【事件の表示】
　特願２００４−５６７０３７「静電センサ」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　８月　５日国際公開、ＷＯ２００４／０６５９７１、平成１８年　４月２０日国内公表、特表２００６−５１３４２９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
　
１．手続の経緯・原査定の拒絶の理由
　特許出願：　平成１５年１２月１９日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２００３年１月１８日、英国）
　拒絶理由通知：　平成２０年１１月２０日（発送日：同年１１月２５日）
　手続補正：　　平成２１年２月２４日 （以下、「補正１」という。）
　拒絶理由通知：　平成２１年１０月２３日（発送日：同年１０月２７日）
　拒絶査定：　　　平成２２年１０月７日（送達日：同年１０月１２日）
　拒絶査定不服審判の請求：　平成２３年２月１０日 
　　
　そして、原査定の拒絶の理由は、平成２１年１０月２３日付け拒絶理由通知書に記載のとおり、本願の特許請求の範囲に記載の各発明は、本願の優先日前に国内又は外国において頒布された刊行物である特開平７−７２１９６号公報（発明の名称：静電位レベル測定装置、出願人：株式会社シグマテック、公開日：平成７年３月１７日、以下、「引用例１」という。）に記載された発明、及び同じく特開平１１−２１１７７０号公報（発明の名称：静電気評価装置、出願人：株式会社アドバンスト・ディスプレイ、公開日：平成１１年８月６日、以下、「引用例２」という。）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができた、というものである。
　
　
２．本願発明
　本願の請求項１ないし１５に係る発明は、補正１によって補正された特許請求の範囲、及び明細書、図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし１５に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明は次のとおりである。 
　
「静電センサ素子（１２）の配列を備えたセンサ（１０）であって、
　前記センサが感知対象物の領域に向けられたとき、それぞれの前記静電センサ素子が出力信号（１６）を生成することができ、
　前記出力信号（１６）がセンサ出力において個別に利用可能であって、前記領域における帯電分布に関係する情報を提供し、
　更に、前記センサが、前記出力信号を表示して複数のピクセルを有する画像を表示する表示装置（３４）を具備し、それぞれの前記ピクセルの表示輝度又は表示色が、前記センサ素子によって感知された電荷の大きさ又は極性によって決定されるセンサ（１０）。」（以下、「本願発明」という。） 
　
　
３．引用例記載の事項・引用発明
　これに対して、引用例１（特開平７−７２１９６号公報）には、静電位レベル測定装置（発明の名称）に関し、次の事項（ａ）〜（ｄ）が図面とともに記載されている。
　
（ａ）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、静電位センサアレイを用いて半導体ウェハやマスク板、液晶ディスプレイ用基板等の被測定物表面の静電位レベルを測定してその分布状態を表示する静電位レベル測定装置に関する。」
　
（ｂ）「【００１７】
【発明が解決しようとする課題】現在では、上記各種の静電気測定器を用いて測定者が被測定物の各部の静電位レベルを個別に測定し、これが許容範囲内にあるかどうか等の評価を行っている。しかるに、この方法によると静電位レベルの測定やそのデータ整理に多くの人手や時間がかかり、測定誤差や整理ミスを生じやすいと共に、製造ライン上において測定結果を除電処理に即座に反映させる等の対応が難しい。従って、従来では事実上、製造ラインにおける表面電位分布の評価や管理は不可能に近いものであった。
【００１８】本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、表面積が大きい被測定物に対してその全域にわたる静電位レベルを自動的に測定可能として製造ライン上における表面電位分布の評価や管理を容易にした静電位レベル測定装置を提供することにある。
【００１９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため、本発明は、相対的に移動する被測定物の上方に配置され、被測定物表面の多数の測定ポイントにおける静電位レベルを測定する静電位センサアレイと、静電位センサアレイによる測定信号を処理し、ディスプレイ上に各測定ポイントごとの静電位分布をマッピング表示する手段とを備えたものである。」
　
（ｃ）「【００２１】
【実施例】以下、図に沿って本発明の実施例を説明する。図１はこの実施例の静電位レベル測定装置の概略的な構成を示している。図において、１は一定速度で移動するベルトコンベアであり、このベルトコンベア１上には、表面各部の静電位レベル、言い換えれば表面の静電位分布状態を測定するべき半導体ウェハやマスク板、液晶ディスプレイ用基板等の被測定物２が載置されている。
【００２２】ベルトコンベア１の上方には、例えば振動容量形静電気測定器の静電位センサアレイ３が配置されている。なお、このセンサアレイ３は、他種の静電気測定器のセンサアレイでも良い。上記センサアレイ３は一軸スキャナ４に取付けられており、被測定物２が静止しているようなシステムでは、センサアレイ３が図の左右方向に移動することにより被測定物２の全表面をスキャンできるように配慮されている。
【００２３】５は測定装置本体であり、この本体５には、センサアレイ３による測定信号を処理し、その結果をＣＲＴディスプレイ６やプリンタ７に出力させると共に、一軸スキャナ４の駆動制御を行うマイクロコンピュータ（図示せず）が内蔵されている。また、測定結果は通信インタフェイスを介して外部にデータ伝送できるようになっており、測定結果を集中的に管理するほか、製造工程におけるその後の除電工程に測定結果を利用することができる。」
　
（ｄ）「【００２４】次に、この実施例の動作を説明すると、被測定物２の表面各部の静電位レベルは、静電位センサアレイ３と被測定物２との相対的な移動速度と、アレイ３の個々の位置に応じて検出される。例えば、被測定物２が４０〔ｃｍ〕角のガラス基板であってセンサアレイ３のピッチが２０〔ｍｍ〕、移動方向の検出範囲が２０〔ｍｍ〕であり、移動速度が４０〔ｍｍ／ｓｅｃ〕であるとすれば、少なくとも１０〔ｓｅｃ〕で４００ポイントの静電位レベルを測定することができる。これらの測定データは、本体５内のメモリに記憶され、以下に述べるようなマッピング処理が実行される。
【００２５】すなわち、各測定ポイントの静電位レベルのしきい値を例えば±１〔ｋＶ〕と設定しておき、測定した静電位レベルがしきい値を越える場合には、ＣＲＴディスプレイ６内のその測定ポイントにドットを表示させることにより静電位レベルをマッピングする。図２はこのマッピング例である。そして、このドットの数が全体で所定値（例えば１００個）を越える場合には被測定物２が著しく帯電していると判断し、アラーム信号を出力させて次の製造工程に進むか否かの判断を待つようにする。
【００２６】なお、上記マッピング結果は、必要に応じてプリンタ７によりハードコピーとして出力させることもできる。また、測定ポイント数やマッピングのためのしきい値、アラーム信号を出力させるためのドット数等は任意に設定可能である。各測定ポイントの静電位レベルは、例えば１〔ｋＶ〕を越えるごとにドット数を一つずつ増やすようにしても良い。これにより、ドットが密である部分は特に静電位レベルが高いことを視覚的に認識できるようになる。」
　
　上記（ｄ）に「被測定物２の表面各部の静電位レベルは、・・・アレイ３の個々の位置に応じて検出される。」とあることから、被測定物に向けられたとき、静電位センサアレイ中のそれぞれの静電位センサが何らかの出力信号を生成すること、及び前記出力信号が個別に利用可能であり、被測定物の静電位分布に関係する情報を提供するものであることは明らかである。
　したがって、以上の記載（ａ）ないし（ｄ）、及び図１、図２の記載から、引用例１には次の発明が記載されていると認められる。
　
「静電位センサアレイを備えた測定装置であって、
　被測定物に向けられたとき、それぞれの静電位センサが出力信号を生成することができ、　
　前記出力信号が個別に利用可能であって、被測定物の静電位分布に関係する情報を提供し、
　更に、前記出力信号を表示して複数の測定ポイントを示す画像を表示するＣＲＴディスプレイを具備し、それぞれの前記測定ポイントにおけるドット数が、前記静電位センサによって感知された静電位レベルによって決定される測定装置。」（以下、「引用発明」という。）
　
　
４．対比
　本願発明と引用発明とを、構成要件毎に順次対比する。
　
　引用発明における「静電位センサアレイを備えた測定装置」は、本願発明における「静電センサ素子（１２）の配列を備えたセンサ（１０）」に相当する。
　同様に、引用発明における「被測定物に向けられたとき、それぞれの静電位センサが出力信号を生成することができ」は、本願発明における「前記センサが感知対象物の領域に向けられたとき、それぞれの前記静電センサ素子が出力信号（１６）を生成することができ」に相当し、引用発明における「前記出力信号が個別に利用可能であって、被測定物の静電位分布に関係する情報を提供し」は、本願発明における「前記出力信号（１６）がセンサ出力において個別に利用可能であって、前記領域における帯電分布に関係する情報を提供し」に相当し、引用発明における「前記出力信号を表示して複数の測定ポイントを示す画像を表示するＣＲＴディスプレイを具備し」は、本願発明における「前記センサが、前記出力信号を表示して複数のピクセルを有する画像を表示する表示装置（３４）を具備し」に相当する。
　また、上記相当関係を踏まえると、引用発明における「それぞれの前記測定ポイントにおけるドット数が、前記静電位センサによって感知された静電位レベルによって決定される」ことも、本願発明における「それぞれの前記ピクセルの表示輝度又は表示色が、前記センサ素子によって感知された電荷の大きさ又は極性によって決定される」ことも、「それぞれの前記ピクセル（測定ポイント）の表示が、前記センサ素子（静電位センサ）によって感知された電荷（静電位レベル）に応じて決定される」点で共通する。
　
　してみると、両者の一致点及び相違点は、以下のとおりである。
　
（一致点）
「静電センサ素子（１２）の配列を備えたセンサ（１０）であって、
　前記センサが感知対象物の領域に向けられたとき、それぞれの前記静電センサ素子が出力信号（１６）を生成することができ、
　前記出力信号（１６）がセンサ出力において個別に利用可能であって、前記領域における帯電分布に関係する情報を提供し、
　更に、前記センサが、前記出力信号を表示して複数のピクセルを有する画像を表示する表示装置（３４）を具備し、それぞれの前記ピクセルの表示が、前記センサ素子によって感知された電荷に応じて決定されるセンサ（１０）。」
　
（相違点）
　センサ素子によって感知された電荷に応じて決定されるピクセルの表示が、引用発明においては、ドット数により表されるのに対し、本願発明においては、ピクセルの表示輝度又は表示色により表されている点。
　
　
５．判断
　上記相違点について検討する。
　引用例２（特開平１１−２１１７７０号公報）には、次の事項（ａ）〜（ｃ）が図面とともに記載されている。
　
（ａ）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は静電気評価装置に関する。さらに詳しくは、液晶表示装置のガラス基板や半導体ウエハなどの絶縁性基板である被測定物に発生した静電気を評価するのに用いられる静電気評価装置に関する。」
　
（ｂ）「【０００３】静電気の面内分布を測定するための装置としては、特開平７−７２１９６号公報に示される静電位レベル測定装置がある。この装置は、図３に示すように、ベルトコンベア１０１上を移動する被測定物１０２と、被測定物１０２の上方に配置され、被測定物１０２の表面の多数の測定ポイントにおける静電位レベルを測定する静電位センサアレイ１０３と、静電位センサアレイ１０３による測定信号を処理し、ディスプレイ１０４上に各測定ポイント毎の静電位分布をマッピング表示する装置本体１０５からなっている。」
　
（ｃ）「【００１０】図１〜２に示すように、本発明の一実施の形態にかかわる静電気評価装置は、被測定物１を接地面（ステージ表面）２に接触させず、かつ、該被測定物１の面内全ての点で接地面２からの距離が一定になるように保持するための、絶縁スペーサ３が取り付けられた接地ステージ４を有する装置本体５と、前記絶縁スペーサ３に保持された被測定物１から一定距離隔てて保持された電界強度検出用プローブ６と、該プローブ６を保持し、かつ、前記被測定物１の面内のＸ−Ｙ方向に駆動させる駆動装置７と、該駆動装置７によりＸ−Ｙ方向に駆動させながらプローブ６からの電位信号を検出し、被測定物１の表面電位の面内分布を画面上に表示できるように構成された計算機と、容易に移動できるように前記装置本体５の下部に取り付けられるキャスター８とを備えている。接地されたＳＵＳ製平板の接地ステージ４の表面上に、接地面２から１ｍｍ突出するようにＰＴＦＥ製の絶縁スペーサ３が設置されている。該スペーサ３のステージ表面に平行な面での断面は１ｍｍ×１ｍｍの正方形である。スペーサ３は、接地ステージ４上に１００ｍｍ間隔で設置されている。
【００１１】前記被測定物１は、たとえば大きさ４１０ｍｍ×５２０ｍｍ、厚さ０．７ｍｍのガラス基板である。このガラス基板の上面から１０ｍｍ上方に、すなわち接地ステージ４の表面から１１．７ｍｍ上方に、電界強度検出用のプローブ６が、矢印Ｙ方向に２０ｍｍ間隔で２５本設置されている。このプローブ６を矢印Ｘ方向と矢印Ｙ方向（Ｘ−Ｙ方向）に連続的に走査するための駆動装置７により、プローブ６は、たとえばＸ方向には５２０ｍｍ以上、Ｙ方向には１５ｍｍ以上走査できるようにされている。前記駆動装置７としては、たとえば精密ボールねじを組み込んだＸＹテーブルなどを用いることができる。
【００１２】つぎに、本実施の形態にかかわる静電気評価装置の動作を説明する。まずプローブ６がＹ方向に固定された状態でＸ方向に８０ｍｍ／ｓｅｃの速度で移動しながら、５ｍｓｅｃ毎にプローブ６からの電位データをサンプリングし、５ｍｍ移動するまでにサンプリングしたデータ（１２〜１３個）の中のピーク値を１つ選択し、これを最初の測定点の測定値とする。このように、サンプリングデータのピーク値（絶対値の最大値）を選択することにより、最も高い電位を逃さずに検出できる。そしてつぎの５ｍｍを移動する際も同様に測定を行なう。このようにＸ方向に５２０ｍｍ移動するあいだに、５ｍｍごとの測定値がえられる。ついでプローブ６をＹ方向に５ｍｍ移動したのち、再びＸ方向に５２０ｍｍまで、同様に測定を行なう。これを合計４回繰り返すことにより、５２０ｍｍ×４１０ｍｍのガラス基板の全面にわたって５ｍｍ間隔で電位分布が測定できる。これら全ての測定点において、接地ステージ４からの距離が等しいので接地面に対する静電容量は一定であり、したがって、えられた電位分布は、そのまま静電気の分布である。
【００１３】測定された電位分布の計算機画面９への表示方法は、つぎの３つから選択できるようにされている。
【００１４】濃淡表示モード：表面電位の測定値の高低（大小）に応じて、濃淡で表示する。これにより、電位の絶対的な大小が把握できる。濃淡は、電位のフルスケールの設定で調整できるようにされている。
【００１５】極性別濃淡表示モード：正極性は赤、負極性は青で、かつ、それぞれの極性で濃淡表示される。これにより、極性も含めた帯電の状態が把握できる。濃淡は、電位のフルスケールの設定で調整できるようにされている。」
　
　してみると、引用例２の特に段落【００１３】〜【００１５】には、静電位分布を画面表示する際に、電位の大小や極性によって、濃淡（本願発明の表示輝度に相当）や表示色を決定するようにした静電気評価装置についての発明が開示されている。
　引用発明と引用例２に記載の発明とは、いずれも対象物の静電位分布を測定、表示する装置である点で共通しており（引用例２の段落【０００３】には、従来技術の例として引用例１が引用されている）、引用例２の濃淡や表示色を用いた表示を行う構成を、引用発明におけるドット数を用いた表示に替えて採用する程度のことは、当業者ならば容易に想到し得たことである。
　
　そして、本願発明の作用効果も、引用発明及び引用例２に記載の発明から当業者が予測可能なものであって格別のものではない。
　
　
　なお付言するに、上記５．判断（ａ）〜（ｃ）及び図１、図２の記載から、引用例２には、次の発明が記載されているものと認められる。
　
「電界強度検出用のプローブ６が２５本設置された静電気評価装置であって、
　被測定物１に向けられたとき、それぞれのプローブ６が出力信号を生成することができ、
　前記出力信号が個別に利用可能であって、被測定物１の静電位分布に関係する情報を提供し、
　更に、前記出力信号を表示して複数の測定ポイントを示す画像を表示する計算機画面９を具備し、それぞれの前記測定ポイントの濃淡又は表示色が、前記プローブによって感知された電荷の大きさ又は極性によって決定される静電気評価装置。」（以下、「引用例２に記載の発明１」という。）
　
　上記引用例２に記載の発明１と本願発明とを対比すると、両者の間に実質的な差異はない。　
　したがって、本願発明は、引用例２に記載された発明１であり、また引用例２に記載の発明１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもあるといえる。
　
　
６．むすび
　したがって、本願発明は、引用発明及び引用例２に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　以上のとおりであるから、他の請求項に係る発明について審理するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。