(57)【要約】【課題】複数の装着部で同時にリークの有無を確認して、複数の装着部における被装着体の装着状態をそれぞれ個別に評価できる製造装置の評価方法を提供する。【解決手段】工具保持部材１２に専用工具１１が装着される。工具保持部材２２に専用工具２１が装着される。工具保持部材３２に専用工具３１が装着される。吸引孔１３は、工具保持部材１２に対する専用工具１１の装着に伴って封止される。吸引孔２３は、工具保持部材２２に対する専用工具２１の装着に伴って封止される。吸引孔３３は、工具保持部材３２に対する専用工具３１の装着に伴って封止される。制御部１１０は、排気過程における配管５の配管内空気の圧力を圧力センサ２により検知する。制御部１１０は、検知された配管内空気の圧力に基づいて、工具保持部材１２、２２に対する専用工具１１、２１の装着状態を個別に評価する。【選択図】図２
2017039192.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１被装着体が装着される第１装着部と、
前記第１装着部に設けられ、前記第１被装着体の装着に伴って封止される第１空気経路と、
第２被装着体が装着される第２装着部と、
前記第２装着部に設けられ、前記第２被装着体の装着に伴って封止される第２空気経路と、
前記第１空気経路と前記第２空気経路を連結する配管と、
前記第１空気経路の空気と前記第２空気経路の空気とが前記配管により合流した配管内空気を排気する排気手段と、
前記配管内空気の圧力を検知する検知手段と、
コンピュータを有する制御部と、を備える製造装置の評価方法であって、
前記制御部が、前記排気手段による前記配管内空気の排気過程において前記配管内空気の圧力を前記検知手段により検知する検知工程と、
前記制御部が、前記検知工程において検知された前記配管内空気の圧力に基づいて前記第１及び第２装着部に対する前記第１及び第２被装着体の装着状態を個別に評価する評価工程と、を有することを特徴とする製造装置の評価方法。
【請求項２】
前記第１空気経路の流路抵抗は、前記第２空気経路の流路抵抗よりも大きく、
前記制御部は、前記評価工程において、前記検知工程で検知された検知圧力が第１圧力のときには前記第１被装着体の装着状態を不良と評価し、前記検知圧力が前記第１圧力よりも高い第２圧力のときには前記第２被装着体の装着状態を不良と評価することを特徴とする請求項１に記載の製造装置の評価方法。
【請求項３】
複数の前記第１装着部を有し、複数の前記第１装着部のそれぞれに前記第１被装着体が装着され、複数の前記第１空気経路の合計の流路抵抗は、前記第２空気経路の流路抵抗と実質的に等しく、
複数の前記第１空気経路から前記検知手段までの前記配管のうちで最も短い前記配管の長さは、前記第２空気経路から前記検知手段までの前記配管の長さよりも長く、
前記制御部は、前記評価工程において、前記検知工程で検知された検知圧力が第１圧力のときには複数の前記第１被装着体の装着状態を不良と評価し、前記検知圧力が前記第１圧力よりも高い第２圧力のときには前記第２被装着体の装着状態を不良と評価することを特徴とする請求項１に記載の製造装置の評価方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項の製造装置の評価方法において、
前記制御部が、前記検知工程の開始前に、前記第１及び第２装着部から前記第１及び第２被装着体を取り外した状態で開始された前記排気過程における前記配管内空気の圧力を前記検知手段により検知する準備検知工程と、
前記制御部が、前記準備検知工程において検知された前記配管内空気の圧力に基づいて前記第１及び第２装着部に対する前記第１及び第２被装着体の装着を許可する装着許可工程と、を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の製造装置の評価方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の製造装置の評価方法をコンピュータに実行させるプログラム。
【請求項６】
請求項５に記載のプログラムを記録した記録媒体。
【請求項７】
第１被装着体が装着される第１装着部と、
前記第１装着部に設けられ、前記第１被装着体の装着に伴って封止される第１空気経路と、
第２被装着体が装着される第２装着部と、
前記第２装着部に設けられ、前記第２被装着体の装着に伴って封止される第２空気経路と、
前記第１空気経路と前記第２空気経路を連結する配管と、
前記第１空気経路の空気と前記第２空気経路の空気とが前記配管により合流した配管内空気を排気する排気手段と、
前記配管内空気の圧力を検知する検知手段と、
前記排気手段による前記配管内空気の排気過程における前記検知手段の検知結果に基づいて、前記第１及び第２装着部に対する前記第１及び第２被装着体の装着状態を評価する制御部と、を備えることを特徴とする製造装置。
【請求項８】
前記第１空気経路の開口面積は、前記第２空気経路の開口面積よりも小さいことを特徴とする請求項７に記載の製造装置。
【請求項９】
前記第１空気経路から前記検知手段までの前記配管の長さは、前記第２空気経路から前記検知手段までの前記配管の長さよりも大きいことを特徴とする請求項７又は８に記載の製造装置。
【請求項１０】
前記第１及び第２被装着体は、工具であることを特徴とする請求項７乃至９のいずれか１項に記載の製造装置。
【請求項１１】
前記第１及び第２被装着体は、部品であることを特徴とする請求項７乃至９のいずれか１項に記載の製造装置。
【請求項１２】
第１被装着体が装着される第１装着部と、
前記第１装着部に設けられ、前記第１被装着体の装着に伴って封止される第１空気経路と、
第２被装着体が装着される第２装着部と、
前記第２装着部に設けられ、前記第２被装着体の装着に伴って封止される第２空気経路と、
第３被装着体が装着される第３装着部と、
前記第３装着部に設けられ、前記第３被装着体の装着に伴って封止される第３空気経路と、
前記第１空気経路と前記第２空気経路と第３空気経路とを連結する配管と、
前記第１空気経路の空気と前記第２空気経路の空気と前記第３空気経路の空気とが前記配管により合流した配管内空気を排気する排気手段と、
前記配管内空気の圧力を検知する検知手段と、
前記排気手段による前記配管内空気の排気過程における前記検知手段の検知結果に基づいて、前記第１、第２、及び第３装着部に対する前記第１、第２、及び第３被装着体の装着状態を評価する制御部と、を備えることを特徴とする製造装置。
【請求項１３】
前記第１空気経路の開口面積は、前記第２空気経路の開口面積よりも小さく、かつ前記第２空気経路の開口面積は、前記第３空気経路の開口面積よりも小さいことを特徴とする請求項１２に記載の製造装置。
【請求項１４】
前記第１空気経路から前記検知手段までの前記配管の長さは、前記第２空気経路から前記検知手段までの前記配管の長さよりも大きく、かつ前記第２空気経路から前記検知手段までの前記配管の長さは、前記第３空気経路から前記検知手段までの前記配管の長さよりも大きいことを特徴とする請求項１２又は１３に記載の製造装置。
【請求項１５】
前記第１、第２、及び第３被装着体は、工具であることを特徴とする請求項１２乃至１４のいずれか１項に記載の製造装置。
【請求項１６】
前記第１、第２、及び第３被装着体は、部品であることを特徴とする請求項１２乃至１４のいずれか１項に記載の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造装置の評価方法、及び製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
チャック、ホルダ、刃物、部品等の被装着体を着脱交換して多種類の機能を発揮させ得る製造装置が広く用いられている。着脱交換した工具をテレビカメラで撮影して工具の種類を画像認識し、正しい工具が装着されたか否かを確認する機能を備えた製造装置も実用化されている。しかし、テレビカメラでは、被装着体を固定する複数のねじのうちの１本が緩んでいる場合のように、その被装着体が装着部に対して正しく装着されているか否かを確認することは難しい。
【０００３】
そこで、特許文献１では、工具の装着部に工具の装着によって封止される空気経路を設け、高圧空気を空気経路に注入してリークの有無を検知することにより、工具が正しく装着されているか否かを評価している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１０３７３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
複数の装着部に対してそれぞれ被装着体が装着される場合、特許文献１の方法では、排気手段及び検知手段を切り替えて、個別の装着部ごとに高圧空気のリークの有無を確認する必要がある。
【０００６】
本発明は、複数の装着部で同時にリークの有無を確認して、複数の装着部における被装着体の装着状態をそれぞれ個別に評価できる製造装置の評価方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の製造装置の評価方法は、第１被装着体が装着される第１装着部と、前記第１装着部に設けられ、前記第１被装着体の装着に伴って封止される第１空気経路と、第２被装着体が装着される第２装着部と、前記第２装着部に設けられ、前記第２被装着体の装着に伴って封止される第２空気経路と、前記第１空気経路と前記第２空気経路を連結する配管と、前記第１空気経路の空気と前記第２空気経路の空気とが前記配管により合流した配管内空気を排気する排気手段と、前記配管内空気の圧力を検知する検知手段と、コンピュータを有する制御部と、を備える製造装置を評価する方法である。そして、前記制御部が、前記排気手段による前記配管内空気の排気過程において前記配管内空気の圧力を前記検知手段により検知する検知工程と、前記制御部が、前記検知工程において検知された前記配管内空気の圧力に基づいて前記第１及び第２装着部に対する前記第１及び第２被装着体の装着状態を個別に評価する評価工程と、を有する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の製造装置の評価方法では、排気手段による配管内空気の排気過程における配管内空気の圧力を検知するので、検知した圧力に基づいて第１空気経路におけるリークと、第２空気経路におけるリークとを区別し易い。したがって、複数の装着部で同時にリークの有無を確認して、複数の装着部における被装着体の装着状態をそれぞれ個別に評価できる製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施の形態１の製造装置の全体図である。
【図２】３つの専用工具部をつなぐ空気経路の説明図である。
【図３】第１の専用工具部の側面図である。
【図４】第２の専用工具部の側面図である。
【図５】第３の専用工具部の側面図である。
【図６】製造装置の評価方法のフローチャートである。
【図７】排気過程における検知圧力の変化の説明図である。
【図８】２つの吸入孔が同時にリークしている場合の検知圧力の変化の説明図である。
【図９】実施の形態２の製造装置の減圧過程における検知圧力の変化の説明図である。
【図１０】実施の形態３の製造装置の説明図である。
【図１１】吸引孔の流路抵抗を異ならせる別の方法の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】
＜実施の形態１＞
（製造装置）
図１は実施の形態１の製造装置の全体図である。図２は３つの専用工具部をつなぐ空気経路の説明図である。
【００１２】
図１に示すように、製造装置１００は、多品種のカメラレンズを組み立てる生産設備である。製造装置１００は、レンズの機種ごとに特定の専用工具のセットを保有しており、組み立てる製品の機種切り替え時は、専用工具１１、２１、３１をユーザーが手作業にて交換する。製造装置１００は、装置架台６０の上面に、専用工具部１０、２０、３０を配置している。
【００１３】
（専用工具部）
図３は第１の専用工具部の側面図である。図４は第２の専用工具部の側面図である。図５は第３の専用工具部の側面図である。
【００１４】
図２に示すように、製造装置１００は、専用工具部１０と専用工具部２０と専用工具部３０とを有する。専用工具部１０では、第１装着部の一例である工具保持部材１２に第１被装着体の一例である専用工具１１が装着される。専用工具部２０では、第２装着部の一例である工具保持部材２２に第２被装着体の一例である専用工具２１が装着される。専用工具部３０では、第３装着部の一例である工具保持部材３２に第３被装着体の一例である専用工具３１が装着される。第１及び第２装着部の一例である工具保持部材１２、２２には、第１及び第２被装着体の一例である専用工具１１、２１が装着されている。
【００１５】
図３に示すように、専用工具１１は、工具保持部材１２に対して再現性高く取り付けられるように、隙間嵌め形状になっている。工具保持部材１２は、専用工具１１の基準面を当接させた状態で専用工具１１を保持する。専用工具１１は、工具保持部材１２に対して複数のネジ１１ｅで締結されている。
【００１６】
図４に示すように、専用工具部２０は、専用工具２１を工具保持部材２２へマグネット２４にて締結されている。専用工具２１は、工具保持部材２２に対して再現性高く取り付けられるように、隙間嵌め形状になっている。マグネット２４は、磁性体（軟鋼材）で形成された専用工具２１を吸着して、専用工具２１の基準面を工具保持部材２２に密着させて、工具保持部材２２に専用工具２１を保持させる。
【００１７】
図５に示すように、専用工具部３０は、専用工具３１を工具保持部材３２へマグネット３４にて締結されている。専用工具３１は、工具保持部材３２に対して再現性高く取り付けられるように、複数の嵌合ピン３２ｐを用いて位置決めされている。マグネット３４は、磁性体（軟鋼材）で形成された専用工具３１を吸着して、専用工具３１の基準面を工具保持部材３２に密着させて、工具保持部材３２に専用工具３１を保持させる。
【００１８】
（専用工具の画像認識）
図２に示すように、専用工具部１０、２０、３０において専用工具１１、２１、３１をユーザーが交換した場合、製品の組み立てを開始する前に、工具保持部材１２、２２、３２に対して専用工具１１、２１、３１が正しく装着されたか否かを確認する必要がある。
【００１９】
図１に示すように、製造装置１００は、装置架台６０の上方に、専用工具部１０、２０、３０を撮像するためのカメラ５０を配置している。カメラ５０は、工具が装着された専用工具部１０、２０、３０を撮像し、装着した工具の種類（機種）が適正か否かを判断するために設置されている。制御部１１０は、カメラ５０で専用工具１１、２１、３１を撮影して画像認識することにより、専用工具１１、２１、３１の種類が適正か否かを判断することができる。
【００２０】
しかし、カメラ５０の撮影画像からは、工具保持部材１２、２２、３２に対して専用工具１１、２１、３１の基準面が密着しているか否かは確認できない。カメラ５０の撮影画像からは、専用工具１１、２１、３１が取り付けミスにより浮いている場合を判別できない。ネジ１１ｆの締め忘れ等で、専用工具１１が所定の位置に取り付けられているがガタつきがある状態なども確認できない。
【００２１】
そこで、実施の形態１では、図２に示すように、工具保持部材１２、２２、３２の専用工具１１、２１、３２に対する接触面に吸引孔１３、２３、３３を設けている。そして、吸引孔１３、２３、３３を真空ポンプ１で排気して圧力センサ２で減圧過程の圧力を検知することにより、専用工具１１、２１、３１の装着状態を個別に評価している。
【００２２】
（吸引孔）
図３に示すように、吸引孔１３は、工具保持部材１２の専用工具１１との当接面に形成され、１つのネジ１１ｅの雌ねじ部１１ｆと貫通している。したがって、雌ねじ部１１ｆにネジ１１ｆが取り付けられない場合も、雌ねじ部１１ｆに取り付けられたネジ１１ｅが弛んでいる場合も、吸引孔１３を減圧した際にリークが発生する。吸引孔１３は、ネジ１１ｅを締結することにより、ネジ座面が専用工具１１と当接し、専用工具１１と工具保持部材１２が密着するため、外気から封止される。
【００２３】
吸引孔１３は、真空ポンプ１と接続される出口側に、樹脂チューブを挿入するだけで密封状態でエア配管を接続可能な継手１３ｆを接続している。
【００２４】
図４に示すように、吸引孔２３は、工具保持部材２２における専用工具２１の基準面に当接する面に形成されている。吸引孔２３は、マグネット２４に吸着されて、専用工具２１の基準面と工具保持部材２２とが密着することにより封止される。
【００２５】
吸引孔２３は、真空ポンプ１と接続される出口側に、樹脂チューブを挿入するだけで密封状態でエア配管を接続可能な継手２３ｆが接続されている。
【００２６】
図５に示すように、吸引孔３３は、工具保持部材３２における専用工具３１の基準面に当接する面に形成されている。吸引孔３３は、マグネット３４に吸着されて、専用工具３１の基準面と工具保持部材３２とが密着することにより封止される。
【００２７】
吸引孔３３は、真空ポンプ１と接続される出口側に、樹脂チューブを挿入するだけで密封状態でエア配管を接続可能な継手３３ｆが接続されている。
【００２８】
図２に示すように、第１空気経路の一例である吸引孔１３は、工具保持部材１２に設けられ、専用工具１１の装着に伴って封止される。第２空気経路の一例である吸引孔２３は、工具保持部材２２に設けられ、専用工具２１の装着に伴って封止される。第３空気経路の一例である吸引孔３３は、工具保持部材３２に設けられ、専用工具３１の装着に伴って封止される。
【００２９】
吸引孔１３、２３、３３は、真空ポンプ１に近いほど開口面積が大きい。吸引孔１３の開口面積は、吸引孔２３の開口面積よりも小さい。吸引孔２３の開口面積は、吸引孔３３の開口面積よりも小さい。吸引孔３３は吸引孔２３よりも直径が大きく、吸引孔２３は吸引孔１３よりも直径が大きい。吸引孔１３、２３、３３の直径は、吸引孔３３＞吸引孔２３＞吸引孔１３ に設定されている。具体的には、吸引孔３３はΦ５ｍｍ、吸引孔２３はΦ４ｍｍ、吸引孔１３はΦ３ｍｍである。このため、吸引孔１３の流路抵抗は、吸引孔２３の流路抵抗よりも大きく、吸引孔２３の流路抵抗は、吸引孔３３の流路抵抗よりも大きい。
【００３０】
配管の一例である配管５は、吸引孔１３と吸引孔２３と吸引孔３３とを連結する。配管５は、直径６ｍｍのナイロンチューブである。配管５は、真空ポンプ１から圧力センサ２を経て、工具保持部材３２、工具保持部材２２で中継して工具保持部材１２に接続されている。配管５は、真空ポンプ１、圧力センサ２、専用工具部１０、２０、３０を直列に接続している。真空ポンプ１は、配管５を通じて、圧力センサ２、専用工具部３０、専用工具部２０、専用工具部１０の順に圧力低下させる。
【００３１】
吸引孔１３、２３、３３は配管５に合流して真空ポンプ１に接続されている。吸引孔１３から圧力センサ２までの配管５の長さは、吸引孔２３から圧力センサ２までの配管５の長さよりも大きい。吸引孔２３から圧力センサ２までの配管５の長さは、吸引孔３３から圧力センサ２までの配管５の長さよりも大きい。
【００３２】
（真空ポンプ）
図２に示すように、配管５における真空ポンプ１に近い位置に、圧力センサ２が設けられている。圧力センサ２は、真空ポンプ１を起動して吸引孔１３、２３、３３の空気を排気する減圧過程で、配管５の空気圧を検知する。圧力センサ２の出力は、制御部１１０に入力される。
【００３３】
排気手段の一例である真空ポンプ１は、吸引孔１３の空気と吸引孔２３の空気と吸引孔３３の空気とが配管５により合流した配管内空気を排気する。真空ポンプ１は、株式会社日本ピスコ  真空発生機ＶＱＥ２０Ｄ−８８Ｊ−Ｄ２４  吸込流量７０Ｌ／ｍｉｎ  真空度−９３ｋＰａを用いた。
【００３４】
検知手段の一例である圧力センサ２は、配管５の配管内空気の圧力を検知する。圧力センサ２は、ＳＭＣ製ＺＳＥ３０Ａ  ０〜−１０１ｋＰａを用いた。
【００３５】
専用工具１１、２１、３１は、工具保持部材１２、２２、３２と当接している状態で保持されているので、通常、吸引孔１３、２３、３３は、専用工具１１、２１、３１により封止されてリークの無い状態となっている。したがって、専用工具１１、２１、３１が適正に装着されている場合、吸引孔１３、２３、３３が真空ポンプ１によって吸引されると、吸引完了時の配管５内の圧力は真空ポンプ１の能力に応じた真空状態に減圧される。
【００３６】
しかし、専用工具１１、２１、３１と工具保持部材１２、２２、３２の対向間隔に異物が挟まったり、ネジを締め忘れたりした場合、吸引孔１３、２３、３３に対して外気のリークが発生する。専用工具１１、２１、３１が装着不良の場合、吸引孔１３、２３、３３が真空ポンプ１により吸引されても、外気のリークによって、吸引完了時の真空度は、リークが無い場合に比較して高くなる。このため、吸引完了時の真空度を測定することで専用工具１１、２１、３１が装着不良を発生しているか否かを評価できる。
【００３７】
（制御部）
図１に示すように、製造装置１００において組み立てられる製品の機種切り替えが行われるとき、専用工具部１０、２０、３０における専用工具１１、２１、３１の交換が行われる。このとき、制御部の一例である制御部１１０は、製造装置の評価方法のプログラムを実行して、専用工具１１、２１、３１の装着状態の良否を個別に判断する。
【００３８】
図２に示すように、吸引孔１３、２３、３３の流路抵抗をそれぞれ異ならせているので、専用工具１１、２１、３１が装着不良を発生した場合の外気のリーク量がそれぞれ異なる。このため、真空ポンプ１による排気過程における配管５内の真空度によって、専用工具１１、２１、３１のうちのどこで装着不良が発生しているのかを特定できる。
【００３９】
制御部１１０は、判定データ記憶部４に記憶された減圧過程における空気圧の変化のモデルデータと、圧力センサ２で測定した圧力値とを判定部３で比較して、専用工具１１、２１、３１の装着状態を個別に評価する。判定データ記憶部４には、予め吸引孔１３、２３、３３の面積、吸引孔１３、２３、３３の長さにより定められた複数段階の基準圧力が設定されている。制御部１１０は、判定データ記憶部４に記憶された複数段階の基準圧力と圧力センサ２によって取得した圧力値のデータとを比較して、専用工具１１、２１、３１が適正に装着されているか否かを評価する。
【００４０】
制御部１１０は、コンピュータを有する制御装置であって、製造装置の評価方法のプログラムをコンピュータに実行させる。読取装置１３０に挿入された記録媒体１３１は、製造装置の評価方法のプログラムを記録されている。
【００４１】
配管の一例である配管５は、吸引孔１３と吸引孔２３を連結する。排気手段の一例である真空ポンプ１は、吸引孔１３の空気と吸引孔２３の空気とが配管５により合流した配管内空気を排気する。検知手段の一例である圧力センサ２は、配管５の配管内空気の圧力を検知する。
【００４２】
（準備検知工程）
図６は製造装置の評価方法のフローチャートである。図７は排気過程における検知圧力の変化の説明図である。図２に示すように、制御部１１０は、検知工程の開始前に準備検知工程を実行する。準備検知工程では、工具保持部材１２、２２から専用工具１１、２１を取り外した状態で開始された排気過程における配管内空気の圧力を圧力センサ２により検知する。
【００４３】
図６に示すように、ユーザーは、モニタ画面１２０に表示された手順に従って、工具保持部材１２、２２、３２から専用工具１１、２１、３１をそれぞれ取り外す（Ｓ１１）。ユーザーは、取り外し後、モニタ画面１２０に表示された起動ボタンをタッチして真空ポンプ１を起動する（Ｓ１２）。
【００４４】
専用工具１１、２１、３１を取り外した状態での減圧過程は、図７の曲線（ａ）のようになる。専用工具１１、２１、３１を取り外した状態で真空ポンプ１を作動させると、吸引孔１３、２３、３３が解放状態のため、吸引完了時ｔｅにおける配管５内の圧力は大気圧よりも低くなるものの、ほぼ大気圧に近い圧力値となる。この圧力値に対応させて装着前基準圧力を設定している。装着前基準圧力は、工具装着前の全ての吸引孔が解放している状態の吸引完了後の基準圧力として設定されている。
【００４５】
制御部１１０は、準備検知工程に続いて装着許可工程を実行する。装着許可工程では、準備検知工程において検知された配管内空気の圧力に基づいて工具保持部材１２、２２に対する専用工具１１、２１の装着を許可する。制御部１１０は、吸引完了時ｔｅの圧力値が装着前基準圧力よりも高い場合、専用工具１１、２１、３１の装着作業の開始を許可する。しかし、圧力値が装着前基準圧力よりも低い場合、工具取り外し忘れや吸引孔１３、２３、３３に異物が詰まっている可能性があるため、専用工具１１、２１、３１の装着作業の開始を許可しない。
【００４６】
制御部１１０は、吸引完了後の圧力値を圧力センサ２にて取得し、判定データ記憶部４にて予め設定されている装着前基準圧力と比較する（Ｓ１３）。制御部１１０は、圧力センサ２にて取得した吸引完了後の圧力値が装着前基準圧力より低い場合（Ｓ１３のＮ）、工具の取り外し忘れや、吸引孔１３、２３、３３に異物が詰まっている可能性があると判断する。そして、制御部１１０は、工具保持部材１２、２２、３２を目視確認し、不良箇所を修正する指示をモニタ画面１２０に表示する（Ｓ３１）。ユーザーは、モニタ画面１２０に表示された手順に従って、工具保持部材１２、２２、３２を目視確認し、不良箇所を修正して（Ｓ１１）、真空ポンプ１を再度起動する（Ｓ１２）。
【００４７】
制御部１１０は、真空ポンプ１を起動して再度吸引して吸引完了時ｔｅの圧力値を取得し、装着前基準圧力と比較する（Ｓ１３）。制御部１１０は、ここまでの制御を、吸引完了後の圧力値が装着前基準圧よりも高くなるまで繰り返し、実施する。
【００４８】
（カメラ確認工程）
制御部１１０は、圧力センサ２にて取得した吸引完了時ｔｅの圧力値が装着前基準圧力より高い場合（Ｓ１３のＹ）、吸引孔１３、２３、３３が正常と判定し、次工程である専用工具１１、２１、３１の装着をモニタ画面１２０に表示する。ユーザーは、モニタ画面１２０に表示された手順に従って、工具保持部材１２、２２、３２に新たな専用工具１１、２１、３１をそれぞれ取り付ける（Ｓ１４）。
【００４９】
制御部１１０は、専用工具１１、２１、３１の装着後、図１に示すように、カメラ５０にて専用工具１１、２１、３１を撮影し、装着した専用工具１１、２１、３１の種類が適正か否かを判断する（Ｓ１５）。制御部１１０は、専用工具１１、２１、３１の種類が適正でない場合（Ｓ１５のＮ）、装着工具種類異常と判断し、再度工具交換を行うことをモニタ画面１２０に表示する（Ｓ３２）。そして、制御部１１０は、専用工具１１、２１、３１の種類が適正である場合（Ｓ１５のＹ）、真空ポンプ１を起動して吸引孔１３、２３、３３を排気する（Ｓ１６）。
【００５０】
（検知工程）
制御部１１０は、検知工程を実行して、真空ポンプ１による配管５の配管内空気の排気過程における配管内空気の圧力を圧力センサ２により検知する。制御部１１０は、検知工程に続いて評価工程を実行して、排気過程における圧力センサ２の検知結果に基づいて、工具保持部材１２、２２、３２に対する専用工具１１、２１、３１の装着状態の良否を個別に評価する。
【００５１】
制御部１１０は、真空ポンプ１による吸引途中ｔｍの圧力値Ｐｍを圧力センサ２にて取得し（Ｓ１７）、その後、吸引完了時ｔｅの圧力値Ｐｅを圧力センサ２にて取得する（Ｓ１８）。
【００５２】
図７に示すように、吸引孔１３、２３、３３のうちの１つがリークしている場合の減圧過程に対応させて、吸引孔１３、２３、３３ごとに第一基準圧力Ｐ１３、Ｐ２３、Ｐ３３が予め設定されている。制御部１１０は、圧力値Ｐｅを第一基準圧力Ｐ１３、Ｐ２３、Ｐ３３に比較して、専用工具１１、２１、３２の装着不良を判断し、モニタ画面１２０に「工具取り付け異常」のメッセージを表示する。
【００５３】
制御部１１０は、吸引完了時ｔｅの圧力値Ｐｅが基本基準圧力Ｐｂ未満か否かを判断する（Ｓ１９）。圧力値Ｐｅが基本基準圧力Ｐｂ未満の場合（Ｓ１９のＹ）、すべての専用工具１１、２１、３２が工具保持部材１２、２２、３２に正常に装着されていると判断して、モニタ画面１２０に「交換ＯＫ」のメッセージを表示する（Ｓ２４）。
【００５４】
制御部１１０は、圧力値Ｐｅが基本基準圧力Ｐｂ以上の場合（Ｓ１９のＮ）、吸引完了時ｔｅの圧力値Ｐｅが基本基準圧力Ｐｂ以上第一基準圧力Ｐ１３未満か否かを判断する（Ｓ２０）。吸引完了時ｔｅの圧力値Ｐｅが基本基準圧力Ｐｂ以上第一基準圧力Ｐ１３未満の場合（Ｓ２１のＹ）、制御部１１０は、専用工具１１が装着不良と判断する（Ｓ２５）。
【００５５】
制御部１１０は、吸引完了時ｔｅの圧力値Ｐｅが第一基準圧力Ｐ１３以上第一基準圧力Ｐ２３未満か否かを判断する（Ｓ２１）。吸引完了時ｔｅの圧力値Ｐｅが第一基準圧力Ｐ１３以上第一基準圧力Ｐ２３未満の場合（Ｓ２１のＹ）、制御部１１０は、専用工具２１が装着不良と判断する（Ｓ２６）。
【００５６】
制御部１１０は、吸引完了時ｔｅの圧力値Ｐｅが第一基準圧力Ｐ２３以上第一基準圧力Ｐ３３未満か否かを判断する（Ｓ２２）。吸引完了時ｔｅの圧力値Ｐｅが第一基準圧力Ｐ２３以上第一基準圧力Ｐ３３未満の場合（Ｓ２２のＹ）、制御部１１０は、吸引途中ｔｍの圧力値Ｐｍが第一基準圧力Ｐ３３以上第二基準圧力Ｑ３１未満か否かを判断する（Ｓ２７）。これにより、吸引孔１３、２３が同時にリークしている場合（Ｓ２９）と、吸引孔３３が単独でリークしている場合（Ｓ２８）とを切り分ける。
【００５７】
吸引完了時ｔｅの圧力値Ｐｅが第一基準圧力Ｐ３３以上の場合（Ｓ２２のＮ）、制御部１１０は、すべての専用工具１１、２１、３２が装着不良と判断する（Ｓ２３）。
【００５８】
（装着不良が存在しない場合）
図７の曲線（ｅ）は、すべての専用工具１１、２１、３２が工具保持部材１２、２２、３２に正常に装着されて、吸引孔１３、２３、３３が封止されている場合の排気過程における圧力変化である。図７の基本基準圧力は、すべての専用工具１１、２１、３１が適正に装着されている場合を判別するための基準圧力である。
【００５９】
専用工具１１の基準面は、ネジ座金とネジ頭部によって工具保持部材１２へ隙間なく密着し、吸引孔１３を封止しているため、リークが発生していない。専用工具２１の基準面は、マグネット力によって工具保持部材２２へ隙間なく密着し、吸引孔２３を封止しているため、リークが発生していない。専用工具３１の基準面は、マグネット力によって工具保持部材３２へ隙間なく密着し、吸引孔３３を封止しているため、リークが発生していない。
【００６０】
制御部１１０は、吸引完了時ｔｅに圧力センサ２にて取得した圧力値が基本基準圧力未満である場合、すべての専用工具１１、２１、３２が工具保持部材１２、２２、３２に正常に装着されていると判断する。基本基準圧力は、全工具がすべて適正に装着されている場合の吸引完了後の基準圧力として設定されている。吸引完了時ｔｅの圧力値Ｐｅが基本基準圧力より低いときに全工具が適正に装着されている。吸引完了時ｔｅの圧力値が基本基準圧力より低い場合、すべての専用工具１１、２１、３１が装着忘れや浮き等の装着不良なく、工具装着が適正に行われている。
【００６１】
（装着不良が一カ所の場合）
図７の曲線（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、専用工具１１、２１、３２のうちで、装着不良が一カ所のみの場合の排気過程における圧力変化である。第一基準圧力は、全工具の中で１つの工具が適正に装着されていない場合の吸引完了後の基準圧力として、工具保持部材の吸引孔サイズ毎に設定してある。第一圧力が基本基準圧力より高いときには、ある箇所の工具が適正に装着されていない。制御部１１０は、工具保持部材毎に設定されている複数の第一基準圧力と吸引完了時ｔｅの圧力値Ｐｅとを比較し、第一圧力がいくつかの第一基準圧力よりも低く、残りの第一基準圧力よりも高い箇所を特定する。
【００６２】
図７の曲線（ｄ）は、専用工具１１のみが装着不良の場合の排気過程における圧力変化である。第一基準圧力Ｐ１３は、曲線（ｄ）に対応して設けられている。吸引完了時ｔｅの圧力が基本基準圧力以上第一基準圧力Ｐ１３未満である場合、専用工具１１において工具の装着忘れや浮き等の装着不良が発生している。このため、制御部１１０は、吸引完了時ｔｅにおける検知圧力が第１圧力の一例である基本基準圧力Ｐｂ以上第一基準圧力Ｐ１３未満のときには専用工具１１の装着状態を不良と評価する。吸引完了時ｔｅの圧力値が基本基準圧力以上第一基準圧力Ｐ１３未満である場合、専用工具１１のみが装着不良であると判断する。
【００６３】
図７の曲線（ｃ）は、専用工具２１のみが装着不良の場合の排気過程における圧力変化である。第一基準圧力Ｐ２３は、曲線（ｃ）に対応して設けられている。吸引完了時ｔｅの圧力が第一基準圧力Ｐ１３以上第一基準圧力Ｐ２３未満である場合、専用工具２１において工具の装着忘れや浮き等の装着不良が発生している。このため、制御部１１０は、吸引完了時ｔｅにおける検知圧力が第２圧力の一例である第一基準圧力Ｐ１３以上第一基準圧力Ｐ２３未満のときには専用工具２１の装着状態を不良と評価する。吸引完了時ｔｅの圧力値が第一基準圧力Ｐ１３以上第一基準圧力Ｐ２３未満である場合、専用工具２１のみが装着不良であると判断する。
【００６４】
図７の曲線（ｂ）は、専用工具３１のみが装着不良の場合の排気過程における圧力変化である。第一基準圧力Ｐ３３は、曲線（ｂ）に対応して設けられている。吸引完了時ｔｅの圧力が第一基準圧力Ｐ２３以上第一基準圧力Ｐ３３未満である場合、専用工具３１において工具の装着忘れや浮き等の装着不良が発生している。このため、制御部１１０は、吸引完了時ｔｅに圧力センサ２にて取得した圧力値が第一基準圧力Ｐ２３以上第一基準圧力Ｐ３３未満である場合、専用工具３１のみが装着不良であると判断する。
【００６５】
（装着不良が二カ所の場合）
図８は吸引途中の圧力で専用工具の装着不良を判断する方法の説明図である。第二基準圧力は、全工具の中で１つの工具が適正に装着されていない場合の吸引開始から吸引完了後までの時間内で任意のタイミングの基準圧力として、工具保持部材の吸引孔サイズ毎に設定してある。
【００６６】
図２に示すように、複数の第１装着部の一例である工具保持部材１２、２２に対してそれぞれ第１被装着体の一例である専用工具１１、２１が装着されている。吸引孔３３はΦ５ｍｍ、吸引孔２３はΦ４ｍｍ、吸引孔１３はΦ３ｍｍであるため、吸引孔３３の面積は吸引孔２３と吸引孔１３の面積を足したものと概ね等しい。すなわち、複数の第１空気経路の一例である吸引孔１３、２３の合計の空気の流路抵抗は、第２空気経路の一例である吸引孔３３の空気の流路抵抗と実質的に等しい。実質的に等しいとは、装着不良である場合の吸引完了時ｔｅの圧力値の差が１０％以内、あるいは吸引孔１３、２３と吸引孔３３との流路抵抗の差が吸引孔３３の流路抵抗の１０％以内の場合である。
【００６７】
このため、図８に示すように、専用工具１１、２１が同時に装着不良の場合の曲線（ａ）と、専用工具３１のみが装着不良の場合の曲線（ｂ）とでは、吸引完了時ｔｅの圧力値が等しく、第一基準圧力Ｐ２３以上第一基準圧力Ｐ３３未満に該当する。したがって、吸引完了時ｔｅに取得した圧力値では、曲線（ｂ）と曲線（ｂ）とを判別して、専用工具３１に装着不良が発生したケースと、専用工具１１、２１に同時に装着不良が発生したケースとを区別することは難しい。
【００６８】
しかし、吸引孔１３、２３から圧力センサ２までの配管５のうちで最も短い配管５の長さは、吸引孔３３から圧力センサ２までの配管５の長さよりも長い。工具保持部材３２は、工具保持部材２２、１２よりも真空ポンプ１に近い位置に接続されているため、工具保持部材３２が装着不良の場合、吸引開始後すぐに大きなリークが発生して圧力が下がるのに時間がかかってしまう。これに対して、工具保持部材２２、１２は工具保持部材３２に比べて遠い位置に接続されているため、吸引開始後リークが始まるまでの時間が遅くなる。
【００６９】
このため、図８に示すように、吸引途中ｔｍにおいて、曲線（ｂ）は、第二基準圧力Ｑ３１より高くなり、曲線（ａ）は第二基準圧力Ｑ３１より低くなる。第二基準圧力Ｑ３１は、専用工具３１のみ適正に装着されてなく、且つ、他の専用工具１１、２１は適正に装着されている場合に設定された吸引途中ｔｍの圧力値の基準圧力である。
【００７０】
そこで、制御部１１０は、吸引途中ｔｍの圧力値によって曲線（ａ）と曲線（ｂ）とを切り分けている。吸引開始から任意の時間経過後の吸引途中ｔｍにて取得した圧力値と第二基準圧力Ｑ３１とを比較する。ここでは、吸引開始から０．２秒後の圧力値を圧力センサ２より取得している。
【００７１】
図８に示すように、制御部１１０は、吸引途中ｔｍで検知された検知圧力が第１圧力の一例である第二基準圧力Ｑ２１以上第二基準圧力Ｑ３１未満のときには専用工具１１、２１の装着状態を不良と評価する。第二基準圧力Ｑ３１以上の場合、専用工具３１において工具の装着忘れや浮き等の装着不良が発生していると判断する。
【００７２】
これに対して、吸引途中ｔｍで検知された検知圧力が第１圧力よりも高い第２圧力の一例である第二基準圧力Ｑ３１以上のときには専用工具３１の装着状態を不良と評価する。第二基準圧力Ｑ３１未満の場合、専用工具２１及び１１において工具の装着忘れや浮き等の装着不良が発生していると判断する。
【００７３】
このように、複数の専用工具が同時に装着不良の場合、吸引完了時ｔｅの圧力値と、吸引途中ｔｍの圧力値とを併せて利用することで、複数の装着不良の専用工具を特定することができる。
【００７４】
（比較例）
比較例１では、特許文献１に示されるように、工具保持部材１２、２２、３２の専用工具１１、２１、３２に対する接触面に吸引孔の代わりに吐出孔を設けている。そして、専用工具１１、２１、３２の交換後に吐出孔に圧縮空気を供給し、その時の吐出孔を通じたリークの流量を検出することで、工具保持部材１２、２２、３２に対して専用工具１１、２１、３１の基準面が密着しているか否かを確認している。
【００７５】
しかし、リークの流量を精密に測定するためには圧力センサに比較して高価なマスフロメータのような流量センサが必要になる。専用工具１１、２１、３１の取付位置の１つにつき、リークの流量検出装置が１つ必要なため、複数箇所の確認には大幅なコストがかかる。圧縮空気を用いる場合、圧縮空気が専用工具１１、２１、３２を持ち上げて工具保持部材１２、２２、３２との密着を損なわせる問題がある。コンプレッサの脈動を吸収するためには大型のタンクが必要になる。これ対して、実施の形態１では、複数の専用工具１１、２１、３１交換時の装着確認を安価で、且つ、同時に確認することができる。
【００７６】
（実施の形態１の効果）
実施の形態１では、複数の専用工具１１、２１、３１に対して１台の真空ポンプ１と１つの圧力センサ２とを用いて、専用工具１１、２１、３１の装着状態を個別に確認できる。このため、安価かつ簡便に専用工具１１、２１、３１の装着状態を確認できる。
【００７７】
実施の形態１では、吸引途中ｔｍの圧力と吸引完了時ｔｅの圧力とを圧力センサ２によって検出し、判定データ記憶部４に格納された基本基準圧力、第一基準圧力、第二基準圧力に対して比較する。このため、２つの専用工具１１、２１が装着不良の場合と１つの専用工具３１が装着不良の場合とを判別できる。
【００７８】
実施の形態１では、専用工具１１、２１、３１の装着状態の評価に必要なデータを１台の真空ポンプ１と１個の圧力センサ２を用いた１回の排気過程で取得する。このため、専用工具１１、２１、３１ごとに排気過程を繰り返して実行する必要が無い。
【００７９】
実施の形態１では、真空ポンプ１による配管５の配管内空気の排気過程において専用工具１１、２１、３１の装着状態の評価に必要なデータを取得する。このため、高圧空気を吹き込んで圧力を検知する場合のような、専用工具１１、２１、３１の落下、飛散、振動、騒音、圧力変動、リーク音が発生しない。
【００８０】
実施の形態１では、検知工程を行う前に準備検知工程を実行して、専用工具１１、２１、３１の取り付け部で必要なリークが生じることを確認する。このため、検知工程における外乱要因が減って、専用工具１１、２１、３１の装着不良を誤検知しにくくなる。
【００８１】
＜実施の形態２＞
実施の形態１では、吸引孔３３はΦ５ｍｍ、吸引孔２３はΦ４ｍｍ、吸引孔１３はΦ３ｍｍである。これに対して、実施の形態２では、吸引孔３３、２３、１３はいずれもΦ３ｍｍである。これ以外の構成は実施の形態１と同一であるため、重複する説明を省略する。
【００８２】
（吸引路による流路抵抗の差）
図９は実施の形態２の製造装置の減圧過程における検知圧力の変化の説明図である。図２に示す吸引孔３３、２３、１３のサイズが全て同じである場合、図９に示すように、第一基準圧力Ｐ１３、Ｐ２３、Ｐ３３は同じ値となる。このため、吸引完了時ｔｅにおいて圧力センサ２により取得した圧力値からは、装着不良が発生している専用工具１１、２１、３１を特定することができない。
【００８３】
しかし、図２に示すように、吸引孔３３、２３で順に中継して吸引孔１３まで配管５が接続されているため、図９に示すように、減圧過程の吸引途中ｔｍにおける圧力値を用いれば、装着不良が発生している専用工具１１、２１、３１を特定することができる。
【００８４】
専用工具３１において工具の装着忘れや浮き等の装着不良が発生している場合の曲線（ａ）は、吸引途中ｔｍにおける圧力値が第二基準圧力Ｑ３１以上である。このため、制御部１１０は、吸引途中ｔｍにおける圧力値が第二基準圧力Ｑ３１以上である場合、専用工具３１のみが装着不良であると判断する。
【００８５】
専用工具２１において工具の装着忘れや浮き等の装着不良が発生している場合の曲線（ｂ）は、吸引途中ｔｍにおける圧力値が第二基準圧力Ｑ３１未満、第二基準圧力Ｑ２１以上である。このため、制御部１１０は、吸引途中ｔｍにおける圧力値が第二基準圧力Ｑ２１以上Ｑ３１未満である場合、専用工具２１のみが装着不良であると判断する。
【００８６】
専用工具１１において工具の装着忘れや浮き等の装着不良が発生している場合の曲線（ｃ）は、吸引途中ｔｍにおける圧力値が第二基準圧力Ｑ２１未満である。このため、制御部１１０は、吸引途中ｔｍにおける圧力値が第二基準圧力Ｑ２１未満である場合、専用工具１１のみが装着不良であると判断する。
【００８７】
＜実施の形態３＞
実施の形態１では、真空ポンプ１と圧力センサ２とを用いて専用工具１１、２１、３１の装着不良を評価した。これに対して実施の形態２では、真空ポンプ１と圧力センサ２とを用いて、加工もしくは組立される部品の取り付け不良を評価する。
【００８８】
（部品の吸引孔）
図１０は実施の形態３の製造装置の構成の説明図である。専用工具１１、２１、３１が部品１１ｗ、２１ｗ、３１ｗに置き換えられている以外、実施の形態１と実施の形態３とは同一に構成されている。したがって、図１０中、実施の形態１と共通する構成部材には図２と共通の符号を付して重複する説明を省略する。
【００８９】
図１０に示すように、第１装着部の一例である工具保持部材１２に第１被装着体の一例である部品１１ｗが装着される。第２装着部の一例である工具保持部材２２に第２被装着体の一例である部品２１ｗが装着される。第３装着部の一例である工具保持部材３２に第３被装着体の一例である部品３１ｗが装着される。
【００９０】
第１空気経路の一例である吸引孔１３は、工具保持部材１２に設けられ、部品１１ｗの装着に伴って封止される。第２空気経路の一例である吸引孔２３は、工具保持部材２２に設けられ、部品２１ｗの装着に伴って封止される。第３空気経路の一例である吸引孔３３は、工具保持部材３２に設けられ、部品３１ｗの装着に伴って封止される。
【００９１】
配管５は、吸引孔１３と吸引孔２３と吸引孔３３とを連結する。真空ポンプ１は、吸引孔１３の空気と吸引孔２３の空気と吸引孔３３の空気とが配管５により合流した配管内空気を排気する。圧力センサ２は、配管５の配管内空気の圧力を検知する。制御部１１０は、真空ポンプ１による排気過程における圧力センサ２の検知結果に基づいて、工具保持部材１２、２２、３２に対する専用工具１１、２１、３１の装着状態を個別に評価する。
【００９２】
＜その他の実施の形態＞
図１１は吸引口の流路抵抗を異ならせる別の方法の説明図である。実施の形態１では、工具保持部材１２、２２、３２毎に直径の異なる吸引孔１３、２３、３３を設けている。しかし、吸引孔１３、２３、３３に異なる流路抵抗を設定する方法は孔の直径を異ならせる方法には限らない。図１１の（ａ）に示すように、吸引孔２３に挿入するフィルター２３ｐの厚みを異ならせて吸引孔２３に固有の流路抵抗を設定してもよい。図１１の（ｂ）に示すように、吸引孔２３に挿入するオリフィス２３ｑの開口径を異ならせて吸引孔２３に固有の流路抵抗を設定してもよい。図１１の（ｃ）に示すように、吸引孔２３の入口の窪み２３ｓに貼付する多孔性メンブレンの材料の孔密度を異ならせて吸引孔２３に固有の流路抵抗を設定してもよい。
【００９３】
実施の形態１では、上述した仕様の真空ポンプ１と上述した仕様の圧力センサ２の組み合わせを用いた。しかし、真空ポンプ１と圧力センサ２の組み合わせはこの組み合わせには限らない。吸引孔１３、２３、３３に設定する流路抵抗と真空ポンプ１の毎分排気量の組み合わせによって吸引完了時ｔｅに取得される圧力値は変化する。これに応じて第一基準電圧も変化する。
【００９４】
図１１に示す方法を用いて、吸引孔１３、２３、３３に設定する流路抵抗を実施の形態１の場合よりも高くして、吸引完了時ｔｅに取得される圧力値を低くする（真空度を高くする）ことが可能である。これにより、吸引孔１３、２３、３３の流路抵抗の間隔にさらに別の流路抵抗の吸引孔を配置することが可能になる。
【００９５】
すなわち、高真空度から低真空度の間に多くの第一基準圧力を配置することにより、１０個、２０個と言ったより多くの専用工具の装着状態を、１回の排気過程で評価することが可能になる。
【００９６】
実施の形態１では、専用工具１１、２１、３１がユーザーによって手作業で交換される実施の形態を説明した。しかし、専用工具１１、２１、３１は、制御部１１０によって制御される１台以上の多関節ロボットハンド、ベルトコンベア等を用いて自動交換されてもよい。専用工具１１、２１、３１の自動交換を制御するとともに、自動交換に伴って実施の形態１と同様な専用工具１１、２１、３１の装着状態の評価を自動で実行してもよい。
【００９７】
実施の形態１では、専用工具１１、２１、３１を工具保持部材１２、２２、３２にそれぞれ固定するための構成からは独立した装着状態の評価専用の吸引孔１３、２３、３３を準備した。しかし、吸引孔１３、２３、３３は、専用工具１１、２１、３１又は部品１１ｗ、２１ｗ、２３ｗをバキュームチャックするための真空引き構造を兼ねていてもよい。
【００９８】
実施の形態１では、ステージ状又は作業台状の工具保持部材１２、２２、３２に専用工具１１、２１、３１を装着する製造装置における実施の形態を説明した。しかし、１つのステージと２台の多関節ロボットの組み合わせ、１つの部品と２個の工具の組み合わせで構成する実施の形態においても本発明は実施できる。すなわち、第１及び第２被装着体は、両方が工具であって部品であってもよく、第１及び第２被装着体の一方が工具で他方が部品であってもよい。
【００９９】
実施の形態１では、被装着体が３つの実施の形態を説明したが、被装着体の数は４以上でもよい。
【符号の説明】
【０１００】
１  真空ポンプ、２  圧力センサ、３  判定部
４  判定データ記憶部、５  配管
１０、２０、３０  専用工具部
１１、２１、３１  専用工具
１２、２２、３２  工具保持部材
１３、２３、３３  吸引孔
５０  カメラ、６０  装置架台
１００  製造装置、１１０  制御部
１３０  読取装置、１３１  記録媒体
【図１】
2017039192.tif 000003
【図２】
2017039192.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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