【事件の表示】
　特許第６２７３９９７号発明「不透明石英ガラスおよびその製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第６２７３９９７号の請求項１ないし８、１８ないし２５に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第６２７３９９７号の請求項１ないし２５に係る特許についての出願は、平成２６年　４月３０日に出願され、平成３０年　１月１９日にその特許権の設定登録がされ、平成３０年　２月　７日に特許掲載公報が発行された。その後、その特許に対し、平成３０年　８月　３日付けで特許異議申立人　山田　正博（以下、「特許異議申立人」という。）により、その請求項１ないし８、１８ないし２５を対象として特許異議の申立てがされ、当審は、平成３０年１０月２３日に取消理由を通知した（平成３０年１０月１８日付け）。それに対し、特許権者は、平成３０年１２月１８日付けで乙第１ないし６号証が添付された意見書を提出した。
第２　本件特許発明
　本件の特許請求の範囲における請求項１ないし８、１８ないし２５の記載は、以下のとおりである。
（以下、請求項１ないし８、１８ないし２５に係る発明を、それぞれ「本件特許発明１」ないし「本件特許発明８」、「本件特許発明１８」ないし「本件特許発明２５」といい、まとめて「本件特許発明」という。）
「【請求項１】
　密度が１．９５ｇ／ｃｍ３以上２．１５ｇ／ｃｍ３以下であり、平均気孔径が５〜２０μｍであり、密度の変動係数が０．０２以下であることを特徴とする不透明石英ガラス。
【請求項２】
　試料厚さ１ｍｍのときの波長１．５μｍから５μｍにおける直線透過率が１％以下であることを特徴とする請求項１に記載の不透明石英ガラス。
【請求項３】
　吸水率が０．１ｗｔ％以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の不透明石英ガラス。
【請求項４】
　クリストバライト含有率が２％以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の不透明石英ガラス。
【請求項５】
　密度が１．９７ｇ／ｃｍ３以上２．０８ｇ／ｃｍ３未満であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の不透明石英ガラス。
【請求項６】
　平均気孔径が９〜１５μｍであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の不透明石英ガラス。
【請求項７】
　Ｎａ，Ｍｇ，Ａｌ，Ｋ，Ｃａ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｃｕ，Ｚｎの各金属不純物の含有量が１０ｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の不透明石英ガラス。
【請求項８】
　Ｎａ，Ｍｇ，Ａｌ，Ｋ，Ｃａ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｃｕ，Ｚｎの各金属不純物の含有量が１ｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の不透明石英ガラス。
【請求項１８】
　請求項１〜８のいずれかに記載の不透明石英ガラス表面の一部または全体に透明石英ガラス層を有していることを特徴とする石英ガラス。
【請求項１９】
　請求項１〜８のいずれかに記載の不透明石英ガラスによって一部または全体が形成されていることを特徴とする熱処理装置用部材。
【請求項２０】
　請求項１〜８のいずれかに記載の不透明石英ガラスによって一部または全体が形成されていることを特徴とする半導体製造装置用部材。
【請求項２１】
　請求項１〜８のいずれかに記載の不透明石英ガラスによって一部または全体が形成されていることを特徴とするＦＰＤ製造装置用部材。
【請求項２２】
　請求項１〜８のいずれかに記載の不透明石英ガラスによって一部または全体が形成され
ていることを特徴とする太陽電池製造装置用部材。
【請求項２３】
　請求項１〜８のいずれかに記載の不透明石英ガラスによって一部または全体が形成されていることを特徴とするＬＥＤ製造装置用部材。
【請求項２４】
　請求項１〜８のいずれかに記載の不透明石英ガラスによって一部または全体が形成されていることを特徴とするＭＥＭＳ製造装置用部材。
【請求項２５】
　請求項１〜８のいずれかに記載の不透明石英ガラスによって一部または全体が形成されていることを特徴とする光学部材。」 
第３　異議申立理由の概要
　特許異議申立人は、甲第１ないし６号証を提示するとともにその写しを提出し、次の申立理由（１）ないし（５）により、請求項１ないし８、１８ないし２５に係る特許は取り消すべきものである旨主張している。
１．申立理由（１）
　本件特許発明１、４ないし８、１９ないし２５は、甲第１号証に記載された発明であり、本件特許発明１ないし８、１８ないし２５は、甲第２号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができないものである。
２．申立理由（２）
　本件特許発明１ないし８、１８ないし２５は、甲第１ないし４号証の記載に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものである。
３．申立理由（３）
　本件請求項１に記載されている密度及び密度の変動係数、並びに本件請求項３に記載されている吸水率に関し、その測定方法が明りょうでないから、本件特許発明１及び本件特許発明３は明確でない。よって、本件特許に係る出願は、特許法第３６条第６項第２号に規定の要件を満たしていないものである。
４．申立理由（４）
　本件請求項１に記載されている密度及び密度の変動係数、並びに本件請求項３に記載されている吸水率に関し、本件明細書の発明の詳細な説明は、その測定方法の記載に不備があるから、当業者が発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載されていない。よって、本件特許に係る出願は、特許法第３６条第４項第１号に規定の要件を満たしていないものである。
５．申立理由（５）
　本件明細書の実施例４は平均密度の最小値が１．９４ｇ／ｃｍ３であって、本件特許発明１の発明特定事項を満たしていないものであってサポート要件違反である。また、甲第５号証及び甲第６号証の記載を踏まえると、本件明細書の記載は甲第５号証に係るものとほぼ同一であるから、本件特許に係る出願も、甲第５号証に係る出願と同様、甲第６号証の記載で言及されたサポート要件違反の不備がある。また、本件特許発明１８は対応する実施例の記載がない。よって、本件特許発明１とそれに従属する本件特許発明２ないし８、１８ないし２５は、特許法第３６条第６項第１号に規定の要件を満たしていないものである。
　　　　　　　　　　　　＜甲各号証一覧＞ 
　甲第１号証
特開平１１−１９９２５２号公報
　甲第２号証
特開２００１−１８０９５５号公報
　甲第３号証
特開平９−１２３２５号公報
　甲第４号証
東ソー株式会社、”失透”、石英ガラス使用上の注意、インターネット＜ＵＲＬ：ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｔｏｓｏｈ．ｃｏ．ｊｐ／ｐｒｏｄｕｃｔ／ｆｕｎｃｔｉｏｎａｌｉｔｙ／ｓｐｅｃｉａｌｉｔｙ／ａｓｓｅｔｓ／ｑｕａｒｔｚ＿ｇｌａｓｓ＿１９．ｐｄｆ＞
　甲第５号証
特開２０１５−１５１３２０号公報
　甲第６号証
特願２０１４−２７９１０（特開２０１５−１５１３２０号）の拒絶理由通知書
第４　取消理由の概要
　当審において、平成３０年１０月１８日付けで通知した取消理由の要旨は、次のとおりである。
（１）理由１（実施可能要件）について
　本件特許発明１ないし８、１８ないし２５の発明特定事項である密度及び密度の変動係数、並びに吸水率について、本件明細書の発明の詳細な説明は、その測定方法の記載に不備があり、当業者が本件特許発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載されていない。
（２）理由２（明確性要件）について
　本件特許発明の発明特定事項である「密度」及び「密度の変動係数」、並びに「吸水率」については、その数値を定めるための質量Ｗ３の測定方法が明確に記載されておらず、それらの技術的意義も不明であるから、本件特許発明は明確でない。
第５　当審の判断
１．取消理由について
（１）「密度」及び「密度の変動係数」、並びに「吸水率」の技術的意義について
　本件特許発明に係る不透明石英ガラスは、気孔を有するものとして特定されているから、その密度については、少なくとも、見かけ密度（嵩密度）として理解すべきものであることは自明である。
　本件明細書においては、請求項１に記載されている密度及び密度の変動係数、並びに請求項３に記載されている吸水率に関し、段落【００１５】、【００４５】、【００４６】に以下のように記載されている。
「【００１５】
　本発明の不透明石英ガラスに含まれる気孔は閉気孔であることが好ましく、すなわち吸水率が０．１ｗｔ％以下であることが好ましい。不透明石英ガラスの吸水率が０．１ｗｔ％以下であれば、不透明石英ガラスの研削、研磨などの機械加工中に不純物を吸着することがなく、加工後に純化処理が必要ないという点で好ましい。」
「【００４５】
　不透明石英ガラスの密度および吸水率は次の方法で測定した。まず試料を乾燥した後、質量Ｗ１を測定する。次に試料を水中に保って２時間煮沸したのち放冷により常温に戻し、この試料の水中での質量Ｗ２を測定する。次に試料に撥水性の有機溶剤を塗布し、乾燥した後、この試料の水中での質量Ｗ３を測定する。密度および吸水率をＷ１、Ｗ２、Ｗ３から次式で求める。
密度＝Ｗ１／（（Ｗ１−Ｗ３）／ρ）
吸水率（％）＝（（Ｗ２−Ｗ３）／Ｗ１）×１００
ここでρは測定時の水温での水の密度である。
【００４６】
　不透明石英ガラスの焼結体内の密度の変動係数は、焼結体を中央部から外周部、頂部から底部にかけて分割した２７点の密度を測定し、（密度の標準偏差／密度の平均値）で求めた。」
　これらの記載を総合すると、本件特許発明に係る吸水率は、不透明石英ガラスの気孔をなるべく閉気孔にするという技術思想に基づき定められたパラメータであって、明細書中に特に定義されたものであると解されるから、本件特許発明の発明特定事項である「吸水率」についてはこの定義を踏まえて解釈されるべきものである。また、同じく「密度」及び「密度の変動係数」については、乾燥質量Ｗ１と、吸水率を求める過程で得られ特に定められた測定値といえる水中質量Ｗ３とから求められるものとされているので、その技術的意義については吸水率の技術的意義と合わせて理解を図る必要があるといえる。
　まず、段落【００１５】については、閉気孔であることの必要性を吸水率を低く抑えることの必要性に置き換えて記載していることから、ここでは、不透明石英ガラス素材自身が水分を吸収することよりも、むしろ、不透明石英ガラスの表面に開気孔が存在することにより、そこへ水分が取り込まれてしまうことの問題に着目していることが読み取れる。
　そこで、吸水率の定義式に関わる不透明石英ガラスの質量Ｗ１，Ｗ２及びＷ３について【００４５】の記載を詳細にみてみると、Ｗ１は、乾燥質量であるのに対し、水中質量Ｗ２は、水中に保って２時間煮沸したのち放冷により常温に戻した水中での質量なので、表面の開気孔に水が浸入し得る状態での測定値であり、水中質量Ｗ３は、撥水性の有機溶剤を塗布しているから、表面の開気孔に水が浸入し得ない状態での測定値であると理解できる。
　そうすると、この吸水率はＷ２とＷ３との差を用いて算出していることから、その技術的意義は、表面の開気孔への吸水の度合いを定めたものといえるので、明確である。
　次に、密度については、水中質量Ｗ３を用いて定義されている。Ｗ３の測定において、撥水性の有機溶剤を塗布して表面の開気孔に水が浸入し得ない状態での測定値とすることは、開気孔を閉気孔（通常は水が浸入し得ない）とほぼ同視できる空隙として取り扱えるようにしたものであると理解できるから、その状態における見かけの体積Ｖ１に応じた浮力を得られるようにして測定したものであるといえる。即ち以下の式が成り立つ。
　　Ｗ３＝Ｗ１−Ｖ１・ρ
　そうすると、【００４５】の式に当てはめて以下の式が導き出される。
　　密度＝Ｗ１／（（Ｗ１−Ｗ３）／ρ）
　　　　＝Ｗ１／［（（Ｗ１−（Ｗ１−Ｖ１・ρ））／ρ］
　　　　＝Ｗ１／Ｖ１
　よって、この密度は、通常の見かけ密度（嵩密度）を求める式に基づくものに他ならないから、その技術的意義は明確である。
　さらに、密度の変動係数については、不透明石英ガラス焼結体を中央部から外周部、頂部から底部にかけて２７分割し、２７分割した各部位の測定密度と全体の平均密度の差の二乗の和を測定サンプル数の２７で除した値の平方根として計算で求められる密度の標準偏差を、不透明石英ガラス焼結体全体の平均密度で除することによって得られる数値であって、その技術的意義は、不透明石英ガラス焼結体の密度分布の大小を指す指標といえるので、明確である。
　以上のことから、本件特許発明の発明特定事項である「密度」及び「密度の変動係数」、並びに「吸水率」の技術的意義は明確である。
（２）水中質量Ｗ３の測定方法について
　本件明細書においては、Ｗ３を測定するための条件として、特に撥水性の有機溶剤の使用に関わるもの（（ア）有機溶剤の塗布前処理、（イ）有機溶剤の種類と塗布条件、（ウ）測定への影響）等が詳述されていないので、上記（１）で検討した技術的意義に則して、技術常識等に基づきその実施が可能であるかを検討する。
（ア）有機溶剤の塗布前処理
　有機溶剤の塗布は、表面の開気孔に水が浸入しないようにすることにあると認められるので、その塗布前は開気孔中の水分が除かれ、十分に乾燥した状態での撥水処理が必要であることは自明である。
（イ）有機溶剤の種類と塗布条件
　撥水処理のための撥水剤としては、従来からシリコーンやフッ素系有機化合物が広く知られており、様々なものが当業者において容易に入手可能であるといえる。上記（１）で検討したとおり、撥水剤塗布の目的が、不透明石英ガラス表面の開気孔に水が浸入しないようにすることにあり、塗布後の重量測定結果への影響をできる限り最小限に抑えるべきであるから、薄い膜厚で効果のある速乾性のものを選択すべきことも自明である。
（ウ）有機溶剤使用の質量測定への影響
　撥水性の有機溶剤使用が質量測定に及ぼす影響について検討する。
　例えば、本件明細書の実施例１において使用されている不透明石英ガラスの質量は、段落【００５５】の記載より、直径１４５ｍｍ、厚み７５ｍｍの円柱状であるから、その体積をｃｍ３単位で計算すると、
　π（１４．５÷２）２×７．５≒１２４０ｃｍ３
と見積もられ、（見かけ）密度はおおよそ２．０ｇ／ｃｍ３（表２の平均密度は２．０５ｇ／ｃｍ３）であるから、約２５００ｇの質量となる。
　一方、この不透明石英ガラスの表面積（ｃｍ２）は、両端面のものと側面のものとを合わせると、
　π（１４．５÷２）２×２＋２π（１４．５÷２）×７．５≒７７０ｃｍ２
と見積もられ、この値に、塗布する有機溶剤の膜厚と密度とを掛け合わせたものが概ね有機溶剤の質量となる。
　撥水性は、０．５μｍ以下程度の塗布厚さでも十分にその効果が発揮されるものが通常知られており（例えば、特開平１１−１３０４７０号公報参照）、有機溶剤の密度は大きくても２．０ｇ／ｃｍ３を上回ることはほとんどないから、塗布される有機溶剤の質量は、多くとも０．０７７ｇ程度と見積もられる。
　してみれば、本件特許発明において特定されている不透明石英ガラスの密度及び密度の変動係数を定めるに際し、塗布する有機溶剤の質量の影響は相対的に無視しうる程度であるといえる。
　また、本件特許発明３で特定されている吸水率は０．１ｗｔ％であるから、実施例での開気孔への吸水量は、概ね２．５ｇ以下であることが要件となり、この数値との比較においても、多くとも０．０７７ｇ程度と見積もられる有機溶剤の影響は一桁以上低く、有意なものとはならないと解される。
　なお、特許権者の提出した平成３０年１２月１８日付け意見書によれば、一般に流通しているとされる乙第５号証（”防水・防湿コーティング剤　オプトエースＷＰ−１００シリーズ”［ｏｎ　ｌｉｎｅ］、ダイキン工業株式会社、［平成３０年１１月１５日検索］、インターネット＜http://www.daikin.co.jp/chm/products/pdf/tds/tds_wp100_J_ver01.pdf 写し）に記載されている撥水性の有機溶剤は、膜厚０．５μｍで防湿性効果が発揮され、比重（密度）は１．４３ｇ／ｃｍ３であるとされているから、実際上、上記の見積もり以下の影響に過ぎないことが推認される。
　以上のことから、水中質量Ｗ３の測定方法は、当業者の技術常識を踏まえれば実施可能なものであるといえる。そして、測定に使用する有機溶剤は任意であって、当業者ができる限り正しい測定値を得るために各種工夫することは当然であることからすれば、明細書の発明の詳細な説明において有機溶剤の使用条件について詳述することは必ずしも要しないものと認められる。
（３）取消理由１（実施可能要件）について
　取消理由１に関し、上記（２）のとおり、水中質量Ｗ３の測定方法は、当業者の技術常識を踏まえれば実施可能なものであり、また、本件特許発明１ないし８、１８ないし２５の発明特定事項である「密度」及び「密度の変動係数」、並びに「吸水率」について、上記（１）を踏まえたこれらの技術的意義に則した測定が可能であるといえるから、本件明細書の記載において実施可能要件に係る不備はない。
（４）取消理由２（明確性要件）について
　取消理由２に関し、上記（１）のとおり、本件特許発明において特定されている「密度」及び「密度の変動係数」、並びに「吸水率」の技術的意義は明確であり、上記（２）のとおり、水中質量Ｗ３も明確に定まるものであるから、本件特許請求の範囲の記載において明確性要件に係る不備はない。
（５）小括
　以上のとおりであるから、当審が通知した取消理由によっては、本件請求項１ないし８、１８ないし２５に係る特許を取り消すことはできない。
２．異議申立理由について
（１）本件特許発明の認定
　本件特許発明１ないし８、１８ないし２５は、それぞれ、本件特許請求の範囲の請求項１ないし８、１８ないし２５に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。
（２）申立理由（１）について
（ア）甲第１号証に記載された発明（引用発明１）
　甲第１号証には、以下の記載がある。
ア「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高純度で、耐熱性および遮熱性に優れる不透明石英ガラスに関し、さらに詳しくは、このような優れた特性から、半導体製造工程の熱処理炉に用いられる遮熱性材料として好適な不透明石英ガラスに関するものである。」
イ「【０００５】そこで、種々の改良を施した不透明石英ガラスおよびその製造方法が提案されている。まず、高純度の原料に予め発泡剤として窒化珪素、炭化珪素および炭素などの微粉末を添加し、それを加熱、溶融して製造される不透明石英ガラスが提案されている（例えば、特開平４−６５３２８号公報、特開平５−２５４８８２号公報参照）。提案された不透明石英ガラスでは、高純度の発泡剤を用いることによって石英ガラスの純度を損なうことなく、内部の発泡条件は均一となるので、遮熱性、耐熱性ともに優れ、遮熱性材料として好適なものであるとされる。」
ウ「【００２６】図１は、気泡の形状が石英ガラスの遮熱性に及ぼす影響を調査するため、偏平度をパラメータとして見掛け密度と光透過率との関係を示す図である。図１から明らかなように、不透明石英ガラスの遮熱性は、サンプル厚さが一定で、見掛け密度が一定の場合には、いずれも気泡の偏平度が小さいほど、透過率が低くなり良好である。これは、不透明石英ガラス中の気泡の表面で熱線などの光線の一部が反射、散乱されるが、その気泡の偏平度が小さいほど比表面積が大となり、気泡表面での反射、散乱が増えて、遮熱性が良好になるからである。」
エ「【００２９】
【実施例】本発明の不透明石英ガラスの優れた特性を、実施例に基づいて詳細に説明する。ただし、本発明は、次に説明する実施例の内容に限定されるものではない。
【００３０】（本発明例１）高純度の石英粉に高純度の窒化珪素粉を０．１５ｗｔ％添加し、ポットミルで充分に混合したものを原料として酸水素火炎溶融装置で溶融し、直径１５０ｍｍ、長さ１２００ｍｍの円柱状の不透明石英ガラス母材を製造した。そののち、この母材を雰囲気調整炉の中で、１７００〜１７５０℃の温度に加熱し、軟化後充分に流動変形させて、直径４００ｍｍ、長さ１６０ｍｍの不透明石英ガラスインゴットを製造した。
【００３１】図２は、不透明石英ガラス母材に含有される気泡を示す顕微鏡写真（倍率１００倍）である。この不透明石英ガラス母材の気泡径は０〜１２０μｍで、主として０〜４０μｍで分布している。含有される気泡の形状は、図２に示すように、いずれも真球状であり、偏平なものは認められなかった。
【００３２】図３は、不透明石英ガラスインゴットに含有される気泡を示す顕微鏡写真（倍率１００倍）である。母材から軟化後流動変形された不透明石英ガラスインゴットの気泡径（気泡が偏平な場合には長径で示す）は０〜１４０μｍで、主として０〜４０μｍで分布している。気泡の形状は、図３に示すように、殆どが偏平状であり、単純平均で求められる気泡の偏平度は０．７２であった。また、表１に、このときの不透明石英ガラスインゴットの見掛け密度、波長８００ｎｍでの光透過率（サンプル厚さｔは１ｍｍと３ｍｍにした）、温度１２００℃での粘性係数および不純物含有量を示す。」
オ「【００３３】
　【表１】
　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　甲第１号証に記載されている上記エ、オの不透明石英ガラスインゴットの本発明例１では、厚さ１ｍｍの板状サンプルにおいて波長８００ｎｍの透過率が１％未満であり、見掛け密度が２．０８であり、気泡径が０〜１４０μｍで、主として０〜４０μｍで分布している不透明石英ガラスインゴットが得られている。
　そうすると、甲第１号証には、
「見掛け密度が２．０８ｇ／ｃｍ３であり、気泡径が０〜１４０μｍで、主として０〜４０μｍで分布しており、波長８００ｎｍの透過率が１％未満である不透明石英ガラス。」を一例とした発明（以下、「引用発明１」という。）が記載されているものと認められる。
（イ）本件特許発明と甲第１号証に記載された発明（引用発明１）との対比・判断
　本件特許発明１と引用発明１とを対比すると、両者は、密度に関し定義は異なるものの２．０ｇ／ｃｍ３以上２．１５ｇ／ｃｍ３以下の点で概ね一致し、気孔もしくは気泡を有しその一部は１０〜２０μｍ程度に分布しうる不透明石英ガラスの点で概ね共通するが、以下の２点で少なくとも相違している。
相違点１−１：本件特許発明１では、気孔について平均気孔径で５〜２０μｍと特定しているのに対し、引用発明１では気泡径が０〜１４０μｍで、主として０〜４０μｍで分布しているが平均気孔径は不明な点。
相違点１−２：本件特許発明１では、密度の変動係数が０．０２以下であるのに対し、引用発明１では、密度の変動係数は不明な点。
　まず、相違点１−１について検討する。
　申立人は、引用発明１の気泡径は０〜１４０μｍで、主として０〜４０μｍで分布しているものであり、このように、気泡径が主として０〜４０μｍで分布している場合には、平均すると５〜２０μｍの範囲に入る蓋然性が高いことから、引用発明１は、相違点１−１に係る本件特許発明１の発明特定事項を満たす旨主張している。
　しかしながら、引用発明１の主とする気泡径が０〜４０μｍであって、本件特許発明１で特定する平均気孔径５〜２０μｍと部分的に重複するとしても、それだけをもって、ただちに、引用発明１の平均気孔径が５〜２０μｍであって本件特許発明１の発明特定事項を満たすとまではいえない。
　また、本件特許発明１で平均気孔径で５〜２０μｍと特定しているのは、本件明細書【００１２】の記載によれば、遮光したい赤外光と同程度以上のサイズの気孔を有することと、気孔の含有密度が高いこととが、不透明石英ガラスの遮光性を向上するためには有効であり、遮光したい赤外光の波長が１．５〜５μｍであることによるものであると理解される。即ち、平均気孔径を５μｍ以上と設定し、気孔の数を多くできるようなバランスで平均気孔径の上限を２０μｍに設定したものであると認められる。これに対し、引用発明１では、０μｍが下限であるから遮光したい赤外光と同程度以上のサイズの気孔を有することにはなっているが、上限１４０μｍでどの程度大きな気孔のものをどの程度含んでいるのかが不明であるから平均気孔径も不明であるが、仮に、気泡が均一に分布しているとすれば、（０＋１４０）μｍ／２＝７０μｍで、本件特許発明１の平均気孔径よりもずっと大きく異なるものとなる。
　そして、引用発明１では、気泡径が、主として０〜４０μｍで分布していることも記載されているが、この範囲において、気泡が均一に分布しているとしても、（０＋４０）μｍ／２＝２０μｍとなり本件特許発明１の上限値に相当し、引用発明１が４０μｍよりも大きい気泡径を少なからず含んでいることも考慮すると、本件特許発明１の平均気孔径よりも大きいものとなるから、相違点１−１は実質的なものである蓋然性が高い。
　さらに、本件明細書【０００３】には、不透明石英ガラスの製造方法として、結晶質シリカまたは非晶質シリカに窒化珪素等の発泡剤を添加して溶融する方法などが知られているが、このような製造方法で製造された不透明石英ガラスでは、発泡剤が気化して気孔を形成するため気孔の平均径が大きくなることが記載されており、これは、窒化珪素粉（発泡剤）により気泡を形成する引用発明１の態様について示すものであるといえ、上記検討と整合するものである。
　次に、相違点１−２について検討すると、上記エによれば、引用発明１は、高純度の石英粉に高純度の窒化珪素粉（発泡剤）を添加し混合したものを原料としているものである。そして、上記イによれば、高純度の発泡剤を用いることによって石英ガラスの純度を損なうことなく、内部の発泡条件は均一となることが記載されているから、引用発明１においても、内部の発泡条件が均一となることによって、本件特許発明１で特定する密度の変動係数について、一致している可能性があるとはいえるものの、不明である。
　したがって、本件特許発明１は、甲第１号証に記載された発明であるとはいえない。
　また、本件特許発明４ないし８、１９ないし２５は、請求項４ないし８、１９ないし２５が何れも請求項１を直接又は間接引用するものであって、本件特許発明１の発明特定事項をすべて含むものであるから、本件特許発明１と同様に、甲第１号証に記載された発明であるとはいえない。
（ウ）甲第２号証に記載された発明（引用発明２）
　甲第２号証には、以下の記載がある。
ア「【特許請求の範囲】
　　【請求項１】窒素元素又は炭素元素を含有する気泡材と石英粉とを混合し、加熱溶融することを特徴とする不透明石英ガラスの製造方法。
　　【請求項２】石英粉が天然結晶質石英粉であることを特徴とする請求項１記載の不透明石英ガラスの製造方法。
　　【請求項３】窒素元素又は炭素元素を含有する気泡材が石英粉に対して０．５〜２０重量％の範囲で混合されることを特徴とする請求項１又は２記載の不透明石英ガラスの製造方法。」
イ「【０００１】
　　【産業上の利用分野】
　本発明は、不透明石英ガラスの製造方法、さらに詳しくは微細な気泡が均一に分散し、熱線遮断性に優れた高純度の不透明石英ガラスの製造方法に関する。
　　　【０００２】
　　【従来技術】
　従来、不透明石英ガラスは、その不透明性を利用した熱線遮断材料として、例えば半導体熱処理用炉芯管などのフランジ材、または半導体熱処理治具の把持部形成材料として用いられてきた。」
ウ「【０００４】
　本発明は、微細な気泡が均一に分散し熱線遮断性に優れ、機械的強度が高く、かつ高純度の不透明石英ガラスの製造方法を提供することを目的とする。
　　　【０００５】
　　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成する本発明は、窒素元素又は炭素元素を含有する気泡材と石英粉とを混合し、加熱溶融することを特徴とする不透明石英ガラスの製造方法に係る。
　　　【０００６】
　上記窒素元素又は炭素元素を含有する気泡材とは、精製した高純度のＳｉ（ＣＨ３）Ｃｌ３、ＳｉＣｌ４、Ｓｉ（ＣＨ３）Ｈ、Ｓｉ（ＣＨ３）４などの揮発性珪素化合物を酸水素火炎中で加水分解し、石英ガラス微粒子を形成し、堆積したのち窒素元素又は炭素元素を化学蒸着法（Ｖａｐｏｒ‐Ｐｈａｓｅ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ　Ｍｅｔｈｏｄ）でドープし、粉砕して得た粉体をいう。・・・ドープされた窒素元素又は炭素元素は、単体或はＳｉＣ又はＳｉ３Ｎ４として存在し、加熱溶融でＳｉＯ２と反応し、ＣＯ２、ＣＯ、Ｎ２、ＮＯ、ＮＯ２と、ガス化して気泡を形成し、不透明ガラスの不透明度を増大する。」
エ「【０００８】
　本発明の製造方法にあっては、上記気泡材を石英粉に対して０．５〜２０重量％の割合で混合するが、これにより原料中の窒素元素又は炭素元素の含有量は５〜３０，０００ｐｐｍとなる。該原料を加熱溶融することで、得られた不透明石英ガラス中の窒素元素又は炭素元素の含有量は５〜１０，０００ｐｐｍとなる。そして、気泡直径は１０〜１８０μｍ、密度は２．０ｇ／ｃｍ３以上と、機械的強度が高い上に、気泡が微細で、かつ均一であることから装置との接着の時の密着性や熱線遮断性が良好となる。気泡材の混合量が０．５重量％未満では気泡の形成が十分でなく熱線の遮断性に欠け、また２０重量％を超えると、高い反射率が得られるが機械的強度が落ち、高温粘性も低下し、半導体治具に使用できない。」
オ「【００１０】
　　【実施例】
　実施例１
　四塩化珪素を酸水素火炎中で加水分解反応させ、石英ガラス微粒子を形成し、堆積して多孔質石英ガラス体を製造した。該多孔質石英ガラス体を窒素とアンモニアの比率が１：１の混合ガスがフローする雰囲気処理炉に入れ、９００℃に昇温し５時間に保持して窒素含有多孔質石英ガラス体を得た。この多孔質石英ガラス体中の窒素はＮ２、ＮＨ４、Ｓｉ３Ｎ４として２０，０００ｐｐｍ含有されていた。この窒素含有多孔質石英ガラス体を粒度２５０μｍ以下に粉砕して気泡材を製造した。この気泡材の１．０ｋｇを予め用意した粒度５００μｍ以下の水晶粉２０ｋｇとボールミルを用いて混合し、内径２３０ｍｍ×高さ４００ｍｍのカーボン製鋳型中に充填した。カーボン製鋳型内を１×１０−２Ｔｏｒｒまで減圧し混合粉体に含まれる気体を除去し、Ｎ２に置換したのち、１気圧に保って加熱溶融した。加熱温度は室温から１８００℃までは１０時間かけて昇温し、同温度に５時間保持し、その後１０時間かけて室温まで冷却した。得られた不透明石英ガラス体は、外径２３０ｍｍ、高さ１２０ｍｍであった。この不透明石英ガラス体を下面から６０ｍｍの高さで水平にカットし、厚さ４ｍｍの板状サンプルを切り出し、表面をファイアポリシュしたのち、中心から、外周に向って２ｍｍ毎に、赤外線２μｍの透過率を測定した。赤外線透過率は１〜４％の範囲にあった。また、前記サンプルの比重を測定したところ２．０５であり、気泡径は１０〜１８０μｍの範囲にあった。さらに、気泡密度は２００，０００個／ｃｍ３、含有窒素元素濃度は２０００ｐｐｍであった。前記比重は、アルキメデス法により測定した値、気泡径及び気泡密度はＤＩＮ５８９２７に準じて測定した値、窒素元素濃度は、不活性ガス融解伝導度法により測定した値である。」
　甲第２号証に記載されている上記オの不透明石英ガラス製造の具体例では、厚さ４ｍｍの板状サンプルにおいて赤外線２μｍの透過率が１〜４％の範囲にあり、比重が２．０５、気泡径は１０〜１８０μｍの範囲にあって、さらに、気泡密度は２００，０００個／ｃｍ３、含有窒素元素濃度は２０００ｐｐｍの不透明石英ガラス体が得られている。
　そうすると、甲第２号証には、
「密度が２．０５ｇ／ｃｍ３であり、気泡直径が１０〜１８０μｍであり、厚さ４ｍｍの板状サンプルの波長２μｍにおける透過率が１〜４％の範囲にある不透明石英ガラス。」を一例とした発明（以下、「引用発明２」という。）が記載されているものと認められる。
（エ）本件特許発明１と甲第２号証に記載された発明（引用発明２）との対比・判断
　本件特許発明１と引用発明２とを対比すると、両者は、密度に関し定義は異なるものの２．０ｇ／ｃｍ３以上２．１５ｇ／ｃｍ３以下の点で概ね一致し、気孔もしくは気泡を有しその一部は１０〜２０μｍ程度に分布しうる不透明石英ガラスの点で概ね共通するが、以下の２点で少なくとも相違している。
相違点２−１：本件特許発明１では、気孔について平均気孔径で５〜２０μｍと特定しているのに対し、引用発明２では気泡直径が１０〜１８０μｍであるが平均気孔径は不明な点。
相違点２−２：本件特許発明１では、密度の変動係数が０．０２以下であるのに対し、引用発明２では、密度の変動係数は不明な点。
　まず、相違点２−１について検討する。
 　申立人は、引用発明２の気泡直径は１０〜１８０μｍであり、気泡直径が１０〜１８０μｍの中には、平均気孔径が５〜２０μｍのものも含まれるのは自明であるから、引用発明２は、相違点２−１に係る本件特許発明１の発明特定事項を満たす旨主張している。
　しかしながら、引用発明２の気泡直径が１０〜１８０μｍであって、本件特許発明１で特定する平均気孔径５〜２０μｍと部分的に重複するとしても、それだけをもって、ただちに、引用発明２の平均気孔径が５〜２０μｍであって本件特許発明１の発明特定事項を満たすとまではいえない。
　また、本件特許発明１で平均気孔径で５〜２０μｍと特定しているのは、本件明細書【００１２】の記載によれば、遮光したい赤外光と同程度以上のサイズの気孔を有することと、気孔の含有密度が高いこととが、不透明石英ガラスの遮光性を向上するためには有効であり、遮光したい赤外光の波長が１．５〜５μｍであることによるものであると理解される。即ち、平均気孔径を５μｍ以上と設定し、気孔の数を多くできるようなバランスで平均気孔径の上限を２０μｍに設定したものであると認められる。これに対し、引用発明２では、１０μｍが下限であるから遮光したい赤外光と同程度以上のサイズの気孔を有することにはなっているが、上限１８０μｍでどの程度大きな気孔のものをどの程度含んでいるのかが不明であるから平均気孔径も不明であるが、仮に、気泡が均一に分布しているとすれば、（１０＋１８０）μｍ／２＝９５μｍで、本件特許発明１の平均気孔径よりもずっと大きく異なるものとなるから、相違点２−１は実質的なものである蓋然性が高い。
　さらに、本件明細書【０００３】には、不透明石英ガラスの製造方法として、結晶質シリカまたは非晶質シリカに窒化珪素等の発泡剤を添加して溶融する方法などが知られているが、このような製造方法で製造された不透明石英ガラスでは、発泡剤が気化して気孔を形成するため気孔の平均径が大きくなることが記載されており、これは、窒素元素又は炭素元素が、単体或はＳｉＣ又はＳｉ３Ｎ４として存在するようにドープされた石英ガラスからなる気泡材（発泡剤）により気泡を形成する引用発明２の態様について示すものであるといえ、上記検討と整合するものである。
　次に、相違点２−２について検討すると、上記オによれば、引用発明２は、水晶粉に窒素含有多孔質石英ガラス体からなる気泡材（発泡剤）を添加し混合したものを原料としているものである。そして、上記エによれば、得られる不透明石英ガラスは気泡が微細で、かつ均一であることが記載されているから、引用発明２においても、気泡が均一となることによって、本件特許発明１で特定する密度の変動係数について、一致している可能性があるとはいえるものの、不明である。
　したがって、本件特許発明１は、甲第２号証に記載された発明であるとはいえない。
　また、本件特許発明２ないし８、１８ないし２５は、請求項２ないし８、１８ないし２５が何れも請求項１を直接又は間接引用するものであって、本件特許発明１の発明特定事項をすべて含むものであるから、本件特許発明１と同様に、甲第２号証に記載された発明であるとはいえない。
（オ）小括
　上記のとおりであるから、申立理由（１）は理由がない。
（３）申立理由（２）について
　本件特許発明１と引用発明１，２との対比については、上記（２）（イ）、（エ）のとおりであり、少なくとも相違点１−１、２−１の点で相違している。
　そこで、相違点１−１、２−１について検討するに、甲第１号証及び甲第２号証には、気泡の平均気孔径を５〜２０μｍにすることについて記載や示唆は、上記（２）（ア）ア〜オ、（ウ）ア〜オその他明細書全体からも特に見当たらない。甲第３号証には、高純度不透明石英ガラスに係る気泡の平均径についての記載はあるが（請求項１、【００１６】等）、その数値は２０μｍ〜４０μｍであって相違点１−１、２−１に係る「平均気孔径５〜２０μｍ」を示唆するものではない。甲第４号証には、クリストバライト発生に関する記載は認められるが、相違点１−１、２−１に関わる記載や示唆はない。
　してみれば、他の相違点について検討するまでもなく、本件特許発明１は、甲第１ないし４号証に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
　本件特許発明２ないし５、１２ないし１９は、請求項２ないし５、１２ないし１９が何れも請求項１を直接又は間接引用するものであって、本件特許発明１の発明特定事項をすべて含むものであるから、本件特許発明１と同様に、甲第１ないし４号証に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
　よって、申立理由（２）は理由がない。
（４）申立理由（３）及び（４）について
　当審で通知した取消理由１，２と同趣旨であり、上記１．で検討したとおりである。
　よって、申立理由（３）及び（４）は理由がない。
（５）申立理由（５）について
　特許異議申立人は、本件明細書の実施例４の平均密度の最小値は、１．９４ｇ／ｃｍ３であって、本件特許発明１の発明特定事項を満たしていない実施例が示されていることから、請求項１に係る本件特許発明１は発明の詳細な説明に記載したものではない旨主張している。
　ここで、実施例４は、密度の変動係数を得るために、不透明石英ガラス焼結体を２７分割したのち各部位の密度を測定したところ、そのうちの最小値が１．９４ｇ／ｃｍ３であって、不透明石英ガラス焼結体全体の平均密度は２．０２ｇ／ｃｍ３であったものと解されるところ、第５　１．（１）で検討したとおり、「密度」の技術的意義を考慮すると、本件特許発明１の「密度」は、不透明石英ガラス焼結体全体の密度（平均密度）を意味するものであることは明らかであり、実施例４は本件特許発明１の発明特定事項を満たしているものであるから、上記主張は採用することができない。
　また、特許異議申立人は、甲第５号証及び甲第６号証の記載を引用し、本件請求項１の記載に関し、「平均気孔径が５〜２０μｍであり」という特定事項が、本件明細書の段落【０００７】の「吸水性がなく、かつ赤外光の遮光性に優れる不透明石英ガラス及びその製造方法を提供すること」という本件特許発明の課題を解決するための手段であると認められるところ、本件明細書には上記特定事項を満たしても本件特許発明の課題を解決した不透明石英ガラスが得られていない比較例１が示されているから、本件特許発明１は、明細書の発明の詳細な説明に記載した範囲を超えるものであると主張する。
　しかしながら、上記主張の前提となる、本件特許発明の課題を解決するための手段の認定に関し、本件特許発明１においては、少なくとも、「密度が１．９５ｇ／ｃｍ３以上２．１５ｇ／ｃｍ３以下」であること及び「密度の変動係数が０．０２以下であること」についても、本件特許発明の課題を解決するための手段であることは、請求項１に加え本件明細書の【００１２】、【００１３】等の記載から明らかである。本件明細書【００７２】〜【００７６】の比較例１は、密度の変動係数が０．０２を超えたことで、ガラス特性が不均質となって透過率が高くなり、本件特許発明の課題を解決するに至らなかったと解されるものである。
　さらに、特許異議申立人は、「吸水率が０．１ｗｔ％以下であり」という特定事項については、何をどうすることによって、吸水率が０．１ｗｔ％以下である不透明石英ガラスを得ているのか、具体的な説明がされていない旨主張する。しかしながら、吸水率を規定したことの技術的意義については、上記１．（１）で検討したとおりであって、なるべく閉気孔とすることにあること等が理解できるし、本件明細書の【００３３】、【００３４】の記載から、焼成時間の選定によって焼結を進ませることで閉気孔とすることが実施できる旨把握できるのであるから、本件特許発明が明細書の発明の詳細な説明に記載された範囲を超えるものであるということはできない。 
　さらにまた、本件特許発明１８に関し、「対応する実施例の記載がなく、サポート要件を満たしていない」旨の特許異議申立人の主張もあるが、本件明細書の【００３８】【００３９】には、不透明石英ガラス表面の一部又は全体に透明石英ガラス層を付与して使用する実施の形態、具体的な付与の方法等、この発明についての説明が記載されているから、対応する実施例の記載がなくとも、サポート要件は満たしている。
　よって、申立理由（５）は理由がない。
（６）小括
　以上のとおりであるから、申立理由（１）〜（５）は何れも理由がない。
第６　むすび
　以上のとおりであるから、取消理由及び異議申立理由の何れによっても、本件請求項１ないし８、１８ないし２５に係る特許を取り消すことはできない。
　他に本件請求項１ないし８、１８ないし２５に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成３１年１月３０日（２０１９．１．３０）