【事件の表示】
　特願２００７−　７５８６９「インプリントリソグラフィ」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年１０月１８日出願公開、特開２００７−２７３９７９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯  
　　特許出願　　　　　　：平成１９年　３月２３日  
　（パリ条約に基づく優先権主張の日：平成１８年　３月３１日、米国）
　　拒絶理由通知（最初）：平成２２年　２月　３日（起案日）  
　　手続補正　　　　　　：平成２２年　４月３０日  
　　拒絶査定　　　　　　：平成２２年　８月　３日（起案日）  
　　拒絶査定不服審判請求：平成２２年１２月　３日  
　　手続補正　　　　　　：平成２２年１２月　３日  
　　審尋　　　　　　　　：平成２３年　６月　２日（起案日） 
　　回答書　　　　　　　：平成２３年　９月　２日  
　　　　　  
第２　平成２２年１２月　３日付け手続補正についての補正の却下の決定 
　　  
〔補正の却下の決定の結論〕  
　平成２２年１２月　３日付け手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。  
　 　　 
〔理由〕  
１　本件補正の目的  
　本件補正は、平成２２年　４月３０日付け手続補正により補正された請求項９の、  
「【請求項９】
　リソグラフィ基板に流体を放出する流体ディスペンサであって、
　流体を前記リソグラフィ基板に放出するように構成されたノズルを有する複数の印刷ヘッドを備え、
　前記複数の印刷ヘッドは、隣接する印刷ヘッドのフットプリントが重なるように配置されており、
　前記印刷ヘッドは、前記印刷ヘッドと前記リソグラフィ基板との相対運動の方向に対する角度と印刷ヘッド間の間隔とを調節できるように調節可能な取付け部に装着される、
流体ディスペンサ。」  
　なる記載を、  
　本件補正後の請求項９の、  
「【請求項９】
　リソグラフィ基板に流体を放出する流体ディスペンサであって、
　流体を前記リソグラフィ基板に放出するように構成された複数のノズルを有し、且つ一列に並べられた複数の印刷ヘッドを備え、
　前記複数の印刷ヘッドは、隣接する印刷ヘッドのフットプリントが重なるように配置されており、
　前記印刷ヘッドは、前記印刷ヘッドと前記リソグラフィ基板との相対運動の方向に対する角度と印刷ヘッド間の間隔とを調節できるように調節可能な取付け部に装着される、
流体ディスペンサ。」 
　という記載にすることを含むものである。  
　  
　本件補正後の請求項９に係る補正は、平成２２年　４月３０日付け手続補正により補正された請求項９について、「・・・ノズルを有する複数の印刷ヘッド」を「・・・複数のノズルを有し、且つ一列に並べられた複数の印刷ヘッド」と限定するものであるから、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２（以下単に「特許法第１７条の２」という。）第４項第２号に掲げる、特許請求の範囲の減縮を目的とする補正である。  
　  
　そこで、本件補正後の請求項９に記載されている発明特定事項により特定される発明(以下「本件補正発明」という。)が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否か、すなわち、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項に規定する要件を満たすか否かについて、以下に検討する。  
　　　　　  
２　本件補正発明  
　本件補正発明は、上記「１　本件補正の目的」で検討した、本件補正後の請求項９に記載のとおりのものである。  
　 　　  
３　引用例  
（１）原査定の拒絶の理由に引用された、本願優先日前に頒布された刊行物である、国際公開第２００５／１２０８３４号（以下「引用例１」という。）には、以下の技術的事項の記載がある （以下では、該当部分の邦訳を記載する。なお、国際公開第２００５／１２０８３４号に対応する特表２００８−５０２１５７号公報の記載をもって当審訳とした。）
 　　　　
（１ａ）「［０００１］　本発明は、広義には、インプリントリソグラフィの技術分野に関するものである。より詳しくは、本発明は、インプリントリソグラフィプロセスにおいてテンプレートのフィーチャを埋めるのに必要な時間を短縮するよう基板上に一定の容積の液体を分配する方法に関する。
［０００２］　超微細加工技術は、例えば、マイクロメートル台以下のフィーチャを設けるなど、非常に小さな構造の作製技術を伴う。超微細加工技術が大きな影響を及ぼしてきたひとつの分野に、集積回路の加工技術がある。半導体加工工業が、基板上に形成する単位面積当たりの回路数を増やしながらより高い製造歩留まりを達成しようと懸命な努力を続ける中にあって、超微細加工技術はますます重要になって来つつある。超微細加工技術は、より優れたプロセス制御をもたらす一方で、基板に形成される構造の最小フィーチャサイズのより大幅な縮小を可能にする。超微細加工技術が採り入れられている他の開発分野としては、バイオテクノロジー、光技術、機械システム等がある。
［０００３］　典型的な超微細加工技術として、Ｗｉｌｌｓｏｎらに与えられた米国特許第６，３３４，９６０号記載の技術がある。この特許で、Ｗｉｌｌｓｏｎらは構造中にレリーフ像を形成する方法を開示している。この方法は、転写層を有する基板を設けるステップを含む。そして、転写層を重合可能な流体組成物で被覆する。重合可能な流体にモールドを機械的に接触させる。モールドはレリーフ構造を持ち、そのレリーフ構造に重合可能な流体組成物を埋める。次に、重合可能な流体組成物を固化条件と重合条件に曝すことによって、モールドのレリーフ構造と相補形のレリーフ構造を持つ固化ポリマー材層を転写層上に形成する。そして、固化ポリマー材からモールドを分離させて、モールドのレリーフ構造の複製構造を固化ポリマー材に形成したものを得る。次に、転写層と固化ポリマー材層を固化ポリマー材層に対して転写層を選択的にエッチングするための環境に曝すことによって、転写層にレリーフ像を形成する。このような従来の技術による必要時間と最小フィーチャサイズは、とりわけ、重合可能な流体材料の組成によって決まる。
［０００４］　したがって、現在、インプリントリソグラフィ・テンプレートのフィーチャを埋めるのに必要な時間を短縮する技術を提供することが要望されている。」
　　　　　　　　
「［００２２］　液滴３６の分配は、基板３０の全面に材料を一回で供給するか、または米国特許出願第１０／１９４，４１４号開示のフィールド・ツー・フィールド分配法（これは米国特許出願公開公報第２００４／０００８３３４号記載の発明である）、あるいはこれら２つの方法の組合せによって達成することができる。そのためには、ピエゾインクジェットベースの技術またはマイクロソレノイドベースの技術による分配システムを使用することが可能である。その結果、分配システムは、材料３６ａを分配するのにシングルノズルでも、リニアノズルアレイでも、あるいは方形ノズルアレイでも使用することができ、リニアノズルアレイや方形ノズルアレイではノズル数が１００を超える。これらのノズルアレイのノズルは、最高４ｋＨｚで分配動作を行うことができる。ノズルアレイのノズルは、オン・オフ容積制御機能付きあるいはグレースケール容積制御機能付きのものが入手可能であり、グレースケール容積制御機能付きのものでは、容積１〜４２ピコリットル（ｐＬ）の液滴を分配することができる。フィールド・ツー・フィールド分配法を用いる場合は、ノズルアレイの各ノズルは、実質的に同じ組成物の材料３６ａを分配することができるが、他の実施形態においては、ノズルアレイの各ノズルが異なる組成物の材料３６ａを分配するようにすることも可能である。
［００２３］　インクジェットノズルの例としては、英国ケンブリッジに本拠を置くザール・コーポレーション（Xaar Corporation）より入手可能なＯｍｎｉｄｏｔや、米国ニューハンプシャー州レバノンに本部を置くディマトリクス・コーポレーション（Dimatix Corporation）の一部門であるスペクトラ（Spectra）社から入手可能なインクジェットノズルを用いることができる。典型的なノズルアレイとしては、１２６ノズルを備えたマルチジェットノズルシステムがあり、これは上記ザール・コーポレーションが部品番号ＸＪ１２６で販売している。さらに、超音波スプレーヘッド用いて液滴３６を分配する噴霧スプレープロセスを使用することも可能である。さらに、材料３６ａが例えば２０センチポアズ以上というような高い粘度を持つ場合は、ザール・コーポレーションから入手可能なＬｅｏｐａｒｄを用いることができ、このスプレーノズルでは、材料３６ａを加熱して粘度を噴射可能範囲まで下げることも可能である。」 
　　　　　　 
〔引用例に記載された発明〕　  
　これらの記載事項からして、引用例１には、  
「インプリントリソグラフィプロセスにおいて用いる、基板に流体組成物の材料を分配するインクジェットベースの分配システムであって、
　ノズル数が１００を超えるノズルアレイを備えたインクジェットベースの分配システム。」  
　の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。  
　　　　　　 
（２）原査定の拒絶の理由に引用された、本願優先日前に頒布された刊行物である、特開２００３−２５１７９２号公報（以下「引用例２」という。）には、以下の技術的事項の記載がある。
　　　　　　　
（２ａ）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッド、特に、ヘッド本体のノズル形成面に形成した細長形状の凹溝内に開設される多数の吐出ノズルから成るノズル列を有する機能液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する機能液滴吐出ヘッドの位置認識装置およびこれら機能液滴吐出ヘッドの複数個を単一のキャリッジに搭載して成るヘッドユニットの組立装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のプリンタ等では、複数（多数）の機能液滴吐出ヘッドを必要とする場合、各機能液滴吐出ヘッドを個々にヘッド保持部材に保持し、更にこれを単一のキャリッジに搭載して、複数の機能液滴吐出ヘッドを、ヘッド保持部材およびキャリッジと共にヘッドユニットとして扱うようにしている。この場合、ヘッド保持部材に取り付けられる機能液滴吐出ヘッドは、例えば顕微鏡等を用いて人的に位置決めされた後、ヘッド保持部材にねじ止め固定され、またキャリッジに取り付けられるヘッド保持部材は、例えばキャリッジに設けた位置決めピン等を介して装着された後、これにねじ止め固定されるようになっている。ところで、この種の機能液滴吐出ヘッドは、そのノズル列から微小な液滴を精度良く且つ選択的に吐出することができるため、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等のカラーフィルタの製造に応用可能であると共に、各種の電子デバイスや光デバイス等の製造装置への応用も期待されている。このような応用技術を考慮すると、機能液滴吐出ヘッド自体の性能に加え、平面内における吐出ノズル（ノズル列）位置精度や機能液滴吐出ヘッドが搭載されるキャリッジの位置精度なども問題となる。これらの点において、従来のヘッドユニットでは、各部の精度の累積が全体の精度を決定してしまうため、高い精度を安定に維持することにおいて、単純にこれを適用することが不可能であることが想定される。
【０００３】そこで、本願出願人は、先に、以下のようなヘッドユニットの組立装置を提案している。この組立装置は、ヘッドユニットを支持するユニット移動装置と、機能液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する位置認識装置と、機能液滴吐出ヘッドの位置を補正するヘッド補正装置とを備えており、キャリッジに各機能液滴吐出ヘッドを位置調整可能に仮組み付けして成るヘッドユニットをユニット移動装置にセットして、各機能液滴吐出ヘッドをユニット移動装置の動きで位置認識装置に対向する計測位置に順に移動させ、該位置認識装置による認識結果に基づいて、ヘッド補正装置により各機能液滴吐出ヘッドの位置を補正する。ここで、前記位置認識装置は、計測位置に存する機能液滴吐出ヘッドのヘッド本体のノズル形成面に形成されている凹溝の一端と他端との端部近傍に正対する一対の撮像手段を備え、該各撮像手段の画像に現れる前記凹溝の端縁に対し最寄りの吐出ノズル、即ち、一方の撮像手段の画像に現れるノズル列の一端の吐出ノズルと、他方の撮像手段の画像に現れるノズル列の他端の吐出ノズルとの画像位置に基づいて機能液滴吐出ヘッドの位置を認識するように構成されている。」
　　　
（２ｂ）「【００２４】
【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。インクジェットプリンタのインクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）は、微小なインク滴（液滴）をドット状に精度良く吐出することができることから、例えば液滴（吐出対象液）に特殊なインクや感光性の樹脂等を用いることにより、各種部品の製造分野への応用が期待されている。また、係る応用技術では、粘性の高い吐出対象液等の機能液滴吐出ヘッドの耐久性に大きな影響を与えるものも想定され、複数の機能液滴吐出ヘッドをキャリッジに精度良く組み込んだヘッドユニットを、随時供給可能とすることが必要となる。
　・・・（中略）・・・
【００２８】図１、図２および図３は、ヘッドユニットの構造図である。同図に示すように、ヘッドユニット１は、キャリッジ２と、キャリッジ２に搭載した複数個（１２個）の機能液滴吐出ヘッド３と、各機能液滴吐出ヘッド３をキャリッジ２に個々に取り付けるための複数個（１２個）のヘッド保持部材４とを備えている。１２個の機能液滴吐出ヘッド３は、６個づつ左右に二分され、主走査方向に対し所定の角度傾けて配設されている。また、各６個の機能液滴吐出ヘッド３は、副走査方向に対し相互に位置ずれして配設され、１２個の機能液滴吐出ヘッド３の全吐出ノズル５７（後述する）が副走査方向において連続する（一部重複）ようになっている。
【００２９】すなわち、実施形態のヘッド配列は、キャリッジ２上において、同一方向に傾けて配置した６個の機能液滴吐出ヘッド３を２列としてものであり、且つ各ヘッド列間において機能液滴吐出ヘッド３が相互に１８０°回転した配置となっている。もっとも、この配列パターンは一例であり、例えば、各ヘッド列における隣接する滴吐出ヘッド３同士を９０°の角度を持って配置（隣接ヘッド同士が「ハ」字状）したり、各ヘッド列間における滴吐出ヘッド３を９０°の角度を持って配置（列間ヘッド同士が「ハ」字状）したりすることは可能である。
【００３０】いずれにしても、１２個の機能液滴吐出ヘッド３の全吐出ノズル５７によるドットが副走査方向において連続していればよい。また、各種の基板に対し機能液滴吐出ヘッド３を専用部品とすれば、機能液滴吐出ヘッド３をあえて傾けてセットする必要は無く、千鳥状や階段状に配設すれば足りる。さらにいえば、所定長さのノズル列（ドット列）を構成できる限り、これを単一の機能液滴吐出ヘッド３で構成してもよいし複数の機能液滴吐出ヘッド３で構成してもよい。すなわち、機能液滴吐出ヘッド３の個数や列数、さらに配列パターンは任意である。」
 　　　　
（２ｃ）「【００４８】次に、図５ないし図８を用いて機能液滴吐出ヘッド３について説明する。この機能液滴吐出ヘッド３は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針４６を有する液体導入部４５と、液体導入部４５の側方に連なる２連のヘッド基板４７と、液体導入部４５に下方に連なる２連のポンプ部４８と、ポンプ部４８に連なるノズル形成プレート４９とを備えている。液体導入部４５には、上記の配管接続部材１７が接続され、ヘッド基板４７には、上記のフレキシブルフラットケーブルが接続されている。一方、このポンプ部４８とノズル形成プレート４９とにより、キャリッジ２の裏面側に突出する方形のヘッド本体５０が構成されている。また、ノズル形成プレート４９のノズル形成面５２には、２列のノズル列５３，５３が形成されている（図６参照）。」
　　　　
（２ｄ）「【００６５】一方、機能液滴吐出ヘッド３は、ヘッド保持部材４を介してキャリッジ２に固定する形態である。そこで、本実施形態では、組付治具Ｃを用い、上記ヘッド本体５０の先端部四辺を基準にして、機能液滴吐出ヘッド３をヘッド保持部材４に位置決めし、ねじ止め固定の後、上記両端の吐出ノズル５７ａ，５７ａを基準にして、ヘッド保持部材４付き機能液滴吐出ヘッド３を位置決めし、仮固定するようにしている。すなわち、機能液滴吐出ヘッド３は、組付治具Ｃを用いた手作業により、いったんヘッド保持部材４に仮位置決めされ、続く組立装置Ａでの画像認識（両端の吐出ノズル５７ａ，５７ａを認識）を経て、本位置決めされる。」
　　　
（２ｅ）「【００７７】以上のようにして、キャリッジ２を挟んで、１２個の機能液滴吐出ヘッド３が１２個のヘッド保持部４に組み付けられるが、この状態では、１２個の機能液滴吐出ヘッド３はキャリッジ２に固定されておらず、吊り下げられた状態となっている。すなわち、ヘッド保持部４付きの１２個の機能液滴吐出ヘッド３は、キャリッジ２に対し、固定ねじ８９と締結孔７９の寸法公差範囲内で微小移動可能に、仮組み付けされている。なお、この固定ねじ８９は捨てねじであり、組立装置Ａにおいて、キャリッジ２にヘッド保持部４が接着された（仮固定）後に、取り外される。すなわち、実施形態では、ヘッド保持部４のキャリッジ２へのねじによる直接的な本固定は行わない（別部材による押圧固定とする）。」
　　　　　
（２ｆ）「【０１１０】次に、機能液滴吐出ヘッド３の組立装置Ａおよび組立方法について説明する。組立装置Ａは、キャリッジ２に１２個の機能液滴吐出ヘッド３を仮組み付けした上記のヘッドユニット１を組立対象物とし、ヘッドユニット１のキャリッジ２に各機能液滴吐出ヘッド３を精度良く位置決めして接着（仮固定）するものである。なお、この組立装置Ａで、機能液滴吐出ヘッド３を仮固定したヘッドユニット１は、洗浄工程および上記のハンドル１４等の部品組込み工程を経て、描画装置Ｂにセットされる。
　・・・（中略）・・・
【０１１３】この組立装置Ａでは、予めユニット移動装置２１１に上記のアライメントマスクＤを導入し、位置認識装置２１４によりアライメントマスクＤの各基準マーク１６４，１６５を画像認識して、キャリッジ２および各機能液滴吐出ヘッド３の基準位置データを記憶し、この基準位置データ（マスタデータ）に基づいてキャリッジ２および各機能液滴吐出ヘッド３の位置補正が行われる。なお、アライメントマスクＤは、新規のヘッドユニット１の導入組立時は元より、同一のヘッドユニット１であっても、その組立個数や稼動時間に基づいて、定期的に導入される。もちろん、その際に基準位置データはリセットされる。
【０１１４】一方、ヘッドユニット１は、各機能液滴吐出ヘッド３のヘッド本体５０を上向きにしてユニット移動装置２１１の上面にセットされ、ヘッドユニット１の組立ては、先ず位置認識装置２１４によるキャリッジ２の位置認識からスタートする。キャリッジ２が位置認識されると、この認識データと基準位置データとが比較され、その比較結果に基づいて、ユニット移動装置２１１によりキャリッジ２の位置補正が行われる。次に、位置認識装置２１４により機能液滴吐出ヘッド３が位置認識され、この認識結果（比較結果）に基づいてヘッド補正装置２１２により、機能液滴吐出ヘッド３の位置補正が行われる。
【０１１５】続いて、この位置補正状態を維持しつつ、仮固定装置２１３により、ヘッド保持部材４を介して機能液滴吐出ヘッド３がキャリッジ２に接着される。またその際、接着剤が硬化するまで、ヘッド補正装置２１２は、機能液滴吐出ヘッド（ヘッド保持部材４）３を動かないように押さえている。そして、この機能液滴吐出ヘッド３の位置認識から接着までの工程を、機能液滴吐出ヘッド３の個数分繰り返えすようにし、全機能液滴吐出ヘッド３の仮固定が完了する。」
　　　　
（２ｇ）「【０１２２】θテーブルモータ２５３は正逆回転可能に構成され、θテーブルモータ２５３が正逆回転すると、ボールねじ２５６により、雌ねじブロック２５７が主スライダ２５８に案内されてＸ軸方向に進退する。雌ねじブロック２５７が進退すると、これに支持されている副スライダ２６３おび鉛直軸部材２６２もＸ軸方向に進退する。さらに、鉛直軸部材２６２が進退すると、これに軸着されているアーム受け２６０を介して、連結アーム２４６およびテーブル本体２４５がテーブル本体２４５の軸心を中心に回動する。すなわち、テーブル本体２４５が水平面内において、正逆微小回転する（θ方向に正逆移動）。」
　　　　
（２ｈ）「【０１２８】次に、ヘッド補正装置２１２について説明する。ヘッド補正装置２１２は、認識装置２１４による機能液滴吐出ヘッド３の位置認識に基づき、ヘッド保持部材４を介して機能液滴吐出ヘッド３をＸ軸、Ｙ軸およびθ軸方向に微小移動させて、機能液滴吐出ヘッド３の位置決め（位置補正）を行うものである。また同時に、ヘッド補正装置２１２は仮固定装置２１３と協働し、接着剤が凝固するまでヘッド保持部材４をキャリッジ２に押し付けるよう機能する。」
　　　　　　
（２ｉ）「【０２３４】レジスト形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッドにレジスト材料を導入し、ヘッドユニットを介して複数の機能液滴吐出ヘッドを主走査および副走査し、レジスト材料を選択的に吐出して、基板上に任意形状のフォトレジストを形成する。例えば、上記の各種表示装置おけるバンクの形成は元より、半導体製造技術の主体を為すフォトリソグラフィー法において、フォトレジストの塗布に広く適用可能である。」
　　　　　　
（２ｊ）図１
（２ｋ）図２
（２ｌ）図３
（２ｍ）図６
（２ｎ）図３３
　　　　　
（３）原査定の拒絶の理由に引用された、本願優先日前に頒布された刊行物である、特開２００３−２４９４４０号公報（以下「引用例３」という。）には、以下の技術的事項の記載がある。
　　　　　
（３ａ）「【００２６】また制御部Ｃは、前記膜厚を制御する機能として、基板ＳＵＢ上の塗布液Ｌの吐出間隔を変える制御機能と、１ドット当たりの塗布液Ｌの吐出量を変える制御機能と、ノズル１８の配列方向と移動機構４による移動方向との角度θを変える制御機能と、基板ＳＵＢ上の同一位置に繰り返し塗布を行う際に繰り返す塗布ごとに塗布条件を設定する制御機能と、基板ＳＵＢ上を複数の領域に分けて各領域ごとに塗布条件を設定する制御機能とを備えることができる。例えば、図２に示すように液滴吐出ヘッド２，３を回転させ、図４に示すようにノズル１８の配列方向と移動方向（例えばＸ軸方向）との角度θを狭くすることにより、実際のノズルピッチＤよりも見かけ上のノズルピッチＥを狭くして単位移動距離当たりの塗布量を多くすることができ、これにより膜厚を厚くすることができる。」
　　　
（３ｂ）図２
（３ｃ）図４
　　　　
（４）原査定の拒絶の理由に引用された、本願優先日前に頒布された刊行物である、特開２００４−３５８３５３号公報（以下「引用例４」という。）には、以下の技術的事項の記載がある。
　　　　　
（４ａ）「【００１６】
＝＝＝吐出ヘッドの構成例＝＝＝
吐出ヘッドの構成について、図３及び図４を用いて説明する。図３は、吐出ヘッド１２の下面におけるノズルの一実施例たる配列を示す説明図であり、図４は、吐出ヘッド１２の下面におけるノズルの配列の応用例を示す説明図である。
図３に示すように、吐出ヘッド１２は、第一のノズルである第一ノズル群２０と、第二のノズルである第二ノズル群２１によって構成されている。
前記第一ノズル群２０は、副走査方向に沿って一直線に配置されたノズル列２０ａ及びノズル列２０ｃと、それぞれのノズル列と主走査方向に所定の間隔をもって配置されたノズル列２０ｂとによって構成される。
さらに、前記第一ノズル群２０を構成するそれぞれのノズル列は、ノズル列２０ａにおける副走査方向後端の吐出ノズル２４とノズル列２１ｂにおける副走査方向先端の吐出ノズル２５、及び、ノズル列２０ｂにおける副走査方向後端の吐出ノズル２６とノズル列２０ｃにおける副走査方向先端の吐出ノズル２７とが、それぞれノズルピッチｘと等しい間隔で配置されている。
なお、前記第一ノズル群２０は、基板（図示せず）に向けて膜材料を分散した塗布液を吐出して、薄膜たる回路パターンを描画・形成するためのノズル（以下、「描画用ノズル」という。）である。
また、前記第二ノズル群２１は、前記第一ノズル群２０を構成するノズル列２０ｃの副走査方向後方に位置するノズル列２１ａで構成され、吐出不良箇所の修正を行なうときの位置制御を容易にするために、前記第一ノズル群２０を構成する最後尾のノズル列２０ｃにおける副走査方向後端の吐出ノズル２３と、ノズル列２１ａにおける副走査方向先端の吐出ノズル２２とが、ノズルピッチｘの整数倍の間隔Ｘを持って配置されている。
なお、前記第二ノズル群２１は、前記第一ノズル群２０による液滴の吐出によって生じる基板Ｐ上の不良箇所の修正を行なうためのノズル（以下、「修正用ノズル」という。）である。」
　　　
（４ｂ）図３
　　　　　
４　本件補正発明と引用発明との対比  
　本件補正発明と引用発明とを対比する。  
　 　　　  
＜対応関係Ａ＞
　引用発明の「インプリントリソグラフィプロセス」で使用される「基板」は、本件補正発明の「リソグラフィ基板」に相当する。
　　　　
＜対応関係Ｂ＞
　引用発明の「流体組成物の材料」は、本件補正発明の「流体」に相当する。
　　　
＜対応関係Ｃ＞
　引用発明の「インクジェットベースの分配システム」は、技術常識を踏まえると、本件補正発明の「流体ディスペンサ」に相当する、あるいは、当該「流体ディスペンサ」に相当する部材を当然含むものである。
　　　　　　　
＜対応関係Ｄ＞
　引用発明の「ノズル数が１００を超えるノズルアレイ」と、本件補正発明の「流体を前記リソグラフィ基板に放出するように構成された複数のノズルを有し、且つ一列に並べられた複数の印刷ヘッド」とは、「流体をリソグラフィ基板に放出するように構成された複数のノズルを有する印刷ヘッド」である点で共通する。
 　　
　以上の対応関係からして、本件補正発明と引用発明とは、  
「リソグラフィ基板に流体を放出する流体ディスペンサであって、
　流体を前記リソグラフィ基板に放出するように構成された複数のノズルを有する印刷ヘッドを備える流体ディスペンサ。」 
　の点で一致し、以下の点で相違する。  
　　  
（相違点）  
　「印刷ヘッド」に関して、本件補正発明は、「一列に並べられた複数の印刷ヘッドを備え、　前記複数の印刷ヘッドは、隣接する印刷ヘッドのフットプリントが重なるように配置されており、前記印刷ヘッドは、前記印刷ヘッドとリソグラフィ基板との相対運動の方向に対する角度と印刷ヘッド間の間隔とを調節できるように調節可能な取付け部に装着される」という構成を有するのに対して、引用発明はそのような構成を有さない点。
　　　　　　　　　 
５　検討・判断  
（１）相違点の容易想到性について 
（１−１）引用例２の上記摘記事項（２ｂ）、（２ｉ）〜（２ｌ）に示されているように、リソグラフィ工程で用いられるインクジェット装置において、複数のインクジェットヘッドを列状に並べ、隣接するインクジェットヘッドが一部で重なるように配置することは、公知技術または周知の技術（引用例２以外にも、特開２００４−２５５３１６号公報（図４等）、特開２００５−１３７９７１号公報（図２等）、特開２００５−２０５８８３号公報（図２等）を参照されたい。）である。このような技術が、単体のインクジェットヘッドよりも大きな面積を一度に処理できるようにするための処理時間短縮技術であることは、インクジェット装置の技術分野でよく知られていることである。
　また、上記摘記事項（２ｅ）、（２ｈ）に示されているように、インクジェットヘッドがキャリッジに対して微少移動可能になるように構成することで、ｘ−ｙ方向及びθ方向で位置決めの微調整が可能になるようにすることも、公知技術または周知の技術である（引用例２以外にも、特表平９−５０７８０６号公報（公報第９頁第９〜１３行、第３図等）、特開２００５−２０５８８３号公報（段落【００１５】〜【００２０】、図２等）を参照されたい。）。このような技術が、複数のインクジェットヘッドを精度よく適切に配置することで均一な塗膜が得られるようにする（液滴分布の精度を上げる）ための調整技術であることは、インクジェット装置の技術分野でよく知られている。
　そして、引用発明もインクジェットベースの装置を用いるものであって、また、処理時間を短縮する、及び、均一な塗膜を得るという技術課題を有することは当然であるから、上記公知技術または周知の技術を採用して、複数のインクジェットヘッドで処理時間を短縮し、かつ、キャリッジに対してインクジェットヘッドの位置決めの微調整により均一な塗膜（液滴分布）が得られるようにすることは、当業者であれば容易に想到することである。
　さらに、インクジェットヘッドの列をいくつ形成するかは、当業者が適宜に設定し得る設計的事項に過ぎない（上記摘記事項（２ｂ）でも「機能液滴吐出ヘッド３の個数や列数、さらに配列パターンは任意である。」とされている。）。
　そうすると、引用発明に引用例２に記載の技術または周知の技術を採用することにより、上記相違点に係る構成を得ることは、当業者であれば容易になし得ることである。
　　　　　
〔補足的検討〕
　本件補正発明の「印刷ヘッドとリソグラフィ基板との相対運動の方向に対する角度と印刷ヘッド間の間隔とを調節できるように調節可能な取付け部」は、上述の公知または周知のインクヘッドの位置決めの微調整機構を含むことは明らかである。
　また、引用例２の微調整機構は製造工程時に使用されるものであるが、本願明細書の段落【００５７】等の記載を参酌しても、本件補正発明の「印刷ヘッドとリソグラフィ基板との相対運動の方向に対する角度と印刷ヘッド間の間隔とを調節」は製造工程時に行う「調節」を排除しているとは認められない。この点に関して、請求人は平成２３年９月２日付けの回答書において、引用例２には、「プリント時において回転可能な複数の印刷ヘッド、及び印刷ヘッド間の間隔を調整することで全てのノズル間隔を一致させることについては何ら記載も示唆もしておりません」と主張しているが、本件補正発明はプリント時に調整を行うという限定事項を有さず、かつ、発明の詳細な説明中にもプリント時に調整を行うという記載はないだけでなく、製造工程時に行う調整を排除する記載もないから、当該主張は失当である。
　さらに、製造後に装置を微調整することは通常行われることであるから、製造後も機能するように微調整機構を構成することは、当業者にとって格別の創意を必要とすることではないから、仮に、本件補正発明が製造工程時にだけ調節可能なものではなく、装置の使用時にも事後的に調節可能なもののみを意味するとしても、やはり、引用発明に引用例２に記載の技術または周知の技術を採用することにより、上記相違点に係る構成を得ることは、当業者であれば容易になし得ることである。
　　　
（１−２）引用例３には、インクジェット塗布装置において、液滴吐出ヘッドの移動方向に対する角度を調整することで膜厚を制御する技術が記載されており、引用発明において、流体組成物の材料の膜厚を制御可能にするために、当該技術を採用することは当業者であれば容易に想到することであり、また、上記「（１−１）」で述べた、複数のインクジェットヘッドを用いることで処理時間を短縮する周知の技術を付加することも当業者であれば容易に想到することである。
　そして、複数のノズルを有する複数のヘッドを用いたインクジェット装置において、塗布の均一性を保つためには、複数のノズル間の間隔と、隣接するインクジェットヘッド間でのノズルの間隔とが等しい必要があることは技術常識から明らかなことであるから（例えば、引用例４の上記摘記事項（４ａ）参照）、引用発明に複数のインクジェットヘッドを用いる技術を導入する際に、インクジェットヘッド間の間隔を調節可能にしておくことは、当業者にとって格別の創意を必要とすることではない。また、そのような調節機構は、上記「（１−１）」で述べたように周知のものに過ぎない。
　さらに、インクジェットヘッドの列をいくつ形成するかは、当業者が適宜に設定し得る設計的事項に過ぎない。
　そうすると、引用発明に引用例３に記載の技術及び周知の技術を採用することにより、上記相違点に係る構成を得ることは、当業者であれば容易になし得ることである。
　　　 
（２）本件補正発明の作用効果について 
　本件補正発明の作用効果は、引用発明及び引用例２に記載の技術または周知の技術から当業者が予測できる範囲のものであるか、あるいは、引用発明、引用例３に記載の技術及び周知の技術から当業者が予測できる範囲のものである。
　　　　 
（３）まとめ  
　よって、本件補正発明は、当業者が、引用発明及び引用例２に記載の技術または周知の技術に基いて容易に発明をすることができたものであるか、あるいは、引用発明、引用例３に記載の技術及び周知の技術に基いて容易に発明をすることができたものである。  
　 　 
６　本件補正の却下の決定についてのむすび  
　以上のとおり、本件補正発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものであるから、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。  
　　　　  
第３　本願発明について  
１　本願発明  
　平成２２年１２月　３日付け手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項９に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２２年　４月３０日付け手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項９の、 
「【請求項９】
　リソグラフィ基板に流体を放出する流体ディスペンサであって、
　流体を前記リソグラフィ基板に放出するように構成されたノズルを有する複数の印刷ヘッドを備え、
　前記複数の印刷ヘッドは、隣接する印刷ヘッドのフットプリントが重なるように配置されており、
　前記印刷ヘッドは、前記印刷ヘッドと前記リソグラフィ基板との相対運動の方向に対する角度と印刷ヘッド間の間隔とを調節できるように調節可能な取付け部に装着される、
流体ディスペンサ。」  
　で特定されるとおりのものと認める。  
　　　　  
２　引用例  
　原査定の拒絶の理由で引用された引用例及びその記載事項は、前記「第２」「〔理由〕」「３　引用例」に記載したとおりである。  
　  
３　本願発明と引用発明との対比、検討・判断  
　本願発明は、前記「第２」「〔理由〕」「１　本件補正の目的」で検討した本件補正発明の発明特定事項において、「複数のノズル」から「複数」という限定を省き、「一列に並べられた複数の印刷ヘッド」から「一列に並べられた」という限定を省いたものである。 
　そして、本願発明の発明特定事項を全て含み、一部の発明特定事項を減縮したものに相当する本件補正発明は、上記「第２」「〔理由〕」「５　検討・判断」に記載したとおり、当業者が、引用発明及び引用例２に記載の技術または周知の技術に基いて容易に発明をすることができたものであるか、あるいは、引用発明、引用例３に記載の技術及び周知の技術に基いて容易に発明をすることができたものである。
　してみると、本願発明も同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたものである。　  
 　　　  
４　むすび  
　以上のとおり、本願の請求項９に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。  
　したがって、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。  
　  
　よって、結論のとおり審決する。