【事件の表示】
　特願２００４−　５８１０７「露光方法、露光装置及びデバイス製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　１月１３日出願公開、特開２００５−　１２１６９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２００４年３月２日（特許法第４１条に基づく優先権主張　２００３年５月２２日）を出願日とする特願２００４−５８１０７号であって、平成１９年３月２日付けで手続補正がなされ、平成２１年１０月２８日付けで拒絶理由が通知され、同年１２月２８日付けで意見書が提出され、同日付けで手続補正がなされ、平成２２年８月２日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年１１月９日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　
第２　本願の請求項８に係る発明
　本願の請求項８に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２１年１２月２８日付け手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項８に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
　
「光源からの光で原版を照明する照明光学系と、前記原版のパターンを基板に投影する投影光学系とを有する露光装置において、
　前記基板と共役な位置の近傍に配置された絞りと、
　前記照明光学系または前記投影光学系の光軸方向に前記絞りを駆動する駆動手段とを有し、
　前記原版を照明する光の開口数が互いに異なる複数の照明モードを形成可能であり、
　前記照明モードが変化した場合に、前記光軸方向における絞りの位置を前記駆動手段を用いて調整することを特徴とする露光装置。」
　
第３　引用例
１　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開２００２−３１８９５号公報（以下「引用例１」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
　
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば薄膜磁気ヘッド、半導体素子、撮像素子、又は液晶表示素子等の各種デバイスを製造するためのフォトリソグラフィ工程中で用いられ、マスクに形成されたパターンを感光基板上に転写する露光装置に関する。」
　
「【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一実施形態による露光装置について図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態による露光装置の構成を示す図である。尚、本実施形態においては、本発明をステップ・アンド・スキャン方式の投影露光装置に適用した場合について説明する。以下の説明においては、図１中に示されたＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。図１に示したＸＹＺ直交座標系では、所定のパターン領域が形成されたレチクルＲと、セラミックス基板上にレジストが塗布された基板Ｗとが搬送される方向（走査方向）をＹ軸方向、レチクルＲの平面内でＹ軸と直交する方向をＸ軸方向、レチクルＲの法線方向をＺ軸方法に設定してある。図１中のＸＹＺ座標系は、実際にはＸＹ平面が水平面に平行な面に設定され、Ｚ軸が鉛直上方向に設定される。
【００１３】図１において、露光光を射出する露光光源としてのＫｒＦエキシマレーザ光源１からパルス発光された波長２４８ｎｍのレーザビームよりなる照明光ＩＬは、減光ユニット２で所定の減光率で減光された後、第１レンズ３、偏向ミラー４、及び第２レンズ６よりなるビームエキスパンダを介して、１段目のフライアイレンズ７に入射する。第２レンズ６及びフライアイレンズ７は通常照明用のインプット光学系５Ａを構成し、このインプット光学系５Ａは交換装置８を介して、後述の輪帯照明用のインプット光学系５Ｂと交換できるように構成されている。１段目のフライアイレンズ７で照度分布が均一化された照明光ＩＬは、照明光の方向による照度分布のむらを補正するための平行平板ガラスよりなる照度分布補正板９、リレーレンズ１０、及び偏向ミラー１１を介して、２段目の通常照明用のフライアイレンズ１２の入射面に入射する。１段目のフライアイレンズ７の入射面は２段目のフライアイレンズ１２の入射面と共役であり、後者のフライアイレンズ１２の入射面では、前者のフライアイレンズ７を構成する各レンズエレメントの入射面の拡大像が重畳される。
【００１４】また、フライアイレンズ１２は交換装置１４を介して、後述の２段目の輪帯照明用のフライアイレンズ１３と交換できるように構成されている。尚、２段目のフライアイレンズ１２以降の照明光学系、及び投影光学系ＰＬの光軸をＺ軸に平行に設定された光軸ＡＸとする。２段目のフライアイレンズ１２の射出面はレチクルＲのパターン形成面に対して光学的なフーリエ変換面（瞳面）となっており、この射出面に複数の照明系開口絞り（以下、「σ絞り」と呼ぶ）が設けられたσ絞りユニット１５が配置されている。図２は、σ絞りユニット１５の構成例を示す図である。図２に示すようにσ絞りユニット１５は、駆動軸１５ａの周りに回転自在な円板よりなり、等角度間隔で大きなσ値用のσ絞り７５Ａ、小さいσ値用のσ絞り７５Ｂ、第１の輪帯照明用のσ絞り７５Ｃ、及び第２の輪帯照明用のσ絞り７５Ｄが形成されている。
【００１５】図１に戻り、装置全体の動作を統轄制御する主制御装置２９が照明系制御系３２に対して露光条件等を指示するのに応じて、照明系制御系３２ではσ絞りユニット１５を回転させて所定のσ絞りをフライアイレンズ１２の射出面に設定する。その動作と同時に照明系制御系３２では、必要に応じて交換装置８を介して２つのインプット光学系５Ａ，５Ｂの交換を行うと共に、交換装置１４を介して２つのフライアイレンズ１２及び１３の交換をも行う。フライアイレンズ１２から射出されてσ絞りユニット１５中の所定のσ絞りを通過した照明光ＩＬは、分割プリズム板１６及び第１リレーレンズ１７を経て、順次Ｚチルト方向に駆動される固定視野絞り（固定レチクルブラインド）１８、及びＸＹ面内において駆動される可動視野絞り２０に入射する。本実施形態では可動視野絞り２０は、レチクルＲのパターン形成面との共役面に配置され、固定視野絞り１８はその共役面から僅かにデフォーカスした面に配置されている。そして、固定視野絞り１８にはレチクルＲ上のスリット状の照明領域を規定するための矩形の固定の開口が形成され、且つ固定視野絞り１８のＺ軸方向の位置及び傾斜角（チルト角）は、照明系制御系３２が駆動装置１９を介して微調整できるように構成されている。
【００１６】一方、可動視野絞り２０はＹ軸方向にそれぞれ独立に移動できる１対の可動ブレード２０ａ，２０ｂと、Ｘ軸方向にそれぞれ独立に駆動できる不図示の１対の可動ブレードとから構成され、可動ブレード２０ａ，２０ｂ等の動作は駆動装置２１を介して照明系制御系３２によって制御される。基板Ｗ上の各ショット領域に対して走査露光を行う場合、固定視野絞り１８のみでは走査露光の開始直後、及び終了直前にレチクルＲ上のパターン領域以外の領域にも照明光ＩＬが照射されることがある。そこで、可動視野絞り２０は、走査露光の開始直後、及び終了直前等に、固定視野絞り１８で規定されるレチクルＲ上の照明領域を更に制限する役割を果たしている。
【００１７】固定視野絞り１８及び可動視野絞り２０の開口を通過した照明光ＩＬは、第２リレーレンズ２２、及びコンデンサレンズ２３を介して、レチクルＲのパターン形成面（下面）のスリット状の照明領域２４を均一な照度分布で照明する。本実施形態の照明領域２４は、Ｘ軸方向を長手方向とする矩形領域であり、走査露光時のレチクルＲの走査方向はＹ軸方向となっている。その照明光ＩＬのもとで、レチクルＲ上の照明領域２４内のパターンが投影光学系ＰＬによって投影倍率β（βは１／４，１／５等）で縮小されて、フォトレジストが塗布された基板Ｗの表面のスリット状の露光領域３３に結像投影される。投影光学系ＰＬ内の瞳面（レチクルＲのパターン形成面に対する光学的フーリエ変換面）には、例えば虹彩絞り状の可変開口絞り４２が設置され、主制御装置２９が駆動装置４３を介して可変開口絞り４２の開口径を切り換えることによって、投影光学系ＰＬの開口数ＮＡが例えば０．５〜０．８の間で切り換えられるようになっている。」
　
「【図１】
　
【図２】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
２　引用例１に記載された発明の認定
　上記記載（図面の記載も含む）を総合すれば、引用例１には、
「ＫｒＦエキシマレーザ光源１からパルス発光された照明光ＩＬによって、レチクルＲのパターン形成面のスリット状の照明領域２４を均一な照度分布で照明するための照明光学系と、その照明光ＩＬのもとで、レチクルＲ上の照明領域２４内のパターンを投影倍率βで縮小して、フォトレジストが塗布された基板Ｗの表面のスリット状の露光領域３３に結像投影する投影光学系ＰＬとを有する露光装置であって、
　照明光学系は、インプット光学系５Ａ，５Ｂ、２段目のフライアイレンズ１２，１３、σ絞りユニット１５、固定視野絞り１８、可動視野絞り２０を含み、
　σ絞りユニット１５は、駆動軸１５ａの周りに回転自在な円板よりなり、等角度間隔で大きなσ値用のσ絞り７５Ａ、小さいσ値用のσ絞り７５Ｂ、第１の輪帯照明用のσ絞り７５Ｃ、及び第２の輪帯照明用のσ絞り７５Ｄが形成され、
　装置全体の動作を統轄制御する主制御装置２９が照明系制御系３２に対して露光条件等を指示するのに応じて、照明系制御系３２ではσ絞りユニット１５を回転させて所定のσ絞りをフライアイレンズ１２の射出面に設定し、その動作と同時に照明系制御系３２では、必要に応じて交換装置８を介して２つのインプット光学系５Ａ，５Ｂの交換を行うと共に、交換装置１４を介して２つのフライアイレンズ１２及び１３の交換をも行い、
　可動視野絞り２０は、レチクルＲのパターン形成面との共役面に配置され、固定視野絞り１８はその共役面から僅かにデフォーカスした面に配置され、固定視野絞り１８にはレチクルＲ上のスリット状の照明領域を規定するための矩形の固定の開口が形成され、且つ固定視野絞り１８のＺ軸方向の位置及び傾斜角（チルト角）は、照明系制御系３２が駆動装置１９を介して微調整できるように構成されている露光装置。」の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。
　
第４　本願発明と引用発明の対比、及び、当審の判断
１　対比
（１）ここで、本願発明と引用発明を対比する。
　引用発明の「ＫｒＦエキシマレーザ光源１からパルス発光された照明光ＩＬによって、レチクルＲのパターン形成面のスリット状の照明領域２４を均一な照度分布で照明するための照明光学系」及び「その照明光ＩＬのもとで、レチクルＲ上の照明領域２４内のパターンを投影倍率βで縮小して、フォトレジストが塗布された基板Ｗの表面のスリット状の露光領域３３に結像投影する投影光学系ＰＬ」が、それぞれ、本願発明の「光源からの光で原版を照明する照明光学系」及び「前記原版のパターンを基板に投影する投影光学系」に相当する。
　
　引用発明において、「レチクルＲのパターン形成面のスリット状の照明領域２４」と「基板Ｗの表面のスリット状の露光領域３３」とは、光学的に共役であることから、引用発明の「レチクルＲのパターン形成面との共役面」が、本願発明の「前記基板と共役な位置」に相当し、よって、引用発明の「レチクルＲのパターン形成面との共役面」「から僅かにデフォーカスした面に配置され」た「固定視野絞り１８」が、本願発明の「前記基板と共役な位置の近傍に配置された絞り」に相当する。
　
　引用発明の「Ｚ軸方向」が、本願発明の「前記照明光学系」の「光軸方向」に相当するから、引用発明の「固定視野絞り１８のＺ軸方向の位置及び傾斜角（チルト角）」を「微調整」する「照明系制御系３２」及び「駆動装置１９」が、本願発明の「前記照明光学系または前記投影光学系の光軸方向に前記絞りを駆動する駆動手段」に相当する。
　
　引用発明の「σ絞りユニット１５」に形成された「大きなσ値用のσ絞り７５Ａ」、「小さいσ値用のσ絞り７５Ｂ」、「第１の輪帯照明用のσ絞り７５Ｃ」、及び「第２の輪帯照明用のσ絞り７５Ｄ」のそれぞれが設定されたときの、それぞれの「照明光」は、本願発明の「開口数が互いに異なる複数の照明モード」の「原版を照明する光」に相当するといえるから、引用発明の「σ絞りユニット１５は、駆動軸１５ａの周りに回転自在な円板よりなり、等角度間隔で大きなσ値用のσ絞り７５Ａ、小さいσ値用のσ絞り７５Ｂ、第１の輪帯照明用のσ絞り７５Ｃ、及び第２の輪帯照明用のσ絞り７５Ｄが形成され、装置全体の動作を統轄制御する主制御装置２９が照明系制御系３２に対して露光条件等を指示するのに応じて、照明系制御系３２ではσ絞りユニット１５を回転させて所定のσ絞りをフライアイレンズ１２の射出面に設定し、その動作と同時に照明系制御系３２では、必要に応じて交換装置８を介して２つのインプット光学系５Ａ，５Ｂの交換を行うと共に、交換装置１４を介して２つのフライアイレンズ１２及び１３の交換をも行」うことが、本願発明の「前記原版を照明する光の開口数が互いに異なる複数の照明モードを形成可能」であることに相当する。
　
　引用発明の「固定視野絞り１８のＺ軸方向の位置及び傾斜角（チルト角）は、照明系制御系３２が駆動装置１９を介して微調整できるように構成されている」ことが、本願発明の「前記光軸方向における絞りの位置を前記駆動手段を用いて調整する」ことに相当する。
　
（２）一致点
　したがって、本願発明と引用発明とは、
「光源からの光で原版を照明する照明光学系と、前記原版のパターンを基板に投影する投影光学系とを有する露光装置において、
　前記基板と共役な位置の近傍に配置された絞りと、
　前記照明光学系または前記投影光学系の光軸方向に前記絞りを駆動する駆動手段とを有し、
　前記原版を照明する光の開口数が互いに異なる複数の照明モードを形成可能であり、
　前記光軸方向における絞りの位置を前記駆動手段を用いて調整する露光装置。」の発明である点で一致し、次の点で相違する。
　
（３）相違点
　光軸方向における絞りの位置の調整を、本願発明においては「照明モードが変化した場合に」するのに対して、引用発明においては上記調整を照明モードが変化した場合にするか否かは明確でない点。
　
２　当審の判断
（１）相違点の検討
　露光装置において、照明光学系の諸条件が変更された場合に、それに対応して露光状態を所望の状態とするために、露光装置の変更可能な箇所を、当該変更の形態に対応して調整することは、当業者が当然に試みることである。
　引用発明においても、照明光学系の諸条件の１つである「照明モード」が変化した場合に、引用発明において微調整可能な箇所である「絞り」に対して、当該変更の形態である「光軸方向」における「位置」の「調整」を行うとして、上記相違点に係る本願発明の構成を得ることは当業者が容易に想到し得たことである。
　
（２）そして、本願発明によってもたらされる効果は、引用発明から当業者が予測し得る程度のものである。
　
（３）まとめ
　したがって、本願発明は、引用発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。よって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　なお、「絞りの光軸方向位置を光の開口数に応じて調整する」ことは、本願発明の発明特定事項ではない点に鑑みれば、審判請求等における請求人の主張を採用できないことは明らかである。
　
第５　結言
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。