(57)【要約】      （修正有）【課題】反射膜間の間隔を安定して正確に調節できることが可能な波長選択素子を提供する。【解決手段】間隙をおいて互いに対向する第１及び第２の平面をそれぞれ有して配置された透光性の第１及び第２の基板１１Ａ、１１Ｂと、第１の基板に設けられて第２の平面に対向する可動部１３と、第１の基板に設けられて第２の平面に対向し、可動部を第２の平面に垂直な方向に移動可能に支持する支持部１４と、可動部の第２の平面に対向する面に設けられた第１の反射膜１２Ａと、第２の平面上に第１の反射膜に対向して設けられた第２の反射膜１２Ｂと、第１及び第２の平面の各々上において互いに対向して配置され、電圧印加によって可動部を移動させる第１及び第２の電極膜１５Ａ、１５Ｂと、を有し、第１の電極膜は、可動部及び支持部上に跨って形成されている。【選択図】図３
2017003772.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
間隙をおいて互いに対向する第１及び第２の平面をそれぞれ有して配置された透光性の第１及び第２の基板と、
前記第１の基板に設けられて前記第２の平面に対向する可動部と、
前記第１の基板に設けられて前記第２の平面に対向し、前記可動部を前記第２の平面に垂直な方向に移動可能に支持する支持部と、
前記可動部の前記第２の平面に対向する面に設けられた第１の反射膜と、
前記第２の平面上に前記第１の反射膜に対向して設けられた第２の反射膜と、
前記第１及び第２の平面の各々上において互いに対向して配置され、電圧印加によって前記可動部を移動させる第１及び第２の電極膜と、を有し、
前記第１の電極膜は、前記可動部及び前記支持部上に跨って形成されていることを特徴とする波長選択素子。
【請求項２】
前記第１の電極膜は、前記可動部が移動した際に前記第２の電極膜との間隔が変化する第１の領域と、前記可動部が移動した際に前記第２の電極膜との間隔が前記第１の領域よりも小さな変化量で変化する第２の領域とを有することを特徴とする請求項１に記載の波長選択素子。
【請求項３】
前記第１の反射膜は導電性を有し、
前記第１の電極膜は、第１の反射膜に電気的に接続されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の波長選択素子。
【請求項４】
前記第１の反射膜及び前記第１の電極膜は、一体化されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１つに記載の波長選択素子。
【請求項５】
前記支持部は、前記可動部が移動した際に前記第１の平面に対して傾斜する傾斜領域を有し、
前記第１の電極膜は、前記可動部及び前記傾斜領域上に跨って形成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１つに記載の波長選択素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光フィルタなどの波長選択素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
光フィルタは、例えば、入射された光の中から所定の波長（波長帯域）の光のみを選択的に出射するように構成された光学素子である。例えば、光フィルタのような波長選択素子は、互いに対向する一対の反射膜を配置した構成を有している。当該一対の反射膜は、例えば、間隙をおいて平行に配置される。また、反射膜間の間隔は、取出されるべき光の波長に応じて設定される。
【０００３】
例えば、特許文献１には、固定基板に設けられた固定反射膜と、可動基板に設けられた可動反射膜と、固定基板に設けられた第一電極と、可動基板に設けられかつ電極間ギャップを介して第一電極に対向して配置された第二電極とを具備する波長可変干渉フィルタが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開2013-218194号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、光フィルタは、反射膜間の間隔（光学ギャップ）が固定された波長固定型と、光学ギャップを調節すること可能な波長可変型とに区別される。波長可変型の光フィルタは、例えば、固定された一方の反射膜と、当該一方の反射膜に間隙をおいて対向し、膜厚方向に移動可能な他方の反射膜とを備えている。この波長可変型の光フィルタ（波長選択素子）においては、反射膜間の間隔を安定して正確に調節できることが好ましい。
【０００６】
本発明は上記した点に鑑みてなされたものであり、反射膜間の間隔を安定して正確に調節できることが可能な波長選択素子を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明は、間隙をおいて互いに対向する第１及び第２の平面をそれぞれ有して配置された透光性の第１及び第２の基板と、第１の基板に設けられて第２の平面に対向する可動部と、第１の基板に設けられて第２の平面に対向し、可動部を第２の平面に垂直な方向に移動可能に支持する支持部と、可動部の第２の平面に対向する面に設けられた第１の反射膜と、第２の平面上に第１の反射膜に対向して設けられた第２の反射膜と、第１及び第２の平面の各々上において互いに対向して配置され、電圧印加によって可動部を移動させる第１及び第２の電極膜と、を有し、第１の電極膜は、可動部及び支持部上に跨って形成されていることを特徴としている。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（ａ）は実施例１に係る波長選択素子の模式的な上面図であり、（ｂ）は実施例１に係る波長選択素子の断面図である。
【図２】実施例１に係る波長選択素子の模式的な動作説明図である。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は、実施例１に係る波長選択素子の動作時の形状を示す断面図である。
【図４】実施例１に係る波長選択素子における反射膜間の間隔の変化を示す図である。
【図５】実施例２に係る波長選択素子の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に本発明の実施例について詳細に説明する。
【実施例１】
【００１０】
図１（ａ）は、実施例１に係る波長選択素子１０の上面を模式的に示す図である。図１（ｂ）は、波長選択素子１０の断面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。波長選択素子１０は、例えば、光学フィルタである。波長選択素子１０は、透光性の一対の基板（以下、基板対と称する場合がある）１１を有する。基板対１１は、例えば、石英、ホウケイ酸ガラス、シリコンなどからなる。なお、本明細書において、透光性とは、光（可視光）を含む電磁波のうち、少なくとも一部の電磁波を透過する特性をいう。
【００１１】
図１（ｂ）に示すように、基板対１１は、平板形状の第１の基板１１Ａ及び第２の基板１１Ｂが互いに対向して配置された構造を有する。また、基板対１１は、各々が間隙をおいて互いに対向する平面（以下、平面対と称する場合がある）ＰＰを有する。すなわち、一対の基板１１は、各々が間隙をおいて互いに対向する一対の平面ＰＰを有するように互いに対向して配置されている。平面対ＰＰは、第１の基板１１Ａの第１の平面ＰＬ１と、第２の基板１１Ｂの第１の平面ＰＬ２とからなる。
【００１２】
本実施例においては、第１の基板１１の主面が第１の平面ＰＬ１である。また、第２の基板１１Ｂの主面の中央部には凹部が設けられ、当該凹部の底面が第２の平面ＰＬ２である。このようにして、第１及び第２の平面ＰＬ１及びＰＬ２は、互いに間隙をおいて対向して配置されている。また、本実施例においては、第１及び第２の平面ＰＬ１及びＰＬ２は、互いに平行に配置されている。
【００１３】
波長選択素子１０は、電磁波を選択的に透過する特性を有する一対の反射膜（以下、反射膜対と称する場合がある）１２を有する。反射膜対１２は、例えば、ファブリペローエタロンを構成する。反射膜対１２の各々は、例えばＡｇ及びＡｇを含む合金からなる薄膜である。本実施例においては、反射膜対１２は、反射膜対１２に垂直な方向から見たとき、円形の形状を有する。また、反射膜対１２は、基板対１１の中央部に設けられている。
【００１４】
反射膜対１２は、基板対１１の互いに対向する平面ＰＬ１及びＰＬ２の各々に配置されている。より具体的には、反射膜対１２は、第１の基板１１Ａの第１の平面ＰＬ１上に設けられた第１の反射膜１２Ａと、第２の基板１１Ｂの第２の平面ＰＬ２上に設けられた第２の反射膜１２Ｂとからなる。第１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂは、間隙をおいて互いに対向して配置されている。本実施例においては、第１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂは、互いに平行に配置されている。
【００１５】
第１の基板１１Ａは、可動部１３と可動部１３を支持する支持部１４とを有する。より詳細には、図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、第１の基板１１には環状の溝が形成されており、溝の底部の薄膜部が支持部１４である。また、基板１１Ａにおける支持部１４の内側において支持部１４に支持される部分が可動部１３となる。また、可動部１３及び支持部１４の底面（第２の平面ＰＬ２に対向する面）は、第１の平面ＰＬ１である。可動部１３及び支持部１４の底面は、第１の平面ＰＬ１を構成する。支持部１４は、第２の平面ＰＬ２に垂直な方向に可動部１３を移動可能なように、可動部１３を支持している。
【００１６】
換言すれば、波長選択素子１０は、第１の基板１１Ａに設けられて第２の平面ＰＬ２に対向する可動部１３と、第１の基板１１Ａに設けられて第２の平面ＰＬ２に対向し、可動部１３を第２の平面ＰＬ２に垂直な方向に移動可能に支持する支持部１４とを有する。
【００１７】
第１の反射膜１２Ａは、可動部１３の第２の平面ＰＬ２に対向する面に形成されている。すなわち、第１の反射膜１２Ａは、第１の平面ＰＬ１の一部として形成されている可動部１３の底面に形成されている。第１の平面ＰＬ１における第１の反射膜１２Ａの形成領域は、可動面として機能する。第１の反射膜１２Ａは、可動部１３の移動に従って変位する。第１の反射膜１２Ａは、可動部１３の移動に従って、第２の反射膜１２Ｂとの間の間隔が変化するように、変位する。すなわち、可動部１３は、第１の反射膜１２Ａを第１の反射膜１２Ａの膜厚方向（第１の反射膜１２Ａに垂直な方向）に変位させる。
【００１８】
また、平面対ＰＰの各々には、間隙をおいて互いに対向して配置された一対の電極膜（以下、電極膜対と称する場合がある）１５が設けられている。電極膜対１５は、第１の平面ＰＬ１上に設けられた第１の電極膜１５Ａと、第２の平面ＰＬ２上に設けられた第２の電極膜１５Ｂとからなる。また、第１及び第２の電極膜１５Ａ及び１５Ｂは、間隙をおいて互いに対向して配置されている。電極膜対１５は、電圧印加によって可動部１３を移動させる。より具体的には、電極膜対１５は、可動部１３を移動させ、第１の反射膜１２Ａを変位させる静電気力を生成する。なお、図示していないが、波長選択素子１０は、電極膜対１５に接続された駆動回路を有する。
【００１９】
電極膜対１５は、反射膜対１２の外周部に設けられている。電極膜対１５に電圧が印加されると、電極膜対１５に静電引力が生ずる。当該静電引力によって、支持部１４（薄膜部）は弾性変形を起こす。これによって、可動部１３は、第１の反射膜１２Ａ及び第１の電極膜１５Ａと共に、第２の基板１１Ｂ側に移動（変位）する。ここで、可動部１３の移動後においても、可動部１３の底面（第１の底面ＰＬ１における可動部１３の部分）と第２の平面ＰＬ２との平行な位置関係は維持される。従って、第１の反射膜１２Ａの変位後においても、第１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂ間の平行な位置関係は維持される。電極膜対１５への給電を停止すると、支持部１４は元の形状に戻り、可動部１３は元の位置に戻る。換言すれば、支持部１４は、弾性変形によって可動部１３を移動可能なように支持している。
【００２０】
このようにして、波長選択素子１０は、第１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂ間の間隔（光学ギャップ）を変化させることによって取出す電磁波の波長を調節する機能を有する。すなわち、波長選択素子１０は、波長可変型の波長選択素子である。
【００２１】
ここで、よりシャープな波長選択特性（フィルタリング特性）を得ることを考慮すると、反射膜１２Ａ及び１２Ｂ間の間隔は、反射膜対１２の全体に亘って一定であることが好ましい。すなわち、第１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂは、上記したように、互いに平行に配置されることが好ましい。また、第１の反射膜１２Ａは、その変位前後で第２の反射膜１２Ｂとの平行状態を保持していることが好ましい。
【００２２】
波長選択素子１０は、一対の基板１１を互いに接合する接合部ＢＤを有する。本実施例においては、接合部ＢＤは、基板対１１の周辺領域に形成されている。すなわち、第１の基板１１Ａは、周辺領域において第２の基板１１Ｂに接合されている。また、反射膜対１２、可動部１３及び電極膜対１５は、第１の基板１１Ａの中央部に形成されている。
【００２３】
次に、図２を用いて波長選択素子１０の動作について説明する。図２は、図１（ｂ）と同様の断面図であるが、ハッチングを省略している。図２は、入力光ＩＬが波長選択素子１０に入射してから選択光ＳＬとして外部に取出されるまでを模式的に示す図である。まず、入力光ＩＬは、第１の基板１１Ａを介して波長選択素子１０に入射する。入力光ＩＬは、第１の基板１１Ａを透過した後、反射膜対１２の第１の反射膜１２Ａを透過する。
【００２４】
入力光ＩＬは、第１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂ間において多重反射を繰り返す。この際、入力光ＩＬのうち、反射膜対１２の対向間隔ＧＰに対応する波長の光は残存し、他の波長の光は減衰する。この残存した波長の光は、選択光ＳＬとして第２の反射膜１２Ｂを透過する。選択光ＳＬは、第２の反射膜１２Ｂを透過した後、第２の基板１１Ｂから出射する。このようにして、波長選択素子１０は、入射された光（電磁波）を選択的に出力（透過）する。
【００２５】
図３（ａ）は、電極膜対１５に電圧を印加していない状態における反射膜対１２、可動部１３、支持部１４及び電極膜対１５の形状を示す断面図である。また、図３（ｂ）は、電極膜対１５に電圧を印加した状態における反射膜対１２、可動部１３、支持部１４及び電極膜対１５の形状を示す断面図である。なお、図３（ａ）及び（ｂ）は、それぞれの状態における図１（ｂ）の破線で囲まれた部分を拡大して示す部分拡大断面図である。
【００２６】
まず、図３（ａ）に示すように、電極膜対１５、すなわち第１及び第２の電極膜１５Ａ及び１５Ｂ間に電圧を印加していない状態においては、支持部１４は変形しない。この状態においては、第１及び第２の電極膜１５Ａ及び１５Ｂは、ほぼ平行に配置された状態で互いに対向している。なお、この状態における反射膜１２Ａ及び１２Ｂ間の間隔ＧＰを間隔ＧＰ１とする。
【００２７】
次に、図３（ｂ）に示すように、電極膜対１５に電圧を印加すると、例えば、電極膜対１５に静電引力が生ずる。これによって、第１の電極膜１５Ａには、第２の電極膜１５Ｂに近づこうとする力が生ずる。支持部１４は、当該静電引力によって弾性変形を起こし、第２の基板１１Ｂに向かって屈曲（傾斜）する。また、支持部１４（薄膜部）及び第１の電極膜１５Ａは、第１の反射膜１２Ａの周囲に設けられている。従って、可動部１３の全体が第２の基板１１Ｂに向かって移動する。これによって、第１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂは、両者の平行状態を保持したまま、両者の間隔ＧＰが小さくなる。電圧印加状態における反射膜１２Ａ及び１２Ｂ間の間隔ＧＰを間隔ＧＰ２とすると、間隔ＧＰ２は間隔ＧＰ１よりも小さい。
【００２８】
波長選択素子１０は、上記した２つの場合で異なる波長の電磁波を出力する。例えば、間隔ＧＰ２の場合、間隔ＧＰ１の場合よりも短い波長の電磁波を出力する。なお、印加する電圧値によっては、電極膜対１５に斥力が生じ、反射膜１２Ａ及び１２Ｂ間の間隔ＧＰをＧＰ１よりも大きくすることができる。この場合、波長選択素子１０は、間隔ＧＰ１の場合よりも長い波長の電磁波を出力する。すなわち、第１及び第２の電極膜１５Ａ及び１５Ｂは、電圧印加によって可動部１３を移動させる。これによって第１の反射膜１２Ａが変位し、反射膜対１２の間隔ＧＰが変化する。このようにして、波長選択素子１０は、反射膜１２Ａ及び１２Ｂ間の間隔ＧＰを調節し、出力する電磁波の波長を調節する（切替える）ことができる。
【００２９】
次に、電極膜対１５について説明する。電極膜対１５の第１の電極膜１５Ａは、支持部１４及び可動部１３上に跨って（亘って）形成されている。また、可動部１５は、反射膜対１２の平行状態を保持した状態で移動（変位）する。一方、支持部１４は、弾性変形によって移動する。すなわち、図３（ｂ）に示すように、第１の平面ＰＬ１のうち、支持部１４の底面は、電圧印加状態においては屈曲する。また、第１の電極膜１５Ａにおける支持部１４上の領域は、支持部１４の変形に従って変形する。本実施例においては、支持部１４は、可動部１３が移動した際に、第１の平面ＰＬ１に対して傾斜する傾斜領域を有する。本実施例においては、支持部１４の全体が傾斜領域である。また、第１の電極膜１５Ａは、可動部１３上と支持部１４の傾斜領域上とに跨って形成されている。
【００３０】
ここで、電極膜対１５によって生ずる静電気力の大きさは、電極膜対１５に印加する電圧値の大きさと、電極膜１５Ａ及び１５Ｂ間の距離によって定まる。また、対向する反射膜対１２においては、静電気力（すなわち駆動力）は、電極膜１５Ａ及び１５Ｂ間の距離の２乗に反比例する。従って、電極膜間距離が近づくに従って、静電気力は急激に増加する。従って、反射膜間距離は、急激に変化する。仮に、第１の電極膜１５Ａの全体が変位時における第２の電極膜１５Ｂとの平行状態を保持する場合を考える。この場合、例えば、可動部１３が第２の基板１１Ｂに近づくに従って、電極膜１５Ａ及び１５Ｂ間の静電気力が大きく変化する。従って、わずかな電圧値の変化に対しても、電極膜１５Ａ及び１５Ｂ間の静電気力は急激に変化する。
【００３１】
これに対し、図３（ｂ）に示すように、本実施例においては、第１の電極膜１５Ａは、可動部１３が移動した際に、第２の電極膜１５Ｂとの間隔が（領域内で均一に）変化する第１の領域１５Ａ１と、第２の電極膜１５Ｂとの間隔が第１の領域よりも小さな変化量で変化する第２の領域１５Ａ２と、を有する。また、第２の領域１５Ａ２は、支持部１４の傾斜領域上に形成されている。なお、本実施例においては、環状に設けられた第１の電極膜１５Ａのうち、内側の領域が第１の領域１５Ａ１であり、外側の領域が第２の領域１５Ａ２である。
【００３２】
また、本実施例においては、第１の電極膜１５Ａのうち、第１の領域１５Ａ１は、第２の電極膜１５Ｂとの平行状態を保ったまま第２の電極膜１５Ｂとの間隔が変化する。一方、第２の領域１５Ａ２においては、可動部１３の移動時に第２の電極膜１５Ｂとの平行状態が保持されない。具体的には、第２の領域１５Ａ２のうち、可動部１３に近い部分においては第２の電極膜１５Ｂとの間隔が大きく変化する。一方、第２の領域１５Ａ２のうち、可動部１３から離れた部分においては第２の電極膜１５Ｂとの間隔の変化量は小さい。
【００３３】
従って、電極膜１５Ａ及び１５Ｂ間に生ずる静電気力の大きさは、印加する電圧の大きさの変化に対して、緩やかに変化する。従って、可動部１３の移動量、すなわち第１の反射膜１２Ａの変位量を安定して調節することができる。本実施例においては、第１の電極膜１５Ａは、可動部１３及び支持部１４上に跨って形成されている。また、第１の電極膜１５Ａは、第２の電極膜１５Ｂとの間隔の変化が比較的小さい第２の領域１５Ａ２を有する。電極膜対１５への間隔は急激に変化しない。従って、第１及び第２の電極膜１５Ａ及び１５Ｂ間の静電気力は、急激に変化しない。これによって、第１の反射膜１２Ａの急激な変位が抑制され、第１の反射膜１２Ａの変位量を緩やかに調節することができる。従って、安定した反射膜対１２の間隔調整、すなわち波長選択特性の調節を行うことができる。
【００３４】
図４は、波長選択素子１０における電極膜対１５への電圧印加量と第１の反射膜１２Ａの変位量との関係を示す図である。なお、図４を作成するに際し、比較例として、電極膜が可動部１３上のみに形成されている点を除いては波長選択素子１０と同様の構成を有する波長選択素子を準備し、同様の検証を行った。図４に示すように、比較例においては、電圧値を大きくしていくと反射膜の変位量が大きく変化している。一方、波長選択素子１０においては、電圧値を大きくした場合でも第１の反射膜１２Ａの変位量は大きく変化せず、緩やかに変化している。従って、波長選択素子１０においては、第１の反射膜１２Ａの変位量、すなわち波長選択特性の調整を行うことができることがわかる。
【００３５】
また、第１の電極膜１５Ａを可動部１３上に形成する（第１の領域１５Ａ１を設ける）ことで、可動部１３の移動、すなわち第１の反射膜１２Ａの変位量は、可動部１３の可動範囲内の全体において安定する。具体的には、例えば、第１の電極膜１５Ａが第２の領域１５Ａ２のみからなる場合、第１及び第２の電極膜１５Ａ及び１５Ｂ間の間隔の変化量が小さい。従って、印加する電圧値に対して、生成される静電気力の変化が鈍化する。従って、第１の領域１５Ａ１を有しない場合、反射膜１５Ａの駆動効率が落ちる。これに対し、第１の電極膜１５Ａが第１及び第２の領域１５Ａ１及び１５Ａ２の両方を有することで、駆動効率を大きく低下させることなく、安定した正確な波長選択特性の調整を行うことができる。
【００３６】
また、本実施例においては、第１の電極膜１５Ａは、可動部１３及び支持部１４上に跨って形成されている。すなわち、第１の電極膜１５Ａは、可動部１３と支持部１４との境界上に形成されている。これによって、可動部１３及び支持部１４間の剛性が向上する。具体的には、可動部１３と支持部１４との境界部分は、最も変形量が大きい部分である。従って、当該境界部分は構造的に最も弱い部分である。本実施例においてはこの可動部１３と支持部１４との境界に第１の電極膜１５Ａを設けることで、当該境界を構造的に補強することができる。
【００３７】
なお、本実施例においては、支持部１４が弾性変形によって可動部１４を移動させる場合について説明したが、支持部１４は弾性変形を生ずる場合に限定されない。また、第１の電極膜１５Ａが第１及び第２の領域１５Ａ１及び１５Ａ２を有する場合について説明したが、第１の電極膜１５Ａは、可動部１３及び支持部１４上に形成されていればよい。また、支持部１４が傾斜領域を有する場合について説明したが、支持部１４の形状はこれに限定されない。
【００３８】
また、本実施例においては、反射膜対１２が円形の平面形状を有する場合について説明したが、反射膜対１２の平面形状はこれに限定されない。例えば反射膜対１２は、矩形の平面形状を有していてもよい。また、基板対１１が矩形の平面形状を有する場合について説明及び図示したが、基板対１１の平面形状はこれに限定されない。
【００３９】
また、第２の基板１１Ｂが凹部を有し、当該凹部の底面が第２の平面ＰＬ２である場合について説明したが、第２の基板１１Ｂの形状はこれに限定されない。基板対１１が間隙をおいて互いに対向する平面ＰＰ（第１及び第２の平面ＰＬ１及びＰＬ２）を有するように配置されていればよい。
【００４０】
また、本実施例においては、第１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂが互いに平行に配置される場合について説明した。しかし、実現する波長選択特性によっては、第１及び第２の反射膜１２Ａ及び１２Ｂは、平行に配置されていなくてもよい。この場合、第１の反射膜１２Ａ（すなわち変位する反射膜）は、第２の平面ＰＬ２（第２の反射膜１２Ｂ）に垂直な方向に変位されればよい。
【００４１】
本実施例においては、第１の基板１１Ａに設けられ、第１の反射膜１２Ａを第１の反射膜１２Ａに垂直な方向に移動させる可動部１３と、第１の基板１１Ａに設けられ、可動部１４を移動可能に支持する支持部１４と、第１及び第２の平面ＰＬ１及びＰＬ２の各々上において互いに対向して配置され、電圧印加によって可動部１３を移動させる第１及び第２の電極膜１５Ａ及び１５Ｂと、を有する。また、第１の電極膜１５Ａは、可動部１３及び支持部１４上に跨って形成されている。従って、第１の反射膜１２Ａを安定して変位させ、波長選択特性を安定して調節することができる。
【実施例２】
【００４２】
図５は、実施例２に係る波長選択素子２０の構造を示す断面図である。波長選択素子２０は、反射膜対２２及び電極膜対２５の構成を除いては、波長選択素子１０と同様の構成を有している。図５に示すように、反射膜対２２は、第１の反射膜２２Ａと、第２の反射膜１２Ｂとからなる。すなわち、本実施例においては、第１の反射膜２２Ａの構成が実施例１における第１の反射膜１２Ａとは異なる。また、電極膜対２５は、第１の電極膜２５Ａと、第２の電極膜１５Ｂとからなる。すなわち、本実施例においては、第１の電極膜２５Ａの構成が実施例１における第１の電極膜１５Ａとは異なる。
【００４３】
本実施例においては、第１の反射膜２２Ａは導電性を有する。第１の反射膜２２Ａは、例えば、Ａｇ又はＡｇを含む合金からなる。また、第１の電極膜２５Ａは、第１の反射膜２２Ａに電気的に接続されている。本実施例においては、第１の電極膜２５Ａは、第１の反射膜２２Ａと一体化されている。また、第１の電極膜２５Ａは、第１の反射膜２２Ａと同一の材料からなる。
【００４４】
製造コストや機能（反射及び透過機能）を考慮すると、反射膜対２２は、金属材料の薄膜で形成することが好ましい。一方、反射膜対２２は、導電性を有するが、電源に接続されていないため、電位が固定されない。従って、反射膜２２Ａ及び１２Ｂは、電気的にフローティング状態となる。この状態で電極膜対２５に電圧を印加すると、反射膜２２Ａ及び１２Ｂの電位に変動が生ずる場合がある。この電位変動は、反射膜２２Ａの動作を不安定にさせる要因となる場合がある。これに対し、本実施例においては、第１の反射膜２２Ａが第１の電極膜２５Ａに接続されている。従って、反射膜２２Ａの電位が固定され、反射膜２２Ａの動作が安定する。従って、反射膜対２２の間隔の調節、すなわち波長選択特性の調節を安定して行うことができる。
【００４５】
また、第１の電極膜２５Ａが第１の反射膜２２Ａと同一の材料からなり、第１の電極膜２５Ａ及び第１の反射膜２２Ａが一体的に形成されることで、第１の反射膜２２Ａの全体で電位が固定され、第１の反射膜２２Ａの動作の安定度は向上する。
【００４６】
なお、本実施例においては、第１の電極膜２５Ａ及び第１の反射膜２２Ａが一体的に形成される場合について説明したが、第１の電極膜２５Ａ及び第１の反射膜２２Ａの形状はこれに限定されない。第１の電極膜２５Ａが第１の反射膜２２Ａと同一の材料からなる場合について説明したが、両者は異なる材料から構成されていてもよい。すなわち、第１の電極膜２５Ａ及び第１の反射膜２２Ａが互いに電気的に接続されていればよい。
【００４７】
また、上記においては、第１の基板１１Ａに可動部１３及び支持部１４が設けられる場合について説明したが、可動部１３及び支持部１４は第２の基板１１Ｂに設けられていても良い。また、第１の基板１１Ａ及び１１Ｂの両方に可動部１３及び支持部１４が設けられていても良い。第２の基板１１Ｂに可動部１３及び支持部１４が設けられる場合、第２の電極膜１５Ｂが可動部１３及び支持部１４上に跨って形成されていればよい。また、第２の反射膜１２Ｂ及び第２の電極膜１５Ｂが電気的に接続されていてもよい。
【００４８】
本実施例においては、第１の反射膜２２Ａは、導電性を有し、第１の電極膜２５Ａに電気的に接続されている。従って、第１の反射膜２２Ａの電位がフローティング状態となることが抑制される。従って、第１の反射膜２２Ａの変位動作が安定し、波長選択特性を安定して調節することができる。
【符号の説明】
【００４９】
１０、２０  波長選択素子
１１  一対の基板
１１Ａ  第１の基板
１１Ｂ  第２の基板
１２  反射膜対
１２Ａ、２２Ａ  第１の反射膜
１２Ｂ  第２の反射膜
１３  可動部
１４  支持部
１５、２５  電極膜対
１５Ａ、２５Ａ  第１の電極膜
１５Ｂ  第２の電極膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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