【手続補正書】
【提出日】平成18年7月6日(2006.7.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  フォトリソグラフィツールにおける光学縮小システムであって、
該システムは、
光ビーム経路の軸に沿って、かつ、光ビーム源と対物レンズ群との間に配置されているレクチルと、
該軸に沿って配置されている偏光補償器であって、該レクチルに隣接し、かつ、該光ビーム源と該対物レンズ群との間に配置されている偏光補償器と
を備え、
該偏光補償器は、該光ビームを変更する可変波長偏光差を提供し、該光ビームは、該対物レンズ群に該レクチルの画像を投射するように用いられる、光学縮小システム。
【請求項２】  出射開口数を備えた負の出力を有するレンズ群であって、該出射開口数は、物体空間開口数よりも大きい、レンズ群と、
該レンズ群から入射する光を分離するビームスプリッターと、
凹面ミラーと、
正の出力を有する別のレンズ群と
をさらに備え、
前記偏光補償器は、該レンズ群によって受け取られた光の偏光を変更し、該レンズ群の負の出力は、無限遠において前記システムの入射瞳を該ミラーにおけるまたは該ミラーの近傍のアパーチャストップに結像するのに十分な出力を提供し、該別のレンズ群の正の出力は、該システムの出力の実質的に全てを提供し、かつ、該システムの出射瞳を無限遠に結像する、請求項１に記載の光学縮小システム。
【請求項３】  光ビーム経路の軸に沿って、かつ、光ビーム源と第１のレンズ群との間に配置されている可変波長板であって、該第１のレンズ群は、正の出力と入射開口数とを有する可変波長板と、
該軸に沿って、かつ、該可変波長板に隣接して配置されているレクチルであって、該可変波長板は、楕円偏光を提供し、該レチクルは、直線偏光を提供する、レクチルと、
負の出力の第２のレンズ群であって、該第２のレンズ群は、第１のレンズ群から隔てられており、該第１のレンズ群の入射開口数よりも大きな出射開口数を有する、第２のレンズ群と、
ビームスプリッターと、
１／４波長板と、
凹面ミラーと、
正の出力の第３のレンズ群と
を備えた、光学縮小システム。
【請求項４】  前記可変波長板は、ベレークの補償器である、請求項３に記載の光学縮小システム。
【請求項５】  前記可変波長板は、ソレイユ−バビネ補償器である、請求項３に記載の光学縮小システム。
【請求項６】  前記ビームスプリッターと前記凹面ミラーとの間に配置されている第１の１／４波長板をさらに備えている、請求項４に記載の光学縮小システム。
【請求項７】  前記ビームスプリッターと前記第３のレンズ群との間に配置されている第２の１／４波長板をさらに備えている、請求項６に記載の光学縮小システム。
【請求項８】  前記第１のレンズ群の正の出力は、前記第２のレンズ群を介して、無限遠において前記システムの入射瞳を前記ミラーにおけるまたは該ミラー近傍のアパーチャストップに結像するのに十分な出力を提供し、該第２のレンズ群の負の出力は、前記凹面ミラーに対して必要な共役を提供し、前記第３のレンズ群の正の出力は、システム全体の出力の残りを提供し、該システムの出射瞳を無限遠に結像する、請求項３に記載の光学縮小システム。
【請求項９】  可変波長板と、
レクチルと、
第１の光学素子と
を備え、
該レクチルは、光ビーム経路の軸に沿って、かつ、光ビーム源と該第１の光学素子との間に配置されており、
該可変波長板は、該レクチルの隣の軸に沿って、かつ、該第１の光学素子の前に配置されている、光学システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
ＩＩＩ．  従来の光学システムとレチクル複屈折
図１は、従来の光縮小システムを図示する。レチクルが配置される長い共役端からウェハが配置される短い共役端にまで、従来の光縮小システムは、第１の光学要素群１２０と、ビームスプリッター立方１５０と、第１の１／４波長板１４０と、凹面鏡１３０と、第２の１／４波長板１６０と、第２の光学要素群１７０とを有する。これらの要素１２０〜１７０の各々は、１９９６年７月１６日にＷｉｌｌｉａｍｓｏｎに発行された、名称「Ｃａｔａｄｉｏｐｔｒｉｃ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ  Ｓｙｓｔｅｍ  ｗｉｔｈ  Ｈｉｇｈ  Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ  Ａｐｅｒｔｕｒｅ」の米国特許５，５３７，２６０号に記載される。任意の光学システムのフューチャは、開口数のサイズおよびスペクトル放射の要件に相互依存する。レチクルに効率的に放射するために、直線偏光が所望され得る。例えば、光源１０２が用いられ得る。ある場合において、他の照射偏光状態、例えば、右円偏光または左円偏光が所望されてもよい。上で紹介された直線偏光またはほぼ直線偏光に限定して、以下のセクションを説明する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
ある実施形態において、線量制御に対して、偏光状態は、露光に対して評価さえれ得る。例えば、偏光状態は、レチクルに対して平均化される。図３は、そのような非対称性またはプリントバイアスを削除する、本発明の実施形態を図示する。図３は、第１の光学素子群３２０、ビームスプリッター３５０、第１の１／４波長板３４０、凹面ミラー３４０、第２の１／４波長板３６０、第２の光学素子群３７０およびウェハ３８０を示す。光源３０２がまた示されている。光源３０２は、図１に示された光源１０２、または、図４〜図９のそれぞれに示された光源４０２、５０２、６０２、７０２、８０２および９０２と同様であり得る。ベレーク補償器３０５は、オブジェクトまたはレチクル平面１１０の前に導入される。ベレーク補償器３０５は、レチクル平面偏光の光を微同調し、レチクル平面で所望な状態にほぼきっちりと整合させる。損失がない光学照射システムのある実施形態において、補償器は、補償器なしの偏光状態に等しい偏光に対する補正を導入する。補正は、反対の意味を表す記号だが、所望な状態から離れるものである。投射光学要素は、任意の強い偏光子の前に、意図しない小さい量の複屈折を有する場合、照射補償器は、この複屈折を補償する、さらなる量をオフセットし得る。したがって、レチクルの複屈折によって生じる線量誤差は最小化され、線幅制御が向上する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
（Ｂ．別の実施形態）
ソレイユ―ベリエ補償器４０５がベレーク３０５の代わりにレチクル１１０の前のシステムにおいて挿入され得ることが当業者には明らかである。ソレイユ―ベリエ補償器４０５が、上述したように、ベレーク補償器３０５と同様な機能を果たし、一般的に同様な特性で働く、この実施形態を図４に示す。図４はまた、第１の光学素子群４２０、ビームスプリッター４５０、第１の１／４波長板４４０、凹面ミラー４３０、第２の１／４波長板４６０および第２の光学素子群４７０を示す。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
より広いスペクトル帯域幅は、異なる分散を有する２つの光学材料を用いて達成され得る。本発明の第２の実施形態を図６に示す。図６の長共役端部から、第１の１／４波長板６０５、物体またはレチクル面１１０、第２の１／４波長板６１１、レンズ群ＬＧ４、折りたたみ式ミラー６２２、レンズ群ＬＧ５、表面６３８を有するビームスプリッター立方６３２、第１の１／４波長板６３４、凹面ミラー６３６、第２の１／４波長板６４０およびレンズ群ＬＧ６を含む。画像は、画像またはウェハ面１８０で形成される。レンズ群ＬＧ４は、負レンズ６１２と正レンズ６１４とを含む間隔を空けて配置されるデュプレット、弱い正レンズ６１６、正レンズ６１８およびシェル６２０を含む。レンズ群ＬＧ５は、正レンズ６２４、負レンズ６２６、正レンズ６２８および負レンズ６３０を含む。レンズ群ＬＧ６は、２つの正レンズ６４２、正レンズ６４４と負レンズ６４６とを含む複合デュプレット、正レンズ６４８およびシェル６５０と正レンズ６５２とを含む複合デュプレットを含む。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
図８は、本発明の光学縮小システムの第４の実施形態を示す。この実施形態は０．６３の開口数を有し、中心が２４８．４ナノメートルにおいて３００ピコメートル（好ましくは１００ピコメートル）のスペクトル帯域幅で動作し得る。図８の長共役端部から、光学縮小システムは、物体またはレチクル面１１０、第１のレンズ群ＬＧ１、折りたたみ式ミラー８２０、第２のレンズ群ＬＧ２、ビームスプリッター立方８３０、第１の１／４波長板８３２、凹面ミラー８３４、ビームスプリッター立方８３０の面８３６、第２の１／４波長板８３８および第３のレンズ群ＬＧ３を含む。画像は画像またはウェハ面１８０に形成される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
図９は、本発明の光学縮小システムの第５の実施形態を示す。好ましくは、この実施形態は、開口数０．６０を有し、中心が２４８．４ナノメートルにおいて３００ピコメートルのスペクトル帯域幅で動作する。この光学縮小システムは、図９の長共役端部から、照明システム内の可変波長板９０５、物体またはレチクル面１１０、第１のレンズ群ＬＧ１、折りたたみ式ミラー９２０、第２のレンズ群ＬＧ２、ビームスプリッター立方９３０、第１の１／４波長板９３２、凹面ミラー９３４、ビームスプリッター立方９３０の面９３６、第２の１／４波長板９３８および第３のレンズ群ＬＧ３を含む。画像は、画像またはウェハ面１８０に形成される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
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