【手続補正書】
【提出日】平成18年6月13日(2006.6.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】 扁平な媒体物を処理するための装置であって、
エンクロージャと、
前記エンクロージャ内のインデクサスペースと、
前記インデクサスペース内のインデクサであって、横方向シフト系と縦方向シフト系とを有するインデクサと、
前記エンクロージャ内のプロセススペースと、
前記プロセススペース内の少なくとも１つのプロセスチェンバと、
前記インデクサと前記プロセススペースとの間で物品を移動させるためのプロセスロボットと、
を具備する装置。
【請求項２】 前記プロセスチェンバは、スピンリンサドライヤまたは化学プロセスチェンバである請求項１に記載の装置。
【請求項３】 前記プロセスロボットの一端に取着され且つそこからオフセットされたエンドエフェクタをさらに具備する請求項１に記載の装置。
【請求項４】 前記ロボットは、
前記エンドエフェクタを鉛直に移動させるためのリフトレールおよびリフトモータと、
エルボージョイントを介して前記リフトレールに取着されたロボットアームと、
前記ロボットアームに取着されて、前記エンドエフェクタを支持するリストジョイントと
を具備する請求項１に記載の装置。
【請求項５】 前記インデクサと連係し、物品を前記インデクサ内にロードし且つそれからアンロードするための入力／出力ロボットをさらに具備する請求項１に記載の装置。
【請求項６】 前記パレット上のバッファシェルフと、
前記バッファシェルフを長手方向に移動させるための手段と
を更に具備する請求項１に記載の装置。
【請求項７】 前記横方向シフト系は、前記インデクサ内で対角的に対向する一対のリフティングエレメントと、前記リフティングエレメントの各々と連係するリフトアクチュエータと、前記リフティングエレメントの各々に連結された横方向駆動モータとを含む請求項１に記載の装置。
【請求項８】 前記リフティングエレメントは、横方向ガイドブロック上に搭載されたフォークを備え、前記リフトアクチュエータは、空気圧シリンダを備えた請求項７に記載の装置。
【請求項９】 前記リフティングエレメントは、ベルトにより、前記横方向駆動モータおよび相互に連結されている請求項７に記載の装置。
【請求項１０】 前記ｙ軸シフトアセンブリは、
第１のベルトの対および第２のベルトの対と、
少なくとも間接的に前記第１のベルトの対および第２のベルトの対に連結され、該第１のベルトの対および第２のベルトの対を同時に互いに逆方向に駆動するためモータと、
少なくとも部分的に前記ベルト上に支持された複数のパレットと
を含む請求項１に記載の装置。
【請求項１１】 前記ベルトは、エンドレス歯付きベルトであり、前記各パレットは、前記エンドレス歯付きベルトの少なくとも１つに噛み合う歯付きラックを有する、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】 前記ベルトの各々は、複数のインデクサステーションを連続的に通過して延び、かつ前記パレットは、該パレットを、インデクサステーション間において、前記ベルトから持ち上げることなく、ベルト上で移動可能である請求項１０または１１のいずれかに記載の装置。
【請求項１３】 前記インデクサの一方の側に取着され縦方向に移動可能なバッファシェルフをさらに具備する請求項１に記載の装置。
【請求項１４】 扁平な媒体物を処理するための方法であって、
物品を入れる容器を処理装置のローディングステーションへ給配するステップと、
前記ローディングステーションからインデクサへ前記容器を移動させるステップと、
前記インデクサを通して前記容器を徐々に進めるステップと、
前記物品を容器から外部へ持ち上げるステップと、
前記物品をプロセスチェンバへ運ぶステップと、
前記物品を前記プロセスチェンバ内に挿入するステップと、
前記物品を前記プロセスチェンバ内で処理するステップと、
前記処理された物品を前記プロセスチェンバから移動させるステップと、
前記処理された物品を前記インデクサへ運び戻すステップと、
前記処理された物品を当該装置から取り去るステップと
の各ステップを有する方法。
【請求項１５】 前記容器を前記インデクサ上の第１の位置でパレット上に配置するステップと、
前記パレットを前記第１のベルト上に継続して残したまま、当該パレットを、前記インデクサ内で、前記第１の位置から第２の位置へ第１の方向に沿って漸次移動させるステップと、
前記パレットを前記第１のベルトから鉛直に持ち上げるステップと、
前記第１の方向に対して垂直な方向に、前記パレットを移動させるステップと、
前記インデクサ上の第３の位置に前記パレットを降下させるステップと、
前記パレットを、前記第１の方向とは反対の、第２の方向に漸次移動させるステップと
の各ステップを更に有する請求項１４記載の方法。
【請求項１６】 前記物品が前記インデクサと前記処理チェンバの間で移動される限り、該物品の一方の側に定常的に配置されるロボットアームにより、前記物品を支持する請求項１４に記載の方法。
【請求項１７】 前記ロボットアームは、前記物品を下から前記処理チェンバへ運び、且つ前記物品を上から前記処理チェンバに挿入する請求項１６に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
図９に最もよく示されるように、横方向シフト系１４０は、インデクサフレーム１１８に固定された横方向ガイドブロック１５０を含んでいる。横方向シフト端部フォーク１４６Ａは、横方向ガイドブロック１５０上に支持され、且つ横方向駆動モータ１５４により、図１４に示されるように、位置ＥとＦの間で、ステップ動作させまたは順次動作させるべく、駆動される。端部フォークエアシリンダ１５２は、機械的ストップにより固定された、固定アップおよびダウン位置の間で、端部フォーク１４６Ａを、上昇させ且つ降下させる。図９および１０は、インデクサ７２の左または内側端部における前記横方向シフト系１４０コンポーネント（構成要素）を示している。類似したまたは全く同じコンポーネント（横方向ガイドブロック１５０、端部フォーク１４６Ｂ、および横方向エアシリンダ１５２）が、右端にも搭載される。横方向シフト系リンキングベルト１５６は、アイドラ１５７により支持されて、インデクサフレーム１１８の周囲のまわりに延びており、そして対角的対向端部フォーク１４６Ａおよび１４６Ｂに取着されている。横方向駆動モータ１５４が付勢されると、端部フォーク１４６Ａは、位置Ｆから位置Ｅへ移動されるとともに、端部フォーク１４６Ｂは同時に位置Ａから位置Ｊに、そしてその逆に移動される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
図２６〜２９を参照するに、前記プロセスモジュール３００は、プロセスボール３１４を部分的に収容するプロセス容器３１０を含んでいる。前記プロセス容器３１０は、図２６に実線で示されるような閉成位置と透視的仮想外形として示される開放位置との間で移動し得る可動ドア５１２と組み合わされる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
例えば図２３に見られるように、ウェハーホルダ２６８は、プロセスロボット６６の他のコンポーネントだけでなく、リストジョイント２６２およびエルボージョイント２５６の一方の側にオフセットしている。プロセスロボット６６は、どの部分もウェハーの直接上方に位置することはない。エンクロージャ５４内において空気は、下方に向かって吹いているので、プロセスロボット６６により発生されあるいは放出されるいかなる粒子もウェハーに接触するようになることはない。結果として、処理中のウェハーの汚染の可能性は削減される。