【事件の表示】
　特許第６２０５５８７号発明「光学反射素子」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第６２０５５８７号の明細書及び特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正明細書及び特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１−１０〕、１１について訂正することを認める。
　特許第６２０５５８７号の請求項１、２、３、５、７、９、１０、１１に係る特許を維持する。
【理　由】
１　手続の経緯
　特許第６２０５５８７号の請求項１ないし１１に係る特許についての出願は、平成２５年４月２４日（優先権主張　平成２４年５月７日）を国際出願日とする出願である特願２０１４−５１４３７３号の一部を平成２８年８月８日に新たな出願とした特願２０１６−１５５２２７号であって、平成２９年９月１５日にその特許権の設定登録がされ、平成２９年１０月４日に特許掲載公報が発行された。その後、請求項１ないし３、５、７、９ないし１１に係る特許について、平成３０年４月３日に特許異議申立人市東勇により特許異議の申立てがされ、当審は、平成３０年６月１４日（同年同月１９日発送）に取消理由を通知した。特許権者は、その指定期間内である平成３０年８月１７日（同年同月２０日受付）に意見書の提出及び訂正の請求を行った。
　なお、同年９月７日付けで当審から特許異議申立人市東勇に特許法第１２０条の５第５項の規定に基づく書面等を送付し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、特許異議申立人市東勇からの意見書の提出はなかった。
２　訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
　平成３０年８月１７日付けの訂正請求（以下「本件訂正請求」という。）による訂正の内容は、以下のアないしクのとおりである。
ア　訂正事項１
　請求項１に係る「前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さい、光学反射素子。」を「
前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、
部
く、前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる
（請求項１の記載を引用する請求項２、３、５、７、９、１０も同様に訂正する。）
イ　訂正事項２
　請求項４に係る「前記第２湾曲部の曲率半径は、前記第１湾曲部により近い側と前記縦梁部により近い側とで異なる、請求項２記載の光学反射素子。」を「
ミラー部と、前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部により近い第１湾曲部と、前記縦梁部により近い第２湾曲部と、を有し、
、光
ウ　訂正事項３
　請求項６に係る「前記駆動部は前記第２湾曲部上に形成されている、請求項１記載の光学反射素子。」を「
ミラー部と、前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部により近い第１湾曲部と、前記縦梁部により近い第２湾曲部と、を有し、
、光
エ　訂正事項４
　請求項８に係る「前記固定部と前記横梁部との境界にモニタ部が形成されている、請求項１記載の光学反射素子。」を「
ミラー部と、前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、
、光
オ　訂正事項５
　請求項１０に係る「前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さい、請求項９の光学反射素子。」を「前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁
部
カ　訂正事項６
　請求項１１に係る「前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分に近い側の曲率半径が、前記縦梁と接続される部分に近い側おける曲率半径よりも小さい光学反射素子。」を「
前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、
における内周の
く、前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる
キ　訂正事項７
　発明の詳細な説明の段落【０００６】の「本発明は、大きな変位量かつ高周波駆動を実現できる小型の光学反射素子である。本発明の光学反射素子は、ミラー部と、一対の接合部と、一対の振動部と、複数の駆動部と、固定部とを有する。接合部はそれぞれ、ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続された第１端と、この第１端の反対側の第２端とを有し、第１軸方向に伸びている。振動部はそれぞれ、接合部の一方の第２端に接続された中央部を有する。複数の駆動部はそれぞれ、一対の振動部のそれぞれに設けられ、ミラー部を回動させる。固定部には一対の振動部の各両端が連結されている。接合部の第１軸に直交する方向の長さとして定義される梁幅は、一対の振動部のそれぞれの梁幅より大きい。」という記載を「本発明は、大きな変位量かつ高周波駆動を実現できる小型の光学反射素子である。本発明の
一の態様に係る
　また、本発明の他の態様に係る光学反射素子は、ミラー部と、前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる。
ク　訂正事項８
　発明の詳細な説明の段落【０００７】の「この構成により、接合部に掛かる応力が低減され機械的強度を高めることができるので、ミラー部を大きな回動角（変位量）でかつ高周波駆動させることができる。」という記載を「
また、本発明のさらに他の態様に係る光学反射素子は、ミラー部と、前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる。
　この構成により、接合部に掛かる応力が低減され機械的強度を高めることができるので、ミラー部を大きな回動角（変位量）でかつ高周波駆動させることができる。」に訂正する。
　本件訂正請求は、一群の請求項〔１−１０〕及び請求項１１に対して請求されたものである。また、明細書に係る訂正事項７は、一群の請求項〔１−１０〕について請求されたものであり、明細書に係る訂正事項８は、請求項１１について請求されたものである。
　また、訂正後の請求項４、６、８については、当該請求項についての訂正が認められる場合には、一群の請求項の他の請求項とは別途訂正することを求めている。
（２）訂正の目的の適否、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否、新規事項の有無
ア　訂正事項１について
（ア）訂正の目的の適否
　訂正事項１は、
請求項１の「前記一対の横梁部を支持する固定部」を、
「前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する固定部」とする訂正（以下、「訂正事項１−１」という）と、
「前記縦梁と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さい、」を、
「前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、」とする訂正（以下、「訂正事項１−２」という）と、
請求項１に「前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる」との発明特定事項を追加する訂正（以下、「訂正事項１−３」という）とを含むものである。
　訂正事項１−１に関し、訂正前の請求項１に係る発明では、固定部が「前記一対の横梁部を支持する」ことを特定していたが、どのような態様で固定部が「前記一対の横梁部を支持する」のかについては、何ら特定していない。
　これに対して、訂正後の請求項１に係る発明では、固定部が「前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され］ることを明らかにすることで、どのような態様で固定部が「前記一対の横梁部を支持する」のかを特定して特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項１−１は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　訂正事項１−２に関し、訂正前の請求項１において「前記縦梁と」との記載があるところ、訂正前の請求項１には「縦梁」が存在せず、訂正前の請求項１における「前記縦梁と」との事項が不明瞭であるため、不明瞭な記載の釈明を目的として、当該記載を「前記縦梁部と」に変更した。この点において、訂正事項１一２は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
　訂正事項１−３に関し、訂正前の請求項１に係る発明では、複数の駆動部が「前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる」ことを特定していたが、どのような態様で複数の駆動部が「前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる」のかについては、何ら特定していない。
　これに対して、訂正後の請求項１に係る発明では、複数の駆動部が「前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる」ことを明らかにすることで、どのような態様で複数の駆動部が「前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる」のかを特定して特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項１−３は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　したがって、訂正事項１は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号及び第３号に規定する特許請求の範囲の減縮及び明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
（イ）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　訂正事項１は発明特定事項を直列的に付加することで、訂正前の請求項１の記載を減縮するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
（ウ）新規事項の有無
　訂正事項１−１は、明細書の段落【００１１】の記載「枠状の固定部１６は振動部１４、１５の両端に連結され、振動部１４、１５を支持している。」、段落【００３０】の記載「振動部３２は一対で設けられ、それぞれの中央部で接合部３３に接続されている。振動部３２の両端は固定部３５に接続されている。」、図１，４等に基づくものである。
　訂正事項１−２に関し、「前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さ」いことは、明細書の段落【００３８】の記載「接合部３３に近い第２湾曲部３７上に占めるように、第１湾曲部３６の曲率半径ｒを第２湾曲部３７の曲率半径Ｒより小さくすることが好ましい。」、図７Ｂ等に基づくものである。
　訂正事項１−３は、段落【００３５】の記載「振動部１４、１５では、振動部１４、１５と固定部１６との接続箇所において、振動部１４、１５の曲げ変位に伴った応力が集中しやすい。」、段落【００４３】の記載「振動部３２が曲げ変位を起こすため、固定部３５と第１湾曲部３６との境界線周辺に歪みが集中し易い。」等に基づくものである。
　すなわち、これらの記載に、出願時の技術常識を照らし合わせれば、横梁部に相当する「振動部」は、固定部との接続箇所である両端が固定された状態で、振動部自体に曲げ変位が生じていることが感得される。よって、訂正事項１−３は、本件特許明細書等の記載から自明な事項である。
　よって、訂正事項１は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
イ　訂正事項２について
（ア）訂正の目的の適否
　訂正事項２は、訂正前の請求項４が訂正前の請求項２の記載を引用し、訂正前の請求項２が訂正前の請求項１の記載を引用する記載であったものを、請求項間の引用関係を解消して、独立形式請求項へ改めるための訂正であって、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とする訂正である。
　また、訂正事項２では、訂正前の請求項１において「前記縦梁と」との記載があるところ、訂正前の請求項１には「縦梁」が存在せず、訂正前の請求項１における「前記縦梁と」との事項が不明瞭であるため、不明瞭な記載の釈明を目的として、当該記載を「前記縦梁部と」に変更した。この点において、訂正事項２は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
（イ）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　訂正事項２は、訂正前の請求項４に対して、何ら実質的な内容の変更を伴うものではないから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
（ウ）新規事項の有無
　　訂正事項２は、何ら実質的な内容の変更を伴うものではないから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ウ　訂正事項３について
（ア）訂正の目的の適否
　訂正事項３は、訂正前の請求項６について、請求項１の記載を引用する記載であるところ、訂正前の請求項１には「第２湾曲部」が存在せず、訂正前の請求項６における「前記駆動部は前記第２湾曲部上に形成されている」との事項が不明瞭であるため、不明瞭な記載の釈明を目的として、請求項２の記載を引用する形に変更した。この点において、訂正事項３は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
　その上で、訂正事項３は、訂正前の請求項６が訂正前の請求項２の記載を引用し、訂正前の請求項２が訂正前の請求項１の記載を引用する記載であったものを、請求項間の引用関係を解消して、独立形式請求項へ改めるための訂正であって、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とする訂正である。
　さらに、訂正事項３では、訂正前の請求項１において「前記縦梁と」との記載があるところ、訂正前の請求項１には「縦梁」が存在せず、訂正前の請求項１における「前記縦梁と」との事項が不明瞭であるため、不明瞭な記載の釈明を目的として、当該記載を「前記縦梁部と」に変更した。この点において、訂正事項３は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
（イ）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　訂正事項３は、訂正前の請求項６に対して、何ら実質的な内容の変更を伴うものではないから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
（ウ）新規事項の有無
　訂正事項３は、何ら実質的な内容の変更を伴うものではないから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
エ　訂正事項４について
（ア）訂正の目的の適否
　訂正事項４は、訂正前の請求項８が訂正前の請求項１の記載を引用する記載であったものを、請求項間の引用関係を解消して、独立形式請求項へ改めるための訂正であって、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とする訂正である。
　また、訂正事項４では、訂正前の請求項１において「前記縦梁と」との記載があるところ、訂正前の請求項１には「縦梁」が存在せず、訂正前の請求項１における「前記縦梁と」との事項が不明瞭であるため、不明瞭な記載の釈明を目的として、当該記載を「前記縦梁部と」に変更した。この点において、訂正事項４は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
（イ）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　訂正事項４は、訂正前の請求項８に対して、何ら実質的な内容の変更を伴うものではないから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
（ウ）新規事項の有無
　訂正事項４は、何ら実質的な内容の変更を伴うものではないから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
オ　訂正事項５について
（ア）訂正の目的の適否
　訂正事項５は、訂正前の請求項１０において「前記縦梁と」との記載があるところ、訂正前の請求項１０、並びに訂正前の請求項１０が引用する訂正前の請求項１及び９には「縦梁」が存在せず、訂正前の請求項１０における「前記縦梁と」との事項が不明瞭であるため、不明瞭な記載の釈明を目的として、当該記載を「前記縦梁部と」に変更した。この点において、訂正事項５は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
（イ）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　訂正事項５は、訂正前の請求項１０に対して、何ら実質的な内容の変更を伴うものではないから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
（ウ）新規事項の有無
　訂正事項５は、何ら実質的な内容の変更を伴うものではないから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
カ　訂正事項６について
（ア）訂正の目的の適否
　訂正事項６は、請求項１１の「前記一対の横梁部を支持する固定部」を、「前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する固定部」とする訂正（以下、「訂正事項６−１」という）と、請求項１１の「前記固定部と接続される部分に近い側の曲率半径が、前記縦梁と接続される部分に近い側おける曲率半径よりも小さい」を、「前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、」とする訂正（以下、「訂正事項６−２」という）と、請求項１１に「前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる」との発明特定事項を追加する訂正（以下、「訂正事項６−３」という）とを含むものである。
　訂正事項６−１に関し、訂正前の請求項１１に係る発明では、固定部が「前記一対の横梁部を支持する」ことを特定していたが、どのような態様で固定部が「前記一対の横梁部を支持する」のかについては、何ら特定していない。
　これに対して、訂正後の請求項１１に係る発明では、固定部が「前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され」ることを明らかにすることで、どのような態様で固定部が「前記一対の横梁部を支持する」のかを特定して特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項６−１は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　訂正事項６−２に関し、訂正前の請求項１１において「前記縦梁と」との記載があるところ、訂正前の請求項１１には「縦梁」が存在せず、訂正前の請求項１１における「前記縦梁と」との事項が不明瞭であるため、不明瞭な記載の釈明を目的として、当該記載を「前記縦梁部と」に変更した。また、訂正事項６−２に関し、訂正前の請求項１１には「前記固定部と接続される部分に近い側の曲率半径が、前記縦梁と接続される部分に近い側おける曲率半径よりも小さい」との記載があるところ、各々の「曲率半径」が内周か外周かが不明瞭であるため、不明瞭な記載の釈明を目的として、当該記載を「前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、」に変更した。これらの点において、訂正事項６−２は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
　訂正事項６−３に関し、訂正前の請求項１１に係る発明では、複数の駆動部が「前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる」ことを特定していたが、どのような態様で複数の駆動部が「前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる」のかについては、何ら特定していない。
　これに対して、訂正後の請求項１１に係る発明では、複数の駆動部が「前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる」ことを明らかにすることで、どのような態様で複数の駆動部が「前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる」のかを特定して特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項６−３は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　したがって、訂正事項６は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号及び第３号に規定する特許請求の範囲の減縮及び明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
（イ）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　訂正事項６は発明特定事項を直列的に付加することで、訂正前の請求項１１の記載を減縮するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
（ウ）新規事項の有無
　訂正事項６−１は、明細書の段落【００１１】の記載「枠状の固定部１６は振動部１４、１５の両端に連結され、振動部１４、１５を支持している。」、段落【００３０】の記載「振動部３２は一対で設けられ、それぞれの中央部で接合部３３に接続されている。振動部３２の両端は固定部３５に接続されている。」、図１、４等に基づくものである。
　訂正事項６−２に関し、「前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さ」いことは、明細書の段落【００４１】の記載「また、図７Ｃに示すように、第２湾曲部３７を第１湾曲部３６により近い側と接合部３３により近い側とで曲率半径が異なる構成としても良い。」、図７Ｃ等に基づくものである。
　訂正事項６−３は、段落【００３５】の記載「振動部１４，１５では、振動部１４、１５と固定部１６との接続箇所において、振動部１４，１５の曲げ変位に伴った応力が集中しやすい。」、段落【００４３】の記載「振動部３２が曲げ変位を起こすため、固定部３５と第１湾曲部３６との境界線周辺に歪みが集中し易い。」等に基づくものである。すなわち、これらの記載に、出願時の技術常識を照らし合わせれば、横梁部に相当する「振動部」は、固定部との接続箇所である両端が固定された状態で、振動部自体に曲げ変位が生じていることが感得される。よって、訂正事６−３は、本件特許明細書等の記載から自明な事項である。
　よって、訂正事項６は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
キ　訂正事項７について
（ア）訂正の目的の適否
　訂正事項７は、訂正事項１に係る訂正に伴い特許請求の範囲の記載と明細書の記載との整合を図るための訂正である。
　よって、訂正事項７は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
（イ）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　訂正事項７は、訂正事項１と同じ理由により、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
（ウ）新規事項の有無
　訂正事項７は、訂正事項１と同じ理由により、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ク　訂正事項８について
（ア）訂正の目的の適否
　訂正事項８は、訂正事項６に係る訂正に伴い特許請求の範囲の記載と明細書の記載との整合を図るための訂正である。
　よって、訂正事項８は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
（イ）特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　訂正事項８は、訂正事項６と同じ理由により、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
（ウ）新規事項の有無
　訂正事項８は、訂正事項６と同じ理由により、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ケ　特許出願の際に独立して特許を受けることができること
　本件においては、訂正前の請求項１、２、３、５、７、９、１０、１１について特許異議の申立てがされており、また、訂正前の請求項４，６，８についての訂正は、「明瞭でない記載の釈明」及び「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とする訂正であるので、訂正事項１ないし６に関して、特許法第１２０条の５第９項で読み替えて準用する特許法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。
（３）明細書又は図面の訂正と関係する請求項についての説明
　請求項１〜１０が訂正事項７による明細書の訂正に係る請求項であり、請求項１１が訂正事項８による明細書の訂正に係る請求項である。
　したがって、訂正事項７は、明細書の訂正に係る請求項を含む一群の請求項の全て（請求項１〜１０）について行うものであり、訂正事項８は、明細書の訂正に係る請求項１１について行うものであるから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第４項に適合するものである。
（４）小括
　以上のとおりであるから、本件訂正請求による訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号及び第３号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項において準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合する。
　したがって、明細書、特許請求の範囲を、訂正請求書に添付された訂正明細書、特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１ないし１０〕及び請求項１１について訂正することを認める。
３　訂正後の本件発明
　本件訂正請求により訂正された請求項を含む請求項１ないし１１に係る発明（以下「本件発明１」などという。）は、訂正特許請求の範囲の請求項１ないし１１に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。
「【請求項１】
ミラー部と、
前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、
前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、
前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、
前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、
前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、
前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、
前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁
部
く、
前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる
【請求項２】
前記一対の梁部はそれぞれ、
前記固定部により近い第１湾曲部と、
前記縦梁部により近い第２湾曲部と、を有する、請求項１記載の光学反射素子。
【請求項３】
前記第１湾曲部の曲率半径が前記第２湾曲部の曲率半径よりも小さい、
請求項２記載の光学反射素子。
【請求項４】
ミラー部と、
前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、
前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、
前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、
前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、
前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、
前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、
前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、
前記一対の梁部はそれぞれ、
前記固定部により近い第１湾曲部と、
前記縦梁部により近い第２湾曲部と、を有し、
前記第２湾曲部の曲率半径は、前記第１湾曲部により近い側と前記縦梁部により近い側とで異なる
、光
【請求項５】
前記第１湾曲部と前記第２湾曲部の湾曲方向が異なる、請求項２記載の光学反射素子。
【請求項６】
ミラー部と、
前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、
前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、
前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、
前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、
前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、
前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、
前記一対の梁部はそれぞれ、
前記固定部により近い第１湾曲部と、前記縦梁部により近い第２湾曲部と、を有し、
前記駆動部は前記第２湾曲部上に形成されている
、光
【請求項７】
前記駆動部は、下部電極膜と圧電膜と上部電極膜を順に積膜して形成されている、請求項１記載の光学反射素子。
【請求項８】
ミラー部と、
前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、
前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、
前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、
前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、
前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、
前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、
前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、
前記固定部と前記横梁部との境界にモニタ部が形成されている
、光
【請求項９】
前記内周は、前記横梁部の前記ミラー部に近い側の周であり、
前記外周は、前記横梁部の前記ミラー部から遠い側の周である、請求項１記載の光学反射素子。
【請求項１０】
前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁
部
【請求項１１】
ミラー部と、
前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、
前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、
前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、
前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、
前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、
前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分
における外周の
部
内周の
く、
前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる
４　取消理由通知に記載した取消理由について
（１）取消理由の概要
　訂正前の請求項１，２，３，５，７，９，１０及び１１に係る特許に対して、当審が平成３０年６月１４日に特許権者に通知した取消理由の要旨は、次のとおりである。
ア　理由１（新規性）２９条１項３号 
　本件特許の請求項１，２，３，５，７，９，１０及び１１に係る発明は、本件特許の出願前日本国内または外国において頒布された特開２０１０−２８８４３５号公報（以下「甲第１号証」という。）に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明であって、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができないから、その発明に係る特許は取り消すべきものである。 
  
イ　理由２（進歩性）２９条２項 
　本件特許の請求項１，２，３，５，７，９，１０及び１１に係る発明は、本件特許の出願前日本国内または外国において頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、その発明に係る特許は取り消すべきものである。 
  
 ウ　理由３（拡大先願）２９条の２ 
　本件特許の請求項１，２，３，５，７，９，１０及び１１に係る発明は、本件特許の出願の日前の特許出願であって、本件特許の出願後に出願公開公報の発行がされた特願２０１０−２８６７５８号（以下「先願」という。）の願書に最初に添付された明細書、特許請求の範囲に記載された発明と同一であり、しかも、本件特許の出願の発明者が本件特許の出願前の特許出願に係る上記の発明をした者と同一ではなく、また本件特許の出願の時において、その出願人が上記特許出願の出願人と同一でもなく、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができないから、その発明に係る特許は取り消すべきものである。 
 
（２）甲号証の記載
ア　甲第１号証
（ア）記載事項
【０００８】
  そこで、本発明は、小型化の要請に応えつつ、内部応力を十分に分散させて破断等のおそれ無く安定動作させることができる
アクチュエータ
を用いた光走査装置
【００５１】
  圧電素子２１は、上部電極２３と、下部電極２４とを備える。上部電極２３及び下部電極２４は、圧電体２２に電圧を印加するための電極であり、上部電極２３及び下部電極２４に電圧が印加されることにより、圧電体２２が伸縮し、梁１５を駆動させる。
【００６４】
  図７は、実施例１に係る
アクチュエータの共振駆動部８０
共振駆動部８０は、ミラー３１と、支持梁４０と、連結部５０と、可動枠６０と、駆動梁７０と、駆動源２０とを含み、
【００６５】
  
ミラー３１は、
駆動対象物３０である。
【００６６】
  
支持梁４０は、ミラー３１を両側から支持する１対の梁である。支持梁４０は、ミラー３１に連結され、ミラー３１に関して対称に、回転軸Ｘに沿って、左右で１対となって設けられ
【００７０】
  
連結部５０は、支持梁４０の先端部と可動枠６０とを連結し、可動枠６０の曲げ振動をねじれ振動に変換して支持梁４０に伝達する部分である。連結部５０は、支持梁４０を回転軸Ｘ方向の両側から挟むように、１対となって構成されている。可動枠６０は、支持梁４０を回転軸Ｘに直交する方向の両側から挟むように対をなしているので、１つの連結部５０は、支持梁４０と、支持梁４０の両側に存在する可動枠６０の３つの部材を連結する。
【００７５】
  
連結部５０は、支持梁４０との連結により生じる角５５が、丸められ
同様に、
連結部５０と可動枠６０の連結部分に生じる角６５及び可動枠６０と駆動梁７０の連結部分に生じる角７５を丸め
応力も分散させ
【００７６】
  図７に戻る。
駆動梁７０は、可動枠６０に曲げ応力を付与する駆動力発生源である。駆動梁７０は、回転軸Ｘと直交する方向に延在し、可動枠６０を両側から挟むように可動枠６０に連結され、１対となって設けられる
駆動梁７０は、表面に駆動源２０が装着され
【００７９】
  図９は、実施例１に係るアクチュエータの共振駆動部８０の共振振動時における変形状態の一例を示した斜視図である。図９において、１対の駆動源２０は、奥側の圧電素子２５と手前側の圧電素子２６とを含み、各々異なる極性又は位相の電圧が印加される。これにより、１対の駆動梁７０は、奥側の駆動梁７１が上方に反り、手前側の駆動梁７２が下方に反る変形をし、可動枠６０に曲げ振動を付与する。可動枠６０の曲げ振動は、連結部５０において支持梁４０に伝達されるが、このとき、曲げ振動はねじれ振動に変換され、１対の支持梁４０は、左側と右側でねじれる振動をする。そして、このねじれ振動により、両側から支持梁４０で支持されているミラー３１は、奥側と手前側に傾動振動する運動を行い、回転軸Ｘ周りに傾動駆動させられることになる。このような動作により、ミラー３１は回転軸Ｘの軸周りで傾動駆動させられる。
【００８０】
  図１０は、実施例１に係るアクチュエータの共振駆動部８０の共振駆動時の変形状態の一例を示したミラー３１の周辺拡大図である。図１０において、ミラー３１が、右側が上昇し、左側が下降するように傾動しているが、可動枠６０も、ミラー３１と同一方向に傾動し、ミラー３１の方が、可動枠６０よりも傾動の傾角が大きい状態となっている。図１０における動作は、１対の駆動梁７０に備えられた1対の駆動源２０に、極性又は位相の異なる電圧を印加することにより共振させると、駆動梁７０と可動枠６０の連結部付近が、大きく上下に振動する。この動作により、可動枠６０が傾き、また可動枠６０自身がたわむことで、連結部５０付近を更に傾け、連結部５０がねじれて更にミラー３１を傾ける、という動作を行う。
【００９０】
  図１３は、ミラー３１と支持梁４０との連結箇所４５と、支持梁４０と連結部５０との連結箇所５５と、連結部５０と可動枠６０との連結箇所６５に生じる角を丸めた場合について説明するための図である。図１３（Ａ）は、連結箇所４５、５５、６５に角Ｒを付与した場合のアクチュエータの斜視図の一例であり、図１３（Ｂ）は、角Ｒを付与したときの傾角感度と、±１２〔ｄｅｇ〕傾いたときの連結箇所４５、５５、６５の最大応力変化を示した図である。
【００９１】
  図１３（Ａ）に示すように、
ミラー３１と支持梁４０との連結箇所４５のみならず、支持梁４０と連結部５０との連結箇所５５及び連結部５０と可動枠６０との連結箇所６５にも角Ｒが付与されている
【００９２】
  図１３（Ｂ）は、図１３（Ａ）のような角Ｒを付与した構成において、傾角感度と最大応力の変化を示している。図１３（Ｂ）において、傾角感度はあまり変化していないが、角Ｒが０．０２〔ｍｍ〕以上で若干劣化している。内部応力は、ねじれが発生する連結部５０で最大となる。角Ｒ＝０．００５〜０．０２〔ｍｍ〕では、最大内部応力は０．５〔ＧＰａ〕となり、深掘り反応性イオンエッチングによる加工変質層の影響や繰り返し応力の印加により、破断の可能性が出てしまう。Ｒ＝０．０３〔ｍｍ〕のときに、最大応力は０．４９〔ＧＰａ〕となり、破断が生じない値まで応力が分散される。よって、Ｒ＝０．０３〔ｍｍ〕以上であれば、破断発生のおそれが無く、特に問題無いことが分かる。
【００９７】
  図１５は、共振駆動部８０における駆動源２０の電極配置構成の種々の態様について示した図である。
【００９８】
  図１５（Ａ）は、駆動梁７０にのみ駆動源２０を設けた共振駆動部８０の構成の一例を示した図である。図１５（Ａ）において、今まで説明したように、駆動梁７０にのみ駆動源２０が設けられた共振駆動部８０が示されている。この場合は、図７乃至図１１において説明したように、１対の駆動梁７１、７２からなる駆動梁７０の上下動が、曲げ振動として１対の可動枠６１、６２からなる可動枠６０に付与される。そして、可動枠６０から１対の連結部５０に曲げ振動が伝達される際に、曲げ振動がねじれ振動に変換され、ねじれ振動により１対の支持梁４０及びミラー３１が傾動駆動される。
【００９９】
  図１５（Ｂ）は、駆動梁７０及び可動枠６０に駆動源２０ａを設けた共振振動部８０ａの構成の一例を示した図である。図１５（Ｂ）において、駆動梁７０のみでなく、可動枠６０にも駆動源２０ａが備えられている。つまり、駆動源２０ａは、１対の駆動梁７１、７２に１対の駆動源２５、２６が設けられるとともに、１対の可動枠６１、６２にも各々駆動源２７、２８が設けられている。図１５（Ｂ）においては、回転軸Ｘを中心として、互いに連結されている奥側の駆動梁７１及び可動枠６１には、同極性又は同位相の電圧が印加される駆動源２５、２７が設けられている、同様に、互いに連結されている手前側の駆動梁７２及び可動枠６２には、同極性又は同位相の電圧が印加される駆動源２６、２８が設けられており、それらの極性は、駆動源２５、２７とは異なっている。つまり、図１５（Ｂ）においては、同じ側の駆動梁７０と可動梁６０には、同極性の電圧が印加されるように駆動源２０ａが配置構成されている。
【０１００】
  図１５（Ｃ）は、図１５（Ｂ）とは異なる駆動梁７０及び可動枠６０に駆動源２０ｂを設けた共振振動部８０ｂの構成の一例を示した図である。図１５（Ｃ）において、駆動梁７０に設けられる駆動源２０の配置は、図１５（Ａ）、（Ｂ）と同様であるが、可動枠６０に設けられる駆動源２７、２８が、連結されている駆動梁７０の駆動源２６、２５とは逆極性となるように構成されている。つまり、回転軸Ｘを中心として、奥側の駆動梁７１の駆動源２５とこれに連結されている可動枠６１の駆動源２８は、互いに逆極性である。同様に、手前側の駆動梁７２の駆動源２６と、これに連結されている可動枠６２の駆動源２７とは、逆極性である。そして、１対の駆動源７１、７２同士の駆動源２５、２６は互
いに逆極性であり、１対の可動枠６１、６２同士の駆動源２８、２７も互いに逆極性である。
【０１３１】
  図２４（Ａ）において、実施例３に係る
アクチュエータは、可動部１００と、固定枠１１０とを備える。固定枠１００は、駆動中も固定状態にある外側の枠であり、可動部１１０は、固定枠１００に連結支持されている。また、可動部１００は、駆動対象物３０と、１対の支持梁４０ｂと、１対の連結部５０ｂと、１対の駆動梁７３とを備える。
【０１３２】
  実施例３に係るアクチュエータにおいては、駆動対象物３０に、回転軸方向に沿って延在する支持梁４０が連結されている点は、実施例１に係るアクチュエータと同様である。しかしながら、実施例３に係るアクチュエータには、可動枠６０が設けられていない点で、実施例１及び実施例２に係るアクチュエータと異なっている。
【０１３３】
  実施例３に係るアクチュエータにおいては、連結部５０ｂの支持梁側連結部５４が、回転軸Ｘと直交する方向に長く延在し、駆動対象物３０の幅と同程度か、それよりも長く構成されている。そして、支持梁側連結部５４から垂直に回転軸Ｘと平行に駆動梁７３側に戻るように駆動梁側連結部５３が延在し、駆動梁７３に直接連結されている。よって、
連結部５０ｂは、可動枠６０の代わりに駆動梁７３と直接連結される駆動源側連結部５３と、駆動梁側連結部５３と支持梁４０ｂとを連結する支持梁側連結部５４を含んで構成され
【０１３５】
  また、駆動梁７３は、実施例１及び実施例２に係るアクチュエータの駆動源７０よりも、回転軸Ｘに平行な幅を大きくし、駆動源２０である圧電素子２１の成膜面積を大きくしている。これにより、傾角感度を更に向上させるとともに、更に高速に駆動することが可能となる。つまり、小型でありながら、十分な傾角感度を有するアクチュエータとすることができる。なお、駆動梁７３が、回転軸Ｘの両側で、異なる方向に変位する電圧が印加させる点は、実施例１及び実施例２に係るアクチュエータと同様である。
【０１３６】
  更に、実施例３に係る
アクチュエータは、回転軸Xの軸周りに傾動運動を行う
【０１３９】
  図２５（Ａ）において、支持梁４０ｂの幅をＡとし、駆動梁側連結部５３の幅を、支持梁４０ｂの幅Ａの１／２のＡ／２に設定する。また、支持梁側連結部５４の長さをＢ、支持梁４０ｂ及び駆動梁側連結部５３の外側の端部から回転軸Ｙまでの距離をＣとする。そして、支持梁４０ｂ及び駆動梁側連結部５３の外側端部から回転軸Ｙまでの距離Ｃを可変とすることで、共振周波数を一定の３０ｋＨｚに設定する。なお、駆動梁側連結部５３は、４箇所存在するが、総て共通の値に設定する。また、連結箇所４５ａのＲ半径をＲ１＝０．１５ｍｍ、連結箇所５５ａのＲ半径をＲ２＝Ｂ／２に設定する。そして、指示梁４０ｂの幅Ａ及び支持梁側連結部５４の長さＢをパラメータとして変化させ、傾角感度と最大応力の最適値を検討した。
【０１４０】
  図２５（Ｂ）は、駆動対象物３０を±１２ｄｅｇの傾角で傾動させる場合の、支持梁４０ｂの幅Ａ及び支持梁側連結部５４の長さＢの変化に対する傾角感度〔ｄｅｇ／Ｖ〕の変化特性を示した図である。図２５（Ｂ）において、Ａ＝０．１２ｍｍの場合に最も傾角感度が高く、また、０．４ｍｍ＜Ｂ＜０．６ｍｍのＢ＝０．５ｍｍ付近の値で傾角感度が最大となっている特性が示されている。
【０１５３】
  また、駆動対象物３０と支持梁４０ｃとの連結箇所４６のR半径をＲ１＝Ａ／２に設定し、支持梁４０ｃと連結部５５ｂとの連結箇所５５ｂのＲ半径をＲ２＝Ｂ／２に設定する。
【０１６７】
  図２９は、支持梁４１ａ、４２ａ間の距離Ａ及び支持梁側連結部５４の長さＢをパラメータとした場合の傾角感度の特性を示した図である。図２９において、横軸は支持梁側連結部５４の長さＢ〔ｍｍ〕、縦軸は傾角感度〔ｄｅｇ／Ｖ〕を示している。
【０１６８】
  図２９において、Ａ、Ｂの値がともに大きい程、傾角感度は大きくなることが示されている。よって、図２７（Ｃ）において算出した、最大応力が０．５ＧＰａ以下の範囲で、傾角感度が最大となるようなＡ、Ｂの値が、最適なパラメータ設定ということになる。
（イ）引用発明
Ａ　上記図７及び図１３の記載から、「
連結部５０は、途中に曲がり部を有し
「アクチュエータを用いた光走査装置であって、
アクチュエータの共振駆動部８０は、ミラー３１と、支持梁４０と、連結部５０と、可動枠６０と、駆動梁７０と、駆動源２０とを含み、
支持梁４０は、ミラー３１を両側から支持する１対の梁であり、
支持梁４０は、ミラー３１に連結され、ミラー３１に関して対称に、回転軸Ｘに沿って、左右で１対となって設けられ、
連結部５０は、支持梁４０の先端部と可動枠６０とを連結し、可動枠６０の曲げ振動をねじれ振動に変換して支持梁４０に伝達する部分であり、
連結部５０は、支持梁４０を回転軸Ｘ方向の両側から挟むように、１対となって構成され、
可動枠６０は、支持梁４０を回転軸Ｘに直交する方向の両側から挟むように対をなしており、
１つの連結部５０は、支持梁４０と、支持梁４０の両側に存在する可動枠６０の３つの部材を連結しており、
駆動梁７０は、可動枠６０に曲げ応力を付与する駆動力発生源であり、
駆動梁７０は、回転軸Ｘと直交する方向に延在し、可動枠６０を両側から挟むように可動枠６０に連結され、１対となって設けられ、
駆動梁７０は、表面に駆動源２０が装着され、
連結部５０は、途中に曲がり部を有し、
連結部５０は、支持梁４０との連結により生じる角５５が、丸められ、同様に、連結部５０と可動枠６０の連結部分に生じる角６５及び可動枠６０と駆動梁７０の連結部分に生じる角７５を丸められ、応力を分散させている
光走査装置。」
Ｂ　また、実施例３に係る図２４Ａ及び図２５Ａの記載から、「
駆動梁７３と直接連結される駆動源側連結部５３との接合部外周の湾曲形状の曲率半径は、支持梁４０ｂとを連結する支持梁側連結部５４との接合部内周の湾曲形状の曲率半径より小さい
　よって、甲第１号証には、実施例３に係る発明として、以下の発明（以下「引用発明２」という。）が記載されていると認められる。
「アクチュエータを用いた光走査装置であって、
アクチュエータは、回転軸Xの軸周りに傾動運動を行うものであり、
アクチュエータは、可動部１００と、固定枠１１０とを備え、
固定枠１００は、駆動中も固定状態にある外側の枠であり、可動部１１０は、固定枠１００に連結支持され、可動部１００は、駆動対象物３０（ミラー３１）と、１対の支持梁４０ｂと、１対の連結部５０ｂと、１対の駆動梁７３とを備え、
連結部５０ｂは、可動枠６０の代わりに駆動梁７３と直接連結される駆動源側連結部５３と、駆動梁側連結部５３と支持梁４０ｂとを連結する支持梁側連結部５４を含んで構成され、
駆動梁７３と直接連結される駆動源側連結部５３との接合部外周の湾曲形状の曲率半径は、支持梁４０ｂとを連結する支持梁側連結部５４との接合部内周の湾曲形状の曲率半径より小さい
光走査装置。」
イ　先願
　先願（特願２０１０−２８６７５８号）は、平成２２年１２月２２日の特許出願であって、平成２４年７月１２日に 出願公開（特開２０１２−１３３２４２号公報（以下「甲第２号証」という。）されたものであり、発明者は山田司であり、出願人は、ミツミ電機株式会社である。 
　そして、先願の願書に最初に添付された明細書、特許請求の範囲（以下「当初明細書等」という。）には、以下の事項が記載されている。
（ア）記載事項
【０００１】
  本発明は、光走査装置に関し、特に、ミラー支持部を軸方向両側から捻れ梁により支持し、該捻れ梁の捻れにより前記ミラー支持部を軸周りに揺動させて駆動する光走査装置に関する。
【００２６】
  図１（Ａ）、（Ｂ）において、本実施形態に係る
光走査装置は、ミラー１０と、ミラー支持部２０と、捻れ梁３０と、連結梁４０と、第１の駆動梁５０と、可動枠６０と、第２の駆動梁７０と、クロストーク防止リブ８０と、固定枠９０とを備え
【００２７】
  図１（Ａ）、（Ｂ）において、
ミラー支持部２０の表面にミラー１０が支持され、ミラー支持部２０は、両側にある捻れ梁３０の端部に連結されている。捻れ梁３０は、揺動軸を構成し、軸方向に延在してミラー支持部２０を軸方向両側から支持している。捻れ梁３０が捻れることにより、ミラー支持部２０に支持されたミラー１０が揺動し、ミラー１０に照射された光の反射光を走査させる動作を行う。捻れ梁３０は、連結梁４０に連結支持され、第１の駆動梁５０に連結されている。第１の駆動梁５０、連結梁４０、捻れ梁３０、ミラー支持部２０及びミラー１０は、可動枠６０に取り囲まれている。第１の駆動梁５０は、可動枠６０に片側が支持され、内周側に延びて連結梁４０と連結している。第１の駆動梁５０は、捻れ梁３０とは直交する方向に、ミラー１０及びミラー支持部２０を挟むように、対をなして２つ設けられている。
り縮小したりするので、左側の第１の駆動梁５０と右側の第１の駆動梁５０とで異なる位相の電圧を交互に印加することにより、ミラー１０の左側と右側で第１の駆動梁５０が上下反対側に交互に振動し、捻れ梁３０を揺動軸又は回転軸として、ミラー１０を軸周りに揺動させることができる。このミラー１０が捻れ梁３０の周りに揺動する方向を、以後、水平方向と呼ぶことにする。例えば、第１の駆動梁５０による水平駆動には、共振振動が用いられ、高速にミラー１０を揺動駆動してよい。また、可動枠６０の外部には、第２の駆動梁７０の一端が連結されている。第２の駆動梁７０は、第１の駆動梁５０と平行に延在する梁が、隣接する梁と端部で連結され、全体としてジグザグ状の形状を有する。そして、第２の駆動梁７０の他端は、固定枠９０の内側に連結されている。第２の駆動梁７０も、可動枠６０を左右両側から挟むように、対をなして２つ設けられている。また、第２の駆動梁７０の表面には、曲線部を含まない矩形単位毎に、圧電素子の薄膜が駆動源７１として形成されている。矩形単位毎に隣接している駆動源７１同士で、異なる極性の電圧を印加することにより、隣接する矩形梁を上下反対方向に反らせ、各矩形梁の上下動の蓄積を可動枠６０に伝達することができる。そして、水平方向と直交する方向、つまり垂直方向にミラー１０を揺動させることができる。例えば、第２の駆動梁７０による駆動力は、非共振振動により発生させてもよい。
【０１０６】
  図２２は、実施形態１に係る光走査装置の第１の周波数変動防止構造を説明するための図である。図２２（Ａ）は、周波数変動防止構造を有する本実施形態に係る光走査装置の平面構成を示した図である。図２２（Ａ）において、
第１の駆動梁５０の可動枠６０と接合する根元部分５２が、
湾曲形状部５３を介して可動枠６０に連結された構成となっている。
（イ）先願発明
　上記図１及び図２２の記載から、「
連結梁４０は、途中に曲がり部を有し、第１の駆動梁５０と連結梁４０との接合部外周の湾曲形状の曲率半径は、連結梁４０と捻れ梁３０との接合部内周の湾曲形状の曲率半径より小さい」ことが見て取れる。
　以上の記載から、当初明細書等には、以下の発明（以下「先願発明」という。）が記載されていると認められる。
「光走査装置は、ミラー１０と、ミラー支持部２０と、捻れ梁３０と、連結梁４０と、第１の駆動梁５０と、可動枠６０と、第２の駆動梁７０と、クロストーク防止リブ８０と、固定枠９０とを備え、
ミラー支持部２０の表面にミラー１０が支持され、ミラー支持部２０は、両側にある捻れ梁３０の端部に連結され、
捻れ梁３０は、揺動軸を構成し、軸方向に延在してミラー支持部２０を軸方向両側から支持しており、捻れ梁３０が捻れることにより、ミラー支持部２０に支持されたミラー１０が揺動し、ミラー１０に照射された光の反射光を走査させる動作を行うものであり、
捻れ梁３０は、連結梁４０に連結支持され、第１の駆動梁５０に連結され、
連結梁４０は、途中に曲がり部を有し、
第１の駆動梁５０、連結梁４０、捻れ梁３０、ミラー支持部２０及びミラー１０は、可動枠６０に取り囲まれ、
第１の駆動梁５０は、可動枠６０に片側が支持され、内周側に延びて連結梁４０と連結し、
第１の駆動梁５０は、捻れ梁３０とは直交する方向に、ミラー１０及びミラー支持部２０を挟むように、対をなして２つ設けられており、
第１の駆動梁５０の可動枠６０と接合する根元部分５２が、湾曲形状部５３を介して可動枠６０に連結された構成となっており、
第１の駆動梁５０と連結梁４０との接合部外周の湾曲形状の曲率半径は、
連結梁４０と捻れ梁３０との接合部内周の湾曲形状の曲率半径より小さい、
光走査装置。」
（３）当審の判断
ア　（新規性）２９条１項３号及び（進歩性）２９条２項について 
Ａ　本件発明１
ａ　本件発明１と引用発明１との対比判断
　引用発明１の「ミラー３１」は、本件発明１の「ミラー部」に相当する。
　引用発明１の「アクチュエータを用いた光走査装置」は、ミラー３１を回転軸Ｘを軸に駆動するものであるから、本件発明１の「ミラー部を回動させる、光学反射素子」に相当する。
　引用発明１の「支持梁４０」は、ミラー３１を両側から支持する１対の梁であり、ミラー３１に連結され、ミラー３１に関して対称に、回転軸Ｘに沿って、左右で１対となって設けられているから、引用発明１の「支持梁４０」は、本件発明１の「ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部」に相当する。
　引用発明１の「連結部５０」は、支持梁４０の先端部と可動枠６０とを連結し、支持梁４０を回転軸Ｘ方向の両側から挟むように、１対となって構成されているから、引用発明１の「連結部５０」は、本件発明１の「前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部」に相当する。
　引用発明１の駆動梁７０は、可動枠６０に曲げ応力を付与する駆動力発生源であり、回転軸Ｘと直交する方向に延在し、可動枠６０を両側から挟むように可動枠６０に連結され、１対となって設けられ、表面に駆動源２０が装着されているから、引用発明１の、表面に駆動源２０が装着されている１対の駆動梁７０は、本件発明１の「ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部」に相当する。
　引用発明１の１対の「連結部５０」は、支持梁４０の先端部と可動枠６０とを連結していることと、本件発明１の「一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し」ていることは、共に「一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と
他の部分
　引用発明１において、「連結部５０は、途中に曲がり部を有し」ていることは、本件発明１の「前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し」ていることに相当する。
　引用発明１の「連結部５０は、支持梁４０との連結により生じる角５５が、丸められ、同様に、連結部５０と可動枠６０の連結部分に生じる角６５及び可動枠６０と駆動梁７０の連結部分に生じる角７５を丸められ」ていることと、本件発明１の「前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく」なっていることとは、共に「前記一対の梁部はそれぞれ、前記
他の部分
　引用発明１の１対の「駆動梁７０は、可動枠６０に曲げ応力を付与する駆動力発生源であり、」「連結部５０は、支持梁４０の先端部と可動枠６０とを連結し、可動枠６０の曲げ振動をねじれ振動に変換して支持梁４０に伝達する」ことで、ミラー３１を回転軸Ｘで回転駆動するものであるから、引用発明１の１対の「駆動梁７０」は、本件発明１の「前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる」こととは、共に「前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる」点で共通する。
　以上の相当関係から、本件発明１と引用発明１との一致点及び相違点は以下のとおりである。
（一致点１）
「ミラー部と、
前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、
前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、
前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、
を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と他の部分との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる、光学反射素子。」
（相違点１）
　本件発明１は、「前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する
固定部
可動枠６０
（相違点２）
　引用発明１の駆動梁７０は、可動枠６０に曲げ応力を付与し、連結部５０は、支持梁４０の先端部と可動枠６０とを連結し、可動枠６０の曲げ振動をねじれ振動に変換して支持梁４０に伝達するものであることを踏まえると、本件発明１の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記
固定部に固定した状態で、
曲げ振動する可動枠６０に連結された状態で、
（相違点３）
　本件発明１は、「前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく」なっているのに対し、引用発明１は、「連結部５０は、支持梁４０との連結により生じる角５５が、丸められ、同様に、連結部５０と可動枠６０の連結部分に生じる角６５及び可動枠６０と駆動梁７０の連結部分に生じる角７５を丸められ」ており、「連結部５０と可動枠６０の連結部分に生じる角６５」は、固定部との連結部に生じる角ではなく、また、丸められた角６５と角７５の曲率半径の大小は不明である点で相違する。
　相違点１について以下検討する。
　甲第１号証には、発明が解決しようとする課題として、【０００８】に「 そこで、本発明は、小型化の要請に応えつつ、内部応力を十分に分散させて破断等のおそれ無く安定動作させることができるアクチュエータ及びこれを用いた光走査装置を提供することを目的とする。」と記載され、課題を解決するための手段として、【００１０】に「これにより、駆動力を付与する対象が可動枠であり、かつ可動枠から順次弾性を有する梁構造の連結部、支持梁を介してねじれ振動を伝達するため、固定枠に連結された応力の集中する箇所を無くすことができ、内部応力を複数箇所に分散することができるので、アクチュエータの耐性を高めることができる。」と記載されている。
　よって、引用発明１は、駆動力を可動枠に可動枠から連結部に、連結部から支持梁へと伝達することで、内部応力を複数箇所に分散し、固定枠に連結された応力の集中する箇所を無くす発明であるから、引用発明１において、固定枠と連結部５０とを直接連結するするように代えること、つまり相違点１に係る構成を採用することは、内部応力を分散することにならず、固定枠に連結された応力の集中をもたらすことになるため、当業者が容易に採用し得ることとはいえない。
　したがって、相違点２，３について検討するまでもなく、本件発明１は、引用発明１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
ｂ　本件発明１と引用発明２との対比判断
　引用発明２の「駆動対象物３０（ミラー３１）」は、本件発明１の「ミラー部」に相当する。
　引用発明２の「アクチュエータを用いた光走査装置」は、ミラー３１を回転軸Xの軸周りに傾動運動ものであるから、本件発明１の「ミラー部を回動させる、光学反射素子」に相当する。
　引用発明２の「１対の支持梁４０ｂ」、「１対の連結部５０ｂ」、「１対の駆動梁７３」、「固定枠１００」は、それぞれ本件発明１の「前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部」、「前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部」、「前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部」、「固定部」に相当する。
　引用発明２において、「固定枠１００は、駆動中も固定状態にある外側の枠であり、可動部１１０は、固定枠１００に連結支持され、可動部１００は、駆動対象物３０（ミラー３１）と、１対の支持梁４０ｂと、１対の連結部５０ｂと、１対の駆動梁７３とを備え、」ている。ここで、駆動対象物３０（ミラー３１）と、１対の支持梁４０ｂと、１対の連結部５０ｂと、１対の駆動梁７３とを備える可動部１００は、固定枠１００に連結支持されているから、ミラー３１から固定枠１００までの連結支持の関係は、ミラー３１、支持梁４０ｂ、連結部５０ｂ、駆動梁７３、固定枠１００の順の連結支持の関係である。
　この連結支持の関係を踏まえると、引用発明２の「連結部５０ｂは、可動枠６０の代わりに駆動梁７３と直接連結される駆動源側連結部５３と、駆動梁側連結部５３と支持梁４０ｂとを連結する支持梁側連結部５４を含んで構成され」ていることと、本件発明１の「前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し」ていることは、共に「前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と
他の部分
　引用発明２の「駆動梁７３と直接連結される駆動源側連結部５３との接合部外周の湾曲形状の曲率半径は、支持梁４０ｂとを連結する支持梁側連結部５４との接合部内周の湾曲形状の曲率半径より小さい」ことと、本件発明１の「前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく」なっていることとは、共に「前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し前記一対の梁部はそれぞれ、前記
他の部分
　引用発明２において、「連結部５０ｂは、可動枠６０の代わりに駆動梁７３と直接連結される駆動源側連結部５３と、駆動梁側連結部５３と支持梁４０ｂとを連結する支持梁側連結部５４を含んで構成され」ているから、「１対の駆動梁７３」は、「１対の連結部５０ｂ」を直接駆動し、ミラー３１を回転軸Xの軸周りに傾動運動を行うものである。
　よって、引用発明２の「１対の駆動梁７３」は、本件発明１の「前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる」こととは、共に「前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる」点で共通する。
　以上の相当関係から、本件発明１と引用発明２との一致点及び相違点は以下のとおりである。
（一致点２）
「ミラー部と、
前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、
前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、
前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、
固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と他の部分との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し前記一対の梁部はそれぞれ、前記
他の部分
（相違点４）
　固定部が、本件発明１は、「前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する」のに対し、引用発明２の「固定枠１００は、」は、「１対の駆動梁７３」を介して「１対の連結部５０ｂ」を支持している点で相違する。
（相違点５）
　引用発明２の、「１対の駆動梁７３」は、「１対の連結部５０ｂ」を直接駆動し、ミラー３１を回転軸Xの軸周りに傾動運動を行うものであることを踏まえると、本件発明１の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記
固定部に固定した状態で、
曲げ振動する駆動梁７３に連結された状態で
（相違点６）
　本件発明１は、「前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく」なっているのに対し、引用発明１は、「駆動梁７３と直接連結される駆動源側連結部５３との接合部外周の湾曲形状の曲率半径は、支持梁４０ｂとを連結する支持梁側連結部５４との接合部内周の湾曲形状の曲率半径より小さい」ものであり、「駆動梁７３と直接連結される駆動源側連結部５３との接合部外周の湾曲形状」は、固定枠１００との連結部に生じる湾曲形状ではない点で相違する。
　相違点４について以下検討する。
　引用発明２は、引用発明１において、可動枠６０を省いた構成を有するものである。
　そして、甲第１号証には、【０１３４】に「このように、回転軸Ｘと垂直に延在する支持梁側連結部５４の長さを大きくし、支持梁側連結部５４と駆動梁７３とを駆動梁側連結部５３で連結し、可動枠６０を省くような構成としてもよい。この場合、駆動梁７３で発生させられる傾動力は、連結部５０ｂの駆動梁側連結部５３に直接的に伝達される。駆動梁側連結部５３は、駆動梁７３の傾動力を支持梁側連結部５４に伝達することができるとともに、応力を低減させる梁構造となっているので、応力分散を適切に行うことができる。また、可動枠６０を省くことにより、より小型で省スペースのアクチュエータを構成することができる。」との記載がある。
　引用発明２の「固定枠１００は、」は、「１対の駆動梁７３」を介して「１対の連結部５０ｂ」を支持しているところ、引用発明２において、固定枠１００と連結部５０ｂとを直接連結するするように代えることは、内部応力を分散することにならず、固定枠に連結された応力の集中をもたらすことになるため、当業者が容易に採用し得ることとはいえない。
　したがって、相違点５、６について検討するまでもなく、本件発明１は、引用発明２に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
Ｂ　本件発明２、３、５、７、９、１０
ａ　本件発明２、３、５、７、９、１０と引用発明１との対比判断
　本件発明２、３、５、７、９、１０は、本件発明１の全ての構成を備えるものであるから、上記「Ａ」「ａ」で検討したのと同様の理由により、本件発明２、３、５、７、９、１０は、引用発明１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
ｂ　本件発明２、３、５、７、９、１０と引用発明２との対比判断
　本件発明２、３、５、７、９、１０は、本件発明２の全ての構成を備えるものであるから、上記「Ａ」「ｂ」で検討したのと同様の理由により、本件発明２、３、５、７、９、１０は、引用発明２に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
Ｃ　本件発明１１
ａ　本件発明１１と引用発明１との対比判断
　本件発明１１は、本件発明１において「一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し」ている特定がされてない発明に相当する。
　してみると、「一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し」ている点は、引用発明１も有していることから、本件発明１１と引用発明１との対比において、相違点とはならないが、相違点１ないし３と同じ相違点がある。
　そして、相違点１についての判断は、上記のとおりであり、引用発明１において、相違点１に係る構成を採用することは、当業者が容易に採用し得ることとはいえない。
　したがって、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１１は、引用発明１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
ｂ　本件発明１１と引用発明２との対比判断
　本件発明１１は、本件発明１において「一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し」ている特定がされてない発明に相当する。
　してみると、「一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し」ている点は、引用発明２も有していることから、本件発明１１と引用発明２との対比において、相違点とはならないが、相違点４ないし６と同じ相違点がある。
　そして、相違点４についての判断は、上記のとおりであり、引用発明２において、相違点４に係る構成を採用することは、当業者が容易に採用し得ることとはいえない。
　したがって、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１１は、引用発明２に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
Ｄ　小括（（新規性）２９条１項３号及び（進歩性）２９条２項について）
　上記ＡないしＣのとおり、本件発明１ないし１１は、引用発明１又は引用発明２に基づいて当業者が容易に発明することができたものとはいえないから、本件発明１ないし１１に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反するものではない。
　また、上記ＡないしＣのとおり、本件発明１ないし１１は、引用発明１又は引用発明２との対比において、相違点を有するものであるから、本件発明１ないし１１は、引用発明１であるとはいえず、また引用発明２であるともいえない。よって、本件発明１ないし１１に係る特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反するものではない。。
イ　（拡大先願）２９条の２について 
Ａ　本件発明１と先願発明との対比判断
　先願発明において、「ミラー支持部２０の表面にミラー１０が支持され」ており、先願発明の「ミラー支持部２０及びミラー１０」は、本件発明１の「ミラー部」に相当する。
　先願発明において、「捻れ梁３０は、揺動軸を構成し、軸方向に延在してミラー支持部２０を軸方向両側から支持して」いるから、先願発明の「捻れ梁３０」は、本件発明１の「前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部」に相当する。
　先願発明において、「捻れ梁３０は、連結梁４０に連結支持され、第１の駆動梁５０に連結され、」「第１の駆動梁５０は、可動枠６０に片側が支持され、内周側に延びて連結梁４０と連結し、」「捻れ梁３０とは直交する方向に、ミラー１０及びミラー支持部２０を挟むように、対をなして２つ設けられて」いる配置関係になっている。
　この配置関係を踏まえると、先願発明の、捻れ梁３０とは直交する方向に対をなして２つ設けられている第１の駆動梁５０に連結している「連結梁４０」は、本件発明１の「前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部」に相当する。
　先願発明において、前記配置関係及び「捻れ梁３０は、揺動軸を構成し、軸方向に延在してミラー支持部２０を軸方向両側から支持しており、捻れ梁３０が捻れることにより、ミラー支持部２０に支持されたミラー１０が揺動し、ミラー１０に照射された光の反射光を走査させる動作を行うものであ」ることを踏まえると、先願発明の対をなして２つ設けられている「第１の駆動梁５０」は、本件発明１の「前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部」に相当する。
　先願発明において、対をなして２つ設けられている「捻れ梁３０は、連結梁４０に連結支持され、第１の駆動梁５０に連結され」ており、「第１の駆動梁５０は、捻れ梁３０とは直交する方向に、ミラー１０及びミラー支持部２０を挟むように、対をなして２つ設けられて」いるから、それぞれの捻れ梁３０に連結する連結梁４０の両端は、対をなして２つ設けられている第１の駆動梁５０に連結されている。よって、先願発明の「第１の駆動梁５０」と、本件発明１の「前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する固定部」とは、共に、「前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する
他の部分
　先願発明の「連結梁４０」は、「軸方向に延在してミラー支持部２０を軸方向両側から支持して」いる「捻れ梁３０」と、対をなして２つ設けられている「第１の駆動梁５０」とを連結している梁を有しているから、先願発明の「連結梁４０」は、本件発明１の「前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し」ている構成とは、共に「前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記
他の部分
　先願発明において、「連結梁４０は、途中に曲がり部を有し」ていることは、本件発明１の「前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し」ていることに相当する。
　先願発明において、「第１の駆動梁５０と連結梁４０との接合部外周の湾曲形状の曲率半径は、連結梁４０と捻れ梁３０との接合部内周の湾曲形状の曲率半径より小さい」ことと、本件発明１の「前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さ」いこととは、共に、「前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記
他の部分
　先願発明の、「対をなして２つ設けられて」いる「第１の駆動梁５０」が駆動し、「捻れ梁３０が捻れることにより、ミラー支持部２０に支持されたミラー１０が揺動し、ミラー１０に照射された光の反射光を走査させる動作を行う」「光走査装置」は、本件発明１の「前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる、光学反射素子」とは、共に「前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる、光学反射素子」に相当する。
（一致点３）
「ミラー部と、
前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、
前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、
前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、
前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する
他の部分
前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と
他の部分
前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、
前記一対の梁部はそれぞれ、前記
他の部分
前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる、光学反射素子。」
（相違点７）
　一対の横梁部を支持する
他の部分
他の部分
（相違点８）
　本件発明１は、「前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて」いるのに対し、先願発明は、「対をなして２つ設けられて」いる「第１の駆動梁５０」は、「連結梁４０」の両端を振動する「第１の駆動梁５０」に連結した状態で、「連結梁４０」のそれぞれに曲げ変位を生じさせている点で相違する。
Ｂ　本件発明２、３、５、７、９、１０と先願発明との対比判断
　本件発明２、３、５、７、９、１０は、本件発明１の全ての構成を備えるものである。そして、上記「Ａ」で検討したとおり、本件発明１と先願発明とは相違点を有するものであるから、本件発明２、３、５、７、９、１０は、先願発明と同一ではない。
Ｃ　本件発明１１と先願発明との対比判断
　本件発明１１は、本件発明において「一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し」ている特定がされてない発明に相当する。
　そして、「一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し」ている点は、先願発明も有していることから、本件発明１１と先願発明との対比において、相違点にはならないが、相違点７、８と同じ相違点がある。
　よって、本件発明１１は、先願発明と同一ではない。
Ｄ　小括（（拡大先願）２９条の２について ）
　上記ＡないしＣのとおり、本件発明１ないし１１は、先願発明と同一ではないから、本件発明１ないし１１に係る特許は、特許法第２９条の２の規定に違反するものではない。
６　むすび
　以上のとおりであるから、取消理由通知に記載した取消理由によっては、本件請求項１、２、３、５、７、９、１０、１１に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１、２、３、５、７、９、１０、１１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成３０年１２月６日（２０１８．１２．６）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
光学反射素子
　【技術分野】
　【０００１】
　本発明は、ヘッドアップディスプレイやヘッドマウントディスプレイ等の画像投影装置に用いられる光学反射素子に関する。
　【背景技術】
　【０００２】
　近年、ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ（ＭＥＭＳ）技術を用いて、レーザ光を走査しスクリーン等に画像を投影する光学反射素子が開発されている。画像を投影するには、その光学反射素子を用いてレーザ光を２次元に走査する必要がある。光学反射素子を駆動する原理として、例えば圧電アクチュエータが用いられる。
　【０００３】
　図１０は従来の光学反射素子１の斜視図である。光学反射素子１は、ミラー部９と、ミラー部９を支持する固定部３と、一対の振動梁４と、ミラー部９を回動駆動させる圧電体層１０とを有する。振動梁４はそれぞれ、ミラー部９が固定部３に対して回動可能なように、ミラー部９と固定部３とを連結している。圧電体層１０に通電すると圧電体層１０が伸縮する。この伸縮によって、振動梁４が捩れ変形してミラー部９が回動する。
　【０００４】
　また、各振動梁４は、ミラー部９から延出するトーションバー６と、駆動部材７と、一対の弾性部材８とを有する。駆動部材７はトーションバー６のミラー部９と反対側の端に接続されている。一対の弾性部材８は、駆動部材７よりもミラー部９寄りに設けられ、互いにミラー部９の回動中心軸を介して対向している。また弾性部材８の第１端は駆動部材７に接続され、第２端は固定部３の一部に接続されている。なお、この出願に関する圧電アクチュエータを開示するものとして、例えば、特許文献１が挙げられる。
　【先行技術文献】
　【特許文献】
　【０００５】
　【特許文献１】特許第４２８５５６８号公報
　【発明の概要】
　【０００６】
　本発明は、大きな変位量かつ高周波駆動を実現できる小型の光学反射素子である。本発明の
一の態様に係る
　また、本発明の他の態様に係る光学反射素子は、ミラー部と、前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる。
　【０００７】
　また、本発明のさらに他の態様に係る光学反射素子は、ミラー部と、前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる。
　この構成により、接合部に掛かる応力が低減され機械的強度を高めることができるので、ミラー部を大きな回動角（変位量）でかつ高周波駆動させることができる。
　【図面の簡単な説明】
　【０００８】
　【図１】図１は本発明の実施の形態１による光学反射素子の平面図である。
　【図２】図２は図１に示す光学反射素子の２−２線における断面図である。
　【図３】図３は図１に示す光学反射素子の共振周波数と機械振れ角の関係を示す図である。
　【図４】図４は図１に示す光学反射素子における電極膜の配置図である。
　【図５】図５は図１に示す光学反射素子の５−５線における断面図である。
　【図６】図６は本発明の実施の形態２における光学反射素子の振動部を示す部分拡大図である。
　【図７Ａ】図７Ａは本発明の実施の形態２における光学反射素子の他の振動部を示す部分拡大図である。
　【図７Ｂ】図７Ｂは本発明の実施の形態２における光学反射素子のさらに他の振動部を示す部分拡大図である。
　【図７Ｃ】図７Ｃは本発明の実施の形態２における光学反射素子の別の振動部を示す部分拡大図である。
　【図８】図８は本発明の実施の形態３における光学反射素子の平面図である。
　【図９】図９は図８に示す光学反射素子の振動部の拡大図である。
　【図１０】図１０は従来の光学反射素子の斜視図である。
　【発明を実施するための形態】
　【０００９】
　本実施の形態の説明に先立ち、従来の光学反射素子１における課題を簡単に説明する。投影画像の解像度を高めるためには、ミラー部９の回動角度を維持しながら駆動周波数を高くして光束（光点）の走査速度を高める必要がある。その際、トーションバー６に応力が集中するため、例えば、トーションバー６を長くして応力を分散する必要がある。その結果、光学反射素子１が大きくなり、走査速度が低下する。
　【００１０】
　以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態による光学反射素子を説明する。
　【００１１】
　（実施の形態１）
　図１は、本発明の実施の形態１による光学反射素子１１の平面図である。光学反射素子１１は、ミラー部１２と、一対の接合部１３Ａ、１３Ｂと、一対の振動部１４、１５と、複数の駆動部２４Ａ，２４Ｂ、２４Ｃ、２４Ｄと、固定部１６とを有する。接合部１３Ａ、１３Ｂは、第１軸１７Ａに沿った方向に伸び、ミラー部１２を挟むように対向している。すなわち、接合部１３Ａ、１３Ｂの第１端はミラー部１２の対向する位置でミラー部１２に接続されてミラー部１２を支持している。振動部１４、１５は中央部で接合部１３Ａ、１３Ｂを挟むように配置され、これらの第２端に接続されている。振動部１４、１５は、第１軸１７Ａに直交する第２軸１７Ｂに沿って伸びている。枠状の固定部１６は振動部１４、１５の両端に連結され、振動部１４、１５を支持している。なお固定部１６は振動部１４、１５を支持していれば２つ以上の部品で構成してもよく枠状でなくてもよい。
　【００１２】
　駆動部２４Ａ、２４Ｂは振動部１４の中央部を挟んだ互いに反対側に設けられ、駆動部２４Ｃ、２４Ｄは振動部１５の中央部を挟んだ互いに反対側に設けられている。駆動部２４Ａ〜２４Ｄは第１軸１７Ａを中心軸としてミラー部１２を回動させる。駆動部２４Ａ〜２４Ｄは、第２軸１７Ｂ方向に延伸された直線形状、あるいは湾曲した形状を有している。
　【００１３】
　次に、駆動部２４Ａ〜２４Ｄの構成について図２を参照しながら説明する。図２は、図１における２−２線の断面図である。振動部１４、１５を構成する駆動部２４Ａ、２４Ｃは、最下層として光学反射素子１１の全体に亘って一体に形成されたシリコン基板１８を有し、シリコン基板１８上に絶縁膜１９が形成されている。絶縁膜１９の上には下部電極膜２０が設けられ、下部電極膜２０の上には圧電膜２１が形成され、圧電膜２１の上には上部電極膜２２が形成されている。このように、圧電体層２３は、絶縁膜１９と、下部電極膜２０と、圧電膜２１と、上部電極膜２２とで構成されている。
　【００１４】
　下部電極膜２０、上部電極膜２２は、白金、金、チタン、タングステンなどの金属膜で形成され、圧電膜２１はチタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ１−ｘ，Ｔｉｘ）Ｏ３）等の圧電材料によって形成されている。これらは蒸着、ゾルゲル、ＣＶＤ、スパッタ法等によって薄膜として形成することができる。なお、駆動部２４Ｂ、２４Ｄも同様に構成されている。すなわち、駆動部２４Ａ〜２４Ｄは、下部電極膜２０と圧電膜２１と上部電極膜２２を順に積膜して形成されている。
　【００１５】
　下部電極膜２０と上部電極膜２２との間に所定の電圧を印加することにより、逆圧電効果によって圧電膜２１が圧電膜２１の平面方向に伸縮動作する。そのため、圧電膜２１を含む駆動部２４Ａ〜２４Ｄは、厚み方向に曲げ変位を起こす。
　【００１６】
　駆動部２４Ａに与える電圧を、接合部１３Ａを挟んで対向する駆動部２４Ｂに与える電圧に対して逆位相にすることにより、駆動部２４Ａ、２４Ｂが逆方向へ曲がる。その結果、駆動部２４Ａ、２４Ｂに挟まれた接合部１３Ａには捩れ変位が生じる。
　【００１７】
　接合部１３Ｂにも接合部１３Ａと同様に、駆動部２４Ｃ、２４Ｄに位相が逆方向の電圧を印加することにより捩れ変位が生じる。駆動部２４Ａと駆動部２４Ｃに印加する電圧の位相を同位相にし、駆動部２４Ｂ、２４Ｄに印加する電圧の位相を同位相とすることにより、接合部１３Ａ、１３Ｂが同位相で捩れ変位を起こす。その結果、ミラー部１２が第１軸１７Ａの周りに回動する。
　【００１８】
　第１軸１７Ａ周りに回動動作を起こす固有振動モードを利用することで、ミラー部１２を大きく変位させることが可能になる。そのため、駆動部２４Ａ〜２４Ｄに共振周波数と同期した駆動周波数を印加させることで、第１軸１７Ａを中心軸としてミラー部１２を大きく変位させることができる。
　【００１９】
　このようにミラー部１２を変位させると、接合部１３Ａ、１３Ｂには捩れ変位が起こることにより、捩れ応力が発生する。ミラー部１２の変位量が増大するに伴って、接合部１３Ａ、１３Ｂに掛かる捩れ応力も増加する。この捩れ応力が接合部１３Ａ、１３Ｂの機械的強度を越えると、接合部１３Ａ、１３Ｂにはクラック破壊などが起こり、ミラー部１２を変位動作させることができなくなる。
　【００２０】
　一般的に、ミラー部１２の変位量を増大させるには、例えば、接合部１３Ａ、１３Ｂの長さを第１軸１７Ａ方向に延伸して、接合部１３Ａ、１３Ｂに掛かる捩れ応力を低減する。しかしながら、接合部１３Ａ、１３Ｂを第１軸１７Ａ方向に延伸させると光学反射素子１１が大きくなり、前述のように走査速度である共振周波数が低下する。
　【００２１】
　これに対し光学反射素子１１では、接合部１３Ａ、１３Ｂの梁幅Ｗ１が、振動部１４、１５の梁幅Ｗ２より大きい。梁幅Ｗ１は、接合部１３Ａ、１３Ｂの第１軸１７Ａに直交する方向の長さとして定義される。一方、梁幅Ｗ２は、振動部１４、１５の第１軸１７Ａに沿った方向の長さとして定義される。
　【００２２】
　この寸法関係により、接合部１３Ａ、１３Ｂでは、捩れ変位よりも、駆動部２４Ａ〜２４Ｄによる曲げ変位が支配的になる。すなわち、接合部１３Ａ、１３Ｂの中央部に掛かっていた捩れ応力よりも、接合部１３Ａ、１３Ｂのそれぞれの全体に掛かる曲げ応力が支配的となる。このように接合部１３Ａ、１３Ｂ全体に応力が分散されるため、接合部１３Ａ、１３Ｂを構成する材料の機械的強度を越えることなくミラー部１２の変位量を確保することができる。
　【００２３】
　なお、接合部１３Ａ、１３Ｂの梁幅を広くすることで、回動体であるミラー部１２と接合部１３Ａ、１３Ｂの合計質量が増加する。その結果、ミラー部１２の上下振動モードの共振周波数は低下する。一方、第１軸１７Ａに平行な接合部１３Ａ、１３Ｂの端部からミラー部１２の第２軸１７Ｂ方向の端部までの距離は相対的に短くなる。そのため、ミラー部１２の第１軸１７Ａ周りにおける慣性モーメントが相対的に小さくなる。その結果、第１軸１７Ａ周りを回動する振動モードの共振周波数は増加する。この両者のバランスを調整することによって振動モードの共振周波数を増加させることができる。
　【００２４】
　図３は、振動部１４、１５の梁幅Ｗ２に対し、接合部１３Ａ、１３Ｂの梁幅Ｗ１を増減させたことによる共振周波数とミラー部１２の機械振れ角の関係を示している。横軸は共振周波数、縦軸は機械振れ角を示している。接合部１３Ａ、１３Ｂの梁幅Ｗ１を振動部１４、１５の梁幅Ｗ２である１７０μｍに対し５０μｍ狭くすると、共振周波数と機械振れ角が低下する。一方、接合部１３Ａ、１３Ｂの梁幅Ｗ１を振動部１４、１５の梁幅Ｗ２である１７０μｍに対し１００μｍ広くした場合には、共振周波数と機械振れ角が共に増加しトレードオフの関係を逸脱できていることが分かる。このように、振動部１４、１５の梁幅Ｗ２に対し、接合部１３Ａ、１３Ｂの梁幅Ｗ１を大きくすることで、共振周波数と機械振れ角を同時に増大させることができる。
　【００２５】
　次に図４を参照しながら、光学反射素子１１における好ましい構造を説明する。図４は光学反射素子１１における上部電極膜２２の配置図である。
　【００２６】
　前述のように、駆動部２４Ａ〜２４Ｄには、振動部１４、１５に曲げ変位を起こすための圧電体層２３が設けられている。そのため、圧電体層２３を利用して振動部１４、１５の駆動状態をモニタリングする機能を同時に持たせてもよい。つまり、圧電膜２１は圧電効果を有するため、駆動部２４Ａ〜２４Ｄの曲げ変位に伴って、電荷を発生する。また、曲げ変位量に応じた電荷量が発生するため、この電荷をモニタリングすることで、振動部１４、１５の駆動状態を精度よくモニタリングすることが可能となる。
　【００２７】
　但し、振動部１４、１５の駆動を阻害することなく駆動状態を検知し、且つ圧電膜２１に歪みが生じ易い箇所に電極膜を配置することが必要となる。駆動部２４Ａ〜２４Ｄが曲げ変位を起こすため、固定部１６の周辺には歪みが集中し易い。そのため、図４に示すように、少なくとも固定部１６と振動部１４、１５との境界線上に、上部電極膜２２を設けることが望ましい。すなわち、固定部１６と振動部１４、１５との境界にモニタ部を構成する上部電極膜２２が形成されていることが好ましい。
　【００２８】
　次に図５を参照しながら、光学反射素子１１における別の好ましい構造を説明する。図５は図１に示す光学反射素子の５−５線における断面図であり、接合部１３Ａの断面を示している。
　【００２９】
　このように、接合部１３Ａ、１３Ｂの梁幅Ｗ１を、接合部１３Ａ、１３Ｂの梁厚ｔより大きくすることが望ましい。梁厚ｔは、第１軸１７Ａと第２軸１７Ｂで構成される平面と直交する方向の長さで定義される。接合部１３Ａ、１３Ｂの梁幅Ｗ１が、梁厚ｔ以下の場合、接合部１３Ａ、１３Ｂに掛かる捩れ応力は、接合部１３Ａ、１３Ｂの側壁部に集中し易くなり、梁幅Ｗ１を広くして平面方向に応力を分散させた効果が得られない。また、シリコン基板１８を用いた場合、シリコンの加工にはボッシュプロセスを用いることが多い。しかし、ボッシュプロセスを用いると側壁にはスキャロップと呼ばれる凹凸形状が発生する。この凹凸部に応力が集中すると機械強度が低下してしまう。以上のことから、接合部１３Ａ、１３Ｂの梁幅Ｗ１を梁厚ｔよりも大きくしておくことが望ましい。
　【００３０】
　（実施の形態２）
　図６は本発明の実施の形態２における光学反射素子３１の振動部３２を示す部分拡大図である。光学反射素子３１は、ミラー部３４と、接合部３３と、振動部３２と、固定部３５とを有する。光学反射素子３１は振動部３２が曲率を有している点で実施の形態１における光学反射素子１１と異なっている。それ以外の基本的な構成は光学反射素子１１と同様である。すなわち、図示していないが、接合部３３はミラー部３４の対向する位置に一対で設けられ、振動部３２は一対で設けられ、それぞれの中央部で接合部３３に接続されている。振動部３２の両端は固定部３５に接続されている。接合部３３の第１軸１７Ａに直交する方向の長さとして定義される梁幅は、振動部３２の梁幅より大きい。
　【００３１】
　振動部３２は、接合部３３に接続された中央部と固定部３５との間に一対の梁部３２Ａを有し、梁部３２Ａは湾曲形状を有している。なお振動部３２の梁幅は、梁部３２Ａの湾曲形状の外周と内周との間の長さとして定義される。
　【００３２】
　振動部３２上には、圧電膜を有する駆動部（図示せず）が設けられている。この圧電膜に電圧を印加することにより、逆圧電効果によって圧電膜が圧電膜の平面方向に伸縮し、振動部３２が厚み方向に曲げ変位を起こす。振動部３２の曲げ変位により、接合部３３と振動部３２の接続箇所付近において曲げ応力が発生する。しかしながら、振動部３２の梁部３２Ａが湾曲形状を有していることにより、接合部３３と振動部３２の接続箇所近傍の応力を分散することができる。その結果、機械強度が向上し、ミラー部３４の振れ角を大きくすることができる。
　【００３３】
　次に、湾曲した梁部３２Ａの図６とは異なる形状について、図７Ａ〜図７Ｃを参照しながら説明する。図７Ａ〜図７Ｃは本実施の形態における他の振動部３２を示す部分拡大図である。
　【００３４】
　図７Ａ〜図７Ｃに示す振動部３２では、梁部３２Ａが固定部３５により近い第１湾曲部３６と、接合部３３に接続された中央部により近い第２湾曲部３７とで構成されている。
　【００３５】
　直線形状を有する実施の形態１における振動部１４、１５では、振動部１４、１５と固定部１６との接続箇所において、振動部１４、１５の曲げ変位に伴った応力が集中しやすい。これに対し、振動部３２と固定部３５との接続箇所である第１湾曲部３６を、図７Ａ〜図７Ｃのようにある曲率半径を有した形状とすることで固定部３５と第１湾曲部３６との接合箇所を応力分散することができる。
　【００３６】
　また図７Ｂに示すように、第１湾曲部３６の曲率半径と第２湾曲部３７の曲率半径とが異なった構成としても良い。ここで、第１湾曲部３６の曲率半径をｒ、第２湾曲部３７の曲率半径をＲとしている。
　【００３７】
　接合部３３に大きな捩れ変位を効率よく発生させるには、接合部３３に対する駆動部の直交成分の割合を、接合部３３に可能な限り近い箇所に多く設けることが効果的である。つまり、第１湾曲部３６の曲率半径ｒが第２湾曲部３７の曲率半径Ｒと同じかより大きい場合、接合部３３に対する駆動部の直交成分の多くが接合部３３から離れた第１湾曲部３６上に構成される。そのため、接合部３３に捩れ変位を起こす駆動効率が低下してしまう。
　【００３８】
　そこで、接合部３３に対する駆動部の直交成分の多くを、接合部３３に近い第２湾曲部３７上に占めるように、第１湾曲部３６の曲率半径ｒを第２湾曲部３７の曲率半径Ｒより小さくすることが好ましい。なお、第１湾曲部３６、第２湾曲部３７の曲率半径の大小関係については、図７Ａに示す振動部３２にも適用可能である。
　【００３９】
　また、駆動部３８を構成する圧電体層２３（図２参照）を、第１湾曲部３６上に設けるよりも、少なくとも第２湾曲部３７上に設けることが好ましい。この配置により接合部３３の捩れ変位を効率よく大きくすることができる。
　【００４０】
　なお、第１湾曲部３６の曲率半径ｒが大きいと、曲率半径ｒに伴って素子が第１軸１７Ａ方向に拡大してしまう。ここで、図７Ｂに示すように、第１湾曲部３６を第１軸１７Ａに沿った方向にミラー部３４に向かって凸な形状とし、第２湾曲部３７を第１軸１７Ａ方向に固定部３５に向かって凸な形状とすることが好ましい。すなわち、第１湾曲部３６と第２湾曲部３７の湾曲方向が異なり、逆方向に突出していることが好ましい。この形状により、ミラー部３４に近い位置に固定部３５との接続位置を設けることができるため、固定部３５と第１湾曲部３６との接合箇所を応力分散しながら第１湾曲部３６の曲率半径ｒの幅だけ光学反射素子３１を小型化することができる。
　【００４１】
　また、図７Ｃに示すように、第２湾曲部３７を第１湾曲部３６により近い側と接合部３３により近い側とで曲率半径が異なる構成としても良い。振動部３２の曲げ変位により、接合部３３と振動部３２の接続箇所付近において曲げ応力が発生する。この応力を分散するには接続箇所近傍の曲率半径を大きくする必要がある。第２湾曲部３７内の第１湾曲部３６に近い側に掛かる応力は比較的小さい。このため、第２湾曲部３７の曲率半径が一定であると光学反射素子３１が大きくなる。そこで、第２湾曲部３７の第１湾曲部３６に近い側の曲率半径を接合部３３に近い側に対して小さくすることで、光学反射素子３１の機械強度を確保したまま小型化することができる。
　【００４２】
　また、第１湾曲部３６上には駆動用とは異なる圧電膜３９を設け、振動部３２の駆動状態をモニタリングする機能を同時に持たせてもよい。圧電膜３９は固定部３５と振動部３２との境界に形成されたモニタ部として機能する。
　【００４３】
　圧電膜３９は圧電効果を有するため、振動部３２の曲げ変位に伴って、電荷を発生する。また、曲げ変位量に応じた電荷量が発生するため、この電荷をモニタリングすることで、振動部３２の駆動状態を精度よくモニタリングすることが可能となる。但し、振動部３２の駆動を阻害することなく駆動状態を検知し、且つ歪みが生じ易い箇所に圧電膜３９を配置することが必要となる。振動部３２が曲げ変位を起こすため、固定部３５と第１湾曲部３６との境界線周辺に歪みが集中し易い。そのため、少なくとも固定部３５と第１湾曲部３６との境界線上に圧電膜３９を設けることが望ましい。
　【００４４】
　（実施の形態３）
　図８は本発明の実施の形態３における光学反射素子４１の平面図である。光学反射素子４１は、固定部４２と、一対の第１振動部４３Ａ、４３Ｂと、可動枠４４と、一対の第２振動部４５Ａ、４５Ｂと、一対の接合部４６Ａ、４６Ｂと、ミラー部４７とを有している。
　【００４５】
　固定部４２の内側に対向するように第１振動部４３Ａ、４３Ｂの第１端が接続され、第２端が可動枠４４と接続されている。すなわち第１振動部４３Ａ、４３Ｂは可動枠４４を支持している。可動枠４４の内側における第２軸１７Ｂに沿った方向に対向する両辺に、第２振動部４５Ａ、４５Ｂが接続されている。接合部４６Ａ、４６Ｂの第１端は回動可能なミラー部４７の対向する位置に接続され、第１端の反対側の第２端は第２振動部４５Ａ、４５Ｂの中央部に接続されている。第１振動部４３Ａ、４３Ｂは第２軸１７Ｂ周りに可動枠４４を回動させ、第２振動部４５Ａ、４５Ｂは第２軸１７Ｂと直交する第１軸１７Ａ周りにミラー部４７を回動させる。
　【００４６】
　図２に示した実施の形態１、２と同様に、第１振動部４３Ａ、４３Ｂは、最下層として一体に形成されたシリコン基板１８を有し、シリコン基板１８上に絶縁膜１９が形成されている。絶縁膜１９の上には下部電極膜２０が設けられ、下部電極膜２０の上には圧電膜２１が形成され、圧電膜２１の上には上部電極膜２２が形成されている。下部電極膜２０、圧電膜２１、上部電極膜２２は駆動部として機能する。
　【００４７】
　図９は第１振動部４３Ａの一部拡大図である。第１振動部４３Ａは、平行に設けられ隣り合った複数の連結部４８と、連結部４８のうちの２つを繋ぐ折り返し部４９を有し、複数の連結部４８と、複数の折り返し部４９によってミアンダ形状に形成されている。第１振動部４３Ａの下部電極膜２０と上部電極膜２２との間に所定の電圧を印加すると、圧電膜２１に所定の電界が掛かり、逆圧電効果によって圧電膜２１が圧電膜２１の平面方向に伸縮動作をする。このとき、圧電膜２１で発生した平面方向の伸縮動作が第１振動部４３Ａの厚み方向のモーメントとして働くことにより、第１振動部４３Ａは厚み方向に撓み振動する。このとき、第１振動部４３Ａの連結部４８に対し、隣接した連結部４８にそれぞれ逆位相の電圧を印加することによって、連結部４８の撓みが重畳され、可動枠４４は第２軸１７Ｂ周りに回動する。
　【００４８】
　第２振動部４５Ａ、４５Ｂとして、実施の形態１で説明した振動部１４、１５または実施の形態２で説明した振動部３２を用いることにより、第１軸１７Ａ周り、および第２軸１７Ｂ周りに、ミラー部４７は同時に大きな変位で回動することができる。そのため、ミラー部４７に、例えばレーザ光を照射して、２次元平面上に鮮明な画像などを投影することが可能となる。
　【産業上の利用可能性】
　【００４９】
　本発明の光学反射素子は、スクリーンに鮮明な画像を投影することができ、小型プロジェクタやヘッドマウントディスプレイに利用することができる。
　【符号の説明】
　【００５０】
１１，３１，４１光学反射素子
１２，３４，４７ミラー部
１３Ａ，１３Ｂ，３３，４６Ａ，４６Ｂ接合部
１４，１５，３２振動部
１６，３５，４２固定部
１７Ａ第１軸
１７Ｂ第２軸
１８シリコン基板
１９絶縁膜
２０下部電極膜
２１，３９圧電膜
２２上部電極膜
２３圧電体層
２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄ，３８駆動部
３２Ａ梁部
３６第１湾曲部
３７第２湾曲部
４３Ａ，４３Ｂ第１振動部
４４可動枠
４５Ａ，４５Ｂ第２振動部
４８連結部
４９折り返し部
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
ミラー部と、
前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、
前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、
前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、
前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、
前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、
前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、
前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁
部
く、
前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる
　【請求項２】
前記一対の梁部はそれぞれ、
前記固定部により近い第１湾曲部と、
前記縦梁部により近い第２湾曲部と、を有する、請求項１記載の光学反射素子。
　【請求項３】
前記第１湾曲部の曲率半径が前記第２湾曲部の曲率半径よりも小さい、
請求項２記載の光学反射素子。
　【請求項４】
ミラー部と、
前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、
前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、
前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、
前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、
前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、
前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、
前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、
前記一対の梁部はそれぞれ、
前記固定部により近い第１湾曲部と、
前記縦梁部により近い第２湾曲部と、を有し、
前記第２湾曲部の曲率半径は、前記第１湾曲部により近い側と前記縦梁部により近い側とで異なる
、光
　【請求項５】
前記第１湾曲部と前記第２湾曲部の湾曲方向が異なる、請求項２記載の光学反射素子。
　【請求項６】
ミラー部と、
前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、
前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、
前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、
前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、
前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、
前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、
前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、
前記一対の梁部はそれぞれ、
前記固定部により近い第１湾曲部と、
前記縦梁部により近い第２湾曲部と、を有し、
前記駆動部は前記第２湾曲部上に形成されている
、光
　【請求項７】
前記駆動部は、下部電極膜と圧電膜と上部電極膜を順に積膜して形成されている、請求項１記載の光学反射素子。
　【請求項８】
ミラー部と、
前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、
前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、
前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、
前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、
前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、
前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、
前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、
前記固定部と前記横梁部との境界にモニタ部が形成されている
、光
　【請求項９】
前記内周は、前記横梁部の前記ミラー部に近い側の周であり、
前記外周は、前記横梁部の前記ミラー部から遠い側の周である、請求項１記載の光学反射素子。
　【請求項１０】
前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁
部
　【請求項１１】
ミラー部と、
前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、
前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、
前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、
前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、
前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、
前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分
における外周
部
における内周の
く、
前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる