(57)【要約】      （修正有）【課題】カメラの焦点と被測定物を支持する回転テーブルの回転中心との位置関係と、該回転テーブルの傾きの有無とを容易・迅速に検出して補正する３次元形状測定方法を提供する。【解決手段】回転テーブル１の表面２に、パターンＰ１を有する校正ボード５を載置して前記テーブルを１回転し、パターンの回転軌跡を、一対のカメラで連続的に撮像して、該カメラに対する回転テーブルの表面の回転中心と該表面との傾斜角度とを検出するステップと、回転テーブルの表面に被測定物を載置して該テーブルを１回転し、カメラ間に配置した発光部からライン状のレーザ光を連続的に照射し、回転中の被測定物で反射したライン状の輝線をカメラで連続的に撮像するステップと、撮像された複数の画像から輝線の３次元座標を連続的に取得し、回転テーブル１の表面２の回転中心Ｃと該表面２の傾斜角度を基準に補正しつつ、被測定物の３次元形状を形成する、３次元形状測定方法。【選択図】図２
2017003537.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外形が任意の３次元形状である被測定物の３次元形状測定方法であって、
追って被測定物が載置される回転テーブルの表面に、上面に明度差、彩度差、あるいは色相差により描かれたパターンを有する校正ボードを任意の位置に載置し、該校正ボードと共に上記回転テーブルを１回転させると共に、係る回転中における上記パターンの回転軌跡を、上記回転テーブルの表面が撮像できる位置に配置した一対のカメラにより連続的に撮像することにより、該一対のカメラに対する上記回転テーブルの表面の回転中心および該表面との傾斜角度を検出する第１ステップと、
上記回転テーブルの表面から上記校正ボードを除去する第２ステップと、
上記回転テーブルの表面に被測定物を載置し、該被測定物と共に前記回転テーブルを１回転させ、且つ上記一対のカメラの間に配置した発光部からスリット状の光またはレーザ光を連続的に照射すると共に、係る回転中における被測定物の外形における反射光を上記一対のカメラにより連続的に撮像する第３ステップと、
上記一対のカメラにより連続的に撮像された複数のライン状の輝線を含む画像から該輝線の３次元座標を連続的に取得して、上記回転テーブルの表面の回転中心および該表面の傾斜角度を基準に校正しつつ、１つの３次元点群データに結合することにより、上記被測定物の外形である３次元形状を形成する第４ステップと、を有する、
ことを特徴とする３次元形状測定方法。
【請求項２】
前記校正ボードの上面に描かれた前記パターンは、平面視で、複数の円を格子状に配置したパターン、複数の円または多角形を市松模様状に配置したパターン、複数の円または多角形を同心状に配置したパターン、五角形以上である複数の多角形を格子状または市松模様状に配置したパターン、あるいは、上記多角形、長円形、または楕円形を１個のみ配置したパターンである、
ことを特徴とする請求項１に記載の３次元形状測定方法。
【請求項３】
前記校正ボードは、平面視の外形が正方形または長方形であり、平面視でこれらの四辺の少なくとも一辺に沿って、複数の円を格子状に配置した前記パターン、複数の円または多角形を市松模様状に配置した前記パターン、複数の円または多角形または変形多角形を同心状に配置した前記パターン、あるいは、五角形以上である多角形を格子状または市松模様に配置した前記パターンが描かれている、
ことを特徴とする請求項２に記載の３次元形状測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外形が任意の３次元形状を呈する各種の被測定物の３次元形状測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、被測定物に生じる死角を除去しつつ、全体形状のデータを短時間で得るため、回転軸を中心にして回転する回転テーブルの上に標準被測定物を保持し、該被測定物に対し照射角度を変化させてレーザ光を斜め上方から照射し、反射された反射光を受光した受光素子の出力信号値と、照射角度に対応する標準被測定物の座標とを網羅するデータテーブルを用意した後、測定対象の被測定物に照射角度を変化させてレーザ光を上記同様に照射し、各々の照射角度における受光素子の出力信号値と、標準被測定物の出力信号値とを比較し、被測定物の出力信号値に対応する標準被測定物の座標を、測定対象の被測定物の出力信号値を用いて補正することによって、測定対象の被測定物の三次元形状データを得る三次元形状測定方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
前記のような三次元形状測定方法は、前記回転テーブルと受光素子との位置関係が常に一定であることを前提として行われる。しかし、実際には、受光素子を含む撮像カメラと回転テーブルの回転中心とは、経時的な該回転テーブル側の軸受け部の摩耗による変化や近接する設備の振動などによって、相互の位置関係が変動する場合がある。そのためには、例えば、新たな被測定物の三次元形状を測定する際ごとに、撮像カメラに対する回転テーブルの回転中心の位置と、回転テーブルの傾き程度の有無とを検出することが必要である。しかし、前記三次元形状測定方法では、これらによる測定誤差を排除することができなかった。しかも、予め、前記のような標準被測定物やデータテーブルを用意しておき、且つ該標準被測定物を三次元形状測定しておくことが必要がある、という問題点もあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−７５１３９号公報（第１〜５頁、図１〜５）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、背景技術で説明した問題点を解決し、被測定物の三次元形状を測定する際ごとに、撮像カメラの焦点と被測定物を支持する回転テーブルの回転中心との位置関係、および該回転テーブルの傾きの有無を容易且つ迅速に検出し、これらを基準として撮影した画像を補正することで、被測定物の３次元形状を正確に測定できる３次元形状測定方法を提供する、ことを課題とする。
【課題を解決するための手段および発明の効果】
【０００６】
本発明は、前記課題を解決するため、予め、回転テーブルの表面に、上面に明度差などにより描かれた任意のパターンを有する校正ボードを任意の位置に載置し、該校正ボードと共に回転テーブルを１回転させ、該テーブルの表面を撮像できる位置に配置した一対のカメラにより連続的に撮像することで、撮像された上記パターン内における特徴点の前記カメラに対する３次元座標（Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸上の位置）を連続的に取得し、上記回転中における上記パターンの回転軌跡に基づいて、該一対のカメラに対する上記回転テーブルの表面の回転中心および該表面との傾斜角度を検出する、ことに着想して成されたものである。
【０００７】
即ち、本発明の３次元形状測定方法（請求項１）は、外形が任意の３次元形状である被測定物の３次元形状測定方法であって、追って、被測定物が載置される回転テーブルの表面に、上面に明度差、彩度差、あるいは色相差により描かれたパターンを有する校正ボードを任意の位置に載置し、該校正ボードと共に上記回転テーブルを１回転させると共に、係る回転中における上記パターンの回転軌跡を、上記回転テーブルの表面が撮像できる位置に配置した一対のカメラにより連続的に撮像することにより、該一対のカメラに対する上記回転テーブルの表面の回転中心および該表面との傾斜角度を検出する第１ステップと、上記回転テーブルの表面から上記校正ボードを除去する第２ステップと、前記回転テーブルの表面に被測定物を載置し、該被測定物と共に前記回転テーブルを１回転させ、且つ前記一対のカメラの間に配置した発光部からスリット状の光またはレーザ光を連続的に照射すると共に、係る回転中における被測定物の外形における反射光を上記一対のカメラにより連続的に撮像する第３ステップと、前記一対のカメラにより連続的に撮像された複数のライン状の輝線を含む画像から該輝線の３次元座標を連続的に取得して、上記回転テーブルの表面の回転中心および該表面の傾斜角度を基準に校正しつつ、１つの３次元点群データに結合することにより、上記被測定物の外形である３次元形状を形成する第４ステップと、を有する、ことを特徴とする。
【０００８】
これによれば、以下の効果（１）〜（４）を奏することが可能である。
（１）前記第１ステップにおける校正ボードの回転によって、一対のカメラが連続撮影した画像における上記校正ボードの上面に描かれたパターン内の図形の回転軌跡を検出することで、前記回転テーブルの回転中心の位置、および該回転テーブルの回転軸の傾きの変化の有無を容易且つ正確に検出できる。
（２）第１ステップで検出された上記記回転テーブルの回転中心の位置と、回転軸の傾きの変化とを基準として、第３ステップにおいて連続撮影される多数のレーザ輝線の画像から取得した多数のライン状の輝線ごとの３次元座標（点群データ）を結合する際に、補正しつつ結像することで、被測定物が上記回転中心の位置からずれている場合も、被測定物の３次元形状を精度良く測定できる。
（３）所要数量のロットごとの被測定物の測定、あるいは新たな被測定物の測定の都度に、前記第１および第２ステップを事前に行うことで、一対のカメラと回転テーブルとの位置関係の変化による誤差を、常に除去した正確な３次元形状の測定を保証することが可能となる。
（４）前記一対のカメラや回転テーブルの軸受け部などに対するメンテナンスを低減することができる。
【０００９】
尚、前記被測定物は、３次元の立体形状を有するものであれば、生産材、消費材、各種の部品、量産品、あるいは、手作り品など特定のものに限定されない。
また、前記被測定物の３次元形状とは、係る被測定物において前記回転テーブルに面接触する底面を除いた平面（頂面）を含む全側面（周面）である。
更に、前記回転テーブルは、垂直方向に沿った回転軸の上端に固定され、且つ表面が水平姿勢（水平線と一致していない場合を含む）とされたものである。
また、前記校正ボードを構成する材料は、任意であるが、例えば、被測定物が高温の場合には、カーボン板あるいは耐熱金属板が用いられ、被測定物が常温付近の場合には、各種の樹脂板（樹脂製シートを含む）または金属板が用いられる。
更に、前記校正ボードを回転テーブルの表面に載置する手段、および該校正ボードを上記回転テーブルの表面から除去する手段は、人手によって行うほか、マニプレータを含む多関節ロボットを用いても良い。
【００１０】
また、前記一対のカメラには、例えば、ＣＣＤカメラが用いられる。
更に、前記光あるいはレーザ光は、被測定物の表面における色彩（明度、彩度、色相）とは比較的反対側の色彩が発光される。例えば、熱間加工された高温状態の鋼材のように被測定物の表面が赤白色系に発光している場合には、青色系の光またはレーザ光が使用される。
また、前記発光部からライン状に照射される光またはレーザ光は、前記回転テーブルの直径方向に沿って反射するように、該発光部に設けられ且つ回転テーブルの前記回転中心を通過するライン状の光（輝線）として発光される。
更に、前記レーザ光には、例えば、半導体レーザ、炭酸ガスレーザ、ＹＡＧレーザ、エキシマレーザなどが含まれ、被測定物の表面の色調とは異なる色調のレーザ光が用いられる。
加えて、前記第４ステップは、例えば、画像処理回路、記憶回路、演算回路、および画像表示部（出力回路）を含むパソコンなどによって行われる。
【００１１】
また、本発明には、前記校正ボードの上面に描かれた前記パターンは、平面視で、複数の円を格子状に配置したパターン、複数の円または多角形を市松模様状に配置したパターン、複数の円または多角形を同心状に配置したパターン、五角形以上である複数の多角形を格子状または市松模様状に配置したパターン、あるいは、上記多角形、長円形、または楕円形を１個のみ配置したパターンである、３次元形状測定方法（請求項２）も含まれる。
これによれば、何れかの上記パターン内における特徴点の回転軌跡を前記一対のカメラによって撮像することで、前記効果（１）を奏することができる。
尚、前記校正ボードの上面に描かれた前記パターンは、前記各形態に限らず、前記一対のカメラに対する前記回転テーブルの表面の回転中心および該表面との傾斜角度が検出可能であれば、任意のパターンを用いることができる。
また、前記多角形、長円形、または楕円形を２個以上ランダムに配置したパターンが上面に描かれた校正ボードを用いても良い。
更に、任意の図形、字体、記号、または模様からなるパターンが上面に描かれた校正ボードを用いても良い。
【００１２】
更に、本発明には、前記校正ボードは、平面視の外形が正方形または長方形であり、平面視でこれらの四辺の少なくとも一辺に沿って、複数の円を格子状に配置した前記パターン、複数の円または多角形を市松模様状に配置した前記パターン、複数の円または多角形または変形多角形を同心状に配置した前記パターン、あるいは、五角形以上である多角形を格子状または市松模様に配置した前記パターンが描かれている、３次元形状測定方法（請求項３）も含まれる。
これによれば、以下の効果（５）〜（７）を奏することができる。
（５）前記校正ボードの平面視における外形が正方形または長方形であり、平面視でこれらの四辺の少なくとも一辺に沿って、前記何れかのパターンが上面に描かれているので、繰り返し回転テーブルの表面に載置することで、該校正ボードの中心を回転テーブルの表面の回転中心付近に載置することが容易となる。
（６）校正ボードを回転テーブルの表面に載置したり、除去する操作を人手あるいは多関節ロボットで行う際に、迅速且つ正確に行うことが可能となる。
（７）複数の校正ボードや異なるパターンの校正ボードを整理し易く保管できる。
尚、前記校正ボードは、平面視の外形が円形や楕円形などであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】（Ａ）は本発明の測定方法に用いる回転テーブルと一対のカメラなどとを示す斜視図、（Ｂ）はその側面図。
【図２】（Ａ）は本発明の第１ステップを示す概略図、（Ｂ），（Ｃ）は校正ボードのパターンの回転軌跡から回転テーブルの回転中心を検出する方法を示す概略図。
【図３】（Ａ）は本発明の第３ステップを示す斜視図、（Ｂ）はその側面図。
【図４】（Ａ）〜（Ｃ）はレーザ光が反射しつつ回転する被測定物の経時的な平面図、（ａ）〜（ｃ）それらの斜視図。
【図５】本発明の第１，第３，第４ステップに用いる一対のカメラを含む撮像手段、結像手段、および表示手段を示す流れ図。
【図６】（Ａ）〜（Ｄ）は異なるパターンの校正ボードを示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下において、本発明を実施するための形態について説明する。
図１（Ａ）は、本発明の測定方法に用いる回転テーブル１と一対のカメラＣ１，Ｃ２などとを示す斜視図、（Ｂ）はそれらの側面図である。
図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、平面視が円形の表面２を有する回転テーブル１は、垂直に立設された回転軸３の上端に水平状に取り付けられている。該回転テーブル１の外周側で且つ斜め上方の位置には、一対のカメラＣ１，Ｃ２と、その間に配置したレーザ発光機（発光部）４とが斜めに配置されている。上記の位置は、回転テーブル１の表面２が撮像できる位置である。上記カメラＣ１，Ｃ２は、例えば、ＣＣＤカメラであり、それらの焦点が回転テーブル１の表面２全体において一致するように設定された所謂ステレオカメラである。
上記レーザ発光機４は、先端側の発光部に縦に細長く開口するスリット（図示せず）を介して、線状のレーザ光（ラインレーザ）Ｌを回転テーブル１の表面２に対し、その中心Ｃを含む直径方向に沿って照射する。
尚、図１（Ａ），（Ｂ）中の符号Ｃは、回転テーブル１の表面２の回転中心を示し、同じく符号ｓ１，ｓ２は、一対のカメラＣ１，Ｃ２ごとの撮影視野を示し、かかる撮影視野ｓ１，ｓ２は、回転テーブル１の表面２全体よりも大である。
また、一対のカメラＣ１，Ｃ２は、回転テーブル１の表面２全体を撮像できる位置であれば、前記の位置に限らず、任意の位置に配置することができる。
【００１５】
図１（Ｂ）中の破線で示すように、前記回転軸３の経時的な変化によって、回転テーブル１の表面２が表面２′に僅かに傾くと、かかる表面２における特定の位置と、前記カメラＣ１，Ｃ２の撮影視野ｓ１，ｓ２およびレーザ光Ｌとの傾斜角度が角度θ１から角度θ２に変化する。かかる回転テーブル１の傾きは、当該テーブル１の表面２の中心Ｃの位置が、当初の位置からずれることもある。
そのため、後述する被測定物Ｗの３次元形状を測定する前に、前記一対のカメラＣ１，Ｃ２の撮影視野ｓ１，ｓ２と、回転テーブル１の表面２の中心Ｃとの正確な位置関係を検出するため、以下のような第１ステップＳ１を行う。
予め、図２（Ａ）の上方に示すように、平面視が正方形で且つその白地の上面６に、明度差の大きな黒い円形ｄを縦・横５×５個に格子状に配置したパターンＰ１を描いた校正ボード５を用意した。尚、該校正ボード５の材料は、被測定物Ｗの温度が、例えば１０００℃以上の高温である場合には、カーボン板が適用され、一方、常温付近である場合には、硬質樹脂製の板またはシートや、Ｔｉ合金またはアルミ合金の薄板などが適用される。
尚、上記校正ボード５の上面６における図２（Ａ）で左上の隅部には、上記円形ｄごとの位置確認に用いるための二等辺三角形の標識ｍが配設されている。
【００１６】
先ず、図２（Ａ）中の白抜き矢印で示すように、回転テーブル１の表面２における任意の位置に、上面６を上向きとして前記校正ボード５を載置する。かかる状態で、校正ボード５と共に回転テーブル１を１回転すると共に、複数の円形ｄを含む前記パターンＰ１を、前記一対のカメラＣ１，Ｃ２により連続撮影する。
尚、回転テーブル１が１回転したことは、前記標識ｍの回転軌跡で検知される。
その結果、例えば、図２（Ｂ）に示すように、特定の黒い円形（図柄）ｄが回転することなく同じ位置にあり続け、且つ該円形ｄに隣接する複数の黒い円形ｄが、前者の円形ｄを中心として同じ円形軌跡上を回転した場合、かかる前者の円形ｄの中心部付近に回転テーブル１の表面２の回転中心Ｃが位置していることが検出できる。
あるいは、図２（Ｃ）に示すように、前記パターンＰ１にて隣接する４個の円形ｄが同じ円形軌道上を回転した場合、該４個の円形ｄに囲まれた白地部の中央部に、回転テーブル１の表面２の回転中心Ｃが位置していることが検出できる。
【００１７】
これらの回転中心Ｃの位置は、後述するパソコンＣＰの記憶回路８に記録される。尚、上記回転中心Ｃの位置は、例えば、隣接する一対の円形ｄ同士の中間に位置している場合においても、上記と同様にして検出される。
前記回転テーブル１の表面２における回転中心Ｃの検出と同時に、該回転テーブル１の傾きの有無（当初の傾斜角度θ１のままであるか、あるいは、傾斜角度θ２に変化していたか）も、前記一対のカメラＣ１，Ｃ２により連続撮影された複数の画像を基に、校正ボード５における前記円形ｄごとの３次元座標を連続的に取得することにより、検出することができる。
次いで、前記校正ボード５を、回転テーブル１の表面２から除去する（第２ステップＳ２：図示せず）。
【００１８】
更に、図３（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記回転テーブル１の表面２における任意の位置に、外形が扁平な円柱形を呈する被測定物Ｗを載置し、回転テーブル１を１回転させると共に、前記レーザ発光機４から上記被測定物Ｗを含む上記回転テーブル１の表面２に対し、該表面２の回転中心Ｃを通過するライン状のレーザ光（ラインレーザ）Ｌを連続して照射する。同時に且つ平行して、該レーザ光Ｌが被測定物Ｗの外形に順次反射したライン状の輝線Ｌ１〜Ｌｎを、前記一対のカメラＣ１，Ｃ２によって連続的に撮像する（第３ステップＳ３）。尚、上記レーザ光Ｌには、被測定物Ｗの色調とは、比較的異なる色調のものが用いられる。
図４（Ａ），（ａ）は、前記回転テーブル１が４５度回転した時点におけるレーザ光Ｌが被測定物Ｗの外形に順次反射したライン状の輝線Ｌ１〜Ｌｎ１を、図４（Ｂ），（ｂ）は、回転テーブル１が９０度回転した時点におけるレーザ光Ｌが被測定物Ｗの外形に順次反射したライン状の輝線Ｌ１〜Ｌｎ２を、図４（Ｃ），（ｃ）は、回転テーブル１が１８０度回転した時点におけるレーザ光Ｌが被測定物Ｗの外形に順次反射したライン状の輝線Ｌ１〜Ｌｎ３を、それぞれ示す被測定物Ｗの平面図と斜視図である。
尚、上記回転テーブル１を１回転（３６０度）させる理由は、被測定物Ｗの影になる部分に位置する凹凸の外形（周面／側面）をも確実に測定するためである。
【００１９】
そして、図５に示すように、前記被測定物Ｗの外形に順次反射したライン状の輝線Ｌ１〜Ｌｎ３を連続して撮像した一対のカメラＣ１，Ｃ２の画像を、パソコンＰＣの画像処理回路７に送って、上記輝線Ｌ１〜Ｌｎ３ごとの３次元座標を連続的に取得した後、記憶回路８に記録されていた前記第１ステップＳ１での回転テーブル１の表面２の中心Ｃ、および該表面２の傾斜角度θ１，θ２のデータと共に、演算回路９に送って該データを基準とする補正を施して、上記輝線Ｌ１〜Ｌｎ３を単一の３次元点群データに結合することで、被測定物Ｗの外形による３次元形状を形成する（第４ステップＳ４）。
上記被測定物Ｗの３次元形状は、パソコンＰＣのディスプレイ（表示部）１０において、任意の方向に沿って回転可能な立体図形として表示され、更に、所要の用紙（例えば、方眼紙など）に印刷して表示される。
以上のような前記校正ボード５を用いた本発明の３次元形状測定方法によれば、前記効果（１）〜（７）を確実に奏することが可能である。
尚、前記校正ボード５の回転テーブル１の表面２への載置と該表面２から除去とは、人手にて行うほか、多関節ロボットによる遠隔操作により行っても良い。
【００２０】
図６（Ａ）は、平面視が正方形で且つ白地の表面６に、色調が暗色（黒、褐色、または紺色）系であり且つ平面視が正方形の図柄ｓｑを市松模様に配置したパターンＰ２が描かれた校正ボード５ａを示す平面図である。
また、図６（Ｂ）は、上記同様の表面６に、色調が暗色系であり且つ平面視が正方形である複数の矩形枠ｓｑ１〜ｓｑ６を、平面視で同心状に配置したパターンＰ３が描かれた校正ボード５ｂを示す平面図である。
尚、上記校正ボード５ａ，５ｂには、前記同様の標識ｍが配設されている。
【００２１】
更に、図６（Ｃ）は、前記同様の表面６に、色調が暗色系であり且つ平面視が長方形状である複数の矩形枠ｒｔ１〜ｒｔ６を、平面視で同心状に配置したパターンＰ４が描かれた校正ボード５ｃを示す平面図である。
加えて、図６（Ｄ）は、上記同様の表面６に、色調が中間色（緑、黄緑、または橙）であり且つ平面視が六角形の図柄ｈｎを、互いに離しつつ市松模様に配置したパターンＰ５が描かれた校正ボード５ｄを示す平面図である。
尚、上記校正ボード５ｃ，５ｄには、図６（Ｃ），（Ｄ）に示すように、左上の隅部を面取り状にカットした前記同様の標識ｃｍが形成されている。
以上のような校正ボード５ａ〜５ｄによっても、前記効果（５）〜（７）を奏することができると共に、前記３次元形状測定方法に用いることにより、前記効果（１）〜（４）を奏することが可能となる。
【００２２】
本発明は、以上において説明した形態に限定されるものではない。
例えば、前記レーザ光Ｌに替えて、レーザ以外の光を用いても良い。
また、前記校正ボードは、柔軟性を有する樹脂シートにより形成しても良い。
更に、前記校正ボードは、前記円形ｄ、正方形の図柄ｓｑなどに替えて、該ボードを打ち抜き加工した同様な形状の貫通孔を所要数有する形態としても良い。
加えて、前記校正ボードは、平面視の外形が五角形以上の正多角形を呈するもであっても良い。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
本発明によれば、被測定物の三次元形状を測定する際ごとに、撮像カメラの焦点と被測定物を支持する回転テーブルの回転中心との位置関係、および該回転テーブルの傾きの有無を容易且つ迅速に検出し、これらを基準として撮影した画像を補正することで、被測定物の３次元形状を正確に測定できる３次元形状測定方法を提供することができる。
【符号の説明】
【００２４】
１…………………回転テーブル
２…………………表面
４…………………レーザ発光機（発光部）
５，５ａ〜５ｄ…校正ボード
６…………………上面
Ｃ…………………回転中心
θ１，θ２………傾斜角度
Ｃ１，Ｃ２………カメラ
Ｗ…………………被測定物
Ｌ１〜Ｌｎ３……反射光（輝線）
Ｐ１〜Ｐ５………パターン
ｄ…………………円
ｓｑ………………正方形／多角形
ｒｔ………………長方形／多角形
ｈｎ………………六角形／多角形
Ｓ１〜Ｓ４………第１〜第４ステップ
【図１】
2017003537.tif 000003
【図２】
2017003537.tif 000004
【図３】
2017003537.tif 000005
【図４】
2017003537.tif 000006
【図５】
2017003537.tif 000007
【図６】
2017003537.tif 000008