【手続補正書】
【提出日】平成17年12月20日(2005.12.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロセスフローにおいて所定のイベントの発生を検出し、
ソフトウエアスケジューリングエージェントに前記イベントの発生を通知し、
前記所定のイベントの検出に応じて前記ソフトウエアスケジューリングエージェントに応答してアクションをスケジューリングする、自動化製造環境でのスケジューリング方法。
【請求項２】
前記所定のイベントの検出では、計画されていないイベントあるいは予想外のイベントを検出する、請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記所定のイベントの検出では、アポイントメントの状態の変更、ファクトリーの状態変更、およびアラームイベントのうちの一つの発生を検出する、請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記アポイントメント状態の変更の検出では、アポイントメントのキャンセル、アポイントメントの拡張、アポイントメントの収縮、アポイントメントの中止、アポイントメント状態変更、アポイントメントのシフト、アポイントメントのオーバーライド、トランスポート時間のアップデート、ロード時間のアップデート、アンロード時間のアップデート、ロットをバッチに結合する、ロットがバッチから離す、バッチからロットをキャンセルする、コミットメントウインドウのアップデート、のうちの少なくとも一つを検出することを含む、請求項３記載の方法。
【請求項５】
前記ファクトリーの状態変更の検出では、ダウンタイムの発生を検出する、マシンが利用可能になる、ＰＭ／Ｑｕａｌが検出される、チェンバが故障する、チェンバが利用可能になる、マシン能力の変更、マシン種類の変更、プロセスの追加、プロセスオペレーションの追加、ロットがマシンに到達する、ロットプロセスを変更する、ロットが保留で配置される、ロットが保留から開放される、ロットの優先事項の変更、ロットの期日変更、ロットのウエハ数変更、ロットのプロセスオペレーション変更、ロットがマシンを外れる、のうち少なくとも一つを検出することを含む、請求項３記載の方法。
【請求項６】
前記アラームイベントの検出では、アポイントメント開始時刻に対するアラーム始動およびアポイントメント終了時刻に対するアラーム始動、のうちの少なくとも一つを検出することを含む、請求項３記載の方法。
【請求項７】
前記所定のイベントの検出では、アポイントメントのキャンセル、アポイントメントの拡張、アポイントメントの収縮、アポイントメントの中止、アポイントメントがアクティブになる、アポイントメントが完了に近づく、アポイントメントの完了、アポイントメントをシフトする、アポイントメントのオーバーライド、コミットメントウインドウのアップデート、ダウンタイムの発生を検出、マシンが利用できるようになる、ＰＭ／Ｑｕａｌが検出される、チェンバが故障する、チェンバが利用できるようになる、マシン能力の変更、マシン種類の変更、プロセスの追加、プロセスオペレーションの追加、ロットがマシンに到達する、ロットプロセスの変更、ロットが保留状態で配置される、ロットが保留状態から開放される、ロットの優先事項・プライオリティの変更、ロットの期日変更、ロットのウエハ数変更、ロットプロセスオペレーションの変更、ロットがマシンから外れる、アポイントメント開始時刻に対するアラーム始動およびアポイントメント終了時刻に対するアラーム始動、のうちの少なくとも一つを検出することを含む、請求項１記載の方法。
【請求項８】
前記ソフトウエアスケジューリングエージェントに前記所定のイベントの発生の通知は、
パブリッシャへ前記発生の指示を送り、
前記パブリッシャからサブスクライブリスナへ前記発生をパブリッシュし、
前記サブスクライブリスナから前記ソフトウエアスケジューリングエージェントを呼び出す、請求項１記載の方法。
【請求項９】
前記アクションをスケジューリングするステップでは、進行中のスケジュールアポイントメントを中止すること、スケジュールアポイントメントが開始する前にスケジュールアポイントメントをキャンセルすること、新たなアポイントメントをスケジューリングすること、スケジュールアポイントメントを開始すること、スケジュールアポイントメントの持続時間を拡張すること、スケジュールアポイントメントの持続時間を収縮すること、スケジュールアポイントメントをシフトすること、新たな処理能力を追加すること、古い処理能力を削除すること、アラームを設定すること、アラームをキャンセルすること、アポイントメントの状態を変更すること、のうちの少なくとも一つがなされる、請求項１記載の方法。
【請求項１０】
前記所定のイベントと関連するアポイントメントを積極的にスケジューリングするステップを更に含む、請求項１記載の方法。
【請求項１１】
前記ソフトウエアスケジューリングエージェントの前記アポイントメントを積極的にスケジューリングすることを更に含む、請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
コンピュータによって実行されると自動化製造環境におけるスケジューリング方法を実行する命令がエンコードされた、コンピュータ読み出し可能なプログラム記憶媒体であって、プロセスフローにおいて所定のイベントのうちの一つの発生を検出し、一つのソフトウエアエージェントにその発生を通知し、前記所定のイベントの検出に応じて前記ソフトウエアスケジューリングエージェントに応答してアクションをスケジューリングする、プログラム記憶媒体。
【請求項１３】
前記エンコード化されている方法において前記所定のイベントの発生を検出するためのステップは、計画されていないイベントあるいは予想外のイベントを検出するためのステップを含む、請求項１２記載のプログラム記憶媒体。
【請求項１４】
前記エンコード化されている方法において前記所定のイベントの発生を検出するためのステップは、アポイントメントの状態変更、ファクトリーの状態変更、およびアラームイベントのうちの一つの発生を検出する、請求項１２記載のプログラム記憶媒体。
【請求項１５】
前記エンコード化されている方法において前記所定のイベントを検出するためのステップは、アポイントメントのキャンセル、アポイントメントの拡張、アポイントメントの縮小、アポイントメントの中止、アポイントメントの状態変更、アポイントメントのシフト、アポイントメントのオーバーライド、トランスポート時間のアップデート、ロード時間のアップデート、アンロード時間のアップデート、ロットをバッチに結合する、ロットがバッチから離れる、バッチからのロットをキャンセルする、コッミットメントウインドウをアップデートする、ダウンタイムの発生を検出する、マシンが利用可能になる、ＰＭ／Ｑｕａｌが検出される、チェンバが故障する、チェンバが利用可能になる、マシン能力の変更、マシン種類の変更、プロセスの追加、プロセスオペレーションの追加、ロットがマシンに到達する、ロットプロセスを変更する、ロットが保留で配置される、ロットが保留から開放される、ロットの優先事項の変更、ロットの期日変更、ロットのウエハ数変更、ロットのプロセスオペレーション変更、ロットがマシンを外れる、アポイントメント開始時刻に対するアラーム始動、アポイントメント終了時刻に対するアラーム始動のうち少なくとも一つを検出するためのステップを含む、請求項１２記載のプログラム記憶媒体。
【請求項１６】
前記エンコード化されている方法において前記ソフトウエアスケジューリングエージェントに前記発生を通知するステップは、
パブリッシャへ前記発生の指示を送るステップと、
前記パブリッシャからサブスクライブリスナへ前記発生をパブリッシュするためのステップと、
前記サブスクライブリスナから前記ソフトウエアスケジューリングエージェントを呼び出すためのステップと、を含む、請求項１２記載のプログラム記憶媒体。
【請求項１７】
前記エンコード化されている方法において応答して前記アクションをスケジューリングするステップは、進行中のスケジュールアポイントメントを中止すること、スケジュールアポイントメントが開始する前にスケジュールアポイントメントをキャンセルすること、新たなアポイントメントをスケジューリングすること、スケジュールアポイントメントを開始すること、スケジュールアポイントメントの前記持続時間を拡張すること、スケジュールアポイントメントの前記持続時間を縮めること、スケジュールアポイントメントをシフトすること、新たな処理能力を追加すること、古い処理能力を削除すること、アラームを設定すること、アラームをキャンセルすること、アポイントメントの状態を変更すること、のうち少なくとも一つのステップを含む、請求項１２記載のプログラム記憶媒体。
【請求項１８】
前記エンコードされている方法は、前記所定のイベントと関連するアポイントメントを積極的にスケジューリングするステップを更に含む、請求項１２記載のプログラム記憶媒体。
【請求項１９】
プロセスフローにおいて所定のイベントの発生を検出し、
ソフトウエアスケジューリングエージェントに前記イベントの発生を通知し、
前記所定のイベントの前記検出に応じて前記ソフトウエアスケジューリングエージェントに応答してアクションをスケジューリングする、自動化製造環境でのスケジューリング方法を実行するためにプログラムされた、コンピュータシステム。
【請求項２０】
前記プログラムされた方法において前記所定のイベントの前記発生を検出するステップは、計画されていないイベントあるいは予想外のイベントを検出する、請求項１９記載のコンピュータシステム。
【請求項２１】
前記プログラム化されている方法において前記所定のイベントの発生を検出するステップは、アポイントメントの状態変更、ファクトリーの状態変更、およびアラームイベントのうちの一つの発生を検出する、請求項１９記載のコンピュータシステム。
【請求項２２】
前記プログラム化されている方法において前記所定のイベントを検出するステップは、アポイントメントのキャンセル、アポイントメントの拡張、アポイントメントの縮小、アポイントメントの中止、アポイントメントの状態を変更、アポイントメントのシフト、アポイントメントのオーバーライド、トランスポート時間のアップデート、ロード時間のアップデート、アンロード時間のアップデート、ロットをバッチに結合する、ロットがバッチから離れる、バッチからのロットをキャンセルする、コッミットメントウインドウをアップデートする、ダウンタイムの発生を検出する、マシンが利用可能になる、ＰＭ／Ｑｕａｌが検出される、チェンバが故障する、チェンバが利用可能になる、マシン能力の変更、マシン種類の変更、プロセスの追加、プロセスオペレーションの追加、ロットがマシンに到達する、ロットプロセスを変更する、ロットが保留で配置される、ロットが保留から開放される、ロットの優先事項の変更、ロットの期日変更、ロットのウエハ数変更、ロットのプロセスオペレーション変更、ロットがマシンを外れる、アポイントメント開始時刻に対するアラーム始動、アポイントメント終了時刻に対するアラーム始動、のうち少なくとも一つを検出する、請求項１９記載のコンピュータシステム。
【請求項２３】
前記プログラム化されている方法において前記ソフトウエアスケジューリングエージェントに前記発生を通知するステップは、
パブリッシャへ前記発生の指示を送るステップと、
前記パブリッシャからサブスクライブリスナへ前記発生をパブリッシュするためのステップと、
前記サブスクライブリスナから前記ソフトウエアスケジューリングエージェントを呼び出すためのステップと、を含む、請求項１９記載のコンピュータシステム。
【請求項２４】
前記プログラム化されている方法において前記応答してアクションをスケジューリングするためのステップは、進行中のスケジュールアポイントメントを中止すること、スケジュールアポイントメントが開始する前にスケジュールアポイントメントをキャンセルすること、新たなアポイントメントをスケジューリングすること、スケジュールアポイントメントを開始すること、スケジュールアポイントメントの前記持続時間を拡張すること、スケジュールアポイントメントの前記持続時間を縮めること、スケジュールアポイントメントをシフトすること、新たな処理能力を追加すること、古い処理能力を削除すること、アラームを設定すること、アラームをキャンセルすること、アポイントメントの状態を変更すること、のうちの少なくとも一つのステップを含む、請求項１９記載のコンピュータシステム。
【請求項２５】
前記エンコード化されている方法は、前記所定のイベントと関連するアポイントメントを積極的にスケジューリングするステップを更に含む、請求項１９記載のコンピュータシステム。
【請求項２６】
プロセスフローでの所定のイベントの発生を検出するための手段と、
ソフトウエアスケジューリングエージェントに前記発生を通知するための手段と、
前記所定のイベントの検出に応答して、前記ソフトウエアスケジューリングエージェントのアクションを応答的にスケジューリングするための手段とを有した、自動化製造環境でのスケジューリングするための装置。
【請求項２７】
前記所定のイベントの前記発生を検出する手段では、計画されていないイベントあるいは予想外のイベントを検出する、請求項２６記載の装置。
【請求項２８】
前記所定のイベントの発生を検出するための手段では、アポイントメント状態の変更、ファクトリー状態の変更、アラームイベントのうちの一つの発生を検出するための手段を含む、請求項２６記載の装置。
【請求項２９】
前記所定のイベントを検出するための手段では、アポイントメントのキャンセル、アポイントメントの拡張、アポイントメントの縮小、アポイントメントの中止、アポイントメントの状態を変更、アポイントメントのシフト、アポイントメントのオーバーライド、トランスポート時間のアップデート、ロード時間のアップデート、アンロード時間のアップデート、ロットをバッチに結合する、ロットがバッチから離れる、バッチからのロットをキャンセルする、コッミットメントウインドウをアップデートする、ダウンタイムの発生を検出する、マシンが利用可能になる、ＰＭ／Ｑｕａｌが検出される、チェンバが故障する、チェンバが利用可能になる、マシン能力の変更、マシン種類の変更、プロセスの追加、プロセスオペレーションの追加、ロットがマシンに到達する、ロットプロセスを変更する、ロットが保留で配置される、ロットが保留から開放される、ロットの優先事項の変更、ロットの期日変更、ロットのウエハ数変更、ロットのプロセスオペレーション変更、ロットがマシンを外れる、アポイントメント開始時刻に対するアラーム始動、アポイントメント終了時刻に対するアラーム始動のうち少なくとも一つを検出するための手段を含む、請求項２６記載の装置。
【請求項３０】
前記ソフトウエアスケジューリングエージェントに前記発生を通知する手段では、
パブリッシャへ前記発生の指示を送る手段と、
前記パブリッシャからサブスクライブリスナへ前記発生をパブリッシュするための手段と、
前記サブスクライブリスナから前記ソフトウエアスケジューリングエージェントを呼び出すための手段と、を含む、請求項２６記載の装置。
【請求項３１】
応答して前記アクションをスケジューリングするための前記手段は、進行中のスケジュールアポイントメントを中止すること、スケジュールアポイントメントが開始する前にスケジュールアポイントメントをキャンセルすること、新たなアポイントメントをスケジューリングすること、スケジュールアポイントメントを開始すること、スケジュールアポイントメントの前記持続時間を拡張すること、スケジュールアポイントメントの前記持続時間を縮めること、スケジュールアポイントメントをシフトすること、新たな処理能力を追加すること、古い処理能力を削除すること、アラームを設定すること、アラームをキャンセルすること、アポイントメントの状態を変更することのうちの少なくとも一つのための手段を含む、請求項２６記載の装置。
【請求項３２】
前記所定のイベントと関連するアポイントメントを積極的にスケジューリングする手段を更に含む、請求項２６記載の装置。
【請求項３３】
プロセスフローと、
コンピュータシステムと、を含み、
前記コンピュータシステムは、当該コンピュータシステム上に存在する複数のソフトウエアスケジューリングエージェントを含み、前記ソフトウエアスケジューリングエージェントは複数の所定のイベントに応じた前記プロセスフローにおけるアクティビティに対するアポイントメントに応答してスケジューリングすることが可能である、自動化製造環境。
【請求項３４】
前記プロセスフローにおいて前記所定のイベントのうちの一つの発生を検出し、一つのソフトウエアエージェントに当該発生を通知することができる、複数のパブリッシャ及びサブスクライバを更に有する、請求項３３記載の自動化製造環境。
【請求項３５】
前記所定のイベントの前記発生を検出するステップでは、計画されていないイベントあるいは予想外のイベントを検出する、請求項３４記載の自動化製造環境。
【請求項３６】
前記所定のイベントの発生の検出は、アポイントメント状態の変更、ファクトリー状態の変更、アラームイベントのうちの一つの発生を検出するためのステップを含む、請求項３４記載の自動化製造環境。
【請求項３７】
前記所定のイベントを検出は、アポイントメントのキャンセル、アポイントメントの拡張、アポイントメントの縮小、アポイントメントの中止、アポイントメントの状態を変更、アポイントメントのシフト、アポイントメントのオーバーライド、トランスポート時間のアップデート、ロード時間のアップデート、アンロード時間のアップデート、ロットをバッチに結合する、ロットがバッチから離れる、バッチからのロットをキャンセルする、コッミットメントウインドウをアップデートする、ダウンタイムの発生を検出する、マシンが利用可能になる、ＰＭ／Ｑｕａｌが検出される、チェンバが故障する、チェンバが利用可能になる、マシン能力の変更、マシン種類の変更、プロセスの追加、プロセスオペレーションの追加、ロットがマシンに到達する、ロットプロセスを変更する、ロットが保留で配置される、ロットが保留から開放される、ロットの優先事項の変更、ロットの期日変更、ロットのウエハ数変更、ロットのプロセスオペレーション変更、ロットがマシンを外れる、アポイントメント開始時刻に対するアラーム始動、アポイントメント終了時刻に対するアラーム始動のうち少なくとも一つを検出する、請求項３４記載の自動化製造環境。
【請求項３８】
前記ソフトウエアスケジューリングエージェントに前記発生を通知するステップでは、
パブリッシャへ前記発生の指示を送り、
パブリッシャからサブスクライブリスナへ前記発生をパブリッシュし、
前記サブスクライブリスナから前記ソフトウエアスケジューリングエージェントを呼び出す、請求項３４記載の自動化製造環境。
【請求項３９】
応答して前記アクションをスケジューリングするステップは、進行中のスケジュールアポイントメントを中止すること、スケジュールアポイントメントが開始する前にスケジュールアポイントメントをキャンセルすること、新たなアポイントメントをスケジューリングすること、スケジュールアポイントメントを開始すること、スケジュールアポイントメントの前記持続時間を拡張すること、スケジュールアポイントメントの前記持続時間を縮めること、スケジュールアポイントメントをシフトすること、新たな処理能力を追加すること、古い処理能力を削除すること、アラームを設定すること、アラームをキャンセルすること、アポイントメントの前記状態を変更すること、のうちの少なくとも一つのステップを含む、請求項３４記載の自動化製造環境。
【請求項４０】
前記所定のイベントと関連するアポイントメントを積極的にスケジューリングするステップを更に含む、請求項３４記載の自動化製造環境。
【請求項４１】
生産実行システムと自動化マテリアルハンドリングシステムとの少なくとも一つを更に有する、請求項３３記載の自動化製造環境。
【請求項４２】
前記コンピュータシステムは、ローカルエリアネットワーク、広域ネットワーク、イントラネット、インターネットの一部、のうちの少なくとも一つである、請求項３３記載の自動化製造環境。
【請求項４３】
前記プロセスフローは、一部の半導体製造設備を含む、請求項３３記載の自動化製造環境。
【請求項４４】
複数のワークピースと、
前記ワークピースが処理される複数のプロセスステーションと、
前記プロセスステーションを介して前記ワークピースを処理するためのアポイントメントをスケジューリングすることができる複数のソフトウエアスケジューリングエージェントとを含み、前記ソフトウエアスケジューリングエージェントは複数の所定のイベントに応じて応答的にスケジューリングすることができる、自動化製造環境。
【請求項４５】
前記プロセスフローにおいて前記所定のイベントのうちの一つの発生を検出し、一つのソフトウエアエージェントに当該発生を通知することができる、複数のパブリッシャ及びサブスクライバを更に含む、請求項４４記載の自動化製造環境。
【請求項４６】
前記所定のイベントの前記発生の検出では、計画されていないイベントあるいは予想外のイベントを検出する、請求項４５記載の自動化製造環境。
【請求項４７】
前記所定のイベントの発生の検出では、アポイントメント状態の変更、ファクトリー状態の変更、アラームイベントのうちの一つの発生を検出する、請求項４５記載の自動化製造環境。
【請求項４８】
前記所定のイベントの検出では、アポイントメントのキャンセル、アポイントメントの拡張、アポイントメントの縮小、アポイントメントの中止、アポイントメントの状態を変更、アポイントメントのシフト、アポイントメントのオーバーライド、トランスポート時間のアップデート、ロード時間のアップデート、アンロード時間のアップデート、ロットをバッチに結合する、ロットがバッチから離れる、バッチからのロットをキャンセルする、コッミットメントウインドウをアップデートする、ダウンタイムの発生を検出する、マシンが利用可能になる、ＰＭ／Ｑｕａｌが検出される、チェンバが故障する、チェンバが利用可能になる、マシン能力の変更、マシン種類の変更、プロセスの追加、プロセスオペレーションの追加、ロットがマシンに到達する、ロットプロセスを変更する、ロットが保留で配置される、ロットが保留から開放される、ロットの優先事項の変更、ロットの期日変更、ロットのウエハ数変更、ロットのプロセスオペレーション変更、ロットがマシンを外れる、アポイントメント開始時刻に対するアラーム始動、アポイントメント終了時刻に対するアラーム始動のうち少なくとも一つを検出する、請求項４５記載の自動化製造環境。
【請求項４９】
前記ソフトウエアスケジューリングエージェントに前記発生を通知するステップは、
パブリッシャへ前記発生の指示を送り、
前記パブリッシャからサブスクライブリスナへ前記発生をパブリッシュし、
前記サブスクライブリスナから前記ソフトウエアスケジューリングエージェントを呼び出す、請求項４５記載の自動化製造環境。
【請求項５０】
前記応答的にアクションをスケジューリングするステップは、進行中のスケジュールアポイントメントを中止すること、スケジュールアポイントメントが開始する前にスケジュールアポイントメントをキャンセルすること、新たなアポイントメントをスケジューリングすること、スケジュールアポイントメントを開始すること、スケジュールアポイントメントの前記持続時間を拡張すること、スケジュールアポイントメントの前記持続時間を縮めること、スケジュールアポイントメントをシフトすること、新たな処理能力を追加すること、古い処理能力を削除すること、アラームを設定すること、アラームをキャンセルすること、アポイントメントの前記状態を変更することのうちの少なくとも一つのステップを含む、請求項４５記載の自動化製造環境。
【請求項５１】
前記所定のイベントと関連するアポイントメントを積極的にスケジューリングするステップを更に含む、請求項４５記載の自動化製造環境。
【請求項５２】
生産実行システムと自動化マテリアルハンドリングシステムとの少なくとも一つを更に含む、請求項４４記載の自動化製造環境。
【請求項５３】
前記コンピュータシステムは、ローカルエリアネットワーク、広域ネットワーク、システムエリアネットワーク、イントラネット、あるいはインターネットの一部、のうちの少なくとも一つである、請求項４４記載の自動化製造環境。