(57)【要約】      （修正有）【課題】水晶片の短辺側の端部であって、短辺の略中央部分で、水晶片を導電性接着剤で固定する。水晶片の、前記導電性接着剤による固定位置の裏に当たる部分で、ワイヤーボンディングのワイヤーを接続するような１点保持の圧電デバイスの、水晶片の保持の傾きを軽減する。【解決手段】第１の配線電極２３は、ベース２１の短辺２１ｂの側の端部であって短辺２１ｂに沿う方向の中央に当たる部分を含む部分に、設ける。しかも、第１の配線電極２３は、少なくとも導電性接着剤３１の前記水晶片と接している部分をベース側に投影した領域（導電性接着剤の主たる領域）３１ｂを、平面的に包含する大きさおよび平面形状のものとしてある。【選択図】図１
2017017676.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面形状が矩形の水晶片と、該水晶片の両主面に設けられた励振電極と、各励振電極から前記水晶片の１つの辺の近傍まで引き出されている引出電極と、前記水晶片を実装していて平面形状が矩形のベースと、該ベースに設けられ前記引出電極に接続されている第１および第２の配線電極と、を具え、
前記水晶片は、一方の面の前記１つの辺の側の端部で、導電性接着剤により第１の配線電極に接続固定してあり、前記水晶片の他方の面の引出電極と前記第２の配線電極とは、ワイヤーボンディングにより接続してあり、かつ、前記導電性接着剤による固定位置と前記ワイヤーボンディングによる前記水晶片側でのボンディング位置とが、前記水晶片の厚み方向において重なるように前記固定とワイヤーボンディングがされている圧電デバイスにおいて、
第１の配線電極は、ベースの一つの辺の側の端部に設けてあり、かつ、少なくとも前記導電性接着剤の前記水晶片と接している部分を前記ベース側に投影した領域を、平面的に包含する大きさおよび平面形状のものであること
を特徴とする圧電デバイス。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電デバイスにおいて、
前記第１の配線電極は、ベースの一つの辺の側の端部であって該１つの辺に沿う方向の中央に当たる部分を含む部分に、設けてあること
を特徴とする圧電デバイス。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の圧電デバイスにおいて、
前記第１の配線電極の大きさおよび平面形状は、前記固定用の導電性接着剤の塗布領域全部を平面的に包含する大きさおよび平面形状のものであること
を特徴とする圧電デバイス。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の圧電デバイスにおいて、
前記第１の配線電極と前記第２の配線電極とは、水晶片の前記１つの辺に沿う方向で配置してあり、かつ、
前記第１の配線電極は、前記第２の配線電極の側とは反対方向にて、前記水晶片の前記１つの辺に沿う端部を越える領域まで延在させて設けてあることを特徴とする圧電デバイス。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の圧電デバイスにおいて、
前記第１の配線電極と前記第２の配線電極とは、水晶片の前記１つの辺に沿う方向で配置してあり、かつ、
前記第２の配線電極は、前記ベースの角近傍に設けてあり、かつ、ベースの中心側の縁が、前記１つの辺と直交する方向にて、前記固定用の導電性接着剤による接着領域の中心位置又はそれより前記ベースの中心側となる大きさおよび配置で設けてあること
を特徴とする圧電デバイス。
【請求項６】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の圧電デバイスにおいて、
前記第１の配線電極と前記第２の配線電極とは、水晶片の前記１つの辺に沿う方向で配置してあり、かつ、
前記第１の配線電極は、前記第２の配線電極の側とは反対方向にて、前記水晶片の前記１つの辺に沿う端部を越える領域まで延在させて設けてあり、
前記第２の配線電極は、前記ベースの角近傍に設けてあり、かつ、ベースの中心側の縁が、前記１つの辺と直交する方向にて、前記固定用の導電性接着剤による接着領域の中心位置又はそれより前記ベースの中心側となる大きさおよび配置で設けてあること
を特徴とする圧電デバイス。
【請求項７】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の圧電デバイスにおいて、
前記第１の配線電極と前記第２の配線電極とは、水晶片の前記１つの辺に沿う方向で配置してあり、かつ、
前記第１の配線電極は、前記第２の配線電極の側とは反対方向にて、前記水晶片の前記１つの辺に沿う端部を越えない領域内に設けてあることを特徴とする圧電デバイス。
【請求項８】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の圧電デバイスにおいて、
前記第１の配線電極と前記第２の配線電極とは、水晶片の前記１つの辺に沿う方向で配置してあり、かつ、
前記第２の配線電極は、前記ベースの角近傍であって、前記水晶片とは重ならない領域に設けてあること
を特徴とする圧電デバイス。
【請求項９】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の圧電デバイスにおいて、
前記第１の配線電極と前記第２の配線電極とは、水晶片の前記１つの辺に沿う方向で配置してあり、かつ、
前記第１の配線電極は、前記水晶片の前記１つの辺に沿う端部を越えない領域内に設けてあり、
前記第２の配線電極は、前記ベースの角近傍であって、前記水晶片とは重ならない領域に設けてあること
を特徴とする圧電デバイス。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の圧電デバイスにおいて、
前記ベースは前記水晶片を内包する凹部とその周囲の土手部とを有し、当該圧電デバイスは前記土手部にて蓋部材で封止されていることを特徴とする圧電デバイス。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の圧電デバイスにおいて、
前記ベースは前記水晶片を載置する平板状のものであり、当該圧電デバイスは水晶片を内包する凹部を有した蓋部材で封止されていることを特徴とする圧電デバイス。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の圧電デバイスにおいて、
導電性接着剤がシリコーン系導電性接着剤であることを特徴とする圧電デバイス。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の圧電デバイスと、前記ベースに前記水晶片と共に実装された水晶発振回路とを具えたことを特徴とする圧電デバイス。
【請求項１４】
水晶片の一方の主面の端部をベースに固定および電気的に接続する電性接着剤が塗布される第１の配線電極と、前記水晶片の他方の面の端部からワイヤーボンディング用ワイヤーが接続される第２の配線電極と、を具える平面形状が矩形のベースにおいて、
第１の配線電極は、ベースの一つの辺の側の端部であって該１つの辺に沿う方向の中央に当たる部分を含む部分に、設けてあり、かつ、少なくとも前記導電性接着剤の塗布予定領域のうち導電性接着剤が水晶片に接する予定領域を、平面的に包含する大きさおよび平面形状のものであること
を特徴とするベース。
【請求項１５】
請求項１４に記載のベースにおいて、
前記第１の配線電極は、ベースの一つの辺の側の端部であって該１つの辺に沿う方向の中央に当たる部分に、設けてあり、かつ、前記固定用の導電性接着剤の塗布予定領域全部を、平面的に包含する大きさおよび平面形状のものであること
を特徴とするベース。
【請求項１６】
請求項１４又は１５に記載のベースにおいて、
前記第１の配線電極と前記第２の配線電極とは、前記１つの辺に沿う方向で配置してあり、かつ、
前記第１の配線電極は、前記第２の配線電極の側とは反対方向にて、実装予定の水晶片の前記１つの辺に沿う端部を越える領域まで延在して設けてあることを特徴とするベース。
【請求項１７】
請求項１４又は１５に記載のベースにおいて、
前記第１の配線電極と前記第２の配線電極とは、前記１つの辺に沿う方向で配置してあり、かつ、
前記第２の配線電極は、前記一つの辺の側の端部でかつベースの角に当たる部分に、前記ベースの中心側の縁が前記１つの辺と直交する方向にて導電性接着剤の接着予定領域の中心位置に又はそれより前記ベースの中心側に張り出す大きさおよび配置で、設けてあること
を特徴とするベース。
【請求項１８】
請求項１４又は１５に記載のベースにおいて、
前記第１の配線電極と前記第２の配線電極とは、前記１つの辺に沿う方向で配置してあり、かつ、
前記第１の配線電極は、前記第２の配線電極の側とは反対方向にて、実装予定の水晶片の前記１つの辺に沿う端部を越える領域まで延在して設けてあり、
前記第２の配線電極は、前記一つの辺の側の端部でかつベースの角に当たる部分に、前記ベースの中心側の縁が前記１つの辺と直交する方向にて導電性接着剤の接着予定領域の中心位置に又はそれより前記ベースの中心側に張り出す大きさおよび配置で、設けてあること
を特徴とするベース。
【請求項１９】
請求項１４又は１５に記載のベースにおいて、
前記第１の配線電極と前記第２の配線電極とは、前記１つの辺に沿う方向で配置してあり、かつ、
前記第１の配線電極は、実装予定の水晶片の前記１つの辺に沿う端部を越えない領域内に設けてあることを特徴とするベース。
【請求項２０】
請求項１４又は１５に記載のベースにおいて、
前記第１の配線電極と前記第２の配線電極とは、前記１つの辺に沿う方向で配置してあり、かつ、
前記第２の配線電極は、前記ベースの角近傍であって、実装予定の水晶片とは重ならない領域に設けてあること
を特徴とする圧電デバイス。
【請求項２１】
請求項１４又は１５に記載のベースにおいて、
前記第１の配線電極と前記第２の配線電極とは、前記１つの辺に沿う方向で配置してあり、かつ、
前記第１の配線電極は、前記第２の配線電極の側とは反対方向にて、実装予定の水晶片の前記１つの辺に沿う端部を越える領域まで延在しており、
前記第２の配線電極は、前記ベースの角近傍であって、実装予定の水晶片とは重ならない領域に設けてあること
を特徴とするベース。
【請求項２２】
請求項１４〜２１のいずれか１項に記載のベースにおいて、
前記ベースは実装予定の水晶片を内包する凹部とその周囲の土手部とを有し、後に該土手部にて部材により封止されるものであることを特徴とするベース。
【請求項２３】
請求項１４〜２１のいずれか１項に記載のベースにおいて、
前記ベースは実装予定の水晶片を載置する平板状かつ多数の水晶片を搭載する区分けされた領域を持つシート状のものであることを特徴とするベース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電デバイスとしての水晶振動子、水晶発振器及びその製造に用いて好適なベースに関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話やパーソナルコンピュータ等の各種電子機器では、周波数の選択や制御等のために、水晶振動子や水晶発振器が多用されている。
【０００３】
水晶振動子の一例として、例えば特許文献１に開示されたものがある。この水晶振動子は、両主面に励振電極および引出電極を具えた平面視矩形状の水晶片と、この水晶片を実装していて、上記の引出電極に接続されている第１および第２の配線電極を有したベースと、を具えている。そして、この水晶片は、その一方の面の引出電極をベースの第１の配線電極に導電性接着剤により接着固定することで、ベースに固定されている。導電性接着剤による固定位置は、水晶片の１つの辺（具体的には１つの短辺）の側の端部でかつこの辺の略中央に当たる部分とされている。また、水晶片の他方の面に設けてある引出電極と、ベースの第２の配線電極とは、ワイヤーボンディングにより接続されている。しかも、導電性接着剤による固定位置とワイヤーボンディングによる水晶片側のボンディング位置とが、水晶片の厚み方向において重なるように、上記接着およびワイヤーボンディングが行われている。
【０００４】
特許文献１に開示されたこの水晶振動子では、水晶片はその短辺側の端部の短辺の略中心付近で、すなわち水晶片は１ケ所でベースに固定されているので、水晶片の傾きが生じ難く、作業性が向上するという（特許文献１の例えば段落８）。また、水晶片とベースとの電気的接続の一方をワイヤーボンディングにより行っているため、水晶の固定部から水晶片への応力の影響が軽減されると考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１４７６２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、ワイヤーボンディングは水晶面に形成された引出電極に行うが、水晶は脆いため、ワイヤーボンディングは弱い力で安定的に行うことが重要である。それを実現するためには、水晶片の傾きが小さくかつ水晶片の高さのばらつき（すなわち、ボンディング面の高さのばらつき）が抑えられていることが重要である。従って、導電性接着剤により水晶片を１点で固定する際に水晶片の傾きや高さばらつきをさらに軽減するためには、さらなる工夫が必要になる。
【０００７】
この出願の各発明の目的は、上述した課題を解決することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この目的の達成を図るため、この出願の第一の発明の圧電デバイスによれば  平面形状が矩形の水晶片と、この水晶片の両主面に設けられた励振電極と、各励振電極から前記水晶片の１つの辺の近傍まで引き出されている引出電極と、前記水晶片を実装していて平面形状が矩形のベースと、該ベースに設けられ前記引出電極に接続されている第１および第２の配線電極と、を具える。
【０００９】
然も、前記水晶片は、その一方の面の前記１つの辺の側の端部で、導電性接着剤により、第１の配線電極に接続固定してあり、かつ、前記水晶片の他方の面の引出電極と前記第２の配線電極とは、ワイヤーボンディングにより接続してあり、かつ、前記導電性接着剤による固定位置と前記ワイヤーボンディングによる前記水晶片側でのボンディング位置とが、前記水晶片の厚み方向において重なる（概ね重なる場合も含む）ように前記固定とワイヤーボンディングをしてある。
【００１０】
然も、第１の配線電極は、ベースの一つの辺の側の端部に設けてあり、かつ、少なくとも前記固定用の導電性接着剤の前記水晶片と接している部分を前記ベース側に投影した領域（以下、「導電性接着剤の主たる領域」ともいう）を、平面的に包含する大きさおよび平面形状のものとしてある。この第１の配線電極の表面はなるべく平坦な面とする。
なお、この第一の発明の実施に当たり、好ましくは、前記第１の配線電極は、ベースの一つの辺の側の端部であって然も該１つの辺に沿う方向の中央に当たる部分を含む部分に、設けるのが良い。
また、この第一発明の実施に当たり、より好ましくは、前記第１の配線電極は、前記固定用の導電性接着剤の塗布領域全部を平面的に包含する大きさおよび平面形状のものとするのが良い。
【００１１】
この第一の発明およびその好適例によれば、水晶片を固定する導電性接着剤は、その主たる領域の平面積より広い平面積を有した第一の配線電極上に位置することになる。導電性接着剤の塗布面に段差があると、水晶片を搭載した後で接着剤が硬化するまでに水晶片が段差の低い方に引かれたり、水晶片を上方から押した場合は水晶片の傾きや高さのばらつきを起こす原因になる。しかし、本発明では、少なくとも導電性接着剤の主たる領域は、第一の配線電極からはみ出してベース上に渡って設けられることはないので、同一高さの面上にのみ設けられるので、水晶片の傾きや高さのばらつきを低減できる。
【００１２】
また、この出願の第一発明の実施に当たり、上述の第１の配線電極および第２の配線電極を以下の（ａ）〜（ｄ）の各形態とし、かつ、これら（ａ）〜（ｄ）から、目的に応じた１つの形態又は複数を組み合わせた形態とするのが良い。
（ａ）前記第１の配線電極と前記第２の配線電極とを、水晶片の前記１つの辺に沿う方向で配置してあり、かつ、前記第１の配線電極は、前記第２の配線電極の側とは反対方向にて、前記水晶片の前記１つの辺に沿う端部を越える領域まで延在させて設けてある形態（具体例は、図１（Ａ）、（Ｂ）の第１の配線電極２３）。
（ｂ）前記第１の配線電極と前記第２の配線電極とは、水晶片の前記１つの辺に沿う方向で配置してあり、かつ、前記第２の配線電極は、前記ベースの角近傍に設けてあり、かつ、ベースの中心側の縁が、前記１つの辺と直交する方向にて、前記固定用の導電性接着剤による接着領域の中心位置又はそれより前記ベースの中心側となる大きさおよび配置で設けてある形態（（具体例は、図１（Ａ）、（Ｂ）の第２の配線電極２５）。
（ｃ）前記第１の配線電極と前記第２の配線電極とは、水晶片の前記１つの辺に沿う方向で配置してあり、かつ、前記第１の配線電極は、前記水晶片の前記１つの辺に沿う端部を越えない領域内に設けてある形態（具体例は、図６の第１の配線電極２３Ｘ、図７の第１の配線電極２３ｙ）。
（ｄ）前記第１の配線電極と前記第２の配線電極とは、水晶片の前記１つの辺に沿う方向で配置してあり、かつ、前記第２の配線電極は、前記ベースの角近傍であって、前記水晶片とは重ならない領域に設けてある形態（具体例は、図６の第１の配線電極２５Ｘ、図７の第１の配線電極２５ｙ）。
上記の（ａ）の形態、（ｂ）の形態のいずれか一方又は双方を採用した場合は、第１の配線電極及び又は第２の配線電極が水晶片の傾きを軽減する部材としても作用するので、水晶片の傾きが万一生じた場合にその是正を補助できる。
また、上記の（ｃ）の形態、（ｄ）の形態のいずれか一方又は双方を採用した場合は、第１の配線電極と第２の配線電極とは、この第一発明でいう、導電性接着剤の塗布領域全部を平面的に包含する大きさおよび平面形状という最低必要条件の平面積と有したものとなる。すなわち、第１の配線電極及び第２の配線電極は、水晶片の下側の必要領域のみに存在し、水晶片の縁部の下側には存在しない構造になる。このため、導電性接着剤の塗布領域全部を平面的に包含する大きさおよび平面形状という第一発明の最低必要構成成分で水晶片の傾きを防止した際にベースの底面に接しない程度のわずかな傾きが残ってしまった場合でも、水晶片の縁部が第１の配線電極や第２の配線電極に接触することを防止でき、このような不要な接触に起因する水晶片への応力の影響を排除できる。従って、このような応力の影響を受け易い圧電デバイスに対し、これら（ｃ）、（ｄ）の形態は有用である。
【００１３】
また、この第一発明及びその好適例において用いる導電性接着剤は、シリコーン系のもの、エポキシ系のもの、ポリイミド系のもの等種々のものを用いることができる。しかし、この発明を実施するに当たり、好ましくは、用いる導電性接着剤を弾性に富むもの典型的にはシリコーン系の導電性接着剤とするのが良い。こうすると、エポキシ系やポリイミド系の導電接着剤を用いる場合に比べ、水晶片とベースとの間の緩衝効果が高まるため、ベースからの応力の影響をより軽減できる。
【００１４】
また、この出願の第二の発明の圧電デバイスによれば、上記の第一発明およびその好適例の圧電デバイスのいずれかと、ベースに水晶片と共に実装された水晶発振回路とを具えたことを特徴とする。この第二の発明によれば、水晶片の傾きに起因する特性低下が無い水晶発振器を実現できる。
【００１５】
また、この出願の第三の発明であるベースの発明によれば、水晶片の一方の主面の端部をベースに固定および電気的に接続する導電性接着剤が塗布される第１の配線電極と、前記水晶片の他方の面の端部からワイヤーボンディング用ワイヤーが接続される第２の配線電極と、を具える平面形状が矩形のベースにおいて、第１の配線電極は、ベースの一つの辺の側の端部に設けてあり、かつ、少なくとも前記導電性接着剤が塗布された際の前記水晶片と接する部分を当該ベース側に投影した領域となる予定領域（導電性接着剤の主たる領域となる予定領域）を、平面的に包含する大きさおよび平面形状のものであることを特徴とする。
【００１６】
なお、このベースの発明を実施するに当たり、より好ましくは、第１の配線電極は、上述の第一の発明の好適例で述べたように、ベースの一つの辺の側の端部であって該１つの辺に沿う方向の中央に当たる部分に、設けるのが良い。また、第１の配線電極は、前記固定用の導電性接着剤の塗布予定領域全てを、平面的に包含する大きさおよび平面形状のものとするのが良い。
さらに、このベースの発明を実施するに当たり、上述の第一の発明で述べた（ａ）〜（ｄ）の形態の１つの形態又は複数を組み合わせた形態とするのが良い。
これらベースの発明およびその好適例によれば、導電性接着剤とワイヤーボンディングを併用する１点保持構造の圧電デバイスの製造を容易にする。
【発明の効果】
【００１７】
この出願の圧電デバイスの発明によれば、導電性接着剤とワイヤーボンディングを併用する１点保持構造の圧電デバイスであって、水晶片の傾きや高さばらつきが小さい圧電デバイスが得られる。
また、この出願のベースの発明によれば、上記の圧電デバイスの発明の実施を容易にする。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】（Ａ）は実施の形態の圧電振動子１０の平面図、（Ｂ）は圧電振動子１０の断面図である。
【図２】（Ａ）は，第１の配線電極と導電性接着剤の塗布領域との関係を説明する要部平面図、（Ｂ）は要部断面図、（Ｃ）は他の接着状態を説明する断面図である。
【図３】水晶片を説明する平面図であり、水晶片、励振電極および引出電極の関係を説明する図である。
【図４】（Ａ）はベースの発明を説明する平面図、（Ｂ）はその断面図である。
【図５】（Ａ）は圧電デバイス及びベースの他の例（発振回路部材搭載例）を説明する平面図、（Ｂ）はその断面図、（Ｃ）は圧電デバイス及びベースのさらに他の例を説明する断面図である。
【図６】（Ａ）は特に第１の配線電極、第２の配線電極の他の実施形態を採用した圧電振動子の平面図、（Ｂ）はそれら配線電極に着目した平面図である。
【図７】（Ａ）は特に第１の配線電極、第２の配線電極のさらに他の実施形態を採用した圧電振動子の平面図、（Ｂ）はそれら配線電極に着目した平面図である。
【図８】（Ａ）は特にベースの他の実施形態を採用した圧電振動子１０の平面図、（Ｂ）はその圧電振動子の断面図である。
【図９】シート状のベース部材の一例を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照してこの出願の各発明の実施の形態について説明する。なお、説明に用いる各図はこれら発明を理解できる程度に概略的に示してあるにすぎない。また、説明に用いる各図において、同様な構成成分については同一の番号を付して示し、その説明を省略する場合もある。また、以下の実施例中で述べる形状、寸法、材質等はこの発明の範囲内の好適例に過ぎない。従って、本発明が以下の実施例のみに限定されるものではない。
【００２０】
１． 圧電デバイスの実施の形態
図１（Ａ）は、第一発明の実施形態である圧電デバイス１０を説明する平面図である。また、図１（Ｂ）は、圧電デバイス１０の図１（Ａ）のＰ−Ｐ線に沿った断面図である。ただし、この図では圧電デバイスに具わる蓋の図示を省略してある。以下の各図において同じ。
実施形態の圧電デバイス１０は、平面形状が矩形の水晶片１１と、この水晶片１１の両主面に設けられた励振電極１３と、各励振電極１３から水晶片１１の１つの辺１１ａの近傍まで引き出されている引出電極１５ａ、１５ｂと、水晶片１１を実装していて平面形状が矩形のベース２１と、ベース２１に設けられ引出電極１５ａ、１５ｂに接続されている第１および第２の配線電極２３，２５と、を具える。なお、この実施の形態では、ベース２１は、凹部２１ａを有していて、この凹部２１ａ内に水晶片１１を実装している。このベース２１は、この場合、セラミックパッケージで構成してある。
【００２１】
水晶片１１は、その一方の面の１つの辺１１ａの側の端部であって、この１つの辺１１ａに沿う方向の略中央に当たる部分で、導電性接着剤３１により、第１の配線電極２３に接続固定してある。具体的には、水晶片１１の短辺１１ａ側の端部であって、この短辺１１ａに沿ったこの辺の略中央部分で、導電性接着剤３１によって、水晶片１１は１点保持してある。なお、水晶片１１、励振電極１３および引出電極１５ａ、１５ｂの関係の理解を容易にするために、図３に、水晶片１１、励振電極１３および引出電極１５ａ、１５ｂを含む水晶片１１単体の平面図を示した。導電性接着剤３１として、例えばシリコーン系のものを用いる。励振電極１３、引出電極１５ａ、１５ｂ各々は、例えば、水晶片側からクロム膜と金膜の積層膜で構成できる。
【００２２】
また、この水晶片１１の他方の面の引出電極１５ｂと、第２の配線電極２５とは、ワイヤーボンディングのワイヤー３３により接続してある。そして、導電性接着剤３１による固定位置とワイヤーボンディングのワイヤー３３による水晶片側でのボンディング位置とが、水晶片１１の厚み方向（図１（Ｂ）の線分Ｒに沿う方向）において重なるように（おおむね重なる場合も含む）、導電性接着剤による固定とワイヤーボンディングとをしてある。
なお、ワイヤーボンディング方法は、特に限定されず、ボールボンディング法、ウエッジボンディング法等を用いることができる。
【００２３】
さらに、第１の配線電極２３は、ベース２１の凹部２１ａ内であって、ベース２１の一つの辺２１ｂ（図１（Ａ）参照）の側の端部の、該１つの辺２１ｂに沿う方向の中央に当たる部分を含む部分に、設けてある。より具体的には、第１の配線電極２３のうちの、導電性接着剤３１が塗布される部分が、ベース２１の凹部２１ａ内のベース２１の短辺の上記の略中央に当たる部分になるように、さらにこの略中央部分から第２の配線電極２５とは反対方向に延在するように、第１の配線電極２３を、ベース２１に設けてある。この延在の具合は、例えば、水晶片１１の縁の下方まで設けるか、又は、水晶片１１の縁部を越える領域まで延在させて設ける。この実施形態では、水晶片１１の縁部を越えてベース２１の縁部まで設けてある。第１の配線電極２３の一部が第２の配線電極２５とは反対方向に延在するようにすると、この延在した部分は、水晶片１１が当該反対方向に傾いた場合の受けとして機能するので、傾きを軽減でき、好ましい。
【００２４】
さらに、図１、図２に示すように、この第１の配線電極２３は、少なくとも導電性接着剤３１の水晶片１１と接している部分をベース２１側に投影した領域３１ｂ（導電性接着剤の主たる領域３１ｂ）を、平面的に包含する大きさおよび平面形状のものとしてある。なお、第１の配線電極２３が導電性接着剤の主たる領域３１ｂのみを包含する大きさ及び配置とした場合でも、この発明の目的を達成できるが、導電性接着剤の全体の塗布領域３１ａを平面的に包含する大きさおよび平面形状のものとするのがより好適である。この実施の形態ではその例を示してある。
【００２５】
一方、第２の配線電極２５は、ベース２１の凹部２１ａ内であって、ベース２１の一つの辺２１ｂの側の端部でかつベース２１の凹部２１ａの角近傍に設けてある。しかも、この第２の配線電極２５のベースの中心側の縁２５ａが、１つの辺２１ｂと直交する方向、すなわちこの例ではベース２１の長辺に沿う方向にて、導電性接着剤３１の接着領域３１ａまたは３１ｂの中心位置Ｏと同じ、またはそれよりベース２１の中心側に張り出す大きさおよび配置で設けてある。より詳細には、第２の配線電極２５のベースの中心側の縁２５ａが、導電性接着剤３１による接着領域の中心位置Ｏよりベース２１の長辺方向にかつベース２１の中心側に寸法ｄ（図１（Ａ）参照）だけ張り出すように、第２の配線電極２５をベース２１に設けてある。なお、この張り出し位置が接着領域の中心位置Ｏと同じ場合は、この寸法ｄはゼロである。この寸法ｄは、好ましくは導電性接着剤の主たる領域３１ｂのベース中心側の端までの寸法、より好ましくは導電性接着剤の全体の塗布領域３１ａのベースの中心側の端までの寸法とするのが良い。
なお、第２の配線電極２５のベース２１の角部側の端部は、ベース２１の壁の部分に接しても又は離れていても良く、この角部側の端部の位置はワイヤーの接続のし易さ等を考慮して任意好適に決めるのが良い。また、第一および第二の配線電極２３，２５は、任意好適な材料による膜、例えばニッケルと金の、例えば無電解メッキ膜で構成できる。
上述した第１の配線電極２３、第２の配線電極２５各々は、周知の通り、ベース２１の外側底面に設けた外部実装端子（図示せず）に、ビア配線（図示せず）により接続してある。
【００２６】
次に、実施の形態の圧電デバイス１０の作用効果について、図２（Ａ）、（Ｂ）を参照して説明する。図２（Ａ）は、第１の配線電極２３と、第２の配線電極２５と、導電性接着剤の接着領域３１ａ，３１ｂと、水晶片１１との関係を主に示した平面図であり、図２（Ｂ）はこの部分の図２（Ａ）のＱ−Ｑ線に沿った断面図である。なお、第１、第２の配線電極２３，２５を明確化するために、図２（Ａ）の平面図では、第１、第２の配線電極２３，２５にハッチングを付してある。
【００２７】
この実施形態の圧電デバイス１０では、導電性接着剤の主たる領域３１ｂは、第１の配線電極２３の領域内に平面的に包含されている。しかも、導電性接着剤の全体の塗布領域３１ａも第１の配線電極２３の領域内に平面的に包含されている。従って、導電性接着剤３１は第１の配線電極２３のみの上に設けられるので、この導電性接着剤上に置かれて接着治具等で押される水晶片１１は傾きにくくなり、その結果、水晶片１１が傾く問題を改善できる。また、第２の配線電極２５のベース２１の中心側の端部２５ａが接着領域３１の中心Ｏよりベース２１の中心側に出ている。この部分は水晶片１１の傾き具合を制限する役目を果たすので、これによっても水晶片１１は傾きにくくなる。また、第一の配線電極２３の第二の配線電極２５とは反対側でも、第一の配線電極２３はベースの壁まで延在しているので、これによっても傾き具合を制限できる。
なお、導電性接着剤の主たる領域は、図２（Ｂ）に示した上に凸の接着領域３１ａ中に構成された部分に限られない。例えば、図２（Ｃ）に示したように、導電性接着剤が本来の塗布位置から出てしまう場合等が生じて、導電性接着剤の水晶片と接する部分の下方に導電性接着剤が無い場合も、導電性接着剤の水晶片と接する部分を下方に投影した領域３１ｃはこの発明でいう導電性接着剤の主たる領域に含まれる。
【００２８】
２． ベースの実施形態
図４（Ａ）は、実施の形態のベース２１を説明する平面図、図４（Ｂ）はその図４（Ａ）のＰ−Ｐ線に沿った断面図である。
実施の形態のベース２１は、水晶片を実装する凹部２１ａを有する。さらに、水晶片(図示せず)の一方の主面の端部をベースに固定および電気的に接続する導電性接着剤（図示せず）が塗布される第１の配線電極２３と、水晶片（図示せず）の他方の面の端部からワイヤーボンディング用ワイヤー（図示せず）が接続される第２の配線電極２５と、を具える。
そして、第１の配線電極２３は、ベース２１の凹部２１ａ内であって、ベース２１の一つの辺２１ｂの側の端部のこの１つの辺２１ｂに沿う方向の中央に当たる部分を含む部分に、設けてある。しかも、少なくとも導電性接着剤の塗布予定領域３１ｘのうち導電性接着剤が水晶片に接する予定領域３１ｙを、平面的に包含する大きさおよび平面形状のものとしてある。好ましくは、導電性接着剤の塗布予定領域３１ｘを、平面的に包含する大きさおよび平面形状のものが良い。この場合は後者の構造としてある。
【００２９】
また、第２の配線電極２５は、ベース２１の凹部２１ａ内であって、ベース２１の一つの辺２１ｂの側の端部でかつベース２１の凹部２１ａの角近傍に設けてある。しかも、この第２の配線電極２５は、そのベースの中心側の縁２５ａが、１つの辺２１ｂと直交する方向にて、導電性接着剤の接着予定領域３１ｘまたは３１ｙの中心位置Ｏ′又はそれよりベース２１の中心側に張り出す大きさおよび配置で、ベース２１の凹部２１ａに設けてある。この第２の配線電極２５のベースの中心側の縁２５ａが、導電性接着剤の接着予定領域の中心位置Ｏ′よりどのくらい出るかの寸法ｄ′は、好ましくは導電性予定領域３１ｘのベース中心側の端までの寸法、より好ましくは導電性接着剤の全体の塗布領域３１ｘのベースの中心側の端までの寸法とするのが良い。
【００３０】
３． 他の実施形態
３−１．発振回路を具える実施形態
図５（Ａ）〜（Ｃ）は他の実施形態を説明する図である。特に図５（Ａ）は実施の形態の発振器４０の概略を示した平面図、図５（Ｂ）は図５（Ａ）のＰ−Ｐ線での断面図である。また、図５（Ｃ）は、水晶片と発振回路用の部品例えば発振回路用ＩＣチップとを別々の部屋に収納する型のいわゆるＨ型構造の発振器５０の概略を示した断面図である。
なお、ベースの封止方法は、いわゆるダイレクトシーム封止法、リング付きシーム封止法、金錫等を用いる共晶合金材による封止法等々、任意の方法を採用できる。図５に示したベース２１ｘ，２１ｚは、凹部２１ａの周囲の土手部分にシーム溶接用のリング２１ｙを有した例としてある。
【００３１】
３−２．第１の配線電極、第２の配線電極の他の例
上述の実施形態では、図１に示したように、第１の配線電極２３は水晶片１１の下方の位置から水晶片１１の縁部を越えて水晶片の外側領域まで延在させて設け、第２の配線電極２５は水晶片１１の下側まで延在させて設けた例を示した。しかし、第１の配線電極が導電性接着剤の塗布予定領域を包含する本発明の必要最小限の構成にて水晶片の傾きを抑制できれば、第１の配線電極および第２の配線電極は水晶片に不要に接することが無いよう、必要最小限の平面形状を持つ方が好ましい。この項での実施形態はその例である。
【００３２】
図６はその例の説明であり、特に（Ａ）図はこの実施形態の圧電デバイス６０の平面図、（Ｂ）図は第１の配線電極２３ｘと第２の配線電極２５ｘに着目した平面図である。
この実施形態の圧電デバイス６０では、第１の配線電極２３ｘは、水晶片１１の１つの辺１１ａに沿う端部、すなわち水晶片１１の長辺を越えない領域内に設けてある。また、第２の配線電極２５ｘは、ベース２１の角近傍であって、水晶片１１とは重ならない領域、すなわち水晶片１１の下方に至らず、水晶片１１とは重ならないように、設けてある。然も、第１の配線電極２３ｘの引出方向をベース２１の第１の辺２１ｂ側としてあり、かつ、第１の配線電極２３ｘの引出し部を、第１の配線電極２３ｘの、水晶片１１の第１の辺１１ａ（短辺）に沿う方向の片方に寄った位置としてある。また、第２の配線電極２５ｘを、水晶片１１の第１の辺１１ａ（短辺）に沿うように設けた例である。ここで、上述した、第１の配線電極２３Ｘを水晶片１１の長辺を超えない領域とは、導電性接着剤の全体領域３１ａより広い領域であって、水晶片の長辺まで至らない領域のことであり、好ましくは、導電性接着剤の全体領域３１ａより広い領域であって、水晶片の長辺までなるべく至らない（すなわちなるべく狭い）領域のことである。こうした方が、水晶片が第１の配線電極に不要に接触することを防止し易いからである。
【００３３】
図７はさらに他の例の説明図であり、特に（Ａ）図はこの実施形態の圧電デバイス７０の平面図、（Ｂ）図は第１の配線電極２３ｙと第２の配線電極２５ｙに着目した平面図である。
この圧電デバイス７０の圧電デバイス６０との違いは、第２の配線電極２５ｙを水晶片１１の長辺に沿うように設けた点と、第１の配線電極２３ｙの引出し部を、第１の配線電極２３ｙの、水晶片１１の第１の辺１１ａ（短辺）に沿う方向の中央とした点である。
【００３４】
３−３．ベースに関する他の実施形態
上述の実施形態では、例えば図１に示したように、ベース２１は、水晶片１１を内包する凹部２１ａとその周囲の土手部とを有し、圧電デバイスは土手部にて蓋部材で封止されている例を示した。しかし、この出願の各発明では、他の構造のベースを用いても良い。こ項での実施形態はその例である。
図８はその説明のための図であり、特に（Ａ）図は他の構造のベースを用いた実施形態の圧電デバイス８０の平面図、（Ｂ）図は（Ａ）図のＰ−Ｐ線に沿った断面図である。
【００３５】
この実施形態の圧電デバイス８０は、水晶片１１を載置する平板状のベース８１であって、第１の配線電極２３ｘ、第２の配線電極２５ｘを具えるベース８１と、水晶片１１を内包する凹部８３ａを有した蓋部材８３とを具えている。この圧電デバイス８０では、ベース８１は、その縁部にて蓋部材８３により封止されている（図８（Ｂ）)。平板状のベース８１は例えばセラミックスで構成でき、蓋部材８３は、例えば、しぼり加工した金属製の部材で構成できる。ベース８１を蓋部材８３で封止方法は任意好適な方法で良い。例えば、ベース８１の縁部分に共晶合金（図示せず）を設けておき、この共晶合金により蓋部材８３を接合する方法を挙げることが出来る。または、接着剤等の材料でベース８１の縁部と蓋部材８３とを接続する方法を挙げることができる。
なお、このベース８１は、典型的には、図９に示したように、実装予定の水晶片１１を載置できかつ多数の水晶片１１を搭載する区分けされた領域８１ａを持つシート状のベース部材８１ｓから形成する。具体的には、シート状のベース部材８１ａを用い多数の圧電デバイスを組立し、その後、このシート状のベース８１ｓをダイシング等で各デバイスに個片化することで圧電デバイス８０を製造する。
【符号の説明】
【００３６】
１０：実施の形態の圧電デバイス、  １１：水晶片、  １３：励振電極
１５ａ、１５ｂ：引出電極、  ２１：ベース、  ２１ａ：凹部
２１ｂ：１つの辺、  ２１ｘ：ベース（シーム溶接用リング付きのもの）
２１ｙ：シーム溶接用のリング、  ２１ｚ：ベース（Ｈ型構造のもの）
２３，２３ｘ、２３ｙ：第１の配線電極、  ２５、２５ｘ、２５ｙ：第２の配線電極
２５ａ：第２の配線電極のベースの中心側の端、  
３１：導電性接着剤、  ３１ａ：導電性接着剤の全体領域
３１ｂ、３１ｃ：導電性接着剤の主たる領域
３１ｘ：導電性接着剤の塗布予定領域
３１ｙ：導電性接着剤が水晶片に接する予定領域
３３：ワイヤー
４０：実施の形態の発振器、  ４１：発振回路用部材
５０：Ｈ型構造のベース
６０、７０、８０：他の実施形態の圧電デバイス
８１：平板状のベース、  ８１ａ：区分けされた領域、  
８１ｓ：シート状のベース部材
８３：凹部を有した蓋部材、  ８３ａ：凹部
Ｏ：接着領域の中心位置
Ｏ′：接着予定領域の中心
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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