【手続補正書】
【提出日】平成18年5月1日(2006.5.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  壁（３）と、前記壁の穴（７）を通って延びるシャフト（５）の間を密閉するシール装置（１１）であって、前記シャフトをこれと同軸に囲み、前記壁に連結された第１の環状回転対称シール部材（１３）と、前記シャフトにこれと同軸に連結された第２の環状回転対称シール部材（１４）とを有しており、前記両シール部材が、半径方向平面内で前記シャフトを通って延び、かつ互いに密に当接する環状シール表面（１５、１６）をそれぞれ備えており、前記両シール部材の一方が、前記壁に連結された保持部材（１２）に直接取り付けられているシール装置（１１）において、前記保持部材（１２）の前記シール部材（１３）が、前記壁と前記周方向表面の間に環状の隙間が形成されるように前記壁（３）の前記穴（７）内に延びる周方向表面（１８）を備えており、前記壁と前記保持部材の前記シール部材との間を密閉する弾性密閉リング（２０）が前記隙間に設けられていることを特徴とするシール装置。
【請求項２】  壁（３）と、前記壁の穴（７）を通って延びるシャフト（５）の間を密閉するシール装置（２５）であって、前記シャフトをこれと同軸に囲み、前記壁に連結された第１の環状回転対称シール部材（１４）と、前記シャフトにこれと同軸に連結された第２の環状回転対称シール部材（１３）とを有しており、前記両シール部材が、半径方向平面内で前記シャフトを通って延び、かつ互いに密に当接する環状シール表面（１５、１６）をそれぞれ備えており、前記両シール部材の一方が、前記壁に連結された保持部材（１２）に直接取り付けられているシール装置（２５）において、前記保持部材（１２）の前記シール部材（１３）が、前記シャフトの環状の同軸くぼみ（２７）内に延びる周方向表面（１８）を備えており、前記くぼみの半径方向外側は、前記シャフトと前記シール部材の前記周方向表面の間に環状の隙間が形成されるように前記シャフトの内側周方向表面によって形成されており、前記シャフトと前記シール部材の間を密閉する弾性密閉リング（２０）が前記隙間に設けられていることを特徴とするシール装置。
【請求項３】  前記保持部材（１２）の前記シール部材（１３）の前記周方向表面（１８）が、前記シール部材と前記保持部材の間の継手を介して前記保持部材（１２）の周方向表面（１９）に軸方向に連続しており、前記弾性密閉リング（２０）が、前記保持部材の前記周方向表面に延び、前記継手を覆っていることを特徴とする、請求項１または２に記載のシール装置。
【請求項４】  前記保持部材（１２）が外側周方向溝（２２）を備えており、前記弾性密閉リング（２０）が、前記周方向溝内に設けられた半径方向内側に延びる部分（２１）を備えていることを特徴とする、請求項３に記載のシール装置。
【請求項５】  前記弾性密閉リング（２０）が、Ｐの頭部が前記周方向溝（２２）内に設けられるＰ形断面を有していることを特徴とする、請求項４に記載のシール装置。
【請求項６】  前記保持部材（１２）が、前記シール部材（１３）を囲み、かつ前記シール部材（１３）に沿って半径方向にある距離だけ延びる部分（１７）を備えており、前記シール部材は、前記保持部材の前記部分に取り付けられていることを特徴とする、請求項１から５のいずれか一項に記載のシール装置。
【請求項７】  前記保持部材の前記シール部材（１３）が、ほぼＬ字形の断面を有しており、前記Ｌの一方の脚が軸方向に延び、前記Ｌの他方の脚が半径方向に延び、かつ前記保持部材（１２）の前記部分（１７）は、前記Ｌ字形の断面と相補的なものであり、前記軸方向の脚の上側を内側に延びていることを特徴とする、請求項６に記載のシール装置。
【請求項８】  前記保持部材の前記シール部材（１３）が、前記保持部材（１２）を前記シール部材上に収縮させるか、硬質はんだ付けするか、あるいは接着することによって前記保持部材（１２）に取り付けられていることを特徴とする、請求項１から７のいずれか１項に記載のシール装置。
【請求項９】  壁（３）と、前記壁の穴（７）を通って延びるシャフト（５）の間を密閉するシール装置（２９）であって、前記シャフトをこれと同軸に囲み、前記壁に連結された第１の環状回転対称シール部材（１３）と、前記シャフトにこれと同軸に連結された第２の環状回転対称シール部材（３０）とを有しており、前記両密閉部材が、半径方向平面内を前記シャフトを通って延び、かつ互いに密に当接する環状シール表面（１５、１６）をそれぞれ備えており、前記両シール部材の少なくとも一方が、前記壁と前記シャフトのうちの一方に連結された保持部材（１２、３１）に直接取り付けられているシール装置（２９）において、前記保持部材（３１）の前記シール部材（３０）が、前記保持部材に直接取り付けられた第１の部分（３２）と、前記両環状密閉表面の一方を形成し、かつ前記第１の部分から半径方向外側に延びる第２の部分（３３）とを備えており、外側に開く環状溝が前記シール部材の前記第２の部分と前記保持部材の間に形成されており、前記溝に弾性の環状ガスケット（３５）が設けられていることを特徴とするシール装置。
【請求項１０】  前記保持部材（３１）のシール部材（３０）の第１の部分（３２）が環状であり、かつ前記シャフト（５）と同軸であり、前記保持部材は前記第１の部分を囲んでいることを特徴とする、請求項９に記載のシール装置。
【請求項１１】  前記保持部材（３１）が、前記シール部材（３０）の前記第１の部分（３２）が当接する軸方向肩部（３４）を形成していることを特徴とする、請求項１０に記載のシール装置。
【請求項１２】  前記保持部材（３１）および前記シール部材（３０）の前記第２の部分（３３）が、半径方向平面内で前記シャフト（５）を通って延びる環状表面をそれぞれ備えており、前記環状溝が前記環状表面によって形成されていることを特徴とする、請求項９から１１のいずれか１項に記載のシール装置。
【請求項１３】  前記保持部材（３１）が前記シャフト（５）に連結されており、前記保持部材は、前記シャフトの環状の同軸くぼみ（２７）内に延びる周方向表面を備えており、前記くぼみの半径方向外側は、前記シャフトと前記保持部材の前記周方向表面の間に環状の隙間が形成されるように前記シャフトの内側周方向表面によって形成されており、前記シャフトと前記保持部材の間を密閉する弾性密閉リング（２４）が前記隙間に設けられていることを特徴とする、請求項９から１２のいずれか１項に記載のシール装置。
【請求項１４】  前記保持部材が前記壁（５）に連結されており、前記保持部材は、前記壁と前記保持部材の周方向表面との間に環状の隙間が形成されるように前記壁の前記穴（７）内に延びる周方向表面を備えており、前記壁と前記保持部材との間を密閉する弾性密閉リング（２４）が前記隙間に設けられていることを特徴とする、請求項９から１２のいずれか１項に記載のシール装置。
【請求項１５】  チャンバ（４）を形成する壁（３）を持つハウジング（２）と、前記ハウジングの前記壁の穴（７、８）を通って延びる少なくとも１本の回転ポンプシャフト（５、６）と、前記チャンバ内の前記ポンプシャフトに固定的に連結されたポンプ部材（１０）とを有しているポンプ（１）において、請求項１から１４のいずれか１項に記載のシール装置（１１）が、前記ハウジング（２）の前記壁（３）と前記ポンプシャフト（５、６）の間に設けられていることを特徴とするポンプ。