【事件の表示】
　特願２００４−３０６０６７「大面積基板処理システムのためのロードロックチャンバ」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　６月３０日出願公開、特開２００５−１７５４４０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１６年１０月２０日（パリ条約による優先権主張２００３年１０月２０日、アメリカ合衆国）の出願であって、平成２１年４月１３日付けで審判請求がなされ、平成２２年５月３１日付けで拒絶の理由を通知し、同年８月１２日付けで意見書及び手続補正書が提出され、同年１２月３日付けで拒絶の理由を通知し、平成２３年６月３日付けで意見書及び手続補正書が提出され、同年７月１２日付けで拒絶の理由を通知し、同年１１月２日付けで意見書及び手続補正書が提出された。
　
　
２．本願発明
　本願請求項１ないし１５に係る発明は、上記の平成２３年１１月２日付けの手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし１５に記載されたとおりのものであるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、以下のとおりである。
　
「　　【請求項１】
　真空チャンバに結合するように適応された第一側壁、ファクトリ・インタフェースに結合するように適応された第二側壁、該第一側壁および該第二側壁に結合する第三側壁を持ったチャンバ本体と、
　該チャンバ本体内に形成されたＮ個の垂直に積み重ねられた基板搬送チャンバ（ここで、Ｎは２より大きい整数である）であって、前記垂直に積み重ねられた基板搬送チャンバの各々は、前記基板搬送チャンバの少なくとも一つの側壁で配置された通気ポートおよびポンプポートを有する、前記基板搬送チャンバと、
　各々の内壁によって隣接の基板搬送チャンバが分けられ、環境的に分離されている、Ｎ−１個の内壁と、
　該基板搬送チャンバの各々の内部に配置された少なくとも一つのアライメント機構であって、該基板搬送チャンバの各々の内部の該アライメント機構の各々は、該第三側壁の平面に対して同一平面にある軸の周りに回転可能である、前記アライメント機構と、
を含む、ロードロックチャンバ。」
　
　
３．引用例の記載事項及び引用例記載の発明
　当審で通知した平成２３年７月１２日付け拒絶理由通知書で引用した、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開２０００−１５０３９５号公報（以下、「引用例１」という。）及び特開２０００−１１４１４９号公報（以下、「引用例２」という。）には、以下の発明及び技術的事項が記載されている。
　
（１）引用例１の記載事項及び引用例１記載の発明
ア．段落【００２３】ないし【００２４】
「【００２３】エッチング・アッシングユニット５６は、図２に示すように、搬送路１０側に設けられたロードロック室群２０１と、その奥に設けられた搬送室２０２と、搬送室２０２の両側面に設けられたエッチング処理室２０３及びアッシング処理室２０４とを有している。
【００２４】ロードロック室群２０１は、図３に示すように、多段（上下に複数）、例えば４段にロードロック室２０１ａ〜２０１ｄを配置して構成される。そして、各ロードロック室２０１ａ〜２０１ｄと搬送室２０２との間、搬送室２０２と各処理室２０３、２０４との間には、これらの間を気密にシールし、かつ開閉可能に構成されたゲートバルブＶが介挿されている。また、ロードロック室２０１ａ〜２０１ｄと外側の大気雰囲気とを連通する開口部にもゲートバルブＶが設けられている。」
　
イ．段落【００２７】
「【００２７】搬送室２０２も真空排気可能に構成され、その中に基板搬送部材２０７が設けられている。・・・（後略）」
　
ウ．段落【００２８】
「【００２８】各ロードロック室２０１ａ〜２０１ｄも真空排気可能に構成され、その中にガラス基板Ｇを載置するラック２１２およびガラス基板Ｇのアライメントと行うポジショナー２１３が設けられている。ポジショナー２１３は、矢印Ａ方向に沿って移動することにより、ガラス基板Ｇの相対向する２つの角部をそれぞれ２つのローラ２１４で押しつけて、ラック２１２上でガラス基板Ｇのアライメントがなされる。アライメントの終了を確認するために、図示しない光学センサが用いられる。各ロードロック室２０１ａ〜２０１ｄは、搬送路１０側との間でガラス基板Ｇの受け渡しをする場合には、その中を大気雰囲気とし、ガラス基板Ｇを処理室２０３、２０４側へ搬送する場合には、その中を真空雰囲気とするように切り替えを行う。」
　
エ．段落【００５６】
「【００５６】ここで、図２乃至図３に示したロードロック室群の真空引き系の配管を図１３に示す。同図に示すように、ロードロック室２０１ａ〜２０１ｄには、それぞれリークバルブ２１１ａ〜２１１ｄが取り付けられると共に、真空バルブ２１２ａ〜２１１ｄを介して真空引きが行われるようになっている。また、これらのバルブは、システム全体を統括的に制御する制御部の制御により、以下のように開閉が行われるようになっている。」
　
オ．図２ないし図３の図示
　図２ないし図３には、ロードロック室群２０１が、搬送室２０２に結合するように適応された側壁、搬送路１０に結合するように適応された側壁、該搬送室２０２に結合するように適応された側壁及び該搬送路１０に結合するように適応された側壁に結合する側壁を有していること、矢印Ａ方向が、直線方向として示されていること、及び、４段のロードロック室２０１ａ〜２０１ｄの間には、３個の内壁が存在することについて、図示されている。
　
カ．図１３の図示
　図１３には、ロードロック室２０１ａ〜２０１ｄの左側の側壁に、リークバルブ２１１ａ〜２１１ｄに接続する配管が配置され、右側の側壁に、真空バルブ２１２ａ〜２１２ｄに接続する配管が配置されていることの図示がある。
　
キ．引用例１記載の発明
　上記エ．の記載や、オ．の図示からみて、ロードロック室２０１ａ〜２０１ｄの間の内壁により、ロードロック室２０１ａ〜２０１ｄは、それぞれ個別に、真空雰囲気や大気雰囲気とすることが可能であること、すなわち、環境的に分離されていることは明らかである。
　以上の記載事項や図面の図示を、本願発明の記載に沿って整理すると、引用例１には、以下の発明（以下、「引用例１記載の発明」という。）が記載されていると認める。
　
「真空排気可能な搬送室２０２に結合するように適応された側壁、搬送路１０に結合するように適応された側壁、該搬送室２０２に結合するように適応された側壁及び該搬送路１０に結合するように適応された側壁に結合する側壁を持ったロードロック室群２０２と、
　該ロードロック室群２０２を構成する４段のロードロック室２０１ａ〜２０１ｄであって、ロードロック室２０１ａ〜２０１ｄの各々は、ロードロック室２０１ａ〜２０１ｄの左側の側壁に配置された、リークバルブ２１１ａ〜２１１ｄに接続する配管、及び、ロードロック室２０１ａ〜２０１ｄの右側の側壁に配置された、真空バルブ２１２ａ〜２１１ｄに接続する配管を有する、ロードロック室２０１ａ〜２０１ｄと、
　各々の内壁によって隣接のロードロック室２０１ａ〜２０１ｄが分けられ、環境的に分離されている、３個の内壁と、
　該ロードロック室２０１ａ〜２０１ｄの各々の内部に配置されたポジショナ−２１３であって、該ロードロック室２０１ａ〜２０１ｄの内部の該ポジショナ−２１３の各々は、直線方向に移動可能である、前記ポジショナ−２１３と、
を含む、ロードロック室群２０２。」
　
（２）引用例２の記載事項及び引用例２記載の発明
ア．段落【００１３】
「【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明では、ガラス基板の保持にあたり、真空吸着など大気圧雰囲気でのみ有効なガラス基板の固定方法に代り、バネとレバーもしくは大気中で封じられたベローズ状部品を用いた荷重方法を使用し、ガラス基板及びガラス基板保持装置が高真空中に入る以前の段階でガラス基板の位置決めをして保持される状態とする。・・・・・（中略）・・・・・固定荷重と荷重支持点をガラス基板の直交する２側端面各々に対し少なくとも１対以上設け、全ての点で端面に対して垂直の方向で付加するか、もしくは２側端面が直交することで構成される角部（の短辺）に対し対角線の方向に沿って荷重し、さらにこの角部を構成する２側端面のどちらか一つの面に対し垂直方向から荷重する機構を設け、これらの作用点とは逆の側の側端面側には荷重を支持する部材を設ける。」
　
イ．段落【００２３】
「【００２３】
【発明の実施の形態】（前略）・・・・・ガラス基板８は、アルミナ等のセラミックス材料を用いて形成されたガラス基板保持装置７に対して位置決めして固定・装着され、真空排気装置１２により真空排気された真空試料室６内の試料ステージ５上に載置されている。・・・・・（後略）」
　
ウ．段落【００２９】ないし【００３０】
「【００２９】図５に示すガラス基板保持装置７は、搭載されたガラス基板の一つの側端部をＹ方向に押圧する側端部荷重ピン３１、ガラス基板の角部を対角線方向に押圧する角部荷重板３２、側部荷重ピン３１及び角部荷重板３２によって押圧されるガラス基板の２つの側端部を押圧荷重に対して支持する荷重支持ピン２８ａ，２８ｂ，２８ｃを備える。荷重支持ピン２８ａ〜２８ｃは、ガラス基板の位置合わせ基準点ともなる。・・・・・（後略）
【００３０】ここで、図５（ａ）及び図５（ｂ）を用いて、ガラス基板の側端部荷重ピン３１及び角部荷重板３２による荷重機構について説明する。図５（ｂ）は、ガラス基板保持装置７を裏側から見た図である。側端部荷重ピン３１は軸３１ｂの回りに回転するレバー３１ａに固定され、角部荷重板３２は軸３２ｂの回りに回転するレバー３２ａに固定されている。レバー３２ａは一部にボールベアリングを備える押し部３４を備え、この押し部３４でレバー３１ａを押す。レバー３１ａは側部荷重ピン３１が常時ガラス基板を押圧するように押しバネ３１ｃにより回転付勢され、同様にレバー３２ａは角部荷重板３２が常時ガラス基板の角部を押圧するように引きバネ３２ｃにより回転付勢されている。従って、ガラス基板保持装置７の所定位置にガラス基板８を搭載、保持した状態では、ガラス基板は常時この側端部荷重ピン３１と角部荷重板３２による押圧力で２つの側端面が荷重支持ピン２８ａ〜２８ｃに押しつけられて位置決めされた状態で固定されている。」
　
エ．図５（ａ）ないし（ｃ）の図示
　図５（ａ）ないし（ｃ）には、ガラス基板保持装置７が、鉛直方向に延びる手前側の側壁、鉛直方向に延びる奥側の側壁、該手前側の側壁と該奥側の側壁とを結合する左側及び右側の側壁を有していることの図示があり、また、軸３２ｂが、右側の側壁の内部において鉛直方向に設けられていることの図示がある。
　
オ．引用例２記載の発明
　以上の記載事項や図面の図示を、本願発明の記載に沿って整理すると、引用例２には、以下の発明（以下、「引用例２記載の発明」という。）が記載されていると認める。
　
「鉛直方向に延びる手前側の側壁、鉛直方向に延びる奥側の側壁、該手前側の側壁と該奥側の側壁とを結合する左側及び右側の側壁を持ったガラス基板保持装置７と、
　該ガラス基板保持装置７の内部に配置されたレバー３２ａ及び角部荷重板３２であって、該レバー３２ａ及び角部荷重板３２は、右側の側壁の内部において鉛直方向に延びる軸３２ｂの回りに回転可能である、レバー３２ａ及び角部荷重板３２と、
を含む、ガラス基板保持装置７。」
　
　
４．対比
　本願発明と、引用例１記載の発明とを対比すると、引用例１記載の発明の「真空排気可能な搬送室２０２に結合するように適応された側壁」が本願発明の「真空チャンバに結合するように適応された第一側壁」に相当し、「搬送路１０に結合するように適応された側壁」が「ファクトリ・インタフェースに結合するように適応された第二側壁」に相当し、「該搬送室２０２に結合するように適応された側壁及び該搬送路１０に結合するように適応された側壁に結合する側壁」が「該第一側壁および該第二側壁に結合する第三側壁」に相当し、「ロードロック室群２０２」が「チャンバ本体」に相当し、「リークバルブ２１１ａ〜２１１ｄに接続する配管」が「通気ポート」に相当し、「真空バルブ２１２ａ〜２１２ｄに接続する配管」が「ポンプポート」に相当し、「ロードロック室２０１ａ〜２０１ｄの左側の側壁」や「ロードロック室２０１ａ〜２０１ｄの右側の側壁」が「基板搬送チャンバの少なくとも一つの側壁」に相当することは明らかである。
　また、引用例１記載の発明の「ロードロック室２０１ａ〜２０１ｄ」は、「４個の垂直に積み重ねられた基板搬送チャンバ」という点で、本願発明の「Ｎ個の垂直に積み重ねられた基板搬送チャンバ（ここで、Ｎは２より大きい整数である）」と共通する。
　また、引用例１記載の発明の「内壁」は、「３個の内壁」という点で、本願発明の「Ｎ−１個の内壁」と共通する。
　また、引用例１記載の発明の「ポジショナ−２１３」は、「位置合わせ機構」という点で、本願発明の「アライメント機構」と共通する。
　
　以上から、本願発明と引用例１記載の発明との一致点及び相違点は、以下のとおりである。
　
　＜一致点＞
「真空チャンバに結合するように適応された第一側壁、ファクトリ・インタフェースに結合するように適応された第二側壁、該第一側壁および該第二側壁に結合する第三側壁を持ったチャンバ本体と、
　該チャンバ本体内に形成された４個の垂直に積み重ねられた基板搬送チャンバであって、前記垂直に積み重ねられた基板搬送チャンバの各々は、前記基板搬送チャンバの少なくとも一つの側壁で配置された通気ポートおよびポンプポートを有する、前記基板搬送チャンバと、
　各々の内壁によって隣接の基板搬送チャンバが分けられ、環境的に分離されている、３個の内壁と、
　該基板搬送チャンバの各々の内部に配置された少なくとも一つの位置合わせ機構と、
を含む、ロードロックチャンバ。」である点。
　
　＜相違点１＞
　本願発明の「基板搬送チャンバ」は、「Ｎ個の垂直に積み重ねられた基板搬送チャンバ（ここで、Ｎは２より大きい整数である）」であって、「内壁」は、「Ｎ−１個の内壁」であるのに対して、引用例１記載の発明の「ロードロック室２０１ａ〜２０１ｄ」は、「４段」であって、「内壁」は「３個」である点。
　
　＜相違点２＞
　位置合わせ機構が、本願発明では、「第三側壁の平面に対して同一平面にある軸の周りに回転可能である」「アライメント機構」であるのに対して、引用例１記載の発明では「直線方向に移動可能である」「ポジショナ２１３」である点。
　
　
５．相違点についての検討及び判断
（１）相違点１について
　上記３．（１）ア．に摘示する段落【００２４】に「ロードロック室群２０１は、図３に示すように、多段（上下に複数）、例えば４段にロードロック室２０１ａ〜２０１ｄを配置して構成される。」と記載されているように、引用例１には、「多段（上下に複数）」との明記があり、引用例１記載の発明においてロードロック室２０１ａ〜２０１ｄを４段としたことは、例示にすぎないうえに、当該「４」は、２より大きい整数である。
　したがって、引用例１記載の発明において、ロードロック室を垂直に積み重ねるにあたり、その数を「２より大きい整数」である任意の「Ｎ個」とすることは、当業者にとって容易である。
　また、内壁の数は、ロードロック室の数よりも１だけ小さい数となることは必然であるから、引用例１記載の発明において、内壁の数を「Ｎ−１個」とすることは、ロードロック室の数をＮ個に特定したことにより、必然的に決定される事項にすぎない。
　以上から、引用例１記載の発明において、ロードロック室を垂直に積み重ねるにあたり、その数を「２より大きい整数」である任意の「Ｎ個」とし、内壁の数を「Ｎ−１個」とすることは、当業者にとって容易である。
　
（２）相違点２について
　相違点２を検討するために、引用例２記載の発明を参照すると、上記３．（２）オ．に示すとおり「鉛直方向に延びる手前側の側壁、鉛直方向に延びる奥側の側壁、該手前側の側壁と該奥側の側壁とを結合する左側及び右側の側壁を持ったガラス基板保持装置７と、該ガラス基板保持装置７の内部に配置されたレバー３２ａ及び角部荷重板３２であって、該レバー３２ａ及び角部荷重板３２は、右側の側壁の内部において鉛直方向に延びる軸３２ｂの回りに回転可能である、レバー３２ａ及び角部荷重板３２と、を含む、ガラス基板保持装置７。」というものである。
　そして、引用例２記載の発明の「鉛直方向に延びる手前側の側壁」は、「一番目の側壁」という点で、本願発明の「第一側壁」と共通するし、「鉛直方向に延びる奥側の側壁」及び「手前側の側壁と奥側の側壁とを結合する左側及び右側の側壁」は、同様に、「二番目の側壁」及び「三番目の側壁」という点で、「第二側壁」及び「第三側壁」と共通するうえに、「ガラス基板保持装置」は、「基板の収納空間」という点で、「基板搬送チャンバ」と共通する。
　また、引用例２記載の発明の「レバー３２ａ及び角部荷重板３２」は、上記３．（２）ウ．に摘示する段落【００３０】に示されているように、基板の位置合わせを行うための機構であるから、「位置合わせ機構」という点で、本願発明の「アライメント機構」と共通するし、当該「レバー３２ａ及び角部荷重板３２」は、「右側の側壁の内部において鉛直方向に延びる軸３２ｂの回りに回転可能である」ところ、当該「軸３２ｂ」は、「右側の側壁の内部において鉛直方向に延び」ており、引用例２記載の発明の「右側の側壁」は、鉛直方向にも延びているから、「軸３２ｂ」が延びる方向と「右側の側壁」が延びる方向とは、一致しているといえる。
　そうすると、「軸３２ｂ」は、「右側の側壁」の内部において、「右側の側壁」が延びる方向と同じ方向に延びているといえるから、「軸３２ｂ」は、「右側の側壁」の平面に対して同一平面にあるといえる。
　以上を考慮すると、引用例２記載の発明は「一番目の側壁、二番目の側壁及び三番目の側壁を持った基板の収納空間と、基板の収納空間の内部に配置された位置合わせ機構であって、該位置合わせ機構は、三番目の側壁の平面に対して同一平面にある軸の周りに回転可能である、位置合わせ機構と、を含む基板の収納空間。」であるということができ、位置合わせ機構を側壁の平面に対して同一平面にある軸の周りに回転可能に構成することは、引用例２記載の発明に示されているということができる。
　そして、引用例１記載の発明と引用例２記載の発明とは、大気圧雰囲気においても、真空圧雰囲気においても有効な基板の位置合わせ機構に関する発明として共通するから、引用例１記載の発明のポジショナ２１３に代えて、引用例２記載の発明に示す、側壁の平面に対して同一平面にある軸の周りに回転可能なレバー３２ａ及び角部荷重板３２を採用することは、当業者にとって、格別に困難な事項とはいえない。
　また、引用例１記載の発明の側壁のうち、「真空排気可能な搬送室２０２に結合するように適応された側壁」や、「搬送路１０に結合するように適応された側壁」は、上記３．（１）ア．に摘示する段落【００２４】に示すように、開口部やゲートバルブＶが設けられることになるから、レバー３２ａ及び角部荷重板３２の回転軸と同一平面となる平面として、そのような開口やゲートバルブＶが設けられていない「搬送室２０２に結合するように適応された側壁及び搬送路１０に結合するように適応された側壁に結合する側壁」を選択することは、当然といえる。
　したがって、引用例１記載の発明のポジショナ２１３に代えて、「搬送室２０２に結合するように適応された側壁及び搬送路１０に結合するように適応された側壁に結合する側壁」の平面に対して同一平面にある軸の周りに回転可能なレバー３２ａ及び角部荷重板３２を採用して、第三側壁の平面に対して同一平面にある軸の周りに回転可能であるアライメント機構を構成したことは、当業者が容易に想到できた事項である。
　
　
６．むすび
　したがって、本願請求項１に係る発明は、上記引用例１記載の発明、及び引用例２記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。