(57)【要約】      （修正有）【課題】基板上の吐出領域に対して、吐出領域に供給される液状材料の供給量のバラツキを低減する液滴吐出方法、及び前記液滴吐出方法を用いて電子デバイスを製造する信頼性に優れた電子デバイスの製造方法の提供。【解決手段】複数のノズルのうち１つの前記ノズルから、複数の前記吐出領域のうちの１つの前記吐出領域に対して、所定の駆動信号に基づいて複数回の前記液滴の吐出を行う場合の総吐出量の予測値を取得する工程Ｓ２ｂと、前記総吐出量の予測値が、予め設定されている目標吐出量に近付くように、前記１つの吐出における前記液滴の吐出量を補正する工程Ｓ４ｂと、前記複数の吐出領域に対して複数の前記ノズルから吐出を行う工程Ｓ５ｂとを含み、前記総吐出量の予測値を取得する工程Ｓ２ｂにおいて、前記描画パターンにおける総吐出量の予測値の取得を行う液滴吐出方法。【選択図】図１９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドに設けられている複数のノズルから、基体に設けられている複数の吐出領域に対して、液滴の吐出を行う液滴吐出方法であって、
複数の前記ノズルのうち１つの前記ノズルから、複数の前記吐出領域のうちの１つの前記吐出領域に対して、所定の駆動信号に基づいて複数回の前記液滴の吐出を行う場合の総吐出量の予測値を取得する工程と、
前記総吐出量の予測値が、予め設定されている目標吐出量に近付くように、前記複数回の吐出のうち少なくとも１つの吐出において前記駆動信号の調整を行うことで、前記１つの吐出における前記液滴の吐出量を補正する工程と、
予め設定されている所定の描画パターンと、前記吐出量を補正する工程において調整された前記駆動信号とに基づいて、前記複数の吐出領域に対して複数の前記ノズルから吐出を行う工程とを含み、
前記総吐出量の予測値を取得する工程において、前記描画パターンにおける前記総吐出量の予測値を取得することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項２】
前記描画パターンにおける総吐出量の予測値を、実測値として総吐出量が測定された所定の代表パターンに基づいて取得する請求項１に記載の液滴吐出方法。
【請求項３】
前記総吐出量の予測値を取得する工程において、
前記代表パターンにおけるノズルデューティから、前記描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得する請求項２に記載の液滴吐出方法。
【請求項４】
前記総吐出量の予測値を取得する工程において、
前記代表パターンにおける吐出数から、前記描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得する請求項２または３に記載の液滴吐出方法。
【請求項５】
前記ノズルから吐出を行う工程に先立って、前記描画パターンと、前記吐出量を補正する工程において調整された前記駆動信号とに基づいて吐出された液滴の総吐出量を測定する工程と、
前記測定された総吐出量が前記目標吐出量に近付くように、前記１つの吐出における前記液滴の吐出量を補正する工程と、を含む請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液滴吐出方法。
【請求項６】
前記総吐出量の予測値を取得する工程において、
前記描画パターンにおける、前記複数のノズルのうちの隣り合うノズル同士の前記液滴の吐出有無に基づいて、前記描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得する請求項１ないし５のいずれか１項に記載の液滴吐出方法。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の液滴吐出方法を用いて電子デバイスを製造することを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出方法および電子デバイスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
吐出対象物である例えば基板に対して、インクジェットヘッドの複数のノズルから機能性材料を含む液状材料を液滴として基板の吐出領域に吐出した後に、乾燥・固化して吐出領域に薄膜を形成するインクジェット法（液滴吐出方法）が知られている。
この薄膜を形成する代表的な例としては、薄型の表示デバイスである、液晶表示パネルのカラーフィルターや、有機ＥＬパネルの発光層、電子輸送層および電子注入層、さらには電子デバイスの半導体層や金属配線等が挙げられる。
【０００３】
かかる薄膜の形成に用いられる、インクジェット法では、所定量の液状材料を精度よく吐出領域に吐出して、乾燥後に所望の膜厚を有する薄膜を優れた精度で形成することが求められる。
【０００４】
しかしながら、インクジェットヘッドが備える複数のノズル毎に吐出される液滴の吐出量は、必ずしも一定ではなくそれぞれバラツキを有しているため、吐出領域に供給される液状材料の供給量のバラツキを抑える工夫が提案されている。
【０００５】
例えば、特許文献１では、基板の各吐出領域に複数の液滴を着弾させて所定量の液状材料を供給する際に、複数のノズルを対象として予め得られた１ノズル１液滴あたりの平均吐出量に、着弾させる液滴の一定個数を乗算して得られる吐出領域平均総体積量と、吐出領域の選択される位置に着弾する液滴の吐出領域着弾総体積量との差を一定の範囲内におさめるインクジェット法が提案されており、かかるインクジェット法では、吐出領域に対して吐出可能な複数のノズルから、ノズル毎における吐出量のバラツキの影響が小さくなるように、吐出領域に対して液滴を吐出するノズルを選択することが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１５−３３６５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載の方法では、吐出領域に対して液滴を吐出可能な位置に配置されているノズル数が、吐出領域に対して実際に液滴を吐出させるノズル数よりも多い必要があり、実際に液滴を吐出させるノズルを選択できるノズル数に余裕がないと発明の効果を十分に発揮させることが難しいという課題があった。
【０００８】
そこで、本発明の目的の一つは、基板上の吐出領域に対して、少ない（例えば１つ）のノズルから液状材料を液滴として吐出・供給することで薄膜を形成したとしても、吐出領域に供給される液状材料の供給量のバラツキを低減することができる液滴吐出方法、かかる液滴吐出方法を用いて電子デバイスを製造する信頼性に優れた電子デバイスの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、下記の本発明により達成される。
【００１０】
本発明の液滴吐出方法は、ヘッドに設けられている複数のノズルから、基体に設けられている複数の吐出領域に対して、液滴の吐出を行う液滴吐出方法であって、
複数の前記ノズルのうち１つの前記ノズルから、複数の前記吐出領域のうちの１つの前記吐出領域に対して、所定の駆動信号に基づいて複数回の前記液滴の吐出を行う場合の総吐出量の予測値を取得する工程と、
前記総吐出量の予測値が、予め設定されている目標吐出量に近付くように、前記複数回の吐出のうち少なくとも１つの吐出において前記駆動信号の調整を行うことで、前記１つの吐出における前記液滴の吐出量を補正する工程と、
予め設定されている所定の描画パターンと、前記吐出量を補正する工程において調整された前記駆動信号とに基づいて、前記複数の吐出領域に対して複数の前記ノズルから吐出を行う工程とを含み、
前記総吐出量の予測値を取得する工程において、前記描画パターンにおける前記総吐出量の予測値を取得することを特徴とする。
【００１１】
これにより、基板上の吐出領域に対して、１つのノズルから液状材料を液滴として吐出・供給することで薄膜を形成したとしても、吐出領域に供給される液状材料の供給量のバラツキを低減することができる。
【００１２】
本発明の液滴吐出方法では、前記描画パターンにおける総吐出量の予測値を、実測値として総吐出量が測定された所定の代表パターンに基づいて取得することが好ましい。
【００１３】
このように、予め総吐出量が実測値として求められた代表パターンを用いて、凡ゆるパターンを有する描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得することができる。そのため、取得する必要のある実測値すなわちデータ数が少なくなることから、時間と手間の簡略化を図ることができる。
【００１４】
本発明の液滴吐出方法では、前記総吐出量の予測値を取得する工程において、
前記代表パターンにおけるノズルデューティから、前記描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得することが好ましい。
これにより、描画パターンにおける総吐出量の予測値を確実に取得することができる。
【００１５】
本発明の液滴吐出方法では、前記総吐出量の予測値を取得する工程において、
前記代表パターンにおける吐出数から、前記描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得することが好ましい。
これにより、描画パターンにおける総吐出量の予測値を確実に取得することができる。
【００１６】
本発明の液滴吐出方法では、前記ノズルから吐出を行う工程に先立って、前記描画パターンと、前記吐出量を補正する工程において調整された前記駆動信号とに基づいて吐出された液滴の総吐出量を測定する工程と、
前記測定された総吐出量が前記目標吐出量に近付くように、前記１つの吐出における前記液滴の吐出量を補正する工程と、を含むことが好ましい。
【００１７】
このように、再補正する構成とすることで、前記測定された総吐出量を目的吐出量に対してより近似させることができる。
【００１８】
本発明の液滴吐出方法では、前記総吐出量の予測値を取得する工程において、
前記描画パターンにおける、前記複数のノズルのうちの隣り合うノズル同士の前記液滴の吐出有無に基づいて、前記描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得することが好ましい。
【００１９】
これにより、補正を実施するノズルに隣り合うノズルから液滴が吐出される場合であったとしても、このノズルから吐出される液滴の総吐出量を目的吐出量に優れた精度で近似させることができる。
【００２０】
本発明の電子デバイスの製造方法は、本発明の液滴吐出方法を用いて電子デバイスを製造することを特徴とする。
これにより、信頼性に優れた電子デバイスを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】インクジェットヘッドの構成を示す概略斜視図。
【図３】インクジェットヘッドのノズル面における複数のノズルの配置状態を示す平面図。
【図４】ヘッドユニットにおけるインクジェットヘッドの配置を示す概略平面図。
【図５】液滴吐出装置の電気的および機械的な構成を示すブロック図。
【図６】インクジェットヘッドの電気的な制御を示すブロック図。
【図７】駆動信号および制御信号のタイミング図。
【図８】有機ＥＬ装置の構成を示す概略平面図。
【図９】有機ＥＬ素子の構成を示す概略断面図。
【図１０】有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図。
【図１１】有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図。
【図１２】有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図。
【図１３】ノズルから吐出された液滴の開口部における配置の例を示す概略平面図。
【図１４】液滴吐出方法（液状材料の総吐出量の第１の補正方法）を示すフローチャート。
【図１５】複数回の吐出のうち液滴の吐出量を補正する吐出の例を示す概略平面図。
【図１６】複数回の吐出のうち液滴の吐出量を補正する吐出の他の例を示す概略平面    図。
【図１７】ノズルから吐出された液滴が供給される開口部の他の配置の例を示す概略平面図。
【図１８】ノズルから吐出された液滴の開口部における他の配置の例を示す概略平面図。
【図１９】液滴吐出方法（液状材料の総吐出量の第２の補正方法）を示すフローチャート。
【図２０】代表パターンおよび描画パターンにおけるノズルデューティと吐出数との関係を示すグラフ。
【図２１】代表パターンにおける総吐出量から描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得する方法を説明するための平面図。
【図２２】複数回の吐出のうち液滴の吐出量を補正する吐出の例を示す概略平面図。
【図２３】変形例の液滴吐出方法を示す概略平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の液滴吐出方法および電子デバイスの製造方法を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。
【００２３】
まず、本発明の液滴吐出方法および電子デバイスの製造方法を説明するのに先立って、本発明の液滴吐出方法が適用された液滴吐出装置について説明する。
【００２４】
＜液滴吐出装置＞
まず、本実施形態の液滴吐出方法を適用可能な液滴吐出装置の一例について、図１〜図５を参照して説明する。
【００２５】
図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図、図２は、インクジェットヘッドの構成を示す概略斜視図、図３は、インクジェットヘッドのノズル面における複数のノズルの配置状態を示す平面図、図４は、ヘッドユニットにおけるインクジェットヘッドの配置を示す概略平面図、図５は、液滴吐出装置の電気的および機械的な構成を示すブロック図、図６は、インクジェットヘッドの電気的な制御を示すブロック図、図７は、駆動信号および制御信号のタイミング図である。
【００２６】
図１に示す液滴吐出装置１０は、ワークとしての吐出対象物に対して、吐出ヘッドのノズルから機能性材料を含む液状材料を液滴として吐出する装置である。
【００２７】
そして、吐出された液状材料を乾燥・焼成して固化することにより、吐出対象物の吐出領域に機能層としての薄膜を形成する。
【００２８】
このような機能層の形成方法は、液相プロセスのうち液滴吐出方法と呼ばれている方法が挙げられる。液滴吐出方法を用いて形成される機能層の一例として、後述する有機ＥＬ素子の発光機能を有する発光層としての機能層が挙げられる。本実施形態の液滴吐出方法は、このような機能層を液滴吐出装置１０を用いて形成する場合に好適に用いることができる。なお、液滴吐出装置１０では、吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドを備えており、インクジェットヘッドを用いた液滴吐出方法はインクジェット法とも呼ばれる。
【００２９】
図１に示すように、液滴吐出装置１０は、吐出対象物である例えば平板状の基板Ｗを第１の方向としての主走査方向に移動させるワーク移動機構２０と、インクジェットヘッドが搭載されたヘッドユニット９を主走査方向に直交する副走査方向に移動させるヘッド移動機構３０とを備えている。また、図１には図示されていない機構を含めて、これらの機構を統括的に制御する制御部４０を備えている。
【００３０】
なお、以下では、主走査方向をＹ軸方向と称し、副走査方向をＸ軸方向と称して説明することもある。
【００３１】
ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動台２２と、移動台２２上に回転機構６を介して配設され基板Ｗが載置されるステージ５とを備えている。
【００３２】
ステージ５は、基板Ｗを吸着固定可能であると共に、回転機構６によって基板Ｗ内の基準軸を正確に主走査方向（Ｙ軸方向）、副走査方向（Ｘ軸方向）に合わせることが可能となっている。
【００３３】
また、基板Ｗ上において液状材料としてインクが吐出される吐出領域の配置状態に応じて、基板Ｗを例えば９０度旋回させることも可能である。
【００３４】
ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する移動台３２とを備えている。移動台３２には、回転機構７を介して吊設されたキャリッジ８が設けられている。
【００３５】
キャリッジ８には、図２に示す吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッド５０が、ヘッドプレート９ａに搭載されたヘッドユニット９に取り付けられている。
【００３６】
かかる構成のヘッド移動機構３０において、移動台３２がキャリッジ８を副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させることで、ヘッドユニット９が基板Ｗに対して対向配置される。
【００３７】
なお、液滴吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数のインクジェットヘッド５０にインクとしての液状材料を供給するためのインク供給機構や、インクジェットヘッド５０をメンテナンスするためのメンテナンス機構等を含んで構成されている。
【００３８】
また、図２に示すように、インクジェットヘッド５０は、本実施形態では、所謂２連のものであり、２連の接続針５４を有する液状材料の導入部５３と、導入部５３に積層されたヘッド基板５５と、ヘッド基板５５上に配置され内部に液状材料のヘッド内流路が形成されたヘッド本体５６とを備えている。
【００３９】
接続針５４は、前述したインク供給機構（図示せず）に配管を経由して接続され、液状材料をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板５５には、フレキシブルフラットケーブル（図示せず）を介してヘッド駆動部としてのヘッドドライバー６３（図５参照）に接続される２連のコネクター５８が設けられている。
【００４０】
ヘッド本体５６は、駆動素子（アクチュエーター）としての圧電素子で構成されたキャビティを有する加圧部５７と、ノズル面５１ａに２つのノズル列５２ａ，５２ｂが相互に平行に形成されたノズルプレート５１とを有している。
【００４１】
図３に示すように、２つのノズル列５２ａ，５２ｂは、それぞれ、例えば、１６０個のように複数のノズル５２がピッチＰ１でほぼ等間隔に並べられており、互いにピッチＰ１の半分のピッチＰ２ずれた状態でノズル面５１ａに配設されている。本実施形態において、ピッチＰ１は、例えばおよそ１４１μｍである。よって、２つのノズル列５２ａ，５２ｂによって構成されたノズル列５２ｃに直交する方向から見ると３２０個のノズル５２がおよそ７０．５μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。また、ノズル５２の径は、およそ２７μｍである。
【００４２】
なお、複数のノズル５２によって構成された２つのノズル列５２ａ，５２ｂを説明上、ノズル列５２ｃと称することもある。
【００４３】
インクジェットヘッド５０は、ヘッドドライバー６３から電気信号としての駆動信号が圧電素子に印加されると加圧部５７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキャビティに充填された液状材料が加圧され、これにより、ノズル５２からインクとしての液状材料が液滴として吐出される。
【００４４】
なお、インクジェットヘッド５０においてノズル５２毎に設けられる駆動素子（アクチュエーター）は、圧電素子に限定されない。具体的には、アクチュエーターは、振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、インクを加熱してノズル５２から液滴として吐出させる電気熱変換素子でもよい。
【００４５】
ヘッドユニット９は、基板Ｗに対向する側から見た図４に示すように、複数のインクジェットヘッド５０が配設されるヘッドプレート９ａを備えている。ヘッドプレート９ａには、本実施形態では、３つのインクジェットヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つのインクジェットヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個のインクジェットヘッド５０が搭載されている。
【００４６】
かかる構成のヘッドユニット９において、ヘッド群５０Ａが備えるインクジェットヘッド５０のうちヘッドＲ１と、ヘッド群５０Ｂが備えるインクジェットヘッド５０のうちヘッドＲ２とは同種の液状材料を吐出するよう構成されている。さらに、ヘッド群５０Ａとヘッド群５０Ｂとがそれぞれ備える他のヘッドＧ１とヘッドＧ２と、ヘッドＢ１とヘッドＢ２とにおいても同様である。すなわち、ヘッド群５０Ａとヘッド群５０Ｂとは、それぞれ、３種の異なる液状材料を吐出可能な構成となっている。
【００４７】
なお、本明細書中において、１つのインクジェットヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ０とし、これをノズル列５２ｃの有効長とする。そして、ノズル列５２ｃは、本実施形態では、３２０個のノズル５２から構成されるものとなる。
【００４８】
ヘッドＲ１とヘッドＲ２とは、主走査方向（Ｙ軸方向）から見て隣り合うノズル列５２ｃが主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ軸方向）に１ノズルピッチを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。したがって、同種の液状材料を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２の有効な描画幅Ｌｄは、描画幅Ｌ０の２倍となっている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様に主走査方向（Ｙ軸方向）に並列して配置されている。
【００４９】
なお、インクジェットヘッド５０に設けられるノズル列５２ｃは、２連に限らず、１連でもよい。また、ヘッドユニット９におけるインクジェットヘッド５０の配置は、これに限定されるものではない。
【００５０】
次に、液滴吐出装置１０の電気的および機械的な構成とその機能について、図５を参照して説明する。
【００５１】
図５に示すように、液滴吐出装置１０は、ヘッド移動機構３０、ワーク移動機構２０、インクジェットヘッド５０、メンテナンス機構８０等を駆動する各種ドライバーを有する駆動部６０と、駆動部６０を含め液滴吐出装置１０を統括的に制御する制御部４０とを備えている。
【００５２】
駆動部６０は、ヘッド移動機構３０のリニアモーターを駆動制御するヘッド移動用ドライバー６１と、同じく、ワーク移動機構２０のリニアモーターを駆動制御するワーク移動用ドライバー６２と、インクジェットヘッド５０を駆動制御するヘッド駆動部としてのヘッドドライバー６３と、メンテナンス機構８０を駆動制御するメンテナンス用ドライバー６４とを備えている。
【００５３】
なお、図５には図示を省略したが、液滴吐出装置１０は、ワーク移動機構２０において移動台２２の主走査方向（Ｙ軸方向）における位置を検出可能なリニアスケールおよびスケールヘッド、ならびに当該スケールヘッドに対応したエンコーダーを備えている。ヘッド移動機構３０もまた、移動台３２の副走査方向（Ｘ軸方向）における位置を検出可能なリニアスケールおよびスケールヘッド、ならびに当該スケールヘッドに対応したエンコーダーを備えている。これらのエンコーダーから周期的に発生されるエンコーダーパルスを利用して、移動台２２、移動台３２のそれぞれの移動制御が行われる構成となっている。
【００５４】
メンテナンス機構８０は、インクジェットヘッド５０のノズル５２から試験的に吐出された液滴を受けて重量を計測する例えば電子天秤を含む重量測定機構８１と、インクジェットヘッド５０のノズル面５１ａ（図２参照）を密封して、ノズル５２から液状材料を吸引し、目詰まりが生じているノズル５２等を回復させるキャップ機構８２と、ノズル面５１ａに付着した異物をワイピング部材でふき取って清浄化するワイピング機構８３とを含んで構成されている。メンテナンス用ドライバー６４は、インクジェットヘッド５０をメンテナンスするためのこれらの機構をそれぞれ駆動するドライバーを含んで構成されている。
また、メンテナンス機構８０の構成は、さらに、インクジェットヘッド５０のノズル５２から吐出された液滴をシート等の被吐出物で受けて、液滴の着弾状態を撮像することで、液滴の着弾位置精度や目詰まり等を検出する撮像機構（図示せず）を備えている。上記の重量測定機構８１が、液滴吐出装置における吐出量計測機構の一例であり、さらに、上記の撮像機構を用いて液滴の着弾状態を撮像し、その大きさを計測することで液滴の体積を求める機構もまた、吐出量計測機構の一例として機能する。
【００５５】
制御部４０は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４（プログラムコントローラー）とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。また、Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピューター１１が接続されている。
【００５６】
ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作やインクジェットヘッド５０の機能を回復させるメンテナンス処理等を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。
【００５７】
ＲＡＭ４３は、基板Ｗに対して液滴を吐出してどのように配置するかを示す吐出位置データを記憶する吐出位置データ記憶部、基板Ｗおよびインクジェットヘッド５０が備えるノズル列５２ｃの位置データを記憶する位置データ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。
【００５８】
Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部６０の各種ドライバー等が接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインターフェイス信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピューター１１からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１等からバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部６０に出力する。本実施形態におけるＲＡＭ４３が記憶部の一例であり、ＣＰＵ４１あるいは上位コンピューター１１が、液滴吐出プログラムを実行するコンピューターの一例である。
【００５９】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ４３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部６０等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、インクジェットヘッド５０、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９と基板Ｗとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９と基板Ｗ（ステージ５）との相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各インクジェットヘッド５０の複数のノズル５２から基板Ｗに液状材料を液滴として吐出するようにヘッドドライバー６３に制御信号を送出する。なお、本実施形態では、Ｙ軸方向への基板Ｗの移動に同期して液状材料を吐出することを主走査と呼び、主走査に対してＸ軸方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。液滴吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状材料を基板Ｗに吐出することができる。主走査は、インクジェットヘッド５０に対して一方向への基板Ｗの移動に限らず、基板Ｗを往復させて行うこともできる。
【００６０】
ワーク移動機構２０に設けられたエンコーダーは、主走査に伴ってエンコーダーパルスを生成する。主走査では、所定の移動速度で移動台２２を移動させるので、エンコーダーパルスが周期的に発生する。
【００６１】
例えば、主走査における移動台２２の移動速度を２００ｍｍ／ｓｅｃ、インクジェットヘッド５０を駆動する駆動周波数、換言すれば、連続して液滴を吐出する場合の吐出タイミングを２０ｋＨｚとすると、主走査方向における液滴の吐出分解能は、移動速度を駆動周波数で除することにより得られるので、１０μｍとなる。すなわち、１０μｍのピッチで液滴を基板Ｗ上に配置することが可能である。したがって、移動台２２の移動速度を２０ｍｍ／ｓｅｃとすれば、１μｍのピッチで液滴を基板Ｗ上に配置することが可能である。実際の液滴の吐出タイミングは、周期的に発生するエンコーダーパルスをカウントして生成される吐出制御データに基づいている。このような主走査における基板Ｗ上の液滴の最小配置ピッチを吐出分解能と呼ぶ。
【００６２】
上位コンピューター１１は、制御プログラムや制御データ等の制御情報を液滴吐出装置１０に送出する。また、基板Ｗ上に液状材料を液滴として配置する吐出制御データとしての配置情報を生成する配置情報生成部の機能を有している。配置情報は、基板Ｗにおける液滴の配置位置を示す吐出位置データ、液滴の配置数を示す吐出データ（言い換えれば、ノズル５２毎の吐出数）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦすなわちノズル５２の選択／非選択等の情報を、例えば、ビットマップとして表したものである。上位コンピューター１１は、上記配置情報を生成するだけでなく、ＲＡＭ４３に一旦格納された上記配置情報を修正することも可能である。
【００６３】
基板Ｗにおける液滴の配置位置を示す吐出位置データは、主走査における基板Ｗとノズル５２との相対的な位置を示すものである。前述したように、基板Ｗはステージ５に載置されて、移動台２２により主走査方向（Ｙ軸方向）に移動する。基板Ｗの主走査方向における位置、すなわち、ステージ５の主走査方向の位置は、主走査においてワーク移動機構２０のエンコーダーから周期的に出力されるエンコーダーパルスをカウントすることで制御される。基板Ｗに対するインクジェットヘッド５０すなわちノズル５２の副走査方向（Ｘ軸方向）の位置は、ヘッド移動機構３０のエンコーダーから周期的に出力されるエンコーダーパルスをカウントすることで制御される。これにより、吐出位置データに基づいて、液滴が吐出されるノズル５２と基板Ｗとが相対的に配置され、ノズル５２から液滴が基板Ｗに向けて吐出される。
【００６４】
また、ＲＡＭ４３には、吐出量補正のため、すなわち、描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得するための情報が予め格納されていてもよい。吐出量補正のための情報とは、例えば、代表パターンおよび代表パターンにおける各ノズルの吐出量、基準パターンなどがある。
【００６５】
また、本実施形態でいう描画パターンとは、複数のノズル５２のうち、主走査において液滴が吐出されたノズル５２の配置および液滴の吐出数が設定された配置パターンである。代表パターンとは、代表的に選択されたノズルデューティ、吐出数となるように設定された配置パターンのことであり、基準パターンとは、設定された複数の代表パターンから選択される一つの代表パターンのことである。
【００６６】
次に、本実施形態におけるインクジェットヘッド５０の吐出制御方法、すなわち、ノズル５２毎に設けられた圧電素子の駆動制御方法について、図６および図７を参照して説明する。
【００６７】
図６に示すように、ヘッドドライバー６３は、液滴の吐出量を制御する異なる複数の駆動信号ＣＯＭを、それぞれ独立して生成するＤ／Ａコンバーター７１Ａ〜７１Ｄと、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄ（以下、「ＤＡＣ」と言うこともある。）が生成する駆動信号ＣＯＭのスルーレートデータ（以下、「波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）」と言うこともある。）の格納メモリーを内部に有する波形データ選択回路７２と、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して上位コンピューター１１から送信される吐出制御データを格納するためのデータメモリー７３とを備えている。ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の各ＣＯＭラインに、ＤＡＣ７１Ａ〜ＤＡＣ７１Ｄで生成された駆動信号ＣＯＭがそれぞれ出力される。データメモリー７３は、液滴吐出装置における駆動素子を駆動する駆動条件の情報が記憶される記憶部の一例である。つまり、上記の吐出制御データには駆動条件の情報が含まれる。
【００６８】
各インクジェットヘッド５０には、ノズル５２毎に設けられた駆動素子である圧電素子５９への駆動信号ＣＯＭの印加をＯＮ／ＯＦＦするスイッチング回路７４と、各ＣＯＭラインのいずれか１つを選択して、各圧電素子５９に接続したスイッチング回路７４に駆動信号ＣＯＭを送出する駆動信号選択回路７５とを備えている。
【００６９】
ノズル列５２ｃにおいて、圧電素子５９の一方の電極５９ｂは、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄのグランドライン（ＧＮＤ）に接続されている。また、圧電素子５９の他方の電極５９ａ（以下、「セグメント電極５９ａ」と言うこともある。）は、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５を介して、各ＣＯＭラインに電気的に接続されている。また、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５、波形データ選択回路７２には、クロック信号（ＣＬＫ）や各吐出タイミングに対応したラッチ信号（ＬＡＴ）が入力されるようになっている。
【００７０】
データメモリー７３には、各インクジェットヘッド５０の走査位置に応じて周期的に設定される吐出タイミング毎に、次のデータが格納されている。すなわち、各圧電素子５９への駆動信号ＣＯＭの印加（ＯＮ／ＯＦＦ）を規定する吐出データＤＡと、各圧電素子５９に対応したＣＯＭライン（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）の選択を規定する駆動信号選択データＤＢと、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄに入力される波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）の種別を規定する波形番号データＷＮとが少なくとも格納されている。
【００７１】
本実施形態においては、吐出データＤＡは、１ノズルあたり１ビット（０，１）で、駆動信号選択データＤＢは、１ノズルあたり２ビット（０，１，２，３）で、波形番号データＷＮは、１ＤＡＣあたり７ビット（０〜１２７）で構成されている。なお、データ構造は適宜変更可能である。
【００７２】
上述の構成において、各吐出タイミングに係る駆動制御は次のように行われる。図７に示すように、タイミングｔ１〜ｔ２の期間において、吐出データＤＡ、駆動信号選択データＤＢ、波形番号データＷＮが、それぞれシリアル信号化されて、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５、波形データ選択回路７２に送信される。そして、タイミングｔ２において各データがラッチされることで、吐出（ＯＮ）に係る各圧電素子５９のセグメント電極５９ａが、駆動信号選択データＤＢで指定されたＣＯＭライン（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４のいずれか）に接続された状態となる。例えば、圧電素子５９のセグメント電極５９ａは、駆動信号選択データＤＢが「０」のときには、ＣＯＭ１に接続される。同様に駆動信号選択データＤＢが「１」のときにはＣＯＭ２に、駆動信号選択データＤＢが「２」のときはＣＯＭ３に、駆動信号選択データＤＢが「３」のときはＣＯＭ４に接続される。また、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄの生成に係る駆動信号の波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）がこの選択に連動して設定される。
【００７３】
タイミングｔ３〜ｔ４の期間においては、タイミングｔ２で設定された波形データに従い、それぞれ電位上昇、電位保持、電位降下の一連のステップで駆動信号ＣＯＭが生成される。そして、ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４とそれぞれ接続された状態にある圧電素子５９に、生成された駆動信号ＣＯＭが供給され、ノズル５２に連通するキャビティの体積制御が行われる。
【００７４】
駆動信号ＣＯＭにおける電位上昇、電位保持、電位降下に係る時間成分、電圧成分は、その供給によって吐出される液状材料の吐出量に密接に依存している。とりわけ、圧電方式のインクジェットヘッド５０では、電圧成分の変化に対して吐出量が良好な線形性を示すため、タイミングｔ３〜ｔ４における電圧成分の変化としての電位差を駆動電圧Ｖｈ（Ｖｈ１〜Ｖｈ４）として規定し、これを吐出量制御の条件として利用することができる。すなわち、駆動電圧Ｖｈは、液滴の吐出量を制御する駆動信号の条件の一つである。なお、生成する駆動信号ＣＯＭは、本実施形態で示すような単純な台形波に限られるものではなく、例えば、矩形波等公知の様々な形状の波形を適宜採用することも可能である。また、例えばサーマル方式のような異なる駆動方式の実施形態の場合、駆動信号ＣＯＭのパルス幅すなわち時間成分を吐出量制御の条件として利用することも可能である。
【００７５】
本実施形態では、駆動電圧Ｖｈを段階的に違えた複数種の波形データを用意し、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄにそれぞれ独立した波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）を入力することにより、各ＣＯＭラインにそれぞれ異なる駆動電圧Ｖｈ１〜Ｖｈ４の駆動信号ＣＯＭを出力することが可能である。用意できる波形データの種類は、波形番号データＷＮの情報量（７ビット）に相当する１２８種類であり、例えばこれを０．１Ｖ刻みの駆動電圧Ｖｈに対応させている。言い換えれば、１２．８Ｖの電位差の範囲でＶｈ１〜Ｖｈ４の各駆動波形を０．１Ｖ刻みで設定することができる。
【００７６】
かくして、本実施形態の液滴吐出装置１０は、ノズル５２毎の吐出特性を考慮して、各圧電素子５９すなわちノズル５２と各ＣＯＭラインとの対応関係を規定する駆動信号選択データＤＢと、各ＣＯＭラインと駆動信号ＣＯＭの種類（駆動電圧Ｖｈ）との対応関係を規定する波形番号データＷＮとを適切に設定することにより、液滴の吐出量を調整して液状材料を吐出することが可能である。言い換えれば、駆動信号選択データＤＢと波形番号データＷＮとの関係で定まる各ノズル５２の駆動信号ＣＯＭの設定を適切に行うことが、吐出量を管理するための重要事項であると言える。
【００７７】
上記液滴吐出装置１０において、インクジェットヘッド５０の吐出制御方法は、液滴の吐出毎、言い換えれば吐出タイミング毎に駆動信号選択データＤＢと波形番号データＷＮとを更新可能となっている。また、吐出データＤＡに対応させて駆動信号ＣＯＭを精細に設定することも可能である。したがって、ノズル５２毎に吐出される液滴の吐出量を、吐出タイミング毎に少なくとも４段階に渡って変化させることができるので、一定の駆動信号ＣＯＭを各圧電素子５９に印加する場合に比べて、ノズル列５２ｃの吐出特性に起因する液滴の吐出量のバラツキを、ノズル５２毎、かつ液滴の吐出毎に調整することが可能である。
【００７８】
一方で、ノズル５２毎に吐出される液滴の吐出量を、液滴の吐出毎に少なくとも４段階に渡って変化させることができるとしても、複数のノズル５２のすべてにおいて上記吐出量を一定の値、例えば、基準吐出量あるいは目的吐出量にすることは難しい。それは、例えばノズル５２毎に連通するキャビティの構造が必ずしも同じではないといった機械的な要因や、ノズル５２毎の圧電素子５９の電気特性が必ずしも同じでないといった電気的な要因、さらには、インクジェットヘッド５０が備える複数のノズル５２のうち液滴が吐出されるノズル５２の数や、このノズル５２から吐出される液滴数（ショット数）による要因等がある。
【００７９】
以下に説明する液滴吐出方法は、インクジェットヘッド５０に設けられている複数のノズル５２から、基体としての基板Ｗに設けられている複数の吐出領域に、目的吐出量である所定量の液状材料を複数の液滴として吐出する場合に、上述したノズル５２毎の液滴の吐出量のバラツキが上記所定量におよぼす影響を低減するために液状材料の総吐出量の補正に係るものである。
【００８０】
以下、本発明の液滴吐出方法および電子デバイスの製造方法を説明する前に、本発明の液滴吐出方法および電子デバイスの製造方法が適用されることで形成された電気光学装置として、有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）装置を一例に説明する。
【００８１】
＜有機ＥＬ装置＞
図８は、有機ＥＬ装置の構成を示す概略平面図、図９は、有機ＥＬ素子の構成を示す概略断面図である。
【００８２】
図８に示すように、電気光学装置の一例としての有機ＥＬ装置１００は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の発光（発光色）が得られるサブ画素１１０Ｒ、１１０Ｇ、１１０Ｂが配置された素子基板１０１を有している。各サブ画素１１０Ｒ、１１０Ｇ、１１０Ｂはほぼ矩形状であり、素子基板１０１の表示領域Ｅにおいてマトリックス状に配置されている。以下、サブ画素１１０Ｒ、１１０Ｇ、１１０Ｂを総称して「サブ画素１１０」と言うこともある。同じ発光色のサブ画素１１０が図面上において垂直方向すなわち列方向あるいはサブ画素１１０の長手方向に配列し、異なる発光色のサブ画素１１０が図面上において水平方向すなわち行方向あるいはサブ画素１１０の短手方向にＲ，Ｇ，Ｂの順で配列している。すなわち、異なる発光色のサブ画素１１０Ｒ、１１０Ｇ、１１０Ｂが所謂ストライプ方式で配置されている。なお、サブ画素１１０Ｒ、１１０Ｇ、１１０Ｂの平面形状と配置は、これに限定されるものではない。また、ほぼ矩形状とは、正方形、長方形に加えて、角部が丸くなった四角形、対向する２辺部が円弧状となった四角形を含むものである。
【００８３】
サブ画素１１０Ｒには、赤（Ｒ）の発光が得られる有機ＥＬ素子が設けられている。同じく、サブ画素１１０Ｇには、緑（Ｇ）の発光が得られる有機ＥＬ素子が設けられ、サブ画素１１０Ｂには、青（Ｂ）の発光が得られる有機ＥＬ素子が設けられている。
【００８４】
このような有機ＥＬ装置１００は、異なる発光色が得られる３つのサブ画素１１０Ｒ、１１０Ｇ、１１０Ｂを１つの表示画素単位として、それぞれのサブ画素１１０Ｒ、１１０Ｇ、１１０Ｂは電気的に制御される。これによりフルカラー表示が可能となっている。
【００８５】
各サブ画素１１０Ｒ、１１０Ｇ、１１０Ｂには、図９に示す有機ＥＬ素子１３０が設けられている。
【００８６】
この有機ＥＬ素子１３０は、素子基板１０１上に設けられた反射層１０２と、絶縁膜１０３と、画素電極１０４と、対向電極１０５と、画素電極１０４と対向電極１０５との間に設けられた、発光層１３３を含む機能層１３６とを有している。
【００８７】
画素電極１０４は、陽極として機能するものであり、サブ画素１１０Ｒ、１１０Ｇ、１１０Ｂ毎に設けられ、例えばＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）等の透明導電膜を用いて形成されている。
【００８８】
画素電極１０４の下層に設けられた反射層１０２は、光透過性を有する画素電極１０４を透過した機能層１３６からの発光を再び画素電極１０４側に反射させるものである。反射層１０２は、光反射性を有する例えばアルミニウム（Ａｌ）や銀（Ａｇ）等の金属やその合金等を用いて形成される。したがって、反射層１０２と画素電極１０４との電気的な短絡を防ぐために、反射層１０２を覆う絶縁膜１０３が設けられる。絶縁膜１０３は、例えば酸化シリコンや窒化シリコンあるいは酸窒化シリコン等を用いて形成される。
【００８９】
機能層１３６は、画素電極１０４側から、正孔注入層１３１、正孔輸送層１３２、発光層１３３、電子輸送層１３４、電子注入層１３５が順に積層されたものである。特に、発光層１３３は発光色に応じて構成材料が選ばれるが、ここでは発光色に関わらず総称して発光層１３３と呼ぶ。なお、機能層１３６の構成は、これに限定されるものではなく、これらの層以外に、キャリア（正孔や電子）の移動を制御する中間層等を備えていてもよい。
【００９０】
対向電極１０５は、陰極として機能するものであり、サブ画素１１０Ｒ、１１０Ｇ、１１０Ｂに共通した共通電極として設けられ、例えば、Ａｌ（アルミニウム）やＡｇ（銀）とＭｇ（マグネシウム）の合金等を用いて形成されている。
【００９１】
陽極としての画素電極１０４側から発光層１３３にキャリアとしての正孔が注入され、陰極としての対向電極１０５側から発光層１３３にキャリアとしての電子が注入される。発光層１３３において注入された正孔と電子とにより、励起子（エキシトン）が形成され、励起子（エキシトン）が消滅する際すなわち正孔と電子とが再結合する際にエネルギーの一部が蛍光や燐光となって放出される。
【００９２】
有機ＥＬ装置１００において、光透過性を有するように対向電極１０５を構成すれば、反射層１０２を有していることから、発光層１３３からの発光を対向電極１０５側から取り出すことができる。このような発光方式はトップエミッション方式と呼ばれている。また、反射層１０２を無くし、光反射性を有するように対向電極１０５を構成すれば、発光層１３３からの発光を素子基板１０１側から取り出すボトムエミッション方式とすることもできる。本実施形態では、有機ＥＬ装置１００がトップエミッション方式であるとして、以下の説明を行う。なお、本実施形態の有機ＥＬ装置１００は、サブ画素１１０Ｒ、１１０Ｇ、１１０Ｂ毎の有機ＥＬ素子１３０をそれぞれ独立して駆動することができる画素回路を素子基板１０１に備えたアクティブ駆動型の発光装置である。画素回路は公知の構成を採用することができるので、図９では画素回路の図示を省略している。
【００９３】
本実施形態において有機ＥＬ装置１００は、サブ画素１１０Ｒ、１１０Ｇ、１１０Ｂ毎の有機ＥＬ素子１３０における画素電極１０４の外縁と重なると共に、画素電極１０４上に開口部１０６ａを構成する隔壁１０６を有している。
【００９４】
本実施形態において有機ＥＬ素子１３０の機能層１３６は、機能層１３６を構成する正孔注入層１３１、正孔輸送層１３２、発光層１３３のうち、少なくとも１層が液相プロセスで形成されたものである。液相プロセスとは、それぞれの層を構成する成分と溶媒とを含んだ液状材料を隔壁１０６で囲まれた開口部１０６ａに塗布して乾燥させることにより、それぞれの層を形成する方法である。それぞれの層を所望の膜厚で形成するためには、目的吐出量である所定量の液状材料を精度よく開口部１０６ａに塗布する必要があり、本実施形態では、前述した液滴吐出装置１０を用いてインクジェットヘッド５０のノズル５２から液状材料を開口部１０６ａに吐出している。以下、機能層形成材料と溶媒とを含む液状材料をインクと称する。なお、隔壁１０６で囲まれた開口部１０６ａは、本発明における液滴の吐出領域に相当するものである。
【００９５】
特に、トップエミッション方式の有機ＥＬ装置１００においては、各サブ画素１１０Ｒ、１１０Ｇ、１１０Ｂのそれぞれにおける発光ムラが目立ち易いため、機能層１３６を構成する各層の断面形状がフラット（平坦）であることが好ましい。本実施形態では、各層の断面形状がフラット（平坦）になるように、開口部１０６ａに目的吐出量である所定量で供給されたインクを万遍なく塗布して乾燥させている。インクジェットヘッド５０のノズル５２からインクを液滴として吐出したときの吐出安定性を考慮して、液滴の吐出量、吐出速度、液滴の長さ等のパラメーターが所定の範囲に収まるようにインクの調整が行われている。
【００９６】
＜有機ＥＬ素子の製造方法＞
次に、上述した構成をなす有機ＥＬ素子の製造方法について説明する。
【００９７】
図１０〜図１２は、有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図である。なお、前述したように、有機ＥＬ素子１３０を駆動制御する画素回路や、反射層１０２や画素電極１０４の形成方法は、公知の方法を採用できるので、ここでは、隔壁形成工程以降について説明する。
【００９８】
本実施形態の有機ＥＬ素子１３０の製造方法は、隔壁形成工程と、表面処理工程と、機能層形成工程と、対向電極形成工程とを有している。
【００９９】
まず、隔壁形成工程では、図１０に示すように、反射層１０２および画素電極１０４が形成された素子基板１０１に、例えばインクに対して撥液性を示す撥液材料を含む感光性樹脂材料を１μｍ〜２μｍの厚みで塗布して乾燥することにより感光性樹脂層を形成する。
【０１００】
塗布方法としては、転写法、スリットコート法等が挙げられる。撥液材料としてはフッ素化合物やシロキサン系化合物が挙げられる。感光性樹脂材料としては、ネガ型の多官能アクリル樹脂を挙げることができる。
【０１０１】
形成された感光性樹脂層をサブ画素１１０の形状に対応した露光用マスクを用いて露光・現像して、画素電極１０４の外縁と重なると共に、画素電極１０４上に開口部１０６ａを構成する隔壁１０６を形成する。
【０１０２】
次に、表面処理工程では、隔壁１０６が形成された素子基板１０１に表面処理を施す。
表面処理工程は、次工程で機能層１３６を構成する正孔注入層１３１、正孔輸送層１３２、発光層１３３をインクジェット法すなわち液滴吐出方法で形成するに際して、隔壁１０６で囲まれた開口部１０６ａにおいて、固形分としての機能層形成材料を含むインクがむらなく濡れ広がるように、画素電極１０４の表面の隔壁残渣等の不要物を取り除く目的で行われる。
【０１０３】
表面処理方法として、本実施形態では、エキシマＵＶ（紫外線）処理が挙げられる。
なお、表面処理方法はエキシマＵＶ処理に限定されず、画素電極１０４の表面を清浄化できればよく、例えば、溶媒による洗浄・乾燥工程を行ってもよい。また、画素電極１０４の表面が清浄な状態であれば、表面処理工程を実施しなくてもよい。
【０１０４】
なお、本実施形態では、撥液材料を含む感光性樹脂材料を用いて隔壁１０６を形成したが、これに限定されるものではなく、撥液材料を含まない感光性樹脂材料を用いて隔壁１０６を形成した後に、表面処理工程において、フッ素系の処理ガスを用いた例えばプラズマ処理を施して隔壁１０６の表面に撥液性を与え、その後、酸素を処理ガスとするプラズマ処理を施して画素電極１０４の表面を親液化する表面処理を行ってもよい。
【０１０５】
次に、機能層形成工程では、まず、図１１に示すように、正孔注入層形成材料を含むインク９１を開口部１０６ａに塗布する。
【０１０６】
インク９１の塗布方法は、前述した液滴吐出装置１０を用い、インクジェットヘッド５０のノズル５２からインク９１を液滴Ｄとして開口部１０６ａに吐出する。
【０１０７】
インクジェットヘッド５０から吐出される液滴Ｄの吐出量は、ｐｌ（ピコリットル）単位で制御可能であって、目的吐出量である所定量を液滴Ｄの吐出量で除した数の液滴Ｄが開口部１０６ａに吐出される。吐出されたインク９１は隔壁１０６との界面張力により開口部１０６ａにおいて盛り上がるが、溢れてしまうことはない。言い換えれば、開口部１０６ａから溢れ出ない程度の所定量となるように、インク９１における正孔注入層形成材料の濃度が予め調整されている。
【０１０８】
なお、このようなインク９１の隔壁１０６への供給に、本発明の液滴吐出方法が適用されるが、その詳細な説明は後に行うこととする。
【０１０９】
次に、乾燥工程では、例えばインク９１が塗布された素子基板１０１を減圧下に放置し、インク９１から溶媒を蒸発させて乾燥する減圧乾燥を用いる（減圧乾燥工程）。その後、大気圧下で例えば１８０℃で３０分間加熱する焼成処理を施すことにより固化して、図１２に示すように正孔注入層１３１を形成する。
正孔注入層１３１は、後述する正孔注入層形成材料の選択や機能層１３６における他の層との関係で必ずしもこれに限定されるものではないが、およそ１０ｎｍ〜３０ｎｍの膜厚で形成される。
【０１１０】
次いで、正孔輸送層形成材料を含むインク９２を用いて正孔輸送層１３２を形成する。正孔輸送層１３２の形成方法も、正孔注入層１３１と同様に液滴吐出装置１０を用いて行うことができる。すなわち、所定量のインク９２をインクジェットヘッド５０のノズル５２から液滴Ｄとして開口部１０６ａに吐出され、このインク９２の隔壁１０６への供給に、本発明の液滴吐出方法が適用される。そして、開口部１０６ａに塗布されたインク９２を減圧乾燥する。その後、窒素等の不活性ガス環境下で、例えば１８０℃で３０分間加熱する焼成処理を施すことにより正孔輸送層１３２を形成する。正孔輸送層１３２は、後述する正孔輸送材料の選択や機能層１３６における他の層との関係で必ずしもこれに限定されるものではないが、およそ１０ｎｍ〜２０ｎｍの膜厚で形成される。また、機能層１３６における他の層との関係で正孔注入層１３１と正孔輸送層１３２とを合体して正孔注入輸送層としてもよい。
【０１１１】
次いで、発光層形成材料を含むインク９３を用いて発光層１３３を形成する。発光層１３３の形成方法も、正孔注入層１３１と同様に、液滴吐出装置１０を用いて行う。すなわち、所定量のインク９３をインクジェットヘッド５０のノズル５２から液滴Ｄとして開口部１０６ａに吐出され、このインク９３の隔壁１０６への供給に、本発明の液滴吐出方法が適用される。そして、開口部１０６ａに塗布されたインク９３を減圧乾燥する。その後、窒素等の不活性ガス環境下で、例えば１３０℃で３０分間加熱する焼成処理を施すことにより発光層１３３を形成する。発光層１３３は、後述する発光層形成材料の選択や機能層１３６における他の層との関係で必ずしもこれに限定されるものではないが、およそ６０ｎｍ〜８０ｎｍの膜厚で形成される。
【０１１２】
次いで、発光層１３３を覆って電子輸送層１３４を形成する。電子輸送層１３４を構成する電子輸送材料としては、特に限定されないが、真空蒸着法等の気相プロセスを用いて形成し得るように、例えば、ＢＡＬｑ、１，３，５−トリ（５−（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール）（ＯＸＤ−１）、ＢＣＰ（Bathocuproine）、２−（４−ビフェニル）−５−（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）−１，２，４−オキサジアゾール（ＰＢＤ）、３−（４−ビフェニル）−５−（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）−１，２，４−トリアゾール（ＴＡＺ）、４，４’−ｂｉｓ（１，１−ｂｉｓジフェニルエテニル）ビフェニル（ＤＰＶＢｉ）、２，５−ｂｉｓ（１−ナフチル）−１，３，４−オキサジアゾール（ＢＮＤ）、４，４’−ｂｉｓ（１，１−ｂｉｓ（４−メチルフェニル）エテニル）ビフェニル（ＤＴＶＢｉ）、２，５−ｂｉｓ（４−ビフェニリル）−１，３，４−オキサジアゾール（ＢＢＤ）等を挙げることができる。
【０１１３】
また、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム（Ａｌｑ３）、オキサジアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、アントラキノジメタン誘導体、ベンゾキノン誘導体、ナフトキノン誘導体、アントラキノン誘導体、テトラシアノアンスラキノジメタン誘導体、フルオレン誘導体、ジフェニルジシアノエチレン誘導体、ジフェノキノン誘導体、ヒドロキシキノリン誘導体等を挙げることができる。これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１１４】
電子輸送層１３４は、上記電子輸送材料の選択や機能層１３６における他の層との関係で必ずしもこれに限定されるものではないが、およそ２０ｎｍ〜４０ｎｍの膜厚で形成される。これにより、陰極としての対向電極１０５から注入された電子を好適に発光層１３３に輸送することができる。なお、機能層１３６における他の層との関係で電子輸送層１３４を省略することもできる。
【０１１５】
次いで、電子輸送層１３４を覆って電子注入層１３５を形成する。電子注入層１３５を構成する電子注入材料としては、特に限定されないが、真空蒸着法等の気相プロセスを用いて形成し得るように、例えば、アルカリ金属化合物やアルカリ土類金属化合物を挙げることができる。
【０１１６】
アルカリ金属化合物としては、例えば、ＬｉＦ、Ｌｉ２ＣＯ３、ＬｉＣｌ、ＮａＦ、Ｎａ２ＣＯ３、ＮａＣｌ、ＣｓＦ、Ｃｓ２ＣＯ３、ＣｓＣｌ等のアルカリ金属塩が挙げられる。また、アルカリ土類金属化合物としては、例えば、ＣａＦ２、ＣａＣＯ３、ＳｒＦ２、ＳｒＣＯ３、ＢａＦ２、ＢａＣＯ３等のアルカリ土類金属塩が挙げられる。これらのアルカリ金属化合物やアルカリ土類金属化合物うちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１１７】
電子注入層１３５の膜厚は、特に限定されないが、０．０１ｎｍ以上、１０ｎｍ以下程度であるのが好ましく、０．１ｎｍ以上、５ｎｍ以下程度であるのがより好ましい。これによって、陰極としての対向電極１０５から電子輸送層１３４に電子を効率よく注入できる。
【０１１８】
次に、対向電極形成工程では、電子注入層１３５を覆って陰極としての対向電極１０５を形成する。対向電極１０５の構成材料としては、仕事関数の小さい材料を用いるのが好ましく、かつ真空蒸着法等の気相プロセスを用いて形成し得るように、例えば、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｅｒ、Ｅｕ、Ｓｃ、Ｙ、Ｙｂ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｃｓ、Ｒｂ、Ａｕまたはこれらを含む合金等が用いられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて、例えば、複数層の積層体等を形成することで、対向電極１０５を形成するようにしてもよい。
【０１１９】
特に、本実施形態のように、有機ＥＬ装置１００をトップエミッション方式とする場合、対向電極１０５の構成材料としては、Ｍｇ、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ等の金属またはＭｇＡｇ、ＭｇＡｌ、ＭｇＡｕ、ＡｌＡｇ等の合金を用いるのが好ましい。このような金属または合金を用いることにより、対向電極１０５の光透過性を維持しつつ、対向電極１０５の電子注入効率および安定性の向上を図ることができる。
【０１２０】
トップエミッション方式における対向電極１０５の膜厚は、特に限定されないが、１ｎｍ以上、５０ｎｍ以下程度であるのが好ましく、５ｎｍ以上、２０ｎｍ以下程度であるのがより好ましい。
【０１２１】
なお、有機ＥＬ装置１００をボトムエミッション方式とする場合、対向電極１０５には光透過性が求められない。したがって、例えば、Ａｌ、Ａｇ、ＡｌＡｇ、ＡｌＮｄ等の金属または合金が好ましく用いられる。このような金属または合金を対向電極１０５の構成材料として用いることにより、対向電極１０５の電子注入効率および安定性の向上を図ることができる。
【０１２２】
ボトムエミッション方式における対向電極１０５の膜厚は、特に限定されないが、５０ｎｍ以上、１０００ｎｍ以下程度であるのが好ましく、１００ｎｍ以上、５００ｎｍ以下程度であるのがより好ましい。
【０１２３】
図９に示すように、上記製造方法により形成された有機ＥＬ素子１３０は、例えば、外部から水分や酸素等が浸入すると、機能層１３６における発光機能が阻害され、部分的に発光輝度が低下したり、発光しなくなったりする暗点（ダークスポット）が発生する。また、発光寿命が短くなるおそれがある。そこで、有機ＥＬ素子１３０を水分や酸素等の浸入から保護するために、封止層（図示せず）によって覆うことが好ましい。封止層としては、例えば、水分や酸素等の透過性が低い、酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）等の無機絶縁材料を用いることができる。さらには、例えば透明なガラス等の封止基板を、有機ＥＬ素子１３０が形成された素子基板１０１に接着剤を介して貼り付けることにより、有機ＥＬ素子１３０を封着してもよい。
【０１２４】
上記有機ＥＬ素子１３０の製造方法では、機能層１３６のうち、正孔注入層１３１、正孔輸送層１３２、発光層１３３を、インクジェット法を用いた液相プロセスで形成することとしたが、これらの層のうち１つをインクジェット法で形成すればよく、他の層は真空蒸着等の気相プロセスを用いて形成してもよい。
【０１２５】
以上のような、電子デバイスとしての有機ＥＬ素子の製造方法における、正孔注入層、正孔輸送層および発光層のうちの少なくとも１層の形成に、本発明の液滴吐出方法が適用され、開口部に対して優れた精度で液滴を供給することができ、均一な膜厚を有する層を形成することができる。そのため、得られる有機ＥＬ素子を信頼性に優れたものとすることができる。
【０１２６】
以下、この本発明の液滴吐出方法について、上記有機ＥＬ素子１３０の製造方法における正孔注入層１３１の形成方法を例に挙げて具体的に説明する。
【０１２７】
＜液滴吐出方法＞
次に、本実施形態の液滴吐出方法について説明する。
図１３は、ノズルから吐出された液滴の開口部における配置の例を示す概略平面図、図１４は、液滴吐出方法（液状材料の総吐出量の第１の補正方法）を示すフローチャート、図１５は、複数回の吐出のうち液滴の吐出量を補正する吐出の例を示す概略平面図、図１６は、複数回の吐出のうち液滴の吐出量を補正する吐出の他の例を示す概略平面図、図１７は、ノズルから吐出された液滴が供給される開口部の他の配置の例を示す概略平面図、図１８は、ノズルから吐出された液滴の開口部における他の配置の例を示す概略平面図、図１９は、液滴吐出方法（液状材料の総吐出量の第２の補正方法）を示すフローチャート、図２０は、代表パターンおよび描画パターンにおけるノズルデューティと吐出数との関係を示すグラフ、図２１は、代表パターンにおける総吐出量から描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得する方法を説明するための平面図、図２２は、複数回の吐出のうち液滴の吐出量を補正する吐出の例を示す概略平面図である。
【０１２８】
まず、液滴吐出方法の説明に先立って、図１３を参照して、開口部に対して吐出されるノズルの配列、およびノズルから吐出された液滴の開口部における配置の例について説明する。
【０１２９】
前述したように、有機ＥＬ素子１３０の機能層１３６のうち、例えば、正孔注入層１３１をインクジェット法で形成する場合、吐出対象物としての素子基板１０１が作り込まれた基板Ｗは、液滴吐出装置１０のステージ５上に載置される。このとき、インクジェットヘッド５０のノズル列５２ｃは、図１３に示すように、主走査方向（Ｙ軸方向）と直交する副走査方向（Ｘ軸方向）に沿って配置されている。
【０１３０】
これに対して、複数の素子基板１０１が作り込まれている場合のように基板Ｗの構成によっては、平面視でほぼ矩形状の開口部１０６ａは、長手方向が副走査方向（Ｘ軸方向）に沿うように配置される場合［Ａ］と、平面視でほぼ矩形状の開口部１０６ａは、長手方向が主走査方向（Ｙ軸方向）に沿うように配置される場合［Ｂ］とがある。なお、基板Ｗには、［Ａ］と［Ｂ］とのうち一方が含まれていてもよいし、［Ａ］と［Ｂ］との双方が含まれていてもよい。
【０１３１】
これらのうち前記［Ｂ］とする場合、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に対応した有機ＥＬ素子１３０が形成される液滴の吐出領域としての開口部１０６ａ毎の長手方向が主走査方向（Ｙ軸方向）に沿うように、ステージ５上に基板Ｗが載置され位置決めされる。このようなノズル列５２ｃに対する開口部１０６ａの配置は、縦描画と呼ばれている。
【０１３２】
なお、縦描画におけるノズル列５２ｃの配置は、Ｘ軸方向に沿うことに限定されず、Ｘ軸方向に対して角度を有してノズル列５２ｃを配置してもよい。これにより、Ｙ軸方向から見たときのノズルピッチを狭くできる。言い換えれば、Ｘ軸方向における開口部１０６ａの配置ピッチに応じて、ノズル列５２ｃの配置の仕方を変えることで実質的なノズルピッチを調整可能である。
【０１３３】
このような縦描画［Ｂ］において、インクジェットヘッド５０と基板ＷとをＹ軸方向に相対的に移動させる主走査において、開口部１０６ａ毎に掛かる１つのノズル５２から例えば正孔注入層形成材料を含む液状材料であるインク９１を、複数の液滴として吐出することで開口部１０６ａ毎に配置する。
【０１３４】
本実施形態では、図１３に示すように、開口部１０６ａ毎に８滴の液滴をＹ軸方向に間隔をおいて吐出する場合を基準パターンの一例として示す。すなわち、基準パターンでは、１列のノズル列５２ｃが有する１６０個のノズル５２のうち１６個のノズル５２から８回（８ｓｈｏｔ）の吐出が行われ、各吐出毎に１滴の液滴が吐出されて開口部１０６ａ毎に、合計８滴の液滴が着弾する。
【０１３５】
なお、図１３は、開口部１０６ａにおける複数の液滴の配置を示すものであって、実際の液滴の着弾状態を示すものではない。実際には、開口部１０６ａに着弾した複数の液滴は、開口部１０６ａに濡れ広がって一体化し、図１１に示したように開口部１０６ａから盛り上がる。この場合、開口部１０６ａ毎に吐出されたインク９１の総吐出量は、８滴の液滴の吐出量の総和である。
【０１３６】
ここで、所定の膜厚の正孔注入層１３１を形成するには、ノズル５２から吐出されるインク９１の総吐出量が設計上の目的吐出量である所定量とほぼ同等であることが求められる。すなわち、１つのノズル５２から吐出される８滴の液滴の吐出量の総和であるインク９１の総吐出量は、所定の膜厚の正孔注入層を形成するために、設計上の目的吐出量（目標総吐出量）に対応して優れた精度で近似されていることが求められる。
【０１３７】
しかしながら、前述のとおり、例えばノズル５２毎に連通するキャビティの構造が必ずしも同じではないといった機械的な要因や、ノズル５２毎の圧電素子５９の電気特性が必ずしも同じでないといった電気的な要因により、１つのノズル５２から吐出される液滴の吐出量にバラツキが生じる。具体的には、例えば、図１３に示すように、ｎ１１に示すノズル５２から吐出される液滴の吐出量は、ｎ１に示すノズル５２から吐出される液滴の吐出量よりも小さくなっており、また、ｎ２１に示すノズル５２から吐出される液滴の吐出量は、ｎ１に示すノズル５２から吐出される液滴の吐出量よりも大きくなっている。
【０１３８】
そのため、本実施形態のように、開口部１０６ａの長手方向が主走査方向（Ｙ軸方向）に沿うように配置され、１つの開口部１０６ａに対応して、１つのノズル５２から液滴を供給する縦描画の場合、８滴の液滴の吐出量の総和であるインク９１の総吐出量は、開口部１０６ａ毎に、設計上の目的吐出量に対してバラツキが生じると言う問題がある。
【０１３９】
かかる問題点を解決することを目的に、本実施形態の液滴吐出方法（液状材料の総吐出量の第１の補正方法）は、図１４に示すように、液滴の吐出工程（ステップＳ１ａ）と、総吐出量計測工程（ステップＳ２ａ）と、目的吐出量である所定量と総吐出量との差を求める工程（ステップＳ３ａ）と、駆動条件の変更工程（ステップＳ４ａ）と、液滴の吐出工程（ステップＳ５ａ）と、総吐出量の再計測工程（ステップＳ６ａ）と、目的吐出量である所定量と総吐出量との差が重量分解能よりも大きいか否か判定する工程（ステップＳ７ａ）とを含んで構成されている。
【０１４０】
以下、図１３に示した開口部１０６ａにおける液滴の配置を前提として、本実施形態の液滴吐出方法（液状材料の総吐出量の第１の補正方法）を具体的に説明する。
【０１４１】
［１ａ］まず、ステップＳ１ａの液滴の吐出工程において、本実施形態では、予め設定された駆動信号に基づく駆動条件で８回の吐出を行いノズル５２から８滴の液滴を吐出する。すなわち、基準パターンにおける液滴の吐出を実施する。
【０１４２】
本実施形態における予め設定された駆動信号に基づく駆動条件とは、図７に示した駆動信号ＣＯＭにおいて、８回の吐出における駆動信号ＣＯＭの駆動電圧Ｖｈを一定の値とするものである。例えば、駆動信号ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４のうち駆動電圧Ｖｈの値がＶｈ１とＶｈ４との間のＶｈ３である駆動信号ＣＯＭ３を選択して８回の吐出を行う。
【０１４３】
［２ａ］次に、ステップＳ２ａの総吐出量計測工程では、吐出された８滴の液滴の総吐出量（重量；ＶＡ）を計測する。
【０１４４】
より具体的には、前述した重量測定機構８１により、８滴の液滴の総吐出量（重量）を測定する。つまり、８滴の液滴を開口部１０６ａに吐出する必要はなく、開口部１０６ａに吐出したものとして、吐出された液滴を重量測定機構８１で受けて測定する。
【０１４５】
［３ａ］次に、ステップＳ３ａでは、開口部１０６ａに付与されるインク９１（液状材料）の目的吐出量である所定量（ターゲット重量；ＶＴａ）と測定された総吐出量（重量；ＶＡ）との差（ΔＶ１）を算出して求める。
【０１４６】
［４ａ］次に、ステップＳ４ａの駆動条件の変更工程では、ステップＳ３ａで求められた所定量と総吐出量との差（ΔＶ１）を補正すべく、８回の吐出のうちの少なくとも１回の吐出におけるノズル５２（圧電素子５９）の駆動条件を変更する。
【０１４７】
駆動条件の変更工程では、８回の吐出のうち、最終回（８回目）の吐出から１回目の吐出に向かう順番で少なくとも１回の吐出における駆動信号を調整することで駆動条件を変更する。
【０１４８】
より具体的には、図１５に示した例では、最終回である８回目の吐出（８ｓｈｏｔ）と、７回目の吐出（７ｓｈｏｔ）とにおいて駆動条件を変更している。例えば、８ｓｈｏｔでは、予め設定された駆動信号ＣＯＭ３よりもＶｈの値を大きくして液滴の吐出量が増えるように駆動信号を調整し、７ｓｈｏｔでは、予め設定された駆動信号ＣＯＭ３よりもＶｈの値を小さくして液滴の吐出量が減るように駆動信号を調整する。この駆動信号の調整に基づいて、予め設定された駆動条件に対する条件の変更により、８回目の吐出および７回目の吐出におけるそれぞれの液滴の吐出量が補正され、その結果、８回の吐出における液滴の総吐出量が目的吐出量である所定量に近似される。
【０１４９】
また、その他、図１６に示すように、駆動条件の変更工程で、８回の吐出のうち、１回目の吐出（１ｓｈｏｔ）で予め設定された駆動信号ＣＯＭ３よりも駆動電圧Ｖｈの値を大きくして液滴の吐出量が増えるように駆動条件を変更すると、変更された駆動信号ＣＯＭによるノズル５２内の液状材料のメニスカスの残留振動が、駆動電圧Ｖｈを変更する前のメニスカスの残留振動に比べて変化する。したがって、１回目の吐出（１ｓｈｏｔ）におけるメニスカスの残留振動が２回目の吐出（２ｓｈｏｔ）に影響を及ぼして、予め設定された駆動信号ＣＯＭ３でノズル５２（圧電素子５９）を単独に駆動した場合の液滴の吐出量と比べて吐出量がばらつくおそれがある。それゆえに、本実施形態の液滴吐出方法では、図１５の例に示すように、最終回（８回目）の吐出から１回目の吐出に向かう順番で駆動条件を変更することが好ましい。これにより、駆動信号ＣＯＭにおける駆動電圧Ｖｈの変更に係るメニスカスの残留振動の影響を抑制することができる。
【０１５０】
とりわけ、駆動電圧Ｖｈを大きくする変更は、メニスカスの残留振動が大きくなり易い。そのため、最終回の駆動条件において適用することが好ましい。すなわち、駆動電圧Ｖｈを大きくする変更は、複数回の吐出のうち最終回の吐出における駆動条件の変更に係る液滴の吐出量の補正値が、他の吐出における駆動条件の変更に係る液滴の吐出量の補正値よりも大きくなるように、最終回で行うことが好ましい。
【０１５１】
また、本実施形態の液滴吐出方法では、１回の吐出における駆動条件の変更で補正可能な液滴の吐出量における最大補正量を設定し、目的吐出量である所定量と総吐出量との差が、最大補正量を超える場合、複数回（本実施形態では８回）のうち２回以上の吐出において駆動条件を変更する。目的吐出量である所定量と総吐出量との差を１回の吐出において補正しようとすると、駆動条件の変更により過剰な負荷が圧電素子５９（駆動素子）に掛かるおそれがある。過剰な負荷とは圧電素子５９に加わる駆動電圧Ｖｈの値が上限値を超えたり、下限値を下回ったりして、圧電素子５９が正常に動作しない状態になることを言う。そのため、図１５の示した例では、８ｓｈｏｔと、７ｓｈｏｔとに分けて駆動条件の変更を行っている。
【０１５２】
なお、図１５に示した例では、８ｓｈｏｔでは、液滴の吐出量が増えるように駆動条件を変更し、７ｓｈｏｔでは、液滴の吐出量が減るように駆動条件を変更しているが、これに限定されず、例えば、開口部１０６ａに付与すべきインク９１の目的吐出量である所定量（ＶＴａ）よりも測定された総吐出量（重量；ＶＡ）が大きい場合（ＶＴａ＜ＶＡ）には、８ｓｈｏｔおよび７ｓｈｏｔにおいて、ともに、液滴の吐出量がΔＶ１／２減るように近似させて駆動条件を変更させてもよい。さらに、開口部１０６ａに付与すべきインク９１の所定量（ＶＴａ）よりも測定された総吐出量（重量；ＶＡ）が小さい場合（ＶＴａ＞ＶＡ）には、８ｓｈｏｔおよび７ｓｈｏｔにおいて、ともに、液滴の吐出量がΔＶ１／２増えるように近似させて駆動条件を変更させてもよい。
【０１５３】
［５ａ］次に、ステップＳ５ａの液滴の吐出工程では、ステップＳ４ａにおける駆動条件の変更を反映させて、８回の吐出で８滴の液滴を再び吐出させる。
【０１５４】
［６ａ］次に、ステップＳ６ａの総吐出量の再計測工程では、ステップＳ２ａと同様に、重量測定機構８１により吐出された８滴の液滴を受けて、総吐出量を再計測する。
【０１５５】
［７ａ］次に、ステップＳ７ａでは、目的吐出量である所定量と再計測された総吐出量との差を算出して、その差が重量分解能よりも大きいか否か判定する。重量分解能とは、駆動条件の変更により変化させることが可能な液滴の吐出量（重量）の最小可変量を指す。
【０１５６】
そして、所定量と再計測された総吐出量との差が重量分解能よりも大きければ（ＹＥＳ）、再びステップＳ４ａ〜ステップＳ７ａを繰り返す。
【０１５７】
これに反して、所定量と再計測された総吐出量との差が重量分解能より小さければ（ＮＯ）、ノズル５２から吐出される液滴の吐出量補正のステップを終了する。
【０１５８】
つまり、所定量と総吐出量との差が重量分解能よりも小さくなるまでステップＳ４ａ〜ステップＳ７ａを繰り返す。なお、重量測定機構８１における測定分解能は、上記重量分解能と同じか小さいことが求められる。
【０１５９】
上記の通り、液状材料の総吐出量の第１の補正方法では、予め設定された駆動条件でノズル５２を駆動して吐出された液滴の総吐出量と所定量との差を補正すべく、複数回のうち少なくとも１回の吐出において駆動条件を変更する。そして、変更した駆動条件で再び液滴を吐出して液滴の総吐出量と所定量との差を求め、この差が液滴の吐出量の補正における重量分解能より小さくなるまで、複数回の吐出のうち残りの吐出において液滴の吐出量の補正、すなわち駆動条件の変更を行う。かかる方法によれば、１回の吐出毎に液滴の吐出量を調べて補正する（１回の吐出毎にノズル５２の駆動条件を変更する）場合に比べて、液滴の総吐出量が判明していればよいので、液滴の吐出量の補正を簡便に行える。また、１回の吐出毎に液滴の吐出量を調べる場合は、１回毎の計測精度における誤差を含み、複数回の吐出では誤差が積算されて大きくなる。これに対して、第１の補正方法では、液滴の総吐出量に基づいて補正が行われるので、高い補正精度を実現できる。すなわち、最終的な駆動条件の変更後に、液状材料を液滴として吐出すれば、所定量の液状材料を安定的かつ量的に精度よく吐出領域としての開口部１０６ａに吐出することができるようになる。
【０１６０】
ところが、測定された総吐出量（ＶＡ）が、開口部１０６ａに付与すべきインク９１の目的吐出量である所定量（ＶＴａ）に対してズレとしての差が生じるのは、上述した、機械的な要因や、電気的な要因の他に、さらに、基板Ｗが備える開口部１０６ａの配置に応じてインクジェットヘッド５０により描画される描画パターン（実描画パターン）による要因、すなわち、インクジェットヘッド５０が備える複数のノズル５２のうち液滴が吐出されるノズル５２の数や、このノズル５２から吐出される液滴数（ショット数）による要因がある。そのため、上述したステップＳ１ａ〜ステップＳ７ａを実施したとしても、前記差を小さくするには、さらに以下に示すような問題が生じる。
【０１６１】
ここで、例えば、上述した基準パターンが、図１３に示すような開口部１０６ａの構成となっている基板Ｗでは、液滴を開口部１０６ａに供給するために、１６０個のノズル５２のうち、１０個のうち１つの割合で、１６個のノズル５２から液滴が吐出されている。この場合、本明細書では、（１つのノズル列５２ｃにおいて液滴を吐出するノズル５２の数）を（１つのノズル列５２ｃが備えるノズル５２の数）で除した数、すなわち［（１つのノズル列５２ｃにおいて液滴を吐出するノズル５２の数）／（１つのノズル列５２ｃが備えるノズル５２の数）］をノズルデューティ（Ｄｕｔｙ）と言い、図１３に示す基板Ｗが備える開口部１０６ａの構成では、ノズルデューティ（Ｄｕｔｙ）が１／１０（＝１６／１６０）となっている。
【０１６２】
これに対して、例えば、図１７に示すような開口部１０６ａの構成となっている基板Ｗでは、液滴を開口部１０６ａに供給するために、１６０個のノズル５２のうち、４０個のうち１つの割合で、４個のノズル５２から液滴が吐出される。この場合、図１７に示す基板Ｗが備える開口部１０６ａの構成では、ノズルデューティ（Ｄｕｔｙ）が１／４０（＝４／１６０）となっている。
【０１６３】
このように、ノズルデューティが異なることに起因して、例えば、ｎ１に示すノズル５２対する、他のノズル５２からの液滴の吐出の有無に起因する影響度に変化が生じるため、ｎ１に示すノズル５２から吐出される液滴の重量、ひいてはインク９１の総吐出量に差が生じる。
【０１６４】
また、図１３では、開口部１０６ａに付与すべきインク９１の目的吐出量である所定量を供給するために、開口部１０６ａに対して、ノズル５２から８滴の液滴を吐出している。
【０１６５】
これに対して、図１８では、開口部１０６ａに付与すべきインク９１の目的吐出量である所定量を供給するために、開口部１０６ａに対して、ノズル５２から１２滴の液滴を吐出している。
【０１６６】
このように、ノズル５２から吐出される液滴の吐出数（ショット数）が異なることにより、目的とする１つの液滴の重量すなわち液滴の設定値が異なることとなり、これに起因して、１つの液滴を吐出する際の誤差に変化が生じるため、ｎ１に示すノズル５２から吐出される液滴の重量、ひいてはインク９１の総吐出量に差が生じる。
【０１６７】
以上のように、１つのノズル列５２ｃにおいて液滴を吐出するノズル５２の数すなわちノズルデューティ、および、開口部１０６ａに対してノズル５２から吐出される液滴の吐出数（ショット数）のうちの少なくとも１つが異なることによっても、測定された総吐出量（ＶＡ）が、開口部１０６ａに付与すべきインク９１の目的吐出量である所定量（ＶＴａ）に対してズレとしての差が生じると言う問題がある。
【０１６８】
そのため、前記差を小さくするには、ノズルデューティおよび吐出数の違いに応じて、上述したステップＳ１ａ〜ステップＳ７ａを実施する必要が生じ、この場合、取得するデータ数が膨大となるため、時間と手間を必要とする。
【０１６９】
かかる問題点を解決することを目的に、本実施形態の液滴吐出方法（液状材料の総吐出量の第２の補正方法）は、図１９に示すように、描画パターンに応じたノズルデューティおよび吐出数の算出工程（ステップＳ１ｂ）と、代表パターンにおける総吐出量に基づいて、描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得する予測工程（ステップＳ２ｂ）と、所定量と総吐出量との差を求める工程（ステップＳ３ｂ）と、駆動条件の変更工程（ステップＳ４ｂ）と、液滴の吐出工程（ステップＳ５ｂ）と、総吐出量の再計測工程（ステップＳ６ｂ）と、目的吐出量である所定量と総吐出量との差が重量分解能よりも大きいか否か判定する工程（ステップＳ７ｂ）とを含んで構成されている。
【０１７０】
このような液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法）によれば、代表的に選択されたノズルデューティおよび吐出数を有する代表パターンにおける総吐出量に基づいて、所望ノズルデューティおよび吐出数を有する描画パターンの総吐出量の予測値を取得し得ることから、取得するデータ数が少なくなり、時間と手間の簡略化が図られる。
【０１７１】
以下、図２０に示した描画パターンを描画する場合を一例として、本実施形態の液滴吐出方法を具体的に説明する。
【０１７２】
［１ｂ］まず、ステップＳ１ｂの描画パターンに応じたノズルデューティおよび吐出数の算出工程では、基板Ｗが備える開口部１０６ａの構成に対応して、描画パターンに応じたノズルデューティＮＶｒおよび吐出数ＳＶｒが算出される。
【０１７３】
インクジェットヘッド５０により実際に描画する際の描画パターンに応じたノズルデューティＮＶｒおよび吐出数ＳＶｒは、ＲＡＭ４３が備える記憶部に記憶された、ドロウリストおよびダイサーリスト等を用いて算出することができる。
【０１７４】
［２ｂ］次に、ステップＳ２ｂの総吐出量予測工程では、実測値として総吐出量が測定された代表パターンに基づいて、描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得する。
【０１７５】
ここで、本実施形態では、上述した基準パターンを含む４つの代表パターンについて予め実測値としての総吐出量を予め測定しておく。すなわち、図２０に示すノズルデューティ１／４０、吐出数８の代表パターン（格子点Ｄ１）、ノズルデューティ１／４０、吐出数１２の代表パターン（格子点Ｄ２）、ノズルデューティ１／１０、吐出数８の基準パターンとしての代表パターン（格子点Ｄ３）およびノズルデューティ１／１０、吐出数１２の代表パターン（格子点Ｄ４）における総吐出量Ｖ１〜Ｖ４を、実測値としてそれぞれ予め測定しておく。
【０１７６】
そして、代表パターンにおける総吐出量に重み付け計算を行うことにより、描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得することが可能である。すなわち、上記のように、代表パターンとして、ノズルデューティおよび吐出数が異なる４つの代表パターンをピックアップし、ノズルデューティと吐出数とを空間軸とした２次元平面を考えて、これら代表パターンにおける総吐出量Ｖ１〜Ｖ４に重み付け計算を行う。これにより、描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得することができる。
【０１７７】
より具体的には、図２１に示すように、ノズルデューティと吐出数とを空間軸とした２次元平面において、各代表パターンにおけるノズルデューティと吐出数とで規定される位置を格子点Ｄ１〜Ｄ４、描画パターンにおけるノズルデューティと吐出数とで規定される位置を格子点Ｄｒとすると、各格子点Ｄ１〜Ｄ４で囲まれる領域の面積をＳとし、格子点Ｄｒを基準とする各格子点Ｄ１〜Ｄ４の対角反対側の面積をＳ１〜Ｓ４とし、各格子点Ｄ１〜Ｄ４の寄与率をＡ１〜Ａ４としたとき、下記一般式（１）〜（３）を満足する。そのため、下記一般式（３）を用いることにより、描画パターンにおける総吐出量Ｖｒの予測値を取得することができる。
【０１７８】
【数１】
2017196562.tif 000003
【０１７９】
【数２】
2017196562.tif 000004
【０１８０】
【数３】
2017196562.tif 000005
【０１８１】
このように、本実施形態では、実測値として総吐出量が測定された代表パターンに基づいて、描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得する。すなわち、予め総吐出量が実測値として求められた代表パターンを用いて、凡ゆるパターンを有する描画パターンにおける総吐出量の予測値が取得される。そのため、取得する必要のある実測値すなわちデータ数が少なくなることから、時間と手間の簡略化を図ることができる。
【０１８２】
さらに、本実施形態では、代表パターンにおけるノズルデューティおよび吐出数の双方から、描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得している。代表パターンにおけるノズルデューティおよび吐出数の双方から、描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得することで、この取得される総吐出量の予測値を優れた精度を備えるものとし得る。
【０１８３】
また、取得する総吐出量の予測値の精度が比較的低くても許容される場合には、代表パターンにおけるノズルデューティおよび吐出数のうちの一方から、描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得することも可能である。
【０１８４】
例えば、代表パターンにおけるノズルデューティから、描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得する場合、ノズルデューティが異なる２つの代表パターンについて予め実測値としての総吐出量を予め測定しておく。すなわち、例えば、図２０に示すノズルデューティ１／４０、吐出数８の代表パターンおよびノズルデューティ１／１０、吐出数８の代表パターンにおける総吐出量Ｖ１、Ｖ３を、実測値としてそれぞれ予め測定しておく。
【０１８５】
そして、ノズルデューティを軸とした１次元直線を考えて、描画パターンにおけるノズルデューティの直線上における位置を考慮して、これら代表パターンにおける総吐出量Ｖ１、Ｖ３に重み付け計算を行う。これにより、描画パターンにおける総吐出量の予測値を確実に取得することができる。
【０１８６】
さらに、代表パターンにおける吐出数から、描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得する場合、吐出数が異なる２つの代表パターンについて予め実測値としての総吐出量を予め測定しておく。すなわち、例えば、図２０に示すノズルデューティ１／４０、吐出数８の代表パターンおよびノズルデューティ１／４０、吐出数１２の代表パターンにおける総吐出量Ｖ１、Ｖ２を、実測値としてそれぞれ予め測定しておく。
【０１８７】
そして、吐出数を軸とした１次元直線を考えて、描画パターンにおける吐出数の直線上における位置を考慮して、これら代表パターンにおける総吐出量Ｖ１、Ｖ２に重み付け計算を行う。これにより、描画パターンにおける総吐出量の予測値を確実に取得することができる。
【０１８８】
なお、本実施形態では、各代表パターンは、ノズル列における吐出ノズル／非吐出ノズルの配列に規則性が有るものとしたが、本発明はこれに限定されない。すなわち、各代表パターンは、ランダムな配列としてもよいし、描画パターンと同じか、近い配列としてもよい。
【０１８９】
上述のような、ステップＳ１ｂおよびステップＳ２ｂにより、本発明の液滴吐出方法における、複数のノズル５２のうち１つのノズル５２から、複数の吐出領域としての開口部１０６ａのうちの１つの開口部１０６ａに対して、所定の駆動信号に基づいて複数回の液滴の吐出を行う場合の総吐出量を取得する工程が構成され、この総吐出量を取得する工程において、所定の描画パターンにおける総吐出量Ｖｒの予測値の取得が行われる。
【０１９０】
［３ｂ］次に、ステップＳ３ｂでは、開口部１０６ａに付与されるインク９１（液状材料）の目的吐出量である所定量（重量；ＶＴａ）と、取得された総吐出量（重量；Ｖｒ）の予測値との差（ΔＶ２）を算出して求める。
【０１９１】
［４ｂ］次に、ステップＳ４ｂの駆動条件の変更工程では、ステップＳ３ｂで求められた目的吐出量である所定量と総吐出量の予測値との差（ΔＶ２）を補正すべく、８回の吐出のうちの少なくとも１回の吐出におけるノズル５２（圧電素子５９）の駆動条件を変更する。
【０１９２】
この駆動条件の変更は、前述の液状材料の総吐出量の第１の補正方法で説明した工程［４ａ］と同様の手法を用いて実施することができる。
【０１９３】
なお、図２２に示した例のように、描画パターンにおける吐出数が８である場合、前述の液状材料の総吐出量の第１の補正方法での工程［４ａ］において、最終回である８回目の吐出（８ｓｈｏｔ）と、７回目の吐出（７ｓｈｏｔ）とにおいて駆動条件を変更している。そのため、液状材料の総吐出量の第２の補正方法の本工程では、６回目の吐出（６ｓｈｏｔ）と、５回目の吐出（５ｓｈｏｔ）とにおいて駆動条件を変更している。例えば、工程［４ａ］と同様に、６ｓｈｏｔでは、予め設定された駆動信号ＣＯＭ３よりもＶｈの値を大きくして液滴の吐出量が増えるように駆動条件を変更し、５ｓｈｏｔでは、予め設定された駆動信号ＣＯＭ３よりもＶｈの値を小さくして液滴の吐出量が減るように駆動信号を調整する。この駆動信号の調整に基づいて、予め設定された駆動条件に対する条件の変更により、６回目の吐出および７回目の吐出におけるそれぞれの液滴の吐出量が補正され、その結果、８回の吐出における液滴の総吐出量が目的吐出量である所定量に近似される。
【０１９４】
上記のように、代表パターンにおける総吐出量に基づいて、所望ノズルデューティおよび吐出数を有する描画パターンの総吐出量の予測値を取得することができ、これに基づいて描画パターンの総吐出量が補正される。そのため、１つのノズル５２から開口部１０６ａに液滴を吐出・供給したとしても、開口部１０６ａに供給される液滴の総吐出量としての供給量にバラツキが生じるのを的確に低減することができる。
【０１９５】
また、予めデータベースとして測定された代表パターンにおける総吐出量に基づいて前記総吐出量を補正するために、描画パターン毎に総吐出量と目的吐出量である所定量との差を求める場合と比較して、取得するデータ数が少なくなることから、時間と手間の簡略化が図られ、さらに、開口部１０６ａの配置が異なる各種の基板Ｗに対応して、開口部１０６ａに対して所定量の液滴を優れた精度で供給することができるようになる。
【０１９６】
上述のような、ステップＳ３ｂおよびステップＳ４ｂにより、描画パターンにおける総吐出量が、予め設定されている目標吐出量に近付くように、複数回のノズル５２からの複数の液滴の吐出のうち少なくとも１つの吐出において駆動信号の調整を行うことで、１つの吐出における液滴の吐出量を補正する工程が構成される。
【０１９７】
［５ｂ］次に、ステップＳ５ｂの液滴の吐出工程では、ステップＳ４ｂにおける駆動条件の変更を反映させて、８回の吐出で８滴の液滴を再び吐出させる。
【０１９８】
［６ｂ］次に、ステップＳ６ｂの総吐出量の再計測工程では、ステップＳ２ｂと同様に、重量測定機構８１により吐出された８滴の液滴を受けて、総吐出量を再計測する。
【０１９９】
［７ｂ］次に、ステップＳ７ｂでは、目的吐出量である所定量と再計測された総吐出量との差を算出して、その差が重量分解能よりも大きいか否か判定する。重量分解能とは、駆動条件の変更により変化させることが可能な液滴の吐出量（重量）の最小可変量を指す。
【０２００】
そして、所定量と再計測された総吐出量との差が重量分解能よりも大きければ（ＹＥＳ）、再びステップＳ４ｂ〜ステップＳ７ｂを繰り返す。
【０２０１】
これに反して、所定量と再計測された総吐出量との差が重量分解能より小さければ（ＮＯ）、ノズル５２から吐出される液滴の吐出量補正のステップを終了する。
【０２０２】
つまり、所定量と総吐出量との差が重量分解能よりも小さくなるまでステップＳ４ｂ〜ステップＳ７ｂを繰り返す。なお、重量測定機構８１における測定分解能は、上記重量分解能と同じか小さいことが求められる。
【０２０３】
上述のような、ステップＳ４ｂおよびステップＳ７ｂにより、予め設定されている所定の描画パターンと、吐出量を補正する工程において調整された駆動信号とに基づいて吐出された液滴の総吐出量を測定する工程と、測定された総吐出量が目標吐出量に近付くように、１つの吐出における液滴の吐出量を補正する工程とが構成される。
【０２０４】
上記の通り、液状材料の総吐出量の第２の補正方法では、予め設定された駆動条件でノズル５２を駆動して吐出された液滴の総吐出量と所定量との差を補正すべく、複数回のうち少なくとも１回の吐出において駆動条件を変更する。そして、変更した駆動条件で再び液滴を吐出して液滴の総吐出量と所定量との差を求め、この差が液滴の吐出量の補正における重量分解能より小さくなるまで、複数回の吐出のうち残りの吐出において液滴の吐出量の補正、すなわち駆動条件の変更を行う。かかる方法によれば、１回の吐出毎に液滴の吐出量を調べて補正する（１回の吐出毎にノズル５２の駆動条件を変更する）場合に比べて、液滴の総吐出量が判明していればよいので、液滴の吐出量の補正を簡便に行える。また、１回の吐出毎に液滴の吐出量を調べる場合は、１回毎の計測精度における誤差を含み、複数回の吐出では誤差が積算されて大きくなる。これに対して、第２の補正方法では、液滴の総吐出量に基づいて補正が行われるので、高い補正精度を実現できる。すなわち、最終的な駆動条件の変更後に、液状材料を液滴として吐出すれば、所定量の液状材料を安定的かつ量的に精度よく吐出領域としての開口部１０６ａに吐出することができるようになる。
【０２０５】
なお、上記のような第２の補正方法では、ノズルデューティの差異および吐出数の差異に基づいて、代表パターンにおける総吐出量から、描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得しているが、ノズルデューティの差異に基づいて描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得すると、補正を実施するノズル５２に隣り合うノズル５２からの液滴の吐出の有無については考慮されない。しかしながら、補正を実施するノズル５２に隣り合うノズル５２から液滴が吐出される場合には、隣り合うノズル５２から液滴が吐出される場合と比較して、同一ノズルデューティであったとしても、液滴の吐出量にバラツキが生じる要因となり得る。
【０２０６】
したがって、複数のノズル５２のうち、補正を実施するノズル５２に隣り合うノズル５２（隣接ノズル）から液滴が吐出される場合には、前記工程［３ｂ］に先立って、描画パターンの総吐出量の予測値を取得する、以下の再予測工程［２ｂ’］を有していることが好ましい。
【０２０７】
すなわち、描画パターンにおける、インクジェットヘッド５０が備える隣り合うノズル５２同士の液滴の吐出有無に基づいて、隣り合うノズル５２同士の液滴の吐出が認められる場合には、以下の再予測工程［２ｂ’］により、描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得することが好ましい。
【０２０８】
［２ｂ’］総吐出量の予測値の再予測工程では、隣り合うノズル５２から液滴が吐出される場合には、隣り合うノズル５２から液滴が吐出される場合におけるインクジェットヘッド５０からの総吐出量と、液滴が吐出されない場合におけるインクジェットヘッド５０からの総吐出量とに基づいて、描画パターンにおける総吐出量の予測値を取得する。
【０２０９】
具体的には、１つの代表パターンノズルデューティにおいて、隣り合うノズル５２から液滴が吐出されない場合の吐出パターンＰａと、隣り合うノズル５２から液滴が吐出される場合の吐出パターンＰｂとを形成し、前述した重量測定機構８１により、このノズル５２を備えるインクジェットヘッド５０から吐出される液滴の吐出パターンＰａにおける総吐出量ＩＰａと、吐出パターンＰｂにおける総吐出量ＩＰｂとを測定する。
【０２１０】
そして、得られた総吐出量ＩＰａと総吐出量ＩＰｂとから、ＩＰｂ／ＩＰａを隣接係数Ｒとして求め、前記工程［２ｂ］で予測された上記一般式（３）で表される総吐出量Ｖｒの予測値に隣接係数を乗することにより、再予測された総吐出量Ｖｒ’の予測値が取得される。
再予測された描画    総吐出量Ｖｒ’＝Ｒ・Ｖｒ    …  （４）
【０２１１】
これにより、補正を実施するノズル５２に隣り合うノズル５２から液滴が吐出される場合であったとしても、このノズル５２から吐出される液滴の総吐出量を目的吐出量に優れた精度で近似させることができる。
【０２１２】
なお、補正を実施するノズル５２に隣り合うノズル５２（隣接ノズル）から液滴が吐出されない場合には、本工程［２ｂ’］は、省略される。
【０２１３】
上記の通り本実施形態の液滴吐出方法に基づいて変更された駆動条件により、ノズル５２（圧電素子５９）を駆動して、ノズル５２から開口部１０６ａにインク９１を液滴として吐出し着弾させる吐出工程を行う。
【０２１４】
すなわち、予め設定されている所定の描画パターンと、吐出量を補正する工程において調整された駆動信号とに基づいて、複数の吐出領域としての開口部１０６ａに対して複数のノズル５２から吐出を行うことで描画する。
【０２１５】
なお、本実施形態では、実際に液滴を吐出させて総吐出量を重量測定機構８１で計測したが、これに限定されない。例えば、予め液滴の吐出量と駆動信号ＣＯＭの駆動電圧Ｖｈとの関係を求めておく。そして、予め設定され駆動条件によりノズル５２を駆動して複数の液滴を吐出させ、計測して得られた液滴の総吐出量と所定量との差から、駆動条件を変更するステップは、上記予め求められた液滴の吐出量と駆動信号ＣＯＭの駆動電圧Ｖｈとの関係に基づいて、最終回から順に必要な回数だけ駆動電圧Ｖｈの変更を行い、駆動条件の変更後の液滴の総吐出量は、実際に計測せずに算出することによって求めてもよい。これによれば、液滴の総吐出量の補正に係る時間をさらに短縮することができる。
【０２１６】
また、本実施形態では、液状材料の総吐出量の第１の補正方法および第２の補正方法の双方を適用して、描画パターンにおいて測定された総吐出量（ＶＡ）が目的吐出量である所定量（ＶＴａ）に対してズレとしての差が生じる要因として考えられる［ａ］機械的な要因および電気的な要因、ならびに、［ｂ］インクジェットヘッド５０において液滴が吐出されるノズル５２の数による要因およびノズル５２から吐出される液滴数（ショット数）による要因を解消する場合について説明したが、かかる場合に限定されず、上記［ａ］による要因を解消する必要がない場合には、液状材料の総吐出量の第２の補正方法のみを実施して、液状材料の総吐出量の第１の補正方法を省略することもできる。
【０２１７】
以上、本発明の液滴吐出方法および電子デバイスの製造方法を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものでなく、例えば、以下に示すような変形例にも適用することができる。
【０２１８】
（変形例１）
上記実施形態の液滴吐出方法を用いて吐出領域に液滴を配置（吐出）する方法は、図１３に示したように、開口部１０６ａとノズル列５２ｃとを配置して液滴を吐出する縦描画に限定されず、以下に示すような横描画にも適用し得る。
【０２１９】
図２３は変形例の液滴吐出方法を示す概略平面図である。
図２３に示すように、平面視でほぼ矩形状の開口部１０６ａは、長手方向が副走査方向（Ｘ軸方向）に沿い、短手方向が主走査方向（Ｙ軸方向）に沿うように配置されている。これに対して、ノズル列５２ｃは、副走査方向（Ｘ軸方向）に沿うように配置されているので、主走査において開口部１０６ａには複数（図２３では５つ）のノズル５２が掛かることになる。このような開口部１０６ａとノズル列５２ｃとの配置は、上記にも説明した通り、横描画と呼ばれている。主走査において開口部１０６ａに掛かる複数（５つ）のノズル５２のそれぞれから複数滴（３滴）の液滴を吐出する横描画においても、本発明の液滴吐出方法を適用することで、開口部１０６ａに安定的にかつ量的に精度よく所定量の液状材料を吐出することができる。
【０２２０】
（変形例２）
上記実施形態の液滴吐出方法が適用される電子デバイスの形成方法は、有機ＥＬ素子１３０（あるいは有機ＥＬ装置１００）に限定されない。例えば、液晶表示装置におけるカラーフィルターの形成方法や、有機トランジスターにおける半導体層や半導体層に接続される配線、センシング素子や太陽電池における機能層等の形成方法等にも適用することができる。
【符号の説明】
【０２２１】
５…ステージ、６…回転機構、７…回転機構、８…キャリッジ、９…ヘッドユニット、９ａ…ヘッドプレート、１０…液滴吐出装置、１１…上位コンピューター、２０…ワーク移動機構、２１…ガイドレール、２２…移動台、３０…ヘッド移動機構、３１…ガイドレール、３２…移動台、４０…制御部、４１…ＣＰＵ、４２…ＲＯＭ、４３…ＲＡＭ、４４…Ｐ−ＣＯＮ、４５…バス、５０…インクジェットヘッド、５０Ａ…ヘッド群、５０Ｂ…ヘッド群、５１…ノズルプレート、５１ａ…ノズル面、５２…ノズル、５２ａ…ノズル列、５２ｂ…ノズル列、５２ｃ…ノズル列、５３…導入部、５４…接続針、５５…ヘッド基板、５６…ヘッド本体、５７…加圧部、５８…コネクター、５９…圧電素子、５９ａ…セグメント電極、５９ｂ…電極、６０…駆動部、６１…ヘッド移動用ドライバー、６２…ワーク移動用ドライバー、６３…ヘッドドライバー、６４…メンテナンス用ドライバー、７１Ａ…Ｄ／Ａコンバーター、７１Ｂ…Ｄ／Ａコンバーター、７１Ｃ…Ｄ／Ａコンバーター、７１Ｄ…Ｄ／Ａコンバーター、７２…波形データ選択回路、７３…データメモリー、７４…スイッチング回路、７５…駆動信号選択回路、８０…メンテナンス機構、８１…重量測定機構、８２…キャップ機構、８３…ワイピング機構、９１…インク、９２…インク、９３…インク、１００…有機ＥＬ装置、１０１…素子基板、１０２…反射層、１０３…絶縁膜、１０４…画素電極、１０５…対向電極、１０６…隔壁、１０６ａ…開口部、１１０Ｂ…サブ画素、１１０Ｇ…サブ画素、１１０Ｒ…サブ画素、１３０…有機ＥＬ素子、１３１…正孔注入層、１３２…正孔輸送層、１３３…発光層、１３４…電子輸送層、１３５…電子注入層、１３６…機能層、Ｂ１…ヘッド、Ｂ２…ヘッド、ＣＯＭ…駆動信号、ＣＯＭ１…駆動信号、ＣＯＭ２…駆動信号、ＣＯＭ３…駆動信号、ＣＯＭ４…駆動信号、Ｄ…液滴、Ｄ１…格子点、Ｄ２…格子点、Ｄ３…格子点、Ｄ４…格子点、ＤＡ…吐出データ、Ｄｒ…格子点、Ｅ…表示領域、Ｇ１…ヘッド、Ｇ２…ヘッド、ＩＰａ…総吐出量、ＩＰｂ…総吐出量、Ｌ０…描画幅、Ｌｄ…描画幅、ＮＶｒ…ノズルデューティ、Ｐ１…ピッチ、Ｐ２…ピッチ、Ｐａ…吐出パターン、Ｐｂ…吐出パターン、Ｒ…隣接係数、Ｒ１…ヘッド、Ｒ２…ヘッド、Ｓ１…面積、Ｓ２…面積、Ｓ３…面積、Ｓ４…面積、ＳＶｒ…吐出数、Ｖｈ１…駆動電圧、Ｖｈ２…駆動電圧、Ｖｈ３…駆動電圧、Ｖｈ４…駆動電圧、Ｖｒ…総吐出量、Ｖｒ'…総吐出量、Ｗ…基板、ＷＮ…波形番号データ
【図１】
2017196562.tif 000006
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
2017196562.tif 000022
【図１８】
2017196562.tif 000023
【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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