(57)【要約】【課題】挟持部材の凸部と基板との間の隙間や、一対の挟持部材の凸部の間に薬液が残存してしまうことを防止することができ、よって基板が薬液で汚染されてしまうことを防止することができる基板搬送装置および保持部を提供する。【解決手段】基板搬送装置は、基板２０の上端縁を表側および裏側から挟む少なくとも２つの挟持部材１１を有する保持部１０と、保持部１０を所定の経路に沿って移動させる移動手段（例えば、循環ベルト１８および当該循環ベルト１８を循環移動させる駆動モータ１９）とを備えており、基板２０の上端縁を表側および裏側から挟む２つの挟持部材１１の各々は、保持部１０により保持される基板２０に接触する凸部１４を有しており、基板２０の上端縁を表側および裏側から挟む２つの挟持部材１１のうち少なくとも何れか一方には貫通口１２が設けられている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上端縁を表側および裏側から挟む少なくとも２つの挟持部材を有する保持部と、
前記保持部を所定の経路に沿って移動させる移動手段と、
を備え、
基板の上端縁を表側および裏側から挟む２つの前記挟持部材の各々は、前記保持部により保持される基板に接触する凸部を有しており、
基板の上端縁を表側および裏側から挟む２つの前記挟持部材のうち少なくとも何れか一方には貫通口が設けられている、基板搬送装置。
【請求項２】
前記挟持部材において前記貫通口は前記凸部の上方に設けられている、請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項３】
各前記挟持部材における前記凸部は湾曲している、請求項１または２記載の基板搬送装置。
【請求項４】
基板の上端縁を表側および裏側から挟む２つの前記挟持部材の各々に前記貫通口が設けられている、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
一方の前記挟持部材に設けられた前記貫通口は、他方の前記挟持部材を通す通過領域として用いられるようになっている、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
基板の上端縁を表側および裏側から挟む少なくとも２つの挟持部材を備え、
基板の上端縁を表側および裏側から挟む２つの前記挟持部材の各々は、基板に接触する凸部を有しており、
基板の上端縁を表側および裏側から挟む２つの前記挟持部材のうち少なくとも何れか一方には貫通口が設けられている、保持部。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を縦吊り状態で搬送する基板搬送装置および基板を縦吊り状態で保持する保持部に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体関連部材の分野において、基板（例えば、厚さ０．７ｍｍ程度の銅製の基板）を縦吊り状態で搬送して当該基板に各種の薬液処理を行う場合には、基板の上端縁を挟む一対のクリップの保持力を向上させるために、各クリップの基板保持部分を半球状の構造にする等の工夫を行い、各クリップの基板保持部分と基板との間の接触面積を小さくしている（例えば、特許文献１等参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３２１２４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、基板の上端縁を一対のクリップで挟んだ状態で搬送しながら薬液に浸漬させたりスプレー等で薬液を塗布したりすると、各クリップの基板保持部分と基板との間の隙間や、一対のクリップの基板保持部分同士の間に薬液が残存してしまい、このような残存した薬液の液垂れや薬液が蒸発して固化したものが基板に付着すると当該基板が汚染されてしまうという問題があった。このようなクリップに残存する薬液は、洗浄液をスプレーで噴射することにより除去しようとしてもクリップの本体部分が邪魔となるため除去しにくく、また、洗浄液槽によって基板や各クリップを浸漬洗浄することはプロセス条件の制限やコストの面から難しい。
【０００５】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、挟持部材の凸部と基板との間の隙間や、一対の挟持部材の凸部の間に薬液が残存してしまうことを防止することができ、よって基板が薬液で汚染されてしまうことを防止することができる基板搬送装置および保持部を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の基板搬送装置は、基板の上端縁を表側および裏側から挟む少なくとも２つの挟持部材を有する保持部と、前記保持部を所定の経路に沿って移動させる移動手段と、を備え、基板の上端縁を表側および裏側から挟む２つの前記挟持部材の各々は、前記保持部により保持される基板に接触する凸部を有しており、基板の上端縁を表側および裏側から挟む２つの前記挟持部材のうち少なくとも何れか一方には貫通口が設けられていることを特徴とする。
【０００７】
このような基板搬送装置によれば、基板の上端縁を表側および裏側から挟む２つの挟持部材のうち少なくとも何れか一方に貫通口を設けることにより、当該貫通口を通るよう薬液が循環するようになり、また、この貫通口を通るよう洗浄液を供給することにより、挟持部材の凸部と基板との間の隙間や、一対の挟持部材の凸部の間に薬液が残存してしまうことを防止することができ、よって基板が薬液で汚染されてしまうことを防止することができる。
【０００８】
本発明の基板搬送装置においては、前記挟持部材において前記貫通口は前記凸部の上方に設けられていてもよい。
【０００９】
本発明の基板搬送装置においては、各前記挟持部材における前記凸部は湾曲していてもよい。
【００１０】
本発明の基板搬送装置においては、基板の上端縁を表側および裏側から挟む２つの前記挟持部材の各々に前記貫通口が設けられていてもよい。
【００１１】
本発明の基板搬送装置においては、一方の前記挟持部材に設けられた前記貫通口は、他方の前記挟持部材を通す通過領域として用いられるようになっていてもよい。
【００１２】
本発明の保持部は、基板の上端縁を表側および裏側から挟む少なくとも２つの挟持部材を備え、基板の上端縁を表側および裏側から挟む２つの前記挟持部材の各々は、基板に接触する凸部を有しており、基板の上端縁を表側および裏側から挟む２つの前記挟持部材のうち少なくとも何れか一方には貫通口が設けられていることを特徴とする。
【００１３】
このような保持部によれば、基板の上端縁を表側および裏側から挟む２つの挟持部材のうち少なくとも何れか一方に貫通口を設けることにより、当該貫通口を通るよう薬液が循環するようになり、また、この貫通口を通るよう洗浄液を供給することにより、挟持部材の凸部と基板との間の隙間や、一対の挟持部材の凸部の間に薬液が残存してしまうことを防止することができ、よって基板が薬液で汚染されてしまうことを防止することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の基板搬送装置および保持部によれば、挟持部材の凸部と基板との間の隙間や、一対の挟持部材の凸部の間に薬液が残存してしまうことを防止することができ、よって基板が薬液で汚染されてしまうことを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態による基板搬送装置を備えた基板処理システムの構成の概略を示す概略構成図である。
【図２】図１に示す基板搬送装置の保持部およびこのような保持部により保持される基板の構成を示す正面図である。
【図３】図２に示す保持部および基板のＡ−Ａ矢視による横断面図である。
【図４】図２に示す保持部および基板のＢ−Ｂ矢視による縦断面図である。
【図５】従来技術の保持部およびこのような保持部により保持される基板の縦断面図である。
【図６】変形例に係る基板搬送装置の保持部およびこのような保持部により保持される基板の構成を示す正面図である。
【図７】図６に示す保持部および基板のＣ−Ｃ矢視による縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図４は、本実施の形態による基板搬送装置およびこのような基板搬送装置を備えた基板処理システムを示す図である。このうち、図１は、本実施の形態による基板搬送装置を備えた基板処理システムの構成の概略を示す概略構成図である。また、図２は、図１に示す基板搬送装置の保持部およびこのような保持部により保持される基板の構成を示す正面図であり、図３は、図２に示す保持部および基板のＡ−Ａ矢視による横断面図であり、図４は、図２に示す保持部および基板のＢ−Ｂ矢視による縦断面図である。なお、図５は、従来技術の保持部およびこのような保持部により保持される基板の縦断面図である。
【００１７】
図１に示すように、本実施の形態による基板搬送装置は、基板２０（例えば、厚さ０．７ｍｍ程度の銅製の基板２０）の上端縁を表側および裏側から挟む少なくとも２つの挟持部材１１を有する保持部１０と、保持部１０の各挟持部材１１が取り付けられた循環ベルト１８と、循環ベルト１８を図１における矢印方向に循環移動させる駆動モータ１９とを備えている。より詳細には、循環ベルト１８には多数（例えば、数千個）の挟持部材１１が等間隔で設けられており、このうち数個の挟持部材１１により１つの基板２０の上端縁が表側および裏側から挟持されるようになっている。そして、循環ベルト１８が駆動モータ１９によって図１における矢印方向に循環移動させられることにより、数個の挟持部材１１により挟持されている基板２０が縦吊り状態で搬送される。本実施の形態では、循環ベルト１８および当該循環ベルト１８を循環移動させる駆動モータ１９により、保持部１０を所定の経路に沿って移動させる移動手段が構成されている。
【００１８】
また、本実施の形態による基板処理システムにおいて、循環ベルト１８の循環経路に沿って基板処理ユニット３０が設けられており、当該基板処理ユニット３０において各挟持部材１１により挟持されながら縦吊り状態で搬送される基板２０に対して薬液に浸漬させたりスプレー等で薬液を塗布したりすることにより当該基板２０の薬液処理が行われるようになっている。なお、図１では１つの基板処理ユニット３０しか示されていないが、実際には１つの基板処理システムにおいて複数の基板処理ユニット３０が循環ベルト１８の循環経路に沿って直列に設けられる場合がある。また、基板２０の搬送方向（すなわち、図１において矢印で示すような循環ベルト１８の循環移動方向）における基板処理ユニット３０の下流側には基板洗浄ユニット３２が循環ベルト１８の循環経路に沿って設けられており、当該基板洗浄ユニット３２において各挟持部材１１により挟持されながら縦吊り状態で搬送される基板２０に対して洗浄ノズル等で洗浄液を噴射することにより当該基板２０の洗浄処理が行われるようになっている。なお、基板洗浄ユニット３２において基板２０の洗浄が行われる際に、当該基板２０を保持する保持部１０の各挟持部材１１にも洗浄液が噴射されるようになっている。
【００１９】
次に、基板２０を保持する保持部１０の構成の詳細について図２乃至図４を用いて説明する。上述したように、本実施の形態の保持部１０は、基板２０の上端縁を表側および裏側から挟む少なくとも２つの挟持部材１１を有している。なお、図２では基板２０の表側に位置する挟持部材１１は図示されているが、図面を見やすくするために基板２０の裏側に位置する挟持部材１１の図示は省略している。また、本実施の形態による保持部１０では、図３に示すように、基板２０の上端縁における同じ箇所の表裏が一対の挟持部材１１により挟持されるのではなく、各挟持部材１１により挟持される基板２０の上端縁の表側の箇所および裏側の箇所が互い違いとなるように、表側の挟持部材１１の位置および裏側の挟持部材１１の位置が互いにずれるようになっている。
【００２０】
なお、本実施の形態による基板搬送装置における各挟持部材１１の配置は図３に示すようなものに限定されることはない。他の例として、基板２０の上端縁における同じ箇所の表裏が一対の挟持部材１１により挟持されるようになっていてもよい。
【００２１】
また、図２や図３に示すように、本実施の形態による保持部１０において、基板２０の上端縁を挟む挟持部材１１の保持力を向上させるために、各挟持部材１１の下端部分の近傍には基板保持部分として半球状の凸部１４が形成されている。このことにより、保持部１０により保持される基板２０は各挟持部材１１の半球状の凸部１４に接触するようになり、当該挟持部材１１の凸部１４と基板２０との間の接触面積を小さくすることができるため、挟持部材１１による基板２０の保持力が大きくなる。
【００２２】
また、本実施の形態による基板搬送装置では、基板２０の上端縁を表側および裏側から挟む２つの挟持部材１１のうち少なくとも何れか一方には貫通口１２が設けられている。具体的には、各挟持部材１１においてこのような貫通口１２は凸部１４の上方に設けられている。なお、本実施の形態では、図４に示すように、基板２０の上端縁を表側および裏側から挟む２つの挟持部材１１の各々に貫通口１２が設けられているが、このような構成に限定されることはなく、基板２０の上端縁を表側および裏側から挟む２つの挟持部材１１のいずれか一方にのみ（例えば、図４における右側の挟持部材１１のみ）に貫通口１２が設けられていてもよい。
【００２３】
ここで、従来技術の基板搬送装置の保持部９０の構成を図５に示す。従来技術の基板搬送装置でも、保持部９０は、基板２０の上端縁を表側および裏側から挟む少なくとも２つの挟持部材９１を有しており、また、基板２０の上端縁を挟む挟持部材９１の保持力を向上させるために、各挟持部材９１の下端部分の近傍には基板保持部分として半球状の凸部９４が形成されている。しかしながら、図５に示すような従来の基板搬送装置の保持部９０では、基板２０の上端縁を複数の挟持部材９１で挟んだ状態で搬送しながら基板処理ユニット３０において薬液に浸漬させたりスプレー等で薬液を塗布したりすると、挟持部材９１の凸部９４と基板２０との間の隙間に薬液が残存してしまい、このような残存した薬液の液垂れや薬液が蒸発して固化したものが基板２０に付着すると当該基板２０が汚染されてしまうという問題があった。また、従来技術の基板搬送装置の保持部９０において、基板２０の上端縁における同じ箇所の表裏が一対の挟持部材９１により挟持されるようになっている場合には、一対の挟持部材９１の凸部９４同士の間に薬液が残存してしまうおそれがある。また、図５に示すような保持部９０では、挟持部材９１に残存する薬液は、基板洗浄ユニット３２において洗浄液をスプレーで噴射することにより除去しようとしても挟持部材９１の本体部分が邪魔となるため除去しにくいという問題があった。
【００２４】
これに対し、図２乃至図４に示すような構成の保持部１０を有する本実施の形態の基板搬送装置では、基板２０の上端縁を表側および裏側から挟む２つの挟持部材１１の各々は、保持部１０により保持される基板２０に接触する凸部１４を有しており、また、基板２０の上端縁を表側および裏側から挟む２つの挟持部材１１のうち少なくとも何れか一方（図２乃至図４に示す例では基板２０の上端縁を表側および裏側から挟む２つの挟持部材１１の各々）に貫通口１２が設けられているため、基板洗浄ユニット３２において各挟持部材１１により挟持されながら縦吊り状態で搬送される基板２０に対して洗浄ノズル等で洗浄液を噴射することにより当該基板２０の洗浄処理が行われる際に、洗浄ノズル等から噴射された洗浄液は貫通口１２を通って挟持部材１１と基板２０の上端縁との間に入るようになる。このことにより、挟持部材１１における半球状の凸部１４の上側等にも洗浄液が十分に供給されるようになり、この凸部１４の上側等に薬液が残存してしまうことを防止することができるようになる。また、基板２０の上端縁における同じ箇所の表裏が一対の挟持部材１１により挟持されるようになっている場合には、一対の挟持部材１１の凸部１４同士の間に薬液が残存してしまうことを防止することができるようになる。また、各挟持部材１１に付着した薬液は貫通口１２を通って循環するようになるため、基板洗浄ユニット３２において基板２０の洗浄処理が行われる際に当該挟持部材１１に薬液が残存してしまうことをより一層防止することができるようになる。
【００２５】
また、基板２０の上端縁を表側および裏側から挟む２つの挟持部材１１のうち少なくとも何れか一方に貫通口１２が設けられているという本発明の原理は、従来の基板搬送装置の保持部９０における挟持部材９１に対して錐等の穿孔部材によって穿孔して凸部９４の上方に貫通口を形成するだけで達成することができるため、既設の基板搬送装置に対しても本発明の原理を容易に適用することができる。
【００２６】
なお、本実施の形態の基板搬送装置における保持部の構成は図２乃至図４に示すようなものに限定されることはない。本実施の形態の基板搬送装置による保持部として、図６および図７に示すような構成のものが用いられてもよい。図６および図７に示す保持部１０ａは、循環ベルト１８に取り付けられた第１挟持部材４０と、当該第１挟持部材４０に着脱自在に取り付けられる複数の第２挟持部材５０とを有しており、基板２０の上端縁が第１挟持部材４０と各第２挟持部材５０との間で挟持されながら当該基板２０が搬送されるようになっている。ここで、これらの第１挟持部材４０および各第２挟持部材５０は、それぞれ、ステンレス薄板等の金属製の薄板から構成されるようになっている。
【００２７】
図６および図７に示すように、第１挟持部材４０には、各第２挟持部材５０に対応して、当該第２挟持部材５０が通過する貫通口４２が設けられている。また、第１挟持部材４０における各貫通口４２の上方には、第２挟持部材５０の上端縁から上方に突出するよう設けられた取付部材５２（後述）が挿入される被取付開口４８が形成されている。また、第１挟持部材４０の下端縁から下方に突出するよう１つの第２挟持部材５０に対して２つの突出部４４が形成されており、この突出部４４には、基板保持部分として半球状の凸部４６が形成されている。このことにより、保持部１０ａにより保持される基板２０は第１挟持部材４０の突出部４４に形成された半球状の凸部４６に接触するようになり、当該第１挟持部材４０の凸部４６と基板２０との間の接触面積を小さくすることができるため、第１挟持部材４０による基板２０の保持力が大きくなる。
【００２８】
また、第２挟持部材５０は略長方形形状のものからなり、この第２挟持部材５０の下端縁から下方に突出するよう突出部５４が形成されている。そして、この突出部５４には、基板保持部分として半球状の凸部５６が形成されている。このことにより、保持部１０ａにより保持される基板２０は第２挟持部材５０の突出部５４に形成された半球状の凸部５６に接触するようになり、当該第２挟持部材５０の凸部５６と基板２０との間の接触面積を小さくすることができるため、第２挟持部材５０による基板２０の保持力が大きくなる。なお、図６および図７に示すような保持部１０ａでは、基板２０の上端縁の表側が第１挟持部材４０の２つの凸部４６に接触するとともに基板２０の上端縁の裏側が第２挟持部材５０の１つの凸部５６に接触した状態で、第１挟持部材４０と第２挟持部材５０との間に基板２０の上端縁が挟持されるようになる。すなわち、基板２０の上端縁における同じ箇所の表裏が第１挟持部材４０および第２挟持部材５０により挟持されるのではなく、第１挟持部材４０および第２挟持部材５０により挟持される基板２０の上端縁の表側の箇所および裏側の箇所が互い違いとなるように、表側の第１挟持部材４０の２つの凸部４６の位置および裏側の第２挟持部材５０の凸部５６の位置が互いにずれるようになっている。
【００２９】
また、第２挟持部材５０には、当該第２挟持部材５０の上端縁から上方に突出するよう取付部材５２が形成されている。ここで、第２挟持部材５０を第１挟持部材４０に取り付ける際に、図７に示すように、金属製の薄板から構成される第２挟持部材５０を湾曲させた状態で当該第２挟持部材５０の下部領域を貫通口４２を通過させながらこの第２挟持部材５０の取付部材５２を被取付開口４８に挿入する。このことにより、第２挟持部材５０における湾曲状態からの復元力によって第１挟持部材４０の下端部と第２挟持部材５０の下端部との間に基板２０の上端縁が挟持されるようになる。
【００３０】
また、図６および図７に示すように、第２挟持部材５０において凸部５６の上方には貫通口５８が設けられている。このような貫通口５８が第２挟持部材５０に設けられていることにより、図６および図７に示す構成の保持部１０ａにより保持されながら縦吊り状態で搬送される基板２０に対して基板洗浄ユニット３２において洗浄ノズル等で洗浄液を噴射することにより当該基板２０の洗浄処理が行われる際に、洗浄ノズル等から噴射された洗浄液は貫通口５８を通って第２挟持部材５０と基板２０の上端縁との間に入るようになる。このことにより、第２挟持部材５０における半球状の凸部５６の上側等にも洗浄液が十分に供給されるようになり、この凸部５６の上側等に薬液が残存してしまうことを防止することができるようになる。また、第１挟持部材４０や第２挟持部材５０に付着した薬液は貫通口５８を通って循環するようになるため、基板洗浄ユニット３２において基板２０の洗浄処理が行われる際に第１挟持部材４０や第２挟持部材５０に薬液が残存してしまうことをより一層防止することができるようになる。
【００３１】
また、図６および図７に示す保持部１０ａでは、第１挟持部材４０において第２挟持部材５０を通すための貫通口４２が凸部４６の上方に設けられているため、図６および図７に示す構成の保持部１０ａにより保持されながら縦吊り状態で搬送される基板２０に対して基板洗浄ユニット３２において洗浄ノズル等で洗浄液を噴射することにより当該基板２０の洗浄処理が行われる際に、洗浄ノズル等から噴射された洗浄液は貫通口４２を通って第１挟持部材４０と基板２０の上端縁との間に入るようになる。このことにより、第１挟持部材４０における半球状の凸部４６の上側等にも洗浄液が十分に供給されるようになり、この凸部４６の上側等に薬液が残存してしまうことを防止することができるようになる。また、第１挟持部材４０や第２挟持部材５０に付着した薬液は貫通口４２を通って循環するようになるため、基板洗浄ユニット３２において基板２０の洗浄処理が行われる際に第１挟持部材４０や第２挟持部材５０に薬液が残存してしまうことをより一層防止することができるようになる。
【００３２】
このように、図６および図７に示す構成の保持部１０ａでも、図２乃至図４に示す構成の保持部１０と同様の作用効果（すなわち、挟持部材の凸部と基板２０との間の隙間や、一対の挟持部材の凸部の間に薬液が残存してしまうことを防止することができ、よって基板２０が薬液で汚染されてしまうことを防止することができる）を奏することができるようになる。
【００３３】
なお、本実施の形態による基板搬送装置やこのような基板搬送装置に設けられる保持部は、上述したような態様に限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。
【００３４】
例えば、本実施の形態による基板搬送装置は、循環経路に沿って保持部を移動させるものに限定されることはない。本実施の形態による基板搬送装置の他の例として、線状に延びる搬送経路に沿って保持部が移動するものが用いられてもよい。
【００３５】
また、本実施の形態による保持部において、各挟持部材に設けられる凸部は半球状のものに限定されることはない。各挟持部材に設けられる凸部として湾曲形状のものが用いられてもよい。この場合でも、各挟持部材の凸部と基板との間の接触面積を小さくすることにより、基板の上端縁を挟む各挟持部材の保持力を向上させることができるようになる。
【００３６】
また、本実施の形態による保持部の挟持部材において、貫通口が凸部の上方に設けられることに限定されることはない。変形例に係る保持部の挟持部材として、貫通口が凸部の側方や下方に設けられたものが用いられてもよい。
【符号の説明】
【００３７】
１０、１０ａ  保持部
１１  挟持部材
１２  貫通口
１４  凸部
１８  循環ベルト
１９  駆動モータ
２０  基板
３０  基板処理ユニット
３２  基板洗浄ユニット
４０  第１挟持部材
４２  貫通口
４４  突出部
４６  凸部
４８  被取付開口
５０  第２挟持部材
５２  取付部材
５４  突出部
５６  凸部
５８  貫通口
９０  保持部
９１  挟持部材
９４  凸部
【図１】
2017008346.tif 000003
【図２】
2017008346.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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