【手続補正書】
【提出日】平成18年7月18日(2006.7.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】プラズマドーピング装置であって、
プラズマドーピングチャンバと、
被処理体を支持するための、前記プラズマドーピングチャンバ内に配置されたプラテンと、
前記プラズマドーピングチャンバ内にあって、前記プラテンから離隔された陽極と、
前記プラズマドーピングチャンバに結合された処理ガスソースであって、処理ガスのイオンを含むプラズマが前記陽極と前記プラテンとの間のプラズマ放電領域内で生成される、ところの処理ガスソースと、
プラズマから被処理体へイオンを加速するために、前記プラテンと前記陽極との間にパルスを印加するためのパルスソースと、
プラズマのパラメータの空間分布を感知するための感知デバイスから成るプラズマモニターと、
から成る装置。
【請求項２】請求項１に記載のプラズマドーピング装置であって、前記感知デバイスは被処理体から離隔されて前記プラズマドーピングチャンバ内に配置されたセンサーのアレイから成る、ところの装置。
【請求項３】請求項１に記載のプラズマドーピング装置であって、前記感知デバイスは前記陽極内またはその付近に設置されたひとつまたはそれ以上のセンサーから成る、ところの装置。
【請求項４】請求項１に記載のプラズマドーピング装置であって、前記感知デバイスは被処理体から離隔されて前記プラズマドーピングチャンバ内に配置されたイメージセンサーから成る、ところの装置。
【請求項５】請求項１に記載のプラズマドーピング装置であって、前記感知デバイスは、被処理体から離隔されて前記プラズマドーピングチャンバ内に配置された可動センサーと、プラズマに関してセンサーを移動させるためのアクチュエータとから成る、ところの装置。
【請求項６】請求項１に記載のプラズマドーピング装置であって、前記感知デバイスはプラズマ放電領域内のプラズマ密度の空間分布を感知するように構成されている、ところの装置。
【請求項７】請求項１に記載のプラズマドーピング装置であって、前記感知デバイスは被処理体内へ注入されるイオンのドーズ量分布を示すプラズマパラメータを感知するように構成されている、ところの装置。
【請求項８】請求項１に記載のプラズマドーピング装置であって、前記感知デバイスは前記陽極内に設置されたセンサーのアレイから成り、前記プラズマモニターはさらにセンサーに接続された処理回路を含み、前記処理回路は前記センサーのすべてまたは選択された集合を同時にサンプリングするための回路を含む、ところの装置。
【請求項９】請求項８に記載のプラズマドーピング装置であって、前記センサーのアレイは、前記陽極内に設置されかつ前記陽極と電気的に絶縁された電気的センサーから成る、ところの装置。
【請求項１０】請求項１に記載のプラズマドーピング装置であって、前記感知デバイスは、プラズマの空間分布を感知するための、前記陽極上またはその付近に設置されたひとつまたはそれ以上の光学センサーから成り、プラズマの空間分布は被処理体内に注入されるイオンのドーズ量分布を示す、ところの装置。
【請求項１１】請求項１０に記載のプラズマドーピング装置であって、前記ひとつまたはそれ以上の光学センサーの各々は、前記プラズマドーピングチャンバ内に設置された光学プローブ、遠隔配置された光センサー及び感知した放射光を遠隔配置された光センサーまで運ぶための光ファイバーから成る、ところの装置。
【請求項１２】請求項１０に記載のプラズマドーピング装置であって、前記ひとつまたはそれ以上の光学センサーは、約２０ナノメートルまたはそれ以上の幅を有する選択された波長範囲にわたってプラズマの空間分布を感知するように構成されている、ところの装置。
【請求項１３】請求項１２に記載のプラズマドーピング装置であって、選択された波長範囲は約５０から６００ナノメートルの幅を有する、ところの装置。
【請求項１４】請求項１２に記載のプラズマドーピング装置であって、選択された波長範囲は処理ガスからの放射光と一致する、ところの装置。
【請求項１５】請求項１２に記載のプラズマドーピング装置であって、処理ガスはBF3であり、選択された波長範囲は約３５０から４００ナノメートルに集中する、ところの装置。
【請求項１６】プラズマドーピング方法であって、
プラズマドーピングチャンバ内においてプラテン上で被処理体を支持する工程と、
プラズマを生成し、該プラズマから被処理体へイオンを加速する工程と、
プラズマパラメータの空間分布を感知する工程と、
から成る方法。
【請求項１７】請求項１６に記載の方法であって、プラズマパラメータの空間分布を感知する工程は、光学センサーのアレイによってプラズマパラメータの空間分布を光学的に感知する工程から成る、ところの方法。
【請求項１８】請求項１６に記載の方法であって、プラズマパラメータの空間分布を感知する工程は、プラズマドーピングチャンバ内に配置されたイメージセンサーによりプラズマパラメータの空間分布を感知する工程から成る、ところの方法。
【請求項１９】請求項１６に記載の方法であって、プラズマパラメータの空間分布を感知する工程は、前記プラズマドーピングチャンバ内に配置されたセンサーをプラズマに関して移動させる工程から成る、ところの方法。
【請求項２０】請求項１６に記載の方法であって、プラズマパラメータの空間分布を感知する工程は、被処理体内に注入されるイオンのドーズ量分布を示すプラズマパラメータの空間分布を感知する工程から成る、ところの方法。
【請求項２１】請求項１６に記載の方法であって、プラズマパラメータの空間分布を感知する工程は、センサーのアレイによりプラズマパラメータの空間分布を感知する工程と、センサーのすべてまたは選択された集合を同時にサンプリングする工程から成る、ところの方法。
【請求項２２】請求項１６に記載の方法であって、プラズマパラメータの空間分布を感知する工程は、プラズマの空間分布を光学的に感知する工程からなり、プラズマの空間分布は被処理体中に注入されたイオンのドーズ量分布を示す、ところの方法。
【請求項２３】請求項２２に記載の方法であって、プラズマの空間分布を光学的に感知する工程は、約２０ナノメートルまたはそれ以上の幅を有する選択された波長範囲にわたってプラズマからの放射光を感知する工程から成る、ところの方法。
【請求項２４】請求項２３に記載の方法であって、選択された波長範囲にわたってプラズマからの放射光を感知する工程は約５０から６００ナノメートルの幅を有する選択された波長範囲にわたって放射光を感知する工程から成る、ところの方法。
【請求項２５】請求項２３に記載の方法であって、さらに、選択された波長範囲を、プラズマを生成するのに使用される処理ガスからの放射光と一致させる工程を含む方法。
【請求項２６】請求項２３に記載の方法であって、プラズマはBF3から生成され、選択された波長範囲は約３５０から４００ナノメートルに集中する、ところの方法。
【請求項２７】請求項１６に記載の方法であって、プラズマパラメータの空間分布を感知する工程は、プラズマの空間分布を電気的に感知する工程から成り、プラズマの空間分布は被処理体中に注入されたイオンのドーズ量分布を示す、ところの方法。
【請求項２８】請求項２７に記載の方法であって、プラズマの空間分布を電気的に感知する工程は電気的センサーのアレイによりプラズマを電気的に感知する工程から成る、ところの方法。