(57)【要約】【課題】この発明は、洗浄液を、被洗浄物に付着する被除去物を除去するのに適した良好な状態に保つことができるとともに、洗浄処理する際のランニングコストを低減することができる被洗浄物の洗浄方法、及び洗浄装置の提供を目的とする。【解決手段】被洗浄物Ａを、洗浄装置１０における洗浄槽２０内の洗浄液Ｓ中に浸漬して洗浄処理する際に、被洗浄物Ａの処理数を処理数計数器６０で計数するとともに、処理数計数器６０で計数した処理数と予め設定した基準数とを処理数判定部６１で比較して、洗浄液Ｓに蒸留再生時期が到来したか否かを判定する。蒸留再生時期が到来した洗浄液Ｓを蒸留再生装置４０で蒸留再生して、洗浄槽２０内へ返還する。【選択図】図１
2017039059.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物を洗浄槽内に貯液した洗浄液中に浸漬して、該被洗浄物に付着する被除去物を洗浄除去する洗浄方法であって、
前記被洗浄物あるいは前記洗浄液の取扱い状況を監視手段で監視し、
前記監視手段による監視に基づいて、前記洗浄液に蒸留再生時期が到来したか否かを判定手段で判定し、
前記判定手段により蒸留再生時期が到来と判定された前記洗浄液を蒸留再生手段にて蒸留再生する
被洗浄物の洗浄方法。
【請求項２】
前記取扱い状況を、
前記被洗浄物を洗浄処理する際の処理数で構成し、
前記監視手段を、
前記被洗浄物の処理数を計数する処理数計数器で構成し、
前記判定手段を、
前記処理数計数器で計数した処理数と、予め設定した基準数とを比較して、該処理数が基準数未満であるか否かを判定する処理数判定部で構成した
請求項１に記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項３】
前記取扱い状況を、
前記被洗浄物に付設した記憶媒体の媒体情報で構成し、
前記監視手段を、
前記記憶媒体に記憶した媒体情報を読み取る情報読取り器で構成し、
前記判定手段を、
前記情報読取り器で読み取った媒体情報に基づいて、前記洗浄液に蒸留再生時期が到来したか否かを判定する情報判定部で構成した
請求項１に記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項４】
前記取扱い状況を、
前記洗浄槽内に貯液した前記洗浄液の濃度で構成し、
前記監視手段を、
前記洗浄液の濃度を測定する濃度測定器で構成し、
前記判定手段を、
前記濃度測定器で測定した測定値と、予め設定した閾値とを比較して、該測定値が閾値未満であるか否かを判定する濃度判定部で構成した
請求項１に記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項５】
被洗浄物を洗浄槽内に貯液した洗浄液中に浸漬して、該被洗浄物に付着する被除去物を洗浄除去する洗浄装置であって、
前記被洗浄物あるいは前記洗浄液の取扱い状況を監視する監視手段と、
前記監視手段による監視に基づいて、前記洗浄液に蒸留再生時期が到来したか否かを判定する判定手段と、
前記判定手段により蒸留再生時期が到来と判定された前記洗浄液を蒸留再生する蒸留再生手段とを備えた
被洗浄物の洗浄装置。
【請求項６】
前記取扱い状況を、
前記被洗浄物を洗浄処理する際の処理数で構成し、
前記監視手段を、
前記被洗浄物の処理数を計数する処理数計数器で構成し、
前記判定手段を、
前記処理数計数器で計数した処理数と、予め設定した基準数とを比較して、該処理数が基準数未満であるか否かを判定する処理数判定部で構成した
請求項５に記載の被洗浄物の洗浄装置。
【請求項７】
前記取扱い状況を、
前記被洗浄物に付設した記憶媒体の媒体情報で構成し、
前記監視手段を、
前記記憶媒体に記憶した媒体情報を読み取る情報読取り器で構成し、
前記判定手段を、
前記情報読取り器で読み取った媒体情報に基づいて、前記洗浄液に蒸留再生時期が到来したか否かを判定する情報判定部で構成した
請求項５に記載の被洗浄物の洗浄装置。
【請求項８】
前記取扱い状況を、
前記洗浄槽内に貯液した前記洗浄液の濃度で構成し、
前記監視手段を、
前記洗浄液の濃度を測定する濃度測定器で構成し、
前記判定手段を、
前記濃度測定器で測定した測定値と、予め設定した閾値とを比較して、該測定値が閾値未満であるか否かを判定する濃度判定部で構成した
請求項５に記載の被洗浄物の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば、硝子基板、液晶表示板、電子部品、光学部品、精密部品、金属部品等の被洗浄物の洗浄処理に使用された洗浄液を蒸留再生する際に用いられる被洗浄物の洗浄方法、及び洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、上述の被洗浄物を洗浄処理する場合、例えば、被洗浄物を洗浄槽に貯液した洗浄液中に浸漬して、該被洗浄物に付着する被除去物（例えば、油脂や溶剤等）を洗浄除去するが、洗浄処理される被洗浄物の処理数や処理回数が多くなるのに伴って、洗浄液中に混入する被洗浄物から除去された被除去物の除去量が増加するため、洗浄液の洗浄力が低下する。
【０００３】
上述の洗浄液を再生する装置としては、様々なものが多数提案されており、特許文献１に開示の再生装置も、このような再生装置の一つである。特許文献１の再生装置は、蒸留再生時期が到来した洗浄液を洗浄槽から蒸留槽へ供給し、該洗浄液を蒸留槽内で蒸留して気化させることにより、洗浄液中に混入した被除去物を分離する。この後、気化した洗浄液の蒸気を凝縮部で冷却するとともに、凝縮して液化した再生済みの洗浄液を洗浄槽に返還する。
【０００４】
しかし、被洗浄物を洗浄処理する処理数が少なくても、被洗浄物から除去される被除去物の除去量が多くなれば、洗浄液中に混入する被除去物の混入量が増加するのに伴って洗浄力が低下するため、予め設定した蒸留再生時期が到来するまえに、洗浄液の洗浄力が低下することになる。つまり、蒸留再生時期が到来するまでは、洗浄力の低下した洗浄液にて洗浄処理を行わなければならず、被洗浄物に付着する被除去物を十分に除去することができない。
【０００５】
また、被洗浄物の処理数が多くても、被洗浄物から除去される被除去物の除去量が少なければ、洗浄液中に混入する被除去物の混入量も少なくなるため、被洗浄物に付着する被除去物を除去するのに十分な洗浄力が得られるが、蒸留再生時期が到来した際に、被洗浄物に付着する被除去物を除去するのに十分な洗浄力が得られるにもかかわらず、洗浄槽内に貯液された洗浄液を再生装置にて蒸留再生することになるため、洗浄処理する際のランニングコストが高くなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平６−１７０１０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
この発明は、洗浄液を、被洗浄物に付着する被除去物を除去するのに適した良好な状態に保つことができるとともに、洗浄処理する際のランニングコストを低減することができる被洗浄物の洗浄方法、及び洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は、被洗浄物を洗浄槽内に貯液した洗浄液中に浸漬して、該被洗浄物に付着する被除去物を洗浄除去する洗浄方法であって、前記被洗浄物あるいは前記洗浄液の取扱い状況を監視手段で監視し、前記監視手段による監視に基づいて、前記洗浄液に蒸留再生時期が到来したか否かを判定手段で判定し、前記判定手段により蒸留再生時期が到来と判定された前記洗浄液を蒸留再生手段にて蒸留再生することを特徴とする。
【０００９】
またこの発明は、被洗浄物を洗浄槽内に貯液した洗浄液中に浸漬して、該被洗浄物に付着する被除去物を洗浄除去する洗浄装置であって、前記被洗浄物あるいは前記洗浄液の取扱い状況を監視する監視手段と、前記監視手段による監視に基づいて、前記洗浄液に蒸留再生時期が到来したか否かを判定する判定手段と、前記判定手段により蒸留再生時期が到来と判定された前記洗浄液を蒸留再生する蒸留再生手段とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
上記洗浄液は、例えば、炭化水素系溶剤、不活性溶剤、非水系溶剤等で構成することができる。監視手段は、例えば、被洗浄物の処理数を計数する計数器、記憶媒体に記憶した媒体情報を読み取る読取り器、あるいは、洗浄液の濃度を測定する測定器等で構成することができる。取扱い状況は、例えば、被洗浄物の処理数や処理回数、洗浄液の濃度、被洗浄物に付着する被除去物の付着量、被洗浄物固有の識別情報等で構成することができる。
【００１１】
判定手段は、例えば、ＣＰＵやＲＯＭに格納されたプログラム、ＣＰＵを備えた判定装置等で構成することができる。蒸留再生手段は、例えば、洗浄液を蒸留する蒸留槽と、気化した洗浄液の蒸気を冷却するとともに凝縮して液化する凝縮部等で構成することができる。
【００１２】
この発明によれば、洗浄液を、被洗浄物に付着する被除去物を除去するのに適した良好な状態に保つことができるとともに、洗浄処理する際のランニングコストを低減することができる。
【００１３】
詳しくは、被洗浄物を洗浄槽内に貯液した洗浄液中に浸漬して、該被洗浄物に付着する被除去物を洗浄除去する際に、被洗浄物あるいは洗浄液の取扱い状況（例えば、被洗浄物の処理数、洗浄液の濃度、被洗浄物固有の識別情報等）を監視手段で監視するとともに、監視手段による監視に基づいて、洗浄液に蒸留再生時期が到来したか否かを判定手段で判定する。
【００１４】
被洗浄物を洗浄槽内に貯液した洗浄液中に浸漬して、該被洗浄物に付着する被除去物を除去する洗浄処理を繰り返す度に、洗浄液中に混入する被除去物の混入量は増加するが、被除去物の混入量が少なければ、被除去物を除去するのに十分な洗浄力が得られる。この場合、判定手段は、洗浄液に蒸留再生時期が未到来であると判定するため、洗浄液を蒸留再生する必要がなく、被洗浄物の洗浄処理に継続して使用することができる。
【００１５】
しかし、洗浄液中に混入する被除去物の混入量が増加するのに伴って、洗浄液の洗浄力も低下するため、被洗浄物に付着する被除去物を除去するのに十分な洗浄力が得られなくなる。この場合、判定手段は、洗浄液に蒸留再生時期が到来したと判定する。
【００１６】
判定手段による判定に基づいて、蒸留再生時期が到来と判定された洗浄液を蒸留再生手段により蒸留再生するとともに、被除去物を洗浄液から分離するため、洗浄液の洗浄力を蒸留再生時期が到来するまえの状態に回復することができる。
【００１７】
この結果、洗浄液に蒸留再生時期が到来したことを確実に把握することができるため、蒸留再生時期が早過ぎたり、遅過ぎたりすることを防止することができ、蒸留再生時期が到来した洗浄液を確実に蒸留再生することができる。
【００１８】
しかも、蒸留再生時期が到来と判定された洗浄液を蒸留再生して、被洗浄物の洗浄処理に繰り返し使用するため、蒸留再生時期が到来した洗浄液を、例えば、未使用の洗浄液に入れ替えたり、該洗浄液を注ぎ足したりする必要がなく、洗浄処理する際のランニングコストを低減することができる。
【００１９】
さらに、洗浄液の洗浄力が低下することを抑制することができるため、洗浄液の洗浄力が大きく変動することを防止することができるとともに、被洗浄物に付着する被除去物を除去する洗浄処理が安定して行える。
【００２０】
この発明の態様として、前記取扱い状況を、前記被洗浄物を洗浄処理する際の処理数で構成し、前記監視手段を、前記被洗浄物の処理数を計数する処理数計数器で構成し、前記判定手段を、前記処理数計数器で計数した処理数と、予め設定した基準数とを比較して、該処理数が基準数未満であるか否かを判定する処理数判定部で構成することができる。
【００２１】
上記処理数は、例えば、被洗浄物の枚数や個数等の処理数、あるいは、複数の被洗浄物を洗浄処理する処理回数を含む概念である。処理数計数器は、例えば、被洗浄物の枚数や個数等の処理数を計数する各種の計数センサ、あるいは、接触式又は非接触式のスイッチ、あるいは、ＣＰＵに内蔵したカウンタ、あるいは、カメラで撮像して画像処理する画像処理装置等で構成することができる。処理数判定部は、例えば、ＣＰＵやＲＯＭに格納されたプログラム、ＣＰＵを備えた処理数判定装置等で構成することができる。
【００２２】
この発明によれば、洗浄液に蒸留再生時期が到来したことをより正確に把握することができるとともに、蒸留再生時期が到来した洗浄液をより確実に蒸留再生することができる。
【００２３】
詳しくは、被洗浄物を洗浄槽内の洗浄液中に浸漬して、該被洗浄物に付着する被除去物を洗浄除去する際に、洗浄処理される被洗浄物の処理数を処理数計数器で計数するとともに、該処理数計数器で計数した処理数と、予め設定した基準数とを処理数判定部で比較して、被洗浄物の処理数が基準数未満であるか否かを判定する。
【００２４】
洗浄処理される被洗浄物の処理数が基準数未満であれば、洗浄液中に混入する被除去物の混入量が少なく、被除去物を除去するのに十分な洗浄力が得られる。この場合、処理数判定部は、洗浄液に蒸留再生時期が未到来であると判定するため、洗浄液を蒸留再生する必要がなく、被洗浄物の洗浄処理に継続して使用することができる。
【００２５】
しかし、洗浄処理される被洗浄物の処理数が基準数に到達すれば、該基準数に到達するまえよりも、洗浄液中に混入する被除去物の混入量が多くなるため、被洗浄物に付着する被除去物を除去するのに十分な洗浄力が得られなくなる。この場合、処理数判定部は、蒸留再生時期が到来したと判定する。
【００２６】
処理数判定部による判定に基づいて、蒸留再生時期が到来と判定された洗浄液を蒸留再生手段により蒸留再生するため、被除去物を洗浄液から確実に分離することができるとともに、洗浄液の洗浄力を蒸留再生時期が到来するまえの状態に回復することができる。  
この結果、洗浄液を、被洗浄物に付着する被除去物を除去するのに適した良好な状態により確実に保つことができる。
【００２７】
またこの発明の態様として、前記取扱い状況を、前記被洗浄物に付設した記憶媒体の媒体情報で構成し、前記監視手段を、前記記憶媒体に記憶した媒体情報を読み取る情報読取り器で構成し、前記判定手段を、前記情報読取り器で読み取った媒体情報に基づいて、前記洗浄液に蒸留再生時期が到来したか否かを判定する情報判定部で構成することができる。
【００２８】
上記記憶媒体は、例えば、ＲＦＩＤタグ、二次元コード、バーコード等で構成することができる。読取り手段は、例えば、媒体情報を記憶媒体から読み取るための読取り器等で構成することができる。情報判定部は、例えば、ＣＰＵやＲＯＭに格納されたプログラム、ＣＰＵを備えた情報判定装置等で構成することができる。
【００２９】
この発明によれば、洗浄液に蒸留再生時期が到来したことをより正確に把握することができるとともに、蒸留再生時期が到来した洗浄液をより確実に蒸留再生することができる。
【００３０】
詳しくは、被洗浄物を洗浄槽内の洗浄液中に浸漬して、該被洗浄物に付着する被除去物を洗浄除去する際に、被洗浄物に付設した記憶媒体の媒体情報を情報読取り器で読み取るとともに、該記憶媒体から読み取った媒体情報に基づいて、洗浄液に蒸留再生時期が到来したか否かを情報判定部で判定する。
【００３１】
すなわち、被洗浄物に付設した記憶媒体の媒体情報と対応して、例えば、被洗浄物を洗浄処理する処理数と、洗浄液を蒸留再生する蒸留再生時期とを情報判定部に予め記憶しておくことにより、情報読取り器で読み取った記憶媒体の媒体情報から、洗浄液に蒸留再生時期が到来したか否かを情報判定部で判定することができる。
【００３２】
被洗浄物の処理数が少なく、該被洗浄物から除去される被除去物の除去量が少ない場合、洗浄液中に混入する被除去物の混入量が少なく、被除去物を除去するのに十分な洗浄力が得られる。この場合、情報判定部は、洗浄液に蒸留再生時期が未到来であると判定するため、洗浄液を蒸留再生する必要がなく、被洗浄物の洗浄処理に継続して使用することができる。
【００３３】
しかし、被洗浄物の処理数が多くなれば、洗浄液中に混入する被除去物の混入量が増加するのに伴って洗浄力も低下するため、被除去物を除去するのに十分な洗浄力が得られなくなる。この場合、情報判定部は、情報読取り器で読み取った媒体情報に基づいて、洗浄液に蒸留再生時期が到来したと判定する。
【００３４】
情報判定部による判定に基づいて、蒸留再生時期が到来と判定された洗浄液を蒸留再生手段により蒸留再生するため、被除去物を洗浄液から確実に分離することができるとともに、洗浄液の洗浄力を蒸留再生時期が到来するまえの状態に回復することができる。  
この結果、洗浄液を、被洗浄物に付着する被除去物を除去するのに適した良好な状態により確実に保つことができる。
【００３５】
またこの発明の態様として、前記取扱い状況を、前記洗浄槽内に貯液した前記洗浄液の濃度で構成し、前記監視手段を、前記洗浄液の濃度を測定する濃度測定器で構成し、前記判定手段を、前記濃度測定器で測定した測定値と、予め設定した閾値とを比較して、該測定値が閾値未満であるか否かを判定する濃度判定部で構成することができる。
【００３６】
上記濃度測定器は、例えば、ガスクロマト分析装置、分光光度計、屈折率計等で構成することができる。濃度判定部は、例えば、ＣＰＵやＲＯＭに格納されたプログラム、ＣＰＵを備えた判定装置等で構成することができる。閾値は、洗浄液の蒸留再生時期を判定する際の基準値である。
【００３７】
この発明によれば、洗浄液に蒸留再生時期が到来したことをより正確に把握することができるとともに、蒸留再生時期が到来した洗浄液をより確実に蒸留再生することができる。
【００３８】
詳しくは、被洗浄物を洗浄槽内の洗浄液中に浸漬して、該被洗浄物に付着する被除去物を洗浄除去する際に、洗浄槽内に貯液された洗浄液の濃度を濃度測定器で測定するとともに、該濃度測定器で測定した測定値と、予め設定した洗浄液の蒸留再生時期を判定する閾値とを濃度判定部で比較して、該測定値が閾値未満であるか否かを判定する。
【００３９】
洗浄液中に混入する被除去物の混入量が少なければ、洗浄液中に混入する被除去物の混入量も少ないため、被洗浄物に付着する被除去物を除去するのに十分な洗浄力が得られる。この場合、濃度測定器で測定した洗浄液の測定値が閾値に到達していなければ、濃度判定部は、測定値が閾値未満であり、蒸留再生時期が未到来であると判定するため、洗浄液を蒸留再生する必要がなく、被洗浄物の洗浄処理に継続して使用することができる。
【００４０】
しかし、洗浄液中に混入する被除去物の混入量が増加するのに伴って、洗浄液の濃度が薄くなるため、洗浄液の洗浄力も低下することになる。この場合、濃度測定器で測定される測定値が閾値に到達した際に、濃度判定部は、洗浄液に蒸留再生時期が到来したと判定する。
【００４１】
濃度判定部による判定に基づいて、蒸留再生時期が到来した洗浄液を蒸留再生手段により蒸留再生するため、被除去物を洗浄液から確実に分離することができるとともに、洗浄液の洗浄力を蒸留再生時期が到来するまえの状態に回復することができる。  
この結果、洗浄液を、被洗浄物に付着する被除去物を除去するのに適した良好な状態により確実に保つことができる。
【発明の効果】
【００４２】
この発明によれば、洗浄液を、被洗浄物に付着する被除去物を除去するのに適した良好な状態に保つことができるとともに、洗浄処理する際のランニングコストを低減することができる被洗浄物の洗浄方法、及び洗浄装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】実施例１における洗浄装置に備えられた蒸留再生装置の説明図。
【図２】被洗浄物を載置するキャリアの斜視図。
【図３】被洗浄物の処理数を処理数計数器で計数する説明図。
【図４】実施例２における洗浄装置に備えられた蒸留再生装置の説明図。
【図５】記憶媒体の媒体情報を情報読取り器で読み取る説明図。
【図６】実施例３における洗浄装置に備えられた蒸留再生装置の説明図。
【図７】洗浄液の濃度を測定した測定値と閾値との関係を示すグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００４４】
この発明の一実施形態を以下図面に基づいて詳述する。  
（実施例１）  
図１は洗浄装置１０に備えられた実施例１の蒸留再生装置４０の説明図、図２は被洗浄物Ａを載置するキャリア３２，３３の斜視図であり、詳しくは、図２（ａ）は被洗浄物Ａを垂直に載置するキャリア３２の斜視図、図２（ｂ）は被洗浄物Ａを水平に載置するキャリア３３の斜視図、図３は被洗浄物Ａの処理数を処理数計数器６０で計数する説明図である。
【００４５】
実施例１の洗浄装置１０は、被洗浄物Ａを洗浄液Ｓ中に浸漬して洗浄処理する洗浄槽２０と、該被洗浄物Ａを洗浄槽２０内部に搬入及び搬出する運搬装置３０と、洗浄処理に使用された洗浄液Ｓを蒸留再生する蒸留再生装置４０とを備えている（図１参照）。
【００４６】
洗浄槽２０は、被洗浄物Ａ全体を洗浄液Ｓ中に浸漬して浸漬洗浄する浸漬洗浄部２３と、被洗浄物Ａを洗浄液Ｓの蒸気Ｓａに接触させて蒸気洗浄する蒸気洗浄部２４と、該蒸気Ｓａを冷却するとともに凝縮して液化する蒸気冷却部２５とを、槽本体２１内における下部から上部に向けて順に形成している。該槽本体２１の上部には、被洗浄物Ａを載置するキャリア３２の搬入及び搬出が許容される出入り口２２を形成している（図１参照）。
【００４７】
浸漬洗浄部２３は、槽本体２１内における最下部に形成され、被洗浄物Ａ全体の浸漬が許容される貯液量の洗浄液Ｓを貯液する。該浸漬洗浄部２３の底部には、該浸漬洗浄部２３内に貯液された洗浄液Ｓに超音波振動を誘起するための超音波振動子２３ａを配置している（図１参照）。
【００４８】
蒸気洗浄部２４は、浸漬洗浄部２３の上部に形成され、被洗浄物Ａ全体の蒸気洗浄が許容される放出量の蒸気Ｓａを貯留する。該蒸気洗浄部２４の側部には、後述する蒸留再生装置４０における蒸留槽４１の蒸気領域部４１ｂを、バルブ４７及び蒸気導入路４８を介して接続している（図１参照）。
【００４９】
蒸気冷却部２５は、蒸気洗浄部２４の上部に形成され、蒸気洗浄部２４より上方に放出される蒸気Ｓａを貯留する。該蒸気冷却部２５における蒸気洗浄部２４より上部の側壁には、蒸気洗浄部２４から蒸気冷却部２５に向けて放出される蒸気Ｓａを冷却するとともに、凝縮して液化するための冷却コイル２６を配置している（図１参照）。
【００５０】
蒸気冷却部２５における冷却コイル２５の下部には、該冷却コイル２５の冷却作用により凝縮して液化した洗浄液Ｓから水分を比重分離するための水分離槽２７を介して、該水分離槽２７にて水分が分離された洗浄液Ｓを浸漬洗浄部２３に返還するための返還路２８を設けている（図１参照）。
【００５１】
運搬装置３０は、槽本体２１の上部に配置した昇降機３１と、被洗浄物Ａを載置するキャリア３２，３３とを備えている。昇降機３１は、キャリア３２，３３を、洗浄槽２０における槽本体２１の内部に搬入される方向と、該槽本体２１の外部に搬出される方向とに昇降するとともに、槽本体２１内の浸漬洗浄部２３と、蒸気洗浄部２４と、蒸気冷却部２５と、槽本体２１の出入口２２より上部に設定したキャリア待機部３４とに移動可能する（図１参照）。
【００５２】
キャリア３２，３３は、板状の被洗浄物Ａを、幅方向Ｗに所定間隔を隔てて垂直（縦向き）に１０枚載置するキャリア３２と、被洗浄物Ａを高さ方向Ｈに所定間隔を隔てて水平（横向き）に１０枚載置するキャリア３３とで構成され、洗浄処理する被洗浄物Ａの向きや枚数に応じて選択可能に設けている（図２（ａ）（ｂ）参照）。
【００５３】
蒸留再生装置４０は、洗浄槽２０の浸漬洗浄部２３から回収した洗浄液Ｓを蒸留する蒸留槽４１と、蒸留槽４１内に発生させた洗浄液Ｓの蒸気Ｓａを冷却するとともに該蒸気Ｓａを凝縮して液化する凝縮部４２と、液化した洗浄液Ｓから水分を比重分離する水分離槽４３と、蒸留槽４１の内圧を洗浄槽２０の内圧より減圧（具体的には真空状態）する減圧装置４４と、を備えている（図１参照）。
【００５４】
蒸留槽４１内の下部には、洗浄槽２０の浸漬洗浄部２３から回収した洗浄液Ｓを貯液する貯液領域部４１ａを形成している。該蒸留槽４１内の上部には、貯液領域部４１ａに貯液した洗浄液Ｓを加熱して発生させた洗浄液Ｓの蒸気Ｓａの放出が許容される蒸気領域部４１ｂを形成している（図１参照）。
【００５５】
貯液領域部４１ａの底部には、該貯液領域部４１ａに貯液された洗浄液Ｓを蒸発気化する温度に加熱するためのヒータ４１ｃを配置している。蒸留槽４１の蒸気領域部４１ｂと洗浄槽２０の浸漬洗浄部２３との間は、導入量調整用のバルブ４５を介して、浸漬洗浄部２３に貯液された洗浄液Ｓを貯液領域部４１ａに導入するための液導入路４６で接続している（図１参照）。
【００５６】
蒸留槽４１における蒸気領域部４１ｂの一側と、洗浄槽２０の蒸気洗浄部２４との間は、導入量調整用のバルブ４７を介して、蒸気領域部４１ｂ内に放出された洗浄液Ｓの蒸気Ｓａを蒸気洗浄部２４に導入するための蒸気導入路４８で接続している。
【００５７】
蒸留槽４１における蒸気領域部４１ｂの他側と、該蒸気領域部４１ｂ内を減圧する減圧装置４４との間は、凝縮部４２及びバルブ５０を介して、減圧路５１で接続している。減圧路５１の途中には、負圧解除用のバルブ５２を接続している。
【００５８】
減圧装置４４は、該装置により発生させた蒸留槽４１内の負圧を利用して、洗浄槽２０の浸漬洗浄部２３に貯液された洗浄液Ｓを、蒸留槽４１の貯液領域部４１ａ内に導入する。凝縮部４２は、蒸留槽４１の蒸気領域部４１ｂから導出される蒸気Ｓａを冷却するとともに、凝縮して液化する（図１参照）。
【００５９】
また、バルブ５０を閉塞し、バルブ５２を開放すれば、減圧装置４４による負圧が解除されるため、洗浄液Ｓが浸漬洗浄部２３から貯液領域部４１ａへ導入されるのを停止することができる。
【００６０】
凝縮部４２と浸漬洗浄部２３との間は、該凝縮部４２にて液化された洗浄液Ｓから水分を比重分離する水分離槽４３と、該水分離槽４３にて水分が分離された洗浄液Ｓの返還量を調整するバルブ５４を介して、返還路５５で接続している。
【００６１】
返還路５５の途中には、バルブ５６及び回収路５７を介して、洗浄槽２０の浸漬洗浄部２３に対する返還が不要な洗浄液Ｓを回収するための再生液回収部５８を接続している（図１参照）。
【００６２】
さらに、蒸留再生装置４０は、蒸留槽４１、凝縮部４２、水分離槽４３、減圧装置４４に加え、キャリア３２に載置される被洗浄物Ａの処理数（例えば、枚数や個数等）を計数する処理数計数器６０と、処理数計数器６０で計数した処理数と、図示しないＲＡＭに記憶した基準数とを比較して、洗浄槽２０に貯液された洗浄液Ｓに蒸留再生時期が到来したか否かを判定する処理数判定部６１と、を備えている（図１、図３参照）。
【００６３】
処理数計数器６０は、キャリア待機部３４において、キャリア３２に載置された被洗浄物Ａ、あるいは載置される被洗浄物Ａと対向して、該被洗浄物Ａの計数が許容される位置に配置している。
【００６４】
処理数判定部６１は、図示しないＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを内蔵している。該ＣＰＵは、ＲＯＭに格納されたプログラムに沿って、減圧装置４４の駆動及び停止と、バルブ４５，４７，５０，５２，５４，５６の開閉動作とを制御する。
【００６５】
ＣＰＵは、処理数計数器６０から出力される検知信号に基づいて、処理数計数器６０で計数した処理数と、予めＲＡＭに記憶した基準数とを比較して、洗浄槽２０に貯液された洗浄液Ｓに蒸留再生時期が到来したか否かを判定する。
【００６６】
上述のように構成した洗浄装置１０を用いて、被洗浄物Ａを洗浄処理する際の洗浄方法と、蒸留再生時期が到来した洗浄液Ｓを蒸留再生装置４０にて蒸留再生する蒸留再生方法について説明する。
【００６７】
先ず、未洗浄処理の被洗浄物Ａを、運搬装置３０のキャリア３２に１０枚載置する際に、洗浄処理される被洗浄物Ａの処理数を処理数計数器６０で計数するとともに、その計数した数値を処理数判定部６１に出力する（図１、図３参照）。
【００６８】
処理数判定部６１は、処理数計数器６０から出力される被洗浄物Ａの処理数を図示しないＲＡＭに記憶するとともに、処理数計数器６０で計数した処理数と、図示しないＲＡＭに記憶した基準数とを比較して、該処理数が基準数未満であるか否かを判定する。
【００６９】
洗浄処理を開始した際に、処理数判定部６１は、被洗浄物Ａの処理数が基準数未満であり、蒸留再生時期が未到来であると判定するため、洗浄液Ｓを蒸留再生する必要がなく、被洗浄物Ａをキャリア３２に載置したまま、出入口２２から槽本体２１内へ搬入して、蒸気冷却部２５及び蒸気洗浄部２４を通過させて浸漬洗浄部２３へ移動する（図１参照）。
【００７０】
すなわち、キャリア３２に載置された被洗浄物Ａを、浸漬洗浄部２３の洗浄液Ｓ中に浸漬して浸漬洗浄する。あるいは、超音波振動子２３ａにより誘起させた洗浄液Ｓの超音波振動により、被洗浄物Ａを超音波洗浄する。これにより、被洗浄物Ａに付着する図示しない被除去物を除去する。
【００７１】
被洗浄物Ａを浸漬洗浄した後、キャリア３２に載置された被洗浄物Ａを、浸漬洗浄部２３から蒸気洗浄部２４へ移動させるとともに、該被洗浄物Ａを蒸気洗浄部２４に放出された洗浄液Ｓの蒸気Ｓａに接触させて蒸気洗浄する（図１参照）。
【００７２】
蒸気洗浄した後、キャリア３２に載置された被洗浄物Ａを、蒸気洗浄部２４から蒸気冷却部２５へ移動させて冷却乾燥した後、キャリア３２に載置された洗浄済みの被洗浄物Ａを、槽本体２１の出入口２２から搬出して回収する。
【００７３】
続けて、被洗浄物Ａを洗浄処理する場合、未洗浄処理の被洗浄物Ａをキャリア３２に載置した後、洗浄槽２０における槽本体２１内の浸漬洗浄部２３と、蒸気洗浄部２４と、蒸気冷却部２５とに移動させて洗浄処理を継続する。
【００７４】
被洗浄物Ａをキャリア３２に載置する際に、被洗浄物Ａの処理数を処理数計数器６０で計数するとともに、該処理数計数器６０で計数した処理数と、図示しないＲＡＭに記憶した基準数とを処理数判定部６１で比較して、該処理数が基準数未満であるか否かを判定する。
【００７５】
洗浄処理される被洗浄物Ａの処理数が基準数未満であれば、被洗浄物Ａの処理数が基準数に到達した際において洗浄液Ｓ中に混入する被除去物の混入量よりも、被洗浄物Ａの処理数が基準数未満である方が洗浄液Ｓ中に混入する被除去物の混入量が少なく、被洗浄物Ａに付着する被除去物を除去するのに十分な洗浄力が得られる。
【００７６】
この場合、処理数判定部６１は、被洗浄物Ａの処理数が基準数未満であり、蒸留再生時期が未到来であると判定するため、洗浄液Ｓを蒸留再生する必要がなく、被洗浄物Ａの洗浄処理に継続して使用することができる。
【００７７】
洗浄処理される被洗浄物Ａの処理数が基準数に到達すれば、該基準数に到達するまえよりも、洗浄液Ｓ中に混入する被除去物の混入量が多くなるだけでなく、被洗浄物Ａに付着する被除去物を除去するのに十分な洗浄力が得られなくなる。  
この場合、処理数判定部６１は、被洗浄物Ａの処理数が基準数に到達し、蒸留再生時期が到来したと判定する。
【００７８】
処理数判定部６１による判定に基づいて、蒸留再生時期が到来と判定された洗浄液Ｓを蒸留再生装置４０により蒸留再生する。この場合、バルブ４５，４７，５２を予め閉塞しておき、蒸留再生装置４０における蒸留槽４１の内圧を減圧装置４４にて真空状態に減圧しておく。
【００７９】
洗浄装置１０による被洗浄物Ａの洗浄処理が終了した際に、開放バルブ４５を開放して、蒸留槽４１内に発生させた負圧により、蒸留再生時期が到来と判定された洗浄液Ｓを、洗浄装置１０における洗浄槽２０の浸漬洗浄部２３から、蒸留再生装置４０における蒸留槽４１の貯液領域部４１ａ内へ導入する。
【００８０】
蒸留槽４１内へ導入した洗浄液Ｓを、該蒸留槽４１内で蒸留して気化させ、洗浄液Ｓ中に混入した被除去物を分離した後、気化した洗浄液Ｓの蒸気Ｓａを凝縮部４２で冷却し、凝縮して液化した再生済みの洗浄液Ｓを洗浄槽２０の浸漬洗浄部２３内へ返還する。
【００８１】
すなわち、蒸留再生時期が到来と判定された洗浄液Ｓを蒸留再生装置４０により蒸留再生するため、被除去物を洗浄液Ｓから確実に分離することができるとともに、洗浄液Ｓの洗浄力を蒸留再生時期が到来するまえの状態に回復することができる。
【００８２】
この結果、洗浄液Ｓに蒸留再生時期が到来したことを正確に把握することができるため、蒸留再生時期が早過ぎたり、遅過ぎたりすることを防止することができるとともに、洗浄液Ｓを、被洗浄物Ａに付着する被除去物を除去するのに適した良好な状態に保つことができる。
【００８３】
しかも、蒸留再生時期が到来と判定された洗浄液Ｓを蒸留再生して、被洗浄物Ａの洗浄処理に繰り返し使用するため、蒸留再生時期が到来した洗浄液Ｓを、例えば、未使用の洗浄液Ｓに入れ替えたり、該洗浄液Ｓを注ぎ足したりする必要がなく、洗浄処理する際のランニングコストを低減することができる。
【００８４】
さらに、洗浄液Ｓの洗浄力が低下することを抑制することができるため、洗浄液Ｓの洗浄力が大きく変動することを防止することができるとともに、被洗浄物Ａに付着する被除去物を除去する洗浄処理が安定して行える。
【００８５】
なお、１０枚分の被洗浄物Ａをキャリア３２に載置したまま一括して洗浄処理するため、例えば、洗浄槽２０内に搬入するキャリア３２の搬入数を処理数計数器６０で計数すれば、キャリア３２に載置される被洗浄物Ａの枚数を処理数計数器６０で一枚ずつ計数する必要がなく、キャリア３２の搬入数を計数するだけで、被洗浄物Ａの全処理数を算出することができる（図２参照）。
【００８６】
以下、上述の蒸留再生装置４０のその他の例について説明する。この説明において、前記構成と同一または同等の部位については同一の符号を記してその詳しい説明を省略する。
【００８７】
（実施例２）  
上述の実施例１では、処理数計数器６０で計数した計数結果に基づいて、蒸留再生時期が到来した洗浄液Ｓを蒸留再生する蒸留再生装置４０について説明したが、図４、図５に示すように、情報読取り器６２で読み取った媒体情報に基づいて、蒸留再生時期が到来した洗浄液Ｓを蒸留再生する実施例２の蒸留再生装置４０について説明する。  
図４は実施例２における洗浄装置１０に備えられた蒸留再生装置４０の説明図、図５は被洗浄物Ａに付設した記憶媒体Ｒの媒体情報を情報読取り器６２で読み取る説明図である。
【００８８】
実施例２の蒸留再生装置４０は、蒸留槽４１、凝縮部４２、水分離槽４３、減圧装置４４に加え、被洗浄物Ａに付設された記憶媒体Ｒの媒体情報（例えば、被洗浄物Ａ固有の識別情報や、被洗浄物Ａに付着する被除去物の付着量等）を読み取るための情報読取り器６２と、情報読取り器６２で読み取った媒体情報と、図示しないＲＡＭに記憶した基準情報とを比較して、洗浄槽２０に貯液された洗浄液Ｓに蒸留再生時期が到来したか否かを判定する情報判定部６３と、を備えている（図４、図５参照）。
【００８９】
情報読取り器６２は、キャリア待機部３４において、キャリア３２に載置された被洗浄物Ａ、あるいは載置される被洗浄物Ａの記憶媒体Ｒと対向して、該記憶媒体Ｒに記憶された媒体情報の読取りが許容される位置に配置している。
【００９０】
詳しくは、被洗浄物Ａをキャリア３２に載置する際に、被洗浄物Ａに付設した記憶媒体Ｒの媒体情報を情報読取り器６２で読み取るとともに、該情報読取り器６２で読み取った媒体情報を情報判定部６３に出力する（図４、図５参照）。
【００９１】
情報判定部６３は、情報読取り器６２から出力される記憶媒体Ｒの媒体情報と、図示しないＲＡＭに記憶した基準情報とを比較して、洗浄槽２０に貯液された洗浄液Ｓに蒸留再生時期が到来したか否かを判定する。
【００９２】
すなわち、被洗浄物Ａに付設した記憶媒体Ｒの媒体情報と対応して、例えば、被洗浄物Ａを洗浄処理する処理数と、洗浄液Ｓを蒸留再生する蒸留再生時期とを対応させて情報判定部６３に予め記憶しておくことにより、情報読取り器６２で読み取った記憶媒体Ｒの媒体情報から、洗浄液Ｓに蒸留再生時期が到来したか否かを情報判定部で判定することができる。
【００９３】
被洗浄物Ａをキャリア３２に載置したまま、洗浄槽２０内に貯液した洗浄液Ｓ中に浸漬して浸漬洗浄する際に、洗浄処理される被洗浄物Ａの処理数や処理回数が少なく、被洗浄物Ａから除去される被除去物の除去利用が少ない場合、洗浄液Ｓ中に混入する被除去物の混入量も少ないため、被洗浄物Ａに付着する被除去物を除去するのに十分な洗浄力が得られる。
【００９４】
この場合、情報判定部６３は、洗浄液Ｓの蒸留再生時期が未到来であると判定するため、洗浄液Ｓを蒸留再生する必要がなく、被洗浄物Ａの洗浄処理に継続して使用することができる。
【００９５】
被洗浄物Ａの処理数や処理回数が多く、洗浄液Ｓ中に混入する被除去物の混入量が増加するのに伴って洗浄力も低下するため、被洗浄物Ａに付着する被除去物を除去するのに十分な洗浄力が得られなくなる。この場合、情報判定部６３は、洗浄液Ｓに蒸留再生時期が到来したと判定する。
【００９６】
情報判定部６３による判定に基づいて、蒸留再生時期が到来と判定された洗浄液Ｓを蒸留再生装置４０により蒸留再生するため、被除去物を洗浄液Ｓから確実に分離することができるとともに、洗浄液Ｓの洗浄力を蒸留再生時期が到来するまえの状態に回復することができる（図４参照）。
【００９７】
この結果、洗浄液Ｓに蒸留再生時期が到来したことをより正確に把握することができるとともに、蒸留再生時期が到来した洗浄液Ｓを蒸留再生して、被洗浄物Ａに付着する被除去物を除去するのに適した良好な状態に保つため、実施例１と略同等の作用及び効果を奏することができる。
【００９８】
また、実施例２の情報読取り器６２で読み取る記憶媒体Ｒの媒体情報に加えて、実施例１の処理数計数器６０で計数する被洗浄物Ａの処理数の情報に基づいて、洗浄液Ｓに蒸留再生時期が到来したか否かを判定してもよい。この場合、記憶媒体Ｒの媒体情報のみで判定するよりも、洗浄液Ｓに蒸留再生時期が到来したことをより正確に判定することができる。
【００９９】
（実施例３）  
上述の実施例１では、処理数計数器６０で計数した計数結果に基づいて、蒸留再生時期が到来した洗浄液Ｓを蒸留再生する方法及び装置について説明したが、図６、図７に示すように、濃度測定器６４で測定した測定結果に基づいて、蒸留再生時期が到来した洗浄液Ｓを蒸留再生する実施例３の方法及び装置について説明する。  
図６は実施例３における洗浄装置１０に備えられた蒸留再生装置４０の説明図、図７は洗浄液Ｓの濃度を測定した測定値Ｍと閾値Ｖとの関係を示すグラフである。
【０１００】
実施例３の蒸留再生装置４０は、蒸留槽４１、凝縮部４２、水分離槽４３、減圧装置４４に加え、洗浄槽２０に貯液された洗浄液Ｓの濃度を測定する濃度測定器６４と、濃度測定器６４で測定した測定値Ｍと、図示しないＲＡＭに記憶した濃度の閾値Ｖとを比較して、該測定値Ｍが閾値Ｖ未満であるか否かを判定する濃度判定部６５と、を備えている（図６、図７参照）。
【０１０１】
詳しくは、被洗浄物Ａをキャリア３２に載置したまま、洗浄槽２０内に貯液した洗浄液Ｓ中に浸漬して浸漬洗浄する際、あるいは洗浄処理が終了した際に、洗浄槽２０内に貯液した洗浄液Ｓの濃度を濃度測定器６４で測定するとともに、該濃度測定器６４で測定した測定値Ｍと、図示しないＲＡＭに記憶した濃度の閾値Ｖとを濃度判定部６５で比較して、該測定値Ｍが閾値Ｖ未満であるか否かを随時判定する（図６、図７参照）。
【０１０２】
被洗浄物Ａの洗浄処理を繰り返す度に、洗浄液Ｓ中に混入する被除去物の混入量は増加するが、被洗浄物Ａから除去される被除去物の除去量が少なければ、洗浄液Ｓ中に混入する被除去物の混入量も少ないため、濃度測定器６４で測定した洗浄液Ｓの測定値Ｍは段階的に上昇する（図７参照）。
【０１０３】
この場合、濃度測定器６４で測定した洗浄液Ｓの測定値Ｍが閾値Ｖに到達していなければ、濃度判定部６５は、測定値Ｍが閾値Ｖ未満であり、蒸留再生時期が未到来であると判定するため、洗浄液Ｓを蒸留再生する必要がなく、被洗浄物Ａの洗浄処理に継続して使用することができる。
【０１０４】
しかし、被洗浄物Ａから除去される被除去物の除去量が多くなれば、洗浄液Ｓ中に混入する被除去物の混入量も多くなる。濃度測定器６４で測定した測定値Ｍが急上昇するとともに、測定値Ｍが上昇するのに伴って洗浄液Ｓの濃度も薄くなるため、洗浄液Ｓの洗浄力が低下することになる（図７参照）。
【０１０５】
濃度測定器６４で測定される測定値Ｍが閾値Ｖに到達した場合、濃度判定部６５は、洗浄液Ｓに蒸留再生時期が到来したと判定するため、濃度判定部６５による判定に基づいて、蒸留再生時期が到来と判定された洗浄液Ｓを蒸留再生装置４０により蒸留再生する。
【０１０６】
これにより、洗浄液Ｓ中に混入する被除去物を、被洗浄物Ａの洗浄処理に使用された洗浄液Ｓから確実に分離することができるとともに、洗浄液Ｓの洗浄力を蒸留再生時期が到来するまえの状態に回復することができる（図６参照）。
【０１０７】
この結果、洗浄液Ｓに蒸留再生時期が到来したことをより正確に把握することができるとともに、蒸留再生時期が到来した洗浄液Ｓを蒸留再生して、被洗浄物Ａに付着する被除去物を除去するのに適した良好な状態に保つことができるため、実施例１と略同等の作用及び効果を奏することができる。
【０１０８】
しかも、洗浄液Ｓを、濃度測定器６４で測定した測定値Ｍ１が閾値Ｖに到達するまえに蒸留再生することにより、測定値Ｍ１が閾値Ｖ以上となることを防止することができる。つまり、洗浄液Ｓを、蒸留再生時期が到来と判定されるまえに蒸留再生するため、蒸留再生時期が遅くなることを確実に防止することができる。
【０１０９】
また、実施例３の濃度測定器６４で測定する洗浄液Ｓの濃度に加えて、実施例１の処理数計数器６０で計数する被洗浄物Ａの処理数と、実施例２の情報読取り器６２で読み取る記憶媒体Ｒの媒体情報とのいずれか一方の情報に基づいて、洗浄液Ｓに蒸留再生時期が到来したか否かを判定してもよい。この場合、洗浄液Ｓの濃度情報のみで判定するよりも、洗浄液Ｓに蒸留再生時期が到来したことをより正確に判定することができる。
【０１１０】
この発明の構成と、前記実施形態との対応において、  
この発明の監視手段は、実施形態の処理数計数器６０、情報読取り器６２、濃度測定器６４に対応し、  
以下同様に、  
判定手段は、処理数判定部６１、情報判定部６３、濃度判定部６５に対応し、  
蒸留再生手段は、蒸留再生装置４０に対応するも、  
この発明は、上述の実施形態の構成のみに限定されるものではなく、請求項に示される技術思想に基づいて応用することができ、多くの実施の形態を得ることができる。
【０１１１】
例えば、処理数計数器６０で計数する被洗浄物Ａの処理数と、情報読取り器６２で読み取る記憶媒体Ｒの媒体情報と、濃度測定器６４で測定する洗浄液Ｓの濃度とのうち少なくとも２つの情報に基づいて、洗浄液Ｓに蒸留再生時期が到来したか否かを判定してもよい。この場合、いずれか一つの情報に基づいて判定するよりも、洗浄液Ｓに蒸留再生時期が到来したことをより正確に判定することができる。
【符号の説明】
【０１１２】
Ａ…被洗浄物
Ｓ…洗浄液
Ｓａ…蒸気
Ｒ…記憶媒体
Ｍ…測定値
Ｖ…閾値
１０…洗浄装置
２０…洗浄槽
３０…運搬装置
３１…昇降機
３２，３３…キャリア
４０…蒸留再生装置
４１…蒸留槽
４２…凝縮部
４４…減圧装置
６０…処理数計数器
６１…処理数判定部
６２…情報読取り器
６３…情報判定部
６４…濃度測定器
６５…濃度判定部
【図１】
2017039059.tif 000003
【図２】
2017039059.tif 000004
【図３】
2017039059.tif 000005
【図４】
2017039059.tif 000006
【図５】
2017039059.tif 000007
【図６】
2017039059.tif 000008
【図７】
2017039059.tif 000009