(57)【要約】【課題】複数の温度制御ループを備えたマルチループ系における操作量上限値の設定の確認を支援する。【解決手段】確認支援装置は、設定確認の対象となる複数の温度制御ループの識別コードを取得する識別情報取得部１と、各温度制御ループの識別コードに対応するヒータのヒータ容量情報ＨＣを取得するヒータ容量情報取得部２と、各温度制御ループの識別コードに対応する操作量上限値ＯＨを取得する操作量上限値取得部３と、取得した各情報を利用し、ヒータ容量が同一でありながら操作量上限値ＯＨが異なる温度制御ループを抽出する上限値容量整合確認部４と、温度制御ループの抽出結果を提示する提示部５とを備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
設定確認の対象となる複数の温度制御ループの識別コードを取得する識別情報取得手段と、
各温度制御ループの識別コードに対応するヒータのヒータ容量情報ＨＣを取得するヒータ容量情報取得手段と、
各温度制御ループの識別コードに対応する操作量上限値ＯＨを取得する操作量上限値取得手段と、
前記ヒータ容量情報取得手段が取得したヒータ容量情報ＨＣと前記操作量上限値取得手段が取得した操作量上限値ＯＨを利用し、ヒータ容量が同一でありながら操作量上限値ＯＨが異なる温度制御ループを抽出する上限値容量整合確認手段とを備えることを特徴とする確認支援装置。
【請求項２】
設定確認の対象となる複数の温度制御ループの識別コードを取得する識別情報取得手段と、
各温度制御ループの識別コードに対応するヒータの位置情報ＨＰを取得するヒータ位置情報取得手段と、
各温度制御ループの識別コードに対応する操作量上限値ＯＨを取得する操作量上限値取得手段と、
前記ヒータ位置情報取得手段が取得したヒータ位置情報ＨＰと前記操作量上限値取得手段が取得した操作量上限値ＯＨを利用し、対応するヒータが２つの隣接ヒータの間にある温度制御ループのうち、操作量上限値ＯＨが前記２つの隣接ヒータに対応する２つの温度制御ループの操作量上限値ＯＨよりも高い温度制御ループを抽出する上限値位置整合確認手段とを備えることを特徴とする確認支援装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の確認支援装置において、
さらに、温度制御ループの抽出結果を提示する提示手段を備えることを特徴とする確認支援装置。
【請求項４】
設定確認の対象となる複数の温度制御ループの識別コードを取得する識別情報取得ステップと、
各温度制御ループの識別コードに対応するヒータのヒータ容量情報ＨＣを取得するヒータ容量情報取得ステップと、
各温度制御ループの識別コードに対応する操作量上限値ＯＨを取得する操作量上限値取得ステップと、
前記ヒータ容量情報取得ステップで取得したヒータ容量情報ＨＣと前記操作量上限値取得ステップで取得した操作量上限値ＯＨを利用し、ヒータ容量が同一でありながら操作量上限値ＯＨが異なる温度制御ループを抽出する上限値容量整合確認ステップとを含むことを特徴とする確認支援方法。
【請求項５】
設定確認の対象となる複数の温度制御ループの識別コードを取得する識別情報取得ステップと、
各温度制御ループの識別コードに対応するヒータの位置情報ＨＰを取得するヒータ位置情報取得ステップと、
各温度制御ループの識別コードに対応する操作量上限値ＯＨを取得する操作量上限値取得ステップと、
前記ヒータ位置情報取得ステップで取得したヒータ位置情報ＨＰと前記操作量上限値取得ステップで取得した操作量上限値ＯＨを利用し、対応するヒータが２つの隣接ヒータの間にある温度制御ループのうち、操作量上限値ＯＨが前記２つの隣接ヒータに対応する２つの温度制御ループの操作量上限値ＯＨよりも高い温度制御ループを抽出する上限値位置整合確認ステップとを含むことを特徴とする確認支援方法。
【請求項６】
請求項４または５記載の確認支援方法において、
さらに、温度制御ループの抽出結果を提示する提示ステップを含むことを特徴とする確認支援方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の温度制御ループを備えたマルチループ系における操作量上限値の設定の確認を支援する確認支援装置および方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、制御量のオーバーシュートを抑制するために、操作量上限値ＯＨを適度な数値に自動設定する技術（特許文献１参照）が提案されている。特許文献１に開示された制御装置の構成を図９に示す。特許文献１に開示された制御装置は、設定値ＳＰを取得する設定値入力部１０１と、制御量ＰＶを取得する制御量入力部１０２と、設定値ＳＰの変更による過渡応答時に有効な操作量上限値ＯＨｓを記憶する過渡操作量上限値記憶部１０３と、定常運転時に有効な操作量上限値ＯＨｇを記憶する定常操作量上限値記憶部１０４と、設定値ＳＰの変更を検出する設定値変更検出部１０５と、制御量ＰＶの過渡応答の完了を検出する過渡応答完了検出部１０６と、設定値ＳＰの変更時点から過渡応答の完了時点までの過渡応答時間帯では操作量上限値ＯＨｓを制御演算で使用する操作量上限値ＯＨとして設定し、過渡応答時間帯以外の定常運転時間帯では操作量上限値ＯＨｇを制御演算で使用する操作量上限値ＯＨとして設定する操作量上限値切り替え部１０７と、設定値ＳＰと制御量ＰＶを入力として制御演算により操作量ＭＶを算出し、この操作量ＭＶを操作量上限値ＯＨ以下に制限する上限処理を実行して、上限処理後の操作量ＭＶを制御対象に出力する制御演算部１０８とを備えている。過渡応答完了検出部１０６は、制御演算部１０８から出力される操作量ＭＶが操作量上限値ＯＨｓ未満の値に下降したときに、過渡応答が完了したと判定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５６２７１０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示された技術は、温度上昇（オーバーシュートなど）が過剰にならないための安全面の機能としても捉えられる。この場合、温度制御ループが多数あれば、自動設定であっても手動設定であっても操作量上限値ＯＨの設定を誤る可能性は高くなる。操作量上限値ＯＨの設定に誤りがあると、過剰な昇温が発生する可能性があるので、さらなる安全性向上が求められている。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、複数の温度制御ループを備えたマルチループ系における操作量上限値の設定の確認を支援することにより、制御の安全性を向上させることができる確認支援装置および方法に関するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の確認支援装置は、設定確認の対象となる複数の温度制御ループの識別コードを取得する識別情報取得手段と、各温度制御ループの識別コードに対応するヒータのヒータ容量情報ＨＣを取得するヒータ容量情報取得手段と、各温度制御ループの識別コードに対応する操作量上限値ＯＨを取得する操作量上限値取得手段と、前記ヒータ容量情報取得手段が取得したヒータ容量情報ＨＣと前記操作量上限値取得手段が取得した操作量上限値ＯＨを利用し、ヒータ容量が同一でありながら操作量上限値ＯＨが異なる温度制御ループを抽出する上限値容量整合確認手段とを備えることを特徴とするものである。
【０００７】
また、本発明の確認支援装置は、設定確認の対象となる複数の温度制御ループの識別コードを取得する識別情報取得手段と、各温度制御ループの識別コードに対応するヒータの位置情報ＨＰを取得するヒータ位置情報取得手段と、各温度制御ループの識別コードに対応する操作量上限値ＯＨを取得する操作量上限値取得手段と、前記ヒータ位置情報取得手段が取得したヒータ位置情報ＨＰと前記操作量上限値取得手段が取得した操作量上限値ＯＨを利用し、対応するヒータが２つの隣接ヒータの間にある温度制御ループのうち、操作量上限値ＯＨが前記２つの隣接ヒータに対応する２つの温度制御ループの操作量上限値ＯＨよりも高い温度制御ループを抽出する上限値位置整合確認手段とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の確認支援装置の１構成例は、さらに、温度制御ループの抽出結果を提示する提示手段を備えることを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明の確認支援方法は、設定確認の対象となる複数の温度制御ループの識別コードを取得する識別情報取得ステップと、各温度制御ループの識別コードに対応するヒータのヒータ容量情報ＨＣを取得するヒータ容量情報取得ステップと、各温度制御ループの識別コードに対応する操作量上限値ＯＨを取得する操作量上限値取得ステップと、前記ヒータ容量情報取得ステップで取得したヒータ容量情報ＨＣと前記操作量上限値取得ステップで取得した操作量上限値ＯＨを利用し、ヒータ容量が同一でありながら操作量上限値ＯＨが異なる温度制御ループを抽出する上限値容量整合確認ステップとを含むことを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明の確認支援方法は、設定確認の対象となる複数の温度制御ループの識別コードを取得する識別情報取得ステップと、各温度制御ループの識別コードに対応するヒータの位置情報ＨＰを取得するヒータ位置情報取得ステップと、各温度制御ループの識別コードに対応する操作量上限値ＯＨを取得する操作量上限値取得ステップと、前記ヒータ位置情報取得ステップで取得したヒータ位置情報ＨＰと前記操作量上限値取得ステップで取得した操作量上限値ＯＨを利用し、対応するヒータが２つの隣接ヒータの間にある温度制御ループのうち、操作量上限値ＯＨが前記２つの隣接ヒータに対応する２つの温度制御ループの操作量上限値ＯＨよりも高い温度制御ループを抽出する上限値位置整合確認ステップとを含むことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、識別情報取得手段と、ヒータ容量情報取得手段と、操作量上限値取得手段と、上限値容量整合確認手段とを設けることにより、ヒータ容量が同一でありながら操作量上限値ＯＨが異なる温度制御ループを抽出することができるので、操作量上限値ＯＨの設定の整合性を確認することができ、制御の安全性を向上させることができる。
【００１１】
また、本発明では、識別情報取得手段と、ヒータ位置情報取得手段と、操作量上限値取得手段と、上限値位置整合確認手段とを設けることにより、対応するヒータが２つの隣接ヒータの間にある温度制御ループのうち、操作量上限値ＯＨが２つの隣接ヒータに対応する２つの温度制御ループの操作量上限値ＯＨよりも高い温度制御ループを抽出することができるので、操作量上限値ＯＨの設定の整合性を確認することができ、制御の安全性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る確認支援装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る加熱装置の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る確認支援装置の動作を説明するフローチャートである。
【図４】本発明の第１の実施の形態における整合確認結果の表示例を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係る確認支援装置の構成を示すブロック図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係る加熱装置の構成を示すブロック図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る確認支援装置の動作を説明するフローチャートである。
【図８】本発明の第２の実施の形態における整合確認結果の表示例を示す図である。
【図９】従来の制御装置の構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
［発明の原理１］
発明者は、マルチループ系での操作量上限値ＯＨの設定については、複数の操作量上限値ＯＨ間の整合性確認が必要であることに着眼した。そして、同一チャンバ内の同レベルのヒータが対象であれば、特に安全面での加熱力抑制は同等になるはずなので、制御系の構成情報に基づき操作量上限値ＯＨの整合性を自動的に確認することに想到した。
【００１４】
［発明の原理２］
マルチループ系での温度干渉を考慮すれば、ヒータの位置関係に基づいて操作量上限値ＯＨの整合性確認が可能である。例えば、加熱チャンバの中央側（一般に保温性がよい）に位置するヒータの温度制御ループの操作量上限値ＯＨが、このヒータの両側に位置する隣接ヒータの温度制御ループの操作量上限値ＯＨより高い場合、過剰な温度上昇の起こりやすさと逆行するので、特に注意を喚起する必要がある。
【００１５】
［第１の実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の第１の実施の形態に係る確認支援装置の構成を示すブロック図である。本実施の形態は、上記発明の原理１に対応する例である。確認支援装置は、設定確認の対象となる複数の温度制御ループの識別コード（ＩＤ）を取得する識別情報取得部１と、各温度制御ループの識別コードに対応するヒータのヒータ容量情報ＨＣを取得するヒータ容量情報取得部２と、各温度制御ループの識別コードに対応する操作量上限値ＯＨを取得する操作量上限値取得部３と、取得した各情報を利用し、ヒータ容量が同一でありながら操作量上限値ＯＨが異なる温度制御ループを抽出する上限値容量整合確認部４と、温度制御ループの抽出結果を提示する提示部５とを備えている。
【００１６】
図２は本実施の形態の適用対象となる加熱装置の構成を示すブロック図である。加熱装置は、処理対象の被加熱物を加熱する加熱チャンバ２００と、加熱チャンバ２００の内部に設置された複数のアクチュエータである電気ヒータＨ１〜Ｈ４と、それぞれヒータＨ１〜Ｈ４によって加熱される加熱チャンバ２００内の制御ゾーンＺ１〜Ｚ４の温度ＰＶ１〜ＰＶ４を測定する複数の温度センサＳ１〜Ｓ４と、ヒータＨ１〜Ｈ４に出力する操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出する複数の温調計２０１−１〜２０１−４と、温調計２０１−１〜２０１−４から出力された操作量ＭＶ１〜ＭＶ４に応じた電力をそれぞれヒータＨ１〜Ｈ４に供給する複数の電力調整器２０２−１〜２０２−４とから構成される。この図２に示した加熱装置においては、各温調計２０１−１〜２０１−４がそれぞれ対応する制御ゾーンＺ１〜Ｚ４の温度ＰＶを制御する温度制御ループ（例えばＰＩＤ制御ループ）が４個形成されていることになる。
【００１７】
次に、本実施の形態の確認支援装置の動作を図３を参照して説明する。図３は確認支援装置の動作を説明するフローチャートである。
まず、識別情報取得部１は、対象となる加熱装置の複数の温度制御ループの識別コード（ＩＤ）を取得する（図３ステップＳ１００）。例えば図２の加熱装置が対象の場合、識別情報取得部１は、温調計２０１−１と電力調整器２０２−１とヒータＨ１と温度センサＳ１とが形成する温度制御ループの識別コードとしてＬ１を取得し、温調計２０１−２と電力調整器２０２−２とヒータＨ２と温度センサＳ２とが形成する温度制御ループの識別コードとしてＬ２を取得し、温調計２０１−３と電力調整器２０２−３とヒータＨ３と温度センサＳ３とが形成する温度制御ループの識別コードとしてＬ３を取得し、温調計２０１−４と電力調整器２０２−４とヒータＨ４と温度センサＳ４とが形成する温度制御ループの識別コードとしてＬ４を取得する。
【００１８】
識別情報取得部１は、以上のような識別コードを、加熱装置の状態を監視するモニタリングシステムの識別情報記憶部６から取得する。モニタリングシステムは、各温度制御ループを区別するための固有の情報として識別コードを使用している。
【００１９】
続いて、ヒータ容量情報取得部２は、識別情報取得部１が取得した各温度制御ループの識別コードに対応するヒータのヒータ容量情報ＨＣを取得する（図３ステップＳ１０１）。例えば図２の加熱装置が対象の場合、ヒータ容量情報取得部２は、温度制御ループの識別コードＬ１に対応するヒータＨ１について、ヒータ容量が２００Ｗであるというヒータ容量情報ＨＣを取得し、識別コードＬ２に対応するヒータＨ２について、ヒータ容量が４００Ｗであるというヒータ容量情報ＨＣを取得し、識別コードＬ３に対応するヒータＨ３について、ヒータ容量が４００Ｗであるというヒータ容量情報ＨＣを取得し、識別コードＬ４に対応するヒータＨ４について、ヒータ容量が２００Ｗであるというヒータ容量情報ＨＣを取得する。
【００２０】
ヒータ容量情報取得部２は、以上のようなヒータ容量情報ＨＣをＥＭＳ（Energy Management System）のヒータ容量情報記憶部７から取得する。ＥＭＳは、加熱装置の電力管理のためにヒータ容量情報ＨＣを使用している。
【００２１】
次に、操作量上限値取得部３は、識別情報取得部１が取得した各温度制御ループの識別コードに対応する操作量上限値ＯＨを取得する（図３ステップＳ１０２）。例えば図２の加熱装置が対象の場合、操作量上限値取得部３は、識別コードＬ１の温度制御ループについて、操作量上限値ＯＨ１＝９０％を温調計２０１−１から取得し、識別コードＬ２の温度制御ループについて、操作量上限値ＯＨ２＝８０％を温調計２０１−２から取得し、識別コードＬ３の温度制御ループについて、操作量上限値ＯＨ３＝７５％を温調計２０１−３から取得し、識別コードＬ４の温度制御ループについて、操作量上限値ＯＨ４＝９０％を温調計２０１−４から取得する。
【００２２】
周知のとおり、各温調計２０１−１〜２０１−４は、設定値ＳＰ１〜ＳＰ４（温度設定値）と温度センサＳ１〜Ｓ４によって計測された制御量ＰＶ１〜ＰＶ４（温度）とに基づいて、例えばＰＩＤ制御演算により操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出する。そして、各温調計２０１−１〜２０１−４は、算出した操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を、それぞれ操作量上限値ＯＨ１〜ＯＨ４以下の値に制限する上限値処理を行ない、上限値処理した操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を電力調整器２０２−１〜２０２−４に出力する。
【００２３】
上限値容量整合確認部４は、ヒータ容量情報取得部２が取得したヒータ容量情報ＨＣと操作量上限値取得部３が取得した操作量上限値ＯＨを利用し、ヒータ容量が同一でありながら操作量上限値ＯＨが異なる温度制御ループを抽出する（図３ステップＳ１０３）。上記の例では、識別コードＬ１の温度制御ループと識別コードＬ４の温度制御ループのヒータ容量が同一であり、また識別コードＬ２の温度制御ループと識別コードＬ３の温度制御ループのヒータ容量が同一である。このうち、識別コードＬ１の温度制御ループの操作量上限値ＯＨ１＝９０％と識別コードＬ４の温度制御ループの操作量上限値ＯＨ４＝９０％は同一であるが、識別コードＬ２の温度制御ループの操作量上限値ＯＨ２＝８０％と識別コードＬ３の温度制御ループの操作量上限値ＯＨ３＝７５％が異なる。したがって、上限値容量整合確認部４は、整合確認の結果として、識別コードＬ２，Ｌ３の温度制御ループを抽出する。
【００２４】
提示部５は、上限値容量整合確認部４による整合確認結果を出力する（図３ステップＳ１０４）。このときの出力方法としては、例えば提示部５によるオペレータへの情報提示や印刷などがあり、また整合確認結果のデータを外部に出力するようにしてもよい。提示部５の画面５０への表示の１例を図４に示す。この例では、提示部５は、抽出された温度制御ループの名称（または識別コード）と、それぞれの温度制御ループのヒータ容量と操作量上限値とを表示するようにしている。
【００２５】
図４の例では、識別コードＬ２，Ｌ３の温度制御ループのうちどちらかの操作量上限値ＯＨを誤って設定している可能性がある。特に７５％と設定すべき操作量上限値ＯＨ２を誤って８０％と設定していた場合には、識別コードＬ２の温度制御ループで過剰な昇温が発生する危険性もある。このように、本実施の形態では、操作量上限値ＯＨの設定の誤りを事前に確認できることにより、制御の安全性を向上させることができる。
【００２６】
［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。図５は本発明の第２の実施の形態に係る確認支援装置の構成を示すブロック図であり、図１と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態は、上記発明の原理２に対応する例である。本実施の形態の確認支援装置は、識別情報取得部１と、操作量上限値取得部３と、提示部５ａと、各温度制御ループの識別コードに対応するヒータの位置情報ＨＰを取得するヒータ位置情報取得部８と、取得した各情報を利用し、対応するヒータが２つの隣接ヒータの間にある温度制御ループのうち、操作量上限値ＯＨが２つの隣接ヒータに対応する２つの温度制御ループの操作量上限値ＯＨよりも高い温度制御ループを抽出する上限値位置整合確認部９とを備えている。
【００２７】
図６は本実施の形態の適用対象となる加熱装置の構成を示すブロック図である。この加熱装置は、図２に示した加熱装置と同様の構成であるが、ヒータＨ１〜Ｈ４の容量が全て４００Ｗである点が図２と異なる。本実施の形態については、ヒータ容量が完全に同一でなくても略同等であれば適用できるが、第１の実施の形態との相違を明確にするために、全て４００Ｗとして説明する。
【００２８】
次に、本実施の形態の確認支援装置の動作を図７を参照して説明する。図７は確認支援装置の動作を説明するフローチャートである。
識別情報取得部１の動作は第１の実施の形態で説明したとおりである（図７ステップＳ２００）。
【００２９】
ヒータ位置情報取得部８は、識別情報取得部１が取得した各温度制御ループの識別コードに対応するヒータの位置情報ＨＰを取得する（図７ステップＳ２０１）。ヒータ位置情報ＨＰは、対象となる加熱装置の加熱チャンバ２００内における各ヒータＨ１〜Ｈ４の位置を示すものである。ヒータ位置情報取得部８は、このようなヒータ位置情報ＨＰを、第１の実施の形態で説明したモニタリングシステムのヒータ位置情報記憶部１０から取得する。モニタリングシステムは、例えば各温度制御ループのヒータＨ１〜Ｈ４の配置をモニタ画面に表示するためにヒータ位置情報ＨＰを使用している。
【００３０】
操作量上限値取得部３の動作は第１の実施の形態と同じである（図７ステップＳ２０２）。ただし、本実施の形態では、図６の加熱装置を対象として、操作量上限値取得部３は、識別コードＬ１の温度制御ループについて、操作量上限値ＯＨ１＝９０％を温調計２０１−１から取得し、識別コードＬ２の温度制御ループについて、操作量上限値ＯＨ２＝１００％を温調計２０１−２から取得し、識別コードＬ３の温度制御ループについて、操作量上限値ＯＨ３＝８０％を温調計２０１−３から取得し、識別コードＬ４の温度制御ループについて、操作量上限値ＯＨ４＝９０％を温調計２０１−４から取得する。
【００３１】
次に、上限値位置整合確認部９は、ヒータ位置情報取得部８が取得したヒータ位置情報ＨＰと操作量上限値取得部３が取得した操作量上限値ＯＨを利用し、対応するヒータが２つの隣接ヒータの間にある温度制御ループのうち、操作量上限値ＯＨが前記２つの隣接ヒータに対応する２つの温度制御ループの操作量上限値ＯＨよりも高い温度制御ループを抽出する（図７ステップＳ２０３）。
【００３２】
例えば図６の加熱装置が対象の場合、上限値位置整合確認部９は、ヒータ位置情報ＨＰより、識別コードＬ１，Ｌ４の温度制御ループのヒータＨ１，Ｈ４が、２つのヒータの間に配置されたものではないと認識する。ヒータＨ１は、ヒータＨ２と隣接する関係にあるが、ヒータＨ１の左隣には他のヒータが存在しない。同様に、ヒータＨ４は、ヒータＨ３と隣接する関係にあるが、ヒータＨ４の右隣には他のヒータが存在しない。したがって、上限値位置整合確認部９は、識別コードＬ１，Ｌ４の温度制御ループは抽出すべき温度制御ループではないと判断する。
【００３３】
一方、上限値位置整合確認部９は、ヒータ位置情報ＨＰより、識別コードＬ２の温度制御ループのヒータＨ２が、２つの隣接ヒータＨ１，Ｈ３の間にあり、識別コードＬ３の温度制御ループのヒータＨ３が、２つの隣接ヒータＨ２，Ｈ４の間にあると認識する。したがって、上限値位置整合確認部９は、識別コードＬ２，Ｌ３の温度制御ループを抽出すべき温度制御ループの候補であると判断する。
【００３４】
ヒータＨ２に対応する識別コードＬ２の温度制御ループの操作量上限値ＯＨ２＝１００％は、２つの隣接ヒータＨ１，Ｈ３に対応する温度制御ループの操作量上限値ＯＨ１＝９０％および操作量上限値ＯＨ３＝８０％よりも高い。したがって、上限値位置整合確認部９は、識別コードＬ２の温度制御ループを抽出すべき温度制御ループと判断する。
【００３５】
また、ヒータＨ３に対応する識別コードＬ３の温度制御ループの操作量上限値ＯＨ３＝８０％は、２つの隣接ヒータＨ２，Ｈ４に対応する温度制御ループの操作量上限値ＯＨ２＝１００％および操作量上限値ＯＨ４＝９０％よりも低い。したがって、上限値位置整合確認部９は、識別コードＬ３の温度制御ループを抽出すべき温度制御ループではないと判断する。こうして、上限値位置整合確認部９は、整合確認の結果として、識別コードＬ２の温度制御ループを抽出する。
【００３６】
提示部５ａは、上限値位置整合確認部９による整合確認結果を出力する（図７ステップＳ２０４）。第１の実施の形態と同様に、出力方法としては、例えば提示部５ａによるオペレータへの情報提示や印刷などがあり、また整合確認結果のデータを外部に出力するようにしてもよい。提示部５ａの画面５０への表示の１例を図８に示す。この例では、提示部５ａは、抽出された温度制御ループの名称（または識別コード）と、ヒータの位置と、操作量上限値とを表示するようにしている。
【００３７】
図８の例では、識別コードＬ２の温度制御ループの操作量上限値ＯＨ２を誤って設定している可能性がある。特に９０％と設定すべき操作量上限値ＯＨ２を誤って１００％と設定していた場合には、識別コードＬ２の温度制御ループで過剰な昇温が発生する危険性もある。このように、本実施の形態では、操作量上限値ＯＨの設定の誤りを事前に確認できることにより、制御の安全性を向上させることができる。
【００３８】
第１、第２の実施の形態で説明した確認支援装置は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。ＣＰＵは、記憶装置に格納されたプログラムに従って第１、第２の実施の形態で説明した処理を実行する。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明は、複数の温度制御ループを備えたマルチループ系における操作量上限値の設定の整合性を確認する技術に適用することができる。
【符号の説明】
【００４０】
１…識別情報取得部、２…ヒータ容量情報取得部、３…操作量上限値取得部、４…上限値容量整合確認部、５，５ａ…提示部、６…識別情報記憶部、７…ヒータ容量情報記憶部、８…ヒータ位置情報取得部、９…上限値位置整合確認部、１０…ヒータ位置情報記憶部、２００…加熱チャンバ、２０１−１〜２０１−４…温調計、２０２−１〜２０２−４…電力調整器、Ｈ１〜Ｈ４…電気ヒータ、Ｓ１〜Ｓ４…温度センサ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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