【事件の表示】
　特願２００１−３１６１４７「酸化膜形成材料および酸化膜形成方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年　４月２５日出願公開、特開２００３−１２４４６０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本願は、平成１３年１０月１５日の出願であって、平成１９年９月６日付けで拒絶理由通知が発せられ、これに対して同年１０月１１日に手続補正書及び意見書が提出されたが、平成２０年１１月２８日付けで拒絶査定がされ、同年１２月２６日に拒絶査定に対する審判請求がされたものである。
　
第２．本願発明
　本願の請求項１〜１６に係る発明は、平成１９年１０月１１日に提出された手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、明細書の特許請求の範囲の請求項１〜１６に記載された事項により特定されるものであり、そのうちの請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、以下のとおりのものである。
　
「Ｌｎの群の中から選ばれる一つ又は二つ以上の元素とＳｉとＯとＮとを含有する酸化膜の形成材料であって、
　Ｌｎのアルコキシド化合物、Ｌｎのβ−ジケトネート化合物、Ｌｎのアルキルアミド化合物、Ｌｎのアルキル置換シクロペンタジエニル化合物の群の中から選ばれる一つ又は二つ以上の第１の化合物（但し、Ｌｎはランタノイド元素）と、
　（Ｒ１Ｒ２Ｎ）ｎＳｉＨ４−ｎ（但し、Ｒ１，Ｒ２は炭化水素基、又はシリコン系化合物の基、ｎは１〜４の整数）で表される第２の化合物
とを有することを特徴とする酸化膜形成材料。」
　
第３．先願明細書等の記載と先願発明
１．先願明細書等の記載
（１）特許法第２９条の２の規定に関して原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願前の他の出願であって、本願の出願後に出願公開（特開２００２−０３３３１７号公報参照）された特願２００１−１１１５０３号（以下「先願」という。）の願書に最初に添付した明細書及び図面（以下まとめて「先願明細書等」という。）には、「組成勾配を有する金属メタロイド酸化物および窒化物の堆積方法」（発明の名称）に関して、次の記載がある（下線は当審で付加したもの）。
　
「【請求項２】  電子材料の基体上に、金属およびメタロイドの組成勾配を層中に有する多数の金属およびメタロイド化合物層を堆積させる方法であり：
ａ）
２つ以上の金属リガンドおよびメタロイドリガンド複合体前駆体の混合物を供給する
該リガンドは
アルコキシド
ｂ）該混合物を該基体が配置されている堆積帯域に送り出すこと；
ｃ）堆積条件下で該基体を該混合物と接触させること、ここで堆積条件下の該基体を該混合物と接触させることが、化学蒸着、スプレー熱分解、ジェット蒸気堆積、ゾル−ゲル処理、スピンコーティング、化学溶液堆積、および原子層堆積からなる群より選ばれる；
ｄ）該堆積条件の温度を、該接触の間に、第１の温度から、該第１の温度より少くとも４０℃異なる第２の温度に変動させること、ならびに
ｅ）
多くの金属およびメタロイド化合物層を該混合物から該基体上に堆積
「【請求項４】  
該金属が
ランタン
ジルコニウム
セリウム
「【請求項１０】  
該多数の金属およびメタロイド化合物層が
混合された金属およびメタロイドオキシ窒化物
「【請求項１２】  
該メタロイドがケイ素
「  【０００６】層間絶縁膜、
ゲート酸化物
オキシ窒化物
混合金属もしくは金属／メタロイド組成物の変動組成勾配がある材料
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来技術は、堆積層の深さにわたって組成勾配を有する混合された金属／メタロイド酸化物、オキシ窒化物もしくは窒化物の堆積層を制御し得て製造するための迅速で、簡易で、そして再現性のある方法を提供することができなかった。本発明は以下に詳細に述べるように、この不都合を克服するものである。」
「【００１７】
【実施例】本発明はいくつかの実施例によりさらに例証されるが、これらに限定されない。
実施例１  
Ｚｒ（ＮＥｔ
2
）
4
およびＳｉ（ＮＭｅ
2
）
4
からＺｒ−Ｓｉ−Ｏ薄膜のＣＶＤ
Ｚｒ〔Ｎ（ＣＨ
2
ＣＨ
3
）
2
）
4
 およびＳｉ〔Ｎ（ＣＨ
3
）
2
）
4
（モル比Ｚｒ：Ｓｉ＝１：１）金属リガンド複合体前駆体の無溶媒混合物が、直接液体注入系に、変動しうる酸素流とともにヘリウム掃引ガス１００sccmを用い、混合金属化合物膜堆積のためのウェハ基板ターゲット上に、蒸発温度１１０℃で０．１２mL／分で送り出され、そこでウェハは２８０〜４３０℃に保持された。
実施例２  
Ｚｒ（ＮＥｔ
2
）
4
およびＳｉ（ＮＭｅ
2
）
4
からＺｒ−Ｓｉ−Ｎ薄膜のＣＶＤ
Ｚｒ〔Ｎ（ＣＨ
2
ＣＨ
3
）
2
）
4
 およびＳｉ〔Ｎ（ＣＨ
3
）
2
）
4
（モル比Ｚｒ：Ｓｉ＝１：１）金属リガンド複合体前駆体の無溶媒混合物が、直接液体注入系に、２００scc のアンモニア流とともにヘリウム掃引ガス１００sccmを用い、混合金属化合物膜堆積のためのウェハ基板ターゲット上に、蒸発温度９０℃で０．１２mL／分で送り出され、そこでウェハは３８０〜３６０℃に保持された。
　
（２）そして、「組成勾配を有する金属メタロイド酸化物および窒化物の堆積方法」（発明の名称）に関して先願明細書等に記載された「２つ以上の金属リガンドおよびメタロイドリガンド複合体前駆体の混合物」（請求項２）には、金属が「ランタン」および「セリウム」の群より選ばれ（請求項４）、かつ、メタロイドが「ケイ素」（請求項１２）である「混合された金属およびメタロイドオキシ窒化物」（請求項１０）の形成材料であって、当該混合物の「金属リガンド複合体前駆体」は、金属が「ランタン」および「セリウム」の群より選ばれ（請求項４）、かつ、リガンドが「アルコキシド」（請求項２）のものであり、さらに、当該混合物の「メタロイドリガンド複合体前駆体」は「Ｓｉ〔Ｎ（ＣＨ3）2）4」（実施例１，２）である材料も含まれることは明らかである。
　
２．先願発明
　そうすると、先願明細書等には、次の発明（以下「先願発明」という。）が記載されているといえる。
　
「金属がランタンおよびセリウムの群より選ばれ、メタロイドがケイ素である混合された金属およびメタロイドオキシ窒化物の形成材料であって、
　金属がランタンおよびセリウムの群より選ばれ、かつ、リガンドがアルコキシドである金属リガンド複合体前駆体と、
　Ｓｉ〔Ｎ（ＣＨ3）2）4からなるメタロイドリガンド複合体前駆体
とを有することを特徴とする金属およびメタロイドオキシ窒化物の形成材料。」
　
第４．本願発明と先願発明の対比
（１）本願発明と先願発明とを対比する。
ア　先願発明の「ランタンおよびセリウムの群より選ばれ」る元素及び「ケイ素」は、それぞれ本願発明の「Ｌｎの群の中から選ばれる一つ又は二つ以上の元素」及び「Ｓｉ」に相当し、かつ、先願発明の「金属およびメタロイドオキシ窒化物」は、本願発明と同じく「Ｏ」と「Ｎ」とを含有するものであるから、先願発明の「金属がランタンおよびセリウムの群より選ばれ、メタロイドがケイ素である混合された金属およびメタロイドオキシ窒化物」は、本願発明の「Ｌｎの群の中から選ばれる一つ又は二つ以上の元素とＳｉとＯとＮとを含有する酸化膜」に相当する。
　
イ　先願発明の「金属」が「ランタンおよびセリウムの群より選ばれ」、かつ、「リガンド」が「アルコキシド」である「金属リガンド複合体前駆体」は、本願発明の「Ｌｎのアルコキシド化合物」からなる「第１の化合物」に相当する。他方、本願発明の「Ｌｎのアルコキシド化合物、Ｌｎのβ−ジケトネート化合物、Ｌｎのアルキルアミド化合物、Ｌｎのアルキル置換シクロペンタジエニル化合物の群の中から選ばれる一つ又は二つ以上の第１の化合物（但し、Ｌｎはランタノイド元素）」は択一的記載であるから、そのうちの一要素の一致は一致点であるといえる。そうすると、先願発明の「金属」が「ランタンおよびセリウムの群より選ばれ」、かつ、「リガンド」が「アルコキシド」である「金属リガンド複合体前駆体」は、本願発明の「Ｌｎのアルコキシド化合物、Ｌｎのβ−ジケトネート化合物、Ｌｎのアルキルアミド化合物、Ｌｎのアルキル置換シクロペンタジエニル化合物の群の中から選ばれる一つ又は二つ以上の第１の化合物（但し、Ｌｎはランタノイド元素）」に相当する。
　
ウ　先願発明の、「Ｓｉ〔Ｎ（ＣＨ3）2）4」からなる「メタロイドリガンド複合体前駆体」は、本願発明の「（Ｒ１Ｒ２Ｎ）ｎＳｉＨ４−ｎ（但し、Ｒ１，Ｒ２は炭化水素基、又はシリコン系化合物の基、ｎは１〜４の整数）」のｎ＝４，Ｒ１＝Ｒ２＝ＣＨ3のときと一致する。他方、本願発明の「但し、Ｒ１，Ｒ２は炭化水素基、又はシリコン系化合物の基、ｎは１〜４の整数」は択一的記載であるから、そのうちの一要素の一致は一致点であるといえる。そうすると、先願発明の「Ｓｉ〔Ｎ（ＣＨ3）2）4」からなる「メタロイドリガンド複合体前駆体」は、本願発明の「（Ｒ１Ｒ２Ｎ）ｎＳｉＨ４−ｎ（但し、Ｒ１，Ｒ２は炭化水素基、又はシリコン系化合物の基、ｎは１〜４の整数）で表される第２の化合物」に相当する。
　
エ　先願発明の「金属およびメタロイドオキシ窒化物の形成材料」は、本願発明の「酸化膜形成材料」に相当する。
　
（２）そうすると、本願発明と先願発明の一致点は、次のとおり、
　
〔一致点〕
「Ｌｎの群の中から選ばれる一つ又は二つ以上の元素とＳｉとＯとＮとを含有する酸化膜の形成材料であって、
　Ｌｎのアルコキシド化合物、Ｌｎのβ−ジケトネート化合物、Ｌｎのアルキルアミド化合物、Ｌｎのアルキル置換シクロペンタジエニル化合物の群の中から選ばれる一つ又は二つ以上の第１の化合物（但し、Ｌｎはランタノイド元素）と、
　（Ｒ１Ｒ２Ｎ）ｎＳｉＨ４−ｎ（但し、Ｒ１，Ｒ２は炭化水素基、又はシリコン系化合物の基、ｎは１〜４の整数）で表される第２の化合物
とを有することを特徴とする酸化膜形成材料。」
　
であって、相違点はない。
　よって、本願発明は、先願発明と同一である。
　
（３）なお、審判請求人は審判請求書において、「特許請求の範囲に如何に包括的概念で記載されていようとも、発明の詳細な説明の欄に裏付けられた記載が無いならば、そのような記載（発明）は無いと考えるのが合理的であると思慮しております。」との内容で、先願明細書等に記載された発明は包括的概念のものであり、本願発明のような特定の元素を含有する酸化膜を形成する為の膜形成材料として、特定の第１化合物と特定の第２化合物との組み合わせを必須の要件とする技術思想がない点において、本願発明と先願発明とは相違する旨を主張しているので、このような主張についても検討する。
　ここで、本願及び先願の出願時において適用される法令には、明細書の「発明の詳細な説明」について、「経済産業省令で定めるところにより、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者がその実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載」しなければならず(特許法第３６条第４項)、また、「特許法第３６条第４項の経済産業省令で定めるところによる記載は、発明が解決しようとする課題及びその解決手段その他のその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が発明の技術上の意義を理解するために必要な事項を記載することによりしなければならない。」（特許法施行規則第２４条の２）とされ、さらには、「願書に添付すべき明細書は、様式第２９により作成しなければならない。」（特許法施行規則第２４条）として定められる様式第２９に、「特許を受けようとする発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者がその実施をすることができるように、発明をどのように実施するかを示す発明の実施の形態を記載し、必要があるときは、これを具体的に示した実施例を記載する。その発明の実施の形態は、特許出願人が最良と思うものを少なくとも一つ挙げて記載する。」（特許法施行規則様式２９備考１５ハ）とされていることに照らし、本願及び先願の出願人が明細書を作成する際は、当業者が発明の技術上の意義を理解するために必要な事項が発明の実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載されている限りにおいて、発明の実施の形態として最良と思うものを少なくとも一つ挙げて記載すれば足りる一方で、明細書の特許請求の範囲に記載された発明すべての実施の形態を網羅的に記載することまで求められていないことは明らかである。
　そして、先願明細書等の段落【０００６】には、「オキシ窒化物」の形態で「混合金属もしくは金属／メタロイド組成物の変動組成勾配がある材料」、すなわち先願発明における「金属およびメタロイドオキシ窒化物」に関する用途として「ゲート酸化物」が記載されていることは明らかであり、これは、本願発明の「酸化膜形成材料」に関して本願明細書に記載された「ゲート酸化膜」とも、同じ用途のものである。また、先願明細書等における材料に関する択一的記載は、上記第３．及び上記第４．（１）でも検討したとおり、本願発明のような、特定の元素を含有する酸化膜を形成する為の膜形成材料としての特定の第１化合物と特定の第２化合物との組み合わせをも明らかに包含したものであるし、逆に、本願発明のような特有の組み合わせの材料選択をすることによって、上述したごとく材料に関する択一的記載のある先願明細書等に記載の発明と比較して、効果に顕著な差異があるものとも認められない。
　そうすると、たとえ、審判請求人が審判請求書において主張をしているように、先願明細書等に記載された発明には、本願発明のような特定の元素を含有する酸化膜を形成する為の膜形成材料として、特定の第１化合物と特定の第２化合物との組み合わせを必須の要件とする技術思想がないものだったとしたところで、上記したように、本願発明と先願明細書に記載された発明とは、発明特定事項及び用途に一致点が見られるものであって、かつ、発明の効果として顕著な差異があるものとも認められないから、両発明は技術的思想の創作として同一のものである。そして、先願明細書等に記載された発明から、上記第３．２．に述べたような先願発明が抽出されるから、上記第４．（２）に述べたように「本願発明は、先願発明と同一である。」と結論せざるを得ない。
　
第５．予備的検討
　先願明細書等に記載された発明は、必ずしも上記第３．２．で「先願発明」として認定した内容としての発明には限られず、以下に述べるような別の発明特定事項を含む内容の「先願発明２」としても認定できるので、そのような場合についても予備的検討を行う。
　
１．先願明細書等の記載
（１）先願明細書等には上記第３．１．に摘記したとおりの記載がある。
　
（２）「組成勾配を有する金属メタロイド酸化物および窒化物の堆積方法」（発明の名称）に関して先願明細書等に記載された「２つ以上の金属リガンドおよびメタロイドリガンド複合体前駆体の混合物」（請求項２）としては、金属が「ランタン」および「セリウム」の群より選ばれ（請求項４）、かつ、メタロイドが「ケイ素」（請求項１２）である「混合された金属およびメタロイドオキシ窒化物」（請求項１０）の形成材料も含まれることは明らかである。すなわち、先願明細書等には、「金属がランタンおよびセリウムの群より選ばれ、メタロイドがケイ素である混合された金属およびメタロイドオキシ窒化物」についても記載がある。
　
（３）また、先願明細書等の実施例１には、「Ｚｒ〔Ｎ（ＣＨ2ＣＨ3）2）4 およびＳｉ〔Ｎ（ＣＨ3）2）4」「金属リガンド複合体前駆体の無溶媒混合物」が、「酸素流とともに」ウェハ基板ターゲット上に送り出され、「Ｚｒ−Ｓｉ−Ｏ薄膜」が堆積されることが記載され、先願明細書等の実施例２には、「Ｚｒ〔Ｎ（ＣＨ2ＣＨ3）2）4 およびＳｉ〔Ｎ（ＣＨ3）2）4」「金属リガンド複合体前駆体の無溶媒混合物」が、「アンモニア流」とともにウェハ基板ターゲット上に送り出され、「Ｚｒ−Ｓｉ−Ｎ薄膜」が堆積されることが記載されているところ、上記（２）に述べたような「金属がランタンおよびセリウムの群より選ばれ、メタロイドがケイ素である混合された金属およびメタロイドオキシ窒化物」を形成する場合には、「金属」材料の選択肢として「ジルコニウム」とともに「ランタン」や「セリウム」が列記された請求項４の記載を参酌することで、当該実施例１及び２記載の「Ｚｒ〔Ｎ（ＣＨ2ＣＨ3）2）4 」における「Ｚｒ」の代わりに「ランタン」または「セリウム」を用いた「金属リガンド複合体前駆体」と、「Ｓｉ〔Ｎ（ＣＨ3）2）4」とを選択し、これらを「酸素流」及び「アンモニア流」とともにウェハ基板ターゲット上に送り出し、上記金属およびメタロイドオキシ窒化物を形成すれば良いことは自明であって、これも先願明細書等に実質的に記載されているといえる。
　
２．先願発明２
　そうすると、先願明細書等には、次の発明（以下「先願発明２」という。）が記載されているといえる。
　
「金属がランタンおよびセリウムの群より選ばれ、メタロイドがケイ素である混合された金属およびメタロイドオキシ窒化物の形成材料であって、
　Ｚｒ〔Ｎ（ＣＨ2ＣＨ3）2）4 におけるＺｒの代わりにランタンまたはセリウムを用いた金属リガンド複合体前駆体と、
　Ｓｉ〔Ｎ（ＣＨ3）2）4からなるメタロイドリガンド複合体前駆体
とを有することを特徴とする金属およびメタロイドオキシ窒化物の形成材料。」
　
３．本願発明と先願発明２の対比
（１）本願発明と先願発明２とを対比する。
ア　先願発明２の「ランタンおよびセリウムの群より選ばれ」る元素及び「ケイ素」は、それぞれ本願発明の「Ｌｎの群の中から選ばれる一つ又は二つ以上の元素」及び「Ｓｉ」に相当し、かつ、先願発明２の「金属およびメタロイドオキシ窒化物」は、本願発明と同じく「Ｏ」と「Ｎ」とを含有するものであるから、先願発明２の「金属がランタンおよびセリウムの群より選ばれ、メタロイドがケイ素である混合された金属およびメタロイドオキシ窒化物」は、本願発明の「Ｌｎの群の中から選ばれる一つ又は二つ以上の元素とＳｉとＯとＮとを含有する酸化膜」に相当する。
　
イ　先願発明２の「Ｚｒ〔Ｎ（ＣＨ2ＣＨ3）2）4 におけるＺｒの代わりにランタンまたはセリウムを用いた金属リガンド複合体前駆体」は、本願発明の「Ｌｎのアルキルアミド化合物」からなる「第１の化合物」に相当する。他方、本願発明の「Ｌｎのアルコキシド化合物、Ｌｎのβ−ジケトネート化合物、Ｌｎのアルキルアミド化合物、Ｌｎのアルキル置換シクロペンタジエニル化合物の群の中から選ばれる一つ又は二つ以上の第１の化合物（但し、Ｌｎはランタノイド元素）」は択一的記載であるから、そのうちの一要素の一致は一致点であるといえる。そうすると、先願発明２の「Ｚｒ〔Ｎ（ＣＨ2ＣＨ3）2）4 におけるＺｒの代わりにランタンまたはセリウムを用いた金属リガンド複合体前駆体」は、本願発明の「Ｌｎのアルコキシド化合物、Ｌｎのβ−ジケトネート化合物、Ｌｎのアルキルアミド化合物、Ｌｎのアルキル置換シクロペンタジエニル化合物の群の中から選ばれる一つ又は二つ以上の第１の化合物（但し、Ｌｎはランタノイド元素）」に相当する。
　
ウ　先願発明２の、「Ｓｉ〔Ｎ（ＣＨ3）2）4」からなる「メタロイドリガンド複合体前駆体」は、本願発明の「（Ｒ１Ｒ２Ｎ）ｎＳｉＨ４−ｎ（但し、Ｒ１，Ｒ２は炭化水素基、又はシリコン系化合物の基、ｎは１〜４の整数）」のｎ＝４，Ｒ１＝Ｒ２＝ＣＨ3のときと一致する。他方、本願発明の「但し、Ｒ１，Ｒ２は炭化水素基、又はシリコン系化合物の基、ｎは１〜４の整数」は択一的記載であるから、そのうちの一要素の一致は一致点であるといえる。そうすると、先願発明２の「Ｓｉ〔Ｎ（ＣＨ3）2）4」からなる「メタロイドリガンド複合体前駆体」は、本願発明の「（Ｒ１Ｒ２Ｎ）ｎＳｉＨ４−ｎ（但し、Ｒ１，Ｒ２は炭化水素基、又はシリコン系化合物の基、ｎは１〜４の整数）で表される第２の化合物」に相当する。
　
エ　先願発明２の「金属およびメタロイドオキシ窒化物の形成材料」は、本願発明の「酸化膜形成材料」に相当する。
　
（２）そうすると、本願発明と先願発明２の一致点は、次のとおり、
　
〔一致点〕
「Ｌｎの群の中から選ばれる一つ又は二つ以上の元素とＳｉとＯとＮとを含有する酸化膜の形成材料であって、
　Ｌｎのアルコキシド化合物、Ｌｎのβ−ジケトネート化合物、Ｌｎのアルキルアミド化合物、Ｌｎのアルキル置換シクロペンタジエニル化合物の群の中から選ばれる一つ又は二つ以上の第１の化合物（但し、Ｌｎはランタノイド元素）と、
　（Ｒ１Ｒ２Ｎ）ｎＳｉＨ４−ｎ（但し、Ｒ１，Ｒ２は炭化水素基、又はシリコン系化合物の基、ｎは１〜４の整数）で表される第２の化合物
とを有することを特徴とする酸化膜形成材料。」
　　
であって、相違点はない。
　よって、本願発明は、先願発明２と同一である。
　
第６．むすび
　本願発明は、先願発明及び先願発明２と同一であり、本願発明の発明者は先願発明及び先願発明２の発明者と同一ではなく、また、本願の出願の時点において、その出願人が先願の出願人と同一でもないから、本願発明は、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項について検討するまでもなく、本願は拒絶をすべきものである。
　よって、上記結論のとおり審決する。