(57)【要約】【課題】各々間欠的に点灯駆動される複数の光源体を備えており、各々の光源体の輝度を犠牲にすることなく、積算照度を高くすることが可能な光源装置を提供することを目的とする。【解決手段】各々一回の発光時間が１ｍｓ以下となる条件で点灯されるフラッシュランプを備えた複数の光源体と、前記複数の光源体の各々からの光を反射させる反射部材とを備えており、前記反射部材からの反射光を出射する光源装置において、少なくとも一の光源体が動作状態とされるよう前記複数の光源体の各々を点灯駆動する点灯駆動装置と、前記反射部材を、その反射面が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう、駆動する駆動機構とを備えており、前記複数の光源体の各々から前記反射部材に入射される光が、同一の光軸に沿って出射される構成とされる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々一回の発光時間が１ｍｓ以下となる条件で点灯されるフラッシュランプを備えた複数の光源体と、前記複数の光源体の各々からの光を反射させる反射部材とを備えており、前記反射部材からの反射光を出射する光源装置において、
少なくとも一の光源体が動作状態とされるよう前記複数の光源体の各々を点灯駆動する点灯駆動装置と、
前記反射部材を、その反射面が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう、駆動する駆動機構とを備えており、
前記複数の光源体の各々から前記反射部材に入射される光が、同一の光軸に沿って出射されることを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記複数の光源体の各々は、フラッシュランプから放射される光を前記反射部材に向かって反射するリフレクタを備えていることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記リフレクタは、集光性を有するものであることを特徴とする請求項２に記載の光源装置。
【請求項４】
前記駆動機構は、前記反射部材をその反射面を通る軸を中心として回転駆動させるものであり、
前記複数の光源体は、前記反射部材の回転中心軸を中心とする円の円周に沿って配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の光源装置。
【請求項５】
前記複数の光源体の各々は、光軸が前記反射部材の回転中心軸に垂直な平面に対して傾斜した状態で配置されていることを特徴とする請求項４に記載の光源装置。
【請求項６】
前記複数の光源体は、一方向に並んで配置されており、
前記駆動機構は、前記反射部材を当該一方向に沿って移動させるものであることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の光源装置。
【請求項７】
前記反射部材の反射面がいずれか一の光源体と対向する状態にあるとき、当該反射部材の、当該光源体の光軸に垂直な面への射影の寸法が、前記リフレクタの開口径の大きさ以下であることを特徴とする請求項３乃至請求項６のいずれかに記載の光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光源装置に関し、特に、各々一回の発光時間が１ｍｓ以下となる条件で点灯されるフラッシュランプを備えた複数の光源体を有する多灯式の光源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、フラッシュ点灯を行う放電灯は、例えば半導体製造工程におけるフラッシュアニールをはじめ、様々な産業用途に用いられている。
例えば、ショートアーク型フラッシュランプは、点光源に近い光源として扱うことができ、光の方向性や分布にムラが比較的少ない光を得やすいものであるため、小領域に高密度な光を短時間で照射することができる。また、主電極間にアークが形成される時間が極端に短いため、放電により出力される光が、アークによって遮られたり、吸収されたりする機会が低減され、光の利用効率の面で優れている。このようなショートアーク型フラッシュランプは、例えば特許文献１に記載されている。
【０００３】
しかしながら、フラッシュランプは、発光時間が極めて短いことから積算光量を高くすることが難しい、という問題がある。そのため使用用途によっては、必要な光量を確保することが難しい。例えば、特許文献２には、フラッシュランプから放射される真空紫外光を用いた露光用の光源装置が記載されているが、現状のフラッシュランプでは、放射される真空紫外光の光量はわずかであるため、一回の発光で露光を完遂させることができず、多大な処理時間が必要になってしまうのが実情である。
【０００４】
一方、複数の放電灯を搭載した光源装置が知られており、例えば特許文献３には、例えば紫外光を含む光を放射する高圧水銀ランプと反射鏡とを備えた光源ユニットを複数備えた構成の光源装置が記載されている。
しかしながら、このような多灯方式の光源装置では、各々の光源ユニットからの光を同一視角内に集めることができない。このため、端部に位置される光源ユニットの輝度が犠牲になり、高輝度の光源装置を設計することが難しい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−１６２４０４号公報
【特許文献２】特開２０１４−２３５９６５号公報
【特許文献３】特許第５２１２６２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、各々間欠的に点灯駆動される複数の光源体を備えており、各々の光源体の輝度を犠牲にすることなく、積算照度を高くすることが可能な光源装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の光源装置は、各々一回の発光時間が１ｍｓ以下となる条件で点灯されるフラッシュランプを備えた複数の光源体と、前記複数の光源体の各々からの光を反射させる反射部材とを備えており、前記反射部材からの反射光を出射する光源装置において、
少なくとも一の光源体が動作状態とされるよう前記複数の光源体の各々を点灯駆動する点灯駆動装置と、
前記反射部材を、その反射面が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう、駆動する駆動機構とを備えており、
前記複数の光源体の各々から前記反射部材に入射される光が、同一の光軸に沿って出射されることを特徴とする。
【０００８】
本発明の光源装置においては、前記複数の光源体の各々は、フラッシュランプから放射される光を前記反射部材に向かって反射するリフレクタを備えた構成とされていることが好ましい。
このような構成のものにおいては、前記リフレクタは、集光性を有するものであることが好ましい。
【０００９】
本発明の光源装置においては、前記駆動機構は、前記反射部材をその反射面を通る軸を中心として回転駆動させるものであり、
前記複数の光源体は、前記反射部材の回転中心軸を中心とする円の円周に沿って配置された構成とされていることが好ましい。
また、このような構成のものにおいては、前記複数の光源体の各々は、光軸が前記反射部材の回転中心軸に垂直な平面に対して傾斜した状態で配置されていることが好ましい。
【００１０】
さらにまた、本発明の光源装置においては、前記複数の光源体は、一方向に並んで配置されており、
前記駆動機構は、前記反射部材を当該一方向に沿って移動させる構成のものとすることができる。
【００１１】
さらにまた、本発明の光源装置においては、前記反射部材の反射面がいずれか一の光源体と対向する状態にあるとき、当該反射部材の、当該光源体の光軸に垂直な面への射影の寸法が、前記リフレクタの開口径の大きさ以下である構成とされていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の光源装置によれば、反射部材がその反射面が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう駆動されることにより各々の光源体から反射部材に照射される光を同一視角内に集めることができる。このため、各々の光源体の輝度を犠牲にすることなく、積算照度を高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第一実施形態に係る光源装置の一例における構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示す光源装置を光出射方向から見た平面図である。
【図３】光源体におけるリフレクタの開口径の大きさと、反射部材の大きさとの関係を示す概略図である。
【図４】フラッシュランプの発光期間中の反射部材の角度変化量と、露光面における捕捉光量との関係を示す図である。
【図５】本発明の第一実施形態に係る光源装置の他の例における構成を示す図である。
【図６】本発明の第二実施形態に係る光源装置の一例における構成を示す斜視図である。
【図７】本発明の第一実施形態に係る光源装置のさらに他の例における構成を概略的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１５】
〔第一実施形態〕
図１は、本発明の第一実施形態に係る光源装置の一例における構成を示す斜視図である。図２は、図１に示す光源装置を光出射方向から見た平面図である。
この光源装置は、複数の光源体１０と、各々の光源体１０からの光を反射する共通の反射部材２０と、少なくとも一の光源体が動作状態とされるよう複数の光源体１０の各々を点灯駆動する点灯駆動装置（不図示）と、反射部材２０を、その反射面２１が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう、例えば連続的に駆動する駆動機構３０とを備えている。
【００１６】
各々の光源体１０は、点光源型すなわちショートアーク型のフラッシュランプ１１と、フラッシュランプ１１から放射される光を反射部材２０に向かって反射するリフレクタ１５とを備えている。リフレクタ１５は、その光軸がフラッシュランプ１１の中心軸と一致し、焦点がフラッシュランプ１１の輝点Ｓと一致する状態で、設けられている。
【００１７】
フラッシュランプ１１は、例えば、真空紫外光透過性材料からなる発光管内において対向配置される一対の主電極の電極間距離が例えば１２．５ｍｍ以下であって、発光管内にキセノンガスを含むガスが所定の封入圧力で封入されてなるもの（ＶＵＶ−ＳＦＬ）が用いられる。なお、フラッシュランプ１１には、一対の始動補助用電極がその先端が一対の主電極間に位置されるよう配置されている。
フラッシュランプ１１は、一端封止型のものであっても、両端封止型のものであっても、いずれのものであってもよい。
【００１８】
リフレクタ１５は、集光性を有するものであることが好ましい。リフレクタ１５として集光性を有するものが用いられることにより、反射部材２０の受光面（反射面２１）を小さく設計することができる。すなわち、図３に示すように、反射部材２０の反射面２１がいずれか一の光源体１０ａと対向する状態にある場合を考えたとき、反射部材２０の、光源体１０ａの光軸Ｌａに垂直な面への射影Ｐの寸法Ｄｐ（反射部材２０の厚みは無視できるものとする）が、リフレクタ１５の開口径の大きさＤｒ以下となるサイズのものを用いることができる。なお、反射部材２０の射影における紙面に垂直な方向の寸法についても同様である。このように、リフレクタ１５として集光性を有するものが用いられることにより、反射部材２０の受光面（反射面２１）を小さく設計することができ、その結果、反射部材２０の駆動制御を容易に行うことができる。
【００１９】
具体的には、リフレクタ１５は、フラッシュランプ１１から放射される光を集光して照射する楕円反射鏡、またはフラッシュランプ１１から放射される光を平行光化して照射する放物反射鏡により構成されていることが好ましい。
楕円反射鏡を用いる場合は、光を集光させることができるため、反射部材２０の受光面（反射面２１）を極めて小さく設計することができる。ただし、露光面に平行光を投射するためには、別途、インテグレータ光学系（ロッドインテグレータやフライアイインテグレータ、ライトトンネル等、照射面への照度の均一性を高めるために使われる光学系を指す。）等の光学部材を用いる必要がある。これに対し、放物反射鏡を用いる場合は、平行光が得られるため、光学部材を減らせることができるものの、反射部材２０の受光面（反射面２１）の面積を大きく確保する必要があり、反射部材２０の駆動制御が楕円反射鏡を用いる場合より難しくなるというデメリットがある。上記の点から、用途に応じて、最適な反射鏡を選定する必要がある。
【００２０】
複数の光源体１０は、フラッシュランプ１１の輝点Ｓが同一水平面（以下、「光源体配置面」という。）上に位置された状態において、当該光源体配置面において設定された所定の大きさの半径の仮想円Ｖの円周に沿って周方向に等間隔に並んで配置されている。この例の光源装置においては、各々の光源体１０の光軸Ｌａが光源体配置面上に位置されている。
ここに、仮想円Ｖの半径（仮想円Ｖの中心から各々のフラッシュランプ１１の輝点Ｓまでの距離）の大きさは、例えば１５０ｍｍ〜３５０ｍｍである。また、光源体１０の数は目的に応じて設定することができるが、例えば４〜１６個である。
【００２１】
この例においては、複数の光源体１０の各々におけるフラッシュランプ１１は、点灯駆動装置によって、間欠的に点灯駆動されると共に、例えば一の光源体におけるフラッシュランプ１１の発光期間中において他の光源体におけるフラッシュランプ１１の消灯状態が維持されるよう、順次に連続して点灯駆動される。
【００２２】
各々の光源体１０におけるフラッシュランプ１１の点灯周波数は、例えば、点灯周期（動作間隔）が１／３００〔ｓｅｃ〕以上となる大きさとされることが好ましい。点灯周期（動作間隔）が１／３００〔ｓｅｃ〕より小さい場合には、放電が不安定となり不点灯の発生リスクが高まる。実際には、点灯周期が１／１００〔ｓｅｃ〕以上の大きさとなるよう、点灯周波数が１００Ｈｚ以下とされることが好ましい。
【００２３】
また、各々の光源体１０におけるフラッシュランプ１１の発光時間（点灯時間）は、例えば１ｍｓｅｃ以下とされ、より好ましくは５００μｓｅｃ以下とされる。フラッシュランプ１１の発光時間が１ｍｓｅｃより長いと、フラッシュランプ１１に対する給電停止後においても、アークが残りやすく、その間は主電極間の再充電が行えなくなるためである。また、真空紫外光（ＶＵＶ）の発光効率はフラッシュランプ１１の発光時間に大きく関連しており、発光時間が短いほど真空紫外光の発光効率は高くなる。そのため真空紫外光の出力を考慮すると、発光時間は５０μｓｅｃ以下にすることがさらに好ましい。
【００２４】
反射部材２０は、例えば平板状ミラーにより構成されている。反射部材２０は、その反射面２１が光源体配置面に対して傾斜し、反射面２１上に複数の光源体１０の各々の光軸の交点が位置された状態で、配置されている。すなわち、反射部材２０の反射面２１は二次光源を構成し、反射面２１上における複数の光源体１０の各々の光軸の交点が発光点Ｘを形成する。この例においては、反射部材２０の反射面２１の、光源体配置面に対する傾斜角度は、例えば４５°とされている。
【００２５】
反射部材２０は、駆動機構によって、反射面２１上における複数の光源体１０の各々の光軸の交点（発光点Ｘ）を通る鉛直方向に延びる軸を回転中心軸Ｃとして回転駆動される。
駆動機構３０は、例えば回転軸が鉛直方向に延びる姿勢で配置された駆動モータからなる駆動源３１を備えており、回転軸の上端に反射部材２０が固定されている。
【００２６】
反射部材２０の回転周期は、フラッシュランプ１１の点灯周期にあわせて適宜設定することができ、例えば１／３００〔ｓｅｃ〕以下（３００Ｈｚ以下の回転周波数）に設定されることが望ましい。これにより、フラッシュランプ１１の発光期間（発光開始から発光終了までの期間）における反射部材２０の角度変化量を適正に制御することができて光の利用効率を高くすることができる。
【００２７】
すなわち、反射部材２０の回転周期が小さく（回転数が大きく）なるに従って、フラッシュランプ１１の発光期間中の反射部材２０の角度変化量が大きくなる。角度変化量が大きくなるほど、反射部材２０からの反射効率が著しく悪化することとなる。このため、フラッシュランプ１１の発光期間における反射部材２０の角度変化量は少なくとも１８°以下に抑える必要がある。この角度変化量は、発光期間の長さと反射部材２０の回転数により一義的に決まるものであり、角度変化量が１８°以上であると反射光の照射エリアが大幅にズレるため、光の利用効率が大幅に悪化し、実用的でない。また、より効率よくする（およそ８０％以上の利用効率を得る）ためには、反射部材２０の角度変化量を１０°以下に抑える必要があり、９０％以上の利用効率を目指すのであれば、角度変化量を７°以下に抑えた設計にすることが望ましい。また角度変化量が３°以下であれば、実質全ての光を利用することができる。
例えば、フラッシュランプ１１の発光期間を１６６μｓｅｃとするとき、反射部材２０の回転周期を１／３００〔ｓｅｃ〕以下とすると反射部材２０の角度変化量を１８°以下にすることができる。また、反射部材２０の回転周期を、１／１６７〔ｓｅｃ〕以下、１／１１７〔ｓｅｃ〕以下、１／５０〔ｓｅｃ〕以下とすると、反射部材２０の角度変化量を、それぞれ、１０°以下、７°以下、３°以下にすることができる。
【００２８】
図４は、フラッシュランプ１１の発光期間中の反射部材２０の角度変化量（回転角度）〔°〕と、露光面における捕捉光量（相対値）との関係を示す図である。この結果は、以下に示す仕様の光源装置において、反射部材２０の回転周期を適宜変更しながら、以下に示す条件で各々のフラッシュランプ１１を点灯駆動したときに得られたものである。図４における曲線（ａ）は、反射部材２０の角度変化量に対する捕捉光量を示す曲線であり、曲線（ｂ）は反射部材２０の角度変化量に対する捕捉光量の時間平均値を示す曲線である。
【００２９】
＜光源装置の仕様＞
光源体（１０）の数：８つ
二次光源としての反射部材（２０）の発光点（各々の光源体（１０）の光軸の交点）とフラッシュランプ（１１）の輝点との間の距離（仮想円の半径）：２００ｍｍ
フラッシュランプ（１１）における主電極の電極間距離：３ｍｍ
発光ガス種：キセノンガス、封入圧力：１５ＭＰａ
リフレクタ（１５）：楕円反射鏡、開口径：φ１００ｍｍ
反射部材（２０）：４０×５５ｍｍの反射面（２１）を有する平面鏡、反射面（２１）の光源体配置面に対する傾斜角度：４５°
ロッドインテグレータ（４０）の入射面のサイズ：３５ｍｍ角、ロッドインテグレータ（４０）の入射面の二次光源としての反射部材（２０）の発光点（Ｘ）からの距離：１００ｍｍ
＜点灯条件および動作条件＞
一方の主電極および一方の始動補助電極の間、他方の主電極および他方の始動補助電極の間、並びに、一対の始動補助電極間の各々に対する印加電圧：１０ｋＶ
フラッシュランプ（１１）の発光期間：２０μｓｅｃ
フラッシュランプ（１１）の点灯周波数：１５Ｈｚ（点灯周期：１／１５ｓｅｃ）
【００３０】
上記の光源装置においては、複数の光源体１０の各々が順次に点灯駆動されると共に反射部材２０がその反射面２１が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう連続的に駆動される。すなわち、反射部材２０がその反射面２１が動作期間中の光源体と対向するよう連続的に駆動される。これにより、各々の光源体１０から照射される光は、反射部材２０によって反射されて、反射部材２０の反射面２１における発光点Ｘを通る鉛直方向に延びる同一の光軸Ｌｂに沿って出射される。光源装置から出射される光は、図１に示すように、例えばロッドインテグレータ４０などのインテグレータ光学系に入射される。
【００３１】
而して、上記の第一実施形態に係る光源装置によれば、反射部材２０がその反射面２１が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう連続的に駆動されることにより、フラッシュランプ１１の発光期間中において各々の光源体１０から反射部材２０に照射される光を同一視角内に集めることができる。このため、すべての光源体１０について二次光源としての反射部材２０における反射面２１の輝度を均一にすることができ、従って、各々の光源体１０の輝度を犠牲にすることなく、積算照度を高くすることができる。
【００３２】
以上の本発明の第一実施形態に係る光源装置においては、例えば、図５に示すように、複数の光源体１０の各々は、光軸Ｌａが反射部材２０の回転中心軸Ｃに垂直な平面に対して、すなわち光源体配置面に対して傾斜した状態で配置された構成とされていてもよい。各々の光源体１０の光軸Ｌａの、光源体配置面に対する傾斜角度は、特に限定されるものではないが、例えば２０°〜４５°であることが好ましい。このような構成によれば、上記の光源装置と同様の効果を得ることができると共に、複数の光源体１０を密集配置させることができるため、図１に示す光源装置よりもコンパクトな構成のものとすることができる。
【００３３】
〔第二実施形態〕
図６は、本発明の第二実施形態に係る光源装置の一例における構成を示す斜視図である。
この光源装置は、一方向（以下、この方向を「ｘ方向」とする。）に等間隔に並んで配置された複数の光源体１０と、複数の光源体１０の各々から照射される光を反射する第一の反射部材２０ａと、第一の反射部材２０ａによる反射光が入射されて複数の光源体１０の各々からの光を鉛直方向（以下、この方向を「ｚ方向」とする。）に延びる互いに同一の光軸Ｌｂに沿って出射する第二の反射部材２０ｂと、複数の光源体１０を順次に点灯駆動する点灯駆動装置（不図示）と、第一の反射部材２０ａをその反射面２１ａが動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう、連続的に駆動する駆動機構３０ａとを備えている。図６においては、図１に示す光源装置と同一の構成部材については同一の符号が付してあり、説明を省略する。
【００３４】
複数の光源体１０は、フラッシュランプ１１の輝点が同一水平面（光源体配置面）上に位置され、光軸Ｌａが光源体配置面上において互いに平行にｘ方向に垂直な方向（以下、「ｙ方向」とする。）に延びるよう配置されている。
【００３５】
複数の光源体１０の各々におけるフラッシュランプ１１は、点灯駆動装置によって、間欠的に点灯駆動されると共に、一の光源体におけるフラッシュランプ１１の発光期間中において他の光源体におけるフラッシュランプ１１の消灯状態が維持されるよう、順次に連続して点灯駆動される。複数の光源体１０の各々におけるフラッシュランプ１１の点灯条件は、図１に示す光源装置と同様である。
【００３６】
第一の反射部材２０ａは、例えば平板状ミラーにより構成されている。第一の反射部材２０ａは、その反射面２１ａがｙ方向およびｚ方向に延びる平面に対して傾斜する状態で、配置されている。この例においては、第一の反射部材２０ａの反射面２１ａの、ｙ方向およびｚ方向に延びる平面に対する傾斜角度は、例えば４５°とされている。
【００３７】
第一の反射部材２０ａは、駆動機構３０ａによって、反射面２１ａの向きが固定された状態でｘ方向に沿って移動（往復動）される。駆動機構３０ａは、例えば一軸ステージにより構成されている。
第一の反射部材２０ａの移動速度は、フラッシュランプ１１の点灯周期にあわせて適宜設定することができ、例えば１００〔ｍ／ｓｅｃ〕以下に設定されることが好ましい。これにより、フラッシュランプ１１の発光期間（発光開始から発光終了までの期間）における第一の反射部材２０の移動量を適正に制御することができて光の利用効率を高くすることができる。
【００３８】
第二の反射部材２０ｂは、例えば平板状ミラーにより構成されている。第二の反射部材２０ｂは、その反射面２１ｂが第一の反射部材２０ａの反射面２１ａと対向する状態で、配置されている。第二の反射部材２０ｂにおける反射面２１ｂは、光源体配置面（ｘ方向およびｙ方向に延びる平面）に対して傾斜した状態とされている。この例においては、第二の反射部材２０ｂの反射面２１ｂの、光源体配置面に対する傾斜角度は、例えば４５°とされている。
【００３９】
上記の光源装置においては、複数の光源体１０の各々が順次に点灯駆動されると共に第一の反射部材２０ａがその反射面２１ａが動作期間中の光源体と対向するようｘ方向に沿って連続的に駆動される。これにより、各々の光源体１０から照射される光は、第一の反射部材２０ａによってｘ方向に向かって反射されて、第二の反射部材２０ｂに入射される。図６におけるＬｃは、第一の反射部材２０ａによる反射光の光軸である。
第二の反射部材２０ｂに入射された光は、第二の反射部材２０ｂによって反射され、ｚ方向に延びる同一の光軸Ｌｂに沿って出射される。光源装置から出射される光は、例えばロッドインテグレータ４０などのインテグレータ光学系に入射される。
【００４０】
而して、上記の第二実施形態に係る光源装置によれば、第一の反射部材２０ａがその反射面２１ａが動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向を向くよう連続的に駆動されることにより、フラッシュランプ１１の発光期間中に各々の光源体１０から照射される光を、第二の反射部材２０ｂの反射面２１ｂ上の発光点Ｘにおいて同一視角内に集めることができる。このため、各々の光源体１０の輝度を犠牲にすることなく、積算照度を高くすることができる。
【００４１】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
【００４２】
図７は、本発明の第一実施形態に係る光源装置のさらに他の例における構成を概略的に示す図である。
この光源装置は、各々点光源型（ショートアーク型）のフラッシュランプ１１を備えた複数の光源体１０と、各々の光源体１０から照射される光を反射する第一の反射部材２０ａと、第一の反射部材２０ａによる反射光が入射されて複数の光源体１０の各々からの光を鉛直方向に延びる互いに同一の光軸Ｌｂに沿って出射する第二の反射部材２０ｂと、複数の光源体１０を順次に点灯駆動する点灯駆動装置（不図示）と、第二の反射部材２０ｂをその反射面２１が動作期間中の光源体から照射される光の光軸方向（第一の反射部材２０ａによる反射光の光軸Ｌｃ方向）を向くよう、連続的に駆動する駆動機構３０とを備えている。図７においては、図１に示す光源装置と同一の構成部材については同一の符号が付してあり、説明を省略する。
【００４３】
複数の光源体１０は、フラッシュランプ１１の輝点が同一水平面（光源体配置面）上に位置された状態において、当該光源体配置面において設定された所定の大きさの半径の仮想円の円周に沿って周方向に等間隔に並んで配置されている。この例の光源装置においては、各々の光源体１０の光軸Ｌａが光源体配置面上において仮想円の径方向外方に向かって放射状に延びるよう位置されている。
【００４４】
複数の光源体１０の各々におけるフラッシュランプ１１は、点灯駆動装置によって、間欠的に点灯駆動されると共に、例えば一の光源体におけるフラッシュランプ１１の発光期間中において他の光源体におけるフラッシュランプ１１の消灯状態が維持されるよう、順次に連続して点灯駆動される。複数の光源体１０の各々におけるフラッシュランプ１１の点灯条件は、図１に示す光源装置と同様である。
【００４５】
この例における第一の反射部材２０ａは、例えば、鉛直方向上方に向かって拡開する筒状ミラーにより構成されている。第一の反射部材２０ａは、複数のミラー要素を複数の光源体１０が配置される仮想円と同心円の円周に沿って配置させたものにより構成されていてもよい。第一の反射部材２０ａが筒状ミラーよりなる場合において、筒状ミラーの反射面２１ａの形状は、所望の光学設計により適宜変更することができる。
第一の反射部材２０ａは、その光軸が仮想円の中心を通り、光源配置面に垂直な方向に延びる姿勢で、複数の光源体１０の各々の周囲を囲むよう配置されている。
【００４６】
第二の反射部材２０ｂは、例えば平板状ミラーにより構成されている。第二の反射部材２０ｂは、その反射面２１ｂが第一の反射ミラー２０ａの光軸に対して傾斜し、反射面２１ｂ上に複数の光源体１０の各々から照射された光が第一の反射ミラー２０ａによって反射された反射光の光軸Ｌｃの交点が位置された状態で、配置されている。
【００４７】
第二の反射部材２０ｂは、駆動機構によって、第一の反射ミラー２０ａの光軸を回転中心軸Ｃとして回転駆動される。駆動機構３０は、図１に示す光源装置と同様の構成を有する。また、第二の反射部材２０ｂの駆動条件は、図１に示す光源装置と同様である。
【００４８】
上記の光源装置においては、複数の光源体１０の各々が順次に点灯駆動されると共に第二の反射部材２０ｂがその反射面２１ｂが動作期間中の光源体から照射された光が第一の反射部材２０ａによって反射された反射光の光軸Ｌｃ方向を向くよう連続的に回転駆動される。これにより、各々の光源体１０から照射される光が第一の反射部材２０ａによって反射された反射光は、第二の反射部材２０ｂによって反射され、鉛直方向に延びる同一の光軸Ｌｂに沿って出射される。光源装置から出射される光は、例えばロッドインテグレータ４０などのインテグレータ光学系に入射される。
【００４９】
而して、このような光源装置によっても、図１に示す光源装置と同様の効果を得ることができる。
【００５０】
また、本発明の光源装置においては、光源体の構成は、上記実施形態に係るものに限定されず、一の光源体が複数のフラッシュランプを備えた構成とされていてもよい。
さらにまた、本発明の光源装置においては、点灯駆動装置によって、複数の光源体が同一期間中に（同時に）動作状態とされてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明の光源装置は、例えば、フォトレジストによるパターン形成工程を用いずに、真空紫外光を用いて、自己組織化単分子膜（以下、「ＳＡＭ膜」ともいう。）をパターニングするため露光装置などの光源として有用なものとなることが期待される。
【符号の説明】
【００５２】
１０    光源体
１０ａ  光源体
１１    フラッシュランプ
１５    リフレクタ
２０    反射部材
２０ａ  第一の反射部材
２０ｂ  第二の反射部材
２１    反射面
２１ａ  反射面
２１ｂ  反射面
３０    駆動機構
３０ａ  駆動機構
３１    駆動源
４０    ロッドインテグレータ
Ｃ      回転中心軸
Ｌａ    光源体の光軸
Ｌｂ    光源装置から出射される光の光軸
Ｌｃ    第一の反射部材による反射光の光軸
Ｐ      射影
Ｓ      フラッシュランプの輝点
Ｖ      仮想円
Ｘ      発光点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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