【事件の表示】
　特願２００３−５５１８９８「反射性の改善された音響鏡」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年　６月１９日国際公開、ＷＯ０３／５０９５０、平成１７年　４月２８日国内公表、特表２００５−５１２４４２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．　手続きの経緯 
　本願は、平成１４年１２月６日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２００１年１２月１１日、ドイツ連邦共和国）を国際出願日とする出願であって、平成２０年４月７日付けで拒絶理由が通知され、同年７月８日付けで手続補正書が提出され、同年１０月１５日付けで拒絶査定され、これに対して平成２１年１月１４日付けで拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに、同日付けで手続補正書が提出されたものである。
　　
　　
２．　平成２１年１月１４日付けの手続補正についての補正却下の決定
[補正却下の決定の結論]
　平成２１年１月１４日付けの手続補正(以下、「本件補正」という。)を却下する。
[理由]
（１）補正の内容
　本件補正は、補正前の特許請求の範囲、
「　　【請求項１】
　λ／４層または３λ／４層から成る少なくとも１つの層対を有しており、各層対の第１の層（ＬＫ）は所定の音響インピーダンスを有する材料から成り、第２の層（ＨＺ）は第１の層よりも高い音響インピーダンスを有する材料から成り、該第１の層は第２の層の上方に堆積されている、
ＢＡＷ共振器用またはスタックドクリスタルフィルタ用の音響鏡において、
　前記第１の層（ＬＫ）の材料はビスベンゾシクロブテンのモノマーを重合することにより誘導された、相対誘電定数が３より小さいｌｏｗ−ｋ誘電体を含み、
　前記第２の層（ＨＺ）の材料はアルミニウム窒化物、ガリウム窒化物または亜鉛酸化物から選択され、
　前記ｌｏｗ−ｋ誘電体（ＬＫ）の密度は２．４ｇ／ｃｍ３よりも小さく、弾性定数の値は１０ＧＰａより小さい
ことを特徴とする音響鏡。
　　【請求項２】
　ｌｏｗ−ｋ誘電体（ＬＫ）にナノホールが設けられている、請求項１記載の音響鏡。
　　【請求項３】
　λ／４層の唯一の層対から形成されている、請求項１または２記載の音響鏡。
　　【請求項４】
　λ／４層または３λ／４層から成る少なくとも１つの層対を有しており、各層対の第１の層（ＬＫ）は所定の音響インピーダンスを有する材料から成り、第２の層（ＨＺ）は第１の層よりも高い音響インピーダンスを有する材料から成り、該第１の層は第２の層の上方に堆積されている、
ＢＡＷ共振器用またはスタックドクリスタルフィルタ用の音響鏡において、
　前記第１の層（ＬＫ）の材料はビスベンゾシクロブテンのモノマーを重合することにより誘導された、相対誘電定数が３より小さいｌｏｗ−ｋ誘電体を含み、
　前記第２の層（ＨＺ）の材料はタングステンＷ、モリブデンＭｏまたはアルミニウム窒化物から選択され、
　前記ｌｏｗ−ｋ誘電体（ＬＫ）の密度は２．４ｇ／ｃｍ３よりも小さく、弾性定数の値は１０ＧＰａより小さい
ことを特徴とする音響鏡。
　　【請求項５】
　支持体として機能する基板（Ｓ）の上方に所定の音響インピーダンスを有する層（ＨＺ）が配置され、その上方に当該の層よりも低い音響インピーダンスを有する層（ＬＫ）が配置されてこれらの層が音響鏡（Ａ）を成し、
　該音響鏡の上方に第１の電極（Ｅ１）、圧電層（Ｐ）および第２の電極（Ｅ２）が配置され、
　ここで電極材料はＡｌ、Ｗ、Ｍｏ、ＣｕまたはＡｕから選択され、圧電材料は亜鉛酸化物、アルミニウム窒化物またはガリウム窒化物から選択され、
　前記ｌｏｗ−ｋ誘電体（ＬＫ）の密度は２．４ｇ／ｃｍ３よりも小さく、弾性定数の値は１０ＧＰａより小さい
ことを特徴とするＢＡＷ共振器。
　　【請求項６】
　支持体として機能する基板（Ｓ）の上方に所定の音響インピーダンスを有する層（ＨＺ）が配置され、その上方に当該の層よりも低い音響インピーダンスを有する層（ＬＫ）が配置されてこれらの層が音響鏡（Ａ）を成し、
　該音響鏡の上方に第１の電極（Ｅ１）、第１の圧電層（Ｐ１）、第２の電極（Ｅ２）、第２の圧電層（Ｐ２）および第３の電極（Ｅ３）が配置され、
　ここで第１の電極および第２の電極用の電極材料はＡｌ、Ｗ、ＣｕまたはＡｕから選択され、圧電材料は亜鉛酸化物、アルミニウム窒化物またはガリウム窒化物から選択され、
　前記ｌｏｗ−ｋ誘電体（ＬＫ）の密度は２．４ｇ／ｃｍ３よりも小さく、弾性定数の値は１０ＧＰａより小さい
ことを特徴とするスタックドクリスタルフィルタ。
　　【請求項７】
　第２の電極（Ｅ２）は２つの部分電極に分割されており、各部分電極のあいだにｌｏｗ−ｋ誘電体から成る少なくとも１つのλ／４層の音響鏡が配置される、請求項６記載のスタックドクリスタルフィルタ。
　　【請求項８】
　複数の請求項５から７までのいずれか１項記載の複数のＢＡＷ共振器または複数のスタックドクリスタルフィルタが直列部と並列部とからなる分岐回路として接続されてリアクタンスフィルタを成すことを特徴とするＢＡＷ共振器フィルタまたはスタックドクリスタルフィルタ。
　　【請求項９】
　複数のＢＡＷ共振器または複数のスタックドクリスタルフィルタがラティス構造で接続されてリアクタンスフィルタを成す、請求項８記載のＢＡＷ共振器フィルタまたはスタックドクリスタルフィルタ。
　　【請求項１０】
　請求項５記載のＢＡＷ共振器として構成された第１のリアクタンスフィルタおよび第２のリアクタンスフィルタを有することを特徴とするデュプレクサ。
　　【請求項１１】
　２つのリアクタンスフィルタの全てのＢＡＷ共振器が共通の音響鏡（Ａ）の上方に配置されている、請求項１０記載のデュプレクサ。
　　【請求項１２】
　共通の音響鏡（Ａ）はＢＡＷ共振器の下方の基板（Ｓ）上の全面にわたってパターニングなしで配置されている、請求項１１記載のデュプレクサ。」
を、
「【請求項１】
　λ／４層または３λ／４層から成る少なくとも１つの層対を有しており、各層対の第１の層（ＬＫ）は所定の音響インピーダンスを有する材料から成り、第２の層（ＨＺ）は第１の層よりも高い音響インピーダンスを有する材料から成り、該第１の層は第２の層の上方に堆積されている、
ＢＡＷ共振器用またはスタックドクリスタルフィルタ用の音響鏡において、
　前記第１の層（ＬＫ）の材料はビスベンゾシクロブテンのモノマーを重合することにより誘導された、相対誘電定数が３より小さいｌｏｗ−ｋ誘電体を含み、
　前記第２の層（ＨＺ）の材料はアルミニウム窒化物、ガリウム窒化物または亜鉛酸化物から選択され、
　前記ｌｏｗ−ｋ誘電体（ＬＫ）の密度は２．４ｇ／ｃｍ３よりも小さい
ことを特徴とする音響鏡。
　　【請求項２】
　ｌｏｗ−ｋ誘電体（ＬＫ）にナノホールが設けられている、請求項１記載の音響鏡。
　　【請求項３】
　λ／４層の唯一の層対から形成されている、請求項１または２記載の音響鏡。
　　【請求項４】
　λ／４層または３λ／４層から成る少なくとも１つの層対を有しており、各層対の第１の層（ＬＫ）は所定の音響インピーダンスを有する材料から成り、第２の層（ＨＺ）は第１の層よりも高い音響インピーダンスを有する材料から成り、該第１の層は第２の層の上方に堆積されている、
ＢＡＷ共振器用またはスタックドクリスタルフィルタ用の音響鏡において、
　前記第１の層（ＬＫ）の材料はビスベンゾシクロブテンのモノマーを重合することにより誘導された、相対誘電定数が３より小さいｌｏｗ−ｋ誘電体を含み、
　前記第２の層（ＨＺ）の材料はタングステンＷ、モリブデンＭｏまたはアルミニウム窒化物から選択され、
　前記ｌｏｗ−ｋ誘電体（ＬＫ）の密度は２．４ｇ／ｃｍ３よりも小さい
ことを特徴とする音響鏡。」
と補正するものである。
　　
　　　
（２）補正の目的について
　本件補正では、本件補正前の請求項１は本件補正後の請求項１に対応している。
　そして、本件補正前の請求項１と本件補正後の請求項１を比較すると、「ｌｏｗ−ｋ誘電体（ＬＫ）」について、本件補正前の請求項１では「密度は２．４ｇ／ｃｍ３よりも小さく、弾性定数の値は１０ＧＰａより小さい」のように密度と弾性定数の２つの要素で限定しているものが、本件補正後の請求項１では「密度は２．４ｇ／ｃｍ３よりも小さい」のように密度だけの要素で限定され、「弾性定数の値は１０ＧＰａより小さい」という弾性定数による限定は削除された。
　そこで、上記の限定を削除した補正について検討すると、この補正は、「弾性定数の値は１０ＧＰａより小さ」かった「ｌｏｗ−ｋ誘電体（ＬＫ）」を任意の弾性定数の「ｌｏｗ−ｋ誘電体（ＬＫ）」に変更するものであり、請求項の減縮を目的とするものに該当しないから、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号に掲げる事項を目的とするものではない。また、該補正は、上記改正前の特許法第１７条の２第４項第２号以外の各号に掲げる事項を目的とするものでもない。
　したがって、この補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項各号に掲げる事項を目的とするものではない。
　
　　　
（３）むすび
　したがって、上記本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項に規定する要件を満たしておらず、特許法１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　　 
　　　　　
３．本願発明について 
（１）本願発明の内容
　平成２１年１月１４日付けの手続補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項５に係る発明は、平成２０年７月８日付け手続補正書によって補正された特許請求の範囲の請求項５に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである（以下「本願発明」という）。
「【請求項５】
　支持体として機能する基板（Ｓ）の上方に所定の音響インピーダンスを有する層（ＨＺ）が配置され、その上方に当該の層よりも低い音響インピーダンスを有する層（ＬＫ）が配置されてこれらの層が音響鏡（Ａ）を成し、
　該音響鏡の上方に第１の電極（Ｅ１）、圧電層（Ｐ）および第２の電極（Ｅ２）が配置され、
　ここで電極材料はＡｌ、Ｗ、Ｍｏ、ＣｕまたはＡｕから選択され、圧電材料は亜鉛酸化物、アルミニウム窒化物またはガリウム窒化物から選択され、
　前記ｌｏｗ−ｋ誘電体（ＬＫ）の密度は２．４ｇ／ｃｍ３よりも小さく、弾性定数の値は１０ＧＰａより小さい
ことを特徴とするＢＡＷ共振器。」
　　　
　なお、上記記載中の「前記ｌｏｗ−ｋ誘電体（ＬＫ）」は、「（ＬＫ）」の符号が共通していること等から見て、上記記載中の「低い音響インピーダンスを有する層（ＬＫ）」を構成する誘電体を指しているものと解されるので、その意味に解した。
　　
　　　 　　　
（２）引用例 
（２−１）引用例１
　原査定の拒絶の理由に引用された特開２００１−８９２３６号（以下、「引用例１」という）には、下記の事項が記載されている。
　　　
（ア）「【００３５】
【発明の実施の形態】図１において、バルク音響波フィルタの構成は、例えば、セラミック材料、ガラス平坦化層を有するセラミック材料、ガラス−セラミック材料、ガラス材料、シリコン、ＧａＡｓまたはサファイアで作られたキャリア基板１を含む。シリコンまたはＧａＡｓがキャリア基板１として使用される場合には、例えばＳｉＯ２またはガラスの不動態化層がさらに形成される。重合体および多孔質物質を含むグループからの音響反射物質の層である第１の反射要素２が、キャリア基板１上に存在する。使用される可能性のある音響反射物質は、例えば、エーロゲル、キセロゲル、ガラス発泡体、発泡型接着剤、発泡合成樹脂または低密度の合成樹脂である。使用される可能性のあるエーロゲルは、例えば、シリカゲルまたは多孔質ＳｉＯ２構造体で作られた無機エーロゲル、または例えば、レゾシノール−ホルムアルデヒドエーロゲル、メラミン−ホルムアルデヒドエーロゲルまたはフェノール−ホルムアルデヒドエーロゲルのような有機エーロゲルである。使用される可能性のあるキセロゲルは、例えば、高濃縮ポリ珪酸のような無機キセロゲル、にかわまたは寒天のような有機キセロゲルである。使用される可能性のある発泡物質は、例えば、ポリスチロール、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリウレタン、ポリイソシアネート、ポリイソシアヌレート、ポリカルボジイミド、ポリメタクリルイミド、ポリアクリルイミド、アクリル−ブタジエン−スチロール共重合体、ポリプロピレンまたはポリエステルのような化学的に発泡された重合体または物理的に発泡された重合体である。さらに、例えば、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂またはフラン樹脂のような発泡合成樹脂が使用される可能性があり、これらは炭化により高い多孔度を持つ。使用される可能性のある低密度の合成樹脂は、例えば、架橋ポリビニルエーテル、架橋ポリアリールエーテル、ポリテトラフルオロエチレン、ポリ（ｐ−キシリレン）、ポリ（２−クロロ−ｐ−キシリレン）、ポリ（ジクロロ−ｐ−キシリレン）、ポリベンゾシクロブテン、スチロール−ブタジエン共重合体、エチレン−酢酸ビニル重合体または有機シロキサン共重合体である。各々が第１の電極３、圧電層４、および第２の電極５を有する２個の共振器ユニットを、第１の反射要素２の上に形成する。電極３と５は、低音響減衰の良導電性材料で作られるのが好ましく、例えば、Ａｇ１−ｘＰｔｘ（０＜ｘ＜１），Ｐｔ（５０ｎｍ〜１μｍ），Ｔｉ（１〜２０ｎｍ）／Ｐｔ（２０〜６００ｎｍ），Ｔｉ（１〜２０ｎｍ）／Ｐｔ（２０〜６００ｎｍ）／Ｔｉ（１〜２０ｎｍ），Ａｌ，数パーセントのＣｕがドープされたＡｌ，数パーセントのＳｉがドープされたＡｌ，数パーセントのＭｇがドープされたＡｌ，Ｗ，Ｎｉ，Ｍｏ，Ａｕ，Ｃｕ，・・・（中略）・・・，またはＴｉ／Ｃｕを含む可能性がある。
【００３６】圧電層４に使用される材料は、例えば、ＡｌＮ、ＺｎＯ、ＬａまたはＭｎのドーパントを含むまたは含まないＰｂＴｉ１−ｘＺｒｘＯ３（０≦ｘ≦１）、ＬｉＮｂＯ３、ＬｉＴａＯ３、ＰｂＮｂ２Ｏ６またはポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）である可能性がある。第２の反射要素６、例えば、エーロゲル、キセロゲル、ガラス発泡体、発泡型接着剤、発泡合成樹脂または低密度の合成樹脂の層を、圧電層４並びに第１の電極３および第２の電極５の部分に形成する。代替えの構造は、当業者によく知られている。有機および／または無機材料の保護層７を、フィルタ構成全体の上に形成する。使用される有機材料は、例えば、ポリベンゾシクロブテンまたはポリイミドである可能性があり、および使用される無機材料は、例えば、Ｓｉ３Ｎ４、ＳｉＯ２またはＳｉｘＯｙＮｚ（０≦ｘ≦１、０≦ｙ≦１、０≦ｚ≦１）である可能性がある。
【００３７】もしくは、反射要素２および６は、交互に高インピーダンスと低インピーダンスであるいくつかの層で構成することができる。その時に、低インピーダンスの材料は、例えば、有機または無機のエーロゲル、有機または無機のキセロゲル、ガラス発泡体、発泡型接着剤、発泡合成樹脂または低密度の合成樹脂である可能性がある。高音響インピーダンスの材料は、例えば、ＨｆＯ２、Ｍｏ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｗ、Ｔｉ／Ｗ／Ｔｉ、ＷｘＴｉ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、ダイアモンド、Ｔａ２Ｏ５、Ｐｔ、Ｔｉ／Ｐｔ、または例えば高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）のような高密度の合成樹脂である可能性がある。」
　　
（イ）「【００４３】図３で、電子構成要素は、例えば、セラミック材料、ガラス平坦化層を有するセラミック材料、ガラス−セラミック材料、シリコン、ＧａＡｓまたはサファイアで作られたキャリア基板１を含む。シリコンまたはＧａＡｓがキャリア基板１として使用される場合は、例えば、ＳｉＯ２またはガラスの追加の不動態化層を形成する。いくつかの層、すなわち、底の層１０、中央の層１１および上の層１２を含む反射要素２を、キャリア基板１の上に形成する。個々の層の厚さは、共振波長の４分の１である。底の層１０および上の層１２は低音響インピーダンスの材料で作られ、重合体および多孔質物質のグループからの音響反射物質を含む。使用される音響反射物質は、例えば、エーロゲル、キセロゲル、ガラス発泡体、発泡型接着剤、発泡合成樹脂または低密度の合成樹脂である可能性がある。使用されるエーロゲルは、例えば、シリカゲルまたは多孔質ＳｉＯ２構造体で作られた無機エーロゲル、または例えば、レゾシノール−ホルムアルデヒドエーロゲル、メラミン−ホルムアルデヒドエーロゲルまたはフェノール−ホルムアルデヒドエーロゲルのような有機エーロゲルである可能性がある。使用されるキセロゲルは、例えば、高濃縮ポリ珪酸のような無機キセロゲル、にかわまたは寒天のような有機キセロゲルである可能性がある。発泡物質は、例えば、ポリスチロール、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリウレタン、ポリイソシアネート、ポリイソシアヌレート、ポリカルボジイミド、ポリメタクリルイミド、ポリアクリルイミド、アクリル−ブタジエン−スチロール共重合体、ポリプロピレンまたはポリエステルのような化学的に発泡された重合体または物理的に発泡された重合体である可能性がある。さらに、例えば、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂またはフラン樹脂のような発泡合成樹脂が使用される可能性があり、これらは、炭化により高い多孔度を持つ。使用される低密度の合成樹脂は、例えば、架橋ポリビニルエーテル、架橋ポリアリールエーテル、ポリテトラフルオロエチレン、ポリ（ｐ−キシリレン）、ポリ（２−クロロ−ｐ−キシリレン）、ポリ（ジクロロ−ｐ−キシリレン）、ポリベンゾシクロブテン、スチロール−ブタジエン共重合体、エチレン−酢酸ビニル重合体または有機ポリシロキサン重合体である可能性がある。中央の層１１の音響インピーダンスは、底の層１０および上の層１２の音響インピーダンスよりも高い。中央の層１１は、例えば、ＨｆＯ２、Ｍｏ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｗ、Ｔｉ／Ｗ／Ｔｉ、ＷｘＴｉ１−ｘ、ダイアモンド、Ｔａ２Ｏ５、Ｐｔ、Ｔｉ／Ｐｔ、または例えば、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）のような高密度の合成樹脂のような高音響インピーダンスを有する材料で作る。第１の電極３、圧電層４、および第２の電極５を、上の層１２の上に形成する。電極３と５は、低音響減衰の良導電性材料で作るのが好ましく、例えばＡｇ１−ｘＰｔｘ（０＜ｘ＜１），Ｐｔ（５０ｎｍ〜１μｍ），Ｔｉ（１〜２０ｎｍ）／Ｐｔ（２０〜６００ｎｍ），Ｔｉ（１〜２０ｎｍ）／Ｐｔ（２０〜６００ｎｍ）／Ｔｉ（１〜２０ｎｍ），Ａｌ，数パーセントのＣｕがドープされたＡｌ，数パーセントのＳｉがドープされたＡｌ，数パーセントのＭｇ���ドープされたＡｌ，Ｗ，Ｎｉ，Ｍｏ，Ａｕ，Ｃｕ，・・・（中略）・・・、過剰な鉛を含むおよび含まないＰｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３またはポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）でありうる。」
　
（ウ）図３には、キャリア基板（１）の上方に所定の音響インピーダンスを有する層（１１）が配置され、その上方に当該層（１１）よりも低い音響インピーダンスを有する層（１２）が配置され、その上方に第１の電極（３）、圧電層（４）および第２の電極（５）が配置されたバルク音響波共振器の断面図が記載されている。
　　
（エ）上記（ア）には、反射要素が高インピーダンス層と低インピーダンス層を交互にすることで構成できることが記載されている。
　
　よって、上記（ア）乃至（エ）及び関連図面から、引用例１には実質的に、
「キャリア基板（１）の上方に所定の音響インピーダンスを有する層（１１）が配置され、その上方に当該の層よりも低い音響インピーダンスを有する層（１２）が配置されてこれらの層が反射要素を成し、
　該反射要素の上方に第１の電極（３）、圧電層（４）および第２の電極（５）が配置され、
　ここで電極材料はＡｌ、Ｗ、Ｍｏ、ＣｕまたはＡｕから選択され、圧電材料は亜鉛酸化物またはアルミニウム窒化物から選択されたバルク音響波共振器。」
の発明（以下、「引用発明」という）が記載されている。
　　　　
（２−２）引用例２について　
　原査定の拒絶の理由に引用された欧州特許出願公開第０１１５８６７１号明細書には、音響反射鏡を構成するエーロゲルについて、下記の記載がある。
（オ）”[0001] The present invention relates to bulk acoustic wave devices such as acoustic resonators, and more particularly to acoustic mirror materials used in these devices. ”
（日本語訳：「[0001] 本発明は音響共振器等のBAWデバイス、特にそれらデバイスに使用される音響鏡材に関する。」）
　　
（カ）”[0036] While the low density SiO2 layer featured above in the embodiment provides obvious advantages over that of the conventional PVD SiO2 layer in a reflector stack of an acoustic device, the inventors have found that aerogel or xerogels of SiO2 for example, provide an even lower impedance material to use in the reflector stack. ”
（日本語訳：「[0036] 上記の実施の形態における低密度のＳｉＯ２層の特徴が音響素子の反響積層における従来のＰＶＤのＳｉＯ２層に比べて自明な利点を有しているが、発明者らは例えばＳｉＯ２のエーロゲルまたはキセロゲルは反射積層に使用できる更に低いインピーダンス物質をもたらすことを発見した。」）
　　
（キ）”[0037] To form an SiO2 aerogel layer, a pre-cursor such as TEOS (tetraethylorthosilicate) is mixed with an acid catalyst such as alcohol and water to form a slurry film. ・・・ thus the aerogel/xerogel layer could have a density of at least 0.3 g/cm3, at least 0.5 g/cm3, etc.). ”
（日本語訳：「[0037] ＳｉＯ２エーロゲル層を作成するためには、ＴＥＯＳ（テトラエチルオルトケイ酸塩）のような前駆体をアルコールや水といった酸化触媒と混合しスラリー膜を作成する。・・・そのようなエーロゲル／キセロゲル層は少なくとも０．３ｇ／ｃｍ３の密度、少なくとも０．５ｇ／ｃｍ３の密度などを有することができる。」）
　
（ク）”[0038] The resultant aerogel film has an extremely low density (as low as 0.1 g/cm3), and is an excellent attenuator of acoustic sound waves. The sound velocity is directly proportional to the density. For example, sound travels through an aerogel layer of density 0.1 g/cm3 at a rate of about 170 A/ps, or about 6,000 times slower than sound velocity through a conventional PVD SiO2 layer. Additionally, the elastic constant C11 for the aerogel is about 2.7 x 106 N/m2, whereas for conventional PVD SiO2, C11 is much larger--approximately 10.5 x 1010 N/m2.  ”
（日本語訳：「[0038] 合成されたエーロゲル膜は極端に低い密度（０．１ｇ／ｃｍ３の低さ）を有し、音響波の最良の減衰器となる。音速は密度に直接比例している。例えば、音は密度０．１ｇ／ｃｍ３のエーロゲル層を約１７０Ａ／ｐｓの割合、または音が従来のＰＶＤのＳｉＯ２層を通り抜ける早さの約６０００倍遅く通り抜ける。更に、従来のＰＶＤのＳｉＯ２ではＣ１１は更に大きく、約１０．５ｘ１０６Ｎ／ｍ２だが、エーロゲルの弾性定数Ｃ１１は約２．７ｘ１０６Ｎ／ｍ２である。」）
　
（ケ）”[0039] Therefore, the reflecting stack of the present invention can combine higher impedance material layers which are determined based on the elastic constants of the materials, with known low impedance material layers to achieve a desired mismatch. Additionally, the reflecting stack can be formed from a low density material such as CVD SiO2 or aerogel, so as to lower its density and therefore impedance, to achieve a higher impedance mismatch between layers of the stack, particularly between the topmost low density material layer of the acoustic mirror and the active piezoelectric layer. ”
（日本語訳：「[0036] 従って、本発明の反射積層は物質の弾性定数に基づいて決定される更に高いインピーダンス物質層と、既知の低インピーダンス物質層を加えることで所望の不整合を得ることができる。更に、反射積層はＣＶＤのＳｉＯ２やエーロゲルなどの低密度物質から形成されることで、その密度及びインピーダンスを低くし、積層の層間の更に高いインピーダンス不整合で、特に音響鏡の最上の低密度物質と活性圧電層との間に更に高いインピーダンス不整合を達成させる。」）
　
（コ）上記（ケ）には、エーロゲルで形成された反射積層は「密度及びインピーダンスを低く」できる事が記載されているが、ここで該「インピーダンス」とは「音響インピーダンス」を意味していることは明らかであるから、引用例２に記載されたエーロゲルから形成された反射積層は、低音響インピーダンス層と言い得るものである。
　　　　　　　　 
　よって、上記（オ）乃至（コ）の記載から、引用例２には下記の事項（以下、「引用例２記載事項」という）が記載されている。
「ＢＡＷデバイスに使用される音響鏡の低音響インピーダンス層を、密度が０．３ｇ／ｃｍ３、弾性定数が約２．７ｘ１０６Ｎ／ｍ２のエーロゲルで構成すること。」
　
　
（３）対比 
（３−１）本願発明と引用発明との対応関係について
　引用発明の「キャリア基板（１）」、「反射要素」、「バルク音響波共振器」は、本願発明の「支持体として機能する基板」、「音響鏡」、「ＢＡＷ共振器」に相当している。
　
（３−２）本願発明と引用発明の一致点について
　上記の対応関係から、本願発明と引用発明は、
「 支持体として機能する基板の上方に所定の音響インピーダンスを有する層が配置され、その上方に当該の層よりも低い音響インピーダンスを有する層が配置されてこれらの層が音響鏡を成し、
　該音響鏡の上方に第１の電極、圧電層および第２の電極が配置され、
　ここで電極材料はＡｌ、Ｗ、Ｍｏ、ＣｕまたはＡｕから選択され、圧電材料は亜鉛酸化物またはアルミニウム窒化物から選択される、
ことを特徴とするＢＡＷ共振器。」
の点で一致している。
　　　
　　　　
（３−３）本願発明と引用発明の相違点について
　本願発明は、「ｌｏｗ−ｋ誘電体（ＬＫ）の密度は２．４ｇ／ｃｍ３よりも小さく、弾性定数の値は１０ＧＰａより小さい」としているのに対し、引用発明はそのような構成とはなっていない。
　
　　　
（４）当審の判断 
（４−１）相違点について
　下記あ．〜う．の事情を総合すると、引用発明の「低い音響インピーダンスを有する層（１２）」を、「密度は２．４ｇ／ｃｍ３よりも小さく、弾性定数の値は１０ＧＰａより小さいｌｏｗ−ｋ誘電体」で構成すること、換言すれば、引用発明において、上記相違点に係る本願発明の構成を採用することは、当業者が容易に想到し得たことというべきである。
　
あ．音響共振器等に使用される音響鏡の低い音響インピーダンスを有する誘電体層として、密度は２．４ｇ／ｃｍ３よりも小さく、弾性定数の値は１０ＧＰａより小さいものを用いることは、上記３．（２）（２−２）の「引用例２記載事項」（「ＢＡＷデバイスに使用される音響鏡の低音響インピーダンス層を、密度が０．３ｇ／ｃｍ３、弾性定数が約２．７ｘ１０６Ｎ／ｍ２のエーロゲルで構成すること。」）により、本願優先日前に公知である。なお、上記「音響鏡」は、引用発明の「反射要素」に相当している。
　
い．引用発明と上記引用例２記載事項は、「音響鏡」に関するものであるという意味において、共通の技術分野に属するものであり、引用発明の「音響鏡」（「反射要素」）として上記引用例２記載事項の構成の採用を試みることは当業者が容易に想到し得たことである。
　
う．以上のことは、引用発明において、上記相違点に係る本願発明の構成を採用することが当業者にとって容易であったことを意味している。
　　
（４−２）本願発明の作用効果について　　　
　本願発明の構成によってもたらされる効果は、引用発明及び引用例２記載事項から当業者ならば容易に予測することができる程度のものであって、格別のものとはいえない。 
　
　　　
（５）むすび 
　以上のとおり、本願発明は、当業者が引用発明及び引用例２記載事項に基いて容易に発明することができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
　したがって、本願は、他の請求項について検討するまでもなく、拒絶されるべきものである。 
　よって、結論のとおり審決する。