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　特願２００６−１４５６３７「表面波プラズマ源」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年１２月　６日出願公開、特開２００７−３１７４９９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯及び説明
　本願は、平成１８年５月２５日を出願日とする出願であって、平成２２年１１月１９日付けで拒絶理由が通知され、平成２３年１月１７日付けで意見書が提出されるとともに、同日付けで手続補正がなされ、同年６月１日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年９月２日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、同時に手続補正がなされたものである。
  
　本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２３年９月２日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
　
「マイクロ波で形成した表面波によって表面波励起プラズマを生成する表面波プラズマ源において、
　少なくとも１つのスロットアンテナを備えるマイクロ波導波管と、
　マイクロ波で形成した表面波によりプラズマを励起する気密室とを備え、
　各スロットアンテナに対して、前記マイクロ波導波管と前記気密室との間を連通する窓部をそれぞれ設け、当該窓部毎に窓部の周囲にＯリングを配置して真空シール部を構成し、
　前記窓部はスロットアンテナ毎に分割して設けられ、
　前記各窓部は、前記スロットアンテナを形成する構造部材に設けられ、上端をスロットアンテナに、下端を気密室に連通する開口部を有し、
　前記窓部の少なくとも一つは第１の誘電体により封止され、
　前記窓部の残余は金属板により封止し、当該金属板は、マイクロ波の気密室内への導出を阻止するブラインドプレートを構成し、
　前記Ｏリングは、前記第１の誘電体の上端と前記スロットアンテナの構造部材との接触面に設けられ、
　前記全ての第１の誘電体の気密室側の面に対して、つなぎ目を有さない誘電体板を密着して配置し、
　前記マイクロ波導波管からスロットアンテナを通し、前記第１の誘電体および前記誘電体板を介して気密室内にマイクロ波を導出することを特徴とする、表面波プラズマ源。」
　
２．引用例
　原査定の拒絶理由に引用された特開２００５−１９７３７１号公報（以下「引用例」という。）には次の発明が記載されている。（当審において、後述する引用発明の認定に関連する箇所に下線を付した。）
　
［記載事項１］
「【０００６】 また、高密度プラズマを得る他の方法として、図４に示すようなマイクロ波放電を利用する技術がある。図において、１はプラズマ発生室となる真空容器、２は真空容器の上面を形成する誘電体板、３は誘電体板をカバーする金属製シールド、４は導波管、５はスロットアンテナ、６は真空シール用のＯリングである。
　【０００７】 このように構成されたプラズマ発生装置は、導波管４から導入されたマイクロ波が金属製シールド３の窓孔との結合によりマイクロ波照射アンテナ（通常、スロットアンテナ）５を形成し、該スロットアンテナ５から低圧力の反応性ガスで満たされた真空容器１の内に、大気側からアンテナ前面の誘電体窓を通してマイクロ波を照射し、その周波数の表面波を誘電体板２に沿って伝搬させて高密度プラズマを生成する。
　【０００８】 しかし、従来のこのようなプラズマ発生装置は、表面波伝搬用の誘電体板２そのものを用いてＯリング６を介して真空容器１の真空シールを行い、誘電体板２はスロットアンテナ５をカバーする誘電体窓も兼ねている。ここで、誘電体材料としては、石英、アルミナ等の各種酸化物が多く用いられ、この他に窒化物・炭化物等も使用可能である。
　【０００９】 その結果、プラズマが大面積（大口径）になるにつれて、誘電体板にかかる大気の圧力が膨大になり、これに耐えるために必要な厚さ（１０〜２０ｍｍ）の分厚く高価な誘電体板が必要となる。例えば、石英円板を使用する場合、面積１ｍ２となる直径のものでは８トンの力が加わるので７ｃｍ以上の厚さ、面積３ｍ２となる直径のものでは７３トンの力に上昇するので２０ｃｍ以上の厚い石英板を使用しないと、大気と真空の圧力差に負けて石英板が割れてしまうことになる。」
　
［記載事項２］
「【００１９】 この発明の請求項３に係るマイクロ波放電による大面積・高密度プラズマの生成装置は、プラズマ発生室に導波管を介してマイクロ波エネルギーを供給してプラズマを発生させるプラズマの生成装置において、プラズマ発生室となる真空容器に、真空シールを行なう小面積の誘電体窓と、大面積の誘電体板を分離配置し、
小面積の誘電体窓が複数設けられ、その各々の誘電体窓は導波管の底面に細長い複数本のスロットを切った結合孔に対応させ、そこから真空シール用の誘電体窓を通して容器内にマイクロ波を入射させ
　【００２０】 これにより、導波管の底面の複数つの細長いスロットに対応する真空シール用の誘電体窓を設け、そこを通して容器内にマイクロ波を入射することにより、誘電体板の表面に沿って表面波が伝搬し、均一な大面積プラズマを生成できることができる。」
　
［記載事項３］
「【００２３】本発明は、プラズマの高密度化と大面積化を両立させるため、マイクロ波放電を採用し、プラズマ発生室となる真空容器に、真空シールを行なう小面積の誘電体窓と、大面積の誘電体板を分離配置し、小面積の誘電体窓は導波管の結合孔に対応させ、
大面積の誘電体板は真空側で金属壁の内壁に装着して
　【００２４】次に、本発明のの実施形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明の
マイクロ波放電による大面積・高密度プラズマの生成装置
　【００２５】
プラズマ発生室に導波管を介してマイクロ波エネルギーを供給してプラズマを発生させるプラズマの生成装置において
プラズマ発生室となる真空容器１に、真空シールを行なう小面積の誘電体窓１０と、大面積の誘電体板２を分離配置し、小面積の誘電体窓１０は導波管４の結合孔に対応させスロットアンテナ５を形成し、大面積の誘電体板２は真空容器１の上面を形成する金属壁９の真空側の内壁に装着してプラズマの生成装置を構成する
　【００２６】そして、
プラズマ発生室となる真空容器１に小さな誘電体窓１０によって真空シールを行い
大面積の誘電体板２は真空側で金属壁９の内壁に装着し
スロットアンテナ５の前面の誘電体窓１０を通してマイクロ波
の周波数の表面波を大面積の誘電体板２に沿って伝搬させて高密度プラズマを生成する
　【００２７】このように、誘電体窓１０と誘電体板２を分離し、それぞれに機能を分担させる。即ち、面積の小さな誘電体窓１０で真空シールをし、面積の大きい誘電体板２は、真空側で金属壁９の内壁に装着することにより、真空容器１の壁に加わる大気の圧力はこの金属製の壁９が支えることになり、誘電体板２には大気による力が全く加わらないので、薄くて安価な誘電体板を使用でき、耐用期間が過ぎた後の交換も容易になる。
　【００２８】次に、実際の実施例として、
軸方向（ｚ方向）の長さ１ｍ、横方向（ｘ方向）と縦方向（ｙ方向）の長さ０.３ｍの直方体形状の金属真空容器の中に
　【００２９】図２、図３は、その装置のｘｚ面内の断面図を模式的に示している。周波数２.４５ＧＨｚ、電力０.３−１.０ｋＷのマイクロ波をＴＥ１０モードの矩形導波管（断面サイズ：９６ｍｍ×２７ｍｍ）に沿って導入する。この
導波管の底面に細長いスロット
を複数
切り
そこから真空シール用の誘電体窓（材質：石英、幅１５−３０ｍｍ、長さ４０ｍｍ）を通して容器内にマイクロ波を入射する
　【００３０】図２のように、
石英板（厚さ１０ｍｍ、幅３０ｃｍ、長さ１ｍ）を金属壁内面に装着した
　
【図１】
「
　　　　　　　　　　　　　　　」
　
【図２】
「
　　　　　　　　　　　　　　」
　
　引用例の図１及び図２から、導波管４の底面の下に配置され真空容器１の上面を形成する金属壁９には複数のスロットアンテナ５のそれぞれの下方で、かつ真空シールを行なう複数の小面積の誘電体窓１０がそれぞれ収納される導波管４と真空容器１との間を連通する複数の空間が設けられていることが読み取れる。
　
　上記記載事項１〜３の記載内容及び図１、図２の図示内容からして、
引用例には、
「プラズマ発生室となる真空容器１に、真空シールを行なう複数の小面積の誘電体窓１０と、大面積の誘電体板２を分離配置し、真空シールを行なう複数の小面積の誘電体窓１０の各々に、導波管４の底面に細長い複数本のスロットを切った結合孔に対応させて複数のスロットアンテナ５を形成し、導波管４の底面の下に配置され真空容器１の上面を形成する金属壁９には複数のスロットアンテナ５のそれぞれの下方で、かつ真空シールを行なう複数の小面積の誘電体窓１０がそれぞれ収納される導波管４と真空容器１との間を連通する複数の空間が設けられ、真空シールを行なう複数の小面積の誘電体窓１０の下方には大面積の誘電体板２である石英板（幅３０ｃｍ、長さ１ｍ）が配置され、大面積の誘電体板２である石英板は軸方向（ｚ方向）の長さ１ｍ、横方向（ｘ方向）と縦方向（ｙ方向）の長さ０．３ｍの直方体形状の真空容器１の上面を形成する金属壁９の真空側の内壁に装着されており、導波管４からスロットアンテナ５の前面の真空シールを行なう複数の小面積の誘電体窓１０を通してマイクロ波を真空容器１に照射し、その周波数の表面波を大面積の誘電体板２に沿って伝搬させて高密度プラズマを生成するプラズマの生成装置。」
の発明（以下「引用発明」という。）が記載されているといえる。
　
　３．対比
　本願発明と引用発明を対比する。
（１）引用発明の「導波管４からスロットアンテナ５の前面の真空シールを行なう複数の小面積の誘電体窓１０を通してマイクロ波を真空容器１に照射し、その周波数の表面波を大面積の誘電体板２に沿って伝搬させて高密度プラズマを生成するプラズマの生成装置」は、本願発明の「マイクロ波で形成した表面波によって表面波励起プラズマを生成する表面波プラズマ源」に相当し、以下同様に、引用発明の「プラズマ発生室となる真空容器１」は、本願発明の「マイクロ波で形成した表面波によりプラズマを励起する気密室」に、引用発明の「真空シールを行なう複数の小面積の誘電体窓１０」は、本願発明の「第１の誘電体」に、引用発明の「スロットアンテナ５」は、本願発明の「スロットアンテナ」に、それぞれ相当する。
　
（２）引用発明の「導波管４」は、「底面に細長い複数本のスロットを切った結合孔に対応させて複数のスロットアンテナ５」が形成されるのであるから、「複数のスロットアンテナ５」を備えているといえる。そうすると、引用発明の「導波管４」は、本願発明の「少なくとも１つのスロットアンテナを備えるマイクロ波導波管」に相当する。
　
（３）引用発明の「複数のスロットアンテナ５のそれぞれの下方で、かつ真空シールを行なう複数の小面積の誘電体窓１０がそれぞれ収納される導波管４と真空容器１との間を連通する複数の空間」を「設け」ることは、本願発明の「各スロットアンテナに対して、前記マイクロ波導波管と前記気密室との間を連通する窓部をそれぞれ設け」ることに相当する。また、引用発明の「金属壁９には複数のスロットアンテナ５のそれぞれの下方で」「導波管４と真空容器１との間を連通する複数の空間が設けられ」ることと、本願発明の「前記窓部はスロットアンテナ毎に分割して設けられ、前記各窓部は、前記スロットアンテナを形成する構造部材に設けられ」ることは、「前記窓部はスロットアンテナ毎に分割して設けられ、前記各窓部は構造部材に設けられ」る点で共通している。また、引用発明の「複数の空間」は「導波管４と真空容器１との間を連通する」ものであるから、引用発明は、本願発明の「前記各窓部は」「上端をスロットアンテナに、下端を気密室に連通する開口部を有」する点を備えているといえる。
　
（４）引用発明の「複数の空間」に「真空シールを行なう複数の小面積の誘電体窓１０がそれぞれ収納され」ることと、本願発明の「当該窓部毎に窓部の周囲にＯリングを配置して真空シール部を構成し、」「前記窓部の少なくとも一つは第１の誘電体により封止され」ることは、「当該窓部毎に真空シール部を構成し、」「前記窓部の少なくとも一つは第１の誘電体により封止され」る点で共通している。
　
（５）引用発明の「大面積の誘電体板２である石英板（幅３０ｃｍ、長さ１ｍ）」は、１枚の石英板であることは明らかであるから、本願発明の「つなぎ目を有さない誘電体板」に相当する。また、引用発明の「大面積の誘電体板２である石英板」は幅３０ｃｍ、長さ１ｍであり、「大面積の誘電体板２である石英板」が装着される「真空容器１の上面を形成する金属壁９の真空側の内壁」は「軸方向（ｚ方向）の長さ１ｍ、横方向（ｘ方向）と縦方向（ｙ方向）の長さ０．３ｍの直方体形状の真空容器１の上面を形成する金属壁９の」「内壁」であり、軸方向（ｚ方向）、横方向（ｘ方向）、縦方向（ｙ方向）がどの方向か必ずしも明確ではないが、引用例の段落【００２８】、【図１】等の記載も参酌すると「大面積の誘電体板２である石英板」と「金属壁９の」「内壁」の面積はほぼ同じ大きさで「大面積の誘電体板２である石英板」が「金属壁９の」「内壁」の全体を覆っているといえるから、引用発明の「真空シールを行なう複数の小面積の誘電体窓１０」の真空容器１側の全ての面に対して、「大面積の誘電体板２である石英板」が配置されていることは明らかである。そして、引用発明の明らかな構成要件である「真空シールを行なう複数の小面積の誘電体窓１０」の真空容器１側の全ての面に対して、「大面積の誘電体板２である石英板」が配置されていることと、本願発明の「前記全ての第１の誘電体の気密室側の面に対して、つなぎ目を有さない誘電体板を密着して配置」することは、「前記全ての第１の誘電体の気密室側の面に対して、つなぎ目を有さない誘電体板を配置」する点で共通している。
　
（６）引用発明の「導波管４からスロットアンテナ５の前面の真空シールを行なう複数の小面積の誘電体窓１０を通してマイクロ波を真空容器１に照射」することは、本願発明の「前記マイクロ波導波管からスロットアンテナを通し、前記第１の誘電体および前記誘電体板を介して気密室内にマイクロ波を導出する」ことに相当する。
　
　上記（１）〜（６）に記載したことからして、本願発明と引用発明は、
「マイクロ波で形成した表面波によって表面波励起プラズマを生成する表面波プラズマ源において、
　少なくとも１つのスロットアンテナを備えるマイクロ波導波管と、
　マイクロ波で形成した表面波によりプラズマを励起する気密室とを備え、
　各スロットアンテナに対して、前記マイクロ波導波管と前記気密室との間を連通する窓部をそれぞれ設け、当該窓部毎に真空シール部を構成し、
　前記窓部はスロットアンテナ毎に分割して設けられ、
　前記各窓部は、構造部材に設けられ、上端をスロットアンテナに、下端を気密室に連通する開口部を有し、
　前記窓部の少なくとも一つは第１の誘電体により封止され、
　前記全ての第１の誘電体の気密室側の面に対して、つなぎ目を有さない誘電体板を配置し、
　前記マイクロ波導波管からスロットアンテナを通し、前記第１の誘電体および前記誘電体板を介して気密室内にマイクロ波を導出する、表面波プラズマ源。」
である点で一致し、次の点で相違する。
　
[相違点１]
　窓部毎に真空シール部を構成する手段について、本願発明では、「窓部の周囲にＯリングを配置」しており、かつ「前記Ｏリングは、前記第１の誘電体の上端と前記スロットアンテナの構造部材との接触面に設けられ」ているのに対して、引用発明ではそのような特定事項を有さない点。
　
[相違点２]
　「スロットアンテナ」が形成される場所が、本願発明では、構造部材であるのに対し、引用発明では、導波管４の底面に細長いスロットを切った結合孔に対応させてスロットアンテナ５を形成しているものの金属壁９にスロットアンテナ５が形成されているか否かが不明である点。
　
[相違点３]
　本願発明では、窓部の残余は金属板により封止し、当該金属板は、マイクロ波の気密室内への導出を阻止するブラインドプレートを構成しているのに対し、引用発明では、その点の特定がない点。
　
[相違点４]
　第１の誘電体の気密室側の面とつなぎ目を有さない誘電体板との配置の関係について、本願発明では「密着して」配置されているのに対し、引用発明では複数の小面積の誘電体窓１０と大面積の誘電体板２が「分離配置」されているものの「密着して」いるか否かが不明である点。
　
４．当審の判断
　上記相違点１〜４について判断する。
（１）相違点１について
　真空シール部を構成するためにＯリングを用いることは周知技術（特開２００６−１２８０００号公報の段落【０００５】、【００２４】及び【図２】並びに特開２００４−２８９０９９号公報の段落【００１４】〜【００１８】及び【図１】等参照）であるから、引用発明の誘電体窓１０の真空シールを行う部分にＯリングを用いるようにすることは当業者であれば容易に想到し得ることである。そして、引用発明の誘電体窓１０の真空シールを行う部分にＯリングを用いる際に、引用発明の複数の空間が設けられた金属壁９と誘電体窓１０の接触面にＯリングを用いるのは当然のことであり、Ｏリングによるシールをしやすいような形状となるように金属壁９と誘電体窓１０の接触面を形成することも当業者が適宜決定し得る設計的事項にすぎない。よって、上記相違点１に係る本願の発明特定事項を得ることは当業者であれば容易になし得ることである。
　
（２）相違点２について
　引用発明の導波管４の底面には細長いスロットを切った結合孔が形成されているのであるから、スロットアンテナ５は導波管４の底面の下に配置された金属壁９に形成されている蓋然性が高いといえる。そして、この場合上記相違点２は実質的な相違点とはいえない。
　仮にスロットアンテナ５は導波管４の底面に形成可能なものであったとしても、スロットアンテナを設ける場合の選択肢として（i）導波管４の底面に結合孔及び結合孔に対応したスロットアンテナ５を設ける、（ii）導波管４の底面には結合孔のみを設け、金属壁９の上部の結合孔に対応する部分にスロットアンテナ５を設ける、（iii）導波管４の底面に結合孔を設けるとともに、導波管４と金属壁の上部の両方の結合孔に対応する部分にスロットアンテナ５を設けるの何れかが考えられることは当業者にとって明らかであるところ、その何れを選択するかは導波管４の底面の厚さ等に応じて当業者が適宜決定し得る設計的事項にすぎず、特に（ii）の態様を選択することに格別阻害要因があるものとも認められない。
　したがって、上記相違点２は実質的な相違点とはいえないか、実質的な相違点であるとしても上記相違点２に係る本願の発明特定事項を得ることは当業者であれば容易になし得ることである。
　
（３）相違点３について
　引用発明は「複数の空間に」「真空シールを行う複数の小面積の誘電体窓１０がそれぞれ収納され」ていることから、引用発明は複数の空間の全てが小面積の誘電体窓１０により封止されているといえる。一方、本願発明は「前記窓部の少なくとも一つは第１の誘電体により封止され、」という発明特定事項を有しており、全ての窓部が第１の誘電体により封止されている場合を包含していることは明らかである。そして、この場合、窓部の残余は無く、金属板により封止すべき窓部が存在しないこととなる。そうすると、当該相違点３は実質的な相違点とはいえない。
　なお、本願発明の「前記窓部の少なくとも一つは第１の誘電体により封止され、」について、窓部の少なくとも一つが第１の誘電体により封止されていない場合も包含しており、仮にこの点で実質的に相違するとしても、プラズマ源の技術分野において、スロットアンテナ毎に分割して設けられた複数の窓部のうちの一部を塞ぎマイクロ波の気密室内への導出を阻止しマイクロ波の強度分布を調整することは、励起プラズマの密度分布を制御するために、ごく普通に行われている周知技術（特開２００１−１６７９００号公報の段落【００２３】、【００２４】及び【図２】、並びに特開２００１−３３８９１８号公報の段落【００１３】〜【００１８】及び【図１】等参照）である。その際、窓部を塞ぐための材質はマイクロ波を透過しない金属を用いる必要があることは明らかである。そして、窓部を塞ぐ金属の形状や厚みを、塞ぐべき窓部の形状や金属の強度等を考慮して決定することは当然であるところ、塞ぐ金属の形状を必要に応じて板状とすることも当業者が適宜決定し得る設計的事項にすぎない。したがって上記相違点３は実質的な相違点とはいえないか、実質的な相違点であるとしても、上記相違点３に係る本願発明の発明特定事項を得ることは当業者であれば容易になし得ることである。
　
（４）相違点４について
　マイクロ波は第１の誘電体及びつなぎ目を有さない誘電体板を通して気密室内に導出されるものであり、両者が密着していないとマイクロ波の伝達に影響があるのであれば、引用発明においても両者は密着して配置されていると考えるのが自然であり、この場合上記相違点４は実質的には相違点とはいえない。仮に密着していなくてもマイクロ波の伝達に影響がないのであれば、両者を密着して配置するか否かは当業者が適宜決定し得る設計的事項にすぎない。したがって、上記相違点４は実質的な相違点とはいえないか、実質的な相違点であるとしても、上記相違点４に係る本願発明の発明特定事項を得ることは当業者であれば容易になし得ることである。
　
　そして、本願発明の効果は、引用発明、上記周知技術及び技術常識から予測し得る範囲内のものであり、格別のものではない。
　
　よって、本願発明は、引用発明、上記周知技術及び技術常識に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
５．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明、上記周知技術及び技術常識に基いて当業者が容易に発明することができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって、結論のとおり審決する。