【手続補正書】
【提出日】平成17年11月17日(2005.11.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  熱制御器および熱交換機による試験中に装置の温度を制御する方法であって、
装置が消費する電力の消費量に関するパラメータを測定するステップと、
前記装置が消費する電力の消費量に関する前記計測されたパラメータを使用して前記熱交換機および前記熱制御器を制御して、前記装置の前記温度を調整するステップとからなり、
前記熱交換機が、試験中の前記装置と伝熱状態で接触していることを特徴とする温度制御方法。
【請求項２】  請求項１に記載の方法であって、装置の電力消費量に関するパラメータの測定が、前記装置の少なくとも部分的な電力利用量を監視することよりなる温度制御方法。
【請求項３】  請求項１に記載の方法であって、装置の電力消費量に関するパラメータの測定が、装置に電力を供給する電力供給源を監視し、該電力供給源からの電圧と電流とを測定することよりなる温度制御方法。
【請求項４】  請求項１に記載の方法であって、装置の電力消費量に関するパラメータの測定が、前記装置の瞬間電力消費量の変化を監視することよりなる温度制御方法。
【請求項５】  請求項２に記載の方法であって、装置の少なくとも部分的な電力利用量の監視が、装置の全電力利用量を監視することよりなり、監視された全電力利用量が装置の温度制御に利用されることよりなる温度制御方法。
【請求項６】  請求項１に記載の方法であって、装置の電力消費量に関するパラメータの測定が、
装置の第１電流利用量を表す信号を生成し、
装置の前記第１電流利用量に対応する第１電圧を表す信号を生成し、
第１電圧を表す信号で第１電流利用量を表す信号を乗算して、装置の第１電力利用量を表す信号を生成することよりなる温度制御方法。
【請求項７】  請求項６に記載の方法であって、装置の電力消費量に関するパラメータの測定が、
装置の第２電流利用量を表す信号を生成し、
装置の前記第２電流利用量に対応する第２電圧を表す信号を生成し、
第２電圧を表す信号で第２電流利用量を表す信号を乗算して、装置の第２電力利用量を表す信号を生成し、
前記第１電力利用量を表す前記信号を、装置の第２電力利用量を表す前記信号に加算して、装置の合計電力利用量を表す信号を生成することを更に含んでなる温度制御方法。
【請求項８】  請求項１に記載の方法であって、装置の電力消費量に関する測定パラメータに基づいて装置の温度を制御することが、
温度奪取システムを利用し、
少なくとも部分的には装置による電力消費量に関する測定パラメータに基づいて前記温度奪取システムの設定を制御することよりなる温度制御方法。
【請求項９】  請求項８に記載の方法であって、温度奪取システムの設定の制御が、Ｋthetaを前記装置と前記熱交換器の間の媒体の熱抵抗から得られる定数とし、Ｐedを前記装置の前記電力利用量とし、Ｔfsを前記装置と前記熱交換機との間の表面温度とする下記第１式を利用して装置の温度をほぼ判定することよりなる温度制御方法。
装置の温度= Ｋtheta・Ｐed + Ｔfs
【請求項１０】  請求項９に記載の方法であって、温度奪取システムの設定の制御が、温度奪取システムを制御するのに利用する信号を生成するために、Ｖtesを温度奪取システムを制御するのに利用する信号とし、Ｖspを前記装置の設定温度を表す電圧とし、Ｖk-thetaを前記Ｋthetaを表す電圧とし、値ＶPedを前記装置の前記電力利用量を表す電圧とし、Ｖfsstを前記装置と前記熱交換機との間の前記表面温度を表す電圧とし、ＶIROを前記熱交換機の精確な一定電流と可変抵抗との製品の値を表す電圧とし、Ｖalphaを前記熱交換機の可変抵抗の曲線の温度に対する傾きを表す電圧とする下記第２式を利用することをも含んでなる温度制御方法。
Ｖtes = ｄ(Ｖsp - ((Ｖk-theta・ＶPed)+(Ｖfsst - ＶIRO)/Ｖalpha))/ｄt
【請求項１１】  請求項６に記載の方法であって、装置による電力消費量に関するパラメータを測定することが、
装置の第１電流利用量を表す信号を処理し、
装置の前記第１電流利用量に対応する第１電圧を表す信号を処理することよりなり、
両方の信号が互いに乗算される前に処理されることよりなる温度制御方法。
【請求項１２】  請求項８に記載の方法であって、温度奪取システムの設定の制御がアナログ回路を利用してなる温度制御方法。
【請求項１３】  請求項８に記載の方法であって、温度奪取システムの設定の制御がＰＩＤ制御を行うことよりなる温度制御方法。
【請求項１４】  請求項１に記載の方法であって、
前記判定された設定に基づいて温度奪取システム温度を調節することとからなり、
前記パラメータを測定する前記ステップが、一つかそれ以上の電力供給源により装置に供給された電力の装置による電力消費量を監視することを含む温度制御方法。
【請求項１５】  請求項１４に記載の方法であって、温度奪取システムの温度の調節が、温度奪取システムの温度で装置の監視した電力消費量を反映させることよりなる温度制御方法。
【請求項１６】  請求項１に記載の方法であって、
試験中の装置にプログラマブル電力供給源から供給される電力についての実時間情報を含むデータ信号を前記プログラマブル電力供給源から連続して供給し、
データ取得装置でプログラマブル電力供給源からのデータ信号を連続して受信することよりなる温度制御方法。
【請求項１７】  請求項１６に記載の方法であって、データ信号がアナログ信号であり、前記方法が、
データ信号がデータ取得装置に受信されるに先立って連続受信したデータ信号を処理して、試験中の装置が利用している電力を表す電力信号を発生させ、
データ取得装置に電力信号を供給し
データ取得装置で電力信号をサンプリングし、
データ取得装置からサンプリングした電力信号をコンピュータに供給することを更に含んでなる方法。
【請求項１８】  試験中の装置の温度制御システムであって、
前記装置が消費した電力消費量に関するパラメータを測定する測定装置と、
前記装置と伝熱状態で接触している熱交換器と、
前記装置の前記温度を調整する前記装置による電力消費量に関する前記測定パラメータを利用することにより熱交換器を制御する熱制御器とからなるシステム。
【請求項１９】  請求項１８に記載のものであって、装置による電力消費量に関するパラメータを測定する測定装置が、装置の電力利用量を監視するモニターからなるシステム。
【請求項２０】  請求項１９に記載のものであって、前記モニターが全電力利用量を監視すると共に、装置による電力消費量に関するパラメータが全電力利用量からなるシステム。
【請求項２１】  請求項１８に記載のものであって、
前記測定装置が、
一つかそれ以上の電力供給源から装置に供給された電流を監視する少なくとも一つの電流測定装置と、
一つかそれ以上の電力供給源から装置に供給された電圧を監視する少なくとも一つの電圧測定装置と、
前記少なくとも一つの電流測定装置と前記少なくとも一つの電圧測定装置とに接続されて、監視された電流と電圧とから電力利用量信号を出力する監視回路とからなり、また、
熱交換器の設定を判定する熱制御器が、
装置の温度を予測するのに、Ｋthetaを前記装置と前記熱交換器の間の媒体の熱抵抗から得られる定数とし、Ｐedを前記装置の前記電力利用量とし、Ｔfsを前記装置と前記熱交換機との間の表面温度とする下記式を利用する熱制御回路からなるシステム。
装置の温度= Ｋtheta・Ｐed + Ｔfs
【請求項２２】  請求項１８に記載のものであって、
試験中の装置に電力を供給すると共に、試験中の当該装置が利用する電力についての情報が含まれているデータ信号を供給するプログラマブル電力供給源と、
前記プログラマブル電力供給源と接続されていて、プログラマブル電極供給源からデータ信号を受信することで、試験中の装置が利用している電力についてのデータを取得するデータ取得装置とからなるシステム。
【請求項２３】  請求項２２に記載のものであって、プログラマブル電力供給源とデータ取得装置との間にも監視回路を介在させ、プログラマブル電力供給源からのデータ信号がこの監視回路に受信されるようにし、また、データ取得装置に電力利用量信号が監視回路から供給されるように構成してなり、試験中の前記装置が集積回路であることよりなるシステム。
【請求項２４】  請求項２２に記載のものであって、デジタル記憶媒体と表示装置とを備え、データ取得装置に交信自在に接続されたコンピュータを更に設け、このコンピュータが前記データ取得装置からデジタル電力利用量信号を受信し、デジタル電力利用信号からの情報をデジタル記憶媒体に記憶すると共に、デジタル電力利用量信号からの情報を表示装置に表示させるようにしてなるシステム。
【請求項２５】  請求項１８に記載のものであって、
当該装置が熱交換器と伝熱状態で接触している間に装置が試験されるように試験中に半導体装置を保持する試験ヘッドとからなり、熱交換器の設定値が熱制御器により定められるように構成してなるシステム。
【請求項２６】  請求項２５に記載のものであって、熱交換器が半導体装置の第１試験中に当該装置を第１温度もしくはその近傍に維持し、その後、当該装置の第２試験中に第２温度もしくはその近傍に維持するように、前記熱制御器は前記熱交換器を制御するようになっていることよりなるシステム。