(57)【要約】      （修正有）【課題】板ガラスの被成膜面の損傷を防止するとともに、この板ガラスを好適に保持するカルーセル型スパッタリング装置用板ガラス保持具の提供。【解決手段】板ガラス保持具１は、板ガラスＧの第一の面Ｇａを支持する第一支持板２と、板ガラスＧの第二の面Ｇｂを支持する第二支持板３とを備え、第二支持板３は、板ガラスＧの第二の面Ｇｂを露出させる開口部８を有し、第二支持板３は、ロックウェル硬度が９０〜１４０の材料により構成される板ガラス保持具１。更に、第１支持板２及び第２支持板３を支持する金属製の第３支持板４を備える板ガラス保持具１。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の面及び第二の面を有する板ガラスを保持する板ガラス保持具であって、
前記板ガラスの前記第一の面を支持する第一支持板と、
前記板ガラスの前記第二の面を支持する第二支持板と、を備え、
前記第二支持板は、前記第二の面を露出させる開口部を有しており、かつロックウェル硬度が９０以上１４０以下の材料により構成されてなることを特徴とする板ガラス保持具。
【請求項２】
前記第一支持板及び前記第二支持板を支持する金属製の第三支持板をさらに備える請求項１に記載の板ガラス保持具。
【請求項３】
前記第三支持板の表面粗さＲａが、５μｍ以上２５μｍ以下である請求項２に記載の板ガラス保持具。
【請求項４】
前記第一支持板は、前記板ガラスが嵌合する凹部を有する請求項１から３のいずれか１項に記載の板ガラス保持具。
【請求項５】
前記第二支持板は、前記板ガラスが嵌合する凹部を有する請求項１から４のいずれか１項に記載の板ガラス保持具。
【請求項６】
前記第二支持板は、前記板ガラスの前記第二の面に接触する押圧部を有する請求項１から５のいずれか１項に記載の板ガラス保持具。
【請求項７】
前記押圧部は、前記板ガラスの前記第二の面における周縁部の全周に亘って接触するように構成されてなる請求項６に記載の板ガラス保持具。
【請求項８】
前記第二支持板は、ＰＥＥＫにより構成されてなる請求項１から７に記載の板ガラス保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば板ガラスに成膜を行うカルーセル型スパッタリング装置に使用される板ガラス保持具に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ等のフラットパネルディスプレイや、太陽電池、電磁調理器等の電気・電子機器に組み込まれる板ガラスの表面には、透明導電膜、反射防止膜等の機能性膜が必要に応じて形成される。
【０００３】
板ガラスに成膜を行うための手法の一つとして、スパッタリング法を挙げることができる。例えば特許文献１には、スパッタリング法を利用して被成膜部材に成膜を行うカルーセル型スパッタリング装置、及び、同装置用のホルダが開示されている。
【０００４】
上記のカルーセル型スパッタリング装置は、チャンバ内に配置されたカルーセル（回転ドラム）に、被成膜部材を保持するホルダを装着し、カルーセルを回転させながら、カルーセルの外側に配置されたターゲットから膜材料（ターゲットを構成する原子）を飛散させ、被成膜部材の表面（被成膜面）に膜材料を堆積させて膜を形成するように構成されている。
【０００５】
そして、同装置用のホルダは、被成膜部材が挿入される開口部と、この開口部の内壁から内側に向かって突出し、且つ、開口部に挿入された被成膜部材に表面側から当接するフランジ部との両部を有した金属製の取付部を備える。また、ホルダは、遠心力によって旋回中の被成膜部材を裏面側から押圧し、被成膜部材を取付部のフランジ部に押し付ける押さえ部材を備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１３−３２５７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のように、従来のカルーセル型スパッタリング装置に使用されるホルダは、金属製の取付部におけるフランジ部を被成膜部材の表面（被成膜面）に当接させることにより、この被成膜部材を支持する。しかしながら、例えば被成膜部材が板ガラスである場合、フランジ部の硬度が相対的に高いため、このフランジ部が板ガラスの表面を傷つけるおそれがあった。
【０００８】
本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、板ガラスの被成膜面の損傷を防止するとともに、この板ガラスを好適に保持することが可能な板ガラス保持具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は上記の課題を解決するためのものであり、第一の面及び第二の面を有する板ガラスを保持する板ガラス保持具であって、前記板ガラスの前記第一の面を支持する第一支持板と、前記板ガラスの前記第二の面を支持する第二支持板と、を備え、前記第二支持板は、前記第二の面を露出させる開口部を有しており、かつロックウェル硬度が９０以上１４０以下の材料により構成されてなることを特徴とする。
【００１０】
上記の構成によれば、第二支持板に開口部を形成することにより、この開口部を介して板ガラスの第二の面を露出させることができる。これにより、第一支持板と第二支持板とによって板ガラスを支持しつつ、露出した板ガラスの第二の面に対してスパッタリングによる成膜を行うことができる。
【００１１】
さらに、第二支持板は、ロックウェル硬度が９０以上１４０以下の材料により構成されることで、板ガラスの第二の面を傷つけることなく支持し、カルーセルの回転中においても変形することのない十分な剛性を備えたものとなる。以上により、板ガラスの被成膜面（第二の面）の損傷を防止するとともに、この板ガラスを好適に保持することができ、機能性膜を板ガラスの第二の面に精度良く形成できる。
【００１２】
本発明に係る板ガラス保持具は、前記第一支持板及び前記第二支持板を支持する金属製の第三支持板をさらに備えることが望ましい。
【００１３】
金属製の第三支持板は、第一支持板及び第二支持板がカルーセルの遠心力によって飛ばされないように、これらを確実に支持できる。さらに、第一支持板及び第二支持板を金属製の第三支持板により支持することで、成膜中における第一支持板、第二支持板、及び板ガラスの変形を防止できる。
【００１４】
本発明に係る板ガラス保持具では、前記第三支持板の表面粗さＲａが、５μｍ以上２５μｍ以下であることが望ましい。
【００１５】
第三支持板の表面粗さＲａをこの数値範囲に設定することで、第三支持板にターゲットからの膜材料が付着した場合に、膜部材がこの第三支持板から剥離し難くなる。これにより、第三支持板に付着した膜材料が剥離して板ガラスに接触することによる成膜不良の発生を防止できる。
【００１６】
また、前記第一支持板は、前記板ガラスが嵌合する凹部を有することが望ましい。これによれば、板ガラスを凹部に嵌合させることで、第一支持板に対する板ガラスの位置決めを容易に行うことが可能になる。同様の観点から、前記第二支持板においても、前記板ガラスが嵌合する凹部を有することが望ましい。
【００１７】
さらに、前記第二支持板は、前記板ガラスの前記第二の面に接触する押圧部を有することが望ましい。第二支持板の押圧部が板ガラスの第二の面に接触してこれを押圧することにより、成膜中における板ガラスの位置ずれを防止できる
【００１８】
また、前記押圧部は、前記板ガラスの前記第二の面における周縁部の全周に亘って接触するように構成されてなることが望ましい。このように押圧部は、板ガラスの第二の面に集中荷重を付与することなく、均等な力で板ガラスを押圧する。これにより、成膜中における板ガラスの変形・破損を確実に防止できる。
【００１９】
なお、前記第二支持板は、ＰＥＥＫにより構成されてなることが望ましい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、板ガラスの被成膜面の損傷を防止するとともに、この板ガラスを好適に保持することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】第一実施形態に係る板ガラス保持具の分解断面図である。
【図２】板ガラスを保持した状態における板ガラス保持具の断面図である。
【図３】板ガラスの平面図である。
【図４】第一支持板の平面図である。
【図５】第二支持板の平面図である。
【図６】第三支持板の平面図である。
【図７】第一支持板に板ガラスを載置した状態を示す断面図である。
【図８】第一支持板と第二支持板との間に板ガラスを配置した状態を示す断面図である。
【図９】複数の板ガラス保持具をカルーセルの一部に装着した状態を示す平面図である。
【図１０】板ガラスに成膜を行う方法を説明する概略図である。
【図１１】第二実施形態に係る板ガラス保持具の分解断面図である。
【図１２】板ガラスを保持した状態における板ガラス保持具の断面図である。
【図１３】板ガラスの平面図である。
【図１４】第一支持板の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しながら説明する。図１乃至図１０は、本発明に係る板ガラス保持具の第一実施形態を示す。
【００２３】
図１及び図３に示すように、板ガラスＧは、四角形状（長方形状）のものを例示するが、この形状に限定されない。板ガラスＧの角部には面取り（Ｒ面取り）処理が施されている。この板ガラスＧは、第一の面Ｇａと、第二の面Ｇｂとを有する。本実施形態では、板ガラスＧの第二の面Ｇｂに対して機能性膜が形成されるものとする。
【００２４】
図１及び図２に示すように、板ガラス保持具１は、板ガラスＧの第一の面Ｇａに接触する第一支持板２と、板ガラスＧの第二の面Ｇｂの一部に接触する第二支持板３と、第一支持板２及び第二支持板３を支持する第三支持板４とを備える。
【００２５】
図１、図２及び図４に示すように、第一支持板２は、樹脂製で四角形状（例えば長方形状）に構成されるが、これに限定されるものではない。第一支持板２は、例えばＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）により構成されるが、これに限定されるものではなく、他の樹脂又は金属により構成されてもよい。なお、第一支持板２のロックウェル硬度は、９０以上１４０以下であることが好ましい。第一支持板２は、板ガラスＧの面積よりも大きな面積を有し、板ガラスＧにおける第一の面Ｇａの全面と接触する。
【００２６】
より具体的には、第一支持板２は、板ガラスＧが嵌合する凹部５を有する。この凹部５は、図４に示すように、板ガラスＧの形状に対応するように、平面視において四角形状に構成される。凹部５の深さ寸法は、板ガラスＧの厚さ寸法よりも小さい。凹部５に板ガラスＧを嵌め込むと、板ガラスＧの第一の面Ｇａは、その全面が凹部５の底面５ａに接触する。
【００２７】
また、第一支持板２は、この第一支持板２を第三支持板４に固定するための複数(図例では四つ)のねじ孔６を有する。
【００２８】
第二支持板３は、樹脂により四角形状（例えば長方形状）に構成されている。第二支持板３は、例えばＰＥＥＫにより構成されているが、他の樹脂、木材等の他の材料により構成されてもよい。第二支持板３のロックウェル硬度は、９０以上１４０以下とされることが望ましい。この硬度が９０未満であると、成膜中に第二支持板３自身が変形してしまい、板ガラスＧを好適に保持することができない。一方、この硬度が１４０を超えると、第二支持板３が板ガラスの第二の面Ｇｂを傷つけるおそれがあるため、好ましくない。なお、本実施形態において、ロックウェル硬度は、ＡＳＴＭ  Ｄ−７８５（２０１５）のＲスケールに基づいて測定されるものとする。
【００２９】
図１、図２及び図５に示すように、第二支持板３は、板ガラスＧが嵌合する凹部７と、板ガラスＧの第二の面Ｇｂを露出させる開口部８とを有する。凹部７及び開口部８は、平面視において四角形状（例えば長方形状）に構成されるが、これに限定されるものではない。凹部７の幅寸法及び長さ寸法は、開口部８の幅寸法及び長さ寸法よりも大きい。図５に示すように、凹部７と開口部８は同心状に形成されており、凹部７の底面７ａが開口部８の周囲を囲むように環状に形成されている。
【００３０】
第二支持板３における凹部７の深さ寸法は、板ガラスＧの厚さ寸法よりも小さい。より具体的には、第一支持板２における凹部５の深さ寸法と、第二支持板３における凹部７の深さ寸法との和は、板ガラスＧの厚さ寸法よりも小さい。
【００３１】
この凹部７の底面７ａは、板ガラスＧが嵌め込まれたときに、この板ガラスＧの第二の面Ｇｂに接触してこれを押圧する。すなわち、凹部７の底面７ａは、板ガラスＧの表面に接触する押圧部７ａとして機能する。この押圧部７ａは、板ガラスＧの第二の面Ｇｂにおける周縁部の全周に亘って接触する。なお、図３においてクロスハッチングにて表す部分は、押圧部７ａが板ガラスＧの第二の面Ｇｂに接触する範囲を示す。
【００３２】
第三支持板４は、金属製であり、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）により四角形状（例えば長方形状）に構成されるが、これに限定されない。図１、図２及び図６に示すように、第三支持板４は、第一支持板２が嵌合する第一凹部９と、第二支持板３が嵌合する第二凹部１０と、板ガラスＧの第二の面Ｇｂを露出させる開口部１１とを有する。図６に示すように、第一凹部９、第二凹部１０、及び開口部１１は、同心状に形成されている。
【００３３】
図６に示すように、第一凹部９は、第一支持板２の形状に対応するように平面視四角形状（例えば長方形状）に構成される。第一凹部９の底面９ａは、第一支持板２がこの第一凹部９に嵌合したときに、この第一支持板２における一方の面２ａに接触する。第一凹部９の深さ寸法は、第一支持板２の厚さ寸法とほぼ等しいが、これより大きくてもよい。
【００３４】
第二凹部１０は、第二支持板３の形状に対応するように、平面視四角形状(例えば長方形状)に構成される。第二凹部１０の底面１０ａは、第二支持板３がこの第二凹部１０に嵌合したときに、この第二支持板３における一方の面３ａに接触する。第二凹部１０の幅寸法及び長さ寸法は、第一凹部９の幅寸法及び長さ寸法よりも小さい。第二凹部１０の深さ寸法は、第二支持板３の厚さ寸法とほぼ等しい。
【００３５】
図６に示すように、第三支持板４の開口部１１は、平面視四角形状（例えば長方形）に構成される。開口部１１の幅寸法及び長さ寸法は、第二支持板３の開口部８の幅寸法及び長さ寸法よりも大きく、第二凹部１０の幅寸法及び長さ寸法よりも小さい。
【００３６】
第三支持板４は、第一支持板２をこの第三支持板４に固定するための複数（例えば四つ）の第一貫通孔１２と、この第三支持板４をカルーセルの一部に固定するための複数（例えば四つ）の第二貫通孔１３とを有する。
【００３７】
図１及び図２に示すように、第一貫通孔１２は、第三支持板４における第一凹部９の底面９ａに連通している。第一貫通孔１２は、第一支持板２が第一凹部９に嵌合したときに、この第一支持板２におけるねじ孔６に一致する位置に形成されている。
【００３８】
図１及び図２に示すように、第二貫通孔１３は、第三支持板４の一方の面４ａから他方の面４ｂまで貫通している。図６に示すように、第二貫通孔１３は、互いに連なるように形成される大径部１３ａと小径部１３ｂとを有する。
【００３９】
第三支持板４は、その一方側の面４ａにサンドブラスト加工（粗面加工）が施されている。この第三支持板４の一方の面４ａにおける表面粗さ（算術平均粗さ）Ｒａは、５μｍ以上２５μｍ以下とされることが望ましい。第三支持板４の表面粗さＲａを、この数値範囲にすることで、スパッタリング装置のターゲットＴＧから放出された膜材料がこの面４ａに付着した場合に、この膜材料をこの面４ａから剥離し難くすることができる。これにより、第三支持板４に付着した膜材料が、剥離して板ガラスＧの第二の面Ｇｂに形成される機能性膜に付着するという事態を回避できる。
【００４０】
以下、上記構成の板ガラス保持具１の使用方法について説明する。まず、板ガラスＧを第一支持板２の凹部５に嵌め込む。このとき、凹部５が上方を向くように、第一支持板２を載置台等に載せた状態で、この凹部５に板ガラスＧを嵌合させる。これにより、凹部５の底面５ａが板ガラスＧの第一の面Ｇａに接触する。
【００４１】
このとき、既述のように凹部５の深さ寸法が板ガラスＧの厚さ寸法よりも小さいことから、この凹部５に嵌め込まれた板ガラスＧは、図７に示すように、その上側の部分が凹部５から食み出る。
【００４２】
次に、第二支持板３を第一支持板２に重ね合わせ、その凹部７に板ガラスＧを嵌合させる。この場合、第二支持板３の凹部７が下方を向くようにし、この凹部７と第一支持板２の凹部５とを対向させる。そして、第二支持板３の凹部７を、第一支持板２の凹部５から食み出ている板ガラスＧの部分に嵌め込む。
【００４３】
このとき、既述のように第一支持板２における凹部５の深さ寸法と第二支持板３における凹部７の深さ寸法との和が、板ガラスＧの厚さ寸法よりも小さいことから、図８に示すように、第一支持板２と第二支持板３との間に隙間Ｃが生じる。すなわち、板ガラスＧを各凹部５，７に嵌合させた状態において、第一支持板２と第二支持板３とは、この隙間Ｃの分だけ離間する。
【００４４】
また、第二支持板３の凹部７における押圧部７ａ（底面）が、板ガラスＧの第二の面Ｇｂの周縁部に接触する。以上により、板ガラスＧは、第一支持板２と第二支持板３とに挟まれた状態となる。この状態において、板ガラスＧの第二の面Ｇｂは、押圧部７ａが接触した部分を除き、第二支持板３の開口部８から露出する。
【００４５】
次に、第三支持板４を第一支持板２及び第二支持板３に被せる。具体的には、第三支持板４の一方の面４ａが上方を向くようにし、そして第三支持板４の第一凹部９に第一支持板２を嵌合させ、第二凹部１０に第二支持板３を嵌合させる。
【００４６】
このとき、第一支持板２のねじ孔６と、第三支持板４の第一貫通孔１２とが一致した状態となる。この状態において、固定部材としてねじ部材Ｓを第一貫通孔１２に挿入するとともに、そのねじ部をねじ孔６に螺合させる。これにより、第一支持板２、第二支持板３及び第三支持板４は一体化される。このとき、第一支持板２及び第二支持板３は、全て第三支持板４の内部（第一凹部９、第二凹部１０）に収容されることになり、板ガラス保持具１の厚さは、第三支持板４の厚さと同じになる（図２参照）。
【００４７】
ねじ部材Ｓを締め付けることにより、第一支持板２の凹部５における底面５ａが、板ガラスＧの第一の面Ｇａを押圧する。また、第三支持板４の第二凹部１０における底面１０ａが第二支持板３の一方の面３ａを押圧する。これにより、第二支持板３の押圧部７ａは、接触している板ガラスＧの第二の面Ｇｂ部分を押圧する。このようにして、板ガラスＧは、第一支持板２及び第二支持板３によって挟持されることとなる。
【００４８】
また、この状態では、第二支持板３の開口部８から露出する板ガラスＧの第二の面Ｇｂは、さらに第三支持板４の開口部１１を通じて露出した状態となる。以上により、板ガラス保持具１による板ガラスＧの保持が完了する。
【００４９】
次に、上記のように板ガラスＧを保持した板ガラス保持具１を複数用意し、図９に示すように、カルーセルの取付治具１４に、各板ガラス保持具１を固定する。この取付治具１４には、ねじ孔（図示せず）が形成されており、そのねじ孔には、ねじ部材（図示せず）が嵌め込まれている。
【００５０】
板ガラス保持具１は、第二貫通孔１３の大径部１３ａをこのねじ部材Ｓに挿通した後、ねじ部材Ｓの軸部が小径部１３ｂに係合するように、板ガラス保持具１を移動させ、その後に、ねじ部材Ｓを締め付ける。これにより、板ガラス保持具１は、カルーセルの取付治具１４に固定される。このとき、板ガラス保持具１は、第三支持板４がカルーセルにおける半径方向の外方側に配置され、第一支持板２がカルーセルにおける半径方向の内方側に配置される。
【００５１】
その後、スパッタリング装置により、板ガラスＧに機能性膜が形成される。図１０に示すように、板ガラス保持具１に保持される板ガラスＧは、その第二の面Ｇｂがカルーセルの半径方向外方側に向いている。スパッタリング装置は、板ガラス保持具１が所定の円軌道上を移動するように、カルーセルを回転軸Ｘまわりに回転させる。
【００５２】
図１０に示すように、カルーセルの半径方向外方側には、ターゲットＴＧが配置されている。カルーセルの回転により、各板ガラス保持具１は、ターゲットＴＧの前方を繰返し通過する。板ガラス保持具１に保持される板ガラスＧは、ターゲットＴＧを通過する度に、その第二の面Ｇｂに、ターゲットＴＧから放出された膜材料が付着する。カルーセルを所定回数回転させることにより、所定厚さの機能性膜が板ガラスＧの第二の面Ｇｂに形成される。なお、板ガラスＧにおける第二の面Ｇｂのうち、第二支持板３の押圧部７ａが接触する部分には、機能性膜は形成されない。
【００５３】
以上説明した本実施形態に係る板ガラス保持具１によれば、第一支持板２、第二支持板３及び第三支持板４によって板ガラスＧを支持しつつ、第二支持板３の開口部８、及び第三支持板４の開口部１１により、板ガラスＧの第二の面Ｇｂを露出させることができる。これにより、露出した板ガラスＧの第二の面Ｇｂに機能性膜を形成できる。
【００５４】
さらに第二支持板３のロックウェル硬度を９０以上１４０以下に設定することにより、この第二支持板３は、板ガラスＧの第二の面Ｇｂの接触部分を損傷させることなく、また、カルーセルの遠心力によって自身が変形することもない。これにより、板ガラス保持具１は、板ガラスＧを好適に保持した状態で、板ガラスＧの第二の面Ｇｂに機能性膜を精度良く形成できる。
【００５５】
また、金属製の第三支持板４は、第一支持板２及び第二支持板３の外側(カルーセルの半径方向外方側)に配置されることにより、第一支持板２、第二支持板３及び板ガラスＧが変形しないようにこれらを支持する。したがって、板ガラス保持具１は、板ガラスＧがカルーセルの遠心力によって放出されないように、これを確実に保持できる。
【００５６】
図１１乃至図１４は、板ガラス保持具の第二実施形態を示す。本実施形態では、板ガラスＧの形状が第一実施形態とは異なっており、板ガラス保持具１は、この板ガラスＧを好適に保持できる。図１１乃至図１３に示すように、板ガラスＧは、第一実施形態と同様に四角形状に構成されるが、その中央部に貫通孔Ｇｃを有する。この貫通孔Ｇｃは、例えば円形に構成される。貫通孔Ｇｃの数、位置及び形状は本実施形態に限定されない。
【００５７】
板ガラス保持具１の第一支持板２は、その中央部に、板ガラスＧの貫通孔Ｇｃに嵌合する突起部１５を有する。図１４に示すように、突起部１５は、平面視において円形に構成されている。この突起部１５の中心部には、ねじ孔１６が貫通形成されている。突起部１５の数、位置及び形状は、板ガラスＧの数、位置及び形状に対応して適宜設定され得る。
【００５８】
また、板ガラス保持具１は、板ガラスＧの第二の面Ｇｂにおける貫通孔Ｇｃの周縁部（図１３においてクロスハッチングで示す部分）を押圧する押圧部材１７を備える。押圧部材１７は、樹脂製（例えばＰＥＥＫ製）であり、例えば円板状に構成されるが、これに限定されるものではない。押圧部材１７の直径は、板ガラスＧの貫通孔Ｇｃの直径よりも大きい。図１１及び図１２に示すように、押圧部材１７の中心部には貫通孔１７ａが形成されている。押圧部材１７は、ねじ部材Ｓを介して第一支持板２の突起部１５に固定され得る。
【００５９】
板ガラス保持具１のその他の構成は、第一実施形態と同じであり、第一実施形態と共通する構成要素には、共通の符号を付している。
【００６０】
以下、本実施形態に係る板ガラス保持具１の使用方法について説明する。
【００６１】
まず、第一実施形態と同様に、第一支持板２の凹部５に板ガラスＧを嵌合させる。このとき、第一支持板２の突起部１５を板ガラスＧの貫通孔Ｇｃに挿入する。その後、第二支持板３を第一支持板２に重ね合わせるとともに、その凹部７に板ガラスＧの上側部分を嵌合させる。
【００６２】
次に、押圧部材１７を第一支持板２の突起部１５に固定する。具体的には、押圧部材１７を突起部１５に対して同心状に重ね合わせ、その貫通孔１７ａを突起部１５のねじ孔１６に一致させる。その後、ねじ部材Ｓを、貫通孔１７ａを通じてねじ孔１６に螺合させる。
【００６３】
ねじ部材Ｓを締め付けることで、押圧部材１７は突起部１５に固定される。押圧部材１７の直径が、板ガラスＧの貫通孔Ｇｃよりも大きいことから、押圧部材１７は、貫通孔Ｇｃの周縁部を覆うように、板ガラスＧの第二の面Ｇｂに接触する（図１３参照）。
【００６４】
その後、第三支持板４を第一支持板２及び第二支持板３に被せ、第一実施形態と同様に、ねじ部材Ｓによって、第三支持板４に第一支持板２を固定する。以上により、各支持板２〜４、及び押圧部材１７が一体化され、カルーセルに取り付けることが可能な状態となる（図１２参照）。
【００６５】
以上説明した本実施形態に係る板ガラス保持具１によれば、板ガラスＧに貫通孔Ｇｃが形成された場合であっても、この貫通孔Ｇｃの周辺部分における板ガラスＧの第二の面Ｇｂを押圧部材１７によって押圧することにより、成膜中に貫通孔Ｇｃの周辺部分の変形、損傷を防止できる。
【００６６】
なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００６７】
上記の実施形態では、板ガラス保持具１を、カルーセル型のスパッタリング装置に装着して板ガラスＧに成膜を行う例を示したが、これに限定されない。板ガラス保持具１は、スピンコートにも使用され得る。
【００６８】
上記の実施形態では、第二支持板３の押圧部７ａが、板ガラスＧの第二の面Ｇｂにおける周縁部の全周に亘って押圧する例を示したが、これに限定されない。例えば、押圧部７ａは、板ガラスＧの第二の面Ｇｂの周縁部における複数箇所を押圧するように構成され得る。
【００６９】
上記の実施形態では、カルーセルの外方側にターゲットＴＧが配置される例を示したが、これに限定されない。カルーセルの内部側にターゲットＴＧが配置された場合においても、本発明の板ガラス保持具１を使用できる。
【００７０】
上記の実施形態では、板ガラス保持具１を第一支持板２、第二支持板３、及び第三支持板４により構成したが、これに限定されない。例えば、板ガラス保持具１は、第一支持板２と第二支持板３とにより構成されてもよい。すなわち、第一支持板２と第二支持板３とによって、板ガラスＧを挟持させるとともに、第一支持板２及び第二支持板３を連結し、これらをカルーセルの取付治具１４に固定して使用してもよい。
【符号の説明】
【００７１】
１          板ガラス保持具
２          第一支持板
３          第二支持板
４          第三支持板
５          第一支持板の凹部
７          第二支持板の凹部
７ａ        押圧部
８            第二支持板の開口部
Ｇ          板ガラス
Ｇａ        板ガラスの第一の面
Ｇｂ        板ガラスの第二の面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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