【手続補正書】
【提出日】平成18年2月1日(2006.2.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
設計及び製造プロセスを容易にする方法であって、
プロセスに起因する複数の物品特性について変動範囲を有する一組の物品群に係る複数の物品特性値を取得する工程と、
前記複数の物品特性から予測因子特性を選択する工程と、
前記予測因子特性と前記複数の物品特性のうち少なくとも一つの残りの物品特性との間の一又は複数の回帰モデルを決定する工程と
を備えることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記予測因子特性に係るターゲット値と、前記少なくとも一つの残りの物品特性に係るターゲット値とを取得する工程と、
予測因子特性と第一の残りの物品特性との間の前記回帰モデルに対して、前記予測因子特性に係る前記ターゲット値と前記第一の残りの物品特性に係る前記ターゲット値との交差を決定する工程と
を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記予測因子特性と前記少なくとも一つの残りの物品特性との間の前記一又は複数の回帰モデルに係る上限予測区間及び下限予測区間の夫々を決定する工程と、
前記予測因子特性と前記少なくとも一つの残りの物品特性とに係る仕様上限及び仕様下限を取得する工程と、
前記少なくとも一つの残りの物品特性に係る前記仕様上限及び前記仕様下限を位置出しする工程と、
前記予測因子特性に係る前記仕様上限及び前記仕様下限を位置出しする工程と
を更に備えることを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記少なくとも一つの残りの物品特性に係る仕様上限及び仕様下限を取得する工程と、
前記予測因子特性と前記少なくとも一つの残りの物品特性との間の前記回帰モデルに対して、前記少なくとも一の残りの物品特性に係る前記仕様上限及び前記仕様下限を位置出しする工程と
を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
対応する前記回帰モデルが前記少なくとも一つの残りの物品特性に係る前記仕様上限と交差する、前記予測因子特性の値を決定する工程を更に備えることを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項６】
対応する前記回帰モデルが前記少なくとも一つの残りの物品特性に係る前記仕様下限と交差する、前記予測因子特性の値を決定する工程を更に備えることを特徴とする請求項４又は５に記載の方法。
【請求項７】
前記予測因子特性と前記少なくとも一つの残りの物品特性との間の前記一又は複数の回帰モデルに係る上限予測区間及び下限予測区間の夫々を決定する工程と、
前記少なくとも一つの残りの物品特性に係る仕様上限及び仕様下限を取得する工程と、
前記予測因子特性と前記少なくとも一つの残りの物品特性との間の前記回帰モデルに対して、前記少なくとも一つの残りの物品特性に係る仕様上限及び仕様下限を位置出しする工程と
を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記予測因子特性に係る前記仕様上限及び前記仕様下限を取得する工程と、
前記予測因子特性に係る前記仕様上限及び前記仕様下限を位置出しする工程と
を更に備えることを特徴とする請求項４又は６に記載の方法。
【請求項９】
前記予測因子特性と前記少なくとも一つの残りの物品特性との間の前記一又は複数の回帰モデルに係る上限予測区間及び下限予測区間の夫々を決定する工程と、
前記少なくとも一つの残りの物品特性に係る仕様上限及び仕様下限を取得すると、
前記少なくとも一つの残りの物品特性に係る前記仕様上限及び前記仕様下限を位置出しする工程と、
前記予測因子特性に係る仕様上限及び仕様下限を取得する工程と、
前記予測因子特性に係る前記仕様上限及び前記仕様下限を位置出しする工程と、
（１）前記予測因子特性に係る前記仕様上限、及び（２）前記上限予測区間が前記少なくとも一つの残りの物品特性に係る前記仕様上限と交差する前記予測因子特性の値のうち小さいほうを選択することによって、前記予測因子特性に係る最大物品特性値を決定する工程と
を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記少なくとも一つの残りの物品特性に係る前記仕様上限及び前記仕様下限を取得する工程と、
前記予測因子特性に係る前記仕様下限を位置出しする工程と、
（１）前記予測因子特性に係る前記仕様下限、及び（２）前記下限予測区間が前記少なくとも一つの残りの物品特性に係る前記仕様下限と交差する前記予測因子特性の値のうち大きいほうを選択することによって、前記予測因子特性に係る最小物品特性値を決定する工程と
を更に備えることを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記複数の物品特性のうち所望数の残りの物品特性について最小物品特性値を決定する工程を繰り返す工程と、
最も大きい前記最小物品特性値を選択することによって、前記予測因子特性について最も抑制的な前記最小物品特性値を決定する工程と
を更に備えることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
最も抑制的な最大特性値から最も抑制的な最小物品特性値を引いた前記予測因子特性に係る最大許容範囲を決定する工程と、
前記予測因子特性に係る最も抑制的な最小物品特性値と最も抑制的な最大物品特性値との間の値を選択することによって、前記予測因子特性に係るターゲット製造値を決定する工程を更に備えることを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
最も抑制的な最大特性値から最も抑制的な最小物品特性値を引いた前記予測因子特性に係る最大許容範囲を決定する工程と、
前記予測因子特性に係る最も抑制的な最小値と最も抑制的な最大値との間の中点を選択することによって、前記予測因子特性に係るターゲット製造値を決定する工程と、
前記予測因子特性に係るターゲット値と、前記少なくとも一つの残りの物品特性に係るターゲット値とを取得する工程と、
前記予測因子特性に係る前記ターゲット値と、第一の残りの物品特性の前記ターゲット値との交差を、前記予測因子特性と前記第一の残りの物品特性との間の前記回帰モデルに対して決定する工程と
を更に備えることを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
前記選択する工程は、前記複数の物品特性の全て又は小群についての予測可能な各物品特性の能力の評価に少なくとも部分的に基づいて前記予測因子特性を選択することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
前記選択する工程は、
前記物品特性の全て又は小群の間の相関係数を計算する工程と、
前記計算された相関係数に基づき、他の全ての物品特性に関連する第一の物品特性の予測能力を示す値を決定する工程と、
前記全ての物品特性又は小群について前記決定する工程を繰り返す工程と、
前記物品特性の予測能力を示す値に少なくとも部分的に基づいて、前記予測因子特性を選択する工程と
を備えることを特徴とする請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記決定する工程は、各物品特性について前記相関係数の絶対値の平均を計算する工程を含んでおり、
前記決定する工程において計算された値に基づいて前記物品特性をランク付けする工程を更に備えており、
前記予測因子特性の選択が、各物品特性の評価に係る経済的因子又は技術的因子に更に基づくことを特徴とする請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記複数の物品特性に関して変動幅を有する一組の物品群を作製する工程と、
複数の物品特性の全て又は小群に関して前記一組の物品群を評価する工程と
を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１８】
設計及び製造プロセスを容易にする方法であって、
複数の物品特性について変動幅を有する一組の物品群を作製する工程と、
前記複数の物品特性間の相関度を評価する工程と、
前記評価する工程に基づき前記複数の物品特性から予測因子特性を選択する工程と
を備えることを特徴とする方法。
【請求項１９】
前記予測因子特性に係る最大許容範囲を決定する工程と、
前記決定する工程に続いて、次に作製される物品群が前記物品群に係る少なくとも一つの設計仕様に合致することを前記予測因子特性の評価に基づき検証する工程と
を更に備えることを特徴とする請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記回帰モデルは、上限予測境界及び下限予測境界を含み、
前記予測因子特性及び前記第一の残りの物品特性に係る仕様上限及び仕様下限を取得する工程と、
前記予測因子特性と前記第一の残りの物品特性との間の前記回帰モデルに対して、前記第一の残りの物品特性及び前記予測因子特性に係る前記仕様上限及び前記仕様下限によって区切られたコンプライアンス領域を位置出しする工程と、
前記回帰モデルの前記上限予測限界及び前記下限予測境界と前記予測因子特性に係る前記仕様上限及び前記仕様下限とによって画定される前記第一の残りの特性に係る区切られた回帰領域を位置出しする工程と、
前記区切られた回帰領域と前記コンプライアンス領域との間の関係を識別する工程と
を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項２１】
前記識別された関係が、潜在欠陥関係、堅牢関係及び抑制関係からなる群の一つであることを特徴とする請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
所定の設計ターゲットに到達するよう予備プロセス特性を調整する方向及び大きさを決定することを容易にする方法であって、
プロセスに起因する複数の物品特性について変動幅を有する一組の物品群に係る複数の物品特性値を取得する工程と、
前記複数の物品特性から前記予測因子特性を選択する工程と、
前記予測因子特性と前記複数の物品特性における第一の残りの物品特性との間で回帰モデルを決定することと、
前記予測因子特性及び前記第一の残りの物品特性に係るターゲット値を取得する工程と、
前記回帰モデルに基づき、前記予測因子特性の前記ターゲット値における前記第一の残りの物品特性の値を計算する工程と、
前記計算された第一の残りの物品特性値と前記第一の残りの物品特性の前記ターゲット値との差を計算することによって、前記第一の残りの物品特性に係るオフセットの方向及び大きさを決定する工程と、
前記オフセットの方向及び大きさを、前記第一の残りの物品特性に係る識別子と関連させてデータ構造内に保存する工程と、
所望の残りの特性全てについて、計算、決定及び保存工程を繰り返す工程と
を備えることを特徴とする方法。
【請求項２３】
得られた前記オフセットの方向及び大きさを、対応する残りの物品特性と関連させて表示する工程を更に備えることを特徴とする請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
少なくとも一の物品特性に対応する設計許容誤差の緩和に関連して達成しうる動作範囲の増加の分析を容易にする方法であって、
プロセスに起因する複数の物品特性に関して変動幅を有する一組の物品群に係る複数の物品特性値を取得する工程と、
前記複数の物品特性から予測因子特性を選択する工程と、
前記予測因子特性と前記複数の物品特性における第一の残りの物品特性との間の、下限予測境界及び上限予測境界を含む回帰モデルを決定する工程と、
前記予測因子特性及び前記第一の残りの物品特性に係る仕様下限及び仕様上限を取得する工程と、
前記回帰モデルに基づき、前記第一の残りの物品特性が、前記第一の残りの物品特性の前記仕様下限及び前記仕様上限内にある最小予測因子特性及び最大予測因子特性を計算する工程と、
所望の残りの物品特性全てについて決定、取得及び計算工程を繰り返す工程と、
対応する各最小予測因子特性値により残りの物品特性をランク付けすることによって、最も抑制的な最小予測因子特性表を作成する工程と、
最も大きい最小予測因子特性値に係る残りの物品特性から始める工程と、
残りの物品特性の適用可能な仕様限界を、ランク付けされた表における次の残りの物品特性に係る最小予測因子特性値に対応する値まで緩和することによって得られる動作範囲の個別増加を計算する工程と、
対応する物品特性の適用可能な仕様限界の緩和に係る累積増加を計算する工程と、
所望の残りの物品特性全てについて第一及び第二の計算工程を繰り返す工程と
を備えることを特徴とする方法。
【請求項２５】
対応する各最大予測因子特性値により、残りの物品特性をランク付けすることによって、最も抑制的な最大予測因子特性表を作成する工程と、
最も小さい最大予測因子特性値に係る残りの物品特性から始める工程と、
残りの物品特性の適用可能な仕様限界を、ランク付けされた表における次の残りの物品特性に係る最大予測因子特性値に対応する値まで緩和することによって得られる動作範囲の個別増加を計算する工程と、
対応する物品特性の適用可能な仕様限界の緩和に係る累積増加を計算する工程と、
所望の残りの物品特性全てについて第一及び第二の計算工程を繰り返す工程と
を更に備えることを特徴とする請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
最も抑制的な最小予測因子特性表又は最大予測因子特性表の一方又は双方から少なくとも一つの残りの物品特性の選択を取得する工程と、
前記選択が前記最も抑制的な最小予測因子特性表からの残りの物品特性を含むなら、前記最小予測因子特性値を、前記最も抑制的な最小予測因子特性表における次の物品特性に対応する最小予測因子特性値に設定する工程と、
前記選択された物品特性に至るまでの前記最も抑制的な最小予測因子特性表における物品特性全てについて、該物品特性について新しい仕様下限又は仕様上限を計算する工程と、
前記選択が前記最も抑制的な最大予測因子特性表からの残りの物品特性を含むなら、前記最大予測因子特性値を、前記最も抑制的な最大予測因子特性表における次の物品特性に対応する最大予測因子特性値に設定する工程と、
前記選択された物品特性に至るまでの前記最も抑制的な最大予測因子特性表における全ての物品特性について、該物品特性について新しい仕様下限又は仕様上限を決定する工程と
を更に備えることを特徴とする請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
設計及び製造プロセスを容易にする装置であって、
プロセスに起因する複数の物品特性について変動範囲を有する一組の物品群に係る複数の物品特性値を取得するデータインプットモジュールと、
前記複数の物品特性から予測因子特性を選択する相関モジュールと、
前記予測因子特性と前記複数の物品特性のうち少なくとも一つの残りの物品特性との間の一又は複数の回帰モデルを決定する回帰モジュールと
を備えることを特徴とする装置。
【請求項２８】
前記データインプットモジュールは更に、前記予測因子特性に係るターゲット値と、前記少なくとも一つの残りの物品特性に係るターゲット値とを取得し、
前記回帰モジュールは更に、予測因子特性と第一の残りの物品特性との間の前記回帰モデルに対して、前記予測因子特性に係る前記ターゲット値と前記第一の残りの物品特性に係る前記ターゲット値との交差を決定することを特徴とする請求項２７に記載の装置。
【請求項２９】
前記回帰モジュールは、前記予測因子特性と前記少なくとも一つの残りの物品特性との間の前記一又は複数の回帰モデルに係る上限予測区間及び下限予測区間の夫々を決定することを特徴とする請求項２７に記載の装置。
【請求項３０】
前記データインプットモジュールは、前記少なくとも一つの残りの物品特性に係る仕様上限及び仕様下限を取得し、前記予測因子特性に係る仕様上限及び仕様下限を取得し、
前記回帰モジュールは、前記少なくとも一つの残りの物品特性に係る前記仕様上限及び前記仕様下限を位置出しし、前記予測因子特性に係る前記仕様上限及び前記仕様下限を位置出しし、（１）前記予測因子特性に係る前記仕様上限、及び（２）前記上限予測区間が前記少なくとも一つの残りの物品特性に係る前記仕様上限と交差する前記予測因子特性の値、のうちの小さい方を選択することによって、前記予測因子特性に対する最大物品特性値を決定することを特徴とする請求項２９に記載の装置。
【請求項３１】
前記回帰モジュールは、前記複数の物品特性のうち所望数の残りの物品特性について最大物品特性値を決定する工程を繰り返し、最も小さい前記最大物品特性値を選択することによって、前記予測因子特性について最も抑制的な前記最大物品特性値を決定することを特徴とする請求項３０に記載の装置。
【請求項３２】
前記相関モジュールは、前記複数の物品特性の全て又は小群についての予測可能な各物品特性の能力の評価に少なくとも部分的に基づいて前記予測因子特性を選択することを特徴とする請求項２７に記載の装置。
【請求項３３】
前記相関モジュールは、
前記物品特性の全て又は小群の間の相関係数を計算し、
前記計算された相関係数に基づき、他の全ての物品特性に関連する第一の物品特性の予測能力を示す値を決定し、
前記全ての物品特性又は小群についての前記予測能力の決定を繰り返し、
前記物品特性の予測能力を示す値に少なくとも部分的に基づいて、前記予測因子特性を選択することを特徴とする請求項３２に記載の装置。