【手続補正書】
【提出日】平成18年8月4日(2006.8.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
集積型の微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）スイッチであって、該ＭＥＭＳスイッチに接続された第１の入力用導体側に存在する電気的な信号を、同じく該ＭＥＭＳスイッチに接続された第１の出力用導体に、選択的に結合するように設けられたＭＥＭＳスイッチにおいて、
ａ．内部に、
i．シーソー部；
ii．前記シーソー部の両側に配置されかつ前記シーソー部に連結されて前記シーソー部がその周りに回転可能とされる一つの軸線を決定する一対のねじり棒部；及び
iii．前記シーソー部から遠い側における前記ねじり棒部の端部が連結されて前記ねじり棒部によって決まる前記軸線周りに回転させるために前記ねじり棒部を介して前記シーソー部を支持するフレーム；
iV．前記ねじり棒部によって決定される前記回転軸線から遠位の前記シーソー部の端部で保持された導電性を有する第１の短絡バーと；
を微細加工した材料からなるモノリシック層と；
ｂ．前記モノリシック層の第１の表面に取り付けられた基部と；
ｃ．前記基部が取り付けられた前記モノリシック層の前記第１の表面から遠い側の前記モノリシック層の第２の表面に接合された基板であって、
該基板上に、
i．前記ねじり棒部によって決定される前記回転軸線の片側にある前記シーソー部の表面に対して対置された第１の電極であって、該第１の電極と前記シーソー部との間に電位を与えることで、前記ねじり棒部によって決定される前記回転軸線の周りに前記シーソー部を第１の方向に回転させる第１の電極；及び
ii．前記第１の入力用導体に対して、そして前記第１の出力用導体に対して、それぞれ接続可能となるように設けられたスイッチ接点の第１の対であって：
（１）前記シーソー部に力が加わっていないときには、前記第１の短絡バーに隣接しているが該第１の短絡バーから離間された状態で配置されており；
（２）前記シーソー部に力が加わっていないときには、互いに電気的に絶縁されており；
（３）前記ねじり棒部によって決定される前記回転軸線周りに前記シーソー部を前記第１の方向に回転させる十分強い力が前記シーソー部に加わると前記第１の短絡バーがつなぎ合せ；さらに、
（４）第１の導電体が、前記スイッチ接点と前記第１の入力用導体ならびに前記第１の出力用導体との間において電気的な信号をそれぞれ伝送する；
スイッチ接点の第１の対；
を形成した基板と；さらに、
ｄ．前記第１の導電体に隣接して配置されているとともに該第１の導電体から電気的に絶縁された第１の接地板
を備え、
前記第１の短絡バーが前記スイッチ接点の第１の対に接触する程に、前記ねじり棒部によって決定される前記回転軸線周りに前記シーソー部が前記第１の方向に回転すると、前記接続を行なう第１の短絡バーが前記スイッチ接点の第１の対とともに電気的に連結するように構成されているＭＥＭＳスイッチ。
【請求項２】
請求項１に記載のＭＥＭＳスイッチであって、該ＭＥＭＳスイッチに接続された第２の入力用導体側に存在する電気的な信号を、同じく該ＭＥＭＳスイッチに接続された第２の出力用導体に、選択的に結合するようにさらに設けられたＭＥＭＳスイッチにおいて：
前記シーソー部は、前記第１の短絡バーとは前記回転軸線を挟んで反対の側にある前記シーソー部の端部に第２の短絡バーを保持し；さらに、
前記基板が、同じく該基板上に：
iii．前記第２の入力用導体に対して、そして前記第２の出力用導体に対して、それぞれ接続可能となるように設けられたスイッチ接点の第２の対であって：
（１）前記シーソー部に力が加わっていないときには、前記第２の短絡バーに隣接しているが該第２の短絡バーから離間された状態で配置されており；
（２）前記シーソー部に力が加わっていないときには、互いに電気的に絶縁されており； 
（３）前記ねじり棒部によって決定される前記回転軸線周りに前記シーソー部を、前記第１の方向とは逆の前記第２の方向に回転させる十分強い力が前記シーソー部に加わると前記第２の短絡バーがつなぎ合わせ；さらに、
（４）第２の導電体が、前記スイッチ接点と前記第２の入力用導体ならびに前記第２の出力用導体との間において電気的な信号をそれぞれ伝送する；
スイッチ接点の第２の対
を形成し、さらに、
ｅ．前記第２の導電体に隣接して配置されているとともに該第２の導電体から電気的に絶縁された第２の接地板を備え、
前記第２の短絡バーが前記スイッチ接点の第２の対に接触する程に、前記ねじり棒部によって決定される前記回転軸線周りに前記シーソー部が前記第２の方向に回転すると、前記接続を行なう第２の短絡バーが前記スイッチ接点の第２の対とともに電気的に連結するように構成されているＭＥＭＳスイッチ。
【請求項３】
請求項２のＭＥＭＳスイッチにおいて、前記基板が、同じく該基板上に、前記ねじり棒部によって決定される前記回転軸線の片側かつ前記第１の電極が対置された前記シーソー部の表面とは反対の側にある前記シーソー部の表面に対して対置された第２の電極であって、該第２の電極と前記シーソー部との間に電位を与えることで、前記ねじり棒部によって決定される前記回転軸線周りに前記シーソー部を前記第２の方向に回転させる第２の電極を形成したＭＥＭＳスイッチ。
【請求項４】
請求項１のＭＥＭＳスイッチであって、該ＭＥＭＳスイッチに接続された第２の入力用導体側に存在す電気的な信号を、該ＭＥＭＳスイッチに接続された第１の出力用導体に、選択的に結合するようにさらに設けられたＭＥＭＳスイッチにおいて：
前記シーソー部は、前記第１の短絡バーとは前記回転軸線を挟んで反対の側にある前記シーソー部の端部に第２の短絡バーを保持し；さらに、
前記基板が、同じく該基板上に：
iii．スイッチ接点の第２の対、それも、そのうち一つの第１のスイッチ接点が、第２の入力用導体にそれぞれ接続可能となるように設けられるとともに、そのうち一つの第２のスイッチ接点が、前記第１の出力用導体に接続可能となるように設けられた該スイッチ接点の第２の対の一方に接続されたスイッチ接点の第２の対であって：
（１）前記シーソー部に力が加わっていないときには、前記第２の短絡バーに隣接しているが該第２の短絡バーから離間された状態で配置されており；
（２）前記シーソー部に力が加わっていないときには、互いに電気的に絶縁されており； 
（３）前記ねじり棒部によって決定される前記回転軸線周りに前記シーソー部を、前記第１の方向とは逆の前記第２の方向に回転させる十分強い力が前記シーソー部に加わると前記第２の短絡バーがつなぎ合わせ；さらに、
（４）第２の導電体が、前記スイッチ接点と前記第２の入力用導体ならびに前記第１の出力用導体との間において電気的な信号をそれぞれ伝送する；
スイッチ接点の第２の対
を形成し、さらに、
ｅ．前記第２の導電体に隣接して配置されているとともに該第２の導電体から電気的に絶縁された第２の接地板を備え、
前記第２の短絡バーが前記スイッチ接点の第２の対に接触する程に、前記ねじり棒部によって決定される前記回転軸線周りに前記シーソー部が前記第２の方向に回転すると、前記接続を行なう第２の短絡バーが前記スイッチ接点の第２の対とともに電気的に連結するように構成されているＭＥＭＳスイッチ。
【請求項５】
請求項４のＭＥＭＳスイッチにおいて、前記基板が、同じく該基板上に、前記ねじり棒部によって決定される前記回転軸線の片側かつ前記第１の電極が対置された前記シーソー部の表面とは反対の側にある前記シーソー部の表面に対して対置された第２の電極であって、該第２の電極と前記シーソー部との間に電位を与えることで、前記ねじり棒部によって決定される前記回転軸線周りに前記シーソー部を前記第２の方向に回転させる第２の電極を形成したＭＥＭＳスイッチ。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のＭＥＭＳスイッチであって、融着接合が前記モノリシック層と前記基部とを結び付けているＭＥＭＳスイッチ。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のＭＥＭＳスイッチであって、前記モノリシック層を形成している材料が単結晶シリコン（Si）とされているＭＥＭＳスイッチ。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のＭＥＭＳスイッチであって、電気的に絶縁する材料からなるシートが前記シーソー部と前記短絡バーとの間に介装されているＭＥＭＳスイッチ。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか１項に記載のＭＥＭＳスイッチであって、前記基部は、該基部の内部に形成された空洞部を備え、該空洞部は、前記モノリシック層の第１の表面に臨み、かつ前記ねじり棒部によって決定される軸線周りに前記シーソー部が回転するときに前記シーソー部の一部が該空洞部の内部に入り込むように構成されたＭＥＭＳスイッチ。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれか１項に記載のＭＥＭＳスイッチであって、前記接地板は、前記モノリシック層上に配置されているＭＥＭＳスイッチ。
【請求項１１】
請求項１１のＭＥＭＳスイッチであって、前記モノリシック層は、片持ちばり部を備え、前記片持ちばり部は、該片持ちばり部の自由端で接地アイランドを支持し、前記接地アイランドは、前記片持ちばり部から遠位の端部で前記接地板の一部を保持し、前記接地アイランドの前記端部における前記接地板の前記部分が、前記片持ちばり部によって連続的に加えられる力によって、前記基板上に配置された導電体とスイッチされない状態で密接に接触させられるＭＥＭＳスイッチ。
【請求項１２】
ＭＥＭＳ装置の第１の層上に配置された導電体と該ＭＥＭＳ装置の第２の層上に配置された導電体との間をスイッチされない状態で電気的に接触させるように設けられた微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）電気的接触構造体であって、
前記第２の層内に設けられた片持ちばり部を備え；さらに、
同じく前記第２の層内に設けられて前記片持ちばり部の自由端において支持された電気的接触アイランドを備え、該電気的接触アイランドが、前記片持ちばり部から遠位の該電気的接触アイランドの端部において前記第２の層上に配置された前記導電体の一部を保持し、前記電気的接触アイランドの前記端部における前記導電体の前記一部が、前記片持ちばり部によって連続的に加えられる力によって、前記第１の層上に配置された導電体とスイッチされない状態で密接に接触させられるＭＥＭＳ電気的接触構造体。
【請求項１３】
一つの導電体が上に配置された第１の層；及び
同じく一つの導電体が上に配置された第２の層を備え、
前記第２の層は、
ａ．片持ちばり部；及び
ｂ．前記片持ちばり部の自由端において支持された電気的接触アイランドを備え、前記電気的接触アイランドが、前記片持ちばり部から遠位の該電気的接触アイランドの端部において、前記第２の層上に配置された前記導電体の一部を保持し、前記電気的接触アイランドの前記端部における前記導電体の前記一部が、前記片持ちばり部によって連続的に加えられる力によって、前記第１の層上に配置された導電体とスイッチされない状態で密接に接触させられる微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）構造体。
【請求項１４】
集積型の微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）スイッチであって、該ＭＥＭＳスイッチに接続された第１の入力用導体側に存在する電気的な信号を、同じく該ＭＥＭＳスイッチに接続された第１の出力用導体に、選択的に結合するように設けられたＭＥＭＳスイッチにおいて、
ａ．少なくとも２つの代替位置において微細加工された使い捨て可能な可動の導電性を有する第１の短絡バーを上に備えたモノリシック層と；
ｂ．前記モノリシック層の第１の表面に取り付けられた基部と；
ｃ．前記基部が取り付けられた前記モノリシック層の前記第１の表面から遠い側の前記モノリシック層の第２の表面に接合された基板であって、
該基板上に、第１の対のスイッチ接点であって：
i．前記第１の短絡バーが第１の位置に配置されたときに、前記第１の短絡バーに隣接しているが該第１の短絡バーから離間された状態で配置され；
ii．前記第１の短絡バーが第１の位置に配置されたときに、互いに電気的に絶縁され；
iii．前記第１の短絡バーが第２の位置に配置されたときに、第１の短絡バーが接触し；      
iv．前記第１の対のスイッチ接点と第１の入力用導体ならびに第１の出力用導体との間において電気的な信号を伝送するようにそれぞれ構成された１対の第１の導電体に接続する；第１の対のスイッチ接点が形成された基板と；さらに、
ｄ．第１の接地板であって、
i．前記第１の対のスイッチ接点と； 
ii．前記第１の導電体と；に隣接して配置されていると共に電気的に絶縁された第１の接地板と、を備え、
前記第１の短絡バーを前記第１の位置から前記第２の位置へ動かすことによって、前記第１の短絡バーと前記第１の対のスイッチ接点との間に電気的接続を形成して、第１の接地板が
ａ．前記第１の対のスイッチ接点；及び
ｂ．前記第１の導電体；のいずれからも離間しているが、近接している間は、前記スイッチ接点の第１の対を電気的に結合するように構成されているＭＥＭＳスイッチ。
【請求項１５】
請求項１４に記載のＭＥＭＳスイッチであって、該ＭＥＭＳスイッチに接続された第２の入力用導体側に存在する電気的な信号を、同じく該ＭＥＭＳスイッチに接続された第２の出力用導体に、選択的に結合するようにさらに設けられたＭＥＭＳスイッチにおいて：
前記モノリシック層は、少なくとも２つの代替位置において設置可能な可動の導電性を有する第２の短絡バーを保持し；
前記基板上には：
i．前記第２の短絡バーが第１の位置に配置されたときに、前記第２の短絡バーに隣接しているが該第２の短絡バーから離間された状態で配置され；
ii．前記第２の短絡バーが第１の位置に配置されたときに、互いに電気的に絶縁され；
iii．前記第２の短絡バーが第２の位置に配置されたときに、第２の短絡バーが接触し；      
iv．前記第２の対のスイッチ接点と第２の入力用導体ならびに第２の出力用導体との間において電気的な信号を伝送するようにそれぞれ構成された１対の第２の導電体に接続する；第１の対のスイッチ接点が形成され；
ｅ．第２の接地板であって、
i．前記第２の対のスイッチ接点と； 
ii．前記第２の導電体と；に隣接して配置されていると共に電気的に絶縁された第２の接地板と、を備え、
前記第２の短絡バーを前記第１の位置から前記第２の位置へ動かすことによって、前記第２の短絡バーと前記第２の対のスイッチ接点との間に電気的接続を形成して、第２の接地板が
ａ．前記第２の対のスイッチ接点；及び
ｂ．前記第２の導電体；のいずれからも離間しているが、近接している間は、前記スイッチ接点の第２の対を電気的に結合するように構成されているＭＥＭＳスイッチ。
【請求項１６】
前記第２の短絡バーは、前記第１の短絡バーの前記第２の位置から前記第１の位置への動きと同期して、前記第１の位置から前記第２の位置へ動く請求項１５に記載のＭＥＭＳスイッチ。
【請求項１７】
請求項１４に記載のＭＥＭＳスイッチであって、該ＭＥＭＳスイッチに接続された第２の入力用導体側に存在する電気的な信号を、同じく該ＭＥＭＳスイッチに接続された第２の出力用導体に、選択的に結合するようにさらに設けられたＭＥＭＳスイッチにおいて：
前記モノリシック層は、少なくとも２つの代替位置において設置可能な可動の導電性を有する第２の短絡バーを保持し；
前記基板上には：
i．前記第２の短絡バーが第１の位置に配置されたときに、前記第２の短絡バーに隣接しているが該第２の短絡バーから離間された状態で配置され；
ii．前記第２の短絡バーが第１の位置に配置されたときに、互いに電気的に絶縁され；
iii．前記第２の短絡バーが第２の位置に配置されたときに、第２の短絡バーが接触し；      
iv．前記第２の対のスイッチ接点と第２の入力用導体ならびに第２の出力用導体との間において電気的な信号を伝送するようにそれぞれ構成された１対の第２の導電体に接続する；第１の対のスイッチ接点が形成され；
ｅ．第２の接地板であって、
i．前記第２の対のスイッチ接点と； 
ii．前記第２の導電体と；に隣接して配置されていると共に電気的に絶縁された第２の接地板と、を備え、
前記第２の短絡バーを前記第１の位置から前記第２の位置へ動かすことによって、前記第２の短絡バーと前記第２の対のスイッチ接点との間に電気的接続を形成して、第２の接地板が
ａ．前記第２の対のスイッチ接点；及び
ｂ．前記第２の導電体；のいずれからも離間しているが、近接している間は、前記スイッチ接点の第２の対を電気的に結合するように構成されているＭＥＭＳスイッチ。
【請求項１８】
前記第２の短絡バーは、前記第１の短絡バーの前記第２の位置から前記第１の位置への動きと同期して、前記第１の位置から前記第２の位置へ動く請求項１７に記載のＭＥＭＳスイッチ。
【請求項１９】
前記モノリシック層と前記基部とは溶融結合によって結合されている請求項１４に記載のＭＥＭＳスイッチ。
【請求項２０】
前記モノリシック層を形成している材料が単結晶シリコン（Si）である請求項１４に記載のＭＥＭＳスイッチ。
【請求項２１】
電気的絶縁材料からなるシートが前記モノリシック層と前記短絡バーとの間に介装されている請求項１４に記載のＭＥＭＳスイッチ。
【請求項２２】
前記接地板は前記モノリシック層上に配置されている請求項１４に記載のＭＥＭＳスイッチ。
【請求項２３】
請求項２２のＭＥＭＳスイッチであって、前記モノリシック層は、片持ちばり部を備え、前記片持ちばり部は、該片持ちばり部の自由端で接地アイランドを支持し、前記接地アイランドは、前記片持ちばり部から遠位の端部で前記接地板の一部を保持し、前記接地アイランドの前記端部における前記接地板の前記部分が、前記片持ちばり部によって連続的に加えられる力によって、前記基板上に配置された導電体とスイッチされない状態で密接に接触させられるＭＥＭＳスイッチ。