【誤訳訂正書】
【提出日】平成17年8月11日(2005.8.11)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【書類名】          明細書
【発明の名称】      フィルム上にサブミクロンパターンを形成するための方法及び装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】  基板上にパターン付フィルムを形成するための方法において、前記方法が：
前記基板上に第１の流動可能な材料を提供し、前記第１の流動可能な材料上に、該第１の流動可能な材料とは異なる誘電特性を有する第２の流動可能な材料を提供する工程であって、この際に前記第１の流動可能な材料と前記第２の流動可能な材料との間に界面が画成される工程；
前記第１の流動可能な材料に前記界面に沿ってパターン構造を形成するに十分な時間にわたり前記界面に電場を印加する工程；及び
前記第１の流動可能な材料の前記パターン構造を硬化させて、前記パターン付フィルムを形成する工程；
を有してなる方法。
【請求項２】  前記第２の流動可能な材料がいずれかの圧力にある気体であることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】  前記第２の流動可能な材料が液体であることを特徴とする請求項１記載の方法
【請求項４】  前記電場を印加する工程が、前記構造を画成するために、前記電場の強度を前記界面に沿って横方向に変化させる工程を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項５】  前記構造をさらに画成するために、前記基板上に第１の流動可能な材料を提供する前に、横方向に変化する表面エネルギーを前記基板に提供する工程をさらに含むことを特徴とする請求項４記載の方法。
【請求項６】  前記構造をさらに画成するために、前記基板上に第１の流動可能な材料を提供する前に、横方向に変化する表面エネルギーを前記基板に提供する工程をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項７】  前記基板が下部電極を含み、前記電場を印加する工程が、前記下部電極と、少なくとも前記第１及び第２の流動可能な材料により前記下部電極から隔てられた上部電極との間に電圧を印加する工程を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項８】  前記上部及び下部電極の内の少なくとも１つが、横方向で変化する電極間隔を画成する外形を有することを特徴とする請求項７記載の方法。
【請求項９】  前記上部及び下部電極の内の少なくとも１つが相異なる導電度を有する複数の領域を横方向に含むことを特徴とする請求項７記載の方法。
【請求項１０】  前記基板が前記下部電極と前記第１の流動可能な材料との間に配置された非導電性材料層を含むことを特徴とする請求項７記載の方法。
【請求項１１】  前記非導電性材料層が相異なる誘電特性を有する複数の領域を横方向に含むことを特徴とする請求項１０記載の方法。
【請求項１２】  前記上部電極が非導電性材料層により前記第２の流動可能な材料から隔てられていることを特徴とする請求項７記載の方法。
【請求項１３】  前記非導電性材料層が相異なる誘電特性を有する複数の領域を横方向に含むことを特徴とする請求項１２記載の方法。
【請求項１４】  前記基板が、個別に電圧を印加することができる複数の下部電極を含むことを特徴とする請求項７記載の方法。
【請求項１５】  前記電場を印加する工程が、前記下部電極と、少なくとも前記第１及び第２の流動可能な材料により前記下部電極から隔てられた、個別に電圧を印加することができる複数の上部電極との間に、複数の電位差を生成する工程を含むことを特徴とする請求項７記載の方法。
【請求項１６】  前記第１の流動可能な材料が液体であることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１７】  前記硬化させる工程が、前記第１の流動可能な材料を冷却する工程を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１８】  前記硬化させる工程が、前記第１の流動可能な材料において化学反応を開始させる工程を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１９】  前記硬化させる工程が、前記第１の流動可能な材料を重合させる工程を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項２０】  前記硬化させる工程が、前記第１の流動可能な材料を架橋させる工程を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項２１】  前記パターン付フィルムを露出させるために、前記上部電極及び前記第２の流動可能な材料を前記硬化した構造から引き離す工程をさらに含むことを特徴とする請求項７記載の方法。
【請求項２２】  前記基板上に第２のパターン付フィルムを形成するために、前記提供する工程、印加する工程及び硬化させる工程を繰り返す工程をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項２３】  前記パターン付フィルムが前記基板の選択された領域を露光させ、前記方法が前記露光された領域のそれぞれにおいて前記基板の層を除去する工程をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項２４】    前記パターン付フィルムが前記基板の選択された領域を露光させ、前記方法が前記基板の前記露光された領域のそれぞれにおいて材料層を被着する工程をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項２５】  それぞれが少なくとも１つの下部電極を有する複数の基板上にパターンを作成するための方法において、前記方法が：
少なくとも１つの上部電極を有してなる、前記パターンを形成するための母型を提供する工程；
前記複数の基板の内の１つの基板上に第１の流動可能な材料を提供する工程；
前記母型を、前記第１の流動可能な材料とは異なる誘電特性を有する少なくとも第２の流動可能な材料により前記第１の流動可能な材料から隔てて、前記第１の流動可能な材料の上方に配置する工程であって、この際に前記第１の流動可能な材料と前記第２の流動可能な材料との間に界面が画成される工程；
前記下部電極の内の少なくとも１つと前記上部電極の内の少なくとも１つとの間に、前記第１の流動可能な材料に前記界面に沿って構造を形成するに十分な時間にわたり、電圧を印加する工程；
前記パターンを形成するために、前記第１の流動可能な材料に形成された構造を硬化させる工程；及び
前記複数の基板の内の前記１つの基板以外の基板のそれぞれに対して、前記母型を用いて、前記第１の流動可能な材料を提供する工程、前記配置する工程、前記印加する工程、及び前記硬化させる工程を繰り返す工程；
を有してなる方法。
【請求項２６】  請求項１記載の方法により作成されたパターン付フィルム。
【請求項２７】  印加した電場が前記界面を不安定化することを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項２８】  前記パターン構造がよく定められた波長の波状表面起伏を有することを特徴とする請求項２７記載の方法。
【請求項２９】  前記パターン構造の波長が印加した電場の強度によって定まることを特徴とする請求項２８記載の方法。
【請求項３０】  前記パターン構造が柱状構造であることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３１】  前記柱状構造が定められた柱直径および定められた柱間隔を有することを特徴とする請求項３０記載の方法。
【請求項３２】  前記柱直径および柱間隔の決定要因の少なくとも一部が前記電場であることを特徴とする請求項３１記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
関連出願に関するクロスリファレンス
本出願は、１９９９年１２月２３日に出願された米国仮特許出願第６０／１７３，００１号に基づく優先権を主張するものである。上記出願はその全体が本明細書に参照として含まれる。
【０００２】
発明の分野
本発明はフィルム上にサブミクロンパターンを作成するための方法及び装置に関する。本発明は、米国政府の支援により、ＮＳＦ(米国科学財団)第ＤＭＲ−９８０９３６５号及びＤＯＥ(米国エネルギー省)第ＤＥ−ＦＧ０２−９６ＥＲ４５６１２号の下でなされた。米国政府は本発明に一定の権利を有する。
【０００３】
発明の背景
マイクロエレクトロニクス、バイオテクノロジー、接着剤、及びマイクロシステム工業においては、基板上に高解像度パターンを作成することが重要である。例えば、そのような高解像度パターンは集積回路を作成するために必要である。そのようなパターンの解像度に関する限界は、そのような集積回路の性能を制限する。現在は、微細リソグラフィが基板上へのパターンの作成に一般に用いられている。微細リソグラフィ技法は、フォトレジストを光パターンで露光する工程及び、基板上にパターンを作成するために、フォトレジストの露光または非露光部分を化学薬品を用いてエッチングする工程を必要とする。したがって、パターンの解像度は光パターンを形成するために用いられる光の波長によって制限される。
【０００４】
発明の概要
本発明は、平行平板コンデンサ内でつくられるような、外部印加電場に基板上の少なくとも１つのフィルムをさらすことにより、リソグラフィでつくられるような構造を作成するための技法に関する。外部印加電場は、フィルム内で質量移行を引きおこし、よってリソグラフィでつくられるようなパターンを形成する力をつくりだす。パターンの解像度は、電場強度、並びに誘電定数、表面エネルギー及び膜の粘性率に依存するであろう。パターンはさらに、例えばコンデンサにパターン付電極を用いることにより、電場を空間的に制御することで規定することができる。パターンはさらに、フィルムの表面エネルギーを空間的に変化させることにより規定することもできる。
【０００５】
全般的には、一態様において、本発明は基板上にパターン付フィルムを形成するための方法を特徴とする。本方法は、基板上に第１の流動可能な材料を提供し、第１の流動可能な材料上に第２の流動可能な材料を提供する工程を含む。第１及び第２の流動可能な材料は相異なる誘電特性を有し、第１の流動可能な材料と第２の流動可能な材料との間に界面が画成される。本方法はさらに、第１の流動可能な材料に界面に沿う構造を形成するに十分な時間にわたり界面に電場を印加する工程及び第１の流動可能な材料の構造を硬化させてパターン付フィルムを形成する工程を含む。
【０００６】
本発明の実施形態は、以下の特徴のいずれをも含むことができる。
【０００７】
例えば、第１の流動可能な材料は液体とすることができ、第２の流動可能な材料は別の液体またはいずれかの圧力にある気体とすることができる。さらに、硬化は：第１の流動可能な材料において化学反応を開始させる工程；第１の流動可能な材料を重合をさせる工程；または第１の流動可能な材料を架橋させる工程を含むことができる。
【０００８】
選択されたパターンをつくるため、電場の印加は、構造を定めるために電場強度を界面に沿って横方向に変化させる工程を含むことができる。さらに、本方法は構造をさらに定めるために横方向に変化する表面エネルギーを基板に与える工程を含むことができる。あるいは、本方法は、界面に沿う電場強度の横方向変化は与えずに、構造をさらに定めるために横方向に変化する表面エネルギーを基板に与える工程を含むことができる。
【０００９】
基板は下部電極を備えることができ、電場の印加は下部電極と、少なくとも第１及び第２の流動可能な材料により下部電極から隔てられた、上部電極との間に電圧を印加する工程を含むことができる。さらに、電場強度を界面に沿って横方向に変化させるため、本方法は以下のいずれをも含むことができる：上部及び下部電極の内の少なくとも１つが横方向に変化する電極間隔を定める外形を有することができる；上部及び下部電極の内の少なくとも１つが相異なる導電度を有する複数の領域を横方向に含むことができる；及び、基板が下部電極と第１の流動可能な材料との間に配置される非導電性材料層を備えることができ、非導電性材料層は相異なる誘電特性をもつ複数の領域を横方向に含む。さらに、基板は個別に電圧を印加できる複数の下部電極を備えること及び／または個別に電圧を印加できる複数の上部電極をおくことができ、よって電場強度を界面に沿って横方向に変化させることができる。例えば、外部電場の印加は、１つまたはそれより多くの下部電極と１つまたはそれより多くの上部電極との間に複数の電位差を生成する工程を含むことができる。
【００１０】
より一般的には、基板が下部電極を備える場合、基板は下部電極と第１の流動可能な材料との間に配置された非導電性材料層を含むことができる。さらに、上部電極は非導電性材料層により第２の流動可能な材料から隔てることができる。非導電性材料層は、電場強度を界面に沿って横方向に変化させるため、相異なる誘電特性を有する複数の領域を横方向に含むことができる。
【００１１】
本方法はさらに、パターン付フィルムを露出させるため、硬化された横方向構造から上部電極及び第２の流動可能な材料を引き離す工程を含むことができる。また、本方法は基板上に複数のパターン付フィルムを形成するために繰り返すこともできる。
【００１２】
さらに、本方法は微細リソグラフィに用いることができる。例えば、パターン付フィルムは基板の選択された領域を露光させることができ、本方法は基板の露光された領域のそれぞれにおいて基板層を除去する工程をさらに含むことができる。また、パターン付フィルムは基板の選択された領域を露光させることができ、本方法は基板の露光された領域のそれぞれに材料層を被着する工程をさらに含むこともできる。
【００１３】
別の態様において、本発明は前記方法で作成されたパターン付フィルムを特徴とする。
【００１４】
全般的には、別の態様において、本発明は、それぞれが少なくとも１つの下部電極を有する複数の基板上にパターンを形成するための方法を特徴とする。本方法は：少なくとも１つの上部電極を含む、パターンを形成するための母型を提供する工程；複数の基板の内の１つの基板に第１の流動可能な材料を提供する工程；母型を、第１の流動可能な材料とは異なる誘電特性を有する少なくとも第２の流動可能な材料により第１の流動可能な材料から隔てて、第１の流動可能な材料の上方に配置する工程であって、この際に第１の流動可能な材料と第２の流動可能な材料との間に界面が画成される工程；下部電極の内の少なくとも１つと上部電極の内の少なくとも１つとの間に、第１の流動可能な材料に界面に沿って構造を形成するに十分な時間にわたり、電圧を印加する工程；パターンを形成するために、第１の流動可能な材料に横方向に形成された前記構造を硬化させる工程；及び、さきのものと同じ母型を用いて、第１の流動可能な材料を提供する工程、配置する工程、印加する工程、及び硬化させる工程を、前記複数の基板の内の前記１つの基板以外の基板のそれぞれに対して繰り返す工程を含む。
【００１５】
別に定義されない限り、本明細書に用いられる技術用語及び科学用語は全て、本発明が属する技術の当業者により普遍的に理解されている意味と同じ意味を有する。本明細書に説明されるものと同様または等価な方法及び材料が本発明の実施または試験に用いられ得るが、適する方法及び材料が以下に説明される。本明細書で言及される、刊行物、特許出願、特許及びその他の参考文献は全て、その全体が本明細書に参照として含まれる。抵触がある場合には、本明細書が、定義を含めて、統御するであろう。さらに、材料、方法及び実施例は、説明のためのものでしかなく、限定することは目的とされていない。
【００１６】
本明細書に開示される技法は多くの利点を備えることができる。例えば、放射光を用いずにパターンを作成することができ、よってパターンの解像度が放射光の波長により制限されることがない。原理的に、パターンの横方向解像度は、外部印加電場を制御し、適切な特性を有するフィルムを選択することにより、任意に高くすることができる。さらに、本技法によれば、フィルムの一部をエッチングまたは除去するための化学薬品を必要とすることなく、フィルム上に高解像度パターンを作成することができる。
【００１７】
本発明のその他の特徴及び利点は、以下の詳細な説明及び特許請求の範囲から明らかになるであろう。
【００１８】
詳細な説明
本発明は、微細リソグラフィでつくられるようなパターン、例えば基板上のパターン付フィルムを作成するための方法を特徴とする。本方法は、第１の流動可能な材料と第２の流動可能な材料との間の界面を、第１の流動可能な材料にパターンを形成するに十分な時間にわたり外部印加電場にさらす工程及び、外部印加電場がなくともパターンを維持するように、第１の流動可能な材料を硬化させて、パターン付フィルムを形成する工程を含む。電場は、流動可能な材料を容量性デバイス内、例えば電位差を有する２つの電極の間におくことにより印加できる。流動可能な材料は、界面に沿う外部印加電場の局所的変化及び、電極の表面エネルギーあるいは、流動可能な材料に接する、何らかの中間層の局所的変化に応答する。したがって、そのようなパラメータを制御することにより流動可能な材料のいずれの上にも選択されたパターンを写し込むことができる。
【００１９】
パターン付フィルムを作成するための装置１００が、図１Ａに示される。基板１２０上に形成されたフィルム１１０は、第２の材料１５０で満たされた間隙１６０により上部電極１３０から隔てられる。第２の材料はいずれかの圧力にある気体(例：空気)、液体及び流動可能なプラスチックのいずれかとすることができる。第２の材料は一般に誘電性であるが、導電性または半導電性であってもよい。基板１２０の少なくとも一部分は導電性であり、下部電極を構成する。例えば、基板は半導電性ウエハとすることができる。第１及び第２の電極は、動作中に電極間に外部印加電場をつくる、電圧可変電源１４０に接続される。
【００２０】
フィルム１１０及び第２の材料１５０はラプラス圧(例：表面張力)に応答する界面１５４を定め、ラプラス圧には界面を安定化する傾向がある。しかし、外部印加電場の存在の下では、界面をはさむ誘電定数の差により、ラプラス圧及び分離圧に抗し、かつ界面を不安定化する、静電的圧力が生じる。フィルム１１０及び第２の材料１５０がそれぞれ互いに対して流動し得る状態にあれば、界面におけるフィルム構造が静電的圧力に応答して変形でき、横構造をつくる。例えば、そのような流動可能な材料には、気体、液体、ガラス及びテフロンのような流動可能なプラスチックがある。
【００２１】
一般にフィルム１１０は、例えば誘電性ポリマーまたはオリゴマーを含む、誘電材料である。例えば、フィルムは、基板１２０上にスピンコートされた、ガラス質または半結晶質ポリマー(例：ポリスチレン)とすることができる。フィルムに適するその他のポリマーには、ポリメチルメタクリレート(ＰＭＭＡ)、臭素化ポリスチレン(ＰＢｒＳ)及びポリイソプレンがある。適するオリゴマーには、スチレン及びジメチルシロキサンがある。そのようなポリマー及びオリゴマーは、フィルム材料と異なれば、間隙内の第２の材料にも適する。フィルムは、外部印加電場にさらされたときに流動化されることが好ましい。フィルムは、例えば加熱(すなわちアニール)するかあるいは溶媒または溶媒雰囲気にさらすことにより、流動化することができる。例えば、フィルムがガラス質または半結晶質ポリマーであれば、室温では固体であり、加熱時に液体に変わり得る。あるいは、例えばフィルムが既に液体であるか、または外部印加電場により与えられる静電的圧力に応じるに十分な流動性があれば、フィルムの流動化は必要がないであろう。誘電材料であるだけでなく、フィルムは導電性または半導電性材料であってもよい。しかし、フィルム１１０または第２の材料１５０が導電性である場合には、基板１２０または上部電極１３０は、電極間の短絡を防止するために非導電性層を含むことができる。そのような補助層は、フィルム１１０及び第２の材料のいずれかが、またはいずれもが、導電性でない場合であっても望ましいであろう。
【００２２】
例えば図１Ｂに示される実施形態において、基板１２０’は非導電性層１７０及び第２の電極を定める導電性層１７５を含む。以下の説明においては図１Ａの実施形態が前提とされるが、説明は図１Ｂの実施形態にも同様に適用できる。さらに、別の実施形態において、フィルム１１０は複数の誘電性、導電性または半導電性の層を含むことができる。電圧源１４０はＡＣ電源またはＤＣ電源とすることができる。
【００２３】
電圧が電極に印加されると、電極１２０と１３０との間に生じる電場が、フィルム１１０と間隙１６０との間の誘電体界面に、誘電体フィルムを最終的には不安定化し、競合する力に優る、双極子場を誘起する。フィルムには、図２Ａに示されるような、よく定められた波長をもつ波状表面起伏が発現する。時間とともに、波の振幅は大きくなり、フィルム１１０が図２Ｂに示されるように電極１３０に接触し、よって、よく定められた柱直径及び柱間隔の形態を有する柱状構造がつくられるに至る。フィルム材料を硬化または固化させることにより、図２Ｃに示されるように、この構造が維持される。例えば、構造を維持するために、温度を下げること及び／または圧力を調節することによりフィルムを秩序化(例：結晶化)することができ、フィルムは、化学反応、架橋プロセス、重合反応及びゾル−ゲルプロセスのいずれかにより固化させることもできる。
【００２４】
柱の直径及び間隔は、上部電極と下部電極との間の電位差、電極間隔、フィルム１１０及び材料１５０の誘電特性及びフィルムのラプラス圧(例：間隙１６０が気体である場合には、表面張力)のようなパラメータに依存する。
【００２５】
図２Ａ〜２Ｃで説明される実施形態は、横方向に均一な外部印加電場により形成されるデバイスに対応する。横方向に不均一な電場においては、誘電体フィルム１１０に電気的に誘起される不安定性が、電場の横方向勾配によりさらに修飾される。この効果は、誘電体フィルムの横方向構造に母型パターンを複製するために用いることができる。この目的のため、いずれか１つの電極が、または両電極が、横方向パターンを備えることができる。そのような電極パターンは、例えば、電子ビームエッチングにより作成することができる。そのような実施形態が、上部電極１３０が外形的にパターンが付けられた上部電極３３０で置き換えられている、図３Ａに示される。この場合、外部印加電場は、電場勾配の方向に、すなわち高められた電場の方向に、フィルムの波状表面起伏を集中させる。この結果、誘電体フィルムは、図３Ｂに示されるように、外形的にパターンが付けられた電極３３０に対応するパターンを形成する。誘電体フィルムを固化させると、図３Ｃに示されるように、柱状構造が維持される。さらに、パターン付フィルムのアスペクト比をパターン付電極のアスペクト比よりかなり高くすることができる。アスペクト比を高めるため、フィルムを液化し、電圧を印加しながら、上部電極と下部電極との間隔が広げられる。必要であれば、電極と基板とを相対変位させている間に、電圧を変化させることができる。さらに、別の実施形態においては、上部電極に変えて、あるいは上部電極に加えて、下部電極にもパターンを付けることができる。
【００２６】
図３Ａ〜３Ｃに示される実施形態は、いかにすれば横方向構造を定めるために電場強度を界面１５４に沿って横方向に変化させ得るかの一例を提供する。別の例では、いずれか１つの電極に、または両電極に、相異なる導電度を有する複数の領域を横方向に与えることにより、界面に沿う電場強度を横方向に変化させることもできる。例えば、いずれか１つの電極の、または両電極の組成を、横方向に変化させる(例：相異なる金属を含む個別領域を横方向に配置する)ことができる。さらに、誘電体材料の横方向変化を有する層を上部電極と下部電極との間に導入することにより界面における電場強度を変化させることができる。最後に、単一の上部電極及び単一の下部電極を用いるのではなく、複数の個別に電圧を印加できる電極を用いて、界面をはさむ複数の電圧差を相異なる電極対の間に発生させることにより、電場強度を横方向に変化させることができる。本発明の実施形態は、電場強度を界面に沿って横方向に変化させ、よって横方向構造形成のためのテンプレートを提供するための、上記のような技法の１つを、あるいはいかなる組合せも含むことができる。
【００２７】
図４Ａに示される別の実施形態においては、基板１２０が、表面エネルギーの横方向変化を有する基板４２０で置き換えられている。表面エネルギーの横方向変化は、例えば、微細密着印刷、電子またはイオンビームエッチング及び、例えば、過フッ素化材料、金属及び自己集合型アルカンチオールの内のいずれかのパターン付被着により、形成することができる。その後、フィルム１１０が基板４２０上に被着される。他の実施形態と同様に、フィルムが液化され、電圧が電極に印加される。上述したように、電場が誘電体フィルムに不安定性を生じさせる。発現する波状表面起伏は、基板の表面エネルギーパターンに対して整合する。この誘電体フィルムの構造は同じく、図４Ｂに示されるように、ポリマーを固化させることにより、電場がない状態で維持される。あるいは、別の実施形態において、電極１３０及び隣接間隙１６０が、電極４２０の代わりに、あるいは電極４２０に加えて、表面エネルギーの横方向変化を有することができる。また別の実施形態において、いずれか１つの電極の、または両電極の、表面エネルギーに横方向変化を有すること、及びいずれか１つの電極上に、または両電極上に、外形パターンを有すること、及び／または電場強度を界面に沿って横方向に変化させるための、上述した技法のその他のどのような組合せも有することができる。
【００２８】
上述した実施形態のいずれにおいても、固化したパターン付フィルムからの取り外しを容易にするために、上部電極を離型剤で処理することができる。例えば、そのような取り外しを容易にするため、技術上既知の技法を用いて、使用に先立ち、上部電極上に自己集合型アルカンの単分子層を形成することができる。
【００２９】
本発明を限定することは決して意味していないが、以下の議論は本発明の上述した実施形態及び別の実施形態に対する理論的指針を提供する。
【００３０】
理論的に、フィルムの不安定性の根源は、界面にはたらく力の釣合いを考えると理解できる。界面力(例：表面張力γ)は界面表面積を最小化し、均一なフィルムを安定化する。他方で、電場はフィルムを分極させて、液体−空気界面に実効変位電荷密度を生じさせ、これがフィルムを不安定化する。圧力を用いて書けば、静電的圧力ｐ静電がラプラス圧に対抗する。フィルム厚における局所的摂動が、フィルム面内におけるフィルム液の流れを駆動する圧力勾配を生じさせる。固体表面に接する液体の流れは、質量保存式とともに液体の時間応答を表わす微分方程式を成立させる、ポアズイユ型の公式で与えられる。液体フィルムにはたらく外力の効果を調べるための一般的手法は、線形安定性解析である。小さな正弦的摂動が本来は平坦なフィルムに与えられ、その応答が線形化された微分方程式を用いて計算される。得られる分散関係が、与えられた摂動波長の時間にともなう減衰または増幅を定量的に表わす。最も早く増幅されるモードは式(１)：
【数１】
2003518441.tif 000001
で与えられる。ここでλｍはモード波長であって、形成されるパターンの解像度に対応し、ｐ静電は電場とフィルムの誘電定数との関数であり、ｈはフィルム厚である。
【００３１】
図５の点線及び破線は、静電的圧力ｐ静電に関する若干異なるモデルについて、λｍを電場の関数として示す。同様の方程式が、不安定性の形成に対する特性時間τｍ(図５の右縦軸)を定量的に表わす。図５に示される実験データは以下でさらに説明される。
【００３２】
上部電極をフィルムから隔てる真空間隙の限界に対するλｍ及びτｍの式は、電極間の印加電圧をＵ、フィルムの表面エネルギーをγ、フィルムの誘電定数をε、フィルムの粘性率をη、電極間隔をｄとして、式(２)：
【数２】
2003518441.tif 000002
及び式(３)：
【数３】
2003518441.tif 000003
として表わされる。全般に、上記の式は外部電場が存在しなければいかなる構造も形成されないことを示す。上記の式は、原理的に、ｄ，ｈ及びＵを任意に制御できるから、パターンの解像度が任意に小さくなることも示す。例えば、電極間隔を精密に制御するために非導電性スペーサを用いることができる。適当なパラメータに対し、電場は一般に約１０７Ｖ／ｍの領域にあり、小さな構造をつくるに必要な時間は１秒より短い。さらに、望ましければ、界面活性剤またはブロック共重合体、あるいは表面エネルギーを高めるかまたは低める添加剤のような材料を導入することにより、フィルムの表面エネルギーを調節することができる。
【００３３】
液体材料がフィルムを上部電極から隔てている場合には、界面をはさむ誘電定数の差が減少し、このことはλｍの値を高める傾向をもつであろう。しかし、実際は、誘電定数差の減少によるλｍ値の上昇は、液体−液体界面のラプラス圧が液体−空気界面より小さくなることにより、それ以上に補償される。例えば、液体−空気界面に対する一般的なラプラス圧は約３０ダイン／ｃｍ２(０．３Ｎ／ｍ２)であり、一方、水−油界面に対するラプラス圧は約１ダイン／ｃｍ２(０．０１Ｎ／ｍ２)である。このことは図６をさらに参照して説明される。他の変数は一定に保ったままでの、液体間の誘電定数差、すなわちΔε＝ε１−ε２へのλｍの依存性が図６(破線；左縦軸及び上横軸)に示される。２つの材料の誘電定数が等しい、すなわちΔε＝０である点において、λｍに偏りが生じる。このことは、液体の分極率が等しく、電場が液体−液体界面にいかなる圧力も加えないことから、納得できる。図６の実線(左縦軸及び下横軸)は、より小さな寸法の構造を得るための単純な道筋を示す。これらの結果は、界面または表面張力の関数としてのλｍのスケーリングを示す。λｍがγ１２の平方根に比例する、すなわち：
【数４】
2003518441.tif 000004
であることがわかる。上述したように、γ１２を小さくするための方策は、液体−液体界面に凝離する少量の二量ブロック共重合体の添加によることである。同様に、液体−液体界面においてγ１２を小さくする界面活性剤または何らかの添加剤を配することにより、単一層の表面張力の実効的低減を達成することができる。二重層に対するλ最大の低減の一つの結果は、ゆらぎの増幅に必要な時間の劇的な短縮である。直観的には、第２の粘性材料の存在がゆらぎの成長速度を実質的に低下させると思われることであろう。ところが、(実施例３でさらに詳細に説明される)実験結果は、特性時間が液体−空気構造に対して５０分の１に短縮されることを示す。
【００３４】
フィルムの外形（topography）は自発的に生じるが、上述したように、横方向構造の制御は界面における電場強度を横方向に変化させることにより達成される。例えば、図２Ａ〜２Ｃを参照して説明したように、上部電極をパターンが付けられた外形をもつ母型で置き換え得ることを想起されたい。静電的力は電極間隔ｄが最小のところで最も強いから、不安定性が形成される時間はｄの値が小さくなるほどますます短くなる(図５の右縦軸参照)。この結果、フィルムに出現する構造は電極構造に向けて集中する。このことにより、母型電極の複製が得られる。
【００３５】
全般に、本発明の実施形態は、静電的力を誘電体境界に作用するように利用する。電極間隔を十分小さく(＜１μｍ)選べば、誘電体フィルムに高電場(１０７〜１０８Ｖ／ｍ)を発生させるには小印加電圧(〜３０Ｖ)で十分である。この結果、誘電体境界に作用する強い圧力(〜１０ｋＮ／ｍ２)が生じる。このような力は誘電体フィルムの分散を生じさせる。横方向に均一な電場に対しては、フィルムの不安定性により、電場強度とフィルムの誘電定数との関数であり、線形安定性解析で十分に説明される、特徴的な波長が現れる。電極の内の１つをパターン付母型で置き換えれば、誘電体材料により電極構造が複製される。以下の実験結果で説明されるように、横方向長さは１４０ｎｍまで縮小され、１に近いアスペクト比が得られた。横方向長さの縮小を１００ｎｍ未満まで進め、１より大きいアスペクト比を得ることも可能である。
【００３６】
本明細書に開示されるパターン形成方法には、多くの用途があり得る。
【００３７】
例えば、基板のいくつかの領域を選択的に露光し、他の領域は露光しないためのマスクとしてパターン付フィルムが基板上に形成される、微細リソグラフィ用途に本方法を用いることができる。形成されてしまえば、例えば化学的エッチング法または反応性イオンエッチング法で、露光領域のそれぞれにおいて基板層を除去することにより、パターンを基板に転写することができる。あるいは、材料層をパターン付基板上に被着して、露光領域を充填することができる。例えば、露光領域を金属で充填して、集積回路内に配線を施すことができる。
【００３８】
さらに、本明細書に開示される技法を用いれば、単一基板上に複数のパターン付フィルムを積み上げることができる。例えば、付加層を第１のパターン付フィルム上に被着して、付加層上での次のパターン形成中に第１のパターン付フィルムを不動化することができる。さらに、微細リソグラフィ用途のためのマスクであることに加えて、パターン付フィルム自体が、本明細書に説明される方法を用いて形成されるいかなる多層構造に対しても機能性を提供できる。例えば、パターン付フィルムは、集積回路のパターン付半導体層になり得る。
【００３９】
本明細書に開示されるパターン形成技法は、集積回路の製造に限定されない。本技法は、例えば、表示デバイスあるいは、化学的、生物学的、医用または機械的センサの一部として、単一のまたは複数のパターン付表面を形成するためにも用いることができる。
【００４０】
再び微細リソグラフィ用途に戻れば、本明細書に開示される方法は、従来のフォトリソグラフィ技法に優る多くの利点を備える。そのような技法においては、放射光がマスクまたはレチクルを通過して、基板上に被着されたフォトレジスト層の選択領域を露光する。一般に、フォトレジストの露光または非露光領域を除去するために化学的ウエットエッチングが続いて行われ、よって基板上にパターン付フィルムがつくられる。対照的に、本明細書に開示される技法では、パターン付フィルムを形成するために化学的ウエットエッチングは必要とされず、代わりに、外部印加電場がフィルム材料の質量移行を生じさせてパターンを形成する。結果として、露光不足、または過剰露光によるアンダーカットのような、ウエットエッチングに通常ともなう問題が回避される。
【００４１】
さらに、本明細書に開示される技法はフォトリソグラフィに必要な露光ツールを必要としない。さらに、本技法の解像度は光の回折または散乱によるいかなる拘束にも制限されない。逆に、フォトリソグラフィツールの回折限界解像度よりも解像度が高い外形を有する単一の母型電極を、例えば電子ビームエッチングにより作成することができ、次いで、本明細書に開示される技法を用いて、例えば複数の基板のそれぞれの上のフィルムに、高解像度パターンを再現するために、母型電極を何度も用いることができる。
【００４２】
実施例
ここでは、本発明を以下の非限定的実施例によって説明する。
【００４３】
実施例１−均一電場
厚さがｈのポリスチレン(ＰＳ)の薄いポリマーフィルムを、電極の１つとしてはたらく鏡面研摩済シリコンウエハ上に、溶液からスピンコートした。続いて、対向電極として別のシリコンウエハを、狭い空隙を残して、間隔ｄをおいて載せた。次に、この集成体をポリマーのガラス転移温度(Ｔｇ)より高い温度に加熱し、小電圧Ｕ(２０〜５０Ｖ)を印加した。空隙を確保するため、上部電極に小さい段差をつけた。くさび形状を用いることにより、ある範囲のｄ値を得ることができ、同時にほぼ平行な電極配置を局所的に維持できた。このようにして、１００ｎｍから１０００ｎｍの範囲の空隙を得た。電圧及びコンデンサデバイスの形状寸法が電場を決定する。静電的駆動力はポリマーフィルム内の電場Ｅｐの差及び空隙に応じて定まる。Ｅｐは、ｄの値の減少及びポリマーフィルム厚ｈの増加とともに大きくなる。低印加電圧を狭い電極間隔(ｄ＜１μｍ)と組み合わせることにより、高電場Ｅｐ(１０７〜１０８Ｖ／ｃｍ)が得られる。電場により、デバイスを通して流れる小電流(１０〜５０ｍＡ／ｃｍ２)が生じた。高電場において、電流はポリマーマトリクス中の少量の不純物分子に仲介されるイオン伝導機構により生じる。加熱したフィルムを数分から数時間の範囲で印加電圧にさらした後、引き続いてポリマーをＴｇより低い温度まで急冷することで不動化し、上部電極を機械的に取り外してから、ポリマーフィルムのモホロジーを光学顕微鏡及び原子間力顕微法(ＡＦＭ)で調べた。
【００４４】
実験結果を、電場にさらしたポリスチレン(ＰＳ)フィルムの光学顕微鏡写真である、図７Ａ〜７Ｄに示す。図７Ａ及び７Ｂでは、９３ｎｍ厚ＰＳフィルムを、印加電圧Ｕ＝５０Ｖの下で、１７０℃で１８時間アニールした。図７Ｃ及び７Ｄでは、フィルム厚を大きくして１９３ｎｍとした。電場強度及び曝露時間に依存して、波状表面起伏(図７Ａ)または電極間の間隙を液体が橋絡する柱状構造(図７Ｂ)が観察された。２つの電極が完全には平行でなかったから、電場も小さな横方向変化を示す。
【００４５】
定性的に、度合の異なる秩序化が観察された。秩序化現象は、等しく荷電した波状表面起伏の最大と最小との反発により生じる。図７Ｂのフィルムモホロジーは不完全な秩序しか示していないが、図７Ｃではより完全な六方密配列が得られた。２つの写真像の間の主要な違いは、ポリマーフィルムの初期厚ｈである。他のパラメータは同じであることから、上記の厚さ増加が、ポリマー柱のより密な横方向配置及び高められた柱−柱反発を生じさせる。この結果、図７Ｂに比較して図７Ｃでは、増進した六方秩序が観察された。
【００４６】
最近接相互作用が六方対称性を生じさせるが、図７Ｄに有核不安定性が示されるように、第２の秩序化効果を同様に観察することができる。核生成点における局所的に高いｈの値により、一層高い電場及び高められた駆動力が生じる。このことにより、最近接最大の減退が生じる。他方で、二次最近接最大がさらに増幅される。これらのことが、半径ｒ＝２λで、周長が２πｒ≒１２λの円上のロゼットを形成した。ここでλは特性波長である。二次最近接最大の円の外側では、距離の増加とともに不安定性が減衰する。核生成効果がない場合には、同様の論拠が、それぞれの最大が半径λ及び周長≒６λの円に対応する６つの近接最大に囲まれる、図７Ｃにおける柱の六方最密配列も説明する。
【００４７】
別の観果は、よく定められた横方向長さのスケールに関する。波長λは、電極間隔に対して逆比に変化する、電場Ｅｐの関数である。横方向構造寸法も平坦部高さもＡＦＭで容易に測定され、λを電極間隔ｄの関数として与える。図５に、ポリマー層における電場Ｅｐの関数としてλをプロットしてある。与えられたフィルム厚ｈに対し、横方向構造の特性寸法は、電極間隔(上横軸)の減少に対応して増大する電場の関数としての羃乗則依存性を示す。
【００４８】
実施例２−不均一電場
パターン付電極を臭素化ポリスチレンフィルム(ｈ〜４５ｎｍ)に向けて載せ、このフィルムを４２Ｖの印加電圧にさらした。デバイスを１７０℃に維持し、２０時間にわたり印加電圧にさらした。分解後に母型電極上にポリマーが全く残らないことを保証するため、自己集合型単分子層を被着することにより、電極を非極性とした。図８は、シリコン母型電極(幅が２００ｎｍで深さが１７０ｎｍの溝により分離された幅が２００ｎｍのストライプ)の複製である、幅が１４０ｎｍ(半値幅)のストライプを示すＡＦＭ像である。断面測定は段差が１２５ｎｍであることを示すが、解像度はＡＦＭチップの寸法形状により制限されている。ポリマーストライプのプロファイルは、アスペクト比が０．８３の、ほぼ矩形である。高品質の複製が、母型パターンに覆われた１００×１００μｍ２の面積全体にわたっていた。
【００４９】
実施例３−二重層液体
ポリイソプレン(ＰＩ)及びオリゴマースチレン(ＯＳ)の薄い液体フィルムを、それぞれ無コーティングシリコンウエハ及び金コーティングシリコンウエハの上にトルエン溶液からスピンコートした。フィルム厚は１４０ｎｍとした。いくつかの実験については、液体上に狭い空隙を残して液体−空気二重層を形成した。残りの実験では、空気をオリゴマージメチルシロキサン(ＯＤＭＳ)の層で置換して液体−液体二重層を形成した。溶媒を用いずにＯＤＭＳ層を被着した。二重層の公称総厚は１μｍとした。下の表１に、液体オリゴマー及びポリマーの物理定数をまとめてある。科学文献によれば、ＯＳ−ＯＤＭＳ、ＯＳ−ＰＩ及びＰＩ−ＯＤＭＳの界面張力はそれぞれ、６．１ｍＮ／ｍ，１．６８ｍＮ／ｍ及び３．２ｍＮ／ｍである。酸化インジウム−酸化スズ(ＩＴＯ)をコーティングした顕微鏡スライド(デルタ・テクノロジーズ(Delta Technologies))の上に酸化シリコンの薄い軌条を蒸着し、このスライドを、ＩＴＯ及び酸化シリコン側を二重層試料に向けて、二重層試料の上に載せた。したがって、基板(Ｓｉウエハ)と上部境界との間の間隔は蒸着スペーサの高さに依存し、代表値は１．０８μｍであった。試料を光学顕微鏡の下におき、小電圧(ＰＩ−空気及びＰＩ−ＯＤＭＳ二重層実験についてはＵ＝２０Ｖ，ＯＳ−空気及びＯＳ−ＯＤＭＳ二重層実験についてはＵ＝５０Ｖ)を、Ｓｉ基板(電極１)とＩＴＯ層(電極２)との間に印加した。ＩＴＯをコーティングした基板は可視範囲の光をほとんど吸収しないので、上記の構成により、電場内での薄い液体フィルムの時間的変遷の直接観察が可能となった。第１組の実験では、ＰＩ層を電極の間におき、９４０ｎｍの空隙を残した。ＰＩ−空気界面においてゆらぎの増幅がおこり、最終的には直立するＰＩ柱のアレイが形成されるに至った。２本の隣り合う柱の中心間の平均距離は、<ｄ円柱−円柱>＝４７．７±４．４μｍである。
【００５０】
変遷する構造の時間及び寸法のスケールへの、上部層のε及びγの変化の影響を、周囲条件でアニールしたＰＩ−ＯＤＭＳ二重層に関する第２組の実験で調べた。円柱構造が再び得られたが、ＯＤＭＡによる空気の置換にともない、長さのスケールが明らかに縮小されている。この場合の、円柱構造の代表的な間隔は、<ｄ円柱−円柱>＝２０．６±１．３μｍである。この間隔は、単一フィルム実験で観察された値の約１／２である。円柱の成長に対する特性時間を、単一フィルム及び二重層のいずれの場合についても、光学顕微鏡観察により決定した。観察し得る最初の構造がつくられるに要する時間を特性時間としてとった。注目すべきことには、ＰＩ−ＯＤＭＳ界面に円柱構造が形成されるに要する時間は約１時間であり、単一フィルムの場合において柱が形成されるに要する時間のほぼ５０倍の速さであった。ＯＳ−空気及びＯＳ−ＯＤＭＳ二重層に関する追加実験では、基本的に同じ挙動が示され、ＯＳ−空気については<ｄ円柱−円柱>＝１２．７±２．８μｍ，ＯＳ−ＯＤＭＳについては<ｄ円柱−円柱>＝７．６±２．９μｍであった。
【００５１】
【表１】
2003518441.tif 000005
その他の実施形態
本発明を本発明の詳細な説明とともに記述したが、上記の記述は説明を目的とするものであり、特許請求の範囲で定められる本発明の範囲を限定するものではないことは当然である。その他の態様、利点及び改変は特許請求の範囲内にある。
【図面の簡単な説明】
【図１Ａ】
パターン付フィルムを形成するための装置の略図
【図１Ｂ】
パターン付フィルムを形成するための装置の略図
【図２Ａ】
図１Ａの装置を用いるパターン付フィルムの形成の略図
【図２Ｂ】
図１Ａの装置を用いるパターン付フィルムの形成の略図
【図２Ｃ】
図１Ａの装置を用いるパターン付フィルムの形成の略図
【図３Ａ】
図１Ａの装置の変形態様を用いるパターン付フィルムの形成の略図
【図３Ｂ】
図１Ａの装置の変形態様を用いるパターン付フィルムの形成の略図
【図３Ｃ】
図１Ａの装置の変形態様を用いるパターン付フィルムの形成の略図
【図４Ａ】
図１Ａの装置の別の変形態様を用いるパターン付フィルムの形成の略図
【図４Ｂ】
図１Ａの装置の別の変形態様を用いるパターン付フィルムの形成の略図
【図５】
液体−空気界面に対する、理論的に決定された、パターン付フィルムの波長λの値及びパターン形成の特性時間τの値のグラフ
【図６】
液体−空気界面に対する、理論的に決定された、パターン付フィルムの波長λの値のグラフ
【図７Ａ】
均一外部印加電場を用いて作成されたパターン付ポリスチレンフィルムの光学顕微鏡写真
【図７Ｂ】
均一外部印加電場を用いて作成されたパターン付ポリスチレンフィルムの光学顕微鏡写真
【図７Ｃ】
均一外部印加電場を用いて作成されたパターン付ポリスチレンフィルムの光学顕微鏡写真
【図７Ｄ】
均一外部印加電場を用いて作成されたパターン付ポリスチレンフィルムの光学顕微鏡写真
【図８】
不均一外部印加電場を用いて作成されたパターン付ポリスチレンフィルムの光学顕微鏡写真
【符号の説明】
１００    パターン付フィルム作成装置
１１０    フィルム
１２０    基板
１３０    上部電極
１４０    電圧可変電源
１５０    第２の流動可能な材料
１５４    界面
１６０    間隙
３３０    外形パターン付上部電極