【手続補正書】
【提出日】平成18年8月17日(2006.8.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
共焦点光学式の走査装置であって、
−  観察物体から来る光ビームを方向変換するための対物面および該対物面とは反対側の結像面を備えた回転運動可能なミラーと、
−  前記ビームが前記結像面に戻ることができるように、前記観察物体から来て前記対物面によって反射された前記光ビームを前記可動ミラーの前記結像面の方向に方向変換する方向変換ミラーと、
−  前記対物面と前記結像面との間の中間像面内に配置された少なくとも１つの微小孔と、
−  正の焦点距離を有する第１のレンズ群および正の焦点距離を有する第２のレンズ群であって、前記第１のレンズ群は、その全てを、光ビームが前記対物面と前記微小孔との間を通過するようなレンズから構成され、前記第２のレンズ群は、その全てを、光ビームが前記微小孔と前記結像面との間を通過するようなレンズから構成された第１および第２のレンズ群と、
を備えており、
前記方向変換ミラーおよび前記レンズ群は、固定された方向で前記対物面に入射した前記ビームが、前記可動ミラーの有用な回転角度の組に対して、前記可動ミラーの位置に関わりなく固定された方向で結像面から去るように、且つ、前記対物面から来て前記結像面に入射するビームが、前記結像面に向かって前記対物面を去るときのその同じビームと同じ軸および同じ方向を有するように配置されていることを特徴とする走査装置。
【請求項２】
ちょうど４つの方向変換ミラーを備えていることを特徴とする請求項１に記載の走査装置。
【請求項３】
Ａは、前記可動ミラーの前記対物面上の点であって光軸上に位置している点であり、
Ｂは、前記可動ミラーの前記対物面から前記結像面へと向けられたビームが到達する前記第１の方向変換ミラー上の点であって光軸上に位置している点であり、
Ｃは、前記可動ミラーの前記対物面から前記結像面へと向けられたビームが到達する前記第２の方向変換ミラー上の点であって光軸上に位置している点であり、
Ｄは、前記可動ミラーの前記対物面から前記結像面へと向けられたビームが到達する前記第３の方向変換ミラー上の点であって光軸上に位置している点であり、
Ｅは、前記可動ミラーの前記対物面から前記結像面へと向けられたビームが到達する前記第４の方向変換ミラー上の点であって光軸上に位置している点であり、
Ｆは、前記可動ミラーの前記結像面上の点であって光軸上に位置している点である、
場合において、
前記点Ａ、点Ｂ、点Ｃ、点Ｄ、点Ｅおよび点Ｆが、同一平面上にないことを特徴とする請求項２に記載の走査装置。
【請求項４】
下記の条件、
（ＡＢ×ＢＣ，ＢＣ×ＣＤ）ＢＣ＋（ＢＣ×ＣＤ，ＣＤ×ＤＥ）ＤＣ＋（ＣＤ×ＤＥ，ＤＥ×ＥＦ）ＤＥ＋（ＤＥ×ＥＦ，ＥＦ×ＢＣ）ＦＥ＝π
を満たし、
ここに、（ＵＶ×ＶＸ，ＶＸ×ＸＹ）ＶＸは、任意の組の点Ｕ、Ｖ、Ｘ、ＹについてベクトルＶＸによって方向付けられたベクトルＵＶおよびＶＸのベクトル積（ＵＶ×ＶＸ）と、ベクトルＶＸおよびＸＹのベクトル積（ＶＸ×ＸＹ）との角度を表す、
ことを特徴とする請求項３に記載の走査装置。
【請求項５】
共焦点光学式の走査装置であって、
−  観察物体から来る光ビームを方向変換するための対物面を備えた回転運動可能なミラーと、
−  光ビームが、前記回転運動可能なミラーの前記対物面と、該対物面とは反対側の結像面との間を通過する少なくとも２つのレンズ群と、
−  前記２つのレンズ群の間の中間像面内に配置された少なくとも１つの微小孔と、
−  前記ビームが前記結像面に戻ることができるように、前記観察物体から来て前記対物面によって反射された前記光ビームを前記可動ミラーの前記結像面の方向に方向変換し、それによって、固定された方向で前記対物面に入射した前記ビームが、前記可動ミラーの有用な回転角度の組に対して、前記可動ミラーの位置に関わりなく固定された方向で結像面から去るようにするちょうど４つの方向変換ミラーと、
を備え、
前記方向変換ミラーおよび前記レンズ群は、前記対物面から来て前記結像面に入射するビームが、前記結像面に向かって前記対物面を去るときのその同じビームと同じ軸および同じ方向を有するように配置された走査装置において、
Ａは、前記可動ミラーの前記対物面上の点であって光軸上に位置している点であり、
Ｂは、前記可動ミラーの前記対物面から前記結像面へと向けられたビームが到達する前記第１の方向変換ミラー上の点であって光軸上に位置している点であり、
Ｃは、前記可動ミラーの前記対物面から前記結像面へと向けられたビームが到達する前記第２の方向変換ミラー上の点であって光軸上に位置している点であり、
Ｄは、前記可動ミラーの前記対物面から前記結像面へと向けられたビームが到達する前記第３の方向変換ミラー上の点であって光軸上に位置している点であり、
Ｅは、前記可動ミラーの前記対物面から前記結像面へと向けられたビームが到達する前記第４の方向変換ミラー上の点であって光軸上に位置している点であり、
Ｆは、前記可動ミラーの前記結像面上の点であって光軸上に位置している点である、
場合において、
前記点Ａ、点Ｂ、点Ｃ、点Ｄ、点Ｅおよび点Ｆが、同一平面上にないことを特徴とする走査装置。
【請求項６】
下記の条件、
（ＡＢ×ＢＣ，ＢＣ×ＣＤ）ＢＣ＋（ＢＣ×ＣＤ，ＣＤ×ＤＥ）ＤＣ＋（ＣＤ×ＤＥ，ＤＥ×ＥＦ）ＤＥ＋（ＤＥ×ＥＦ，ＥＦ×ＢＣ）ＦＥ＝π
を満たし、
ここに、（ＵＶ×ＶＸ，ＶＸ×ＸＹ）ＶＸは、任意の組の点Ｕ、Ｖ、Ｘ、ＹについてベクトルＶＸによって方向付けられたベクトルＵＶおよびＶＸのベクトル積（ＵＶ×ＶＸ）と、ベクトルＶＸおよびＸＹのベクトル積（ＶＸ×ＸＹ）との角度を表す、
ことを特徴とする請求項５に記載の走査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明によって、上記の課題は共焦点光学式走査装置であって、
−  観察物体から来る光ビームを方向変換するための対物面および該対物面とは反対側の結像面を備えた回転運動可能なミラーと、
−  前記ビームが前記結像面に戻ることができるように、前記観察物体から来て前記対物面によって反射された前記光ビームを前記可動ミラーの前記結像面の方向に方向変換する方向変換ミラーと、
−  前記対物面と前記結像面との間の中間像面内に配置された少なくとも１つの微小孔と、
−  正の焦点距離を有する第１のレンズ群および正の焦点距離を有する第２のレンズ群であって、前記第１のレンズ群は、その全てを、光ビームが前記対物面と前記微小孔との間を通過するようなレンズから構成され、前記第２のレンズ群は、その全てを、光ビームが前記微小孔と前記結像面との間を通過するようなレンズから構成された第１および第２のレンズ群と、
を備えており、
前記方向変換ミラーおよび前記レンズ群は、固定された方向で前記対物面に入射した前記ビームが、前記可動ミラーの有用な回転角度の組に対して、前記可動ミラーの位置に関わりなく固定された方向で結像面から去るように、且つ、前記対物面から来て前記結像面に入射するビームが、前記結像面に向かって前記対物面を去るときのその同じビームと同じ軸および同じ方向を有するように配置されている走査装置によって解決される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
とはいえ、４つのミラーと２つのレンズとを使用することが、対物面を用いて行われる走査に関する結像面を用いた適正な補償を保証するというものでもない。この補償が有効であるためには、本発明の１つの特徴によって、装置は下記の条件を満たさなければならない。
（ＡＢ×ＢＣ，ＢＣ×ＣＤ）ＢＣ＋（ＢＣ×ＣＤ，ＣＤ×ＤＥ）ＤＣ＋（ＣＤ×ＤＥ，ＤＥ×ＥＦ）ＤＥ＋（ＤＥ×ＥＦ，ＥＦ×ＢＣ）ＦＥ＝π
ここに（ＵＶ×ＶＸ，ＶＸ×ＸＹ）ＶＸは、任意の組の点Ｕ、Ｖ、Ｘ、ＹについてベクトルＶＸによって配向されたベクトルＵＶおよびＶＸのベクトル積（ＵＶ×ＶＸ）と、ベクトルＶＸおよびＸＹのベクトル積（ＶＸ×ＸＹ）との角度を表すとともに、
Ａは光軸上にある可動ミラーの対物面上の点であり、
Ｂは光軸上にある可動ミラーの対物面から結像面へと向けられたビームの達する第１方向変換ミラー上の点であり、
Ｃは光軸上にある可動ミラーの対物面から結像面へと向けられたビームの達する第２方向変換ミラー上の点であり、
Ｄは光軸上にある可動ミラーの対物面から結像面へと向けられたビームの達する第３方向変換ミラー上の点であり、
Ｅは光軸上にある可動ミラーの対物面から結像面へと向けられたビームの達する第４方向変換ミラー上の点であり、
Ｆは光軸上にある可動ミラーの結像面上の点である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
この場合に走査を適正に補償するためには、曲折がより適切な方法で行われなければならない。曲折が適正に行われるために満たさなければならない条件は下記の通りである。
（ＡＢ×ＢＣ，ＢＣ×ＣＤ）ＢＣ＋（ＢＣ×ＣＤ，ＣＤ×ＤＥ）ＤＣ＋（ＣＤ×ＤＥ，ＤＥ×ＥＦ）ＤＥ＋（ＤＥ×ＥＦ，ＥＦ×ＢＣ）ＦＥ＝π
ここに例えば（ＡＢ×ＢＣ，ＢＣ×ＣＤ）ＢＣはベクトルＢＣによって配向されたベクトル積（ＡＢ×ＢＣ）とベクトル積（ＢＣ×ＣＤ）との角度を表す。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
方程式：
（ＡＢ×ＢＣ，ＢＣ×ＣＤ）ＢＣ＋（ＢＣ×ＣＤ，ＣＤ×ＤＥ）ＤＣ＋（ＣＤ×ＤＥ，ＤＥ×ＥＦ）ＤＥ＋（ＤＥ×ＥＦ，ＥＦ×ＢＣ）ＦＥ＝π
が満たされている。
光軸に沿った距離は、ｍｍ単位で下記の通りであり、文字Ｒは微小孔２０４のアレイの位置を示している。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2005519324.tif 000001
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
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【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
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【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
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【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
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