【手続補正書】
【提出日】平成18年2月10日(2006.2.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  試料に対して分光楕円偏光法計測を行うための装置において、
広帯域放射を出射する光源と、
前記広帯域放射を偏光してサンプリング・ビームを生成する偏光子と、
前記試料上の狭いスポットに対して前記サンプリング・ビームを合焦する実質的に色収差のない光学系であって、前記光学系は球面鏡と少なくとも２つの屈折素子とを含み、前記サンプリング・ビームは鏡軸から離れた方向から鏡に対して入射し、前記素子のうちの少なくとも１つは前記鏡からの軸外反射によって生じた球面収差を補正するようになされる光学系と、
前記試料と相互作用したサンプリング・ビームの放射を分析し、それによって出力ビームを生成する検光子と、
前記出力ビームを検知して検知出力を供給する検知手段と、
前記検知手段からの出力を処理して試料との相互作用によって生じたサンプリング・ビームの振幅と位相における偏光状態の変化を測定する手段と、
を有することを特徴とする装置。
【請求項２】  試料に対して分光計測を行うための装置において、
前記試料と相互作用を行うための広帯域放射のサンプリング・ビームを出力する光源と、
検知手段と、
前記試料上の狭いスポットに対して前記サンプリング・ビームを合焦するか、あるいは前記試料上の狭いスポットから修正ビームに変えて前記検知手段に対して前記試料と相互作用したサンプリング・ビームの放射を合焦する実質的に色収差のない光学系であって、前記光学系は球面鏡と少なくとも２つのレンズとを含み、前記サンプリング・ビームまたは修正ビームは鏡軸から離れた方向から鏡に対して入射し、前記レンズのうちの少なくとも１つは前記鏡からの軸外反射によって生じた球面収差を補正し、前記光学系は可視波長と紫外線波長とにわたって実質的に色収差がないようになされる光学系と、
を有することを特徴とする装置。
【請求項３】  試料に対して分光計測を行うための装置において、
前記試料と相互作用を行うための広帯域放射のサンプリング・ビームを出力する光源と、
検知手段と、
前記試料上の狭いスポットに対して前記サンプリング・ビームを合焦するか、あるいは前記試料上の狭いスポットから修正ビームに変えて前記検知手段に対して前記試料と相互作用したサンプリング・ビームの放射を合焦する実質的に色収差のない光学系であって、前記光学系は球面鏡と少なくとも２つのレンズとを含み、前記サンプリング・ビームまたは修正ビームは鏡軸から離れた方向から鏡に対して入射し、前記レンズのうちの少なくとも１つは前記鏡からの軸外反射によって生じた球面収差を補正し、前記レンズのうちの少なくとも１つはメニスカス・レンズであるようになされる光学系と、
を有することを特徴とする装置。
【請求項４】  試料に対して分光計測を行う装置において、
前記試料と相互作用を行うための広帯域放射のサンプリング・ビームを出力する光源と、
検知手段と、
前記試料上の狭いスポットに対して前記サンプリング・ビームを合焦するか、あるいは前記試料上の狭いスポットから修正ビームに変えて前記検知手段に対して前記試料と相互作用したサンプリング・ビームの放射を合焦する実質的に色収差のない光学系であって、前記光学系は球面鏡と少なくとも２つのレンズとを含み、前記サンプリング・ビームまたは修正ビームは鏡軸から離れた方向から鏡に対して入射し、前記レンズのうちの少なくとも１つは前記鏡からの軸外反射によって生じた球面収差を補正し、前記レンズのうちの２つは実質的に逆数の倍率度を有するようになされる光学系と、
を有することを特徴とする装置。
【請求項５】  試料に対して分光楕円偏光法計測を行うための方法において、
広帯域放射を出力するステップと、
前記広帯域放射を偏光してサンプリング・ビームを生成するステップと、
球面鏡と少なくとも２つの屈折素子とを含む実質的に色収差のない光学系によって前記試料上の狭いスポットに対して前記サンプリング・ビームを合焦するステップであって、前記サンプリング・ビームは鏡軸から離れた方向から鏡に対して入射し、前記素子のうちの少なくとも１つは前記鏡からの軸外反射によって生じた球面収差を補正するようになされる合焦するステップと、
前記試料と相互作用したサンプリング・ビームの放射を分析し、それによって出力ビームを生成するステップと、
前記出力ビームを検知して検知出力を供給するステップと、
前記検知出力を処理して試料との相互作用によって生じたサンプリング・ビームの振幅と位相における偏光状態の変化を測定するステップと、
を有することを特徴とする方法。
【請求項６】  試料に対して分光計測を行うための方法において、
前記試料と相互作用を行うための広帯域放射のサンプリング・ビームを出力するステップと、
前記試料上の狭いスポットに対して前記サンプリング・ビームを合焦するか、あるいは前記試料と相互作用したサンプリング・ビームの放射を前記試料上の狭いスポットから修正ビームに変えて光学系によって合焦するステップであって、前記光学系は球面鏡と少なくとも２つのレンズとを含み、前記サンプリング・ビームまたは修正ビームは鏡軸から離れた方向から鏡に対して入射し、前記レンズのうちの少なくとも１つは前記鏡からの軸外反射によって生じた球面収差を補正し、前記光学系は可視波長と紫外線波長とにわたって実質的に色収差がないようになされる合焦するステップと、
前記試料と相互作用したサンプリング・ビームの放射を検知するステップと、
を有することを特徴とする方法。
【請求項７】  試料に対して分光楕円偏光法計測を行うための装置において、
広帯域放射を出射する光源と、
前記広帯域放射を偏光して前記試料と相互作用を行うためのサンプリング・ビームを生成する偏光子と、
検光子と、
前記試料上の狭いスポットから修正ビームに変えて前記検光子に対して前記試料と相互作用したサンプリング・ビームの放射を合焦する実質的に色収差のない光学系であって、前記検光子は前記修正ビームに応答して出力ビームを出力し、前記光学系は球面鏡と少なくとも２つの屈折素子とを含み、前記修正ビームは鏡軸から離れた方向から鏡に対して入射し、前記素子のうちの少なくとも１つは前記鏡からの軸外反射によって生じた球面収差を補正するようになされる光学系と、
前記出力ビームを検知して検知出力を供給する検知手段と、
前記検知出力を処理して試料との相互作用によって生じた振幅と位相における偏光状態の変化を測定する手段と、
を有することを特徴とする装置。
【請求項８】  試料に対して分光楕円偏光法計測を行うための方法において、
広帯域放射を出力するステップと、
前記広帯域放射を偏光して前記試料と相互作用を行うためのサンプリング・ビームを生成するステップと、
前記試料と相互作用したサンプリング・ビームの放射を前記試料上の狭いスポットから修正ビームに変えて光学系によって合焦するステップであって、前記光学系は球面鏡と少なくとも２つの屈折素子とを含み、前記修正ビームは鏡軸から離れた方向から鏡に対して入射し、前記素子のうちの少なくとも１つは前記鏡からの軸外反射によって生じた球面収差を補正するようになされる合焦するステップと、
前記修正ビームの放射を分析して出力ビームを生成するステップと、
前記出力ビームを検知して検知出力を供給するステップと、
前記検知出力を処理して試料との相互作用によって生じたサンプリング・ビームの振幅と位相における偏光状態の変化を測定するステップと、
を有することを特徴とする方法。