(57)【要約】      （修正有）【課題】十分な拡散防止効果を有する弾性波装置を提供する。【解決手段】弾性波装置１は、圧電体層を有する基板２上にＩＤＴ電極３が形成されており、ＩＤＴ電極３は、Ｐｔ膜５と、Ｐｔ膜５上に積層されているＴｉ膜６と、Ｔｉ膜６上に積層されている、Ａｌを主体とする金属膜７（Ａｌ合金膜または、ＡｌＣｕ合金膜）とを含む。Ｔｉ膜６が、Ｘ線回折極点図において観測されるＴｉ（２００）面が３回回転対称または６回回転対称のピークを有している準単結晶状態である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体層を有する基板と、
前記圧電体層上に形成されたＩＤＴ電極とを備え、
前記ＩＤＴ電極は、Ｐｔ膜と、前記Ｐｔ膜上に積層されているＴｉ膜と、前記Ｔｉ膜上に積層されている、Ａｌを主体とする金属膜と、を含み、
前記Ｔｉ膜が、準単結晶状態である、弾性波装置。
【請求項２】
前記Ｔｉ膜が、Ｘ線回折極点図において観察されるＴｉ（２００）面が３回回転対称または６回回転対称のピークを有している、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記Ａｌを主体とする金属膜が、Ａｌ膜またはＡｌ合金膜である、請求項１または２に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記Ａｌ合金膜が、ＡｌＣｕ合金膜である、請求項３に記載の弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電体層上にＩＤＴ電極が設けられている、弾性波装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、積層金属膜からなるＩＤＴ電極を有する弾性波装置が種々知られている。例えば、下記の特許文献１に記載の弾性波装置では、圧電基板上にＩＤＴ電極が設けられている。このＩＤＴ電極は、圧電基板側から、ＮｉＣｒ膜、Ｐｔ膜、Ｔｉ膜、ＡｌＣｕ膜が積層されている構造を有する。Ｔｉ膜は、Ｐｔ膜と、ＡｌＣｕ膜との間の原子の拡散を防止するために設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１７５３１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、拡散防止層としての機能を有するＴｉ膜が多結晶状態である場合、十分な拡散防止効果が得られない、という課題があった。
【０００５】
本発明の目的は、十分な拡散防止効果を有する弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る弾性波装置は、圧電体層を有する基板と、前記圧電体層上に形成されたＩＤＴ電極とを備え、前記ＩＤＴ電極は、Ｐｔ膜と、前記Ｐｔ膜上に積層されているＴｉ膜と、前記Ｔｉ膜上に積層されている、Ａｌを主体とする金属と、を含み、前記Ｔｉ膜が、準単結晶状態である。
【０００７】
本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、前記Ｔｉ膜が、Ｘ線回折極点図において観察されるＴｉ（２００）面が３回回転対称または６回回転対称のピークを有している。
【０００８】
本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、前記Ａｌを主体とする金属膜が、Ａｌ膜またはＡｌ合金膜である。
【０００９】
本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、前記Ａｌ合金膜が、ＡｌＣｕ合金膜である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る弾性波装置によれば、Ｔｉ膜が、準単結晶状態とされているため、十分な拡散防止効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係る弾性波装置の電極構造を説明するための正面断面図である。
【図２】本発明の一実施形態の弾性波装置におけるＴｉ膜が準単結晶状態である場合のＸ線回折（ＸＲＤ）極点図である。
【図３】本発明の一実施形態の弾性波装置において、圧電基板上において、Ｐｔ膜の上方にＴｉ膜が積層されている構造のＸ線回折（ＸＲＤ）極点図である。
【図４】多結晶状態にあるＴｉ膜のＸ線回折（ＸＲＤ）極点図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００１３】
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
【００１４】
図１は、本発明の一実施形態に係る弾性波装置の電極構造を説明するための正面断面図である。
【００１５】
弾性波装置１は、圧電基板２を有する。圧電基板２は、ＬｉＴａＯ３からなる。もっとも、圧電基板２は、ＬｉＮｂＯ３などの他の圧電単結晶からなるものであってもよい。また、本発明において基板としては、圧電体層を有する限り、全体が圧電体層からなるもの、すなわち圧電基板の他、支持基板上に圧電体層が積層されている構造を用いてもよい。
【００１６】
圧電基板２上に、ＩＤＴ電極３が設けられている。ＩＤＴ電極３は、Ｔｉ膜４と、Ｐｔ膜５と、Ｔｉ膜６と、ＡｌＣｕ合金膜７とを有する。Ｔｉ膜４は、Ｐｔ膜５に比べて、圧電基板２に対する密着性が高い。すなわち、密着層として、Ｔｉ膜４が設けられている。
【００１７】
Ｔｉ膜６は、Ｐｔ膜５と、ＡｌＣｕ合金膜７との間の拡散を防止するために設けられている。すなわち、Ｔｉ膜６は拡散防止層である。
【００１８】
ＡｌＣｕ合金膜７は、Ｐｔ膜５に比べて電気抵抗が低い。従って、挿入損失を小さくすることができる。なお、ＡｌＣｕ合金膜７は、Ａｌを主体とするＡｌＣｕ合金膜である。本発明においては、ＡｌＣｕ合金膜７に代えて、他のＡｌを主体とする合金膜を用いてもよい。また、ＡｌＣｕ合金膜７に代えて、Ａｌ膜を用いてもよい。
【００１９】
弾性波装置１の特徴は、Ｔｉ膜６が、準単結晶状態とされていることにある。準単結晶状態にあるとは、多結晶状態ではなく、Ｘ線回折（ＸＲＤ）極点図において観察されるＴｉ（２００）面が、３回回転対称または６回回転対称のピークを有していることを意味する。図２は、Ｔｉ膜のＸＲＤ極点図であり、Ｔｉ（２００）面が６回回転対称のピークを有している。
【００２０】
もっとも、実際には、圧電基板２上に形成されているＩＤＴ電極３においては、Ｔｉ膜６の対称性は、圧電基板２の結晶方位の影響を受ける。図３は、実際に、圧電基板２上に形成されているＩＤＴ電極３におけるＴｉ膜６のＸＲＤ極点図である。ここでは、６回回転対称のピークが、図２に示す位置からずれている。
【００２１】
なお、図４は、多結晶状態にあるＴｉ膜のＸＲＤ極点図を示す。図４から明らかなように、６回回転対称のピークは存在しない。また、３回回転対称のピークも有しない。
【００２２】
上記のように、Ｘ線回折極点図において、Ｔｉ（２００）面が３回回転対称または６回回転対称のピークを有している場合、多結晶状態とは異なり、Ｔｉ膜が準単結晶状態とされている。従って、多結晶の場合に比べ粒界が非常に少ない。よって、Ｔｉ膜６の拡散防止効果が飛躍的に高められている。そのため、Ｔｉ膜６の厚みを薄くしても、十分な拡散防止効果が得られる。よって、Ｔｉ膜６の薄い弾性波装置１を提供することができる。
【００２３】
また、その場合であっても、十分な拡散防止効果が得られるので、ＡｌＣｕ合金膜７の厚みを厚くすることができ、電極指抵抗を小さくすることができる。よって、低損失化も果たすことができる。
【００２４】
なお、図２では、６回回転対称のピークが現れていたが、３回回転対称のピークが現れるものであってもよい。
【００２５】
上記実施形態では、圧電基板２側から、Ｔｉ膜４、Ｐｔ膜５、Ｔｉ膜６、及びＡｌＣｕ合金膜７がこの順序で積層されていたが、本発明は、Ｐｔ膜上に、Ｔｉ膜が積層されており、Ｔｉ膜上にＡｌまたはＡｌＣｕ合金膜が積層されている積層構造を有する限り、ＩＤＴ電極の他の積層部分は特に限定されない。従って、密着層として、Ｔｉ膜４に代えて、ＮｉＣｒ膜を用いてもよく、密着層が形成されておらずともよい。
【００２６】
また、本発明に係る弾性波装置の特徴は、上記ＩＤＴ電極の積層構造にあり、従って、弾性波装置の他の構成は特に限定されない。従って、弾性波共振子に限らず、縦結合共振子型弾性波フィルタなどの様々な弾性波装置に本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００２７】
１…弾性波装置
２…圧電基板
３…ＩＤＴ電極
４…Ｔｉ膜
５…Ｐｔ膜
６…Ｔｉ膜
７…ＡｌＣｕ合金膜
【図１】
2017208629.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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