(57)【要約】【課題】環境変動によりファイバの屈折率が変化する場合でも、測定の再現性や測定精度を確保する。【解決手段】周波数の異なる２つの連続光波が合成された光信号を光電変換してテラヘルツ波を発生する誘電分光装置において、カプラ１３Ｂと検出器１７とを結ぶファイバ上に遅延線２０を配置し、放射器１６と検出器１７の前に位相差検出部２２を備えて放射器１６と検出器１７から出力される信号の位相差を検出し、検出した位相差に基づいて遅延線２０における遅延量を調整する。これにより、光路長の屈折率変動を同等にでき、環境変動に伴う位相変化を抑制し、高精度にデータを取得することが可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の光信号を出力する第１の光源と、
前記第１の光信号とは周波数の異なる第２の光信号を出力する第２の光源と、
前記第１の光信号を分波する第１のスプリッタと、
前記第２の光信号を分波する第２のスプリッタと、
前記第１のスプリッタが分波した前記第１の光信号の一方の位相を電気的に変調する第１の光位相変調器と、
前記第２のスプリッタが分波した前記第２の光信号の一方の位相を電気的に変調する第２の光位相変調器と、
前記第１の光信号のうちの一方と前記第２の光信号のうちの一方とを合波して第３の光信号を出力する第１のカプラと、
前記第１の光信号のうちの他方と前記第２の光信号のうちの他方とを合波して第４の光信号を出力する第２のカプラと、
前記第３の光信号を光電変換してミリ波又はテラヘルツ波の電磁波を発生させて被測定対象物に照射する放射器と、
前記被測定対象物を透過又は反射した前記電磁波を受信し、前記電磁波と前記第４の光信号をホモダインミキシングする検出器と、
前記第３の光信号もしくは前記第４の光信号が通るファイバ上又は前記被測定対象物と前記放射器及び前記検出器との間に挿入された空間遅延線と、
前記放射器及び前記検出器の前段における前記第３の光信号と前記第４の光信号の位相差を検出する位相差検出部と、
前記位相差検出部の出力に基づいて前記空間遅延線における遅延量を制御する制御部と、
を有することを特徴とする誘電分光装置。
【請求項２】
前記位相差検出部は、
前記第３の光信号を分波する第３のスプリッタと、
前記第４の光信号を分波する第４のスプリッタと、
前記第３、第４のスプリッタから前記第３、第４の光信号を入力し、前記第１の光信号の成分を合波する第３のカプラと、
前記第３、第４のスプリッタから前記第３、第４の光信号を入力し、前記第２の光信号の成分を合波する第４のカプラと、
前記第３のカプラで合波された前記第１の光信号の成分の位相差を検出する第１の光検出部と、
前記第４のカプラで合波された前記第２の光信号の成分の位相差を検出する第２の光検出部と、
前記第１、第２の光検出部それぞれの出力を比較する演算部と、
を有することを特徴する請求項１記載の誘電分光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、人間や動物などの血液成分の濃度を非侵襲で測定する装置に関し、特に、光電変換を利用した誘電分光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
高齢化が進み、成人病に対する対応が大きな課題になっている。特に血糖値などの血液検査は針による血液の採取が必要なために患者にとって大きな負担である。そのため、血液を採取しない非侵襲な成分濃度測定装置が注目されている。
【０００３】
非侵襲な成分濃度測定装置として、誘電分光法を用いた装置が提案されている。誘電分光法は、皮膚内に電磁波を照射し、測定対象の血液成分、例えば、グルコース分子と水の相互作用に従い、電磁波を吸収させ、電磁波の周波数に対する振幅及び位相を観測する。観測される電磁波の周波数に対する振幅及び位相から、誘電緩和スペクトルを算定する。一般的には、Ｃｏｌｅ−Ｃｏｌｅ式に基づき緩和カーブの線形結合として表現し、媒質や溶媒の複素誘電率を算定する。生体成分の計測では、例えば血液中に含まれるグルコースやコレステロール等の血液成分の量に複素誘電率は相関があり、その変化に対応した電気信号（振幅、位相）として測定される。複素誘電率変化と成分濃度との相関を予め測定することによって検量モデルを構築し、計測した誘電緩和スペクトルの変化から成分濃度の検量を行う。
【０００４】
従来の測定法としては、マイクロ波からミリ波以上の周波数帯では、光電気変換（フォトミキシング）を利用した誘電分光装置がある（特許文献１参照）。特許文献１の誘電分光装置は、周波数の異なる２つの連続光波が合成された光信号を光電変換して電磁波、例えばテラヘルツ波を発生し、発生したテラヘルツ波を被測定対象物に照射し、被測定対象物を透過したテラヘルツ波を受信するとともに、２つの連続光波のうちの一方の位相を変調して合成した参照光を入力してホモダインミキシングする構成である。ホモダインミキシングする検出器には例えば、光伝導アンテナを用い、参照光の照射によりアンテナ間のコンダクタンスが参照光に含まれる２つの連続光波間の差周波数にて変調されることで実現される。従来の誘電分光装置においては、電磁波をホモダイン検波する際には、検出器でのミキシング時における２つの光路長差が一致していることが必要である。そのため、空間を伝搬するテラヘルツ波の伝搬長や光が伝搬するファイバの長さ等を調節する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−３２９３３号公報
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】Andrew P. Gregory, and Robert N. Clarke, “A Review of RF and Microwave Techniques for Dielectric Measurements on Polar Liquids”, IEEE Transactions on Dielectrics and Electrical Insulation, August 2006, Vol. 13, No. 4, pp.727-743
【非特許文献２】Jae-Young Kim, Ho-Jin Song, Katsuhiro Ajito, Makoto Yaita, and Naoya Kukutsu, “Continuous-Wave THz Homodyne Spectroscopy and Imaging System With Electro-Optical Phase Modulation for High Dynamic Range”, IEEE Transactions on terahertz science and technology, March 2013, Vol. 3, No. 2, pp.158-164
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、温度等の環境変動によりファイバの屈折率が変動し、２つの光路長差が変動すると、信号の振幅・位相が不安定となり、測定再現性や測定精度が得られないという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、環境変動によりファイバの屈折率が変化する場合でも、測定の再現性や測定精度を確保することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る誘電分光装置は、第１の光信号を出力する第１の光源と、前記第１の光信号とは周波数の異なる第２の光信号を出力する第２の光源と、前記第１の光信号を分波する第１のスプリッタと、前記第２の光信号を分波する第２のスプリッタと、前記第１のスプリッタが分波した前記第１の光信号の一方の位相を電気的に変調する第１の光位相変調器と、前記第２のスプリッタが分波した前記第２の光信号の一方の位相を電気的に変調する第２の光位相変調器と、前記第１、前記第１の光信号のうちの一方と前記第２の光信号のうちの一方とを合波して第３の光信号を出力する第１のカプラと、前記第１の光信号のうちの他方と前記第２の光信号のうちの他方とを合波して第４の光信号を出力する第２のカプラと、前記第３の光信号を光電変換してミリ波又はテラヘルツ波の電磁波を発生させて被測定対象物に照射する放射器と、前記被測定対象物を透過又は反射した前記電磁波を受信し、前記電磁波と前記第４の光信号をホモダインミキシングする検出器と、前記第３の光信号もしくは前記第４の光信号が通るファイバ上又は前記被測定対象物と前記放射器及び前記検出器との間に挿入された空間遅延線と、前記放射器及び前記検出器の前段における前記第３の光信号と前記第４の光信号の位相差を検出する位相差検出部と、前記位相差検出部の出力に基づいて前記空間遅延線における遅延量を制御する制御部と、を有することを特徴とする。
【００１０】
上記誘電分光装置において、前記位相差検出部は、前記第３の光信号を分波する第３のスプリッタと、前記第４の光信号を分波する第４のスプリッタと、前記第３、第４のスプリッタから前記第３、第４の光信号を入力し、前記第１の光信号の成分を合波する第３のカプラと、前記第３、第４のスプリッタから前記第３、第４の光信号を入力し、前記第２の光信号の成分を合波する第４のカプラと、前記第３のカプラで合波された前記第１の光信号の成分の位相差を検出する第１の光検出部と、前記第４のカプラで合波された前記第２の光信号の成分の位相差を検出する第２の光検出部と、前記第１、第２の光検出部それぞれの出力を比較する演算部と、を有することを特徴する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、環境変動によりファイバの屈折率が変化する場合でも、測定の再現性や測定精度を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施の形態における誘電分光装置の構成を示すブロック図である。
【図２】位相差検出部の構成を示すブロック図である。
【図３】本実施の形態における別の誘電分光装置の構成を示すブロック図である。
【図４】誘電分光センサの測定系を示す図である。
【図５】別の誘電分光センサの測定系を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１は、本実施の形態における誘電分光装置の構成を示すブロック図である。
【００１４】
図１に示す誘電分光装置は、連続波光源１１Ａ，１１Ｂ、スプリッタ１２Ａ，１２Ｂ、カプラ１３Ａ，１３Ｂ、位相変調器１４Ａ，１４Ｂ、発振器１５、放射器１６、検出器１７、ロックインアンプ１８、およびモニタ１９を備え、さらに遅延線２０、スプリッタ２１Ａ，２１Ｂ、位相差検出部２２、および制御部２３を備える。
【００１５】
連続波光源１１Ａ，１１Ｂは、周波数が互いに異なる連続波光信号を出力する。以下の説明では、連続波光源１１Ａから出力された周波数ｆ１の連続波光信号を第１光信号、連続波光源１１Ｂから出力された周波数ｆ２の連続波光信号を第２光信号とする。
【００１６】
スプリッタ１２Ａは、第１光信号を２つに分波し、スプリッタ１２Ｂは、第２光信号を２つに分波する。
【００１７】
カプラ１３Ａは、スプリッタ１２Ａで分波された第１光信号とスプリッタ１２Ｂで分波された第２光信号とを合波する。カプラ１３Ａで合波された光信号はファイバを通って放射器１６に入力される。
【００１８】
放射器１６は、カプラ１３Ａで合波された光信号を光電変換し、第１光信号と第２光信号の周波数差に一致する周波数の電磁波（ミリ波又はテラヘルツ波）を発生する。放射器１６としては、例えば単一走行キャリア・フォトダイオード（ＵＴＣ−ＰＤ：Ｕｎｉ−Ｔｒａｖｅｌｉｎｇ−Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｐｈｏｔｏｄｉｏｄｅ）を利用できる。
【００１９】
位相変調器１４Ａ，１４Ｂは、制御信号により電気的に位相変調が可能な電気光学結晶を用いた位相変調器である。位相変調器１４Ａはスプリッタ１２Ａとカプラ１３Ｂの間に配置され、位相変調器１４Ｂはスプリッタ１２Ｂとカプラ１３Ａの間に配置される。位相変調器１４Ａ，１４Ｂに、発振器１５からの単一周波数ｆの制御信号を印加してセロダイン位相変調を行い、変調周波数ｆと同等の周波数シフトを光信号に生じさせる。位相変調器１４Ａは、スプリッタ１２Ａで分波した第１光信号のいずれか一方の位相を変調する位置に配置する。スプリッタ１２Ａとカプラ１３Ａの間に配置してもよい。位相変調器１４Ｂは、スプリッタ１２Ｂで分波した第２光信号のいずれか一方の位相を変調する位置に配置する。スプリッタ１２Ｂとカプラ１３Ａの間に配置してもよい。
【００２０】
カプラ１３Ｂは、位相変調器１４Ａ，１４Ｂのそれぞれで位相変調された第１光信号と第２光信号とを合波する。
【００２１】
遅延線２０は、カプラ１３Ｂと検出器１７とを結ぶファイバ上に配置され、カプラ１３Ｂで合波された参照光は遅延線２０を通って検出器１７に入力される。遅延線２０は、ファイバ端にレンズコリメータを接続し、２つのレンズを対向させ、平行光を伝搬させることで低損失で実現できる。カプラ１３Ａと放射器１６との間に遅延線２０を配置してもよい。
【００２２】
検出器１７は、カプラ１３Ｂで合波された参照光を照射されるとともに、放射器１６から放射されてサンプル１００を透過した電磁波を受信し、電磁波と参照光をホモダインミキシングして周波数ｆの電気信号を出力する。検出器１７は、アンテナ付きＳＢＤ（ショットキー・バリア・ダイオード）で構成されるＴＨｚミキサと、アンテナ付きＵＴＣ−ＰＤで構成されるフォトミキサと、光ファイバとを同一パッケージに実装することで実現できる。検出器１７には、光伝導アンテナ（ＰＣＡ：Ｐｈｏｔｏ−Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ａｎｔｅｎｎａ）を用いてもよい。光伝導アンテナでは、参照光の照射によりアンテナ間のコンダクタンスが参照光に含まれる２つの連続波光信号間の差周波数にて変調されることで実現される。
【００２３】
ロックインアンプ１８は、検出器１７が出力する電気信号を同期検波して振幅及び位相を検出し、モニタ１９は、ロックインアンプ１８が検出した振幅及び位相を処理する。
【００２４】
位相差検出部２２は、放射器１６と検出器１７の直前に設けたスプリッタ２１Ａ，２１Ｂのそれぞれで分波された光信号を入力し、遅延線２０の長さを調節するための補正値を算出する。位相差検出部２２の詳細については後述する。
【００２５】
制御部２３は、位相差検出部２２の算出した補正値に基づいて遅延線２０の長さを調節する。
【００２６】
テラヘルツ波帯では、放物面鏡３１Ａ，３１Ｂを用いた擬似光学系によるフリースペース法により、テラヘルツ波を測定対象であるサンプル１００に照射し、透過信号から複素誘電率を計測する。放物面鏡３１Ａ，３１Ｂを利用した場合は、レンズを利用するのに比べてレンズ内の多重反射が生じないので測定値が安定する。
【００２７】
ここで温度変化による影響について説明する。
【００２８】
従来の誘電分光装置においては、電磁波をホモダイン検波する際に、検出器でのミキシング時における２つの光路長差が一致するように光が伝搬するファイバの長さ等を予め調整する。本実施の形態では、カプラ１３Ａから放射器１６までのファイバと、カプラ１３Ｂから検出器１７までのファイバとを同等の遅延長とし、さらにカプラ１３Ｂと検出器１７の間に、放射器１６から検出器１７に出射されるテラヘルツ波の空間伝搬長と同等の長さ（遅延長）を有する遅延線２０を備える。
【００２９】
ファイバの屈折率温度係数ｄｎｓ／ｄＴは６．６×１０−６／℃であり、空気の屈折率温度係数ｄｎａ／ｄＴは−１．４×１０−７／℃である。カプラ１３Ａから放射器１６までのファイバの長さをＬ１、カプラ１３Ｂから検出器１７までのファイバの長さをＬ２とする。テラヘルツ波の空間伝搬長をＬ３とする。ホモダイン検波の条件として２つの光路長差を合わせると、それぞれの長さは以下となる。
【００３０】
ｎｓＬ１＋Ｌ３＝ｎｓＬ２
ここで、ｎｓはファイバコアの屈折率１．４である。空気の屈折率は１である。
【００３１】
温度変化をΔＴとすると、光路長差ΔＬは以下の式で表すことができる。
【００３２】
ΔＬ＝（Ｌ１−Ｌ２）（ｄｎｓ／ｄＴ）ΔＴ＋Ｌ３（ｄｎａ／ｄＴ）ΔＴ
【００３３】
遅延差Δτは以下となる。
【００３４】
Δτ＝２πΔＬ／λ
ここで、λはテラヘルツ波の波長である。例えば、Ｌ１−Ｌ２＝２０ｃｍ、Ｌ３＝２８ｃｍとし、ΔＴ＝１℃の変化が生じた場合、テラヘルツ波の波長λは、１ＴＨｚのときにλ＝０．３ｍｍであるので、遅延差Δτ＝０．０３ｒａｄ＝１．８度の温度に付随する位相信号の変動が生じる。
【００３５】
次に、位相差検出部について説明する。
【００３６】
図２は、位相差検出部の構成を示すブロック図である。同図に示す位相差検出部２２は、スプリッタ２２１Ａ，２２１Ｂ、カプラ２２２Ａ，２２２Ｂ、光検出器２２３Ａ，２２３Ｂ、および演算器２２４を備える。
【００３７】
放射器１６から出力される信号の位相は、２つの連続波光信号（位相をΦ１、Φ２とする）の位相差により、遅延時間Φｂ１とすると、Φｂ１＝Φ１−Φ２である。同様に、検出器１７から出力される検出信号の位相は、２つの連続波光信号（位相をΦ１’、Φ２’とする）の位相差により、遅延時間Φｂ２とすると、Φｂ２＝Φ１’−Φ２’である。したがって、Φｂ２−Φｂ１＝Φ１’−Φ２’−（Φ１−Φ２）となる。
【００３８】
連続波光源１１Ａが出力する連続波光信号の波長をλ１、連続波光源１１Ｂが出力する連続波光信号の波長をλ２、位相変調器１４Ａにより周波数変調した波長をλ１’、位相変調器１４Ｂにより周波数変調した波長をλ２’とする。放射器１６の直前に配置されたスプリッタ２１Ａからスプリッタ２２１Ａに到達する光信号は、波長λ１と波長λ２の連続波光信号であり、検出器１７の直前に配置されたスプリッタ２１Ｂからスプリッタ２２１Ｂに到達する光信号は、波長λ１’と波長λ２’の連続波光信号である。
【００３９】
カプラ２２２Ａにおいて、スプリッタ２２１Ａ，２２１Ｂで分波された連続波光源１１Ａから出力された連続波光信号（波長λ１と波長λ１’）を合波して光検出器２２３Ａに入射し、光検出器２２３Ａでフォトミキシングを行い、位相変調周波数ｆに相当する信号をロックインアンプ等により検出することで、２つの連続波光信号の位相差ΔΦ１＝Φ１’−Φ１を検出する。また、カプラ２２２Ｂにおいて、スプリッタ２２１Ａ，２２１Ｂで分波された連続波光源１１Ｂから出力された連続波光信号（波長λ２と波長λ２’）を合波して光検出器２２３Ｂに入射し、光検出器２２３Ｂでフォトミキシングを行い、同様に２つの連続波光信号の位相差ΔΦ２＝Φ２’−Φ２を検出する。位相差の検出には、連続波光源１１Ａ、１１Ｂが入力したスプリッタ１２Ａ，１２Ｂの後のいずれか一方のアームに少なくとも位相変調器を備える必要がある。
【００４０】
演算器２２４は、光検出器２２３Ａ，２２３Ｂのそれぞれが出力する位相差ΔΦ１と位相差ΔΦ２を比較してΦｂ２−Φｂ１を求める。
【００４１】
制御部２３は、ΔＬ＝λｂ×（Φｂ２−Φｂ１）／２πとして、遅延線２０の長さＬ４を増減させる。ここで、波長λｂ＝ｃ／（ｆ２−ｆ１）は差周波信号の波長であり、ｃは光速である。
【００４２】
制御部２３が遅延線２０の長さＬ４を調整することで、遅延差Δτ≒０とすることができ、ファイバの温度分布差による微小な変化を低減することができる。
【００４３】
次に、本実施の形態の別の誘電分光装置について説明する。
【００４４】
図３は、本実施の形態における別の誘電分光装置の構成を示すブロック図である。
【００４５】
同図に示す誘電分光装置は、図１に比べ、放物面鏡３１Ａ〜３１Ｄを２枚追加し、放射器１６、検出器１７、および放物面鏡３１Ａ，３１Ｄを固定したステージ２４を備え、制御部２３がステージ２４を制御して図上の左右に移動させる点で異なる。図３の誘電分光装置ではファイバに遅延線２０を備えていない。図３の構成においても、図１と同様に、遅延線２０を備えてもよい。また、図３の誘電分光装置では、位相変調器１４Ａをスプリッタ１２Ａとカプラ１３Ａの間に配置した。
【００４６】
図３の誘電分光装置では、放物面鏡３１Ａ，３１Ｂ間と放物面鏡３１Ｃ，３１Ｄ間とでテラヘルツ波が平行に進む区間を遅延量が調整可能な空間遅延線とすることで、テラヘルツ波の振幅の低下を防ぐことができる。制御部２３が、放射器１６と検出器１７に入力される光信号の位相差を検出する位相差検出部２２の出力に基づいてステージ２４を制御し、放物面鏡３１Ａ，３１Ｂ間の距離及び放物面鏡３１Ｃ，３１Ｄ間の距離を調整することで、温度等の環境変動による光ファイバの屈折率変化をキャンセルすることができ、測定の再現性や測定精度を確保することが可能となる。例えば、テラヘルツ波の波長λは、１ＴＨｚのときにλ＝０．３ｍｍであるので、位相差１０°に対するステージの変化量は８ミクロンである。なお、放物面鏡３１Ｂ，３１Ｃとサンプル１００をステージ２４に固定して放物面鏡３１Ａ，３１Ｂ間と放物面鏡３１Ｃ，３１Ｄ間の距離を制御してもよい。
【００４７】
次に、集束レンズを用いた誘電分光センサの測定系について説明する。
【００４８】
図４は、本実施の形態の誘電分光センサの測定系を示す図である。図４の例では、誘電分光センサの測定系に透過型の配置をして、グルコース等の水溶液や油等の液体を透過した透過信号の振幅、位相を測定する。放射器１６から放射されたテラヘルツ波は、レンズ５１を通過し、固定治具５４に保持された誘電率測定用セル５３のサンプルセルに入射する。サンプルセルのサイズは、例えば、ビームサイズ以上として数ミリ×数ミリ角以上である。サンプルを固定する窓板５２の材料は、高抵抗Ｓｉ，Ｚカット水晶、ＨＤＰＥ、ＴＰＸ、Ｔｓｕｒｕｐｉｃａ等を用いてもよく、測定周波数に応じて透過率の高い材料を選択する。サンプルセルを通過したテラヘルツ波は、レンズ５１を通過し、検出器１７で受信される。なお、サンプルセルは、インレットとアウトレットを備えるフローセル構成としてもよい。また、固体を測定してもよい。
【００４９】
図５は、本実施の形態の別の誘電分光センサの測定系を示す図である。図５の例では、シリコンを材料とするＡＴＲプリズム５５上にサンプルセルを配置し、サンプルセルで反射した反射信号の振幅、位相を測定する。ＡＴＲプリズム５５は強い吸収を呈する試料の場合に用いられる。放射器１６から放射されたテラヘルツ波は、レンズ５１、ＡＴＲプリズム５５を通過し、固定治具５４に保持された誘電率測定用セル５３のサンプルセルとＡＴＲプリズム５５の界面で反射する。サンプルセルは、窓板５２で誘電率測定用セル５３に封止される。サンプルセルで反射したテラヘルツ波は、ＡＴＲプリズム５５、レンズ５１を通過し、検出器１７で受信される。
【００５０】
以上説明したように、本実施の形態によれば、周波数の異なる２つの連続光波が合成された光信号を光電変換してテラヘルツ波を発生する誘電分光装置において、カプラ１３Ｂと検出器１７とを結ぶファイバ上に遅延線２０を配置し、放射器１６と検出器１７の前に位相差検出部２２を備えて放射器１６と検出器１７から出力される信号の位相差を検出し、検出した位相差に基づいて遅延線２０における遅延量を調整することにより、光路長の屈折率変動を同等にでき、環境変動に伴う位相変化を抑制し、高精度にデータを取得することが可能となる。
【符号の説明】
【００５１】
１１Ａ，１１Ｂ…連続波光源
１２Ａ，１２Ｂ…スプリッタ
１３Ａ，１３Ｂ…カプラ
１４Ａ，１４Ｂ…位相変調器
１５…発振器
１６…放射器
１７…検出器
１８…ロックインアンプ
１９…モニタ
２０…遅延線
２１Ａ，２１Ｂ…スプリッタ
２２…位相差検出部
２２１Ａ，２２１Ｂ…スプリッタ
２２２Ａ，２２２Ｂ…カプラ
２２３Ａ，２２３Ｂ…光検出器
２２４…演算器
２３…制御部
２４…ステージ
３１Ａ〜３１Ｄ…放物面鏡
５１…レンズ
５２…窓板
５３…誘電率測定用セル
５４…固定治具
５５…ＡＴＲプリズム
１００…サンプル
【図１】
2017003341.tif 000003
【図２】
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【図３】
2017003341.tif 000005
【図４】
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【図５】
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