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　特願２００６−５０５６１２「容量型加速度センサー」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　９月１６日国際公開、ＷＯ２００４／０７９３７３、平成１８年　８月２４日国内公表、特表２００６−５１９３８７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯等
（１）本願は、平成１６年２月１１日を出願日（パリ条約による優先権主張、２００３年３月５日、フィンランド）とする国際出願であって、特許請求の範囲について、平成１７年８月３１日付け特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書により補正がなされ、平成２２年３月５日付けで補正がなされたところ、同年同月２５日付け（送達：同年同月３０日）で拒絶査定がなされ、これに対し、同年７月３０日に拒絶査定不服審判が請求されると同時に、特許請求の範囲についての補正（以下、「本件補正」という。）がなされたものである。
　その後、平成２３年４月２２日付け審尋書により審尋をしたところ、同年１０月２６日付け回答書の提出があった。
　
（２）そして、原査定の拒絶の理由は、本願各請求項に記載された発明は、いずれも、本願の優先日前に日本国内において頒布された刊行物である特開平５−１７２８４６号公報（発明の名称：マイクロセンサ及びそれを用いた制御システム、出願人：株式会社日立製作所）に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから特許を受けることができない、というものである。
　
２．補正の適否・本願発明
（１）補正の内容
　本件補正は、補正前の請求項１に、その従属請求項であった請求項２、請求項３、及び請求項７の内容を全て取り込んで新たな請求項１とするとともに、補正前の請求項６，８，１２，１３を削除したものであり、本件補正により請求項の数は、１３から６となった。
　してみると、本件補正は請求項の削除を目的とするものであり、また、国内書面に添付した翻訳文に記載した事項の範囲内においてしたものであることは明らかであるから、本件補正は、平成１８年改正前の特許法第１７条の２第３項及び同条第４項の規定に適合する。
　
（２）本願発明
  以上のとおり本件補正は認められるので、本願の請求項１ないし６に係る発明は、本件補正によって補正された特許請求の範囲の請求項１ないし６に記載のとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明は、以下のとおりである。
「少なくとも１対の電極を有する容量型加速度センサーであって、該電極対は、加速度に応答する可動電極（４）と、少なくとも１つの固定電極（５）と、少なくとも１つのアイソレーター突出部（６）を有し、
　その特徴が、アイソレーター突出部（６）が、固定電極（５）の上に位置しており、かつ、ダイヤモンド状ＤＬＣコーティングでコートされており、かつ、酸化物からなるベース層を持った２層複合構造を有しており、かつ、該ベース層がダイヤモンド状ＤＬＣコーティングのトップ層でコートされており、かつ、トップ層のダイヤモンド状ＤＬＣコーティングが、さらにアイソレーター突出部（６）の側面へ延び、さらに該アイソレーター突出部（６）のエッジを越えて、固定電極（５）のエリア上へ延びていることである、前記容量型加速度センサー。」（以下、「本願発明」という。）　
　
３．引用例記載の事項・引用発明
（１）引用例の記載事項
　これに対して、原審の拒絶理由で引用された前記刊行物である特開平５−１７２８４６号公報（以下、「引用例」という。）には、以下の記載がある。
（ａ）「【請求項１】可動電極部と、該可動電極部と対向して設けられた固定電極部とを有するマイクロセンサにおいて、前記可動電極部と前記固定電極部との付着力を低減させる手段を設けたことを特徴とするマイクロセンサ。
・・・
【請求項２７】請求項１ないし請求項２５のいずれか記載のセンサにおいて、前記マイクロセンサは、可動電極と固定電極との間に生じる静電容量から加速度を検出する加速度センサまたは静電サーボ式加速度センサであることを特徴とする加速度センサ。
・・・。」（特許請求の範囲）
（ｂ）「【産業上の利用分野】本発明はマイクロセンサおよびそれを用いた制御システムに関し、特に製造時においては歩留まりが向上し、また使用時には信頼性に優れたマイクロセンサおよびそれを用いた制御システムに関する。
【従来の技術】一般に固体の表面間には種々のメカニズムの物理的な力が作用し、特に微小な構造体であるマイクロセンサでは質量に対する表面積の割合が大きくなり、表面間の相互作用が重要な役割を演じるようになる。例えば、互いに接触または微小な空隙を隔てて対向した可動部同士または可動部と固定部との間には種々のメカニズムの引力が働き、両者が互いに付着したまま動作不可能な状態に陥ることがある。従来のマイクロセンサとしては、例えば特開昭６０−２４４８６４号公報に記載されているセンサがある。このセンサは可動電極と固定電極とが接触した際に両電極間に短絡電流が流れるのを防止するため可動電極に誘電体の係止部を設けた加速度センサである。
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、短絡防止という技術課題を解決するもので、可動部と固定部との付着防止という点については配慮されていなかった。即ち、静電型のセンサや静電サーボ型のセンサでは、製造プロセス、実装前の取扱い時や実装後等において、固定電極と可動電極との間に何らかの原因で高電圧が印加されたり、帯電された外部の物体との接触により両電極に静電気が充電された場合（例えばセンサ取扱時に静電気を含む着衣がセンサの電極端子に接触した場合にこのような事態が生じる）、可動電極が固定電極側に静電気力で吸引される。同時に電極表面の電気絶縁膜に大きな電界が印加され、誘電体分極，絶縁膜内部に含まれているイオンなど可動電荷の移動，外部から絶縁膜内部への電荷の注入，絶縁膜と電極との界面への電荷の蓄積などによって絶縁膜内部や電極との界面近傍に電荷の空間的な分布が生じる。そして、外部からの電界を取り除いた後もこの空間的な電荷分布が残留する場合がある。このような残留分極や残留電荷により、電気絶縁膜と微小な空隙を隔てて対向した電極との間に静電気力による引力が生じ、その結果、固定電極と可動電極が絶縁膜を介して引き続き付着（付着とは接触部に微小な物理的な力が働き互いにへばりつくことである）するという現象が生じるという問題があった。本発明の目的は、可動部と固定部との付着による動作不能を防ぐことができるマイクロセンサを提供することにある。また、本発明の他の目的は信頼性のあるマイクロセンサを用いた制御システムを提供することにある。」（第４欄１５行〜第５欄８行）
（ｃ）「可動電極部の絶縁膜７へ印加される電界強度を低減するには、絶縁部７の形状を工夫することによっても可能である。２つの電極５，６間の電界強度は、電極間の距離が増加すると共に小さくなる。従って、接触時にこの部分の固定電極６と可動電極５間の距離ができるだけ大きくなるよう絶縁部７の形状を工夫すれば良い。最も単純には、絶縁部７の厚みを厚くすればそれに反比例して電界強度が小さくなる。ただし、可動電極５の表面から絶縁部７の表面までの高さは固定電極６と可動電極５間の空隙以上には大きくできないため、図１３の第１３実施例に示すように可動電極５から掘り下げた面を形成し、この掘り下げ面に可動電極５面よりも高くなる絶縁部７を形成すれば、絶縁部７の厚みを大きくすることができる。図１４に示す第１４実施例は、可動電極５の先端に絶縁物から成る水平突起部７ａを設け、可動電極５が過大変位したときには水平突起部７ａが固定電極６に優先的に接触して電極５，６同士の接触を無くしている。また、可動電極５の先端は斜面５ａにより先細り（先鋭化）に形成され、この斜面部５ａが存在することで、水平突起部７ａの接触箇所における可動電極５−固定電極６間の距離を大きくしている。このようにすれば、絶縁部７が固定電極６に接触した場合でも、絶縁部７付近の電界強度が小さくなり、電界除去後の残留分極，残留電荷を充分小さくして電極同士の付着を防止できる。以上の２つの実施例によれば、可動電極５及び絶縁部７の形状を工夫することによって電極同士の付着を防止できる効果がある。電極に静電気が蓄積されても、可動電極と固定電極との間に電位差が生じなければよい。図１５に示す第１５実施例は、以上の見地よりなされたもので、実装前には各電極５，６のパッド部１８がリード１９で互いに接続されて両電極５，６が常に同電位としてある。その結果、実装前に可動電極５が固定電極６に静電付着する事態を防止できる。図３のように実装した後、パッド部同士の接続を例えばレーザなどで切り離せば良い。センサの実装後、パッド部１８は加速度測定回路１２と接続されるため、回路部に静電気対策を施しておけば、加速度センサチップ１１に静電気が充電されたり異常高電圧が印加されることはなく、静電気による電極の付着の問題は対処できる。本実施例によれば、電極部の構造を変更することなく、単にパッド部の配線状態を変えるだけで静電気の帯電による電極付着を防止できる。電極同士の付着は、以上の実施例のように構造だけでなく絶縁膜７の材料を変えることによっても対策できる。絶縁膜７の残留分極や残留電荷を低減するためには、例えば水蒸気酸化によって作成したシリコン酸化膜よりもドライ酸化膜や熱窒化シリコンのような材料の方が良い（第１６実施例）。また、水蒸気酸化によって形成したシリコン酸化膜でも、その後１０００℃程度で熱処理（第１７実施例）すれば内部の欠陥は減少し、分極や電荷が残留しにくくなる。」（第１０欄３６行〜第１１欄３６行）
　
（２）引用発明
　上記記載事項（ａ）ないし（ｃ）、及び図１３ないし図１５にそれぞれ記載された第１３実施例ないし第１５実施例を、引用例に記載の第１実施例や第２実施例を踏まえて総合勘案すれば、次の発明が記載されていると認められる。
「２対の電極５，６を有する静電容量から加速度を検出する加速度センサであって、該電極対は、加速度に応答する可動電極５と、２つの固定電極６と、可動電極５面よりも高くなっている絶縁膜７を有し、
　可動電極５面よりも高くなっている絶縁膜７が可動電極５の上に位置しており、かつ、シリコン酸化膜からなっている、静電容量から加速度を検出する加速度センサ。」（以下、「引用発明」という。）
　
４．対比
　本願発明と引用発明とを対比する。
ア　引用発明における「静電容量から加速度を検出する加速度センサ」、「可動電極５」、「固定電極６」、「可動電極５面よりも高くなっている絶縁膜７」及び「シリコン酸化膜」は、本願発明における「容量型加速度センサー」、「可動電極（４）」、「固定電極（５）」、「アイソレーター突出部（６）」及び「酸化物」にそれぞれ相当する。
イ　上記相当関係を踏まえると、引用発明の「可動電極５面よりも高くなっている絶縁膜７が可動電極５の上に位置して」いることも、本願発明の「アイソレーター突出部（６）が、固定電極（５）の上に位置して」いることも、共に、「アイソレーター突出部が、電極の上に位置して」いる点で共通する。
　
ウ　してみると、両者の一致点、相違点は、以下のとおりである。
（一致点）
「少なくとも１対の電極を有する容量型加速度センサーであって、該電極対は、加速度に応答する可動電極と、少なくとも１つの固定電極と、少なくとも１つのアイソレーター突出部を有し、
　その特徴が、アイソレーター突出部が電極の上に位置しており、かつ、酸化物からなることである前記容量型加速度センサー。」
（相違点）
・相違点１：アイソレータ突出部の位置している場所が、
　本願発明は、固定電極（５）の上であるのに対し、引用発明は、可動電極５の上である点。
・相違点２：
　本願発明は、「アイソレーター突出部（６）が、・・・ダイヤモンド状ＤＬＣコーティングでコートされており、かつ、酸化物からなるベース層を持った２層複合構造を有しており、かつ、該ベース層がダイヤモンド状ＤＬＣコーティングのトップ層でコートされており、かつ、トップ層のダイヤモンド状ＤＬＣコーティングが、さらにアイソレーター突出部（６）の側面へ延び、さらに該アイソレーター突出部（６）のエッジを越えて、固定電極（５）のエリア上へ延びていることである、」とあるように、要すれば、アイソレーター突出部がダイヤモンド状ＤＬＣ膜で被覆されており、その被覆層が、アイソレータ突出部の上部だけでなく、側面とその固定電極の上の所定の範囲にまで及んでいる、としているのに対し、引用発明は、かかる被覆層を備えていない点。
　
５．判断
　前記相違点について検討する。
（１）相違点１について
　容量型加速度センサーにおいて、アイソレーターは、可動電極が固定電極に膠着するのを防止するためのものであるから、可動電極、固定電極上のいずれに設けても差し支えないものであり、事実、この種の容量型加速度センサーにおいて、アイソレーターを固定電極上に設けることも周知な事項である。
　この点については、引用例の「図１６は本発明の第１８実施例を示すもので、既述の絶縁膜７に変えて可動電極５上の一部に高抵抗膜２０を形成し、可動電極の過大変位時に高抵抗膜２０が優先的に固定電極に接触するようにした。この高抵抗膜２０は可動電極６に代わって固定電極側に設けても良い。」（第１１欄３６〜４１行）との記載（ここで、高抵抗膜２０が本願発明の「アイソレーター」に対応する。）や、特開平６−２１３９２４号公報（発明の名称：トランスジューサ、これを利用したマイクロセンサ、車両制御システム、出願人：株式会社日立製作所：公開日：平成６年８月５日）の図１などに示された固定電極１，２上に設けられた絶縁体７を参照のこと。
　しかも、アイソレーターを固定電極上に設けたことについて、本願明細書には、「【００２２】・・・アイソレーター突出部は、可動電極４の両面の側に位置してもよい。通常、アイソレーター突出部６は、固定電極５上に設置されるが、代替的には、アイソレーター突出部は、可動電極４上に設置されてもよい。」と記載されており、固定電極上に設けたことに格別な効果があるものでもない。
　よって、アイソレーターを本願発明のように固定電極に設けるか、引用発明のように可動電極に設けるかは、選択的に定められるべき設計的事項である。
　
（２）相違点２について
ア　一般に、加速度センサーにおいて、電極の摺動性を向上させるために、その表面をダイヤモンド状ＤＬＣ膜にて被覆するようにすることは周知技術である。
　この点については、原査定の拒絶の理由で引用された特開２００２−２００５９８号公報（発明の名称：マイクロメカニカル素子およびその製法、出願人：ローベルト　ボツシユ　ゲゼルシヤフト　ミツト　ベシユレンクテル　ハフツング、公開日：平成１４年７月１６日、以下、「周知例１」という。）に記載された以下の記載事項（ａ）や、同じく原査定の拒絶の理由で引用された特開２００１−２７１１５５号公報（発明の名称：絶縁性基体用保護膜、薄膜積層体および薄膜センサ、出願人：株式会社日本自動車部品総合研究所、公開日：平成１３年１０月２日、以下、「周知例２」という。）に記載された以下の記載事項（ｂ）を参照のこと。
　周知例１によれば、容量型加速度センサーにおいて、可動電極が固定電極に膠着することを防止するために、電極表面の摺動性を向上するべく、電極表面をＤＬＣ膜で被覆することが示されており、また、周知例２によれば、加速度センサーにおいて、電極表面の摺動性を向上するべく、電極表面をＳｉＯ２などの酸化物絶縁膜を介してＤＬＣ膜で被覆することが示されている。（以下において、下線は、特に留意すべき記載箇所として当審が付した。）
（ａ）周知例１
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はマイクロメカニカル素子、ことには
加速度または回転速度センサ
【０００２】
【従来の技術】任意のマイクロメカニカル素子および構造体、ことにはセンサおよびアクチュエータに適用できるが、本発明ならびにそのベースとなる問題を、シリコン−表面マイクロメカニカルの技術で製造可能なマイクロメカニカル加速度センサに関連させて詳述する。
【０００３】表面もしくは容量マイクロメカニズムの技術での加速度センサおよびことにはマイクロメカニカル加速度センサはますます大きな市場部分を自動車両供給分野において得ており、従来慣用の圧電加速度センサとの交替が進んでいる。
【０００４】通常、
外部加速により少なくとも一方向に屈曲されうる、バネ様に設置された振動質量装置が屈曲すると、それに結合された差動コンデンサ装置に、加速度に関する尺度である容量変化をもたらすように、公知のマイクロメカニカル加速度センサは機能する。
屈曲の際に場合により、くし形部が差動コンデンサ装置に接触し、相互に付着したままになることがある。
【０００６】
マイクロメカニカル素子での固体付着のこの現象は文献中で一般的に、キーワード「スティクション」のもとに扱われる。「スティクション」は機械的に接触している２つの固体表面の付着傾向である。
【０００７】この場合、スティクションは実質的に、ファンデルワールスおよび毛細管力に、ならびに静電相互作用、固体−および水素結合形成に起因する表面効果を意味する。
【０００８】
この固体付着を低減するための様々な方法が文献で提案されており、
ａ）表面を、パッシベーション層により化学的に安定にする（例えば自己集合性単層）、
ｂ）
表面を被覆により硬化させる（例えばダイヤモンド様炭素（diamand like carbon））、
ｃ）表面トポグラフィー（接触面、表面ラフネス）を最適化する。」
　
（ｂ）周知例２
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、絶縁性基体上に形成した薄膜積層体よりなる
薄膜センサや電子部品の表面を保護する保護膜に関する
【０００２】
【従来の技術】図２は薄膜センサの一般的構成を示すもので、絶縁性のガラス基板１上に、金属ゲージ等よりなる検出膜２と配線膜３を形成し、これらの膜を覆う保護膜６を形成してなる。保護膜６としては、従来より基板との密着性が良好なＳｉＯ2 膜が用いられている。ところで、薄膜センサ、例えば、圧力センサや流量センサ等は、表面に被検出体からの圧力を常に受けている状態で使用されることから、
その表面を保護する保護膜には、基板との密着強度に加え、耐磨耗性、摺動性に優れることが要求される。これは、電気接点のように、表面に他部品が接触した状態で使用される電子部品も同様であり、保護膜の耐磨耗性、摺動性をより高めて、薄膜センサや電子部品の耐久性を、さらに向上させることが望まれている。
【０００６】本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、
絶縁性の基体を有する薄膜センサや電子部品に適用されて、耐磨耗性、摺動性を向上させ、かつ高い密着強度を有する保護膜を実現すること、そして、この保護膜を用いた薄膜センサや電子部品の耐久性を向上させることを目的とする
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１の発明は、絶縁性基体の表面を保護する保護膜であって、中間層と、表面層の２層構造を有している。中間層は、上記絶縁性基体側に形成され、Ｓｉを含有する絶縁体膜よりなり、表面層は、この中間層上面に積層形成されるＤＬＣ膜からなっている。
本発明の保護膜は、表面層がＤＬＣ膜からなり、高硬度で摩擦係数が小さいので、耐磨耗性、摺動性に優れる。
・・・
【００１４】
本発明の特徴部分である保護膜４は、中間層４１と表面層４２の二層構造を有する。ガラスディスク１側の中間層４１は、ＳｉＯ2 、Ｓｉ3 Ｎ4 等のＳｉを含有する絶縁性セラミックス薄膜からなり、ガラスディスク１との密着性を向上させる。この中間層４１の上面に積層され、薄膜センサの最表面層となる表面層４２は、ＤＬＣ膜からなる。ＤＬＣ膜は、ダイヤモンドと比較可能な高い硬度を有し、摩擦係数が低く、平滑性が高い等、優れた性質を有しており、薄膜センサ表面の耐磨耗性、摺動性を大きく向上させる。
【００１８】表面層４２となる
ＤＬＣ膜の成膜は、通常、イオンプレーティング法またはＣＶＤ法によって行うことができる。
【００１９】上記構成によれば、
保護膜４を２層構造として、その表面層４２を高硬度かつ低摩擦係数のＤＬＣ膜としたので、薄膜センサ表面の耐磨耗性、摺動性が大幅に改善される。
【００２０】なお、上記実施の形態では、圧力検出用の薄膜センサの例を説明したが、圧力センサに限らず、歪センサ、
加速度センサ、
に適用することももちろんできる。
　
イ　そして、引用発明も本願発明と同じく、可動電極が固定電極に膠着するのを防止するとの課題を解決しようとするものである（３．（１）（ｂ））から、かかる課題解決のために引用発明と同じ技術分野に属する上記周知技術を引用発明の「可動電極５面よりも高くなっている絶縁膜７」（本願発明における「アイソレーター突出部（６）」に相当。）に適用することにより、絶縁膜７をダイヤモンド状ＤＬＣ膜で被覆して２層構造とすることは、当業者ならば容易に想到し得たことである。
　
ウ　次に、本願発明では、ダイヤモンド状ＤＬＣ膜の被覆層が、アイソレータ突出部の上部だけでなく、側面とその固定電極の上の所定の範囲にまで及んでいる、としている点について検討するに、被覆層をアイソレータ突出部の上部にとどめるか、側面も被覆するか、あるいは、側面を越えて固定電極の上の所定の範囲にまで被覆するようにするかは、被覆層を設ける工程において適宜設定し得る設計的な事項である。
　すなわち、本願発明に係るダイヤモンド状ＤＬＣ膜は、イオンビーム堆積方法（請求項４）や、プラズマ励起化学気相堆積方法（請求項５）によって成長させたものであるが、周知例２もまた同じ方法によりダイヤモンド状ＤＬＣ膜を堆積させており（上記（ｂ）【００１８】）、被覆層を設ける範囲は、適宜設定可能である。
　また、この点に関して、本願の明細書には、「【００２２】本発明によるアイソレーター突出部６は、２層の複合構造であり、より厚くかつ容易に堆積し得る材料（例えば、酸化物）からなるベース層を有しており、該ベース層は次にダイヤモンド状ＤＬＣコーティングからなる薄いトップ層でコートされている。トップ層のダイヤモンド状ＤＬＣコーティングは、さらにアイソレーター突出部６の側面上に延びていてもよく、あるいは、さらにアイソレーター突出部６のエッジを越えて、固定電極５のエリア上に延びていてもよい。・・・。」と記載されており、ダイヤモンド状ＤＬＣ膜の被覆層が、アイソレータ突出部の上部だけでなく、側面とその固定電極の上の所定の範囲にまで及んでいるようにしたことに、格別の効果も認められない。
エ　そして、本願発明の作用効果も、引用発明及び周知技術から当業者が予測可能なものであって格別のものでもない。
　
６．請求人の主張について
　請求人は、審判請求の理由や回答書において、引用例の絶縁膜の形状は角錐台などの上面が底面よりも小さな面積となっていることから、上面にダイヤモンド状ＤＬＣ膜を形成することは困難である旨主張している。
　なるほど、引用例の図１７〜１９として示された第２１実施例の絶縁体７は角錐台の形状をしているけれども、引用発明の認定の根拠となった図１３〜１５に示された各実施例に係る絶縁体７の形状は、図２や図８からも明らかなように、直方体であり、その上面は平坦な面であるから、請求人の主張は採用できない。
　また、請求人は、回答書において、特許請求の範囲の請求項１について、「〜その特徴が、アイソレーター突出部（６）が、固定電極（５）の上に位置しており、かつ、
上面が平坦な面となった
該ベース層の上面だけをコートしトップ層となっている
該トップ層であるダイヤモンド状ＤＬＣコーティングの上面も平坦な面となっている
　この補正案についても念のために検討するに、上記したように、引用発明に係る絶縁体７もその上面は平坦な面であるから、平坦な面に成膜された被覆層の上面もまた平坦な面となるものである。また、アイソレータ突出部の上面のみを被覆するかどうかは、前記「５．（２）ウ」で説示したとおり、設計的事項である。
　よって、この補正案も採用することはできない。
　
７．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項に係る発明について審理するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。