【事件の表示】
　特願２００６−１９９０３３「マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法及びマスクの製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年　３月　８日出願公開、特開２００７−　５４９４４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、特許法第４１条に基づく優先権主張を伴う平成１８年７月２１日（優先日、平成１７年７月２５日）の特許出願であって、同２２年９月２７日付けで拒絶の理由が通知され、その指定期間内の同２２年１１月２６日に意見書とともに特許請求の範囲について手続補正書が提出されたが、同２３年３月１６日付けで拒絶をすべき旨の査定がされた。
　これに対し、平成２３年６月２２日に本件審判の請求がされるとともに特許請求の範囲について再度手続補正書が提出され、同２４年１月１３日に審尋に対する回答書が提出されたものである。
　
第２　平成２３年６月２２日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成２３年６月２２日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
１　補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲について補正をするものであって、特許請求の範囲の請求項１について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
　
（１）補正前
　研磨布を貼り付けた定盤と、マスクブランク用基板とを、一定荷重をかけた状態で相対的に移動させ、その際研磨液を研磨布とマスクブランク用基板との接触面間に供給してマスクブランク用基板の研磨を行う工程を有するマスクブランク用基板の製造方法であって、
　前記研磨布を貼り付けた定盤は、定盤の研磨布貼り付け面に溝を有し、
　前記溝は、開口周縁部に
おいて、研磨布貼り付け面から定盤の厚さ方向になだらかに傾斜していく
　前記研磨布は、前記定盤の研磨布貼り付け面及び前記溝の形態に沿って貼り付けられていることを特徴とするマスクブランク用基板の製造方法。
　
（２）補正後
　研磨布を貼り付けた定盤と、マスクブランク用基板とを、一定荷重をかけた状態で相対的に移動させ、その際研磨液を研磨布とマスクブランク用基板との接触面間に供給してマスクブランク用基板の研磨を行う工程を有するマスクブランク用基板の製造方法であって、
　前記研磨布を貼り付けた定盤は、定盤の研磨布貼り付け面に溝を有し、
　前記溝は、開口周縁部に
形成される２つの曲面と、底部に形成される曲面とで構成される曲面の
　
前記溝は、深さが１〜１０ｍｍ、幅が１０〜５０ｍｍであり、前記開口周縁部に形成される曲面の曲率半径が３〜２０ｍｍであり、底部に形成される曲面の曲率半径が１０〜５０ｍｍであり、
　前記研磨布は、前記定盤の研磨布貼り付け面及び前記溝の形態に沿って貼り付けられていることを特徴とするマスクブランク用基板の製造方法。
　
２　補正の適否　　　
　本件補正のうち特許請求の範囲の請求項１についてする補正は、定盤に形成される溝の断面形状について「開口周縁部において、研磨布貼り付け面から定盤の厚さ方向になだらかに傾斜していく」を「開口周縁部に形成される２つの曲面と、底部に形成される曲面とで構成される曲面の」と限定し、また、溝の各部の寸法及び各曲面の曲率半径について「深さが１〜１０ｍｍ、幅が１０〜５０ｍｍであり、前記開口周縁部に形成される曲面の曲率半径が３〜２０ｍｍであり、底部に形成される曲面の曲率半径が１０〜５０ｍｍであり」という事項を付加するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とすることが明らかであるので、さらに、補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるか否かについて検討する。
　
（１）補正発明
　補正発明は、明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、上記１（２）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりの「マスクブランク用基板の製造方法」であると認める。
　
（２）刊行物
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願の優先日前に日本国内において頒布された刊行物である特開平９−２７７１６３号公報（以下「引用刊行物」という。）の記載内容は以下のとおりである。
　
ア　引用刊行物記載の事項
　引用刊行物には以下の事項が記載されている。
　
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえばウェーハなどの被研磨対象の表面を良好に研磨することができる研磨方法と研磨装置に関する。」
　
「【００１３】図１に示すように、本実施形態の研磨装置は、被研磨対象としてのウェーハ１の表面１ａを研磨するための装置であり、この研磨装置は、回転軸１４を中心に回転する定盤１０と、当該定盤１０の上部に位置し、ウェーハ１を保持する保持手段としてのウェーハホルダ２０とを有する。
【００１４】定盤１０の表面には、発泡ポリウレタンなどの多孔質粘弾性材からなる研磨パッド１２が貼着されており、この研磨パッド１２は、ウェーハ１の研磨面１ａより大きな面積で定盤１０の全面に装着されている。そして、この研磨パッド１２上には、定盤１０の略中心からノズル３０によって研磨液が供給される。研磨液は、特に限定されないが、アミン系の研磨液又はこれに必要に応じて紛状の酸化シリコンＳｉＯ２ などの砥粒を添加したものを挙げることができる。」
　
「【００１６】本実施形態の研磨装置では、定盤１０の表面１０ａに中心から外縁に向かう螺旋状の溝４０が形成されている。この溝４０は、幅ｗ及び深さｈが研磨パッド１２の厚さｔより大きく形成されており、また定盤表面１０ａにおける溝４０の端縁４０ａは曲線状に面取りが施されている。溝４０の断面形状は特に限定されず、Ｖ字形、Ｕ字形、逆台形などで形成される。また螺旋状溝４０の間隔も特に限定されないが、狭くし過ぎると研磨が十分に行えず、逆に広すぎると研磨液の浸透均一性が不充分となるのでこの点に留意する。」
　
「【００１８】次に作用を説明する。まず研磨パッド１２を定盤表面１０ａに貼り付ける。この場合、研磨パッド１２の裏面及び／又は定盤の表面１０ａに接着剤を塗布し、平坦な研磨パッド１２を図４（Ａ）に示すように引き延ばして貼り付ける。次に、溝幅ｗより小さい幅の回転ローラ５０を用いて、研磨パッド１２の上から溝４０に沿って当該研磨パッド４０を押圧し、研磨パッド１２を溝４０に倣わせる。これにより、研磨パッド１２の表面には、溝４０に沿った滑らかな凹溝４２が形成されることになる。
【００１９】次に、ウェーハホルダ２０と定盤１０との平行度を出したのち、多孔質チャック２２にウェーハ１を吸着させ、保持したのち、ウェーハホルダ２０及び定盤１０を回転させると共に、ノズル３０から研磨パッド１２上に研磨液を供給しながらウェーハホルダ２０を定盤１０に圧着する。これにより、ウェーハ１の表面１ａが研磨され始め、このような研磨により、ウェーハ１の表面１ａは、研磨液中のアルカリ成分による化学的研磨作用と、直径約０．１μｍ程度のシリカなどの研磨粒子による機械的研磨作用と、さらにこれらの相乗研磨作用により、メカノケミカル研磨（ＣＭＰ）が良好に行われる。
【００２０】このとき、研磨パッド１２上に供給された研磨液は、研磨パッド１２表面に形成された滑らかな凹溝４２を流れ、ウェーハ１と研磨パッド１２との間に十分かつ均一に浸透することになる。したがって、ウェーハ面内における研磨レートが均一になり、その結果、研磨むらがなくなり、平坦化の面内均一性が向上し、研磨されたウェーハ１の品質が向上する。
【００２１】また、定盤１０の溝４０の端縁４０ａは曲線状に面取りされているので、研磨パッド１２に形成される凹溝４２がきわめて滑らかな面となり、これによりウェーハ１の研磨面１ａに傷等が生じるおそれがなくなる。・・（以下略）・・。」
　
イ　引用刊行物記載の発明
　引用刊行物記載の事項において、定盤１０の表面１０ａに形成される溝４０の断面形状として、上記段落【００１６】に記載されているＶ字形、Ｕ字形、逆台形などのうちからＵ字形を採用する。
　また、「ウェーハホルダ２０を定盤１０に圧着」する際、研磨の均一性向上のため、「一定荷重をかけた状態」で圧着することは技術常識である。
　引用刊行物記載の事項を、技術常識を考慮に入れながら補正発明に照らして整理すると、引用刊行物には以下の発明が記載されていると認めることができる。
　
　研磨パッド１２を貼り付けた定盤１０と、被研磨対象としてのウェーハ１とを、一定荷重をかけた状態で相対的に移動させ、その際研磨液を研磨パッド１２とウェーハ１との接触面間に供給してウェーハ１の研磨を行う工程を有するウェーハ１の研磨方法であって、
　前記研磨パッド１２を貼り付けた定盤１０は、研磨パッド１２を貼り付けた表面１０ａに溝４０を有し、
　前記溝４０は、定盤表面１０ａにおける両端縁４０ａ，４０ａが曲線状に面取りを施されたＵ字形の断面形状を有し、
　前記溝４０は、幅ｗ及び深さｈが研磨パッド１２の厚さｔより大きく形成されており、
　前記研磨パッド１２は、接着剤を介して定盤表面１０ａに貼り付けられ、さらに、溝幅ｗより小さい幅の回転ローラ５０により溝４０に沿って押圧されて溝４０に倣わせられているウェーハ１の研磨方法。
　
（３）対比
　補正発明と引用刊行物記載の発明とを対比すると以下のとおりである。
　引用刊行物記載の発明の「研磨パッド１２」は、補正発明の「研磨布」に相当する。
　引用刊行物記載の発明の「ウェーハ１」は、「被研磨対象としての板状体」であるという限りで、補正発明の「マスクブランク用基板」と共通している。
　引用刊行物記載の発明の「表面１０ａ」ないし「定盤表面１０ａ」は、補正発明の「定盤の研磨布貼り付け面」に相当する。
　引用刊行物記載の発明において「前記研磨パッド１２は、接着剤を介して定盤表面１０ａに貼り付けられ、さらに、溝幅ｗより小さい幅の回転ローラ５０により溝４０に沿って押圧されて溝４０に倣わせられている」ことは、「研磨布は、定盤の研磨布貼り付け面に貼り付けられているとともに溝の所で凹んでいる」という限りで、補正発明において「前記研磨布は、前記定盤の研磨布貼り付け面及び前記溝の形態に沿って貼り付けられていること」と共通している。
　引用刊行物記載の発明は「ウェーハ１の研磨方法」として表現されているが、「被研磨対象としての板状体の研磨方法」であるという限りで、補正発明の「マスクブランク用基板の製造方法」と共通している。
　
　したがって、補正発明と引用刊行物記載の発明とは、以下の点で一致しているということができる。
　
［一致点］
　研磨布を貼り付けた定盤と、被研磨対象としての板状体とを、一定荷重をかけた状態で相対的に移動させ、その際研磨液を研磨布と前記板状体との接触面間に供給して前記板状体の研磨を行う工程を有する板状体の研磨方法であって、
　前記研磨布を貼り付けた定盤は、定盤の研磨布貼り付け面に溝を有し、
　前記研磨布は、前記定盤の研磨布貼り付け面に貼り付けられているとともに溝の所で凹んでいる、被研磨対象としての板状体の研磨方法。
　
　そして、補正発明と引用刊行物記載の発明とは、以下の３点で相違している。
　
ア　相違点１
　補正発明は、「被研磨対象としての板状体」が「マスクブランク用基板」である「マスクブランク用基板の製造方法」であるのに対して、引用刊行物記載の発明は、「被研磨対象としての板状体」が「ウェーハ」である「ウェーハの研磨方法」である点。
　
イ　相違点２
　溝の形状について、補正発明では「開口周縁部に形成される２つの曲面と、底部に形成される曲面とで構成される曲面の断面形状を有し、前記溝は、深さが１〜１０ｍｍ、幅が１０〜５０ｍｍであり、開口周縁部に形成される曲面の曲率半径が３〜２０ｍｍであり、底部に形成される曲面の曲率半径が１０〜５０ｍｍであ」るが、引用刊行物記載の発明では「定盤表面１０ａにおける両端縁４０ａ，４０ａが曲線状に面取りを施されたＵ字形の断面形状を有し、前記溝４０は、幅ｗ及び深さｈが研磨パッド１２の厚さｔより大きく形成されて」おり、溝の深さ、幅及び各曲面の曲率半径が明らかでない点。
　
ウ　相違点３
　補正発明では、研磨布は、「定盤の研磨布貼り付け面及び溝の形態に沿って貼り付けられている」のに対して、引用刊行物記載の発明では、研磨布は、「定盤の研磨布貼り付け面に貼り付けられており、溝幅より小さい幅の回転ローラにより溝に沿って押圧されて溝に倣わせられている」点。
　
（４）相違点の検討
ア　相違点１について
　被研磨対象を「マスクブランク用基板」とする「マスクブランク用基板の製造方法」自体は、例えば、原審の拒絶理由通知書に引用文献２として挙げた特開２００４−２９７３５号公報の要約、請求項２２、同じく引用文献４として挙げた特開２００５−６６７８１号公報の要約、請求項５に記載されているように従来周知であり、引用刊行物記載の発明において、被研磨対象としてウェーハに代えてマスクブランク用基板を採用してマスクブランク用基板の製造方法とすることは、当業者が必要に応じて適宜なしうるところである。
　
イ　相違点２について
　引用刊行物記載の発明において、溝が「定盤表面１０ａにおける両端縁４０ａ，４０ａが曲線状に面取りを施され」ていることは、溝の開口周縁部に２つの曲面が形成されていることにほかならず、同じく、溝が「Ｕ字形の断面形状を有し」ていることは、溝の底部に曲面が形成されていることにほかならない。
　そうしてみると、引用刊行物記載の発明において「溝４０は、定盤表面１０ａにおける両端縁４０ａ，４０ａが曲線状に面取りを施されたＵ字形の断面形状を有し」ていることは、補正発明において「溝は、開口周縁部に形成される２つの曲面と、底部に形成される曲面とで構成される曲面の断面形状を有し」ていることに相当する。
　請求人は、回答書で、「溝形状」については、引用刊行物記載の発明のものは補正発明のものと異なる旨、主張している。
　しかし、上記のとおり、「両端縁４０ａ，４０ａが曲線状に面取り」され、「Ｕ字形の断面形状」である引用刊行物記載の発明のものとは、形状に格別の差違はなく、作用効果も、引用刊行物の段落【００２０】〜【００２１】のとおり、補正発明と同様であるから、請求人の主張は根拠がない。
　補正発明で特定する溝の深さ、幅及び各曲面の曲率半径に関連して、明細書の段落【００１２】には、「本発明の製造方法及び製造装置において、「定盤上の所定の開口周縁部形態を有する溝」の形態を反映して形成される「研磨布で覆われてなる所定溝」は、溝幅：１０〜５０ｍｍ、溝深さ：１〜１０ｍｍ程度がよい。」と、また、
「溝の開口周縁部における曲面１ｃの曲率半径Ｒは３〜２０ｍｍ、溝の底部の曲面１ｄの曲率半径Ｒ’は１０〜５０ｍｍ、溝深さｈは１〜１０ｍｍ、溝幅ｗは１０〜５０ｍｍが好ましい。」と記載されているが、各数値範囲を上記のように選定した技術的根拠については格別の記載がない。
　定盤の研磨布貼り付け面に形成される溝の深さ、幅、開口周縁部に形成される曲面の曲率半径及び底部に形成される曲面の曲率半径の具体的な数値をどの程度とするかは、被研磨対象であるマスクブランク用基板の大きさ、研磨布の材質や厚さ、研磨液の組成等を勘案して適宜決定すべき事項である。
　マスクブランク用基板としては、上記特開２００４−２９７３５号公報の段落００２６、上記特開２００５−６６７８１号公報の段落００２３にみられるごとく、６インチ（１５２ｍｍ×１５２ｍｍ）が広く採用されていることからみても、補正発明で特定している各数値は、予想可能な範囲内にあるということができるものである。
　そうしてみると、引用刊行物記載の発明を、相違点２に係る事項のように構成することは、被研磨対象としてマスクブランク用基板を採用した場合に、適宜選定しうる事項であるということができる。
　
ウ　相違点３について         
　補正発明において、研磨布が溝の形態に沿って貼り付けられていることに関連して、明細書の段落【００１１】には「本発明の製造方法及び製造装置において、研磨布は、前記定盤の研磨布貼り付け平面及び前記所定の開口周縁部形態を有する溝の形態に沿って（少なくとも開口周縁部に沿って、通常溝の内面全面に沿って）貼り付けられる。」と記載されている。
　そうしてみると、「溝の形態に沿って」貼り付けられている態様としては、溝の内面全面に沿って貼り付けられている場合だけでなく、少なくとも開口周縁部に沿って貼り付けられている場合をも包含するところ、引用刊行物の【図４】（Ｂ）には、研磨布が、開口周縁部に沿って貼り付けられていることが示されており、補正発明において「溝の形態に沿って貼り付けられている」ことと引用刊行物記載の発明において「溝に倣わせられている」こととの間に格別の差違がない。
　また、「溝の形態に沿って」貼り付けられていることが、溝の内面全面に沿って貼り付けられていることを意味するとしても、引用刊行物記載の発明の溝は、補正発明と同様に、「開口周縁部に形成される２つの曲面と、底部に形成される曲面とで構成される曲面の断面形状を有し」ており、研磨布を、回転ローラにより溝に沿って押圧して溝に倣わせることによって、溝の内面全面に沿って貼り付けるように構成することに格別の困難性は見当たらない。
　
エ　また、補正発明によってもたらされる効果も、引用刊行物記載の発明及び上記従来周知の事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　
オ　したがって、補正発明は、引用刊行物記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
３　むすび
　よって、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本件出願の発明について
１　本件出願の発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項に係る発明は、平成２２年１１月２６日付け手続補正書により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし請求項１４に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められる。
　請求項１に係る発明（以下「本件出願の発明」という。）は、上記第２の１（１）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりの「マスクブランク用基板の製造方法」である。
　
２　刊行物
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物及びその記載内容は、上記第２の２（２）に示したとおりである。
　そして、引用刊行物記載の発明において「溝４０は、定盤表面１０ａにおける両端縁４０ａ，４０ａが曲線状に面取りを施され」ていることは、溝が、開口周縁部において、研磨布貼り付け面から定盤の厚さ方向になだらかに傾斜していくことを意味している。
　
３　対比・検討
　本件出願の発明は、上記第２の２で検討した補正発明から、定盤に形成される溝の断面形状について「開口周縁部に形成される２つの曲面と、底部に形成される曲面とで構成される曲面の」という限定を削除して「開口周縁部において、研磨布貼り付け面から定盤の厚さ方向になだらかに傾斜していく」とし、また、溝の各部の寸法及び各曲面の曲率半径について「深さが１〜１０ｍｍ、幅が１０〜５０ｍｍであり、前記開口周縁部に形成される曲面の曲率半径が３〜２０ｍｍであり、底部に形成される曲面の曲率半径が１０〜５０ｍｍであり」という事項を削除したものである。
　そうすると、本件出願の発明を構成する事項の全てを含み、さらに他の事項を付加する補正発明が、上記第２の２（４）オで示したとおり、引用刊行物記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件出願の発明も同様の理由により当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４　むすび
　したがって、本件出願の発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、本件出願の請求項２ないし請求項１４に係る発明について逐次検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきであるから、結論のとおり審決する。