【事件の表示】
　特願２００１−５１６８６９「熱処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年２月２２日国際公開、ＷＯ０１／１２５６６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯
　本願は、平成１２年８月１１日（優先権主張平成１１年８月１２日）を国際出願日とする出願であって、平成２２年８月５日付け拒絶理由通知に対して同年１０月１３日付けで意見書の提出と手続補正がされ、同年１１月４日付け最後の拒絶理由通知に対して同年１２月２８日付けで意見書が提出されたが、平成２３年２月２８日付けで拒絶査定されたので、これに対して同年６月７日付けで拒絶査定不服審判が請求されたものである。
                          　
２　本願発明
　本願発明は、平成２２年１０月１３日付け手続補正書により補正された明細書の特許請求の範囲に記載されたとおりのものであるところ、請求項１に係る発明（以下「本願発明１」という）は、次のとおりのものである。
「耐火物からなる炉と、
　合成石英ガラスを載置し、前記合成石英ガラスを炉内に収容するための第一のステージの位置と、前記合成石英ガラスを炉外に取り出すための第二のステージの位置と、の間を移動することが可能であるステージと、
　前記合成石英ガラスを加熱するための発熱体と、
　前記ステージに接続されており、前記ステージを前記第一のステージの位置と前記第二のステージの位置との間で移動させるための駆動部と、
を備え、
　前記炉内において前記発熱体が前記合成石英ガラスを取り囲み、
　前記ステージの移動方向が鉛直方向である、熱処理装置。」
                         　
３　刊行物に記載された発明
（１）引用例１に記載された事項
　これに対し、本願出願日前に頒布され、原査定の拒絶の理由で引用された特開平８−７８３４９号公報（以下「引用例１」という）には、図面とともに次の事項が記載されている。
（ア）「・・・図６はシリコンウエハ熱処理用組合せ治具を構成する各々の治具をアニールするためのシリコンウエハ熱処理用組合せ治具製造用のアニール炉を示す。」【００１９】
（イ）「実施例１　（シリコンウエハ熱処理用組合せ治具の製造方法）表１の試料Ａ〜Ｃの水晶粉をガラス化したガラスを用い、表２に示したＮｏ．１〜Ｎｏ．３の石英ガラス素材を電気溶融法で製造した。Ｎｏ．４は試料Ａの水晶粉から酸水素火炎法で製造したものである。」【００２０】
（ウ）「上記石英ガラス丸棒を素材としてガラス細工でシリコンウエハ載置用治具および支持治具を制作しその熱歪み取りのためアニール処理を施した。アニール処理は、図６に示すアルミナ炉床板１１（当審注：１０の誤記と思われる）の上に２５ｍｍの石英ガラスブロック１１を敷いてさらに厚さ５ｍｍのシリコン台１２を配置した炉を用いたアニール処理法（本発明法）、・・・をそれぞれ行った。」【００２２】
（エ）図６にはアニール炉が記載されており、これによれば、図中５で示されるシリコンウエハ熱処理用組合せ治具は、アルミボード炉床板１０、石英ガラスブロック１１およびシリコン台１２の上に置かれており、これらに隙間を介して炉が設置されており、アニール炉の構造上の技術常識を勘案すれば、当該炉は、炉壁に発熱体が埋め込まれ、該組み合わせ治具を取り囲むように固定されていることがうかがえる。                                   　
（２）引用例１に記載された発明
　記載事項（ア）によれば、引用例１には、シリコンウエハ熱処理用組合せ治具製造用のアニール炉が記載されており、同（ウ）（エ）によれば、該アニール炉は、シリコンウエハ熱処理用組合せ治具、これを載置するアルミボード炉床板、石英ガラスブロックおよびシリコン台からなる部分、および、炉壁に発熱体が埋め込まれ、該治具を取り囲むように固定された炉からなっている。
　したがって、引用例１には、次のアニール炉に係る発明（以下「引用例１発明」という）が記載されている。
「シリコンウエハ熱処理用組合せ治具製造用のアニール炉であって、シリコンウエハ熱処理用組合せ治具、これを載置するアルミボード炉床板、石英ガラスブロックおよびシリコン台からなる部分、および、炉壁に発熱体が埋め込まれ、該治具を取り囲むように固定された炉からなるアニール炉。」
　     　
４　対比・判断
　本願発明に係る熱処理装置と引用例１に記載されたアニール炉とを比較する。
　まず、引用例１のアニール炉でアニール処理する組合せ治具は、記載事項（イ）によれば石英ガラス素材から製造するので、本願発明における「合成石英ガラス」に対応する。
　また、該アニール炉は、被処理物を加熱するための発熱体が埋め込まれているので、本願発明における「耐火物からなる炉」および「石英ガラスを加熱するための発熱体」からなる。そして、該発熱体は被処理物を覆っているので、本願発明と同様に「炉内において前記発熱体が前記合成石英ガラスを取り囲」んでいるといえる。
　さらに、該アニール炉の「アルミボード炉床板、石英ガラスブロックおよびシリコン台からなる部分」は、被処理物を裁置しているので、本願発明における「ステージ」に対応する。
　そして、記載事項（ウ）によれば、図６に示した状態でアニール処理を行っているので、図６の状態の該アニール炉のステージ位置は、本願発明における「合成石英ガラスを炉内に収容するための第一のステージの位置」に対応する。また、図６のアニール炉には、「合成石英ガラスを炉外に取り出すための第二のステージの位置」及び「ステージを前記第一のステージの位置と前記第二のステージの位置との間で移動させるための駆動部」が明示的には描かれていないが、アニール処理した合成石英ガラスは何らかの方法でアニール炉から取り出されるので、取り出すための位置（第２のステージの位置）が設定され、そこにステージを移動させる駆動部を備えていることは、当然のことである。
（１）一致点と相違点
　したがって、本願発明１と引用例１発明との一致点および相違点は、次のとおりである。
ア　一致点
 「耐火物からなる炉と、
　合成石英ガラスを載置し、前記合成石英ガラスを炉内に収容するための第一のステージの位置と、前記合成石英ガラスを炉外に取り出すための第二のステージの位置と、の間を移動することが可能であるステージと、
　前記合成石英ガラスを加熱するための発熱体と、
　前記ステージに接続されており、前記ステージを前記第一のステージの位置と前記第二のステージの位置との間で移動させるための駆動部と、
を備え、
　前記炉内において前記発熱体が前記合成石英ガラスを取り囲んでいる、
　熱処理装置。」
イ　相違点
　本願発明１は「ステージの移動方向が鉛直方向である」のに対し、引用例１のアニール炉はこの点が明示されていない点。
　　　　　　　　　　　　　　　　　
（２）判断
　審判請求人は、平成２３年７月１３日付け審判請求書補正書において、引用例１発明は、炉床が移動可能であるか明らかでなく、炉外へ被処理物を移動させるための移動方向についても明示していない旨を主張する。これによれば、ステージの移動方向が垂直方向であることは、引用例１の記載からは当業者が予測できないことになる。
　しかし、被処理物を上下方向に移動可能な台の上に裁置し、これを上方に設けた加熱炉内へ挿入することで熱処理することは、半導体ウエハの熱処理の分野では慣用手段である。これは、拒絶査定で引用した特開平９−１２０９４８号公報で明らかであるが、さらに必要なら、特開平１１−１０２８７３号公報等を参照されたい。
　このため、引用例１の記載に接した当業者であれば、被処理物を取り出す方法として、被処理物を載置した台を鉛直下方に移動させればよいことに想到することは容易になしうることである。審判請求人は、被処理物の相違により、半導体の熱処理技術を合成ガラスの熱処理に転用することについての動機付けがない旨を主張するが、本件においては、被処理物の取り出し方法は被処理物の材質とは直接の関連性がないことは明らかである。
　したがって、引用例１発明において、被処理物の取り出しを、ステージの移動方向を鉛直方向とすることは、当業者が容易に想到することであり、これによる技術的効果も格別ではない。
　　                    　
５　まとめ
　以上のとおりであるので、本願の請求項１に係る発明は、引用例１に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。したがって、その余の請求項について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。