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　特願２００１−１６５８９９「被研磨物保持用のバッキング材」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年１２月１０日出願公開、特開２００２−３５５７５５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯と本件発明
　本願は平成１３年５月３１日の出願であって、同２２年１０月１日付拒絶理由通知に対し同２２年１２月３日付で意見書が、同２３年１月５日付拒絶理由通知に対し同２３年３月２日付で意見書と手続補正書が提出されたが、同２３年３月２２日付で拒絶査定されたものであり、該査定の取消を求めて本件審判が同２３年６月１３日に請求されるとともに、同日付で明細書に対する手続補正書が提出された。そして、当審の平成２３年８月１６日付審尋に対して同２３年９月２１日に回答書が提出され、当審の同２３年１１月１８日付拒絶理由通知に対し、同２４年１月１７日に意見書と手続補正書が提出されている。
　本願の請求項１に係る発明は、平成２４年１月１７日付手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものと認めるところ、請求項１の発明は以下のとおりである。
「基材と、該基材上に積層された弾性層と、該弾性層上に積層された粘着性樹脂層と、を有する被研磨物を保持するためのバッキング材であって、該粘着性樹脂層の表面に、表面粗さＲａが０．４〜４．０μmの微少な凹凸が全面に亘って形成されており、
　該弾性層が、ポリウレタン樹脂からなり厚み方向に細長い形状の発泡孔が多数形成されている発泡層であって、
　前記粘着性樹脂層が、熱硬化性樹脂からなることを特徴とするバッキング材。」（以下、「本件発明」という。）
　
２．当審の拒絶理由の概要
　当審で平成２３年１１月１８日付で通知した拒絶理由は、概略、
（１）本願の請求項１に係る発明は、
　　刊行物１：　特開昭６０−１１８４６７号公報
　　刊行物２：　特開平　６−　６１２０２号公報
　　刊行物３：　特開平　６−　２３６６４号公報
に記載された発明または事項に基づいて当業者が容易に発明をするものができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができず、
（２）本願の明細書及び図面の記載が不備であるため、特許法第３６条第４項及び第６項第１号に規定する要件を満たさない、
というものである。
　
３．刊行物記載の発明または事項
　上記各刊行物には、それぞれ以下の記載が認められる。
　
3.1　刊行物１
ａ．（第２ページ左下欄第４〜１９行）
「この研磨機のウエハー取付板(3)にシリコンウエハー(6)を取付ける場合は、第２図に示すように、回転盤(4)から取外したウエハー取付板(3)の取付面に、その取付面より１回り小さい発泡ポリウレタンのクツシヨンシート(7)を、その裏面に塗布されている接着剤によつて同芯状に接着し、クツシヨンシート(7)に、そのシートより１回り大きいポリ塩化ビニルの自己粘着性フイルム(8)を同芯状に重合して被せ、クツシヨンシート(7)の周辺から突出した自己粘着性フイルム(8)の周辺部をウエハー取付板(3)の取付面の周辺部に両面接着テープによつて接着し、クツシヨンシート(7)を被覆した自己粘着性フイルム(8)にシリコンウエハー(6)を等間隔位置に配置して重合し、各シリコンウエハー(6)をそれぞれ自己粘着性フイルム(8)にその自己粘着力によつて貼着する。」
　
　上記において、「ウエハー取付板」、「クツシヨンシート」及び「自己粘着性フイルム」とが、シリコンウエハーを研磨する際に該ウエハーを保持する「バッキング材」を構成することは当業者にとって明白であるから、刊行物１の記載を本件発明の記載に沿って整理すると、刊行物１には次の発明が記載されていると認められる。
「ウエハー取付板と、該ウエハー取付板上に積層された発泡ポリウレタンからなるクツシヨンシートと、該クツシヨンシート上に積層された自己粘着性フイルムと、を有するシリコンウエハーを保持するためのバッキング材。」(以下、「刊行物１記載の発明」という。）
　また、「自己粘着性フイルム」が塩化ビニル樹脂の層からなることは自明である。
　
3.2　刊行物２
ａ．（発明の詳細な説明、段落７）
「【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、本発明の半導体ウェーハの保持方法においては、真空吸着用貫通微小孔を有する硬質基板表面に平面精度が高い前記微小孔と通ずる孔を設けたシリコーン弾性体層を設け、該硬質基板裏側より真空吸引し半導体ウェーハを保持した後、該ウェーハの研磨加工を行う際、該シリコーン弾性体の表面粘着性のみで該半導体ウェーハを保持するようにしたものである。」
ｂ．（同、段落２２，２３）
「【００２２】半導体ウェーハ吸着時には、シリコーン弾性体上に半導体ウェーハを装着し、前記硬質基板の裏側より真空吸引する。この真空吸引により半導体ウェーハはシリコーン弾性体に押しつけられる。
【００２３】その後は真空吸引を止めてもシリコーン弾性体の表面粘着性により半導体ウェーハはシリコーン弾性体を介して硬質基板に保持される。このようにシリコーン弾性体の表面粘着性により半導体ウェーハは保持されるので、硬質基板への吸着力は強力であり、半導体ウェーハの研磨加工が容易に行なえる。」
ｃ．（同、段落２９，３０）
「【００２９】次に、添付図面中、図１に示した真空吸着用貫通孔２を有する硬質基板４表面にシリコーンゴム用プライマーを塗布し、風乾で３０分間放置後、上記シリコーン組成物をスクリーン印刷で硬質基板表面に塗布した。その後、シリコーン塗布層に硬質基板４より通ずる貫通孔２’を形成するため、硬質基板裏側より圧縮空気を送り込み、シリコーン塗布層に貫通孔を形成し、１５０℃の熱風炉で２時間放置し硬化した。硬化後、精密平面研削盤（岡本工作機械（株）製、ＰＳＧ−６３ＤＸ）を用いて、シリコーン弾性体６の表面の平面精度を高いものとした。
【００３０】上記の半導体ウェーハ保持治具Ｈの平面度は、２．０μｍ、表面粗さＲａは０．８μｍ、粘着力（タック）９７５ｇ／ｃｍ2 、シリコーン弾性体のゴム硬度は４７°であった。」
　
　上記において、「硬質基板」及び「シリコーン弾性体」とが、半導体ウェーハを研磨する際に該ウェーハを保持する「バッキング材」を構成すること、及び、摘記事項ｃの段落２９の記載から、シリコーン弾性体６が熱硬化性樹脂からなること、は当業者にとって明白であるから、刊行物２の記載を整理すると、刊行物２には次の事項が記載されていると認められる。
「硬質基板と、該基材上に積層された表面粘着性のシリコーン弾性体と、を有する半導体ウェーハを保持するためのバッキング材において、
　シリコーン弾性体が、表面粗さＲａが０．８μmであり、熱硬化性樹脂からなること。」(以下、「刊行物２記載の事項」という。）
　
3.3　刊行物３
ａ．（発明の詳細な説明、段落１）
「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウェーハの鏡面研磨工程において、これを研磨機の回転貼付盤に保持するために使用されるバッキングパッドに特に適するシート状弾性発泡体及びそれを用いたウェーハ研磨加工用治具に関する。」
ｂ．（同、段落８）
「【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載のシート状弾性発泡体は、少なくとも下記発泡層を有するシート状弾性発泡体であって、発泡層の複数の気泡が、(1) 発泡層の広さ方向にほぼ等ピッチで並立分散する細長の独立気泡であり、当該発泡層の厚さ方向に気泡の寸法、形状及び形成位置がほぼ等しく、(2) 気泡の長さ方向の中心線が、発泡層の厚さ方向に沿っていて、(3) 気泡の直径が発泡層の片面側の端部において最小であり、かつこの片面側から発泡層の他面側に向かって漸増しているとともに、該発泡層表面において開口部を形成していることを特徴とする。」
ｃ．(同、段落１５)
「【００１５】請求項８に記載のウェーハ研磨加工用治具は、キャリアプレート上全面に請求項１に記載のシート状弾性発泡体が接着剤層のみを介して貼着され、かつ、このシート状弾性発泡体上に、鏡面研磨すべきウェーハ位置決め用の穴部を設けたテンプレートを接着剤を介して貼着されてなることを特徴とする。」
ｄ．（同、段落２３，２４）
「【００２３】また、本発明のバッキングパッドでは、上記のように発泡層において気泡が均一に分布し、発泡層表面の空隙率が大きいために気泡の表面側ではその気泡側壁が充分に薄く、各気泡の周囲における発泡層厚方向に沿う肉厚の増大率がほぼ均一（肉厚は上記開口部側から基質層側に向かって漸増する）であるため、更に適度の柔かさを有し、ウェーハ研磨時のウェーハ背面に接するバッキングパッド表面は、自由状態のバッキングパッドの表面と平行に維持され、したがってウェーハは上記キャリアプレート面と平行に保持されて研磨される。
【００２４】本発明のシート状弾性発泡体は、弾性高分子材料を発泡させたものである。弾性高分子材料としては、ポリウレタン樹脂の他、スチレン−ブタジエン共重合体などのゴム状弾性体が例示される。」
　
　上記を整理すると、刊行物３には次の事項が記載されていると認められる。
「キャリアプレートと、該キャリアプレート上に積層されたシート状弾性発泡体と、を有する半導体ウェーハを保持するためのバッキングパッドにおいて、シート状弾性発泡体が、ポリウレタン樹脂からなり、発泡層の厚さ方向に寸法、形状及び形成位置がほぼ等しく、長さ方向の中心線は発泡層の厚さ方向に沿っている気泡が多数形成されていること。」(以下、「刊行物３記載の事項」という。）
　
４．対比
　本件発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、後者の「ウエハー取付板」、「発泡ポリウレタン」、「クツシヨンシート」、「自己粘着性フイルム」、「シリコンウエハー」が、前者の「基材」、「ポリウレタン樹脂」、「弾性層」、「粘着性樹脂層」、「被研磨物」にそれぞれ相当することは明白であるから、両者は以下の点で一致及び相違すると認められる。
＜一致点＞
「基材と、該基材上に積層されたポリウレタン樹脂からなる弾性層と、該弾性層上に積層された粘着性樹脂層と、を有する被研磨物を保持するためのバッキング材。」である点。
＜相違点１＞
　粘着性樹脂槽が、前者ではその表面に、表面粗さＲａが０．４〜４．０μmの微少な凹凸が全面に亘って形成されており、かつ熱硬化性樹脂からなるのに対し、後者ではこのようなものでない点。
＜相違点２＞
　ポリウレタン樹脂からなる弾性層が、前者では厚み方向に細長い形状の発泡孔が多数形成されている発泡層であるのに対し、後者ではこのようなものでない点。
　
５．当審の判断
　以下、各相違点について検討する。
　
5.1　＜相違点１＞について
　刊行物２記載の事項において、「半導体ウェーハ」が被研磨物であり、「表面粘着性のシリコーン弾性体」が粘着性の樹脂層であることは自明であるから、刊行物２にはバッキング材において、被研磨物に接する粘着性樹脂層が熱硬化性樹脂からなり、表面粗さＲａが０．８μmであることが記載されているということができる。そして、表面粗さＲａが０．８μmであるということは、表面粗さＲａが０．８μmの微少な凹凸が全面に亘って形成されている状態を示すことは明らかである。
　刊行物２記載の事項は刊行物１記載の発明と同様、粘着性樹脂層で被研磨物を保持するバッキング材に関するから、刊行物２記載の事項を刊行物１記載の発明に適用し、刊行物１記載の発明において粘着性樹脂層を、表面粗さＲａが０．４〜４．０μmの範囲内にある微少な凹凸が全面に亘って形成され、かつ熱硬化性樹脂からなるものとすることは、当業者が容易に想到し得る。この場合、本件発明と同様に、エア咬みを防止するとともに、被研磨物の良好な剥離性を確保するという効果が期待される。
　なお、請求人は平成２４年１月１７日付意見書において、刊行物２記載の事項の表面粗さの値はシリコーン弾性体のものであるのに対し、刊行物１記載の発明の粘着性樹脂層はポリ塩化ビニルからなり、通常、ある特定の表面の物性を得るために、ある樹脂の表面粗さを別の全く材質の異なる樹脂に採用しようとは、当業者であれば行うものではないから、刊行物１記載の発明の塩化ビニル等からなる粘着性樹脂層に、材質が全く相違する刊行物２記載のシリコーン弾性体の表面粗さの数値のみを取り出して採用することが、容易になしえるものとは考えられない旨の主張をしている。
　しかしながら、刊行物１記載の発明のポリ塩化ビニルからなる粘着性樹脂層を、刊行物２記載の事項の弾性シリコーンからなる粘着性樹脂層に置き換えることは、上記のとおり、当業者にとって容易であり、その際、シリコーン弾性体の表面の物性もそのまま採用することは、むしろ当然のことである。したがって、請求人の上記主張を採用することはできない。
　
5.2　＜相違点２＞について
　刊行物３記載の事項の「バッキングパッド」及び「シート状弾性発泡体」とがそれぞれ「基台」及び「弾性層」に相当するものであることは明らかであり、該弾性層は「長さ方向の中心線は発泡層の厚さ方向に沿っている気泡が多数形成されている」から、「厚み方向に細長い形状の発泡孔が多数形成されている発泡層」ということができる。
　刊行物３記載の事項は刊行物１記載の発明と同様、被研磨物を保持するバッキング材に関するから、刊行物３記載の事項を刊行物１記載の発明に適用し、刊行物１記載の発明において弾性層を、厚み方向に細長い形状の発泡孔が多数形成されている発泡層とすることは、当業者が容易に想到し得る。
　なお、請求人は平成２４年１月１７日付意見書において、刊行物３記載のバッキング材は発泡層に設けられた気泡開口部によってウエハーを吸着するものであるから必ず発泡層表面に保持するウエハーが接触する必要があって、発泡層の表面に粘着層等を積層することはそもそも想定されないのに対し、刊行物１記載の発明のバッキング材は自己粘着性フィルムによってウエハーを保持するものであってクッションシートでウエハーを保持するものではないから、自己粘着性フィルムでウエハーを保持するバッキング材にかかる刊行物１記載の発明において、刊行物３に記載のウエハーを吸着する気泡開口部を備えた発泡層を採用することは、動機付けられるものではない旨、主張している。
　しかしながら、本件発明において弾性層を厚み方向に細長い形状の発泡孔が多数形成されている発泡層とすることの目的は、弾性層の弾力性が非常に高く、バッキング材として使用した場合に、被研磨物とバッキング材の表面に研磨屑などの異物が介在した場合でも弾性層が変形して、被研磨物が傷つくことを防止できるようにすることにあると認められる(審判請求書第４ページ第１５〜１８行参照。）ところ、刊行物３には発泡層が柔らかいことが記載されている(摘記事項ｄ参照。）ことから、同様に被研磨物とバッキング材の間に介在する異物の影響を排除する作用があることは、当業者が容易に理解し得る。してみると、刊行物１記載の発明の弾性層においても、被研磨物とバッキング材の間に介在する異物の影響を排除することを目的として、弾性層に刊行物３記載の事項のものを採用することには動機が十分にあったというべきであるから、請求人の上記主張を採用することはできない。
　
5.3　本件発明の作用効果について
　本件発明には、刊行物１記載の発明、並びに刊行物２及び刊行物３記載の事項に基づいて普通に予測される範囲を超える格別の作用効果を見出すことはできない。
　したがって、本件発明は刊行物１記載の発明、並びに刊行物２及び刊行物３記載の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
６．むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は刊行物１記載の発明、並びに刊行物２及び刊行物３記載の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないので、本願は拒絶するべきである。
　よって、結論のとおり審決する。
　　　　　　　　　　　　　　　　.