【事件の表示】
　特願２０００−５５９０４０「バッチローダーを有する二本アーム・サブストレート取扱いロボット」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年　１月２０日国際公開、ＷＯ００／０２８０３、平成１４年　７月　９日国内公表、特表２００２−５２０８３０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本願は、平成１１年７月９日（パリ条約による優先権主張１９９８年７月１０日、アメリカ合衆国）を国際出願日とする出願であって、平成１８年７月４日付けで手続補正がなされ、平成２１年２月２０日付けで拒絶理由が通知され、平成２１年８月２４日付けで意見書の提出と共に手続補正がなされたが、平成２２年２月１９日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年６月２３日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、これと同時に明細書を補正対象とする手続補正（以下、同手続補正を「本件補正」という。）がなされたものである。
　
第２．本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
本件補正を却下する。
［理由］
（１）補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲は、
「【請求項１】
　サブストレートを保持するカセットの開放面に向き合う位置に位置づけることが可能なサブストレート取扱いロボットであって、
　アーム駆動機構と、
　前記アーム駆動機構に接続されている第一の関節状アームと、
　前記第一の関節状アームは、第一の上方アームと、前記第一の上方アームにピボット接続された第一の前アームとを有しており、前記アーム駆動機構は前記第一の関節状アームを制御可能に運動させるように動作するものと、
　前記第一の関節状アームの前記第一の前アームに接続されている複数サブストレート・バッチローダーと、
　前記アーム駆動機構に接続されている第二の関節状アームと、
　前記第二の関節状アームは、第二の上方アームと、前記第二の上方アームにピボット接続された第二の前アームとを有しており、前記第二の上方アームおよび前記第二の前アームは、前記第一の前アームおよび前記第一の上方アームとは別個になっており、前記アーム駆動機構は前記第二の関節状アームを制御可能に運動させるように動作し、前記第二の関節状アームは、前記第一の関節状アームとは独立して、動作可能になっているものと、
　前記第二の関節状アームの前記第二の前アームに接続されている単一面エンド・エフェクタ
と、
　
前記単一面エンド・エフェクタが、前記カセットの中のサブストレートの数を査定するための対象物センサーを含んでいるものと
　前記アーム駆動機構は、前記複数サブストレート・バッチローダーと前記単一面エンド・エフェクタのいずれかまたは両方を、前記カセットからサブストレートを引き出すように位置づけることができるようにしたことを特徴とするサブストレート取扱いロボット。
【請求項２】
　前記複数サブストレート・バッチローダーが、垂直に積み上げられた複数のサブストレート取扱いパドルを有することを特徴とする請求項１記載のサブストレート取扱いロボット。
【請求項３】
　前記垂直に積み上げられた複数のサブストレート取扱いパドルの各サブストレート取扱いパドルが、真空開口部を有することを特徴とする請求項２記載のサブストレート取扱いロボット。
【請求項４】
　前記垂直に積み上げられたサブストレート取扱いパドルの各真空開口部から真空信号を受ける真空センサーをさらに含むことを特徴とする請求項３記載のサブストレート取扱いロボット。
【請求項５】
　前記真空センサーに接続され、前記複数サブストレート・バッチローダーが保持するサブストレート数を示すサブストレート装荷数を判定する真空信号インタープリータをさらに含むことを特徴とする請求項４記載のサブストレート取扱いロボット。
【請求項６】
　前記真空信号インタープリータが、前記サブストレート装荷数に応じて、前記第一の関節状アームの運動の速度を変えることを特徴とする請求項５記載のサブストレート取扱いロボット。
【請求項
７
　前記カセットの中の前記サブストレート数に応じて前記第一の関節状アームと前記第二の関節状アームとを制御して、前記第一の関節状アームと第二の関節状アームとが、サブストレートの数と位置に依存して、前記カセットからサブストレートを所定のシークエンスで除去して、前記複数サブストレート・バッチローダーの完全装荷の使用を最大化するようにするサブストレート装荷シークエンス・コントローラをさらに具備することを特徴とする請求項１記載のサブストレート取扱いロボット。
【請求項
８
　保管場所からサブストレートを取り出す方法において、
　第一の上方アームと、前記第一の上方アームにピボット接続された第一の前アームとを有する第一の関節状アームに備えられた複数のパドルを含む複数サブストレート・バッチローダーであって、前記第一の前アームにピボット接続されている前記複数サブストレート・バッチローダーを用いて前記保管場所から複数のサブストレートを引き出すステップと、
　第二の上方アームと、前記第二の上方アームにピボット接続された第二の前アームとを有する第二の関節状アームに備えられた単一パドルであって、前記第二の関節状アームは前記第一の関節状アームとは別個になっており、前記第二の前アームにピボット接続されている前記単一パドルを用いて前記保管場所から単一のサブストレートを取り出すステップと、
　前記単一パドルと前記複数サブストレート・バッチローダーとを共に異なる箇所へ移動するステップと
　を具備することを特徴とする方法。
【請求項
９
　前記複数サブストレート・バッチローダーが保持するサブストレート数を示す真空信号を、前記複数サブストレート・バッチローダーから取得するステップを含むことを特徴とする請求項８記載の方法。
【請求項
１０
　前記複数サブストレート・バッチローダーが完全に装荷されていないとき、前記複数サブストレート・バッチローダーの運動を変えるステップをさらに含むことを特徴とする請求項８記載の方法。
【請求項
１１
　前記保管場所にあるサブストレート数を査定するステップをさらに含むことを特徴とする請求項８記載の方法。
【請求項
１２
　前記複数サブストレート・バッチローダーの完全装荷を促進するため、前記保管場所から個々のサブストレートを取り出すステップをさらに含むことを特徴とする請求項１１記載の方法。
【請求項
１３
　末端と近接端を有するアームコネクターであって、前記近接端は、前記
第一の前アーム
　前記末端上の第一のスタンドオフと、
　前記第一のスタンドオフの上部に載置される第一のパドルであって、前記第一のパドルは、前記第一のスタンドオフ上で端部のスタンドオフとして機能することが可能な第一のパドル台として組み込まれるものと、
　前記第一のパドル上に整列された複数のパドルであって、前記複数のパドルの各パドルは、前記第一のスタンドオフと整列する端部のスタンドオフとして機能するパドル台として組み込まれるものと、
　各前記パドルの垂直配列を確保するためのパドルキャップと
　を備える前記複数サブストレート・バッチローダーを具備することを特徴とする請求項１記載のサブストレート取扱いロボット。
【請求項
１４
　前記第一のパドル台が別個の高架台部材であることを特徴とする請求項１３記載のサブストレート取扱いロボット。
【請求項
１５
　前記パドルは真空
チャンネル
【請求項
１６
　各前記パドルは吸入を行い、そしてサブストレートを前記パドルに固定する真空開口部を有し、
　各前記パドル台は、内部真空チャンネルを有し、そして
　Ｏリングが、前記パドル、前記パドル台、前記スタンドオフおよび前記パドルキャップ間の真空チャンネルをシールするものであることを特徴とする請求項１３記載のサブストレート取扱いロボット。」
と、補正された。
　
（２）補正事項
　上記補正は、以下の事項からなる。
　
ア．補正事項１
　請求項１に記載された発明を特定する事項である「前記第二の関節状アームの前記第二の前アームに接続されている単一面エンド・エフェクタと」を、「前記第二の関節状アームの前記第二の前アームに接続されている単一面エンド・エフェクタと、
　前記単一面エンド・エフェクタが、前記カセットの中のサブストレートの数を査定するための対象物センサーを含んでいるものと」と補正する。
　
イ．補正事項２
　旧請求項７、８を削除し、旧請求項９ないし１８を請求項７ないし１６とする。
　
ウ．補正事項３
　請求項１３（旧請求項１５）に記載された発明を特定する事項である「末端と近接端を有するアームコネクターであって、前記近接端は、前記アーム駆動機構に結合するように適合されているもの」を、「末端と近接端を有するアームコネクターであって、前記近接端は、前記第一の前アームに結合するように適合されているもの」と補正する。
　
エ．補正事項４
　請求項１５（旧請求項１７）に記載された発明を特定する事項である「前記パドルは真空を有する」を、「前記パドルは真空チャンネルを有する」と補正する。
　
（３）補正の目的
　補正事項１は、「単一面エンド・エフェクタ」が「カセットの中のサブストレートの数を査定するための対象物センサーを含んでいる」ことを限定するものであって、これは、平成１８年法律第５５号による改正前の特許法（以下、「改正前特許法」という。）第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　また、補正事項２ないし４は、同法第１７条の２第４項第４号の明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　
（４）請求項１に係る発明について
　そこで、補正事項１に係る本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明１」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（改正前特許法第１７条の２第５項において準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
（４−１）引用刊行物
○引用刊行物１
　原査定の拒絶の理由に引用された特開平７−１０６４０２号公報（以下、「引用刊行物１」という。）には、「板状体搬送装置」に関して、図面とともに、以下のとおり記載されている。
　
ア．段落【０００１】〜【０００８】
「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、搬送装置に関し、特に、半導体ウェハ等の板状体を搬送するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、半導体ウェハ等の板状体の処理装置においては、処理部に対してロード／アンロードされる板状体をカセット等の収容部に搬送する機構が設けられている。
【０００３】このような搬送機構を用いる処理装置のひとつに熱処理装置がある。この熱処理装置は、酸化、拡散、アニールや成膜に用いられる。そして、この装置では複数の板状体、例えば、上記した半導体ウェハをカセットからボートに移し換えてボートを熱処理炉にロードしたり、あるいは、この逆にアンロードされた半導体ウェハをボートからカセットに移し換える操作が行なわれる。
【０００４】このため、熱処理装置のロード／アンロード部には、カセットとボートとの間で半導体ウェハを受渡し、所謂、移載するための搬送装置が装備されている。
【０００５】ところで、この搬送装置には、複数の半導体ウェハ等の板状体を一括して搬送することにより、半導体製造工程でのスループットを改善することのできる構造が提案されている。
【０００６】図１３は、上記構造の一例を示しており、この構造は、回転、昇降および進退可能なアーム機構１０を備え、このアーム機構１０は、アーム先端にたとえば５段の半導体ウェハ載置部を備えている。そして、アーム機構１０は、カセット１２とボート１４との間で半導体ウェハの移載を行なうようになっている。
【０００７】また、近年では、上記した構造による一括搬送の他に、一枚の半導体ウェハのみを処理位置あるいは格納位置に向け搬送する枚葉式搬送を行なうこともある。このため、従来では、一括搬送する場合の半導体ウェハの数に相当する枚数の載置部を設けた一括搬送機構と、一枚の半導体のみの載置部を備えた枚葉式搬送機構とを備えた搬送装置が提案されている。
【０００８】図６（Ｂ）は、上記装置の構造を模式的に示したものであり、この装置は、一括搬送する枚数の搬送アーム２０Ａが縦方向に配列された一括搬送機構２０と、この一括搬送機構２０の上部に配置された枚葉搬送アーム２２Ａを備えた枚葉式搬送機構２２とで構成されている。一括搬送用の搬送アーム２０Ａは、等ピッチを以て配列され、枚葉搬送アーム２２Ａは、上記一括搬送アーム２０Ａとはピッチ間隔の設定を特に行なわれない状態で別に設けられている。」
　
　以上によれば、引用刊行物１には、
「半導体ウェハ等の板状体の処理装置において、処理部に対してロード／アンロードされる板状体をカセット等の収容部に搬送するための装置であって、
　複数の半導体ウェハ等の板状体を一括して搬送する一括搬送のための、一括搬送する枚数の搬送アーム２０Ａが縦方向に配列された一括搬送機構２０と、
　一枚の半導体ウェハのみを処理位置あるいは格納位置に向け搬送する枚葉式搬送を行なうための、上記一括搬送機構２０とは別に、上記一括搬送機構２０の上部に配置された枚葉搬送アーム２２Ａを備えた枚葉式搬送機構２２とで構成される、板状体搬送装置。」
　との発明（以下、「引用刊行物発明１」という。）が開示されていると認められる。
　
（４−２）対比
　そこで、本願補正発明１と引用刊行物発明１とを比較すると、引用刊行物発明１の半導体ウェハ等の板状体は、本件明細書の段落【０００２】の記載によれば、「用語サブストレートには、半導体ウェファー、液晶表示装置、フラットパネル表示装置、ディスク駆動装置、その他類似物などの素子が含まれる。」のであるから、本願補正発明１の「サブストレート」と一致している。
　そして、引用刊行物発明１の「一括搬送する枚数の搬送アーム２０Ａ」は、本願補正発明１の「複数サブストレート・バッチローダー」に相当し、同様に、「枚葉搬送アーム２２Ａ」は、「単一面エンド・エフェクタ」に、夫々相当していることは明らかである。
　また、引用刊行物発明１が、「半導体ウェハ等の板状体の処理装置において、処理部に対してロード／アンロードされる板状体をカセット等の収容部に搬送する」ものであるから、この搬送によりカセット等の収容部に半導体ウェハ等を収納あるいは引き出す場合、カセットの開放面に向き合う位置に位置づけなければ半導体ウェハ等を収納あるいは引き出すことができないのは自明な事項であるから、引用刊行物発明１の「半導体ウェハ等の板状体の処理装置において、処理部に対してロード／アンロードされる板状体をカセット等の収容部に搬送する」点は、本願補正発明１の「サブストレートを保持するカセットの開放面に向き合う位置に位置づけることが可能」な点、及び、「前記カセットからサブストレートを引き出すように位置づけることができる」点で一致している。
　
　以上のとおりであるから、両者は、
　
＜一致点＞
「サブストレートを保持するカセットの開放面に向き合う位置に位置づけることが可能なサブストレート取扱いロボットであって、複数サブストレート・バッチローダーと、単一面エンド・エフェクタと、前記複数サブストレート・バッチローダーと前記単一面エンド・エフェクタのいずれかまたは両方を、前記カセットからサブストレートを引き出すように位置づけることができるようにしたサブストレート取扱いロボット。」
　の点で一致し、以下の点で相違している。
　
＜相違点１＞
　本願補正発明１では、
「アーム駆動機構と、
　前記アーム駆動機構に接続されている第一の関節状アームと、
　前記第一の関節状アームは、第一の上方アームと、前記第一の上方アームにピボット接続された第一の前アームとを有しており、前記アーム駆動機構は前記第一の関節状アームを制御可能に運動させるように動作するもの」を備え、
「複数サブストレート・バッチローダー」が、
「第一の関節状アームの前記第一の前アームに接続」され、
「前記アーム駆動機構に接続されている第二の関節状アームと、
　前記第二の関節状アームは、第二の上方アームと、前記第二の上方アームにピボット接続された第二の前アームとを有しており、前記第二の上方アームおよび前記第二の前アームは、前記第一の前アームおよび前記第一の上方アームとは別個になっており、前記アーム駆動機構は前記第二の関節状アームを制御可能に運動させるように動作し、前記第二の関節状アームは、前記第一の関節状アームとは独立して、動作可能になっているもの」を備え、
「単一面エンド・エフェクタ」が、
「第二の関節状アームの前記第二の前アームに接続」されているものであるのに対し、
引用刊行物発明１の「板状体搬送装置」は、そのような、「アーム駆動機構」、「関節状アーム」、「上方アーム」、「前アーム」を備えていない点。
　
＜相違点２＞
　本願補正発明１では、「単一面エンド・エフェクタが、前記カセットの中のサブストレートの数を査定するための対象物センサーを含んでいる」のに対して、引用刊行物発明１はそのような対象物センサーを備えていない点。
　
（４−３）判断
　
○　相違点１について
　相違点１について検討すると、２つの関節状アームを有するロボットにおいて、当該２本の関節状アームがそれぞれ関節で接続された上方アームと前アームからなり、それぞれのアームが独立して制御可能であり、さらに、前アームにエンドエフェクタ等が接続されるようなロボットは、以下の各周知例にみられるように周知事項であり、これにより、搬送効率向上が期待できる。
　例えば特開平２−８３１８２号公報の「試料を保持するハンドを備えた第１、及び、第２のアームからなるハンドリングユニット」（特許請求の範囲の記載。第１図。）。
　特開平５−１０９８６６号公報の「第１アームと第２アームと第３アームからなる一方のアーム部の先端に第１ウォンドが、また第４アームと第５アームと第６アームからなる他方のアーム部の先端に第２ウォンドがある、ウェハカセット移載ロボット。」（【要約】の記載。【図１】。）
　特開平１０−５８３５９号公報の従来例、「第１及び第２ハンドラが配設され、各ハンドラは互いに軸支された基端アーム、中間アーム及び先端アームを組み合わせた多関節アーム構造を有し、先端アームの自由端部には半導体ウェハを載置するためのハンドが形成される。」（【０００３】の記載。【図６】。）
　また、アームを駆動するための「アーム駆動機構」は、例示するまでもない周知事項である。
　そして、本願補正発明１は、相違点１に基づいて、格別な作用・効果を奏するものとも認められない。
　してみれば、相違点１に係る発明特定事項の違いは、効率向上という当然の課題に基づき、引用刊行物発明１に周知事項を適用したにすぎないものであり、当業者が容易に想到し得たものである。
　
○　相違点２について
　相違点２について検討すると、サブストレートの数を査定するための対象物センサーは、以下の各周知例にみられるように周知事項であり、これにより、確実な搬送が期待できる。
　特開平７−７１９２９号公報の「ウェーハ検知センサを上下動可能にならしめたウェーハ搬送機のチャック部上に取付けるもの。」（【００１１】の記載。）
　特開平９−１７８３９号公報の「搬送機構には、容器内に収容された基板の有無、位置、枚数を検出するマッピングセンサと、・・・中央位置決めアームが具備される。」（【００４０】の記載。）
　特開平１０−９８０８８号公報の「被処理基板カセット内の被処理基板の枚数をカウントするための被処理基板カウンタ。」（【請求項１】の記載。）
　そして、本願補正発明１は、相違点２に基づいて、格別な作用・効果を奏するものとも認められない。
　してみれば、相違点２に係る発明特定事項の違いは、引用刊行物発明１に周知事項を適用したにすぎないものであり、当業者が容易に想到し得たものである。
　
　以上のとおりであるから、本願補正発明１は、引用刊行物発明１、及び、周知事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
　なお、請求人は、平成２３年３月２５日付け回答書において、前置報告書で示された特開平３−２２７０３６号公報が、拒絶査定の理由に引用されていない点を主張しているが、上記引用刊行物１である特開平７−１０６４０２号公報は、拒絶理由通知にて引用されている刊行物である。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本件補正は、改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
第３．本願発明について
（１）本願発明
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし１８に係る発明は、平成２１年８月２４日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１ないし１８に記載されたとおりのものと認められるところ、請求項１ないし１８に係る発明（以下、「本願発明１」ないし「本願発明１８」という。）は、以下のとおりのものである。
「【請求項１】
　サブストレートを保持するカセットの開放面に向き合う位置に位置づけることが可能なサブストレート取扱いロボットであって、
　アーム駆動機構と、
　前記アーム駆動機構に接続されている第一の関節状アームと、
　前記第一の関節状アームは、第一の上方アームと、前記第一の上方アームにピボット接続された第一の前アームとを有しており、前記アーム駆動機構は前記第一の関節状アームを制御可能に運動させるように動作するものと、
　前記第一の関節状アームの前記第一の前アームに接続されている複数サブストレート・バッチローダーと、
　前記アーム駆動機構に接続されている第二の関節状アームと、
　前記第二の関節状アームは、第二の上方アームと、前記第二の上方アームにピボット接続された第二の前アームとを有しており、前記第二の上方アームおよび前記第二の前アームは、前記第一の前アームおよび前記第一の上方アームとは別個になっており、前記アーム駆動機構は前記第二の関節状アームを制御可能に運動させるように動作し、前記第二の関節状アームは、前記第一の関節状アームとは独立して、動作可能になっているものと、
　前記第二の関節状アームの前記第二の前アームに接続されている単一面エンド・エフェクタとを備えることにより、
　前記アーム駆動機構は、前記複数サブストレート・バッチローダーと前記単一面エンド・エフェクタのいずれかまたは両方を、前記カセットからサブストレートを引き出すように位置づけることができるようにしたことを特徴とするサブストレート取扱いロボット。
【請求項２】
　前記複数サブストレート・バッチローダーが、垂直に積み上げられた複数のサブストレート取扱いパドルを有することを特徴とする請求項１記載のサブストレート取扱いロボット。
【請求項３】
　前記垂直に積み上げられた複数のサブストレート取扱いパドルの各サブストレート取扱いパドルが、真空開口部を有することを特徴とする請求項２記載のサブストレート取扱いロボット。
【請求項４】
　前記垂直に積み上げられたサブストレート取扱いパドルの各真空開口部から真空信号を受ける真空センサーをさらに含むことを特徴とする請求項３記載のサブストレート取扱いロボット。
【請求項５】
　前記真空センサーに接続され、前記複数サブストレート・バッチローダーが保持するサブストレート数を示すサブストレート装荷数を判定する真空信号インタープリータをさらに含むことを特徴とする請求項４記載のサブストレート取扱いロボット。
【請求項６】
　前記真空信号インタープリータが、前記サブストレート装荷数に応じて、前記第一の関節状アームの運動の速度を変えることを特徴とする請求項５記載のサブストレート取扱いロボット。
【請求項７】
　前記第二の関節状アームに接続されている対象物センサーをさらに含むことを特徴とする請求項１記載のサブストレート取扱いロボット。
【請求項８】
　前記対象物センサーが、前記複数サブストレート・バッチローダーに隣接する前記カセットの中のサブストレート数を査定することを特徴とする請求項７記載のサブストレート取扱いロボット。
【請求項９】
　前記カセットの中の前記サブストレート数に応じて前記第一の関節状アームと前記第二の関節状アームとを制御して、前記第一の関節状アームと第二の関節状アームとが、サブストレートの数と位置に依存して、前記カセットからサブストレートを所定のシークエンスで除去して、前記複数サブストレート・バッチローダーの完全装荷の使用を最大化するようにするサブストレート装荷シークエンス・コントローラをさらに具備することを特徴とする請求項８記載のサブストレート取扱いロボット。
【請求項１０】
　保管場所からサブストレートを取り出す方法において、
　第一の上方アームと、前記第一の上方アームにピボット接続された第一の前アームとを有する第一の関節状アームに備えられた複数のパドルを含む複数サブストレート・バッチローダーであって、前記第一の前アームにピボット接続されている前記複数サブストレート・バッチローダーを用いて前記保管場所から複数のサブストレートを引き出すステップと、
　第二の上方アームと、前記第二の上方アームにピボット接続された第二の前アームとを有する第二の関節状アームに備えられた単一パドルであって、前記第二の関節状アームは前記第一の関節状アームとは別個になっており、前記第二の前アームにピボット接続されている前記単一パドルを用いて前記保管場所から単一のサブストレートを取り出すステップと、
　前記単一パドルと前記複数サブストレート・バッチローダーとを共に異なる箇所へ移動するステップと
　を具備することを特徴とする方法。
【請求項１１】
　前記複数サブストレート・バッチローダーが保持するサブストレート数を示す真空信号を、前記複数サブストレート・バッチローダーから取得するステップを含むことを特徴とする請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
　前記複数サブストレート・バッチローダーが完全に装荷されていないとき、前記複数サブストレート・バッチローダーの運動を変えるステップをさらに含むことを特徴とする請求項１０記載の方法。
【請求項１３】
　前記保管場所にあるサブストレート数を査定するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１０記載の方法。
【請求項１４】
　前記複数サブストレート・バッチローダーの完全装荷を促進するため、前記保管場所から個々のサブストレートを取り出すステップをさらに含むことを特徴とする請求項１３記載の方法。
【請求項１５】
　末端と近接端を有するアームコネクターであって、前記近接端は、前記アーム駆動機構に結合するように適合されているものと、
　前記末端上の第一のスタンドオフと、
　前記第一のスタンドオフの上部に載置される第一のパドルであって、前記第一のパドルは、前記第一のスタンドオフ上で端部のスタンドオフとして機能することが可能な第一のパドル台として組み込まれるものと、
　前記第一のパドル上に整列された複数のパドルであって、前記複数のパドルの各パドルは、前記第一のスタンドオフと整列する端部のスタンドオフとして機能するパドル台として組み込まれるものと、
　各前記パドルの垂直配列を確保するためのパドルキャップと
　を備える前記複数サブストレート・バッチローダーを具備することを特徴とする請求項１記載のサブストレート取扱いロボット。
【請求項１６】
　前記第一のパドル台が別個の高架台部材であることを特徴とする請求項１５記載のサブストレート取扱いロボット。
【請求項１７】
　前記パドルは真空を有することを特徴とする請求項１５記載のサブストレート取扱いロボット。
【請求項１８】
　各前記パドルは吸入を行い、そしてサブストレートを前記パドルに固定する真空開口を有し、
　各前記パドル台は、内部真空チャンネルを有し、そして
　Ｏリングが、前記パドル、前記パドル台、前記スタンドオフおよび前記パドルキャップ間の真空チャンネルをシールするものであることを特徴とする請求項１５記載のサブストレート取扱いロボット。」
　
（２）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用刊行物、及び、その記載事項、並びに周知事項は、前記第２．に記載したとおりである。
　
（３）対比・判断
　本願発明１は、前記第２．で検討した本願補正発明１から、前記第２．（２）に記載した補正事項の特定事項を省いたものである。
　そうすると、本願発明１の特定事項を全て含み、さらに他の特定事項を付加したものに相当する本願補正発明１が、前記第２．（４）に記載したとおり、引用刊行物発明１、及び、周知事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明１も、同様の理由により、引用刊行物発明１、及び、周知事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（４）むすび
　以上のとおり、本願発明１は、引用刊行物発明１、及び、周知事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができず、他の請求項についてみるまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。
　
（５）付記
　請求人は、平成２３年３月２５日付け回答書において、特許請求の範囲の補正案を提示し、「第一の上方アームは複数のウエハを移動するために円滑な動きと十分なトルクを与える調和駆動機構を介して前記アーム駆動機構に接続され」という事項を、第一の関節状アームの記述に加入する補正を行う意思があると述べているので、この点についても述べる。
　多関節ロボットにおいて、アーム基部の駆動機構に、通常、日本の技術用語ではハーモニックドライブと称する「調和駆動機構」を用いることは、出願前周知の事項である。
　これは、例えば、
　実開昭６２−１９８０８７号公報「垂直多関節ロボットの旋回駆動機構」
　特開昭６２−２８２８８５号公報「ロボットハンド」
　実開昭６２−１５６６２３号公報「駆動ムラ補償機構装置」
　実開昭６２−１３２６６６号公報「電動機式アクチュエータ」
　特開昭６２−１１３９４１号公報「ハーモニックドライブ減速機の組立て方法」
　にみられる。
　そして、本願の発明は、この加入事項に基づいて、格別な作用・効果を奏するものとも認められない。
　してみれば、この補正案を採用したとしても、本願は拒絶すべきものである。