【手続補正書】
【提出日】平成18年4月10日(2006.4.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】ウエハ処理装置とともに使用するためのバッファ装置であって、
各々が複数のウエハを保持するウエハコンテナをロード及びアンロードするためのI/Oポートと、
前記ウエハコンテナを所定の数までストアするための貯蔵構造体であって、前記ウエハコンテナを貯蔵するためのひとつ若しくはそれ以上の棚を含み、各々の前記棚は貯蔵位置と前記ウエハコンテナをロード及びアンロードするための伸張位置との間を移動可能であるところの貯蔵構造体と、
ウエハをウエハコンテナと処理装置へ及びその間で移送する最中に少なくとも一つのウエハコンテナを保持するためのコンテナポートと、
前記ウエハコンテナを前記I/Oポート、前記貯蔵構造体及び前記コンテナポートへ及びそれらの間で移送するためのコンテナ移送機構と、
ウエハを前記コンテナポートでのウエハコンテナと処理システムへ及びその間で移送するためのウエハ移送機構と、
から成る装置。
【請求項２】請求項１に記載のバッファ装置であって、前記コンテナ移送機構はコンテナグリッパ及び前記グリッパを前記I/Oポートと前記貯蔵構造体へ及びその間で移動するための、及び前記グリッパを前記貯蔵構造体と前記コンテナポートへ及びその間で移動するためのガントリーから成る、ところの装置。
【請求項３】請求項２に記載のバッファ装置であって、前記グリッパは前記I/Oポート、前記貯蔵構造体及び前記コンテナポートの間で２次元で移動可能である、ところの装置。
【請求項４】請求項２に記載のバッファ装置であって、前記ガントリーは水平レールを含み、前記グリッパは前記水平レールに沿って可動のキャリジによって前記水平レールに結合されている、ところの装置。
【請求項５】請求項４に記載のバッファ装置であって、前記グリッパはそこから下に伸長するタブを有するグリッパフレーム及び空気圧シリンダによって前記フレームに結合されるクランプバーから成り、前記空気圧シリンダは前記クランプバーを非締付け位置とウエハが前記クランプバーと前記タブとの間で締付けられるところの締付け位置との間で作用させる、ところの装置。
【請求項６】請求項１に記載のバッファ装置であって、前記コンテナポートは前記ウエハコンテナを保持するための第１及び第２移送ステーションを含む、ところの装置。
【請求項７】請求項６に記載のバッファ装置であって、前記処理装置は処理装置へ及び処理装置からウエハを移送するための第１及び第２処理装置ポートを含み、また前記ウエハ移送機構はウエハを前記第１移送ステーションと第１処理装置ポートへ及びその間で移送するための第１ウエハ移送ロボットと、ウエハを前記第２移送ステーションと第２処理装置ポートへ及びその間で移送するための第２ウエハ移送ロボットから成る、ところの装置。
【請求項８】請求項７に記載のバッファ装置であって、前記ウエハ移送機構はさらにウエハを前記第１ウエハ移送ロボットと前記第２ウエハ移送ロボットへ及びその間で移送するための前記第１と第２ウエハ移送ロボットとの間に配置されたウエハドックから成り、前記ウエハ移送機構はウエハを前記第１移送ステーションと前記第２処理装置ポートへ及びその間で移送することができ、またウエハを前記第２移送ステーションと前記第１処理装置ポートへ及びその間で移送することができる、ところの装置。
【請求項９】請求項６に記載のバッファ装置であって、前記ウエハ移送機構はウエハ移送ロボット及び前記第１移送ステーションにおいてウエハコンテナ内のウエハにアクセスするための第１位置と前記第２移送ステーションにおいてウエハコンテナ内のウエハにアクセスするための第２位置との間で前記ウエハ移送ロボットを移動するための手段から成る、ところの装置。
【請求項１０】請求項９に記載のバッファ装置であって、処理装置はウエハをロード及びアンロードするための第１及び第２処理装置ポートを含み、また前記ウエハ移送ロボットは前記第１位置において第１処理装置ポートにアクセスし、前記第２位置において第２処理装置ポートにアクセスする、ところの装置。
【請求項１１】請求項１に記載のバッファ装置であって、イオンインプランターへ及びイオンインプランターからウエハを移送するように形成される、ところの装置。
【請求項１２】請求項１に記載のバッファ装置であって、処理装置はウエハのバッチをロード及びアンロードするための第１及び第２バッチロードロックを含む、ところの装置。
【請求項１３】請求項１に記載のバッファ装置であって、前記処理装置はウエハを直列にロード及びアンロードするための第１及び第２直列ロードロックを含む、ところの装置。
【請求項１４】請求項１に記載のバッファ装置であって、前記ウエハ移送機構は一度に１枚のウエハを前記コンテナポートでのウエハコンテナと処理装置へ及びその間で移送するためのウエア移送ロボットを含む、ところの装置。
【請求項１５】請求項１に記載のバッファ装置であって、前記ウエハ移送機構は一度に２枚若しくはそれ以上のウエハを前記コンテナポートにおけるウエハコンテナと処理装置へ及びその間で移送するためのウエハ移送ロボットから成る、ところの装置。
【請求項１６】請求項１５に記載のバッファ装置であって、前記ウエハ移送ロボットは第１の数のウエハ若しくは第２の数のウエハを選択的に移送するための手段を含む、ところの装置。
【請求項１７】請求項１に記載のバッファ装置であって、さらに前記ウエハ移送機構を含むウエハハンドリング領域を画成するエンクロージャと、前記ウエハハンドリング領域を通じて下降空気流を引き起こすための手段と、から成る装置。
【請求項１８】請求項１に記載のバッファ装置であって、さらに前記貯蔵構造体、前記コンテナポート及び前記コンテナ移送機構を包囲するコンテナハンドリング領域を画成するエンクロージャと、前記コンテナハンドリング領域を通じて下降空気流を引き起こすための手段と、から成る装置。
【請求項１９】請求項１に記載のバッファ装置であって、前記複数のウエハ用のエンクロージャを与え及び前記複数のウエハにアクセスするためのドアを含むウエハポッドをハンドリングするように形成された装置。
【請求項２０】請求項１に記載のバッファ装置であって、ウエハカセットをハンドリングするように形成された装置。
【請求項２１】請求項１に記載のバッファ装置であって、前記I/Oポートは一度に２つの前記ウエハコンテナをロード及びアンロードするための手段を含む、ところの装置。
【請求項２２】請求項１に記載のバッファ装置であって、前記I/Oポートはひとつ若しくはそれ以上の前記ウエハコンテナを保持するための棚を含み、前記棚はエンクロージャ内に引っ込んだ位置と前記ウエハコンテナをロード及びアンロードするための出張った位置との間を移動可能であり、前記I/Oポートはさらに前記棚が出張った位置にあるとき開き及び前記棚が引っ込んだ位置にあるとき閉じられる引っ込み式ドアから成る、ところの装置。
【請求項２３】請求項６に記載のバッファ装置であって、前記処理装置はウエハを処理装置へ及び処理装置から移送するための第１及び第２処理装置ポートを含み、また前記ウエハ移送機構はウエハを前記第１及び第２移送ステーションと前記第１及び第２処理装置ポートへ及びその間で移送するための単一ウエハ移送ロボットから成る、ところの装置。
【請求項２４】請求項２３に記載のバッファ装置であって、前記第１及び第２移送ステーション並びに前記第１及び第２処理装置ポートは前記ウエハ移送ロボットに面する、ところの装置。
【請求項２５】ウエハ処理装置とともに使用するためのバッファ装置であって、
各々が複数のウエハを保持するウエハコンテナをロード及びアンロードするためのI/Oポートと、
前記ウエハコンテナを所定の数までストアするための貯蔵構造体であって、前記ウエハコンテナを貯蔵するためのひとつ若しくはそれ以上の棚を含み、各々の前記棚は貯蔵位置と前記ウエハコンテナをロード及びアンロードするための伸張位置との間を移動可能であるところの貯蔵構造体と、
第１及び第２ウエハコンテナをそれぞれ保持するための第１及び第２移送ステーションと、
前記ウエハコンテナを前記I/Oポートと前記貯蔵構造体へ及びその間で移送するための及び前記ウエハコンテナを前記貯蔵構造体と前記第１及び第２移送ステーションへ及びそれらの間で移送するためのコンテナ移送機構と、
ウエハを前記第１及び第２移送ステーションでの第１及び第２ウエハコンテナと処理システムへ及びその間で移送するためのウエハ移送機構と、
から成る装置。
【請求項２６】請求項２５に記載のバッファ装置であって、前記コンテナ移送機構はコンテナグリッパ及び前記グリッパを前記I/Oポートと前記貯蔵構造体へ及びその間で移動するための、及び前記グリッパを前記貯蔵構造体と前記第１及び第２移送ステーションへ及びその間で移動するためのガントリーから成る、ところの装置。
【請求項２７】請求項２５に記載のバッファ装置であって、前記処理装置は処理装置へ及び処理装置からウエハを移送するための第１及び第２処理装置ポートを含み、また前記ウエハ移送機構はウエハを前記第１移送ステーションと第１処理装置ポートへ及びその間で移送するための第１ウエハ移送ロボットと、ウエハを前記第２移送ステーションと第２処理装置ポートへ及びその間で移送するための第２ウエハ移送ロボットから成る、ところの装置。
【請求項２８】請求項２７に記載のバッファ装置であって、前記ウエハ移送機構はさらにウエハを前記第１ウエハ移送ロボットと前記第２ウエハ移送ロボットへ及びその間で移送するための前記第１と第２ウエハ移送ロボットとの間に配置されたウエハドックから成り、前記ウエハ移送機構はウエハを前記第１移送ステーションと前記第２処理装置ポートへ及びその間で移送することができ、またウエハを前記第２移送ステーションと前記第１処理装置ポートへ及びその間で移送することができる、ところの装置。
【請求項２９】請求項２５に記載のバッファ装置であって、前記ウエハ移送機構はウエハ移送ロボット及び前記第１移送ステーションにおいてウエハコンテナ内のウエハにアクセスするための第１位置と前記第２移送ステーションにおいてウエハコンテナ内のウエハにアクセスするための第２位置との間で前記ウエハ移送ロボットを移動するための手段から成る、ところの装置。
【請求項３０】請求項２５に記載のバッファ装置であって、前記ウエハ移送機構は一度に１枚のウエハを前記移送ステーションのひとつでのウエハコンテナと処理装置へ及びその間で移送するためのウエア移送ロボットを含む、ところの装置。
【請求項３１】請求項２５に記載のバッファ装置であって、前記ウエハ移送機構は一度に２枚若しくはそれ以上のウエハを前記移送ステーションのひとつにおけるウエハコンテナと処理装置へ及びその間で移送するためのウエハ移送ロボットから成る、ところの装置。