(57)【要約】【課題】熱処理シミュレーションの歪み値の計算値を高精度に求めるために、複数の場所の熱伝達率を考慮することのできる処理対象の熱伝達率算出方法を提供すること。【解決手段】処理対象の熱伝達率算出方法は、処理対象を模した板状体からなる試験片の第１表面、及び第２表面のそれぞれについて、第１表面及び流体間の界面温度の時間変化を与える第１冷却曲線と、第２表面及び流体間の界面温度の時間変化を与える第２冷却曲線とを測定する工程Ｓ１と、測定された第１冷却曲線及び第２冷却曲線に基づいて、熱伝導方程式を設定し、第１表面における流体との界面の熱伝達率と、第２表面における流体との界面の熱伝達率とを同定する工程Ｓ２と、同定された熱伝達率及び熱伝達率に基づいて、試験片の内部の温度分布を推定する工程Ｓ３と、推定された温度分布と測定値との差が所定の範囲内となったら、熱伝達率の最終的な同定を行う工程Ｓ６とを実施する。【選択図】図１１
2017125754.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理対象を、流体によって冷却する処理対象の熱伝達率算出方法であって、以下の工程からなることを特徴とする処理対象の熱伝達率算出方法。
第１工程：前記処理対象を模した板状体からなる試験片の第１表面、及び第２表面のそれぞれについて、前記第１表面及び前記流体間の界面温度の時間変化を与える第１冷却曲線と、前記第２表面及び前記流体間の界面温度の時間変化を与える第２冷却曲線とを測定する。
第２工程：測定された第１冷却曲線及び第２冷却曲線に基づいて、下記式（１）で表される熱伝導方程式を設定し、下記式（２）、式（３）で表される境界条件と、式（４）で表される初期条件とに基づいて、前記第１表面における前記流体との界面の熱伝達率ｈ１と、前記第２表面における前記流体との界面の熱伝達率ｈ２とを同定する。
第３工程：同定された熱伝達率ｈ１及び熱伝達率ｈ２に基づいて、前記試験片内部の温度分布を推定する。
第４工程：推定された温度分布に基づいて、熱伝達率ｈ１、ｈ２の修正を行い、第１工程からを繰り返し、前記推定された温度分布と測定値との差が所定の範囲以内となったら熱伝達率ｈ１、ｈ２の最終的な同定を行う。
【数１】
2017125754.tif 000020
ｘ：第１表面から第２表面に至る厚み方向位置（ｍ，０≦ｘ≦板状体の厚さＬ）
ｔ：時間（ｓ）
Ｔ（ｘ，ｔ）：任意の時間における任意の厚み方向位置の温度（Ｋ）
α：熱拡散率（ｍ２／ｓ）
【数２】
2017125754.tif 000021
ｋ１：第１表面の熱伝導率（Ｗ／（ｍ・Ｋ））
【数３】
2017125754.tif 000022
ｋ２：第２表面の熱伝導率（Ｗ／（ｍ・Ｋ））
［数４］
Ｔ＝Ｆ（ｘ）（ｔ＝０，０≦ｘ≦Ｌ）  ・・・（４）
Ｔ：初期における試験片の厚さ方向の温度分布（Ｋ）
【請求項２】
請求項１に記載の処理対象の熱伝達率算出方法を用いて熱伝達率の同定を行った後、前記処理対象の姿勢を変更して、再度請求項１に記載の処理対象の熱伝達率算出方法を用いて前記温度分布を推定し、前記処理対象の温度分布が大きくなったら、前記処理対象の姿勢を逆向きに変更し、前記処理対象の温度分布が小さくなったら、前記処理対象の姿勢を同方向にさらに変更することを特徴とする処理対象の熱処理方法。
【請求項３】
請求項２に記載の処理対象の熱処理方法において、
前記第１表面の冷却曲線及び前記第２表面の冷却曲線を測定する工程では、
前記試験片には、前記試験片の外周端面の厚さ方向中央から、前記第１表面の中央に貫通する第１孔と、前記試験片の外周端面の厚さ方向中央から、前記第２表面の中央に貫通する第２孔が形成され、
前記第１孔及び前記第２孔のそれぞれに熱電対の挿入することにより、前記第１表面及び前記流体間の界面温度、前記第２表面及び前記流体間の界面温度を測定することを特徴とする処理対象の熱処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理対象の熱伝達率算出方法、及びこれを用いた処理対象の熱処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、熱処理シミュレーションの普及に伴い、鋼の焼入れ時の硬さや、焼入れ歪み等をＣＡＥコンピュータシミュレーションで計算できるようになってきている。シミュレーションには、金属材料の機械的特性や、冶金学的な相変化、冷却剤の熱伝達率などの様々な物性データが必要となる。このうち、金属材料の物性に関しては、各種の検討で物性が取得され、データベース化されている。
【０００３】
一方、冷却剤の熱伝達率に関しては、例えば、ＪＩＳ  Ｋ２２４２の熱処理油冷却試験により測定された冷却曲線から熱伝達率を算出する方法が知られている（例えば、特許文献１、特許文献２）。
熱処理シミュレーションを活用することにより、鋼の焼入れ時の硬さに関しては、シミュレーションの計算値と、実測値とが略一致することが確認された。
そして、所定の熱処理油を用いて熱処理対象を熱処理するに際し、予め、冷却剤による熱処理対象の冷却曲線を測定し、冷却曲線に基づいて冷却剤の熱伝達率を同定し、同定された熱伝達率に基づいて、冷却剤の温度制御等を行いながら、熱処理対象の冷却を行うことにより、所望の硬さを有する熱処理対象を得られる、という効果が得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平０７−１４６２６４号公報
【特許文献２】特開２００６−２６６７５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記特許文献１及び前記特許文献２に記載の技術では、熱処理対象全体が同一の熱伝達率であるとみなして計算し、求められた熱伝達率に基づいて、熱処理対象の冷却条件等を決定していた。
この場合、硬さに関しては、計算値と実測値が一致するようになったが、焼入れ歪みに関しては、計算値と実測値があまり一致しないという課題がある。
【０００６】
本発明の目的は、熱処理シミュレーションの歪み値の計算値と、実測値の一致させることのできる処理対象の熱伝達率算出方法、及びこれを用いた処理対象の熱処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る処理対象の熱処理方法は、処理対象を、流体によって冷却する処理対象の熱伝達率算出方法であって、以下の工程からなることを特徴とする処理対象の熱伝達率算出方法。
第１工程：前記処理対象を模した板状体からなる試験片の第１表面、及び第２表面のそれぞれについて、前記第１表面及び前記流体間の界面温度の時間変化を与える第１冷却曲線と、前記第２表面及び前記流体間の界面温度の時間変化を与える第２冷却曲線とを測定する。
第２工程：測定された第１冷却曲線及び第２冷却曲線に基づいて、下記式（１）で表される熱伝導方程式を設定し、下記式（２）、式（３）で表される境界条件と、式（４）で表される初期条件とに基づいて、前記第１表面における前記流体との界面の熱伝達率ｈ１と、前記第２表面における前記流体との界面の熱伝達率ｈ２とを同定する。
第３工程：同定された熱伝達率ｈ１及び熱伝達率ｈ２に基づいて、前記試験片内部の温度分布を推定する。
第４工程：推定された温度分布に基づいて、熱伝達率ｈ１、ｈ２の修正を行い、第１工程からを繰り返し、前記推定された温度分布と測定値との差が所定の範囲以内となったら熱伝達率ｈ１、ｈ２の最終的な同定を行う。
【０００８】
【数１】
2017125754.tif 000003
ｘ：第１表面から第２表面に至る厚み方向位置（ｍ，０≦ｘ≦板状体の厚さＬ）
ｔ：時間（ｓ）
Ｔ（ｘ，ｔ）：任意の時間における任意の厚み方向位置の温度（Ｋ）
α：熱拡散率（ｍ２／ｓ）
【０００９】
【数２】
2017125754.tif 000004
ｋ１：第１表面の熱伝導率（Ｗ／（ｍ・Ｋ））
【００１０】
【数３】
2017125754.tif 000005
ｋ２：第２表面の熱伝導率（Ｗ／（ｍ・Ｋ））
【００１１】
［数４］
Ｔ＝Ｆ（ｘ）（ｔ＝０，０≦ｘ≦Ｌ）・・・（４）
Ｔ：初期における試験片の厚さ方向の温度分布（Ｋ）
【００１２】
この発明によれば、熱処理シミュレーションの歪み値の計算値と、実測値の一致させることのできる処理対象の熱伝達率算出方法を実現できる。
【００１３】
本発明の処理対象の熱処理方法は、前記の処理対象の熱伝達率算出方法を用いて熱伝達率の同定を行った後、処理対象の姿勢を変更して、再度前記の処理対象の熱伝達率算出方法を用いて温度分布を推定し、処理対象の温度分布が大きくなったら、処理対象の姿勢を逆向きに変更し、処理対象の温度分布が小さくなったら、処理対象の姿勢を同方向にさらに変更する。
【００１４】
本発明では、
前記第１表面の冷却曲線及び前記第２表面の冷却曲線を測定する工程では、
前記試験片には、前記試験片の外周端面の厚さ方向中央から、前記第１表面の中央に貫通する第１孔と、前記試験片の外周端面の厚さ方向中央から、前記第２表面の中央に貫通する第２孔が形成され、
前記第１孔及び前記第２孔のそれぞれに熱電対の挿入することにより、前記第１表面及び前記流体間の界面温度、前記第２表面及び前記流体間の界面温度を測定するのが好ましい。
【００１５】
この発明によれば、流体と処理対象の界面に極めて近い位置で温度測定を行うことができるため、高精度な測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態に係る金属の表面温度測定装置の構造を表す模式図。
【図２】前記実施形態における被測定体の構造を表す側面図。
【図３】前記実施形態における試験片の構造を表す側面図及び平面図。
【図４】前記実施形態における熱伝達率の同定を説明するための模式図。
【図５】前記実施形態における熱伝達率の同定を説明するためのグラフ。
【図６】前記実施形態における熱伝達率の同定を説明するためのグラフ。
【図７】前記実施形態における試験片の冷却曲線を表すグラフ。
【図８】前記実施形態における温度と熱伝達率の関係を表すグラフ。
【図９】前記実施形態における試験片の時間毎の温度分布を表すグラフ。
【図１０】前記実施形態における試験片の姿勢・位置変更を表す模式図。
【図１１】前記実施形態における作用を説明するためのフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の一形態について説明する。
［１］表面温度測定装置の構成
図１には、本発明の実施形態に係る金属の表面温度測定装置が示されている。表面温度測定装置は、加熱器としての加熱用電気炉１と、処理対象の冷却容器２と、被測定体３と、温度計４及び記録計４Ａを備えている。
加熱用電気炉１は、被測定体３を所定温度（約８００℃）まで加熱するためのものであり、強い磁場または交番磁場を炉内に形成しない無誘電式のものなどを用いる。冷却容器２は、検査対象となる冷却剤、例えば潤滑油を入れる容器であり、被測定体３の下方に配置されている。温度計４は、熱電対の部分を有しており、その測定部は被測定体３の内部に組み込まれており、被測定体表面の温度を測定する。記録計４Ａは、温度計４が測定した温度を記録する。
【００１８】
図２には、被測定体３の側面図が示されている。被測定体３は、移動手段３Ａ（図１）により上下動可能な支持体５と、この支持体５に回動可能に支持された試験片６とを備える。なお、以下の説明では、試験片６の表面６Ｃを本発明の第１表面、裏面６Ｄを本発明の第２表面として説明する。
試験片６は、図３に示されるように、金属製の円板状体から構成され、外周端面となる円周側面には、孔６Ａ、６Ｂが形成されており、熱電対７が挿入されている。
この試験片６は、直径３５ｍｍ、厚さ１０ｍｍのＳＵＳ３０３から構成されている。
孔６Ａは、円周側面略中央から一方の試験片６の表面６Ｃまで貫通し、孔６Ｂは、円周側面略中央から他方の裏面６Ｄまで貫通している。この孔６Ａ、６Ｂの表面近傍には、熱電対７の温度検出子となる熱電対を最表面に配置し、表面６Ｃ及び裏面６Ｄと冷却流体の界面に極めて近い部分の温度の測定が可能となっている。
【００１９】
［２］熱伝達率ｈ１，ｈ２の同定
前述した式（１）〜式（４）の導入と、熱伝達率ｈ１，ｈ２の同定は、以下のようにして得られる。
今、図４に示されるように、試験片６の表面６Ｃ及び裏面６Ｄから熱伝達率ｈ１，ｈ２で、温度Ｔ＝０の冷媒で冷却される厚さＬの無限平板の熱伝導式は、下記式（５）で表される。
【００２０】
【数５】
2017125754.tif 000006
０≦ｘ≦Ｌ，ｔ＞０
【００２１】
境界条件は、下記式（６）、式（７）で表される。
【００２２】
【数６】
2017125754.tif 000007
ｘ＝０，ｔ＞０
【数７】
2017125754.tif 000008
ｘ＝Ｌ，ｔ＞０
【００２３】
初期条件は、下記式（８）で表現することができる。
【００２４】
【数８】
2017125754.tif 000009
ｔ＝０，０≦ｘ≦Ｌ
【００２５】
これを解くために、厚さ方向の任意の場所ｘと時間ｔの関数である温度Ｔを、下記式（９）のように変数分離する。
【００２６】
【数９】
2017125754.tif 000010
【００２７】
このように変数分離すると、三角関数の直交関係を利用し、固有値問題を解くと、下記式（１０）に示される解が導かれる。
【００２８】
【数１０】
2017125754.tif 000011
【００２９】
ここで、Ｎ（βｍ）は、下記式（１１）である。
【００３０】
【数１１】
2017125754.tif 000012
【００３１】
Ｔはｔ→０のとき、初期温度Ｆ（ｘ）となるから、以下の式（１２）が導かれる。
【００３２】
【数１２】
2017125754.tif 000013
０＜ｘ＜Ｌ
【００３３】
固有関数としては、以下の式（１３）のようになる。
【００３４】
【数１３】
2017125754.tif 000014
【００３５】
よって、熱伝達率を表す固有値は、以下の式（１４）のようになる。
【００３６】
【数１４】
2017125754.tif 000015
【００３７】
ノルムは、以下の式（１５）のようになる。
【００３８】
【数１５】
2017125754.tif 000016
【００３９】
ここで、
α：熱拡散率（Thermal Diffusivity，ｍ２／ｓ）
ｋ：熱伝導度（Heat Conductivity，Ｗ／ｍ・Ｋ）
ｃ：比熱（Specific Heat，Ｊ／ｋｇ・Ｋ）
ρ：密度（Density，ｋｇ／ｍ３）
ｈ：熱伝達率（Heat Transfer Coefficients，Ｗ／ｍ２・Ｋ）
とすると、Ｈ１＝ｈ１／ｋ１，Ｈ２＝ｈ２／ｋ２（ｍ−１）となる。
【００４０】
熱伝達率ｈ１，ｈ２の同定は、次の手順により求められる。
まず、経過時間ｔにおける試験片６の表面６Ｃの温度の測定値をＴｍ１（ｉ）、裏面６Ｄの温度をＴｍ２（ｉ）とすると、経過時間ｔ＋Δｔにおける測定値は、
Ｔｍ１（ｉ＋１），ΔＴ１＝Ｔｍ１（ｉ＋１）−Ｔｍ１（ｉ）
Ｔｍ２（ｉ＋１），ΔＴ２＝Ｔｍ２（ｉ＋１）−Ｔｍ２（ｉ）
となる。
熱伝達率ｈ１，ｈ２の予想値は、図５に示される微小時間Δｔに対する試験片６の表面６Ｃ及び裏面６Ｄの温度変化率（冷却速度）ΔＴ１／Δｔ，ΔＴ２／Δｔを同定プロセスの初期値の目安に用いた。
【００４１】
前述した式（１４）は、固有値βｍとＨ１，Ｈ２の関係を示している。仮にＨ１＝Ｈ２＝１００とした場合、式（１４）の関係を図に表すと、図６のようになる。
Ｈ１≠Ｈ２の場合、固有値βｍについては、ｍ＝６０まで式（１３）を計算した。
ΔＴ１／ΔＴ２∝Ｈ１／Ｈ２を目安の値として用いて、まず、Ｈ１，Ｈ２を暫定的に求め、次に温度測定結果に対して、温度計算値との差を０．０２℃以下となるように、両面の暫定Ｈ１，Ｈ２をそれぞれ修正し、最終のＨ１，Ｈ２の同定を行う。
用いた冷却曲線を図７、同定した各温度における熱伝達率を図８、試験片６の時間毎の温度分布を図９に示す。
【００４２】
具体的な熱伝達率の算出は、３つのサブルーチンによって行われ、以下のように行う。
［2-1］固有値算出のサブルーチン
固有値βｍは、板厚Ｌ、温度依存α、熱伝導率ｋを設定し、下記式（１６）の関係から算出する。
【００４３】
【数１６】
2017125754.tif 000017
【００４４】
具体的には、左辺を大きい値から減少させ、右辺に一致するβｍ＊を複数個、例えば、６０個見出す。
このとき最初に用いるＨ１，Ｈ２は、図５に示すような値を代入する。
その後、後述する温度比較サブルーチンによって測定値に一致するＨ１，Ｈ２を求めていく。
まず、式（１６）の左辺の値の大きい方からある値の間隔で減少させていき、一致する点を通り越して、式（１６）の右辺の値が負になった場合、値の間隔を１／１０にして増加させ、これがまた通り越したら、値の間隔をまた１／１０にして減少させ、これを繰り返して交点を求める。
【００４５】
次に、求めた６０個の固有値βｍ（ｍ＝１〜６０）を用いて、下記式（１７）に基づいて、Ｔ＊（ｘ＊，ｔ）の算出を行う。ｍ→∞は、６０個見出したβｍ＊を使って６０回の総和を計算する。
【００４６】
【数１７】
2017125754.tif 000018
【００４７】
［2-2］計算値と測定値の温度比較サブルーチン
算出された温度のうち、表面温度計算値を表面温度測定値と比較し、測定値に合致するまでＨ１，Ｈ２を変更し、変更したＨ１，Ｈ２に合致する６０個のβｍ＊を求め、再び式（１７）でＴ＊（ｘ＊，ｔ）を算出し、その温度を測定値と比較する、という手順を繰り返す。
なお、固有関数には、式（１８）を用いる。
【数１８】
2017125754.tif 000019
【００４８】
なお、式（１７）中のＦ（ｘ＊）ｄｘ＊は、初期温度分布を用いて計算し、積分は台形数値積分を行う。
【００４９】
［2-3］冷却曲線の読込のサブルーチン
まず、初期条件を設定するとともに、冷却曲線からデータを読み込む温度間隔を設定する。このときの初期温度から温度間隔を減じた時の温度を冷却曲線から読み取る。同時にそのときの時間を読み取り、その時間間隔を算出する。
初回は、板厚方向の各点の温度、すなわち冷却開始温度を初期条件に設定する。
次に、冷却曲線から読み取ったデータを、述する固有値算出のサブルーチン、計算値と測定値の比較のサブルーチンに入力する。
【００５０】
固有値算出のサブルーチンで同定された熱伝達率結果、表面６Ｃの初期温度、裏面の初期温度、Δｔ後の表面６Ｃの温度、裏面６Ｄの温度を記録する。
このとき、式（１０）では、板厚方向の温度分布が計算される。
計算された板厚方向の各点の温度分布を記録する。
各点の温度分布を次回の初期条件に設定する。
温度間隔の温度データを上述と同様に冷却曲線から読み取り、固有値計算のサブルーチン、計算値及び測定値の比較サブルーチンにデータを入力し、同定された熱伝達率及び低下した温度を記録する。ここで、板厚方向の各点の温度を次々回の初期条件に設定する。
【００５１】
表面６Ｃ及び裏面６Ｄの熱伝達率ｈ１，ｈ２を同定するにあたっては、ある熱伝達率ｈ１，ｈ２とその級数解λnとからなる組（ｈ１，λn），（ｈ２，λn）を多数用意し、これらの熱伝達率ｈ１，ｈ２に対応する級数解λnを順次固有関数に代入して温度測定値に近い温度計算値を与える組（ｈ１，λn），（ｈ２，λn）を数組選定し、これらの組（ｈ１，λn），（ｈ２，λn）と温度計算値との関係から帰納法により回帰式を求め、この回帰式より温度測定値を与える熱伝達率ｈ１，ｈ２とその級数解λxnとを求め、この組を固有関数に代入し、その代入によって算出される温度計算値が温度測定値に一致するように、熱伝達率ｈ１，ｈ２を修正して同定する。
求めた、２面の熱伝達率ｈ１，ｈ２を用いて、市販の熱処理シミュレーションソフトを活用すれば、冷却ムラが生じた場合の熱処理歪を精度よく計算することができる。
市販の熱処理シミュレーションソフトとしては、Deform-HT（(株)ヤマナカゴーキン）、COSMAP（有限会社アイデアマップ）、DANTE（Dante  Solutions，Incorporated  （USA））等が上げられる。
【００５２】
［３］処理対象の姿勢制御及び作用
以上のようにして求められた試験片６の内部の温度分布を、図１０に示されるように、種々の姿勢について行い、その姿勢毎の温度分布を把握する。
実際の処理対象の冷却時には、処理対象をまず一定の姿勢で冷却しながら、その際の処理対象の内部の温度分布を推定し、内部の温度分布の差が所定の閾値を超えたら、これを解消する方向に姿勢を変更する。
【００５３】
具体的には、図１１に示されるフローチャートに基づいて行う。
まず、試験片６を所定の姿勢で冷却容器２中に投入し、試験片６の表面６Ｃ及び裏面６Ｄの表面温度を測定し、表面６Ｃの第１冷却曲線及び裏面６Ｄの第２冷却曲線を測定する（工程Ｓ１：第１工程）。
次に、第１冷却曲線及び第２冷却曲線に基づいて表面６Ｃ及び裏面６Ｄの熱伝達率ｈ１，ｈ２の同定を行う（工程Ｓ２：第２工程）。
同定された熱伝達率ｈ１，ｈ２に基づいて、試験片６の内部の温度分布を推定する（工程Ｓ３：第３工程）。
【００５４】
推定された温度分布の計算値と測定値との差が所定の範囲以下となっているか否かを判定する（工程Ｓ４：第４工程）。
所定の範囲以下となっていない場合は、熱伝達率ｈ１，ｈ２を修正して（工程Ｓ５：第４工程）、工程Ｓ１から工程Ｓ３を繰り返す。
所定の範囲以下となったら、熱伝達率ｈ１，ｈ２の最終的な同定を行う（工程Ｓ６）。
熱伝達率ｈ１，ｈ２の最終的な同定が終了したら、試験片６の姿勢を変更して、工程Ｓ１から工程Ｓ３を繰り返すが、姿勢変更前後における温度分布が小さくなったかを判定し（工程Ｓ７）、小さくなった場合は、同方向への姿勢の変更を行い（工程Ｓ８）、大きくなった場合は、逆方向への姿勢の変更を行い（工程Ｓ９）、工程Ｓ１から工程Ｓ４を繰り返す。
【００５５】
［４］実施形態の効果
以上のような本実施形態によれば、以下のような効果がある。
試験片６の表面６Ｃ及び裏面６Ｄの異なる熱伝導率を用いて、試験片６の内部の温度分布を推定し、冷却流体内における姿勢・位置を変更しているので、冷却によって処理対象に歪み等が生じることを少なくすることができる。
また、試験片６に、表面６Ｃに至る孔６Ａと、裏面６Ｄに至る孔６Ｂが形成されていることにより、試験片６と流体の界面に極めて近い位置で、熱電対７による温度測定を行うことができるため、高精度な測定を行うことができる。
【００５６】
［５］実施形態の変形
本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、以下に示すような変形をも含むものである。
前述した実施形態では、円板状の試験片６を使用していたが、本発明はこれに限られず、角板状の試験片を用いてもよく、板状の試験片であれば形状は限定されない。
その他、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造等を採用してもよい。
【符号の説明】
【００５７】
１…加熱用電気炉、２…冷却容器、３…被測定体、４…温度計、４Ａ…記録計、５…支持体、６…試験片、６Ａ…孔、６Ｂ…孔、６Ｃ…表面、６Ｄ…裏面、７…熱電対、Ｓ１…工程、Ｓ２…工程、Ｓ３…工程、Ｓ４…工程、Ｓ５…工程、Ｓ６…工程、Ｓ７…工程、Ｓ８…工程、Ｓ９…工程
【図１】
2017125754.tif 000023
【図２】
2017125754.tif 000024
【図３】
2017125754.tif 000025
【図４】
2017125754.tif 000026
【図５】
2017125754.tif 000027
【図６】
2017125754.tif 000028
【図７】
2017125754.tif 000029
【図８】
2017125754.tif 000030
【図９】
2017125754.tif 000031
【図１０】
2017125754.tif 000032
【図１１】
2017125754.tif 000033