【手続補正書】
【提出日】平成18年2月9日(2006.2.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
赤外ビームを照射する赤外線光源と、
赤外ビームの光路内に配置される気体試料セルと、
複数の平行線を含む回折格子を支持しかつ気体試料セルを通過した後の赤外ビームの光路内に配置される走査ミラーと、
回折格子線に平行な軸の周囲で走査ミラーを揺動させるミラー駆動装置と、
回折格子により回折された赤外ビームの目標となる少なくとも１つの帯域光を集束する第１の集束ミラーと、
目標となる少なくとも１つの集束された帯域光を受光する第１の検出器と、
第１の検出器に作動接続されかつ第１の検出器から信号を受信する第１の検出器読出回路と、
ミラー駆動装置及び第１の検出器読出回路に作動接続されかつ第１の検出器読出回路の出力に走査ミラーの揺動を同期させる同期装置とを備えることを特徴とする分光計。
【請求項２】
ミラー駆動装置は、静電駆動装置又は磁気駆動装置である請求項１に記載の分光計。
【請求項３】
同期装置は、第１の検出器読出回路の出力により、予め選択された目標となるスペクトル領域を位置決めするようにプログラム制御される位相ロックループ同期装置である請求項１に記載の分光計。
【請求項４】
同期装置は、ミラー駆動装置から受信する信号に応答する請求項１に記載の分光計。
【請求項５】
走査ミラーに近接して取り付けられかつ走査ミラーの位置を決定し同期装置に入力信号を付与するセンサを備える請求項１に記載の分光計。
【請求項６】
赤外ビームが気体試料セルを通過した後に、走査ミラーの方向に赤外ビームを反射する回転ミラーを備える請求項１に記載の分光計。
【請求項７】
赤外ビームが走査ミラーに２度目に到達する前に、気体試料セルを通る赤外ビームを回転ミラーにより反射する請求項６に記載の分光計。
【請求項８】
赤外線光源から照射された赤外ビームを受光し視準する照準器を含む請求項１に記載の分光計。
【請求項９】
走査ミラーからの回折される赤外ビームの光路内に配置されかつ各光路を移動する目標となる不連続帯域光に回折される赤外ビームを分離するダイクロイックスプリッタと、
目標となる不連続帯域光の各光路内に配置される第２の集束ミラーと、
目標となる集束された不連続帯域光を受光する第２の検出器と、
第２の検出器に作動接続されかつ第２の検出器から信号を受信する第２の検出器読出回路とを備え、
同期装置は、第１の検出器読出回路及び第２の検出器読出回路の少なくとも一方の出力に走査ミラーの揺動を同期させる請求項１に記載の分光計。
【請求項１０】
ミラー駆動装置は、静電駆動装置又は磁気駆動装置である請求項９に記載の分光計。
【請求項１１】
同期装置は、第１の検出器読出回路又は第２の検出器読出回路の出力により、目標となる予め選択されたスペクトル領域を位置決めするようにプログラム制御される位相ロックループ同期装置である請求項９に記載の分光計。
【請求項１２】
同期装置は、ミラー駆動装置から受信する信号に応答する請求項９に記載の分光計。
【請求項１３】
走査ミラーに近接して取り付けられかつ走査ミラーの位置を決定し同期装置に入力信号を付与するセンサを備える請求項９に記載の分光計。
【請求項１４】
赤外ビームが気体試料セルを通過した後に、走査ミラーの方向に赤外ビームを反射する回転ミラーを備える請求項９に記載の分光計。
【請求項１５】
赤外ビームが走査ミラーに２度目に到達する前に、気体試料セルを通る赤外ビームを回転ミラーにより反射する請求項１４に記載の分光計。
【請求項１６】
赤外線光源から照射された赤外ビームを受光し視準する照準器を含む請求項９に記載の分光計。
【請求項１７】
走査ミラーは、平面状走査格子ミラーである請求項１に記載の分光計。
【請求項１８】
ミラー駆動装置は、静電駆動装置又は磁気駆動装置である請求項１７に記載の分光計。
【請求項１９】
同期装置は、目標となる予め選択されたスペクトル領域を位置決めするようにプログラム制御される位相ロックループ同期装置である請求項１７に記載の分光計。
【請求項２０】
同期装置は、ミラー駆動装置から受信する信号に応答する請求項１７に記載の分光計。
【請求項２１】
平面状走査格子ミラーに近接して取り付けられかつ平面状走査格子ミラーの位置を決定し同期装置に入力信号を付与するセンサを備える請求項１７に記載の分光計。
【請求項２２】
赤外ビームが気体試料セルを通過した後に、平面状走査格子ミラーの方向に赤外ビームを反射する回転ミラーを備える請求項１７に記載の分光計。
【請求項２３】
赤外ビームが平面状走査格子ミラーに２度目に到達する前に、気体試料セルを通る赤外ビームを回転ミラーにより反射する請求項２２に記載の分光計。
【請求項２４】
走査ミラーは、回折格子により回折される赤外ビームの目標となる少なくとも１つの帯域光を集束する走査−集束凹状ミラーである請求項１に記載の分光計。
【請求項２５】
ミラー駆動装置は、静電駆動装置又は磁気駆動装置である請求項２４に記載の分光計。
【請求項２６】
同期装置は、目標となる予め選択されたスペクトル領域を位置決めするようにプログラム制御される位相ロックループ同期装置である請求項２４に記載の分光計。
【請求項２７】
同期装置は、ミラー駆動装置から受信する信号に応答する請求項２４に記載の分光計。
【請求項２８】
走査ミラーに近接して取り付けられかつ走査−集束凹状ミラーの位置を決定し同期装置に入力信号を付与するセンサを備える請求項２４に記載の分光計。
【請求項２９】
赤外ビームが気体試料セルを通過した後に、走査−集束凹状ミラーの方向に赤外ビームを反射する回転ミラーを備える請求項２４に記載の分光計。
【請求項３０】
赤外ビームが走査−集束凹状ミラーに２度目に到達する前に、気体試料セルを通る赤外ビームを回転ミラーにより反射する請求項２４に記載の分光計。
【請求項３１】
赤外ビームを照射する赤外線光源と、
赤外ビームの光路内に配置される気体試料セルと、
気体試料セルを通過した後の赤外ビームの光路内に配置される走査ミラーと、
走査ミラーを揺動させるミラー駆動装置と、
複数の平行線を含む回折格子を支持し、走査ミラーから反射される赤外ビームの光路内に配置されかつ赤外ビームの目標となる帯域光を反射し、回折し及び集束する第１の集束ミラーと、
目標となる帯域光の光路内に配置される第１の検出器と、
第１の検出器に作動接続され、第１の検出器から信号を受信する第１の検出器読出回路と、
ミラー駆動装置及び第１の検出器読出回路に作動接続され、第１の検出器読出回路の出力に走査ミラーの揺動を同期させる同期装置とを備えることを特徴とする分光計。
【請求項３２】
ミラー駆動装置は、静電駆動装置又は磁気駆動装置である請求項３１に記載の分光計。
【請求項３３】
同期装置は、第１の検出器読出回路の出力により、目標となる予め選択されたスペクトル領域を位置決めするようにプログラム制御される位相ロックループ同期装置である請求項３１に記載の分光計。
【請求項３４】
同期装置は、ミラー駆動装置から受信する信号に応答する請求項３１に記載の分光計。
【請求項３５】
走査ミラーに近接して取り付けられかつ走査ミラーの位置を決定し同期装置に入力信号を付与するセンサを備える請求項３１に記載の分光計。
【請求項３６】
赤外ビームが気体試料セルを通過した後に、走査ミラーの方向に赤外ビームを反射する回転ミラーを備える請求項３１に記載の分光計。
【請求項３７】
赤外ビームが走査ミラーに２度目に到達する前に、気体試料セルを通る赤外ビームを回転ミラーにより反射する請求項３６に記載の分光計。
【請求項３８】
赤外線光源から照射された赤外ビームを受光し視準する照準器を含む請求項３１に記載の分光計。
【請求項３９】
走査ミラーから反射された赤外ビームの光路内に配置されかつ赤外ビームを複数の目標となる帯域光に分離するダイクロイックスプリッタと、
複数の線を含む回折格子を支持し、目標となる帯域光の光路内に配置されかつ目標となる各帯域光を反射し、回折し及び集束する第２の集束ミラーと、
目標となる反射され、集束された帯域光を受光する第２の検出器と、
第１の検出器及び第２の検出器に作動接続されて第１の検出器及び第２の検出器から信号を受信する第２の検出器読出回路とを備え、
同期装置は、第１の検出器読出回路及び第２の検出器読出回路の少なくとも一方の出力に走査ミラーの揺動を同期させる請求項３１に記載の分光計。
【請求項４０】
ミラー駆動装置は、静電駆動装置又は磁気駆動装置である請求項３９に記載の分光計。
【請求項４１】
同期装置は、第１の検出器読出回路又は第２の検出器読出回路の出力により、目標となる予め選択されたスペクトル領域を位置決めするようにプログラム制御される位相ロックループ同期装置である請求項３９に記載の分光計。
【請求項４２】
同期装置は、ミラー駆動装置から受信する信号に応答する請求項３９に記載の分光計。
【請求項４３】
走査ミラーに近接して取り付けられかつ走査ミラーの位置を決定し同期装置に入力信号を付与するセンサを備える請求項３９に記載の分光計。
【請求項４４】
赤外ビームが気体試料セルを通過した後に、走査ミラーの方向に赤外ビームを反射する回転ミラーを備える請求項３９に記載の分光計。
【請求項４５】
赤外ビームが走査ミラーに２度目に到達する前に、気体試料セルを通る赤外ビームを回転ミラーにより反射する請求項４４に記載の分光計。
【請求項４６】
赤外線光源から照射された赤外ビームを受光し視準する照準器を含む請求項３９に記載の分光計。
【請求項４７】
走査ミラーは、平面状走査ミラーである請求項３１に記載の分光計。
【請求項４８】
ミラー駆動装置は、静電駆動装置又は磁気駆動装置である請求項４７に記載の分光計。
【請求項４９】
同期装置は、目標となる予め選択されたスペクトル領域を位置決めするようにプログラム制御される位相ロックループ同期装置である請求項４７に記載の分光計。
【請求項５０】
同期装置は、ミラー駆動装置から受信する信号に応答する請求項４７に記載の分光計。
【請求項５１】
平面状走査ミラーに近接して取り付けられ、平面状走査ミラーの位置を決定し同期装置に入力信号を付与するセンサを備える請求項４７に記載の分光計。
【請求項５２】
赤外ビームが気体試料セルを通過した後に、平面状走査ミラーの方向に赤外ビームを反射する回転ミラーを備える請求項４７に記載の分光計。
【請求項５３】
赤外ビームが平面状走査ミラーに２度目に到達する前に、気体試料セルを通る赤外ビームを回転ミラーにより反射する請求項５２に記載の分光計。
【請求項５４】
赤外ビームを照射する赤外線光源と、
赤外ビームの光路内に配置される気体試料セルと、
気体試料セルを通過した後の赤外ビームの光路内に配置される走査ミラーと、
走査ミラーを揺動するミラー駆動装置と、
走査ミラーから反射された赤外ビームの光路内に配置されかつ赤外ビームを回折する第１の回折格子と、
回折された赤外ビームの一部の光路内に配置されかつ目標となる帯域光を集束する第１の集束ミラーと、
目標となる集束された帯域光を受光する第１の検出器と、
第１の検出器に作動接続され、第１の検出器から信号を受信する第１の検出器読出回路と、
ミラー駆動装置及び第１の検出器読出回路に作動接続され、第１の検出器読出回路の出力に走査ミラーの揺動を同期させる同期装置とを備えることを特徴とする分光計。
【請求項５５】
ミラー駆動装置は、静電駆動装置又は磁気駆動装置である請求項５４に記載の分光計。
【請求項５６】
同期装置は、第１の検出器読出回路の出力により、目標となる予め選択されたスペクトル領域を位置決めするようにプログラム制御される位相ロックループ同期装置である請求項５４に記載の分光計。
【請求項５７】
同期装置は、ミラー駆動装置から受信する信号に応答する請求項５４に記載の分光計。
【請求項５８】
走査ミラーに近接して取り付けられ、走査ミラーの位置を決定し同期装置に入力信号を付与するセンサを備える請求項５４に記載の分光計。
【請求項５９】
赤外ビームが気体試料セルを通過した後に、走査ミラーの方向に赤外ビームを反射する回転ミラーを備える請求項５４に記載の分光計。
【請求項６０】
赤外ビームが走査ミラーに２度目に到達する前に、気体試料セルを通る赤外ビームを回転ミラーにより反射する請求項５９に記載の分光計。
【請求項６１】
赤外線光源から照射された赤外ビームを受光し視準する照準器を含む請求項５４に記載の分光計。
【請求項６２】
走査ミラーから反射された赤外ビームを受光して、赤外ビームを複数の帯域光に分離する第１のダイクロイックスプリッタと、
第１のダイクロイックスプリッタから目標となる少なくとも１つの帯域光を受光する第２の回折格子と、
第２の回折格子により回折した後の目標となる少なくとも１つの帯域光の光路内に配置される第２の集束ミラーと、
第２の集束ミラーにより集束された目標となる回折された少なくとも１つの帯域光の光路内に配置される第２の検出器と、
第２の検出器読出回路とを備え、
同期装置は、第１の検出器読出回路及び第２の検出器読出回路の少なくとも一方の出力に走査ミラーの揺動を同期させる請求項５４に記載の分光計。
【請求項６３】
ミラー駆動装置は、静電駆動装置又は磁気駆動装置である請求項６２に記載の分光計。
【請求項６４】
同期装置は、第１の検出器読出回路又は第２の検出器読出回路の出力により、目標となる予め選択されたスペクトル領域を位置決めするようにプログラム制御される位相ロックループ同期装置である請求項６２に記載の分光計。
【請求項６５】
同期装置は、ミラー駆動装置から受信する信号に応答する請求項６２に記載の分光計。
【請求項６６】
走査ミラーに近接して取り付けられかつ走査ミラーの位置を決定し同期装置に入力信号を付与するセンサを備える請求項６２に記載の分光計。
【請求項６７】
赤外ビームが気体試料セルを通過した後に、走査ミラーの方向に赤外ビームを反射する回転ミラー備える請求項６２に記載の分光計。
【請求項６８】
赤外ビームが走査ミラーに２度目に到達する前に、気体試料セルを通る赤外ビームを回転ミラーにより反射する請求項６７に記載の分光計。
【請求項６９】
赤外線光源から照射された赤外ビームを受光し視準する照準器を含む請求項６２に記載の分光計。
【請求項７０】
第１のダイクロイックスプリッタ又は第２のダイクロイックスプリッタから目標となる少なくとも１つの帯域光を受光する第３の回折格子と、
第３の回折格子により回折した後の目標となる少なくとも１つの帯域光の光路内に配置される第３の集束ミラーと、
第１の集束ミラー、第２の集束ミラー又は第３の集束ミラーの１つにより集束された目標となる回折された帯域光の光路内に配置される第３の検出器と、
第１の検出器、第２の検出器又は第３の検出器に作動接続されて第１の検出器、第２の検出器又は第３の検出器から信号を受信する第３の検出器読出回路とを備え、
同期装置は、第１の検出器読出回路、第２の検出器読出回路及び第３の検出器読出回路の１つに走査ミラーの揺動を同期させる請求項６２に記載の分光計。