【手続補正書】
【提出日】平成18年5月29日(2006.5.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造工程中のウエブ（９０）の少くとも１つの特性を測定するために光源（２２）からの光を検出するための少くとも１つのセンサー（６８ａ〜６８ｄ）を備えた赤外線分光測定デバイスにおいて、光源（２２）を遮断するための方法であって、
出力軸（４２）を有するモーター（３６）を設ける工程と、
該モーターの出力軸にシャッターフラッグ（３８）を連結する工程と
該シャッターフラッグを、前記光源を完全に遮蔽する位置へ回転させるために該モーターを作動する工程と、
該光源を遮断するために該モーターを非同期的に制御する工程と、
から成ることを特徴とする光源遮断方法。
【請求項２】
前記光源を遮断するためにモーターを非同期的に制御する前記工程は、ＤＣから０．０２秒ごとに１回までの範囲のレートで行われる請求項１に記載の光源遮断方法。
【請求項３】
前記光源が前記シャッターフラッグ（３８）によって遮断されているとき、前記センサー（６８ａ〜６８ｄ）によって発せられた信号を測定する工程と、
前記光源が遮断されるたびに、前記信号からの基線ノイズ値を測定する工程と、
基線ノイズの変化値を測定するために前記基線ノイズ値をその前の基線ノイズ値と比較する工程と、
前記基線ノイズの変化値を第１閾値と比較する工程と、
前記基線ノイズの変化値が第１閾値を超えたならば、前記光源の遮断レートを高める工程を含む請求項１に記載の光源遮断方法。
【請求項４】
前記第１閾値は、前の基線ノイズ変化値の倍数として設定される請求項３に記載の光源遮断方法。
【請求項５】
前記倍数は、２である請求項４に記載の光源遮断方法。
【請求項６】
前記基線ノイズの変化値を第２閾値と比較する工程と、
前記基線ノイズの変化値が第２閾値より小さくなったならば、前記光源の遮断レートを低下させる工程を含む請求項３に記載の光源遮断方法。
【請求項７】
前記第２閾値は、前の基線ノイズ変化値の分数として設定される請求項６に記載の光源遮断方法。
【請求項８】
前記分数は、２分の１である請求項７に記載の光源遮断方法。
【請求項９】
前記光源が遮断されるたびに、前記信号からの平均暗状態値を計算する工程と、
該平均暗状態値を用いて前記基線ノイズを測定する工程を含む請求項３に記載の光源遮断方法。
【請求項１０】
前記少くとも１つのセンサーは、インジウムガリウム砒素検出器（６８ａ〜６８ｄ）である請求項１に記載の光源遮断方法。
【請求項１１】
前記少くとも１つのセンサーは、セレン化鉛検出器である請求項１に記載の光源遮断方法。
【請求項１２】
前記少くとも１つのセンサーは、珪化白金検出器である請求項１に記載の光源遮断方法。
【請求項１３】
前記モーター（３６）は、ステップモーターである請求項１に記載の光源遮断方法。
【請求項１４】
光源を遮断するためにモーター（３６）を非同期的に制御する（８２）工程では、前記光源を１秒おきに約４〜１０ミリ秒間遮断する請求項１に記載の光源遮断方法。
【請求項１５】
製造工程中のウエブ（９０）の少くとも１つの特性を測定するために光源（２２）からの光を検出するための少くとも１つのセンサー（６８ａ〜６８ｄ）を備えた赤外線分光測定デバイスにおいて、光源（２２）を遮断するための方法であって、
出力軸（４２）を有するステップモーター（３６）を設ける工程と、
該モーターの出力軸にシャッターフラッグ（３８）を連結する工程と
該シャッターフラッグを、前記光源を完全に遮蔽する位置へ回転させるために該モーターを作動する工程と、
前記光源が完全に遮蔽されている間に前記少くとも１つのセンサーから収集されたデータに基づいて暗状態の検査を実施する工程と、
連続して逐次に実施される暗状態の検査結果を比較する工程と、
前記暗状態の検査結果の比較に従って前記光源を遮断するために前記ステップモーターを非同期的に制御する（８２）工程と、
から成ることを特徴とする光源遮断方法。
【請求項１６】
製造工程中のウエブ（９０）の複数の特性を同時に測定するために該ウエブの単一のサンプル部分からの光を混合し、分配するための装置であって、
前記サンプル部分から光を受け取り、その光を出力端（６４，４３０ａ）を被って均一に分配する検出器光ホモジナイザー（６２，１３２）と、
該検出器光ホモジナイザーの該出力端から光を受け取り、その光の複数の部分を複数の分割された出力端（７０ａ〜７０ｆ）へ分配する光分配器（７６，６６）と、
から成ることを特徴とする光混合分配装置。
【請求項１７】
前記検出器光ホモジナイザーは、反射性内側面を有するほぼ半球状のキャビティから成り、該検出器光ホモジナイザーの前記出力端は、該検出器光ホモジナイザーの軸線からオフセットされた角度に向けられた光ポートから成る請求項１６に記載の光混合分配装置。
【請求項１８】
前記光ポート（６４）は、前記半球状のキャビティの軸線（６２ａ）から約０〜７０°の角度に向けられている請求項１７に記載の光混合分配装置。
【請求項１９】
前記光ポート（６４）は、前記半球状のキャビティーの軸線（６２ａ）から約４５°〜６５°の角度に向けられている請求項１８に記載の光混合分配装置。
【請求項２０】
前記検出器光ホモジナイザー（１３２）は、ランダムに分配された光ファイバー束の第１セクション（４２０）と、該第１セクションに直列に接続された、ランダムに分配された光ファイバー束の第２セクション（４３０）とから成り、該第１セクションのランダムに分配された光ファイバー束は、該第２セクションのランダムに分配された光ファイバー束とは異なるランダム化を有しており、該直列に接続された第１及び第２セクションの光ファイバー束は、前記光を第１端（４２０ａ）で受け取り、該光を第２端に位置する前記出力端（４３０ａ）を被って均一に分配する請求項１６に記載の光混合分配装置。
【請求項２１】
前記光分配器（７６，６６）は、前記検出器光ホモジナイザー（６２，１３２）の前記出力端（６４，４３０ａ）に結合された、ランダムに分配された光ファイバー（６６）の束から成り、該光ファイバーの束は、複数の小束（６６ｂ）に分割されており、該小束の各々は、前記分配された出力端（７０ａ〜７０ｆ）の対応する１つに結合されている請求項１６に記載の光混合分配装置。
【請求項２２】
ランダムに分配された光ファイバー（６６）の前記束は、被検出赤外線波長に対して高い透過率を有する請求項２１に記載の光混合分配装置。
【請求項２３】
測定システムを校正するために製品サンプルの少くとも１つの特性を測定する方法であって、
前記サンプルを平常の製品測定強度で作動する光源で照射する工程と、
該光源をテスト時間のうちの所定の何％かの時間の間遮蔽する工程と、
該光源が遮蔽されていないとき前記サンプルからの光を測定する工程と、
から成ることを特徴とする方法。
【請求項２４】
光源を遮蔽する前記工程は、シャッターを前記光源と前記サンプルの間へ非同期的に移動させることから成る請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
テスト時間のうちの前記所定の％は、約９０％以上である請求項２３に記載の方法。
【請求項２６】
テスト時間のうちの前記所定の％は、約９９％以上である請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
測定システムを校正するために製品サンプルの少くとも１つの特性を測定する方法であって、
光源（２２）を平常の製品測定強度で作動させる工程と、
前記サンプルを前記光源から光を受ける位置へ移動させる工程と、
前記光源とサンプルの間に介在する光遮蔽位置と、光非遮蔽位置との間で移動させることができるシャッターを設ける工程と、
前記製品サンプルの前記少くとも１つの特性が影響されることなく、該少くとも１つの特性を測定するのに必要な時間だけ該製品サンプルが平常の製品測定強度で照射されるように、前記光源による製品サンプルの照射時間を制御するために前記シャッターを前記光遮蔽位置と、光非遮蔽位置との間で移動させる工程と、
前記光源が遮蔽されていないとき前記サンプルの前記少くとも１つの特性を測定する工程と、
から成ることを特徴とする方法。
【請求項２８】
前記照射は、所定の時間の間だけ行われ、前記シャッター（３４）は、該所定の時間のうちの相当な時間前記光遮蔽位置へ移動されている請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
前記所定の時間のうちの前記相当な時間の割合は、約９０％以上である請求項２７に記載の方法。
【請求項３０】
前記所定の時間のうちの前記相当な時間の割合は、約９９％以上である請求項２９に記載の方法。