【手続補正書】
【提出日】平成17年5月25日(2005.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１直交方向及び第２直交方向へ制御によって移動する第１アクチュエータステージと、第１アクチュエータステージに隣接して設けられるとともに第１及び第２直交方向と直交する第３方向へ制御によって移動される第２アクチュエータステージとを有したアクチュエータと、
第１端部及び第２端部を有する基準構造体と、第１端部は第２アクチュエータステージの移動に対して固定されていることと、
第２アクチュエータステージに結合されるとともに基準構造体の第２端部に固定された多棒連結組立物に結合された結合部材と、前記第２アクチュエータステージ及び前記結合部材は、連結組立物を第１及び第２直交方向への第２アクチュエータステージの移動から切り離す方式で第３直交方向へ移動させるべく形成されていることと、
基準構造体の第２端部に固定された対物レンズと、同対物レンズは光源と位置センサとの間にあり、前記位置センサは第１アクチュエータステージの第１及び第２方向への移動を測定することとからなる、測定装置組立物。
【請求項２】
前記第１アクチュエータステージの第１方向及び第２方向への移動は基準構造体に平行移動される請求項１に記載の組立物。
【請求項３】
前記基準構造体の第１方向及び第２方向への移動は対物レンズに平行移動される請求項２に記載の組立物。
【請求項４】
前記光源及び前記位置センサは静止している請求項３に記載の組立物。
【請求項５】
前記位置センサはシリコンフォトダイオードである請求項１に記載の組立物。
【請求項６】
前記対物レンズは更に一組のマイクロレンズを有する請求項１に記載の組立物。
【請求項７】
マイクロレンズにより信号とノイズの比率を増加させるような光学倍率が与えられることを特徴とする請求項６に記載の組立物。
【請求項８】
倍率は式Ｍ＝ｌ＋ｉ／ｏであり、ここで、ｉは前記１組のマイクロレンズの主面から位
置センサまでの直交距離であり、ｏは前記１組のマイクロレンズの主面から光源までの直交距離である請求項７に記載の組立物。
【請求項９】
前記光源から前記マイクロレンズを通り位置センサに指向される電磁放射線ビームの移動には、係数Ｍが乗じられる請求項８に記載の組立物。
【請求項１０】
前記基準構造体及び前記結合部材によって前記第１方向及び第２方向での堅固な機械連結が提供される請求項１に記載の組立物。
【請求項１１】
前記基準構造体は、前記アクチュエータ近傍の内面及び外面をさらに有する請求項１に記載の組立物。
【請求項１２】
前記対物レンズは前記基準構造体の外面に載置される請求項１１に記載の組立物。
【請求項１３】
固定端と、同固定端に対して３つの直交方向に相対移動するように形成された自由端とを有する縦軸を備えたアクチュエータと、
互いに相対して平行移動すべく相互に拘束された第１連結部材及び第２連結部材を有する多棒連結装置と、前記第１連結部材は基準構造体に固定され、及び前記第２連結部材は前記アクチュエータの縦軸とほぼ平行方向に平行移動するように拘束されていることと、
第１端部及び第２端部を有する結合部材と、前記第１端部はその自由端近傍においてアクチュエータに固定されているとともに、前記第２端部は前記第２連結部材に固定されていることと、前記結合部材は前記アクチュエータの縦軸とほぼ平行な方向の転位を平行移動するように形成されていることと、
基準構造体に固定された対物レンズと、同対物レンズは光源と位置センサの間にあり、前記位置センサは前記アクチュエータの縦軸と略直角の少なくとも１つの方向における対物レンズの転位を測定することとからなる組立物。
【請求項１４】
前記光源及び前記位置センサは静止している請求項１３に記載の組立物。
【請求項１５】
前記対物レンズは一組のマイクロレンズをさらに有する請求項１３に記載の組立物。
【請求項１６】
前記一組のマイクロレンズは信号対ノイズ比を増加させるための光学倍率を提供する請求項１５に記載の組立物。
【請求項１７】
倍率は式Ｍ＝ｌ＋ｉ／ｏであり、ここでｉは前記一組のマイクロレンズの主面から前記位置センサまでの直交距離であり、ｏは前記一組のマイクロレンズの主面から前記光源までの直交距離である請求項１６に記載の組立物。
【請求項１８】
前記光源から前記一組のマイクロレンズを通り前記位置センサを指向する電磁放射線ビームの移動には係数Ｍが乗じられる請求項１７に記載の組立物。
【請求項１９】
前記組立物は走査型プローブ顕微鏡である請求項１３に記載の組立物。
【請求項２０】
前記アクチュエータは圧電アクチュエータ又は電歪アクチュエータである請求項１３に記載の組立物。
【請求項２１】
長手方向軸を有し、及び顕微鏡の枠と結合するように形成された第１端部と、プローブ組立物に結合するように形成された自由端部とを備えるとともに、適切な電気的刺激が付与されたときに３つの直交方向へ制御可能に移動するように形成されている長手状アクチュエータと、プローブ組立物とを有した測定装置組立物において長手状アクチュエータの
縦軸と略直角の少なくとも１つの方向へのアクチュエータの移動を測定するための方法であって、
前記プローブ組立物をプローブ支持組立物により支持する工程と、
長手状アクチュエータの縦方向への伸長或いは収縮の影響を受けることがほぼないような、測定装置の基準構造体によって、前記プローブ支持組立物をその第１端部において支持する工程と、
前記基準構造体を長手状アクチュエータに設けられた長手管の屈曲から切り離す工程と、
長手状アクチュエータの縦方向への伸長及び収縮部分を駆動する工程と、
駆動工程を実行した結果、長手方向への伸長及び収縮部分を縦方向及び横方向に同時に屈曲させる工程と、
プローブ支持組立物に縦方向への屈曲を伝達すると同時に、管の縦方向への伸長及び収縮部分に生じた横方向への屈曲による、プローブ支持組立物の横方向への屈曲を阻止する工程と、
前記基準構造体に固定され、光源及び位置センサの間にある対物レンズの移動を測定する工程とからなる、長手状アクチュエータの縦軸と略直角の少なくとも１つの方向へのアクチュエータの移動を測定するための方法。
【請求項２２】
前記対物レンズは前記基準構造体の外面に固定されており、光源及び位置センサは静止している請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記対物レンズの平行移動は、プローブ組立物のアクチュエータの縦軸に略直角な少なくとも１つの方向への移動を示すことを特徴とする請求項２１に記載の方法。
【請求項２４】
前記プローブ支持組立物の第１端部は多棒連結装置を介して前記基準構造体に接続されている請求項２１に記載の方法。
【請求項２５】
測定装置におけるアクチュエータの移動を測定する装置において、前記測定装置は、
３つの直交方向に平行移動するアクチュエータに結合された基準構造体に固定される対物レンズと、
光ビームを発生させる光源と、前記測定装置は対物レンズの移動に応じてビームの位置を変化させることと、
ビームを検知し、少なくともアクチュエータの縦軸と略直角な一方向におけるアクチュエータの移動を示す転位信号を発生させる位置センサとからなり、前記基準構造体は前記３つの直交方向のうちの少なくとも１つに平行移動可能でない測定装置。
【請求項２６】
前記光源はレーザである請求項２５に記載の装置。
【請求項２７】
前記対物レンズは光源と位置センサとの間にある請求項２５に記載の装置。
【請求項２８】
前記光源及び位置センサは静止している請求項２７に記載の装置。
【請求項２９】
前記基準構造体は管状であり、且つアクチュエータをほぼ包囲している請求項２５に記載の装置。
【請求項３０】
前記基準構造体はアクチュエータ近傍の内面と、外面とを有する請求項２９に記載の装置。
【請求項３１】
前記対物レンズは前記基準構造体の外面に載置されている請求項３０に記載の装置。
【請求項３２】
前記測定装置は走査型プローブ顕微鏡である請求項２５に記載の装置。
【請求項３３】
前記アクチュエータは圧電アクチュエータ又は電歪アクチュエータである請求項２５に記載の装置。
【請求項３４】
測定装置におけるアクチュエータの移動を測定する方法において、
試料を分析するときに結合されたカンチレバーを３つの直交方向に平行移動させるアクチュエータに結合された基準構造体に載置される対物レンズを提供する工程と、
前記対物レンズの移動を測定する工程とからなり、前記対物レンズの移動はアクチュエータの縦軸と略直角の少なくとも１つの方向におけるアクチュエータの移動を示しており、前記基準構造体は前記３つの直交方向のうちの少なくとも１つに平行移動可能でない測定方法。
【請求項３５】
前記測定工程は、
静止している光源から光ビームを発生させる工程と、
対物レンズの移動に応じて光ビームの方向を変更する工程と、
位置センサによりビームの位置を検出する工程と、
アクチュエータの移動を示す転位信号を出力する工程とを更に有する請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】
測定装置におけるアクチュエータの移動を測定する装置において、前記光学測定装置は、
対物レンズと、
前記アクチュエータに結合されるとともに、同アクチュエータの長手方向軸にほぼ一致する中心長手方向軸を有する長尺状基準構造体と、
アクチュエータに結合された基準構造体に固定される光源と、同光源は光ビームを発生させ、且つ光学測定装置は光源の移動に応じてビームの位置を変更することと、
ビームを検出して、アクチュエータの縦軸と略直角の少なくとも１つの方向におけるアクチュエータの移動を示す転位信号を出力する位置センサとからなり、前記アクチュエータは３つの直交方向に平行移動し、及び前記基準構造体は前記３つの直交方向のうちの少なくとも１つに平行移動可能でない測定装置。
【請求項３７】
測定装置におけるアクチュエータの移動を測定する装置において、前記測定装置は、
対物レンズと、
前記アクチュエータに結合されるとともに、同アクチュエータの長手方向軸にほぼ一致する中心長手方向軸を有する長尺状基準構造体と、前記アクチュエータは試料のスキャンの間にそれに結合されたカンチレバーを平行移動させることと、
光ビームを発生させる光源と、
アクチュエータに結合された基準構造体に固定される位置センサと、測定装置は光線に対する位置センサの位置を変更するものであることと、前記位置センサは少なくともアクチュエータの縦軸と略直角な一方向におけるアクチュエータの移動を示す転位信号を出力することとからなる装置。