【手続補正書】
【提出日】平成18年2月14日(2006.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面光波回路であって、
熱的補償をする第一導波管を備え、
前記第一導波管は、
クラッディングと
前記クラッディングによって実質的に閉じ込められたコアと
を備え、
前記コアは、前記コアを通って長手方向に走る、負熱光定数を有する第一領域および正熱光定数を有する第二領域を有し、
前記第一領域は前期第二領域の中心部を通って実質的に長手方向に走る、
平面光波回路。
【請求項２】
前記第一領域はポリマーを含む、請求項１に記載の平面光波回路。
【請求項３】
前記ポリマーはシリコン、ＰＭＭＡ、またはＢＣＢを含む、請求項２に記載の平面光波回路。
【請求項４】
前記第二領域はドープされたシリカを含む、請求項１に記載の平面光波回路。
【請求項５】
前記第一領域は、前記第二領域の中心部を通って走る囲まれたチャンネルを形成する、請求項１に記載の平面光波回路。
【請求項６】
前記平面光波回路は干渉計を含む、請求項１に記載の平面光波回路。
【請求項７】
前記平面光波回路はMach Zehnder 干渉計を含む、請求項６に記載の平面光波回路。
【請求項８】
前記平面光波回路は前記第一導波管に接続されたカプラーを含む、請求項１に記載の平面光波回路。
【請求項９】
前記平面光波回路はアレー導波管グレーティングを含む、請求項１に記載の平面光波回路。
【請求項１０】
熱的補償しない第二導波管
を更に備え、
前記第二導波管は、正熱光定数を有する単一素材を含むコアを有する、
請求項１に記載の平面光波回路。
【請求項１１】
前記第一導波管はおよそ１００℃の範囲に亘って熱補償している、請求項１に記載の平面光波回路。
【請求項１２】
前記第一導波管は１０ｍｍまで下る曲げ半径を持つ、請求項１１に記載の平面光波回路。
【請求項１３】
前記第一領域は２／３以上の深さで前記第二領域中に延びる、請求項１に記載の平面光波回路。
【請求項１４】
前記第二領域はポリマーを含む、請求項１に記載の平面光波回路。
【請求項１５】
前記第一領域の幅はおよそ１ミクロン以下である、請求項１に記載の平面光波回路。
【請求項１６】
前記第一領域は、前記コアの長手方向に沿って前記コアに形成されたトレンチに負熱光定数を有する素材が堆積されて形成される、請求項１に記載の平面光波回路。
【請求項１７】
前記トレンチの幅は、前記第一導波管を伝播する光信号の波長より短く設定される、請求項１６に記載の平面光波回路。
【請求項１８】
前記クラッディングは、
上部に前記コアが堆積された下部クラッディングと、
前記コアの上部に堆積された上部クラッディングと
を有し、
前記第一領域は、前記上部クラッディングを貫通して前記コアに形成された前記トレンチに負熱光定数を有する素材が堆積されて形成される、
請求項１６に記載の平面光波回路。
【請求項１９】
導波管を作る方法であって、
導波管の第一コア部分を形成する段階であって、前記第一コア部分が正熱光定数を有する段階と、
負熱光定数を有する素材で前記第一コア部分を実質的に覆うことによって第二コア部分を形成する段階と、
前記第一コア部分と前記第二コア部分を実質的に囲むクラッディングを形成する段階と
を備える、方法。
【請求項２０】
第二コア部分を形成する段階は、
前記第一コア部分を第一ポリマーで覆う段階
を更に有する、請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
ポリマーで前記第一コア部分を覆う段階は、
およそ１．４５から１．６の屈折率を有する第一ポリマーで前記第一コア部分を被う段階
を更に有する、請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
前記第一コア部分を第一ポリマーで覆う段階は、
前記第一ポリマーを前記第一コア部分の周りに紡績工程を介して蓄積する段階
を更に有する、請求項２０に記載の方法。
【請求項２３】
前記クラッディングを形成する段階は、
前記第一および第二コア部分を第二ポリマーで覆う段階
を更に有する、請求項２０に記載の方法。
【請求項２４】
前記第一および第二コア部分を第二ポリマーで覆う段階は、
前記第一および第二コア部分を前記第一ポリマーのそれよりおよそ０．０１から０．０５小さい屈折率を有する第二ポリマーで被う段階
を更に有する、請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
平面光波回路であって、
電気／光変換器または光／電気変換器である電気的構成要素と、
前記電気的構成要素に接続される導波管と
を備え、
前記導波管は光信号を伝播することができるコアを有し、前記コアは正熱光定数を有する第一素材と負熱光定数を有する第二素材とを含み、前記第一素材は前記第二素材の中心部分を実質的に通って走る、
平面光波回路。
【請求項２６】
前記第一素材は前記コアを前記コアの長さに沿って二つの部分に割る、請求項２５に記載の平面光波回路。
【請求項２７】
前記第一素材は、前記平面光波回路の一次平面に実質的に平行な平面中に横たわる、請求項２６に記載の平面光波回路。
【請求項２８】
前記第一素材は、前記平面光波回路の一次平面に実質的に垂直な平面中に横たわる、請求項２６に記載の平面光波回路。
【請求項２９】
前記第一素材はポリマーを含む、請求項２５に記載の平面光波回路。
【請求項３０】
前記第二素材はドープされたシリカを含む、請求項２９に記載の平面光波回路。
【請求項３１】
前記第二素材はポリマーを含む、請求項２９に記載の平面光波回路。
【請求項３２】
前記電気的構成要素は温度調整器である、請求項２５に記載の平面光波回路。
【請求項３３】
平面導波管を通して光信号をガイドする一つの方法であって、前記光信号が光界を有し、前記方法は、
負熱光定数を有する第一素材中の前記光界の第一部分をガイドする段階と、
正熱光定数を有する第二素材中の前記光界の第二部分をガイドする段階と
を備え、前記第一素材と前記第二素材とが前記平面導波管のコアを含み、前記第二素材は実質的に前記第一素材によって囲まれている、
方法。
【請求項３４】
前記光界の前記第一部分と前記光界の前記第二部分は実質的に同心である、請求項３３に記載の方法。
【請求項３５】
前記光界の前記第二部分は前記光界の前記第一部分内でガイドされる、請求項３３に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
複数の光回路は、以下に限らないが、複数の光源、複数の検出器および／または分割、結合、組合せ、多重化、非多重化、および開閉などの複数の機能のような複数の機能を提供する複数の導波管を含む。複数の平面光波回路（ＰＬＣＳ）は、１つのウエハの平面中で製造され動作する複数の光回路である。ＰＬＣ技術は有利である。なぜならば、それは多くの異なるタイプの複数の光装置、例えば複数のアレー導波管グレーティング（ＡＷＧ）フィルター、複数の光アド／ドロップ（デ）マルチプレクサ、複数の光スイッチ、モノリシック、ならびに、複数のハイブリッド光電子集積装置のようなものを形成するのに使われるからである。複数の光ファイバーで形成されるような複数の装置は、通常、大変大きいいか、あるいは全く実現できないかであろう。更に、複数のＰＬＣ構造は、１つのシリコン・ウエハ上で大量生産され得る。なお、本出願の国際調査、又は対応米国出願の米国での審査において、下記の特許文献及び非特許文献が発見されている。
【特許文献１】米国特許第６３１１００４号明細書
【特許文献２】米国特許第６００２８２３号明細書
【特許文献３】米国特許第６１１８９０９号明細書
【特許文献４】欧州特許第１０２６５２６号明細書
【非特許文献１】Kokubun Y et al.; "ATHERMAL NARROW-BAND OPTICAL FILTER AT 1.55 MUM WAVELENGTH BY SILICA-BASED ATHERMAL WAVEGUIDE", IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS, Aug. 1998, INSTITUTE OF ELECTRONICS INFORMATION AND COMM. ENG. TOKYO, vol. E81-C, No. 8 pp 1187-1194
【非特許文献２】Kokubun Y et al.; "Three-dimensional athermal waveguides for temperature independent lightwave devices", ELECTRONICS LETTERS, July 21 1994, IEE STEVENAGE, vol. 30, no. 15, pp 1223-1224
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
従って、熱的に補償された平面光波回路を作る１つの機器および方法が開示される。しかしながら、ここに説明の具体的な複数の実施形態と複数の方法は全て、単なる図解のためのものにすぎない。例えば、導波管を熱的に補償する全ての技法は、１つのＳＯＳ構造の言葉で説明したが、この技法は、ＳＯＳ構造だけに限られたものではない。形状および詳細における数多くの修正が、下に請求のような本発明の範囲から離れることなくなされ得る。本発明は、添付された複数の全ての請求項の範囲によってのみ、制限されるものである。なお、第一領域が、第二領域の中心部を通って走る一つの囲まれたチャンネルを形成してよい。また、平面光波回路が一つのMach Zehnder 干渉計を含んでよい。また、熱的補償しない一つの第二導波管を更に備え、第二導波管が、一つの正熱光定数を有する一つの単一素材を含む一つのコアを備えてよい。また、内部コアの幅がおよそ１ミクロン以下であってよい。なお、コアが一つの第一素材と一つの第二素材を含み、第一素材がコアをコアの一つの長さに沿って二つの部分に割ってよい。また、第一素材が、平面光波回路の一つの一次平面に実質的に平行な一つの平面中に横たわってよい。第一素材が、平面光波回路の一つの一次平面に実質的に垂直な一つの平面中に横たわってよい。また、第二素材がドープされたシリカを含んでよい。また、電気的構成要素が一つの温度調整器であってよい。なお、一つの平面導波管を通して光信号をガイドする一つの方法であって、前記光信号が一つの光界を有し、当該方法が、一つの第一材料中の前記光界の一つの第一部分をガイドする段階と、一つの第二素材中の前記光界の一つの第二部分をガイドする段階とを備え、前記第一素材と前記第二素材が前記平面導波管の一つのコアを含み、前記第一素材が一つの負熱光定数を有し、前記第二素材が正熱光定数を有し、前記第二素材が実質的に前記第一素材によって囲まれている。また、光界の第一部分と光界の第二部分が実質的に同心であってよい。また、光界の第二部分が光界の第一部分内でガイドされてよい。