(57)【要約】【課題】複数の吐出口のそれぞれに対応する圧力室を通して、液体を確実に循環させることができる液体吐出用基板、液体吐出ヘッド、および液体吐出装置を提供すること。【解決手段】共通供給路１３に、複数の圧力室Ｒのそれぞれの一方側の部分が接続され、共通排出路１４に、複数の圧力室Ｒのそれぞれの他方側の部分が接続される。共通供給路１３に、第１の圧力のインクを導入可能な複数の供給口１５Ａ，１５Ｂを設け、共通排出路１４に、第１の圧力と異なる第２の圧力のインクを導入可能な複数の排出口１６Ａ，１６Ｂを設ける。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧力室と、前記複数の圧力室のそれぞれに連通される複数の吐出口と、前記複数の圧力室内の液体のそれぞれを前記複数の圧力室のそれぞれに対応する前記複数の吐出口から吐出させる複数の吐出エネルギー発生素子と、を備える液体吐出用基板であって、
前記複数の圧力室のそれぞれの第１の部分が接続される第１の共通流路と、
前記複数の圧力室のそれぞれの第２の部分が接続される第２の共通流路と、
前記第１の共通流路に連通する複数の第１の導入部と、
前記第２の共通流路に連通する複数の第２の導入部と、
を含むことを特徴とする液体吐出用基板。
【請求項２】
前記複数の第１の導入部は、前記第１の共通流路における当該第１の共通流路の延在方向にずれた複数の位置に設けられ、
前記複数の第２の導入部は、前記第２の共通流路における当該第２の共通流路の延在方向にずれた複数の位置に設けられることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出用基板。
【請求項３】
前記複数の圧力室のそれぞれの前記第１の部分は、前記第１の共通流路における当該第１の共通流路の延在方向にずれた位置に接続され、
前記複数の圧力室のそれぞれの前記第２の部分は、前記第２の共通流路における当該第２の共通流路の延在方向にずれた位置に接続されることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出用基板。
【請求項４】
前記複数の第１の導入部の少なくとも１つは、前記第１の共通流路の延在方向における端部に設けられており、
前記複数の第２の導入部の少なくとも１つは、前記第２の共通流路の延在方向における端部に設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出用基板。
【請求項５】
前記複数の第１の導入部の少なくとも２つは、前記第１の共通流路の延在方向における両端部に設けられており、
前記複数の第２の導入部の少なくとも２つは、前記第２の共通流路の延在方向における両端部に設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出用基板。
【請求項６】
前記複数の圧力室は第１の方向に沿って配列され、
前記第１の共通流路と前記第２の共通流路は、前記第１の方向に沿って延在することを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出用基板。
【請求項７】
前記複数の圧力室のそれぞれの前記第１の部分は、前記複数の圧力室のそれぞれに対応する第１の個別流路を通して前記第１の共通流路に接続され、
前記複数の圧力室のそれぞれの前記第２の部分は、前記複数の圧力室のそれぞれに対応する第２の個別流路を通して前記第２の共通流路に接続されることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出用基板。
【請求項８】
前記複数の圧力室は、第１の方向に延在する第１および第２の列を形成するように配列され、
前記第１の共通流路に、前記第１の列における前記複数の圧力室のそれぞれの一方側の部分と、前記第２の列における前記複数の圧力室のそれぞれの一方側の部分と、が接続されることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出用基板。
【請求項９】
前記複数の圧力室は、第１の方向に延在する第１および第２の列を形成するように配列され、
前記第２の共通流路に、前記第１の列における前記複数の圧力室のそれぞれの他方側の部分と、前記第２の列における前記複数の圧力室のそれぞれの他方側の部分と、が接続されることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出用基板。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出用基板を備えることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記吐出エネルギー発生素子は前記圧力室の内部に備えられ、
前記圧力室内の液体は、当該圧力室の外部との間において循環されることを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
請求項１０または１１に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドの前記液体吐出用基板における前記複数の吐出エネルギー発生素子を制御する制御手段と、
前記複数の第１の導入部と前記複数の第２の導入部とに液体を供給可能な液体供給手段と、
前記複数の第１の導入部と前記複数の第２の導入部との間に差圧を生じさせる差圧発生手段と、
を備えることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１３】
前記差圧発生手段は、液体の水頭差によって前記差圧を生じさせることを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出装置。
【請求項１４】
液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子を内部に備える第１および第２の圧力室を備える液体吐出用基板であって、
前記第１および第２の圧力室のそれぞれの第１の部分と接続される第１の共通流路と、前記第１および第２の圧力室のそれぞれの第２の部分と接続される第２の共通流路と、を備え、
前記第１の共通流路は外部と流体連通する第１および第２の開口部を備え、前記第２の共通流路は外部と流体連通する第３および第４の開口部を備え、前記第１の共通流路の前記第１の部分との接続部は、前記第１および第２の開口部の間に配され、前記第２の共通流路の前記第２の部分との接続部は、前記第３および第４の開口部の間に配されることを特徴とする液体吐出用基板。
【請求項１５】
前記第１の共通流路は前記第１および第２の圧力室に液体を供給し、前記第２の共通流路は前記第１および第２の素子基板から液体を排出することを特徴とする請求項１４に記載の液体吐出用基板。
【請求項１６】
前記第１の共通流路と前記第２の共通流路とは並列して配されていることを特徴とする請求項１４または１５に記載の液体吐出用基板。
【請求項１７】
前記吐出エネルギー発生素子は前記第１および第２の圧力室の内部にそれぞれ備えられ、
前記第１および第２の圧力室内の液体は、当該第１および第２の圧力室の外部との間において循環されることを特徴とする請求項１４から１６のいずれか１項に記載の液体吐出用基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクなどを含む種々の液体を吐出するための液体吐出用基板、液体吐出ヘッド、および液体吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数の吐出口からインクを選択的に吐出可能なインクジェット記録ヘッドにおいては、長期間に渡ってインクを吐出しない吐出口からインク中の水分が蒸発し、その吐出口内のインクが増粘することがある。このような場合には、その後、その吐出口からインクを適確に吐出できなくなるおそれがある。
【０００３】
特許文献１には、インクを吐出しないときの吐出口内のインクの増粘を抑制するために、インクを吐出しないときの吐出口に対応するインク室を通して、インクを循環させる構成が記載されている。具体的には、第１の共通流路と第２の共通流路との間に、複数の吐出口のそれぞれに対応する複数のインク室が並列的に接続され、第１の共通流路の一端部と第２の共通流路の一端部との間に、所定の圧力差を生じさせる構成となっている。このような構成により、第１の共通流路、インクを吐出しないときの吐出口に対応するインク室、および第２の共通流路を通してインクを循環させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１４２９１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１において、第１および第２の共通流路内のインクの圧力は、それらの一端部から他端部に向かって減衰するため、それらの他端部に接続されるインク室に対してはインクが循環しにくい。
【０００６】
本発明の目的は、複数の吐出口のそれぞれに対応する圧力室を通して、液体を確実に循環させることができる液体吐出用基板、液体吐出ヘッド、および液体吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液体吐出用基板は、複数の圧力室と、前記複数の圧力室のそれぞれに連通される複数の吐出口と、前記複数の圧力室内の液体のそれぞれを前記複数の圧力室のそれぞれに対応する前記複数の吐出口から吐出させる複数の吐出エネルギー発生素子と、を備える液体吐出用基板であって、前記複数の圧力室のそれぞれの一方側の部分が接続される第１の共通流路と、前記複数の圧力室のそれぞれの他方側の部分が接続される第２の共通流路と、前記第１の共通流路に連通する複数の第１の導入部と、前記第２の共通流路に連通する複数の第２の導入部と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、複数の圧力室が接続される第１および第２の共通流路のそれぞれに液体の導入部を複数備えることにより、それぞれの圧力室に対して液体の差圧を充分に作用させて、それぞれの圧力室を通して液体を確実に循環させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１の実施形態における記録ヘッド用基板の分解斜視図である。
【図２】（ａ）は、図１の記録ヘッド用基板の要部の平面図、（ｂ）は、（ａ）のＩＩｂ−ＩＩｂ線に沿う断面図である。
【図３】図１の記録ヘッド用基板を備えた記録ヘッドに対するインクの供給系の説明図である。
【図４】（ａ）は、図３の記録ヘッドの全ノズルが非吐出ノズルであるときのインク流路の等価回路の説明図、（ｂ）は、（ａ）の等価回路におけるインクの流れの説明図である。
【図５】（ａ）は、図３の記録ヘッドに吐出ノズルと非吐出ノズルとが混在するときのインク流路の等価回路の説明図、（ｂ）は、（ａ）の等価回路におけるインクの流れの説明図である。
【図６】（ａ）は、比較例としての記録ヘッドに吐出ノズルと非吐出ノズルとが混在するときのインク流路の等価回路の説明図、（ｂ）は、（ａ）の等価回路におけるインクの流れの説明図である。
【図７】本発明の第２の実施形態における記録ヘッド用基板の分解斜視図である。
【図８】本発明を適用可能なインクジェット記録ヘッドの要部の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。以下の実施形態における液体吐出用基板、液体吐出ヘッド、および液体吐出装置は、液体としてのインクを吐出するためのインク吐出用基板（インクジェット記録ヘッド用基板）、インクジェット記録ヘッド、およびインクジェット記録装置としての適用例である。
【００１１】
（第１の実施形態）
図８は、インクジェット記録装置の構成例を説明するための図である。本例のインクジェット記録装置は、いわゆるフルライン方式の記録装置であり、シート（記録媒体）２０１を矢印Ｙ方向に連続的に搬送する搬送機構２０２と、インクを吐出可能な長尺な記録ヘッド１２０と、を備えている。搬送機構２０２としては、本例のように搬送ベルトを用いる構成の他、搬送ローラなどを用いる構成であってもよい。記録ヘッド１２０は、電気熱変換素子（ヒータ）やピエゾ素子などの吐出エネルギー発生素子を用いて、吐出口からインクを吐出するように構成されている。このような吐出口は、搬送方向と交差（本例の場合は、直交）する方向に延在する吐出口列を形成するように、複数形成されている。本例においては、記録ヘッド１２０として、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、およびブラック（Ｂｋ）のインクを吐出するための４つの記録ヘッド１２０Ｙ，１２０Ｍ，１２０Ｃ，１２０Ｂが備えられている。これにより、矢印Ｙ方向に連続的に搬送されるシート２１０に対して、カラー画像を記録することができる。
【００１２】
本発明は、このようなフルライン方式の記録装置に対してのみならず、いわゆるシリアルスキャン方式等の種々の記録装置に対しても広く適用することができる。
【００１３】
図１は、記録ヘッド１２０を構成するインク吐出用基板１の分解斜視図である。図８における各記録ヘッド１２０の夫々に、複数の吐出用基板１が設けられている。図示はしないが、各記録ヘッド１２０に対して、複数の吐出用基板１を千鳥状もしくは直線状に配列させることによって、記録媒体の幅に対応した画像の記録が可能となっている。基板１は、ノズル形成部材７、素子基板８、および流路基板９を積層した構成であり、ノズル形成部材７には、複数の吐出口３が吐出口列を成すように形成されている。素子基板８には、図２のように、圧力室Ｒの内部の吐出口３と対向する位置に、インクを吐出するための吐出エネルギー発生素子としてのヒータ（電気熱変換素子）２が形成されている。また、素子基板８には、ヒータ２を駆動するための不図示の駆動回路が形成されている。ノズル形成部材７には、流路壁４によって仕切られた複数の圧力室（発泡室）Ｒが形成されており、それぞれの圧力室Ｒは、互いに対向する吐出口３とヒータ２との間に位置する。素子基板８には、それぞれの圧力室Ｒの一方側の部分に接続される個別供給口（第１の個別流路）５と、それぞれの圧力室Ｒの他方側の部分に接続される個別排出口（第２の個別流路）６が形成されている。
【００１４】
流路基板９は第１および第２の流路基板９Ａ，９Ｂを含み、第１の流路基板９Ａには、吐出口３の配列方向に沿って延在する共通供給路（第１の共通流路）１３と共通排出路（第２の共通流路）１４が形成されている。共通供給路１３は、素子基板８における複数の個別供給口５に共通に連通し、共通排出路１４は、素子基板８における複数の個別排出口６に共通に連通する。第２の流路基板９Ｂには、吐出口３の配列方向における共通供給路１３の両端部に連通する供給口（第１の導入部）１５Ａ，１５Ｂと、吐出口３の配列方向における共通排出路１４の両端部に連通する排出口１６Ａ，１６Ｂ（第２の導入部）と、が形成されている。図１に示すように本実施形態においては、素子基板８、流路基板９Ａ、９Ｂを夫々異なる層として説明しているが、それらが一体で構成されてもよい。また、流路基板９Ａ、９Ｂが一体で構成されてもよく、素子基板８、流路基板９Ａ、９Ｂの全てが一体で構成されてもよい。
【００１５】
後述するように、供給口１５Ａ（第１の開口部），１５Ｂ（第２の開口部）、共通供給路１３、および個別供給口５を通して圧力室Ｒ内にインクが供給される。また、圧力室Ｒ内にインクが個別排出口６、共通排出路１４、および排出口１６Ａ（第３の開口部），１６Ｂ（第４の開口部）を通して排出される。また、記録ヘッド１２０の使用状況によっては、供給口１５Ａ，１５Ｂ、共通供給路１３、および個別供給口５を通してだけではなく、排出口１６Ａ，１６Ｂ、共通排出路１４、および個別排出口６からも圧力室内にインクが供給される。記録動作時は、記録データに基づいてヒータ２が選択的に発熱させることにより、圧力室Ｒ内のインクを発泡させ、その発泡エネルギーを利用して吐出口３からインクを吐出することができる。また、図１および図２に示すように、供給口１５Ａと供給口１５Ｂとの間に、各圧力室Ｒと共通供給路１３との接続部が配され、排出口１６Ａと排出口１６Ｂとの間に、各圧力室Ｒと共通排出路１４との接続部が配されている。
【００１６】
図３は、記録ヘッド１２０にインクを供給可能な記録装置のインク供給系（液体供給系）の説明図である。なお、図３の例では、記録ヘッド１２０が１つのインク吐出用基板１を有する構成として説明している。記録ヘッド１２０は、インク吐出用基板１と共に、種々の構成を備えることができる。例えば、記録ヘッド１２０自体を記録装置に装着するための構成、記録ヘッド１２０をインク供給系に接続するための構成、あるいはインクタンクと結合可能な構成などを備えることができる。
【００１７】
供給口１５Ａは、チューブポンプ１０３ａを介してサブタンク１０４ａに接続され、供給口１５Ｂは、サブタンク１０４ａに直接接続されている。排出口１６Ａは、チューブポンプ１０３ｂを介してサブタンク１０４ｂに接続され、排出口１６Ｂは、サブタンク１０４ｂに直接接続されている。コントローラ１１０は、ポンプ１０５および弁１０２ａ，１０２ｂを制御することにより、メインタンク１０７内のインクをサブタンク１０４ａ，１０４ｂに供給、およびサブタンク１０４ａ，１０４ｂ内のインクをメインタンク１０７に排出可能である。サブタンク１０４ａ，１０４ｂには水位センサ１０６ａ，１０６ｂが備えられている。コントローラ１１０は、これらのセンサの検出信号に基づいてポンプ１０５および弁１０２ａ，１０２ｂを制御することにより、サブタンク１０４ａ，１０４ｂのインクの液面の位置を調整することができる。したがって、記録ヘッド１２０とサブタンク１０４ａとの間のインクの水頭差Ｈ１、および記録ヘッド１２０とサブタンク１０４ｂとの間のインクの水頭差Ｈ２を所定の大きさに維持することができる。水頭差Ｈ２は、水頭差Ｈ１よりも大きい（Ｈ２＞Ｈ１）。
【００１８】
記録動作時は、チューブポンプ１０３ａ，１０３ｂをリリース状態として、サブタンク１０４ａ，１０４ｂと排出口１６Ａ，１６Ｂとを連通させる。これにより、供給口１５Ａ，１５Ｂ内のインクに対しては、水頭差Ｈ１に相当する比較的小さい負圧が作用し、排出口１６Ａ，１６Ｂ内のインクに対しては、水頭差Ｈ２に相当する比較的大きい負圧が作用する。記録ヘッド１２０がインクを吐出しない休止状態においては、これらの圧力差によって記録ヘッド１２０内のインクが循環される。すなわち、サブタンク１０４ａ内のインクが供給口１５Ａ，１５Ｂから記録ヘッド１２０の圧力室Ｒ内に供給され、その圧力室Ｒ内のインクが排出口１６Ａ，１６Ｂを通してサブタンク１０４ｂ内に排出される。コントローラ１１０は、水頭差Ｈ１，Ｈ２を一定に維持するように、サブタンク１０４ａ，１０４ｂ内のインクの液面の位置を調整する。
【００１９】
供給口１５Ａ，１５Ｂ内のインクと排出口１６Ａ，１６Ｂとの間に差圧を発生させる差圧発生部は、本例のように水頭差を利用する構成のみに限定されず、サブタンク１０４ａ，１０４ｂを異なる圧力に調整可能な圧力室として機能させる構成であってもよい。要は、インクの吐出に影響を与えない程度のインクが圧力室を通って循環するように、供給口１５Ａ，１５Ｂと排出口１６Ａ，１６Ｂとの間に圧力差を生じさせることができればよい。
【００２０】
図４（ａ），（ｂ）は、インク吐出用基板１がインクを吐出しない休止状態において、供給口１５Ａ，１５Ｂと排出口１６Ａ，１６Ｂとの間の差圧によって、インク吐出用基板１内にインクが循環しているときの説明図である。
【００２１】
図４（ａ）において、Ｒｃは、隣接する圧力室Ｒの間の流抵抗、Ｎ１、Ｎ２，Ｎ３，・・・Ｎｎは、複数（ｎ）のノズルに付したノズル番号であり、それぞれのノズルは、対応するヒータ２、圧力室Ｒ、および吐出口３を含む。前述したように、供給口１５Ａ，１５Ｂのそれぞれに水頭差Ｈ１に対応する負圧が作用し、排出口１６Ａ，１６Ｂのそれぞれに水頭差Ｈ２に対応する負圧が作用する。共通供給路１３は、供給口１５Ａ（第１の開口部）および１５Ｂ（第２の開口部）によって外部と流体連通し、共通排出路１４は、排出口１６Ａ（第３の開口部）および１６Ｂ（第４の開口部）によって外部と流体連通する。共通供給路１３と共通排出路１４は、並列に配されている。共通供給路１３内の圧力ＰＡと共通排出路１４内の圧力ＰＢは、ノズル列方向において図４（ｂ）のように同様に変化し、それぞれのノズルの圧力室Ｒの個別供給口５と個別排出口６との間には同等の圧力差ΔＰが生じる。その結果、それぞれのノズルの圧力室Ｒにおいては、供給口１５Ａ，１５Ｂに接続される共通供給路１３から、排出口１６Ａ，１６Ｂに接続される共通排出路１４に向かって、矢印Ａ方向にインクが同様に流れる。
【００２２】
記録動作時は、前述したように、記録データに応じて複数のノズルのヒータ２が選択的に駆動されるため、インクを吐出するノズル（吐出ノズル）と、インクを吐出しないノズル（非吐出ノズル）と、が混在する。ヒータ２が駆動されたときには、圧力室Ｒ内のインクの発泡に伴って発生する圧力によって、吐出口３に形成されているインクのメニスカスの表面張力に抗して、圧力室Ｒ内のインクが吐出口３から外部に吐出される。これにより、吐出口３の断面積に応じた微小なインク滴が形成される。インクの吐出後は、後述するように、個別供給口５および個別排出口６から圧力室Ｒ内にインクが供給され、吐出口３にインクのメニスカスが形成されて、次のインク吐出が可能な状態となる。
【００２３】
図５（ａ）は、吐出ノズルと非吐出ノズルとが混在している状態におけるインク吐出用基板１内のインクの流れの説明図である。インク吐出用基板１におけるインクの吐出状況によっては、図４（ａ），（ｂ）のようなインクの循環時と異なる。すなわち、吐出ノズルにおける圧力室Ｒ内のインクの発泡エネルギーによってインクが吐出された後は、その圧力室Ｒ内の消泡によって生じる負圧により、個別供給口５からだけではなく、圧力差ΔＰに抗して個別排出口６からも圧力室Ｒ内にインクが供給される。そのため、排出口１６Ａ，１６Ｂ、共通排出路１４、および個別排出口６は、インクの循環時とは逆に、サブタンク１０４ｂ内のインクを圧力室Ｒ内に供給することになる。
【００２４】
例えば、図５（ａ）のようにノズルＮ２が非吐出ノズルであって、他のノズルＮ１，Ｎ３，・・・Ｎｎがインク滴Ｉ１，Ｉ３，・・・Ｉｎを吐出する吐出ノズルである場合を想定する。この場合、図５（ａ）のように、非吐出ノズルＮ２の両端、つまり非吐出ノズルＮ２の圧力室Ｒの両側の共通供給路１３と共通排出路１４には、ほぼ同等の量ＩＡ，ＩＢのインクが流れる。それらの量ＩＡ，ＩＢの差は圧力差ΔＰに対応する僅かな量であり、ノズル間の流抵抗Ｒｃによる共通供給路１３内と共通排出路１４内の圧力損出は、ほぼ同等となる。よって、非吐出ノズルＮ２の両端間の圧力差は、他のノズルが吐出ノズルであった場合でもほとんど影響を受けず、非吐出ノズルＮ２には矢印Ａ方向にインクが流れる。
【００２５】
図５（ｂ）は、前述した図４（ａ）のようなインクの循環時にノズルに流れる矢印Ａ方向のインクの量（循環量）と、吐出ノズルと非吐出ノズルとが混在したときに、非吐出ノズルに流れる矢印Ａ方向のインクの量（循環量）と、の比（流量比）の説明図である。前者のインクの循環量に関しては、ノズル列の両端に位置するノズルＮ１，Ｎｎにおけるインクの循環量を「１」とした。本例においては、図５（ｂ）のように、非吐出ノズルの位置が変化したとしても、両者間におけるインクの循環量の差を数％程度に抑えることができた。また、前述した図４（ａ）のようなインクの循環時においても、ノズルの配列方向におけるインクの循環量の分布は、図５（ｂ）とほぼ同様に、数％程度の差に抑えることができた。
【００２６】
（比較例）
図６（ａ），（ｂ）は、本実施形態における供給口１５Ｂと排出口１６Ａを備えなかった場合の比較例の説明図である。この比較例においては、共通供給路１３に対して、供給口１５Ａのみから水頭差Ｈ１に相当する比較的小さい負圧が作用し、共通排出路１４に対して、排出口１６Ｂのみから水頭差Ｈ２に相当する比較的大きい負圧が作用する。供給口１５Ａと排出口１６Ｂとの間の圧力差は、ΔＰとする。
【００２７】
この比較例において、図５（ａ）と同様に、ノズルＮ２が非吐出ノズルであって、他のノズルＮ１，Ｎ３，・・・Ｎｎがインク滴Ｉ１，Ｉ３，・・・Ｉｎを吐出する吐出ノズルである場合には、共通供給路１３と共通排出路１４の両方からインクが供給される。その場合は、図６（ｂ）のように、共通供給路１３内の圧力ＰＡがノズルＮ１からノズルＮｎに向かって降下し、共通排出路１４内の圧力ＰＢがノズルＮｎからノズルＮ１に向かって降下する。この結果、ノズルの位置に応じて、その両端おける圧力差が大きく異なり、図６（ｂ）中の右側に位置するノズルに関しては、その両端における圧力差が小さくなって、そのノズルの圧力室Ｒにはインクがほとんど流れなくなる。
【００２８】
このように、非吐出ノズルにおけるインクの循環流量が減少した場合には、その循環による効果が小さくなり、ノズル先端部の吐出口３において、インク中の水分の蒸発によってインクの粘度が高くなって、インクの良好な吐出が阻害されるおそれがある。また、それぞれのノズルにおけるインクの循環流量が大きく異なって、それらの循環流量の変動幅が所定の許容範囲を逸脱した場合には、インクの吐出不良によって画像の記録品位を損なうおそれがある。これに対して、上述した本願発明の実施形態においては、それぞれのノズルにおけるインクの循環流量の変動幅を小さく抑えてインクの循環を維持し、その循環による効果を充分に確保することができる。
【００２９】
（第２の実施形態）
図７は、本発明の第２の実施形態における記録ヘッド１２０の記録ヘッド用基板（液体吐出用基板）１の分解斜視図である。本例の基板１は、ノズル形成部材７、素子基板８、流路基板９、および支持基板２２を積層した構成である。
【００３０】
本例のノズル形成部材７には、４つのノズル列（吐出口列）Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４に沿って複数の吐出口が形成されている。前述した実施形態と同様に、素子基板８には、それぞれの吐出口３に対応する電気熱変換素子（ヒータ）２、流路壁４、個別供給口５、および個別排出口６が形成されており、ノズル形成部材７には、流路壁４によって仕切られた複数の圧力室Ｒが形成されている。
【００３１】
流路基板９は、第１および第２の流路基板９Ａ，９Ｂを含み、第１の流路基板９Ａには、吐出口３の配列方向に沿って延在する共通供給路１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃと共通排出路１４Ａ，１４Ｂが形成されている。共通供給路１３Ａは、ノズル列Ｌ１に対応する複数の個別供給口５に共通に連通し、共通排出路１４Ａは、ノズル列Ｌ１，Ｌ２に対応する複数の個別排出口６のそれぞれに共通に連通する。共通供給路１３Ｂは、ノズル列Ｌ２，Ｌ３に対応する複数の個別供給口５のそれぞれに共通に連通し、共通排出路１４Ｂは、ノズル列Ｌ３，Ｌ４に対応する個別排出口６のそれぞれに共通に連通する。共通供給路１３Ｃは、ノズル列Ｌ４に対応する複数の個別供給口５に共通に連通する。
【００３２】
第２の流路基板９Ｂには、吐出口３の配列方向における共通供給路１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃの両端部のそれぞれに連通する計３組の供給口１５Ａ，１５Ｂが形成されている。また、第２の流路基板９Ｂには、吐出口３の配列方向における共通排出路１４Ａ，１４Ｂの両端部のそれぞれに連通する計２組の排出口１６Ａ，１６Ｂが形成されている。支持基板２２には、３つの供給口１５Ａに共通に連通する共通供給口３１Ａと、３つの供給口１５Ｂに共通に連通する共通供給口３１Ｂと、が形成されている。また、支持基板２２には、２つの排出口１６Ａに共通に連通する共通排出口３２Ａと、２つの排出口１６Ｂに共通に連通する共通排出口３２Ｂと、が形成されている。
【００３３】
本例においては、供給口１５Ａ，１５Ｂと排出口１６Ａ，１６Ｂを基板１の両端部に配置して、供給口１５Ａと排出口１６Ａとの間隔、および供給口１５Ｂと排出口１６Ｂとの間隔を充分に大きく設定する。これにより、共通供給路１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃおよび共通排出路１４Ａ，１４Ｂの流路幅を広げることなく、共通供給口３１Ａと共通排出口３２Ａとの間隔、および共通供給口３１Ｂと共通排出口３２Ｂとの間隔を大きく設定することができる。このように、共通供給路１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃおよび共通排出路１４Ａ，１４Ｂの流路幅を広げることなく、それぞれのノズル間におけるインクの吐出性能のバラツキを抑制しつつ、複数のノズル列を高密度の配備することができる。この結果、より高精細かつ高品位な画像を記録することができる。
【００３４】
（他の実施形態）
供給口１５Ａ，１５Ｂの位置は、共通供給路１３の両端部のみに特定されず、共通供給路１３の一端部と中間部とを含む位置、あるいは共通供給路１３の複数の中間部を含む位置等、共通供給路１３の延在方向にずれた複数の位置であればよい。同様に、排出口１６Ａ，１６Ｂの位置は、共通排出路１４の両端部のみに特定されず、共通排出路１４の一端部と中間部とを含む位置、あるいは共通排出路１４の複数の中間部を含む位置等、共通排出路１４の延在方向にずれた複数の位置であればよい。また、個別供給口５および個別排出口６は、必ずしも圧力室Ｒと１対１に対応する必要はなく、複数の圧力室Ｒと対応するように、図２中の上下方向に長く延在させてもよい。
【００３５】
本発明は、インク吐出用基板、インクジェット記録ヘッド、およびインクジェット記録装置のみに特定されず、種々の液体を吐出するための液体吐出用基板、液体吐出ヘッド、および液体吐出装置として広く適用することができる。本発明は、前述した実施形態のようなフルライン方式の記録装置に対してのみならず、いわゆるシリアルスキャン方式等の種々の方式の記録装置に対しても適用可能である。
【符号の説明】
【００３６】
１  インク吐出用基板（液体吐出用基板）
２  ヒータ（吐出エネルギー発生素子）
３  吐出口
５  個別供給口（第１の個別流路）
６  個別排出口（第２の個別流路）
１３  共通供給路（第１の共通流路）
１４  共通排出路（第２の共通流路）
１５Ａ，１５Ｂ  供給口（第１の導入部）
１６Ａ，１６Ｂ  排出口（第２の導入部）
１２０  記録ヘッド（液体吐出ヘッド）
Ｒ  圧力室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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