(57)【要約】【課題】  本発明の目的は、コッククロフト・ウォルトン回路と異なる原理の高圧電源を用いた荷電粒子線装置を実現することに関する。【解決手段】  本発明は、直列接続された複数の光電変換素子と光源を有する高圧電源を備え、光源から照射して光により複数の光電変換素子で発生する高電圧を荷電粒子源に印加する荷電粒子線装置に関する。  本発明によれば、出力される高電圧は交流成分を含まず、荷電粒子線から放出される荷電粒子が、それ自身が本来持つエネルギー広がりのみを持って加速されるため、ビーム収束性能の劣化やエネルギー分解能の劣化が起こらない。このため、高いビーム収束性能、高いエネルギー分析性能の荷電粒子線装置を実現でき、装置の小型化も可能となる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
直列接続された複数の光電変換素子と光源を有する高圧電源を備え、前記光源から照射した光により前記複数の光電変換素子で発生する高電圧を荷電粒子源に印加する荷電粒子線装置。
【請求項２】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
前記光電変換素子が、太陽電池であることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項３】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
前記光電変換素子が、球状太陽電池であることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項４】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
透明な板状の構造体に前記複数の光電変換素子が端部で折り返しされながら配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項５】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
透明な筒状の構造体に前記複数の光電変換素子がらせん状に配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項６】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
前記光源が、ＬＥＤであることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項７】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
前記高圧電源が、前記光源を冷却する冷却手段を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項８】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
前記高圧電源の最大出力電圧が１ｋＶ以上であることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項９】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
前記高圧電源が、荷電粒子線筐体を保持する架台に保持されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１０】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
前記高圧電源の出力が高圧ケーブルを介さずに前記荷電粒子線源に電気的に直接されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１１】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
前記高電圧が一定の電圧となるように、前記光源の発光量を増減させ、フィードバック制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１２】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
前記光電変換素子の出力側に電圧調整手段を設けることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１３】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
当該荷電粒子線装置が透過型電子顕微鏡であることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１４】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
当該荷電粒子線装置が走査透過型電子顕微鏡であることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１５】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
当該荷電粒子線装置が走査型電子顕微鏡であることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１６】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
当該荷電粒子線装置がイオン顕微鏡であることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１７】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
荷電粒子線のエネルギー幅を小さくするモノクロメータを備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１８】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
電子線エネルギー損失分光装置を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１９】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
球面収差補正器を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項２０】
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
前記荷電粒子源が冷陰極電界放射電子源であることを特徴とする荷電粒子線装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高電圧を利用して荷電粒子線を照射する荷電粒子線装置や、その高圧電源に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡をはじめとする荷電粒子線装置の高圧電源には、コッククロフト・ウォルトン（ＣＷ）と呼ばれる回路が古くから使われ続けている。ＣＷ回路では、トランスの二次側にコンデンサとダイオードをラダー状に組み合わせた倍電圧回路が設けられており、トランスの一次側に交流を入力すると高電圧が発生する。交流成分を低減するフィルター回路が出力側に設置されているが、リップルを完全には除去することはできず、出力電圧に交流成分がノイズとして残留する。
【０００３】
特開平８−１１６６７３号（特許文献１）には、この残留ノイズを検出して、反転させた信号を追加で設けたフィルターカラム経由で高電圧側に重畳し、ノイズ成分を相殺する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−１１６６７３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本願発明者が、高圧電源の出力電圧の交流成分を小さくし、荷電粒子線装置のビーム収束性能の向上やエネルギー分解能の向上を図ることについて鋭意検討した結果、次の知見を得るに至った。
【０００６】
特許文献１の技術においては、ＣＷ回路を改善して、ノイズの振幅を抑制することはできるが、ノイズ成分を完全に除去することは困難であり、出力電圧にノイズ成分が残留する。また、フィルターカラムの追加などにより、装置が大型化する。
【０００７】
ＣＷ回路を用いる別の欠点としては、大きな交流電流をトランスの一次側で駆動するため、これがノイズ源となることがある。装置のＧＮＤや配線を経由した伝導ノイズ、磁界放射による誘導ノイズ等が発生する。このため、装置側でのノイズ対策が必要となる。一般的には、荷電ビームを加速する高圧電源のＣＷ回路は、荷電粒子線装置本体から離して設置される。このため、装置の設置面積が広くなり、また、長い高圧ケーブル等で装置が大型化してしまう。
【０００８】
本発明の目的は、ＣＷ回路と異なる原理の高圧電源を用いた荷電粒子線装置を実現することに関する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、直列接続された複数の光電変換素子と光源を有する高圧電源を備え、光源から照射して光により複数の光電変換素子で発生する高電圧を荷電粒子源に印加する荷電粒子線装置に関する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、出力される高電圧は交流成分を含まず、荷電粒子線から放出される荷電粒子が、それ自身が本来持つエネルギー広がりのみを持って加速されるため、ビーム収束性能の劣化やエネルギー分解能の劣化が起こらない。このため、高いビーム収束性能、高いエネルギー分析性能の荷電粒子線装置を実現でき、装置の小型化も可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施例１にかかるSTEMの構成図
【図２】実施例１にかかる高圧電源の内部構成図
【図３】実施例１にかかる高圧電源の回路図
【図４】実施例１にかかる光電変換ユニットの構成図
【図５】実施例１にかかる太陽電池アレイ１０１の断面図
【図６】実施例１にかかる太陽電池アレイ１０１の構成図
【図７】実施例１にかかる光電変換ユニットの積層接続図
【図８】実施例１にかかる太陽電池アレイ１０１の接続端子の拡大図
【図９】実施例２にかかる光電変換ユニット１３０の断面図
【図１０】実施例３にかかるTEMの構成図
【図１１】実施例４にかかるTEMの構成図
【図１２】実施例４にかかる略円筒状の球状太陽電池アレイの作製方法を示す図
【図１３】実施例４にかかる略円筒状の太陽電池アレイの作製方法を示す図
【図１４】実施例４にかかる略円筒状の球状太陽電池アレイと略円筒状の発光部との関係を説明する図
【図１５】実施例４にかかる縦長構造の高圧電源の内部構造の説明図
【図１６】実施例５にかかるSEMの構成図
【図１７】実施例６にかかるイオン顕微鏡の構成図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
実施例では、直列接続された複数の光電変換素子と光源を有する高圧電源を備え、光源から照射した光により複数の光電変換素子で発生する高電圧を荷電粒子源に印加する荷電粒子線装置を開示する。
【００１３】
また、実施例では、光電変換素子が、太陽電池であることを開示する。
【００１４】
また、実施例では、光電変換素子が、球状太陽電池であることを開示する。
【００１５】
また、実施例では、透明な板状の構造体に複数の光電変換素子が端部で折り返しされながら配置されていることを開示する。
【００１６】
また、実施例では、透明な筒状の構造体に複数の光電変換素子がらせん状に配置されていることを開示する。
【００１７】
また、実施例では、光源が、ＬＥＤであることを開示する。
【００１８】
また、実施例では、高圧電源が、光源を冷却する冷却手段を有することを開示する。
【００１９】
また、実施例では、高圧電源の最大出力電圧が１ｋＶ以上であることを開示する。
【００２０】
また、実施例では、高圧電源が、荷電粒子線筐体を保持する架台に保持されていることを開示する。
【００２１】
また、実施例では、高圧電源の出力が高圧ケーブルを介さずに荷電粒子線源に電気的に接続されていることを開示する。
【００２２】
また、実施例では、高電圧が一定の電圧となるように、光源の発光量を増減させ、フィードバック制御することを開示する。
【００２３】
また、実施例では、光電変換素子の出力側に電圧調整手段を設けることを開示する。
【００２４】
また、実施例では、荷電粒子線装置が透過型電子顕微鏡であることを開示する。
【００２５】
また、実施例では、荷電粒子線装置が走査透過型電子顕微鏡であることを開示する。
【００２６】
また、実施例では、荷電粒子線装置が走査型電子顕微鏡であることを開示する。
【００２７】
また、実施例では、荷電粒子線装置がイオン顕微鏡であることを開示する。
【００２８】
また、実施例では、荷電粒子線装置が、荷電粒子線のエネルギー幅を小さくするモノクロメータを備えることを開示する。
【００２９】
また、実施例では、荷電粒子線装置が、電子線エネルギー損失分光装置を備えることを開示する。
【００３０】
また、実施例では、荷電粒子線装置が、球面収差補正器を備えることを開示する。
【００３１】
また、実施例では、荷電粒子源が冷陰極電界放射電子源であることを開示する。
【００３２】
以下、上記及びその他の本発明の新規な特徴と効果について図面を参酌して説明する。
なお、図面は専ら説明のために用いるものであり、権利範囲を限定するものではない。
【実施例１】
【００３３】
図１は、本実施例にかかる走査透過電子顕微鏡（Scanning Transmission Electron Microscope:以下STEMと略す）の構成図である。
【００３４】
高圧電源１００は、光１を発生させる発光部１０２、光１を受光して高電圧を発生させる太陽電池アレイ１０１、および出力電圧を制御する制御回路１０３を有する。出力された高電圧は、高圧ケーブル１１１を介して電子銃１０４に印加される。
【００３５】
ＳＴＥＭ本体の電子銃１０４は、冷陰極電界放射電子源（Cold Field Emission Electron Source:以下Cold-FE電子源と略す）であり、放出される電子のエネルギー広がりは約0.3eVである。放出電子をモノクロメーター１０５によりフィルタリングすることにより、エネルギー広がりを0.05eVまで改善する。その後、球面収差補正器１０６により球面収差を低減した状態で、薄膜である試料１０８上にビームを収束し、走査する。試料１０８を透過した電子は、ＳＴＥＭ検出器１０９で検出されて画像化されるか、電子線エネルギー損失分光（Electron Energy Loss Spectroscopy:以下ＥＥＬＳと略す）装置１１０に導かれて、試料を透過した電子のエネルギー分光が行われる。
【００３６】
図２は、本実施例にかかる高圧電源の内部構造図である。また、図３は、本実施例にかかる高圧電源の回路図である。高圧電源１００では、発光部１０２と太陽電池アレイ１０１をセットにして光電変換ユニット１３０としてまとめている。制御回路１０３は、光電変換ユニット１３０からの高圧の出力電圧（ＨＶ）を分割抵抗１３１および１３２により分圧し、出力電圧設定１３５により制御される基準電圧電源１３４の基準電圧との誤差を誤差増幅器１３６で増幅して、直流電流で駆動される発光部１０２の発光量を制御する。基準電圧電源１３４の出力電圧をＶｉ［Ｖ］、分割抵抗１３１および１３２をそれぞれＲ１［Ω］およびＲ２［Ω］とした場合、太陽電池アレイ１０１の出力電圧Ｖｏ［Ｖ］は、Ｖｏ＝Ｖｉ×（Ｒ１＋Ｒ２）／Ｒ２となる。
【００３７】
このフィードバック制御構成により、低リップル性能を維持したまま、高い精度で電子ビームの加速電圧を設定できる。また、基準電圧を可変することで、出力電圧も可変できる。
【００３８】
図４は、実施例１にかかる光電変換ユニットの構成図である。１００ｋＶレベルの高電圧を発生させるために、平面状の太陽電池アレイ１０１と平面状の発光部１０２（ＬＥＤパネル）が積層構造となっている。平面状の太陽電池アレイ１０１には、多数の太陽電池が配置されている。平面状の発光部１０２には、多数のＬＥＤが配置されている。そして、発光部１０２の発光面と、太陽電池アレイ１０１の受光面が向かい合うように配置されている。ＬＥＤはエネルギー損失が少なく、効率の良い発光が可能であるため、本実施例の発光部１０２として利用するのに好適である。また、太陽電池アレイ１０１においては、球状太陽電池（スフェラー（登録商標））を用いている。球状太陽電池は、透明パネル内への実装が容易であり、体積に対しての表面積も大きいため、効率の良い発電が可能となる。
【００３９】
図５は、本実施例にかかる太陽電池アレイ１０１の断面図である。太陽電池アレイ１０１の透明パネル内には、多数の球状太陽電池がマトリックス状に埋め込まれている。また、太陽電池アレイ１０１の一面（光照射の反対面）は、反射材１４０（鏡面）で構成されている。これにより、反射材１４０からの反射光も球状太陽電池に当たるため、太陽電池アレイ１０１の発電効率を向上させることができる。
【００４０】
図６は、本実施例にかかる太陽電池アレイ１０１の構成図である。（ａ）は上面図、（ｂ）は断面図であり、太陽電池１０１に太陽電池を実装する手法が示されている。直列接続されて数珠繋ぎとなっている多数の太陽電池は、その一端が透明パネルの左上端部にあり、そこから水平方向に配置されつつ、透明パネルの左右両端で折り返されて、その他端は透明パネルの右下端部で終わっており、透明パネルに織物の縦糸の如く実装されている。太陽電池１０１は等間隔なマトリックス状となっている。直列接続されている太陽電池の両端は、＋端子１４１および−端子１４２と接続されており、＋端子１４１は透明パネル（表面）の左上端部に設けられ、−端子１４２は透明パネル（裏面）の右下端部に設けられている。この構成により、電圧発生時の透明パネル内および表面の電界分布が一部に集中することなく分散し、小さい面積で耐圧を確保したり、高圧リークの危険性を低減する効果が得られる。
【００４１】
図７は、本実施例にかかる光電変換ユニットの積層接続図である。発光部１０２と太陽電池アレイ１０１が１セットとなっており、それが４セット配置されている。発光部１０２を挟んで隣り合う太陽電池アレイ１０１同士は、＋端子と−端子が接続ケーブルで接続されており、光電変換ユニットの太陽電池は全体として直列接続となっている。太陽電池アレイ１０１において、＋端子と−端子が透明パネル中心に対して対称位置に表裏反対側に設けらていることにより、太陽電池アレイ１０１の積層接続時において、接続ケーブル１５０を最短にできる。
【００４２】
図８は、本実施例にかかる太陽電池アレイ１０１の接続端子の拡大図である。太陽電池アレイ１０１には、上述した＋−端子として接続穴１５２が設けられている。接続穴１５２は、接続ケーブルにおけるテーパー状の高圧コネクタ１０１と嵌含するようなテーパー状となっている。接続穴１５２がテーパー状となっていることにより、高圧コネクタ１５１が接続しやすく、接続面に空気層が残らない。
【００４３】
一般的に、ＣＷ回路の段数は、効率を考慮すると数十段が限界であるため、電圧が高くなるほど交流電圧振幅を大きくする必要がある。このため、高電圧になるほど、リップルを小さくするのは困難となる。本実施例の回路は、ＣＷ回路が多用される１ｋＶ以上の高電圧から特に有用性があり、より高い電圧発生に対してその有用性が増すことになる。
【００４４】
本実施例にかかるＳＴＥＭは、発光部と太陽電池アレイで構成された高圧電源を使用することにより、高電圧のリップルノイズが無いため、Cold-FE電子源とモノクロメーターで実現した0.05eVのエネルギー広がりを劣化させること無く、ビームの加速が可能となる。このため、高いビーム収束特性とEELSの高いエネルギー分解能が実現できる。
【実施例２】
【００４５】
実施例１にかかる光電変換ユニット１３０においては発熱量の小さい高輝度ＬＥＤが用いられているが、それでも、ある程度の発熱はあり、この熱が検出抵抗や制御部などに伝わると、高電圧のドリフトの原因となる可能性がある。そこで、本実施例においては、発光部１０２からの発熱を外へ逃がす冷却板が追加されている。以下、実施例１との相違点を中心に説明する。
【００４６】
図９は、本実施例にかかる光電変換ユニットの断面図である。図９（ａ）にかかる光電変換ユニットにおいては、１セットの発光部１０２と太陽電池アレイ１０１が一体となっており、発光部１０２が太陽電池アレイ１０１と接する面と反対側の面に冷却板１５３が設けられている。冷却板１５３は、銅やアルミニウムといった熱伝導性能の良い材料で構成されている。これにより、発光部からの発熱を、光電変換ユニットの外部に逃がすことができる。なお、発光部を冷却する冷却手段としては、冷却板の他、ペルチェ素子などのクーラーや、油や水などの冷却媒体などを用いてもよい。
【００４７】
図９（ｂ）にかかる光電変換ユニットは、図９（ａ）にかかる光電変換ユニットの更なる変形例であり、冷却板が反射板も兼用している。冷却板と反射板を兼用する板１５４を挟むようにして、２つの光電変換ユニットが一体となっている。冷却板と反射板を兼用する板１５４は、熱伝導性能が良く、その表面が鏡面となる材料で構成されている。冷却板と反射板を兼用する板１５４は、太陽電池アレイと接することにより反射板として機能している。
【００４８】
本実施例の光電変換ユニットによれば、更に安定でエネルギー変換効率の高いシステムが実現できる。
【実施例３】
【００４９】
図１０は、本実施例にかかる透過型電子顕微鏡（Transmission Electron Microscope:以下TEMと略す）の構成図である。以下、実施例１および２との相違点を中心に説明する。
【００５０】
実施例１との大きな相違点は、高圧電源１００が装置本体の架台内に配置されている点である。また、TEMであるため、球面収差補正器１１２はTEM用のものが用いられ、EELS装置１１３は二次元のImage Filterが用いられている。
【００５１】
発光部と太陽電池アレイで構成された高圧電源は、出力リップルが小さいという特徴以外に、交流を使わない高圧電源であるということから、外部に放射されるノイズが極小という特徴もあり、ノイズに敏感な荷電粒子線装置筐体の近傍に実装できるメリットがある。本実施例によれば、装置がコンパクトになり、設置床面積も小さくできる。
【実施例４】
【００５２】
図１１は、本実施例にかかるTEMの構成図である。以下、実施例１〜３との相違点を中心に説明する。
【００５３】
実施例３との大きな相違点は、高圧電源を縦長とし、高圧の出力端子を電子銃に直接接続する構成として、高価な高圧ケーブルを排除した点である。本実施例にかかる縦長構造の高圧電源１２０は略円筒状であり、その内部に、略円筒状の太陽電池アレイが配置され、更にその内側に略円筒状の発光部が配置されている。縦長構造の高圧電源１２０は、荷電粒子線装置筐体の上に、荷電粒子線装置筐体（光軸）と平行となるように配置されている。縦長構造の高圧電源１２０の上部は、電子源１０４と略同じ高さであり、水平方向の部材により荷電粒子線装置筐体に支持されている。
【００５４】
図１２は、略円筒状の球状太陽電池アレイの作製方法を示す図である。図１２に示すように、直列接続されて数珠繋ぎとなっている複数の球状太陽電池１６１が、透明なフレキシブルシート１６０に平行に数段実装されており、フレキシブルシート１６０の右側端では、配線が一段さがっている。このシートを円筒状に曲げて丸めて端部を接続することにより、複数の球状太陽電池がらせん状に直列接続されている略円筒状の球状太陽電池アレイが実現できる。
【００５５】
図１３は、略円筒状の太陽電池アレイの作製方法を示す図である。図１３に示すように、透明なフレキシブル基板１６２に面状の太陽電池１６３を図１２と同様に並べて実装している。縦長構造の高圧電源には実装上の制限の少ない球状太陽電池が好適であるが、通常の面状太陽電池でも実装を工夫することにより同様の効果が期待できる。
【００５６】
図１４は、本実施例にかかる略円筒状の球状太陽電池アレイと略円筒状の発光部との関係を説明する図であり、略円筒状の太陽電池アレイ１７０の内部に略円筒状の発光体１７１を挿入して、略円筒状の光電変換ユニットを作製する様子を示している。略円筒状の発光体１７１は、耐圧の許す範囲で太陽電池の近傍に実装することが望ましく、本実施例では、筒の表面に高輝度LEDを複数実装して作製している。
【００５７】
図１５は、本実施例にかかる縦長構造の高圧電源の内部構造の説明図である。３つの略円筒状の光電変換ユニットが上下に多段接続されている。３つの略円筒状の球状太陽電池アレイは直列接続されており、複数の球状太陽電池がらせん状に直列接続されている一つの巨大な略円筒状の球状太陽電池アレイを構成している。この巨大な略円筒状の球状太陽電池アレイの高圧出力端子１７２は上部に配置され、ＧＮＤ端子１７３は下部に配置されている。また、略円筒状の発光体をそれぞれ制御できる発光制御回線１７４は、下部に配置されている。このような構成により、図１１に示すような、荷電粒子線装置筐体と高圧電源を繋ぐ高圧ケーブルの無い荷電粒子線装置が実現できる。本構成は、高圧ケーブルを完全に無くすだけではなく、通常よりも短くすることにも応用できる。
【実施例５】
【００５８】
図１６は、本実施例にかかる走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope:以下SEMと略す）の構成図である。以下、実施例１〜４との相違点を中心に説明する。
【００５９】
本実施例にかかるＳＥＭにおいては、電子源１０４としてはCold-FEを用いており、モノクロメーター１０５および球面収差補正器１０６を搭載している。また、試料室１８０には、二次電子検出器１８１を搭載している。電子ビームの加速電圧は最大30kVとなっている。
【００６０】
本実施例においては、発光部と太陽電池アレイで構成された高圧電源とモノクロメーターを組み合わせて用いることで色収差を低減し、球面収差補正器と組み合わせて用いることで球面収差を低減することにより、収束性能の高いビームを形成し、高倍率のSEM像の観察が可能となる。
【実施例６】
【００６１】
図１７は、本実施例にかかるイオン顕微鏡の構成図である。以下、実施例１〜５との相違点を中心に説明する。
【００６２】
本実施例にかかるイオン顕微鏡においては、イオン源２００としてガス電界電離イオン源（Gas Field Ion Source:以下GFISと省略）を用いている。このイオン源から放出されるイオンのエネルギー幅は1eV以下であり、この値は他のイオン源と比較し著しく小さい。従って、発光部と太陽電池アレイで構成された高圧電源と組み合わせて用いることにより、イオン源の性能を最大限活かすことが可能となる。
【符号の説明】
【００６３】
１…光  １００…高圧電源  １０１…太陽電池アレイ  １０２…発光部  １０３…制御回路  １０４…電子源  １０５…モノクロメーター  １０６…球面収差補正器  １０７…試料ステージ  １０８…試料  １０９…ＳＴＥＭ検出器  １１０…ＥＥＬＳ装置  １１１…高圧ケーブル  １１２…球面収差補正器  １２０…縦長構造の高圧電源  １３０…光電変換ユニット  １３１…分割抵抗１  １３２…分割抵抗２  １３４…基準電圧電源  １３５…出力電圧設定  １３６…誤差増幅器  １４０…反射板  １４１…＋端子  １４２…−端子  １５０…接続ケーブル  １５１…高圧コネクタ  １５２…接続端子  １５３…冷却板  １５４…冷却板と反射板を兼用する板  １６０…フレキシブルシート  １６１…球状太陽電池  １６２…フレキシブル基板  １６３…太陽電池  １７０…略円筒状の球状太陽電池アレイ  １７１…略円筒状の発光体  １７２…高圧出力端子  １７２…ＧＮＤ端子  １７３…発光制御回線  １８０…試料室  １８１…二次電子検出器  ２００…イオン源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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