【手続補正書】
【提出日】平成18年4月5日(2006.4.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試験物体（１０）内の対象の元素を検出するための方法であって、このプロセスは、
前記試験物体（１０）を照射して前記対象の元素から二次蛍光Ｘ線放射線（１１６）を誘発するステップと、
前記対象の元素からの前記二次蛍光Ｘ線放射線（１１６）を検出器（１２２）に優先的に画像化するステップとを含む、方法。
【請求項２】
光学的な軸に沿ってゾーンプレートを走査して、前記対象の元素からの前記二次放射線を前記検出器に優先的に画像化するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記二次放射線を優先的に画像化するステップは、着色レンズ（１１８）を用いて前記二次放射線を検出器のアレイに画像化するステップを含む、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
前記二次放射線を優先的に画像化するステップは、ゾーンプレート（１１８）を用いて前記二次放射線を検出器のアレイ（１２２）に画像化するステップを含む、請求項１〜３のいずれかに記載の方法。
【請求項５】
前記二次放射線を優先的に画像化するステップは、前記試験物体からの放射線をスペクトルでフィルタリングして前記二次放射線が検出器に到達するようにするステップを含む、請求項１〜４のいずれかに記載の方法。
【請求項６】
開口部を通じて前記検出器のアレイで前記二次放射線を受取るステップをさらに含む、請求項１〜５のいずれかに記載の方法。
【請求項７】
前記二次放射線を優先的に画像化するステップは、前記対象の元素の蛍光線のエネルギに対して高い回折効率を有するように着色レンズを選択するステップを含む、請求項１〜６のいずれかに記載の方法。
【請求項８】
前記試験物体を照射するステップは、前記試験物体を電子で照射するステップを含む、
請求項１〜７のいずれかに記載の方法。
【請求項９】
前記二次放射線を優先的に画像化するステップは、前記対象の元素を含む化合物から着色レンズを形成するステップを含む、請求項１〜８のいずれかに記載の方法。
【請求項１０】
前記対象の元素はアルミニウムであり、前記二次放射線を優先的に画像化するステップは、アルミニウムまたはアルミニウムを含む化合物から着色レンズを形成するステップを含む、請求項１〜８のいずれかに記載の方法。
【請求項１１】
前記対象の元素は銅であり、前記二次放射線を優先的に画像化するステップは、銅または銅を含む化合物からレンズを形成するステップを含む、請求項１〜８のいずれかに記載の方法。
【請求項１２】
前記対象の元素はタンタルであり、前記二次放射線を優先的に画像化するステップは、タンタルまたはタンタルを含む化合物から着色レンズを形成するステップを含む、請求項１〜８のいずれかに記載の方法。
【請求項１３】
前記対象の元素はリンであり、前記二次放射線を優先的に画像化するステップは、リンを含む化合物から着色レンズを形成するステップを含む、請求項１〜８のいずれかに記載の方法。
【請求項１４】
前記対象の元素はホウ素であり、前記二次放射線を優先的に画像化するステップは、ホウ素を含む化合物から着色レンズを形成するステップを含む、請求項１〜８のいずれかに記載の方法。
【請求項１５】
前記試験物体を照射するステップは、走査電子顕微鏡の電子光線のもとで前記試験物体を走査するステップを含む、前述の請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項１６】
試験物体（１０）を照射して蛍光によって対象の元素から二次Ｘ線放射線（１１６）を誘発するための供給源（１０２）と、
前記対象の元素からの前記二次放射線を検出するための検出器（１２２）と、
前記対象の元素からの前記二次放射線を前記検出器に優先的に画像化するための光学機器の列（１０５）とを含む、Ｘ線蛍光顕微鏡。
【請求項１７】
前記光学機器の列は着色レンズ（１１８）を含む、請求項１６に記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項１８】
前記光学機器の列は分光フィルタ（１２４、１５０）を含む、請求項１６〜１７のいずれかに記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項１９】
前記分光フィルタは反射多層光学機器（１５０）である、請求項１８に記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項２０】
前記検出器（１２２）は検出器のアレイである、請求項１６〜１９のいずれかに記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項２１】
前記二次放射線の優先的な画像化を改善するための瞳の開口部（１２６）をさらに含む、請求項１６〜２０のいずれかに記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項２２】
前記供給源（１１２）からの一次電離放射線を前記試験物体に中継するための毛細管光
学集光器（１１４）をさらに含む、請求項１６〜２１のいずれかに記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項２３】
前記光学機器の列は、前記対象の元素の蛍光線のエネルギに対して高い回折効率を備えるゾーンプレートレンズを含む、請求項１６〜２２のいずれかに記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項２４】
前記供給源は、前記試験物体を照射するための電子を生成する、請求項１６〜２３のいずれかに記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項２５】
前記供給源は、走査電子顕微鏡の電子光線である、請求項１６〜２４のいずれかに記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項２６】
前記光学機器の列は、前記対象の元素を含む化合物で作られたレンズを含む、請求項１６〜２５のいずれかに記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項２７】
前記対象の元素はアルミニウムであり、前記レンズはアルミニウムを含む、請求項２６に記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項２８】
前記対象の元素は銅であり、前記レンズは銅を含む、請求項２６に記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項２９】
前記対象の元素はタンタルであり、前記レンズはタンタルを含む、請求項２６に記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項３０】
前記対象の元素はリンであり、前記レンズはリンの化合物を含む、請求項２６に記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項３１】
前記対象の元素はホウ素であり、前記レンズはホウ素の化合物を含む、請求項２６に記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項３２】
前記検出器と前記対象の元素との間にある対象の物体をさらに含み、これは前記二次放射線の吸収を参照することによって分析される、請求項１６〜２１のいずれかに記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項３３】
バックライトモードで動作するＸ線蛍光顕微鏡であって、
既知の構造（１２）を照射して蛍光によって元素から二次Ｘ線放射線（１１６）を誘発するための供給源（１０２）と、
前記既知の構造（１２）上にある検出されるべき物体（１０）と、
前記元素からの前記二次放射線を検出するための検出器（１１２）と、
前記元素からの二次放射線を前記検出器に優先的に画像化するための光学機器の列（１０５）とを含む、Ｘ線蛍光顕微鏡。
【請求項３４】
前記光学機器の列は着色レンズ（１１８）を含む、請求項３３に記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項３５】
前記光学機器の列はレンズ（１１８）および分光フィルタ（１２４）を含む、請求項３３に記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項３６】
前記分光フィルタは多層光学機器（１５０）である、請求項３５に記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項３７】
優先的な画像化を改善するための瞳の開口部（１２６）をさらに含む、請求項３３に記載のＸ線蛍光顕微鏡。
【請求項３８】
分光計モードで動作するＸ線蛍光顕微鏡であって、
物体（１０）を照射して蛍光によって対象の元素から二次Ｘ線放射線（１１６）を誘発するための供給源（１０２）と、
前記元素からの前記二次放射線を検出するための検出器（１２２）と、
前記元素からの前記二次放射線を前記検出器（１２２）に優先的に画像化するためのレンズ（１１８）と、
前記試験物体の大きな面積が一次電離放射線（１１０）によって照明されるときに適切な優先的な画像化を保証するための瞳の開口部（１２６）と、
前記供給源から前記一次電離放射線を前記試験物体に中継するための集光器（１１４）とを含む、Ｘ線蛍光顕微鏡。
【請求項３９】
試験物体（１０）を照射して蛍光によって１つまたは複数の対象の元素から二次Ｘ線放射線を誘発するための供給源（１０２）と、
２つ以上の画像化システム（１０５−１、１０５−２）とを含み、各画像化システムは、
前記対象の元素の１つからの前記二次放射線を検出するための検出器と、
前記対象の元素の１つからの前記二次放射線を前記検出器に優先的に画像化するための光学機器の列とを含む、Ｘ線蛍光顕微鏡。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ゾーンプレートを含む多数の画像化システムを用いる元素別Ｘ線蛍光顕微鏡