(57)【要約】【課題】  本発明は、圧電センサに振動が加わってもノイズの発生が抑制され、圧電シートにて発生した電位を精度良く取り出すことができる圧電センサ構造を提供する。【解決手段】  本発明の圧電センサ構造は、圧電シート、上記圧電シートの一面に積層一体化されたシグナル電極、及び、上記圧電シートの他面に積層一体化されたグランド電極を有する圧電センサと、上記シグナル電極又はグランド電極に溶融一体化されて圧電センサの表面に引き出された接続端子とを有する。【選択図】  図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電シート、上記圧電シートの一面に積層一体化されたシグナル電極、及び、上記圧電シートの他面に積層一体化されたグランド電極を有する圧電センサと、上記シグナル電極又はグランド電極にこれら電極に対して相対的に変位不能に一体化されて圧電センサの表面に引き出された接続端子とを有することを特徴とする圧電センサ構造。
【請求項２】
接続端子は、シグナル電極又はグランド電極に超音波接合により一体化されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電センサ構造。
【請求項３】
シグナル電極及びグランド電極がアルミニウムを含むと共に、接続端子が銅を含むことを特徴とする請求項２に記載の圧電センサ構造。
【請求項４】
圧電シートにて発生した電圧信号を処理する処理回路及び上記処理回路に電気的に接続された入力端子が形成された処理回路基板を更に有し、上記処理回路基板上の入力端子に、接続端子が互いに相対的に変位不能に電気的に接続一体化されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電センサ構造。
【請求項５】
処理回路基板上の入力端子に、接続端子が、超音波接合、はんだ接合、導電性接着剤による接合又はコネクタを介した接合によって電気的に接続一体化されていることを特徴とする圧電センサ構造。
【請求項６】
圧電シートにて発生した電圧信号を処理する処理回路及び上記処理回路に電気的に接続された入力端子が形成された処理回路基板を更に有し、上記処理回路基板上の入力端子に、中継端子を介して、接続端子が電気的に接続一体化されており、上記中継端子は、剛直な支持体上に固定されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電センサ構造。
【請求項７】
圧電シートにて発生した電圧を増幅する処理回路及び上記処理回路に電気的に接続された入力端子が形成された処理回路基板を更に有し、上記処理回路基板上の入力端子に、中継端子を介して、接続端子が電気的に接続一体化されており、上記中継端子は、剛直な導電線であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電センサ構造。
【請求項８】
処理回路が、圧電シートにて発生した電圧信号を増幅する増幅回路であることを特徴とする請求項４〜７の何れか１項に記載の圧電センサ構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電センサ構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電シートをセンサとして用いた圧電センサが従来から様々な用途において利用されている。圧電センサは、圧電シートに圧力が加わると圧力に応じた大きさの電気信号が発生し、この電気信号に基づいて圧力を検出している。
【０００３】
圧電センサとして、特許文献１には、圧電シートの両面に電気絶縁シートが一体的に設けられていると共に、上記電気絶縁シートのうちの一方の電気絶縁シートにおける上記圧電シートの対向面にグランド電極が、上記電気絶縁シートのうちの他方の電気絶縁シートにおける上記圧電シートの対向面にシグナル電極が一体的に形成されてなる圧電素子と、上記電気絶縁シートのうちの何れか一方の電気絶縁シートにおける電極形成面とは反対側の面上に一体的に設けられた電気回路と、上記電気絶縁シートの電気回路形成面上に一体的に配設され且つ上記電気回路に電気的に接続されて上記圧電素子からの電気信号を処理するための演算手段と、上記シグナル電極と電気絶縁状態にて上記グランド電極と上記電気回路とを電気的に接続させているピアス端子と、上記グランド電極と電気絶縁状態にて上記シグナル電極と上記電気回路とを電気的に接続させているピアス端子とを備えている圧電センサが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−７４６１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記圧電センサは、シグナル電極及びグランド電極と、電気回路とをピアス端子で接続させている。ピアス端子は、圧電センサにその厚み方向に貫通されているにすぎないことから、圧電センサに振動が加わると、ピアス端子が圧電シートに対して相対的に妄動し、ノイズの発生の原因となるという問題点を有していた。
【０００６】
本発明は、圧電センサに振動が加わってもノイズの発生が抑制され、圧電シートにて発生した電位を精度良く取り出すことができる圧電センサ構造を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の圧電センサ構造は、圧電シート、上記圧電シートの一面に積層一体化されたシグナル電極、及び、上記圧電シートの他面に積層一体化されたグランド電極を有する圧電センサと、上記シグナル電極又はグランド電極にこれら電極に対して相対的に変位不能に一体化されて圧電センサの表面に引き出された接続端子とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の圧電センサ構造は、上述の如き構成を有しているので、接続端子がシグナル電極又はグランド電極にこれら電極に対して相対的に変位不能に一体化されているので、圧電センサ構造体に振動が加わっても、接続端子がシグナル電極又はグランド電極に対して相対的に振動することはなく、圧電シートにて発生した電位を精度良く取り出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】圧電センサを示した断面図である。
【図２】圧電センサを示した分解斜視図である。
【図３】接続端子部分を示した断面図である。
【図４】接続端子を形成する要領を示した図である。
【図５】接続端子部分を示した断面図である
【図６】処理回路基板を示した平面図である。
【図７】圧電センサ構造の接続端子部分を示した断面図である。
【図８】支持体上に固定された中継端子を示した平面図である。
【図９】圧電センサ構造の他の一例を示した断面図である。
【図１０】圧電センサ構造の他の一例を示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の圧電センサ構造体の一例を図面を参照しながら説明する。圧電センサ１は、図１及び図２に示したように、圧電シート11と、この圧電シート11の一面に積層一体化されたグランド電極12と、圧電シート11の他面に積層一体化されたシグナル電極13と、上記シグナル電極13上に積層一体化されたシールド電極14とを有している。なお、グランド電極12、シグナル電極13及びシールド電極14は、アルミニウム、銅などの導電性材料から形成されており、シート状又は薄膜状に形成されている。
【００１１】
圧電シート11としては、外力が加えられることによって電荷を発生させることができるシートであれば、特に限定されないが、微弱な圧力を精度良く検出でき、感度が高く、厚み方向の変形で電荷を発生しやすいことから、合成樹脂シート（合成樹脂発泡シート又は合成樹脂非発泡シート）に分極を付与した圧電シートが好ましく、合成樹脂発泡シートに分極を付与した圧電シートがより好ましい。
【００１２】
合成樹脂シートを構成する合成樹脂としては、特に限定されず、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂などのポリオレフィン系樹脂、ポリフッ化ビニリデン、ポリ乳酸、液晶樹脂などが挙げられる。
【００１３】
合成樹脂シートに分極を付与する方法としては、特に限定されず、例えば、（１）合成樹脂シートを一対の平板電極で挟持し、帯電させたい表面に接触させている平板電極を高圧直流電源に接続すると共に他方の平板電極をアースし、合成樹脂シートに直流又はパルス状の高電圧を印加して合成樹脂に電荷を注入して合成樹脂シートに分極を付与する方法、（２）電子線、Ｘ線などの電離性放射線や紫外線を合成樹脂シートの表面に照射して、合成樹脂シートの近傍部の空気分子をイオン化することによって合成樹脂シートに分極を付与する方法、（３）合成樹脂シートの一面に、アースされた平板電極を密着状態に重ね合わせ、合成樹脂シートの他面側に所定間隔を存して直流の高圧電源に電気的に接続された針状電極又はワイヤー電極を配設し、針状電極の先端又はワイヤー電極の表面近傍への電界集中によりコロナ放電を発生させ、空気分子をイオン化させて、針状電極又はワイヤー電極の極性により発生した空気イオンを反発させて合成樹脂に分極を付与する方法などが挙げられる。
【００１４】
圧電シート11の一面には、固定剤層（図示せず）を介して電気絶縁シート15が積層一体化されている。圧電シート11の他面には、固定剤層（図示せず）を介して電気絶縁シート16が積層一体化されている。電気絶縁シート16上には固定剤層（図示せず）を介して電気絶縁シート17が積層一体化されている。なお、電気絶縁シート15〜17は、電気絶縁性を有しておれば、特に限定されず、例えば、ポリエチレンテレフタレートシート、ポリエチレンナフタレートシート、ポリ塩化ビニルシートなどが挙げられる。
【００１５】
固定剤層を構成している固定剤は、反応系・溶剤系・水系・ホットメルト系の接着剤又は粘着剤から構成されており、圧電シート11の感度を維持する観点から、誘電率の低い固定剤が好ましい。
【００１６】
電気絶縁シート15における圧電シート11側の面15aの全面にはグランド電極12が一体的に形成されている。電気絶縁シート15とグランド電極12は、平面同一形状、同一大きさに形成されている。
【００１７】
電気絶縁シート16における圧電シート11側の面16aの全面にはシグナル電極13が一体的に形成されている。電気絶縁シート16とシグナル電極13は、平面同一形状、同一大きさに形成されている。
【００１８】
電気絶縁シート17における圧電シート11側の面17aの全面にはシールド電極14が一体的に形成されている。電気絶縁シート17とシールド電極14は、平面同一形状、同一大きさに形成されている。
【００１９】
電気絶縁シート15、17、グランド電極12及びシールド電極14には、圧電シート11の厚み方向に見たときに同一位置に、その外周縁に開口した平面長方形状の切欠き部12a、14a、15a、17aがそれぞれ形成されている。
【００２０】
シグナル電極13は、圧電シート11の厚み方向において、後述するグランド電極12及びシールド電極14に対する接続端子を形成する部分には形成されていない。シグナル電極13は、電気絶縁シート17よりも一回り小さく形成されており、平面長方形状のシグナル電極本体13aと、このシグナル電極本体13aの外周縁から突設された平面Ｌ字状の突出部13bとを有している。シグナル電極13の突出部13bの先端部13cは、圧電シート11の厚み方向に見たときに、グランド電極12及びシールド電極14の切欠き部12a、14aに対応する位置に配設されている。従って、シグナル電極13の突出部13bの先端部13cを圧電シート11の厚み方向に投影した部分には、グランド電極12及びシールド電極14は配設されていない。
【００２１】
シグナル電極13が配設されていない部分において、グランド電極12に電気的に接続している第一接続端子２と、シールド電極14に電気的に接続している第二接続端子３が設けられている。第一接続端子２及び第二接続端子３は、圧電センサ１の表面に引き出されて圧電センサ１に一体的に設けられている。
【００２２】
図３に示したように、第一接続端子２は、銅などの導電性材料から形成されており、第一接続端子２は、その内側の端部が、圧電シート11をその厚み方向に貫通してグランド電極12にこのグランド電極12に対して相対的に変位不能に一体化していると共に、外側の端部は、圧電シート11の表面に密着した状態となっている。第二接続端子３も、銅などの導電性材料から形成されており、第二接続端子３は、その内側の端部が、圧電シート11をその厚み方向に貫通してシールド電極14にこのシールド電極14に対して相対的に変位不能に一体化していると共に、外側の端部は、圧電シート11の表面に密着した状態となっている。なお、図３において、第一接続端子２及び第二接続端子３の内側の端部と、グランド電極12及びシールド電極14との接続構造は省略している。
【００２３】
第一接続端子２及び第二接続端子３をグランド電極12及びシールド電極14のそれぞれにグランド電極12及びシールド電極14に対して相対的に変位不能に一体化する方法としては、特に限定されず、例えば、超音波接合、はんだ接合、導電性接着剤による接合などが挙げられ、超音波接合及びはんだ接合のように溶融による接合が好ましく、超音波接合が好ましい。
【００２４】
例えば、図４に示したように、圧電センサ１の両面に導電性シートＣ、Ｃを配設する。汎用の超音波接合装置を用意し、この超音波接合装置のアンビルB1とホーンチップB2との間に圧電センサ１を配設し、圧電センサ１をアンビルB1とホーンチップB2とで上下方向から挟み込む。しかる後、ホーンチップB2を超音波振動させることによって圧電センサ１及び該圧電センサ１の両面に配設した導電性シートＣ、Ｃに超音波振動を加える。すると、圧電センサ１を構成している部材同士が相対的に超音波振動して摩擦熱が発生し、圧電シート11及び電気絶縁シート15、17の一部は摩擦熱によって溶融して消失する。同時に、圧電センサ１の両面に配設した導電性シートＣ、Ｃが溶融して圧電センサ１内部に進入し、グランド電極12と溶融一体化して第一接続端子２が形成されると共に、シールド電極14と溶融一体化して第二接続端子３が形成される。グランド電極12とシールド電極14同士も溶融一体化される。導電性シートＣ、Ｃの一部は圧電センサ１の表面に密着した状態となっており、これらの部分はそれぞれ、第一接続端子２及び第二接続端子３の外側の端部を形成している。なお、第一接続端子２及び第二接続端子３同士は、グランド電極12及びシールド電極14を貫通して互いに直接接続した状態で溶融一体化していてもよい。
【００２５】
このように、第二接続端子３はグランド電極12にこのグランド電極12に対して相対的に変位不能に一体化され且つ圧電センサ１の表面に引き出されている。同様に、第二接続端子３はシールド電極14にこのシールド電極14に対して相対的に変位不能に一体化され且つ圧電センサ１の表面に引き出されている。
【００２６】
以上の如く、第二接続端子３はグランド電極12にこのグランド電極12に対して相対的に変位不能に一体化されていることから、圧電センサ１に振動が加わったとしても、第二接続端子３がグランド電極12に対して相対的に変位する（振動する）ことはなく、第二接続端子３の振動起因したノイズは発生しない。
【００２７】
グランド電極12及びシールド電極14の切欠き部12a、14aにおいて、シグナル電極13に電気的に接続している第三接続端子４が設けられている。第三接続端子４は、圧電センサ１の表面に引き出されて圧電センサ１に一体的に設けられている。
【００２８】
図５に示したように、第三接続端子４は、銅などの導電性材料から形成されており、第三接続端子４は、その内側の端部が、圧電シート11をその厚み方向に貫通してシグナル電極13にこのシグナル電極13に対して相対的に変位不能に一体化していると共に、外側の端部は、圧電シート11の表面に密着した状態となっている。即ち、第三接続端子４はシグナル電極13にこのシグナル電極13に対して相対的に変位不能に一体化され且つ圧電シート11の表面に引き出されている。なお、図４において、第三接続端子４の内側の端部と、シグナル電極13との接続構造は省略している。
【００２９】
以上の如く、第三接続端子４はシグナル電極13にこのシグナル電極13に対して相対的に変位不能に一体化されていることから、圧電センサ１に振動が加わったとしても、第三接続端子４がシグナル電極13に対して相対的に変位する（振動する）ことはなく、第三接続端子４の振動起因したノイズは発生しない。
【００３０】
なお、第三接続端子４をシグナル電極13に溶融一体化する方法は、第一接続端子２及び第二接続端子３をグランド電極12及びシールド電極14に溶融一体化する方法と同様であるので説明を省略する。
【００３１】
圧電センサ構造は、圧電シートにて発生した電圧信号を処理する処理回路51及びこの処理回路51に電気的に接続された入力端子52が形成された処理回路基板５を有している（図６参照）。処理回路51としては、特に限定されず、例えば、圧電シート11で発生した電位信号を増幅する増幅回路などが挙げられる。処理回路基板５としては、汎用の基板が用いられ、例えば、ポリイミド、ガラスエポキシ樹脂などから形成されている基板が挙げられる。処理回路51及び入力端子52は、キャスト法、メッキ法、熱可塑性ポリイミド法などの汎用の方法を用いて処理回路基板５上に薄膜状に形成されている。処理回路51及び入力端子52は、銅などの導電材料から形成されている。
【００３２】
図７に示したように、圧電センサ１の第一接続端子２及び第三接続端子４は、処理回路基板５の入力端子52に電気的に接続されることによって、処理回路基板５上の処理回路51と電気的に接続されている。圧電センサ１の第一接続端子２及び第三接続端子４と、処理回路基板５の入力端子52とは、両者が互いに相対的に変位不能に電気的に接続一体化されている。
【００３３】
圧電センサ１の第一接続端子２及び第三接続端子４と、処理回路基板５上の入力端子52とは、両者が互いに相対的に変位不能に電気的に接続一体化されているので、圧電センサ１の第一接続端子２及び第三接続端子４が、処理回路基板５上の入力端子52に対して相対的に変位する（振動する）ことはなく、圧電センサ１の第一接続端子２及び第三接続端子４の振動に起因したノイズが発生することはない。
【００３４】
圧電センサ１の第一接続端子２及び第三接続端子４と、処理回路基板５の入力端子52との接続方法としては、圧電センサ１の第一接続端子２及び第三接続端子４と、処理回路基板５上の入力端子52とが互いに変位不能に接続できればよく、例えば、超音波接合、はんだ接合、導電性接着剤を用いた接合又はコネクタを介した接続などが挙げられる。
【００３５】
導電性接着剤は、圧電センサ１の第一接続端子２及び第三接続端子４と、処理回路基板５上の入力端子52とを電気的に接続させることができれば、特に限定されず、例えば、汎用の接着剤に導電性粒子（例えば、金属粉など）を含有させることによって導電性が付与された接着剤などが挙げられる。
【００３６】
コネクタとしては、汎用のコネクタを用いることができる。コネクタは、第一コネクタ部と第二コネクタ部とから構成されている。第一コネクタ部と第二コネクタ部とは互いに着脱自在に構成されており、第一コネクタ部と第二コネクタ部とを互いに一体化させた状態においては、第一コネクタ部と第二コネクタ部とは互いに相対的に変位不能となる。圧電センサの第一接続端子２に第一コネクタの第一コネクタ部を第一接続端子２に対して相対的に変位不能にはんだ接合などの汎用の手段によって電気的に接続させている。同様に、圧電センサの第三接続端子４に第二コネクタの第一コネクタ部を第三接続端子４に対して相対的に変位不能にはんだ接合などの汎用の手段によって電気的に接続させている。一方、処理回路基板５上の入力端子52に第一コネクタの第二コネクタ部を入力端子52に対して相対的に変位不能にはんだ接合などの汎用の手段によって電気的に接続させている。同様に、処理回路基板５上の入力端子52に第二コネクタの第二コネクタ部を入力端子52に対して相対的に変位不能にはんだ接合などの汎用の手段によって電気的に接続させている。従って、圧電センサの第一接続端子２及び第三接続端子４に電気的に接続された第一、第二コネクタの第一コネクタ部に、処理回路基板５上の入力端子52に電気的に接続された第一、第二コネクタの第二コネクタ部をそれぞれ接続させることによって、圧電センサの第一接続端子２及び第三接続端子４と、処理回路基板５上の入力端子52とを互いに相対的に変位不能に電気的に接続させることができる。
【００３７】
以上のように、圧電センサ構造Ａは、第一接続端子２及び第三接続端子４のそれぞれが、グランド電極12及びシールド電極14に溶融一体化していると共に、第一接続端子２及び第三接続端子４が、処理回路基板５上の入力端子52に、入力端子52に対して相対的に変位不能に電気的に接合されているので、第一接続端子２及び第三接続端子４から処理回路基板５上の入力端子52に至る間において、部材同士が相対的に互いに変位する（振動する）ことはなく、圧電シート11で発生した電位信号を処理回路51にノイズを発生させることなく入力することができる。
【００３８】
更に、圧電センサ１の第一接続端子２及び第三接続端子４、並びに、処理回路基板５は、電磁波遮蔽機能を有する筐体（図示せず）によって被覆されており、圧電センサ１の第二接続端子３は、上記筐体に電気的に接続されている。なお、第一接続端子２と第二接続端子３とが電気的に接続されている場合には、第二接続端子３を筐体に接続させる必要はない。
【００３９】
上記圧電センサ構造Ａでは、圧電センサ１の第一接続端子２及び第三接続端子４と、処理回路基板５上の入力端子52とが直接超音波接合され、又は、はんだ、導電性接着剤若しくはコネクタなどを介して接合されている場合を説明したが、これに限定されず、例えば、剛直な支持体上に固定された中継端子を介して、圧電センサ１の第一接続端子２及び第三接続端子４と、処理回路基板５上の入力端子52とが電気的に接続されていてもよい。
【００４０】
具体的には、圧電センサ１に加えられる振動や応力によって変形しない機械的強度を有する剛直な支持板６上に中継端子61が支持板６に対して相対的に変位しないように固定されている。中継端子61は、処理回路基板５上に形成された入力端子52と同様の要領で、上述した汎用の方法によって支持板６上に一体的に薄膜状に形成されている（図８参照）。中継端子61は、銅などの導電材料から形成されている。なお、剛直な支持板６としては、特に限定されず、例えば、ポリエチレンテレフタレート板などの電気絶縁性を有する板などが挙げられる。
【００４１】
そして、図９に示したように、圧電センサ１の第一接続端子２及び第三接続端子４と、支持板６上の中継端子61とを超音波接合、はんだ接合、導電性接着剤による接合又はコネクタを介した接合によって電気的に接続していると共に、支持板６上の中継端子61と、処理回路基板５上の入力端子52とを超音波接合、はんだ接合、導電性接着剤による接合又はコネクタを介した接合によって電気的に接続している。
【００４２】
従って、圧電センサ１の第一接続端子２及び第三接続端子４と、支持板６上の中継端子61との接続構造、及び、支持板６上の中継端子61と、処理回路基板５上の入力端子52との接続構造において、互いに接続している部材同士が相対的に変位する（振動する）ことはない。即ち、第一接続端子２及び第三接続端子４から処理回路基板５上の入力端子52に至る間において、部材同士が相対的に互いに変位する（振動する）ことはなく、圧電シート11で発生した電位信号を処理回路51にノイズを発生させることなく入力することができる。
【００４３】
上記では、中継端子61として、メッキや印刷などによって導電材料が薄膜状に形成された場合を説明したが、導電線であってもよい。導電線は、支持板６上に支持板６に対して相対的に変位しないように固定されている。そして、圧電センサ１の第一接続端子２及び第三接続端子４と、支持板６上の中継端子61としての導電線とを超音波接合、はんだ接合、導電性接着剤による接合又はコネクタを介した接合などによって両者が互いに相対的に変位不能に電気的に接続していると共に、支持板６上の中継端子61としての導電線と、処理回路基板５上の入力端子52とを超音波接合、はんだ接合、導電性接着剤による接合又はコネクタを介した接合などによって両者が互いに相対的に変位不能に電気的に接続している。中継端子61として導電材料を薄膜状に形成する代わりに導電線を用いたこと以外は同様の構成であるのでその他の構造については説明を省略する。
【００４４】
又、上記では、中継端子61を剛直な支持板６上に固定した場合を説明したが、図１０に示したように、剛直な支持板６に固定することなく、中継端子自体を剛直な導電線とした場合であってもよい。剛直な導電線とは、圧電センサ１に加わる振動及び応力によって変形しない導電線をいう。剛直な導電線は、例えば、通常の可撓性を有する導電線を硬質合成樹脂によって被覆することによって、折り曲げや撓みなどの変形を不能とした導電線が挙げられる。そして、圧電センサ１の第一接続端子２及び第三接続端子４と、中継端子61としての剛直な導電線とを超音波接合、はんだ接合、導電性接着剤による接合又はコネクタを介した接合などによって両者が互いに相対的に変位不能に電気的に接続していると共に、中継端子61としての剛直な導電線と、処理回路基板５上の入力端子52とを超音波接合、はんだ接合、導電性接着剤による接合又はコネクタを介した接合などによって両者が互いに相対的に変位不能に電気的に接続している。支持板上に固定した中継端子61の代わりに、剛直な導電線を用いたこと以外は、図９に示した圧電センサ構造と同一であるので説明を省略する。
【符号の説明】
【００４５】
１     圧電センサ
11     圧電シート
12     グランド電極
13     シグナル電極
14     シールド電極
15〜17 電気絶縁シート
２     第一接続端子
３     第二接続端子
４     第三接続端子
５     処理回路基板
51     処理回路
52     入力端子
６     支持板
61     中継端子
Ａ     圧電センサ構造
B1     アンビル
B2     ホーンチップ
Ｃ     導電性シート
【図１】
2017058344.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2017058344.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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