【手続補正書】
【提出日】平成18年1月17日(2006.1.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
屈折投影対物レンズにおいて、該投影対物レンズの最終光学素子と該投影対物レンズの像面との間に配置された液浸媒体を使用して、該投影対物レンズの物体面上に配置されたパターンを前記像面に投影する屈折投影対物レンズであって、
前記物体面に続く、負の屈折力を有する第１レンズ群（ＬＧ１）と、
該第１レンズ群に続く、正の屈折力を有する第２レンズ群（ＬＧ２）と、
該第２レンズ群に続く、負の屈折力を有する第３レンズ群（ＬＧ３）と、
該第３レンズ群に続く、正の屈折力を有する第４レンズ群（ＬＧ４）と、
該第４レンズ群に続く、正の屈折力を有する第５レンズ群（ＬＧ５）と、
前記第４及び第５レンズ群間の最大ビーム直径の領域内に配置された光学系アパーチュア（５）と、
を備える屈折投影対物レンズ。
【請求項２】
前記光学系アパーチュア（５）は、像に近い最大ビーム直径の平面と前記像面（３）との間に位置する、請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項３】
像側の開口数ＮＡ≧０．９である、請求項１または２に記載の投影対物レンズ。
【請求項４】
動作波長で屈折率ｎ＞１．３である液浸媒体（１０）に適応させた、請求項１〜３のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項５】
像側動作距離が、１０μｍ〜２００μｍである、請求項１〜４のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項６】
前記第４レンズ群（ＬＧ４）の焦点距離及び前記第５レンズ群（ＬＧ５）の焦点距離の比が、０．９〜１．１である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項７】
前記第１レンズ群（ＬＧ１）及び前記第５レンズ群（ＬＧ５）の焦点距離の大きさの比が、０．７〜１．３である、請求項１〜６のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項８】
該投影対物レンズの全長と前記第５レンズ群（ＬＧ５）の前記焦点距離との比が、５より大きい、請求項１〜７のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項９】
前記第１レンズ群（ＬＧ１）は、少なくとも１つの非球面を有する、請求項１〜８のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項１０】
少なくとも１つの非球面が、前記第３レンズ群（ＬＧ３）内に設けられている、請求項１〜９のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項１１】
少なくとも１つの非球面が、前記１レンズ群（ＬＧ１）内に配置され、かつ／または、９個以下の非球面が設けられている、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項１２】
負の屈折力を有する、物体面に対して凸状の少なくとも１つのメニスカスレンズ（１３）が、物体面（２）の近傍域に配置されている、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項１３】
前記第２レンズ群は、正の屈折力を有する少なくとも４個の連続したレンズ（１４〜２０）を有する、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項１４】
前記第２レンズ群（ＬＧ２）は、物体面（２）に対して凹状で、物体面（２）に面する入射側に正の屈折力を有する少なくとも１つのメニスカスレンズ（１４、１５、１６、１７）を有する、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項１５】
上記順序の前記第２レンズ群（ＬＧ２）は、物体面に対して凹状で、正の屈折力を有する少なくとも１つのメニスカスレンズ（１４、１５、１６、１７）と、両凸正レンズ（１８）と、像面に対して凹状で、正の屈折力を有する少なくとも１つのメニスカスレンズ（１９、２０）とを有する、請求項１〜１４のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項１６】
前記第３レンズ群（ＬＧ３）は、負の屈折力を有するレンズ（２１、２２、２３、２４）だけを有する、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項１７】
前記第３レンズ群は、該第３レンズ群（ＬＧ３）内に位置する対称面（９）に関して対称構造である、請求項１〜１６のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項１８】
前記第２レンズ群（ＬＧ２）の、前記第３レンズ群（ＬＧ３）に面する出射領域、及び前記第４レンズ群（ＬＧｄ４）の、前記第３レンズ群に続く入射領域は、前記第３レンズ群内に位置する対称面（９）に対して対称的に構成されている、請求項１〜１７のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項１９】
前記第４レンズ群（ＬＧ４）は、両凸正レンズ（２７、２９）、及び物体側に凹状のレンズ面を有する下流側の負のメニスカスレンズ（２８、３０）を有する少なくとも１つの二重レンズ（１７、２８、２９、３０）を有する、請求項１〜１８のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項２０】
物体側入射領域において、前記第４レンズ群（ＬＧ４）は、物体面（２）に対して凹状で、正の屈折力を有する少なくとも１つのメニスカスレンズ（２５、２６）を有する、請求項１〜１９のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項２１】
前記光学面に衝突する放射光線の最大入射角の正弦が、像側の開口数の９０％未満である、請求項１〜２０のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項２２】
前記第５レンズ群（ＬＧ５）は、正の屈折力を有するレンズだけを有する、請求項１〜２１のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項２３】
前記第５レンズ群は、少なくとも４つの正のレンズ（３１〜３５）を有する、請求項１〜２２のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項２４】
前記第５レンズ群（ＬＧ５）は、像側に凹状のレンズ面を備えて正の屈折力を有する少なくとも１つのメニスカスレンズ（３３、３４）を有する、請求項１〜２３のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項２５】
最終光学素子として、前記第５レンズ群（ＬＧ５）は、入射面及び平坦な出射面を備えた平凸レンズ（３５）を有する、請求項１〜２４のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項２６】
前記平凸レンズ（３５）は、非半球状に構成されている、請求項２５に記載の投影対物レンズ。
【請求項２７】
前記レンズはすべて、同一材料からなる、請求項１〜２６のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項２８】
物体の近くの胴部（６）、物体から遠い胴部（８）及びその間のウエスト（７）を有する単一ウエスト光学系である、請求項１〜２７のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項２９】
像フィールド直径は、１０ｍｍを超える、請求項１〜２８のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項３０】
光コンダクタンスは、全長の１％をを超える、請求項１〜２９のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項３１】
前記光学系アパーチュア（５）の上流側には、前記光学系アパーチュア（５）の下流側より多くのレンズが配置されている、請求項１〜３０のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項３２】
前記ウエスト及び前記光学系アパーチュア（５）間に、正の屈折力を有する少なくとも５個のレンズが配置されている、請求項１〜３１のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項３３】
前記ウエスト及び前記光学系アパーチュア（５）間の距離は、全長の少なくとも２６％を超える、請求項１〜３２のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項３４】
最大周縁光線高さは、最狭くびれ位置での周縁光線高さの少なくとも２倍である、請求項１〜３３のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項３５】
該像側開口数は、少なくともＮＡ＝１．０である、請求項３〜３４のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項３６】
前記第２レンズ群は、物体面に対して凸状で、像面に面する出射側に正の屈折力を有する少なくとも１つのメニスカスレンズ（１９、２０）を有する、請求項１〜３５のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項３７】
請前記第３レンズ群（ＬＧ３）内で、２つの逆方向に湾曲した凹面が、互いに直接的に向き合い、また、互いに対して凹状の２つの凹面によって包囲されている、求項１〜３６のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項３８】
像フィールド直径は、全長の１．０％を超える、請求項１〜３７のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項３９】
請求項１〜３８のいずれか１項に記載の屈折投影対物レンズ（１、１’、１”）を特徴とする、マイクロリソグラフィ用の投影露光装置。
【請求項４０】
半導体部品及び他の微細構造の構造部品を製造する方法であって、
所定パターンを有するマスクを設ける段階と、
該マスクに所定波長の紫外線を照射する段階と、
請求項１〜３８のいずれか１項に記載の投影対物レンズを使用して、該投影対物レンズの像面の領域に配置された感光性基板上に前記パターンの像を投影する段階と、
を含み、
投影対物レンズの最終光学面と基板との間に配置された液浸媒体が、投影中に徹照される方法。