【事件の表示】
　特願２００５−１４１２４７号「カラーフィルタの製造方法、および固体撮像装置の製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１８年１１月２４日出願公開、特開２００６−３１７７７６号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯及び本願発明
　本願は、平成１７年５月１３日の出願であって、平成２２年１０月２６日付けで手続補正がなされ、平成２３年３月１６日付けで拒絶査定がなされ、これに対して平成２３年６月２０日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、同時に手続補正がなされたものである。
　本願の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２３年６月２０日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
　
「被処理基板上に着色感光性樹脂を形成する工程と、
　前記着色感光性樹脂を露光する工程と、
　前記着色感光性樹脂を現像して、カラーフィルタのパターンを形成する工程と、
　前記カラーフィルタについて熱処理を実施することによって、前記カラーフィルタを硬化させる工程と
　を有し、
　前記カラーフィルタを硬化させる工程では、処理室内に不活性ガスを供給することによって酸素濃度が１％以下になった雰囲気中で前記熱処理を実施する、
　カラーフィルタの製造方法。」
　
２．引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された特開平６−２０８０２１号公報（以下「引用例」という。）には、以下の技術事項が記載されている。（後述する引用発明の認定に関連する箇所に下線を付した。）
　
記載事項ア．
「【特許請求の範囲】
【請求項１】　 着色した感光性組成物をパターン化した着色パターンよりなるカラーフィルタの製造方法であって、
染料を含有する光重合型の感光性組成物を、基材上に塗布して着色層を形成する工程と、
前記着色層をリソグラフィー法によってパターン化し、前記基材上に着色パターンを形成する工程と、
前記基材を加熱しながら前記着色パターンに光を照射して、当該着色パターンを硬化させる工程とを行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】 　前記着色パターンを硬化させる工程において、前記基材を６０℃〜２００℃の範囲で加熱することを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】 　前記着色パターンを硬化させる工程において、前記基材の加熱温度を昇温させるかあるいは昇温させてから一定温度に保つことを特徴とする請求項１または２記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】 　着色した感光性組成物をパターン化した着色パターンよりなるカラーフィルタの製造方法であって、染料と熱重合開始剤とを含有する光重合型の感光性組成物を、基材上に塗布して着色層を形成する工程と、前記着色層をリソグラフィー法によってパターン化し、前記基材上に着色パターンを形成する工程と、前記着色パターンを酸素を含まない雰囲気内に保持しかつ前記基材を加熱することによって、当該着色パターンを硬化させる工程とを行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。」
　
記載事項イ．
「【００１６】
【実施例】以下、本発明の第１の実施例を図１に基づいて説明する。先ず、図１（１）に示すように、基材１上に、着色層２を形成する。この工程においては、感光性組成物を構成する各要素を有機溶剤に溶かし、さらに、色素として染料を分散させて着色した感光性組成物を用意する。そして、予めブラックマトリックス１ａが形成された基材１上に、上記の着色した感光性組成物を塗布し、基材１上に着色層２を形成する。
【００１７】上記感光性組成物は、光重合の主材となるモノマーと、感光性組成物のコーティング性と現像性を確実にするバインダーポリマーと、光重合開始剤との各要素と、さらに色素として染料を加える。これらの各要素は、有機溶剤に溶かして用いられる。上記染料としては、使用する有機溶剤に対する溶解性と分光特性の観点で選択する。また、上記で示した要素の他に、光重合促進剤、密着改善剤、酸化防止剤等を添加しても良い。
【００１８】次に、図１（２）に示すように、例えばフォトリソグラフィー法によって着色層２をパターン化する。この工程においては、例えばパターンが形成されたフォトマスク上から、着色層２の着色パターン形成部分に露光光５を照射し、モノマーの二重結合を光重合させる。次いで、アルカリ水溶液からなる現像液により、露光されていない部分の着色層を除去し、図１（３）に示すように、基材１上に着色パターン２ａ形成する。
【００１９】そして、上記のようにして基材１上に形成された着色パターン２ａを硬化させる。この工程においては、図１（４）に示すように、上部着色パターン２ａが形成された基材１を６０℃〜２００℃の範囲で徐々に昇温加熱しながら、該着色パターン２ａに光６を照射する。この時用いる光６の波長は、光重合開始剤として用いられる化合物の吸収波長領域と一致させることが望ましい。
【００２０】上記のようにして、着色パターン２ａの硬化を行った後、上記図１（１）から（４）に示した工程を、例えば、シアン、マゼンタ、イエロー等の各色毎に繰り返すことによって、図１（５）に示すように、基材１上に各着色パターン２ａ、２ｂ、２ｃで構成されるカラーフィルタ１０が形成される。
【００２１】上記のカラーフィルタの製造方法では、着色パターンを硬化させる工程において、露光温度を上昇させた状態で感光性組成物の系の重合が行われる。このため、系の重合率が上昇し、着色パターン形成時の露光のみでは重合しきれなかった感光性組成物の重合がさらに進み、着色パターンの硬化が充分に行われる。
【００２２】また、上記工程では、加熱温度を６０℃〜２００℃の範囲内に設定しているため、感光性組成物の重合反応が充分に行われると共に、耐熱温度の低い染料の変質が防止される。さらに、上記工程では、加熱温度を徐々に昇温させているため、着色パターンの重合を進めて耐熱性を上げながら昇温することになり、急激に加熱することによる着色パターンの熱変形が防止される。したがって、より高温による処理が可能となり、着色パターンの硬化もさらに確実となる。また、急激な加熱による着色パターンの変形等も防止される。
【００２３】尚、上記の着色パターン２ａの硬化における感光性組成物の重合反応は、酸素による阻害を受けるため、上記の工程を酸素を含まない雰囲気内で行えば、さらに重合反応の促進が期待できる。」
　
記載事項ウ．
「【００２５】
先ず、固体撮像素子が形成されたウエハ上に、マゼンタに着色された感光性組成物をスピンコートして、プリベークにて有機溶剤を除去し、マゼンタの着色層をウエハ上に形成した。そして、縮小投影露光装置で、上記マゼンタの着色層にパターン露光を行った。
その後、炭酸ナトリウム水溶液で現像処理を行い、ウエハ上にマゼンタの着色層の着色パターンを形成した。
【００２６】
次いで、上記ウエハを窒素気流下に保ちながら、ウエハを段階的に昇温加熱しながら、光を照射した。
これによって、マゼンタの着色層が充分に硬化し、ウエハ上にマゼンタフィルタが形成された。
【００２７】次いで、上記のようにマゼンタフィルタが形成されたウエハ上に、上記と同様にしてイエローフィルタを形成した。この工程においては、既にウエハ上に形成されているマゼンタフィルタが充分に硬化していない場合には、イエローフィルタ形成用の感光性組成物の有機溶剤によって、マゼンタ染料が溶出する懸念がある。しかし、マゼンタ染料の溶出は見られなかった。また、上記と同様に、加熱による着色パターンの変形及び染料の変質等による退色も、認められなかった。
【００２８】最後に、マゼンタフィルタと、イエローフィルタが形成された基板上に、上記と同様にしてシアンフィルタを形成した。この工程においても、上記工程と同様に、既に形成されていたフィルタからの染料の溶出、及び加熱による着色パターンの変形、染料の退色も認められなかった。」
　
記載事項エ．
「【００３０】次に、第２の実施例を説明する。第２の実施例は、上記第１の実施例で示したカラーフィルタの材料となる光重合型の感光性組成物に、熱重合開始剤と染料とを加えたものである。
【００３１】上記熱重合開始剤は、加熱により分解してラジカルを発生する化合物であり、例えば、アゾビスイソブチロニトリル，アゾブスシクロヘキサンカルボニトリル，アゾビス（２−メチルプロピオニトリル），過酸化ベンゾイル等、分解温度が４０℃から１６０℃のものを用いる。尚、感光性組成物を構成する要素として用いる光重合開始剤が、上記の熱重合開始剤と同様の特性を有する場合には、光重合開始剤を熱重合開始剤として用いる事が可能である。
【００３２】以下に、第２の実施例のカラーフィルタの製造方法を説明する。先ず、第１の実施例と同様に、基材上に着色層を形成する。但し、この着色層を形成する感光性組成物には、熱重合開始剤が含有されている。次に、第１の実施例と同様のフォトリソグラフィー法にて、上記の着色層に着色パターンを形成する。
【００３３】そして、着色パターンを、例えば、真空状態のような酸素を含まない雰囲気内に保持した状態で上記基材を加熱することによって、上記のように形成した着色パターンを硬化させる。
【００３４】上記のカラーフィルタの製造方法では、着色パターンを形成する感光性組成物に熱重合開始剤を加えたので、着色パターンを硬化させる工程では、基材の加熱によって熱重合開始剤が分解して当該着色パターンを形成する感光性組成物の重合が促進され、着色パターンの硬化が充分に行われる。そして、この着色パターンの硬化は、酸素を含まない雰囲気内で行なわれるため、酸素による上記重合反応の妨害が防止される。また、熱重合開始剤の分解温度を４０℃〜１６０℃に規定したので、パターンの硬化が上記分解温度付近で促進され、感光性組成物内に含まれる耐熱温度の低い染料の変質が防止される。
【００３５】次に、上記方法にて固体撮像素子上に、カラーフィルタを形成した結果を示す。感光性組成物としては、上記表１で示した各要素に、表２で示す熱重合開始剤を加えた各色を用いた。……(略)……
【００３６】そして、第１の実施例と同様の方法にて、先ず、ウエハ上にマゼンタの着色層よりなる着色パターンを形成した。次いで、上記ウエハを、０．１５Ｔｏｒｒの真空下で１５０℃に保たれたプレート上に載置し、１５０秒間の加熱を行った。
【００３７】これによってマゼンタの着色層が充分に硬化し、ウエハ上にマゼンタフィルタが形成された。以上の工程においては、加熱による着色パターンの変形及び染料の変質等による退色は認められなかった。
【００３８】また、上記と同様にして、マゼンタフィルタが形成されたウエハ上に、イエローフィルタを形成し、さらにマゼンタフィルタとイエローフィルタとが形成されたウエハ上にシアンフィルタを形成した。上記の工程においては、既に形成されていたフィルタからの染料の溶出及び加熱による着色パターンの変形、染料の退色は認められなかた。」
　
　記載事項ア．〜エ．の記載内容からして、引用例には、
「固体撮像素子が形成されたウエハ上に、マゼンタに着色された感光性組成物をスピンコートして、プリベークにて有機溶剤を除去し、マゼンタの着色層をウエハ上に形成する工程と、縮小投影露光装置で、上記マゼンタの着色層にパターン露光を行う工程と、炭酸ナトリウム水溶液で現像処理を行い、ウエハ上にマゼンタの着色層の着色パターンを形成する工程と、上記ウエハを窒素気流下に保ちながら、ウエハを段階的に昇温加熱しながら、光を照射し、これによって、マゼンタの着色層が充分に硬化し、ウエハ上にマゼンタフィルタが形成される工程とを有するカラーフィルタの製造方法。」
の発明（以下「引用発明」という。）が記載されているといえる。
　
３．対比　 
　本願発明と引用発明を対比する。　 
（ａ）引用発明の「固体撮像素子が形成されたウエハ」は、本願発明の「被処理基板」に相当する。また、引用発明の「マゼンタに着色された感光性組成物をスピンコートして、プリベークにて有機溶剤を除去し、」「ウエハ上に形成」された「マゼンタの着色層」は、本願発明の「着色感光性樹脂」に相当する。したがって、引用発明の「固体撮像素子が形成されたウエハ上に、マゼンタに着色された感光性組成物をスピンコートして、プリベークにて有機溶剤を除去し、マゼンタの着色層をウエハ上に形成する工程」は、本願発明の「被処理基板上に着色感光性樹脂を形成する工程」に相当する。
　
（ｂ）引用発明の「縮小投影露光装置で、上記マゼンタの着色層にパターン露光を行う工程」は、本願発明の「前記着色感光性樹脂を露光する工程」に相当する。
　
（ｃ）引用発明の「炭酸ナトリウム水溶液で現像処理を行い、ウエハ上にマゼンタの着色層の着色パターンを形成する工程」は、本願発明の「前記着色感光性樹脂を現像して、カラーフィルタのパターンを形成する工程」に相当する。
　
（ｄ）本願の明細書の発明の詳細な説明の【００３１】には、「処理室１０１の上部には、ランプユニット１１０が設置されている。ランプユニット１１０を設けているのは、被処理基板１を加熱しながら紫外線照射を行うことにより、被処理基板１上のカラーフィルタの硬化状態をより高めることができるからである。」と、被処理基板の熱処理の際に光を照射することが記載されており、該記載を参酌すると、本願発明の「熱処理」には、加熱とともに光を照射する場合が包含されているものと認められる。そうすると、引用発明の「上記ウエハを窒素気流下に保ちながら、ウエハを段階的に昇温加熱しながら、光を照射し、これによって、マゼンタの着色層が充分に硬化し、ウエハ上にマゼンタフィルタが形成される工程」は、本願発明の「前記カラーフィルタについて熱処理を実施することによって、前記カラーフィルタを硬化させる工程」に相当する。
　また、引用発明は「ウエハを段階的に昇温加熱しながら、光を照射」する際に、「ウエハを窒素気流下に保ちながら」行っており、ウエハを窒素気流下に保つことにより酸素濃度が低くなった雰囲気となっていることは明らかであるから、引用発明の「マゼンタの着色層が充分に硬化し、ウエハ上にマゼンタフィルタが形成される工程」において「ウエハを窒素気流下に保ちながら、ウエハを段階的に昇温加熱しながら、光を照射」することと、本願発明の「前記カラーフィルタを硬化させる工程では、処理室内に不活性ガスを供給することによって酸素濃度が１％以下になった雰囲気中で前記熱処理を実施する」ことは、「前記カラーフィルタを硬化させる工程では、不活性ガスを供給することによって酸素濃度が低くなった雰囲気中で前記熱処理を実施する」点で共通しているといえる。
　
　上記（ａ）〜（ｄ）で述べたことからして、本願発明と引用発明は、
「被処理基板上に着色感光性樹脂を形成する工程と、
　前記着色感光性樹脂を露光する工程と、
　前記着色感光性樹脂を現像して、カラーフィルタのパターンを形成する工程と、
　前記カラーフィルタについて熱処理を実施することによって、前記カラーフィルタを硬化させる工程と
　を有し、
　前記カラーフィルタを硬化させる工程では、不活性ガスを供給することによって酸素濃度が低くなった雰囲気中で前記熱処理を実施する、
　カラーフィルタの製造方法。」
である点で一致し、次の点で相違する。
　
相違点
　不活性ガスを供給することによって酸素濃度が低くなった雰囲気中で実施する熱処理が、本願発明は、処理室を用いて酸素濃度が１％以下になった雰囲気中で実施するのに対して、引用発明は、そのような発明特定事項を有するかどうかが不明である点。
　
４．当審の判断
　上記相違点について検討する。
　
　引用例には、着色パターンの硬化における感光性組成物の重合反応は、酸素による阻害を受けるため、着色パターンを硬化させる工程を酸素を含まない雰囲気内で行えば、さらに重合反応の促進が期待できることが記載（上記記載事項イ．の【００２３】参照）されており、この記載事項を参酌すると、引用発明の「上記ウエハを窒素気流下に保ちながら、ウエハを段階的に昇温加熱しながら、光を照射し、これによって、マゼンタの着色層が充分に硬化し、ウエハ上にマゼンタフィルタが形成される工程」をなるべく酸素を含まない雰囲気内で行うために他の空間と隔離された処理室を用いる程度のことは当業者であれば適宜なし得る設計的事項にすぎない。
　また、上述したように引用例には、着色パターンの硬化における感光性組成物の重合反応は、酸素による阻害を受けることが記載されているのであるから、引用発明の「上記ウエハを窒素気流下に保ちながら、ウエハを段階的に昇温加熱しながら、光を照射し、これによって、マゼンタの着色層が充分に硬化し、ウエハ上にマゼンタフィルタが形成される工程」における酸素濃度をできるだけ０％に近づけるようにすることは当業者であれば容易に想到し得ることであるし、引用例には、第２の実施例として、着色パターを硬化させる工程を０．１５Ｔｏｒｒの真空下で行うことが記載（上記記載事項エ．の【００３６】参照）されており、この時の酸素濃度は、大気圧が７６０Ｔｏｒｒであり、大気中の酸素濃度が約２１％であることから、１％以下であることは明らかであり、このことも考慮すると、引用発明の「上記ウエハを窒素気流下に保ちながら、ウエハを段階的に昇温加熱しながら、光を照射し、これによって、マゼンタの着色層が充分に硬化し、ウエハ上にマゼンタフィルタが形成される工程」における酸素濃度を１％以下とすることは、当業者であれば格別困難なくなし得ることであるといわざるを得ない。
　したがって、上記相違点に係る本願発明の発明特定事項を得ることは当業者であれば容易になし得ることである。
　
　また、本願発明の効果も、引用発明及び引用例の記載事項から予測し得る範囲内のものであり、格別のものとは認め難い。
　
５．むすび　 
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び引用例の記載事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。