【手続補正書】
【提出日】平成17年6月3日(2005.6.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体供給システムであって、
流量制御装置と、
前記流量制御装置と流体連通し、ＰＦＡで作製されたフローチューブを有し、出力信号を供給するコリオリ質量流量計と、
設定点信号を受け、かつ前記コリオリ質量流量計から出力信号を受け、制御出力信号を前記流量制御装置に供給するコントローラとを含み、前記流量制御装置の出力が、前記制御出力信号に応答して変化する流体供給システム。
【請求項２】
前記流量制御装置がバルブを含む、請求項１に記載の流体供給システム。
【請求項３】
前記バルブがピンチバルブを含む、請求項２に記載の流体供給システム。
【請求項４】
前記ピンチバルブが、
操作可能に接続されたラムを有するアクチュエータと、
前記ラムにほぼ対向して配置された基準表面と、
前記ラムと前記基準表面との間に配置された高純度で可撓性のチューブとを含む、請求項３に記載の流体供給システム。
【請求項５】
前記アクチュエータがソレノイドを含む、請求項４に記載の流体供給システム。
【請求項６】
前記アクチュエータがステッパモータを含む、請求項４に記載の流体供給システム。
【請求項７】
前記流量制御装置が、可変出力を有するポンプを含む、請求項１に記載の流体供給システム。
【請求項８】
前記ポンプがぜん動ポンプを含む、請求項７に記載の流体供給システム。
【請求項９】
前記流量制御装置がリザーバを含み、前記リザーバが選択的に加圧されることが可能である、請求項１に記載の流体供給システム。
【請求項１０】
前記リザーバが、流体を含むように前記リザーバ中に置かれたバッグを有する、請求項９に記載の流体供給システム。
【請求項１１】
前記コントローラがＰＩＤコントローラを含む、請求項１に記載の流体供給システム。
【請求項１２】
複数の流量制御装置と、
複数のコリオリ質量流量計と、
前記流量制御装置と流体連通している混合チャンバとをさらに含み、
所定の流体混合物を得るために、前記コントローラが、前記流量制御装置の出力を変化させる、請求項１に記載の流体供給システム。
【請求項１３】
前記コリオリ質量流量計によって供給される前記出力信号が、質量流量測定値を含む、請求項１に記載の流体供給システム。
【請求項１４】
前記コリオリ質量流量計によって供給される前記出力信号が、流体密度測定値を含む、請求項１に記載の流体供給システム。
【請求項１５】
前記コリオリ質量流量計によって供給される前記出力信号が、流体温度測定値を含む、請求項１に記載の流体供給システム。
【請求項１６】
再循環流体分配システムであって、
流体リザーバと、
前記リザーバと流体連通し、前記リザーバからツールドロップに取り付けられたツールへ流体を供給するための複数のツールドロップを有する分配導管と、
流量制御装置と、
前記流量制御装置と流体連通し、高純度プラスティック材料で作製されたフローチューブを有し、出力信号を供給するコリオリ質量流量計と、
前記コリオリ質量流量計と流体連通し、出力信号を供給する圧力発信器と、
設定点信号を受け、かつ前記コリオリ質量流量計と前記圧力発信器から出力信号を受け、制御出力信号を前記流量制御装置に供給するコントローラとを含み、前記流量制御装置の出力が、前記分配導管内の所定の圧力と流量を維持するように、前記制御出力信号に応答して変化し、
前記再循環分配システムがさらに、
それぞれのツールドロップとインラインにある複数のツールドロップ流量制御装置と、
それぞれのツールドロップとインラインにあり、高純度プラスティック材料で作製されたフローチューブを有し、各々出力信号を供給する、複数のツールドロップコリオリ質量流量計とを含み、
前記コントローラが、前記ツールドロップコリオリ質量流量計から出力信号を受け、前記ツールドロップ流量制御装置に制御信号を供給する再循環流体分配システム。
【請求項１７】
複数のツールドロップコントローラをさらに含み、各ツールドロップコントローラが、それぞれのツールドロップ流量制御装置およびツールドロップコリオリ質量流量計と結合されており、各ツールドロップコントローラが、前記結合されるツールドロップコリオリ質量流量計から前記出力信号を受け、前記結合されるツールドロップ流量制御装置に制御信号を供給する、請求項１６に記載の再循環流体分配システム。
【請求項１８】
前記流量制御装置がピンチバルブを含む、請求項１６に記載の再循環流体分配システム。
【請求項１９】
前記圧力発信器が、
センサホルダと、
前記センサホルダ内に置かれるダイアフラムを有する圧力チャンバとを含み、前記圧力チャンバとダイアフラムが高純度プラスティックで構成され、
前記圧力発信器がさらに、
前記ダイアフラムに結合された圧力センサと、
前記ダイアフラムと前記センサホルダとの間に置かれたＯリングとを含む、請求項１６に記載の再循環流体分配システム。
【請求項２０】
前記圧力発信器が、
センサホルダと、
前記センサホルダ内に置かれた圧力チャンバと、
高純度プラスティック材料中にカプセル化され、前記圧力チャンバ内に延びる圧力センサとを含む、請求項１６に記載の再循環流体分配システム。
【請求項２１】
前記圧力センサがサファイアから構成される、請求項２０に記載の再循環流体分配システム。
【請求項２２】
流体供給システムであって、
リザーバを加圧するためのガスを受ける入口とリザーバ内に含まれる流体を分与するための出口とを有するリザーバと、
前記リザーバの入口に接続された第１の流量制御装置と、
前記リザーバの出口と流体連通しており、前記リザーバから出る流体の流量を制御するための第２の流量制御装置と、
前記第２の流量制御装置と流体連通し、高純度プラスティック材料で作製されたフローチューブを有し、出力信号を供給するコリオリ質量流量計と、
前記リザーバの入口に接続され、出力信号を供給する圧力発信器と、
設定点信号、および前記コリオリ質量流量計および圧力発信器から出力信号を受け、制御出力信号を前記第１および第２の流量制御装置に供給し、前記リザーバの圧力と前記リザーバから出る流体の流量を変えるコントローラとを含む流体供給システム。
【請求項２３】
前記リザーバの出口に接続された圧力発信器をさらに含む、請求項２２に記載の流体供給システム。
【請求項２４】
前記圧力発信器が、前記コリオリ質量流量計の下流側で前記リザーバの出口に接続される、請求項２３に記載の流体供給システム。
【請求項２５】
前記圧力発信器が、前記コリオリ質量流量計の上流側で前記リザーバの出口に接続される、請求項２３に記載の流体供給システム。
【請求項２６】
前記コリオリ質量流量計の上流側と下流側で、前記リザーバの出口にそれぞれ接続された第１と第２の圧力発信器をさらに含む、請求項２２に記載の流体供給システム。
【請求項２７】
前記コントローラが、システムを通って流れる流体の粘度を計算する、請求項２６に記載の流体供給システム。
【請求項２８】
前記コントローラが、加工物を処理するためのツールをさらに制御する、請求項２２に記載の流体供給システム。
【請求項２９】
前記コントローラが流体供給コントローラを含み、流体供給システムが、さらに、加工物を処理するためのツールを制御するツールコントローラを含み、該ツールコントローラが、前記流体供給コントローラに前記設定点信号を供給する、請求項２２に記載の流体供給システム。
【請求項３０】
前記リザーバの出口に接続されたフィルタをさらに含む、請求項２２に記載の流体供給システム。
【請求項３１】
流体を含むために前記リザーバ内に置かれたバッグをさらに含む、請求項２２に記載の流体供給システム。
【請求項３２】
前記第２の流量制御装置がピンチバルブを含む、請求項２２に記載の流体供給システム。
【請求項３３】
前記第２の流量制御装置が計量ポンプを含む、請求項２２に記載の流体供給システム。