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　特願２００５−３５７３５６「支持デバイス及びリソグラフィ装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１８年　７月２０日出願公開、特開２００６−１９１０１９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１７年１２月１２日（パリ条約による優先権主張　平成１６年１２月１３日　米国）の出願であって、平成２１年７月１０日付けで手続補正がなされ、同年９月１４日付けで拒絶理由が通知され、同年１２月１６日付けで意見書及び手続補正書が提出され、平成２２年２月８日付けで平成２１年１２月１６日付け手続補正についての補正の却下の決定がなされるとともに同日付けで拒絶査定がなされ、これに対して同年６月４日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　その後、平成２３年８月１８日に当審合議体と審判請求人との間で面接が行われ、同年９月２８日付けで審判請求人により上申書が提出された。
　
　
　
２．本願の請求項１の記載
　平成２１年７月１０日付け手続補正によって補正された特許請求の範囲の請求項１の記載は以下のとおりである。
　
「　ガス・チャンバと圧力コントローラとを備えたガス・チャンバ・アセンブリを備えた、対象物を支持するための振動絶縁支持デバイスであって、
　前記ガス・チャンバが支持力を提供するための一定量の加圧ガスを収容するようになされ、前記ガス・チャンバの壁に配置されたたわみ膜を備え、
　前記圧力コントローラが、前記ガス・チャンバの体積変化による前記ガス・チャンバ内のガスの圧力変化を小さくするように機能し、
　前記ガス・チャンバ内をスライド可能に移動することができる、前記加圧ガスによる前記支持力がかかる可動部材をさらに備え、前記たわみ膜の剛性と前記たわみ膜の表面積の比率が、前記支持デバイスの剛性と前記支持力がかかる前記可動部材の表面積の比率に実質的に等しい、振動絶縁支持デバイス。」
　
　
　
３．拒絶理由及び拒絶査定の理由
　原審の平成２１年９月１４日付け拒絶理由通知書の「理由１」は、次のとおりである。
『　この出願は、特許請求の範囲及び発明の詳細な説明の記載が下記の点で、特許法第３６条第４項第１号及び第６項第２号に規定する要件を満たしていない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　請求項１、３及び５には、「前記たわみ膜の剛性と前記たわみ膜の表面積の比率が、前記支持デバイスの剛性と前記支持力がかかる前記可動部材の表面積の比率に実質的に等しい」なる記載がある。
　ここで、「たわみ膜の剛性」及び「支持デバイスの剛性」とは、具体的にいかなるパラメータを意味しているのか不明瞭である。また、本願明細書の発明の詳細な説明においても、「剛性」に関して定義がなされていない。したがって、本願請求項における上記記載において、剛性と表面積の比率をどのように算出すればよいのか、当業者であっても理解することができない。』
　
　
　
４．審判請求人の主張
　これに対して、審判請求人は、平成２１年１２月１６日付け意見書の「（４）理由１について」において、以下のように主張している。
『　（イ）「剛性」の定義について
　まず、本願発明に規定された「剛性」について、以下のように申し述べます。
　本願発明にいう「剛性」とは、英語にいう“stiffness”に相当します。本願出願人は在外者であり、本願発明における技術用語「剛性」は英語の“stiffness”の訳語として採用されたものです。英語圏の技術用語辞典において、“stiffness”は当業者が特定の物理的特性を示すものとして厳格に定義がされている技術用語です。例えば、以下のＵＲＬで参照されるウェブサイトに“stiffness”の定義が説明されています。
（ウェブサイト１）
http://en.wikipedia.org/wiki/Stiffness
（ウェブサイト２）
http://en.wikipedia.org/wiki/Hooke%27s_law
　ウェブサイト１では、「剛性」“stiffness”が次のように定義されています。
・・・
（訳語）「定義
　物体の剛性（ｋ）は、変形（屈曲、伸張、または圧縮）する弾性体によってもたらされる抵抗の尺度をいい、
　
ここで、Pは該物体に適用される静力、δは該力（例えば、ビームの偏向や、伸張するバ
ネの長さの変化）により生成される変位である」
　ウェブサイト２では、フックの法則“Hooke’s Law”の定義において次のように説明されています。
・・・
（訳語）「フックの法則は、数学的に、
　
と示される。ここで、ｘは平衡点からのバネの末端の変位であり、Ｆはその材料によって生じる付勢力であり、ｋは力定数（またはバネ定数）である。」
　
　以上の辞典の説明から明らかなように、「剛性」は、バネ定数ｋに相当する弾性体によってもたらされる抵抗の尺度であると、当業者に自明に理解される技術用語であります。
　
　（ウ）たわみ膜の剛性および支持デバイスの剛性についての説明
・・・
　
　（エ）理由１が解消された理由
　上記（イ）で説明しましたように、本願発明における「剛性」“stiffness”という技術用語は、本願明細書に記載されるまでもなく、当業者が自明の事項として理解しうるものであります。また、本願発明における「たわみ膜の剛性」及び「支持デバイスの剛性」は、上記（エ）で説明したようなパラメータと計算過程で導かれるものであります。』
　
　
　
５．当審の判断
５−１．「たわみ膜の剛性」について
　まず最初に、「振動絶縁支持デバイス」の技術分野において、「たわみ膜の剛性」という用語は一般には用いられていない。また、「たわみ膜の剛性」が本願の優先日時点で当業者にとって自明（技術常識）であったとする根拠も見出せない。
　
　次に、本願請求項１に記載の「たわみ膜の剛性」がどのような物理量を表すものであるのかについて、本願明細書の発明の詳細な説明及び図面には何ら記載がない。
　
　一方、審判請求人の上記「４．審判請求人の主張」によれば、本願請求項１に記載の「たわみ膜の剛性」とは、たわみ膜をバネに見立てた場合におけるバネ定数、すなわち、たわみ膜に作用する力とたわみ膜の変位との間の比例定数を表すものであると主張している。しかしながら、そのような技術的事項が、本願の優先日時点で当業者にとって自明であったとするいかなる根拠も見出せない。
　なお、審判請求人は、平成２１年１２月１６日付け意見書において、ウェブサイト１及び２の記載を引用して、これらを関連付けることによって「剛性」の技術用語としての意味を説明しているが（上記「４．審判請求人の主張」参照）、当該ウェブサイトは、一方が静力に対する変形の割合について、他方がフックの法則について、それぞれ述べたものであり、両者は異なる物理量について説明したものであるから、これらを関連付けること自体が意味をなさないものであり、これらの記載をもって上記のような技術的事項が本願の優先日時点で当業者にとって自明であったとはいえない。
　
　また、本願明細書の発明の詳細な説明及び図面を参酌しても、それを具体的にどのように測定し、どのような手段により制御できるのかも明らかでない。
　してみると、当業者といえども、「たわみ膜の剛性」を特定することができない。
　
　
５−２．「支持デバイスの剛性」について
　まず最初に、「振動絶縁支持デバイス」の技術分野において、「支持デバイスの剛性」という用語は一般には用いられていない。また、「支持デバイスの剛性」が本願の優先日時点で当業者にとって自明（技術常識）であったとする根拠も見出せない。
　
　次に、本願請求項１に記載の「支持デバイスの剛性」がどのような物理量を表すものであるのかについて、本願明細書の発明の詳細な説明及び図面には何ら記載がない。
　
　一方、審判請求人の上記「４．審判請求人の主張」によれば、本願請求項１に記載の「支持デバイスの剛性」とは、支持デバイスをバネに見立てた場合におけるバネ定数、すなわち、支持デバイスに作用する力と支持デバイスの変位との間の比例定数を表すものであると主張している。しかしながら、そのような技術的事項が、本願の優先日時点で当業者にとって自明であったとするいかなる根拠も見出せない。
　なお、「剛性」の技術用語としての意味については、「５−１」で述べたとおりである。
　
　また、本願の明細書及び図面を参酌しても、それを具体的にどのように測定し、どのような手段により制御できるのかも明らかでない。
　してみると、当業者といえども、「支持デバイスの剛性」を特定することができない。
　
　
５−３．実施可能要件について
　上記「５−１」及び「５−２」で述べたように、本願請求項１に記載の「たわみ膜の剛性」及び「支持デバイスの剛性」の技術的意味が特定できないのに加え、これらの表面積との比率の関係を特定した本願請求項１に記載の以下の構成、
「前記たわみ膜の剛性と前記たわみ膜の表面積の比率が、前記支持デバイスの剛性と前記支持力がかかる前記可動部材の表面積の比率に実質的に等しい」（以下「特定構成」という。）
を如何にして実施できるのか、本願明細書の発明の詳細な説明及び図面には、一切記載されていない。また、そのような事項が、本願の優先日時点で当業者にとって自明な事項であるとはいえない。
　したがって、当業者といえども、本願明細書の発明の詳細な説明及び図面の記載をもって、上記特定構成を実施できるとはいえない。
　
　
　
６．むすび
　上記「５−１」及び「５−２」で述べたように、本願請求項１に記載の発明の「たわみ膜の剛性」及び「支持デバイスの剛性」はその技術的意味が特定できないから、本願請求項１に記載の発明は明確でない。
　よって、本願請求項１に記載の発明は、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。
　
　また、上記「５−３」で述べたように、本願明細書の発明の詳細な説明の記載は、当業者が本願請求項１に記載の発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載されたものとはいえないから、本願明細書の詳細な説明は、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない。
　
　よって、結論のとおり審決する。
　
　
　
[進歩性についての付言]
　
　既に述べたように、本願請求項１に記載の「たわみ膜の剛性」及び「支持デバイスの剛性」はそれらの技術的意味が特定できない。仮に、本願請求項１に記載の発明の以下の構成
「前記たわみ膜の剛性と前記たわみ膜の表面積の比率が、前記支持デバイスの剛性と前記支持力がかかる前記可動部材の表面積の比率に実質的に等しい」
に格別な技術的意味がないとして、本願請求項１に係る発明を認定するとすれば、以下に述べる理由により、本願請求項１に係る発明は進歩性を有しない。
　
　本願請求項１に係る発明と、本願の優先日前に頒布され、原審の拒絶の理由に引用された刊行物である特開平０２−１９５０３７号公報（以下「引用例」という）に記載の発明とは、実質的に以下の点で相違すると認められる。
　
（相違点）
　本願請求項１に係る発明が、「ガス・チャンバの壁に配置されたたわみ膜を備え」ているのに対し、引用例に記載の発明では、（「ガス・チャンバ」に相当する）空気ばね本体とゴム風船との接続形態が不明である点。
　
　上記相違点について検討する。
　引用例に記載の発明におけるゴム風船は、空気ばね本体の圧力変化を緩和するために設けられた弾性体であり（引用例の第３頁右上欄第１行乃至左下欄第６行参照）、その具体的形状は当業者が適宜設計することができるものであると認められるから、引用例に記載の発明におけるゴム風船を、たわみ膜として（「ガス・チャンバ」に相当する）空気ばね本体の壁に設けることは、当業者が容易に想到し得ることである。また、当該構成とすることに対する阻害要因も認められない。
　なお、審判請求人は、平成２３年９月２８日付け上申書及び平成２３年１１月９日における電話応対において、本願請求項１に係る発明は“狭管を介さずにたわみ膜が設けられているので、高い周波数の変動も効果的に緩和できる”という効果を主張しているが、狭管を介していれば抵抗が大きくなることは、流体力学上の技術常識であり、よって、引用例に記載の発明において、ゴム風船をたわみ膜として空気ばね本体の壁に（狭管を介さずに直接）設けることにより、当該効果を奏することは当業者であれば予測し得るものであり、格別なものとはいえない。
　
　
　なお、審判請求人は、平成２３年９月２８日付け上申書において、以下のように主張している。
『（イ）また、本願発明の「振動絶縁支持デバイス」は引用文献１記載の空気ばねに比べてリソグラフィ装置の振動絶縁に適するという性質を有します。本願の図３に示されるように、本願発明の「振動絶縁支持デバイス」に相当するエアマウント２０は、対象４と床６との間に設けられ振動の伝播を緩和します。リソグラフィ装置に用いられる場合、対象４はリソグラフィ装置の骨格に相当するメトロロジー・フレームになります。その重量は、例えば２０００ｋｇといった重量になります。このため、メトロロジー・フレームを支えるためには、少なくとも３つのエアマウントを配置する必要があります。その場合、引用文献１記載の空気ばねは風船状の補助室に高気圧が印加されますので、このような重量によって印加される内圧に耐えられないと考えられます。また高い内圧に耐えられるように引用文献１記載の風船状の補助室を用いた空気ばねを設計するのは容易ではありません。
　これに対し、本願発明の「振動絶縁支持デバイス」によれば、設計および製造の容易な比較的単純な構造を有しておりますので、引用文献記載の発明のような欠点が存在せず、上述したように緩和可能な振動の周波数成分にも制限がありません。よって、本願発明の「振動絶縁支持デバイス」は、リソグラフィ装置におけるメトロロジー・フレームを支えながら振動を絶縁する装置として適した構造と機能を備えているのです。』
　しかしながら、本願の請求項１に係る発明では、たわみ膜の具体的構成（例えば、材質や形状等）が特定されたものではなく、本願請求項１に係る発明に基づかない主張であるから、上記のような大重量の支持装置に適用して有利であるとの主張は採用できない。なお、本願の明細書及び図面全体の記載においても、たわみ膜の具体的構成は開示されていない。振動の周波数成分については、前述したとおりである。
　
　同じく、審判請求人は、平成２３年９月２８日付け上申書において、以下のように主張している。
『引用文献１記載の空気ばねは、第３図の空気ばね本体１０の構造から明らかなように、ピストンに相当する部材の周囲に弾性膜が設けられており、さらに上記絞りのように機能する連結管を介して風船状の補助室２０’が設けられていますので、弾性を有する部材が複数存在し、内部の挙動を表す一般式は、本願発明規定の関係より複雑なものとなります。
　この点、本願発明の「振動絶縁支持デバイス」は、比較的単純な構造を有していることから、今までの過程で説明させて頂きましたように上記関係を最適条件として導くことができるのです。』
　しかしながら、引用例に記載の発明におけるベロフラム１２は、弾性体ではなく、単に空気ばね本体内のガスを収容するためのものであると認められる（このことは、引用例第３頁右上欄に記載されている空気ばねのばね定数ｋ１の式に当該ベロフラム１２の弾性特性が含まれていないことからも明らかである）。よって、引用例に記載の発明がベロフラム１２を有することは、何ら本願発明との相違点とはいえない。
　
　したがって、本願請求項１に係る発明は、引用例に記載の発明に基いて、当業者が容易になし得たものである。