【事件の表示】
　特願２０１０−　８８３５７「パターン形成装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２３年　５月２６日出願公開、特開２０１１−１０３４３１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件出願（以下「本願」と記す。）は、平成２２年４月７日（優先権主張平成２１年１０月１６日）の出願であって、平成２２年８月２日付けで拒絶理由が通知され、これに対し、同年９月２７日付けで手続補正がなされ、その後同年１２月１５日付けで最後の拒絶理由が通知され、これに対し平成２３年２月１７日付けで手続補正がなされ、その後同年６月１日付けで平成２３年２月１７日付け手続補正書でした手続補正に対する補正の却下の決定がなされると同時に拒絶査定がなされ、これに対し、同年８月４日に拒絶査定に対する審判請求がなされたものである。その後当審にて、同年８月２５日付けで拒絶理由が通知され、これに対し、同年１０月２６日に手続補正がなされたものである。
　
２．本願発明について
　本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２３年１０月２６日付け手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定された以下のとおりのものである。
　
　「【請求項１】
　コンベアにより搬送される基板に対してパターン形成を行うパターン形成装置であって、
　基板が装着される装着部をそれぞれ有する一対の移動台と、
　前記装着部に取り付けられた基板に対してパターン形成を行う加工手段と、
　前記加工手段を挟んで両側にそれぞれ配置され、前記コンベア上と前記各装着部との間で基板を交換する一対の搬送アームと、
　前記加工手段を挟んで両側にそれぞれ配置され、前記装着部に取り付けられた基板の位置を検出する一対の基板位置検出手段と、
　一対の前記移動台をそれぞれ駆動する駆動手段とを備え、
　前記基板位置検出手段は、前記搬送アームにより基板が前記装着部に装着された位置で、前記基板の位置検出を行うように配置されており、
前記駆動手段は、一対の前記移動台を同一の軸線上で個別に独立して駆動可能であり、一方の前記移動台を一方の前記基板位置検出手段と前記加工手段との間で往復搬送すると共に、他方の前記移動台を他方の前記基板位置検出手段と前記加工手段との間で往復搬送するように構成され、
　前記加工手段は、設定された加工目標座標に基づいて平面上でレーザスポットを走査することにより、基板に対してパターン形成を行うことができるレーザ加工装置であり、基準座標系での加工目標座標を、前記基板位置検出手段の検出に基づき算出されたｘ方向、ｙ方向及びθ方向のずれ量に基づいて仮想座標系での加工目標座標に変換し、この仮想座標系でレーザスポットの駆動制御を行うことにより、前記装着部に取り付けられた基板自体を移動させることなくパターン形成を行うことができ、
　前記駆動手段は、前記軸線に沿って並設された複数の磁石を有するステータと、前記ステータを囲繞するコイルをそれぞれ有する一対のスライダとを備え、
　一対の前記移動台は、一対の前記スライダにそれぞれ固定されているパターン形成装置。」
　
３．引用刊行物記載の発明
ア．当審にて通知した拒絶理由に引用された、本願の優先日前である平成１９年８月９日に頒布された「特開２００７−１９６５２１号公報 」（以下「引用例１」という。）には、図面とともに、以下の技術事項が記載されている。
　
（ａ）「【０００１】
  本発明は、基板に導電パターンを形成するパターン形成装置に関する。」
　
（ｂ）「【００１０】
  以下、本発明に係る基板に導電パターンを印刷するパターン形成装置について添付図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施形態に係るパターン形成装置の概略構成正面図であり、図２は図１のＡ−Ａ断面図である。また、図３は図１の矢示Ｂ方向の側面図である。尚、各図においては、構成の理解を容易にするため、実寸比ではなく部分的に拡大又は縮小を施している。また、図３においては、図１に示されている印刷装置２１を省略して記載している。
【００１１】
  図１〜図３に示すように、パターン形成装置１は、コンベア１０、第１搬送アーム１１、第２搬送アーム１２およびパターン形成装置本体２０を備えている。コンベア１０は、基板を移送する装置であり、例えば、ベルトコンベア、ローラコンベア、チェーンコンベアなど種々のものを採用することができる。
【００１２】
  第１搬送アーム１１は、コンベア１０上と、後述する第１支持台３５の装着部３５ａとの間で基板を交換する装置であり、図３に示すように、コンベア１０および基板支持装置２５の上方に配置されている。この第１搬送アーム１１は、水平方向に延びる支持アーム１１ａを備え、この支持アーム１１ａの中心部には、鉛直方向に延びる回転軸１１ｂが設けられている。この回転軸１１ｂの上端部にはモータ１１ｃが連結されており、これにより支持アーム１１ａが水平面上を回転できるように構成されている。また、回転軸１１ｂは、モータ１１ｃを介して、上下方向に移動する移動軸１１ｄと連結しており、これにより支持アーム１１ａは、上下方向に移動できるように構成されている。支持アーム１１ａの両端部下面側には、基板の上面を吸引して保持する複数の吸引パッド１１ｅが設けられている。
【００１３】
  第２搬送アーム１２は、コンベア１０上と、後述する第２支持台３７の装着部３７ａとの間で基板を交換する装置である。この第２搬送アーム１２の構成は、上述の第１搬送アーム１１と同一なので、詳細な説明は省略する。なお、第１搬送アーム１１と第２搬送アーム１２とは、後述する印刷装置２１を挟んでその両側に配置される。
【００１４】
  パターン形成装置本体２０は、印刷装置２１、基板支持装置２５、第１位置検出装置５１および第２位置検出装置５２を備えている。印刷装置２１は、基板上に導電ペーストを塗布して導電パターンを形成する装置であり、例えば、スクリーン印刷機を例示することができる。
【００１５】
  基板支持装置２５は、スライド台２６、第１基板位置決め装置２７および第２基板位置決め装置２８を備えている。スライド台２６は、印刷装置２１の下方において、コンベア１０の搬送方向に沿って水平往復移動する装置である。このスライド台２６は、上面に第１基板位置決め装置２７及び第２基板位置決め装置２８を載置する台本体３０と、台本体３０が載置され当該台本体３０が水平方向に摺動するレール部材３１と、台本体３０をレール部材３１上において移動させると共に、所定位置に配置することが可能な台本体駆動部３２とを備えている。台本体駆動部３２としては、例えば、図１に示すように、台本体３０に挿通されるボールネジ３２ａと当該ボールネジ３２ａを回転させるモータ３２ｂとで構成されるサーボ機構を用いることが、台本体３０の位置精度を高めるという観点から好ましい。また、レール部材３１には、ストッパ３１ａ，３１ｂが設けられており、レール部材３１上における台本体３０の往復移動量を規制できるように構成されている。なお、第１基板位置決め装置２７および第２基板位置決め装置２８は、スライド台２６の往復移動方向（図１の左右方向）に沿ってそれぞれ配置されている。
【００１６】
  このような構成により、第１基板位置決め装置２７および第２基板位置決め装置２８にそれぞれ支持される基板に対して、印刷装置２１による導電パターンの印刷を交互に行うことが可能になる。
【００１７】
  第１基板位置決め装置２７は、第１搬送アーム１１によってコンベア１０から投入される基板を支持すると共に、基板の位置合わせを行う装置であり、基板を支持する第１支持台３５と、第１支持台３５に支持される基板の位置を予め設定された所定位置に修正し、基板の位置合わせを行う第１位置修正装置３６とを備えている。第１支持台３５は、第１位置修正装置３６の上部に載置されている。第１支持台３５の上面には、基板を取り付ける装着部３５ａが設けられている。装着部３５ａに基板を取り付ける構成としては、例えば、第１支持台３５に設けられる図示しない吸引孔を介して基板を吸引する構成を例示することができる。
【００１８】
  第１位置修正装置３６は、後述する第１位置検出装置５１で検出される装着部３５ａに取り付けられた基板の位置と、予め設定している基板の所定位置とのずれ量を算出すると共に、このずれ量に基づいて第１支持台３５を所定量移動させることより、第１支持台３５に支持されている基板を予め設定されている基板の所定位置に配置できるように構成されている。第１支持台３５を所定量移動させる構成として、第１支持台３５をスライド台２６の台本体３０に対して、左右方向（図２の矢示Ｘ方向）、前後方向（図２の矢示Ｙ方向）、水平回転方向（図２の矢示θ方向）に移動する３軸モータ機構を例示することができる。
【００１９】
  このような構成により、第１位置修正装置３６は、第１支持台３５に支持される基板の位置を予め設定されている所定位置に合わせることができ、基板の所定箇所に導電パターンを効率良く印刷することが可能になる。
【００２０】
  第２基板位置決め装置２８は、第２搬送アーム１２によってコンベア１０から投入される基板を支持すると共に、基板の位置合わせを行う装置であり、基板を支持する第２支持台３７と、第２支持台３７に支持される基板の位置を予め設定された所定位置に修正する第２位置修正装置３８とを備えているが、上述の第１基板位置決め装置２７の構成と同一であるので、詳細な説明は省略する。
【００２１】
  第１位置検出装置５１および第２位置検出装置５２は、第１支持台３５の装着部３５ａおよび第２支持台３７の装着部３７ａにそれぞれ取り付けられる基板の一部や、基板に予め印刷されている見当マークの位置を読み取って基板の位置を検出できるように構成されている装置であり、印刷装置２１を挟んだ両側に設けられている。これら第１位置検出装置５１および第２位置検出装置５２としては、例えば、ＣＣＤカメラや顕微鏡などの撮像手段を例示することができる。なお、図１においては、第１位置検出装置５１および第２位置検出装置５２として、それぞれ２つの撮像手段５１ａ，５１ｂ（５２ａ，５２ｂ）を備える構成を例示しているが、このような構成に特に限定されるものではなく、３つ以上の撮像手段を備える構成を採用することもできる。また、第１位置検出装置５１および第２位置検出装置５２のそれぞれが、１つの撮像手段を有し、第１装着部および第２装着部に取り付けられる基板の位置を検出できるように構成してもよい。
【００２２】
  また、スライド台２６上に載置される第１基板位置決め装置２７および第２基板位置決め装置２８と、印刷装置２１と、第１位置検出装置５１および第２位置検出装置５２との位置関係は、以下のように構成されている。すなわち、スライド台２６を作動させて、台本体３０を図４（ａ）に示すように配置した場合に、第１支持台３５の装着部３５ａにおいて、基板の位置を第１位置検出装置５１が検出し、この検出した基板の位置に基づいて、第１位置修正装置３６が基板の位置修正を行うことができる位置修正可能状態となり、第２支持台３７の装着部３７ａにおいて、第２位置修正装置３８で位置修正された基板に印刷装置２１が導電パターンを印刷することができる印刷可能状態となるように構成されている。また、スライド台２６の台本体３０を図４（ｂ）に示すように配置した場合に、第２支持台３７の装着部３７ａにおいて、第２位置検出装置５２で検出した基板の位置に基づいて、第２位置修正装置３８が基板の位置修正を行うことができる位置修正可能状態となり、第１支持台３５の装着部３５ａにおいて、印刷装置２１が基板に導電パターンを印刷することができる印刷可能状態となるように構成されている。」
　
（ｃ）「【００２３】
  このように構成されたパターン形成装置１を用いて、効率良く基板に導電パターンを形成する方法について以下に説明する。
【００２４】
  まず、第１支持台３５の装着部３５ａが、基板の位置修正が可能な位置修正可能状態となるように、スライド台２６の台本体３０を図４（ａ）に示すように左方向にスライドさせる。このとき、第１支持台３５が、第１位置検出装置５１および第１搬送アーム１１の下方に位置するように配置される。そして、コンベア１０を作動させて、導電パターンを印刷する基板を搬送する。基板が第１搬送アーム１１の下方に到達したときに、一旦コンベア１０を停止し、第１搬送アーム１１を下方に移動させると共に、支持アーム１１ａの先端部に取り付けられている吸引パッド１１ｅによってコンベア１０上の基板を吸引して保持する。そして、第１搬送アーム１１を上方に移動させつつ、支持アーム１１ａを１８０°回転させ、再度、第１搬送アーム１１を下方に移動させて第１支持台３５の装着部３５ａに基板をセットする。装着部３５ａにセットされた基板は、図示しない吸引孔を介して吸引されることにより固定される。
【００２５】
  次に、第１支持台３５の装着部３５ａに取り付けられた基板の位置合わせを行う。具体的に説明すると、まず、第１位置検出装置５１によって装着部３５ａ上の基板の位置を検出する。そして、検出された基板の位置と、予め設定している基板の所定位置とのずれ量を算出する。その後、算出されたずれ量に基づいて、第１位置修正装置３６を作動させて基板のずれを吸収する方向に第１支持台３５を移動する。これにより、装着部３５ａ上の基板を予め設定している所定位置に配置することができる。
【００２６】
  その後、第１支持台３５の装着部３５ａが、印刷装置２１によって導電パターンを印刷することが可能な印刷可能状態となるように、また、第２支持台３７の装着部３７ａが、基板の位置修正が可能な位置修正可能状態となるように、スライド台２６の台本体３０を図４（ｂ）に示すように右方向にスライドさせる。そして、第１支持台３５の装着部３５ａに取り付けられ、位置修正が施された基板に対して、印刷装置２１によって導電パターンを印刷する。
【００２７】
  第１支持台３５の装着部３５ａ上の基板に導電パターンを印刷している途中においては、第２支持台３７の装着部３７ａにコンベア１０から基板を投入し、基板の位置合わせを予め行っておく。つまり、コンベア１０の作動を再開し、コンベア１０上の導電パターンが印刷されていない基板が第２搬送アーム１２の下方に到達したときに再度コンベア１０の作動を停止する。そして第２搬送アーム１２を作動させて、コンベア１０上の基板を第２支持台３７の装着部３７ａ上にセットする。その後、上述した第１支持台３５の装着部３５ａに取り付けられた基板の位置合わせと同様に、第２位置検出装置５２によって第２支持台３７の装着部３７ａ上の基板の位置を検出すると共に、予め設定している基板の所定位置に対するずれ量を算出し、このずれ量に基づいて第２位置修正装置３８を作動させて第２支持台３７を所定量移動させることにより、ずれを修正して、基板の位置を予め設定している所定位置に合わせておく。
【００２８】
  そして、第１支持台３５上の基板への導電パターンの印刷が終了したら、スライド台２６の台本体３０を図４（ａ）に示すように再度左方向にスライドさせる。このとき、第１支持台３５の装着部３５ａが位置修正可能状態となり、第２支持台３７の装着部３７ａが印刷可能状態となる。
【００２９】
  次いで、第２支持台３７の装着部３７ａ上に取り付けられ、位置合わせが既に完了している基板に対して、印刷装置２１が導電パターンの印刷を行う。第２支持台３７の装着部３７ａ上の基板に導電パターンを印刷している途中においては、第１搬送アーム１１を作動させ、位置修正可能状態となる第１支持台３５の装着部３５ａに取り付けられ導電パターンが印刷された基板と、コンベア１０上の基板とを交換する。つまり、導電パターンが印刷された基板がコンベア１０に戻されると共に、コンベア１０上の導電パターンが印刷されていない基板が第１支持台３５の装着部３５ａ上に投入されることになる。その後、第１支持台３５の装着部３５ａに取り付けられた基板の位置合わせを上述した方法と同様な方法により予め行っておき、第２支持台３７上の基板への導電パターンの印刷が終了した後、スライド台２６の台本体３０を図４（ｂ）に示すように右方向にスライドさせる。そして、第１支持台３５上の基板に導電パターンの印刷を行うと共に、第２支持台３７上の基板とコンベア１０上の基板とを交換し、第２支持台３７に支持される基板の位置合わせを行う。このような工程を繰り返すことにより第１支持台３５および第２支持台３７に支持される基板に対して導電パターンを印刷していく。」
　
（ｄ）段落【００２２】，【００２４】，【００２５】及び【００２７】の記載を参酌するに【図４】（ａ）及び【図４】（ｂ）から、「第１位置検出装置５１は、第１搬送アーム１１により基板が第１支持台３５の装着部３５ａにセットされた位置で基板の位置を検出し、第２位置検出装置５２は、第２搬送アーム１２により基板が第２支持台３７の装着部３７ａにセットされた位置で基板の位置を検出し、第１支持台３５と第２支持台３７は共に台本体３０上にあり、台本体３０の左右移動に応じて左右に移動する」と読み取ることができる。
　
イ．上記引用例１の記載事項及び図面を総合勘案すると、引用例１には、次の発明（以下、「引用発明１」という。）が記載されていると認められる。
　
「基板に導電パターンを形成するパターン形成装置において、
　パターン形成装置１は、コンベア１０、第１搬送アーム１１、第２搬送アーム１２およびパターン形成装置本体２０を備えており、
　コンベア１０は、基板を移送する装置であり、
　第１搬送アーム１１は、コンベア１０上と、第１支持台３５の装着部３５ａとの間で基板を交換する装置であり、
　第２搬送アーム１２は、コンベア１０上と、第２支持台３７の装着部３７ａとの間で基板を交換する装置であり、
　第１搬送アーム１１と第２搬送アーム１２とは、印刷装置２１を挟んでその両側に配置され、
　パターン形成装置本体２０は、印刷装置２１、基板支持装置２５、第１位置検出装置５１および第２位置検出装置５２を備え、
　印刷装置２１は、基板上に導電ペーストを塗布して導電パターンを形成する装置であり、
　基板支持装置２５は、スライド台２６、第１基板位置決め装置２７および第２基板位置決め装置２８を備え、
　スライド台２６は、印刷装置２１の下方において、コンベア１０の搬送方向に沿って水平往復移動する装置であって、このスライド台２６は、上面に第１基板位置決め装置２７及び第２基板位置決め装置２８を載置する台本体３０と、台本体３０が載置され当該台本体３０が水平方向に摺動するレール部材３１と、台本体３０をレール部材３１上において移動させると共に、所定位置に配置することが可能な台本体駆動部３２とを備え、
　台本体駆動部３２は、台本体３０に挿通されるボールネジ３２ａと当該ボールネジ３２ａを回転させるモータ３２ｂとで構成されるサーボ機構であり、
　第１基板位置決め装置２７および第２基板位置決め装置２８は、スライド台２６の往復移動方向に沿ってそれぞれ配置されており、
　第１基板位置決め装置２７は、第１搬送アーム１１によってコンベア１０から投入される基板を支持すると共に、基板の位置合わせを行う装置であり、基板を支持する第１支持台３５と、第１支持台３５に支持される基板の位置を予め設定された所定位置に修正し、基板の位置合わせを行う第１位置修正装置３６とを備え、
　第２基板位置決め装置２８は、第２搬送アーム１２によってコンベア１０から投入される基板を支持すると共に、基板の位置合わせを行う装置であり、基板を支持する第２支持台３７と、第２支持台３７に支持される基板の位置を予め設定された所定位置に修正する第２位置修正装置３８とを備え、
　第１支持台３５と第２支持台３７は共に台本体３０上にあり、台本体３０の左右移動に応じて左右に移動し、
　第１位置検出装置５１および第２位置検出装置５２は、第１支持台３５の装着部３５ａおよび第２支持台３７の装着部３７ａにそれぞれ取り付けられる基板の一部や、基板に予め印刷されている見当マークの位置を読み取って基板の位置を検出できるように構成されている装置であり、印刷装置２１を挟んだ両側に設けられており、
　第１位置検出装置５１は、第１搬送アーム１１により基板が第１支持台３５の装着部３５ａにセットされた位置で基板の位置を検出し、第２位置検出装置５２は、第２搬送アーム１２により基板が第２支持台３７の装着部３７ａにセットされた位置で基板の位置を検出し、
　第１支持台３５の装着部３５ａが、印刷装置２１によって導電パターンを印刷することが可能な印刷可能状態となるように、また、第２支持台３７の装着部３７ａが、基板の位置修正が可能な位置修正可能状態となるように、スライド台２６の台本体３０を右方向にスライドさせ、第１支持台３５上の基板への導電パターンの印刷が終了したら、スライド台２６の台本体３０を左方向にスライドさせ、第１支持台３５の装着部３５ａが位置修正可能状態となり、第２支持台３７の装着部３７ａが印刷可能状態となるようにし、第２支持台３７上の基板への導電パターンの印刷が終了した後、スライド台２６の台本体３０を右方向にスライドさせ、第１支持台３５上の基板に導電パターンの印刷を行うと共に、第２支持台３７上の基板とコンベア１０上の基板とを交換し、第２支持台３７に支持される基板の位置合わせを行うという工程を繰り返すことにより第１支持台３５および第２支持台３７に支持される基板に対して導電パターンを印刷していく、
パターン形成装置。」
　
ウ．当審にて通知した拒絶理由に引用された、本願の優先日前である平成８年３月１９日に頒布された「特開平８−７１７８０号公報 」（以下「引用例２」という。）には、図面とともに、以下の技術事項が記載されている。
　
（ａ）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、連続シート状物等の被加工物とこの上を走査するレーザ光との位置合わせをＸＹθテーブルを用いること無く精密に実行可能なレーザ位置決め加工方法及び装置に関する。」
　
（ｂ）「【００２１】次に、この実施例の全体的な動作説明を行う。
【００２２】今、被加工物としての連続シート状物２０が停止状態となっているものとすると、図１のレーザ加工を行う加工ステージＰよりも１ピッチ前の画像取り込みステージＱの４個の画像認識マーク２１を４個の撮像カメラ２２で撮像し、撮像結果である画像信号を画像処理装置２３に入力し、画像処理装置２３では４個の画像認識マーク２１の位置から画像取り込みステージＱでの連続シート状物２０の基準配置からのずれ量（すなわちステージＱにある加工領域２０ａの基準配置からのずれ量）を制御器４に出力する。
【００２３】ステージＱでの画像取り込みが終了したら、図示しない間欠搬送機構で連続シート状物２０を位置ずれを生じ無いように正確に１ピッチだけ搬送して画像取り込みステージＱから加工ステージＰに送る。ステージＰの連続シート状物２０上の加工領域２０ａに対しレーザ光を走査してレーザ加工を開始する場合、制御器４は前記画像処理装置２３の出力信号（ΔＸ，ΔＹ，Δθ）を受けてＸ方向、Ｙ方向及びθ方向の補正後の走査用出力信号を前記スキャナコントローラ２４に加える。スキャナコントローラ２４では、θ方向のずれ量Δθに対応した補正量を、レーザ光の走査位置を考慮してＸ方向及びＹ方向の補正量に変換してＸ軸走査信号（レーザ光の走査位置のＸ座標を示す信号）及びＹ軸走査信号（レーザ光の走査位置のＹ座標を示す信号）を作成してＸ軸スキャナドライバ２５ａ及びＹ軸スキャナドライバ２５ｂに加えてＸ軸オプティカルスキャナ１１及びＹ軸オプティカルスキャナ１２を介してＸ軸スキャナミラーＭ４及びＹ軸スキャナミラーＭ５を回転させ、連続シート状物２０の基準配置からのずれ量を相殺するように本来のレーザ光の走査位置を補正した位置にレーザ光を位置決めして走査する。そして、加工領域２０ａに対して所定の加工パターンを作成する。
【００２４】この実施例によれば、以下の効果を得ることができる。
【００２５】(1)  被加工物を固定のまま、レーザ光をレーザヘッド２内のＸＹガルバノミラー系を振って（走査して）位置決め補正とレーザ加工とが可能である。従って、従来は困難であった連続シート状物２０の高精度加工（トリミング、穴明け等）が可能である。
【００２６】(2)  レーザ光を走査するＸＹガルバノミラー系で連続シート状物２０の基準配置からのずれ量を補正してレーザ光と連続シート状物２０との位置合わせのための位置決め補正と、レーザ光による加工とを行うため、被加工物を動かすＸＹθテーブルが不要であり、低コスト化が可能である。
【００２７】(3)  ＸＹガルバノミラー系やｆθレンズ１３の口径を適切に選択することで、１２０mm×１２０mmの範囲を一括で高速、高精度に穴明け、トリミング、マーキング等のレーザ加工が可能である。」
　
エ．上記引用例２の記載事項及び図面を総合勘案すると、引用例２には、次の技術（以下、「引用例２記載の技術」という。）が記載されていると認められる。
　
「被加工物に穴あけ、トリミング、マーキング等のレーザ加工を行う装置において、
　ステージＱにある加工領域２０ａの基準配置からのずれ量である、画像処理装置２３の出力信号（ΔＸ，ΔＹ，Δθ）を受けて、制御器４はＸ方向、Ｙ方向及びθ方向の補正後の走査用出力信号を前記スキャナコントローラ２４に加え、スキャナコントローラ２４では、θ方向のずれ量Δθに対応した補正量を、レーザ光の走査位置を考慮してＸ方向及びＹ方向の補正量に変換してＸ軸走査信号（レーザ光の走査位置のＸ座標を示す信号）及びＹ軸走査信号（レーザ光の走査位置のＹ座標を示す信号）を作成してＸ軸スキャナドライバ２５ａ及びＹ軸スキャナドライバ２５ｂに加えてＸ軸オプティカルスキャナ１１及びＹ軸オプティカルスキャナ１２を介してＸ軸スキャナミラーＭ４及びＹ軸スキャナミラーＭ５を回転させ、被加工物の基準配置からのずれ量を相殺するように本来のレーザ光の走査位置を補正した位置にレーザ光を位置決めして走査して、加工領域２０ａに対して所定の加工パターンを作成する技術。」
　
オ．当審にて通知した拒絶理由に引用された、本願の優先日前である平成２０年８月２１日に頒布された「特開２００８−１９１３０３号公報 」（以下「引用例３」という。）には、図面とともに、以下の技術事項が記載されている。
　
（ａ）「【０００１】
  本発明は、基板上へ２次元パターンを描画する描画装置及び方法に関し、特に、描画部に対して基板を相対的に移動させることにより描画を行う描画装置及び方法に関する。」
　
（ｂ）「【００１６】
  図１において、デジタル露光装置１０は、描画対象の基板１１を表面に吸着保持して移動させる平板状の第１及び第２移動ステージ１２ａ，１２ｂを備えている。基板１１は、プリント基板やフラットパネルディスプレイ用ガラス基板であり、表面に感光材料が塗布または貼着されている。４本の脚部１３に支持された平板状の基体１４の上面には、その長手方向（Ｙ方向）に沿って２本のガイドレール１５が互いに平行となるように延設されている。第１及び第２移動ステージ１２ａ，１２ｂは、ガイドレール１５によって同一の一次元軌道上を往復移動自在に支持されており、リニアモータ等により構成された第１及び第２移動ステージ駆動部５１ａ，５１ｂ（図５参照）によってそれぞれ駆動される。」
　
カ．上記引用例３の記載事項及び図面を総合勘案すると、引用例３には、次の技術（以下、「引用例３記載の技術」という。）が記載されていると認められる。
　
「基板上へ２次元パターンを描画する描画装置において、
　描画対象のプリント基板１１を表面に吸着保持して移動させる平板状の第１及び第２移動ステージ１２ａ，１２ｂは、ガイドレール１５によって同一の一次元軌道上を往復移動自在に支持されており、リニアモータ等により構成された第１及び第２移動ステージ駆動部５１ａ，５１ｂによってそれぞれ駆動させることにより、
　基板を移動させる技術。」
　
４．対比
　本願発明と、引用発明１を対比する。
　引用発明１における「基板を移送する装置である」「コンベア１０」は、本願発明における「コンベア」に相当する。
　引用発明１における「基板に導電パターンを形成するパターン形成装置」は、「コンベア１０」により基板が移送されることから、本願発明における「コンベアにより搬送される基板に対してパターン形成を行うパターン形成装置」に相当する。
　引用発明１における「第１支持台３５の装着部３５ａ」と「第２支持台３７の装着部３７ａ」は、共に「基板」が「取り付けられる」部分であるから、本願発明における「基板が装着される装着部」に相当する。
　引用発明１は、「第１支持台３５」と「第２支持台３７」が、共に基板が取り付けられる装着部を持ち、かつ「共に台本体３０上にあり、台本体３０の左右移動に応じて左右に移動する」ことから、引用発明１における「第１支持台３５」と「第２支持台３７」は、本願発明における「基板が装着される装着部をそれぞれ有する一対の移動台」に相当する。
　引用発明１における「基板上に導電ペーストを塗布して導電パターンを形成する」「印刷装置２１」は、装着部３５ａ又は装着部３７ａ上の基板に導電パターンを印刷するものであるから、本願発明における「装着部に取り付けられた基板に対してパターン形成を行う加工手段」に相当する。
　引用発明１は、「第１搬送アーム１１と第２搬送アーム１２とは、印刷装置２１を挟んでその両側に配置され」、「第１基板位置決め装置２７」と「第２基板位置決め装置２８」が、「スライド台２６の往復移動方向に沿ってそれぞれ配置され」、「第１基板位置決め装置２７は、第１搬送アーム１１によってコンベア１０から投入される基板を支持すると共に、基板の位置合わせを行う装置であり、基板を支持する第１支持台３５と、第１支持台３５に支持される基板の位置を予め設定された所定位置に修正し、基板の位置合わせを行う第１位置修正装置３６とを備え」、「第２基板位置決め装置２８は、第２搬送アーム１２によってコンベア１０から投入される基板を支持すると共に、基板の位置合わせを行う装置であり、基板を支持する第２支持台３７と、第２支持台３７に支持される基板の位置を予め設定された所定位置に修正する第２位置修正装置３８とを備え」ていることから、引用発明１における「第１搬送アーム１１」と「第２搬送アーム１２」が、本願発明における「加工手段を挟んで両側にそれぞれ配置され、」「コンベア上と」「各装着部との間で基板を交換する一対の搬送アーム」に相当する。
　引用発明１は、「第１位置検出装置５１」が、「第１搬送アーム１１により基板が第１支持台３５の装着部３５ａにセットされた位置で基板の位置を検出し」、「第２位置検出装置５２」が、「第１搬送アーム１２により基板が第２支持台３７の装着部３７ａにセットされた位置で基板の位置を検出」するものであり、「第１搬送アーム１１と第２搬送アーム１２とは、印刷装置２１を挟んでその両側に配置され」ていることから、引用発明１における「第１位置検出装置５１」と「第２位置検出装置５２」は、本願発明における「搬送アームにより基板が」「装着部に装着された位置で、」「基板の位置検出を行うように配置されており、」「加工手段を挟んで両側にそれぞれ配置され、」「装着部に取り付けられた基板の位置を検出する一対の基板位置検出手段」に相当する。
　引用発明１は、「スライド台２６」が「印刷装置２１の下方において、コンベア１０の搬送方向に沿って水平往復移動する装置」であり、「上面に第１基板位置決め装置２７及び第２基板位置決め装置２８を載置する台本体３０と、台本体３０が載置され当該台本体３０が水平方向に摺動するレール部材３１と、台本体３０をレール部材３１上において移動させると共に、所定位置に配置することが可能な台本体駆動部３２とを備え」ており、「第１基板位置決め装置２７は」「基板を支持する第１支持台３５」を「備え」、「第２基板位置決め装置２８は」「基板を支持する第２支持台３７」を「備え」ており、「第１支持台３５と第２支持台３７は共に台本体３０上にあり、台本体３０の左右移動に応じて左右に移動し」、「第１支持台３５の装着部３５ａが、印刷装置２１によって導電パターンを印刷することが可能な印刷可能状態となるように、また、第２支持台３７の装着部３７ａが、基板の位置修正が可能な位置修正可能状態となるように、」「台本体３０」が「右方向にスライド」し、「第１支持台３５の装着部３５ａが位置修正可能状態となり、第２支持台３７の装着部３７ａが印刷可能状態となるように」、「台本体３０」が「左方向にスライド」するものであるから、引用発明１における「台本体駆動部３２」は、本願発明における「一対の前記移動台を同一の軸線上で」「駆動可能であり、一方の」「移動台を一方の」「基板位置検出手段と」「加工手段との間で往復搬送すると共に、他方の」「移動台を他方の」「基板位置検出手段と」「加工手段との間で往復搬送するように構成され」て「一対の」「移動台を」「駆動する」、「駆動手段」に相当する。
　
　すると、本願発明と、引用発明１とは、次の点で一致する。
＜一致点＞
「コンベアにより搬送される基板に対してパターン形成を行うパターン形成装置であって、
　基板が装着される装着部をそれぞれ有する一対の移動台と、
　前記装着部に取り付けられた基板に対してパターン形成を行う加工手段と、
　前記加工手段を挟んで両側にそれぞれ配置され、前記コンベア上と前記各装着部との間で基板を交換する一対の搬送アームと、
　前記加工手段を挟んで両側にそれぞれ配置され、前記装着部に取り付けられた基板の位置を検出する一対の基板位置検出手段と、
　一対の前記移動台を駆動する駆動手段とを備え、
　前記基板位置検出手段は、前記搬送アームにより基板が前記装着部に装着された位置で、前記基板の位置検出を行うように配置されており、
　前記駆動手段は、一対の前記移動台を同一の軸線上で駆動可能であり、一方の前記移動台を一方の前記基板位置検出手段と前記加工手段との間で往復搬送すると共に、他方の前記移動台を他方の前記基板位置検出手段と前記加工手段との間で往復搬送するように構成された、
　パターン形成装置。」
　
　一方で、両者は、次の各点で相違する。
＜相違点１＞
　本願発明では、「加工手段は、設定された加工目標座標に基づいて平面上でレーザスポットを走査することにより、基板に対してパターン形成を行うことができるレーザ加工装置であり、基準座標系での加工目標座標を、」「基板位置検出手段の検出に基づき算出されたｘ方向、ｙ方向及びθ方向のずれ量に基づいて仮想座標系での加工目標座標に変換し、この仮想座標系でレーザスポットの駆動制御を行うことにより、」「装着部に取り付けられた基板自体を移動させることなくパターン形成を行うことができる」のに対し、引用発明１では、印刷装置２１が上記発明特定事項を備えていない点。
＜相違点２＞
　本願発明では、「駆動手段」が、一対の移動台を「個別に独立して」「それぞれ駆動する」ものであり、かつ「軸線に沿って並設された複数の磁石を有するステータと、」「ステータを囲繞するコイルをそれぞれ有する一対のスライダとを備え、一対の」「移動台は、一対の」「スライダにそれぞれ固定されている」のに対し、引用発明１では、「台本体駆動部３２」が、第１支持台３５と第２支持台３７を台本体３０とともに一体に駆動するものであり、かつ台「本体３０に挿通されるボールネジ３２ａと当該ボールネジ３２ａを回転させるモータ３２ｂとで構成されるサーボ機構であ」る点。
　
５．判断
　上記各相違点について判断する。
＜相違点１について＞
　プリント基板上にパターン形成を行う手法として、スクリーン印刷やレーザ加工が用いられることは、本願の優先日前において周知である（必要ならば特開平３−２６８４７８号公報を参照。）。また、レーザ加工において、加工対象物の位置ずれをレーザ光の走査位置を補正することにより加工対象物を移動させずに位置補正を行うことは、引用例２に記載されている（「引用例２記載の技術」参照。）。
　よって、引用発明１において、印刷装置に代えて、上記の周知手段からレーザ加工によりプリント基板上にパターン形成を行う装置を選択し、そのレーザ加工において引用例２記載の技術を適用して、上記相違点１に係る発明特定事項を得ることは、当業者ならば容易になし得たことである。
＜相違点２について＞
　基板の加工装置に基板を移送する装置において、基板を載置した移動台を、リニアモータで同一の軸線上で個別に独立してそれぞれ移動させることにより基板を移送する技術は、引用例３に記載されている（「引用例３記載の技術」参照。）。そして、リニアモータの具体的構成は、本願の優先日前において周知である（必要ならば特開平１１−１５０９７３号公報を参照。）。
　ゆえに、引用発明１において、第１支持台３５と第２支持台３７を台本体３０とともに一体に駆動する技術を、基板の加工装置に基板を移送する技術という点で共通する上記引用例３記載の技術で置換する際に、リニアモータの具体的構成として周知の構成を採用して、上記相違点２に係る発明特定事項を得ることは、当業者ならば容易になし得たことである。
　
　そして、基板に対するパターン形成を迅速かつ正確に行うことができるという本願発明の作用効果は、引用発明１，引用例２記載の技術，引用例３記載の技術及び周知技術から当業者が予測しうる範囲のものである。
　
　なお、請求人は、平成２３年１０月２６日付けの意見書において、引用例２記載の技術は、加工対象物が連続シート状物２０を対象としたものであり、引用発明１とは技術分野が大きく異なるので、引用例２記載の技術を引用発明１に適用することは、当業者が容易になし得ることではない旨主張している。しかしながら、引用例２記載の技術は、レーザ加工対象試料の位置ずれをレーザ光の座標を試料の位置ずれに応じて補正することにより試料の位置ずれ量を相殺する技術であり、引用例２記載の技術と同様の技術を単独の基板に対するレーザ加工において用いることは、本願の優先日前において周知である（必要ならば特開２００６−３１５０８６号公報の段落【００３１】−【００３２】を参照。）ことから、試料が連続シート状物でないと実現不可能な技術ではないことは明らかである。ゆえに引用例２記載の技術は、位置ずれを起こす試料ならばどのような試料にも適用可能なレーザ加工における技術であり、引用発明１の印刷装置をレーザ加工によりプリント基板上にパターン形成を行う装置で置換したものとレーザ加工という点で同一の技術分野に属する技術であるから、引用例２記載の技術が引用発明１とは技術分野が大きく異なるとは認められない。よって、請求人の上記主張を採用することはできない。
　
　よって、本願発明は、引用発明１，引用例２記載の技術，引用例３記載の技術及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
６．むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は、引用例１乃至３に記載された発明及び周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。