【事件の表示】
　上記当事者間の特許第４３７８４３２号発明「熱風循環炉」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
　審判費用は、請求人の負担とする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第４３７８４３２号の請求項１〜５に係る発明についての出願は、平成１５年２月２６日に出願した特願２００３−４９０４７号の一部を特許法第４４条第１項の規定により平成２１年７月１３日に特願２００９−１６４３６５号として新たな特許出願としたものであって、同年９月１８日にそれらの発明について特許権の設定登録がなされたものである。
　そして、本件審判は、この全ての発明についての特許を無効にすることについて、平成２２年４月２１日に請求されたものであって、同年７月２３日付けで被請求人から答弁書が提出され、同年９月１５日付けで口頭審理における審理事項が通知され、同年１１月３０日に行われた口頭審理において、請求人から同年１１月９日付け口頭審理陳述要領書のとおり陳述されると共に、被請求人から同年１１月２２日付け口頭審理陳述要領書のとおり陳述され、同口頭審理において、審理を終結したものである。
　
第２　本件発明
　本件特許の請求項１〜５に係る発明（以下、「本件発明１」〜「本件発明５」という。）は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面（次の「第３　請求人の主張」の「２　証拠方法」における「甲第１号証」参照。）の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜５に記載された事項により特定される以下のとおりのものである。
　なお、請求項１におけるＡ〜Ｅの符号は、分説のために当審が付したものである。
　
「【請求項１】
Ａ　熱源と回転炉床とを備える炉体と、
Ｂ　前記回転炉床の外周側寄りの部位に前記炉体の周壁に沿って備えられると共に放射方向に前記ワークを搬入搬出可能に載置しかつ熱ガスの循環流が上下方向に通過可能な通気性の素材ないし構造から成るワーク載置棚を内部に備える通気性の構造から成る環状のワーク載置台と、
Ｃ　前記炉体内を前記ワーク載置台が設置されている外周側領域とそれよりも内側の内方側領域とに区画すると共に前記回転炉床付近及び前記天井付近に前記内方側領域と前記外周側領域とを連通させる上下の通路をそれぞれ設ける環状仕切りと、
Ｄ　前記炉体の天井付近に備えられ前記熱源から熱を受けた熱ガスをファンの外周から中心部に向かって吸い込み前記環状仕切りの内側である前記内方側領域を通して前記回転炉床に向けて吐出する軸流ファンとを備え、
Ｅ　前記熱ガスは前記軸流ファンによって前記内方側領域に吐出され、前記環状仕切りの内側を前記環状仕切りに沿って前記回転炉床付近の前記下の通路を経て前記環状仕切りの外側の前記外周側領域に放射状に流出され、前記ワーク載置台の前記ワーク載置棚を通過して上昇し、再び前記熱源で昇温されてから前記軸流ファンに吸い込まれる循環流を形成することを特徴とする熱風循環炉。
【請求項２】
前記ワーク載置台は複数段の前記ワーク載置棚を有することを特徴とする請求項１記載の熱風循環炉。
【請求項３】
前記ワーク載置台は、一度に処理する分のワークを載置するスペース毎に周方向に区画する仕切りによって周方向に隔離されると共に、鉛直方向には前記ワーク載置棚を介して連通することを特徴とする請求項１または２記載の熱風循環炉。
【請求項４】
前記ワーク載置台の各段のワーク載置棚毎に前記ワークの出し入れを可能とする装入口並びに抽出口を前記炉体の周壁に有することを特徴とする請求項１から３のいずれか１つに記載の熱風循環炉。
【請求項５】
前記装入口と前記抽出口とは各々独立して開閉する扉を有し、前記装入口と前記抽出口との間には前記ワーク載置台のワーク収容スペースが少なくとも１つ存在する間隔が設定されていることを特徴とする請求項４記載の熱風循環炉。」
　
第３　請求人の主張及び証拠方法
１　主張の要点
　請求人は、以下の理由により、本件特許を無効とするとの審決を求めている。
　
「本件発明１，２及び４は、甲第２〜５号証に記載された発明に基づいて、本件発明３は、甲第２〜６号証に記載された発明に基づいて、本件発明５は、甲第２〜５及び７号証に記載された発明に基づいて、それぞれ当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明１〜５に係る本件特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
　したがって、本件特許は、同法第１２３条第１項第２号の規定により無効とされるべきものである。」
　
２　証拠方法
　請求人は、証拠方法として、以下の甲第１〜７号証を提出している。
　
　甲第１号証：特許第４３７８４３２号公報（本件特許公報）
　甲第２号証：実願昭５７−１１６４８０号（実開昭５９−２１４９５号）
　　　　　　　のマイクロフィルム
　甲第３号証：実公昭４９−１１２９２号公報
　甲第４号証：実願昭５６−６０２２９号（実開昭５７−１７２３９６号）
　　　　　　　のマイクロフィルム
　甲第５号証：実願昭６３−１２２４３号（実開平１−１１６３９４号）
　　　　　　　のマイクロフィルム
　甲第６号証：実公昭４６−２９９２５号公報
　甲第７号証：実願平２−８９７５８号（実開平４−４６５５４号）
　　　　　　　のマイクロフィルム
　
３　主引用例及び引用発明
　請求人の主張する無効理由は、本件発明１〜５に対して、甲第２号証を主引用例とするものであり、その第１図に記載された発明を引用発明とするものである。（第１回口頭審理調書参照。）
　
　なお、被請求人は、口頭審理において、甲第１〜７号証の成立を認めている。
　
第４　被請求人の主張及び証拠方法
１　主張の要点
　被請求人は、本件審判請求は成り立たないとの審決を求めている。
　
２　証拠方法
　被請求人は、証拠方法として、以下の乙第１〜９号証を提出している。
　
　乙第１号証：社団法人日本機械工業連合会　平成１８年２月発行
　　　　　　　優秀省エネルギー機器　平成１７年度受賞機器の概要
　乙第２号証：経済産業大臣賞　表彰状の写し
　乙第３号証：株式会社日刊工業新聞社　昭和５７年８月３０日発行
　　　　　　　「図解燃焼技術用語辞典」
　乙第４号証：株式会社日刊工業新聞社　２００２年７月３０日発行
　　　　　　　「熱処理用語辞典」
　乙第５号証：財団法人日本規格協会　１９８２年１２月６日発行
　　　　　　　「ＪＩＳ工業用語大辞典」
　乙第６号証：株式会社日刊工業新聞社　１９９６年３月２８日発行
　　　　　　　「理工学辞典」
　乙第７号証：特開平１１−２５７２９９号公報
　乙第８号証：特開平１０−２４６５００号公報
　乙第９号証：特開２００１−２６３６０９号公報
　
　なお、請求人は、口頭審理において、乙第１〜９号証の成立を認めている。
　
第５　甲号証及び乙号証
１　甲各号証の記載事項
　甲各号証には、図面と共に以下の事項が記載されている。
　なお、拗音や促音については、大文字の場合は、小文字に直し、略字については、本字に直している。
　
（１）甲第２号証
ア　「本考案は、炉本体内に高温ガスを供給する給気装置、並びに、前記炉本体内において高温ガスを強制循環流動させる循環装置を設けた熱風循環炉に関する。」（明細書第２頁第１〜４行）
　
イ　「従来、上記熱風循環炉を構成するに、第２図に示すように、炉本体（２）の内部を隔壁（１１）により高温ガス発生室（１２）と加熱室（１３）とに区画し、高温ガス発生室（１２）にバーナ（１４）を設け、高温ガス発生室（１２）から加熱室（１３）に高温ガスを供給する電動ファン（１５）を設け、ファン（１５）の吸引作用により加熱室（１３）の高温ガスを高温ガス発生室（１２）に送る流路（１６）を設けていた。しかし、電動ファン（１５）によって得られるガス流速は２０ｍ/sec程度にとどまり、高温ガスから被加熱物品（３）への伝熱効率が、境膜が厚くなるために悪くなり、加熱に要する時間が長くなり、さらには、均一加熱が困難になる等、機能面及び省エネルギー面での欠点があり、また、電動ファン（１５）に起因して、設備費が高額になり、コスト面でも劣っていた。」（明細書第２頁第５〜１９行）
　
ウ　「本考案の目的は、給気装置及び循環装置に改良を加えて、設備費を安価にしながら、高温ガスを高速流動させて、加熱を熱効率良く、迅速にかつ均一に行えるようにする点にある。」（明細書第２頁第２０行〜第３頁第３行）
　
エ　「本考案による熱風循環炉の特徴構成は、炉本体内に高温ガスを供給する給気装置、及び、前記炉本体内において高温ガスを強制循環させる循環装置を構成するに、酸素含有ガスを加圧供給するコンプレッサーをガスタービンに連動連結すると共に、前記コンプレッサーからガスタービンへの給気路に燃焼器を介装し、かつ、前記燃焼器に燃料を供給する流路、及び、前記ガスタービンから前記炉本体内に高温ガスを圧送する流路を設け、さらに、前記炉本体の内部ガスを前記ガスタービンからの圧送ガスにその流動エネルギーにより同伴流動させるエジェクターを設けた事にある。」（明細書第３頁第４〜１６行）
　
オ　「本考案の特徴構成による作用効果は次の通りである。つまり、燃焼器からの高温高圧ガスにより作動するタービンでコンプレッサーを駆動させて、高温高圧の酸素含有ガスを燃焼器に供給する事によって、タービンから２０００ないし３０００mmAqもの高圧で、かつ、６５０ないし７００℃もの高温ガスをエジェクターに供給でき、エジェクターから３００ないし３５０ｍ/secもの極めて高速で高温ガスを噴出させることができ、その結果、エジェクターの作用で炉本体内の高温ガス流速を従来よりも大巾に増大して、高温ガスから被加熱物品への伝熱を、伝熱係数が従来の３ないし４倍もにした状態で極めて効率良くでき、また、短時間で極めて均一な加熱が可能になり、省エネルギー面及び加熱性能面のいずれにおいても優れた炉が得られた。その上、電動モータに比して高温ガス循環のための設備費が半額以下になり、また、電動モータを炉本体内に配置するに比して、エジェクターで高温ガスを循環させる場合、炉内容積を1/2ないし1/3にでき、この面からも設備費の低減及び炉からの放熱抑制による省エネルギーを図れるようになった。」（明細書第３頁第１７行〜第４頁第１８行）
　
カ　「次に、第１図により実施例を示す。
　左右下部に煙道（１）を有する炉本体（２）内に、被加熱物品（３）を互に隙間がある状態で載置する台（４）を設けると共に、台（４）に通気口を多数備えさせ、炉本体（２）内の上部に設けたエジェクター（５）に過給機（Ａ）を接続し、もって、エジェクター（５）から高速噴出される高温ガスを、炉本体（２）内の中央側で下降流動させると共に、炉本体（２）内の高温ガスを、エジェクター（５）の作用で、炉本体（２）内の周壁側で上昇流動させて、過給機（Ａ）からの圧送ガスにその流動エネルギーにより同伴流動させ、炉本体（２）内への高温ガス供給及び炉本体（２）内での高温ガス強制循環を行う熱風循環炉を構成してある。
　過給機（Ａ）を構成するに、空気を加圧供給するコンプレッサー（６）をガスタービン（７）に連動連結し、コンプレッサー（６）からガスタービン（７）への給気路にバーナ式燃焼器（８）を介装し、燃料ガスを加圧供給する流路（９）を燃焼器（８）に接続し、ガスタービン（７）からの高圧の高温ガスをエジェクター（５）に供給する流路（１０）を設け、もって、コンプレッサー（６）から燃焼器（８）に、例えば圧力が１００００mmAqで１００℃の燃焼用空気を供給して、燃焼器（８）で発生する高圧の高温ガスを、それによってガスタービン（７）を駆動させた後、例えば圧力が２０００ないし３０００mmAqで、温度が６５０ないし７００℃というような、高圧の高温ガスをエジェクター（５）に供給できるように構成してある。また、エジェクター（５）を、そこからのガス噴出速度が３５０ｍ/sec程度以下の適当な速度になるように構成してある。」（明細書第４頁第１９行〜第６頁第９行）
　
キ　「次に、別の実施例を示す。
　前記燃焼器（８）を触媒燃焼式にすると共に、燃焼ガス供給用流路（９）をコンプレッサー（６）の上流側に接続する。
　前記コンプレッサー（６）に供給するガスの組成や酸素濃度等を適宜変更でき、それらガスを酸素含有ガスと総称する。
　前記炉本体（２）の具体的構成は自由に変更でき、また、炉本体（２）の型式等に応じて、前記エジェクター（５）の位置や噴出方向や設置個数等を変更できる。
　前記熱風循環炉は各種加熱目的のために利用でき、また、加熱温度が、例えば６５０℃以上もの高温である場合、ガスタービン（７）とエジェクター（５）の間に二次燃焼器を介装するとよい。」（明細書第６頁第１０行〜第７頁第４行）
　
（２）甲第３号証
ア　「本考案は、炉内加熱室に高温燃焼ガスを噴出させて、被加熱金属の焼鈍等の熱処理を行う熱処理炉の改良に関する。
　この種の炉で重要な事は、炉内加熱室の温度を上下に於て格差のないよう均一化する事、つまり温度分布の均一性である。」（第１頁左欄第１９〜２４行）
　
イ　「本考案実施の態様を例示図について詳述すればキャスタブル等の耐火材料で作成された矩形の炉体５内に、真円状の炉内加熱室１を形成し、この炉内加熱室１に高温燃焼ガスを噴出させて熱処理を行う熱処理炉に於て、前記加熱室１の上端開口部に着脱自在に装備した炉蓋２の周囲四隅部に、下向きに高温燃焼ガスを噴出する高速ガスバーナー３……を固定状態に取付けると共に、これらガスバーナー３……の噴出口に対応する炉体５の周辺部四隅に、炉体底部近くにまで至る複数の高温燃焼ガス案内流路４……を直線状に形成し、この案内流路４……の下端部には、炉内加熱室１の底部に、その内周面に対して略接線方向から高温燃焼ガスを噴射供給する噴射孔６……を形成すると共に、前記案内流路４……の上端部近くに、炉内加熱室１の上端部を連通させる吸引連通孔７……を、前記噴射孔６……と同様に、内周面に対して略接線方向に向けて形成させ、且つ、これら吸引連通孔……に対応する個所に、夫々、排気孔８……を形成させたものである。」（第１頁右欄第７〜２６行）
　
ウ　「次に、その作用について説明すると、炉内加熱室１に、被加熱金属を収納した状態で高速ガスバーナー３……を介して、各案内流路４……内に下方向に向って高温燃焼ガスを噴出させると、その高温燃焼ガスは、各案内流路４……内を下方に急速に流動した後、下端部の噴射孔６……を介して炉内加熱室１に略接線方向から噴射供給されて、この加熱室１内を旋回流動し乍ら、上昇する。而して、加熱室１の上端部に達した燃焼ガスは、低温となって居り、この低温燃焼ガスは、バーナー３……の噴出による吸引力で吸引連通孔７……を経て、再び、前記流路４……内に案内されて循環するに至り、この循環燃焼ガスによって、加熱室１の被加熱金属が逐次、加熱処理されるに至るものである。」（第１頁右欄第２７行〜第２頁左欄第３行）
　
エ　「それでいて、前記ガスバーナー３から噴出される高温燃焼ガスを加熱室１の底部に導いて、この加熱室１の底部から噴射供給させるものであるから、特に、背丈の大なる炉であっても、底部が極端に低温になるような事がなく、加熱室１の温度分布を略均一良好ならしめ、以って、所期の熱処理を良好に、且つ、効率良く行わしめ得るものである。」（第２頁右欄第６〜１３行）
　
オ　「尚、被加熱物が、捲コイルや電線等のように、中空の品物である場合は、第７図の如くその軸芯部にガスバーナー３を取付けてある炉蓋２を装備する事によって、高温燃焼ガスの案内流路４を品物の中空部と成して用いる事ができるものである」（第２頁右欄第１４〜１８行）
　
カ　「炉内加熱室１に高温燃焼ガスを噴出させて熱処理を行う熱処理炉に於て、前記加熱室１の上端部に着脱自在に装備した炉蓋２に、高温燃焼ガス噴出用のガスバーナー３を取付けると共に、このガスバーナー３から噴出される高温燃焼ガスを加熱室１の底部に導いて前記加熱室１内へ噴射供給する案内路４を少なくとも設けてある熱処理炉。」（第２頁右欄第２３〜２９行）
　
（３）甲第４号証
ア　「第２図は本考案の一実施例の簡略化した縦断面図であり、第３図は第２図の平面図であり、第４図は第２図の切断面線IV−IVから見た断面図である。このロータリーハース炉１０は、鉛直軸線まわりに回転自在の回転炉床１１と、その回転炉床１１の上方を覆う炉殻１２と、炉殻１２の中央部から垂下され炉殻１２の内面との間に水平円環状の加熱室１３を形成する障壁部１４とを含む。被加熱物１５は、投入口１６から加熱室１３内に投入されて回転炉床１１の上面１１ａに載置され、加熱室１３内をほぼ一周する間にバーナ１７からの燃焼排ガスと向流接触して加熱された後、排出口１８から排出される。一方、前記バーナ１７からの燃焼排ガスは、投入口１６付近に形成された排気口１９から排気される。」（明細書第３頁第３〜１７行）
　
イ　「炉殻１２は有底円筒状の鋼板製ケーシング２７の内面にキャスタブルなどの耐火物２８が内張りされて成る。炉殻１２の側部における円周方向に相互に近接した位置には、投入口１６および排出口１８が形成される。炉殻１２の天井部１２ａには、加熱室１３に向けて複数（図示５個）のバーナ１７が設けられる。これらのバーナ１７は投入口１６から回転炉床１１の回転方向２６に沿って排出口１８に至るまでの間において、円周方向に間隔をあけて配置される。」（明細書第４頁第８〜１７行）
　
ウ　「加熱室１３において、投入口１６および排出口１８の間は遮蔽幕３５によって遮断される。この遮蔽幕３５は耐熱性を有する繊維材料から成り、第６図で示すように天井部１２ａから吊下げられる。すなわち遮蔽幕３５の上端部は止め金具３６などによってケーシング２７に固定され、その固定部を覆うようにしてケーシング２７の耐火物２８が内張りされる。」（明細書第５頁第１７行〜第６頁第４行）
　
エ　「このように構成されたロータリハース炉において、投入口１６から投入された被加熱物１５は、回転炉床１１の矢符２６方向への回転に伴って加熱室３内を移動する。一方、バーナ１７からの燃焼排ガスは排気口１９から排出されるべく流れる。すなわち、燃焼排ガスは、障壁部１４によって形成された加熱室１３内を破線矢符で示すように矢符２６と逆方向に流通して排気口１９から排気される。このようにして被加熱物１５は燃焼排ガスと向流接触して加熱され、排気口１８から排気される。」（明細書第６頁第５〜１５行）
　
オ　「この実施例によれば障壁部１４の遮蔽部材３４は支持部材３２から吊下げられており、その下端部３４ａは炉床２０の上面２０ａに接触している。また加熱室１３の投入口１６および排出口１８間は遮蔽幕３５で遮蔽されている。そのため、従来のように燃焼排ガスが障壁部１４と炉床２０との間をショートパスすることはなく、また排出口１８付近のバーナ１７からの燃焼排ガスが排気口１９にショートパスして流れることはない。したがって、バーナ１７からのほぼ全量の燃焼排ガスが被加熱物に向流接触して予熱効果が向上し、熱効率が向上する。」（明細書第６頁第１６行〜第７頁第７行）
　
（４）甲第５号証
ア　「第１図は、本考案の焼成炉の縦断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線に沿った横断面図である。
　図面において、１２は天井１３及び側壁１４とからなる焼成炉本体であり、側壁１４内面に多数の抵抗発熱体１８がとりつけてある。なお、炉本体１２は図示してない手段により所定位置に支承してある。また、側壁４には第２図に示す如く、送風ファン１６およびガス供給管１７並びにガス排出管１９が設けてある。
　炉底部６上面には後述する構成からなる被熱物２１の浮上機構を具備し、該炉底部６は走行自在の台車３に設けられた昇降機構４、油圧シリンダー５（他の駆動機構でも可）により昇降する機構としてあり、上昇により前記炉本体１２に密封、嵌合させる構成としてある。なお、密封手段としては図示の如く周知のシール機構を具備している。
　前述した浮上機構は、多数のガス吸込孔８とガス吹出孔９を所定位置に配設した隔壁７と多孔板１１用支持壁１０とを平行状に設け、前記ガス吸込孔８とガス吹出孔９の中間所定位置に多孔板１１をほゞ水平状に、前記隔壁７と支持壁１０に懸架、配設する。なお、図中１は台車用レール、１５はファン用モーターである。」（明細書第４頁第１行〜第５頁第３行）
　
イ　「第１図に破線で示すように昇降機構４を下げた状態とし、プラットホーム２０から多孔板１１上に被熱物２１、たとえば、ガラスセラミックス基板を載置したのち、昇降装置４を上昇させて、燃焼炉１２にセットし、珪砂２２でシールする。
　次に、窒素ガスをガス供給管１７から吹込み、（約２０m3）エアーと置換し、ついで抵抗発熱体１８に通電して、加熱しながら、送風ファン１６を用いて、窒素ガスを循環させ、ガラスセラミックス基板を非酸化性雰囲気中で、徐々に昇温し、予熱したのち、焼成する。
　焼成が完了すれば、抵抗発熱体１８への通電を停止するとともに、窒素ガスの吹込み量を予定温度に合せてコントロールし、冷却し、室温近くまで降温して昇降装置４を下げ、プラットホーム２０から、被熱物２１を製品として取り出す。
　また、被熱物２１の焼成温度によっては、周知の各種加熱手段を選択使用することができる。」（明細書第５頁第９行〜第６頁第６行）
　
ウ　「昇温時、炉内空気を非酸化性ガスと置換し非酸化性雰囲気に保ちヒーターにより、又冷却時は非酸化性ガス量を調整することにより温度制御（control）を行い乍らファンによりガスを循環させ被焼成物を浮上焼成することによって被焼成物下面も充分に加熱され均一加熱が可能であると共に棚板を用いないため焼成時の膨張収縮に伴う摩擦力も働かず被焼成物の亀裂も少なく歩留り向上となった。」（明細書第６頁第１４行〜第７頁第２行）
　
（５）甲第６号証
ア　「本考案は、上述の如き欠点を解消せんがために為されたものであって、以下図示の実施例についてこれを説明すれば、耐火レンガ等で床面内に設置した円筒形状の加熱炉１上端にレール２を設けこのレール２に沿って転動するコロ３……を軸架した蓋体４を前記加熱炉１上に回転自在に蓋設すると共に、蓋体４の偏心位置に小窓５を開閉自在に設け、前記蓋体４の加熱炉１上に於ける回動してこの蓋体４に設けられた前記小窓５の回動軌跡線の下方位置に、材料加熱用の孔あき筒状枠体６……を加熱炉１の炉床７上に複数本立設し、前記蓋体４の中心位置で原動機８に連動するファン９を加熱炉１内の上層部に臨ませ、同ファン９の回転により上層部の気体を下方へ送出すべく構成したものである。図中１０は枠体６……を囲むインナーケースで、前記ファン９の回転による気体の流れはこのインナーケース１０を下方へ通過した後、炉床７よりインナーケース１０と加熱炉１の内周壁との間を上方へ流れ、これより再び上層部のファン９をしてインナーケース１０内を下方へ流れる様に対流するものであり、その対流中の気体一部は炉床７の下部より炉外に連通する排気筒１１で排気される。又１２はガスバーナーを示しビーム１３に適宜装着されている。」（第１頁左欄第３１行〜右欄第１５行）
　
イ　「本考案は以上の構成よりなるものであって、次にその作用について説明すれば、今ガスバーナ１２より発射するガスを点火せしめると共に原動機８を駆動してファン９を回転させると、前記ガスバーナ１２の燃焼ガスをして熱せられる加熱炉１内の空気はファン９の回転をして矢印で示す如き対流を受け乍ら加熱炉１内を各枠体６……と一体に加熱されるに至り、そして前記蓋体４を原動機１６の駆動をして回動させ、同蓋体４の偏心位置に設けられている小窓５が所要枠体６の頭上に達した位置で蓋体４の回動を停止させると共に、小窓５を開口させてこの小窓５の開口部より被加熱材料を前記枠体６内に差し込ませ、しかる後前記原動機１６を再び駆動して蓋体４の回動と共に小窓５が次の枠体６の頭上に達した位置で前述と同様蓋体４の回動を停止させ、小窓５を開口させてその枠体６内に別の被加熱材料を差し込ませ、上述の如き操作を繰返し順次各枠体６……内に被加熱材料の差し込みを完了させ得、その後適当温度に加熱された材料を取出すに当って、この材料が差し込まれている枠体６の頭上に前記小窓５が位置すべく前記蓋体４を適宜回動位置させて順次その小窓５より材料を取り出す事が出来るのである」（第１頁右欄第２１行〜第２頁左欄第４行）
　
ウ　「以上の様に加熱炉１内の各枠体６……への材料出し入れはこの加熱炉１上部の蓋体４を全面的に開口して行わせるものでなく、同蓋体４の偏心部に設けられている小窓５より出し入れするものであるから、加熱炉１の放熱が少なく炉内の温度を急激に下げたり、炉外に熱気が噴き出す事を極めて少ならしめ、材料出し入れに支障をきたしたりする事を確実に防止し、しかも蓋体４の中央位置で炉内上層部に臨ませたファン９により、この炉内上層部の気体を下層部へ強制的に対流させる事によって、前記小窓５の開口時に於ける熱気がこの小窓５より炉上へ噴き出す事を確実に阻止でき、常時作業能率の良好な状態で安全且つ確実な材料出し入れを行い得るものである。」（第２頁左欄第５〜１８行）
　
エ　「尚、加熱室なる仕切タテ枠体６は前記ビーム１３の如き隔壁板を放射状に上下に連成してこれら隔壁板間に加熱室を放射状に構成するも良きものである。」（第２頁右欄第２６〜２９行）
　
オ　「略円筒形状の加熱炉１上に蓋体４を回転自在に蓋設し、この蓋体４の偏心位置に被加熱材料の取り入れ用小窓５を開閉自在に設け、前記蓋体４の回動による小窓５の回動軌跡線の下方位置に、前記加熱炉１内で周方向に複数立設した材料加熱用の仕切タテ枠体６の上端開口部が位置すべくなし前記小窓５の側部近傍位置で且つ前記加熱炉内に於ける上部中心位置に下方へ気体を送出するファン９を設けてある加熱炉。」（第２頁右欄第３４〜４２行）
　
（６）甲第７号証
ア　「第１図は本考案の実施例１を示す平面構成図である。
　図において、恒温槽２は、筐体３上に設置され、マガジンケース１の搬出入口２ａ，２ｂと、ファン５とを有し、マガジンケース１に搭載された封入済半導体素子のキュア処理を行うものである。
　ターンテーブル７は、恒温槽２内に回転可能に設置され、搬入口２ａから恒温槽２内に搬入されたマガジンケース１を放射状に周方向に沿って保持し、角回転によりキュア済のマガジンケース１を恒温槽２の搬出口２ｂに搬送するものである。
　また恒温槽２の搬入口２ａ及び搬出口２ｂには開閉扉８を備えており、搬入口２ａ及び搬出口２ｂ側には、マガジンケース１を搬入口２ａより恒温槽２内に送り込むケース押出ユニット４、マガジンケース１を搬出口２ｂより恒温槽２外に排出するケース排出ユニット６を装備している。」（明細書第６頁第５行〜第７頁第１行）
　
イ　「実施例において、前工程より送られてきたマガジンケース１はケース押出ユニット４の爪によりターンテーブル７に搭載される。所定時間経過すると、ターンテーブル７は１ステップ時計方向に回転する。この動作がサイクルで実施され、排出部にマガジンケース１が来ると、ケース排出ユニット６の爪によりマガジンケース１が恒温槽２から外部へ排出される。その後、順次マガジンケース１が恒温槽外へ排出される。」（明細書第７頁第２〜１０行）
　
２　乙各号証の記載事項
　乙各号証のうち、乙第５及び６号証には、以下の事項が記載されている。
　
（１）乙第５号証
ア　「エジェクタ（真空）ポンプ　えじぇくた（しんくう）ぽんぷ　ejector vacuum pump …（略）…
　高速で噴出する作動流体の巻き込み作用により気体輸送を行う運動量輸送式真空ポンプ。」（第１１１頁左欄第２４〜２８行）
　
イ　「エゼクタ　ejector
　ノズルから高速度で噴射した流体の速度エネルギを圧力エネルギに変換して他の流体を吸引排出する器。」（第１１２頁右欄第５〜７行）
　
ウ　「軸流ファン　じくりゅうふぁん　axial fan …（略）…
　翼列の回転によって気体を軸方向に圧送するファン。
　軸流ファン　じくりゅうふぁん　axial fan
　気体が羽根車を軸方向に通り抜けるファン。」（第４５４頁右欄第１３〜１６行）
　
（２）乙第６号証
ア　「エジェクター　ejector　〔化工〕第１の流体のもつ高レベルの圧力エネルギーを一部運動エネルギーに変換し、目的とする第２の流体を吸引，輸送するジェットポンプ（噴射ポンプ）の一種。吸引作用を利用して真空ポンプとしても使用され…（略）…る。」（第１８７頁左欄第２〜６行）
　
イ　「軸流送風機　axial blower　〔機械〕気体が羽根車軸と平行に流入し、原動機によって回転させられた羽根車から運動および圧力エネルギーを付与され軸方向に流出する送風機である。この送風機は低圧で風量の多い場合に用いられる。また、この送風機のうち上昇圧力が低圧のものを軸流ファン、それより高い（１〜１０mAq）ものを軸流ブロワー、それ以上のものを軸流圧縮機という。」（第６０５頁左欄下から第１２〜６行）
　
第６　当審の判断
１　甲２発明
　甲第２号証には、上記第５　１（１）アのとおり「炉本体内に高温ガスを供給する給気装置、前記炉本体内において高温ガスを強制循環流動させる循環装置を設けた熱風循環炉。」の発明が記載されており、前記給気装置と循環装置の構成は、上記第５　１（１）エのとおり「ガスタービンから前記炉本体内に高温ガスを圧送する流路を設け、前記炉本体の内部ガスを前記ガスタービンからの圧送ガスにその流動エネルギーにより同伴流動させるエジェクターを設けた」ものであり、前記熱風循環炉の構成は、上記第５　１（１）カのとおり「左右下部に煙道（１）を有する炉本体（２）内に、被加熱物品（３）を載置する台（４）を設けると共に、台（４）に通気口を多数備えさせ、炉本体（２）内の上部に設けたエジェクター（５）に過給機（Ａ）を接続し、もって、エジェクター（５）から高速噴出される高温ガスを、炉本体（２）内の中央側で下降流動させると共に、炉本体（２）内の高温ガスを、エジェクター（５）の作用で、炉本体（２）内の周壁側で上昇流動させて、過給機（Ａ）からの圧送ガスにその流動エネルギーにより同伴流動させ、炉本体（２）内への高温ガス供給及び炉本体（２）内での高温ガス強制循環を行う」ものであると共に、前記過給機の構成は、同第５　１（１）カのとおり「ガスタービン（７）からの高圧の高温ガスをエジェクター（５）に供給する流路（１０）を設け、高圧の高温ガスをエジェクター（５）に供給できる」ものである。
　したがって、上記第５　１（１）ア〜キの記載事項を、第１図を参照しつつ、本件発明１に照らして整理すると、請求人の主張における甲第２号証（主引用例）には、その第１図に記載された発明（引用発明）として、以下の発明（以下、「甲２発明」という。）が記載されていると認められる。
　
「ａ　炉本体内に高温ガスを供給する給気装置と前記炉本体内において高温ガスを強制循環流動させる循環装置と左右下部の煙道とを備えた炉本体と、
ｂ　前記炉本体内の中央側と前記炉本体内の周壁側との間に備えられると共に被加熱物品を載置しかつ上下方向の通気口を多数備えた多段の台と、
ｃ　前記炉本体内の周壁側で上昇流動する高温ガスと、前記炉本体内の中央側で下降流動する高温ガスと、前記炉本体内の上部及び前記炉本体内の下部で前記上昇流動する高温ガスと前記下降流動する高温ガスとを強制循環流動させる高温ガスとからなる強制循環流と、
ｄ　前記炉本体内の上部に備えられ前記給気装置により供給され前記炉本体内の周壁側で上昇流動した高温ガスを過給機からの圧送ガスにそのエネルギーにより同伴流動させて前記炉本体内の中央側で下降流動するように高速噴出するエジェクターとを備え、
ｅ　前記高温ガスは前記エジェクターによって前記炉本体内の中央側で下降流動するよう高速噴出され、前記炉本体内の下部で前記炉本体内の周壁側に強制循環流動され、前記炉本体内の周壁側で上昇流動し、再びエジェクターにより前記給気装置により供給される前記過給機からの圧送ガスのエネルギーにより同伴流動される前記強制循環流を形成する熱風循環炉。」
　
２　対比
　本件発明１と甲２発明とを対比すると、甲２発明の「高温ガス」及び「圧送ガス」は、本件発明１の「熱ガス」に相当し、以下同様に、「被加熱物品」は「ワーク」に、「強制循環流」は「循環流」に、それぞれ相当する。
　そして、甲２発明の「炉本体内に高温ガスを供給する給気装置」及び「過給機」は、炉本体内に熱ガスを供給することで、炉本体を加熱するものであるから、本件発明１の「熱源」に相当すると共に、甲２発明の「炉本体内に高温ガスを供給する給気装置と前記炉本体内において高温ガスを強制循環流動させる循環装置と左右下部の煙道とを備えた炉本体」は、高温ガスが供給される部分と左右下部の煙道とを除いた部分が密閉された炉であって、当然に床や天井を有するものであるから、本件発明１の「熱源と炉床とを備える炉体」に相当し、以下同様に、「炉本体内の周壁側」は「炉体内の外周側」に、「炉本体内の中央側」は「炉体内の内周側」に、「炉本体内の上部」は「炉体の天井付近」に、「炉本体内の下部」は「炉体の炉床付近」に、それぞれ相当する。
　また、甲２発明の「被加熱物品を載置しかつ上下方向の通気口を多数備えた多段の台」は、本件発明１の「熱ガスの循環流が上下方向に通過可能な通気性の素材ないし構造から成るワーク載置棚」と「ワーク載置棚を内部に備える通気性の構造から成るワーク載置台」とに相当する。
　また、甲２発明における「強制循環流」は、定常的に存在するものであり、その「炉本体内の周壁側で上昇流動する高温ガス」が存在する領域と「前記炉本体内の中央側で下降流動する高温ガス」が存在する領域と、これらを「前記炉本体内の上部及び前記炉本体内の下部で前記上昇流動する高温ガスと前記下降流動する高温ガスとを強制循環流動させる高温ガス」で連絡するものであるから、甲２発明の「炉本体内の周壁側で上昇流動する高温ガスと、前記炉本体内の中央側で下降流動する高温ガスと、前記炉本体内の上部及び前記炉本体内の下部で前記上昇流動する高温ガスと前記下降流動する高温ガスとを強制循環流動させる高温ガスとからなる強制循環流」は、本件発明１の「炉体内を外周側領域とそれよりも内側の内方側領域と炉床付近及び天井付近に前記内方側領域と前記外周側領域とを連通させる上下の通路」に存在する循環流に相当する。
　また、甲２発明における「エジェクター」についての「炉本体内の上部に備えられ給気装置により供給され前記炉本体内の周壁側で上昇流動した高温ガスを過給機からの圧送ガスにそのエネルギーにより同伴流動させて前記炉本体内の中央側で下降流動するように高速噴出する」とは、本件発明１における「軸流ファン」についての「炉体の天井付近に備えられ熱源から熱を受けた熱ガスを外周から中心部に向かって吸い込み内方側領域を通して炉床に向けて吐出する」に相当し、同様に、甲２発明における「エジェクター」についての「高温ガスは炉本体内の中央側で下降流動するよう高速噴出され、前記炉本体内の下部で前記炉本体内の周壁側に強制循環流動され、前記炉本体内の周壁側で上昇流動し、再び前記給気装置により供給される前記過給機からの圧送ガスのエネルギーにより同伴流動される強制循環流を形成する」は、本件発明１における「軸流ファン」についての「前記熱ガスは前記内方側領域に吐出され、前記炉床付近の前記下の通路を経て前記外周側領域に放射状に流出され、上昇し、再び吸い込まれる循環流を形成する」に相当する。
　
　よって、本件発明１と甲２発明とは、
「Ａ’熱源と炉床とを備える炉体と、
Ｂ’ワークを載置しかつ熱ガスの循環流が上下方向に通過可能な通気性の素材ないし構造から成るワーク載置棚を内部に備える通気性の構造から成るワーク載置台と、
Ｃ’前記炉体内を外周側領域とそれよりも内側の内方側領域と前記炉床付近及び天井付近に前記内方側領域と前記外周側領域とを連通させる上下の通路とを備え、
Ｄ’前記炉体の天井付近に備えられ前記熱源から熱を受けた熱ガスを外周から中心部に向かって吸い込み前記内方側領域を通して前記炉床に向けて吐出し、
Ｅ’前記熱ガスは前記内方側領域に吐出され、前記炉床付近の前記下の通路を経て前記外周側領域に放射状に流出され、上昇し、再び吸い込まれる循環流を形成する熱風循環炉。」である点で一致し、以下の４つの点で相違する。
　
＜相違点１＞
　本件発明１においては、炉床が「回転炉床」であって、「前記回転炉床の外周側寄りの部位に炉体の周壁に沿って備えられると共に放射方向に」ワークを「搬入搬出可能に」載置しかつ熱ガスの循環流が上下方向に通過可能な通気性の素材ないし構造から成るワーク載置棚を内部に備える通気性の構造から成る「環状の」ワーク載置台を備えるのに対して、
　甲２発明においては、「炉本体内の中央側と前記炉本体内の周壁側との間に備えられると共に」被加熱物品を載置しかつ上下方向の通気口を多数備えた多段の台を備えるものの、そもそも炉床が回転するのか不明であるから、ワーク載置棚及びワーク載置台が、回転炉床の外周側寄りの部位に炉体の周壁に沿って備えられる環状のものであるのかも不明であると共に、ワークをどの方向に搬入搬出するのかも不明である点。
　
＜相違点２＞
　本件発明１においては、炉体内を「ワーク載置台が設置されている」外周側領域とそれよりも内側の内方側領域と「に区画すると共に」炉床付近及び天井付近に前記内方側領域と前記外周側領域とを連通させる上下の通路「をそれぞれ設ける環状仕切り」を備えることで形成される循環流が、「前記環状仕切りの内側を前記環状仕切りに沿って」前記炉床付近の前記下の通路を経て「前記環状仕切りの外側の」前記外周側領域に放射状に流出され、「前記ワーク載置台のワーク載置棚を通過して」上昇するのに対して、
　甲２発明においては、炉体内を外周側領域とそれよりも内側の内方側領域と炉床付近及び天井付近に前記内方側領域と前記外周側領域とを連通させる上下の通路とを備えることで形成される循環流が、前記炉床付近の前記下の通路を経て前記外周側領域に放射状に流出され、上昇するものの、そもそもこのように区画すると共にそれぞれ設ける環状仕切りを備えるのか不明であるから、前記環状仕切りの内側を前記環状仕切りに沿って前記炉床付近の前記下の通路を経て前記環状仕切りの外側の前記外周側領域に放射状に流出されるものかも不明であると共に、前記ワーク載置台のワーク載置棚を通過して上昇するものかも不明である点。
　
＜相違点３＞
　本件発明１の炉体の天井付近に備えられ熱源から熱を受けた熱ガスを外周から中心部に向かって吸い込み内方側領域を通して炉床に向けて吐出し、
　前記熱ガスは内方側領域に吐出され、前記炉床付近の下の通路を経て外周側領域に放射状に流出され、上昇し、再び吸い込まれる循環流を形成するものが、「軸流ファン」であるのに対して、
　甲２発明においては、「エジェクター」である点（以下、「相違点３」という。）。
　
＜相違点４＞
　本件発明１において形成される循環流が、上昇し、再び「熱源で昇温されてから」吸い込まれるのに対して、
　甲２発明においては、上昇し、再び熱源で昇温されるものの、上昇し、再び吸い込まれる前には、熱源で昇温されない点。
　
３　相違点についての判断
　そこで、まず相違点３について、以下に検討する。
　
（１）実質的な相違点であるかについて
　この相違点３について、請求人は、「軸流ファン」が本件発明１において担当する機能と「エジェクター」が甲２発明において担当する機能とが、同一の機能なので、相違点３は、実質的な相違点ではない（平成２２年１１月９日付け口頭審理陳述要領書第５頁第８〜１３行参照。）と主張しているが、そもそも「軸流ファン」が、１mAq より低いような低圧で風量の多い場合に用いられる（上記第５　２（２）イ参照。）ものであって、翼列の回転によって気体を軸方向に圧送する（上記第５　２（１）ウ参照。）ものであるのに対して、「エジェクター」は、高速で噴出する作動流体の巻き込み作用により気体輸送を行う（上記第５　２（１）ア及びイ参照。）ものであって、第１の流体のもつ高レベルの圧力エネルギーを一部運動エネルギーに変換し、目的とする第２の流体を吸引，輸送する（上記第５　２（２）イ参照。）ものである。
　そして、甲２発明の「エジェクター」が、上記第５　１（１）オのとおり「タービンから２０００ないし３０００mmAqもの高圧で、かつ、６５０ないし７００℃もの高温ガスをエジェクターに供給でき、エジェクターから３００ないし３５０ｍ/secもの極めて高速で高温ガスを噴出させる」ものであり、エジェクターから吐出する熱ガスを、２〜３mAq もの高圧の圧力エネルギーを利用して高速で流体輸送するものであるのに対して、本件発明１の「軸流ファン」は、上述したとおりのものであり、軸流ファンから吐出する熱ガスを、１mAq より低いような低圧で風量を多くして翼列の回転によって軸方向に圧送するものであり、これら吐出される熱ガスによって形成される循環流についても、その圧力状態や流速が異なるものと認められる。
　そうすると、相違点３は、実質的な相違点である。
　
（２）置換容易性について
　相違点３が、実質的な相違点である場合について、請求人は、甲第２号証には、従来技術としてファンを用いることが開示されている（上記第５　１（１）イ参照。）から、甲２発明の解決課題である対流伝熱効率の改善（上記第５　１（１）イ、ウ及びオ参照。）を重視しないときには、エジェクターに代えて軸流ファンを選択することは、当業者が適宜なし得ることである（平成２２年１１月９日付け口頭審理陳述要領書第９頁第１８〜２７行及び第１４頁第９〜１６行参照。）旨主張しているが、そもそも甲２発明は、上記第５　１（１）イのとおり「電動ファン（１５）によって得られるガス流速は２０ｍ/sec程度にとどまり、高温ガスから被加熱物品（３）への伝熱効率が、境膜が厚くなるために悪くなり、加熱に要する時間が長くなり、さらには、均一加熱が困難になる等、機能面及び省エネルギー面での欠点があり、また、電動ファン（１５）に起因して、設備費が高額になり、コスト面でも劣っていた。」という問題点を解決するものであって、上記第５　１（１）オのとおり「タービンから２０００ないし３０００mmAqもの高圧で、かつ、６５０ないし７００℃もの高温ガスをエジェクターに供給でき、エジェクターから３００ないし３５０ｍ/secもの極めて高速で高温ガスを噴出させることができ、その結果、エジェクターの作用で炉本体内の高温ガス流速を従来よりも大巾に増大して、高温ガスから被加熱物品への伝熱を、伝熱係数が従来の３ないし４倍もにした状態で極めて効率良くでき、また、短時間で極めて均一な加熱が可能になり、省エネルギー面及び加熱性能面のいずれにおいても優れた炉が得られた。その上、電動モータに比して高温ガス循環のための設備費が半額以下になり、また、電動モータを炉本体内に配置するに比して、エジェクターで高温ガスを循環させる場合、炉内容積を1/2ないし1/3にでき、この面からも設備費の低減及び炉からの放熱抑制による省エネルギーを図れるようになった。」という作用効果を奏するものである。
　そして、甲２発明の「エジェクター」に代えて「軸流ファン」を用いる場合には、新たに翼列を炉体内に配置する必要があり、炉内容積が増大するし、吐出される熱ガスによって形成される循環流の圧力状態や流速も変化し、３００〜３５０ｍ/secもの極めて高速の熱ガスを吐出させることができるものとも認められないから、甲２発明において、「エジェクター」に代えて「軸流ファン」を用いることは、甲第２号証の記載に反することであって、阻害要因となることである。
　また、甲第３〜７号証（上記第５　１（２）〜（６）参照。）にも、「エジェクター」に代えて「軸流ファン」を用いることは、記載されていない。
　そうすると、甲２発明の「エジェクター」に代えて「軸流ファン」を用いることは、甲２〜７号証の記載から当業者が容易に想到し得たことではない。
　
　したがって、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、甲２〜７号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　また、本件発明２〜５は、本件発明１に従属する発明であるから、同様に、甲２〜７号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
第７　むすび
　以上のとおりであって、請求人の主張及び証拠方法によっては、本件発明１〜５についての本件特許を無効とすることはできない。
　また、他に本件特許を無効とすべき理由を発見しない。
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、請求人が負担すべきものとする。
　
　よって、結論のとおり審決する。