【事件の表示】
　特許第３３７７２０９号に関する訂正審判事件について，次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第３３７７２０９号に係る明細書を本件審判請求書に添付された訂正明細書のとおり，請求項７〜１３について，訂正することを認める。
【理　由】
第１　請求の趣旨　
　本件審判の請求の趣旨は，特許第３３７７２０９号（平成４年６月８日国際特許出願，平成１４年１２月６日設定登録）の明細書を審判請求書に添付した訂正明細書のとおり，すなわち，下記訂正事項１および２のとおり訂正することを求めるものである。　
　　
１　訂正事項１　
　特許請求の範囲の請求項７において「・・・形成されていることを特徴とする分光分析装置。」とあるのを，「形成されて
おり、
　
前記サンプルの前記所与の面の焦点からの散乱光は、前記スリットにおいてスポットとしての焦点に絞り込まれて前記スリットを通過し、前記サンプルの前記所与の面の前記焦点の前または後で散乱される光は、前記スリットにおいて焦点を結ばず、
　前記サンプルに光を照射するのと、前記サンプルからの散乱光を集光するのとに同一のレンズが用いられ、
　
前記光検出器は電荷結合素子である
　　
２　訂正事項２　
　本件特許明細書の「本発明は、また、この方法を実施する装置を提供する。」（特許公報５欄５〜６行）を，「
また、本発明は、サンプルに光を照射して散乱光のスペクトルを得る手段と、前記スペクトルを分析する手段と、光検出器と、前記分析されたスペクトルの少なくとも一つの成分を前記光検出器に通し、前記サンプルの所与の面から散乱された光を前記光検出器の所与の領域に合焦させ前記サンプルの他の面から散乱された光を前記光検出器に合焦させない手段とを具備する分光分析装置であって、前記光はスリットを備えた一次元空間フィルタを通過して第一の次元で共焦点作用をもたらし、前記光検出器の前記所与の領域で受ける光が、前記所与の領域外で受ける光を含まずに、またはこの光と分離して検出され、前記所与の領域は前記第一の次元を横切る第二の次元で共焦点作用をもたらすように形成されており、前記サンプルの前記所与の面の焦点からの散乱光は、前記スリットにおいてスポットとしての焦点に絞り込まれて前記スリットを通過し、前記サンプルの前記所与の面の前記焦点の前または後で散乱される光は、前記スリットにおいて焦点を結ばず、前記サンプルに光を照射するのと、前記サンプルからの散乱光を集光するのとに同一のレンズが用いられ、前記光検出器は電荷結合素子であることを特徴とする分光分析装置を提供する。
　　
第２　当審の判断　
１　訂正の目的等について　
（１）訂正事項１　
　訂正事項１は，特許請求の範囲の請求項７において，特定事項として，「前記サンプルの前記所与の面の焦点からの散乱光は、前記スリットにおいてスポットとしての焦点に絞り込まれて前記スリット３０を通過し、前記サンプルの前記所与の面の前記焦点の前または後で散乱される光は、前記スリットにおいて焦点を結ばず」（以下「特定事項ａ」という），「前記サンプルに光を照射するのと、前記サンプルからの散乱光を集光するのとに同一のレンズが用いられ」（以下「特定事項ｂ」という）および「前記光検出器は電荷結合素子である」（以下「特定事項ｃ」という）を追加するものである。
　　
ア　まず，特定事項ａは，訂正前の特定事項である「スリット」による共焦点作用を説明するものであり，明りょうでない記載の釈明を目的とするものであるいえる。　
　そして，本件特許明細書には「空間フィルタ14は２つのレンズ32,34と、紙面に鉛直に延びるスリット30を有するスクリーン31とを備えている。レンズ32は
散乱された光の平行ビームをスリット30を通過する非常に緊密な焦点に絞り込まれ
焦点19で散乱された光だけがスリット30を通過する
焦点19の前または後で散乱される光は穴30で焦点を結ばないため、実質的にスクリーン31により遮断される。
　　
イ　次に，特定事項ｂは，訂正前の特定事項である「サンプルに光を照射して散乱光のスペクトルを得る手段」において，その照射と集光とに「同一のレンズ」を用いることを限定しようとするものである。　
　そして，本件特許明細書には「第１図に示される装置の第１の実施例はWO90/07108号公報に示された装置に基づいており、引用によりここに導入される（詳細については同公報参照）。入力レーザビーム10は光路に45゜に置かれたダイクロイックフィルタ12により90゜反射される。
次いで、このレーザビームは顕微鏡対物レンズ16に送られる。このレンズはこのレーザビームをサンプル18上の焦点19におけるスポットに焦点を結ばせる。光はこの照射されたスポットでサンプルにより散乱され、顕微鏡対物レンズ16により集光され、平行ビームに平行化（コリメート）され、ダイクロイックフィルタ12に戻る。
第１図のものと同じエレメント
　　
ウ　さらに，特定事項ｃは，訂正前の特定事項である「光検出器」を「電荷結合素子である」と限定するものである。　
　そして，本件特許明細書には「いずれの場合も、分析器20からの光はレンズ22により適当な光検出器上に焦点を結ぶ。２次元光検出器アレイが好ましい。本実施例では、
電荷結合素子（CCD）24
　　
エ　そうすると，訂正事項１は，特許法第１２６条第１項ただし書き第３号に規定する明りょうでない記載の釈明および同項ただし書き第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当し，また，願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものでもないから，訂正事項１は，特許法第１２６条第５項および第６項の規定に適合するものである。　
　　
（２）訂正事項２　
　訂正事項２は，訂正事項１の訂正に伴い，特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明との整合をとるためのものであり，訂正事項２は，特許法第１２６条第１項ただし書き第３号に規定する明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり，また，同法第１２６条第５項および第６項の規定に適合するものである。　
　　
２　訂正後の発明　
　本件訂正により訂正された本件特許の請求項７〜１３に係る発明は，次のとおりのものである。　
「【請求項７】　サンプルに光を照射して散乱光のスペクトルを得る手段と、
　前記スペクトルを分析する手段と、　
　光検出器と、　
　前記分析されたスペクトルの少なくとも一つの成分を前記光検出器に通し、前記サンプルの所与の面から散乱された光を前記光検出器の所与の領域に合焦させ前記サンプルの他の面から散乱された光を前記光検出器に合焦させない手段と　
　を具備する分光分析装置であって、　
　前記光はスリットを備えた一次元空間フィルタを通過して第一の次元で共焦点作用をもたらし、　
　前記光検出器の前記所与の領域で受ける光が、前記所与の領域外で受ける光を含まずに、またはこの光と分離して検出され、前記所与の領域は前記第一の次元を横切る第二の次元で共焦点作用をもたらすように形成されて
おり、
　
前記サンプルの前記所与の面の焦点からの散乱光は、前記スリットにおいてスポットとしての焦点に絞り込まれて前記スリットを通過し、前記サンプルの前記所与の面の前記焦点の前または後で散乱される光は、前記スリットにおいて焦点を結ばず、
　前記サンプルに光を照射するのと、前記サンプルからの散乱光を集光するのとに同一のレンズが用いられ、
  
前記光検出器は電荷結合素子である
【請求項８】　前記光検出器の前記所与の領域が細長いことを特徴とする請求項７に記載の分光分析装置。　
【請求項９】　前記光検出器の前記所与の領域が前記スリットを横切る方向に延在していることを特徴とする請求項７または請求項８に記載の分光分析装置。　
【請求項１０】　前記光検出器はピクセルのアレイを備えたことを特徴とする請求項７から請求項９の何れかに記載の分光分析装置。　
【請求項１１】　前記所与の領域の前記ピクセルの一部からのデータを選択的にまとめて貯蔵する手段を有することを特徴とする請求項10に記載の分光分析装置。　
【請求項１２】　前記光検出器はピクセルの二次元アレイを備え、前記アレイにより与えられるイメージを表すデータを受け、このイメージデータを処理して合焦される前記光を検出する計算手段を有することを特徴とする請求項10または請求項11に記載の分光分析装置。　
【請求項１３】　前記スペクトルがラマン散乱光のスペクトルであることを特徴とする請求項７から請求項12の何れかに記載の分光分析装置。」　
　　
３　独立特許要件１　
　請求人は，本件特許に係る侵害訴訟（東京地方裁判所，平成２２年（ワ）第４２６３７号事件）において同裁判所に提出された引用文献として，特開平４−９９９２９号公報（甲第１号証，以下「甲１」という）および「谷野他，高感度ラマン分光法の最近の動向と半導体超薄膜への応用，電気学会電子材料研究会資料ＥＦＭ−９０−３０，１９９０年」（甲第２号証，以下「甲２」という）を提出している。　
　　
（２）先願同一（２９条の２の規定）について　
ア　先願明細書の記載内容　
　甲１は，本件国際出願日前の他の特許出願であって当該国際出願後に出願公開された出願（特願平２−２１８４９７号）の特許公開公報であり，「高感度ラマン分光装置，調整方法，および測定方法」に関して，図面とともに，以下の事項が記載されている。　
　　
（甲１−ア）　
「２．特許請求の範囲　
１）励起光を試料に照射してラマン信号の検出を行うラマン分光装置において、　
　前記試料からの散乱光を集光する集光光学系と、　
　前記集光光学系からの出力光を入射スリットを介して受光し、その受光した光に対して、ラマン・シフトが１０〜１０００ｃｍ−１と比較的に低波数のスペクトル領域でも、レイリー散乱による迷光を十分除去して良好なスペクトルを測定することができる、フィルタ用の差分散型ダブル分光器および該ダブル分光器の次段に配置されたシングル分光器を有するトリプル・ポリクロメータの形態の分光光学系と、　
　マイクロ・チャンネルプレートおよびその後段の二次元の位置検出機構を有し、高エネルギー粒子線などによるパルス・ノイズの影響をうけないフォトン・カウンティング用の低雑音光電子増倍管であって、前記マイクロ・チャンネル・プレートによって前記分光光学系からの出力光を受光して増幅し、その増幅出力信号を二次元の位置検出機構に導き、微小領域の二次元配列としてイメージを検出して各微小領域でのダーク・ノイズを著しく低く抑えた位置検出型光電子増倍管と、　
　前記試料上の微小な照射領域からの各波長の信号光が、前記分光器の収差による像ぼけを受けることなく前記位置検出型光電子増倍管の受光面上の各微小領域上に１対１対応で転送されるようにするシリンドリカル・レンズを有する非点収差補正光学系と、　
　前記非点収差補正光学系の微調を行うときに切り替えミラーで位置検出型光電子増倍管の前記受光面と等価な位置に配置される調整用テレスコープと、　
　前記位置検出型光電子増倍管の受光面が前記分光器の焦点面に正確に位置するように位置と方位について微調整を行う微調整機構と　
を具え、前記位置検出型光電子増倍管の受光面上の各微小領域が各波長の信号に相当する形で、極限的に低いノイズ・レベルでラマンスペクトルが同時計測されるようにしたことを特徴とする高感度ラマン分光装置。」（１頁左下欄５行〜２頁左上欄８行）　
　　
（甲１−イ）　
「［産業上の利用分野］　
　本発明は、半導体、金属、無機材料、有機材料、生体等のラマン散乱測定方法および装置に関し、特に、半導体や有機材料の超薄膜、または表面や界面上の微量な原子や分子からの、微弱なラマン信号の検出と評価に好適な高感度ラマン分光装置、ラマン分光器の調整方法および測定方法に関する。」（３頁左上欄２〜９行）　
　　
（甲１−ウ）　
「即ち、フォトン・カウンティングでは、検出器のノイズ・レベルが１−２０力ウント／秒存在するため、それ以下の強度の信号は検出不可能であるが、多重検出を行うと分光器が停止しているため積算によるノイズの除去が効率良く行え、冷却されたイメージ・インテンシファイヤ付きフォトダイオード・アレイ（以下ＩＩ−ＰＤＡと略す）や電荷結合素子検出器（以下ＣＣＤと略す）や位置検出型光電子増倍管を用いると、通常の光電子増倍管換算で０．１力ウント／秒程度の信号も現在検出可能である。　
　上記のようなシステムにより、様々な薄膜のラマン検出が可能になった。たとえばラングミュア・プロジェット膜の１モルイヤからの信号検出について、トリプル分光器とＩＩ−ＰＤＡ、あるいはトリプル分光器と冷却された電荷結合素子検出器（以下ＣＣＤと略す）による報告がある。またゲルマニウムの数モルレイヤからのラマン信号検出が、トリプル分光器と位置検出型光電子増倍管によりなされている。　
　このように、ダブル分光器とフォトン・カウンティング用光電子増倍管を用いた旧来の方法に対し、トリプル・ポリクロメータとＩＩ−ＰＤＡまたはＣＣＤまたは位置検出型光電子増倍管のいずれかの多重検出器を用いることにより、従来よりも２−３桁弱い、光電子増倍管換算で０．１力ウント／秒程度の信号の検出ができるようになってきている。」（３頁右下欄３行〜４頁左上欄１０行）　
　　
（甲１−エ）　
「そこで、本発明の目的は、トリプル分光器と多重検出器を用いたラマン分光において、なかでも位置検出型光電子増倍管の特性と付加光学系の吟味検討により、従来の最高水準よりもさらに２−３桁以上の超高感度すなわち０．００１力ウント／秒あるいは０．０００１力ウント／秒レベルでの、高精度の高感度ラマン分光装置および測定方法を提供せんとするものである。本発明の他の目的は、超高感度での、二次元データを持っラマン分光を可能とし、通常の一次元データによるラマン分光では不可能な高速測定や、精度の高い差分ラマン分光を可能とすることにある。」（４頁右上欄５〜１６行）　
　　
（甲１−オ）　
「多重検出器のうち、アナログ検出器であるＩＩ−ＰＤＡやＣＣＤは、強いパルス・ノイズに対してそのエネルギーに比例した応答を示すので、通常は、長時間微弱な信号を積算しているうちにパルス・ノイズがスペクトルのあちこちに現れ、無視できない数になってしまう。経験的にはこれは光電子増倍管換算でチャンネルあたり０．００１−０．０１力ウント／秒のノイズになる。これらは主として宇宙からの高エネルギー粒子線によるものなので、避けることは困難である。ひとつの対策として測定を数回繰り返し、再現しないピークについてはこれを取り除く、ソフトウェアによる解決方法があるにはあるが、信号そのものを損なうおそれもあり、抜本的な解決策とはいえない。これに対して、位置検出型光電子増倍管のようなデジタル検出器においては、信号は常にフォトン・カウンティングによってひとつひとつ数えられており、普通は波高弁別器によってエネルギーの高いもしくは低いノイズと正しい信号とを選別して測定しており、またたとえ宇宙線ノイズがカウントされたとしてもアナログ検出器と異なり１カウントと数えられるだけであるために、超微弱信号の検出にはこれがもっとも適当である。　
　しかしながら、従来においてはこの位置検出型光電子増倍管の特性が十分吟味検討されておらず、このためにその最高性能ばＩＩ−ＰＤＡやＣＣＤと同水準にあると考えられてきた。ここで我々は位置検出型光電子増倍管の原理に帰り、超高感度ラマン分光を可能とする超低ノイズのラマン分光装置を構成できることを見い出して本発明を完成した。」（５頁左下欄７行〜同頁右下欄１９行）　
　　
（甲１−カ）　
「そこで、前記目的を達成するために、本発明の高感度ラマン測定装置は、ラマン光の集光光学系とトリプル・ポリクロメータの入射スリットの間に、スリットの溝に沿った軸の方向に集光することのできるシリンドリカル・レンズを備えた非点収差補正光学系を配置し、このシリンドリカル・レンズをその光軸に沿って微動可能とし、切り替えミラーによって検出器受光面と等価な位置に置かれた、ＣＣＤカメラを備えたテレスコープを使用して、非点収差補正光学系の微調を行うことができる。これにより、ポリクロメータの出口の位置検出型光電子増倍管の検出器の受光面上での、分光器の凹面鏡から来る非点収差による像の広がりを完全に補正して、通常は帯状をなすスペクトルを細い直線上のスペクトルとし、さらに分光器に対する検出器の前後上下左右の位置と上下左右のあおりと光軸まわりの回転の六自由度を微調整できるような微動機構を備えて、この線状スペクトル全体がちょうど検出器の受光平面上に来るようにすることができ、かつ位置検出型光電子増倍管のイメージを構成するビクセルの二次元配列のＸ方向にちょうど線状スペクトルが観測されるように精密調整を行い、さらにこのイメージ全体もしくは必要な部分を二次元イメージとしてつまりスペクトル情報をＸ方向に、空間分布情報をＹ方向に持つ二次元データとしてコンピュータのメモリ上に取り込んで、長時間の積算と各種のデジタル・データ処理ができるようにしたので、以上のような適切な調整を行い、適切な測定方法を行うことによって本発明の目的を完全に達成することができる。」（６頁右下欄３行〜７頁左上欄１３行）　
　　
（甲１−キ）　
「第１図は、本発明の一実施例を適用した超高感度ラマン分光測定装置の構成図である。　
　このラマン分光装置は、　
単色レーザ７から集光レンズ８とビーム入射用小ミラー（または小プリズム）９を経て試料１０に至る照射光学系１と、　
試料１０から散乱された信号光を集光レンズ系１１で入射スリット１２に導く集光光学系２と、集光光学系２の途中に設置された非点収差補正用シリンドリカル・レンズ１３とその回転、平行移動、あおりを再現性よく調整する微動機構１４からなる非点収差補正用光学系３と、　
入射スリットを直視するＣＣＤカメラを備えたテレスコープ１５を持つ差分散型ダブル分光器１６にシングル分光器１７を接続したトリプル・ポリクロメータの分光光学系４と、　
位置検出型光電子増倍管（ＰＳ−ＰＭＴ）の検出器１８とその回転、平行移動、あおりを再現性よ（調整し固定する微動機構１９と検出器位置での非点収差が最小になるよう非点補正光学系を調整するためのＣＣＤ付き微調機構付きテレスコープ２０からなる検出系５と、　
検出器１８の信号を受けて位置特定型データ信号として蓄積する信号処理装置２１から二次元データ解析用計算機２２に至る信号処理回路系６とからなる。」（７頁右上欄５行〜同頁左下欄１０行）　
　　
（甲１−ク）　
「第２図は、位置検出型光電子増倍管（ＰＳ−ＰＭＴ）の検出器１８の一例を示す概略図である。１２乃至２５ｍｍ径の受光面２３に入射されたフォトンは、光電子に変換され、３−５枚のマイクロ・チャンネル・プレート２４により位置情報を保ったまま多段増幅され、最後にレジステイブ・アノード２５に生じる抵抗分割比から電子の到達位置を計算しつつフォトン・カウンティングにより検出される。　
　レジステイブ・アノードによる位置検出は１２乃至２５ｍｍ角の正方形に対し、２５ミクロン単位で５１２×５１２乃至１０２４×１０２４ピクセルの座標として求められるが、位置分解能は主としてマイクロ・チャンネルの太さによって決まり、４０−７０ミクロン程度である。通常は入射スリット幅を１００ミクロン以上に取って測定することが多く、検出器の分解能は十分である。」（７頁左下欄１１行〜同頁右下欄８行）　
　　
（甲１−ケ）　
「照射光学系１によって試料１０上に照射されるレーザ光のスポットを微小な円形とする。マクロな集光系２では１０−１００ミクロンぐらいの径、顕微鏡を用いた集光系２では１−１０ミクロンぐらいの大きさが利用できる。簡単のために、１００倍の対物レンズを持つ顕微鏡を利用した場合を考えると、試料上の１ミクロンのレーザ・スポットが幅１００ミクロンに開いた分光器入口スリット上に１００ミクロン径で転送できる。」（８頁右下欄７〜１５行）　
　　
（甲１−コ）　
「本発明においては、この位置検出型光電子増倍管１８の最高性能を引き出すべく、検出器５の微調機構１９、非点収差補正用光学系３、同光学系の微調機構１４、二次元データ解析装置２２などを適切に組合わせ用いた点に本発明の特徴があリ、これによって従来よりも２−３桁以上弱い信号の検出が可能となった。この２−３桁という数字は応用上大変重要であり、サブモルイヤ・レベルの超薄膜などからの微弱なラマン信号検出がこれによって初めて可能となった。」（９頁右下欄１６行〜１０頁左上欄５行）　
　　
　上記記載事項（甲１−ア）〜（甲１−コ）および図１〜１０に示された内容を総合すると，甲１には，次の発明が記載されていると認められる。 
　　
 「励起光を試料に照射してラマン信号の検出を行うラマン分光装置において，
　単色レーザから集光レンズとビーム入射用小ミラー（または小プリズム）を経て試料に至る照射光学系と，　
　前記試料からの散乱光を集光する集光光学系と、　
　前記集光光学系からの出力光を入射スリットを介して受光し，その受光した光に対して，ラマン・シフトが１０〜１０００ｃｍ−１と比較的に低波数のスペクトル領域でも，レイリー散乱による迷光を十分除去して良好なスペクトルを測定することができる，フィルタ用の差分散型ダブル分光器および該ダブル分光器の次段に配置されたシングル分光器を有するトリプル・ポリクロメータの形態の分光光学系と，　
　マイクロ・チャンネルプレートおよびその後段の二次元の位置検出機構を有し，高エネルギー粒子線などによるパルス・ノイズの影響をうけないフォトン・カウンティング用の低雑音光電子増倍管であって，前記マイクロ・チャンネル・プレートによって前記分光光学系からの出力光を受光して増幅し，その増幅出力信号を二次元の位置検出機構に導き，微小領域の二次元配列としてイメージを検出して各微小領域でのダーク・ノイズを著しく低く抑えた位置検出型光電子増倍管と，　
　前記試料上の微小な照射領域からの各波長の信号光が，前記分光器の収差による像ぼけを受けることなく前記位置検出型光電子増倍管の受光面上の各微小領域上に１対１対応で転送されるようにするシリンドリカル・レンズを有する非点収差補正光学系と，　
　前記非点収差補正光学系の微調を行うときに切り替えミラーで位置検出型光電子増倍管の前記受光面と等価な位置に配置される調整用テレスコープと，　
　前記位置検出型光電子増倍管の受光面が前記分光器の焦点面に正確に位置するように位置と方位について微調整を行う微調整機構と　
を具え，前記位置検出型光電子増倍管の受光面上の各微小領域が各波長の信号に相当する形で，極限的に低いノイズ・レベルでラマンスペクトルが同時計測されるようにした高感度ラマン分光装置。」（以下，「甲１発明」という。）
　　
イ　対比　
　そこで，本件発明７と甲１発明とを対比すると，その機能ないし構造からみて，甲１発明における「試料」，「励起光」，「試料上の微小な照射領域」および「トリプル・ポリクロメータの形態の分光光学系」は，それぞれ，本件発明７における「サンプル」，「光」，「サンプルの所与の面」および「スペクトルを分析する手段」に相当することが明らかである。　
　また，本件特許明細書に「本発明は、例えばラマン効果を利用してサンプルを分析するのに分光分析が使用される装置および方法に関するものである。」（特許公報２頁３欄４４〜４６行）と記載されていることからみて，本件発明７の「散乱光」には「ラマン散乱光」が含まれるといえるから，甲１発明の「高感度ラマン分光装置」は，本件発明７の「分光分析装置」に相当するといえる。そして，甲１発明は，「受光した光に対して，ラマン・シフトが１０〜１０００ｃｍ−１と比較的に低波数のスペクトル領域でも，レイリー散乱による迷光を十分除去して良好なスペクトルを測定することができる」のであるから，本件発明７と同様に「散乱光のスペクトルを得る手段」を具備しているといえる。また，甲１発明は「前記試料上の微小な照射領域からの各波長の信号光が，前記分光器の収差による像ぼけを受けることなく前記位置検出型光電子増倍管の受光面上の各微小領域上に１対１対応で転送されるようにするシリンドリカル・レンズを有する非点収差補正光学系」を具備しているのであるから，本件発明７と同様に「前記分析されたスペクトルの少なくとも一つの成分を前記光検出器に通し、前記サンプルの所与の面から散乱された光を前記光検出器の所与の領域に合焦させ前記サンプルの他の面から散乱された光を前記光検出器に合焦させない手段」を具備しているといえる。　
　さらに，甲１発明の「位置検出型光電子増倍管」は，「分光光学系からの出力光を受光して増幅し，その増幅出力信号を二次元の位置検出機構に導き，微小領域の二次元配列としてイメージを検出して」いるのであるから，該「位置検出型光電子増倍管」と本件発明７の「電荷結合素子」である「光検出器」とは，「光検出器」の点にて共通する。　
　　
そうすると，両者は，　
（一致点）
「サンプルに光を照射して散乱光のスペクトルを得る手段と、　
　前記スペクトルを分析する手段と、　
　光検出器と、　
前記分析されたスペクトルの少なくとも一つの成分を前記光検出器に通し、前記サンプルの所与の面から散乱された光を前記光検出器の所与の領域に合焦させ前記サンプルの他の面から散乱された光を前記光検出器に合焦させない手段と　
　を具備する分光分析装置。」　
である点で一致し，次の点で相違するといえる。　
　　
（相違点１−１）　
　本件発明７では「前記光はスリットを備えた一次元空間フィルタを通過して第一の次元で共焦点作用をもたらし」「前記サンプルの前記所与の面の焦点からの散乱光は、前記スリットにおいてスポットとしての焦点に絞り込まれて前記スリットを通過し、前記サンプルの前記所与の面の前記焦点の前または後で散乱される光は、前記スリットにおいて焦点を結ばず」であるのに対して，甲１発明ではそのような構成か否か不明である点。　
　　
（相違点１−２）　
　本件発明７では「前記光検出器の前記所与の領域で受ける光が、前記所与の領域外で受ける光を含まずに、またはこの光と分離して検出され、前記所与の領域は前記第一の次元を横切る第二の次元で共焦点作用をもたらすように形成されてお」るのに対し，甲１発明ではそのような構成か否か不明である点。　
　　
（相違点１−３）　
　本件発明７では「サンプルに光を照射するのと、前記サンプルからの散乱光を集光するのとに同一のレンズが用いられ」ているのに対し，甲１発明では「単色レーザから集光レンズとビーム入射用小ミラー（または小プリズム）を経て試料に至る照射光学系」である点。　
　　
（相違点１−４）　
　「光検出器」について，本件発明７では「電荷結合素子である」のに対し，甲１発明では「マイクロ・チャンネルプレートおよびその後段の二次元の位置検出機構を有し，高エネルギー粒子線などによるパルス・ノイズの影響をうけないフォトン・カウンティング用の低雑音光電子増倍管」としての「位置検出型光電子増倍管」である点。　
　　
ウ　相違点の検討　
　そこで，相違点１−１について検討する。 
　まず，本件発明７においては「散乱光のスペクトルを得る手段と、前記スペクトルを分析する手段と、光検出器と、・・・・・前記光検出器の所与の領域に合焦させ・・・・・前記光検出器に合焦させない手段とを具備する分光分析装置であって、前記光はスリットを備えた一次元空間フィルタを通過して第一の次元で共焦点作用をもたらし」と特定されているのみであって，「一次元空間フィルタ」と他の手段との配置関係が明確に特定されているとはいえないものの，本件特許の優先日前に頒布された刊行物である国際公開９０／１４５８９号（特表平４−５００２７４号公報参照）のＦＩＧ−１に記載されているように，このような「空間フィルタ」を対物レンズ（散乱光のスペクトルを得る手段）と分光器（スペクトルを分析する手段）を間に配置することは技術常識であるといえる。また，本件特許明細書には「入力レーザビーム10は同様に非常に小さいスポットに絞り込まれてスリット30を通過する。このスリット30の効果は顕微鏡対物レンズ16が共焦点的に作用することにある。」（特許公報４頁７欄７〜１０行）と記載され，「一次元空間フィルタ」と「スペクトルを分析する手段」との間に光源からの光を入力することを実施例としていることからみて，本件発明７の「一次元空間フィルタ」が「スペクトルを分析する手段」の一部を構成するのではなく，両者は光学的に直列に配置される別の構成部材であると解釈するのが自然である。そして，該解釈は，本件特許明細書の「空間フィルタとして動作するためには、スリット30の幅は非常に小さく、典型的には10μｍ以下でなければならない。最大値は50μｍになろう。このように、スリット30は、十分量の光を集めるために例えば最低200μｍのようにずっと大きな従来のモノクロメータに普通に設けられている入口スリット、出口スリットと混同されるべきでない。」（特許公報４頁８欄７〜１３行）との記載とも矛盾しない。　
　さらに，例えば，特開昭６３−３０６４１３号公報には「スリット４１の細長開口の幅は、スポット光の回折径より小さくても良いし、大きくても良い。小さい場合には理論的に焦点深度方向の分解能（断面像の厚さ）を小さくできる。大きくすれば、それに従って焦点面以外の面の情報も徐々に入ってくる。」（公報４頁左下欄１〜６行）と記載され，特開平３−６１９１８号公報には「ところが、この従来の走査型顕微鏡では、共焦点系光学系の特徴、特典を十分に活かすためには、スリットの幅或いはピンホールの径は、集光スポットサイズよりも十分に小さくする必要があった。」（公報２頁右上欄１１〜１５行）と記載され，また，特開昭６３−３０６４１４号公報には「断面像を明確に得る為にはピンホール５の穴径を集光レンズ４によって絞られるスポット径より小さくする必要があり・・・・・ピンホール径と同程度の細いスリットを用いることにより、深さ方向の分解能をピンホールを用いた場合とほとんど同程度に維持できる。」（公報２頁左上欄１６行〜同頁右上欄１９行）と記載されているように，一般的に，十分な共焦点作用をもたらすには，ピンホールの径あるいはスリットの幅が，より小さいことが望ましいのは技術常識である。　
　それに対し，そもそも甲２には共焦点作用に関する記載はなく，前記記載事項（甲１−ク）の「通常は
入射スリット幅を１００ミクロン以上
幅１００ミクロンに開いた分光器入口スリット
　してみると，甲１発明は，本件発明７の「スリットを備えた一次元空間フィルタ」に相当するものを具備するとはいえず，また，該「空間フィルタ」を具備することが周知慣用の事項あるいは自明な事項であるともいえない。
　　
エ　まとめ　
　したがって，相違点１−２〜１−４について検討するまでもなく，本件発明７と甲１発明とは，相違点１−１の点にて実質的に相違し，同一の発明と到底いえない。また，本件発明７を引用する発明８〜１３も，同様に，甲１発明と同一の発明であるとはいえない。　
　　
（３）甲２発明に対する進歩性（２９条２項の規定）について　
ア　甲２の記載内容　
　甲２は，本件特許の優先日前に頒布された刊行物であって，「高感度ラマン分光法の最近の動向と半導体超薄膜への応用」に関して，図面とともに，以下の事項が記載されている。　
　　
（甲２−ア）　
「今日、様々なタイプのマルチ・チャンネル検出器が市販されてきている。代表的なものとして、イメージ・インテンシファイヤ付きフォトダイオード・アレイ検出器（以下ＩＰＤＡと略す）、チャージ・カップルド・デバイス（以下ＣＣＤと略す）、位置検出型光電子倍増管（以下ＰＳ−ＰＭＴと略す）の三種があげられる。３，４）現在マルチ・ラマン測光用にもっとも普及しているのはＩＰＤＡであり、他の２種は最近やっと普及し始めたところである。表１に主要なパラメータを比較して示した。５）これらの検出器んはいずれも一長一短あり、現在のところまだ相対的な評価は定まっていない。これらの検出器を用いると、通常の光電子倍増管換算で毎秒０．１カウント程度の信号も容易に検出可能である。ここでＰＳ−ＰＭＴのダークについては、後述のように一次元検出器としての値であることに注意されたい。　
　このようなシステムによって、様々な薄膜のラマン検出が行われるようになった。たとえばラングミュア・プロジェット膜の１モノレイヤからの信号検出について、トリプル分光器とＩＰＤＡ、あるいはトリプル分光器と冷却された電化（「電荷」の誤記）結合素子検出器（以下ＣＣＤと略す）による報告がある。６−９）またゲルマニウムの数モノレイヤからのラマン信号検出がトリプル分光器と位置検出型光電子倍増管によりなされている。１０．１１）　
　　
　表１　多チャンネル検出器の性能比較　
──────────────────────────────────　
　　　　　　　　ＩＰＤＡ　　　　ＣＣＤ　       ＰＳ−ＰＭＴ
──────────────────────────────────　
量子効率　　　　5-15％　　　　　40-80％　      15％　
波長領域　　　　400-800ｎｍ　 　300-1000ｎｍ　 300-900ｎｍ　
読みだしノイズ　1500ｅ　　　　　10ｅ　　　　   なし　
空間歪み　　　　1％　　　　　　 なし　　　　　 5％　
感度の移動変動　20%　　　　   　2-7％　　　    5％　
線形性　　　　　1%以下　　　  　2%以下　　　   2-5%　
ダーク　　　　　0.005　ｃ／ｓ　 0.01　ｃ／ｓ　 0.002-0.008　ｃ／ｓ　
読みだし時間　　10-20ｍｓ　     1-10ｓ　       1ｍｓ　
空間分解能　　　50-100μｍ　    18-30μｍ　    40-70μｍ　
──────────────────────────────────」（２頁２３行〜３頁表１）　
　　
（甲２−イ）　
「３．１　検出器の選択　
　多重検出器のうち、アナログ検出器であるＩＰＤＡやＣＣＤは、強いパルス・ノイズに対してそのエネルギーに比例した応答を示すので、通常は、長時間微弱な信号を積算しているうちにパルス・ノイズがスペクトルのあちこちに現れ、無視できない数になってしまう。経験的にはこれは光電子倍増管換算でチャンネルあたり毎秒０．００１−０．０１カウントのノイズになる。これらは主として宇宙からの高エネルギー粒子線によるものなので、避けることは困難である。ひとつの対策として測定を数回繰り返し、再現しないピークについてはこれを取り除く、ソフトウエアによる解決方法があるにはあるが、信号そのものを損なうおそれもあり、抜本的な解決策とはいえない。これに対して、ＰＳ−ＰＭＴのようなデジタル検出器においては、信号は常にフォトン・カウンティングによってひとつひとつ数えられている。普通は波高弁別器によってエネルギーの高いもしくは低いノイズと正しい信号とを選別して測定しており、またたとえ宇宙線ノイズがはいったとしても１カウントと数えられるだけである。今回我々は超微弱信号の検出を目的としているので、以上の理由によりＰＳ−ＰＭＴを採用することにした。但し、量子効率の絶対値や赤外域の感度などを重んじるならばＣＣＤ検出器の方が優れているなど、目的によって選択はことなってくることを注意しておく。」（３頁１２行〜４頁８行）　
　　
（甲２−ウ）　
「３．２　二次元検出器と非点収差補正　
　グレーティングを使用した分光器では、レンズのような透過型光学素子ではなく球面鏡のような反射型光学素子を使わざるを得ないので、同軸光学系を使用することができず、非点収差の問題が生じる。球面鏡の法線方向と光の入射方向のなす角αが０でない場合には、入射面内とそれに垂直な方向とで、焦点距離が異なってくる。焦点距離をｆとする時、この焦点距離の差はｆ・ｓｉｎ２αで与えられる。本来ならばそれぞれに対応した曲率半径を持つ楕円面鏡を使用することにより、非点収差のない光学系を形成すべきである。しかし、通常の分光器ではこれを省略し、上記の入射面内の焦点がスリットの位置に来るように設計する。入口スリット上の点光源は、出口スリット上でスリットの長さ方向（以下Ｙ方向と呼ぶ）に線状に広がるが、光の分散方向（以下Ｘ方向と呼ぶ）に対しては焦点が得られているので、ｓｉｎ２α《１の近似が成り立つ範囲で、分光器の性能としては一応問題がない。光学系をできるだけコンパクトに設計し明るさは損なわない範囲でαを小さくするとか、ダブル分光器ではふたつの分光器によって生じる非点収差が互いにキャンセルするように光学系を立体的に折り返すように配置するなどの工夫が知られている。出口スリットの像は厳密には線状ではなく少し弓形の像になるので、弓形のスリットを使用するなどの技術も開発されている。　
　単チャンネルの検出器や一次元検出器の場合には、このようなＹ方向への像の広がりは、検出器の受光面の広がりの範囲内に納まってさえいれば、これを全て積算できるので問題はない。しかし二次元検出器の場合にはこのことは装置全体の感度限界を考える上で重要である。二次元検出ではＹ方向に信号を積算して、Ｘ方向の一次元検出器に変換して使用する。例えばＣＣＤ検出器の場合には、この積算過程のことをビンニングと呼んでいる。ビンニングされる素子の数をできるだけ減らすことにより、ノイズの取り込みを抑えることができる。この効果はＰＳ−ＰＭＴ検出器の場合により顕著である。非点収差による像の広がりのため、Ｙ方向に数百チャンネル積算しなければならない場合には、第１表の比較に見られる通り、ＩＰＤＡなどの一次元検出器に比べて著しく高感度というわけではない。しかし、非点収差を補正して検出器位置でのＹ方向の像の広がりを抑えることにより、この積算チャンネル数を減少させることができれば、実効的な感度ははるかに向上する。
　ＰＳ−ＰＭＴのノイズは通常の光電子倍増管と同様に主として光電面付近での何らかの光または電子ノイズによっており、これを通常、毎秒１０−２０カウント程度である。従って、１０２４×１０２４ピクセルの二次元配列でピクセル位置を特定すると、そこでのノイズはピクセルあたり毎秒１−２×１０−３カウントである。さて多重検出によるラマン分光においては、ＰＳ−ＰＭＴは単なる一次元の多重検出器として用いられてきた。ＰＳ−ＰＭＴの受光面上でスペクトルの方向をＸ軸にそれに垂直な方向をＹ軸に取ると、通常の分光器では、スペクトルは各波長でＹ軸方向に２００−４００ピクセル分広がっており、これを足し合わせて一次元のデータとしている。Ｙ軸方向に全１０２４ピクセル足し合わせたとしたら、各チャンネルでのノイズは毎秒１−２×１０−２カウントとなり、信号の存在する中央の２００−４００ピクセル分のみ足し合わせたとしても毎秒２−８×１０−３カウントとなる。このようなノイズ・レベルはＩＰＤＡや高感度ＣＣＤの値とそれほど違わず、これまで特にＰＳ−ＰＭＴが他よりもとりわけて超高感度であるとは考えられていなかったのはうなずける。　
　ところがもし、スペクトルのＹ軸方向への広がりを極端にせばめることができたとしたら、チャンネルあたりのノイズは著しく減少するはずである。たとえばＹ軸方向への広がりを５ピクセル以下にすることができれば、チャンネルあたり毎秒５−１０×１０−５カウントのノイズ・レベルとすることができ、ＩＰＤＡやＣＣＤにおける０．００１−０．０１カウントのパルス・ノイズも存在しないことから、極限的な微弱光の高感度ラマン分光が可能となる。」（４頁９行〜５頁２２行）　
　　
（甲２−エ）　
「３．３　高感度ラマン分光光学系　
　図１に我々の使用している分光光学系の概略を示す。トリプル・ポリクロメータ分光器としてはＤｉｌｏｒ社のモデルＸＹを使用した。前段フィルタ・ステージの差分散型ダブル分光器は５０ｃｍと比較的長い焦点距離を持ち、低波数側でのレイリー散乱光などの除去率が良いと考えられる。後段のポリクロメータは入射側が５０ｃｍ、出射側が６０ｃｍの焦点距離の集光系を用いている。αは約６°と比較的小さく、ダブル分光器は互いに収差を打ち消すように設計されている。　
　検出器としては、ストレート側にＩＰＤＡ検出器（Ｄｉｌｏｒ社のゴールドモデル）を、サイド側に切り替え用の反射鏡を使ってＰＳ−ＰＭＴ（ＩＴＴ社のモデルＦ４１４６Ｍ）を設置した。両検出器の性能はミラーを切り替えて直接比較することができる。ＰＳ−ＰＭＴのフォトカソード面はマルチアルカリを使用し、３００−９００ｎｍで感度を持つ。５００ｎｍでの量子効率は１４％、位置分解能は半値全幅で５２μｍ（約２チャンネル分）である。ペルチェ冷却器を用いて−３０℃に冷却した時のダーク・カウントは２５ｍｍφ径のフォトカソード領域全体で毎秒約９カウントである。この値は、２５μｍ角の各ピクセルあたりで、毎秒７−９×１０−６カウントに相当する。　
　非点収差補正は、入口スリットの手前にシリンドリカル・レンズの光学系を導入する外部補正方式に依った。調整は、ＩＰＤＡの代わりにモニター用のＣＣＤカメラを設置して、Ｈｇランプなどの単色光を光源とし、試料位置に置いたグリッド・パターンの像を観察して行った。非点収差補正光学系の調整が完全に行われると、入口スリットのところでのグリッドの像がそのまま検出器の位置ではっきりした像に転送される。その精度は１０μｍ以下であり、検出器のピクセル・サイズ２５μｍよりもずっと小さくできる。またレンズの色収差を考えると、波長の変化に伴って補正レンズ径の位置を変化させる必要があるが、この値は実は４００ｎｍと９００ｎｍの間で１ｍｍ以下と非常に小さい。従って通常は多チャンネル検出器で一度に測定できる領域が最大５００−１０００ｃｍ−１であることから、受光面上での色収差による像のぼけは無視できる。むしろ検出器の受光面をどれだけ正確にポリクロメータの焦点面に一致させることができるかで測定精度が決まる。この時、ＰＳ−ＰＭＴの移動の自由度としては、焦点を合わせるための前後の移動とあおり２種、分光器の分散方向に正確に合わせるための回転の計４軸が重要である。そらに、有効受光面を適切な位置に置くためのＸＹ方向の平行移動と合わせて、計６軸を再現性良く微調整できるように設計されている。」（５頁２３行〜６頁１９行）　
　　
（甲２−オ）　
「３．４　性能評価　
　先に述べたようなダーク・カウント数でノイズ・レベルを論じるやり方は、実は適正とはいえない。ラマン装置の性能は、単に分光器や検出器の性能だけできまるものではなく、試料からの散乱光の集光光学系の能率をはじめ、試料に対する入射方法の工夫などがむしろ重要であることも多い。また、ダブル分光器はトリプル分光器よりもずっと明るいので、ダークの絶対値のみから論じることは危険である。そこで我々は、単結晶シリコンのフォノン・モードの測定による分光器性能の評価法を提案した。今日、純度の高いシリコン・ウエーハを入手することは容易であり、またその５２０ｃｍ−１のピークのスペクトルは試料によらず不変である。従って、以下のような測定を行うことにより、あらゆる装置の実効的な性能比較が可能になると考えられる。　
　図２の（ａ）と（ｂ）は、Ａｒ＋レーザの５１５ｎｍ線による励起で、シリコン（１００）ウエーハの５２０ｃｍ−１付近のピークの測定を行った時の、ＰＳ−ＰＭＴの二次元画像である。（ｂ）は（ａ）の一部を拡大してある。レーザ用のフィルター分光器をわざと取り外し、Ａｒ＋レーザからのプラズマ発光線をも測定するようにしてある。全スペクトル領域で、Ｙ方向への信号の広がりは３−４ピクセルすなわち１００μｍ以下である。この広がりは、測定時の入射スリット幅１００μｍ（検出器位置で１２５μｍに相当）と検出器の分解能５２μｍの和よりも小さい。図２の（ｃ）は、（ｂ）のデータを用いてＹ方向に５ピクセルずつ加算して得たラマン・スペクトルである。　
　図３と図４は、単結晶シリコンの５２０ｃｍ−１付近のピークについて、試料に入射されるレーザの強度を一桁づつ下げ、同時に測定時間を十倍づつ増大させながら測定した例である。このようにすれば、非常に微弱なラマン信号を再現性良く作り出すことができ、入射光学系を含めた装置を定量的に評価することができる。ここでは入射光学系として顕微集光光学系を用い、ビーム径を試料上で１μｍに絞って測定した。１００倍の対物レンズにより幅１００μｍの入口スリット上に転送される。図３はＰＳ−ＰＭＴを用いた測定結果で、図４には比較のため、ポリクロメータ出口のストレート方向に設置されたＩＰＤＡによる測定結果を示す。ＰＳ−ＰＭＴの場合には図２の時と同様に方向に５ピクセルを加算した。ＩＰＤＡによる測定では、１０μＷ励起の時パルス・ノイズが無視できなくなってきており、１μＷ励起ではノイズのため測定不能になっている。これらはそれぞれ光電子倍増管換算で毎秒０．１カウントと毎秒０．０１カウントの信号強度に対応している。一方、ＰＳ−ＰＭＴでは、１００ｎＷ励起の時には非常に高いＳＮ比で良好なスペクトルが得られており、１０ｎＷ励起の時でも十分なＳＮ比で信号が検出されている。これらはそれぞれ毎秒０．００１カウント、毎秒０．０００１カウントの信号強度に相当している。１０ｎＷ励起のデータからノイズ・レベルは毎秒４−５×１０−５カウントと見積もられる。これは非点収差補正を行わなかった場合に比べて３０乃至６０分の１のノイズになっている。補正のない場合には１μＷ励起でも信号とノイズの強度がほぼ等しくなり、従ってＩＰＤＡの場合とけた違いに高感度というわけではない。このことは従来からの報告と整合している。」（７頁３行〜８頁１４行）　
　　
　上記記載事項（甲２−ア）〜（甲２−エ）および図１〜６に示された内容を総合し，特に，甲２の図１が甲１の図１を簡略化したものであることを考慮すると，甲１発明と実質的に同一の発明（以下「甲２発明」という）が記載されていると認められる。　
　　
イ　対比　
　そうすると，本件発明７と甲２発明とは，「（２）先願同一（２９条の２の規定）について」にて述べたように，　
（一致点）　
「サンプルに光を照射して散乱光のスペクトルを得る手段と、　
　前記スペクトルを分析する手段と、　
　光検出器と、　
　前記分析されたスペクトルの少なくとも一つの成分を前記光検出器に通し、前記サンプルの所与の面から散乱された光を前記光検出器の所与の領域に合焦させ前記サンプルの他の面から散乱された光を前記光検出器に合焦させない手段と　
を具備する分光分析装置。」　
である点で一致し，次の点で相違するといえる。 　
 　 
（相違点２−１）　
　本件発明７では「前記光はスリット３０を備えた一次元空間フィルタ３１を通過して第一の次元で共焦点作用をもたらし」，「前記サンプルの前記所与の面の焦点からの散乱光は、前記スリットにおいてスポットとしての焦点に絞り込まれて前記スリット３０を通過し、前記サンプルの前記所与の面の前記焦点の前または後で散乱される光は、前記スリットにおいて焦点を結ばず」であるのに対して，甲２発明ではそのような構成か否か不明である点。
 　 
（相違点２−２）　
　本件発明７では「前記光検出器の前記所与の領域で受ける光が、前記所与の領域外で受ける光を含まずに、またはこの光と分離して検出され、前記所与の領域は前記第一の次元を横切る第二の次元で共焦点作用をもたらすように形成されて」いるのに対し，甲２発明ではそのような構成か否か不明である点。　
　　
（相違点２−３）　
　本件発明７では「サンプルに光を照射するのと、前記サンプルからの散乱光を集光するのとに同一のレンズが用いられ」ているのに対し，甲２発明では「単色レーザから集光レンズとビーム入射用小ミラー（または小プリズム）を経て試料に至る照射光学系」である点。　
　　
（相違点２−４）　
　「光検出器」について，本件発明７では「電荷結合素子である」のに対し，甲２発明では「マイクロ・チャンネルプレートおよびその後段の二次元の位置検出機構を有し，高エネルギー粒子線などによるパルス・ノイズの影響をうけないフォトン・カウンティング用の低雑音光電子増倍管」としての「位置検出型光電子増倍管」である点。　
　　
ウ　相違点の検討　
（ア）そこで，先ず，相違点２−１について検討する。 
　光学要素として「スリットを備えた一次元空間フィルタ」は，前掲した国際公開９０／１４５８９号（特表平４−５００２７４号公報参照）のＦＩＧ−１に記載されており，このような「スリットを備えた一次元空間フィルタ」が，共焦点作用をもたらすことも，例えば，前述の特開昭６３−３０６４１３号公報，特開平３−６１９１８号公報あるいは特開昭６３−３０６４１４号公報に記載されているように，技術常識であるといえる。　
　また，ラマン散乱光測定装置において，必ずしもスリットを備えたものではないないものの，ラマン分光器の光路前に共焦点作用をもたらす空間フィルタを設けることも，本件特許の優先日前に頒布された刊行物である特公昭５６−４４３７１号公報（特に，第１図の集光レンズＬ２，Ｌ３間を参照）に記載されている。　
　一方，本件発明７では「前記光はスリットを備えた一次元空間フィルタを通過して第一の次元で共焦点作用をもたらし」「前記サンプルの前記所与の面の焦点からの散乱光は、前記スリットにおいてスポットとしての焦点に絞り込まれて前記スリットを通過し、前記サンプルの前記所与の面の前記焦点の前または後で散乱される光は、前記スリットにおいて焦点を結ばず」と特定され，また，本件特許明細書には「第５図は、CCDを第４図の実施例で使用したときの第２図および第３図に対応する平面図である。スリット30を通過する光は回折格子分析器20によりラマンスペクトルの個々のバンド28に分散される。スリット30がないと、バンド28に対応するが焦点19の外側から散乱された光が破線対48,50の間にあるもっと広い領域に現れる。スリット30は一次元空間フィルタリングのみを提供し、ラマンバンド28のそれぞれが第５図の水平方向に空間的にフィルタリングされるようにしていることが認められるであろう。」（特許公報４頁７欄１５〜２４行）と記載されていることからみて，該「一次元空間フィルタ」の技術的意義は，共焦点作用であり，ＣＣＤ光検出器におけるラマンスペクトルの個々のバンドを狭くすることにあるといえる。　
　また，前述したように，本件発明７においては「前記光はスリットを備えた一次元空間フィルタを通過して第一の次元で共焦点作用をもたらし」と特定されているのであるから，該「一次元空間フィルタ」は，その「スペクトルを分析する手段」とは光学的に直列に配置される別の構成部材であり，十分な共焦点作用をもたらすために，そのスリットの幅は，より小さいことが望ましいものである。　
　それに対し，前述したように甲２発明における分光光学系の「入射スリット」は，１００ミクロン以上であって，より小さい方が望ましいものとはなっていないから，共焦点作用をもたらすものとはいえず，本件発明７の「一次元空間フィルタ」に相当するものではない。　
　また，甲２発明における「シリンドリカル・レンズを有する非点収差補正光学系」は，共焦点作用をするものではなく，「非点収差を補正して検出器位置でのＹ方向の像の広がりを抑える」ものであり，その技術的意義は，本件発明７の「一次元空間フィルタ」と異にする。　
　そうすると，光学要素として「一次元空間フィルタ」が周知であるとしても，甲２発明において，その「入射スリット」あるいは「非点収差補正光学系」を該「一次元空間フィルタ」に置き換える，すなわち，相違点２−１における本件発明７の構成とすることには，動機付けがなく，当業者が容易に想到し得たものとは到底いえない。　
　　
（イ）次に，相違点２−２について検討する。　
　本件特許明細書には「CCDをコンピュータと組み合わせると、このように、従来の空間フィルタにおけるピンホールと同じ効果を与える。レンズ16がサンプルの表面に焦点を結ぶと、サンプル内の表面の背後から散乱された光をフィルタリングして取り除くことができ、表面自体の分析も行うことができる。あるいは、レンズ16を故意にサンプル内の点に焦点を結ばせて表面から散乱された光をフィルタリングして取り除くことができる。
このように、余分の空間フィルタを使用しないでも共焦点作用が達成されていた。
　しかしながら，前記周知の「空間ファイルタを使用しない共焦点作用」はピンホール，すなわち，二次元の共焦点作用をもたらすものの代替であって，一次元の共焦点作用をもたらすものではない。まして，「第一の次元を横切る第二の次元で共焦点作用をもたらす」ものではないことは明らかである。　
　そうすると，「空間ファイルタを使用しない共焦点作用」が周知であるとしても，甲２発明において，前記周知の事項を適用して，相違点２−２における本件発明７の構成とすることは，当業者が容易に想到し得る事項であるとは到底いえない。　
　そして，相違点２−２は，相違点１を前提として，甲２の記載および前記周知の事項からは予測し得ない，本件特許明細書に記載された格別の効果を奏するといえる。　
　　
（ウ）更に，相違点２−３について検討する。　
　そもそも，ラマン分光装置において，「サンプルに光を照射するのと、前記サンプルからの散乱光を集光するのとに同一のレンズが用いられている照射系」を採用することは，本件特許の優先日前周知の事項であるといえる。例えば，特開昭６３−９５３２９号公報の１頁右下欄６〜１３号には「アルゴンイオンレーザ１より放出されたレーザ光は顕微鏡のハーフミラ−２で折り曲げられ、試料用対物レンズ３で被測定用試料４に照射される。この照射光がラマン分光用励起光となる。試料４から出てくるラマン散乱光を再び対物レンズ３でコリメート（ｃｏｌｌｉｍａｔｅ）し、ハーフミラ−２を通過させ、レンズ５で分光器６の入射スリットに入れる。」と記載され，特開昭６２−２９７７４６号公報の２頁右上欄１〜７号には「そしてレンズ１７により試料５上に焦点を結ぶよう集光される。そして、試料５からはレーザ光１２とエネルギーの異なる光がラマン散乱光として放射される。該ラマン散乱光はレンズ１７により集光され、ミラー２０で方向を曲げられ、検光子２１に入る。」と記載されている。　
　そして，甲２発明において，その「単色レーザから集光レンズとビーム入射用小ミラー（または小プリズム）を経て試料に至る照射光学系」を上記周知の「サンプルに光を照射するのと、前記サンプルからの散乱光を集光するのとに同一のレンズが用いられている照射系」に置換することには，何ら阻害要因がなく，構成を簡単化するという十分なる動機付けが存在するといえる。　
　してみると，甲２発明において，相違点２−３における本件発明７の構成とすることは，当業者が容易に想到し得たものといえる。　
　　
（エ）最後に，相違点２−４について検討する。　
　本件特許公報の２頁４欄１５〜１８行には「WO90/07108号公報は生じたラマン散乱光は２次元光検出アレイである電荷結合素子（CCD）上に合焦、つまり焦点を結ばせてもよいことも開示している。」と記載され，また，特表平３−５０１５１８号公報の１４頁左上欄１〜５行に「代替的には、検出器２１９は、光子カウンティングまたはフォトダイオード、強化されたダイオードアレイ、電荷連結装置もしくは線２２１を介して適切な電源２２０により電力を与えられた光電子倍増管等の充電流電子工学を使用するどのような適当な検出器でもよい。」と記載され，あるいは特開平２−８５７５０号公報の８頁左下欄１４〜１７行に「かくして１例えば、検出手段として作用する強力ＣＣＤ（電荷連結装置）アレイ又は位置検出光電子倍増管を用いてベルトを横切って像を作ることができ」と記載されていることみて，「光検出器の所与の領域で受ける光が，前記所与の領域外で受ける光を含まずに，またはこの光と分離して検出され，前記所与の領域は共焦点作用をもたらすように形成される」ことは，本件特許の優先日前周知の事項であるといえる。　
　そして，上記記載事項（甲２−イ）の「今回我々は超微弱信号の検出を目的としているので、以上の理由によりＰＳ−ＰＭＴを採用することにした。但し、量子効率の絶対値や赤外域の感度などを重んじるならばＣＣＤ検出器の方が優れているなど、目的によって選択はことなってくることを注意しておく。」からみて，甲２発明において，その「位置検出光電子倍増管」の替わりに「ＣＣＤ検出器」を採用することには，十分な動機付けが存在しているといえ，また，該置換に何ら困難性もない。　
　してみると，甲２発明において，相違点２−４における本件発明７の構成とすることは，当業者が容易に想到し得たものといえる。　
　　
オ　まとめ　
　そうすると，本件発明７は，相違点２−１および相違点２−２において，甲２発明に基づいて当業者が容易に想到できたとはいえず，本件発明７をさらに限定する発明である本件発明８〜１３も，同様に，甲２発明に基づいて当業者が容易に想到できたとはいえない。　
　　
４　独立特許要件２　
　前記侵害訴訟の被告であるナノフォトン株式会社（以下「上申者」という）は，平成２４年８月１０日付け上申書を提出するとともに，以下の参考資料１〜１７−４を提出している。　
　　
参考資料　１：上記侵害訴訟の被告第１準備書面の写し　
参考資料　２：上記侵害訴訟の原告準備書面（３）の写し　
参考資料　３：上記侵害訴訟の被告第２準備書面の写し　
参考資料　４：上記侵害訴訟の原告準備書面（４）の写し　
参考資料　５：上記侵害訴訟の被告第３準備書面の写し　
参考資料　６：上記侵害訴訟の原告準備書面（５）の写し　
参考資料　７：上記侵害訴訟の被告第４準備書面の写し　
参考資料　８：上記侵害訴訟の被告第５準備書面の写し　
参考資料　９：上記侵害訴訟の乙第７号証（「赤外・ラマン・振動［II］」
　　　　　　　，１３３〜１４５頁）の写し　
参考資料１０：上記侵害訴訟の乙第８号証（特開昭６１−２７２７１４号公
　　　　　　　報）の写し　
参考資料１１：上記侵害訴訟の乙第９号証（特開平２−２６７５１２号公報
　　　　　　　）の写し　
参考資料１２：上記侵害訴訟の乙第１０号証（特開平３−３３７１１号公報
　　　　　　　）の写し　
参考資料１３：上記侵害訴訟の乙第１１号証（「Mapping materials proper
　　　　　　　ties with Raman spectroscopy utilizing a 2-D detector
　　　　　　　」と題する論文）の写し　
参考資料１４：上記侵害訴訟の乙第１２号証（被告技術説明会資料）の写し
参考資料１５：上記侵害訴訟の乙第１８号証（特開昭６３−１３１１１５号
　　　　　　　公報）の写し　
参考資料１６−１：NATURE Vol.347 No.20 (1990) p301-303 の写し　
参考資料１６−２：NATURE Vol.347 No.20 (1990) p301-303 の抄訳　
参考資料１７−１：JOURNAL OF RAMAN　SPECTROSCOPY, Vol.22 (1991)　
　　　　　　　　　p217-225 の写し　
参考資料１７−２：JOURNAL OF RAMAN　SPECTROSCOPY, Vol.22 (1991)　
　　　　　　　　　p217-225 の抄訳　
参考資料１７−３：参考資料１７−１の出版社のウェブサイトの写し　
参考資料１７−４：科学技術振興機構が１９９１年５月２２日に参考資料　
　　　　　　　　　１７−１を受け入れたことの証明書　
　　
（１）参１６発明に対する進歩性（２９条２項の規定）について　
　上申者は，「本件訂正後発明は、参考資料１６に記載された発明（参考資料１６発明）に、別訴の乙１８（特開昭６３−１３１１１５号公報：参考資料１５）に記載された発明（乙１８発明）を適用することによって、当業者が容易に発明できたものであり，進歩性を欠如する。」（上申書第４頁２０〜２３行）旨を上申している。そこで，以下，検討する。　
　　
ア　参考資料１６の記載内容　
　参考資料１６は，本件特許の優先日前に頒布され，本件特許の審査段階において引用された刊行物であって，「Studying single living cells and chromosomes by confocal Raman microspectroscopy」に関して，図１とともに，以下の事項が記載されている。(以下の記載事項は，参考資料１６−２に基づく）　
　　
（参１６−ア）　
　「図１共焦点ラマン顕微分光器。ＤＣＭ色素レーザー（Spectra Physics, 375B）からの波長６６０ｎｍのレーザー光が、高開口数の顕微鏡対物レンズを用いて分析対象の物体に集光される。物体により散乱された光は、同じ対物レンズにより集められ、共焦点検出を可能とするピンホールを通して、分光器に導入される。この共焦点ラマン顕微鏡の面内空間分解能は、レーザーの集光サイズによって決まり、０．５μｍよりも小さい。直径１００μｍのピンホールにより深さ分解能は１．３μｍとなる。分光器は、効率的な迷光の抑制（１０９程度）とラマン光に対して高い透過率（４００−１８００ｃｍ−１の分光範囲で８０−９０％）を兼ね揃えたシェブロン型誘導体バンドパスフィルタセット（G.J.Puppets,A.Huizinga,H.W.Krabbe,H.A.de Boer,G,Gijsbers, とF.F.M.de Mul, 原稿準備中）と、波長分散ステージからなる。信号の検出には液体窒素冷却ＣＣＤカメラ（Emglish Electric Valve Co. P8603B CCDチップを備える。Wright Instruments Ltd 製）が用いられる。このＣＣＤカメラは高い量子効率（７００ｎｍで〜４０％）と、ほとんどノイズフリーの動作（無視できる暗電流および、二乗平均平方根で１０個の電子（１０個の光子に相当する）の読み出しノイズ）を兼ね備えている。顕微分光器のスペクトル分解能は約６〜７ｃｍ−１　
である。略語、Ｍ：ミラー、Ｌ：レンズ」　
　　
　上記記載事項（参１６−ア）および図１に示された内容を総合すると，参考資料１６には以下の発明（以下「参１６発明」という）が記載されていると認められる。　
「ＤＣＭ色素レーザーからの波長６６０ｎｍのレーザー光を，高開口数の顕微鏡対物レンズを用いて分析対象の物体に集光し，物体により散乱された光が同じ対物レンズにより集められ，共焦点検出を可能とするピンホールを通して，分光器に導入され，レーザーの集光サイズは０．５μｍよりも小さいく，直径１００μｍのピンホールにより深さ分解能は１．３μｍとなり，前記分光器は，シェブロン型誘導体バンドパスフィルタセットと，波長分散ステージからなり，信号の検出には液体窒素冷却ＣＣＤカメラが用いられる共焦点ラマン顕微鏡。」　
　　
イ　対比　
　そこで，本件発明７と参１６発明とを対比すると，その機能ないし構造からみて，参１６発明における「分析対象の物体」，「波長６６０ｎｍのレーザー光」，「レーザー光が集光された物体の面」，「対物レンズ」，「波長分散ステージ（Grating）」および「液体窒素冷却ＣＣＤカメラ」は，それぞれ，本件発明７における「サンプル」，「光」，「サンプルの所与の面」，「散乱光のスペクトルを得る手段（レンズ）」，「スペクトルを分析する手段」および「光検出器」に相当することが明らかである。　
　また，参１６発明の「ピンホール」は，「二次元空間フィルタ」であり，二次元で共焦点作用をもたらすから，本件発明７の「スリットを備えた一次元空間フィルタ」とは，共焦点作用をもたらす「空間フィルタ」である点で共通する。　
　　
　そうすると，両者は，　
（一致点）　
「サンプルに光を照射して散乱光のスペクトルを得る手段と，　
　前記スペクトルを分析する手段と，　
　光検出器と，　
　前記分析されたスペクトルの少なくとも一つの成分を前記光検出器に通し、前記サンプルの所与の面から散乱された光を前記光検出器の所与の領域に合焦させ前記サンプルの他の面から散乱された光を前記光検出器に合焦させない手段と　
　を具備する分光分析装置であって，　
　前記光は空間フィルタを通過して共焦点作用をもたらし，　
　前記サンプルの前記所与の面の焦点からの散乱光は、前記空間フィルタにおいてスポットとしての焦点に絞り込まれて前記空間フィルタを通過し、前記サンプルの前記所与の面の前記焦点の前または後で散乱される光は、前記空間フィルタにおいて焦点を結ばず，　
　前記サンプルに光を照射するのと、前記サンプルからの散乱光を集光するのとに同一のレンズが用いられ，　
  前記光検出器は電荷結合素子である分光分析装置。」　
である点で一致し，次の点で相違するといえる。 　
 　 
（相違点３−１）　
　「空間フィルタ」が，本件発明７では「スリットを備えた一次元空間フィルタ」であるのに対して，参１６発明では「ピンホール」である点。　
 　 
（相違点３−２）　
　本件発明７では「前記光検出器の前記所与の領域で受ける光が、前記所与の領域外で受ける光を含まずに、またはこの光と分離して検出され、前記所与の領域は前記第一の次元を横切る第二の次元で共焦点作用をもたらすように形成されてお」るのに対し，参１６発明ではそのような構成か否か不明である点。
　　
ウ　相違点の検討　
（ア）そこで，先ず，相違点３−１について検討する。　
　本件特許の優先日前に頒布され刊行物である参考資料１５には，「〔問題点を解決するための手段〕上記の目的を達成するために、２個のスリットとレンズとを使用して、ピンホールの役割をする光学系を構成する。スリットに微小な光を入射させるようにスリットの位置を調整するのは、一方向の動きだけで済むので容易である。２個のスリットを調整することで、目的は達成される。」（２頁左上欄１０〜１６行）と記載されていることからみて，「ピンホールの替わりに直交する２個のスリットとレンズを使用する」ことが記載されているといえるものの，「ピンホールの替わりに１個のスリットとレンズを使用するとともに光検出器の読み出し領域を制限する」ことが記載されているとまではいえない。　
　また，前述したように，光検出器の読み出し領域を制限して得られる周知の「空間ファイルタを使用しない共焦点作用」は，ピンホール，すなわち，二次元の共焦点作用をもたらすものの代替であって，一次元の共焦点作用をもたらすものではないから，一次元の共焦点作用をもたらす「１個のスリット」を使用する替わりに「光検出器の読み出し領域を制限する」ようにすること，すなわち，２つの異なる原理に基づく手段の組み合わせにより二次元の共焦点作用をもたらすことは，自明の事項でもなく，また，このことが公知であることを示す証拠も示されていない。　
　そうすると，参考資料１５と参考資料１６とは類似の技術分野に属する発明が記載され，「調整を容易にする」という課題は共通するといえるから，参１６発明の「ピンホール」を参考資料１５記載の「直交する２個のスリットとレンズ」に置き換えることは，動機は十分に存在し容易であるといえるものの，参考資料１５記載を参１６発明に適用しても，「直交する２個のスリットとレンズ」に置き換わるまでであって，「１個のスリットとレンズを使用するとともに光検出器の読み出し領域を制限する」という構成には到達しないというべきである。　
　したがって，参１６発明において，参考資料１５記載の事項を適用して，相違点３−１における本件発明７の構成とすることは，当業者が容易になし得た程度のことであるとはいえない。　
　　
（イ）つぎに，相違点３−２について検討する。　
　相違点３−２は，実質的に相違点２−２と同一である。　
　してみると，相違点２−２について検討したと同様に，「空間ファイルタを使用しない共焦点作用」が周知であるとしても，参１６発明において，前記周知の事項を適用して，相違点３−２における本件発明７の構成とすることは，当業者が容易に想到し得る事項であるとは到底いえない。　
　そして，相違点３−２は，相違点３−１を前提として，参１６発明および参考資料１５の記載からは予測し得ない，本件特許明細書に記載された格別の効果を奏するといえる。　
　　
エ　まとめ　
　そうすると，本件発明７は，参１６発明に基づいて当業者が容易に想到できたとはいえず，本件発明７をさらに限定する発明である本件発明８〜１３も，同様に，甲２発明に基づいて当業者が容易に想到できたとはいえない。
　　
（２）参１７発明に対する進歩性（２９条２項の規定）について　
　上申者は，「本件訂正後発明は、参考資料１７に記載された発明（参考資料１７発明）に、別訴の乙１８（特開昭６３−１３１１１５号公報：参考資料１５）に記載された発明（乙１８発明）を適用することによって、当業者が容易に発明できたものであり，進歩性を欠如する。」（上申書９頁２２行〜同書１０頁１行）旨を上申している。そこで，以下，検討する。　
　　
ア　参考資料１７の記載内容　
　参考資料１７は，本件特許の優先日前に頒布された刊行物であって，「Description and Performance of a Highly Sensitive Confocal Raman Microspectrometer」に関して，図面とともに，以下の事項が記載されている。(以下の記載事項は，参考資料１７−２に基づく）　
　　
（参１７−ア）　
「共焦点ラマン顕微分光器の光学系を図１に示す。DCM色素レーザーからの波長６６０ｎｍのレーザー光が、狭帯域バンドパスフィルタ（ＢＰＦ）を透過した後、高倍率の対物レンズで試料に集光される。ＢＰＦはレーザー光に対して８４％の透過率をもつ。対物レンズに入射するレーザー光の光円錐の幅は、アポダイゼーションにより大きさが３０％失われる程度である。これにより対物レンズの開口数を最大限に利用することができる。以下で示すように、レーザー焦点における強度の半値幅は０．５μｍより小さい。散乱光および反射光は（訳注：レーザー光を集光したもの）同じ対物レンズで集められる。ＢＰＦはラマン散乱光を反射する。（反射率はスペクトル区間３００−３０００ｃｍ−１において９８％より大きい）反射されたラマン散乱光は対物レンズの像面に焦点を結ぶ。この位置にピンホールが配置される。このピンホールは測定体積を制限する役割を果たす（共焦点の性質の項で述べられている）。ピンホールを透過した光は正レンズによって集められる。この正レンズはシェブロン型バンドパスフィルターセットを使用するために必要な平行光に変換する。このフィルターセットは平行に取り付けられた２枚の狭帯域バンドパスフィルターで構成されている。光は２枚のフィルター間を往復して反射される。それぞれの反射で、レーザー光は８０％より多くが透過し、効率的にラマン散乱光と分離される。ラマン散乱光は非常に高い効率（ストークラマンシフトが６００〜２６００ｃｍ−１の間において９９％以上の反射率）で反射される。１２回反射させることによって、レーザーの輝線を１０８−１０９消光できる。　
　ラマン信号のスループットを図２に示す。レーザー光を広げた後（Ｌ３とＬ４）、格子周波数３００本／ｍｍ、ブレーズ波長６００ｎｍ（Jobin Yvon）のルールドグレーティングが分散に用いられる。ラマンスペクトルは、焦点距離０．４５ｍの凹面鏡によって、液体窒素冷却低速走査ＣＣＤカメラ（Wright Instruments,EEV P8603B CCDchip）に焦点を結ぶ。したがって、我々の応用に最も重要なスペクトル区間（６００−１７５０ｃｍ−１のストークラマンシフト）は、一回の測定で得られる。波長の分散方向には、カメラの３８５ピクセルのみが利用可能である。これは１ピクセルが平均して３ｃｍ−１に相当することを意味する。狭いラマン線の場合は、これはエイリアシング効果を引き起こし、分光分解能の低下をもたらす。しかしながら、今回の応用においてこのことは特に重要ではないと考えられる。波数軸を線形にするため、また更なるデータ処理におけるソフトウェアの互換性のために、測定されたスペクトルは、毎回、３８５点から１０００点へ補間した。測定されたレーザー線幅（補間後）は６−７ｃｍ−１であった。エイリアシング効果を無視すれば、分光分解能は６−７ｃｍ−１である。　
　ＣＣＤカメラの量子効率は波長７００ｎｍ付近において約４０％のピーク値をもつ。ＣＣＤカメラは１４０Ｋに冷却された。これは暗電流を取り除くためである。カメラの電子回路で使用されている相関二重サンプリング法によってリセット雑音は防がれた。一測定箇所あたり、１０電子の読み出しノイズ（検出される光子１０個に相当する）が残った。したがって、測定における信号雑音比は、実質どんな信号レベルでも光子（ショット）ノイズ限界である。宇宙線事象の検出は、測定されたスペクトルに、平均して２０００個の光子の検出に相当するスパイクを引き起こす。宇宙線事象検出の可能性を最小化するため、分光方向に対して垂直方向には、最小限のピクセルだけを使うべきである。凹面鏡で光軸外に集光されることにより生じる非点収差を補正するために、ＣＣＤカメラの前に円柱レンズ（図１に図示されない）が用いられた。この方法により、すべてのラマン信号が１０ピクセル（分光方向に対して垂直方向、９０％の信号は５ピクセル）以内に含まれる。これらの（ビニング）されたピクセルのみが読みだされるので、宇宙線事象はほとんど検出されない。１画素ごとの感度の違いは、HowardとMaynardによって示されたものと類似の方法によって、毎回、ラマンスペクトルから補正される。　
　図３に、共焦点ラマン顕微分光器の（偏光および無偏光に対する）ラマン信号の総合的な検出効率を波数の関数として示す。絶対的な検出効率の計算結果（一部、グレーティングやＣＣＤカメラ、は供給元のデータシートに基づいている）は、顕微鏡対物レンズにより集められたすべての光のうち、最大で１５％が実際に検出されることを示している。（表１）スペクトルの大部分において、検出効率はほぼ偏光方向に無依存である。これにより、ラマン散乱光の２つの偏光成分をそれぞれ測定する、あるいは、分光器の入り口に偏光解消子を用いる必要がなくなり、測定されたスペクトルの、検出効率の波数依存性を容易に校正することができる。図３の検出効率曲線を得るために用いた方法と同じ方法が、この目的のために用いることができる（実験項を見よ）。」　
　　
（参１７−イ）　
「さらなる改良の別の可能性は、ＣＣＤカメラが２次元検出器である事実を利用することである。これは、Bowdennらに示されたように、スポット照明の代わりにサンプルのライン照明によって実現される。ピンホールはこの場合スリットに置き換えられる。しかし深さ方向分解能は低下する。深さ方向分解能の低下は、より弱い信号強度を代償として、スリット幅を狭めることで補償できる。ライン照明はサンプルの異なる部分からのラマンスペクトルを同時に記録することを可能にするだろう。これは、例えば染色体のBanding patternsの研究を促進するだけでなく、細胞の変化がおこる状況、例えば細胞−細胞間または細胞−薬剤の相互作用の重要な局所的情報ももたらすだろう。」　
　　
　上記記載事項（参１７−ア）および図１に示された内容を総合すると，参考資料１７には以下の発明（以下「参１７発明」という）が記載されていると認められる。　
「ＤＣＭ色素レーザーからの波長６６０ｎｍのレーザー光を，高倍率の対物レンズを用いて分析対象の物体に集光し，物体により散乱された光が同じ対物レンズにより集められ，共焦点検出を可能とするピンホールを通して，分光器に導入され，レーザーの集光サイズは０．５μｍよりも小さいく，直径１００μｍのピンホールにより深さ分解能は１．３μｍとなり，前記分光器は，シェブロン型バンドパスフィルタセットと，ルールドグレーティングからなり，信号の検出には液体窒素冷却低速走査ＣＣＤカメラが用いられ，宇宙線事象検出の可能性を最小化するため、分光方向に対して垂直方向には、最小限のピクセルだけを使う共焦点ラマン顕微分光器。」　
　　
イ　対比　
　そこで，本件発明７と参１７発明とを対比すると，その機能ないし構造からみて，参１７発明における「分析対象の物体」，「波長６６０ｎｍのレーザー光」，「レーザー光が集光された物体の面」，「対物レンズ」，「波長分散ステージ（Grating）」および「液体窒素冷却ＣＣＤカメラ」は，それぞれ，本件発明７における「サンプル」，「光」，「サンプルの所与の面」，「散乱光のスペクトルを得る手段（レンズ）」，「スペクトルを分析する手段」および「光検出器」に相当することが明らかである。　
　また，参１７発明の「ピンホール」は，「二次元空間フィルタ」であり，二次元で共焦点作用をもたらすから，本件発明７の「スリットを備えた一次元空間フィルタ」とは，共焦点作用をもたらす「空間フィルタ」である点で共通する。　
　　
　そうすると，両者は，　
（一致点）　
「サンプルに光を照射して散乱光のスペクトルを得る手段と，　
　前記スペクトルを分析する手段と，　
　光検出器と，　
　前記分析されたスペクトルの少なくとも一つの成分を前記光検出器に通し、前記サンプルの所与の面から散乱された光を前記光検出器の所与の領域に合焦させ前記サンプルの他の面から散乱された光を前記光検出器に合焦させない手段と　
　を具備する分光分析装置であって，　
　前記光は空間フィルタを通過して共焦点作用をもたらし，　
　前記サンプルの前記所与の面の焦点からの散乱光は、前記空間フィルタにおいてスポットとしての焦点に絞り込まれて前記空間フィルタを通過し、前記サンプルの前記所与の面の前記焦点の前または後で散乱される光は、前記空間フィルタにおいて焦点を結ばず，　
　前記サンプルに光を照射するのと、前記サンプルからの散乱光を集光するのとに同一のレンズが用いられ，　
  前記光検出器は電荷結合素子である分光分析装置。」　
である点で一致し，次の点で相違するといえる。 　
 　 
（相違点４−１）　
　「空間フィルタ」が，本件発明７では「スリットを備えた一次元空間フィルタ」であるのに対して，参１７発明では「ピンホール」である点。　
 　 
（相違点４−２）　
　本件発明７では「前記光検出器の前記所与の領域で受ける光が、前記所与の領域外で受ける光を含まずに、またはこの光と分離して検出され、前記所与の領域は前記第一の次元を横切る第二の次元で共焦点作用をもたらすように形成されてお」るのに対し，参１７発明ではそのような構成か否か不明である点。
　　
ウ　相違点の検討　
（ア）そこで，先ず，相違点４−１について検討する。　
　相違点４−１は，実質的に相違点３−１と同一である。　
　そして，前述したように，参考資料１５には「ピンホールの替わりに直交する２個のスリットとレンズを使用する」ことが記載されているといえるものの，「ピンホールの替わりに１個のスリットとレンズを使用するとともに光検出器の読み出し領域を制限する」ことが記載されているとまではいえない。　
　また，前述したように，光検出器の読み出し領域を制限して得られる周知の「空間ファイルタを使用しない共焦点作用」は，ピンホール，すなわち，二次元の共焦点作用をもたらすものの代替であって，一次元の共焦点作用をもたらすものではないから，一次元の共焦点作用をもたらす「１個のスリット」を使用する替わりに「光検出器の読み出し領域を制限する」ようにすること，すなわち，２つの異なる原理に基づく手段の組み合わせにより二次元の共焦点作用をもたらすことは，自明の事項でもなく，また，このことが公知であることを示す証拠も示されていない。　
　そうすると，参考資料１５と参考資料１７とは類似の技術分野に属する発明が記載され，「調整を容易にする」という課題は共通するといえるから，参１７発明の「ピンホール」を参考資料１５記載の「直交する２個のスリットとレンズ」に置き換えることは，動機は十分に存在し容易であるといえるものの，参考資料１５記載を参１７発明に適用しても，「直交する２個のスリットとレンズ」に置き換わるまでであって，「１個のスリットとレンズを使用するとともに光検出器の読み出し領域を制限する」という構成には到達しないというべきである。　
　また，（参１７−イ）によれば，「ピンホールをスリットに置き換え，スリット幅を狭めることにより深さ方向分解能の低下を補償する」こと，すなわち，「ピンホールを一次元共焦点もたらすスリットに置換する」ことが参考資料１７に記載されているといえるものの，この置換は，「スポット照明の代わりにサンプルのライン照明」とすることに対応するものであって，本件発明７の「スリットにおいてスポットとしての焦点に絞り込まれ」に対応せず，二次元の共焦点作用をもたらすものではないことは明らかである。
　したがって，参１７発明において，参考資料１５記載の事項を適用して，相違点４−１における本件発明７の構成とすることは，当業者が容易になし得た程度のことであるとはいえない。　
　　
（イ）つぎに，相違点４−２について検討する。　
　相違点４−２は，実質的に相違点２−２と同一である。　
　そして，参１７発明においては，「分光方向に対して垂直方向には、最小限のピクセルだけを使」っているものの，これは「宇宙線事象検出の可能性を最小化するため」であって，一次元の共焦点作用をもたらすものとはいえない。　
　してみると，相違点２−２ついて検討したと同様に，「空間ファイルタを使用しない共焦点作用」が周知であるとしても，参１７発明において，前記周知の事項を適用して，相違点４−２における本件発明７の構成とすることは，当業者が容易に想到し得る事項であるとは到底いえない。　
　そして，相違点４−２は，相違点４−１を前提として，参１７発明および参考資料１５の記載からは予測し得ない，本件特許明細書に記載された格別の効果を奏するといえる。　
　　
エ　まとめ　
　そうすると，本件発明７は，参１７発明に基づいて当業者が容易に想到できたとはいえず，本件発明７をさらに限定する発明である本件発明８〜１３も，同様に，甲２発明に基づいて当業者が容易に想到できたとはいえない。
　　
（３）参１５発明に対する進歩性（２９条２項の規定）について　
　上申者は，「本件訂正後発明は、別訴の乙１８発明に、参考資料１６発明を適用することによって、当業者が容易に発明できたものであるので，進歩性を欠如する。」（上申書１４頁２３〜２４行）旨を上申している。そこで，以下，検討する。　
　　
ア　参考資料１５の記載内容　
　参考資料１５は，本件特許の優先日前に頒布された刊行物であって，「走査レ−ザ顕微鏡」に関して，図面とともに，以下の事項が記載されている。
　　
（参１５−ア）　
「２．特許請求の範囲　　
１．レーザと、該レーザにより出射されたレーザ光を収束させポイントソースとするための第１のレンズと、このレーザ光を再び収束し、試料をポイントソースの像面に置くための第２のレンズと、試料を透過したレーザ光を収束するための第３のレンズと、該第３のレンズによる試料の像面に位置し移動可能とした第１のスリットと、該第１のスリットを通過したレーザ光を収束するための第４のレンズと、該第４のレンズによる上記第１のスリットの像面に位置し、上記第１のスリットの方向と交叉しかつ移動可能とした第２のスリットと、該第２のスリットを透過したレーザ光を検出する光検出器からなることを特徴とする走査レーザ顕微鏡。」（１頁左下欄４〜１８行）　
　　
（参１５−イ）　
「〔産業上の利用分野〕　
本発明は、共焦点タイプの走査レーザ顕微鏡に係り、特に光学系の調整が容易な、共焦点タイプの走査レーザ顕微鏡に関する。」（２頁左下欄２０行〜同頁３行）　
　　
（参１５−ウ）　
「〔発明が解決しようとする問題点〕　
　共焦点タイプの走査レーザ顕微鏡におけるピンホール５の役割は分解能を上げることであり、微小な口径のピンホールが要求される。このため、位置合せをして、この微小なピンホールに光を入射させるのが難しい。」（２頁左上欄１〜６行）　
　　
（参１５−エ）　
「〔問題点を解決するための手段〕上記の目的を達成するために、２個のスリットとレンズとを使用して、ピンホールの役割をする光学系を構成する。スリットに微小な光を入射させるようにスリットの位置を調整するのは、一方向の動きだけで済むので容易である。２個のスリットを調整することで、目的は達成される。」（２頁左上欄１０〜１６行）　
　　
（参１５−オ）　
「スリット８１の方向と交叉するように、スリット８２を光検出器６の前に置き、光検出器６の出力が最大になるように、スリット８２を調整する。」（２頁右上欄５〜７行）　
　　
（参１５−カ）　
「レーザ１から出射したレーザ光２をレンズ３１で絞りポイントソースとする。迷光を遮断するために、適宜、絞り込まれたところにピンホールを置いてよい。試料４は、レンズ３２によるポイントソースの像面に置く。試料４はステージ７１によシ走査することができる。試料４を透過したレーザ光をレンズ３３で集光し、スリット８１上へ絞り込む。」（２頁右上欄１３〜２０行）　
　　
（参１５−キ）　
「スリット８１の調整はスリット８２をはずした状態で行ない、光検出器６の出力が最大になるようにする。スリット８２も光検出器６の出力が最大になる位置に合わせられるように、ステージ７３により移動できる。」（２頁左下欄７〜１２行）　
　　
（参１５−ク）　
「〔発明の効果〕　
　本発明によれば、共焦点タイプの走査レーザ顕微鏡におけるピンホールの位置合せを必要とせず、その代わりに、２個のスリットの位置合せをすることになる。スリットの位置合せは一次元方向だけなので、ピンホールの位置合せと比べて非常に容易になる。このため、走査レーザ顕微鏡の調整に要する時間を短縮することが可能になる。」（２頁左下欄１６行〜同頁右下欄３行）　
　　
上記記載事項（参１５−ア）〜（参１５−ク）および図１，２に示された内容を総合すると，参考資料１５には以下の発明（以下「参１５発明」という）が記載されていると認められる。　
「レーザと，該レーザにより出射されたレーザ光を収束させポイントソースとするための第１のレンズと，このレーザ光を再び収束し，試料をポイントソースの像面に置くための第２のレンズと，試料を透過したレーザ光を収束するための第３のレンズと，該第３のレンズによる試料の像面に位置し移動可能とした第１のスリットと，該第１のスリットを通過したレーザ光を収束するための第４のレンズと，該第４のレンズによる上記第１のスリットの像面に位置し，上記第１のスリットの方向と交叉しかつ移動可能とした第２のスリットと，該第２のスリットを透過したレーザ光２を検出する光検出器からなる走査レーザ顕微鏡。」　
　　
イ　対比　
　そこで，本件発明７と参１５発明とを対比すると，その機能ないし構造からみて，参１５発明における「試料」，「レーザ光」，「第３のレンズ」および「光検出器」は，それぞれ，本件発明７における「サンプル」，「光」，「散乱光のスペクトルを得る手段（レンズ）」，および「光検出器」に相当することが明らかである。　
　また，参１５発明の「第１のスリットと，該第１のスリットを通過したレーザ光を収束するための第４のレンズと，該第４のレンズによる上記第１のスリットの像面に位置し，上記第１のスリットの方向と交叉しかつ移動可能とした第２のスリット」は，「二次元空間フィルタ」であり，二次元で共焦点作用をもたらすから，本件発明７の「スリットを備えた一次元空間フィルタ」とは，共焦点作用をもたらす「空間フィルタ」である点で共通する。　
　さらに，参１５発明の「走査レーザ顕微鏡」と本件発明７の「分光分析装置」とは，「光学装置」の点で共通する。　
　　
　そうすると，両者は，　
（一致点）　
「サンプルに光を照射して散乱光のスペクトルを得る手段と，　
　光検出器と，　
　前記分析されたスペクトルの少なくとも一つの成分を前記光検出器に通し、前記サンプルの所与の面から散乱された光を前記光検出器の所与の領域に合焦させ前記サンプルの他の面から散乱された光を前記光検出器に合焦させない手段と　
　を具備する光学装置であって，　
　前記光は空間フィルタを通過して共焦点作用をもたらし，　
　前記サンプルの前記所与の面の焦点からの散乱光は、前記空間フィルタにおいてスポットとしての焦点に絞り込まれて前記空間フィルタを通過し、前記サンプルの前記所与の面の前記焦点の前または後で散乱される光は、前記空間フィルタにおいて焦点を結ばない光学装置。」　
である点で一致し，次の点で相違するといえる。 　
 　 
（相違点５−１）　
「光学装置」が，本件発明７では「スペクトルを分析する手段」を具備する「分光分析装置」であるのに対して，参１５発明では透過型の「走査レーザ顕微鏡」である点。　
　　
（相違点５−２）　
　「空間フィルタ」が，本件発明７では「スリットを備えた一次元空間フィルタ」であるのに対して，参１５発明では「第１のスリット８１と，該第１のスリット８１を通過したレーザ光２を収束するための第４のレンズ３４と，該第４のレンズ３４による上記第１のスリット８１の像面に位置し，上記第１のスリットの方向と交叉しかつ移動可能とした第２のスリット８２と」である点。　
 　 
（相違点５−３）　
　本件発明７では「前記光検出器の前記所与の領域で受ける光が、前記所与の領域外で受ける光を含まずに、またはこの光と分離して検出され、前記所与の領域は前記第一の次元を横切る第二の次元で共焦点作用をもたらすように形成されてお」るのに対し，参１５発明ではそのような構成か否か不明である点。　
　　
（相違点５−４）　
　本件発明７では「前記サンプルに光を照射するのと、前記サンプルからの散乱光を集光するのとに同一のレンズが用いられ」るの対して，参１５発明では「レーザにより出射されたレーザ光を収束させポイントソースとするための第１のレンズと，このレーザ光を再び収束し，試料をポイントソースの像面に置くための第２のレンズと」が用いられる点。　
　　
（相違点５−５）　
  「光検出器」が，本件発明７では「電荷結合素子である」の対して，参１５発明では不明である点。　
　　
ウ　相違点の検討　
（ア）そこで，先ず，相違点５−１について検討する。　
　本件特許明細書をおける「背景技術」欄に記載されているように，「スペクトルを分析する手段」を具備する「分光分析装置」は，本件特許の優先日前周知であり，また，本件特許の優先日前に頒布された刊行物である特開平１−１８８８１６号公報に記載されているように，分光機能のない走査顕微鏡に分光機能を付加することも，本件特許の優先日前に知られている。　
　してみると，参１５発明を本件発明７と同様の「分光分析装置」に変更することは，当業者において十分な動機付けが存在し，また，何ら困難性もなく，容易に想到し得たものといえる。　
　　
（イ）相違点５−２について検討する。　
　参１５発明の「二次元空間フィルタ」は，「第１のスリット」と「第４のレンズ」と「第２のスリット」とを必須の構成とするものであり，その「第１のスリット」が本件発明７の「一次元空間フィルタ」に相当するといえるとしても，それ以外の「第４のレンズ」と「第２のスリット」を除くあるいは他の手段に変更することについては，阻害要因が存在するというべきである。また，「第４のレンズ」と「第２のスリット」を除くあるいは他の手段に変更する参考資料１５には記載も示唆もないから，動機付けもないといえる。　
　してみると，参１５発明において，相違点５−２における本件発明７の構成とすることは，相違点１は，当業者が容易に想到し得たものとはいえない。　
　　
（ウ）相違点５−３について検討する。　
　相違点２−２の検討にて前述したように，「光検出器の所与の領域で受ける光が，前記所与の領域外で受ける光を含まずに，またはこの光と分離して検出され，前記所与の領域は共焦点作用をもたらすように形成される」ことは，本件特許の優先日前周知の事項であるといえる。　
　しかしながら，前記周知の「空間ファイルタを使用しない共焦点作用」はピンホール，すなわち，二次元の共焦点作用をもたらすものの代替であって，一次元の共焦点作用をもたらすものではない。まして，「第一の次元を横切る第二の次元で共焦点作用をもたらす」ものではないことは明らかである。　
　そうすると，「空間ファイルタを使用しない共焦点作用」が周知であるとしても，参１５発明において，前記周知の事項を適用して，相違点５−３における本件発明７の構成とすることは，当業者が容易に想到し得る事項であるとは到底いえない。　
　そして，相違点５−３は，相違点５−２を前提として，参考資料１５の記載および前記周知の事項からは予測し得ない，本件特許明細書に記載された格別の効果を奏するといえる。　
　　
（エ）相違点５−４について検討する。　
　相違点２−３の検討にて前述したように，ラマン分光装置において，「サンプルに光を照射するのと、前記サンプルからの散乱光を集光するのとに同一のレンズが用いられている照射系」を採用することは，本件特許の優先日前周知の事項であるといえる。　
　また，前述の特開平１−１８８８１６号公報に記載されているように，分光型走査顕微鏡において透過型を反射型に変更することも，適宜選択し得る設計的事項であるといえる。　
　してみると，参１５発明において，反射型に変更するとともに，「サンプルに光を照射するのと、前記サンプルからの散乱光を集光するのとに同一のレンズが用いられている照射系」を採用し，相違点５−４における本件発明７の構成とすることは，当業者が容易に想到し得たものといえる。　
　　
（オ）相違点５−５について検討する。　
  本件特許明細書をおける「背景技術」欄に記載されているように，「電荷結合素子である」「光検出器」は，本件特許の優先日前周知であるといえる。　
　してみると，参１５発明を本件発明７と同様の「電荷結合素子である」「光検出器」に特定することは，当業者において十分な動機付けが存在し，また，何ら困難性もなく，容易に想到し得たものといえる。　
　　
エ　まとめ　
　そうすると，本件発明７は，相違点５−２および５−３において，参１５発明に基づいて当業者が容易に想到できたとはいえず，本件発明７をさらに限定する発明である本件発明８〜１３も，同様に，甲２発明に基づいて当業者が容易に想到できたとはいえない。
　　
第３　むすび　
　以上のとおり，本件審判の請求は，特許法第１２６条第１項に掲げる事項を目的とし，かつ，同条第５項および第６項に適合するとともに，訂正後の発明は，特許出願の際独立して特許を受けることができ，特許法第１２６条第７項の規定にも適合するものである。　
　よって，結論のとおり審決する。