【事件の表示】
　特願２００６−１０２７６１「リソグラフィ装置及び物体テーブルを位置決めするための位置決めデバイスを利用したデバイス製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１８年１０月２６日出願公開、特開２００６−２９５１６０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１８年４月４日（優先権主張２００５年４月５日、米国）の出願であって、平成２１年８月１２日及び平成２２年３月１１日付けで手続補正がなされたが、同年６月１１日付けで上記平成２２年３月１１日付けの手続補正の補正の却下の決定がなされるとともに同日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年１０月１２日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに同日付けで手続補正がなされたものである。その後、平成２３年６月２日付けで、審判請求人に前置報告書の内容を示し意見を求めるための審尋を行ったところ、同年９月７日付けで回答書が提出された。
　さらに、平成２４年１月１６日に、当審によりファックスによる求釈明を行ったところ、同年２月７日にファックスによる回答書の提出があった。（応対記録参照）
　
第２　平成２２年１０月１２日付けの手続補正の補正の却下の決定
［補正の却下の決定の結論］
　　平成２２年１０月１２日付けの手続補正を却下する。
　
［理由］
１．補正後の請求項に記載された発明
　平成２２年１０月１２日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）により、本願の特許請求の範囲の請求項１は、特許請求の範囲の減縮を目的として、以下のように補正された。
　「物体テーブルを位置決めするための位置決めデバイスであって、
　前記物体テーブルを第１の方向に支持するフレームと、
　第１の部品及び第２の部品を備えたモータ・ユニットにして、前記第１の部品が前記第２の部品と協働して前記物体テーブルに付与される第１及び第２の力を生成し、前記第１の力が前記第１の方向に実質的に直角の第２の方向から前記物体テーブルに付与され、前記第２の力が前記第１の方向及び前記第２の方向に実質的に直角の第３の方向から前記物体テーブルに付与されるモータ・ユニットとを備え、
　前記第１の部品が、前記第１の力及び前記第２の力のそれぞれが実質的に前記物体テーブルの重心を通る方向に方向づけられるように前記物体テーブルの上に配置され、
　前記第１の部品が第１のモータのコイル・ユニットを備え、前記コイル・ユニットが前記第２の方向に互いに隣接して配置された複数のコイルを備え、前記コイルの各々が前記第３の方向に展開した２つのコイル面及び２つのエンド・ターン部品を備え、
　前記第２の部品が前記第１のモータの磁石アセンブリを備え、前記磁石アセンブリが前記第２の方向に配置された複数の永久磁石のアレイを備え、
　個々のコイルの前記２つのエンド・ターン部品のうちの実質的に一方のみが永久磁石の前記アレイの磁界中に配置されるよう、前記コイル・ユニットが永久磁石の前記アレイに対し非対称に配置され、
　前記モータ・ユニットが前記第１のモータと第２のモータとを備え、前記第１及び第２のモータが前記物体テーブル上の両側に配置されかつ前記物体テーブルの重心のそれぞれ反対側に配置され、
　前記位置決めデバイスは、前記複数のコイルに多相電流を供給する多相電源と、前記第１及び第２の力の一方を一定に維持しつつ他方を変化させるよう前記多相電流の転流角及び振幅を制御するための制御ユニットとをさらに備えた位置決めデバイス。」
　
　そこで、本願の補正後の上記請求項１に記載された発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて、以下に検討する。
　
２．引用刊行物 
　
引用文献１：特開２００４−１８７４０１号公報
　
（１）原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である、上記引用文献１には、図面とともに以下の事項が記載されている。 
（１ａ）「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マスク又は感光基板等の物体を保持した状態で直線的に又は二次元平面内で移動させるステージ部を駆動するリニアモータ装置、並びに当該リニアモータ装置を備えるステージ装置及び露光装置に関する。」
（１ｂ）「【００６０】
〔第３実施形態〕
次に、本発明の第３実施形態によるリニアモータ装置について説明する。図７は、本発明の第３実施形態によるリニアモータ装置の構成を示す図であり、一部を上面透視図としている。図７に示す本発明の第３実施形態によるリニアモータ装置５０は、第２実施形態と同様の固定子５１と可動子５２とを備える。
【００６１】
固定子５１はｙ方向に沿って交互に極性が変化するように（異なる磁極が互いに隣り合うように）配列された複数の磁石５３を有する磁石列５４を備え、可動子５２は、ｙ方向に沿って配列された複数（図６に示した例では６個）のコイル５５からなるコイル列５６を備える。尚、本実施形態においても磁石列５４によって形成される磁束密度を高めるため、磁石列５４は磁石５３の間に補助磁石を備える構成であることが望ましい。
【００６２】
上記磁石５３はネオジウム・鉄・コバルト磁石、サマリウム・コバルト磁石、又はネオジム・鉄・ボロン磁石等の希土類磁石を用いることが可能である。また、コイル列５６をなす各々のコイル５５は銅の丸線又は平角線をほぼ矩形形状に所定回数（例えば、数十〜数百回）巻回させて形成されている。尚、コイル５５の巻線の材質は銅に限られるわけではなく、アルミ線を用いても良い。
【００６３】
コイル５５のｙ方向における配列間隔（ピッチ）をｐとし、磁石５３のｙ方向における配列間隔をＰｍとすると、４Ｐｍ＝３ｐとなるように、コイル５５及び磁石５３はそれぞれ配列されている。また、コイル５５のｘ方向の長さと磁石５３のｘ方向の長さは同程度に設定されているが、コイル５５はその短辺部分５５ｂの一方がコイル列５６と重ならないように磁石５３に対してｘ方向に偏心させて配置されている。つまり、各コイル５５は長辺短辺部分５５ａと他方の短辺部分５５ｂがコイル列５６の＋ｚ方向に位置するように配置される。
【００６４】
かかる配置とするのは、各コイル５５に電流を流したときに、磁石列５４がコイル５５の長辺部分５５ａに形成する磁界によってｙ方向の推力を発生させ、磁石列５４がコイル５５の他方の短辺部分５５ｂに形成する磁界によってｘ方向の推力を発生させるためである。以上のように、本実施形態のリニアモータ装置は、第２実施形態と同様の所謂ムービングコイル型のリニアモータ装置である。
【００６５】
コイル列５６をなす６個のコイル５５には、ｙ方向に沿って順にＵ相、Ｖ相、Ｗ相の三相の電流Ｉｕ，Ｉｖ，Ｉｗが供給されるように結線されており、６個のコイル５５のうち同相の電流が供給される２つのコイル５５がそれぞれ直列接続されている。Ｕ相の電流Ｉｕ、Ｖ相の電流Ｉｖ、及びＷ相の電流Ｉｗは、第１実施形態と同様に、電流増幅部３５ａ〜３５ｃを介して所定の電流値となるように調整される。尚、コイル４７の各々は、各々を介してた電流が共通電極Ｃに流入するように結線されている。
【００６６】
電流増幅部３５ａ〜３５ｃの入力端には、電圧加算部５７〜５９がそれぞれ接続されている。電圧加算部５７は２つの入力端５７ａ，５７ｂを有し、各々の入力端５７ａ，５７ｂから入力される推力指令電圧を加算して電流増幅部３５ａへ出力する。入力端５７ａにはｙ方向に推力を発生させるためのＵ相主推力指令電圧が入力され、入力端５７ｂにはｘ方向に推力を発生させるためのＵ相副推力指令電圧が入力される。
【００６７】
電圧加算部５８は入力端５８ａから入力されるｙ方向に推力を発生させるためのＶ相主推力指令電圧と、入力端５８ｂから入力されるｘ方向に推力を発生させるためのＶ相副推力指令電圧とを加算して電流増幅部３５ｂへ出力する。同様に、電圧加算部５９は入力端５９ａから入力されるｙ方向に推力を発生させるためのＷ相主推力指令電圧と、入力端５９ｂから入力されるｘ方向に推力を発生させるためのＷ相副推力指令電圧とを加算して電流増幅部３５ｃへ出力する。
【００６８】
以上の構成のリニアモータ装置においては、電圧加算部５７〜５９の入力端５７ａ〜５９ａに入力させるＵ相主推力指令電圧、Ｖ相主推力指令電圧、及びＷ相主推力指令電圧によりｙ方向の推力発生を制御し、入力端５７ｂ〜５９ｂに入力させるＵ相副推力指令電圧、Ｖ相副推力指令電圧、及びＷ相副推力指令電圧によりｘ方向の推力発生を制御する。ここで、Ｕ相副推力指令電圧、Ｖ相副推力指令電圧、及びＷ相副推力指令電圧は、Ｕ相主推力指令電圧、Ｖ相主推力指令電圧、及びＷ相主推力指令電圧各々に対して一定の位相遅れ又は位相進みを有する電圧である。このような位相関係を有する主推力指令電圧及び副推力指令電圧を用いることで、ｙ方向に発生させる推力及びｘ方向に発生させる推力を制御することができる。」
（１ｃ）「【００７２】
次に、ステージ装置６４について詳細に説明する。図９は、ステージ装置６４の構成例を示す斜視図である。図８及び図９に示すように、ステージ装置６４は、可動部としてのウェハステージ６８、このウェハステージ６８をＸＹ平面に沿った２次元方向に移動可能に支持するウェハ定盤６９、ウェハステージ６８と一体的に設けられウェハＷを吸着保持する試料台７０、これらウェハステージ６８及び試料台７０を相対移動自在に支持するＸガイドバー７１を主体に構成されている。ウェハステージ６８の底面には、非接触ベアリングである不図示の複数のエアベアリング（エアパッド）が固定されており、これらのエアベアリングによってウェハステージ６８がウェハ定盤６９上に、例えば数ミクロン程度のクリアランスを介して浮上支持されている。
【００７３】
ウェハ定盤６９は、例えば不図示のベースプレートの上方に防振ユニットを介してほぼ水平に支持されている。ここで、防振ユニットは、例えばウェハ定盤６９の各コーナーに配置され、内圧が調整可能なエアマウントとボイスコイルモータとがベースプレート上に並列に配置された構成になっている。これらの防振ユニットによって、ベースプレートを介してウェハ定盤６９に伝わる微振動がマイクロＧレベルで絶縁されるようになっている。
【００７４】
また、図９に示すように、Ｘガイドバー７１は、Ｘ方向に沿った長尺形状を呈しており、その長さ方向の両端には電機子ユニットからなる可動子６５ａ及び可動子６６ａがそれぞれ設けられている。これらの可動子６５ａ，６６ａにそれぞれ対応する磁石ユニットを有する固定子６５ｂ，６６ｂは、ベースプレートに突設された支持部に設けられている。
【００７５】
上記の可動子６５ａ及び固定子６５ｂによってリニアモータ装置６５が構成され、可動子６６ａ及び固定子６６ｂによってリニアモータ装置６６が構成されている。これらのリニアモータ装置６５，６６は図１〜図３に示す本発明の第１実施形態によるリニアモータ装置１０である。リニアモータ装置６５，６６は、可動子６５ａが固定子６５ｂとの間の電磁気的相互作用により駆動され、なおかつ可動子６６ａが固定子６６ｂとの間の電磁気的相互作用により駆動されることでＸガイドバー７１がＹ方向に移動し、リニアモータ装置６５とリニアモータ装置６６との駆動量を調整することで、ウェハステージ６はＸ軸及びＹ軸に直交するＺ軸周りに回転する。即ち、リニアモータ装置６５，６６によってＸガイドバー７１とほぼ一体的にウェハステージ６８（及び試料台７０）がＹ方向及びＺ軸周りに駆動されるようになっている。」
（１ｄ）「【０１１２】
また、本発明に係るリニアモータ装置は、ウェハステージのみならずレチクルステージにも適用することができる。この場合、レチクルの走査方向（ｙ方向）駆動用の長ストロークのリニアモータ装置と、走査方向と直交する方向（ｘ方向）駆動用の短ストロークのリニアモータ装置とをそれぞれ個別に設ける必要はなく、装置構成を簡略化することができ、コストを低減することができる。更に、本発明に係るリニアモータ装置は露光装置以外にも物体を載置した状態で移動させる（１次元的な移動又は２次元的な移動に制限されない）ステージ装置一般について適用することが可能である。」
（１ｅ）「【図７】
」
（１ｆ）「【図９】
」
（１ｇ）図９からは、リニアモータ装置６５と６６が、ステージ６８のｘ方向の両側に配置されているようすが見て取れる。
　
　これらの記載事項及び図面を含む引用文献１全体の記載並びに当業者の技術常識を総合すれば、引用文献１には、以下の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。
　「マスク等の物体を保持した状態で二次元平面内で移動させるステージ部を駆動するリニアモータ装置を備え、
　レチクルの走査方向（ｙ方向）駆動用の長ストロークのリニアモータ装置と、走査方向と直交する方向（ｘ方向）駆動用の短ストロークのリニアモータ装置とをそれぞれ個別に設ける必要のないレクチルステージ装置であって、
　可動部としてのレクチルステージ（６８）と、このレクチルテージをＸＹ平面に沿った２次元方向に移動可能に支持するウェハ定盤（６９）を備え、
　第１の可動子（６５ａ）及び第１の固定子（６５ｂ）によって第１のリニアモータ装置（６５）が構成され、第２の可動子（６６ａ）及び第２の固定子（６６ｂ）によって第２のリニアモータ装置６６が構成されており、
　両リニアモータ装置がレクチルステージのｘ方向の両側に配置され、
　両リニアモータ装置の固定子はｙ方向に沿って交互に極性が変化するように（異なる磁極が互いに隣り合うように）配列された複数の磁石（５３）を有する磁石列（５４）を備え、可動子は、ｙ方向に沿って配列された複数のコイル（５５）からなるコイル列（５６）を備え、
　コイルはその短辺部分（５５ｂ）の一方がコイル列と重ならないように磁石に対してｘ方向に偏心させて配置されており、
　各コイルに電流を流したときに、磁石列がコイルの長辺部分（５５ａ）に形成する磁界によってｙ方向の推力を発生させ、磁石列がコイルの他方の短辺部分に形成する磁界によってｘ方向の推力を発生させ、
　コイル列をなす複数個のコイルには、ｙ方向に沿って順にＵ相、Ｖ相、Ｗ相の三相の電流Ｉｕ，Ｉｖ，Ｉｗが供給されるように結線されており、複数個のコイルのうち同相の電流が供給されるコイルがそれぞれ直列接続されており、
　電圧加算部（５７〜５９）を有し、電圧加算部の一方の入力端（５７ａ〜５９ａ）に入力させるＵ相主推力指令電圧、Ｖ相主推力指令電圧、及びＷ相主推力指令電圧によりｙ方向の推力発生を制御し、他方の入力端（５７ｂ〜５９ｂ）に入力させるＵ相副推力指令電圧、Ｖ相副推力指令電圧、及びＷ相副推力指令電圧によりｘ方向の推力発生を制御する（ここで、Ｕ相副推力指令電圧、Ｖ相副推力指令電圧、及びＷ相副推力指令電圧は、Ｕ相主推力指令電圧、Ｖ相主推力指令電圧、及びＷ相主推力指令電圧各々に対して一定の位相遅れ又は位相進みを有する電圧である。）よう構成されており、
　このような位相関係を有する主推力指令電圧及び副推力指令電圧を用いることで、ｙ方向に発生させる推力及びｘ方向に発生させる推力を制御することができる
レクチルステージ装置。」
　
３．対比 
　補正発明と引用発明を対比する。
（あ）上記「ファックスによる回答書」の釈明内容からして、引用発明の「ｙ方向」及び「ｘ方向」は、それぞれ、補正発明の「第２の方向」及び「第３の方向」に相当する。同様に、「ｙ方向の推力」及び「ｘ方向の推力」は、それぞれ、補正発明の「第１の力」及び「第２の力」に相当する。
（い）引用発明の「レクチルステージ」は補正発明の「物体テーブル」に相当し、引用発明の「レクチルステージ装置」がレクチルステージを位置決めする装置であることは明らかであるから、これは補正発明の「位置決めデバイス」に相当する。
（う）上記「ファックスによる回答書」の釈明内容によると、補正発明において「フレーム」が「物体テーブルを第１の方向に支持する」とは、「フレーム」が「物体テーブルを第２の方向及び第３の方向に移動可能であるように、第２の方向及び第３の方向に実質的に直角な第１の方向に支持する」ことであるから、引用発明の「レクチルテージをＸＹ平面に沿った２次元方向に移動可能に支持するウェハ定盤」が補正発明の「物体テーブルを第１の方向に支持するフレーム」に相当する。
（え）引用発明の「磁石列」及び「コイル列」は、それぞれ、補正発明の「磁石アセンブリ」及び「コイル・ユニット」に相当する。また、コイルの「短辺部分」及び「長辺部分」は、それぞれ、「エンド・ターン部品」及び「コイル面」に相当する。そして、引用発明の「コイルはその短辺部分の一方がコイル列と重ならないように磁石に対してｘ方向に偏心させて配置されて」いる構成は、補正発明の「個々のコイルの前記２つのエンド・ターン部品のうちの実質的に一方のみが永久磁石の前記アレイの磁界中に配置されるよう、前記コイル・ユニットが永久磁石の前記アレイに対し非対称に配置され」ている構成に相当する。
　したがって、引用発明の「第１のリニアモータ装置」、「第２のリニアモータ装置」及び「両リニアモータ装置」は、それぞれ、補正発明の「第１のモータ」、「第２のモータ」及び「モータ・ユニット」に相当する。同様に「両リニアモータ装置がレクチルステージのｘ方向の両側に配置され」ることは「モータ・ユニットが前記第１のモータと第２のモータとを備え、前記第１及び第２のモータが前記物体テーブル上の両側に配置され」ることに相当する。
　これらのことから、引用発明は「第１の部品及び第２の部品を備えたモータ・ユニットにして、前記第１の部品が前記第２の部品と協働して前記物体テーブルに付与される第１及び第２の力を生成し、前記第１の力が前記第１の方向に実質的に直角の第２の方向から前記物体テーブルに付与され、前記第２の力が前記第１の方向及び前記第２の方向に実質的に直角の第３の方向から前記物体テーブルに付与されるモータ・ユニットとを備え」ている。
（お）引用発明において「三相の電流Ｉｕ，Ｉｖ，Ｉｗが供給される」ことは補正発明において「多相電流を供給する」ことに相当する。また、引用発明が「電圧加算部の一方の入力端に入力させるＵ相主推力指令電圧、Ｖ相主推力指令電圧、及びＷ相主推力指令電圧によりｙ方向の推力発生を制御し、他方の入力端に入力させるＵ相副推力指令電圧、Ｖ相副推力指令電圧、及びＷ相副推力指令電圧によりｘ方向の推力発生を制御する（ここで、Ｕ相副推力指令電圧、Ｖ相副推力指令電圧、及びＷ相副推力指令電圧は、Ｕ相主推力指令電圧、Ｖ相主推力指令電圧、及びＷ相主推力指令電圧各々に対して一定の位相遅れ又は位相進みを有する電圧である。）よう構成されて」いることから「多相電流の転流角及び振幅を制御するための制御ユニット」を備えていることは明らかである。
　
　してみると両者は、 
　「物体テーブルを位置決めするための位置決めデバイスであって、
　前記物体テーブルを第１の方向に支持するフレームと、
　第１の部品及び第２の部品を備えたモータ・ユニットにして、前記第１の部品が前記第２の部品と協働して前記物体テーブルに付与される第１及び第２の力を生成し、前記第１の力が前記第１の方向に実質的に直角の第２の方向から前記物体テーブルに付与され、前記第２の力が前記第１の方向及び前記第２の方向に実質的に直角の第３の方向から前記物体テーブルに付与されるモータ・ユニットとを備え、
　前記第１の部品が第１のモータのコイル・ユニットを備え、前記コイル・ユニットが前記第２の方向に互いに隣接して配置された複数のコイルを備え、前記コイルの各々が前記第３の方向に展開した２つのコイル面及び２つのエンド・ターン部品を備え、
　前記第２の部品が前記第１のモータの磁石アセンブリを備え、前記磁石アセンブリが前記第２の方向に配置された複数の永久磁石のアレイを備え、
　個々のコイルの前記２つのエンド・ターン部品のうちの実質的に一方のみが永久磁石の前記アレイの磁界中に配置されるよう、前記コイル・ユニットが永久磁石の前記アレイに対し非対称に配置され、
　前記モータ・ユニットが前記第１のモータと第２のモータとを備え、前記第１及び第２のモータが前記物体テーブル上の両側に配置され、
　前記位置決めデバイスは、前記複数のコイルに多相電流を供給する多相電源と、前記多相電流の転流角及び振幅を制御するための制御ユニットとをさらに備えた位置決めデバイス。」
の点で一致し、次の各点で相違している。
　
（相違点１）
　補正発明では「第１の部品が、第１の力及び第２の力のそれぞれが実質的に前記物体テーブルの重心を通る方向に方向づけられるように物体テーブルの上に配置され」、「第１及び第２のモータが物体テーブルの重心のそれぞれ反対側に配置され」ているのに対して、引用発明は、そのような構成を有していない点。
（相違点２）
　補正発明では「第１及び第２の力の一方を一定に維持しつつ他方を変化させるよう前記多相電流の転流角及び振幅を制御する」のに対して、引用発明は、その具体的な制御のしかたが不明である点。
　
４．判断 
　上記各相違点について検討する。
　
（相違点１について）
　二次元平面内でそれぞれ直角な２方向に物体を移動させる装置において、モーメントの発生を抑えるために、それぞれの力が物体の重心を通るように構成することは、ごく普通に行われている周知技術（特開２００１−３５１８５６号公報、段落【００２８】参照）である。
　引用発明に当該周知技術を適用する点に格別の技術的困難性も、阻害要因もない。してみると、引用発明に上記相違点１に係る構成を採用することは、当業者が容易になし得る事項である。
（相違点２について）
　引用発明において、ｙ方向の位置とｘ方向の位置を独立して制御する必要があることは明らかであるから「ｙ方向の推力」と「ｘ方向の推力」を独立に制御している。
　そして、引用発明においても、そのどちらかの位置を一定に保ちながら他方の位置を移動させることは、レクチルステージ装置として当然考慮すべき事項であり、そのために「一方の力を一定に維持しつつ他方を変化させるよう多相電流の転流角及び振幅を制御する」ことは、用いているリニアモータ装置の駆動原理に鑑みて、当業者が容易になし得る事項である。
　そして、補正発明全体の効果も、引用発明及び周知技術から当業者が予測し得る範囲のものであって格別なものではない。
　
　したがって、補正発明は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
５．小括 
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項の規定において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 
　よって、上記［補正の却下の決定の結論］のとおり、決定する。
 　
第３　本願発明について 
　平成２２年１０月１２日付けの手続補正は上記のとおり却下され、平成２２年３月１１日付けの手続補正は同年６月１１日付けで補正の却下の決定がなされているので、本願の特許請求の範囲の請求項１に係る発明は、平成２１年８月１２日付けの手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
「物体テーブルを位置決めするための位置決めデバイスであって、
　前記物体テーブルを第１の方向に支持するフレームと、
　第１の部品及び第２の部品を備えたモータ・ユニットにして、前記第１の部品が前記第２の部品と協働して前記物体テーブルに付与される第１及び第２の力を生成し、前記第１の力が前記第１の方向に実質的に直角の第２の方向から前記物体テーブルに付与され、前記第２の力が前記第１の方向及び前記第２の方向に実質的に直角の第３の方向から前記物体テーブルに付与されるモータ・ユニットとを備え、
　前記第１の部品が、前記第１の力及び前記第２の力のそれぞれが実質的に前記物体テーブルの重心を通る方向に方向づけられるように前記物体テーブルの上に配置され、
　前記第１の部品が第１のモータのコイル・ユニットを備え、前記コイル・ユニットが前記第２の方向に互いに隣接して配置された複数のコイルを備え、前記コイルの各々が前記第３の方向に展開した２つのコイル面及び２つのエンド・ターン部品を備え、
　前記第２の部品が前記第１のモータの磁石アセンブリを備え、前記磁石アセンブリが前記第２の方向に配置された複数の永久磁石のアレイを備え、
　個々のコイルの前記２つのエンド・ターン部品のうちの実質的に一方のみが永久磁石の前記アレイの磁界中に配置されるよう、前記コイル・ユニットが永久磁石の前記アレイに対し非対称に配置された位置決めデバイス。」（以下「本願発明」という。）
　
１．引用刊行物
　原査定に引用された刊行物及びその記載内容は、前記「第２」の「２．」に記載したとおりである。
　
２．対比・判断
　本願発明は、前記「第２」で検討した補正発明から「前記モータ・ユニットが前記第１のモータと第２のモータとを備え、前記第１及び第２のモータが前記物体テーブル上の両側に配置されかつ前記物体テーブルの重心のそれぞれ反対側に配置され、前記位置決めデバイスは、前記複数のコイルに多相電流を供給する多相電源と、前記第１及び第２の力の一方を一定に維持しつつ他方を変化させるよう前記多相電流の転流角及び振幅を制御するための制御ユニットとをさらに備えた」という事項を省くことにより拡張したものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項をすべて含み、更に限定したものに相当する補正発明が、前記「第２」の「４．」に記載したとおり、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第４　むすび 
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は、拒絶されるべきものである。 
　よって、結論のとおり審決する。