【手続補正書】
【提出日】平成17年7月20日(2005.7.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ａ．互いに平行にかつ回折格子面内に配設された複数の細長い要素であって、各細長い要素は、作動の際に入射光が少なくとも２つの回折次数に回折する反射面を含む複数の細長い要素と、
ｂ．作動の際に前記入射光が前記少なくとも２つの回折次数と異なる単一非ゼロ回折次数に回折するように、前記複数の細長い要素のうちの選択されたものの前記回折格子面に関する高さを調節する手段とを、
含んでなる光調節器。
【請求項２】
前記細長い要素の前記選択されたものの高さを調節する前記手段は、
ａ．前記細長い要素の前記各選択されたものの少なくとも一部に沿った第１導電要素と、
ｂ．前記複数の細長い要素に連結され第２導電要素を有する基板であって、前記第１導電要素と前記第２導電要素の間に印加された電気バイアスが前記複数の細長い要素の選択されたものの高さを調節する基板とを、
含んでなる請求項１の光調節器。
【請求項３】
前記細長い要素を前記基板に連結する第１ポストと、第２ポストとを更に含んでなる請求項２の光調節器。
【請求項４】
前記細長い要素の前記選択されたものは、前記細長い要素の他のすべてのものを含む請求項１の光調節器。
【請求項５】
前記各細長い要素の前記反射面はブレーズ断面を有する請求項１の光調節器。
【請求項６】
前記ブレーズ断面は少なくとも２つの平面を含む請求項５の光調節器。
【請求項７】
前記２つの平面は前記回折格子面に平行な平面を含む請求項６の光調節器。
【請求項８】
前記ブレーズ断面の前記反射面は前記回折格子面に対してブレーズ角をなす単一の平面を含む請求項５の光調節器。
【請求項９】
前記各細長い要素の幅の２倍の値が回折格子ピッチである請求項１の光調節器。
【請求項１０】
前記少なくとも２つの回折次数は０次回折と、プラス又はマイナスの第２次回折を含む請求項９の光調節器。
【請求項１１】
前記単一回折次数は第１次回折を含む請求項１０の光調節器。
【請求項１２】
ａ．互いに平行にかつ回折格子面内に配設された複数の細長い要素であって、該複数の細長い要素のうちの選択されたものはそれぞれ第１導電要素を含み、前記各細長い要素は、作動において入射光が少なくとも２つの回折次数に回折するような反射面を含む複数の細長い要素と、
ｂ．前記複数の細長い要素に連結され第２導電要素を有する基板であって、作動において前記第１導電要素と前記第２導電要素の間に印加された電気バイアスが前記複数の細長い要素のうちの選択されたものの前記回折格子面に関する高さを調節し、かつ、作動において前記入射光が単一回折次数に回折するように設けた基板とを、
含んでなる光調節器。
【請求項１３】
ａ．互いに平行にかつ回折格子面内に配設された複数の細長い要素であって、前記各細長い要素はブレーズ断面を有し、前記各ブレーズ断面は反射層を有し、前記複数の細長い要素のうちの選択されたもののそれぞれは前記ブレーズ断面に沿って第１導電要素を含み、前記ブレーズ断面は少なくとも２つの平面を有し、該２つの平面は、作動において入射光が少なくとも２つの回折次数に回折するように、前記回折格子面に平行な面を含む複数の細長い要素と、
ｂ．前記複数の細長い要素に連結され第２導電要素を有する基板であって、作動において前記第１導電要素と前記第２導電要素の間に印加された電気バイアスが前記複数の細長い要素のうちの前記選択されたものの高さを調節し、かつ、作動において前記入射光が前記少なくとも２つの回折次数と異なる単一非ゼロ回折次数に回折するように設けた基板とを、
含んでなる光調節器。
【請求項１４】
ａ．入射光を少なくとも２つの回折次数に回折させる回折手段と、
ｂ．前記入射角が前記少なくとも２つの回折次数と異なる単一非ゼロ回折次数に回折するように、前記回折手段を調節する手段とを、
含んでなる光調節器。
【請求項１５】
ａ．基板上に犠牲層を堆積させ、
ｂ．前記犠牲層上に復元材料を堆積させ、
ｃ．前記復元材料上に反射材料を堆積させ、
ｄ．前記復元材料と前記反射材料をエッチングして前記犠牲層によって支持される複数の細長い要素を形成して前記各細長い要素が少なくとも２つの平面を含み、該２つの平面がブレーズ断面を含むようにし、
ｅ．前記犠牲層をエッチングすることにより、前記複数の細長い要素を前記基板に連結する、
ステップを含んでなる光調節器製造の方法。
【請求項１６】
請求項１５の方法であって、
ａ．前記犠牲層を堆積させる前に前記基板と前記犠牲層の間で前記基板上に酸化物層を形成し、
ｂ．前記犠牲層を堆積させる前に前記基酸化物層と前記犠牲層の間で第１導電層を前記基板上に堆積させる、
ステップを更に含んでなる方法。
【請求項１７】
前記基板はシリコンを含み、さらに、前記酸化物層は二酸化シリコンの電界酸化物層を含む請求項１６の方法。
【請求項１８】
前記導電層上にエッチストップを堆積させるステップを更に含む請求項１６の方法。
【請求項１９】
前記各エッチストップは二酸化シリコンを含む請求項１８の方法。
【請求項２０】
前記各エッチストップは窒化シリコンを含む請求項１８の方法。
【請求項２１】
前記電導層はドープドポリシリコンを含む請求項１６の方法。
【請求項２２】
請求項１５の方法であって、
ａ．前記犠牲層に第１ポスト穴及び２ポスト穴をエッチング形成し、
ｂ．前記犠牲層のエッジをエッチングして犠牲層の輪郭を形成し、それにより、露出された下層を形成する、
ステップをさらに含んでなる方法。
【請求項２３】
前記犠牲層はポリシリコンを含む請求項２２の方法。
【請求項２４】
前記犠牲層をエッチングして仕上げるステップはゼノンジフルオライドエッチングを含む請求項２３の方法。
【請求項２５】
請求項２２の方法であって、
前記復原材料を堆積させるステップは、前記第１及び第２ポスト穴内に前記復原材料を堆積させ、かつ、前記復元材料を前記露出された下層上に堆積させることを更に含む方法。
【請求項２６】
前記復原材料は窒化珪素を含む請求項２５の方法。
【請求項２７】
請求項２５の方法であって、
前記各細長い要素は第１及び第２端部を有し、前記各細長い要素の前記第１及び第２端部は、前記輪郭が形成された犠牲層の外側で前記下層によって前記基板に連結されている方法。
【請求項２８】
前記犠牲層に複数のストリップをエッチング形成し、これらのエッチング形成されたストリップが前記各細長い要素の前記２つの平面を生じさせる請求項１５の方法。
【請求項２９】
前記反射材料はアルミニウムを含む請求項１５の方法。
【請求項３０】
請求項１５の方法であって、
前記反射材料を堆積させ前記復元材料と前記反射材料をエッチングするステップは、
ａ．前記反射材料の第１層を堆積させ、
ｂ．前記反射材料の前記第１層をエッチングして前記反射材料の複数のストリップを形成し、これらのストリップが前記細長い要素の前記ブレーズ断面の前記複数の平面の１つに相当するように設け、
ｃ．前記反射材料の第２層を堆積させ、
ｄ．前記復元材料と前記反射材料をエッチングして前記２つの平面を含む前記複数の細長い要素を形成する、
ステップを含んでなる請求項１５の方法。
【請求項３１】
光調節器であって、
ａ．互いに平行に配設され複数のグループ構成の１つとして動的に構成される複数の細長い要素であって、前記各細長い要素は、作動の際に前記細長い要素が第１高さにあるときに、前記細長い要素を照らす入射光が反射光を作るような反射面を含み、前記各グループ構成はそのグループ構成内に少なくとも３つの特定数の前記細長い要素を含み、前記光調節器は一度に単一グループ構成に従って構成される複数の細長い要素と、
ｂ．作動の際に前記細長い要素を照らす前記入射光が第１回折角と、該第１回折角のマイナスの値の角との間で選択可能な単一回折次数を生じさせるように、前記各グループの前記細長い要素の相対高さを調節する手段とを、
含んでなる光調節器。
【請求項３２】
前記細長い要素の前記グループの細長い要素の相対高さを調節する前記手段は、
ａ．前記細長い要素の少なくとも一部に沿った第１導電要素と、
ｂ．前記複数の細長い要素に連結され第２導電要素を有する基板であって、作動において前記グループの前記第１導電要素と、前記第２導電要素の間に個々の電気バイアスを印加することによって前記各グループの細長い要素の前記相対高さを調節するように設けた基板とを、
含んでなる請求項３１の光調節器。
【請求項３３】
前記細長い要素の前記反射面は金属を含み、該金属は前記第１導電要素を含む請求項３２の光調節器。
【請求項３４】
前記細長い要素の前記グループは、作動において３つの細長い要素の第１グループが第１回折角で単一回折次数を生じさせ、かつ、４つの細長い要素の第２グループが第２回折角で単一回折次数を生じさせるように細長い要素の可変グループを含む請求項３１の光調節器。
【請求項３５】
光調節器であって、
ａ．互いに平行に配列され複数のグループ構成の１つに構成される複数の細長い要素であって、前記各細長い要素は反射面と第１導電要素を含み、前記各グループ構成はその各グループ構成内に少なくとも３つの特定数の前記細長い要素を含み、前記光調節器は一度に単一グループ構成に従って構成される複数の細長い要素と、
ｂ．前記複数の細長い要素に連結され第２導電要素を有する基板であって、作動において前記細長い要素を照らす入射光は、前記細長い要素が第１高さにあるときに反射光を作り、かつ、作動において前記各グループの前記第１導電要素と前記第２導電要素の間に個々に変化する電気バイアスが印加されたときに、前記各グループの前記細長い要素の相対高さが調節されて単一回折次数を生じさせ、前記単一回折次数は第１回折角と、該第１回折角のマイナスの値の角の間で選択可能である基板とを、
含んでなる光調節器。
【請求項３６】
ａ．入射波を反射させる反射手段と、
ｂ．前記入射光が第１回折角と、該第１回折角のマイナスの値の角の間で選択可能である単一回折次数に回折するように前記反射手段を調節するであって、前記第１回折角は、細長い要素グループ構成内に多数の細長い構成要素を再構成することによって、前記調節手段に従って変化する調節手段とを、
含んでなる光調節器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は光調節器である。この光調節器は、互いに平行に配列され基板上に吊設された複数の細長い要素を含む。光調節器は第１回折モードと第２回折モードで作動する。第１回折モードでは、入力光は少なくとも２つの回折オーダに回折する。第２回折モードでは、入力光は単一回折オーダ（次数の意、以下同じ）に回折し、この単一回折オーダは前記少なくとも２つの回折オーダのそれぞれの回折角とは異なる回折角にある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】
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