【手続補正書】
【提出日】平成18年1月27日(2006.1.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３４２】
上記組成物を、基板に、この技術分野の当業者に知られている典型的なコーティング条件を用いて適用した。この結果得られた、スピンオンされた組成物をＮ２（＜５０ppmＯ２）下で、次の温度：１２５℃、２５０℃および３００℃の各々において１分間ベーキングした。炉硬化条件は、２５０℃から上方に１分当たり５°Ｋでランピングしながらの、Ｎ２（２６リットル／分）中において４００℃、６０分間であった。硬化温度範囲は３５０℃から４５０℃までであった。各組成物において、そのポロゲンが分解し、そして分解ポロゲンが気化し、それによって細孔が組成物中にできた。ベーキング後に、この層は１．６１７の屈折率および５６４０オングストロームの厚さを有していた。硬化後に、この層は１．５９３の屈折率および３７８４オングストロームの厚さを有していた。接着促進剤なしの上記配合物は１．６３９のベーキング後屈折率、１３６９オングストロームのベーキング後厚さ、１．５８４の硬化後屈折率、９９３オングストロームの硬化後厚さ、２．６６の脱ガス誘電定数および１．５６２の追加硬化屈折率を有していた。
［本発明の態様］
［１］
（ａ）（１）随意に、式Ｉ：
【化１】
2005529190.tif 000001
の少なくとも１種の単量体および（２）式ＩＩ：
【化２】
2005529190.tif 000002
の少なくとも１種のオリゴマーまたは重合体を含む熱硬化性成分；並びに
（ｂ）該熱硬化性成分（ａ）に結合するポロゲン
を含む組成物：但し、上記の式において、Ｅはかご形化合物であり；Ｑの各々は同一または異なり、そして水素、アリール、分枝アリールおよび置換アリールから選ばれ、ここでその置換基には水素、ハロゲン、アルキル、アリール、置換アリール、ヘテロアリール、アリールエーテル、アルケニル、アルキニル、アルコキシル、ヒドロキシアルキル、ヒドロキシアリール、ヒドロキシアルケニル、ヒドロキシアルキニル、ヒドロキシルまたはカルボキシルがあり；Ｇｗはアリールまたは置換アリールであり、ここで置換基にはハロゲンおよびアルキルがあり；ｈは０〜１０であり；ｉは０〜１０であり；ｊは０〜１０であり、そしてｗは０または１である。
［２］
熱硬化性成分（ａ）が官能化される、１に記載の組成物。
［３］
官能性基がアセチレン；４−エチニルアニリン；３−ヒドロキシフェニルアセチレン；４−フルオロフェニルアセチレン；および１−エチルシクロヘキシルアミンより成る群から選ばれる、２に記載の組成物。
［４］
ポロゲンが、熱硬化性成分（ａ）のガラス転移温度よりも低く、かつ該熱硬化性成分（ａ）の硬化温度よりも高い分解温度を有する物質から成る、１に記載の組成物。
［５］
ポロゲンが非置換ポリノルボルネン、置換ポリノルボルネン、ポリカプロラクトン、非置換ポリスチレン、置換ポリスチレン、ポリアセナフチレン単独重合体およびポリアセナフチレン共重合体より成る群から選ばれる、４に記載の組成物。
［６］
ポロゲンが官能化される、５に記載の組成物。
［７］
官能性基がエポキシ、ヒドロキシ、カルボン酸、アミノおよびエチニルより成る群から選ばれる、６に記載の組成物。
［８］
ポロゲンが熱硬化性成分（ａ）に共有結合される、１に記載の組成物。
［９］
ポロゲンが熱硬化性成分（ａ）にエチニル含有基を通じて共有結合される、８に記載の組成物。
［１０］
エチニル含有基がアセチレンである、９に記載の組成物。
［１１］
熱硬化性成分（ａ）が、（１）式ＩＩＩ
【化３】
2005529190.tif 000003
のアダマンタン単量体および（ｂ）式ＩＶ
【化４】
2005529190.tif 000004
の、アダマンタンの少なくとも１種のオリゴマー若しくは重合体、または（ａ）式Ｖ
【化５】
2005529190.tif 000005
の少なくとも１種のジアマンタン単量体および（ｂ）式ＶＩ
【化６】
2005529190.tif 000006
の、ジアマンタン単量体の少なくとも１種のオリゴマー若しくは重合体を含む、８に記載の組成物。
［１２］
熱硬化性成分（ａ）が、（２）式ＶＩＩ
【化７】
2005529190.tif 000007
のアダマンタン二量体を含む、８に記載の組成物。
［１３］
熱硬化性成分（ａ）が、（２）式ＶＩＩＩ
【化８】
2005529190.tif 000008
のアダマンタン三量体を含む、８に記載の組成物。
［１４］
熱硬化性成分（ａ）が、（１）式ＸＡ
【化９】
2005529190.tif 000009
式ＸＢ
【化１０】
2005529190.tif 000010
式ＸＣ
【化１１】
2005529190.tif 000011
若しくは式ＸＤ
【化１２】
2005529190.tif 000012
のアダマンタン単量体、および（２）式ＸＩ
【化１３】
2005529190.tif 000013
のアダマンタンオリゴマー若しくは重合体、または（１）式ＸＩＩＡ
【化１４】
2005529190.tif 000014
式Ｘ１１Ｂ
【化１５】
2005529190.tif 000015
式ＸＩＩＣ
【化１６】
2005529190.tif 000016
若しくは式ＸＩＩＤ
【化１７】
2005529190.tif 000017
のジアマンタン単量体および（２）式ＸＩＩＩ
【化１８】
2005529190.tif 000018
のジアマンタンオリゴマーまたは重合体を含む、８に記載の組成物：但し、上記の式において、ｈは０〜１０であり；ｉは０〜１０であり；ｊは０〜１０であり；Ｒ１の各々は同一または異なり、そして水素、ハロゲン、アルキル、アリール、置換アリール、ヘテロアリール、アリールエーテル、アルケニル、アルキニル、アルコキシル、ヒドロキシアルキル、ヒドロキシアリール、ヒドロキシアルケニル、ヒドロキシアルキニル、ヒドロキシルまたはカルボキシルから選ばれ；そしてＹの各々は同一または異なり、そして水素、アルキル、アリール、置換アリールまたはハロゲンから選ばれる。
［１５］
前記単量体が存在する、１４に記載の組成物。
［１６］
Ｒ１がアリールまたは置換アリールであり、そしてＹが水素、フェニルまたはビフェニルである、１４または１５に記載の組成物。
［１７］
（２）アダマンタンオリゴマーまたは重合体が式ＸＶＩ
【化１９】
2005529190.tif 000019
の二量体であるか、または（２）ジアマンタンオリゴマーまたは重合体が式ＸＶＩＩ
【化２０】
2005529190.tif 000020
の二量体である、１６に記載の組成物。
［１８］
（２）アダマンタンオリゴマーまたは重合体が式ＸＶＩＩＩ
【化２１】
2005529190.tif 000021
の三量体であるか、または（２）ジアマンタンオリゴマーまたは重合体が式ＸＩＸ
【化２２】
2005529190.tif 000022
の三量体である、１６に記載の組成物。
［１９］
熱硬化性成分（ａ）において、オリゴマーまたは重合体（２）が式ＸＶＩ
【化２３】
2005529190.tif 000023
のアダマンタン二量体と式ＸＶＩＩＩ
【化２４】
2005529190.tif 000024
のアダマンタン三量体との、または式ＸＶＩＩ
【化２５】
2005529190.tif 000025
のジアマンタン二量体と式ＸＩＸ
【化２６】
2005529190.tif 000026
のジアマンタン三量体との混合物を含む、１６に記載の組成物。
［２０］
熱硬化性成分（ａ）において、単量体（１）およびオリゴマーまたは重合体（２）がアダマンタン系単量体である、１９に記載の組成物。
［２１］
フェニル基上のR1C≡C基の少なくとも２つが２つの異なる異性体であり、そしてアダマンタン単量体の２個の橋頭炭素間におけるフェニル基の少なくとも１つが２つの異なる異性体として存在する、２０に記載の組成物。
［２２］
少なくとも２つの異性体がメタおよびパラ異性体である、２１に記載の組成物。
［２３］
（ｃ）少なくとも二官能性基を有する化合物を含む接着促進剤をさらに含み、ここでその二官能性基は同一または異なり、そして該二官能性基の少なくとも１つは熱硬化性成分（ａ）と相互作用することが可能である、１６に記載の組成物。
［２４］
接着促進剤が：
式ＸＸＸＶＩＩＩ：(R2)k(R3)lSi(R4)m(R5)n（式中、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４およびＲ５は、各々独立に、水素、ヒドロキシル、不飽和若しくは飽和アルキル、置換若しくは非置換アルキル（ここで、置換基はアミノまたはエポキシである）、不飽和若しくは飽和アルコキシル、不飽和若しくは飽和カルボン酸基、またはアリールを表し、該Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４およびＲ５の内の少なくとも２つは水素、ヒドロキシル、飽和若しくは不飽和アルコキシル、不飽和アルキル、または不飽和カルボン酸基を表し、そしてｋ＋ｌ＋ｍ＋ｎ≦４である）のシラン；
式ＸＸＸＩＸ：
【化２７】
2005529190.tif 000027
（式中、Ｒ８、Ｒ１４およびＲ１７は、各々独立に、置換若しくは非置換アルキレン、シクロアルキレン、ビニレン、アリレンまたはアリーレンを表し；Ｒ９、Ｒ１０、Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１５およびＲ１６は、各々独立に、水素原子、アルキル、アルキレン、ビニル、シクロアルキル、アリル、アリールまたはアリーレンを表し、そしてそれらは線状であってもよいし、或いは分枝鎖状であってもよく；Ｒ１３は有機ケイ素、シラニル、シロキシルまたは有機基を表し；そしてｐ、ｑ、ｒおよびｓは条件［４≦ｐ＋ｑ＋ｒ＋ｓ≦１００，０００］を満足し、そしてｑとｒとｓは集合としてまたは独立にゼロである。）
のポリカーボシラン；
少なくとも１個のカルボン酸基を含んでいる不飽和カルボン酸のグリシジルエーテルまたはエステル；
ビニル環状オリゴマーまたは重合体（ここで、環状基はビニル、芳香族またはヘテロ芳香族である）；および
式ＸＸＸＸ：−[R18C6H2(OH)(R19)]t−（ここで、Ｒ１８は置換若しくは非置換アルキレン、シクロアルキレン、ビニル、アリルまたはアリールであり、Ｒ１９はアルキル、アルキレン、ビニレン、シクロアルキレン、アリレンまたはアリールであり、そしてｔ＝３−１００である）のフェノール−ホルムアルデヒド樹脂またはオリゴマー
より成る群から選ばれる、２３に記載の組成物。
［２５］
接着促進剤（ｃ）がフェノール−ホルムアルデヒド樹脂またはオリゴマーである、２４に記載の組成物。
［２６］
２３に記載の組成物を含むオリゴマー。
［２７］
２６に記載のオリゴマーおよび溶媒を含むスピンオン前駆体。
［２８］
２７に記載のスピンオン前駆体から作られた熱硬化性マトリックス。
［２９］
２８に記載の熱硬化性マトリックスを含む層。
［３０］
熱硬化性マトリックスが硬化される、２９に記載の層。
［３１］
層が２．７未満、好ましくは２．５未満、好ましくは２．２未満、そして好ましくは２．０未満の誘電定数を有する、２９に記載の層。
［３２］
層が２０ナノメートル未満の平均細孔サイズ直径を有する、２９に記載の層。
［３３］
少なくとも１つの２９に記載の層を上に有する基板。
［３４］
３３に記載の基板を含むマイクロチップ。
［３５］
（ａ）（１）随意に、式Ｉ：
【化２８】
2005529190.tif 000028
の少なくとも１種の単量体および（２）式ＩＩ：
【化２９】
2005529190.tif 000029
の少なくとも１種のオリゴマーまたは重合体を含む熱硬化性成分（但し、上記の式において、Ｅはかご形化合物であり；Ｑの各々は同一または異なり、そして水素、アリール、分枝アリールおよび置換アリールから選ばれ、ここでその置換基には水素、ハロゲン、アルキル、アリール、置換アリール、ヘテロアリール、アリールエーテル、アルケニル、アルキニル、アルコキシル、ヒドロキシアルキル、ヒドロキシアリール、ヒドロキシアルケニル、ヒドロキシアルキニル、ヒドロキシルまたはカルボキシルがあり；Ｇｗはアリールまたは置換アリールであり、ここで置換基にはハロゲンおよびアルキルがあり；ｈは０〜１０であり；ｉは０〜１０であり；ｊは０〜１０であり、そしてｗは０または１である。）；
（ｂ）二官能性基が同一または異なることができ、そして第一官能性基が該熱硬化性成分（ａ）と相互作用することが可能であり、そして第二官能性基が該組成物が基板に適用されると該基板と相互作用することが可能である少なくともそのような二官能性基を有する化合物を含む接着促進剤
を含む組成物の誘電定数を低下させる方法であって、
ポロゲンを該熱硬化性成分に結合させ；
該結合ポロゲンを分解し：そして
該ポロゲンを気化させ、それによって細孔が該組成物中に生ずる
工程を含む上記の方法。
［３６］
熱硬化性成分（ａ）が官能化される、３５に記載の方法。
［３７］
熱硬化性成分の官能性基がアセチレン；４−エチニルアニリン；３−ヒドロキシフェニルアセチレン；４−フルオロフェニルアセチレン；および１−エチルシクロヘキシルアミンより成る群から選ばれる、３６に記載の方法。
［３８］
ポロゲンが、熱硬化性成分（ａ）のガラス転移温度よりも低く、かつ該熱硬化性成分（ａ）の硬化温度よりも高い分解温度を有する物質から成る、３５に記載の方法。
［３９］
ポロゲンが非置換ポリノルボルネン、置換ポリノルボルネン、ポリカプロラクトン、非置換ポリスチレン、置換ポリスチレン、ポリアセナフチレン単独重合体およびポリアセナフチレン共重合体より成る群から選ばれる、３８に記載の方法。
［４０］
ポロゲンが官能化される、３９に記載の方法。
［４１］
ポロゲンの官能性基がエポキシ、ヒドロキシ、カルボン酸、アミノおよびエチニルより成る群から選ばれる、４０に記載の方法。
［４２］
ポロゲンが熱硬化性成分（ａ）に共有結合される、３５に記載の方法。
［４３］
ポロゲンが熱硬化性成分（ａ）にエチニル含有基を通じて共有結合される、４２に記載の方法。
［４４］
エチニル含有基がアセチレンである、４３に記載の方法。
［４５］
熱硬化性成分（ａ）が、（１）式ＩＩＩ
【化３０】
2005529190.tif 000030
のアダマンタン単量体および（ｂ）式ＩＶ
【化３１】
2005529190.tif 000031
の、アダマンタンの少なくとも１種のオリゴマーまたは重合体、または（ａ）式Ｖ
【化３２】
2005529190.tif 000032
の少なくとも１種のジアマンタン単量体および（ｂ）式ＶＩ
【化３３】
2005529190.tif 000033
の、ジアマンタン単量体の少なくとも１種のオリゴマーまたは重合体を含む、４２に記載の方法。
［４６］
熱硬化性成分（ａ）が（２）式ＶＩＩ
【化３４】
2005529190.tif 000034
のアダマンタン二量体を含む、４２に記載の方法。
［４７］
熱硬化性成分（ａ）が（２）式ＶＩＩＩ
【化３５】
2005529190.tif 000035
のアダマンタン三量体を含む、４２に記載の方法。
［４８］
熱硬化性成分（ａ）が（１）式ＸＡ
【化３６】
2005529190.tif 000036
式ＸＢ
【化３７】
2005529190.tif 000037
式ＸＣ
【化３８】
2005529190.tif 000038
若しくは式ＸＤ
【化３９】
2005529190.tif 000039
のアダマンタン単量体、および（２）式ＸＩ
【化４０】
2005529190.tif 000040
のアダマンタンオリゴマー若しくは重合体、または（１）式ＸＩＩＡ
【化４１】
2005529190.tif 000041
式Ｘ１１Ｂ
【化４２】
2005529190.tif 000042
式ＸＩＩＣ
【化４３】
2005529190.tif 000043
若しくは式ＸＩＩＤ
【化４４】
2005529190.tif 000044
のジアマンタン単量体、および（２）式ＸＩＩＩ
【化４５】
2005529190.tif 000045
のジアマンタンオリゴマー若しくは重合体を含む、４２に記載の方法：但し、上記の式において、ｈは０〜１０であり；ｉは０〜１０であり；ｊは０〜１０であり；Ｒ１の各々は同一または異なり、そして水素、ハロゲン、アルキル、アリール、置換アリール、ヘテロアリール、アリールエーテル、アルケニル、アルキニル、アルコキシル、ヒドロキシアルキル、ヒドロキシアリール、ヒドロキシアルケニル、ヒドロキシアルキニル、ヒドロキシルまたはカルボキシルから選ばれ；そしてＹの各々は同一または異なり、そして水素、アルキル、アリール、置換アリールまたはハロゲンから選ばれる。
［４９］
前記単量体が存在する、４８に記載の方法。
［５０］
ポロゲンを分解する工程が、炉、熱板、電子ビーム線、マイクロ波線または紫外線によって硬化させることを含む、４８または４９に記載の方法。
［５１］
Ｒ１がアリールまたは置換アリールであり、そしてＹが水素、フェニルまたはビフェニルである、５０に記載の方法。
［５２］
（２）アダマンタンオリゴマーまたは重合体が式ＸＶＩ
【化４６】
2005529190.tif 000046
の二量体であるか、または（２）ジアマンタンオリゴマー若しくは重合体が式ＸＶＩＩＩ
【化４７】
2005529190.tif 000047
の二量体である、５１に記載の方法。
［５３］
（２）アダマンタンオリゴマーまたは重合体が式ＸＶＩＩＩ
【化４８】
2005529190.tif 000048
の三量体であるか、または（２）ジアマンタンオリゴマー若しくは重合体が式ＸＩＸ
【化４９】
2005529190.tif 000049
の三量体である、５１に記載の方法。
［５４］
熱硬化性成分（ａ）において、オリゴマーまたは重合体（２）が式ＸＶＩ
【化５０】
2005529190.tif 000050
のアダマンタン二量体と式ＸＶＩＩＩ
【化５１】
2005529190.tif 000051
のアダマンタン三量体との、または式ＸＶＩＩ
【化５２】
2005529190.tif 000052
のジアマンタン二量体と式ＸＩＸ
【化５３】
2005529190.tif 000053
のジアマンタン三量体との混合物を含む、５１に記載の方法。
［５５］
熱硬化性成分（ａ）において、単量体（１）およびオリゴマーまたは重合体（２）がアダマンタン系単量体である、５４に記載の方法。
［５６］
フェニル基上のR1C≡C基の少なくとも２つが２つの異なる異性体であり、そしてアダマンタン単量体の２個の橋頭炭素間におけるフェニル基の少なくとも１つが２つの異なる異性体として存在する、５５に記載の方法。
［５７］
少なくとも２つの異性体がメタおよびパラ異性体である、５６に記載の方法。
［５８］
接着促進剤（ｂ）の第一官能性基および第二官能性基の少なくとも一方がＳｉ含有基；Ｎ含有基；Ｏに結合したＣを含有する基；ヒドロキシル基；およびＣに二重結合したＣを含有する基より成る群から選ばれる、５０に記載の方法。
［５９］
Ｓｉ含有基が式ＸＸＸＶＩＩ：(R2)k(R3)lSi(R4)m(R5)n（式中、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４およびＲ５は、各々独立に、水素、ヒドロキシル、不飽和若しくは飽和アルキル、置換若しくは非置換アルキル（ここで、置換基はアミノまたはエポキシである）、不飽和若しくは飽和アルコキシル、不飽和若しくは飽和カルボン酸基、またはアリールを表し、該Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４およびＲ５の少なくとも２つは水素、ヒドロキシル、飽和若しくは不飽和アルコキシル、不飽和アルキル、または不飽和カルボン酸基を表し、そしてｋ＋ｌ＋ｍ＋ｎ≦４である）のシラン；または式ＸＸＸＶＩＩＩ：
【化５４】
2005529190.tif 000054
（式中、Ｒ８、Ｒ１４およびＲ１７は、各々独立に、置換若しくは非置換アルキレン、シクロアルキレン、ビニレン、アリレンまたはアリーレンを表し；Ｒ９、Ｒ１０、Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１５およびＲ１６は、各々独立に、水素原子、アルキル、アルキレン、ビニル、シクロアルキル、アリル、アリールまたはアリーレンを表し、そしてそれらは線状であってもよいし、或いは分枝鎖状であってもよく；Ｒ１３は有機ケイ素、シラニル、シロキシルまたは有機基を表し；そしてｐ、ｑ、ｒおよびｓは条件［４≦ｐ＋ｑ＋ｒ＋ｓ≦１００，０００］を満足し、そしてｑとｒとｓは集合としてまたは独立にゼロである）のポリカーボシランから選ばれ；
Ｏに結合したＣを含有する基が少なくとも１個のカルボン酸基を含んでいる不飽和カルボン酸のグリシジルエーテルまたはエステルから選ばれ；
Ｃに二重結合したＣを含有する基がビニル環状オリゴマーまたは重合体（ここで、環状基はビニル、芳香族またはヘテロ芳香族である）であり；そしてヒドロキシル基が式ＸＸＸＩＸ：−[R18C6H2(OH)(R19)]t−（式中、Ｒ１８は置換若しくは非置換アルキレン、シクロアルキレン、ビニル、アリルまたはアリールであり、Ｒ１９はアルキル、アルキレン、ビニレン、シクロアルキレン、アリレンまたはアリールであり、そしてｔ＝３−１００である）のフェノール−ホルムアルデヒド樹脂またはオリゴマーである
５８に記載の方法。
［６０］
接着促進剤（ｃ）がフェノール−ホルムアルデヒド樹脂またはオリゴマーである、５９に記載の方法。
［６１］
（ａ）式ＸＸＩＸ
【化５５】
2005529190.tif 000055
（式中、Ｅはかご形化合物であり、そしてＱの各々は同一または異なり、そして水素、アリール、分枝アリールおよび置換アリールから選ばれ、ここでその置換基には水素、ハロゲン、アルキル、アリール、置換アリール、ヘテロアリール、アリールエーテル、アルケニル、アルキニル、アルコキシル、ヒドロキシアルキル、ヒドロキシアリール、ヒドロキシアルケニル、ヒドロキシアルキニル、ヒドロキシルまたはカルボキシルがある。）
の少なくとも２つの異なる異性体の混合物を含む熱硬化性成分；および
（ｂ）該熱硬化性成分（ａ）に結合するポロゲン
を含む組成物。
［６２］
混合物が式ＸＸＸ
【化５６】
2005529190.tif 000056
の少なくとも２つの異なる異性体を含む、６１に記載の組成物。
［６３］
混合物が式ＸＸＸ１
【化５７】
2005529190.tif 000057
式ＸＸＸＩＩ
【化５８】
2005529190.tif 000058
または式ＸＸＸＩＩＩ
【化５９】
2005529190.tif 000059
の少なくとも２つの異性体を含む、６２に記載の組成物：但し、上記の式において、Ｙの各々は同一または異なり、そして水素、アルキル、アリール、置換アリールまたはハロゲンから選ばれ、そして各Ｒ１は同一または異なり、そして水素、ハロゲン、アルキル、アリール、置換アリール、ヘテロアリール、アリールエーテル、アルケニル、アルキニル、アルコキシル、ヒドロキシアルキル、ヒドロキシアリール、ヒドロキシアルケニル、ヒドロキシアルキニル、ヒドロキシルまたはカルボキシルから選ばれる。
［６４］
混合物が式ＸＸＸＩＶ
【化６０】
2005529190.tif 000060
の少なくとも２つの異性体を含む、６１に記載の組成物。
［６５］
混合物が式ＸＸＸＶ
【化６１】
2005529190.tif 000061
式ＸＸＸＶＩ
【化６２】
2005529190.tif 000062
または式ＸＸＸＶＩＩ
【化６３】
2005529190.tif 000063
の少なくとも２つの異性体を含む、６４に記載の組成物。