【事件の表示】
　特願２００２−５１３６９８「トランジスタの動作領域に重なるグラウンドバスを有するインクジェットプリントヘッド」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年　１月３１日国際公開、ＷＯ０２／０７９７９、平成１６年　２月１２日国内公表、特表２００４−５０４１９３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯
　本願は、２００１年１月２６日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２０００年７月２４日、米国）を国際出願日とする出願であって、平成１５年１月２４日に翻訳文が提出され、平成２１年９月２５日に手続補正がなされ、平成２２年８月２日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年１１月１９日に拒絶査定不服審判が請求されると同時に手続補正がなされ、当審において平成２３年９月１２日付けで拒絶の理由（以下「当審拒絶理由」という。）が通知され、同年１２月２日に手続補正がなされたものである。
　
２　本願発明
　本願の請求項１ないし８に係る発明は、平成２３年１２月２日付け手続補正によって補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし８に記載された事項によって特定されるものであるところ、その請求項１に係る発明は、平成２３年１２月２日付け手続補正によって補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりの次のものと認める。
　
「基板を含み、かつ、ヒータ抵抗器が形成された薄膜下部構造と、この薄膜下部構造の上に配置され、かつ、インクチャンバおよびインクチャネルが形成されたインクバリア層と、
該インクバリア層の表面に薄膜状に取り付けられ、かつ、ノズルを有するノズル板を備えたプリントヘッド構造と、
該プリントヘッド構造内に画定されるインク滴発生器の列のアレイと、
前記プリントヘッド構造内に形成され、前記インク滴発生器にそれぞれ接続されており、それぞれ、ドレイン領域、ソース領域、およびゲートで構成された動作領域を含むＦＥＴ回路の列のアレイと、
（ａ）薄膜下部構造の長手方向に間隔を置いて配置した外部と電気接続するためのボンディングパッドと（ｂ）前記インク滴発生器および前記ＦＥＴ回路との間に電気接続されたグラウンドバスを含む電源トレースと、
を備え、
前記グラウンドバスは、前記ＦＥＴ回路の前記列のアレイの長手方向の長さに沿って略延び、前記グラウンドバスは、前記ＦＥＴ回路の動作領域と部分的に重なるとともに、前記グラウンドバスの幅を、前記プリントヘッド構造の最も近い端に近づくにつれて広くして前記グラウンドバスの抵抗を小さくし、
前記インク滴発生器のいくつかは発射遅延を補償するために列の中心線からわずかに外れていることを特徴とする
インクジェットプリントヘッド。」（以下「本願発明」という。）
　
３　刊行物の記載事項
（１）当審拒絶理由で引用した「本願の優先日前に頒布された刊行物である特開平１０−１８１０２２号公報（以下「引用例１」という。）」には、図とともに次の事項が記載されている（下線は当審で付した。以下同じ。）。
　ア　「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、記録ヘッド用基体、該記録ヘッド用基体を備えた記録ヘッド及び該記録ヘッドを有する記録装置に関し、特に、
インクジェット方式に従ってインクを吐出して記録媒体に記録を行う記録ヘッド用基体
を備えた記録ヘッド
【０００２】
【従来の技術】
従来のインクジェット方式に従う記録装置に搭載される記録ヘッドは、
電気熱変換素子（ヒータ）とその駆動回路は
半導体プロセス技術を用いて同一基板上に形成されている
【０００３】図６において、
１１０１は熱エネルギーを発生する為の電気熱変換素子（ヒータ）、１１０２はヒータ１１０１に所望の電流を供給する為のパワートランジスタ部、１１０４は各ヒータ１１０１に電流を供給し記録ヘッドのノズルからインクを吐出するか否かの画像データを一時的に格納するシフトレジスタ、１１０７はシフトレジスタ１１０４に設けられた転送クロック（ＣＬＫ）入力端子、１１０６はヒータ１１０１をＯＮ／ＯＦＦさせる画像データ（ＤＡＴＥ）をシリアルに入力する画像データ入力端子、１１０３は各ヒータに対する画像データを各ヒータごとに記録保持する為のラッチ回路、１１０８はラッチ回路１１０３にラッチのタイミング信号（ＬＴ）を入力するラッチ信号入力端子、１１０９はヒータ１１０１に電流を流すタイミングを決定するスイッチ、１１０５はヒータに所定の電圧を印加し電流を供給する為の電源ライン、１１１０はヒータ１１０１及びパワートランジスタ１１０２を流れた電流が流れ込むＧＮＤラインである
【０００４】図７は、図６に示した記録ヘッドの駆動回路を駆動する為の各種信号のタイミングチャートである。これを用いて図６に示した記録ヘッドの駆動回路の動作について説明する。転送クロック入力端子１１０７にはシフトレジスタ１１０４に格納される画像データのビット数分の転送クロック（ＣＬＫ）が入力される。シフトレジスタ１１０４へのデータ転送が転送クロック（ＣＬＫ）の立ち上がりのタイミングに同期して行われるものとすると、各ヒータ１１０１をＯＮ／ＯＦＦさせるための画像データ（ＤＡＴＡ）が画像データ入力端子１１０６から入力される。ここで、シフトレジスタ１１０４に格納される画像データのビット数とヒータ及び電流駆動用パワートランジスタの数と同じであるから、ヒータ１１０１の数の分だけ転送クロック（ＣＬＫ）のパルスを入力して画像データ（ＤＡＴＡ）をシフトレジスタ１１０４に転送した後、ラッチ信号入力端子１１０８にラッチ信号（ＬＴ）を与えて各ヒータに対応した画像データをラッチ回路１１０３に保持する。この後、スイッチ１１０９を適当な時間ＯＮにすれば、スイッチ１１０９がＯＮ状態となっているその長さに応じて
パワートランジスタ１１０２及びヒータ１１０１に電源ライン１１０５を通って電流がながれ、その電流は再びＧＮＤライン１１１０ヘ流れ込む。この時ヒータ１１０１はインクを吐出するために必要な熱を発生し、画像データに見合ったインクが記録ヘッドのノズルから吐出される
【０００５】図４は、従来例のものにおける記録ヘッド用基体のレイアウトを示す図であり、図５は図４のａ−ａ´線に添った断面図である。図４において、１１０１はヒータ、１１０２は
パワートランジスタ、１１０３はシフトレジスタ、ラッチ回路、スイッチなどからなる駆動用ロジック回路群
【０００６】このようにすることにより、第２層目のＡｌ配線である電源ライン１１０５の下側へ配線１１０７を通し、直接パワートランジスタ１１０２と接続できる。更にＧＮＤライン１１１０は第２層目のＡｌ配線で形成され、駆動用ロジック回路１１０３の素子の下方へ配置される。一方、駆動用ロジック回路１１０３内の信号線などは第１層目のＡｌ配線により形成され、ＧＮＤライン１１１０とは電気的に絶縁される。また、
１１１１は電源用ボンディングパッド、１１１２はＧＮＤ用ボンディングパッドであり、ここに示されたものにおいては基板の左右両端に配置される
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従来例で示す駆動回路基板上のレイアウトは、
ヒータ１１０１に印加する電源ライン１１０５と、パワートランジスタ１１０２からの電流が流れ込むＧＮＤライン１１１０を共通の第２層配線でレイアウトしているために、チップサイズに対して共通配線抵抗が大きく、電源電圧からの電圧降下が大きくなるため電力効率の低下を招いてしまうという欠点
電流波形がリンギングし、スイッチングの誤動作、もしくはオーバーシュートによるトランジスタ耐圧以上の電圧が印加され破壊する可能性があ
【０００８】そこで、本発明は、上記従来例のものにおける課題を解決し、コンパクトな基板を用いて、誤動作なく、より多くの電流を流すことのできる記録ヘッド用基体、該記録ヘッド用基体を備えた記録ヘッド及び記録装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記
課題を解決するため、複数の電気熱変換素子と、前記電気熱変換素子に外部電源を供給するための電源ラインと、前記複数の電気熱変換素子を駆動する駆動回路と、前記電気熱変換素子と前記駆動回路からの電流が流れ込むＧＮＤラインと、画像信号入力端子から入力された画像信号を保持する保持回路とが、多層配線層を有する同一の基板上に設けられた記録ヘッド用基体が、前記電源ラインと前記ＧＮＤラインとが互いに異なる配線層で形成され、それらが少なくとも１／２以上平面的に重なるように配
パワートランジスタを用いて構成されている
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の記録ヘッド用基板は、上記したとおり電源ラインと前記ＧＮＤラインとが互いに異なる配線層で形成され、それらが少なくとも１／２以上平面的に重なるように構成されているため、共通配線の面積を広くとって配線抵抗を小さくすることができると共に、ヒータ駆動時の電流波形のリンギングを抑制して誤動作を防ぐことができ、記録ヘッドの小型化と電力損失の低減を図ることが可能となる。
【００１１】図８は、本発明の記録ヘッド用基板を備えた記録ヘッドを搭載してなる代表的な実施形態の一例であるインクジェットプリンタＩＪＲＡの構成の概要を示す外観斜視図である。図８において、駆動モータ５０１３の正逆回転に連動して、駆動力伝達ギア５００９〜５０１１を介して回転するリードスクリュー５００５の螺旋溝５００４に対して係合するキャリッジＨＣはピン（不図示）を有し、ガイドレール５００３に支持されて矢印ａ，ｂ方向を往復移動する。キャリッジＨＣには、記録ヘッドＩＪＨとインクタンクＩＴとを内蔵した一体型インクジェットカートリッジＩＪＣが搭載されている。５００２は紙押え板であり、キャリッジＨＣの移動方向に亙って記録用紙Ｐをプラテン５０００に対して押圧する。５００７，５００８はフォトカプラで、キャリッジのレバー５００６のこの域での存在を確認して、モータ５０１３の回転方向切り換え等を行うためのホームポジション検知器である。
【００１２】５０１６は記録ヘッドＩＪＨの前面をキャップするキャップ部材５０２２を支持する部材で、５０１５はこのキャップ内を吸引する吸引器で、キャップ内開口５０２３を介して記録ヘッドの吸引回復を行う。５０１７はクリーニングブレードで、５０１９はこのブレードを前後方向に移動可能にする部材であり、本体支持板５０１８にこれらが支持されている。ブレードは、この形態でなく周知のクリーニングブレードが本例に適用できることは言うまでもない。また、５０２１は、吸引回復の吸引を開始するためのレバーで、キャリッジと係合するカム５０２０の移動に伴って移動し、駆動モータからの駆動力がクラッチ切り換え等の公知の伝達機構で移動制御される。これらのキャッピング、クリーニング、吸引回復は、キャリッジがホームポジション側の領域に来た時にリードスクリュー５００５の作用によってそれらの対応位置で所望の処理が行えるように構成されているが、周知のタイミングで所望の動作を行うようにすれば、本例にはいずれも適用できる。
【００１３】
【実施例】以下、図１〜図３に基づいて本発明の実施例を説明する。
［実施例１］図１は、本発明の実施例１における
記録ヘッド用基体
には多層配線技術が用いられ
各構成要素を接続するＡｌ
配線は、基板上において多層構造をして
それぞれの配線層は基板上の必要な箇所でスルーホールによって接続され
ヒータ１１０１の数に対応するビット数の画像信号を入力して、一時的に格納するシフトレジスタ、及びそのシフトレジスタに格納された画像信号をラッチするラッチ回路を有している。さらに、その画像信号を入力する入力端子、その画像信号を転送するための転送クロック入力端子、ラッチ信号を入力する入力端子を備えている
【００１４】図１〜図２において、１０１はヒータ、１０２はパワートランジスタ、１０３はシフトレジスタ、ラッチ回路、スイッチなどからなる駆動用ロジック回路群である。又、１０５はヒータ１０１に所定の電圧を印加するための電源ライン、１１０はパワートランジスタ１０２の電流が流れ込むＧＮＤラインである。ここで
電源ライン１０５は、第２層目のＡｌ
配線によって形成され、パワートランジスタ１０２と駆動用ロジック回路１０３の素子上に配置され
【００１５】
一方パワートランジスタ１０２や駆動用ロジック回路１０３に接続される信号線などは、第１層目のＡｌ配線により形成され、電源ライン１０５とは電気的に絶縁されている。１０７
は、電源ライン１０５とヒータ１０１とを結ぶ配線で、第２層のＡｌ配線で直接接続され
１０６
はヒータ１０１とパワートランジスタ１０２を結ぶ配線で第３層目のＡｌ配線で形成され
ＧＮＤライン１１０も、第３層目のＡｌ配線で形成され、平面的には電源ライン１０５と重なるように配置され、電源ライン１０５とは、電気的に絶縁される。また、１１１は電源用ボンディングパッド、１１２はＧＮＤ用ボンディングパッドで
【００１６】このように、
電源ライン１０５とＧＮＤライン１１０は、絶縁膜を介して向かい合わせで配置され、電源ライン１０５と、ＧＮＤライン１１０間に適当なキャパシタンスが構成され
これにより、ヒータ１０１の駆動時の電流波形のリンギングは吸収され、ヒータ１０１の同時ＯＮ数を増やすことができ
電源ライン１０５と、ＧＮＤライン１１０を第２層目と第３層目に分けることで、チップサイズに対して共通配線を広くすることができ、その分抵抗成分を減少させ、電源電圧からの電圧降下をより少なくし、電力効率の向上に、寄与することができ
【００１７】［実施例２］図３は、本発明の実施例２における記録ヘッド用基体の断面を示す図である。前述の実施例で説明した記録ヘッド用基体のレイアウト構成では、第２層目を電源ライン１０５、第３層目をＧＮＤライン１１０として説明したが、本発明はこれによって限定されるものではなく、例えば図３のように、
第２層目をＧＮＤライン１１０、第３層目を電源ライン１０５とするようにレイアウト構成をとることができる
【００１８】
【発明の効果】本発明は、以上のように記録ヘッド用基体における多層配線層を有する同一の基板上に設けられた電源ラインとＧＮＤラインとを、互いに異なる配線層で形成し、それらが少なくとも１／２以上平面的に重なるように構成されているため、
共通配線の面積を広くとって配線抵抗を小さくすることが可能となり、また、ヒータ駆動時の電流波形のリンギングを抑制して誤動作を防ぐことが可能となって、これらにより記録ヘッドの小型化と電力損失の低減を図る
　
　イ　段落【０００４】の「スイッチ１１０９を適当な時間ＯＮにすれば、スイッチ１１０９がＯＮ状態となっているその長さに応じてパワートランジスタ１１０２及びヒータ１１０１に電源ライン１１０５を通って電流がながれ、その電流は再びＧＮＤライン１１１０ヘ流れ込む。この時ヒータ１１０１はインクを吐出するために必要な熱を発生し、画像データに見合ったインクが記録ヘッドのノズルから吐出される」との記載を参酌すると、図１及び図６の記載から、複数のパワートランジスタ１０２と、インクを吐出するために必要な熱を発生する複数のヒータ１０１と、該ヒータ１０１を有する複数のノズルとが、記録ヘッドの一辺に平行に配列されていることを把握することができる。
　
　ウ　図１ないし図３の記載から、ＧＮＤライン１１０は、基板の左右両端に配置されたＧＮＤ用ボンディングパッド１１２に接続しており、その一方から出て、途中で上記イのパワートランジスタ１０２の配列方向に沿って延び、該パワートランジスタ１０２と部分的に重なって、最後に他方のＧＮＤ用ボンディングパッド１１２に接続していることが見て取れる。
　
　エ　上記アないしウの記載からみて、引用例１には、
「熱エネルギーを発生する為の電気熱変換素子であるヒータ１０１と、
　前記ヒータに所望の電流を供給する為のパワートランジスタ１０２と、
　各ヒータに電流を供給し記録ヘッドのノズルからインクを吐出するか否かの画像データを一時的に格納するシフトレジスタ、該シフトレジスタに設けられた転送クロック（ＣＬＫ）入力端子、前記ヒータをＯＮ／ＯＦＦさせる画像データ（ＤＡＴＥ）をシリアルに入力する画像データ入力端子、各ヒータに対する画像データを各ヒータごとに記録保持する為のラッチ回路、該ラッチ回路にラッチのタイミング信号（ＬＴ）を入力するラッチ信号入力端子、前記ヒータに電流を流すタイミングを決定するスイッチなどからなる駆動用ロジック回路群１０３と、
　前記ヒータに所定の電圧を印加し電流を供給する為の電源ライン１０５と、
　前記ヒータ及び前記パワートランジスタを流れた電流が流れ込むＧＮＤライン１１０と、
　基板の左右両端に配置された電源用ボンディングパッド１１１及びＧＮＤ用ボンディングパッド１１２とを、半導体プロセス技術を用いて同一基板上に形成した記録ヘッド用基体を備え、
　複数の前記パワートランジスタ１０２と、インクを吐出するために必要な熱を発生する複数の前記ヒータ１０１と、該ヒータ１０１を有する複数のノズルとは、記録ヘッドの一辺に平行に配列され、
　前記パワートランジスタ１０２及び前記ヒータ１０１に前記電源ライン１０５を通って電流をながすと、その電流が再び前記ＧＮＤライン１１０ヘ流れ込み、この時前記ヒータ１０１がインクを吐出するために必要な熱を発生し、画像データに見合ったインクが前記ノズルから吐出されるようになっている、
　インクジェット方式に従ってインクを吐出して記録媒体に記録を行う記録ヘッドにおいて、
　ヒータに印加する電源ラインと、パワートランジスタからの電流が流れ込むＧＮＤラインを共通の第２層配線でレイアウトするとチップサイズに対して共通配線抵抗が大きく電源電圧からの電圧降下が大きくなるため電力効率の低下を招いてしまうという欠点、電流波形がリンギングするという欠点、スイッチングの誤動作という欠点、及び、オーバーシュートによるトランジスタ耐圧以上の電圧が印加され破壊する可能性があるという欠点をなくすという課題を解決するため、複数の電気熱変換素子と、前記電気熱変換素子に外部電源を供給するための電源ラインと、前記複数の電気熱変換素子を駆動するパワートランジスタを用いて構成されている駆動回路と、前記電気熱変換素子と前記駆動回路からの電流が流れ込むＧＮＤラインと、画像信号入力端子から入力された画像信号を保持する保持回路とが、多層配線層を有する同一の基板上に設けられた記録ヘッド用基体が、前記電源ラインと前記ＧＮＤラインとが互いに異なる配線層で形成され、それらが少なくとも１／２以上平面的に重なるように配することにより、共通配線の面積を広くとって配線抵抗を小さくすることを可能となし、ヒータ駆動時の電流波形のリンギングを抑制して誤動作を防ぐことを可能となして、これらにより記録ヘッドの小型化と電力損失の低減を図った記録ヘッドであって、
　前記記録ヘッド用基体には多層配線技術が用いられ、各構成要素を接続するＡｌ配線は、基板上において多層構造をし、それぞれの配線層は基板上の必要な箇所でスルーホールによって接続されており、
　前記電源ライン１０５は、第２層目のＡｌ配線によって形成され、前記パワートランジスタ１０２と前記駆動用ロジック回路１０３の素子上に配置されており、
　前記パワートランジスタ１０２や前記駆動用ロジック回路１０３に接続される信号線などは、前記電源ライン１０５とは電気的に絶縁されている第１層目のＡｌ配線により形成され、
　前記電源ライン１０５と前記ヒータ１０１とを結ぶ配線１０７は第２層のＡｌ配線で直接接続され、
　前記ヒータ１０１と前記パワートランジスタ１０２を結ぶ配線１０６は第３層目のＡｌ配線で形成され、
　前記ＧＮＤライン１１０は第３層目のＡｌ配線で形成され、平面的には前記電源ライン１０５と重なるように配置され、かつ、電源ライン１０５とは電気的に絶縁されており、
　前記ＧＮＤライン１１０は、前記ＧＮＤ用ボンディングパッド１１２に接続しており、一方のＧＮＤ用ボンディングパッド１１２から出て、途中で前記パワートランジスタ１０２の配列方向に沿って延び、該パワートランジスタ１０２と部分的に重なって、最後に他方のＧＮＤ用ボンディングパッド１１２に接続しており、
　電源ライン１０５とＧＮＤライン１１０が絶縁膜を介して向かい合わせで配置されることにより電源ライン１０５とＧＮＤライン１１０間に適当なキャパシタンスが構成されるようになされ、これによりヒータ１０１の駆動時の電流波形のリンギングが吸収されてヒータ１０１の同時ＯＮ数を増やすことができ、電源ライン１０５と、ＧＮＤライン１１０を第２層目と第３層目に分けることで、チップサイズに対して共通配線を広くすることができ、その分抵抗成分を減少させ、電源電圧からの電圧降下をより少なくし、電力効率の向上に、寄与することができ、
　また、第２層目をＧＮＤライン１１０、第３層目を電源ライン１０５とするようにレイアウト構成をとることができる記録ヘッド。」の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されているものと認められる。
　
（２）当審拒絶理由で引用した「本願の優先日前に頒布された刊行物である特開平８−３２９８６６号公報（以下「引用例２」という。）」には、図とともに次の事項が記載されている。
　ア　「【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、
表面伝導型電子放出素子を画像形成装置に応用した
基板上に多数の表面伝導型電子放出素子を配列し、各素子間を薄膜もしくは厚膜の電極で電気的に配線し
て用いていた
配線抵抗で生じる電圧降下のために各素子ごとに印加される電圧がばらついてしまうという現象が起き
その結果、各表面伝導型電子放出素子から放出される電子線の電流量にばらつきが生じ、形成される画像に濃度むらが起きるという問題が発生し
【０００７】図１４及び図１５はこの問題をより詳しく説明するための図で両図とも（ａ）は表面伝導型電子放出素子と配線抵抗及び電源を含む等価回路図であり、（ｂ）は各表面伝導型電子放出素子の正極と負極の電位を示す図、（ｃ）は各表面伝導型電子放出素子の正負極間に印加される電圧を示す図である。
【０００８】図１４（ａ）は、
並列接続され
電源の正極と表面伝導型電子放出素子Ｄ
１
の正極を、また電源の負極と表面伝導型電子放出素子Ｄ
Ｎ
の負極を接続した
画素
等ピッチで配列されている
空間的に等間隔をもって配列されて
これらを結ぶ配線は幅や膜厚が製造上ばらつかない限り、表面伝導型電子放出素子間で等しい抵抗を持つ
【０００９】また、
表面伝導型電子放出素子Ｄ
１
〜Ｄ
Ｎ
は、ほぼ等しい抵抗値Ｒｄを各々有する
【００１０】図１４（ａ）の回路において、各表面伝導型電子放出素子の正極及び負極の電位を示したのが図１４（ｂ）である。図の横軸はＤ１〜ＤＮの素子番号を示し、縦軸は電位を示す。●印は各表面伝導型電子放出素子の正極電位を、■印は負極電位を表しており、電位分布の傾向を見易くするため、便宜的に●印（■印）を実線で結んでいる。
【００１１】本図から明らかなように、
配線抵抗ｒによる電圧降下は、一様に起こるわけではなく、正極側の場合は表面伝導型電子放出素子Ｄ
１
に近い程急峻であり、逆に負極側では、Ｄ
１
に近い程
大きく
【００１２】これから
各表面伝導型電子放出素子
に印加される電圧
【００１３】本図から明らかなように、図１４（ａ）のような回路の場合には、
両端の表面伝導型電子放出素子（Ｄ
１
及びＤ
Ｎ
）に近い程大きな電圧が印加され、中央部付近の表面伝導型電子放出素子では印加電圧が小さくなる
従って、各表面伝導型電子放出素子から放出される電子線は、両端の表面伝導型電子放出素子程放出電流が大きくなり、画像形成装置に応用した場合、極めて不都合であった（例えば、両端に近い部分の画像は濃度が濃く、中央付近の濃度は淡くなってしまう
　
　イ　「【００２２】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明の画像形成装置は、基板上の素子電極間に導電性薄膜を形成した表面伝導型電子放出素子が複数電気的に接続された電子源を用いた画像形成装置において、
表面伝導型電子放出素子間の配線抵抗値を少なくとも２種以上の異なる値にする
配線幅
を変えることにより
【００２３】更に詳しくは、並列接続された複数の表面伝導型電子放出素子の
正極側取り出し電極が素子列の正極側電極の一端に配置され、負極側取り出し電極が素子列の負極側電極の他端に配置されており、表面伝導型電子放出素子素子間の配線抵抗値が取り出し電極から遠くなるにしたがって大きくなる
　
　ウ　「【００９５】実施例１
図１０は、実施例１の画像形成装置に用いられる並列接続された表面伝導型電子放出素子の平面図である。図１０において、
１は基板
１１は正極側電極、１２は負極側電極
【００９６】
表面伝導型電子放出素子はＤ
１
〜Ｄ
１０００
まで１０００個形成
【００９７】まず、清浄化した基板１に、通常のフォトリソグラフィー技術を用いて電極１１，１２を形成する。
配線部の幅は、正極側ではＤ
１
側からＤ
１０００
側へいくにしたがって次第に細くなって
負極側ではＤ
１０００
側からＤ
１
側へいくにしたがって次第に細くなって
【００９８】次に、電極１１，１２を形成した基板１上に有機Ｐｄ（ｃｃｐ４２３０奥野製薬（株）社製）をスピンナーにより回転塗布し、２５０℃で１０分間の加熱焼成処理をした。尚、ここで述べる微粒子膜とは、前述したように、複数の微粒子が集合した膜であり、その微細構造として、微粒子が個々に分散配置した状態のみならず、微粒子が互いに隣接、あるいは、重なり合った状態（島状も含む）の膜をさし、その粒径とは、この状態で粒子形状が認識可能な微粒子ついての径をいう。
【００９９】そして、焼成後の薄膜３を通常のフォトリソグラフィー技術を用いて、図１０（ｂ）に示すように、
導電性薄膜３の幅ｂが３００マイクロメートルになるようにパターンニングを行い、電子放出部を形成
【０１００】次に、基板１上に５ミリメートル厚のガラススペーサを設け、スペーサ上に一様に蛍光体を塗布した蛍光体基板を設けた後、全体を図の測定評価系内に収容して１×１０の−６乗ｔｏｒｒ程度の真空度に保持し、加速電圧１ｋＶで電子放出特性を確認した。尚、
電源の接続
電極１１，１２のＤ
１
側を正極、Ｄ
１０００
側をアースとし
【０１０１】その結果、各放出部に対応した輝点が観察され、各輝点の
輝度は目視でほぼ均一であった。また、各輝度のばらつきをスポット輝度計を用いて測定したところ、ばらつきは５％以内で
　
　エ　上記アでは「配線抵抗ｒによる電圧降下は、一様に起こるわけではなく、正極側の場合は表面伝導型電子放出素子Ｄ１に近い程急峻であり、逆に負極側では、Ｄ１に近い程配線抵抗ｒを流れる電流が大きく、また負極側では、逆にＤＮに近い程大きな電流が流れるためである。」（【００１１】）と記載されているが、「負極側では、Ｄ１に近い程配線抵抗ｒを流れる電流が大き」いことになっていないことが図１４（ｂ）の記載から明らかである。この図１４（ｂ）の記載からみて、上記アの【００１１】の上記記載は、「配線抵抗ｒによる電圧降下は、一様に起こるわけではなく、正極側の場合は表面伝導型電子放出素子Ｄ１に近い程配線抵抗ｒを流れる電流が大きいため急峻であり、逆に負極側では、表面伝導型電子放出素子ＤＮに近い程配線抵抗ｒに大きな電流が流れるため急峻である。」といった事項を誤記したものと解される。
　
　オ　上記アないしエからみて、引用例２には、
「表面伝導型電子放出素子を応用した画像形成装置において、
　基板上に多数の前記素子を配列し、各素子間を薄膜もしくは厚膜の電極で電気的に配線して用いていたので、配線抵抗で生じる電圧降下のために各素子ごとに印加される電圧がばらついてしまうという現象が起き、その結果、各素子から放出される電子線の電流量にばらつきが生じ、形成される画像に濃度むらが起きるという問題、
　具体的には、画像形成装置の画素が等ピッチで配列されているので、前記素子も空間的に等間隔をもって配列されており、これらを素子Ｄ１〜ＤＮとすると、該素子Ｄ１〜ＤＮは、各々ほぼ等しい抵抗値Ｒｄを有し、並列接続され、電源の正極と素子Ｄ１の正極を接続し、電源の負極と素子ＤＮの負極を接続し、これらの接続配線は幅や膜厚が製造上ばらつかない限り、並列接続した素子Ｄ１〜ＤＮの各素子間で等しい配線抵抗ｒを持っており、ここで、配線抵抗ｒによる電圧降下は一様に起こるわけではなく、正極側の場合は素子Ｄ１に近い程配線抵抗ｒを流れる電流が大きいため急峻であり、逆に負極側では素子ＤＮに近い程配線抵抗ｒに大きな電流が流れるため急峻であり、各素子に印加される電圧は、両端の素子Ｄ１及び素子ＤＮに近い程大きな電圧が印加され、中央部付近の素子では印加電圧が小さくなって、各素子から放出される電子線は、両端の素子程放出電流が大きくなり、両端に近い部分の画像は濃度が濃く、中央付近の濃度は淡くなってしまい、極めて不都合であるという問題が発生していたので、
　配線幅を変えることにより前記素子間の配線抵抗値を少なくとも２種以上の異なる値にして、正極側取り出し電極が素子列の正極側電極の一端に配置され、負極側取り出し電極が素子列の負極側電極の他端に配置されているものにおいては、各素子間の配線抵抗値が取り出し電極から遠くなるにしたがって大きくなるようにした画像形成装置であって、
　例えば、基板１上に、正極側電極１１を含む正極側配線と、負極側電極１２を含む負極側配線と、Ｄ１〜Ｄ１０００の１０００個の前記素子とを形成し、正極側配線部の幅はＤ１側からＤ１０００側へいくにしたがって次第に細くなし、負極側配線部の幅はＤ１０００側からＤ１側へいくにしたがって次第に細くなし、電源の正極に電極１１のＤ１側を接続し、電源のアースに電極１２のＤ１０００側を接続して、各輝度のばらつきを５％以内にして目視での輝度をほぼ均一にした、画像形成装置。」の発明（以下「引用発明２」という。）が記載されているものと認められる。
　
４　対比
　本願発明と引用発明１とを対比する。
（１）引用発明１の「『ヒータ１０１』と、『パワートランジスタ１０２』と、『駆動用ロジック回路群１０３』と、『電源ライン１０５』と、『ＧＮＤライン１１０』と、『ボンディングパッド１１１、１１２』とを、『半導体プロセス技術を用いて』その上に形成した『基板』である『記録ヘッド用基体』」、「熱エネルギーを発生する為の電気熱変換素子であるヒータ１０１」、「インクジェット方式に従ってインクを吐出して記録媒体に記録を行う記録ヘッド」、「『インクを吐出するために必要な熱』を発生する『ヒータ１０１』を有する『ノズル』」、「『記録ヘッドの一辺に平行に配列され』た『ヒータ１０１を有する複数のノズル』」、「『記録ヘッドの一辺に平行に配列され』た『複数』の『パワートランジスタ１０２』」と、「基板の左右両端に配置された電源用ボンディングパッド１１１及びＧＮＤ用ボンディングパッド１１２」、「ＧＮＤ用ボンディングパッド１１２に接続しており、ヒータ及びパワートランジスタを流れた電流が流れ込むＧＮＤライン１１０」、「『ＧＮＤライン１１０』を含む『Ａｌ配線』」、「『ＧＮＤライン１１０』は、『パワートランジスタ１０２』の配列方向に沿って延び」及び「『ＧＮＤライン１１０』は、『パワートランジスタ１０２』と部分的に重なって」は、それぞれ、本願発明の「『基板』、『薄膜下部構造』」、「ヒータ抵抗器」、「『プリントヘッド構造』、『インクジェットプリントヘッド』」、「インク滴発生器」、「インク滴発生器の列のアレイ」、「回路の列のアレイ」と、「薄膜下部構造の長手方向に間隔を置いて配置した外部と電気接続するためのボンディングパッド」、「（ａ）『ボンディングパッド』と（ｂ）『インク滴発生器』および『回路』との間に電気接続されたグラウンドバス」、「グラウンドバスを含む電源トレース」、「『グラウンドバス』は、『回路の列のアレイ』の長手方向の長さに沿って略延び」及び「『グラウンドバス』は、『回路の動作領域』と部分的に重なる」に相当する。
　
（２）引用発明１の「熱エネルギーを発生する為の電気熱変換素子であるヒータ１０１に所望の電流を供給する為のパワートランジスタ１０２であって、記録ヘッドの一辺に平行に配列された複数の前記パワートランジスタ１０２」と本願発明の「前記プリントヘッド構造内に形成され、前記インク滴発生器にそれぞれ接続されており、それぞれ、ドレイン領域、ソース領域、およびゲートで構成された動作領域を含むＦＥＴ回路の列のアレイ」とは「前記プリントヘッド構造内に形成され、前記インク滴発生器にそれぞれ接続されている駆動回路の列のアレイ」である点で一致し、引用発明１の「パワートランジスタ１０２」と本願発明の「ドレイン領域、ソース領域、およびゲートで構成された動作領域を含むＦＥＴ回路」とは「駆動回路」である点で一致する。
　
（３）上記（１）及び（２）からみて、本願発明と引用発明１とは、
「基板を含み、かつ、ヒータ抵抗器が形成された薄膜下部構造を備えたプリントヘッド構造と、
　該プリントヘッド構造内に画定されるインク滴発生器の列のアレイと、
　前記プリントヘッド構造内に形成され、前記インク滴発生器にそれぞれ接続されている駆動回路の列のアレイと、
　（ａ）薄膜下部構造の長手方向に間隔を置いて配置した外部と電気接続するためのボンディングパッドと（ｂ）前記インク滴発生器および前記駆動回路との間に電気接続されたグラウンドバスを含む電源トレースと、
を備え、
　前記グラウンドバスは、前記駆動回路の前記列のアレイの長手方向の長さに沿って略延び、前記グラウンドバスは、前記駆動回路の動作領域と部分的に重なる
　インクジェットプリントヘッド。」である点で一致し、次の点で相違する。
　
相違点１：
　本願発明では、前記「インクジェットプリントヘッド」が「薄膜下部構造の上に配置され、かつ、インクチャンバおよびインクチャネルが形成されたインクバリア層」を備え、前記「プリントヘッド構造」が「該インクバリア層の表面に薄膜状に取り付けられ、かつ、ノズルを有するノズル板」を備え、前記「駆動回路」が「ドレイン領域、ソース領域、およびゲートで構成された動作領域を含むＦＥＴ回路」であるのに対して、
　引用発明１では、前記「インクジェットプリントヘッド」、前記「プリントヘッド構造」及び前記「駆動回路」が、そのようなものかどうか不明である点。
　
相違点２：
　本願発明では、「前記インク滴発生器のいくつかは発射遅延を補償するために列の中心線からわずかに外れている」のに対して、
　引用発明１では、そのようになされていない点。
　
相違点３：
　前記「グラウンドバス」の幅を、本願発明では「前記プリントヘッド構造の最も近い端に近づくにつれて広くして前記グラウンドバスの抵抗を小さくし」ているのに対して、引用発明１ではそのようにしていない点。
　
５　判断
　上記相違点１ないし３について検討する。
（１）相違点１について
　ア　「基板を含み、かつ、ヒータ抵抗器が形成された薄膜下部構造と、この薄膜下部構造の上に配置され、かつ、インクチャンバおよびインクチャネルが形成されたインクバリア層と、該インクバリア層の表面に薄膜状に取り付けられ、かつ、ノズルを有するノズル板を備えたプリントヘッド構造を備えたインクジェットプリントヘッド」は本願の優先日前に周知である（以下「周知技術１」という。例．特開平７−１６４６３２号公報（【００４８】〜【００４９】、図１２参照。）、特開平７−６８７５９号公報（【００２６】参照。明記されていないが、インクチャンバおよびインクチャネルが形成されたインクバリア層を形成することは明らかである。）、特開平４−２９６５６５号公報（【００２５】、【００２６】、図９、図１０参照。））。　
　イ　上記アからして、引用発明１において、前記「インクジェットプリントヘッド」の「プリントヘッド構造」を、前記「薄膜下部構造」の上に「インクチャンバおよびインクチャネルが形成されたインクバリア層」を配置し、かつ、該「インクバリア層」の表面に「ノズルを有するノズル板」を薄膜状に取り付けた構造のものにすることは、当業者が周知技術１に基づいて適宜なし得た程度のことである。
　ウ　サーマルインクジェットヘッドの電気熱変換素子（ヒータ）を駆動するスイッチをＦＥＴで構成することは本願の優先日前に周知である（以下「周知技術２」という。例．特開平１１−１３８７７５号公報（【０００５】、【０００６】、図９参照。）、特開２０００−１９８１９８号公報（【００１７】、図１参照。）、当審拒絶理由で引用した特開平１１−１９２７０４号公報）。また、ＦＥＴ回路の動作領域は、通常、ドレイン領域、ソース領域及びゲートで構成されるものである。
　エ　上記ウからして、引用発明１において、半導体プロセス技術を用いて基板の上に形成した前記「駆動回路」を周知の「ＦＥＴ回路」で構成し、その「動作領域」を「ドレイン領域、ソース領域、およびゲート」で構成することは、当業者が周知技術２に基づいて適宜なし得た程度の設計上の事項である。
　オ　上記アないしエからみて、引用発明１において、上記相違点１に係る本願発明の構成となすことは、当業者が周知技術１及び２に基づいて適宜なし得た程度の設計上の事項である。
　
（２）相違点２について
　ア　プリントヘッドと用紙とを相対移動させながら複数のノズル列からインク滴を吐出して記録するインクジェット記録において、複数のノズル列が前記相対移動方向にずれているズレ量と、各ノズル列のノズルを駆動するタイミングのズレ量（遅れ時間）とを整合させるようにしているインクジェット記録装置は、本願の優先日前に周知である（以下「周知技術３」という。例．特開平９−３００６６２号公報（【００２８】、【００２９】、図３参照。）、特開平９−３０９２０１号公報（【０００４】、図７など参照。）、当審拒絶理由で引用した特開平９−１５０５０８号公報（【００２０】、図２など参照。））。そして、周知技術３によれば、多数のノズルを同時駆動することにより大電流が流れることを同時に駆動するノズル数を減らすことにより抑制できることや多数のノズルをその配列方向に関してより高密度に配置できることが当業者に自明である。
　イ　上記アからして、多数の「インク滴発生器」を同時駆動することによる大電流を抑制することや配列方向に関して「インク滴発生器」を高密度に配置することなどを目的として、引用発明１の「インクジェットプリントヘッド」において、前記「インク滴発生器の列」を記録媒体との相対移動方向に所定量ずれている複数列となすと同時に各「インク滴発生器の列」の「インク滴発生器」を駆動するタイミングも前記所定量のずれのズレ量と整合する遅れ時間をもつものとなすことは、当業者が周知技術３に基づいて適宜なし得た程度の設計上の事項である。
　ウ　引用発明１において上記イのように「インク滴発生器の列を記録媒体との相対移動方向に所定量ずれている複数列となすと同時に各インク滴発生器の列のインク滴発生器を駆動するタイミングも前記所定量のずれのズレ量と整合する遅れ時間をもつもの」となしたものは、本願発明の「前記インク滴発生器のいくつかは発射遅延を補償するために列の中心線からわずかに外れている」との事項を備えることになる。
　したがって、引用発明１において、上記相違点２に係る本願発明の構成となすことは、上記イからみて、当業者が周知技術３に基づいて適宜なし得た程度の設計上の事項である。
　
（３）相違点３について
　ア　引用例２には、上記３（２）に記載したとおり、引用発明２（上記３（２）オ参照。）が記載されている。
　引用発明２の「表面伝導型電子放出素子を応用した画像形成装置」は、「基板上に多数の前記素子を配列し、各素子間を薄膜もしくは厚膜の電極で電気的に配線して用いていたので、配線抵抗で生じる電圧降下のために各素子ごとに印加される電圧がばらついてしまうという現象が起き、その結果、各素子から放出される電子線の電流量にばらつきが生じ、形成される画像に濃度むらが起きるという問題が発生していたので、配線幅を変えることにより前記素子間の配線抵抗値を少なくとも２種以上の異なる値にして、正極側取り出し電極が素子列の正極側電極の一端に配置され、負極側取り出し電極が素子列の負極側電極の他端に配置されているものにおいては、各素子間の配線抵抗値が取り出し電極から遠くなるにしたがって大きくなるようにした」ものである。
　イ　引用発明１の「インクジェット方式に従ってインクを吐出して記録媒体に記録を行う記録ヘッド」は、「電気熱変換素子であるヒータに印加する電源ラインと、電流が流れ込むＧＮＤラインを共通の第２層配線でレイアウトすると共通配線抵抗が大きく電源電圧からの電圧降下が大きくなるため電力効率の低下を招いてしまうという欠点をなくすという課題を解決するため、複数の電気熱変換素子と、前記電気熱変換素子に外部電源を供給するための電源ラインと、前記電気熱変換素子と前記駆動回路からの電流が流れ込むＧＮＤラインとが、多層配線層を有する同一の基板上に設けられた記録ヘッド用基体が、前記電源ラインと前記ＧＮＤラインとが互いに異なる配線層で形成され、それらが少なくとも１／２以上平面的に重なるように配することにより、共通配線の面積を広くとって配線抵抗を小さくすることを可能となして電力損失の低減を図った」ものであるところ、引用発明１の「記録ヘッド」も、引用発明２の「画像形成装置」と同様に、基板上に多数の抵抗性素子を配列し、各素子間を電源ライン及びＧＮＤラインで電気的に配線した」ものであるから、引用発明２と同様の「配線抵抗で生じる電圧降下のために各素子ごとに印加される電圧がばらついてしまうという現象が起き、その結果、各素子から放出されるエネルギー量にばらつきが生じ、インクジェット方式に従ってインクを吐出して記録媒体に記録する画像に濃度むらが起きる」という問題が発生し得るものであることが当業者に自明である。
　ウ　したがって、引用発明１において、上記イの「記録媒体に記録する画像に濃度むらが起きる」という問題を、引用発明２と同様にして前記電源ライン及び前記ＧＮＤラインの配線幅を変えることにより前記電気熱変換素子間の配線抵抗値を少なくとも２種以上の異なる値にすることにより解決するために、引用発明１において、前記電源ラインの配線幅を、基板の左右両端に配置された電源用ボンディングパッド１１１から遠くなるにしたがって次第に細くし各電気熱変換素子間の配線抵抗値を次第に大きくなし、前記ＧＮＤラインの配線幅を、基板の左右両端に配置されたＧＮＤ用ボンディングパッド１１２から遠くなるにしたがって次第に細くし各電気熱変換素子間の配線抵抗値を次第に大きくなすことにより、記録媒体に記録する画像の濃度むらを抑制し目視でほぼ均一になるようにすることは、当業者が引用発明２に基づいて容易に想到することができた程度のことである。
　エ　引用発明１において上記ウのように「前記ＧＮＤラインの配線幅を、基板の左右両端に配置されたＧＮＤ用ボンディングパッド１１２から遠くなるにしたがって次第に細くした」ものは、本願発明の「前記グラウンドバスの幅を、前記プリントヘッド構造の最も近い端に近づくにつれて広くして前記グラウンドバスの抵抗を小さくし」との構成を備えることになるから、引用発明１において、上記相違点３に係る本願発明の構成となすことは、上記ウからみて、当業者が引用発明２に基づいて容易になし得た程度のことである。
　
（４）本願発明の奏する効果は、引用発明１の奏する効果、引用発明２の奏する効果、周知技術１の奏する効果、周知技術２の奏する効果、周知技術３の奏する効果及び当業者に自明な事項から当業者が予測することができた程度のものである。
　
（５）したがって、本願発明は、当業者が引用例１に記載された発明、引用例２に記載された発明、周知技術１ないし３及び当業者に自明な事項に基づいて容易に発明をすることができたものである。
　
６　むすび
　本願発明は、以上のとおり、当業者が引用例１に記載された発明、引用例２に記載された発明、周知技術１ないし３及び当業者に自明な事項に基づいて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。