【手続補正書】
【提出日】平成17年12月14日(2005.12.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】    １１ｎｍ〜１４ｎｍの波長領域においてキャピラリ放電光源を動作させる方法であって、
（ａ）孔サイズが約１ｍｍで、少なくとも１つの放射用気体を有する細管光源内に、放電電流が約２０００〜１００００Ａである放電を形成する過程と、
（ｂ）前記放電光源から約１１ｎｍ〜約１４ｎｍの選択された波長領域を放射する過程とを有することを特徴とする方法。
【請求項２】    １１ｎｍ〜１４ｎｍの波長領域においてキャピラリ放電光源を動作させる方法であって、
（ａ）孔サイズが約０．５ｍｍ〜約３ｍｍで、少なくとも１つの放射用気体を有する細管光源間で、約１，３００，０００Ａ／ｃｍ２までの放電電流密度を有する放電を形成する過程と、
（ｂ）前記放電光源から約１１ｎｍ〜約１４ｎｍの選択された波長領域を放射する過程とを有することを特徴とする方法。
【請求項３】    前記孔サイズがさらに、
約１〜約１０ｍｍの長さを含むことを特徴とする請求項２に記載のキャピラリ放電光源を動作させる方法。
【請求項４】    前記気体がキセノンを含むことを特徴とする請求項１に記載のキャピラリ放電光源を動作させる方法。
【請求項５】    前記気体が、前記１つの放射用気体として酸素を供給するための酸素含有分子を含むことを特徴とする請求項１に記載のキャピラリ放電光源を動作させる方法。
【請求項６】    さらに緩衝気体を含むことを特徴とする請求項１に記載のキャピラリ放電光源を動作させる方法。
【請求項７】    前記細管内の全圧が約０．１〜約５０Ｔｏｒｒ（約１３．３Ｐａ〜約６６６５Ｐａ）の範囲内にあることを特徴とする請求項１に記載のキャピラリ放電光源を動作させる方法。
【請求項８】    前記選択された波長領域を放射する気体が、
約０．１〜約２０Ｔｏｒｒ（約１３．３Ｐａ〜約２６６６Ｐａ）の圧力を有することを特徴とする請求項１に記載のキャピラリ放電光源を動作させる方法。
【請求項９】    前記気体が、
前記選択された波長領域を放射する金属蒸気を含むことを特徴とする請求項１に記載のキャピラリ放電光源を動作させる方法。
【請求項１０】    前記金属蒸気が、
約０．１〜約２０Ｔｏｒｒ（約１３．３Ｐａ〜約２６６６Ｐａ）の圧力を有することを特徴とする請求項９に記載のキャピラリ放電光源を動作させる方法。
【請求項１１】    前記金属蒸気がリチウムであることを特徴とする請求項９に記載のキャピラリ放電光源を動作させる方法。
【請求項１２】    前記気体が、約１１ｎｍ〜約１４ｎｍの前記選択された波長領域を放射するリチウムと、
緩衝気体としてヘリウムとを含むことを特徴とする請求項１に記載のキャピラリ放電光源を動作させる方法。
【請求項１３】    紫外線波長領域においてキャピラリ放電ランプ光源を動作させる方法であって、
不導性及び絶縁性材料から細管を構成する過程と、
前記細管に少なくとも１つの気体化学種を挿入する過程とを有し、前記細管を用いて、紫外線放電を生成することを特徴とするキャピラリ放電ランプ光源を動作させる方法。
【請求項１４】    前記細管の反対側に金属導体をさらに有することを特徴とする請求項１３に記載のキャピラリ放電ランプ光源を動作させる方法。
【請求項１５】    前記金属導体が、モリブデン、コバール及びステンレス鋼の１つから選択されることを特徴とする請求項１４にキャピラリ放電ランプ光源を動作させる方法。
【請求項１６】    前記不導性及び絶縁性材料が、
石英、サファイア、窒化アルミニウム、シリコンカーバイド及びアルミナの１つから選択されることを特徴とする請求項１３に記載のキャピラリ放電ランプ光源を動作させる方法。
【請求項１７】    前記細管が、
導電性及び非導電性の材料を交互に連結した孔であることを特徴とする請求項１３に記載のキャピラリ放電ランプ光源を動作させる方法。
【請求項１８】    紫外線波長領域で動作する放電ランプ光源であって、
細管と、
前記細管の一方にある第１の電極と、
前記第１の側と反対の細管の第２の側にある第２の電極と、
前記第２の電極と第２の端部とを支持するための第１の端部を有するパイプと、
前記パイプの第２の端部に接続される放電ポートと、
前記放電ポートから前記細管の外側に隣接するパイプ部分まで前記パイプを貫通するウィックと、
紫外線波長信号を生成するための放電光源として前記細管を動作させるための手段とを備えることを特徴とする放電ランプ光源。
【請求項１９】    前記動作させるための手段が、
熱パイプとして動作するためのリチウム含浸メッシュを含むことを特徴とする請求項１８に記載の放電ランプ光源。
【請求項２０】    放射線放射を発生するための差動ポンプ式キャピラリ放電ランプ光源であって、
複数の電極を有する、不導性及び絶縁性材料から形成された細管と、
前記細管の第１の端部において前記細管内に気体をポンピングするための第１の選択された圧力を有する圧力源と、
前記複数の電極間に放電を形成し、放射線を前記細管を通して放射領域に達する放射線放射を形成する手段と、
前記細管の前記第１の端部と第２の端部との間に圧力差を形成するために前記細管の前記第２の端部から気体をポンピングするためのポンピング手段であって、前記放射線放射が、前記細管の前記第２の端部より先に存在する前記気体からの吸収を実質的に行うことなく前記細管の前記第２の端部から生成される、該ポンピング手段とを有することを特徴とする差動ポンプ式キャピラリ放電ランプ光源。
【請求項２１】    前記圧力源における前記第１の選択された圧力が、約０．１〜約５０Ｔｏｒｒ（約１３．３Ｐａ〜約６６６５Ｐａ）の範囲内にあることを特徴とする請求項２０に記載の差動ポンプ式キャピラリ放電ランプ光源。
【請求項２２】    前記気体が、ヘリウム、ネオン、アルゴン、及びキセノンのなか選択された１以上の種類の気体であることを特徴とする請求項２０に記載の差動ポンプ式キャピラリ放電ランプ光源。
【請求項２３】    前記ポンピング手段が、前記放射領域において約０．１Ｔｏｒｒ未満（約１３．３Ｐａ未満）の低圧を有することを特徴とする請求項２０に記載の差動ポンプ式キャピラリ放電ランプ光源。
【請求項２４】    前記ポンピング手段が、前記放射領域において約０．０１Ｔｏｒｒ未満（約１．３Ｐａ未満）の低圧を有することを特徴とする請求項２０に記載の差動ポンプ式キャピラリ放電ランプ光源。
【請求項２５】    前記放射線放射が、極紫外線（ＥＵＶ）波長領域の放射を含むことを特徴とする請求項２０に記載の差動ポンプ式キャピラリ放電ランプ光源。
【請求項２６】    前記細管の前記第２の端部が、広角放射端を含むことを特徴とする請求項２０に記載の差動ポンプ式キャピラリ放電ランプ光源。
【請求項２７】    前記第１の選択された圧力が、約０．１Ｔｏｒｒ以上（約１３．３Ｐａ以上）の圧力であることを特徴とする請求項２０に記載の差動ポンプ式キャピラリ放電ランプ光源。
【請求項２８】    差動ポンプ式キャピラリ放電ランプ光源から放射線放射を生成する方法であって、
第１の選択された圧力を有する気体を細管の入口端に導入して、前記細管を通して前記細管の放射端に達する放射線放射を生じさせる過程と、
前記細管の前記放射端の先に前記放射線放射を吸収しうる十分な気体が存在しないように、前記細管の放射端に隣接した低圧領域をもたせることによって前記細管の入口端と放射端との間に圧力差を形成する過程であって、前記低圧領域は第２の選択された圧力を有し、前記第１の選択された圧力が前記第２の選択された圧力より高い、該過程とを有することを特徴とする方法。