(57)【要約】【課題】コストの削減及び検査効率の改善を可能とする。【解決手段】表示装置の検査装置であって、複数の第１プローブを備えた第１プローブブロックと、前記第１プローブブロックの位置を可変自在に支持するプローブブロック取り付け治具と、前記複数の第１プローブに対して信号を供給する信号源と、前記第１プローブブロックと前記信号源とを接続する伝送ケーブルと、を備えた検査装置。【選択図】図５
2017003484.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示装置の検査装置であって、
複数の第１プローブを備えた第１プローブブロックと、
前記第１プローブブロックの位置を可変自在に支持するプローブブロック取り付け治具と、
前記複数の第１プローブに対して信号を供給する信号源と、
前記第１プローブブロックと前記信号源とを接続する伝送ケーブルと、を備えた検査装置。
【請求項２】
前記プローブブロック取り付け治具に位置を可変自在に支持され、複数の第２プローブを備えた第２プローブブロックを更に備え、
前記信号源は、前記複数の第２プローブに対しても信号を供給する、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記信号源は、前記第１及び第２プローブの総数よりも少ない複数チャネルの前記信号を前記複数の第１プローブと前記複数の第２プローブとに供給し、
前記複数チャネルのうちの少なくとも１チャネルから出力される信号を、同一タイミングで前記第１及び第２プローブブロックの双方に供給する、請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記複数の第２プローブが前記複数の第１プローブと同一ピッチで配列されている、請求項２又は３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記第１プローブブロックの前記複数の第１プローブの総数は、前記第２プローブブロックの前記複数の第２プローブの総数と等しい、請求項２乃至４の何れかに記載の検査装置。
【請求項６】
前記プローブブロック取り付け治具に支持されるプローブブロックの数は可変である、請求項２乃至５の何れかに記載の検査装置。
【請求項７】
複数の第１プローブを備えた第１プローブブロックと、
複数の第２プローブを備えた第２プローブブロックと、
前記第１及び第２プローブブロックの間隔を可変自在に支持するプローブブロック取り付け治具と、
信号源と、
前記第１及び第２プローブブロックと前記信号源とを接続する伝送ケーブルと、を備えた検査装置を用いた表示装置用マザー基板の検査方法であって、
前記表示装置用マザー基板に設けられた複数の第１パッドからなる第１パッド群と、前記第１パッド群から離間し複数の第２パッドからなる第２パッド群との間隔に合わせて、前記第１及び第２プローブブロックの間隔を調整し、
前記第１及び第２プローブをそれぞれ前記第１及び第２パッドに接触させる、検査方法。
【請求項８】
前記信号源の少なくとも１チャネルから出力される検査信号を、同一タイミングで前記第１及び第２プローブブロックの双方に供給する、請求項７に記載の検査方法。
【請求項９】
前記信号源は、前記第１及び第２プローブの総数よりも少ない複数チャネルの信号を前記複数の第１プローブと前記複数の第２プローブとに供給する、請求項７又は８に記載の検査方法。
【請求項１０】
表示領域及び検査用パッドを有する周辺領域を備えた表示装置であって、
前記検査用パッドは、
複数の第１パッドからなる第１パッド群と、複数の第２パッドからなる第２パッド群と、からなり、
前記第１パッド群と前記第２パッド群とは離間しており、前記複数の第２パッドが前記複数の第１パッドと同一ピッチで配列されている、表示装置。
【請求項１１】
前記第１パッド群及び前記第２パッド群は、前記表示装置の端辺に沿った同一直線上に位置する、請求項１０に記載の表示装置。
【請求項１２】
前記周辺領域において前記第１パッド群と前記第２パッド群との間に位置し、前記表示領域に画像を表示するのに必要な信号を供給するための端子を備えた信号供給部を備えた、請求項１０又は１１に記載の表示装置。
【請求項１３】
前記第１パッド群の前記複数の第１パッドの数と、前記第２パッド群の前記複数の第２パッドの数とは等しい、請求項１０又は１１に記載の表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、表示装置の検査装置、表示装置用マザー基板の検査方法、及び、表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などの表示装置が実用化されている。このような表示装置の製造過程では、点灯検査などの各種動作検査が行われる。このような検査に適用される検査装置は、表示装置に形成された複数のパッドに対して一括して検査信号を供給するために、複数のプローブを必要としている。例えば、特許文献１によれば、アレイ検査用の回路とセル検査用の回路とを一体的に形成することで、検査時に必要なプローブの数を低減する技術が開示されている。
【０００３】
一方で、検査装置の信号源のチャネル数が表示装置のパッドの総数あるいは検査装置のプローブの総数を超えてしまう場合や、パッドの総数やパッド間のピッチ（あるいはパッドのレイアウト）が製品仕様毎に異なる場合には、その都度、プローブを設計しなおして製作する必要があり、コストの増大及び検査効率の低下を招く。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−４３９８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本実施形態の目的は、コストの削減及び検査効率の改善が可能な表示装置の検査装置、表示装置用マザー基板の検査方法、及び、表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本実施形態によれば、
表示装置の検査装置であって、複数の第１プローブを備えた第１プローブブロックと、前記第１プローブブロックの位置を可変自在に支持するプローブブロック取り付け治具と、前記複数の第１プローブに対して信号を供給する信号源と、前記第１プローブブロックと前記信号源とを接続する伝送ケーブルと、を備えた検査装置が提供される。
【０００７】
本実施形態によれば、
複数の第１プローブを備えた第１プローブブロックと、複数の第２プローブを備えた第２プローブブロックと、前記第１及び第２プローブブロックの間隔を可変自在に支持するプローブブロック取り付け治具と、信号源と、前記第１及び第２プローブブロックと前記信号源とを接続する伝送ケーブルと、を備えた検査装置を用いた表示装置用マザー基板の検査方法であって、前記表示装置用マザー基板に設けられた複数の第１パッドからなる第１パッド群と、前記第１パッド群から離間し複数の第２パッドからなる第２パッド群との間隔に合わせて、前記第１及び第２プローブブロックの間隔を調整し、前記第１及び第２プローブをそれぞれ前記第１及び第２パッドに接触させる、検査方法が提供される。
【０００８】
本実施形態によれば、
表示領域及び検査用パッドを有する周辺領域を備えた表示装置であって、前記検査用パッドは、複数の第１パッドからなる第１パッド群と、複数の第２パッドからなる第２パッド群と、からなり、前記第１パッド群と前記第２パッド群とは離間しており、前記複数の第２パッドが前記複数の第１パッドと同一ピッチで配列されている、表示装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、本実施形態における表示装置ＤＳＰの構成を概略的に示す図である。
【図２】図２は、図１に示した第１パッド群ＰＧ１及び第２パッド群ＰＧ２の構成例を示す平面図である。
【図３】図３は、本実施形態の表示装置ＤＳＰを検査するための検査装置１の構成例を示す図である。
【図４】図４は、図３に示した検査装置１に適用可能なプローブブロック１０の構成例を示す図である。
【図５】図５は、本実施形態の検査装置１に適用可能な検査方法を説明するための図である。
【図６】図６は、本実施形態の検査装置１の検査対象であるマザー基板Ｍの構成例を示す図である。
【図７】図７は、本実施形態の検査装置１の検査対象であるマザー基板Ｍの他の構成例を示す図である。
【図８】図８は、本実施形態の検査装置１の検査対象であるマザー基板Ｍの他の構成例を示す図である。
【図９】図９は、本実施形態の検査装置１の検査対象であるマザー基板Ｍの他の構成例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、開示はあくまで一例に過ぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べて、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同一又は類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する詳細な説明を適宜省略することがある。
【００１１】
本実施形態における表示装置としては、液晶素子を有する液晶表示装置、有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）素子等を有する自発光型の表示装置、電気泳動素子等を有する電子ペーパ型の表示装置、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）を応用した表示装置、或いはエレクトロクロミズムを応用した表示装置などに適用可能である。このような表示装置は、例えば、スマートフォン、タブレット端末、携帯電話端末、パーソナルコンピュータ、テレビ受像装置、車載装置、ゲーム機器等の種々の装置に用いることができる。
【００１２】
図１は、本実施形態における表示装置ＤＳＰの構成を概略的に示す図である。なお、ここでは、説明に必要な主要部の構成を模式的に示している。
【００１３】
すなわち、表示装置ＤＳＰは、平板状の表示パネルＰＮＬを備えている。表示パネルＰＮＬは、第１基板ＳＵＢ１と、この第１基板ＳＵＢ１に対向して配置された第２基板ＳＵＢ２と、を備えている。これらの第１基板ＳＵＢ１及び第２基板ＳＵＢ２は、シール材などを介して貼り合せられている。
【００１４】
このような表示パネルＰＮＬは、画像を表示する表示領域ＤＡ及び表示領域ＤＡよりも外側の周辺領域ＰＲを備えている。表示領域ＤＡは、複数の画素ＰＸによって構成されている。図示した例では、表示領域ＤＡは、四角形状に形成されているが、他の多角形状に形成されても良いし、円形状あるいは楕円形状などの他の形状に形成されても良い。表示パネルＰＮＬは、表示領域ＤＡにおいて、ゲート配線Ｇ、ソース配線Ｓ、各画素ＰＸにおいてゲート配線Ｇ及びソース配線Ｓと電気的に接続されたスイッチング素子ＳＷ、各画素ＰＸにおいてスイッチング素子ＳＷと電気的に接続された画素電極ＰＥ、画素電極と対向する共通電極ＣＥなどを備えている。
【００１５】
上記の表示装置ＤＳＰが液晶表示装置である場合、表示装置ＤＳＰは、バックライトユニットから表示パネルＰＮＬに入射する光を各画素ＰＸで選択的に透過させることによって画像を表示する、いわゆる透過型の液晶表示装置であっても良いし、外部から表示パネルＰＮＬに向かって入射する外光を各画素ＰＸで選択的に反射させることによって画像を表示する反射型の液晶表示装置であっても良いし、透過型及び反射型の双方の機能を備えた半透過型の液晶表示装置であっても良い。
【００１６】
なお、表示パネルＰＮＬの詳細な構成について、ここでは説明を省略するが、表示パネルＰＮＬが第１基板ＳＵＢ１と第２基板ＳＵＢ２との間に液晶層ＬＣを保持した液晶表示パネルである場合には、表示パネルＰＮＬは、基板主面の法線に沿った縦電界を利用する表示モード、基板主面に対して斜め方向に傾斜した傾斜電界を利用する表示モード、基板主面に沿った横電界を利用する表示モード、さらには、上記の縦電界、横電界、及び、傾斜電界を適宜組み合わせて利用する表示モードに対応したいずれの構成を有していても良い。例えば、縦電界を利用する表示モードの場合、第１基板ＳＵＢ１が画素電極ＰＥを備え、第２基板ＳＵＢ２が液晶層ＬＣを介して画素電極ＰＥと対向する共通電極ＣＥを備える。また、横電界を利用する表示モードの場合、第１基板ＳＵＢ１が画素電極ＰＥ及び共通電極ＣＥを備える。
【００１７】
図示した表示パネルＰＮＬにおいて、周辺領域ＰＲは、表示領域ＤＡを囲む額縁状に形成されている。表示パネルＰＮＬは、周辺領域ＰＲにおいて、検査部ＩＳ及び信号供給部ＳＳを備えている。
【００１８】
検査部ＩＳは、表示装置ＤＳＰの動作検査に必要な検査信号を供給するための複数の検査用パッドを備えている。ここでの動作検査とは、例えば第１基板ＳＵＢ１に第２基板ＳＵＢ２を貼り合せる前に点欠陥（第１基板ＳＵＢ１における配線間のショートあるいは配線の断線）の有無などを検査する品質検査や、第１基板ＳＵＢ１に第２基板ＳＵＢ２を貼り合せた後に各画素が正常に点灯するか否かを検査する点灯検査などが含まれる。このような検査部ＩＳは、検査用パッドとして、複数の第１パッドＰＡからなる第１パッド群ＰＧ１、及び、複数の第２パッドＰＢからなる第２パッド群ＰＧ２を備えている。これらの第１パッド群ＰＧ１及び第２パッド群ＰＧ２の詳細については後述する。
【００１９】
信号供給部ＳＳは、周辺領域ＰＲにおいて、第１パッド群ＰＧ１と第２パッド群ＰＧ２との間に位置している。このような信号供給部ＳＳは、表示装置ＤＳＰに画像を表示するのに必要な信号を供給するための端子を備えている。より具体的には、信号供給部ＳＳは、複数の第１端子ＴＡからなる第１端子群ＴＧ１、及び、複数の第２端子ＴＢからなる第２端子群ＴＧ２を備えている。第１端子群ＴＧ１は、第１基板ＳＵＢ１の表示装置ＤＳＰの端辺ＳＡに沿って形成されている。なお、図示した例では、端辺ＳＡは、第１基板ＳＵＢ１の端辺に相当する。第２基板ＳＵＢ２の端辺ＳＢは、端辺ＳＡよりも表示領域ＤＡ側に位置している。この第１端子群ＴＧ１には、フレキシブルプリント回路基板などの信号供給源が実装される。第２端子群ＴＧ２は、端辺ＳＡと端辺ＳＢとの間に形成されている。この第２端子群ＴＧ２には、駆動ＩＣチップなどの信号供給源が実装される。
【００２０】
図２は、図１に示した第１パッド群ＰＧ１及び第２パッド群ＰＧ２の構成例を示す平面図である。なお、図示した例では、端辺ＳＡ及びＳＢが延出する方向を第１方向Ｘとし、第１方向Ｘに直交する方向を第２方向Ｙとする。
【００２１】
図２では、第１パッド群ＰＧ１を構成する第１パッドＰＡの総数は、第２パッド群ＰＧ２を構成する第２パッドＰＢの総数と同数である。また、第１パッド群ＰＧ１における第１パッドＰＡのレイアウトは、第２パッド群ＰＧ２における第２パッドＰＢのレイアウトと同一である。これらの第１パッド群ＰＧ１及び第２パッド群ＰＧ２は、端辺ＳＡ及びＳＢに沿った同一直線上に位置している。
【００２２】
以下に、第１パッド群ＰＧ１に着目して詳細な構成について説明する。図示した例では、第１パッドＰＡの総数は２７個である。第１パッドＰＡは、図中に拡大したように、第１方向Ｘに沿って幅Ｗを有するとともに、第２方向Ｙに沿って長さＬを有する長方形状に形成されている。このような第１パッドＰＡは、第２方向Ｙに２列に並んだレイアウトを有しており、端辺ＳＡに近接する側に位置する第１列Ｒ１、及び、端辺ＳＢに近接する側に位置する第２列Ｒ２を有している。第１列Ｒ１は、１３個の第１パッドＰＡを有しており、これらの第１パッドＰＡは第１方向Ｘに沿って等ピッチＤＸで並んでいる。第２列Ｒ２は、１４個の第１パッドＰＡを有しており、これらの第１パッドＰＡは第１方向Ｘに沿って等ピッチＤＸで並んでいる。第１列Ｒ１及び第２列Ｒ２における第１パッドＰＡの配列ピッチＤＸは同一である。第１列Ｒ１の第１パッドＰＡと第２列Ｒ２の第１パッドＰＡとの第２方向Ｙに沿ったピッチＤＹは一定である。なお、ここでのピッチＤＸは第１パッドＰＡの中心間の第１方向Ｘに沿った間隔に相当し、ピッチＤＹは第１パッドＰＡの中心間の第２方向Ｙに沿った間隔に相当する。
【００２３】
第２パッド群ＰＧ２については、第２パッドＰＢは、第１パッドＰＡの配列ピッチＤＸ及びＤＹと同一ピッチで配列されている。第２パッドＰＢは、実質的に第１パッドＰＡと同一形状に形成され、図中に拡大したように、第１方向Ｘに沿った幅Ｗ及び第２方向Ｙに沿って長さＬはいずれも第１パッドＰＡと同一である。
【００２４】
図２では、第１端子群ＴＧ１及び第２端子群ＴＧ２は、第１パッド群ＰＧ１と第２パッド群ＰＧ２との間に位置しているが、特に制限される訳ではなく、第１パッド群ＰＧ１と第２パッド群ＰＧ２との間には、第１端子群ＴＧ１及び第２端子群ＴＧ２の一方のみが設けられた構成、或いは、双方とも設けられていない構成であってもよい。また、第１パッド群ＰＧ１の第１パッドＰＡの数と第２パッド群ＰＧ２の第２パッドＰＢの数とが等しい必要はなく、検査項目や検査方法、画素配列や検査用の配線の引き回し等に応じてそれぞれの数を異ならせてもよい。つまり、後述するプローブブロックに配列されたプローブの数とそれぞれのパッド群のパッドの数とが異なっていてもよい。また、第１パッドＰＡ及び第２パッドＰＢとは、第２方向Ｙに２列に並んだレイアウトとしているが、１列であってもよく、３列以上であってもよい。第１パッド群ＰＧ１の列数と第２パッド群ＰＧ２の列数とが異なっていてもよい。また、第１パッド群ＰＧ１及び第２パッド群ＰＧ２は、端辺ＳＡ及びＳＢに沿った同一直線上に位置しているとしているが、矩形以外のパネルの場合であれば、少なくとも第１端子群ＴＧ１の延在方向又は第２端子群ＴＧ２の延在方向に沿った同一直線上に設ければよい。
【００２５】
図３は、本実施形態の表示装置ＤＳＰを検査するための検査装置１の構成例を示す図である。ここでは、検査装置の一例として、表示領域ＤＡ及び周辺領域ＰＲを有する有効領域ＥＦが複数並んだ表示装置用マザー基板Ｍの検査装置１について説明する。図示した例では、マザー基板Ｍにおいて、有効領域ＥＦは、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙにそれぞれ並んでいる。各有効領域ＥＦの周辺領域ＰＲには、上記の検査用パッドに相当する第１パッド群ＰＧ１及び第２パッド群ＰＧ２が形成されている。
【００２６】
検査装置１は、複数のプローブブロック１０、プローブブロック取り付け治具２０、信号源３０、伝送ケーブル４０などを備えている。なお、図中において、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙに直交する方向を第３方向Ｚとする。
【００２７】
プローブブロック１０の各々は、いずれも同一構成であり、複数のプローブを備えている。プローブブロック１０の詳細については、後述する。本実施形態においては、少なくとも２個のプローブブロック１０が１つの有効領域ＥＦに対応して設けられる。図示した例では、１つの有効領域ＥＦに対して、２個のプローブブロックが設けられており、説明上、これらを区別するために、以下、これらのプローブブロックを第１プローブブロック１１及び第２プローブブロック１２と称する。第１プローブブロック１１は、第２プローブブロック１２との間に所定の間隔をおいて配置されている。第１プローブブロック１１は有効領域ＥＦにおける第１パッド群ＰＧ１と対向し、第２プローブブロック１２は当該有効領域ＥＦにおける第２パッド群ＰＧ２と対向している。第１プローブブロック１１及び第２プローブブロック１２の第１方向Ｘに沿った間隔は、第１パッド群ＰＧ１及び第２パッド群ＰＧ２の第１方向Ｘに沿った間隔と同等である。
【００２８】
プローブブロック取り付け治具２０は、複数のプローブブロック１０を支持する。このプローブバー２０は、第１方向Ｘに沿って延出しており、第１プローブブロック１１及び第２プローブブロック１２を両者の間隔を可変自在に支持している。つまり、第１プローブブロック１１及び第２プローブブロック１２の各々は、第１方向Ｘに平行な図中の矢印Ａの方向に沿って移動可能である。すなわち、第１プローブブロック１１及び第２プローブブロック１２は、検査対象であるマザー基板Ｍの第１パッド群ＰＧ１と第２パッド群ＰＧ２との間隔に合わせて、プローブブロック取り付け治具２０に沿って移動される。これにより、第１プローブブロック１１及び第２プローブブロック１２の間隔は、第１パッド群ＰＧ１及び第２パッド群ＰＧ２の間隔に合わせて調整可能となる。
【００２９】
このようなプローブブロック取り付け治具２０は、昇降機構２１及びスライド機構２２に接続されている。昇降機構２１は、第３方向Ｚに平行な図中の矢印Ｂの方向に沿ってプローブバー２０を昇降させる構成を具備している。スライド機構２２は、第２方向Ｙに平行な図中の矢印Ｃの方向に沿ってプローブブロック取り付け治具２０をスライドさせる構成を具備している。
【００３０】
信号源３０は、検査に必要な所定のチャネル数を有している。信号源３０において、第１プローブブロック用に割り当てられるチャネル数は、第２プローブブロック用に割り当てられるチャネル数と同数である。
【００３１】
伝送ケーブル４０は、第１プローブブロック１１及び第２プローブブロック１２の各々と信号源３０とを接続している。信号源３０に接続された伝送ケーブル４０のうち、第１プローブブロック１１に繋がった伝送ケーブル４０は、信号源３０において第１プローブブロック用に割り当てられたチャネルと接続される。同様に、信号源３０に接続された伝送ケーブル４０のうち、第２プローブブロック１２に繋がった伝送ケーブル４０は、信号源３０において第２プローブブロック用に割り当てられたチャネルと接続される。
【００３２】
図４は、図３に示した検査装置１に適用可能なプローブブロック１０の構成例を示す図である。図中の（ａ）はプローブブロック１０の斜視図であり、図中の（ｂ）はプローブブロック１０のプローブ側から見た平面図である。
【００３３】
すなわち、図４の（ａ）に示すように、プローブブロック１０は、その下面に複数のプローブＰＰを備えている。図示した例では、プローブブロック１０は、直方体状に形成され、プローブバー２０が挿入される貫通孔１０Ｈを有している。このようなプローブブロック１０には、伝送ケーブル４０が接続されている。
【００３４】
図４の（ｂ）に示すように、プローブブロック１０は、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙによって規定されるＸ−Ｙ平面において、所定のレイアウトで配列されたプローブＰＰを備えている。プローブＰＰのレイアウトは、図２に示した第１パッド群ＰＧ１における第１パッドＰＡのレイアウトと同一である。勿論、プローブＰＰのレイアウトは、第２パッド群ＰＧ２における第２パッドＰＢのレイアウトとも同一である。つまり、プローブＰＰの総数は、第１パッドＰＡの総数と同数であり、図示した例では２７個である。このようなプローブＰＰは、第２方向Ｙに２列に並んだレイアウトを有しており、図２に示した第１パッドＰＡの第１列Ｒ１及び第２列Ｒ２にそれぞれ対向する第１列Ｒ１１及び第２列Ｒ１２を有している。第１列Ｒ１１は、１３個のプローブＰＰを有しており、これらのプローブＰＰは第１方向Ｘに沿って等ピッチＤＸで並んでいる。第２列Ｒ１２は、１４個のプローブＰＰを有しており、これらのプローブＰＰは第１方向Ｘに沿って等ピッチＤＸで並んでいる。第１列Ｒ１１及び第２列Ｒ１２におけるそれぞれのプローブＰＰの配列ピッチＤＸは同一である。第１列Ｒ１のプローブＰＰと第２列Ｒ２のプローブＰＰとの第２方向Ｙに沿ったピッチＤＹは一定である。なお、ここでのピッチＤＸは第１パッドＰＡの第１方向Ｘに沿ったピッチＤＸと同一であり、ピッチＤＹは第１パッドＰＡの第２方向Ｙに沿ったピッチＤＹと同一である。
【００３５】
上記のプローブブロック１０は、図３に示した第１プローブブロック１１及び第２プローブブロック１２のいずれとも同一構成である。つまり、第１パッド群ＰＧ１に対応した第１プローブブロック１１が備えるプローブＰＰの総数は、第２パッド群ＰＧ２に対応した第２プローブブロック１２が備えるプローブＰＰの総数と同数（一例では２７個）である。また、第１プローブブロック１１におけるプローブＰＰのレイアウトは、第２プローブブロック１２におけるプローブＰＰのレイアウトと同一である。換言すると、第２プローブブロック１２におけるプローブＰＰは、第１プローブブロック１１におけるプローブＰＰの配列ピッチと同一ピッチで配列されている。
【００３６】
次に、上記の検査装置１に適用可能な検査方法の一例について図面を参照しながら説明する。  
図５は、本実施形態の検査装置１に適用可能な検査方法を説明するための図である。
【００３７】
まず、図５の（ａ）に示すように、第１パッド群ＰＧ１と第２パッド群ＰＧ２との間隔Ｄ１に合わせて、第１プローブブロック１１及び第２プローブブロック１２の間隔Ｄ２を調整する。このとき、第１プローブブロック１１及び第２プローブブロック１２は、必要に応じてプローブバー２０に沿ってスライド移動され、両者の間隔Ｄ２が間隔Ｄ１と同等となるように調整される。なお、ここでの間隔Ｄ１は第１パッド群ＰＧ１及び第２パッド群ＰＧ２の中心間の距離（あるいはピッチ）に相当し、間隔Ｄ２は第１プローブブロック１１及び第２プローブブロック１２の中心間の距離（あるいはピッチ）に相当する。図示したように、第１プローブブロック１１の第１プローブＰＰＡの総数は第１パッド群ＰＧ１における第１パッドＰＡの総数と同数であり、第２プローブブロック１２の第２プローブＰＰＢの総数は第２パッド群ＰＧ２における第２パッドＰＢの総数と同数である。但し、上述したように、それぞれのプローブブロックのプローブの総数と、対応するパッド群におけるパッドの総数とが異なっていてもよい。
【００３８】
続いて、図５の（ｂ）に示すように、第１プローブブロック１１における第１プローブＰＰＡを第１パッド群ＰＧ１の第１パッドＰＡに接触させるとともに、第２プローブブロック１２における第２プローブＰＰＢを第２パッド群ＰＧ２の第２パッドＰＢに接触させる。なお、このとき、スライド機構２２は、第１プローブブロック１１及び第２プローブブロック１２がそれぞれ第１パッド群ＰＧ１及び第２パッド群ＰＧ２の直上に位置するようにプローブバー２０を移動させる。昇降機構２１は、検査を行う際にプローブブロック取り付け治具２０を降下させ、第１プローブＰＰＡ及び第２プローブＰＰＢをそれぞれ第１パッドＰＡ及び第２パッドＰＢに接触させる。
【００３９】
続いて、図５の（ｃ）に示すように、信号源３０の各チャネルから第１プローブＰＰＡ及び第２プローブＰＰＢの各々に検査信号を供給する。本実施形態では、信号源３０のチャネル数は、第１プローブＰＰＡの総数と第２プローブＰＰＢの総数との総和、あるいは、第１パッドＰＡの総数と第２パッドＰＢの総数との総和よりも少ない。このため、信号源３０は、その少なくとも１チャネルから出力される検査信号を、同一タイミングで第１プローブブロック１１及び第２プローブブロック１２の双方に供給する。これにより、限られたチャネル数の信号源３０からすべてのプローブに対して必要な検査信号を供給することができる。
【００４０】
図示した例では、第１プローブＰＰＡ及び第２プローブＰＰＢの総数（あるいは、第１パッドＰＡ及び第２パッドＰＢの総数）は５４である。これに対して、信号源３０のチャネル数は４８であり、プローブの総数（あるいはパッドの総数）よりも少ない。このため、第１プローブブロック１１及び第２プローブブロック１２において、共通の検査信号が供給されるプローブは、信号源３０において、同一のチャネルに接続される。
【００４１】
一例では、第１パッド群ＰＧ１において第２パッド群ＰＧ２と近接する側に位置する６個の第１パッドＰＡ、及び、第２パッド群ＰＧ２において第１パッド群ＰＧ１と近接する側に位置する６個の第２パッドＰＢは、それぞれ同一タイミングで同一の検査信号が供給される共通パッドに相当する。信号源３０においては、これらの６組の共通パッドに対応して、６個のチャネルが割り当てられる。つまり、信号源３０の全４８個のチャネルは、第１パッド群ＰＧ１における２１個の第１パッドＰＡ、第２パッド群ＰＧ２における２１個の第２パッドＰＢ、及び、６組の共通パッドにそれぞれ割り当てられる。そして、信号源３０は、各チャネルから各プローブに検査信号を供給する。このような検査信号は、各プローブから各パッドに供給される。
【００４２】
共通化できるチャネルあるいはパッドは、例えば、検査信号として、共通電極ＣＥに入力される固定電位の信号、共通電極ＣＥに入力されるパルス信号、ゲート配線を駆動するのに必要な固定電位の信号、エージング用のパルス信号、クロック信号、イネーブル信号、セレクタ信号などが供給されるものである。なお、共通化できるパッドの配置、あるいは、プローブの配置については、図示した例に限らない。
【００４３】
その後、検査が終了した際には、昇降機構２１は、プローブバー２０を上昇させ、第１プローブＰＰＡ及び第２プローブＰＰＢをそれぞれ第１パッドＰＡ及び第２パッドＰＢから離間させる。そして、スライド機構２２は、次の検査対象までプローブブロック取り付け治具２０を移動させる。
【００４４】
上記の本実施形態によれば、表示装置は、製品毎の仕様にかかわらず、複数の第１パッドからなる第１パッド群と、第１パッドと同数の第２パッドからなる第２パッド群とを備え、第２パッドが第１パッドの配列ピッチと同一ピッチで配列されている。このため、このような表示装置に対して検査信号を供給する検査装置は、同一構成のプローブブロックを第１プローブブロック及び第２プローブブロックとして適用することで、第１パッド群及び第２パッド群に対して検査信号を供給することが可能となる。
【００４５】
第１パッド群及び第２パッド群がそれぞれ異なる構成を有する場合には、検査装置は、第１パッド群及び第２パッド群のそれぞれに適合するプローブパッドを備える必要があり、少なくとも２種類のプローブブロックを設計・製作する必要があった。本実施形態によれば、１種類のプローブブロックを設計・製作することで、第１プローブブロック及び第２プローブブロックを提供できるため、コストを削減することが可能となる。加えて、表示装置の仕様にかかわらず、同一のプローブブロックが適用できるため、表示装置の新製品の試作段階から検査が可能となり、検査効率を改善することが可能となる。
【００４６】
また、検査に必要なプローブの総数（あるいは、第１パッド群を構成する第１パッド及び第２パッド群を構成する第２パッドの総数）よりも少ないチャネル数の信号源を備えた検査装置であっても、信号源は、その少なくとも１チャネルから出力される検査信号を、同一タイミングで第１プローブブロック及び第２プローブブロックの双方に供給する。つまり、共通の検査信号が供給されるプローブは、信号源において、同一のチャネルに接続される。このため、信号源のチャネルを共通化することができ、信号源の限られたチャネル数で表示装置を検査することが可能となる。
【００４７】
また、検査装置において、第１プローブブロック及び第２プローブブロックは、その間隔を可変自在に支持されている。このため、検査対象であるマザー基板毎に、第１パッド群及び第２パッド群の間隔が異なったとしても、第１プローブブロック及び第２プローブブロックの間隔を調整することで、いずれのマザー基板についても検査を行うことが可能となる。
さらに、検査装置において、プローブブロックの数も増減可能となっている。このため、検査対象であるマザー基板毎に、検査対象数が異なったとしても、プローブブロックの数を調整することで、いずれのマザー基板についても検査を行うことが可能となる。
【００４８】
ここで、本実施形態の検査装置１の検査対象である各種マザー基板Ｍについて説明する。  
図６に示したマザー基板Ｍは、第１方向Ｘに沿った長さが第２方向Ｙに沿った長さより短い長方形状である。このマザー基板Ｍに形成された有効領域ＥＦは、第１方向Ｘに沿った長さが第２方向Ｙに沿った長さより短い長方形状である。  
図７に示したマザー基板Ｍは、第１方向Ｘに沿った長さが第２方向Ｙに沿った長さより短い長方形状である。このマザー基板Ｍに形成された有効領域ＥＦは、第１方向Ｘに沿った長さが第２方向Ｙに沿った長さより長い長方形状である。  
図８に示したマザー基板Ｍは、第１方向Ｘに沿った長さが第２方向Ｙに沿った長さより長い長方形状である。このマザー基板Ｍに形成された有効領域ＥＦは、第１方向Ｘに沿った長さが第２方向Ｙに沿った長さより短い長方形状である。  
図９に示したマザー基板Ｍは、第１方向Ｘに沿った長さが第２方向Ｙに沿った長さより長い長方形状である。このマザー基板Ｍに形成された有効領域ＥＦは、第１方向Ｘに沿った長さが第２方向Ｙに沿った長さより長い長方形状である。  
いずれのマザー基板Ｍにおいても、各有効領域ＥＦに形成された第１パッド群ＰＧ１及び第２パッド群ＰＧ２は同一構成である。このため、本実施形態の検査装置１によれば、マザー基板Ｍの寸法や有効領域ＥＦの寸法にかかわらず、第１プローブブロック１１及び第２プローブブロック１２の間隔を第１パッド群ＰＧ１及び第２パッド群ＰＧ２の間隔に合わせて調整することによって、プローブブロックを変更することなしに検査を行うことが可能となる。
【００４９】
なお、上述した例では、１つの有効領域が２個のパッド群を備え、このような有効領域に対して２個のプローブブロックを用いて検査する場合について説明したが、１つの有効領域が３個以上のパッド群を備える場合には、有効領域に対して３個以上のプローブブロックを用いて検査しても良い。このような場合も、各プローブブロックにおいて同一の検査信号が供給されるプローブは、信号源において、同一のチャネルに接続されることで、信号源の限られたチャネル数で各有効領域を検査することが可能となる。もちろん、１つの有効領域が１個のパッド群を備え、このような有効領域に対して１個のプローブブロックを用いて検査する場合に適用することも可能である。
【００５０】
以上説明したように、本実施形態によれば、コストの削減及び検査効率の改善が可能な表示装置の検査装置、表示装置用マザー基板の検査方法、及び、表示装置を提供することができる。
【００５１】
なお、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。例えば、上述の実施形態では、１つの有効領域に対して用いる２個以上のプローブブロックにおけるプローブの配置を同一としているが、特に制限される訳ではなく、プローブの配列やプローブの数を変更することも可能である。また、プローブのピッチやパッドのピッチは同一である必要は無く、一つのパッド群や一つのプローブブロックにおいて、一部のパッドやプローブのピッチを異ならせることも可能である。尚、上記実施形態では、一つの有効領域（一つの表示パネルに相当）に二つのパッド群を設け、２つのプローブブロック（１セットのプローブブロック）を用いて検査することが記載されているが、２つ以上の有効領域間を基板上の配線で接続し、２つ以上の有効領域を１セットのプローブブロックを用いて検査するものであってもよい。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００５２】
ＤＳＰ…表示装置  ＤＡ…表示領域  ＰＲ…周辺領域  ＩＳ…検査部
ＰＧ１…第１パッド群  ＰＡ…第１パッド  ＰＧ２…第２パッド群  ＰＢ…第２パッド
１…検査装置  １０…プローブブロック  ＰＰ…プローブ
１１…第１プローブブロック  ＰＰＡ…第１プローブ
１２…第２プローブブロック  ＰＰＢ…第２プローブ
２０…プローブバー  ３０…信号源  ４０…伝送ケーブル
Ｍ…マザー基板  ＥＦ…有効領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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