(57)【要約】      （修正有）【課題】光学機器を有する検査装置に撮像センサを取り付け可能とするとともに、更に使いやすさが向上する取付アタプタを提供する。【解決手段】取付アダプタ１は、光学機構を有する検査装置に撮像センサを取り付け可能とする。取付アダプタ１は、取付アダプタ本体部４と、撮像センサを取り付け可能なマウント５と、検査装置の光学機構の中心と撮像センサとの中心を通る軸線方向に、取付アダプタ本体部４内部において、マウント５を移動可能とするマウント移動機構とを備える。マウント移動機構は、外筒部６と、ガイド溝１４と、長孔１５と、ピン１６から構成される。【選択図】図１
2017219590.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学機構を有する検査装置に撮像センサを取り付け可能とする取付アダプタであって、
前記撮像センサを取り付け可能なマウント部と、
前記検査装置の光学機構の中心と前記撮像センサとの中心を通る軸線方向に、前記マウントを移動可能とするマウント移動機構と
を備えることを特徴とする取付アダプタ。
【請求項２】
更に取付アダプタ本体部を備え、
前記マウント移動機構は、前記取付アダプタ本体部内部において、前記マウント部を移動可能とする
を備えることを特徴とする請求項１記載の取付アダプタ。
【請求項３】
前記マウント移動機構は、
前記取付アダプタ本体部の外側に、周方向に回転可能に設けられる外筒部と、
前記外筒部の内側に螺旋状に設けられるガイド溝と、
前記軸線と平行に、前記取付アダプタ本体部に設けられる長孔と、
前記マウント部の外周から突出し、前記ガイド溝および前記長孔に対応するピンと
を有する
を備えることを特徴とする請求項２記載の取付アダプタ。
【請求項４】
さらに、検査装置取付側に光学機構
を備えることを特徴とする請求項１記載の取付アダプタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学機構を有する検査装置に撮像センサを取り付け可能とする取付アダプタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品、回路基板、金属加工、印刷印字等の欠陥の測定（検査）に検査装置が用いられている。この検査装置の基本的な構造は、顕微鏡と同じである。すなわち、一連のレンズ群からなる拡大機能を持つ光学機構を有したものである。
【０００３】
発明者は、光学機構と、光学機構の先端部の周囲を囲むように設けられた一部が透明なケース体と、光源と、スイッチとを備える検査装置を提案している（特許文献１）。
【０００４】
上記検査装置では、光学機構の先端部周囲を囲むケース体により、風や飛来物からの影響を受けることなく、正確な検査が可能になる。ケース体が透明樹脂であるため、検査しようとするターゲットに光学機構の先端部を位置合わせし易く、作業能率が高い。光源によりターゲット位置を効果的に明るくでき、さらに精度良い検査が可能になる。
【０００５】
発明者は、更に、上記検査装置にCCDやCMOS等の撮像センサを取り付けることを検討した。
【０００６】
ところで、従来から、顕微鏡等の光学機器に撮像センサを取り付け可能とする取付アダプタが提案されている（特許文献２）。顕微鏡の接眼レンズ挿入筒に挿入されていた接眼レンズを取り外し、取付アタプタを接眼レンズ挿入筒に挿入する。これにより、顕微鏡に撮像センサを取り付けることができる。
【０００７】
上記検査装置も接眼レンズ挿入筒を有しており、特許文献２記載のアダプタの適用も可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−１６０６２２号公報
【特許文献２】特開２００３−００５０９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記アタプタは、単に光学機器に撮像センサを取り付け可能とするのみであり、更なる使いやすさの改善を求められていた。
【００１０】
本発明は、上記課題を解決するものであり、光学機器を有する検査装置に撮像センサを取り付け可能とするとともに、更に使いやすさが向上する取付アタプタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決する本発明は、光学機構を有する検査装置に撮像センサを取り付け可能とする取付アダプタである。取付アダプタは、前記撮像センサを取り付け可能なマウント部と、前記検査装置の光学機構の中心と前記撮像センサとの中心を通る軸線方向に、前記マウント部を移動可能とするマウント移動機構と、を備える。
【００１２】
マウント移動により撮像センサが移動可能となる。これにより、簡易な構成により、ズーム機能と類似する動作が可能となる。
【００１３】
上記発明において好ましくは、取付アダプタは取付アダプタ本体部を備える。前記マウント移動機構は、前記取付アダプタ本体部内部において、前記マウントを移動可能とする。
【００１４】
を備える。
【００１５】
取付アダプタ本体部が外部光の侵入を防ぐ。これにより、遮光性が向上する。
【００１６】
上記発明において好ましくは、前記マウント移動機構は、前記取付アダプタ本体部の外側に、周方向に回転可能に設けられる外筒部と、前記外筒部の内側に螺旋状に設けられるガイド溝と、前記軸線と平行に、前記取付アダプタ本体部に設けられる長孔と、前記マウント部の外周から突出し、前記ガイド溝および前記長孔に対応するピンとを有する。
【００１７】
これにより、取付アダプタ本体部内部において、マウントは移動可能となる。
【００１８】
上記発明において好ましくは、取付アダプタは検査装置取付側に光学機構を備える。
【００１９】
これにより、撮像センサを光学機構に近づけることにより広範囲な撮像が可能になる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の取付アタプタでは、光学機器を有する検査装置に撮像センサを取り付け可能とするとともに、更に使いやすさが向上している。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】取付アタプタの概略構成に係る分解斜視図（部分断面図）
【図２】取付アタプタの概略構成に係る断面図
【図３】マウントの斜視図（部分断面図）
【図４】マウントの斜視図（部分断面図）
【図５】取付アタプタの使用例
【図６】動作説明図１
【図７】動作説明図２
【図８】取付アタプタの使用例（別例）
【発明を実施するための形態】
【００２２】
〜構成〜
図１は、本実施形態の取付アタプタの概略構成に係る分解斜視図である。一部断面図としている。図２は、取付アタプタの概略構成に係る断面図である。
【００２３】
本実施形態の取付アタプタ１は、取付アダプタ本体部４と、マウント５と、外筒６とを備えている。
【００２４】
取付アダプタ本体部４は、検査装置の接眼レンズ挿入筒に挿入される挿入筒２と、挿入筒２の図示上部に連設される係止筒３と、本体筒４（付番共通）と、本体筒４の一端面に設けられた本体底１３とを有している。
【００２５】
挿入筒２の先端にはレンズ１１が設置され、係止筒３ないには複数のレンズからなるレンズ群１２が設置されている。レンズ群１２末端のレンズは、本体底１３近傍に設置されている。
【００２６】
マウント５は、本体筒４に内包され、外筒部６の操作により本体筒４内部において、図示上下（後述する軸線方向）に移動可能に構成されている。以下、マウント移動機構について説明する。
【００２７】
マウント移動機構は、外筒部６と、ガイド溝１４と、長孔１５と、ピン１６から構成される。
【００２８】
外筒部６は、本体筒４の外側に、周方向に回転可能に設けられる。ガイド溝１４は外筒６の内側に螺旋状に設けられる。３つの長孔１５が、軸線と平行に、本体筒４に設けられる。３つのピン１６は、マウント５の外周から突出しており、長孔１５を貫通し、ガイド溝１４に係合される。
【００２９】
外筒部６を周方向に回転させると、ピン１６はガイド溝１４に沿って移動する。同時に、ピン１６は長孔１５に沿って移動する。これにより、マウント５は図示上下に移動する。
【００３０】
図３は、マウントの斜視図（部分断面図）である。マウント５中心部には、カメラ取付け部１７が立設されており、撮像センサ２０に設けられたネジ２１と螺合される。これにより、撮像センサ２０は取付アタプタ１に取付けられる。カメラ取付け部１７中央は開口１８となっている。
【００３１】
マウント５は筒状であり、取付により撮像センサ２０を内包する。
【００３２】
撮像センサ２０は、無線または有線により外部モニタ（図示省略）と接続している。
【００３３】
図４は、マウント５と撮像センサ２０の間に、エクステンダ２３を介装する例である。エクステンダ２３は、１．５倍、２倍、３倍、４倍等のレンズを有する。撮像センサ２０に設けられたネジ２１はエクステンダ２３と螺合され、エクステンダ２３はマウント５のカメラ取付け部１７に螺合される。
【００３４】
図５は、取付アタプタ１の使用例である。取付アタプタ１を介して、検査装置３０に撮像センサ２０を取り付け可能とする。
【００３５】
検査装置３０について説明する。検査装置３０は、接眼レンズ挿入筒３１と、ピント合わせハンドル３２と、筺体３３と、対物レンズ３４と、透明ケース３５と、光源３６とを有する。基本的構成は顕微鏡に類似する。
【００３６】
接眼レンズ挿入筒３１内には一連のレンズ群が内蔵され、対物レンズ３４とともに、光学機構を構成する。この光学機構は、例えば２００倍、１００倍、５０倍、或いは２０倍の倍率を持つものである。尚、拡大倍率はこれらに限られるものではない。ピント合わせハンドル３２によりピント調整が行われる。
【００３７】
接眼レンズ挿入筒３１は筺体３３上部に設けられている。筺体３３の一部は透明ケース３５から構成されている。透明ケース３５は、光学機構の先端（すなわち対物レンズ３４）周囲を囲むように配設される。
【００３８】
光源３６は、対物レンズ３４下方側を照らすように配設される。
【００３９】
取付アタプタ１の挿入筒２は、検査装置３０の接眼レンズ挿入筒３１に挿入される。これにより、取付アタプタ１は検査装置３０に取付けられる。
【００４０】
これにより、検査装置３０の光学機構の中心と撮像センサ２０との中心を結ぶ軸線が形成される。
【００４１】
〜動作〜
本実施形態の取付アタプタ１の動作について説明する。本実施形態では、外筒部６の周方向回転により、マウント５が図示上下に移動することを特徴とする。図６はマウント５が図示上側にあるときの動作説明図であり、図７はマウント５が図示下側にあるときの動作説明図である。
【００４２】
まず、マウント５を図示最上部まで移動させ、撮像センサ２０を取付アタプタ１に取付ける。このとき、取付位置が取付アタプタ１開口部に近い位置にあるため、取付が容易である。また、この状態で、最も拡大した撮像可能となる。
【００４３】
次いで、外筒部６の周方向回転により、マウント５を図示下方に移動させる。マウント５を図示最下部まで移動させると、開口１８を介して、撮像センサ２０下端がレンズ群１２末端と近接する状態となる。この状態で、最も広範囲な撮像可能となる。このとき、外筒部６を微操作してピントを調整してもよいし、検査装置３０のピント合わせハンドル３２を微操作してピントを調整してもよい。
【００４４】
さらに、マウント５を若干図示上下方向に移動させることにより、拡大率および撮像範囲を調整する。このとき、検査装置３０のピント合わせハンドル３２を微操作してピントを調整してもよい。
【００４５】
マウント５の移動で調整できない場合は、適宜、エクステンダ２３を介装して、拡大率を調整してもよい（図４参照）。
【００４６】
なお、取付アタプタ１の挿入筒２は検査装置３０の接眼レンズ挿入筒３１に対し周方向に回動自在であり、これにより、撮像の周方向の位置調整を行う。本実施形態では、カメラ取付けは螺合であり、周方向にズレが生じるため、上記のように周方向の位置調整を行う。
【００４７】
〜効果〜
本実施形態の効果について説明する。
【００４８】
外筒部６を微操作により、ズーム機能と類似（バリフォーカルレンズ）する動作をする。撮像センサ２０にズーム機能を持たせるのに比べ、構成が簡易である。その結果、故障が少ない。
【００４９】
外筒部６を操作と併せて、検査装置３０のピント合わせハンドル３２の操作により、ピント調整が容易である。
【００５０】
撮像センサ２０を取付アタプタ１開口部から遠い位置にまで移動させると、本体筒４や外筒部６が外部光の侵入を防ぎ、遮光性が向上する。
【００５１】
マウント５の筒状形状によっても遮光性を確保できる。また、エクステンダ２３を介装する場合も、遮光性を確保できる。
【００５２】
マウント５を取付アタプタ１開口部に近い位置にまで移動させると、撮像センサ２０の取付けおよび取外しが容易である。
【００５３】
以上のように、本実施形態では使いやすさが向上している。
【００５４】
〜その他〜
本実施形態の取付アタプタ１は、一般的な顕微鏡にも適用可能である。
【００５５】
図８は、取付アタプタ１の別の使用例である。取付アタプタ１を介して、顕微鏡に撮像センサ２０を取り付け可能とする。取付アタプタ１の挿入筒２は、顕微鏡の接眼レンズ挿入筒に挿入され、取付アタプタ１は顕微鏡に取付けられる。
【符号の説明】
【００５６】
１    取付アタプタ
２    挿入筒
３    係止筒
４    本体筒（取付アダプタ本体部）
５    マウント
６    外筒
１１  レンズ
１２  レンズ群
１３  本体底
１４  ガイド溝
１５  長孔
１６  ピン
１７  カメラ取付け部
１８  開口
２０  撮像センサ
２１  ネジ
２３  エクステンダ
３０  検査装置
３１  接眼レンズ挿入筒
３２  ピント合わせハンドル
３３  筺体
３４  対物レンズ
３５  透明ケース
３６  光源
【図１】
2017219590.tif 000003
【図２】
2017219590.tif 000004
【図３】
2017219590.tif 000005
【図４】
2017219590.tif 000006
【図５】
2017219590.tif 000007
【図６】
2017219590.tif 000008
【図７】
2017219590.tif 000009
【図８】
2017219590.tif 000010