【手続補正書】
【提出日】平成17年8月26日(2005.8.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
好適な実施の形態の説明
図１は、被測定集積回路デバイス（ＤＵＴ）１２のテストをするための集積回路テスタ１０を示している。テスタ１０は、それぞれがＤＵＴ１２の個々の入力／出力ターミナルに接続している一組のピンエレクトロニクス回路１４を有する。それぞれのピンエレクトロニクス回路１４は、対応するフォーマット及びタイミング回路１６からのＭ個一組のタイミング信号（ＴＩＭＩＮＧ）に応じて、対応するＤＵＴターミナルにおいてテスト作業を実施する。それぞれのタイミング信号ＴＩＭＩＮＧは、ピンエレクトロニクス回路１４の個々の機能を制御する。従来式のコンピュータバス２４を介して外部のホストコンピュータ２５から供給された命令によってプログラミングされたパターン発生器１８は、それぞれのテストサイクルの間それぞれのフォーマット及びタイミング回路１６に個々のパターンベクタ（データワード）を供給する。それぞれのパターンベクタは、フォーマット及びタイミング回路１６に対して、テストサイクル中のいつの時点でその出力タイミング信号ＴＩＭＩＮＧを状態変更すべきかを知らせる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
プログラム可能な基準電圧源
図２は、出力基準電圧Ｖ１−ＶＮの数Ｎが３の場合の図１のプログラム可能な基準電圧源２０をより詳細なブロック図形式で図示している。源２０は、コンピュータバス２４を介して、図１のホストコンピュータ２５によってライトアクセスされる従来式のランダムアクセスメモリシステム（ＲＡＭ）２２を有する。コンピュータバス２４を介してデータとアドレスと制御信号を受け取るための従来式のメモリコントローラを有するＲＡＭ２２は、Ｎ＝３のアドレス可能な記憶位置を提供するが、それぞれの記憶位置は、源２０が生成するＮ＝３の出力基準電圧Ｖ１−Ｖ３のそれぞれに対応している。基準電圧源２０をプログラムするために、図１のホストコンピュータ２５は、バス２４を介してＲＡＭ２２の各記憶位置にデータ値を書き込む。それぞれのデータ値は、個々の基準電圧Ｖ１−Ｖ３の所望のレベルを示している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
基準電圧源２０は、また、それぞれが個々の出力基準電圧Ｖ１−Ｖ３を生成する３個一組の従来式のサンプルアンドホールド回路３０（１）−３０（３）を有する。各サンプルアンドホールド回路３０（１）−３０（３）の出力電圧Ｖ１−Ｖ３のレベルは、サンプルアンドホールド回路内の（図示しない）内部コンデンサの電荷に比例する。サンプリングモードに置かれたとき、サンプルアンドホールド回路３０（１）−３０（３）のいずれか一つによって生成された出力基準電圧Ｖ１−Ｖ３は、充電電流発生器２８によって発生された充電電流ＩCHにより調節される。充電電流ＩCHは、サンプリングモードにおいて作動するサンプルアンドホールド回路３０（１）−３０（３）内の（図示しない）内部コンデンサの電荷を増減することができる。引き続きホールドモードに置かれたときは、それぞれのサンプルアンドホールド回路３０（１）−３０（３）は、先行するサンプリングモード中に得られたその内部コンデンサの電荷にしたがってその出力基準電圧Ｖ１−Ｖ３を生成する。コントローラ２６によって生成された一組の信号Ｓ１−Ｓ３は、その点でサンプリングモードとホールドモードの間でサンプルアンドホールド回路３０（１）−３０（３）を切り替える。したがって、信号Ｓ１−Ｓ３の一つによってサンプリングモードに置かれたときには、それぞれのサンプルアンドホールド回路３０（１）−３０（３）は充電電流ＩCHを積分することによってその出力電圧を調節する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
カウンタ２３の出力カウントは通常０であり、図１のホストコンピュータ２５がＲＡＭ２２にデータをロードしていないときは、ＲＡＭ２２はアドレス０に記憶されたデータ値を出力する。ＲＡＭ２２に適切なデータをロードした後に、ホストコンピュータは、コントローラ２６にロード信号パルスＬＯＡＤを送る。入力システム信号（ＣＬＯＣＫ）によってクロックされる従来式のシーケンサであるコントローラ２６は、一対の制御信号Ｓ１とＦ１をアサートすることによってロード信号パルスＬＯＡＤに応答する。Ｓ１信号はサンプルアンドホールド回路３０（１）をサンプリングモードにするが、そこでは、発生器２８の充電電流ＩCH出力がサンプルアンドホールド回路３０（１）内のコンデンサの電荷を調節し、それによって、その出力基準電圧Ｖ１を調節する。制御信号Ｆ１は帰還回路２９が充電電流発生器２８への帰還電圧入力ＶＸとして基準電圧Ｖ１を提供するようにする。発生器２８によって生成された充電電流ＩCHの大きさは、入力として発生器２８に提供された帰還電圧ＶＸの大きさとＲＡＭ２２のデータ値出力によって基準化される所望の電圧レベルの大きさとの差異に比例する。したがって、基準電圧Ｖ１（そして、したがって帰還電圧ＶＸ）が所望の電圧レベルよりも低い場合、充電電流ＩCHはサンプルアンドホールド回路３０（１）内のコンデンサの電荷を増加してＶ１を上げる。基準電圧Ｖ１が所望の電圧レベルよりも高い場合、帰還電圧ＶＸは発生器２８が充電電流ＩCHを設定してサンプルアンドホールド回路３０（１）内のコンデンサの電荷を下げてＶ１を下げるようにする。出力電圧Ｖ１のレベルがＲＡＭ２２から発生器２８に入力されたデータによって示された所望のレベルに達したときには、発生器２８は充電電流ＩCHを、サンプルアンドホールド回路３０（１）内の内部コンデンサの微少な漏洩電流に、すなわち基本的にゼロにまで減少する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
この時点で、出力基準電圧Ｖ１が所望のレベルに安定化され、コントローラ２６は制御信号Ｓ１とＦ１をデアサートし、制御信号Ｓ２とＦ２をアサートし、カウンタ２３をクロックする。Ｓ２信号はサンプルアンドホールド回路３０（１）をサンプリングモードにおき、Ｆ２信号は帰還電圧ＶＸとして発生器２８に電圧Ｖ２をフィードバックする。カウンタ２３のカウント出力は、今度はＲＡＭ２２がアドレス１に記憶されたデータ値を読み出すようにする。該データ値は、サンプルアンドホールド回路３０（２）の出力電圧Ｖ２のための所望のレベルを示す。サンプルアンドホールド回路３０（２）の出力電圧Ｖ２は、その後、ＲＡＭ２２のアドレス１から読み出されたデータの値によって示されたレベルで安定化する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
コントローラ２６は、その後、カウンタ２３をもう一度クロックして、制御信号Ｓ２とＦ２をデアサートし、制御信号Ｓ３とＦ３をアサートする。今度は、サンプルアンドホールド回路３０（３）が、その出力電圧Ｖ３が充電電流発生器２８への帰還電圧ＶＸを制御して、サンプリングモードに入る。ＲＡＭ２２が充電電流発生器２８にアドレス２に記憶されたデータ値を読み出すにつれて、サンプルアンドホールド回路３０（３）の出力電圧Ｖ３は、そのデータにより表示されたレベルで安定化する。その後、コントローラ２６はＳ３とＦ３をデアサートし、カウンタ２３をリセットし、図１のホスト２５からの別のロード信号ＬＯＡＤを待つ。電圧源２０をプログラミングする方法がここで完了する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
充電電流発生器２８は、電流デジタル−アナログコンバータ（ＤＡＣ）３４を有する。ＤＡＣ３４はＲＡＭ２２のデータ出力に応答して、電流ＩSOを回路ノード５２から引き出すが、それはＲＡＭ２２のデータ出力の大きさに比例する。コントローラ２６からの信号Ｓ*AOによって制御されるＦＥＴパストランジスタ３６は、ノード５２を、好ましくはゲイン１０００を有する差動増幅器３８の第１の入力に選択的に接続する。コンデンサ４３は、増幅器３８の第２の入力を接地する。第２のＦＥＴパストランジスタ４０は、コントローラ２６からの他の信号ＳAOに応じて差動増幅器３８の第１の入力を選択的に接地する。これも該信号ＳAOによって制御される第３のＦＥＴパストランジスタ４２は、増幅器３８の出力を選択的にその第２の入力と接続する。増幅器３８は、その入力間の小さな電圧差を増幅することによって電流発生器２８の出力電流ＩSOを生成する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
図３は、図２の電圧源２０の各種の信号の挙動を示したタイミング図である。ロード信号パルスＬＯＡＤを受信するまで、図２のコントローラ２６は、通常、Ｆ１信号をアサートして、トランジスタ４６（１）をオンにすると共に、通常は、Ｆ２とＦ３信号をデアサートして、トランジスタ４６（２）と４６（３）をオフにする。コントローラ２６は、また、通常、Ｓ１−Ｓ３信号をデアサートしてサンプルアンドホールド回路３０（１）−３０（３）がすべてホールドモードであるようにする。カウンタ２３は、通常、その出力カウントを０にホールドしており、図１のホスト２５が他にデータをＲＡＭ２２に書き込んでいないときにはＲＡＭ２２がその第１の記憶位置（アドレス０）に記憶されたデータを読み出す。パストランジスタ４６（１）がオンになると、増幅器４４（１）と４８は、通常、Ｖ１を用いて帰還電圧ＶＸを発生器２８に提供する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
コンデンサ４３が適切なオフセット電圧ＶOFFに充電するための時間をかけた後で、コントローラ２６はＳAO信号をデアサートし、Ｓ*AO信号とＳ１信号をアサートし、それによって、トランジスタ４０と４２をオフにしトランジスタ３６と４６（１）をオンにする。そして、増幅器３８は、ＲＡＭ２２のアドレス０におけるデータによって決定される値で安定化するその出力電流ＩCHを生成する。Ｓ１によってそのサンプリングモードにおかれたサンプルアンドホールド回路３０（１）は、その出力基準電圧Ｖ１をＲＡＭ２２の出力データに比例した値に設定する。トランジスタ４６（１）がオンになると同時に、増幅器４４（１）は新たなＶ１の値を充電電流発生器２８にフィードバックし、それによって、ノード５２の電圧Ｖ*（Ｘ）を変更する。増幅器３８と４４（１）と４８とサンプルアンドホールド回路３０（１）のフィードバックループは、早急に、ＩSOとＶ*（Ｘ）が増幅器３８の本来のオフセットを補償するコンデンサ４３にかかる電圧ＶOFFによって安定化するようにする。この時点で、サンプルアンドホールド回路３０（１）の基準電圧出力Ｖ１は、ＲＡＭ２２のデータ出力によって示される値で安定化する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
ＶOFFが安定化するための時間がかかった後で、コントローラ２６はＳ*AO信号をオンにし、ＳAO信号をオフとし、それによって、トランジスタ３６をオンにしトランジスタ４０と４２をオフにする。コントローラ２６は、また、カウント信号パルスＣＯＵＮＴをクロックカウンタ２３に供給して、それがＲＡＭ２２に供給されるアドレスＡＤＤＲをインクリメントして、ＲＡＭ２２がＶ２の値を制御すべきＲＡＭアドレス１のデータを電流ＤＡＣ３４に供給するようにする。そして、コントローラ２６は、Ｓ２信号をオンにして充電電流ＩCHがサンプルアンドホールド回路３０（２）内のコンデンサの電荷の調節をはじめ、それによって、基準電圧Ｖ２を調節するようにする。Ｖ２がＲＡＭ２２のアドレス１のデータによって示されたレベルに安定化するための時間をかけた後で、コントローラ２６はＳ２をデアサートし、サンプルアンドホールド回路３０（２）がＶ２をそのレベルに保持するようにする。コントローラ２６は、また、Ｆ２をデアサートしＦ３をアサートして、今度は、Ｖ３が充電電流発生器２８への帰還電圧ＶＸを制御するようにする。コントローラ２６は、その後、ＳAO信号をデアサートし、Ｓ*AO信号をアサートして、更にもう一度、増幅器３８を自動的にゼロにする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
ＶOFFが安定化するための時間をかけた後で、コントローラ２６はＳ*AO信号をオンにし、ＳAO信号をオフとし、それによって、トランジスタ３６をオンにしトランジスタ４０と４２をオフにする。コントローラ２６は、また、別のカウント信号パルスＣＯＵＮＴをカウンタ２３に供給して、それがＲＡＭ２２に供給されたアドレスをインクリメントして、ＲＡＭ２２がＶ３の値を制御すべきＲＡＭアドレス２のデータを読み出すようにする。そして、コントローラ２６は、Ｓ３信号をオンにして充電電流ＩCHがサンプルアンドホールド回路３０（３）内のコンデンサの電荷の調節を始め、それによって、基準電圧Ｖ３を調節するようにする。基準電圧Ｖ３がＲＡＭ２２のアドレス２のデータによって示されたレベルに安定化するための時間をかけた後で、コントローラ２６はＳ３をデアサートする。コントローラ２６は、また、ＳAO信号をデアサートし、Ｓ*AO信号をアサートして更にもう一度増幅器３８を自動的にゼロにする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
この時点で、出力電圧Ｖ１−Ｖ３のすべてがＲＡＭ２２のデータによって示された値に保持される。コントローラ２６はＦ３をオフにし、Ｆ１をオンにし、リセットパルスＲＥＳＥＴをカウンタ２３に送りそのカウンタ出力を０にリセットする。そして、コントローラ２６は、処理が再び開始される前に、ホストから他のロード信号ＬＯＡＤを受信するまで待機する。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明に関する複数の出力基準電圧をプログラム可能な電圧源を使用した集積回路テスタをブロック図形式で図示している。
【図２】
図１のプログラム可能な電圧源をより詳細なブロック図形式で図示している。
【図３】
図２のプログラム可能な電圧源の各種の信号の挙動を示したタイミング図である。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2001518654.tif 000001