【事件の表示】
　特願２００５−２０２１４４「プラズマチャンバーとともに使用する固定インピーダンス変換回路網用の装置および方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１８年　４月１３日出願公開、特開２００６−１０１４８０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯・本願発明  
　本願は、平成１７年７月１１日（パリ条約による優先権主張　２００４年７月１２日、アメリカ合衆国）の出願であって、その特許請求の範囲の請求項１に記載された発明（以下、「本願発明」という。）は、平成２１年１１月５日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。 
「　　【請求項１】
　プラズマチャンバーを駆動する固定インピーダンス変換回路網を設けるための装置であって、
　前記プラズマチャンバーに関連したプラズマチャンバーロードと能動ＲＦ整合回路網とを結合するように適合された予備整合回路網を備え、
　前記予備整合回路網が、
　第１容量性素子と、
　前記第１容量性素子と並列に接続されて並列回路を形成する誘導性素子であって、増大したインピーダンスを、プラズマチャンバーロードを駆動するために必要な電圧が減少するように前記能動ＲＦ整合回路網の出力部に与える、前記誘導性素子と、
　前記並列回路に結合されかつ前記プラズマチャンバーロードに結合されるように適合された第２容量性素子であって、前記プラズマチャンバーロードに関連したインダクタンスに対応するリアクタンスの少なくとも一部を減少させるか無効にする、前記第２容量性素子と、
を備える装置。」
　
　ただし、上記請求項１中の「固定インピーダンス変換回路網を設けるための装置」という表現は、その文言のみからは、「固定インピーダンス変換回路網を設置する際に用いられる装置」といった程度の意味、「固定インピーダンス変換回路網を製造する際に用いられる装置」といった程度の意味、「固定インピーダンス変換回路網を含む装置」といった程度の意味、のいずれの意味にも解し得るが、上記請求項１の記載全体や発明の詳細な説明の記載を参酌すると、その最後に挙げた程度の意味（「固定インピーダンス変換回路網を含む装置」）に解釈するのが妥当と判断されるので、本審決においては、そのような意味に解釈する。
　また、そこでいう「固定インピーダンス変換回路網」は、その文言自体からも、請求項１の記載全体からも、発明の詳細な説明の記載からも、同請求項１中の「予備整合回路網」と同じものを指していると解されるので、そのように解釈する。
　
２．引用例記載の発明
（１）原査定の拒絶の理由に引用された特開平１０−２４１８９４号公報（以下、「引用例１」という。）には、次の事項が記載されている。
　
「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、選択されたパラメタの値、例えば供給電流、供給電圧、供給電力など、が固定同調回路を用いて最適化されるように、ＲＦ周波数をサーボ制御することによってＲＦ信号発生器をプラズマリアクタのプラズマ負荷ＲＦ信号アプリケータ、例えばアンテナや電極、に同調させることに関する。固定同調回路は、予想される同調範囲に応じて、幾つかの変圧器の中から選択された一つに切り換えることができる。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェーハの処理に使用されるタイプのＲＦプラズマリアクタは、真空チャンバ内にプラズマを維持するために大量のＲＦ電力を必要とする。通常は、数メガヘルツのオーダのＲＦ周波数で１０００Ｗのオーダの電力を必要とする。高密度のプラズマを維持するため、ＲＦ電力は、上部に位置するコイルアンテナによりチャンバ内に最適に誘導結合され、処理される半導体ウェーハに加わる電圧を制御することによってプラズマイオンエネルギを制御することができる。通常、ＲＦ信号源は、リアクタンスが実質的に存在せず出力インピーダンスが５０ΩのＲＦ発生器である。プラズマ負荷コイルアンテナによって与えられる入力インピーダンスは、通常５０Ωでなく、また実質的なリアクタンスを有しているので、実質的なインピーダンス不整合が存在する。例えば、コイルアンテナの長さは、通常、ＲＦ信号の４分の１波長よりもかなり短いので、コイルアンテナが提供するインピーダンスは、ＲＦ発生器（通常５０Ω）よりもかなり小さな実部を有し、かつ非常に高い誘導リアクタンスを有する。こうした不整合のためＲＦ電力がプラズマに供給されずにＲＦ発生器への反射に浪費されるので、プラズマに供給されるＲＦ電力の量を制御することは困難である。この結果、プロセス制御が困難になる。この問題の１つの解決策は、ＲＦ電圧と電流との間のゼロ位相角が維持されるように、集中リアクタンス素子を持つ固定ＲＦ整合回路を設けることである。更にまた、オプションとして変圧器を使用することにより、出力及び入力インピーダンスの大きさの間に整合を設けることができる。
【０００３】このような固定整合回路の問題点は、リアクタチャンバ内部のプロセス状態の変化に伴ってプラズマ負荷コイルアンテナの入力インピーダンスが変化することである。したがって、プラズマの状態の変化がプラズマ負荷アンテナのインピーダンスを変化させると、整合回路はその機能を果たすことができなくなり、プラズマに供給されるＲＦ電力が低下する。供給ＲＦ電力のこうした低下は、通常、ウェーハのプラズマプロセスをゆがめることになり、多くの場合、許容することができない。したがって、最善の技術的解決策は、アンテナのプラズマ負荷インピーダンスの変化に応答してインピーダンス整合を調整するＲＦインピーダンス整合装置を設けることである。」
　
「【００１７】
【発明の実施の形態】
序論
本発明は、プラズマの特性、例えばウェーハにおけるプラズマイオン密度やイオンエネルギ、が最適化されるように、ＲＦ周波数をサーボ制御することによってＲＦ発生器出力を信号アプリケータ負荷に同調させる。本発明は、最適化するプラズマ特性に直接関係する測定パラメタ（電力、電圧または電流）に合わせて周波数をサーボ制御することにより、上記の同調を達成する。・・・（中略）・・・周波数制御のために選択されたパラメタが供給電力である場合、上記同調プロセスは、インピーダンス整合を構成する。」
　
「【００２２】プラズマソース電力の周波数サーボ制御
図２Ａに示されるように、図中のＲＦプラズマソース信号アプリケータ１２０はコイルアンテナまたはソレノイドの形態の誘導性アプリケータであるが、これは本発明に特に密接に関係するものではない。というのも、本発明は、特定のコイルアンテナにもコイルアンテナ一般にも限定されず、プラズマソース信号アプリケータとして電極を使用するリアクタにも同様に適用することができるからである。ＲＦプラズマソース信号発生器１４０は、可変周波数または制御可能な周波数を有しており、固定同調回路網４００を介してコイルアンテナ１２０に接続されている。この固定同調回路網は、（任意選択的に）直列コンデンサ４０２、並列コンデンサ４０４、および／または直列コンデンサ４０６などのリアクタンス素子から構成されている。但し、任意の固定同調回路を使用することが可能である。」
　
　そして、上記各記載事項を引用例１の図面と技術常識に照らせば、以下のことがいえる。
　
ア．段落【００１７】にも記載されるように、引用例１の「サーボ制御」は、周波数制御のために選択されたパラメタが供給電力である場合、「インピーダンス整合を構成する」ものである。そして、その「インピーダンス整合」の動作は、当然に「回路網」と呼び得るものを用いて行われるものであり、負荷インピーダンスの変化に応じて能動的に為されるものでもある。また、段落【０００１】の記載からも明らかなように、上記「サーボ制御」の対象は、「ＲＦ周波数」である。したがって、引用例において、該「サーボ制御」による「インピーダンス整合」を司る部分は、「能動ＲＦ整合回路網」とも呼び得る。
　
イ．段落【００２２】等に記載される「固定同調回路網」は、当然にインピーダンス変換の機能を有し、上記「能動ＲＦ整合回路網」とも呼び得る「サーボ制御によるインピーダンス整合を司る部分」と「プラズマリアクタのプラズマ負荷」とに接続され、該「サーボ制御によるインピーダンス整合を司る部分」からのＲＦ電力を上記「プラズマリアクタのプラズマ負荷」に伝達するように作用するものであるから、「プラズマリアクタを駆動する固定インピーダンス変換回路網」とも、「『プラズマリアクタのプラズマ負荷』と『サーボ制御によるインピーダンス整合を司る部分』とを結合するように適合された予備整合回路網」ともいうことができるものである。
　
　したがって、引用例１には、以下の発明（以下、「引用例１記載発明」という。）が記載されているといえる。
「プラズマリアクタを駆動する固定インピーダンス変換回路網であって、
　前記プラズマリアクタのプラズマ負荷と能動ＲＦ整合回路網とを結合するように適合された予備整合回路網である回路網。」
　
（２）原査定の拒絶の理由に引用された「小西良弘、無線通信回路入門講座、日本、総合電子出版、p.144-145,p.167-170」（以下、「引用例２」という。）には、次の事項が記載されている。
　
ア．「２．１．２で述べたように，信号源から負荷に最大の電力を送り込むために，信号源の内部インピーダンスと負荷インピーダンスとをお互いに共軛にしなければならない。
　そのためには負荷インピーダンスに適当なリアクタンスを直列または並列に接続した後，２．１．２の図２．８（ｂ）に示したように，理想変成器でインピーダンス変換をしてやらねばならない。」（第１４４ページ第３〜８行）
　
イ．「例えば，図４．１のように，送信機または受信機と空中線との間に整合回路を入れることは無線通信回路では必須のことである。いま，空中線のインピーダンス（・・・（中略）・・・）をＺａとし，これが
　　Ｚａ＝Ｒａ＋ｊＸａ
のように抵抗分Ｒａとリアクタンス分Ｘａとをもっている場合には，まず，図４．１のように，−Ｘａの補正リアクタンスを入れて，同図のＢＢ’点から空中線を見たインピーダンスを純抵抗Ｒａにする。
・・・（中略）・・・
　さて，こうして図４．１のＢＢ’点より空中線側を見た値は純抵抗Ｒａになるので，これを送信機や受信機の内部抵抗Ｒｓに整合するには，図４．１に示したように，ｎ：１の理想変成器を接続して，
　ｎ＝√（Ｒｓ／Ｒａ）
の値にすれば図４．１のＣＣ’点より空中線側を見たインピーダンスは，送受信機の内部抵抗Ｒｓに等しくなって整合する。
　以上述べたことからわかるように，整合回路の構成に必要なことは，
（ｉ）補正リアクタンスを接続して純抵抗負荷にする。
（ｉｉ）純抵抗負荷を信号源の内部抵抗に変換するためのインピーダンス変換回路が必要となる。
　補正リアクタンスとしては，集中定数形コンデンサ，インダクタあるいは分布定数形リアクタンスが用いられ，」（第１４４ページ下から３行目〜第１４５ページ下から７行目）
　
ウ．「（ロ）　コイルのタップによる方法
　図４．２１（ａ）の並列単一同調回路のＡ，Ａ’およびＢ，Ｂ’端子のインピーダンスは，やはり
　　Ｒ１＞Ｒ２
の場合に用いられる。この理由を以下説明する。
・・・（中略）・・・
　このように（4.24ｃ）式のｎの値を用いたｎ：１の理想変成器の出力側にＲ２を接続してインピーダンスを上げたのと等価になる。」（第１６８ページ下から５行目〜第１６９ページ末行）
　
　そして、上記各記載事項を引用例２の図面と技術常識に照らせば、引用例２には、以下の２つの技術的事項が記載されているといえる。
　
（ア）ＲＦ信号源と負荷の間に、負荷インピーダンスのリアクタンス分と符号が逆の補正リアクタンスを接続することで、ＲＦ信号源からみた負荷を純抵抗負荷にし、その純抵抗負荷をＲＦ信号源の内部抵抗に変換するためのインピーダンス変換回路を設けることで、インピーダンス整合を実現すること。（以下、「引用例２記載の技術１」と呼ぶ。）
　
（イ）ＲＦ信号源の内部抵抗が負荷インピーダンスの抵抗分よりも大きい場合には、上記（ア）でいう「インピーダンス変換回路」として、図４．２１（ａ）に示される回路、すなわち、容量性素子と中間タップを有する誘導性素子の並列回路が利用できること。（以下、「引用例２記載の技術２」と呼ぶ。）
　
３．対比 
　本願発明と引用例１記載発明を対比すると、引用例１記載発明の「プラズマリアクタ」、「プラズマリアクタのプラズマ負荷」は、それぞれ、本願発明の「プラズマチャンバー」、「プラズマチャンバーに関連したプラズマチャンバーロード」に相当し、本願発明の「固定インピーダンス変換回路網を設けるための装置」（上記「１．」の「ただし、」以降に述べた解釈に従う。）は、「固定インピーダンス変換回路網」とも「予備整合回路網」とも呼び得るものといえるから、両者の間には、以下の一致点、相違点があるといえる。
　
（一致点）
「プラズマチャンバーを駆動する固定インピーダンス変換回路網であって、
　前記プラズマチャンバーに関連したプラズマチャンバーロードと能動ＲＦ整合回路網とを結合するように適合された予備整合回路網である回路網。」である点。
　
（相違点１）
　本願発明の「予備整合回路網」である「固定インピーダンス変換回路網」は「固定インピーダンス変換回路網を設けるための装置」（「固定インピーダンス変換回路網を含む装置」の意味に解釈。）であるのに対し、引用例１記載発明の「予備整合回路網」である「固定インピーダンス変換回路網」は「装置」と呼び得るものであるとは限らない点。
　ただし、ここでは、「装置」の語を、「装置」という語自体の各種辞書に示される語義と、本願発明の客体とされているという事情とを考慮し、「ある一定の機能を持った機械・設備・機構等のひとまとまりであって、生産、使用、譲渡等における取扱いの単位とされるもの」といった程度の意味に解釈している。
　
（相違点２）
　本願発明の「予備整合回路網」は、「第１容量性素子と、前記第１容量性素子と並列に接続されて並列回路を形成する誘導性素子であって、増大したインピーダンスを、プラズマチャンバーロードを駆動するために必要な電圧が減少するように前記能動ＲＦ整合回路網の出力部に与える、前記誘導性素子と、前記並列回路に結合されかつ前記プラズマチャンバーロードに結合されるように適合された第２容量性素子であって、前記プラズマチャンバーロードに関連したインダクタンスに対応するリアクタンスの少なくとも一部を減少させるか無効にする、前記第２容量性素子」を備えるものであるのに対し、引用例１記載発明の「予備整合回路網」はそのようなものではない点。
　
４．当審の判断 
（１）（相違点１）について 
　以下の事情を勘案すると、引用例１記載発明の「予備整合回路網」である「固定インピーダンス変換回路網」を、「固定インピーダンス変換回路網を設けるための装置」とすること、換言すれば、引用例１記載発明の「予備整合回路網」である「固定インピーダンス変換回路網」を「ある一定の機能を持った機械・設備・機構等のひとまとまりであって、生産、使用、譲渡等における取扱いの単位とされるもの」とすることは、当業者が容易に推考し得たことというべきである。
　
ア．引用例１において「予備整合回路網」である「固定インピーダンス変換回路網」に相当する「固定同調回路網」は、それが「固定同調回路網」と称されていることからも明らかなように、「ある一定の機能を持った機械・設備・機構等のひとまとまり」であるといえる。
　
イ．一般に、システムを構成する複数の部分の内、どの範囲を生産、使用、譲渡等における取扱いの単位とするかは、当業者が必要に応じて適宜決定し得ることであるし、引用例１記載のものにおいて、上記「固定同調回路網」の部分を生産、使用、譲渡等における取扱いの単位とすることを妨げる事情はない。
　
ウ．以上のことは、引用例１記載発明の「予備整合回路網」である「固定インピーダンス変換回路網」を「ある一定の機能を持った機械・設備・機構等のひとまとまりであって、生産、使用、譲渡等における取扱いの単位とされるもの」とすることが当業者にとって容易であったことを意味している。
　
（２）（相違点２）について
　以下の事情を勘案すると、引用例１記載発明の「予備整合回路網」を、「第１容量性素子と、前記第１容量性素子と並列に接続されて並列回路を形成する誘導性素子であって、増大したインピーダンスを、プラズマチャンバーロードを駆動するために必要な電圧が減少するように前記能動ＲＦ整合回路網の出力部に与える、前記誘導性素子と、前記並列回路に結合されかつ前記プラズマチャンバーロードに結合されるように適合された第２容量性素子であって、前記プラズマチャンバーロードに関連したインダクタンスに対応するリアクタンスの少なくとも一部を減少させるか無効にする、前記第２容量性素子」を備えるものとすることも、当業者が容易に推考し得たことというべきである。
　
ア．引用例１の段落【００２２】の「但し、任意の固定同調回路を使用することが可能である。」との記載からも明らかなように、引用例１記載発明の「予備整合回路網」は、所要のインピーダンス整合機能を実現し得る範囲で、その図２Ａに例示されたものから任意の構成のものに置換可能である。
　
イ．引用例２記載の技術１、２は、共にＲＦ信号源と負荷の間のインピーダンス整合に関する技術であるという意味において、引用例１記載発明と共通の技術分野に属するものである。
　
ウ．引用例１の段落【０００２】の記載からも明らかなように、引用例１記載発明において想定されている負荷は誘導性リアクタンスを有するものであり、引用例１記載発明の「予備整合回路網」は、そのような負荷と、当該負荷に対するＲＦ信号源ともいい得る「能動ＲＦ整合回路網」との間のインピーダンスを整合させようとするものであるから、そこに引用例２記載の技術１が有用かつ採用可能であることは、当業者に自明である。
　
エ．以上のことは、引用例１記載発明の「予備整合回路網」に引用例２記載の技術１を採用することが当業者にとって容易であったことを意味しているが、そのように引用例２記載の技術１を採用する場合に、上記引用例２記載の技術１おける「補正リアクタンス」を、「インピーダンス変換回路（引用例２記載の技術でいう「インピーダンス変換回路」）に結合されかつ前記プラズマチャンバーロードに結合されるように適合された容量性素子であって、前記プラズマチャンバーロードに関連したインダクタンスに対応するリアクタンスの少なくとも一部を減少させるか無効にする、前記容量性素子」とすべきことは、当業者に自明である。なぜならば、引用例１記載発明で想定されている負荷は上述したように誘導性のリアクタンスを有するものであり、上記「補正リアクタンス」はその誘導性のリアクタンスを有する負荷を、「インピーダンス変換回路」によるインピーダンス変換の前段階で純抵抗負荷に変えようとするものであるからである。
　
オ．以上のことは、引用例１記載発明の「予備整合回路網」を、「インピーダンス変換回路と、前記インピーダンス変換回路に結合されかつ前記プラズマチャンバーロードに結合されるように適合された容量性素子であって、前記プラズマチャンバーロードに関連したインダクタンスに対応するリアクタンスの少なくとも一部を減少させるか無効にする、前記容量性素子」を備えるものとすることが、当業者が容易に推考し得たことであることを意味している。
　
カ．ここで、引用例１の段落【０００２】の記載からも明らかなように、引用例１記載発明において想定されているＲＦ信号源と負荷は、引用例２記載の技術２において引用例２の図４．２１（ａ）に示される回路が利用できる条件とされている、「ＲＦ信号源の内部抵抗が負荷インピーダンスの抵抗分よりも大きい場合」という条件を満たしているから、上記のように引用例１記載発明の「予備整合回路網」に引用例２記載の技術１を採用する場合における「インピーダンス変換回路」として引用例２の図４．２１（ａ）に示される回路が有用かつ利用可能であることも、当業者に自明である。
　
キ．以上のことは、引用例１記載発明の「予備整合回路網」を本願の図１に３０８の符号で示されているのと同一の回路構成のものとすることが、当業者が容易に推考し得たことであることを意味している。
　
ク．そして、本願の図１に３０８の符号で示されているのと同一の回路構成のものにおける誘導性素子が、「増大したインピーダンスを、プラズマチャンバーロードを駆動するために必要な電圧が減少するように前記能動ＲＦ整合回路網の出力部に与える」ように作用することは、本願の図１に３０８の符号で示されている回路が、本願発明における「予備整合回路網」の代表的な実施形態であるとされていることからみて、明らかである。
　
ケ．以上のことは、引用例１記載発明の「予備整合回路網」を、「第１容量性素子と、前記第１容量性素子と並列に接続されて並列回路を形成する誘導性素子であって、増大したインピーダンスを、プラズマチャンバーロードを駆動するために必要な電圧が減少するように前記能動ＲＦ整合回路網の出力部に与える、前記誘導性素子と、前記並列回路に結合されかつ前記プラズマチャンバーロードに結合されるように適合された第２容量性素子であって、前記プラズマチャンバーロードに関連したインダクタンスに対応するリアクタンスの少なくとも一部を減少させるか無効にする、前記第２容量性素子」を備えるものとすることが、当業者が容易に推考し得たことであることを意味している。
　
（３）本願発明の効果について　 
　本願発明の構成によってもたらされる効果は、引用例１、２の記載事項から当業者が予測し得た程度のものであり、本願発明の進歩性を根拠付けるに足りるものとはいえない。
　
（４）まとめ
　よって、本願発明は、引用例１記載発明、及び引用例２記載の技術１、２に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
５．むすび 
　以上のとおり、本願発明は、引用例１記載発明、及び引用例２記載の技術１、２に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本願は、他の請求項について検討するまでもなく、拒絶されるべきものである。  
　よって、結論のとおり審決する。