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　特願２００６−１０２０６９「研磨パッド」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年１０月２５日出願公開、特開２００７−２７６００９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯 
　本件出願は、平成１８年４月３日の特許出願であって、平成２３年４月４日付けで拒絶の理由が通知され、同年６月６日に手続補正がなされ、同年７月８日付けで拒絶査定がされ、同年１０月１１日に本件審判の請求がなされ、当審において同年１２月１６日付けで拒絶理由が通知され、平成２４年２月９日に手続補正がなされたものである。 
 　 
２．本願発明
　本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２４年２月９日に補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される以下のとおりと認められる。
　
「開口部Ａを有する研磨領域と、開口部Ｂを有するクッション層とが、開口部Ａと開口部Ｂが重なるように積層されており、少なくとも前記開口部Ｂの全領域に透水防止部材がクッション層に自己接着して設けられており、さらに前記開口部Ａ内かつ前記透水防止部材上に光透過領域が直接設けられている研磨パッド。」
　
３．刊行物記載の発明
（１）刊行物１
　これに対し、本願出願前に頒布された刊行物であって、当審で通知した拒絶理由に引用された特開２００３−６８６８６号公報（以下「刊行物１」という。）には、次のように記載されている。 
　
ア．請求項５〜６
「【請求項５】  光を透過させる透光窓部材を配置するための窓孔が形成された研磨パッドであって、
前記透光窓部材の下方には、シール性及び弾力性に優れた支持シール材を設けたことを特徴とする研磨パッド。
【請求項６】  前記支持シール材は接着剤からなることを特徴とする請求項５に記載の研磨パッド。
　
イ．段落０００１
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、研磨パッド及びその製造方法、特に半導体基板等の被研磨物を平坦且つ鏡面状に研磨するための研磨パッド及びその製造方法に関するものである。また、本発明は、かかる研磨パッドを備えたポリッシング装置に関するものである。」
　
ウ．段落００３３
「【００３３】ここで、研磨パッド１０には、光学式センサ４０の光を透過させるための円柱状の透光窓部材４１（例えば外径１８ｍｍ）が取付けられている。図２は、透光窓部材４１を含む研磨パッド１０の部分拡大断面図である。本実施形態の研磨パッド１０は、上層パッド１１と下層パッド１２とを有しており、２層構造の研磨パッドとなっている。例えば、上層パッド１１としてロデール社製のＩＣ−１０００などの発泡ポリウレタン、下層パッド１２としてロデール社製のＳＵＢＡ４００などの不織布などを用いることができる。・・・。通常、上層パッドとしては硬質なものが使用され、下層パッドとしては上層パッドに比べて軟質なものが使用される。」
　
エ．段落００４２
「【００４２】次に、上述の研磨パッド１０の製造工程について説明する。
丸１　発泡ポリウレタンからなる上層パッド１１を用意し、所定の位置に窓孔１１ａを形成する（図４）。
丸２　上層パッド１１の窓孔１１ａに無発泡ポリウレタン１４を流し込み、この無発泡ポリウレタン１４と上層パッド１１とを溶着（接着）させる（図５）。これによって、窓孔１１ａ内に無発泡ポリウレタンからなる透光窓部材４１が形成される。なお、窓孔１１ａに対応した形状の透光窓部材４１を別途製作しておいて、これを上記窓孔１１ａに嵌め込むこととしてもよい。
・・・。」
　
オ．段落００５１〜００５４
「【００５１】これらの観点から、本実施形態においては、透光窓部材１４１を上層パッド１１（ＩＣ−１０００）よりも軟質な材料、より好ましくは、上層パッド１１よりも軟質であり且つ下層パッド１２よりも硬質な材料から形成し、このような軟質の透光窓部材１４１を上層パッド１１の窓孔１１ａに配置している。・・・。
【００５２】また、本実施形態では、図９に示すように、透光窓部材１４１の下方に、シール性及び弾力性に優れた支持シール材１２０が配置されている。この支持シール材１２０は、図１０に示すように環状をなしており、下層パッド１２の通光孔１２ａの内周面に設けられている。本実施形態における支持シール材１２０は、シール性及び弾力性に優れた接着剤から構成されている。
【００５３】このように、透光窓部材１４１は、シール性に優れた支持シール材１２０によって支持されるので、透光窓部材１４１の下面への研磨液のリークが少なくなり、高品質の研磨を実現すると共に、光学式センサによる膜厚の測定を正確に且つ安定して行なうことが可能となる。また、支持シール材１２０により透光窓部材１４１と光学式センサとの間に透過率の低い研磨液が入り込むことが防止されるため、光学式センサによる膜厚の測定を正確に且つ安定して行なうことが可能となる。更に、透光窓部材１４１は、弾力性に優れた支持シール材１２０によって強固に支持されるので、研磨パッド１１０のドレッシング時に透光窓部材１４１が下方に押し下げられにくくなり、ドレッシング終了後における透光窓部材１４１の突出を防止することができる。・・・。
【００５４】なお、本実施形態においては、透光窓部材１４１と上層パッド１１及び下層パッド１２とは、シール性に優れた接着剤１３０により接着されており、透光窓部材１４１と上層パッド１１及び下層パッド１２との間に隙間が生じないようにしている。従って、透光窓部材１４１と上層パッド１１及び下層パッド１２との間の隙間に研磨液が固着することがなく、研磨液の固着に起因する半導体基板のスクラッチが防止される。」
　
カ．図９
　上層パッド１１の窓孔１１ａと、下層パッド１２の通光孔１２ａが重なるように積層されていること。
　
　これらを、図面を参照しつつ、技術常識を踏まえ、本願発明に照らして整理する。
　刊行物１には、次の発明（以下「刊行物１発明」という。）が記載されている。 
　
「窓孔１１ａを有する上層パッド１１と、上層パッドに比べて軟質であり通光孔１２ａを有する下層パッド１２とが、窓孔１１ａと通光孔１２ａが重なるように積層されており、前記通光孔１２ａの内周面に支持シール材１２０が下層パッド１２に自己接着して設けられており、さらに前記窓孔１１ａ内かつ前記支持シール材１２０上に透光窓部材１４１が接着剤１３０により接着されている研磨パッド。」
　
（２）刊行物２
　同じく、特開２００４−３４３０９０号公報（以下「刊行物２」という。）には、次のように記載されている。 
　
ア．段落０００６
「【０００６】
　本発明の目的は、上記問題を解決するために、光学式終点検出のための窓部材を備えた研磨パッドにおいて、研磨パッド基体と窓部材との隙間からスラリーの漏れを防ぎ、被研磨面にスクラッチが発生することによって研磨性能が低下することなく、光による研磨終点の検知を効率的に行うことのできる研磨パッド、複層研磨パッド並びに半導体ウェハの研磨方法を提供することにある。」
　
イ．段落００７８〜００８０
「【００７８】
　本発明の研磨パッドは、少なくとも上記透光性部材の外周面と、この外周面と対向する上記貫通孔の内壁面とが光硬化接着剤層によって接着されて上記透光性部材が上記貫通孔内に固定されている。なお、上記光硬化接着剤層による接着は、透光性部材の外周面の一部であっても、全部であってもよい。
【００７９】
  上記のように、接着が透光性部材の外周接着面の一部であってもよいが、研磨パッドの研磨面に垂直方向に間隙がないように、透光性部材が上記貫通孔内に固定されていればよい。その限りにおいて、光硬化接着剤層がどの位置に存在していてもよい（図１、図８〜図１７および図１９参照。なお、各図において、上方が研磨面側である。）。例えば、図８、図９および図１３〜図１５は、研磨基体１１に設けられた貫通孔の内壁面と透光性部材２の外周面とが完全に面接触し、接触部全体に、光硬化接着剤層３を有する研磨パッド１を示している。図１０〜図１２は、研磨基体１１に設けられた貫通孔の内壁面と透光性部材２の外周面との接触部の１箇所または２箇所が光硬化接着剤層３によって完全に接着されている研磨パッド１を示している。図１６および図１７は、貫通孔の大きさより小さい透光性部材２を配設した例であり、研磨パッドの非研磨面側に接着剤層３が配設されている。また、図１には、研磨パッドの非研磨面側の透光性部材２の全面が光硬化接着剤層と同じ素材の皮膜により被覆され、その皮膜が接着剤層と一体化されている研磨パッド１が示されている。
【００８０】
　図１、図８〜図１７および図１９からも明らかなように、光硬化接着剤層３によって、窓部材としての透光性部材２の外周面と、研磨基体１１の貫通孔の内壁面との界面に、研磨パッドの研磨面から非研磨面に通じる間隙がなくなり、研磨中に、スラリーが研磨パッドの非研磨面側に漏れることがなくなる。その効果をより高めるために、接着剤層３の面積を大きくすることが好ましく、図８、図９、図１３〜図１５および図１９のように、透光性部材の外周面と、この外周面と対向する貫通孔の内壁面との間の全体に接着剤層が配設されることがより好ましい。また、図１は、透光性部材２の、非研磨面側の面をも光硬化接着剤層と同じ素材で一体に被覆したものであり、スラリーの漏れを効果的に防ぐことができる。・・・。」
　
ウ．図１６、図１７
　研磨パッド１の貫通孔の非研磨面側全面に接着剤層３が配設されていること。
　
　これらを、図面を参照しつつ、技術常識を踏まえ、整理すると、刊行物２には、次の事項（以下「刊行物２事項」という。）が記載されている。
「研磨パッド基体と窓部材との隙間からスラリーの漏れを防ぐため、透光性部材の外周面と貫通孔の内壁面とが光硬化接着剤層によって接着されるとともに、研磨パッドの貫通孔の非研磨面側全面に接着剤層３が配設された研磨パッド。」 
　
４．対比・判断 
　刊行物１発明の「窓孔１１ａ」は本願発明の「開口部Ａ」に相当し、同様に、「上層パッド１１」は「研磨領域」に、「通光孔１２ａ」は「開口部Ｂ」に、「上層パッドに比べて軟質」である「下層パッド１２」は「クッション層」に、「支持シール材１２０」は「透水防止部材」に、「透光窓部材１４１」は「光透過領域」に、それぞれ相当する。
　刊行物１発明の「窓孔１１ａ内かつ前記支持シール材１２０上に透光窓部材１４１が接着剤１３０により接着されている」と、本願発明の「開口部Ａ内かつ前記透水防止部材上に光透過領域が直接設けられている」とは、「開口部Ａ内かつ前記透水防止部材上に光透過領域が設けられている」限りにおいて一致する。
　
　そうすると、本願発明と刊行物１発明とは、以下の点で一致する。 
「開口部Ａを有する研磨領域と、開口部Ｂを有するクッション層とが、開口部Ａと開口部Ｂが重なるように積層されており、前記開口部Ｂに透水防止部材がクッション層に自己接着して設けられており、さらに前記開口部Ａ内かつ前記透水防止部材上に光透過領域が設けられている研磨パッド。」 
 　 
　そして、以下の点で相違する。
　相違点１：透水防止部材について、本願発明では「少なくとも開口部Ｂの全領域」に設けられるが、刊行物１発明では「開口部Ｂの内周面」に設けられる点。
　相違点２：光透過領域について、本願発明では開口部Ａ内に「直接設けられている」が、刊行物１発明では「接着剤１３０により接着されている」点。
　
　相違点１について検討する。
　刊行物１発明における透水防止部材（支持シール材１２０）は、研磨液の漏れ防止と、光透過領域（透光窓部材１４１）の支持のためのものである（３．（１）オの段落００５３）。
　刊行物２事項は、上記のとおり、研磨液の漏れ防止のため「貫通孔の非研磨面側全面に接着剤層３が配設された」ものであり、「接着剤層３」は本願発明の「透水防止部材」に相当する。
　したがって、漏れ防止を一層確実なものとするため、刊行物１発明に刊行物２事項を適用し、透水防止部材を開口部Ｂの「全面」とすることは設計的事項にすぎない。
　また、刊行物１発明における透水防止部材は、光透過領域の支持のためのものでもあるところ、支持を一層確実なものとするため、厚みを増すことで対応しうることは技術常識である。
　しかも、透水防止部材が厚さ方向に全領域に設けられ、さらに透光性を有する形態は、刊行物２の図１、図１９、段落００８１〜００８２、原審の拒絶理由に引用された特開２００４−３２７７７９号公報の図７、段落００２６にみられるごとく周知である。
　よって、「全面」に設けられた透水防止部材の厚みを増し、「全領域」とすることは、必要に応じてなしうる事項である。
　
　相違点２について検討する。
　刊行物１発明における接着剤１３０は、研磨液の漏れ防止機能を有することは明らかであり、相違点１で検討したとおり、光透過領域下部に配設された透水防止部材によって、研磨液の漏れ防止機能が向上するから、接着剤１３０の必要性は低下している。
　また、刊行物１の段落００４２（３．（１）オ）、図２、図５に記載されているごとく、光透過領域の周囲に接着剤を設けず、無発泡ポリウレタン１４からなる透光窓部材４１（光透過領域）を上層パッド１１に溶着（接着）する形態も周知である。
　よって、相違点１で検討したとおり、刊行物１発明に刊行物２事項を適用したことに伴い、必要性の低下した周囲の「接着剤」を省略し、光透過領域自身による溶着（接着）、すなわち「直接」設けることに困難性は認められない。
　
　また、これら相違点を総合勘案しても、格別の技術的意義が生じるとは認められない。
　
５．むすび 
　本願発明は、刊行物１発明、刊行物２事項、周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものであるから、結論のとおり審決する。