(57)【要約】      （修正有）【課題】優れた振動特性を得ることができる圧電振動片を提供する。【解決手段】ＡＴカット水晶基板により形成された圧電振動片１０であって、板状に形成された基台１４と、板状に形成され、基台の主面１４ａ上に基台の厚さ方向Ｙ’で重なり合う複数のメサ部１５Ａ、１６Ａ、１７Ａ、１８Ａ、１９Ａと、を備える。厚さ方向に見た平面視において、複数のメサ部は、基台から離間するものほど外形が小さく、複数のメサ部のうち、厚さ方向に隣り合うメサ部の外縁間の距離Ｌ１１〜１３、２１〜２３、３１〜３３、４１〜４３は、基台の周方向において、複数のメサ部のうち基台から最も離間した位置にあるメサ部１９Ａの外縁１９ａＡと基台の外縁１４ｆとの距離が短いところほど短い。【選択図】図１
2017060056.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＡＴカット水晶基板により形成された圧電振動片であって、
板状に形成された基台と、
板状に形成され、前記基台の主面上に前記基台の厚さ方向で重なり合う複数のメサ部と、
を備え、
前記厚さ方向に見た平面視において、
複数の前記メサ部は、前記基台から離間するものほど外形が小さく、
複数の前記メサ部のうち、前記厚さ方向に隣り合う前記メサ部の外縁間の距離は、前記基台の周方向において、複数の前記メサ部のうち前記基台から最も離間した位置にある前記メサ部の外縁と前記基台の外縁との距離が短いところほど短いことを特徴とする圧電振動片。
【請求項２】
前記厚さ方向に沿う断面において、前記厚さ方向に隣り合う前記メサ部の組のうち、前記基台に近い位置となる前記メサ部の主面と側面との稜線と前記基台から離間した位置となる前記メサ部の主面と側面との稜線とを結ぶ接続線と、前記基台の主面と、のなす角度は、前記基台から離間した位置にある前記厚さ方向に隣り合う前記メサ部の組ほど小さい、請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
複数の前記メサ部のうち前記基台から最も離間した位置にある前記メサ部は、前記平面視で楕円状に形成されている、請求項１又は請求項２に記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記基台は、前記平面視で矩形状に形成され、
複数の前記メサ部は、前記基台の長手方向に平行な長軸を有する楕円状に形成されている、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項５】
前記基台は、前記平面視で矩形状に形成され、
前記基台は、前記ＡＴカット水晶基板の水晶結晶軸のうちＺ’軸方向を長手方向とする、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項６】
前記ＡＴカット水晶基板の水晶結晶軸のうちＺ’軸方向に離間する前記基台の両端部には、前記厚さ方向に直交する方向に突出する突出部がそれぞれ形成されている、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の圧電振動片と、
前記圧電振動片が実装されたパッケージと、
を備えることを特徴とする圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片及び圧電振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話や携帯情報端末機器、電波時計等には、時刻源や制御信号のタイミング源、リファレンス信号源等として、例えばＡＴカット水晶基板を利用した圧電振動子が用いられている。圧電振動片は、圧電板と、圧電板の表裏面にそれぞれ形成された励振電極と、を備えている。圧電振動片は、励振電極間に電圧が印加されることで、厚みすべり振動する。
【０００３】
ところで、上述した圧電振動片では、小型化を図ると、振動部（一対の励振電極の間に挟まれた部分）で発生した振動が圧電振動片の外縁へ伝搬し易くなる。振動が圧電振動片の外縁に伝播すると、外縁で不要振動（スプリアス）が誘発される。そこで、例えば、特許文献１には、圧電板の中央部に外縁よりも厚い膨出部を形成する構成（いわゆる、メサ型や、コンベックス型、ベベル型等）が開示されている。この構成によれば、振動エネルギーを圧電板の膨出部内（振動部内）に閉じ込めることが可能になり、圧電振動片のクリスタルインピーダンス（以下、ＣＩ値）を低減することが可能になると考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−６６９０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した従来技術にあっては、圧電板の周方向における全周にわたって膨出部の厚さを均一にすることが難しく、圧電板の膨出部での振動エネルギーの閉じ込め効果を向上させる点で未だ改善の余地があった。例えば、バレル研磨によって圧電板の外縁を中央部よりも薄くする場合には、圧電板の外縁における厚さが周方向の位置により変化してしまう。
この場合、圧電振動片の膨出部で発生する振動エネルギーが圧電板の外縁における厚くなっている部分に漏れるおそれがある（いわゆる、振動漏れ）。振動エネルギーが圧電板の外縁に到達すると、圧電板の外縁において不要振動が発生するおそれがある。
【０００６】
そこで、本発明は、上記事情に鑑みたものであって、優れた振動特性を得ることができる圧電振動片及び圧電振動子を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明の圧電振動片は、ＡＴカット水晶基板により形成された圧電振動片であって、板状に形成された基台と、板状に形成され、前記基台の主面上に前記基台の厚さ方向で重なり合う複数のメサ部と、を備え、前記厚さ方向に見た平面視において、複数の前記メサ部は、前記基台から離間するものほど外形が小さく、複数の前記メサ部のうち、前記厚さ方向に隣り合う前記メサ部の外縁間の距離は、前記基台の周方向において、複数の前記メサ部のうち前記基台から最も離間した位置にある前記メサ部の外縁と前記基台の外縁との距離が短いところほど短いことを特徴とする。
この発明によれば、複数のメサ部のうち、最も基台側に位置するメサ部の外縁を全周にわたって基台の外縁よりも内側に配置しやすくなる。したがって、複数のメサ部のうち基台から最も離間した位置にあるメサ部の外縁と基台の外縁との距離が基台の周方向で異なる場合であっても、圧電振動片全体の外縁（基台の外縁）での厚さを全周にわたって均一に薄くできる。
その結果、メサ部で生じる厚みすべり振動が外部に漏れるのを抑え、メサ部による閉じ込め効果の向上を図ることができる。これにより、圧電振動片の外縁での不要振動を抑えることができるので、優れた振動特性を得ることができる。
【０００８】
また、上記の圧電振動片では、前記厚さ方向に沿う断面において、前記厚さ方向に隣り合う前記メサ部の組のうち、前記基台に近い位置となる前記メサ部の主面と側面との稜線と前記基台から離間した位置となる前記メサ部の主面と側面との稜線とを結ぶ接続線と、前記基台の主面と、のなす角度は、前記基台から離間した位置にある前記厚さ方向に隣り合う前記メサ部の組ほど小さくてもよい。
この発明によれば、複数のメサ部全体としての厚さを、基台に最も近い位置にあるメサ部の外縁側において厚くすることができる。これにより、複数のメサ部の厚さ方向の端を振動の節とする厚みすべり振動の振動エネルギーを大きくすることができる。
【０００９】
また、上記の圧電振動片において、複数の前記メサ部のうち前記基台から最も離間した位置にある前記メサ部は、前記平面視で楕円状に形成されていてもよい。
この発明によれば、基台から最も離間した位置にあるメサ部の外縁に角が無いため、不要振動の発生を抑えることができる。
また、上記の圧電振動片において、前記基台は、前記平面視で矩形状に形成され、複数の前記メサ部は、前記基台の長手方向に平行な長軸を有する楕円状に形成されていてもよい。
この発明によれば、基台の主面の面積に対してメサ部の主面の面積が広く確保される。この主面に配置する励振電極の面積をより大きくすることができるため、厚みすべり振動により複数のメサ部で発生する振動エネルギーを大きくすることができる。
【００１０】
また、上記の圧電振動片において、前記基台は、前記平面視で矩形状に形成され、前記基台は、前記ＡＴカット水晶基板の水晶結晶軸のうちＺ’軸方向を長手方向としてもよい。
この発明によれば、この構成によれば、圧電振動片を小型化した場合であっても低いＣＩ値を維持できる。すなわち、ＡＴカット水晶基板はＸ軸とＺ’軸で構成される。このような構成のもと、ＡＴカット水晶基板がＸ軸方向に主振動たる厚み滑り振動をしているとき、Ｘ軸とＺ’軸では電気偏極が生じる。電気偏極は電荷の偏りであり、Ｘ軸では正弦波状、Ｚ’軸では直線状になる。電気偏極が直線状になるＺ’軸を長手方向とすることで、最も強い電荷が生じる辺を長くすることができる。強い電荷が生じる領域が広がれば、よりＣＩ値は低くなる。したがって、Ｚ’軸方向を長手方向とすることでより低いＣＩ値を維持することが可能となる。
【００１１】
また、上記の圧電振動片において、前記ＡＴカット水晶基板の水晶結晶軸のうちＺ’軸方向に離間する前記基台の両端部には、前記厚さ方向に直交する方向に突出する突出部がそれぞれ形成されていてもよい。
この発明によれば、パッケージに圧電振動片を実装するためのマウント領域として突出部を利用することで、圧電振動片における振動発生源である振動部（一対の励振電極の間に挟まれた部分）とマウント領域との間の間隔を確保できる。これにより、振動部で発生する振動エネルギーがマウント領域を経てパッケージに伝播するのを抑制し、振動漏れを抑制できる。
また、圧電振動片をパッケージにマウントするための実装部材との付着面積を確保できるので、実装部材と圧電振動片との接合強度を確保できる。
その結果、小型化を図った上で、長期にわたって優れた振動特性を備える圧電振動片を提供できる。
【００１２】
また、本発明の圧電振動子は、上記のいずれかに記載の圧電振動片と、前記圧電振動片が実装されたパッケージと、を備えることを特徴とする。
この発明によれば、上記本発明の圧電振動片を備えているため、振動特性の優れた圧電振動子を得ることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の圧電振動片及び圧電振動子によれば、優れた振動特性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態の圧電振動片の平面図である。
【図２】同圧電振動片を用いた圧電振動子の分解斜視図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に相当する断面図である。
【図４】長円状を説明する図である。
【図５】同圧電振動片の圧電板における基台の厚さ方向に沿う断面図である。
【図６】同圧電振動片の製造方法（外形形成工程）を説明するための工程図である。
【図７】同圧電振動片の製造方法（外形形成工程）を説明するための工程図である。
【図８】同圧電振動片の製造方法（外形形成工程）を説明するための工程図である。
【図９】同圧電振動片の製造方法（外形形成工程）を説明するための工程図である。
【図１０】同圧電振動片の製造方法（メサ部形成工程）を説明するための工程図である。
【図１１】同圧電振動片の製造方法（メサ部形成工程）を説明するための工程図である。
【図１２】同圧電振動片の製造方法（メサ部形成工程）を説明するための工程図である。
【図１３】同圧電振動片の製造方法（メサ部形成工程）を説明するための工程図である。
【図１４】同圧電振動片の製造方法（メサ部形成工程）を説明するための工程図である。
【図１５】同圧電振動片の製造方法（メサ部形成工程）を説明するための工程図である。
【図１６】同圧電振動片の製造方法（メサ部形成工程）を説明するための工程図である。
【図１７】同圧電振動片の製造方法（メサ部形成工程）を説明するための工程図である。
【図１８】同圧電振動片の製造方法（メサ部形成工程）を説明するための工程図である。
【図１９】本発明の第２実施形態の圧電振動片の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
［第１実施形態］
＜圧電振動片＞
図１は、圧電振動片１０の平面図である。図２は、圧電振動子１の分解斜視図である。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の厚さや寸法の比率を調整している。
図１及び図２に示す本実施形態の圧電振動片１０は、電圧を印加することで厚みすべりモードで振動する。圧電振動片１０は、圧電板１１と、圧電板１１を厚みすべり振動させる電極膜１２と、を有している。
【００１６】
圧電板１１は、ＡＴカット水晶基板から形成されている。ここで、ＡＴカットとは、人工水晶の結晶軸である電気軸（Ｘ軸）、機械軸（Ｙ軸）及び光学軸（Ｚ軸）の３つの結晶軸のうち、Ｚ軸に対してＸ軸周りに３５度１５分だけ傾いた方向（Ｚ’軸方向）に切り出す加工手法である。ＡＴカットによって切り出された圧電板１１は、周波数温度特性が安定しており、構造や形状が単純で加工が容易であり、ＣＩ値が低いという利点がある。なお、以下の説明において、各図の構成を説明する際には、右手系の直交座標系であるＸＹ’Ｚ’座標系を用いる。このＸＹ’Ｚ’座標系のうち、Ｙ’軸はＸ軸及びＺ’軸に直交する軸である。また、Ｘ軸方向、Ｙ’軸方向及びＺ’軸方向は、図中矢印方向を＋方向とし、矢印とは反対の方向を−方向として説明する。
【００１７】
図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に相当する断面図である。
図１及び図３に示すように、圧電板１１は、Ｙ’軸方向に直交する面に対して略対称（面対称）に形成されている。具体的に、圧電板１１は、板状の基台１４と、基台１４の第一の主面（主面）１４ａ上に順次配置された第一のメサ部１５Ａ、第二のメサ部１６Ａ、第三のメサ部１７Ａ、第四のメサ部１８Ａ、及び第五のメサ部１９Ａ（以下、第一のメサ部１５Ａ等と略称する）とを備えている。圧電板１１はさらに、基台１４の第二の主面（主面）１４ｂ上に順次配置された第一のメサ部１５Ｂ、第二のメサ部１６Ｂ、第三のメサ部１７Ｂ、第四のメサ部１８Ｂ、及び第五のメサ部１９Ｂ（以下、第一のメサ部１５Ｂ等と略称する）を有している。
【００１８】
これら５段の第一のメサ部１５Ａ等、及び５段の第一のメサ部１５Ｂ等は、本発明のメサ部に該当する。
ここで言う主面とは、板状の部材における後述するＸ軸方向及びＺ’軸方向に沿って延在する面のことを意味する。主面上に配置されているとは、主面に直接接触した状態で配置されていることだけでなく、主面に対して主面の法線方向（Ｙ’軸方向）に離間した位置に配置されていることも含む。
【００１９】
本実施形態では、第一のメサ部１５Ａ等と第一のメサ部１５Ｂ等との構成は同一である。このため、第一のメサ部１５Ａ等の構成については数字、又は数字及び英小文字に英大文字「Ａ」を付加し、第一のメサ部１５Ｂ等のうち第一のメサ部１５Ａ等と対応する構成については第一のメサ部１５Ａ等と同一の数字、又は数字及び英小文字に英大文字「Ｂ」を付加することで示す。これにより、重複する説明を省略する。
例えば、第一のメサ部１５Ａと第一のメサ部１５Ｂとは、同一の構成である。
【００２０】
図１に示すように、基台１４は、基台１４の厚さ方向となるＹ’軸方向に見た（平面視した）ときに、Ｚ’軸方向を長手方向とし、Ｘ軸方向を短手方向とする矩形状に形成されている。すなわち、基台１４のＸ軸方向に沿う短辺１４ｃの長さよりも、Ｚ’軸方向に沿う長辺１４ｄの長さの方が長い。
第一のメサ部１５Ａ等は、Ｚ’軸方向に平行な長軸を有する楕円状にそれぞれ形成されている。Ｙ’軸方向に見たときに、第一のメサ部１５Ａ等は基台１４の外縁よりも内側に配置されている。
図４は、長円状を説明する図である。ここで言う楕円状は、数学的な意味での楕円状及び円状を含むとともに、図４に示す長円Ｍの形状を含む。長円Ｍは、外径の等しい一対の半円Ｍ１と、この一対の半円Ｍ１の間に配置された矩形Ｍ２とで構成される。なお、半円Ｍ１の外径（弦の長さ）は、矩形Ｍ２の各辺のうち半円Ｍ１が接続された部分の辺の長さに等しい。
【００２１】
図１及び図３に示すように、第一のメサ部１５Ａ等は、Ｙ’軸方向で重なり合う。第一のメサ部１５Ａ等は、基台１４から離間するものほど外形が小さくなる。第一のメサ部１５Ａ等は、第一の主面１４ａから＋Ｙ’軸方向に突出している。第一のメサ部１５Ａ等のうち基台１４から最も離間した位置にあるメサ部は、第五のメサ部１９Ａである。第一のメサ部１５Ａ等は、Ｘ軸方向に直交する面、及びＺ’軸方向に直交する面に対してそれぞれ対称に形成されている。Ｙ’軸方向において、第一のメサ部１５Ａと第二のメサ部１６Ａ、第二のメサ部１６Ａと第三のメサ部１７Ａ等が隣り合っている。本実施形態では、第一のメサ部１５Ａ等の厚さ（Ｙ’軸方向の長さ）は、互いに等しい。ただし、第一のメサ部１５Ａ等の厚さが互いに異なるとしてもよい。
【００２２】
第一のメサ部１５Ａは、基台１４の短辺１４ｃに平行な一対の直線状辺１５ａＡと、基台１４の長辺１４ｄに平行な一対の直線状辺１５ｂＡと、端部が直線状辺１５ａＡ及び直線状辺１５ｂＡに連なる曲線状辺１５ｃＡとを有している。直線状辺１５ａＡ、直線状辺１５ｂＡ、及び曲線状辺１５ｃＡは、第一のメサ部１５Ａの外縁を構成する。
Ｙ’軸方向に見たときに、第一のメサ部１５Ａは基台１４の第一の主面１４ａの中央部に形成されている。言い換えれば、第一のメサ部１５Ａは、基台１４の外縁１４ｆよりも内側に形成されている。
【００２３】
第二のメサ部１６Ａには、第一のメサ部１５Ａの各直線状辺１５ａＡに平行な一対の直線状辺１６ａＡと、第一のメサ部１５Ａの各直線状辺１５ｂＡに平行な一対の直線状辺１６ｂＡと、端部が直線状辺１６ａＡ及び直線状辺１６ｂＡに連なる曲線状辺１６ｃＡとを有している。直線状辺１６ａＡ、直線状辺１６ｂＡ、及び曲線状辺１６ｃＡは、第二のメサ部１６Ａの外縁を構成する。
Ｙ’軸方向に見たときに、第二のメサ部１６Ａは第一のメサ部１５Ａの主面の中央部に形成されている。言い換えれば、第二のメサ部１６Ａは、第一のメサ部１５Ａの外縁よりも内側に形成されている。
上方のメサ部である第二のメサ部１６Ａの外形は、下方のメサ部である第一のメサ部１５Ａの外形よりも小さい。
ここで上方とは、Ｙ’軸方向のうち基台１４から離間する向きのことを意味する。下方とは、Ｙ’軸方向のうち基台１４に近づく向きのことを意味する。第一のメサ部１５Ａ等については、上方は＋Ｙ’軸方向であり、下方は−Ｙ’軸方向である。
【００２４】
Ｙ’軸方向に隣り合う第一のメサ部１５Ａの外縁と第二のメサ部１６Ａの外縁との間の距離は、基台１４の周方向において、第五のメサ部１９Ａの外縁１９ａＡと基台１４の外縁１４ｆとの距離が短いところほど短い。
ここで、第五のメサ部１９Ａの外縁１９ａＡと基台１４の外縁１４ｆとの距離を、基台１４の角部で距離Ｌ５１、Ｚ’軸方向で距離Ｌ５２、Ｘ軸方向で距離Ｌ５３とする。このとき、距離Ｌ５２は距離Ｌ５１よりも短く、距離Ｌ５３は距離Ｌ５２よりも短い。
第一のメサ部１５Ａの外縁と第二のメサ部１６Ａの外縁との間の距離を、基台１４の角部で距離Ｌ１１、Ｚ’軸方向で距離Ｌ１２、Ｘ軸方向で距離Ｌ１３とする。このとき、距離Ｌ１２は距離Ｌ１１よりも短く、距離Ｌ１３は距離Ｌ１２よりも短い。
【００２５】
本実施形態では、メサ部１７Ａ、１８Ａ、１９Ａには直線状辺は形成されていない。
Ｙ’軸方向に見たときに、第三のメサ部１７Ａは第二のメサ部１６Ａの主面の中央部に形成されている。言い換えれば、第三のメサ部１７Ａは、第二のメサ部１６Ａの外縁よりも内側に形成されている。上方のメサ部である第三のメサ部１７Ａの外形は、下方のメサ部である第二のメサ部１６Ａの外形よりも小さい。
Ｙ’軸方向に隣り合う第二のメサ部１６Ａの外縁と第三のメサ部１７Ａの外縁１７ａＡとの間の距離は、基台１４の周方向において、第五のメサ部１９Ａの外縁１９ａＡと基台１４の外縁１４ｆとの距離が短いところほど短い。具体的に説明するために、第二のメサ部１６Ａの外縁と第三のメサ部１７Ａの外縁１７ａＡとの間の距離を、基台１４の角部で距離Ｌ２１、Ｚ’軸方向で距離Ｌ２２、Ｘ軸方向で距離Ｌ２３とする。このとき、距離Ｌ２２は距離Ｌ２１よりも短く、距離Ｌ２３は距離Ｌ２２よりも短い。
【００２６】
Ｙ’軸方向に見たときに、第四のメサ部１８Ａは第三のメサ部１７Ａの主面の中央部に形成されている。言い換えれば、第四のメサ部１８Ａは、第三のメサ部１７Ａの外縁１７ａＡよりも内側に形成されている。上方のメサ部である第四のメサ部１８Ａの外形は、下方のメサ部である第三のメサ部１７Ａの外形よりも小さい。
Ｙ’軸方向に隣り合う第三のメサ部１７Ａの外縁１７ａＡと第四のメサ部１８Ａの外縁１８ａＡとの間の距離は、基台１４の周方向において、第五のメサ部１９Ａの外縁１９ａＡと基台１４の外縁１４ｆとの距離が短いところほど短い。具体的に説明するために、第三のメサ部１７Ａの外縁１７ａＡと第四のメサ部１８Ａの外縁１８ａＡとの間の距離を、基台１４の角部で距離Ｌ３１、Ｚ’軸方向で距離Ｌ３２、Ｘ軸方向で距離Ｌ３３とする。このとき、距離Ｌ３２は距離Ｌ３１よりも短く、距離Ｌ３３は距離Ｌ３２よりも短い。
【００２７】
Ｙ’軸方向に見たときに、第五のメサ部１９Ａは第四のメサ部１８Ａの主面の中央部に形成されている。言い換えれば、第五のメサ部１９Ａは、第四のメサ部１８Ａの外縁１８ａＡよりも内側に形成されている。上方のメサ部である第五のメサ部１９Ａの外形は、下方のメサ部である第四のメサ部１８Ａの外形よりも小さい。
Ｙ’軸方向に隣り合う第四のメサ部１８Ａの外縁１８ａＡと第五のメサ部１９Ａの外縁１９ａＡとの間の距離は、基台１４の周方向において、第五のメサ部１９Ａの外縁１９ａＡと基台１４の外縁１４ｆとの距離が短いところほど短い。具体的には、第四のメサ部１８Ａの外縁１８ａＡと第五のメサ部１９Ａの外縁１９ａＡとの間の距離を、基台１４の角部で距離Ｌ４１、Ｚ’軸方向で距離Ｌ４２、Ｘ軸方向で距離Ｌ４３とする。このとき、距離Ｌ４２は距離Ｌ４１よりも短く、距離Ｌ４３は距離Ｌ４２よりも短い。
【００２８】
このように、圧電板１１において、Ｙ’軸方向に隣り合うメサ部の外縁間の距離を、基台１４の周方向において、第五のメサ部１９Ａの外縁１９ａＡと基台１４の外縁１４ｆとの距離が短いところほど短くする。これにより、基台１４において短辺１４ｃと長辺１４ｄとの間に長さの差があっても、Ｚ’軸方向に見たときに基台１４の外縁１４ｆよりも内側に複数の第一のメサ部１５Ａ等が配置される。
【００２９】
図５は、圧電板１１における基台１４の厚さ方向に沿う断面図である。
まず、Ｚ’軸方向に隣り合うメサ部の組である第一のメサ部１５Ａ及び第二のメサ部１６Ａについて、基台１４の第一の主面１４ａとのなす角度を説明する。この場合、隣り合うメサ部の組のうち、基台１４に近い位置となるメサ部は第一のメサ部１５Ａであり、基台１４から離間した位置となるメサ部は第二のメサ部１６Ａである。
ここで、第一のメサ部１５Ａの主面と側面との稜線１５ｄＡと、第二のメサ部１６Ａの主面と側面との稜線１６ｄＡと、を結ぶ接続線Ｎ１を規定する。接続線Ｎ１と基台１４の第一の主面１４ａとのなす角度を、θ１とする。
【００３０】
同様に、Ｚ’軸方向に隣り合うメサ部の組である第二のメサ部１６Ａ及び第三のメサ部１７Ａについては、基台１４に近い位置となるメサ部は第二のメサ部１６Ａであり、基台１４から離間した位置となるメサ部は第三のメサ部１７Ａである。ここで、第二のメサ部１６Ａの稜線１６ｄＡ、及び、第三のメサ部１７Ａの主面と側面との稜線１７ｄＡとを結ぶ接続線Ｎ２を規定する。接続線Ｎ２と基台１４の第一の主面１４ａとのなす角度を、θ２とする。
Ｚ’軸方向に隣り合うメサ部の組である第三のメサ部１７Ａ及び第四のメサ部１８Ａについて、第四のメサ部１８Ａの稜線１８ｄＡと、第三のメサ部１７Ａの稜線１７ｄＡと第四のメサ部１８Ａの稜線１８ｄＡとを結ぶ接続線Ｎ３を規定する。接続線Ｎ３と基台１４の第一の主面１４ａとのなす角度を、θ３とする。
Ｚ’軸方向に隣り合うメサ部の組である第四のメサ部１８Ａ及び第五のメサ部１９Ａについて、第五のメサ部１９Ａの稜線１９ｄＡ、及び、第四のメサ部１８Ａの稜線１８ｄＡと第五のメサ部１９Ａの稜線１９ｄＡとを結ぶ接続線Ｎ４を規定する。接続線Ｎ４と基台１４の第一の主面１４ａとのなす角度を、θ４とする。
なお、角度θ１〜θ４は、鋭角である。
【００３１】
また、Ｚ’軸方向に隣り合うメサ部の組の位置とは、この隣り合うメサ部の間の位置とする。すなわち、第一のメサ部１５Ａ及び第二のメサ部１６Ａよりも第二のメサ部１６Ａ及び第三のメサ部１７Ａの方が、基台１４から離間した位置にある。同様に、第二のメサ部１６Ａ及び第三のメサ部１７Ａよりも第三のメサ部１７Ａ及び第四のメサ部１８Ａの方が、基台１４から離間した位置にある。
このとき、Ｚ’軸方向に隣り合うメサ部の組のうち、角度θ１〜θ４は、基台１４から離間した位置にあるＺ’軸方向に隣り合うメサ部の組のものほど小さい。具体的には、メサ部１５Ａ、１６Ａの角度θ１よりも、メサ部１６Ａ、１７Ａの角度θ２の方が小さい。同様に、メサ部１６Ａ、１７Ａの角度θ２よりも、メサ部１７Ａ、１８Ａの角度θ３の方が小さい。メサ部１７Ａ、１８Ａの角度θ３よりも、メサ部１８Ａ、１９Ａの角度θ４の方が小さい。
【００３２】
なお、本実施形態では、第一のメサ部１５Ａ等の厚さが互いに等しいため、Ｙ’軸方向に見たときに、Ｙ’軸方向に隣り合うメサ部の外縁間の距離は、＋Ｙ’軸方向のメサ部ほど長くなる。具体的には、メサ部１５Ａ、１６Ａの外縁間の距離Ｌ１３よりも、メサ部１６Ａ、１７Ａの外縁間の距離Ｌ２３の方が長い。同様に、メサ部１６Ａ、１７Ａの外縁間の距離Ｌ２３よりも、メサ部１７Ａ、１８Ａの外縁間の距離Ｌ３３の方が長い。メサ部１７Ａ、１８Ａの外縁間の距離Ｌ３３よりも、メサ部１８Ａ、１９Ａの外縁間の距離Ｌ４３の方が長い。
【００３３】
また、図５に示すように、第一のメサ部１５Ａ等の稜線に対する近似曲線Ｎを規定する。近似曲線Ｎは、例えばＸＹ直交座標系において、最小二乗法により各稜線に対する近似曲線Ｎとなる多項式を求めることができる。近似曲線Ｎの曲率半径は、＋Ｙ’軸方向に向かうにしたがって大きくなる。
このように構成されることで、第一のメサ部１５Ａの外縁側において、第一のメサ部１５Ａ等全体としての厚さを厚くすることができる。
【００３４】
図３に示すように、第一のメサ部１５Ｂ等は、第二の主面１４ｂから−Ｙ’軸方向に突出している。第一のメサ部１５Ｂ等の外形は、上方のメサ部ほど小さい。
【００３５】
図１及び図３に示すように、電極膜１２は、第一の励振電極２１及び第二の励振電極２２と、第一のマウント電極２３及び第二のマウント電極２４と、第一の引き回し配線２５及び第二の引き回し配線２６と、を有している。
なお、電極膜１２は、金等の単層膜や、クロム等を下地層とし、金等を上地層とした積層膜等で形成されている。
【００３６】
第一の励振電極２１は、第五のメサ部１９Ａの頂面である主面１９ｂＡ、側面、及び第四のメサ部１８Ａの主面１８ｂＡ上に形成されている。第一の励振電極２１は、Ｙ’軸方向に見たときに楕円状に形成されている。
第二の励振電極２２は、第五のメサ部１９Ｂの頂面である主面１９ｂＢ、側面、及び第四のメサ部１８Ｂの主面１８ｂＢ上に形成されている。第二の励振電極２２は、Ｙ’軸方向に見たときに楕円状に形成されている。したがって、各励振電極２１、２２は、Ｙ’軸方向で重なり合っている。なお、各励振電極２１、２２は、少なくとも対応するメサ部１９Ａ、１９Ｂの主面１９ｂＡ、１９ｂＢに形成されていれば、対応するメサ部の主面、側面や、基台１４の主面１４ａ、１４ｂに跨って形成されていても構わない。
【００３７】
各マウント電極２３、２４は、基台１４のうち＋Ｘ軸方向の端部であって、Ｚ’軸方向の両端部にそれぞれ形成されている。
第一のマウント電極２３は、基台１４のうち＋Ｘ、＋Ｚ’軸方向に位置する角部において、第一の主面１４ａ、側面１４ｅ、及び第二の主面１４ｂにわたって形成されている。
第二のマウント電極２４は、基台１４のうち＋Ｘ、−Ｚ’軸方向に位置する角部において、第一の主面１４ａ、側面１４ｅ、及び第二の主面１４ｂにわたって形成されている。なお、第二のマウント電極２４は、少なくとも第二の主面１４ｂに形成されていればよい。
【００３８】
第一の引き回し配線２５は、基台１４の第一の主面１４ａ側において、第一の励振電極２１と第一のマウント電極２３とを接続している。
第二の引き回し配線２６は、基台１４の第二の主面１４ｂ側において、第二の励振電極２２と第二のマウント電極２４とを接続している。
【００３９】
＜圧電振動子＞
図２に示すように、本実施形態の圧電振動子１は、上述した圧電振動片１０と、圧電振動片１０が気密封止された状態で実装されたパッケージ３０と、を備えている。
パッケージ３０は、ベース基板３１と、ベース基板３１に重ね合わされたリッド基板３２と、を備えている。ベース基板３１及びリッド基板３２は、ともにセラミックス材料等により形成されている。
【００４０】
ベース基板３１は、平面視で矩形状に形成された底壁部３１ａと、底壁部３１ａの外周縁から＋Ｙ’軸方向に立設された側壁部３１ｂと、を有している。側壁部３１ｂは、底壁部３１ａの外周縁における全周にわたって形成されている。
底壁部３１ａの表面（＋Ｙ’軸方向に位置する面）には、ベース基板３１と同一の材料で形成された支持部材３４が一対取付けられている。各支持部材３４は、底壁部３１ａの＋Ｘ軸方向端部において、Ｚ’軸方向に間隔をあけて形成されている。各支持部材３４上には、内部電極３５が形成されている。
また、底壁部３１ａの裏面（−Ｙ’軸方向に位置する面）には、一対の外部電極（不図示）が形成されている。内部電極３５及び外部電極は、底壁部３１ａ及び支持部材３４をＹ’軸方向に貫通する貫通電極（不図示）によって電気的に接続されている。
なお、内部電極３５と外部電極との接続形態はこれに限定されるものではなく、例えば、配線を介して、内部電極３５と外部電極とを接続する形態であってもよいし、支持部材３４を用いずに内部電極３５と外部電極とを接続してもよい。
【００４１】
リッド基板３２は、平面視矩形の板状に形成されている。リッド基板３２は、その外周部分がベース基板３１の側壁部３１ｂに＋Ｙ’軸方向から接合されている。そして、ベース基板３１の底壁部３１ａ及び側壁部３１ｂとリッド基板３２とで囲まれた領域には、気密封止されたキャビティＣが形成されている。
【００４２】
図３に示すように、圧電振動片１０は、導電ペースト等の実装部材４０を介して、ベース基板３１の支持部材３４に実装されている。具体的には、ベース基板３１の支持部材３４に形成された一対の内部電極３５に対して、圧電振動片１０の対応するマウント電極２３、２４が第二の主面１４ｂ側から実装される。これにより、圧電振動片１０は、パッケージ３０のキャビティＣ内で機械的に保持されるとともに、マウント電極２３、２４と内部電極３５とがそれぞれ導通された状態になっている。
すなわち、マウント電極２３、２４が圧電振動片１０のマウント部となり、マウント電極２３、２４が形成された部分の基台１４がマウント領域となる。圧電振動片１０は、パッケージ３０により圧電板１１の＋Ｘ軸方向側の部分で片持ち支持される。
【００４３】
＜圧電振動片の製造方法＞
次に、上述した圧電振動片１０の製造方法について説明する。なお、以下の説明では、ＡＴカット水晶基板（以下、単にウエハＳという。）から複数の圧電振動片１０を一括で形成する方法について説明する。
本実施形態の圧電振動片１０は、主にウエハ準備工程と、外形形成工程と、メサ部形成工程と、電極膜形成工程と、個片化工程と、を経て形成される。
【００４４】
（ウエハ準備工程）
ウエハ準備工程では、水晶のランバート原石をＡＴカットして一定の厚みとしたウエハＳ（図６参照）をラッピングして粗加工した後、加工変質層をエッチングで取り除く。その後、ポリッシュ等の鏡面研磨加工を行なって所定の厚みのウエハＳを準備する。なお、以下の説明において、ウエハＳの表裏面は、上述した基台１４の主面１４ａ、１４ｂに対応している。
【００４５】
（外形形成工程）
図６から図９は、外形形成工程を説明するための工程図である。
図６から図９に示すように、外形形成工程は、ウエハＳのうち圧電振動片１０を形成する領域を圧電板１１に対応する外形に形成する工程である。
まず図６に示すように、ウエハＳの両面にエッチング保護膜５０を成膜する。エッチング保護膜５０は、例えばクロムを数１０ｎｍ成膜したエッチング保護膜と、金を数１０ｎｍ成膜したエッチング保護膜と、が順次積層された積層膜である。エッチング保護膜５０は、ウエハＳの両面に、それぞれスパッタリング法や蒸着法等によって成膜する。
【００４６】
次いで、ウエハＳの両面において、各エッチング保護膜５０上にフォトレジスト膜５１を成膜する。フォトレジスト膜５１は、エッチング保護膜５０上に、スピンコート法等によりレジスト材料を塗布して形成する。
なお、本実施形態で用いるレジスト材料としては、環化ゴム（例えば、環化イソプレン）を主体にしたゴム系ネガレジストが好適に用いられている。ゴム系ネガレジストは、環化ゴムを有機溶剤に溶解し、さらにビスアジド感光剤を加えてろ過し、不純物を除去することで精製されたものである。
【００４７】
次に、図７に示すように、両フォトレジスト膜５１に、例えば圧電振動片１０の平面視外形に対応する外形マスク５１ａを形成する。具体的には、まず圧電振動片１０の平面視外形に対応する外形パターンが形成されたフォトマスクを用いて、ウエハＳの両面に形成されたフォトレジスト膜５１をそれぞれ露光する。その後、フォトレジスト膜５１を一括して現像する。これにより、両フォトレジスト膜５１に外形マスク５１ａが形成される。
【００４８】
次に、図８に示すように、両エッチング保護膜５０に圧電振動片１０の平面視外形に対応する外形パターン５０ａを形成する。具体的には、外形マスク５１ａが形成されたフォトレジスト膜５１をマスクとしてエッチングを行ない、エッチング保護膜５０のうちマスクされていない部分を選択的に除去する。これにより、例えば圧電振動片１０の平面視外形に対応する外形パターン５０ａが両エッチング保護膜５０に形成される。
なお、本工程では、エッチング保護膜５０及びフォトレジスト膜５１が形成されたウエハＳを、薬液に浸漬して行うウェットエッチング方式を用いることができる。また、エッチングの終了後には、フォトレジスト膜５１を剥離しても構わない。
【００４９】
次に、図９に示すように、外形パターン５０ａをマスクとして、ウエハＳをエッチングする。このエッチングは、例えばウェットエッチングにより行われる。ウエハＳの両面のうち、マスクされていない部分が選択的にエッチングされることで、ウエハＳにおける外形パターン５０ａで覆われた部分が圧電板１１に対応する外形に形成される。
ここで、外形マスク５１ａ及び外形パターン５０ａを除去する。
【００５０】
（メサ部形成工程）
図１０から図１８は、メサ部形成工程を説明するための工程図である。
図１０から図１８に示すように、メサ部形成工程は、ウエハＳに形成された圧電振動片１０の両主面に第一のメサ部１５Ａ等及び第一のメサ部１５Ｂ等を形成する工程である。第一のメサ部１５Ａは、第一のメサ部１５Ｂと同時に形成される。同様に、第二のメサ部１６Ａは第二のメサ部１６Ｂと同時に形成され、第三のメサ部１７Ａは第三のメサ部１７Ｂと同時に形成される。第四のメサ部１８Ａは第四のメサ部１８Ｂと同時に形成され、第五のメサ部１９Ａは第五のメサ部１９Ｂと同時に形成される。以下では、第一のメサ部１５Ａ等を形成する工程について説明する。
図１０に示すように、メサ部形成工程では、上述した外形形成工程と同様に、ウエハＳ上にエッチング保護膜５５及びフォトレジスト膜５６を積層する。
【００５１】
次に、図１１に示すように、フォトレジスト膜５６に第一のメサ部１５Ａの主面の平面視外形に対応するメサ部マスク５６ａを形成する（第一のマスク形成工程）。メサ部マスク５６ａの形成方法は、上述した外形マスク５１ａ（図７参照）の形成方法と同様である。
続いて、図１２に示すように、メサ部マスク５６ａをマスクとしてエッチング保護膜５５にメサ部パターン５５ａを形成する。メサ部パターン５５ａの形成方法は、上述した外形パターン５０ａ（図８参照）の形成方法と同様である。なお、メサ部マスク５６ａ、メサ部パターン５５ａとして、前述の外形マスク５１ａ、外形パターン５０ａがシュリンクした（縮んだ）ものを用いてもよい。
【００５２】
続いて、図１３に示すように、メサ部パターン５５ａをマスクとして、ウエハＳをエッチングする（第一のエッチング形成工程）。このエッチングは、例えばウェットエッチングにより行われる。ウエハＳのうち、マスクされていない部分が選択的にエッチングされることで、ウエハＳにおけるメサ部パターン５５ａで覆われた部分が第一のメサ部１５Ａの主面に対応する外形に形成される。
次に、図１４に示すように、メサ部マスク５６ａ及びメサ部パターン５５ａを除去する。
【００５３】
次に、図１５に示すように、メサ部形成工程で先に形成したエッチング保護膜５５及びフォトレジスト膜５６と同様に、ウエハＳ上にエッチング保護膜６０及びフォトレジスト膜６１を積層する（第二のマスク形成工程）。
次に、図１６に示すように、フォトレジスト膜６１に第二のメサ部１６Ａの主面の平面視外形に対応するメサ部マスク６１ａを形成する。メサ部マスク６１ａをマスクとしてエッチング保護膜６０にメサ部パターン６０ａを形成する。メサ部マスク６１ａ、メサ部パターン６０ａは、前述のメサ部マスク５６ａ、メサ部パターン５５ａよりも外形の小さいマスクやパターンにする。言い換えれば、メサ部マスク６１ａ及びメサ部パターン６０ａで覆われるウエハＳの領域は、メサ部マスク５６ａ及びメサ部パターン５５ａで覆われるウエハＳの領域よりも小さい。
【００５４】
続いて、図１７に示すように、メサ部パターン６０ａをマスクとして、ウエハＳをエッチングする（第二のエッチング形成工程）。
ウエハＳの両面のうち、マスクされていない部分が選択的にエッチングされることで、ウエハＳにおけるメサ部パターン６０ａで覆われた部分が第二のメサ部１６Ａの主面に対応する外形に形成される。
次に、図１８に示すように、メサ部マスク６１ａ及びメサ部パターン６０ａを除去する。
第二のマスク形成工程及び第二のエッチング形成工程と同様の工程を組にして繰り返すことで、第三のメサ部１７Ａ、第四のメサ部１８Ａ、及び第五のメサ部１９Ａを形成する。
【００５５】
（電極膜形成工程及び個片化工程）
次に、電極膜形成工程において電極膜１２をウエハＳ上に形成する。電極膜形成工程の後で、個片化工程においてウエハＳを各圧電振動片１０毎に個片化する。
以上の工程により、ウエハＳから複数の圧電振動片１０を一括して製造することができる。
なお、本実施形態では、外形形成工程の後でメサ部形成工程を行う方法について説明したが、これに限らず、メサ部形成工程の後で外形形成工程を行っても構わない。
【００５６】
以上説明したように、本実施形態の圧電振動片１０によれば、前述のように第一のメサ部１５Ａ等の外縁間の距離Ｌ１１〜１３、２１〜２３、３１〜３３、４１〜４３が調節されていることで、第一のメサ部１５Ａの外縁を全周にわたって基台１４の外縁よりも内側に配置しやすくなる。したがって、第五のメサ部１９Ａの外縁１９ａＡ基台１４の外縁１４ｆとの距離が基台１４の周方向で異なる場合であっても、圧電振動片１０全体の外縁（基台１４の外縁１４ｆ）での厚さを全周にわたって均一に薄くできる。
その結果、第一のメサ部１５Ａ等で生じる厚みすべり振動が外部に漏れるのを抑え、第一のメサ部１５Ａ等による閉じ込め効果の向上を図ることができる。これにより、圧電振動片１０の外縁での不要振動を抑えることができるので、優れた振動特性を得ることができる。
【００５７】
接続線Ｎ１〜４と基台１４の第一の主面１４ａとのなす角度θ１〜θ４は、基台１４から離間した位置にある隣り合うメサ部の組のものほど小さい。このため、第一のメサ部１５Ａ等全体としての厚さを、第一のメサ部１５Ａの外縁側において厚くすることができる。これにより、第一のメサ部１５Ａ等のＹ’軸方向の端を振動の節とする厚みすべり振動の振動エネルギーを大きくすることができる。
第五のメサ部１９Ａは、Ｙ’軸方向に見たときに楕円状に形成されている。第五のメサ部１９Ａの外縁に角が無いため、不要振動の発生を抑えることができ、振動特性の更なる向上を図ることができる。
【００５８】
第一のメサ部１５Ａ等は、ＡＴカット水晶基板の水晶結晶軸のうちＺ’軸方向に平行な長軸を有する楕円状に形成されている。基台１４の第一の主面１４ａの面積に対して第五のメサ部１９Ａの主面１９ｂＡの面積が広く確保される。主面１９ｂＡに配置する第一の励振電極２１の面積をより大きくすることができるため、厚みすべり振動により複数の第一のメサ部１５Ａ等で発生する振動エネルギーを大きくすることができる。
【００５９】
基台１４は、Ｚ’軸方向を長手方向とするため、圧電振動片１０を小型化した場合であっても低いＣＩ値を維持できる。すなわち、ＡＴカット水晶基板はＸ軸とＺ’軸で構成される。このような構成のもと、ＡＴカット水晶基板がＸ軸方向に主振動たる厚み滑り振動をしているとき、Ｘ軸とＺ’軸では電気偏極が生じる。電気偏極は電荷の偏りであり、Ｘ軸では正弦波状、Ｚ’軸では直線状になる。電気偏極が直線状になるＺ’軸を長手方向とすることで、最も強い電荷が生じる辺を長くすることができる。強い電荷が生じる領域が広がれば、よりＣＩ値は低くなる。したがって、Ｚ’軸方向を長手方向とすることでより低いＣＩ値を維持することが可能となる。
また、本実施形態の圧電振動子１によれば、本実施形態の圧電振動片１０を備えているため、振動特性の優れた圧電振動子１を得ることができる。
【００６０】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態について説明する。図１９は、圧電振動片７０の平面図である。
なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
図１９に示すように、本実施形態の圧電振動片７０は、第１実施形態の圧電振動片１０のマウント電極２３、２４に代えて、基台１４の＋Ｘ軸方向の端部であってＺ’軸方向の両端部に配置された第一の突出部（突出部）７１、第二の突出部（突出部）７２、及び第一のマウント電極７３、及び第二のマウント電極７４を備えている。
第一の突出部７１は、Ｙ’軸方向に見たときに平行四辺形状に形成されている。第一の突出部７１は、基台１４のうち＋Ｘ軸方向かつ＋Ｚ’軸方向に位置する角部からＹ’軸方向に直交する方向に沿って突出している。より詳しくは、第一の突出部７１は、Ｙ’軸方向に見たときに、＋Ｘ軸方向に向かうに従い＋Ｚ’軸方向に傾斜している。
第一のマウント電極７３は、第一の突出部７１の両主面及び側面に形成されている。第一のマウント電極７３には、第一の引き回し配線２５が接続されている。
【００６１】
第二の突出部７２は、第一の突出部７１と同様に形成されている。すなわち、第二の突出部７２は、Ｙ’軸方向に見たときに平行四辺形状に形成されている。第二の突出部７２は、基台１４のうち＋Ｘ軸方向かつ−Ｚ’軸方向に位置する角部からＹ’軸方向に直交する方向に沿って突出している。より詳しくは、第一の突出部７１は、Ｙ’軸方向に見たときに、＋Ｘ軸方向に向かうに従い−Ｚ’軸方向に傾斜している。
第二のマウント電極７４は、第二の突出部７２の両主面及び側面に形成されている。第二のマウント電極７４には、第二の引き回し配線２６が接続されている。
本実施形態では、マウント電極７３、７４が圧電振動片７０のマウント部となり、突出部７１、７２がマウント領域となる。
【００６２】
突出部７１、７２の厚さは、圧電板１１の厚さに等しい。なお、突出部７１、７２の厚さはこれに限られず、突出部７１、７２の厚さを、基台１４の厚さと等しくしてもよいし、基台１４、及びメサ部１５Ａ、１５Ｂ全体の厚さ、基台１４、メサ部１５Ａ、１５Ｂ、及びメサ部１６Ａ、１６Ｂ全体の厚さ等と等しくしてもよい。
【００６３】
このように構成され製造された圧電振動片７０では、パッケージ３０に圧電振動片７０を実装するためのマウント領域として突出部７１、７２を利用することで、圧電振動片７０における振動発生源である振動部とマウント領域との間の間隔を確保できる。これにより、振動部で発生する振動エネルギーがマウント領域を経てパッケージ３０に伝播するのを抑制し、振動漏れを抑制できる。したがって、ＣＩ値の低下を防止できる。
また、圧電振動片７０をパッケージ３０にマウントするための実装部材と突出部７１、７２との付着面積を確保できるので、実装部材と圧電振動片７０との接合強度を確保できる。
その結果、小型化を図った上で、長期にわたって優れた振動特性を備える圧電振動片７０を提供できる。
【００６４】
なお、本実施形態では、突出部７１、７２の形状は平行四辺形状に限定されない。突出部７１、７２の形状は、パッケージ３０に実装された状態で圧電振動子として通常の使用に耐える基台１４との接合強度を有する形状であれば、長方形状や半円状等を適宜選択して採用することができる。
【００６５】
なお、突出部７１、７２は、電気的導通及び機械的強度のうち、少なくとも一方に寄与する構成であれば構わない。すなわち、突出部７１、７２は、少なくとも一部が実装部材４０に接合される構成であればよい。この場合、例えば実装部材４０の一部が、圧電板１１において一対の励振電極２１、２２の間に挟まれた振動部に付着してもよい。
また、マウント電極２３、２４は、振動部に形成されていても構わない。
【００６６】
以上、本発明の第１実施形態及び第２実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の構成の変更、組み合わせ、削除等も含まれる。さらに、各実施形態で示した構成のそれぞれを適宜組み合わせて利用できることは、言うまでもない。
例えば、前記第１実施形態及び第２実施形態では、接続線Ｎ１〜４と基台１４の第一の主面１４ａとのなす角度θ１〜θ４は、基台１４から離間した位置にある隣り合うメサ部の組のものほど小さいとした。しかし、角度θ１〜θ４は互いに等しいとしてもよいし、基台１４から離間した位置にある隣り合うメサ部の組のものほど大きいとしてもよい。
【００６７】
メサ部１６Ａ、１７Ａ、１８Ａ、１９Ａは楕円状に形成されているとしたが、メサ部１６Ａ、１７Ａ、１８Ａ、１９ＡをＹ’軸方向に見たときの形状はこれに限定されず、矩形状や六角形状等の多角形状に形成されていてもよい。第二のメサ部１６Ａが、直線状辺１６ａＡ、１６ｂＡを有さない数学的な意味での楕円状に形成されていてもよい。逆に、第一のメサ部１５Ａ等が直線状辺を有していてもよい。
基台１４はＹ’軸方向に見たときに矩形状に形成されているとしたが、基台１４をＹ’軸方向に見たときの形状は矩形状以外の多角形状や楕円状でもよい。
Ｙ’軸方向に見たときに、基台１４はＺ’軸方向を長手方向とする矩形状に形成されている。しかし、基台１４を電気軸であるＸ軸方向を長手方向とする矩形状に形成してもよい。
【００６８】
第１実施形態及び第２実施形態では、圧電板１１は５段の第一のメサ部１５Ａ等を有するとした。しかし、圧電板が有するメサ部の数はこれに限られず、２段から４段でもよいし、６段以上でもよい。
基台１４の第二の主面１４ｂ上に第一のメサ部１５Ｂ等が形成されていなくてもよい。
また、第１実施形態及び第２実施形態では、結晶軸におけるＺ’軸方向を長手方向とする圧電板１１について説明したが、Ｘ軸方向を長手方向とする圧電板であってもよい。
【符号の説明】
【００６９】
１    圧電振動子
１０、７０  圧電振動片
１４  基台
１４ａ  第一の主面（主面）
１４ｂ  第二の主面（主面）
１４ｆＡ、１７ａＡ、１８ａＡ、１９ａＡ  外縁
１５Ａ、１５Ｂ  第一のメサ部（メサ部）
１５ｄＡ、１６ｄＡ、１７ｄＡ、１８ｄＡ、１９ｄＡ  稜線
１６Ａ、１６Ｂ  第二のメサ部（メサ部）
１７Ａ、１７Ｂ  第三のメサ部（メサ部）
１８Ａ、１８Ｂ  第四のメサ部（メサ部）
１９Ａ、１９Ｂ  第五のメサ部（メサ部）
３０  パッケージ
７１  第一の突出部（突出部）
７２  第二の突出部（突出部）
Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ２１、Ｌ２２、Ｌ２３、Ｌ３１、Ｌ３２、Ｌ３３、Ｌ４１、Ｌ４２、Ｌ４３  距離
Ｎ１、Ｎ２、Ｎ３、Ｎ４  接続線
θ１、θ２、θ３、θ４  角度
【図１】
2017060056.tif 000003
【図２】
2017060056.tif 000004
【図３】
2017060056.tif 000005
【図４】
2017060056.tif 000006
【図５】
2017060056.tif 000007
【図６】
2017060056.tif 000008
【図７】
2017060056.tif 000009
【図８】
2017060056.tif 000010
【図９】
2017060056.tif 000011
【図１０】
2017060056.tif 000012
【図１１】
2017060056.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2017060056.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
2017060056.tif 000017
【図１６】
2017060056.tif 000018
【図１７】
2017060056.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
2017060056.tif 000021