【手続補正書】
【提出日】平成18年8月22日(2006.8.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
焦点関係の収差を低減するための光学結像システムであって、前記システムが、
前記結像システムの波面を中間像へと結像し、介在する媒質によりある時間にわたり誘起される前記焦点関係の収差に対して前記光学結像システムの光学伝達関数が実質的に不変となるように、前記波面の位相を変更するための波面符号化エレメントを含む光学素子と、
前記中間像を検出するための検出器と、
前記検出器からのデータを処理して前記光学素子により誘起される位相の影響を処理し、前記焦点関係の収差が実質的に全くない最終画像を形成するためのデコーダと
を含むシステム。
【請求項２】
前記収差が、ミスフォーカス、球面収差、非点収差、像面湾曲、色収差、温度誘起ミスフォーカス収差、圧力誘起ミスフォーカス収差、トレフォイルおよびコマのうちの一つ以上を含む、請求項１記載のシステム。
【請求項３】
前記波面符号化エレメントが、ゼルニケ多項式により定義される焦点関係の収差を補償するように構成されている、請求項１記載のシステム。
【請求項４】
前記光学素子が一つ以上の光学エレメントを含む、請求項１記載のシステム。
【請求項５】
前記波面符号化エレメントが前記光学エレメントと一体化される、請求項４記載のシステム。
【請求項６】
前記波面符号化エレメントが前記光学エレメントの一つ以上の表面と一体化される、請求項４記載のシステム。
【請求項７】
前記光学エレメントが適応光学素子を含む、請求項４記載のシステム。
【請求項８】
前記適応光学素子が前記波面符号化エレメントを含む、請求項７記載のシステム。
【請求項９】
前記収差が、ピストン誤差、キルティング誤差、およびスタックアクチュエータ誤差のうちの１つを含む、請求項８記載のシステム。
【請求項１０】
前記波面符号化エレメントが、前記結像システムの主平面、前記結像システムの主平面の像、前記結像システムの開口絞り、および前記開口絞りの像のうちの一つ以上に配置される、請求項１記載のシステム。
【請求項１１】
前記中間像が、検出された前記検出器の空間周波数に関してゼロにならない変調伝達関数を規定する、請求項１記載のシステム。
【請求項１２】
前記デコーダが、検出された前記波面の各周波数を前記最終画像において復元するよう作動可能である、請求項１１記載のシステム。
【請求項１３】
前記デコーダが空間可変であり、コマを含む収差を制御する、請求項１記載のシステム。
【請求項１４】
前記デコーダがダイナミックであり、前記収差が変化する間、ある時間にわたり前記最終画像を継続的に生成する、請求項１記載のシステム。
【請求項１５】
焦点関係の収差を低減するためのタスクベースの光学結像システムであって、前記システムが、
前記結像システムの波面を中間像へと結像し、介在する媒質によりある時間にわたり誘起される前記焦点関係の収差に対して前記光学結像システムの光学伝達関数が実質的に不変となるように、前記波面の位相を変更するための波面符号化エレメントを含む光学素子と、
前記中間像を検出するための検出器と
を含むシステム。
【請求項１６】
焦点関係の収差を低減するための方法であって、前記方法が、
光学波面を位相関数で変更し、中間像での光学伝達関数がある時間にわたり媒質により誘起される焦点関係の収差に対して実質的に不変となるように、光学システムの光学伝達関数を変更するステップであって、前記光学波面は前記光学システムにより結像される間前記媒質を介して伝播する、ステップと、
前記中間像を表すデータを復号化して、前記変更するステップにより誘起される影響を除去し、実質的に前記焦点関係の収差のない最終画像を形成するステップと
を含む方法。
【請求項１７】
前記変更するステップが、前記焦点関係の収差を特徴づけるゼルニケ多項式により変更するステップを含む、請求項１６記載の方法。
【請求項１８】
前記媒質が空気を含み、前記方法がリソグラフィー内で利用される、請求項１６記載の方法。
【請求項１９】
媒質を介して音波を映像化する結像システムであって、前記システムが、
前記媒質を介して伝播する前記音波の波面を符号化するためのエンコーダであって、前記エンコーダは、前記媒質により生じる音波関連の収差に対して前記波面が実質的に不変となるように構成および配置されているエンコーダと、
前記波面を映像化するためのイメージャと、
前記収差の実質的にない音響を生成するよう符号化する前記エンコーダの影響を逆にするためのデコーダと
を含むシステム。
【請求項２０】
検出器からの反射を低減するための結像システムであって、前記システムが、
電磁エネルギーを前記検出器へと結像するための光学素子であって、前記検出器に結像される波面の位相を変更するための波面符号化エレメントを含む光学素子と、
前記結像される電磁エネルギーに対して垂直な平面から傾いている傾き表面を有する、後方散乱する放射を前記結像システムの開口絞りへと反射するための傾き光学素子と、
前記反射により持ち込まれる歪みの影響を低減するためのポストプロセッサと
を含むシステム。
【請求項２１】
前記傾き光学素子が前記開口絞りに配置されている、請求項２０記載のシステム。
【請求項２２】
前記波面の符号化のため、前記結像システムの光学伝達関数が焦点関係の収差に対して実質的に不変となるよう変更されるように前記光学素子が構成および配置されており、前記ポストプロセッサが、前記波面符号化済みエレメントにより前記波面上に誘起される影響を除去するように構成されている、請求項２０記載の結像システム。
【請求項２３】
適応光学素子を利用した光学システム内で光学歪みを低減するための方法であって、前記方法が、
波面符号化エレメントを用いて前記光学システムの波面の位相を変更するステップと、
前記波面符号化エレメントにより誘起される位相の影響を除去し、キルティング誤差、スタックアクチュエータ誤差、およびピストン誤差のうちの一つ以上を制御するように前記光学システムの像データを後処理するステップと
を含む方法。
【請求項２４】
前記適応光学素子が多数のセグメント化された鏡を含む、請求項２３記載の方法。
【請求項２５】
前記変更するステップが、前記像データの変調伝達関数にゼロが存在しないように位相を変更するステップを含む、請求項２３記載の方法。
【請求項２６】
光学検出器と、
前記光学検出器上へ入射する電磁放射線からの反射パワーを低減するための波面符号化エレメントと
を含む反射防止光学結像システム。
【請求項２７】
前記光学検出器の検出された空間周波数に関してゼロのない変調伝達関数を生成するように、前記波面符号化エレメントが前記システム内で作動可能である、請求項２６記載のシステム。
【請求項２８】
最終画像を生成するために、前記波面符号化エレメントにより誘起される影響を逆にするよう前記検出器からのデータを後処理するデコーダをさらに含む、請求項２６記載のシステム。
【請求項２９】
前記システム内の開口にてプリズムをさらに含み、前記電磁放射線からの反射パワーをさらに低減する、請求項２６記載のシステム。
【請求項３０】
波面符号化エレメントを含み、中間像へと認識されるための物体の波面を結像する光学素子と、
前記中間像を検出するための検出器とを含み、前記検出器により検出される変調伝達関数がゼロを含まない結果、後続のタスクベースの画像処理が前記物体を認識する、生物測定光学認識システム。
【請求項３１】
前記検出器に接続されるデコーダをさらに含み、前記タスクベースの画像処理を実行する、請求項３０記載のシステム。
【請求項３２】
前記デコーダが周波数領域において全域通過フィルタとして作動可能である、請求項３１記載のシステム。
【請求項３３】
前記デコーダが１以下の倍率の周波数領域における減衰フィルタとして作動可能である、請求項３１記載のシステム。
【請求項３４】
電磁放射を検出器へと結像するための光学素子と、
前記検出器から後方散乱する電磁放射を光学結像システムの開口絞りへと反射するための傾き光学素子と、
前記傾き光学素子により持ち込まれる収差を除去するように前記検出器からのデータを処理するためのポストプロセッサと
を含む、光学結像システム。
【請求項３５】
前記傾き光学素子が、開口絞りに配置される、請求項３４記載のシステム。
【請求項３６】
前記光学素子が、前記検出器に結像される波面の位相を変更するための波面符号化エレメントを含み、前記ポストプロセッサが、前記波面符号化エレメントにより誘起される影響を除去するように構成されている、請求項３４記載のシステム。
【請求項３７】
前記波面符号化エレメントが、焦点関係の収差に対して前記結像システムの光学伝達関数が実質的に不変となるように、前記波面を符号化する、請求項３６記載のシステム。
【請求項３８】
電磁放射を検出器へと結像するための光学素子であって、前記検出器は、前記検出器からの後方散乱電磁放射を前記結像システムの開口絞りへと向けるように、前記光学素子の光軸に対して傾けられている、光学素子と、
前記検出器の傾きにより誘起される収差を除去するように前記検出器からのデータを処理するためのポストプロセッサと
を含む光学結像システム。
【請求項３９】
前記光学素子が、前記検出器に結像される波面の位相を変更するための波面符号化エレメントを含み、前記ポストプロセッサが、前記波面符号化エレメントにより誘起される影響を除去するように構成される、請求項３８記載のシステム。
【請求項４０】
前記波面符号化エレメントが、焦点関係の収差に対して前記光学結像システムの光学伝達関数が実質的に不変となるように、前記波面を符号化する、請求項３９記載のシステム。