【手続補正書】
【提出日】平成18年8月11日(2006.8.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）に対しての、前記顕微鏡のエネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の電子光学収差を補正するための設定調節を自動的に実行する方法であって、
前記顕微鏡のエネルギ・フィルタリング・システム（１２０）への入口において、既知の幾何学的パターンで電子ビームを走査するステップと、
ビーム検出器（１３０）を用いて、走査した前記ビームの電子イメージを検出するステップと、
前記電子イメージをコンピュータ（１２６）に転送するステップと、
前記走査したビームの前記電子イメージを分析し、前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）に必要な調節を決定するステップと、
前記コンピュータ（１２６）と前記顕微鏡との間の通信によって、前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）に対して前記調節を適用して前記顕微鏡を自動的に調節するステップと、
から成る方法。
【請求項２】
請求項１記載のエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）に対する設定調節を自動的に行なう方法であって、前記電子ビームを精細に合焦する、方法。
【請求項３】
請求項２記載のエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）に対する設定調節を自動的に行なう方法であって、前記走査したビームの前記電子イメージを分析する前記ステップは、
前記走査したビームの電子イメージ内における点の位置を特定するステップと、
前記点の位置の、完全に調節したエネルギ・フィルタに対して予期される位置に対しての変位を判定するステップと、
前記変位を利用して、前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）に対して必要な調節を決定するステップと、
を備える方法。
【請求項４】
請求項３記載のエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）に対する設定調節を自動的に行なう方法であって、前記走査したビームの前記電子イメージを分析する前記ステップは、
（ａ）前記走査したビームのイメージ内における点の位置の第１測定を行なうステップと、
（ｂ）前記第１測定の点位置を格納するステップと、
（ｃ）前記顕微鏡の電子銃（１０２）の加速電圧を変化させるステップと、
（ｄ）前記走査したビームのイメージ内における点の位置の第２測定を行なうステップと、
（ｅ）前記第１測定の位置と前記第２測定の位置との位置の間の差を判定するステップと、
（ｆ）前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）を調節して前記差を補正するステップと、
前記差が指定の許容度内になるまで、ステップ（ａ）ないし（ｆ）を繰り返すステップと、
を備える方法。
【請求項５】
請求項４記載のエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）に対する設定調節を自動的に行なう方法であって、ステップ（ａ）ないし（ｆ）を繰り返す前記ステップを、前記差が実質的に０になるまで実行する、方法。
【請求項６】
請求項２記載のエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）に対する設定調節を自動的に行なう方法であって、前記走査したビームの前記電子イメージを分析する前記ステップは、
前記走査したビームの電子イメージの第１平均垂直倍率、第１平均水平倍率、おおび第１平均アスペクト比を判定するステップと、
前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の第１倍率調節四極レンズを通過する電流レベルを変化させるステップと、
前記走査したビームの電子イメージの第２平均垂直倍率、第２平均水平倍率、および第２平均アスペクト比を判定するステップと、
前記第１および第２平均垂直倍率、前記第１および第２平均水平倍率、ならびに前記第１および第２平均アスペクト比から、前記第１倍率調節四極レンズを通過する電流レベルを変化させるこによる倍率およびアスペクト比に対する増分効果を計算するステップと、
前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の前記第１倍率調節四極レンズを通過する前記電流レベルを復元するステップと、
前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の第２倍率調節四極レンズを通過する電流レベルを変化させるステップと、
前記走査したビームの電子イメージの第３平均垂直倍率、第３平均水平倍率、および第３平均アスペクト比を判定するステップと、
前記第１および第３平均垂直倍率、前記第１および第３平均水平倍率、ならびに前記第１および第３平均アスペクト比から、前記第２倍率調節四極レンズを通過する電流レベルを変化させることによる倍率およびアスペクト比に対する増分効果を計算するステップと、
前記第１および第２倍率調節四極レンズに対する前記電流の変化によってもたらされる倍率およびアスペクト比に対する変化の推定するステップと、
倍率およびアスペクト比の好適な値に基づいて、前記第１および第２倍率調節四極レンズに対して必要な電流の変化を計算するステップと、
前記必要な電流の変化を、前記第１および第２倍率調節四極レンズに適用するステップと、
前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の倍率およびアスペクト比を測定するステップと、
測定した前記倍率およびアスペクト比を、前記倍率およびアスペクト比の前記好適な値と比較するステップと、
測定した前記倍率およびアスペクト比の値と好適な前記倍率およびアスペクト比の値との間の差が指定の許容度を超過する場合、前述のステップを繰り返すステップと、
を備える方法。
【請求項７】
請求項６記載のエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）に対する設定調節を自動的に行なう方法であって、前記走査したビームの電子イメージの第１、第２および第３平均垂直倍率、第１、第２および第３平均水平倍率、ならびに第１、第２および第３平均アスペクト比を判定する前記ステップは、
前記走査したビームのイメージの最上部、最下部、右辺および左辺に隣接して位置する前記走査したビームのイメージ内の点の位置を測定するステップと、
前記走査したビームのイメージの前記最上部および最下部の点の間の平均距離を判定するステップと、
前記走査したビームのイメージの前記右辺および左辺の点の間の平均距離を判定するステップと、
平均垂直倍率を計算するステップと、
平均水平倍率を計算するステップと、
前記平均垂直倍率と前記平均水平倍率との比率を取り、前記走査したビームのイメージに対するアスペクト比を判定するステップと、
を備える方法。
【請求項８】
請求項２記載のエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）に対する設定調節を自動的に行なう方法であって、前記走査したビームの前記電子イメージを分析する前記ステップ、および前記調節を前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）に適用する前記ステップは、
（ａ）前記走査したビームのイメージの最上部、最下部、右辺および左辺に隣接して位置する前記走査したビームのイメージ内の点の位置を測定するステップと、
（ｂ）前記走査したビームのイメージの前記最上部と最下部の点の間の平均距離を判定するステップと、
（ｃ）前記走査したビームのイメージの前記右辺と左辺の点の間の平均距離を判定するステップと、
（ｄ）前記走査したビームのイメージの前記最上部と最下部の点の間の前記平均距離から、平均垂直倍率を計算するステップと、
（ｅ）前記走査したビームのイメージの前記右辺と左辺の点の間の前記平均距離から、平均水平倍率を計算するステップと、
（ｆ）前記平均垂直倍率と前記平均水平倍率との比率を取り、前記走査したビームのイメージに対するアスペクト比を判定するステップと、
（ｇ）前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の第１倍率調節四極レンズを通過する電流レベルを変化させるステップと、
（ｈ）ステップ（ａ）ないし（ｆ）を繰り返すステップと、
（ｉ）前記走査したビームのイメージの倍率およびアスペクト比に対する、前記第１倍率調節四極レンズを通過する電流レベルを変化させたことによる増分効果を計算するステップと、
（ｊ）前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の前記第１倍率調節四極レンズを通過する電流レベルを復元するステップと、
（ｋ）前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の第２倍率調節四極レンズを通過する電流レベルを変化させるステップと、
（ｌ）ステップ（ａ）ないし（ｆ）を繰り返すステップと、
（ｍ）前記走査したビームのイメージの倍率およびアスペクト比に対する、前記第２倍率調節四極レンズを通過する電流レベルを変化させたことによる増分効果を計算するステップと、
（ｎ）前記第１および第２倍率調節四極レンズに対する前記電流の変化によってもたらされる倍率およびアスペクト比に対する変化を推定するステップと、
（ｏ）倍率およびアスペクト比の好適な値に基づいて、前記第１および第２倍率調節四極レンズに対して必要な電流変化を計算するステップと、
（ｐ）前記必要な電流変化を前記第１および第２倍率調節四極レンズに適用するステップと、
（ｑ）前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の倍率およびアスペクト比を測定するステップと、
（ｒ）前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の測定した前記倍率およびアスペクト比を、前記倍率およびアスペクト比の好適な値と比較するステップと、
（ｓ）測定した前記倍率およびアスペクト比の値と好適な前記倍率およびアスペクト比の値の間の差が指定の許容度を超過する場合、ステップ（ａ）ないし（ｒ）を繰り返すステップと、
を備える方法。
【請求項９】
請求項２記載のエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）に対する設定調節を自動的に行なう方法であって、前記走査したビームの前記電子イメージを分析する前記ステップおよび前記調節を前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）に適用する前記ステップは、
前記走査したビームの電子イメージ内において点の位置を特定するステップと、
前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の第１六極レンズを通過する電流レベルを変化させるステップと、
前記第１六極レンズを通過する電流の変化に対しての微分六極強度係数を計算するステップと、
前記第１六極レンズを通過する電流レベルをリセットするステップと、
前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の第２六極レンズを通過する電流レベルを変化させるステップと、
前記第２六極レンズを通過する電流の変化に対しての微分強度係数を計算するステップと、
前記第２六極レンズを通過する電流レベルをリセットするステップと、
前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の第３六極レンズを通過する電流レベルを変化させるステップと、
前記第３六極レンズを通過する電流の変化に対しての微分強度係数を計算するステップと、
六極レンズの電流変化に対しての、収差係数に対する変化を推定するステップと、
前記六極レンズに必要な電流変化を計算するステップと、
計算した前記必要な電流変化を前記六極レンズに適用するステップと、
収差係数を、指定された許容度と比較するステップと、
前記収差係数が前記指定された許容度内に収まらない場合、前述のステップを繰り返すステップと、
を備える方法。
【請求項１０】
請求項１記載のエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）に対する設定調節を自動的に行なう方法であって、前記電子ビームを拡散し、前記方法が、更に、
拡散した前記ビームを走査せずに、前記拡散したビームのイメージを検出し、非偏向ビーム・イメージを生成するステップと、
前記非偏向ビーム・イメージを前記コンピュータ（１２６）へ転送するステップと、
を含み、
前記走査したビームの前記電子イメージを分析する前記ステップは、
前記走査したビームのイメージと前記非偏向ビーム・イメージとの相互相関を取り、前記走査したビームの電子イメージ内の点の位置を特定するピーク・マーキング・イメージを生成するステップと、
前記点の位置の、完全に調節したエネルギ・フィルタに対して予期された位置に対しての変位を判定するステップと、
前記変位を利用して、前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）に対して必要な調節を決定するステップと、
を備える方法。
【請求項１１】
請求項１０記載のエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）に対する設定調節を自動的に行なう方法であって、前記走査したビームの前記電子イメージを分析する前記ステップは、
（ａ）前記走査したビームのイメージ内における点の位置の第１測定を行なうステップと、
（ｂ）前記第１測定の点の位置を格納するステップと、
（ｃ）前記顕微鏡の電子銃（１０２）の加速電圧を変化させるステップと、
（ｄ）前記走査したビームのイメージ内における点の位置の第２測定を行なうステップと、
（ｅ）前記第１測定の位置と前記第２測定の位置との位置の間の差を判定するステップと、
（ｆ）前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）を調節して前記差を補正するステップと、
前記差が指定の許容度内になるまでステップ（ａ）ないし（ｆ）を繰り返すステップと、
を備える方法。
【請求項１２】
請求項１１記載のエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）に対する設定調節を自動的に行なう方法であって、ステップ（ａ）ないし（ｆ）を繰り返す前記ステップを、前記差が実質的に０になるまで実行する、方法。
【請求項１３】
請求項１０記載のエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）に対する設定調節を自動的に行なう方法であって、前記走査したビームの前記電子イメージを分析する前記ステップは、
前記走査したビームの電子イメージの第１平均垂直倍率、第１平均水平倍率、おおび第１平均アスペクト比を判定するステップと、
前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の第１倍率調節四極レンズを通過する電流レベルを変化させるステップと、
前記走査したビームの電子イメージの第２平均垂直倍率、第２平均水平倍率、および第２平均アスペクト比を判定するステップと、
前記第１および第２平均垂直倍率、前記第１および第２平均水平倍率、ならびに前記第１および第２平均アスペクト比から、前記第１倍率調節四極レンズを通過する電流レベルを変化させることによる倍率およびアスペクト比に対する増分効果を計算するステップと、
前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の前記第１倍率調節四極レンズを通過する前記電流レベルを復元するステップと、
前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の第２倍率調節四極レンズを通過する電流レベルを変化させるステップと、
前記走査したビームの電子イメージの第３平均垂直倍率、第３平均水平倍率、および第３平均アスペクト比を判定するステップと、
前記第１および第３平均垂直倍率、前記第１および第３平均水平倍率、ならびに前記第１および第３平均アスペクト比から、前記第２倍率調節四極レンズを通過する電流レベルを変化させることによる倍率およびアスペクト比に対する増分効果を計算するステップと、
前記第１および第２倍率調節四極レンズに対する前記電流変化によってもたらされる倍率およびアスペクト比に対する変化を推定するステップと、
好適な倍率およびアスペクト比の値に基づいて、前記第１および第２倍率調節四極レンズに対して必要な電流変化を計算するステップと、
前記必要な電流変化を、前記第１および第２倍率調節四極レンズに適用するステップと、
前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の倍率およびアスペクト比を測定するステップと、
測定した前記倍率およびアスペクト比を、前記好適な倍率およびアスペクト比の値と比較するステップと、
前記測定した倍率およびアスペクト比の値と前記好適な倍率およびアスペクト比の値の間の差が指定の許容度を超える場合、前述のステップを繰り返すステップと、
を備える方法。
【請求項１４】
請求項１３記載のエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）に対する設定調節を自動的に行なう方法であって、前記走査したビームの電子イメージの第１、第２および第３平均垂直倍率、第１、第２および第３平均水平倍率、ならびに第１、第２および第３平均アスペクト比を判定する前記ステップは、
前記走査したビームのイメージの最上部、最下部、右辺および左辺に隣接して位置する前記走査したビームのイメージ内の点の位置を測定するステップと、
前記走査したビームのイメージの前記最上部と最下部の点の間の平均距離を判定するステップと、
前記走査したビームのイメージの前記右辺と左辺の点の間の平均距離を判定するステップと、
平均垂直倍率を計算するステップと、
平均水平倍率を計算するステップと、
前記平均垂直倍率の前記平均水平倍率に対する比率を取り、前記走査したビームのイメージに対するアスペクト比を判定するステップと、
を備える方法。。
【請求項１５】
請求項１０記載のエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）に対する設定調節を自動的に行なう方法であって、前記走査したビームの前記電子イメージを分析する前記ステップおよび前記調節を前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）に適用する前記ステップは、
（ａ）前記走査したビームのイメージの最上部、最下部、右辺および左辺に隣接して位置する前記走査したビームのイメージ内の点の位置を測定するステップと、
（ｂ）前記走査したビームのイメージの前記最上部と最下部の点の間の平均距離を判定するステップと、
（ｃ）前記走査したビームのイメージの前記右辺と左辺の点の間の平均距離を判定するステップと、
（ｄ）前記走査したビームのイメージの前記最上部と最下部の点の間の前記平均距離から平均垂直倍率を計算するステップと、
（ｅ）前記走査したビームのイメージの前記右辺と左辺の点の間の前記平均距離から平均水平倍率を計算するステップと、
（ｆ）前記平均垂直倍率の前記平均水平倍率に対する比率を取り、前記走査したビームのイメージに対するアスペクト比を判定するステップと、
（ｇ）前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の第１倍率調節四極レンズを通過する電流レベルを変化させるステップと、
（ｈ）ステップ（ａ）ないし（ｆ）を繰り返すステップと、
（ｉ）前記第１倍率調節四極レンズを通過する電流レベルを変化させたことによる、前記走査したビームのイメージの倍率およびアスペクト比への増分効果を計算するステップと、
（ｊ）前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の前記第１倍率調節四極レンズを通過する電流レベルを復元するステップと、
（ｋ）前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の第２倍率調節四極レンズを通過する電流レベルを変化させるステップと、
（ｌ）ステップ（ａ）ないし（ｆ）を繰り返すステップと、
（ｍ）前記走査したビームのイメージの倍率およびアスペクト比に対する、前記第２倍率調節四極レンズを通過する電流レベルを変化させたことによる増分効果を計算するステップと、
（ｎ）前記第１および第２倍率調節四極レンズに対する前記電流変化によってもたらされる倍率およびアスペクト比に対する変化を推定するステップと、
（ｏ）好適な倍率およびアスペクト比の値に基づいて、前記第１および第２倍率調節四極レンズに対して必要な電流変化を計算するステップと、
（ｐ）前記必要な電流変化を前記第１および第２倍率調節四極レンズに適用するステップと、
（ｑ）前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の倍率およびアスペクト比を測定するステップと、
（ｒ）前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の測定した前記倍率およびアスペクト比を、前記好適に倍率およびアスペクト比の値と比較するステップと、
（ｓ）前記測定した倍率およびアスペクト比の値と前記好適な倍率およびアスペクト比の値の間の差が指定の許容度を超える場合、ステップ（ａ）ないし（ｒ）を繰り返すステップと、
を備える方法。
【請求項１６】
請求項１０記載のエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）に対する設定調節を自動的に行なう方法であって、前記走査したビームの前記電子イメージを分析する前記ステップおよび前記調節を前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）に適用する前記ステップは、
前記走査したビームの電子イメージ内において点の位置を特定するステップと、
前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の第１六極レンズを通過する電流レベルを変化させるステップと、
前記第１六極レンズを通過する電流の変化に対しての微分六極強度係数を計算するステップと、
前記第１六極レンズを通過する電流レベルをリセットするステップと、
前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の第２六極レンズを通過する電流レベルを変化させるステップと、
前記第２六極レンズを通過する電流の変化に対しての微分強度係数を計算するステップと、
前記第２六極レンズを通過する電流レベルをリセットするステップと、
前記顕微鏡の前記エネルギ・フィルタリング・システム（１２０）の第３六極レンズを通過する電流レベルを変化させるステップと、
前記第３六極レンズを通過する電流の変化に対しての微分強度係数を計算するステップと、
六極レンズの電流変化に対する収差係数に対する変化を推定するステップと、
前記六極レンズに必要な電流変化を計算するステップと、
計算した前記必要な電流変化を前記六極レンズに適用するステップと、
収差係数を、指定された許容度と比較するステップと、
前記収差係数が前記指定された許容度内に収まらない場合、前述のステップを繰り返すステップと、
を備える方法。
【請求項１７】
透過電子顕微鏡（１０１）および関連するエネルギ・フィルタを含むエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）システムであって、
前記エネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）システムによって生成された電子イメージを検出するビーム検出アセンブリ（１３０）と、
電子光学系と、
前記エネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）システムの設定調節を自動的に行なうように構成されたコンピュータ（１２６）であって、前記エネルギ・フィルタおよび前記透過電子顕微鏡（１０１）に結合され、前記顕微鏡、前記ビーム検出アセンブリ（１３０）および前記電子光学系を制御して、前記エネルギ・フィルタへの入口において既知の幾何学的パターンで電子ビームを制御し走査する、コンピュータ（１２６）と、
を備えるエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡システム。
【請求項１８】
請求項１７記載のエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）システムであって、前記電子光学系は前記透過電子顕微鏡（１０１）内にレンズを備える、エネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡システム。
【請求項１９】
請求項１７記載のエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）システムであって、前記電子光学系は、前記透過電子顕微鏡（１０１）内に、アライメント・コイルを備える、エネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡システム。
【請求項２０】
請求項１７記載のエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）システムであって、前記電子ビームを前記既知の幾何学的パターンで拡散および走査するように前記電子光学系を制御する、エネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡システム。
【請求項２１】
請求項１７記載のエネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡（１００）システムであって、前記電子ビームを前記既知の幾何学的パターンで精細に合焦および走査するように前記電子光学系を制御する、エネルギ・フィルタリング透過電子顕微鏡システム。