(57)【要約】【課題】長期にわたって安定した摩擦摩耗特性を有するフォイル軸受を提供する。【解決手段】フォイル軸受１０は、軸受面を有するフォイル１２と、フォイル１２が取り付けられたフォイルホルダ１１と、フォイル１２の軸受面と対向する軸受面を有し、フォイルホルダ１１に対して回転する軸２とを備える。フォイル１２の軸受面と軸２の軸受面（外周面２ａ）との間のラジアル軸受隙間に形成される流体膜の圧力で軸２を支持する。フォイル１２の軸受面と軸２の外周面２ａの少なくとも一方に、母材金属の酸化物を主成分とした初期被膜２０を形成する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸受面を有するフォイルと、前記フォイルが取り付けられたフォイルホルダと、前記フォイルの軸受面と対向する軸受面を有し、前記フォイルホルダに対して回転する回転部材とを備え、前記フォイルの軸受面と前記回転部材の軸受面との間の軸受隙間に形成される流体膜の圧力で前記回転部材を支持するフォイル軸受であって、
前記フォイルの軸受面と前記回転部材の軸受面の少なくとも一方に、基材の酸化物を主成分とした初期被膜を設けたことを特徴とするフォイル軸受。
【請求項２】
前記基材が鉄系材料であり、前記初期被膜が鉄酸化物を主成分としたものである請求項１記載のフォイル軸受。
【請求項３】
前記鉄酸化物がＦｅ３Ｏ４である請求項２記載のフォイル軸受。
【請求項４】
前記初期被膜の厚さが１０μｍ以下である請求項１〜３の何れかに記載のフォイル軸受。
【請求項５】
フォイル軸受に設けられ、軸受面を有するフォイルであって、
前記軸受面に、基材の酸化物を主成分とした初期被膜が形成されたことを特徴とするフォイル。
【請求項６】
軸受面を有するフォイルと、前記フォイルが取り付けられたフォイルホルダと、前記フォイルの軸受面と対向する軸受面を有し、前記フォイルホルダに対して回転する回転部材とを備え、前記フォイルの軸受面と前記回転部材の軸受面との間の軸受隙間に形成される流体膜の圧力で前記回転部材を支持するフォイル軸受の製造方法であって、
前記フォイルと前記回転部材の少なくとも一方に酸化処理を施すことにより、前記フォイルの軸受面と前記回転部材の軸受面の少なくとも一方に、基材の酸化物を主成分とした初期被膜を形成することを特徴とするフォイル軸受の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォイル軸受及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガスタービンやターボチャージャ等のターボ機械の軸を支持する軸受として、フォイル軸受が着目されている。フォイル軸受は、可撓性を有する薄膜（フォイル）で軸受面を構成し、軸受面のたわみを許容しながら荷重を支持するものである。軸が回転すると、作動流体が軸とフォイルとの間に引き込まれ、この部分の流体膜の圧力が高められ、軸が浮上する。
【０００３】
上記のようなフォイル軸受では、軸の高速回転中は軸とフォイルとが非接触となるため、半永久的に運転が可能となる。しかし、軸の起動直後や停止直前等の低速回転時には、フォイルと軸との間の空気膜の圧力が十分に高められていないため、フォイルと軸とが接触・摺動する。このような接触・摺動を繰り返すと、フォイルの軸受面や軸の外周面に摩耗が生じる。
【０００４】
例えば下記の特許文献１には、フォイルの軸受面や軸の外周面に被膜を設けることで、これらの面の摩擦係数及び摩耗量を低減し、耐摩耗性を向上させる技術が示されている。具体的には、軸の外周面にクロムめっきや硬質カーボンのコーティングを施すことや、フォイルに、ＰＴＦＥ、二硫化モリブデン、黒鉛等からなるコーティングを施すことが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−５６５６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
フォイルや軸に予め上記のような被膜（初期被膜）を施した場合でも、長期的な使用によりフォイルと軸との摺動を繰り返すと、いずれは初期被膜が摩耗して、フォイルや軸の基材が表面に露出する。しかし、このような場合でも、直ちにフォイルが焼き付き・破損に至るということはなく、わずかに露出した基材が、初期被膜の摩耗粉を介して摺動することでマイルド摩耗となり、微小な基材の摩耗粉が発生する。この摩耗粉は早期に酸化し、フォイルと軸との摺動部に供給されることで潤滑剤として機能する。さらにフォイルと軸とが摺動を繰り返すと、被膜が摩耗した部分に基材の酸化物を主成分とした被膜（二次被膜）が形成され、この新たな被膜を介して摺動することで、安定した耐久性能が得られる。
【０００７】
実際に、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）からなるフォイルと軸受鋼（ＳＵＪ２）からなる軸とを用いて耐久試験を行った。フォイルには、予め、ＤＬＣ、二硫化モリブデン、金属メッキの何れかからなる初期被膜を形成した。試験後の摺動面（フォイルの軸受面）を観察したところ、何れの初期被膜を設けた場合でも摺動面に摩耗が生じ、初期被膜が除去された領域は鉄酸化物からなる新たな被膜（二次被膜）で覆われていた。また、フォイル表面には摩耗粉が付着していた。摺動面をラマン分光測定により分析すると、フォイルの軸受面に形成された二次被膜はＦｅ３Ｏ４を主成分とした鉄酸化物であり、フォイル表面に付着した摩耗粉はＦｅ２Ｏ３を主成分とした鉄酸化物であった。以上より、初期被膜が摩耗した後は、フォイルと軸との潤滑は上記の鉄酸化物からなる二次被膜及び摩耗粉で行われていることが明らかになった。
【０００８】
このように、上記のフォイル軸受では、フォイルの初期被膜が摩耗する前は、フォイルと軸との間の潤滑がＤＬＣ等からなる初期被膜で行われ、フォイルの初期被膜が摩耗した後は、フォイルと軸との間の潤滑が鉄酸化物からなる二次被膜及び摩耗粉で行われる。この場合、フォイルの初期被膜が摩耗する前と摩耗した後で、フォイルと軸との潤滑を行う材料が変化するため、その際に不安定なトルク挙動を示す恐れがある。
【０００９】
以上のような事情から、本発明が解決すべき課題は、長期にわたって安定した摩擦摩耗特性を有するフォイル軸受を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るフォイル軸受は、軸受面を有するフォイルと、前記フォイルが取り付けられたフォイルホルダと、前記フォイルの軸受面と対向する軸受面を有し、前記フォイルホルダに対して回転する回転部材とを備え、前記フォイルの軸受面と前記回転部材の軸受面との間の軸受隙間に形成される流体膜の圧力で前記回転部材を支持するフォイル軸受であって、前記フォイルの軸受面と前記回転部材の軸受面の少なくとも一方に、基材の酸化物を主成分とした初期被膜を設けたことを特徴とする。
【００１１】
このように、本発明に係るフォイル軸受では、フォイルの軸受面と回転部材の軸受面の少なくとも一方に、基材の酸化物を主成分とした初期被膜を設けた。このように、軸受面に初期被膜を設けることで、フォイルと回転部材の基材同士の摺動が回避されるため、フォイル及び回転部材の基材が同種材料からなる場合であっても、基材同士の摺動による凝着摩耗を防ぐことができる。また、初期被膜が摩耗した場合でも、初期被膜の摩耗粉や、基材の摩耗粉の酸化物がフォイルと回転部材との摺動部に供給されることで、潤滑が行われる。そして、初期被膜の摩耗により表面に露出した基材が酸化されることで、酸化物からなる被膜（二次被膜）が再生される。このように、酸化物被膜の摩耗及び再生を繰り返しながら、フォイルと回転部材との摺動部の潤滑が行われる。この場合、使用初期の潤滑を行う初期被膜と、初期被膜摩耗後の潤滑を行う二次被膜とが、同種の材料（フォイルあるいは回転部材の基材の酸化物）からなるため、長期にわたって安定した摩擦摩耗特性を得ることができる。
【００１２】
フォイルや回転部材の基材は、鉄系材料であることが多い。この場合、軸受面には、鉄酸化物を主成分とした初期被膜が形成される。鉄酸化物の中でも、比較的摩擦係数の低い材質であるＦｅ３Ｏ４で初期被膜を形成すれば、軸受面の摩擦係数を減じて耐摩耗性をさらに高めることができる。また、Ｆｅ３Ｏ４は、なじみ性にも優れているため、摺動部の当たりの早期改善も期待できる。
【００１３】
初期被膜の厚さが厚すぎると、製膜に特殊な工程や追加の工数が必要となる上、初期被膜がフォイルの弾性変形に追従できずに割れが生じやすくなる。従って、初期被膜の厚さは、例えば１０μｍ以下とすることが好ましい。
【００１４】
上記のフォイル軸受は、前記フォイルと前記回転部材の少なくとも一方に酸化処理を施すことにより、前記フォイルの軸受面と前記回転部材の軸受面の少なくとも一方に、前記母材金属の酸化物を主成分とした初期被膜を形成することにより製造することができる。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明によれば、フォイルと軸との潤滑が、初期被膜の摩耗前後に関わらず、常に基材の酸化物を介して行われるため、長期にわたって安定した摩擦摩耗特性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態に係るフォイル軸受の断面図である。
【図２】上記フォイル軸受に設けられたフォイルの平面図である。
【図３】連結した複数のフォイルを展開して示す平面図である。
【図４】フォイル及び軸の拡大断面図であり、（ａ）は初期被膜が摩耗する前の状態、（ｂ）は初期被膜が摩耗した状態、（ｃ）は二次被膜が形成された状態を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明に係るフォイル軸受の一例としてラジアルフォイル軸受を例に挙げ、図面に基づいて説明する。
【００１８】
図１に、本発明の一実施形態に係るラジアルフォイル軸受１０を示す。ラジアルフォイル軸受１０は、内周に挿入された回転部材としての軸２をラジアル方向に支持するものである。本実施形態のラジアルフォイル軸受１０は、圧力発生流体として空気を用いる空気動圧軸受である。軸２は、鉄系材料、具体的には軸受鋼、クロムモリブデン鋼、あるいは炭素鋼等で形成される。ラジアルフォイル軸受１０は、フォイルホルダ１１と、フォイルホルダ１１の内周面に取り付けられたフォイル１２とを有する。本実施形態では、フォイルホルダ１１の内周面に、複数（図示例では３枚）のフォイル１２が周方向に並べて取り付けられている。尚、以下では、軸２の回転方向先行側（図１の矢印方向先行側）を「周方向一方側」、軸２の回転方向後方側（図１の矢印方向後方側）を「周方向他方側」と言う。
【００１９】
フォイルホルダ１１は、金属あるいは樹脂で形成される。フォイルホルダ１１を形成する金属としては、例えば焼結金属や溶製材（例えば鋼材）が挙げられる。フォイルホルダ１１は筒状を成し、図示例では円筒面状の内周面１１ａ及び外周面１１ｂを有する。フォイルホルダ１１の外周面１１ｂは、図示しないハウジングの内周面に固定される。フォイルホルダ１１の内周面１１ａのうち、周方向に離隔した複数箇所（図示例では３箇所）には、フォイル１２の端部が差し込まれる凹部として、軸方向溝１１ｃが形成される。各軸方向溝１１ｃの軸方向両端は、それぞれフォイルホルダ１１の端面に開口している。尚、軸方向溝１１ｃの軸方向一端あるいは軸方向両端に、フォイル１２と係合してフォイル１２の軸方向移動を規制する係止部を設けてもよい。係止部は、フォイルホルダ１１と一体あるいは別体に設けることができる。
【００２０】
フォイル１２は、ばね性に富み、かつ加工性のよい金属で形成され、例えば鉄系材料や銅系材料で形成される。フォイル１２は、厚さ２０μｍ〜２００μｍ程度の金属フォイルにプレス加工や放電加工を施すことで形成される。本実施形態のように圧力発生流体として空気を用いる空気動圧軸受では、雰囲気に潤滑油が存在しないため、金属フォイルとしてステンレス鋼もしくは青銅製のものを使用するのが好ましい。
【００２１】
各フォイル１２は、図２に示すように、トップフォイル部１２ａと、トップフォイル部１２ａの周方向一方側（図２の左側）に設けられた差込部１２ｂと、トップフォイル部１２ａの周方向他方側（図２の右側）に設けられたアンダーフォイル部１２ｃとを有する。
【００２２】
トップフォイル部１２ａの内径側の面は、軸受面として機能する（図１参照）。本実施形態では、各フォイル１２のうち、軸２の外周面２ａと直接対向する面が、全てトップフォイル部１２ａで構成される。トップフォイル部１２ａの軸回転方向先行側の縁の軸方向両端付近には、周方向の微小な切り込み１２ａ１が設けられる（図２参照）。尚、特に必要がなければ、切り込み１２ａ１を省略してもよい。
【００２３】
差込部１２ｂは、トップフォイル部１２ａから周方向一方側に延びている。差込部１２ｂは、各フォイル１２の軸方向端部（図示例では軸方向両端）に設けられる。本実施形態では、各差込部１２ｂが矩形状を成している。
【００２４】
アンダーフォイル部１２ｃは、トップフォイル部１２ａから周方向他方側に延びている。アンダーフォイル部１２ｃの周方向他方側の縁には、周方向一方側に向けて軸方向幅を徐々に狭めた切り欠き部１２ｃ１が設けられる。図示例では、切り欠き部１２ｃ１が略円弧状に形成される。このほか、切り欠き部１２ｃ１を、直線を軸方向中央で折り曲げた略Ｖ字形状としてもよい。また、特に必要が無ければ、切り欠き部１２ｃ１を省略し、アンダーフォイル部１２ｃの軸横行他方側の縁を軸方向と平行な直線としてもよい。
【００２５】
トップフォイル部１２ａとアンダーフォイル部１２ｃとの境界には、隣接するフォイル１２の差込部１２ｂが差し込まれる差込口１２ｄが設けられる。差込口１２ｄは、差込部１２ｂと同じ軸方向位置に設けられ、図示例ではフォイル１２の軸方向両端に設けられ、それぞれフォイル１２の軸方向端部に開口している。各差込口１２ｄの軸方向幅は、ここに差し込まれる差込部１２ｂの軸方向幅よりも若干大きい。
【００２６】
各フォイル１２の差込部１２ｂは、周方向一方側に隣接するフォイル１２の差込口１２ｄに差し込まれ（図３参照）、さらに、フォイルホルダ１１の内周面１１ａの軸方向溝１１ｃに差し込まれる（図１参照）。尚、図３では、理解の容易化のため、各フォイル１２を軸方向に少しずらして示している。一方、各フォイル１２のアンダーフォイル部１２ｃは、周方向他方側に隣接するフォイル１２のトップフォイル部１２ａとフォイルホルダ１１の内周面１１ａとの間に配される。これにより、トップフォイル部１２ａのうち、周方向一方側の領域は、他のフォイル１２のアンダーフォイル部１２ｃで背後から支持される。トップフォイル部１２ａのうち、周方向他方側の領域は、他のフォイル１２のアンダーフォイル部１２ｃで支持されず、フォイルホルダ１１の内周面１１ａと接触している。隣接するフォイル１２のトップフォイル部１２ａの周方向一方側の縁と周方向他方側の縁は、周方向で係合して互いに突っ張り合っている。これにより、各フォイル１２のトップフォイル部１２ａが外径側に張り出し、フォイルホルダ１１の内周面１１ａに沿った形状に湾曲する。
【００２７】
図４（ａ）に示すように、各フォイル１２のトップフォイル部１２ａの軸受面には初期被膜２０が設けられる。初期被膜２０は、フォイル１２の基材の酸化物を主成分とする。すなわち、フォイル１２が鉄系材料からなる場合は、鉄酸化物を主成分とした初期被膜２０が形成され、フォイル１２が銅系材料からなる場合は、銅酸化物を主成分とした初期被膜２０が形成される。本実施形態では、鉄系材料からなるフォイル１２の軸受面に、Ｆｅ３Ｏ４を主成分とした初期被膜２０が設けられる。
【００２８】
初期被膜２０は、フォイル１２に酸化処理を施すことにより形成される。具体的には、例えば、鉄系材料からなるフォイル１２にアルカリ処理を施すことにより、フォイル１２の表面にＦｅ３Ｏ４を主成分とした黒色の初期被膜２０を形成することができる。この他、５００℃程度の高温雰囲気で水蒸気と反応させるスチーム処理により、フォイル１２の表面にＦｅ３Ｏ４を主成分とした初期被膜２０を形成することもできる。
【００２９】
初期被膜２０は、フォイル１２の基材と軸２の外周面２ａとの接触を防止できる厚さに形成される。例えば、フォイル１２の表面（軸受面）が黒色に変色し、鉄酸化物を主成分とした初期被膜２０の形成を目視で確認できる程度の厚さとされる。また、初期被膜２０が厚すぎると、製膜に特殊な工程及び工数が必要となる上、初期被膜２０がフォイル１２の弾性変形に追従できずに割れが生じやすくなる。従って、初期被膜２０の厚さは、例えば１０μｍ以下とすることが好ましい。尚、初期被膜２０は、軸２の外周面２ａと摺動を繰り返す過程で摩耗及び再生を繰り返すことで、最適な形状及び厚さに調整される。
【００３０】
尚、初期被膜２０は、各フォイル１２の軸受面（トップフォイル部１２ａ）のみに設けてもよいし、差込部１２ｂやアンダーフォイル部１２ｃを含めたフォイル１２の全面に設けてもよい。また、初期被膜２０を、各フォイル１２の軸受面側の面だけでなく、軸受面と反対側の面にも設けてもよい。また、初期被膜２０は、各フォイル１２の軸受面全面に設けてもよいし、軸受面の一部に設けてもよい。例えば、各フォイル１２の軸受面のうち、他のフォイル１２のアンダーフォイル部１２ｃに乗り上げる周方向領域のみに初期被膜２０を設けてもよい。
【００３１】
上記構成のフォイル軸受１０の内周に挿入された軸２が図１の矢印方向に回転すると、ラジアルフォイル軸受１０の各フォイル１２のトップフォイル部１２ａの内径面（軸受面）と軸２の外周面２ａ（軸受面）との間に、ラジアル軸受隙間が形成される。このとき、トップフォイル部１２ａのうち、周方向一方側の領域が、隣接するフォイルのアンダーフォイル部１２ｃの上に乗り上げて湾曲することで、ラジアル軸受隙間は、周方向一方側（軸回転方向先行側）へ行くにつれて狭くなった楔状を成す。このような楔状のラジアル軸受隙間の幅狭側に空気が押し込まれることにより、ラジアル軸受隙間の空気膜の圧力が高められ、この圧力により軸２がラジアル方向に非接触支持される。
【００３２】
このとき、フォイル１２が有する可撓性により、各フォイル１２の軸受面が、荷重や軸２の回転速度、周囲温度等の運転条件に応じて任意に変形するため、ラジアル軸受隙間は運転条件に応じた適切幅に自動調整される。そのため、高温・高速回転といった過酷な条件下でも、ラジアル軸受隙間を最適幅に管理することができ、軸２を安定して支持することが可能となる。尚、軸２が回転している時は、軸２の回転に伴って流動する流体（空気）との摩擦により、各フォイル１２が回転方向先行側に押し込まれ、フォイルホルダ１１の軸方向溝１１ｃ内の角部に突き当たっている。
【００３３】
また、本実施形態では、図２に示すように、アンダーフォイル部１２ｃの周方向他方側の縁に切り欠き部１２ｃ１を設けることで、この上に乗り上げるトップフォイル部１２ａに、切り欠き部１２ｃ１に沿った段差が形成される。これにより、トップフォイル部１２ａに沿って流れる流体が、上記の段差に沿って流れて軸方向中央側に集められるため、圧力向上効果が高められる（図３の矢印参照）。特に、トップフォイル部１２ａの周方向一方側の縁の軸方向両端付近に、微小な切り込み１２ａ１を設けることで、この部分の剛性が低下する。これにより、トップフォイル部１２ａを、その背後に配されたアンダーフォイル部１２ｃの切り欠き部１２ｃ１に沿って変形させやすくなる。
【００３４】
また、各フォイル１２は、フォイルホルダ１１に完全に固定されておらず、フォイルホルダ１１に対して移動可能とされる。従って、軸２の回転中は、ラジアル軸受隙間に形成された空気膜の影響でフォイル１２がフォイルホルダ１１に押し付けられ、これに伴って各フォイル１２とフォイルホルダ１１、特に、各フォイル１２のトップフォイル部１２ａ及びアンダーフォイル部１２ｃの外径面とフォイルホルダ１１の内周面１１ａとの間に微小摺動が生じる。この微小摺動による摩擦エネルギーにより、軸２の振動を減衰させることができる。
【００３５】
軸２の停止直前や起動直後の低速回転時には、各フォイル１２の軸受面と軸２の外周面とが接触摺動する。本実施形態では、図４（ａ）に示すように、フォイル１２の軸受面に、基材の酸化物を主成分とした初期被膜２０を設けているため、フォイル１２の基材と軸２の基材とが直接摺動する事態を回避できる。特に、フォイル１２及び軸２の基材が同種金属（鉄系材料）で形成される場合、上記のように初期被膜２０を介して両基材の直接接触を回避することで、凝着摩耗を防止できる。また、初期被膜２０を、硬質であり、且つ、摩擦係数の比較的低いＦｅ３Ｏ４で形成することで、軸受面の耐摩耗性がさらに高められる。
【００３６】
そして、フォイル１２の軸受面と軸２の外周面２ａとが摺動を繰り返すことで、フォイル１２の軸受面に設けられた初期被膜２０が摩耗する。これにより生じた摩耗粉２１がフォイル１２の軸受面と軸２の外周面２ａとの間に供給され、これらの面が摩耗粉２１を介して摺動することにより、摺動による摩耗が抑えられる。また、初期被膜２０が摩耗すると、基材の一部が表面に露出する（図４（ｂ）のＰ部参照）が、この部分に、基材の酸化物（本実施形態では鉄酸化物）を主成分とした二次被膜３０が新たに形成される（図４（ｃ）参照）。こうして、鉄酸化物を主成分とした被膜（初期被膜２０及び二次被膜３０）の摩耗及び再生を繰り返すことにより、長期にわたって安定した摩擦摩耗特性を得ることができる。
【００３７】
高温環境では、樹脂などの固体潤滑剤の使用は制限されるが、上記のような金属酸化物からなる被膜（初期被膜２０及び二次被膜３０）は高温でも使用できる。また、高温環境では、酸化物が生成されやすくなるため、二次被膜３０が再生されやすい。以上より、上記のフォイル軸受１０は、高温環境（例えば３５０℃以上）で使用される軸受として好適に適用できる。
【００３８】
また、フォイル１２とフォイルホルダ１１との間の微小摺動による摩擦力を調整するために、フォイル１２の外径面とフォイルホルダ１１の内周面の一方または双方に、低摩擦化被膜を形成してもよい。低摩擦化被膜として、上記のような酸化物被膜のほか、ＰＴＦＥ膜、ＤＬＣ膜、二硫化タングステン膜、二硫化モリブデン膜等を設けることができる。また、フォイル１２の軸受面に、基材の酸化物からなる初期被膜２０の上に、さらに上記のような低摩擦化被膜を設けてもよい。
【００３９】
本発明は、上記の実施形態に限られない。以下、本発明の他の実施形態を説明するが、上記の実施形態と重複する点の説明は省略する。
【００４０】
上記の実施形態では、フォイル１２の軸受面に初期被膜２０を設けた場合を示したが、フォイル１２の軸受面には初期被膜を設けずに、軸２の外周面２ａ（軸受面）に、軸２の基材の酸化物を主成分とした初期被膜を設けてもよい。あるいは、フォイル１２の軸受面及び軸２の外周面２ａの双方に、それぞれの基材の酸化物を主成分とした初期被膜を設けてもよい。
【００４１】
また、フォイル軸受の構成は上記に限らず、例えば、軸受面に初期被膜２０が形成されたフォイル１２の背後に、フォイル１２にバネ性を付与するバンプフォイルを設けてもよい。あるいは、円筒状に丸めた一枚の金属薄板で、フォイル１２を構成してもよい。
【００４２】
また、上記の実施形態では、本発明の実施形態として、軸２をラジアル方向に支持するラジアルフォイル軸受１０を示したが、これに限らず、本発明は、軸２をスラスト方向に支持するスラストフォイル軸受にも適用することができる。スラストフォイル軸受は、例えば、円盤状のフォイルホルダと、フォイルホルダの端面に取り付けられたフォイルとを備える。軸２が回転すると、軸２に設けられたスラストカラーの端面（軸受面）と、スラストフォイル軸受のフォイルの軸受面との間にスラスト軸受隙間が形成される。フォイルの軸受面及びスラストカラーの端面の一方又は双方には、それぞれの基材の酸化物を主成分とした初期被膜２０が設けられる。尚、各構成の機能や変形例は、上記のラジアルフォイル軸受１０と同様であるため、説明を省略する。
【００４３】
本発明にかかるフォイル軸受の適用対象は、例えばガスタービンのタービン軸を支持する軸受や、ターボチャージャ（過給機）のロータを支持する軸受として好適に使用することができる。また、本発明にかかるフォイル軸受は、ガスタービンやターボチャージャ等のターボ機械に限らず、油の使用が制限される車両用軸受や産業機器用軸受として広く使用することが可能である。
【００４４】
また、以上に説明した各フォイル軸受は、圧力発生流体として空気を使用した空気動圧軸受であるが、これに限らず、圧力発生流体としてその他のガスを使用することもでき、あるいは水や油などの液体を使用することもできる。
【符号の説明】
【００４５】
２     軸
１０   ラジアルフォイル軸受（フォイル軸受）
１１   フォイルホルダ
１２   フォイル
１２ａ トップフォイル部
１２ｂ 差込部
１２ｃ アンダーフォイル部
１２ｄ 差込口
２０   初期被膜
２１   摩耗粉
３０   二次被膜
【図１】
2017062008.tif 000003
【図２】
2017062008.tif 000004
【図３】
2017062008.tif 000005
【図４】
2017062008.tif 000006