(57)【要約】      （修正有）【課題】第１の検知電極上で交差するようにストライプ状の着色部が配置されたカラーフィルタにおいて、バックハレーションの発生を抑制し、着色部の線幅を高精度に制御することが可能なカラーフィルタを提供する。【解決手段】透明基板１の一方の表面上に、第１の方向、および第１の方向に交差する第２の方向にそれぞれ並列に配置され、複数の開口部を有する遮光部３と、第１の方向に並列に配置された遮光部３上に配置された第１の検知電極２ａと、第２の方向に並列に配置された遮光部３間に、開口部を覆うようにストライプ状に配置された着色部４とを有し、第１の検知電極２ａおよび着色部４が交差する交差部においては、第１の検知電極２ａ上で着色部が交差するように配置されており、第１の検知電極２ａの透明基板１側とは反対側の面の平均反射率が、測定波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内において４０％以下である。【選択図】図１
2017003653.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板と、
前記透明基板の一方の表面上に、第１の方向、および前記第１の方向に交差する第２の方向にそれぞれ並列に配置され、複数の開口部を有する遮光部と、
前記第１の方向に並列に配置された前記遮光部上に配置された第１の検知電極と、
前記第２の方向に並列に配置された前記遮光部間に、前記開口部を覆うようにストライプ状に配置された着色部とを有し、
前記第１の検知電極および前記着色部が交差する交差部においては、前記第１の検知電極上で前記着色部が交差するように配置されており、
前記第１の検知電極の前記透明基板側とは反対側の面の平均反射率が、測定波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内において４０％以下であることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項２】
前記第１の検知電極が、銅を主成分とすることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ。
【請求項３】
前記第１の検知電極が、前記遮光部上に配置された下層と、前記下層上に配置された上層とを有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のカラーフィルタ。
【請求項４】
前記透明基板の一方の表面上に、前記第１の検知電極と絶縁され、前記第２の方向に並列に配置された第２の検知電極を有することを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタ。
【請求項５】
透明基板と、前記透明基板の一方の表面上に、第１の方向、および前記第１の方向に交差する第２の方向にそれぞれ並列に配置され、複数の開口部を有する遮光部と、前記第１の方向に並列に配置された前記遮光部上に配置された第１の検知電極と、前記第２の方向に並列に配置された前記遮光部間に、前記開口部を覆うようにストライプ状に配置された着色部とを有するカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、
前記第１の検知電極を配置する第１の検知電極配置工程と、
前記第１の検知電極上を交差するように前記第２の方向に前記着色部を配置する着色部配置工程とを有し、
前記第１の検知電極の前記透明基板側とは反対側の面の平均反射率が、測定波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内において４０％以下であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、遮光部上に検知電極が配置された場合であっても、着色部の線幅を高精度に制御することが可能なカラーフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、表示装置の発達に伴って、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置等のフラットパネルディスプレイの需要が増加している。最近では、テレビやパーソナルコンピューターの他にも、スマートフォン、タブレット端末等の多機能端末の普及が盛んになっており、益々フラットパネルディスプレイの市場は拡大する状況にある。このような状況において、フラットディスプレイを構成するカラーフィルタに関する研究が盛んに行われている。
【０００３】
一般的なカラーフィルタは、通常、表示領域および非表示領域を有し、表示領域は、透明基板と、透明基板上に配置され、開口部を有する遮光部と、遮光部の開口部に配置されたパターン状の着色部とを有する。このようなカラーフィルタには、例えば、タッチパネルが一体化したカラーフィルタがあり（例えば、特許文献１〜３）、このようなタッチパネル付カラーフィルタは、カラーフィルタおよびタッチパネルを別体として形成する場合に比べて、薄膜化することができるという効果を奏する。このようなタッチパネル付カラーフィルタにおいては、タッチパネルの接触位置を検知するための検知電極が表示領域内に配置されることがある。検知電極には、通常、第１の方向に並列に配置された第１の検知電極と、上記第１の方向に交差する第２の方向に並列に配置された第２の検知電極とがあり、これらの検知電極は、それぞれ絶縁されるように配置される。また、少なくとも一方の検知電極は、カラーフィルタの表示領域において視認されるのを防止するという観点から、表示領域における遮光部に、平面視上重なるように配置される場合がある。
【０００４】
このように、表示領域内に第１の検知電極および第２の検知電極が配置されたカラーフィルタは、次のような製造方法により得ることができる。図６（ａ）、（ｂ）は、従来のカラーフィルタの製造方法の一例を示す概略斜視図である。図６（ａ）に示すように、従来のカラーフィルタにおける表示領域は、まず、透明基板１上に、開口部Ｐを有する遮光部３を形成し、遮光部３上の第１の方向に並列に第１の検知電極２ａを形成する。次に、図６（ｂ）に示すように、開口部Ｐに、パターン状の着色部４（ここでは、赤色着色部４Ｒ、緑色着色部４Ｇ、青色着色部４Ｂ）を形成し、その後、オーバーコート層等の部材が必要に応じて形成する。これにより、カラーフィルタ１００’を得ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−９７７０４号公報
【特許文献２】特開２０１４−５３０００号公報
【特許文献３】国際公開第２０１４−１１９００２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、図６（ｂ）に示すように、遮光部３に形成された複数の開口部Ｐに、各開口部Ｐに対応したパターン状の着色部４を配置した場合、遮光部３の開口部Ｐにおいて接触する着色部４と透明基板１との密着性が低いという問題がある。このように、着色部と透明基板との密着性が低い場合には、カラーフィルタの表示性能が低下してしまうおそれがある。
【０００７】
このような問題に対しては、例えば、透明基板上に、複数の開口部を有する遮光部を形成し、次いで、第１の方向に並列に、隣接する複数の開口部を覆うように、ストライプ状の着色部を形成し、次いで、遮光部上に、第１の方向に交差する第２の方向にストライプ状の着色部を形成することにより、カラーフィルタを製造する方法が提案されている。このように、ストライプ状の着色部を形成した場合には、上述したような着色部と透明基板との密着性が低いという問題は緩和される。しかしながら、上述した方法においては、ストライプ状に形成された着色部上を交差するように第１の検知電極が形成されるため、着色部が形成された領域と着色部が形成されていない領域との平面上の段差により、第１の検知電極が断線されてしまうという問題がある。
【０００８】
そこで、本発明の発明者等は、例えば、図７に示すように、第１の検知電極２ａを、着色部４よりも先に形成したカラーフィルタを製造するという試みを行った。すなわち、透明基板上に、複数の開口部を有する遮光部を形成し、次いで、遮光部上に、第１の方向に並列に第１の検知電極を形成し、次いで、隣接する複数の開口部を覆うように、上記第１の方向に交差する第２の方向に、ストライプ状の着色部を形成し、最後に、オーバーコート層および第２の検知電極を形成することによりカラーフィルタを製造するという試みを行った。
【０００９】
その結果、図８に示すように、第１の検知電極２ａと交差する交差部１０において、着色部４（ここでは赤色着色部４Ｒ）の線幅が所望とする線幅よりも広がってしまうという問題が生じた。このように、交差部１０において着色部４Ｒの線幅が広がると、他の着色部を配置するための隣接する開口部Ｐ内にまで着色部４Ｒが侵入してしまい（図８の矢印部分）、カラーフィルタの視認性を低下させてしまうおそれがある。また、このような問題は、カラーフィルタの高精細化を目的として、遮光部の線幅を細線化するに伴い顕著となる。
【００１０】
本発明の発明者等は、着色部を形成する際に、第１の検知電極との交差部において、着色部の線幅が所望とする線幅よりも広がってしまうという問題について種々の検討を重ねた。その結果、次のようなことを見出した。まず、図７に示すようなストライプ状の着色部４を形成する方法について図を参照しながら説明する。図９（ａ）〜（ｃ）は、ストライプ状の着色部を形成する方法を説明する概略工程図であり、図７のＡ’−Ａ’線断面から観察した図である。ストライプ状の着色部（ここでは、赤色着色部４Ｒ）は、例えば、図９（ａ）に示すように、透明基板１、遮光部３および第１の検知電極２ａが配置された表面上に、着色部４Ｒを構成する材料を塗布し、次いで、図９（ｂ）に示すように、マスク７を用いて露光および現像を行うことにより、得ることができる（図９（ｃ））。本発明者等は、このような着色部を形成する工程において、マスクを介して着色部の露光を行う工程に着目したところ、マスクを介して照射された露光光が、マスクの開口部に対応する領域の外側にも漏れているという課題を発見した。また、本発明者等は、上述のような露光光の漏れは、マスクを介して照射された露光光が、着色部を透過して第１の検知電極によって反射していること（以下、バックハレーションという。）に起因していることを見出した。
【００１１】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、第１の検知電極上で交差するようにストライプ状の着色部が配置されたカラーフィルタにおいて、バックハレーションの発生を抑制し、着色部の線幅を高精度に制御することが可能なカラーフィルタを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の発明者等は、上記課題を解決するために鋭意研究を行った結果、第１の検知電極の透明基板側とは反対側の面を低反射にすることにより、バックハレーションの発生を抑制し、着色部の線幅を高精度に制御することができることを見出した。本発明は、このような知見に基づいて完成されたものである。
【００１３】
すなわち、本発明は、透明基板と、上記透明基板の一方の表面上に、第１の方向、および上記第１の方向に交差する第２の方向にそれぞれ並列に配置され、複数の開口部を有する遮光部と、上記第１の方向に並列に配置された上記遮光部上に配置された第１の検知電極と、上記第２の方向に並列に配置された上記遮光部間に、上記開口部を覆うようにストライプ状に配置された着色部とを有し、上記第１の検知電極および上記着色部が交差する交差部においては、上記第１の検知電極上で上記着色部が交差するように配置されており、上記第１の検知電極の上記透明基板側とは反対側の面の平均反射率が、測定波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内において４０％以下であることを特徴とするカラーフィルタを提供する。
【００１４】
本発明によれば、第１の検知電極の透明基板側とは反対側の面を低反射にすることにより、バックハレーションの発生を抑制し、着色部の線幅を高精度に制御することが可能なカラーフィルタとすることができる。
【００１５】
本発明においては上記第１の検知電極が、銅を主成分とすることが好ましい。第１の検知電極の透明基板側とは反対側の面を低反射にすることができるとともに、表面抵抗値を低くして導電性の高い第１の検知電極とすることができるからである。
【００１６】
本発明においては上記第１の検知電極が、上記遮光部上に配置された下層と、上記下層上に配置された上層とを有することが好ましい。第１の検知電極の透明基板側とは反対側の面を低反射にすることができるとともに、表面抵抗値を低くして導電性の高い第１の検知電極とすることができるからである。
【００１７】
本発明においては上記透明基板の一方の表面上に、上記第１の検知電極と絶縁され、上記第２の方向に並列に配置された第２の検知電極を有することが好ましい。本発明のカラーフィルタをタッチパネル付カラーフィルタとして好適に用いることができるからである。
【００１８】
また、本発明は、透明基板と、上記透明基板の一方の表面上に、第１の方向、および上記第１の方向に交差する第２の方向にそれぞれ並列に配置され、複数の開口部を有する遮光部と、上記第１の方向に並列に配置された上記遮光部上に配置された第１の検知電極と、上記第２の方向に並列に配置された上記遮光部間に、上記開口部を覆うようにストライプ状に配置された着色部とを有するカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、上記第１の検知電極を配置する第１の検知電極配置工程と、上記第１の検知電極上を交差するように上記第２の方向に上記着色部を配置する着色部配置工程とを有し、上記第１の検知電極の上記透明基板側とは反対側の面の平均反射率が、測定波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内において４０％以下であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【００１９】
本発明によれば、第１の検知電極の透明基板側とは反対側の面を低反射にすることにより、バックハレーションの発生を抑制し、着色部の線幅を高精度に制御することが可能なカラーフィルタを得ることができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明は、第１の検知電極上で交差するようにストライプ状の着色部が配置されたカラーフィルタにおいて、バックハレーションの発生を抑制し、着色部の線幅を高精度に制御することが可能なカラーフィルタとすることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のカラーフィルタの一例を示す概略斜視図および概略断面図である。
【図２】本発明のカラーフィルタの他の例を示す概略斜視図および概略断面図である。
【図３】着色部を露光する露光光の強度および着色部の構成材料のモル吸光係数を示すグラフである。
【図４】第１の検知電極に用いられる金属材料の反射率を示すグラフである。
【図５】本発明のカラーフィルタの製造方法の一例を示す概略工程図である。
【図６】従来のカラーフィルタの製造方法の一例を示す概略工程図である。
【図７】従来のカラーフィルタの一例を示す概略斜視図である。
【図８】従来のカラーフィルタにおける着色部を説明するための説明図である。
【図９】従来のカラーフィルタの製造方法において、着色部を形成する工程の一例を示す概略工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明のカラーフィルタおよびカラーフィルタの製造方法について説明する。
【００２３】
Ａ．カラーフィルタ
本発明のカラーフィルタは、透明基板と、上記透明基板の一方の表面上に、第１の方向、および上記第１の方向に交差する第２の方向にそれぞれ並列に配置され、複数の開口部を有する遮光部と、上記第１の方向に並列に配置された上記遮光部上に配置された第１の検知電極と、上記第２の方向に並列に配置された上記遮光部間に、上記開口部を覆うようにストライプ状に配置された着色部とを有し、上記第１の検知電極および上記着色部が交差する交差部においては、上記第１の検知電極上で上記着色部が交差するように配置されており、上記第１の検知電極の上記透明基板側とは反対側の面の平均反射率が、測定波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内において４０％以下であることを特徴とするものである。
【００２４】
本発明のカラーフィルタについて、図を参照しながら説明する。図１（ａ）は、本発明のカラーフィルタの一例を示す概略斜視図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線断面図であり、図１（ｃ）は、図１（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。図１（ａ）〜（ｃ）に示すように、本発明のカラーフィルタ１００は、透明基板１と、透明基板１の一方の表面上に配置され、第１の方向、および第１の方向に交差する第２の方向にそれぞれ並列に配置され、複数の開口部を有する遮光部３と、第１の方向に並列に配置された遮光部３上に配置された第１の検知電極２ａと、第２の方向に並列に配置された遮光部３間に、開口部を覆うようにストライプ状に配置された着色部４（ここでは、赤色着色部４Ｒ、緑色着色部４Ｇ、青色着色部４Ｂ）とを有する。また、本発明のカラーフィルタ１００は、第１の検知電極２ａおよび着色部４が交差する交差部１０においては、第１の検知電極２ａ上で着色部４が交差するように配置されており、第１の検知電極２ａの透明基板１側とは反対側の面の平均反射率が、測定波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内において４０％以下であることを特徴とする。
【００２５】
また、図２（ａ）は、本発明のカラーフィルタの他の例を示す概略斜視図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＣ−Ｃ線断面図であり、図２（ｃ）は、図２（ａ）のＤ−Ｄ線断面図である。図２（ａ）〜（ｃ）に示すように、本発明のカラーフィルタ１００は、透明基板１の一方の表面上に、第１の検知電極２ａと絶縁され、第２の方向に並列に配置された第２の検知電極２ｂを有していても良い。なお、図２（ａ）〜（ｃ）に示すカラーフィルタ１００は、オーバーコート層５を介して第２の検知電極２ｂが配置された例である。
【００２６】
ここで、本発明における「交差部」とは、第１の方向に並列に配置された第１の検知電極と、第１の方向に交差する方向である第２の方向に、ストライプ状に配置された着色部とが交差する領域を指す。具体的には、図１の符号１０で示す領域を指す。
また、本発明における「ストライプ状に配置された着色部」とは、着色部が、少なくとも一つの交差部と、当該交差部に隣接する少なくとも一つの開口部とを連続して覆うように配置されていれば足り、着色部の延在方向（第２の方向）への長さについては特に限定されない。さらに、上記「連続して覆う」とは、着色部が途切れることなく一体である状態で覆うことをいう。
【００２７】
本発明によれば、バックハレーションの発生を抑制し、着色部の線幅を高精度に制御することが可能なカラーフィルタとすることができる。この理由については、次のようなことが考えられる。まず、交差部において、第１の検知電極上で着色部が交差するように配置されたカラーフィルタの場合、着色部が形成される際に交差部における着色部の線幅が広がってしまうという問題がある。これは、図９（ａ）〜（ｃ）に示すように、ストライプ状の着色部（ここでは赤色着色部４Ｒ）を形成する際に、マスク７を介して照射された露光光が、マスク７の開口部に対応する領域の外側にも漏れていることが原因であると考えられる。また、上述のような露光光の漏れは、マスクを介して照射された露光光が、着色部を透過して第１の検知電極によって反射するバックハレーションが発生することに起因していると考えられる。
【００２８】
そこで、本発明の発明者等は、露光光が第１の検知電極に反射するバックハレーションの発生について検討を重ねた。その結果、バックハレーションには、着色部の露光工程において用いられる露光光と、第１の検知電極に用いられる材料とが関係していることを見出した。まず、着色部の露光工程において用いられる露光光について説明する。着色部の露光工程において用いられる露光光は、例えば、着色部を形成する着色部形成材料に応じて適宜選択される。具体的には、例えば、図３に示すように、着色部形成材料に含まれる光重合開始剤が、波長３００ｎｍの付近に吸収ピークを有する場合には、それに対応した波長域、すなわち波長３００ｎｍの付近（図３では、波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内）に発光ピークを有する露光光を選択することにより、露光光を照射した着色部形成材料を硬化させて所望の着色部を得ることができる。なお、ここでは、図３に示す吸収ピークを有する特定の光重合開始剤、およびそれに対応した露光光を用いた例について説明したが、通常の着色部の露光工程においても、波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内に発光ピークを有する露光光が用いられることが殆どである。次に、第１の検知電極に用いられる材料について説明する。第１の検知電極に用いられる材料は、カラーフィルタと一体化したタッチパネルの用途等に応じて適宜選択されるが、導電性や耐酸化性の観点から、例えば、ＡＰＣ（Ａｇ）を含有する材料が汎用される。そこで、ＡＰＣ（Ａｇ）の反射率について見たところ、図４に示すように、波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内における銀ＡＰＣ（Ａｇ）の反射率は、最大で９０％であった。このことから、露光光が第１の検知電極に反射するバックハレーションは、露光光に対する第１の検知電極の反射率が高いことに起因していると考えられる。
【００２９】
そこで、本発明者等は、第１の検知電極に用いられる材料について検討を重ねた。その結果、後述する参考例における表１のようなことが分かった。すなわち、ＡＰＣ（Ａｇ）は、表面抵抗値が低いが、波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内における平均反射率は５６．１％と高い傾向にある。また、銅は、表面抵抗値が低く、波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内における平均反射率が低いが、耐酸化性が低い傾向にある。さらに、カーボン材料は、波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内における平均反射率が低く、耐酸化性も高いが、表面抵抗値が高い傾向にある。本発明においては、上述のようなことを考慮して、従来の第１の検知電極の表面抵抗値および耐酸化性と同等の性質を有する材料であって、波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内における平均反射率が低い材料を第１の検知電極に用いることにより、表面抵抗値および耐酸化性を維持しつつ、バックハレーションの発生を抑制することが可能なカラーフィルタとすることができると考えられる。
【００３０】
以下、本発明のカラーフィルタの各構成について説明する。
【００３１】
１．第１の検知電極
本発明における第１の検知電極は、第１の方向に並列に配置された遮光部上に配置された部材である。また、本発明においては、第１の検知電極の透明基板側とは反対側の面の平均反射率が、測定波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内において４０％以下である。
【００３２】
本発明における第１の検知電極は、透明基板側とは反対側の面の平均反射率が、測定波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内において４０％以下であれば特に限定されない。中でも、本発明においては、上記平均反射率が、測定波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内において３０％以下であることが好ましく、中でも、２５％以下であることが好ましく、特に、２０％以下であることが好ましい。第１の検知電極の透明基板側とは反対側の面の平均反射率が上記範囲内であることにより、後述する着色部を形成する際のバックハレーションの発生を抑制し、着色部の線幅を高精度で制御することが可能となる。なお、第１の検知電極の透明基板側とは反対側の面の平均反射率は、ＯＳＰ−ＳＰ２００（オリンパス社製）を用いて測定することができる。
【００３３】
本発明における第１の検知電極は、単層であっても良く、遮光部上に配置された下層と、下層上に配置された上層との２層であっても良い。
【００３４】
第１の検知電極が単層である場合、第１の検知電極の材料としては、第１の検知電極の透明基板側とは反対側の面が所定の平均反射率を有する材料であれば特に限定されない。例えば、第１の検知電極の表面抵抗値が、１Ω／□以下であることが好ましく、中でも、０．５Ω／□以下であることが好ましく、特に、０．２５Ω／□以下であることが好ましい。第１の検知電極の表面抵抗値が上記範囲内であることにより、優れた導電性を有する第１の検知電極とすることができ、本発明のカラーフィルタをタッチパネル付カラーフィルタに用いる際に、優れたタッチセンサ機能を付与することが可能となる。なお、第１の検知電極の表面抵抗値は、ロレスタＡＸ  ＭＣＰ−Ｔ３７０型（三菱アナリテック社製）を用いて測定することができる。
また、第１の検知電極が耐酸化性を有することが好ましい。第１の検知電極が酸化により腐食することを抑制することができ、本発明のカラーフィルタの耐久性を向上させることが可能となる。
このような第１の検知電極の材料としては、銅を主成分とする材料であることが好ましく、中でも、Ｃｕ３Ｎであることが好ましい。測定波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内において、より低い反射率性を示すからである。ここで、銅を主成分とする材料とは、第１の検知電極における銅の含有量が、８７質量％〜９８質量％の範囲内であることが好ましく、中でも、８９質量％〜９６質量％の範囲内であることが好ましく、特に、９１質量％〜９５質量％の範囲内であることが好ましい。
【００３５】
また、第１の検知電極が、遮光部上に配置された下層と、下層上に配置された上層との２層で構成されている場合、第１の検知電極の透明基板側とは反対側の面、すなわち、上層が所定の平均反射率を有する材料であれば特に限定されない。例えば、上層が所定の平均反射率を有し耐酸化性を有する材料であることが好ましく、下層が所定の表面抵抗値を有する材料であることが好ましい。
第１の検知電極の下層および上層の材料としては、例えば、下層および上層のいずれもが金属または金属化合物を含有することが好ましい。具体的な下層の材料としては、例えば、銀、銅、金等が挙げられる。また、具体的な上層の材料としては、例えば、酸化を抑えることができ、かつ、低反射率性を有する金属である銅や窒化銅（Ｃｕ３Ｎ）等が挙げられるが、中でも窒化銅（Ｃｕ３Ｎ）を用いることが好ましい。窒化銅（Ｃｕ３Ｎ）は、銅単体に比べて、測定波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内において、より低い反射率性を示すからである。なお、窒化銅（Ｃｕ３Ｎ）の反射率については、例えば、Maruyama.T, Morishita.T Copper nitride and tin nitride thin films for write-once optical recording media. 1996-08-12のFig 3.(a)を参照。
【００３６】
また、本発明においては、第１の検知電極の下層および上層の材料として、同一のレジストを用いてエッチングできる材料を用いることが好ましい。同一のレジストを用いてエッチングできる第１の検知電極の下層および上層の組み合わせ（下層／上層）としては、例えば、銅／窒化銅（Ｃｕ３Ｎ）等が挙げられる。さらに、本発明においては、第１の検知電極の下層および上層の材料として、同一のエッチング液を用いてエッチングできる材料を用いることが好ましい。同一のエッチング液を用いてエッチングできる第１の検知電極の下層および上層の組み合わせ（下層／上層）としては、例えば、銅／窒化銅（Ｃｕ３Ｎ）等が挙げられる。第１の検知電極の下層および上層の材料が、上述のような組み合わせであることにより、製造工程の増加を抑制することができるからである。
【００３７】
本発明における第１の検知電極の線幅としては、後述する遮光部上に配置することができ、本発明のカラーフィルタをタッチパネル付カラーフィルタとして用いた際に、優れたタッチセンサ機能を付与することができる程度であることが好ましい。例えば、１μｍ〜１５μｍの範囲内であることが好ましく、中でも２μｍ〜１４μｍの範囲内であることが好ましく、特に３μｍ〜１３μｍの範囲内が好ましい。第１の検知電極の線幅が上記範囲内であることにより、遮光部上に第１の検知電極を配置することが可能となり、本発明のカラーフィルタの視認性の向上させることができる。また、第１の検知電極の表面抵抗値の増加を抑制することができ、さらには第１の検知電極の剥離や割れを抑制することができる。ここで、第１の検知電極の線幅とは、例えば、図１（ｃ）においてＷ１で示す距離をいう。
【００３８】
本発明における第１の検知電極の厚みとしては、所望の導電性を有し、本発明のカラーフィルタをタッチパネル付カラーフィルタに用いた際に、優れたタッチセンサ機能を発揮できる程度の厚みであることが好ましい。具体的には、例えば、１０ｎｍ〜１０００ｎｍの範囲内であることが好ましく、中でも５０ｎｍ〜８００ｎｍの範囲内の範囲内であることが好ましく、特に１００ｎｍ〜５００ｎｍの範囲内であることが好ましい。第１の検知電極の厚みが上記範囲内よりも薄い場合には、第１の検知電極の表面抵抗値が大きくなり、第１の検知電極として十分に機能しないおそれがある。また、第１の検知電極の厚みが上記範囲内よりも厚い場合には、第１の検知電極を蒸着等により形成する際の時間やコストが増大するおそれがある。なお、上記厚みは、第１の検知電極が単層である場合、および２層である場合の厚みを指す。
【００３９】
第１の検知電極の線幅や厚みの測定方法については、一般的な測定方法を用いることができ、例えば、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）の観察像を用いて測定することができる。
【００４０】
本発明における第１の検知電極は、第１の方向に並列に配置されるものであれば特に限定されない。このような第１の検知電極は、通常、平面視外形状がストライプ状である。また、第１の検知電極の平面視外形内の形状（平面視形状）がメッシュ状であっても良い。第１の検知電極の平面視形状がメッシュ状であることにより、第１の検知電極を低反射とすることができる。メッシュ形状を構成する最小単位形状としては、例えば、三角形、四角形、菱形、六角形等が挙げられる。さらに、本発明においては、複数の配線を束として１本の第１の検知電極としても良い。
【００４１】
本発明における第１の検知電極は、通常、カラーフィルタの外側の非表示領域において、取出し配線と連結し、当該取り出し配線の末端にて第１外部接続端子と接続される。第１外部接続端子は、後述する第２の検知電極と連結された取り出し配線と接続する第２外部接続端子とともに、カラーフィルタを有する表示装置の制御回路に接続されて、タッチパネルへの接触を検知する働きをする。本発明における第１の検知電極は、例えば、非領域領域にて取り出し配線と連結していても良く、非表示領域にて複数の配線が束ねられた第１の検知電極が、取り出し配線と連結していても良い。
なお、取り出し配線および外部接続端子については、一般的なタッチパネル付カラーフィルタに用いられるものと同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。
【００４２】
２．遮光部
本発明における遮光部は、透明基板の一方の表面上に、第１の方向、および第１の方向に交差する第２の方向にそれぞれ並列に配置され、複数の開口部を有する部材である。
【００４３】
本発明における遮光部の材料としては、一般的なカラーフィルタに用いられる遮光部の材料と同様のものを用いることができる。例えば、クロム化合物を含む金属薄膜を用いても良く、黒色色材をバインダ樹脂に分散または溶解させたものを用いても良い。なお、遮光部の具体的な材料については、例えば、特開２００８−９０１９１号公報に記載された遮光部の材料と同様とすることができるためここでの説明は省略する。
【００４４】
遮光部における開口部の形状は、第１の方向および第２の方向にそれぞれ並列に配置された遮光部により画定されるものであり、具体的な開口部の形状としては、例えば、矩形形状が挙げられる。また、遮光部における開口部の幅としては、一般的なカラーフィルタにおける遮光部の開口部の幅と同様とすることができるため、ここでの記載は省略する。
【００４５】
本発明における遮光部の線幅としては、本発明のカラーフィルタの用途等に応じて適宜選択することができ、特に限定されないが、例えば、１μｍ〜３０μｍの範囲内であることが好ましく、中でも１．５μｍ〜２８μｍの範囲内であることが好ましく、特に２μｍ〜２５μｍの範囲内であることが好ましい。遮光部の線幅が上記範囲よりも小さい場合には、十分に開口部を画定することができないおそれがある。また、遮光部の線幅が上記範囲よりも大きい場合には、高精細なカラーフィルタを得ることができないおそれがある。ここで、遮光部の線幅とは、例えば、図１（ｃ）においてＷ２で示す距離をいう。また、遮光部の線幅一定でない場合には、遮光部の線幅が、全て上記範囲内であることが好ましい。
【００４６】
本発明における遮光部の厚みとしては、所望の遮光性を示すことができる程度の厚みであれば特に限定されず、遮光部に用いられる材料に応じて適宜調整される。本発明における遮光部の具体的な厚みとしては、例えば、０．５μｍ〜３．０μｍ程度とすることができる。
【００４７】
３．着色部
本発明における着色部は、第２の方向に並列に配置された遮光部間に、開口部を覆うようにストライプ状に配置される部材である。
【００４８】
着色部は、例えば赤、緑、青の３色の着色部を有する。着色部の色としては、赤、緑、青の３色を少なくとも含むものであればよく、例えば、赤、緑、青の３色、赤、緑、青、黄の４色、または、赤、緑、青、黄、シアンの５色等とすることもできる。
【００４９】
着色部としては、例えば色材をバインダ樹脂中に分散させたものを用いることができる。着色部に用いられる色材としては、各色の顔料や染料等が挙げられる。例えば、赤色着色部に用いられる色材としては、例えば、ペリレン系顔料、レーキ顔料、アゾ系顔料、キナクリドン系顔料、アントラキノン系顔料、アントラセン系顔料、イソインドリン系顔料等が挙げられる。また、緑色着色部に用いられる色材としては、例えば、ハロゲン多置換フタロシアニン系顔料もしくはハロゲン多置換銅フタロシアニン系顔料等のフタロシアニン系顔料、トリフェニルメタン系塩基性染料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料等が挙げられる。さらに、青色着色部に用いられる色材としては、例えば、銅フタロシアニン系顔料、アントラキノン系顔料、インダンスレン系顔料、インドフェノール系顔料、シアニン系顔料、ジオキサジン系顔料等が挙げられる。これらの顔料や染料は単独で用いてもよく２種以上を混合して用いてもよい。着色部に用いられるバインダ樹脂としては、例えば、アクリレート系、メタクリレート系、ポリ桂皮酸ビニル系、もしくは環化ゴム系等の反応性ビニル基を有する感光性樹脂が挙げられる。
【００５０】
着色部には、上述した材料の他にも、必要に応じて、光重合開始剤、増感剤、塗布性改良剤、現像改良剤、架橋剤、重合禁止剤、可塑剤、難燃剤等を含有させることができる。
【００５１】
また、着色部が形成されている同一平面上には、上述した色材を含有せず、バインダ樹脂を含有する白色層が形成されていてもよい。
【００５２】
着色部の厚みとしては、カラーフィルタにおける一般的な着色部の厚みと同様とすることができ、例えば１μｍ〜５μｍの範囲内で設定することができる。
【００５３】
４．透明基板
本発明における透明基板は、上述した部材を支持する支持体である。
【００５４】
本発明における透明基板の材料は、一般的なカラーフィルタに用いられる材料であれば特に限定されないが、例えば、石英ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、合成石英板等の可撓性のない無機基板、および、透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する樹脂基板等が挙げられる。中でも無機基板を用いることが好ましく、無機基板の中でもガラス基板を用いることが好ましい。さらには、ガラス基板の中でも無アルカリタイプのガラス基板を用いることが好ましい。無アルカリタイプのガラス基板は寸度安定性および高温加熱処理における作業性に優れ、かつ、ガラス中にアルカリ成分を含まないことから、例えば、液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタに好適であるからである。
【００５５】
ここで、「透明」という場合には、特段の断りがない限り、本発明のカラーフィルタが用いられた液晶表示装置等の操作者の、操作面からの視認を妨げない程度の透明性をいう。したがって、「透明」は、無色透明、および視認性を妨げない程度の有色透明を含み、また厳密な透過率で定義されず、本発明のカラーフィルタの用途等に応じて透過性の度合いを決定することができる。
【００５６】
本発明における透明基板の厚みとしては、各部材を支持できる程度の厚みであれば特に限定されず、本発明のカラーフィルタの用途等に応じて適宜設計が可能である。透明基板の具体的な厚みについては、一般にカラーフィルタに用いられる基板の厚みと同様とすることができるため、ここでの記載は省略する。
【００５７】
５．その他
本発明のカラーフィルタは、上述した構成の他にも、必要に応じてその他の構成を有していても良い。その他の構成としては、例えば、第２の検知電極、オーバーコート層および絶縁層が挙げられる。以下、本発明において用いられる第２の検知電極、オーバーコート層および絶縁層について説明する。
【００５８】
（１）第２の検知電極
本発明における第２の検知電極は、透明基板の一方の表面上に、第１の検知電極と絶縁され、第２の方向に並列に配置される部材である。
【００５９】
本発明において用いられる第２の検知電極は、遮光部上に配置され、交差部において第１の検知電極と平面視上重なるように配置されることが好ましい。
【００６０】
ここで、「透明基板の一方の表面上に、第１の検知電極と絶縁され（る）」とは、例えば、透明基板の第１の検知電極が配置された面側に、第１の検知電極と絶縁された第２の検知電極が配置される場合が挙げられる。この場合、後述するオーバーコート層や絶縁層を介して第１の検知電極上に第２の検知電極を配置させることができる。透明基板の第１の検知電極が配置された面側に、第１の検知電極と絶縁された第２の検知電極が配置されたカラーフィルタとしては、例えば、図２（ａ）〜（ｃ）に示すように、第１の検知電極２ａ、遮光部３および着色部４上に、後述するオーバーコート層５を介して遮光部３と平面視上重なり、第１の検知電極２ａと交差するように第２の検知電極２ｂが配置されたカラーフィルタ１００が挙げられる。また、上述した他にも、透明基板の第１の検知電極が配置された面とは反対側の面、すなわち、本発明のカラーフィルタを用いたタッチパネル付カラーフィルタにおいて、操作者側の面に第２の検知電極が配置される場合が挙げられる。この場合、透明基板の第１の検知電極が配置された面とは反対側の面に、透明フィルム基材や透明ガラス基材上に第２の検知電極を配置した透明電極層を、透明フィルム基材や透明ガラス基材が透明基板と接触するように配置させることができる。
【００６１】
このような第２の検知電極は、着色部と平面視上重なる場合があることから、本発明のカラーフィルタの視認性に影響を与えない程度に透明性を有することが好ましい。具体的な第２の検知電極の材料としては、例えば、透明金属酸化物等の透明導電性材料や、金属材料が挙げられる。なお、金属材料を用いる場合には、第２の検知電極の平面視形状がメッシュ状であることが好ましい。第２の検知電極に所望の透明性を付与することができるからである。なお、具体的な第２の検知電極の材料については、一般的なタッチパネル付カラーフィルタに用いられる第２の検知電極と同様とすることができるため、ここでの記載は省略する。
【００６２】
第２の検知電極の線幅は、本発明のカラーフィルタをタッチパネル付カラーフィルタに用いた際に、優れたタッチセンサ機能を発揮できる程度であれば特に限定されない。第２の検知電極の線幅は、第１の検知電極の線幅と同じであっても良く、異なっても良い。具体的には、第２の検知電極の線幅が３μｍ〜１９μｍの範囲内であることが好ましく、中でも４μｍ〜１４μｍの範囲内であることが好ましい。
【００６３】
第２の検知電極の厚みとしては、所望の導電性を有することができ、本発明のカラーフィルタをタッチパネル付カラーフィルタに用いた際に、優れたタッチセンサ機能を発揮できる程度であれば特に限定されるものではなく、使用する材料等に応じて適宜調整される。第２の検知電極の厚みとしては、例えば１０ｎｍ〜１０００ｎｍの範囲内であることが好ましく、中でも５０ｎｍ〜８００ｎｍの範囲内であることが好ましく、特に１００ｎｍ〜５００ｎｍの範囲内であることが好ましい。第２の検知電極の厚みが上記範囲内よりも薄い場合には、第２の検知電極の表面抵抗値が大きくなり、第２の検知電極として十分に機能しないおそれがある。また、第２の検知電極の厚みが上記範囲内よりも厚い場合には、第２の検知電極を蒸着等により形成する際の時間やコストが増大するおそれがある。
【００６４】
第２の検知電極は、非表示領域にて取出し配線と連結して第２外部接続端子と接続する。第２の検知電極と引出し配線との連結態様についても、「１．第１の検知電極」の項で説明した態様と同様とすることができる。
【００６５】
（２）オーバーコート層
本発明において用いられるオーバーコート層は、第１の検知電極、遮光部および着色部を覆うように配置される。本発明のカラーフィルタがオーバーコート層を有することにより、カラーフィルタの表面を平坦化することができ、カラーフィルタを液晶表示装置等に用いた際に、視認性を向上させることが可能となる。
【００６６】
オーバーコート層の材料は、一般的なカラーフィルタに用いられるオーバーコート層と同様とすることができ、有機材料および無機材料のいずれも用いることができる。オーバーコート層が無機材料から構成される場合には、バリア性を付与することができる。なお、オーバーコート層の具体的な材料については、例えば特開２０１２−２１１９５２号公報で開示された材料と同様とすることができるため、ここでの記載は省略する。
【００６７】
（３）絶縁層
本発明において用いられる絶縁層は、第１の検知電極と第２の検知電極とが、透明基板の同一の面上に配置される場合、第１の検知電極と第２の検知電極とが交差する交差部において、第１の検知電極と第２の検知電極とが接触しないように、両部材の間に配置される。本発明のカラーフィルタが絶縁層を有することにより、第１の検知電極と第２の検知電極とが、透明基板の同一の面上に配置された際に、第１の検知電極および第２の検知電極間の短絡を防止することができる。なお、本発明のカラーフィルタが、上述したオーバーコート層を有する場合には、当該オーバーコート層が絶縁層としての機能を発揮する。
【００６８】
絶縁層の材料は、一般的なカラーフィルタに用いられる絶縁層と同様とすることができる。絶縁層の具体的な材料については、例えば特開２０１０−１６０７４５号公報で開示された材料と同様とすることができるため、ここでの記載は省略する。
【００６９】
６．用途
本発明のカラーフィルタは、各種表示装置に用いることができるが、中でも、タッチパネル付き表示装置、具体的には、タッチパネル付き液晶表示装置やタッチパネル付き有機ＥＬ表示装置等に用いることができる。
【００７０】
Ｂ．カラーフィルタの製造方法
本発明のカラーフィルタの製造方法は、透明基板と、上記透明基板の一方の表面上に、第１の方向、および上記第１の方向に交差する第２の方向にそれぞれ並列に配置され、複数の開口部を有する遮光部と、上記第１の方向に並列に配置された上記遮光部上に配置された第１の検知電極と、上記第２の方向に並列に配置された上記遮光部間に、上記開口部を覆うようにストライプ状に配置された着色部とを有するカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、上記第１の検知電極を配置する第１の検知電極配置工程と、上記第１の検知電極上を交差するように上記第２の方向に上記着色部を配置する着色部配置工程とを有し、上記第１の検知電極の上記透明基板側とは反対側の面の平均反射率が、測定波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内において４０％以下であることを特徴とする製造方法である。
【００７１】
本発明のカラーフィルタの製造方法について図を用いて説明する。図５は、本発明のカラーフィルタの製造方法の一例を示す概略工程図である。本発明のカラーフィルタの製造方法は、図５（ａ）に示すように、透明基板上１に、複数の開口部を有する遮光部３を配置する遮光部配置工程と、遮光部２上に、第１の方向に並列に配置された第１の検知電極２ａを配置する第１の検知電極配置工程と、図５（ｂ）に示すように、第１の方向に交差する方向である第２の方向に、開口部を覆うようにストライプ状に着色部４（ここでは、赤色着色部４Ｒ、緑色着色部４Ｇ、青色着色部４Ｂ）を配置する着色部配置工程と、図５（ｃ）に示すように、第１の検知電極２ａ、遮光部３および着色部４上にオーバーコート層を配置するオーバーコート層配置工程と、図５（ｄ）に示すように、第２の方向に第２の検知電極２ｂを並列に配置する第２の検知電極配置工程とを有する。また、本発明により得られるカラーフィルタ１００は、第１の検知電極２ａおよび着色部４が交差する交差部においては、第１の検知電極２ａ上で着色部４が交差するように配置されており、第１の検知電極２ａの透明基板１側とは反対側の面の平均反射率が、測定波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内において４０％以下であることを特徴とする。
【００７２】
本発明によれば、第１の検知電極の透明基板側とは反対側の面を低反射にすることにより、バックハレーションの発生を抑制し、着色部の線幅を高精度に制御することが可能なカラーフィルタを得ることができる。なお、本発明の具体的な効果の説明については、上記「Ａ．カラーフィルタ」の項に記載した内容と同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。
以下、本発明のカラーフィルタの製造方法における各工程について説明する。
【００７３】
１．遮光部配置工程
本発明における遮光部配置工程は、透明基板の一方の表面上に、複数の開口部を有する遮光部を配置する工程である。なお、本工程における透明基板および遮光部については、上記「Ａ．カラーフィルタ」の項で説明した内容と同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。
【００７４】
遮光部配置工程としては、透明基板上に、複数の開口部を有する遮光部を配置することができる工程であれば特に限定されない。具体的には、遮光部の構成材料を透明基板上に成膜し、遮光部が複数の開口部を有するようにパターニングを行う方法が挙げられる。成膜方法としては、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法、塗布法等が挙げられる。また、パターニング方法としては、例えば、フォトリソグラフィ法によりエッチングする方法が挙げられる。なお、具体的な遮光部配置工程については、一般的なカラーフィルタにおける遮光部配置工程と同様とすることができるため、ここでの記載は省略する。
【００７５】
２．第１の検知電極配置工程
本発明における第１の検知電極配置工程は、遮光部上に、第１の方向に並列に第１の検知電極を配置する工程である。なお、本工程における第１の検知電極については、上記「Ａ．カラーフィルタ」の項で説明した内容と同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。
【００７６】
第１の検知電極配置工程としては、遮光部上に、第１の方向に並列に第１の検知電極を配置することができる工程であれば特に限定されない。具体的には、遮光部上に第１の検知電極の構成材料を成膜し、その後、所定の形状にパターニングする方法が挙げられる。成膜方法としては、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法、塗布法等が挙げられる。また、エッチング方法としては、ポジ型レジストを用いたエッチング方法が挙げられる。なお、具体的な第１の検知電極配置工程については、一般的なカラーフィルタにおける第１の検知電極配置工程と同様とすることができるため、ここでの記載は省略する。
【００７７】
３．着色部配置工程
本発明における着色部配置工程は、第２の方向に並列に配置された遮光部間に、開口部を覆うようにストライプ状に着色部を配置する着色部工程である。また、本発明においては、第１の検知電極上を交差するように第２の方向に着色部を配置する。なお、本工程における着色部については、上記「Ａ．カラーフィルタ」の項に記載した内容と同様であるため、ここでの説明は省略する。
【００７８】
着色部配置工程としては、上述した第１の検知電極配置工程後に、第１の検知電極上を交差するように第２の方向に着色部を配置することができる工程であれば特に限定されない。具体的には、着色部の構成材料を、第１の方向に交差する方向である第２の方向に、第１の検知電極上を交差して開口部を覆うようにストライプ状に配置する方法が挙げられる。具体的な着色部の形成方法としては、例えば、フォトリソグラフィ法、インクジェット法、印刷法等が挙げられる。なお、具体的な着色部配置工程については、一般的なカラーフィルタにおける着色部配置工程と同様とすることができるため、ここでの記載は省略する。
【００７９】
４．その他の工程
本発明においては、上述した工程の他にも必要に応じてその他の工程を有していても良い。その他の工程としては、例えば、第１の検知電極と絶縁し、第２の方向に並列に第２の検知電極を配置する第２の検知電極配置工程や、遮光部、第１の検知電極および着色部を覆うようにオーバーコート層を配置するオーバーコート層配置工程、遮光部、第１の検知電極および着色部を覆うように絶縁層を配置する絶縁層配置工程が挙げられる。なお、第２の検知電極、絶縁層およびオーバーコート層については、上記「Ａ．カラーフィルタ」の項に記載した内容と同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。また、第２の検知電極配置工程については、上記「１．第１の検知電極配置工程」の項に記載した内容と同様とすることができ、また、オーバーコート層配置工程および絶縁層配置工程については、一般的なカラーフィルタに用いられるオーバーコート層配置工程および絶縁層配置工程と同様とすることができるため、ここでの記載は省略する。
【００８０】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【実施例】
【００８１】
以下、本発明について実施例を挙げて説明する。
【００８２】
［参考例］
第１の検知電極に用いられる材料を検討するために、ＡＰＣ（Ａｇ）、銅、カーボンについて、表面抵抗値および波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内における平均反射率について測定した。なお、表面抵抗値は、ロレスタＡＸ  ＭＣＰ−Ｔ３７０型（三菱アナリテック社製）を用いて測定した。また、平均反射率は、ＯＳＰ−ＳＰ２００（オリンパス社製）を用いてにより測定した。
結果は、表１に示す。
【００８３】
【表１】
2017003653.tif 000003
【００８４】
［実施例］
（透明基板の準備）
透明基板として、大きさが１００ｍｍ×１００ｍｍ、厚みが０．７ｍｍのガラス基板を準備した。
【００８５】
（遮光部配置工程）
（共重合樹脂組成物の調製）
まず、重合槽中にメタクリル酸メチル（ＭＭＡ）を６３質量部、アクリル酸（ＡＡ）を１２質量部、メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル（ＨＥＭＡ）を６質量部、ジエチレングリコールジメチルエーテル（ＤＭＤＧ）を８８質量部仕込み、攪拌し溶解させた後、２、２’−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）を７質量部添加し、均一に溶解させた。その後、窒素気流下、８５℃で２時間攪拌し、更に１００℃で１時間反応させた。得られた溶液に、更にメタクリル酸グリシジル（ＧＭＡ）を７質量部、トリエチルアミンを０．４質量部、及びハイドロキノンを０．２質量部添加し、１００℃で５時間攪拌し、共重合樹脂溶液（固形分５０％）を得た。
【００８６】
次に、下記の材料を室温で攪拌、混合して下記組成の硬化性樹脂組成物Ａを調製した。
＜硬化性樹脂組成物Ａの組成＞
・上記共重合樹脂溶液（固形分５０％）                                …１６質量部
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレート（サートマー社  ＳＲ３９９）
…２４質量部
・オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂（油化シェルエポキシ社  エピコート１８０Ｓ７０）                                                            …４質量部
・２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノプロパン−１−オン
…４質量部
・ジエチレングリコールジメチルエーテル                              …５２質量部
【００８７】
次いで、下記分量の成分を混合し、サンドミルにて十分に分散し、黒色顔料分散液を調製した。
＜黒色顔料分散液の組成＞
・黒色顔料(三菱化学社製  ＃２６００）                              …２０質量部
・高分子分散材（ビックケミー・ジャパン株式会社  Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ  １１１）
…１６質量部
・溶剤（ジエチレングリコールジメチルエーテル）                      …６４質量部
【００８８】
その後、下記分量の成分を十分混合して、遮光部形成用組成物を得た。
＜遮光部形成用組成物の組成＞
・上記黒色顔料分散液                                                …５０質量部
・上記硬化性樹脂組成物Ａ                                            …２０質量部
・ジエチレングリコールジメチルエーテル                              …３０質量部
【００８９】
次に、得られた遮光部形成用組成物を透明基板上に塗布し、フォトリソグラフィ法によりパターニングしてその後焼成し、第１の方向、および第１の方向に交差する第２の方向にそれぞれ並列に配置され、複数の開口部を有する遮光部を形成した。
【００９０】
（第１の検知電極形成工程）
次いで、遮光部形成面に、蒸着法を用いて厚み０．２μｍのＣｕおよびＣｕ３Ｎをスパッタ形成した。その後、ポジレジストを用いてパターニングを行い、リン硝酢酸にてエッチングを行った。これにより第１の方向に並列に配置された遮光部上に、所望の第１の検知電極を形成した。
【００９１】
（着色部配置工程）
まず、下記の材料を混合して、下記組成の赤色着色部形成用組成物、緑色着色部形成用組成物および青色着色部形成用組成物を調製した。
【００９２】
＜赤色着色部形成用組成物＞
・Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４                                    …１０質量部
・ポリスルホン酸型高分子分散剤                                        …８質量部
・上記硬化性樹脂組成物Ａ                                            …１５質量部
・酢酸−３−メトキシブチル                                          …６７質量部
【００９３】
＜緑色着色部形成用組成物＞
・Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８                                    …１０質量部
・Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８                                  …３質量部
・ポリスルホン酸型高分子分散剤                                        …８質量部
・上記硬化性樹脂組成物Ａ                                            …１２質量部
・酢酸−３−メトキシブチル                                          …６７質量部
【００９４】
＜青色着色部形成用組成物＞
・Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６                                    …５質量部
・ポリスルホン酸型高分子分散剤                                        …３質量部
・上記硬化性樹脂組成物Ａ                                            …２５質量部
・酢酸−３−メトキシブチル                                          …６７質量部
【００９５】
次に、第２の方向に並列に配置された遮光部間に、開口部を覆うように、赤色着色部形成用組成物をスピンコート法により塗布し、フォトリソグラフィ法によりストライプ状にパターニングした後、焼成して赤色着色部を形成した。
次いで、緑色着色部形成用組成物および青色着色部形成用組成物を用いて、同様の操作により緑色着色部および青色着色部を形成した。これにより、赤色着色部、緑色着色部、青色着色部が配列された着色部を形成した。
なお、着色部の厚みは、いずれも１．５μｍであった。
【００９６】
[比較例]
第１検知電極の材料に、ＡＰＣ（Ａｇ、Ｐｄ、Ｃｕを含む合金）を用いたこと以外は実施例と同様にしてカラーフィルタを形成した。
【００９７】
[評価]
実施例および比較例の着色部配置工程における露光時の線幅シフトの差を評価した。その結果を、下記表２に示す。
【００９８】
【表２】
2017003653.tif 000004
【００９９】
表２に示すように、第１の検知電極の材料にＣｕ３Ｎを用いた実施例では、着色部配置工程における露光時の線幅シフトが１μｍであった。一方、第１の検知電極の材料にＡＰＣを用いた比較例では、着色部配置工程における露光時の線幅シフトが４μｍであった。すなわち、実施例においては、比較例に比べて着色部の線幅を一定に制御することができた。以上の結果から、波長３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内における平均反射率が低い材料を第１の検知電極に用いることにより、着色部配置工程においてバックハレーションの発生を抑制し、着色部の線幅を高精度に制御することが可能なカラーフィルタを得られることが明らかとなった。
【符号の説明】
【０１００】
１        …透明基板
２ａ      …第１の検知電極
２ｂ      …第２の検知電極
３        …遮光部
４        …着色部
５        …オーバーコート層
１０      …交差部
１００    …カラーフィルタ
【図３】
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【図４】
2017003653.tif 000006
【図７】
2017003653.tif 000007
【図８】
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【図９】
2017003653.tif 000009
【図１】
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【図２】
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【図５】
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【図６】
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