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　特願２００４−３３７８３５「マスク検査装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１８年　６月　８日出願公開、特開２００６−１４５９８９、請求項の数（８）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２００４年１１月２２日の出願（特願２００４−３３７８３５号）であって、平成２２年２月１８日付けで拒絶理由が通知され、同年４月２６日付けで意見書が提出され、同日付けで手続補正がなされ、同年８月３日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年１１月９日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、同日付けで手続補正がなされたものである。
　
第２　本願発明
　本願の請求項１ないし８に係る発明（以下、順に「本願発明１」ないし「本願発明８」という。）は、平成２２年１１月９日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし８に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
　
「【請求項１】
　所定のパターンが形成されたマスクに照明光を照射する照明光学系と、複数の光検出手段と、前記照明光が照射された照明領域のうち、互いに異なる検出対象領域からの光を同時に、かつ各別に前記複数の光検出手段に結像させる、前記複数の光検出手段にそれぞれ対応して設けられた複数の結像光学系と、前記複数の光検出手段によりそれぞれ検出して得られた複数の像のサイズを一致させる像倍率補正手段と、前記サイズが一致された複数の像に基づいて、前記マスクの欠陥を検出する欠陥検出手段とを備え、
　前記像倍率補正手段は、前記複数の像の各像倍率を取得する像倍率取得手段と、前記結像光学系の一部として設けられ、前記像倍率取得手段によって取得された前記各像の像倍率に基づいて、前記光検出手段に投影される像のサイズを調整する補正光学系である補正手段とを有し、
　前記照明光学系は、前記互いに異なる検出対象領域を各別に、深紫外線領域の光を前記照明光として照明する２つの照明光学系であって、前記マスクに対して前記結像光学系が設けられた側とは反対の側に配設された透過照明光学系と、前記マスクに対して前記結像光学系が設けられた側に配設された反射照明光学系と、前記透過照明光学系および前記反射照明光学系のうち少なくとも一方の照明光学系を、前記マスクに対して他方の照明光学系の側に配設位置を切り替える照明方向切替手段とを備えたことを特徴とするマスク検査装置。
【請求項２】
　前記複数の結像光学系は、該複数の結像光学系について共用された単一の対物レンズと各結像光学系に各別に対応する複数の集光光学系とを備えていることを特徴とする請求項１に記載のマスク検査装置。
【請求項３】
　前記像倍率取得手段は、前記複数の光検出手段によって検出された像に基づいて、前記複数の像の各像倍率を算出することにより取得することを特徴とする請求項１または２に記載のマスク検査装置。
【請求項４】
　前記像倍率取得手段は、少なくとも前記各結像光学系と前記光検出手段との間の距離ごとに予め求められた像倍率を読み出すことにより取得することを特徴とする請求項１または２に記載のマスク検査装置。
【請求項５】
　前記像倍率取得手段は、予め求められた前記複数の像の各像倍率が記憶されたホストコンピュータから前記検出対象領域に対応する前記各像倍率を受信することにより取得することを特徴とする請求項１または２に記載のマスク検査装置。
【請求項６】
　前記互いに異なる検出対象領域は、前記マスクの厚さ方向について同一の面内における互いに異なる領域であることを特徴とする請求項１から６のうちいずれか１項に記載のマスク検査装置。
【請求項７】
　前記互いに異なる検出対象領域は、前記マスクの厚さ方向についての互いに異なる位置であることを特徴とする請求項１から６のうちいずれか１項に記載のマスク検査装置。
【請求項８】
　前記各光検出手段と、前記各光検出手段にそれぞれ対応した結像光学系との間の距離を調整することにより、前記マスクの厚さ方向についての互いに異なる位置を前記互いに異なる検出対象領域とすることを特徴とする請求項７に記載のマスク検査装置。」
　
第３　原審の拒絶理由等の概要
（１）平成２２年２月１８日付けの拒絶理由
　本願の願書に最初に添付した特許請求の範囲の請求項１−９に係る発明について、特表平２００２−５０１１９４号公報、特開２００４−３０１７５１号公報、及び、特開平２−２１０２５０号公報に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をするとができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないとするものである。
　
（２）原査定（平成２２年８月３日付けの拒絶査定）
　本願は平成２２年２月１８日付けの拒絶理由により拒絶すべきものであるとするものである。
　なお、備考において、
「マスク検査装置において、１つの光源を用い、透過照明光学系と反射照明光学系とを択一的に切り替えて、マスクを照明するために、照明方向切替手段を用いることは、例えば、特開平１０−９７０５３号公報（特に、【００３５】、図１参照）に記載の如く、周知の事項である。」
と記載されている。
　
第４　当審の判断
（１）本願発明１について
　本願発明１は、「前記マスクに対して前記結像光学系が設けられた側とは反対の側に配設された透過照明光学系と、前記マスクに対して前記結像光学系が設けられた側に配設された反射照明光学系と、前記透過照明光学系および前記反射照明光学系のうち少なくとも一方の照明光学系を、前記マスクに対して他方の照明光学系の側に配設位置を切り替える照明方向切替手段とを備えた」「照明光学系」という発明特定事項（以下「本願発明特徴事項」という。）を有する。
　そして、上記の本願発明特徴事項により、本願発明１は、検査において透過光像と反射光像を取得する必要があるマスクに対しては、透過光像と反射光像を１回のマスク走査により得て検査の迅速化を図ることがができるとともに、検査において透過光像（又は反射光像）のみを取得するればよいマスクに対しては、異なる２つの検査対象領域から透過光像（又は反射光像）それぞれ得てマスク検査の迅速化を図ることができ、検査対象マスクに応じて使用のしかたを変えて対応できるという、本願明細書の発明の詳細な説明に示唆されている顕著な作用効果を奏するものである。（明細書の【００６６】【００６９】【００７９】【００８７】【０１１１】【図９（ａ）（ｂ）】参照）
　これに対して、原審の審査過程において示されたいずれの引用文献においても、上記の本願発明特徴事項を備えた「照明光学系」に関しては記載も示唆もない。さらに、そのような事項が、本願の出願当時、当業者にとって自明な事項であるとも認められない。
　したがって、本願発明１は原審の審査過程において示されたいずれの引用文献及び先願明細書等に記載された発明であるとすることはできず、また、原審の審査過程において示された引用文献に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるすることもできない。
（なお、当審においても上記の本願発明特徴事項を備えた「照明光学系」について記載された引用文献を発見することはできなかった。）
　
（２）本願発明２ないし８について
　本願発明２ないし８は、本願発明１の全ての発明特定事項を備え、さらに、別の発明特定事項を備えたものであるから、本願発明１が原審の審査過程において示されたいずれの引用文献に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるすることもできないとする以上、本願発明２ないし８も同様に原審の審査過程において示された引用文献に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるすることもできない。
　
（３）原査定の備考欄に記載された周知の事項について
　原査定の備考において記載されたように、「マスク検査装置において、１つの光源を用い、透過照明光学系と反射照明光学系とを択一的に切り替えて、マスクを照明するために、照明方向切替手段を用いること」が、特開平１０−９７０５３号公報（以下「周知文献」という。）に記載されていたとしても、上記周知文献には、本願発明特徴事項における「一方の照明光学系を、前記マスクに対して他方の照明光学系の側に配設位置を切り替える」こと、すなわち、マスクを挟んで一方側から反対側へ照明光学系の
配設位置
　また、上記の本願発明特徴事項は、特定事項全体により、上記のように検査対象マスクに応じて使用のしかたを変えて対応できるという作用効果を奏するものであって、特定事項全体が相俟って技術的意義を有するものであるといえるから、仮に、上記の本願発明特徴事項の一部が周知の事項であるとしても、それを他の発明に適用して、容易に発明をすることができたとすることはできない。
　　
（４）審判請求書における請求人の主張について
　平成２２年１１月９日付けの審判請求書において請求人は、
「しかし、照明光として深紫外線領域の光を適用することについては、上記引用発明１−３を始めとして参考文献にも記載および示唆は無い。 
 　そして、本願発明は、照明光として深紫外線領域の光を適用したという特徴的な構成を備えていることにより、検出分解能を向上させることができ、マスク上に形成されたパターンが微細化されても、これに適切に対応することができる、という優れた効果を発揮するのに対し、この特徴的な構成を備えない引用発明１−３を如何に組み合わせても、本願発明が奏する上述した優れた作用、効果が発揮されることはない。 
 　したがって、本願発明は、引用発明１−３に基づいて、当業者が容易に想到し得たものということはできない（進歩性を有する）。 」
と主張している。しかしながら、原審の拒絶理由において提示された特開２００４−３０１７５１号公報には、「今後、検査波長が２００ｎｍ以下と短波長された場合には光量の劣化は最も注意すべき課題である。」（【０００８】）、「適当な短波長レーザ光源１から出た光は、」（【００４５】）と記載されており、上記文献に記載された装置においては２００ｎｍ程度の短波長のレーザ光が用いられることが示唆され、また、短波長レーザ光としてどの程度の波長のレーザ光を用いるかは、検査するパターンの微細化の程度と短波長化された場合の光量の劣化等の弊害を勘案して、当業者が適宜設定し得る事項に過ぎないものであるから、「照明光として深紫外線領域の光を用いた」ことによって発明の進歩性が生じるものではない。よって、上記の請求人の主張は採用することができない。
　
（５）小括
　上記（４）の請求人の主張は採用できないものの、上記（１）ないし（３）において述べたように、本願発明１ないし８の、上記（１）に記載された本願発明特徴事項事項は、原審の審査過程において示されたいずれの引用文献にも記載されておらず、本願発明１ないし８は、上記の本願発明特徴事項事によって顕著な作用効果を奏するものであるから、原審の審査過程において示された引用文献に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　
第５　まとめ
　以上のとおり、本願発明１ないし８は、原審の審査過程において示された引用文献に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることができないから、本願発明１ないし８が、平成２２年８月３日付けの拒絶理由により拒絶すべきものであるとする原査定は妥当なものではなく、取消を免れない。
　また、他に本願発明１ないし８を拒絶する理由を発見しない。
　
　よって、結論のとおり審決する。