載置ステップ後において、積層された前記第１シート状部材および前記第２シート状部材に対して前記第２シート状部材側から加熱ピンを押圧して熱圧着処理を行う熱圧着ステップを更に有し、
前記熱圧着ステップは、前記第２シート状部材の所望の加熱位置に前記加熱ピンを移動させる加熱ピン移動ステップを含む請求項１１に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【請求項１３】
封止部材移動ステップは、
前記第１平板状吸着プレートと同一以上の寸法を備える第２平板状吸着プレートを、
前記熱圧着処理を施された前記封止部材と前記第２位置決め用プレートを覆うように前記第２平板状吸着プレートを配置して、前記第１平板状吸着プレートと前記第２平板状吸着プレートとの間に前記封止部材及び前記第２位置決め用プレートを固定する固定ステップと、
前記シート状部材吸着部の吸着を開放する吸着開放ステップと、
前記封止部材、前記第２位置決め用プレート、前記第１平板状吸着プレート、及び前記第２平板状吸着プレートを一体のまま移載する移載ステップと、含み、
前記第１平板状吸着プレートおよび前記第２平板状吸着プレートは、いずれか一方が磁石を含有し、他方が磁性体からなることにより、前記第１平板状吸着プレートと前記第２平板状吸着プレートとを固着する請求項１２に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【請求項１４】
前記封止部材を前記基板に貼り合せるための粘着材であって、シート状に形成されて予め一の面には剥離紙が貼付され、前記一の面とは反対の面は前記剥離紙が帯状のテープ部材に貼付された前記粘着材を前記封止部材に貼り合せる粘着材貼り合せ装置のテープ部材吸着部が、前記粘着材が貼付された前記テープ部材における前記粘着材が貼付されている面の反対側の面を吸着する吸着動作を行うテープ部材吸着ステップと、
前記テープ部材吸着部が、前記第１シート状部材が上面の一部をなすように載置テーブルに載置されている前記封止部材の上方で前記テープ部材を吸着して保持する吸着保持ステップと、
前記粘着材貼り合せ装置の円筒状に形成されて中心軸周りに回転するローラ部が、前記テープ部材吸着部から前記テープ部材を剥離しながら前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を帯状の前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動するとともに、周面によって前記テープ部材側から前記粘着材を前記封止部材に押しつけて前記粘着材を前記封止部材に貼り合せる粘着材貼り合せステップを含む請求項１１乃至１３のいずれか１項に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【請求項１５】
前記テープ部材吸着部は、前記粘着材貼り合せステップで、前記ローラ部が前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部側から前記テープ部材を剥離していくときに、前記テープ部材の他方の端部側において前記吸着動作を継続する請求項１４に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【請求項１６】
前記テープ部材は、前記剥離紙が貼付される貼付領域と前記貼付領域の外方にある余白領域とを有し、
前記ローラ部は、前記粘着材貼り合せステップで、前記テープ部材の長手方向の一方の端部の前記余白領域から他方の端部の方向へ、前記貼付領域に亘り前記粘着材を前記封止部材に貼り合せるように転動する請求項１４または請求項１５に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【請求項１７】
前記粘着材貼り合せ装置は、
前記テープ部材吸着部の上方を覆う上面部と、前記載置テーブルの下方を覆う下面部と、前記上面部と前記下面部とに挟まれた空間の側方を覆う側面部とを含み、
前記下面部と前記上面部とが相対的に近づくことによって、前記上面部に前記側面部の上端が当接し、前記側面部の下端に前記下面部が当接した状態であって、前記テープ部材を吸着している前記テープ部材吸着部および前記封止部材が載置されている前記載置テーブルを収容した前記空間内を密閉する第１状態と、前記下面部が前記上面部から離間することによって、前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を前記ローラ部が転動可能な隙間を有する第２状態との間で相互に遷移し、
前記粘着材貼り合せステップが実行される前に、少なくとも前記下面部を収容した真空チャンバにおいて、前記第１状態とされたときに前記空間から空気を排出して減圧状態とする減圧ステップが実行され、
前記減圧ステップが行われた後に、前記第２状態において前記空間内を減圧状態に維持し、前記粘着材貼り合せステップが実行される請求項１４乃至１６のいずれか１項に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【請求項１８】
窒素雰囲気中に設置されたテープ部材剥離装置の把持部が、前記テープ部材において前記剥離紙が貼付された貼付領域の外方にある余白領域を把持し、前記テープ部材とともに前記テープ部材に貼付された前記剥離紙を前記粘着材から剥離する粘着材剥離ステップと、
前記テープ部材を載置可能な上面を有する載置台に、前記粘着材剥離ステップで前記把持部が前記粘着材から剥離した前記テープ部材および前記剥離紙を載置するテープ部材載置ステップとを含み、
窒素雰囲気と外気とは仕切り部材で仕切られ、
前記仕切り部材には、前記載置台が上方に移動すると前記載置台と嵌合する貫通孔が天面に設けられるとともに、前記貫通孔を外方から覆う蓋部が設置され、
前記載置台を上方に移動させて前記テープ部材が載置された前記上面によって前記蓋部を押し上げる蓋部押し上げステップをさらに含む請求項１４乃至１７のいずれか１項に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【請求項１９】
前記基板を吸着する基板吸着上面部と、
前記吸着上面部の下方に位置し、前記基板の端部のみを下方から支持可能な支持台部と、
前記基板吸着上面部の下方に位置し、前記封止部材が載置される部材セット部と、
前記基板吸着上面部の中央に設けられた、前記基板の中央部を吸着可能でかつ上下に移動可能な可動式吸着部とを有する前記封止部材貼り合せ装置が、
前記基板を、前記基板吸着上面部と前記可動式吸着部とによって吸着する状態から、前記基板吸着上面部の吸着を停止することによって前記可動式吸着部と前記支持台部とにより支持する状態とする基板支持ステップと、
その後、前記可動式吸着部を下方に移動させることにより前記基板の中央部を前記支持台部より下方に押し下げた状態とする基板押下ステップと、
次いで、前記可動式吸着部による前記基板の吸着を維持したまま、前記封止部材が載置された前記部材セット部を上方に移動させ、前記基板と前記可動式吸着部とを連動させながら、前記部材セット部を前記基板と前記封止部材とともに前記吸着上面部に押し付けることで、前記基板の中央部から端部に向かって順次前記基板と前記封止部材とを貼り合わせる貼り合せステップとを実行する請求項１１乃至１８のいずれか１項に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【請求項２０】
前記封止部材と前記基板とを熱圧着する熱圧着装置において、前記封止部材の端部に対応する位置に凸部が設けられているホットプレート部が、前記貼り合せステップで前記基板に貼り付けられた前記封止部材をさらに前記基板に押しつけるとともに前記封止部材を加熱する封止部材熱圧着処理を行う封止部材熱圧着ステップを含む請求項１１乃至１９のいずれか１項に記載の有機ＥＬ発光モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ発光モジュールの製造システム、および有機ＥＬ発光モジュールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）発光モジュールは、例えば、ガラスやプラスチックなどの透光性基板、透明電極からなる陽極、有機薄膜からなる有機ＥＬ層、陰極を順次積層した有機ＥＬ素子を具備するものであり、数Ｖ程度の低電圧で高輝度の面発光を示すこと、発光物質の選択により任意の色調での発光が可能であることなどの理由により、近年実用化に向けて精力的に開発が行なわれている。
【０００３】
特許文献１〜３には、それぞれ有機ＥＬ発光モジュールの製造方法が記載されている。
【０００４】
有機ＥＬ発光モジュールは、有機ＥＬ層や陰極を大気に晒された状態で放置すると、大気中の水分により有機ＥＬ層の発光領域があたかも収縮するように非発光領域が拡大する現象（シュリンク）が生じ、その結果有機ＥＬ素子が劣化する。
【０００５】
特許文献１および特許文献２には、金属箔を用いて有機ＥＬ層を封止する方法が記載されている。また、特許文献３には、封止用接着剤によって有機ＥＬ層を封止する方法が記載されている。また、特許文献４には、封止層内に脱水剤や脱酸素剤を配置して、有機ＥＬ素子の水分や酸素による劣化を防ぐ構造が記載されている。
【０００６】
しかしながら、特許文献１〜３に記載されている方法では、１つの層によって有機ＥＬ層を封止しているが、当該１つの層を外部からの水分が透過して有機ＥＬ素子を劣化させるおそれがあるという問題があった。また、特許文献４には、脱水剤等を配置することにより有機ＥＬ素子の劣化を防ぐ構造が記載されているが、このような複雑な積層構造を有する封止構造を精度よくかつ効率的に実現する製造システムや製造方法については十分な検討がなされていなかった。
【０００７】
このようなことを鑑みて、特許文献５においては、内蔵する有機ＥＬ素子の劣化を良好に抑制することができる有機ＥＬ発光モジュールを高精度かつ高効率で製造するために、吸湿層および保護層が積層された封止部材を作製する封止部材作製装置と、有機ＥＬ素子が形成されている基板の一方の面に封止部材を貼り合せて有機ＥＬ素子を封止する封止部材貼り合せ装置とを備える製造システムが開示されている。特に、特許文献５の封止部材作製装置は、吸着ヘッドが吸湿層および保護層を順次吸着することによって吸湿層および保護層が積層された封止部材を作製する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−３０３５２８号公報
【特許文献２】特開２００４−３０３５２９号公報
【特許文献３】特開２００７−３５５１４号公報
【特許文献４】特開２００６−８００８４号公報
【特許文献５】国際公開第２０１４／０８４２８４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
各種の要求に対応させて種々の寸法を有する有機ＥＬ素子を作製する場合があるものの、寸法が異なる各有機ＥＬ素子に対応させて封止部材作成装置の寸法も変更する必要が生じる。しかしながら、特許文献５に開示されている製造システムでは、位置決めを行うステージ、及びピン等の各種部材を全て設置しなおす必要があり、製造される有機ＥＬ素子の寸法に対応した封止部材作成装置の切り替えの手間が増加し、これによって製造コストも増加するという問題がある。
【００１０】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、内蔵する有機ＥＬ素子の劣化が良好に抑制された有機ＥＬ発光モジュールを高精度且つ高効率で製造しつつ、有機ＥＬ素子の寸法に応じた切り替えを容易に行うことができる有機ＥＬ発光モジュールの製造システム、及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明の第１の態様は、有機ＥＬ発光モジュールの製造システムにおいて、第１シート状部材、および前記第１シート状部材よりも広い面を有する第２シート状部材が積層された封止部材を作製する封止部材作製装置と、前記封止部材を移載する移載装置と、有機ＥＬ素子が形成されている基板の一方の面に前記封止部材を貼り合せて、前記基板と前記封止部材との間に前記有機ＥＬ素子を封止する封止部材貼り合せ装置と、を備え、前記封止部材作製装置は、多孔質吸着テーブルおよび前記多孔質吸着テーブルに接続された吸引機構を有するシート状部材吸着部と、前記第１シート状部材を１以上配置可能な表面積を有するとともに前記第１シート状部材を吸引して吸着するための複数の吸着孔を設けられ、前記シート状部材吸着部の吸引によって前記シート状部材吸着部に吸着固定される第１平板状吸着プレートと、前記第１シート状部材を所定の配置とするための開口部を１以上有し、前記シート状部材吸着部に対して位置決めされつつ、前記第１平板状吸着プレート上に着脱自在に保持される第１位置決め用プレートと、前記第２シート状部材を所定の配置とするための開口部を１以上有し、前記第１位置決め用プレートが取り外された状態において、前記シート状部材吸着部に対して位置決めされつつ、前記第１平板状吸着プレート上に着脱自在に保持される第２位置決め用プレートと、を備えることである。
【００１２】
第１の態様においては、シート状部材吸着部上に第１平板状吸着プレートが吸着固定され、更に当該第１平板状吸着プレート上に各シート状部材の位置決めをなす位置決め用プレートが配置されるため、封止部材の寸法が変更されたとしても、各位置決めプレートのみを変更すればよいため、有機ＥＬ素子の寸法に応じた製造システムとしての切り替えを容易に行うことができる。
【００１３】
本発明の第２の態様によれば、上記本発明の第１の態様において、前記封止部材作製装置は、積層された前記第１シート状部材および前記第２シート状部材に対して前記第２シート状部材側から押圧して熱圧着処理を行う加熱ピンと、積層された前記第１シート状部材および前記第２シート状部材に対して前記加熱ピンを移動自在に支持する移動機構と、を備える熱圧着部を更に含んでもよい。本発明の第２の態様においては、並設された複数の第２シート状部材のそれぞれに対して、容易且つ連続的に熱圧着処理を行うことができるため、熱圧着処理の短縮化及び製造コストの低減を図ることができる。
【００１４】
本発明の第３の態様によれば、上記本発明の第２の態様において、前記移載装置は、前記第１平板状吸着プレートと同一以上の寸法を備える第２平板状吸着プレートと、前記熱圧着処理を施された前記封止部材と前記第２位置決め用プレートを覆うように前記第２平板状吸着プレートを配置して、前記第１平板状吸着プレートと前記第２平板状吸着プレートとの間に前記封止部材及び前記第２位置決め用プレートを固定する固定手段と、前記シート状部材吸着部の吸着を開放した後に、前記封止部材、前記第２位置決め用プレート、前記第１平板状吸着プレート、及び前記第２平板状吸着プレートを一体のまま移載する移載手段と、を有し、前記第１平板状吸着プレートおよび前記第２平板状吸着プレートは、いずれか一方が磁石を含有し、他方が磁性体からなってもよい。本発明の第３の態様においては、簡易な構造にて封止部材を容易に移載することができ、更には上下反転させても、封止部材の位置ずれが生じにくくなる。
【００１５】
本発明の第４の態様によれば、上記本発明の第１乃至第３の態様のいずれかにおいて、前記封止部材を前記基板に貼り合せるための粘着材を前記封止部材に貼り合せる粘着材貼り合せ装置をさらに備え、前記粘着材は、シート状に形成されており、シート状に形成された前記粘着材の一の面には剥離紙が貼付され、前記剥離紙の前記一の面とは反対の面は帯状のテープ部材に貼付され、前記粘着材貼り合せ装置は、前記粘着材が貼付された前記テープ部材における前記粘着材が貼付されている面の反対側の面を吸着する吸着動作を行うテープ部材吸着部と、円筒状に形成されて中心軸周りに回転するローラ部とを含み、前記テープ部材吸着部は、前記第１シート状部材が上面の一部をなすように載置テーブルに載置されている前記封止部材の上方で前記テープ部材を吸着して保持し、前記ローラ部は、前記テープ部材吸着部から前記テープ部材を剥離しながら前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を帯状の前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動するとともに、周面によって前記テープ部材側から前記粘着材を前記封止部材に押しつけて前記粘着材を前記封止部材に貼り合せてもよい。本発明の第４の態様においては、ローラ部が、テープ部材の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動して、周面によってテープ部材側から粘着材を封止部材に押しつけて粘着材を封止部材に貼り合せるように構成されているので、粘着材と封止部材との間に空間が生じることを良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機ＥＬ発光モジュールを製造することができる。
【００１６】
本発明の第５の態様によれば、上記本発明の第４の態様において、前記テープ部材吸着部は、前記ローラ部が前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部側から前記テープ部材を剥離していくときに、前記テープ部材の他方の端部側において前記吸着動作を継続してもよい。本発明の第５の態様においては、テープ部材吸着部は、ローラ部がテープ部材の長手方向に沿って一方の端部側からテープ部材を封止部材に貼合していくときに、テープ部材の他方の端部側において吸着動作を継続するので、ローラ部の転動中にテープ部材の下方への落下を防止することができる。
【００１７】
本発明の第６の態様によれば、上記本発明の第４又は第５の態様において、前記テープ部材は、前記剥離紙が貼付される貼付領域と前記貼付領域の外方にある余白領域とを有し、前記ローラ部は、前記テープ部材の長手方向の一方の端部の前記余白領域から他方の端部の方向へ、前記貼付領域に亘り前記粘着材を前記封止部材に貼り合せるように転動してもよい。本発明の第６の態様においては、テープ部材に余白領域が形成されているため、テープ部材を容易に引き出すことができる。
【００１８】
本発明の第７の態様によれば、上記本発明の第４乃至第６の態様のいずれかにおいて、前記粘着材貼り合せ装置は、前記テープ部材吸着部の上方を覆う上面部と、前記載置テーブルの下方を覆う下面部と、前記上面部と前記下面部とに挟まれた空間の側方を覆う側面部とを含み、前記下面部と前記上面部とが相対的に近づくことによって、前記上面部に前記側面部の上端が当接し、前記側面部の下端に前記下面部が当接した状態であって、前記テープ部材を吸着している前記テープ部材吸着部および前記封止部材が載置されている前記載置テーブルを収容した前記空間内を密閉する第１状態と、前記下面部が前記上面部から離間することによって、前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を前記ローラ部が転動可能な隙間を有する第２状態との間で相互に遷移し、少なくとも前記下面部を収容した真空チャンバにおいて、前記第１状態とされたときに前記空間から空気を排出して減圧状態とするとともに、前記第２状態においても前記空間内を減圧状態に維持してもよい。本発明の第７の態様においては、下面部と上面部とが相対的に近づいた第１状態で減圧化が行われるように構成されているので、減圧化を行う空間の体積を小さくすることができるため、真空減圧工程の時間を短縮でき、有機ＥＬ発光モジュールの生産効率を高めることができる。
【００１９】
本発明の第８の態様によれば、上記本発明の第４乃至第７の態様のいずれかにおいて、前記テープ部材とともに前記テープ部材に貼付された前記剥離紙を前記粘着材から剥離するテープ部材剥離装置をさらに備え、前記テープ部材剥離装置は、窒素雰囲気中に設置され、前記テープ部材において前記剥離紙が貼付された貼付領域の外方にある余白領域を把持し、前記テープ部材とともに前記テープ部材に貼付された前記剥離紙を前記粘着材から剥離する把持部と、前記把持部が前記粘着材から剥離した前記テープ部材および前記剥離紙が載置され、前記テープ部材を載置可能な上面を有する載置台とを含み、窒素雰囲気と外気とを仕切るための仕切り部材には、前記載置台が上方に移動すると前記載置台と嵌合する貫通孔が天面に設けられるとともに、前記貫通孔を外方から覆う蓋部が設置され、前記載置台は、上方に移動すると前記テープ部材が載置された前記上面によって前記蓋部を押し上げてもよい。本発明の第８の態様においては、窒素雰囲気と外気とを仕切るための仕切り部材に、載置台が上方に移動すると載置台と嵌合する貫通孔が設けられ、載置台の上面によって当該貫通孔を覆う蓋部を押し上げるように構成されているので、貫通孔を通した窒素と外気との混合を良好に防いで外気の混合による不良品発生を良好に抑制することができ、有機ＥＬ発光モジュールの生産効率を高めることができる。
【００２０】
本発明の第９の態様によれば、上記本発明の第１乃至第８の態様のいずれかにおいて、前記封止部材貼り合せ装置は、前記基板を吸着する基板吸着上面部と、前記吸着上面部の下方に位置し、前記基板の端部のみを下方から支持可能な支持台部と、前記基板吸着上面部の下方に位置し、前記封止部材が載置される部材セット部と、前記基板吸着上面部の中央に設けられた、前記基板の中央部を吸着可能でかつ上下に移動可能な可動式吸着部とを含み、前記基板が、前記基板吸着上面部と前記可動式吸着部とにより吸着された状態から、前記基板吸着上面部の吸着を停止することによって前記可動式吸着部と前記支持台部とにより支持される状態とし、その後、前記可動式吸着部を下方に移動させることにより前記基板の中央部を前記支持台部より下方に押し下げた状態とし、次いで、前記可動式吸着部による前記基板の吸着を維持したまま、前記封止部材が載置された前記部材セット部を上方に移動させ、前記基板と前記可動式吸着部とを連動させながら、前記部材セット部を前記基板と前記封止部材とともに前記吸着上面部に押し付けることで、前記基板の中央部から端部に向かって順次前記基板と前記封止部材とを貼り合わせるように構成されていてもよい。本発明の第９の態様においては、基板が可動式吸着部と支持台部とにより支持される状態とし、その後、可動式吸着部を下方に移動させることにより基板の中央部を支持台部より下方に押し下げた状態とし、次いで、可動式吸着部による基板の吸着を維持したまま、粘着材が貼り合された封止部材が載置された部材セット部を上方に移動させ、基板と可動式吸着部とを連動させながら、部材セット部を基板と粘着材が貼り合された封止部材とともに吸着上面部に押し付けることで、基板の中央部から端部に向かって順次基板と封止部材とを粘着材を介して貼り合わせるように構成されているので、基板と封止部材との間に空隙が生じることを良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機ＥＬ発光モジュールを製造することができる。また、可動式吸着部による基板の吸着を維持したまま当該基板と封止部材とを貼り合わせるので、基板における所定の位置に精度良く粘着材及び封止部材を貼付することができるため、位置ずれによる不良品の発生が抑制された生産効率の高い有機ＥＬ発光モジュールの製造システムを実現することができる。
【００２１】
本発明の第１０の態様によれば、上記本発明の第１乃至第９の態様のいずれかにおいて、前記封止部材と前記基板とを熱圧着する熱圧着装置をさらに備え、前記熱圧着装置は、前記封止部材を前記基板に押しつけるとともに前記封止部材を加熱する封止部材熱圧着処理を行うホットプレート部を含み、前記ホットプレート部は、前記封止部材の端部に対応する位置に凸部が設けられていることが好ましい。本発明の第１０の態様において、ホットプレート部には、封止部材の端部に対応する位置に凸部が設けられているので、粘着材が貼り合された封止部材の外縁部をより確実に基板に熱圧着し、基板の一方の面に形成された有機ＥＬ素子および第１のシート状部材をより確実に封止して、有機ＥＬ素子の劣化を良好に抑制することができる。
【００２２】
また、上記目的を達成するために、本発明の第１１の態様は、有機ＥＬ発光モジュールの製造方法であって、第１シート状部材、および前記第１シート状部材よりも広い面を有する第２シート状部材が積層された封止部材を作製する封止部材作製装置の、前記第１シート状部材および前記第２シート状部材を順次載置可能なステージ面を有するステージ部に、前記第１シート状部材が載置される第１シート状部材載置ステップと、前記ステージ部において、前記第１シート状部材が載置された領域を含む領域に前記第２シート状部材が載置される第２シート状部材載置ステップと、有機ＥＬ素子が形成されている基板に対して前記封止部材を貼り合わせるための貼り合わせ位置に前記封止部材を移動させる封止部材移動ステップと、封止部材貼り合せ装置が、有機ＥＬ素子が形成されている基板の一方の面に前記封止部材を貼り合せて、前記基板と前記封止部材との間に前記有機ＥＬ素子を封止する有機ＥＬ封止ステップと、を有し、前記第１シート状部材載置ステップは、多孔質吸着テーブルおよび前記多孔質吸着テーブルに接続された吸引機構を有するシート状部材吸着部に対して、前記第１シート状部材を１以上配置可能な表面積を有するとともに前記第１シート状部材を吸引して吸着するための複数の吸着孔が設けられた第１平板状吸着プレートを、前記シート状部材吸着部の吸引によって前記シート状部材吸着部に吸着固定する第１平板状吸着プレート吸着固定ステップと、前記第１シート状部材を所定の配置とするための開口部を１以上有する第１位置決め用プレートを、前記シート状部材吸着部に対して位置決めしつつ、前記第１平板状吸着プレート上に着脱自在に保持する第１位置決め用プレート保持ステップと、前記第１シート状部材を前記第１位置決め用プレートの開口部に載置し、前記吸引機構による吸引によって前記第１シート状部材を吸着固定する第１シート状部材吸着固定ステップと、前記第１位置決め用プレートを前記第１平板状吸着プレートから取り外す第１位置決め用プレート取外しステップと、を含み、前記第２シート状部材載置ステップは、前記第２シート状部材を所定の配置とするための開口部を１以上有する第２位置決め用プレートを、前記シート状部材吸着部に対して位置決めしつつ、前記第１平板状吸着プレート上に着脱自在に保持する第２位置決め用プレート保持ステップと、前記第２シート状部材を前記第２位置決め用プレートの開口部に載置する第２シート状部材載置ステップと、を含むことである。
【００２３】
第１１の態様においては、シート状部材吸着部上に第１平板状吸着プレートが吸着固定され、更に当該第１平板状吸着プレート上に各シート状部材の位置決めをなす位置決め用プレートが配置されるため、封止部材の寸法が変更されたとしても、各位置決めプレートのみを変更すればよいため、有機ＥＬ素子の寸法に応じた製造工程としての切り替えを容易に行うことができる。
【００２４】
本発明の第１２の態様によれば、上記本発明の第１１の態様において、第２シート状部材載置ステップ後において、積層された前記第１シート状部材および前記第２シート状部材に対して前記第２シート状部材側から加熱ピンを押圧して熱圧着処理を行う熱圧着ステップを更に有し、前記熱圧着ステップは、前記第２シート状部材の所望の加熱位置に前記加熱ピンを移動させる加熱ピン移動ステップを含んでもよい。本発明の第１２の態様においては、並設された複数の第２シート状部材のそれぞれに対して、容易且つ連続的に熱圧着処理を行うことができるため、熱圧着処理の短縮化及び製造コストの低減を図ることができる。
【００２５】
本発明の第１３の態様によれば、上記本発明の第１２の態様において、封止部材移動ステップは、前記第１平板状吸着プレートと同一以上の寸法を備える第２平板状吸着プレートを、前記熱圧着処理を施された前記封止部材と前記第２位置決め用プレートを覆うように前記第２平板状吸着プレートを配置して、前記第１平板状吸着プレートと前記第２平板状吸着プレートとの間に前記封止部材及び前記第２位置決め用プレートを固定する固定ステップと、前記シート状吸着部材の吸着を開放する吸着開放ステップと、前記封止部材、前記第２位置決め用プレート、前記第１平板状吸着プレート、及び前記第２平板状吸着プレートを一体のまま移載する移載ステップと、含み、前記第１平板状吸着プレートおよび前記第２平板状吸着プレートは、いずれか一方が磁石を含有し、他方が磁性体からなることにより、前記第１平板状吸着プレートと前記第２平板状吸着プレートとを固着してもよい。本発明の第１３の態様においては、簡易な構造にて封止部材を容易に移載することができ、更には上下反転させても、封止部材の位置ずれが生じにくくなる。
【００２６】
本発明の第１４の態様によれば、上記本発明の第１１乃至１３の態様のいずれかにおいて、前記封止部材を前記基板に貼り合せるための粘着材であって、シート状に形成されて予め一の面には剥離紙が貼付され、前記一の面とは反対の面は前記剥離紙が帯状のテープ部材に貼付された前記粘着材を前記封止部材に貼り合せる粘着材貼り合せ装置のテープ部材吸着部が、前記粘着材が貼付された前記テープ部材における前記粘着材が貼付されている面の反対側の面を吸着する吸着動作を行うテープ部材吸着ステップと、前記テープ部材吸着部が、前記第１シート状部材が上面の一部をなすように載置テーブルに載置されている前記封止部材の上方で前記テープ部材を吸着して保持する吸着保持ステップと、前記粘着材貼り合せ装置の円筒状に形成されて中心軸周りに回転するローラ部が、前記テープ部材吸着部から前記テープ部材を剥離しながら前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を帯状の前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動するとともに、周面によって前記テープ部材側から前記粘着材を前記封止部材に押しつけて前記粘着材を前記封止部材に貼り合せる粘着材貼り合せステップを含んでもよい。本発明の第１４の態様においては、ローラ部が、テープ部材の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動して、周面によってテープ部材側から粘着材を封止部材に押しつけて粘着材を封止部材に貼り合せるように構成されているので、粘着材と封止部材との間に空間が生じることを良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機ＥＬ発光モジュールを製造することができる。
【００２７】
本発明の第１５の態様によれば、上記本発明の第１４の態様において、前記テープ部材吸着部は、前記粘着材貼り合せステップで、前記ローラ部が前記テープ部材の長手方向に沿って一方の端部側から前記テープ部材を剥離していくときに、前記テープ部材の他方の端部側において前記吸着動作を継続してもよい。本発明の第１５の態様においては、テープ部材吸着部は、ローラ部がテープ部材の長手方向に沿って一方の端部側からテープ部材を封止部材に貼合していくときに、テープ部材の他方の端部側において吸着動作を継続するので、ローラ部の転動中にテープ部材の下方への落下を防止することができる。
【００２８】
本発明の第１６の態様によれば、上記本発明の第１４又は１５の態様において、前記テープ部材は、前記剥離紙が貼付される貼付領域と前記貼付領域の外方にある余白領域とを有し、前記ローラ部は、前記粘着材貼り合せステップで、前記テープ部材の長手方向の一方の端部の前記余白領域から他方の端部の方向へ、前記貼付領域に亘り前記粘着材を前記封止部材に貼り合せるように転動してもよい。本発明の第１６の態様においては、テープ部材に余白領域が形成されているため、テープ部材を容易に引き出すことができる。
【００２９】
本発明の第１７の態様によれば、上記本発明の第１４乃至１６の態様のいずれかにおいて、前記粘着材貼り合せ装置は、前記テープ部材吸着部の上方を覆う上面部と、前記載置テーブルの下方を覆う下面部と、前記上面部と前記下面部とに挟まれた空間の側方を覆う側面部とを含み、前記下面部と前記上面部とが相対的に近づくことによって、前記上面部に前記側面部の上端が当接し、前記側面部の下端に前記下面部が当接した状態であって、前記テープ部材を吸着している前記テープ部材吸着部および前記封止部材が載置されている前記載置テーブルを収容した前記空間内を密閉する第１状態と、前記下面部が前記上面部から離間することによって、前記テープ部材吸着部と前記テープ部材との間を前記ローラ部が転動可能な隙間を有する第２状態との間で相互に遷移し、前記粘着材貼り合せステップが実行される前に、少なくとも前記下面部を収容した真空チャンバにおいて、前記第１状態とされたときに前記空間から空気を排出して減圧状態とする減圧ステップが実行され、前記減圧ステップが行われた後に、前記第２状態において前記空間内を減圧状態に維持し、前記粘着材貼り合せステップが実行されてもよい。本発明の第１７の態様においては、下面部と上面部とが相対的に近づいた第１状態で減圧化が行われるように構成されているので、減圧化を行う空間の体積を小さくすることができるため、真空減圧工程の時間を短縮でき、有機ＥＬ発光モジュールの生産効率を高めることができる。
【００３０】
本発明の第１８の態様によれば、上記本発明の第１４乃至１７の態様のいずれかにおいて、窒素雰囲気中に設置されたテープ部材剥離装置の把持部が、前記テープ部材において前記剥離紙が貼付された貼付領域の外方にある余白領域を把持し、前記テープ部材とともに前記テープ部材に貼付された前記剥離紙を前記粘着材から剥離する粘着材剥離ステップと、前記テープ部材を載置可能な上面を有する載置台に、前記粘着材剥離ステップで前記把持部が前記粘着材から剥離した前記テープ部材および前記剥離紙を載置するテープ部材載置ステップとを含み、窒素雰囲気と外気とは仕切り部材で仕切られ、前記仕切り部材には、前記載置台が上方に移動すると前記載置台と嵌合する貫通孔が天面に設けられるとともに、前記貫通孔を外方から覆う蓋部が設置され、前記載置台を上方に移動させて前記テープ部材が載置された前記上面によって前記蓋部を押し上げる蓋部押し上げステップをさらに含んでもよい。本発明の第１８の態様においては、窒素雰囲気と外気とを仕切るための仕切り部材に、載置台が上方に移動すると載置台と嵌合する貫通孔が設けられ、載置台の上面によって当該貫通孔を覆う蓋部を押し上げるように構成されているので、貫通孔を通した窒素と外気との混合を良好に防いで外気の混合による不良品発生を良好に抑制することができ、有機ＥＬ発光モジュールの生産効率を高めることができる。
【００３１】
本発明の第１９の態様によれば、上記本発明の第１１乃至１８の態様のいずれかにおいて、前記基板を吸着する基板吸着上面部と、前記吸着上面部の下方に位置し、前記基板の端部のみを下方から支持可能な支持台部と、前記基板吸着上面部の下方に位置し、前記封止部材が載置される部材セット部と、前記基板吸着上面部の中央に設けられた、前記基板の中央部を吸着可能でかつ上下に移動可能な可動式吸着部とを有する前記封止部材貼り合せ装置が、前記基板を、前記基板吸着上面部と前記可動式吸着部とによって吸着する状態から、前記基板吸着上面部の吸着を停止することによって前記可動式吸着部と前記支持台部とにより支持する状態とする基板支持ステップと、その後、前記可動式吸着部を下方に移動させることにより前記基板の中央部を前記支持台部より下方に押し下げた状態とする基板押下ステップと、次いで、前記可動式吸着部による前記基板の吸着を維持したまま、前記封止部材が載置された前記部材セット部を上方に移動させ、前記基板と前記可動式吸着部とを連動させながら、前記部材セット部を前記基板と前記封止部材とともに前記吸着上面部に押し付けることで、前記基板の中央部から端部に向かって順次前記基板と前記封止部材とを貼り合わせる貼り合せステップとを実行してもよい。本発明の第１９の態様においては、基板が可動式吸着部と支持台部とにより支持される状態とし、その後、可動式吸着部を下方に移動させることにより基板の中央部を支持台部より下方に押し下げた状態とし、次いで、可動式吸着部による基板の吸着を維持したまま、粘着材が貼り合された封止部材が載置された部材セット部を上方に移動させ、基板と可動式吸着部とを連動させながら、部材セット部を基板と粘着材が貼り合された封止部材とともに吸着上面部に押し付けることで、基板の中央部から端部に向かって順次基板と封止部材とを粘着材を介して貼り合わせるように構成されているので、基板と封止部材との間に空隙が生じることを良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機ＥＬ発光モジュールを製造することができる。また、可動式吸着部による基板の吸着を維持したまま当該基板と封止部材とを貼り合わせるので、基板における所定の位置に精度良く粘着材及び封止部材を貼付することができるため、位置ずれによる不良品の発生が抑制された生産効率の高い有機ＥＬ発光モジュールを製造することができる。
【００３２】
本発明の第２０の態様によれば、上記本発明の第１１乃至１９の態様のいずれかにおいて、前記封止部材と前記基板とを熱圧着する熱圧着装置において、前記封止部材の端部に対応する位置に凸部が設けられているホットプレート部が、前記貼り合せステップで前記基板に貼り付けられた前記封止部材をさらに前記基板に押しつけるとともに前記封止部材を加熱する封止部材熱圧着処理を行う封止部材熱圧着ステップを含んでもよい。本発明の第２０の態様において、ホットプレート部には、封止部材の端部に対応する位置に凸部が設けられているので、粘着材が貼り合された封止部材の外縁部をより確実に基板に熱圧着し、基板の一方の面に形成された有機ＥＬ素子および第１のシート状部材をより確実に封止して、有機ＥＬ素子の劣化を良好に抑制することができる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、内蔵する有機ＥＬ素子の劣化が良好に抑制された有機ＥＬ発光モジュールを高精度且つ高効率で製造しつつ、有機ＥＬ素子の寸法に応じた切り替えを容易に行うことができる有機ＥＬ発光モジュールの製造システム、及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明による有機ＥＬ発光モジュールの製造システムおよび有機ＥＬ発光モジュールの製造方法によって製造される有機ＥＬ発光モジュールの構成例を示す断面図である。
【図２】本発明による有機ＥＬ発光モジュールの製造システムの全体構成を示すフロー図である。
【図３】封止部材の形成工程ごとにおける封止部材作製装置の要部断面図である。
【図４】封止部材の形成工程であって吸湿層及び保護層を熱圧着する際の封止部材作製装置の斜視図である。
【図５】封止部材の移動ステップごとにおける移載装置の要部断面図である。
【図６】吸湿層と保護層とが積層されて互いに貼り合わされた封止部材が載置された載置テーブルを示す説明図である。
【図７】粘着材貼り合せ装置の要部断面図である。
【図８】吸着反転部材の動作を示す説明図である。
【図９】吸着反転部材と吸着移載部材とによるテープ部材の受け渡しを示す説明図である。
【図１０】真空チャンバによる減圧工程を示す説明図である。
【図１１】粘着材を封止部材に貼付する工程を示す説明図である。
【図１２】吸着ハンドの動作を示す説明図である。
【図１３】テープ部材剥離装置の動作を示す説明図である。
【図１４】テープ部材把持部材による粘着材から剥離したテープ部材および当該テープ部材に貼付されている剥離紙をテープ部材載置台の上面上に載置する動作を示す説明図である。
【図１５】テープ部材載置台の動作を示す説明図である。
【図１６】有機ＥＬ発光モジュールの製造システムに搬入された基板の移動を示す説明図である。
【図１７】封止部材貼り合せ装置における基板の位置調整を示す説明図である。
【図１８】基板の真空チャンバ内への移動を示す説明図である。
【図１９】基板を封止部材に貼り合わせる装置を示す説明図である。
【図２０】可動式中央吸着部の配置パターンを示す説明図である。
【図２１】基板と封止部材とを貼り合わせる工程を示す説明図である。
【図２２】貼り合わされた基板と封止部材とが熱圧着される工程を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、図面を参照し、本発明の実施の形態について、実施の形態および変形例に基づき詳細に説明する。なお、本発明は以下に説明する内容に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲において任意に変更して実施することが可能である。また、実施の形態の説明に用いる図面は、いずれも本発明による有機ＥＬ発光モジュールの製造システムを模式的に示すものであって、理解を深めるべく部分的な強調、拡大、縮小、または省略などを行っており、各構成部材の縮尺や形状等を正確に表すものとはなっていない場合がある。
【００３６】
本発明において、「窒素」または「Ｎ2」と記載された箇所は、窒素のみでなく、アルゴンなどの不活性ガスとしてもよいものとする。窒素またはアルゴンなどの不活性ガス中には、通常、水分および酸素が１００ｐｐｍ以下、好ましくは１０ｐｐｍ以下であり、更に好ましくは５ｐｐｍ以下である。
【００３７】
また、本発明において、雰囲気としての「真空」とは、大気圧から減圧された状態全般を指し、通常１×１０-3〜１００Ｐａ程度の真空度である。
【００３８】
まず、本発明による有機ＥＬ発光モジュールの製造システムおよび有機ＥＬ発光モジュールの製造方法によって製造される有機ＥＬ発光モジュール１について説明する。
【００３９】
図１は、本発明による有機ＥＬ発光モジュールの製造システムおよび有機ＥＬ発光モジュールの製造方法によって製造される有機ＥＬ発光モジュール１の構成例を示す断面図である。図１に示すように、有機ＥＬ発光モジュール１は、基板２、有機ＥＬ素子３、粘着材４、吸湿層５（第１のシート状部材）、および保護層６（第２のシート状部材）を含む。
【００４０】
なお、本実施の形態では、１枚の基板２に、有機ＥＬ素子３、粘着材４、吸湿層５、および保護層６という有機ＥＬ発光モジュール１の要素がそれぞれ複数個形成され、各個間で切断されることにより、複数の有機ＥＬ発光モジュール１が製造される。具体的には例えば、１枚の基板２に、有機ＥＬ素子３、粘着材４、吸湿層５、および保護層６が３行４列に並設されて、１２個の有機ＥＬ発光モジュール１が製造される。以下に示す図面では、各要素がそれぞれ複数示されている場合があるが、複数示されている各要素は互いに同様に構成されている。そして、各図面においては、便宜的に各要素を２個または３個示した図を用いた。なお、各要素が行方向と列方向との少なくとも一方向に複数並設されてもよいし、基板２に１個だけ形成されていてもよい。また、各要素は、行列状に限られず、任意の態様で並設されていてもよい。生産性を向上させる観点からは複数の要素が基板上に形成されていることが好ましく、有機ＥＬ発光モジュール１を断裁しやすいことから行列状に配置されていることが更に好ましい。
【００４１】
図１に示すように、基板２の一方の面２１には有機ＥＬ素子３が形成されている。そして、有機ＥＬ素子３は、基板２の当該一方の面２１に配置されたシート状の粘着材４と当該基板２の当該一方の面２１とによって挟まれている。従って、有機ＥＬ素子３の一方の面３１は基板２の一方の面２１に覆われ、他方の面３２は粘着材４に覆われている。
【００４２】
粘着材４において、有機ＥＬ素子３の他方の面３２を覆う一方の面４１の反対側の他方の面４２には、シート状に形成された吸湿層５が配置されている。従って、吸湿層５は、粘着材４を挟んで有機ＥＬ素子３の他方の面３２に対向するように配置される。なお、吸湿層５は、粘着材４の他方の面４２において、当該粘着材４の一方の面４１における有機ＥＬ素子３に対向している範囲よりも広い範囲に配置されている。
【００４３】
保護層６は、吸湿層５を収容する凹部領域６１と当該凹部領域６１の周囲の平坦領域６２とを有する。そして、保護層６において、平坦領域６２が粘着材４の他方の面４２に貼り合されている。
【００４４】
保護層６は、吸湿層５を収容する領域をあらかじめ凹状に成型加工して凹部領域６１を形成しておくか、または吸湿層５が形成された後、吸湿層５の形状に合わせて保護層６に凹部領域６１を形成することが好ましい。凹部の深さは、吸湿層５の厚みと略同等であることが好ましい。その理由は、吸湿層５と保護層６とによって形成される面が平面となるため粘着材４との密着性が良好になり、外部からの水分や酸素の浸入を良好に防ぐことができるからである。なお、保護層６と、当該保護層６の凹部領域６１に収容された吸湿層５とで封止部材１０を構成する。
【００４５】
次に、有機ＥＬ発光モジュール１の各構成要素について説明する。
（基板）
基板２は有機ＥＬ素子の支持体となるものであり、石英やガラスの板、金属板や金属箔、プラスチックフィルムやシート等を用いることができる。特にガラス板や、ポリエステル、ポリメタクリレート、ポリカーボネート、ポリスルホン等の透明な合成樹脂の板またはシートが好ましい。合成樹脂製基板を使用する場合には、ガスバリア性に留意する必要がある。基板２のガスバリア性が小さすぎると、基板２を透過した外気により有機ＥＬ素子３が劣化することがある。このため、合成樹脂製基板の少なくとも片面に緻密なシリコン酸化膜等を設けてガスバリア性を確保する方法も好ましい方法の一つである。基板２の厚みは、通常０．０１〜１０ｍｍ、好ましくは０．０２〜１ｍｍである。
【００４６】
（有機ＥＬ素子）
有機ＥＬ素子３は、基板２上に形成された第１の電極と、第１の電極上に形成された有機ＥＬ層と、有機ＥＬ層上に形成された第２の電極とを有する。有機ＥＬ素子３の有機ＥＬ層の発光層で発せられた光は、基板２を通して取り出される。有機ＥＬ素子３の構成およびその構成材料には、従来から公知のものを採用することができる。
【００４７】
（粘着材）
粘着材４は、基板２および有機ＥＬ素子３と、吸湿層５および保護層６とを貼り合せるものであり、例えば、厚さ２５〜１００μｍ程度の熱可塑性シート状粘着材によってなる。粘着材４の特性は、吸湿層５、保護層６とともに、有機ＥＬ発光モジュール１の封止性能に大きな影響を及ぼすため、より水分や酸素を保持しにくい材料であることが好ましい。
【００４８】
粘着材４は熱可塑性であることが好ましく、熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。粘着材４に含まれる熱可塑性樹脂としては特に限定されないが、例えばポリプロピレン、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリイソブチレン、ポリエステル、ポリイソプレンなどを挙げることができる。これらは単独で又は２種以上組み合わせて使用してもよい。熱可塑性樹脂のガラス転移温度は、耐熱性の観点から、通常−８０℃以上、好ましくは−２０℃以上であり、上限は特に限定されない。粘着材４にはさらに、石油樹脂や環状オレフィン系重合体を含むことも好ましい。
【００４９】
（吸湿層）
吸湿層５には乾燥剤が含まれるが、乾燥剤としては吸湿性の高いものであれば特に限定されるものではない。例えば、アルカリ土類金属、アルカリ金属若しくはそれらの酸化物、又は無機多孔質材料などを挙げることができる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて使用することができる。中でも、吸湿性と取り扱いの安全性の観点から、アルカリ土類金属又はアルカリ金属の酸化物、無機多孔質材料が好ましく、酸化カルシウム、ゼオライトが特に好ましい。吸湿層５はシート状であることが好ましい。シート状の吸湿層は、例えば粉末状の乾燥剤を樹脂と混合してシート状に成型して作製することができる。吸湿層は、乾燥剤以外の成分を含有していてもよく、例えば、高熱伝導性のＳｉ，ＡｌＮ，Ｃからなる粒子、ロッドなどを挙げることができる。
【００５０】
図１に示すように、本実施の形態の吸湿層５はシート状に形成されており、厚みの下限値は、通常０．１μｍ以上、好ましくは１μｍ以上、より好ましくは１０μｍ以上である。また厚みの上限値は、通常５００μｍ以下、好ましくは２００μｍ以下、より好ましくは１００μｍ以下である。
【００５１】
（保護層）
保護層６は、外部からの水分や酸素を遮断するとともに、背面部材を製造する際の支持体としても機能する場合もある。また、保護層６は、可撓性を有していてもよい。
【００５２】
保護層６は、通常、金属箔又はプラスチックフィルムと無機化合物層との積層体などを用いることができる。保護層６は、ガスバリア性を有するものが好ましい。ガスバリア性を有する金属としては、例えば、アルミニウム、銅、ニッケルや、ステンレス、アルミニウム合金などの合金材料などが挙げられる。また、プラスチックフィルムと無機化合物層との積層体としては、プラスチックフィルムに酸化ケイ素、酸化アルミニウムなどの無機酸化物の層、窒化ケイ素、窒化アルミニウム等の無機窒化物の層を一層又は多層積層してなる積層フィルムなどがあげられる。保護層６は、外部からの水分や酸素の遮断性の観点からは金属箔が好ましく、金属箔としては、コスト低減および加工性の観点から銅箔およびアルミニウム箔が好ましく、適度な剛性を有する観点ではアルミニウム箔が好ましい。また、可撓性を有する観点においてはプラスチックフィルムと無機化合物の積層体が好ましい。
【００５３】
保護層６の厚みは、通常１〜５００μｍ、好ましくは１０〜２００μｍ、より好ましくは４０〜１００μｍである。
【００５４】
次に、本発明による有機ＥＬ発光モジュール１の製造システムの全体構成について説明する。図２は、本発明による有機ＥＬ発光モジュール１の製造システムの実施の形態の全体構成を示すフロー図である。図２に示すように、本発明による有機ＥＬ発光モジュール１の製造システムは、封止部材作製装置１００、移載装置１７０、粘着材貼り合せ装置２００、テープ部材剥離装置３００、封止部材貼り合せ装置４００、及び熱圧着装置５００を含む。
【００５５】
封止部材作製装置１００は、吸湿層５と保護層６とを積層して封止部材１０を形成する。移載装置１７０は、位置決めがなされた状態の封止部材１０を保持し、粘着材貼り合せ装置２００にまで移載する。粘着材貼り合せ装置２００は、粘着材４を封止部材１０に貼り合せる。テープ部材剥離装置３００は、粘着材４に予め貼付されている剥離紙４５（図１および図２において図示せず）を当該粘着材４から剥離する。封止部材貼り合せ装置４００は、封止部材１０を有機ＥＬ素子３が予め形成された基板２に貼り付ける。熱圧着装置５００は、封止部材１０と基板２とを熱圧着する。
【００５６】
次に、各装置の構成および動作について説明する。
（封止部材作製装置）
図３（ａ）〜（ｃ）は、封止部材１０の形成工程ごとにおける封止部材作製装置１００の要部断面図である。図４は、封止部材１０の形成工程であって吸湿層５及び保護層６を熱圧着する際の封止部材作製装置１００の斜視図である。図３及び図４から分かるように、封止部材作製装置１００は、多孔質吸着テーブル１１０、多孔質吸着テーブルに接続された吸引機構１２０、多孔質吸着テーブル１１０上に載置される第１平板状吸着プレート１３０、第１平板状吸着プレート１３０上に載置される第１位置決め用プレート１４０、
第１位置決め用プレート１４０に代えて第１平板状吸着プレート１３０上に載置される第２位置決め用プレート１４５、及び熱圧着部１５０を備える。
【００５７】
多孔質吸着テーブル１１０は、例えば、平板状の金属、セラミックス、又は樹脂等の材料から形成され、多数の孔（図示せず）を有している。当該孔は、多孔質吸着テーブル１１０の第１平板状吸着プレート１３０との接触面から当該接触面とは反対側の面に向って延在し、多孔質吸着テーブル１１０を貫通していることが好ましい。これは、吸引機構１２０の吸引動作により、多孔質吸着テーブル１１０を経由して吸湿層５の周辺の空気を吸引し、第１平板状吸着プレート１３０及び吸湿層５を確実に吸着するためである。なお、多孔質吸着テーブル１１０の材料は、上述したものに限定されず、当該吸引動作によって歪み又は湾曲等の変形が生じないものから選択することができる。また、孔の延在方向も上述したものに限定されず、第１平板状吸着プレート１３０及び吸湿層５の吸着を行うことができればどのような方向に延在していてもよく、当該多数の孔が規則的に並設されている必要性もない。
【００５８】
吸引機構１２０の一端は、多孔質吸着テーブル１１０の第１平板状吸着プレート１３０との接触面とは反対側の面に対して、着脱自在に配設されている。また、吸引機構１２０の他端（図示せず）には、吸引ポンプが配設されている。更に、吸引機構１２０の内部には吸引路１２０ａが形成されている。当該吸引路１２０ａは、多孔質吸着テーブル１１０の孔と連通することになり、吸湿層５の周辺の空気が当該吸引路１２０ａを経由して当該吸引ポンプに引き込まれることになる。なお、本実施の形態においては、多孔質吸着テーブル１１０及びこれに接続された吸引機構１２０から、シート状部材吸着部１６０が構成されている。
【００５９】
第１平板状吸着プレート１３０は、例えば、磁性を備える平板状の金属等の材料から形成されている。第１平板状吸着プレート１３０は、多孔質吸着テーブル１１０の多数の孔及び吸引機構１２０の吸引路１２０ａを経由したシート状部材吸着部１６０の吸引により、多孔質吸着テーブル１１０（すなわち、シート状部材吸着部１６０）に吸着固定される。
【００６０】
また、第１平板状吸着プレート１３０は、吸湿層５を１以上配置可能な面積を有するとともに、吸湿層５を吸引して吸着するための複数の吸引孔１３０ａを有している。すなわち、吸引孔１３０ａは、吸湿層５が設置される領域に形成されていることになる。更に、第１平板状吸着プレート１３０が多孔質吸着テーブル１１０上に載置されと、当該吸引孔１３０ａは多孔質吸着テーブル１１０の孔と連通することになる。従って、吸引路１２０ａ、多孔質吸着テーブル１１０の孔、及び吸引孔１３０ａが連通されることになり、吸引機構１２０が駆動すると、吸湿層５が当該連通した孔を経由した吸引によって第１平板状吸着プレート１３０上に吸着固定されることになる。
【００６１】
第１位置決め用プレート１４０は、例えば、平板状のアルミ板から形成されている。また、第１位置決め用プレート１４０は、吸湿層５を所定の場所に配置するための（すなわち、吸湿層５を所定の配置とするための）開口部１４０ａを有している。本実施の形態においては、６つの開口部１４０ａが設けられているが、吸湿層５の寸法に応じて、当該数量は適宜変更することができる。更に、第１位置決め用プレート１４０は、シート状部材吸着部１６０に対して位置決めされている。当該位置決めは、例えば、多孔質吸着テーブル１１０の外縁に設けられた位置決めピン（図示せず）に対して、第１位置決め用プレート１４０に設けられた貫通孔（図示せず）を嵌挿することによって行われる。なお、当該位置決めは、第１位置決め用プレート１４０に位置決めピンが設けられ、多孔質吸着テーブル１１０の外縁に設けられた貫通孔に当該位置決めピンを嵌挿することによって行われてもよい。
【００６２】
第２位置決め用プレート１４５は、例えば、平板状のアルミ板から形成されている。また、第２位置決め用プレート１４５は、保護層６を所定の場所に配置するための（すなわち、保護層６を所定の配置とするための）開口部１４５ａを有している。本実施の形態においては、開口部１４５ａは、開口部１４０ａよりも大きくなっている。また、本実施の形態においては、図４から分かるように、６つの開口部１４５ａが設けられているが、保護層６の寸法に応じて、当該数量は適宜変更することができる。更に、第２位置決め用プレート１４５は、シート状部材吸着部１６０に対して位置決めされている。当該位置決めは、第１位置決め用プレート１４０の位置決めと同様に、多孔質吸着テーブル１１０の外縁に設けられた位置決めピン（図示せず）に対して、第２位置決め用プレート１４５に設けられた貫通孔（図示せず）を嵌挿することによって行われてもよく、第２位置決め用プレート１４５に位置決めピンが設けられ、多孔質吸着テーブル１１０の外縁に設けられた貫通孔に当該位置決めピンを嵌挿することによって行われてもよい。
【００６３】
図４に示すように、熱圧着部１５０は、加熱ピン１５１、及び加熱ピン１５１を支持する支持部材１５２を備えている。加熱ピン１５１は、電気配線（図示せず）が接続されており、所望の電力が供給される。これにより、加熱ピン１５１は供給電力に応じて温度が上昇し、高温状態に維持されることになる。支持部材１５２は、一般的な位置決め装置からなる移動手段（図示せず）を含み、吸引機構１２０の表面に対して平行方向（図４における±Ｘ方向及び±Ｙ方向）に加熱ピン１５１の位置決めを自在に可能とし、且つ加熱対象物に対して近づく方向（−Ｚ方向）及び遠ざかる方向（＋Ｚ方向）に対して加熱ピン１５１の位置決めを自在に可能としている。すなわち、支持部材１５２は、吸湿層５及び保護層６に対して加熱ピン１５１を移動自在に保持する移動機構として機能する。
【００６４】
次に、図３（ａ）〜図３（ｃ）及び図４を参照しつつ、本実施の形態に係る有機ＥＬ発光モジュールの製造方法のステップのうち、封止部材作製装置１００に係るステップについて説明する。
【００６５】
先ず、シート状部材吸着部１６０による吸引を開始しつつ、第１平板状吸着プレート１３０を多孔質吸着テーブル１１０上に設置する。この状況において、第１平板状吸着プレート１３０は、シート状部材吸着部１６０による吸引によって吸着固定される（第１平板状吸着プレート吸着ステップ）。続いて、第１位置決め用プレート１４０を上述した位置決めピンを用いて、第１平板状吸着プレート１３０上に着脱自在に設置する（第１位置決め用プレート保持ステップ）。その後、第１位置決め用プレート１４０の開口部１４０ａに吸湿層５を載置する。この状況においは、吸引機構１２０の吸引路１２０ａ、多孔質吸着テーブル１１０の孔、及び第１平板状吸着プレート１３０の吸引孔１３０ａが連通するため、シート状部材吸着部１６０による吸引により、吸湿層５が第１平板状吸着プレート１３０上に吸着固定されることになる（第１シート状部材吸着固定ステップ）。その後、第１位置決め用プレート１４０を第１平板状吸着プレート１３０から取り外す（第１位置決め用プレート取外しステップ）。以上のステップを経ることで、吸湿層５の載置ステップ（第１シート状部材載置ステップ）が完了する。
【００６６】
次に、第２位置決め用プレート１４５を上述した位置決めピンを用いて、第１平板状吸着プレート１３０上に着脱自在に設置する（第２位置決め用プレート保持ステップ）。その後、第２位置決め用プレート１４５の開口部１４５ａに保護層６を載置する（第２シート状部材載置ステップ）。この際、保護層６は吸湿層５を被覆するように載置され、吸湿層５の外縁部において、保護層６に段差（凹部）が形成されることになる。なお、保護層６と直接的に接触する吸引孔１３０ａが第１平板状吸着プレート１３０に形成されている場合には、保護層６も第１平板状吸着プレート１３０に吸着固定されることになる。
【００６７】
次に、支持部材１５２の移動手段を利用して、加熱ピン１５１を複数の保護層６のいずれかの所望の加熱位置に移動させる（加熱ピン移動ステップ）。その後、保護層６に対して、加熱ピン１５１を保護層６側から押圧して熱圧着処理を行う（熱圧着ステップ）。なお、１つの保護層６に対する熱圧着処理が完了すると、加熱ピン移動ステップを再度行い、他の保護層６の熱圧着処理を行う。
【００６８】
以上のように、本実施の形態によれば、シート状部材吸着部１６０上に第１平板状吸着プレート１３０が吸着固定され、更に当該第１平板状吸着プレート１３０上に吸湿層５及び保護層６の位置決めをなす第１位置決め用プレート１４０及び第２位置決め用プレート１４５が配置されるため、封止部材１０の寸法が変更されたとしても、各位置決めプレートのみを変更すればよく、有機ＥＬ素子の寸法に応じた製造システムとしての切り替えを容易に行うことができる。
【００６９】
また、本実施の形態によれば、熱圧着部１５０の移動機構により、加熱ピン１５１を保護層６に対して自在に位置決めできるため、並設された複数の保護層６のそれぞれに対して、容易且つ連続的に熱圧着処理を行うことができる。これにより、熱圧着処理の短縮化及び製造コストの低減を図ることが可能になる。
【００７０】
（移載装置）
図５（ａ）〜（ｂ）は、封止部材１０の移動ステップごとにおける移載装置１７０の要部断面図である。図２及び図５から分かるように、移載装置１７０は、封止部材作製装置１００によって作製された封止部材１０を粘着材貼り合わせ装置２００に運ぶための装置である。具体的に、移載装置１７０は、封止部材作製装置１００を構成する多孔質吸着テーブル１１０、第１平板状吸着プレート１３０、及び第２位置決め用プレート１４５、並びに第２位置決め用プレート１４５上に設置される第２平板状吸着プレート１８０を有している。すなわち、移載装置１７０の一部の構成部材は、封止部材作製装置１００の構成部材と共通している。
【００７１】
第２平板状吸着プレート１８０は、例えば、平板状の金属、セラミックス、又は樹脂等の材料から形成され且つ磁石を含有している。また、第２平板状吸着プレート１８０には、第１平板状吸着プレート１３０と同一以上の寸法を備えている。更に、第２平板状吸着プレート１８０には、第１平板状吸着プレート１３０の吸引孔１３０ａに対向する位置に吸引孔１８０ａが形成されている。
【００７２】
上述したように、第１平板状吸着プレート１３０は磁性を備えているため、第２平板状吸着プレート１８０と第１平板状吸着プレート１３０とは、磁力によって固定されることになる。すなわち、移載装置１７０は、当該磁力を利用して第２平板状吸着プレート１８０と第１平板状吸着プレート１３０とによって封止部材１０及び第２位置決め用プレート１４５を挟持し、第２平板状吸着プレート１８０と第１平板状吸着プレート１３０との間に封止部材１０及び第２位置決め用プレート１４５を固定する固定手段を備えていることになる。
【００７３】
また、当該磁力を用いた固定により、封止部材１０、第１平板状吸着プレート１３０、第２位置決め用プレート１４５、及び第２平板状吸着プレート１８０を一体のまま移載することが可能になる。すなわち、移載装置１７０は、当該磁力を利用してこれらの部材を一体のまま移載可能にする移載手段を有していることになる。
【００７４】
次に、図５（ａ）〜（ｂ）及び図６を参照しつつ、本実施の形態に係る有機ＥＬ発光モジュールの製造方法のステップのうち、移載装置１７０に係る封止部材移動ステップについて説明する。ここで図６は、吸湿層５と保護層６とが積層されて互いに貼り合された封止部材１０が載置された載置テーブル６１０を示す説明図である。
【００７５】
先ず、図５（ａ）に示すように、封止部材１０及び第２位置決め用プレート１４５を第１平板状吸着プレート１３０と挟持するように、第２平板状吸着プレート１８０を保護層６及び第２位置決め用プレート１４５上に配置する。この際、第２平板状吸着プレート１８０に含まれる磁石が第１平板状吸着プレート１３０を引き付け、第１平板状吸着プレート１３０と第２平板状吸着プレート１８０との間に封止部材１０及び第２位置決め用プレート１４５が固定されることになる（固定ステップ）。
【００７６】
次に、吸引機構１２０による吸引を停止し、シート状部材吸着部１６０の吸着を開放する（吸着開放ステップ）。これにより、第１平板状吸着プレート１３０と第２平板状吸着プレート１８０との間に固定された状態の封止部材１０を移載することが可能になる。次に、第１平板状吸着プレート１３０と第２平板状吸着プレート１８０とによって固定された状態の封止部材１０を反転させ、第１平板状吸着プレート１３０側から吸着ハンド１９０によって吸着固定する。そして、吸着ハンド１９０の吸着面１９１に吸着された
封止部材１０、第１平板状吸着プレート１３０、第２位置決め用プレート１４５、及び第２平板状吸着プレート１８０を一体のまま移載する（移載ステップ）。その後、第２位置決め用プレート１４５及び第２平板状吸着プレート１８０を取り外し、第１平板状吸着プレート１３０を介して吸着固定された封止部材１０を、下方に載置テーブル６１０が位置する真空チャンバ６００内に移動する。ここで、載置テーブル６１０は、真空チャンバ６００内に設置され、保護層６に凹部領域６１が形成されたことによって生じた凸形状の高さに応じた凹部６１２を上面６１１に有する。最終的に、図６に示すように、封止部材１０は、載置テーブル６１０の上面６１１における凹部６１２内に保護層６の凸形状が収容されるように載置される。なお、封止部材１０の載置後に、第１平板状吸着プレート１３０が封止部材１０から剥がされることになる。ここで、図６に示すように、封止部材１０は、保護層６の凹部領域６１が上側となる向きで載置テーブル６１０の上面６１１に載置される。載置テーブル６１０の上面６１１は、吸入孔を有していて封止部材１０を吸着できることが好ましい。
【００７７】
以上のように、本実施の態様においては、磁力を利用した簡易的な固定手段により、封止部材１０及び第２位置決め用プレート１４５を第１平板状吸着プレート１３０と第２平板状吸着プレート１８０とによって容易に挟持することができる。また、挟持した状態において、封止部材１０を上下反転も含め、移載を容易に行うことができる。そして、第１平板状吸着プレート１３０と第２平板状吸着プレート１８０とによって封止部材１０及び第２位置決め用プレート１４５が確実に挟持されているため、当該上下反転を行っても、封止部材１０の位置ずれが防止されており、より確実な移載を実現することができる。
【００７８】
なお、本実施の態様においては、第２平板状吸着プレート１８０が磁石を含んでいたが、第１平板状吸着プレート１３０が磁石を含み、第２平板状吸着プレート１８０が磁性体から構成されてもよい。
【００７９】
（粘着材貼り合せ装置）
図７（ａ），（ｂ）は、粘着材貼り合せ装置２００の要部断面図である。図７（ａ），（ｂ）に示すように、粘着材貼り合せ装置２００は、複数のピン部材２１０と複数のステージ部材２２０と吸着ヘッド２３０とを含み、さらに吸着反転部材２４０（図７（ａ），（ｂ）において図示せず）、テープ部材吸着部である吸着移載部材２５０（図７（ａ），（ｂ）において図示せず）、載置テーブル６１０（図７（ａ），（ｂ）において図示せず）、およびローラ部材６１１（図７（ａ），（ｂ）において図示せず）を含む。
【００８０】
ステージ部材２２０は、両面に剥離紙４３ａ，４３ｂが予めそれぞれ貼付された粘着材４を載置可能な上面であるステージ面２２１を有する。図７（ａ）に示す例では、ステージ面２２１は、複数のピン部材２１０によって、粘着材４の全体に応じた形状および広さを有するように形成されている。なお、粘着材４には、一方の面にのみ剥離紙が貼付されていてもよい。
【００８１】
図７（ａ），（ｂ）に示すように、複数のピン部材２１０は、例えば、円筒形状の第１台部２１１と、第１台部２１１から上方に亘って形成され、上面２１２を有し、当該上面２１２に近づくにつれて径が小さくなるように構成された円錐台形状である第２台部２１５とを含む。そして、第１台部２１１の周面によってピン部材２１０の側面２１９が構成されている。
【００８２】
そして、ピン部材２１０は、図７（ａ）に示すように、粘着材４がステージ面２２１上に載置された場合に粘着材４が側面２１９に当接するようにされて、上面２１２がステージ部材２２０のステージ面２２１よりも高い位置になる高い状態から、当該上面２１２が当該ステージ面２２１と略同じ高さになる低い状態に相互に遷移する。つまり、ピン部材２１０は、ステージ部材２２０のステージ面２２１に対して相対的に上下に移動する。
【００８３】
まず、ピン部材２１０を前記高い状態とし、粘着材４を、剥離紙４３ａが上面になるようにステージ面２２１上に設置する。ピン部材２１０の側面２１９により、複数の粘着材４の相対的な位置関係が所定の配置に維持される。
【００８４】
次に、図７（ａ），（ｂ）に示すように、吸着ヘッド２３０は、一方の面に剥離紙４３ａが、他方の面に剥離紙４３ｂが予め貼付されてステージ部材２２０のステージ面２２１に載置された粘着材４を上方から吸着して保持する。具体的には、ステージ部材２２０とピン部材２１０とを一体として上方に移動させ、吸着ヘッド２３０の表面とピン部材２１０の上面２１２とが当接した後は、なおもステージ部材２２０のみを上方に移動させ、吸着ヘッド２３０と粘着材４とを近接させることにより、吸着ヘッド２３０に粘着材４を吸着させる。吸着ヘッド２３０は、剥離紙４３ａを吸着して、粘着剤４および剥離紙４３ｂを上方に保持する。
【００８５】
そして、粘着材４を吸着ヘッド２３０に吸着後、再度吸着ヘッド２３０とステージ部材２２０をある程度離間させて、ピン部材２１０を前記低い状態とし、複数のステージ部材２２０のステージ面２２１および複数のピン部材２１０の上面２１２に亘って、帯状のテープ部材７が載置される。なお、載置されたテープ部材７において上方を向く一方の面７１は粘着性を有する。そして、図７（ｂ）に示すように、吸着ヘッド２３０によって上方に吸着されて保持されている粘着材４が、吸着ヘッド２３０とステージ部材２２０とを再度近接させることにより、テープ部材７の粘着性を有する一方の面７１上に載置されて、剥離紙４３ｂを介してテープ部材７に貼付される。次いで、テープ部材７から剥離紙４３ａが除去される。剥離紙４３ａの除去は、人手で行われてもよいし、剥離紙除去用の装置によって行われてもよい。
【００８６】
図７においてテープ部材７は帯状としたが、テープ部材７は帯状であってもよいし、あらかじめ所定のサイズに断裁されたシート状であっても良い。帯状であるほうが、連続生産において巻き出し操作によって簡便に連続的にテープ部材を供給できることから好ましい。
【００８７】
なお、粘着材４が貼付された帯状のテープ部材において少なくとも一の端部には、粘着材４が貼付されていない余白領域７２が設けられている。換言すれば、帯状のテープ部材は、粘着材４が貼付されたときに、少なくとも一の端部に粘着材４が貼付されていない余白領域７２が設けられるように複数のステージ部材２２０のステージ面２２１および複数のピン部材２１０の上面２１２に亘って載置される。図７（ｂ）においては、粘着材４が貼付された帯状のテープ部材７において、長手方向の巻きだし側とは反対側の端部（図７（ｂ）の向かって右側）に粘着材４が貼付されていない余白領域７２が設けられている図を示したが、粘着材４が貼付されていない余白領域７２は図７（ｂ）においてテープの巻きだし側（図７（ｂ）の向かって左側）であっても良いし、帯状のテープ部材の巻きだし方向に平行な辺を有する端部（図７（ｂ）の向かって手前側または奥側）であってもよい。
【００８８】
図８は、吸着反転部材２４０の動作を示す説明図である。図８に示すように、吸着反転部材２４０には、テープ部材７に貼付された複数の粘着材４の互いの間の領域および余白領域７２をそれぞれ吸着するための吸着面２４１を有する。吸着反転部材２４０は、複数のステージ部材２２０のステージ面２２１および複数のピン部材２１０の上面２１２に亘って載置されているテープ部材７の上方から、吸着面２４１に当該テープ部材７を吸着する。つまり、テープ部材７の一方の面７１において、貼付された複数の粘着材４の間の領域および余白領域７２は、吸着反転部材２４０の吸着面２４１の下方に吸着される。
【００８９】
そして、吸着反転部材２４０は、図８に示すように上下反転動作を行う。つまり、テープ部材７の一方の面７１において、貼付された複数の粘着材４の間の領域、および余白領域７２は、吸着反転部材２４０の吸着面２４１の上方に吸着されることになる。なお、吸着反転部材２４０は、例えば、長手方向の両端部において回転可能に支持され、当該長手方向を軸に回転して上下反転動作を行う。吸着反転部材２４０が行う上下反転動作は他の方法で行われてもよい。
【００９０】
図９は、吸着反転部材２４０と吸着移載部材２５０（テープ部材吸着部）とによるテープ部材７の受け渡しを示す説明図である。図９に示すように、吸着移載部材２５０は、吸着反転部材２４０の吸着面２４１の上方から、テープ部材７の一方の面７１の裏側の他方の面７３を下方に吸着するとともに、吸着反転部材２４０は、吸着動作を終了する。すると、テープ部材７は、吸着反転部材２４０から吸着移載部材２５０に渡される。吸着移載部材２５０は、真空チャンバ６００上にテープ部材７とともに移動する。
【００９１】
剥離紙４３ｂのみが貼付されている粘着材４を用いる場合、まず、図７（ａ）同様に、剥離紙４３ｂのみが添付されている粘着材４を、ピン部材２１０の側面２１９に当接し、かつ、剥離紙４３ｂ側の面がステージ部材２２０のステージ面２２１に接するように配置する。そして、吸着ヘッド２３０の表面を、粘着材４が粘着しない素材で形成しておけば、前述と同様の工程で粘着材４とテープ部材７の貼付が可能である。粘着材４が粘着しない素材は例えばフッ素化された樹脂を用いることができ、具体的にはポリテトラフルオロエチレンなどが挙げられる。
【００９２】
剥離紙４３ａのみが貼付されている粘着材４を用いる場合、まず、図７（ａ）同様に、剥離紙４３ａのみが貼付されている粘着材４を、ピン部材２１０の側面２１９に当接し、かつ、剥離紙４３ａの反対側の粘着材面がステージ部材２２０のステージ面２２１に接するように配置する。ステージ面２２１は、粘着材４が粘着しない素材で形成されている。粘着材４が粘着しない素材は例えばフッ素化された樹脂を用いることができ、具体的にはポリテトラフルオロエチレンなどが挙げられる。
【００９３】
次に、ピン部材２１０を粘着材４の剥離紙４３ａの面の高さと同じか低い位置まで下げる。
【００９４】
次に、粘着性を有するテープ部材７の粘着性を有する面を粘着材４の剥離紙４３ａに対向するように配置し、テープ部材７の粘着性を有する面を粘着材４の剥離紙４３ａに貼り合せる。
【００９５】
以上の工程により、剥離紙４３ａを介して粘着材４が貼付されたテープ部材７を得ることができる。この方法によれば、粘着材４が貼付されたテープ部材７を反転させる工程が不要となり生産効率を高めることができる。
【００９６】
工程を簡略化できる観点においては、片面のみに剥離紙が添付されている粘着材４を用いる本工程の方が好ましい。
【００９７】
粘着材４の取り扱い性の観点においては、両面に剥離紙が添付された粘着材４を用いる工程の方が好ましい。
【００９８】
図１０（ａ），（ｂ）は、真空チャンバ６００による減圧工程を示す説明図である。図１０（ａ）に示すように、真空チャンバ６００は貫通孔６０５が設けられた上面６０６を有している。
【００９９】
また、図１０（ａ）に示すように、テープ部材７を下方に吸着した吸着移載部材２５０は、封止部材１０が載置されている真空チャンバ６００内の載置テーブル６１０の上方に移動する。なお、載置テーブル６１０には、テープ部材７の長手方向に沿って移動可能な後述するローラ部材６１１が設置されている。
【０１００】
図１０（ａ）に示すように、吸着移載部２５０の上方は上面部６０１によって覆われ、載置テーブル６１０の下方は下面部６０２によって覆われている。また、載置テーブル６１０の側方は、側面部６０３によって覆われている。図１０（ａ）に示す例では、側面部６０３は、下端が下面部６０２の上面に当接している。そして、側面部６０３において載置テーブル６１０に対向する面の反対側の面である外側面６０４は、真空チャンバ６００の上面６０６に設けられた貫通孔６０５の端部６０７に当接している。
【０１０１】
従って、真空チャンバ６００の上面６０６に設けられた貫通孔６０５は、側面部６０３および下面部６０２によって塞がれて、当該真空チャンバ６００内に外気が侵入しないように密閉された構成となっている。
【０１０２】
そして、図１０（ｂ）に示すように、上面部６０１が下方に移動して、または下面部６０２、側面部６０３及び真空チャンバ６００が上方に移動して、上面部６０１と下面部６０２とが相対的に近づいて、上面部６０１と下面部６０２との間の空間が側面部６０３によって覆われ（側面部６０３の上端が上面部６０１に当接し、側面部６０３の下端が下面部６０２に当接し）、当該空間が密閉された状態（第１状態）になる。なお、ローラ部材６１１は、上面部６０１と下面部６０２とが近づいても干渉しない位置に配置されているとする。そして、当該空間が密閉された状態で当該空間から空気を排出して減圧状態にする（減圧ステップ）。
【０１０３】
このように、当該空間の第１状態の減圧化は、上面部６０１と下面部６０２とが近づいた状態で行われるので、空気の排出を行う空間の体積を狭くすることができるため、より短時間で当該空間内の減圧化を図ることができる。
【０１０４】
図１１（ａ），（ｂ），（ｃ）は、粘着材４を封止部材１０に貼付する工程を示す説明図である。図１１（ａ）に示すように、下面部６０２が下方に移動して、または上面部６０１と側面部６０３が上方に移動して、上面部６０１と下面部６０２とが相対的に離間し、ローラ部材６１１は、テープ部材７の長手方向に沿って移動可能な状態（第２状態）になる。図１１の形態の装置においては、下面部６０２が下方に移動する。ここで、当該第２状態においては、減圧状態が維持されることになる。
【０１０５】
図１１（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、ローラ部材６１１は、支持部６１２およびローラ部６１３を含む。支持部６１２は、一端は載置テーブル６１０によってテープ部材７の長手方向に沿って移動可能に支持され、他端はローラ部６１３を回動可能に支持する。ローラ部６１３は、円筒形状に形成され、中心軸周りに回転する。
【０１０６】
図１１（ｂ），（ｃ）に示すように、ローラ部６１３は、吸着移載部材２５０からテープ部材７を剥離しながら吸着移載部材２５０とテープ部材７との間を帯状のテープ部材７の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動する。つまり、ローラ部材６１１の支持部６１２がテープ部材７の長手方向に沿って移動するに伴って、ローラ部６１３が吸着移載部材２５０からテープ部材７を剥離しながら転動する。また、ローラ部６１３の周面は、テープ部材７側から粘着材４を封止部材１０に押しつけて粘着材４を封止部材１０に貼り合せる。
【０１０７】
ローラ部６１３が、テープ部材７の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動して、周面によってテープ部材７側から粘着材４を封止部材１０に押しつけて粘着材４を封止部材１０に貼り合せるように構成されているので、粘着材４と封止部材１０との間に空間が生じることを良好に防ぐことができる。
【０１０８】
なお、吸着移載部材２５０は、テープ部材７の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ当該テープ部材７を剥離していくときに、当該テープ部材の他方の端部側の吸着動作を継続することが好ましい。これにより、ローラ部６１３の転動中にテープ部材７の下方への落下を防止することができる。また、ローラの転動中にテープ部材７と封止部材１０の位置がずれることなく精度良くテープ部材７と封止部材１０とを貼り合わせることが出来、かつ、粘着材４におけるしわの発生を良好に防ぎ、粘着材４と封止部材１０との間に空隙ができることを防ぐことができる。
【０１０９】
また、ローラ部６１３による粘着材４と封止部材１０との貼り合せの位置合わせ調整を容易にするために、上面部６０１および吸着移載部材２５０の少なくとも一部に、内部が作業者によって、または撮影手段等の監視装置によって確認可能なように窓部が設けられていることが好ましい。
【０１１０】
（吸着ハンド）
吸着ハンド７００について説明する。吸着ハンド７００は、互いに貼り合された粘着材４、封止部材１０、およびテープ部材７を真空チャンバ６００から真空チャンバ８００に移載するために用いられる。なお、真空チャンバ８００は、内部を真空雰囲気とすることが可能な容器である。
【０１１１】
図１２（ａ），（ｂ）は、吸着ハンド７００の動作を示す説明図である。図１２（ａ）に示すように、吸着ハンド７００は、載置テーブル６１０に互いに貼り合されて載置されているテープ部材７、粘着材４、および封止部材１０を、上方にあるテープ部材７の他方の面７３側から上方に吸着して保持する。
【０１１２】
そして、図１２（ｂ）に示すように、吸着ハンド７００は、互いに貼り合わされているテープ部材７、粘着材４、および封止部材１０を吸着して保持したまま、真空チャンバ８００内に設置されて上面８０１を有する載置テーブル８０２の上方に移動する。次いで、吸着ハンド７００は、互いに貼り合されているテープ部材７、粘着材４、および封止部材１０を載置テーブル８０２の上面８０１に載置する。
【０１１３】
（テープ部材剥離装置）
図１３（ａ），（ｂ）は、テープ部材剥離装置３００の動作を示す説明図である。図１３（ａ）に示すように、テープ部材剥離装置３００は、テープ部材折り曲げ部材３０１とテープ部材把持部材３０２（把持部）、テープ部材剥離補助部材３０３とを含み、さらに図１３（ａ），（ｂ）において図示しないテープ部材載置台３０４（載置台）を含む。
【０１１４】
図１３（ａ）に示すように、テープ部材折り曲げ部材３０１は、例えば、載置テーブル８０２の上面８０１に載置されたテープ部材７に向かって移動可能に支持されている棒状体であり、先端部がテープ部材７の余白領域７２に当接することによって、当該テープ部材７の余白領域７２を上方に折り曲げる。
【０１１５】
そして、テープ部材把持部材３０２は、折り曲げられた当該テープ部材７の余白領域７２の少なくとも一部を把持しながらテープ部材７から離間するように移動することによって、当該テープ部材７および当該テープ部材７に貼付されている剥離紙４３ｂを粘着材４から剥離する。
【０１１６】
具体的には、テープ部材把持部材３０２が、折り曲げられた当該テープ部材７の余白領域７２を把持しながらテープ部材７から離間するように移動する。テープ部材剥離補助部材３０３が、移動しているテープ部材把持部材３０２の下方のテープ部材７を粘着材４に押しつけながら、当該テープ部材把持部材３０２と同様にテープ部材７の長手方向に移動する。すると、テープ部材剥離補助部材３０３が粘着材４に押しつけている箇所を支点にテープ部材７がテープ部材把持部材３０２によって引っ張られ、テープ部材把持部材３０２およびテープ部材剥離補助部材３０３の移動に伴ってテープ部材７および当該テープ部材７に貼付されている剥離紙４３ｂは粘着材４から剥離される。
【０１１７】
テープ部材剥離補助部材３０３によってテープ部材７を封止部材１０側に押し付けておくことによって、テープ部材７および当該テープ部材７に貼付されている剥離紙４３ｂを剥離する際に、封止部材１０及び粘着材４が載置テーブル８０２の上面８０１の所定の位置からずれることを良好に抑制する。
【０１１８】
なお、図１３（ａ），（ｂ）に示す例では、テープ部材剥離補助部材３０３は直角三角形状の断面を有するように形成されているが、他の形状であってもよい。テープ部材７および当該テープ部材７に貼付されている剥離紙４３ｂを粘着材４からムラ無く均一に剥離するために、剥離されたテープ部材７の剥離角（剥離されたテープ部材７の面と、テープ部材７を剥離した封止部材１０に貼り合された粘着材４の面とのなす角）は鋭角であることが好ましい。剥離されたテープ部材７の剥離角を鋭角にするためには、テープ部材剥離補助部材３０３は、テープ部材７と接する面が平面であり、テープ部材７がテープ部材把持部材３０２によって引っ張られたときに支点になる箇所の断面の角度が鋭角形状であることが好ましい。また、テープ部材剥離補助部材３０３の形状が薄板状である場合、テープ部材剥離補助部材３０３の、テープ部材７がテープ部材把持部材３０２によって引っ張られたときに支点になる箇所の断面の形状の曲率半径が、テープ部材７を切断しないためには５μｍ以上、剥離角を鋭角に保ってムラ無く均一に剥離するためには５ｍｍ以下であることが好ましい。
【０１１９】
テープ部材把持部材３０２は、粘着材４から剥離したテープ部材７および当該テープ部材７に貼付されている剥離紙４３ｂをテープ部材載置台３０４の上面３０５上に載置する。図１４は、テープ部材把持部材３０２による粘着材４から剥離したテープ部材７および当該テープ部材７に貼付されている剥離紙４３ｂをテープ部材載置台３０４の上面３０５上に載置する動作を示す説明図である。図１４の右図に示されているように、テープ部材把持部材３０２は、粘着材４から剥離したテープ部材７および当該テープ部材７に貼付されている剥離紙４３ｂを、図１４の左図に示されているように、テープ部材載置台３０４の上面３０５上に載置する。
【０１２０】
テープ部材剥離装置３００は、仕切り部材３１０によって外気と仕切られた窒素雰囲気内に設置されている。そして、図１４の左図に示すように、テープ部材載置台３０４は、仕切り部材３１０の天面に設けられ、押し上げられると開状態になる蓋３１１（蓋部）によって外方から覆われている貫通孔３１２の下方に移動する。なお、テープ部材載置台３０４の外形形状および外径と、貫通孔３１２の内形形状および内径とは、テープ部材載置台３０４と貫通孔３１２とが嵌合可能なようにそれぞれ設定されている。また、蓋３１１は、例えば、Ｏリング等の密封用部材を介して仕切り部材３１０の天面の外面に当接している。そして、テープ部材載置台３０４が上方に移動すると、テープ部材載置台３０４は貫通孔３１２と嵌合状態になり、テープ部材載置台３０４の上面３０５が蓋３１１を上方に押し上げる。
【０１２１】
図１５（ａ）〜（ｆ）は、テープ部材載置台３０４の動作を示す説明図である。図１５（ａ）に示すように貫通孔３１２の下方に移動したテープ部材載置台３０４は、図１５（ｂ）に示すように上方に移動して上面３０５が剥離されたテープ部材７を介して蓋３１１の下面に密着する。そして、テープ部材載置台３０４はさらに上方に移動すると、図１５（ｃ）に示すようにテープ部材載置台３０４は上面３０５で蓋３１１を上方に押し上げる。
【０１２２】
図１５（ｄ）に示すように、テープ部材載置台３０４の上面３０５によって上方に押し上げられた蓋３１１が図示しない蓋支持部材によってさらに上方に持ち上げられるとともに、図示しないテープ部材除去部材によって、テープ部材載置台３０４の上面３０５に載置されているテープ部材７および当該テープ部材７に貼付されている剥離紙４３ｂが除去される。この工程は人の手で行ってもよいし、テープ部材除去用の装置によって行われてもよい。
【０１２３】
なお、前述したように、テープ部材載置台３０４の外形形状および外径と、貫通孔３１２の内形形状および内径とは、テープ部材載置台３０４と貫通孔３１２とが嵌合可能なようにそれぞれ設定されているので、図１５（ｃ），（ｄ）に示すように蓋３１１が開状態であっても、貫通孔３１２を通る外気の流入を良好に防止することができる。なお、窒素雰囲気の気圧が外部の気圧よりも高ければ、気密性が高くなくとも外気の流入をより効果的に防止することができるため好ましい。
【０１２４】
そして、図１５（ｅ）に示すようにテープ部材載置台３０４が下方に移動すると蓋３１１が閉状態となり、さらにテープ部材載置台３０４が下方に移動すると、図１５（ｆ）に示すようにテープ部材載置台３０４の上面３０５は蓋３１１の下面から離間する。
【０１２５】
（封止部材貼り合せ装置）
次に、封止部材貼り合せ装置４００について説明する。有機ＥＬ素子３が形成された基板２は、搬入室（図示せず）から有機ＥＬ発光モジュールの製造システムに搬入される。図１６は、有機ＥＬ発光モジュールの製造システムに搬入された基板２の移動を示す説明図である。図１６に示すように、基板２は、回動可能にそれぞれ支持されている複数のローラ４１１によって下方から支持されて移動する。
【０１２６】
図１７は、封止部材貼り合せ装置４００における基板２の位置調整を示す説明図である。図１７に示すように、封止部材貼り合せ装置４００は、基板２を撮影する撮影手段４０１と、基板２が載置されるとともに、撮影手段４０１の撮影結果に基づいて基板２を移動および回転させる調整台４０２とを含む。撮影手段４０１は、調整台４０２に載置されている基板２を撮影する。調整台４０２は、予め基板２における対向する二隅や四隅に示されているアライメントマークが撮影された位置にもとづいて、基板２の位置を調整する。より具体的には、調整台４０２の制御部（図示せず）は、撮影結果に基づいて基板２の位置が規定の位置と比べてローラ４１１による移動方向にずれていると判断した場合には、ローラ４１１を回転駆動して基板２を規定の位置に移動させる。また、調整台４０２の制御部は、撮影結果に基づいて基板２の向きが規定の向きに対して載置面上で斜めになっていると判断した場合には、基板２が規定の向きになるように調整台４０２を載置面に沿って回転させる。
【０１２７】
図１８は、基板２の真空チャンバ８００内への移動を示す説明図である。調整台４０２は、基板２の位置等の調整が終了すると基板２を載置した状態で真空チャンバ８００の蓋部８０３の下方に移動する（図１８（ａ））。蓋部８０３は、下方を開口方向とする凹部８０４を有している。そして、蓋部８０３の下方に設けられ、下面８２０に基板２を真空吸着するための複数の吸入孔が設けられている基板吸着部材８０５（基板吸着上面部）が、図１８（ａ）に破線で示されているように調整台４０２に載置されている基板２を吸着して上方に保持する。基板吸着部材８０５が調整台４０２に載置されている基板２を吸着して上方に保持すると、調整台４０２は、撮影手段４０１等が設置されて位置等の調整を行った場所に移動して、真空チャンバ８００の蓋部８０３の下方から離れる。
【０１２８】
そして、粘着材４が貼り合された封止部材１０が載置された載置テーブル８０２（部材セット部）が、調整台４０２が離れた真空チャンバ８００の蓋部８０３の下方の位置に、当該載置テーブル８０２の下方および側方を覆い上方を開口方向とする凹部８０６を有するチャンバ下部８０７とともに移動する。そして、真空チャンバ８００の蓋部８０３における凹部８０４の端面とチャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８とが当接することによって、真空チャンバ８００の内部と外部とが仕切られ、基板吸着部材８０５による基板２の吸着動作が終了するとともに、真空チャンバ８００の内部を真空雰囲気にするための真空引きの動作が行われ、当該内部は真空雰囲気となる。
【０１２９】
なお、図１８（ｂ）に破線で示すように、チャンバ下部８０７の凹部８０６の開口形状は、端面８０８が基板２の外縁部を支持するように形成されている。従って、基板吸着部材８０５による基板２の吸着動作が終了すると、基板２は、チャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８（支持台部）によって外縁部が支持される。下面８２０と、端面８０８との高さの差は、基板２の外縁部への接触時の衝撃を抑制するため、通常１０ｍｍ以下、好ましくは５ｍｍ以下、更に好ましくは２ｍｍ以下であり、真空チャンバ８００の蓋部８０３における凹部８０４の端面とチャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８とが当接した際に、基板２の外縁部が端面８０８に接触することを防止するため、基板２の厚みにプラスして通常０．０１ｍｍ以上、好ましくは０．１ｍｍ以上である。
【０１３０】
なお、図１８（ｂ）においては、チャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８（支持台部）は、蓋部８０３の凹部８０４の端面と対向する面と同一であるが、段差を設けて端面８０８を形成してもよい。
【０１３１】
チャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８に当接して支持される基板２の外縁部は、長方形状の基板２の四隅であってもよいし、対向する二つの短辺または長辺に沿う端辺部であってもよい。
【０１３２】
図１９は、基板２を粘着材４が貼り合された封止部材１０に貼り合わせる装置を示す説明図である。図１９に示すように、基板吸着部材８０５の中央部には、図中の上下方向に移動させることが出来、基板２を下方に押下可能な可動式中央吸着部８１０（可動式吸着部）が設けられている。図１９に示すように、可動式中央吸着部８１０には、基板２において有機ＥＬ素子３が形成されている一方の面２１の裏側の他方の面２２に当接する押下面８１１が先端に形成されている。そして、押下面８１１にも、基板２を吸着可能な吸入孔が設けられている。可動式吸着部８１０の押下面８１１が形成されている先端は、図１９に示すように凸状部８１２となってもよい。
【０１３３】
ここで、基板２の外縁部のみがチャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８によって支持された場合は、基板２は基板２自身の重みで下方に撓むことになる。特に、基板２の中央部ほど、下方への変位量が大きくなる。可動式中央吸着部８１０の制御部には、基板２を吸着した状態で基板２の外縁部のみが支持されて自重により下方に撓んだときの、当該基板２の中央部の変位量をあらかじめ把握させておくことが好ましい。
【０１３４】
図２０に、基板吸着部材８０５における可動式中央吸着部８１０の配置パターンのみを下面８２０側から見た概念図を示す。
【０１３５】
可動式中央吸着部８１０は、長方形状の基板２の中央部に応じた位置に設けられていてもよいし（図２０（ａ））、基板２の長手方向における中央部を通る短手方向の直線に沿って基板２の短辺程度の長さを有して設けられていてもよいし（図２０（ｂ））、基板２の短手方向における中央部を通る長手方向の直線に沿って基板２の長辺程度の長さを有して設けられていてもよい（図２０（ｃ））。また、可動式中央吸着部８１０を複数並べる形態としてもよい（例えば図２０（ｄ））。
【０１３６】
また、図１９に示すように、チャンバ下部８０７内の載置テーブル８０２は、上方に移動可能であり、上面８０１に載置されている粘着材４が貼り合された封止部材１０を、基板２の一方の面２１に形成されている有機ＥＬ素子３に粘着材４を挟んで当接させ、封止部材１０と基板２とを粘着材４を介して貼り合わせることができる。載置テーブル８０２は、上面８０１に載置されている粘着材４が貼り合された封止部材１０を吸着可能な吸着孔（図示せず）を有することが好ましい。
【０１３７】
図２１（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は、基板２と封止部材１０とを粘着材４を介して貼り合わせる工程を示す説明図である。まず、図２１（ａ）に示すように、基板２は、基板吸着部材８０５の下面８２０、および可動式中央吸着部８１０の押下面８１１によって上方に吸着されている。真空チャンバ８００の内部の空間（より具体的には、蓋部８０３およびチャンバ下部８０７によって囲まれた空間）は、蓋部８０３およびチャンバ下部８０７が当接するまでは、例えば、大気圧の窒素雰囲気であるとする。蓋部８０３およびチャンバ下部８０７が当接して密着した後、基板２と封止部材１０とを粘着材４を介して貼り合せ始めるまでの間に、真空チャンバ８００の内部の空間を真空引きして真空雰囲気にする。このとき、可動式中央吸着部の吸着方式が真空吸着である場合には、可動式中央吸着部の真空吸着によって基板２の吸着が保たれる程度に、可動式中央吸着部の吸着の真空度の方が、真空チャンバ８００の内部の空間の真空度よりも高くする。同様に、載置テーブル２の上面８０１に載置されている粘着材４を貼り合せた封止部材１０が真空吸着によって載置テーブル２の上面８０１に吸着されている場合も、粘着材４を貼り合せた封止部材１０を載置テーブル２の上面８０１に真空吸着する真空度の方が真空チャンバ８００の内部の空間の真空度よりも高くする。
【０１３８】
そして、可動式中央吸着部８１０の押下面８１１による吸着動作を継続するとともに、基板吸着部材８０５の下面８２０による吸着動作を停止すると、図２１（ｂ）に示すように、基板２の外縁部が当該基板２自身の重みで下方に撓み、当該外縁部は、チャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８に当接する。本操作中、真空チャンバ８００の内部は真空引きを開始していなくても良いし、真空引きを開始していても良く、真空引きを開始していてかつ所定の真空度になっていなくてもよい。
【０１３９】
さらに、可動式中央吸着部８１０の押下面８１１による吸着動作を継続するとともに、可動式中央吸着部８１０を下方に移動させる（図２１（ｃ），（ｄ））。なお、可動式中央吸着部８１０は、前述したように、自重により下方に撓む基板２の中央部の変位量の分だけ下方に移動する。本操作中、真空チャンバ８００の内部は真空引きを開始していなくても良いし、真空引きを開始していても良く、真空引きを開始していてかつ所定の真空度になっていなくてもよい。
【０１４０】
そして、載置テーブル８０２が上方に移動すると、上面８０１に載置されている封止部材１０が粘着材４を介して基板２の一方の面２１に形成されている有機ＥＬ素子３に当接し、封止部材１０と基板２とが粘着材４を介して基板２の中央部から端部方向へと順次貼り合わされる。可動式中央吸着部８１０による吸着動作は、封止部材１０と基板２とが粘着材４を介して全面に亘って貼り合わされるまで継続され、可動式中央吸着部８１０は、載置テーブル８０２により基板２が押し上げられるのに合わせて上方に移動する。なお、本操作開始時には、真空チャンバ８００の内部は所定の真空度になっていることが好ましい。
【０１４１】
可動式中央吸着部８１０による吸着動作が、封止部材１０と基板２とが粘着材４を介して全面に亘って貼り合わされるまで継続されるので、基板２の封止部材１０に対する相対位置が撓みによって移動することを良好に防止し、基板２における所定の貼り合せ位置に粘着材４が貼り合された封止部材１０を貼付することができる。
【０１４２】
このとき、基板２の自重による撓みが大きい方が、基板２と封止部材１０とのなす角が大きく、空隙の発生を良好に抑制して均一に密着させることが出来るため好ましい。
【０１４３】
したがって、チャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８に当接して支持される基板２の外縁部が長方形状の基板２の四隅である場合は、基板２の自重による撓み量が最大になることから好ましい。端面８０８に当接して支持される基板２の外縁部が長方形基板の対向する二つの短辺または長辺に沿う端辺部である場合は、基板２の外縁部が端面８０８に当接して支持されるとともに、端面８０８に当接して支持される基板２の端辺に平行な中心線上を可動式中央吸着部８１０が吸着することが出来ることから、基板を安定に保持でき好ましい。端面８０８に当接して支持される基板２の外縁部が長方形基板の短辺に沿う端辺部である場合は、基板２を安定に保持でき、かつ、撓み量が大きいことから最も好ましい。
【０１４４】
また、基板２と封止部材１０とを粘着材４を介して貼り合わせる工程の間、可動式中央吸着部８１０が基板２を吸着し続けること、および、載置テーブル８０２が封止部材１０を載置テーブル２の上面８０１に吸着し続けることによって、基板２および封止部材１０の位置ずれを良好に防止し、基板２と封止部材１０とを粘着材４を介して精度良く貼り合わせることが出来る。
【０１４５】
なお、可動式中央吸着部８１０は、基板２の自重で下方に撓んだ変位量の分だけ下方に移動するとして説明したが、可動式中央吸着部８１０の下方への移動量は自重での変位量から適宜変更した値に設定されてもよい。また、可動式中央吸着部８１０は、載置テーブル８０２が上方に移動して基板２に形成された有機ＥＬ素子３が粘着材４を介して封止部材１０に接したときに、載置テーブル８０２の上方への移動速度と同じ速度で吸着している基板２を上方に移動させてもよいし、当該移動中に下方へ（つまり、基板２に）所定の荷重を加えておき、載置テーブル８０２の押し上げに応じて基板２と一体となって上方に移動するようにされてもよい。
【０１４６】
図２２は、粘着材４を介して貼り合わされた基板２と封止部材１０とが熱圧着される工程を示す説明図である。図２２に示す例では、熱圧着装置５００内に収容された基板２、粘着材４および封止部材１０の上方にある上部ホットプレート部５０１が基板２の他方の面２２側から当該基板２を加熱するとともに当該基板２を粘着材４を介して封止部材１０に向かって押下する。また、熱圧着装置５００内に収容された基板２、粘着材４および封止部材１０の下方にある下部ホットプレート部５０２（ホットプレート部）が封止部材１０の保護層６側から当該封止部材１０を加熱するとともに当該封止部材１０を基板２に向かって押し付ける。従って、基板２、粘着材４および封止部材１０は、上部ホットプレート５０１と下部ホットプレート５０２とによって挟まれて熱圧着される。
【０１４７】
なお、図２２に示し、前述したように、保護層６の凹部領域６１の裏側の領域は、平坦領域６２の裏側の平面領域に対して凸形状に形成されている。そこで、当該凸形状に対向する下部ホットプレート５０２において平坦領域６２の裏側の平面領域に対向する範囲に、凸形状に応じた形状および高さを有する、好ましくは、凸形状に応じた形状であって、凸形状よりも高く形成された凸部５０３が設けられている。
【０１４８】
従って、下部ホットプレート５０２の凸部５０３が、封止部材１０の保護層６の平坦領域６２の裏側の平面領域に対向する範囲、つまり、粘着材４が貼り合された封止部材１０の外縁部をより確実に基板２に熱圧着し、基板２の一方の面２１に形成された有機ＥＬ素子３および吸湿層５を封止部材１０と粘着材４と基板２とでより確実に封止することができる。
【０１４９】
本実施の形態によれば、吸湿層５と保護層６とが積層された封止部材１０と粘着材４とで有機ＥＬ素子３を封止するので、外部からの水分等の透過による有機ＥＬ素子３の劣化を良好に抑制する有機ＥＬ発光モジュール１を製造することができる。
【０１５０】
ホットプレート１５０による保護層６と吸湿層５との熱圧着処理の実行中には、保護層６に対向する領域のうち、吸湿層５に対向する領域外に設けられた吸入孔のみで吸入を行うように構成されているので、吸湿層５において吸着ヘッド１３０の吸着面１３１に設けられた吸入孔による吸入の痕跡による凹凸の形成を良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機ＥＬ発光モジュール１を製造することができる。
【０１５１】
また、保護層６と吸湿層５との熱圧着処理によって、吸着ヘッド１３０の吸着面１３１に対向する領域において吸湿層５と保護層６とを密着させ、当該領域における吸湿層５と保護層６との間に空間が生じることを良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機ＥＬ発光モジュール１を製造することができる。
【０１５２】
ローラ部６１３が、テープ部材７の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部の方向へ転動して、周面によってテープ部材７側から粘着材４を封止部材１０に押しつけて粘着材４を封止部材１０に貼り合せるように構成されているので、粘着材４と封止材１０との間に空間が生じることを良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機ＥＬ発光モジュール１を製造することができる。
【０１５３】
吸着移載部材２５０は、ローラ部６１３がテープ部材７の一の端部側からテープ部材７を剥離していくときに、テープ部材７の他方の端部側において吸着動作を継続するので、ローラ部６１３の転動中にテープ部材７の下方への落下を防止することができる。また、他方の端部が吸着されて固定されているため、ローラ部６１３の転動中にテープ部材７と封止部材１０の位置がずれることなく精度良くテープ部材７と封止部材１０とが貼合され、封止部材１０に貼り合される粘着材４におけるしわの発生を良好に防ぐことができるため、高精度かつ高効率な有機ＥＬ発光モジュール１を製造することができる。
【０１５４】
また、上面部６０１と下面部６０２とが相対的に近づいた状態で減圧化が行われるように構成されているので、減圧化を行う空間の体積を小さくすることができるため、真空排気工程（すなわち、減圧ステップ）の時間を短縮でき、有機ＥＬ発光モジュール１の生産効率を高めることができる。
【０１５５】
窒素雰囲気と外気とを仕切るための仕切り部材３１０に、テープ部材載置台３０４が上方に移動するとテープ部材載置台３０４と嵌合する貫通孔３１２が設けられ、テープ部材載置台３０４の上面によって当該貫通孔３１２を覆う蓋部３１１を押し上げるように構成されているので、窒素と外気との貫通孔３１２を通した混合を良好に防ぐことができ、有機ＥＬ発光モジュール１の生産効率を高めることができる。
【０１５６】
基板２が、可動式中央吸着部８１０とチャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８とにより支持される状態とし、その後、可動式中央吸着部８１０を下方に移動させることにより基板２の中央部をチャンバ下部８０７の凹部８０６の端面８０８より下方に押し下げた状態とし、次いで、可動式中央吸着部８１０による基板２の吸着を維持したまま、粘着材４が貼り合された封止部材１０が載置された載置テーブル８０２を上方に移動させ、基板２と可動式中央吸着部８１０とを連動させながら、載置テーブル８０２を基板２と粘着材４が貼り合された封止部材１０とともに基板吸着部材８０５に押し付けることで、基板２の中央部から端部に向かって順次基板２と封止部材１０とを粘着材４を介して貼り合わせるように構成されているので、基板２と封止部材１０との間に空隙が生じることを良好に防ぐことができるため、封止性能の良好な有機ＥＬ発光モジュール１を製造することができる。
【０１５７】
また、可動式中央吸着部８１０による基板２の吸着を維持したまま当該基板２と封止部材１０とを粘着材４を介して貼り合わせるので、基板２における所定の位置に粘着材４及び封止部材１０を貼付することができるため、位置ずれによる不良品の発生が抑制された生産効率の高い有機ＥＬ発光モジュール１の製造システムを実現することができる。
【０１５８】
下部ホットプレート部５０２には、封止部材１０の端部に対応する位置に凸部５０３が設けられているので、粘着材４が貼り合された封止部材１０の外縁部をより確実に基板２に熱圧着し、基板２の一方の面２１に形成された有機ＥＬ素子３および吸湿層５をより確実に封止して、有機ＥＬ素子３の劣化を良好に抑制することができる。
【０１５９】
また、可撓性が高いかもしくは剛性の低い粘着材料、吸湿層材料や保護層材料、あるいは、ガラス転移温度が室温以下であって室温でほとんど剛性の無い粘着材材料は、取扱いが非常に困難であるため、従来は有機ＥＬ発光モジュール１の封止構造に用いることが困難であったが、本実施の形態によれば、各材料全体を吸着する機構を有していることを始めとする種々の工夫によって、上述のような剛性の低い材料を用いた場合であっても、封止特性が良好な有機ＥＬ発光モジュール１を高精度かつ高効率に生産可能な有機ＥＬ発光モジュール１の製造システムを実現可能である。
【符号の説明】
【０１６０】
１    有機ＥＬ発光モジュール
２    基板
３    有機ＥＬ素子
４    粘着材
５    吸湿層
６    保護層
７    テープ部材
１１０  多孔質吸着テーブル
１２０    吸引機構
１２０ａ    吸引路
１３０    第１平板状吸着プレート
１３０ａ    吸引孔
１４０    第１位置決め用プレート
１４０ａ    開口部
１４５    第２位置決め用プレート
１４５ａ    開口部
１５０    熱圧着部
１５１    加熱ピン
１５２    支持部材
１６０    シート状部材吸着部
１７０    移載装置
１８０    第２平板状吸着プレート
１９０    吸着ハンド
１９１    吸着面
２２０  ステージ部材
２２１  ステージ面
２３０  吸着ヘッド
３０２  テープ部材把持部材
３０４  テープ部材載置台
５０２  下部ホットプレート部
５０３  凸部
６０１  上面部
６０２  下面部
６０３  側面部
６１３  ローラ部
８０２  載置テーブル
８０５  基板吸着部材
８０８  端面
８１０  可動式中央吸着部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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