【手続補正書】
【提出日】平成17年11月2日(2005.11.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力側導波路セクションを有する第一の導波路支持部と、
前記入力側導波路セクションと光学的に結合する位置に配置された出力側導波路セクションを有する第二の導波路支持部と、
電気駆動式アクチュエータとを備えており、
光学的な結合位置のズレを発生させるために、前記第一の導波路支持部および前記第二の導波路支持部のうちの少なくとも一方が他方の導波路支持部に対して移動可能であり、
前記光学的な結合位置のズレに応じて、前記出力側導波路セクションにおける光減衰値が異なり、
所望の光減衰値を達成するために、前記電気駆動式アクチュエータが、移動可能な前記導波路支持部の位置合わせを行い、
前記電気駆動式アクチュエータにより検出される電気パラメータの値に応答して、前記電気駆動式アクチュエータが、移動可能な前記導波路支持部の位置合わせを行い、
移動可能な前記導波路支持部の先端部の位置に応じて、前記電気パラメータの検出可能値が変化し、
前記検出可能値の決定に、前記電気駆動式アクチュエータが用いられるように構成されている、電気式可変光減衰器。
【請求項２】
前記第一の導波路支持部および前記第二の導波路支持部が第一の基板に形成されるように構成されている、請求項１記載の電気式可変光減衰器。
【請求項３】
前記入力側導波路セクションおよび前記出力側導波路セクションが前記第一の基板内に形成されてなる、請求項２記載の電気式可変光減衰器。
【請求項４】
前記第一の導波路支持部と前記第二の導波路支持部が、それぞれ対応して、前記入力側導波路セクションと前記出力側導波路セクションとを受け入れるための取付面を有しており、各取付面が幾何学的形状の溝を備えており、各幾何学的形状の溝が略同一の断面形状を有してなる、請求項１記載の電気式可変光減衰器。
【請求項５】
前記入力側導波路セクションが第一の光ファイバであって、前記出力側導波路セクションが第二の光ファイバである、請求項１記載の電気式可変光減衰器。
【請求項６】
前記電気パラメータが、静電容量値である、請求項１記載の電気式可変光減衰器。
【請求項７】
前記電気パラメータが、電圧値、電流値、インダクタンス値、インピーダンス値、または周波数値である、請求項１記載の電気式可変光減衰器。
【請求項８】
前記電気パラメータ値と所望の電気パラメータ値との比較結果に基づいて前記電気駆動式アクチュエータを制御するコントローラをさらに備えてなる、請求項１記載の電気式可変光減衰器。
【請求項９】
前記コントローラへの電力が減少した場合に前記駆動信号を供給するのに十分な電力を蓄えているバックアップ電源をさらに備えてなる、請求項８記載の電気式可変光減衰器。
【請求項１０】
前記電気駆動式アクチュエータが、駆動信号に応答して前記可動導波路支持部を制御可能に移動させるために該可動導波路支持部に隣接して配置される少なくとも一つの電極を備えてなる、請求項１記載の電気式可変光減衰器。
【請求項１１】
前記可動支持部に隣接して配置される少なくとも二つの電極をさらに備えており、該少なくとも二つの電極が異なる駆動信号を受信するように構成されている、請求項１０記載の電気式可変光減衰器。
【請求項１２】
前記電気駆動式アクチュエータが、前記可動導波路支持部に隣接する少なくとも一つの電極と相互作用させるために、前記可動導波路支持部上に配置される少なくとも一つの電極をさらに備えてなる、請求項１０記載の電気式可変光減衰器。
【請求項１３】
前記可動導波路支持部のうちの少なくとも一部分が、該可動導波路支持部に隣接する少なくとも一つの電極と相互作用させるために、導電性を有してなる、請求項１０記載の電気式可変光減衰器。
【請求項１４】
前記可動導波路支持部が、固定基端部と可動先端部とを有する片持ち梁型支持アームを備えており、該可動先端部が、他方の導波路支持部に隣接してなる、請求項１記載の電気式可変光減衰器。
【請求項１５】
他方の導波路支持部が片持ち梁型支持アームを備えてなる、請求項１４記載の電気式可変光減衰器。
【請求項１６】
前記電気駆動式アクチュエータが静電アクチュエータである、請求項１記載の電気式可変光減衰器。      
【請求項１７】
前記電気駆動式アクチュエータが電熱アクチュエータである、請求項１記載の電気式可変光減衰器。
【請求項１８】
前記電気駆動式アクチュエータが電磁アクチュエータである、請求項１記載の電気式可変光減衰器。
【請求項１９】
複数の請求項１記載の電気式可変光減衰器から形成される減衰器アレイ。
【請求項２０】
第一の導波路セクションを有する第一の導波路支持部と、
電界に応答して移動可能な可動先端部を有しているとともに、光学エネルギーを伝搬させるべく前記第一の導波路セクションと接続されている第二の導波路セクションを有している第二の導波路支持部と、
前記先端部に隣接して配置されている電極とを備えており、
前記電極に印加されている駆動信号に応答して前記光学エネルギーを所望の量減衰すべく、前記先端部が前記電極の方向に第一の結合位置から第二の結合位置まで反り返るように、前記電極が前記先端部に隣接して配置されており、
前記先端部の位置に応じて電気パラメータの検出可能値が変化し、
前記検出可能値の決定に前記電極が用いられるように構成されている、電気式可変光減衰器。
【請求項２１】
電気パラメータの検出可能な値を該電気パラメータの所望の値と比較するためのコントローラをさらに備えており、前記検出可能な値が前記先端部の位置に応じて変わり、前記コントローラが、前記駆動信号を供給し、前記検出可能な値と前記所望の値とが等しくなるまで前記先端部を移動させるように構成されている、請求項２０記載の電気式可変光減衰器。
【請求項２２】
前記先端部の位置に応じて電気パラメータの検出可能な値が変わり、該電気パラメータが、静電容量、電圧、インピーダンス、電流、周波数、またはインダクタンスである、請求項２０記載の電気式可変光減衰器。
【請求項２３】
光学エネルギーを利用して用いる装置であって、
可動先端部を有しているとともに前記光エネルギーを伝搬する導波路セクションを有している導波路アームと、
各々が前記導波路アームに隣接して配設されている複数の電極とを備えており、
前記複数の電極の各々が、前記可動先端部の位置に応じて変化する検出可能値を有する電気パラメータに応答して、前記可動先端部を反り返すための異なる駆動信号を受信し、
前記複数の電極のうちの少なくとも一つが、前記検出可能値を検出するような位置に設けられてなる、装置
【請求項２４】
前記複数の駆動信号のうちの少なくとも一つが電気パラメータの検出可能な値に依存し、該検出可能な値が前記可動先端部の位置に応じて変化するように構成されている、請求項２３記載の装置。
【請求項２５】
前記電気パラメータが、静電容量、電圧、インピーダンス、電流、周波数、またはインダクタンスである、請求項２３記載の装置。
【請求項２６】
前記複数の電極が、第一の電極と、該第一の電極と交差指状に配置されている第二の電極とを備えてなる、請求項２３記載の装置。
【請求項２７】
前記先端部が、前記導波路アームと前記複数の電極との間の間隙を高さとする反り返し領域上を延びており、前記複数の電極が、前記先端部を反り返えらせて前記複数の電極のうちのいずれか一つと接触状態に至らしめることなく、前記先端部を、前記間隙の高さの半分以上の距離反り返えらせうるように構成されている、前記請求項２３記載の装置。
【請求項２８】
前記導波路支持部が少なくとも部分的に導電性を有してなる、前記請求項２３記載の装置。
【請求項２９】
前記複数の電極のうちの少なくとも一つが、前記電気パラメータの検出可能な値を決定するために用いられるように構成されている、請求項２３記載の装置。
【請求項３０】
第一の基板部内に形成された第一の導波路セクションと、
第一の強度で結合するために前記第一の導波路セクションに対して第一の結合位置に配置されている、第二の基板部内に形成された第二の導波路セクションと、
電気駆動式アクチュエータとを備えており、
前記第二の基板部が、前記第一の強度とは異なる第二の強度で結合するための第二の結合位置へ前記第二の導波路セクションを移動しうる可動アームを形成しており、
前記電気駆動式アクチュエータが、該電気駆動式アクチュエータにより検出される電気パラメータに応答して、前記第二の導波路セクションを前記第二の結合位置に移動させ、
前記第二の導波路セクションの先端部の位置に応じて前記電気パラメータの検出可能値が変化し、
前記検出可能値の決定に前記電気駆動式アクチュエータが用いられるように構成されている、電気式可変光減衰器。
【請求項３１】
前記電気駆動式アクチュエータが、前記可動アームの位置に応じて変化する電気パラメータに応答して前記第二の導波路セクションを移動させるように構成されている、請求項３０記載の電気式可変光減衰器。
【請求項３２】
前記電気パラメータが、静電容量、電圧、インピーダンス、電流、周波数、またはインダクタンスである、請求項３１記載の電気式可変光減衰器。
【請求項３３】
前記可動アームの位置が前記電気パラメータの所望の値に応答して調整可能であるように構成されている、請求項３１記載の電気式可変光減衰器。
【請求項３４】
第一の導波路セクションと該第一の導波路セクションに結合されている第二の導波路セクションとの間を伝搬する光エネルギーを減衰するための装置であって、
前記第一の導波路セクションを有しているとともに第一の方向に移動可能な第一の支持部と、
前記第二の導波路セクションを有しているとともに前記第一の方向とは少なくとも略反対である第二の方向に移動可能である第二の支持部とを備えており、
第一の電気駆動式アクチュエータが、該第一の電気駆動式アクチュエータにより検出される第一の電気パラメータに応答して前記第一の支持部を移動させ、前記第一の電気パラメータの第一の検出可能値が前記第一の支持部の先端部の位置に応じて変化し、前記第一の電気駆動式アクチュエータが前記第一の検出可能値の決定に用いられ、
第二の電気駆動式アクチュエータが、該第二の電気駆動式アクチュエータにより検出される第二の電気パラメータに応答して前記第二の支持部を移動させ、前記第二の電気パラメータの第二の検出可能値が前記第二の支持部の先端部の位置に応じて変化し、前記第二の電気駆動式アクチュエータが前記第二の検出可能値の決定に用いられるように構成されている、装置。
【請求項３５】
前記第一の検出可能な電気パラメータおよび前記第二の検出可能な電気パラメータが、静電容量、電圧、インピーダンス、電流、周波数、およびインダクタンスからなる群から選択されるように構成されている、請求項３４記載の装置。
【請求項３６】
前記第一の電気駆動式アクチュエータに対して第一の駆動信号を供与し、前記第二の電気駆動式アクチュエータに対して第二の駆動信号を供与するコントローラをさらに備えてなる、請求項３４記載の装置。
【請求項３７】
前記第一の駆動信号および前記第二の駆動信号が共通の駆動信号である、請求項３６記載の装置。
【請求項３８】
前記第一の電気駆動式アクチュエータおよび前記第二の電気駆動式アクチュエータが、静電アクチュエータ、電磁アクチュエータ、および電熱アクチュエータからなる群から選択されるように構成されている、請求項３４記載の装置。
【請求項３９】
可変光学式減衰器であって、
入力側導波路セクションを有しているとともに第一の位置から第二の位置へ移動可能な支持部と、
電気パラメータに応答して、前記支持部を前記第一の位置から前記第二の位置へ移動させるような位置に設けられている電気駆動式アクチュエータとを備えており、
前記入力側導波路セクションが、前記第一の位置で、前記第二の位置で、および移動中に、出力側導波路セクションと結合し、
前記電気駆動式アクチュエータにより前記電気パラメータが検出され、
前記支持部の先端部の位置に応じて前記電気パラメータの検出可能値が変化し、
前記検出可能値の決定に前記電気駆動式アクチュエータが用いられるように構成されている、電気式可変光減衰器。
【請求項４０】
前記電気駆動式アクチュエータが電極対を備える静電アクチュエータであり、前記電気パラメータが静電容量である、請求項３９記載の電気式可変光減衰器。
【請求項４１】
前記電気パラメータが、静電容量、電圧、インピーダンス、電流、周波数、およびインダクタンスからなる群から選択されるように構成されている、請求項３９記載の電気式可変光減衰器。
【請求項４２】
第一の導波路セクションと該第一の導波路セクションに結合された第二の導波路セクションとの間を伝搬する光エネルギーを減衰させる方法であって、
前記第一の導波路セクションを可動支持部の上に配置することと、
電気駆動式アクチュエータに応答して、前記支持部を、前記第一の導波路セクションが第一の結合位置から第二の結合位置まで移動されるように移動することと、
前記電気駆動式アクチュエータにおいて電気パラメータを検出することとを含み、
前記移動可能支持部の先端部の位置に応じて前記電気パラメータの検出可能値が変化し、
前記検出可能値の決定に前記電気駆動式アクチュエータが用いられる、方法。
【請求項４３】
前記電気駆動式アクチュエータにより検出される前記電気パラメータから駆動信号を導きだすことと、前記電気駆動式アクチュエータを駆動する前記駆動信号に応答して前記可動支持部を移動させることとをさらに含む、請求項４２記載の方法。
【請求項４４】
前記電気パラメータが、静電容量、電圧、インピーダンス、電流、周波数、およびインダクタンスからなる群から選択される、請求項４２記載の方法。
【請求項４５】
前記第一の電気駆動式アクチュエータおよび前記第二の電気駆動式アクチュエータが、静電アクチュエータ、電磁アクチュエータ、および電熱アクチュエータからなる群から選択される、請求項４２記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
図９には、ＶＯＡに用いられる基板の一部200の一例が示されている。この基板の一部200は、光ファイバ204を受け入れるための取付面202を備えている。また、この基板の一部200は、表面120のような可動導波路支持部の反り返し可能取付面または固定取付面に相当しうる。取付面202は、上面206から下方に延びることにより形成されている。この取付面202は、任意選択的なものであるが、他の光ファイバとの位置調整をするにあたり光ファイバ204に対して左右方向の位置合わせ精度を付与するために好ましい。基板の一部200が片持ち梁の構成で用いられる場合、先端部が反り返ることにより、基板の一部200が水平面上にある電極に対して上下方向に移動する。受け壁208、210は、光ファイバ204が水平面を横切って左右方向に移動するのを防止する。これにより、光ファイバ204は、上下方向にのみ移動する。面202は、図示されている光ファイバ204の長さだけ延びており、第一の受け壁208と第二の受け壁210とを備えている。受け壁208、210は、他の方向に沿ってカットされてもよいが、好ましくは、（１００）シリコンを基板200として用いる場合、ミラー指数が（１１１）となる面である。