【手続補正書】
【提出日】平成18年8月10日(2006.8.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
図１０Ａから１０Ｃは、１０μｍ離れた２つのナノスリットを同時に通過する蛍光ビーズと、ｙｏｙｏ−１で汚したＴ４ＤＮＡの賦課を示す。図１０Ａでは、第１スリットを通過してから第２スリットを通過する２つの強度ピークを持つビーズを示す。図１０Ｂは、配送チャネルを通過する部分的に螺旋を解かれたＤＮＡを示す。より広いピーク９９Ａと９９Ｂは、ＤＮＡ螺旋の幾何学的形状に起因する。蛍光ビーズの通路は、ＤＮＡ信号へ重ねてある。図１０Ｃは、３つのスリット３６Ａ、３６Ｂ、および３６Ｃを通って移動する大きく引伸ばされたＤＮＡを示す。参照のために再び蛍光ビーズの信号はＤＮＡ信号に重ねてある。より広いピーク９７Ａ、９７Ｂ、および９７Ｃは、ＤＮＡ螺旋の幾何学形状に起因するものである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
図１１Ａの斜視図で示すように、導波管１６６Ａと１６６Ｂは、ナノチャネル１７１を画成するターゲット軸に沿って整列したそれぞれのチップ部１７０Ａと１７０Ｂを伴って、対称に配置される（図１１Ｂ）。ナノチャネル１７１の幅は、２ｎｍから１００ｎｍの範囲であり、５ｎｍから５０ｎｍの範囲にあるのが好ましい。（図１１に示す）金線９８Ａと９８Ｂは、ナノチャネル１７１から約３乃至２５ｍｍ離れている。代替として、図１１Ｃに示すように、２つの導波管編成は、１００ｎｍから１μｍの範囲の幅広いチャネルを形成する対向電極を持つ単一導波管によって置き換えてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
図１１と図１１Ａに示す三角形導波管１６６Ａと１６６Ｂは、幅約１０μｍ、長さ５０００μｍで、高さ１μｍ超であり、ＳｉＯ２でできている。導波管１６６Ａと１６６Ｂは、それぞれ金属層１６４Ａと１６４Ｂによって基板１６２から分離され、金属層１７４Ａと１７４Ｂによってカバーガラス１５２から分離されている。（代替として、導波管１６６Ａについての金属層１６４Ａと１７４Ａ、あるいは導波管１６６Ｂの金属層１６４Ｂと１７４Ｂは、低反射指数の誘電体層によって置換えてもよい）。導入された平面波１７６は、入力面１６８Ａで三角形導波管１６６Ａへ連結され、導波管チップ部１７０Ａへ向けて送られるよう導波管側面１７２Ａと１７３Ａで内部反射される。導波管チップ部１７０Ａは、ナノチャネル１７１へエバネセント放射の波（図１１Ｂに示す）を放射する。ナノチャネル１７１では、エバネセント放射は、ポリマー３９の個々のユニットと相互作用して、特性信号を伴う放射を生成する。例えば、エバネセント放射は、ポリマー３９の特定ユニットに次いで配置される蛍光伝達子と相互作用する。三角形導波管１６６Ｂは、ナノチャネル１７１からの（例えば、蛍光放射の）特性信号を含む放射を集め、この放射を結合領域１６８Ｂへ向けて送る。収集された放射が導波管１６６Ｂ内部に伝播するとき、放射は三角形の側面１７２Ｂと１７３Ｂで完全に内部反射する。放射１８８を提供する出力面１６８Ｂは、光学的に光検出器４６（図１）へ結合される。更に、ナノチャネル１７１からの放射は、カバーガラス１５２を貫通し方向１８９へも放射される。ナノチャネル１７１の上方数ｍｍから数ｃｍのところにあるもう一つの外部光検出器は、図１２に示すように、ファーフィールド放射１８９を検出する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
図１１Ｃは、単一の三角形導波管１６６と金属電極１８５を用いる他の実施の形態の断面図である。導波管１６６と金属電極１８５の間に形成されるチャネル１７１Ａは、約０．５μｍで、ナノチャネル１７１より著しく大きい。三角形導波管１６６は、金属層によって全ての側面を取り囲まれ、導波管１６６Ａや１６６Ｂと同様に製作される（図１１Ａ）。ここでクロスハッチングパターンは導波管側面１７２と１７３上の金属層を示す。導波管１６６Ａの場合と同様に、チップ部１７０Ａは、僅か１波長か２波長の距離を超えると減衰するエバネセント波１７７を放射する。従って、ポリマー３９は、エバネセント波１７７で蛍光伝達子１７８を照射するよう電極１８５よりもチップ部１７０近くへ引き寄せられなければならない。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
ポリマー３９は、電極１８５と導波管１６６、すなわち金属層１６４と１７４へＡＣ電界を印加し、更に線９８Ａと９８Ｂを横断して印加されるＤＣ電界によって生成される誘電力を用いて、チップ部１７０に近づくように引き付けられる。ＤＣ電界に関係して容量的に印加されるＡＣ電界は、図４Ａに関して先に説明したように、ナノチャネル１７１Ａ内に一様でない電界を生成する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
図１２は、ナノチャネル１７１から放射されるニアフィールドおよびファーフィールド放射を検出するための光学システム１００を示す。光源４４は、１３Ｂを通じて図１３との関連で説明した技法を用いて、導波管１６６Ａの入力側面１６８Ａに焦点を結ぶ光ビーム１７６を放射する。エバネセント波１７６の、ポリマー３９との相互作用後、ニアフィールド放射は、導波管１６６Ｂによって収集され、出力側面１６８Ｂから出て光検出器４６へ光学的に結合される。方向１８９に放射されるファーフィールド１００は、レンズ１０２によって収集され、同調可能なフィルタ１０４によってフィルタリングされ、ＰＭＴ検出器１０６へ提供される。ＬＥＤやレーザーダイオードのような光源４２は、石英ウェーハ１５０上に組み込まれてもよい。この編成は、入力側１６８Ａに整列させなければならないような外部光源を必要としないであろう。光源は、直接バンドギャップ材料、例えばＵＶ放射を生成するＧａＮや、緑色波長の放射を生成するＧａｐ：Ｎを用いて作られる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
図１３から図１３Ｂは、外部光源からの光を導波管へ結合させる様々な形式を示す。図１３においては、光源４２が、光ビーム１７６を放射し、光ビームは、フォーカシングレンズ１８０を用いて、三角形導波管１６６Ａの入力側１６８Ａ上に焦点を結ぶ。代替として、図１３Ａを参照すると、プリズム１８２が用いられて、光ビーム１７６を三角形導波管１６６Ａへ結合する。光ビーム１７６は、プリズム１８２によって回折され、完全内部反射の内側に押し込まれる。プリズム１８２は、ＳｉＯ２容積部１６６Ａの表面上に配置され、層１８４を横切るビーム１７６を導波管１６６Ａへ光学的に結合するよう編成される。図１３Ｂを参照すると、代替として回折格子１８６が用いられ、光ビーム１７６を三角形導波管１６６Ａへ結合する。格子１８６は、光ビーム１７６をチップ部１７０Ａへ向けて回折するよう導波管１６６Ａ上に製作される。代替として、光ファイバーは、光ビーム１７６を三角形導波管１６６Ａへ結合する。光を導波管へ結合する様々な方法が、Fundamentals of Optics, by Clifford R. Pollok, Richard D. Irwin, Inc., 1995 に記載されている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
導波管１６６Ａと１６６Ｂは、基板１５０に電流が流れるのを防ぐよう石英か他の絶縁材上に製作される。ナノチャネル領域（すなわち、１０ｎｍの分解能）で必要とする高分解能を達成するため、作成プロセスは、ＵＶリソグラフィ単独か、ディープＵＶリソグラフィとの組み合せ、ｅビームリソグラフィ、またはＸ線リソグラフィを用いる。連続導波管では、先ず標準ＵＶリソグラフィを用いて画成され、次いでナノチャネル（または、図１１Ｃの関連で説明したマイクロチャネル１７１Ａ）が、単独のｅビームかＸ線リソグラフィステップで画成される。チップ部１７０Ａと１７０Ｂでの放射スリットを含む実施の形態の導波管では、スリット（または孔）は、導波管１６６Ａと１６６Ｂのまさにチップ部１７０Ａと１７０Ｂのところで、フォトレジストの凸曲面形（すなわちアンダーカット）を作り出し、また金属を蒸着する前に、側面１７２Ａ、１７３Ａ、１７２Ｂ，および１７３Ｂで、フォトレジストの凸曲面形を作り出して製作される。こうして、凸曲面の側面は蒸着金属によって覆われるであろうが、凸曲面のチップ部は覆われない。代替として、小さなチップ部（小さな孔）は、先ず非常に薄い壁を作り出し、次いで、壁全体にわたって小さなスリットを持つ金属膜を作り出すようリフトオフするか、エッチングを用いて作成される。ｅビームリソグラフィを用いる場合には、当該技術で知られているように、レジストの厚さを薄く保ち、分解能を高く保つよう金属の硬いマスクが用いられる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
図１５Ａから図１５Ｇは、中心線に沿った側面図であり、図１６Ａから図１６Ｇは、中心線に垂直な側面図である。ＰＭＭＡレジスト４９６Ｋが、厚さ２００ｎｍのレジストを得るよう２５００ｒｐｍでウェーハ上にスピン塗布され、レジストを硬化させるため１８０℃のホットプレート上で６０分間焼成する。ＰＭＭＡは、ナノチャネル領域でのパターンを作り出すようｅビームシステムで露光される。露光されたＰＭＭＡレジストは、３：１のＩＰＡ：ＭＩＢＫ中で１分間現像され、１０００ÅのＡｌ金属層が図１５Ｃに示すように堆積される。余分な金属のリフトオフを室温のアセトンで実行した後、活性イオンエッチング（ＲＩＥ）を用いるPlasma Therm 72 エッチャ中で、ＣＨＦ３（５０ｓｃｃｍ）＋Ｏ２（２ｓｃｃｍ）、ＲＦ出力２００Ｗ、４０ｍＴｏｒｒの条件で、図１５Ｂに示す１μｍ超の壁を作り出すよう導波管はエッチングされるが、マイクロチャネルパターンは無い。底部金属は、１６：Ｈ２ＰＯ４；１：ＨＮＯ３；１：酢酸；２:水；過湿剤、の溶液中でウェットエッチされるか、またはＣｌ中でドライエッチされる。余分なレジストは、Bransonバレル酸素プラズマエッチャ中でＲＦ出力１０００Ｗ、１５分、で除去される。アルミニウムは、１６：Ｈ２ＰＯ４；１：ＨＮＯ３；１：酢酸；２:水；過湿剤のウェットエッチ中で除去される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
導波管全体にわたる上部Ａｌ層の堆積は、図１５Ｅから１５Ｇと、図１６Ｄから１６Ｇに示される。図１５Ｅと１６Ｄを参照して、厚さ１．３μｍのレジストを得るようフォトレジストShipley1830 がウェーハ上に４０００ｒｐｍで６０秒間スピン塗布され、レジストを硬化させるために１１５℃のホットプレート上で６０秒間焼成する。レジストは、５ｘｇ−ラインステッパのような高分解能マスクアライナ中で露光され、加圧されたＮＨ３オーブン中で焼成する。これはフォトレジストのポジティブトーンを反転し、後続のリフトオフプロセスのために必要な、後方に傾斜した形状（すなわち、アンダーカット）を提供する。レジストは、ＨＴＧ／コンタクトアライナ中で４０５ｎｍ光により１分間フラッド露光されてから Microposit 321中で１分間現像される。図１５Ｆと１６Ｆに示すように、１０００ÅのＡｌ層が堆積される。余分な金属は、Microposit 1165レジスト除去装置か室温のアセトンを用いてリフトオフされる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９８】
図１８は、光の放射によって相互作用する相互作用ステーション２３１に到達する前に、ポリマーを整列させ、引き伸ばすためのアライメントステーション２２０の、現在のところ好ましい実施の形態を示す。アライメントステーション２２０は、（例えば、アルミニウム、金、銀の）金属層２２２で覆われてもよい石英ウェーハ上に製作される。アライメントステーション２２０は、三角形マイクロチャネル２２４、微細柱２２８、および入口領域２３０を含み、すべて表面上に作成される。入口領域２３０の、幅は約５０μｍで、微細柱領域２２８に通じている。微細柱領域２２８は、幾つかのアライメント柱２２６を含む。アライメント柱２２６は円形断面を持ち、直径が約１μｍである。アライメント微細柱２２６は１２列から１５列で、約１．５μｍの間隔で離れている。微細柱領域２２８は、約２６．６°傾斜している。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2002522780.tif 000001
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2002522780.tif 000002
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2002522780.tif 000003
【手続補正１５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2002522780.tif 000004
【手続補正１６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４Ａ】
2002522780.tif 000005
【手続補正１７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４Ｂ】
2002522780.tif 000006
【手続補正１８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2002522780.tif 000007
【手続補正１９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５Ａ】
2002522780.tif 000008
【手続補正２０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2002522780.tif 000009
【手続補正２１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６Ａ】
2002522780.tif 000010
【手続補正２２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６Ｂ】
2002522780.tif 000011
【手続補正２３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６Ｃ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６Ｃ】
2002522780.tif 000012
【手続補正２４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６Ｄ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６Ｄ】
2002522780.tif 000013
【手続補正２５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６Ｅ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６Ｅ】
2002522780.tif 000014
【手続補正２６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６Ｆ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６Ｆ】
2002522780.tif 000015
【手続補正２７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６Ｇ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６Ｇ】
2002522780.tif 000016
【手続補正２８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６Ｈ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６Ｈ】
2002522780.tif 000017
【手続補正２９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６Ｉ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６Ｉ】
2002522780.tif 000018
【手続補正３０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2002522780.tif 000019
【手続補正３１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７Ａ】
2002522780.tif 000020
【手続補正３２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７Ｂ】
2002522780.tif 000021
【手続補正３３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2002522780.tif 000022
【手続補正３４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2002522780.tif 000023
【手続補正３５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０Ａ】
2002522780.tif 000024
【手続補正３６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０Ｂ】
2002522780.tif 000025
【手続補正３７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０Ｃ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０Ｃ】
2002522780.tif 000026
【手続補正３８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
2002522780.tif 000027
【手続補正３９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１Ａ】
2002522780.tif 000028
【手続補正４０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１Ｂ】
2002522780.tif 000029
【手続補正４１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１Ｃ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１Ｃ】
2002522780.tif 000030
【手続補正４２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2002522780.tif 000031
【手続補正４３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】
2002522780.tif 000032
【手続補正４４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３Ａ】
2002522780.tif 000033
【手続補正４５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３Ｂ】
2002522780.tif 000034
【手続補正４６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４Ａ】
2002522780.tif 000035
【手続補正４７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４Ｂ】
2002522780.tif 000036
【手続補正４８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４Ｃ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４Ｃ】
2002522780.tif 000037
【手続補正４９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４Ｄ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４Ｄ】
2002522780.tif 000038
【手続補正５０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４Ｅ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４Ｅ】
2002522780.tif 000039
【手続補正５１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４Ｆ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４Ｆ】
2002522780.tif 000040
【手続補正５２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４Ｇ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４Ｇ】
2002522780.tif 000041
【手続補正５３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４Ｈ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４Ｈ】
2002522780.tif 000042
【手続補正５４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４Ｉ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４Ｉ】
2002522780.tif 000043
【手続補正５５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４Ｊ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４Ｊ】
2002522780.tif 000044
【手続補正５６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４Ｋ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４Ｋ】
2002522780.tif 000045
【手続補正５７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５Ａ】
2002522780.tif 000046
【手続補正５８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５Ｂ】
2002522780.tif 000047
【手続補正５９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５Ｃ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５Ｃ】
2002522780.tif 000048
【手続補正６０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５Ｄ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５Ｄ】
2002522780.tif 000049
【手続補正６１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５Ｅ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５Ｅ】
2002522780.tif 000050
【手続補正６２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５Ｆ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５Ｆ】
2002522780.tif 000051
【手続補正６３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５Ｇ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５Ｇ】
2002522780.tif 000052
【手続補正６４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１６Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１６Ａ】
2002522780.tif 000053
【手続補正６５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１６Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１６Ｂ】
2002522780.tif 000054
【手続補正６６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１６Ｃ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１６Ｃ】
2002522780.tif 000055
【手続補正６７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１６Ｄ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１６Ｄ】
2002522780.tif 000056
【手続補正６８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１６Ｅ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１６Ｅ】
2002522780.tif 000057
【手続補正６９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１６Ｆ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１６Ｆ】
2002522780.tif 000058
【手続補正７０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１６Ｇ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１６Ｇ】
2002522780.tif 000059
【手続補正７１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１７】
2002522780.tif 000060
【手続補正７２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１８】
2002522780.tif 000061