【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３２１３８８２号「レーザ加工装置及び加工方法」の特許無効審判事件についてされた平成２３年　３月１０日付け審決に対し、知的財産高等裁判所において審決取消の決定（平成２３年行ケ第１０１２２号平成２３年９月１日決定言渡）があったので、さらに審理のうえ、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２１３８８２号の請求項１ないし２に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１．手続の経緯
　平成　９年　３月２１日　本件特許の優先権主張の基礎となる出願
　平成　９年　６月　３日　本件出願
　平成１３年　７月２７日　設定登録（特許第３２１３８８２号）
　平成２２年　６月１０日　無効審判請求
　平成２２年　８月３０日　第１回答弁書・訂正請求書
　平成２２年１１月２５日　第１回弁駁書
　平成２３年　１月２７日　請求人・口頭審理陳述要領書
　平成２３年　１月２８日　被請求人・口頭審理陳述要領書
　平成２３年　２月１０日　口頭審理
　平成２３年　３月１０日　一次審決（訂正を認め、すべて無効）
　平成２３年　４月１４日　出訴（平成２３年（行ケ）第１０１２２号）
　平成２３年　７月１３日　訂正審判請求（訂正２０１１−３９００８４号）
　平成２３年　８月２３日　訂正審判の却下審決
　平成２３年　９月　１日　訂正請求による差戻し決定
　平成２３年　９月　９日　被請求人上申書
　平成２３年　９月２７日　第２回訂正請求書
　平成２３年１１月　２日　第２回弁駁書
　平成２３年１１月１４日　第２回弁駁書による請求の理由の補正について許可の決定
　平成２３年１２月１６日　第２回答弁書
　
　
第２．訂正請求について
１．訂正請求の内容
　平成２３年９月２７日付け訂正請求書において、被請求人が求めた訂正の内容は、以下のとおりである。（下線は当審が付与したものである。）
　
（１）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１の
「レーザ光を、ｆθレンズを通してワーク面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系を複数備え、該複数のガルバノスキャン系により前記ワークの加工領域を同時加工するレーザ加工装置において、前記複数のガルバノスキャン系のうちの少なくとも１つを水平移動させることにより、少なくとも２つのガルバノスキャン系の間の距離を可変とする駆動機構と、前記複数のガルバノスキャン系を個別に、前記ワークに対して垂直方向に駆動する駆動機構
と
「
ガルバノスキャナとｆθレンズを有し、
前記
複数の加工領域が設定された１つの
複数の
、前記複数のガルバノスキャン系は、１つのワークの別の加工領域を加工する
　
（２）訂正事項２
　特許請求の範囲の請求項２の
「レーザ光をｆθレンズを通してワーク面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系を複数使用して前記ワークの加工領域を同時加工するに際し、前記ワークのサイズの変化に応じて、前記複数のガルバノスキャン系のうち互いに隣接する２つのガルバノスキャン系のうちの少なくとも一方を水平移動させると共に、前記複数のガルバノスキャン系のそれぞれを前記ワークに対して垂直方向に移動させることを特徴とするレーザ加工方法。」を、
「
ガルバノスキャナとｆθレンズを有し、
前記
複数の加工領域が設定された１つの
複数の
、前記２つのガルバノスキャン系は、１つのワークの別の加工領域を加工す
　
（３）訂正事項３
　明細書の段落【００１０】の
「【課題を解決するための手段】本発明によれば、レーザ光を、ｆθレンズを通してワーク面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系を複数備え、該複数のガルバノスキャン系により前記ワークの加工領域を同時加工するレーザ加工装置において、前記複数のガルバノスキャン系のうちの少なくとも１つを水平移動させることにより、少なくとも２つのガルバノスキャン系の間の距離を可変とする駆動機構と、前記複数のガルバノスキャン系を個別に、前記ワークに対して垂直方向に駆動する駆動機構とを備えたことを特徴とするレーザ加工装置が提供される。」を、
「【課題を解決するための手段】本発明によれば、
ガルバノスキャナとｆθレンズを有し、
前記
複数の加工領域が設定された１つの
複数の
、前記複数のガルバノスキャン系は、１つのワークの別の加工領域を加工する
　
（４）訂正事項４
　明細書の段落【００１１】の
「本発明によればまた、レーザ光をｆθレンズを通してワーク面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系を複数使用して前記ワークの加工領域を同時加工するに際し、前記ワークのサイズの変化に応じて、前記複数のガルバノスキャン系のうち互いに隣接する２つのガルバノスキャン系のうちの少なくとも一方を水平移動させると共に、前記複数のガルバノスキャン系のそれぞれを前記ワークに対して垂直方向に移動させることを特徴とするレーザ加工方法が提供される。」を、
「本発明によればまた、
ガルバノスキャナとｆθレンズを有し、
前記
複数の加工領域が設定された１つの
複数の
、前記２つのガルバノスキャン系は、１つのワークの別の加工領域を加工す
　
２．訂正請求についての当審の判断
（１）訂正の目的の適否について
ア．訂正事項１及び２の「ガルバノスキャナとｆθレンズを有」すると訂正する点について
　訂正事項１及び２の「ガルバノスキャナとｆθレンズを有」すると訂正する点については、ガルバノスキャン系がガルバノスキャナとｆθレンズを有するものであるとして、ガルバノスキャン系の構成を限定する訂正であるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。
　
イ．訂正事項１及び２の「ｆθレンズ」を「前記ｆθレンズ」と訂正する点について
　訂正事項１及び２の「ｆθレンズ」を「前記ｆθレンズ」と訂正する点については、ア．における訂正で「ｆθレンズ」が前述されることになったため、２回目の「ｆθレンズ」について「前記」と同じｆθレンズであることを明確にしたものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。
　
ウ．訂正事項１及び２の「複数の加工領域が設定された１つの」ワーク面と訂正する点について
　訂正事項１及び２の「複数の加工領域が設定された１つの」ワーク面と訂正する点については、ワーク面が１つのものであり、かつ、当該ワーク面には複数の加工領域が設定されていると特定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。
　
エ．訂正事項１及び２の「ワークの加工領域」を「ワークの複数の加工領域」と訂正する点について
　訂正事項１及び２の「ワークの加工領域」を「ワークの複数の加工領域」と訂正する点については、ウ．における訂正で「ワークの加工領域」は複数あることが特定されたため、それと整合させるために「ワークの複数の加工領域」と訂正したものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。
　
オ．訂正事項１の「前記複数のガルバノスキャン系は、１つのワークの別の加工領域を加工する」と訂正する点、及び訂正事項２の「前記２つのガルバノスキャン系は、１つのワークの別の加工領域を加工する」と訂正する点について
　訂正事項１の「前記複数のガルバノスキャン系は、１つのワークの別の加工領域を加工する」と訂正する点、及び訂正事項２の「前記２つのガルバノスキャン系は、１つのワークの別の加工領域を加工する」と訂正する点については、２つ、ないし複数のガルバノスキャン系が、１つのワークの別の加工領域を加工すると特定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。
　
カ．訂正事項３及び４について
　訂正事項３及び４は、特許請求の範囲の請求項１及び２の訂正に伴い、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載に整合させるための訂正であるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。
　
（２）新規事項追加及び訂正の変更拡大について
　上記訂正事項１ないし４は、本件特許明細書の段落【００２１】の「・・・本装置は、第１のガルバノスキャナ１４とｆθレンズ１７とを一体的にして搭載した第１のスキャン系３１と、第２のガルバノスキャナ１６とｆθレンズ１８とを一体的にして搭載した第２のスキャン系３２とを有している。・・・第１のスキャン系３１は、これをＺ軸方向（ワーク２０に対して垂直方向）に駆動可能な第１のＺ軸ステージ３３に搭載されている。第１のＺ軸ステージ３３は、これをワーク２０の面に平行なＬ軸方向に駆動可能なＬ軸ステージ３４に搭載され、Ｌ軸ステージ３４は基台フレーム３５に取り付けられている。一方、第２のスキャン系３２は、これをＺ軸方向に駆動可能な第２のＺ軸ステージ３６に搭載され、第２のＺ軸ステージ３６は基台フレーム３５に取り付けられている。このことにより、第１のスキャン系３１はＺ軸及びＬ軸方向に移動可能であり、第２のスキャン系３２はＺ軸方向にのみ移動可能である。」という記載、段落【００１８】の「図２は、多面取りのためにワーク２０上にあらかじめ設定される加工領域を示し、ここでは４×４＝１６個の加工領域２０−１がマトリクス状に設定される。・・・いずれにしても、図２のようなワーク２０に対して穴あけのレーザ加工を行う場合、半分の領域Ａを第１のガルバノスキャナ１４とｆθレンズ１７とで行い、残りの半分の領域Ｂを第２のガルバノスキャナ１６とｆθレンズ１８とで行う。」という記載及び図２、図３の記載を踏まえると、本件特許明細書及び図面に記載された事項の範囲内においてされたものであり、上記訂正が、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもないことは明らかである。
　
（３）訂正についてのまとめ
　したがって、訂正は、特許法第１３４条の２第１項ただし書き、及び、同条第５項において準用する同法第１２６条第３項、第４項の規定に適合するので適法な訂正と認める。
　
　
第３．本件発明
　訂正の認容により、本件特許の請求項１及び２に係る発明（以下、「本件発明１及び２」という。）は、訂正された特許明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、下記のとおりのものである。
　
【請求項１】　ガルバノスキャナとｆθレンズを有し、レーザ光を、前記ｆθレンズを通して複数の加工領域が設定された１つのワーク面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系を複数備え、該複数のガルバノスキャン系により前記ワークの複数の加工領域を同時加工するレーザ加工装置において、前記複数のガルバノスキャン系のうちの少なくとも１つを水平移動させることにより、少なくとも２つのガルバノスキャン系の間の距離を可変とする駆動機構と、前記複数のガルバノスキャン系を個別に、前記ワークに対して垂直方向に駆動する駆動機構を備え、前記複数のガルバノスキャン系は、１つのワークの別の加工領域を加工することを特徴とするレーザ加工装置。
　
【請求項２】　ガルバノスキャナとｆθレンズを有し、レーザ光を前記ｆθレンズを通して複数の加工領域が設定された１つのワーク面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系を複数使用して前記ワークの複数の加工領域を同時加工するに際し、前記ワークのサイズの変化に応じて、前記複数のガルバノスキャン系のうち互いに隣接する２つのガルバノスキャン系のうちの少なくとも一方を水平移動させると共に、前記複数のガルバノスキャン系のそれぞれを前記ワークに対して垂直方向に移動させ、前記２つのガルバノスキャン系は、１つのワークの別の加工領域を加工することを特徴とするレーザ加工方法。
　
　
第４．請求人の主張
１．主張の概要
　請求人は、本件発明１及び２を無効にするとの審決を求め、証拠方法として、甲第１号証及び第２号証を提示し、その理由として、以下の無効理由を主張していた。
　その後、平成２３年１１月２日付けの第２回弁駁書により、甲第５ないし９号証を追加し、訂正後の請求項１及び２に対して、特許法第２９条第２項の規定に違反する旨の主張を追加した。
　なお、甲第５ないし９号証については、訂正請求にともなう証拠の追加であるので、当審において、平成２３年１１月１４日付けで、補正の許可を行っている。
　
　無効理由：本件発明１及び２は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明及び甲第５ないし９号証に記載された周知技術に基づいて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである。
　
　甲第　１号証：特開平８−２１５８７５号公報
　甲第　２号証：特開平７−３２１８３号公報
　甲第　３号証：本件特許（特許第３２１３８８２号）登録原簿
　甲第　４号証：本件特許（特許第３２１３８８２号）掲載公報
　甲第　５号証：特開平６−２６２３８３号公報
　甲第　６号証：特開平６−２６９９７１号公報
　甲第　７号証：特開平６−２９２９８６号公報
　甲第　８号証：特開平８−１７４２５６号公報
　甲第　９号証：特開昭６０−１０６６８６号公報
　
２．具体的な主張
　本件発明１及び２の進歩性に関する請求人の具体的な主張は以下のとおりである。
（１）本件発明１について
　本件発明１は、甲第１号証のレーザ加工装置に、甲第２号証開示の複数のレーザ照射光学系として複数のガルバノスキャン系レーザ照射光学系を使用するという技術、及び各ガルバノスキャン系レーザ照射光学系を個別にワークに対して垂直方向に駆動するための駆動機構を設けるという技術を適用することで、当業者が容易に想到することができたものである。
　ガルバノスキャンタイプのレーザ照射光学系が周知であること、及び、ワーク面が広い場合には、これを複数の加工領域に分け、領域毎にスキャンし、領域を順次移動しながら広いワーク面を加工するという技術が周知であることは、甲第５ないし９号証に開示されている。
（２）本件発明２について
　本件発明２は、甲第１号証のレーザ加工方法に、甲第２号証開示の複数のレーザ照射光学系として複数のガルバノスキャン系レーザ照射光学系を使用するという技術、及び各ガルバノスキャン系レーザ照射光学系を個別にワークに対して垂直方向に駆動するための駆動機構を設けるという技術を適用することで、当業者が容易に想到することができたものである。
　
　
第５．被請求人の主張
１．主張の概要
　これに対し、被請求人は、請求人の提出した証拠方法によっては本件特許を無効にすることができないと主張し、その理由として概ね次のように主張している。
　
（１）甲第１号証のレーザ加工装置は、ミラー２８と第２対物レンズ２６Ｂとを一体的に保持している保持部材が駆動部３０により水平方向に移動可能であるものの、垂直方向には移動可能ではない。（当該装置は、仮に当該保持部材を垂直方向に移動させると、ミラー２８がミラー２７からのレーザ光を受光できなくなる構成である。）
（２）甲第２号証のＣＯ２レーザ加工装置はミラー４、ガルバノミラー５、６及びｆθレンズ７を一体的に保持している保持具８を垂直方向に移動可能であるものの、水平方向には移動可能ではない。また、垂直方向への移動のための「駆動機構」があるか否かも不明である。（当該装置は、仮に当該保持具８を水平方向に移動させるとミラー４がその上方にあるミラー３からのレーザ光線を受光することができなくなる構成である。）
（３）甲第１号証のレーザ加工装置と甲第２号証のＣＯ２レーザ加工装置を組み合わせる動機付けはないが、仮に、甲第１号証のレーザ加工装置と甲第２号証のＣＯ２レーザ加工装置を組み合わせたとしても、ガルバノスキャン系が垂直移動のための駆動機構に搭載されていること、という、具体的な構成が得られない。
（４）甲第２号証には１枚のワークに対して加工を行うものも実質的に開示されているとする、請求人の主張は失当である。甲第２号証の発明はレーザ光を分岐させて同時に２枚以上の基板を加工することに技術的な意義がある。また、甲第２号証の発明は２つのガルバノスキャン系の間隔を調整することができないものであるので、１枚基板の場合、基板のサイズ変更に対応できない。
（５）本件発明２については、「ワークサイズの変化に応じてガルバノスキャン系を水平移動させる」ことも特徴の一つになっているが、甲第１及び２号証にはこのような構成は記載されていない。
　
　
第６．当審の判断
１．本件発明（訂正後の特許発明）
　本件発明１及び２は、上記「第３．本件発明」のとおりである。
　
２．甲第１及び２号証に記載された発明
（１）甲第１号証
　甲第１号証には以下の事項が記載されている。
 ア．段落【０００３】、【０００４】
「【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述した従来のレーザ加工装置にあっては、被加工物の加工のため、レーザ光を照射するレーザ照射系は１つしかなく、処理能力に限界があった。
　本発明は、かかる事情の下になされたもので、その目的は処理能力の向上を図ることができるレーザ加工装置を提供することにある。」
イ．段落【００１０】
「対物レンズの少なくとも一つが装置に固定され、残りの対物レンズは移動可能とされ、レンズ位置検出手段とレンズ間隔設定手段とを更に設けた場合には、レンズ間隔設定手段では、レンズ位置検出手段の出力に基づいて移動可能な各対物レンズを独立に駆動して固定された対物レンズと移動可能な各対物レンズとの間隔を任意に設定する。・・・。」
ウ．段落【００１４】、【００１５】
「図１には、第１実施例に係るレーザ加工装置１０の概略構成が示されている。このレーザ加工装置１０は、図１の紙面に直交する基準平面内を２次元方向に移動するステージとしてのＸＹステージ１２と、このＸＹステージ１２上に載置された被加工物１４に対し加工用のレーザ光を照射する第１、第２の照射光学系（これについては後述する）と、被加工部位の観察用光学系（これについては後述する）と、・・・を、備えている。
　第１の照射光学系は、レーザ光源２０から射出されたレーザ光Ｌ1 を分割する光分割手段としてのハーフミラー（ビームスプリッタ）２３と、このハーフミラー２３で２分割された一方のレーザ光（透過光）Ｌ1'の光量調整部２２Ａとレーザ光Ｌ1'をＸＹステージ１２に向けて反射するダイクロイックミラー２４と、このダイクロイックミラー２４で反射されたレーザ光Ｌ1'の進行方向先に前記基準平面に直交する状態でその光軸が配置された第１対物レンズ２６Ａと、を含んで構成されている。ここで、第１対物レンズ２６Ａは装置本体に固定されている。」
エ．段落【００１９】、【００２０】
「第２の照射光学系は、前記ハーフミラー２３と、このハーフミラー２３で２分割された他方のレーザ光（反射光）Ｌ1の光量調整部２２Ｂと、レーザ光Ｌ1を順次ＸＹステージ１２に向けて反射する２つのミラー２７、２８と、ミラー２８で反射されたレーザ光Ｌ1の進行方向先に基準平面に直交する状態でその光軸が配置された第２の対物レンズ２６Ｂと、を含んで構成されている。・・・。
　ミラー２８と第２対物レンズ２６Ｂとは保持部材（図示省略）によって一体的に保持されており、これらによって図１の矢印Ａ方向（ＸＹステージ１２の移動方向であるＸ軸方向と同じ）に移動可能な駆動部３０が構成されている。この駆動部３０には、図１では図示を省略したが、実際には、図２に示されるようなレンズ位置検出手段３２が併設されている。・・・。」
オ．段落【００２８】
「まず、コントローラ１８では、予め内部メモリ内に記憶された設定間隔情報（加工位置データの一部である）に従って前述したレンズ位置検出手段３２を介して駆動部３０の移動位置をモニタしつつ、図示しない駆動機構を介して駆動部３０を設定位置まで駆動し、第１対物レンズ２６Ａと第２対物レンズ２６Ｂの光軸間の間隔を被加工物１４上の加工部位のピッチに合わせて設定する。即ち、本実施例では、図示しない駆動機構とコントローラによりレンズ間隔設定手段が実現されている。」
カ．段落【００３０】
「・・・コントローラ１８では、第１、第２の照射光学系を用いて同時に加工を行う場合は両方の光変調器２５Ａ、２５Ｂをオフにする。これにより、レーザ光Ｌ1'、Ｌ1がそれぞれの照射光学系を構成する対物レンズ２６Ａ、２６Ｂより被加工物１４上のそれぞれの加工部位に照射され、それぞれの加工部位が同時に加工される。」
キ．段落【００４６】、【００４７】
「【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、被加工物にレーザ光を複数の対物レンズから同時に照射することにより複数箇所を同時に加工することが可能となり、これによって加工時間を短縮することができ、複数の対物レンズからのレーザ光の照射タイミングを異ならせた場合には、個々の加工箇所で加工長を変えたり、加工方向で加工箇所毎にピッチの異なる被加工物であっても同時加工が可能となるという従来にない優れた効果がある。
　特に、請求項２記載の発明にあっては、被加工物の非加工方向のピッチに合せた対物レンズ同士の間隔の設定が可能となり、個々の加工箇所で加工長を変えたり、加工方向は勿論、非加工方向で加工箇所のピッチの異なる被加工物であっても加工することが可能となり、加工パターンに応じた加工を高速で行うことができるという効果もある。」
ク．図３を参照すると、２つの照射光学系のうち一方の照射光学系が水平方向に移動可能なレーザ加工装置が看取できる。
　ここで、摘記事項オから、図示はされていないものの、レーザ加工装置には水平方向に照射光学系を移動させるための「駆動機構」が設けられていることは明らかである。
　また、摘記事項オから、被加工物１４は一定のピッチで配置された加工部位を有していることも明らかである。そして図面の図１、図３を参照することにより、複数の照射光学系は１つの被加工物１４の一定のピッチで配置された加工部位の別々の部位をレーザ光により同時に加工していることが理解できる。
　
ケ．甲第１号証に記載された発明
　以上の記載から、甲第１号証に記載されたレーザ加工装置及びレーザ加工方法の具体的な構成は、本件発明１及び２に沿ってそれぞれ整理すると以下のとおりのものであると認める。
　
「レーザ光を、複数の加工部位が設定された１つの被加工物１４に照射する照射光学系を複数備え、複数の対物レンズ２６Ａ、２６Ｂを用いた照射光学系により被加工物１４の複数の加工部位を同時加工するレーザ加工装置において、複数の照射光学系のうちの少なくとも１つを水平移動させることにより、少なくとも２つの照射光学系の間の距離を可変とする駆動機構を備え、照射光学系は前記水平移動させる駆動機構に搭載されており、複数の照射光学系は被加工物１４の一定のピッチで配置された加工部位の別々の部位をレーザ光により加工しているレーザ加工装置。」（以下、「甲１発明Ａ」という。）
　
「レーザ光を複数の加工部位が設定された１つの被加工物１４に照射する対物レンズ２６Ａ、２６Ｂを用いた照射光学系を複数使用して被加工物１４の複数の加工部位を同時加工するに際し、隣接する複数の照射光学系のうちの少なくとも一方を水平移動させ、一方の照射光学系の水平方向の移動は、照射光学系を水平方向に移動させる駆動機構に搭載し、複数の照射光学系は被加工物１４の一定のピッチで配置された加工部位の別々の部位をレーザ光により加工して行うようにしたレーザ加工方法。」（以下、「甲１発明Ｂ」という。）
　
（２）甲第２号証
　一方、甲第２号証には以下の事項が記載されている。
ア．【特許請求の範囲】の請求項１ないし３
「【特許請求の範囲】
【請求項１】　ＣＯ２レーザ発振器と前記ＣＯ２レーザ発振器から出射したレーザ光線を反射し、走査させるための１対の回転動作するミラーと、前記１対の回転動作するミラーにより反射されたレーザ光線を所定の平面上に集束させる光学部品を備えたことを特徴とするＣＯ２レーザ加工装置。
【請求項２】　一軸以上の可動位置決めステージを備えた請求項１記載のＣＯ２レーザ加工装置。
【請求項３】　１台のＣＯ２レーザ発振器から出射したレーザ光線を複数に分岐し、各分岐毎にレーザ光線を反射し、走査させるための１対の回転動作するミラーと、前記１対の回転動作するミラーにより反射、走査されるレーザ光線を所定の平面上に集束させる光学部品を備えたことを特徴とするＣＯ２レーザ加工装置。」
イ．段落【０００３】
「図７に従来のＣＯ２レーザ加工装置の構成の一例を示す。２８はＣＯ２レーザ発振器であり、２９は発振器から出射したレーザ光線であり、３０はレーザ光線を反射し方向を変えるためのミラーであり、３１はレーザ光線を集束させるためのレンズであり、３２は被加工物であり、３３は被加工物３２を移動してレーザ光線を照射する位置を変えるための可動ステージであり、３４はＣＯ２レーザ発振器２８及び可動ステージ３３の制御機器である。」
ウ．段落【０００６】、【０００７】
「【発明が解決しようとする課題】従来のＣＯ２レーザ加工装置は、精密な加工を行う場合の加工速度が可動ステージ３３の移動速度により制限される。可動ステージ３３の移動速度は、ステージの慣性量、モータアクチュエータの出力、位置決め制御応答性を改善することにより高速化されるが、現状技術での高速化の上限が前述の穴加工における１回の移動・停止当たり０．１秒程度であり、レーザ光線の照射時間を無視しても、毎秒１０穴以上は加工速度を進めることができない。
　そこで、本発明は高速かつ高精度な穴加工を可能にするＣＯ２レーザ装置を提供することを目的とする。」
エ．段落【００１２】
「図１は本発明の第１の実施例におけるＣＯ２レーザ加工装置の構成を示す図である。本実施例は、樹脂を主な素材とする薄板への穴加工を目的とした装置である。図１において１はＣＯ２レーザ発振器であり、２はレーザ発振器１から出射したレーザ光線であり、３、４はレーザ光線を反射させて向きを変えるためのミラーであり、５、６はレーザ光線を偏向・走査するための一対のガルバノメーターミラースキャナー（以下ガルバノミラーと略称する）であり、７はバルバノミラー５、６により偏向・走査されたレーザ光線が常に同一平面上に集束するように光学的に設計されたｆθレンズであり、８はミラー４、ガルバノミラー５、６、及びｆθレンズ７を一体で保持する保持具であり、保持具８全体が上下動してレーザ光線のアライメントを損なう事無くｆθレンズ７と被加工物との間隔を調整する時に生じる飛散物からｆθレンズ面を保護するためのエアーカーテンを作り出すエアーノズルであり、１１は加工時に生じる飛散物を吹き飛ばすためのノズルであり、１２は薄板の保持具であり、薄板の加工物の下部が中空になるように加工が施されている。・・・。」
オ．段落【００１４】〜【００１７】
「図３に、本発明の第２の実施例におけるＣＯ２レーザ加工装置を示す。第１の実施例である薄板を搭載するＸ、Ｙ２軸の可動ステージ１７を組み合わせた構成になっている。第１の実施例では、穴加工可能な薄板の寸法はｆθレンズ７の設計により決まるレーザ光線走査領域に限定される。レーザ光線走査領域より大きな寸法の薄板を加工する必要がある場合は、図４に模式的に示すように、所定の走査領域１８を加工した後、Ｘ・Ｙ軸ステージを動かして隣接する未加工領域１９にレーザ光線走査領域を移動させ、加工を行う。この動作の繰り返しにより、Ｘ・Ｙ軸ステージの可動範囲までの寸法の薄板を加工することができる。本実施例におけるレーザ光線走査領域は５０ｍｍ×５０ｍｍの矩形であり、例えば１００ｍｍ×１００ｍｍの薄板を加工する場合には、４つの領域に別けて加工することになる。また、加工データは予め制御ユニット内で４つの領域に対応するように分割され、加工の進展と共に順次読み出される。
　図５に本発明の第３の実施例におけるＣＯ２レーザ加工装置を示す。第３の実施例は、１台のＣＯ２レーザ発振器から出射されたレーザ光線をビームスプリッター２０により分岐し、各分岐毎にガルバノミラー２１、２２、２３、２４及びｆθレンズ２５、２６を備え、同時に２枚の薄板の加工が可能な構成にしたものである。なお、分岐数は２分野に限定されることは無く、ＣＯ２レーザ発振器の出力に余裕があれば４分岐、８分岐等も可能である。
　図６に本発明の第４の実施例におけるＣＯ２レーザ加工装置を示す。本実施例は、第３の実施例において２枚の薄板を搭載することができるＸ・Ｙ２軸ステージ２７を備えた構成になっている。２軸ステージの移動により、レーザ光線の走査領域より大きな薄板寸法を加工することを搭載するものを２分岐のそれぞれに備える構成を取っても構わない。以上、第１から第４の実施例について説明したが、ガルバノミラーはモータとエンコーダを組み合わせたミラー回転機構に置き換えても良く、要するに高速の回転位置決めができれば良い。また、ｆθレンズはアークサインレンズ、或いは方物面ミラーを用いた集させることができる、いわゆるフラットフィールドの働きを有する光学部品であれば良い。以上のように、本実施例によれば、主に樹脂素材からなる薄板に従来例より約１０倍の高速で穴加工をすることができる。また、Ｘ・Ｙ２軸ステージと組み合わせることで、より広い加工領域が得られ、さらにレーザ光線を多分岐することにより同時に２枚以上の薄板の加工が可能になる。
【発明の効果】以上のように本発明のＣＯ２レーザ加工装置は、ＣＯ２レーザ発振器とＣＯ２レーザ発振器から出射したレーザ光線を反射し、走査させるための１対の回転動作するミラーと前記１対の回転動作するミラーにより反射されたレーザ光線を所定の平面上に集束させる作用を有するフラットフィールド光学部品を備えた構成により、従来の可動ステージで被加工物の位置決めを行うＣＯ２レーザ加工装置と比較して、特に穴加工において約１０倍の速度で精密な加工ができるという利点を備える。」
カ．図６を参照すると、２つのガルバノスキャン系を有するとともに、Ｘ・Ｙ２軸ステージを有するレーザ加工装置が看取できる。
　ここで、摘記事項オには、レーザ光線の走査領域を超える大きな範囲を加工する場合には、Ｘ・Ｙ軸ステージを動かして加工することが記載されているから、甲第２号証には「被加工物のサイズの変化に応じて、Ｘ・Ｙ軸ステージを動かして加工領域を移動可能とする」技術が記載されているといえる。
　また、図６に記載されたものは、２枚の薄板を搭載してそれぞれを加工するものであるから、複数のガルバノスキャン系はそれぞれ上下動してｆθレンズと被加工物との間隔を調整できることは明らかである。
　
キ．甲第２号証に記載された発明
　以上の点から、甲第２号証に記載されたＣＯ２レーザ加工装置及びＣＯ２レーザ加工方法の具体的な構成は、本件発明１及び２に沿ってそれぞれ整理すると以下のとおりのものであると認める。
　
「ガルバノメーターミラースキャナとｆθレンズを有し、レーザ光線を、前記ｆθレンズを通して複数の加工領域が設定された被加工物面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系を複数備え、該複数のガルバノスキャン系により前記被加工物の複数の加工領域を同時加工するＣＯ２レーザ加工装置において、前記複数のガルバノスキャン系を個別に、前記被加工物に対して上下方向に調整可能とし、前記ガルバノスキャン系を前記上下方向に調整可能な保持具に搭載し、前記複数のガルバノスキャン系は、被加工物の別の領域を加工するＣＯ２レーザ加工装置。」（以下、「甲２発明Ａ」という。）
　
「ガルバノメーターミラースキャナとｆθレンズを有し、レーザ光線を前記ｆθレンズを通して複数の加工領域が設定された被加工物面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系を複数使用して前記被加工物の複数の加工領域を同時加工するに際し、被加工物のサイズの変化に応じて、Ｘ・Ｙ軸ステージを動かして加工領域を移動可能とすると共に、複数のガルバノスキャン系のそれぞれを前記被加工物に対して上下方向に移動可能にし、前記複数のガルバノスキャン系の上下方向の移動は、これら複数のガルバノスキャン系をそれぞれ上下方向に調整可能な保持具に搭載して行い、前記複数のガルバノスキャン系は、被加工物の別の加工領域を加工するＣＯ２レーザ加工方法。」（以下、「甲２発明Ｂ」という。）
　
３．対比・判断
（１）本件発明１について
　本件発明１と甲１発明Ａとを対比すると、甲１発明Ａにおける「被加工物１４」は、本件発明１の「ワーク」に相当する。
　また、甲１発明Ａにおける「照射光学系」と、本件発明１の「ガルバノスキャン系」とは、「集光光学系」という限りにおいて共通している。
　甲１発明Ａにおける「加工部位」は、本件発明１の「加工領域」に相当する。
　甲１発明Ａの「レーザ光を、複数の加工部位が設定された１つの被加工物１４に照射する照射光学系を複数備え」ることと、本件発明１の「レーザ光を、前記ｆθレンズを通して複数の加工領域が設定された１つのワーク面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系を複数備え」ることとは、「レーザ光を、複数の加工領域が設定された１つのワーク面上に照射する集光光学系を複数備え」ることという限りで共通している。
　また、甲１発明Ａにおける「被加工物１４の一定のピッチで配置された加工部位の別々の部位」は、本件発明１の「１つのワークの別の加工領域」に相当する。
　したがって、両者の一致点及び相違点は次のとおりである。
　
〈一致点〉
「レーザ光を、複数の加工領域が設定された１つのワーク面上に照射する集光光学系を複数備え、該複数の集光光学系により前記ワークの複数の加工領域を同時加工するレーザ加工装置において、前記複数の集光光学系のうちの少なくとも１つを水平移動させることにより、少なくとも２つの集光光学系の間の距離を可変とする駆動機構を備え、前記複数の集光光学系は、１つのワークの別の加工領域を加工するレーザ加工装置。」
〈相違点１〉
　集光光学系に関して、本件発明１においては、「ガルバノスキャナとｆθレンズを有し、レーザ光を、前記ｆθレンズを通してＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系」を用いているのに対して、甲１発明Ａでは、複数の対物レンズ２６Ａ、２６Ｂを用いた照射光学系を用いている点。
〈相違点２〉
本件発明１においては、「複数のガルバノスキャン系を個別に、ワークに対して垂直方向に駆動する駆動機構を備え」ているのに対して、甲１発明Ａにおいては、ガルバノスキャン系を用いていないし、また、垂直方向の駆動機構も用いていない点。
　
　まず上記相違点１について検討する。
　甲２発明Ａの「ガルバノメーターミラースキャナ」、「レーザ光線」、「被加工物」、「上下方向」、及び「ＣＯ２レーザ加工」は、本件発明１の「ガルバノスキャナ」、「レーザ光」、「ワーク」、「垂直方向」、及び「レーザ加工」びにそれぞれ相当する。
　これらを踏まえ、甲２発明Ａを本件発明１に倣って整理すると、甲２発明Ａは「ガルバノスキャナとｆθレンズを有し、レーザ光を、前記ｆθレンズを通してワークの加工面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系を複数備え、該複数のガルバノスキャン系により前記ワークの加工領域を同時加工するレーザ加工装置。」である。
　そして、甲１発明Ａと甲２発明Ａとは、ともにレーザ加工の処理能力向上を課題とした複数の集光光学系を有するレーザ加工装置という点で共通している。
　したがって、甲１発明Ａの照射光学系に代えて、甲２発明Ａのガルバノスキャン系を適用して、本件発明１の相違点１に係る構成とすることは、当業者が容易になし得たことである。
　
　次に、上記相違点２について検討する。
　甲２発明Ａは、複数のガルバノスキャン系によりワークの加工領域を同時加工するレーザ加工装置において、「複数のガルバノスキャン系を個別に、ワークに対して垂直方向に調節可能な保持具を備え、前記ガルバノスキャン系を前記垂直方向に調節可能な保持具に搭載」する技術を有している。
　一般に、垂直方向からのレーザ光をレンズにより集光してワークを加工する集光光学系においては、多様な厚さのワークに対応したり、ワーク厚が一定であってもワークがレーザ光の収束部（レンズ焦点近傍）に位置するよう調整するために、レンズやレンズ周辺の光学部品を垂直方向に一定距離移動可能にすることは、設計の際に当業者が当然に考慮すべき技術課題である。
　そして、この垂直方向の位置調整を手動で行うのか、駆動機構を用いて機械的に行うのかは、求められる精度、効率性、コスト等を踏まえて当業者が適宜決定する設計的な事項にすぎない。
　そうすると、上記技術課題を解決するために、上記周知技術を踏まえ、甲１発明Ａに、甲２発明Ａのガルバノスキャン系を有する垂直方向に調節可能な保持具を搭載し、かつ垂直方向の調節を駆動機構により行うようにすることにより、本件発明１の相違点２に係る構成とすることは、当業者が容易になし得たことである。
　
　なお、被請求人は、平成２３年９月２７日付け訂正請求書において、「甲第１号証の発明では、加工箇所を移動するための仕組みは既にあるのだから（ＸＹステージは対象物を動かす。加えて、対物レンズの水平移動）、それに重ねてガルバノスキャン系を組み込む理由はなったくない。本件発明では、ガルバノスキャン系で届く領域を水平移動するが、こうした知見は甲第１号証の発明には無い。
　また、ガルバノスキャン系が集光作用を持つとしてこの置き換えを説明するのにも当たらない。ガルバノスキャン系は集光作用も持つとはいえ、同時に、またむしろ主要な働きは、加工点を移動さること（スキャンすること）である。これを無視して置き換えを説くのはおかしい。甲第１号証の発明では既に移動の仕組みがあるのに、加えてガルバノスキャン系を組み込むのが当然であるわけがない。
　また、対象物を動かすことで加工箇所を移動するための仕組みが既にあるものの、ガルバノスキャン系の方が高速に動かせるのではないか、との考えもあるかも知れない。しかし、甲第１号証の発明の場合はそれは当てはならない。
　甲第１号証において具体的に開示されているのは、線状の加工を施す場合である。この場合には、ガルバノスキャン系を用意しても、それでスキャンできる領域は５ｃｍ角程度に限られているために、高速化につながらない。領域の中を早くスキャンしても、結局はその領域を次の位置に動かす（ＸＹステージの動きにより対象物を動かす）のを待たなければいけないことになるからである。これに加えてエネルギーの大きさの問題もあるので、徒に速く動かすわけにはいかない。
　加工領域の予め定められた複数位置に穴加工を行う。このような特定の用途においてガルバノスキャン系が有意義なのであって、甲第１号証の発明のような線加工又は加工領域の概念の無いものに適用しても意味がない。
　これに対して本件発明では、主要な用途は微細な穴をうがつことである。この場合には細かく動かす必要があり、その動かす反応のタイミングが高速であることに意味がある。スキャンできる領域の中で、相当数の繰り返しを行うので、これが高速に出来るガルバノスキャン系は有意義である。
　甲第１号証の具体例は線状加工であるために上記のようにガルバノスキャン系での高速移動の意義がなく、甲第２号証の発明のようなものを組み合わせようという考えに至らないはずである。
　・・・
　本件発明では、ガルバノでスキャンできる領域の間隔を調整できるから、１つの基板の複数の加工領域を複数のガルバノスキャン系が分担して加工するのに制約がない。・・・
　甲第２号証の発明に甲第１号証の発明を組み合わせて訂正後の請求項１を導く動機付がなく、組み合わせても出てこない構成を有し、その構成により効果も奏する。」（第７ページ第２８行〜第９ページ第１９行）と主張し、平成２３年１２月１６日付け答弁書において、「先行技術の組合わせにより進歩性を否定するにあたって、先行技術に係る発明の部分である一要素を切り出して、要素単位で比較する、そしてそれぞれの要素はよく知られているのだから・・・というロジックは妥当ではない。組み合わせに係る先行技術発明の技術的意義を比較しながら進歩性の検討を行うべきである。甲第１号証は、『対物レンズを複数（２個以上、３個という記載もある）設けて、水平移動させて同時に加工する』というのが発明の要旨である。甲第１号証の発明の課題は、『加工の高速化』であり『複数の対物レンズで１枚を加工』というのが発明の技術的意義である。しかも発明の詳細な説明において、複数の対物レンズの数を増やすことも示唆されている（段落００４４）。さらに高速化しようとしたときには単純にその手段を増やせばよい。したがってガルバノスキャン系を組み込む理由は無いと言うべきである。
　・・・
　甲第１号証及び甲第２号証は同一の課題『加工の高速化』で共通すると言えるかもしれないが、それぞれの発明の技術的意義、技術の方向性は全く異なる。したがって、甲第１号証及び甲第２号証の発明の技術的意義や目的を鑑みると、請求人の主張するような、一般的な課題の共通性、一部要素のみに主眼を置いた周知性により組み合わせて本件特許発明を導くことは当業者に容易でないと思慮する。組み合わせに係る発明の技術的意義を全く考慮せずに、要素で分断して、『それぞれはよく知られて周知技術である』とすると、全ての発明はそのようなロジックで進歩性を否定されてしまうのである。しかも、要素が周知技術であれば直ちに動機もなく足せるというわけでもない。」（第３ページ第２行〜第４ページ第５行）と主張している。
　しかしながら、甲第２号証の上記摘記事項オによると、甲２発明Ａは、ＸＹ２軸ステージ（ＸＹステージ）とガルバノミラー及びｆθレンズ（ガルバノスキャン系）とを組み合わせることによって、従来より高速で加工をすることができ、より広い加工領域が得られるというものであるから、甲１発明ＡがＸＹステージを有しているからといって、そのような甲１発明Ａに甲２発明Ａのガルバノスキャン系を組み込めないとはいえない。
　また、甲１発明Ａにおいて、対物レンズで水平移動しているのは、レーザ加工の前に第１対物レンズと第２対物レンズの光軸間の間隔を被加工物上の加工部位のピッチに合わせるためのものであって、レーザ加工の際にレーザをスキャンさせるためのものではないことは、甲第１号証の上記摘記事項オ、カに照らして明らかである。そうすると、甲１発明Ａにおいて、対物レンズで水平移動しているからといって、そのことは、レーザ加工の処理能力向上に寄与することとは無関係であるから、ＸＹステージを有する甲１発明Ａに、レーザ加工の際にレーザをスキャンさせるための甲２発明Ｂのガルバノスキャン系を組み込めない理由にはならない。
　したがって、甲１発明Ａにおいて、加工箇所を移動するための仕組みが既にあるからといって、これを本件発明１との相違点１に追加したとしても、ガルバノスキャン系を組み込む理由がないとはいえない。
　以上のとおりであるので、「甲第１号証及び甲第２号証の発明の技術的意義や目的を鑑みると、請求人の主張するような、一般的な課題の共通性、一部要素のみに主眼を置いた周知性により組み合わせて本件特許発明を導くことは当業者に容易でない」との被請求人の主張は採用できない。
　
（２）本件発明２について
　本件発明２と甲１発明Ｂとを対比すると、甲１発明Ｂにおける「被加工物」は、本件発明２の「ワーク」に相当する。
　また、甲１発明Ｂにおける「照射光学系」と、本件発明２の「ガルバノスキャン系」とは、「集光光学系」という限りにおいて共通している。
　甲１発明Ｂにおける「加工部位」は、本件発明２の「加工領域」に相当する。
　甲１発明Ｂの「レーザ光を複数の加工部位が設定された１つの被加工物１４に照射する対物レンズ２６Ａ、２６Ｂを用いた照射光学系を複数使用して被加工物１４の複数の加工部位を同時加工する」ことと、本件発明１の「レーザ光を前記ｆθレンズを通して複数の加工領域が設定された１つのワーク面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系を複数使用して前記ワークの複数の加工領域を同時加工する」こととは、「レーザ光を複数の加工領域が設定された１つのワーク面上に照射する集光光学系を複数使用して前記ワークの複数の加工領域を同時加工する」ことという限りで共通している。
　また、甲１発明Ｂにおける「被加工物１４の一定のピッチで配置された加工部位の別々の部位」は、本件発明１の「１つのワークの別の加工領域」に相当する。
　したがって、両者の一致点及び相違点は次のとおりである。
　
〈一致点〉
「レーザ光を複数の加工領域が設定された１つのワーク面上に照射する集光光学系を複数使用して前記ワークの複数の加工領域を同時加工するに際し、前記複数の集光光学系のうち互いに隣接する２つの集光光学系のうちの少なくとも一方を水平移動させ、前記２つの集光光学系は、１つのワークの別の加工領域を加工するレーザ加工方法。」
〈相違点３〉
　集光光学系に関して、本件発明２においては、「ガルバノスキャナとｆθレンズを有し、レーザ光を前記ｆθレンズを通してワーク面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系」を用いるとともに、「複数のガルバノスキャン系のそれぞれをワークに対して垂直方向に移動させ」ているのに対して、甲１発明Ｂにおいては、対物レンズを用いた照射光学系を用いている点。
〈相違点４〉
　集光光学系の水平移動に関して、本件発明２においては、「ワークのサイズの変化に応じて、複数のガルバノスキャン系のうち互いに隣接する２つのガルバノスキャン系のうちの少なくとも一方を水平移動させる」のに対して、甲１発明Ｂにおいては、照射光学系を水平移動させるものではあるものの、それがワークのサイズの変化に応じて行うのか否か不明である点。
　
　まず上記相違点３について検討する。
　甲２発明Ｂの「ガルバノメーターミラースキャナ」、「レーザ光線」、「被加工物」、「上下方向」、及び「ＣＯ２レーザ加工」は、本件発明２の「ガルバノスキャナ」、「レーザ光」、「ワーク」、「垂直方向」、及び「レーザ加工」にそれぞれ相当する。
　これらを踏まえ、甲２発明Ｂを本件発明２に倣って整理すると、甲２発明Ｂは「ガルバノスキャナとｆθレンズを有し、レーザ光を、前記ｆθレンズを通してワーク面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系を複数使用して前記被加工物の加工領域を同時加工するに際し、被加工物のサイズの変化に応じて、Ｘ・Ｙ軸ステージを動かして加工領域を移動可能とすると共に、複数のガルバノスキャン系のそれぞれを前記ワークに対して垂直方向に移動可能にしたレーザ加工方法。」である。
　そして、甲１発明Ｂと甲２発明Ｂとは、ともにレーザ加工の処理能力向上を課題とした複数の集光光学系を有するレーザ加工方法という点で共通している。
　したがって、甲１発明Ｂの照射光学系に代えて、甲２発明Ｂの「ワークの加工領域を同時加工」するガルバノスキャン系を適用して、本件発明２の相違点３に係る構成とすることは、当業者が容易になし得たことである。
　
　次に上記相違点４について検討する。
　甲第１号証には、ワークのサイズの変化に応じて、照射光学系を水平移動させることの記載は明記されていないが、甲１発明Ｂはワークの加工を複数箇所で同時に行うものである以上、ワークのサイズを考慮してそれぞれの照射光学系の位置を決定し、照射光学系を適切な場所へ水平移動することは明らかである。
　よって、相異点４は、実質的な相異点ではない。
　
（３）進歩性判断に関するまとめ
　本件発明１及び２の奏する作用効果についても、甲第１号証記載の発明及び甲第２号証記載の発明より当業者が予測できる程度のものであって、格別のものではない。
　以上のとおりであるから、本件発明１及び２は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明から当業者が容易になし得たものである。
　
　
第７．補足的な検討
　上記第６．においては、請求人の主張と同様に、甲第１号証に記載された発明に甲第２号証に記載された技術を適用して、本件発明１及び２の進歩性の有無を検討したが、ここでは補足的に甲第２号証に記載された発明に、甲第１号証に記載された技術を適用して、本件発明１及び２の進歩性を検討する。
　
１．本件発明（訂正後の特許発明）
　本件発明１及び２は、上記「第３．本件発明」のとおりである。
　
２．甲第１及び２号証に記載の事項
（１）甲第１号証に記載された発明
　上記「第６．当審の判断」の２．（１）のとおりである。
（２）甲第２号証に記載された発明
　上記「第６．当審の判断」の２．（２）のとおりである。
　
３．対比・判断
（１）本件発明１について
　甲２発明Ａの「ガルバノメーターミラースキャナ」、「レーザ光線」、「被加工物」、「ＣＯ２レーザ加工装置」、及び「上下方向」は、本件発明１の「ガルバノスキャナ」、「レーザ光」、「ワーク」、「レーザ加工装置」、及び「垂直方向」にそれぞれ相当する。
　また、甲２発明Ａにおける「上下方向に調整可能な保持具」と、本件発明１の「垂直方向に駆動する駆動機構」とは、「垂直方向の移動機構」という限りにおいて共通している。
　したがって、両者の一致点及び相違点は次のとおりである。
　
〈一致点〉
「ガルバノスキャナとｆθレンズを有し、レーザ光を、前記ｆθレンズを通して複数の加工領域が設定されたワーク面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系を複数備え、該複数のガルバノスキャン系により前記ワークの複数の加工領域を同時加工するレーザ加工装置において、前記複数のガルバノスキャン系を個別に、前記ワークに対して垂直方向の移動機構を備え、前記複数のガルバノスキャン系は、ワークの別の加工領域を加工するレーザ加工装置。」
〈相違点５〉
　複数の加工領域の設定部位に関して、本件発明１においては、「１つのワーク」であるのに対して、甲２発明Ａはそうではない点。
〈相違点６〉
　本件発明１においては、「複数のガルバノスキャン系のうちの少なくとも１つを水平移動させることにより、少なくとも２つのガルバノスキャン系の間の距離を可変とする駆動機構」を設けたのに対して、甲２発明Ａにおいては、ガルバノスキャン系を水平移動させる駆動機構がない点。
〈相違点７〉
　本件発明１においては、ガルバノスキャン系を「垂直方向に駆動する駆動機構」を備えているのに対して、甲２発明Ａはガルバノスキャン系を上下方向に調整可能な保持具を備えているものの、それを駆動する駆動機構については不明である点。
　
　まず上記相違点５について検討する。
　甲１発明Ａは、「レーザ光を、複数の加工部位が設定された１つの被加工物１４に照射する照射光学系を複数備え、複数の対物レンズ２６Ａ、２６Ｂを用いた照射光学系により被加工物１４の複数の加工部位を同時加工するレーザ加工装置」である。甲１発明Ａの「加工部位」及び「被加工物１４」は、それぞれ、本件発明１の「加工領域」及び「ワーク」に相当する。また、甲１発明Ａにおける「複数の加工部位を同時加工する」ことは、「別の加工領域を同時加工する」と言い換えることができる。
　これらを踏まえ、甲１発明Ａを本件発明１に倣って整理すると、甲１発明Ａは「レーザ光を、複数の加工領域が設定された１つのワークに照射する照射光学系を複数備え、複数の照射光学系により１つのワークの別の加工部位を同時加工するレーザ加工装置」である。
　そして、甲１発明Ａと甲２発明Ａとは、ともにレーザ加工の処理能力向上を課題とした「照射光学系」や、「ガルバノスキャン系」といった複数の「集光光学系」を有するレーザ加工装置という点で共通している。
　したがって、甲２発明Ａの被加工物を、１つのワークに複数の加工領域が設定されたものとし、結果として、集光光学系である複数のガルバノスキャン系を、１つのワークの別の加工領域を加工するものとすることは、当業者が容易になし得たことである。
　
　次に、相違点６について検討する。
　甲１発明Ａは、複数のワークを同時に加工するために、複数の照射光学系のうちの少なくとも一つを水平移動させることにより、少なくとも２つの照射光学系の間の距離を可変とする駆動機構を有している。
　そして、レーザ加工分野においては、ワークの異なる箇所を加工するために、ワークをステージによって水平方向に移動可能としたり、光学系自体を水平移動可能とするよう構成することは一般的な技術課題である。
　そうすると、上記技術課題を解決するために、上記周知技術を踏まえ、甲２発明Ａに、甲１発明Ａの水平移動させる駆動機構を設け、本件発明１の相違点６に係る構成とすることは、当業者が容易になし得たことである。
　
　なお、被請求人は、平成２３年９月２７日付け訂正請求書において、「甲第２号証の発明では加工箇所を動かすについては既にガルバノスキャン系がある。したがって、『一般的な技術課題』を考えてみても、甲第１号証の発明の水平移動を適用することはない。甲第２号証の発明のガルバノスキャン系は、それぞれに備えられているから、それぞれの加工箇所を動かすことが出来る。したがって、『ワークの異なる箇所を加工する』ことは既に可能であり、このために甲第１号証の発明を加える意味はない（本件発明で水平移動を可能とする趣旨ないし目的は別である）。このように、甲第２号証の発明に甲第１号証の発明を適用する動機付が無い。
　また、甲第１号証の発明の場合は、照射位置自体を動かすのに間隔を調整するものである。照射位置は対象物をＸＹステージで動かすことで移動させるが、その間隔については、水平移動によって、調整するわけである。
　これに対して甲第２号証の発明では、照射位置については、ガルバノスキャン系によって制御する。それぞれのガルバノミラーを動かすことが出来るから、これらの照射点の間隔は固定ではない。この点で既に甲第１号証の発明を参考とする理由がない。
　ただし、スキャン可能な領域が５ｃｍ角程度に限られており、その領域の間隔は固定になる。しかしこれは、甲第２号証の発明の障害ではない。甲第２号証の図５に示されるように、別々の加工対象物を置いてそれぞれを別のガルバノスキャン系で個別に加工することを想定しているので、それぞれのスキャン可能領域に対応してステージを動かせばよいのである。その意味でも、甲第１号証の発明の間隔調整を足す動機付がない。
　訂正により、『１つのワーク』の上の『複数の加工領域』を対象とすることが明確になったが、本件発明の場合は、ガルバノミラーでスキャンできる領域を動かすについて、光学系を水平移動させて間隔調整する。これは、加工対象物が１枚の大きなものである場合に役に立つ。１枚の対象の中の複数の領域を同時並行して加工して行く場合に、その複数の領域の間隔を調整できるのである。近時の基板は大型化しており（それによって、そこから多数の機器基板を切り出す。多数をまとめて加工することで能率を向上させるのである）、そのような大きな基板を複数同時に甲第２号証の発明のように１ガルバノスキャナで１基板、というように個別に加工させることは装置が大型化し困難となるが、本願発明によれば大型化を防ぎながら効率よく加工することが出来るという効果を奏する。
　また、甲第２号証の発明は、複数の基板を同時に加工するという目的に沿う発明であり、複数基板に個別にガルバノを対応させて同時に２枚以上の薄板が可能にされている（［００１４］参照）。甲第２号証の発明に甲第１号証の発明を組み合わせて、本願発明のように１枚ワークの加工速度を向上させようとすると、甲第２号証の発明の本来の目的に反するというものであり、甲第２号証の発明から訂正後の請求項１を導くことはない。」（第１０ページ第９行〜第１１ページ第２０行）と主張している。
　しかしながら、甲第２号証上記摘記事項オ、及び図面の図４を参照すると、大きな寸法の薄板、すなわち、ワークを加工する場合、ガルバノスキャン系で所定の走査範囲を加工した後、ワークの加工領域を未加工領域に動かすことについて記載されている。そして、ワークの加工面が広い場合に、これを複数の加工領域に分け、領域ごとにガルバノスキャン系を走査し、領域を順次移動しながら広いワーク面を加工することは、甲第５号証の段落【００１４】〜【００１７】、甲第６号証の段落【００１４】〜【００１６】、甲第７号証の段落【００１３】〜【００１６】、甲第８号証の段落【００１９】、甲第９号証の第２ページ右下欄第１７行〜第３ページ左上欄第１０行に見られるように、従来周知の技術である。
　してみると、甲２発明Ａにおいても、１つのワークの複数の加工領域を加工するため、複数のガルバノスキャン系の少なくとも１つを水平方向に移動可能とすることにより、１つのワークの複数の加工領域を加工可能とすることは、当業者にとって格別困難なことではないと言うべきである。
　したがって、被請求人の主張は採用できない。
　
　最後に、相違点７について検討する。
　レーザ加工分野において、光学系の位置調整を手動で行うのか、駆動機構を用いて機械的に行うのかは、求められる精度、効率性、コスト等を踏まえて当業者が適宜決定する設計的な事項にすぎない。
　したがって、甲２発明Ａのガルバノスキャン系を上下方向に調整する保持具に駆動機構を設けて、本件発明１の相違点７に係る構成とすることは、当業者が容易になし得たことである。
　
（２）本件発明２について
　甲２発明Ｂの「ガルバノメーターミラースキャナ」、「レーザ光線」、「被加工物」、「上下方向」、及び「ＣＯ２レーザ加工方法」は、本件発明２の「ガルバノスキャナ」、「レーザ光」、「ワーク」、「垂直方向」、及び「レーザ加工方法」にそれぞれ相当する。
　甲２発明Ｂの「上下方向に調整可能」は、「垂直方向の移動させ」に相当する。
　甲２発明Ｂの「複数のガルバノスキャン系」は、本件発明２の「２つのガルバノスキャン系」に相当する。
　したがって、両者の一致点及び相違点は次のとおりである。
　
〈一致点〉
「ガルバノスキャナとｆθレンズを有し、レーザ光を前記ｆθレンズを通して複数の加工領域が設定されたワーク面上におけるＸ軸方向及びＹ軸方向に振らせるためのガルバノスキャン系を複数使用して前記ワークの複数の加工領域を同時加工するに際し、前記複数のガルバノスキャン系のそれぞれを前記ワークに対して垂直方向に移動させ、２つのガルバノスキャン系は、ワークの別の加工領域を加工するレーザ加工方法。」
〈相違点８〉
　複数の加工領域の設定部位に関して、本件発明２においては、「１つのワーク」であるのに対して、甲２発明Ｂはそうではない点。
〈相違点９〉
　本件発明２においては、「ワークのサイズの変化に応じて、複数のガルバノスキャン系のうち互いに隣接する２つのガルバノスキャン系のうちの少なくとも一方を水平移動させる」のに対して、甲２発明Ｂにおいては、ガルバノスキャン系は水平移動しない点。
　
　相違点８について検討する。
　甲１発明Ｂは、「レーザ光を複数の加工部位が設定された１つの被加工物１４に照射する対物レンズ２６Ａ、２６Ｂを用いた照射光学系を複数使用して被加工物１４の複数の加工部位を同時加工するレーザ加工方法」である。甲１発明Ｂの「加工部位」及び「被加工物１４」は、それぞれ、本件発明２の「加工領域」及び「ワーク」に相当する。また、甲１発明Ｂにおける「複数の加工部位を同時加工する」ことは、「別の加工領域を同時加工する」と言い換えることができる。
　これらを踏まえ、甲１発明Ｂを本件発明１に倣って整理すると、甲１発明Ｂは「レーザ光を複数の加工領域が設定された１つのワークに照射する照射光学系を複数使用してワークの別の加工部位を同時加工するレーザ加工装置」である。
　そして、甲１発明Ｂと甲２発明Ｂとは、ともにレーザ加工の処理能力向上を課題とした「照射光学系」や、「ガルバノスキャン系」といった複数の「集光光学系」を有するレーザ加工装置という点で共通している。
　したがって、甲２発明Ｂの被加工物を、１つのワークに複数の加工領域が設定されたものとし、結果として、集光光学系である複数のガルバノスキャン系を、１つのワークの別の加工領域を加工するものとすることは、当業者が容易になし得たことである。
　
　次に、相違点９について検討する。
　本件発明２において、「ワークのサイズの変化に応じて、複数のガルバノスキャン系のうち互いに隣接する２つのガルバノスキャン系のうちの少なくとも一方を水平移動させる」ことは、結局ワークの複数の加工領域の位置に合わせて複数のガルバノスキャン系のうちの互いに隣接する２つの位置を水平方向に移動させることである。
　ところで、甲１発明Ｂは、複数のワークを同時に加工するために、複数の照射光学系のうち互いに隣接する２つの照射光学系のうちの少なくとも一つを水平移動させる技術が記載されている。
　そして、レーザ加工分野においては、ワークの異なる箇所を加工するために、ワークをステージによって水平方向に移動可能としたり、光学系自体を水平移動可能とするよう構成することは一般的な技術課題である。
　そうすると、上記技術課題を解決するために、上記周知技術を踏まえ、甲２発明Ｂにおいて、「ワークの複数の加工領域の位置に合わせて複数のガルバノスキャン系のうちの互いに隣接するガルバノスキャン系のうちの一つを水平移動させる」ようにすること、そしてその移動は「ワークのサイズの変化に応じて」行うものとすることは、当業者が容易になし得たことである。
　
（３）進歩性判断に関するまとめ
　以上のとおりであるから、主とする証拠を入れ替え、甲第２号証に記載された発明に、甲第１号証に記載された技術を適用した場合においても、本件発明１及び２は甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明から当業者が容易になし得たものであり、第６．における結論と変わりはない。
　
　
第８．むすび
　以上のとおり、本件発明１及び２は、当業者が甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて、容易に発明をすることができたものであるから、本件発明１及び２は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　したがって、本件発明１及び２についての特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきものである。
　
　審判費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。
　
　よって、結論のとおり審決する。