【事件の表示】
　特許第６００３５２９号発明「圧電光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第６００３５２９号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１、２、４、５〕、〔３、６〕について訂正することを認める。
　特許第６００３５２９号の請求項１ないし６に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯 
　特許第６００３５２９号の請求項１〜６に係る特許についての出願は、平成２４年１０月２４日の出願であって、平成２８年９月１６日にその特許権の設定登録がされ、同年１０月５日に特許掲載公報が発行されたところ、特許掲載公報の発行の日から６月以内である平成２９年３月１７日に特許異議申立人市東勇（以下「申立人」という。）により特許異議の申立てがされ、同年５月２５日付けで取消理由が通知され、同年７月２８日に意見書が提出され、同年１１月６日付けで取消理由通知（決定の予告）がされ、平成３０年１月９日付けで意見書の提出及び訂正請求がされ、同年３月８日付けで申立人から意見書が提出され、同年６月５日付けで取消理由通知（決定の予告）がされ、同年８月７日付けで意見書の提出及び訂正請求がされ、同年１０月１０日付けで申立人から意見書が提出されたものである。 
  
 第２　訂正の適否についての判断 
 １　訂正の内容 
　平成３０年８月７日付けの訂正請求（以下「本件訂正請求」という。また、その訂正を「本件訂正」という。）は、特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１ないし６について訂正することを求めるものであって、以下の訂正事項１及び訂正事項２からなる（なお、下線は、請求人が付したものである。）。
（１）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１に「前記上部電極及び前記下部電極に電圧を印加し、前記駆動梁が曲げ変形することで、前記弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記可動部が回転する圧電光偏向器において、」と記載されているのを、「前記上部電極及び前記下部電極に電圧を印加し、前記駆動梁が曲げ変形することで、前記弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記可動部が回転する圧電光偏向器において、
前記駆動梁は、少なくとも前記上部電極、前記圧電部材及び前記下部電極が絶縁層で覆われており、前記絶縁層は、前記駆動梁が駆動すると前記圧電部材と共に伸縮し、
（２）訂正事項２ 
　特許請求の範囲の請求項１に「前記圧電部材の前記上部電極と前記下部電極の少なくとも一方の電極の先端の角が円弧形状又はテーパー形状になっている」と記載されているのを、「
前記駆動梁の一端は前記弾性支持部材と接続され、前記駆動梁の他端は前記固定ベースに接続されており、
前記駆動梁の前記一端の側の
  
（３）訂正事項３
　特許請求の範囲の請求項３に「前記第２の駆動梁の圧電部材の前記上部電極及び下部電極に電圧を印加し、前記第２の駆動梁が曲げ変形することで、前記第２の弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記可動枠が回転して、前記可動部が第２の方向に回転する圧電光偏向器において、」と記載されているのを、「前記第２の駆動梁の圧電部材の前記上部電極及び下部電極に電圧を印加し、前記第２の駆動梁が曲げ変形することで、前記第２の弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記可動枠が回転して、前記可動部が第２の方向に回転する圧電光偏向器において、
前記第１の駆動梁は、少なくとも前記第１の駆動梁における前記上部電極、前記圧電部材及び前記下部電極が絶縁層で覆われており、前記絶縁層は、前記第１の駆動梁が駆動すると前記第１の駆動梁における前記圧電部材と共に伸縮し、
（４）訂正事項４ 
　特許請求の範囲の請求項３に「少なくとも前記第１の駆動梁における前記圧電部材の前記上部電極と下部電極の少なくとも一方の電極の先端の角が円弧形状又はテーパー形状になっている」と記載されているのを、「
前記第１の駆動梁の一端は前記第１の弾性支持部材と接続され、前記第１の駆動梁の他端は前記可動枠に接続されており、
前記第１の駆動梁の前記一端の側の
  
 ２　訂正の目的、新規事項の有無、特許請求の範囲の拡張・変更の存否及び一群の請求項 
 （１）訂正事項１について 
ア　訂正の目的の適否について 
　訂正後の請求項１に係る発明は、訂正前の請求項１に係る発明に対し、「
前記駆動梁は、少なくとも前記上部電極、前記圧電部材及び前記下部電極が絶縁層で覆われており、前記絶縁層は、前記駆動梁が駆動すると前記圧電部材と共に伸縮し、
　請求項１を引用する請求項２、４、５においても同様である。 
 
イ　新規事項の有無について
　「絶縁層」に関し、本件特許の願書に添付した明細書の段落【００１６】には、「なお、駆動梁３０ａ，３０ｂ全体は絶縁層（絶縁膜）で覆われているが、図１及び図２では省略してある。」との記載があり、段落【００１７】には、「図３は、駆動梁３０ａとその近傍の固定ベース４０を拡大して示した模式図で、（ａ）は駆動梁３０ａを絶縁層で覆う前の平面図、（ｂ）は絶縁層で覆った後の平面図、（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ’線の断面図である。なお、駆動梁３０ｂも同様の構成であるので、図示は省略する。」、段落【００１８】には、「図３に示すように、駆動梁３０ａは、固定ベース４０から突出して形成された梁状部材３１ａ上に、接着層３３ａ、下部電極３５ａ、圧電部材３２ａ、上部電極３４ａ、絶縁層３６ａの順でスパッタにより成膜し積層して構成される。」との記載があり、段落【００２３】には、「ところで、駆動梁３０ａ，３０ｂを駆動すると、圧電部材３２ａ，３２ｂと共に駆動梁３０ａ，３０ｂを覆っている絶縁層（絶縁膜）も伸縮し、」との記載があるから、訂正事項１は、本件特許の願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面（以下、本件特許の願書に添付した明細書を「本件特許明細書」という。また、本件特許の願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面を「本件特許明細書等」という。）の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものでない。
　したがって、訂正事項１は、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内の訂正である。
　よって、訂正事項１は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
ウ　特許請求の範囲の拡張・変更の存否について
　訂正事項１は、「絶縁層」という構成要件の直列的付加であり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
　また、訂正事項１は、請求項１を引用する請求項２、４、５において、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
　よって、訂正事項１は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
（２）訂正事項２について
ア　訂正の目的の適否について 
　訂正前の請求項１では、いずれの先端の角が円弧形状又はテーパー形状であるかについては特定していなかったところ、訂正後の請求項１では、駆動梁の前記一端の側（弾性支持部材と接続された側）の先端の角と特定するものであるから、訂正事項２は、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。  
　請求項１を引用する請求項２、４、５においても同様である。 
　したがって、訂正事項２は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。  
 
イ　新規事項の有無について
　本件特許の願書に添付した明細書の段落【００１３】には、「図１に、実施例１に係る圧電光偏向器の斜視図、図２に平面図を示す。図１，図２において、１０は可動部であり、レーザ光等を反射させる光反射面としてのミラー部１５を有している。可動部１０の両端は、該可動部１０を回転可能に支持する一対の弾性支持部材としてのトーションバー２０ａ，２０ｂが接続されている。このトーションバー２０ａ，２０ｂの可動部１０と反対側の端部は、該トーションバー２０ａ，２０ｂの長手方向と直交する向きを長手方向とした一対の梁状部材３１ａ，３１ｂの一端と接続されている。梁状部材３１ａ，３１ｂの他端は固定ベース４０に接続されている。」との記載があり、図１及び図２には、上部電極３４ａ、３４ｂの梁状部材３１ａ，３１ｂ（駆動梁３０ａ、３０ｂ）の一端の側（トーションバー２０ａ，２０ｂと接続された側）の先端の角が円弧形状であることが記載されている。
　したがって、訂正事項２は、本件特許明細書等の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものでない。
　したがって、訂正事項２は、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内の訂正である。
　よって、訂正事項２は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
ウ　特許請求の範囲の拡張・変更の存否について
　訂正事項２は、請求項１において、「先端の角」に駆動梁の前記一端の側（弾性支持部材と接続された側）という発明特定事項を付加するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
　また、訂正事項２は、請求項１を引用する請求項２、４、５において、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
　よって、訂正事項２は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
（３）訂正事項３について
ア　訂正の目的の適否について 
　訂正後の請求項３に係る発明は、訂正前の請求項３に係る発明に対し、「
前記第１の駆動梁は、少なくとも前記第１の駆動梁における前記上部電極、前記圧電部材及び前記下部電極が絶縁層で覆われており、前記絶縁層は、前記第１の駆動梁が駆動すると前記第１の駆動梁における前記圧電部材と共に伸縮し、
　請求項３を引用する請求項６においても同様である。 
 
イ　新規事項の有無について
　「絶縁層」に関し、本件特許の願書に添付した明細書の段落【００１６】には、「なお、駆動梁３０ａ，３０ｂ全体は絶縁層（絶縁膜）で覆われているが、図１及び図２では省略してある。」との記載があり、段落【００１７】には、「図３は、駆動梁３０ａとその近傍の固定ベース４０を拡大して示した模式図で、（ａ）は駆動梁３０ａを絶縁層で覆う前の平面図、（ｂ）は絶縁層で覆った後の平面図、（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ’線の断面図である。なお、駆動梁３０ｂも同様の構成であるので、図示は省略する。」、段落【００１８】には、「図３に示すように、駆動梁３０ａは、固定ベース４０から突出して形成された梁状部材３１ａ上に、接着層３３ａ、下部電極３５ａ、圧電部材３２ａ、上部電極３４ａ、絶縁層３６ａの順でスパッタにより成膜し積層して構成される。」との記載があり、段落【００２３】には、「ところで、駆動梁３０ａ，３０ｂを駆動すると、圧電部材３２ａ，３２ｂと共に駆動梁３０ａ，３０ｂを覆っている絶縁層（絶縁膜）も伸縮し、」との記載がある。
　そして、段落【００３６】には、「図６に、実施例４に係る圧電光偏向器の全体斜視図を示す。これまで説明した圧電光偏向器は、いずれも１軸方向に光を偏向するものであったが、本実施例は２軸方向に光を偏向する構成としたものである。」との記載がある。
　そうすると、２軸方向に光を偏向する図６の記載の圧電光偏向器においても、１軸方向に光を偏向する図１等の圧電光偏向器と同様、第１の駆動梁１３０ａ，１３０ｂ全体が絶縁層で覆われていると当業者には理解できる。
　したがって、訂正事項３は、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内の訂正である。
　よって、訂正事項３は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
ウ　特許請求の範囲の拡張・変更の存否について
　訂正事項３は、「絶縁層」という構成要件の直列的付加であり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
　また、訂正事項３は、請求項３を引用する請求項６において、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
　よって、訂正事項３は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
（４）訂正事項４について
ア　訂正の目的の適否について
　訂正前の請求項３では、いずれの先端の角が円弧形状又はテーパー形状であるかについては特定していなかったところ、訂正後の請求項３では、第１の駆動梁の前記一端の側（第１の弾性支持部材と接続された側）の先端の角と特定するものであるから、訂正事項４は、特許請求の範囲を減縮しようとするものである。
　請求項３を引用する請求項６においても同様である。
　したがって、訂正事項４は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　新規事項の有無について
　本件特許明細書の段落【００３７】には、「【００３７】図６において、１０は光を反射させる光反射面としてのミラー部を有する可動部であり、この可動部１０の両側には、該可動部１０を回転可能に支持する一対の第１の弾性支持部材としての第１のトーションバー１２０ａ，１２０ｂが接続されている。この第１のトーションバー１２０ａ，１２０ｂの可動部１０と反対側の端部は、該第１のトーションバー１２０ａ，１２０ｂの長手方向と略直交する向きを長手方向として一対の第１の駆動梁１３０ａ，１３０ｂが接続されている。第１の駆動梁１３０ａ，１３０ｂは、梁状部材の片面に圧電部材が積層され、平板短冊状のユニモルフ構造を形成している。この第１の駆動梁１３０ａ，１３０ｂは、中央に穴が開いている枠状の可動枠１４０の内側の一辺から同一方向に突出するように配置されて、可動枠１４０と接続されている。そして、この第１の駆動梁１３０ａ，１３０ｂは、第１のトーションバー１２０ａ，１２０ｂの片側にのみ配置され、該駆動梁１３０ａ，１３０ｂで可動部１０と第１のトーションバー１２０ａ，１２０ｂを可動枠１４０に対して片持ち支持した構成となっている。」との記載があり、図６には、上部電極１３４ａ、１３４ｂの第１の駆動梁１３０ａ、１３０ｂ）の一端の側（トーションバー１２０ａ，１２０ｂと接続された側）の先端の角が円弧形状であることが記載されている。
　したがって、訂正事項４は、本件特許明細書等の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものでない。
　したがって、訂正事項４は、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内の訂正である。
　よって、訂正事項４は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
ウ　特許請求の範囲の拡張・変更の存否について
　訂正事項４は、請求項３において、「先端の角」に第１の駆動梁の前記一端の側（第１の弾性支持部材と接続された側）という発明特定事項を付加するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
　また、訂正事項４は、請求項３を引用する請求項６において、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
　よって、訂正事項４は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
（３）一群の請求項について
　訂正事項１、２に係る訂正前の請求項１、２、４、５について、請求項２は請求項１を引用し、請求項４は請求項１又は２を引用し、請求項５は、請求項４を引用しているものである。そして、これらの請求項は、訂正事項１、２によって記載が訂正される請求項１に連動して訂正されるものである。
　また、訂正事項３、４に係る訂正前の請求項３、６について、請求項６は請求項３を引用しているものである。そして、請求項６は、訂正事項３、４によって記載が訂正される請求項３に連動して訂正されるものである。
　したがって、訂正前の請求項〔１、２、４、５〕に対応する訂正後の請求項〔１、２、４、５〕、及び訂正前の請求項〔３、６〕に対応する請求項〔３、６〕は、それぞれ特許法第１２０条の５第４項に規定する一群の請求項である。
　よって、訂正事項１、２に係る訂正の請求は、特許法第１２０条の５第４項の規定に適合する。
（４）独立特許要件について
　本件においては、訂正前の全ての請求項１〜６について特許異議の申立てがされているので、訂正事項１ないし４に関して、特許法第１２０条の５第９項で読み替えて準用する同法第１２６条第７項に規定される独立特許要件は課されない。
３　訂正の適否についてのまとめ
　以上のとおりであるから、本件訂正請求による訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる事項を目的とするものに該当し、かつ、同条第４項の規定、並びに、同条第９項で準用する同法第１２６条第５項から第６項までの規定に適合するので、本件訂正後の請求項〔１、２、４、５〕、請求項〔３、６〕について訂正を認める。
第３　特許異議申立てについて
１　本件特許発明
　上記第２のとおり、本件訂正の訂正事項１ないし４による訂正を認めるから、本件特許の請求項１ないし６に係る発明（以下順に「本件特許発明１」ないし「本件特許発明６」という。）は、本件訂正により訂正された訂正特許請求の範囲の請求項１ないし６に記載されている事項により特定されるとおりのものであり、その本件特許発明１ないし６は以下に記載したとおりのものである。なお、下線部は、訂正箇所を示す。
「【請求項１】
　固定ベースと、光反射面を有する可動部と、前記可動部を回転可能に支持する弾性支持部材と、前記可動部及び前記弾性支持部材を前記固定ベースに対して支持する駆動梁とを有し、
　前記駆動梁は、梁状部材と該梁状部材上に設けられた圧電部材とからなり、前記圧電部材は上部電極及び下部電極を有し、
　前記上部電極及び前記下部電極に電圧を印加し、前記駆動梁が曲げ変形することで、前記弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記可動部が回転する圧電光偏向器において、
　
前記駆動梁は、少なくとも前記上部電極、前記圧電部材及び前記下部電極が絶縁層で覆われており、
　
前記絶縁層は、前記駆動梁が駆動すると前記圧電部材と共に伸縮し、
　
前記駆動梁の一端は前記弾性支持部材と接続され、前記駆動梁の他端は前記固定ベースに接続されており、
前記駆動梁の前記一端の側の
【請求項２】
　一対の駆動梁により、前記可動部及び前記弾性支持部材が前記固定ベースに対して片持ち支持され、
　前記電極の前記駆動梁の自由端側の先端の角が円弧形状又はテーパー形状になっていることを特徴とする請求項１に記載の圧電光偏向器。
【請求項３】
　可動枠と、光反射面を有する可動部と、前記可動部を回転可能に支持する第１の弾性支持部材と、前記可動部及び前記第１の弾性支持部材を前記可動枠に対して支持する第１の駆動梁と、
　固定ベースと、前記可動枠を回転可能に支持する第２の弾性支持部材と、前記可動枠及び前記第２の弾性支持部材を前記固定ベースに対して支持する第２の駆動梁とを有し、
　前記第１の駆動梁及び前記第２の駆動梁は、各々、梁状部材と該梁状部材上に設けられた圧電部材とからなり、前記圧電部材は上部電極及び下部電極を有し、
　前記第１の駆動梁の圧電部材の前記上部電極及び下部電極に電圧を印加し、前記第１の駆動梁が曲げ変形することで、前記第１の弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記可動部が第１の方向に回転し、
　前記第２の駆動梁の圧電部材の前記上部電極及び下部電極に電圧を印加し、前記第２の駆動梁が曲げ変形することで、前記第２の弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記可動枠が回転して、前記可動部が第２の方向に回転する圧電光偏向器において、
　
前記第１の駆動梁は、少なくとも前記第１の駆動梁における前記上部電極、前記圧電部材及び前記下部電極が絶縁層で覆われており、
　
前記絶縁層は、前記第１の駆動梁が駆動すると前記第１の駆動梁における前記圧電部材と共に伸縮し、
　
前記第１の駆動梁の一端は前記第１の弾性支持部材と接続され、前記第１の駆動梁の他端は前記可動枠に接続されており、
前記第１の駆動梁の前記一端の側の
【請求項４】
　光源と、光源からの光ビームを偏向走査させる請求項１又は２に記載の圧電光偏向器と、該圧電光偏向器で偏向走査された光ビームを被走査面にスポット状に結像する走査光学系とを備えることを特徴とする光走査装置。
【請求項５】
　請求項４に記載の光走査装置と、光ビームの走査により潜像を形成する感光体と、潜像をトナーで顕像化する現像手段と、トナー像を記録紙に転写する転写手段とを有することを特徴とする画像形成装置。
【請求項６】
　請求項３に記載の圧電光偏向器を有し、該圧電光偏向器により光ビームを偏向・走査して、投影面に画像を投影することを特徴とする画像投影装置。」
２　取消理由の概要
　訂正前の請求項１ないし６に係る特許に対して、当審が特許権者に通知した取消理由の概要は以下のとおりである。
　（１）平成２９年５月２５日付け取消理由通知の取消理由
　請求項１ないし６に係る発明は、いずれも下記の甲第１号証又は甲第２号証を主引例として、これに下記の他の証拠に記載の構成を組合わせることにより、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、その発明に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　甲第１号証：特開２０１１−１８０２６号公報
　甲第２号証：特開２０１１−２０９３６２号公報
　甲第３号証：特開２００９−１５２９８９号公報
　甲第４号証：特開２００６−２８６７７４号公報
　甲第５号証：特開平３−２３３９８３号公報
　甲第６号証：新版　高電圧工学　第６１頁及び奥付　昭和５５年５月１５日発行
　甲第７号証：ＪＩＳ　Ｃ　２１１０−１：２０１０　固体電気絶縁材料−絶縁破壊の強さの試験方法−第１部：商用周波数交流電圧印加による試験（作成日：平成２９年３月１５日）（http://kikakurui.com/c2/C2110-1-2010-01.html）
（２）平成２９年１１月６日付け取消理由通知（決定の予告）の取消理由
　請求項１、３ないし６に係る発明は、いずれも甲第１号証に記載された発明（主引例）及び甲第２号証に記載された課題及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、その発明に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
（３）平成３０年６月５日付け取消理由通知（決定の予告）の取消理由
　請求項１ないし６に係る発明は、いずれも甲第１号証に記載された発明（主引例）及び絶縁破壊に関する周知の課題及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、その発明に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
３　引用文献の記載
（１）甲１の記載事項、及び、甲１に記載された発明
ア　甲１の記載事項
　取消理由で通知した特開２０１１−１８０２６号公報（以下「甲１」という。）には次の事項が記載されている。（下線は当審において付したものである。以下、同様。）
ａ　「【請求項１】
　固定ベースと、光反射面を有するミラー部と、前記ミラー部を揺動可能に支持する一対の弾性支持部材と、梁状部材に圧電部材が固着された一対の駆動梁とを有し、
　前記弾性支持部材の長手方向と前記駆動梁の長手方向とが略直交して配置されて、両者が接続され、前記駆動梁の他端は固定ベースに固定されて、一対の前記駆動梁で、前記ミラー部と一対の前記弾性支持部材とが前記固定ベースに対して片持ち支持され、
　前記駆動梁が曲げ振動することで、前記弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記ミラー部が回転振動することを特徴とする光偏向器。
【請求項２】
・・・（途中省略）・・・。
【請求項１０】
　可動枠と、光反射面を有するミラー部と、前記ミラー部を揺動可能に支持する一対の第１の弾性支持部材と、梁状部材に圧電部材が固着された一対の第１の駆動梁と、前記可動枠を揺動可能に支持する一対の第２の弾性支持部材と、梁状部材に圧電部材が固着された一対の第２の駆動梁と、固定ベースとを有し、
　前記第１の弾性支持部材の長手方向と前記第１の駆動梁の長手方向とが略直交して配置されて、両者が接続され、前記第１の駆動梁の他端は可動枠に固定されて、一対の前記第１の駆動梁で、前記ミラー部と前記一対の第１の弾性支持部材とが前記可動枠に対して片持ち支持され、
　前記第２の弾性支持部材の長手方向と前記第２の駆動梁の長手方向とが略直交して配置されて、両者が接続され、前記第２の駆動梁の他端は固定ベースに固定されて、一対の前記第２の駆動梁で、前記可動枠と一対の前記第２の弾性支持部材とが前記固定ベースに対して片持ち支持され、
　前記第１の駆動梁が曲げ振動することで、前記第１の弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記ミラー部が第１の方向に回転振動し、
　前記第２の駆動梁が曲げ振動することで、前記第２の弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記可動枠が回転振動し、前記ミラー部が第２の方向に回転振動することを特徴とする光偏向器。
【請求項１１】
・・・（途中省略）・・・
【請求項１２】
　光源と、光源からの光ビームを偏向させる請求項１乃至９のいずれか１項記載の光偏向器と、偏向された光ビームを被走査面にスポット状に結像する結像光学系とを備えることを特徴とする光走査装置。
【請求項１３】
　請求項１２記載の光走査装置と、光ビームの走査により潜像を形成する感光体と、潜像をトナーで顕像化する現像手段と、トナー像を記録紙に転写する転写手段とを有することを特徴とする画像形成装置。
【請求項１４】
　光源と、
　前記光源からの光ビームを画像信号に応じて変調する変調器と、
　前記光ビームを略平行光とするコリメート光学系と、
　前記略平行光とされた光ビームを偏向して投影面に投射する請求項１乃至１１のいずれか１項記載の光偏向器とを有することを特徴とする画像投影装置。」
ｂ　「【０００１】
　本発明は、レーザ光等の光ビームを偏向・走査する光偏向器、詳しくは圧電力を用いた光偏向器に関し、さらに、この光偏向器を備えた光走査装置、この光走査装置を光書込みユニットとして備える画像形成装置、この光偏向器を投影面の走査ユニットとして備える画像投影装置に関する。」
ｃ　「【００１０】
　本発明は、従来の圧電力を用いる光偏向器の上記のような問題を解決し、小型で駆動効率が良く、大きな回転振幅が得られる光偏向器を提供することにある。」
ｄ　「【００３１】
　図１に、本発明の光偏向器の実施例１の全体斜視図、図２に平面図を示す。図１，図２において、１０は光を反射させる反射面を有するミラー部であり、このミラー部１０の両端には、該ミラー部１０を回転（揺動）可能に支持する一対の弾性支持部材としてのトーションバースプリング２０ａ，２０ｂが接続されている。なお、実施例１では、ミラー部１０の中心（重心）は、トーションバースプリング２０ａ，２０ｂの中心軸に対して一致させる。このトーションバースプリング２０ａ，２０ｂのミラー部１０と反対側の端部は、該トーションバースプリング２０ａ，２０ｂの長手方向と略直交する向きを長手方向として一対の梁状部材３１ａ，３１ｂの一端と接続されている。この梁状部材３１ａ，３１ｂの他端は固定ベース４０に接続されている。
【００３２】
　梁状部材３１ａ，３１ｂは、トーションバースプリング２０ａ，２０ｂの片側にのみ配置されており、この梁状部材３１ａ，３１ｂでミラー部１０とトーションバースプリング２０ａ，２０ｂとを固定ベース４０に対して片持ち支持した構成となっている。この梁状部材３１ａ，３１ｂの片面に、圧電部材３２ａ，３２ｂが積層され、梁状部材と圧電部材とで、平板短柵状のユニモルフ構造の駆動梁３０ａ，３０ｂを形成している。
【００３３】
　例えば、ＭＥＭＳ（micro　electro　mechanical　systems）プロセスによって加工することで、ミラー部１０、トーションバースプリング２０ａ，２０ｂ、駆動梁３０ａ，３０ｂを一体で形成する。ミラー部１０は、シリコン基板の表面にアルミニウムや金などの金属の薄膜を形成することによって反射面を形成する。
【００３４】
　ここで、図３により駆動梁の詳細な構成を説明する。図３は、駆動梁３０ａとその近傍の固定ベース４０を拡大して示した模式図で、（ａ）は絶縁層で覆う前の平面図、（ｂ）は絶縁層で覆った後の平面図、（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ’線部分の断面図である。なお、駆動梁３０ｂも同様の構成であるので、図示は省略する。
【００３５】
　図３に示すように、
駆動梁３０ａは、固定ベース４０から突出して形成された梁状部材３１ａの上に、接着層３３ａ、下部電極３５ａ、圧電材料（圧電部材）３２ａ、上部電極３４ａ、絶縁層３６ａの順でスパッタにより成膜し積層して構成され
【００３６】
　ランド部３７ａ，３８ａから配線を引き出し、
上部電極３４ａと下部電極３５ａの間に電圧を印加すると、圧電材料３２ａは、その電歪特性により、梁状部材３１ａ表面の面内方向に伸縮することで、駆動梁３０ａ全体が反って、曲げ変形する
【００３７】
　ここで、図１、図２に示すように、トーションバースプリング２０ａ，２０ｂと駆動梁３０ａ，３０ｂの長手方向が略直交して配置されて接続されていることにより、駆動梁３０ａ，３０ｂの曲げ振動による該駆動梁３０ａ，３０ｂの先端の上下振動がトーションバースプリング２０ａ，２０ｂの捻り中心軸に対して垂直に働くため、駆動梁３０ａ，３０ｂの曲げ振動がトーションバースプリング２０ａ，２０ｂの回転振動（捻り振動）に効率よく変換され、ミラー部１０が大きく回転振動する。また、駆動梁３０ａ，３０ｂはトーションバースプリング２０ａ，２０ｂとミラー部１０を片持ちした構成となっているため、駆動梁３０ａ，３０ｂの先端は自由に振動することができ、ミラー部１０はより大きな角度振幅を得ることができる。さらに、梁状部材３１ａ，３１ｂは、トーションバースプリング２０ａ，２０ｂの片側にのみ配置されているため、小型化が可能である。これらの作用・効果は、以後の各実施例においても基本的に同様である。
・・・（途中省略）・・・
【００４２】
　なお、本実施例では、下部電極、上部電極と共に、スパッタにより圧電材料を成膜した構成を示したが（図３）、圧電材料はバルク材料を所定のサイズに切断したものを接着剤により貼り付けても良いし、またエアロゾルデポジション法（ＡＤ法）で形成しても良い。また、駆動梁は、梁状部材の片面に圧電材料が配置されたユニモルフ構造としたが、梁状部材の両面に圧電材料を配置したバイモルフ構造としてもよい。これは、以後の各実施例においても同様である。」
ｅ　「【実施例９】
【００８０】
　図２６に、本発明の光偏向器の実施例９の全体斜視図を示す。これまで説明した光偏向器は、いずれも１軸方向に光を偏向するものであったが、本実施例は２軸方向に光を偏向する構成としたものである。
【００８１】
　図２６において、１０は光を反射させる反射面を有するミラー部であり、このミラー部１０の両側には、該ミラー部１０を揺動可能に支持する一対の第１の弾性指示部材としての第１のトーションバースプリング１２０ａ，１２０ｂが接続されている。この第１のトーションバースプリング１２０ａ，１２０ｂのミラー部１０と反対側の端部は、該第１のトーションバースプリング１２０ａ，１２０ｂの長手方向と略直交する向きを長手方向として一対の第１の駆動梁１３０ａ，１３０ｂが接続されている。第１の駆動梁１３０ａ，１３０ｂは、梁状部材の片面に圧電材料が積層され、平板短冊状のユニモルフ構造を形成している。この第１の駆動梁１３０ａ，１３０ｂは、中央に穴が開いている枠状の可動枠１４０の内側の一辺から同一方向に突出するように接続され、第１のトーションバースプリング１２０ａ，１２０ｂの片側にのみ配置され、該駆動梁１３０ａ，１３０ｂでミラー部１０と第１のトーションバースプリング１２０ａ，１２０ｂを可動枠１４０に対して片持ち支持した構成となっている。
【００８２】
　さらに、可動枠１４０の両側には、該可動枠１４０を揺動可能に支持する一対の第２の弾性支持部材としてのトーションバースプリング２２０ａ，２２０ｂが接続されている。第２のトーションバースプリング２２０ａ，２２０ｂの可動枠４２と反対側の端部は、第２のトーションバースプリング２２０ａ，２２０ｂの長手方向と略直交する向きを長手方向として一対の第２の駆動梁２３０ａ，２３０ｂが接続されている。第２の駆動梁２３０ａ，２３０ｂも梁状部材の片面に圧電材料が積層され、平板短冊状のユニモルフ構造を形成している。この第２の駆動梁２３０ａ，２３０ｂは、固定ベース２４０から同一方向に突出するように接続され、第２のトーションバースプリング２２０ａ，２２０ｂの片側にのみ配置されており、該第２の駆動梁２３０ａ，２３０ｂで、可動枠２４０と第２のトーションバースプリング２２０ａ，２２０ｂを固定ベース２４０に対して片持ち支持した構成となっている。」
ｆ　「【実施例１１】
【００８８】
　本実施例は、実施例１〜８の１軸方向に光を偏向する光偏向器を用いて画像形成装置の光書き込みユニットとしての光走査装置を提供するものである。
・・・（途中省略）・・・
【実施例１２】
【００９３】
　本実施例は、実施例１１の光走査装置を光書込みユニットの構成部材として実装した画像形成装置を提供するものである。
・・・（途中省略）・・・
【実施例１３】
【０１００】
　本実施例は、実施例９、１０のような２軸方向に光を偏向する光偏向器を実装した画像投影装置を提供するものである。
・・・（途中省略）・・・
【符号の説明】
【０１０５】」
ｇ　「【図１】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
ｈ　「【図３】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
ｉ「
　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
イ　甲１に記載された発明（甲１発明）
　上記ｄの【００３５】、【００３６】及び図３の記載から、「駆動梁３０ａは、固定ベース４０から突出して形成された梁状部材３１ａの上に、接着層３３ａ、下部電極３５ａ、圧電材料（圧電部材）３２ａ、上部電極３４ａ、絶縁層３６ａの順で積層して構成され、前記上部電極、前記圧電部材及び前記下部電極が絶縁層で覆われており、下部電極３５ａと上部電極３４ａの積層部分の形状は四角形をしており、上部電極３４ａと下部電極３５ａの間に電圧を印加すると、駆動梁３０ａ全体が反って、曲げ変形」することが読み取れる。
　さらに、上記ａの【請求項１】の記載から、甲１には、
「固定ベースと、光反射面を有するミラー部と、前記ミラー部を揺動可能に支持する一対の弾性支持部材と、梁状部材に圧電部材が固着された一対の駆動梁とを有し、
　前記弾性支持部材の長手方向と前記駆動梁の長手方向とが略直交して配置されて、両者が接続され、前記駆動梁の他端は固定ベースに固定されて、一対の前記駆動梁で、前記ミラー部と一対の前記弾性支持部材とが前記固定ベースに対して片持ち支持され、
　前記駆動梁が曲げ振動することで、前記弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記ミラー部が回転振動する光偏向器であって、
　駆動梁３０ａは、固定ベース４０から突出して形成された梁状部材３１ａの上に、接着層３３ａ、下部電極３５ａ、圧電材料（圧電部材）３２ａ、上部電極３４ａ、絶縁層３６ａの順で積層して構成され、前記上部電極、前記圧電部材及び前記下部電極が絶縁層で覆われており、下部電極３５ａと上部電極３４ａの積層部分の形状は四角形をしており、上部電極３４ａと下部電極３５ａの間に電圧を印加すると、駆動梁３０ａ全体が反って、曲げ変形する
光偏向器。」
の発明（以下「甲１発明」という。）が記載されている。
ウ　甲１に記載された発明（甲１発明（２軸光偏向器））
　上記ａの【請求項１０】、上記ｅの【実施例９】、上記ｄの【００３５】、【００３６】、【００４２】及び図３、図２６の記載から、甲１には、
「可動枠と、光反射面を有するミラー部と、前記ミラー部を揺動可能に支持する一対の第１の弾性支持部材と、梁状部材に圧電部材が固着された一対の第１の駆動梁と、前記可動枠を揺動可能に支持する一対の第２の弾性支持部材と、梁状部材に圧電部材が固着された一対の第２の駆動梁と、固定ベースとを有し、
　前記第１の弾性支持部材の長手方向と前記第１の駆動梁の長手方向とが略直交して配置されて、両者が接続され、前記第１の駆動梁の他端は可動枠に固定されて、一対の前記第１の駆動梁で、前記ミラー部と前記一対の第１の弾性支持部材とが前記可動枠に対して片持ち支持され、
　前記第２の弾性支持部材の長手方向と前記第２の駆動梁の長手方向とが略直交して配置されて、両者が接続され、前記第２の駆動梁の他端は固定ベースに固定されて、一対の前記第２の駆動梁で、前記可動枠と一対の前記第２の弾性支持部材とが前記固定ベースに対して片持ち支持され、
　前記第１の駆動梁が曲げ振動することで、前記第１の弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記ミラー部が第１の方向に回転振動し、
　前記第２の駆動梁が曲げ振動することで、前記第２の弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記可動枠が回転振動し、前記ミラー部が第２の方向に回転振動する光偏向器であって、
　前記第１の駆動梁は、少なくとも前記第１の駆動梁における前記上部電極、前記圧電部材及び前記下部電極が絶縁層で覆われており、
　上部電極３４ａと下部電極３５ａの間に電圧を印加すると、駆動梁３０ａ全体が反って、曲げ変形し、
　前記第１及び第２の駆動梁は、前記固定ベースから突出して形成された前記梁状部材の上に、接着層、下部電極、圧電材料（圧電部材）、上部電極、絶縁層の順で積層して構成され、前記下部電極と前記上部電極の積層部分の形状は四角形をしている光偏向器。」
の発明（以下「甲１発明（２軸光偏向器）」という。）が記載されている。
エ　甲１に記載された発明（甲１発明（光走査装置））
　上記ａの【請求項１２】及び上記ｆの【実施例１１】の記載から、甲１には、
「光源と、光源からの光ビームを偏向させる甲１発明の光偏向器と、偏向された光ビームを被走査面にスポット状に結像する結像光学系とを備える光走査装置。」
の発明（以下「甲１発明（光走査装置）」という。）が記載されている。
　
オ　甲１に記載された発明（甲１発明（画像形成装置））
　上記ａの【請求項１３】、上記ｆの【実施例１２】及び上記オの記載から、甲１には、
「甲１発明（光走査装置）の光走査装置と、光ビームの走査により潜像を形成する感光体と、潜像をトナーで顕像化する現像手段と、トナー像を記録紙に転写する転写手段とを有する画像形成装置。」の発明（以下「甲１発明（画像形成装置）」という。）が記載されている。
　
カ　甲１に記載された発明（甲１発明（画像投影装置））
　上記ａの【請求項１４】、上記ｆの【実施例１３】及び上記ウの記載から、甲１には、
「光源と、
　前記光源からの光ビームを画像信号に応じて変調する変調器と、
　前記光ビームを略平行光とするコリメート光学系と、
　前記略平行光とされた光ビームを偏向して投影面に投射する甲１発明（２軸光偏向器）の光偏向器とを有する画像投影装置。」
の発明（以下「甲１発明（画像投影装置）」という。）が記載されている。
（２）甲２の記載事項、甲２に記載された課題及び発明
ア　甲２の記載事項
　取消理由で通知した特開２０１１−２０９３６２号公報（以下「甲２」という）には次の事項が記載されている。
「【０００１】
　本発明は、駆動効率を向上させつつ、
放電による電極間の短絡を防止することができる圧電アクチュエータ
を備えた光スキャナ
「【０００８】
　一般的に、圧電素子の厚みを薄くすると、圧電素子が接着された基板の変位量は大きくなる。その結果、所望の基板の変位量を得るために必要な駆動電圧（以下、駆動効率と称する）を小さくすることができる。しかしながら、
圧電素子の厚みを薄くすると、相対的に電極同士が対向する方向の電極間の距離が近くなる。このため、駆動電圧が電源から電極に印加された際に、一方の電極の導電性接着層から他方の電極へ放電が起こり、電極間の短絡が起こってしまう可能性がある。
「【００１１】
　本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、駆動効率を向上させつつ、放電による電極間の短絡を防止することができる圧電アクチュエータを提供することを目的とする。」
「【００２６】
〔光スキャナ概観〕
　まず図１を用いて、光スキャナと水平走査ドライバとについて説明する。図１は、本発明の光スキャナと水平走査ドライバとの概観を示す斜視図である。まず、光スキャナについて説明する。図１に示される
光スキャナ１は、基板１０と、筐体２０と、圧電素子４０と、接着層５０と、を備え
【００２７】
　本実施形態における方向を定義する。同一平面上において直交する方向をそれぞれＸ軸方向、Ｙ軸方向とする。また、そのＸ軸Ｙ軸がなす平面に直交する方向をＺ軸方向とする。本実施形態におけるＺ軸方向は、順に本発明の所定の方向の一例である。
【００２８】
　基板１０は、導電性を有す部材であるステンレスにて形成される。基板１０は、厚みが１００μｍの四角い板形状を有す。
基板１０は、ミラー部１１と、梁部１２、１３と、枠板部１４と、を備え
梁部１２、１３は、ミラー部１１からＸ軸方向に延び、ミラー部１１を支持し
枠板部１４は、ミラー部１１と、梁部１２、１３とを囲むように形成され、梁部１２、１３と連結され
【００２９】
　
筐体２０は、支持部２１と、ベース部２２と、を備え
基板１０のＹ軸方向における両端のうち一端が、支持部２１と接続され
【００３０】
　次に、同じく図１を用いて水平走査ドライバについて説明する。図１に示される水平走査ドライバ３０は、駆動電圧を制御する装置である。そして、水平走査ドライバ３０は、配線３１を経由して基板１０に電気的に接続される。さらに、水平走査ドライバ３０は、配線３２を経由して、圧電素子４０に電気的に接続される。
【００３１】
〔圧電アクチュエータ概観〕
　次に、図２、図３、図４を用いて、光スキャナ１の圧電アクチュエータ３９について説明する。図２は、光スキャナ１の圧電アクチュエータ３９を示す平面図である。図３は、図２のＡ−Ａ線に従う矢視断面図である。図４は、圧電アクチュエータ３９の側面を示す断面図である。
圧電アクチュエータ３９は、圧電素子４０と、接着層５０と、基板１０の枠板部１４の一部と、を含む
【００３２】
　圧電素子４０のＸ軸方向の距離を圧電素子４０の横幅Ｐｘ、圧電素子４０のＹ軸方向の距離を圧電素子４０の縦幅Ｐｙ、圧電素子４０のＺ軸方向の距離を圧電素子４０の厚みＰｚと称する。図２に示すように、圧電素子４０は、接着面１４ａに形成される。圧電素子４０は、圧電素子４０の横幅Ｐｘが３ｍｍ、圧電素子４０の縦幅Ｐｙが３ｍｍ、圧電素子４０の厚みＰｚが０．０６ｍｍである四角い板形状を有す。また、絶縁性接着層５２が圧電素子４０の側面に形成されている。
【００３３】
　さらに、図３に示すように、
圧電素子４０は、圧電体４１と、１対の電極４２と、を備え
１対の電極４２は、圧電体４１のＺ軸方向における両面に設けられ
１対の電極４２は、第１の電極４３と第２の電極４４とを有す。
「【００４５】
〔光スキャナの動作〕
　光スキャナ１の動作について説明する。水平走査ドライバ３０内にて駆動電圧が生成される。第２の電極４４側では、駆動電圧が、水平走査ドライバ３０から配線３２を経由して第２の電極４４へ印加される。基板１０側では、駆動電圧が、水平走査ドライバ３０から配線３１を経由して基板１０に印加される。基板１０と第１の電極４３とは、導電性接着層５１により電気的に接続されている。ゆえに、駆動電圧が、基板１０から導電性接着層５１を経由して圧電素子４０の第１の電極４３へ印加される。駆動電圧が圧電素子４０の第１の電極４３と第２の電極４４とに印加されると、逆圧電効果が第１の電極４３と第２の電極４４とに挟まれた圧電体４１内に生じる。
圧電素子４０と基板１０の枠板部１４とは導電性接着層５１及び絶縁性接着層５２で接着され
圧電素子４０の伸縮が、導電性接着層５１及び絶縁性接着層５２を経由して、枠板部１４に伝えられ、枠板部１４がたわむ。このたわみが枠板部１４から梁部１２、１３を介してミラー部１１へと伝わり、結果的にミラー部１１が梁部１２、１３の長手方向を揺動軸１５として共振揺動される。
「【００６２】
　また、
絶縁性接着層５２は、第１の電極４３のＺ軸方向に沿った側面４３ｅと圧電体４１のＺ軸方向に沿った側面４１ｅとを覆っている
【００６３】
　さらに、絶縁性接着層５２は、圧電体４１の側面４１ｅ全面を覆い、第２の電極４４の側面４４ｅまで延びている。これにより、絶縁性接着層５２を通して、圧電体４１の側面４１ｅ全面の伸縮を直接枠板部１４に伝えることができる。ゆえに、絶縁性接着層５２が圧電体４１の側面４１ｅ全面に形成されていない場合と比較して、一層たわむ。即ち、圧電アクチュエータ３９の駆動効率を、絶縁性接着層５２が圧電体４１の側面４１ｅ全面を覆わない場合と比較して、一層高くすることができる。」
「【図１】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
「【図３】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
イ　甲２に記載された課題
　以上の【０００１】、【０００８】の記載から、甲２には、以下の課題が記載されている。
「圧電アクチュエータを備えた光スキャナにおいて、一般的に、圧電素子の厚みを薄くすると、相対的に電極同士が対向する方向の電極間の距離が近くなるため、駆動電圧が電源から電極に印加された際に、電極間の短絡が起こってしまい、圧電アクチュエータが動作しなくなる恐れがある。」
ウ　甲２に記載された発明（甲２発明）
　上記アの記載から、甲２には、
「光スキャナ１は、基板１０と、筐体２０と、圧電素子４０と、接着層５０と、を備え、
圧電アクチュエータ３９は、圧電素子４０と、接着層５０と、基板１０の枠板部１４の一部と、を含み、
基板１０は、ミラー部１１と、梁部１２、１３と、枠板部１４と、を備え、
梁部１２、１３は、ミラー部１１からＸ軸方向に延び、ミラー部１１を支持し、
枠板部１４は、ミラー部１１と、梁部１２、１３とを囲むように形成され、梁部１２、１３と連結されており、
筐体２０は、支持部２１と、ベース部２２と、を備え、
基板１０のＹ軸方向における両端のうち一端が、支持部２１と接続され、
圧電素子４０は、圧電体４１と、１対の電極４２と、を備え、
１対の電極４２は、圧電体４１のＺ軸方向における両面に設けられ、
１対の電極４２は、第１の電極４３と第２の電極４４とを有し、
圧電素子４０と基板１０の枠板部１４とは導電性接着層５１及び絶縁性接着層５２で接着され、
圧電素子４０の伸縮が、導電性接着層５１及び絶縁性接着層５２を経由して、枠板部１４に伝えられ、枠板部１４がたわみ、このたわみが枠板部１４から梁部１２、１３を介してミラー部１１へと伝わり、結果的にミラー部１１が梁部１２、１３の長手方向を揺動軸１５として共振揺動され、
絶縁性接着層５２は、第１の電極４３のＺ軸方向に沿った側面４３ｅと圧電体４１のＺ軸方向に沿った側面４１ｅとを覆っており、
放電による電極間の短絡を防止することができる圧電アクチュエータを備えた光スキャナ。」
の発明（以下「甲２発明」という。）が記載されている。
（３）甲３の記載事項及び技術事項
ア　甲３の記載事項
　取消理由で通知した特開２００９−１５２９８９号公報（以下「甲３」という。）には次の事項が記載されている。
「【０００１】
　本発明は、圧電振動片と、パッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスとの改良に関する。」
「【０００７】
　圧電振動片の静電荷は、放電突起を通して雰囲気中の粒子を介して静電気放電反応を起こす。このため、
領域ＤＣに放電による短絡が発生しやすい理由は、接続電極１２３ｂ又は接続電極１２５ｂの一部に９０度の角部が存在していることが考えられる
【０００８】
　本発明の目的は、圧電振動片又は圧電デバイス内の電子素子が静電気の放電反応により損傷されることを回避するために、
放電が起きにくい圧電振動片又は圧電デバイスを提供する
「【００２２】
　この第１側面電極２３ｃ及び第２側面電極２５ｃは、第１接続電極２３ｂ及び第２接続電極２５ｂを介して第１基部電極２３ａ、第２基部電極２５ａに接続されている。図１（ａ）で示すように、第１基部電極２３ａ及び第２基部電極２５ａ、並びに第１接続電極２３ｂ及び第２接続電極２５ｂは、
角部が無い電極形状になっている
放電が発生しにくくなっている
イ　甲３に記載された技術事項
「放電が起きにくい圧電振動片又は圧電デバイスを提供するために、短絡が発生しやすい電極の角部を角部が無い電極形状にすること。」
（４）甲４の記載事項及び技術事項
ア　甲４の記載事項
　取消理由で通知した特開２００６−２８６７７４号公報（以下「甲４」という）には次の事項が記載されている。
「【０００１】
　本発明は
積層型圧電アクチュエータ
【背景技術】
【０００２】
　圧電セラミックス層と電極層とを交互に積層した圧電駆動部を有し、電極層を一層おきに接続して一対の駆動電極を構成し、この駆動電極に所定の電圧を印加することにより、圧電セラミックス層を積層方向に伸縮させる積層型圧電アクチュエータが知られている。
【０００３】
　このような積層型圧電アクチュエータの伸縮方向端には、一般的に、圧電不活性な保護層部が設けられており、これにより、積層型圧電アクチュエータの各種装置への組み込みや複数の積層型圧電アクチュエータどうしの伸縮量を増大させるような接着を容易としている。
【０００４】
　ここで、
積層型圧電アクチュエータどうしをその端面全体で接着してしまうと、圧電駆動部が収縮した際の撓みに保護層部が追従することができずに、圧電駆動部と保護層部の境界近傍に大きな応力が発生し、これによって圧電駆動部の端部（つまり、保護層部との境界近傍）においてクラックが生じ、絶縁破壊を起こすことが知られている。
このような絶縁破壊は
製品寿命を短くしてしまうという問題がある
【０００５】
　しかし、特許文献１では圧電板と金属板を接着剤を用いて積層接着した構造のアクチュエータしか示されておらず、このような接着型の積層型圧電アクチュエータと、所謂、一体焼成型の積層型圧電アクチュエータとでは、接着剤層と金属板の存在の有無に起因して、積層型圧電アクチュエータにおける応力分布に差が生じるものと考えられる。そのため、特許文献１で規定するスリット形成条件が、一体焼成型の積層型圧電アクチュエータにはそのまま適用できないおそれがある。
【特許文献１】特開２０００−４９３９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
　発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、一体焼成型の積層型圧電アクチュエータの圧電駆動部の端部における
絶縁破壊の発生を抑制し、かつ、機械的強度を適切に維持
【０００７】
　すなわち、本発明の第１の観点によれば、圧電セラミックス層と電極層とが交互に積層されてなる圧電駆動部と、圧電セラミックス層どうしがその中央部で接合され、その外周部は圧電セラミックス層どうしが不連続となることで応力を吸収する応力吸収層部と、圧電不活性な保護層部とを有し、前記電極層が１層おきに接続されてなる、一体焼成型の積層型圧電アクチュエータであって、
　前記
応力吸収層部において
の関係を満たす
「【００２１】
　ここで
応力吸収層部を有しないアクチュエータの変形に着目すると
圧電駆動部９７が伸長すると、保護層部９８の外周部が圧電駆動部９７側に引き込まれるような変形が生じる。このような変形が生じた場合には、圧電駆動部９７と保護層部９８の境界近傍に大きな引張応力が発生し、これにより剥離が生じ、さらに絶縁破壊が生じる
「【００２６】
　表１に示す「素子幅」は、図２に示す圧電セラミックス層１１の一辺の長さ（形状）を示している。表１中の「電極幅ａ」は図２中の“ａ”と同じである。表１に示す各試料では、内部電極層の形状を長方形に設定しているために、内部電極層における中心から短辺への距離を「電極幅ｂ」で示している。表１中の「曲率Ｒ１」は、
四角形状の内部電極層の４隅に設けた曲率
「【００３０】
　
内部電極層に曲率Ｒ１を設けることによって、内部電極層の四隅での電荷集中が抑制されて絶縁破壊が起こり難くなり
イ　甲４に記載された技術事項
　段落【０００４】の記載から、甲４には、
「積層型圧電アクチュエータどうしをその端面全体で接着してしまうと、圧電駆動部が収縮した際の撓みに保護層部が追従することができずに、圧電駆動部と保護層部の境界近傍に大きな応力が発生し、これによって圧電駆動部の端部（つまり、保護層部との境界近傍）においてクラックが生じ、絶縁破壊を起こすことが知られており、このような絶縁破壊は製品寿命を短くしてしまうという問題がある。」との技術事項が記載されているといえる。
　段落【０００６】、【０００７】の記載から、甲４には、
「所定の寸法関係を有する応力吸収層部を設けることで、絶縁破壊の発生を抑制し、かつ、機械的強度を適切に維持する」との技術事項が記載されているといえる。
　段落【００２１】の記載から、甲４には、
「応力吸収層部を有しないアクチュエータの変形に着目すると、圧電駆動により保護層部の外周部が変形し、圧電駆動部と保護層部の境界近傍に応力が生じ、これにより剥離が生じ、さらに絶縁破壊が生じる」との技術事項が記載されているといえる。
　段落【００３０】の記載から、甲４には、　
「積層型圧電アクチュエータに関し、内部電極層に曲率を設けることによって、内部電極層の四隅での電荷集中を抑制し絶縁破壊が起こり難くすること。」の技術事項が記載されているといえる。
（５）甲５の記載事項及び技術事項
ア　甲５の記載事項
　取消理由で通知した特開平３−２３３９８３号公報（以下「甲５」という。）には次の事項が記載されている。
「〔概　要〕
　プリンタの
アクチュエータとして用いられる積層型圧電素子に関し
　素子の絶縁破壊を防止して信頼性を向上させることを目的とし、
　
多数の圧電セラミックスを内部電極を挟んで積層した素子本体の周面に、前記各内部電極と交互に接続する１対の外部電極を設けて成る積層型圧電素子において、前記素子本体の角部に面取りを施した構成とする
「〔発明が解決しようとする課題〕
　このような構成１作用を有する従来の積層型圧電素子では、内部電極露出部分に設けた半円柱状の電気絶縁層１４と素子本体１０の外周に施した絶縁層１３とより成る絶縁構造がとられている。
　しかし、
素子本体１０の形状は柱状であるため、角部でアーク放電が発生し、内部電極間や内部電極、外部電極間でショートして素子自体を破壊することがあった。
　
本発明は、素子の絶縁破壊を防止して信頼性を向上させることのできる積層型圧電素子を提供することを目的としている
「〔作　用〕
　
素子本体の角部に面取りが施されているので、従来問題となっていた高電圧印加時における素子本体角部でのアーク放電は発生しない。
　また、素子本体外周面に絶縁層をコーティングする際の塗りむらがなくなり、絶縁の効果が一層向上する。」（第２頁右下欄第１行〜第７行参照。）
「〔実施例〕
　以下、第１図に関連して本発明の詳細な説明する。
　第１図は本例の積層型圧電素子２１の構造を示す斜視図で、該積層型圧電素子２１は、素子本体２２の外周面に１対の外部電極２３．２４を設け、さらにこれらの表面を絶縁層２５で被覆して構成されている。
　素子本体２２は、多数の圧電セラミックス２６を内部電極２７を挟んで積層して構成され、角部にはＲ形状の面取り２８が施されている。この素子本体２２の形成要領は、面取り２８の形成以外は従来と同様である。」（第２頁右下欄第８行〜第２０行参照。）
イ　甲５に記載された技術事項
「アクチュエータとして用いられる積層型圧電素子に関し、圧電セラミックスを内部電極を挟んで積層した素子本体の周面の角部に面取りを施した構成とすることで、角部でアーク放電が発生し電極間でショートして素子自体を破壊するのを防止する。」
（６）甲６の記載事項
　取消理由で通知した新版　高電圧工学　第６１頁及び奥付　昭和５５年５月１５日発行（以下「甲６」という。）には次の事項が記載されている。
「「平等電界における火花放電」とは静電界的に平等電界中の放電という意味であるが、実用上の機器では幾何学的平等電界を実現できないことが多い。
実験上でも、電極端の電界が大となると火花が生ずるのはギャップ中ではなく端の部分ということになる。電界端が内部よりも電界の強さが強くならないよう端部を丸めた電極
（７）甲７の記載事項
　取消理由で通知したＪＩＳ　Ｃ　２１１０−１：２０１０　固体電気絶縁材料−絶縁破壊の強さの試験方法−第１部：商用周波数交流電圧印加による試験（作成日：平成２９年３月１５日、当審注：甲７は、ＪＩＳ規格であり、ＪＩＳ規格番号は「ＪＩＳ」で始まり、分野を表すアルファベット、番号、発行年で表示されることから、甲７の内容であるＪＩＳ規格は、２０１０年発行のものと認められる。）（http://kikakurui.com/c2/C2110-1-2010-01.html）（以下「甲７」という）には次の事項が記載されている。
「材料が薄い場合には、２〜３枚の試験片を用い、試験片の長辺が互いに適切な角度となるよう配置し、その上に上部電極を支持可能となるようにする。２枚の金属平板電極は、試験片の両端を超えて１５ｍｍ以上余裕のある寸法とし、長辺側の全面にわたって電極表面とよく接触するように注意する。
電極縁端間のフラッシオーバを避けるために、電極縁端に適切な丸み（半径３〜５ｍｍ）を付ける
（８）甲３〜５に記載された周知技術
　上記（３）〜（５）の甲３ないし甲５に記載された技術事項から、以下の技術事項は、周知技術であるといえる。
「圧電デバイスの電極間の放電、短絡（絶縁破壊）を防止するために、『電極の角部を丸くしたり面取りする』対策を講じる。」
（９）甲８の記載事項及び技術事項
ア　甲８の記載事項
　申立人が平成３０年３月８日付け意見書に添付した特開平１１−４０２５号公報（以下「甲８」という。）には次の事項が記載されている。
「【０００４】また、このように
電極８４の隅角部が角張った矩形形状をしていると
圧電素子の疲労強度の低下を招来し、繰り返し使用によってその耐用寿命を短縮させるという問題があった
「【０００８】本発明の解決しようとする課題は、圧電セラミックス素子基材の表面に設けられる表面電極に電圧を印加して圧電駆動を繰り返すに際し、その繰り返し使用による疲労強度の低下を抑制することにより、耐用寿命の長い圧電セラミックス素子を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するために本発明の
圧電セラミックス素子は、圧電セラミックス材料による圧電素子基材の表面に平面多角形状の電極が形成されたものであって、該表面電極の隅角部を円弧形状とした
イ　甲８に記載された技術事項
　上記記載から、甲８には、
「電極の隅角部が角張った矩形形状をしていると、圧電素子の疲労強度の低下を招来し、繰り返し使用によってその耐用寿命を短縮させるという問題があることから、
圧電セラミックス材料による圧電素子基材の表面に平面多角形状の電極が形成された圧電セラミックス素子において、該表面電極の隅角部を円弧形状とした。」との技術事項が記載されている。
（１０）甲９の記載事項及び技術事項
ア　甲９の記載事項
　申立人が平成３０年３月８日付け意見書に添付した特開平７−５５８６５号公報（以下「甲９」という。）には次の事項が記載されている。
「【０００３】この圧電積層体は、焼成前の圧電セラミックを電極ペースト等とともに一体に組付けた後に焼成したり、焼成後の圧電素子を内部電極とともに組付けたりして製造される。かかる圧電積層体は、使用中に放電を生じれば、絶縁部や圧電セラミックに破壊を生じてしまうという欠点がある。かかる破壊は、圧電積層体の両外部電極に数十〜数百Ｖの電圧を印加する際、互いに異極をなす外部電極と内部電極との境界の絶縁処理が不十分な場合に生じやすい。また、
圧電セラミック自体は１０
10
Ω以上の絶縁抵抗があるが、この圧電セラミックは脆性材料であるため、クラックを生じやすく、使用中の振動によりクラックが進展すれば、内部電極の両極間にミクロ放電が発生し、かかるミクロ放電が過剰になった場合にも破壊を生じてしまう。
イ　甲９に記載された技術事項
　上記記載から、甲９には、
「圧電セラミック自体は１０10Ω以上の絶縁抵抗があるが、この圧電セラミックは脆性材料であるため、クラックを生じやすく、使用中の振動によりクラックが進展すれば、内部電極の両極間にミクロ放電が発生し、かかるミクロ放電が過剰になった場合にも破壊を生じてしまう。」との技術事項が記載されている。
（１１）甲１０の記載事項及び技術事項
ア　甲１０の記載事項
　申立人が平成３０年１０月１０日付け意見書に添付した特開平７−２１１９５３号公報（以下「甲１０」という。）には次の事項が記載されている。
「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電特性を得るための、
圧電素子の分極方法
【０００２】
【従来の技術】従来、圧電素子は、絶縁性、耐熱性に優れたシリコーンオイル中で、常温または１００℃前後の温度で、数ｋＶ／ｍｍ ｎの直流電圧を印加して分極していた。また、空気中で行う分極方法もある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記、従来の方法では、シリコーンオイルを用いた分極方法は、必ずシリコーンオイルの洗浄工程が必要であり、この洗浄に用いられている洗浄剤は、１，１，１−トリクロロエタン、トリクロロエチレン、パークロロエチレン等であった。１，１，１−トリクロロエタンは、オゾン層破壊物質であり、モントリオール議案書に基づき、国内では、１９９５年末に全廃が予定されており、トリクロロエチレン、パークロロエチレンも水質汚濁法に基づき、各県で公害防止条例が定められている。そのため、石油系、水系洗浄剤等の代替洗浄剤の検討がなされているが、未だ、洗浄力不足等の問題点を有している。また、
空気中で分極する方法は、空気の絶縁耐圧が低いため、放電現象や、沿面放電により絶縁破壊が発生する等の問題点を有していた
イ　甲１０に記載された技術事項
　上記記載から、甲１０には、
「圧電素子を空気中で分極する方法は、放電現象や、沿面放電により絶縁破壊が発生する等の問題点を有している。」との技術事項が記載されている。
（１２）甲４引用特許文献１（甲１１）の記載事項及び技術事項
ア　甲４引用特許文献１の記載事項
　甲４の明細書中に引用された特許文献１であり、申立人が平成３０年１０月１０日付け意見書に添付した甲第１１号証である特開２０００−４９３９６号公報（以下「甲４引用特許文献１」という。）には次の事項が記載されている。
「【０００３】積層型圧電アクチュエータでは、圧電的に活性な部分（積層体）の上下両端に圧電的に不活性な部分（不活性体）を強固に接合した構造を有する。この
不活性体は
外部との絶縁を図る役割を果し
「【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述した
積層型圧電アクチュエータでは、圧電的に活性な積層体と不活性体とが強固に接合されているために
長時間駆動した場合には、積層体が軸長方向の伸縮とともに径方向へも伸縮することにより、不活性体と積層体との境界部分に大きな応力集中が起こり、不活性体または積層体の圧電板が破損してしまうという問題があった。これにより、不活性体が剥離したり、
という問題があった
「【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の積層型圧電アクチュエータは、複数の圧電板と複数の電極とを交互に積層した積層体と、該積層体の上下にそれぞれ接合されたセラミック製の不活性体とを具備するとともに、前記電極が交互に電気的に接続された積層型圧電アクチュエータであって、前記不活性体の外周面に環状のスリットを形成するとともに、該スリットを形成した部分の不活性体縮径部の断面積Ｓ1が、前記電極の面積Ｓ2の２５〜５０％であることを特徴とする。」
「【００２６】そして、積層体１の上下面には、圧電的に不活性で機械的エネルギーを伝達するセラミックスからなる円柱状の不活性体１８が絶縁性接着剤２２によりガラス接合されている。この不活性体１８は圧電板１１と同一径とされており、例えば、圧電体１１と同一材料でも良いし、Ａｌ2Ｏ3等でも良い。」
イ　甲４引用特許文献１に記載された技術事項
　上記記載から、甲４引用特許文献１には、
「積層型圧電アクチュエータでは、圧電的に活性な積層体と、外部との絶縁を図る役割を果す不活性体とが強固に接合されているために、長時間駆動した場合には、積層体が軸長方向の伸縮とともに径方向へも伸縮することにより、不活性体と積層体との境界部分に大きな応力集中が起こり、不活性体または積層体の圧電板が破損してしまうという問題があった。これにより、不活性体が剥離したりするという問題があった。」との技術事項が記載されている。
（１３）甲４及び甲４引用特許文献１に記載された周知の課題
　甲４に記載の「保護層部」は、甲４引用特許文献１に記載の外部との絶縁を図る役割を果す「不活性体」に対応するものであることに鑑みるに、上記甲４（特に段落【０００４】、【００２１】参照。）及び甲４引用特許文献１（特に、段落【０００３】、【０００６】参照。）に記載された技術事項から、以下の事項は、周知の課題であるといえる。
「積層型圧電アクチュエータにおいて、圧電駆動部に接合される、絶縁を図る役割を果す「不活性体」（保護層部）は、圧電駆動の際に、撓みに追従することができなかったり、外周部が変形したりし、圧電駆動部と保護層部の境界近傍に応力が生じる。この圧電駆動を長時間駆動した場合には、該境界部分に大きな応力集中が起こり、保護層部または積層体の圧電板が破損したり、保護層部が剥離したりし、絶縁破壊を起こすという問題がある。」
４　対比、判断
（１）本件特許発明１について
ア　甲１発明との対比、判断
（ア）本件特許発明１と甲１発明とを対比する。
　甲１発明の「固定ベース」、「光反射面を有するミラー部」、「前記ミラー部を揺動可能に支持する一対の弾性支持部材」は、それぞれ本件特許発明１の「固定ベース」、「光反射面を有する可動部」、「前記可動部を回転可能に支持する弾性支持部材」に相当する。
　甲１発明において「前記弾性支持部材の長手方向と前記駆動梁の長手方向とが略直交して配置されて、両者が接続され、前記駆動梁の他端は固定ベースに固定されて」いるから、甲１発明の「駆動梁」は、本件特許発明１の「前記可動部及び前記弾性支持部材を前記固定ベースに対して支持する駆動梁」に相当する。
　甲１発明の「駆動梁３０ａは、固定ベース４０から突出して形成された梁状部材３１ａの上に、接着層３３ａ、下部電極３５ａ、圧電材料（圧電部材）３２ａ、上部電極３４ａ、絶縁層３６ａの順で積層して構成され、前記上部電極、前記圧電部材及び前記下部電極が絶縁層で覆われて」いることは、本件特許発明１の「前記駆動梁は、梁状部材と該梁状部材上に設けられた圧電部材とからなり、前記圧電部材は上部電極及び下部電極を有し」、「前記駆動梁は、少なくとも前記上部電極、前記圧電部材及び前記下部電極が絶縁層で覆われて」いることに相当する。
　甲１発明の「上部電極３４ａと下部電極３５ａの間に電圧を印加すると、駆動梁３０ａ全体が反って、曲げ変形する光偏向器」は、本件特許発明１の「前記上部電極及び前記下部電極に電圧を印加し、前記駆動梁が曲げ変形することで、前記弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記可動部が回転する圧電光偏向器」に相当する。
　そして、甲１発明は、駆動梁３０ａ全体が反って、曲げ変形するから、駆動梁３０ａ上に積層される絶縁層は、前記駆動梁が駆動すると前記圧電部材と共に伸縮することは明らかであるから、甲１発明の「絶縁層」は、本件特許発明１の絶縁層と同様に、「前記駆動梁が駆動すると前記圧電部材と共に伸縮」するものであるといえる。
　甲１発明の「前記弾性支持部材の長手方向と前記駆動梁の長手方向とが略直交して配置されて、両者が接続され、前記駆動梁の他端は固定ベースに固定されて」いることは、本件特許発明１の「前記駆動梁の一端は前記弾性支持部材と接続され、前記駆動梁の他端は前記固定ベースに接続されて」いることに相当する。
（イ）一致点
　よって、本件特許発明１と甲１発明とは、
「固定ベースと、光反射面を有する可動部と、前記可動部を回転可能に支持する弾性支持部材と、前記可動部及び前記弾性支持部材を前記固定ベースに対して支持する駆動梁とを有し、
　前記駆動梁は、梁状部材と該梁状部材上に設けられた圧電部材とからなり、前記圧電部材は上部電極及び下部電極を有し、
　前記上部電極及び前記下部電極に電圧を印加し、前記駆動梁が曲げ変形することで、前記弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記可動部が回転する圧電光偏向器において、
　前記駆動梁は、少なくとも前記上部電極、前記圧電部材及び前記下部電極が絶縁層で覆われており、
　前記絶縁層は、前記駆動梁が駆動すると前記圧電部材と共に伸縮し、
　前記駆動梁の一端は前記弾性支持部材と接続され、前記駆動梁の他端は前記固定ベースに接続されている圧電光偏向器。」の点で一致し、次の点で相違する。
（ウ）相違点
　本件特許発明１は、「前記圧電部材の前記上部電極と前記下部電極の少なくとも一方の電極の前記駆動梁の前記一端の側（弾性支持部材と接続された側）の先端の角が円弧形状又はテーパー形状になっている」のに対し、甲１発明は、「下部電極３５ａと上部電極３４ａの積層部分の形状は四角形」をしており、その電極の角は、円弧形状又はテーパー形状になっていない点（以下、「相違点１」という。）。
（エ）判断
　相違点１について検討する。
ａ　本件特許発明１について
　本件特許明細書には、以下の記載がある。
「【０００６】
  ところで、光偏向器は、その使用環境によっては小型化に加えて薄型化が要求されることがある。圧電光偏向器を薄型化するためには、圧電部材を薄膜化にすればよいが、そうすると、圧電部材の上下電極間の距離が近くなるため、該上下電極に駆動電圧を印加した際に、上下電極の端部から放電がおこり、電極間が短絡（沿面放電）する可能性が生じる。圧電部材の上下電極間が短絡すると、圧電光偏向器の動作は不安定になり、動作不能に陥ることにもなる。
【０００７】
  従来、圧電アクチュエータや圧電光偏向器などにおいて、圧電部材の上下電極間の短絡を防止するために、圧電部材及び上下電極の側面等を絶縁膜で覆うことが知られている（例えば、特許文献２）。しかしながら、上下電極に駆動電圧を印加して圧電部材を駆動すると、圧電部材と共に絶縁膜も伸縮する。この結果、長時間の駆動中には絶縁膜にクラックや膜欠陥（絶縁破壊）が生じ、絶縁耐力が低下して、沿面放電を引き起こしかねない。そのため、高い信頼性が求められるデバイスに用いられる圧電光偏向器では、信頼性の面でさらなる対策が不可欠である。」
「【００２４】
  駆動梁３０ａ，３０ｂを覆っている絶縁層に、絶縁膜の欠陥やクラックが起きて、絶縁耐力が低下すると、圧電部材３２ａ，３２ｂの上下電極間で沿面放電を誘発する。そして、圧電部材３２ａ，３２ｂが薄膜になればなるほど、沿面放電が誘発しやすくなる。
【００２５】
  ここで、電極の先端形状が鋭角であるほど、電極先端に電気力線が集中し、沿面放電が起きやすくなる。すなわち、電気力線は等電位面に対して垂直に入るため、電極の先端形状が鋭角の場合、電極先端に電界が集中し、沿面放電が発生しやすくなる。逆に、電極の先端形状を円弧形状（鈍角状）にすれば、電極先端に電界が集中するのを防止でき、沿面放電の発生を抑制することが可能になる。
【００２６】
  特に、図１に示すように、圧電駆動部が片持ち梁構成の圧電光偏向器の場合、上部電極３１ａ，３４ｂの先端角（駆動梁３０ａ，３０ｂの自由端側の先端角）を円弧形状（鈍角状）とすることで、該上部電極３４ａ，３４ｂの先端に電界が集中するのを防止でき、長時間駆動等で駆動梁３０ａ，３０ｂの自由端で絶縁破壊が起きても、沿面放電を抑制することが可能になる。」
　以上の記載から、本件特許発明１は、圧電部材の上下電極間の短絡（沿面放電）を防止するために、「上部電極、圧電部材及び下部電極」を絶縁層で覆ってはいるが、長時間駆動等で駆動梁３０ａ，３０ｂの自由端で絶縁膜にクラックや膜欠陥（絶縁破壊）が生じ、絶縁耐力が低下して、沿面放電を引き起こしかねないことから、相違点１に係る構成である「前記圧電部材の前記上部電極と前記下部電極の少なくとも一方の電極の前記駆動梁の前記一端の側（弾性支持部材と接続された側）の先端の角が円弧形状又はテーパー形状になっている」構成を採用し、電極の先端に電界が集中するのを防止し、沿面放電を抑制したものである。
ｂ　甲２について
　甲２は、本件特許明細書で引用された先行技術文献である特許文献２であり（上記ａの【０００７】参照。）、圧電アクチュエータや圧電光偏向器などにおいて、圧電部材の上下電極間の短絡を防止するために、圧電部材及び上下電極の側面等を絶縁膜で覆うことが記載されているにとどまるものである。
ｃ　甲３について
　甲３には、「放電が起きにくい圧電振動片又は圧電デバイスを提供するために、短絡が発生しやすい電極の角部を角部が無い電極形状にすること。」との技術事項が記載されている。
　しかしながら、「【０００６】音叉型圧電振動片１２０の基部１２９には、基部電極１２３ａ、１２５ａが形成されており、外部から基部電極１２３ａ、１２５ａに電流が供給される。基部電極１２３ａ、１２５ａから、溝電極１２３ｄ及び溝電極１２５ｄと側面電極１２３ｃ及び側面電極１２５ｃへ電流を供給するため、接続電極１２３ｂ，１２５ｂが形成される。隣り合う接続電極１２３ｂと接続電極１２５ｂとの幅は、非常に狭く、例えば０．０１ｍｍから０．０３ｍｍ程度しかないため、放電による短絡が生じやすい。特に円で囲まれた領域ＤＣにて、放電による短絡が生じている。」と記載されているように、甲３において、放電による短絡が生じやすいと認識されているのは、隣り合う接続電極の場所であり、音叉型圧電振動片の先端側（自由端側）の電極の角部ではない。また、電極を絶縁膜が覆う構造ではないから、絶縁膜に生じるクラックや膜欠陥との関連においいて、放電による短絡が生じやすい場所を特定する技術思想は存在しない。
ｄ　甲４及び甲４引用特許文献１について
　甲４及び甲４引用特許文献１の記載から、
「積層型圧電アクチュエータにおいて、圧電駆動部に接合される、絶縁を図る役割を果す「不活性体」（保護層部）は、圧電駆動の際に、撓みに追従することができなかったり、外周部が変形したりし、圧電駆動部と保護層部の境界近傍に応力が生じる。この圧電駆動を長時間駆動した場合には、該境界部分に大きな応力集中が起こり、保護層部または積層体の圧電板が破損したり、保護層部が剥離したりし、絶縁破壊を起こすという問題がある。」ということは、周知の課題であるといえる。
　そして、絶縁破壊に関する周知の課題を有する甲４において、「内部電極層に曲率を設けることによって、内部電極層の四隅での電荷集中を抑制し絶縁破壊が起こり難くする」という対策が講じられることが記載されている。
　しかしながら、甲４において、本件特許発明１の「絶縁層」に相当する保護層部４と、圧電セラミックス層１１と内部電極層１２とが交互に積層されてなる圧電駆動部３との間に応力吸収部層が設けられているから、保護層部４は、圧電セラミックス層１１と内部電極層１２を覆う層ではない。
　そして、甲４には、「【００３０】内部電極層に曲率Ｒ１を設けることによって、内部電極層の四隅での電荷集中が抑制されて絶縁破壊が起こり難くなり、また、接合部に曲率Ｒ２を設けることで、応力集中を緩和することができると考えられる。」との記載があるものの、内部電極層を覆う保護層部は存在しないから、保護層部に生じるクラックや膜欠陥との関連において、曲率を設ける内部電極層の角部の場所を特定する技術思想は存在しない。甲４特許文献１についても、前記技術思想は、記載も示唆もない。
ｅ　甲５について
　甲５には、「アクチュエータとして用いられる積層型圧電素子に関し、圧電セラミックスを内部電極を挟んで積層した素子本体の周面の角部に面取りを施した構成とすることで、角部でアーク放電が発生し電極間でショートして素子自体を破壊するのを防止する。」との技術事項が記載されている。
　しかしながら、素子本体の周面の角部に面取りを施しており、電気絶縁層１４、絶縁層１３に生じるクラックや膜欠陥との関連において、面取りを施す内部電極の角部の場所を特定するという技術思想は存在しない。
ｆ　甲６から甲１０までについて
　甲６から甲１０までのいずれの文献には、上部電極、圧電部材及び下部電極を覆っている絶縁層に生じるクラックや膜欠陥との関連において、円弧形状又はテーパー形状とする電極の角部の場所を特定する技術思想についての記載も示唆もない。
ｇ　以上のとおり、甲２から甲１０までのいずれの文献にも上部電極、圧電部材及び下部電極を覆っている絶縁層に生じるクラックや膜欠陥との関連において、円弧形状又はテーパー形状とする電極の角部の場所を特定する技術思想は記載も示唆もされていないから、甲１発明において、「前記圧電部材の前記上部電極と前記下部電極の少なくとも一方の電極の前記駆動梁の前記一端の側（弾性支持部材と接続された側）の先端の角が円弧形状又はテーパー形状になっている」という相違点１に係る構成を採用する動機付けがあるとはいえない。よって、本件特許発明１は、甲１発明、甲２ないし甲１０及び甲４引用特許文献１の記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
イ　甲２発明との対比、判断
（ア）甲２発明との対比
　甲２発明の「ミラー部１１」、「圧電素子４０」は、それぞれ本件特許発明１の「光反射面を有する可動部」、「圧電部材」に相当する。
　甲２発明において「梁部１２、１３は、ミラー部１１からＸ軸方向に延び、ミラー部１１を支持し、」「ミラー部１１が梁部１２、１３の長手方向を揺動軸１５として共振揺動され」るから、甲２発明の「梁部１２、１３」は、本件特許発明１の「前記可動部を回転可能に支持する弾性支持部材」に相当する。
　甲２発明において「基板１０は、ミラー部１１と、梁部１２、１３と、枠板部１４と、を備え、梁部１２、１３は、ミラー部１１からＸ軸方向に延び、ミラー部１１を支持し、枠板部１４は、ミラー部１１と、梁部１２、１３とを囲むように形成され、梁部１２、１３と連結されており、筐体２０は、支持部２１と、ベース部２２と、を備え、基板１０のＹ軸方向における両端のうち一端が、支持部２１と接続され、」ているから、甲２発明の「筐体２０」及び「枠板部１４」は、それぞれ本件特許発明１の「固定ベース」及び「前記可動部及び前記弾性支持部材を前記固定ベースに対して支持する駆動梁」に相当する。
　甲２発明の「圧電素子４０と基板１０の枠板部１４とは導電性接着層５１及び絶縁性接着層５２で接着され」ており、「圧電素子４０の伸縮が、導電性接着層５１及び絶縁性接着層５２を経由して、枠板部１４に伝えられ、枠板部１４がたわみ」を生じるから、甲２発明の「枠板部１４」は、本件特許発明１の「前記駆動梁は、梁状部材と該梁状部材上に設けられた圧電部材とからな」っている構成を有しているといえる。
　甲２発明の「圧電素子４０は、圧電体４１と、１対の電極４２と、を備え、１対の電極４２は、圧電体４１のＺ軸方向における両面に設けられ、１対の電極４２は、第１の電極４３と第２の電極４４とを有し」ていることは、本件特許発明１の「前記圧電部材は上部電極及び下部電極を有し」ていることに相当する。
　甲２発明の「圧電素子４０の伸縮が、導電性接着層５１及び絶縁性接着層５２を経由して、枠板部１４に伝えられ、枠板部１４がたわみ、このたわみが枠板部１４から梁部１２、１３を介してミラー部１１へと伝わり、結果的にミラー部１１が梁部１２、１３の長手方向を揺動軸１５として共振揺動され」る「光スキャナ」は、本件特許発明１の「前記上部電極及び前記下部電極に電圧を印加し、前記駆動梁が曲げ変形することで、前記弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記可動部が回転する圧電光偏向器」に相当する。
　甲２発明の「絶縁性接着層５２は、第１の電極４３のＺ軸方向に沿った側面４３ｅと圧電体４１のＺ軸方向に沿った側面４１ｅとを覆って」いることと、本件特許発明の「前記駆動梁は、少なくとも前記上部電極、前記圧電部材及び前記下部電極が絶縁層で覆われて」いることとは、共に、「前記駆動梁は、少なくとも前記上部電極、前記圧電部材及び前記下部電極の側面部において絶縁層で覆われて」いる点で共通する。
　また、甲２発明の絶縁性接着層５２は、圧電体４１のＺ軸方向に沿った側面４１ｅを覆っているから、圧電体４１の駆動に伴い伸縮することは明らかである。
　してみると、本件特許発明１は、甲２発明とは、
「固定ベースと、光反射面を有する可動部と、前記可動部を回転可能に支持する弾性支持部材と、前記可動部及び前記弾性支持部材を前記固定ベースに対して支持する駆動梁とを有し、
　前記駆動梁は、梁状部材と該梁状部材上に設けられた圧電部材とからなり、前記圧電部材は上部電極及び下部電極を有し、
　前記上部電極及び前記下部電極に電圧を印加し、前記駆動梁が曲げ変形することで、前記弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記可動部が回転する圧電光偏向器において、
　前記駆動梁は、少なくとも前記上部電極、前記圧電部材及び前記下部電極の側面部において絶縁層で覆われており、
　前記絶縁層は、前記駆動梁が駆動すると前記圧電部材と共に伸縮する圧電光偏向器。」
において一致し、
　本件特許発明１は、「前記駆動梁の一端は前記弾性支持部材と接続され、前記駆動梁の他端は前記固定ベースに接続されており、前記圧電部材の前記上部電極と前記下部電極の少なくとも一方の電極の前記駆動梁の前記一端の側の先端の角が円弧形状又はテーパー形状になっている」のに対し、甲２発明は、圧電素子４０と接着された枠板部１４は「駆動梁」とはいえるものの、枠板部１４の（端部ではなく）中間に２つの梁部１２、１３（本件特許発明１の「弾性支持部材」に相当。）と連結されており、本件特許発明２のように「前記駆動梁の一端は前記弾性支持部材と接続され」ているものではなく、「前記圧電部材の前記上部電極と前記下部電極の少なくとも一方の電極の前記駆動梁の前記一端の側（弾性支持部材と接続された側）の先端の角が円弧形状又はテーパー形状になっている」ものではない点で相違する（以下、「相違点２」という。）。
　また、「前記上部電極、前記圧電部材及び前記下部電極」を覆う「絶縁層」において、覆っている場所が、本件特許発明１は、側面部に限定されていないのに対し、甲２発明は、側面部である点で相違する（以下、「相違点３」という。）。
（イ）相違点２についての判断
　甲２には、「圧電アクチュエータを備えた光スキャナにおいて、一般的に、圧電素子の厚みを薄くすると、相対的に電極同士が対向する方向の電極間の距離が近くなるため、駆動電圧が電源から電極に印加された際に、電極間の短絡が起こってしまい、圧電アクチュエータが動作しなくなる恐れがある。」との課題が記載されている。そして、その課題を解決するために、甲２発明は、「絶縁性接着層５２は、第１の電極４３のＺ軸方向に沿った側面４３ｅと圧電体４１のＺ軸方向に沿った側面４１ｅとを覆って」いる構成を採用している。
　しかしながら、上下電極に駆動電圧を印加して圧電部材を駆動すると、圧電部材と共に絶縁膜も伸縮する結果、長時間の駆動中には絶縁膜にクラックや膜欠陥（絶縁破壊）が生じ、絶縁耐力が低下して、沿面放電を引き起ことまで、甲２には、記載も示唆もない。また、甲１、甲３ないし甲１０及び甲４引用特許文献１にも記載も示唆もない。
　さらに、たとえ「電極の角部を丸くしたり面取りする」対策を講じるとしても、甲２発明は、駆動梁の一端は弾性支持部材と接続されるものではないから「電極の前記駆動梁の前記一端の側（弾性支持部材と接続された側）の先端の角が円弧形状又はテーパー形状になっている」構成にはならないから、甲２発明において、相違点２に係る構成を得ることはできない。
　よって、相違点３について検討するまでもなく、本件特許発明１は、甲２発明、甲１、甲３ないし甲１０及び甲４引用特許文献１の記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
（２）本件特許発明２について
ア　甲１発明との対比、判断
　本件特許発明２と甲１発明とを対比すると、相違点は、上記相違点１に帰着する。
　そして、上記相違点１についての判断は、上記４「（２）相違点１についての判断」に記載したとおりである。
　よって、本件特許発明２は、甲１発明、甲２ないし甲１０及び甲４引用特許文献１の記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
イ　甲２発明との対比、判断
　本件特許発明２は、本件特許発明１の構成を全て備え、さらに限定した発明であるから、本件特許発明２と甲２発明との対比において、少なくとも上記相違点２がある。
　そして、相違点２についての判断は、「（１）イ」「（イ）相違点２についての判断」に記載したとおりである。
　よって、本件特許発明１と同様に、本件特許発明２は、甲２発明、甲１、甲３ないし甲１０及び甲４引用特許文献１の記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
（３）本件特許発明３について
ア　甲１発明との対比、判断
　本件特許発明３と甲１発明（２軸光偏向器）とを対比すると、相違点は、上記相違点１に帰着する。
　そして、上記相違点１についての判断は、上記４「（２）相違点１についての判断」に記載したとおりである。
　よって、本件特許発明３は、甲１発明（２軸光偏向器）、甲２ないし甲１０及び甲４引用特許文献１の記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
イ　甲２発明との対比、判断
　本件特許発明３と甲２発明とを対比すると、相違点は、上記相違点２に帰着する。
　そして、相違点２についての判断は、「（１）イ」「（イ）相違点２についての判断」に記載したとおりである。
　よって、本件特許発明１と同様に、本件特許発明３は、甲２発明、甲１、甲３ないし甲１０及び甲４引用特許文献１の記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
（４）本件特許発明４について
ア　甲１発明との対比、判断
　本件特許発明４は、光源と、光源からの光ビームを偏向走査させる本件特許発明１又は２の圧電光偏向器と、該圧電光偏向器で偏向走査された光ビームを被走査面にスポット状に結像する走査光学系とを備える」「光走査装置」の発明である。
　本件特許発明４と甲１発明（光走査装置）とを対比すると、相違点は、上記相違点１又は上記相違点２に帰着する。
　そして、上記相違点１についての判断は、上記４「（２）相違点１についての判断」に記載したとおりである。
　よって、本件特許発明４は、甲１発明（光走査装置）、甲２ないし甲１０及び甲４引用特許文献１の記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
イ　甲２発明との対比、判断
　本件特許発明４と甲２発明とを対比すると、相違点は、上記相違点２に帰着する。
　そして、相違点２についての判断は、「（１）イ」「（イ）相違点２についての判断」に記載したとおりである。
　よって、本件特許発明１と同様に、本件特許発明４は、甲２発明、甲１、甲３ないし甲１０及び甲４引用特許文献１の記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
（５）本件特許発明５について
ア　甲１発明との対比、判断
　本件特許発明５は、本件特許発明４の「光走査装置と、光ビームの走査により潜像を形成する感光体と、潜像をトナーで顕像化する現像手段と、トナー像を記録紙に転写する転写手段とを有する」「画像形成装置」の発明である。
　本件特許発明５と甲１発明（画像形成装置）とを対比すると、相違点は、上記相違点１又は上記相違点２に帰着する。
　そして、上記相違点１についての判断は、上記４「（２）相違点１についての判断」に記載したとおりである。
　よって、本件特許発明５は、甲１発明（画像形成装置）、甲２ないし甲１０及び甲４引用特許文献１の記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
イ　甲２発明との対比、判断
　本件特許発明５と甲２発明とを対比すると、相違点は、上記相違点２に帰着する。
　そして、相違点２についての判断は、「（１）イ」「（イ）相違点２についての判断」に記載したとおりである。
　よって、本件特許発明１と同様に、本件特許発明５は、甲２発明、甲１、甲３ないし甲１０及び甲４引用特許文献１の記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
（６）本件特許発明６について
ア　甲１発明との対比、判断
　本件特許発明６は、本件特許発明３の「圧電光偏向器を有し、該圧電光偏向器により光ビームを偏向・走査して、投影面に画像を投影する」「画像投影装置」の発明である。
　本件特許発明６と甲１発明（画像投影装置）とを対比すると、相違点は、上記相違点１に帰着する。
　そして、上記相違点１についての判断は、上記４「（２）相違点１についての判断」に記載したとおりである。
　よって、本件特許発明６は、甲１発明（画像投影装置）、甲２ないし甲１０及び甲４引用特許文献１の記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
イ　甲２発明との対比、判断
　本件特許発明６と甲２発明とを対比すると、相違点は、上記相違点２に帰着する。
　そして、相違点２についての判断は、「（１）イ」「（イ）相違点２についての判断」に記載したとおりである。
　よって、本件特許発明１と同様に、本件特許発明６は、甲２発明、甲１、甲３ないし甲１０及び甲４引用特許文献１の記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
（７）申立人の意見について
　申立人は、訂正発明１（本件特許発明１）は、甲１発明、絶縁破壊に関する周知の課題及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができた旨主張しているので、以下検討する。
ア　周知技術について
　上記周知技術とは、甲３〜５に記載された「圧電デバイスの電極間の放電、短絡（絶縁破壊）を防止するために、『電極の角部を丸くしたり面取りする』対策を講じる。」というものである。
イ　沿面放電を避けるという課題について
　甲７の「電極縁端間のフラッシオーバを避けるために、電極縁端に適切な丸み（半径３〜５ｍｍ）を付ける」との記載や、甲１０の「圧電素子を空気中で分極する方法は、空気の絶縁耐圧が低いため、放電現象や、沿面放電により絶縁破壊が発生する等の問題点を有していた。」との記載から、沿面放電を避けるという課題は一般的であるといえる。そして、甲２発明は、絶縁性接着層を電極と圧電体の側面を覆うことで、放電による電極間の短絡を防止している。甲１発明も上部電極、圧電部材及び下部電極を絶縁層で覆う構成を有していることから、甲２発明と同様に放電（沿面放電）による電極間の短絡を防止しているものである。
　一方、本件特許明細書の段落【０００７】に「従来、圧電アクチュエータや圧電光偏向器などにおいて、圧電部材の上下電極間の短絡を防止するために、圧電部材及び上下電極の側面等を絶縁膜で覆うことが知られている（例えば、特許文献２）。しかしながら、上下電極に駆動電圧を印加して圧電部材を駆動すると、圧電部材と共に絶縁膜も伸縮する。この結果、長時間の駆動中には絶縁膜にクラックや膜欠陥（絶縁破壊）が生じ、絶縁耐力が低下して、沿面放電を引き起こしかねない。そのため、高い信頼性が求められるデバイスに用いられる圧電光偏向器では、信頼性の面でさらなる対策が不可欠である。」（当審注：上記特許文献２は、甲２である。）
　つまり、圧電部材及び上下電極の側面等を絶縁膜で覆う構成を有している甲１発明や甲２発明は、沿面放電を避けるという一般的な課題については解決しているものである。
　よって、甲１発明において、沿面放電を避けるという一般的な課題に基づいて、周知技術を適用する動機付けは存在しない。
　そして、本件特許発明は、長時間の駆動中には絶縁膜にクラックや膜欠陥（絶縁破壊）が生じるという、一般的な課題を踏まえたさらなる課題の認識があるものである。
ウ　甲４及び甲４引用特許文献１に記載された周知の課題について
　周知の課題とは、「
積層型圧電アクチュエータにおいて、
　つまり、周知の課題は、積層型圧電アクチュエータにおける周知の課題であって、甲１発明の「駆動梁」が有する「固定ベース４０から突出して形成された梁状部材３１ａの上に、接着層３３ａ、下部電極３５ａ、圧電材料（圧電部材）３２ａ、上部電極３４ａ、絶縁層３６ａの順で積層して構成され、前記上部電極、前記圧電部材及び前記下部電極が絶縁層で覆われて」いる構成とは異なるタイプのアクチュエータにおける課題である。
　甲４及び甲４引用特許文献１に記載された積層型圧電アクチュエータの「不活性体」（保護層部）は、甲１発明のように上部電極、圧電部材及び下部電極を覆うものではないから、甲４及び甲４引用特許文献１に記載された積層型圧電アクチュエータにおいて、上部電極、圧電部材及び下部電極を覆う保護層部に生じるクラックや膜欠陥との関連において、曲率を設ける内部電極層の角部の場所を特定する技術思想は存在しない。
　してみると、甲４及び甲４引用特許文献１に記載された積層型圧電アクチュエータの周知の課題は、積層型圧電アクチュエータとは異なるタイプの甲１発明においても存在する周知の課題であるとはいえない。
　よって、甲１発明において、甲４及び甲４引用特許文献１に記載された積層型圧電アクチュエータの周知の課題に基づいて、周知技術を適用することにはならない。
エ　申立人の意見についてのまとめ
　沿面放電を避けるという一般的な課題や甲４及び甲４引用特許文献１に記載された周知の課題があるにしても、上記イ、ウのとおり、甲１発明に甲３〜５に記載された周知技術を適用することにはならない。
　また、上部電極、圧電部材及び下部電極を覆っている絶縁層に生じるクラックや膜欠陥との関連において、円弧形状又はテーパー形状とする電極の角部の場所を特定する技術思想はいずれの文献にも記載も示唆もされていないから、甲１発明に周知技術を適用しても、訂正発明１（本件特許発明１）の構成を得ることはできない。
　よって、訂正発明１（本件特許発明１）は、甲１発明、絶縁破壊に関する周知の課題及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとする申立人の主張は採用することができない。
第４　まとめ
　以上のとおりであるから、取消理由通知に記載した取消理由によっては、本件特許発明１ないし６に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件特許発明１ないし６に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成３０年１２月２７日（２０１８．１２．２７）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　固定ベースと、光反射面を有する可動部と、前記可動部を回転可能に支持する弾性支持部材と、前記可動部及び前記弾性支持部材を前記固定ベースに対して支持する駆動梁とを有し、
　前記駆動梁は、梁状部材と該梁状部材上に設けられた圧電部材とからなり、前記圧電部材は上部電極及び下部電極を有し、
　前記上部電極及び前記下部電極に電圧を印加し、前記駆動梁が曲げ変形することで、前記弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記可動部が回転する圧電光偏向器において、
　
前記駆動梁は、少なくとも前記上部電極、前記圧電部材及び前記下部電極が絶縁層で覆われており、
　
前記絶縁層は、前記駆動梁が駆動すると前記圧電部材と共に伸縮し、
　
前記駆動梁の一端は前記弾性支持部材と接続され、前記駆動梁の他端は前記固定ベースに接続されており、
前記駆動梁の前記一端の側の
　【請求項２】
　一対の駆動梁により、前記可動部及び前記弾性支持部材が前記固定ベースに対して片持ち支持され、
　前記電極の前記駆動梁の自由端側の先端の角が円弧形状又はテーパー形状になっていることを特徴とする請求項１に記載の圧電光偏向器。
　【請求項３】
　可動枠と、光反射面を有する可動部と、前記可動部を回転可能に支持する第１の弾性支持部材と、前記可動部及び前記第１の弾性支持部材を前記可動枠に対して支持する第１の駆動梁と、
　固定ベースと、前記可動枠を回転可能に支持する第２の弾性支持部材と、前記可動枠及び前記第２の弾性支持部材を前記固定ベースに対して支持する第２の駆動梁とを有し、
　前記第１の駆動梁及び前記第２の駆動梁は、各々、梁状部材と該梁状部材上に設けられた圧電部材とからなり、前記圧電部材は上部電極及び下部電極を有し、
　前記第１の駆動梁の圧電部材の前記上部電極及び下部電極に電圧を印加し、前記第１の駆動梁が曲げ変形することで、前記第１の弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記可動部が第１の方向に回転し、
　前記第２の駆動梁の圧電部材の前記上部電極及び下部電極に電圧を印加し、前記第２の駆動梁が曲げ変形することで、前記第２の弾性支持部材に捻り変形が発生して、前記可動枠が回転して、前記可動部が第２の方向に回転する圧電光偏向器において、
　
前記第１の駆動梁は、少なくとも前記第１の駆動梁における前記上部電極、前記圧電部材及び前記下部電極が絶縁層で覆われており、
　
前記絶縁層は、前記第１の駆動梁が駆動すると前記第１の駆動梁における前記圧電部材と共に伸縮し、
　
前記第１の駆動梁の一端は前記第１の弾性支持部材と接続され、前記第１の駆動梁の他端は前記可動枠に接続されており、
前記第１の駆動梁の前記一端の側の
　【請求項４】
　光源と、光源からの光ビームを偏向走査させる請求項１又は２に記載の圧電光偏向器と、該圧電光偏向器で偏向走査された光ビームを被走査面にスポット状に結像する走査光学系とを備えることを特徴とする光走査装置。
　【請求項５】
　請求項４に記載の光走査装置と、光ビームの走査により潜像を形成する感光体と、潜像をトナーで顕像化する現像手段と、トナー像を記録紙に転写する転写手段とを有することを特徴とする画像形成装置。
　【請求項６】
　請求項３に記載の圧電光偏向器を有し、該圧電光偏向器により光ビームを偏向・走査して、投影面に画像を投影することを特徴とする画像投影装置。