【手続補正書】
【提出日】平成17年8月24日(2005.8.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を支持するための装置であって、
前記基板を支持するように適合される第１の側部と、前記第１の側部の一部分との境界を規定する第１の縁部とを有する支持プレートと、
前記第１の縁部の近くに回転可能に配置された第１の本体と、
前記第１の本体に半径方向に結合され、且つ前記第１の本体が回転するときに前記基板を前記第１の側部に平行な第１の方向へ移動させるように適合された第１の押し込み部材であって、前記第１の押し込み部材は、前記第１の本体の回転により画成された第１の回転軸、前記第１の回転軸と異なる向きの第２の回転軸を有する、前記第１の押し込み部材と、
を備える装置。
【請求項２】
前記第２の回転軸が、前記第１の回転軸に対して垂直である、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１の押し込み部材が、前記基板を移動させるように適合された凹面を有する、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記第１の本体が、アクチュエータに結合された、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記第１の本体の回転軸と前記第１の押し込み部材との間に結合されたローラーを更に備える、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記本体が、
貫通して第１の孔が形成された第１のフランジと、
貫通して第２の孔が形成された第２のフランジと、
前記第１および第２のフランジに結合された中央部分と、
前記第１および第２のフランジ間に配置されたローラーであって、前記本体の前記第１の軸に平行に配置された第２の回転軸を有し、前記第２の軸が、前記第１の軸と前記中央部分との間に画成される、前記ローラーと、
を更に備え、
前記第１の孔と前記第２の孔は、前記第１の本体の第１の回転軸と同軸に整列されている、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記第１および第２のフランジの少なくとも一方と前記ローラーとの間に配置された付勢部材を更に備え、前記付勢部材が、前記第１の軸を中心にして前記第１の本体を移動させるように適合されている、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
冷却プレートと、
前記冷却プレートに結合され、且つ前記冷却プレートが前記第１の本体に対して移動するときに前記ローラーを移動させるように適合されている作動フィンガーと、
を更に備える、請求項６に記載の装置。
【請求項９】
前記支持プレートの第２の縁部の近くに回転可能に配置された第２の本体であって、前記第２の縁部が、前記第１の縁部に隣接して配置される第２の本体と、
前記第２の本体に半径方向に結合され、且つ前記第２の本体が回転するときに前記基板を前記第１の方向と異なる第２の方向へ側方に移動させるように適合されている第２の押し込み部材と、
を更に備える、請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
前記支持プレートの第３の縁部の近くに回転可能に配置された第３の本体であって、前記第３の縁部が、前記第１の縁部に隣接して配置されかつ前記第２の縁部の反対側にある第３の本体と、
前記第３の本体に半径方向に結合され、且つ前記第３の本体が回転するときに前記基板を前記第１の方向と反対の方向へ移動させるように適合されている第３の押し込み部材と、
前記支持プレートの第４の縁部の近くに回転可能に配置された第４の本体であって、前記第４の縁部が、前記第２の縁部の反対側に配置された第４の本体と、
前記第４の本体に半径方向に結合され、且つ前記第４の本体が回転するときに前記基板を前記第２の方向と反対の方向へ移動させるように適合されている第４の押し込み部材と、
を更に備える、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
基板支持体上において基板を位置合わせするための方法であって、
基板を支持体上に配置するステップと、
前記基板を第１の方向へ押し込む為に第１の押し込み部材を回転させるステップと、
前記基板を前記第１の方向と異なる第２の方向へ押し込む為に第２の押し込み部材を回転させるステップと、
前記第１の軸に対し垂直に画成された第２の軸を中心にして前記第１の押し込み部材を回転させるステップと、
ことを含む方法。
【請求項１２】
前記第１の押し込み部材を回転させるステップが、
前記支持体に平行に画成された第１の軸を中心にして前記第１の押し込み部材を回転させることを更に含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記第１の軸に垂直に画成された第２の軸を中心にして前記第１の押し込み部材を回転させるステップを更に含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記第１の押し込み部材を回転させるステップが、
冷却プレートを前記支持体に向かって持ち上げて、前記第１の押し込み部材を回転させることを更に含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】
基板を支持する為の装置であって：
前記基板を支持するように適合される第１の側部と、前記第１の側部の一部分との境界を規定する第１の縁部とを有する支持プレートであって、前記支持プレートは前記第１の側部に対し垂直に突き出た中心線に対し固定されている、前記支持プレートと、
前記第１の縁部の近くにあり、前記支持プレートの平面に対し平行な軸を中心として回転可能な第１の本体と、
前記第１の本体に半径方向に結合され、且つ前記第１の本体が回転するときに前記基板を前記第１の側部に平行な第１の方向へ押し込むように適合されている第１の押し込み部材と、
を備える、前記装置。
【請求項１６】
前記第１の押し込み部材は、前記第１の本体の軸周りに回転する回転軸を有する、請求項１５記載の装置。
【請求項１７】
前記第１の押し込み部材は、前記第１の本体の回転により画成される第１の回転軸と、前記支持プレートの中心線に対し選択的に平行となり得る第２の回転軸を有する、請求項１５記載の装置。
【請求項１８】
前記第１の押し込み部材は、前記本体の前記中心線に対し平行な軸周りに回転するように選択的に向けられる、請求項１５記載の装置。
【請求項１９】
前記第１の押し込み部材は、凹部の円筒面を有する、請求項１５記載の装置。  
【請求項２０】
前記第１の本体は、アクチュエータに結合されている、請求項１５記載の装置。
【請求項２１】
第１の本体の回転軸と第１の押し込み部材との間の本体に結合されたローラーであって、前記ローラーは、前記第１の本体の回転軸に対し平行な回転軸を有する、前記ローラを更に備える、請求項１５記載の装置。  
【請求項２２】
前記第１の本体は、
貫通して第１の孔が形成された第１のフランジと、
貫通して第２の孔が形成された第２のフランジと、
前記第１のフランジおよび前記第２のフランジに結合された中央部分と、
前記第１および第２のフランジ間に配置されたローラーであって、前記第１の本体の前記第１の軸に平行に向けられた第２の回転軸を有し、前記第２の軸が、前記第１の軸と前記中央部分との間に画成される、前記ローラーと、
を備え、前記第１の孔と前記第２の孔は、前記第１の本体の第１の回転軸と同軸上に整列されている、請求項１５記載の装置。
【請求項２３】
前記第１および第２のフランジの少なくとも一方と前記ローラーとの間に配置された付勢部材を更に備え、前記付勢部材が、前記第１の軸を中心にして前記第１の本体を押し込むように適合されている、請求項２２に記載の装置。
【請求項２４】
冷却プレートと、
前記冷却プレートに結合され、且つ前記冷却プレートが前記本体に対して移動するときに前記ローラーを押し込むように適合される作動フィンガーと、
を更に備える、請求項２２に記載の装置。
【請求項２５】
前記支持プレートの第２の縁部の近くに回転可能に配置された第２の本体であって、前記第２の縁部が、前記第１の縁部に隣接して配置される第２の本体と、
前記第２の本体に半径方向に結合され、且つ前記第２の本体が回転するときに前記基板を前記第１の方向と異なる第２の方向へ押し込むように適合される第２の押し込み部材と、
を更に備える、請求項１５に記載の装置。
【請求項２６】
前記支持プレートの第３の縁部の近くに回転可能に配置された第３の本体であって、前記第３の縁部が、前記第１の縁部に隣接して配置されかつ前記第２の縁部の反対側にある第３の本体と、
前記第３の本体に半径方向に結合され、且つ前記第３の本体が回転するときに前記基板を前記第１の方向と反対の方向へ押し込むように適合される第３の押し込み部材と、
前記支持プレートの第４の縁部の近くに回転可能に配置された第４の本体であって、前記第４の縁部が、前記第２の縁部の反対側に配置された第４の本体と、
前記第４の本体に半径方向に結合され、且つ前記第４の本体が回転するときに前記基板を前記第２の方向と反対の方向へ押し込むように適合される第４の押し込み部材と、
を更に備える、請求項２５に記載の装置。
【請求項２７】
基板を支持する為の装置であって：
上部に基板を支持するように適合され、貫通して垂直に伸びる中心線に対し回転可能に固定された支持プレートと；
第１の回転軸と第２の回転軸を有する第１の押し込み部材であって、第１の回転軸は、第２の回転軸に対し垂直に向けられ、第１の押し込む部材は、第１の方向に前記基板を押し込むように適合されている、前記第１の押し込み部材と；
第３の回転軸と第４の回転軸を有する第２の押し込み部材であって、前記第３の回転軸は、前記第１の回転軸に対し平行に、前記第３の回転軸に対し垂直に向けられ、前記第２の押し込み部材は、前記第１の方向とは反対の第２の方向に前記基板を押し込むように適合されている、前記第２の押し込み部材と、
を備える、前記装置。
【請求項２８】
前記第１の回転軸に対し垂直に配置された第５の回転軸と、前記第５の回転軸に対し垂直に向けられた第６の回転軸を有する、第３の押し込み部材であって、前記第３の押し込み部材は、第３の方向に前記基板を押し込むように適合されている、前記第３の押し込み部材と；
前記第５の回転軸に対し平行に配置された第７の回転軸と、前記第７の回転軸に対し垂直に向けられた第８の回転軸を有する第４の押し込み部材であって、前記第１，第３，第４，第７の軸が、単一平面内に横たわり、前記第２の押し込み部材は、前記第３の方向と反対の第４の方向に前記基板を押し込むように適合されている、前記第４の押し込み部材と；
を更に備える、請求項２７記載の装置。
【請求項２９】
前記第１の押し込む部材は、凹部接触面を更に備える、請求項２７記載の装置。
【請求項３０】
前記第３の方向は、前記第１の押し込み部材の前記凹部接触面に接する、請求項２８記載の装置。  
【請求項３１】
前記押し込み部材の少なくとも一つに結合するアクチュエータを更に備える、請求項２７記載の装置。
【請求項３２】
前記アクチュエータは、前記第１の軸に対し移動可能な冷却プレートである、請求項２７記載の装置。
【請求項３３】
基板を支持する為の装置であって：
基板支持体と；
第１のアクチュエータと；
前記第１のアクチュエータにより前記基板支持体に向かって移動可能であり、第１の回転軸を有する、第１の押し込み部材と；
第２のアクチュエータと；
前記第２のアクチュエータにより前記基板支持体に向かって移動可能な第２の押し込み部材であって、前記第１の回転軸で前記第１の押し込み部材が回転させる方向で、前記基板支持体上で基板を変位させるように構成されている、前記第２の押し込み部材と；
を備える、前記装置。  
【請求項３４】
基板を支持する為の装置であって：
基板支持体と；
前記基板支持体の上面に対し垂直に選択的に回転される第１の回転軸を有する、第１の押し込み部材と；
前記基板支持体の前記上面に対し垂直に選択的に回転される第１の回転軸を有する、第２の押し込み部材と；
を備える、前記装置。
【請求項３５】
前記第１の押し込み部材の前記第１の回転軸は、前記第２の押し込み部材の前記第１の回転軸に対し平行な少なくとも２つの位置間で選択的に回転可能である、請求項３４記載の装置。
【請求項３６】
前記第１の押し込み部材および前記第２の押し込み部材の前記第１の回転軸は、実質的に水平位置および実質的に垂直位置間で回転可能である、請求項３４記載の装置。
【請求項３７】
前記第１の押し込み部材の前記第１の回転軸は、前記第２の押し込み部材の第１の回転軸が回転する回転軸に対し実質的に垂直な軸で回転する、請求項３４記載の装置。
【請求項３８】
第１の環境と第２の環境との間で基板を搬送するロードロックチャンバであって：
第１の基板搬送ポートと第２の基板搬送ポートを有するチャンバ本体と；
前記チャンバ本体内部に配置され、前記基板を支持するように適合された第１の側部を有する、支持プレートと；
第１の回転軸と、前記第１の回転軸に対し垂直な第２の回転軸とを有する第１の押し込み部材であって、前記押し込み部材が前記第１の軸の周りに回転されるとき、第１の方向に前記基板を押し込むように適合されている、前記第１の押し込み部材と；
を備える、前記ロードロックチャンバ。
【請求項３９】
前記第１の押し込み部材は、前記基板を押し込むように適合された凹面を有する、請求項３８記載のロードロックチャンバ。
【請求項４０】
前記第２の回転軸は、前記第１の回転軸に対し垂直である、請求項３８記載のロードロックチャンバ。
【請求項４１】
前記支持プレートの第１縁部付近に配置され、前記第１縁部に平行な第１の回転軸を有する、本体を更に備える、請求項３８記載のロードロックチャンバ。
【請求項４２】
前記本体が、
貫通して第１の孔が形成された第１のフランジと、
貫通して第２の孔が形成された第２のフランジと、
前記第１および第２のフランジに結合された中央部分と、
前記第１および第２のフランジ間に配置されたローラーであって、前記本体の前記第１の軸に平行に配置された第２の回転軸を有し、前記第２の軸が、前記第１の軸と前記中央部分との間に画成される、前記ローラーと、
を更に備え、
前記第１の孔と前記第２の孔は、前記第１の本体の第１の回転軸と同軸に整列されている、請求項４１に記載の装置。
【請求項４３】
基板支持体上に基板を整列する方法であって：
支持体上に基板を配置するステップと；
第１の軸の周りに第１の押し込み部材を回転させ、前記基板を第１の方向に押し込むステップと；
前記第１の方向とは異なる第２の方向に前記基板を押し込むステップであって、前記第１の押し込み部材を第２の軸の周りに回転させる、前記ステップと；
を備える、前記方法。
【請求項４４】
第１の押し込み部材を回転させるステップは、前記支持体に対し平行に画成された第１の軸の周りに前記第１の押し込み部材を回転させる工程を更に備える、請求項４３記載の方法。
【請求項４５】
前記第１の軸に対し垂直に画成された前記第２の軸の周りに前記第１の押し込み部材を回転させるステップを更に備える、請求項４４記載の方法。
【請求項４６】
前記第１の押し込み部材を回転させるステップは、前記第１の押し込み部材を回転させる為に、前記支持体に向かって冷却プレートを持ち上げる工程を更に備える、請求項４３記載の方法。
【請求項４７】
前記第２の方向に前記基板を押し込むステップは、前記第１の押し込み部材の前記第１の軸に対し垂直な軸で第２の押し込み部材を回転させる工程を更に備える、請求項４３記載の方法。  
【請求項４８】
前記第１の方向における前記基板の運動は、前記第２の押し込み部材を第２の軸で回転させる、請求項４３記載の方法。  
【請求項４９】
基板支持体上で基板を整列させる方法であって：
支持体上に基板を配置するステップと；
前記支持体に向かって冷却プレートを持ち上げ、整列機構を起動するステップと；
前記起動に応答して、前記基板を第１の方向に押し込む為に、前記整列機構の第１の押し込み部材を前記支持体の中心に移動させる、ステップと；
を備える、前記方法。  
【請求項５０】
基板支持体上で基板を整列させる方法であって：
支持体上に基板を配置するステップと；
前記支持体に向かって冷却プレートを持ち上げ、整列機構を起動するステップと；
前記起動に応答して、前記基板を第１の方向に押し込む為に、前記支持体の中心に向かって第１の押し込み部材を回転させるステップと；
前記第１の方向に対し垂直に画成された第２の軸の周りに前記第１の押し込み部材を回転させるステップと；
を備える、前記方法。