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　特願２００３−５８１３３５「真空中の平面パネル取扱い装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年１０月　９日国際公開、ＷＯ０３／８４０４３、平成１７年　７月１４日国内公表、特表２００５−５２１２６８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本件出願は、２００３年２月２１日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２００２年３月２２日、アメリカ合衆国）を国際出願日とする出願であって、平成１９年１２月１８日付けで拒絶の理由が通知され、同２０年６月２４日に意見書及び誤訳訂正書が提出され、その後、同２０年７月１１日付けで再度、拒絶の理由が通知され、同２１年１月２２日に意見書及び手続補正書が提出されたところ、同２１年３月３０日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、これに対し、同２１年８月７日に本件審判の請求がされ、同時に手続補正書が提出されたものである。
　その後、当審において、平成２２年１１月９日付けで拒絶の理由が通知され、これに対し、同２３年５月１６日に意見書及び手続補正書が提出された。
　本件出願の請求項１ないし１５に係る発明は、平成２０年６月２４日付け誤訳訂正書及び平成２３年５月１６日付け手続補正書により訂正及び補正された明細書及び出願当初の図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし１５に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明は、特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。（以下、「本願発明」という。）
「【請求項１】
　真空チャンバ内で基板を搬送する直線運動アセンブリであって、
　前記真空チャンバ内に設けられたリニアベアリングと、
　前記リニアベアリング上に直線運動可能に設けられて、基板搬送のために基板に係合しこれを支持する少なくとも１つのエンドエフェクタと、
　前記リニアベアリングの側部に設けられて、前記リニアベアリングの両端間範囲内で前記リニアベアリングの前記側部から側方向外方に延出し、前記リニアベアリングを支持し、前記真空チャンバから隔離された第１の圧力チャンバを囲むハウジングと、
　前記ハウジング内から前記ハウジング外の前記エンドエフェクタにかけて設けられ、少なくとも１つの前記エンドエフェクタに接続されて前記エンドエフェクタの動きを引き起こし、運動用シールによって囲まれたシャフトを介して前記エンドエフェクタに接続されて前記第１の圧力チャンバを前記真空チャンバから隔離された状態に維持する駆動システムと、
　を含み、
　前記第１の圧力チャンバは、第２の圧力チャンバに接続されて前記第１の圧力チャンバの大気圧を維持することを特徴とする直線運動アセンブリ。」
　
２　引用刊行物記載の発明 
　当審における平成２２年１１月９日付けの拒絶の理由に引用された、本願の優先権主張の日前である平成６年７月６日に頒布された刊行物である「実公平６−２５９６１号公報」（以下、「引用刊行物１」という。）、及び、上記拒絶理由に「リニアベアリングの周知技術」として引用された、本願の優先権主張の日前である平成４年６月１８日に頒布された刊行物である「特開平４−１７１７４１号公報」（以下、「引用刊行物２」という。）には、次の事項が記載されている。
（１）引用刊行物１
ア　第２欄第７行〜第１０行
「〔産業上の利用分野〕
この考案は、例えばイオン注入装置等に用いられるものであって、直進および旋回のいわゆる２自由度を有するウエハ搬送装置に関する。」
イ　第４欄第２９行〜第５欄第３行
「第１図は、この考案の一実施例に係るウエハ搬送装置を示す断面図である。第２図の例と同一または相当する部分には同一符号を付し、以下においては従来例との相違点を主に説明する。
　この実施例においては、前述した主軸６に相当する主軸６ａを中空にし、これを前述したような軸受部４を通して真空容器２を貫通させている。
　図示例の軸受部４は、軸受４０１および主軸６ａとの間を真空シールする真空シール部４０２を有し、この真空シール部４０２は例えばＯリングあるいは磁性流体シールユニットから成る。
　そして、この中空の主軸６ａと前述した旋回台１６間に、穴４６１で主軸６ａ内に通じるように、かつ旋回台１６で蓋をするように、モータ収納箱４６を設けると共にそれぞれの接続部間に例えばＯリングから成る真空シール部５６、５７を設けてそこを真空シールしている。従って、モータ収納箱４６は真空容器２内にあるけれども、その内部は主軸６ａ内を通して大気圧側に通じている。
　そしてこのモータ収納箱４６内に、前述したような第２のモータ２６を収納すると共に、それにつながる回転軸４８を、例えばＯリングあるいは磁性流体シールユニットから成る真空シール部５８を通して箱外に出し、タイミングベルト５０およびホイール５２、５４を介して前述したボールねじ２４と連結している。」
ウ　第５欄第１４行〜第１９行
「上記構成によれば、従来例と同様に、モータ８によって旋回台１６ひいてはそれに支持されたウエハ支持板２０を正逆両方向に旋回させることができ、モータ２６によって移動台２２ひいてはそれに取り付けられたウエハ支持板２０を前後に直進させることができ、それによってウエハ１８の所望の搬送を行うことができる。」
エ　第３欄第５行〜第２２行
「主軸６の真空容器２内側端部には旋回台１６が取り付けられており、それに、移動台２２と螺合してそれを前後に直進させる直進機構を構成するボールねじ２４が回転自在に取り付けられている。そしてこの移動台２２に、ウエハ１８を支持する例えばフォーク状をしたウエハ支持板２０が取り付けられている。
　一方、真空容器２外に第２のモータ（例えばサーボモータ）２６が取り付けられており、その正逆両方向の回転運動は、主軸６内を真空シールされた状態で貫通する回転軸２８、１組の傘歯車３０、旋回台１６に回転自在に支持された回転軸３２および１組の平歯車３４を介してボールねじ２４に伝達される。
　上記構成によれば、モータ８によって旋回台１６ひいてはそれに支持されたウエハ支持板２０を正逆両方向に旋回させることができ、モータ２６によって移動台２２ひいてはそれに取り付けられたウエハ支持板２０を前後に直進させることができ、それによってウエハ１８の所望の搬送を行うことができる。」
オ　ここで、図面の第１図を参照すると、モータ収納箱４６は、旋回台１６の下部に設けられているのが見て取れる。そして、摘記事項イにおける「中空の主軸６ａと前述した旋回台１６間に、穴４６１で主軸６ａ内に通じるように、かつ旋回台１６で蓋をするように、モータ収納箱４６を設ける」の記載から、モータ収納箱４６内は、真空容器２とは隔離されモータ収納箱４６によって囲まれたモータ収納チャンバとなっていることが理解できる。さらに、摘記事項イにおける「モータ収納箱４６は真空容器２内にあるけれども、その内部は主軸６ａ内を通して大気圧側に通じている」の記載から、モータ収納室４６内のモータ収納チャンバは、モータ８のある大気圧側に接続されていることが理解できる。
　また、図面の第１図を参照すると、モータ２６の回転軸４８はモータ収納箱４６内からモータ収納箱４６外にかけて設けられ、モータ収納箱４６外の回転軸４８の先端にはホイール５２が取り付けられ、該ホイール５２の回転により、タイミングベルト５０、ホイール５４、ボールねじ２４を介して移動台２２やウエハ支持板２０をボールねじ２４の伸びる方向に直線運動させるものであることが理解できる。
　さらに、摘記事項イにおける「回転軸４８を、例えばＯリングあるいは磁性流体シールユニットから成る真空シール部５８を通して箱外に出し」の記載から、回転軸４８がモータ収納箱４６を貫通する部分には、Ｏリングからなる真空シール部５８が設けられ、その結果、回転軸４８はＯリングによって囲まれているものであって、これにより、回転軸４８がモータ収納箱４６を貫通しても、モータ収納箱４６内のモータ収納チャンバは真空容器２とは隔離された状態に維持されるものであることが理解できる。
　以上、アないしエの記載事項、及びオの認定事項を、本願発明にしたがって整理すると、引用刊行物１には、
「真空容器２内で直進機構を構成するボールねじ２４、移動台２２、ウエハ支持板２０によりウエハ１８を搬送する旋回台１６及びモータ収納箱４６を有するウエハ搬送装置であって、
　ウエハ１８の搬送のためにウエハ１８を支持するウエハ支持板２０と、
　旋回台１６の下部に設けられて、旋回台１６で蓋をするように設けられ、真空容器２から隔離されたモータ収納チャンバを囲むモータ収納箱４６と、
　モータ収納箱４６内からモータ収納箱４６外にかけて設けられ、その回転によりウエハ支持板２０を直線運動させ、真空シール部５８を構成するＯリングによって囲まれた回転軸４８を介してモータ２６の回転がウエハ支持板２０に伝えられ、モータ収納箱４６内のモータ収納チャンバを真空容器２からから隔離された状態に維持するものであり、
　モータ収納箱４６内のモータ収納チャンバはモータ８のある大気圧側に接続されている、ウエハ支持板２０を直線運動させるウエハ搬送装置。」の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
（２）引用刊行物２
カ　第１ページ左下欄末行〜右下欄第４行
「＜産業上の利用分野＞
　本発明は、シリコンウェハー、ＬＣＤの表面ガラス、ＩＣのフォトマスク等の電子部品を収納カセットから各種処理装置や測定器等に搬入或は搬出する電子部品の自動搬送装置に関する。」
キ　第２ページ右下欄第１４行〜第３ページ左上欄第１２行
「１は箱形のケース内に旋回柱２の旋回機構と昇降機構を内蔵した本体である。本体１内には、昇降板３が複数のガイド軸４に支持されて昇降可能に配設され、昇降板３上の中央に旋回柱２がその軸を中心に回転可能に立設して支持される。本体１内にボールねじのスクリューシャフト５が回転可能に立設され、昇降板３の一部にめねじ孔が設けられ、そのめねじ孔にスクリューシャフト５が多数の鋼球を介して螺合する。スクリューシャフト５は底部に設けた昇降モータ６にベルト、プーリ、又は歯車を介して連係される。
　したがって、昇降モータ６によってスクリューシャフト５が回転駆動され、これにより、昇降板３つまり旋回柱２がその先端を本体１から上方へ突出させて上昇又は下降する。昇降板３の下側に旋回モータ７が取付けられ、そのモータの軸がベルト又は歯車を介して旋回柱２の軸に連係され、旋回モータ７によって旋回柱２は軸を中心に回転する。」
ク　第３ページ左上欄第１３行〜右上欄第１２行
「本体１の上部から突出した旋回柱２の上には、水平移動部ｌ０が水平に固定される。
　第３図〜第５図の断面図に示すように、水平移動部１０内には、角柱状の２本のレール１１、１２（所謂リニアウエーのレール）が長手方向に並行に取付けられる。一方のレール１１には第一キャリッジ１３が鋼球を介して走行自在に係合され、他方のレール第二キャリッジ１４が鋼球を介して走行自在に係合される。
　水平移動部１０内の一側には、第一キャリッジ１３の駆動用に、プーリ１５、１５が両端の壁部に軸支され、中央に駆動プーリ１６が軸支される。両端のプーリ１５、１５間に合成樹脂で被覆したワイヤ１７がかけ渡され、駆動プーリ１６にはワイヤ１７の両端が固定され複数回巻き付けられ、ワイヤ１７の一部が第一キャリッジ１３のフック部に連結される。水平移動部１０の側部に第一キャリッジ１３を移動させる移動モータ１８が固定され、その軸が内部に入り駆動プーリ１６に連結される。」
ケ　第３ページ左下欄第４行〜第１５行
「第３図に示すように、水平移動部１０の上部に長手方向に沿った開口部が形成され、その開口部から上方へ突出するように、第一キャリッジ１３の上部にハンド取付部２３が固定され、・・・
・・・第一キャリッジ１３のハンド取付部２３の先端に、吸着ハンド２５が走行方向に向けて水平に固定され、」
コ　第３ページ右下欄第１８行〜第４ページ左下欄第１行
「この自動搬送装置は、第６図に示すように、処理装置３０の前に設置され、反対側には多段状の棚を持つシリコンウエハーのカセット３１が設置される。
　カセット３１内のシリコンウエハー３２を取り出す場合、自動搬送装置は、昇降モータ６を駆動して水平移動部１０を上昇させ、例えば下段の吸着ハンド２５を取り出そうとするシリコンウェハーの位置まで上げ、さらに、旋回モータ７を駆動して水平移動部１０を旋回させ、吸着ハンド２５をカセット３１の方向に向ける。
　そして、移動モータ１８を駆動して第一キャリッジ１３を走行させ、吸着ハンド２５をカセット３１内のシリコンウェハーの真下に挿入する。吸着ハンド２５の吸着作用を行いながら、昇降モータ６を作動させて水平移動部１０つまり吸着ハンド２５を少し上げて、吸着ハンド２５上にシリコンウェハー３２を吸着させる。
　次に、移動モータ１８を逆方向に駆動して第一キャリッジ１３を後退させ、吸着ハンド２５とシリコンウエハー３２をカセット３１内から出し、旋回モータ６を駆動して水平移動部１０つまり吸着ハンド２５を旋回させ、処理装置側に向ける。
・・・
　次に、昇降モータ６を駆動して水平移動部１０を少し上げ、下段の吸着ハンド２５をステージの高さに合せた後、移動モータ１８を駆動して第一キャリッジ１３を前進させ、未処理のウェハーを持った下段の吸着ハンド２５をステージ上に挿入し、その吸着作用を停止すると共に、少し下降してそのシリコンウェハー３２をステージ上に載置し、吸着ハンド２５を後退させる。」
サ　ここで、上記ク、ケから、第１キャリッジ１３は、直線状のレール１１に沿って移動するものであることから、第１キャリッジ１３の上部に固定されたハンド取付部２３、及びハンド取付部２３に固定された吸着ハンド２５は、直線運動可能になっているものであることが理解できる。
　また、図面の第４図及び第５図を参照すると、水平移動部１０の側部には移動モータ１８が設けられているのが見て取れる。そして、移動モータ１８は、レール１１を収容する水平移動部１０の側部の中間部に設けられ、水平移動部１０の側部から側方向外側に延出しているものであることが見て取れるから、移動モータ１８は、レール１１の両端間範囲内でレール１１の側部から側方向外方に延出するものであることは明らかである。
　さらに、移動モータ１８には回転軸が設けられ、該回転軸は、移動モータ１８内から水平移動部１０の壁部を貫通し、その先端に駆動プーリ１６が固定されているのが見て取れる。そして、該駆動プーリ１８の回転により、ワイヤ１７等を介して、吸着ハンド２５を直線運動させるものであることは明らかである。
　以上、カないしコの記載事項、及びサの認定事項を、本願発明にしたがって整理すると、引用刊行物２には、
「吸着ハンド２５が直線運動可能な電子部品の自動搬送装置であって、
　水平移動部１０内に取り付けられたレール１１と、
　レール１１上を直線運動可能に設けられて、シリコンウエハー３２の搬送のためにシリコンウエハー３２を吸着する吸着ハンド２５と、
　レール１１の側部に設けられて、レール１１の両端間範囲内でレール１１の側部から側方向外方に延出する移動モータ１８とを含み、
　回転軸が移動モータ１８内から移動モータ１８外にかけて設けられ、該回転軸の回転がワイヤ１７等を介して吸着ハンド２５の動きを引き起こすことにより、移動モータ１８の回転軸の回転により吸着ハンド２５を駆動する、吸着ハンド２５が直線運動可能な電子部品の自動搬送装置。」という事項（以下、「引用刊行物２記載事項」という。）が記載されていると認められる。
　
３　対比及び当審の判断
（１）対比
　本願発明と引用発明を対比する。
　引用発明の「真空容器２」、「ウエハ支持板２０」、「ウエハ１８」、「モータ収納チャンバ」、「モータ収納箱４６」、「真空シール部５８を構成するＯリング」は、それぞれ本願発明の「真空チャンバ」、「エンドエフェクタ」、「基板」、「第１の圧力チャンバ」、「ハウジング」、「運動用シール」に相当する。 
　引用発明の「直進機構を構成するボールねじ２４、移動台２２、ウエハ支持板２０によりウエハ１８を搬送する旋回台１６及びモータ収納箱４６を有するウエハ搬送装置」は、ボールねじ２４によりウエハ支持板２０を直線運動させるものであるから、「直線運動アセンブリ」と言えるものである。
　引用発明の「ウエハ１８を支持する」ことは、本願発明の「基板に係合しこれを支持する」ことに相当する。
　引用発明の「モータ収納箱４６内からモータ収納箱４６外にかけて設けられ、その回転によりウエハ支持板２０を直線運動させ、真空シール部５８を構成するＯリングによって囲まれた回転軸４８を介してモータ２６の回転がウエハ支持板２０に伝えられ、モータ収納箱４６内のモータ収納チャンバを真空容器２からから隔離された状態に維持するもの」は、モータ２６の回転がエンドエフェクタであるウエハ支持板の動きを引き起こすものであるから、本願発明の「ハウジング内から前記ハウジング外のエンドエフェクタにかけて設けられ、少なくとも１つの前記エンドエフェクタに接続されて前記エンドエフェクタの動きを引き起こし、運動用シールによって囲まれたシャフトを介して前記エンドエフェクタに接続されて第１の圧力チャンバを真空チャンバから隔離された状態に維持する駆動システム」に相当する。
　引用発明の「モータ収納箱４６内のモータ収納チャンバはモータ８のある大気圧側に接続されている」ことは、モータ８のある大気圧側が第２の圧力チャンバと言えるものであって、モータ収納チャンバが大気圧になるものであるから、本願発明の「第１の圧力チャンバは、第２の圧力チャンバに接続されて前記第１の圧力チャンバの大気圧を維持する」ことに相当する。
　したがって、両者は、
「真空チャンバ内で基板を搬送する直線運動アセンブリであって、
　基板搬送のために基板に係合しこれを支持するエンドエフェクタと、
　前記真空チャンバから隔離された第１の圧力チャンバを囲むハウジングと、
　前記ハウジング内から前記ハウジング外の前記エンドエフェクタにかけて設けられ、前記エンドエフェクタに接続されて前記エンドエフェクタの動きを引き起こし、運動用シールによって囲まれたシャフトを介して前記エンドエフェクタに接続されて前記第１の圧力チャンバを前記真空チャンバから隔離された状態に維持する駆動システムと、
　を含み、
　前記第１の圧力チャンバは、第２の圧力チャンバに接続されて前記第１の圧力チャンバの大気圧を維持する直線運動アセンブリ。」で一致し、次の点で相違する。
＜相違点＞
　本願発明は、「リニアベアリング」を有するものであり、そのため、「真空チャンバ内に設けられたリニアベアリング」を含むと特定し、エンドエフェクタは、「リニアベアリング上に直線運動可能に設けられ」るものであると特定し、ハウジングは、「リニアベアリングの側部に設けられて、前記リニアベアリングの両端範囲内で前記リニアベアリングの前記側部から側方向外側に延出し、前記リニアベアリングを支持」するものであると特定しているものであるのに対して、引用発明は、リニアベアリングを有しておらず、そのため、エンドエフェクタに相当するウエハ支持板２０やハウジングに相当するモータ収納箱４６は、リニアベアリングに対する関係を特定するものではない点。
（２）当審の判断
　上記相違点について検討する。
　引用刊行物２記載事項は、「吸着ハンド２５が直線運動可能な電子部品の自動搬送装置であって、
　水平移動部１０内に取り付けられたレール１１と、
　レール１１上を直線運動可能に設けられて、シリコンウエハー３２の搬送のためにシリコンウエハー３２を吸着する吸着ハンド２５と、
　レール１１の側部に設けられて、レール１１の両端間範囲内でレール１１の側部から側方向外方に延出する移動モータ１８とを含み、
　回転軸が移動モータ１８内から移動モータ１８外にかけて設けられ、該回転軸の回転がワイヤ１７等を介して吸着ハンド２５の動きを引き起こすことにより、移動モータ１８の回転軸の回転により吸着ハンド２５を駆動する、吸着ハンド２５が直線運動可能な電子部品の自動搬送装置。」である。
　ここで、引用刊行物２記載事項における「吸着ハンド２５」、「レール１１」、「シリコンウエハー３２」は、本願発明の「エンドエフェクタ」、「リニアベアリング」、「基板」に相当し、引用刊行物２記載事項における「移動モータ１８の回転軸」は本願発明の「シャフト」と言えるものであるから、引用刊行物２記載事項は、「リニアベアリングと、リニアベアリング上を直線運動可能に設けられて、基板の搬送のために基板を吸着するエンドエフェクタと、リニアベアリングの側部に設けられて、リニアベアリングの両端間範囲内でリニアベアリングの側部から側方向外方に延出する移動モータ１８とを含み、シャフトの回転によりエンドエフェクタを駆動する」ことと言い換えることができる。
　そして、引用発明のウエハ搬送装置も、引用刊行物２記載事項における電子部品の自動搬送装置も、ともに基板を直線運動可能に搬送するものであることから、引用発明においても、シャフトに相当する回転軸４８の回転をエンドエフェクタに相当するウエハ支持板２０にかけて伝える駆動部の構造として引用刊行物２記載事項を採用し、その構造を、リニアベアリングを含むものとすることに格別の困難性を有するものではない。そうすると、引用刊行物２記載事項を採用した引用発明において、リニアベアリングは、真空容器２内における、モータ２６の回転軸４８が突出するモータ収納箱４６の側部に配置することになる。そして、エンドエフェクタに相当するウエハ支持板２０はリニアベアリング上に直線運動可能に設けられることになるものである。すなわち、モータ収納箱４６は、リニアベアリングの側部に設けられることになるものであり、また、リニアベアリングの両端間範囲内で前記リニアベアリングの前記側部から側方向外側に延出することになるものである。
　なお、本願発明は、さらに、ハウジングは、「リニアベアリングを支持し」ていると特定しているものであるが、ベアリングは何かに支持されなければならず、モータ収納箱４６はリニアベアリングの側部に設けられることになるものであるから、モータ収納箱４６がリニアベアリングを支持することになるのは当然であって、しかも、モータ収納箱４６がリニアベアリングを支持すると特定しても、そのことによる特別な作用が生ずるものではないことから、この点は、単なる設計的事項に過ぎないものである。
　また、引用発明に引用刊行物２記載事項を採用したことによる作用ないし効果も、引用発明及び引用刊行物２記載事項から予測されるものであって、格別なものは見当たらない。
　
４　むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び引用刊行物２記載事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、請求項２ないし１５に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。