【誤訳訂正書】
【提出日】平成18年5月30日(2006.5.30)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】特許請求の範囲
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】 
可動要素を動かすための圧電性マイクロモータであって、
圧電性材料からなる複数の薄い層から形成された平行六面体の形状を有するバイブレータであって、前記層は第１及び第２の同一の比較的大きな四角い主面を有し、前記主面は長い端面及び短い端面から規定され、前記層は積層され、かつ、主面を互いに接着されているバイブレータと；
前記層の面上にある電極と；
前記層の１以上の端面に配置され、ボディに対して押し付けられる接触領域と；
バイブレータに、そしてそれにより前記ボディに運動を伝達する前記接触領域に振動を励起するために電極に電圧を印加する少なくとも一つの電源とを備え, 前記電極の少なくともいくつかは、前記バイブレータに横振動を励起するように電圧印加可能であり、前記横振動は、前記接触領域が位置する前記層の１以上の端部に平行な振動である、圧電性マイクロモータ。
【請求項２】 
前記１以上の端面は前記層の短い端面である、請求項１の圧電性マイクロモータ。
【請求項３】 
前記接触領域に配置された、前記ボディとの接触のための耐摩耗性要素を含む、請求項１又は２の圧電性マイクロモータ。
【請求項４】 
偏心率が制御可能である楕円振動を前記バイブレータに励起するために、前記電源により交流電圧を印加できる電極を前記層の主面上に備える、請求項１から３のいずれか１項の圧電性マイクロモータ。
【請求項５】 
各層の第１の主面上にある単一の大電極と、各層の第２の主面上にある４つの四分の一電極と を備え、前記四分の一電極が市松模様に配置されている請求項１から４のいずれか１項の圧電性マイクロモータ。
【請求項６】  
各層の第１の主面上にある単一の大電極と、全部ではないが少なくとも一つの層の第２の主面上にある単一の大電極と、少なくとも一つの層の第２の主面上にある４つの四分の一電極と を備え、前記四分の一電極は市松模様に配置されている請求項１から３のいずれか１項に記載の圧電性マイクロモータ。
【請求項７】 
少なくとも２つの隣接していない主面が四分の一電極を有する、請求項５の圧電性マイクロモータ。
【請求項８】 
前記バイブレータに、そしてそれにより前記接触領域に縦振動を励起するために、前記少なくとも一つの電源が、同じ交流電圧で、全てではないが少なくとも一つの前記層の前記第２の主面上の全ての四分の一電極に電圧を印加し、前記縦振動は、前記接触領域が位置する前記層の前記端面に平行な振動である、請求項５の圧電性マイクロモータ。
【請求項９】 
前記バイブレータに、そしてそれにより前記接触領域に縦振動を励起するために、前記電源が、交流電圧で、少なくとも一つの層の前記第２の主面上の大電極に電圧を印加し、前記縦振動は、前記接触領域が位置する前記層の前記端面に平行な振動である、請求項６の圧電性マイクロモータ。
【請求項１０】 
前記少なくとも一つの電源は、少なくとも一つの層において、対角線上に配置された四分の一電極の第１の組に第１の交流電圧を印加し、第２の対角線に沿っている四分の一電極の第２の組に第２の交流電圧を印加し、前記圧電性バイブレータに横振動を励起するように第１及び第２の交流電圧は同じ大きさで１８０°の位相差を有する、請求項８又は請求項９の圧電性マイクロモータ。
【請求項１１】 
前記少なくとも一つの層は複数の層であり、前記複数の層の異なる層の対応する位置にある電極に同じ電圧を印可する、請求項１０の圧電性マイクロモータ。
【請求項１２】 
前記少なくとも一つの電源は、縦振動及び横振動を励起するのに用いる交流電圧の大きさを制御することで、前記層の面に平行な面内において、前記接触領域に種々の形及び振幅の振動運動を選択的に行わせる、請求項１０又は１１の圧電性マイクロモータ。
【請求項１３】 
前記少なくとも一つの電源は、縦振動及び横振動を励起するのに用いる交流電圧の位相を制御することで、前記層の面に平行な面内において、前記接触領域に種々の形の振動運動を選択的に行わせる、請求項１０から１２のいずれか１項の圧電性マイクロモータ。
【請求項１４】 
前記少なくとも一つの電源は、縦振動及び横振動を励起するのに用いる交流電圧の周波数を制御することで、前記層の面に平行な面内において、前記接触領域に種々の形の振動運動を選択的に行わせる、請求項１０から１３のいずれか１項の圧電性マイクロモータ。
【請求項１５】 
前記少なくとも一つの電源は、少なくとも一つの層において、前記層の第１の短部に沿った第１の組の電極と、第２の短部に沿った第２の組の四分の一電極とにそれぞれ１８０°位相が異なり大きさが等しい交流電圧を印可することで、圧電性バイブレータ内の層の面に垂直な曲げ振動を励起する、請求項８から１４のいずれか１項の圧電性マイクロモータ。
【請求項１６】 
前記少なくとも一つの層は複数の層である、請求項１５の圧電性マイクロモータ。
【請求項１７】 
前記バイブレータの内側の主面の同一側に配置された層上の対応する位置の電極が同一位相で電圧を印加され、前記主面の反対側に配置された層上の対応する電極が１８０°の位相差で電圧を印加される、請求項１６の圧電性マイクロモータ。
【請求項１８】 
前記少なくとも一つの電源は、縦振動及び曲げ振動を励起するのに用いる交流電圧の大きさを制御することで、前記層の面に垂直な面内において、前記接触領域に種々の形及び振幅の振動運動を選択的に行わせる、請求項１５又は１７の圧電性マイクロモータ。
【請求項１９】 
前記少なくとも一つの電源は、縦振動及び曲げ振動を励起するのに用いる交流電圧の位相を制御することで、前記層の面に垂直な面内において、前記接触領域の種々の形の振動運動を選択的に行わせる、請求項１５から１８のいずれか１項の圧電性マイクロモータ。
【請求項２０】 
前記少なくとも一つの電源は、縦振動及び横振動を励起するのに用いる交流電圧の周波数を制御することで、前記層の面に平行な面内において、前記接触領域に異なる形の振動運動を選択的に行わせる、請求項１５から１９のいずれか１項の圧電性マイクロモータ。
【請求項２１】 
前記バイブレータに楕円振動を励起するために、少なくとも一つの層において、前記少なくとも一つの電源が、前記層の第１の対角線に沿って配置されている一組の四分の一電極に交流電圧を印可し、前記層の第２の対角線に沿った一組の四分の一電極を接地又は浮かせる、請求項５から２０のいずれか１項の圧電性マイクロモータ。
【請求項２２】 
前記少なくとも一つの層が複数の層であり、対応する位置にある電極が同じ交流電圧を印可される、請求項２１の圧電性マイクロモータ。
【請求項２３】 
前記楕円運動の偏心率を選択的に制御するために、前記少なくとも一つ電源が交流電圧の周波数を制御する、請求項２１又は請求項２２の圧電性マイクロモータ。
【請求項２４】 
非圧電性材料からなる少なくとも一つの比較的薄い層を含み、前記層は、長い端部及び短い端部から形成された四角く大きな主面、並びに、比較的幅が狭い長い端面及び短い端面を有する、請求項１から２３のいずれか１項に記載の圧電性マイクロモータ。
【請求項２５】 
前記少なくとも一つの非圧電性層の前記端部の一つは、前記圧電性層の対応する端部の一つと実質的に長さが等しい、請求項２４の圧電性マイクロモータ。
【請求項２６】 
前記一つの端部は、短い端部である、請求項２５の圧電性マイクロモータ。
【請求項２７】 
前記少なくとも一つの非圧電性層の他の端部は、対応する前記圧電性層の他の端部よりわずかに長く、その結果、前記非圧電性層の少なくとも一つの端面が、前記圧電性層から突出する、請求項２５又は請求項２６の圧電性マイクロモータ。
【請求項２８】 
前記他の端部は長い端部であり、前記非圧電性層の少なくとも一つの短い端面が前記圧電性層から突出する、請求項２７の圧電性マイクロモータ。
【請求項２９】 
前記接触領域は、前記少なくとも一つの突出した端面の領域を含む、請求項２７又は請求項２８の圧電性マイクロモータ。
【請求項３０】 
前記少なくとも一つの非圧電性層が金属から形成されている、請求項２５から２９のいずれか１項の圧電性マイクロモータ。
【請求項３１】 
前記電源は、前記接触領域が配置されている端面の面内における選択された任意の方向に運動を起こすように前記電極に電圧を印可できる、請求項１から請求項３０のいずれか１項に記載の圧電性マイクロモータ。
【請求項３２】 
可動ボディを加減速する方法であって、圧電性マイクロモータを前記ボディに第１の方向において押し付けることで前記圧電性マイクロモータの接触領域を前記ボディに加圧し、前記圧電性マイクロモータの前記接触領域に前記第１の方向及び前記ボディの運動の方向に沿った第２の方向に振動を励起することによって前記ボディが動かされ、前記振動は前記第１の方向に第１の振幅を、第２の方向に第２の振幅を有する方法において、
a) 加速では、前記第１の振幅に対する前記第２の振幅の比をゼロからゼロでない所望の値まで徐々に変化させ、
b) 減速では、前記第１の振幅に対する前記第２の振幅の比をゼロでない値から実質的にゼロまで徐々に変化させる、方法。
【請求項３３】 
前記第１の方向における前記振動は、前記圧電性マイクロモータ上の少なくともいくつかの第１の電極に第１の電圧印可を行うことで励起され、前記第２の方向の前記振動は、前記圧電性マイクロモータ上の少なくともいくつかの第２の電極に電圧印可を行うことで励起され、前記第２の電極の少なくともいくつかは前記第１の組の電極と異なる、請求項３２の方法。
【請求項３４】 
比を徐々に変化させることには、一方の印加電圧の振幅を徐々に変化させることが含まれる、請求項３３の方法。
【請求項３５】 
前記圧電性バイブレータ上の少なくとも一つの第１の電極に電圧を印加することで前記第１及び第２の方向における第１の振動が励起され、前記圧電性バイブレータ上の少なくとも一つの第２の電極に電圧を印加することで前記第１及び第２の方向における第２の振動が励起され、前記第２の方向における振動の位相は、前記第１及び第２の振動の間で実質的に１８０°の位相差を有する、請求項３２の方法。
【請求項３６】 
ボディを加速することにおいて、比を徐々に変化させることには、前記第２の方向における振動を打ち消し合うように前記少なくとも一つの第１の電極及び前記少なくとも一つの第２の電極の双方に電圧を印加し、前記少なくとも一つの第１の電極及び少なくとも一つの第２の電極の一方の印加電圧を徐々に減少させることを含む、請求項３５の方法。
【請求項３７】 
ボディを減速することにおいて、比を徐々に変化させることには、前記少なくとも一つの第１及び第２の電極の一方のみに電圧を印加することを含み、かつ、比を徐々に変化させることには、前記少なくとも一つの第１及び第２の電極の他方の印加電圧を徐々に増大させて前記第２の方向の振動を打ち消すことを含む、請求項３５の方法。
【請求項３８】 
前記圧電性マイクロモータは少なくとも一つの圧電性層を含み、前記第１及び第２の電極は同じ層上にある、請求項３３から３７のいずれか１項の方法。
【請求項３９】 
前記圧電性マイクロモータは複数の圧電性層を含み、前記第１及び第２の電極は、異なる層上にある、請求項３３から３７のいずれか１項の方法。
【請求項４０】 
第１の周波数範囲内の電圧を前記圧電性マイクロモータに印可することにより前記第１の方向における振動が励起され、前記第１の周波数範囲と部分的に重なる第２の周波数範囲内の電圧を前記圧電モータに印可することにより前記第２の方向における振動を励起する、請求項３２の方法。
【請求項４１】 
前記ボディを加速することにおいて、比を徐々に変化させることには、実質的に前記第１の方向にのみ振動が励起される周波数で電圧を印加し、前記電圧の周波数を前記第１及び第２の方向の双方の振動が励起される周波数に変えることが含まれる、請求項３２の方法。
【請求項４２】 
前記ボディを減速することにおいて、比を徐々に変化させることには、前記第１及び第２の方向の双方の振動が励起される周波数で電圧を印加し、前記電圧の周波数を前記第１の方向の振動のみが実質的に励起される周波数に変えることが含まれる、請求項４０の方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００１】
［発明の分野］
本発明は、圧電性マイクロモータに関し、特に圧電性材料からなる層で形成された多層圧電性マイクロモータに関する。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１０】
短い応答時間で作動し、動かすボディの運動を正確に制御することが圧電性マイクロモータに一般に要求されるので、マイクロモータは、その接触領域がいつもボディに押圧されるように配置される。この結果、マイクロモータは“負荷をかけられた状態”、つまり、動かそうとするボディに連結された状態、で始動させられる。そのために、マイクロモータを始動し、ボディの運動を開始するのに、一般に、大きな“超過始動電圧”をマイクロモータに印加しなければならない。動き始め後、所望のボディの速度を維持するために、印加電圧を急いで相当低い電圧に下げなければならない。このために、ボディは、よく、制御不能な揺れをもって動き始める。さらに、マイクロモータのスイッチが入れられた後、ボディが動き始める時間に数ミリ秒程度のジッターが通常ある。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１１】
圧電性マイクロモータを用いてボディを第１の場所から動かして第２の場所に正確に位置決めしなければならない場合にも時として問題が生じる。ボディを直接第２の場所に移動し、正確に第２の場所に位置決めするように、ボディが第２の場所にアプローチしているときに、ボディの減速を十分な精度で制御することは一般に難しい。多くの場合、ボディは第２の場所を行き過ぎたり、届かなかったりする。ボディを正確に位置決めするには、ボディが十分な精度で第２の場所に位置決めされるまで、ボディを第２の場所の前後に“ジョッキー(jockey)”するようにマイクロモータが通常制御される。ジョッキーは定時間続き、“修正時間”（多くの場合数ミリ秒から数十ミリ秒続く）として知られている。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１５】
本発明にいくつかの好ましい実施形態における一態様は、少なくとも一つの層が非圧電性材料から形成される多層圧電性マイクロモータに関する。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１９】
本発明の好ましい実施形態では、圧電性マイクロモータが平行六面体の形状を有する方形バイブレータを備える。バイブレータは、比較的幅が狭い短い端面及び長い端面と、比較的大きい主面を有する圧電性材料からなる薄く四角い複数の層から形成されている。層は位置を揃えられており、それらの主面に垂直に積み上げられており、当該分野で公知の方法で互いに接着されている。好ましくは、バイブレータ内で隣り合う層は反対方向に分極されている。好ましくは、電極が、バイブレータ内のすべての層の各主面に配置されている。マイクロモータを可動ボディと連結するための接触領域がバイブレータの端面に形成されており、好ましくは、層の短い端面から形成されている。もちろん、バイブレータのこの端面は、層の長手方向に対して垂直である。好ましくは、接触領域は、面に接着された耐摩耗“摩擦ナブ”である。本発明の好ましい実施形態によれば、接触領域の場所は、バイブレータの端面上であり、従来の多層マイクロモータにおける接触領域の場所と異なる。従来の多層圧電性マイクロモータにおける接触領域は、マイクロモータのバイブレータを形成するのに利用される積層部の最上層又は最下層の大きな主面上に配置されている。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２８】
縦、横及び／又は曲げの振動を互いに独立して制御することで、圧電性マイクロモータから可動ボディへのエネルギー伝達を正確に制御する本発明の好ましい実施形態による方法が、多層モータについて記載された。しかしながら、これらの方法は、縦振動を横及び／又は曲げ振動から独立して制御可能なあらゆる圧電性マイクロモータの制御に適用でき、また、有効である。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２９】
このように、本発明の好ましい実施形態によれば、可動要素を動かすための圧電性マイクロモータであって、圧電性材料からなる複数の薄い層から形成された平行六面体の形状を有するバイブレータであって、前記層は第１及び第２の同一の比較的大きな四角い主面を有し、前記主面は長い端面及び短い端面から規定され、前記層は積層され、かつ、主面を互いに接着されているバイブレータと；
前記層の面上にある電極と；
前記層の１以上の端面に配置され、ボディに対して押し付けられる接触領域と；
バイブレータに、そしてそれにより前記ボディに運動を伝達する前記接触領域に振動を励起するために電極に電圧を印加する少なくとも一つの電源と を備える圧電性マイクロモータが提供される。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４５】
本発明の好ましい実施形態によれば、さらに、可動ボディを静止状態から加速するための方法であって、
(i)圧電性マイクロモータを第１の方向から前記ボディに押しつけることで、圧電性マイクロモータの接触領域を前記ボディに加圧すること；
(ii)前記ボディが静止しており、前記圧電性マイクロモータが第２の方向に振動していない状態で、前記圧電性マイクロモータの前記接触領域に前記第１の方向の振動を励起すること；
(iii)その後、前記圧電性マイクロモータが前記接触領域において前記第１の方向に振動している状態で、前記第１の方向に垂直な前記第２の方向に前記接触領域の振動の振幅をゼロから所望の最大振幅へ徐々に増大させる、ことを含む方法が提供される。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４６】
好ましくは、前記第１の方向における前記振動は、前記圧電性マイクロモータ上の少なくともいくつかの第１の電極に第１の電圧印可を行うことで励起され、前記第２の方向の前記振動は、少なくともいくつかの第２の電極に電圧印可を行うことで励起され、前記第２の電極の少なくともいくつかは前記第１の組の電極と異なる。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４７】
本発明の好ましい実施形態では、前記圧電性マイクロモータは、少なくとも一つの圧電性層を含み、前記第１及び第２の電極は同一の層上にある。あるいは、前記圧電性マイクロモータは、複数の圧電性層を含み、前記第１及び第２の電極は異なる層状にある。本発明の好ましい実施形態では、前記第２の電圧印可を徐々に増大することで前記第２の方向における振幅を徐々に増大させる。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４８】
本発明の好ましい実施形態では、第１の周波数範囲内の電圧を前記圧電性マイクロモータに印可することで第１の方向の振動を励起し、前記第１の周波数範囲と部分的に重なる第２の周波数範囲内の電圧を前記圧電性マイクロモータに印可することで第２の方向の振動を励起する。好ましくは、(ii)を実行することには、前記第１の方向の振動のみが励起される周波数で電圧を印可することが含まれ；(iii)を実行することには、前記第１及び第２の両方向の振動が励起される周波数へ電圧の周波数を変えることが含まれる。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４９】
本発明の好ましい実施形態では、少なくとも一つの第１の電極を励起することで前記第１及び第２の方向における第１の振動が励起され、少なくとも一つの第２の電極を励起することで前記第１及び第２の方向における第２の振動が励起され、前記第２の方向における振動の位相は、前記第１及び第２の振動の間で実質的に１８０度の位相差を有する。好ましくは、(ii)を実行することは、前記少なくとも一つの第１の電極と前記少なくとも一つの第２の電極の双方を励起することで前記第２の方向における振動を打ち消すことを含み；(iii)を実行することは、前記第１及び第２の励起の一方を徐々に小さくすることを含む。好ましくは、前記圧電性マイクロモータは少なくとも一つの圧電性層を含み、前記第１及び第２の電極は同じ層上にある。あるいは、前記圧電性マイクロモータは複数の圧電性層を含み、前記第１及び第２の電極は、異なる層上にある。
【誤訳訂正１４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５０】
本発明の好ましい実施形態によれば、さらに、動かされている可動ボディを減速させる方法であって、圧電性マイクロモータを前記ボディに第１の方向に ことで、前記ボディに前記圧電性マイクロモータの接触領域を加圧し、前記第１の方向に垂直な第２の方向において、前記運動が前記第１及び第２の方向の前記接触領域における同調した振動の作用を受ける方法において、前記第１の方向において前記振動を維持しつつ、前記第２の方向において振幅を徐々に減少させることを含む方法が提供される。
【誤訳訂正１５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５１】
好ましくは、前記圧電性マイクロモータの少なくともいくつかの第１の電極に第１の電圧印可を行うことで前記第１の方向における前記振動を励起し、少なくともいくつかの第２の電極に電圧印可を行うことで前記第２の方向における前記第２の振動を励起し、前記第２の電極の少なくともいくつかは前記第１の組の電極と異なる。好ましくは、前記第２の方向における振幅を徐々に減少させることには、前記第２の電圧印可の振幅を徐々に減少させることが含まれる。好ましくは、前記圧電性マイクロモータは少なくとも一つの圧電性層を含み、前記第１及び第２の電極は同一層上にある。あるいは、前記圧電性マイクロモータは複数の圧電性層を含み、前記第１及び第２の電極は異なる層上にある。
【誤訳訂正１６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５２】
本発明の好ましい実施形態では、第１の周波数範囲内の電圧を前記圧電性マイクロモータに印可することにより前記第１の方向における振動が励起され、前記第１の周波数範囲と部分的に重なる第２の周波数範囲内の電圧を前記圧電モータに印可することにより前記第２の方向における振動を励起する。好ましくは、(i)を実行することは前記第１の方向における振動のみが励起される周波数に周波数を変えることを含む。
【誤訳訂正１７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５３】
本発明の好ましい実施形態では、少なくとも一つの第１電極を励起することにより前記第１及び第２の方向における第１の振動が励起され、少なくとも一つの第２の電極を励起することにより前記第１及び第２の方向における第２の振動が励起され、第１及び第２の振動に関し、前記第２の方向における振動の位相は実質的に１８０度の位相差を有し、前記少なくとも一つの第１電極及び前記少なくとも一つの第２電極の一方のみを励起することに前記運動を起こす。好ましくは、(i)を実行することには、前記少なくとも一つの第１の電極及び前記少なくとも一つの第２の電極の両方を励起し、前記第２の方向における前記振動を打ち消すことを含む。好ましくは、前記圧電性マイクロモータは少なくとも一つの圧電性層を含み、前記第１及び第２の電極が同一層上にある。あるいは、圧電性マイクロモータが複数の圧電性層を含み、前記第１及び第２の電極は異なる層上にある。本発明は、下記の好ましい実施形態の説明を添付図面と合わせて参照することにより、より明確に理解されるであろう。図において、１以上の図面に現れる同一の構造、要素又は部品は、それらが現れる全ての図において同じ番号を付されている。
【誤訳訂正１８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６４】
図２Ａにおいて、マイクロモータ８０は可動ボディ１０２に連結されている。矢印１０４により表された弾性力が短い端面８９に加圧され、摩擦ナブ９０がボディ１０２に接触するようにマイクロモータ８０をボディ１０２の方へ押す。マイクロモータ８０の同じ角、及び、マイクロモータ８０の対角線上反対側の角に沿った全ての四分の一電極が互いに電気的に接続されている。図２Ａでは、四分の一電極４１、５１及び６１、並びに、４２、５２及び６２の間の接続が示されている。電極４３と、電極４３の下にある電極５３及び６３（図１Ａ参照）との間、及び、電極４４と、電極４４の下にある電極５４及び６４（図１Ａ参照）との間の接続は示されていない。マイクロモータ８０の対角線上反対側の角に配置された四分の一電極間の接続は、四分の一電極４１及び４３の間と、四分の一電極４２及び４４の間の対角線上の接続で示されている。電極４１及び４３に接続された対角線上に配置された四分の一電極は、合わせて“対角電極４１−４３”と呼ぶ。同様に、四分の一電極４２及び４４に接続された四分の一電極は、合わせて“対角電極４２−４４”と呼ぶ。層２４及び２８上の大電極６６及び８８は接続されており、好ましくは接地されている。大電極６６及び８８は、合わせて「グランド電極」と呼ぶ。
【誤訳訂正１９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】図面の簡単な説明
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】 
図１Ａ及び１Ｂは、それぞれ、本発明の好ましい実施形態による、圧電性多層マイクロモータを構成するために使用する圧電性材料の層、及び、その層から構成された多層マイクロモータを概略的に示す。
【図２】 
図２Ａ−２Ｄは、本発明の好ましい実施形態による、マイクロモータに種々の振動モードを生成するために図１Ｂに示したマイクロモータの電極に電圧を印加する種々の方法、及び可動ボディをスムーズに加減速させるためのマイクロモータの振動の制御方法を概略的に示す。
【図３】 
図３は、本発明の好ましい実施形態による、２つの圧電性層を備える圧電性マイクロモータを概略的に示す。
【図４】 
図４Ａ及び４Ｂは、本発明の好ましい実施形態による、マイクロモータにおける縦振動及び横振動を互いに独立に制御することによりモータを精密に制御できる単一層圧電性マイクロモータを概略的に示す。
【図５】 
図５は、本発明の好ましい実施形態による方法を利用することにより精密な運動制御を提供するように制御可能な他の単一層圧電性マイクロモータを概略的に示す。
【図６】 
図６は、本発明の好ましい実施形態による、２つの圧電性層と、一つの非圧電性材料からなる層とを備える圧電性マイクロモータを概略的に示す。