【事件の表示】
　特願２００６−　７１７１２「基板の搬送方法およびＩＣの製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年　９月２７日出願公開、特開２００７−２５０７９７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成１８年３月１５日の特許出願であって、同２２年１０月８日付けで拒絶の理由が通知され、その指定期間内の同２２年１２月１４日に意見書とともに特許請求の範囲、発明の名称及び明細書について手続補正書が提出されたが、同２３年４月２６日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、同２３年７月２８日に本件審判の請求がされるとともに特許請求の範囲及び明細書について手続補正書が提出されたものである。
　
第２　平成２３年７月２８日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成２３年７月２８日付けの手続補正を却下する。
［理由］
１　補正の内容の概要
　平成２３年７月２８日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）は、特許請求の範囲について補正をするとともにそれに関連して明細書の一部について補正をするものであって、特許請求の範囲の請求項１について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
（１）補正前
「基板が収納された基板収納容器の開口部にキャップが装着されることで側壁内面に形成される一対の奥側位置決め部によって基板が挟みこまれた基板収納容器の開口部からキャップを取り外す工程と、
　前記開口部から前記基板収納容器内に収納された基板の下側に、基板載置部と、前記載置部より先端側に配置され前記載置部の載置面との夾角が直角または鋭角に設定された基板引っ掛け部とを備えた基板載置プレートを挿入する工程と、
　前記基板の前記基板収納容器内の奥側の周縁部を前記基板引っ掛け部にて引っ掛けるとともに、前記位置決め部から取り外された前記基板を基端側に設けられた一対の突設部と先端側載置部に設けられた一対の突設部から構成される前記載置部に載置し、前記基板載置プレートを前記基板収納容器内から引き出す工程と、
　を有する基板の搬送方法。」
（２）補正後
「基板が収納された基板収納容器の開口部にキャップが装着されることで側壁内面に形成される一対の奥側位置決め部によって基板が挟みこまれた基板収納容器の開口部からキャップを取り外す工程と、
　前記開口部から前記基板収納容器内に
挟みこまれ
　前記基板の前記基板収納容器内の奥側の
両奥側位置決め部の近傍に位置し、基板の両奥側位置決め部の近傍の
　を有する基板の搬送方法。」
２　補正の適否　　　
　本件補正のうち特許請求の範囲の請求項１についてする補正は、基板収納容器内に収納された基板について、「基板収納容器内に挟みこまれ収納された基板」と限定するとともに、基板の基板収納容器内の奥側の周縁部について、「基板の前記基板収納容器内の奥側の両奥側位置決め部の近傍に位置し、基板の両奥側位置決め部の近傍の周縁部」と限定するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とすることが明らかであるので、さらに、補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるか否かについて検討する。
（１）補正発明
　補正発明は、本件補正により補正された明細書（以下「補正明細書」という。）及び願書に添付した図面の記載からみて、上記１（２）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりの「基板の搬送方法」であると認める。
（２）刊行物
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開２００５−９３８６８号公報（以下「刊行物１」という。）及び特開平９−１７２０５０号公報（以下「刊行物２」という。）の記載内容はそれぞれ以下のとおりである。
ア　刊行物１
（ア）刊行物１記載の事項
　刊行物１には以下の事項が記載されている。
（ア）−１　段落【０００１】
 「本発明は、基板処理装置に関し、特に、ワークである基板の搬送技術に係り、例えば、半導体集積回路装置（以下、ＩＣという。）の製造方法において、半導体素子を含む集積回路が作り込まれる半導体ウエハ（以下、ウエハという。）に酸化膜や窒化膜や金属膜を成膜するのに利用して有効なものに関する。」
（ア）−２　段落【００１４】
 「正圧移載室４０には正圧下でウエハ１を移載する第二のウエハ移載装置（以下、正圧移載装置という。）５０が設置されており、正圧移載装置５０は正圧移載室４０に設置されたエレベータ５１によって昇降されるように構成されているとともに、リニアアクチュエータ（図示せず）によって左右方向に往復移動されるように構成されている。図２に示されているように、正圧移載装置５０はスカラ形ロボットによって二枚のウエハを同時に搬送し得るように構成されている。すなわち、正圧移載装置５０は上側に位置する第一のアーム（以下、上側アームという。）５３と、下側に位置する第二のアーム（以下、下側アームという。）５４とを備えており、上側アーム５３および下側アーム５４の先端部には基板載置プレートとしての上側エンドエフェクタ５５および下側エンドエフェクタ５６がそれぞれ取り付けられている。上側エンドエフェクタ５５および下側エンドエフェクタ５６はいずれも、ウエハ１を掬い取って下から支持し得る二股のフォーク形のプレート（板体）形状に形成されている。上側エンドエフェクタ５５および下側エンドエフェクタ５６は実質的に同一形状に形成されているので、その構成は図３に示された上側エンドエフェクタ５５を代表にして説明する。上側エンドエフェクタ５５の上面にはウエハ１の位置ずれ防止のためのザグリ５５ａが没設されており、ザグリ５５ａの立ち上がり面が構成する円弧面の直径Ｄａは、ウエハ１の直径Ｄｗよりも若干大きめに設定されている。例えば、ウエハ１の直径Ｄｗが３００ｍｍの場合には、ザグリ５５ａの直径Ｄａは３０３〜３０５ｍｍに設定されている。正圧移載装置５０にはコンピュータ等によって構築されて正圧移載装置５０を制御するコントローラ５７が接続されており、コントローラ５７はポッド２からウエハ１を取り出す際のエンドエフェクタ５５、５６での第一のウエハ載置位置と、ウエハ１に処理を施した後の処理済みのウエハ１をポッド２へ収納する際のエンドエフェクタ５５、５６での第二のウエハ載置位置とを異ならせるように構成されている。」
（ア）−３　段落【００１６】
 「なお、ウエハ１を収納する基板収納容器としてのポッド２は図４に示されているように構成されている。すなわち、ポッド２は一つの側壁に略正方形の開口部であるウエハ出し入れ口４を有する略立方体の箱形状に形成された本体３と、ウエハ出し入れ口４に着脱自在に装着されるキャップ７とを備えている。本体３のウエハ出し入れ口４に隣接した上下左右の側壁のうち左右の側壁の内面には、複数段の保持部片５が等間隔に配置されて側面に直角に突設されており、各段の保持部片５は同一の平面を構成してウエハ１を水平に保持するように設定されている。また、左右の側壁の内面には一対の奥側位置決め部６、６が形成されており、両奥側位置決め部６、６は保持部片５に保持されたウエハ１の外周の二箇所にそれぞれ当接することによってウエハ１の奥側の位置を規制するように設定されている。キャップ７の内面の中央には前側位置決め部８が装備されており、前側位置決め部８は保持部片５に保持されたウエハ１の外周の一箇所に当接してウエハ１の前側の位置を規制することにより、両奥側位置決め部６、６と協働してウエハ１のガタツキを防止するように設定されている。キャップ７には錠前９が装着されており、錠前９は本体３のウエハ出し入れ口４の一部に係合することによりキャップ７を本体３にロックするように構成されている。」
（ア）−４　段落【００１８】〜【００１９】
 「これから成膜すべきウエハ１は二十五枚がポッド２に収納された状態で、成膜工程を実施するＣＶＤ装置へ工程内搬送装置によって搬送されて来る。図１に示されているように、搬送されて来たポッド２は載置台４３の上に工程内搬送装置から受け渡されて載置される。ポッド２のキャップ７がキャップ着脱機構４４によって取り外され、ポッド２のウエハ出し入れ口４が開放される。
　ポッド２がポッドオープナ４２により開放されると、正圧移載室４０に設置された正圧移載装置５０はウエハ搬入搬出口４７を通してポッド２の本体３からウエハ１をピックアップして正圧移載装置５０に引き出し、正圧移載室４０のアライメント装置４５に移載する。ところで、ポッド２での収納状態でのガタツキを防止する必要上、図４に示されているように、ウエハ１はキャップ７によって両奥側位置決め部６、６に押し付けられた状態になっているために、正圧移載装置５０がウエハ１をポッド２の本体３からピックアップする際には、ウエハ１は両奥側位置決め部６、６に当接した状態になっている。そこで、ウエハ１をポッド２の本体３からピックアップする際には、図５（ａ）に示された上側エンドエフェクタ（以下、エンドエフェクタという。）５５の場合を例にして説明すると、ウエハ１がエンドエフェクタ５５の先端寄りに乗るように、コントローラ５７は正圧移載装置５０の動きを制御する。すなわち、ウエハ１の中心Ｏｗがエンドエフェクタ５５のザグリ５５ａの中心Ｏａに対して若干だけ先端寄りに位置する状態になるように、ウエハ１はエンドエフェクタ５５にピックアップされる。このとき、ザグリ５５ａの直径Ｄａはウエハ１の直径Ｄｗよりも大きめに設定されているので、ウエハ１がザグリ５５ａの上に乗ってしまう事故は防止することができる。また、ザグリ５５ａの底面によって支持されたウエハ１はザグリ５５ａの立ち上がり面によって位置規制されるので、慣性力や振動等によってザグリ５５ａから飛び出す事故も防止することができる。ちなみに、ウエハ１をエンドエフェクタ５５の先端寄りに乗せるための制御方法は、コントローラ５７に予めティーチング（教示）して再生する制御方法（教示再生制御）によって容易に実現することができる。」
（イ）刊行物１記載の発明
　刊行物１記載の事項を技術常識を考慮しながら補正発明に照らして整理すると、刊行物１には以下の発明が記載されていると認めることができる。
「ウエハ１が収納された基板収納容器としてのポッド２の開口部であるウエハ出し入れ口４にキャップ７が装着されることで左右の側壁内面に形成される一対の奥側位置決め部６、６によってウエハ１の奥側の位置を規制した基板収納容器の開口部からキャップ７を取り外す工程と、
　前記開口部から前記基板収納容器内に両奥側位置決め部６、６に当接した状態で収納されたウエハ１の下側に、ウエハ１を支持するザグリ５５ａの底面と、ウエハ１の直径Ｄｗよりも若干大きめに設定された直径Ｄａを有するザグリ５５ａの立ち上がり面とを備えた二股のフォーク形のプレート形状に形成されたエンドエフェクタ５５を挿入する工程と、
　前記ウエハ１の前記基板収納容器内の奥側の両奥側位置決め部６、６の近傍に位置し、ウエハ１の両奥側位置決め部６、６の近傍の周縁部を前記ザグリ５５ａの立ち上がり面にて位置規制するとともに、前記位置決め部６、６から取り外された前記ウエハ１をザグリ５５ａの底面に載置し、前記エンドエフェクタ５５を前記基板収納容器内から引き出す工程と、
　を有する基板の搬送方法。」
イ　刊行物２
（ア）刊行物２記載の事項
　刊行物２には以下の事項が記載されている。
（ア）−１　段落【０００１】
「【発明の属する技術分野】本発明は、円形薄板状の部品を搬送するロボットハンド（以下、単にハンドと称する）を用いたハンドリング装置及びこのハンドリング装置と各種の装置との連携動作によって、前記円形薄板状の部品の心出し並びに方向出しを行うハンドリング装置に関し、得に、信頼性の高い半導体装置を製造するための半導体ウエハ（以下、単にウエハと称する）のハンドリング装置に適用して有効な技術に関するものである。」
（ア）−２　段落【００３５】
「その上で、ハンドをウエハが置かれている位置より少し先に挿入し、ハンドのウエハとのアーム側接触点を急傾斜面が垂直面としハンドがウエハを掬い取る際、ウエハがハンドの挿入方向に滑り、ハンドの先端側接触点の接触面を垂直面またはウエハの中心点上方に鋭い頂角を持つ円錐内面にして、滑り降りるウエハの先端を受けとめ、ハンドを高速に動かしてもウエハ把持を確実に保つことができる。・・・」
（ア）−３　段落【００４１】〜【００４４】
「【発明の実施の形態】
（実施形態１）図１は、本発明の実施形態１によるウエハのハンドリング装置を示すもので、掬い取り式斜面型のウエハのハンドリング装置に適用した例を示しており、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ断面図である。
　１はウエハ、１Ａはウエハ１のオリフラ、２はハンド、３はウエハ１を把持するためのアーム側把持部、４はウエハ１を把持するためのアーム側把持部３と対向して設けられた先端側把持部である。
　本実施形態１の半導体ウエハのハンドリング装置は、図１に示すように、ハンド２にアーム側把持部３及び先端側把持部４が互いに対向して設けられている。
　ハンド２は、アーム側把持部３に複数個例えば３個の、また先端側把持部４に複数個例えば２個のウエハ１の外周部と接触する接触点を有している。」
（イ）刊行物２記載の事項
　これらの事項を整理すると刊行物２には以下の事項が記載されていると認めることができる。
「半導体ウエハのハンドリング装置において、ハンドの先端側ウエハ把持部におけるウエハ外周部との接触点の接触面を垂直面またはウエハの中心点上方に鋭い頂角を持つ円錐内面にすること。」
（３）対比
　補正発明と刊行物１記載の発明とを対比すると以下のとおりである。
　刊行物１記載の発明の「ウエハ１」は、補正発明の「基板」に相当することが明らかである。
　そして、刊行物１記載の発明では、基板が基板収納容器内に両奥側位置決め部６、６に当接した状態で収納されているところ、補正明細書の段落【００３０】には「ところで、ポッド２での収納状態でのガタツキを防止する必要上、図６に示されているように、ウエハ１はキャップ７によって両奥側位置決め部６、６に押し付けられた状態になっているために、ウエハ移載装置４０のツィーザ５０によってウエハ１をポッド２内から取り出す際には、ウエハ１は両奥側位置決め部６、６に押接した状態になっている。このようにウエハ１が両奥側位置決め部６、６に押接した状態になると、ウエハ１は両奥側位置決め部６、６によって両側から挟み込まれた状態になる。」と記載されている。
　そうしてみると、刊行物１記載の発明における、位置決め部６、６によって奥側の位置を規制された基板も、前記位置決め部６、６によって両側から挟み込まれた状態で基板収納容器内に収納されているとみるのが相当である。
　また、刊行物１記載の発明の「ウエハ１を支持するザグリ５５ａの底面」は、基板を載置する「基板載置部」であるという限りで、補正発明の「基板載置部」と共通している。そして、刊行物１記載の発明における、基板の周縁部を位置規制する「ザグリ５５ａの立ち上がり面」のうち、ザグリ５５ａの底面の先端側に配置された立ち上がり面は、「二股のフォーク形のプレート形状に形成されたエンドエフェクタ５５」、すなわち、「基板載置プレート」を、基板の下側に挿入し持ち上げた後、手前に引くことによって基板の周縁部を引っ掛ける機能を奏することが明らかであり、その限りで補正発明の「基板引っ掛け部」と共通している。
　したがって、補正発明と刊行物１記載の発明とは、以下の点で一致しているということができる。
＜一致点＞
「基板が収納された基板収納容器の開口部にキャップが装着されることで側壁内面に形成される一対の奥側位置決め部によって基板が挟みこまれた基板収納容器の開口部からキャップを取り外す工程と、
　前記開口部から前記基板収納容器内に挟みこまれ収納された基板の下側に、基板載置部と、前記載置部より先端側に配置された基板引っ掛け部とを備えた基板載置プレートを挿入する工程と、
　前記基板の前記基板収納容器内の奥側の両奥側位置決め部の近傍に位置し、基板の両奥側位置決め部の近傍の周縁部を前記基板引っ掛け部にて引っ掛けるとともに、前記位置決め部から取り外された前記基板を前記載置部に載置し、前記基板載置プレートを前記基板収納容器内から引き出す工程と、
　を有する基板の搬送方法。」
　そして、補正発明と刊行物１記載の発明とは、以下の２点で相違している。
＜相違点１＞
　補正発明では、基板引っ掛け部は、載置部の載置面との夾角が直角または鋭角に設定されているのに対して、刊行物１記載の発明では、基板引っ掛け部と載置部の載置面との夾角がどのような角度をなしているのか明らかでない点。
＜相違点２＞
　補正発明では、載置部が、基端側に設けられた一対の突設部と先端側載置部に設けられた一対の突設部から構成されているのに対して、刊行物１記載の発明では、載置部が、どのように構成されているのか明らかでない点。
（４）相違点の検討
ア　＜相違点１＞について
　上記（２）のイ（イ）で認定したように、刊行物２には「半導体ウエハのハンドリング装置において、ハンドの先端側ウエハ把持部におけるウエハ外周部との接触点の接触面を垂直面またはウエハの中心点上方に鋭い頂角を持つ円錐内面にすること。」が記載されており、刊行物２記載の事項における「接触面」は、補正発明の「基板引っ掛け部」に相当することが明らかである。
　そして、刊行物１記載の発明及び刊行物２記載の事項は、いずれも基板を保持して移送ないし搬送する技術に関するものであることからみて、刊行物２記載の事項を刊行物１記載の発明に適用して、基板引っ掛け部と載置部の載置面との夾角を直角または鋭角となるように設定することに格別の困難性は見当たらない。
イ　＜相違点２＞について
　基板を移送ないし搬送するウエハフォークにおいて、ウエハ載置部を、基端側及び先端側にそれぞれ設けられた一対の突設部から構成することは特開平７−３３５７１４号公報（段落【００１１】及び図６参照。）、特開平１０−２７０５２２号公報（段落【００１０】及び図７参照。）に記載されているように従来周知であり、この従来周知の事項を刊行物１記載の発明に適用して、その載置部を基端側に設けられた一対の突設部と先端側載置部に設けられた一対の突設部から構成することは当業者が格別の創意を要することなく容易に想到するところである。
ウ　＜補正発明の効果＞について
　補正発明によってもたらされる効果も、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び上記従来周知の事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
エ　＜まとめ＞
　したがって、補正発明は、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
３　むすび
　よって、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本件出願の発明について
１　本件出願の発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項に係る発明は、平成２２年１２月１４日付け手続補正書により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし請求項２に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本件出願の発明」という。）は、上記第２の１（１）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりの「基板の搬送方法」である。
２　刊行物
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物及びその記載内容は、上記第２の２（２）に示したとおりである。
３　対比・検討
　本件出願の発明は、上記第２の２で検討した補正発明における「基板収納容器内に挟みこまれ収納された基板」について、「挟みこまれ」という限定を削除するとともに、「基板の前記基板収納容器内の奥側の両奥側位置決め部の近傍に位置し、基板の両奥側位置決め部の近傍の周縁部」について、「両奥側位置決め部の近傍に位置し、基板の両奥側位置決め部の近傍の」という限定を削除したものである。
　そうすると、本件出願の発明を構成する事項の全てを含み、さらに他の限定を付加する補正発明が上記第２の２（４）エで示したとおり、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件出願の発明も同様の理由により当業者が容易に発明をすることができたものである。
４　むすび
　したがって、本件出願の発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、本件出願の請求項２に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきであるから、結論のとおり審決する。