(57)【要約】【課題】圧電振動子の等価直列抵抗値を過度に高くすることなく、エージング特性を良好にすることができる駆動電極の構成を提供すること。【解決手段】基台１と、基台１から延出し、主面及び側面を有する振動脚（２，３）と、振動脚（２，３）の主面及び側面に形成された励振電極と、を備える振動子５００であって、励振電極は、部分電極（２１，２４）と、部分電極同士を電気的に連結する連結電極（２２，２５）と、隣り合う部分電極の間に配置されている分離領域（２３，２６）とで構成される電極パターン（１１，１２）を有し、該電極パターン（１１，１２）を繰り返し配置した構成を備えていることを特徴とする。【選択図】図１
2017092709.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、前記基台から延出し、主面及び側面を有する振動脚と、前記振動脚の前記主面及び側面に形成された励振電極と、を備える振動子であって、
前記励振電極は、部分電極と、該部分電極同士を電気的に連結する連結電極と、隣り合う前記部分電極の間に配置されている分離領域とで構成される電極パターンを有し、該電極パターンを繰り返し配置した構成を備えている
ことを特徴とする振動子。
【請求項２】
前記電極パターンは、前記主面及び側面の少なくとも一方に配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載の振動子。
【請求項３】
前記電極パターンは、前記励振電極における前記基台側に配置されている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動子の電極構成に関する。更に詳しくは、屈曲型圧電振動子において、振動子の等価直列抵抗を小さく保ちつつ周波数のエージング特性を改善することができる電極構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電材料である水晶を用いた水晶振動子は、周波数や時間の基準を得る素子として普及しているが、周波数は経時変化によって基準とする値からずれることがあり、高い精度を実現するのは必ずしも容易ではなかった。以下、図面を用いて通常用いられている従来技術を説明する。
【０００３】
図１２に、通常の音叉型水晶振動子の正面図及び側面図を示す。振動子５１０の主体は水晶のＺ´板より成る平板状であって、基台１から図の上方に向かって延出する左振動脚２、右振動脚３を有する。ここで、図１２（ａ）の正面図に示した表面及びその裏面（図示せず）を振動子の主面と称し、主面に直交する左右の面（図１２（ｂ）の側面図において示した面）を側面と称する。
【０００４】
振動子５１０の表面には、振動子５１０を励振するための励振電極が形成される。左右の振動脚２、３の主面の表裏には主面電極１１が、各振動脚２、３の全ての側面には側面図（ｂ）には図示されない面も含めて側面電極１２が設けられる。励振電極である主面電極１１、側面電極１２の材料は金や銀などの金属の薄膜を用いることができ、スパッタや蒸着などの既知の手法で形成することができる。
【０００５】
基台１の表面には、図示しない発振回路と接続するための電極パッド１３、１４が設けられる。基台１の表面に設けられたリード線１５、１６は、主面電極１１及び側面電極１２を電極パッド１３及び１４に導くための導電パターンである。また側面接続電極１８は、各振動脚の両側面の側面電極１２同士を接続するための導電パターンである。図示しない裏面側の主面にも同様な導電パターンが存在する。
【０００６】
図１２に示す構成において、左振動脚２の表裏にある主面電極１１と右振動脚３の左右にある側面電極１２は電極パッド１４に接続され、右振動脚３の表裏にある主面電極１１と左振動脚２の左右にある側面電極１２は電極パッド１３に接続されることになる。図１２上で各電極パッドとその各々に接続される電極が同じものは同じ方向のハッチングを施してある。電極パッド１３、１４が２端子の発振回路に接続されると、左振動脚２と右振動脚３は振動子５１０の主面に平行な面内で左右に開閉する屈曲振動モードで発振し、振動を持続する。そのメカニズムは周知であるから説明を省略する。
【０００７】
振動子を構成する水晶材は単結晶であって弾性的性質等の安定性が極めて高く、周波数の経時変化が非常に少ないことが知られている。この水晶材の表面に金属の励振電極膜を形成することにより、水晶材は圧電振動子として駆動することができる。しかし、励振電極膜に使用する金属材料は均質ではない多結晶であり、弾性的な性質が安定的な材料であるとはいえず、また、電極膜成膜時や途中工程での熱処理時に、水晶材と励振電極材界面における応力の開放現象や、界面の密着性の変化などが起こるため、振動子の周波数の経時変化の特性（以下、エージング特性と呼ぶ。）に影響を与える原因となる。当然ながら、周波数の経時変化は少ないほうが好ましい。
【０００８】
このエージング特性の改善案としては特許文献１が知られている。図１３は特許文献１
の主旨を逸脱しない範囲で要点を容易に説明するための図である。図１３（ａ）は振動子５２０の正面図、図１３（ｂ）は振動子５２０の側面図である。なお、図１２と実質的に共通する部分には極力同じ名称及び符号を用い、必須でない符号は記載せず、また重複する説明は省略する。この特許文献１の目的は、各振動脚２、３の主面及び側面において、底端５に近い部分に励振電極を設けない領域８を設定し、主面電極１１と側面電極１２を、主面部分ベタ電極３３と側面部分ベタ電極３４とし、底端５から所定距離（励振電極を設けない領域８の距離）だけ離して配置したことである。なお、通常の従来例（図１２）で側面電極１２が兼ねていた表裏の主面電極を接続する役目を、表裏主面接続電極１９が行い、側面電極１２が兼ねていた側面電極１２と電極パッド１３、１４の接続は主面部で行われている。
【０００９】
励振電極膜がエージング特性に影響する程度は、振動時、振動歪みの大きな部位に設けられているほど影響が大きく、振動歪みは各振動脚２、３の長手方向において、底端５に近い部分が最大であり、振動脚の先端に向かうほど小さくなる（先端部では零）。このように電極膜を、振動歪みの発生が大きい底端５の付近に設けないようにしたことによって、特許文献１記載の従来技術では、文献内に記載されたように、通常の従来技術（図１２）に比して、エージング特性及びＱ値が改善された結果を得ている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開昭５６−５２９２２号公報（第３頁、第５図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、特許文献１に記載の従来技術においては、励振電極の面積を少なくしてエージング特性を向上させているため、圧電駆動力が小さく、結果として等価直列抵抗（ＣＩ値）が上昇してしまうのに加え、振動脚の全長のうちの一部に限定して圧電駆動力がかかるため、共振の振動姿態と圧電駆動力との整合性が悪く、なおさらＣＩ値を上昇させる要因となっていた。ＣＩ値の上昇は、振動子が搭載された機器の消費電力を上昇させてしまい、腕時計等の低消費電力が求められる機器では電池寿命を短くする結果となり、実使用上の困難があった。
【００１２】
そこで、本発明は、圧電振動子の等価直列抵抗（ＣＩ値）の上昇を抑えつつも、エージング特性を良好にすることが可能な電極構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の圧電振動子は、上記目的を達成するため、以下の構成を採用する。
【００１４】
基台と、基台から延出し、主面及び側面を有する振動脚と、振動脚の主面及び側面に形成された励振電極と、を備える振動子であって、励振電極は、部分電極と、部分電極同士を電気的に連結する連結電極と、隣り合う部分電極の間に配置されている分離領域とで構成される電極パターンを有し、この電極パターンを繰り返し配置した構成を備えていることを特徴とする。
【００１５】
このように構成することによって、振動子が振動する際の歪み発生部分に存在する励振電極部材の面積が減少するため、水晶材料と電極材料を合わせた振動子全体の弾性的性質の経時変化を少なくすることができ、結果として周波数のエージング特性を向上することができる。その上、駆動力が振動脚の全長の一部に限定されずに全長に渡ってかけられるので、共振の振動姿態と駆動力との不整合がおこらず、効率よく励振されＣＩ値が上昇しにくい。よってＣＩ値の上昇を最低限に抑えたまま、エージング特性を向上することがで
きる。また、励振電極部材の面積が減少し励振電極部材による振動損失も抑えられることからも、ＣＩ値が上昇しにくい。
【００１６】
また、この電極パターンは、主面及び側面の少なくとも一方に配置されているようにするとよい。
【００１７】
このように構成することにより、分離領域と複数の部分電極が配置された主面又は側面においては、経時変化の影響を小さくすることができる。また、振動損失の影響も小さくすることができる。
【００１８】
また、電極パターンは、励振電極における基台側に配置されているようにするとよい。このようにすることによって、振動歪み（応力）が高い部分である基台側における電極構成を改善することになるので、特にＣＩ値の上昇を抑えながら、エージング特性の改善も効率的に行うことができる。
【発明の効果】
【００１９】
振動歪が生じる部分における励振電極の面積を少なくし、励振電極の弾性定数の経時変化や圧電材料と励振電極間界面との膜応力の変化といった、振動子の振動特性を変化させる原因を減らす構成であるので、エージング特性を向上することができる。また、励振駆動力の発生部位が振動脚の特定の部位に限定されることがない構成なので、励振駆動力と振動姿態との整合性が維持され、ＣＩ値の上昇が少なく抑えられる。励振電極膜による振動損失も抑えられる点からもＣＩ値が上昇しにくい。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態である振動子を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【図２】本発明の効果を示すグラフであり、縞電極を形成する面に関するものである。
【図３】本発明の効果を示すグラフであり、縞電極の細かさに関するものである。
【図４】本発明の効果を示すグラフであり、縞電極とスペースの比率に関するものである。
【図５】本発明の効果を示すグラフであり、縞電極と従来技術の比較に関するものである。
【図６】本発明の振動子の第１実施形態の変形例１を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【図７】本発明の振動子の第１実施形態の変形例２を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【図８】本発明の振動子の第１実施形態の変形例３を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【図９】本発明の振動子の第２実施形態を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【図１０】本発明の振動子の第３実施形態を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【図１１】本発明の振動子の第４実施形態を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【図１２】従来の振動子の標準的な励振電極の形態を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【図１３】特許文献１に記載の振動子の励振電極の形態を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の種々の実施形態を、図面を用いて説明する。
【００２２】
＜第１実施形態の説明：図１＞
図１は本発明の第１実施形態を示し、図１（ａ）は第１実施形態における振動子の正面図、図１（ｂ）は振動子の側面図である。
【００２３】
図１に示すように、振動子５００の主体は平板状の圧電体であって、基台１から図の上方に向かって延出する左振動脚２、右振動脚３を有する。振動子５００の材料は圧電基板であればよく、例えば、水晶のＺ´板を用いることができる。正面図（ａ）に表れた表面及びその裏面（図示せず）を振動子の主面とし、主面に直交する左右の面を側面とする。また各振動脚２、３の先端部の領域２０には、図示しないが、一部を除去することによって周波数調整を行うための付加質量となる膜が設けられる。
【００２４】
振動子５００の表面には、振動子５００を励振するため、通常は金属の薄膜より成る励振電極が蒸着やスパッタなどの手法またはそれらにフォトリソグラフィーを応用した手法で形成される。金属の材料は一例として、主材としては金、銀、パラジウムなど、下地としてはクロム、ニッケル、チタンなどが用いられる。左右の振動脚２、３の主面の表裏には主面電極パターン１１が、各振動脚の全ての側面には側面図（ｂ）には図示されない面も含めて側面電極パターン１２が設けられる。
本実施形態においては、一つの主面電極パターン１１は、それぞれ主面部分電極２１、それらを連結する主面連結電極２２、各主面部分電極２１の間にある主面分離領域２３より構成される。そして、主面に形成された励振電極は、この主面電極パターン１１を繰り返し配置した構成を備えている。また、側面電極パターン１２は、側面部分電極２４、それらを連結する側面連結電極２５、各側面部分電極２４の間にある側面分離領域２６で構成されている。そして、主面と同様に、側面に形成された励振電極は、この側面電極パターン１２を繰り返し配置した構成を備えている。側面連結電極２５は主面側に配置され、主面と側面のエッジ部を越えて側面部分電極２４と接続するためのものであり、この電極の幅は断線しない程度に極力細くすることが好ましい。なお、本発明の実施形態における主面電極パターン１１と側面電極パターン１２を、その形状的特徴を捉えて縞電極と呼ぶことがある。
【００２５】
基台１の表面には、図示しない発振回路と接続するための電極パッド１３、１４が設けられる。基台１の表面に設けられたリード線１５、１６、１７は、主面電極パターン１１及び側面電極パターン１２を電極パッド１３及び１４に導くための導電パターンである。また側面接続電極１８は、各振動脚の両側面の側面電極１２同士を接続するための導電パターンである。図示しない裏面側の主面にも同様な導電パターンを設ける。表裏主面接続電極１９は表裏主面に配置された主面電極パターンを接続するものである。
【００２６】
図１の構成において、左振動脚２の表裏にある主面電極パターン１１と右振動脚３の左右にある側面電極パターン１２は電極パッド１４に接続され、右振動脚３の表裏にある主面電極パターン１１と左振動脚２の左右にある側面電極パターン１２は電極パッド１３に接続される。電極パッド１３、１４が２端子の発振回路に接続されると、左振動脚２と右振動脚３は振動子の主面に平行な面内で左右に開閉する振動モードで発振し、振動を持続する。そのメカニズムは周知であり、通常の従来例（図１２）及び特許文献１記載の従来例（図１３）と同様であるため説明は省略する。
【００２７】
本第１実施形態においては、主面電極パターン１１又は側面電極パターン１２がベタ電極ではなく、縞状をなしていることが特徴である。そのため、主面分離領域２３と側面分離領域２６では、励振電極の弾性的性質の変化や、振動子材料（水晶）と励振電極の界面に発生した膜応力の経時変化といった周波数に影響を与える要素が存在しない。これによ
り、励振電極が分離領域を備えないベタ電極のときに比べて、振動子の周波数の経時変化が抑制される。つまり、エージング特性が向上する。このとき、主面分離領域２３と側面分離領域２６は振動子材料（水晶）の励振を行うための電界を与えることが出来ないため、励振効率はベタ電極の場合よりも若干低下、つまりＣＩ値は若干上昇するが、縞状の電極（以下、縞電極と呼ぶ。）にすることによって主面部分電極２１や側面部分電極２４でかけられる電界が、主面分離領域２３や側面分離領域２６に当たる部分の振動子材料（水晶）にもおよぼすため、脚全体としては励振駆動力が一部分に限定されることがない。よって、励振電極による励振駆動力と、共振の振動姿態との整合性が取れており、ＣＩ値の上昇を最小限に抑えることができる。
なお、屈曲振動では側面の振動歪みが一番大きく、この面に形成された電極膜は、周波数のエージング特性に特に影響する。振動脚２、３の各側面においては、側面分離領域２６において電極材料を全くなくしたので、エージング特性の改善効果が特に大きいと推測される。
【００２８】
＜本発明の効果の定量的な説明：図２〜５＞
以下、本発明の実施形態の効果について、適宜条件を設定し、効果を調べた結果を、図２〜図５の４枚のグラフを用いて詳述する。これらのグラフは、主面と側面に全面ベタ電極を有する従来例（図１２相当）におけるＣＩ値とエージング量をそれぞれ１００％（基準）としたとき、種々の電極構造の形態についてＣＩ値およびエージング量を比較したものである。横軸をＣＩ値比、縦軸をエージング量比としている。ＣＩ値比もエージング量比も小さい（原点０，０に近い）ほど好ましい。なお電極寸法も一部の図で表れるが、振動子の全長は約２ｍｍである。
【００２９】
図２は、縞電極の形成面に対するＣＩ値及びエージング量の特性比較を示すグラフであり、図３は縞電極の細かさによる特性の変化を示すグラフ、図４は縞電極の間隔（抜き量）による特性の変化を示すグラフ、図５は縞電極と一部電極除去従来型との特性比較を示すグラフである。
【００３０】
＜縞電極を形成する面の場所について：図２＞
縞電極を振動脚２、３の主面または側面、もしくは主面及び側面に設けたときのＣＩ値とエージング量比について、図２を用いて説明をする。図２において、マーク１００（図２の■）は主面及び側面にベタ電極を設けた基準構成であり、マーク１３０（図２の▲）は、縞電極を主面のみに設け側面はベタ電極の場合であり、マーク１３１（図２の●）は縞電極を側面のみに設け主面はベタ電極の場合であり、マーク１３２（図２の□）は主面と側面の双方に縞電極を設けた場合である。
【００３１】
図２に示すとおり、マーク１００の主面及び側面ベタ電極（基準）に対して、縞電極を主面のみに設けた場合（マーク１３０）、縞電極を側面のみに設けた場合（マーク１３１）、主面と側面の双方に縞電極を設けた場合（マーク１３２）の順でエージング量比は大幅に改善されており、マーク１３２では基準値のほぼ半分になっている。一方ＣＩ値比は変化が比較的少なく、上記の順で増えはするが増加量は小さく、マーク１３２でも基準より１８％の増加に過ぎない。これらの結果から、主面と側面の双方に縞電極を設けると一番よいことがわかる。またマーク１３１のエージング量比の改善が大きいことから、側面のみに縞電極を設けることも有効性が高いことがうかがわれる。なお、縞電極は電極幅（部分電極２１又は２４の幅）を２５μｍ、それらのスペースの間隔（分離領域２３、２６の幅）を２５μｍとしたが、これに限定するものではない。なお、第１実施形態に該当するのはマーク１３２である。
【００３２】
＜縞電極の面積を一定としたときの間隔について：図３＞
次に、縞電極の部分電極及び分離領域（例えば主面部分電極２１及び主面分離領域２３
）の面積比を一定とし、隣接する縞電極の間隔を変化させたときのＣＩ値とエージング量比について、図３を用いて説明をする。ここで、振動脚の長手方向に沿って部分電極の幅をＬ（図１参照）、分離領域の幅をＳ（図１参照）とし、ＬとＳの寸法変化は主面及び側面の両方に適用した場合として説明をする。図３において、マーク１００（図３の■）はベタ電極を設けた基準構成であり、Ｌ＝１００、Ｓ＝０に相当する。マーク１４０（図３の▲）は、Ｌ＝Ｓ＝２５μｍとした場合であり、マーク１４１（図３の●）はＬ＝Ｓ＝５０μｍとした場合であり、マーク１４２（図３の□）はＬ＝Ｓ＝１００μｍとした場合である。マーク１４０、１４１、１４２の条件については、主面電極及び側面電極のそれぞれのＬ及びＳの総量が同じになるようにしているため、各縞電極の面積は一定である。またＬ及びＳが小さいほど縞電極の間隔が狭くなるため細かい縞電極となり、Ｌ及びＳが大きいほど縞電極の間隔が広くなるため粗い縞電極になる。
【００３３】
図３に示すとおり、マーク１００と比較してマーク１４０、１４１、１４２の条件では、エージング量比はいずれも５１〜５６％程度に改善されており、縞電極の間隔（粗さ）に対してはあまり差がないことがわかる。一方、ＣＩ値比はマーク１４０に対してマーク１４２は大きく、悪化していることを示す。これにより、縞電極の間隔は細かい方がよいことがわかる。縞電極の間隔が細かいほうが、電界のかかり方、つまり励振駆動力が脚全体で均一化されて共振の振動姿態との整合性が高くなるため、ＣＩ値が上昇しにくくなるものと考えられる。
【００３４】
＜縞電極の面積が異なるような間隔について：図４＞
次に、縞電極の面積が条件によって異なるように部分電極及び分離領域（例えば主面部分電極２１及び主面分離領域２３）の間隔を変化させたときのＣＩ値とエージング量比について、図４を用いて説明をする。ここで、上述した図３の説明と同様に振動脚の長手方向に沿って部分電極の幅をＬ（図１参照）、分離領域の幅をＳ（図１参照）とし、ＬとＳの寸法変化は主面及び側面の両方に適用した場合として説明をする。
【００３５】
図４において、マーク１００（図４の■）はベタ電極である基準構成であり、マーク１０１（図４の▲）はＬ＝５０μｍ、Ｓ＝２５μｍであり、マーク１０２（図４の●）はＬ＝Ｓ＝２５μｍであり、マーク１０３（図４の□）はＬ＝２５μｍ、Ｓ＝５０μｍであり、マーク１０４（図４の△）はＬ＝２５μｍ、Ｓ＝７５であり、マーク１０５（図４の○）はＬ＝２５μｍ、Ｓ＝１００μｍである。
【００３６】
基準構成であるマーク１００のベタ電極に対して、どれだけ電極を抜いたか（分離領域を設けたか）という見方をすれば、電極を抜いた量（抜き量）はマーク１０１、１０２、１０３、１０４、１０５の順に３３％、５０％、６７％、７５％、８０％である。
【００３７】
図４に示すように、抜き量に対してＣＩ値比とエージング量比は略反比例の関係になっており、各マーク間を曲線２００で示している。マーク１００、１０１、１０２、１０３、１０４、１０５の順にエージング量比が良くなる一方で、ＣＩ値比が増している。振動子を配置する回路が許容するＣＩ値が高ければ抜き量は大きくても良いが、ＣＩ値を小さくしエージング量も小さく抑えたいのであれば、曲線２００が原点に近くなる、抜き量３３〜７５％の範囲が好ましい。
【００３８】
＜縞電極と部分抜きを行った従来型電極との比較：図５＞
次に、縞電極と、図１３のように基台１側の電極を部分抜きした従来型ベタ電極、図示しない振動脚先端側の電極を部分抜きした従来型ベタ電極との比較について、図５を用いて詳細に説明する。
【００３９】
図５はＣＩ値比とエージング量比の関係を示したものであり、線２００で示した線は、
縞電極の抜き量を異ならせた場合であり、線３００はベタ電極のうち根元側から励振電極膜を除去した従来型電極のもの（特許文献１記載の従来例・図１３に近い）であり、線４００はベタ電極の先端部側から励振電極膜を除去した従来型電極のものである。
【００４０】
線２００は図４におけるものと同じデータで描かれたものであり、線３００は従来のベタ電極の根元側から励振電極膜を除去した条件であり、励振電極膜の除去量はＣＩ値比の低い順に全長の０％、４％、１０％、２０％（それぞれマークが黒色）である。線４００はベタ電極の先端側から励振電極膜を除去した条件であり、励振電極膜の除去量はＣＩ値比の低い順に０％、２０％（０％と同一マークとなる）、４０％、６０％、８０％（それぞれマークが白色）である。線２００、３００、４００を比べると、線２００の条件は、線３００、線４００と比較して、ＣＩ値の上昇はあまり大きくならずに、エージング量比を小さくなるため、最もよい条件であることがわかる。
【００４１】
＜他の実施形態について＞
以下、本発明の他の実施形態について、図６〜図１１を用いて説明する。なお、第１実施形態と他の実施形態、またはそれら相互の電極構成の相違点を明らかにし、図面を見易くするため、各実施形態において実質的に変更のない、基台１、振動脚２、３、電極パッド１３、１４、リード電極１５、１６、１７、側面接続電極１８、表裏主面接続電極１９等については符号の図示を省略した。
【００４２】
＜第１実施形態の変形例１：図６＞
図６に示すとおり、第１実施形態における側面電極パターン１２における側面連結電極２５の配置を、主面における側面側から側面の略中心線上に移したものである。側面連結電極２５を主面側に細く形成するよりも、側面内に形成した方が製造プロセス上、信頼性の点で有利となる。なお、図６においては、側面の中心線上に側面連結電極２５を配置したが、この位置に限定されるものではなく、任意に位置を変えても同様の効果が得られる。
【００４３】
＜第１実施形態の変形例２：図７＞
図７に示すとおり、第１実施形態における側面電極パターン１２における側面連結電極２５の配置を、主面における側面側から側面に移し、かつ、側面の両主面側に２つの側面連結電極２５を配置したものである。変形例１と同様に、側面連結電極２５を側面内に形成した方が製造プロセス上で有利となるうえに、一方の側面連結電極２５が断線してしまっても他方の側面連結電極２５によって電気的接続を維持できるため、信頼性が向上する。
【００４４】
＜第１実施形態の変形例３：図８＞
先の実施形態においては、主面電極パターン１１における主面部分電極２１と、側面電極パターン１２における側面部分電極２４の位置は揃って配置されているが、本変形例３においては、図８に示すとおり、主面部分電極２１と、側面部分電極２４を、縞電極のピッチの半分だけ相互にずらして配置している。このようにすると、励振電界が斜めにかかるため、部分電極部と分離領域間で均一化され、他の例よりもＣＩ値の上昇がさらに抑制される作用効果が期待できる。
【００４５】
＜第２実施形態：図９＞
第２実施形態は、図９に示すとおり、主面及び側面の連結電極２２、２５の配置を部分電極間ごとに変えたものであり、主面電極パターン１１、側面電極パターン１２をジグザグ状にして繰り返し配置したものである。この構成も、側面電極１２を振動子側面内で形成できるため、第１実施例の変形例１、２と同様、電極形成プロセス上有利となる可能性がある。
【００４６】
＜第３実施形態：図１０＞
第３実施形態は、図１０に示すとおり、主面電極パターン１１、側面電極パターン１２を根元部（底端５の側）に配置し、先端側には、分離領域を設けず、ベタ電極としたものである。本実施形態においても根元部では本発明の主な効果であるエージング量改善効果が発揮され、先端部ではベタ電極によるＣＩ値抑制効果が発揮される。
【００４７】
＜第４実施形態  図１１＞
第４実施形態は、図１１に示すとおり、主面電極パターン１１、側面電極パターン１２は、根元部（底端５の側）には配置せずベタ電極とし、先端側に配置して、縞状電極としたものである。本実施形態において、全面ベタ電極に比べてＣＩ値はほとんど悪化せず、エージング量改善効果が期待できる。
【００４８】
＜更に他の実施形態について＞
縞状の電極の形状は、既述のものに限られず、他の構成を用いてもよい。振動脚の数は３本以上あってもよい。また各振動脚に設ける縞状電極は、互いに異なる形態（電極パターン）であってもよい。縞状電極の幅と間隔は、一定の幅や間隔の繰り返しではなく、徐々に広げたり、狭めたりなど、異ならせるようにしてもよい。また、電極パターンは主面または側面のどちらか一方のみに形成され、もう一方はベタ電極にしてもよい。また、振動子の主たる材質は水晶に限らず、他の圧電材料であってもよい。振動モードは、面内屈曲モードのみならず、面外屈曲モードでもよいし、それらの高次モードでもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明の励振電極構成によって、圧電振動子の等価直列抵抗が僅かに増すだけで、振動子のエージング特性を良好に保つことが可能となり、高精度を要求される周波数基準を実現することが出来たので、産業上の利用可能性は大なるものがある。
【符号の説明】
【００５０】
１  基台
２、３  振動脚
５  底端
７  振動歪みの中立線
８  励振電極を設けない領域
１１  主面電極パターン
１２  側面電極パターン
１３  電極パッドＡ
１４  電極パッドＢ
１５、１６、１７  リード線
１８  側面接続電極
１９  表裏主面接続電極
２０  脚先端領域
２１  主面部分電極（縞電極）
２２  主面連結電極
２３  主面分離領域
２４  側面部分電極（縞電極）
２５  側面連結電極
２６  側面分離領域
３３  主面部分ベタ電極
３４  側面部分ベタ電極
５００  振動子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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