(57)【要約】【課題】各々間欠的に点灯駆動される複数の光源体の輝度を犠牲にすることなく、積算照度を高くすることが可能な光源装置を提供することを目的とする。【解決手段】各々点灯駆動装置によって特定の条件で点灯駆動される複数の光源体が、当該複数の光源体の各々からの光を反射させる反射部材の周囲に平面的にまたは立体的に配置されてなる光源装置において、一方向に延びる軸を中心とする回転駆動機構、前記一方向に直交する方向に延びる軸を中心とする回転駆動機構または揺動機構、前記一方向の並進駆動機構および前記一方向に直交する平面内の並進駆動機構のうちから選ばれた少なくとも２つの駆動機構を備えた、反射部材をその反射面が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう姿勢制御する反射部材姿勢制御装置を備えており、複数の光源体の各々から反射部材に入射される光が同一の光軸に沿って出射される構成とされる。【選択図】図１
2017208245.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々一回の発光時間が１ｍｓ以下となる条件で点灯駆動される複数の光源体と、前記複数の光源体の各々からの光を反射させる反射部材とを備えており、前記複数の光源体が前記反射部材の周囲に平面的にまたは立体的に配置されてなる光源装置において、
少なくとも一の光源体が動作状態とされるよう前記複数の光源体の各々を点灯駆動する点灯駆動装置と、前記反射部材の反射面が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう、当該反射部材を姿勢制御する反射部材姿勢制御装置とを備えており、
当該反射部材姿勢制御装置は、一方向に延びる軸を中心とする回転駆動機構、当該一方向に直交する方向に延びる軸を中心とする回転駆動機構または揺動機構、当該一方向の並進駆動機構および当該一方向に直交する平面内の並進駆動機構のうちから選ばれた少なくとも２つの駆動機構を備えており、
前記複数の光源体の各々から前記反射部材に入射される光が、同一の光軸に沿って出射されることを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記複数の光源体の各々は、フラッシュランプと、当該フラッシュランプから放射される光を前記反射部材に向かって反射するリフレクタを備えていることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記リフレクタは、集光性を有するものであることを特徴とする請求項２に記載の光源装置。
【請求項４】
前記複数の光源体によって第一光源体群および第二光源体群が形成されており、当該第一光源体群を構成する各々の光源体および当該第二光源体群を構成する各々の光源体は、
一方向において互いに異なる位置に設定された第一領域および第二領域において、当該一方向に延びる軸を中心とする仮想円の円周に沿って配置されており、
前記反射部材は、当該仮想円の中心軸上に配置されており、
前記反射部材姿勢制御装置は、前記反射部材の反射面に沿って前記一方向に直交する方向に延びる軸を中心に当該反射部材を揺動させる揺動機構と、前記仮想円の中心軸を中心に当該反射部材を回転駆動する回転駆動機構とを備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の光源装置。
【請求項５】
前記第一光源体群を構成する各々の光源体および前記第二光源体群を構成する各々の光源体は、光軸が前記仮想円の径方向外方に向かって延びる状態で配置されており、
当該第一光源体群を構成する各々の光源体から照射される光を反射して前記反射部材に入射させる第二の反射部材、および、当該第二光源体群を構成する各々の光源体から照射される光を反射して前記反射部材に入射させる第三の反射部材をさらに備えていることを特徴とする請求項４に記載の光源装置。
【請求項６】
前記複数の光源体によって第一光源体群および第二光源体群が形成されており、当該第一光源体群を構成する各々の光源体および当該第二光源体群を構成する各々の光源体は、一方向において互いに異なる位置に設定された第一領域および第二領域において、当該一方向に延びる軸を中心とする仮想円の円周に沿って配置されており、
前記反射部材は、当該仮想円の中心軸上に配置されており、
前記反射部材姿勢制御装置は、前記仮想円の中心軸を中心に当該反射部材を回転駆動する回転駆動機構と、当該反射部材を当該仮想円の中心軸に沿って並進駆動する並進駆動機構とを備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の光源装置。
【請求項７】
前記複数の光源体によって第一光源体群および第二光源体群が形成されており、当該第一光源体群を構成する各々の光源体および当該第二光源体群を構成する各々の光源体は、一方向に直交する平面内において直線状に延びる走査路を挟んだ両側に位置される第一領域および第二領域において、当該走査路の延びる方向に並んで配置されており、
前記反射部材姿勢制御装置は、前記一方向に延びる軸を中心に当該反射部材を回転駆動する回転駆動機構と、当該反射部材を前記一方向に直交する平面内において前記走査路に沿って並進駆動する並進駆動機構とを備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の光源装置。
【請求項８】
前記複数の光源体は、一方向に延びる軸に沿って螺旋状に並んだ位置に配置されており、
前記反射部材は、当該螺旋の中心軸上に配置されており、
前記反射部材姿勢制御装置は、前記螺旋の中心軸を中心に当該反射部材を回転駆動する回転駆動機構と、前記反射部材の反射面に沿って前記一方向に直交する方向に延びる軸を中心に当該反射部材を揺動させる揺動機構とを備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光源装置に関し、特に、各々一回の発光時間が１ｍｓ以下となる条件で点灯駆動される複数の光源体を有する多灯式の光源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、フラッシュ点灯を行う放電灯は、例えば半導体製造工程におけるフラッシュアニールをはじめ、様々な産業用途に用いられている。
例えば、ショートアーク型フラッシュランプは、点光源に近い光源として扱うことができ、光の方向性や分布にムラが比較的少ない光を得やすいものであるため、小領域に高密度な光を短時間で照射することができる。また、主電極間にアークが形成される時間が極端に短いため、放電により出力される光が、アークによって遮られたり、吸収されたりする機会が低減され、光の利用効率の面で優れている。このようなショートアーク型フラッシュランプは、例えば特許文献１に記載されている。
【０００３】
しかしながら、フラッシュランプは、発光時間が極めて短いことから積算光量を高くすることが難しい、という問題がある。そのため使用用途によっては、必要な光量を確保することが難しい。例えば、特許文献２には、フラッシュランプから放射される真空紫外光を用いた露光用の光源装置が記載されている。しかしながら、現状のフラッシュランプでは、放射される真空紫外光の光量はわずかであるため、一回の発光で露光を完遂させることができず、多大な処理時間が必要になってしまうのが実情である。
【０００４】
一方、複数の放電灯を搭載した光源装置が知られており、例えば特許文献３には、例えば紫外光を含む光を放射する高圧水銀ランプと反射鏡とを備えた光源ユニットを複数備えた構成の光源装置が記載されている。
しかしながら、このような多灯方式の光源装置では、各々の光源ユニットからの光を同一視角内に集めることができない。このため、端部に位置される光源ユニットの輝度が犠牲になり、高輝度の光源装置を設計することが難しい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−１６２４０４号公報
【特許文献２】特開２０１４−２３５９６５号公報
【特許文献３】特許第５２１２６２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、各々間欠的に点灯駆動される複数の光源体を備えており、各々の光源体の輝度を犠牲にすることなく、積算照度を高くすることが可能な光源装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の光源装置は、各々一回の発光時間が１ｍｓ以下となる条件で点灯駆動される複数の光源体と、前記複数の光源体の各々からの光を反射させる反射部材とを備えており、前記複数の光源体が前記反射部材の周囲に平面的にまたは立体的に配置されてなる光源装置において、
少なくとも一の光源体が動作状態とされるよう前記複数の光源体の各々を点灯駆動する点灯駆動装置と、前記反射部材の反射面が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう、当該反射部材を姿勢制御する反射部材姿勢制御装置とを備えており、
当該反射部材姿勢制御装置は、一方向に延びる軸を中心とする回転駆動機構、当該一方向に直交する方向に延びる軸を中心とする回転駆動機構または揺動機構、当該一方向の並進駆動機構および当該一方向に直交する平面内の並進駆動機構のうちから選ばれた少なくとも２つの駆動機構を備えており、
前記複数の光源体の各々から前記反射部材に入射される光が、同一の光軸に沿って出射されることを特徴とする。
【０００８】
本発明の光源装置においては、前記複数の光源体の各々は、フラッシュランプと、当該フラッシュランプから放射される光を前記反射部材に向かって反射するリフレクタを備えた構成とされていることが好ましい。
このような構成のものにおいては、前記リフレクタは、集光性を有するものであることが好ましい。
【０００９】
本発明の光源装置においては、前記複数の光源体によって第一光源体群および第二光源体群が形成されており、当該第一光源体群を構成する各々の光源体および当該第二光源体群を構成する各々の光源体は、一方向において互いに異なる位置に設定された第一領域および第二領域において、当該一方向に延びる軸を中心とする仮想円の円周に沿って配置されており、
前記反射部材は、当該仮想円の中心軸上に配置されており、
前記反射部材姿勢制御装置は、前記反射部材の反射面に沿って前記一方向に直交する方向に延びる軸を中心に当該反射部材を揺動させる揺動機構と、前記仮想円の中心軸を中心に当該反射部材を回転駆動する回転駆動機構とを備えた構成とすることができる。
【００１０】
このような構成のものにおいては、前記第一光源体群を構成する各々の光源体および前記第二光源体群を構成する各々の光源体は、光軸が前記仮想円の径方向外方に向かって延びる状態で配置されており、
当該第一光源体群を構成する各々の光源体から照射される光を反射して前記反射部材に入射させる第二の反射部材、および、当該第二光源体群を構成する各々の光源体から照射される光を反射して前記反射部材に入射させる第三の反射部材をさらに備えた構成とすることができる。
【００１１】
さらにまた、本発明の光源装置においては、前記複数の光源体によって第一光源体群および第二光源体群が形成されており、当該第一光源体群を構成する各々の光源体および当該第二光源体群を構成する各々の光源体は、一方向において互いに異なる位置に設定された第一領域および第二領域において、当該一方向に延びる軸を中心とする仮想円の円周に沿って配置されており、
前記反射部材は、当該仮想円の中心軸上に配置されており、
前記反射部材姿勢制御装置は、前記仮想円の中心軸を中心に当該反射部材を回転駆動する回転駆動機構と、当該反射部材を当該仮想円の中心軸に沿って並進駆動する並進駆動機構とを備えた構成とすることができる。
【００１２】
さらにまた、本発明の光源装置においては、前記複数の光源体によって第一光源体群および第二光源体群が形成されており、当該第一光源体群を構成する各々の光源体および当該第二光源体群を構成する各々の光源体は、一方向に直交する平面内において直線状に延びる走査路を挟んだ両側に位置される第一領域および第二領域において、当該走査路の延びる方向に並んで配置されており、
前記反射部材姿勢制御装置は、前記一方向に延びる軸を中心に当該反射部材を回転駆動する回転駆動機構と、当該反射部材を前記一方向に直交する平面内において前記走査路に沿って並進駆動する並進駆動機構とを備えた構成とすることができる。
【００１３】
さらにまた、本発明の光源装置においては、前記複数の光源体は、一方向に延びる軸に沿って螺旋状に並んだ位置に配置されており、
前記反射部材は、当該螺旋の中心軸上に配置されており、
前記反射部材姿勢制御装置は、前記螺旋の中心軸を中心に当該反射部材を回転駆動する回転駆動機構と、前記反射部材の反射面に沿って前記一方向に直交する方向に延びる軸を中心に当該反射部材を揺動させる揺動機構とを備えた構成とすることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の光源装置によれば、反射部材がその反射面が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう姿勢制御されることにより各々の光源体から反射部材に照射される光を同一視角内に集めることができる。このため、各々の光源体の輝度を犠牲にすることなく、積算照度を高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第一実施形態に係る光源装置の一例における構成を概略的に示す斜視図である。
【図２】図１に示す光源装置を光出射方向から見た、第一光源体群における光源体の配置例を示す平面図である。
【図３】図１に示す光源装置の一部を省略して示す側面図である。
【図４】光源体におけるリフレクタの開口径の大きさと、反射部材の大きさとの関係を示す概略図である。
【図５】フラッシュランプの発光期間中の反射部材の角度変化量と、露光面における捕捉光量との関係を示す図である。
【図６】本発明の第一実施形態に係る光源装置の他の例における構成を概略的に示す図である。
【図７】本発明の第二実施形態に係る光源装置の一例における構成を概略的に示す斜視図である。
【図８】本発明の第三実施形態に係る光源装置の一例における構成を概略的に示す斜視図である。
【図９】本発明の第一実施形態に係る光源装置のさらに他の例における構成を概略的に示す図である。
【図１０】本発明の第一実施形態に係る光源装置のさらに他の例における構成を概略的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１７】
〔第一実施形態〕
図１は、本発明の第一実施形態に係る光源装置の一例における構成を概略的に示す斜視図である。図２は、図１に示す光源装置を光出射方向から見た、第一光源体群における光源体の配置例を示す平面図である。図３は、図１に示す光源装置の一部を省略して示す側面図である。
この光源装置は、複数の光源体１０と、各々の光源体１０からの光を反射する共通の反射部材２０と、少なくとも一の光源体が動作状態とされるよう複数の光源体１０の各々を点灯駆動する点灯駆動装置（不図示）と、反射部材２０を例えば連続的に駆動して、その反射面２１が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう反射部材２０を姿勢制御する反射部材姿勢制御装置３０とを備えている。
【００１８】
各々の光源体１０は、例えば点光源型すなわちショートアーク型のフラッシュランプ１１と、フラッシュランプ１１から放射される光を反射部材２０に向かって反射するリフレクタ１５とを備えている。リフレクタ１５は、その光軸がフラッシュランプ１１の中心軸と一致し、焦点がフラッシュランプ１１の輝点Ｓと一致する状態で、設けられている。
【００１９】
フラッシュランプ１１は、例えば、真空紫外光透過性材料からなる発光管内において対向配置される一対の主電極の電極間距離が例えば１２．５ｍｍ以下であって、発光管内にキセノンガスを含むガスが所定の封入圧力で封入されてなるものが用いられる。なお、フラッシュランプ１１には、一対の始動補助用電極がその先端が一対の主電極間に位置されるよう配置されている。
フラッシュランプ１１は、一端封止型のものであっても、両端封止型のものであっても、いずれのものであってもよい。
【００２０】
リフレクタ１５は、集光性を有するものであることが好ましい。リフレクタ１５として集光性を有するものが用いられることにより、反射部材２０の受光面（反射面２１）を小さく設計することができる。すなわち、図４に示すように、反射部材２０の反射面２１がいずれか一の光源体１０と対向する状態にある場合を考えたとき、反射部材２０の、光源体１０の光軸Ｌａに垂直な面への射影Ｐの寸法Ｄｐ（反射部材２０の厚みは無視できるものとする）が、リフレクタ１５の開口径の大きさＤｒ以下となるサイズのものを用いることができる。なお、反射部材２０の射影における紙面に垂直な方向の寸法についても同様である。このように、リフレクタ１５として集光性を有するものが用いられることにより、反射部材２０の受光面（反射面２１）を小さく設計することができ、その結果、反射部材２０の駆動制御を容易に行うことができる。
【００２１】
具体的には、リフレクタ１５は、フラッシュランプ１１から放射される光を集光して照射する楕円反射鏡、またはフラッシュランプ１１から放射される光を平行光化して照射する放物反射鏡により構成されていることが好ましい。
楕円反射鏡を用いる場合は、光を集光させることができるため、反射部材２０の受光面（反射面２１）を極めて小さく設計することができる。ただし、露光面に平行光を投射するためには、別途、インテグレータ光学系（ロッドインテグレータやフライアイインテグレータ、ライトトンネル等、照射面への照度の均一性を高めるために使われる光学系を指す。）等の光学部材を用いる必要がある。これに対し、放物反射鏡を用いる場合は、平行光が得られるため、光学部材を減らせることができるものの、反射部材２０の受光面（反射面２１）の面積を大きく確保する必要があり、反射部材２０の駆動制御が楕円反射鏡を用いる場合より難しくなるというデメリットがある。上記の点から、用途に応じて、最適な反射鏡を選定する必要がある。
【００２２】
この光源装置においては、複数の光源体１０は、反射部材２０の周囲に立体的に配置されている。具体的には、複数の光源体１０によって第一光源体群１０ａおよび第二光源体群１０ｂが形成されており、第一光源体群１０ａを構成する複数の光源体１０および第二光源体群１０ｂを構成する複数の光源体１０は、一方向における互いに異なる位置、この例では、鉛直方向における互いに異なるレベル位置に設定された第一領域Ａ１および第二領域Ａ２にそれぞれ配置されている。以下においては、図１における上下方向を便宜上「鉛直方向」とするが、使用形態等を限定するものではない。
【００２３】
第一光源体群１０ａを構成する複数の光源体１０は、フラッシュランプ１１の輝点Ｓが同一水平面（以下、「光源体配置面Ｐ１」という。）上に位置された状態において、当該光源体配置面Ｐ１において設定された、鉛直方向に延びる軸を中心とする所定の大きさの半径の仮想円Ｖの円周に沿って周方向に等間隔に並んで配置されている。この例の光源装置においては、各々の光源体１０の光軸Ｌａが光源体配置面Ｐ１上において、仮想円Ｖの径方向内方に向かって延びるよう位置されている。ここに、仮想円Ｖの半径（仮想円Ｖの中心から各々のフラッシュランプ１１の輝点Ｓまでの距離）の大きさは、例えば１５０ｍｍ〜３５０ｍｍである。また、光源体１０の数は目的に応じて設定することができるが、例えば４〜１６個である。
【００２４】
また、第二光源体群１０ｂを構成する複数の光源体１０についても同様であって、複数の光源体１０が、フラッシュランプ１１の輝点Ｓが同一水平面（以下、「光源体配置面Ｐ２」という。）上に位置された状態において、当該光源体配置面Ｐ２において設定された、鉛直方向に延びる軸を中心とする所定の大きさの半径の仮想円の円周に沿って周方向に等間隔に並んで配置されている。当該仮想円の中心軸は、第一光源体群１０ａに係る仮想円Ｖの中心軸と一致している。第二光源体群１０ｂにおける光源体１０の各々は、光軸Ｌａが光源体配置面Ｐ２に対して傾斜した状態で配置された構成とされている。各々の光源体１０の光軸Ｌａの、光源体配置面Ｐ２に対する傾斜角度は、特に限定されるものではないが、例えば２０°〜４５°であることが好ましい。
【００２５】
この例においては、複数の光源体１０の各々におけるフラッシュランプ１１は、点灯駆動装置によって、間欠的に点灯駆動されると共に、例えば光源体群毎に、一の光源体におけるフラッシュランプ１１の発光期間中において他の光源体におけるフラッシュランプ１１の消灯状態が維持されるよう、順次に連続して点灯駆動される。
【００２６】
各々の光源体１０におけるフラッシュランプ１１の点灯周波数は、例えば、点灯周期（動作間隔）が１／３００〔ｓｅｃ〕以上となる大きさとされることが好ましい。点灯周期（動作間隔）が１／３００〔ｓｅｃ〕より小さい場合には、放電が不安定となり不点灯の発生リスクが高まる。実際には、点灯周期が１／１００〔ｓｅｃ〕以上の大きさとなるよう、点灯周波数が１００Ｈｚ以下とされることが好ましい。
【００２７】
また、各々の光源体１０におけるフラッシュランプ１１の発光時間（点灯時間）は、例えば１ｍｓｅｃ以下とされ、より好ましくは５００μｓｅｃ以下とされる。フラッシュランプ１１の発光時間が１ｍｓｅｃより長いと、フラッシュランプ１１に対する給電停止後においても、アークが残りやすく、その間は主電極間の再充電が行えなくなるためである。また、真空紫外光（ＶＵＶ）の発光効率はフラッシュランプ１１の発光時間に大きく関連しており、発光時間が短いほど真空紫外光の発光効率は高くなる。そのため真空紫外光の出力を考慮すると、発光時間は５０μｓｅｃ以下にすることがさらに好ましい。
【００２８】
反射部材２０は、例えば平板状ミラーにより構成されており、前記仮想円Ｖの中心軸上に配置されている。この例においては、反射部材２０は、その反射面２１上に、一の光源体群を構成するすべての光源体１０の各々の光軸の交点が位置された状態で、配置されている。すなわち、反射部材２０の反射面２１は二次光源を構成し、反射面２１上における複数の光源体１０の各々の光軸の交点に発光点Ｘを形成する。なお、この光源装置においては、すべての光源体１０の光軸Ｌａが一点で交差するよう配置されている必要はなく、反射部材２０は、前記仮想円の中心軸上において、すべての光源体１０からの光が入射される位置に配置されていればよい。
【００２９】
反射部材２０は、上述したように、反射部材姿勢制御装置３０によって、その反射面２１が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう姿勢制御される。
この例における反射部材姿勢制御装置３０は、反射部材２０を、例えば反射面２１に沿って水平方向に延びる軸（揺動軸）Ｃ１を中心に揺動可能に、かつ、発光点Ｘを通る鉛直方向に延びる前記仮想円の中心軸（回転中心軸）Ｃ２を中心に回転可能に支持する支持部材３１と、反射部材２０を揺動軸Ｃ１を中心に揺動させる揺動機構３５と、反射部材２０を回転中心軸Ｃ２を中心に回転させる回転駆動機構３８とを備えている。この例においては、揺動軸Ｃ１は、鉛直方向における、例えば発光点Ｘが位置されるレベル位置に位置されている。
【００３０】
支持部材３１は、回転中心軸Ｃ２を中心に回転可能とされた鉛直方向に延びるロッド状の支柱３２と、この支柱３２の上端部に固定された支持アーム３３とを有する。支持アーム３３は、水平方向に延びる板状の基部３３ａとこの基部３３ａの両端の各々に連続して鉛直方向に延びる板状の支持部３３ｂとを有する。反射部材２０は、その両側面の各々において水平方向外方に延びる枢支軸が支持アーム３３における支持部３３ｂによって揺動可能に軸支されている。
【００３１】
揺動機構３５は、例えばステッピングモータなどの駆動用モータ（図示せず）を備えており、駆動用モータが制御された駆動量で駆動されることにより枢支軸が回動されて反射部材２０が揺動軸Ｃ１を中心に揺動される。反射部材２０の揺動角度範囲は、反射面２１が第一光源体群１０ａに係る光源体配置面に対して４５°傾斜した状態を基準として例えば±１０°の範囲内である。
【００３２】
回転駆動機構３８は、例えばステッピングモータなどの駆動用モータ３９を備えており、駆動用モータ３９が制御された駆動量で駆動されることにより支持部材３１が回転されて反射部材２０が回転中心軸Ｃ２を中心に回転される。
【００３３】
回転駆動機構３８による反射部材２０の回転周期は、フラッシュランプ１１の点灯周期にあわせて適宜設定することができ、例えば１／３００〔ｓｅｃ〕以下（３００Ｈｚ以下の回転周波数）に設定されることが望ましい。これにより、フラッシュランプ１１の発光期間（発光開始から発光終了までの期間）における反射部材２０の角度変化量を適正に制御することができて光の利用効率を高くすることができる。
【００３４】
すなわち、反射部材２０の回転周期が小さく（回転数が大きく）なるに従って、フラッシュランプ１１の発光期間中の反射部材２０の角度変化量が大きくなる。角度変化量が大きくなるほど、反射部材２０からの反射効率が著しく悪化することとなる。このため、フラッシュランプ１１の発光期間における反射部材２０の角度変化量は少なくとも１８°以下に抑える必要がある。この角度変化量は、発光期間の長さと反射部材２０の回転数により一義的に決まるものであり、角度変化量が１８°以上であると反射光の照射エリアが大幅にズレるため、光の利用効率が大幅に悪化し、実用的でない。また、より効率よくする（およそ８０％以上の利用効率を得る）ためには、反射部材２０の角度変化量を１０°以下に抑える必要があり、９０％以上の利用効率を目指すのであれば、角度変化量を７°以下に抑えた設計にすることが望ましい。また角度変化量が３°以下であれば、実質全ての光を利用することができる。
例えば、フラッシュランプ１１の発光期間を１６６μｓｅｃとするとき、反射部材２０の回転周期を１／３００〔ｓｅｃ〕以下とすると反射部材２０の角度変化量を１８°以下にすることができる。また、反射部材２０の回転周期を、１／１６７〔ｓｅｃ〕以下、１／１１７〔ｓｅｃ〕以下、１／５０〔ｓｅｃ〕以下とすると、反射部材２０の角度変化量を、それぞれ、１０°以下、７°以下、３°以下にすることができる。
【００３５】
図５は、フラッシュランプ１１の発光期間中の反射部材２０の角度変化量（回転角度）〔°〕と、露光面における捕捉光量（相対値）との関係を示す図である。この結果は、以下に示す仕様の光源装置において、反射部材２０の回転周期を適宜変更しながら、以下に示す条件で各々のフラッシュランプ１１を点灯駆動したときに得られたものである。図５における曲線（ａ）は、反射部材２０の角度変化量に対する捕捉光量を示す曲線であり、曲線（ｂ）は反射部材２０の角度変化量に対する捕捉光量の時間平均値を示す曲線である。
【００３６】
＜光源装置の仕様＞
光源体群の数：２つ
各々の光源体群（１０ａ，１０ｂ）を構成する光源体（１０）の数：８つ
各々の光源体配置面における反射部材（２０）の回転中心軸（Ｃ２）とフラッシュランプ（１１）の輝点との間の距離（仮想円の半径）：２００ｍｍ
フラッシュランプ（１１）における主電極の電極間距離：３ｍｍ
発光ガス種：キセノンガス、封入圧力：１５ＭＰａ
リフレクタ（１５）：楕円反射鏡、開口径：φ１００ｍｍ
反射部材（２０）：４０×５５ｍｍの反射面（２１）を有する平面鏡
ロッドインテグレータ（５０）の入射面のサイズ：３５ｍｍ角、ロッドインテグレータ（５０）の入射面の二次光源としての反射部材（２０）の発光点（Ｘ）からの距離：１００ｍｍ
＜点灯条件および動作条件＞
一方の主電極および一方の始動補助電極の間、他方の主電極および他方の始動補助電極の間、並びに、一対の始動補助電極間の各々に対する印加電圧：１０ｋＶ
フラッシュランプ（１１）の発光期間：２０μｓｅｃ
フラッシュランプ（１１）の点灯周波数：１５Ｈｚ（点灯周期：１／１５ｓｅｃ）
【００３７】
上記の光源装置においては、例えば、反射部材２０の反射面２１が第一光源体群１０ａを構成する光源体１０から照射される光の光軸方向を向くよう反射部材２０が姿勢制御された状態において、第一光源体群１０ａを構成する複数の光源体１０の各々が順次に点灯駆動されると共に、反射面２１が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう回転駆動機構３８によって反射部材２０が回転駆動される。すなわち、反射部材２０がその反射面２１が動作期間中の光源体と対向するよう例えば連続的に回転駆動される。次いで、揺動機構３５によって、反射面２１が第二光源体群１０ｂを構成する光源体１０から照射される光の光軸方向を向くよう反射部材２０が姿勢制御される。この状態において、第二光源体群１０ｂを構成する複数の光源体１０の各々が順次に点灯駆動されると共に、反射面２１が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう回転駆動機構３８によって反射部材２０が回転駆動される。すなわち、反射部材２０がその反射面２１が動作期間中の光源体と対向するよう例えば連続的に回転駆動される。その後、上記のような、反射部材２０の揺動による光源体群の選択動作および反射部材２０の回転駆動による走査駆動が繰り返される。
このような点灯駆動制御がなされることにより、各々の光源体１０から照射される光は、反射部材２０によって反射されて、反射部材２０の反射面２１における発光点Ｘを通る鉛直方向に延びる同一の光軸Ｌｂに沿って出射される。光源装置から出射される光は、図１に示すように、例えばロッドインテグレータ５０などのインテグレータ光学系に入射される。
【００３８】
而して、上記の第一実施形態に係る光源装置によれば、反射部材２０がその反射面２１が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう連続的に駆動されることにより、フラッシュランプ１１の発光期間中において各々の光源体１０から反射部材２０に照射される光を同一視角内に集めることができる。このため、すべての光源体１０について二次光源としての反射部材２０における反射面２１の輝度を均一にすることができ、従って、各々の光源体１０の輝度を犠牲にすることなく、積算照度を高くすることができる。
【００３９】
図６は、本発明の第一実施形態に係る光源装置の他の例における構成を概略的に示す図である。
この光源装置においては、複数の光源体１０によって第一光源体群１０ａおよび第二光源体群１０ｂが形成されており、第一光源体群１０ａを構成する複数の光源体１０および第二光源体群１０ｂを構成する複数の光源体１０は、一方向における異なる位置、例えば鉛直方向における互いに異なるレベル位置に設定された第一領域Ａ１および第二領域Ａ２にそれぞれ配置されている。以下においては、図６における上下方向を便宜上「鉛直方向」とするが、使用形態等を限定するものではない。
【００４０】
第一光源体群１０ａを構成する複数の光源体１０は、フラッシュランプ１１の輝点Ｓが同一水平面（以下、「光源体配置面Ｐ１」という。）上に位置された状態において、当該光源体配置面Ｐ１において設定された、鉛直方向に延びる軸を中心とする所定の大きさの半径の仮想円の円周に沿って周方向に等間隔に並んで配置されている。この例の光源装置においては、各々の光源体１０の光軸Ｌａが光源体配置面Ｐ１上において、仮想円の径方向外方に向かって延びるよう位置されている。
【００４１】
また、第二光源体群１０ｂを構成する複数の光源体１０についても同様であって、複数の光源体１０が、フラッシュランプ１１の輝点が同一水平面（以下、「光源体配置面Ｐ２」という。）上に位置された状態において、当該光源体配置面Ｐ２において設定された、鉛直方向に延びる軸を中心とする所定の大きさの半径の仮想円の円周に沿って周方向に等間隔に並んで配置されている。各々の光源体１０の光軸Ｌａは、光源体配置面Ｐ２上において、仮想円の径方向外方に向かって延びるよう位置されている。
【００４２】
この光源装置においては、すべての光源体１０の各々からの光を鉛直方向に延びる互いに同一の光軸Ｌｂに沿って出射する第一の反射部材２０ａと、第一光源体群１０ａを構成する複数の光源体１０の各々から照射される光を第一の反射部材２０ａに向かって反射する第二の反射部材２０ｂと、第二光源体群１０ｂを構成する複数の光源体１０の各々から照射される光を第一の反射部材２０ａに向かって反射する第三の反射部材２０ｃとを備えている。
【００４３】
第一の反射部材２０ａは、例えば平板状ミラーにより構成されており、前記仮想円の中心軸上に配置されている。この例においては、第一の反射部材２０ａは、複数の光源体１０の各々から照射された光の第二の反射部材２０ｂおよび第三の反射部材３０ｃによる反射光の光軸Ｌｃ，Ｌｄの交点が反射面２１ａ上に位置された状態で、配置されている。
【００４４】
第二の反射部材２０ｂおよび第三の反射部材２０ｃは、例えば、鉛直方向上方に向かって拡開する筒状ミラーにより構成されている。なお、第二の反射部材２０ｂおよび第三の反射部材２０ｃは、複数のミラー要素を複数の光源体１０が配置される仮想円と同心円の円周に沿って配置させたものにより構成されていてもよい。第二の反射部材２０ｂおよび第三の反射部材２０ｃが筒状ミラーよりなる場合において、筒状ミラーの反射面２１ｂ，２１ｃの形状は、所望の光学設計により適宜変更することができる。
第二の反射部材２０ｂおよび第三の反射部材２０ｃは、その光軸が仮想円の中心を通り、光源配置面Ｐ１，Ｐ２に垂直な方向に延びる姿勢で、複数の光源体１０の各々の周囲を囲むよう配置されている。
【００４５】
複数の光源体１０の各々におけるフラッシュランプ１１は、点灯駆動装置によって、間欠的に点灯駆動されると共に、例えば、光源体群毎に、一の光源体におけるフラッシュランプ１１の発光期間中において他の光源体におけるフラッシュランプ１１の消灯状態が維持されるよう、順次に連続して点灯駆動される。複数の光源体１０の各々におけるフラッシュランプ１１の点灯条件は、図１に示す光源装置と同様である。
【００４６】
第一の反射部材２０ａは、反射部材姿勢制御装置３０によって姿勢制御される。反射部材姿勢制御装置３０は、図１に示す光源装置と同様の構成を有し、第一の反射部材２０ａを水平方向に延びる揺動軸Ｃ１を中心に揺動させる揺動機構と、第一の反射部材２０ａを鉛直方向に延びる前記仮想円の中心軸を回転中心軸Ｃ２として回転駆動する回転駆動機構とを備えている。第一の反射部材２０ａの駆動条件は、図１に示す光源装置と同様である。
【００４７】
上記の光源装置においては、例えば、第一の反射部材２０ａの反射面２１ａが第一光源体群１０ａを構成する光源体１０から照射される光の第二の反射部材２０ｂによる反射光の光軸Ｌｃ方向を向くよう第一の反射部材２０ａが姿勢制御される。この状態において、第一光源体群１０ａを構成する複数の光源体１０の各々が順次に点灯駆動されると共に、反射面２１ａが動作期間中の光源体から照射された光が第二の反射部材２０ｂによって反射された反射光の光軸Ｌｃ方向を向くよう、回転駆動機構によって連続的に回転駆動される。次いで、揺動機構によって、第一の反射部材２０ａの反射面２１ａが第二光源体群１０ｂを構成する光源体１０から照射される光の第三の反射部材２０ｃによる反射光の光軸Ｌｄ方向を向くよう第一の反射部材２０ａが姿勢制御される。この状態において、第二光源体群１０ｂを構成する複数の光源体１０の各々が順次に点灯駆動されると共に、反射面２１ａが動作期間中の光源体から照射された光が第三の反射部材２０ｃによって反射された反射光の光軸Ｌｄ方向を向くよう、回転駆動機構によって連続的に回転駆動される。
その後、上記のような、第一の反射部材２０ａの揺動による光源体群の選択動作および第一の反射部材２０ａの回転駆動による走査駆動が繰り返される。
このような点灯駆動制御がなされることにより、各々の光源体１０から照射される光は、第一の反射部材２０ａによって反射されて、鉛直方向に延びる同一の光軸Ｌｂに沿って出射される。光源装置から出射される光は、図６に示すように、例えばロッドインテグレータ５０などのインテグレータ光学系に入射される。
【００４８】
而して、このような光源装置によっても、図１に示す光源装置と同様の効果を得ることができる。
【００４９】
〔第二実施形態〕
図７は、本発明の第二実施形態に係る光源装置の一例における構成を概略的に示す斜視図である。
この光源装置は、第二光源体群を構成する複数の光源体の配置および反射部材姿勢制御装置の構成が異なることの他は、図１に示す光源装置と同様の構成を有する。図７においては、図１に示す光源装置と同一の構成部材については同一の符号が付してあり、説明を省略する。また、図７における上下方向を便宜上「鉛直方向」とするが、使用形態等を限定するものではない。
【００５０】
この光源装置における第二光源体群１０ｂを構成する複数の光源体１０は、第一光源体群１０ａと同様に、フラッシュランプ１１の輝点Ｓが同一水平面（光源体配置面）上に位置された状態において、当該光源体配置面において設定された、一方向例えば鉛直方向に延びる軸を中心とする所定の大きさの半径の仮想円の円周に沿って周方向に等間隔に並んで配置されている（図２参照）。そして、各々の光源体１０の光軸Ｌａが光源体配置面上において、仮想円の径方向内方に向かって延びるよう位置されている。
【００５１】
反射部材姿勢制御装置３０ａは、反射部材２０を発光点Ｘを通る鉛直方向に延びる軸（回転中心軸）Ｃ２を中心に回転させる回転駆動機構３８と、反射部材２０を回転中心軸Ｃ２に沿って鉛直方向に並進駆動する並進駆動機構４０とを備えている。ここに、反射部材２０は、その反射面２１が第一光源体群１０ａに係る光源体配置面および第二光源体群１０ｂに係る光源体配置面に対して傾斜した状態で配置されている。この例においては、反射部材２０の反射面２１の、光源体配置面に対する傾斜角度は、例えば４５°とされている。
回転駆動機構３８は、図１に示す光源装置における回転駆動機構３８と同様の構成を有する。また、反射部材２０の回転駆動条件は、図１に示す光源装置と同様である。
並進駆動機構４０は、例えば回転駆動機構３８における駆動用モータ３９が載置されるステージ４１を鉛直方向に移動させる昇降機構により構成されている。この並進駆動機構４０によって、反射部材２０は、第一光源体群１０ａを構成する複数の光源体１０が配置される第一領域Ａ１の鉛直方向レベル位置と、第二光源体群１０ｂを構成する複数の光源体１０が配置される第二領域Ａ２の鉛直方向レベル位置との間で、並進駆動（往復動）される。
【００５２】
上記の光源装置においては、例えば、反射部材２０の反射面２１が第一光源体群１０ａを構成する光源体１０から照射される光の光軸方向を向くよう反射部材２０が第一領域Ａ１の鉛直方向レベル位置（光源体配置面のレベル位置）に位置された状態とされる。この状態において、第一光源体群１０ａを構成する複数の光源体１０の各々が順次に点灯駆動されると共に、反射面２１が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう回転駆動機構３８によって反射部材２０が回転駆動される。すなわち、反射部材２０がその反射面２１が動作期間中の光源体と対向するよう例えば連続的に回転駆動される。次いで、並進駆動機構４０によって、反射面２１が第二光源体群１０ｂを構成する光源体１０から照射される光の光軸方向を向くよう反射部材２０が鉛直方向上方に向かって駆動されて第二領域Ａ２の鉛直方向レベル位置（光源体配置面のレベル位置）に位置された状態とされる。この状態において、第二光源体群１０ｂを構成する複数の光源体１０の各々が順次に点灯駆動されると共に、反射面２１が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう回転駆動機構３８によって反射部材２０が回転駆動される。すなわち、反射部材２０がその反射面２１が動作期間中の光源体と対向するよう例えば連続的に回転駆動される。その後、上記のような、反射部材２０の並進駆動による光源体群の選択動作および反射部材２０の回転駆動による走査駆動が繰り返される。
このような点灯駆動制御がなされることにより、各々の光源体１０から照射される光は、反射部材２０によって反射されて、反射部材２０の反射面２１における発光点Ｘを通る鉛直方向に延びる同一の光軸Ｌｂに沿って出射される。光源装置から出射される光は、図７に示すように、例えばロッドインテグレータ５０などのインテグレータ光学系に入射される。
【００５３】
而して、上記の第二実施形態に係る光源装置によっても、図１に示す光源装置と同様の効果を得ることができる。すなわち、反射部材２０がその反射面２１が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう連続的に駆動されることにより、フラッシュランプ１１の発光期間中において各々の光源体１０から反射部材２０に照射される光を同一視角内に集めることができる。このため、上記の光源装置によれば、各々の光源体１０の輝度を犠牲にすることなく、積算照度を高くすることができる。
【００５４】
〔第三実施形態〕
図８は、本発明の第三実施形態に係る光源装置の一例における構成を概略的に示す斜視図である。
この光源装置は、複数の光源体１０と、複数の光源体１０の各々から照射される光を反射して同一の光軸Ｌｂに沿って出射する第一の反射部材２０ａと、第一の反射部材２０ａによる反射光を一方向例えば鉛直方向（以下、この方向を「ｚ方向」とする。）に延びる光軸Ｌｃに沿って出射する第二の反射部材２０ｂと、複数の光源体１０を順次に点灯駆動する点灯駆動装置（不図示）と、第一の反射部材２０ａをその反射面２１ａが動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう、連続的に駆動する反射部材姿勢制御装置３０ｂとを備えている。図８においては、図１に示す光源装置と同一の構成部材については同一の符号が付してあり、説明を省略する。また、この例においては、図８の上下方向を便宜上「鉛直方向」としているが、使用形態等を限定するものではない。
【００５５】
この光源装置においては、複数の光源体１０は、第一の反射部材２０ａの周囲に平面的に配置されている。具体的には、複数の光源体１０によって第一光源体群１０ａおよび第二光源体群１０ｂが形成されており、第一光源体群１０ａを構成する複数の光源体１０および第二光源体群１０ｂを構成する複数の光源体１０は、前記一方向に直交する平面内、例えば水平面内において直線状に延びる走査路４６を挟んだ両側に設定された第一領域Ａ１および第二領域Ａ２にそれぞれ配置されている。以下、走査路４６が延びる方向を「ｘ方向」とする。
【００５６】
第一光源体群１０ａを構成する複数の光源体１０は、ｘ方向に例えば等間隔毎に並んだ位置において、フラッシュランプ１１の輝点が同一水平面（光源体配置面）上に位置された状態で配置されている。各々の光源体１０の光軸Ｌａは、光源体配置面上において互いに平行にｘ方向に直交する方向（以下、「ｙ方向」とする。）に延びるよう配置されている。
【００５７】
第二光源体群１０ｂを構成する複数の光源体１０は、ｘ方向に例えば等間隔毎に並んだ位置において、フラッシュランプ１１の輝点が第一光源体群１０ａに係る光源体配置面と同一水平面上に位置された状態で配置されている。各々の光源体１０の光軸Ｌａは、光源体配置面上において互いに平行にｙ方向に延びるよう配置されている。
この例においては、第二光源体群１０ｂを構成する複数の光源体１０は、第一光源体群１０ａを構成する複数の光源体１０と互いに対向する状態とされている。
【００５８】
複数の光源体１０の各々におけるフラッシュランプ１１は、点灯駆動装置によって、間欠的に点灯駆動されると共に、一の光源体におけるフラッシュランプ１１の発光期間中において他の光源体におけるフラッシュランプ１１の消灯状態が維持されるよう、順次に連続して点灯駆動される。複数の光源体１０の各々におけるフラッシュランプ１１の点灯条件は、図１に示す光源装置と同様である。
【００５９】
第一の反射部材２０ａは、例えば平板状ミラーにより構成されており、反射面２１ａがｚ方向に沿って延びる姿勢で配置されている。
【００６０】
第一の反射部材２０ａは、反射部材姿勢制御装置３０ｂによって姿勢制御される。
この例における反射部材姿勢制御装置３０ｂは、第一の反射部材２０ａをｚ方向（鉛直方向）に延びる軸を回転中心軸Ｃとして回転駆動する回転駆動機構３８と、第一の反射部材２０ａを水平面内においてｘ方向に延びる走査路４６に沿って並進駆動（往復動）させる並進駆動機構４５とを備えている。
【００６１】
回転駆動機構は、図１に示す光源装置における回転駆動機構３８と同様の構成を有する。また、第一の反射部材２０ａの回転駆動条件は、図１に示す光源装置と同様である。
【００６２】
並進駆動機構４５は、例えば一軸ステージにより構成されており、これにより直線状走査路４６が構成されている。
並進駆動機構４５による第一の反射部材２０ａの移動速度は、フラッシュランプ１１の点灯周期にあわせて適宜設定することができ、例えば１００〔ｍ／ｓｅｃ〕以下に設定されることが好ましい。これにより、フラッシュランプ１１の発光期間（発光開始から発光終了までの期間）における第一の反射部材２０ａの移動量を適正に制御することができて光の利用効率を高くすることができる。
【００６３】
第二の反射部材２０ｂは、例えば平板状ミラーにより構成されている。第二の反射部材２０ｂは、その反射面２１ｂが第一の反射部材２０ａの反射面２１ａと対向する状態で、配置されている。第二の反射部材２０ｂにおける反射面２１ｂは、光源体配置面（ｘ方向およびｙ方向に延びる平面）に対して傾斜した状態とされている。この例においては、第二の反射部材２０ｂの反射面２１ｂの、光源体配置面に対する傾斜角度は、例えば４５°とされている。
【００６４】
上記の光源装置においては、例えば、第一の反射部材２０ａの反射面２１ａが第一光源体群１０ａを構成する光源体１０から照射される光の光軸方向を向くよう第一の反射部材２０ａが姿勢制御された状態される。この状態において、第一光源体群１０ａを構成する複数の光源体１０の各々が順次に点灯駆動されると共に、反射面２１ａが動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう並進駆動機構４５によって第一の反射部材２０ａが並進駆動される。すなわち、第一の反射部材２０ａがその反射面２１ａが動作期間中の光源体と対向するよう例えば連続的に並進駆動される。次いで、回転駆動機構３８によって、反射面２１ａが第二光源体群１０ｂを構成する光源体１０から照射される光の光軸方向を向くよう第一の反射部材２０ａが姿勢制御される。この状態において、第二光源体群１０ｂを構成する複数の光源体１０の各々が順次に点灯駆動されると共に、反射面２１ａが動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう並進駆動機構４５によって第一の反射部材２０ａが並進駆動される。すなわち、第一の反射部材２０ａがその反射面２１ａが動作期間中の光源体と対向するよう例えば連続的に並進駆動される。その後、上記のような、第一の反射部材２０ａの回転駆動による光源体群の選択動作および第一の反射部材２０ａの並進駆動による走査駆動が繰り返される。
このような点灯駆動制御がなされることにより、各々の光源体１０から照射される光は、第一の反射部材２０ａによって反射されて、ｘ方向に延びる同一の光軸Ｌｂに沿って出射される。第一の反射部材２０ａによる反射光は、第二の反射部材２０ｂによって反射され、ｚ方向に延びる光軸Ｌｃに沿って出射される。光源装置から出射される光は、例えばロッドインテグレータ５０などのインテグレータ光学系に入射される。
【００６５】
而して、上記の第三実施形態に係る光源装置によれば、第一の反射部材２０ａがその反射面２１ａが動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう連続的に駆動されることにより、フラッシュランプ１１の発光期間中に各々の光源体１０から照射される光を、第二の反射部材２０ｂの反射面２１ｂ上の発光点Ｘにおいて同一視角内に集めることができる。このため、各々の光源体１０の輝度を犠牲にすることなく、積算照度を高くすることができる。
【００６６】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
例えば、本発明の光源装置においては、光源体の構成は、上記実施形態に係るものに限定されず、一の光源体が複数のフラッシュランプを備えた構成とされていてもよい。
また、本発明の光源装置においては、点灯駆動装置によって、複数の光源体が同一期間中に（同時に）動作状態とされてもよい。
さらにまた、本発明の光源装置においては、光源体は、例えばレーザ励起光源型のものにより構成されていてもよい。
【００６７】
また、第一実施形態に係る光源装置においては、図９に示すように、複数の光源体１０が、一方向例えば鉛直方向に延びる反射部材による反射光の光軸Ｌｂに沿って螺旋状に並んだ位置に配置された構成とすることができる。この例においては、複数の光源体１０が、反射部材２０による反射光の光軸Ｌｂを中心とする仮想円柱体の周面に沿って螺旋状に並んだ位置に配置されている。各々の光源体１０は、例えば光軸が一点で交差する姿勢で、配置されており、反射部材２０は、すべての光源体１０の光軸Ｌａの交点（発光点Ｘ）が反射面２１上に位置される状態で、配置されている。
この例における反射部材姿勢制御装置３０は、図１に示す光源装置における反射部材姿勢制御装置３０と同一の構成を有する。
この光源装置においては、反射部材２０が回転駆動機構によって鉛直方向に延びる前記仮想円柱体の中心軸を回転中心軸Ｃ２として回転駆動されながら、揺動機構によって反射面に沿って水平方向に延びる揺動軸を中心に揺動されることにより、反射面２１が順次に点灯駆動される複数の光源体１０における動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう、反射部材２０が姿勢制御される。
【００６８】
さらにまた、複数の光源体が仮想球体の球面に沿って配置された構成とされていてもよい。このような構成のものにおいては、反射部材は前記仮想球体の中心点上に配置され、姿勢制御装置としては、図９に示す光源装置と同様に、回転駆動機構と揺動機構とを備えた構成のものとすることができる。
【００６９】
さらにまた、第一実施形態に係る光源装置および第二実施形態に係る光源装置のように複数の光源体が立体的に配置された構成のものにおいては、複数の光源体によって形成される光源体群の数は２つに限定されるものではない。例えば、複数の光源体によって第三光源体群が形成されて当該第三光源体群を構成する複数の光源体が、第一領域および第二領域と鉛直方向レベル位置が異なる第三領域に配置された構成とされていてもよい。
【００７０】
さらにまた、本発明の光源装置においては、複数の光源体から照射される光を反射する反射部材は、平面状ミラーである必要はなく、例えばポリゴンミラーなどの走査型のミラーデバイスにより構成されていてもよい。
【００７１】
図１０は、本発明の第一実施形態に係る光源装置のさらに他の例における構成を概略的に示す図である。
この光源装置においては、複数の光源体１０によって第三光源体群１０ｃがさらに形成されて当該第三光源体群１０ｃを構成する複数の光源体１０が、第一光源体群１０ａに係る第一領域Ａ１および第二光源体群１０ｂに係る第二領域Ａ２と一方向において互いに異なる位置、例えば鉛直方向におけるレベル位置が異なる第三領域に配置された構成とされている。
この例における反射部材２０は、例えばポリゴンミラーにより構成されており、回転中心軸Ｃ１が水平方向に延びる姿勢で配置されている。
反射部材姿勢制御装置は、反射部材２０を鉛直方向に延びる軸を回転中心軸Ｃ２として回転駆動する第一の回転駆動機構と、反射部材を水平に延びる回転中心軸Ｃ１を中心に回転駆動する第二の回転駆動機構とを備えた構成とすることができる。第一の回転駆動機構は、例えば図１に示す光源装置における回転駆動機構３８と同様の構成とすることができる。
【００７２】
この光源装置においては、例えば、図１０（ａ）に示すように、第一光源体群１０ａを構成する複数の光源体１０の各々が順次に点灯駆動されると共に反射部材２０が回転中心軸Ｃ２を中心に回転駆動される。これにより、第一光源体群１０ａを構成する複数の光源体１０の各々から照射された光は、反射部材２０によって反射されて同一の光軸Ｌｂに沿って出射される。次いで、図１０（ｂ）に示すように、反射部材２０が第二の回転駆動機構によって制御された駆動量で回転中心軸Ｃ１を中心に回転駆動される。この状態において、第二光源体群１０ｂを構成する複数の光源体１０の各々が順次に点灯駆動されると共に、反射面２１が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう第一の回転駆動機構によって反射部材２０が回転駆動される。これにより、第二光源体群１０ｂを構成する複数の光源体１０の各々から照射された光は、反射部材２０によって反射されて同一の光軸Ｌｂに沿って出射される。さらに、図１０（ｃ）に示すように、反射部材２０が第二の回転駆動機構によって制御された駆動量で回転中心軸Ｃ１を中心に回転駆動される。この状態において、第三光源体群１０ｃを構成する複数の光源体１０の各々が順次に点灯駆動されると共に、反射面２１が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう第一の回転駆動機構によって反射部材２０が回転駆動される。これにより、第三光源体群１０ｂを構成する複数の光源体１０の各々から照射された光は、反射部材２０によって反射されて同一の光軸Ｌｂに沿って出射される。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明の光源装置は、例えば、フォトレジストによるパターン形成工程を用いずに、真空紫外光を用いて、自己組織化単分子膜（以下、「ＳＡＭ膜」ともいう。）をパターニングするため露光装置などの光源として有用なものとなることが期待される。
【符号の説明】
【００７４】
１０    光源体
１０ａ  第一光源体群
１０ｂ  第二光源体群
１０ｃ  第三光源体群
１１    フラッシュランプ
１５    リフレクタ
２０    反射部材
２０ａ  第一の反射部材
２０ｂ  第二の反射部材
２０ｃ  第三の反射部材
２１    反射面
２１ａ  反射面
２１ｂ  反射面
２１ｃ  反射面
３０    反射部材姿勢制御装置
３０ａ  反射部材姿勢制御装置
３０ｂ  反射部材姿勢制御装置
３１    支持部材
３２    支柱
３３    支持アーム
３３ａ  基部
３３ｂ  支持部
３５    揺動機構
３８    回転駆動機構
３９    駆動用モータ
４０    並進駆動機構
４１    ステージ
４５    並進駆動機構
４６    走査路
５０    ロッドインテグレータ
Ａ１    第一領域
Ａ２    第二領域
Ｃ１    揺動軸
Ｃ２    回転中心軸
Ｌａ    光源体の光軸
Ｌｂ    光源装置から出射される光の光軸
Ｌｃ    第二の反射部材による反射光の光軸
Ｌｄ    第三の反射部材による反射光の光軸
Ｐ      射影
Ｐ１    第一光源体群に係る光源配置面
Ｐ２    第二光源体群に係る光源配置面
Ｓ      フラッシュランプの輝点
Ｖ      仮想円
Ｘ      発光点
【図１】
2017208245.tif 000003
【図２】
2017208245.tif 000004
【図３】
2017208245.tif 000005
【図４】
2017208245.tif 000006
【図５】
2017208245.tif 000007
【図６】
2017208245.tif 000008
【図７】
2017208245.tif 000009
【図８】
2017208245.tif 000010
【図９】
2017208245.tif 000011
【図１０】
2017208245.tif 000012