【事件の表示】
　特願２００４−５１３０６４「圧力センサとともに使用するための温度調整器」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年１２月２４日国際公開、ＷＯ０３／１０６２０５、平成１７年１０月　６日国内公表、特表２００５−５３０１４１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、２００３年６月１２日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２００２年６月１３日、米国）を国際出願日とする出願であって、平成２１年７月２３日付け（発送日同年７月２８日）で拒絶査定がなされ、これに対し、平成２１年１１月２７日に拒絶査定に対する審判請求がなされ、同時に手続補正がなされたものである。
　
　
２．本願発明について
　本願の請求項１〜３１に係る発明は、平成２１年１１月２７日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１〜３１に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりである。
　
「【請求項１】
　システムであって、
　センサと、
　少なくとも２つの温度調整ゾーンを有し、前記センサに熱的に結合される温度調整器と、
　前記少なくとも２つのゾーン間の温度差を感知するように構成されている温度センサと、
　前記感知された温度差に基づき前記温度調整器を調節するように構成されている制御装置と、
を含むシステム。」
　
　
３．引用例記載の発明
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先権主張の日前である平成１０年３月６日に頒布された特開平１０−６２２８１号公報（以下、「引用例１」という。）には、図面とともに、
　
（１−１）
「【００１３】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１はこの発明の一の実施の形態にかかる成膜装置の圧力検出器を示す模式構成図である。なお、前述した図２の従来の圧力検出器と同一の部分には同一の番号を付して説明を省略する。
【００１４】図１に示すように、ダイアフラムセンサ１２にはダイアフラム等の温度を検出する検知部温度センサ１９が設けられる。この検知部温度センサ１９は、熱伝対等からなり、温度調節器２０に接続される。
【００１５】この実施の形態にあっては、圧力取出配管１１の温度を配管温度センサ１４により検出し、また、ダイアフラムセンサ１２の温度を検知部温度センサ１９により検出する。そして、温度調節器２０が配管温度センサ１４の検知出力に基づき配管加熱ヒータ１３を駆動制御し、また、検知部温度センサ１９の検知出力に基づきダイアフラムセンサ１２の内蔵ヒータを駆動制御し、圧力取出配管１１とダイアフラムセンサ１２を加熱する。このため、これら圧力取出配管１１やダイアフラムセンサ１２に副生成物が付着することが防止できる。
【００１６】そして、温度調節器２０は、圧力取出配管１１とダイアフラム１２の温度差が所定値、例えば、５°Ｃ以下になるように配管加熱ヒータ１３とダイアフラムセンサ１２内蔵のヒータを制御する。このため、圧力取出配管１１とダイアフラムセンサ１２をほぼ同一の温度に維持でき、また、ダイアフラムセンサ１２の温度を正確に管理できその温度が変動することが無い。このため、温度変動に起因した誤差の発生も無く、高い精度で圧力を検出できる。
【００１７】すなわち、ダイアフラムセンサ１２は圧力取出配管１１を経て導入された圧力でダイアフラムが変形し、このダイアフラムの変形を圧力値として出力するため、ダイアフラムに熱変形を生じさせる温度の影響を受けやすいが、温度が正確に管理されるため、温度調節器２０における補正も正確に行え、圧力を高精度で検出できる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、この発明にかかる成膜装置の圧力検出器によれば、圧力検知部および該圧力検知部に圧力を導く圧力取出配管にそれぞれ温度センサと加熱ヒータを個別に設け、これら圧力検知部と圧力取出配管とをそれぞれのセンサに基づき加熱ヒータで別個独立に加熱し、かつ、圧力検知部と圧力取出配管の温度差が所定値以下になるように制御するため、圧力検知部や圧力取出配管に副生成物が付着することを防止でき、また、圧力検知部の温度変動に起因した圧力検知誤差の発生も防止でき、圧力を高精度で検出できる。」
　
が記載されている。
　
　そして、これらの記載から、引用例１には、次のとおりの発明、
　　
【引用例１に記載された発明】
「成膜装置の圧力検出器１０（システムに相当。）であって、
　ダイアフラムセンサ１２（センサに相当。）と、
　２つの（少なくとも２つのに相当。）ほぼ同一の温度に維持される圧力取出配管１１とダイアフラムセンサ１２（温度調整ゾーンに相当。）を有する、　　　　
配管加熱ヒータ１３とダイアフラムセンサ１２内蔵のヒータ（温度調整器に相当。）と、
　前記２つの圧力取出配管１１とダイアフラムセンサ１２間の温度差を検出するように構成されている、配管温度センサ１４と検知部温度センサ１９（少なくとも２つのゾーン間の温度差を感知するように構成されている温度センサに相当。）と、
　前記検出（感知に相当。）された温度の差が所定値以下になるように（温度差に基づきに相当。）前記配管加熱ヒータ１３とダイアフラムセンサ１２内蔵のヒータ（温度調整器に相当。）を制御（調節に相当。）するように構成されている温度調節器２０（制御装置に相当。）と、
を含む成膜装置の圧力検出器１０（システムに相当。）。」（以下、これを「引用例１に記載された発明」という。）
　
が記載されていると認められる。
　
　
４．対比・判断
　本願発明と引用例１に記載された発明とを対比する。
　引用例１に記載された発明における「成膜装置の圧力検出器１０」、「ダイアフラムセンサ１２」、「２つの」、「ほぼ同一の温度に維持される圧力取出配管１１とダイアフラムセンサ１２」、「配管加熱ヒータ１３とダイアフラムセンサ１２内蔵のヒータ」、
　「２つの圧力取出配管１１とダイアフラムセンサ１２間の温度差を検出するように構成されている、配管温度センサ１４と検知部温度センサ１９」、
「温度の差が所定値以下になるように」、「制御」、「温度調節器２０」は、それぞれ、
  本願発明における「システム」、「センサ」、「少なくとも２つの」、「温度調整ゾーン」、「温度調整器」、
　「少なくとも２つのゾーン間の温度差を感知するように構成されている温度センサ」、
「温度差に基づき」、「調節」、「制御装置」
に相当する。
　
したがって、両者は、
　
【一致点】
「システムであって、
　センサと、
　少なくとも２つの温度調整ゾーンを有する、　　　　　　温度調整器と、
　前記少なくとも２つのゾーン間の温度差を感知するように構成されている温度センサと、
　前記感知された温度の差に基づき前記温度調整器を調節するように構成されている制御装置と、
を含むシステム。」
　  
で一致し、
　
【相違点１】
「本願発明では、温度調整器は、センサに熱的に結合されるのに対して、
　引用例１に記載された発明では、配管加熱ヒータ１３とダイアフラムセンサ１２内蔵のヒータ（温度調整器に相当。）は、その配管加熱ヒータ１３については、ダイアフラムセンサ１２（センサに相当。）に熱的に結合されるかどうか明確でない点」
　
で一応相違する。
　
　そこで、上記【相違点１】について検討する。
  配管加熱ヒータ１３は、圧力取出配管１１を加熱するものであるから、ダイアフラムセンサ１２（センサに相当。）に、直接は、熱的に結合されてはいない。
  しかし、配管加熱ヒータ１３の熱は、圧力取出配管１１を通して、ダイアフラムセンサ１２に伝導するとみるのが自然であり、配管加熱ヒータ１３は、ダイアフラムセンサ１２（センサに相当。）に、実質、熱的に結合されていると認められるし、
  このような、圧力取出配管１１を通しての熱的結合の態様が、〈熱的に結合される〉に相当することは、
　本願明細書の【００３６】に、
「温度調整器３２０は、・・・導管３５０で可変静電容量センサ３１０に直接熱結合される（すなわち直接接触する）。」
との記載があることからも裏付けられる。
　さらに、本願発明の効果は、引用例１に記載された発明の効果と対比しても、格別顕著とは認められない。
　
　
　　　　　　　　　　なお、請求人は、回答書において、
本願発明は、
単一の
引用文献１は、２つの異なる温度センサにより、パイプ１１とダイアフラムセンサ１２間の温度差を検出することを開示する、
旨の主張をしているが、
  請求項１には、「
単一の
　
  また、仮に、「
単一の
　　二つの点の間の温度差を感知するのに熱電対を用いることは、周知
（例えば、
　特開平５−６６１６０号公報の、「断熱容器７と試料容器１との温度差を検知する熱電対６」、
　特開２０００−６５８５０号公報の、「温度差ΔＴ１，ΔＴ２を検知する熱電対２３，２６」、
参照。）
であって、
　引用例１に記載された発明において、２つの（少なくとも２つのに相当。）圧力取出配管１１とダイアフラムセンサ１２（ゾーンに相当。）間の温度差（温度差に相当。）を、最終的に、検出（感知に相当。）するために、
  ２つの（少なくとも２つのに相当。）圧力取出配管１１とダイアフラムセンサ１２（ゾーンに相当。）　の温度　（温度差に対応。）を検出（感知に相当。）するように構成された、配管温度センサ１４と検知部温度センサ１９（温度センサに相当。）を用いるか、
  二つの点の間の温度差を感知する、つまり、２つの（少なくとも２つのに相当。）圧力取出配管１１とダイアフラムセンサ１２（ゾーンに相当。）間の温度差（温度差に相当。）を感知（感知に相当。）する、熱電対（
単一の
は、当業者が適宜なし得る選択事項にすぎない。
　
　
５．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例１に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定により特許を受けることができない。
　そして、本願発明が、特許を受けることができないものであるから、その余の請求項２〜３１に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきである。
　よって、結論のとおり審決する。