【手続補正書】
【提出日】平成18年3月24日(2006.3.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）各試料が良好な性能のめっき液を含有する、試料セットを得、
（ｂ）前記各試料についての電解分析応答を得て、電解分析応答データセットを作成し、
（ｃ）前記試料セットおよび対応する前記電解分析応答データセットを含む訓練セットを得、
（ｄ）分解法を判別分析法と併用することにより前記訓練セットを分析して、判別パラメータデータセットを作成し、
（ｅ）前記訓練データセットを検証して、予測モデルのための予測データセットを作成すること
を含む、めっき液の性状を予測するために用いることができる前記予測データセットの作成方法。
【請求項２】
前記性状が、
前記電気めっき浴の個々の成分の濃度、
前記電気めっき浴中に蓄積された分解生成物の量、
前記電気めっき浴中に蓄積された外来汚染物質の量、
前記電気めっき浴の温度、
記録されたボルタモグラムのヒステリシス量、
またはそれらの組合せ
からなる群から選ばれる請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記性状が全体のめっき性能を含む請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記全体のめっき性能が、
均一電着性、
堆積物の光沢、
堆積物の引張強度、
堆積物の延性、
堆積物の内部応力、
はんだ付性能、
耐熱衝撃性、
堆積物の均一性、
孔を通しての均一充填容量、
基板表面におけるサブミクロンフィーチャの充填容量、
またはそれらの組合せ
からなる群から選ばれる請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記めっき液が電気めっき浴である請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記電気めっき浴が、以下の群：Ｃｕ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｚｎ、Ｎｉ、Ａｇ、Ｃｄ、Ｃｏ、Ｃｒ、および／またはそれらの合金から選ばれる１種の金属のめっき浴を含む請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記めっき液が無電解めっき浴である請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記無電解めっき浴が、以下の群：Ｃｕ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｎｉ、Ａｇ、Ａｕおよび／またはそれらの合金から選ばれる１種の金属の自己触媒めっき浴を含む請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記無電解めっき浴が、以下の群：Ｃｕ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｎｉ、Ａｇ、Ａｕおよび／またはそれらの合金から選ばれる１種の金属の浸漬めっき浴を含む請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
前記めっき液が、
電解採取浴（ｅｌｅｃｔｒｏｗｉｎｎｉｎｇ  ｂａｔｈ）、
電解精錬浴（ｅｌｅｃｔｒｏｒｅｆｉｎｉｎｇ  ｂａｔｈ）、
電解研磨浴（ｅｌｅｃｔｒｏｐｏｌｉｓｈｉｎｇ  ｂａｔｈ）、
電鋳浴（ｅｌｅｃｔｒｏｆｏｒｍｉｎｇ  ｂａｔｈ）、
電解マイクロマシニング浴（ｅｌｅｃｔｒｏｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｉｎｇ  ｂａｔｈ）
からなる群から選ばれる請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記電気めっき浴が、以下の群：Ｃｕ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｚｎ、Ｎｉ、Ａｇ、Ｃｄ、Ｃｏ、Ｃｒ、および／またはそれらの合金から選ばれる１種の金属のめっき浴を含む請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
工程（ａ）の前記試料セットが、明細書の範囲内で知られている濃度のめっき液を含有する請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
工程（ａ）の前記試料データセットが実験計画（ＤＯＥ）の慣例的手順により得られる請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
前記ＤＯＥの慣例的手順が多成分多重レベルの線形直交配列である請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記ＤＯＥの慣例的手順が多成分多重レベルの単因子（ｆｒａｃｔｉｏｎａｌ  ｆａｃｔｏｒｉａｌ）実施計画である請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】
工程（ａ）の前記試料セットが、明細書の範囲内で知られている濃度の調製したての電気めっき液を含む請求項１に記載の方法。
【請求項１７】
工程（ａ）の前記試料セットが、良好な性能の工業用めっき液（経験的試料セット）を含む請求項１に記載の方法。
【請求項１８】
工程（ｂ）の前記電解分析応答がＤＣボルタンメトリーにより得られる請求項１に記載の方法。
【請求項１９】
前記ＤＣボルタンメトリーがＤＣサイクリックボルタンメトリーを含む請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記ＤＣボルタンメトリーがＤＣリニアスキャンボルタンメトリーを含む請求項１８に記載の方法。
【請求項２１】
前記ＤＣボルタンメトリーがＤＣアノーディックストリッピングボルタンメトリーを含む請求項１８に記載の方法。
【請求項２２】
前記ＤＣボルタンメトリーがＤＣカソーディックストリッピングボルタンメトリーを含む請求項１８に記載の方法。
【請求項２３】
前記ＤＣボルタンメトリーがＤＣ吸着ストリッピングボルタンメトリーを含む請求項１８に記載の方法。
【請求項２４】
前記ＤＣボルタンメトリーがＤＣサイクリックボルタンメトリーストリッピング法を含む請求項１９に記載の方法。
【請求項２５】
工程（ｂ）の前記電解分析応答が、
ＤＣ階段状（Ｓｔａｉｒｃａｓｅ）ボルタンメトリー、
正常パルスボルタンメトリー、
逆パルスボルタンメトリー、
微分パルスボルタンメトリー、
矩形波ボルタンメトリー、
ＡＣボルタンメトリー、
クロノアンペロメトリー、
クロノポテンシオメトリー、
電気化学インピーダンス分光法、
ポーラログラフ法、
またはそれらの組合せ
からなる群から選ばれる方法により得られる請求項１に記載の方法。
【請求項２６】
工程（ｂ）の前記電解分析応答が、複数のデータ点を含む請求項１に記載の方法。
【請求項２７】
工程（ｂ）の前記電解分析応答が、完全な電解分析応答の１以上の部分の組合せである請求項１に記載の方法。
【請求項２８】
工程（ｂ）の前記電解分析応答が、独立した電解分析応答の１以上の部分の組合せを含む請求項１に記載の方法。
【請求項２９】
工程（ｄ）の前記分解法が、
主成分分析（ＰＣＡ）、
マハラノビス距離（ＭＤ）の計算、
残差付きマハラノビス距離（ＭＤＲ）の計算、
ＳＩＭＣＡ（Ｓｉｍｐｌｅ  Ｍｏｄｅｌｉｎｇ  ｏｆ  Ｃｌａｓｓ  Ａｎａｌｏｇｙ）による計算、
ＦＳ比の計算、
内部検証、
外部検証、
それらの組合せ
からなる群から選ばれる請求項１に記載の方法。
【請求項３０】
（ａ）予測データセットを作成し、該予測データセットを、
（ａ１）各試料が良好な性能の電解質液を含有する、試料セットを得、
（ａ２）各前記試料についての電解分析応答を得て、電解分析応答データセットを作成し、
（ａ３）前記試料セットおよび対応する前記電解分析応答データセットを含む訓練セットを得、
（ａ４）前記電解分析応答データセットを前処理し、
（ａ５）分解法と判別分析法との併用で前記訓練セットを分析して、判別パラメータデータセットを作成し、
（ａ６）前記訓練データセットを検証して、予測モデルのための前記予測データセットを作成すること
によって作成し、さらに
（ｂ）前記予測データセットを用いて前記めっき液の性状を予測し、前記性状を、
（ｂ１）未知試料セット中の各未知試料がめっき液を含有する、前記未知の試料セットを得、
（ｂ２）各前記未知試料についての電解分析応答を得て、電解分析応答データセットを作成し、
（ｂ３）前記電解分析応答データセットを前処理し、
（ｂ４）前記予測モデルを各前記未知試料の性状の予測に適用すること
により予測することを含む、前記めっき液の性状を予測する方法。
【請求項３１】
（ａ）予測データセットを作成し、該予測データセットを、
（ａ１）各試料が良好な性能の電解質液を含有する、試料セットを得、
（ａ２）各前記試料についての電解分析応答を得て、電解分析応答データセットを作成し、
（ａ３）前記試料セットおよび対応する前記電解分析応答データセットを含む訓練セットを得、
（ａ４）前記電解分析応答データセットを前処理し、
（ａ５）分解法を判別分析法と併用することにより前記訓練セットを分析して、判別パラメータデータセットを作成し、
（ａ６）前記訓練データセットを検証して、予測モデルのための前記予測データセットを作成し、また
（ａ７）前記めっき液の良不良の性能限界を特定すること
により作成し、さらに
（ｂ）前記予測データセットを用いて前記めっき液の性状を予測し、かつ前記溶液が適正であるか不良であるかを認定し、該方法が、
（ｂ１）未知試料セット中の各未知試料がめっき液を含有する、前記未知試料セットを得、
（ｂ２）各前記未知試料についての電解分析応答を得て、電解分析応答データセットを作成し、
（ｂ３）前記電解分析応答データセットを前処理し、
（ｂ４）前記予測モデルを各前記未知試料の性状の予測に適用し、
（ｂ５）前記未知試料が適正であるか不良であるかを認定すること
を含む、前記めっき液の性能不良を検出する方法。
【請求項３２】
（ａ）予測データセットを作成し、該予測データセットを、
（ａ１）各試料が良好な性能の電解質液を含有する、試料セットを得、
（ａ２）各前記試料についての電解分析応答を得て、電解分析応答データセットを作成し、
（ａ３）前記試料セットおよび対応する前記電解分析応答データセットを含む訓練セットを得、
（ａ４）前記電解分析応答データセットを前処理し、
（ａ５）分解法を判別分析法と併用することにより前記訓練セットを分析して、判別パラメータデータセットを作成し、
（ａ６）前記訓練データセットを検証して、予測モデルのための前記予測データセットを作成し、
（ａ７）供給／排出操作を必要とする前記めっき液について、前記性状の限界を画定すること
により作成する工程と、
（ｂ）前記予測データセットを用いて前記めっき液の性状を予測し、かつ前記溶液が適正であるか不良であるかを認定し、該方法が、
（ｂ１）未知試料セット中の各未知試料がめっき液を含有する、前記未知試料セットを得、
（ｂ２）各前記未知試料についての電解分析応答を得て、電解分析応答データセットを作成し、
（ｂ３）前記電解分析応答データセットを前処理し、
（ｂ４）前記予測モデルを各前記未知試料の性状の予測に適用し、および
（ｂ５）前記未知試料が供給／排出操作の条件が整った溶液であるか否かを認定すること
を含む工程とを含む、管理された供給／排出操作を行うためにめっき液の性能をモニタリングする方法。
【請求項３３】
（ａ）予測データセットを作成し、該予測データセットを、
（ａ１）各試料が良好な性能の電解質液を含有する、試料セットを得、
（ａ２）各前記試料についての電解分析応答を得て、電解分析応答データセットを作成し、
（ａ３）前記試料セットおよび対応する前記電解分析応答データセットを含む訓練セットを得、
（ａ４）前記電解分析応答データセットを前処理し、
（ａ５）分解法を判別分析法と併用することにより前記訓練セットを分析して、判別パラメータデータセットを作成し、
（ａ６）前記訓練データセットを検証して、予測モデルのための前記予測データセットを作成し、および
（ａ７）浄化処理を必要とする前記めっき液について、前記性状の限界を画定すること
により作成する工程と、
（ｂ）前記予測データセットを用いて前記めっき液の性状を予測し、かつ前記溶液が適正であるか不良であるかを認定し、該方法が、
（ｂ１）未知試料セット中の各未知試料がめっき液を含有する、前記未知試料セットを得、
（ｂ２）各前記未知試料についての電解分析応答を得て、電解分析応答データセットを作成し、
（ｂ３）前記電解分析応答データセットを前処理し、
（ｂ４）前記予測モデルを各前記未知試料の性状の予測に適用し、および
（ｂ５）前記未知試料が浄化処理のための条件が整った溶液であるか否かを認定すること
を含む工程とを含む、管理された浄化処理操作を行うために電気めっき液の性能をモニタリングする方法。
【請求項３４】
（ａ）予測データセットを作成し、該予測データセットを、
（ａ１）各試料が良好な性能の測定システムの電子的特性を含む、訓練セットを得、
（ａ２）前記訓練データセットを前処理し、
（ａ３）分解法を判別分析法と併用することにより前記訓練セットを分析して、判別パラメータデータセットを作成し、
（ａ４）前記訓練データセットを検証して、予測モデルのための前記予測データセットを作成し、
（ａ５）良好に作動する測定システムの前記電子的特性について、前記性状の限界を画定すること
により作成する工程と、
（ｂ）前記予測データセットを用いて測定システムの機能不良を予測し、該方法が、
（ｂ１）各試料が定期的に採取した測定システムの電子的特性を含む第２のデータセットを得、
（ｂ２）前記第２のデータセットを前処理し、
（ｂ３）前記予測モデルを第２のデータセットの各試料の性状の予測に適用し、
（ｂ４）前記性状を不良と認定することにより、測定システムの機能不良を検出すること
を含む工程とを含む、機能不良を検出するために測定システムの性能をモニタリングする方法。