【手続補正書】
【提出日】平成17年8月23日(2005.8.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも前壁と一対の相対する間隔をおかれた側壁とであって相対する間隔をおかれた第１の前縁及び第２の前縁を形成するように前記前壁が各側壁と会合する前壁と一対の相対する側壁とを有するマイクロ電子チップをチップ保持空洞内に支持し、光学検査のための前記チップの位置を決めるための装置であって、
チップを保持するための少なくとも第１のチップ保持空洞を有するマイクロチップ支持構造を含み、
前記空洞は、前記チップの少なくとも１つの側壁と並列に隣接するように形成された空洞側壁を有し、
前記空洞側壁は、これに形成された、影を生じさせるための窪みであって前記影と前記チップとの間に検出可能の境界を形成するように前記影が前記チップの第１の前縁の影に関してグレー度において測定可能のコントラストを有する、装置。
【請求項２】
前記チップの第１の前縁は、前記影と真っ直ぐな境界を形成する、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記チップの第１の前縁は、前記影と垂直な境界を形成する、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
さらに、前記空洞内に前記チップを一時的に保持するための真空保持手段を含み、前記真空保持手段は、真空源と、前記空洞内における前記チップの保持の助けとなるように前記チップに対して真空を与えるための前記真空源から前記空洞に至る真空伝達通路とを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記影のグレー度は、前記チップの前部のグレー度と、産業上のグレー度スケールの２５５ユニットにおいて１から１５グレー・ユニットまで異なる、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記影のグレー度は、前記チップの前部のグレー度と、産業上のグレー度スケールの２５５ユニットにおいて少なくとも１６グレー・ユニットまで異なる、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記窪みは、円形である、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記窪みは、長円形である、請求項１に記載の装置。
【請求項９】
前記窪みは、水平なスロットである、請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
前記空洞は、空洞後壁により境を限られている、請求項１に記載の装置。
【請求項１１】
前記窪みは、ここに前記チップの第２の前縁によって浸食される第２の影を形成するように前記空洞側壁と前記空洞後壁とに沿って伸び、前記空洞後壁の窪みに形成された前記第２の影は該第２の影と前記チップとの間に測定可能であるグレー度におけるコントラストを形成する、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
少なくとも前壁と一対の相対する間隔をおかれた側壁とであって相対する間隔をおかれた第１の前縁及び第２の前縁を形成するように前記前壁が各側壁と会合する、前壁と一対の側壁とを有するマイクロ電子チップをチップ保持空洞内に支持し、光学検査のための前記チップの位置を決めるための装置であって、
チップを保持するための少なくとも第１のチップ保持空洞を有するマイクロチップ支持構造を含み、
前記空洞は、前記チップの両側壁の少なくとも１つの一部と並列に隣接するように形成された空洞側壁であって前記空洞から離れて伸びかつ前記チップの側壁と第１の前縁とに近接して位置決められた窪みを形成する第１の壁に部分的に形成されている空洞側壁を有し、
前記空洞側壁と前記第１の壁とはここに形成された、影を生じさせるための窪みであって前記影と前記チップとの間に検出可能の境界を形成するように前記影が前記チップの第１の前縁の影に関してグレー度において測定可能のコントラストを有する、装置。
【請求項１３】
前記チップの第１の前縁は、前記影と真っ直ぐな境界を形成する、請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記チップの第１の縁は、前記影と垂直で真っ直ぐな境界を形成する、請求項１２に記載の装置。
【請求項１５】
さらに、前記空洞内に前記チップを一時的に保持するための真空保持手段を含み、前記真空保持手段は、真空源と、前記空洞内における前記チップの保持の助けとなるように前記チップに対して真空を与えるための前記真空源から前記空洞に至る真空伝達通路とを含む、請求項１２に記載の装置。
【請求項１６】
前記影のグレー度は、前記チップの前部のグレー度と、産業上のグレー度スケールの２５５ユニットにおいて１から１５グレー・ユニットまで異なる、請求項１２に記載の装置。
【請求項１７】
前記影のグレー度は、前記チップの前部のグレー度と、産業上のグレー度スケールの２５５ユニットにおいて少なくとも１６グレー・ユニットまで異なる、請求項１２に記載の装置。
【請求項１８】
前記窪みは円形である、請求項１２に記載の装置。
【請求項１９】
前記窪みは長円形である、請求項１２に記載の装置。
【請求項２０】
前記窪みは水平なスロットからなる、請求項１２に記載の装置。
【請求項２１】
前記空洞は、空洞後壁により境を限られている、請求項１２に記載の装置。
【請求項２２】
前記窪みは、ここに前記チップの第２の前縁によって浸食される第２の影を形成するように前記空洞側壁と前記空洞後壁とに沿って伸び、前記空洞後壁の窪みに形成された第２の影は該第２の影と前記チップとの間に測定可能であるグレー度におけるコントラストを形成する、請求項１２に記載の装置。
【請求項２３】
高い表面光沢値を有するチップ操作装置の、空洞側壁を有する空洞内で、光学検査のために、高い表面光沢値を有しまた前縁を形成するチップ前壁及び隣接するチップ側壁を有するマイクロ電子チップの位置を決めるための方法であって、
前記チップ側壁が、前記チップ前壁の影に関してグレー度において測定可能のコントラストを有する影を生じさせるための窪みを有する前記空洞側壁に近接するように、前記空洞内に前記チップを受け入れること、及び
前記チップの前縁の位置を決定するために前記影と前記チップ前壁との間の前記グレー度のコントラストを用いることを含む、方法。
【請求項２４】
前記チップの前縁は前記窪みと真っ直ぐな境界を形成し、また光学検査のための基準を与える、請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
さらに、前記空洞内に前記チップを保持するために真空を提供することを含む、請求項２３に記載の方法。
【請求項２６】
前記影と前記チップ前壁との間のグレー度のコントラストは、産業上の２５５ユニットグレー度スケール上の少なくとも１６グレーユニットまで異なる、請求項２３に記載の方法。
【請求項２７】
前記窪みは円形、長円形又はスロット状の形状を有する、請求項２３に記載の方法。
【請求項２８】
前記空洞は、前記空洞側壁と第２の空洞側壁とに隣接する空洞後壁を含み、前記空洞後壁は、第２のチップ側壁、チップ後壁又はチップ前壁のグレー度と適度に異なるグレー度を有する第２の影を形成する他の窪みを含む、請求項２３に記載の方法。
【請求項２９】
前記チップが前記空洞内に保持されている間に目視可能の傷について前記チップを検査することを含む、請求項２３に記載の方法。
【請求項３０】
前記窪みは、光学検査を受ける前記チップの領域の周りの鏡面性を低減する、請求項２３に記載の方法。
【請求項３１】
前記窪みは、前記チップ操作装置は、アルミニウム、ステンレス鋼、チタン又は他の金属材料で形成された空洞を取り巻く表面を含む、請求項２９に記載の方法。
【請求項３２】
前記空洞を取り巻く表面が、アルミニウム、ステンレス鋼、チタン又は他の金属材料を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項３３】
前記空洞はチップ操作輪内に形成されている、請求項１に記載の装置。
【請求項３４】
前記チップ操作輪はリムを有し、また前記空洞は前記リム内に形成されている、請求項３３に記載の装置。
【請求項３５】
前記空洞は実質的に前記チップより大きい、請求項１に記載の装置。
【請求項３６】
前記装置は、前記空洞内のチップの位置の決定のために一度に１つのチップを表すように適合される、請求項１に記載の装置。
【請求項３７】
前記空洞側壁は、前記空洞から伸びまた前記側壁及び前記チップの第１の前縁に近接して配置された窪みを形成する第１の壁に部分的に形成されている、請求項１に記載の装置。
【請求項３８】
十分な光を与えること、及びカメラを使用することを含む、前記チップの前縁の位置を決定するために前記影と前記チップの前壁との間のグレーのコントラストを用いる請求項２３に記載の方法。
【請求項３９】
前記空洞はチップ操作輪内に形成されている、請求項２３に記載の方法。
【請求項４０】
前記チップ操作輪はリムを有し、また前記空洞は前記リム内に形成されている、請求項３９に記載の方法。
【請求項４１】
前記空洞は実質的に前記チップより大きい、請求項２３に記載の方法。
【請求項４２】
前記装置は、前記空洞内のチップの位置の決定のために一度に１つのチップを表すように適合される、請求項２３に記載の方法。
【請求項４３】
前記チップ操作装置は第１及び第２のチップをそれぞれ保持するための少なくとも第１及び第２のチップ保持空洞を有する前記マイクロチップ支持構造を含み、
前記第１及び第２のチップ保持空洞のそれぞれは前記第１及び第２のチップのそれぞれの側壁の少なくとも１つと並列に隣接するように形成された空洞側壁を有し、各空洞側壁は、前記第１及び第２のチップのそれぞれの第１の前縁のグレー度とのグレー度における測定可能のコントラストを有する影を形成し、前記影と前記第１及び第２のチップのそれぞれとの間の検出可能の境界を形成するように適合されたその内部に意図的に形成された窪みを有し、また前記第１のチップ保持空洞の空洞側壁内の窪みは、実質的に、前記第２のチップ保持空洞の空洞側壁内の窪みと同一である、請求項２３に記載の方法。
【請求項４４】
前記空洞側壁は、前記空洞から伸びまた前記側壁及び前記チップの第１の前縁に近接して配置された窪みを形成する第１の壁に部分的に形成されている、請求項２３に記載の方法。