【手続補正書】
【提出日】平成17年11月18日(2005.11.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】  
【請求項１】  プラズマチャンバ用ＲＦ電極にＲＦ電力を結合する為の装置であって：
プラズマチャンバ用ＲＦ電極であって、ＲＦ信号を受信する為の複数の駆動点を有する    
２次元表面を含む、前記ＲＦ電極と；
複数のコンデンサと;を備え、
各々のコンデンサが前記駆動点の区別可能な一つに電気的に接続され;
前記駆動点が、前記ＲＦ電極の２次元表面の両方の寸法にわたり分布されている、前記装置。
【請求項２】  前記ＲＦ電極は、シャワーヘッドおよびバッキングプレートを備え；
前記表面は、前記バッキングプレート上にある、請求項１記載の装置。
【請求項３】  プラズマチャンバ用ＲＦ電極にＲＦ電力を結合する為の装置であって：
プラズマチャンバ用ＲＦ電極であって、ＲＦ信号を受信する為の複数の駆動点を有する表面を含む、前記ＲＦ電極と；
複数のコンデンサと;を含み、
各々のコンデンサが前記駆動点の区別可能な駆動点の一つに接続され；
前記駆動点は、同一直線上にないように前記ＲＦ電極の前記表面にわたり分布されている、前記装置。
【請求項４】  前記ＲＦ電極は、シャワーヘッド及びバッキングプレートを備え；
前記表面は、前記バッキングプレートの上にある、請求項３記載の装置。
【請求項５】   プラズマチャンバ用ＲＦ電極にＲＦ電力を結合する為の装置であって：
プラズマチャンバ用ＲＦ電極であって、ＲＦ信号を受信する為の複数の駆動点を有する表面を含む、前記ＲＦ電極と；
複数のコンデンサと;を備え、
各々のコンデンサが前記駆動点の区別可能な駆動点の一つに接続され;
前記駆動点が、異なる角度と放射状座標を有する前記ＲＦ電極の前記表面上の複数の位置にわたり分布されている、前記装置。
【請求項６】  前記ＲＦ電極は、シャワーヘッド及びバッキングプレートを備え；
前記表面は、前記バッキングプレートの上にある、請求項３記載の装置。
【請求項７】  プラズマチャンバ用ＲＦ電極にＲＦ電力を結合する為の装置であって：
プラズマチャンバ用ＲＦ電極であって、ＲＦ信号を受信する為の複数の駆動点を含む、前記ＲＦ電極と；
複数のコンデンサであって、各々のコンデンサが第１電気接続部および第２電気接続部を含む、前記コンデンサと；
各々のコンデンサの第１電気接続部は、前記ＲＦ電極の前記駆動点の区別可能な一つに接続されており；
前記コンデンサの全ては、それらの第２電気接続部で一緒に接続されている、前記装置。
【請求項８】  上記コンデンサの前記第２電気接続部に接続されたＲＦ整合回路網を更に備える、請求項７記載の装置。
【請求項９】  上記ＲＦ整合回路網にＲＦ電力を供給する為に接続されたＲＦ電源を更に備える、請求項８記載の装置。
【請求項１０】  上記ＲＦ電極は、シャワーヘッド及びバッキングプレートを備え；
前記駆動点は、上記バッキングプレート上にある、請求項７記載の装置。
【請求項１１】  プラズマチャンバ用ＲＦ電極にＲＦ電力を結合する為の装置であって：
プラズマチャンバ用ＲＦ電極であって、ＲＦ信号を受信する為の複数の駆動点を含む、前記ＲＦ電極と；
複数のコンデンサであって、各々のコンデンサが第１電気接続部および第２電気接続部を含む、前記コンデンサと；
上記ＲＦ電極に物理的に取り付けられた一以上の電気導体と；を備え、
前記電気導体は、上記コンデンサの全ての、それぞれの第２電気接続部と電気的に接続され、上記コンデンサの全てが、それらの第２電気接続部で一緒に接続されており；
各々のコンデンサの第１電気接続部は、上記ＲＦ電極上の前記駆動点の区別可能な一つに接続されている、前記装置。
【請求項１２】  前記ＲＦ電極は、シャワーヘッド及びバッキングプレートを含み;
前記コンデンサ及び前記一以上の電気導体は上記バッキングプレートに物理的に取り付けられている、請求項１１記載の装置。
【請求項１３】  上記ＲＦ電極上に物理的に取り付けられ、上記コンデンサの前記第２電気接続部に接続されるＲＦ整合回路網を更に備える、請求項１１記載の装置。
【請求項１４】  プラズマチャンバ用ＲＦ電極にＲＦ電力を結合する為の装置であって：
プラズマチャンバ用ＲＦ電極であって、ＲＦ信号を受信する為の複数の駆動点を含む、前記ＲＦ電極と；
前記複数の駆動点に電気的に直接接続されるＲＦ整合回路網と；を備える、前記装置。
【請求項１５】  上記ＲＦ整合回路網は、上記ＲＦ電極に物理的に取り付けられる、請求項１４記載の装置。
【請求項１６】  上記ＲＦ電極は、シャワーヘッド及びバッキングプレートを備え；
前記駆動点は、上記バッキングプレート上にあり；
上記ＲＦ整合回路網は、上記バッキングプレートに物理的に取り付けられる、請求項１４記載の装置。
【請求項１７】  プラズマチャンバ用ＲＦ電極にＲＦ電力を結合する為の装置であって：
多くの出力接続部を有するＲＦ整合回路網と；
プラズマチャンバ用ＲＦ電極であって、ＲＦ信号を受信する為に多くの駆動点を含む、前記ＲＦ電極と；を備え、
上記ＲＦ整合回路網の出力接続部の各々は、上記駆動点の一つと電気的に接続されており、
前記駆動点の数は、前記出力接続部の数より多い、前記装置。
【請求項１８】  各々の駆動点は、異なる駆動点に対し再配置可能となるように適合されている、請求項１７記載の装置。
【請求項１９】  各々の駆動点は、取り外し可能なねじを受容するように適合されており;
各々の出力接続部は、取り外し可能なネジにより駆動点に付けられ、各々の出力接続部が異なる駆動点に再配置可能になる、請求項１７記載の装置。
【請求項２０】  上記ＲＦ整合回路網の出力接続部の各々は、上記駆動点の区別可能な一つに接続された区別可能なコンデンサを備える、請求項１７記載の装置。
【請求項２１】  上記ＲＦ電極は、シャワーヘッド及びバッキングプレートを備え；
前記駆動点は、上記バッキングプレート上にある、請求項１７記載の装置。
【請求項２２】  プラズマチャンバ用ＲＦ電極にＲＦ電力を結合する為の装置であって：
一以上の出力接続部を有するＲＦ整合回路網と；
プラズマチャンバ用ＲＦ電極であって、ＲＦ信号を受信する為に一以上の駆動点を含む、前記ＲＦ電極と；を備え、
上記ＲＦ整合回路網の出力接続部の各々は、上記駆動点の一つに電気的に接続され；
上記駆動点の少なくとも一つは、上記ＲＦ電極上の異なる位置に移動可能である；前記装置。
【請求項２３】  少なくとも一つのトラックであって、それに沿って少なくとも一つの駆動点が移動可能である、前記トラックを更に備える、請求項２２記載の装置。
【請求項２４】  ＲＦ電極は、シャワーヘッド及びバッキングプレートを備え；
上記バッキングプレート上に前記駆動点がある、請求項２２記載の装置。
【請求項２５】  プラズマチャンバ用シャワーヘッドにＲＦ電力を結合する為の装置であって：
プラズマチャンバ用シャワーヘッドと；
上記シャワーヘッドに結合されたバッキングプレートであって、ＲＦ信号を受信する為に複数の駆動点を有する二次元表面を含む、前記バッキングプレートと；
複数のコンデンサと;を備え、
各々のコンデンサは、上記駆動点の区別可能な一つと電気的に接続され；
上記駆動点は、上記バッキングプレートの前記二次元表面の両方の寸法にわたり分布されている；前記装置。
【請求項２６】  プラズマチャンバ用シャワーヘッドにＲＦ電力を結合する為の装置であって：
プラズマチャンバ用シャワーヘッドと；
上記シャワーヘッドに接続されたバッキングプレートであって、ＲＦ信号を受信する為に複数の駆動点を有する表面を含む、前記バッキングプレートと；
複数のコンデンサと;を備え、
各々のコンデンサは、上記駆動点の区別可能な一つと接続され；
上記駆動点は、上記バッキングプレートの前記表面にわたり分布され、上記駆動点が同一線上にない；前記装置。
【請求項２７】  プラズマチャンバ用シャワーヘッドにＲＦ電力を結合する為の装置であって：
プラズマチャンバ用シャワーヘッドと；
上記シャワーヘッドに接続されたバッキングプレートであって、ＲＦ信号を受信する為に複数の駆動点を含む、前記バッキングプレートと；
複数のコンデンサと;を備え、各々のコンデンサは第１電気接続部と第２電気接続部を含み；
各々のコンデンサの第１電気接続部は、上記バッキングプレート上の前記駆動点の区別可能な一つに接続され；
上記コンデンサの全ては、それぞれの第２電気接続部で一緒に接続されている、前記装置。
【請求項２８】  上記コンデンサの前記第２電気接続部に接続されたＲＦ整合回路網を更に備える、請求項２７記載の装置。
【請求項２９】  上記ＲＦ整合回路網にＲＦ電力を供給する為に接続されたＲＦ電源を更に備える、請求項２８記載の装置。
【請求項３０】  プラズマチャンバ用シャワーヘッドにＲＦ電力を結合する為の装置であって：
プラズマチャンバ用シャワーヘッドと；
上記シャワーヘッドに接続されたバッキングプレートであって、ＲＦ信号を受信する為に複数の駆動点を含む、前記バッキングプレートと；
複数のコンデンサと；を備え、各々のコンデンサは、第１電気接続部および第２電気接続部を含み；
一以上の電気導体は、上記バッキングプレートに物理的に取り付けられ；
前記電気導体は、上記コンデンサの全ての、それぞれの第２電気接続部と電気的に接続され、上記コンデンサの全てが、それぞれの第２電気接続部で一緒に接続され；
各々のコンデンサの第１電気接続部は、上記バッキングプレートで前記駆動点の区別可能な一つと接続される；前記装置。
【請求項３１】  上記バッキングプレート上で物理的に取り付けられ、上記コンデンサの前記第２電気接続部に接続された、ＲＦ整合回路網を更に備える、請求項３０記載の装置。
【請求項３２】  プラズマチャンバ用ＲＦ電極にＲＦ電力を結合する為の装置であって：
プラズマチャンバ用シャワーヘッドと；
上記シャワーヘッドに接続されたバッキングプレートであって、ＲＦ信号を受信する為に複数の駆動点を含む、前記バッキングプレートと；
前記複数の駆動点に電気的に直接接続されるＲＦ整合回路網と；を備える、前記装置。
【請求項３３】  上記バッキングプレートに物理的に取り付けられるＲＦ整合回路網を更に備える、請求項３２記載の装置。
【請求項３４】  プラズマチャンバ用シャワーヘッドに電力を結合する為の装置であって：
プラズマチャンバ用シャワーヘッドと；
上記シャワーヘッドに接続されたバッキングプレートであって、ＲＦ信号を受信する為に複数の駆動点を含む、前記バッキングプレートと；を備え；
多くの出力接続部を有するＲＦ整合回路網と；
ＲＦ整合回路網の出力接続部の各々は、上記駆動点の一つと電気的に接続され；
前記駆動点の数は、出力接続部の数より大きい；前記装置。
【請求項３５】  駆動点の各々は、前記一つの出力接続部を異なる出力地点に対し再配置させるように適合される、請求項３４記載の装置。
【請求項３６】  各々の駆動点は、取り外し可能なネジを受容するように適合され；
各々の出力接続部は、取り外し可能なネジにより駆動点に付けられ、各々の出力接続部が異なる駆動点に対し再配置される、請求項３４記載の装置。
【請求項３７】  ＲＦ整合回路網の出力接続部の各々は、上記駆動点の区別可能な一つと接続された区別可能なコンデンサを備える、請求項３４記載の装置。
【請求項３８】  プラズマチャンバ用シャワーヘッドにＲＦ電力を結合する為の装置であって：
プラズマチャンバ用シャワーヘッドと；
上記シャワーヘッドに接続されたバッキングプレートであって、ＲＦ信号を受信する為に複数の駆動点を含む、前記バッキングプレートと；
一以上の出力接続部を有するＲＦ整合回路網と；を備え、
上記ＲＦ整合回路網の出力接続部の各々は、上記駆動点の一つに電気的に接続され；
上記駆動点の少なくとも一つは、上記バッキングプレート上の異なる位置まで移動可能である；前記装置。
【請求項３９】  プラズマチャンバ用シャワーヘッドにＲＦ電力を結合させる方法であって：
多数の出力接続部を有するＲＦ整合回路網を提供するステップと；
プラズマチャンバ用ＲＦ電極を提供するステップであって、上記ＲＦ電極がＲＦ信号を受信する為に多くの駆動点を含む、前記ステップと；
上記ＲＦ整合回路網の出力接続部の各々を上記駆動点の一つに電気的に接続するステップであって、前記駆動点の数は、前記出力接続部の数より多い、前記ステップと；を備える、前記方法。
【請求項４０】  上記ＲＦ整合回路網の上記出力接続部の一つを、異なる駆動点まで移動させる後のステップを更に備える、請求項３９記載の方法。
【請求項４１】  上記出力接続部と上記駆動点の、それぞれの一つとの間に区別可能なコンデンサを接続するステップを更に備える、請求項３９記載の方法。
【請求項４２】  上記ＲＦ電極がシャワーヘッド及びバッキングプレートを備え；
前記駆動点が上記バッキングプレート上にある、請求項３９記載の方法。
【請求項４３】  プラズマチャンバ用ＲＦ電極にＲＦ電力を結合する方法であって：
一以上の出力接続部を有するＲＦ整合回路網を提供するステップと；
プラズマチャンバ用ＲＦ電極を提供するステップであって、上記ＲＦ電極はＲＦ信号を受信する為に一以上の駆動点を含む、前記ステップと；
上記ＲＦ整合回路網の出力接続部の各々を上記駆動点の一つに電気的に接続するステップであって、上記駆動点の少なくとも一つは、上記ＲＦ電極上の異なる位置まで移動可能である、前記ステップと；を備える、前記方法。
【請求項４４】  上記駆動点の少なくとも一つを上記ＲＦ電極上の異なる位置まで移動させるステップを更に備える、請求項４３記載の方法。
【請求項４５】  上記駆動点の少なくとも一つを上記ＲＦ電極上の異なる位置までトラックに沿って移動させるステップを更に備える、請求項４３記載の方法。
【請求項４６】  上記ＲＦ電極がシャワーヘッド及びバッキングプレートを備え；前記駆動点が上記バッキングプレート上にある；請求項４３記載の方法。