【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３３４１１１４号発明「レーザ加工装置及びレーザ加工方法」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３４１１１４号の請求項３に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１．手続の経緯 　 
　平成　９年　３月２１日　原出願の優先権主張の基礎となる出願（特願平９−６８０４０号）
　平成　９年　６月　３日　原出願（特願平９−１４５０１３号）　
　平成１２年　３月２１日　本件分割出願（特願２０００−７７４８１号）
　平成１４年　８月２３日　設定登録（特許第３３４１１１４号） 　
　平成１５年　４月２５日　特許異議の申立て（異議２００３−７１０５７　請求項４について）
　平成１５年１１月１７日　取消理由通知　
　平成１６年　１月２２日　意見書　
　平成１６年　２月　６日　異議決定（請求項４の特許取消）　
　平成２２年　６月１０日　無効審判請求（請求項３について）  
　平成２２年　８月３０日　答弁書・訂正請求書　
　平成２２年１１月２５日　弁駁書　　
　平成２３年　１月　６日　通知書　　
　平成２３年　１月２７日　請求人・口頭審理陳述要領書　 
　平成２３年　１月２８日　被請求人・口頭審理陳述要領書 
　平成２３年　２月１０日　口頭審理  
 
　 　　 
第２．訂正請求について  
１．訂正請求の内容　 
　平成２２年８月３０日付け訂正請求書において、被請求人が求めた訂正の内容は、以下のとおりである。（下線は当審が付与したものである。）　 
 　　 
（１）訂正事項１ 　 
　特許請求の範囲の請求項３に「レーザ光を、ｆθレンズを通してワーク面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系」とあるのを「
ガルバノスキャナとｆθレンズを有し、
前記
 　 
（２）訂正事項２　 
　特許請求の範囲の請求項３に「複数のガルバノスキャン系のうちの少なくとも１つを水平移動させることにより、少なくとも２つのガルバノスキャン系の間の距離を可変とする駆動機構を備え
た
、水平移動するガルバノスキャン系に水平方向からレーザ光を入射させる第１のミラーと、該第１のミラーに垂直方向からレーザ光を入射させるための第２のミラーとを、更に備え、前記第１のミラーと前記第２のミラーは、前記駆動機構により、前記水平移動するガルバノスキャン系と共に前記水平方向に移動する
 　 
２．訂正請求についての当審の判断 　 　　　
（１）訂正の目的の適否について　  
ア．訂正事項１について 　 
　訂正事項１は、ガルバノスキャン系がガルバノスキャナとｆθレンズを有するものであるとして、ガルバノスキャン系の構成を限定する訂正であるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。 　
 　　 
イ．訂正事項２について  　
　訂正事項２は、ガルバノスキャン系にレーザ光を導くためのミラーが、「水平移動するガルバノスキャン系に水平方向からレーザ光を入射させる第１のミラー」と「第１のミラーに垂直方向からレーザ光を入射させるための第２のミラー」とにより構成されており、それらが、「駆動機構により、水平移動するガルバノスキャン系と共に水平方向に移動する」ものとして限定する訂正であるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。 
 　 
（２）新規事項追加及び訂正の変更拡大について　 
　上記訂正事項１については、本件特許明細書の段落【００１８】に「・・・本装置は、第１のガルバノスキャナ１４とｆθレンズ１７とを一体的にして搭載した第１のスキャン系３１と、第２のガルバノスキャナ１６とｆθレンズ１８とを一体的にして搭載した第２のスキャン系３２とを有している。・・・第１のスキャン系３１はＺ軸及びＬ軸方向に移動可能であり、第２のスキャン系３２はＺ軸方向にのみ移動可能である。」と記載されており、上記訂正事項２については、段落【００２０】の「分岐レーザ光を受けるためのミラー３７、３８を互いに反対向きにし、反対方向から分岐レーザ光を受けるようにしている。ミラー３８の反射光は、ミラー３９を通して第２のガルバノスキャナ１６に導入され、第１のガルバノスキャナ１４においても同様に、図示しないミラーを通してミラー３７からのレーザ光が導入される。」という記載、及び図３の（ａ）〜（ｃ）の記載から、本件特許明細書及び図面に記載された事項の範囲内においてされたものであり、上記訂正が、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないことは明らかである。 　
　 
（３）訂正についてのまとめ　　 
　したがって、特許法第１３４条の２第１項ただし書き、及び、同条第５項において準用する同法第１２６条第３項、４項の規定に適合するので適法な訂正と認める。　　 
　
  
第３．本件発明  　
　訂正の認容により、本件特許の請求項３に係る発明（以下、「本件発明３」という。）は、訂正された特許明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、下記のとおりのものである。 　
　
【請求項３】　ガルバノスキャナとｆθレンズを有し、レーザ光を前記ｆθレンズを通してワーク面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系を複数備え、該複数のガルバノスキャン系により前記ワークの加工領域を同時加工するレーザ加工装置において、前記複数のガルバノスキャン系のうちの少なくとも１つを水平移動させることにより、少なくとも２つのガルバノスキャン系の間の距離を可変とする駆動機構を備え、水平移動するガルバノスキャン系に水平方向からレーザ光を入射させる第１のミラーと、該第１のミラーに垂直方向からレーザ光を入射させるための第２のミラーとを、更に備え、前記第１のミラーと前記第２のミラーは、前記駆動機構により、前記水平移動するガルバノスキャン系と共に前記水平方向に移動することを特徴とするレーザ加工装置。　　　　　　　　　　　　
　
　　　　　　　　  　
 第４．請求人の主張  　
１．主張の概要  　　　 
　請求人は、本件発明３を無効にするとの審決を求め、証拠方法として、以下の甲第１ないし４号証を提示し、その理由として、以下の無効理由を主張している。　　  　  
　
　無効理由：本件発明３は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである。　  　 
　
 　甲第　１号証：特開平８−２１５８７５号公報
 　甲第　２号証：特開平７−３２１８３号公報
 　甲第　３号証：本件特許（特許第３３４１１１４号）登録原簿
 　甲第　４号証：本件特許（特許第３３４１１１４号）掲載公報　 
 　
　なお、平成２３年１月２７日付け口頭審理陳述要領書と同時に提出された甲第５ないし８号証は、ミラーの移動に関する周知技術であるため、平成２３年２月１０日の口頭審理において、請求人同意のもと、証拠から参考資料に変更された。 　
　
２．具体的な主張　
　甲第１号証のレーザ加工装置に、甲第２号証に開示された複数のレーザ照射光学系として複数のガルバノスキャン系レーザ照射光学系を使用するという技術を適用することに格別困難性はない。
　そして、訂正により追加された第１のミラー及び第２のミラーに係る構成は、レーザ光を光学系に適正に入射させるという具体的適用に伴って当然考慮しなければならない設計的事項である。
　したがって、本件発明３は、甲第１号証、及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到することができたものである。　　 
　
　
第５．被請求人の主張  
１．主張の概要  
　これに対し、被請求人は、請求人の提出した証拠方法によっては本件特許を無効にすることができないと主張し、その理由として概ね次のように主張している。　　 
 　 
（１）甲第１号証には、ガルバノスキャナとｆθレンズを有するガルバノスキャン系に関する記載はない。（答弁書第３ページ第１〜１６行）
（２）甲第２号証のＣＯ２レーザ加工装置はミラー４、ガルバノミラー５、６及びｆθレンズ７を一体的に保持している保持具８を水平方向には移動可能ではない。当該装置は、仮に当該保持具８を水平方向に移動させるとミラー４がその上方にあるミラー３からのレーザ光線を受光することができなくなる構成である。（答弁書第４ページ第１〜９行）　
（３）甲第１号証のレーザ加工装置と甲第２号証のＣＯ２レーザ加工装置を組み合わせる動機付けはないが、仮に、甲第１号証のレーザ加工装置と甲第２号証のＣＯ２レーザ加工装置を組み合わせたとしても、　
　・「水平移動するガルバノスキャン系に水平方向からレーザ光を入射させる第１のミラー」と「第１のミラーに垂直方向からレーザ光を入射させるための第２のミラー」を備えていること（答弁書第２ページの分説における構成要件（ｃ））、　
　・「第１のミラーと第２のミラーは、駆動機構により、水平移動するガルバノスキャン系と共に水平方向に移動する」こと（答弁書第２ページの分説における構成要件（ｄ））、　
という、具体的な構成が得られない。（答弁書第４ページ第２１〜２９行）
（４）ガルバノスキャナとｆθレンズを有するガルバノスキャン系を水平方向に移動させるという構成は，本件特許の出願時点においてレーザ加工装置の業界には無かったものである。（平成２３年１月２８日付け口頭審理陳述要領書第５ページ第２３〜２５行）　
（５）第１のミラーと第２のミラーとをガルバノスキャン系とともに移動するようにすることはレーザ光を光学系に適切に導入する必要性を踏まえると設計的事項であるとする請求人の主張は後知恵である。（平成２３年１月２８日付け口頭審理陳述要領書第５ページ第３２行〜第６ページ第４行）
（６）第１のミラーと第２のミラーとをガルバノスキャン系とともに移動するようにすることは、レーザ光の照射位置精度を確保する上で有効である。（平成２３年１月２８日付け口頭審理陳述要領書第６ページ第５〜７行）
　　　
　 　 
第６．当審の判断  
１．本件発明（訂正後の特許発明）　　　　　　　　　　 
　本件発明３は、上記「第３．本件発明」のとおりである。　　　 
 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　  
２．甲第１及び２号証に記載された発明　 
（１）甲第１号証に記載された発明  　
　甲第１号証には以下の事項が記載されている。
ア．【０００３】、【０００４】　
「【０００３】　
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述した従来のレーザ加工装置にあっては、被加工物の加工のため、レーザ光を照射するレーザ照射系は１つしかなく、処理能力に限界があった。　
【０００４】本発明は、かかる事情の下になされたもので、その目的は処理能力の向上を図ることができるレーザ加工装置を提供することにある。」　
イ．【００１０】
「【００１０】
　対物レンズの少なくとも一つが装置に固定され、残りの対物レンズは移動可能とされ、レンズ位置検出手段とレンズ間隔設定手段とを更に設けた場合には、レンズ間隔設定手段では、レンズ位置検出手段の出力に基づいて移動可能な各対物レンズを独立に駆動して固定された対物レンズと移動可能な各対物レンズとの間隔を任意に設定する。・・・。」
ウ．【００１４】、【００１５】　
「【００１４】図１には、第１実施例に係るレーザ加工装置１０の概略構成が示されている。このレーザ加工装置１０は、図１の紙面に直交する基準平面内を２次元方向に移動するステージとしてのＸＹステージ１２と、このＸＹステージ１２上に載置された被加工物１４に対し加工用のレーザ光を照射する第１、第２の照射光学系（これについては後述する）と、被加工部位の観察用光学系（これについては後述する）と、・・・を、備えている。　
【００１５】第１の照射光学系は、レーザ光源２０から射出されたレーザ光Ｌ1 を分割する光分割手段としてのハーフミラー（ビームスプリッタ）２３と、このハーフミラー２３で２分割された一方のレーザ光（透過光）Ｌ1'の光量調整部２２Ａとレーザ光Ｌ1'をＸＹステージ１２に向けて反射するダイクロイックミラー２４と、このダイクロイックミラー２４で反射されたレーザ光Ｌ1'の進行方向先に前記基準平面に直交する状態でその光軸が配置された第１対物レンズ２６Ａと、を含んで構成されている。ここで、第１対物レンズ２６Ａは装置本体に固定されている。」　
エ．【００１９】、【００２０】　
「【００１９】第２の照射光学系は、前記ハーフミラー２３と、このハーフミラー２３で２分割された他方のレーザ光（反射光）Ｌ1の光量調整部２２Ｂと、レーザ光Ｌ1を順次ＸＹステージ１２に向けて反射する２つのミラー２７、２８と、ミラー２８で反射されたレーザ光Ｌ1の進行方向先に基準平面に直交する状態でその光軸が配置された第２の対物レンズ２６Ｂと、を含んで構成されている。・・・。
【００２０】ミラー２８と第２対物レンズ２６Ｂとは保持部材（図示省略）によって一体的に保持されており、これらによって図１の矢印Ａ方向（ＸＹステージ１２の移動方向であるＸ軸方向と同じ）に移動可能な駆動部３０が構成されている。この駆動部３０には、図１では図示を省略したが、実際には、図２に示されるようなレンズ位置検出手段３２が併設されている。・・・。」　　　
オ．【００２８】　
「【００２８】まず、コントローラ１８では、予め内部メモリ内に記憶された設定間隔情報（加工位置データの一部である）に従って前述したレンズ位置検出手段３２を介して駆動部３０の移動位置をモニタしつつ、
図示しない駆動機構を介して
カ．【００４６】、【００４７】　
「【００４６】　
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、被加工物にレーザ光を複数の対物レンズから同時に照射することにより複数箇所を同時に加工することが可能となり、これによって加工時間を短縮することができ、複数の対物レンズからのレーザ光の照射タイミングを異ならせた場合には、個々の加工箇所で加工長を変えたり、加工方向で加工箇所毎にピッチの異なる被加工物であっても同時加工が可能となるという従来にない優れた効果がある。
【００４７】特に、請求項２記載の発明にあっては、被加工物の非加工方向のピッチに合せた対物レンズ同士の間隔の設定が可能となり、個々の加工箇所で加工長を変えたり、加工方向は勿論、非加工方向で加工箇所のピッチの異なる被加工物であっても加工することが可能となり、加工パターンに応じた加工を高速で行うことができるという効果もある。」
キ．図３　
　２つの照射光学系のうち一方の照射光学系が水平方向に移動可能なレーザ加工装置が看取できる。　
　
　ここで、摘記事項オから、図示はされていないものの、レーザ加工装置には水平方向に対物レンズを移動させるための「駆動機構」が設けられていることは明らかである。　
  これらの記載から、甲第１号証に記載されたレーザ加工装置の具体的な構成は、本件発明３に沿って整理すると以下のとおりのものであると認める。
　
「対物レンズを複数備え、該複数の対物レンズにより被加工物の加工部位を同時加工するレーザ加工装置において、前記複数の対物レンズのうちの少なくとも１つを水平移動させることにより、少なくとも２つの対物レンズの間の距離を可変とする駆動機構を備え、水平移動する対物レンズに垂直方向からレーザ光を入射させるためのミラー２８を備え、ミラー２８は、前記駆動機構により、前記水平移動する対物レンズと共に前記水平方向に移動するレーザ加工装置。」（以下、「甲１発明」という。） 　
　　　　　
（２）甲第２号証に記載された発明　
　一方、甲第２号証には以下の事項が記載されている。　
ア．【特許請求の範囲】の請求項１ないし３
「【特許請求の範囲】
【請求項１】　ＣＯ２レーザ発振器と前記ＣＯ２レーザ発振器から出射したレーザ光線を反射し、走査させるための１対の回転動作するミラーと、前記１対の回転動作するミラーにより反射されたレーザ光線を所定の平面上に集束させる光学部品を備えたことを特徴とするＣＯ２レーザ加工装置。　
【請求項２】　一軸以上の可動位置決めステージを備えた請求項１記載のＣＯ２レーザ加工装置。　
【請求項３】　１台のＣＯ２レーザ発振器から出射したレーザ光線を複数に分岐し、各分岐毎にレーザ光線を反射し、走査させるための１対の回転動作するミラーと、前記１対の回転動作するミラーにより反射、走査されるレーザ光線を所定の平面上に集束させる光学部品を備えたことを特徴とするＣＯ２レーザ加工装置。」　
イ．【０００３】　
「【０００３】　
　図７に従来のＣＯ２レーザ加工装置の構成の一例を示す。２８はＣＯ２レーザ発振器であり、２９は発振器から出射したレーザ光線であり、３０はレーザ光線を反射し方向を変えるためのミラーであり、３１はレーザ光線を集束させるためのレンズであり、３２は被加工物であり、３３は被加工物３２を移動してレーザ光線を照射する位置を変えるための可動ステージであり、３４はＣＯ２レーザ発振器２８及び可動ステージ３３の制御機器である。」
ウ．【０００６】、【０００７】
「【０００６】　
【発明が解決しようとする課題】従来のＣＯ２レーザ加工装置は、精密な加工を行う場合の加工速度が可動ステージ３３の移動速度により制限される。可動ステージ３３の移動速度は、ステージの慣性量、モータアクチュエータの出力、位置決め制御応答性を改善することにより高速化されるが、現状技術での高速化の上限が前述の穴加工における１回の移動・停止当たり０．１秒程度であり、レーザ光線の照射時間を無視しても、毎秒１０穴以上は加工速度を進めることができない。　
【０００７】　
　そこで、本発明は高速かつ高精度な穴加工を可能にするＣＯ２レーザ装置を提供することを目的とする。」
エ．【００１２】
「【００１２】図１は本発明の第１の実施例におけるＣＯ２レーザ加工装置の構成を示す図である。本実施例は、樹脂を主な素材とする薄板への穴加工を目的とした装置である。図１において１はＣＯ２レーザ発振器であり、２はレーザ発振器１から出射したレーザ光線であり、３、４はレーザ光線を反射させて向きを変えるためのミラーであり、５、６はレーザ光線を偏向・走査するための一対のガルバノメーターミラースキャナー（以下ガルバノミラーと略称する）であり、７はバルバノミラー５、６により偏向・走査されたレーザ光線が常に同一平面上に集束するように光学的に設計されたｆθレンズであり、
８はミラー４、ガルバノミラー５、６、及びｆθレンズ７を一体で保持する保持具
オ．【００１４】〜【００１７】　
「【００１４】図３に、本発明の第２の実施例におけるＣＯ２レーザ加工装置を示す。第１の実施例である薄板を搭載するＸ、Ｙ２軸の可動ステージ１７を組み合わせた構成になっている。第１の実施例では、穴加工可能な薄板の寸法はｆθレンズ７の設計により決まるレーザ光線走査領域に限定される。レーザ光線走査領域より大きな寸法の薄板を加工する必要がある場合は、図４に模式的に示すように、所定の走査領域１８を加工した後、Ｘ・Ｙ軸ステージを動かして隣接する未加工領域１９にレーザ光線走査領域を移動させ、加工を行う。この動作の繰り返しにより、Ｘ・Ｙ軸ステージの可動範囲までの寸法の薄板を加工することができる。本実施例におけるレーザ光線走査領域は５０ｍｍ×５０ｍｍの矩形であり、例えば１００ｍｍ×１００ｍｍの薄板を加工する場合には、４つの領域に別けて加工することになる。また、加工データは予め制御ユニット内で４つの領域に対応するように分割され、加工の進展と共に順次読み出される。　　
【００１５】図５に本発明の第３の実施例におけるＣＯ２レーザ加工装置を示す。第３の実施例は、１台のＣＯ２レーザ発振器から出射されたレーザ光線をビームスプリッター２０により分岐し、各分岐毎にガルバノミラー２１、２２、２３、２４及びｆθレンズ２５、２６を備え、同時に２枚の薄板の加工が可能な構成にしたものである。なお、分岐数は２分野に限定されることは無く、ＣＯ２レーザ発振器の出力に余裕があれば４分岐、８分岐等も可能である。　
【００１６】図６に本発明の第４の実施例におけるＣＯ２レーザ加工装置を示す。本実施例は、第３の実施例において２枚の薄板を搭載することができるＸ・Ｙ２軸ステージ２７を備えた構成になっている。２軸ステージの移動により、レーザ光線の走査領域より大きな薄板寸法を加工することを搭載するものを２分岐のそれぞれに備える構成を取っても構わない。・・・。また、Ｘ・Ｙ２軸ステージと組み合わせることで、より広い加工領域が得られ、さらにレーザ光線を多分岐することにより同時に２枚以上の薄板の加工が可能になる。　
【００１７】
【発明の効果】
　以上のように本発明のＣＯ２レーザ加工装置は、ＣＯ２レーザ発振器とＣＯ２レーザ発振器から出射したレーザ光線を反射し、走査させるための１対の回転動作するミラーと前記１対の回転動作するミラーにより反射されたレーザ光線を所定の平面上に集束させる作用を有するフラットフィールド光学部品を備えた構成により、従来の可動ステージで被加工物の位置決めを行うＣＯ２レーザ加工装置と比較して、特に穴加工において約１０倍の速度で精密な加工ができるという利点を備える。」　
カ．図３
　ガルバノスキャン系に水平方向からレーザ光を入射させるミラー４と、該ミラー４に垂直方向からレーザ光を入射させるためのミラー３が看取できる。
キ．図６
　２つのガルバノスキャン系を有するレーザ加工装置が看取できる。　
　
　これらを踏まえると、甲第２号証に記載されたＣＯ２レーザ加工装置の具体的な構成は、本件発明３に沿って整理すると以下のとおりのものであると認める。　　
　
「ガルバノメーターミラースキャナとｆθレンズを有し、レーザ光線を、前記ｆθレンズを通して被加工物面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系を複数備え、該複数のガルバノスキャン系により前記被加工物の加工領域を同時加工するＣＯ２レーザ加工装置において、ガルバノスキャン系に水平方向からレーザ光線を入射させるミラー４と、該ミラー４に垂直方向からレーザ光線を入射させるためのミラー３とを備えるＣＯ２レーザ加工装置。」（以下、「甲２発明」という。） 　
　　
３．対比・判断
　本件発明３と甲１発明とを対比すると、甲１発明における「被加工物」は、本件発明３の「ワーク」に相当する。 
　また、甲１発明における「対物レンズ」と、本件発明３の「ガルバノスキャン系」とは、「集光光学系」という限りにおいて共通している。
　そして、甲１発明における「加工部位」と、本件発明３の「加工領域」とは、「加工面」という限りにおいて共通している。
　さらに、甲１発明における「ミラー２８」は、対物レンズにレーザ光を導入するために水平方向から入射するレーザ光の向きを垂直方向へ変える役割を有しており、駆動機構により水平移動するから、本件発明３の「第２のミラー」に相当する。
　そうすると、甲１発明における「水平移動する対物レンズに垂直方向からレーザ光を入射させるためのミラー２８を備え、ミラー２８は、前記駆動機構により、前記水平移動する対物レンズと共に前記水平方向に移動する」点と、本件発明３の「水平移動するガルバノスキャン系に水平方向からレーザ光を入射させる第１のミラーと、該第１のミラーに垂直方向からレーザ光を入射させるための第２のミラーとを、更に備え、前記第１のミラーと前記第２のミラーは、前記駆動機構により、前記水平移動するガルバノスキャン系と共に前記水平方向に移動する」点とは、「水平移動する集光光学系にレーザ光を導入するための第２のミラーを備え、該第２のミラーは、前記駆動装置により、前記水平移動する集光光学系と共に前記水平方向に移動する」という限りにおいて共通している。 
　したがって、両者の一致点及び相違点は次のとおりである。　  
 　 
〈一致点〉 　
「集光光学系を複数備え、該複数の集光光学系によりワークの加工面を同時加工するレーザ加工装置において、複数の集光光学系のうちの少なくとも１つを水平移動させることにより、少なくとも２つの集光光学系の間の距離を可変とする駆動機構を備え、水平移動する集光光学系にレーザ光を導入するための第２のミラーを備え、該第２のミラーは、前記駆動装置により、前記水平移動する集光光学系と共に前記水平方向に移動するレーザ加工装置。」 〈相違点１〉 
　本件発明３においては、「ガルバノスキャナとｆθレンズを有し、レーザ光を前記ｆθレンズを通してワーク面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系」を用いて「ワークの加工領域を同時加工」するのに対して、甲１発明においては、対物レンズを用いた光学系により「被加工物の加工部位を同時加工」する点。
〈相違点２〉　
　本件発明３においては、「水平移動するガルバノスキャン系に水平方向からレーザ光を入射させる第１のミラーと、該第１のミラーに垂直方向からレーザ光を入射させるための第２のミラー」とを備えており、「第１のミラーと第２のミラーは、駆動機構により、水平移動するガルバノスキャン系と共に水平方向に移動する」のに対して、甲１発明においては、「水平移動する対物レンズに垂直方向からレーザ光を入射させるためのミラー２８とを備え、ミラー２８は、駆動機構により、水平移動する対物レンズと共に水平方向に移動する」点。　　　　
 　 
　まず、上記相違点１について検討する。　
　甲２発明の「ガルバノメーターミラースキャナ」、「レーザ光線」、「被加工物」、及び「ＣＯ２レーザ加工」は、本件発明３の「ガルバノスキャナ」、「レーザ光」、「ワーク」、及び「レーザ加工」にそれぞれ相当する。
　これらを踏まえ、甲２発明を本件発明３に倣って整理すると、甲２発明は、「ガルバノスキャナとｆθレンズを有し、レーザ光を、前記ｆθレンズを通してワーク面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系を複数備え、該複数のガルバノスキャン系により前記ワークの加工領域を同時加工するレーザ加工装置。」である。　
　そして、甲１発明と甲２発明とは、ともにレーザ加工の処理能力向上を課題とした複数の集光光学系を有するレーザ加工装置という点で共通している。　　
　したがって、集光光学系として、甲１発明の「被加工物の加工部位を同時加工」する対物レンズに代えて、甲２発明の「ワークの加工領域を同時加工」するガルバノスキャン系を適用して、本件発明３の相違点１に係る構成とすることは、当業者が容易になし得たことである。　　　　　　
　　
　次に、上記相違点２について検討する。　
　甲２発明の「ミラー４」は、ガルバノスキャン系に水平方向からレーザ光線を入射させる役割があるから本件発明３の「第１のミラー」に相当し、甲２発明の「ミラー３」は、「ミラー４」に垂直方向からレーザ光線を入射させる役割があるから本件発明３の「第２のミラー」に相当する。
　そうすると、甲２発明は、本件発明３に倣って整理すると、「ガルバノスキャン系に水平方向からレーザ光を入射させる第１のミラーと、該第１のミラーに垂直方向からレーザ光を入射させるための第２のミラー」という構成を備えている。
　ここで、甲第２号証の摘記事項エから、ガルバノスキャン系と第１のミラー（ミラー４）は保持具８により一体で保持されたものである。
　そして、甲１発明と甲２発明とは、ともにレーザ加工の処理能力向上を課題とした複数の集光光学系を有するレーザ加工装置という点で共通している。　
　したがって、上記技術課題を解決するために、甲１発明において、駆動機構により水平移動する「対物レンズ」に代えて、甲２発明の保持具８により一体で保持された「ガルバノスキャン系と当該ガルバノスキャン系に水平方向からレーザ光を入射する第１のミラー（ミラー４）」を採用して、ガルバノスキャン系に水平方向からレーザ光を入射する第１のミラーと、該第１のミラーに垂直方向から光を入射する第２のミラーとが、「駆動機構により、水平移動するガルバノスキャン系と共に水平方向に移動する」ようにし、本件発明３の相違点２に係る構成とすることは、当業者が容易になし得たことである。　　
　　
　なお、被請求人は、平成２３年１月２８日付け口頭審理陳述要領書において、「『第１のミラーと第２のミラーとをガルバノスキャン系とともに移動するようにする』ことは、『レーザ光の照射位置精度』を確保する上で有効です。すなわち、甲第１号証、甲第２号証には、これらを組み合わせた上に、更に『第１のミラーと第２のミラーとをガルバノスキャン系とともに移動するようにする』に対する動機付けがなく、それによる格別な効果も予測し得ません。」（第６ページ第５〜１０行）と主張している。
　しかしながら、上述した如く、甲１発明と甲２発明とは、同一技術分野であり、かつ同一課題を有するものであるから、２つの発明を組み合わせる上で十分な動機付けが存在すると認められ、甲１発明の対物レンズに代えて、保持具８により一体的に保持された甲２発明のガルバノスキャン系及び第１のミラー（ミラー４）を適用すれば、必然的に『レーザ光の照射位置精度』も確保されるから、被請求人の主張は採用できない。　
　そして、本件発明３の奏する作用効果についても、甲第１号証記載の発明及び甲第２号証記載の発明より当業者が予測できる程度のものであって、格別のものではない。 
　以上のとおりであるから、本件発明３は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明から当業者が容易になし得たものである。　 
　
　　　　
第７．補足的な検討 　 　
　上記第６．においては、請求人の主張と同様に、甲第１号証に記載された発明に甲第２号証に記載された技術を適用して、本件発明３の進歩性の有無を検討したが、ここでは補足的に甲第２号証に記載された発明に、甲第１号証に記載された技術を適用して、本件発明３の進歩性を検討する。　
　　
１．本件発明（訂正後の特許発明）　　　　　　　　　　 
 　本件発明３は、上記「第３．本件発明」のとおりである。　　　 
　
２．甲第１及び２号証に記載の事項　
（１）甲第１号証に記載された発明
　上記「第６．当審の判断」の２．（１）のとおりである。　
（２）甲第２号証に記載された発明
　上記「第６．当審の判断」の２．（２）のとおりである。　
　
３．対比・判断
　甲２発明の「ガルバノメーターミラースキャナ」、「レーザ光線」、「被加工物」、「ＣＯ２レーザ加工」、「ミラー４」及び「ミラー３」は、本件発明３の「ガルバノスキャナ」、「レーザ光」、「ワーク」、「レーザ加工」、「第１のミラー」及び「第２のミラー」にそれぞれ相当する。　
　したがって、両者の一致点及び相違点は次のとおりである。　  
 　 
〈一致点〉 　
「ガルバノスキャナとｆθレンズを有し、レーザ光を前記ｆθレンズを通してワーク面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系を複数備え、該複数のガルバノスキャン系により前記ワークの加工領域を同時加工するレーザ加工装置において、ガルバノスキャン系に水平方向からレーザ光線を入射させる第１のミラーと、該第１のミラーに垂直方向からレーザ光線を入射させるための第２のミラーとを備えるレーザ加工装置。」 　　　　
〈相違点３〉 
　本件発明３においては、「複数のガルバノスキャン系のうちの少なくとも１つを水平移動させることにより、少なくとも２つのガルバノスキャン系の間の距離を可変とする駆動機構を備え」るとともに、「第１のミラーと第２のミラーは、駆動機構により、水平移動するガルバノスキャン系と共に水平方向に移動する」ようにしたのに対して、甲２発明においては、ガルバノスキャン系、ミラー４及びミラー３を一体的に水平移動させる駆動機構がない点。　 　
　
　相違点３について検討する。
　甲１発明は、複数のワークを同時に加工するために、複数の照射光学系のうちの少なくとも一つを水平移動させることにより、少なくとも２つの照射光学系の間の距離を可変とする駆動機構を有している。　
　そして、レーザ加工分野においては、ワークの異なる箇所を加工するために、光学系自体を水平移動可能とするよう構成することは一般的な技術課題である。　
　そうすると、甲２発明のガルバノスキャン系、ミラー４及びミラー３を一体的に水平移動させるために、甲１発明の照射光学系を水平移動させる駆動機構を適用して、本件発明３の相違点３に係る構成とすることは、当業者が容易になし得たことである。　
　　 　  
　以上のとおりであるから、主とする証拠を入れ替え、甲第２号証に記載された発明に、甲第１号証に記載された技術を適用した場合においても、本件発明３は甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明から当業者が容易になし得たものであり、第６．における結論と変わりはない。　
　　
　　
第８．むすび 　 
　以上のとおり、本件発明３は、当業者が甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて、容易に発明をすることができたものであるから、本件発明３は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。 
　したがって、本件発明３についての特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきものである。
　
　審判費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。  
　よって、結論のとおり審決する。