【手続補正書】
【提出日】平成18年3月28日(2006.3.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つ又はそれ以上のプロセスツールにより基板を処理する製造システム用のプロセスツール最適化システムであって、
前記プロセスツールの少なくとも１つからプロセス情報を受取るように接続されたプロセスツールデータマイニングエンジンを備え、前記プロセスツールデータマイニングエンジンは、低歩留まりと関連するプロセスツールの故障の前兆である歩留まりインパクト信号を出力し、
前記プロセスツールデータマイニングエンジンから前記歩留まりインパクト信号を受取るように接続されたプロセス最適化エンジンを備え、プロセスツールの故障の前兆である前記歩留まりインパクト信号を受取ることに応答し、前記プロセス最適化エンジンは、故障する前に交換すべき部品を識別する
ことを特徴とするプロセスツール最適化システム。
【請求項２】
前記プロセスツールデータマイニングエンジンに、低歩留まりと関連するプロセスツールを識別する出力データを与えるため接続されたライン末端データマイニングエンジンを備え、
前記プロセスツールデータマイニングエンジンは、前記ライン末端データマイニングエンジンからの出力に応答して、前記歩留まりインパクト信号を出力する請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記ライン末端データマイニングエンジンと、前記プロセスツールデータマイニングエンジンとは、別個のハードウェア上を走る別個のアプリケーションである請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
前記ライン末端データマイニングエンジンと、前記プロセスツールデータマイニングエンジンとは、同じハードウェア上を走るそれぞれのアプリケーションである請求項２に記載のシステム。
【請求項５】
前記ライン末端データマイニングエンジンと、前記プロセスツールデータマイニングエンジンとは、同じデータマイニングエンジンである請求項２に記載のシステム。
【請求項６】
１つ又はそれ以上のプロセスツールにより基板を処理する工場のプロセスフローの歩留まりを最適化するためのプロセスツール最適化システムであって、
前記プロセスツール少なくとも１つからプロセス情報を受取るように接続されたプロセスツールデータマイニングエンジンを備え、前記プロセスツールデータマイニングエンジンは、低歩留まりと関連するプロセスツールパラメータを識別する歩留まりインパクト信号を出力し、
前記プロセスツールデータマイニングエンジンから前記歩留まりインパクト信号を受取るように接続され、少なくとも１つの前記プロセスツールにフィードバック信号を出力するように接続されたプロセス最適化エンジンを備え、
前記プロセスツールによる処理ステップの間、前記プロセスツールデータマイニングエンジンと、前記プロセス最適化エンジンとは、前記プロセスフローにプロセス訂正をフィードバックすることにより、モニターと訂正アクションを実行する
ことを特徴とするプロセスツール最適化システム。
【請求項７】
前記プロセスツールデータマイニングエンジンに、低歩留まりと関連するプロセスツールを識別する出力データを与えるように接続されたライン末端データマイニングエンジンを備え、
前記プロセスツールデータマイニングエンジンは、前記ライン末端データマイニングエンジンにより与えられる出力データに応答して、前記歩留まりインパクト信号を出力する
請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
１つ又はそれ以上のプロセスツールにより基板を処理する製造システム用のプロセスツール最適化システムであって、
前記プロセスツールからプロセス情報を受取るように接続されたプロセスツールデータマイニングエンジンを備え、前記プロセスツールデータマイニングエンジンは、低歩留まりと関連するプロセスツールパラメータを識別する歩留まりインパクト信号を出力し、
前記プロセスツールデータマイニングエンジンから前記歩留まりインパクト信号を受取るように接続され、前記プロセスツールにフィードバック情報を出力するように接続されたプロセス最適化エンジンを備え、
低歩留まりと関連する１つの前記プロセスツールのパラメータを識別する前記歩留まりインパクト信号を受取ることに応答し、前記プロセス最適化エンジンは、前記１つのプロセスツールにフィードバックを出力し、前記フィードバックは、前記１つのプロセスツールに前記パラメータをモニターするように指示する
ことを特徴とするプロセスツール最適化システム。
【請求項９】
前記プロセスツールデータマイニングエンジンに、低歩留まりと関連するプロセスツールを識別する出力データを与えるため接続されたライン末端データマイニングエンジンを備え、
前記プロセスツールデータマイニングエンジンは、前記ライン末端データマイニングエンジンからの出力に応答して、前記歩留まりインパクト信号を出力する請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
１つ又はそれ以上のプロセスツールにより基板を処理する製造システム用のプロセスツール最適化システムであって、
１つ又はそれ以上のプロセスツールを備え、各プロセスツールは、前記プロセスツールにより基板を処理するとき、リアルタイムでプロセスデータを収集し記憶するデータ収集ツールを含み、
前記データ収集ツールから前記プロセスデータにアクセスするように接続されたプロセスツールデータマイニングエンジンを備え、
前記製造システムの故障に応答して、前記プロセスツールデータマイニングエンジンは、前記データ収集ツールの１つに記憶された前記プロセスデータの中から故障と関連付けられるプロセスデータにアクセスする
ことを特徴とするプロセスツール最適化システム。
【請求項１１】
前記１つ又はそれ以上のプロセスツールは、別個の第１、第２のプロセスツールを備え、その各々が別個の第１、第２のデータ収集ツールを備える請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
前記プロセスツールデータマイニングエンジンに、低歩留まりと関連するプロセスツールを識別する出力データを与えるため接続されたライン末端データマイニングエンジンを備え、
前記プロセスツールデータマイニングエンジンは、前記ライン末端データマイニングエンジンからの前記出力データに応答して、前記データ収集ツールの中からどのプロセスデータにアクセスするか決定する請求項１０に記載のシステム。
【請求項１３】
前記プロセスツールデータマイニングエンジンに、低歩留まりと関連するプロセスツールと特定の時間期間を識別する出力データを与えるため接続されたライン末端データマイニングエンジンを備え、
前記プロセスツールデータマイニングエンジンは、前記ライン末端データマイニングエンジンからの前記出力データに応答して、前記データ収集ツールの中から、前記識別されたプロセスツールと前記特定に時間期間のプロセスデータにアクセスする請求項１０に記載のシステム。
【請求項１４】
１つ又はそれ以上のプロセスツールにより基板を処理する製造システム用のプロセスツール最適化システムであって、
別個の第１、第２のプロセスツールと、
第１、第２のプロセスツールとは別個の第１、第２の測定／検出システムと、
前記第１、第２の測定／検出システムから測定データを受取るように接続されたデータマイニングエンジンとを備え、
前記第１の測定／検出システムは、前記第１のプロセスツールに結合し、基板が前記第１のプロセスツール内の処理を受けた後、前記基板を第１のプロセスツールから前記第１の測定／検出システムへ移送するようになり、
前記第２の測定／検出システムは、前記第２のプロセスツールに結合し、基板が前記第２のプロセスツール内の処理を受けた後、前記基板を第２のプロセスツールから前記第２の測定／検出システムへ移送するようになっている
ことを特徴とするプロセスツール最適化システム。
【請求項１５】
前記第１、第２の測定／検出システムは、同じ測定／検出システムである請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
前記データマイニングエンジンは、１つの前記プロセスツールから測定データを受取るように接続されている請求項１４に記載のシステム。
【請求項１７】
基板を処理するプロセスツールのためのプロセスツール最適化システムであって、
ライン末端歩留まりデータを解析し、低歩留まりと関連する１つ又はそれ以上のプロセスツールを識別するライン末端データマイニングエンジンと、
前記１つ又はそれ以上のプロセスツールからプロセスツールデータを受取るように接続され、前記基板の処理中はいつも、前記ライン末端データマイニングエンジンからの出力に応答して、前記１つ又はそれ以上のプロセスツールからのプロセスツールデータを解析し、前記低歩留まりと関連する１つ又はそれ以上のプロセスツールパラメータを識別するプロセスツールデータマイニングエンジンと、を備える
ことを特徴とするプロセスツール最適化システム。
【請求項１８】
前記データマイニングエンジンは、ライン末端歩留まりデータを解析し、低歩留まりと関連する１つ又はそれ以上のプロセスツールと時間期間を識別する請求項１７に記載のシステム。
【請求項１９】
１つ又はそれ以上のプロセスツールのプロセス制御パラメータをモニターし、１つ又はそれ以上のプロセスツールデータと、前記プロセスツールデータの解析を前記データマイニングエンジンへ送信するデータ収集ツールを備える請求項１７に記載のシステム。
【請求項２０】
前記データ収集ツールは、１つ又はそれ以上の別個のデータ収集ツールを備え、その各々が別個のプロセスツールと関連付けられる請求項１９に記載のシステム。
【請求項２１】
前記１つ又はそれ以上のデータ収集ツールは、所定のプロセス条件が所定の範囲から外れているかどうか検出するための１つ又はそれ以上のアプリケーションを備える請求項２０に記載のシステム。
【請求項２２】
前記１つ又はそれ以上のデータ収集ツールは、所定のプロセスツール性能インディケーターを求めるための１つ又はそれ以上のアプリケーションを備える請求項２０に記載のシステム。
【請求項２３】
測定データ、欠陥測定データ、欠陥見直しデータ、欠陥ソースデータのうち、１つ又はそれ以上を前記データマイニングエンジンへ送信する測定／検出システムを備える請求項１７に記載のシステム。
【請求項２４】
１つ又はそれ以上の測定／検出システムは、パラメトリック計測ツール、検査ツール、欠陥見直しシステム、欠陥ソース識別器、プロセス知識ライブラリのうち、１つ又はそれ以上を備える請求項２３に記載のシステム。
【請求項２５】
前記プロセスツールデータマイニングエンジンは、低歩留まりと関連する１つ又はそれ以上のプロセスツールパラメータに関係する情報を、プロセス最適化エンジンへ送信する請求項１７記載のシステム。
【請求項２６】
前記プロセス最適化エンジンは、前記１つ又はそれ以上のプロセスツールパラメータに関する情報に応答して、階層的知識システムを作る知識ベースシステムである請求項２５に記載のシステム。
【請求項２７】
前記プロセスツールデータマイニングエンジンは、低歩留まりと関連する１つ又はそれ以上のプロセスツールパラメータに関係する情報を、低歩留まりと関連する前記１つ又はそれ以上のプロセスツールと関連する、欠陥ソース識別器と、プロセス知識ライブラリのうち、１つ又はそれ以上へ送信する請求項１７に記載のシステム。
【請求項２８】
前記プロセスツールデータマイニングエンジンは、前記ライン端末データマイニングエンジンからの出力に応答して、低歩留まりと関連する前記１つ又はそれ以上のプロセスツールからのプロセスツールデータ、１つ又はそれ以上の他のプロセスツールからのプロセスツールデータ、履歴プロセスツールデータ、のうち１つ又はそれ以上を解析する請求項１７記載のシステム。
【請求項２９】
１つ又はそれ以上のプロセスツールのプロセス制御パラメータをモニターし、１つ又はそれ以上のプロセスツールデータと、前記プロセスツールデータの解析を前記データマイニングエンジンへ送信するデータ収集ツールを備え、前記プロセス最適化エンジンは、１つ又はそれ以上のプロセスツールのためのプロセス制御情報を前記データ収集ツールへ送信する請求項２８に記載のシステム。
【請求項３０】
前記データ収集ツールは、前記１つ又はそれ以上のプロセスツールのためのプロセス制御情報を使用して、前記１つ又はそれ以上のプロセスツールをモニターする請求項２９に記載のシステム。