【事件の表示】
　特願２００５−３１０２０６「薄膜磁気ヘッド用構造物およびその製造方法並びに薄膜磁気ヘッド」拒絶査定不服審判事件〔平成１８年　６月　１日出願公開、特開２００６−１３９８９８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯 
　
　本願は、平成１７年１０月２５日（パリ条約による優先権主張２００４年１１月１２日、米国）の出願であって、平成２１年９月１５日付けで通知した拒絶理由に対して、平成２２年２月１５日付けで手続補正がなされたが、同年５月１９日付けで拒絶すべきものである旨の査定がなされ、これに対して、同年８月２６日付けで拒絶査定不服審判請求がなされたものである。
　
　
第２．本願発明について
　
１．本願発明
　
  本願の請求項１ないし１２に係る発明は、平成２２年２月１５日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１ないし１２に記載されたとおりのものであるところ、本願の請求項１１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
　
「　　【請求項１１】
　記録媒体に対向する媒体対向面の側に磁極端部を有する主磁極層と、前記媒体対向面の側において、記録ギャップ層を形成するようにして前記磁極端部に対向するライトシールド層と、前記ライトシールド層または前記主磁極層の周りに巻回された薄膜コイルとが積層された構成を有する薄膜磁気ヘッドであって、
　前記主磁極層の前記磁極端部が、その延在方向に関する幅が略均一である均一幅部を有
し
　
前記主磁極層に対応する形状に窪み、その幅が０．２μｍ以下で略均一であり且つその延在方向に沿った長さが０．３〜１．２μｍである極細溝部を含む磁極形成用凹部を有するベース絶縁層を備え
　
前記磁極形成用凹部の前記極細溝部に前記均一幅部がめっき形成されてい
　
２．引用例
　
（１）引用例１
　 原査定の拒絶の理由に引用された本願優先権主張の日前に頒布された刊行物である特開２００４−２９５９８７号公報（以下、「引用例１」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（なお、以下、摘記事項の下線は当審で付した。）。
　
ア．「【請求項１】
磁束を発生させる薄膜コイル
この薄膜コイルを周囲から電気的に分離する絶縁層と、
所定の媒体進行方向に移動する
記録媒体に対向する記録媒体対向面からこの面と離れる方向に記録トラック幅を規定する一定幅をもって延在する第１の磁極層部分と、この第１の磁極層部分の後方に連結され、前記第１の磁極層部分よりも大きな幅を有する第２の磁極層部分とを含み、前記薄膜コイルにおいて発生した磁束を前記記録媒体に向けて放出する磁極層
この磁極層の前記媒体進行方向における媒体流出側に、
前記記録媒体対向面に近い側においてギャップ層を介して前記磁極層と対向すると共に前記記録媒体対向面から遠い側のバックギャップにおいて前記磁極層と連結されるように配設され、前記磁極層から放出されて前記記録媒体を磁化した磁束を環流させる環流磁極層
前記磁極層のうちの前記第１の磁極層部分の幅をＷ１（μｍ）とし、前記記録媒体対向面と前記磁極層の幅が前記第１の磁極層部分から前記第２の磁極層部分へ拡がる拡幅位置との間の距離をＮＨ（μｍ）とし、前記記録媒体対向面と前記絶縁層の最前端位置との間の距離をＴＨ（μｍ）としたとき、距離ＮＨがＮＨ≦Ｗ１＋０．０５μｍの範囲内であり、かつ距離比ＮＨ／ＴＨが０．５＜ＮＨ／ＴＨ＜１．６の範囲内である
ことを特徴とする
薄膜磁気ヘッド
　
イ．「【００１７】
記録ヘッド部１００Ｂは、例えば、
絶縁層９，１１により周囲を埋設された磁極層２０と
連結用の開口（バックギャップ１２ＢＧ）を有するギャップ層１２と
磁束発生用の薄膜コイル１３と
リターンヨーク層１５（環流磁極層）とがこの順に積層された構成を有している
【００１８】
磁極層２０は、薄膜コイル１３において発生した磁束を収容し、その磁束を記録媒体に向けて放出するものであり、例えば、主要な磁束の放出部分として機能する主磁極層１０
　
ウ．「【００２０】
主磁極層１０は、エアベアリング面３０からこの面と離れる方向に延在しており、このエアベアリング面３０から記録トラック幅を規定する一定幅Ｗ１（μｍ）をもって延在する先端部１０Ａ（第１の磁極層部分）と、この先端部１０Ａの後方に連結され、先端部１０Ａの幅Ｗ１よりも大きな幅Ｗ２（Ｗ２＞Ｗ１）を有する後端部１０Ｂ（第２の磁極層部分）とを含んで構成されている
先端部１０Ａの幅Ｗ１は、約０．２μｍ以下である
このフレアポイントＦＰとエアベアリング面３０との間の距離は「ネックハイトＮＨ（μｍ）」であり、約０．３μｍ以下である
【００２１】
ギャップ層１２は、エアベアリング面３０近傍において主磁極層１０とリターンヨーク層１５との間に磁気的なギャップを設けるためのものである
【００２２】
薄膜コイル１３は、例えば、バックギャップ１２ＢＧを中心としてスパイラル状に巻回する巻線構造を有しており
　
エ．「【００２４】
リターンヨーク層１５は、磁極層２０から放出されて記録媒体を磁化した磁束を環流させるためのものであり、磁極層２０のトレーリング側（媒体流出側）に、エアベアリング面３０に近い側においてギャップ層１２を介して磁極層２０と対向すると共にエアベアリング面３０から遠い側のバックギャップ１２ＢＧにおいて磁極層２０と連結されるように配設されている
　
オ．「【００３６】
続いて、例えばＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ  ）法を使用して、少なくとも補助磁極層８が露出するまで前駆絶縁層９Ｚを研磨して平坦化することにより、図５に示したように、補助磁極層８の周囲を埋め込むように
絶縁層９を形成する
絶縁層９とにより構成された平坦面上に
めっき処理
を使用して、鉄コバルト合金（ＦｅＣｏ）系または鉄コバルトニッケル合金（ＦｅＣｏＮｉ）系の磁性材料よりなる磁性層（図示せず）を形成したのち、フォトリソグラフィ技術やエッチング技術を使用して磁性層をパターニングすることにより、主磁極層１０を選択的に形成する
この主磁極層１０を形成する際には、前方から順に先端部１０Ａと後端部１０Ｂとを含むようにし
続いて、例えばスパッタリングを使用して、主磁極層１０およびその周辺の絶縁層９を覆うように、アルミナよりなる前駆絶縁層１１Ｚを形成する
【００３７】
続いて、例えばＣＭＰ法を使用して、少なくとも主磁極層１０が露出するまで前駆絶縁層１１Ｚを研磨して平坦化することにより、図６に示したように、主磁極層１０の周囲を埋め込むように絶縁層１１を形成する
　
　上記アないしオの記載によれば、引用例１には次の発明（以下、「引用例１発明」という。）が記載されている。
　
　記録媒体に対向する記録媒体対向面の側に先端部である第１の磁極層部分を含む主磁極層と、前記記録媒体対向面に近い側において、ギャップ層を介して前記第１の磁極層部分と対向する環流磁極層と、前記環流磁極層の周りに巻回する薄膜コイルとが積層された構成を有している薄膜磁気ヘッドであって、
　前記第１の磁極層部分が、記録媒体対向面からこの面と離れる方向に記録トラック幅を規定する一定幅をもって延在し、
　その一定幅が約０．２μｍ以下である、
薄膜磁気ヘッド。
　
（２）引用例２
　 原査定の拒絶の理由に引用された本願優先権主張の日前に頒布された刊行物である特開２００２−９２８２１号公報（以下、「引用例２」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
　
カ．「【請求項９】
無機絶縁膜上にレジストパターンを形成する工程と、該レジストパターンをマスクに前記無機絶縁膜をエッチングし
溝を形成する工程と
該無機絶縁膜上に
メッキ下地膜を形成する工程と
該メッキ下地膜上に磁性膜をメッキする工程と
該磁性膜をケミカルメカニカルポリッシング（CMP）により研磨する工程を順次行い、主磁極を形成する
単磁極型磁気ヘッドの製造方法
　
キ．「【００１７】図９に、本発明の製造行程の該略図を示す（但し、図の拡大倍率は均一では無い）。
無機絶縁膜上にレジストパターンを形成したところを（a)に示す
このレジストパターンをマスクとして用いて、無機絶縁膜のエッチングを行ったところを(b)に示す
次に磁性膜を形成したところを（e)に示す
電解メッキの場合は、メッキの下地膜を形成後、メッキする必要が有る
(f)に磁性膜上面の平坦化を行い、主磁極を形成したところを示す
このときトラック幅は、(a)の工程のレジストパターンと同じ0.2μmが得られ
　
３．対比
　
　引用例１発明と本願発明とを対比する。
　
　引用例１発明の「薄膜磁気ヘッド」は、本願発明の「薄膜磁気ヘッド」に相当する。
　
　引用例１発明の「主磁極層」が「記録媒体に対向する記録媒体対向面の側に先端部である第１の磁極層部分を含む」ことは、本願発明の「主磁極部分」が「記録媒体に対向する媒体対向面の側に磁極端部を有する」ことに相当する。
　
　引用例１発明の「ギャップ層」は、明らかに本願発明の「記録ギャップ層」に相当するから、引用例１発明の「前記記録媒体対向面に近い側において、ギャップ層を介して前記第１の磁極部分と対向する環流磁極層」は、本願発明の「前記媒体対向面の側において、記録ギャップ層を形成するようにして前記磁極端部に対向するライトシールド層」に相当する。
　
　引用例１発明の「薄膜コイル」が「環流磁極層の回りに巻回する」ことは、本願発明の同じく「薄膜コイル」が、「ライトシールド層」「の周りに巻回された」ことに相当する。
　
　引用例１発明において、「前記第１の磁極層部分が記録媒体対向面からこの面と離れる方向に記録トラック幅を規定する一定幅をもって延在する」ことは、本願発明において、「前記磁極端部が、その延在方向に関する幅が略均一である均一幅部を有」することに相当する。
　
　以上のことから、引用例１発明と本願発明の一致点及び相違点は、次のとおりである。
　
［一致点］
　
「　記録媒体に対向する媒体対向面の側に磁極端部を有する主磁極層と、前記媒体対向面の側において、記録ギャップ層を形成するようにして前記磁極端部に対向するライトシールド層と、前記ライトシールド層の周りに巻回された薄膜コイルとが積層された構成を有する薄膜磁気ヘッドであって、
　前記主磁極層の前記磁極端部が、その延在方向に関する幅が略均一である均一幅部を有する、
　薄膜磁気ヘッド。」である点。
　
［相違点］
　
　選択的記載（前記ライトシールド層又は前記主磁極層）については、一つの選択肢で一致すれば残りの選択肢については相違点とする必要がないので、引用例１発明と本願発明との相違点は次のとおりである。
　
　本願発明では、「前記主磁極層に対応する形状に窪み、その幅が０．２μｍ以下で略均一であり且つその延在方向に沿った長さが０．３〜１．２μｍである極細溝部を含む磁極形成用凹部を有するベース絶縁層を備え、前記磁極形成用凹部の前記極細溝部に前記均一幅部がめっき形成されている」のに対し、引用例１発明では、主磁極層の磁極端部の均一幅部の幅が０．２μｍ以下で略均一であることが特定されているにとどまる点。
　
４．判断
　
　本願発明において、極細溝部について「且つその延在方向に沿った長さが０．３〜１．２μｍである」との特定があるところ、当該特定は「薄膜磁気ヘッド」という物の特定には実質的に寄与しないものである。
　なぜなら、「薄膜磁気ヘッド用構造物」であれば「その延在方向に沿った長さが０．３〜１．２μｍである極細溝部」を有するが、これをＡＢＳで切断した後の「薄膜磁気ヘッド」は「その延在方向に沿った長さが０．３〜１．２μｍである極細溝部」を有しないからである。
（なお、本願の【００３６】には、「そして、磁極端部１１´の奥行き（ＡＢＳ３０からの距離）がネックハイトＮＨに対応するようになっている（本実施の形態では、ネックハイトＮＨは０．１〜０．３μｍ程度、好ましくは０．１５μｍになっている）。」とあり、「薄膜磁気ヘッド」はその延在方向に沿った長さが０．１〜０．３μｍである極細溝部を有していると想定される。）
　してみれば、本願発明の「前記主磁極層に対応する形状に窪み、その幅が０．２μｍ以下で略均一であり且つその延在方向に沿った長さが０．３〜１．２μｍである極細溝部を含む磁極形成用凹部を有するベース絶縁層を備え、」は、「前記主磁極層に対応する形状に窪み、その幅が０．２μｍ以下である極細溝部を含む磁極形成用凹部を有するベース絶縁層を備え、」と実質的に差異がない。
　
　この点を踏まえて、上記相違点について検討する。
　
　引用例１の「オ．」には、絶縁材に囲まれた主磁極とするにあたり、絶縁層上にめっき処理を使用して磁性層を形成したのち、磁性層を主磁極層に対応する形状にパターニングし、主磁極層およびその周辺の絶縁層を覆うように前駆絶縁層を形成し、主磁極層が露出するまで前駆絶縁層を研磨して平坦化することが記載されている。
　
　引用例２の「カ．」、「キ．」を参照すると、絶縁材に囲まれた主磁極とするにあたり、無機絶縁膜（本願発明の「ベース絶縁層」に対応する）に主磁極に対応する形状の溝（本願発明の「磁極形成用凹部」に対応する）を形成し、溝に磁性膜をメッキし、磁性膜を平坦化することが記載されている。さらに、これによって、主磁極のトラック幅が０．２μｍのものが得られることが記載されている。
　なお、同様のことが、特開２００３−２４２６０７号公報（以下、「周知例１」という。）にも記載されている（実施例６、図１５等）。
　
　ここで、引用例１と引用例２及び周知例１とは、垂直磁気記録用の薄膜磁気ヘッドという同一の技術分野に属しており、引用例１発明において、絶縁材に囲まれた主磁極を形成するにあたり、引用例２及び周知例１に記載のものを適用することを妨げる特段の事情も窺えないので、主磁極層に対応する形状に窪み、その幅が０．２μｍ以下で略均一である極細溝部を含む磁極形成用凹部を有するベース絶縁層を備え、前記磁極形成用凹部の前記極細溝部に前記均一幅部がめっき形成されたものとすることは、当業者にとって容易に想到しうることである。
　
　そして、上記相違点により本願発明が奏する効果は、引用例１及び２に記載された発明及び周知技術から、当業者が十分に予測できたものであって、格別なものとはいえない。
　
　以上のとおり、本願発明は、引用例１発明、引用例２に記載された発明、及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　
第３．むすび
　
　以上のとおり、本願の請求項１１に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本願は、その余の請求項について論及するまでもなく、拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。