(57)【要約】【課題】圧力容器が破壊しても、破壊された圧力容器がさほど飛散することがない安全性を向上した新規な精密部品の検査装置及び検査方法を提供することにある。【解決手段】圧力容器に収納された精密部品に圧力を作用させる圧力媒体に液体を使用する構成とした。これによれば、圧力媒体に液体を使用しているため、圧力容器が破棄されても液体の膨張量は気体に比べて極めて少ないので、圧力容器の破片等が飛散することが抑制されて安全性の高い検査装置を得ることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象である精密部品を載置するステージと、前記ステージを収納する圧力容器と、前記圧力容器に圧力媒体を供給する配管と、前記配管に接続された加圧ポンプと、前記加圧ポンプで加圧される前記圧力媒体の圧力を検出する圧力計とを備えた精密部品の検査装置において、
所定の液体を貯留した液体容器に、前記加圧ポンプを接続すると共に、前記加圧ポンプから前記液体容器の前記液体を前記圧力容器に前記圧力媒体として供給することを特徴とする精密部品の検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の精密部品の検査装置において、
前記圧力容器には、前記ステージに載置された前記精密部品を観察することができる観察窓が設けられていることを特徴とする精密部品の検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載の精密部品の検査装置において、
前記観察窓の外側には、レンズを介して前記ステージに載置された前記精密部品を観察する観察機器が設けられていることを特徴とする精密部品の検査装置。
【請求項４】
請求項２記載の精密部品の検査装置において、
前記ステージには、前記観察窓との位置を調整する調整機構が設けられていることを特徴とする精密部品の検査装置。
【請求項５】
検査対象である精密部品を載置するステージと、前記ステージを収納する圧力容器と、前記圧力容器に圧力媒体を供給する配管と、前記配管に接続された加圧ポンプと、前記加圧ポンプで加圧される前記圧力媒体の圧力を検出する圧力計とを備え、前記加圧ポンプを所定の液体を貯留した液体容器に接続すると共に、前記加圧ポンプから前記液体容器の前記液体を前記圧力媒体として前記圧力容器に供給する精密部品の検査装置であって、
前記精密部品を前記ステージに載置した後に、前記加圧ポンプから前記液体を前記圧力容器に充填し、更に前記加圧ポンプにより前記液体を加圧した状態で前記精密部品の形状変化、或いは破壊を検出することを特徴とする精密部品の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は精密部品の検査装置及び精密部品の検査方法に係り、特に圧力容器内に精密部品を収納し、圧力媒体から圧力を作用させて精密部品の挙動を検査する精密部品の検査装置及び精密部品の検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在の各産業分野においては各種の半導体要素を含む精密部品が数多く使用されている。例えば、自動車、鉄道等の輸送車両、飛行機、ロボット、建設機械、農業機械、携帯電話、スマートフォン、携帯タブレット、デジタルカメラ、ビデオカメラ等では、これらの運動状態を測定する加速度センサ、角速度センサなどの慣性センサ等が使用されている。
【０００３】
また、フィルタ、クロック発生用振動体等のように構造体が気密に封止された微小電気機械システム（ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）素子、デジタルカメラ、ビデオカメラ、携帯電話、スマートフォン、タブレット等の撮影機能や、自動車の自動ブレーキ制御用の環境認識等に使用される、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）撮像素子やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）撮像素子のように内部に空隙を有する半導体要素使用されている。以下、これらを含めて精密部品と称して説明する。
【０００４】
例えば、デジタルカメラの手ぶれ防止、自動車やロボット等の姿勢制御などを目的にして、ＭＥＭＳ技術を用いた振動体を有する慣性センサが幅広く用いられるようになってきている。一般的に、この種の振動体はシリコン等の半導体基板やガラス基板等をエッチング等のＭＥＭＳ技術を用いて加工することにより形成されており、この振動体は気密封止された空隙に収納されている。また、デジタルカメラやスマートフォン等に用いられている受光素子としては、凹部を有するパッケージとカバー部材とを用いて、ウエハから個片化された撮像素子のチップを内部に封止する構成が知られている。そして、これらの精密部品のパッケージ構造として合成樹脂パッケージが着目されている。合成樹脂パッケージは、従来のセラミクスパッケージよりも量産性が高く、製造コストを低減する上で有効なパッケージ形態である。
【０００５】
そして、この種の精密部品は研究、試験される環境、或いは製造される環境、或いは使用される環境を模擬して、精密部品の挙動や性能を検査することが必要である。例えば、特開２０１１−１０７００３号公報（特許文献1）には、圧力容器内に実際の使用される圧力環境を再現し、この状態で圧力センサの温度特性を検査することが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１−１０７００３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、例えば、上述した精密部品（以下、代表して慣性センサについて説明する）においては、センサチップにおける振動体は、センサチップ内に形成した空隙部(以下、キャビティ)に気密封止されており、このキャビティ内は、大気圧或いは減圧された状態となっている。
【０００８】
そして、このようなセンサチップを合成樹脂パッケージする場合において、例えばトランスファモールド工程を適用すると、合成樹脂が５ＭＰａ〜２０ＭＰａ程度の高圧で金型内に充填されるので、センサチップに対してもこれと同等の高圧が印加されることになる。
【０００９】
このように、合成樹脂を金型内に充填する状態ではセンサチップの内外圧力差が大きいために、センサチップのキャビティが変形し、キャビティに対してキャビティを構成する材料が持つ破壊応力以上の応力が印加された場合、キャビティが破壊してキャビティ内の気密性が失われる恐れがある。また、キャビティが振動体の方向に陥没し、振動体に接触すると振動体やキャビティ自体を破壊する恐れがある。
【００１０】
このような合成樹脂のモールド圧力による、キャビティや振動体の形状変化や破壊を分析して、形状変化や破壊に耐えるセンサチップを提案することは重要である。しかしながら、トランスファモールドの過程でのセンサチップの形状変化や破壊を数値解析で再現することは容易ではなく、また、形状変化や破壊をセンサチップから出力される電気信号で再現するのも容易ではないものである。
【００１１】
したがって、このようなセンサチップの形状変化や破壊等を分析するにあたり、トランスファモールド工程のように製造される環境を再現して検査することが必要である。このためには、センサチップにモールド圧力と同等の圧力を印加した状態で、センサチップの形状変化や電気信号を観察することが有効である。
【００１２】
このため、一般的には圧力容器を準備し、この圧力容器内にセンサチップを配置した状態で、センサチップに圧力を印加する検査装置が知られている。例えば、特許文献1にあるような検査装置を用いることができる。尚、この場合、従来では加圧される前のセンサチップと加圧された後のセンサチップの形状変化を比較して検査していた。
【００１３】
そして、従来の検査装置では一般的に検査対象に対して圧力を作用させる圧力媒体に、空気等の圧縮性の気体を使用している。このような圧縮性の気体は、理想気体の状態方程式からわかるように圧力Ｐと体積Ｖは反比例の関係にある。したがって、体積が一定である圧力容器の内部圧力をα（α≧１）倍にするためには、気体をα倍に圧縮する必要がある。
【００１４】
しかしながら、内部圧力がα倍に加圧された状態で圧力容器が破壊した場合、圧力容器の内部から圧力容器の外部、すなわち、大気圧の環境下に放出される気体の体積は急激に膨張するため、圧力容器の破片やその他の検査装置の構成部品が高速で飛散するといった外部に与える影響が極めて大きいものとなる。このため、安全性を考慮して加圧圧力範囲を１ＭＰａ以下にすることが一般的である。
【００１５】
したがって、上述したような樹脂封止に使用する合成樹脂のモールド圧力である５ＭＰａ〜２０ＭＰａの圧力環境を従来の検査装置で再現することは難しいものであった。更に、圧力容器の破壊時に圧力容器を構成する材料が飛散することを防止する観点から、圧力容器に観察窓を設けることは好ましくないものであった。このため、圧力を印加している過程で圧力容器内のセンサチップの形状変化や破壊の状況を目視で観察することができないものであった。
【００１６】
尚、上述した説明は合成樹脂のモールド圧力を模擬するものであるが、これ以外の圧力容器内に圧力を作用させて精密部品を検査する場合も同様である。
【００１７】
本発明の目的は、圧力容器が破壊しても、破壊された圧力容器がさほど飛散することがない安全性を向上した新規な精密部品の検査装置及び精密部品の検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明の基本的な特徴は、圧力容器に収納された精密部品に圧力を作用させる圧力媒体に液体を使用すると共に、液体を加圧しながら精密部品の挙動を検査する、ところにある。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、圧力媒体に液体を使用しているため、圧力容器が破棄されても液体の膨張量は気体に比べて極めて少ないので、圧力容器の破片等が飛散することが抑制されて安全性の高い検査装置及び検査方法を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の代表的な実施形態になる検査装置の構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
次に、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明するが、本発明は以下の実施形態に限定されることなく、本発明の技術的な概念の中で種々の変形例や応用例をもその範囲に含むものである。
【００２２】
以下、本発明の代表的な実施形態について図1に基づき説明する。ここで、本実施例の大きな特徴は、圧力媒体として気体の代わりに液体を使用する点である。
【００２３】
圧力媒体に気体を使用する場合、加圧された状態で圧力容器が破壊すると、圧力容器の内部から圧力容器の外部に放出される気体の体積は急激に膨張するため、圧力容器の破片やその他の検査装置の構成部品が高速で飛散するといった外部に与える影響が極めて大きいものとなる。
【００２４】
一方、圧力媒体に液体を使用すると、圧力容器が破棄されても液体の膨張量は気体に比べて極めて少ないので、圧力容器の破片等が飛散することが抑制されて安全性の高いものとなる。
【００２５】
圧力媒体に液体を使用する場合、液体の圧縮率βと圧力容器１の体積Ｖ、圧力容器の圧力変化ΔＰを得るのに必要な、体積変化ΔＶの関係は以下の式で示される。
【００２６】
【数１】
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【００２７】
例えば、液体を水として圧力変化ΔＰ＝１０ＭＰａとする場合、水の圧縮率は２０℃においてβ＝４．６５×１０−１０であるため、水の体積変化率ΔＶ／Ｖは４．６５×１０−３になる。
【００２８】
一方、圧力媒体を空気として圧力変化ΔＰ＝１０ＭＰａとする場合、圧力容器の圧力変化ΔＰを得るのに必要な、体積変化ΔＶの関係は以下の式で示される。
【００２９】
【数２】
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【００３０】
これによれば、空気の体積変化率ΔＶ／Ｖは約１００になる。
【００３１】
つまり、圧力媒体を液体とした場合、圧力容器が破壊しても、圧力容器の外部に膨張する液体の膨張量は、気体に比べて非常に少なくすることができる。そのため、圧力容器の破壊時に圧力容器の破片等が飛散することを抑制することができる。このような観点から、本実施例では図１に示した検査装置を提案するものである。
【００３２】
図１に示すように、圧力容器１には、検査対象である精密部品（以下、センサチップという）３００を載置するためのステージ２と、センサチップ３００を圧力容器１の外から観察するための観察窓３と、内部に所定の液体４０を供給するための液体供給孔４と、液体の供給時に内部に残留している空気を外部に排出するための空気排出孔５を備えている。尚、ステージ２に載置するセンサチップ３００は、複数のセンサチップ３００であっても良いものである。
【００３３】
観察窓３はステージ２の上方の延長線上に配置されており、観察窓３からステージ２に載置されたセンサチップの挙動（形状変化や破壊等の変形）を目視することができるように構成されている。また、圧力容器１において、供給される液体の圧力に耐えられるような材料が用いられており、本実施例では金属材料としてアルミニウムを用いて作られている。また、圧力容器１はアルミニウムを所定形状に切削することで形成されている。尚、アルミニウム以外の金属を使用することも可能であり、鉄系材料やステンレス系材料を使用することができる。
【００３４】
ステージ２には、ステージ２に載置されたセンサチップ３００と、観察窓３を介して外部に設置される観察機器８１のレンズ８０との間の焦点距離を調整し易くするために、高さ調整機構２ａを備えている。高さ調整機構２ａはねじ機構や調整シムによってステージ２の高さを調整するものである。
【００３５】
観察窓３の外部には、レンズ８０を介して観察機器８１が配置されており、観察窓３を通してセンサチップ３００の挙動を観察、録画するように構成されている。観察機器８１としては、顕微鏡や高速度カメラを使用することができるため、観察窓３の材料は可視光や赤外線を透過する、例えば、サファイア等が使用されている。尚、顕微鏡の光源は、可視光のほかに、赤外線やレーザー光であっても良いものである。更に、観察窓３の材料はサファイア以外に、加圧される圧力や観測機器８１の種類に応じてガラス、石英、ダイアモンド等を使用することができる。
【００３６】
液体供給孔４は、配管３０を介してバルブ４５に接続され、配管３０には圧力計７０が分岐接続されている。この圧力計７０の圧力信号の変化からセンサチップ３００の形状変化や破壊を検出することが可能である。また、バルブ４５は配管３１を介して加圧ポンプ５０に接続されており、更に、加圧ポンプ５０は配管３２を介してバルブ４２に接続される。
【００３７】
尚、液体の温度変動に基づく圧力変動の影響があるため、これを安定にするために配管３２の途中に電気ヒータ等の温度制御機構４４を備えていても良い。この場合、温度を一定に制御するためには温度センサを設けて温度のフィードバック制御を行なえば良い。
【００３８】
また、温度制御機構４４によって液体の圧力を制御することも可能であるため、温度制御機構４４は加圧ポンプ５０に備えられていても良いものである。この場合も、加圧ポンプの出口圧力を圧力センサで検出し、所定の圧力になるように温度制御機構４４を制御して圧力のフィードバック制御を行なえば良い。
【００３９】
例えば、圧力媒体を水として圧力変化ΔＰ＝１０ＭＰａとする場合，水の圧縮率は２０℃においてβ＝４．６５×１０−１０であるため，水の体積変化率ΔＶ／Ｖは，４．６５×１０−３になる。このとき，単位温度あたりの水の体積膨張率は，０．２０７×１０−３であるため，水の体積変化率ΔＶ／Ｖを得るのに必要な温度変化ΔＴは２２．５℃となる。
【００４０】
つまり，水を加熱することで圧力変化を発生させることができる。また，実験環境の温度が変動して水の温度が例えば，０．２２５℃だけ変動すると０．１ＭＰａの圧力変動になる。このように，水の温度を制御することで圧力容器１の圧力変動を安定にすることができるし、圧力を制御することも可能である。
【００４１】
バルブ４２は、配管３３を介して加圧ポンプ５０に液体４０を供給するための液体容器４１に接続され、容器４１には予め所定の液体４０が充填されている。液体としては種々のものが使用できるが、本実施例では水を使用している。水を使用すれば透明度が高いので観察窓３から観察するのに有利である。
【００４２】
圧力容器１に液体４０を充填する場合は、バルブ４２を「開」状態、バルブ４５を「開」状態とし、加圧ポンプ５０を駆動して液体容器４１から液体４０を圧力容器１に供給する。また、圧力容器１の液体４を加圧する場合は、バルブ４２を「閉」状態、バルブ４５を「開」状態とし、加圧ポンプ５０を駆動して液体４０を加圧するものである。ここで、加圧ポンプの５０の液体４０の加圧範囲は、大気圧〜１００ＭＰａの範囲で加圧することができる仕様になっている。この圧力範囲であれば精密部品の試験、開発、製造、使用環境のほとんどの圧力環境を模擬して再現することができるものである。
【００４３】
ここで、圧力容器１において加圧を行う場合では、液体４０を圧力容器１に満たす必要がある。圧力容器１は通常状態では大気圧の環境下に置かれるため、液体４０を充填する前の圧力容器１の内部には空気が残留している。このため、液体４０を充填する時は、圧力容器１に液体４０を充填しながら、空気抜き用の空気排出孔５を介して圧力容器１の外部へ空気を抜き、その後に空気排出孔５を塞ぐようにしている。
【００４４】
この場合、空気排出孔５を塞ぐ方法として、例えば、空気排出孔５にねじ溝を形成しておき、このねじ溝に螺合する栓体によって空気排出孔５を塞ぐことが可能である。或いは空気排出孔５と配管３４を接続し、空気を排出した後にバルブ４６を閉じることによって塞ぐこともできる。
【００４５】
圧力計７０は、圧力容器１内の圧力値の時系列推移を記録する観点から、デジタル式とした方が良く、更に、時間的な同期や圧力データの記録をとるために、データロガー９０やＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｃｏｍｐｕｅｔｅｒ）２００と接続されていても良い。これによって、圧力計７０の圧力信号は再現性を持たせることができ、容易に圧力変化を把握することができる。
【００４６】
また、センサチップ３００の検査において、圧力容器１の外部にＡＥ（Acoustic Emission）センサ１００を設置することにより、センサチップ３００の破壊時に発生する弾性波を検出することができる。アコースティックエミッションは、構成材が変形、或いは破壊する際に、内部に蓄えていた弾性エネルギーを音波（弾性波）として放出するもので、主に超音波領域（数１０ｋＨｚ〜数ＭＨｚ）の高い周波数成分を持っている。
【００４７】
したがって、この弾性波を圧力容器１の表面に設置したＡＥセンサ（例えば、圧電素子センサ）によって電気信号に変換して検出し、 破壊や変形の様子を非破壊的に評価することができる。アコースティックエミッションは、センサチップ３００の破壊に至る前の小さな変形や微小クラックの発生に伴って発生するので、センサチップ３００の形状変化や破壊を検出することができる。
【００４８】
このとき、ＡＥセンサ１００は信号処理部１０１に接続されており、また、圧力計７０の出力と時間的な同期を取るために、信号処理部１０１はデータロガー９０やＰＣ２００と接続されていても良いものである。
【００４９】
尚、ＡＥセンサ１００の他に、圧力容器１００の歪変形や配管３０等の歪変形を検出するセンサを設けることによって、センサチップ３００の形状変化や破壊を検出することも可能である。
【００５０】
センサチップ３００の検査において、観察窓３を介してセンサチップ３００の挙動を観察する場合、観察の方法としては、レンズ８０を介して、顕微鏡や高速度カメラの様な観察機器８１を用いて、センサチップ３００の形状変化や破壊を目視で観察することができる。
【００５１】
他の観察方法としては、レーザー変位計を使用してセンサチップ３００の一部分の形状の変化を観察することができる。もちろん、これらの観察結果を圧力計７０の出力と時間的な同期を取るために、顕微鏡、高速度カメラ、レーザー変位計等の観察機器８１とデータロガー９０やＰＣ２００を接続する構成としても良いものである。
【００５２】
更に、センサチップ３００の検査において、センサチップ３００自身の電気出力信号を出力させる場合、センサチップ３００は電源３１０と電気信号を処理するための検査用電気機器である信号処理部３２０と接続する必要がある。このため、圧力容器１の内側のセンサチップ３００と外側の電源３１０、信号処理部３２０の接続には、圧力容器１の壁面に設けた耐圧コネクタ３３０によって行うことができる。このとき、耐圧コネクタ３３０の耐圧は検査で印加する圧力以上であることが必要である。
【００５３】
また、液体４０の成分を絶縁性とすることで、センサチップ３００や耐圧コネクタ３３０、及びセンサチップ３００と耐圧コネクタ３３０間の電気接続において、液体４０に対する絶縁対策が不要になる。絶縁性を有する液体として絶縁オイルを使用することができ、代表的には合成オイルであるシリコンオイルを使用することができる。また、純水を使用することもでき、純水を使用すれば透明度が高いので観察窓３からの観察に適している。
【００５４】
更に、圧力計７０の出力と時間的な同期や電気出力の記録をとるために、信号処理部３２０はデータロガー９０やＰＣ２００と接続されていても良い。
【００５５】
以上のような構成を備える検査装置において、検査を行う手順は概略次の通りである。
【００５６】
先ず、圧力容器１のステージ２に検査対象となるセンサチップ３００を載置する。次に、バルブ４５，４２を開き、加圧ポンプ５０によって液体を圧力容器１に供給する。この時、圧力容器１の空気を排出するためバルブ４６も開いておく。
【００５７】
次に、圧力容器１に液体４０が充填されると、バルブ４６，４２を閉じて加圧ポンプ５０で加圧を始める。加圧の開始と同時に圧力計７０、ＡＥセンサ１００、観察機器８１、耐圧コネクタから得られる情報を時系列でＰＣ２００或いはデータロガー９０に取り込んで記憶する。この記憶された各種情報によって、研究者や設計者はセンサチップ３００の形状変化や破壊状況を分析することができる。
【００５８】
このような検査装置によってセンサチップの形状変化や破壊状況を分析することができるが、圧力容器の内部を加圧する圧力媒体として液体を使用することで、体積膨張率を気体とした場合よりも極めて小さくすることができ、万が一に圧力容器が破壊した場合に、圧力容器を構成する材料が飛散することが抑制されて安全性を向上することができる。
【００５９】
また、加圧した状態で、センサチップの形状変化や破壊状況を検出することができ、更には、圧力容器に設けた観察窓によってセンサチップの挙動を観察できるので、目視によって加圧によるセンサチップの形状変化や破壊状況を知ることができる。
【００６０】
また、圧力容器に弾性波を検出するＡＥセンサを備えることで、センサチップの形状変化や破壊時に発生する弾性波を検出して形状変化や破壊を検出することができる。
【００６１】
また、センサチップは、圧力容器の外部の検査用電気機器と電気的に接続することができるように、圧力容器に設けた耐圧コネクタと接続することができる。この耐圧コネクタを介して加圧環境下でセンサチップの電気特性を測定できる。更に、圧力媒体である液体を絶縁性とすることで、センサチップの液体に対する絶縁保護を不要にすることができる。
【００６２】
また、液体の温度制御機構によって液体の温度を制御することで、圧力容器の圧力変動を安定にすることができるし、圧力を制御することも可能となる。
【００６３】
尚、上述した実施形態から把握することができる請求項以外の技術的思想は種々あるが、代表的なものを以下に記載する。
【００６４】
（１）レンズには、顕微鏡、或いは高速度カメラが接続されていることを特徴とする。
【００６５】
（２）圧力容器の外側にレーザー測長装置を備え、観察窓を介して圧力容器内のセンサチップの形状を観察することを特徴とする。
【００６６】
（３）観察窓の材料はガラス、石英、サファイア、ダイアモンドの内の１つであることを特徴とする。
【００６７】
（４）圧力容器には空気排出孔が設けられていることを特徴とする。
【００６８】
（５）圧力容器に弾性波を検出するＡＥセンサを備え、センサチップの破壊に伴う弾性波を検出することを特徴とする。
【００６９】
（６）圧力容器の歪変形、或いは配管の歪変形を検出するセンサを設け、歪変形からセンサチップの形状変化や破壊を検出することを特徴とする。
【００７０】
（７）圧力計の圧力信号からセンサチップの形状変化や破壊を検出することを特徴とする。
【００７１】
（８）圧力容器の外部の検査用電気機器とセンサチップを接続する端子が圧力容器に設けられていることを特徴とする。
【００７２】
（９）圧力容器に充填される液体は絶縁性を有する液体であることを特徴とする。
【００７３】
（１０）圧力容器に充填される液体の温度を調整する温度制御機構を備えることを特徴とする。
【００７４】
（１１）加圧ポンプによる液体の加圧範囲は大気圧〜１００ＭＰａの範囲であることを特徴とする。
【００７５】
尚、上記した説明では慣性センサのセンサチップを代表的な例として説明したが、本発明は、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ素子）素子、ＣＣＤ撮像素子やＣＭＯＳ撮像素子のように内部に空隙を有する精密部品の検査に適用することが可能である。更に、この検査装置は、精密部品が研究、試験される環境、或いは製造される環境、或いは使用される環境を模擬して検査ができるものである。
【００７６】
以上述べた通り本発明によれば、圧力容器に収納された精密部品に圧力を作用させる圧力媒体に液体を使用し、加圧した状態で精密部品の形状変化、或いは破壊を検出する構成とした。これによれば、圧力媒体に液体を使用しているため、圧力容器が破棄されても液体の膨張量は気体に比べて極めて少ないので、圧力容器の破片等が飛散することが抑制されて安全性の高い検査装置及び検査方法を得ることができる。
【００７７】
尚、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
【符号の説明】
【００７８】
１…圧力容器、２…ステージ、２ａ…高さ調整機構、３…観察窓、４…液体供給孔、５…空気排出孔、３０、３１、３２、３３、３４…配管、４０…液体、４１…液体容器、４２、４５、４６…バルブ、４４…温度制御機構、５０…加圧ポンプ、７０…圧力計、８０…レンズ、８１…観察機器、９０…データロガー、１００…ＡＥセンサ、１０１…信号処理部、２００…ＰＣ、３００…精密部品、３１０…電源、３２０…信号処理部、３３０…耐圧コネクタ。
【図１】
2017003503.tif 000005