(57)【要約】【課題】簡単な構造でありながら、製品の位置ずれ及び収容凹部からの製品の脱落を防止し得る、搬送治具押さえ板を提供する。【解決手段】搬送治具押さえ板１０は、製品６０を収容する収容凹部５１を有する搬送治具５０の上に取り付ける第一押さえ板１１であって、収容凹部５１に収容された製品６０の上方に位置する第一貫通穴２１と、第一貫通穴２１の周縁に片持ち梁状に設けられ、製品６０に当接することによって製品６０を押圧する押圧片３０と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図２
2017226463.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品を収容する収容凹部を有する搬送治具の上に取り付ける搬送治具押さえ板であって、
前記収容凹部に収容された前記製品の上方に位置する貫通穴と、
この貫通穴の周縁に片持ち梁状に設けられ、前記製品に当接することによって前記製品を押圧する押圧片と、
を備えたことを特徴とする搬送治具押さえ板。
【請求項２】
前記押圧片は、
前記貫通穴の周縁に片持ち梁状に設けられ、前記製品に当接することによって第一方向へ前記製品を押圧する第一押圧片と、
前記貫通穴の周縁に片持ち梁状に設けられ、前記製品に当接することによって前記第一方向と異なる第二方向へ前記製品を押圧する第二押圧片と、
からなる、
請求項１記載の搬送治具押さえ板。
【請求項３】
前記製品は底面、上面、互いに対向する第一及び第三側面並びに互いに対向する第二及び第四側面からなる直方体状であり、
前記収容凹部は、前記製品の前記底面が載置される収容底面と、この収容底面に載置された前記製品の前記第一乃至第四側面にそれぞれ対向する第一乃至第四収容側面とからなり、
前記第一押圧片は、前記第一側面と前記上面とが共有する第一辺に当接することによって変形し、この変形によって前記第一辺を前記第三収容側面の方へ押圧し、
前記第二押圧片は、前記貫通穴の周縁に片持ち梁状に設けられ、前記第二側面と前記上面とが共有する第二辺に当接することによって変形し、この変形によって前記第二辺を前記第四収容側面の方へ押圧する、
請求項２記載の搬送治具押さえ板。
【請求項４】
前記第一及び第二押圧片は、前記上面に対して斜めに当接する先端面と、所定の弾性が付与された薄肉部とを有する、
請求項３記載の搬送治具押さえ板。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一つに記載の搬送治具押さえ板を第一押さえ板とし、前記貫通穴を第一貫通穴としたとき、
前記第一押さえ板の上に設けられ、前記第一貫通穴に重なるように第二貫通穴が形成された第二押さえ板を更に備えた、
搬送治具押さえ板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば水晶振動子や水晶発振器など圧電デバイスを搬送する際に用いられる搬送治具押さえ板に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電デバイスなどの製品の搬送治具として、製品を一個ずつ収容する多数の収容凹部を有するトレー状のものが知られている（例えば特許文献１〜３参照）。その搬送治具には、製造中の製品（製品の一部）を搬送するものもあれば、製造後の製品を搬送するものもある。例えば、製造中では、一つの搬送治具に多数の素子搭載部材が収容された状態で、圧電素子や蓋部材が素子搭載部材上に装着される。また、製造後の表面実装型の製品は、一つの搬送治具に多数個が収容されてチップ・マウンタへ送られ、チップ・マウンタでは搬送治具から一個ずつピックアップされてプリント配線板に載置される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１６０１８８号公報
【特許文献２】特開２００７−２３０５８０号公報
【特許文献３】特開２０１２−０５１６０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このトレー状の搬送治具には、次のような問題があった。
【０００５】
（１）搬送治具の収容凹部は、製品の出し入れがしやすいように、製品との間に隙間が生じる寸法になっている。そのため、収容凹部内で製品の位置が変わることにより、その後の工程で製品の位置ずれが生ずることがあった。特に製品の小型化が進むにつれて、高精度がますます要求されるので、この問題は深刻化しつつある。
【０００６】
（２）搬送治具の収容凹部は、製品の出し入れがしやすいように、上方が開放されており、かつ製品を固定する手段も付設されていない。そのため、搬送治具の振動や傾斜又は風などによって、製品が収容凹部から脱落することがあった。特に製品の小型化が進むにつれて、製品がますます軽くなるので、この問題も深刻化しつつある。
【０００７】
一方、特許文献１〜３には、製造中の製品の搬送に使われる搬送治具において、製品を固定する手段が付設されたものが開示されている。しかし、これらの搬送治具は、弾性変形する爪等の固定手段を搬送治具の収容凹部内に設けるため、構造が複雑化する。その結果、製造コストが増加するとともに、複雑化すなわち微細化により固定手段の寿命が短い（弾性の低下など）。これに加え、製品の着脱のために固定手段を解除する必要がある（着脱用の専用治具と着脱作業が必要）。つまり、特許文献１〜３に記載の搬送治具は、このような問題があった。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、簡単な構造でありながら、製品の位置ずれ及び収容凹部からの製品の脱落を防止し得る、搬送治具押さえ板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る搬送治具押さえ板は、
製品を収容する収容凹部を有する搬送治具の上に取り付ける搬送治具押さえ板であって、
前記収容凹部に収容された前記製品の上方に位置する貫通穴と、
この貫通穴の周縁に片持ち梁状に設けられ、前記製品に当接することによって前記製品を押圧する押圧片と、
を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る搬送治具押さえ板によれば、製品の上方に位置する貫通穴の周縁に片持ち梁状に押圧片を設け、この押圧片で製品を押圧することにより、搬送治具そのものを加工することなく、片持ち梁状という簡単な構造でありながら製品の位置ずれ及び収容凹部からの製品の脱落を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１［Ａ］は実施形態１の搬送治具押さえ板を示す部分平面図であり、図１［Ｂ］は図１［Ａ］の搬送治具押さえ板に対応する搬送治具の部分平面図である。
【図２】図２［Ａ］は図１における搬送治具押さえ板及び搬送治具の製品一個分を示す平面図であり、図２［Ｂ］は図２［Ａ］におけるIIb−IIb線断面図である。
【図３】図２における搬送治具押さえ板及び搬送治具を示す分解斜視図である。
【図４】実施形態１における第一押さえ板の製造方法を示す断面図であり、図４［Ａ］、図４［Ｂ］、図４［Ｃ］、図４［Ｄ］の順に工程が進行する。
【図５】実施形態１の搬送治具押さえ板の使用方法を示す断面図であり、図５［Ａ］、図５［Ｂ］、図５［Ｃ］、図５［Ｄ］の順に工程が進行する。
【図６】実施形態１の搬送治具押さえ板の作用及び効果の一部を説明するための図であり、図６［Ａ］は比較例１の搬送治具を示す断面図、図６［Ｂ］は第一押圧片を示す平面図、図６［Ｃ］は図６［Ｂ］におけるVIｃ−VIｃ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照しながら、本発明を実施するための形態（以下「実施形態」という。）について説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の構成要素については同一の符号を用いる。図面に描かれた形状は、当業者が理解しやすいように描かれているため、実際の寸法及び比率とは必ずしも一致していない。
【００１３】
図１［Ａ］は実施形態１の搬送治具押さえ板を示す部分平面図であり、図１［Ｂ］は図１［Ａ］の搬送治具押さえ板に対応する搬送治具の部分平面図である。図２［Ａ］は図１における搬送治具押さえ板及び搬送治具の製品一個分を示す平面図であり、図２［Ｂ］は図２［Ａ］におけるIIb−IIb線断面図である。図３は、図２における搬送治具押さえ板及び搬送治具を示す分解斜視図である。以下、これらの図面に基づき説明する。
【００１４】
各図面において、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸からなる右手系の三次元直交座標を設定する。図２及び図３では製品６０の一個分の領域のみを抜き出して示すが、実際には図示する構造がＸ軸方向及びＹ軸方向に複数配列されている（図１参照）。製品６０の断面は、複雑になるので、図２［Ｂ］では示さない。
【００１５】
まず、図１に基づき概要を説明する。搬送治具５０は、製品を収容する多数の収容凹部５１を有するトレー状である。本実施形態１の搬送治具押さえ板１０は、搬送治具５０の上に取り付けられ、収容凹部５１の上方に位置する多数の第一貫通穴２１と、各第一貫通穴２１の周縁に片持ち梁状に設けられた押圧片３０と、を備えている。本実施形態１では、取り付け手段の一例として、搬送治具５０に位置決めピン５００、搬送治具押さえ板１０に位置決め穴１００を設けている。搬送治具５０の各収容凹部５１に製品を挿入後、位置決めピン５００を位置決め穴１００に挿入することによって、搬送治具５０上に搬送治具押さえ板１０が取り付けられる。
【００１６】
次に、図２及び図３に基づき詳細に説明する。本実施形態１の搬送治具押さえ板１０は、製品６０を収容する収容凹部５１を有する搬送治具５０の上に取り付ける第一押さえ板１１であって、収容凹部５１に収容された製品６０の上方に位置する第一貫通穴２１と、第一貫通穴２１の周縁に片持ち梁状に設けられ、製品６０に当接することによって製品６０を押圧する押圧片３０と、を備えたことを特徴とする。
【００１７】
押圧片３０は、第一貫通穴２１の周縁に片持ち梁状に設けられ、製品６０に当接することによって第一方向（Ｘ軸方向）へ製品６０を押圧する第一押圧片３１ａ，３１ｂと、第一貫通穴２１の周縁に片持ち梁状に設けられ、製品６０に当接することによって第一方向（Ｘ軸方向）と異なる第二方向（Ｙ軸方向）へ製品６０を押圧する第二押圧片３２と、からなる。
【００１８】
ここで、第一方向の一例がＸ軸方向であり、第二方向の一例がＹ軸方向である。第一方向と第二方向とは、本実施形態１では直交するが、他の角度で交わるようにしてもよい。押圧片３０は、本実施形態１では三個からなるが、その個数に制限はない。
【００１９】
図３に符号を付して示すように、製品６０は、底面６１１、上面６１２、互いに対向する第一及び第三側面６２１，６２３並びに互いに対向する第二及び第四側面６２２，６２４からなる直方体状である。収容凹部５１は、製品６０の底面６１１が載置される収容底面５１１と、収容底面５１１に載置された製品６０の第一乃至第四側面６２１〜６２４にそれぞれ対向する第一乃至第四収容側面５２１〜５２４とからなる。第一押圧片３１ａ，３１ｂは、第一側面６２１と上面６１２とが共有する第一辺６３１に当接することによって変形し、この変形によって第一辺６３１を第三収容側面５２３の方（Ｘ軸方向）へ押圧する。第二押圧片３２は、第一貫通穴２１の周縁に片持ち梁状に設けられ、第二側面６２２と上面６１２とが共有する第二辺６３２に当接することによって変形し、この変形によって第二辺６３２を第四収容側面５２４の方（Ｙ軸方向）へ押圧する。
【００２０】
第一押圧片３１ａは、上面６１２に対して斜めに当接する先端面３３と、所定の弾性が付与された薄肉部３４と、を有する。先端面３３及び薄肉部３４は、図面では直線的な形状に描いているが、曲線的な形状としてもよい。第一押圧片３１ａの平面形状は、細長い四角形状になっているが、これに限らず、例えば先端が二股に分かれている形状としてもよい。第一押圧片３１ａの個数は、特に制限はなく、単数でも複数でもよい。第一押圧片３１ｂ及び第二押圧片３２についても、第一押圧片３１ａと同様である。
【００２１】
また、搬送治具押さえ板１０は、第一押さえ板１１の上に設けられ、第一貫通穴２１に重なるように第二貫通穴２２が形成された第二押さえ板１２を更に備えている。ただし、第二押さえ板１２は省略することもできる。
【００２２】
搬送治具５０は、例えばステンレス鋼などからなる一般的なものであり、平板状の第一板５０１と、収容凹部５１となる貫通穴が多数形成された第二板５０２とが、貼り合わされている。なお、図示を省略するが、実際の搬送治具５０には、収容凹部５１の四隅の貫通穴や収容底面５１１の貫通穴など様々な加工がなされている。
【００２３】
製品６０は、例えば水晶振動子などの圧電デバイス（水晶振動素子を載せたセラミックス製の素子搭載部材を金属製の蓋部材で封止したもの）であり、図示しない電極などが外面に形成されている。製品６０の大きさの一例を述べれば、縦１．２ｍｍ、横１．０ｍｍ、高さ０．３ｍｍである。製品６０の形状の一例である直方体状とは、実質的に直方体であればよく、立方体はもちろんのこと、凹凸が形成された直方体も含まれる。
【００２４】
次に、搬送治具押さえ板１０の製造方法について説明する。図４は第一押さえ板１１の製造方法を示す断面図であり、図４［Ａ］、図４［Ｂ］、図４［Ｃ］、図４［Ｄ］の順に工程が進行する。以下、図４を中心に図２及び図３も加えて説明する。
【００２５】
図４では第一押圧片３１ａのみを示すが、第一押圧片３１ｂ及び第二押圧片３２も第一押圧片３１ａと同様に製造される。第一押さえ板１１の製造方法は次のとおりである。まず、図４［Ａ］に示すように、例えばステンレス鋼などの金属板１３を用意し、金属板１３の両面にフォトレジスト１４を塗布し、露光及び現像によってフォトレジスト１４からなる所定のパターンを形成する。ここで、第一貫通穴２１となる部分はフルエッチングとなるように両面のフォトレジスト１４を開口し、薄肉部３４となる部分はハーフエッチングとなるよう片面のみフォトレジスト１４を開口し、先端面３３となる部分は斜面となるように両面のフォトレジスト１４をずらして開口する。続いて、図４［Ｂ］に示すように、フォトレジスト１４のパターンが形成された金属板１３をエッチング液１５中に投入し、ウェットエッチング加工を進める。金属のウェットエッチングは、等方性エッチングになる。これにより、図４［Ｃ］に示すように、第一貫通穴２１、第一押圧片３１ａ、先端面３３及び薄肉部３４が同時に金属板１３に形成される。そして、図４［Ｄ］に示すように、フォトレジスト１４を除去することにより、第一押さえ板１１が完成する。
【００２６】
第二押さえ板１２についても、第一押さえ板１１と同様に、例えばステンレス鋼などの金属板に対してフォトリソグラフィ及びウェットエッチングを施すことによって製造する。最後に、第一押さえ板１１と第二押さえ板１２とを、スポット溶接などで仮止めした後、例えば原子拡散接合などを用いて貼り合わせる。
【００２７】
次に、搬送治具押さえ板１０の使用方法について説明する。図５は搬送治具押さえ板１０の使用方法を示す断面図であり、図５［Ａ］、図５［Ｂ］、図５［Ｃ］、図５［Ｄ］の順に工程が進行する。以下、図５を中心に図２及び図３も加えて説明する。
【００２８】
図５では第一押圧片３１ａのみを示すが、第一押圧片３１ｂ及び第二押圧片３２も第一押圧片３１ａと同様に使用される。まず、図５［Ａ］［Ｂ］に示すように、搬送治具５０の収容凹部５１に製品６０を挿入する。このとき、収容凹部５１は、製品６０の出し入れがしやすいように、製品６０との間に隙間５１０が生じる寸法になっている。そのため、このままでは収容凹部５１内で製品６０の位置が変動することになる。続いて、図５［Ｃ］に示すように、搬送治具５０に搬送治具押さえ板１０を被せるように取り付ける。このとき、第一押圧片３１ａは、第一側面６２１と上面６１２とが共有する第一辺６３１に当接することによって変形し、この変形によって第一辺６３１を第三収容側面５２３の方（Ｘ軸方向）へ押圧する。その結果、図５［Ｄ］に示すように、第一辺６３１にはＸ軸方向の力ＦｘとＺ軸方向の力Ｆｚとが加わる。製品６０は、力Ｆｘによって第三収容側面５２３に押し付けられ、力Ｆｚによって収容底面５１１に押し付けられることにより、一定の位置に固定される。
【００２９】
その後、図５［Ｄ］に示す搬送治具５０及び搬送治具押さえ板１０を例えばチップ・マウンタへ搬送し、搬送治具５０から搬送治具押さえ板１０を取り外し、搬送治具５０の収容凹部５１から製品６０をピックアップする。なお、図５［Ｄ］に示す搬送治具５０及び搬送治具押さえ板１０は、チップ・マウンタへ搬送する前に、調整装置やベーキング装置や検査装置などへ搬送してもよい。
【００３０】
次に、搬送治具押さえ板１０の作用及び効果について説明する。
【００３１】
（１）搬送治具押さえ板１０は、製品６０を収容する収容凹部５１を有する搬送治具５０の上に取り付けるものであって、収容凹部５１に収容された製品６０の上方に位置する第一貫通穴２１と、第一貫通穴２１の周縁に片持ち梁状に設けられ、製品６０に当接することによって製品６０を押圧する押圧片３０と、を備えたことを特徴とする。
【００３２】
搬送治具押さえ板１０によれば、製品６０の上方に位置する第一貫通穴２１の周縁に片持ち梁状に押圧片３０を設け、押圧片３０で製品６０を押圧することにより、搬送治具５０そのものを加工することなく、片持ち梁状という簡単な構造でありながら製品６０の位置ずれ及び収容凹部５１からの製品６０の脱落を防止できる。
【００３３】
また、搬送治具押さえ板１０は、製造後の製品６０だけではなく、製造中の製品６０にも用いることができる。製造中の製品６０に搬送治具押さえ板１０を用いる場合は、搬送治具５０の収容凹部５１に例えば素子搭載部材が収容される。そのため、製造時は治具として用い、そのままの状態で製造後の製品搬送用治具として、製品を乗せ換えることなく使用することができる。素子搭載部材は、セラミックスなどからなり、上面が開口された直方体の箱状になっている。そして、搬送治具押さえ板１０を取り付けると、押圧片３０で素子搭載部材の側面等を押圧することにより、素子搭載部材の位置ずれ及び収容凹部５１からの素子搭載部材の脱落を防止できる。しかも、押圧片３０が素子搭載部材の側面等を押圧する構造であること、かつ、第一貫通穴２１及び第二貫通穴２２が設けられていることから、素子搭載部材の上方が開放されているので、その状態で圧電素子や蓋部材を正確に素子搭載部材上に装着できる。また、製造中の製品６０が正確に位置決めされているため、プローブ針による電気検査や顕微鏡による外観検査も容易に実行できる。
【００３４】
（２）押圧片３０は、第一貫通穴２１の周縁に片持ち梁状に設けられ、製品６０に当接することによって第一方向（Ｘ軸方向）へ製品６０を押圧する第一押圧片３１ａ，３１ｂと、第一貫通穴２１の周縁に片持ち梁状に設けられ、製品６０に当接することによって第一方向（Ｘ軸方向）と異なる第二方向（Ｙ軸方向）へ製品６０を押圧する第二押圧片３２と、からなるとしてもよい。
【００３５】
このように、第一方向（Ｘ軸方向）へ製品６０を押圧する第一押圧片３１ａ，３１ｂと第二方向（Ｙ軸方向）へ製品６０を押圧する第二押圧片３２とから押圧片３０が構成される場合は、製品６０をＸ軸方向かつＹ軸方向へ押圧することにより、製品６０を収容凹部５１の隅に確実に固定することができるので、製品６０の位置ずれをより防止できる（図２［Ａ］参照）。
【００３６】
（３）製品６０は、底面６１１、上面６１２、互いに対向する第一及び第三側面６２１，６２３並びに互いに対向する第二及び第四側面６２２，６２４からなる直方体状であり、収容凹部５１は、製品６０の底面６１１が載置される収容底面５１１と、収容底面５１１に載置された製品６０の第一乃至第四側面６２１〜６２４にそれぞれ対向する第一乃至第四収容側面５２１〜５２４とからなり、第一押圧片３１ａ，３１ｂは、第一側面６２１と上面６１２とが共有する第一辺６３１に当接することによって変形し、この変形によって第一辺６３１を第三収容側面５２３の方（Ｘ軸方向）へ押圧し、第二押圧片３２は、第一貫通穴２１の周縁に片持ち梁状に設けられ、第二側面６２２と上面６１２とが共有する第二辺６３２に当接することによって変形し、この変形によって第二辺６３２を第四収容側面５２４の方（Ｙ軸方向）へ押圧する、としてもよい。
【００３７】
このように、第一押圧片３１ａ，３１ｂが第一辺６３１に当接することによって変形し、この変形によって第一辺６３１をＸ軸方向へ押圧し、第二押圧片３２が第二辺６３２に当接することによって変形し、この変形によって第二辺６３２をＹ軸方向へ押圧する場合は、製品６０をＸ軸方向かつＹ軸方向だけではなく第三方向（Ｚ軸方向）へも押圧することになるので、製品６０の位置ずれ及び収容凹部５１からの製品６０の脱落をより防止できる（図３及び図５［Ｄ］参照）。
【００３８】
ここで、特許文献１〜３に開示された搬送治具を、図６［Ａ］に基づき比較例１の搬送治具７０として説明する。比較例１の搬送治具７０は、弾性変形する爪等の固定手段７２（圧縮バネの記号で示す）を収容凹部７１内に設けたものである。搬送治具７０では、収容凹部７１内に固定手段７２を設けたことにより、製品６０に対してＸ軸方向にしか押圧できないので（力Ｆｘ）、−Ｚ軸方向の力が製品６０に加わると、製品６０が収容凹部７１から容易に脱落してしまうという問題があった。これに対し、本願発明では、前述のように製品６０をＺ軸方向へも押圧できるので、収容凹部５１からの製品６０の脱落をより確実に防止できる（図５［Ｄ］参照）。
【００３９】
（４）第一押圧片３１ａ，３１ｂ及び第二押圧片３２が、上面６１２に対して斜めに当接する先端面３３と所定の弾性が付与された薄肉部３４とを有する、としてもよい。
【００４０】
この場合は、先端面３３によって第一辺６３１及び第二辺６３２に確実に当接できるとともに、薄肉部３４の形状を変えることによって所望の弾性を有する第一押圧片３１ａ，３１ｂ及び第二押圧片３２を得ることができる。
【００４１】
ここで、図６［Ｂ］［Ｃ］に基づき、更に詳しく説明する。製品６０の高さＨが収容凹部５１の深さＤよりもが大きく（すなわちＨ＞Ｄ）、先端面３３が上面６１２に対して斜めになっていれば、先端面３３は第一辺６３１に確実に当接する。第一押圧片３１ａのばね定数（ばねに負荷を加えた時の荷重を伸びで割った比例定数）は、薄肉部３４の長さＬ、幅Ｗ及び厚みＴを調整することによって所望の値が得られる。
【００４２】
（５）第一押さえ板１１の上に設けられ、第一貫通穴２１に重なるように第二貫通穴２２が形成された第二押さえ板１２を、更に備えてもよい。
【００４３】
この場合は、第一押さえ板１１の自重に第二押さえ板１２の自重が加わることにより、第一押圧片３１ａ，３１ｂ及び第二押圧片３２で製品６０をより強く押圧できるので、製品６０の位置ずれ及び収容凹部５１からの製品６０の脱落をより確実に防止できる。また、第一押さえ板１１と第二押さえ板１２との二枚の板を別々にエッチングして貼り合わせることにより、第一押さえ板１１及び第二押さえ板１２を重ねた厚みの一枚の板をエッチングする場合に比べて、加工精度を向上できる。
【００４４】
以上、上記各実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記各実施形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細については、当業者が理解し得るさまざまな変更を加えることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明は、圧電デバイスに限らず、その他の電子部品、光学部品、機械部品など、どのような製品の搬送治具にも利用可能である。
【符号の説明】
【００４６】
１０  搬送治具押さえ板
１００  位置決め穴
１１  第一押さえ板
２１  第一貫通穴
３０  押圧片
３１ａ，３１ｂ  第一押圧片
３２  第二押圧片
３３  先端面
３４  薄肉部
１２  第二押さえ板
２２  第二貫通穴
１３  金属板
１４  フォトレジスト
１５  エッチング液
５０  搬送治具
５００  位置決めピン
５０１  第一板
５０２  第二板
５１  収容凹部
５１０  隙間
５１１  収容底面
５２１  第一収容側面
５２２  第二収容側面
５２３  第三収容側面
５２４  第四収容側面
６０  製品
６１１  底面
６１２  上面
６２１  第一側面
６２２  第二側面
６２３  第三側面
６２４  第四側面
６３１  第一辺
６３２  第二辺
７０  搬送治具
７１  収容凹部
７２  固定手段
【図１】
2017226463.tif 000003
【図２】
2017226463.tif 000004
【図３】
2017226463.tif 000005
【図４】
2017226463.tif 000006
【図５】
2017226463.tif 000007
【図６】
2017226463.tif 000008