【事件の表示】
　特願２００５−　　５９８３「フィードバック制御可能な位置決め台」拒絶査定不服審判事件〔平成１８年　７月２７日出願公開、特開２００６−１９４７１４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・原査定の拒絶の理由
　本願は、平成１７年１月１３日の出願であって、特許請求の範囲及び明細書について平成２０年１１月２０日付けで補正がなされ（以下、「補正１」という。）、平成２１年７月１５日付け（送達：同年同月２１日）で拒絶査定がなされ、これに対し、同年１１月２４日に拒絶査定不服審判が請求されたものである。
　そして、原査定の拒絶の理由は、本願の特許請求の範囲に記載の各発明は、本願出願前に国内又は外国において頒布された刊行物である特開平５−３３３９３０号公報（発明の名称：微動機構、出願人：日立建機株式会社、公開日：平成５年１２月１７日、以下、「引用例」という。）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができた、というものである。
　
２．本願発明
そして、本願の請求項１ないし７に係る発明は、補正１によって補正された明細書、特許請求の範囲及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし７に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明は次のとおりである。 
「フィードバック制御可能な位置決め台において、
　ベースと、
　該ベース内に設けられた少なくとも一つの位置決め台と、
　該位置決め台を接続架設する複数組の連結機構と、
　該位置決め台に接続され、並びに位置決め台を軸方向に駆動して移動させる少なくとも一つのアクチュエータと、
　該連結機構に設けられて連結機構の変形量を測定するひずみゲージと、
　を具え、
　該ひずみゲージの出力信号がコントローラに接続され、コントローラの演算により、制御信号がアクチュエータに出力されてアクチュエータの作動信号が修正され、
　該ひずみゲージがアクチュエータの反対側の連結機構に設けられたことを特徴とする、フィードバック制御可能な位置決め台。」（以下、「本願発明」という。） 　
　
３．引用例記載の事項・引用発明
　これに対して、引用例である特開平５−３３３９３０号公報には、微動機構（発明の名称）に関し、次の事項（ａ）ないし（ｃ）が図面とともに記載されている。
（ａ）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ナノメートルのオーダーの微小な変位を発生させる微動機構に関する。」
（ｂ）「【０００５】図５は従来の微動機構の側面図である。図で、１ａは固定側剛体、１ｂは移動側剛体、２は両剛体１ａ、１ｂ間に装架された圧電素子である。Ｓ1〜Ｓ4は圧電素子２に装着されたひずみゲージであり、ひずみゲージＳ１、Ｓ３は圧電素子２の伸長方向（長手方向）のひずみを検出し、ひずみゲージＳ２ 、Ｓ４は圧電素子２の伸長方向と直交する方向（横方向）のひずみを検出する。
【０００６】圧電素子２に任意の電圧が印加されると、これに応じて圧電素子２が伸長し、移動側剛体１ｂが点線で示すように変位する。図ではこの変位を極端に誇張して描いてある。図中、δは変位量、即ち圧電素子の伸び量を示す。伸び量δは各ひずみゲージＳ1〜Ｓ4を構成要素とする検出回路により検出される。
【０００７】図６は当該検出回路の回路図である。図で、ｒ１ 、ｒ２ 、ｒ３ 、ｒ４ はそれぞれひずみゲージＳ１ 、Ｓ２ 、Ｓ３ 、Ｓ４の抵抗値を示す。Ｅは直流電源、４は増幅器である。圧電素子２に電圧が印加されると、圧電素子２は伸びてひずみを生じ、このひずみは各ひずみゲージＳ1〜Ｓ4 により検出され、この結果、図６に示す回路により圧電素子２の伸び量δに比例した信号Ｖを得ることができる。この信号Ｖを用いて正確な位置決めを行い、微動機構を当該位置に静止させる。」
（ｃ）「【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ひずみゲージによる変位検出の分解能は、単位変位量当りのひずみ量が大きいほど向上する。しかし、上記ひずみゲージＳ1〜Ｓ4による伸び量δの検出は、圧電素子２の伸びに伴うひずみの計測であるため単位変位量当りのひずみ量が小さく、満足する分解能を得ることはできない。」
（ｄ）「【００１１】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するため、本発明は、圧電素子と、この圧電素子の一端に固定された第１の剛体と、前記圧電素子の他端に固定された第２の剛体とで構成された微動機構において、前記第１の剛体と前記第２の剛体との間に配置され、前記圧電素子の伸長方向に平行で、かつ、当該圧電素子の長さより短い弾性部材と、この弾性部材に生じるひずみを検出する検出手段とを設けたことを特徴とする。
【００１２】
【作用】圧電素子に電圧が印加されると圧電素子が伸び、これとともに弾性部材も伸びる。このとき、弾性部材には圧電素子に生じるひずみより大きなひずみが生じ、検出手段から出力される検出信号も大きくなる。この結果、変位検出の分解能は向上し、高い変位検出精度を得ることができる。」
（ｅ）「【００１３】
【実施例】以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。図１は本発明の実施例に係る微動機構の側面図である。図で、図５に示す部分と同一又は等価な部分には同一符号が付してある。５ａは凹字形状の固定側剛体、５ｂは凹字形状の移動側剛体であり、両者の凹部間に圧電素子２が装架される。６は固定側剛体５ａにおける凹字形状の端部および移動側剛体５ｂにおける凹字形状の２つの端部相互間に連結された平板状の弾性部材である。ひずみゲージＳ1〜Ｓ4 がそれぞれ弾性部材６の表面の所定個所に設けられる。圧電素子２、固定側剛体５ａ、移動側剛体５ｂ、弾性部材６、およびひずみゲージＳ1〜Ｓ4により微動機構Ａが構成される。なお、固定側剛体５ａ、移動側剛体５ｂおよび弾性部材６は１つの剛体部材から成形加工により一体に形成される。又、ひずみゲージＳ1〜Ｓ4 には金属ゲージ、半導体ゲージ等が用いられる。」
（ｆ）「【００２０】図２は図１に示す微動機構を用いた２軸微動機構の側面図である。図で、Ｘ、Ｙは座標軸を示す。ＡＸはＸ軸方向の変位を発生する第１の微動機構、ＡＹはＹ軸方向の変位を発生させる第２の微動機構であり、これら微動機構の構成は、図１に示す微動機構Ａと同一である。１１は移動部、１２は各軸方向に３つずつ平行に配置された弾性平板である。この２軸微動機構は、圧電素子およびひずみゲージを除き１つの剛体部材１０から成形加工により一体に形成される。この場合、各弾性平板１２は各貫通孔Ｈにより形成される。
【００２１】第１の微動機構ＡＸの圧電素子に電圧が印加されると、Ｙ軸方向に伸びる各弾性平板１２にたわみ変形（曲げ変形）が生じ、これにより、移動部１１がＸ軸方向に変位する。同様に、第２の微動機構ＡＹの圧電素子に電圧が印加されると、Ｘ軸方向に伸びる各弾性平板１２に曲げ変形が生じ、移動部１１がＹ軸方向に変位する。この２軸微動機構は、図１に示す微動機構と同一の効果を有するとともに、簡素な構成でＸ軸およびＹ軸の位置決めを行うことができる。」
　
　まず、上記記載（ｆ）及び図２に記載された２軸微動機構は、記載（ｄ）、（ｅ）及び図１に記載された微動機構を基本構成（微動機構ＡＸ、微動機構ＡＹ）としてＸ−Ｙの２軸の微動機構としたものである。
　そして、微動機構は、記載（ｂ）によれば、「伸び量δは各ひずみゲージＳ1〜Ｓ4 を構成要素とする検出回路により検出される。図６は当該検出回路の回路図である。図で、ｒ１、ｒ２、ｒ３、ｒ４はそれぞれひずみゲージＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４の抵抗値を示す。Ｅは直流電源、４は増幅器である。圧電素子２に電圧が印加されると、圧電素子２は伸びてひずみを生じ、このひずみは各ひずみゲージＳ1〜Ｓ4により検出され、この結果、図６に示す回路により圧電素子２の伸び量δに比例した信号Ｖを得ることができる。この信号Ｖを用いて正確な位置決めを行い、微動機構を当該位置に静止させる。」というものであるから、微動機構は、検出回路とは別に何らかの制御装置を備え、検出回路から得られた信号Ｖが、該制御装置に接続され、該制御装置における何らかの演算により、何らかの制御信号が圧電素子２に出力されて圧電素子２の作動信号が修正され、いわゆるフィードバック制御がなされるものと認められる。
　
　以上の技術事項を踏まえると、上記記載（ａ）ないし（ｆ）及び図１，２，５，６の記載から、引用例には、次の発明が記載されているものと認められる。
「フィードバック制御可能な２軸微動機構において、
　微動機構ＡＸ及び微動機構ＡＹの固定側剛体５ａと、
　該各々の固定側剛体５ａにそれぞれ弾性平板１２を介して設けられた移動部１１と、
　該移動部１１を各々の固定側剛体５ａとそれぞれ連結する微動機構ＡＸ及び微動機構ＡＹの弾性部材６であって、圧電素子２の長さよりも短い平板状の弾性部材６と、
　該移動部１１に接続され、該移動部１１をＸ軸方向及びＹ軸方向に駆動して移動させる微動機構ＡＸ及び微動機構ＡＹの圧電素子２と、
　該弾性部材６にそれぞれ設けられて該弾性部材６のひずみを検出するひずみゲージＳ１〜Ｓ４と、
　を具え、
　該ひずみゲージＳ１〜Ｓ４が検出回路に接続され、検出回路から得られた信号Ｖが、何らかの制御装置に接続され、制御装置における何らかの演算により、何らかの制御信号が圧電素子２に出力されて圧電素子２の作動信号が修正され、
　該ひずみゲージＳ１〜Ｓ４が移動部１１から見て圧電素子２と同じ側の弾性部材６に設けられた、フィードバック制御可能な２軸微動機構。」（以下、「引用発明」という。）
　
３．対比
　本願発明と引用発明とを、発明特定事項の記載の順に対比する。
（１）引用発明における「フィードバック制御可能な２軸微動機構」は、本願発明における「フィードバック制御可能な位置決め台」に相当し、引用発明における「微動機構ＡＸ及び微動機構ＡＹの固定側剛体５ａ」は、本願発明における「ベース」に相当し、以下、同様に、引用発明における「移動部１１」、「各々の固定側剛体５ａとそれぞれ連結する」、「微動機構ＡＸ及び微動機構ＡＹの」、「圧電素子２の長さよりも短い平板状の弾性部材６」、「微動機構ＡＸ及び微動機構ＡＹの圧電素子２」、「ひずみを検出する」、「ひずみゲージＳ１〜Ｓ４」、及び「何らかの制御装置」は、本願発明における「位置決め台」、「接続架設する」、「複数組の」、「連結機構」、「アクチュエータ」、「変形量を測定する」、「ひずみゲージ」及び「コントローラ」にそれぞれ相当する。
（２）上記相当関係（１）を踏まえると、引用発明における「該各々の固定側剛体５ａにそれぞれ弾性平板１２を介して設けられた移動部１１」も、本願発明における「該ベース内に設けられた少なくとも一つの位置決め台」も、共に、「該ベースに設けられた少なくとも一つの位置決め台」である点で共通する。
（３）また、引用発明における「該ひずみゲージＳ１〜Ｓ４が移動部１１から見て圧電素子２と同じ側の弾性部材６に設けられた」も、本願発明における「該ひずみゲージがアクチュエータの反対側の連結機構に設けられた」も、共に、「該ひずみゲージが連結機構に設けられた」点で共通する。
　
　してみると、両者の一致点及び相違点は、以下のとおりである。
（一致点）
「フィードバック制御可能な位置決め台において、
　ベースと、
　該ベースに設けられた少なくとも一つの位置決め台と、
　該位置決め台を接続架設する複数組の連結機構と、
　該位置決め台に接続され、並びに位置決め台を軸方向に駆動して移動させる少なくとも一つのアクチュエータと、
　該連結機構に設けられて連結機構の変形量を測定するひずみゲージと、
　を具え、
　該ひずみゲージの出力信号がコントローラに接続され、コントローラの演算により、制御信号がアクチュエータに出力されてアクチュエータの作動信号が修正され、
　該ひずみゲージが連結機構に設けられた、フィードバック制御可能な位置決め台。」
　
（相違点）
・相違点１：位置決め台とベースとの位置関係について、
　本願発明では、「ベース内に設けられた少なくとも一つの位置決め台」とあるように、位置決め台は、ベースの内側に設けられているのに対し、引用発明では、移動部１１（本願発明の「位置決め台」に相当する。以下、同様。）は、微動機構ＡＸ及び微動機構ＡＹの固定側剛体５ａ（ベース）にそれぞれ弾性平板１２を介して設けられている点。
・相違点２：連結機構とアクチュエータとの位置関係について、
　本願発明では、「該ひずみゲージがアクチュエータの反対側の連結機構に設けられた」とあるように、連結機構は、位置決め台から見てアクチュエータの反対側に設けられているのに対し、引用発明では、「該ひずみゲージＳ１〜Ｓ４が移動部１１から見て圧電素子２と同じ側の弾性部材６に設けられた」とあるように、弾性部材６（連結機構）は、移動部１１（位置決め台）から見て圧電素子２（アクチュエータ）と同じ側に設けられている点。
　
４．判断
　相違点１と相違点２とを併せて検討する。
　この種の位置決め装置において、位置決め台をベースの内側に設けること、しかもこの場合に、位置決め台の移動距離を測定するセンサを、位置決め台から見てアクチュエータの反対側に設けることは、周知技術である。この点については、例えば、原査定の拒絶の理由で引用された特開平１１−９４８４９号公報（発明の名称：テーブル装置、公開日：平成１１年４月９日）の図１，３に示されたテーブル１、固定台２、アクチュエータ１４，１５及びセンサー２１，２２の配置関係や、本願明細書で先行技術として引用されている米国特許第６５５５８２９号明細書（発明の名称：HIGH PRECISION FLEXURE STAGE（高精度たわみ台（当審訳）、公開日：平成１５年４月２９日）のFIG.４に示されたブロック１５０、ブロック１５０を囲む部分、アクチュエータ３１０，３２０及びトランスジューサ４１０，４２０を参照のこと。
　してみると、移動部１１（位置決め台）が微動機構ＡＸ及び微動機構ＡＹの固定側剛体５ａ（ベース）にそれぞれ弾性平板１２を介して設けられている引用発明において、まず、位置決め台とベースとの位置関係に係る上記周知技術を適用して、位置決め台をベースの内側に設けるようにすることは、当業者ならば容易に想到し得たことである。そして、上記周知技術の位置関係を適用するに際し、位置決め台の移動距離を測定するセンサは、上記周知技術の如く位置決め台から見てアクチュエータの反対側に設けることとなり、上記センサに相当するひずみゲージＳ１〜Ｓ４は該弾性部材６（連結機構）に設けられるから、引用発明の弾性部材６（連結機構）も、必然的に、該ゲージＳ１〜Ｓ４とともに、アクチュエータの反対側に設けられることとなるものである。
　したがって、引用発明に上記周知技術を適用することにより、本願発明のように、位置決め台をベース内に設けるとともに、連結機構をアクチュエータの反対側に設けるようにすることは、当業者ならば容易に想到し得たことである。
　そして、本願発明の作用効果も、引用発明及び上記周知技術から当業者が予測可能なものであって格別のものではない。
　
５．請求人の主張について
　請求人は、審判請求の理由において、特段の根拠を示すことなく、引用発明ではＸ−Ｙ軸方向の移動量を同時に正確に測定できないのに対し、本願発明ではＸ−Ｙ軸方向の移動量を同時に正確に測定できる旨主張している。
　しかしながら、引用発明においても、移動部１１を弾性平板１２を介して設けることにより、Ｘ軸方向とＹ軸方向の移動が互いに干渉しないようにしているものと認められ、よって引用発明もＸ−Ｙ軸方向の移動量を同時に正確に測定できるものと解するのが妥当である。
　すなわち、Ｘ−Ｙ軸方向の移動量を同時に正確に測定できるとの作用効果は、本願発明のように、連結機構を、位置決め台から見てアクチュエータの反対側に設けることで初めて奏する効果とは認められないから、請求人の主張は採用できない。
　
６．むすび
　したがって、本願発明は、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　以上のとおりであるから、他の請求項に係る発明について審理するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。