【手続補正書】
【提出日】平成18年5月29日(2006.5.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置であって、
プラットフォームであって、
試料台と、
複数の第１のインターフェイスであって、この複数の第１のインターフェイスのそれぞれは複数のマニピュレータ・モジュールの１つを受け入れ、電気的に通信するように構成され、前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれは前記試料台上に配置された試料を操作するように構成されているものである、前記複数の第１のインターフェイスと
を有するプラットフェ-ムと、
前記プラットフォームと顕微鏡の内部とを結合するように構成された第２のインターフェイスと
を有する装置。
【請求項２】
請求項１記載の装置において、前記第２のインターフェイスは、前記プラットフォームと前記顕微鏡の内部を取外し自在に結合するように構成されているものである。
【請求項３】
請求項１記載の装置において、前記複数の第１のインターフェイスはそれぞれ、前記プラットフォームと前記複数のマニピュレータ・モジュールの１つを取外し自在に、電気的に、及び機械的に結合するように構成されているものである。
【請求項４】
請求項１記載の装置において、前記第２のインターフェイス及び前記プラットフォームは直接結合されるものである。
【請求項５】
請求項１記載の装置において、前記第２のインターフェイス及び前記プラットフォームは不可欠なものである。
【請求項６】
請求項１記載の装置において、前記顕微鏡は光学顕微鏡を含むものである。
【請求項７】
請求項１記載の装置において、前記顕微鏡は電子顕微鏡を含むものである。
【請求項８】
請求項１記載の装置において、前記顕微鏡は走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）を含むものである。
【請求項９】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記顕微鏡を有するものである。
【請求項１０】
請求項１記載の装置において、前記複数の第１のインターフェイスはぞれぞれ、制御システムと前記複数のマニピュレータ・モジュールの対応する１つとの間の複数の接続の少なくとも１つの少なくとも一部として構成され、前記制御システムは、指令信号を複数の接続を介して前記複数のマニピュレータ・モジュールと電気的に通信するように構成されているものである。
【請求項１１】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数の第１のインターフェイスの対応する１つを（少なくとも部分的に）介して前記複数のマニピュレータ・モジュールの１つと接続する制御システムを有し、前記制御システムは指令信号を前記複数の第１のインターフェイスに対応する１つを（少なくとも部分的に）介して、前記複数のマニピュレータ・モジュールと電気的に通信するように構成されているものである。
【請求項１２】
請求項１記載の装置において、
前記複数の第１のインターフェイスの少なくとも１つは、少なくとも１つの第１の電気接点を含み、
前記複数の第１のインターフェイスの少なくとも１つに対応する前記複数のマニピュレータ・モジュールの少なくとも１つは、前記少なくとも１つの第１の電気接点に対応する少なくとも１つの第２の電気接点を含むものであり、
前記複数の第１のインターフェイスの少なくとも１つが前記複数のマニピュレータ・モジュールの対応する１つを受け入れるときに、前記少なくとも１つの第２の電気接点は、前記少なくとも１つの第１の電気接点に電気的に接触するように構成されているものである。
【請求項１３】
請求項１記載の装置において、
前記プラットフォームは複数の第１の導電性トレースを含み、
前記複数の第１のインターフェイスはそれぞれ、複数の第２の導電性トレースの少なくとも１つを含み、
前記複数のマニピュレータ・モジュールはそれぞれ、複数の第３の導電性トレースの少なくとも１つを含み、
前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれは、
前記複数の第１の導電性トレースの少なくとも１つと、
前記複数の第２の導電性トレースの少なくとも１つと、
前記複数の第３の導電性トレースの少なくとも１つと
により集合的に前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれと接続する制御システムにより制御されるものである。
【請求項１４】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールの少なくとも１つの特性を検出するように構成された少なくとも１つのセンサーを有するものである。
【請求項１５】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールの少なくとも１つの特性を検出し、対応する信号を制御システムに通信するように構成されたセンサーを有するものである。
【請求項１６】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールが前記複数の第１のインターフェイスの１つに受け入れられるとき、前記複数のマニピュレータ・モジュールの１つの特性を検出するように構成された制御システムとセンサーとを有し、前記複数の第１のインターフェイスの１つは、前記複数のインターフェイスの１つにより前記複数のマニピュレータ・モジュールの１つを（少なくとも部分的に）受け入れることにより前記制御システムを前記複数のマニピュレータ・モジュールの１つに接続するように構成され、前記制御システムは監視することにより、リアルタイムで検出された特性に適応するように構成されているものである。
【請求項１７】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
制御システムであって、
指令信号を前記複数のマニピュレータ・モジュールと電気的に通信し、
前記顕微鏡の結像システムと協動して、指令信号によりリアルタイムの物体認識及び位置識別を行うように構成されている制御システムを有するものである。
【請求項１８】
請求項１の装置において、前記第２のインターフェイスであって、
前記プラットフォームは、前記第２のインターフェイスが前記プラットフォームと前記顕微鏡の内部とを結合するとき、前記顕微鏡の試料チェンバー内部に本質的に閉じ込められ、
前記プラットフォームは、前記プラットフォームが前記顕微鏡の内部から取り外されるとき、前記試料チェンバーから取り除かれるように、
前記プラットフォームと前記顕微鏡の内部とを取外し自在に結合するように
前記第２のインターフェイスは構成されているものである。
【請求項１９】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールを有するものである。
【請求項２０】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールを有し、前記複数のマニピュレータ・モジュールの１つは前記試料を同時に操作するように構成されているものである。
【請求項２１】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールを有し、前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれは、エンドエフェクタと前記試料を操作するためにこのエンドエフェクタに動作を与えるように構成された駆動機構とを有するものである。
【請求項２２】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールを有し、前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれは、導電性プローブと前記導電性プローブに動作を与えるように構成された駆動機構とを有するものである。
【請求項２３】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールを有し、前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれは、フォース・プローブと前記フォース・プローブに動作を与えるように構成された駆動機構とを有するものである。
【請求項２４】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールを有し、前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれは、エンドエフェクタと前記試料を少なくとも２次元で操作するために前記エンドエフェクタに動作を与えるように構成された駆動機構とを有するものである。
【請求項２５】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールを有し、前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれは、エンドエフェクタと前記試料を少なくとも３次元で操作するために前記エンドエフェクタに動作を与えるように構成された駆動機構とを有するものである。
【請求項２６】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールを有し、前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれは、エンドエフェクタとエンドエフェクタに動作を与えるように構成された駆動機構とを有し、前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれの前記駆動機構は、前記複数のマニピュレータ・モジュールの他の前記駆動機構のそれぞれと独立して操作するように構成されているものである。
【請求項２７】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールを有し、前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれは、エンドエフェクタとエンドエフェクタに動作を与えるように構成された駆動機構とを有し、前記駆動機構は、前記エンドエフェクタに粗い動作を与えるように構成されたアクチュエータを有するものである。
【請求項２８】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールを有し、前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれは、エンドエフェクタとエンドエフェクタに動作を与えるように構成された駆動機構とを有し、前記駆動機構は約３０ナノメートルの精度で前記エンドエフェクタに粗い動作を与えるように構成されたアクチュエータを有するものである。
【請求項２９】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールを有し、前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれは、エンドエフェクタとエンドエフェクタに動作を与えるように構成された駆動機構とを有し、前記駆動機構は少なくとも２ミリメートルに亘る移動範囲内で前記エンドエフェクタに粗い動作を与えるように構成されたアクチュエータを有するものである。
【請求項３０】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールを有し、前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれは、エンドエフェクタとエンドエフェクタに動作を与えるように構成された駆動機構とを有し、前記駆動機構は前記エンドエフェクタに粗い動作を与えるように構成されたアクチュエータを有し、
前記アクチュエータは、リニア・ステッパー・マイクロアクチュエータ、スティック・スリップ圧電性マイクロアクチュエータ、超音波圧電性アクチュエータ、及びインチワーム圧電性マイクロアクチュエータから成る群から選択されるマイクロアクチュエータを含むものである。
【請求項３１】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールを有し、前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれは、エンドエフェクタとエンドエフェクタに動作を与えるように構成された駆動機構とを有し、前記駆動機構は、
前記エンドエフェクタに粗い動作を与えるように構成された第１のアクチュエータと、
前記エンドエフェクタに精密な動作を与えるように構成された第２のアクチュエータと
を有するものである。
【請求項３２】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールを有し、前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれは、エンドエフェクタとエンドエフェクタに動作を与えるように構成された駆動機構とを有し、前記駆動機構は少なくともナノメートルスケールの精度で前記エンドエフェクトに精密な動作を与えるように構成されたアクチュエータを有するものである。
【請求項３３】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールを有し、前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれは、エンドエフェクタとエンドエフェクタに動作を与えるように構成された駆動機構とを有し、前記駆動機構は前記エンドエフェクタに精密な動作を与えるように構成されたアクチュエータを有し、
このアクチュエータは、圧電チューブ、圧電性スタック、圧電性バイモルフマイクロアクチュエータ、及び圧電性プレートから成る群から選択されるものである。
【請求項３４】
請求項１記載の装置であって、この装置は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールを有し、前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれは、エンドエフェクタとエンドエフェクタに動作を与えるように構成された駆動機構とを有し、この駆動機構は前記エンドエフェクタに精密な動作を与えるように構成されたアクチュエータを有し、このアクチュエータは四電極圧電チューブを有するものである。
【請求項３５】
試料をプラットフォームに配置する工程であって、前記プラットフォームは、
前記試料を操作するように構成された複数のマニピュレータ・モジュールと、
前記複数のマニピュレータ・モジュールの１つを受け入れ、電気的に通信するように個々に構成された複数のインターフェイスと
を有するプラットフォームであるものである、前記試料をプラットフォームに配置する工程と、
前記試料を前記複数のマニピュレータ・モジュールで操作する工程と
を有する方法である。
【請求項３６】
請求項３５記載の方法において、前記複数のマニピュレータ・モジュールの１つは、前記試料を同時に操作するように構成されているものである。
【請求項３７】
請求項３５記載の方法であって、この方法は、さらに、
前記プラットフォーム上に前記試料を配置する前に、前記プラットフォームを顕微鏡に当接する工程を有し、それにより前記試料が前記プラットフォーム上に前記試料配置後、前記顕微鏡により結像することが可能となるものである。
【請求項３８】
請求項３５記載の方法であって、この方法は、さらに、
前記プラットフォーム上に前記試料を配置する前に、前記プラットフォームを電子顕微鏡に当接する工程を有し、それにより前記試料が前記プラットフォーム上に前記試料配置後、前記電子顕微鏡により結像することが可能となるものである。
【請求項３９】
請求項３５記載の方法であって、この方法は、さらに、
前記プラットフォーム上に前記試料を配置する前に、前記プラットフォームを電子顕微鏡の内部に当接する工程を有し、それにより前記試料が前記プラットフォーム上に前記試料配置後、前記電子顕微鏡により結像することが可能となるものである。
【請求項４０】
請求項３５記載の方法であって、この方法は、さらに、
前記プラットフォーム上に前記試料を配置した後、前記プラットフォームを電子顕微鏡に当接する工程を有し、それにより前記試料は前記電子顕微鏡により結像されるものである。
【請求項４１】
請求項３５記載の方法であって、この方法は、さらに、
前記プラットフォーム上に前記試料を配置した後に、前記プラットフォームを電子顕微鏡の内部に当接する工程を有し、それにより前記試料は前記電子顕微鏡により結像されるものである。
【請求項４２】
請求項３５記載の方法であって、この方法は、さらに、
前記プラットフォームを前記電子顕微鏡の試料チェンバー内に挿入する工程を含む、前記プラットフォームを前記電子顕微鏡の内部に当接する工程を有するものである。
【請求項４３】
請求項３５記載の方法であって、この方法は、さらに、
前記プラットフォームを電子顕微鏡の試料チェンバー内に挿入する工程を含む前記プラットフォームを前記電子顕微鏡の内部に当接する工程を有し、前記試料を操作する工程は、前記試料を前記電子顕微鏡で結像する間、前記試料を前記複数のマニピュレータ・モジュールで操作する工程を有するものである。
【請求項４４】
請求項３５記載の方法であって、この方法は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれを前記複数のインターフェイスの対応する１つに結合する工程を有するものである。
【請求項４５】
請求項３５記載の方法であって、この方法は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれを前記複数のインターフェイスの対応する１つに取外し自在に結合する工程を有するものである。
【請求項４６】
請求項３５記載の方法であって、この方法は、さらに、
前記複数のマニピュレータ・モジュールのそれぞれを前記複数のインターフェイスの対応する１つに取外し自在に、電気的に、及び機械的に結合する工程を有するものである。
【請求項４７】
請求項３５記載の方法において、前記試料を前記複数のマニピュレータ・モジュールで操作する工程は、前記複数のマニピュレータ・モジュールの少なくとも１つの駆動機構を駆動させることにより前記複数のマニピュレータ・モジュールの前記少なくとも１つのエンドエフェクトを操作する工程を含むものである。
【請求項４８】
請求項３５記載の方法において、前記試料を前記複数のマニピュレータ・モジュールで操作する工程は、前記複数のマニピュレータ・モジュールの少なくとも１つの駆動機構を駆動させることにより前記複数のマニピュレータ・モジュールの前記少なくとも１つのエンドエフェクトを操作する工程を含み、前記駆動機構を駆動させる工程は少なくともナノメートルスケールの精度でアクチュエータを精密に作動する工程を含むものである。
【請求項４９】
請求項３５記載の方法において、前記試料を前記複数のマニピュレータ・モジュールで操作する工程は、前記複数のマニピュレータ・モジュールの少なくとも１つの駆動機構を駆動させることにより前記複数のマニピュレータ・モジュールの前記少なくとも１つのエンドエフェクトを操作する工程を含み、
前記駆動機構を駆動させる工程は、圧電チューブ、圧電性スタック、圧電性バイモルフマイクロアクチュエータ、及び圧電性プレートから成る群から選択されるアクチュエータを作動させる工程を含むものである。
【請求項５０】
請求項３５記載の方法において、前記試料を前記複数のマニピュレータ・モジュールで操作する工程は、前記複数のマニピュレータ・モジュールの少なくとも１つの駆動機構を駆動させることにより前記複数のマニピュレータ・モジュールの前記少なくとも１つのエンドエフェクトを操作する工程を含み、前記駆動機構を駆動させる工程は四電極圧電チューブアクチュエータを作動させる工程を含むものである。
【請求項５１】
請求項３５記載の方法において、前記試料を前記複数のマニピュレータ・モジュールで操作する工程は、前記複数のマニピュレータ・モジュールの少なくとも１つの駆動機構を駆動させることにより前記複数のマニピュレータ・モジュールの前記少なくとも１つのエンドエフェクトを操作する工程を含み、前記駆動機構を駆動させる工程は、第１の精度で第１のアクチュエータを精密に作動させる工程と、前記第１の精度よりも実質的に異なる第２の精度で、第２のアクチュエータを作動させる工程とを有するものである。
【請求項５２】
請求項３５記載の方法において、前記試料を前記複数のマニピュレータ・モジュールで操作する工程は、前記複数のマニピュレータ・モジュールの少なくとも１つの駆動機構を駆動させることにより前記複数のマニピュレータ・モジュールの前記少なくとも１つの導電性プローブを操作する工程を含むものである。
【請求項５３】
請求項３５記載の方法において、前記試料を前記複数のマニピュレータ・モジュールで操作する工程は、前記複数のマニピュレータ・モジュールの少なくとも１つの駆動機構を駆動させることにより前記複数のマニピュレータ・モジュールの前記少なくとも１つのフォース・プローブを操作する工程を含むものである。