【事件の表示】
　特願２００６−１９１８９７「蒸着源」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年　３月１５日出願公開、特開２００７−　６３６６３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１８年７月１２日（パリ条約による優先権主張　平成１７年８月３１日　韓国（ＫＲ））の出願であって、平成２２年３月１０日付けの拒絶査定に対して、同年７月１５日に審判請求がされるとともに同日付けで手続補正がされ、当審において、平成２３年６月６日付けで前置報告書に基づく審尋をしたところ、同年９月７日付けで回答書が提出されたものである。
　
第２　本願発明
　平成２２年７月１５日付け手続補正により特許請求の範囲についてする補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第１号に規定する請求項の削除を目的とするものであるから、その請求項１〜７に係る発明は、平成２２年７月１５日付け手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１〜７に記載された事項により特定されるものであるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりのものである。
　
「　　【請求項１】
　蒸着チャンバ内に配置された蒸発物質を蒸発させるためのるつぼと、
　前記るつぼに熱を供給するための加熱源と、
　前記加熱源から放出される熱を遮蔽するためのハウジングと、
　前記るつぼを安着させる外壁及び前記るつぼから蒸発された物質を噴射するためのノズル部と、を具備する蒸着源において、
　前記るつぼから放出される蒸着物質の蒸着率を測定する蒸着率測定手段と、
　前記蒸着率測定手段により測定される蒸着率を、設定された目標蒸着率と比較して前記加熱源への電力供給を制御する制御部と、を有し、
　前記加熱源は板状で形成され、前記ハウジングは冷却水が流通される冷却水路を具備し、
　前記加熱源は２つ設けられ、前記制御部は、２つの加熱源への電力供給を独立して制御することを特徴とする蒸着源。」
　
第３　原査定の理由の概要
　原審における本願に対する拒絶査定の理由の１つは、概ね、本願発明は、本願出願前日本国内又は外国において頒布された以下の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下、「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないというものである。
　
　＜引用刊行物＞
刊行物１　特表２０００−５０４６４５号公報
刊行物２　特開平８−９２７３３号公報
　
第４　刊行物１、２の記載事項 
　上記刊行物１、２には、以下の記載がある。
１　刊行物１
［１ａ］「本発明の要約
水蒸気の透過に対して充分な透過性を有する多孔構造の薄膜層を有し、剛性グレージングにこのフィルムを水ベースの取り付け剤で取り付けた時、フィルムと剛性グレージングの間に残存する水が拡散あるいは透過によりシート層を抜けて逃散できる多孔質太陽光コントロールシートを提供することが本発明の目的である。
・・・
　これらの及び他の目的は、次に堆積する一層あるいはそれ以上の層に多孔性を誘起する多孔性誘起表面をポリマーシート基板に設けることにより達成される。プライマー層の多孔質構造を持たない基板上にコーティングした場合、水不透過性（水蒸気不透過性）薄膜層を生成する条件下で多孔質プライマー上に水透過性薄膜層の真空蒸着を可能にする多孔質特性を有するプライマー層をポリマーシートに設けることにより、多孔性誘起表面を形成できる。」（第１７頁第２１行〜第１８頁第１６行）
　
［１ｂ］「多孔質プライマーを堆積するのに、通常の抵抗加熱ボックスの蒸着源を使用する。抵抗加熱ボックスの蒸着源は図9に示す。グラファイトのボックスのふた34とグラファイトのサイドヒーター39に電流を流してボックスを加熱する。絶縁体35はふた34をグラファイトボックス36から電気的に隔離する。ボックス36には、蒸着源材料40が入っている。断熱材料37と水冷した外殻38はロスした熱が周囲の真空チャンバー壁を加熱するのを防止する。蒸着源材料の蒸気41は冷却したドラム43に搭載したポリマーシート基板42上に堆積する。
・・・
多孔質プライマー層を光学干渉層の一般的用途として機能させるには、その厚さを特定のレベルに設定することが必要なだけである。
・・・
抵抗加熱蒸着により堆積できる蒸発可能な材料には、アルミニウム、シリコン、亜鉛、インジウム、錫、タングステン、ビスマス、アンチモン、セリウム、マグネシウム、モリブデン及びバリウムの酸化物あるいは他の化合物が含まれる。」（第２３頁第１０行〜第２５頁第１７行）
　
［１ｃ］「【図９】
」
　
２　刊行物２
［２ａ］「【請求項１】  基体上で化学量論的組成を示し・・・１つ以上の金属酸化物薄層の前記基体上への付着方法において、前記基体上への金属酸化物の付着作用が加熱手段によって生ずる熱を用いる前記酸化物の真空蒸発作用であり、前記基体への酸化物蒸気流が前記加熱手段と蒸気との直接接触が避けられる流路に従うことを特徴とする前記方法。」
　
［２ｂ］「【００２０】
【実施態様】図１に関しては、底部において閉ざされ、頂部において開放された、適当な所定(pre-defined) 高さの結晶容器２に、その容量の約３／４まで、適当な金属酸化物１を充填する。物質１と容器２とは蒸気供給源(source of evaporation) を形成する。加熱手段は、電気抵抗３を支え、デバイスのハウジングを形成するアルミナ容器（４）の内側に配置されたモリブデン３のストリップから製造される。」
　
［２ｃ］「【００２３】図２は、大きな表面積を有するガラスシート上に薄いエレクトロクロミック層を付着させるための使用に特に適した、本発明による装置の分解組み立て全体図を示す。・・・この場合にも、蒸発させるべき物質１０を保持する容器９は抵抗１１よりも高いレベルに置かれるので、蒸気と抵抗１１との直接接触が避けられる。抵抗の上縁はハウジング（図示せず）の縁を越えるために、Ｕ字形のように形成される。
【００２４】電気抵抗１１は電源に接続される金属タング(tongue)１２を有するので、一端から他端まで電流が流れ、蒸発させるべき物質を均一に加熱する。」
　
［２ｄ］図１として、真空蒸着装置の断面図が示されている。
　
［２ｅ］図２として、図１に示した装置の全体的分解組み立て図が示されている。
　
第５　当審の判断
１　刊行物１に記載された発明
　刊行物１には、［１ａ］によれば、多孔質特性を有するプライマー層をポリマーシートに設けることが記載され、［１ｂ］、図９によれば、多孔質プライマー層の堆積に使用する蒸着源が、蒸着源材料が入っているボックスと、ボックスを加熱するボックスのふたとサイドヒータと、周囲の真空チャンバー壁を加熱するのを防止する断熱材料と、水冷した外殻を具備することが記載されている。
　ここで、図９から明らかなとおり、ボックスのふたには蒸発された物質を噴射するためのノズル部が設けられているといえるし、ボックスは断熱材料と外殻によって固定されているから、当該外殻はボックスを安着させる機能を有するものといえる。また、外殻の水冷にあたり、当該外殻が冷却水路を具備することは技術常識であるから、以上の記載を本願発明の記載ぶりに沿って整理すると、刊行物１には以下の発明が記載されているといえる。
　
「真空チャンバー内に配置された蒸着源材料を蒸発させるためのボックスと、
　前記ボックスに熱を供給するためのボックスのふたとサイドヒータと、
　前記ボックスのふたとサイドヒータから放出される熱を遮蔽するための断熱材料と、
　前記ボックスを安着させる外殻及び前記ボックスから蒸発された物質を噴射するためのノズル部と、を具備する蒸着源において、
　前記外殻は冷却水が流通される冷却水路を具備する、蒸着源。」（以下、「引用発明」という。）
　
２　本願発明と引用発明との対比 
　引用発明の「真空チャンバー」、「蒸着源材料」、「ボックス」、「ボックスのふたとサイドヒータ」、「断熱材料」及び「外殻」は、それぞれ本願発明の「蒸着チャンバ」、「蒸発物質」、「るつぼ」、「加熱源」、「ハウジング」及び「外壁」に相当する。
　また、引用発明の加熱源は、ボックスのふたとサイドヒータの２つであるから、両者は、
「蒸着チャンバ内に配置された蒸発物質を蒸発させるためのるつぼと、
　前記るつぼに熱を供給するための加熱源と、
　前記加熱源から放出される熱を遮蔽するためのハウジングと、
　前記るつぼを安着させる外壁及び前記るつぼから蒸発された物質を噴射するためのノズル部と、を具備する蒸着源において、
　前記加熱源は２つ設けられる蒸着源。」で一致し、次の点で相違する。
　
相違点１：
　本願発明は、るつぼから放出される蒸着物質の蒸着率を測定する蒸着率測定手段と、前記蒸着率測定手段により測定される蒸着率を、設定された目標蒸着率と比較して加熱源への電力供給を制御する制御部とを有するのに対して、引用発明は、そのような蒸着率測定手段や制御部を設けることが特定されていない点。
　
相違点２：
　本願発明は、加熱源が板状で形成されるのに対して、引用発明は、加熱源の形状が特定されていない点。
　
相違点３：
　本願発明は、ハウジングが冷却水路を具備するのに対して、引用発明は、外殻が冷却水路を具備する点。
　
相違点４：
　本願発明は、制御部が、２つの加熱源への電力供給を独立して制御するのに対して、引用発明は、２つの加熱源への電力供給を独立して制御することが特定されていない点。
　
３　相違点についての判断
３−１　相違点１について
　蒸着の技術分野において、測定された膜厚や蒸着物質の重量を、設定された膜厚や蒸着物質の重量と比較して加熱源への電力供給を制御することは、例えば、特開昭６１−９５７４号公報の第１頁右欄第１８行〜第２頁左上欄第５行、特開２００３−２１７４４５号公報の請求項１、【００２４】、特開平４−２８５０９３号公報の請求項１、【００１８】、【００２７】に記載されているように、本願の優先日前周知の技術である。
　そして、刊行物１の［１ｂ］には、引用発明の蒸着源を用いて得られる多孔質プライマー層に関して、その厚さを特定のレベルに設定することが必要であることが記載されているように、引用発明においても蒸着源材料の蒸着量を制御することが求められる点を考慮すれば、引用発明の蒸着源に上記周知の技術を適用することに格別の困難性は認められない。
　ここで、上記周知技術における、膜厚測定手段や、蒸着物質の重量測定手段は、本願発明に係る、蒸着物質の蒸着率を測定する手段に他ならず、また、蒸着率をその設定値と比較することと、膜厚や重量をその設定値と比較することとは、最終的な設定値で除した割合を比較するか、絶対値で比較するかの差異でしかなく、それによって電力供給の制御に差異を生ずるものでもないから、制御方法として実質的に相違するものではない。
　したがって、引用発明の蒸着源に上記周知の技術を適用することで上記相違点１を解消することは、当業者が容易になし得るものである。
　また、そのことによって、本願発明において格別顕著な効果を奏したものであるということもできない。
　
３−２　相違点２について
　刊行物２の［２ａ］には、金属酸化物の基体上への付着を真空蒸発、すなわち真空蒸着で行うことが記載され、［２ｂ］、［２ｃ］、図１、図２には、蒸発させるべき物質を均一に加熱するための電気抵抗として、ストリップ、すなわち板から製造されたものを使用することが記載されている。
　ここで、蒸着源の均一な加熱や効率的な加熱を行うべく、板状の加熱源を用いることは、刊行物２に限らず、例えば特開２００２−３４８６５８号公報の段落【００１１】や、特開平２−３０７８９３号公報の第１頁右欄第１６行〜第２頁左上欄第４行に記載されているように、本願の優先日前周知の技術であり、引用発明においても、蒸着源の均一な加熱や効率的な加熱は、蒸着源の規模や、蒸着膜に求められる品質に応じて当然に考慮すべき課題といえるから、刊行物１に記載された多孔質プライマー層に求める均質性に応じて、引用発明における加熱源として板状のものを採用することにより上記相違点２を解消することは、当業者が容易になし得るものである。
　
３−３　相違点３について
　刊行物１の［１ｂ］には、外殻の水冷が、周囲の真空チャンバー壁を加熱するのを防止する機能を有することが記載されているところ、かかる機能は、加熱源とチャンバー壁との間に位置する任意の部材を水冷することで、同様にもたらされるものといえるから、引用発明の蒸着源において、加熱源とチャンバー壁との間に位置する部材である断熱部材と外殻のいずれに冷却手段を設けるかは、当業者が適宜選択し得る設計事項にすぎない。
　また、そのことによって、本願発明において格別顕著な効果を奏したものであるということもできない。
　
３−４　相違点４について
　蒸着の技術分野において、るつぼ上部の蒸着源材料の固化を防止するべく、複数個の加熱源を設け、当該加熱源への電力供給を独立して制御することは、例えば特公平４−４３４１４号公報の第２欄第２２行〜第３欄第２５行、特開平７−１５７８６８号公報の請求項３、【０００４】、【００１１】、【００１２】に記載されるように、本願の優先日前周知の技術である。
　そして、引用発明１の蒸着源においても、加熱源の一つであるボックスのふたはるつぼの上部を加熱するものであって、刊行物１の図９に示されるノズル部の形状も参照すれば、ノズル部近傍の蒸着源材料の固化が起こり得るものであるから、ボックスのふたへの電力供給をサイドヒータとは別に独立して制御することにより上記相違点４を解消することは、当業者が容易になし得るものである。
　また、そのことによって、本願発明において格別顕著な効果を奏したものであるということもできない。
　
４　補足　−　回答書の主張に対して
　なお、請求人は、平成２３年９月７日付け回答書の「２．審尋に対する回答」において、前置報告において示された特公平４−４３４１４号公報は、前置報告において初めて示されたものであり、この文献を考慮した補正の機会が審判請求人に一度も与えられないことは、審判請求人にあまりにも酷である旨主張している。
　しかしながら、上記「３−４　相違点４について」において述べたとおり、当該公報を例示して指摘した、複数個の加熱源を独立制御する技術は、蒸着の技術分野において、とりたてて文献を提示するまでもない、当業者にとって周知の技術にすぎないものといえるし、また、複数個の加熱源を独立制御する旨の本願発明の発明特定事項は、本願明細書の【００１０】に記載される、「板状の抵抗加熱源を使用することによって発熱効率を増大させて加熱温度を低げ、昇温速度が速くて加熱源の破断を未然に防止することができ、ハウジング内の冷却水路を持つ冷却ジャケットを具備することで冷却効率を増大させることができるようにした蒸着源を提供する」という本願発明の目的を達成するための本質的な特定事項であるとは認められず、上記公報の提示が、査定の理由と異なる拒絶の理由を指摘するためのものではない点も併せて考慮すれば、本願に係る手続の経緯が請求人にとってあまりにも酷であるとはいえないし、手続違背があるともいえない。
　したがって、上記請求人の主張は採用できない。
　
第６　むすび
　以上のとおりであるから、本願発明は、刊行物１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、請求項２〜７に係る発明について検討するまでもなく本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。