【事件の表示】
　特願２０００−６０７７７７「圧力変動減衰システム」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年１０月　５日国際公開、ＷＯ００／５８０３６、平成１４年１１月２６日国内公表、特表２００２−５４０５１８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本願は、２０００年２月２２日（パリ条約による優先権主張１９９９年３月２６日、アメリカ合衆国）を国際出願日とする出願であって、平成２０年８月１９日付けで拒絶の理由が通知され、これに対し平成２１年２月２６日付けで手続補正がなされ、平成２１年３月３０日付けで拒絶査定がなされ、これに対する審判請求時の、同年８月５日付けで明細書を補正対象とする手続補正（以下、同手続補正を「本件補正」という。）がなされ、平成２２年６月２１日付けで審尋がなされ、同年１２月１７日に回答書が提出され、平成２３年２月１日付けで審尋がなされ、同年８月３日に回答書が提出されたものである。
　
第２．本件補正について
（１）補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１の記載は、
「【請求項１】　給水設備から供給される水圧を上昇させるために、前記給水設備と半導体基板洗浄システムとの間に設けられる加圧装置であって、
　前記給水設備から供給される不均一な圧力変動を含む水を加圧して、該給水設備から供給される水圧よりも水圧が高い加圧水とし、ポンプ流出部から吐出するポンプであって、前記加圧水には、前記不均一な圧力変動が含まれるポンプと、
　前記ポンプ流出部から吐出される不均一な圧力変動を含んだ加圧水を減衰器流入部から受け取って、該不均一な圧力変動の一部を減衰させることにより、前記圧力変動の変動幅を均一にした後、減衰器流出部から排出する圧力減衰器と、
　前記減衰器流出部から排出される加圧水を、調整器流入部から受け取って所定の圧力レベルに調整することにより、前記均一にされた圧力変動の変動幅を所定の変動幅以下に減衰させた後、調整器流出部から前記半導体基板洗浄システムに設けられている圧力調整バルブに対して流出する圧力調整器と、
　前記圧力調整器に接続され、前記減衰器流出部から排出される加圧水に含まれる圧力変動を減衰させるように該圧力調整器の前記所定の圧力レベルの調節制御を行う調節制御器と
　を備える加圧装置。」
と、補正された（以下、これを「本件補正発明」という。）。
　
（２）補正前の本願発明
　本件補正前の、特許請求の範囲の請求項１の記載は、
「【請求項１】　給水設備から供給される水圧を上昇させるための加圧装置であって、
　前記給水設備にポンプ流入部が接続されて、該給水設備から供給される水圧よりも水圧が高く、且つ圧力変動を含んだ加圧水をポンプ流出部から吐出するポンプと、
　前記ポンプ流出部から吐出される圧力変動を含んだ加圧水を減衰器流入部から受け取って、該圧力変動の一部を減衰させた後、減衰器流出部から排出する圧力減衰器と、
　前記減衰器流出部から排出され、圧力変動を含む加圧水を調整器流入部から受け取って、所定の圧力レベルに圧力を調整した後、調整器流出部から流出する圧力調整器と、
　前記調整器流出部に接続されて圧力値および圧力変動値を表示する圧力計と
　前記圧力調整器に接続され、前記圧力変動値に基づき、前記減衰器流出部から排出される加圧水に含まれる圧力変動を減少させるように、前記圧力調整器の前記所定の圧力レベルの調節制御を行うた調節制御器と、
　を備える加圧装置。」
であった（以下、これを「本件補正前発明」という。）。
　
（３）補正の目的違反
　本件補正は、以下の補正事項を含むものである。
　
補正事項ア．発明特定事項である、「前記調整器流出部に接続されて圧力値および圧力変動値を表示する圧力計と」を削除する。
　
補正事項イ．発明特定事項である、「調節制御器の所定の圧力レベルの調節制御を行う」ことについて、「前記圧力変動値に基づき」との限定事項を削除する。
　
　本件補正は、上記補正事項ア．イ．により、発明特定事項の一部を削除するものであるから、平成１８年法律第５５号による改正前の特許法（以下，「改正前特許法」という。）第１７条の２第４項各号のいずれの目的にも該当しない。
　したがって、本件補正は却下されるべきものである。
　なお、請求人は、平成２３年８月３日に提出した回答書で、当該補正は自明な事項を削除したものであり、実質的に拡張に該当しない旨、主張するが、自明な事項ならば削除の必要もないはずであり、請求人の主張には根拠がない。
　
第３．本願発明について
（１）本願発明
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし１５に係る発明は、平成２１年２月２６日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１ないし１５に記載されたとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、本件補正前発明のとおりである。
　
　そこで、本願発明が特許を受けることができるものであるかについて以下に検討する。
　
（２）引用刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された
特開平１０−２８８１６０号公報（以下、「引用刊行物」という。）には、「復動式ダイヤフラムポンプの流量コントロールシステム」に関して、図面とともに、以下のとおり記載されている。
　
ア．【特許請求の範囲】
「【請求項１】エア駆動の復動式ダイヤフラムポンプを用いて塗料等の液体材料をスプレーガン等の吐出手段に供給する液体材料流路に、吐出脈動防止用ダンパーを設けるポンプシステムにおいて、該脈動防止用ダンパーが、液体材料蓄圧室と空気室にダイヤフラムで区画される構成であるとき、復動式ダイヤフラムポンプに供給する空気流路を、該復動式ダイヤフラムポンプへ供給する前で分岐し、空気圧力調整器を介して供給するポンプ駆動圧力と同圧の空気を、前記脈動防止用ダンパーの空気室に供給する復動式ダイヤフラムポンプの流量コントロールシステム。
【請求項２】復動式ダイヤフラムポンプに供給する調圧空気を、該復動式ダイヤフラムポンプに供給する前で分岐し、ポンプ駆動圧力と同圧の空気を前記脈動防止用ダンパーの空気室に供給し、該脈動防止用ダンパーで液体材料側の圧力変動を緩和して吐出する液体材料流路に、流量計を配設し、該流量計の出力信号を、電空変換器によって変換し、変換された空気圧力によって流量制御を行う流量コントロールバルブを、前記液体材料流路に配設した請求項１記載のダイヤフラムポンプの流量コントロールシステム。
【請求項３】復動式ダイヤフラムポンプに供給する調圧空気を、該復動式ダイヤフラムポンプに供給する前で分岐し、ポンプ駆動圧力と同圧の空気を前記脈動防止用ダンパーの空気室に供給し、該脈動防止用ダンパーで液体材料側の圧力変動を緩和して吐出する流路に、塗料圧力調整器を配設し、該塗料圧力調整器の圧力調整によって、適正圧力で吐出手段に液体材料を供給する請求項１記載の復動式ダイヤフラムポンプの流量コントロールシステム。
【請求項４】脈動防止用ダンパーの液体材料蓄圧室または、液体材料蓄圧室の直前に逆流防止用逆止弁が配設されている請求項１，記載のダイヤフラムポンプの流量コントロールシステム。」
　
イ．段落【０００１】〜【０００３】
「【産業上の利用分野】エア駆動の復動式ダイヤフラムポンプを用いて、スプレーガン等の吐出手段に塗料等の液体材料を圧送供給するペイントポンプにおいて、液体材料の高粘性や、長尺の塗料ホースの抵抗に対応できる、脈動や圧力変動のない安定した液流で、吐出手段に液体材料を定量供給することのできるポンプシステムに関するものである。
【従来の技術】復動式ダイヤフラムポンプを用いて塗料等の液体材料をスプレーガン等に圧送供給する塗料供給装置は、ペイントポンプと称して市場で広く使用されている。復動式ダイヤフラムポンプは、圧縮空気を駆動源とし、該ダイヤフラムポンプの駆動軸の両サイドに取付けられるダイヤフラムで、ポンプ室を形成し、ポンプ室のポンピングによって、作動空気圧力と同圧の液体材料がポンプ室より左右交互に吐出される容積型のポンプである。したがって、ダイヤフラムポンプから吐出される液体材料は、塗料圧力調整器等を介して略一定圧力で吐出され、スプレーガン等の吐出手段に供給されている。そして、復動式ダイヤフラムポンプの作動は、スプレーガン等から吐出される吐出量に応じて自動的に制御されるサイクル数で作動する空気圧制御機構となっている。
　上記復動式ダイヤフラムポンプを用いた液体材料供給システムにおいて、左右交互に吐出する際、ポンプ駆動軸両端での死点があり、死点でのポンプの吐出圧力は０となることから、吐出時必ず脈動が生じて吐出される。この吐出脈動は、吐出流路に配設される塗料圧力調整器または、可撓性の塗料ホースのもつアキュムレート効果によって脈動を緩和させて吐出手段に供給している。」
　
ウ．段落【０００５】
「また、ポンプからの吐出脈動を防止する手段には、気体または、加圧気体封入型アキュムレータが一般的に多く使用されている。しかし、比較的低圧で吐出される復動式ダイヤフラムポンプの吐出脈動を防止しようとする場合、前記アキュムレータの容積を大きくしなければならない難点をもっている。また、加圧気体封入型では、調圧変動に対する応答性が不十分となって脈動防止効果が少なくなると共に、アキュムレータの洗浄性の問題および、本システムのコスト高の要因となる難点をもっている。」
　
エ．段落【０００７】〜【０００９】
「【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、復動式ダイヤフラムポンプから脈動して吐出する塗料等の液体材料を、復動式ダイヤフラムポンプの吐出圧力を維持しながら脈動を防止する機構を配設し、脈動が緩和された液流で、塗料圧力調整器を介して吐出手段に液体材料供給を行うか、または、流量を計測し、流量計で計測した値の出力信号を、電空変換器に送信し、電空変換器で変換した空気圧力を、液体流量制御バルブに供給して、流量制御を行う流量コントロールシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】本発明は、エア駆動の復動式ダイヤフラムポンプを用いて塗料等の液体材料をスプレーガン等の吐出手段に供給する液体材料流路に、吐出脈動防止用ダンパーを設けるポンプシステムにおいて、該脈動防止用ダンパーが、液体材料蓄圧室と空気室にダイヤフラムで区画される構成であるとき、復動式ダイヤフラムポンプに供給する空気流路を、該復動式ダイヤフラムポンプへ供給する前で分岐し、空気圧力調整器を介して供給するポンプ駆動圧力と同圧の空気を、前記脈動防止用ダンパーの空気室に供給し、ポンプ吐出圧力を維持して脈動を防止する復動式ダイヤフラムポンプの流量コントロールシステムである。
　また、復動式ダイヤフラムポンプに供給する調圧空気を、該復動式ダイヤフラムポンプに供給する前で分岐し、ポンプ駆動圧力と同圧の空気を前記脈動防止用ダンパーの空気室に供給し、該脈動防止用ダンパーで液体材料側の圧力変動を緩和して吐出する液体材料流路に、流量計を配設し、該流量計の出力信号を、電空変換器によって変換し、変換された空気圧力によって流量制御を行う流量コントロールバルブを、前記液体材料流路に配設する場合と、今一つは、該脈動防止用ダンパーで液体材料側の圧力変動を緩和して吐出する液体材料流路に、塗料圧力調整器を配設し、該塗料圧力調整器の圧力調整によって、適正圧力で吐出手段に液体材料を供給する復動式ダイヤフラムポンプの流量コントロールシステムである。」
　
オ．段落【００１１】〜【００１５】
「【作用】エア源からの圧縮空気を空気圧力調整器を介して復動式ダイヤフラムポンプに供給し、該ダイヤフラムポンプの駆動によって、供給した空気圧力と同圧の液体材料圧力で左右のダイヤフラムポンプから交互に吐出される。そして、往復駆動する駆動軸の折り返し点が死点となり、その死点部では、瞬間的に吐出が停止するために吐出脈動が生ずる。本発明は、脈動して吐出する吐出流路に、液体材料蓄圧室と空気室をダイヤフラムで区画して構成する脈動防止用ダンパーを取付け、該脈動防止用ダンパーの空気室側に、復動式ダイヤフラムポンプに供給する空気圧力調整器後の流路で分岐した空気流路から駆動圧力と同圧の空気を供給するものである。
　上記構成において、脈動防止用ダンパーには、復動式ダイヤフラムポンプ駆動圧力と同圧の空気が空気室に蓄圧される。一方脈動防止用ダンパーの液体材料蓄圧室の液体材料圧力は、復動式ダイヤフラムポンプの駆動軸の摺動抵抗、ポンプダイヤフラムの張力抵抗および、ポンプの弁開閉抵抗等によって、脈動防止用ダンパーは、空気室側の圧力より僅か低い圧力で流れている。そしてポンプ駆動軸両端の死点で吐出圧力が０となる瞬間時点では、切替弁によって空気の切替作動が行われ、この切替作動が行われる瞬間は、ポンプ駆動用空気の供給は瞬間的に停止する、したがって、空気圧力調整器と復動式ダイヤフラムポンプの間の流路の空気圧力は、空気の流れが止まることによって、瞬間的に高くなり、この高い圧力が脈動防止用ダンパーの空気室側の圧力を高める。
　脈動防止用ダンパーは、液体材料蓄圧室で復動式ダイヤフラムポンプの死点での圧力が０となる時点で、空気室側の圧力が高くなることによって、ばね等による脈動防止効果または、単なる加圧空気封入型に比較して数段効果的な脈動防止効果が得られる。また従来例で説明した塗料圧力調整器によるような減圧による脈動防止効果を必要とせず、復動式ダイヤフラムポンプからの吐出圧力を維持して脈動のない吐出流が得られる。
　脈動のない吐出流を流量計で計測することによって、安定した計測値が得られる。計測した流量値の出力信号を電空変換器に送信し、該電空変換器で調圧された空気圧力が流量コントロールバルブに供給することによって、所定の流量をスプレーガン等の吐出手段に供給することができる。
　脈動防止用ダンパーで、脈動がなく比較的高い吐出圧力が得られることから、流量計測および、流量コントロールバルブを使用せずに、脈動防止用ダンパー後に塗料圧力調整器による流量コントロールを行う場合においても、塗料圧力調整器での減圧差の必要性のないことから、比較的高い圧力で調圧でき、比較的粘性の高い液体材料またはスプレーガン等の吐出手段まで長尺の塗料ホースを用いることができるようになる利点が得られる。」
　
カ．段落【００１７】〜【００２１】
「【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の脈動防止用ダンパー、流量計および、流量コントロールバルブを配設した流量コントロールシステムの模式図である。図２は脈動防止用ダンパー後の液体材料流路に、塗料圧力調整器を配設した流量コントロールシステムの模式図である。図３は脈動防止用ダンパーの詳細断面図である。図において同一構成要素は同一符号を付して説明し、作用の項で説明した重複する部分の説明は原則省略する。
　図１において、復動式ダイヤフラムポンプ１は、エア源からの空気を空気圧力調整器４で調圧した圧力で駆動し、復動式ダイヤフラムポンプ１は塗料吸込口１ａから塗料等の液体材料を吸引し、左右のダイヤフラムポンプ部１ｂ，１ｃに吸込弁を介して交互に吸引し、復動式ダイヤフラムポンプ１の中心を貫通する駆動軸の両端に付設されるダイヤフラムポンプ部１ｂ，１ｃから吐出弁を介してポンプ吐出口１ｄから左右交互に液体材料が吐出される。そして、吐出圧力はポンプを駆動する前記調圧圧力と同圧の圧力となっている。駆動軸の左右交互の切替は、エア切替バルブ１ｅによって行われ、エア切替バルブ１ｅ部に空気圧力調整器４の調圧圧力が供給される。そして、ダイヤフラムポンプ１に調圧圧力を供給する流路１３に分岐路３が設けられる。
　図３の脈動防止用ダンパー２において、分岐路３からダイヤフラムポンプ駆動圧力と同圧の空気は、空気室２ａのジョイント２ｄから導入される。空気室２ａと液体材料蓄圧室２ｂは、液体材料蓄圧室２ｂ側がナイロンまたは、テフロン板、空気室２ａ側がゴム板の二枚を重ね合わせたダイヤフラム２ｃが、両室を形成するフランジ型のケース２ｉ，２ｊによって、挟設されている。ダイヤフラム２ｃは、強度保持のために、プレート２ｇ，２ｈで挟設している。液体材料蓄圧室２ｂを形成するケース２ｊには、復動式ダイヤフラムポンプ１から吐出された液体材料導入口ジョイント２ｅと吐出口ジョイント２ｆが付設されて、塗料ホース等で接続される。
　上記構成において、液体材料蓄圧室２ｂと空気室２ａは同圧でバランスするが、液体材料が流れているときは、液体材料蓄圧室２ｂ側が、ダイヤフラムポンプの摺動抵抗、流路抵抗等によって、僅か低くなっている。そしてダイヤフラムポンプの死点で瞬間的に吐出が停止する時点で、空気室２ａの圧力が働いてダイヤフラム２ｃがたわんで液体材料蓄圧室２ｂ内の圧力がダイヤフラムポンプ駆動調圧と同圧に維持されると同時に、脈動が防止され均一な圧力で吐出される。そして、吐出が死点で瞬間的に停止する時点で、ダイヤフラム２ｃがたわんで吐出圧力を維持するとき、導入口ジョイント２ｅ側に液体材料が逆流する条件があるときは、脈動防止効果を低下させるので、導入口ジョイントまたは、導入流路に逆流防止用逆止弁１４を設けて脈動防止効果の低下を回避するようにするものである。
　脈動防止用ダンパー２によって均一化された液流は、図１の流量計５によって、流量が測定され、その測定値が電気的に変換されて、電空変換器７に送信される。電空変換器７では、設定流量と対比して、設定流量に見合う空気圧力に変換して流量コントロールバルブ６に供給して、設定流量値にバルブがコントロールされる。このシステムは脈動防止用ダンパーから比較的吐出圧力の高い均一液流で流れるので、流量計での測定精度が高くまた、流量コントロールバルブ６での調整精度が高くなる効果を有するものである。そして流量計５を介して設定値に調整された液体材料がスプレーガン８に供給される。」
　
キ．段落【００２３】〜【００２７】
「図２は脈動防止用ダンパー２から吐出手段のスプレーガン８に供給する流路に、塗料圧力調整器１２を配設した場合の実施例を示したもので、前記した流量計および、流量コントロールバルブを使用するシステムに比較して、流量の供給安定性についてはやや劣るが、脈動防止用ダンパーからの吐出圧力が高いのと、脈動防止されていることから、従来より広い範囲での圧力調整が可能となり、高粘度塗料への対応が容易となる効果を有し、比較的精度を必要としない一般的な塗装等には、コスト的に有利となることからこの方式を採用してよいものである。
【発明の効果】以上説明したように本発明は、復動式ダイヤフラムポンプを駆動する調圧空気を、ダイヤフラムポンプに導入する前で分岐し、該ダイヤフラムポンプの吐出流路に設けられる脈動防止用ダンパーの空気室に導入し、該調圧空気で脈動防止用ダンパーの液体材料蓄圧室の圧力変動を均一化するようにしたことによって、復動式ダイヤフラムポンプからの吐出圧力を低下させずに脈動を防止して均一な液流で吐出手段へ供給することができる効果を奏する。
　また、脈動防止用ダンパーから吐出手段への液体流路に、流量計、流量コントロールバルブを設けて、従来より高い圧力で安定した流量精度で吐出手段への供給が可能となり、高粘度液体材料または、長尺の塗料ホースを使用する場合にも適応可能な流量コントロールシステムが提供できる。
　また、脈動防止用ダンパーから高い圧力で脈動のない均一な液流で吐出されることから、塗料圧力調整器を用い、従来より広い調整範囲でかつ、低コストの流量コントロールシステムが提供できる。
　また、脈動防止用ダンパーの液体材料蓄圧室への導入口近傍に、逆流防止用逆止弁を付設することによって、脈動防止効果を一段と高めることが可能となる。」
　
　以上によれば、引用刊行物には、
「エア駆動の復動式ダイヤフラムポンプを用いて塗料等の液体材料をスプレーガン等の吐出手段に供給する液体材料流路に、吐出脈動防止用ダンパーを設けるポンプシステムにおいて、
　該脈動防止用ダンパーが、液体材料蓄圧室と空気室にダイヤフラムで区画される構成であり、
　空気圧力調整器を介して復動式ダイヤフラムポンプに供給する調圧空気を、該復動式ダイヤフラムポンプへ供給する前で分岐して、ポンプ駆動圧力と同圧の空気を前記脈動防止用ダンパーの空気室に供給し、
　該脈動防止用ダンパーで液体材料側の圧力変動を緩和して吐出する流路に、塗料圧力調整器を配設し、該塗料圧力調整器の圧力調整によって、適正圧力で吐出手段に液体材料を供給する、
　復動式ダイヤフラムポンプの流量コントロールシステム。」
　との発明（以下、「引用刊行物発明」という。）が開示されていると認められる。
　
（３）対比
　そこで、本願発明と引用刊行物発明とを比較すると、引用刊行物発明のエア駆動の復動式ダイヤフラムポンプは、復動式であるから、原理的に吐出圧に圧力変動が含まれており、流体を加圧する限りにおいて、本願発明の「圧力変動を含んだ加圧流体をポンプ流出部から吐出するポンプ」と一致している。
　そして、ポンプ吐出圧の脈動を防止する点においては、引用刊行物発明の復動式ダイヤフラムポンプとスプレーガン等の吐出手段の間に設けた「吐出脈動防止用ダンパー」は、本願発明の「前記ポンプ流出部から吐出される圧力変動を含んだ加圧流体を減衰器流入部から受け取って」、「減衰器流出部から排出する圧力減衰器」に相当し、引用刊行物発明の「吐出脈動防止用ダンパー」は、「液体材料側の圧力変動を緩和して吐出する」ものであり、このような、「液体材料蓄圧室と空気室にダイヤフラムで区画される構成」の吐出脈動防止用ダンパーが、脈動を完全に完全に防止できないことは明らかであるから、引用刊行物発明の「吐出脈動防止用ダンパー」は、本願発明の圧力減衰器と同様に、圧力変動の「一部を減衰させている」ものであるということができる。
　また、引用刊行物発明の、脈動防止用ダンパーの吐出流路に配設され、その圧力調整によって、適正圧力で吐出手段に液体材料を供給する「塗料圧力調整器」は、本願発明の「前記減衰器流出部から排出され、圧力変動を含む加圧流体を調整器流入部から受け取って、所定の圧力レベルに圧力を調整した後、調整器流出部から流出する圧力調整器」に相当している。
　
　以上のとおりであるから、両者は、
＜一致点＞
「圧力変動を含んだ加圧流体をポンプ流出部から吐出するポンプと、
　前記ポンプ流出部から吐出される圧力変動を含んだ加圧流体を減衰器流入部から受け取って、該圧力変動の一部を減衰させた後、減衰器流出部から排出する圧力減衰器と、
　前記減衰器流出部から排出され、圧力変動を含む加圧流体を調整器流入部から受け取って、所定の圧力レベルに圧力を調整した後、調整器流出部から流出する圧力調整器と、
　を備える加圧装置。」
　の点で一致し、以下の点で相違している。
　
＜相違点１＞
　本願発明では、供給され、加圧される加圧流体が加圧水であって、「給水設備から供給される水圧を上昇させるための加圧装置」であり、ポンプは、「給水設備にポンプ流入部が接続されて、該給水設備から供給される水圧よりも水圧が高」い加圧水を吐出するものであるのに対し、引用刊行物発明のポンプシステムが加圧する流体は、塗料等の液体材料であり、同液体材料は、ポンプシステムに供給される際に圧力があるのか否かは不明である点。
　
＜相違点２＞
　本願発明では、「調整器流出部に接続されて圧力値および圧力変動値を表示する圧力計と、圧力調整器に接続され、前記圧力変動値に基づき、前記減衰器流出部から排出される加圧水に含まれる圧力変動を減少させるように、前記圧力調整器の前記所定の圧力レベルの調節制御を行うた調節制御器」を備えるものであるのに対して、引用刊行物発明は、「圧力調整器」を備えるものの、そのような圧力計を備えず、「圧力調整器」が圧力変動値に基づいて調節制御器により調節制御されるものではない点。
　
（４）判断
○　相違点１について
　相違点１について検討すると、ポンプシステムにおいては、水を加圧することも、塗料等の液体材料を加圧することも、ともによく行われることであり、水を加圧した点は、単なる周知事項の適用にすぎない。
　してみれば、相違点１に係る発明特定事項の違いは、引用刊行物発明に周知事項を適用したにすぎないものであり、当業者が容易に想到し得たものである。
　
○　相違点２について
　相違点２に係る、「圧力値および圧力変動値を表示する圧力計」は、流体機器技術分野においては、例を示すまでもない周知事項にすぎず、これを配管路のいずれの位置に接続するかは設計的事項である。
　また、「圧力調整器に接続され、前記圧力変動値に基づき、前記減衰器流出部から排出される加圧水に含まれる圧力変動を減少させるように、前記圧力調整器の前記所定の圧力レベルの調節制御を行うた調節制御器」についてみると、このような「圧力調整器に接続され、圧力変動値に基づき、前記圧力調整器の所定の圧力レベルの調節制御を行う調節制御器」は、例えば、特開昭６３−２０５７０１号公報にもみられるように、流体機器技術分野においては周知のものにすぎず、圧力調整器を加圧装置の最終段、すなわち、減衰器の後段に配置するのは、それらの機器の作用を考慮すれば必然的な事項であって、さらに、圧力調整を行えば、圧力調整器の出力圧は一定になるのであるから、出力圧の圧力変動が減少するのは自明な事項である。
　そして、相違点２による、格別な作用効果は見いだせない。
　してみれば、相違点２に係る発明特定事項の違いは、引用刊行物発明に設計的事項を適用したにすぎないものであり、当業者が容易に想到し得たものである。
　
　以上のとおりであるから、本願発明は、引用刊行物発明及び周知事項、及び設計的事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用刊行物発明及び周知事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができず、他の請求項についてみるまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。
　
付記
　
（１）平成２２年１２月１７日付け回答書の主張について
　
　請求人は、標記回答書において、「ポンプ」に関して、「前記供給設備毎に供給水圧が異なり得る前記給水設備から供給される水を加圧して、該給水設備から供給される水圧よりも水圧が高い加圧水とし、ポンプ流出部から吐出するポンプであって、前記加圧水には、不均一な圧力変動が含まれるポンプと、」との補正案を提示し、これとともに、「これに対し、引用文献１（特開平１０−２８８１６０号公報）では、ポンプ１の上流に空気圧力調整器４が設けられています（図１）。そのため、引用文献１では、ポンプ１に供給される流体の圧力は一定です。従って、引用文献１には、ポンプの下流側に圧力減衰器と圧力調整器とが設けられ、ポンプの上流側の給水設備の供給水圧が異なり得る場合にも適用可能な加圧装置である本願の請求項１に係る発明は開示されてはいません。」と述べている。
　補正案には法的根拠はないが、請求人の便のため一応、検討する。
　同刊行物（引用刊行物１）に記載の「空気圧力調整器４」は、ポンプの動力源としてのエア源の圧力を一定にするものであり、ポンプに供給される水は図１のポンプ１の下部に画かれている配管から供給されるものである。そして、ポンプの供給水圧が水供給設備ごとに異なり得るものであることは技術常識である。
　以上のとおりであるから、同回答書の主張を採用することはできない。
　
（２）平成２３年８月３日付け回答書の主張について
　
　請求人は、標記回答書において、「ポンプ」に関して、「前記給水設備毎に供給水圧が異なり得る前記給水設備から供給される水を加圧して、該給水設備から供給される水圧よりも水圧が高い加圧水とし、ポンプ流出部から吐出するポンプであって、前記加圧水には、不均一な圧力変動が含まれるポンプと、」との補正案を提示しているが、これについては、上記平成２２年１２月１７日付け回答書の補正案と比較し、「前記供給設備毎に」を、「前記給水設備毎に」としたにすぎないから、上記補正案と同様に採用できない。
　また、請求人は、標記回答書において、「上述したように、引用文献１では、脈動防止用ダンパー２から吐出される液体（塗料）は脈動のない均一な液流であり、塗料圧力調整器１２は、脈動防止用ダンパー２から排出された脈動のない均一な液流を受け入れます。引用文献１には、圧力減衰器によって加圧水に含まれる不均一な圧力変動の一部が減衰され、その後、圧力調整器によって圧力が調整されるという本件補正前発明の特徴は開示されていません。
　また、前置報告書において引用された他の引用文献にも、本件補正前発明の上記特徴は開示されていません。
　このように、仮に本件補正が却下されても、引用文献には、少なくとも、本件補正前発明における圧力減衰器によって加圧水に含まれる不均一な圧力変動の一部が減衰され、その後、圧力調整器によって圧力が調整されるという特徴が開示も示唆もされていないため、本件補正前発明は引用文献から十分な進歩性を有するものと思料いたします。」と述べ、「２段階の加圧水の減衰が行われること」が、本願発明の特徴であると主張しているが、この点は、上記第３．（３）対比　で述べたように、引用刊行物発明も同様であるから、標記回答書の主張を採用することはできない。
　
（３）審判請求時の主張について
　
　請求人は、審判請求書において、
　（ａ）給水設備から供給される不均一な水圧変動を含む水を加圧し、該加圧水に含まれる不均一な水圧変動を、２段階の圧力減衰により減少させる加圧装置
　（ｂ）圧力減衰器から受け渡された加圧水の圧力を所定の圧力レベルに調整することにより、均一にされた圧力変動の変動幅を所定の変動幅以下に減衰させ、半導体基板洗浄システムに設けられている圧力調整バルブに受け渡す圧力調整器を備える点
の２点について、本件補正発明と引用刊行物１に記載の発明との違いを主張しているが、これらの主張は、却下された手続補正に基づく主張であるから採用できない。