【手続補正書】
【提出日】平成17年11月14日(2005.11.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微細エッチング工程によって得られる実質的に平面的な機械構造の二つの機械要素の動作ギャップを調整するための方法であって、前記機械要素は要素及び別の要素によってそれぞれ形成され、各々は実質的に平面的な表面で構成され、それらの表面は互いに対向して配置され、かつ前記微細エッチング工程の解像度に実質的に等しい残留ギャップを有し、前記方法は前記要素の一つに前記構造内の固定基準位置を少なくとも割り当てることで構成される方法において、
前記残留ギャップの方向の少なくとも一つの自由度に従って前記要素に対して前記別の要素を自由にすることと、
前記別の要素を弾性的リンクによって前記固定基準位置に接続し、互いに対向して配置された実質的に平面的な表面の各々の間にあるギャップが前記残留ギャップに実質的に等しくなる静止位置を前記別の要素が前記弾性的リンクの存在下で占めることと、
前記静止位置と動作位置を構成する隣接位置との間で前記別の要素の最大変位振幅を規定する所定値の隣接ギャップを前記別の要素と少なくとも一つのストップ・ブロックとの間に与えるべく、前記構造内の前記固定基準位置を構成する前記要素と自由にされた前記別の要素との間に少なくとも一つのストップ・ブロックを設置することと、
前記隣接位置が前記動作位置を構成し、それにより前記残留ギャップが前記残留ギャップと前記隣接ギャップとの差に等しい動作ギャップにまで減少し前記微細エッチング工程の解像度より小となることが可能である限り、前記別の要素が前記弾性的リンクに拮抗する変位を受けるようにすることと、
で更に構成されることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記要素及び前記別の要素は導電性材料で構成され、前記別の要素が前記弾性的リンクに拮抗する変位を受けるようにすることで構成されるステップは、前記別の要素と前記要素に接続された固定電極との間に電位差を供給することと、前記要素に接続された前記固定電極、前記他の要素、前記少なくとも一つの弾性的リンクで形成されるアセンブリと、調整可能なエア・ギャップを有する静電気的モータを構成する供給された電位差とで構成されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記構造は電気機械的共振器の構造を構成し、前記要素は共振器要素を構成し、別の要素は信号電極を構成し、前記弾性的リンクは誘電体基板上に実質的に平面的な導電性構造によって形成され、前記要素の機械的共振周波数は側方振動モードにおける共振器の信号の動作周波数を示すことを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
誘電体基板上に微細エッチング工程によって形成されること及び実質的に平面的な構造に従って配置されることで少なくとも構成される調整可能な側方エア・ギャップを有する電気機械的共振回路であって、一つの導電性共振器要素は固定基準位置を有する構造に固定される共振回路において、
互いに対向して配置され微細エッチング工程の解像度に実質的に等しい残留ギャップによって分離された実質的に平面的な表面を各々が有する、信号電極を構成するもう一つの要素、前記共振器要素、及び別の要素であって、前記別の要素は前記残留ギャップの方向に自由度を有する、要素と、
前記信号電極を構成する前記別の要素を固定するための要素と、
前記信号電極を構成する前記別の要素と前記信号電極を構成する前記別の要素を固定するための要素とを接続する少なくとも一つの弾性的リンクであって、前記少なくとも一つの弾性的リンクの存在下で、互いに対向して配置された実質的に平面的な表面の各々の間にあるギャップが前記残留ギャップに実質的に等しくなる静止位置を前記信号電極を構成する前記別の要素が占める、少なくとも一つの弾性的リンクと、
前記静止位置と動作位置を構成する隣接位置との間で前記別の要素の最大変位振幅を規定する所定値の隣接ギャップを前記別の要素と少なくとも一つのストップ・ブロックとの間に与えるべく、基準位置を有する構造と前記信号電極を構成する前記別の要素との間に設置された、少なくとも一つのストップ・ブロックと、
前記信号電極を構成する前記別の要素と前記共振器を構成する要素に対して固定された電極との間に電位差を供給するための手段であって、前記共振器要素、前記信号電極を構成する前記別の要素、前記少なくとも一つの弾性的リンク、及び前記電位差を供給するための手段によって形成されるアセンブリは供給された電位差の関数として調整可能なエア・ギャップを有する静電気的モータを構成し、それにより前記残留ギャップが前記残留ギャップと前記隣接ギャップとの差に等しい動作ギャップにまで減少し前記微細エッチング工程の解像度より小となることが可能となる、電位差を供給するための手段と、
で更に構成されることを特徴とする共振回路。
【請求項５】
前記要素の機械的共振周波数は側方振動モードにおいて前記共振回路の信号の動作周波数を示すことを特徴とする請求項４に記載の共振回路。
【請求項６】
前記残留ギャップの方向に実質的に平行な縦の対称軸に対して実質的に対称な構造を有することを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の共振回路。
【請求項７】
前記縦の対称軸に対して対称に配置され、
各々が弾性的リンクを与える第１及び第２のスプリングと、
前記信号電極を構成する前記別の要素が前記動作位置に保持されることを可能とする二つのストップ・ブロックのセットと、
で構成されることを特徴とする請求項６に記載の共振回路。
【請求項８】
第１の共振回路に対向し対称的に配置される請求項４から７のいずれか一項に従う第１の共振回路と、
前記第１の共振回路に対して逆様に配置される請求項４から７のいずれか一項に従う第２の共振回路と、
で構成されることを特徴とする側方エア・ギャップを有する電気機械的共振器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明が関連する、調整可能な側方エア・ギャップを有する電気機械的共振回路は、誘電体基板上に微細エッチング工程によって形成されること及び実質的に平面的な構造に従って配置されることで少なくとも構成され、一つの導電性共振器要素は固定基準位置を有する構造に固定され、一つの別の要素は信号電極を構成し、共振器要素及び別の要素はそれぞれ、互いに対向して配置され微細エッチング工程の解像度に実質的に等しい残留ギャップによって分離される実質的に平面的な表面を有する点で注目に値する。別の要素は、残留ギャップの方向に自由度を持つ。信号電極を構成する別の要素を固定するための要素が与えられ、少なくとも一つの弾性的リンクが、信号電極を構成する別の要素と固定する要素を接続する。互いに対向して配置された実質的に平面的な表面の各々の間にあるギャップが残留ギャップに実質的に等しくなっている静止位置を信号電極を構成する別の要素が弾性的リンクの存在の下で占める。静止位置と動作位置を構成する隣接位置との間にある別の要素の最大変位振幅を規定する隣接ギャップを別の要素とストップ・ブロックの間に与えるべく、固定基準位置を有する構造と信号電極を構成する別の要素との間にストップ・ブロックも設置する。信号電極を構成する別の要素と共振器を構成する要素に対して固定された電極との間に電位差を供給するための回路によって、供給された電位差の関数として調整可能なエア・ギャップを有する静電気的モータを形成することが可能となる。この静電気的モータは、共振器素子又は予備電極、信号電極を構成する別の電極、及び弾性的リンクによって構成される。静電気的モータによって、残留ギャップは、その残留ギャップと隣接ギャップとの差に等しい動作ギャップにまで減少し、微細エッチング工程の解像度より小となることが可能となる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
一般に、添付図面（図１〜図４の全てを指す）を参照して考察しているのは、例えば、微細エッチングによって得られる実質的に平面的な微細機械構造上に形成される電気機械的共振器のような微細機械構造である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
別の要素ＯＥ及び共振器要素Ｅは、互いに対向して配置される平面的な端面及び表面を有し、静止位置においては、すなわち信号電極を構成する別の要素ＯＥの変位の適用がない場合には、前述の残留ギャップだけ分離している。別の要素ＯＥは、上述の残留ギャップの方向に自由度を有するべく、固定基準位置ＲＦから分離している、すなわち、切り離されている。しかしながら、それは、蛇行するポリシリコン構造によって形成された、例えばスプリングＳのような弾性的リンクによって接続されている。前述した蛇行構造は、上述した共振回路の縦の対称軸Ｘ’Ｘに関して対称的に配置された二つの基本的蛇行構造によって構成することができる。蛇行構造は、固定基準位置を構成する固定要素に信号電極を構成する別の要素ＯＥを接続する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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