【事件の表示】
　特願２００６−　５２９９５「パターン検査装置及びパターン検査方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年　９月１３日出願公開、特開２００７−２３２９３０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１８年（２００６年）２月２８日に出願された特願２００６−５２９９５号であって、平成２２年１２月２４日付けで拒絶理由が通知され、平成２３年３月７日付けで手続補正がなされ、同年５月６日付けで拒絶査定がなされ、これに対し同年８月１０日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、同時に手続補正がなされた。
　その後、当審において平成２４年６月１８日付けで拒絶理由を通知し、同年８月８日に合議体と請求人（代理人）と面接がなされ、同年８月２０日付けで意見書が提出され、同日付けで手続補正がなされた。
　
第２　本願発明  
　本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２４年８月２０日付け手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
　
「入射面に結像された被写体の光学像を画像信号に変換して出力する第１、第２のセンサと、
　上記光学像を上記第１のセンサ上に形成する第１結像光学系と、
　この第１結像光学系から上記光学像を上記第２のセンサ側に分岐し、さらにこの光学像を２つに分岐して、上記第２のセンサ上に第１のセンサ上の光学像における前側フォーカス像と、後側フォーカス像とを結像する第２結像光学系と、
　上記第２のセンサから得られる前側フォーカス位置での前側センサ画像信号及び後側フォーカス位置での後側センサ画像信号について、それぞれ微分演算を行い、この微分演算によって得られる濃度の変化率の度数分布を求め、その度数分布から該度数分布の度数がＮ％以上になる部分の平均値をそれぞれ算出することにより得られる高域成分をフォーカス評価値とし、各フォーカス評価値の差をフォーカス変位量として算出するフォーカス検出回路と、
　このフォーカス検出回路により算出されたフォーカス変位量に基づいて上記第１結像光学系のフォーカスを制御するフォーカス制御回路とを具備し、
　上記第１のセンサからの画像信号により被写体のパターンの欠陥を検査することを特徴とするパターン検出装置。」
　
第３　引用例
１　引用例１
　当審が通知した拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特開２００１−２９６１０４号公報（以下「引用例１」という）には、次の事項が記載されている。（下線は当審で付したものである。）
　
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、干渉縞を利用して
被測定物の表面形状を測定するための干渉縞検出装置
　
「【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面をもとに本発明を説明する。図１は、本発明に係る干渉縞検出装置の実施例を示す概略構成図である。干渉顕微鏡構造をベースとした干渉縞発生手段１、被測定物表面と対物レンズ光軸との傾きを計測する傾斜角測定手段２、被測定物表面の対物レンズ焦点からのずれ量を計測する合焦位置測定手段３、及び傾斜角測定手段や合焦位置測定手段からの測定情報をもとに、
所定角度からの傾きずれ量や焦点からの位置ずれ量を算出し、被測定物の姿勢や位置を制御するような指令を出力する制御手段（図示せず）を備えている。
【０００９】干渉縞発生手段１は、干渉縞に係わる主要な光学素子が組込まれている鏡筒部５と、照明光学部６と、被測定物の位置及び姿勢を制御するステージ７とを有している。鏡筒部５は、第１の鏡筒８に、後述する干渉対物レンズ系、照明光学系、傾斜角測定系、合焦測定系、干渉縞測定系に係わる光学素子が、図１の紙面では下方から順にアライメントされて組み付けられたものである。干渉対物レンズ系の光学素子は、対物レンズ１８と、その下方に設置されたハーフプリズム１９と、ハーフプリズム１９の側方で対物レンズ１８の光軸に直交する方向に設けられ、対物レンズ１８の焦点距離に等しい光路長位置に平滑な表面を配置した参照ミラー２１と、参照ミラー２１の前面に設けた特定の波長の光だけを透過させるバンドパスフィルタ２０などである。
【００１０】照明光学系の光学素子は、対物レンズ１８の上方にアライメントされて設けられたハーフプリズム１７である。ハーフプリズム１７が配置されている側方の第１の鏡筒８に、照明光学部６の外殻を成す第２の鏡筒９が取り付けられており、照明光学部６からの照明光が、ハーフプリズム１７で反射し、対物レンズ１８に向けて照射される。
【００１１】照明光学部６は、光源１０、レンズ１１、開口絞り１２、レンズ１３、特定の波長のみ透過する縞で形成されたパターンを有する平行平板１４、視野絞り１５、投影レンズ１６の順に第２の鏡筒９内にアライメントされて配置され、光源１０を発した光が前記光学素子を順次通過してハーフプリズム１７に至るようになっている。
【００１２】傾斜角測定系光学素子として、ハーフプリズム３２が、鏡筒部５のハーフプリズム１７の上部にアライメントされて設けられている。ハーフプリズム３２が配置されている側方の第１の鏡筒８に、傾斜角測定手段２が取り付けられており、傾斜角測定手段２の光源からの光は、ハーフプリズム３２で反射し、対物レンズ１８に向けて照射される。
【００１３】傾斜角測定手段２は、ハーフプリズム３２の側面に設けた外殻に、反射面がハーフプリズム３２の反射面と平行になるように配置したハーフプリズム３１と、特定の波長の光のみ透過するバンドパスフィルタ３３と、２次元センサ３４とを直線状に順に設けるとともに、光源３０をハーフプリズム３１の反射面上方に設けた構成である。光源３０は、例えばレーザのような指向性が高く光束状に直進する光（以下、光束と称す）を発するものを使用する。光源３０とハーフプリズム３１は、ハーフプリズム３２で反射した光束の中心が、対物レンズ１８の光軸に一致するような位置関係に配置している。
【００１４】鏡筒部５のハーフプリズム３２の上部に、結像レンズ４５と、合焦測定系光学素子としてのハーフプリズム４４が、順にアライメントされて設けられている。ハーフプリズム４４が配置されている側方の第１の鏡筒８に、合焦位置測定手段３が取り付けられており、結像レンズ４５を透過した光は、ハーフプリズム４４で反射し、合焦位置測定手段３の検出センサに向けて照射される。
【００１５】合焦位置測定手段３は、ハーフプリズム４４の側面に隣接して、反射面がハーフプリズム４４の反射面と平行になるように配置したハーフプリズム４２と、ハーフプリズム４２の反射面上方に設けた前ピン検出センサ４１と、ハーフプリズム４２の透過光側に設けた後ピン検出センサ４０と、ハーフプリズム４４とハーフプリズム４２の間に設けた特定の波長以上の光のみ透過するシャープカットフィルタ４３とを備えた構成である。前ピン検出センサ４１と後ピン検出センサ４０とは、結像レンズ４５の焦点距離に等しい光路長位置の近傍で、後述する所定位置になるように配置する。
【００１６】鏡筒部５のハーフプリズム４４の上部に、干渉縞測定系に係わる光学素子として特定の波長の光だけの光を透過させるバンドパスフィルタ５１と、２次元センサ５０が、順にアライメントされて設けられている。２次元センサ５０は、検出面が光軸に直交するように、かつ結像レンズ４５の焦点位置にくるように配置する。２次元センサ５０からの干渉縞に係わる情報は、図示しない表面形状測定手段に送られ、位相シフト法等で表面形状を計測することができる。」
　
「【００２４】次に、合焦位置測定方法について説明する。照明光学部６の平行平板１４には、合焦判別波長光（７００ｎｍ以上の波長）だけを透過する膜で縞パターンが形成されており、膜のない部分は全ての波長の光が透過する。
光源１０から発せられ、平行平板１４を透過した光は、レンズ１６によって無限遠の平行光束になり、ハーフプリズム１７で反射し、対物レンズ１８によって被測定物６０の表面に結像される。この結像を合焦判別波長光で観察すれば、被測定物６０の表面には平行平板１４の縞パターン（以下、投影縞と称す）が見えることになる。この投影縞は、対物レンズ１８によって再び平行光束となり、結像レンズ４５で絞られ、ハーフプリズム４４、シャープカットフィルタ４３、ハーフプリズム４２を経て、前ピン検出センサ４１と後ピン検出センサ４０上に結像する。シャープカットフィルタ４３は、合焦判別波長光だけを透過させるフィルタであり、干渉波長光（５００ｎｍ）はカットされるので、前ピン検出センサ４１及び後ピン検出センサ４０上には投影縞のみ現れ、
【００２５】図３に示すように、前ピン検出センサ４１は、被測定物６０の表面が対物レンズ１８の焦点位置より近い位置に存在する時に投影縞がセンサ面上に結像するように固定したセンサである。後ピン検出センサ４０は、被測定物６０の表面が対物レンズ１８の焦点位置より遠い位置に存在する時に投影縞がセンサ面上に結像するように固定したセンサである。即ち、被測定物６０の表面がちょうど対物レンズ１８の焦点位置に存在する場合（図中のロの位置）には、投影縞は、前ピン検出センサ４１側ではセンサ面より前の位置（図中のロ′の位置）に結像し、後ピン検出センサ４０側ではセンサ面の後方（図中のロ″の位置）に結像する。従って、被測定物６０の表面が対物レンズ１８の焦点位置より近い所定位置に存在する場合（図中のイの位置）には、投影縞は、前ピン検出センサ４１側ではセンサ面上（図中のイ′の位置）に結像し、後ピン検出センサ４０側ではセンサ面より後方（図中のイ″の位置）に結像し、被測定物６０の表面が対物レンズ１８の焦点位置より遠い所定位置に存在する場合（図中のハの位置）には、投影縞は、前ピン検出センサ４１側ではセンサ面より前の位置（図中のハ′の位置）に結像し、後ピン検出センサ４０側ではセンサ面上（図中のハ″の位置）に結像する。
【００２６】図４に、投影縞の結像位置の違いとセンサ出力の関係を示す。センサの出力波形は、投影縞がセンサ面上に結像した場合が最もコントラストの高い像が得られ、投影縞がセンサ面から離れるに従いコントラストは低くなる。前ピン検出センサの出力波形は、図４（ａ）に示すように、投影縞がセンサ面上に存在するイの位置で最も波形のコントラストが高く、ロからハへと投影縞がセンサ面から離れるに従いコントラストが低くなる。逆に、後ピン検出センサの出力波形は、図４（ｂ）に示すように、ハの場合が最もコントラストが高く、イの場合が最も低くなる。
【００２７】図５に、
前ピン検出センサと後ピン検出センサの、Ｃ＝Σ｜ｉ−Ｉ｜（ここで、ｉは投影縞の輝度値、Ｉはその平均値）で計算されるコントラスト値
前ピン検出センサ４１と後ピン検出センサ４０からそれぞれコントラスト値を計算し、その差を計算することで、被測定物の表面が合焦位置からどれだけ離れているかを計算することができる。
　
「【００２８】次に、干渉縞測定について説明する。前述した基準からの傾きずれ量や焦点からのずれ量は、傾斜角測定手段２及び合焦位置測定手段３からの検出情報をもとに、制御手段で算出される。ずれ量が算出されると、このずれ量をなくすようなステージ制御量が算出され、ステージの位置、姿勢制御手段に送られ、ステージの位置、姿勢が制御される。これにより、ステージに載置された被測定物６０の表面は、対物レンズ１８の焦点位置で、かつ光軸に対して垂直になるように修正される。
【００２９】
光源１０及び光源３０から照射された光による被測定物６０と参照ミラー２１からの反射光は、干渉現象をおこして干渉縞を形成するが、ハーフプリズム１９と参照ミラー２１の間には干渉波長光（５００ｎｍ）だけを透過するバンドパスフィルタ２０が配置されているので、干渉縞は干渉波長光のみで形成されている。対物レンズ１８及び結像レンズ４５を透過した光は、２次元センサ５０上に結像されることになるが、途中に設けた干渉波長光の光だけを透過させるバンドパスフィルタ５１により、他の傾斜角波長光や合焦判別波長光はカットされ、２次元センサ５０上には干渉縞だけが結像されることになる。この干渉縞から、例えば位相シフト法などで距離画像に変換し、表面形状を計測することができる。
【００３０】前述した傾斜角測定手段２の２次元センサ３４及び干渉縞発生手段１の
２次元センサ５０は、２次元カメラやポジションセンサなどを用いるとよい。また、合焦位置測定手段３の前ピン検出センサ４１と後ピン検出センサ４０も、前記２次元カメラやポジションセンサなど２次元センサを用いるとよい
　
「【図１】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
２　引用例１に記載された発明
　上記引用例１の記載（図面の記載も含む）から、引用例１には、
「光源１０から発せられ、平行平板１４を透過した光は、レンズ１６によって無限遠の平行光束になり、ハーフプリズム１７で反射し、対物レンズ１８によって被測定物６０の表面に結像され、この結像を合焦判別波長光で観察すれば、被測定物６０の表面には平行平板１４の縞パターン（以下、投影縞と称す）が見えることになり、この投影縞は、対物レンズ１８によって再び平行光束となり、結像レンズ４５で絞られ、ハーフプリズム４４、シャープカットフィルタ４３、ハーフプリズム４２を経て、前ピン検出センサ４１と後ピン検出センサ４０上に結像し、シャープカットフィルタ４３は、合焦判別波長光だけを透過させるフィルタであり、干渉波長光（５００ｎｍ）はカットされるので、前ピン検出センサ４１及び後ピン検出センサ４０上には投影縞のみ現れ、
　前ピン検出センサ４１と後ピン検出センサ４０の、それぞれの、Ｃ＝Σ｜ｉ−Ｉ｜（ここで、ｉは投影縞の輝度値、Ｉはその平均値）でコントラスト値を計算し、その差を計算することで、被測定物の表面が合焦位置からどれだけ離れているかを計算する手段を備え、
　焦点からの位置ずれ量を算出し、被測定物の位置を制御するような指令を出力する制御手段を備え、
　光源１０及び光源３０から照射された光による被測定物６０と参照ミラー２１からの反射光は、干渉現象をおこして干渉縞を形成するが、ハーフプリズム１９と参照ミラー２１の間には干渉波長光（５００ｎｍ）だけを透過するバンドパスフィルタ２０が配置されているので、干渉縞は干渉波長光のみで形成され、対物レンズ１８及び結像レンズ４５を透過した光は、２次元センサ５０上に結像されることになるが、途中に設けた干渉波長光の光だけを透過させるバンドパスフィルタ５１により、他の傾斜角波長光や合焦判別波長光はカットされ、２次元センサ５０上には干渉縞だけが結像されることになり、この干渉縞から、位相シフト法で距離画像に変換し、表面形状を計測することができ、
　２次元センサ５０は、２次元カメラを用い、また、合焦位置測定手段３の前ピン検出センサ４１と後ピン検出センサ４０も、前記２次元カメラを用いる、被測定物の表面形状を測定するための干渉縞検出装置。」の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。
　
３　引用例２
　当審が通知した拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特開特開平１１−２１５４２５号公報（以下「引用例２」という）には、次の事項が記載されている。
　
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、画像計測による寸法測定や自動アライメント等を行う際に必要とされる、対物レンズの合焦位置の自動設定作業に適用される自動焦点合わせ方法に関し、特に、被撮像物をエンドミルやドリル等の捩じれ歯を有する棒状の回転工具としたときの自動焦点合わせ方法及びその装置に関する。」
　
「【０００４】
【発明が解決しようとする課題】当然のことながら自動設定される合焦位置は対物レンズの焦点深度の範囲内にあることになるが、この対物レンズの焦点深度の範囲内では一般に被撮像物のコントラスト値はあまり変化せず、しかも再現性が悪いことが知られている。ところが、前述の特開平５−２３６３１５号による方法では、重心演算に使用するデータとして、再現性が悪いピーク値近傍のコントラスト値も用いることになっており、結局のところ、この再現性が悪いデータに基づいて得られたコントラスト値のピーク値並びに当該ピーク値に対応する位置についても、正確さに欠き、しかも再現性が悪いという問題を生ずることになる。
【０００５】また、被撮像物を図７に示すボールエンドミルような棒状の回転工具とした場合、その形状・寸法の測定には、従来、拡大投影器によって間接的に測定する方法や、回転工具をその回転軸回りに一定角度ずつ回転させながら三次元測定器を用いて測定する方法が採られてきた。しかし、これらの方法では、図７に示すボールエンドミルように回転工具が捩じれ歯を有している場合、その先端頂部にまで切れ刃リードがあるために、この部分の測定が困難となるか、あるいは測定に長時間を要することとなり、さらに作業者にはかなりの技能と労力が必要とされるという問題がある。
【０００６】本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、捩じれ歯を有する棒状の回転工具を被撮像物とし、この回転工具をその回転軸を中心に回転可能にされたスピンドルに把持させることにより、回転工具の形状・寸法を測定するようにした測定装置に関して、被撮像物としての回転工具の所定の領域における合焦位置を正確に設定し、しかも再現性が良好に保たれるような自動焦点合わせ方法及びその装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するために、請求項１にかかる発明によれば、まず、回転工具を把持させたスピンドルを予め設定されたサーチ開始位置からサーチ終了位置まで予め設定された第１の回転速度で回転させながら、予め定められたサンプリング間隔（時間）毎に、テレビカメラにより回転工具の画像を撮影し、この撮影画像から抽出画像として所定の領域を抽出し、この抽出画像のコントラスト値を算出するとともにスピンドルの回転位置を検出する。しかる後、算出されたサンプリング間隔毎のコントラスト値の中からその最大値である最大コントラスト値を検索し、この最大コントラスト値に基づいてコントラスト値に関する第１及び第２の閾値を設定する。そして、算出されたサンプリング間隔毎のコントラスト値の中から第１の閾値以上でかつ第２の閾値以下のものを抽出し、この抽出されたコントラスト値を所定の関数により近似することによってサンプリング間隔毎のコントラスト値全体のピーク位置を算出する。最後に、このコントラスト値のピーク位置に基づいて対物レンズの合焦位置を算出し、この合焦位置にスピンドルの回転位置を自動的に設定するようにした。」
　
「【００２０】請求項６にかかる発明によれば、請求項１乃至４のいずれかにかかる発明において、算出されたサンプリング間隔毎のコントラスト値は抽出画像を微分処理した後の画像中の濃度上位部分の平均値より求めるようにした。これにより、濃度上位部分の範囲を抽出画像に応じて適切に選択することにより、請求項５にかかる発明と同様に、コントラスト値のピーク位置を算出する際には不要な要素であるゴミやほこり等の局所的な影響を排除したコントラスト値を得ることができる。」
　
「【００３１】ステップ１５：サンプリング間隔毎に抽出画像のコントラスト値を算出するとともに、スピンドル３の回転位置を検出する。演算制御装置７はフレームメモリ６に記憶された抽出画像のデータを読み込み、コントラスト値を算出する。コントラスト値の算出にはいくつかの方法があるが、このうち抽出画像の標準偏差により算出する方法を用いれば、コントラスト値のピーク位置を算出する際には不要な要素であるゴミやほこり等の局所的な影響を排除したコントラスト値を得ることができる。また、別の方法として、抽出画像を微分処理した後の画像中の濃度上位部分の平均値よりコントラスト値を算出する方法を用いれば、濃度上位部分の範囲を抽出画像に応じて適切に選択することにより、標準偏差を用いる場合と同様な効果が得られる。一方、演算制御装置７はエンコーダ５によりこのサンプリング点におけるスピンドル３の回転位置を検出する。具体的には、駆動モータとしてのサーボモータには一般に位置検出器としてのエンコーダが付属されており、このエンコーダによりサーボモータの回転位置を検出することにより、スピンドル３の回転位置を検出することができる。なお、スピンドル３の回転位置の検出は、図１のフローチャートのステップ１３〜１６のループ内であればよく、例えばステップ１３やステップ１４において行わせるようにしてもよい。求められたコントラスト値及び検出されたスピンドル３の回転位置はワークメモリ９内に一時的に記憶される。」
　
第４　当審の判断
１　本願発明と引用発明の対比
　
（１）本願発明と引用発明を対比する。
　引用発明の「光源１０及び光源３０から照射された光による被測定物６０と参照ミラー２１からの反射光は、干渉現象をおこして干渉縞を形成するが、ハーフプリズム１９と参照ミラー２１の間には干渉波長光（５００ｎｍ）だけを透過するバンドパスフィルタ２０が配置されているので、干渉縞は干渉波長光のみで形成され、対物レンズ１８及び結像レンズ４５を透過した光は、２次元センサ５０上に結像されることになるが、途中に設けた干渉波長光の光だけを透過させるバンドパスフィルタ５１により、他の傾斜角波長光や合焦判別波長光はカットされ、２次元センサ５０上には干渉縞だけが結像される」ところの「２次元センサ５０」であって「２次元カメラ」が用いられる「２次元センサ５０」が、本願発明の「入射面に結像された被写体の光学像を画像信号に変換して出力する」「第１」「のセンサ」に相当する。
　
　引用発明の「光源１０から発せられ、平行平板１４を透過した光は、レンズ１６によって無限遠の平行光束になり、ハーフプリズム１７で反射し、対物レンズ１８によって被測定物６０の表面に結像され、この結像を合焦判別波長光で観察すれば、被測定物６０の表面には平行平板１４の縞パターン（以下、投影縞と称す）が見えることになり、この投影縞は、対物レンズ１８によって再び平行光束となり、結像レンズ４５で絞られ、ハーフプリズム４４、シャープカットフィルタ４３、ハーフプリズム４２を経て、前ピン検出センサ４１と後ピン検出センサ４０上に結像し、シャープカットフィルタ４３は、合焦判別波長光だけを透過させるフィルタであり、干渉波長光（５００ｎｍ）はカットされるので、前ピン検出センサ４１及び後ピン検出センサ４０上には投影縞のみ現れ」るところの「前ピン検出センサ４１及び後ピン検出センサ４０」であって「２次元カメラ」が用いられる「前ピン検出センサ４１及び後ピン検出センサ４０」が、本願発明の「入射面に結像された被写体の光学像を画像信号に変換して出力する」「第２のセンサ」に相当する。
　
　引用発明の「光源１０」「光源３０」「ハーフプリズム１９」「参照ミラー２１」「バンドパスフィルタ２０」「対物レンズ１８」「結像レンズ４５」及び「バンドパスフィルタ５１」からなる光学系であって、「被測定物６０と参照ミラー２１からの反射光」が干渉して形成する干渉縞を「２次元センサ５０上に結像」する光学系が、本願発明の「上記光学像を上記第１のセンサ上に形成する第１結像光学系」に相当する。
　
　引用発明の「光源１０」「平行平板１４」「レンズ１６」「ハーフプリズム１７」「対物レンズ１８」「結像レンズ４５」「ハーフプリズム４４」「シャープカットフィルタ４３」「ハーフプリズム４２」からなる光学系であって、「被測定物６０の表面に結像」された光束によって形成される「投影縞」を結像する「前ピン検出センサ４１と後ピン検出センサ４０」が、本願発明の「この第１結像光学系から上記光学像を上記第２のセンサ側に分岐し、さらにこの光学像を２つに分岐して、上記第２のセンサ上に第１のセンサ上の光学像における前側フォーカス像と、後側フォーカス像とを結像する第２結像光学系」に相当する。
　
　引用発明の「前ピン検出センサ４１と後ピン検出センサ４０の、それぞれの、Ｃ＝Σ｜ｉ−Ｉ｜（ここで、ｉは投影縞の輝度値、Ｉはその平均値）でコントラスト値を計算し、その差を計算することで、被測定物の表面が合焦位置からどれだけ離れているかを計算する手段」と、本願発明の「上記第２のセンサから得られる前側フォーカス位置での前側センサ画像信号及び後側フォーカス位置での後側センサ画像信号について、それぞれ微分演算を行い、この微分演算によって得られる濃度の変化率の度数分布を求め、その度数分布から該度数分布の度数がＮ％以上になる部分の平均値をそれぞれ算出することにより得られる高域成分をフォーカス評価値とし、各フォーカス評価値の差をフォーカス変位量として算出するフォーカス検出回路」とは、「上記第２のセンサから得られる前側フォーカス位置での前側センサ画像信号及び後側フォーカス位置での後側センサ画像信号から、フォーカス評価値を求め、各フォーカス評価値の差をフォーカス変位量として算出するフォーカス検出回路」である点で一致する。
　
　引用発明の「焦点からの位置ずれ量を算出し、被測定物の位置を制御するような指令を出力する制御手段」が、本願発明の「このフォーカス検出回路により算出されたフォーカス変位量に基づいて上記第１結像光学系のフォーカスを制御するフォーカス制御回路」に相当する。
　
　引用発明の「２次元センサ５０上に」「結像される」「干渉縞から、位相シフト法で距離画像に変換し、表面形状を計測することができ」ることと、本願発明の「上記第１のセンサからの画像信号により被写体のパターンの欠陥を検査する」こととは、「上記第１のセンサからの画像信号により被写体のパターンを検査（計測）する」ことで一致する。
　
　引用発明の「被測定物の表面形状を測定するための干渉縞検出装置」が、本願発明の「パターン検出装置」に相当する。
　
（２）一致点
　よって、本願発明と引用発明は、
「入射面に結像された被写体の光学像を画像信号に変換して出力する第１、第２のセンサと、
　上記光学像を上記第１のセンサ上に形成する第１結像光学系と、
　この第１結像光学系から上記光学像を上記第２のセンサ側に分岐し、さらにこの光学像を２つに分岐して、上記第２のセンサ上に第１のセンサ上の光学像における前側フォーカス像と、後側フォーカス像とを結像する第２結像光学系と、
　上記第２のセンサから得られる前側フォーカス位置での前側センサ画像信号及び後側フォーカス位置での後側センサ画像信号から、フォーカス評価値を求め、各フォーカス評価値の差をフォーカス変位量として算出するフォーカス検出回路と、
　このフォーカス検出回路により算出されたフォーカス変位量に基づいて上記第１結像光学系のフォーカスを制御するフォーカス制御回路とを具備し、
　上記第１のセンサからの画像信号により被写体のパターンを検査（計測）するパターン検出装置」
の発明である点で一致し、次の各点で相違する。
　
（３）　相違点
ア　相違点１；
　第２のセンサから得られる前側フォーカス位置での前側センサ画像信号及び後側フォーカス位置での後側センサ画像信号から、フォーカス評価値を求める求め方が、本願発明においては、「（それぞれの）画像信号について、それぞれ微分演算を行い、この微分演算によって得られる濃度の変化率の度数分布を求め、その度数分布から該度数分布の度数がＮ％以上になる部分の平均値をそれぞれ算出することにより得られる高域成分をフォーカス評価値とし」て求めるのに対して、引用発明においては、「それぞれの、Ｃ＝Σ｜ｉ−Ｉ｜（ここで、ｉは投影縞の輝度値、Ｉはその平均値）でコントラスト値を計算」して求める点。
　
イ　相違点２；
　被写体パターンの検査（計測）に関して、本願発明においては「欠陥」を検査するのに対して、引用発明においてはその点が明確でない点。
　
２　相違点についての見解
（１）上記各相違点について検討する。
ア　相違点１について
　引用例２には、自動焦点合わせにおいて「サンプリング間隔毎に抽出画像のコントラスト値を算出」するに当たり、「抽出画像を微分処理した後の画像中の濃度上位部分の平均値よりコントラスト値を算出する」ことが記載されている。上記の「（濃度）上位部分」は、全体の中の上位から特定の割合までの部分を意味するものと認められることから、本願発明の「Ｎ％以上になる部分」に相当するものであるといえる。また、そのような「Ｎ％以上になる部分」を求めるには、度数分布を用いて求めるのが通常（技術常識）といえることも踏まえると、引用発明の「上位部分」は、本願発明の「度数分布の度数がＮ％以上になる部分」であるといる。これらを総合勘案すれば、引用例２には、「（それぞれの）画像信号について、それぞれ微分演算を行い、この微分演算によって得られる濃度の変化率の度数分布を求め、その度数分布から該度数分布の度数がＮ％以上になる部分の平均値をそれぞれ算出することにより得られる高域成分をフォーカス評価値とし」て求めることが記載されているといえる。
　そして、コントラスト値の算出方法は、当業者が公知の手法の中から適宜選択し得る事項であることから、引用発明においても、コントラスト値の算出方法として、引用例２に記載の「抽出画像を微分処理した後の画像中の濃度上位部分の平均値よりコントラスト値を算出する」技術、すなわち、「（それぞれの）画像信号について、それぞれ微分演算を行い、この微分演算によって得られる濃度の変化率の度数分布を求め、その度数分布から該度数分布の度数がＮ％以上になる部分の平均値をそれぞれ算出することにより得られる高域成分をフォーカス評価値とし」て求める技術を選択して採用し、上記相違点１に係る本願発明の発明特定事項を得ることは当業者が容易になし得たことである。
　
　この点について、請求人は、平成２４年８月２０日付けで提出された意見書において、
「
引用文献２の発明における「濃度上位」とは「固定的」であるものと考えられます。固定的とは、濃度上位を予め設定した上で用いられるものであり、濃度上位は測定が開始された後に変更されないという意味です。
　逆に言うと、濃度範囲が一定範囲に収まっていない場合には、フォーカス位置が決定できない構成となります。これは、引用文献２において、「度数分布の度数がＮ％以上」といった記述が無いことからも明らかです。」
と主張する（下線は当審において付した）。
　しかしながら、引用例２には、【００３１】において、
「また、別の方法として、抽出画像を微分処理した後の画像中の濃度上位部分の平均値よりコントラスト値を算出する方法を用いれば、
濃度上位部分の範囲を抽出画像に応じて適切に選択する
と記載されており（下線は当審において付した）、引用例２においては、「濃度上位部分」は「範囲を抽出画像に応じて適切に選択する」もの、すなわち、「画像抽出後」に適宜に「変更され得る」ものであることは明らかである。そして、請求人の上記主張の「濃度上位は
測定が開始された後
　
イ　相違点２について
　計測の目的として、欠陥を検出するために計測することは通常行われていることであり、引用発明においても、その目的は明確でないものの、当然に欠陥の検出を含むものであるといえるから、上記相違点２は実施的な相違点ということはできない。
　例え、引用発明が欠陥の検出を含まないとしても、欠陥の検出のために計測技術を用いることは周知の技術であり、引用発明を欠陥の検出のために用いることは当業者が容易になし得ることに過ぎない。
　
（２）そして、本願発明によってもたらされる効果は、引用発明、引用例２に記載された技術的事項及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
（３）まとめ
　したがって、本願発明は、引用発明、引用例２に記載された技術的事項及び周知技術に基いて当業者が容易に発明することができたものである。
　
　
３　小活
　以上のとおり、本願発明は、引用発明、引用例２に記載された技術的事項及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　
第６　むすび
　以上のとおり、引用発明、引用例２に記載された技術的事項及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。