【事件の表示】
　特願２００６−５５４１６０「ステンシルを同時に検査およびクリーニングするための方法および装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　９月　１日国際公開、ＷＯ２００５／０８１５９９、平成１９年　８月１６日国内公表、特表２００７−５２２９７０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
　
第１　手続の経緯　
　本願は、２００５年２月１１日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２００４年２月１９日、米国）を国際出願日とする出願であって、平成１８年８月１８日付けで特許協力条約第１９条による補正の翻訳文が提出され、平成２２年１１月２日付けで手続補正がされ、同年１２月２７日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、平成２３年５月２日に拒絶査定不服審判が請求されると同時に手続補正がなされたものである。
　なお請求人は、当審における平成２３年９月２２日付け審尋に対して、同年１２月２６日付けで回答書を提出している。
　
第２　平成２３年５月２日付け手続補正についての補正却下の決定
　
〔補正却下の決定の結論〕
　平成２３年５月２日付け手続補正を却下する。
　
〔理由〕
１　本件補正の内容
（１）平成２３年５月２日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）は、特許請求の範囲についてするもので、特許請求の範囲については、本件補正前に、
　
「　【請求項１】
　電子基板の表面上で動作を実行するための装置であって、
　フレームと、
　前記フレームに連結され、前記電子基板上に材料を分配するディスペンサと、
　第１のガントリシステム上で並進可能なステンシルとを含み、前記ステンシルは、前記ディスペンサによって前記材料が前記電子基板上で分配されると前記材料を受取る少なくとも１つのアパーチャを有し、前記装置はさらに、
　前記電子基板が印刷位置にある場合に前記電子基板上での前記材料の分配を制御するコントローラと、
　前記ステンシルが前記第１のガントリシステムによって前記電子基板から並進して離されると前記ステンシルから材料を除去するワイパと、
　第２のガントリシステムに連結され、前記電子基板上の表面を検査するための検査プローブとを含み、前記検査プローブは前記電子基板上の位置に移動可能であり、
　前記ステンシルは、前記電子基板が印刷位置にある場合、前記検査プローブが前記電子基板を検査する間、前記ワイパの上を並進し、
　前記ワイパは、前記ステンシルが前記第１のガントリシステムによって、前記電子基板から並進して離され移動することによって材料を除去可能な位置に、固定されている、装置。
　　【請求項２】
　前記ステンシルが、前記電子基板の検査と実質的に同時に、前記ワイパの上を並進する、請求項１に記載の装置。
　　【請求項３】
　前記ワイパが前記ステンシルの位置よりも下に位置決めされる、請求項１に記載の装置。
　　【請求項４】
　前記ステンシルが第１の前部位置から第２の後部位置まで並進し、前記ワイパによって前記材料が除去されると前記第１の前部位置に戻る、請求項１に記載の装置。
　　【請求項５】
　前記ステンシルが、前記電子基板の位置に対して垂直に移動することにより、前記電子基板から並進して離れる、請求項１に記載の装置。
　　【請求項６】
　前記ステンシルが、前記電子基板から離れる第１の方向に並進し、前記ワイパに向かう第２の方向に並進する、請求項１に記載の装置。
　　【請求項７】
　基板の表面上で印刷動作を実行するための方法であって、
　前記基板上に材料を印刷するための位置に前記基板を搬送するステップと、
　前記基板とステンシルとを整列させるステップとを含み、前記ステンシルは、前記材料が前記基板上に堆積すると前記材料を受取る少なくとも１つのアパーチャを有し、前記方法はさらに、
　前記ステンシルを通じて前記基板上に前記材料を堆積させるステップと、
　前記ステンシルが並進されると前記ステンシルの表面から残りの材料を除去するように位置決めされて固定されたワイパ上で、前記基板の前記表面上の位置から前記ステンシルを並進させるステップと、
　前記基板が印刷位置にある場合にビデオプローブ検査システムを用いて前記基板を検査するステップとを含む、方法。
　　【請求項８】
　前記検査するステップおよび前記並進させるステップが実質的に同時に行われる、請求項７に記載の方法。
　　【請求項９】
　前記ワイパ上で前記ステンシルを並進させつつ、第２の基板を印刷位置に搬送するステップをさらに含む、請求項７に記載の方法。
　　【請求項１０】
　ステンシルプリンタにおいて、同時に電子基板を検査しステンシルをクリーニングするための方法であって、
　前記電子基板の上方で前記ステンシルを位置決めするステップと、
　前記電子基板上に材料を堆積させるステップと、
　前記ステンシルおよび前記電子基板を分離するステップと、
　前記電子基板の上の区域から除去される前記ステンシルをある位置に並進させるステップと、
　前記ステンシルと前記電子基板との間の空間に検査システムを挿入するステップと、
　前記ステンシルの並進により、前記ステンシルをクリーニング可能な位置に、ワイパを固定するステップと、
　クリーニングのために前記ワイパ上で前記ステンシルを並進させつつ、前記電子基板を検査するステップとを含む、方法。」
とあったものを、
　
「　【請求項１】
　基板の表面上で印刷動作を実行するための方法であって、
　前記基板上に材料を印刷するための位置に前記基板を搬送するステップと、
　前記基板とステンシルとを整列させるステップとを含み、前記ステンシルは、前記材料が前記基板上に堆積する
ように
　前記ステンシルを通じて前記基板上に前記材料を堆積させ
て印刷す
　前記ステンシルが並進されると前記ステンシルの表面から残りの材料を除去するように位置決めされて固定されたワイパ上で、前記基板の前記表面上の位置から前記ステンシルを並進させるステップと、
　
前記ステンシルを並進させる前記ステップと並行して、
の表面の上方に
配置させて、
　　【請求項２】
　前記ワイパ上で前記ステンシルを並進させつつ、第２の基板を印刷位置に搬送するステップをさらに含む、請求項
１
　　【請求項３】
　ステンシルプリンタにおいて、同時に電子基板を検査しステンシルをクリーニングするための方法であって、
　前記電子基板の上方で前記ステンシルを位置決めするステップと、
　前記電子基板上に材料を堆積させ
て印刷す
　前記ステンシルおよび前記電子基板を分離するステップと、
　前記電子基板の上の区域から除去される前記ステンシルをある位置に並進させるステップと、
　前記ステンシルと、
印刷位置にある
、前記電子基板の表面の上方の
　前記ステンシルの並進により、前記ステンシルをクリーニング可能な位置に、ワイパを固定するステップと、
　クリーニングのために前記ワイパ上で前記ステンシルを並進させつつ、前記電子基板を検査するステップとを含む、方法。」
と補正するものである。（下線は審決で付した。以下同じ。）
　
（２）上記（１）の補正内容は次の補正事項からなる。
　ア　本件補正前の請求項１ないし６、８を削除し、本件補正前の請求項７、９及び１０をそれぞれ繰り上げて請求項１ないし３とする。
　
　イ　本件補正前の請求項７及び９において、「前記ステンシルは、前記材料が前記基板上に堆積すると前記材料を受取る少なくとも１つのアパーチャを有し、」を「前記ステンシルは、前記材料が前記基板上に堆積する
ように
　
　ウ　本件補正前の請求項７及び９において、発明を特定するために必要な事項である「前記ステンシルを通じて前記基板上に前記材料を堆積させるステップ」を「前記ステンシルを通じて前記基板上に前記材料を堆積させ
て印刷す
　同様に、本件補正前の請求項１０において、発明を特定するために必要な事項である「前記電子基板上に材料を堆積させるステップ」を、「前記電子基板上に材料を堆積させ
て印刷す
　
　エ　本件補正前の請求項７及び９において、発明を特定するために必要な事項である「前記基板が印刷位置にある場合にビデオプローブ検査システムを用いて前記基板を検査するステップ」を、「前記印刷位置にある前記基板
の表面の上方に
　
　オ　本件補正前の請求項１０において、発明を特定するために必要な事項である「前記ステンシルと前記電子基板との間の空間に検査システムを挿入するステップ」を、「前記ステンシルと、
印刷位置にある
、前記電子基板の表面の上方の
　
２　補正の目的
（１）上記１（２）アの補正内容は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第１号の「請求項の削除」を目的とするものである。
　
（２）上記１（２）イの補正内容は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第３号の「誤記の訂正」を目的とするものである。
　
（３）上記１（２）ウないしオの補正内容は、本件補正前の請求項７、９及び１０に記載した発明を特定するために必要な事項を限定するものであるから、いずれも、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号の「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。
　そこで、本件補正後の請求項１ないし３に係る発明は、平成２３年５月２日付け手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された事項によって特定されるものであるところ、本件補正後の請求項１に係る発明（以下「本願補正発明」という。）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
３　引用例の記載
（１）原査定に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開平１０−４４３７０号公報（以下「引用例１」という。）には、次の事項が図とともに記載されている。
　ア　「【特許請求の範囲】
【請求項１】  
水平方向に延びるＸ軸の方向に移動するための第１移動機構及び垂直方向に延びるＺ軸の方向に移動するための第２移動機構及び水平面内で回転するための回転機構を有する基板支持テーブルと、この基板支持テーブルの上方に配され、水平方向に延びるＹ軸の方向に移動するための移動機構を有するスクリーン支持手段と、前記基板支持テーブルと前記スクリーン支持手段との間に配され、Ｘ軸及びＹ軸の方向に移動自在で、前記基板支持テーブル上に載置された基板を撮像するカメラを有する第１撮像手段と、前記スクリーン支持手段の上方に配され、Ｘ軸及びＹ軸の方向に移動自在で、前記スクリーン支持手段に支持されたスクリーンを撮像するカメラを有する第２撮像手段と、前記基板にスクリーン印刷を行う前に、前記第１撮像手段に前記基板を撮像させて前記基板の位置認識を行い、前記第２撮像手段に前記スクリーンを撮像させて前記スクリーンの位置認識を行い、得られた前記基板及び前記スクリーンの位置情報から前記基板と前記スクリーンとの間のずれを算出し、前記基板支持テーブルの第１移動機構及び回転機構、前記スクリーン支持手段の移動機構を駆動して前記ずれを補正する制御手段と、を備え
【請求項２】  
前記第１撮像手段が撮像したスクリーン印刷後の基板の画像から少なくとも印刷ペーストの位置ずれを判別する印刷ペースト良否判別手段を設け、前記制御手段が、前記印刷ペースト良否判別手段からの印刷ペーストの位置ずれ情報に基づいて前記基板と前記スクリーンとの間のずれを補正する
請求項１に記載の
【請求項３】  
前記制御手段が、周期的に前記第１撮像手段にスクリーン印刷後の基板を撮像させ、得られた画像から前記印刷ペースト良否判別手段に前記基板の印刷ペーストの良否を判別させる
請求項２に記載の
【請求項４】  前記第２撮像手段が撮像した前記スクリーンの画像から前記スクリーンの開口部の目詰まりを判別する目詰まり判別手段を設けたことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
【請求項５】  前記制御手段が、周期的に前記第２撮像手段に前記スクリーンを撮像させ、得られた画像から前記目詰まり判別手段に前記スクリーンの開口部の目詰まりを判別させることを特徴とする請求項４に記載のスクリーン印刷機。
【請求項６】  
前記スクリーンの上方または下方に配され、垂直方向に移動自在で、前記スクリーンに気体を吹き付ける気体吹付手段と、前記スクリーンを挟んで前記気体吹付手段と対向するように配され、垂直方向に移動自在で、前記スクリーンに付着した印刷ペーストの残滓を吸引する吸引手段とを備えた清掃手段を設けた
請求項１〜請求項５のいずれかに記載の
【請求項７】  前記清掃手段が、前記スクリーンと前記吸引手段との間に配され、前記スクリーンに対して接離し、前記印刷ペーストの残滓を付着させる通気性を有する清掃シートを備えたことを特徴とする請求項６に記載のスクリーン印刷機。
【請求項８】  前記スクリーンの下方に、垂直方向に移動自在で、前記スクリーンに付着した印刷ペーストの残滓を吸引する吸引手段と、前記スクリーンと前記吸引手段との間に配され、前記スクリーンに対して接離し、垂直方向に移動自在で、前記印刷ペーストの残滓を付着させる通気性を有する清掃シートとを備えた清掃手段を設けるとともに、前記スクリーン上を印刷ペースト塗布用のスキージが相対移動することにより前記スクリーンが前記清掃シートに押し付けられるようにしたことを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
【請求項９】  前記制御手段が、前記印刷ペースト良否判別手段または前記目詰まり判別手段の判別結果が否である場合に前記清掃手段に前記スクリーンを清掃させることを特徴とする請求項６〜請求項８のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
【請求項１０】  請求項１〜請求項９のいずれかに記載のスクリーン印刷機の制御方法であって、前記基板支持テーブル上に載置した基板を前記第１撮像手段に撮像させ、前記基板支持テーブルを印刷位置に上昇させて前記基板を前記第２撮像手段に撮像させ、前記第１撮像手段によって得られた前記基板の位置情報と前記第２撮像手段によって得られた前記基板の位置情報とのずれを算出させ、このずれによる誤差が解消されるように前記基板と前記スクリーンとの間のずれを補正させることを特徴とする制御方法。
【請求項１１】  表面に校正用マークを有しこの校正用マークの位置が既知の校正用治具板を前記基板支持テーブル上に載置し、前記校正用マークを前記第１及び第２撮像手段に撮像させ、前記第１及び第２撮像手段によって得られた前記校正用マークの位置情報と前記校正用マークの既知の位置情報とのずれを算出させ、このずれによる誤差が解消されるように前記基板と前記スクリーンの位置認識を行わせることを特徴とする請求項１０に記載のスクリーン印刷機の制御方法。」
　
　イ　「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、
電子部品を基板にはんだ付けするためのクリームはんだ等のペーストを基板に印刷するためのスクリーン印刷機及びその制御方法に関するもの
　
　ウ　「【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のスクリーン印刷機は、基板がスクリーンと接する位置にあるときに基板とスクリーンとの間のずれを算出することができないため、基板支持テーブルをＺ軸方向に移動させる機構にひずみが有ると、基板とスクリーンとがずれた状態で印刷が行われてしまうという問題があった。
【０００５】また、従来のスクリーン印刷機では、一台のカメラで基板とスクリーンとを撮像するようになっており、基板とスクリーンの画像は複雑な光学系を介してカメラに取り込まれるため、光学系にひずみが生じ易く、基板とスクリーンの正確な位置認識を行いにくいという問題があった。
【０００６】また、スクリーンの画像を取り込む光学系は、画像の入射面をスクリーンの下面に向けた状態で配されるため、スクリーンから滴下したペーストが光学系の入射面に付着し、カメラがスクリーンの正確な位置を認識できなくなるという問題があった。
【０００７】本発明は、上記の問題点を解決し、
基板とスクリーンとの間のずれを高い精度で補正することができ
【０００８】また、本発明の他の目的は、
欠けやかすれ等が少ない高品質の印刷ペーストを有する基板を製造することができる
　
　エ　「【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施形態を図面を参照しながら説明する。図１は本発明の第１実施形態のスクリーン印刷機の要部の正面図、図２は図１のＡ−Ａ線矢視図、図３は図１のスクリーン印刷機の右側面図、図４は図１のスクリーン印刷機の制御回路のブロック図である。
【００２１】図１に示すスクリーン印刷機は、基板上にクリームはんだを印刷するためのもので、基台１上に設置された基板支持テーブル２と、この基板支持テーブル２の上方に配されたスクリーン支持手段３と、基板支持テーブル２とスクリーン支持手段３との間に配され、基板支持テーブル２上に載置された基板Ｐを撮像する第１撮像手段４と、スクリーン支持手段３の上方に配され、スクリーン支持手段３に支持されたスクリーンＳを撮像する第２撮像手段５と、
スクリーンＳの上方に配された印刷ヘッド６と、基板Ｐを基板支持テーブル１上に供給する供給コンベヤ７と、基板Ｐを基板支持テーブル１上から排出する排出コンベヤ８と、
【００２２】基板支持テーブル２は、水平方向に延びるＸ軸の方向（図１の左右方向）に移動するための第１移動機構１０と、この第１移動機構１０上に設けられ、水平面内で回転するための回転機構１１と、この回転機構１１上に設けられ、垂直方向に延びるＺ軸の方向に移動するための第２移動機構１２と、この第２移動機構１２上に設けられた基板支持プレート１３と、基板支持プレート１３の上面に設けられ、基板ＰをＸ軸の方向に搬送する搬送機構（不図示）とを備えている。なお、基板Ｐの表面には、二個の位置認識用マーク（不図示）が付されている。
【００２３】スクリーン支持手段３は、スクリーンＳの周縁部の下面を支持するスクリーン支持枠１４と、スクリーン支持枠１４の上方に配され、スクリーンＳの周縁部をスクリーン支持枠１４に圧接する複数個のスクリーン押えシリンダ１５と、水平方向に延びるＹ軸の方向（図２参照）に移動するための移動機構１６とを備えている。なお、スクリーンＳの上面には、二個の位置認識用マーク（不図示）が付されている。
【００２４】第１撮像手段４は、カメラ１７と、カメラ１７をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる移動機構１８とを備えている。また、第２撮像手段５は、カメラ１９と、カメラ１９をＸ軸方向に移動させる移動機構２０とを備えている。また、カメラ１９は、印刷ヘッド６の移動機構２２（後述）によってＹ軸方向に移動自在に支持されている。
【００２５】印刷ヘッド６は、下部に設けられた印刷ペースト塗布用のスキージ２１と、Ｙ軸方向に移動するための移動機構２２と、スキージ２１をＺ軸方向に移動するための垂直移動機構２３とを備えている。
【００２６】供給コンベヤ７は、基板支持テーブル２をＸ軸方向に移動させることによって基板支持テーブル２と連結され、この状態で供給コンベヤ７を駆動すると基板支持テーブル２の搬送機構が連動するようになっている。
【００２７】排出コンベヤ８は、基板支持テーブル２をＸ軸方向に移動させることによって基板支持テーブル２と連結され、この状態で排出コンベヤ８を駆動すると基板支持テーブル２の搬送機構が連動するようになっている。
【００２８】図４に示すように、制御手段９は、認識ボード２４と、ＲＯＭ（不図示）に格納されたプログラムに従って全体の制御を行うＣＰＵ２５と、モータ制御部２６とを備えており、認識ボード２４はバス２７を介してＣＰＵ２５及びモータ制御部２６に接続されている。認識ボード２４には第１撮像手段４のカメラ１７及び第２撮像手段５のカメラ１９が接続されている。モータ制御部２６には、サーボモータドライバＳＭＤまたはパルスモータドライバＰＭＤを介して、基板支持テーブル２の第１及び第２移動機構１０、１２、回転機構１１、スクリーン支持手段３の移動機構１６、第１撮像手段４の移動機構１８、第２撮像手段５の移動機構２０、印刷ヘッド６の移動機構２２のサーボモータＳＭまたはパルスモータＰＭが接続されている。
【００２９】ＳＭ１は基板支持テーブル２の第２移動機構１２のサーボモータ、ＰＭ１は回転機構１１のパルスモータ、ＰＭ２は第１移動機構１０のパルスモータ、ＰＭ３はスクリーン支持手段３の移動機構１６のパルスモータ、ＰＭ４は第１撮像手段４の移動機構１８のＸ軸のパルスモータ、ＰＭ５は移動機構１８のＹ軸のパルスモータ、ＳＭ２は第２撮像手段５の移動機構２０のサーボモータ、ＰＭ６は第２撮像手段５のカメラ１９をＹ軸方向に移動させる移動機構２２のパルスモータである。
【００３０】なお、図３において、２８はハウジング、２９及び３０はハウジング２８の前面及び後面に設けられた開口部（不図示）を開閉するためのガルウイング式の扉である。
【００３１】次に、上記のように構成したスクリーン印刷装置の動作を説明する。まず、基板Ｐにスクリーン印刷を行う前に、第１撮像手段４のカメラ１７と第２撮像手段５のカメラ１９の位置合わせを行う。
【００３２】
基板Ｐを供給コンベヤ７上に載置すると、フォトセンサ（不図示）がこれを検知し、基板ストッパ（不図示）が下降し、基板Ｐを搬送中に移動しないように押さえる。次に、基板支持テーブル２が左方向に移動し、供給コンベヤ７と連結される。供給コンベヤ７が駆動され、これに基板支持テーブル２の搬送機構が連動して基板Ｐが基板支持テーブル２に向かって搬送される。基板Ｐが基板支持テーブル２上の所定位置に達すると、供給コンベヤ７が停止する。そして、公知の位置決め機構（不図示）によって基板Ｐが位置決めされた後、基板支持テーブル２が右方向に移動して元の位置（以下、原点位置と記す）に復帰する
【００３３】次に、第１撮像手段４のカメラ１７がＸ軸方向及びＹ軸方向に移動して基板Ｐ上の二個の位置認識用マークを撮像する。その画像は認識ボード２４に記憶される。ＣＰＵ２５は、認識ボード２４に記憶された画像から各位置認識用マークの位置を認識し、ＲＡＭ（不図示）に記憶する。
【００３４】次に、カメラ１７及びスクリーン支持手段３が水平方向に退避し、基板支持テーブル２が上昇し、基板Ｐが印刷位置に達すると基板支持テーブル２が停止する。第２撮像手段５のカメラ１９がＸ軸方向及びＹ軸方向に移動して基板Ｐ上の二個の位置認識用マークを撮像し、その画像は認識ボード２４に記憶される。ＣＰＵ２５は、認識ボード２４に記憶された画像から各位置認識用マークの位置を認識し、得られた位置情報をＲＡＭに記憶されている第１撮像手段４によって得られた位置情報と比較して両者のずれを算出する。このずれはカメラ１７とカメラ１９の位置ずれ及び基板支持テーブル２をＺ軸方向に移動させる第２移動機構１２のひずみによって生じるものである。ＣＰＵ２５は、このずれを解消するためのカメラ１９の移動量を算出し、カメラ１９を移動させ、その位置をカメラ１９の新しい基準位置としてＲＡＭに記憶させる。そして、基板支持テーブル２が原点位置に下降し、スクリーン支持手段３が印刷位置に復帰するとともにカメラ１７が基準位置に復帰する。
【００３５】次に、実際に基板Ｐにスクリーン印刷を行う場合について説明する。まず、第１撮像手段４のカメラ１７がＸ軸方向及びＹ軸方向に移動して基板Ｐ上の二個の位置認識用マークを撮像し、その画像は認識ボード２４に記憶される。そして、ＣＰＵ２５が認識ボード２４に記憶された画像から各位置認識用マークの位置を認識し、位置情報がＲＡＭに記憶される。また、第２撮像手段５のカメラ１９がＸ軸方向及びＹ軸方向に移動してスクリーンＳ上の二個の位置認識用マークを撮像し、その画像は認識ボード２４に記憶される。そして、ＣＰＵ２５が認識ボード２４に記憶された画像から各位置認識用マークの位置を認識し、得られた位置情報をＲＡＭに記憶された基板Ｐの位置認識用マークの位置情報と比較して基板ＰとスクリーンＳとの間のずれを算出する。
【００３６】ＣＰＵ２５は、このずれを補正するための基板支持テーブル２とスクリーン支持手段３の移動量を算出し、得られた値に基づいてモータ制御部２６が基板支持テーブル２の移動機構１０、回転機構１１、スクリーン支持手段３の移動機構１６のモータを駆動して基板ＰとスクリーンＳとのずれを補正する。
【００３７】
次に、第１及び第２撮像手段４、５のカメラ１７、１９が退避し、基板支持テーブル２が上昇し、基板Ｐが印刷位置に達すると停止する。そして、印刷ヘッド６が下降し、スキージ２１がスクリーンＳの上面に沿って摺動し、基板Ｐ上にクリームはんだが印刷される。印刷が終了すると、基板支持テーブル２が下降し、原点位置に達すると一旦停止し、右方向に移動して排出コンベヤ８と連結される。そして、基板Ｐを位置決めしている位置決め機構が解除され、排出コンベヤ８が駆動され、これに基板支持テーブル２の搬送機構が連動して基板Ｐが排出コンベヤ８に向かって搬送される。基板Ｐが排出コンベヤ８上の所定位置に達すると、排出コンベヤ８が停止する。そして、基板支持テーブル２は原点位置に戻る
【００３８】
その後、排出コンベヤ８が駆動され、基板Ｐはチップマウンタ（不図示）に搬送され、
一方、基板支持テーブル２は供給コンベヤ７と連結され、供給コンベヤ７から次の基板Ｐを受け取る。そして、上記の工程が繰り返されて基板Ｐにスクリーン印刷が行われる
【００３９】なお、上記実施形態では、カメラ１７、１９の位置ずれや基板支持テーブル２の第２移動機構１２のひずみによって生じるずれを解消するためにカメラ１９の基準位置を変更しているが、これに代えて、カメラ１７の基準位置を変更しても良い。また、カメラの基準位置を変更する代わりに、前記ずれを補正するために基板支持テーブル２及び／またはスクリーン支持手段３の移動量に加算するオフセット値を算出し、このオフセット値を基板支持テーブル２及び／またはスクリーン支持手段３の移動量に加算するようにしてもよい。なお、カメラ１７とカメラ１９の位置合わせや前記オフセット値の算出は全基板について実施する必要はなく、所定の周期（印刷を行った基板の枚数や経過時間等）毎に実施すれば良い。」
　
　オ　「【００４５】次に、本発明の第３実施形態について説明する。この実施形態では、制御手段９に、第１撮像手段４のカメラ１７が撮像したスクリーン印刷後の基板Ｐの画像から印刷ペーストの印刷ずれ、かけ、やせ、ブリッジ、にじみ等を判別する印刷ペースト良否判別手段が設けられている。この印刷ペースト良否判別手段はＲＯＭに格納されたプログラムによって構成されており、この印刷ペースト良否判別手段によって
周期的に基板Ｐのクリームはんだの良否を判別する
周期は、例えば印刷した基板の枚数や経過時間等によって決められ
【００４６】印刷ペースト良否判別手段によって印刷ペーストの良否を判別する手順を図５、６のフローチャート図に従って説明する。ＲＡＭにはあらかじめ基板Ｐ上のクリームはんだ印刷領域の面積、形状、位置等の情報が記憶されており、これに基づいて個々のクリームはんだ印刷領域に対して検査範囲が設定される（ステップ＃５）。
【００４７】次に、カメラ１７が取り込んだ検査範囲内の画像が二値化処理され（ステップ＃１０）、クリームはんだ印刷領域の形状をあらかじめＲＡＭに記憶されているクリームはんだ印刷領域の形状と照合することによりクリームはんだ印刷領域の中心が算出される（ステップ＃１５）。この中心の位置をＲＡＭに記憶されているクリームはんだ印刷領域の中心の位置と比較することによりクリームはんだ印刷領域のずれが算出され（ステップ＃２０）、このずれが許容値以下であるか否かが判定され（ステップ＃２５）、許容値より大きい場合にはＮＧと判定され（ステップ＃３０）、ディスプレイ（不図示）にＮＧを表す表示がなされ、処理が中断される。そして、得られた印刷ずれ情報に基づいてモータ制御部２６が基板支持テーブル２の第１移動機構１０、回転機構１１、スクリーン支持手段３の移動機構１６のモータを駆動して基板ＰとスクリーンＳとのずれを補正する。
【００４８】ずれが許容値以下の場合には、クリームはんだの欠け、やせが許容値以下であるか否かを判別する工程に進む。まず、クリームはんだ印刷領域の画素数を数えることによりクリームはんだ領域の面積が測定され（ステップ＃３５）、測定面積とＲＡＭに記憶されている基準面積との差の絶対値が許容値以下であるか否かが判定され（ステップ＃４０）、面積差が許容値より大きい場合にはＮＧと判定され（ステップ＃４５）、ディスプレイにＮＧを表す表示がなされ、処理が中断される。
【００４９】面積差が許容値以下の場合には、クリームはんだのブリッジ、にじみが許容値以下であるか否かを判別する工程に進む。まず、個々のクリームはんだ印刷禁止領域に対して検査範囲が設定され（ステップ＃５０）、カメラ１７が取り込んだ検査範囲内の画像が二値化処理され（ステップ＃５５）、クリームはんだ領域の画素数を数えることによりクリームはんだ領域の面積が測定される（ステップ＃６０）。そして、測定面積がＲＡＭに記憶されている許容値以下であるか否かが判定され（ステップ＃６５）、許容値より大きい場合にはＮＧと判定され（ステップ＃７０）、ディスプレイにＮＧを表す表示がなされ、処理が中断される。許容値以下の場合にはこの基板Ｐの印刷ペーストはＯＫであると判定され（ステップ＃７５）、ディスプレイにＯＫを表す表示がなされ、処理が終了する。」
　
　カ「【００５０】次に、本発明の第４実施形態について説明する。この実施形態では、制御手段９に、第２撮像手段５のカメラ１９が撮像したスクリーン印刷後のスクリーンＳの画像からスクリーンＳの目詰まりを判別する目詰まり判別手段が設けられている。この目詰まり判別手段は、ＲＯＭに格納されたプログラムによって構成されている。そして、図７に示すように、スクリーンＳの退避位置の手前の位置には、スクリーンＳの下方に配された第１清掃手段３１と、この第１清掃手段３１に対してスクリーンＳの退避方向側に並ぶように配された第２清掃手段３２とが設けられている。
【００５１】
第１清掃手段３１は、垂直方向に移動自在で、スクリーンＳに付着したクリームはんだの残滓を吸引するノズル３３と、スクリーンＳと吸引ノズル３３との間に配され、スクリーンＳに対して接離し、クリームはんだの残滓を付着させる清掃シート３４とを備え
【００５２】清掃シート３４は、紙面と垂直の方向に延びる繰り出しローラ３５に巻かれており、その先端は、ローラ３５に対してスクリーンＳの退避方向に間隔をおいて平行に配された巻き取りローラ３６に接続されている。繰り出しローラ３５と巻き取りローラ３６の間の部分は、ローラ３５、３６の上方に平行に配された一対のガイドローラ３７、３８によってスクリーンＳと対向するように案内されている。巻き取りローラ３６にはモータ（不図示）が連結されており、このモータを駆動すると清掃シート３４が矢印の方向に移動するようになっている。
【００５３】
第２清掃手段３２は、スクリーンＳの下方に配され、垂直方向に移動自在で、スクリーンＳに空気を吹き付けるノズル３９と、このノズル３９とスクリーンＳを挟んで対向するように配され、垂直方向に移動自在で、スクリーンＳに付着したクリームはんだの残滓を吸引するノズル４０と、スクリーンＳとノズル４０との間に配され、スクリーンＳに対して接離し、クリームはんだの残滓を付着させる清掃シート４１とを備え
【００５４】清掃シート４１は、紙面と垂直方向に延びる繰り出しローラ４２に巻かれており、その先端は、繰り出しローラ４２に対して上方に間隔をおいて平行に配された巻き取りローラ４３に接続されている。ローラ４２、４３間の部分は、ローラ４２の下方に平行に配された一対のガイドローラ４４、４５によってスクリーンＳと対向するように案内され、ローラ４３の下方に平行に配されたガイドローラ４６によって巻き取りローラ４３に案内されている。ローラ４３にはモータ（不図示）が連結されており、このモータを駆動すると清掃シート４１が矢印の方向に移動するようになっている。
【００５５】次に、この実施形態のスクリーン印刷機の動作を説明する。まず、第２撮像手段５のカメラ１９がＸ軸及びＹ軸の方向に移動してスクリーン印刷後のスクリーンＳを撮像し、その画像が認識ボード２４に記憶される。この画像は目詰まり判別手段によって処理され、スクリーンＳの目詰まりが判別される。以下にその手順を図８に示すフローチャート図に従って説明する。
【００５６】ＲＡＭにはあらかじめスクリーンＳの個々の開口部の面積、形状、位置等の情報が記憶されており、これに基づいて、スクリーンＳの個々の開口部に対して検査範囲が設定される（ステップ＃１０５）。次に、カメラ１９が取り込んだ検査範囲内の画像が二値化処理され（ステップ＃１１０）、クリームはんだ領域の画素数を数えることによりクリームはんだ領域の面積が測定される（ステップ＃１１５）。そして、ＲＡＭにはあらかじめクリームはんだ領域の面積の許容値が記憶されており、測定面積が許容値以下であるか否かが判定される（ステップ＃１２０）。測定面積が許容値より大きい場合にはＮＧと判定され（ステップ＃１２５）、ディスプレイにＮＧを表す表示がなされ、第１及び第２清掃手段３１、３２によってスクリーンＳの清掃が行われた後（ステップ＃１３０）、ステップ＃１０５に戻り、再びスクリーンＳの開口部の目詰まりが判定される。測定面積が許容値以下の場合にはＯＫと判定され（ステップ＃１３５）、ディスプレイ（不図示）にＯＫを表す表示がなされ、処理が終了する。
【００５７】
第１及び第２清掃手段３１、３２によるスクリーンＳの清掃
まず、スクリーン支持手段３が退避位置に向かって移動し、スクリーンＳの先端が第１清掃手段３１の位置に達すると、スクリーン支持手段３が停止する。次に、第１清掃手段３１が上方に移動して清掃シート３４がスクリーンＳの下面に接する位置で停止し、スキージ２１が下降してスクリーンＳの上面に接する。次に、スクリーン支持手段３が退避位置に向かって移動するとともに、第１清掃手段３１のノズル３３に接続されたコンプレッサが駆動される。スクリーン支持手段３の移動に伴ってスクリーンＳの下面が清掃シート３４で拭かれ、スクリーンＳの下面に付着したクリームはんだ及びフラックスがノズル３３によって清掃シート３４上に吸引され
【００５８】
スクリーンＳの先端が第２清掃手段３２の位置に達すると、スクリーン支持手段３が一旦停止する。そして、第２清掃手段３２のノズル３９が上昇し、スクリーンＳの下面から少し離れた位置で停止するとともに、ノズル４０及び清掃シート４１が下降して清掃シート４１がスクリーンＳの上面に接すると停止する。そして、再びスクリーン支持手段３が退避位置に向かって移動し始め、ノズル３９、４０に接続されたコンプレッサが駆動され、第１清掃手段３２によって清掃されたスクリーンＳの下面にノズル３９から噴射された空気が吹き付けられ、開口部内に付着しているクリームはんだ及びフラックスが吹き飛ばされ、吹き飛んだクリームはんだ及びフラックスはノズル４０に吸引され、清掃シート４１に付着し、浸み込む
【００５９】以上のように
第１及び第２清掃手段３１、３２によってスクリーンＳの上下面と開口部内が清掃された後、清掃シート３４、４１、ノズル３３、３９、４０はスクリーンＳから離れ、スクリーン支持手段３は印刷位置に戻る
【００６０】なお、上記実施形態では、目詰まり判別手段の判別結果に基づいてスクリーンＳの清掃を行うようにしているが、
周期的にスクリーンＳの清掃を行うようにしても良い
【００６１】また、上記実施形態では、清掃手段及びスキージを停止させた状態でスクリーンを移動させることによってスクリーンを清掃するようにしているが、これに代えて、スクリーンを停止させた状態で清掃手段及びスキージを移動させることによってスクリーンを清掃するようにしても良い。
【００６２】また、スクリーンＳを清掃する手段は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した清掃手段や既存の清掃手段を種々組み合わせることによって構成することができる。」
　
　キ　「【００６３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のスクリーン印刷機によれば、スクリーンを撮像するカメラを別個に設け、かつスクリーン支持手段をＹ軸方向に移動自在としたことにより、基板がスクリーンと接する位置に有るときの基板とスクリーンとのずれを算出することができるため、基板支持テーブルをＺ軸方向に移動させる機構にひずみが有っても、それによって生じるずれを解消するように基板とスクリーンとのずれを補正することができる。
【００６４】また、基板を撮像するカメラとスクリーンを撮像するカメラを別にしたことにより、一台のカメラで基板とスクリーンの双方を撮像する場合のように複雑な光学系を必要としないので、光学系のひずみによる誤差を少なくすることができる。
【００６５】また、各カメラは画像入射面が下を向いた状態でセットされているため、スクリーンから滴下した印刷ペーストがカメラの画像入射面に付着することがない。
【００６６】したがって、基板とスクリーンとの間のずれを高い精度で補正することができるものである。また、本発明のスクリーン印刷機は、スクリーン支持手段をＹ軸方向に移動させることができるため、内部のメンテナンスを行う際に作業性が良いという利点も有する。
【００６７】請求項２のスクリーン印刷機によれば、第１撮像手段が撮像したスクリーン印刷後の基板の画像から少なくとも印刷ペーストの位置ずれを判別する印刷ペースト良否判別手段を設け、制御手段が、印刷ペースト良否判別手段からの印刷ペーストの位置ずれ情報に基づいて基板とスクリーンとの間のずれを補正するようにしたことにより、基板とスクリーンとの間のずれをさらに高い精度で補正することができる。
【００６８】請求項３のスクリーン印刷機によれば、制御手段が、周期的に第１撮像手段にスクリーン印刷後の基板を撮像させ、得られた画像から印刷ペースト良否判別手段に印刷ペーストの良否を判別させ、
印刷ペースト良否判別手段からの印刷ペーストの位置ずれ情報に基づいて基板とスクリーンとの間のずれを補正するようにしたことにより、基板支持テーブル、スクリーン支持手段、第１及び第２撮像手段の移動機構に経時変化によるひずみが生じても、そのひずみによる誤差を少なくすることができるので、基板とスクリーンとの間のずれをより高い精度で補正することができ
【００６９】請求項４のスクリーン印刷機によれば、第２撮像手段が撮像したスクリーンの画像からスクリーンの開口部の目詰まりを判別する目詰まり判別手段を設けたことにより、高品質の印刷ペーストを有する基板を得ることができる。
【００７０】請求項５のスクリーン印刷機によれば、制御手段が、周期的に第２撮像手段にスクリーン印刷後のスクリーンを撮像させ、得られた画像から目詰まり判別手段にスクリーンの開口部の目詰まりを判別させるようにしたことにより、高品質の印刷ペーストを有する基板を安定して得ることができる。
【００７１】請求項６のスクリーン印刷機によれば、スクリーンの上方または下方に配され、垂直方向に移動自在で、スクリーンに気体を吹き付ける気体吹付手段と、スクリーンを挟んで気体吹付手段と対向するように配され、垂直方向に移動自在で、スクリーンに付着した印刷ペーストの残滓を吸引する吸引手段とを備えた清掃手段を設けたことにより、
高品質の印刷ペーストを有する基板を得ることができる
スクリーン支持手段がＹ軸方向に移動自在であるため、清掃手段は水平方向に移動するための機構を必要とせず、構造が簡素であり、低コストで製造することができる
【００７２】請求項７のスクリーン印刷機によれば、清掃手段が、スクリーンと吸引手段との間に配され、スクリーンに対して接離し、印刷ペーストの残滓を付着させる通気性を有する清掃シートを備えたことにより、さらに高品質の印刷ペーストを有する基板を得ることができる。
【００７３】請求項８のスクリーン印刷機によれば、スクリーンの下方に、垂直方向に移動自在で、スクリーンに付着した印刷ペーストの残滓を吸引する吸引手段と、スクリーンと吸引手段との間に配され、スクリーンに対して接離し、垂直方向に移動自在で、印刷ペーストの残滓を付着させる通気性を有する清掃シートとを備えた清掃手段を設けるとともに、スクリーン上を印刷ペースト塗布用のスキージが相対移動することによりスクリーンが清掃シートに押し付けられるようにしたことにより、清掃シートがスクリーンに密着した状態でスクリーンの清掃が行われるので、効果の高いスクリーンの清掃を行うことができ、高品質の印刷ペーストを有する基板を得ることができる。
【００７４】請求項９のスクリーン印刷機によれば、制御手段が、印刷ペースト良否判別手段または目詰まり判別手段の判別結果が否である場合に清掃手段にスクリーンを清掃させるようにしたことにより、高品質の印刷ペーストを有する基板を安定して得ることができるとともに、オペレータの負担を軽減することができる。
【００７５】請求項１０のスクリーン印刷機の制御方法によれば、第１撮像手段のカメラと第２撮像手段のカメラの位置ずれや基板支持テーブルをＺ軸方向に移動させる第２移動機構のひずみによる誤差を少なくすることができるので、基板とスクリーンとの間のずれを高い精度で補正することができる。
【００７６】請求項１１のスクリーン印刷機の制御方法によれば、第１及び第２撮像手段のカメラを移動させる機構のひずみによる基板及びスクリーンの位置認識の誤差を少なくすることができるので、基板とスクリーンとの間のずれをより高い精度で補正することができる。」
　
　ク　上記アないしキの記載から、引用例１には、次の発明が記載されているものと認められる。
　
「電子部品を基板にはんだ付けするためのクリームはんだ等のペーストを基板に印刷するためのスクリーン印刷機の制御方法に関するものであって、
　基板とスクリーンとの間のずれを高い精度で補正することができるとともに、欠けやかすれ等が少ない高品質の印刷ペーストを有する基板を製造することができることを目的として、
　水平方向に延びるＸ軸の方向に移動するための第１移動機構及び垂直方向に延びるＺ軸の方向に移動するための第２移動機構及び水平面内で回転するための回転機構を有する基板支持テーブルと、この基板支持テーブルの上方に配され、水平方向に延びるＹ軸の方向に移動するための移動機構を有するスクリーン支持手段と、前記基板支持テーブルと前記スクリーン支持手段との間に配され、Ｘ軸及びＹ軸の方向に移動自在で、前記基板支持テーブル上に載置された基板を撮像するカメラ１７を有する第１撮像手段と、前記スクリーン支持手段の上方に配され、Ｘ軸及びＹ軸の方向に移動自在で、前記スクリーン支持手段に支持されたスクリーンを撮像するカメラ１９を有する第２撮像手段と、スクリーンＳの上方に配された印刷ヘッド６と、基板Ｐを基板支持テーブル上に供給する供給コンベヤ７と、
　基板Ｐを基板支持テーブル１上から排出する排出コンベヤ８と、前記基板にスクリーン印刷を行う前に、前記第１撮像手段に前記基板を撮像させて前記基板の位置認識を行い、前記第２撮像手段に前記スクリーンを撮像させて前記スクリーンの位置認識を行い、得られた前記基板及び前記スクリーンの位置情報から前記基板と前記スクリーンとの間のずれを算出し、前記基板支持テーブルの第１移動機構及び回転機構、前記スクリーン支持手段の移動機構を駆動して前記ずれを補正する制御手段と、前記第１撮像手段が撮像したスクリーン印刷後の基板の画像から少なくとも印刷ペーストの位置ずれを判別する印刷ペースト良否判別手段と、前記スクリーンの上方または下方に配され、垂直方向に移動自在で、前記スクリーンに気体を吹き付ける気体吹付手段と、前記スクリーンを挟んで前記気体吹付手段と対向するように配され、垂直方向に移動自在で、前記スクリーンに付着した印刷ペーストの残滓を吸引する吸引手段とを備えた清掃手段とを備え、
　前記制御手段が、前記印刷ペースト良否判別手段からの印刷ペーストの位置ずれ情報に基づいて前記基板と前記スクリーンとの間のずれを補正し、前記制御手段が、周期的に前記第１撮像手段にスクリーン印刷後の基板を撮像させ、得られた画像から前記印刷ペースト良否判別手段に前記基板の印刷ペーストの良否を判別させるものであり、前記清掃手段は、スクリーンＳの退避位置の手前の位置には、スクリーンＳの下方に配された第１清掃手段３１と、この第１清掃手段３１に対してスクリーンＳの退避方向側に並ぶように配された第２清掃手段３２とが設けられ、前記第１清掃手段３１は、垂直方向に移動自在で、スクリーンＳに付着したクリームはんだの残滓を吸引するノズル３３と、スクリーンＳと吸引ノズル３３との間に配され、スクリーンＳに対して接離し、クリームはんだの残滓を付着させる清掃シート３４とを備え、前記第２清掃手段３２は、スクリーンＳの下方に配され、垂直方向に移動自在で、スクリーンＳに空気を吹き付けるノズル３９と、このノズル３９とスクリーンＳを挟んで対向するように配され、垂直方向に移動自在で、スクリーンＳに付着したクリームはんだの残滓を吸引するノズル４０と、スクリーンＳとノズル４０との間に配され、スクリーンＳに対して接離し、クリームはんだの残滓を付着させる清掃シート４１とを備えた、
　スクリーン印刷機の制御方法であって、
　基板Ｐを供給コンベヤ７上に載置すると、フォトセンサがこれを検知し、基板ストッパが下降し、基板Ｐを搬送中に移動しないように押さえ、次に、基板支持テーブル２が左方向に移動し、供給コンベヤ７と連結され、供給コンベヤ７が駆動され、これに基板支持テーブル２の搬送機構が連動して基板Ｐが基板支持テーブル２に向かって搬送され、基板Ｐが基板支持テーブル２上の所定位置に達すると、供給コンベヤ７が停止し、そして、公知の位置決め機構によって基板Ｐが位置決めされた後、基板支持テーブル２が右方向に移動して原点位置に復帰し、
　前記第１撮像手段に前記基板を撮像させて前記基板の位置認識を行い、前記第２撮像手段に前記スクリーンを撮像させて前記スクリーンの位置認識を行い、得られた前記基板及び前記スクリーンの位置情報から前記基板と前記スクリーンとの間のずれを算出し、前記基板支持テーブルの第１移動機構及び回転機構、前記スクリーン支持手段の移動機構を駆動して前記ずれを補正し、
　次に、第１及び第２撮像手段４、５のカメラ１７、１９が退避し、基板支持テーブル２が上昇し、基板Ｐが印刷位置に達すると停止し、そして、印刷ヘッド６が下降し、スキージ２１がスクリーンＳの上面に沿って摺動し、基板Ｐ上にクリームはんだが印刷され、印刷が終了すると、基板支持テーブル２が下降し、原点位置に達すると一旦停止し、右方向に移動して排出コンベヤ８と連結され、基板Ｐを位置決めしている位置決め機構が解除され、排出コンベヤ８が駆動され、これに基板支持テーブル２の搬送機構が連動して基板Ｐが排出コンベヤ８に向かって搬送され、基板Ｐが排出コンベヤ８上の所定位置に達すると、排出コンベヤ８が停止し、そして、基板支持テーブル２は原点位置に戻り、
　その後、排出コンベヤ８が駆動され、基板Ｐはチップマウンタに搬送され、一方、基板支持テーブル２は供給コンベヤ７と連結され、供給コンベヤ７から次の基板Ｐを受け取り、そして、上記の工程が繰り返されて基板Ｐにスクリーン印刷を行うものであって、
　基板Ｐのクリームはんだの良否の判別は、例えば印刷した基板の枚数や経過時間等によって決められた周期により周期的に行うものであり、
　清掃手段によるスクリーンの清掃は、周期的に行うようにしても良く、
　その清掃は、まず、スクリーン支持手段３が退避位置に向かって移動し、スクリーンＳの先端が第１清掃手段３１の位置に達すると、スクリーン支持手段３が停止し、次に、第１清掃手段３１が上方に移動して清掃シート３４がスクリーンＳの下面に接する位置で停止し、スキージ２１が下降してスクリーンＳの上面に接し、次に、スクリーン支持手段３が退避位置に向かって移動するとともに、第１清掃手段３１のノズル３３に接続されたコンプレッサが駆動され、スクリーン支持手段３の移動に伴ってスクリーンＳの下面が清掃シート３４で拭かれ、スクリーンＳの下面に付着したクリームはんだ及びフラックスがノズル３３によって清掃シート３４上に吸引され、スクリーンＳの先端が第２清掃手段３２の位置に達すると、スクリーン支持手段３が一旦停止し、そして、第２清掃手段３２のノズル３９が上昇し、スクリーンＳの下面から少し離れた位置で停止するとともに、ノズル４０及び清掃シート４１が下降して清掃シート４１がスクリーンＳの上面に接すると停止し、そして、再びスクリーン支持手段３が退避位置に向かって移動し始め、ノズル３９、４０に接続されたコンプレッサが駆動され、第１清掃手段３２によって清掃されたスクリーンＳの下面にノズル３９から噴射された空気が吹き付けられ、開口部内に付着しているクリームはんだ及びフラックスが吹き飛ばされ、吹き飛んだクリームはんだ及びフラックスはノズル４０に吸引され、清掃シート４１に付着し、浸み込み、第１及び第２清掃手段３１、３２によってスクリーンＳの上下面と開口部内が清掃された後、清掃シート３４、４１、ノズル３３、３９、４０はスクリーンＳから離れ、スクリーン支持手段３は印刷位置に戻るものであって、
　印刷ペースト良否判別手段からの印刷ペーストの位置ずれ情報に基づいて基板とスクリーンとの間のずれを補正するようにしたことにより、基板支持テーブル、スクリーン支持手段、第１及び第２撮像手段の移動機構に経時変化によるひずみが生じても、そのひずみによる誤差を少なくすることができるので、基板とスクリーンとの間のずれをより高い精度で補正することができ、高品質の印刷ペーストを有する基板を得ることができ、スクリーン支持手段がＹ軸方向に移動自在であるため、清掃手段は水平方向に移動するための機構を必要とせず、構造が簡素であり、低コストで製造することができるようになした、
　スクリーン印刷機の制御方法。」（以下「引用発明１」という。）
　
（２）原査定に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開平９−３００５８０号公報（以下「引用例２」という。）には、次の事項が図とともに記載されている。
　
　ア　「【特許請求の範囲】
【請求項１】  
自動クリーニング機能を有するスクリーン印刷機において、クリーニング動作中に、この動作と並行して印刷結果を認識カメラにより検査する工程を設け、この検査結果をオフセット登録することにより、以後の印刷補正動作に反映させる
スクリーン印刷方法
　
　イ　「【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来のスクリーン印刷機の工程においては、図４の場合のように、スクリーンパターンと基板パターンの位置ズレを測定するために、機械を一旦停止する必要があり、また、作業者が印刷結果を検査するための工数も発生し、生産性が低下するという問題があった。
【０００９】また、図５の場合においても、
クリーニング動作に連続して、印刷結果の検査工程が必要であり、この印刷結果の検査には時間を要し、印刷機の生産性が低下する
　
　ウ　上記ア及びイの記載から、引用例２には、次の発明が記載されているものと認められる。
　
「クリーニング動作に連続して、印刷結果の検査工程が必要であり、この印刷結果の検査には時間を要し、印刷機の生産性が低下するという課題を解決するために、
　自動クリーニング機能を有するスクリーン印刷機において、クリーニング動作中に、この動作と並行して印刷結果を認識カメラにより検査する工程を設け、この検査結果をオフセット登録することにより、以後の印刷補正動作に反映させるスクリーン印刷方法。」（以下「引用発明２」という。）
　
４　本願補正発明について
（１）対比
　本願補正発明と引用発明１とを対比する。
　ア　引用発明１の「基板」、「『印刷』する動作」、「方法」、「『クリームはんだ』又は『ペースト』」、「印刷」、「搬送」、「スクリーン」、「開口部」、「クリームはんだの残滓」、「上方」及び「良否を判別する」は、それぞれ、本願補正発明の「基板」、「印刷動作」、「方法」、「材料」、「印刷」、「搬送」、「ステンシル」、「アパーチャ」、「残りの材料」、「上方」及び「検査する」に相当する。
　
　イ　引用発明１の「制御方法」は、「電子部品を基板にはんだ付けするためのクリームはんだ等のペーストを基板に印刷するためのスクリーン印刷機の制御方法」であるから、本願補正発明の「方法」と、「基板の表面上で印刷動作を実行するための方法」である点で一致する。
　
　ウ　引用発明１の「制御方法」は、「基板Ｐを供給コンベヤ７上に載置すると、フォトセンサがこれを検知し、基板ストッパが下降し、基板Ｐを搬送中に移動しないように押さえ、次に、基板支持テーブル２が左方向に移動し、供給コンベヤ７と連結され、供給コンベヤ７が駆動され、これに基板支持テーブル２の搬送機構が連動して基板Ｐが基板支持テーブル２に向かって搬送され、基板Ｐが基板支持テーブル２上の所定位置に達すると、供給コンベヤ７が停止し、そして、公知の位置決め機構によって基板Ｐが位置決めされ」るものであり、この基板が搬送される位置は、基板Ｐ上にクリームはんだが印刷されるための位置であるから、引用発明１の「制御方法」は、「前記基板上に材料を印刷するための位置に前記基板を搬送するステップ」を含むといえ、本願補正発明の「方法」と、「前記基板上に材料を印刷するための位置に前記基板を搬送するステップ」を含む点で一致する。
　
　エ　引用発明１の「制御方法」は、「前記第１撮像手段に前記基板を撮像させて前記基板の位置認識を行い、前記第２撮像手段に前記スクリーンを撮像させて前記スクリーンの位置認識を行い、得られた前記基板及び前記スクリーンの位置情報から前記基板と前記スクリーンとの間のずれを算出し、前記基板支持テーブルの第１移動機構及び回転機構、前記スクリーン支持手段の移動機構を駆動して前記ずれを補正」するものであり、このずれの補正は、基板Ｐとスクリーンとを整列させるものであるといえるから、引用発明１の「制御方法」と本願補正発明の「方法」とは、「前記基板とステンシルとを整列させるステップ」を含む点で一致する。
　
　オ　引用発明１における「ステンシル（スクリーンＳ）」の「アパーチャ（開口部）」は、「スキージ２１がスクリーンＳの上面に沿って摺動し、基板Ｐ上にクリームはんだが印刷され」るように開口しているものであるから、引用発明１の「アパーチャ」は、「材料（クリームはんだ）が基板上に堆積するように前記材料を受取る」ものであるといえ、引用発明１における「ステンシル」と本願補正発明の「ステンシル」とは、「前記材料が前記基板上に堆積するように前記材料を受取る少なくとも１つのアパーチャを有」する点で一致する。
　
　カ　引用発明１の「制御方法」は、「スキージ２１がスクリーンＳの上面に沿って摺動し、基板Ｐ上にクリームはんだが印刷され」るものであるから、「ステンシル（スクリーンＳ）」を通じて基板上に「材料（クリームはんだ）」を堆積させて印刷するものであるといえ、本願補正発明の「方法」と、「前記ステンシルを通じて前記基板上に前記材料を堆積させて印刷するステップ」を含む点で一致する。
　
　キ　引用発明１において、清掃手段の清掃シート３４はスクリーンＳの下面を拭くものであるから、引用発明１の「清掃手段」は、本願補正発明の「ワイパ」に相当する。
　引用発明１において、清掃手段によるスクリーンＳの清掃は、スクリーンＳに付着したクリームはんだの残滓を吸引、付着、又は、吹き付けることにより清掃するものであるから、「ステンシルの表面から残りの材料を除去する」ものであるといる。
　そして、「スクリーン支持手段がＹ軸方向に移動自在であるため、清掃手段は水平方向に移動するための機構を必要とせず、構造が簡素」なものであり、その清掃が、スクリーンＳの退避位置の手前の位置に配された第１清掃手段３１及び第２清掃手段３２からなる清掃手段によってなされるものであり、スクリーン支持手段３の待避位置に向かっての移動、スクリーン支持手段３の停止、第１清掃手段のスクリーンＳへの当接、スクリーン清掃手段３１の待避位置に向かっての移動、スクリーン支持手段３の停止、第２清掃手段３２のスクリーンＳへの当接、スクリーン清掃手段３１が待避位置に向かっての移動が、順次行われるものであるから、引用発明１の「ワイパ（清掃手段）」は、「ステンシルの表面から残りの材料を除去するように位置決めされて固定された」ものであるといえる。
　また、「第１及び第２清掃手段３１、３２によってスクリーンＳの上下面と開口部内が清掃された後、清掃シート３４、４１、ノズル３３、３９、４０はスクリーンＳから離れ、スクリーン支持手段３は印刷位置に戻」り、この清掃におけるスクリーンＳの待避位置への移動は、スクリーン支持手段３が印刷位置にある位置から行われるものであり、スクリーン支持手段は水平方向に延びるＹ軸の方向に移動するための移動機構により行われるから、この清掃は、「前記基板の前記表面上の位置から前記ステンシルを並進させる」ことにより行われるものであるといえる。
　よって、引用発明１の「制御方法」は、「前記ステンシルを並進されると前記ステンシルの表面から残りの材料を除去するように位置決めされて固定されたワイパ上で、前記基板の前記表面上の位置から前記ステンシルを並進させるステップ」を含むといえ、本願補正発明の「方法」と、「前記ステンシルを並進されると前記ステンシルの表面から残りの材料を除去するように位置決めされて固定されたワイパ上で、前記基板の前記表面上の位置から前記ステンシルを並進させるステップ」を含む点で一致する。
　
　ク　（ア）引用発明１では、「前記第１撮像手段にスクリーン印刷後の基板を撮像させ、得られた画像から前記印刷ペースト良否判別手段に前記基板の印刷ペーストの良否を判別させるもの」であるから、引用発明１の「第１撮像手段」と本願補正発明の「ビデオプローブ検査システム」とは、スクリーン印刷後の基板を検査するための撮像手段である点で一致する。
　そして、引用発明１では、スクリーン支持手段が基板支持テーブルの上方に配され、「印刷ペースト良否判別手段」は、「『前記基板支持テーブルと前記スクリーン支持手段との間に配され、Ｘ軸及びＹ軸の方向に移動自在で、前記基板支持テーブル上に載置された基板を撮像するカメラ１７を有する第１撮像手段』が撮像したスクリーン印刷後の基板の画像から少なくとも印刷ペーストの位置ずれを判別する」ものであり、「
基板Ｐ上にクリームはんだが印刷され
基板支持テーブル２が下降し、原点位置に達すると一旦停止
　また、引用発明１では、「前記第１撮像手段に前記基板を撮像させて前記基板の位置認識を行い、前記第２撮像手段に前記スクリーンを撮像させて前記スクリーンの位置認識を行い、得られた前記基板及び前記スクリーンの位置情報から
前記基板と前記スクリーンとの間のずれ
前記ずれを補正し
第１及び第２撮像手段４、５のカメラ１７、１９が退避し、基板支持テーブル２が上昇
基板Ｐ上にクリームはんだが印刷され
　よって、引用発明１の「制御方法」は、基板とスクリーンとの間のずれを補正し、基板支持テーブルが上昇し、印刷を行い、印刷が終了すると、基板支持テーブルが下降して原点位置に停止させ、該停止した基板支持テーブルに支持された該「基板の表面の上方に撮像手段を配置させて、前記基板を検査する」ものであるといえる。
　（イ）本願補正発明における「印刷位置」に関し、同用語が、本件補正後の請求項２に「前記ワイパ上で前記ステンシルを並進させつつ、
第２の基板を印刷位置に搬送する
　本件補正後の請求項２に関して本願明細書には、「【０００９】この発明の実現例は、以下の特徴のうちの１つ以上を含み得る。当該方法はさらに、ビデオプローブ検査システムを用いて基板を検査するステップを含み得る。検査するステップおよび並進させるステップは、実質的に同時に行なうことができる。
当該方法はまた、固定されたワイパに亘ってステンシルを並進させつつ第２の基板を印刷位置に搬送するステップを含み得る
ステンシルがクリーニングされ続けている間、視覚システムを用いて適切に整列させることができる
　また、本願の明細書に「【００１６】プリンタ１００に送り込まれた回路基板１１６は、典型的には、パッドまたは他の、通常導電性の表面区域のパターンを有しており、その上に、はんだペーストが堆積する。プリンタのコントローラによって方向付けられると、トラクタフィード機構１１４は、
基板支持機構の上かつステンシル１０６の下の位置に基板を送り込む
回路基板１１６とステンシル１０６とをコントローラによって整列させる
ステンシルが、
基板１１６の方に下げられるか、または、回路基板が、
ステンシルの方に上げられ
はんだペーストをステンシルアパーチャに押込んで基板１１６上に押出す
基板を支持する支持機構がステンシルの位置から下方向に遠ざかる場合、または、ステンシルが
基板から上方向に遠ざかる場合、
次いで、視覚検査システムは、はんだペーストが回路基板に正確に置かれたかどうか判断するためにはんだペースト堆積物を検査するよう回路基板１１６上で適所へと移動する
　これらを考慮すると、本願補正発明における「印刷位置にある前記基板」としては、基板とステンシルとが整列され、基板がステンシルの方に上げられ、基板上に材料を堆積させ印刷した後、該基板を支持する支持機構がステンシルの位置から下方向に遠ざかった位置にある基板を含むと解釈される。
　（ウ）上記（ア）及び（イ）からすると、引用発明１において「基板とスクリーンとの間のずれを補正し、基板支持テーブルが上昇し、印刷を行い、印刷が終了すると、基板支持テーブルが下降して原点位置に停止させ、該停止した基板支持テーブルに支持された該基板」は、本願補正発明の「印刷位置にある前記基板」に相当する。
　よって、引用発明１の「制御方法」は、「印刷位置にある前記基板の表面の上方に撮像手段を配置させて、前記基板を検査するステップ」を含むといえ、本願補正発明の「方法」と、「印刷位置にある前記基板の表面の上方に撮像手段を配置させて、前記基板を検査するステップ」を含む点で一致する。
　
　ケ　上記アないしクからすると、本願補正発明と引用発明１とは、
「基板の表面上で印刷動作を実行するための方法であって、
　前記基板上に材料を印刷するための位置に前記基板を搬送するステップと、
　前記基板とステンシルとを整列させるステップとを含み、前記ステンシルは、前記材料が前記基板上に堆積するように前記材料を受取る少なくとも１つのアパーチャを有し、前記方法はさらに、
　前記ステンシルを通じて前記基板上に前記材料を堆積させて印刷するステップと、
　前記ステンシルが並進されると前記ステンシルの表面から残りの材料を除去するように位置決めされて固定されたワイパ上で、前記基板の前記表面上の位置から前記ステンシルを並進させるステップと、
　印刷位置にある前記基板の表面の上方に撮像手段を配置させて、前記基板を検査するステップとを含む、方法。」
である点で一致し、次の点で相違する。
　
相違点１：
　本願補正発明では、「前記基板を検査するステップ」が、「前記ステンシルを並進させる前記ステップ」と並行して行われるものであるのに対して、
　引用発明１では、そのように並行して行われるものであるのか不明な点。
　
相違点２：
　「前記基板を検査するステップ」において前記基板を検査するために基板を撮像する撮像手段が、本願補正発明では、「ビデオプローブ検査システム」であるのに対して、
　引用発明１では、「ビデオプローブ検査システム」であるか不明な点。
　
（２）判断
　ア　上記相違点１について検討する。
　（ア）引用例２には、上記３（２）で述べたとおり、引用発明２（上記３（２）ウ　参照。）が記載されている。
　
　（イ）引用発明１においては、基板の印刷ペーストの良否の判別は、印刷後、基板支持テーブルが下降して原点位置に停止させ、該停止した位置にある基板の上方に第１撮像手段を配置させて、スクリーン印刷後の基板を撮像することにより行われる（上記（１）ク（ア）　参照。）ものであり、スクリーンの清掃は、水平方向に延びるＹ軸の方向に移動するための移動機構により、スクリーン支持手段が印刷位置にある位置から待避位置に向かって移動させることによって、スクリーンの退避位置の手前の位置に配された第１清掃手段３１及び第２清掃手段３２によってなされる（上記（１）キ　参照。）ものであるから、基板の印刷ペーストの良否の判別における動作とスクリーンの清掃における動作とは、干渉するような位置関係ではないことは、当業者にとって自明である。
　
　（ウ）引用発明１においては、基板の印刷ペーストの良否の判別は、例えば印刷した基板の枚数や経過時間等によって決められた周期により周期的に行うものであり、清掃手段によるスクリーンの清掃も、周期的に行うようにしても良いものであり、基板の印刷ペーストの良否判別とスクリーンの清掃はいずれも印刷動作後のタイミングに行うものであり、各動作の周期の設定によっては、基板の印刷ペーストの良否判別動作とスクリーンの清掃動作とが同じ一周期の印刷動作後に必要になり得ることは、当業者であれば当然に認識できる事態である。
　
　（エ）上記（ア）ないし（ウ）からみて、引用発明１において、基板の印刷ペーストの良否の判定とスクリーンの清掃動作とが同じ一周期の印刷動作後に必要となる場合を考慮し、印刷機の生産性が低下しないように、清掃動作中に、この動作と並行して印刷ペーストの要否判別するようになし、上記相違点１に係る本願補正発明の構成となすことは、当業者が引用発明２に基づいて容易になし得たことである。
　
　イ　上記相違点２について検討する。
　（ア）スクリーン印刷機において、基板を撮像する撮像手段としてビデオプローブを用いることは、本願優先日前に周知である（以下「周知技術」という。例．本願明細書に例示された米国特許第５０６００６３号明細書、米国特許第４９２４３０４号明細書参照。）。
　
　（イ）引用発明１において、基板の印刷ペーストの良否の判別するための撮像手段としてビデオプローブを採用し、ビデオプローブ検査システムとして上記相違点２に係る本願補正発明の構成となすことは、当業者が周知技術に基づいて容易になし得たことである。
　
　ウ　上記ア及びイからみて、引用例１において、上記相違点１及び２に係る本願補正発明の構成となすことは、当業者が引用発明２及び周知技術に基づいて容易になし得たことである。
　
　エ　本願補正発明の奏する効果は、引用発明１の奏する効果、引用発明２の奏する効果、周知技術の奏する効果から、当業者が予測できた程度のものである。
　
　オ　まとめ
　したがって、本願補正発明は、当業者が引用例１に記載された発明、引用例２に記載された発明及び周知技術に記載された発明に基づき容易に発明をすることができたものである。
　
５　補正却下の決定のむすび
　以上のとおり、本願補正発明は、当業者が引用例１に記載された発明、引用例２に記載された発明及び周知技術に基づいて容易に発明をすることができたものであるから、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　したがって、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本願発明について
１　本願発明
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし１０に係る発明は、平成２２年１１月２日付け手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし１０に記載された事項によって特定されるものであるところ、請求項７に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２２年１１月２日付け手続補正により補正された特許請求の範囲、明細書及び図面の記載からみて、上記「第２〔理由〕　１（１）」に本件補正前の請求項７として記載したとおりのものである。
　
２　引用例の記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である引用例１及び２の記載事項は、前記「第２〔理由〕　３」に記載したとおりである。
　
３　対比・判断　
　上記「第２〔理由〕　２」で述べたとおり、本願補正発明は、それぞれ、本願発明を特定するために必要な事項について限定を付加したものに相当する。
　そうすると、本願発明の構成要件をすべて含み、さらに限定を付加したものにそれぞれ相当する本願補正発明が、前記「第２〔理由〕　４」に記載したとおり、当業者が引用例１に記載された発明、引用例２に記載された発明及び周知技術に基づいて容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様の理由により、当業者が引用例１に記載された発明、引用例２に記載された発明及び周知技術に基づいて容易に発明をすることができたものである。
　
４　むすび
　したがって、本願発明は、当業者が引用例１に記載された発明、引用例２に記載された発明及び周知技術に基づいて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。