【事件の表示】
　特願２００３−５４７８８０
「主にペルフルオロアルコキシから成るコリオリ流量計の製造」
拒絶査定不服審判事件
〔平成１５年６月　５日国際公開、ＷＯ−２００３／４６４８６、
　平成１７年４月２１日国内公表、特表２００５−５１０７０１〕について次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
【第１、手続経緯の概要】
　本願出願手続、及び、本件審判請求の概要は、次のとおりである。
　
平成１４年１１月１９日：国際特許出願（ＰＣＴ−ＵＳ０２−３７０３１）
　　　　　　　　　　　　（優先基礎出願：ＵＳ−０９−９９４２５１）
　　　　　　　　　　　　　　　（優先日：平成１３年１１月２６日）
平成１６年　５月２５日：国内書面提出
平成１６年　７月２２日：翻訳文提出
平成１７年１１月１８日：審査請求
平成１７年１２月１３日：補正（特許請求の範囲、明細書）
平成２０年　７月３０日：拒絶理由の通知
 　　　　　　　　　　　（起案日：平成２０年７月２５日）
平成２１年　１月３０日：意見書提出
平成２１年１１月１２日：拒絶査定の謄本の送達
 　　　　　　　　　　　（起案日：平成２１年１１月１０日）
平成２２年　３月１１日：本件審判請求
 　 
【第２、本願発明】
　本願の請求項１〜１０に係る発明は、平成１７年１２月１３日付け補正により、補正された特許請求の範囲の請求項１〜１０に記載されたとおりのものであり、その請求項１に係る発明（以下、本願発明という）は、次のとおりのものであると認める。
　
「超高純度を有する処理材料の流れを測定するためのコリオリ質量流量計において、
　基板（１１６）と、
　前記処理材料の流れを受け取る流管手段（１０２）であって、前記流管手段の両端部は、前記基板に連結されて、実質的に静止しているノードを前記両端部に形成する、前記流管手段（１０２）と、
　前記処理材料の流れが入っている前記流管手段を加振するための、前記流管手段に連結されている励振器（Ｄ）と、
　前記処理材料の流れが入っている前記振動している流管手段の誘導されたコリオリ偏差を示す信号を発生させるための、前記流管手段に連結されているピックオフ装置（ＲＰＯ、ＬＰＯ）と、
　前記ピックオフ装置から前記信号を受信し、前記処理材料の流れに関連する出力情報を作成するメーター電子機器（１２１）と、を備えており、
　前記コリオリ質量流量計の濡れた流路全体は、前記流管手段を有し、ペルフルオロアルコキシ・コポリマー（ＰＦＡ）のような、前記流管手段から前記処理材料へ、イオンを移動させないか又はほとんど移動させない材料で作られていることを特徴とするコリオリ質量流量計。」
　
　なお、上記本願発明の発明特定事項の記載「基板（１１６）」は、本願明細書の【図１】に関する箇所では「基板（１０１）」と記載されている。
　
【第３、原査定の拒絶の理由の概要：進歩性欠如】
　原査定の拒絶の理由の概要は、上記本願発明が、平成２０年７月３０日に通知された拒絶理由通知書に記載されているように、本願優先日前に日本国内において頒布された刊行物である、特開平４−２３６３２８号公報（以下、引用文献１という）及び特表平１１−５１０６０８号公報（以下、引用文献２という）に記載された発明に基づいて、その優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないというものである。
　
【第４、引用文献１に記載された事項−引用発明１】
（４−１、引用文献１に記載された事項）
　引用文献１には、次のことが記載されている。
　
「【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
　本発明は質量流量計に係り、特にセンサチューブに作用する外部振動の影響を除去するよう構成した質量流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】
　被測流体の質量流量計を計測する質量流量計として、振動するセンサチューブ内に流体を流したときに生ずるコリオリの力を利用して質量流量を直接計測する流量計がある。
【０００３】
　この種の質量流量計は、特開昭５４−５２５７０号公報に記載の如く略Ｕ字状のセンサチューブに流体を流し、加振器（励磁コイル）の駆動力によりセンサチューブを振動させる構成とされている。コリオリの力はセンサチューブの振動方向に働き、かつ入口側と出口側とで逆向きであるのでセンサチャーブに捩じれが生じ、この捩じれ角は質量流量に比例する。従って、センサチューブの入口側及び出口側夫々の捩じれる位置に振動を検出するピックアップ（振動センサ）を設け、両センサの出力検出信号の時間差を計測して上記センサチューブの捩じれ、つまり質量流量を計測している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
　上記質量流量計は通常被測流体が給送される配管途中に設けられ、流入側と流出側とを夫々配管により支持されていた。ところが、比較的少流量の流体しか流さないような配管経路では径の小さい細管が使用され、あるいは圧力の低い場合等にはフレキシブルチューブ（合成樹脂性）が使用される。このような細管，フレキシブルチューブにより管路が形成されると質量流量計を管路により支持することができず、質量流量計は床面あるいは支柱等により所定高さに支持されたブラケット等の固定ベース上に載置されることになる。
【０００５】
　しかるに、質量流量計が上記のような固定ベース上に載置されると、例えば工場等においては、各種重量機器（ロボット，プレス，クレーン，フォークリフト，コンプレッサ，工作機械等）が配設されているため、様々な外部振動が床やブラケット等の固定ベースを介して質量流量計に伝播する。これに対し、前述したコリオリ式の質量流量計ではセンサチューブを振動させて流量計測する構造であるので、外部振動がセンサチューブあるいはピックアップ（振動センサ）に伝わると正確な流量計測ができなくなり、計測精度が低下するといった課題が生ずる。
【０００６】
　又、質量流量計を防振ゴム等により支持するといった防振対策が考えられるが、この場合高周波振動を吸収することができるものの低周波振動を除去することができない。
【０００７】
　そこで、本発明は上記課題を解決した質量流量計を提供することを目的とする。
・・・
【００１１】
【実施例】図１及び図２に本発明になる質量流量計の第１実施例を示す。
【００１２】
　両図中、質量流量計１は、大略流量計測部２と、流量計測部２が載置された支持ベース３と、支持ベース３を弾力的に支持する防振部材４とよりなる。防振部材４は床面に固定されており、例えば周囲の機器等から発生した高周波振動を吸収する。流量計測部２は、１本のＵ字状のセンサチューブ５と、一対の加振器６ａ，６ｂと、各加振器６ａ，６ｂの上，下流側に配設された２組の第１〜第４のピックアップ７ａ〜７ｄと、各ピックアップ７ａ〜７ｄからの出力信号が入力されて流量を算出する流量計測回路８とよりなる。
【００１３】
　センサチューブ５は基端部が支持ベース３上のマニホールド９に保持され、先端部が支持ベース３上のサポート部１０に保持されている。即ち、センサチューブ５の流入側直管部５ａはマニホールド９の流入口９ａに挿入され溶接固定されており、流出側直管部５ｂはマニホールド９の流出口９ｂに挿入され溶接固定されている。又、直管部５ａ，５ｂの先端部はサポート部１０を貫通し溶接固定されている。
【００１４】
　加振器６ａ，６ｂは夫々センサチューブ５の直管部５ａ，５ｂの略中間位置を加振するように設けられている。即ち、加振器６ａ，６ｂは実質電磁ソレノイドと同様の構成であり、センサチューブ５の直管部５ａ，５ｂの側方に設けられたマグネット６ａ1 ，６ｂ1 と、マグネット６ａ1 ，６ｂ1 を水平方向（Ｘ方向）に駆動するコイル６ａ2 ，６ｂ2 とよりなる。コイル６ａ2 ，６ｂ2 は夫々支持ベース３に固定されたブラケット１２ａ，１２ｂにより保持されている。
【００１５】
　又、ピックアップ７ａ〜７ｄは上記加振器６ａ，６ｂと同様な構成であり、直管部５ａ，５ｂの側方に設けられたマグネット７ａ1 〜７ｄ1 と、マグネット７ａ1 〜７ｄ1 との相対変位に応じて電圧を発生するコイル７ａ2 〜７ｄ2 とよりなる。コイル７ａ2 〜７ｄ2 は夫々支持ベース３に固定されたブラケット１３ａ〜１３ｄにより保持されている。
【００１６】
　流量計測回路８は、ピックアップ７ａ〜７ｄのコイル７ａ2 〜７ｄ2 により検出された検出信号より速度を算出する速度検出回路１４と、後述するように各ピックアップ７ａ〜７ｄにより検出された検出信号より外部振動成分を除去する外部振動キャンセル回路１５と、流入側出力と流出側出力との時間差を検出する時間差検出回路１６と、この時間差検出回路１６より算出された信号にある係数を掛けて流量を算出する流量演算回路１７とを有する。さらに、流量計測回路８は、速度検出回路１４より出力された信号に基づいてセンサチューブ５の振動方向を検出する速度方向検出回路１８と、速度方向検出回路１８の出力に応じて加振器６ａ，６ｂのコイル６ａ2 ，６ｂ2 に正方向の電流又は逆方向の電流を流す励振回路１９とを有する。
【００１７】
　上記構成になる質量流量計１では図３に示すように流量計測時はセンサチューブ５の直管部５ａ，５ｂをＡsin ωt で夫々近接又は離間するＸ方向に振動させる。このようにセンサチューブ５に流体が流れると、直管部５ａ，５ｂが近接する方向に変位する場合、図４に示す如く加振器６ａ，６ｂの上流側では加振方向と逆方向のコリオリ力Ｆ（＝−αcos ωt)が作用し、加振器６ａ，６ｂの下流側では加振方向のコリオリ力（＝αcos ωt)が作用する。そのため、センサチューブ５の直管部５ａ，５ｂは図４のように変位する。
【００１８】
　しかしながら、水平方向の低周波振動が床面を介して周辺機器等より質量流量計１に伝わると、センサチューブ５は図５に示すように±Ｂsin （ω0t＋θ）で変形する。そのため、各ピックアップ７ａ〜７ｄのコイル７ａ2 〜７ｄ2 は、上記コリオリ力と低周波振動（外部振動）とを検出することになる。
【００１９】
　即ち、各ピックアップ７ａ〜７ｄの出力は次のように表される。
　第１ピックアップ７ａの出力
＝Ａsin ωt −αcos ωt ＋Ｂsin （ω0 t ＋θ）
　第２ピックアップ７ｂの出力
＝Ａsin ωt ＋αcos ωt ＋Ｂsin （ω0 t ＋θ）
　第３ピックアップ７ｃの出力
＝Ａsin ωt −αcos ωt −Ｂsin （ω0 t ＋θ）
　第４ピックアップ７ｄの出力
＝Ａsin ωt ＋αcos ωt −Ｂsin （ω0 t ＋θ）
（但し、ω＝共振周波数、ω0 ＝外部振動周波数）
　上記各ピックアップ７ａ〜７ｄの出力は外部振動キャンセル回路１５において、外部信号成分のみが除去される。即ち、外部振動キャンセル回路１５では、第１ピックアップ７ａの出力と第３ピックアップ７ｃの出力とを加算し、且つ第２ピックアップ７ｂの出力と第４ピックアップ７ｄの出力とを加算する。
【００２０】
　これは、加振器６ａの上流側と加振器６ｂの上流側ではコリオリ力の作用方向が共に負方向であるのに、外部振動が加振方向に対し流入側と流出側とで逆方向に作用するからである。同様に、加振器６ａの下流側と加振器６ｂの下流側においても、コリオリ力の作用方向が共に正方向であるのに、外部振動が加振方向に対し流入側と流出側とで逆方向に作用する。
【００２１】
　従って、加振器６ａ，６ｂの上流側に位置する第１，第３ピックアップ７ａ，７ｃの出力をたし合わせると外部振動がキャンセルされた上流側の出力が得られる。又、加振器６ａ，６ｂの下流側に位置する第２，第４ピックアップ７ｂ，７ｄの出力をたし合わせると外部振動がキャンセルされた下流側の出力が得られる。
【００２２】
　従って、外部振動キャンセル回路１５より出力される信号、即ち加振器６ａ，６ｂの上流側の出力和は２Ａsin ωt −２αcos ωt となり、加振器６ａ，６ｂの下流側の出力和は２Ａsin ωt ＋２αcos ωt となる。
【００２３】
　時間差検出回路１６では外部振動キャンセル回路１５より出力された２つの信号の位相差を検出しており、外部信号が除去された流量に比例した信号を流量演算回路１７に出力する。従って、流量演算回路１７は外部振動に影響されない正確な流量計測信号を出力することができる。」
　
（４−２、引用文献１に記載された技術的事項の認定）
　引用文献１に記載された技術的事項を認定すると、次のとおりである。
　
（４−２−１）
　段落【００１７】及び【００１８】の記載から、次の技術的事項が読み取れる。
「流体の流れを測定するためのコリオリ質量流量計（１）」
　
（４−２−２）
　段落【００１２】〜【００１５】の記載から、次の技術的事項が読み取れる。
「支持ベース（３）」
　
（４−２−３）
　段落【００１３】の記載から、次の技術的事項が読み取れる。
「基端部が支持ベース（３）上のマニホールド（９）に保持され、先端部が支持ベース（３）上のサポート部（１０）に保持された、直管部（５ａ，５ｂ）を有するセンサチューブ（５）」
　
（４−２−４）
　段落【００１４】の記載から、次の技術的事項が読み取れる。
「センサチューブ（５）の直管部（５ａ，５ｂ）の略中間位置を加振するように設けられた加振器（６ａ，６ｂ）」
　
（４−２−５）
　段落【００１５】〜【００２３】の記載から、次の技術的事項が読み取れる。
「流体が流れるセンサチューブ（５）の直管部（５ａ，５ｂ）が加振器（６ａ，６ｂ）により振動させられて、加振器（６ａ，６ｂ）の上流側で作用する加振方向と逆方向のコリオリ力と加振器（６ａ，６ｂ）の下流側で作用する加振方向のコリオリ力とが検出されるための、センサチューブ（５）の直管部（５ａ，５ｂ）の側方に設けられたマグネット（７ａ1 〜７ｄ1） と、マグネット（７ａ1 〜７ｄ1） との相対変位に応じて電圧を発生するコイル（７ａ2 〜７ｄ2） とよりなるピックアップ（７ａ〜７ｄ）」
　
（４−２−６）
　段落【００１２】の記載から、次の技術的事項が読み取れる。
「ピックアップ（７ａ〜７ｄ）からの出力信号が入力されて流量を算出する流量計測回路（８）」
　
（４−２−７）
　段落【００１２】及び【００１７】の記載から、次の技術的事項が読み取れる。
「センサチューブ（５）により管路が形成されたコリオリ質量流量計（１）」
　
（４−３、引用発明１）
　上記の（４−２−１）〜（４−２−７）の技術的事項を総合すると、引用文献１には、次の発明（以下、引用発明１という） が記載されていると認められる。
　
「流体の流れを測定するためのコリオリ質量流量計（１）において、
　支持ベース（３）と、
　基端部が支持ベース（３）上のマニホールド（９）に保持され、先端部が支持ベース（３）上のサポート部（１０）に保持された、直管部（５ａ，５ｂ）を有するセンサチューブ（５）と、
　センサチューブ（５）の直管部（５ａ，５ｂ）の略中間位置を加振するように設けられた加振器（６ａ，６ｂ）と、
　流体が流れるセンサチューブ（５）の直管部（５ａ，５ｂ）が加振器（６ａ，６ｂ）により振動させられて、加振器（６ａ，６ｂ）の上流側で作用する加振方向と逆方向のコリオリ力と加振器（６ａ，６ｂ）の下流側で作用する加振方向のコリオリ力とが検出されるための、センサチューブ（５）の直管部（５ａ，５ｂ）の側方に設けられたマグネット（７ａ1 〜７ｄ1） と、マグネット（７ａ1 〜７ｄ1） との相対変位に応じて電圧を発生するコイル（７ａ2 〜７ｄ2） とよりなるピックアップ（７ａ〜７ｄ）と、
　ピックアップ（７ａ〜７ｄ）からの出力信号が入力されて流量を算出する流量計測回路（８）と、を備えた、
　センサチューブ（５）により管路が形成されたコリオリ質量流量計（１）。」
　
【第５、対比】
　本願発明と引用発明１とを対比する。
　まず、本願発明と引用発明１の主たる構成要素についての対比をすると、次のとおりである。
　
　引用発明１の「コリオリ質量流量計（１）」は、本願発明の「コリオリ質量流量計」に相当する。
　引用発明１の「支持ベース（３）」は、本願発明の「基板（１１６）」に相当する。なお、本願発明の「基板（１１６）」は、本願明細書の【図１】に関する箇所では「基板（１０１）」と記載されている。
　引用発明１の「センサチューブ（５）」は、本願発明の「流管手段（１０２）」に相当する。
　引用発明１の「加振器（６ａ，６ｂ）」は、本願発明の「励振器（Ｄ）」に相当する。
  引用発明１の「ピックアップ（７ａ〜７ｄ）」は、本願発明の「ピックオフ装置（ＲＰＯ、ＬＰＯ）」に相当する。
　引用発明１の「流量計測回路（８）」は、本願発明の「メーター電子機器（１２１）」に相当する。
　
　上記の主たる構成要素の相当関係を前提に、本願発明と引用発明１における各発明特定事項の相当関係を対比すると、次のとおりである。
　
（５−１）
　引用発明１の「流体の流れを測定するためのコリオリ質量流量計（１）」も、本願発明の「超高純度を有する処理材料の流れを測定するためのコリオリ質量流量計」も、共に、「流れを測定するためのコリオリ質量流量計」である点で共通する。
　
（５−２）
　引用発明１の「支持ベース（３）」は、本願発明の「基板（１１６）」に相当する。
　なお、本願発明の「基板（１１６）」は、本願明細書の【図１】に関する箇所では「基板（１０１）」と記載されている。
　
（５−３）
　引用発明１の「基端部が支持ベース（３）上のマニホールド（９）に保持され、先端部が支持ベース（３）上のサポート部（１０）に保持された、直管部（５ａ，５ｂ）を有するセンサチューブ（５）」は、本願発明の「前記処理材料の流れを受け取る流管手段（１０２）であって、前記流管手段の両端部は、前記基板に連結されて、実質的に静止しているノードを前記両端部に形成する、前記流管手段（１０２）」に相当する。
　
（５−４）
　引用発明１の「センサチューブ（５）の直管部（５ａ，５ｂ）の略中間位置を加振するように設けられた加振器（６ａ，６ｂ）」は、本願発明の「前記処理材料の流れが入っている前記流管手段を加振するための、前記流管手段に連結されている励振器（Ｄ）」に相当する。
　
（５−５）
　引用発明１の「流体が流れるセンサチューブ（５）の直管部（５ａ，５ｂ）が加振器（６ａ，６ｂ）により振動させられて、加振器（６ａ，６ｂ）の上流側で作用する加振方向と逆方向のコリオリ力と加振器（６ａ，６ｂ）の下流側で作用する加振方向のコリオリ力とが検出されるための、センサチューブ（５）の直管部（５ａ，５ｂ）の側方に設けられたマグネット（７ａ1 〜７ｄ1） と、マグネット（７ａ1 〜７ｄ1） との相対変位に応じて電圧を発生するコイル（７ａ2 〜７ｄ2） とよりなるピックアップ（７ａ〜７ｄ）」は、本願発明の「前記処理材料の流れが入っている前記振動している流管手段の誘導されたコリオリ偏差を示す信号を発生させるための、前記流管手段に連結されているピックオフ装置（ＲＰＯ、ＬＰＯ）」に相当する。
　
（５−６）
　引用発明１の「ピックアップ（７ａ〜７ｄ）からの出力信号が入力されて流量を算出する流量計測回路（８）」は、本願発明の「前記ピックオフ装置から前記信号を受信し、前記処理材料の流れに関連する出力情報を作成するメーター電子機器（１２１）」に相当する。
　
（５−７）
　引用発明１の「センサチューブ（５）により管路が形成されたコリオリ質量流量計（１）」も、本願発明の「前記コリオリ質量流量計の濡れた流路全体は、前記流管手段を有し、ペルフルオロアルコキシ・コポリマー（ＰＦＡ）のような、前記流管手段から前記処理材料へ、イオンを移動させないか又はほとんど移動させない材料で作られていることを特徴とするコリオリ質量流量計」も、共に、「前記コリオリ質量流量計の濡れた流路全体は、前記流管手段を有するコリオリ質量流量計」である点で共通する。
　
（５−総合対比）
　上記（５−１）〜（５−７）の対比を総合し、本願発明と引用発明１との実質的な一致点及び相違点を、本願発明の表現に統一して記述すると、次のとおりである。
　なお、括弧内の符号の記載は省略した。
　
（一致点）
「材料の流れを測定するためのコリオリ質量流量計において、
　基板と、
　前記材料の流れを受け取る流管手段であって、前記流管手段の両端部は、前記基板に連結されて、実質的に静止しているノードを前記両端部に形成する、前記流管手段と、
　前記材料の流れが入っている前記流管手段を加振するための、前記流管手段に連結されている励振器と、
　前記材料の流れが入っている前記振動している流管手段の誘導されたコリオリ偏差を示す信号を発生させるための、前記流管手段に連結されているピックオフ装置と、
　前記ピックオフ装置から前記信号を受信し、前記処理材料の流れに関連する出力情報を作成するメーター電子機器と、を備えており、
　前記コリオリ質量流量計の濡れた流路全体は、前記流管手段を有することを特徴とするコリオリ質量流量計。」
　
（相違点１）
　被測定対象が、本願発明では「超高純度を有する処理材料」であるのに対し、引用発明１では一般の流体であるにとどまる点。
　
（相違点２）
　コリオリ質量流量計の濡れた流路全体の材料に関し、本願発明では「ペルフルオロアルコキシ・コポリマー（ＰＦＡ）のような、前記流管手段から前記処理材料へ、イオンを移動させないか又はほとんど移動させない材料」であるのに対し、引用発明１では材料が特定されていない点。
　
【第６、判断】
　相違点１、２は、相互に関連するので、併せて検討する。
　
　引用文献２の第８頁第１２〜１５頁には、コリオリ質量流量計の濡れた流路全体の材料に関し、次の記載がある。
「本発明による質量流量計では、肉厚管４は金属もしくは合金、あるいはプラスチック、特にポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、四フッ化アルコキシ重合体（ＰＦＡ）またはポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）からなってよい。」
　
　よって、引用文献２の上記記載から、次の発明（以下、引用発明２という）が認定できる。
「コリオリ質量流量計の濡れた流路全体の材料として、四フッ化アルコキシ重合体（ＰＦＡ）のようなプラスチックを用いること。」
　
　ところで、半導体や液晶の基板洗浄に用いられる薬液等の超高純度を有する処理材料の流量測定の際に、被測定流体である処理材料を汚染してはならないことは周知の課題であり、そのために、ＰＦＡのような流管から処理材料へイオンをほとんど移動させない材料で、流量計の流管を構成することも、周知技術であった。
　
　このことについては、原審で引用された、特開平９−３０３６０９号公報の、「【０００２】【従来の技術】半導体ウエハや液晶基板を製造する工程においては、・・・上記半導体ウエハや液晶基板を純水や薬液などの液体を用いて洗浄しており、またウエットエッチング装置では上記半導体ウエハや液晶基板の処理時に薬液などの液体が用いられている。・・・【０００５】【発明が解決しようとする課題】・・・また、配管内部に電極を突出して設けた上記電磁流量計においては、流量計を通過する液体に金属汚染が生じる場合がある。【０００６】このような汚染された液体を、上記半導体ウエハや液晶基板の洗浄、ウエットエッチング処理に用いると、これら半導体ウエハや液晶基板が汚染され、この結果上記半導体ウエハや液晶基板の表面にパーティクルが付着したり金属汚染が発生し、半導体ウエハや液晶基板の処理能力などのデバイス特性が悪化してしまう。・・・【００１２】本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、・・・薬液などの液体により腐食せず、この薬液などの液体に汚染を生じさせることのない流量制御弁および流量制御システムを提供しようとするものである。・・・【００２６】【発明の実施の形態】・・・図１に示す本発明の流量制御装置１には、外部に設けられた図示しない供給源から供給される、例えばフッ酸やオゾン水などの液体が、配管２を介してこの流量制御装置１に供給されるようになっている。【００２７】本実施の形態では、液体はまずこの流量制御装置１に設けられた検出手段としての超音波式流量計３に導入される。この超音波式流量計３は、図２に示すように、所定長さの筒体３１の両端部を対向した端部壁３１ａ，３１ｂにより封鎖し、端部壁３１ａの端部壁３１ｂ側近傍には、配管２に連結する流入部３２を形成し、端部壁３２ｂの端部壁３１ａ側近傍には、配管６に連結する流出部３３を一体に形成し、液体は流入部３２から流入し、筒体３１を介して流出部３３から流出する構成となっている。これら筒体３１、端部壁３１ａ，３１ｂ、流入部３２及び流出部３３は、フッ素系の樹脂（好ましくはＰＦＡ：四フッ化エチレンパーフロロアルコキシエチレン共重合やＰＦＴＥ：四フッ化エチレン）を材質として成形されている。」との記載や、同じく、原審で引用された、特開平１１−３０４５６１号公報の、「【０００２】【従来の技術】従来、ウエハ等の半導体基板や液晶表示素子に用いるガラス基板等を洗浄する洗浄槽に洗浄液を注入する際、洗浄液が純水や市水等のみの場合には、注入する水量について正確に測定する必要は生じないが、薬液で洗浄する場合には正確に計量して注入する必要が生じる場合がある。例えば、ＳＰＭ洗浄の場合で、硫酸：過酸化水素の割合を５：１にする場合とか、あるいはＡＰＭ洗浄の場合で、アンモニア：過酸化水素：純水の割合を１：４：２０にする場合などがある。これらの場合には、その割合を正確に測定して洗浄槽の中に注入することになる。このため、耐薬液性の高いＰＦＡ（４ふっ化エチレン−パーフロオロアルコキシエチレン共重合体）、ＰＴＦＥ（ポリ４ふっ化エチレン、商標名テフロン）等を材質としたカルマン渦式の流量計や超音波流量計等によって液量を測定する方法などが用いられている。」との記載を参照されたい。
　
　よって、上記周知な課題及び上記周知技術を踏まえると、引用発明２は、コリオリ質量流量計の濡れた流路全体の材料として四フッ化アルコキシ重合体（ＰＦＡ）のようなプラスチックを用いていることから、流管から被測定流体へイオンをほとんど移動させることがなく、よって、半導体や液晶の基板洗浄に用いられる薬液等の超高純度を有する処理材料の流量測定に適用し得ることは明らかである。
　
　そうすると、引用発明１において、センサチューブ（５）の材料として、上記周知な課題及び上記周知技術を踏まえ、同じ質量流量計である引用発明２に開示される四フッ化アルコキシ重合体（ＰＦＡ）のようなプラスチックを採用することで、半導体や液晶の基板洗浄に用いられる薬液等の超高純度を有する処理材料の流量を測定する際に、流管から処理材料へイオンをほとんど移動させないようにすることは、当業者が容易に想到し得ることである。
　
（本願発明の容易想到性についての総合的見解）
　そして、本願発明の作用効果も、引用発明１、及び引用発明２から、当業者が予測可能なものであって、格別のものではない。
　
　よって、本願発明は、引用発明１、及び引用発明２に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
【第７、審判請求人の主張について】
　審判請求人は、審判請求書において、概略、上記相違点２を根拠に、当業者が本願発明を容易に想到できたものではない旨主張している。
　しかしながら、この点については、上記【第６、判断】で説示したとおりである。
　したがって、審判請求人の主張は採用できない。
　
【第８、むすび】
　以上のとおり、本願発明は、引用発明１、及び引用発明２に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　したがって、他の請求項に係る発明について審理するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。