【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３９７３００６号発明「ダブルアーム型ロボット」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第３９７３００６号の請求項１に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１．手続の経緯
　平成１２年　３月２３日　本件出願
　平成１９年　６月２２日　設定登録（特許第３９７３００６号）
　平成２０年１０月２７日　無効審判請求
　平成２１年　１月２６日　答弁書
　平成２１年　２月２７日　弁駁書
　平成２１年　４月　７日　両者・口頭審理陳述要領書
　平成２１年　４月２１日　被請求人・口頭審理陳述要領書（その２）
　平成２１年　４月２１日　口頭審理
　平成２１年　５月１３日　請求人・上申書
　平成２１年　５月１４日　被請求人・上申書　
　平成２１年　５月２８日　被請求人・上申書（その２）
　
第２．本件発明
　本件特許の請求項１に係る発明（以下「本件発明１」という。）は、以下のとおりである。
　
【請求項１】　ハンド部と、前腕と、上腕と、前記ハンド部と前記前腕を連結するハンド関節部と、前記前腕と前記上腕を連結する肘関節部と、前記上腕の前記肘関節部とは反対側に設けたアームの基端の関節部と、前記各関節部を連結駆動して回動させる回転駆動源とを有するとともに、前記ハンド部が一方向を向いて、前記上腕と前記前腕とを伸ばしきった伸長位置と前記上腕と前記前腕とを折り畳み前記ハンドを引き込んだ縮み位置との間を移動するアームを二組備えたダブルアーム型ロボットにおいて、前記二組のアームがそれぞれ取り付けられる第１及び第２の支持部材と、前記第１及び第２の支持部材を上下方向に移動可能に保持するコラムとを含む移動機構を備え、前記アームは前記アームの基端の関節部が互いに上下に異なる高さで配置された前記第１及び第２の支持部材にそれぞれ取り付けられると共に、前記アームの基端の関節部はともに前記第１及び第２の支持部材の間に配置され、前記アームを前記縮み位置に移動させたときに、当該アームに取り付けられたそれぞれのハンド部が前記アームの基端の関節部の間に位置し、かつ、二組の前記肘関節部を二組ともに前記ハンド部の移動方向に関して同方向でかつ水平方向側方に突出させ、前記ハンド部の移動方向に関して前記肘関節部が突出する方向と反対側に前記移動機構を配置し、前記ハンド部はワークを載置して前記伸長位置と前記縮み位置の間を移動するものであって、前記縮み位置に移動したときに前記ワークを前記二組のアームの前記基端の関節部の間に位置させるものであるダブルアーム型ロボット。
　
第３．請求人の主張
　請求人は、以下の甲第１ないし６号証をもとに、本件発明１は、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許され、同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とするとの審決を求めている。
　なお、審判請求時に主張していた、本件発明２ないし１１についての無効審判請求は口頭審理において取り下げられ、また、特許法第２９条の２に基づく理由、甲第７号証は、口頭審理において、撤回された（調書の「請求人　２」）。
　
　甲第１号証：特開平４−８７７８５号公報
　甲第２号証：特開平１１−２０８８１８号公報
　甲第３号証：特開平４−８５８１２号公報
　甲第４号証：特開平６−１２６６６３号公報
　甲第５号証：特開昭５５−９０２９０号公報
　甲第６号証：特開平６−３２０４６４号公報
　
　請求人の主張の概要は、以下のとおりである。なお、原文の丸囲み数字は「丸１」のように置き換えた。
　
ア．請求書第１４ページ第８〜２６行
「丸７　以上のように、甲第１号証に開示されている発明は、（ａ）移動機構が、第１及び第２の支持部材を上下方向に移動可能に保持するコラムを含んでいる点（構成要件（ｉｉ）後段）、および（ｂ）ハンド部の移動方向に関して肘関節部が突出する方向と反対側に移動機構を配置した点（構成要件（ｖｉｉ））の２点でのみ、本件請求項１の発明と相違している。
丸８　一方、多関節ロボットアームの基端を支持する支持部材を、上下方向に延びる柱状部材であるコラムに上下動（昇降）可能に取付け、ロボットアームを上下動可能とした構成は、半導体ウエハ、液晶基板等を扱うロボット業界において周知技術である（例えば、甲第２号証ないし甲第６号証）。特に、甲第３号証及び甲第４号証は、ダブルアーム型ロボットにおいて、２つのアームを上下方向異なる位置でコラムに上下方向移動可能に支持することが本件特許出願当時に周知であったことを示している。
　したがって、このような周知技術に基づいて、甲第１号証の発明のロボットアームを支持する部位をコラムに上下動可能に取付けることは、当業者が容易に為し得たことである。
　その際、甲第２号証（図２（ｂ））に示されているように、アームの肘関節の突出方向と反対側に、カラム等を含む移動機構を配置することは設計事項に過ぎない（または、甲第２号証に基づいて容易に採用できた事項である）。」
　
イ．弁駁書第３ページ第１９〜２５行
「（３）甲第１号証の第１図には、ハンド３４の先端に設けられた載置部７０に載置される基板Ｋ０（Ｋ１）が、アームを待機位置から中途まで伸長させた位置で示されている。載置部７０に載置される基板は第１図に示されるサイズに限られるものではなく、これより大きいものも小さいものもある。いずれにしても、甲第１号証の第１図に示されるサイズの基板であっても、ハンド３４が待機位置Ｒに引っ込まれたときには、少なくとも後端部分が「基端の連結中心Ａ」の間に位置することになる。」
　
ウ．弁駁書第４ページ第２７行〜第５ページ第１０行
「甲第１号証において、搬送装置１３の動作は、第５頁右下欄１１行以降に記載されている。この記載において、第５頁右下欄１３行には「まず、ロボット３２あるいは３３において、」という記載があり、それ以降のアームの動作についての説明がロボット３２とロボット３３のいずれにも妥当することが明確に述べられている。また、駆動部３０は、上下のロボット３２、３３について同一の符号が付されており、駆動部３０の構造とアームの駆動についての説明も、上下のロボット３２、３３に関し、全く区別されていない。そして、第５頁右下欄下から２行目ないし第６頁左上欄下から３行目までのアームの回転方向の説明も、上下のロボット３２、３３に関し全く区別することなくなされている。
　甲第１号証における以上の記載を、忠実に、かつ客観的に理解すれば、上下のロボット３２、３３のいずれにおいても、アームは同一の方向に回転駆動され、したがって、肘関節の折れ曲がりと、突出方向が同一であると解することができる。」
　
エ．口頭審理陳述要領書第２ページ第２３行〜第３ページ第４行
「（ｉｉｉ）甲第１号証において、仮に、「二組の前記肘関節部を二組ともに前記ハンド部の移動方向に関して同方向」に突出させることが不明であったとしても、甲第２号証の図２に記載されている、「上下動移動機構が、一つのハンド部の移動方向に関して肘関節が突出する方向と反対側に設けられる」構成は、突出する肘関節と上下移動機構との干渉を防止するために必然的に選択された構成である。したがって、甲第２号証の図２に記載されている構成にアームを追加する場合には、追加されたアームの肘関節の突出方向も最初のアームの肘関節の突出方向と同方向になる、即ち、二組のアームの肘関節の突出方向が同一にならざるを得ない。
　したがって、二組の肘関節部を二組ともハンド部の移動方向に関して同方向に突出させることが容易であることは、この点からも明らかである。」
　
オ．口頭審理陳述要領書第３ページ第１９〜２５行
「当業者が甲第１号証第１図を見たとき、縮み位置に移動したときのワークの位置がどのようになると理解するかが問題である。そして、この図から判断する限り、縮み位置においてワークは二組のアームの基端の関節部の間に位置すると理解すべきである。
　従って、甲第１号証の第１図は、「縮み位置に移動したときに前記ワークを前記二組のアームの前記基端の関節部の間に位置させる」構成を開示しているといえる。」
　
カ．調書の請求人　４
「甲第１号証で、縮み位置におけるワーク位置が「明らかでない」としても、本日提出の以下の参考資料１〜６に見られるごとく、基端関節部の位置とすることは周知である。
　資料１：特開平１１−３３３７６８号公報 
　資料２：特開平９−１６２２５７号公報 
　資料３：特開平１０−２７９０５０号公報 
　資料４：特開平１０−１２６９９号公報 
　資料５：特開平９−３１４４８５号公報 
　資料６：特開平１０−９２９１７号公報」
　
キ．上申書第２ページ第１８〜２４行
「以上のように、本件特許に係る特許出願の明細書を参照すると、本件発明においては、アームを上下移動させるために、コラムタイプの昇降機構の代替として、テレスコピックタイプの昇降機構を適用し得ることが明確に記載されている。この記載は、アームが上下移動するロボットにおいて、コラムタイプの昇降機構と、テレスコピックタイプの昇降機構との間に技術の転用可能性があり、かつ、両者間で技術の転用をすることは、当業者が通常、行い得る程度のことであることを明確に示すものである。」
　
ク．上申書第３ページ第１５〜１７行
「甲第１号証の教示は、駆動部とアーム部とからなるロボットを一対、上下に配置することであって、これら一対のロボットを搬送チャンバ内に配置することは、一つの推奨される実施形態に過ぎない。」
　
ケ．上申書第３ページ末行〜第４ページ第４行
「上下に配置された２組のアームを備えたロボットにおいて、各アームの肘関節の突出方向が同一とした構成は、甲第１号証に十分に示唆されていると請求人は確信するが、仮に、この構成が明示的に示されていないとしても、この構成は、参考資料２ないし５（当審注、以下参照）に示されているように、本件特許出願当時、当業者間で周知であった。」
　参考資料２：特開平９−１０２５２６号公報
　参考資料３：特開平７−２９７２５５号公報
　参考資料４：特開平１０−１６３２９４号公報
　参考資料５：特開平１１−１８８６７０号公報
　　
第４．被請求人の主張
　これに対し、被請求人は、本件審判請求は成り立たないとの審決を求めている。
　その主張の概要は、以下のとおりである。
　
ア．答弁書第１４ページ第２行〜第１５ページ第３行
「甲第１号証には、待機姿勢Ｒをとったときのアーム部３１の基板載置部７０（本特許発明におけるハンド部に相当する部位：甲第２号証（当審注、甲第１号証の誤記と認める。）の第６０５頁左下欄の１５行から右下欄３行目を参照）とそれに載置される基板Ｋ０とは図示されておりません。また、明細書のどこにも、「ハンド３４に載置されている基板が、２本の第１のアーム５０の基端側関節の間に配置される」ことについての記述は見あたりません。
　さらに、甲第１号証の第１図には、１つのアーム部（ロボット３３）が記載されているにすぎず、他方のアーム部（ロボット３２）は記載されていません。同図から、２つのアーム部（ロボット３３と３２）の肘関節が突出する方向が同一かどうかは全く不明であります。むしろ、肘関節は互いに逆方向に突出すると理解する方が自然であります。
　したがって、甲第１号証には、審判請求人が本件請求項１の発明と相違していると認められている発明特定要素（ｉ−２）および発明特定要素（ｉ−７）の２点のみならず、「２本のアーム部３１が待機姿勢Ｒをとったとき、ハンド３４は、２本の第１のアーム５０の基端側関節の間に配置され、このハンド３４に載置されている基板も、２本の第１のアーム５０の基端側関節の間に配置される」こと（発明特定要素（ｉ−５），（ｉ−８））、並びに「２本のアーム部３１が待機姿勢Ｒをとったとき、第１のアーム５０と第２のアーム５１を連結する肘関節が突出する方向が、上下のアーム部３１で同一となる。」こと（発明特定要素（ｉ−６））の３点についても全く記載されていないことは上述したとおりであります。
　つまり、甲第１号証と本件請求項１の発明とは、発明特定要素の（ｉ−２），（ｉ−５），（ｉ−６），（ｉ−７），（ｉ−８）の５点について相違しています。
（ｉｉｉ）しかも、「２本のアーム部３１が待機姿勢Ｒをとったとき、ハンド３４は、２本の第１のアーム５０の基端側関節の間に配置され、このハンド３４に載置されている基板も、２本の第１のアーム５０の基端側関節の間に配置される」こと（発明特定要素（ｉ−５），（ｉ−８））、並びに「２本のアーム部３１が待機姿勢Ｒをとったとき、第１のアーム５０と第２のアーム５１を連結する肘関節が突出する方向が、上下のアーム部３１で同一となる。」こと（発明特定要素（ｉ−６））については、甲第２号証ないし甲第６号証のいずれにも全く記載されておりません。
（ｉｖ）依って、甲第１号証及び甲第２号証ないし甲第６号証に記載されているような周知技術に基づいても容易に発明することはできません。」
　
イ．口頭審理陳述要領書第４ページ第１５〜２５行
「（ｅ）さらに、甲第１号証では、搬送チャンバーは周囲に搬入搬出チャンバー１２、処理チャンバー１１等が固定されており、搬送チャンバー自体が上下移動するものではありませんし、その必要もありません。甲第１号証の８頁左下欄の下から８行目からの「アーム部及びハンド全体が昇降する機能を有する構成とされ」の記載意味は、あくまでも搬送チャンバー内で、搬送チャンバーの床または天井に対してアーム部が上下に移動するようにしても良いことを示すのみで、搬送チャンバー自体を上下に移動させることを示唆するものではありません。したがって、事前連絡メモの分節に沿って甲１号の搬送チャンバーの天井や床を第１第２（上下）の支持部材と特定するならば、甲第１号証のチャンバー自体を（上下）移動可能にコラムに取り付けるような構成とを組み合わせる必然性は有りません。」
　
ウ．口頭審理陳述要領書（その２）第２ページ第６〜１８行
「甲第１号証では、二組の肘関節部の突出する方向を同じにする必然性はなく、むしろ、取付面に対して同じ構造のアームを水平面を中心とする面対称に配置するのであれば（天地対称）、同じようにアームを伸縮させる場合には乙参考資料４に示すように、互いに逆方向に突出すると理解することの方が普通であります。
　上述したごとく、同じ構造で同じ動きをする２台のロボットを上限に面対称に配置すれば、肘関節部の突出する方向は互いに逆になりますが、同じロボットで同じ方向に肘関節部を突出させようとすれば、モータの制御を変更したり、原点位置の調整をしたり、暴走防止のストッパー位置を変更したりする調整が必要となります。甲１号証のように周囲に障害物が無く、肘関節を同じ方向に突出させる必要が無い装置において、わざわざそのような調整を行なうことは通常考えられません。逆に言えば、本件特許では、わざわざそのような調整が必要な構成とすることで、省スペース化と言う効果を得ているものであり、甲１号証から容易に想到できるものではありません。」
　
エ．口頭審理陳述要領書（その２）第６ページ第１〜２６行
「上述のとおり、甲第１号証のロボットは、本特許発明が従来技術で取り上げたテレスコピック型昇降機構の上に旋回アームを搭載して３６０°旋回可能とするロボットアームと本質的に同じであります。しかも、搬送対象とするワークはハンドにすっぽり収まるウェハーであるため、ハンドの先端が搬送チャンバー１０内に引き込まれれば、それだけで搬送チャンバー１０内で旋回可能となるロボットアームであります。各チャンバー内からハンドを引き抜けばあるいはワークを取り出せば、既にその状況においてそのままアームを旋回させても何ら問題ないものであります。
　したがって、ロボットアームの旋回や引き込み動作において、その旋回において回転中心付近に何ら障害となる存在がないものであり、昇降機構との干渉を考慮する必要性がないものでありますから、アームの肩関節中心の間にワークを引き込まなければならない必然性はありません。」
　
オ．上申書第２ページ第４行〜第３ページ第９行
「（２）縮み位置におけるワーク位置を基端関節に位置させることの周知性について
（略）
（ｉｉ）しかしながら、以下に説明するように、資料１〜６は、いずれも「基台」の上に基端の関節部により接続配置されたアームを有するテレスコピック型またはそれに準じる構成のシングルアームロボット（テレスコピック型シングルアームロボット）であります。つまり、駆動部を備えかつ昇降機能を有する基台の上・頂部にアーム部が支持されることによって、アームが伸び縮みしかつ３６０°旋回する上で、何ら干渉するものが存在しないタイプのロボットであります。したがって、アーム部の旋回動作時におけるアーム並びにハンドの位置は全く制限を受けず、アーム基端の関節部の上にも配置できるものであります。つまり、資料１〜６に記載の搬送用ロボットは、基本的には、甲第１号証のものと同じタイプの構造であり、本件特許の「コラム型のダブルアームロボット」とは全く異なる構造のものであります。
（ｉｉｉ）そして、アームの旋回や引き込み動作において、その旋回において回転中心付近に何ら障害となる存在がないものであり、昇降機構との干渉を考慮する必要性がないものでありますから、アームの肩関節中心の間にワークを引き込まなければならない必然性はありません。単に、作図上の偶然であり、省スペース化のためにコラムなどの障害物を避けてワークを基端の関節部の間に引き込むと言う技術的思想は、いずれの資料にも示唆ないし暗示する記載もありません。
（ｉｖ）仮に、縮み位置におけるワークの位置を基端関節の位置とすることが図示などから周知技術であるとしても、「縮み位置におけるワークの位置を基端関節の位置とする」タイプのロボットは、甲第１号証のロボットと同種の３６０゜旋回可能であることを必要とするタイプのものであって、上下昇降ストロークの拡大が可能なコラム型ロボットは全く含まれておりません。このことは、コラム型ロボットでは「縮み位置におけるワーク位置を基端関節に位置させること」については周知技術でも公知技術でもないことを意味しているものであります。しかも、いずれの資料も一対のアームを上下に配置したダブルアームロボットではありません。
（ｉｖ）つまり、テレスコピック型シングルアームロボットにおいて縮み位置におけるワークの位置を基端関節の位置とすることは周知であるとしても、本件特許の構成要件「コラム型のダブルアームロボットでワークをアームの縮み位置において上下の基端関節の間に位置させること」自体は周知技術ではありません。」
　
カ．上申書第３ページ下から２行〜第８ページ第１９行
「（２）異なるタイプのロボット間における転用の容易性について
（略）
（ｖｉｉｉ）以上の説明より明らかなように、もともと、甲第１号証は、第４頁左欄第１０行から第１８行に「本発明のロボットは…駆動部の一側面に沿うハンドの動作については全く干渉あるいは死角などが発生せず同様な効果が発揮される。」と記載されているように、アーム部の旋回あるいは直線移動に関して、周囲に干渉物が一切存在しないことを前提とするものであります。この甲第１号証のロボットを、完全に障害物となって干渉する存在であるコラムを前提とするコラム型ロボットに転用しようと考えること自体があり得ないものであります。」
　
キ．上申書（その２）第２ページ第１２〜２５行
「（１−２）　まず、昇降機構の頂部にロボットアームを備えることによって３６０゜旋回可能とすることがテレスコピック型ロボットの特質であって、ロボットアームの旋回領域を貫通するコラムによって３６０°旋回特性を犠牲にしても昇降ストローク量を稼ぐようにしたコラム型ロボットとはもともと相容れない性質のものであります。しかも、無効審判請求人が口頭審理にて提示した資料１乃至６は、いずれも「テレスコピック型シングルアームロボットにおいて縮み位置におけるワークの位置が基端関節の位置に重なっていること、即ちテレスコピック型ロボットでは一般的な構造」を示しているに過ぎないものであります。加えて、コラムタイプの昇降機構を資料１乃至６に適用することやその可能性について、全く記載も示唆もありません。無効審判請求人の無効理由の基礎となる甲第１号証と甲第２号証にも、コラムタイプの昇降機構を、「上下にアームを重ねたダブルアームロボットの上下移動機構」として採用するために必要な請求項１に記載された構成要件の開示はありませんから、資料１乃至６の構成が自明であっても、それをコラムタイプの昇降機構を備えたロボットに転用することが容易であるとは言えません。」
　
ク．上申書（その２）第４ページ第５〜１５行
「（３）２つのアームの肘関節が同一方向に突出する構成が周知であること
　（３−１）　審判請求人は、新たな参考資料をもって、2つのアームの肘関節が同一方向に突出する構成は周知であると主張されていますが、以下で説明するとおり、いずれも単に偶然、図面上また部分的に複数のアームの肘関節が同一方向に突出している状況が示されているに過ぎず、本件特許のように、ダブルアームとコラムを省スペースで配置するために、2つのアームの肘関節を同一方向に突出させる構成ではありません。
　（３−２）　審判請求人は、本件特許構成の一部パーツを抜き取り、偶然その部分に似た公報図面などを取り上げて、本件特許が容易であると主張されていますが、いずれの資料も、また、その組み合わせも、本件特許を容易に構成できるものではありません。」
　
第５．当審の判断
１．本件発明
　本件発明１は、上記第２．のとおりと認められる。
　
２．刊行物記載の発明
（１）甲第１号証
　甲第１号証には、以下の記載がある。
　
ア．第２ページ右下欄第１０〜１６行
「本発明の基板搬送装置は、駆動部と該駆動部の一側面に沿って動作するアーム部とよりなるロボットを備え、前記アーム部の先端に設けられたハンドに基板を載せて移動させる基板搬送装置であって、前記一側面が相対向するようにして上下に前記ロボットが配設されていることを特徴としている。」
　
イ．第４ページ左上欄第２行〜右上欄第１７行
「搬送装置１３は、第１図、第２図に示すように、駆動部３０とこの駆動部３０の一側面３０ａに沿って動作するアーム部３１とを備えたロボット３２、３３より構成されるもので、これらロボット３２、３３は前記一側面３０ａを相対向させるように上下に配置されている。そして、各アーム部３１の旋回中心すなわち駆動部３０の軸中心は搬送チャンバ１０の中心に一致させられ、アーム部３１が搬送チャンバ１０内に位置し、駆動部３０が搬送チャンバ１０から上下に張り出すように搬送チャンバ１０に取り付けられて、各アーム部３１の先端に設けられたハンド３４に基板を載せて移動させるものである。
　以下、この搬送装置１３（すなわち、ロボット３２、３３）の各部の構成を説明する。
　まず、駆動部３０は、第３図に示すように、フランジ部４０ａを有するケース４０と、このケース４０内のフランジ部４０ａの中心線上に配設された第２モータ４２と、ケース４０内に第２モータ４２と並んで配設された第１モータ４１と、フランジ部４０ａの中心線上に基端か第２モータの上方に位置し先端がフランジ部４０ａから突出した状態に配設された第１駆動軸４３と、基端が第２モータ４２の出力軸に固定され先端が第１駆動軸４３内を貫通して伸ひるように設けられた第２駆動軸４４と、第１駆動軸４３とフランジ部４０ａとの間に設けられた磁気シール４５とより主構成をなすものである。
　そして、ケース４０内の第２モータ４２の上方位置には、軸受４６ａによって回転自在に支持され第１駆動軸４３の基端外周に固定されたプーリ４７が設けられ、このプーリ４７と第１モータ４１の出力軸に固定されたプーリ４８とに巻回された歯付きベルト４９を介して、第１駆動軸４３は第１モータ４１によって駆動されるようになっている。」
　
ウ．第４ページ右下欄第４行〜第５ページ左上欄第３行
「つぎに、アーム部３１は、前記第１駆動軸４３の先端に固定されて前記一側面３０ａに沿って伸びる箱状の第１アーム５０と、この第１アーム５０の先端部上面に回転自在に連結されて第１アーム５０と同方向に伸びる箱状の第２アーム５１とを備えるものである。
　第１アーム５０にはその基端部下面に位置してボス部５０ａが形成されており、このボス部５０ａが第１駆動軸４３の先端部外周に嵌合固定させられることによって、第１アーム５０は第１駆動軸に固定されて第１駆動軸の回転によって前記一側面３０ａに沿って回転するようになっている。
また、第２アーム５１にもその基端部下面から伸びるボス部５１ａが形成されており、このボス部５１ａが第１アーム５０の先端部内に伸びてこの先端部底面に立設固定された軸５２の外周に軸受５３、５４を介して取り付けられることによって、第２アーム５１は第１アーム５０に連結されてやはり前記一側面３０ａに沿って回転できるようになっている。」
　
エ．第５ページ右上欄第１６行〜右下欄第１４行
「つぎに、ハンド３４は、第４図に示すように、先端に基板載置部（この場合半導体ウェハ用）７０が形成されたもので、その基端が前記軸部６１ａの上面に固定されることによって、やはり前記一側面３０ａに沿って回転するようになっている。
このハンド３４の基板載置部７０は、周囲にガイド７１ａ、７１ｂ、７１ｃが形成されたコ字状の載置面７０ａを有するものであり、これらガイド部間に基板が載せられると、基板はその中央部下面がこのハンド３４の裏側に望んだ状態で支持されるようになっている。
なお、このハンド３４は、上側のロボット３２においては前記載置面７０ａが駆動部３０側に向くような向きで取り付けられ、また下側のロボット３３においては前記載置面７０ａが駆動部３０と反対側に向くような向きで取り付けられており、どちらも載置面７０ａが上方に向くようになっている。」
　
オ．第５ページ右下欄第１１〜１８行
「つぎに、以上のように構成された基板処理装置における搬送装置１３の動作を説明する。
　まず、ロボット３２あるいは３３において、第１モータ４１（すなわち第１駆動軸４３）のみを作動させると、第１アーム５０と第２アーム５１とはパンタグラフのように伸縮して、ハンド３４が第１図において符号Ｘで示すように水平に進退する。」
　
カ．第６ページ左上欄第１２〜１８行
「また、同様に、この時ハンド３４はプーリ６０、６１の作用によって第２アーム５０に対して第１図において反時計方向に３０度回転するので、ハンド５０の方向も変化せず常に前記線分の方向に向いていることになり、ハンド３４は前記中心Ａ、Ｂを結ぶ一直線上をその先端方向（載置部７０の開いている方向）に前進することになる。」
　
キ．第５ページ右上欄第５〜１８行
「つまり、以上の説明から明らかなように、ロボット３２、３３のそれぞれのハンド３４は、モータ４１、４２の動作によって前記一側面３０ａ（すなわち、水平面）に沿って旋回及び進退させて二次元的に動かすことができ、予め動作プログラムを作成しておけば、この動作プログラムのンーケンスに従ってハンド３４は各チャンバ内のあらゆる位置に任意の方向に向けて順次移動させることができる。
　そして、本実施例の搬送装置１３は、上記のようなロボット３２、３３が上下に相対向させて配設されているため、従来よりも格段に短い時間で各チャンバ間の基板の搬送が行える。」
　
ク．第８ページ左下欄第１０〜１５行
「また、本発明のロボットはハンドが二次元的にしか動作できないものに限られず、例えば、ハンドがアーム部に対して昇降する機能を有していたり、アーム部及びハンド全体が昇降する機能を有する構成とされ、さらに多自白度なハンドの動きが可能なロボットでもよい。」
　
ケ．第１図、第２図
　二組の第１アーム５０が、互いに上下に異なる高さで、搬送チャンバ１０の上板部材、下板部材に、それぞれ取り付けられること、
　第１アーム５０の基端のボス部５０ａ、第１駆動軸４３は、ともに搬送チャンバ１０の上板部材、下板部材の間に配置されること、
アームが、伸長位置と縮み位置との間を移動する際、ハンド３４が一方向を向くこと、
　アームを縮み位置に移動させたときに、アームに取り付けられたそれぞれのハンド３４が第１アーム５０の基端のボス部５０ａ、第１駆動軸４３の間に位置し、かつ、二組の前記軸５２、ボス部５１ａを水平方向側方に突出させるものであること、
が看取できる。
　
　これら記載事項を、技術常識を勘案しつつ、本件発明１に照らして整理すると、甲第１号証には、以下の発明（以下「甲１発明」という。）が記載されていると認める。
　
「ハンド３４と、第２アーム５１と、第１アーム５０と、前記ハンド３４と前記第２アーム５１を連結する軸部６１ａ、軸受６３と、前記第２アーム５１と前記第１アーム５０を連結する軸５２、ボス部５１ａと、前記第１アーム５０の前記軸５２とは反対側に設けた第１アーム５０の基端のボス部５０ａ、第１駆動軸４３と、前記第１駆動軸４３、ボス部５１ａ、軸部６１ａを連結駆動して回動させる第１モータ４１，第２モータ４２とを有するとともに、前記ハンド３４が一方向を向いて、前記第１アーム５０と前記第２アーム５１とを伸ばしきった伸長位置と前記第１アーム５０と前記第２アーム５１とを折り畳み前記ハンド３４を引き込んだ縮み位置との間を移動するアームを二組備えた搬送装置において、前記二組のアームがそれぞれ取り付けられる搬送チャンバ１０の上板部材、下板部材と、前記二組のアームの昇降手段を備え、前記アームは前記第１アーム５０の基端のボス部５０ａ、第１駆動軸４３が互いに上下に異なる高さで搬送チャンバ１０の上板部材、下板部材にそれぞれ取り付けられると共に、前記第１アーム５０の基端のボス部５０ａ、第１駆動軸４３はともに前記搬送チャンバ１０の上板部材、下板部材の間に配置され、前記アームを前記縮み位置に移動させたときに、当該アームに取り付けられたそれぞれのハンド３４が前記第１アーム５０の基端のボス部５０ａ、第１駆動軸４３の間に位置し、かつ、二組の前記軸５２、ボス部５１ａを水平方向側方に突出させ、前記ハンド３４は基板を載置して前記伸長位置と前記縮み位置の間を移動するものである搬送装置。」
　
　なお、請求人は、甲第１号証に、縮み位置において、（ア）二組のアームの肘関節がともに同方向に突出する点、（イ）基板が二組のアームの基端のボス部５０ａ、第１駆動軸４３の間に位置する点、が記載されていると主張する（上記第３．ウ、オ）。
　しかし、甲第１号証には、（ア）、（イ）の点が明記されているものではなく、甲第１号証に記載されているかは、不明確であるので、上記のとおり、甲１発明を認定した。
　
（２）甲第２号証
　甲第２号証には、以下の記載がある。
　
ア．段落０００８〜０００９
「【０００８】
【発明の実施の形態】実施の形態１．図１は、この発明の実施の形態１による保管庫を示す正面図である。図において、１は複数のガラス基板用カセットをそれぞれ保管する複数の保管棚、２は保管棚１から搬出口である出庫口（図示せず）又は、出庫口と別に設けられた搬入口である入庫口（図示せず）から保管棚１の間を移動し、ガラス基板用カセットを出庫又は入庫するための移載機、３ａ、３ｂは移載機２上に設けられたカセット用アーム部で、移載機２によって上下動され、ガラス基板用カセットを保持して保管棚１に対して、ガラス基板用カセットの移載、入庫口からのカセット取り出し、出庫口へのカセット降しを行うものである。
【０００９】図２は、この発明の実施の形態１による移載機を説明するための図であり、図２（ａ）は、移載機の詳細を示す図で、カセット用アーム部３ｂの図示を省略している。図２（ｂ）は、図２（ａ）のカセット用アーム部を上方Ａより見た図である。図において、４はカセット用アーム部３ａを駆動するアーム駆動部、５はカセット用アーム部３ａのハンド、６はハンド５上に載置されたカセットである。このような保管庫においては、移載機２上に二つのカセット用アーム部３ａ、３ｂを備えて、それぞれガラス基板用カセットを保持して、保管棚１と入庫口または出庫口の間を搬送して、ガラス基板用カセットの保管棚１への入庫または保管棚１からの出庫を行う。・・・。」
　
イ．図２、図５
　ハンド５の移動方向に関して、ハンド５のアーム部３ａの肘関節部が突出する方向と反対側に、アーム部３ａを上下動させる移載機２が配置されていることが看取できる。
　
　これら記載事項を、技術常識を勘案しつつ整理すると、甲第２号証には、以下の事項（以下「甲２事項」という。）が記載されていると認める。
「ハンド５の移動方向に関して、ハンド５のアーム部３ａの肘関節部が突出する方向と反対側に、アーム部３ａを上下動させる移載機２を配置したもの。」
　
３．対比
　本件発明１と、甲１発明とを対比する。
　甲１発明の「ハンド３４」は本件発明１の「ハンド部」に相当し、同様に、「第２アーム５１」は「前腕」に、「第１アーム５０」は「上腕」に、「軸部６１ａ、軸受６３」は「ハンド関節部」に、「軸５２、ボス部５１ａ」は「肘関節部」に、「ボス部５０ａ、第１駆動軸４３」は「関節部」に、「第１モータ４１，第２モータ４２」は「回転駆動源」に、「搬送装置」は「ダブルアーム型ロボット」に、「基板」は「ワーク」に、相当する。よって、甲１発明の「第１駆動軸４３、ボス部５１ａ、軸部６１ａ」は「各関節部」に相当する。
　甲１発明の「搬送チャンバ１０の上板部材、下板部材」は、「第１及び第２の被取付部材」である限りにおいて、本件発明１の「第１及び第２の支持部材」と一致する。
　甲１発明の「二組のアームの昇降手段」は、「二組のアームの上下移動機構」である限りにおいて、本件発明１の「第１及び第２の支持部材を上下方向に移動可能に保持するコラムとを含む移動機構」と一致する。
　
　したがって、両者は、以下の点で一致する。
「ハンド部と、前腕と、上腕と、前記ハンド部と前記前腕を連結するハンド関節部と、前記前腕と前記上腕を連結する肘関節部と、前記上腕の前記肘関節部とは反対側に設けたアームの基端の関節部と、前記各関節部を連結駆動して回動させる回転駆動源とを有するとともに、前記ハンド部が一方向を向いて、前記上腕と前記前腕とを伸ばしきった伸長位置と前記上腕と前記前腕とを折り畳み前記ハンドを引き込んだ縮み位置との間を移動するアームを二組備えたダブルアーム型ロボットにおいて、前記二組のアームがそれぞれ取り付けられる第１及び第２の被取付部材と、前記二組のアームの上下移動機構を備え、前記アームは前記アームの基端の関節部が互いに上下に異なる高さで配置された前記第１及び第２の被取付部材にそれぞれ取り付けられると共に、前記アームの基端の関節部はともに前記第１及び第２の被取付部材の間に配置され、前記アームを前記縮み位置に移動させたときに、当該アームに取り付けられたそれぞれのハンド部が前記アームの基端の関節部の間に位置し、かつ、二組の前記肘関節部を水平方向側方に突出させ、前記ハンド部はワークを載置して前記伸長位置と前記縮み位置の間を移動するものであるダブルアーム型ロボット。」
　
　そして、以下の点で、相違する。
　相違点１：本件発明１は、二組のアームは「第１及び第２の支持部材」に取り付けられ、「二組の前記肘関節部を二組ともに前記ハンド部の移動方向に関して同方向に突出させ」るものであり、「第１及び第２の支持部材を上下方向に移動可能に保持するコラムとを含む移動機構」が、「ハンド部の移動方向に関して前記肘関節部が突出する方向と反対側に」設けられているが、甲１発明は、二組のアームは「搬送チャンバ１０の上板部材、下板部材」に取り付けられ、二組の肘関節部が同方向に突出させるか不明であり、上下移動機構の詳細は明らかでない点。
　
　相違点２：請求項１発明は、「縮み位置に移動したときに前記ワークを前記二組のアームの前記基端の関節部の間に位置させる」が、甲１発明は、明らかでない点。
　
４．判断
　相違点１について検討する。
　二組のアームの「被取付部材」が、「第１及び第２の支持部材」であり、「第１及び第２の支持部材」の移動機構が、「上下方向に移動可能に保持するコラム」である点について検討する。
　甲１発明のアームを利用した搬送機構は、「搬送機構」という一の技術思想として理解しうるものであり、その機構、動作からみて、「搬送チャンバ」内でのみ利用可能なものとは認められない。
　アームの「被取付部材」である「支持部材」が、コラムに、上下方向に移動可能に保持される移動機構は、甲第２号証の図２、甲第４号証の図１、甲第５号証の第１図、甲第６号証の図７にみられるごとく周知である。
　移動機構が、一つのハンド部の移動方向に関して肘関節部が突出する方向と反対側に設けられる点は、肘関節部突出方向に移動機構を配置した場合、干渉のおそれがあることから、干渉しないように配置することは、当然であって、設計的事項である。
　しかも、甲２事項は、「ハンド５の移動方向に関して、ハンド５のアーム部３ａの肘関節部が突出する方向と反対側に、アーム部３ａを上下動させる移載機２を配置したもの」であり、甲１発明に照らすと、「ハンド部の移動方向に関して前記肘関節部が突出する方向と反対側にコラムを含む移動機構を配置したもの」となり、かかる配置が格別なものでもない。
　二組の肘関節部が同方向に突出する点については、前記のとおり、「二組」を、いずれも上下移動機構と干渉しないように配置することにより、ともに同方向となる。
　さらに、「二組」である以上、同方向か逆方向かの、二者択一にすぎないから、同方向、逆方向ともに試み、適切なほうを選択することに格別の困難性は認められない。
　しかも、請求人が提出した参考資料２の図１、図４、図７には、二組の肘関節部が同方向に突出するものが記載されており、同方向に突出するものが、格別珍しいとも、認められない。
　よって、相違点１は、格別なものではない。
　
　被請求人は、甲１発明のアームを利用した搬送機構は、３６０°旋回可能なものであり、コラムの存在により３６０°旋回が不可能になるコラム型ロボットに転用することはありえないと主張する（第４．カ、キ）。
　しかし、（ア）ロボットの用途は様々であって、３６０°旋回可能という仕様が、常に必要とされるものではないこと、（イ）アームを利用した「搬送機構」は、上記参考資料２の図１３のコラム型、図１４のテレスコピック型にみられるごとく、いずれにも適用可能であること、から、被請求人の主張は採用できない。
　
　相違点２について検討する。
　ワークの大きさは様々であるが、大きいワークを回転させる場合、モーメント、回転負荷、回転半径の関係から、ワークを回転中心に近づけることが望ましいことは明らかである。
　しかも、請求人が提出した資料１ないし６にみられるごとく、「ワークを二組のアームの基端の関節部の間に位置させる」ことは、テレスコピック型においては周知である。
　してみると、ワークを回転中心に近づけること、すなわち、縮み位置において「ワークを二組のアームの基端の関節部の間に位置させる」ことは、必要に応じてなしうる設計的事項にすぎない。
　
　被請求人は、コラムによる上下移動機構を有する甲１発明は、コラムが障害となるから「ワークを二組のアームの基端の関節部の間に位置させる」ことはできない、と主張する（第４．オ、カ）。
　しかし、コラムが障害となるか否かは、ワークの大きさ、ワークのハンド部への載置位置、支持部材の長さ等の条件により、定まるものであり、常にできないというものではないから、被請求人の主張は根拠を欠くものである。
　
　また、これら相違点を総合勘案しても、格別の技術的意義があるとは認められない。
　
第６．むすび
　以上、本件発明１は、甲１発明、周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明１についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　したがって、本件発明１についての特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当するので、無効とすべきものである。
　審判費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。
　よって、結論のとおり審決する。