(57)【要約】【課題】簡単に被塗物上に配置することが可能なマスキング治具を用いた液体塗着方法を提供すること。【解決手段】本発明の液体塗着方法は、少なくとも表面に絶縁材料を用いたマスキング本体３１と被塗物（異極部４０）側に位置するマスキング本体３１の裏面３１ａに設けられた脚部３２を備えるマスキング治具３０を被塗物（異極部４０）上に配置する配置工程と、液体噴霧部２０と液体噴霧部２０に対して異極となる異極部４０との間に電圧を印加して静電気力を発生し、静電気力によって液体を帯電状態で液体噴霧部２０から離脱させ、マスキング治具３０が配置された被塗物（異極部４０）に液体を塗着させる液体塗着工程と、を含み、マスキング治具３０が、配置工程で、脚部３２を被塗物（異極部４０）に接触させて被塗物（異極部４０）からマスキング本体３１が離間するように配置される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも表面に絶縁材料を用いたマスキング本体と被塗物側に位置する前記マスキング本体の裏面に設けられた脚部を備えるマスキング治具を被塗物上に配置する配置工程と、
液体噴霧部と前記液体噴霧部に対して異極となる異極部との間に電圧を印加して静電気力を発生し、前記静電気力によって液体を帯電状態で前記液体噴霧部から離脱させ、前記マスキング治具が配置された前記被塗物に前記液体を塗着させる液体塗着工程と、を含み、
前記マスキング治具が、前記配置工程で、前記脚部を前記被塗物に接触させて前記被塗物から前記マスキング本体が離間するように配置されることを特徴とする液体塗着方法。
【請求項２】
前記脚部には絶縁材料が用いられており、
前記脚部は前記マスキング本体の噴霧された前記液体が通過する開口縁部又は外周縁部から所定の距離以上離れた位置に設けられた前記マスキング治具を用いていることを特徴とする請求項１に記載の液体塗着方法。
【請求項３】
前記所定の距離が５ｍｍであることを特徴とする請求項２に記載の液体塗着方法。
【請求項４】
前記マスキング治具が前記被塗物上に直接配置される導電材料又は１０１０Ω以下の表面抵抗の帯電防止材料からなるマスキング補助体を備え、
前記配置工程で、前記マスキング補助体が前記被塗物の前記液体を塗着させる領域を規定するように前記被塗物上に配置されることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の液体塗着方法。
【請求項５】
さらに、前記配置工程と前記液体塗着工程の間の工程として、前記液体を反発する帯電状態に前記マスキング本体を帯電させる放電工程を、含み、
前記放電工程は、前記液体噴霧部の電極とは異なる放電電極と前記異極部との間に電圧を印加して静電気力を発生させることで行われることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の液体塗着方法。
【請求項６】
液体噴霧部と前記液体噴霧部に対して異極となる異極部との間に電圧を印加して発生する静電気力によって液体を帯電状態で前記液体噴霧部から離脱させ、被塗物に液体を噴霧する静電噴霧装置に用いるマスキング治具であって、
前記マスキング治具が、
少なくとも表面に絶縁材料を用いたマスキング本体と、
前記被塗物側に位置することになる前記マスキング本体の裏面に設けられ、前記マスキング本体を前記被塗物から離間するように被塗物に接触させられる脚部と、を備えていることを特徴とするマスキング治具。
【請求項７】
前記脚部には絶縁材料が用いられており、
前記脚部は前記マスキング本体の噴霧された前記液体が通過する開口縁部又は外周縁部から所定の距離以上離れた位置に設けられていることを特徴とする請求項６に記載のマスキング治具。
【請求項８】
前記所定の距離が５ｍｍであることを特徴とする請求項７に記載のマスキング治具。
【請求項９】
前記マスキング治具は、さらに、前記被塗物の前記液体を塗着させる領域を規定するように前記被塗物上に直接配置される導電材料若しくは１０１０Ω以下の表面抵抗の帯電防止材料からなるマスキング補助体を備えていることを特徴とする請求項６から請求項８のいずれか１項に記載のマスキング治具。
【請求項１０】
液体噴霧部と、
前記液体噴霧部に対して異極となる異極部と、
前記液体噴霧部と前記異極部との間に電圧を印加し、液体を帯電状態で前記液体噴霧部から離脱させるための静電気力を発生する電圧印加手段と、
請求項６から請求項９のいずれか１項に記載のマスキング治具と、を備えることを特徴とする静電噴霧装置。
【請求項１１】
さらに、前記異極部との間で電圧が印加される前記液体噴霧部の電極とは異なる放電電極を備えることを特徴とする請求項１０に記載の静電噴霧装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はマスキング治具を用いた液体塗着方法、そのためのマスキング治具、及び、そのマスキング治具を用いた静電噴霧装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、溶液材料に電圧を印加した状態で噴霧するノズルと、前記ノズルと基板との間の前記基板の近傍に配置され、所定の開口パターンを有する開口部を含むマスクとを備え、前記ノズルから噴霧された溶液材料は、前記基板に薄膜として堆積され、前記マスクの開口部の前記ノズル側の部分は、前記マスクの開口部の前記基板側の部分よりも開口面積が大きくなるように構成されている、薄膜形成装置が知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４―１４７８９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１のマスクは、有機ＥＬデバイス用の薄膜が形成される基板上に所定の形状の薄膜形成を行うためのものであるため、マスクを行う対象物が基板という平らな板状の構造体であり、そのサイズの種類も限定的であると考えられる。
【０００５】
そして、基板にマスクが接触して基板を傷つけることが厳禁であると推察されることから、マスクを支持するための専用の支持機構を備えるものになっていると推察される。
【０００６】
しかしながら、例えば、塗料などの液体を塗布する場合、被塗物が、必ずしも平らな板状とは限らず、また、板状のものであっても被塗物のサイズが多種多様である。
このため、それら被塗物ごとに合せてマスクを支持する支持機構を構築し、液体を被塗物に塗着させるような作業を行っていたのでは手間がかかるため望ましくない。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、簡単に被塗物上に配置することが可能なマスキング治具を用いた液体塗着方法を提供することを第１の目的とし、また、そのために用いるマスキング治具及びそのマスキング治具を備えた静電噴霧装置を提供することを第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記目的を達成するために、以下の構成によって把握される。
（１）本発明の液体塗着方法は、少なくとも表面に絶縁材料を用いたマスキング本体と被塗物側に位置する前記マスキング本体の裏面に設けられた脚部を備えるマスキング治具を被塗物上に配置する配置工程と、液体噴霧部と前記液体噴霧部に対して異極となる異極部との間に電圧を印加して静電気力を発生し、前記静電気力によって液体を帯電状態で前記液体噴霧部から離脱させ、前記マスキング治具が配置された前記被塗物に前記液体を塗着させる液体塗着工程と、を含み、前記マスキング治具が、前記配置工程で、前記脚部を前記被塗物に接触させて前記被塗物から前記マスキング本体が離間するように配置される。
（２）上記（１）の構成において、前記脚部には絶縁材料が用いられており、前記脚部は前記マスキング本体の噴霧された前記液体が通過する開口縁部又は外周縁部から所定の距離以上離れた位置に設けられた前記マスキング治具を用いている。
（３）上記（２）の構成において、前記所定の距離が５ｍｍである。
（４）上記（１）から（３）のいずれか１つの構成において、前記マスキング治具が前記被塗物上に直接配置される導電材料又は１０１０Ω以下の表面抵抗の帯電防止材料からなるマスキング補助体を備え、前記配置工程で、前記マスキング補助体が前記被塗物の前記液体を塗着させる領域を規定するように前記被塗物上に配置される。
（５）上記（１）から（４）のいずれか１つの構成において、さらに、前記配置工程と前記液体塗着工程の間の工程として、前記液体を反発する帯電状態に前記マスキング本体を帯電させる放電工程を、含み、前記放電工程は、前記液体噴霧部の電極とは異なる放電電極と前記異極部との間に電圧を印加して静電気力を発生させることで行われる。
【０００９】
（６）本発明のマスキング治具は、液体噴霧部と前記液体噴霧部に対して異極となる異極部との間に電圧を印加して発生する静電気力によって液体を帯電状態で前記液体噴霧部から離脱させ、被塗物に液体を噴霧する静電噴霧装置に用いるマスキング治具であって、前記マスキング治具が、少なくとも表面に絶縁材料を用いたマスキング本体と、前記被塗物側に位置することになる前記マスキング本体の裏面に設けられ、前記マスキング本体を前記被塗物から離間するように被塗物に接触させられる脚部と、を備えている。
（７）上記（６）の構成において、前記脚部には絶縁材料が用いられており、前記脚部は前記マスキング本体の噴霧された前記液体が通過する開口縁部又は外周縁部から所定の距離以上離れた位置に設けられている。
（８）上記（７）の構成において、前記所定の距離が５ｍｍである。
（９）上記（６）から（８）のいずれか１つの構成において、前記マスキング治具は、さらに、前記被塗物の前記液体を塗着させる領域を規定するように前記被塗物上に直接配置される導電材料若しくは１０１０Ω以下の表面抵抗の帯電防止材料からなるマスキング補助体を備えている。
【００１０】
（１０）本発明の静電噴霧装置は、液体噴霧部と、前記液体噴霧部に対して異極となる異極部と、前記液体噴霧部と前記異極部との間に電圧を印加し、液体を帯電状態で前記液体噴霧部から離脱させるための静電気力を発生する電圧印加手段と、上記（６）から（９）のいずれか１つの構成を有するマスキング治具と、を備える。
（１１）上記（１０）の構成において、さらに、前記異極部との間で電圧が印加される前記液体噴霧部の電極とは異なる放電電極を備える。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、簡単に被塗物上に配置することが可能なマスキング治具を用いた液体塗着方法が提供され、また、そのために用いるマスキング治具及びそのマスキング治具を備えた静電噴霧装置も提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る第１実施形態の静電噴霧装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る第１実施形態の液体噴霧部の断面図である。
【図３】図２の液体噴霧部の先端側の拡大図であり、（ａ）は心棒の先端が後方に位置する場合を示す図であり、（ｂ）は（ａ）よりも心棒の先端が前方に位置する場合を示す図である。
【図４】図１のマスキング治具を被塗物から離間させてマスキング治具を示した斜視図である。
【図５】本発明に係る第１実施形態のマスキング本体を放電電極で帯電させる帯電工程を説明するための斜視図である。
【図６】本発明に係る第２実施形態の静電噴霧装置の全体構成を示す斜視図であり、図４に対応する図である。
【図７】本発明に係る第２実施形態の静電噴霧装置の全体構成を示す断面図である。
【図８】本発明に係る第３実施形態の静電噴霧装置の全体構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、実施形態）について詳細に説明する。なお、実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。
また、特に断りがない場合、「先（端）」や「前（方）」等の表現は、各部材等において液体の噴霧方向側を表し、「後（端）」や「後（方）」等の表現は、各部材等において液体の噴霧方向と反対側を表すものとする。
【００１４】
（第１実施形態）
図１は本発明に係る第１実施形態の静電噴霧装置１０の全体構成を示す斜視図である。
図１に示すように、静電噴霧装置１０は、ノズル２２を有する液体噴霧部２０と、マスキング治具３０と、液体噴霧部２０と液体噴霧部２０に対して異極となる異極部４０との間に電圧を印加する電圧印加手段５０（つまり、電圧電源）と、を備える。
【００１５】
なお、本実施形態では、電圧印加手段５０からの電気配線を被塗物に直接接続して、被塗物自体を異極部４０としている場合を示しているが、例えば、被塗物を載置する載置部（図示せず）に電圧印加手段５０からの電気配線を接続して、この載置部を異極部４０として載置部を介して被塗物が電圧印加手段５０に電気的に接続されるようになっていても良い。
【００１６】
異極部４０となる被塗物は、アース手段６０でアースされるようになっている。
このアース手段６０は必須の要件ではないが、被塗物のようなものの場合、作業者が触れたりすることがあり得るので安全面の観点で設けることが好ましい。
【００１７】
（液体噴霧部）
図２は、液体噴霧部２０だけを示した断面図である。
なお、図２では、液体噴霧部２０から後述するように塗料などの液体が噴霧されている状態を合わせて図示したものになっている。
【００１８】
図２に示すように、液体噴霧部２０は、液体の供給される液体供給口２１ａを有する液体流路２１ｂが形成された絶縁材料からなる胴体部２１と、貫通孔が胴体部２１の液体流路２１ｂに連通するように胴体部２１の先端に設けられるノズル２２と、胴体部２１の液体流路２１ｂ内及びノズル２２の貫通孔内に配置される導電材料からなる心棒２３と、を備えている。
【００１９】
胴体部２１には、心棒２３を後端側に取り出すために、液体流路２１ｂと連通した孔部２１ｃが設けられ、その孔部２１ｃ内には、心棒２３との間の隙間をシールして液体が漏れないようにするシール部材２４が設けられている。
なお、本実施形態では、シール部材２４としてＯリングを用いているが、Ｏリングに限らず、シールが可能なものであればよい。
【００２０】
そして、孔部２１ｃを通じて胴体部２１の後端側に位置する心棒２３の後端には、絶縁材料からなる摘み部２３ａが設けられているとともに、摘み部２３ａのほぼ中央を貫通するように設けられた導電材料からなる電気配線接続部２３ｂが設けられている。
【００２１】
図１に示すように、電気配線接続部２３ｂには、電圧印加手段５０からの電気配線が接続される。
そして、図２に示すように、電気配線接続部２３ｂが心棒２３に接触するようにされることで心棒２３と電気配線接続部２３ｂとが電気的に接続されている。
【００２２】
なお、本実施形態では、心棒２３を液体噴霧部２０側の電極としているが、例えば、液体噴霧部２０のノズル２２を導電材料からなるものとして、このノズル２２に電圧印加手段５０からの電気配線を接続するようにし、ノズル２２を液体噴霧部２０側の電極としても良い。
【００２３】
また、胴体部２１の後端開口部２１ｄの内周面には、摘み部２３ａを螺合接続するための雌ネジ構造２１ｅが設けられ、一方、摘み部２３ａの先端外周面には、雄ネジ構造２３ｃが設けられている。
【００２４】
したがって、胴体部２１の後端開口部２１ｄの雌ネジ構造２１ｅに摘み部２３ａの先端外周面の雄ネジ構造２３ｃを螺合させることで心棒２３が取外し可能に胴体部２１に取付けられている。
また、摘み部２３ａの螺合量を調節することで心棒２３を前後方向に移動させることができ、心棒２３の先端面２３ｄの位置を前後方向に調節できるようになっている。
【００２５】
ここで、一般に、静電噴霧装置の液体を噴霧するノズルは、液体が流れる貫通孔の直径が小さい微細な液体流路とされる。
これは、液体が流れ出るノズル先端の開口直径が大きいと、安定した液体の霧化状態が得られなくなるためと推察される。
例えば、一般には、ノズル先端の開口直径は０．１ｍｍ未満とされている。
【００２６】
このため、液体が乾燥したりすると直ぐに、ノズル先端の開口部が目詰まりするが、開口直径が小さいため、この目詰まりを解消することが難しいという問題がある。
【００２７】
しかしながら、理由については、後ほど説明するが、心棒２３を用いるようにすることで、従来に比較して、ノズル先端の開口径を大きな開口直径としても良好な霧化ができることを見出し、このため、本実施形態のノズル２２の先端の開口部２２ｂの開口直径は０．２ｍｍの大きな開口直径にできている。
この結果、目詰まりが発生する頻度を大幅に低減することができるようになっている。
【００２８】
なお、ノズル２２の開口部２２ｂの開口直径は０．２ｍｍに限定されるものではなく、心棒２３を用いる形態においては、開口直径は１ｍｍ程度であっても問題はない。
【００２９】
ノズル２２の開口部２２ｂの開口直径は、目詰まりが起きにくく、また、目詰まりが起きても清掃ができることを考慮すると、０．１ｍｍ以上が好ましく、０．２ｍｍ以上がより好ましく、さらに０．２ｍｍより大きくすることが好ましい。
【００３０】
一方、ノズル２２の開口部２２ｂの開口直径は、霧化の安定性を考慮すると、１.０ｍｍ以下が好ましく、０．８ｍｍ以下がより好ましく、さらに０．５ｍｍ以下とすることが好ましい。
【００３１】
また、本実施形態では、上述のように、心棒２３を前後方向に移動させることができるため、目詰まりが起きても心棒２３を移動させることで目詰まりを解消することができる。
さらに、ノズル２２の貫通孔の内径も心棒２３を配置できる程度に大きくできているため、心棒２３を取り外して洗浄液を大量に流して洗浄することも可能になっている。
【００３２】
図３は、液体噴霧部２０の先端側を拡大した拡大図であり、図３（ａ）は、心棒２３の先端面２３ｄが後方に位置する場合であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）の状態よりも心棒２３の先端面２３ｄが前方に位置する場合である。
【００３３】
図３（ａ）に示すようにノズル２２は、開口部２２ｂ側に向かってテーパ状に内径が小さくなるテーパ角度がαであるテーパ状内径部（範囲Ａ参照）を有しており、心棒２３は、先端面２３ｄに向かって外径が小さくなるテーパ角度がβであるテーパ形状部（範囲Ｂ参照）を有している。
【００３４】
そして、ノズル２２のテーパ状内径部のテーパ角度αが、心棒２３のテーパ形状部のテーパ角度βよりも大きくされている。
また、心棒２３の先端面２３ｄの直径は、ノズル２２の開口部２２ｂの開口直径よりも小さい直径とされているが、心棒２３のテーパ形状部は、後端側に向かって徐々に直径が大きくなり、ノズル２２の開口部２２ｂの開口直径よりも直径の大きい部分を有するように形成されている。
【００３５】
上記のように、ノズル２２及び心棒２３の先端側を形成することによって、図３（ａ）及び図３（ｂ）を見比べるとわかるように、心棒２３を前後方向に移動させることでノズル２２と心棒２３とで形成される隙間の幅を調節できるようになり、ノズル２２の開口部２２ｂから出る液体の量を調節することができる。
【００３６】
また、図３（ｂ）で示す状態よりも、さらに、心棒２３を前方側に動かすことで、心棒２３がノズル２２の内周面に当接し、ノズル２２の開口部２２ｂを閉塞することが可能である。
したがって、塗料などの液体を噴霧しない状態において、ノズル２２の開口部２２ｂを心棒２３で閉塞させ、ノズル２２内の液体が乾燥することを防止することが可能であり、ノズル２２の目詰まりを抑制できる。
【００３７】
（異極部４０）
本実施形態では、上述したように、異極部４０に被塗物を用いた場合を示しており、電圧印加手段５０の心棒２３に接続されるのと反対側の電気配線が被塗物に接続されることで被塗物自体が液体噴霧部２０に対する異極となるようにされている。
【００３８】
しかしながら、上記でも少し触れたが、例えば、被塗物が搬送装置などによって、塗料などの液体を塗布する位置に搬送されるような場合には、電圧印加手段５０からの電気配線を搬送装置の被塗物が載置される載置部に接続されているようにして、載置部を介して被塗物が電圧印加手段５０に電気的に接続されるようにしても良い。
【００３９】
次に、図２を参照しながら、まず、液体噴霧部２０から液体が噴霧される状態について説明を行い、その後、マスキング治具３０について説明し、そのマスキング治具３０を用いた液体塗着方法などについて説明を行う。
【００４０】
胴体部２１の液体供給口２１ａに供給された液体は、ノズル２２の先端側に供給されていき、本例において異極部４０である被塗物と心棒２３との間に印加される電圧に伴う静電気力によって、前方側に引っ張られて前方に離脱・霧化する。
【００４１】
なお、液体の供給は、噴霧により消費されることで液体噴霧部２０から失われる分の液体が順次供給されていれば良く、ノズル２２の開口部２２ｂ（より正確には、開口部２２ｂと心棒２３との間の隙間）から液体が噴射するような圧力で圧送供給される必要はなく、液体が勢いよく噴射される状態の場合、かえって霧化ができなくなるようなことが起こる。
【００４２】
より具体的には、心棒２３の先端面２３ｄ及びノズル２２の先端外周縁２２ａへの表面張力や粘度による付着力に対して、液体を前方に引っ張る静電気力が釣り合うことで、図２に示すように、ノズル２２の先端側に供給された液体が、その先端で円錐形の形状となるテーラコーン８０が形成される。
【００４３】
このテーラコーン８０は、電場の作用によって、液体中で正／負電荷の分離が起こり、過剰電荷で帯電したノズル２２先端のメニスカスが変形して円錐状となって形成されているものである。
そして、テーラコーン８０の先端から静電気力によって液体が真直ぐに引っ張られ、その後静電爆発によって広い範囲に液体が噴霧される。
【００４４】
この噴霧される液体、つまり、ノズル２２から離脱して液体粒子となった液体は、離脱前の状態に比べ、空気に触れる面積が飛躍的に大きくなるため溶媒の気化が促進され、その溶媒の気化に伴って帯電している電子間の距離が近づき、静電反発（静電爆発）が発生して、さらに、小さい粒径の液体粒子に分裂する。
【００４５】
この分裂が起こると、さらに、分裂前に比べ空気に触れる表面積が増えることになるため、溶媒の気化が促進され、上述したのと同様に静電爆発が発生し、さらに、小さい粒径の液体粒子に分裂する。
このような静電爆発が繰り返されることで液体が霧化される。
【００４６】
ここで、本実施形態では、ノズル２２内に心棒２３を設けるようにしている。
仮に、従来の静電噴霧装置のように、この心棒２３を設けないものとすると、液体が付着できる部分は、ノズル２２の先端外周縁２２ａだけとなる。
【００４７】
そして、このような状態でノズル２２の開口部２２ｂの開口直径を大きくすると、液体の付着できる部分が、ノズル２２の先端外周縁２２ａだけのため、例えば、ノズル２２の上下左右に液体がふらついたりし易く、きれいなテーラコーン８０が形成できなくなったり、また、テーラコーン８０自体が維持できなくなるため、ノズル２２から離脱する液体粒子の安定性（粒子の大きさ、数、及び、帯電状態などの安定性）が得られなくなったりし、結果、液体の安定した霧化ができなくなるものと推察される。
【００４８】
一方、本実施形態では、ノズル２２内に心棒２３を配置して、ノズル２２の先端外周縁２２ａだけでなく、心棒２３の先端面２３ｄとの間でも液体は付着する。
したがって、ノズル２２の開口部２２ｂの開口直径が大きくても、開口部２２ｂの中央部に液体が付着できる心棒２３の先端面２３ｄが存在するため、安定したテーラコーン８０を形成することができ、液体の安定した霧化ができるようになっているものと考えられる。
【００４９】
なお、心棒２３の先端面２３ｄがノズル２２の先端外周縁２２ａ（つまり、ノズル２２の開口部２２ｂの先端面）から前方に出過ぎるとノズル２２から出る液体に電場が作用し難くなり、一方、心棒２３の先端面２３ｄがノズル２２の開口部２２ｂの先端面から後方に引っ込み過ぎると、開口部２２ｂの中央部に液体が付着できる部分が存在しないのと同じ状態となる。
【００５０】
このことから、心棒２３の先端面２３ｄの位置は、液体を噴霧する状態において、ノズル２２の開口部２２ｂの先端面を基準にして、心棒２３の中心軸に沿った前後方向で、ノズル２２の先端の開口部２２ｂの開口直径の１０倍以内に位置することが好適であり、５倍以内に位置することがより好適であり、３倍以内に位置することがさらに好適である。
【００５１】
例えば、本実施形態では、ノズル２２の開口部２２ｂの開口直径が０．２ｍｍであり、静電気力を考慮しない場合、ノズル２２の開口部２２ｂから出た液体は、ノズル２２の先端で直径が約０．２ｍｍの半球状となるように出てくる。
【００５２】
そして、このノズル２２の先端に出てきた液体に電場（静電気力）が作用して円錐状のテーラコーン８０が形成できるように、心棒２３の先端は、ノズル２２の開口部２２ｂ近くまで到達した液体の近くに存在することが良く、このためノズル２２の開口部２２ｂの先端面から前方（出る方向）に２ｍｍ以内に位置するようにするのが好適であり、一方、液体の付着に作用するように、心棒２３の先端がノズル２２の開口部２２ｂの先端面から後方（引っ込む方向）に２ｍｍ以内に位置するようにするのが好適である。
【００５３】
上記のように、心棒２３を設けることによって、ノズル２２の開口部２２ｂの開口直径を大きくしても安定した液体の霧化が行える。
このため、ノズル２２の開口部２２ｂの開口直径を目詰まりが抑制できるような大きな開口直径にすることができる。
また、ノズル２２の開口部２２ｂの開口直径を大きくできるため機械加工で容易にノズル２２が製作できる。
【００５４】
なお、本実施形態では、心棒２３の先端が先端面２３ｄとして平坦な平面としている場合を示しているが、必ずしも、心棒２３の先端が平坦な平面である必要はなく、安定したテーラコーン８０の形成に寄与すれば良いので、例えば、心棒２３の先端はＲ形状のように、前方側に向かって突出する曲面になっていても良い。
【００５５】
このようにして液体噴霧部２０（ノズル２２）から噴霧された液体は、静電爆発を繰り返しながら霧化液体となり、この微粒化した液体は電荷を帯びた状態であるため、被塗物（異極部４０）側に静電気力で引き寄せられて被塗物（異極部４０）に塗着することになる。
【００５６】
（マスキング治具）
図４は、マスキング治具３０がわかり易いように、被塗物（異極部４０）からマスキング治具３０を離した位置に位置させて図示した斜視図である。
なお、液体を被塗物（異極部４０）に塗着させるときには、図１に示すように、マスキング治具３０は被塗物（異極部４０）上に配置される。
【００５７】
マスキング治具３０は、絶縁材料からなるマスキング本体３１と、マスキング本体３１の被塗物（異極部４０）側に位置する裏面３１ａに一体形成されるように設けられた複数の脚部３２を備えている。
例えば、絶縁材料としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンテレフタレートやフッ素系樹脂の耐溶剤性に優れた材料を用いるのが好適である。
【００５８】
図４に示すように、本実施形態では、被塗物（異極部４０）に対して円形パターンに液体を塗着させるために、マスキング本体３１の中央部分に円形の開口３３が設けられているが、開口３３の形状は、液体を塗着させる形状に合わせて適宜変更されてよい。
【００５９】
また、被塗物（異極部４０）に液体を塗着させない部分の形状が、マスキング本体３１のような四角形状である場合は、開口３３を設けないマスキング本体３１としてマスキング本体３１の外側に液体を塗着させることになる。
【００６０】
脚部３２は、被塗物（異極部４０）に接触する部分であり、この脚部３２によってマスキング本体３１は、被塗物（異極部４０）から離間するように被塗物（異極部４０）上に配置される。
【００６１】
なお、マスキング治具３０が被塗物（異極部４０）上に取付けられるように、本実施形態では、脚部３２の被塗物（異極部４０）と接触する部分に粘着材料を設けている。
但し、脚部３２に粘着材料を設けておくことに限定されるものではなく、例えば、被塗物（異極部４０）上に取付ける直前に、脚部３２に両面テープを取付けるなど、具体的な取付け手法は適宜変更しても良い。
【００６２】
また、後ほど理由については説明するが、脚部３２は、マスキング本体３１の噴霧された液体が通過する開口縁部又は外周縁部から所定の距離以上離れた位置、例えば、５ｍｍ以上離れた位置に設けられるのが好適である。
【００６３】
より具体的に説明すると、本実施形態では、被塗物（異極部４０）に対して円形パターンに液体を塗着させることになるので、マスキング本体３１の円形の開口３３の縁部周辺は、噴霧された液体が通過することになり、この噴霧された液体が通過することになる開口縁部が、マスキング本体３１の噴霧された液体が通過する縁部である。
このため、この開口３３の縁部から脚部３２は、５ｍｍ以上離れたマスキング本体３１の被塗物（異極部４０）側に位置する裏面３１ａの隠れる部分に設けられることが好適である。
【００６４】
なお、例えば、マスキング本体３１の外側となる被塗物（異極部４０）の部分にも液体を塗着させるような場合には、マスキング本体３１の外周縁のところも噴霧された液体が通過することになるので、この場合、外周縁も噴霧された液体が通過する縁部であり、この場合には、図４において、マスキング本体３１の四隅に設けられている４つの脚部３２も、この外周縁（噴霧された液体が通過する縁部）から所定の距離（例えば５ｍｍ）以上離れたマスキング本体３１の被塗物（異極部４０）側に位置する裏面３１ａの隠れる部分に設けられることが好適である。
【００６５】
以上のような構成からなる第１実施形態の静電噴霧装置１０を用いた被塗物（異極部４０）に液体を塗着させる方法（液体塗着方法）について説明を行いながら、さらに、マスキング治具３０についての説明を行う。
【００６６】
まず、図１に示すように、被塗物（異極部４０）上にマスキング治具３０を配置する配置工程を行う。
ここでは、上述したように、脚部３２を被塗物（異極部４０）上に接触させて、マスキング本体３１が被塗物（異極部４０）から離間するように、脚部３２の粘着材料でマスキング治具３０を被塗物（異極部４０）上に取付ける。
このように、本実施形態のマスキング治具３０であれば、特別な支持機構を設けることなく、自由に被塗物（異極部４０）上に配置することが可能であり、被塗物（異極部４０）のサイズに応じてマスキング治具３０を形成するだけでよい。
【００６７】
次に、液体噴霧部２０（本例では心棒２３）と被塗物（異極部４０）との間に電圧印加手段５０で電圧を印加し静電気力を発生させ、その静電気力によって液体を帯電状態にして、さらに静電気力で帯電した液体を液体噴霧部２０から離脱させ、離脱した液体（噴霧された液体）をマスキング治具３０が配置された被塗物（異極部４０）に塗着させる液体塗着工程を行う。
【００６８】
より具体的に、この液体塗着工程の状態について説明すると、電圧印加手段５０で電圧を印加して静電気力を発生させると、絶縁材料からなるマスキング本体３１は、液体噴霧部２０側を向く表面が帯電し、液体を反発する帯電状態となる。
なお、マスキング本体３１を被塗物（異極部４０）から離間させていることで誘電率の低い空気で空気層を作り、液体を反発する反発力を高めることができる。
【００６９】
このため、マスキング本体３１の開口３３周辺に向けて噴霧された液体は、開口３３の部分では、開口３３を通じて被塗物（異極部４０）に静電気力で引き寄せられて被塗物（異極部４０）に塗着する。
一方、開口３３の外側、つまり、マスキング本体３１がある部分では、反発されてマスキング本体３１への液体の塗着が回避される。
【００７０】
ここで、この開口３３の縁部に近接して脚部３２を設けた場合、例えば、脚部３２が導電材料であれば、この脚部３２が被塗物（異極部４０）と接触しているため脚部３２自体も液体の塗着するターゲットとなり、被塗物（異極部４０）のこの脚部３２が接触する部分近辺は被塗物（異極部４０）の他の部分とは異なる液体の塗着状態となる。
したがって、上述したように、開口３３の縁部から離れた位置に脚部３２は、設けられることが好ましい。
【００７１】
また、脚部３２が絶縁材料である場合でも、開口３３の縁部に近接して脚部３２を設けた場合、今度は、脚部３２が液体を反発するため、開口３３の脚部３２が無く被塗物（異極部４０）の脚部３２が接触していない部分と比較して脚部３２が接触している部分近辺は液体の塗着状態が異なることになる。
したがって、脚部３２が絶縁材料である場合でも、脚部３２は、開口３３の縁部から離れた位置に設けられることが好ましい。
【００７２】
ところで、このように開口３３の縁部から離れた位置に脚部３２を設けたとしても、マスキング本体３１の厚みなどの状態によっては、脚部３２が帯電した液体を引き寄せる作用を奏する場合があり、マスキング本体３１が存在するので被塗物（異極部４０）に液体が塗着することはないが、マスキング本体３１に液体が塗着してしまう場合がある。
【００７３】
このため、上述したように、脚部３２は、導電材料とすることも可能であるが、本実施形態のように、脚部３２には絶縁材料を用いるようにすることが好ましい。
同様に、マスキング本体３１も少なくとも液体噴霧部２０側となる表面に絶縁材料が用いられていれば液体を反発する作用を奏するが、表面以外のマスキング本体３１の部分に導電材料が用いられていると反発力が低下する可能性があるため、マスキング本体３１は、絶縁材料だけで形成するようにすることが望ましい。
【００７４】
なお、液体の噴霧開始直後は、マスキング本体３１が液体を十分に反発できる帯電状態になっていない場合があり、マスキング本体３１に液体が幾分塗着する可能性がある。
また、液体の噴霧終了後の静電気力が発生しなくなった状態のときには、マスキング本体３１の帯電状態が低下し、依然としてマスキング本体３１の近くに浮遊している液体がマスキング本体３１に塗着する可能性がある。
【００７５】
このため、塗着した液体を洗浄するために溶剤などにマスキング本体３１が曝される場合があるので、マスキング本体３１には、上述したような耐溶剤性に優れた、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンテレフタレートやフッ素系樹脂などの絶縁材料を用いるのが好適である。
【００７６】
一方、上述した液体の噴霧開始直後のマスキング本体３１への液体の塗着を抑制するために、配置工程を行った後、液体塗着工程を開始する前に、液体を反発する帯電状態にマスキング本体３１を帯電させる放電工程を行うようにしてもよい。
【００７７】
具体的には、図５に示すように、液体の噴霧に使用するのとは異なる放電電極７０、つまり、液体噴霧部２０の電極（本例では心棒２３）とは異なる放電電極７０を設けておき、液体を供給しない状態で放電電極７０と被塗物（異極部４０）との間に電圧を印加して静電気力を発生させるようにすればよい。
放電電極７０としては、放電が起きやすいようにするために、図５に示すように、被塗物（異極部４０）側となる先端が先細りする形状とすることが好ましい。
【００７８】
なお、放電電極７０を用いずに、液体を供給しない状態で液体噴霧部２０と被塗物（異極部４０）との間に電圧を印加して静電気力を発生させるようにして、放電工程を行うようにしてもよいが、速やかに帯電状態とする意味からすれば、放電電極７０を用いるようにすることが好ましい。
【００７９】
（第２実施形態）
次に、図６及び図７を参照して、本発明の第２実施形態に係る静電噴霧装置１０’について説明する。
図６は、図４に対応する図であり、マスキング治具３０’を被塗物（異極部４０）から離した状態を示す斜視図であり、図７は、マスキング治具３０’を被塗物（異極部４０）上に配置した状態を示す断面図である。
【００８０】
図６及び図７に示すように、第２実施形態の静電噴霧装置１０’も液体噴霧部２０や被塗物（異極部４０）の構成は第１実施形態と同じであり、マスキング治具３０’が、第１実施形態でマスキング治具３０に、さらに、マスキング補助体３４を備えたものとなっている点が異なるだけである。
したがって、主に異なる点についてだけ説明を行い、第１実施形態と同様の点については説明を省略する場合がある。
【００８１】
マスキング補助体３４は、導電材料又は１０１０Ω以下の表面抵抗の帯電防止材料からなり、被塗物（異極部４０）に接触するように、被塗物（異極部４０）上に直接配置される部材であり、被塗物（異極部４０）の液体を塗着させる領域を規定する。
なお、マスキング補助体３４を被塗物（異極部４０）上に設置するに当たり、マスキング補助体３４の被塗物（異極部４０）側となる面に粘着材料を設けておくようにしてもよいし、両面テープなどで取付けるようにしてもよい。
【００８２】
本実施形態では、被塗物（異極部４０）の液体を塗着させる領域を規定するためにマスキング補助体３４には、円形の開口３５が形成されており、この円形の開口３５と同じ形状で被塗物（異極部４０）には液体が塗着される。
【００８３】
第１実施形態でも、マスキング本体３１の開口３３を通過する液体だけが被塗物（異極部４０）に塗着することになるので、被塗物（異極部４０）上での液体の塗着パターンは、ほぼマスキング本体３１の開口３３と同じパターンとなる。
しかしながら、マスキング本体３１は、被塗物（異極部４０）から離間して配置されているため、塗着パターンの外周部分が幾分明確でない状態となる。
これは、開口３３の縁部が液体を反発する作用を奏し、この反発がマスキング本体３１の帯電状態によって変わるためである。
【００８４】
一方で、本実施形態のように、被塗物（異極部４０）の液体を塗着させる領域を規定するマスキング補助体３４を導電材料又は１０１０Ω以下の表面抵抗の帯電防止材料として被塗物（異極部４０）上に接触させるように直接配置すると、このマスキング補助体３４自体は、被塗物（異極部４０）の電位とほぼ同じ電位状態になるので、マスキング補助体３４は液体を反発する作用を奏しない。
【００８５】
このため、マスキング補助体３４の開口３５の縁部との境目に至る部分まで液体が塗着することになり、塗着パターンの外周部分が明確な円形パターンを形成することが可能となる。
なお、マスキング補助体３４の開口３５で液体の塗着する領域をきっちりと規定するために、マスキング本体３１の開口３３は図７に示すようにマスキング補助体３４の開口３５より大きめで、且つ、マスキング補助体３４の外形よりも小さめにしておくようにすることが好ましい。
【００８６】
以上のように、マスキング補助体３４を備えるマスキング治具３０’とすることで、より精度の高い明確な液体の塗着パターンを実現することができる。
なお、本実施形態のようにマスキング補助体３４を用いる場合において、例えば、四角い領域にだけ液体を塗着させないようなパターンとするときには、この液体を塗着させない四角い領域の４辺となる縁部だけを例えば、テープ状のマスキング補助体３４で規定し、その内側部分に液体が塗着しないように、液体噴霧部２０側から見たときに、マスキング補助体３４と一部がオーバーラップするように、四角いマスキング本体３１を配置するようにすればよい。
【００８７】
このようにすれば、液体が塗着してしまうマスキング部材の容量を減らすことが可能であるため、マスキング補助体３４を使い捨てするような使用形態としても費用を抑えることが可能である。
【００８８】
（第３実施形態）
次に、図８を参照しながら、本発明の第３実施形態に係る静電噴霧装置１０’’について説明する。
なお、第３実施形態の説明においても主に第１実施形態と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する場合がある。
【００８９】
第１実施形態が平板状の被塗物（異極部４０）であったのに対し、第３実施形態では、被塗物（異極部４０）が円柱状であり、その側面に円形パターンで液体を塗着させる点が異なる。
【００９０】
このため、第３実施形態のマスキング治具３０’’が被塗物（異極部４０）の側面の湾曲形状に沿うようにマスキング本体３１が形成されている点が異なり、その他の点は、第１実施形態と同様である。
つまり、マスキング本体３１の被塗物（異極部４０）側の裏面３１ａには、マスキング本体３１を被塗物（異極部４０）から離間させるための脚部３２（図示せず）がやはり設けられている。
【００９１】
このように、脚部３２でマスキング本体３１を被塗物（異極部４０）から離間させるとともに、この脚部３２を利用して被塗物（異極部４０）上にマスキング治具３０’’を設置する態様としておけば、マスクを専用の支持機構で支持するのとは異なり、被塗物（異極部４０）の形状が湾曲しているような場合でも簡単にマスキング治具３０’’を被塗物（異極部４０）上に配置することが可能である。
【００９２】
なお、マスキング本体３１をフレキシブルにしておけば、被塗物（異極部４０）が板状のときと、本実施形態のように湾曲しているときとで同じマスキングを実施したい場合マスキング治具３０’’自体を兼用することが可能である。
したがって、被塗物（異極部４０）の形状に対する自由度の観点からすれば、マスキング本体３１をフレキシブルにしておくことが好ましい。
【００９３】
また、第３実施形態においても、第２実施形態と同様にマスキング補助体３４を有するマスキング治具３０’’としてもよいことは言うまでもなく、被塗物（異極部４０）の形状に対する自由度の観点からすれば、マスキング補助体３４もフレキシブルにしておくことが好ましい。
また、本実施形態の脚部３２は円柱状としたが、マスキング本体３１を被塗物（異極部４０）上に設置し、適正な空気層を作るものであればよく、本実施形態に限定されるものではない。
【００９４】
以上、具体的な実施形態に基づいて本発明を説明してきたが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形や改良を施したものも本発明の技術的範囲に含まれるものであり、そのことは、当業者にとって特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００９５】
１０、１０’、１０’’  静電噴霧装置
２０                  液体噴霧部
２１                  胴体部
２１ａ                液体供給口
２１ｂ                液体流路
２１ｃ                孔部
２１ｄ                後端開口部
２１ｅ                雄ネジ構造
２２                  ノズル
２２ａ                先端外周縁
２２ｂ                開口部
２３                  心棒
２３ａ                摘み部
２３ｂ                電気配線接続部
２３ｃ                雄ネジ構造
２３ｄ                先端面
２３ｅ                雌ネジ構造
２４                  シール部材
３０、３０’、３０’’  マスキング治具
３１                  マスキング本体
３１ａ                裏面
３２                  脚部
３３                  開口
３４                  マスキング補助体
３５                  開口
４０                  異極部（被塗物）
５０                  電圧印加手段（電圧電源）
６０                  アース手段
７０                  放電電極
８０                  テーラコーン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2017074568.tif 000009
【図８】
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