【事件の表示】
　特願２００６−１５７２０６「真空ポンプ用部材及びその製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年１２月２０日出願公開、特開２００７−３２７３５０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１８年６月６日の出願であって、平成２３年６月３０日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年１０月４日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、さらに、平成２４年２月２０日付けで当審における拒絶理由が通知され、これに対し、同年４月２３日に意見書及び手続補正書が提出されたものである。
　
　
２．本願発明
　本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２４年４月２３日付け手続補正書により補正された明細書、特許請求の範囲及び図面の記載によれば、特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される以下のとおりのものと認める。
　
「基材の表面に、下塗り膜を介して、炭素と水素とを主成分とし、水蒸気の存在によって激しい腐食性を発揮する蒸気状態のハロゲンおよびハロゲン化合物と物理的に接触しがたい性質を有するとともに水蒸気が存在しない環境で化学的に活性化されたハロゲン系ガスに対する耐食性を有する、親油性のアモルファス状膜を被覆しており、
　前記親油性のアモルファス状膜の厚さが１μｍ〜５０μｍの範囲にあり、
　前記基材の表面の算術平均粗さＲａが２．０μｍ以下、十点平均粗さＲｚが８．０μｍ以下であることを特徴とする真空ポンプ用部材。」
　
　
３．引用例
　当審における拒絶の理由に引用された特開２００５−１５５４０３号公報（以下「引用例」という。）には、図面と共に次の事項が記載されている。
　
・「【請求項１】
　吸気口および排気口を有する外装ケース内に収容された筒状のロータと、
　上記ロータの内側に配置され該ロータの軸心に締結されたロータ軸と、
　上記ロータ軸をその軸心回りに回転可能に支持する軸受と、
　上記ロータ軸を回転させる回転駆動モータと、
　上記ロータの内周面と上記ロータ軸の外周面との間の空間部に設けられるとともに、上記軸受や上記回転駆動モータ等のポンプ内装部品を収容するステータコラムと、
　上記ロータの外周面とこれに対向する面との間に設けられるとともに、上記ロータの回転により上記吸気口側から上記排気口側へ向かって気体分子を移送しながら圧縮する移送圧縮手段とを有し、
　上記ロータはその外周面にロータ翼を有し、
　上記ロータとロータ翼は、アルミ合金の母材とその上のカーボン系被膜との間に、アルミ合金やカーボン系材料とは異種材料の中間層を設けたものからなること
　を特徴とする真空ポンプ」
　
・「【請求項７】
　上記カーボン系被膜はＤＬＣであることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。」
　
・「【０００１】
　本発明は、半導体製造装置や液晶ディスプレイパネル製造装置等に使用される真空ポンプに関する。」
　
・「【０００２】
　図５は従来の真空ポンプの一例を示したものである。同図の真空ポンプはターボ分子ポンプＰｔとネジポンプＰｓを複合したタイプである。このタイプの真空ポンプでは、ラジアル磁気軸受１７およびアキシャル磁気軸受１８で支持されたロータ軸５と一体にロータ４が回転すると、ロータ４の外周面とこれに対向する面との間で、吸気口２側から排気口３側へ向かって気体分子を移送しながら圧縮する動作が行われる。
【０００３】
　すなわち、ロータ４の外周面とこれに対向する面との間で吸気口２に近い上流側には、ロータ４と一体に回転するロータ翼１９と定位置に固定されたステータ翼２０があり、このロータ翼１９とステータ翼２０からなる翼構造の部分がターボ分子ポンプＰｔステージを構成している。
【０００４】
　かかるターボ分子ポンプＰｔステージでは、回転するロータ翼１９と固定のステータ翼２０との相互作用により、吸気口２側の気体分子を図５上、下方へ移送しながら圧縮する。
【０００５】
　また、ロータ４の外周面とこれに対向する面との間で排気口３に近い下流側には、ロータ４の外周面と対向する側にネジ溝２３を有する固定のネジポンプステータ２２があり、このネジポンプステータ２２のネジ溝２３とロータ４の外周面とによりネジポンプＰｓステージが構成されている。
【０００６】
　かかるネジポンプＰｓステージでは、回転するロータ４の外周面と固定のネジ溝２３との相互作用により、気体分子を図５上、下方へ移送しながら圧縮する。
【０００７】
　上記構造の真空ポンプでは、ロータ４の外周面とこれに対向する面との間で気体分子の圧縮が行われるため、その間で圧縮熱が発生し、この圧縮熱によりロータ４やロータ翼１９が加熱される。
【０００８】
　この場合、回転するロータ４やロータ翼１９からネジポンプステータ２２等の固定部側への放熱は、（１）圧縮移送されるガスの熱伝導と、（２）ロータ４外形面やロータ翼１９外形面からの輻射熱伝達により行われる。
【０００９】
　ここで、上記構造の真空ポンプでは、ロータ４とロータ軸５を非接触の磁気軸受１７、１８で支持する構造を採用しているため、ロータ４の熱が軸受を介する熱伝導で放熱されることはない。また、例えばＡｒ、Ｘｅ、Ｋｒといった不活性ガスのように真空ポンプ内で圧縮移送されるガスの熱伝導が低い場合、上記（１）の作用による放熱は殆ど期待できない。
【００１０】
　従って、上記（２）の作用による放熱、すなわちロータ４外形面やロータ翼１９外形面からの輻射熱伝達がロータ４側の熱を除去する唯一の放熱手段となる。
【００１１】
　しかし、回転するロータ４やロータ翼１９は軽量金属、具体的にはアルミニウム合金からなるため、ロータ４外形面およびロータ翼１９外形面の輻射率は小さい。
【００１２】
　上記のようなアルミニウム合金製のロータ４における輻射率の問題点を解決する手段として、（イ）アルミニウム合金の表面にＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）コーティング被膜を設ける方法がある。（例えば、特許文献１参照。）
　ＤＬＣコーティング被膜は、輻射率が高く、フッ素や塩酸に対する耐食性に優れ、また硬度も高く、傷がつきにくいという特性があり、ロータ４外形面やロータ翼１９外形面の輻射率の向上を図る手段としてＤＬＣコーティング被膜は好適である。
【００１３】
　しかし、アルミニウムとカーボンは機械的強度の小さい炭化アルミニウムという化合物を形成して互いに劣化する。このため、図５の真空ポンプにおいて、アルミニウム合金製のロータ４外形面やロータ翼１９外形面にＤＬＣコーティング被膜を設けた場合は、ロータ４外形面やロータ翼１９外形面とＤＬＣコーティング被膜との間に機械的強度の小さい炭化アルミニウムが形成され、ＤＬＣコーティング被膜の剥離や脱落が生じ、ＤＬＣコーティング被膜の脱落破片というコンタミが真空ポンプ内で発生しうる。従って、このままではＤＬＣコーティング被膜をロータ４やロータ翼１９の放熱手段として採用することはできない。尚、ＤＬＣ以外のカーボン系材料あるいはダイヤモンド系材料についてもＤＬＣと同様である。」
　
・「【００２３】
　本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、ロータやロータ翼の温度上昇を防止して、高真空を得るのに好適な真空ポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】【００２４】
　上記目的を達成するために、本発明は、吸気口および排気口を有する外装ケース内に収容された筒状のロータと、上記ロータの内側に配置され該ロータの軸心に締結されたロータ軸と、上記ロータ軸をその軸心回りに回転可能に支持する軸受と、上記ロータ軸を回転させる回転駆動モータと、上記ロータの内周面と上記ロータ軸の外周面との間の空間部に設けられるとともに、上記軸受や上記回転駆動モータ等のポンプ内装部品を収容するステータコラムと、上記ロータの外周面とこれに対向する面との間に設けられるとともに、上記ロータの回転により上記吸気口側から上記排気口側へ向かって気体分子を移送しながら圧縮する移送圧縮手段とを有し、上記ロータはその外周面にロータ翼を有し、上記ロータとロータ翼は、アルミ合金の母材とその上のカーボン系被膜との間に、アルミ合金やカーボン系材料とは異種材料の中間層を設けたものからなることを特徴とするものである。
【００２５】
　この本発明では、アルミ合金の母材とカーボン系被膜との間に介在する中間層のバリア効果により炭化アルミという機械的強度のない化合物の生成が抑制されるから、例えばＤＬＣコーティング被膜のようなカーボン系材料でも、剥離や脱落を生じることなく、アルミニウム合金製のロータ外形面およびロータ翼外形面に付着させることができ、真空ポンプ内でのコンタミの発生は防止される。従って、カーボン系材料やダイヤモンド系材料を
アルミニウム合金製ロータやロータ翼の放熱手段として採用することが可能となり、その採用によりロータ外形面およびロータ翼外形面からの輻射熱伝導でロータやロータ翼から放熱される熱量が増える。
【００２６】
　上記中間層はニッケル等の金属系材料からなる層で構成してもよい。また、上記中間層は、上記アルミ合金の母材を酸化して形成された酸化アルミニウムの層、セラミックスの層、樹脂系材料からなる層のいずれかより選択されるものとすることできる。
【００２７】
　上記金属系材料としては、ニッケルほか、例えば、シリコン、銅、クロム、クロメート処理等によるクロム化合物、亜鉛等を適用することができる。」
　
・「【００３０】
　上記金属系材料、セラミックス、樹脂系材料の例は、いずれもアルミニウムとカーボン系材料の双方に反応せずにバリア効果があるものであり、アルミニウムとカーボン系材料が炭化アルミニウムになって双方が劣化することを防止するものである。
【００３１】
　上記本発明において「アルミ合金の母材とその上のカーボン系被膜との間に、アルミ合金やカーボン系材料とは異種材料の中間層を設け」とは、例えば図２または図３に示したように、アルミニウム合金製のロータ（４）外形面またはロータ翼（１９）外形面とその上のＤＬＣコーティング（１６）被膜との間に、ニッケルコーティング（１５）被膜が設けられること、を含む。」
　
・「【００４３】
　以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
【００４４】
　図１に示した真空ポンプは、半導体製造装置や液晶ディスプレイパネル製造装置における真空装置の一部として使用され、真空チャンバ内の圧力を所定の真空度とするものである。
【００４５】
　また、同図の真空ポンプは、外装ケース１内に、ターボ分子ポンプＰｔとして機能する部位とネジポンプＰｓとして機能する部位とを有する複合ポンプである。
【００４６】
　外装ケース１は、筒状のポンプケース１−１と筒状のポンプベース１−２とをその筒軸方向にボルトで一体に連結した有底円筒形のケース構造となっている。
【００４７】
　ポンプケース１−１の上端部側は吸気口２として開口し、ポンプベース１−２の下端部側面には排気口３が開設されている。
【００４８】
　外装ケース１内には筒状のロータ４が収容されている。ロータ４は、その上端側が吸気口２の方向を向き、その下端側がポンプベース１−２の方向を向いて配置されている。また、このロータ４の内側にはロータ軸５が設けられている。ロータ軸５は、ロータ４の軸心に配置され、その軸上端５ａ側でロータ４と一体に締結されている。」
　
・「【００７９】
　図１の真空ポンプにおいて、そのロータ４やロータ翼１９はアルミニウム合金で形成されている。また、図２、図３に示したように、このアルミニウム合金製のロータ４の外形面であるロータ４外周面と、ロータ翼１９外形面にはニッケルコーティング１５がそれぞれ施され、さらに、そのニッケルコーティング１５被膜上にはカーボン系材料としてＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）コーティング１６が施されている。
【００８０】
　ＤＬＣコーティング１６被膜と、アルミニウム合金製のロータ４外周面、ロータ翼１９外形面との間にはニッケルコーティング１５被膜が介在する。このため、ＤＬＣコーティング１６被膜の剥離や脱落を引き起す原因と考えられている炭化アルミという化合物の生成は抑制される。
【００８１】
　従って、アルミ合金を母材とするロータ４やロータ翼１９であっても、強固に付着したＤＬＣコーティング１６被膜を設けることができ、輻射率が高く、特にフッ素や塩酸に対する耐食性に優れ、硬度も高く、傷がつきにくいというＤＬＣコーティング１６被膜の特性を有効に利用することが可能となる。」
　
・「【００９３】
　図１の真空ポンプでは、ターボ分子ポンプＰｔステージやネジポンプＰｓステージにおいて気体分子の圧縮が行われる。この圧縮は、ロータ４の外周面側、具体的にはロータ翼１９とステータ翼２０の間のギャップ通路やロータ４の下部側外周面とネジ溝２３とからなる螺旋状通路で行われる。
【００９４】
　このため、ロータ４の外周面側では圧縮熱が発生し、この圧縮熱によりロータ４やロータ翼１９が直接加熱される。尚、ロータ４の内周面側には圧縮を行うような部位はないため、ロータ４の内周面側に位置するロータ軸５等が圧縮熱により直接加熱されることはない。
【００９５】
　上記ロータ４やロータ翼１９の熱の一部は、ロータ４外周面やロータ翼１９外形面からネジポンプステータ２２内周面側やステータ翼２０側への輻射により、温度制御された低温のネジポンプステータ２２、ステータ翼２０側へ伝わる。
【００９６】
　この際、ロータ４外周面およびロータ翼１９外形面の最外層はＤＬＣコーティング１６被膜であるため、ロータ４外周面やロータ翼１９外形面からの熱の輻射量は多く、ロータ４やロータ翼１９の熱量は効率よく放熱される。これが本実施形態における第１の、ロータおよびロータ翼の熱量除去ルート若しくは放熱ルートである。」
　
　これらの記載事項及び図示内容を総合すると、引用例には、次の事項からなる発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認めることができる。
「アルミ合金の母材の表面に、ニッケルコーティング被膜１５を介して、フッ素や塩酸に対する耐食性に優れる、ＤＬＣコーティング被膜１６を設けた、
半導体製造装置に使用される真空ポンプのロータ４またはロータ翼１９。」
　
　
４．対比
　そこで、本願発明と引用発明とを、その機能・作用からみて比較する。
　
・後者の「アルミ合金の母材」は、前者の「基材」に相当する。
　
・後者の「ニッケルコーティング被膜１５」は、塗膜といえるから、前者の「下塗り膜」に相当する。
　
・後者の「フッ素や塩酸に対する耐食性に優れる、ＤＬＣコーティング被膜１６」は、ＤＬＣ（ダイアモンドライクカーボン）が炭素と水素とを主成分とするアモルファス状のものであるから、「炭素と水素とを主成分とし」た「アモルファス状膜」といえ、さらに、半導体製造装置に使用される真空ポンプのロータ４またはロータ翼１９に設けられるものであって、半導体製造装置の製造プロセス（ドライプロセス）で用いられる以上、ハロゲン系ガスに触れるのであるから（本願明細書の段落【０００２】を参照。）、「フッ素や塩酸に対する耐食性に優れる」態様が、少なくとも「水蒸気が存在しない環境で化学的に活性化されたハロゲン系ガスに対する耐食性を有する」態様であることは明らかである。
　したがって、後者の「フッ素や塩酸に対する耐食性に優れる、ＤＬＣコーティング被膜１６」と前者の「炭素と水素とを主成分とし、水蒸気の存在によって激しい腐食性を発揮する蒸気状態のハロゲンおよびハロゲン化合物と物理的に接触しがたい性質を有するとともに水蒸気が存在しない環境で化学的に活性化されたハロゲン系ガスに対する耐食性を有する、親油性のアモルファス状膜」とは、「炭素と水素とを主成分とし、水蒸気が存在しない環境で化学的に活性化されたハロゲン系ガスに対する耐食性を有する、アモルファス状膜」との概念で共通する。
　
・後者の「設け」る態様は、前者の「被覆」する態様に相当する。
　
・後者の「半導体製造装置に使用される真空ポンプにおけるロータ４またはロータ翼１９」は、前者の「真空ポンプ用部材」に相当する。
　
　したがって、両者は、
「基材の表面に、下塗り膜を介して、炭素と水素とを主成分とし、水蒸気が存在しない環境で化学的に活性化されたハロゲン系ガスに対する耐食性を有する、アモルファス状膜を被覆してある真空ポンプ用部材。」
の点で一致し、以下の点で相違している。
　
［相違点１］
　アモルファス状膜に関し、本願発明では、「水蒸気の存在によって激しい腐食性を発揮する蒸気状態のハロゲンおよびハロゲン化合物と物理的に接触しがたい性質を有するとともに水蒸気が存在しない環境で化学的に活性化されたハロゲン系ガスに対する耐食性を有する、親油性のアモルファス状膜」であるのに対して、引用発明では、「炭素と水素とを主成分とし、水蒸気が存在しない環境で化学的に活性化されたハロゲン系ガスに対する耐食性を有する、アモルファス状膜」であるといえるものの、水蒸気の存在によって激しい腐食性を発揮する蒸気状態のハロゲンおよびハロゲン化合物と物理的に接触しがたい性質を有する、親油性のものであることまでは特定されていない点。
　
［相違点２］
　アモルファス状膜に関し、本願発明では、厚さが１μｍ〜５０μｍの範囲にあるのに対して、引用発明では、厚さは特定されていない点。
　
［相違点３］
　本願発明では、基材の表面の算術平均粗さＲａが２．０μｍ以下、十点平均粗さＲｚが８．０μｍ以下であるのに対して、引用発明では、基材（アルミ合金の母材）の表面の平均粗さは特定されていない点。
　
　
５．判断
　上記相違点について検討する。
［相違点１について］
　水を発生原因に含む腐食を抑制するために、部材の表面を親油性（疎水性）とすることは、慣用手段（必要であれば、国際公開第２００５／０３５２３９号（特に、４頁２４〜２８行）、特開２００４−２１７８１４号公報（特に、【０００２】〜【０００４】）、特開２０００−２５４５８３号公報（特に、【０００１】及び【００１１】、特表２００４−５２５２２２号公報（特に、【０００１】及び【００２６】）及び特開２００５−２５４１０６号公報（特に、【００２０】〜【００２１】）を参照。）であり、これを引用発明に適用し、アモルファス状膜（ＤＬＣコーティング被膜１６）を親油性（疎水性）とすることにより、アモルファス状膜（ＤＬＣコーティング被膜１６）は水蒸気の存在によって激しい腐食性を発揮する蒸気状態のハロゲンおよびハロゲン化合物と物理的に接触しがたい性質を有するものになると認められる。
　そして、本願明細書の【００３２】において、「また、炭素と水素とを主成分とするアモルファス状態の表面は、通常親油性（疎水性）を示すが、一変形例として、ＮやＳｉを注入させて親水性に変化させることで、送液の種類によって表面機能を制御して用いることができる。」と記載されているように、炭素と水素とを主成分とするアモルファス状膜の表面は通常親油性（疎水性）を示すのであるから、引用発明に上記慣用手段を適用することが技術的に困難であるとは認められない。
　そうすると、引用発明において、アモルファス状膜（ＤＬＣコーティング被膜１６）はハロゲン（フッ素や塩酸）に対する耐食性を有するものであるところ、基材（アルミ合金の母材）を保護するために、より多くの状況に対応するよう耐食性の向上を図ることは当業者であれば設計上考慮するものといえるから、上記慣用手段を適用し、上記相違点１に係る本願発明の構成とすることは当業者が適宜なし得たものと認められる。
　
［相違点２について］
　本願発明においてアモルファス状膜の厚さが１μｍ〜５０μｍの範囲にされていることについて、【表１】に示されたアモルファス状膜の厚さとフェロキシル試験による青色斑点数の関係、並びに、【表３】及び【表４】に示されたアモルファス状膜の厚さと腐食試験結果の関係からは、腐食成分の侵入の有無や腐食の有無が確認できるのみで、腐食等の程度は何ら示されていないから、１μｍ〜５０μｍという数値範囲において格別顕著な作用や効果を認めることはできず、また、下限値１μｍ及び上限値５０μｍに臨界的意義を認めることはできない。
　そして、本願明細書の【００２８】における「アモルファス状膜１３は、炭素と水素とを主成分とするものであり、厚さが１μｍ〜５０μｍの範囲にある。特に５〜２０μｍが好適である。１μｍより薄い膜では耐食性、耐摩耗性が十分ではなく、また５０μｍより厚い皮膜では、成膜に長時間を要する一方、皮膜性能について格段の向上が認められないので、生産コストの上昇を招き、得策ではない。」との記載によれば、下限値１μｍはそれより小さい値にするとアモルファス状膜の作用や効果が十分ではないことに基づき設定されたものであり、上限値５０μｍはそれを超える値にしてもアモルファス状膜の作用や効果の向上が認められないことに基づき設定されたものであるところ、膜の生成において、膜の作用や効果の程度に基づき、膜厚を設定することは常套手段であるから、本願発明のアモルファス状膜の厚さについての数値限定は当業者が適宜なし得る設計的事項と認められる。
　また、アモルファス状膜の膜厚を本願発明の数値範囲内に設定することは、本願の出願前に周知の事項（必要であれば、当審における拒絶の理由に引用された国際公開第２００４／１１３５８６号（特に、翻訳文としての特表２００６−５２７７９１号公報の【００１７】）、同じく当審における拒絶の理由に引用された特開２００５−３０８０８０号公報（特に、【００３８】）、特開２００４−８４０１４号公報（特に、【００１１】）、及び、特開２００５−２５４３５１号公報（特に、【請求項３】）を参照。）であるから、引用発明において、アモルファス状膜の膜厚を本願発明の数値範囲内に設定することが当業者にとって技術的に困難であるとは認められない。
　よって、引用発明において、上記相違点２に係る本願発明の構成とすることは、上記常套手段及び上記周知の事項に基づき、当業者が容易になし得たものと認められる。　
　
［相違点３について］
　本願明細書には、基材の表面の平均粗さについて、数値の技術的意義を説明した記載として、【００３４】〜【００３５】に「（１：基材表面の仕上げ工程）　アモルファス状膜１３を形成するための基材１２表面においては、機械的、化学的および電気化学的方法によって、算術平均粗さＲａが０．５μｍ以下、十点平均粗さＲｚが２．０μｍ以下の鏡面状態となるように仕上げる。このような表面仕上げを行わないと、基材１３表面は粗いので、突起物などが存在する場合がある。従って、基材１２表面に形成するアモルファス状膜１３の厚さが１０μｍと比較的薄い場合、突起物のある部分のアモルファス状膜１３が早期に破壊されたり、腐食発生の起点となったりすることがある。　・・・　機械的に研磨する場合は細粒の＃６００の研磨ベルトを用いて算術平均粗さＲａを１〜３μｍ程度にしたあと、ラッピング加工やバフ研磨によって表面の突起物を除去し、十点平均粗さＲｚを０．８以下に仕上げることができる。また、細粒の研磨ベルト加工を終えた面を化学研磨法（例えば硝酸、塩酸、リン酸などの混合液）またはこれらの研磨液中で基材１２を陽極として電解研磨法を適用すれば算術平均粗さＲａが０．１μｍ、十点平均粗さＲｚが０．５μｍ以下の程度の鏡面が得られ、特に好適な前処理面を形成できる。ただし、アモルファス状膜１３の厚さが１０μｍ〜５０μｍの場合には、機械的研磨（算術平均粗さＲａが１〜３μｍ）だけでも密着性および性能のよいアモルファス状膜１３が形成されるとともに、アモルファス状膜の表面粗さが、基材の粗さの影響を受けがたくなって、平滑化する傾向があるので、特に仕上げ程度を規定しなくともよい。」との記載があるのみである。
　この記載によると、アモルファス状膜の厚さが１μｍ以上、１０μｍ未満の範囲の場合に、基材の表面の算術平均粗さＲａが０．５μｍ以下、十点平均粗さＲｚが２．０μｍ以下にすることによって、突起物のある部分のアモルファス状膜が早期に破壊されたり、腐食発生の起点となったりすることがないという効果を奏することができるものと認められるが、本願発明においては、アモルファス状膜の厚さが１μｍ〜５０μｍの範囲にあり、しかも、基材の表面の算術平均粗さＲａが２．０μｍ以下、十点平均粗さＲｚが８．０μｍ以下であるから、上記効果を奏することができるものとは認められない。
　また、基材の表面の粗さを、算術平均粗さＲａ及び十点平均粗さＲｚで示したことについて、本願明細書には何らの説明がなく、より正確に基材の表面の粗さを示すこと以上の技術的意義を見出すことができない。
　そうすると、本願発明において、基材の表面の算術平均粗さＲａが２．０μｍ以下、十点平均粗さＲｚが８．０μｍ以下とした点は、これに格別な技術的意義を認めることができない。
　そして、基材の表面に被膜を設ける際に、被膜の基材への密着力（耐剥離性）が十分なものとなるように、基材の表面の粗さを上記相違点３に係る本願発明の構成の範囲内に設定することは本願の出願前に周知技術（必要であれば、当審における拒絶の理由に引用された特開２００１−９９６１号公報（特に、【００１７】）、特開２０００−１７９７２７号公報（特に、【００１７】）、特開平１０−２８７４９１号公報（特に、【００１２】及び【００１４】）、特開平６−１０８２５３号公報（特に、【０００５】〜【０００７】及び【００１１】〜【００１３】）及び特開２００５−２５５４９１号公報（特に、【００１８】）を参照。）であり、引用発明においても、基材（アルミ合金の母材）の表面へのアモルファス状膜（ＤＬＣコーティング被膜１６）の密着力を向上させ、剥離を防止することは内在する課題であるから、上記周知技術に基づき、基材（アルミ合金の母材）の表面の粗さを上記相違点３に係る本願発明の構成の範囲内に設定することは当業者が容易に想到し得ることと認められる。
　その際、表面の粗さを示すのに、算術平均粗さや十点平均粗さが用いられることは技術常識（必要であれば、特開２００５−２５５４９１号公報（特に、【００１８】）及び特開２００６−１２１０２２号公報（特に、【００１４】）を参照。）であるから、算術平均粗さ及び十点平均粗さを用いて、基材（アルミ合金の母材）の表面の粗さを設定することは当業者が適宜なし得ることである。
　よって、引用発明において、上記周知技術及び上記技術常識に基づき、上記相違点３に係る本願発明の構成とすることは当業者が容易になし得たものと認められる。
　
　そして、本願発明の全体構成により奏される作用効果は、引用発明、上記慣用手段、上記常套手段、上記周知の事項、上記周知技術及び上記技術常識から当業者が予測し得る範囲内のものである。
　したがって、本願発明は、引用発明、上記慣用手段、上記常套手段、上記周知の事項、上記周知技術及び上記技術常識に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　
６．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明、上記慣用手段、上記常套手段、上記周知の事項、上記周知技術及び上記技術常識に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって、結論のとおり審決する。