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　特願２００６−３４６９８７「シート貼付装置及び貼付方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２０年　７月１０日出願公開、特開２００８−１５９８２９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本件出願は、平成１８年１２月２５日の特許出願であって、同２２年８月３０日付けで拒絶の理由が通知され、同年１１月５日に手続補正がなされ、同年１２月１日付けで拒絶をすべき旨の査定がされた。
　これに対し、同２３年２月８日に本件審判の請求とともに手続補正がなされ、同年４月２１日付けで審尋がされ、同年６月１日に回答書が提出され、同年８月１９日付けで拒絶の理由が通知され、同年１０月５日に手続補正がなされ、同年１０月２１日付けで最後の拒絶の理由が通知され、同年１１月２９日に手続補正（以下「本件補正」という。）がなされたものである。
　
第２．本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　
［理由］
１．補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲、明細書について補正をするものであって、請求項１について、補正前後の記載は、以下のとおりである。
　
（１）補正前（平成２３年１０月５日付け手続補正による）
「フレーム材の内側空間に接着シートが張設された支持体及び板状部材を支持する貼合用テーブルと、前記接着シートに押圧力を付与する押圧部材とを備えたシート貼付装置であって、
　前記押圧部材は、前記板状部材に対して中央部が外周側よりも接近した傾斜面若しくは曲面となる初期形状に設けられた押圧面と、初期形状が前記押圧面の外周に連なる屈曲形状に設けられた変形許容部とからなり、
　前記変形許容部を前記初期形状に対して変形させることで、前記押圧面を前記接着シートに近接させるとともに、当該押圧面を前記初期形状から前記板状部材に対して平行となるように変形させることで、中央から外周に向かって前記接着シートを板状部材に貼付することを特徴とするシート貼付装置。」
　
（２）補正後
「フレーム材の内側空間に接着シートが張設された支持体及び板状部材を支持する貼合用テーブルと、前記接着シートに押圧力を付与する押圧部材とを備えたシート貼付装置であって、
　前記押圧部材は、前記板状部材に対して中央部が外周側よりも接近した傾斜面若しくは曲面となる初期形状に設けられた押圧面と、初期形状が前記押圧面の外周に連なる屈曲形状に設けられた変形許容部と
によって閉塞された空間を形成し、当該空間の内側圧力と外側圧力との差によって
　
２．補正の適否　　　
　本件補正の特許請求の範囲の補正後の請求項１についての補正は、請求人が平成２３年１１月２９日の意見書（２）で主張するとおり、「押圧部材」について「閉塞された空間を形成し、当該空間の内側圧力と外側圧力との差によって」変形することを特定するものであり、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法（以下「改正前特許法」という。）第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「補正発明」という。）が、改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか否か（いわゆる独立特許要件）について検討する。
　
（１）補正発明
　補正発明は、本件補正により補正された明細書、特許請求の範囲、及び図面の記載からみて、上記１．（２）のとおりのものと認める。
　
（２）刊行物に記載された発明
ア．刊行物１
　これに対し、当審の拒絶理由で引用された刊行物である特開２００６−２７８９２７号公報（以下「刊行物１」という。）には、以下の事項が記載されている。
　
（ア）段落０００１
「【０００１】
　この発明は、ウエハへの各種テープの貼り付けを行う貼付方法及び貼付装置に関し、更に詳しくはウエハへの各種テープの貼り付け時にテープのランニングコストを低減し、テープ貼り付け時にローテンション化が図れるとともに、真空下で気泡等なく貼り付けることができる方法及び装置に関する。」
　
（イ）段落００６９〜００７２
「【００６９】
　次に上部チャンバ３８と下部チャンバ３７の詳細及び貼付工程時の動作を、図３IX−IX矢視図である図９（ａ）及び図１０（ｂ）を加えて説明すると、上部チャンバ３８内の上面にテープ走行方向に沿って延びたレール８７を取り付け、このレール８７にスライダ８８を嵌合し、上部チャンバ３８上に貼付ローラ駆動モータ８９を設け、この貼付ローラ駆動モータ８９の回転を上部チャンバ３８内の駆動ベルト９０に伝達し、この駆動ベルト９０にスライダ８８を取り付けることによりスライダ８８をレール８７に沿って往復走行させ、このスライダ８８の下面に昇降ユニット９１を介して上記貼付ローラ５１が取り付けられている。
【００７０】
　図９（ａ）で、下部チャンバ３７内では、両テープ支持板４２，４３の上面に貼り付けられ、かつ後端部を切断された保護テープ３は、後端側のテープ支持板４３が駆動ユニット４５の作用により図９（ａ）二点鎖線図で示すように下降し、保護テープ３の後端部がウエハ１に接近した状態となる。
【００７１】
　次に図１０（ｂ）に示すように、上部チャンバ３８が下降動して下部チャンバ３７に重なり両チャンバが密閉状態となった後、真空アダプタ５２を介して内部の空気を抜き、チャンバ内を真空状態とし、貼付ローラ５１は昇降ユニット９１の動作により下降した後、貼付ローラ駆動モータ８９の駆動によりスライダ８８と共に水平移動し、図中二点鎖線図及び矢印で示すように移動し、吸着テーブル３９上に載置したウエハ１と保護テープ３を上から押圧しながら転動し、保護テープ３はウエハ１に貼り付けされることになる。
【００７２】
　その際、貼付ローラ５１のテープ送り方向への移動に伴い、保護テープ３にはテープの傾斜に沿ったテープ送り方向とは逆の方向への張力が加わる・・・。」
　
（ウ）段落００８４
「【００８４】
　次に、図１３（ｆ）に示すように、密閉状態となったチャンバ内の空気を真空アダプタ５２を介して抜き、チャンバ内を真空状態とした後、上部チャンバ３８内に設けられていた貼付ローラ５１が下降してウエハ１の前側端部付近を保護テープ３上から押圧し、この状態で貼付ローラ５１が前進動し、ウエハ１上の保護テープ３を押圧しながら転動することにより、ウエハ１上全面にわたってテープ３を貼り付ける。」
　
（エ）図９、図１０
　貼付ローラ５１がロール状であり、貼付ローラ５１を前記保護テープ３に近接させるとともに、一端から他端に押圧しながら転動することで、保護テープ３をウエハ１に貼付すること。
　
　これらの記載事項を、図面を参照しつつ、技術常識を考慮しながら補正発明に照らして整理すると、刊行物１には以下の発明（以下、「刊行物１発明」という。）が記載されていると認める。
　
「両テープ支持板４２，４３の内側空間に保護テープ３が張設された支持体及びウエハ１を吸着テーブル３９を介して支持する下部チャンバ３７と、前記保護テープ３に押圧力を付与する貼付ローラ５１とを備えた保護テープ貼付装置であって、
　前記貼付ローラ５１はロール状であり、貼付ローラ５１を前記保護テープ３に近接させるとともに、一端から他端に押圧しながら転動することで、保護テープ３をウエハ１に貼付する保護テープ貼付装置。」
　
イ．刊行物２
　同じく特開２００４−１５３１５９号公報（以下「刊行物２」という。）には、以下の事項が記載されている。
　
（ア）段落０００１
「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、バックグラインドやダイシング等のウェハプロセスにおいて、半導体ウェハの回路形成面を保護及び補強する保護部材を貼着するための半導体ウェハの保護部材貼着方法およびその装置に関する。」
　
（イ）段落０００７
「【０００７】
また、本発明の第２の目的は、半導体ウェハに硬質性の保護部材を貼着する際に気泡の発生を抑えて密着接合することのできる半導体ウェハの保護部材貼着装置を提供することにある。」
　
（ウ）段落００２３〜００２４
「【００２３】
以下、ウェハと保護部材との貼着工程の一例を図１に基づいて説明する。ウェハと保護部材との貼着に先立って、ウェハ１１が貼着される保護部材（ガラス基板１５）に支持基板１７を、粘着剤等を介して貼り合わせる（工程ａ）。・・・。次に、ウェハ支持台１４上に載置したウェハ１１の表面に前記ガラス基板１５が対向するように前記支持基板１７を位置決めしてセットする（工程ｂ）。前記ウェハ１１は回路形成面１２に予め熱硬化型の粘着剤が一様に塗布され、前記回路形成面１２を上にした状態でウェハ支持台１４に固定される。その際、粘着性を高めるために、前記ウェハ支持台１４を加熱し、粘着剤を溶融させた状態にしておく。そして、前記支持基板１７の上方に配設される押圧膜体１９に掛かる差圧を利用した撓み変形によって支持基板１７の中心部に押圧負荷が掛かり、下に載置されたウェハ１１が圧迫した状態でガラス基板１５にウェハ１１が貼着される（工程ｃ）。また、前記押圧膜体１９の押圧作用と略同時に前記支持基板１７の外周部を支える保護部材支持台１８が上方へせり上がることで、ウェハ１１の中心部から外周部に向かって徐々に固着されていく。このように、ウェハ１１の中心部から外周部に向かう過程で接合面に溜まる空気や気泡をウェハ１１の外周部から逃すことができ、ウェハ１１とガラス基板１５との密着性をより向上させることができる。
【００２４】
図２乃至図４は、上記図１に示した貼着方法にしたがって、ウェハ１１にガラス基板１５を貼着するための貼着装置２１の構成を示したものである。この貼着装置２１は、内部が広く凹設した下チャンバ２２及び上チャンバ２３を備えており、前記ウェハ１１とガラス基板１５との貼着作業は、前記下チャンバ２２と上チャンバ２３を閉じた第１の密閉空間２４内で行われる。また、前記第１の気密空間２４内には第２の気密空間２５を備えた押圧膜体２６が配設され、この押圧膜体２６に備えられている押圧膜２７を前記下チャンバ２２内に載置した支持基板１７に向けて押圧力を加えることで、ウェハ１１に保護部材１５を貼着する構造となっている。」
　
　これらの記載事項を、図２ないし４を参照しつつ、技術常識を考慮しながら整理すると、刊行物２には以下の発明（以下、「刊行物２事項」という。）が記載されていると認める。
　
「押圧膜体２６は、ウェハ１１に対して中央部が外周側よりも接近した傾斜面若しくは曲面となる初期形状に設けられた押圧膜２７によって第２の気密空間２５を形成し、第１の密閉空間２４と第２の気密空間２５との圧力差によって、当該押圧膜２７を前記初期形状に対して変形させることで、前記押圧膜２７を前記ウェハ１１に近接させるとともに、当該押圧面を前記初期形状から変形させることで、中心部から外周部に向かって保護部材１５をウェハ１１に貼付するもの。」
　
（３）対比
　補正発明と刊行物１発明とを、技術常識を踏まえ、対比する。
　刊行物１発明の「保護テープ３」は補正発明の「接着シート」に相当し、同様に「ウエハ１」は「板状部材」に、「下部チャンバ３７」は「貼合用テーブル」に、「貼付ローラ５１」は「押圧部材」に、それぞれ相当する。
　刊行物１発明の「支持体及びウエハ１を吸着テーブル３９を介して支持する」と、補正発明の「支持体及び板状部材を支持する」とは、「支持体及び板状部材を支持する」である限りにおいて一致する。
　刊行物１発明の「両テープ支持板４２，４３」と、補正発明の「フレーム材」とは、「支持部材」である限りにおいて一致する。
　刊行物１発明の「貼付ローラ５１はロール状であり、貼付ローラ５１を前記保護テープ３に近接させるとともに、一端から他端に押圧しながら転動する」と、補正発明の「押圧部材は、前記板状部材に対して中央部が外周側よりも接近した傾斜面若しくは曲面となる初期形状に設けられた押圧面と、初期形状が前記押圧面の外周に連なる屈曲形状に設けられた変形許容部とによって閉塞された空間を形成し、当該空間の内側圧力と外側圧力との差によって前記変形許容部を前記初期形状に対して変形させることで、前記押圧面を前記接着シートに近接させるとともに、当該押圧面を前記初期形状から前記板状部材に対して平行となるように変形させることで、中央から外周に向かって」とは、「押圧部材は、押圧部位を前記接着シートに近接させるとともに、当該押圧部位を移動させる」である限りにおいて一致する。
　
　したがって、補正発明と刊行物１発明とは、次の点で一致している。
「支持部材の内側空間に接着シートが張設された支持体及び板状部材を支持する貼合用テーブルと、前記接着シートに押圧力を付与する押圧部材とを備えたシート貼付装置であって、
　前記押圧部材は、押圧部位を前記接着シートに近接させるとともに、当該押圧部位を移動させることで、前記接着シートを板状部材に貼付するシート貼付装置。」
　
　そして、補正発明と刊行物１発明とは、以下の点で相違している。
　相違点１：「支持部材」について、補正発明は「フレーム材」であるが、刊行物１発明は「両テープ支持板４２，４３」である点。
　相違点２：「貼合用テーブル」について、補正発明は「支持体及び板状部材を支持する」ものであるが、刊行物１発明は「支持体及びウエハ１を吸着テーブル３９を介して支持する」ものである点。
　相違点３：「押圧部材」について、補正発明は「板状部材に対して中央部が外周側よりも接近した傾斜面若しくは曲面となる初期形状に設けられた押圧面と、初期形状が前記押圧面の外周に連なる屈曲形状に設けられた変形許容部とによって閉塞された空間を形成し、当該空間の内側圧力と外側圧力との差によって前記変形許容部を前記初期形状に対して変形させることで、前記押圧面を前記接着シートに近接させるとともに、当該押圧面を前記初期形状から前記板状部材に対して平行となるように変形させることで、中央から外周に向かって」貼付するが、刊行物１発明は「ロール状であり、貼付ローラ５１を前記保護テープ３に近接させるとともに、一端から他端に押圧しながら転動する」ものである点。
　
（４）相違点の検討
　相違点１について検討する。
　支持部材の機能は、接着シートを張設することであり、その形状は適宜選択しうるから、支持部材を補正発明のごとく「フレーム材」とすることは、設計的事項にすぎない。
　
　相違点２について検討する。
　補正発明は、「支持体及び板状部材を支持する」ものであるから、他の部材を介して間接的に支持するものを含む。
　よって、この点は、実質的相違点ではない。
　仮に、実質的相違点であるとして、一応、検討する。
　直接支持、間接支持、いずれも周知であり、適宜選択されている。直接支持とすることで、部材点数の減少に寄与することは明らかである。
　刊行物１発明において、直接支持しえない事情は見いだせないから、この点は設計的事項にすぎない。
　
　相違点３について検討する。
　刊行物２事項は、上記のとおりであり、「気泡の発生を抑えて密着接合」しうるものである。
　刊行物２事項を補正発明に照らすと、刊行物２事項の「押圧膜体２６」は補正発明の「押圧部材」に、「ウェハ１１」は「板状部材」に、「押圧膜２７」は「押圧面」に、「第２の気密空間２５」は「閉塞された空間」に、「第１の密閉空間２４と第２の気密空間２５との圧力差」は「空間の内側圧力と外側圧力との差」に、「中心部から外周部に向かって」は「中央から外周に向かって」に、「保護部材１５」は「接着シート」に、それぞれ相当する。
　よって、刊行物２事項を補正発明に照らし、書き改めると、以下のとおりである。　
　
「押圧部材は、板状部材に対して中央部が外周側よりも接近した傾斜面若しくは曲面となる初期形状に設けられた押圧面によって閉塞された空間を形成し、当該空間の内側圧力と外側圧力との差によって当該押圧面を前記初期形状に対して変形させることで、前記押圧面を前記板状部材に近接させるとともに、当該押圧面を前記初期形状から変形させることで、中心部から外周部に向かって接着シートを板状部材に貼付するもの。」
　
　接着シートを板状部材に貼付する際、両者間に気泡が発生すると、密着性が劣り、板状部材に悪影響を与える。そのため、刊行物１発明においても、気泡の発生を抑えることが望ましい。
　刊行物２事項は、上記（２）イ．（ウ）の段落００２３のとおり、気泡の発生を防ぎ密着性をより向上されるものであるから、刊行物１発明に、刊行物２事項を適用する動機が存する。
　また、「屈曲形状に設けられた変形許容部」は、拒絶理由に周知例として示した特開平４−３５１８１３号公報のほか、一般的ダイアフラムにみられるごとく周知である。
　刊行物２事項において、押圧面は板状部材に近接し、初期形状から変形することになるが、変形を容易にするため、周知である「屈曲形状に設けられた変形許容部」を付加することは、設計的事項である。
　よって、「屈曲形状に設けられた変形許容部」を付加した上で、刊行物２事項を刊行物１発明に適用することに、困難性は認められない。
　その結果、「押圧面は初期形状から板状部材に対して平行となるように変形」することになる。
　以上、相違点３は、格別なものではない。
　
　請求人は、意見書（５−２）で、周知例として示した特開平４−３５１８１３号公報は、「技術分野の関連性が全くないばかりでなく、課題、作用、機能についての共通性も全くない」旨、主張する。
　しかし、上記のとおり、「屈曲形状に設けられた変形許容部」は、「変形許容」という機能が求められるものであって、この点において、「課題、作用、機能」が共通するから、請求人の主張は根拠がない。
　請求人は、また、意見書（５−４）で、「貼合用テーブル３１によりフレーム材Ｆの内側空間に接着シートＳを張設した支持体１１を支持するので、上部ケース５０と下部ケース３６とを合わせて第１、第２空間Ｓ１、Ｓ２を形成したときに、接着シートＳと押圧面４１との間に十分なクリアランスを確保することができる」という効果を主張する。
　しかし、「上部ケース５０と下部ケース３６とを合わせて第１、第２空間Ｓ１、Ｓ２を形成」なる点は、請求項１に特定されていないから、請求人の主張は根拠がない。
　仮に、特定されていたとしても、刊行物２記載のものは、下チャンバ２２、上チャンバ２３により、第１の密閉空間２４（請求人主張のＳ１）、第２の密閉空間２５（請求人主張のＳ２）を形成するから、請求人の主張は根拠がない。
　
　以上のことから、補正発明は、刊行物１発明、刊行物２事項、周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際、独立して特許を受けることができないものである。
　
３．むすび
　したがって、本件補正は、改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３．本願発明について
１．本願発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項１に係る発明は、平成２３年１０月５日付けで補正された明細書、特許請求の範囲、及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、上記第２．１．（１）に示す請求項１に記載されたとおりである。
　
２．刊行物等
　これに対して、当審で通知した拒絶理由で引用された刊行物１、刊行物２、その記載内容等は、上記第２．２．（２）に示したとおりである。
　
３．対比
　本願発明は、補正発明において付加された事項を削除するものである。
　そうすると、本願発明も、上記第２．２．（４）と同様の理由により、刊行物１発明、刊行物２事項、及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　したがって、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないことから、本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。