【事件の表示】
　上記当事者間の特許第４５３１８７３号発明「液化ガスの制御配給システム及び方法」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第４５３１８７３号の請求項１乃至４８に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第４５３１８７３号（以下、「本件特許」という。）についての手続の経緯の概要は、以下のとおりである。
　
　平成　９年１１月２１日　特許出願（特願平９−３２１６９６号）
（パリ条約による優先権主張　平成８年１１月２５日、平成９年７月１１日、アメリカ合衆国）
　平成２２年　６月１８日　特許権の設定登録
　平成２２年　９月２９日　無効審判請求
　平成２２年１１月　１日　上申書提出（請求人）
　平成２３年　１月１８日　上申書提出（被請求人）
　平成２３年　２月２５日　訂正請求書及び答弁書提出（被請求人）
　平成２３年　４月　４日　弁駁書提出（請求人）
　平成２３年　６月１４日　口頭審理陳述要領書提出（請求人）
　平成２３年　６月１４日　口頭審理陳述要領書提出（被請求人）
　平成２３年　６月２８日　第１回口頭審理
　平成２３年　７月１２日　上申書提出（被請求人）
　平成２３年　７月１５日　上申書提出（請求人）
　
第２　訂正の請求
１．訂正の内容
　被請求人は平成２３年２月２５日付けの訂正請求書により明細書の訂正を求めた。当該訂正の内容は、本件特許の明細書を訂正請求書に添付した訂正明細書のとおりに訂正しようとするものであり、以下の各訂正事項からなるものである。
　
（１）訂正事項１
　次のとおりの本件特許明細書の特許請求の範囲の記載である、
「【特許請求の範囲】
【請求項１】
液化状態からガスを配給するシステムであつて、(a) ガスが引かれるガスラインを有する圧縮液化ガスシリンダーと、(b) ガスシリンダーが収容されているガスシリンダーキャビネットと、(C) ガスシリンダー内の液体温度が環境温度を超えないで、環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する伝熱速度増加手段と、を備えたガス配給システム。
【請求項２】
(d) ガスシリンダーから引かれるガスの減圧手段と、(e) 減圧手段の上流に置かれている、ガスシリンダーから引かれたガスを過熱する手段と、をさらに備えた請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項３】
(f) 伝熱速度増加手段と過熱手段を統合可能に制御して、ガスシリンダーの圧力と温度、及び減圧手段の上流にあるガスシリンダーから引かれるガスを過熱する度合を制御できるようにする手段、をさらに備えた請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項４】
伝熱速度増加手段は、ガスシリンダーキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口と、伝熱ガスが１若しくはそれ以上の開口を通るようにする手段と、を備えた請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項５】
伝熱ガスは、空気又は不活性ガスである請求項４に記載のガス配給システム。
【請求項６】
ガスキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口は、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットを備えている請求項４に記載のガス配給システム。
【請求項７】
１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットは、伝熱ガスの流れ方向を定めるためのフィンを備えている請求項６に記載のガス配給システム。
【請求項８】
伝熱速度増加手段は、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットの温度を環境温度よりも高い値に電気的に制御する手段をさらに備えた請求項６に記載のガス配給システム。
【請求項９】
伝熱速度増加手段は、空気の流れを実質的に液体−蒸気界面に相当するガスシリンダー上の位置に向けることができる請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項１０】
伝熱速度増加手段は、一又はそれ以上の放射パネルヒーターを備えた請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項１１】
伝熱速度増加手段は、ガスシリンダーの下に置かれたヒーターを備えた請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項１２】
ガスシリンダーの下に置かれたヒーターは、加熱されるスケールカバーで、このスケールカバーは、上面と、下面と、上記上下面間に形成された中空部内に置かれた加熱要素とを備えた請求項１１に記載のガス配給システム。
【請求項１３】
スケールカバーは、上面に取付けられた窪み形状の部材をさらに備えた請求項１２に記載のガス配給システム。
【請求項１４】
ガスシリンダー圧力と重量の入力に基づいて、加熱されるスケールカバーからの熱出力を制御する手段をさらに備えた請求項１２に記載のガス配給システム。
【請求項１５】
過熱手段は、加熱されるガスフィルター又は加熱される清浄器を備えた請求項２に記載のガス配給システム。
【請求項１６】
過熱手段は、ガスラインと接触しているヒーターを備えている請求項２に記載のガス配給システム。
【請求項１７】
ガスラインと接触しているヒーターは、電気的な加熱タイプである請求項１６に記載のガス配給システム。
【請求項１８】
過熱手段は、空気を加熱する手段と、ガスラインの一部分に接続して、加熱される空気を吹き込む手段をさらに備えた請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項１９】
過熱手段は、ガス入口、ガス出口、バルブを開閉するアクチュエータ、及びバルブと熱接触するヒーターとを備えた、加熱されるバルブをさらに具備した請求項２に記載のガス配給システム。
【請求項２０】
加熱されるバルブは、ブロックバルブである請求項１９に記載のガス配給システム。
【請求項２１】
加熱されるバルブは、更に第二のガス入口を備え、ここを通ってパージガスがバルブ内に入ることができるようになっている請求項１９に記載のガス配給システム。
【請求項２２】
加熱されるバルブは、これに接続された圧力測定装置をさらに備えた請求項１９に記載のガス配給システム。
【請求項２３】
ヒーターは、自己調整型ヒーターと、抵抗型ヒーターと、カートリッジヒーターとからなる群から選択される請求項１９に記載のガス配給システム。
【請求項２４】
ヒーターはヒートトレースである請求項２３に記載の加熱されるガス配給システム。
【請求項２５】
半導体処理装置と請求項１に記載のガス配給システムとを備えた半導体処理システム。
【請求項２６】
液化状態からガスを供給する方法であって、この方法は、(a) ガスシリンダーキャビネットに収容され、ガスラインを有するガスシリンダー内に、圧縮液化ガスを供給する工程と、(b)ガスシリンダー内の液体温度を環境温度を超えることなく環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する伝熱速度増加工程と、を備えたガス供給方法。
【請求項２７】
(c) ガスの膨脹前にガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程を更に備えた請求項２６に記載のガス供給方法。
【請求項２８】
(d) 伝熱速度の増加と過熱工程を統合可能に制御して、ガスシリンダーの圧力と温度、及びガスの膨脹前にガスシリンダーから引かれるガスを過熱する度合を制御する工程を更に備えた請求項２６に記載のガス供給方法。
【請求項２９】
ガスはＮＨ3 ，ＡｓＨ3 ，ＢＣｌ3 ，ＣＯ2 ，Ｃｌ2 ，ＳｉＨ2 Ｃｌ2 ，Ｓｉ2 Ｈ6 ，ＨＢｒ，ＨＣｌ，ＨＦ，Ｎ2 Ｏ，Ｃ3 Ｆ8 ，ＳＦ6，ＰＨ3 ，及びＷＦ6 から選択される請求項２６に記載のガス供給方法。
【請求項３０】
伝熱ガスをガスキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口を通すことにより、伝熱速度を増加する請求項２６に記載のガス供給方法。
【請求項３１】
伝熱ガスは、空気又は不活性ガスである請求項３０に記載のガス供給方法。
【請求項３２】
１若しくはそれ以上の開口は、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットを備えている請求項３０に記載のガス供給方法。
【請求項３３】
伝熱速度増加工程は、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットの温度を環境温度よりも高い値に電気的に制御する工程を更に備えている請求項３２に記載のガス供給方法。
【請求項３４】
伝熱速度増加工程は、空気の流れを実質的に液体−蒸気界面に相当するガスシリンダー上の位置に向ける工程を備えている請求項２６に記載のガス供給方法。
【請求項３５】
伝熱速度増加工程は、ガスキャビネット中に１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットを用意する工程を備え、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットは空気の流れ方向を決めるためのフィンを備えている請求項２６に記載のガス供給方法。
【請求項３６】
伝熱速度増加工程は、一又はそれ以上の放射パネルヒーターを備え、該ヒーターでガスシリンダーを加熱する工程を備えた請求項２６に記載のガス供給方法。
【請求項３７】
伝熱速度増加工程は、ガスシリンダーの下のヒーターでシリンダーを加熱する工程を備えた請求項２６に記載のガス供給方法。
【請求項３８】
ガスシリンダーの下に置かれたヒーターは、加熱されるスケールカバーで、このスケールカバーは、上面と、下面と、上記上下面間に形成された中空部内に置かれた加熱要素とを備え、この方法は更にスケールでガスシリンダーの重量を測定する工程を備えた請求項３７に記載のガス供給方法。
【請求項３９】
ガスシリンダー圧力と重量の入力に基づいて加熱されるスケールカバーからの熱出力を制御する工程を更に備えた請求項３８に記載のガス供給方法。
【請求項４０】
ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、加熱されるガスフィルター又は加熱される清浄器でガスを過熱する工程を備えた請求項２７に記載のガス供給方法。
【請求項４１】
ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、ガスラインと接触しているヒーターでガスを過熱する工程を備えた請求項２７に記載のガス供給方法。
【請求項４２】
ガスラインと接触しているヒーターは、電気的な加熱タイプを備えた請求項４１に記載のガス供給方法。
【請求項４３】
ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、空気を加熱する工程と、ガスライン部分上に、加熱される空気を吹き込む工程とを備えた請求項２７に記載のガス供給方法。
【請求項４４】
ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、バルブと熱接触するヒーターを備えたバルブ内でガス流を加熱する工程を備えた請求項２７に記載のガス供給方法。
【請求項４５】
加熱されるバルブは、ブロック形状のバルブである請求項４４に記載のガス供給方法。
【請求項４６】
ヒーターは、自己調整型ヒーターと、抵抗型ヒーターと、カートリッジヒーターとの群から選択される請求項４４に記載のガス供給方法。
【請求項４７】
ヒーターはヒートトレースである請求項４６に記載のガス供給方法。
【請求項４８】
加熱要素は中空部内に巻かれている請求項１２に記載のガス配給システム。
【請求項４９】
加熱要素は２２０゜Ｆ（１０４℃）までの温度で操作できる請求項１２に記載のガス配給システム。
【請求項５０】
中空部の下に更に絶縁層を備え、この絶縁層は加熱要素から上面に熱を向けるのに有効なものである請求項１２に記載のガス配給システム。」
を、次のとおりの
「【特許請求の範囲】
【請求項１】
液化状態からガスを配給するシステムであつて、(a) ガスが引かれるガスラインを有する圧縮液化ガスシリンダーと、(b) ガスシリンダーが収容されているガスシリンダーキャビネットと、(C) ガスシリンダー内の液体温度が環境温度を超えないで、環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する伝熱速度増加手段と
を備え、
　
伝熱速度増加手段は、ガスシリンダーキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口と、伝熱ガスが１若しくはそれ以上の開口を通るようにする手段と
【請求項２】
(d) ガスシリンダーから引かれるガスの減圧手段と、(e) 減圧手段の上流に置かれている、ガスシリンダーから引かれたガスを過熱する手段と、をさらに備えた請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項３】
(f) 伝熱速度増加手段と過熱手段を統合可能に制御して、ガスシリンダーの圧力と温度、及び減圧手段の上流にあるガスシリンダーから引かれるガスを過熱する度合を制御できるようにする手段、をさらに備えた請求項
２
【請求項４】
伝熱ガスは、空気又は不活性ガスである請求項
１
【請求項５】
ガスキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口は、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットを備えている請求項
１
【請求項６】
１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットは、伝熱ガスの流れ方向を定めるためのフィンを備えている請求項
１
【請求項７】
伝熱速度増加手段は、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットの温度を環境温度よりも高い値に電気的に制御する手段をさらに備えた請求項
１
【請求項８】
伝熱速度増加手段は、空気の流れを実質的に液体−蒸気界面に相当するガスシリンダー上の位置に向けることができる請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項９】
伝熱速度増加手段は、一又はそれ以上の放射パネルヒーターを備えた請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項１０】
伝熱速度増加手段は、ガスシリンダーの下に置かれたヒーターを備えた請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項１１】
ガスシリンダーの下に置かれたヒーターは、加熱されるスケールカバーで、このスケールカバーは、
頂部面
底部面
頂部面と底部面との
１０
【請求項１２】
スケールカバーは、
頂部面
１１
【請求項１３】
ガスシリンダー圧力と重量の入力に基づいて、加熱されるスケールカバーからの熱出力を制御する手段をさらに備えた請求項
１１
【請求項１４】
過熱手段は、加熱されるガスフィルター又は加熱される清浄器を備えた請求項２に記載のガス配給システム。
【請求項１５】
過熱手段は、ガスラインと接触しているヒーターを備えている請求項２に記載のガス配給システム。
【請求項１６】
ガスラインと接触しているヒーターは、電気的な加熱タイプである請求項
１５
【請求項１７】
過熱手段は、空気を加熱する手段と、ガスラインの一部分に接続して、加熱される空気を吹き込む手段をさらに備えた請求項
２
【請求項１８】
過熱手段は、ガス入口、ガス出口、バルブを開閉するアクチュエータ、及びバルブと熱接触するヒーターとを備えた、加熱されるバルブをさらに具備した請求項２に記載のガス配給システム。
【請求項１９】
加熱されるバルブは、ブロックバルブである請求項
１８
【請求項２０】
加熱されるバルブは、更に第二のガス入口を備え、ここを通ってパージガスがバルブ内に入ることができるようになっている請求項
１８
【請求項２１】
加熱されるバルブは、これに接続された圧力測定装置をさらに備えた請求項
１８
【請求項２２】
ヒーターは、自己調整型ヒーターと、抵抗型ヒーターと、カートリッジヒーターとからなる群から選択される請求項
１８
【請求項２３】
ヒーターはヒートトレースである請求項
２２
【請求項２４】
半導体処理装置と請求項１に記載のガス配給システムとを備えた半導体処理システム。
【請求項２５】
液化状態からガスを供給する方法であって、この方法は、(a) ガスシリンダーキャビネットに収容され、ガスラインを有するガスシリンダー内に、圧縮液化ガスを供給する工程と、(b)ガスシリンダー内の液体温度を環境温度を超えることなく環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する伝熱速度増加工程と
を備え、
伝熱ガスをガスキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口を通すことにより、伝熱速度を増加する
【請求項２６】
(c) ガスの膨脹前にガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程を更に備えた請求項
２５
【請求項２７】
(d) 伝熱速度の増加と過熱工程を統合可能に制御して、ガスシリンダーの圧力と温度、及びガスの膨脹前にガスシリンダーから引かれるガスを過熱する度合を制御する工程を更に備えた請求項２６に記載のガス供給方法。
【請求項２８】
ガスはＮＨ3 ，ＡｓＨ3 ，ＢＣｌ3 ，ＣＯ2 ，Ｃｌ2 ，ＳｉＨ2 Ｃｌ2 ，Ｓｉ2 Ｈ6 ，ＨＢｒ，ＨＣｌ，ＨＦ，Ｎ2 Ｏ，Ｃ3 Ｆ8 ，ＳＦ6，ＰＨ3 ，及びＷＦ6 から選択される請求項
２５
【請求項２９】
伝熱ガスは、空気又は不活性ガスである請求項
２５
【請求項３０】
１若しくはそれ以上の開口は、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットを備えている請求項
２５
【請求項３１】
伝熱速度増加工程は、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットの温度を環境温度よりも高い値に電気的に制御する工程を更に備えている請求項
３０
【請求項３２】
伝熱速度増加工程は、空気の流れを実質的に液体−蒸気界面に相当するガスシリンダー上の位置に向ける工程を備えている請求項
２５
【請求項３３】
伝熱速度増加工程は、ガスキャビネット中に１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットを用意する工程を備え、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットは空気の流れ方向を決めるためのフィンを備えている請求項
２５
【請求項３４】
伝熱速度増加工程は、一又はそれ以上の放射パネルヒーターを備え、該ヒーターでガスシリンダーを加熱する工程を備えた請求項
２５
【請求項３５】
伝熱速度増加工程は、ガスシリンダーの下のヒーターでシリンダーを加熱する工程を備えた請求項
２５
【請求項３６】
ガスシリンダーの下に置かれたヒーターは、加熱されるスケールカバーで、このスケールカバーは、
頂部面
底部面
頂部面と底部面との
３５
【請求項３７】
ガスシリンダー圧力と重量の入力に基づいて加熱されるスケールカバーからの熱出力を制御する工程を更に備えた請求項
３６
【請求項３８】
ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、加熱されるガスフィルター又は加熱される清浄器でガスを過熱する工程を備えた請求項
２６
【請求項３９】
ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、ガスラインと接触しているヒーターでガスを過熱する工程を備えた請求項
２６
【請求項４０】
ガスラインと接触しているヒーターは、電気的な加熱タイプを備えた請求項
３９
【請求項４１】
ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、空気を加熱する工程と、ガスライン部分上に、加熱される空気を吹き込む工程とを備えた請求項
２６
【請求項４２】
ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、バルブと熱接触するヒーターを備えたバルブ内でガス流を加熱する工程を備えた請求項
２６
【請求項４３】
加熱されるバルブは、ブロック形状のバルブである請求項
４２
【請求項４４】
ヒーターは、自己調整型ヒーターと、抵抗型ヒーターと、カートリッジヒーターとの群から選択される請求項
４２
【請求項４５】
ヒーターはヒートトレースである請求項
４４
【請求項４６】
加熱要素は中空部内に巻かれている請求項
１１
【請求項４７】
加熱要素は２２０゜Ｆ（１０４℃）までの温度で操作できる請求項
１１
【請求項４８】
中空部の下に更に絶縁層を備え、この絶縁層は加熱要素から上面に熱を向けるのに有効なものである請求項
１１
と訂正する。（なお、上記の下線は訂正箇所を示したものである。）
　
（２）訂正事項２
　次の本件特許明細書の発明の詳細な説明中の
「【００２５】
本発明の第三の形態は、液化状態からガスを配給する方法である。この方法は、（ａ）ガスラインを接続したガスシリンダー中に圧縮液化ガスを定起用する工程と、（ｂ）ガスシリンダー内の液体の温度が環境温度より高くならないように、環境とシリンダー間の伝熱速度を増加する工程を備えている。」
を、
「【００２５】
本発明の第三の形態は、液化状態からガスを配給する方法である。この方法は、（ａ）ガスラインを接続したガスシリンダー中に圧縮液化ガスを
提供
と訂正する。
　
２．訂正の可否に対する判断
　上記各訂正事項について検討する。
　訂正事項１は、以下の内容からなるものである。
　
（１）訂正前の請求項１に「伝熱速度増加手段は、ガスシリンダーキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口と、伝熱ガスが１若しくはそれ以上の開口を通るようにする手段とを備えた」との事項を追加する。
　
（２）訂正前の請求項３に「請求項１に記載のガス配給システム」とあるのを、「請求項２に記載のガス配給システム」と訂正する。
　
（３）請求項４を削除する。
　
（４）訂正前の請求項５を新たな請求項４とし、「請求項４に記載のガス配給システム」とあるのを、「請求項１に記載のガス配給システム」と訂正する。
　
（５）訂正前の請求項６を新たな請求項５とし、「請求項４に記載のガス配給システム」とあるのを、「請求項１に記載のガス配給システム」と訂正する。
　
（６）訂正前の請求項７を新たな請求項６とし、「請求項６に記載のガス配給システム」とあるのを、「請求項１に記載のガス配給システム」と訂正する。
　
（７）訂正前の請求項８を新たな請求項７とし、「請求項６に記載のガス配給システム」とあるのを、「請求項１に記載のガス配給システム」と訂正する。
　
（８）訂正前の請求項９を新たな請求項８とする。
　
（９）訂正前の請求項１０を新たな請求項９とする。
　
（１０）訂正前の請求項１１を新たな請求項１０とする。
　
（１１）訂正前の請求項１２を新たな請求項１１とし、「上面」及び「下面」を「頂部面」及び「底部面」にそれぞれ訂正する。また、「請求項１１に記載のガス配給システム」とあるのを、「請求項１０に記載のガス配給システム」と訂正する。
　
（１２）訂正前の請求項１３を新たな請求項１２とし、「上面」を「頂部面」に訂正する。また、「請求項１２に記載のガス配給システム」とあるのを、「請求項１１に記載のガス配給システム」と訂正する。
　
（１３）訂正前の請求項１４を新たな請求項１３とし、「請求項１２に記載のガス配給システム」とあるのを、「請求項１１に記載のガス配給システム」と訂正する。
　
（１４）訂正前の請求項１５を新たな請求項１４とする。
　
（１５）訂正前の請求項１６を新たな請求項１５とする。
　
（１６）訂正前の請求項１７を新たな請求項１６とし、「請求項１６に記載のガス配給システム」とあるのを、「請求項１５に記載のガス配給システム」と訂正する。
　
（１７）訂正前の請求項１８を新たな請求項１７とし、「請求項１に記載のガス配給システム」とあるのを、「請求項２に記載のガス配給システム」と訂正する。
　
（１８）訂正前の請求項１９を新たな請求項１８とする。
　
（１９）訂正前の請求項２０を新たな請求項１９とし、「請求項１９に記載のガス配給システム」とあるのを、「請求項１８に記載のガス配給システム」と訂正する。
　
（２０）訂正前の請求項２１を新たな請求項２０とし、「請求項１９に記載のガス配給システム」とあるのを、「請求項１８に記載のガス配給システム」と訂正する。
　
（２１）訂正前の請求項２２を新たな請求項２１とし、「請求項１９に記載のガス配給システム」とあるのを、「請求項１８に記載のガス配給システム」と訂正する。
　
（２２）訂正前の請求項２３を新たな請求項２２とし、「請求項１９に記載のガス配給システム」とあるのを、「請求項１８に記載のガス配給システム」と訂正する。
　
（２３）訂正前の請求項２４を新たな請求項２３とし、「請求項２３に記載のガス配給システム」とあるのを、「請求項２２に記載のガス配給システム」と訂正する。
　
（２４）訂正前の請求項２５を新たな請求項２４とする。
　
（２５）訂正前の請求項２６を新たな請求項２５とし、「伝熱ガスをガスキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口を通すことにより、伝熱速度を増加する」との事項を追加する。
　
（２６）訂正前の請求項２７を新たな請求項２６とし、「請求項２６に記載のガス供給方法」とあるのを、「請求項２５に記載のガス供給方法」と訂正する。
　
（２７）訂正前の請求項２８を新たな請求項２７とする。
　
（２８）訂正前の請求項２９を新たな請求項２８とし、「請求項２６に記載のガス供給方法」とあるのを、「請求項２５に記載のガス供給方法」と訂正する。
　
（２９）請求項３０を削除する。
　
（３０）訂正前の請求項３１を新たな請求項２９とし、「請求項３０に記載のガス供給方法」とあるのを、「請求項２５に記載のガス供給方法」と訂正する。
　
（３１）訂正前の請求項３２を新たな請求項３０とし、「請求項３０に記載のガス供給方法」とあるのを、「請求項２５に記載のガス供給方法」と訂正する。
　
（３２）訂正前の請求項３３を新たな請求項３１とし、「請求項３２に記載のガス供給方法」とあるのを、「請求項３０に記載のガス供給方法」と訂正する。
　
（３３）訂正前の請求項３４を新たな請求項３２とし、「請求項２６に記載のガス供給方法」とあるのを、「請求項２５に記載のガス供給方法」と訂正する。
　
（３４）訂正前の請求項３５を新たな請求項３３とし、「請求項２６に記載のガス供給方法」とあるのを、「請求項２５に記載のガス供給方法」と訂正する。
　
（３５）訂正前の請求項３６を新たな請求項３４とし、「請求項２６に記載のガス供給方法」とあるのを、「請求項２５に記載のガス供給方法」と訂正する。
　
（３６）訂正前の請求項３７を新たな請求項３５とし、「請求項２６に記載のガス供給方法」とあるのを、「請求項２５に記載のガス供給方法」と訂正する。
　
（３７）訂正前の請求項３８を新たな請求項３６とし、「上面」及び「下面」を「頂部面」及び「底部面」にそれぞれ訂正する。また、「請求項３７に記載のガス供給方法」とあるのを、「請求項３５に記載のガス供給方法」と訂正する。
　
（３８）訂正前の請求項３９を新たな請求項３７とし、「請求項３８に記載のガス供給方法」とあるのを、「請求項３６に記載のガス供給方法」と訂正する。
　
（３９）訂正前の請求項４０を新たな請求項３８とし、「請求項２７に記載のガス供給方法」とあるのを、「請求項２６に記載のガス供給方法」と訂正する。
　
（４０）訂正前の請求項４１を新たな請求項３９とし、「請求項２７に記載のガス供給方法」とあるのを、「請求項２６に記載のガス供給方法」と訂正する。
　
（４１）訂正前の請求項４２を新たな請求項４０とし、「請求項４１に記載のガス供給方法」とあるのを、「請求項３９に記載のガス供給方法」と訂正する。
　
（４２）訂正前の請求項４３を新たな請求項４１とし、「請求項２７に記載のガス供給方法」とあるのを、「請求項２６に記載のガス供給方法」と訂正する。
　
（４３）訂正前の請求項４４を新たな請求項４２とし、「請求項２７に記載のガス供給方法」とあるのを、「請求項２６に記載のガス供給方法」と訂正する。
　
（４４）訂正前の請求項４５を新たな請求項４３とし、「請求項４４に記載のガス供給方法」とあるのを、「請求項４２に記載のガス供給方法」と訂正する。
　
（４５）訂正前の請求項４６を新たな請求項４４とし、「請求項４４に記載のガス供給方法」とあるのを、「請求項４２に記載のガス供給方法」と訂正する。
　
（４６）訂正前の請求項４７を新たな請求項４５とし、「請求項４６に記載のガス供給方法」とあるのを、「請求項４４に記載のガス供給方法」と訂正する。
　
（４７）訂正前の請求項４８を新たな請求項４６とし、「請求項１２に記載のガス配給システム」とあるのを、「請求項１１に記載のガス配給システム」と訂正する。
　
（４８）訂正前の請求項４９を新たな請求項４７とし、「請求項１２に記載のガス配給システム」とあるのを、「請求項１１に記載のガス配給システム」と訂正する。
　
（４９）訂正前の請求項５０を新たな請求項４８とし、「請求項１２に記載のガス配給システム」とあるのを、「請求項１１に記載のガス配給システム」と訂正する。
　
　また、訂正事項２は、以下の内容からなるものである。
　
（５０）【００２５】の「定起用する」を「提供する」と訂正する。
　
　次に、上記（１）乃至（５０）の訂正の可否について検討する。
　上記（１）の訂正は、訂正前の請求項１に、訂正前の請求項４に記載されていた「伝熱速度増加手段は、ガスシリンダーキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口と、伝熱ガスが１若しくはそれ以上の開口を通るようにする手段とを備えた」との事項を追加することにより、請求項１並びにこれを引用する訂正前の請求項２乃至２５及び請求項４８乃至５０を減縮する訂正に該当する。
　上記（２５）の訂正は、訂正前の請求項２６に、訂正前の請求項３０に記載されていた「伝熱ガスをガスキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口を通すことにより、伝熱速度を増加する」との事項を追加することにより、訂正前の請求項２６及びこれを引用する訂正前の請求項２７乃至４７を減縮する訂正に該当する。
　上記（２）の訂正は、訂正前の請求項３が引用する請求項を１から２に訂正することにより、請求項２の「(d) ガスシリンダーから引かれるガスの減圧手段と、(e) 減圧手段の上流に置かれている、ガスシリンダーから引かれたガスを過熱する手段」との事項を追加することになるから、請求項３を減縮する訂正に該当する。
　上記（１１）、（１２）及び（３７）の訂正は、用語を発明の詳細な説明の【００５８】で用いられている用語に合わせる訂正をし、さらに、請求項の番号が繰り上がることに合わせて引用する請求項を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当する。
　上記（３）乃至（１０）、（１３）乃至（２４）、（２６）乃至（３６）、（３８）乃至（４９）の訂正は、請求項の削除及びそれに伴う請求項の番号の繰り上げ、さらに、これに合わせて引用する請求項を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当する。
　上記（５０）の訂正は、「定起用」（ていきよう）を「提供」（ていきょう）という、ひらがなで標記すれば「よ」と「ょ」のみが相違する用語に訂正することにより、意味を明確にするものであるから、明らかに誤記の訂正若しくは明りょうでない記載の釈明に該当する。
　
　また、上記（１）の訂正事項は、訂正前の請求項４に記載されていた事項に基づくものであり、上記（２５）の訂正事項は、訂正前の請求項３０に記載されていた事項に基づくものであり、その他の訂正事項は、請求項の削除に伴う項番の整理及び引用する請求項を整理、及び誤記の訂正をするものであるから、上記の各訂正事項は願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてされており、また実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないことも明らかである。
　
３．訂正の可否のまとめ
　したがって、平成２３年２月２５日付けの訂正請求は、特許法第１３４条の２第１項並びに第５項の規定によって準用する特許法第１２６条第３項及び第４項の規定に適合するので、適法な訂正と認める。
　
第３　本件発明
　上記被請求人による訂正請求は、適法なものであるから、本件特許の請求項１乃至４８に係る発明（以下、それぞれ「本件発明１」乃至「本件発明４８」という。）は、訂正請求書に添付された訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至４８に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】
液化状態からガスを配給するシステムであつて、(a) ガスが引かれるガスラインを有する圧縮液化ガスシリンダーと、(b) ガスシリンダーが収容されているガスシリンダーキャビネットと、(C) ガスシリンダー内の液体温度が環境温度を超えないで、環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する伝熱速度増加手段とを備え、
　伝熱速度増加手段は、ガスシリンダーキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口と、伝熱ガスが１若しくはそれ以上の開口を通るようにする手段とを備えたガス配給システム。
【請求項２】
(d) ガスシリンダーから引かれるガスの減圧手段と、(e) 減圧手段の上流に置かれている、ガスシリンダーから引かれたガスを過熱する手段と、をさらに備えた請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項３】
(f) 伝熱速度増加手段と過熱手段を統合可能に制御して、ガスシリンダーの圧力と温度、及び減圧手段の上流にあるガスシリンダーから引かれるガスを過熱する度合を制御できるようにする手段、をさらに備えた請求項２に記載のガス配給システム。
【請求項４】
伝熱ガスは、空気又は不活性ガスである請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項５】
ガスキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口は、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットを備えている請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項６】
１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットは、伝熱ガスの流れ方向を定めるためのフィンを備えている請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項７】
伝熱速度増加手段は、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットの温度を環境温度よりも高い値に電気的に制御する手段をさらに備えた請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項８】
伝熱速度増加手段は、空気の流れを実質的に液体−蒸気界面に相当するガスシリンダー上の位置に向けることができる請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項９】
伝熱速度増加手段は、一又はそれ以上の放射パネルヒーターを備えた請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項１０】
伝熱速度増加手段は、ガスシリンダーの下に置かれたヒーターを備えた請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項１１】
ガスシリンダーの下に置かれたヒーターは、加熱されるスケールカバーで、このスケールカバーは、頂部面と、底部面と、上記頂部面と底部面との間に形成された中空部内に置かれた加熱要素とを備えた請求項１０に記載のガス配給システム。
【請求項１２】
スケールカバーは、頂部面に取付けられた窪み形状の部材をさらに備えた請求項１１に記載のガス配給システム。
【請求項１３】
ガスシリンダー圧力と重量の入力に基づいて、加熱されるスケールカバーからの熱出力を制御する手段をさらに備えた請求項１１に記載のガス配給システム。
【請求項１４】
過熱手段は、加熱されるガスフィルター又は加熱される清浄器を備えた請求項２に記載のガス配給システム。
【請求項１５】
過熱手段は、ガスラインと接触しているヒーターを備えている請求項２に記載のガス配給システム。
【請求項１６】
ガスラインと接触しているヒーターは、電気的な加熱タイプである請求項１５に記載のガス配給システム。
【請求項１７】
過熱手段は、空気を加熱する手段と、ガスラインの一部分に接続して、加熱される空気を吹き込む手段をさらに備えた請求項２に記載のガス配給システム。
【請求項１８】
過熱手段は、ガス入口、ガス出口、バルブを開閉するアクチュエータ、及びバルブと熱接触するヒーターとを備えた、加熱されるバルブをさらに具備した請求項２に記載のガス配給システム。
【請求項１９】
加熱されるバルブは、ブロックバルブである請求項１８に記載のガス配給システム。
【請求項２０】
加熱されるバルブは、更に第二のガス入口を備え、ここを通ってパージガスがバルブ内に入ることができるようになっている請求項１８に記載のガス配給システム。
【請求項２１】
加熱されるバルブは、これに接続された圧力測定装置をさらに備えた請求項１８に記載のガス配給システム。
【請求項２２】
ヒーターは、自己調整型ヒーターと、抵抗型ヒーターと、カートリッジヒーターとからなる群から選択される請求項１８に記載のガス配給システム。
【請求項２３】
ヒーターはヒートトレースである請求項２２に記載の加熱されるガス配給システム。
【請求項２４】
半導体処理装置と請求項１に記載のガス配給システムとを備えた半導体処理システム。
【請求項２５】
液化状態からガスを供給する方法であって、この方法は、(a) ガスシリンダーキャビネットに収容され、ガスラインを有するガスシリンダー内に、圧縮液化ガスを供給する工程と、(b)ガスシリンダー内の液体温度を環境温度を超えることなく環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する伝熱速度増加工程とを備え、
伝熱ガスをガスキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口を通すことにより、伝熱速度を増加するガス供給方法。
【請求項２６】
(c) ガスの膨脹前にガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程を更に備えた請求項２５に記載のガス供給方法。
【請求項２７】
(d) 伝熱速度の増加と過熱工程を統合可能に制御して、ガスシリンダーの圧力と温度、及びガスの膨脹前にガスシリンダーから引かれるガスを過熱する度合を制御する工程を更に備えた請求項２６に記載のガス供給方法。
【請求項２８】
ガスはＮＨ3 ，ＡｓＨ3 ，ＢＣｌ3 ，ＣＯ2 ，Ｃｌ2 ，ＳｉＨ2 Ｃｌ2 ，Ｓｉ2 Ｈ6 ，ＨＢｒ，ＨＣｌ，ＨＦ，Ｎ2 Ｏ，Ｃ3 Ｆ8 ，ＳＦ6，ＰＨ3 ，及びＷＦ6 から選択される請求項２５に記載のガス供給方法。
【請求項２９】
伝熱ガスは、空気又は不活性ガスである請求項２５に記載のガス供給方法。
【請求項３０】
１若しくはそれ以上の開口は、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットを備えている請求項２５に記載のガス供給方法。
【請求項３１】
伝熱速度増加工程は、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットの温度を環境温度よりも高い値に電気的に制御する工程を更に備えている請求項３０に記載のガス供給方法。
【請求項３２】
伝熱速度増加工程は、空気の流れを実質的に液体−蒸気界面に相当するガスシリンダー上の位置に向ける工程を備えている請求項２５に記載のガス供給方法。
【請求項３３】
伝熱速度増加工程は、ガスキャビネット中に１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットを用意する工程を備え、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットは空気の流れ方向を決めるためのフィンを備えている請求項２５に記載のガス供給方法。
【請求項３４】
伝熱速度増加工程は、一又はそれ以上の放射パネルヒーターを備え、該ヒーターでガスシリンダーを加熱する工程を備えた請求項２５に記載のガス供給方法。
【請求項３５】
伝熱速度増加工程は、ガスシリンダーの下のヒーターでシリンダーを加熱する工程を備えた請求項２５に記載のガス供給方法。
【請求項３６】
ガスシリンダーの下に置かれたヒーターは、加熱されるスケールカバーで、このスケールカバーは、頂部面と、底部面と、上記頂部面と底部面との間に形成された中空部内に置かれた加熱要素とを備え、この方法は更にスケールでガスシリンダーの重量を測定する工程を備えた請求項３５に記載のガス供給方法。
【請求項３７】
ガスシリンダー圧力と重量の入力に基づいて加熱されるスケールカバーからの熱出力を制御する工程を更に備えた請求項３６に記載のガス供給方法。
【請求項３８】
ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、加熱されるガスフィルター又は加熱される清浄器でガスを過熱する工程を備えた請求項２６に記載のガス供給方法。
【請求項３９】
ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、ガスラインと接触しているヒーターでガスを過熱する工程を備えた請求項２６に記載のガス供給方法。
【請求項４０】
ガスラインと接触しているヒーターは、電気的な加熱タイプを備えた請求項３９に記載のガス供給方法。
【請求項４１】
ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、空気を加熱する工程と、ガスライン部分上に、加熱される空気を吹き込む工程とを備えた請求項２６に記載のガス供給方法。
【請求項４２】
ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、バルブと熱接触するヒーターを備えたバルブ内でガス流を加熱する工程を備えた請求項２６に記載のガス供給方法。
【請求項４３】
加熱されるバルブは、ブロック形状のバルブである請求項４２に記載のガス供給方法。
【請求項４４】
ヒーターは、自己調整型ヒーターと、抵抗型ヒーターと、カートリッジヒーターとの群から選択される請求項４２に記載のガス供給方法。
【請求項４５】
ヒーターはヒートトレースである請求項４４に記載のガス供給方法。
【請求項４６】
加熱要素は中空部内に巻かれている請求項１１に記載のガス配給システム。
【請求項４７】
加熱要素は２２０゜Ｆ（１０４℃）までの温度で操作できる請求項１１に記載のガス配給システム。
【請求項４８】
中空部の下に更に絶縁層を備え、この絶縁層は加熱要素から上面に熱を向けるのに有効なものである請求項１１に記載のガス配給システム。」
　
第４　請求人が主張する無効理由
１．請求人は、「特許第４５３１８７３号特許は無効とする。審判費用は被請求人の負担とする、との審決を求める。」として、下記の甲第１号証乃至甲第１６号証を挙げた上で、請求の理由として以下のように述べている。
　
「７−１　無効理由の要旨
　本件の請求項１乃至請求項５０に係る発明は、出願前に頒布された甲第１号証〜甲第１６号証に記載された発明に基づいて出願時当業者が容易に想到できたものであるから、特許法第２９条第２項により特許を受けることができず、よって、本件特許は特許法第１２３条第１項第２号の規定に基づき無効とされるべきである。
　また、本件の請求項１，４，５，９，１１に係る発明は、出願前に頒布された甲第１号証に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条第１項により特許を受けることができず、よって、本件特許は特許法第１２３条第１項第２号の規定に基づき無効とされるべきである。
　さらに、請求項１乃至請求項５０に係る発明についての本件特許は、発明の詳細な説明中の記載は当業者が容易に実施できる程度に明確かつ十分に発明が記載されているものとは認められないから、特許法第３６条第４項の規定に違反して特許されたものである。従って請求項１乃至請求項５０に係る発明についての本件特許は、同法第１２３条第１項第４号の規定により無効にされるべきものである。
　更にまた、請求項１２乃至請求項１４及び請求項２６乃至請求項５０に係る発明についての本件特許は、特許を受けようとする発明が発明の詳細な説明に記載したものではないから、特許法第３６条第６項第１号の規定に違反して特許されたものである。従って請求項１２乃至請求項１４及び請求項２６乃至請求項５０に係る発明についての本件特許は、同法第１２３条第１項第４号の規定により無効にされるべきものである。
　また、請求項１乃至請求項２５及び請求項４８乃至請求項５０に係る発明についての本件特許は、特許を受けようとする発明が明確ではないから、特許法第３いての本件特許は、特許を受けようとする発明が明確ではないから、特許法第３６条第６項第２号の規定に違反して特許されたものである。従って請求項１乃至請求項２５及び請求項４８乃至請求項５０に係る発明についての本件特許は、同法第１２３条第１項第４号の規定により無効にされるべきものである。」（審判請求書２−３頁）
　
　　　　　　　　　　　　　　　　記
　
甲第１号証　　西独国特許出願公開第３０４２９４４号明細書及びその翻訳文
甲第２号証　　SEMINAR TEXTBOOK No.4025　半導体製造プロセス用ガスの超高純度化技術と供給システムの最新動向−微量分析から特殊ガスの法規制まで−、株式会社リアライズ社、１９８６年１０月１６日、１−１５頁
甲第３号証　　実願平３−４７９６５号（実開平４−１３２３００号）のマイクロフィルム
甲第４号証　　実願平３−４２６８３号（実開平５−２５０９９号）のＣＤ−ＲＯＭ
甲第５号証　　実願平３−１４０３８号（実開平４−１１０７５４号）のマイクロフィルム
甲第６号証　　特開平５−２８３３４０号公報
甲第７号証　　特願平９−３２１６９６号に係る平成２１年４月９日付け意見書の写し
甲第８号証　　特開平８−１０６９７２号公報
甲第９号証　　特開平５−２９１２１７号公報
甲第１０号証　特開平６−１２３３８１号公報
甲第１１号証　特開平７−７４１１３号公報
甲第１２号証　特開平５−２８３３７１号公報
甲第１３号証　特開平８−２２７８３６号公報
甲第１４号証　特開平７−２６９７４１号公報
甲第１５号証　国際公開第９５／３１５８３号
甲第１６号証　特表平２−５０２６８３号公報
　
　なお、平成２２年１１月１日付け上申書において、請求人は「平成２２年９月２９日提出の審判請求書に記載の甲第１号証について、誤ってドイツ公開公報ＤＥ３０４２９４４Ａ１を添付してしまいました。そこで、本来提出すべき欧州公開公報ＥＰ００５２３５１Ａ２を改めて提出いたします。」として、欧州公開公報ＥＰ００５２３５１Ａ２を提出した。
　
２．さらに、平成２３年４月４日付け弁駁書において、「環境温度」、「伝熱ガス」の解釈について、上記訂正請求書に対する弁駁理由に加え、被請求人の平成２３年２月２５日付け答弁書に対する弁駁を以下のように行なっている。
　
「７−１　本件訂正発明の解釈について
７−１−１　要旨
　「環境温度」は、環境の温度、すなわち、「ガスシリンダーを囲む空気の温度」と解釈すべきである。
　「ガスシリンダー内の液体温度が環境温度を超えないで、環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する伝熱速度増加手段（以下、要件Ａという）」は、審判請求書の７−２−２−２キに示したとおり、「ガスシリンダー内の液体温度がガスシリンダーを囲む空気の温度を超えないように、空気が連続的にガスシリンダーの表面に沿って連続的に流れる強制体流の場合には、空気の流量を増やして、ガスシリンダーとガスシリンダーを囲む空気との間の外部伝熱係数を増加させる手段」、又は、「ガスシリンダー内の液体温度がガスシリンダーを囲む空気の温度を超えないように、ガスシリンダーを囲む空気の温度を高くして、ガスシリンダーを囲む空気とガスシリンダーとの間の温度差を増加させる手段」或いは「これらを併せ持つ手段」と解釈すべきである。
　「伝熱ガス」は、「環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加するため、環境からシリンダーに熱を伝えるガス」と解釈する。
　
７−１−２　「環境温度」について
７−１−２−１　被請求人の解釈について
　ア　被請求人は、審判事件答弁書（以下、答弁書という）の第３頁第１０行〜第１２行において、「明細書及び図面を考慮すれば、本発明の『環境温度』とは、『ガスが引かれるガスラインを含む、液化状態からガスを分配するシステム』における『環境温度』と解釈すべきである。」と主張している。
　イ　被請求人が「環境温度」の解釈の根拠として挙げている本件訂正明細書の段落００１３及び段落００１７には、「従来の技術」及び「発明が解決しようとする課題」が開示されている。しかしながら、「従来の技術」及び「発明が解決しようとする課題」には、具体的な技術の内容を詳細に説明されているとは限らず、そこに用いられる用語もまた必ずしも正確に用いられているとは限らない。
　ウ　「環境温度」は、本件訂正発明において発明特定事項として用いられている用語であるから、「従来の技術」及び「発明が解決しようとする課題」が示されているにすぎない段落００１３及び段落００１７の記載事項を根拠として解釈すべきではない。本件訂正発明の具体的な技術の内容を説明している記載箇所を根拠として「環境温度」を解釈すべきである。
　エ　なお、被請求人は、答弁書の第３頁第２２行〜第２８行において、「本件発明における『環境温度』は、『環境温度が熱源のないとき（すなわち、伝熱速度を増加していないとき）のガスシリンダーを囲む空気（環境）の温度』を意図していることは、上述の説明から明確に理解される。」と主張しているが、本件訂正明細書にはこのように理解される根拠となる記載がないため、明確に理解することができない。
　オ　したがって、被請求人の主張は失当であり、本発明の「環境温度」は、「ガスが引かれるガスラインを含む、液化状態からガスを分配するシステム」における「環境温度」と解釈すべきでない。
　
７−１−２−２　請求人の解釈について
　ア　本件訂正明細書の段落００２９には、「環境」の用語が定義されている。一方、本件訂正発明の具体的な技術の内容を説明している段落００２９〜段落００４１及び段落００４９〜段落００５５においても、「環境温度」の用語は定義されていない。このような場合、当業者であれば、本件訂正明細書中に「環境」の用語の定義がある以上、文言どおりに「環境の温度」と解釈すると解すべきである。」（３−４頁）
　
３．加えて、平成２３年７月１５日付け上申書により以下の主張の補完を行なっている。
　
「ア　平成２３年６月３０日付「第１回口頭審理調書」の被請求人に対する第６項に関する、平成２３年７月１２日付被請求人上申書における被請求人の主張は、特許明細書中に根拠となる記載がなく失当である。
　イ　訂正後の請求項９及び請求項１０に記載された本件特許発明についての実施形態が、特許明細書に実質的に開示されていない。したがって、「放射パネルヒーター」又は「ヒーター」が「ガスシリンダーキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口と、伝熱ガスが１若しくはそれ以上の開口を通るようにする手段」に付加されて構成された伝熱速度増加手段が、どのようにして「環境とシリンダーとの間の伝熱速度を増加する」のか理解できないものとなっており、訂正後の請求項９及び請求項１０に記載された本件特許発明は、その技術的意義が不明であるから、全体として不明確である。」（２頁）
　
第５　被請求人の反論の要点
１．被請求人は上記第２のように訂正請求を行なうと共に、平成２３年２月２５日付け答弁書、平成２３年６月１４日付け口頭審理陳述要領書によって、以下のように請求人の主張する無効理由はいずれも理由がないと主張している。
　
（１）「環境温度」の解釈について
「明細書及び図面を考慮すれば、本発明の「環境温度」とは、「ガスが引かれるガスラインを含む、液化状態からガスを分配するシステム」における「環境温度」と解釈すべきである。
　すなわち、本発明の明細書の段落【００１３】には「シリンダーの下流にあるガス分配システム中のより低い温度に起因して、再濃縮を引き起こす。その結果、ガスシリンダーから使用場所へ分配する全ての分配システムを加熱する場合は、このような再濃縮を阻止する必要がある。」と記載されている。
　また、段落【００１７】には「このシステムは液化ガスを含むシリンダーの圧力を正確に制御し、これと同時にシリンダーから引かれるガス中に入った液滴を最小にするものである。」と記載されている。
　従って、これらの記載から、「環境温度」に関する被請求人の解釈は本発明の目的に適合していることは明らかである。」（答弁書３頁）
　
（２）甲第１号証を用いた容易想到性について
「甲１は、単位時間当たりの或る放出量を確保するために容器の内容物に「正確な」量の熱を伝えるかもしれない。しかし、甲１は、液体の温度を制限または監視することについての動機付けを示していないし、そうすることについての必要性も開示していない。容器内の圧力が下がった際にケース内の温度を高く設定することは、容器内の圧力を高め、更には液体の温度を高める場合もある。容器が通気されておらず且つ断熱されている（甲１の第６頁第１４行〜２２行）という甲１の開示を考慮に入れた場合、液体温度の上昇はより起こり易い。
　従って「ガスシリンダー内の液体温度が環境温度を超えないで、環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加すること」は、甲１の開示に基づいて当業者が容易に想到できるものではない。」（答弁書８頁）
　
２．加えて、口頭審理を踏まえて、平成２３年７月１２日付け上申書により、「放射パネルヒーター」又は「ヒーター」による「伝熱速度の増加」の主張に関して、以下のように前記主張に対する補完を行なっている。
　
「ウ．先に（２）アで述べたように、「ガスシリンダーキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口と、伝熱ガスが１若しくはそれ以上の開口を通るようにする手段」とを構成することにより、ガスシリンダーとガスシリンダーキャビネットとの間の「環境」内で強制対流が生じている。
　他方、追加された「放射パネルヒーター」又は「ヒーター」は、「環境」内の空気（伝熱ガス）を暖めるので、この暖かい空気がシリンダーの表面上に送られることとなる。この暖かい空気は、シリンダー表面に滞留することなく、「環境」に生じた強制体流の流れに乗ることになる（被請求人口頭審理陳述要領書１０頁１４〜２０行参照）。すなわち、この暖かい空気が「ガスシリンダーキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口と、伝熱ガスが１若しくはそれ以上の開口を通るようにする手段」とで作られた「環境」内の強制体流の流れに組み込まれることになる。そして、このことにより、「放射パネルヒーター」又は「ヒーター」もまた環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加することに寄与する結果となる。
　なお、シリンダーの表面上に送られる暖かい空気は、シリンダー表面に滞留することなく、伝熱ガスの強制体流の流れに組み込まれるので、この暖かい空気に起因してシリンダー内の液体温度が「環境温度」を超えるようなことはない。」（４頁）
　
第６　甲各号証の記載事項
　請求人の提示した甲各号証のうち、以下のものにはそれぞれ以下の事項が記載されている。
　なお、上記「第４　１．」のなお書きのように、平成２２年９月２９日付け審判請求書に添付された甲第１号証としてのドイツ公開公報ＤＥ３０４２９４４Ａ１は、平成２２年１１月１日付け上申書により、前記ドイツ公報と内容が同じで、公知日が相違する欧州公開公報ＥＰ００５２３５１Ａ２に差し替えることが請求人から提示され、第１回口頭審理で被請求人もこの差し替えを認めたので、以下、甲第１号証は欧州公開公報ＥＰ００５２３５１Ａ２であるとする。
　
１．甲第１号証
甲１ａ：「Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Bereitstellen eines Gases, wobei das Gas in Behaeltern in fluessiger Form oder zusammen mit einem in einer poroesen Masse verteilten Loesungsmittel unter Druck gespeichert ist, und die Behaelter erwaermt werden.」（１頁１５−１９行：行数は、公報各頁の左側の行数表示を参照している。以下同じ。）
（本発明は、液体の形で又は多孔性の固まりの中に分散された溶媒と共に、ガスを加圧状体で容器中に貯蔵し、及び容器を過熱してガスを供給する方法と装置に関する。）（括弧内の翻訳文は審判請求書１５−２３頁による。また、文字種のウムラウト及びエスツェットについては表記できないため、Ａのウムラウトは「Ａｅ」、ａのウムラウトは「ａｅ」のようにｅを付し、エスツェットについては、「ｓｓ」と代用表記する。以下同じ。）
　
甲１ｂ：「Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs erwaehnten Art anzugeben, das nur geringe Heizkosten verursacht, durch das jedoch eine weitgehende Entleerung der Behaelter nicht beeintraechtigt wird und weiterhin eine bestimmte Entnahmemenge pro Zeiteinheit garantiert ist.」（１頁３３行−２頁３行）
（従って、本発明の目的は、加熱コストを下げるが、更に容器からのガスの排出を損なうことなく、単位時間当たりの取り出し量を確実に所定の量にする、最初に言及した技術の方法を提供することにある。）
　
甲１ｃ：「Diese Aufgabe wird erfindungsgemaess dadurch geloest, dass ein oder mehrere Behaelter in eine ausschliesslich gasdichte Teile dieser Behaelter umschliessende Kapsel eingebaut wird bzw. werden, wobei der Kapselinnenraum waehrend der Gasentnahme wenigstens zeitweise erwaermt wird, waehrend der Aussenraum der Kapsel belueftet wird.」（２頁５−１０行）
（この目的は、本発明により、１つ又は多数の容器を、該容器のもっぱら気密の部分を囲むカプセルの中に組み入れ、ガスを取り出す間カプセル内部空間を少なくとも一時的に加熱し、他方、カプセルの外部空間を換気することにより達成される。）
　
甲１ｄ：「Der Heizenergieaufwand bei der Entnahme von Gasen aus Flaschen setzt sich hauptsaechlich aus folgenden Energiebeitraegen zusammen:
1. Energie fuer die Entloesung eines Gases aus einem Loesungsmittel, in dem das Gas geloest ist, wobei das Gas zusammen mit dem Loesungsmittel in einer poroesen Masse unter Druck verteilt ist bzw. Energie fuer die Verdampfung eines fluessig gespeicherten Gases.
2. Energie, die erforderlich ist, um Waermeverluste durch die Waende des beheizten Raumes auszugleichen.」（２頁１６−２７行）
（ガスをボンベから取り出す場合のエネルギー消費は、主に以下に述べるエネルギーの寄与から成り立つ。
１．ガスが溶解している溶媒からガスを取り出すエネルギーで、この場合、ガスは溶媒と共に多孔性の固まりの中に加圧状体で分散されている。又は、液体として貯蔵されたガスを蒸発するためのエネルギー。
２．加熱された空間の壁による熱損失を補うために必要なエネルギー。）
　
甲１ｅ：「Daher ist die Oberflaeche des beheizten Raumes (der Kapsel) kleiner als bisher, wodurch die unter Punkt 2 angefuehrten Waermeverluste ueber die Waende des beheizten Raumes reduziert werden koennen. Diese Verluste koennen durch die Verwendung einer Kapsel, deren Wand mit waermeisolierendem Material beschichtet ist oder die aus einem derartigen Material besteht, ebenfalls weitgehend ausgeschaltet werden.」（４頁３−１０行）
（したがって、加熱すべき空間（カプセル）の表面は今までのものより小さく、それにより、第２項で挙げた、加熱された空間の壁による熱損失を減少させることができる。該壁を断熱性材料で被覆するか又はそのような材料からなる壁のカプセルを使用することにより、上記の損失を更に一層排除できる。）
　
甲１ｆ：「In einer vorteilhaften Ausgestaltung des Erfindungsgedankens werden die Behaelter mittels erhitzter Luft erwaermt und wird die Luft innerhalb des Kapselinnenraums umgewaelzt. Die Umwaelzung kann durch geeignete Vorrichtungen erzwungen werden. Ueblicherweise reicht jedoch die durch Temperaturunterschiede innerhalb einer Kapsel verursachte Waermekonvektion aus.
Durch diese Massnahme wird ein Waermestau im Bereich der Kapseldecke verhindert.」（４頁３５行−５頁７行）
（本発明の好ましい実施態様によると、容器を加熱された空気により加熱し、空気をカプセル内部空間において循環させる。この循環は、適切な装置を用いて強制的に行なう。しかし、従来から行なわれているように、カプセル内部での温度の違いから起きる熱対流で充分である。この方法により、カプセルの蓋の領域での熱の滞留が防止できる。）
　
甲１ｇ：「Mit Vorteil wird nach einer weiteren Ausgestaltung des Erfindungsgedankens die Tmperatur des Kapselinnenraums in Abhaengigkeit vom Druck in den Behaeltern geregelt. Hierdurch ist es moeglich, bei vollen Behaeltern eine niedrige Temperatur innerhalb der Kapsel, mit sinkendem Druck in den Behaeltern jedoch eine hoehere Temperatur einzustellen.」（５頁９−１４行）
（有利には、本発明の思想の更なる態様に従い、カプセル内部空間の温度を容器内の圧力に依存して調整する。これによって、容器が満ちているときにはカプセル内の温度を低温に設定することが可能であるが、しかしながら、当該容器内の圧力が低下しているときには（カプセル内の）温度をより高く設定することが可能である。）
　
甲１ｈ：「In einer Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens mit innerhalb eines Raumes angeordneten Behaeltern mit Entnahmevorrichtungen ist bzw. sind mit Vorteil ein oder mehrere Behaelter so in eine allseitig geschlossene Kapsel eingebaut, dass sich nur die Behaeltergehaeuse sowie eine Heizvorrichtung im Kapselinnenraum befinden, waehrend die Gasentnahme- und Gasfuellstelle der Behaelter sowie die zugehoerigen Entnahmevorrichtungen ausserhalb der Kapsel angeordnet sind.」（５頁２４−３１行）
（取り出し装置を有し、空間内部に載置された容器を具備する、該方法を実施する装置であって、有利には、１つ又は多数の容器が、全面が密閉されたカプセル内に配置されており、その際、該容器ケース及び加熱装置だけがカプセルの内部空間に存在し、他方、該容器のガス取り出し箇所とガス充填箇所と並びに付属の取り出し装置とがカプセルの外部に配置されている。）
　
甲１ｉ：「Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung kann die Heizvorrichtung vorteilhafterweise ein unterhalb der Behaelter in der Kapsel angeordneter Lufterhitzer sein. Z.B. kann ein Waermetauscher mit Rippenrohren, durch die Warmwasser, Heisswasser oder Dampf stroemt und dabei die Rohre umspuelende Luft erwaermt, Verwendung finden.」（６頁１３−１８行）
（本発明の更なる特徴によると、好ましくは、加熱装置が容器の下方でカプセル内で配置された空気ヒーターである。例えば、フィン付きロールを有する熱交換機を使用でき、温水、熱水又は蒸気が該フィン付きロールを流れ、それによって該ロールが周りの空気を加熱する。）
　
甲１ｊ：「In einer vorteilhaften Variante dieser Vorrichtung ist im Kapselinnenraum eine Wand mit Abstand und im wesentlichen parallel zu einer vertikalen Kapselwand angeordnet, wobei der zwischen der Wand und der vertikalen Kapselwand gebildete Raum den Bodenbereich der Kapsel mit dem Deckenbereich der Kapsel verbindet. Dabei sind in diesem Raum keine Behaelter angeordnet. Die erwaermte Luft stroemt hierbei durch den thermischen Auftrieb zwischen den Flaschenluecken vom Bereich des Kapselbodens zum Bereich der Kapseldecke. Aus diesem Bereich stroemt die abgekuehlte Luft ueber den zwischen Kapselwand und der weiteren Wand gebildeten Zwischenraum zurueck.」（６頁２０−３０行）
（この装置の好ましい変更態様によると、該カプセル内部空間において、壁が垂直のカプセル壁と間隔をおいて且つ本質的に平行に配置されており、該壁と垂直のカプセル壁の間に形成された空間がカプセルの底領域とカプセルの蓋領域とを接続しており、該空間内に容器が配置されていない。この場合、加熱された空気が、カプセルの底領域からカプセルの蓋領域までボンベの間のすき間を熱膨張により流れる。前記の領域から、冷却された空気が、カプセル壁と該更なる壁との間に形成された中間空間を介して流れて戻る。この更なる壁は、ヒーターにより上方に容器を撫でるように流れる空気が、冷却された空気に混じり合うことを防ぐ。）
　
甲１ｋ：「In Figur 1 sind vier Flaschen 1 bis 4 dargestellt. Die Behaelter stehen auf einer gelochten Bodenplatte 5, unterhalb deren zwei Heizkoerper 6 angeordnet sind. Die Behaelter 1 bis 4 sind von einer aus fuenf Waenden bestehenden Kapsel umgeben. In der Figur sind lediglich die beiden Seitenwaende 7,8 und die Decke 9 dargestellt. Die Behaelter werden vor der Gasentnahme so in diese Kapsel montiert, dass lediglich die Behaeltergehaeuse innerhalb der Kapsel angeordnet sind, waehrend die jeweiligen Flaschenventile 10 bis 13, Schlaeuche 14 bis 17 sowie die gemeinsame Entnahmeleitung 18 ausserhalb der Kapsel untergebracht sind. Zusammen mit dem Raum, in dem die Heizkoerper 6 angeordnet sind, bildet die Kapsel einen geschlossenen, im wesentlichen luftdichten Raum. Das Material, aus dem die Kapselwaende gefertigt werden, besitzt gute waermeisolierende Eigenschaften.」（７ページ１０−２４行）
（図１に４つのボンベ１ないし４を示す。これらの容器は穴の開いた底板５の上に置かれ、その下に２つのヒーター６が配置されている。容器１ないし４は、５つの壁からなるカプセルによって囲まれている。この図面には、両方の側壁７，８と蓋９だけが示されている。ガスの取り出しを行なう前には、該容器がカプセル内に載置されているが、その際、カプセルの内部には容器ケースだけが配置され、他方、それぞれのボンベのバルブ１０ないし１３、ゴム管１４ないし１７及び共通の排出管１８がカプセルの外側に収納されている。ヒーター６が配置されている空間と共に、カプセルは本質的に気密の閉じた空間を形成している。カプセルの壁を形成する材料は、高い断熱性を有する。）
　
甲１ｌ：「Waehrend der Gasentnahme werden die Behaelter beheizt, um die zur Entnahme erforderliche Loesungs-, Absorptions- und/ oder Verdampfungswaerme aufzubringen. In der Zeichnung ist eine Regeleinheit, ueber die die Temperatur des Kapselinnenraums in Abhaengigkeit vom Behaelterdruck geregelt werden kann, nicht dargestellt. Durch die Heizkoerper 6 erwaermte Luft streicht durch die gelochte Bodenplatte 5 und zwischen den Behaeltern 1 und 2 bzw. 3 und 4 empor. Im Waermekontakt mit den Behaeltern kuehlt die Luft etwas ab und fliesst zwischen den Flaschen 1 bzw. 4 und den Kapselwaenden 7 bzw. 8 sowie zwischen den Behaeltern 2 und 3 zu den Heizkoerpern 6 zurueck.」（７頁３１行−８頁６行）
（ガスを取り出している間、取り出すために必要な溶解−吸収−熱及び／又は蒸発熱を発生させるために容器を加熱する。カプセル内部の温度を容器の圧力に依存して調整する制御装置は、図示していない。ヒーター６により加熱された空気は、穴の開いた床板５を通過し、容器１，２の間及び容器３，４の間を上方に向かって容器をなでるように流れる。容器に接触して加熱する間に、空気が冷却され、ボンベ１，４とカプセル壁７，８との間、並びに容器２と３の間を流れてヒーターに戻る。）
　
甲１ｍ：「In Figur 2 ist eine erfindungsgemaesse Vorrichtung dargestellt, bei der sich die Behaelter 1,2,1',2' innerhalb eines mobilen Containers 20 befinden. Die Behaelter sind zu zwei Gruppen 1 bis 2 und 1' bis 2' zusammengefasst, die jeweils in eine eigene Kapsel eingeschlossen sind. Die beiden Gruppen sind rechts und links von einem begehbaren Mittelgang 22 angeordnet. Eine Aussenwand 8, 8' der Kapseln faellt jeweils mit einer der Containerwaende zusammen und ist daher nach Moeglichkeit besonders gut gegen Waermeverluste zu isolieren. In der Containerdecke befindet sich eine Lueftungsoeffnung 21. Nach herkoemmlichen Verfahren wurde das gesamte Containervolumen beheizt und zusaetzlich der gesamte Luftinhalt mehrmals pro Stunde (ca. 3mal) gewechselt.」（８頁１６−２８行）
（図２は、本発明の装置を示し、容器１，２，１’，２’が可動のコンテナーの内部にある。容器は２つのグループ１，２及び１’，２’にまとめられ、それぞれ独自のカプセルに閉じ込められている。これら両方のグループは、通過可能な中間路２２の左右に配置されている。カプセルの外壁８，８’は、それぞれコンテナー壁の一方に重なっている。したがって、可能であれば、特に熱損失を充分に防止するために断熱すべきである。換気用開口２１がコンテナーの蓋にある。従来の方法によると、コンテナーの体積全体が加熱され、更に、空気の体積が１時間に数回交換される（約３回）。）
　
甲１ｎ：「In Figur 2 ist strichpunktiert eine Variante einer erfindungsgemaessen Vorrichtung eingetragen. Demnach wird zwischen den Kapselwaenden 7 bis 7' und den zugehoerigen Behaeltern 1 bzw. 2' eine zusaetzliche Wand 19 bzw. 19' mit Abstand und parallel zu den Kapselwaenden 7 bzw. 7' montiert. Durch die zusaetzlichen Waende 19 bzw. 19' wird eine Umwaelzung der Luft innerhalb der beiden Kapseln gefoerdert. Die durch Heizkoerper 6 erwaermte Luft streicht zwischen den Behaeltern 1 und 2 bzw. 1' und 2' empor, kuehlt dabei ab und wird aus dem Bereich der Kapseldecke ueber den Raum zwischen der Kapselwand 7 und der zusaetzlichen Wand 19 (7' und 19') in den Bodenbereich der Kapsel geleitet.」（９頁１−１２行）
（本発明の装置の変更態様を図２に鎖線で示す。それによると、更なる壁１９，１９’が、カプセル壁７，７’とそれに関係する容器１，２’との間に、間隔を置き且つカプセル壁７，７’に平行に載置されている。これらの更なる壁１９，１９’により、両方のカプセルの内部での空気の循環が促進される。ヒーター６で加熱された空気が、容器１と２の間、容器１’と２’との間で容器をなでるように上方に流れ、その際冷却され、カプセルの蓋の領域から、カプセル壁７と更なる壁１９（７’と１９’）との間の空間を介して、カプセルの底領域に導かれる。）
　
２．甲第４号証
甲４ａ：「【０００３】
　また、この真空装置９をガス供給装置とは通常塵埃グレートの部屋で隔離されているので、大気圧よりも蒸気圧の低い液化ガスをその蒸気圧で真空装置９まで供給する配管７は長くなっている。このため、配管７の温度変化及び温度分布に注意する必要がある。すなわち、マスフローコントローラ４までの配管７の圧力は比較的高いことと、ボンベ１内温度より配管７の内の温度が低いので、ガスが液化し、配管７内が液体で満たされ、ガス供給が困難になるからである。これを防止するためにボンベ１の出口から真空装置本体９内にあるマスフローコントローラ４部までヒータ１３を巻きボンベ１内温度より配管７内温度を高くし一定にするか、又はガスボンベ１を含めて周囲温度より高くかつ一定にする必要があった。」
　
甲４ｂ：「【００１０】
　図１は本考案の一実施例におけるガス供給装置を説明するための配管系統図である。このガス供給装置６ａは、図１に示すように、元バルブ２以降にバルブ３及びバルブ５と、供給するガス流量を自動調節するマスフローコントローラ４ａと、バルブ３，元バルブ２及びマスフローコントローラ４ａを含み、接続する配管を加熱するヒータ１３ａとを設けたことである。
【００１１】
　図２は大気圧より低い液化ガスの蒸気圧曲線を示すグラフである。次に、このガス供給装置の動作及び作用について説明する。いま、ボンベ内に図２に示す蒸気圧曲線の性質をもつ液化ガスが充填され、ガスが真空ポンプ１２で排気されている真空容器に流れている状態であるとする。そして周囲温度及びボンベ１内温度が２５℃とすると、図２に示すように、この時のボンベ１からマスフローコントローラ４ａまでのガスの圧力は、Ａ→Ｂ→Ｃとなり、０．２気圧である。この状態でヒータ１３ａで３０℃に温調しているとすると、元バルブ２からマスフローコントローラ４までのガス状態は、ほぼＢ１点に移動するため気液同伴状態から完全気体状態に移行する。次に、ガスが流れている状態では、マスフローコントローラ４ａの出口側圧力は入口側圧力より低くなっている。従って、真空装置９側の圧力が０．０５気圧であったとすると、この状態でガスが液化し始める温度を見ると、図２に示すように、Ｄ→Ｅ→Ｆとなり、１０℃以下にならないと液化しないことになる。すなわち、マスフローコントローラ４ａ以降、真空容器１０までの配管は完全気体状態となり、特に加熱する必要がなくなる。このことは配管の施工に際しては、一般の高圧ガス配管と同様の配管施工及び管理ですむことになる。」
　
３．甲第９号証
甲９ａ：「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、熱可塑性樹脂を介在させたウエハーとガラス基板等の取付け板とを加熱したのち加圧して接着するのに好適な設備に関する。」
　
甲９ｂ：「【０００６】
【実施例】実施例について図１〜図４に基づき詳細に説明する。本発明の一実施例を示す一部断面正面図である図１に示すように、定盤状の基礎台１の中央部には、後述の昇降フレーム１７を昇降させる昇降装置２が設置されている。この昇降装置２においては、一部断面正面図である図２に示すように、上下方向へ指向する中空回転軸３が軸受４を介してケーシング５に回転自在に装着され、中空回転軸３内にはボール内装のナット６が嵌着され、ナット６にはネジ軸７が螺合され、中空回転軸３の下端にはベルトプーリ８が軸受９に支持されて装着され、ネジ軸７の上端には連結部材１０が嵌着され、さらに、中空回転軸３等の右側には、下向きの減速機１１付きサーボモータ１２が、ケーシング５に支持されて設けられ、サーボモータ１２の出力軸は、ベルトプーリ１３および無端ベルト１４を介して前記ベルトプーリ８に連結されていて、ネジ軸７はサーボモータ１２の正逆回転により昇降するようになっている。
【０００７】また、図１に示すように、前記基礎台１の四隅には、ガイドロッド１５、１５が立設され、ガイドロッド１５、１５の上端間には、天井フレーム１６が架設されている。さらに、ガイドロッド１５、１５には、昇降フレーム１７が四隅においてリニアベアリング１８、１８を介して上下摺動自在に貫通されて装架され、昇降フレーム１７の下面中央部には、前記昇降装置２の連結部材１０が固着されている。また、昇降フレーム１７上には３個のロードセル１９、１９、１９が、平面図で見て一つの正三角形の各頂点にそれぞれ位置するように配置されて装着されており、これら３個のロードセル１９、１９、１９は、マイクロコンピュータで成る制御器２０にアンプリファイア２１およびＡ／Ｄ変換器２２を介して電気的に接続されていて、制御器２０においては、３個のロードセル１９、１９、１９に作用する荷重のアナログ信号がＡ／Ｄ変換器２２を介してデジタル信号に変換されて入力され、これにより、３点にかかる荷重がそれぞれ測定されるとともに、これら３点の荷重の最高値と最低値との差が算出され、算出された差が、あらかじめ設定した設定値よりも大きい場合は、ウエハーと取付け板の平行度が所定のものになっていないことが検知されることになる。
【０００８】また、これら３個のロードセル１９、１９、１９の上端間には、加圧板機構２３が架設されており、加圧板機構２３においては、図１に示すように、長方形状のセラミックス製加圧板本体２４および長方形状の支持板２５が、仲介部材２６を介して上下に所要の間隔を置きかつ対向して設けられ、加圧板本体２４と支持板２５との間には、加熱手段２７と、冷却手段としての冷媒内臓の冷却パイプ２８と、断熱部材４０が配設されており、冷却パイプ２８は図示しない冷媒循環装置に接続されている。」
　
４．甲第１０号証
甲１０ａ：「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は要求に応じてガス状態を設定するための技術、特に、ガス供給系に配設されるレギュレータ、バルブ、マスフローコントローラなどにあってガスの凝縮を防止するために用いて効果のある技術に関するものである。」
　
甲１０ｂ：「【０００７】なお、ガス供給源１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの種類としては、処理装置７がエッチング処理の場合には四塩化炭素、塩素、臭素などが用いられ、ＣＶＤの場合にはアンモニア、クロロシランなどが用いられる。」
　
甲１０ｃ：「【００３９】
【実施例２】図３は本発明によるガス供給系用部品の第２実施例を示す断面図である。ここでは、ガス供給系用部品の１種であるフィルタを例にしている。
【００４０】円筒形の本体２６の一端には、ガス入路２７が設けられ、他端にはガス出路２８が設けられている。本体２６内には３つのエレメント２９ａ，２９ｂ，２９ｃが所定間隔で配設され、さらに本体２６の両端には、エレメント２９ｄ，２９ｅが設けられている。
【００４１】この実施例において、断熱膨張が生じるのは、ガス入路２７の出側の空間（断熱膨張発生部３０）である。したがって、本実施例では加熱手段としてのヒータ３１をガス入路２７の取り付け部に配設している。
【００４２】ここに示すフィルタは、ガス入路２７より本体２６内に導入されたガスに微小な異物が混入していた場合、エレメント２９ａ〜２９ｅを順次通過する過程で除去され、清浄化されたガスがガス出路２８から排出される。
【００４３】このとき、ヒータ３１が設けられているため、ガス入路２７から断熱膨張発生部３０に入るガスは加熱されており、断熱膨張発生部３０において断熱膨張を生じることがなく、断熱膨張発生部３０でのガスの温度低下が防止され、ガスの凝縮発生を防止することができる。」
　
５．甲第１１号証
甲１１ａ：「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置等で使用されるガス供給装置に関し、さらに詳細には、気化温度が高く、常温において外部から熱を加えないと液化しやすいジクロールシラン、ＷＦ６、ＨＢｒ等のプロセスガスを液化させることなく、高精度に供給するガス供給装置に関するものである。」
　
甲１１ｂ：「【００１２】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例であるガス供給装置および質量流量計付電磁弁について、図面を参照しながら詳細に説明する。図１にガス供給装置の全体構成を概念図で示し、図２にその斜視図を示す。質量流量計付電磁弁５３の入力ポートには、継手ブロック２４を介して入力ブロック１０が付設されている。入力ブロック１０の上面には、入力開閉弁５２およびパージ弁１２が付設されている。また、入力ブロック１０の左側面には、ヒータ孔１０ａが穿設されている。ヒータ孔１０ａには棒状ヒータ１５が装着され、止めネジ２３により固定されている。質量流量計付電磁弁５３の出力ポートには、継手ブロック２５を介して出力ブロック１１が付設されている。出力ブロック１１の上面には、出力開閉弁５４およびパージ出力弁５５が付設されている。また、出力ブロック１１の右側面にはヒータ孔１１ａが穿設されている。ヒータ孔１１ａには棒状ヒータ１４が装着され、止めネジ２３により固定されている。
【００１３】また、入力ブロック１０には、入力開閉弁５２の入力ポートに接続する連通路１６、継手ブロック２４の連通路を介して入力開閉弁５２の出力ポートと質量流量計付電磁弁５３の入力ポートとパージ弁１２の出力ポートとを連通する連通路１８、およびパージ弁１２の入力ポートに接続する連通路１７とが穿設されている。連通路１６は、ジクロールシランの供給源に連通している。また、連通路１７は、入力ブロック１０を横断的に連結する横断ブロック１１７に形成された連通路を介して、パージ用の窒素ガス供給源に連通している。また、出力ブロック１１には、出力開閉弁５４の出力ポートに接続する連通路２０、パージ出力弁５５の出力ポートに接続する連通路２６、および継手ブロック２５の連通路を介して出力開閉弁５４の入力ポート、パージ出力弁５５の入力ポートと質量流量計付電磁弁５３の出力ポートとを連通する連通路１９とが穿設されている。
【００１４】連通路２０は、半導体工程でジクロールシランＦを使用する供給先に連通している。連通路２６は、出力ブロック１１を横断的に連結する横断ブロック１２６に形成された連通路を介して、残留したジクロールシランＦを廃棄するためのタンクに連通している。また、出力ブロック１１には、連通路２０とは別に温度センサ１３を埋設するためのセンサ孔１１ｂが穿設されている。また、棒状ヒータ１４，１５および温度センサ１３は、ガス供給装置の制御装置２１に接続している。制御装置２１は、図示しないマイクロコンピュータ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等より構成され、ＲＯＭには、温度センサ１３の出力を受けて入力ブロック１０および出力ブロック１１を一定温度に保持するために、棒状ヒータに所定の電流を供給する温度調整プログラムが記憶されている。」
　
６．甲第１２号証
甲１２ａ：「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は気化ガス（液化ガスを気化したガス）の供給方法に係り，特に，半導体装置製造に使用する気化ガスの供給方法に関する。
【０００２】液化ガスは沸点の高いガスで，常温高圧下では液体であり常温低圧下では気体となるものである。半導体装置製造プロセスでは，クロロシラン類，四塩化炭素（ＣＣｌ4 ），塩化水素（ＨＣｌ），六フッ化タングステン（ＷＦ6 ）をはじめ，多くの液化ガスを気化して使用する。」
　
甲１２ｂ：「【００１２】
【実施例】図１は実施例を示す模式図であり，１は液化ガス源であって液化ガスボンベ，，２は供給管であって気化ガス供給管，３は外部管，４は気体加熱源であってヒータ，５は送風手段であってファン，６は温度検出端（温度センサ）であって熱電対，７は温度制御器，８は半導体装置製造装置であってエッチング装置，９はマスフローメータ, 10はフィルタを表す。
【００１３】液化ガス源１は例えば四塩化ケイ素のボンベであり，気化ガス供給管２は例えば外径１０mmのステンレス管，外部管３は例えば内径２０mmのステンレス管，気体加熱源４は例えばニクロム線である。また，温度制御器７は例えばＰＩＤ温度制御器である。
【００１４】液化ガス源１から四塩化ケイ素の気化ガスが気化ガス供給管２の中を通り，マスフローメータ９を経てエッチング装置９に供給される。ファン５により大気がフィルタ10を通して外部管３に送られその大気がヒータ４により加熱されて外部管３内を液化ガス源１側へ流れる。外部管３の中を流れる加熱された大気の方向は気化ガスの流れる方向と逆である。
【００１５】熱電対６の温度が例えば２４℃となるようにＰＩＤ温度制御器７により，ヒータ４に供給するパワーを制御する。この温度はクリーンルームの空調温度でもある。熱電対６の温度は２４℃より若干高めになるように設定しておいてもよい。このようにして，気化ガス供給管２中を通る四塩化ケイ素の温度は，少なくとも２４℃に保たれ，再液化することが防止される。気化ガス供給管２中を通る四塩化ケイ素の圧力も安定に保たれる。」
　
７．甲第１３号証
甲１３ａ：「【０００１】
【産業上の利用分野】　本発明は、半導体製造装置等の産業用製造装置で使用されるガス供給装置に関し、さらに詳細には、複数種類のガスを供給する複数のガス供給装置を集積させてコンパクト化可能なガス供給集積ユニットに関するものである。」
　
甲１３ｂ：「【００１５】
【実施例】 以下、本発明を具体化した一実施例であるガス供給集積ユニットについて、図面を参照して説明する。図４は、ガス供給集積ユニットの構成を示す回路図である。この回路図は、後述する発明の効果を明らかにするために、従来と同じ回路を使用している。供給ガスである腐食性ガスＦの配管は、供給または遮断を行うための手動弁１８に接続している。また、手動弁１８は、腐食性ガスＦのガス圧を調整するためのレギュレータ１７に接続している。また、レギュレータ１７は、腐食性ガスＦの混入不純物を除去するためのフィルタ１５に接続している。一方、レギュレータ１７とフィルタ１５との間には、腐食性ガスＦの圧力をモニターするための圧力計１６が接続されている。」
　
第７　当審の判断
１．特許法第２９条第１項第３号及び第２項について
（１）請求項１について
ア　甲第１号証
　甲第１号証には、上記甲第１号証の記載事項甲１ａ乃至甲１ｎを総合すると、以下の発明（以下、「甲１ａ発明」という。）が記載されていると認められる。
　「液体の形で容器に貯蔵されているガスからガスを供給する装置であって、容器バルブ、ゴム管及び排出管が接続された容器と、容器が収容されている可動のコンテナーと、可動のコンテナー内で容器を閉じ込めるカプセルと、容器が置かれる穴の開いた床板と、該床板の下方の空間に配置されたヒーターとを有し、ヒーターにより加熱された空気は、床板に開いた穴を通過し、容器をなでるように上方に流れて容器に接触して加熱するように構成された、ガスを供給する装置。」
　
イ　対比
　本件発明１と甲１ａ発明を対比する。
（ア）　甲１ａ発明の「液体の形で容器に貯蔵されているガスからガスを供給する装置」及び「ガスを供給する装置」は、本件発明１の「液化状体からガスを配給するシステム」及び「ガス配給システム」にそれぞれ相当する。
（イ）　甲１ａ発明の「容器バルブ、ゴム管及び排出管」は容器からガスを送出するための手段であるから、本件発明１の「ガスが引かれるガスライン」に相当する。
（ウ）　甲１ａ発明の「容器」及び「可動のコンテナー」は、本件発明１の「圧縮液化ガスシリンダー」及び「ガスシリンダーキャビネット」にそれぞれ相当する。
（エ）　下記４．（３）に詳述するように、本件発明１の「環境」とは、本件特許明細書の【００２９】によれば「ガスシリンダーを囲む雰囲気」のことである。
　また、本件発明１の「環境温度」の定義は本件特許明細書には記載されていないので、「環境温度」とはその文言通り、「環境」の「温度」のことであると認められる。そして、「環境」が加熱される場合には、加熱された「環境」の「温度」が「環境温度」であると認められる。
　したがって、甲１ａ発明の「カプセル」の内側は、本件発明１の「環境」に相当する。また、甲１ａ発明のヒーターにより加熱された空気の温度が、本件発明１の「環境温度」に相当する。
（オ）　本件特許明細書の【００３３】の「伝熱速度は、（１）総合伝熱係数，（２）伝熱に有効な表面領域，（３）環境とガスシリンダーとの間の温度差により支配される。」との記載から、本件発明１の「伝熱速度」は「環境とガスシリンダーとの間の温度差により支配される」ものであり、また、温度差が大きければ熱が伝わる速度が増加することは技術常識であるから、本件発明１の「伝熱速度増加手段」には、環境とガスシリンダーとの間の温度差を大きくする手段も含まれることは明らかである。
　そして、甲１ａ発明の、可動のコンテナー内で容器を閉じ込めるカプセルと、容器が置かれる穴の開いた床板と、該床板の下方の空間に配置されたヒーターとを有し、ヒーターにより加熱された空気は、床板に開いた穴を通過し、容器をなでるように上方に流れて容器に接触して加熱する構成も、容器を加熱するカプセル内の空気をヒーターで加熱して、容器と空気との温度差を大きくしていることは明らかであるから、前記構成は、本件発明１の「伝熱速度増加手段」に相当する。
（カ）　甲１ａ発明において、容器内の液体温度とカプセル内の温度のいずれが高いか甲第１号証に明確には記載されていないが、甲１ａ発明ではカプセル内の空気を加熱してその熱で容器内の液体を加熱しているのであるから、容器内の液体の温度がカプセル内の空気の温度を超えないことは明らかである。
（キ）　甲１ａ発明の「穴」は、本件発明１の「開口」に相当する。そして、甲１ａ発明では「穴」の数は限定されていないが、「１若しくはそれ以上」であることは明らかである。
（ク）　甲１ａ発明のカプセル内の空気は、本件発明１の「伝熱ガス」に相当する。
　
　したがって、両発明は
「液化状態からガスを配給するシステムであつて、(a) ガスが引かれるガスラインを有する圧縮液化ガスシリンダーと、(b) ガスシリンダーが収容されているガスシリンダーキャビネットと、(C) ガスシリンダー内の液体温度が環境温度を超えないで、環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する伝熱速度増加手段とを備え、
　伝熱速度増加手段は、ガスシリンダーキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口と、伝熱ガスが１若しくはそれ以上の開口を通るようにする手段とを備えたガス配給システム。」（以下、「一致点ａ」という。）
で一致し、差異はない。
　
ウ　むすび
　したがって、本件発明１は甲第１号証に記載されているから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、同第１項の規定により、特許を受けることができない。
　
（２）請求項２について
ア　本件発明２
　本件発明２は、本件発明１に「(d) ガスシリンダーから引かれるガスの減圧手段と、(e) 減圧手段の上流に置かれている、ガスシリンダーから引かれたガスを過熱する手段と、をさらに備えた」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明２と甲１ａ発明を対比すると、両発明は上記一致点ａで一致し、以下の点で相違する。
相違点１：本件発明２は、(d)ガスシリンダーから引かれるガスの減圧手段と、(e)減圧手段の上流に置かれている、ガスシリンダーから引かれたガスを過熱する手段と、をさらに備えるのに対して、甲１ａ発明は、これらの手段を備えるか不明な点。
　
ウ　判断
　上記相違点１について検討する。
　まず、本件発明２の「減圧手段」について、本件特許明細書には「【０００９】典型的なガス配給システムでは、シリンダーを離れた後、ガスが通過する最初の構成要素は、圧力調整器やオリフィスなどの減圧装置である。しかし、比較的低い蒸気圧を有する材料（ＷＦ６，ＢＣｌ３，ＨＦ，ＳｉＨ２Ｃｌ２など）を含むシリンダーでは、調整器は適切ではない。この場合、第一の構成要素はバルブとすることができる。」と記載されているから、バルブ及び弁は本件発明２の「減圧手段」に含まれる。
　そして、甲第４号証に記載された「マスフローコントローラ」は、その「出口側圧力は入口側圧力より低くなって」（【００１１】）おり、また、一般にマスフローコントローラは流量制御弁を備える構造であるから、本件発明２の「減圧手段」に相当する。
　また、甲第４号証に記載された「ヒータ」は、ガスが液化することを防止するためにボンベ内温度より配管内温度を高くするためのものであるから（【０００３】）、本件発明２の「ガスを過熱する手段」に相当する。
　
　また、甲第１０号証に記載された「ガス流路の断面積が急激に増大する部位」（【請求項１】）とは、「【００１０】ところで、バルブ、レギュレータ、マスフローコントローラなどの各部品は、いずれも断面積が急激に変化（増大）する通路部分を含んでおり、常温で供給されるガスに対して断熱膨張による温度低下が生じるために凝縮を生じ、材料の腐食や流量、流速、圧力などを安定に制御することができなくなる。」との記載から明らかなとおり、本件発明２の「減圧手段」に相当する。
　また、甲第１０号証に記載された「加熱手段」は、「【００２６】【作用】上記した手段によれば、通路の断面積が急激に大きくなることに起因して生じるガスの凝縮は、通路断面積が急激に変化する位置より前で加熱することにより、断熱膨張によるガスの温度低下を防止することができる。」との記載から明らかなとおり、本件発明２の「ガスを過熱する手段」に相当する。
　
　また、甲第１１号証に記載された「質量流量計付電磁弁」は「弁」の一種であるから、本件発明２の「減圧手段」に相当する。
　また、甲第１１号証に記載された「棒状ヒータ」は、「入力ブロックに埋設された棒状ヒータは、質量流量計付電磁弁の入力ポートと接続する入力ブロックを加熱保温して、液化しやすい気体を気化温度以上の所定の温度に保持する。また、出力ブロックに埋設された棒状ヒータは、質量流量計付電磁弁の出力ポートと接続する出力ブロックを加熱保温して、液化しやすい気体を気化温度以上の所定の温度に保持する。」（【００１０】）との記載から明らかなとおり、本件発明２の「ガスを過熱する手段」に相当する。
　
　そして、甲第１号証、甲第４号証、甲第１０号証及び甲第１１号証に記載された発明はいずれもガス配給システムという同一の技術分野に属し、それぞれの上記各構成要素の目的も、甲１ａ発明にも内在していることは明らかであるから、甲第４号証に記載された上記の「マスフローコントローラ」及び「ヒータ」、甲第１０号証に記載された上記の「ガス流路の断面積が急激に増大する部位」及び「加熱手段」並びに甲第１１号証に記載された上記の「質量流量計付電磁弁」及び「棒状ヒータ」はいずれも本件発明２の「減圧手段」及び「ガスを過熱する手段」に相当し、これら各手段のいずれかを甲１ａ発明に適宜適用することは当業者が容易になし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明２は甲第１号証並びに甲第４号証、甲第１０号証及び甲第１１号証の内のいずれかに記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（３）請求項３について
ア　本件発明３
　本件発明３は、本件発明２に「(f) 伝熱速度増加手段と過熱手段を統合可能に制御して、ガスシリンダーの圧力と温度、及び減圧手段の上流にあるガスシリンダーから引かれるガスを過熱する度合を制御できるようにする手段、をさらに備えた」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明３と甲１ａ発明を対比すると、両発明は上記一致点ａで一致し、以下の点で相違する。
相違点１’：本件発明３は、(d)ガスシリンダーから引かれるガスの減圧手段と、(e)減圧手段の上流に置かれている、ガスシリンダーから引かれたガスを過熱する手段と、を備え、さらに(f) 伝熱速度増加手段と過熱手段を統合可能に制御して、ガスシリンダーの圧力と温度、及び減圧手段の上流にあるガスシリンダーから引かれるガスを過熱する度合を制御できるようにする手段、を備えるのに対して、甲１ａ発明は、このような手段を備えていない点。
　
ウ　判断
　上記相違点１’について検討する。
　上記相違点１’の「(d)ガスシリンダーから引かれるガスの減圧手段と、(e)減圧手段の上流に置かれている、ガスシリンダーから引かれたガスを過熱する手段と」の構成に関する判断については、上記（２）ウのとおりである。
　そして、複数の制御対象を共通の制御手段を用いて統合可能に制御することは、制御手段の共通化や装置の小型化等を目的として一般に行なわれることであるから、過熱手段について、伝熱速度増加手段と過熱手段を統合可能に制御して、ガスシリンダーの圧力と温度、及び減圧手段の上流にあるガスシリンダーから引かれるガスを過熱する度合を制御できるようにする手段、を備えることは、当業者が必要に応じて適宜なし得たことである。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明３は甲第１号証並びに甲第４号証、甲第１０号証及び甲第１１号証の内のいずれかに記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（４）請求項４について
ア　本件発明４
　本件発明４は、本件発明１に「伝熱ガスは、空気又は不活性ガスである」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明４と甲１ａ発明を対比すると、甲１ａ発明のカプセル内の気体は「空気」である点は、本件発明４の「伝熱ガスは、空気又は不活性ガスである」に相当する。
　よって、両発明は上記一致点ａの他に、伝熱ガスは空気である点で一致し、差異はない。
　
ウ　むすび
　したがって、本件発明４は甲第１号証に記載されているから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、同第１項の規定により、特許を受けることができない。
　
（５）請求項５について
ア　本件発明５
　本件発明５は、本件発明１に「ガスキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口は、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットを備えている」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明５と甲１ａ発明を対比すると、両発明は上記一致点ａで一致し、以下の点で相違する。
相違点２：本件発明５では、ガスキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口は、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットを備えているのに対して、甲１ａ発明では、穴の詳細が不明な点。
　
ウ　判断
　上記相違点２について検討する。
　空気を通すことが可能な開口としてプレナム板又はスリットは周知の事項に過ぎないから、甲１ａ発明において、穴が１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットを備えるようにすることは当業者が容易になし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明５は甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（６）請求項６について
ア　本件発明６
　訂正後の請求項６は請求項１を引用しているが、第１回口頭審理において、訂正後の請求項６は引用する請求項が「請求項５」であったのを間違って記載した明らかな誤記である旨の陳述が被請求人からなされ、請求人もこれを認め、請求項６の当該事項は誤記であるのは明らかなので、以下、訂正後の請求項６は請求項５を引用するものとして判断する。
　本件発明６は、本件発明５に「１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットは、伝熱ガスの流れ方向を定めるためのフィンを備えている」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明６と甲１ａ発明を対比すると、両発明は上記一致点ａで一致し、上記相違点２に加えて以下の点で相違する。
相違点３：本件発明６では、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットは、伝熱ガスの流れ方向を定めるためのフィンを備えているのに対して、甲１ａ発明では、穴の詳細が不明な点。
　
ウ　判断
　上記相違点３について検討する。
　上記（５）のとおり、空気を通すことが可能な開口としてプレナム板又はスリットは周知の事項に過ぎず、また、空気の流れ方向を定めるためのフィンも周知の事項に過ぎないから、甲１ａ発明において、穴が１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットを備えるように構成する際に、伝熱ガスの流れ方向を定めるためのフィンを備えるようにすることは当業者が必要に応じて適宜なし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明６は甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（７）請求項７について
ア　本件発明７
　訂正後の請求項７は請求項１を引用しているが、第１回口頭審理において、訂正後の請求項７は引用する請求項が「請求項５」であったのを間違って記載した明らかな誤記である旨の陳述が被請求人からなされ、請求人もこれを認め、請求項７の当該事項は誤記であるのは明らかなので、以下、訂正後の請求項７は請求項５を引用するものとして判断する。
　本件発明７は、本件発明５に「伝熱速度増加手段は、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットの温度を環境温度よりも高い値に電気的に制御する手段をさらに備えた」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明７と甲１ａ発明を対比すると、両発明は上記一致点ａで一致し、上記相違点２に加えて以下の点で相違する。
相違点４：本件発明７では、伝熱速度増加手段が、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットの温度を環境温度よりも高い値に電気的に制御する手段を備えるのに対して、甲１ａ発明では、このような手段を備えていない点。
　
ウ　判断
　上記相違点４について検討する。
　上記相違点４に係る手段は、請求人の挙げた甲各号証には記載されていないし、当業者にとって自明の事項であるともいえない。
　請求人は訂正後の請求項７に対応する訂正前の請求項８に関して、「プレナム板又はスリットに、これらの温度を電気的に制御する手段を設けることは、当業者であれば容易に想到し得る構成であり、格別の困難性は存在しない。また、プレナム板又はスリットの温度を環境温度よりも高い値とすることは設計事項にすぎない。したがって、相違点７に係る構成は、容易に想到し得る構成である。」（審判請求書６６頁）と主張している。
　しかしながら、請求人は、「相違点７に係る構成は、容易に想到し得る構成である」ことの根拠となる公知文献や周知技術をなんら提示していない。そして、甲１ａ発明においては、ヒーターによって空気を加熱して、空気が開口を介して容器をなでるように上方に流れて容器に接触して加熱するものであり、甲１ａ発明の「ヒーター」が本件発明７の「伝熱速度増加手段」に相当し、以下同様に「空気の温度」が「環境温度」に、そして「開口」が「プレナム板」又は「スリット」に相当するが、甲１ａ発明においては、「ヒーター」により「開口」が加熱されることがあるとしても、「開口」を「空気」よりも高い温度となるように電気的に制御することについては、その課題も構成も甲第１号証には記載されていない。
　したがって、「プレナム板又はスリットに、これらの温度を電気的に制御する手段を設けることは、当業者であれば容易に想到し得る構成であり、格別の困難性は存在しない。」や、「プレナム板又はスリットの温度を環境温度よりも高い値とすることは設計事項にすぎない。」とは認められない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明７は甲各号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
（８）請求項８について
ア　本件発明８
　本件発明８は、本件発明１に「伝熱速度増加手段は、空気の流れを実質的に液体−蒸気界面に相当するガスシリンダー上の位置に向けることができる」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明８と甲１ａ発明を対比すると、両発明は上記一致点ａで一致し、以下の点で相違する。
相違点５：本件発明８では、伝熱速度増加手段は、空気の流れを実質的に液体−蒸気界面に相当するガスシリンダー上の位置に向けることができるのに対して、甲１ａ発明では、空気は床板に開いた穴を通過し、容器をなでるように上方に流れる点。
　
ウ　判断
　上記相違点５について検討する。
　上記相違点５に係る点は、請求人の挙げた甲各号証には記載されていないし、当業者にとって自明の事項であるともいえない。
　請求人は訂正後の請求項８に対応する訂正前の請求項９に関して、「甲第１号証には、ヒーターにより加熱された空気が穴の開いた床板を通過し、容器と容器との間を上方に向かって容器をなでるように流れることが開示されている（７−３−１−１サ）。このように、加熱された空気が上方に向かって容器をなでるように流れることから、液体−蒸気界面の高さが上下方向に変動した場合であっても、空気の流れを実質的に液体−蒸気界面に相当する容器上の位置に向けることができると解する。従って、相違点８に係る構成は、甲第１号証の記載に基づいて容易に想到し得る構成である。」（審判請求書６７頁）と主張している。
　しかしながら、甲第１号証に記載された発明では、加熱された空気の流れは、対流により上昇しているに過ぎないから、実質的に液体−蒸気界面に相当する容器上の位置に向けられているものとは認められない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明８は甲各号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
（９）請求項９について
ア　本件発明９
　本件発明９は、本件発明１に「伝熱速度増加手段は、一又はそれ以上の放射パネルヒーターを備えた」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明９と甲１ａ発明を対比すると、両発明は上記一致点ａで一致し、以下の点で相違する。
相違点６：本件発明９では、伝熱速度増加手段は、一又はそれ以上の放射パネルヒーターを備えるのに対して、甲１ａ発明では、ヒーターの詳細が不明な点。
　
ウ　判断
　上記相違点６について検討する。
　ヒーターの種類として放射パネルヒーターは周知の事項であるから、甲１ａ発明において、ヒーターを放射パネルヒーターとすることは当業者が容易になし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明９は甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（１０）請求項１０について
ア　本件発明１０
　本件発明１０は、本件発明１に「伝熱速度増加手段は、ガスシリンダーの下に置かれたヒーターを備えた」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明１０と甲１ａ発明を対比すると、甲１ａ発明はの容器の下に置かれたヒーターは、本件発明１０のガスシリンダーの下に置かれたヒーターに相当する。
　したがって、両発明は上記一致点ａの他に、伝熱速度増加手段は、ガスシリンダーの下に置かれたヒーターを備える点で一致し、両発明に差異はない。
　
ウ　むすび
　したがって、本件発明１０は甲第１号証に記載されているから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、同第１項の規定により、特許を受けることができない。
　
（１１）請求項１１乃至１３について
ア　本件発明１１
　本件発明１１は、本件発明１０に「ガスシリンダーの下に置かれたヒーターは、加熱されるスケールカバーで、このスケールカバーは、頂部面と、底部面と、上記頂部面と底部面との間に形成された中空部内に置かれた加熱要素とを備えた」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明１１と甲１ａ発明を対比すると、両発明は上記一致点ａ及び上記（１０）イで挙げた点で一致し、以下の点で相違する。
相違点７：本件発明１１では、ガスシリンダーの下に置かれたヒーターは、加熱されるスケールカバーで、このスケールカバーは、頂部面と、底部面と、上記頂部面と底部面との間に形成された中空部内に置かれた加熱要素とを備えたのに対して、甲１ａ発明では、ヒーターの詳細が不明な点。
　
ウ　判断
　上記相違点７について検討する。
　上記相違点７に係る構成は、請求人の挙げた甲各号証には記載されていないし、当業者にとって自明の事項であるともいえない。
　請求人は訂正後の請求項１１に対応する訂正前の請求項１２に関して、
「甲第９号証には、ロードセル１９と、ロードセル上に設けられた加圧板機構２３とが開示されている。また、加圧板機構２３は、上面を構成する加圧板本体２４と、下面を構成する支持板２５とを有しており、加圧板本体２４と支持板２５とが、仲介部材２６を介して上下に所要の間隔を置いて対向配置されており、加圧板本体２４と支持板２５との間には加熱手段２７が設けられている構成が開示されている（７−３−９−２）。
　そして、甲第９号証の「ロードセル１９」が本件特許発明１２の「スケール」に対応するものである。また、甲第９号証の「加圧板機構２３」が本件特許発明１２の「スケールカバー」に対応するものである。さらに、「加圧板本体２４」が「上面」に、「支持板２５」が「下面」に、「加圧板本体２４と支持板２５との間の、上下方向の所要の間隔」た「上記上下面間に形成された中空部」に、「加熱手段２７」が「加熱要素」に、それぞれ対応するものである。
　ここで、甲第９号証の「加圧板機構２３」を「ロードセル１９」を完全に覆うように構成することは、当業者であれば容易に相当し得るものである。従って、相違点１１に係る構成は、甲第９号証の記載に基づいて容易に想到し得る構成である。」（審判請求書６９−７０頁）
と主張している。
　しかしながら、甲第９号証に記載された「加圧板機構」は、「【０００５】
【作用】このように構成された接着設備の動作について説明すると、熱可塑性樹脂を介在させたウエハーおよび取付け板を、加圧板機構と受圧板機構との間にセットしたのち、加圧板機構および受圧板機構の表面付近を加熱手段により所定温度に加熱して熱可塑性樹脂を溶解させ、かつ、３個のロードセルを介してウエハーおよび取付け板の平行度を検知しながら、ウエハー等を加圧板機構と受圧板機構とで加圧し、加圧完了後、熱可塑性樹脂を冷却手段により冷却して固化する。これにより、熱可塑性樹脂を介してシリコンウエハーと取付け板を接着することが出来る。」との記載から理解されるとおり、「熱可塑性樹脂を介してシリコンウエハーと取付け板を接着する」ための「加圧板機構」である。そして、甲１ａ発明の技術分野と相違する甲第９号証記載のこの「加圧板機構」の構成を、甲１ａ発明の「ヒーター」の構成として採用するための課題については、いずれの甲各号証にも記載されておらず、周知の課題であるとも言えない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明１１は甲各号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。また、本件発明１１にさらに発明特定事項を追加した本件発明１２及び１３も、甲各号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
（１２）請求項１４について
ア　本件発明１４
　本件発明１４は、本件発明２に「過熱手段は、加熱されるガスフィルター又は加熱される清浄器を備えた」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明１４と甲１ａ発明を対比すると、両発明は上記一致点ａで一致し、上記相違点１に加えて以下の点で相違する。
相違点８：本件発明１４では、過熱手段は、加熱されるガスフィルター又は加熱される清浄器を備えるのに対して、甲１ａ発明では、このような手段を備えない点。
　
ウ　判断
　上記相違点８について検討する。
　上記（２）ウに記載したとおり、甲第１０号証に記載された「ガス流路の断面積が急激に増大する部位」及び「加熱手段」は、本件発明１４すなわち請求項１４が引用する請求項２に係る発明における「ガスを減圧する手段」及び「過熱手段」にそれぞれ相当する。
　また、甲第１０号証には、「ガス流路の断面積が急激に増大する部位」としてフィルタが挙げられており（【実施例２】）、このフィルタが本件発明１４の加熱されるガスフィルターに相当する。
　そして、甲第１号証及び甲第１０号証に記載された発明はともにガス配給システムという同一の技術分野に属するから、甲第１０号証に記載された「フィルタ」及び「加熱手段」を甲１ａ発明に適用することは当業者が容易になし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明１４は甲第１号証及び甲第１０号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（１３）請求項１５について
ア　本件発明１５
　本件発明１５は、本件発明２に「過熱手段は、ガスラインと接触しているヒーターを備えている」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明１５と甲１ａ発明を対比すると、両発明は上記一致点ａで一致し、上記相違点１に加えて以下の点で相違する。
相違点９：本件発明１５では、過熱手段は、ガスラインと接触しているヒーターを備えているのに対して、甲１ａ発明では、このような手段を備えない点。
　
ウ　判断
　上記相違点９について検討する。
　上記請求項２についての判断の（２）ウにおいて検討したように、甲第４号証に記載された「マスフローコントローラ」及び「ヒータ」は、本件発明１５すなわち請求項１５が引用する請求項２に係る発明における「ガスを減圧する手段」および「過熱手段」にそれぞれ相当する。
　また、甲第４号証には、配管にヒーターを巻いて配管内温度を高くすることが記載されており（【０００３】）、このヒーターが本件発明１５のガスラインと接触しているヒーターに相当する。
　そして、甲第１号証及び甲第４号証に記載された発明はともにガス配給システムという同一の技術分野に属するから、甲第４号証に記載されたマスフローコントローラ及び配管に巻くヒーターを甲１ａ発明に適用することは当業者が容易になし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明１５は甲第１号証および甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（１４）請求項１６について
ア　本件発明１６
　本件発明１６は、本件発明１５に「ガスラインと接触しているヒーターは、電気的な加熱タイプである」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明１６と甲１ａ発明を対比すると、両発明は上記一致点ａで一致し、上記相違点１及び９に加えて以下の点で相違する。
相違点１０：本件発明１６では、ガスラインと接触しているヒーターは、電気的な加熱タイプであるのに対して、甲１ａ発明では、このようなヒーターを有していない点。
　
ウ　判断
　上記相違点９及び１０について検討する。
　上記（１３）ウに記載したとおり、甲１ａ発明に甲第４号証に記載された「ヒータ」を適用することは当業者が容易になし得たことである。そして、甲第４号証に記載されたヒーターは、配管に巻きつけて温調するタイプのヒーターであり、電気的に加熱するタイプのヒーターであるか、少なくともヒータとして電気的な加熱タイプは周知の事項であるから、甲第４号証に記載された「ヒータ」を甲１ａ発明に適用する際に、電気的な加熱タイプを採用して適用することは当業者が必要に応じて適宜なし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明１６は甲第１号証および甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（１５）請求項１７について
ア　本件発明１７
　本件発明１７は、本件発明２に「過熱手段は、空気を加熱する手段と、ガスラインの一部分に接続して、加熱される空気を吹き込む手段をさらに備えた」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明１７と甲１ａ発明を対比すると、両発明は上記一致点ａで一致し、上記相違点１に加えて以下の点で相違する。
相違点１１：本件発明１７では、過熱手段は、空気を加熱する手段と、ガスラインの一部分に接続して、加熱される空気を吹き込む手段をさらに備えるのに対して、甲１ａ発明ではこのような過熱手段を有していない点。
　
ウ　判断
　上記相違点１１について検討する。
　甲第１２号証に記載された「大気」、「ヒータ」及び「ファン」は、本件発明１７の「空気」、「空気を加熱する手段」及び「加熱される空気を吹き込む手段」にそれぞれ相当する。
　そして、甲第１号証、甲第４号証及び甲第１２号証に記載された発明はいずれもガス配給システムという同一の技術分野に属するから、甲１ａ発明に過熱手段を適用する際に、甲第１２号証に記載された「ヒータ」及び「ファン」からなる構成を採用することは当業者が容易になし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明１７は甲第１号証、甲第４号証及び甲第１２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（１６）請求項１８について
ア　本件発明１８
　本件発明１８は、本件発明２に「過熱手段は、ガス入口、ガス出口、バルブを開閉するアクチュエータ、及びバルブと熱接触するヒーターとを備えた、加熱されるバルブをさらに具備した」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明１８と甲１ａ発明を対比すると、両発明は上記一致点ａで一致し、上記相違点１に加えて以下の点で相違する。
相違点１２：本件発明１８では、過熱手段は、ガス入口、ガス出口、バルブを開閉するアクチュエータ、及びバルブと熱接触するヒーターとを備えた、加熱されるバルブをさらに具備するのに対して、甲１ａ発明では、このようなバルブを備えない点。
　
ウ　判断
　上記相違点１２について検討する。
　上記請求項２についての判断の（２）ウにおいて検討したように、甲第１１号証に記載された「質量流量計付電磁弁」及び「棒状ヒータ」は、本件発明１８すなわち請求項１８が引用する請求項２に係る発明における「ガスを減圧する手段」および「過熱手段」にそれぞれ相当する。
　また、甲第１１号証に記載された「質量流量計付電磁弁」がガス入口、ガス出口及び弁を開閉するアクチュエータを備えることは明らかである。
　そして、甲第１号証および甲第１１号証に記載された発明はともに液化ガスの制御配給システムという同一の技術分野に属するから、甲第１１号証に記載された「質量流量計付電磁弁」及び「棒状ヒータ」を甲１ａ発明に適用することは当業者が容易になし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明１８は甲第１号証及び甲第１１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（１７）請求項１９について
ア　本件発明１９
　本件発明１９は、本件発明１８に「加熱されるバルブは、ブロックバルブである」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明１９と甲１ａ発明を対比すると、両発明は上記一致点ａで一致し、上記相違点１及び１２に加えて以下の点で相違する。
相違点１３：本件発明１９では、加熱されるバルブはブロックバルブであるのに対して、甲１ａ発明では、このようなバルブを備えない点。
　
ウ　判断
　上記相違点１３について検討する。
　上記（１６）ウで検討したように、甲第１１号証に記載された「質量流量計付電磁弁」及び「棒状ヒータ」を甲１ａ発明に適用することは当業者が容易になし得たことであり、その実施化の際には、採用するバルブの形式として種々の用途に用いられる周知のブロックバルブを採用することは当業者が必要に応じて適宜なし得た事項である。また、ブロックバルブを採用することによる格別の効果も見出せない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明１９は甲第１号証及び甲第１１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（１８）請求項２０について
ア　本件発明２０
　本件発明２０は、本件発明１８に「加熱されるバルブは、更に第二のガス入口を備え、ここを通ってパージガスがバルブ内に入ることができるようになっている」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明２０と甲１ａ発明を対比すると、両発明は上記一致点ａで一致し、上記相違点１及び１２に加えて以下の点で相違する。
相違点１４：本件発明２０では、加熱されるバルブは、更に第二のガス入口を備え、ここを通ってパージガスがバルブ内に入ることができるようになっているのに対して、甲１ａ発明では、このようなバルブを備えない点。
　
ウ　判断
　上記相違点１４について検討する。
　甲第１１号証に記載された「連通路」及び「パージ用の窒素ガス」は本件発明２０の「第二のガス入り口」及び「パージガス」にそれぞれ相当する。そして、甲第１１号証に記載された「質量流量計付電磁弁」を甲１ａ発明に適用する際に、上記の「連通路」を形成してパージ用の窒素ガスを質量流量計付電磁弁に入るよう構成することは当業者が必要に応じて適宜なし得たことである。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明２０は甲第１号証及び甲第１１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（１９）請求項２１について
ア　本件発明２１
　本件発明２１は、本件発明１８に「加熱されるバルブは、これに接続された圧力測定装置をさらに備えた」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明２１と甲１ａ発明を対比すると、両発明は上記一致点ａで一致し、上記相違点１及び１２に加えて以下の点で相違する。
相違点１５：本件発明２１では、加熱されるバルブは、これに接続された圧力測定装置をさらに備えたのに対して、甲１ａ発明では、このようなバルブを備えない点。
　
ウ　判断
　上記相違点１５について検討する。
　甲第１３号証に記載された「圧力計」は本件発明２１の「圧力測定装置」に相当する。そして、甲第１３号証の「圧力計」はマスフローコントローラーに供給するガスの圧力を確認するものとして周知の手段であり、甲第１１号証に記載された「質量流量計付電磁弁」はマスフローコントローラーでもあるから、これを甲１ａ発明に適用する際に、上記の周知の「圧力計」を付加することは当業者が必要に応じて適宜なし得たことである。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明２１は甲第１号証、甲第１１号証及び甲第１３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（２０）請求項２２について
ア　本件発明２２
　本件発明２２は、本件発明１８に「ヒーターは、自己調整型ヒーターと、抵抗型ヒーターと、カートリッジヒーターとからなる群から選択される」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明２２と甲１ａ発明を対比すると、両発明は上記一致点ａで一致し、上記相違点１及び１２に加えて以下の点で相違する。
相違点１６：本件発明２２では、ヒーターは、自己調整型ヒーターと、抵抗型ヒーターと、カートリッジヒーターとからなる群から選択されるのに対して、甲１ａ発明では、このようなヒーターを備えない点。
　
ウ　判断
　上記相違点１６について検討する。
　甲第１１号証に記載された「棒状ヒータ」は入力ブロック及び出力ブロックにそれぞれ穿設されたヒータ孔に装着されるものであるから、本件発明２２の「カートリッジヒーター」に相当する。また、「自己調整型ヒーター」及び「抵抗型ヒーター」はいずれも種々の用途に用いられる周知のヒーターの一種に過ぎない。そして、甲第１１号証に記載された「質量流量計付電磁弁」を甲１ａ発明に適用する際に、自己調整型ヒーターと、抵抗型ヒーターと、カートリッジヒーターとからなる群から選択されるヒーターを適用することは当業者が容易になし得たことである。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明２２は甲第１号証及び甲第１１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（２１）請求項２３について
ア　本件発明２３
　本件発明２３は、本件発明２２に「ヒーターはヒートトレースである」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明２３と甲１ａ発明を対比すると、両発明は上記一致点ａで一致し、上記相違点１及び１２に加えて以下の点で相違する。
相違点１６’：本件発明２３では、ヒーターは、自己調整型ヒーターと、抵抗型ヒーターと、カートリッジヒーターとからなる群から選択され、該ヒーターはヒートトレースであるのに対して、甲１ａ発明では、このようなヒーターを備えない点。
　
ウ　判断
　上記相違点１６’について検討する。
　上記（２０）ウのとおり、甲１ａ発明に甲第１１号証に記載された「質量流量計付電磁弁」及び「ヒーター」を適用することは当業者が容易になし得たことであり、その際のヒーターとして、自己調整型ヒーター、抵抗型ヒーター、カートリッジヒーター等の電気ヒーターにおいて自分自身で発熱量を制御するヒーターにおける周知の制御方法である「ヒートトレース」を選択することは当業者が必要に応じて適宜なし得たことである。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明２３は甲第１号証及び甲第１１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（２２）請求項２４について
ア　本件発明２４
　本件発明２４は、「半導体処理装置と請求項１に記載のガス配給システムとを備えた半導体処理システム。」である。
　
イ　対比
　本件発明２４と甲１ａ発明を対比すると、両発明は上記一致点ａで一致し、以下の点で相違する。
相違点１７：本件発明２４では、ガス配給システムと半導体処理装置とにより半導体処理システムを構成しているのに対して、甲１ａ発明では、ガス配給システムの用途が不明な点。
　
ウ　判断
　上記相違点１７について検討する。
　半導体処理装置とガス配給システムとを備えた半導体処理システムは甲第１０号証乃至甲第１３号証に記載されているように周知の事項であるから、甲１ａ発明のガス配給システムと半導体処理装置とにより半導体処理システムを構成することは当業者が容易になし得たことである。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明２４は甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（２３）請求項２５について
ア　甲第１号証
　甲第１号証には、上記甲第１号証の記載事項甲１ａ乃至甲１ｎを総合すると、以下の発明（以下、「甲１ｂ発明」という。）が記載されていると認められる。
　「液体の形で容器に貯蔵されているガスからガスを供給する方法であって、この方法は、液体の形でガスが貯蔵された、容器バルブ、ゴム管及び排出管が接続された容器を、可動のコンテナー内に設けられたカプセル内に組み込む工程と、カプセル内の空気を加熱することにより容器を加熱する工程とを備え、該容器を加熱する工程は、容器が置かれる穴の開いた床板の下方の空間に配置されたヒーターにより加熱された空気が前記床板に開いた穴を通過し、容器をなでるように上方に流れて容器に接触して加熱する、ガス供給方法。」
　
イ　対比
　本件発明２５と甲１ｂ発明を対比する。
（ア）　甲１ｂ発明の「液体の形で容器に貯蔵されているガスからガスを供給する方法」は、本件発明２５の「液化状体からガスを供給する方法」に相当する。
（イ）　甲１ｂ発明の「容器バルブ、ゴム管及び排出管」は容器からガスを送出するための手段であるから、本件発明２５の「ガスライン」に相当する。
（ウ）　甲１ｂ発明の「容器」及び「可動のコンテナー」は、本件発明２５の「ガスシリンダー」及び「ガスシリンダーキャビネット」にそれぞれ相当する。
（エ）　下記４．（３）に詳述するように、本件発明２５の「環境」とは、本件特許明細書の【００２９】によれば「ガスシリンダーを囲む雰囲気」のことであるから、甲１ｂ発明の容器を組み込まれた「カプセル」の内側は、本件発明２５の「環境」に相当する。
　また、本件発明２５の「環境温度」とは、本件特許明細書にはその定義がないので、「環境」の「温度」であると認められ、甲１ｂ発明のカプセル内の温度が、本件発明２５の「環境温度」に相当する。
（オ）　本件発明２５の「伝熱速度増加工程」とは、請求項１についての上記（１）イ（オ）での検討を参酌すれば、本件特許明細書の【００３３】の記載から、環境とガスシリンダーとの間の温度差を大きくする工程も含まれるから、甲１ｂ発明の、可動のコンテナー内で容器を組み込まれたカプセル内の空気をヒーターにより加熱し、該加熱された空気は、床板に開いた穴を通過し、容器をなでるように上方に流れて容器に接触して加熱する工程は、本件発明２５の「伝熱速度増加工程」に相当する。
（カ）　甲１ｂ発明において、容器内の液体温度とカプセル内の空気の温度のいずれが高いか甲第１号証に明確に記載されていないが、甲１ｂ発明ではカプセル内の空気を加熱してその熱で容器内の液体を加熱しているのであるから、容器内の液体の温度がカプセル内の空気の温度を超えないことは明らかである。
（キ）　甲１ｂ発明の「穴」は、本件発明２５の「開口」に相当する。そして、甲１ｂ発明では「穴」の数は限定されていないが、「１若しくはそれ以上」であることは明らかである。
（ク）　甲１ｂ発明のカプセル内の空気は、本件発明２５の「伝熱ガス」に相当する。
　
　したがって、両発明は
「液化状態からガスを供給する方法であって、この方法は、(a) ガスシリンダーキャビネットに収容され、ガスラインを有するガスシリンダー内に、圧縮液化ガスを供給する工程と、(b)ガスシリンダー内の液体温度を環境温度を超えることなく環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する伝熱速度増加工程とを備え、
伝熱ガスをガスキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口を通すことにより、伝熱速度を増加するガス供給方法。」（以下、「一致点ｂ」という。）
で一致し、差異はない。
　
ウ　むすび
　したがって、本件発明２５は甲第１号証に記載されているから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、同第１項の規定により、特許を受けることができない。
　
（２４）請求項２６について
ア　本件発明２６
　本件発明２６は、本件発明２５に「(c) ガスの膨脹前にガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程を更に備えた」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明２６と甲１ｂ発明を対比すると、両発明は上記（２３）の一致点ｂで一致し、以下の点で相違する。
　
相違点１８：本件発明２６では、ガスの膨脹前にガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程を備えるのに対して、甲１ｂ発明では、そのような工程を備えていない点。
　
ウ　判断
　上記相違点１８について検討する。
　甲第４号証に記載された「マスフローコントローラ」は、その「出口側圧力は入口側圧力より低くなって」（【００１１】）いるから、マスフローコントローラーを通過したガスはその圧力の低下に伴って膨張していることは明らかである。また、甲第４号証に記載されたヒータによりマスフローコントローラーへ入るガスを加熱する工程は、ガスが液化することを防止するためにボンベ内温度より配管内温度を高くするものであるから（【０００３】）、本件発明２６の「ガスの膨脹前にガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程」に相当する。
　
　また、甲第１０号証に記載された「ガス流路の断面積が急激に増大する部位」（【請求項１】）をガスが通ることは、「【００１０】ところで、バルブ、レギュレータ、マスフローコントローラなどの各部品は、いずれも断面積が急激に変化（増大）する通路部分を含んでおり、常温で供給されるガスに対して断熱膨張による温度低下が生じるために凝縮を生じ、材料の腐食や流量、流速、圧力などを安定に制御することができなくなる。」との記載から明らかなとおり、本件発明２６の「ガスの膨張」に相当する。
　また、甲第１０号証に記載された加熱手段によりガスを加熱する工程は、「【００２６】【作用】上記した手段によれば、通路の断面積が急激に大きくなることに起因して生じるガスの凝縮は、通路断面積が急激に変化する位置より前で加熱することにより、断熱膨張によるガスの温度低下を防止することができる。」との記載から明らかなとおり、本件発明２６の「ガスの膨脹前にガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程」に相当する。
　
　また、甲第１１号証に記載された「質量流量計付電磁弁」は「弁」の一種であるから、該弁を通過するガスは減圧されて膨張することは明らかである。
　そして、甲第１１号証に記載された棒状ヒータにより質量流量計付電磁弁を通過するガスを加熱する工程は、「入力ブロックに埋設された棒状ヒータは、質量流量計付電磁弁の入力ポートと接続する入力ブロックを加熱保温して、液化しやすい気体を気化温度以上の所定の温度に保持する。」（【００１０】）との記載から明らかなとおり、質量流量計付電磁弁を通過して膨張する前にガスの液化を防止するために過熱しているから、本件発明２６の「ガスの膨脹前にガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程」に相当する。
　
　そして、甲第１号証、甲第４号証、甲第１０号証及び甲第１１号証に記載された発明はいずれもガス供給方法という同一の技術分野に属するから、甲第４号証に記載された上記の「マスフローコントローラ」及び「ヒータ」、甲第１０号証に記載された上記の「ガス流路の断面積が急激に増大する部位」及び「加熱手段」並びに甲第１１号証に記載された上記の「質量流量計付電磁弁」及び「棒状ヒータ」のいずれかを適宜選択して甲１ｂ発明に適用して、ガスの膨脹前にガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程を更に備えることは当業者が容易になし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明２６は甲第１号証並びに甲第４号証、甲第１０号証及び甲第１１号証の内のいずれかに記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（２５）請求項２７について
ア　本件発明２７
　本件発明２７は、本件発明２６に「(d) 伝熱速度の増加と過熱工程を統合可能に制御して、ガスシリンダーの圧力と温度、及びガスの膨脹前にガスシリンダーから引かれるガスを過熱する度合を制御する工程を更に備えた」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明２７と甲１ｂ発明を対比すると、両発明は上記一致点ｂで一致し、上記相違点１８に加えて以下の点で相違する。
相違点１９：本件発明２７では、伝熱速度の増加と過熱工程を統合可能に制御して、ガスシリンダーの圧力と温度、及びガスの膨脹前にガスシリンダーから引かれるガスを過熱する度合を制御する工程を更に備えるのに対して、甲１ｂ発明では、そのような工程を備えていない点。
　
ウ　判断
　上記相違点１９について検討する。
　複数の制御対象を共通の制御手段を用いて統合可能に制御することは、制御手段の共通化や装置の小型化等を目的として一般に行なわれることであるから、甲１ｂ発明にガスの膨脹前にガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程を更に備える際に、伝熱速度の増加と過熱工程を統合可能に制御して、ガスシリンダーの圧力と温度、及びガスの膨脹前にガスシリンダーから引かれるガスを過熱する度合を制御する工程を更に備えることは、当業者が適宜なし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明２７は甲第１号証並びに甲第４号証、甲第１０号証及び甲第１１号証の内のいずれかに記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（２６）請求項２８について
ア　本件発明２８
　本件発明２８は、本件発明２５に「ガスはＮＨ3 ，ＡｓＨ3 ，ＢＣｌ3 ，ＣＯ2 ，Ｃｌ2 ，ＳｉＨ2 Ｃｌ2 ，Ｓｉ2 Ｈ6 ，ＨＢｒ，ＨＣｌ，ＨＦ，Ｎ2 Ｏ，Ｃ3 Ｆ8 ，ＳＦ6，ＰＨ3 ，及びＷＦ6 から選択される」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明２８と甲１ｂ発明を対比すると、両発明は上記一致点ｂで一致し、以下の点で相違する。
相違点２０：本件発明２８では、ガスはＮＨ3 ，ＡｓＨ3 ，ＢＣｌ3 ，ＣＯ2 ，Ｃｌ2 ，ＳｉＨ2 Ｃｌ2 ，Ｓｉ2 Ｈ6 ，ＨＢｒ，ＨＣｌ，ＨＦ，Ｎ2 Ｏ，Ｃ3 Ｆ8 ，ＳＦ6，ＰＨ3 ，及びＷＦ6 から選択されるのに対して、甲１ｂ発明では、ガスが特定されていない点。
　
ウ　判断
　上記相違点２０について検討する。
　液化して保管されたものを気化して供給し使用するガスの種類としてＮＨ3 ，ＡｓＨ3 ，ＢＣｌ3 ，ＣＯ2 ，Ｃｌ2 ，ＳｉＨ2 Ｃｌ2 ，Ｓｉ2 Ｈ6 ，ＨＢｒ，ＨＣｌ，ＨＦ，Ｎ2 Ｏ，Ｃ3 Ｆ8 ，ＳＦ6，ＰＨ3 ，及びＷＦ6 はいずれも周知の事項である。
　そして、甲１ｂ発明は液化して保管されたガスを気化して供給し使用する技術に関する発明であって、ガスの種類が特定されるものではないから、甲１ｂ発明においてガスとしてＮＨ3 ，ＡｓＨ3 ，ＢＣｌ3 ，ＣＯ2 ，Ｃｌ2 ，ＳｉＨ2 Ｃｌ2 ，Ｓｉ2 Ｈ6 ，ＨＢｒ，ＨＣｌ，ＨＦ，Ｎ2 Ｏ，Ｃ3 Ｆ8 ，ＳＦ6，ＰＨ3 ，及びＷＦ6 から選択されるものを採用することは当業者が適宜なし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明２８は甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（２７）請求項２９について
ア　本件発明２９
　本件発明２９は、本件発明２５に「伝熱ガスは、空気又は不活性ガスである」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明２９と甲１ｂ発明を対比すると、甲１ｂ発明のカプセル内の気体は「空気」である点は、本件発明２９の「伝熱ガスは、空気又は不活性ガスである」に相当する。
　よって、両発明は上記一致点ｂで一致し、さらに、伝熱ガスは空気である点で一致し、差異はない。
　
ウ　むすび
　したがって、本件発明２９は甲第１号証に記載されているから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、同第１項の規定により、特許を受けることができない。
　
（２８）請求項３０について
ア　本件発明３０
　本件発明３０は、本件発明２５に「１若しくはそれ以上の開口は、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットを備えている」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明３０と甲１ｂ発明を対比すると、両発明は上記一致点ｂで一致し、以下の点で相違する。
相違点２１：本件発明３０では、１若しくはそれ以上の開口は、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットを備えているのに対して、甲１ｂ発明では、穴の詳細が不明な点。
　
ウ　判断
　上記相違点２１について検討する。
　空気を通すことが可能な開口としてプレナム板又はスリットは周知の事項に過ぎないから、甲１ｂ発明において、穴が１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットを備えるようにすることは当業者が容易になし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明３０は甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（２９）請求項３１について
ア　本件発明３１
　本件発明３１は、本件発明３０に「伝熱速度増加工程は、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットの温度を環境温度よりも高い値に電気的に制御する工程をさらに備えている」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明３１と甲１ｂ発明を対比すると、両発明は上記一致点ｂで一致し、上記相違点２１の他に以下の点で相違する。
相違点２２：本件発明３１では、伝熱速度増加工程は、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットの温度を環境温度よりも高い値に電気的に制御する工程をさらに備えているのに対して、甲１ｂ発明ではこのような工程を備えていない点。
　
ウ　判断
　上記相違点２２について検討する。
　上記相違点２２に係る工程は、請求人の挙げた甲各号証には記載されていないし、当業者にとって自明の事項であるともいえない。
　請求人は訂正後の請求項３１に対応する訂正前の請求項３３に関して、「相違点３４は、上述した相違点７に対応するものである（７−４−８−２）。したがって、相違点３４に係る構成は、上記相違点７と同様に、容易に想到し得る構成である。」（審判請求書８８頁）と主張している。
　しかしながら、上記（７）請求項７についてと同様に、請求人は、根拠となる公知文献や周知技術はなんら提示していない。そして、「開口」を「空気」よりも高い温度となるように電気的に制御することについては、その課題も構成も甲第１号証には記載されていない。したがって、「プレナム板又はスリットに、これらの温度を電気的に制御する手段を設けることは、当業者であれば容易に想到し得る構成であり、格別の困難性は存在しない。」や、「プレナム板又はスリットの温度を環境温度よりも高い値とすることは設計事項にすぎない。」とは認められない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明３１は甲各号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
（３０）請求項３２について
ア　本件発明３２
　本件発明３２は、本件発明２５に「伝熱速度増加工程は、空気の流れを実質的に液体−蒸気界面に相当するガスシリンダー上の位置に向ける工程を備えている」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明３２と甲１ｂ発明を対比すると、両発明は上記一致点ｂで一致し、以下の点で相違する。
相違点２３：本件発明３２では、伝熱速度増加工程は、空気の流れを実質的に液体−蒸気界面に相当するガスシリンダー上の位置に向ける工程を備えているのに対して、甲１ｂ発明では、空気は床板に開いた穴を通過し、容器をなでるように上方に流れる点。
　
ウ　判断
　上記相違点２３について検討する。
　上記相違点２３に係る工程は、請求人の挙げた甲各号証には記載されていないし、当業者にとって自明の事項であるともいえない。
　請求人は訂正後の請求項３２に対応する訂正前の請求項３４に関して、「相違点３５は、上述した相違点８に対応するものである（７−４−９−２）。従って、相違点３５に係る構成は、上記相違点８と同様に、甲第１号証の記載に基づいて容易に想到し得る構成である。」（審判請求書８９頁）と主張している。
　しかしながら、上記（８）と同様に、甲１ｂ発明では、加熱された空気の流れは、対流により上昇しているに過ぎないから、実質的に液体−蒸気界面に相当する容器上の位置に向けられているものとは認められない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明３２は甲各号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
（３１）請求項３３について
ア　本件発明３３
　本件発明３３は、本件発明２５に「伝熱速度増加工程は、ガスキャビネット中に１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットを用意する工程を備え、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットは空気の流れ方向を決めるためのフィンを備えている」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明３３と甲１ｂ発明を対比すると、両発明は上記一致点ｂで一致し、以下の点で相違する。
相違点２４：本件発明３３では、伝熱速度増加工程は、ガスキャビネット中に１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットを用意する工程を備え、１若しくはそれ以上のプレナム板又はスリットは空気の流れ方向を決めるためのフィンを備えているのに対して、甲１ｂ発明では、このような工程を備えていない点。
　
ウ　判断
　上記相違点２４について検討する。
　空気を通すことが可能な開口としてプレナム板又はスリットは周知の事項に過ぎず、また、空気の流れ方向を定めるためのフィンも周知の事項に過ぎないから、甲１ｂ発明において、１若しくはそれ以上の穴としてプレナム板又はスリットを用意し、そのプレナム板又はスリットに伝熱ガスの流れ方向を定めるためのフィンを備えるようにすることは当業者が容易になし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明３３は甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（３２）請求項３４について
ア　本件発明３４
　本件発明３４は、本件発明２５に「伝熱速度増加工程は、一又はそれ以上の放射パネルヒーターを備え、該ヒーターでガスシリンダーを加熱する工程を備えた」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明３４と甲１ｂ発明を対比すると、両発明は上記一致点ｂで一致し、さらに、伝熱速度増加工程はヒーターを備える点で一致し、以下の点で相違する。
相違点２５：本件発明３４では、伝熱速度増加工程は、一又はそれ以上の放射パネルヒーターを備え、該ヒーターでガスシリンダーを加熱する工程を備えたのに対して、甲１ｂ発明では、ヒーターの詳細が不明な点。
　
ウ　判断
　上記相違点２５について検討する。
　放射パネルヒーターはヒーターの一種に過ぎないから、甲１ｂ発明において、ヒーターとして放射パネルヒーターを選択してガスシリンダーを加熱することは当業者が適宜なし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明３４は甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（３３）請求項３５について
ア　本件発明３５
　本件発明３５は、本件発明２５に「伝熱速度増加工程は、ガスシリンダーの下のヒーターでシリンダーを加熱する工程を備えた」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明３５と甲１ｂ発明を対比すると、両発明は上記一致点ｂで一致する。また、甲１ｂ発明では容器の下のヒーターで容器を囲む空気を加熱することにより、容器を加熱しているから、ヒーターで容器を加熱すると認められる。よって、本件発明３５と甲１ｂ発明とは差異がない。
　
ウ　むすび
　したがって、本件発明３５は甲第１号証に記載されているから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、同第１項の規定により、特許を受けることができない。
　
（３４）請求項３６、３７について
ア　本件発明３６
　本件発明３６は、本件発明３５に「ガスシリンダーの下に置かれたヒーターは、加熱されるスケールカバーで、このスケールカバーは、頂部面と、底部面と、上記頂部面と底部面との間に形成された中空部内に置かれた加熱要素とを備え、この方法は更にスケールでガスシリンダーの重量を測定する工程を備えた」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明３６と甲１ｂ発明を対比すると、両発明は上記一致点ｂで一致し、さらに上記（３３）イで指摘した点で一致し、以下の点で相違する。
相違点２６：本件発明３６では、ガスシリンダーの下に置かれたヒーターは、加熱されるスケールカバーで、このスケールカバーは、頂部面と、底部面と、上記頂部面と底部面との間に形成された中空部内に置かれた加熱要素とを備え、この方法は更にスケールでガスシリンダーの重量を測定する工程を備えたのに対して、甲１ｂ発明では、ヒーターの詳細が不明な点。
　
ウ　判断
　上記相違点２６について検討する。
　上記相違点２６に係る工程は、請求人の挙げた甲各号証には記載されていないし、当業者にとって自明の事項であるともいえない。
　請求人は訂正後の請求項３６に対応する訂正前の請求項３８に関して、「相違点３９は、上述した相違点１１に対応するものである（７−４−１２−２）。従って、相違点３９に係る構成は、上記相違点１１と同様に、甲第９号証の記載に基づいて容易に想到し得る構成である。」（審判請求書９１−９２頁）と主張している。
　しかしながら、上記（１１）請求項１１乃至１３についてと同様に、甲第９号証に記載された「加圧板機構」は、「熱可塑性樹脂を介してシリコンウエハーと取付け板を接着する」ための「加圧板機構」である。そして、甲１ｂ発明の技術分野と相違する甲第９号証記載のこの「加圧板機構」の構成を、甲１ｂ発明の「ヒーター」の構成として採用するための課題はいずれの甲各号証にも記載されておらず、周知の課題であるとも言えない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明３６は甲各号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。また、本件発明３６にさらに発明特定事項を追加した本件発明３７も、甲各号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない
　
（３５）請求項３８について
ア　本件発明３８
　本件発明３８は、本件発明２６に「ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、加熱されるガスフィルター又は加熱される清浄器でガスを過熱する工程を備えた」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明３８と甲１ｂ発明を対比すると、両発明は上記一致点ｂで一致し、上記（２４）で挙げた相違点１８に加えて以下の点で相違する。
相違点２７：本件発明３８では、ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、加熱されるガスフィルター又は加熱される清浄器でガスを過熱する工程を備えたのに対して、甲１ｂ発明では、そのような工程を備えていない点。
　
ウ　判断
　甲第１０号証には、「ガス流路の断面積が急激に増大する部位」としてフィルタが挙げられており（【実施例２】）、このフィルタが本件発明３８の加熱されるガスフィルターに相当する。
　そして、甲第１号証及び甲第１０号証に記載された発明はともにガス供給方法という同一の技術分野に属するから、甲第１０号証に記載された「フィルタ」及び「加熱手段」を甲１ｂ発明に適用することは当業者が容易になし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明３８は甲第１号証及び甲第１０号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（３６）請求項３９について
ア　本件発明３９
　本件発明３９は、本件発明２６に「ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、ガスラインと接触しているヒーターでガスを過熱する工程を備えた」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明３９と甲１ｂ発明を対比すると、両発明は上記一致点ｂで一致し、上記（２４）で挙げた相違点１８に加えて以下の点で相違する。
相違点２８：本件発明３９では、ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、ガスラインと接触しているヒーターでガスを過熱する工程を備えたのに対して、甲１ｂ発明では、そのような工程を備えていない点。
　
ウ　判断
　上記相違点２８について検討する。
　甲第４号証には、配管にヒーターを巻いて配管内温度を高くすることが記載されており（【０００３】）、このヒーターが本件発明３９のガスラインと接触しているヒーターに相当する。
　そして、甲第１号証及び甲第４号証に記載された発明はともにガス供給方法という同一の技術分野に属するから、甲第４号証に記載されたマスフローコントローラ及び配管に巻くヒーターを甲１ｂ発明に適用することは当業者が容易になし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明３９は甲第１号証及び甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（３７）請求項４０について
ア　本件発明４０
　本件発明４０は、本件発明３９に「ガスラインと接触しているヒーターは、電気的な加熱タイプを備えた」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明４０と甲１ｂ発明を対比すると、両発明は上記一致点ｂで一致し、上記（２４）及び（３６）で挙げた相違点１８及び２８に加えて以下の点で相違する。
相違点２９：本件発明４０では、ガスラインと接触しているヒーターは、電気的な加熱タイプを備えたのに対して、甲１ｂ発明では、そのような工程を備えていない点。
　
ウ　判断
　上記相違点２９について検討する。
　上記（１４）請求項１６について、で検討したように、甲第４号証に記載されたヒーターは電気的に加熱するタイプのヒーターであるか、少なくともヒーターとして電気的な加熱タイプは周知の事項であるから、甲第４号証に記載された「ヒータ」を甲１ｂ発明に適用する際に、電気的な加熱タイプを採用して適用することは当業者が容易になし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明４０は甲第１号証及び甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（３８）請求項４１について
ア　本件発明４１
　本件発明４１は、本件発明２６に「ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、空気を加熱する工程と、ガスライン部分上に、加熱される空気を吹き込む工程とを備えた」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明４１と甲１ｂ発明を対比すると、両発明は上記一致点ｂで一致し、上記（２４）で挙げた相違点１８に加えて以下の点で相違する。
相違点３０：本件発明４１では、ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、空気を加熱する工程と、ガスライン部分上に、加熱される空気を吹き込む工程とを備えたのに対して、甲１ｂ発明では、そのような工程を備えていない点。
　
ウ　判断
　上記相違点３０について検討する。
　甲第１２号証に記載された大気をヒータで加熱してファンで外部管に送る工程は、本件発明４１の「空気を加熱する工程と、ガスライン部分上に、加熱される空気を吹き込む工程」に相当する。
　そして、甲第１号証、甲第４号証及び甲第１２号証に記載された発明はいずれもガス供給方法という同一の技術分野に属するから、甲１ｂ発明にガスを過熱する工程を適用する際に、甲第１２号証に記載された大気をヒータで加熱してファンで外部管に送る工程を採用することは当業者が容易になし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明４１は甲第１号証、甲第４号証及び甲第１２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（３９）請求項４２について
ア　本件発明４２
　本件発明４２は、本件発明２６に「ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、バルブと熱接触するヒーターを備えたバルブ内でガス流を加熱する工程を備えた」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明４２と甲１ｂ発明を対比すると、両発明は上記一致点ｂで一致し、上記（２４）で挙げた相違点１８に加えて以下の点で相違する。
相違点３１：本件発明４２では、ガスシリンダーから引かれるガスを過熱する工程は、バルブと熱接触するヒーターを備えたバルブ内でガス流を加熱する工程を備えたのに対して、甲１ｂ発明では、そのような工程を備えていない点。
　
ウ　判断
　上記相違点３１について検討する。
　甲第１１号証に記載された「質量流量計付電磁弁」及び「棒状ヒータ」は、本件発明４２における「バルブ」及び「ヒーター」にそれぞれ相当する。
　そして、甲第１号証および甲第１１号証に記載された発明はともにガス供給方法という同一の技術分野に属するから、甲第１１号証に記載された「質量流量計付電磁弁」及び「棒状ヒータ」を甲１ｂ発明に適用することは当業者が容易になし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明４２は甲第１号証及び甲第１１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（４０）請求項４３について
ア　本件発明４３
　本件発明４３は、本件発明４２に「加熱されるバルブは、ブロック形状のバルブである」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明４３と甲１ｂ発明を対比すると、両発明は上記一致点ｂで一致し、上記（２４）及び（３９）で挙げた相違点１８及び３１に加えて以下の点で相違する。
相違点３２：本件発明４３では、加熱されるバルブは、ブロック形状のバルブであるのに対して、甲１ｂ発明では、そのようなバルブは備えていない点。
　
ウ　判断
　上記相違点３２について検討する。
　上記（１７）請求項１９についてと同様に、甲第１１号証に記載された「質量流量計付電磁弁」及び「棒状ヒータ」を甲１ｂ発明に適用する際に、採用するバルブの形式として種々の用途に用いられる周知のブロック形状を採用することは当業者が適宜なし得た事項である。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明４３は甲第１号証及び甲第１１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（４１）請求項４４について
ア　本件発明４４
　本件発明４４は、本件発明４２に「ヒーターは、自己調整型ヒーターと、抵抗型ヒーターと、カートリッジヒーターとの群から選択される」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明４４と甲１ｂ発明を対比すると、両発明は上記一致点ｂで一致し、上記（２４）及び（３９）で挙げた相違点１８及び３１に加えて以下の点で相違する。
相違点３３：本件発明４４では、ヒーターは、自己調整型ヒーターと、抵抗型ヒーターと、カートリッジヒーターとの群から選択されるのに対して、甲１ｂ発明では、そのようなヒーターを備えていない点。
　
ウ　判断
　上記相違点３３について検討する。
　甲第１１号証に記載された「棒状ヒータ」は入力ブロック及び出力ブロックにそれぞれ穿設されたヒータ孔に装着されるものであるから、本件発明４４の「カートリッジヒーター」に相当する。また、「自己調整型ヒーター」及び「抵抗型ヒーター」はいずれもヒーターの一種に過ぎない。そして、甲第１１号証に記載された「質量流量計付電磁弁」を甲１ａ発明に適用する際に、自己調整型ヒーターと、抵抗型ヒーターと、カートリッジヒーターとからなる群から選択されるヒーターを適用することは当業者が容易になし得たことである。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明４４は甲第１号証及び甲第１１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（４２）請求項４５について
ア　本件発明４５
　本件発明４５は、本件発明４４に「ヒーターはヒートトレースである」との発明特定事項を追加したものである。
　
イ　対比
　本件発明４５と甲１ｂ発明を対比すると、両発明は上記一致点ｂで一致し、上記（２４）、（３９）及び（４１）で挙げた相違点１８、３１及び３３に加えて以下の点で相違する。
相違点３４：本件発明４５では、ヒーターはヒートトレースであるのに対して、甲１ｂ発明では、そのようなヒーターを備えていない点。
　
ウ　判断
　上記相違点３４について検討する。
　上記（２１）請求項２３についてと同様に、甲１ａ発明に甲第１１号証に記載された「質量流量計付電磁弁」及び「ヒーター」を適用する際のヒーターとして、周知の制御方法である「ヒートトレース」を選択することは当業者が必要に応じて適宜なし得たことである。また、そのことによる効果に格別のものはない。
　
エ　むすび
　したがって、本件発明４５は甲第１号証及び甲第１１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　
（４３）請求項４６乃至４８について
　本件発明４６乃至４８は、本件発明１１にさらに発明特定事項を追加したものである。
　したがって、本件発明１１は甲各号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではないから、本件発明４６乃至４８も、甲各号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
２．特許法第３６条第４項について
（１）本件特許明細書の記載事項
　本件特許明細書には以下の記載がある。
「【請求項１】
液化状態からガスを配給するシステムであつて、(a) ガスが引かれるガスラインを有する圧縮液化ガスシリンダーと、(b) ガスシリンダーが収容されているガスシリンダーキャビネットと、(C) ガスシリンダー内の液体温度が環境温度を超えないで、環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する伝熱速度増加手段とを備え、
　伝熱速度増加手段は、ガスシリンダーキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口と、伝熱ガスが１若しくはそれ以上の開口を通るようにする手段とを備えたガス配給システム。」
　
「【請求項９】
伝熱速度増加手段は、一又はそれ以上の放射パネルヒーターを備えた請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項１０】
伝熱速度増加手段は、ガスシリンダーの下に置かれたヒーターを備えた請求項１に記載のガス配給システム。
【請求項１１】
ガスシリンダーの下に置かれたヒーターは、加熱されるスケールカバーで、このスケールカバーは、頂部面と、底部面と、上記頂部面と底部面との間に形成された中空部内に置かれた加熱要素とを備えた請求項１０に記載のガス配給システム。
【請求項１２】
スケールカバーは、頂部面に取付けられた窪み形状の部材をさらに備えた請求項１１に記載のガス配給システム。
【請求項１３】
ガスシリンダー圧力と重量の入力に基づいて、加熱されるスケールカバーからの熱出力を制御する手段をさらに備えた請求項１１に記載のガス配給システム。」
　
「【請求項２５】
液化状態からガスを供給する方法であって、この方法は、(a) ガスシリンダーキャビネットに収容され、ガスラインを有するガスシリンダー内に、圧縮液化ガスを供給する工程と、(b)ガスシリンダー内の液体温度を環境温度を超えることなく環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する伝熱速度増加工程とを備え、
伝熱ガスをガスキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口を通すことにより、伝熱速度を増加するガス供給方法。」
　
「【請求項３４】
伝熱速度増加工程は、一又はそれ以上の放射パネルヒーターを備え、該ヒーターでガスシリンダーを加熱する工程を備えた請求項２５に記載のガス供給方法。
【請求項３５】
伝熱速度増加工程は、ガスシリンダーの下のヒーターでシリンダーを加熱する工程を備えた請求項２５に記載のガス供給方法。
【請求項３６】
ガスシリンダーの下に置かれたヒーターは、加熱されるスケールカバーで、このスケールカバーは、頂部面と、底部面と、上記頂部面と底部面との間に形成された中空部内に置かれた加熱要素とを備え、この方法は更にスケールでガスシリンダーの重量を測定する工程を備えた請求項３５に記載のガス供給方法。
【請求項３７】
ガスシリンダー圧力と重量の入力に基づいて加熱されるスケールカバーからの熱出力を制御する工程を更に備えた請求項３６に記載のガス供給方法。」
　
「【請求項４６】
加熱要素は中空部内に巻かれている請求項１１に記載のガス配給システム。
【請求項４７】
加熱要素は２２０゜Ｆ（１０４℃）までの温度で操作できる請求項１１に記載のガス配給システム。
【請求項４８】
中空部の下に更に絶縁層を備え、この絶縁層は加熱要素から上面に熱を向けるのに有効なものである請求項１１に記載のガス配給システム。」
　
「【００３３】
シリンダー温度と圧力の変化速度は、シリンダーに対する伝熱速度、流速による特定のエネルギー要求及びシリンダーの熱容量のバランスである。環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度は、（１）総合伝熱係数，（２）伝熱に有効な表面領域，（３）環境とガスシリンダーとの間の温度差により支配される。概略的にいうと、無限に長いシリンダーとしてのガスシリンダーは、総合伝熱係数が以下の式１により計算される。
【００３４】
【数１】
【００３５】
上記式において、Ｕは、総合伝熱係数（Ｗ／ｍ２Ｋ）、ｒｏは、シリンダーの外径（ｍ），ｒｉはシリンダーの内径(m),ｈｉシリンダーと液体との間の内部伝熱係数（Ｗ／ｍ２Ｋ）、ｋは、シリンダー材料の熱伝導率（Ｗ／ｍ２Ｋ）、ｈ０は、シリンダーと環境との間の外部伝熱係数（Ｗ／ｍ２Ｋ）である。
【００３６】
総合的な伝熱係数Ｕは、伝熱に対する個々の抵抗値のもっとも小さい値（すなわち、式Ｉの分母中の各項）よりも少ない値である。通常使用されるシリンダーの寸法（例えば、内容積５５ｌ以下）では、総合的な伝熱係数は、第一に、外部伝熱係数ｈ０の値によって制御される。この事は以下の例により示される。ここで、ｒｉ＝３インチ、ｒ０＝３．２インチ、ｋ＝４０Ｗ／ｍ２Ｋ，ｈｉ＝８９０Ｗ／ｍ２Ｋ，ｈ０＝４．５Ｗ／ｍ２Ｋである。伝熱係数の値は、一般に入手可能な工学技術の表に基づき、これは内部と外部の両方の伝熱に対して、第一のメカニズムとして自然対流を用いている。総合的な伝熱係数Ｕは４．４７Ｗ／ｍ２Ｋに等しく、この値は外部伝熱係数ｈ０に大変近い。
【００３７】
以下の例は、外部伝熱係数ｈ０は、強制対流の場合総合的な伝熱係数式をも支配することを示している。ガスキャビネットは、通常、キャビネットの底部内に空気を引き込み、例えば頂部から排気をすることによりパージがなされる。その結果、空気は連続的にガスシリンダーの表面に沿って連続的に流れる。強制対流伝熱係数が１２Ｗ／ｍ２Ｋとすると（正方形板上を２ｍ／ｓで流れる空気の特徴）、このようなシステムの総合的な伝熱係数は、１１．８Ｗ／ｍ２Ｋである。従って、伝熱に対する第一の抵抗は環境とシリンダーとの間に生じる。
【００３８】
外部伝熱係数ｈ０は、シリンダーの全ての表面に沿って一定ではない。空気がキャビネット底部に近いキャビネットに入るので、流れ方向はキャビネットのその領域内でシリンダーを横切る（すなわち、シリンダーの長手軸に対して横断する）。キャビネットの頂部に近い領域では、空気は第一に垂直方向に移動する  （すなわち、シリンダーの長手軸に平行）。」
　
「【００４９】
図１０を参照して、液化状態からガスを配送する進歩性のあるシステム及び方法の好適な具体例を以下に示す。しかし、特定のシステムの形態は、一般に、コスト、安全性、及びキャビネットの流動性に依存する。
【００５０】
このシステムは、ガスキャビネット003 内に収容される一又は二以上の圧縮液化ガスシリンダー002 を備えている。液化ガスシリンダー内に充填される特定の材料は、限定されないが、プロセスに依存する。典型的な材料は表１、２に示すもので、ＮＨ３、ＡｓＨ３、ＢＣｌ３、ＣＯ２、Ｃｌ２、ＳｉＨ２Ｃｌ２、Ｓｉ２Ｈ６、ＨＢｒ、ＨＣｌ、ＨＦ、Ｎ２Ｏ、Ｃ３Ｆ８、ＳＦ６、ＰＨ３、ＷＦ６である。ガスキャビネット003 は、格子004 を有し、ここを通ってパージ空気がキャビネットに入る。このパージ空気は、好ましくは乾燥し、排気ダクト005 を通って、ガスキャビネットから排気される。
【００５１】
環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度は、ガスシリンダー中の液体温度が環境温度を超える値に増加しないように、増加する。伝熱速度を増加させる適切な手段の例は、ガスキャビネット003 内の一又は二以上のプレナム板(plenum plates) 、又はスリット列006 で、ここを通って、空気が強制的にシリンダーを横切るようになっている。空気がプレナム板又はスリットを強制的に通すのに、空気吹込み器又はファン007 を使用できる。吹込み器又はファンは可変速度で操作出来るものが好ましい。
【００５２】
所定の減圧（吹込み器またはファン特性で決る）に対して最大伝熱係数を持つ適切なプレナム板は、Holger Martin で市販されている。このような構成要素は、ガスキャビネット寸法で最小の又は増加しないガスキャビネット内に容易に組み込むことができる。
【００５３】
プレナム板またはスリットは、空気の流れを設定することができるフィンを加えることにより、選択的に修正することができる。フィンは、液体−蒸気界面の近傍で第一にシリンダーに向けて空気の流れを設定するものが好ましい。
【００５５】
プレナム面又はスリットの温度は、また、伝熱速度を更に増加するために環境よりもやや高い値に電気的に制御することができる。しかし、プレナム面またはスリットの温度は、液体−蒸気界面でのみ蒸発が生じるように限定されなければならない。そして、環境を越える温度にシリンダー内側の液体を加熱するのを避けるようにしなければならない。
【００５６】
付加的又はこれとは別に、シリンダーの下にある放射パネルヒーターまたはヒーター（例えば、その上にシリンダーがセツトされるホットプレートタイプのヒーター）は、環境とガスシリンダーと間の伝熱速度を増加するように使用できる。特に好ましい本発明の具体例では、ホットプレートタイプのヒーターを使用することにより伝熱速度が増加される。
【００５７】
図１１Ａ及び１１Ｂは、実施例のホットプレートタイプのヒーターの側断面および平面図をそれぞれ示す。ヒーター100 は、重量測定計（以下、スケールと略称する）用のカバーの形をとっており、このスケールはヒーターにより囲われることができる。このようなスケールは公知であり、通常はガスキャビネットの床上に置かれる。液化ガスを充填するシリンダーは、一般にスケール上に直接乗せられ、このスケールでシリンダー内に残っている材料の量を測定する。図１１Ａ、１１Ｂで例示される加熱される重量測定計のカバー（以下、スケールカバーと略称する）を使用する時、シリンダーは、カバーされたスケール上に直接置かれる。
  上述したスケールカバー／ヒーターは、ガスシリンダーをごくわずか移動しさえすれば、現存するガスキャビネット内に適合することができるので、特に有効である。従って、現存するガスキャビネット又はガス配管を再適合したり修正することは不要となる。
【００５８】
ヒーター100 は、センタースペーサー手段106 、多数のサイドスペーサー108 、及びスクリュー110 により、底部面すなわち底部板104 に取付けられた頂部面即ち頂部板102 を有する。ヒーターは、さらに加熱要素（図示せず）を入れる空隙を有する。適切な加熱要素には、これに限定されるものではないが、電気加熱タイプにような抵抗型ヒーターまたはヒートトレスのような自己調節型ヒーターが挙げられる。加熱要素は、好ましくは、空隙112 内に巻かれることができるものが良い。加熱要素は、環境温度〜約２２０゜Ｆの温度で操作できるべきである。
【００５９】
面内の好適な加熱要素の一端を保持するために、端部はセンタースペーサー106 内で遮断部114 に固定でき、加熱要素は、所望の領域がカバーされるまでセンタースペーサーの回りに、及び選択的にサイドスペーサーの回りに巻回することができる。加熱要素はガスシリンダーとスケールとの間の接触領域をカバーするのが好ましい。加熱要素の有効な長さ、例えば１６フィートまたはそれ以上の長さが、ヒーター内で巻かれる。２０ワット／１フィートの加熱要素の１６フィート長さを考えると、３２０ワットの熱がヒーターから得られる。
【００６０】
空隙112 の底部は、絶縁層116 を使用して絶縁され、加熱要素からの熱が直接上方のガスシリンダーの底部に向けるのが好ましい。絶縁層はまた、加熱要素と頂部面102 との間の接触を維持するように働く。ヒーターは、さらに前後部パネル118 、サイドパネル120 及びブリッジ122 を有し、ヒーターがシリンダーの重量を測定するスケール（以下、シリンダースケールと称する）上に適合することができるようにしている。
【００６１】
ヒーター100 の構成材料は、有効な伝熱がガスシリンダーの底部に成されるものでなければならない。頂部板102 は好ましくはステンレススチールで作られ、前後部パネル、サイドパネル、ブリッジは好ましくはアルミニウムまたは炭素鋼で構成されるのがよい。
【００６２】
使用される特定のタイプのヒーターに依存して、各種の方法で温度制御できる。本発明の好適な形態によれば、ヒーターの出力は、ガスシリンダーの要求エネルギーに基づいて、オン、オフできる。この目的のための好適な制御方法及びアルゴリズムを以下に述べる。
【００６３】
本発明の更なる形態によれば、ヒーター100 は、ヒーターの頂部面102 に取付けられた窪みまたはカップ形状部分を有することができる。窪み部分は、好ましくは、シリンダーに対するより有効な伝熱が可能となるように、ガスシリンダーの底部の形に従うのがよい。窪み部分は比較的硬くてガスシリンダーとの接触に関して変形抵抗があり、シリンダーに対して熱を移動するのに有効である材料で形成されるべきである。このような材料には、例えば、炭素鋼、ステンレススチールがある。」
　
（２）記載事項の検討
ア　請求項１に係る発明の「環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する伝熱速度増加手段」について、上記記載事項の【００３３】によれば、環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度は、「（１）総合伝熱係数、（２）伝熱に有効な表面領域、（３）環境とガスシリンダーとの間の温度差」の３つの要素に支配されると理解できる。ここで、前記「（３）環境とガスシリンダーとの間の温度差」については、環境とガスシリンダーとの温度差が大きいほど、環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度が大きくなることは当業者にとって自明の事項である。
　してみると、「環境とガスシリンダーとの間の温度差」を大きくする手段も、「環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する伝熱速度増加手段」であることが理解できる。
　
イ　これに対して、上記記載事項の
「付加的又はこれとは別に、シリンダーの下にある放射パネルヒーターまたはヒーター（例えば、その上にシリンダーがセツトされるホットプレートタイプのヒーター）は、環境とガスシリンダーと間の伝熱速度を増加するように使用できる。特に好ましい本発明の具体例では、ホットプレートタイプのヒーターを使用することにより伝熱速度が増加される。」（【００５６】）、「ヒーター100 は、センタースペーサー手段106 、多数のサイドスペーサー108 、及びスクリュー110 により、底部面すなわち底部板104 に取付けられた頂部面即ち頂部板102 を有する。ヒーターは、さらに加熱要素（図示せず）を入れる空隙を有する。」（【００５８】）、「ヒーター100 の構成材料は、有効な伝熱がガスシリンダーの底部に成されるものでなければならない。頂部板102 は好ましくはステンレススチールで作られ、前後部パネル、サイドパネル、ブリッジは好ましくはアルミニウムまたは炭素鋼で構成されるのがよい。」（【００６１】）、「本発明の更なる形態によれば、ヒーター100 は、ヒーターの頂部面102 に取付けられた窪みまたはカップ形状部分を有することができる。窪み部分は、好ましくは、シリンダーに対するより有効な伝熱が可能となるように、ガスシリンダーの底部の形に従うのがよい。窪み部分は比較的硬くてガスシリンダーとの接触に関して変形抵抗があり、シリンダーに対して熱を移動するのに有効である材料で形成されるべきである。このような材料には、例えば、炭素鋼、ステンレススチールがある。」（【００６３】）
によれば、ヒーターからガスシリンダーに熱を移動することすなわちガスシリンダーを加熱することも「伝熱速度を増加する」ことになると記載されている。ここで、本件特許明細書にも「【００３１】図１は、３ｌ／ｍの流速の７ｌのＣｌ２シリンダーについて、各種位置での外部シリンダー壁温度を時間の関数で示す。シリンダー内の蒸気圧力も時間の関数として示す。シリンダーの操作中、外部シリンダー温度は、実質的に環境温度よりも低くなった。シリンダー表面の最も低い温度は、液体−蒸気界面の位置に対応する。何故なら、この領域で気化プロセスが生じるためである。」とあるとおり、液化ガスを気化する際には気化熱を吸収することにより液体の温度は低下し、それにより液体を収容するガスシリンダーの温度も低下することから、ガスシリンダーの温度はその周囲の環境の温度よりも低くなることが一般的である。
　
ウ　してみると、温度が周囲の環境よりも低くなっているガスシリンダーを加熱すると、環境とガスシリンダーとの間の温度差は小さくなると認められ、この場合、上記アで示したように温度差が小さくなれば環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度は増加しないことは明らかであるから、結局【００５６】乃至【００６３】の記載は、「環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する伝熱速度増加手段」がどのような手段によって実施できるのかが明確でなく、その他の記載も含めた本件特許明細書全体からも、「環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する伝熱速度増加手段」はどのようにすれば実施できるのかが明確でないから、本件特許明細書は当業者が請求項１に係る発明を実施できるように記載されているとはいえない。
　また、請求項２乃至４８についても同様の理由により、本件特許明細書は当業者が請求項２乃至４８に係る発明を実施できるように記載されているとはいえない。
　
（３）被請求人の主張について
　被請求人は平成２３年７月１２日付け上申書において、以下のように主張している。
「ウ．先に（２）アで述べたように、「ガスシリンダーキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口と、伝熱ガスが１若しくはそれ以上の開口を通るようにする手段」とを構成することにより、ガスシリンダーとガスシリンダーキャビネットとの間の「環境」内で強制対流が生じている。
　他方、追加された「放射パネルヒーター」又は「ヒーター」は、「環境」内の空気（伝熱ガス）を暖めるので、この暖かい空気がシリンダーの表面上に送られることとなる。この暖かい空気は、シリンダー表面に滞留することなく、「環境」に生じた強制対流の流れに乗ることになる（被請求人口頭審理陳述要領書１０頁１４〜２０行参照）。すなわち、この暖かい空気が「ガスシリンダーキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口と、伝熱ガスが１若しくはそれ以上の開口を通るようにする手段」とで作られた「環境」内の強制対流の流れに組み込まれることになる。そして、このことにより、「放射パネルヒーター」又は「ヒーター」もまた環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加することに寄与する結果となる。」（４頁）
　しかしながら、上記の主張の特に「追加された「放射パネルヒーター」又は「ヒーター」は、「環境」内の空気（伝熱ガス）を暖めるので、この暖かい空気がシリンダーの表面上に送られることとなる。この暖かい空気は、シリンダー表面に滞留することなく、「環境」に生じた強制対流の流れに乗ることになる（被請求人口頭審理陳述要領書１０頁１４〜２０行参照）。すなわち、この暖かい空気が「ガスシリンダーキャビネット中の１若しくはそれ以上の開口と、伝熱ガスが１若しくはそれ以上の開口を通るようにする手段」とで作られた「環境」内の強制対流の流れに組み込まれることになる。」との作用については本件特許明細書には該当する記載がなく、本件特許明細書の【００５６】乃至【００６３】に記載されているヒーターでガスシリンダーを直接加熱する旨の記載に接した当業者にとっては、自明の事項であるとも言えない。
　
３．特許法第３６条第６項第１号について
　特許法第３６条第６項第１号について、請求人は、平成２２年９月２９日付け審判請求書では、請求項１２並びにこれを引用する請求項１３、１４、４８乃至５０の「上面」及び「下面」について、及び請求項２６並びにこれを引用する請求項２７乃至４７の「（ａ）ガスシリンダーキャビネットに収容され、ガスラインを有するガスシリンダー内に、圧縮液化ガスを供給する工程」について無効の理由を主張している。
　これに対して、平成２３年４月４日付け弁駁書では、訂正後の請求項１、４、６、２５及び２９の「伝熱ガス」について、及び訂正後の請求項２５乃至４５の「（ａ）ガスシリンダーキャビネットに収容され、ガスラインを有するガスシリンダー内に、圧縮液化ガスを供給する工程」についての無効理由を主張している。
　平成２３年４月４日付け弁駁書で主張する訂正後の請求項１、４、６、２５乃至２９の「伝熱ガス」についての無効理由は訂正による新たな構成に対する無効理由ではなく、訂正前の特許明細書に既に有していた文言に対して弁駁書で追加された新たな無効理由ではあるが、第１回口頭審理において被請求人は同無効理由についても審理することに同意したので、以下、同無効理由も審理の対象として検討する。
（１）請求人の主張
　請求人は弁駁書において、以下のとおり主張している。
「７−７−１　本件訂正発明１，４，６，２５，２９について
　ア　本件訂正発明１，４，６，２５，２９の発明特定事項である「伝熱ガス」が、発明の詳細な説明中に記載がない。
　イ　さらに、本件訂正発明４、２９には、「伝熱ガス」が空気又は不活性ガスであることが発明の詳細な説明に記載されていない。
　ウ　したがって、本件訂正発明１，４，６，２５，２９は、特許を受けようとする発明が発明の詳細な説明に記載したものではないから、特許法第３６条第６項第１号の規定に違反して特許されたものである。
７−７−２　請求項２６（訂正後の請求項２５）、請求項２７〜４７（訂正後の請求項２６〜４５）について
　ア　上記７−６−１−６ア〜エにおいて説明したように、被請求人の「請求項２６（訂正後の請求項２５）の『（ａ）ガスシリンダーキャビネットに収容され、ガスラインを有するガスシリンダー内に、圧縮液化ガスを供給する工程』とは、『液化ガスが充填されたガスシリンダーを用意する』と実質的に同義である。」との主張は失当である。
　イ　なお、被請求人は、答弁書の第２９頁第２４行〜第２５行において、「よって、請求項２６（訂正後の請求項２５）の発明は、発明の詳細な説明に記載されたものである。」と主張している。しかしながら、上記アに係る解釈は失当であり、本件訂正明細書において「ガスシリンダーキャビネットに収容され、ガスラインを有するガスシリンダー内に、圧縮液化ガスを供給する工程」に関する記載もない。したがって、被請求人の「請求項２６（訂正後の請求項２５）の発明は、発明の詳細な説明に記載されたものである。」との主張は失当である。
　ウ　同様に、請求項２７〜４７（訂正後の請求項２６〜４５）に記載の発明は請求項２６（訂正後の請求項２５）に従属する発明である。したがって、特許を受けようとする発明が発明の詳細な説明に記載したものではないから、特許法第３６条第６項第１号の規定に違反して特許されたものである。」（４１−４２頁）
　
（２）被請求人の主張
　被請求人は答弁書において、以下のとおり主張している。
「３．請求項２６（訂正後の請求項２５）、請求項２７〜４７（訂正後の請求項２６〜４５）について
請求人は、『当業者が「（ａ）ガスシリンダーキャビネットに収容され、ガスラインを有するガスシリンダー内に、圧縮液化ガスを供給する工程」は発明の詳細な説明に記載されていない』旨主張する。
段落【００１７】の「このシステムは液化ガスを含むシリンダーの圧力を正確に制御し」の記載から、請求項２６（訂正後の請求項２５）の「（ａ）ガスシリンダーキャビネットに収容され、ガスラインを有するガスシリンダー内に、圧縮液化ガスを供給する工程」とは、「液化ガスが充填されたガスシリンダーを用意する」と実質的に同義である。このように解釈できることは、本発明の目的として、段落【００１７】の「このシステムは液化ガスを含むシリンダーの圧力を正確に制御し、これと同時にシリンダーから引かれるガス中に入った液滴を最小にする。」と記載されていることから理解できる。
　よって、請求項２６（訂正後の請求項２５）の発明は、発明の詳細な説明に記載されたものである。同様に、請求項２７〜４７（訂正後の請求項２６〜４５）についても、発明の詳細な説明に記載されたものである。」（２９頁）
　
　また、被請求人は口頭審理陳述要領書において、以下のとおり主張している。
「請求項２５の「ガスラインを有するガスシリンダー内に、圧縮液化ガスを供給する」という限定は、ガスキャビネットの外部で圧縮液体ガスを充填したガスシリンダーをガスキャビネットの内部に並べる工程を意味します。この主張の根拠は、少なくとも以下にあります：
　段落【０００２】には・・・と記載されている。
　請求項２５および段落【００２５】の「ガスラインを有するガスシリンダー内に、圧縮液化ガスを供給する」という限定は、ガスキャビネットの外部で圧縮液体ガスを充填したガスシリンダーをガスキャビネットの内部に並べる工程を意味すると当業者は理解し、これを、ガスキャビネット内に設置されたガスシリンダーに圧縮された液化ガスを充填することを意味すると理解する当業者はいない。」（１３−１４頁）
　
（３）当審の判断
ア　本件特許明細書には、例えば【００５０】の「このシステムは、ガスキャビネット003 内に収容される一又は二以上の圧縮液化ガスシリンダー002 を備えている。液化ガスシリンダー内に充填される特定の材料は、限定されないが、プロセスに依存する。典型的な材料は・・・」との記載のように、ガスシリンダーキャビネットに収容され、ガスラインを有するガスシリンダー内に圧縮液化ガスが充填されていることは記載されているものの、これが、ガスキャビネットの内部に置いてあるガスシリンダー内に圧縮液化ガスを充填したのか、それとも、すでに外部で圧縮液化ガスが充填されたガスシリンダーをガスキャビネットの内部に配置したのかは明らかでない。しかしながら、ガスシリンダーキャビネットに収容され、ガスラインを有するガスシリンダー内に圧縮液化ガスが充填されているためには、ガスキャビネットの内部に置いてあるガスシリンダー内に圧縮液化ガスを充填するか、それとも、すでに外部で圧縮液化ガスが充填されたガスシリンダーをガスキャビネットの内部に配置するかによることは当業者にとって自明の事項である。してみると、訂正後の請求項２５に係る発明の「（ａ）ガスシリンダーキャビネットに収容され、ガスラインを有するガスシリンダー内に、圧縮液化ガスを供給する工程」は、当業者にとっては自明の事項であるから、訂正後の請求項２５が本件特許明細書に記載されていないとはいえない。
　
イ　訂正後の請求項１に係る発明の「伝熱ガス」について、本件特許明細書にはその定義は記載されていないが、訂正後の請求項１の記載からは、「伝熱ガス」とは、１若しくはそれ以上の開口を通るガスすなわち気体であって、伝熱すなわち熱を伝える作用を有する気体であると理解できる。
　一方、本件特許明細書には、「【００５１】環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度は、ガスシリンダー中の液体温度が環境温度を超える値に増加しないように、増加する。伝熱速度を増加させる適切な手段の例は、ガスキャビネット003 内の一又は二以上のプレナム板(plenum plates) 、又はスリット列006 で、ここを通って、空気が強制的にシリンダーを横切るようになっている。空気がプレナム板又はスリットを強制的に通すのに、空気吹込み器又はファン007 を使用できる。吹込み器又はファンは可変速度で操作出来るものが好ましい。」との記載があり、該記載から、ガスキャビネット内の一又は二以上のプレナム板又はスリット列を通った空気がシリンダーを取囲み、該空気が環境を構成する気体であって、該空気からシリンダーに熱が伝わることが理解できる。
　してみると、訂正後の請求項１に係る発明の「伝熱ガス」とは、上記【００５１】においては「空気」のことであることは明らかであるから、訂正後の請求項１が本件特許明細書に記載されていないとはいえない。
　
４．特許法第３６条第６項第２号について
（１）請求人の主張
ア　請求人は審判請求書において、以下のとおり主張している。
「ア　請求項１には、以下の記載がある。
『（ｃ）ガスシリンダー内の液体温度が環境温度を超えないで、環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する伝熱速度増加手段』
　イ　上記記載内容のうち、「環境」は、「ガスシリンダーを囲む空気」（上記７−２−２−２イ）と規定されている。
　その一方で、請求項１には「環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する」との記載がある。ここで、上記７−２−２−２エ〜キに示すように「環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する」とは、「ガスが引き抜かれているガスシリンダーにおいて、ガスシリンダーを囲む空気（環境）を媒体としてガスシリンダーに熱を供給する」ことを意味すると解され、環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加するために、「ガスシリンダーを囲む空気の温度を高くして、ガスシリンダーを囲む空気とガスシリンダーとの間の温度差を増加させる」（上記７−２−２−２カ）ことも含まれると解される。
　そうすると、「環境温度」が、「熱源のないとき（すなわち、伝熱速度を増加していないとき）のガスシリンダーを囲む空気（環境）の温度」を示しているのか、「環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加している際のガスシリンダーを囲む空気（環境）の温度」を示しているのか不明瞭になっている。
　ウ　次に、上記記載内容のうち、「伝熱速度増加手段」について、本件明細書には、上記７−６−１イに示すように、「シリンダーの下にある放射パネルヒーターまたはヒーター（例えば、その上にシリンダーがセツトされるホットプレートタイプのヒーター）は、環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加するように使用できる。特に好ましい本発明の具体例では、ホットプレートタイプのヒーターを使用することにより伝熱速度が増加される。」（段落００５６）と記載されている。
　エ　しかしながら、伝熱速度増加手段の特に好ましい具体例として記載されている「ホットプレートタイプのヒーター」は、ガスシリンダーの底部を直接加熱するものであり、「ガスが引き抜かれているガスシリンダーにおいて、ガスシリンダーを囲む空気（環境）を媒体としてガスシリンダーに熱を供給する」ものではない。すなわち、上記「ホットプレートタイプのヒーター」が「伝熱速度増加手段」の具体的態様の一例であるとした場合に、「伝熱速度増加手段」が「ガスが引き抜かれているガスシリンダーにおいて、ガスシリンダーを囲む空気（環境）を媒体としてガスシリンダーに熱を供給する」ものではない構成をも含むものとなっている。これにより、「ガスシリンダー内の液体温度が環境温度を超えないで、環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する手段」がどのような構成を示しているのか不明瞭になっている。
　オ　以上のように、請求項１に記載の発明においては、用語の定義が不明瞭であるとともに、実施形態の記載が不明瞭である結果、発明の範囲が不明確になっているから、特許法第３６条第６項第２号の規定に違反して特許されたものである。
　・・・請求項２〜２５及び請求項４８〜５０に記載の発明は、請求項１と同様に、発明の範囲が不明確であるから、特許法第３６条第６項第２号の規定に違反して特許されたものである。」
　
イ　また、請求人は弁駁書において以下のとおり主張している。
「ア　先の７−１−２−１で述べたように、被請求人は、本件訂正明細書の段落００１３及び００１７を根拠として、「環境温度とは、『ガスが引かれるガスラインを含む、液化状体からガスを分配するシステム』における『環境温度』と解釈すべきである。」と主張している。
　イ　これに対して、請求人は、本件訂正明細書中に『環境』の用語の定義がある以上、当業者であれば『環境温度』は、文言どおりに『環境の温度』と解釈するはずである。」と主張した。
　ウ　すなわち、上記段落００４１には、「環境」と「シリンダー」との間の大きすぎる温度差に起因する、液滴同伴（飛沫同伴）の課題（課題Ａ）が開示されており、段落００４９〜段落００５５において、上述した課題Ａを解決するための「伝熱速度増加手段」が開示されている。したがって、課題Ａは、「環境（シリンダーを囲む雰囲気）」と「シリンダー」との間の熱の受け渡しの問題であるため、「環境温度」を「環境の温度」、すなわち「シリンダーを囲む空気の温度」と解しても矛盾を生じることがない。
　エ　一方、被請求人が「環境温度」の解釈の根拠として示す、本件訂正明細書の段落００１３には、「シリンダーの下流にあるガスラインなどのガス分配システムを加熱する場合は、再濃縮を防止するために、シリンダーの下流にあるガスライン等のガス分配システム中に、加熱ゾーン（シリンダー）よりも低い温度ゾーンができないように、シリンダーの下流にあるガスライン等を、シリンダーよりも高い温度となるように加熱する必要がある（課題Ｂ）。」が示されている。したがって、課題Ｂは、「加熱ゾーン（シリンダー）」と「シリンダーの下流にあるガスライン」との間の温度関係の問題である。なお、上記課題Ｂは、段落００１３に示されるように、圧縮液化ガスを用いる際の、従来から公知の課題である。
　オ　ここで、被請求人が主張するように、「環境温度」を『ガスが引かれるラインを含む、液化状体からガスを分配するシステム』における「環境温度」と解釈すると、「ガスシリンダー内の液体温度が環境温度を超えないで、環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する手段」が、課題Ａを解決すると同時に、従来から公知の課題Ｂをも解決する場合がある。
　カ　とすれば、「ガスシリンダー内の液体温度が環境温度を超えないで」の部分は課題Ｂを示しており、「ガスシリンダー内の液体温度」が「加熱ゾーン（シリンダー）」に、「環境温度」が「シリンダーの下流にあるガスラインの温度」に、それぞれ対応すると解する。
　キ　一方、「環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する」の部分は課題Ａを示しており、「環境（シリンダーを囲む空気）」と「シリンダー」との間の熱の受け渡しに対応すると解する。
　ク　このように解釈すると、発明特定事項である「ガスシリンダー内の液体温度が環境温度を超えないで、環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する伝熱速度増加手段」において、一方で「環境（シリンダーを囲む空気）」と定義されているにも関わらず、他方で「環境温度（シリンダーの下流にあるガスラインの温度）」と解釈させることになる。
　ケ　また、本件訂正明細書中の段落００４９〜段落００５５には「伝熱速度増加手段」について具体的な記載がなされているが、「伝熱速度増加手段」が上記課題Ａ及び課題Ｂを同時に解決する際に、「環境温度」を上述のように解釈すべきであることは、当業者であっても容易に理解できるものではない。このように「環境」について定義しているにも関わらず、「環境温度」について文言通りではない解釈をさせるのであれば、被請求人は「環境温度」の用語について明確に定義をおくべきである。
　コ　したがって、「環境温度」及び「ガスシリンダー内の液体温度が環境温度を超えないで、環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する伝熱速度増加手段」は、不明瞭であるといわざるを得ない。
　サ　以上のように、訂正後の請求項１に記載の発明においては、用語の定義が不明瞭であるとともに、実施形態の記載が不明瞭である結果、発明の範囲が不明確になっているから、特許法第３６条第６項第２号の規定に違反して特許されたものである。
　シ　・・・訂正後の請求項２〜２４及び請求項４６〜４８に記載の発明は、訂正後の請求項１と同様に、発明の範囲が不明確であるから、特許法第３６条第６項第２号の規定に違反して特許されたものである。」
　
（２）被請求人の主張
ア　これに対して、被請求人は答弁書において以下のとおり主張している。
「明細書及び図面を考慮すれば、本発明の「環境温度」とは、「ガスが引かれるガスラインを含む、液化状体からガスを分配するシステム」における「環境温度」と解釈すべきである。
　すなわち、本発明の明細書の段落【００１３】には「シリンダーの下流にあるガス分配システム中のより低い温度に起因して、再濃縮を引き起こす。その結果、ガスシリンダーから使用場所へ分配する全ての分配システムを加熱する場合は、このような再濃縮を阻止する必要がある。」と記載されている。
　また、段落【００１７】には「このシステムは液化ガスを含むシリンダーの圧力を正確に制御し、これと同時にシリンダーから引かれるガス中に入った液滴を最小にするものである。」と記載されている。
　従って、これらの記載から、「環境温度」に関する被請求人の解釈は本発明の目的に適合していることは明らかである。」（３頁１０−２１行）
　
イ　また、被請求人は口頭審理陳述要領書において以下のとおり主張している。
「環境：
　本発明では、用語「環境」を、ガスシリンダーを囲む雰囲気と定義しています（段落【００２９】）。」（３頁２−４行）
　
「環境温度
　本発明では、用語「環境温度」は、環境の加熱されていない温度、実施例に基づいて具体的に述べれば、ホットプレート又は電気的に制御されたプレナム板やスリットにより加熱する前の環境の温度です。この定義は、発明の詳細な説明における以下の部分にさらに裏付けられています。
　図１を参照する段落【００３１】には・・・と記載されている。
　さらに、「環境温度」という用語を明確には使用していませんが、以下の開示は、用語「環境温度」が環境の加熱されていない温度を意味することの根拠をさらに提供します。
　段落【００１３】には・・・。
　これらの開示に基づいて、被請求人は、当業者であれば「環境温度」が、環境の加熱されていない温度を意味することを理解するであろうと謹んで申し述べます。」（４頁２２行−７頁６行）
　
「本件特許発明は、・・・キャビネット内の温度を迅速に調節して、シリンダーのより正確な制御を可能とすることができます。ガスシリンダー内部の液体の温度を環境温度よりも高めることなく、環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加させること」（７頁２５−２８行）
　
（３）当審の判断
ア　本件特許明細書には、以下の記載がある。
「【００２９】
ここに使用されるように、「環境」（ambient）なる用語は、ガスシリンダーを囲む雰囲気に関する。」
　
「【００３３】
シリンダー温度と圧力の変化速度は、シリンダーに対する伝熱速度、流速による特定のエネルギー要求及びシリンダーの熱容量のバランスである。環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度は、（１）総合伝熱係数，（２）伝熱に有効な表面領域，（３）環境とガスシリンダーとの間の温度差により支配される。概略的にいうと、無限に長いシリンダーとしてのガスシリンダーは、総合伝熱係数が以下の式１により計算される。
・・・」
　
「【００５０】
このシステムは、ガスキャビネット003 内に収容される一又は二以上の圧縮液化ガスシリンダー002 を備えている。・・・
【００５１】
環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度は、ガスシリンダー中の液体温度が環境温度を超える値に増加しないように、増加する。伝熱速度を増加させる適切な手段の例は、ガスキャビネット003 内の一又は二以上のプレナム板(plenum plates) 、又はスリット列006 で、ここを通って、空気が強制的にシリンダーを横切るようになっている。空気がプレナム板又はスリットを強制的に通すのに、空気吹込み器又はファン007 を使用できる。吹込み器又はファンは可変速度で操作出来るものが好ましい。
・・・
【００５３】
プレナム板またはスリットは、空気の流れを設定することができるフィンを加えることにより、選択的に修正することができる。フィンは、液体−蒸気界面の近傍で第一にシリンダーに向けて空気の流れを設定するものが好ましい。
・・・
【００５５】
プレナム面又はスリットの温度は、また、伝熱速度を更に増加するために環境よりもやや高い値に電気的に制御することができる。しかし、プレナム面またはスリットの温度は、液体−蒸気界面でのみ蒸発が生じるように限定されなければならない。そして、環境を越える温度にシリンダー内側の液体を加熱するのを避けるようにしなければならない。」
　
イ　本件発明における「環境」の定義は、【００２９】に記載されているように「ガスシリンダーを囲む雰囲気」であると認められる。
　
ウ　本件発明における「環境温度」の定義は本件特許明細書には記載されていない。また、被請求人の主張する「環境の加熱されていない温度」であると解釈すべき根拠は認められない。すなわち、本件特許明細書には、ガスシリンダー内の液体温度を環境の加熱されていない温度を超えないで、環境とガスシリンダーとの間の伝熱速度を増加する伝熱速度増加手段は記載されていない。
　被請求人が主張する「環境温度」の定義を裏付ける本件特許明細書の記載箇所には、ホットプレート又は電気的に制御されたプレナム板やスリットにより加熱する前の環境の温度を特に「環境温度」と呼ぶとの記載はない。
　
エ　したがって、「環境温度」とは、本件特許明細書の【００２９】で定義された「環境」の温度のことであり、環境が加熱される場合には、加熱された後の環境の温度であると認められる。
　
オ　本件発明における「伝熱速度増加手段」の定義は本件特許明細書には記載されていないので、「伝熱速度増加手段」とは、その文言を一般的な技術用語として理解すれば、「伝熱速度」を「増加」する「手段」であると認められる。
　そして、「伝熱速度」については上記の記載事項より、（１）総合伝熱係数、（２）伝熱に有効な表面領域、（３）環境とガスシリンダーとの間の温度差の３つの要素に支配されるものであると理解できるから、「伝熱速度増加手段」とは、該３つの要素を伝熱速度が増加するように調整する手段であると理解できる。
　
カ　したがって、本件の請求項１の記載は明確でないとはいえない。
　また、請求項２乃至２４及び請求項４６乃至４８についても同様に、記載が明確でないとはいえない。
　
第８　むすび
　以上のとおりであるから、本件発明１、４、１０、２５、２９及び３５に係る特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してなされたものであるから、同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきものである。
　また、本件発明２、３、５、６、９、１４乃至２４、２６乃至２８、３０、３３、３４、３８乃至４５に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきものである。
　また、本件発明１乃至４８に係る特許は、特許法第３６条第４項の規定に違反してなされたものであるから、同法第１２３条第１項第４号に該当し、無効とすべきものである。
　
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。
　
　よって、結論のとおり審決する。