【手続補正書】
【提出日】平成17年9月16日(2005.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  集積回路レイアウトのための光学的近接補正を生成する方法であって、上記集成器回路レイアウトを記述するデータが階層構造を含み、且つ、上記方法が、
上記集積回路レイアウト設計を第１入力として提供するステップ、
特定の補正基準セットを第２入力として提供するステップ、
上記特定の補正基準セットに合致するレイアウトの形質を識別するために上記集積回路レイアウトを分析するステップ、
上記特定の補正基準セットに合致する形質に関する上記特定の補正基準セットに応じて、光学的近接補正データを生成するステップ、及び
上記集積回路レイアウトの階層構造に対応する階層構造に形成された上記光学的近接補正データを含む第１プログラム・データを提供するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項２】  上記集積回路レイアウトがＧＤＳ−IIデータ・ファイルで記述されていることを特徴とする請求項１に記載の集積回路レイアウトのための光学的近接補正を生成する方法。
【請求項３】  上記光学的近接補正データが、レイアウトへのセリフの追加に対応するデータを含むことを特徴とする請求項１に記載の集積回路レイアウトのための光学的近接補正を生成する方法。
【請求項４】  上記光学的近接補正データが、トランジスタ・ゲートの補正に対応するデータを含むことを特徴とする請求項１に記載の集積回路レイアウトのための光学的近接補正を生成する方法。
【請求項５】  上記特定の補正基準セットが、レイアウト内のトランジスタ・ゲートを明確に識別するための基準を含むことを特徴とする請求項１に記載の集積回路レイアウトのための光学的近接補正を生成する方法。
【請求項６】  第１の補正されたレイアウトを記述する第２プログラム・データを作るために、上記第１プログラム・データを、集積回路レイアウトを記述するデータと組み合わせるステップを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の集積回路レイアウトのための光学的近接補正を生成する方法。
【請求項７】  上記第１の補正されたレイアウトが集積回路に関係する設計ルールのセットの範囲内に在るか否かを確認するために、上記第２プログラム・データを設計ルール・チェッカーに提供するステップを更に含むことを特徴とする請求項６に記載の集積回路レイアウトのための光学的近接補正を生成する方法。
【請求項８】  レイアウト精度パラメータのセットを提供するステップ、
上記第１の補正されたレイアウトを上記設計精度パラメータと比較するステップ、
特定の設計精度ルールのセットに従ってレイアウトの全領域を補正するためのモデルベースの補正手段を提供するステップ、及び
第２の補正されたレイアウトが上記レイアウト精度パラメータのセットの範囲内に入るように上記第２の補正されたレイアウトを作るために、上記モデルベースの補正手段を上記第１の補正されたレイアウトに適用するステップを更に含むことを特徴とする請求項６に記載の集積回路レイアウトのための光学的近接補正を生成する方法。
【請求項９】  集積回路のレイアウトがツリー構造の複数のセルを含み、且つ、上記第１プログラム・データを提供するステップは、複数のセルに対応する複数のデルタ平面を生成するステップを含み、各デルタ平面は、デルタ平面に対応するセルの補正面とデルタ平面に対応するセルの子セルに対応するデルタ平面との間の差を表すデータを含むことを特徴とする請求項１に記載の集積回路レイアウトのための光学的近接補正を生成する方法。
【請求項１０】  各セルに対する上記補正面が、上記補正面が平坦化されたセルデータに適用された場合には、セルに対する補正された設計に等しい出力データを生成するデータを含むことを特徴とする請求項９に記載の集積回路レイアウトのための光学的近接補正を生成する方法。
【請求項１１】  機器により読み取り可能であり、また、請求項１に記載の方法を遂行するために、機器が実行可能な命令のプログラムを明確に具体化するプログラム記憶装置。
【請求項１２】  請求項１に記載の方法を実行するための装置。
【請求項１３】  集積回路レイアウトのための光学的近接補正を生成する方法であって、上記集積回路レイアウトを記述するデータは複数のセルを含む階層ツリー構造を含み、且つ、上記方法は、
上記集積回路レイアウトを第１入力として提供するステップ、
特定の補正基準セットを第２入力として提供するステップ、
上記特定の補正基準セットに応じて階層ツリー構造内における複数のセルの各セル毎に第１補正層を生成することを含む、階層ツリー構造をコンパイルするステップ、
各セルのデルタ平面がセルの各子セル間の相互作用及びセルの初期ジオメトリと、セルの各子セル間の相互作用を考慮して各セル毎にデルタ平面を生成するため各セルの補正層を部分補正することを含む、階層ツリー構造をリンクするステップ、及び
上記デルタ平面を含む第１プログラム・データを提供するステップを含み、上記第１プログラム・データは、集積回路レイアウトの階層ツリー構造に対応するように階層的に形成されていることを特徴とする方法。
【請求項１４】  上記階層ツリー構造内の各セルに関して、セルのデルタ平面とセルの子セルのデルタ平面との和は、セルの補正面を構成し、且つ、セルに対する上記補正面が、上記補正面が平坦化されたセルデータに適用された場合には、セルに対する補正された設計に等しい出力データを生成することになるデータを含むことを特徴とする請求項１３に記載の集積回路レイアウトのための光学的近接補正を生成する方法。
【請求項１５】  上記集積回路レイアウトがＧＤＳ−IIデータ・ファイルで記述されていることを特徴とする請求項１３に記載の集積回路レイアウトのための光学的近接補正を生成する方法。
【請求項１６】  上記特定の補正基準セットが、レイアウト内のトランジスタ・ゲートを明確に識別するための手段を含むことを特徴とする請求項１３に記載の集積回路レイアウトのための光学的近接補正を生成する方法。
【請求項１７】  第１の補正されたレイアウトを記述する第２プログラム・データを作るために、上記第１プログラム・データを、集積回路レイアウトを記述するデータと組み合わせるステップを更に含むことを特徴とする請求項１３に記載の集積回路レイアウトのための光学的近接補正を生成する方法。
【請求項１８】  上記第１の補正されたレイアウトが集積回路に関係する設計ルールのセットの範囲内に在るか否かを確認するために、上記第２プログラム・データを設計ルール・チェッカーに提供するステップを更に含むことを特徴とする請求項１７に記載の集積回路レイアウトのための光学的近接補正を生成する方法。
【請求項１９】  レイアウト精度パラメータのセットを提供するステップ、  上記第１の補正されたレイアウトを上記設計精度パラメータと比較するステップ、
特定の設計精度ルールのセットに従ってレイアウトの全領域を補正するためのモデルベースの補正手段を提供するステップ、及び
第２の補正されたレイアウトが上記レイアウト精度パラメータのセットの範囲内に入るように上記第２の補正されたレイアウトを作るために、上記モデルベースの補正手段を上記第１の補正されたレイアウトに適用するステップを更に含むことを特徴とする請求項１７に記載の集積回路レイアウトのための光学的近接補正を生成する方法。
【請求項２０】  請求項１３に記載の方法を実行するための装置。