【手続補正書】
【提出日】平成17年7月12日(2005.7.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ラン間制御装置を故障検出システムと共に用いて製造実行システムでウェハを処理加工する方法であって、
１）ツールを制御するレシピを前記ラン間制御装置内に受信するステップであって、前記レシピは１つまたは複数の目標ウェハ特性を得るための少なくとも１つの設定値を含む、ステップと、
２）前記故障検出システムで識別したウェハ特性および故障条件を含む処理加工属性を測定することにより前記ウェハの処理加工を監視するステップと、
３）前記加工処理属性を前記ラン間制御装置に転送するステップと、
４）前記故障検出システムが故障条件を検出した場合を除き、前記目標ウェハ特性を維持するように、前記測定された処理加工属性に従って前記ラン間制御装置で前記レシピの少なくとも１つの設定値を修正するステップと
を有することを特徴とする方法。
【請求項２】
処理加工を実行する前にウェハ特性を測定するステップをさらに有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記測定された処理加工属性から故障検出指標を生成するステップと、前記少なくとも１つの設定値を修正する目的で前記指標を前記ラン間制御装置に転送するステップとをさらに有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記修正するステップは、予測アウトプットを許容ツール仕様限界値と比較するステップを有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記修正するステップは、予測アウトプットを許容ツール取扱範囲と比較するステップを有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
故障条件を検出すると前記処理加工を停止するステップをさらに有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記少なくとも１つの設定値は２つ以上の設定値であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記少なくとも１つの設定値は、温度、圧力、パワー、処理加工時間、リフト位置、および材料流量の内少なくとも１つを含んでいることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記故障条件はツール故障を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記故障条件はウェハ特性故障を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
故障条件を示す条件範囲を定義するのに用いる故障検出モデルを修正して、前記レシピの少なくとも１つの設定値をパラメータとして前記ラン間制御装置で組み込むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
ウェハ故障が検出された場合、前記測定されたウェハ特性を用いて前記レシピを修正しないことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
ウェハを処理加工する方法であって、
１）レシピに従って前記ウェハを処理加工するステップであって、前記レシピは１つまたは複数の目標ウェハ特性を得るための少なくとも１つの設定値を含むステップと、
２）ウェハ特性を測定するステップと、
３）故障条件を示す条件を検出するステップと、
４）故障条件がない場合に、前記目標ウェハ特性を維持するように、前記測定されたウェハ特性に基づいて前記レシピの少なくとも１つの設定値を修正するステップと
を有することを特徴とする方法。
【請求項１４】
故障条件が検出された場合、処理加工を停止することを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記測定するステップは処理加工中に行われることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】
前記測定するステップは処理加工後に行われることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１７】
故障条件を示す条件範囲を定義するのに用いる故障検出モデルを修正して、前記レシピの少なくとも１つの設定値をパラメータとして組み込むことを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１８】
製造実行システムでウェハを処理加工するシステムであって、
前記製造実行システムから受信したレシピに従ってツールを制御するラン間制御装置であって、前記レシピは１つまたは複数の目標ウェハ特性を得るための少なくとも１つの設定値を含む、ラン間制御装置と、
ウェハ属性を含む処理加工属性を測定するセンサと、
前記ウェハ特性を監視して故障条件を示す条件を検出し、前記条件を前記ラン間制御装置に転送する故障検出器とを備え、
前記故障検出システムが故障条件を検出した場合を除き、前記目標ウェハ特性を維持するように、前記処理加工属性に従って前記レシピの少なくとも１つの設定値を修正することを特徴とするシステム。
【請求項１９】
処理加工を実行する前にウェハ特性を測定するセンサをさらに備えることを特徴とする請求項１８に記載のシステム。
【請求項２０】
前記故障検出器は前記測定された処理加工属性から故障検出指標を生成し、前記少なくとも１つの設定値を修正する目的で前記指標を前記ラン間制御装置に転送することを特徴とする請求項１８に記載のシステム。
【請求項２１】
前記ラン間制御装置は、予測アウトプットを許容ツール仕様限界値と比較することにより前記少なくとも１つの設定値を修正することを特徴とする請求項１８に記載のシステム。
【請求項２２】
前記ラン間制御装置は、予測アウトプットを許容ツール取扱範囲と比較することにより前記少なくとも１つの設定値を修正することを特徴とする請求項１８に記載のシステム。
【請求項２３】
故障条件を検出すると、前記ラン間制御装置は処理加工を停止することを特徴とする請求項１８に記載のシステム。
【請求項２４】
前記少なくとも１つの設定値は２つ以上の設定値であることを特徴とする請求項１８に記載のシステム。
【請求項２５】
前記少なくとも１つの設定値は、温度、圧力、パワー、処理加工時間、リフト位置、および材料流量の内少なくとも１つを含んでいることを特徴とする請求項１８に記載のシステム。
【請求項２６】
前記故障条件はツール故障を含むことを特徴とする請求項１８に記載のシステム。
【請求項２７】
前記故障条件はウェハ特性故障を含むことを特徴とする請求項１８に記載のシステム。
【請求項２８】
故障条件を示す条件範囲を定義するのに用いる故障検出モデルを修正して、前記レシピの前記少なくとも１つの設定値をパラメータとして前記ラン間制御装置で組み込むことを特徴とする請求項１８に記載のシステム。
【請求項２９】
ウェハを処理加工するシステムであって、
レシピに従って前記ウェハを処理加工するラン間制御装置であって、前記レシピは１つまたは複数の目標ウェハ特性を得るための少なくとも１つの設定値を含む、ラン間制御装置と、
ウェハ特性を測定するセンサと、
故障条件を示す条件を検出する故障検出器とを備え、
前記故障検出器によって検出された故障条件がない場合に、前記ラン間制御装置は、前記目標ウェハ特性を維持するように、前記ウェハ特性に基づいて前記レシピの前記少なくとも１つの設定値を修正することを特徴とするシステム。
【請求項３０】
故障条件が検出された場合、前記ラン間制御装置は前記レシピの前記少なくとも１つの設定値を修正しないことを特徴とする請求項２９に記載のシステム。
【請求項３１】
前記センサは処理加工中にウェハ特性を測定することを特徴とする請求項２９に記載のシステム。
【請求項３２】
前記センサは処理加工後にウェハ特性を測定することを特徴とする請求項２９に記載のシステム。
【請求項３３】
故障条件を示す条件範囲を定義するのに用いる故障検出モデルを修正して、前記レシピの前記少なくとも１つの設定値をパラメータとして前記ラン間制御装置で組み込むことを特徴とする請求項２９に記載のシステム。
【請求項３４】
ラン間制御装置を故障検出システムと共に用いて製造実行システムでウェハを処理加工するシステムであって、
ツールを制御するレシピを前記ラン間制御装置内に受信する手段であって、前記レシピは１つまたは複数の目標ウェハ特性を得るための少なくとも１つの設定値を含む、手段と、
前記故障検出システムで識別したウェハ特性および故障条件を含む処理加工属性を測定することにより前記ウェハの処理加工を監視する手段と、
前記加工処理属性を前記ラン間制御装置に転送する手段と、
前記故障検出システムが故障条件を検出した場合を除き、前記目標ウェハ特性を維持するように、前記処理加工属性に従って前記ラン間制御装置で前記レシピの少なくとも１つの設定値を修正する手段と
を備えることを特徴とするシステム。
【請求項３５】
処理加工を実行する前にウェハ特性を測定する手段をさらに備えることを特徴とする請求項３４に記載のシステム。
【請求項３６】
前記測定された処理加工属性から故障検出指標を生成する手段と、前記設定値を修正する目的で前記指標を前記ラン間制御装置に転送する手段とをさらに備えることを特徴とする請求項３４に記載のシステム。
【請求項３７】
前記修正する手段は、予測アウトプットを許容ツール仕様限界値と比較する手段を備えることを特徴とする請求項３４に記載のシステム。
【請求項３８】
前記修正する手段は、予測アウトプットを許容ツール取扱範囲と比較する手段を備えることを特徴とする請求項３４に記載のシステム。
【請求項３９】
故障条件を検出すると前記処理加工を停止する手段をさらに備えることを特徴とする請求項３４に記載のシステム。
【請求項４０】
前記故障条件はツール故障を含むことを特徴とする請求項３４に記載のシステム。
【請求項４１】
前記故障条件はウェハ特性故障を含むことを特徴とする請求項３４に記載のシステム。
【請求項４２】
故障条件を示す条件範囲を定義するのに用いる故障検出モデルを修正して、前記レシピの前記少なくとも１つの設定値をパラメータとして前記ラン間制御装置で組み込むことを特徴とする請求項３４に記載のシステム。
【請求項４３】
ウェハを処理加工するシステムであって、
レシピに従って前記ウェハを処理加工する手段であって、前記レシピは１つまたは複数の目標ウェハ特性を得るための少なくとも１つの設定値を含む手段と、
ウェハ特性を測定する手段と、
故障条件を示す条件を検出する手段と、
故障条件がない場合に、前記目標ウェハ特性を維持するように、前記測定されたウェハ特性に基づいて前記レシピの少なくとも１つの設定値を修正する手段と
を備えることを特徴とするシステム。
【請求項４４】
故障条件が検出された場合、処理加工を停止することを特徴とする請求項４３に記載のシステム。
【請求項４５】
故障条件を示す条件範囲を定義するのに用いる故障検出モデルを修正して、前記レシピの前記少なくとも１つの設定値をパラメータとして前記ラン間制御装置で組み込むことを特徴とする請求項４３に記載のシステム。
【請求項４６】
ラン間制御装置を故障検出システムと共に用いて製造実行システムでウェハを処理加工するためのコンピュータプログラムを実装するコンピュータ可読媒体であって、
ツールを制御するレシピをラン間制御装置内に受信するコンピュータ可読命令であって、前記レシピは１つまたは複数の目標ウェハ特性を得るための少なくとも１つの設定値を含む、コンピュータ可読命令と、
前記故障検出システムで識別したウェハ特性および故障条件を含む処理加工属性を測定することにより前記ウェハの処理加工を監視するコンピュータ可読命令と、
前記加工処理属性を前記ラン間制御装置に転送するコンピュータ可読命令と、
前記故障検出システムが故障条件を検出した場合を除き、前記目標ウェハ特性を維持するように、前記測定された処理加工属性に従って前記ラン間制御装置で前記レシピの少なくとも１つの設定値を修正するコンピュータ可読命令と
を有することを特徴とするコンピュータ可読媒体。
【請求項４７】
処理加工を実行する前にウェハ特性を測定するコンピュータ可読命令をさらに有することを特徴とする請求項４６に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項４８】
前記測定された処理加工属性から故障検出指標を生成するコンピュータ可読命令と、前記設定値を修正する目的で前記指標を前記ラン間制御装置に転送するコンピュータ可読命令とをさらに有することを特徴とする請求項４６に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項４９】
前記修正するコンピュータ可読命令は、予測アウトプットを許容ツール仕様限界値と比較するコンピュータ可読命令を有することを特徴とする請求項４６に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項５０】
前記修正するコンピュータ可読命令は、予測アウトプットを許容ツール取扱範囲と比較するコンピュータ可読命令を含むことを特徴とする請求項４６に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項５１】
故障条件を検出すると前記処理加工を停止するコンピュータ可読命令をさらに有することを特徴とする請求項４６に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項５２】
前記故障条件はツール故障を含むことを特徴とする請求項４６に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項５３】
前記故障条件はウェハ特性故障を含むことを特徴とする請求項４６に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項５４】
故障条件を示す条件範囲を定義するのに用いる故障検出モデルを修正して、前記レシピの少なくとも１つの設定値をパラメータとして前記ラン間制御装置で組み込むことを特徴とする請求項４６に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項５５】
ウェハを処理加工するためのコンピュータプログラムを実装するコンピュータ可読媒体であって、
レシピに従って前記ウェハを処理加工するコンピュータ可読命令であって、前記レシピは１つまたは複数の目標ウェハ特性を得るための少なくとも１つの設定値を含むコンピュータ可読命令と、
ウェハ特性を測定するコンピュータ可読命令と、
故障条件を示す条件を検出するコンピュータ可読命令と、
故障条件がない場合に、前記目標ウェハ特性を維持するように、前記測定されたウェハ特性に基づいて前記レシピの少なくとも１つの設定値を修正するコンピュータ可読命令と
を有することを特徴とするコンピュータ可読媒体。
【請求項５６】
故障条件が検出された場合、処理加工を停止することを特徴とする請求項５５に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項５７】
故障条件を示す条件範囲を定義するのに用いる故障検出モデルを修正して、前記レシピの前記少なくとも１つの設定値をパラメータとして組み込むことを特徴とする請求項５５に記載のコンピュータ可読媒体。
【請求項５８】
ラン間制御装置を故障検出システムと共に用いて製造実行システムで物品を処理加工する方法であって、
１）ツールを制御するレシピを前記ラン間制御装置内に受信するステップであって、前記レシピは１つまたは複数の目標物品特性を得るための少なくとも１つの設定値を含む、ステップと、
２）前記故障検出システムで識別した物品特性および故障条件を含む処理加工属性を測定することにより前記物品の処理加工を監視するステップと、
３）前記加工処理属性を前記ラン間制御装置に転送するステップと、
４）前記故障検出システムが故障条件を検出した場合を除き、前記目標物品特性を維持するように、前記測定された処理加工属性に従って前記ラン間制御装置で前記レシピの少なくとも１つの設定値を修正するステップと
を有することを特徴とする方法。
【請求項５９】
処理加工を実行する前に物品特性を測定するステップをさらに有することを特徴とする請求項５８に記載の方法。
【請求項６０】
前記測定された処理加工属性から故障検出指標を生成するステップと、前記少なくとも１つの設定値を修正する目的で前記指標を前記ラン間制御装置に転送するステップとをさらに有することを特徴とする請求項５８に記載の方法。
【請求項６１】
故障条件を検出すると前記処理加工を停止するステップをさらに有することを特徴とする請求項５８に記載の方法。
【請求項６２】
前記少なくとも１つの設定値は２つ以上の設定値であることを特徴とする請求項５８に記載の方法。
【請求項６３】
物品を処理加工する方法であって、
１）レシピに従って前記物品を処理加工するステップであって、前記レシピは１つまたは複数の目標物品特性を得るための少なくとも１つの設定値を含むステップと、
２）物品特性を測定するステップと、
３）故障条件を示す条件を検出するステップと、
４）故障条件がない場合に、前記目標物品特性を維持するように、前記測定された物品特性に基づいて前記レシピの少なくとも１つの設定値を修正するステップと
を有することを特徴とする方法。
【請求項６４】
故障条件が検出された場合、処理加工を停止することを特徴とする請求項６３に記載の方法。
【請求項６５】
製造実行システムで物品を処理加工するシステムであって、
前記製造実行システムから受信したレシピに従ってツールを制御するラン間制御装置であって、前記レシピは１つまたは複数の目標物品特性を得るための少なくとも１つの設定値を含む、ラン間制御装置と、
物品属性を含む処理加工属性を測定するセンサと、
前記物品特性を監視して故障条件を示す条件を検出し、前記条件を前記ラン間制御装置に転送する故障検出器とを備え、
前記故障検出システムが故障条件を検出した場合を除き、前記目標物品特性を維持するように、前記処理加工属性に従って前記レシピの少なくとも１つの設定値を修正することを特徴とするシステム。
【請求項６６】
処理加工を実行する前に物品特性を測定するセンサをさらに含むことを特徴とする請求項６５に記載のシステム。
【請求項６７】
前記故障検出器は前記測定された処理加工属性から故障検出指標を生成し、前記少なくとも１つの設定値を修正する目的で前記指標を前記ラン間制御装置に転送することを特徴とする請求項６５に記載のシステム。
【請求項６８】
故障条件を検出すると、前記ラン間制御装置は処理加工を停止することを特徴とする請求項６５に記載のシステム。
【請求項６９】
前記少なくとも１つの設定値は２つ以上の設定値であることを特徴とする請求項６５に記載のシステム。
【請求項７０】
物品を処理加工するシステムであって、
レシピに従って前記物品を処理加工するラン間制御装置であって、前記レシピは１つまたは複数の目標物品特性を得るための少なくとも１つの設定値を含む、ラン間制御装置と、
物品特性を測定するセンサと、
故障条件を示す条件を検出する故障検出器とを備え、
前記故障検出器によって検出された故障条件がない場合に、前記ラン間制御装置は、前記目標物品特性を維持するように、前記物品特性に基づいて前記レシピの少なくとも１つの設定値を修正することを特徴とするシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
図６は、図２のシステム１００の構成要素の可能ないずれかに関する内部ハードウェア６４０の一例の構成図を示しており、この例としては、Ｉｎｔｅｌ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ（米国Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａ州、Ｓａｎｔａ  Ｃｌａｒａ）が製造するＰｅｎｔｉｕｍ（登録商標）ベースのプロセッサを有するコンピュータ等の、多数の様々なコンピュータのいずれかが含まれる。バス６５６は、システム１００の他の構成要素を相互接続する主要情報リンクとして作用する。ＣＰＵ６５８は、システムの中央演算装置であり、本発明の処理手順ならびに他のプログラムを実行するのに必要な計算や論理演算を行う。読取専用メモリ（ＲＯＭ）６６０およびランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）６６２は、システムの主要メモリ部を構成している。ディスク制御装置６６４により、１つまたは複数のディスク駆動装置がシステムバス６５６にインターフェース接続される。これらのディスク駆動装置は、たとえば、フロッピー（登録商標）ディスク駆動装置６７０、ＣＤ  ＲＯＭまたはＤＶＤ（デジタルビデオディスク）駆動装置６６６、または内部または外部ハードディスク駆動装置６６８である。ＣＰＵ６５８は、任意の個数の様々なプロセッサであってよく、それにはＩｎｔｅｌ  ＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎやＭｏｔｏｒｏｌａ（米国Ｉｌｌｉｎｏｉｓ州、Ｓｃｈａｕｍｂｅｒｇ）が製造するプロセッサが含まれる。メモリ／記憶装置は、ＤＲＡＭおよびＳＲＡＭ、ならびに磁気および光媒体を含む種々の記憶装置など、任意の個数の様々なメモリ装置であってよい。さらに、メモリ／記憶装置は伝送形式をとることも可能である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2005522018.tif 000001