【事件の表示】
　特願２０００−　４７０６３「ビームスプリッタ構造群及びビームスプリッタ構造群を備えた干渉計」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年　９月１４日出願公開、特開２０００−２４９５１３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１２年２月２４日の出願（優先権主張：１９９９年２月２６日、同年１２月４日、ドイツ）であって、明細書の特許請求の範囲について平成１８年１０月１９日付けで補正がなされ（以下、「補正１」という。）、平成２１年８月１１日付けで補正がなされ（以下、「補正２」という。）、平成２１年１０月８日付けで（送達：同年１１月１０日）で拒絶査定がされ、これに対し、平成２２年３月２日に拒絶査定不服審判が請求されると同時に明細書の特許請求の範囲についての手続補正（以下、「本件補正」という。）がなされたものである。
　その後、当審より、平成２３年２月９日付け審尋書により審尋をしたところ、請求人より、同年４月１９日付け回答書の提出があった。
　
２．本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
本件補正を却下する。
［理由］
（１）補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲の請求項１を次のとおり補正するものである。
（本件補正前）
「ビームスプリッタ構造群に当たる入射光線束（Ｓ）を少なくとも１つの第１射出光線束（ＳＡ１，ＳＡ２；ＳＢ１；ＳＢ２）と、第１射出光線束に平行な少なくとも１つの第２射出光線束とに分割し、その際ビームスプリッタアセンブリは、少なくとも１つのビームスプリッタ要素（１；２１；３１；４１；７１；８１）と、少なくとも１つの補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）とから成り、ビームスプリッタ要素（（１；２１；３１；４１；７１；８１）は透明板から成り、透明板は２つの平行な境界表面（１．１，１．２，２１．１，２１．２，３１．１，３１．２）を有し、１方の境界表面（１．２；２１．１；３１．１，３１．２）は、少なくとも部分的にビームスプリッタ表面（１．３，２１．３，３１．３，３１．５，３１．６，４１．３，４１．４，４１．５；７１．２；８１．２）として作用し、更に前記境界表面（１．２，２１．１，３１．１，３１．２）に対して平行な他方の境界表面（１．１；２１．２，３１．１，３１．２）は、少なくとも部分領域において、少なくとも部分反射する反射鏡表面（１．４，２１．４，３１．３，３１．５，３１．６、４１．１，４１．２，７１．１、８１．１）として作用し、補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）は、少なくとも２つの射出光線束（ＳＡ１，ＳＡ２；ＳＢ１，ＳＢ２）が互いに平行に走行するように、ビームスプリッタ要素（１；２１；３１；４１；７１；８１）に対して配置されている、ビームスプリッタ構造群において
　補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）は、その上、射出光線束（ＳＡ１，ＳＡ２；ＳＢ１，ＳＢ２）が本質的にビームスプリッタ要素（１；２１；３１；４１；７１；８１）と補償要素（ＳＡ１，ＳＡ２；ＳＢ１，ＳＢ２；４２Ａ，４２Ｂ；７２；８２）とにおいて等しい光路長を経るように寸法設定されており、補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）もまた、平面平行板の形に構成されており、補償要素の平行な境界表面（２．１，２．２；２２．１；２２．２；３２．Ａ１，３２．Ａ２，３２．Ｂ１，３２．Ｂ２）を通って、光線束が入射し射出することを特徴とする前記ビームスプリッタ構造群。」
（本件補正後）
「ビームスプリッタ構造群に当たる入射光線束（Ｓ）を少なくとも１つの第１射出光線束（ＳＡ１，ＳＡ２；ＳＢ１；ＳＢ２）と、第１射出光線束に平行な少なくとも１つの第２射出光線束とに分割し、その際ビームスプリッタアセンブリは、少なくとも１つのビームスプリッタ要素（１；２１；３１；４１；７１；８１）と、少なくとも１つの補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）とから成り、ビームスプリッタ要素（（１；２１；３１；４１；７１；８１）は透明板から成り、透明板は２つの平行な境界表面（１．１，１．２，２１．１，２１．２，３１．１，３１．２）を有し、１方の境界表面（１．２；２１．１；３１．１，３１．２）は、少なくとも部分的にビームスプリッタ表面（１．３，２１．３，３１．３，３１．５，３１．６，４１．３，４１．４，４１．５；７１．２；８１．２）として作用し、更に前記境界表面（１．２，２１．１，３１．１，３１．２）に対して平行な他方の境界表面（１．１；２１．２，３１．１，３１．２）は、少なくとも部分領域において、少なくとも部分反射する反射鏡表面（１．４，２１．４，３１．３，３１．５，３１．６、４１．１，４１．２，７１．１、８１．１）として作用し、補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）は、少なくとも２つの射出光線束（ＳＡ１，ＳＡ２；ＳＢ１，ＳＢ２）が互いに平行に走行するように、ビームスプリッタ要素（１；２１；３１；４１；７１；８１）に対して配置されている、ビームスプリッタ構造群において
　補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）は、その上、射出光線束（ＳＡ１，ＳＡ２；ＳＢ１，ＳＢ２）が本質的にビームスプリッタ要素（１；２１；３１；４１；７１；８１）と補償要素（ＳＡ１，ＳＡ２；ＳＢ１，ＳＢ２；４２Ａ，４２Ｂ；７２；８２）とにおいて等しい光路長を経るように寸法設定されており、補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）もまた、平面平行板の形に構成されており、
補償要素の平行な境界表面（２．１，２．２；２２．１；２２．２；３２．Ａ１，３２．Ａ２，３２．Ｂ１，３２．Ｂ２）を通って、光線束が入射し射出すること、
および、　補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）がビームスプリッタ要素（１；２１；３１；４１；７１；８１）から一定距離に配設されていること
　ここで、本件補正の前後を通して、「第２光線束」とあるのは、「第２射出光線束」の、「ビームスプリッタセンブリ」とあるのは、「ビームスプリッタアセンブリ」の、それぞれ誤記と認められ、また本件補正後の「郡」は、「群」の誤記と認められるので、そのように訂正した上で上記のとおり、本件補正前、本件補正後の請求項１を認定した。また、下線は補正箇所を示す。
　
　この補正は、請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）」について「補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）がビームスプリッタ要素（１；２１；３１；４１；７１；８１）から一定距離に配設されていること」との限定を付加するものであって、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるかについて、以下に検討する。
　
（２）引用例記載の事項・引用発明
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願最先の優先日前に頒布された刊行物である特開平４−３２３５０２号公報（以下「引用例」という。）には、干渉計（発明の名称）に関し、次の事項（ａ）ないし（ｈ）が図面とともに記載されている。
（ａ）「【特許請求の範囲】
【請求項１】光源からでた光線束を複数の光線束に分けて、それぞれの光線束が１または２以上の媒質中を通過後、干渉させる干渉計において、１または２以上の光路長補正ブロックを有し、上記各媒質の屈折率をｎｉ（ｉ＝１〜Ｎ）、上記各媒質毎の、光線束間の物理的長さの差をｄｉ（ｉ＝１〜Ｎ）、上記各物理的長さの差ｄｉの、空気を除く媒質の膨張収縮による、単位長当たりの変化率をαｉ（ｉ＝１〜Ｎ）、温度をＴとしたときに、ｄｉが【数１】（省略）を満たすように、上記の光路長補正ブロックの物理的長さｌｉ（ｉ＝１〜ｍ）が、設定されていることを特徴とする干渉計。」
（ｂ）「【０００１】
【産業上の利用分野】干渉計の光路長の温度変化の低減に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来技術に係る二光束干渉計、例えばレーザ干渉計を用いて、移動ステージの座標測定を行う場合の、レーザ干渉計と測定対象である移動ステージの関係を図７に示す。
【０００３】本干渉計は、光源１と、プリズムＰ３、Ｐ４と、偏光ビームスプリッタ２と、λ／４板３と、移動鏡４と、固定鏡５とを有する。
【０００４】レーザ光源１より射出したレーザビームＢ１は、偏光ビームスプリッタ２により、２つの偏光成分に分割される。偏光ビームスプリッタ２を通過した一方の偏光成分を有する偏光ビームＢ２１は、プリズムＰ３を通過し、移動鏡４で反射される。そして反射の前後で、２度、λ／４板３を通ることにより偏光面が９０°回転し、偏光ビームスプリッタ２で反射され、ディテクタ６に入射する。一方レーザビームＢ１の他方の偏光成分を有する偏光ビームＢ３１は、偏光ビームスプリッタ２で反射され、さらに、プリズムＰ４で反射された後、固定鏡５で反射される。そして、もう一方の偏光ビームＢ２１と同様に、ディテクタ６に入射する。　　図３は、図７のＰ３、Ｐ４の拡大図である。」（ｃ）「【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術では温度変化により、ガラスの膨張と屈折率変化が生じ、固定鏡側と移動鏡側の２つの光路間において、光路長差に変化が生じる。その結果、測定に誤差が生じる。
【０００６】本発明は、この様な、温度変化によって生じる光路長差の変化を低減した干渉計を提供する事を目的とする。」
（ｄ）「【００１１】
【作用】光路長差の温度による変化は、ガラスの屈折率変化、膨張及びガラスの膨張による空気層の厚さの変化によって起こる。
【００１２】各媒質の屈折率をｎｉ（ｉ＝１〜Ｎ）、各光線束毎、各媒質毎の物理的長さをＬｉｊ（ｉ＝１〜Ｎ，ｊ＝１，２）、各光線束毎の全光路長をＬＨ１，ＬＨ２とすると、
【００１３】【数４】（省略）
【００１４】となる。
【００１５】上記各媒質毎の、光線束間の物理的長さの差をｄｉ（ｉ＝１〜Ｎ）、温度をＴとしたときに、光線束間の光路長の差をＬとすると、Ｌは下式で与えられる。
【００１６】【数５】（省略）
【００１７】従って、光線束間の光路長の差Ｌの温度による変化率は、下式のようになる。
【００１８】【数６】（省略）
【００１９】ここで、上記各媒質の物理的長さの差ｄｉの、空気を除く媒質の膨張収縮による、単位長当たりの変化率をαｉ（ｉ＝１〜Ｎ）とすると、αｉは、下式で与えられる。
【００２０】【数７】（省略）
【００２１】式７を使って、式６を変形し、さらに、式６＝０とすると下式を得る。
【００２２】【数８】（省略）
【００２３】ある温度付近では、∂ｎｉ／∂Ｔ、αｉ、ｎｉは定数として与えられるので、式８となる様なｄｉの組合せにすれば、光路長差は、温度によって変化しない。」
（ｅ）「【００２４】
【実施例】本発明に係る二光束干渉計、例えばレーザ干渉計を用いて、移動ステージの座標測定を行う場合の、レーザ干渉計と測定対象である移動ステージ７の関係を図１に示す。
【００２５】本干渉計は、レ−ザ光源である光源１と、光路長補正ブロックであるプリズムＰ１と、光路折り曲げ用反射鏡であるプリズムＰ２と、ビ−ムスプリッタである偏光ビームスプリッタ２と、λ／４板３と、第２の反射鏡である移動鏡４と、第１の反射鏡である固定鏡５とを有する。
【００２６】光路長補正ブロックであるプリズムＰ１と、光路折り曲げ用反射鏡であるプリズムＰ２と、ビ−ムスプリッタである偏光ビームスプリッタ２とは１体となっている。
【００２７】レーザ光源１より射出したレーザビームＢ１は、偏光ビームスプリッタ２により、２つの偏光成分に分割される。偏光ビームスプリッタ２を通過した一方の偏光成分（Ｐ偏光成分）を有する偏光ビームＢ２は、プリズムＰ１を通過し、移動鏡４で反射される。そして反射の前後で、２度、λ／４板３を通ることにより偏光面が９０°回転し、Ｓ偏光成分となって偏光ビームスプリッタ２で反射され、ディテクタ６に入射する。一方レーザビームＢ１の他方の偏光成分（Ｓ偏光成分）を有する偏光ビームＢ３は、偏光ビームスプリッタ２で反射され、さらに、プリズムＰ２で反射された後、固定鏡５で反射される。そして、往復２度λ／４板を通るため、偏光面が９０゜回転してＰ偏光成分となるので、偏光ビ−ムスプリッタ２を透過し、もう一方の偏光ビームＢ２と同様に、ディテクタ６に入射する。
【００２８】図２は、図１のＰ１、Ｐ２の拡大図である。図２に示すごとく、分割された２光束の進行方向におけるプリズム長の差をＬ１とし、２光束の分離距離をＬ２とすると、前述のｄ１、ｄ２は、ｄ１＝Ｌ１−Ｌ２、ｄ２＝Ｌ１となる。
【００２９】今、本実施例のように、媒質が２種類の場合（Ｎ＝２）に式３を適用することを考える。
【００３０】式４において、ＬＨ１を移動鏡側の全光路長、ＬＨ２を固定鏡側の全光路長とすると、式４は、下式のようになる。
【００３１】【数９】（省略）
【００３２】【数１０】（省略）
【００３３】但し、Ｌ０は、プリズム部分以外の、ＬＨ１，ＬＨ２について共通な空気部分の長さである。ｎ１は、空気の屈折率、ｎ２は、ガラスの屈折率である。従って、式５は、下式のようになる。
【００３４】【数１１】
　　　　Ｌ＝ｎ２（Ｌ１−Ｌ２）−ｎ１・Ｌ１＝ｎ２・ｄ２＋ｎ１・ｄ１　ただし、ｄ２＝Ｌ１−Ｌ２　、ｄ１＝−Ｌ１【００３５】空気については、屈折率の温度、湿度、気圧による変化はレ−ザの波長を変化させて補正することで、０とし、ｎ＝ｎ２／ｎ１を使うと、式１１より、Ｌの温度による変化率は、下式となる。この時、波長の変化による屈折率の変化は小さいので無視する。
【００３６】【数１２】（省略）」
（ｆ）「【００４５】本発明を実施するときのプリズムの配置については、図４の様に、平行四辺形状のプリズムＰ２を２つの直角三角形状のプリズムＰ５、Ｐ７に分離して、配置すると、プリズムＰ５、Ｐ７間の距離も温度により変動し、またプリズムＰ７が、どの点を中心に膨張するかにより、空気層の厚さが異なるので、適切な配置ではない。但し、図５の様に、プリズムＰ１を、直角三角形状のプリズムＰ８と長方形状プリズムＰ９に、または多数個に分離すると、プリズムＰ９は、どこを中心として膨張しても、空気層の厚さの変わり方は一定である。」
（ｇ）「【００５０】【発明の効果】本発明は、以上のように構成されているので、温度変化によって生じる光路長差の変化を低減した干渉計を提供する事ができ、より高精度に位置計測を行なうことができる。」
（ｈ）「【符号の説明】
１…レーザ光源、２…ビームスプリッタ、３…λ／４板、４…移動鏡、５…固定鏡、６…ディテクタ、７…ステージ、Ｐ１〜Ｐ１２…プリズム、Ｍ１…ミラー。」
　
・まず、段落【００４５】及び図５に記載の第２実施例は、図１，２に記載の実施例において、光路長補正ブロックであるプリズム１を直角三角形状プリズムＰ８と長方形状プリズムＰ９とに分離したものであり（上記記載（ｆ））、その他の構成については、共通すると解される。
　また、以下、プリズムＰ８、プリズムＰ１０及びプリズム９を合わせて、「干渉光学系」と呼ぶことにする。
　してみると、上記記載事項（ａ）ないし（ｈ）及び図１、図５の記載から、次の技術事項アが読み取れる。
ア　「レーザ干渉光学系に入射したレーザビームＢ１を偏光ビームＢ２と偏光ビームＢ３とに分割し、その際、レーザ干渉光学系は、光路折り曲げ用反射鏡であって、偏光ビームスプリッタ２と一体となったプリズムＰ１０及び直角三角形状のプリズムＰ８と、光路長補正ブロックであるプリズムＰ９とから成り、プリズムＰ１０は２つの平行な境界表面を有し、一方の境界表面は、偏光ビームスプリッタ２として作用し、更に前記境界表面に対して平行な他方の境界表面は光路折り曲げ用反射鏡として作用しているレーザ干渉光学系において、
　光路長補正ブロックであるプリズムＰ９は、偏光ビームＢ３と偏光ビームＢ２が、それぞれ光路折り曲げ用反射鏡であって、偏光ビームスプリッタ２と一体となったプリズムＰ１０とプリズムＰ９とにおいて、温度変化があっても光路長差が変化しないよう、プリズムＰ１０及びプリズムＰ９の長さ?ｉや屈折率ｎｉを設定することで所定の関係を有する光路長を経るように寸法設定されており、
　光路長補正ブロックであるプリズムＰ９は直方形状に構成されており、プリズムＰ９の平行な境界表面を通って、直角三角形状のプリズムＰ８から出射された光線束が入射し偏光ビームＢ２として射出すること、および、光路長補正ブロックであるプリズムＰ９が、光路折り曲げ用反射鏡であって、偏光ビームスプリッタ２と一体となったプリズムＰ１０及び直角三角形状のプリズム８から分離して配設されているレーザ干渉光学系。」
　
・引用例は、二光束干渉計に関するものであるところ、二光束干渉計では、干渉光学系から出射される偏光ビームＢ２，Ｂ３が互いに平行となるように干渉光学系は配置されていること、また、プリズムが透明板で形成されていることは、いずれも技術常識であるから、次の技術事項イ、ウが読み取れる。
イ　「プリズムＰ９は、偏光ビームＢ２と偏光ビームＢ３が互いに平行に走行するように、プリズムＰ１０に対して配置されている。」
ウ　「プリズムＰ１０及びプリズムＰ８は透明板から成る。」
　
 以上の技術事項アないしウを総合勘案すると、引用例には次の発明が記載されているものと認められる。
「レーザ干渉光学系に入射したレーザビームＢ１を偏光ビームＢ２と偏光ビームＢ２に平行な偏光ビームＢ３とに分割し、その際、レーザ干渉光学系は、光路折り曲げ用反射鏡であって、偏光ビームスプリッタ２と一体となったプリズムＰ１０及び直角三角形状のプリズムＰ８と、光路長補正ブロックであるプリズムＰ９とから成り、プリズムＰ１０及びプリズムＰ８は透明板から成り、プリズムＰ１０は２つの平行な境界表面を有し、一方の境界表面は、偏光ビームスプリッタ２として作用し、更に前記境界表面に対して平行な他方の境界表面は光路折り曲げ用反射鏡として作用し、プリズムＰ９は、偏光ビームＢ２と偏光ビームＢ３が互いに平行に走行するように、プリズムＰ１０に対して配置されている、レーザ干渉光学系において、
　光路長補正ブロックであるプリズムＰ９は、偏光ビームＢ３と偏光ビームＢ２が、それぞれ光路折り曲げ用反射鏡であって、偏光ビームスプリッタ２と一体となったプリズムＰ１０とプリズムＰ９とにおいて、温度変化があっても光路長差が変化しないよう、プリズムＰ１０及びプリズムＰ９の長さ?ｉや屈折率ｎｉを設定することで所定の関係を有する光路長を経るように寸法設定されており、
　光路長補正ブロックであるプリズムＰ９は直方形状に構成されており、プリズムＰ９の平行な境界表面を通って、直角三角形状のプリズムＰ８から出射された光線束が入射し偏光ビームＢ２として射出すること、及び、
　光路長補正ブロックであるプリズムＰ９が、光路折り曲げ用反射鏡であって、偏光ビームスプリッタ２と一体となったプリズムＰ１０及び直角三角形状のプリズム８から分離して配設されているレーザ干渉光学系。」（以下、「引用発明」という。）
  
（３）対比
　本願補正発明と引用発明とを対比する。
ア　まず、引用発明における「レーザビームＢ１」、「偏光ビームＢ２」、「偏光ビームＢ３」、「光路折り曲げ用反射鏡であって、偏光ビームスプリッタ２と一体となったプリズムＰ１０」、「光路長補正ブロックであるプリズムＰ９」、「偏光ビームスプリッタ２」、「光路折り曲げ用反射鏡」、「直方形状」、及び「分離して」は、
  本願補正発明の「入射光線束（Ｓ）」、「第１射出光線束（ＳＡ１，ＳＡ２；ＳＢ１；ＳＢ２）」、「第２射出光線束」、「ビームスプリッタ要素（１；２１；３１；４１；７１；８１）」、「補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）」、「ビームスプリッタ表面（１．３，２１．３，３１．３，３１．５，３１．６，４１．３，４１．４，４１．５；７１．２；８１．２）」、「反射鏡表面（１．４，２１．４，３１．３，３１．５，３１．６、４１．１，４１．２，７１．１、８１．１）」、「平面平行板の形」、及び「一定距離に」にそれぞれ相当する。
　
イ　また、引用発明における「レーザ干渉光学系」は、本願補正発明における「ビームスプリッタ構造群」や「ビームスプリッタアセンブリ」に相当する。
　
ウ　以上の相当関係ア、イを踏まえると、引用発明における「レーザ干渉光学系に入射したレーザビームＢ１を偏光ビームＢ２と偏光ビームＢ２に平行な偏光ビームＢ３とに分割し、その際、レーザ干渉光学系は、光路折り曲げ用反射鏡であって、偏光ビームスプリッタ２と一体となったプリズムＰ１０及び直角三角形状のプリズムＰ８と、光路長補正ブロックであるプリズムＰ９とから成り、プリズムＰ１０及びプリズムＰ８は透明板から成り、プリズムＰ１０は２つの平行な境界表面を有し、一方の境界表面は、偏光ビームスプリッタ２として作用し、更に前記境界表面に対して平行な他方の境界表面は光路折り曲げ用反射鏡として作用し、プリズムＰ９は、偏光ビームＢ２と偏光ビームＢ３が互いに平行に走行するように、プリズムＰ１０に対して配置されている、ビームスプリッタ群において、」は、本願補正発明における「ビームスプリッタ構造群に当たる入射光線束（Ｓ）を少なくとも１つの第１射出光線束（ＳＡ１，ＳＡ２；ＳＢ１；ＳＢ２）と、第１射出光線束に平行な少なくとも１つの第２射出光線束とに分割し、その際ビームスプリッタアセンブリは、少なくとも１つのビームスプリッタ要素（１；２１；３１；４１；７１；８１）と、少なくとも１つの補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）とから成り、ビームスプリッタ要素（（１；２１；３１；４１；７１；８１）は透明板から成り、透明板は２つの平行な境界表面（１．１，１．２，２１．１，２１．２，３１．１，３１．２）を有し、１方の境界表面（１．２；２１．１；３１．１，３１．２）は、少なくとも部分的にビームスプリッタ表面（１．３，２１．３，３１．３，３１．５，３１．６，４１．３，４１．４，４１．５；７１．２；８１．２）として作用し、更に前記境界表面（１．２，２１．１，３１．１，３１．２）に対して平行な他方の境界表面（１．１；２１．２，３１．１，３１．２）は、少なくとも部分領域において、少なくとも部分反射する反射鏡表面（１．４，２１．４，３１．３，３１．５，３１．６、４１．１，４１．２，７１．１、８１．１）として作用し、補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）は、少なくとも２つの射出光線束（ＳＡ１，ＳＡ２；ＳＢ１，ＳＢ２）が互いに平行に走行するように、ビームスプリッタ要素（１；２１；３１；４１；７１；８１）に対して配置されている、ビームスプリッタ構造群において」に相当すると言える。
　
エ　また、引用発明の「光路長補正ブロックであるプリズムＰ９は、偏光ビームＢ３と偏光ビームＢ２が、それぞれ光路折り曲げ用反射鏡であって、偏光ビームスプリッタ２と一体となったプリズムＰ１０とプリズムＰ９とにおいて、温度変化があっても光路長差が変化しないよう、プリズムＰ１０及びプリズムＰ９の長さ?ｉや屈折率ｎｉを設定することで所定の関係を有する光路長を経るように寸法設定されており、」も、本願補正発明の「補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）は、その上、射出光線束（ＳＡ１，ＳＡ２；ＳＢ１，ＳＢ２）が本質的にビームスプリッタ要素（１；２１；３１；４１；７１；８１）と補償要素（ＳＡ１，ＳＡ２；ＳＢ１，ＳＢ２；４２Ａ，４２Ｂ；７２；８２）とにおいて等しい光路長を経るように寸法設定されており、」も、共に、「補償要素は、その上、射出光線束が本質的にビームスプリッタ要素と補償要素とにおいて所定の関係を有する光路長を経るように寸法設定されて」いる点で共通すると言える。
　
オ　さらに、引用発明における「光路長補正ブロックであるプリズムＰ９は直方形状に構成されており、プリズムＰ９の平行な境界表面を通って、直角三角形状のプリズムＰ８から出射された光線束が入射し偏光ビームＢ２として射出すること、及び、プリズムＰ９が、光路折り曲げ用反射鏡であって、偏光ビームスプリッタ２と一体となったプリズムＰ１０及び直角三角形状のプリズム８から分離して配設されているレーザ干渉光学系。」は、本願補正発明における「補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）もまた、平面平行板の形に構成されており、補償要素の平行な境界表面（２．１，２．２；２２．１；２２．２；３２．Ａ１，３２．Ａ２，３２．Ｂ１，３２．Ｂ２）を通って、光線束が入射し射出すること、および、補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）がビームスプリッタ要素（１；２１；３１；４１；７１；８１）から一定距離に配設されていることを特徴とする前記ビームスプリッタ構造群。」に相当すると言える。　
　
　以上の関係アないしオを総合すると、両者の一致点及び相違点は、以下のとおりである。
（一致点）
「ビームスプリッタ構造群に当たる入射光線束を少なくとも１つの第１射出光線束と、第１射出光線束に平行な少なくとも１つの第２射出光線束とに分割し、その際ビームスプリッタアセンブリは、少なくとも１つのビームスプリッタ要素と、少なくとも１つの補償要素とから成り、ビームスプリッタ要素は透明板から成り、透明板は２つの平行な境界表面を有し、１方の境界表面は、少なくとも部分的にビームスプリッタ表面として作用し、更に前記境界表面に対して平行な他方の境界表面は、少なくとも部分領域において、少なくとも部分反射する反射鏡表面として作用し、補償要素は、少なくとも２つの射出光線束が互いに平行に走行するように、ビームスプリッタ要素に対して配置されている、ビームスプリッタ構造群において
　補償要素は、その上、射出光線束が本質的にビームスプリッタ要素と補償要素とにおいて所定の関係を有する光路長を経るように寸法設定されており、補償要素もまた、平面平行板の形に構成されており、
　補償要素の平行な境界表面を通って、光線束が入射し射出すること、および、補償要素がビームスプリッタ要素から一定距離に配設されている前記ビームスプリッタ構造群。」
（相違点）
　相違点：ビームスプリッタ構造群を通過する２つの光線束の光路長の関係について、
  本願補正発明では、両者が等しいとしているのに対し、引用発明では、両者の光路長差が温度変化があっても変化しないような所定の関係を有するものとしている点。
　
（４）判断
　前記相違点について検討する。
　本願補正発明において、第１射出光線束及び第２射出光線束がビームスプリッタ構造群を構成するビームスプリッタ要素と補償要素とにおいて等しい光路長を経るように寸法設定したのは、温度変化による影響を少なくするためである。　このことは、本願明細書の【００１９】における「・・・補償要素２のそのような構成によって、万一の温度変動の場合でも本発明によるビームスプリッタ構造群の両射出光束ＳＡ１、ＳＡ２は、等しい影響を受け従って同様に影響されることが確保される。」との記載からも把握できる。
　ところで、一般に、本願補正発明のような二光束干渉計の技術分野において、温度の変動の影響を受けないようにするために、二つの光束に係る光学要素内での各光路長を等しくすることは、本願最先の優先日前における周知技術である。このことについては、例えば、原審で引用された特開平８−３０４７２１号公報の段落【００２８】や図３に示された、第１ビームと第２ビームとで偏光ハーフプリズム６２内の光路長を完全に等しくすることで、温度、気圧等の環境変動の影響を受けにくく、高精度な計測が可能となる旨の記載や、特開平２−１１５７０１号公報の特許請求の範囲の請求項１や発明の効果に記載された、干渉測長系内の光路長を、測定光と参照光とで等しくとることにより温度変化の影響を小さくする旨の記載に留意のこと。
　引用発明においても、同様に、二つの光束において温度変化によって生じる干渉光学系の光路長差の変化を低減することを目的とした発明である（前記記載（ｃ）、（ｇ）参照）から、引用発明に対して、同じく温度変化の影響を受けないようにするための前記周知技術を適用し、ビームスプリッタ構造群を構成するビームスプリッタ要素と補償要素とにおいて二つの光束の光路長を等しく選ぶことは、当業者ならば容易に想到し得たことである。
　
　そして、本願補正発明の作用効果も、引用発明及び周知技術から当業者が予測可能なものであって格別のものではない。
　したがって、本願補正発明は、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、同法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
（５）請求人の主張について
　請求人は、回答書において、引用例の図５には、補償要素であるプリズムＰ９がビームスプリッタ要素であるプリズムＰ１０や直角三角形状プリズムＰ８と離れて設けられている例が示されているものの、プリズム１０と接合しているプリズムＰ８は補償要素である。よって、引用例に記載のものは、本願補正発明のような、補償要素がビームスプリッタ要素から一定距離に配置されたことにはならないから、この点で両者は相違する旨主張している。
　しかしながら、まず、引用例の図１，２に記載の実施例は、従来技術の干渉計では光路長を補正する手段を備えていなかったため、温度変化による影響を受けるとの課題を解決するものであり、光路長補正ブロックであるプリズムＰ１を設けるようにした点に、その技術的特徴がある干渉計である。（（２）（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｇ））
　ところで、従来技術の干渉計は、引用例の図３，７に示されたとおりの、干渉光学系が、偏光ビームスプリッタ２を備えたプリズムＰ４と直角三角形状プリズムＰ３とから成るものであった。
　そして、引用例の図１，２に記載の実施例は、光路長補正ブロックであるプリズムＰ１を設けるというのであるが、図２によれば、プリズムＰ１は、長さＬ１の直方形状の部分と、長さＬ３の直角三角形状の部分とから成り、後者の部分は、従来技術の干渉計にも備わっていたプリズムＰ３に外ならない。
　してみると、引用例の図１，２に記載の実施例において、長さＬ３の直角三角形状の部分は、温度変化による影響を受けないようにするために光路長を補正する機能はなく、プリズムＰ２に付随する光学部材と見るのが相当である。このことは、引用例の図１，２に記載の実施例によれば、各光線束間の光路長の差Ｌが、
　Ｌ＝ｎ２（Ｌ１−Ｌ２）−ｎ１・Ｌ１　　　（前記（２）（ｅ）の【数１１】）
と表され、この式の中に直角三角形状部分の長さＬ３が現れないことからも裏付けられる。
　したがって、引用発明の認定の根拠となった引用例の段落【００４５】や図５に記載の第２実施例においても、直角三角形状プリズムＰ８は、温度変化による影響を受けないようにするために光路長を補正する機能はなく、プリズムＰ１０に付随するものとしてビームスプリッタ要素を構成するものである。
　よって、補償要素である長方形状プリズムＰ９は、ビームスプリッタ要素を構成するプリズムＰ４やプリズムＰ３から一定距離に配置されていると言えるものであり、この点は、本願補正発明と引用発明との相違点とはならない。
　
（６）むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
３．本願発明について
　本件補正は前記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし１０に係る発明は、補正１及び補正２によって補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし１０に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明は次のとおりである。
「ビームスプリッタ構造群に当たる入射光線束（Ｓ）を少なくとも１つの第１射出光線束（ＳＡ１，ＳＡ２；ＳＢ１；ＳＢ２）と、第１射出光線束に平行な少なくとも１つの第２射出光線束とに分割し、その際ビームスプリッタアセンブリは、少なくとも１つのビームスプリッタ要素（１；２１；３１；４１；７１；８１）と、少なくとも１つの補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）とから成り、ビームスプリッタ要素（（１；２１；３１；４１；７１；８１）は透明板から成り、透明板は２つの平行な境界表面（１．１，１．２，２１．１，２１．２，３１．１，３１．２）を有し、１方の境界表面（１．２；２１．１；３１．１，３１．２）は、少なくとも部分的にビームスプリッタ表面（１．３，２１．３，３１．３，３１．５，３１．６，４１．３，４１．４，４１．５；７１．２；８１．２）として作用し、更に前記境界表面（１．２，２１．１，３１．１，３１．２）に対して平行な他方の境界表面（１．１；２１．２，３１．１，３１．２）は、少なくとも部分領域において、少なくとも部分反射する反射鏡表面（１．４，２１．４，３１．３，３１．５，３１．６、４１．１，４１．２，７１．１、８１．１）として作用し、補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）は、少なくとも２つの射出光線束（ＳＡ１，ＳＡ２；ＳＢ１，ＳＢ２）が互いに平行に走行するように、ビームスプリッタ要素（１；２１；３１；４１；７１；８１）に対して配置されている、ビームスプリッタ構造群において
　補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）は、その上、射出光線束（ＳＡ１，ＳＡ２；ＳＢ１，ＳＢ２）が本質的にビームスプリッタ要素（１；２１；３１；４１；７１；８１）と補償要素（ＳＡ１，ＳＡ２；ＳＢ１，ＳＢ２；４２Ａ，４２Ｂ；７２；８２）とにおいて等しい光路長を経るように寸法設定されており、補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）もまた、平面平行板の形に構成されており、補償要素の平行な境界表面（２．１，２．２；２２．１；２２．２；３２．Ａ１，３２．Ａ２，３２．Ｂ１，３２．Ｂ２）を通って、光線束が入射し射出することを特徴とする前記ビームスプリッタ構造群。」（以下、「本願発明」という。）
　
（１）引用例記載の事項・引用発明
　原査定の拒絶の理由に引用された発明・事項は、前記「２．（２）引用例記載の事項・引用発明」に記載したとおりである。
　
（２）対比・判断
　本願発明は、前記「２．（１）補正の内容」で検討した本願補正発明から「補償要素」についての限定事項である「補償要素（２；２２；３２Ａ；３２Ｂ；４２Ａ；４２Ｂ；７２；８２）がビームスプリッタ要素（１；２１；３１；４１；７１；８１）から一定距離に配設されていること」との発明特定事項を省いたものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項をすべて含み、さらに他の発明特定事項を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「２．（３）対比」、「２．（４）判断」に記載したとおり、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様の理由により、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。　
　
（３）むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、同法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項に係る発明について審理するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。