(57)【要約】【課題】１つの光源を用いた光切断法により被検体の表面の検査を行う場合に比較して、被検体の表面の欠陥を精度良く検出することができる検査装置、検査方法、及び検査プログラムを提供する。【解決手段】検査装置１０Ａは、被検体１２Ａの表面が移動する一方向の該表面内の交差方向に帯状に延び、該一方向に並んだ２つの照射領域に光を個別に照射し、かつ該一方向に隣り合って配置された２つの光源１６Ａ、１６Ｂと、該２つの照射領域の間又は２つの照射領域が重なる領域を撮像するラインセンサ１８と、を備え、該表面の移動中に、該２つの光源１６Ａ、１６Ｂを交互に点灯させて一方又は他方の光源１６Ａ、１６Ｂが各々点灯された状態で、ラインセンサ１８で各々得られた画像の差画像を生成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検体の表面が移動する一方向の該表面内の交差方向に帯状に延び、該一方向に並んだ２つの照射領域に光を個別に照射し、かつ該一方向に隣り合って配置された２つの光源と、
該２つの照射領域の間又は２つの照射領域が重なる領域を撮像する撮像部と、
該表面の移動中に、該２つの光源を交互に点灯させて一方又は他方の光源が各々点灯された状態で、該撮像部で各々得られた画像の差画像を生成する生成部と、
を備えた検査装置。
【請求項２】
前記２つの光源から射出された光が、前記表面に対して前記一方向に間隔を隔てて照射されるように前記２つの光源による光路の間に配置された遮光板をさらに備え、
前記撮像部は、前記２つの照射領域の間の領域を撮像する
請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
前記生成部は、前記表面の移動中に、前記一方又は他方の光源が各々点灯された状態で、前記撮像部で各々得られた画像の和画像をさらに生成する
請求項１又は請求項２記載の検査装置。
【請求項４】
前記生成部により生成された差画像に基づいて、前記被検体の表面の欠陥を検出する検出部をさらに備えた
請求項１から請求項３の何れか１項記載の検査装置。
【請求項５】
被検体の表面が移動する一方向の該表面内の交差方向に帯状に延び、該一方向に並んだ２つの照射領域に光を個別に照射し、かつ該一方向に隣り合って配置された２つの光源から光が照射された該２つの照射領域の間又は２つの照射領域が重なる領域を撮像する撮像工程と、
該表面の移動中に、該２つの光源を交互に点灯させて一方又は他方の光源が各々点灯された状態で、該撮像工程で各々得られた画像の差画像を生成する生成工程と、
を備えた検査方法。
【請求項６】
前記撮像工程において、前記２つの光源から射出された光が、前記表面に対して前記一方向に間隔を隔てて照射されるように前記２つの光源による光路の間に配置された遮光板により遮光されて前記表面に照射された前記２つの照射領域の間の領域を撮像する
請求項５記載の検査方法。
【請求項７】
前記生成工程において、前記表面の移動中に、前記一方又は他方の光源が各々点灯された状態で、前記撮像工程で各々得られた画像の和画像をさらに生成する
請求項５又は請求項６記載の検査方法。
【請求項８】
前記生成工程により生成された差画像に基づいて、前記被検体の表面の欠陥を検出する検出工程をさらに備えた
請求項５から請求項７の何れか１項記載の検査方法。
【請求項９】
コンピュータを、請求項１から請求項４の何れか１項記載の検査装置の生成部として機能させるための検査プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置、検査方法、及び検査プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、被検査体表面に光を照射する複数の光源と、前記光が照射された前記被検査体を撮像する撮像手段と、前記被検査体を駆動させる駆動手段と、前記複数の光源の発光と前記撮像手段の撮像を制御する制御手段とを有する表面検査装置が開示されている。この表面検査装置では、前記複数の光源のうち、少なくとも１つは単色光を発光するものであり、前記制御手段は、前記駆動手段により前記被検査体を駆動させているときに、複数の光源のうちの１つの光源を発光させて残りの光源を発光させない様に制御する。そして、この表面検査装置では、前記制御手段は、前記１つの光源からの発光光が照射された前記被検査体を前記撮像手段が撮像する様に制御する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−０２６８６２公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、１つの光源を用いた光切断法により被検体の表面の検査を行う場合に比較して、被検体の表面の欠陥を精度良く検出することができる検査装置、検査方法、及び検査プログラムを提供することを目的とする。ここで、光切断法とは、光源から帯状の光を被検体に照射し、被検体からの反射光量を高さデータと相関のあるデータとして取得する方法をいう。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の検査装置は、被検体の表面が移動する一方向の該表面内の交差方向に帯状に延び、該一方向に並んだ２つの照射領域に光を個別に照射し、かつ該一方向に隣り合って配置された２つの光源と、該２つの照射領域の間又は２つの照射領域が重なる領域を撮像する撮像部と、該表面の移動中に、該２つの光源を交互に点灯させて一方又は他方の光源が各々点灯された状態で、該撮像部で各々得られた画像の差画像を生成する生成部と、を備えている。
【０００６】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記２つの光源から射出された光が、前記表面に対して前記一方向に間隔を隔てて照射されるように前記２つの光源による光路の間に配置された遮光板をさらに備え、前記撮像部が、前記２つの照射領域の間の領域を撮像するものである。
【０００７】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記生成部が、前記表面の移動中に、前記一方又は他方の光源が各々点灯された状態で、前記撮像部で各々得られた画像の和画像をさらに生成するものである。
【０００８】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３の何れか１項に記載の発明において、前記生成部により生成された差画像に基づいて、前記被検体の表面の欠陥を検出する検出部をさらに備えたものである。
【０００９】
一方、上記目的を達成するために、請求項５に記載の検査方法は、被検体の表面が移動する一方向の該表面内の交差方向に帯状に延び、該一方向に並んだ２つの照射領域に光を個別に照射し、かつ該一方向に隣り合って配置された２つの光源から光が照射された該２つの照射領域の間又は２つの照射領域が重なる領域を撮像する撮像工程と、該表面の移動中に、該２つの光源を交互に点灯させて一方又は他方の光源が各々点灯された状態で、該撮像工程で各々得られた画像の差画像を生成する生成工程と、を備えている。
【００１０】
また、請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の発明において、前記撮像工程において、前記２つの光源から射出された光が、前記表面に対して前記一方向に間隔を隔てて照射されるように前記２つの光源による光路の間に配置された遮光板により遮光されて前記表面に照射された前記２つの照射領域の間の領域を撮像するものである。
【００１１】
また、請求項７に記載の発明は、請求項５又は請求項６に記載の発明において、前記生成工程において、前記表面の移動中に、前記一方又は他方の光源が各々点灯された状態で、前記撮像工程で各々得られた画像の和画像をさらに生成するものである。
【００１２】
また、請求項８に記載の発明は、請求項５から請求項７の何れか１項に記載の発明において、前記生成工程により生成された差画像に基づいて、前記被検体の表面の欠陥を検出する検出工程をさらに備えたものである。
【００１３】
一方、上記目的を達成するために、請求項９に記載の検査プログラムは、コンピュータを、請求項１から請求項４の何れか１項記載の検査装置の生成部として機能させるためのものである。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１、請求項５、及び請求項９に記載の発明によれば、１つの光源を用いた光切断法により被検体の表面の検査を行う場合に比較して、被検体の表面の欠陥を精度良く検出することができる。
【００１５】
請求項２及び請求項６に記載の発明によれば、２つの光源から被検体の表面に照射された帯状の光が重なる場合に比較して、被検体の表面の欠陥をより精度良く検出することができる。
【００１６】
請求項３及び請求項７に記載の発明によれば、被検体の表面の色や模様に関する欠陥を精度良く検出することができる。
【００１７】
請求項４及び請求項８に記載の発明によれば、被検体の表面の欠陥を自動的に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第１の実施の形態に係る検査装置の構成を示す正面図である。
【図２】第１の実施の形態に係るラインセンサにより撮像される領域の説明に供する概略平面図である。
【図３】各実施の形態に係る検査装置の電気系の要部構成を示すブロック図である。
【図４】各実施の形態に係る検査装置の機能的な構成を示す機能ブロック図である。
【図５】各実施の形態に係る検査処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。
【図６】各実施の形態に係る検出結果表示画面の一例を示す概略図である。
【図７】各実施の形態に係る検査装置のラインセンサにより撮像された被検体の表面における未処理の画像の一例を示す概略図である。
【図８】各実施の形態に係る和画像の一例を示す概略図である。
【図９】各実施の形態に係る差画像の一例を示す概略図である。
【図１０】第２の実施の形態に係る検査装置の構成を示す正面図である。
【図１１】第２の実施の形態に係るラインセンサにより撮像される領域の説明に供する概略平面図である。
【図１２】変形例に係る被検体の表面における欠陥の検出処理の説明に供する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して、本発明を実施するための形態を詳細に説明する。
【００２０】
［第１の実施の形態］
（検査装置の構成）
まず、図１及び図２を参照して、本実施の形態に係る検査装置１０Ａの構成を説明する。図１に示すように、検査装置１０Ａは、被検体１２Ａが載せられる２つの駆動ロール１４Ａ、１４Ｂ、２つの光源１６Ａ、１６Ｂ、及びラインセンサ１８（撮像部の一例）を備えている。なお、以下では、駆動ロール１４Ａ、１４Ｂを区別する必要がない場合は、符号の末尾のアルファベットを省略する。また、以下では、光源１６Ａ、１６Ｂを区別する必要がない場合は、符号の末尾のアルファベットを省略する。
【００２１】
駆動ロール１４は、形状が円柱状とされており、モータ２０（図３参照）が駆動することにより、正面視で反時計回り方向（図１の矢印ａ方向）に回転する。また、被検体１２Ａは、形状が円柱状とされており、駆動ロール１４の回転に伴い、一方向（本実施の形態では、正面視で時計回り方向（図１の矢印ｂ方向））に回転（移動）する。また、被検体１２Ａは、側面（本実施の形態では、被検体１２Ａの周面。）が上記一方向に該側面の表面内で交差（本実施の形態では、直交。）する交差方向（本実施の形態では、被検体１２Ａの軸方向。）に延びており、側面の表面に光沢があり、規則的な縞模様が形成されている。なお、被検体１２Ａの一例としては、電子写真方式の画像形成装置に用いられる感光体ドラムや中間転写ドラム等が挙げられる。また、被検体１２Ａとしては、電子写真方式の画像形成装置に用いられる部材に限定されず、他の部材を適用してもよい。
【００２２】
光源１６は、各々同一の構成とされており、上記一方向に隣り合って配置されている。また、光源１６は、上記交差方向に延びる帯状の光を被検体１２Ａの表面に照射する。図２には、光源１６Ａから被検体１２Ａの表面に照射された光の照射領域Ｓ１が一点鎖線で示され、光源１６Ｂから被検体１２Ａの表面に照射された光の照射領域Ｓ２が二点鎖線で示されている。なお、光源１６は、一例として上記交差方向に配列された複数の発光ダイオードを適用しているが、これに限定されない。例えば、光源１６として、レーザ、ハロゲンランプやメタルハライドランプ等の他の光源を適用してもよい。なお、光源１６は、１０００回／秒〜１００００回／秒の高速で点灯と消灯を繰り返すことが可能なレーザを適用することが望ましい。光源１６として該レーザを適用した場合は、被検体１２Ａの回転（移動）を高速にでき、被検体の検査時間が短くなる。
【００２３】
ラインセンサ１８は、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサを含み、上記交差方向に延びたラインで予め定められた解像度で画像を撮像し、該撮像により得られた画像データを出力する。また、図２に示すように、ラインセンサ１８は、２つの光源１６の各々から照射される光の照射領域Ｓ１、Ｓ２の重なる領域の中間部（本実施の形態では、中央部）の領域Ｒ（図２の斜線の領域）を撮像する位置に配置されている。換言すると、被検体１２Ａは側面（表面）に光沢があるため、２つの光源１６から被検体１２Ａの表面に向けて光を照射すると、被検体１２Ａの表面には交差方向に延びる２本の光の帯が形成される。この２本の光の帯は、光の照射領域Ｓ１、Ｓ２のそれぞれに１本ずつ形成される。ラインセンサ１８は、この２本の光の帯の中間部（本実施の形態では、中央部）の領域Ｒを撮像する位置に配置されている。
【００２４】
（電気系の要部構成）
次に、図３を参照して、検査装置１０Ａの電気系の要部構成について説明する。
【００２５】
図３に示すように、検査装置１０Ａは、制御装置３０を備えている。また、制御装置３０は、制御装置３０の全体的な動作を司るＣＰＵ（Central Processing Unit）３２、及び各種プログラムや各種パラメータ等が予め記憶されたＲＯＭ（Read Only Memory）３４を備えている。また、制御装置３０は、ＣＰＵ３２による各種プログラムの実行時のワークエリア等として用いられるＲＡＭ（Random Access Memory）３６、及びフラッシュメモリ等の不揮発性の記憶部３８を備えている。
【００２６】
また、制御装置３０は、検査装置１０Ａに対する操作者からの指示を受け付けると共に、検査装置１０Ａの動作状況等に関する各種情報を表示する操作表示部４０を備えている。なお、操作表示部４０は、例えば、ディスプレイ、キーボード、及びマウス等を含む。また、制御装置３０は、Ｉ／Ｆ（InterFace）部４２を備えている。また、Ｉ／Ｆ部４２には、前述した光源１６、ラインセンサ１８、及びモータ２０が接続されている。
【００２７】
そして、ＣＰＵ３２、ＲＯＭ３４、ＲＡＭ３６、記憶部３８、操作表示部４０、及びＩ／Ｆ部４２の各部がアドレスバス、データバス、及び制御バス等のバス４４を介して互いに接続されている。
【００２８】
以上の構成により、検査装置１０Ａは、ＣＰＵ３２により、ＲＯＭ３４、ＲＡＭ３６、及び記憶部３８に対するアクセスを各々行う。また、検査装置１０Ａは、ＣＰＵ３２により、操作表示部４０を介した各種データの取得、及び操作表示部４０に対する各種情報の表示を各々行う。また、検査装置１０Ａは、ＣＰＵ３２により、Ｉ／Ｆ部４２を介して、光源１６の点灯と消灯の制御、及びラインセンサ１８による撮像動作の制御と該撮像動作によりラインセンサ１８から出力された画像データの取得とを各々行う。また、検査装置１０Ａは、ＣＰＵ３２により、Ｉ／Ｆ部４２を介して、モータ２０の駆動の制御を行う。
【００２９】
（検査機能）
検査装置１０Ａには、被検体１２Ａの表面の凹凸等の形状に関する欠陥（以下、「形状欠陥」という。）、及び模様のムラや色のムラ等のムラに関する欠陥（以下、「ムラ欠陥」という。）の有無を検出する検査機能が搭載されている。
【００３０】
次に、図４を参照して、上記検査機能について説明する。図４には、本実施の形態に係る検査機能を実行するための機能ブロック図が示されている。制御装置３０のＣＰＵ３２が後述する検査処理プログラムを実行することにより、図４に示す各機能部が実現される。
【００３１】
図４に示すように、制御装置３０は、撮像制御部５０、生成部５２、及び検出部５４を備えている。
【００３２】
撮像制御部５０は、光源１６、ラインセンサ１８、及びモータ２０を制御して、被検体１２Ａの表面（より詳しくは、領域Ｒ）を撮像する制御を行う。具体的には、撮像制御部５０は、モータ２０を制御して被検体１２Ａを連続的に回転させながら、領域Ｒの上記一方向の幅Ｗの分毎、２つの光源１６を交互に点灯させて、ラインセンサ１８による撮像を行う。
【００３３】
換言すると、撮像制御部５０は、被検体１２Ａを上記一方向に幅Ｗの分移動させる毎に、一方の光源１６（例えば、光源１６Ａ）のみを点灯させた状態でのラインセンサ１８による撮像と、他方の光源１６（例えば、光源１６Ｂ）のみを点灯させた状態でのラインセンサ１８による撮像とを、交互に繰り返す。
【００３４】
ここで、一方の光源１６（例えば、光源１６Ａ）のみを点灯させた状態でのラインセンサ１８による撮像（ライン撮像）により得られたライン状（帯状）のデータは、ラインデータＡ（Ｎ）と称する。また、他方の光源１６（例えば、光源１６Ｂ）のみを点灯させた状態でのラインセンサ１８による撮像（ライン撮像）により得られたライン状（帯状）のデータは、ラインデータＢ（Ｎ）と称する。ラインデータＡ（Ｎ）およびラインデータＢ（Ｎ）におけるＮは、自然数である。
【００３５】
従って、検査装置１０Ａでは、以上説明した撮像制御部５０による制御により、被検体１２Ａを上記一方向に一周分回転させる間に、上記一方の光源１６のみを点灯させた状態でラインセンサ１８により撮像された画像（以下、「第１画像」という。）と、上記他方の光源１６のみを点灯させた状態でラインセンサ１８により撮像された画像（以下、「第２画像」という。）とが得られる。
【００３６】
換言すると、検査装置１０Ａは、撮像制御部５０による制御により、被検体１２Ａを一方向に一周分回転させる間に、幅Ｗの撮像をＮ回行うとすると、一対のライン状のデータ（ラインデータＡ（Ｎ）及びラインデータＢ（Ｎ））をＮ個（Ｎ対）得る。
【００３７】
なお、第１画像は、ラインデータＡ（１）からラインデータＡ（Ｎ）を、得た順に並べて形成した１つの画像であり、第２画像は、ラインデータＢ（１）からラインデータＢ（Ｎ）を、得た順に並べて形成した１つの画像である。また、第１画像データは、ラインデータＡ（１）からラインデータＡ（Ｎ）を、得た順に並べて形成した１つの画像データであり、第２画像データは、ラインデータＢ（１）からラインデータＢ（Ｎ）を、得た順に並べて形成した１つの画像データである。
【００３８】
生成部５２は、上記第１画像と上記第２画像との差の画像（以下、「差画像」という。）を示す（構成する）画像データ（以下、「差画像データ」）を生成する。また、生成部５２は、上記第１画像と上記第２画像との和の画像（以下、「和画像」という。）を示す（構成する）画像データ（以下、「和画像データ」）を生成する。
【００３９】
具体的には、生成部５２は、上記第１画像を示す（構成する）Ｎ個のラインデータＡ（１）からラインデータＡ（Ｎ）と、上記第２画像を示す（構成する）Ｎ個のラインデータＢ（１）からラインデータＢ（Ｎ）の内、同じ対に属するラインデータＡ（Ｎ）とラインデータＢ（Ｎ）の差分を取り、差画像データを生成する。差画像データの生成は、同一の画素位置の画素値の差分を取ることにより行う。換言すると、個々の差画像データを差画像データ（Ｎ）と表現した場合、差画像データ（Ｎ）は、ラインデータＡ（Ｎ）とラインデータＢ（Ｎ）の差である。また、差画像は、差画像データ（１）から差画像データ（Ｎ）を、得た順に並べて１つの画像にしたものである。
【００４０】
また、生成部５２は、Ｎ個のラインデータＡ（１）からラインデータＡ（Ｎ）と、Ｎ個のラインデータＢ（１）からラインデータＢ（Ｎ）の内、同じ対に属するラインデータＡ（Ｎ）とラインデータＢ（Ｎ）を加算し、和画像データを生成する。和画像データの生成は、同一の画素位置の画素値を加算することにより行う。換言すると、個々の和画像データを和画像データ（Ｎ）と表現した場合、和画像データ（Ｎ）は、ラインデータＡ（Ｎ）とラインデータＢ（Ｎ）の和である。また、和画像は、和画像データ（１）から和画像データ（Ｎ）を、得た順に並べて１つの画像にしたものである。
【００４１】
検出部５４は、生成部５２により生成された差画像データ（差画像データ（１）から差画像データ（Ｎ））に基づいて、上記形状欠陥の有無を検出する。また、検出部５４は、生成部５２により生成された和画像データ（和画像データ（１）から和画像データ（Ｎ））に基づいて、上記ムラ欠陥の有無を検出する。なお、本実施の形態に係る検査装置１０Ａでは、これらの検出処理を行うために、表面に欠陥の無い良品の被検体１２Ａに対して撮像制御部５０による制御を行って生成部５２により生成された和画像データ（以下、「良品和画像データ」という。）の全画素値の平均値、及び差画像データ（以下、「良品差画像データ」という。）の全画素値の平均値が、各々記憶部３８に予め記憶されている。
【００４２】
具体的には、検出部５４は、差画像データ及び和画像データの各々の全画素値の平均値を算出する。そして、検出部５４は、差画像データの全画素値の平均値と記憶部３８に予め記憶された良品差画像データの全画素値の平均値との差が、予め定められた許容範囲外である場合に、形状欠陥が有ることを検出する。
【００４３】
また、検出部５４は、和画像データの全画素値の平均値と記憶部３８に予め記憶された良品和画像データの全画素値の平均値との差が、予め定められた許容範囲外である場合に、ムラ欠陥が有ることを検出する。なお、上記予め定められた許容範囲としては、検査装置１０Ａの実機及び被検体１２Ａを用いた実験等により、上記差が該許容範囲内である場合に被検体１２Ａが良品と見なせる範囲として予め定められた範囲を適用すればよい。また、上記予め定められた許容範囲は、形状欠陥の有無を検出する場合とムラ欠陥の有無を検出する場合とで、異なる範囲であってもよいし、同じ範囲であってもよい。
【００４４】
（検査装置の作用）
次に、図５を参照して、検査装置１０Ａの作用を説明する。なお、図５は、操作者により操作表示部４０を介して検査の実行を指示する情報が入力された際に、ＣＰＵ３２によって実行される検査処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。ここで、操作者は、被検体１２Ａを駆動ロール１４上の検査位置として予め定められた位置に載せてから、上記検査の実行を指示する情報を入力する。また、本検査処理プログラムはＲＯＭ３４に予めインストールされている。
【００４５】
図５のステップ１００において、ＣＰＵ３２は、モータ２０の駆動を開始する。次のステップ１０２において、ＣＰＵ３２は、光源１６Ａのみを点灯させる（光源１６Ｂは消灯）。次のステップ１０４において、ＣＰＵ３２は、ラインセンサ１８により領域Ｒ（ここでは領域Ｒ（１）とする。）を撮像（ライン撮像）させ、ラインセンサ１８から出力された画像データ（ラインデータＡ（１））を取得する。
【００４６】
次のステップ１０６において、ＣＰＵ３２は、光源１６Ｂのみを点灯させる（光源１６Ａは消灯）。次のステップ１０８において、ＣＰＵ３２は、ラインセンサ１８により領域Ｒ（１）を撮像（ライン撮像）させ、ラインセンサ１８から出力された画像データ（ラインデータＢ（１））を取得する。
【００４７】
次のステップ１１０において、ＣＰＵ３２は、撮像（ライン撮像）を終了するタイミングが到来したか否かを判定する。ＣＰＵ３２は、この判定が肯定判定となった場合は後述するステップ１１２の処理に移行する一方、否定判定となった場合はステップ１０２の処理に移行する。なお、本実施の形態では、上記撮像を終了するタイミングとして、被検体１２Ａが上記一方向に一周分回転したタイミング（Ｎ回のライン撮像を終了したタイミング）を適用している。
【００４８】
ステップ１１０において、ＣＰＵ３２が否定判定をした場合、次のステップ１０２において、ＣＰＵ３２は、光源１６Ａのみを点灯させる。次のステップ１０４において、ＣＰＵ３２は、ラインセンサ１８により領域Ｒ（１）に隣接する幅Ｗの領域Ｒ（２）を撮像させ、ラインセンサ１８から出力されたラインデータＡ（２）を取得する。
【００４９】
次のステップ１０６において、ＣＰＵ３２は、光源１６Ｂのみを点灯させる。次のステップ１０８において、ＣＰＵ３２は、ラインセンサ１８により領域Ｒ（２）を撮像させ、ラインセンサ１８から出力されたラインデータＢ（２）を取得する。
【００５０】
ステップ１１０において、ＣＰＵ３２が肯定判定をするまでは、同様の処理を繰り返し行う。
【００５１】
以上のステップ１０２〜ステップ１１０の繰り返し処理におけるステップ１０４の処理により、ＣＰＵ３２は、第１画像を構成する第１画像データを取得する。また、以上のステップ１０２〜ステップ１１０の繰り返し処理におけるステップ１０８の処理により、ＣＰＵ３２は、第２画像を構成する第２画像データを取得する。
【００５２】
一方、ステップ１１２において、ＣＰＵ３２は、モータ２０の駆動を停止する。次のステップ１１４において、ＣＰＵ３２は、前述したように、第１画像データと第２画像データとの差分を取って差画像データを生成する。次のステップ１１６において、ＣＰＵ３２は、前述したように、第１画像データと第２画像データとを加算して和画像データを生成する。
【００５３】
次のステップ１１８において、ＣＰＵ３２は、被検体１２Ａの表面に上記形状欠陥及びムラ欠陥の少なくとも一方が有るか否かを判定する。ＣＰＵ３２は、この判定が肯定判定となった場合はステップ１２０の処理に移行する。
【００５４】
具体的には、ＣＰＵ３２は、前述したように、上記ステップ１１４の処理により生成された差画像データ、及び記憶部３８に予め記憶された良品差画像データの全画素値の平均値に基づいて、上記形状欠陥の有無を検出することで上記判定を行う。また、ＣＰＵ３２は、前述したように、上記ステップ１１６の処理により生成された和画像データ、及び記憶部３８に予め記憶された良品和画像データの全画素値の平均値に基づいて、上記ムラ欠陥の有無を検出することで上記判定を行う。
【００５５】
ステップ１２０において、ＣＰＵ３２は、上記ステップ１１８の処理による検出結果を報知する検出結果表示画面を操作表示部４０のディスプレイに表示する。
【００５６】
図６に本実施の形態に係る検出結果表示画面の一例を示す。図６に示すように、本実施の形態に係る検出結果表示画面では、検出された欠陥の種類を示す情報が表示される。なお、図６では、一例として、上記ステップ１１８の処理により、上記形状欠陥のみが検出された場合の検出結果表示画面を示している。ここで、操作者は、検出結果表示画面の表示を終了する場合、該検出結果表示画面の下部に表示されている終了ボタンを指定する。
【００５７】
一方、ＣＰＵ３２は、上記ステップ１１８の判定が否定判定となった場合は、上記ステップ１２０の処理を実行することなく、本検査処理プログラムを終了する。
【００５８】
次に、図７〜図９を参照して、被検体１２Ａの表面に凹形状の形状欠陥が有る場合における本実施の形態の実施例について説明する。
【００５９】
なお、図７は、本実施の形態に係る検査装置１０Ａにより被検体１２Ａの表面を撮像して得られた未処理の画像の一例を示している。具体的には、図７は、図５に示したフローチャートの処理により得られたライン状のデータを、得られた順に並べて形成した画像の一例である。より詳細に説明すると、図７は、ラインデータＡ（１）、ラインデータＢ（１）、ラインデータＡ（２）、ラインデータＢ（２）、・・・・、ラインデータＡ（Ｎ）、ラインデータＢ（Ｎ）のように、ラインセンサ１８がライン撮像したライン状のデータを、得られた順に単純に並べて形成した画像の一例である。また、図８は、本実施の形態の検査装置１０Ａにより被検体１２Ａの表面を撮像して得られた和画像の一例を示し、図９は、本実施の形態の検査装置１０Ａにより被検体１２Ａの表面を撮像して得られた差画像の一例を示している。また、図７〜図９に示す各画像の何れも、画像の中央部に対応する被検体１２Ａの表面の位置に凹形状の形状欠陥が存在している。
【００６０】
図７〜図９に示すように、本実施の形態に係る検査装置１０Ａでは、未処理の画像（図７）及び和画像（図８）よりも上記形状欠陥が強調された差画像（図９）が生成される。従って、本実施の形態によれば、ラインセンサ１８の位置ずれ、及び被検体１２Ａが回転する際の偏心等が発生した場合においても、被検体１２Ａの表面の欠陥が精度良く検出される。
【００６１】
以上説明したように、本実施の形態によれば、２つの光源１６が上記一方向（本実施の形態では、被検体１２Ａの回転方向）に隣り合って配置されている。また、本実施の形態によれば、一方の光源１６のみを点灯してラインセンサ１８により得られた第１画像と、他方の光源１６のみを点灯してラインセンサ１８により得られた第２画像との差の画像を生成している。
【００６２】
この差の画像は、図９に示したように被検体１２Ａの表面の凹凸等の上記形状欠陥が強調された画像となるため、１つの光源を用いた光切断法により被検体１２Ａの表面の検査を行う場合に比較して、被検体１２Ａの表面の欠陥が精度良く検出される。
【００６３】
また、本実施の形態によれば、一方の光源１６のみを点灯してラインセンサ１８により得られた第１画像と、他方の光源１６のみを点灯してラインセンサ１８により得られた第２画像との和の画像も生成している。
【００６４】
この和の画像は、図８に示したように被検体１２Ａの表面の凹凸等の上記形状欠陥による影響が低減された画像となるため、被検体１２Ａの表面に上記形状欠陥がある場合においても、被検体１２Ａの表面の上記ムラ欠陥が精度良く検出される。
【００６５】
［第２の実施の形態］
（検査装置の構成）
まず、図１０及び図１１を参照して、本実施の形態に係る検査装置１０Ｂの構成を説明する。なお、図１０における図１と同一の機能を有する構成要素については、図１と同一の符号を付して、その説明を省略する。また、図１１における図２と同一の機能を有する構成要素については、図２と同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００６６】
図１０に示すように、検査装置１０Ｂは、被検体１２Ｂの表面の上記形状欠陥及びムラ欠陥の有無を検出する。被検体１２Ｂは、例えば表面の下地にゴムが用いられており、表面が上記第１の実施の形態の被検体１２Ａと比較して粗くなっている。なお、被検体１２Ｂの一例としては、電子写真方式の画像形成装置に用いられる帯電ロールが挙げられる。
【００６７】
また、検査装置１０Ｂは、遮光板２２をさらに備えている。本実施の形態に係る遮光板２２は、２つの光源１６から射出された帯状の光が被検体１２Ｂの表面に、上記一方向に間隔を隔てて照射されるように２つの光源１６による光路の間に配置されている。また、遮光板２２は、光源１６から射出された光を遮断するか、又は該光に対する遮光性が予め定められた許容範囲内であるものとされている。
【００６８】
また、図１１に示すように、本実施の形態に係るラインセンサ１８は、光源１６の各々から照射される光の照射領域の間の領域Ｒ２（図１１の斜線の領域）を撮像する位置に配置されている。
【００６９】
検査装置１０Ｂの電気系の要部構成、機能的な構成、及び作用については、上記第１の実施の形態に係る検査装置１０Ａと同様である（図３〜図５参照。）ため、ここでの説明は省略する。
【００７０】
以上説明したように、本実施の形態によれば、上記第１の実施の形態と比較して、被検体の表面が粗い場合であっても（被検体の表面の光沢が無い場合であっても）、被検体の表面の欠陥が精度良く検出される。
【００７１】
以上、各実施の形態を説明したが、本発明の技術的範囲は上記各実施の形態に記載の範囲には限定されない。発明の要旨を逸脱しない範囲で上記各実施の形態に多様な変更又は改良を加えることができ、該変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
【００７２】
また、上記各実施の形態は、クレーム（請求項）にかかる発明を限定するものではなく、また各実施の形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。前述した各実施の形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件の組み合わせにより種々の発明が抽出される。各実施の形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、効果が得られる限りにおいて、この幾つかの構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
【００７３】
例えば、上記各実施の形態では、被検体として、円柱状の部材を適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、被検体として、電子写真方式の画像形成装置に用いられる転写ベルト等、円柱状以外の形状の部材を適用する形態としてもよい。
【００７４】
また、上記各実施の形態では、良品の被検体を撮像して得られた画像データを用いて被検体の表面の欠陥の有無を検出する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、被検体を撮像して得られた画像データのみを用いて被検体の表面の欠陥の有無を検出する形態としてもよい。
【００７５】
この場合、例えば、差画像データ、及び和画像データの各々の各画素について、注目画素の画素値と注目画素の周囲の画素の画素値の平均値との差が予め定められた許容範囲外であるか否かによって、被検体の表面に欠陥が有るか否かを検出する形態が例示される。
【００７６】
具体的には、一例として図１２に示すように、差画像データの各画素値が、上記一方向及び交差方向に対応して行列状に配列されているものとする。この場合、Ｃ列３行の画素（図１２に示す太線で囲まれた画素）を注目画素とすると、注目画素の画素値は、１３０である。また、この場合、注目画素の周辺画素の画素値の平均値ＡＶＧは、１１５（＝（１００＋１０５＋１０５＋１１０＋１２０＋１２５＋１２５＋１３０）÷８）となる。
【００７７】
そして、注目画素の画素値と周辺画素の画素値の平均値ＡＶＧとの差（上記の例では、１３０−１１５＝１５）が、予め定められた許容範囲（例えば、±１０の範囲）外である場合に、被検体に形状欠陥が有ることを検出する形態が例示される。なお、上記平均値ＡＶＧを算出する際に、注目画素の画素値を含めてもよい。
【００７８】
また、上記各実施の形態では、検査処理プログラムがＲＯＭ３４に予めインストールされている場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、検査処理プログラムが、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disk Read Only Memory）等の記憶媒体に格納されて提供される形態、又はネットワークを介して提供される形態としてもよい。
【００７９】
さらに、上記各実施の形態では、検査処理を、プログラムを実行することにより、コンピュータを利用してソフトウェア構成により実現する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、該検査処理を、ハードウェア構成や、ハードウェア構成とソフトウェア構成の組み合わせによって実現する形態としてもよい。
【００８０】
その他、上記各実施の形態で説明した検査装置１０Ａ、１０Ｂの構成（図１〜図４、図１０、図１１参照。）は一例であり、本発明の主旨を逸脱しない範囲内において不要な部分を削除したり、新たな部分を追加したりしてもよいことは言うまでもない。
【００８１】
また、上記各実施の形態で説明した検査処理プログラムの処理の流れ（図５参照。）も一例であり、本発明の主旨を逸脱しない範囲内において不要なステップを削除したり、新たなステップを追加したり、処理順序を入れ替えたりしてもよいことは言うまでもない。
【００８２】
さらに、上記各実施の形態で示した検出結果表示画面の構成（図６参照。）も一例であり、本発明の主旨を逸脱しない範囲内において、一部の情報を削除したり、新たな情報を追加したり、表示位置を変えたりすることができることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００８３】
１０Ａ、１０Ｂ  検査装置
１２Ａ、１２Ｂ  被検体
１４Ａ、１４Ｂ  駆動ロール
１６Ａ、１６Ｂ  光源
１８  ラインセンサ
２０  モータ
２２  遮光板
３０  制御装置
５０  撮像制御部
５２  生成部
５４  検出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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