【事件の表示】
　平成１１年特許願第２４３４４０号「浮上搬送方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　３月１３日出願公開、特開２００１−　６３８２２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯  
　本件出願は、平成１１年８月３０日の特許出願であって、同２２年３月５日付けの拒絶をすべき旨の査定に対し、平成２２年６月１０日に本件審判の請求がされるとともに明細書について手続補正書が提出された。その後、平成２３年３月１５日付けで当審から拒絶の理由が通知され、同２３年５月１３日に意見書の提出とともに明細書についてさらに手続補正書が提出され、同２３年１１月１１日付けで当審から再度の拒絶の理由が通知され、同２４年１月１６日に意見書が提出されたものである。  
　  
第２　本願発明  
　本願の請求項１ないし４に係る発明は、平成２３年５月１３日提出の手続補正書によって補正された特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された事項により特定されるとおりのものと認めるところ、その請求項１の記載は以下のとおりである。  
　　  
「【請求項１】　板状体の厚さが５０〜１００μｍであって、少なくとも一部分が搬送面と向かい合うように凸状に湾曲している凸面を持つ板状体の前記凸面が、前記搬送面と向かい合うように前記板状体を前記搬送面に対して配置し、
　前記配置した板状体を前記搬送面から浮上させて、前記配置した板状体の浮上姿勢の傾きを自動修正した状態で、前記搬送面に沿って移動させることを特徴とする浮上搬送方法。」（以下、請求項１に係る発明を「本願発明」という。）  
　  
第３　引用刊行物記載の発明及び事項  
　これに対して、当審での平成２３年１１月１１日付けの拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特開昭５１−３７４８４号公報（以下「刊行物１」という。）、特開平９−３０５１３４号公報（以下「刊行物２」という。）には、以下の発明、あるいは事項が記載されている。  
　
１　刊行物１　  
（１）刊行物１記載の事項　  
　刊行物１には、「薄板状物の気体輸送装置」に関して、図面とともに以下の事項が記載されている。  
　  
ア　特許請求の範囲
「薄板状物の輸送方向に気体噴出孔を傾斜して設けた装置において、この気体噴出孔は前記傾斜の他に輸送路に対して内向きと外向きとに傾斜して構成されていることを特徴とする薄板状物の気体輸送装置。」 
　 
イ　第１ページ右下欄第１７行〜第２０行  
「本発明は前記のような欠点を解消するために得られたものであつて、皿状あるいは逆皿状に反つたウエハのいずれも効果的に浮上させ輸送できる装置を提供することを目的とするものである。」 
　 
ウ　第２ページ左上欄第７行〜右上欄第２行
「輸送装置１の表面は平坦で、矢印２で示す輸送方向に噴出孔３が多数配列されている。噴出孔３は輸送方向に傾斜していると共に、横断方向に見てハ字型噴出孔３ａと逆ハ字型噴出孔３ｂとで構成されており、結局噴出空気は輸送面の中心に向うものと、外方に向うものの流れを生ずることになる。・・・（中略）・・・輸送装置の内部あるいは裏面にはダクトが設けてあり、これを通じて供給された圧縮空気は噴出孔３に供給され、輸送面に空気の噴流を形成する。したがつて薄板状物（半導体ウエハ）５を輸送面に載せると前記空気の噴流によつて浮上してエアーベアリング効果を発揮すると共に矢印２で示す輸送方向に向つて生ずる推進力によつて輸送されるのである。」 
　 
エ　第２ページ右上欄第１０行〜第１８行
「第３図は逆皿状に反った薄板状物５ｂを輸送する状況を示すもので、主として噴出孔３ｂより噴出する空気流が薄板状物５ｂを浮上させるものでこの薄板状物５ｂの周縁が輸送面に接触することはない。
　第４図は皿状に反つた薄板状物５ｃを輸送する状況を示すものであるが、この場合は主として噴出孔３ａより噴出する空気流の作用で薄板状物５ｃを浮上させて輸送する。」 
　　 
（２）刊行物１記載の発明  
　上記摘記事項イの記載、第３図及び第４図に示された薄板状物５の形状から、薄板状物５は少なくとも一部分が凸状に湾曲している凸面を持つ、ということができる。 
　そこで、上記摘記事項アないしエを、図面を参照しつつ技術常識を踏まえ、本願発明に照らして整理すると、刊行物１には以下の発明が記載されていると認める。  
「少なくとも一部分が凸状に湾曲している凸面を持つ薄板状物５を、輸送面に対して配置し、
　前記配置した薄板状物５を前記輸送面から浮上させて、前記輸送面に沿って移動させる気体輸送方法。」（以下「刊行物１発明」という。）  
　
２　刊行物２　  
　刊行物２には、「空中浮上装置」に関して、図面とともに以下の事項が記載されている。  
　
ア　特許請求の範囲の請求項１　  
「【請求項１】  気流を発生させる気流発生装置と、
浮上体とを有し、
該浮上体は、その外周形状が、上記気流の上流側に位置する第１の曲面と、下流側に位置する第２の曲面とを有し、
上記第１の曲面は、上記気流の下流に向かってその平均的形状が広がる形状とされて上記気流によって主として浮上力を発生させる曲面とされ、
上記第２の曲面は、上記気流の下流に向かってその平均的形状が狭まる形状とされて上記気流によって主として上記気流の中央に向かう力を発生させる曲面とされたことを特徴とする空中浮上装置。」
　
イ　段落【０００８】
「【０００８】この浮上体２は、例えば図２にその一例の断面図を示すように、気流ＦＬに対して上流側に位置する第１の曲面２１とこれに連続し、気流ＦＬの下流側に位置する第２の曲面２２による外周形状を有する例えば中空体によって構成される。第１の曲面２１は、気流ＦＬの下流に向かってその平均的形状が広がる形状とされて気流ＦＬによって主として浮上力を発生させる曲面とされ、第２の曲面２２は、気流ＦＬの下流に向かってその平均的形状が狭ばまる形状とされて気流ＦＬによって主として気流ＦＬの中央に向かう力を発生させる曲面とされる。」
　
　上記摘記事項イの、浮上体の第１の曲面２１は気流ＦＬの下流に向かってその平均的形状が広がる形状とされている旨の記載、及び図１に示された浮上体（２）の形状から、浮上体（２）は少なくとも一部分が気流発生装置と向かい合うように凸状に湾曲している凸面を持ち、浮上体の前記凸面が、前記気流発生装置と向かい合うように前記浮上体（２）を前記気流発生装置に対して配置されていることが、理解される。
　
　そこで、上記摘記事項ア及びイを、図面を参照しつつ技術常識を踏まえて整理すると、刊行物２には以下の事項が記載されていると認める。  
「少なくとも一部分が気流発生装置と向かい合うように凸状に湾曲している凸面を持つ浮上体の前記凸面が、前記気流発生装置と向かい合うように、前記浮上体を前記気流発生装置に対して配置すること。」（以下「刊行物２事項」という。）
　
第４　対比  
　本願発明と刊行物１発明とを対比すると以下のとおりである。  
　刊行物１発明の「薄板状物５」が本願発明の「板状体」に相当することは明らかであり、以下同様に、「輸送面」は「搬送面」に、「気体輸送方法」は「浮上搬送方法」にそれぞれ相当することも明らかである。  
　 
　したがって、本願発明と刊行物１発明とは、以下の点で一致しているということができる。  
＜一致点＞  
「少なくとも一部分が凸状に湾曲している凸面を持つ板状体を、搬送面に対して配置し、
　前記配置した板状体を前記搬送面から浮上させて、前記搬送面に沿って移動させる浮上搬送方法。」  
　  
　そして、本願発明と刊行物１発明とは、以下の２点で相違している。  
１　＜相違点１＞  
　本願発明の板状体は厚さが５０〜１００μｍであるのに対し、刊行物１発明の板状体（薄板状物５）の厚さは不明である点。
２　＜相違点２＞  
　本願発明は、板状体の凸面が搬送面と向かい合うように湾曲し、凸面が搬送面と向かい合うように板状体を搬送面に対して配置し、板状体の浮上姿勢の傾きを自動修正した状態で移動させるのに対し、刊行物１発明は、板状体の凸面の湾曲する向き及び板状体を配置する向きを特定しておらず、傾きの自動修正についても特定していない点。
　
第５　相違点の検討  
１　＜相違点１＞について  
　刊行物１記載の板状体（薄板状物５）としては半導体ウエハが例示されているから（上記摘記事項第３の１（１）のウ）、刊行物１発明の板状体もその程度の厚さである蓋然性が高い。また、厚さが５０〜１００μｍ程度の半導体ウエハは、例えば、当審の拒絶理由通知にて示した特開昭６３−１５３８３７号公報（第２ページ右下欄第５行〜第６行等参照）、特開平３−２９６２４２号公報（第１ページ右下欄第１６行〜第１７行等参照）、特開平１１−２２４８６９号公報（段落【０００８】等参照）に示されるように従来周知であり、かかる従来周知の半導体ウエハたる板状体を刊行物１発明の搬
送対象とすることは、当業者が容易に想到し得たことである。 
　 
２　＜相違点２＞について
　まず、本願発明の傾きの「自動修正」の意味するところを検討する。本件明細書の段落【００２１】には、「搬送面１１から直角方向に最も離れたウエハ１の周辺部分１Ｃでは、浮上力が小さくなるので、この周辺部分１Ｃが搬送面１１に向かって回転するように動く。この結果、ウエハ１が矢印９２で示される方向に姿勢を自動的に修正する。つまり、姿勢を直す自動修正作用がウエハ１に働く。これによって、ウエハ１は、最終的に図１の姿勢で搬送される。」と記載されており、該記載から「自動修正」とは、浮上体の形状に起因する浮上力の差による受動的な復元力に基づく姿勢の修正であると解される。
　したがって、本願発明のように浮力発生源側（搬送面側）と向かい合うような凸面を有していれば、受動的な復元力たる「自動修正」作用は得られるものと考えられる。そうすると、刊行物１発明も、「凸面を持つ薄板状物」が浮力発生源側（搬送面側）と向かう合う姿勢になった場合は、「自動修正」作用は得られるのであるから、刊行物１発明も、実質的には、傾きを自動修正した状態で移動させるものということができる。よって、相違点２のうち、浮上姿勢の傾きを自動修正する点は実質的な差異ではない。
　
　次に、上記第３の２にて指摘したように、刊行物２事項は、
「少なくとも一部分が気流発生装置と向かい合うように凸状に湾曲している凸面を持つ浮上体の前記凸面が、前記気流発生装置と向かい合うように、前記浮上体を前記気流発生装置に対して配置すること。」
というものであるところ、刊行物２事項の「気流発生装置」と本願発明の「搬送面」は、気流発生源である限りにおいて共通する。したがって、刊行物２事項を本願発明に照らして書き改めると、少なくとも一部分が気流発生源と向かい合うように凸状に湾曲している凸面を持つ浮上体の前記凸面が、前記気流発生源と向かい合うように、前記浮上体を前記気流発生源に対して配置すること、となる。
　
　刊行物１発明は浮上体の凸面の向きを特定していないが、刊行物１発明のように浮上体の凸面の向きを特定することなくいずれの向きでも姿勢を安定させることは追加の噴出孔を設ける等の設備のコストを要する。そこで、気流発生源と向かい合うように浮上体の凸面を気流発生源に対して配置することは、そもそも択一的選択であるところ、刊行物２事項に接した当業者が、コスト削減の観点から、一律に気流発生源（すなわち搬送面）と向かい合うように浮上体たる薄板状物５の凸面を気流発生源（すなわち搬送面）に対して配置することを試みることは、格別困難なことではない。
　そして、刊行物１発明に刊行物２事項を適用して、薄板状物５の凸面を一律に搬送面に対して配置した場合、薄板状物の姿勢を一律に「自動修正」する効果が得られることは、上記したように凸面を持つ薄板状物が浮力発生源側と向かい合う姿勢になった場合に得られる作用によるものであるし、当業者が容易に予測し得ることである。また、浮上体が浮力発生源方向に対する面を凸面とすることによって安定させることは、当審の拒絶理由通知にて示した特公昭５８−２１３２９号公報（図２等参照）に見られるように、広く行われる従来周知の技術である。
　
　そうしてみると、刊行物１発明に、気流発生源と向かい合うように浮上体
の凸面を気流発生源に対して配置する刊行物２事項、及び上記従来周知の技術を適用し、凸面が気流発生源（すなわち搬送面）と向かい合うように板状体を気流発生源（すなわち搬送面）に対して配置して傾きの自動修正を行う、相違点２に係る本願発明の構成とすることは、当業者が容易に推考し得たものというのが相当である。
　
３　したがって、本願発明は、刊行物１発明、刊行物２事項、及び上記従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。  
第６　むすび  
　以上のとおり、本願発明は、刊行物１発明、刊行物２事項及び従来周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることがないものである。  
　したがって、本願は、その余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、拒絶されるべきものである。  
　よって、結論のとおり審決する。