【手続補正書】
【提出日】平成17年6月30日(2005.6.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可視的なしるしを有する基板に対する画像装置の視野の位置を判断する方法であって、
前記方法は、選択された一式のしるしの基準グループの位置の変化に基づいて、前記画像装置の前記視野の前記位置を判断するステップを有し、
それぞれの選択されたしるしの基準グループについて、前記位置の変化が前記基板の対応する一部の画像データの取得と分析により決定されることを特徴とする方法。
【請求項２】
請求項１に記載の位置判断方法であって、
前記基板で各基準グループとしての役割をする１つ以上のしるしのグループを選択し、前記選択された基準グループが前記視野の公称位置にある場合に、前記画像装置の前記視野が前記基板に関して第１の位置にあるステップと、
それぞれの基準グループの前記公称位置に対応する前記基板の一部の画像を生成するために前記画像装置を使用し、前記一部の画像の少なくとも１つの大きさが、前記画像装置の最大の位置誤差と実質的に等しい又はそれ以上であるステップと、
それぞれの一部の画像で、前記対応する基準グループの前記画像を検出し、前記画像装置の前記視野における前記基準グループの前記公称位置と、それから検出された位置との間の補正値を決定するステップと、
前記決定された補正値に基づき、及び、前記画像装置の前記第１の位置と前記基準グループ（群）の前記公称位置との間の周知の関係に基づき、前記画像装置の前記視野の前記位置を決定するステップと
を有する位置判断方法。
【請求項３】
請求項２に記載の位置判断方法であって、
前記グループを選択するステップが、
候補グループとして、前記基板で１つ以上のしるしのグループを指定し、
前記画像装置の最大の位置誤差に基づいて、前記候補グループの前記画像が現れ得る画像領域の境界を決定し、
前記決定された画像領域が前記画像装置の使用可能な視野に完全に含まれない場合に、前記候補グループを却下することを有する位置判断方法。
【請求項４】
請求項３に記載の位置判断方法であって、
前記グループを選択するステップが、
前記画像領域に対応する前記基板の一部を分析し、前記候補グループが明白に識別され得るかどうかを決定し、
前記分析ステップが、前記基板の前記一部に前記候補グループが明白に識別され得ることを決定した場合にのみ、基準グループとしての役割をする前記候補グループを選択することを有する位置判断方法。
【請求項５】
請求項４に記載の位置判断方法であって、
前記分析ステップが、
前記基板の決定された一部に、前記候補グループを構成するしるし（群）として、同じ間隔又は同じ間隔及び方向を有する１つ以上のしるしのグループが他に存在するかどうかを判断するステップと、
何らかの前記他のグループが、前記基板の前記一部に見つかった場合に、前記候補グループを明白でないと指定するステップと
を有する位置判断方法。
【請求項６】
請求項４に記載の位置判断方法であって、
前記分析ステップが、
特定の方向に前記画像領域を走査し、それによって前記候補グループが走査される最初又は最後のグループであるかどうか判断するステップと、
前記候補グループが走査される最初又は最後のグループである場合に、前記候補グループを明白であると指定し、それに前記特定の走査方向を識別するデータを関連付けるステップと
を有する位置判断方法。
【請求項７】
請求項５又は６に記載の位置判断方法であって、
前記候補グループが明白でないと指定された場合、
前記候補グループの隣接を構成する１つ以上のしるしを加えることによって、前記候補グループを拡大するステップと、
前記生成された画像の前記決定された一部において、前記拡大された候補グループを構成するしるしと同じ間隔及び方向を有するしるしのグループが他に存在するかどうかを判断するステップと、
何らかの前記他のグループが前記基板の前記一部に見つかった場合に、前記拡大された候補グループを明白でないと指定するステップと、
明白でない拡大されたグループについて、前記拡大するステップと判断するステップとを繰り返すステップと
を有する位置判断方法。
【請求項８】
請求項７に記載の位置判断方法であって、
拡大後の前記候補グループのしるしの数が、しきい値を超える場合に、前記拡大するステップが実行されない、又は繰り返されない位置判断方法。
【請求項９】
請求項３ないし８のうちいずれか１項に記載の位置判断方法であって、
前記グループを選択するステップが、
前記画像装置の前記視野の拒否されないしるしが、候補グループとしてみなされるまで、候補グループとして１つ以上のしるしを指定するステップを繰り返し適用することを有するステップを有する位置判断方法。
【請求項１０】
請求項１ないし９のうちいずれか１項に記載の位置判断方法であって、
基準グループの前記画像を検出するステップが、
前記画像装置の最大の位置誤差に基づいて、前記基準グループの前記画像が現れ得るエラーウィンドウの境界を決定するステップと、
前記エラーウィンドウの前記しるしを検出するステップと、
前記基準グループの前記１つ以上のしるしに最適に合致する前記エラーウィンドウの１つ以上の前記一式のしるしを見つけるステップと
を有する位置判断方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の位置判断方法であって、
前記エラーウィンドウの前記しるしを検出するステップが、前記エラーウィンドウのしるしの境界を検出することを有し、
前記エラーウィンドウの一式のしるしの最適な合致を見つけるステップが、前記基準グループの前記しるし（群）の前記境界（群）に最適に合致する前記一式の境界を見つけることを有する位置判断方法。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のうちいずれか１項に記載の位置判断方法であって、
候補グループとしての判断のために、前記基板の直線のセグメントのみを選択するステップと、
それぞれのセグメントが伸びる方向の前記画像装置の前記最大の位置誤差の２倍より短いセグメントを拒否するステップと、
を有し、
前記基板の一部の画像を生成するステップが、前記エラーウィンドウの中心を横切る線に沿って外形を取得することを有し、
前記線が、前記それぞれの基準グループの前記セグメントの基準方向に実質的に垂直に向き、前記外形が取得される方向の前記装置の前記最大の位置誤差の少なくとも２倍の長さを有する位置判断方法。
【請求項１３】
請求項１０ないし１２のうちいずれか１項に記載の位置判断方法であって、
前記最適に合致する一式のしるしを見つけるステップが、前記しるしの前記方向と間隔のうちの少なくとも１つを評価することを有する位置判断方法。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のうちいずれか１項に記載の方法の前記画像データ分析ステップと位置判断ステップとを少なくとも実現するのに適した手段を有する装置。
【請求項１５】
請求項１ないし１３のうちいずれか１項に記載の方法の前記画像データ分析ステップと位置判断ステップとを少なくとも実行するように構成された回路手段を有する、適当にプログラムされたコンピュータ、又は特定目的プロセッサを有するシステム。
【請求項１６】
請求項１４又は１５に記載の装置又はシステムであって、
前記装置／システムがデータへのアクセスを有するようにデジタル画像データを取得する手段に関連付けられた装置又はシステム。
【請求項１７】
請求項１ないし１３のうちいずれか１項に記載の方法の前記画像データ分析ステップと位置判断ステップとを少なくとも実行する一式の命令を有するコンピュータプログラム。
【請求項１８】
請求項１４ないし１７のうちいずれか１項に記載の装置、システム又はコンピュータプログラムであって、
前記位置判断方法で使用される前記一式の基準グループを選択するのに適した装置、システム又はコンピュータプログラム。