【事件の表示】
　特願２００６−３４３７８７「インクジェットプリントヘッド及びその駆動方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年　８月　２日出願公開、特開２００７−１９０９１１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯  
　本願は、平成１８年１２月２１日（パリ条約による優先権主張２００６年１月２１日、大韓民国）の出願であって、原審において、平成２０年１２月１９日付けで拒絶の理由が通知され、平成２１年３月２４日付けで手続補正がなされ、同年５月２２日付けで最後の拒絶の理由が通知され、同年８月２６日付けで手続補正がなされ、同年９月２８日付けで同年８月２６日付け特許請求の範囲及び明細書についての手続補正が却下されるとともに同日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成２２年１月２６日に拒絶査定不服審判の請求がなされると同時に手続補正がなされたものである。
　その後当審において、平成２３年３月１５日付けで拒絶の理由（以下「当審拒絶理由」という。）が通知され、同年６月１４日付けで手続補正がなされたものである。 
 　 
第２　本願発明
　本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２３年６月１４日付け手続補正によって補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項によって特定されるとおりの次のものであると認める。
「【請求項１】
　圧力チャンバを有する流路形成基板と、前記流路形成基板の上部に形成されて、前記圧力チャンバにインクを吐出するための駆動力を提供する圧電アクチュエータとを備えるインクジェットプリントヘッドにおいて、
　前記圧電アクチュエータは、
　前記流路形成基板の上部に前記各々の圧力チャンバに対応するように隙間を空けて配置されつつ各々が長尺に設けられる圧電膜と、
　前記各々の圧電膜の長手方向に交互に配列される複数の共通電極及び複数の駆動電極と、
　前記流路形成基板と前記圧電アクチュエータとの間に設けられる絶縁層と、を備え、
　前記圧電膜の長手方向に直角方向に、複数の圧力チャンバが並んで配置され、
　前記複数の共通電極及び前記複数の駆動電極は、長尺な前記圧電膜同士の隙間に設けられる前記絶縁層の上部に形成されるとともに当該絶縁層の上部から前記圧電膜の上部に延びて形成されることを特徴とするインクジェットプリントヘッド。」
　　
第３　引用刊行物
１　本願の優先日前に頒布され、当審拒絶理由において引用された刊行物である、特開２００２−５９５４４号公報（以下「引用例１」という。）には、以下の記載がある。（下線は審決で付した。以下同じ。）
（１ａ）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、
インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部に振動板を介して圧電素子を形成して、圧電素子の変位によりインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド
（１ｂ）「【００４９】（実施形態１）図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、圧力発生室の並設方向の断面図及びそのＡ−Ａ’断面図である。
【００５０】図示するように、
流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなり、その一方の面には異方性エッチングすることにより複数の隔壁１１により区画された圧力発生室１２が形成されている
（１ｃ）「【００５５】また、各圧力発生室１２の長手方向両端部近傍の充填層１００には、インクの流路となるインク連通路１０１，１０２が開口している。このインク連通路１０１，１０２は、圧力発生室１２の幅より小さい径で充填層１００を貫通して設けられており、エキシマレーザ等によるレーザ加工、あるいはドライエッチング等により形成されている。」
（１ｄ）「【００６３】このように接合された接合基板１１０のインク連通孔１１１，１１２が開口する面には、各インク連通孔１１１に連通するノズル開口２１と、各インク連通孔１１２に連通するインク供給連通口２２とが穿設されたノズルプレート２０が接合されている。このノズルプレート２０の接合方法は、例えば、接着剤又は熱溶着フィルムを介した接着や陽極接合による接合等、特に限定されない。なお、ノズルプレート２０は、厚さが例えば、０．１〜１ｍｍで、線膨張係数が３００℃以下で、例えば２．５〜４．５［×１０-6／℃］であるガラスセラミックスからなる。ノズルプレート２０は、一方の面で流路形成基板１０を覆い、シリコン単結晶基板である流路形成基板１０を衝撃や外力から保護する補強板の役目も果たしている。
【００６４】ここで、インク滴吐出圧力をインクに与える圧力発生室１２の大きさと、インク滴を吐出するノズル開口２１の大きさとは、吐出するインク滴の量、吐出スピード、吐出周波数に応じて最適化される。例えば、１インチ当たり３６０個のインク滴を記録する場合、ノズル開口２１は数十μｍの直径で精度よく形成する必要がある。
【００６５】また、各圧力発生室１２と後述する共通インク室３１とは、ノズルプレート２０に形成されたインク供給連通口２２を介して連通されており、インクはこのインク供給連通口２２を介して共通インク室３１から供給され、各圧力発生室１２に分配される。
【００６６】また、共通インク室３１に供給されるインクは、ノズルプレート２０の共通インク室３１に対向する領域に形成されたインク導入口２３により供給される。」
（１ｅ）「【００６９】一方、
圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０上には、例えば、二酸化シリコン等の絶縁層からなる、厚さ１〜２μｍの弾性膜５０が設けられている。この弾性膜５０は、一方の面で圧力発生室１２の一壁面を構成している
【００７０】
このような弾性膜５０の上の各圧力発生室１２に相対向する領域には、厚さが例えば、約０．５μｍの下電極膜６０と、厚さが例えば、約１μｍの圧電体層７０と、厚さが例えば、約０．１μｍの上電極膜８０とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、下電極膜６０は圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、各圧力発生室毎に圧電体能動部が形成されていることになる
【００７１】また、圧電素子３００の個別電極である上電極膜８０は、上電極膜８０上から弾性膜５０上まで延設されたリード電極９０を介して図示しない外部配線と接続されている。」
（１ｆ）「【００９３】
このように構成したインクジェット式記録ヘッドは、図示しない外部インク供給手段と接続したインク導入口２３からインクを取り込み、共通インク室３１からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、図示しない外部の駆動回路からの記録信号に従い、下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、下電極膜６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する
（１ｇ）図１及び図２から、
圧電体層７０が、流路形成基板１０の上部に各々の圧力発生室１２に対応するように隙間を空けて配置されつつ各々が長尺に設けられていること、及び、圧電体層７０の長手方向に直角方向に、複数の圧力発生室１２が並んで配置されていること
　　
　上記記載事項（１ａ）〜（１ｇ）及び図面の記載からみて、引用例１には、以下の発明が記載されているものと認められる。 
「インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部に振動板を介して圧電素子を形成して、圧電素子の変位によりインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドであって、
　シリコン単結晶基板からなり、その一方の面には異方性エッチングすることにより複数の隔壁１１により区画された圧力発生室１２が形成されている流路形成基板１０を備え、
　圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０上には、例えば、二酸化シリコン等の絶縁層からなる、厚さ１〜２μｍの弾性膜５０が設けられていて、この弾性膜５０は、一方の面で圧力発生室１２の一壁面を構成しており、
　このような弾性膜５０の上の各圧力発生室１２に相対向する領域には、厚さが例えば、約０．５μｍの下電極膜６０と、厚さが例えば、約１μｍの圧電体層７０と、厚さが例えば、約０．１μｍの上電極膜８０とが、積層形成されて、圧電素子３００を構成しており、
　圧電素子３００の下電極膜６０を共通電極とし、上電極膜８０及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして、上電極膜８０を個別電極とし、
　パターニングされた上電極膜８０及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部といい、各圧力発生室毎に圧電体能動部が形成されていることになり、
　圧電体層７０が、流路形成基板１０の上部に各々の圧力発生室１２に対応するように隙間を空けて配置されつつ各々が長尺に設けられていて、
　圧電体層７０の長手方向に直角方向に、複数の圧力発生室１２が並んで配置されており、
　外部インク供給手段と接続したインク導入口２３からインクを取り込み、共通インク室３１からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、外部の駆動回路からの記録信号に従い、下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、下電極膜６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する、
インクジェット式記録ヘッド。」（以下「引用発明１」という。）
 　　
２　本願の優先日前に頒布され、当審拒絶理由において引用された刊行物である、特開平６−３２０７２３号公報（以下「引用例２」という。）には、以下の記載がある。
（２ａ）「【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明のインクジェットヘッドは、コンピュータ、ワードプロセッサ、ファクシミリ等に接続されるプリンタのうち、インク滴を噴射して被印画物上に画像を形成するインクジェットプリンタに使用されるヘッドに関するものである
（２ｂ）「【０００８】このようにして得られたインクジェットヘッドは、
下電極８１と上電極８２間から供給された電気エネルギーによって薄膜圧電素子６が変形することで圧力室１の圧力を高め、圧力室１に充填されたインクをインク滴７として吐出することができるものである
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながらこのような構成のインクジェットヘッドでは、図１１に於いて下電極８１と上電極８２間で圧電素子６を介する電気エネルギーのリーク、即ち電極間でのショートによって歩留りが低下してしまうといった課題を有していた
【００１０】図１２（ａ）〜（ｃ）は、図１１に於ける圧力室１上の下電極８１、圧電素子６上電極８２を形成する場合の製造プロセスを示す断面図である。図１２（ａ）に於いて、まず振動板５上に下電極８１及び、薄膜圧電素子６を成膜する。この状態では、前述のように薄膜圧電素子６はアモルファス（非晶質）状態であり、電気エネルギーによる結晶構造の変化（圧電性）は示さない。従って、薄膜圧電素子６の場合も、一般的な圧電素子の固相反応による結晶化と同様に、焼成を行うことにより、結晶化を行う。図１２（ｂ）は、焼成を行った場合の薄膜圧電素子６の微細構造をモデル化して示してある。薄膜圧電素子６は、理想的には単結晶薄膜に結晶化することが望ましいが、一般的には図１２（ｂ）のごとく、微細な結晶粒６１の集合体にとして結晶化する。この時、薄膜圧電素子６には結晶粒６１間でピンホール１０が形成されやすい。この後に図１２（ｃ）のごとく、上電極８２を成膜するが、上電極８２は、ピンホール１０を通して下電極８１まで到達してしまうため、上電極８２と、下電極８１がショートすることになり、上電極８２と下電極８１間に電位差を与えることができなくなってしまうことになる。
【００１１】
更に、上電極８２により（審決注：「による」は「により」の明らかな誤記であるから訂正して摘記した。）駆動力が低下してしまうといった課題も有している
【００１２】これについて説明するのが図１３（ａ）〜図１３（ｂ）のモデル図であって、５、６、８１、８２は図１１と同様である。また、図中の矢印は力の方向を示している。まず、図１３（ａ）のごとく、上電極８２と下電極８３間から供給される電気エネルギーにより、薄膜圧電素子６は膜面方向と平行に収縮する力が働く。一方、振動板５、上電極８２、下電極８１は薄膜圧電素子６の変形に反発する反作用力が働く。この結果、バイメタル構造と同様にそれぞれの膜には膜面方向と直角方向の応力が生じ、図１３（ｂ）のごとく図中では下方向に変形することになる。この時、振動板５、下電極８１、薄膜圧電素子６の応力方向は図中では下方向であるのに対し、上電極８２の応力の方向は図中で上方向になってしまう。従って、本来必要な下方向の力を低下させることになる。
【００１３】
【課題を解決するための手段】画像情報に応じて複数のノズルからインク滴を噴射することで被印画物に記録を行うインクジェットプリンタ用のヘッドであって、少なくとも複数のノズルと、該ノズルに対応した複数の圧力室と、圧力室の一部に形成された振動板と、振動板を変形させて圧力室に圧力を発生させる圧電素子と、前記圧電素子に個々に接続され、電気エネルギーを供給する信号電極と、前記圧電素子に共通に接続された共通電極と、圧力室にインクを供給するインク供給口と、から成るインクジェットヘッドに於いて、前記圧電素子に接続された前記信号電極及び共通電極が櫛歯状構造であることを特徴とする。」
（２ｃ）「【００２０】（実施例１）図１は本発明のインクジェットヘッドの分解斜視図であって、
１は圧力室、２はノズル、２１はノズルプレート、３はインク供給口、４はインク流路、５は振動板、６は薄膜圧電素子、８３は共通電極、８４は信号電極、９は基板である
【００２１】
基板９を加工して形成された圧力室１に対応して、信号電極８４及び、共通電極８３による櫛歯構造１１が形成され、櫛歯構造１１によって薄膜圧電素子６を収縮、伸張させる。この薄膜圧電素子６の収縮、伸張によって、前述のごとく振動板５が薄膜圧電素子６と共に振動し、圧力室１内の圧力を変化させる
（２ｄ）「【００２７】図４（ａ）〜図４（ｃ）は本発明のインクジェットヘッドの動作原理を示すモデル図である。図４（ａ）は分極時のモデル図を示し、まず共通電極８３をマイナス、信号電極８４をプラスとして、分極処理を行う。この分極処理によって薄膜圧電素子６内では共通電極８３側をプラス、信号電極８４側をマイナスとした、薄膜圧電素子６の平面方向の分極が起こる。この状態を平面で見たものが図４（ｂ）である。このようにして分極処理を行った薄膜圧電素子６を駆動する場合、図４（ｃ）のごとく、分極処理の場合の電界と逆の電界をかけることで行う。即ち、共通電極８３をプラス、信号電極８４をマイナスにして電圧を印加すると、薄膜圧電素子６は、共通電極８３、信号電極８４間でそれぞれ収縮する力が働く。（同時に図４（ｃ）に於いて上下方向に伸張する力も働く）これにより、従来技術２と同様に図４（ｃ）に於いて下方向の応力が働き、下方向にたわむことになる。
【００２８】また、図１３（ｂ）のように、従来技術２では上電極８２によって、たわみ方向と逆の応力が発生し、駆動力を低下させることになっていたのに対し、本発明のインクジェットヘッドの場合、図４（ｃ）で明らかなように、
薄膜圧電素子６上の電極は分割されていることから、電極による上方向の発生力は少なく、駆動力の低下も少ない
【００２９】
本発明のようにして得られたインクジェットヘッドは、上下に電極を配さず、一平面上に配された電極によって従来技術２と同様の動作が可能になるため、電極間のショートが無いため、歩留りがよく低コストのインクジェットヘッドの提供が可能である。また、電極面積の低下が可能になることにより（審決注：「による」は「により」の明らかな誤記であるから訂正して摘記した。）駆動力低下が低くなり、エネルギー効率の高いインクジェットヘッドが実現できる
（２ｅ）「【００３４】図８（ａ）〜図８（ｂ）はそれぞれ図１の圧力室部分の拡大平面図と断面図であって、１〜２、２１、５〜６、９、８３〜８４は図１と同様である。また、８３−１は共通電極８３の櫛歯共通部、８４−１は信号電極８４の櫛歯共通部、１２は隔壁である。図８（ａ）に於いて、共通電極８３及び信号電極８４のうち、
共通電極の櫛歯共通部８３−１及び信号電極の櫛歯共通部８４−１は面積が大きく、圧力室１上の振動部に形成された場合、駆動効率を低下させやすい
隣接する圧力室１の隔壁１１上に共通電極の櫛歯共通部８３−１及び、信号電極の櫛歯共通部８４−１を配することで、駆動効率を低下させず
（２ｆ）上記（２ｅ）及び図１〜図３、図８の記載からみて、
圧力室１を形成した基板９の上部に振動板５及び圧電素子６が積層され、共通電極８３及び信号電極８４のうち、共通電極の櫛歯共通部８３−１及び信号電極の櫛歯共通部８４−１は面積が大きく、圧力室１上の振動部に形成された場合、駆動効率を低下させやすいので、隣接する圧力室１の隔壁１１上に配することで、駆動効率を低下させないようにし、共通電極の櫛歯共通部８３−１から延びた共通電極８３の部分及び信号電極の櫛歯共通部８４−１から延びた信号電極８４の部分は、隔壁１１上から前記圧力室１の上部に延びて形成されていること
　　
　上記記載事項（２ａ）〜（２ｆ）及び図面の記載からみて、引用例２には、以下の発明が記載されているものと認められる。 
「インク滴を噴射して被印画物上に画像を形成するインクジェットプリンタに使用されるインクジェットヘッドであって、
　下電極８１と上電極８２間から供給された電気エネルギーによって薄膜圧電素子６が変形することで圧力室１の圧力を高め、圧力室１に充填されたインクをインク滴７として吐出することができるものにおいては、
　下電極８１と上電極８２間で圧電素子６を介する電気エネルギーのリーク、即ち電極間でのショートによって歩留りが低下してしまうといった課題や、上電極８２により駆動力が低下してしまうといった課題を有していることから、
　上下に電極を配さず、一平面上に配された電極によって従来技術と同様の動作が可能になり、電極間のショートが無いため、歩留りがよく低コストでの提供が可能であって、電極面積の低下が可能になることにより駆動力低下が低くなり、高いエネルギー効率を実現できるインクジェットヘッドであって、
　圧力室１、ノズル２、ノズルプレート２１、インク供給口３、インク流路４、振動板５、薄膜圧電素子６、共通電極８３、信号電極８４、基板９からなり、
　基板９を加工して形成された圧力室１に対応して、信号電極８４及び、共通電極８３による櫛歯構造１１が形成され、櫛歯構造１１によって薄膜圧電素子６を収縮、伸張させ、この薄膜圧電素子６の収縮、伸張によって、振動板５が薄膜圧電素子６と共に振動し、圧力室１内の圧力を変化させるものであり、
　圧力室１を形成した基板９の上部に振動板５及び圧電素子６が積層され、共通電極８３及び信号電極８４のうち、共通電極の櫛歯共通部８３−１及び信号電極の櫛歯共通部８４−１は面積が大きく、圧力室１上の振動部に形成された場合、駆動効率を低下させやすいので、隣接する圧力室１の隔壁１１上に配することで、駆動効率を低下させないようにし、共通電極の櫛歯共通部８３−１から延びた共通電極８３の部分及び信号電極の櫛歯共通部８４−１から延びた信号電極８４の部分は、隔壁１１上から前記圧力室１の上部に延びて形成されており、
　薄膜圧電素子６上の電極は分割されていることから、電極による上方向の発生力は少なく、駆動力の低下も少ない、
インクジェットヘッド。」（以下「引用発明２」という。）
　　
第４　対比・判断
　本願発明と引用発明１とを対比する。
（１）引用発明１の「インクジェット式記録ヘッド」が本願発明の「インクジェットプリントヘッド」に、以下同様に「圧力発生室１２」が「圧力チャンバ」に、「流路形成基板１０」が「流路形成基板」に、「インク」が「インク」に、「圧電素子３００」が「圧電アクチュエータ」に、「圧電体層７０」が「圧電膜」に、「『共通電極』とされた『下電極膜６０』」が「共通電極」に、「『個別電極』とされた『上電極膜８０』」が「駆動電極」に、「『絶縁層』からなる『弾性膜５０』」が「絶縁層」に、それぞれ相当している。
（２）引用発明１の「絶縁層（弾性膜５０）」は、「流路形成基板（流路形成基板１０）上に」「設けられていて」、「絶縁層（弾性膜５０）の上の各圧力チャンバ（圧力発生室１２）に相対向する領域には、厚さが例えば、約０．５μｍの共通電極（下電極膜６０）と、厚さが例えば、約１μｍの圧電膜（圧電体層７０）と、厚さが例えば、約０．１μｍの駆動電極（上電極膜８０）とが、積層形成されて、圧電アクチュエータ（圧電素子３００）を構成して」いるから、引用発明１の「絶縁層（弾性膜５０）」は、「流路形成基板（流路形成基板１０）」と「圧電アクチュエータ（圧電素子３００）」との間に設けられる点で、本願発明の「絶縁層」と一致する。
（３）上記（２）から、引用発明１の「共通電極（下電極膜６０）」及び「駆動電極（上電極膜８０）」は、「『絶縁層（弾性膜５０）』の上部に形成される」点で、本願発明の「共通電極」及び「駆動電極」と一致する。
　　
　上記（１）〜（３）から、本願発明と、引用発明１は、以下の点で一致している。 
「圧力チャンバを有する流路形成基板と、前記流路形成基板の上部に形成されて、前記圧力チャンバにインクを吐出するための駆動力を提供する圧電アクチュエータとを備えるインクジェットプリントヘッドにおいて、
　前記圧電アクチュエータは、
　前記流路形成基板の上部に前記各々の圧力チャンバに対応するように隙間を空けて配置されつつ各々が長尺に設けられる圧電膜と、
　共通電極及び複数の駆動電極と、
　前記流路形成基板と前記圧電アクチュエータとの間に設けられる絶縁層と、を備え、
　前記圧電膜の長手方向に直角方向に、複数の圧力チャンバが並んで配置され、
　前記共通電極及び前記複数の駆動電極は、前記絶縁層の上部に形成されるインクジェットプリントヘッド。」 
　　
　そして、以下の点で相違している。 
（相違点）
　「共通電極及び複数の駆動電極」について、本願発明では共通電極が「複数の共通電極」であり、「前記各々の圧電膜の長手方向に交互に配列され」、「長尺な前記圧電膜同士の隙間に設けられる前記絶縁層の上部に形成されるとともに当該絶縁層の上部から前記圧電膜の上部に延びて形成される」のに対し、引用発明１では共通電極が「複数の共通電極」ではなく、「前記各々の圧電膜の長手方向に交互に配列され」てはおらず、「前記絶縁層の上部に形成される」ものではあるが、「長尺な前記圧電膜同士の隙間に設けられる前記絶縁層の上部に形成されるとともに当該絶縁層の上部から前記圧電膜の上部に延びて形成される」ものでない点。
　　
　上記相違点について検討する。 
（相違点について） 
　引用例２には、
「インク滴を噴射して被印画物上に画像を形成するインクジェットプリンタに使用されるインクジェットヘッドであって、
　下電極８１と上電極８２間から供給された電気エネルギーによって薄膜圧電素子６が変形することで圧力室１の圧力を高め、圧力室１に充填されたインクをインク滴７として吐出することができるものにおいては、
　下電極８１と上電極８２間で圧電素子６を介する電気エネルギーのリーク、即ち電極間でのショートによって歩留りが低下してしまうといった課題や、上電極８２により駆動力が低下してしまうといった課題を有していることから、
　上下に電極を配さず、一平面上に配された電極によって従来技術と同様の動作が可能になり、電極間のショートが無いため、歩留りがよく低コストでの提供が可能であって、電極面積の低下が可能になることにより駆動力低下が低くなり、高いエネルギー効率を実現できるインクジェットヘッドであって、
　圧力室１、ノズル２、ノズルプレート２１、インク供給口３、インク流路４、振動板５、薄膜圧電素子６、共通電極８３、信号電極８４、基板９からなり、
　基板９を加工して形成された圧力室１に対応して、信号電極８４及び、共通電極８３による櫛歯構造１１が形成され、櫛歯構造１１によって薄膜圧電素子６を収縮、伸張させ、この薄膜圧電素子６の収縮、伸張によって、振動板５が薄膜圧電素子６と共に振動し、圧力室１内の圧力を変化させるものであり、
　圧力室１を形成した基板９の上部に振動板５及び圧電素子６が積層され、共通電極８３及び信号電極８４のうち、共通電極の櫛歯共通部８３−１及び信号電極の櫛歯共通部８４−１は面積が大きく、圧力室１上の振動部に形成された場合、駆動効率を低下させやすいので、隣接する圧力室１の隔壁１１上に配することで、駆動効率を低下させないようにし、共通電極の櫛歯共通部８３−１から延びた共通電極８３の部分及び信号電極の櫛歯共通部８４−１から延びた信号電極８４の部分は、隔壁１１上から前記圧力室１の上部に延びて形成されており、
　薄膜圧電素子６上の電極は分割されていることから、電極による上方向の発生力は少なく、駆動力の低下も少ない、
インクジェットヘッド。」
が引用発明２として記載されている。（上記「第３　２」参照。）
　ここで、引用発明１もインクジェットプリントヘッドに係る発明であって、歩留まりが低下しないものや、駆動力が低下しないものが望ましいことは当然である。
　また、圧電アクチュエータの圧電膜を各々の圧力チャンバに対応するように隙間を空けて配置した場合、引用発明２の「共通電極８３及び信号電極８４のうち、共通電極の櫛歯共通部８３−１及び信号電極の櫛歯共通部８４−１は面積が大きく、圧力室１上の振動部に形成された場合、駆動効率を低下させやすいので、隣接する圧力室１の隔壁１１上に配することで、駆動効率を低下させないようにし」との事項にもみられるように、圧力チャンバに対応する部分に、圧電アクチュエータの圧電膜の駆動に関係しない構成部材を設けることが駆動効率を低下させ、圧電アクチュエータの圧電膜の駆動に好ましくないことも当業者に明らかである。
　したがって、共通電極としての下電極膜６０、圧電体層７０及び個別電極としての上電極膜８０を含む部分を圧電素子３００として備えた引用発明１において、共通電極を複数の共通電極とし、前記共通電極及び前記駆動電極を、圧電膜の上部に延びるよう形成し、圧電膜の駆動に関係しない部分を圧力チャンバの隙間に設けることにより、前記複数の共通電極及び前記複数の駆動電極を、前記各々の圧電膜の長手方向に交互に配列されるものとし、かつ、長尺な前記圧電膜同士の隙間に設けられる前記絶縁層の上部に形成されるとともに当該絶縁層の上部から前記圧電膜の上部に延びて形成されるものとして、相違点に係る構成を得ることは、引用発明２に基づき、当業者が適宜なし得たことである。
　　
　そして、本願発明の効果も引用発明１及び引用発明２から当業者が予測し得る範囲のものであって格別なものということができない。 
　すなわち、本願発明は、当審拒絶理由に記載された引用例１記載の発明及び引用例２記載の発明に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものと認める。
　　
第５　むすび
　以上のとおり、本願発明は、当審拒絶理由に記載された引用例１記載の発明及び引用例２記載の発明に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　
　よって、結論のとおり審決する。