(57)【要約】【課題】検出感度に優れた高精度の物理量センサー、この物理量センサーセンサーを備えている電子機器および移動体を提供する。【解決手段】本発明の物理量センサー２００は、第１軸方向に可動可能な質量部３３と、質量部３３から第１軸方向と交差する第２軸方向に延出し、第１軸方向に隣りあっている第１可動電極指３６１および第２可動電極指３６２と、を含み、第１可動電極指３６１と第２可動電極指３６２との間に、第２軸方向に延出している第１固定電極指３８２、を有し、第１可動電極指３６１と第２可動電極指３６２との間に、質量部３３から第２軸方向に突出している突出部４０を含んでいる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１軸方向に可動可能な質量部と、
前記質量部から第１軸方向と交差する第２軸方向に延出し、前記第１軸方向に隣りあっている第１可動電極指および第２可動電極指と、を含み、
前記第１可動電極指と前記第２可動電極指との間に、前記第２軸方向に延出している第１固定電極指、を有し、
前記第１可動電極指と前記第２可動電極指との間に、前記質量部から前記第２軸方向に突出している突出部を含んでいることを特徴とする物理量センサー。
【請求項２】
前記第２軸方向に延出している第２固定電極指を有し、
前記第１可動電極指と前記第２可動電極指との間に、前記第２固定電極指を含んでいることを特徴とする請求項１に記載の物理量センサー。
【請求項３】
前記第１固定電極指および前記第２固定電極指は、前記突出部と前記第２軸方向に重なっていないことを特徴とする請求項２に記載の物理量センサー。
【請求項４】
基板と、
前記基板に設けられ、前記第１固定電極指と電気的に接続されている第１配線と、
前記基板に設けられ、前記第２固定電極指と電気的に接続されている第２配線と、を有し、
前記第１固定電極指と前記第１配線との第１接続部又は前記第２固定電極指と前記第２配線との第２接続部のどちらか一方が、前記第２軸方向において、前記第１接続部又は前記第２接続部よりも前記質量部から離れていることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の物理量センサー。
【請求項５】
前記質量部は、前記第１軸方向の加速度に応じて前記第１軸方向に変位可能であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の物理量センサー。
【請求項６】
前記質量部は、コリオリ力に応じて変位することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の物理量センサー。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の物理量センサーを備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項８】
請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の物理量センサーを備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物理量センサー、電子機器、および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、小型センサーデバイスとして、精密加工技術の一つである半導体製造方法を用いたＭＥＭＳ（Micro Electronics Mechanical Systems）技術により製造された物理量を検出する物理量センサーなどの電子デバイスが開発されている。物理量センサーとしては、例えば、固定配置された固定電極と、固定電極に対して所定の間隔を隔てて対向させるとともに変位可能に設けられた可動電極と、を有し、固定電極と可動電極との間の静電容量に基づいて、加速度あるいは角速度といった物理量を検出する物理量センサーが知られている。
【０００３】
特許文献１には、プルーフマスから延出しているローター歯（可動電極指）とローター歯に対向しているステータ歯（固定電極指）とを備え、加速度あるいは角速度が加えられるとプルーフマスが変位し、それに伴いローター歯も変位するので、ローター歯とステータ歯との静電容量を測定することで、加速度あるいは角速度を検出するセンサーが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１５０８６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１のセンサーは、プルーフマスの質量が小さいため、十分な感度が得られないという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例に係る物理量センサーは、第１軸方向に可動可能な質量部と、前記質量部から第１軸方向と交差する第２軸方向に延出し、前記第１軸方向に隣りあっている第１可動電極指および第２可動電極指と、を含み、前記第１可動電極指と前記第２可動電極指との間に、前記第２軸方向に延出している前記第１固定電極指を有し、前記第１可動電極指と前記第２可動電極指との間に、前記質量部から前記第２軸方向に突出している突出部を含んでいることを特徴とする。
【０００８】
本適用例によれば、質量部に突出部が設けられているので質量部の質量を大きくすることができる。そのため、質量部の質量と比例する物理量の検出感度を大きくすることができ、高精度の物理量センサーを得ることができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例に記載の物理量センサーにおいて、前記第２軸方向に延出している第２固定電極指を有し、前記第１可動電極指と前記第２可動電極指との間に、前記第２固定電極指を含んでいることが好ましい。
【００１０】
本適用例によれば、第１可動電極指と第２可動電極指との間に、第１固定電極指および第２固定電極指が設けられているので、第１可動電極指と第１固定電極指との間の容量変化量と、第２可動電極指と第２固定電極指との間の容量変化量と、を差動で検出することができるので、物理量の検出感度をより大きくすることができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例に記載の物理量センサーにおいて、前記第１固定電極指および前記第２固定電極指は、前記突出部と前記第２軸方向に重なっていないことが好ましい。
【００１２】
本適用例によれば、第１固定電極指および第２固定電極指と突出部とが第２軸方向に重なっていないため、物理量が加わり質量部から延出している突出部が変位した際に、第１固定電極指および第２固定電極指と突出部とは、接触しないため第１固定電極指および第２固定電極指の破損を回避することができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例に記載の物理量センサーにおいて、基板と、前記基板に設けられ、前記第１固定電極指と電気的に接続されている第１配線と、前記基板に設けられ、前記第２固定電極指と電気的に接続されている第２配線と、を有し、前記第１固定電極指と前記第１配線との第１接続部又は前記第２固定電極指と前記第２配線との第２接続部のどちらか一方が、前記第２軸方向において、前記第１接続部又は前記第２接続部よりも前記質量部から離れていることが好ましい。
【００１４】
本適用例によれば、第１接続部又は第２接続部のどちらか一方が、第２軸方向において、第１接続部又は第２接続部よりも質量部から離れているので、接続部のスペースを十分確保することができる。そのため、第１固定電極指および第２固定電極指を十分な強度で接続することができ、信頼性の高い物理量センサーを得ることができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例に記載の物理量センサーにおいて、前記質量部は、前記第１軸方向の加速度に応じて前記第１軸方向に変位可能であることが好ましい。
【００１６】
本適用例によれば、質量部は、第１軸方向の加速度に応じて第１軸方向に変位可能であるので、質量部が第１軸方向に変位することで生じる第１可動電極指および第２可動電極指と、第１固定電極指および第２固定電極指と、の間の静電容量を測定することで加速度を検出することができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例に記載の物理量センサーにおいて、前記質量部は、コリオリ力に応じて変位することが好ましい。
【００１８】
本適用例によれば、質量部は、コリオリ力に応じて変位するので、第１可動電極指および第２可動電極指と、第１固定電極指および第２固定電極指と、の間の静電容量を測定することで角速度を検出することができる。
【００１９】
［適用例７］本適用例に係る電子機器は、上記適用例に記載の物理量センサーを備えていることを特徴とする。
【００２０】
本適用例によれば、検出感度に優れた高精度の物理量センサーを備えた電子機器が構成できるという効果がある。
【００２１】
［適用例８］本適用例に係る移動体は、上記適用例に記載の物理量センサーを備えていることを特徴とする。
【００２２】
本適用例によれば、検出感度に優れた高精度の物理量センサーを備えた移動体が構成できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る物理量センサーに備えられている機能素子を示す概略斜視図。
【図２】図１の機能素子を示す概略平面図。
【図３】本発明の第１実施形態に係る物理量センサーの構成を示す模式図。
【図４】本発明の第２実施形態に係る物理量センサーに備えられている機能素子を示す概略平面図。
【図５】図４におけるＡ−Ａ線の概略断面図。
【図６】本発明の実施形態に係る物理量センサーを備える電子機器としてのモバイル型（又はノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図。
【図７】本発明の実施形態に係る物理量センサーを備える電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図。
【図８】本発明の実施形態に係る物理量センサーを備える電子機器としてのデジタルカメラの構成を示す斜視図。
【図９】本発明の実施形態に係る物理量センサーを備える移動体としての自動車の構成を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に示す各図においては、各構成要素を図面上で認識され得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法や比率を実際の構成要素とは適宜に異ならせて記載する場合がある。
【００２５】
＜第１実施形態＞
先ず、本発明の第１実施形態に係る物理量センサーに備えられている機能素子について、図１および図２を参照して説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る物理量センサーに備えられている機能素子を示す概略斜視図である。図２は、図１の機能素子を示す概略平面図である。なお、図１および図２では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸が図示されている。また、以下では、Ｘ軸に平行な方向を第１軸方向としての「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を第２軸方向としての「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向（上下方向）を「Ｚ軸方向」と言う。なお、本実施形態では、機能素子１を加速度として物理量を測定するための物理量センサー素子として用いる場合の例について説明する。
【００２６】
（機能素子）
機能素子１は、図１に示すように、絶縁性の基板２と、この基板２に接合され支持された素子片３と、素子片３に電気的に接続された導体パターン４と、素子片３を覆うように設けられた蓋部材５とを有する。
【００２７】
以下、機能素子１を構成する各部を順次詳細に説明する。
（基板）
基板２は、素子片３を支持する機能を有する。
この基板２は、板状をなし、その上面（一方の面）には、空洞部２１が設けられている。この空洞部２１は、基板２を平面視したときに、後述する素子片３の質量部３３、可動電極部３６，３７および連結部３４，３５を包含するように形成されていて、内底を有する。このような空洞部２１は、素子片３の質量部３３、可動電極部３６，３７および連結部３４，３５が基板２に接触するのを防止する逃げ部を構成する。これにより、素子片３の質量部３３の変位を許容することができる。
なお、この逃げ部は、空洞部２１（凹部）に代えて、基板２をその厚さ方向に貫通する開口部であってもよい。また、本実施形態では、空洞部２１の平面視形状は、四角形（具体的には長方形）をなしているが、これに限定されるものではない。
【００２８】
このような基板２の構成材料としては、具体的には、高抵抗なシリコン材料、ガラス材料を用いるのが好ましく、特に、素子片３がシリコン材料を主材料として構成されている場合、アルカリ金属イオン（可動イオン）を含むガラス材料（例えば、パイレックス（登録商標）ガラスのような硼珪酸ガラス）を用いるのが好ましい。これにより、素子片３がシリコンを主材料として構成されている場合、基板２と素子片３とを陽極接合することができる。
【００２９】
また、基板２の構成材料は、素子片３の構成材料との熱膨張係数差ができるだけ小さいのが好ましく、具体的には、基板２の構成材料と素子片３の構成材料との熱膨張係数差が３ｐｐｍ／℃以下であるのが好ましい。これにより、基板２と素子片３との接合時等に高温化にさらされても、基板２と素子片３との間の残留応力を低減することができる。
【００３０】
（素子片）
素子片３は、固定部３１，３２と、質量部３３と、連結部３４，３５と、可動電極部３６，３７と、固定電極部３８，３９とで構成されている。
このような素子片３は、例えば、加速度等の物理量の変化に応じて、質量部３３および可動電極部３６，３７が、連結部３４，３５を弾性変形させながら、第１軸方向であるＸ軸方向（＋Ｘ軸方向または−Ｘ軸方向）に変位する。このような変位に伴って、可動電極部３６と固定電極部３８との間の隙間、および、可動電極部３７と固定電極部３９との間の隙間の大きさがそれぞれ変化する。すなわち、このような変位に伴って、可動電極部３６と固定電極部３８との間の静電容量、および、可動電極部３７と固定電極部３９との間の静電容量の大きさがそれぞれ変化する。したがって、これらの静電容量に基づいて、加速度等の物理量を検出することができる。
【００３１】
この固定部３１，３２、質量部３３、連結部３４，３５、および可動電極部３６，３７は、一体的に形成されている。
固定部３１，３２は、それぞれ、前述した基板２の上面に接合されている。具体的には、固定部３１は、基板２の上面の空洞部２１に対して−Ｘ軸方向側の部分に接合され、また、固定部３２は、基板２の上面の空洞部２１に対して＋Ｘ軸方向側の部分に接合されている。また、固定部３１，３２は、平面視したときに、それぞれ、空洞部２１の外周縁を跨ぐように設けられている。
【００３２】
なお、固定部３１，３２の位置および形状等は、連結部３４，３５や導体パターン４等の位置および形状等に応じて決められるものであり、上述したものに限定されない。
このような２つの固定部３１，３２の間には、質量部３３が設けられている。本実施形態では、質量部３３は、Ｘ軸方向に延びる長手形状をなしている。なお、質量部３３の形状は、素子片３を構成する各部の形状、大きさ等に応じて決められるものであり、上述したものに限定されない。
【００３３】
このような質量部３３は、固定部３１に対して連結部３４を介して連結されるとともに、固定部３２に対して連結部３５を介して連結されている。より具体的には、質量部３３の−Ｘ軸方向側の端部が連結部３４を介して固定部３１に連結されるとともに、質量部３３の＋Ｘ軸方向側の端部が連結部３５を介して固定部３２に連結されている。
この連結部３４，３５は、質量部３３を固定部３１，３２に対して変位可能に連結している。本実施形態では、連結部３４，３５は、図２にて矢印ａで示すように、Ｘ軸方向（＋Ｘ軸方向または−Ｘ軸方向）に質量部３３を変位し得るように構成されている。
【００３４】
具体的に説明すると、連結部３４は、２つの梁３４１，３４２で構成されている。そして、梁３４１，３４２は、それぞれ、Ｙ軸方向に蛇行しながらＸ軸方向に延びる形状をなしている。言い換えると、梁３４１，３４２は、それぞれ、Ｙ軸方向に複数回（本実施形態では３回）折り返された形状をなしている。なお、各梁３４１，３４２の折り返し回数は、１回または２回であってもよいし、４回以上であってもよい。
【００３５】
同様に、連結部３５は、Ｙ軸方向に蛇行しながらＸ軸方向に延びる形状をなす２つの梁３５１，３５２で構成されている。
なお、連結部３４，３５は、質量部３３を基板２に対して変位可能に支持するものであれば、上述したものに限定されず、例えば、質量部３３の両端部から＋Ｙ軸方向および−Ｙ軸方向にそれぞれ延出する１対の梁で構成されていてもよい。
【００３６】
このように基板２に対してＸ軸方向に変位可能に支持された質量部３３の幅方向での＋Ｙ軸方向側には、可動電極部３６が設けられ、−Ｙ軸方向側には、可動電極部３７が設けられている。
可動電極部３６は、質量部３３から第２軸方向である＋Ｙ軸方向に突出し、櫛歯状をなすように並ぶ複数の可動電極指３６１〜３６５を備えている。この可動電極指３６１，３６２，３６３，３６４，３６５は、−Ｘ軸方向側から＋Ｘ軸方向側へ、この順に並んでいる。同様に、可動電極部３７は、質量部３３から−Ｙ軸方向に突出し、櫛歯状をなすように並ぶ複数の可動電極指３７１〜３７５を備える。この可動電極指３７１，３７２，３７３，３７４，３７５は、−Ｘ軸方向側から＋Ｘ軸方向側へ、この順に並んでいる。なお、可動電極指３６１，３６３，３６５，３７１，３７３，３７５は、第１可動電極指であり、可動電極指３６２，３６４，３７２，３７４は、第２可動電極指である。
【００３７】
このように複数の可動電極指３６１〜３６５および複数の可動電極指３７１〜３７５は、それぞれ、質量部３３の変位する方向（すなわちＸ軸方向）に並んで設けられている。これにより、後述する第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８と可動電極部３６との間の静電容量、および、第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７と可動電極部３６との間の静電容量を質量部３３の変位に応じて効率的に変化させることができる。同様に、後述する第１固定電極指３９２，３９４，３９６，３９８と可動電極部３７との間の静電容量、および、第２固定電極指３９１，３９３，３９５，３９７と可動電極部３７との静電容量を質量部３３の変位に応じて効率的に変化させることができる。そのため、機能素子１を物理量センサー素子として用いた場合に検出精度を優れたものとすることができる。
このような可動電極部３６は、固定電極部３８に対して間隔を隔てて対向する。また、可動電極部３７は、固定電極部３９に対して間隔を隔てて対向する。
【００３８】
固定電極部３８は、前述した可動電極部３６の複数の可動電極指３６１〜３６５に対して間隔を隔てて噛み合う櫛歯状をなすように並ぶ複数の固定電極指３８１〜３８８を備える。このような複数の固定電極指３８１〜３８８の質量部３３とは反対側の端部は、それぞれ、基板２の上面の空洞部２１に対して＋Ｙ軸方向側の部分に接合されている。そして、各固定電極指３８１〜３８８は、その固定された側の端を固定端とし、自由端が−Ｙ軸方向へ延びている。
【００３９】
この固定電極指３８１〜３８８は、−Ｘ軸方向側から＋Ｘ軸方向側へ、この順に並んでいる。そして、固定電極指３８１，３８２は、対をなし、前述した可動電極指３６１，３６２の間に、固定電極指３８３，３８４は、対をなし、可動電極指３６２，３６３の間に、固定電極指３８５，３８６は、対をなし、可動電極指３６３，３６４の間に、固定電極指３８７，３８８は、対をなし、可動電極指３６４，３６５の間に臨むように設けられている。
【００４０】
ここで、固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８は、それぞれ、第１固定電極指であり、固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７は、それぞれ、基板２上で第１固定電極指に対して空隙（間隙）を介して離間した第２固定電極指である。このように、複数の固定電極指３８１〜３８８は、交互に並ぶ複数の第１固定電極指および複数の第２固定電極指で構成されている。言い換えれば、可動電極指の一方の側に第１固定電極指が配置され、他方の側に第２固定電極指が配置されている。
【００４１】
このような第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８と第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７とは、基板２上で互いに分離している。言い換えると、第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８と第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７とは、基板２上において、互いに連結されておらず、島状に孤立している。これにより、第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８と第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７とを電気的に絶縁することができる。そのため、第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８と可動電極部３６との間の静電容量、および、第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７と可動電極部３６との間の静電容量を別々に測定し、それらの測定結果に基づいて、高精度に物理量を検出することができる。
【００４２】
また、質量部３３には、第１可動電極指３６１，３６３，３６５と第２可動電極指３６２，３６４とのそれぞれの間に、質量部３３から＋Ｙ軸方向に突出している突出部４０が設けられている。また、第１可動電極指３７１，３７３，３７５と第２可動電極指３７２，３７４とのそれぞれの間に、質量部３３から−Ｙ軸方向に突出している突出部４０が設けられている。なお、突出部４０は、第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８，３９２，３９４，３９６，３９８および第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７，３９１，３９３，３９５，３９７と、Ｙ軸方向に重なっていない。つまり、Ｘ軸方向から見たときに、突出部４０と第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８，３９２，３９４，３９６，３９８および第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７，３９１，３９３，３９５，３９７とは、重なっていない。
【００４３】
質量部３３は、突出部４０が設けられていることにより、質量部３３の質量が大きくなる。そのため、加速度を検出する場合には、質量ｍの質量部３３に加速度ａが加わると質量部３３に加わる力Ｆは、Ｆ＝ｍ×ａで表されるので、質量ｍが大きくなると質量部３３に加わる力Ｆが大きくなり、質量部３３の変位量が大きくなる。従って、可動電極部３６，３７と固定電極部３８，３９との間の静電容量が大きくなり、高精度に加速度を検出することができる。
【００４４】
なお、本実施形態では、第１可動電極指３６１，３６３，３６５，３７１，３７３，３７５と第２可動電極指３６２，３６４，３７２，３７４との間に、第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８、および、第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７を配置した構成について説明したが、これに限定する必要はなく、第１可動電極指３６１，３６３，３６５，３７１，３７３，３７５と第２可動電極指３６２，３６４，３７２，３７４との間に、第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８、又は、第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７のどちらか一方が配置された構成でも構わない。
【００４５】
また、本実施形態では、可動電極部３６，３７と固定電極部３８，３９との間の隙間の大きさがそれぞれ変化することによる静電容量の変化量を測定することで、加速度や角速度等の物理量を検出する方法について説明したが、これに限定する必要はなく、可動電極部３６，３７がＹ軸方向に変位することで、可動電極部３６，３７と固定電極部３８，３９との対向面積の大きさがそれぞれ変化することによる静電容量の変化量を測定することで、加速度や角速度等の物理量を検出する方法でも構わない。
【００４６】
（導体パターン）
導体パターン４は、前述した基板２の上面（固定電極部３８，３９側の面）上に設けられている。
この導体パターン４は、配線４１，４２，４３と、電極４４，４５，４６とで構成されている。
第１配線としての配線４１は、前述した基板２の空洞部２１の外側に設けられ、空洞部２１の外周に沿うように形成されている。そして、配線４１の一端部は、基板２の上面の外周部（基板２上の蓋部材５の外側の部分）上において、電極４４に接続されている。
【００４７】
また、配線４１上には、配線４１と素子片３の複数の第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８とを電気的に接続するための複数の第１接続部４８１と、配線４１と素子片３の複数の第１固定電極指３９２，３９４，３９６，３９８とを電気的に接続するため複数の第１接続部４８２と、が設けられている。
【００４８】
第２配線としての配線４２は、前述した配線４１の内側、かつ、前述した基板２の空洞部２１の外側でその外周縁に沿って設けられている。そして、配線４２の一端部は、前述した電極４４に対して間隔を隔てて並ぶように基板２の上面の外周部（基板２上の蓋部材５の外側の部分）上において、電極４５に接続されている。
【００４９】
また、配線４２上には、配線４２と素子片３の複数の第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７とを電気的に接続するための複数の第２接続部４７１と、配線４２と素子片３の複数の第２固定電極指３９１，３９３，３９５，３９７とを電気的に接続するための複数の第２接続部４７２と、が設けられている。
【００５０】
配線４１に設けられた第１接続部４８１，４８２は、配線４２に設けられた第２接続部４７１，４７２よりも外側で、第２接続部４７１，４７２よりも中央に設けられた質量部３３から離れている。そのため、接続部のスペースを十分確保することができ、第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８，３９２，３９４，３９６，３９８、および、第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７，３９１，３９３，３９５，３９７を十分な強度で接続することができ、信頼性の高い機能素子１を得ることができる。
なお、本実施形態では、配線４１に設けられた第１接続部４８１，４８２を、配線４２に設けられた第２接続部４７１，４７２よりも外側に配置しているが、これに限定されることはなく、配線４２に設けられた第２接続部４７１，４７２を配線４１に設けられた第１接続部４８１，４８２より外側に配置した構成でも構わない。
【００５１】
配線４３は、基板２上の固定部３１との接合部から、基板２の上面の外周部（基板２上の蓋部材５の外側の部分）上に延びるように設けられている。そして、配線４３の固定部３１とは反対側の端部は、前述した電極４４，４５に対して間隔を隔てて並ぶように基板２の上面の外周部（基板２上の蓋部材５の外側の部分）上において、電極４６に接続されている。
【００５２】
このような配線４１〜４３の構成材料としては、それぞれ、導電性を有するものであれば、特に限定されず、各種電極材料を用いることができるが、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ）、Ｉｎ3Ｏ3、ＳｎＯ2、Ｓｂ含有ＳｎＯ2、Ａｌ含有ＺｎＯ等の酸化物（透明電極材料）、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌまたはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００５３】
配線４１〜４３の構成材料としては、透明電極材料（特にＩＴＯ）を用いるのが好ましい。配線４１，４２がそれぞれ透明電極材料で構成されていると、基板２が透明基板である場合、基板２の固定電極部３８，３９側の面上に存在する異物等を基板２の固定電極部３８，３９とは反対の面側から容易に視認することができる。そのため、高感度な物理量センサー素子として機能素子１をより確実に提供することができる。
【００５４】
また、電極４４〜４６の構成材料としては、それぞれ、前述した配線４１〜４３と同様、導電性を有するものであれば、特に限定されず、各種電極材料を用いることができる。
【００５５】
このような配線４１および配線４２が基板２の上面に設けられていることにより、配線４１を介して第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８と可動電極部３６との間の静電容量および第１固定電極指３９２，３９４，３９６，３９８と可動電極部３７との間の静電容量を測定するとともに、配線４２を介して第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７と可動電極部３６との間の静電容量および第２固定電極指３９１，３９３，３９５，３９７と可動電極部３７との間の静電容量を測定することができる。
【００５６】
（蓋部材）
蓋部材５は、前述した素子片３を保護する機能を有する。
この蓋部材５は、板状をなし、その一方の面（下面）に凹部が設けられている。この凹部は、素子片３の質量部３３および可動電極部３６，３７等の変位を許容するように形成されている。
【００５７】
蓋部材５の下面の凹部よりも外側の部分は、前述した基板２の上面に接合されている。
蓋部材５と基板２との接合方法としては、特に限定されず、例えば、接着剤を用いた接合方法、陽極接合法、直接接合法等を用いることができる。
また、蓋部材５の構成材料としては、前述したような機能を発揮し得るものであれば、特に限定されないが、例えば、シリコン材料、ガラス材料等を好適に用いることができる。
【００５８】
（物理量センサー）
次に、本発明の第１実施形態に係る物理量センサーについて、図３を参照して説明する。
図３は、本発明の第１実施形態に係る物理量センサーの構成を示す模式図である。
物理量センサー２００は、図３に示すように、前述した機能素子１と、機能素子１に電気的に接続された電子部品２０１とを有する。
【００５９】
電子部品２０１は、例えば集積回路素子（ＩＣ）であり、機能素子１を駆動する機能を有する。この電子部品２０１に角速度検出回路や加速度検出回路を形成することにより物理量センサー２００をジャイロセンサーや加速度センサーとして構成することができる。
なお、図３では、物理量センサー２００が１つの機能素子１を有する場合を図示しているが、物理量センサー２００が複数の機能素子１を有していてもよい。また、物理量センサー２００は、機能素子１と、機能素子１とは異なる構成の機能素子とを有していてもよい。
【００６０】
以上述べたように、本実施形態では、機能素子１の質量部３３に突出部４０が設けられているため、質量部３３の質量を大きくすることができる。従って、質量部３３の質量と比例する加速度や角速度等の物理量の検出感度を大きくすることができ、高い感度を有する機能素子１を備えた高精度の物理量センサー２００を得ることができる。
【００６１】
また、第１可動電極指３６１，３６３，３６５，３７１，３７３，３７５と第２可動電極指３６２，３６４，３７２，３７４との間に、第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８，３９２，３９４，３９６，３９８、および、第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７，３９１，３９３，３９５，３９７が設けられている。そのため、第１可動電極指３６１，３６３，３６５，３７１，３７３，３７５と第１固定電極指３８４，３８８，３９４，３９８および第２固定電極指３８１，３８５，３９１，３９５との間の静電容量と、第２可動電極指３６２，３６４，３７２，３７４と第１固定電極指３８２，３８６，３９２，３９６および第２固定電極指３８３，３８７，３９３，３９７との間の静電容量と、を差動で検出することができるので、物理量の検出感度をより大きくすることができる。
【００６２】
また、第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８、および、第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７と突出部４０とが第２軸方向に重なっていない。そのため、物理量が加わり質量部３３から延出している突出部４０が変位した際に、第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８および第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７と突出部４０とは、接触しないため第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８、および、第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７の破損を回避することができる。
【００６３】
また、第１接続部４８１，４８２が、第２軸方向であるＹ軸方向において、第２接続部４７１，４７２よりも質量部３３から離れているので、接続部のスペースを十分確保することができる。そのため、第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８，３９２，３９４，３９６，３９８、および、第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７，３９１，３９３，３９５，３９７を十分な強度で接続することができ、信頼性の高い物理量センサー２００を得ることができる。
【００６４】
また、質量部３３は、第１軸方向であるＸ軸方向の加速度に応じてＸ軸方向に変位可能であるので、質量部３３がＸ軸方向に変位することで生じる第１可動電極指３６１，３６３，３６５，３７１，３７３，３７５、および、第２可動電極指３６２，３６４，３７２，３７４と、第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８，３９２，３９４，３９６，３９８、および、第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７，３９１，３９３，３９５，３９７と、の間の静電容量を測定することで加速度を検出することができる。
【００６５】
また、質量部３３は、コリオリ力に応じて変位するので、第１可動電極指３６１，３６３，３６５，３７１，３７３，３７５、および、第２可動電極指３６２，３６４，３７２，３７４と、第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８および第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７と、の間の静電容量を測定することで角速度を検出することができる。
【００６６】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る物理量センサーについて、図４および図５を参照して説明する。
【００６７】
図４は、本発明の第２実施形態に係る物理量センサーを示す概略平面図である。図５は、図４におけるＡ−Ａ線の概略断面図である。
以下、前述した第１実施形態と同様に、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照し、各部の位置関係について説明する。なお、本実施形態では、後述する質量部５２２が変位するＹ軸に平行な方向を第１方向としての「Ｙ軸方向」、Ｘ軸に平行な方向を第２方向としての「Ｘ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向（上下方向）を「Ｚ軸方向」と言う。
【００６８】
なお、本実施形態の物理量センサー５００は、その形態として角速度等を検出するジャイロセンサーとして構成されている形態を一例に説明する。
【００６９】
（物理量センサーの構造）
物理量センサー５００は、図４および図５に示すように、基板４１０と、機能素子（構造体）５０２と、第１配線４３０と、第２配線４４０と、を備えている。
【００７０】
基板４１０は、その材料として例えば、ガラスを用いている。基板４１０は、図５に示すように、第１面４１１と、第１面４１１と反対側の第２面４１２と、を有している。
【００７１】
基板４１０の第１面４１１には、凹部４１４が設けられている。凹部４１４の上方には、間隙を介して、機能素子５０２の振動体５１２がそれぞれ設けられている。凹部４１４によって、振動体５１２は、基板４１０に干渉することなく、所望の方向に振動（可動）することができる。なお、便宜上、図４では、凹部４１４の図示を省略している。
【００７２】
機能素子５０２は、基板４１０上に（基板４１０の第１面４１１に）設けられている。以下では、第１機能素子５０６および第２機能素子５０８を有する機能素子５０２が、Ｚ軸回りの角速度を検出するジャイロセンサー素子（静電容量型ジャイロセンサー素子）である例について説明する。
【００７３】
機能素子５０２は、図４および図５に示すように、第１機能素子５０６および第２機能素子５０８を備えている。第１機能素子５０６および第２機能素子５０８は、Ｘ軸に沿って互いに連結されている。第１機能素子５０６は、第２機能素子５０８よりも−Ｘ軸方向側に位置している。
【００７４】
第１機能素子５０６および第２機能素子５０８は、振動体５１２と、第１バネ部５１４と、可動駆動電極５１６と、質量部５２２と、第２バネ部５２４と、可動検出電極５２６と、固定駆動電極５３０，５３２と、固定駆動電極５３４，５３６と、固定検出電極５４０，５４２と、固定部５５０と、を備えている。
【００７５】
また、質量部５２２には、質量部５２２から第２方向としてのＸ軸方向に延出する可動検出電極５２６の間に、質量部５２２からＸ軸方向に延出する突出部５２３が設けられている。なお、突出部５２３は、固定検出電極５４０，５４２とＸ軸方向に重なっていない。つまり、第１方向としてのＹ軸方向から見たときに、突出部５２３と固定検出電極５４０，５４２とは、重なっていない。
【００７６】
図４に示す第１配線４３０は、第１構造体２１１を有する。第１配線４３０は、機能素子５０２を構成する固定駆動電極５３０と、固定検出電極５４２と、に接続されている。また、第１配線４３０は、機能素子５０２と接続された他方の端が電極パッド４５０と接続され、図示しない配線が電極パッド４５０に接続されることで固定駆動電極５３０と、固定検出電極５４２とで得られる信号を物理量センサー５００の外部に出力することができる。
【００７７】
図４に示す第２配線４４０は、第１構造体２１１と、第２構造体２２１とを有する。第２配線４４０は、機能素子５０２を構成する第１バネ部５１４と、固定駆動電極５３６と、固定駆動電極５３２とに接続されている。また、第２配線４４０は、機能素子５０２と接続された他方の端が電極パッド４５０と接続され、図示しない配線が電極パッド４５０に接続されることで第１バネ部５１４と、固定駆動電極５３２と、固定駆動電極５３６とに物理量センサー５００の外部から駆動信号等を印加することができる。
【００７８】
第１配線４３０と、第２配線４４０とに含まれる第１構造体２１１は、例えば、スパッタリング法によって、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ），銀（Ａｇ），アルミニウム（Ａｌ）等の金属を材料として形成される導電膜を用いることができる。
また、第２配線４４０に有する第２構造体２２１は、例えばシリコン等で形成される導電性を有する構造体を用いることができる。第２構造体２２１は、上述の物理量センサー５００の振動体５１２、第１バネ部５１４，第２バネ部５２４、可動駆動電極５１６、質量部５２２、可動検出電極５２６、および固定部５５０を、基板４１０に接合されたシリコン基板（図示せず）を加工することによって一体に形成されている。
【００７９】
（物理量センサーの動作）
次に、ジャイロセンサー素子としての機能素子５０２の動作について説明する。
振動体５１２から＋Ｙ軸方向に延出している可動駆動電極５１６と固定駆動電極５３０，５３２との間、および振動体５１２から−Ｙ軸方向に延出している第２可動駆動電極５１６と、固定駆動電極５３４，５３６との間に、図示しない電源によって、電圧を印加すると、可動駆動電極５１６と固定駆動電極５３０，５３２との間、および第２可動駆動電極５１６と固定駆動電極５３４，５３６との間に、静電力を発生させることができる。これにより、第１バネ部５１４をＸ軸に沿って伸縮させることができ、振動体５１２をＸ軸に沿って振動させることができる。
【００８０】
より具体的には、固定電位配線となる第２配線４４０を介して可動駆動電極５１６に、一定の電位（Ｖｒ）を与える。さらに、第１配線４３０（第１構造体２１１）を介して固定駆動電極５３０，５３４に、一定の電位（Ｖｒ）を基準とする第１交流電圧を印加する。また、第２配線４４０（第１構造体２１１）を介して固定駆動電極５３２，５３６に、一定の電位Ｖｒを基準とする第１交流電圧と位相が１８０度ずれた第２交流電圧とを印加する。
【００８１】
ここで、可動駆動電極５１６を挟む固定駆動電極５３０，５３２において、第１機能素子５０６では、可動駆動電極５１６の−Ｘ軸方向側に固定駆動電極５３０が設けられ、可動駆動電極５１６の＋Ｘ軸方向側に固定駆動電極５３２が設けられている。第２機能素子５０８では、可動駆動電極５１６の＋Ｘ軸方向側に固定駆動電極５３０が設けられ、可動駆動電極５１６の−Ｘ軸方向側に固定駆動電極５３２が設けられている。また、第２可動駆動電極５１６を挟む固定駆動電極５３４，５３６において、第１機能素子５０６では、第２可動駆動電極５１６の−Ｘ軸方向側に固定駆動電極５３４が設けられ、第２可動駆動電極５１６の＋Ｘ軸方向側に固定駆動電極５３６が設けられている。第２機能素子５０８では、第２可動駆動電極５１６の＋Ｘ軸方向側に固定駆動電極５３４が設けられ、第２可動駆動電極５１６の−Ｘ軸方向側に固定駆動電極５３６が設けられている。そのため、第１交流電圧および第２交流電圧によって、第１機能素子５０６の振動体５１２、および第２機能素子５０８の振動体５１２を、互いに逆位相でかつ所定の周波数で、Ｘ軸に沿って振動させることができる。つまり、第１機能素子５０６の振動体５１２が−Ｘ軸方向に変位すると第２機能素子５０８の振動体５１２は＋Ｘ軸方向に変位する。また、第１機能素子５０６の振動体５１２が＋Ｘ軸方向に変位すると第２機能素子５０８の振動体５１２は−Ｘ軸方向に変位する。
【００８２】
なお、質量部５２２は、振動体５１２の振動に伴い、Ｘ軸に沿って変位する。同様に、可動検出電極５２６は、振動体５１２の振動に伴い、Ｘ軸に沿って変位する。
【００８３】
振動体５１２がＸ軸に沿って振動を行っている状態で、機能素子５０２にＺ軸回りの角速度ωが加わると、コリオリの力が働き、質量部５２２は、Ｙ軸に沿って変位する。すなわち、第１機能素子５０６の振動体５１２に接続された質量部５２２、および第２機能素子５０８の振動体５１２に接続された質量部５２２は、Ｙ軸に沿って、互いに反対方向に変位する。第１機能素子５０６の質量部５２２が＋Ｙ軸方向に変位すると第２機能素子５０８の質量部５２２は−Ｙ軸方向に変位する。また、第１機能素子５０６の質量部５２２が−Ｙ軸方向に変位すると第２機能素子５０８の質量部５２２は＋Ｙ軸方向に変位する。
【００８４】
質量部５２２がＹ軸に沿って変位することにより、可動検出電極５２６と固定検出電極５４０との間の距離は、変化する。同様に、可動検出電極５２６と固定検出電極５４２との間の距離は、変化する。そのため、可動検出電極５２６と固定検出電極５４０との間の静電容量は、変化する。同様に、可動検出電極５２６と固定検出電極５４２との間の静電容量は、変化する。
【００８５】
ジャイロセンサーとしての物理量センサー５００では、検出配線となる第１配線４３０および固定電位配線となる第２配線４４０を介して、可動検出電極５２６と固定検出電極５４０との間に電圧を印加することにより、可動検出電極５２６と固定検出電極５４０との間の静電容量の変化量を検出することができる。さらに、検出配線となる第１配線４３０および固定電位配線となる第２配線４４０を介して、可動検出電極５２６と固定検出電極５４２との間に電圧を印加することにより、可動検出電極５２６と固定検出電極５４２との間の静電容量の変化量を検出することができる。このようにして、ジャイロセンサー素子としての機能素子５０２は、可動検出電極５２６と固定検出電極５４０，５４２との間の静電容量の変化量により、Ｚ軸回りの角速度ωを求めることができる。
【００８６】
また、速度Ｖで振動する質量ｍの質量部５２２に角速度ωが加わると質量部５２２に加わるコリオリ力Ｆｃは、Ｆｃ＝２×ｍ×ω×Ｖで表されるので、質量ｍが大きくなると質量部５２２に加わるコリオリ力Ｆｃが大きくなり、質量部５２２の変位量が大きくなる。従って、可動検出電極５２６と固定検出電極５４０，５４２との間の静電容量が大きくなるので、高精度に角速度ωを検出することができる。
【００８７】
以上述べたように、本実施形態では、機能素子５０２の質量部５２２に突出部５２３が設けられているため、質量部５２２の質量を大きくすることができる。従って、質量部５２２の質量と比例する角速度の検出感度を大きくすることができ、高い感度を有する機能素子５０２を備えた高精度の物理量センサー５００を得ることができる。
【００８８】
［電子機器］
次に、本発明の実施形態に係る物理量センサー２００を適用した電子機器について、図６〜図８を参照して説明する。
【００８９】
図６は、本発明の実施形態に係る物理量センサーを備える電子機器としてのモバイル型（又はノート型）のパーソナルコンピューター１１００の構成を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１００８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このようなパーソナルコンピューター１１００には、衝撃や加速度などを検知する物理量センサー２００が内蔵されている。
【００９０】
図７は、本発明の実施形態に係る物理量センサーを備える電子機器としての携帯電話機１２００（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。
このような携帯電話機１２００には、携帯電話機１２００の傾きや移動方向を検知する物理量センサー２００が内蔵されており、ＧＰＳ機能と併用することにより現在地の測位を行うことができる。
【００９１】
図８は、本発明の実施形態に係る物理量センサーを備える電子機器としてのデジタルスチールカメラ１３００の構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチールカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
デジタルスチールカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３０８が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行なう構成になっており、表示部１３０８は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤ等を含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【００９２】
撮影者が表示部１３０８に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３１０に転送・格納される。また、このデジタルスチールカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。更に、所定の操作により、メモリー１３１０に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。
【００９３】
このようなデジタルスチールカメラ１３００には、その傾きを検知する物理量センサー２００が内蔵されている。物理量センサー２００を内蔵することで手ぶれによる画像不良を制御することができる。
【００９４】
上述したように、検出感度に優れた高精度の物理量センサーが活用されることにより、より高い信頼性を有する電子機器を提供することができる。
【００９５】
なお、本発明の実施形態に係る物理量センサーは、図６のパーソナルコンピューター１１００（モバイル型パーソナルコンピューター）、図７の携帯電話機１２００、図８のデジタルスチールカメラ１３００の他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等の電子機器に適用することができる。
【００９６】
［移動体］
次に、本発明の実施形態に係る物理量センサー２００を搭載した移動体について、図９を参照して説明する。
図９は、本発明の実施形態に係る物理量センサーを備える移動体としての自動車１５００の構成を示す斜視図である。自動車１５００には、角速度検知用として機能する物理量センサー２００を内蔵して車体１５０７の姿勢やタイヤ１５０９等を制御する電子制御ユニット１５０８が搭載されている。
また、角速度以外の物理量を検出する物理量センサーは、他にも、エンジン制御ユニット、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ：Antilock Brake System）、エアバック、タイヤプレッシャーモニタリングシステム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｕｎｉｔ）に広く適用できる。
【００９７】
上述したように、検出感度に優れた高精度の物理量センサーが活用されることにより、より信頼性の高い移動体を提供することができる。
【００９８】
以上、本発明の実施形態に係る物理量センサー（２００，５００）、電子機器（１１００，１２００，１３００）、および移動体（１５００）について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明の実施形態は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明の実施形態に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、前述した各実施形態のうち、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【符号の説明】
【００９９】
１…機能素子、２…基板、３…素子片、４…導体パターン、５…蓋部材、２１…空洞部、３１…固定部、３２…固定部、３３…質量部、３４…連結部、３５…連結部、３６，３７…可動電極部、３８，３９…固定電極部、４０…突出部、４１…第１配線としての配線、４２…第２配線としての配線、４３…配線、４４，４５，４６…電極、２００…物理量センサー、２０１…電子部品、３４１，３４２，３５１，３５２…梁、３６１，３６３，３６５，３７１，３７３，３７５…第１可動電極指、３６２，３６４，３７２，３７４…第２可動電極指、３８１，３８３，３８５，３８７，３９１，３９３，３９５，３９７…第２固定電極指、３８２，３８４，３８６，３８８，３９２，３９４，３９６，３９８…第１固定電極指、４７１，４７２…第２接続部、４８１，４８２…第１接続部、５００…物理量センサー、１１００…電子機器としてのパーソナルコンピューター、１２００…電子機器としての携帯電話機、１３００…電子機器としてのデジタルスチールカメラ、１５００…移動体としての自動車。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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