【事件の表示】
　特願２０００−５１９４５４「２次電子放出顕微鏡検査のための装置及び方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　５月１４日国際公開、ＷＯ９９／２３６８４、平成１３年１１月１３日国内公表、特表２００１−５２２０５４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯・本願発明
　本件は、平成１０年１０月２６日（パリ条約による優先権主張　外国受理庁　１９９７年１１月５日、米国（ＵＳ））を国際出願日とする特許出願（２０００年特許願第５１９４５４号。以下、「本件出願」という。）であって、平成２１年７月８日付けで、平成２１年５月８日付けの手続補正についての補正の却下の決定がなされるとともに、同日付けで拒絶査定（発送日：同年８月４日）がなされたところ、同年１２月４日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに、同日付けで手続補正書が提出され、当審で、平成２２年１２月１０日付けで拒絶の理由を通知したところ、意見書及び手続補正書が平成２３年６月１４日に提出されたものである。
　本件出願の請求項１〜２２に係る発明は、平成２３年６月１４日提出の手続補正書により補正された特許請求の範囲の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜２２に記載された事項により特定されるとおりのものであって、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりのものと認める。
　　　
「【請求項１】
　試料の検査方法であって、
　試料を準備し、
　前記試料上に入射される第１のグループの電子を含む１次電子ビームを方向付け、
　前記第１のグループの電子を前記試料のマルチピクセル撮像領域に方向付け、
　電荷制御手段を用いて、前記第１のグループの電子数と前記試料上から放出される電子数とが等しくなるエネルギーを有するよう制御された前記１次電子ビームを前記試料上に向けることで前記試料上における安定的な静電荷を維持し、
　検出器を用いて前記マルチピクセル撮像領域内における複数のピクセルから放出された電子を同時に検出する、方法。」
　　
第２　当審の拒絶理由 
　一方、当審において平成２２年１２月１０日付けで通知した拒絶の理由の概要は、本件出願の請求項１〜２に係る発明は、本件出願の優先権主張日より前に頒布された、特開平３−１５１４４号公報 （以下、「引用刊行物Ａ」という。）、特開平７−２４３９９９号公報（以下、「引用刊行物Ｂ」という。）、及び特開平９−１７１７９３号公報に記載された発明（以下、「引用刊行物Ｃ」という。）に基づいて当業者が容易に発明をすることできたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
　　　
第３　引用刊行物記載の発明
（３Ａ）本件出願の優先権主張の日前に頒布された上記引用刊行物Ａには、次の事項が図面とともに記載されている。（下線は当審により付与したものである。以下、同様である。）
　　 
（３Ａ−１）「２．特許請求の範囲
（１）試料ホルダに載置した絶縁体試料に加速した荷電粒子を照射し、試料から発生する荷電粒子を検出する
装置
試料ホルダに加速電圧と反対極性の交流成分を重畳した直流又は直流電圧を印加する手段
　
（３Ａ−２）「〔産業上の利用分野］
　本発明は
走査型電子顕微鏡
分析装置
〔従来の技術〕
　加速した電子線を試料に照射し、発生する２次電子やＸ線を検出して
試料像を観測したり
試料の分析
試料像の観察や分析
　従来、このような絶縁体試料のチャージアップを防止するために以下のような対策が講じられている。
（ａ）絶縁体試料表面に金、炭素、白金−パラジウム等の導伝性物質を蒸着して帯電電荷をリークさせる。
（ｂ）入射電子の加速電圧を１ＫｅＶ程度と低くすると同時に２次電子信号検出が可能な範囲でプローブ電流を減らして帯電を抑制する。
（ｃ）試料のレプリカをとってレプリカに（ａ）と同様に導電性物質を蒸着する。
（ｄ）絶縁体試料表面を傾斜させることにより２次電子の発生を増大させる。
〔発明が解決すべき課題〕
　しかしながら、（ａ）の方法では試料表面の汚染、Ｘ線発生の減少等が生じるとともに、定量再現性が悪化し、また
試料表面の物性を直接測定できないので表面分析装置
　　　　
（３Ａ−３）「〔実施例〕
　以下、実施例を図面を参照して説明する。
　第１図は本発明の絶縁体試料チャージアップ防止装置の一実施例を示す図、第２図は入射電子エネルギに対する２次電子発生効率を示す図、第３図は本発明によるチャージアップ防止メカニズムを説明するための図である。図中、ｌは試料室本体、２は対物レンズ、３
は試料台
　第１図において、
走査型電子顕微鏡試料室本体ｌ内には対物電子レンズ２が配置され
交流成分を重畳した直流
又は直流
電圧を出力可能な電源７
試料ホルダ４の上に絶縁体試料６を置き、低加速入射電子ビーム８を絶縁体試料６に照射すると２次電子が発する。この２次電子を検出するため検出器９
　絶縁体試料に導電性物質等を蒸着しない状態で、かつ低加速電圧２００Ｖ〜３ＫｅＶ程度で絶縁体試料に電子を照射した時、程度の差はあるが絶縁体試料表面は第３図（ａ）に示すように負に帯電する。
　これは、電子が試料表面を自由に動けないことと、第２図に示す２次電子発生効率δ（＝ｉｓｅｃｏｎｄａｒｙ　／　ｉｐｒｏｂｅ　）と入射電子エネルギの関係が、絶縁体の場合には曲線（ロ）で示すような特性になっており、δがｌより小さいためである。そして、多くの場合不均一な帯電となり、これが
２次電子像の
画像形成
・・・
　そこで電源７から試料ホルダを通して絶縁体試料裏面に、
通常負の交流成分を重畳した直流又は直流電圧を印加してやると静電誘導により、絶縁体表面は、第３図（ｂ）に示すように正電荷が誘導される
低加速電圧で電子を照射すると負の電荷は正の誘導電荷により中和され
　　　　　　　　　　　　　　　
（３Ａ−４）「また、試料を傾斜するか又は入射電子を回転させると、試料が均一、平坦な場合は第２図の曲線（ロ）は、入射電子ビームの入射角をθとするとｓｅｃθに比例してδが増加して曲線（イ）に示すような特性となり、図のＡ−Ｂ間ではδが１より大きくなって負の帯電が無くなる場合が生じる。・・・
　また、本発明においては実効入射電子エネルギーをδｍａｘの状態に維持できるので、曲線（ロ）に示す特性の場合でも帯電現象は減少し、δｍａｘの大きさによっては完全に帯電現象を消滅させることができる（曲線（ハ））。そして、試料を傾斜させた場合は、より少ない傾斜角θで曲線（イ）又は（ハ）に近づき、二次電子像の歪・非点収差のより少ない状態で帯電が除去できる。」（３頁左下欄１５行〜右下欄１８行）
　　
（３Ａ−５）「・・・試料ステージに負の交流成分を重畳した直流又は直流電圧を印加する。
　２次電子捕促電場がゆがみ、２次電子信号が減少し、１〜２秒以内に帯電が中和され平衡状態になる。」（４頁左上欄１４〜１８行）
　
（３Ａ−６）第１図には、
走査型電子顕微鏡試料室本体ｌ内には、対物電子レンズ２及び絶縁体試料６が試料ホルダ４上に配置され、低加速入射電子ビーム８が対物電子レンズ２を介して絶縁体試料６に照射される
　
　上記引用刊行物Ａの摘記事項（３Ａ−１）〜（３Ａ−６）の記載のうち、特に（３Ａ−３）〜（３Ａ−６）の記載を参照すると、上記引用刊行物Ａには、
「試料を分析する方法であって、
　試料ホルダ４の上に絶縁体試料６を置き、
　低加速入射電子ビーム８を対物電子レンズ２を介して、走査型電子顕微鏡試料室本体ｌ内の絶縁体試料６に照射し
　低加速入射電子ビーム８で絶縁体試料６に照射したときの負の電荷を中和するための正の電荷を誘導するために、電源７から試料ホルダ４に加速電圧と反対極性の交流成分を重畳した直流又は直流電圧を印加し、
　低加速入射電子ビーム８が照射された絶縁体試料６から発生する２次電子を検出器９で検出し、
　２次電子像の画像形成する、方法。」
　の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認める。
　
（３Ｂ）本件出願の優先権主張の日前に頒布された上記引用刊行物Ｂには、次の事項が図面とともに記載されている。
　　
（３Ｂ−１）「【請求項１】　それぞれ異なる加速電圧の印加により電子ビームを放出する複数の電子銃と、
　これら電子銃から放出された各電子ビームの軌道を同一軌道に偏向する偏向系と、
　
同一軌道に偏向された前記各電子ビームを試料上に走査する走査系
　前記電子ビームを集束し前記試料面上にフォーカスするレンズ系と、
　
前記試料に発生する放出電子を検出し
その電気信号を出力する電子検出器
　
この電子検出器から出力される電気信号を受けて
各電子ビームの前記試料における各走査領域の検査を行う検査手段
を具備したことを特徴とする電子ビーム検査装置。
・・・
【請求項３】　
検査手段は、電子検出器により検出された放出電子のうち２次電子による電気信号から低加速側電子ビームの走査領域
電子ビーム検査装置
・・・
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、
試料に対して電子ビームを照射してそのとき発生する放出電子を検出して試料の検査を行う電子ビーム検査装置に関する
　
（３Ｂ−２）「【００１６】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明する。図１は
電子ビーム検査装置を適用した走査型電子顕微鏡
　　
（３Ｃ）本件出願の優先権主張の日前に頒布された上記引用刊行物Ｃには、次の事項が図面とともに記載されている。
　　
（３Ｃ−１）「【請求項１】　電子源と、少なくとも１つの対物レンズと少なくとも１つの投射レンズを含む
電子光学結像システム
分析される試料
・・・
【請求項１８】
材料（３）の表面を走査するための手段を有する
電子顕微鏡
　
（３Ｃ−２）「【０００６】従って本発明の目的は、１次電子ビーム（単に１次ビームということもある）を試料上に簡単な方法で集束させることができ、それを用いることにより、装置を改造するための大規模な処置を取る必要なく様々な方法の
分析を行うことができる電子顕微鏡
・・・
【００１１】
電子顕微鏡の応用分野は、試料表面を走査する手段を設けることにより広げることができる
　
（３Ｃ−３）「【００１８】
【実施例】以下、添付図面に示す実施例を説明しつつ、本発明についてさらに詳しく説明するが、本発明が下記の実施例に限定されないことはもとよりである。図１に示す電子顕微鏡１はハウジング２を有し、上方から下方に向って、対物レンズ４、該対物レンズ４の像面１１にある絞り５、第１投射レンズ６（伝送レンズ又は中間レンズとも呼ばれている）、第２投射レンズ７、電子増倍管８又は
マルチチャンネルプレート
対物レンズ４の上方には調査される試料３がある。電子反射器１５は、対物レンズ４の後側焦点面１０に設けられており
　
（３Ｃ−４）「【００２２】
　
図５〜７は、電子顕微鏡におけるビーム経路の概略図であ
電子ビームは
試料３の表面に平行に照射する
対物レンズ４の後側焦点面１０でＬＥＥＤ像が作られ、その像は、第１投射レンズ６（伝送レンズ）と第２投射レンズ７によって蛍光スクリーン９上に拡大される（
　回折された電子を用いて、
ＬＥＥＤモードから試料表面の直接結像に変えるために
像面１１で作られた中間像を電子増倍管８及び蛍光スクリーン９上に拡大する
【００２３】
２次電子及びオージェ電子で写像するためには（図７参照）、レンズ１３の励磁を変えることにより、１次電子ビームを電子反射器１５上に集束させず、むしろ該電子反射器の前で集束させることで、電子反射器のより大きい有効面を照射することができる。その際、１次電子ビーム２０を対物レンズ４を用いて試料３上に集束させ、それによって視野の電子密度を増加させる。２次電子及びオージェ電子はまた投射レンズ６及び７によって電子増倍管８上に結像される。
　１回以上の回折反射によるバックグラウンド結像のために、ちょうど焦点２３上にある電子反射器１５に加えて、回折反射を選択するための可動コントラスト絞りを対物レンズ４の後側焦点面１０上に又は対応する共役面上に設けることもできる。典型的な動作条件下での回折パターンは最大２ｍｍの直径を有するので、例えばピエゾモータによりコントラスト絞りの正確な位置決めを何ら問題無く行うことができる。
【００２４】図９は、他の実施例を示しており、走査作業が可能となっている。電子源１４と電子反射器１５の間に静電偏向器２７があり、該静電偏向器２７は、１次電子ビームを角度δ及びγで示される互いに直交する２つの方向に偏向する。角度δとγは、ほぼ±１にある。偏向は１次電子ビーム２０′と２０″によって示されている。」（明細書３７頁１９〜２４行）
　
（３Ｃ−５）
図７には、電子反射器１５で反射した１次電子ビーム２０を対物レンズ４で試料３に所定の広がりを持って集束させ、集束された領域の３点から発生した２次電子を投射レンズ６、７で電子増倍管８上に結像する
　　　　
第４　本願発明と引用発明との対比・判断 
（４−ａ）本願発明と引用発明の対比
（i）試料の分析も試料の検査もともに試料を測定して分析したり検査をすることから、引用発明の「試料を分析する方法」と本願発明の「試料の検査方法」とは、「試料の測定方法」である点で共通する。
　
（ii）引用発明の「試料ホルダ４の上に絶縁体試料６を置」くことが、その構成・機能からみて、本願発明の「試料を準備」することに相当する。
　
（iii）引用発明の「低加速入射電子ビーム８」は、走査型電子顕微鏡試料室本体ｌ内の絶縁体試料６に照射される電子ビームであるから、本願発明の「前記試料上に入射される第１のグループの電子」に相当する。
　また、上記引用刊行物Ｂの摘記事項（３Ｂ−１）及び（３Ｂ−２）には、それぞれ、
「【請求項１】　それぞれ異なる加速電圧の印加により
電子ビームを放出する
電子銃
　これら電子銃から放出された各電子ビームの軌道を同一軌道に偏向する偏向系と、
　同一軌道に偏向された前記
各電子ビームを試料上に走査する
　前記電子ビームを集束し前記試料面上にフォーカスするレンズ系と、
・・・」及び
「【００１６】・・・図１は
電子ビーム検査装置を適用した走査型電子顕微鏡
顕微鏡本体１の上部には
電子銃
が設けられている
　そうすると、引用発明が、低加速入射電子ビーム８を形成するための電子銃から放出される電子ビーム、すなわち、本願発明と同様に「前記試料上に入射される第１のグループの電子を含む１次電子ビーム」を有することは明らかであるから、引用発明の「低加速入射電子ビーム８を形成するための電子銃から放出される電子ビーム」を出力することと、本願発明の「前記試料上に入射される第１のグループの電子を含む１次電子ビームを方向付け」することとは、「前記試料上に入射される第１のグループの電子を含む１次電子ビームを出力」する点で共通する。
　
（iv）上記引用刊行物Ａの摘記事項（３Ａ−２）には、
「・・・〔従来の技術〕
加速した電子線を試料に照射し、発生する２次電子
を検出して試料像を観測したり
走査型電子顕微鏡で絶縁体試料の像観察を行う
「〔実施例〕
　・・・
　第１図において、
走査型電子顕微鏡試料室本体ｌ内には対物電子レンズ２が配置され
試料ホルダ４の上に絶縁体試料６を置き、低加速入射電子ビーム８を絶縁体試料６に照射すると２次電子が発する。この２次電子を検出するため検出器９が試料室本体ｌの側壁に取りつけられている
２次電子像の
画像形成
　そして、引用発明の「低加速入射電子ビーム８を絶縁体試料６に照射」することは、検出器９が２次電子を検出して、２次電子像から試料の画像を形成するために、絶縁体試料６の所望の場所に、低加速入射電子ビーム８を走査して、照射している、すなわち、検出器９が試料の画像を形成するための２次電子を検出できるように、絶縁体試料６の所望の場所に、低加速入射電子ビーム８を、「方向付け」して、照射していることになるから、引用発明の「低加速入射電子ビーム８を絶縁体試料６に照射」することと、本願発明の「前記第１のグループの電子を前記試料のマルチピクセル撮像領域に方向付け」ることとは、「前記第１のグループの電子を前記試料の撮像領域に方向付け」る点で共通する。
　
（v）引用発明の「電源７」は、低加速入射電子ビーム８で絶縁体試料６に照射したときの負の電荷を中和するための正の電荷を誘導するために、試料ホルダ４に加速電圧と反対極性の交流成分を重畳した直流又は直流電圧を印加していることから、引用発明の「電源７」は、絶縁体試料６の電荷を制御する手段しているであることは明らかである。
　そうすると、引用発明の「電源７」が「低加速入射電子ビーム８で絶縁体試料６に照射したときの負の電荷を中和するための正の電荷を誘導するために、」「試料ホルダ４に加速電圧と反対極性の交流成分を重畳した直流又は直流電圧を印加」することと、本願発明の「電荷制御手段を用いて、前記第１のグループの電子数と前記試料上から放出される電子数とが等しくなるエネルギーを有するよう制御された前記１次電子ビームを前記試料上に向けることで前記試料上における安定的な静電荷を維持」することとは、「電荷制御手段を用いて、前記試料上における安定的な静電荷を維持」する点で共通する。
　
（vi）上記（iv）で検討したように、引用発明の「検出器９」は、低加速入射電子ビーム８が照射された絶縁体試料６から発生する２次電子を検出することにより、２次電子像から試料の画像を形成するために用いられていることから、引用発明の「検出器９」が、「低加速入射電子ビーム８が照射された絶縁体試料６から発生する２次電子を検出する」ことと、本願発明の「検出器を用いて前記マルチピクセル撮像領域内における複数のピクセルから放出された電子を同時に検出する」こととは、「検出器を用いて前記撮像領域内におけるピクセルから放出された電子を検出する」点で共通する。
　　　
　そうすると、本願発明と引用発明とは、
「試料の検査方法であって、
　試料を準備し、
　前記試料上に入射される第１のグループの電子を含む１次電子ビームを出力し、
　前記第１のグループの電子を前記試料の撮像領域に方向付け、
　電荷制御手段を用いて、前記試料上における安定的な静電荷を維持し、
　検出器を用いて前記撮像領域内におけるピクセルから放出された電子を検出する、方法。」
　である点で一致し、次の相違点（あ）〜相違点（お）で相違している。
　　　　　　
・相違点（あ）
　試料の測定方法が、本願発明では、「試料の検査方法」であるのに対して、引用発明では、試料の分析方法である点。
　
・相違点（い）
　前記試料上に入射される第１のグループの電子を含む１次電子ビームを出力することが、本願発明では、前記試料上に入射される第１のグループの電子を含む１次電子ビームを「方向付け」しているのに対して、引用発明では、走査型電子顕微鏡試料室本体ｌ内に設けられた電子銃から放出される電子ビームを方向付けしているかどうか不明である。
　
・相違点（う）
　前記第１のグループの電子を前記試料の撮像領域に方向付けることが、本願発明では、前記第１のグループの電子を前記試料の「マルチピクセル」撮像領域に方向付けることであるのに対して、引用発明では、低加速入射電子ビーム８を、検出器９が試料像を観測を行うための絶縁体試料６の所望の場所に走査、照射している点。
　　　
・相違点（え）
　電荷制御手段を用いて、前記試料上における安定的な静電荷を維持することが、本願発明では、電荷制御手段を用いて、「前記第１のグループの電子数と前記試料上から放出される電子数とが等しくなるエネルギーを有するよう制御された前記１次電子ビームを前記試料上に向けることで」前記試料上における安定的な静電荷を維持することであるのに対して、引用発明では、電源７が、低加速入射電子ビーム８で絶縁体試料６に照射したときの負の電荷を中和するための正の電荷を誘導するために、試料ホルダ４に加速電圧と反対極性の交流成分を重畳した直流又は直流電圧を印加することである点。
　
・相違点（お）
　検出器を用いて前記撮像領域内におけるピクセルから放出された電子を検出することが、本願発明では、検出器を用いて前記「マルチピクセル」撮像領域内における「複数の」ピクセルから放出された電子を「同時に」検出することであるのに対して、引用発明では、検出９が、低加速入射電子ビーム８が照射された絶縁体試料６から発生する２次電子を検出する点。
　
（４−ｂ）当審の判断 
　上記相違点（あ）〜相違点（お）について検討する。
・相違点（あ）について
　低加速入射電子ビーム８を絶縁体試料６に照射し、低加速入射電子ビーム８が照射された絶縁体試料６から発生する２次電子を検出器９で検出して試料を分析する方法に用いられる装置として、走査型電子顕微鏡を用いることが、上記引用刊行物Ａの摘記事項（３Ａ−２）に記載されている。
　ところで、電子ビームを走査しながら試料に照射し、電子ビームが照射された試料６から発生する２次電子を検出器で検出する走査型電子顕微鏡を用いて、試料の検査をすることは、周知である。
　例えば、上記引用刊行物Ｂの摘記事項（３Ｂ−１）及び（３Ｂ−２）に、それぞれ、
「【請求項１】　それぞれ異なる加速電圧の印加により電子ビームを放出する複数の電子銃と、
　これら電子銃から放出された各電子ビームの軌道を同一軌道に偏向する偏向系と、
　
同一軌道に偏向された前記各電子ビームを試料上に走査する走査系
　前記電子ビームを集束し前記試料面上にフォーカスするレンズ系と、
　
前記試料に発生する放出電子を検出し
その電気信号を出力する電子検出器
　
この電子検出器から出力される電気信号を受けて
各電子ビームの前記試料における各走査領域の検査を行う検査手段
を具備したことを特徴とする電子ビーム検査装置。
・・・
【請求項３】　
検査手段は、電子検出器により検出された放出電子のうち２次電子による電気信号から低加速側電子ビームの走査領域に対する検査を行い
電子ビーム検査装置
・・・
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、
試料に対して電子ビームを照射してそのとき発生する放出電子を検出して試料の検査を行う
「【００１６】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明する。図１は
電子ビーム検査装置を適用した走査型電子顕微鏡
　また、当審の拒絶の理由に記載した、周知例の特開平２−１７１６４２号公報に、
「２．特許請求の範囲
　位置制御可能な試料載せ台に載置された
試料に電子線を当てかつ走査し、この電子線の
２次電子にもとづき試料の走査部分を表示部で表示可能とした検査方法
試料を電子線で観察するようにした
検査方法
「そして、光学式顕微鏡２０を見ながら決めた観察したい部分の座標位置が
電子顕微鏡
電子線をウェハ１に当てて走査し、その表面から発生した
２次電子
を検出しその像をＣＲＴ１６上に写し出し観察する
　そうすると、引用発明も上記周知例もともに試料に電子ビームを照射し、試料から発生する２次電子を検出する走査型電子顕微鏡である点で共通するものであり、さらに、試料に電子ビームを照射し、試料から発生する２次電子を検出する走査型電子顕微鏡を試料の分析に用いるか、検査に用いるかは当業者が必要に応じて採用する選択的事項にすぎないものであるから、試料を測定する方法として、引用発明は試料を分析する方法に代えて、本願発明のごとく、「試料の検査方法」とすることは当業者が容易になし得るものである。
　
・相違点（い）について
　引用発明の絶縁体試料６に照射される低加速入射電子ビーム８は、走査型電子顕微鏡試料室本体１内に設けられた電子銃から放出される電子ビームに基づくものであることは、上記（４−ａ）の（iii）で検討したとおりであるから、走査型電子顕微鏡試料室本体１内に設けられた電子銃は、電子銃から放出される電子ビームが、低加速入射電子ビーム８として、対物電子レンズ２を介して絶縁体試料６に照射できるように、走査型電子顕微鏡試料室本体１内に配置すること、すなわち、電子銃から放出される電子ビームを「方向付け」することは当然の設計事項であり、引用発明の試料を分析する方法においても、走査型電子顕微鏡試料室本体１内に設けられた電子銃から放出される電子ビームが、「方向付け」られていることになり、本願発明と実質的な差異はないことになる。
　
・相違点（う）及び相違点（お）について
（うお−１）一般に、試料を分析する際に、分析する時間はできるだけ短い方が良いことは技術常識であることから、引用発明の試料の分析方法において、分析時間をできるだけ短くして分析しようとする課題が存在することは明らかである。
（うお−２）ところで、上記引用刊行物Ｃに、
（３Ｃ−１）「【請求項１】　電子源と、少なくとも１つの対物レンズと少なくとも１つの投射レンズを含む電子光学結像システムと、
蛍光スクリーン
検出器を備えた電子顕微鏡
１次電子ビーム（２０）が分析される試料
電子顕微鏡
・・・
【請求項１８】
材料（３）の表面を走査するための手段を有する
電子顕微鏡
（３Ｃ−２）「・・・
【００１１】
電子顕微鏡の応用分野は、試料表面を走査する手段を設けることにより広げることができる
（３Ｃ−３）「【００１８】
【実施例】・・・図１に示す電子顕微鏡１はハウジング２を有し、上方から下方に向って、対物レンズ４、該対物レンズ４の像面１１にある絞り５、第１投射レンズ６（伝送レンズ又は中間レンズとも呼ばれている）、第２投射レンズ７、電子増倍管８又は
マルチチャンネルプレート
及び蛍光スクリーン９を備えている
対物レンズ４の上方には調査される試料３がある。
（３Ｃ−４）「【００２２】
　
図５〜７は、電子顕微鏡におけるビーム経路の概略図であ
電子ビームは
試料３の表面に平行に照射する
ＬＥＥＤ像が作られ、その像は、
蛍光スクリーン９上に拡大される
（３Ｃ−５）「
図７には、電子反射器１５で反射した１次電子ビーム２０を対物レンズ４で試料３に所定の広がりを持って集束させ、集束された領域の３点から発生した２次電子を投射レンズ６、７で電子増倍管８上に結像する
　他の周知例としては、例えば、特開平２−２３０６４９号公報に、
「〔産業上の利用分野〕
この発明は、粒子線装置において
試料を検査する方法
・・・
　この発明の方法の実行には第１図に概略的に示した
電子線測定装置
検査材料ＩＣに当たる一次電子ＰＥ、および試料ＩＣから放出された二次電子ＳＥを検出する検出器ＤＴである
線形の一次電子源を
試料ＩＣ上に投影する
二次電子源の拡大像
多数の対象点を同時に一次ビームで走査し、放出された二次電子ＳＥを各対象点に対応する検出素子ＨＤで検出する
試料１Ｃの検査時間は著しく短縮される
試料表面の大面積走査は
達成される
　また、特開平７−２４９３９３号公報に、
「【請求項１】矩形光源からの矩形電子ビームをウェーハ試料面のパターンに合わせたサイズにした
検査用矩形電子ビームにより前記試料面の検査対象部分を走査する矩形電子ビーム発生手段
前記
試料面から生ずる電子信号を検出する電子信号検出手段
前記
電子信号検出手段の出力信号に基づく電子信号像データ
・・・
【請求項４】
電子信号検出手段は
試料面からの二次電子信号を検出する
二次電子信号検出手段によって構成されている
【請求項５】
二次電子検出手段は
二次電子検出センサと
試料面から生ずる電子信号を前記二次電子検出センサの像面に結像させる電界型レンズと
を備えた
【請求項６】
二次電子検出センサは
複数に分割されたマルチアノード電極と
試料面からの二次電子を前記マルチアノード電極に導くマイクロチャネルプレート装置と
を備えた
・・・
【請求項８】
二次電子検出センサは
リニアイメージセンサと
試料面からの二次電子を前記リニアイメージセンサに導くマイクロチャネルプレート装置と
を備えた
・・・
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、ウェーハパターンの欠陥検出方法
高速に検出する方法
・・・
【００４２】図６はそのマルチアノードＭＣＰの構造図を示している。マルチアノードＭＣＰは
複数個の独立したアノードを一次元あるいは二次元に配列したもので、各々のアノードは独立して動作するため、アノードのパターンに依存した位置の情報が得られる
同時計測である
高速化が期待
できる
　そして、走査型電子線測定装置において、試料の分析や検査を行う際に、１次電子ビームが広い領域に照射され、照射された複数の領域から発生する複数の２次電子を複数の検出手段で同時に検出する構成を採用することにより、分析する時間や検査する時間が短くなることは、上記周知例の特開平２−２３０６４９号公報に、
「極めて
多数の対象点を同時に一次ビームで走査し、放出された二次電子ＳＥを各対象点に対応する検出素子ＨＤで検出する
試料１Ｃの検査時間は著しく短縮される
「
同時計測である
高速化が期待（当審注：「気体」は「期待」の誤記。）できる
（うお−３）そうすると、上記（うお−１）で検討したように、引用発明の試料の分析方法において、分析時間をできるだけ短くして分析をする課題が存在し、さらに、試料を引用発明の走査型電子顕微鏡による試料を分析する方法も上記周知の分析や検査を行う方法もともに、一次電子線を試料に走査しながら照射して発生する二次電子を、検出器で検出して像を形成する点で共通するとともに、上記（４−ａ）の（iv）で検討したように、引用発明の「低加速入射電子ビーム８を絶縁体試料６に照射」することは、検出器９が試料の画像を形成するための２次電子を検出できるように、絶縁体試料６の所望の場所に、低加速入射電子ビーム８を、「方向付け」して、照射していることになるから、引用発明の試料を分析する方法において、低加速入射電子ビーム８を対物電子レンズ２を介して、走査型電子顕微鏡試料室本体ｌ内の絶縁体試料６に照射し、低加速入射電子ビーム８が照射された絶縁体試料６から発生する２次電子を検出器９で検出する際に、分析時間をできるだけ短くして分析をするために、周知例の、１次電子ビームが広い領域に照射され、照射された複数の領域から発生する複数の２次電子を複数の検出手段で同時に検出する構成を採用し、本願発明のごとく、前記第１のグループの電子を前記試料の撮像領域に方向付けることが、前記第１のグループの電子を前記試料の「マルチピクセル」撮像領域に方向付ける（相違点（う））ように構成するとともに、検出器を用いて前記撮像領域内におけるピクセルから放出された電子を検出することが、検出器を用いて前記「マルチピクセル」撮像領域内における「複数の」ピクセルから放出された電子を「同時に」検出する（相違点（お））ように構成することは、当業者が容易になし得るものである。
　　　
・相違点（え）について
　上記引用刊行物Ａの摘記事項（３Ａ−２）に、「本発明は
走査型電子顕微鏡
分析装置
試料像を観測したり
試料の分析
試料が絶縁体である場合には単位時間当たりの入射電子（プローブ電流）と２次電子発生率が等しくないと試料は正または負に帯電して試料の表面電位が変化してしまうことになる
　他に、例えば、特開昭６１−２９４７４９号公報に、
「
二次電子放出比δ
δ＝１ならばチャージアップは生じない
走査形電子顕微鏡
「【０００２】
【従来の技術】電子ビームテスタにおける絶縁性膜の帯電低減方法の従来例を説明するのに先だって、図４を参照して電子ビームテスタの原理を極く簡単に説明しておく。図４において、４０は電子ビームテスタを示す。この電子ビームテスタ４０は走査コイル４１を介して
電子ビーム５を被測定部上を２次元的に走査を行い
【０００３】この電子ビームテスタ４０は、実際は、走査コイル４１とＬＳＩ１表面との間に図５に示される如くに２次電子ビーム７を引き出す２次電子引出電極６が具備されている。２次電子引出電極６の２次電子引出電圧は、観察及び計測中は一定値に保たれている。図５において、保護絶縁膜３に電子ビーム５を照射した場合、その表面から２次電子ビーム７が放出され、２次電子引出電極６に印加される電圧により形成される電界により引き出されて２次電子検出器４３に到達し、ここにおいて検出される。
入射した電子ビーム５の電荷と放出された２次電子ビーム７の電荷が等量であれば、保護絶縁膜３に帯電することはない
　そして、引用発明では、絶縁体試料６の表面に発生する負の電荷を蓄積しないようにするために、電源７から試料ホルダ４に加速電圧と反対極性の交流成分を重畳した直流又は直流電圧を印加しているが、上記周知例の特開昭６１−２９４７４９号公報に、
「
δ＝１ならばチャージアップは生じない
料全体の像観察のためには、通常チャージアップしない加速電圧を選んで走査形電子顕微鏡観察等を行っている
「【０００３】・・・
入射した電子ビーム５の電荷と放出された２次電子ビーム７の電荷が等量であれば、保護絶縁膜３に帯電することはない
【０００４】しかし、１ｋｖ程度の加速電圧により電子ビームを加速して電子ビーム照射をする場合、SiN 、 SiO２ より成る保護絶縁膜３は２次電子放出率が１以上であるために、これら保護絶縁膜３の表面は正に帯電するに到る。ＬＳＩ１の保護絶縁膜３表面に帯電すると、このＬＳＩ１の保護絶縁膜３の下方の電極２の電位を観察、計測するに多くの困難を伴うこととなる。保護絶縁膜３表面に電荷が帯電すると、２次電子ビーム７に対する帯電電荷の影響が大きくなることに起因して配線電極２の電位の影響が正常に保護膜上に反映せず、それだけ観察、計測は困難となる。
帯電量は入射する入射電子ビーム量、入射電子ビーム加速電圧
に依存して
変化する
　
　そして、本願発明によってもたらされる作用効果は、引用発明及び周知の技術事項から予測される範囲内のものであって、格別のものではない。
　　
　なお、拒絶査定不服審判の請求人は、当審において通知した拒絶の理由に対して提出した平成２３年６月１４日付けの意見書において、
（ａ）「引用文献Ａに開示されているチャージアップの抑制は、試料ホルダに対して加速電圧と逆極性の交流成分を重畳した直流または交流電流を印加することによって実現されており（第２頁左下欄６行目〜１１行目）、本願請求項１に係る発明が備える特徴（ａ）については開示・示唆されていない。
　すなわち、１次電子ビームのエネルギーを調整することで、試料のチャージアップを抑制するという技術的思想については何も示唆されていない。」旨、
（ｂ）「加えて、引用文献Ａには、単に２次電子検出器９が開示されているに過ぎず、本願請求項１に係る発明が備える複数のピクセルから放出された電子を同時に検出することが可能な検出器（特徴（ｂ））を用いるという技術的思想についても開示・示唆されていない。」旨、及び
（ｃ）「引用文献Ｃに記載の電子顕微鏡は、一切の試料走査を行わない電子顕微鏡であり、図５から図７の記載は、走査法とは無関係な直接結像電子顕微鏡におけるビーム経路を開示しているに過ぎない（段落０００２）。
・・・
　加えて、拒絶理由通知書によれば、引用文献ＡおよびＢと、引用文献Ｃとの組合せについて記述されているが、この記述は、引用文献ＡおよびＢに記載の技術と、引用文献Ｃ記載の技術との技術的差異を考慮しない記述であり、このような組合せが技術的意義を有しないことは当業者にとって明らかである。
　したがって、引用文献ＡおよびＢと引用文献Ｃとを組み合わせることは技術的に許されない。」旨をそれぞれ主張している。
　そこで、上記請求人の主張について検討する。
（ａ）１次電子ビームのエネルギーを調整することで、試料のチャージアップを抑制することは、上記（４−ｂ）の「相違点（え）について」検討したように、試料に照射する１次電子ビームを制御することにより、試料に照射される１次電子の数と、試料から放出される２次電子の数とが同じになるようにして、試料の表面に電荷が蓄積されないようにすることは、周知であり、さらに、上記周知例の特開平６−２９４８４８号公報に、
「【０００４】・・・
帯電量は入射する入射電子ビーム量、入射電子ビーム加速電圧
２次電子ビーム引出電界強度、入射ビーム照射領域、電子ビーム照射走査速度、保護絶縁膜の種類、その他のパラメータに依存して
変化する
　そうすると、本願発明において、「前記第１のグループの電子数と前記試料上から放出される電子数とが等しくなるエネルギーを有するよう制御された前記１次電子ビームを前記試料上に向けることで」前記試料上における安定的な静電荷を維持するようにした点は、単に、試料のチャージアップを抑制する手段のうちの、周知の例を採用したにすぎないものである。
（ｂ）また、複数のピクセルから放出された電子を同時に検出することが可能な検出器（特徴（ｂ）を用いることは、上記（４−ｂ）の「相違点（う）及び相違点（お）について」で検討したように、周知の事項であり、引用発明に周知の構成を採用して、本願発明のごとく構成することは当業者が容易になし得るものである。
（ｃ）さらに、上記（４−ｂ）の「相違点（う）及び相違点（お）について」で検討したように、上記引用刊行物Ｃの摘記事項（３Ｃ−１）に、
「【請求項１８】
材料（３）の表面を走査するための手段を有する
電子顕微鏡
「【００１１】
電子顕微鏡の応用分野は、試料表面を走査する手段を設けることにより広げることができる
　
　したがって、本願発明は、引用発明及び周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。 
　　
第５　むすび
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その余の請求項に係る発明を検討するまでもなく、当審が通知した上記拒絶の理由によって拒絶をすべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。