【手続補正書】
【提出日】平成18年11月7日(2006.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】階層内で結合された相互接続されたサブシステムを有する装置を制御するためのシステムであり、階層内の付与のレベルにおけるサブシステムが階層のすぐ上のレベルにおけるサブシステム内に含まれるところのシステムであって、
複数の階層的に結合された状態機械であって、少なくともひとつの状態機械が階層的に結合されたサブシステムの各々と関連するところの状態機械と、
階層によって定義された順序で階層的に結合されたサブシステムの各々に対して状態機械の状態を評価する手段であって、状態機械の状態を評価するための手段は階層内で比較的上位である状態機械の評価の前に階層内で比較的下位である状態機械を評価するよう動作し、状態機械の状態を評価するための手段は階層内で比較的下位である状態機械からのみ受信された状態データを使って状態機械の状態を評価する、ところの手段と、
から成るシステム。
【請求項２】請求項１に記載のシステムであって、さらに階層的に結合されたサブシステムの各々に対して、
少なくともひとつの状態機械に結合され、信号を関連するサブシステムへ及びそこから転送するためのデジタル信号処理及び条件付けオブジェクトと、
階層的に結合された状態機械に結合され、階層的に結合された状態機械にコマンドを転送するためのユーザーインターフェースと、
から成るシステム。
【請求項３】請求項１に記載のシステムであって、ひとつ若しくはそれ以上の状態機械の状態を評価するための手段は階層内で比較的上位である状態機械からのみ受信されたコマンドデータを使って状態機械の状態を評価する、ところのシステム。
【請求項４】請求項２に記載のシステムであって、さらに
複数のサブシステムの各々に関連する信号を保存するためのメモリと、
該メモリ内に保存された信号に応答して階層的に結合された複数の状態機械を評価するための手段であって、階層内で比較的下位である状態機械は階層内で比較的上位である状態機械の前に評価され、状態機械は階層内で比較的下位の状態機械からのみ受信した状態データを使って及びデジタル信号処理及び条件付けオブジェクト内に流れるデータから評価されるところの手段と、
外部ユーザーからコマンドを受信するための手段と、
外部ユーザーからのコマンドに応答して階層的に結合された複数の状態機械を評価するための手段であって、階層内で比較的上位である状態機械は階層内で比較的下位である状態機械の前に評価され、状態機械は階層内で比較的上位である状態機械からのみ受信されたコマンドを使って評価されるところの手段と、
から成るシステム。
【請求項５】請求項１に記載のシステムであって、階層的に結合された複数の状態機械の各々は、関連するサブシステム内のエラーを識別するための少なくとも一つのエラー状態から成る、ところのシステム。
【請求項６】請求項１に記載のシステムであって、階層的に結合された複数の状態機械の各々は、さらに関連するサブシステムの変化状態を識別するための少なくとも一つの遷移状態から成る、ところのシステム。
【請求項７】請求項１に記載のシステムであって、階層的に結合された複数の状態機械の各々はさらに関連するサブシステムの固定された状態を示すための少なくとも一つのターミナル状態から成る、ところのシステム。
【請求項８】請求項１に記載のシステムであって、さらに制御された装置の動作中に複数のサブシステムの実行の順序をスケジュールに入れるためのスケジューラから成るシステム。
【請求項９】請求項８に記載のシステムであって、サブシステムの各々に関連するのは制御された装置の動作中に関連サブシステムがどれくらいしばしば評価されるべきかを指示するための時間間隔であり、サブシステムの実行の順序はサブシステムの各々の関連する時間間隔に応答して決定される、ところのシステム。
【請求項１０】請求項９に記載のシステムであって、スケジューラはさらに装置のサブシステムの各々の総実行時間及び装置の実行のための選択されたサイクル数に応答して階層内でサブシステムの実行の順序を決定する、ところのシステム。
【請求項１１】請求項１０に記載のシステムであって、階層的に結合されたサブシステムの各々はさらにデータフロー図から成り、少なくとも一つの状態機械及びデータフロー図は関連するサブシステムの動作状態を指示するよう与えられる、ところのシステム。
【請求項１２】請求項１１に記載のシステムであって、スケジューラはさらに、
階層的に結合されたサブシステムの状態機械に対する状態機械ポインタの第１順序リストであって、状態機械ポインタは関連するサブシステムの階層的に昇順に並べられるところの第１順序リストと、
階層的に結合されたサブシステムのデータフロー図に対するデータフローポインタの第２順序リストであって、該データフローポインタはデータフロー順及び関連するサブシステムの階層的に昇順に並べられるところの第２順序リストと、
第１リストが従う第２リストから成る上方実行リストと、
逆の順序で第２リストが従う第１リストから成る下方実行リストと、
から成るところのシステム。
【請求項１３】請求項１２に記載のシステムであって、サブシステムの各々に関連する時間間隔の各々は装置の実行用に使用される時間間隔の総数の因数である有効時間間隔のセットから選択される、ところのシステム。
【請求項１４】請求項１３に記載のシステムであって、さらに
上方更新リストの複数のセットであって、数は有効時間間隔のセット内の時間間隔の数に対応し、上方更新リストのセットの各エントリーは上方実行リスト内のひとつのエントリーに対するポインタを保存するところのセットと、
下方更新リストの複数のセットであって、数は有効時間間隔のセット内の時間間隔の数に対応し、下方更新リストのセットの各エントリーは下方実行リスト内のひとつのエントリーに対するポインタを保存するところのセットと、
ポインタに関連するサブシステムの実行のために割当てられた時間間隔に応答して、状態機械ポインタ及びデータフローポインタを上方実行リスト及び下方実行リストからひとつ若しくはそれ以上の複数の上方更新リスト及び下方更新リストへそれぞれコピーするための手段と、
から成るシステム。
【請求項１５】請求項１４に記載のシステムであって、さらに
複数の上方スケジュールリストであって、数は装置の実行用に使用される時間間隔の総数に対応し、上方スケジュールリストのエントリーの各々は上方更新リストに対するポインタを保存するところのリストと、
複数の下方スケジュールリストであって、数は装置の実行用に使用される時間間隔の総数に対応し、下方スケジュールリストのエントリーの各々は下方更新リストに対するポインタを保存するところのリストと、
複数の上方更新リストから複数の上方スケジュールリストへポインタをコピーするための、及び複数の下方更新リストから複数の下方スケジュールリストへポインタをコピーするための手段であって、ポインタはそれらの関連するサブシステムの時間間隔にしたがって複数のスケジュールリストの関連するひとつにコピーするために選択されるところの手段と、
から成るシステム。
【請求項１６】請求項１５に記載のシステムであって、さらに
数が装置の実行用の時間間隔の総数に対応する複数のエントリーから成るマスター上方リストであって、各関連する時間間隔において解析されるサブシステムに対するポインタを保存するためのリストと、
数が装置の実行用の時間間隔の総数に対応する複数のエントリーから成るマスター下方リストであって、関連する時間間隔中に実行されるサブシステムに対するポインタを保存するためのリストと、
時間間隔を測定しかつ制御するためのタイマーと、
タイマー、マスター上方リスト、マスター下方リスト、複数の上方スケジュールリスト及び複数の下方スケジュールリストに結合され、測定されかつ制御された時間間隔に応答してマスター上方リスト内の複数の上方スケジュールリストに対するポインタを保存するための及びマスター下方リスト内の複数の下方スケジュールリストに対するポインタを保存するための手段と、
から成るシステム。
【請求項１７】階層内で結合された複数の相互接続されたサブシステムを有するシステムを解析するための方法であり、階層内の付与のレベルにおいてサブシステムは階層のすぐ上のレベルにおけるサブシステム内に含まれ、相互接続されたサブシステムの各ひとつは階層的に結合された複数の状態機械の対応するひとつと関連するところの方法であって、
各サブシステムに対して関連する状態機械の状態を評価する工程であって、関連する状態機械の評価の順序はひとつ若しくはそれ以上の相互接続されたサブシステムの階層によって定義された順序に応答して決定され、状態機械の状態を評価する順序は階層内で比較的下位であるサブシステムに関連する状態機械から階層内で比較的上位であるサブシステムに関連する状態機械への順である、ところの工程、
から成る方法。
【請求項１８】請求項１７に記載の方法であり、サブシステムの各々に関連するのはデジタル信号処理及び条件付けオブジェクトから成るデータフロー図であるところの方法であって、さらに
階層的に結合されたサブシステムの各々内へ及びそこから選択された外部信号を転送する工程であって、各サブシステム内へ及びそこから転送された外部信号は各状態機械より階層内で比較的下位であるデジタル信号処理及び条件付けオブジェクトに関連する外部信号であるところの工程と、
階層的に結合された状態機械の各々内へコマンドを転送する工程であって、状態機械の各々内へ転送されるコマンドは各状態機械より階層内で比較的上位であるサブシステムから各状態機械において受信されるコマンドであるところの工程と、
から成る方法。
【請求項１９】請求項１８に記載の方法であって、階層によって定義された順序で関連する状態機械の状態を評価する工程は、階層内で比較的上位であるデジタル信号処理及び条件付けオブジェクトに関連する状態機械の評価の前に、階層内で比較的下位のデジタル信号処理及び条件付けオブジェクトに関連する状態機械を評価する、ところの方法。
【請求項２０】請求項１７に記載の方法であって、階層によって定義された順序で関連する状態機械の状態を評価する工程がさらに、
システムの複数のサブシステムから受信された信号をメモリ内に保存する工程と、
メモリ内に保存された信号に応答して上方向に状態機械を評価する工程であって、階層内で比較的上位であるサブシステムに関連する状態機械の前に階層内で比較的下位であるサブシステムに関連する状態機械が評価され、各状態機械は各状態機械より階層内で比較的下位であるサブシステムに関連する状態機械からのみ受信された状態データを使って評価されるところの工程と、
外部ユーザーからコマンドを受信する工程と、
外部ユーザーからのコマンドに応答して下方向へ状態機械を評価する工程であって、階層内で比較的下位であるサブシステムに関連する状態機械の前に階層内で比較的上位であるサブシステムに関連する状態機械が評価され、各状態機械は各状態機械より階層内で比較的上位であるサブシステムに関連する状態機械からのみ受信されたコマンドを使って評価されるところの工程と、
から成るところの方法。
【請求項２１】請求項１７に記載の方法であって、状態機械の各々は関連するサブシステムにおいてエラーを識別するための少なくともひとつのエラー状態から成るところの方法。
【請求項２２】請求項１７に記載の方法であって、状態機械の各々はさらに関連するサブシステムの変化状態を識別するための少なくともひとつの遷移状態から成るところの方法。
【請求項２３】請求項１７に記載の方法であって、状態機械の各々はさらに関連するサブシステムの固定された状態を示すための少なくともひとつのターミナル状態から成るところの方法。
【請求項２４】請求項１７に記載の方法であって、さらに状態機械の階層内のサブシステムの実行をスケジュールに入れる工程から成る方法。
【請求項２５】請求項２４に記載の方法であって、サブシステムの各々に関連するのはどのくらいしばしば関連するサブシステムが評価されるべきかを指示するための時間間隔であり、スケジュールに入れる工程はサブシステムの各々の時間間隔に応答してサブシステムの実行の順序を決定する工程を含む、ところの方法。
【請求項２６】請求項２５に記載の方法であって、実行の順序を決定するための工程はさらにシステムの総実行時間に応答して実行される、ところの方法。
【請求項２７】請求項１７に記載の方法であって、状態機械の各々に関連するのは関連するサブシステムにおいてエラーを示すためのエラー状態であり、関連するサブシステムの各々に対するエラーはサブシステムの階層内の所定のレベルへ送られる、ところの方法。
【請求項２８】請求項２０に記載の方法であって、相互接続されたサブシステムの各々に関連するのはデータフロー図であり、上方向へ状態機械を評価する工程は階層的に昇順に関連するサブシステムの状態機械を評価する前に階層的に昇順にサブシステムのデータフロー図を評価する工程を含む、ところの方法。
【請求項２９】請求項２８に記載の方法であって、下方向へ状態機械を評価する工程は階層的に降順に関連するサブシステムの状態機械を評価した後に階層的に降順にサブシステムのデータフロー図を評価する工程を含む、ところの方法。
【請求項３０】装置を制御するための制御システムであって、該装置に結合されたプロセッサから成り、該プロセッサが
装置に関連した信号を保存するためのメモリであって、該信号は装置の動作中に装置から受信され及び装置へ送られる、ところのメモリと、
装置の作動機能を表す階層的に相互接続された複数のサブシステムから成る階層的データ構造と、
階層的データ構造へ信号を送るための手段と、
該信号に応答して制御された方法で階層的データ構造内の状態を更新するための手段であって、相互接続されたサブシステムの各々は少なくとも一つのオブジェクトによって表され、制御された方法で階層的データ構造内の状態を更新するための手段は実行サイクル中に階層的に昇順に及び階層的に降順にオブジェクトの状態を評価するための手段を含む、ところの手段と、
装置の動作中に階層的データ構造のオブジェクトの各々の実行をスケジュールに入れるためのスケジューラであって、スケジューリングは制御システムの実行プロトコルに応答して実行され、オブジェクトの各々は少なくとも一つの状態機械若しくはデータフロー図のいずれかを含み、制御システムの実行プロトコルは有限状態機械及び階層的データ構造のデータフロー図の実行の順序を指令する、ところのスケジューラと、
から成るところの制御システム。
【請求項３１】請求項３０に記載の制御システムであって、階層的に昇順でオブジェクトの状態を評価するための手段は各オブジェクトより階層的データ構造内で比較的下位であるオブジェクトからの情報を使用してオブジェクトの各々の状態を評価する、ところの制御システム。
【請求項３２】請求項３０に記載の制御システムであって、階層的に降順でオブジェクトの状態を評価するための手段は各オブジェクトより階層的データ構造内で比較的上位であるオブジェクトからの情報を使用してオブジェクトの各々の状態を評価する、ところの制御システム。
【請求項３３】請求項３０に記載の制御システムであって、実行プロトコルは実行の４つの位相を含み、それは上行データフロー実行位相、上行状態機械実行位相、下行状態機械実行位相及び下行データフロー実行位相から成る、ところの制御システム。
【請求項３４】請求項３０に記載の制御システムであって、装置はイオン注入システムである、ところの制御システム。