(57)【要約】      （修正有）【課題】パージ可能なウエハシッパーを提供する。【解決手段】容器は、開放側面または開放底面を有する筐体部１０８と、開放側面または開放底面を閉鎖して封止するドア１０４とを含む。ドア又は筐体部の一方は、筐体に形成される開口１２２を含み、ウエハシッパー１００の内部から外部領域までの流体路を提供する。開口は、流体路を画定するモジュール収容構造１０９を含むことができる。モジュール収容構造に挿入される封止部材１２４が含まれる。封止部材は、支持縁部を含み、支持縁部がその下部に近接して配置される本体部と、本体部の外面の周溝と、周溝に少なくとも部分的に配置されるＯリングとを有する。【選択図】図１
2017188609.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パージ可能ウエハシッパーであって、
開放側面または開放底面を有する筐体部と、前記開放側面または開放底面を封止閉鎖するドアとを備え、前記ドアおよび容器部の一方が、
前記筐体部に形成されて、前記ウエハシッパーの内部から外部領域までの流体路を提供する開口であって、前記流体路を画定するモジュール収容構造を含む、開口と、
前記モジュール収容構造に挿入される封止部材であって、前記モジュール収容構造の内面に対応する形状の本体部を有しており、前記本体部が、
前記本体部の下部に近接して配置される支持縁部であって、前記本体部の外面から外方に延在する、支持縁部と、
前記本体部の外面の周溝であって、前記本体部の上面に近接して配置されている、周溝と、
前記本体部を通る中心軸に略垂直に配置される略平面状の上面と、
前記周溝内に少なくとも部分的に配置されるＯリングと、を含んでいる、封止部材と、を備えており、
前記モジュール収容構造に完全に挿入されると、前記支持縁部が前記モジュール収容構造に当接することによって、挿入を停止させ、前記上面を前記ウエハシッパーの内部と略面一に位置決めし、前記Ｏリングが、前記モジュール収容構造の内部に対して気密封止を形成して前記開口を封止し、流体の前記流体路の通過を防止する、
パージ可能ウエハシッパー。
【請求項２】
前記モジュール収容構造が円筒構造であり、前記本体部が、前記モジュール収容構造の円筒内面と係合するように構成されている円筒外面を有する円筒体部である、請求項１に記載のウエハシッパー。
【請求項３】
前記円筒体部が、前記下部からテーパ状の上部まで延在するテーパ状をなす、請求項２に記載のウエハシッパー。
【請求項４】
前記封止部材を前記開口に係止するために前記モジュール収容構造と動作可能に係合するように構成されているコネクタロックをさらに備えており、前記封止部材が前記モジュール収容構造に完全に挿入されると、前記コネクタロックが、前記モジュール収容構造と動作可能に係合することによって、前記モジュール収容構造と前記コネクタロックとの間で前記支持縁部を挟んで前記封止部材を前記モジュール収容構造に固定する、請求項１に記載のウエハシッパー。
【請求項５】
３００ｍｍウエハシッパーである、請求項１に記載のウエハシッパー。
【請求項６】
４５０ｍｍウエハシッパーである、請求項１に記載のウエハシッパー。
【請求項７】
前記容器部が複数の開口をさらに含み、前記複数の開口のうち少なくとも１つの開口が前記封止部材を含み、前記複数の開口のうち他の開口が、前記ウエハシッパーのパージ用動作部品を含む、請求項１に記載のウエハシッパー。
【請求項８】
前記開口が前記筐体部に形成される複数の開口のうちの１つであり、前記複数の開口が、標準的な搭載口インタフェースと対応するように配置されている、請求項１に記載のウエハシッパー。
【請求項９】
前記開口が前記筐体部の底部に形成されており、前記ウエハシッパーが前記底部に装着される運動力学的連結板をさらに備える、請求項１に記載のウエハシッパー。
【請求項１０】
前面開口出荷容器である、請求項１に記載のウエハシッパー。
【請求項１１】
パージ性能を有するようにウエハシッパーを構成する方法であって、前記ウエハシッパーが、開放側面または開放底面を有する筐体部と、前記開放側面または開放底面を封止閉鎖するドアとを備え、前記ドアおよび容器部の一方が、前記ウエハシッパーの内部から外部領域までの流体路を画定するモジュール収容構造を有する開口を含み、前記ウエハシッパーが前記モジュール収容構造に挿入される封止部材を含み、前記封止部材が前記封止部材の下部に近接して配置される支持縁部を含む本体部を有し、前記支持縁部が前記本体部の外面から外方に延在し、前記本体部が前記封止部材の上部に近接して配置される、前記本体部の外面の周溝を含み、前記本体部が略平面状の上面を含み、前記上面が前記本体部を通る中心軸に略垂直に配置され、前記本体部が前記周溝に少なくとも部分的に配置されるＯリングを含んでおり、前記方法が、
前記開口から前記封止部材を脱離することと、
前記封止部材の脱離に応答して、前記ウエハシッパーのパージ用動作部品を前記開口に挿入することと、を含む、方法。
【請求項１２】
前記モジュール収容構造が円筒構造であり、前記本体部が、前記モジュール収容構造の円筒内面と係合する円筒外面を有する円筒体部である、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記円筒体部が、下部からテーパ状の上部まで延在するテーパ状をなす、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記ウエハシッパーが、前記モジュール収容構造と動作可能に係合し、前記封止部材を前記開口に係止するコネクタロックをさらに備える、請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】
前記ウエハシッパーが３００ｍｍウエハシッパーである、請求項１１に記載の方法。
【請求項１６】
前記ウエハシッパーが４５０ｍｍウエハシッパーである、請求項１１に記載の方法。
【請求項１７】
前記開口が前記筐体部に形成される複数の開口のうちの１つであり、前記複数の開口が標準的な搭載口インタフェースに対応して配置される、請求項１１に記載の方法。
【請求項１８】
前記開口が前記筐体部の底部に形成され、前記ウエハシッパーが前記底部に装着される運動力学的連結板をさらに備える、請求項１１に記載の方法。
【請求項１９】
前記ウエハシッパーが前面開口出荷容器である、請求項１１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、ウエハ筐体を含む基板容器、より詳細には、ウエハ用の前面開口出荷容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、処理前、処理中、および処理後のシリコンウエハのバッチを輸送および／または保管するためにキャリアが利用される。最も一般的な現行のウエハ寸法は３００ｍｍであるが、一部の製造施設は４５０ｍｍのウエハを企図し、開発中である。通常、ウエハは、前面開口出荷容器（ＦＯＳＢ）として知られる出荷容器を用いて施設間で配送される。このような出荷容器では、ウエハは水平に容器に搭載され、棚に配置される。ウエハを棚から離昇させ、前側ウエハ拘束手段と後側ウエハ拘束手段との間で懸架させるドアが設置される。その後、前部ドアが上を向き、ウエハが棚間に縦方向に間隔をおいて配置されるように、容器が９０度回転される。次に、ウエハを備えたＦＯＳＢが箱詰めされ、ウエハ処理施設へと出荷される。処理施設では、ウエハは、前面開口一体型ポッド（ＦＯＵＰ）として知られる別の処理輸送容器に移送することができる。ＦＯＵＰは、前面ラッチドアを有し、水平方向にウエハを収容して棚に配置する。通常、棚は、ウエハとの接触を最小限にする構造を有する。ウエハは、処理のためにＦＯＵＰから取り出されて、集積回路チップに変換される。上記処理は、ウエハが種々の処理ステーションで処理される複数ステップを含み、処理ステップ間で、ウエハは、ＦＯＵＰ、またはその他の搬送容器に収容されて、施設内で保管および移送される。通常、ＦＯＵＰは、そのような容器の上壁に装着されるロボット縁部を把持するオーバーヘッドコンベアを用いて、ウエハと共に輸送される。
【０００３】
脆い性質と、破損による損傷や粒子および化学物質による汚染され易さ故に、ウエハは、輸送と処理の間中ずっと、ＦＯＳＢなどの出荷容器や、ＦＯＵＰなどの処理輸送容器内で適切に保護することが極めて重要である。ＦＯＳＢなどの出荷容器とＦＯＵＰなどの処理輸送容器は、共通点はあるが、本来は異なる。施設間での出荷の際、ＦＯＳＢは、特にウエハが出荷中に垂直面に配置される場合、落下などの衝撃事象からの保護を強化しなければならない。よって、出荷中に、ウエハの周縁を十分に支持し、接触を避けて棚間にウエハを位置決めすることに大きな注意が払われる。例えば、本願の所有者が所有する特許文献１、特許文献２、および特許文献３を参照のこと。これらの文献は、本願に含まれる明示的な定義および特許請求の範囲を除き、参照により本願に組み込まれる。
【０００４】
半導体ウエハの処理中、微粒子の存在または生成が深刻な汚染問題を招く。汚染は、半導体業界における収率損失の最大の原因の１つとみなされている。集積回路の小型化が進むにつれて、集積回路を汚染する可能性のある粒子の寸法も小さくなり、汚染物質の最小化が一層深刻になる。粒子状の汚染物質は、キャリアと、ウエハ、キャリアカバーまたは筐体、保管ラック、他のキャリア、または処理設備との擦り合いや引っ掻きなどの摩擦によって生成される場合がある。さらに、埃などの粒子が、カバーおよび／または筐体の開口または接合部を通じて筐体に導入される可能性がある。また、ある種のガス状汚染物質がウエハの曇りを引き起こすことがあり、これも問題である。よって、ＦＯＵＰなどの処理施設内のウエハ容器の特定の機能は、ウエハを汚染物質から保護することである。通常、このような処理輸送容器は、極めて清浄な内部を維持し、曇りが広がる可能性を最小化するガスパージ性能を備える。このようなパージ性能は、たとえば特許文献４、特許文献５、および特許文献６に例示されており、それらの文献は、本願に含まれる明示的な定義および特許請求の範囲を除き、参照により本願に組み込まれる。従来、窒素などのガスやその他の洗浄ガスの導入および／または排出を促進する流体管が、たとえばドアに対向して容器部の底壁内に設計されている。基板容器では、流体管に種々の弾性グロメットが追加で装備される。これらのグロメットは、１つ以上の種々の動作部品を挿入し、基板容器の内側と外側との間に配置するのに十分な長さの孔を含む。例えば、このようなグロメットは、本願の所有者が所有する特許文献６に例示されており、この文献は、本願に含まれる明示的な定義および特許請求の範囲を除き、参照により本願に組み込まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許第６，２６７，２４５号明細書
【特許文献２】米国特許出願公開第２０１３／２９９３８４号明細書
【特許文献３】米国特許出願公開第２０１５／０８３６３９号明細書
【特許文献４】米国特許第９，０５４，１４４号明細書
【特許文献５】米国特許第８，７８３，４６３号明細書
【特許文献６】米国特許第８，７２７，１２５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、上記したウエハ容器をより向上させたウエハ容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の種々の実施形態は、開放側面または開放底部を有する筐体部と、開放側面または開放底部を密封閉鎖するドアとを有する前面開口ウエハシッパーに関する。１または複数の実施形態では、ウエハシッパーは、筐体部内の複数のウエハ支持棚と、前面ドアの内側に配置されるウエハクッションとを含む。１または複数の実施形態では、ドアの閉鎖時、ウエハクッションは、支持棚から離れた出荷位置までウエハを上昇させる。ドアは、筐体部と連結して、ウエハを大気と隔離する連続的筐体を形成する。容器は、筐体部の内部から外部領域への流体路を提供する開口を有する。開口は、内向き面を有する円筒壁で流体路を画定する収容構造を含む。１または複数の実施形態では、封止部材は、液密係合で収容構造内に配置される。封止部材の外面は、内向き壁面収容構造の内面に対する略液密封止を提供して、流体路を閉鎖する。
【０００８】
動作時、１または複数の実施形態によると、封止部材は、収容構造に対する封止を維持して、望ましくない化学物質または微粒子がウエハシッパーの内部に進入することを防止する。したがって、ウエハシッパーの内部と外部間の流体流は、封止部材の挿入または脱離に基づいて制限される。
【０００９】
製造時、種々のウエハシッパーにおいて均一な寸法の開口と、均一な寸法の封止部材を使用することでモジュール化が可能になる。したがって、１または複数のアクセス構造を有する種々のウエハシッパーの製造ラインでは、ウエハシッパーには最初に封止部材を設けて容器内の完全な封止微環境を可能にするが、封止部材の脱離と、その他の動作部品との交換とにより、様々な処理要件に見合ったウエハシッパーの構成もさらに可能にする。例えば、封止部材は、上記特許文献６に例示されるようなパージ弁／グロメット、あるいは逃がし口、センサ、またはウエハシッパー内のその他の部品を提供するためのその他の適切な部品と置き換えることができる。
【００１０】
上記概要は、本開示の各例示的実施形態やすべての実施例を記載することを意図していない。
本願に含まれる図面は、本明細書に組み込まれ、本明細書の一部を成す。これらの図面は、明細書と共に本開示の実施形態を例示しており、本開示の原理を説明する役割を果たす。図面は特定の実施形態を例示しているだけで、本開示を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本開示の１または複数の実施形態に係るウエハシッパーの一実施形態の部分分解斜視図である。
【図２】本開示の１または複数の実施形態に係る、１または複数の封止部材を含む例示的ウエハシッパー部の底面図である。
【図３Ａ】本開示の１または複数の実施形態に係る、封止部材の斜視図である。
【図３Ｂ】本開示の１または複数の実施形態に係る、封止部材の底部斜視図である。
【図４】本開示の１または複数の実施形態に係る、封止部材と例示的ウエハシッパー部の分解図である。
【図５】本開示の１または複数の実施形態に係る、例示的ウエハシッパー部のモジュール収容構造に挿入される封止部材を示す図である。
【図６Ａ】本開示の１または複数の実施形態に係る、コネクタロックを含む例示的ウエハシッパー部の開口に挿入される封止部材を示す図である。
【図６Ｂ】本開示の１または複数の実施形態に係る、コネクタロックの斜視図である。
【図６Ｃ】本開示の１または複数の実施形態に係る、コネクタロックの斜視図である。
【図７】本開示の１または複数の実施形態に係る、開口に挿入される封止部材を含む例示的ウエハシッパーの断面図である。
【図８】本開示の１または複数の実施形態に係る、ウエハシッパーを１または複数の動作部品でアップグレードする方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本開示の実施形態は様々な変更および変形が可能であるが、その具体例を図面で例示し、以下詳細に説明する。しかしながら、記載する特定の実施形態に本開示を限定することが目的ではないと理解すべきである。むしろ、本開示の精神と範囲に属するすべての変更、等価物、代替物を対象とすることを目的とする。
【００１３】
図１は、たとえば前面開口出荷容器（ＦＯＳＢ）などの例示的ウエハシッパー１００を示す。種々の実施形態では、ウエハシッパー１００は、筐体部１０８、ドア１０４、筐体部１０８の内部に配置されるウエハ棚１０２を含む。ドア１０４は、筐体部１０８と封止可能に連結し、大気から遮断される筐体部１０８の内部１１２に微環境を画定するように構成される。図１に示すように、ウエハ棚１０２は、複数のウエハまたは筐体部１０８内のウエハを保持し、かつ、位置決めする複数の部品１１６を備える。概して、部品１１６は、隣接ウエハ間の接触が最小化されるように、ウエハを保持し、かつ、位置決めする。そのため、部品１１６は、処理および／または輸送中に、ウエハ棚１０２によって支持されるウエハの損傷の可能性を低減することができる。
【００１４】
筐体部１０８は、筐体部の底壁１２０に１または複数の開口１２２をさらに含む。種々の実施形態では、開口はモジュール収容構造１０９によって画定される。後述するように、たとえば図４および図８では、モジュール収容構造１０９はそれぞれ、底壁１２０から下方に延在し、筐体部１０８の内部１１２への流体路を画定する円筒壁を含む。１または複数の実施形態では、開口１２２は、上述したようなパージ弁／グロメットなどの種々の動作部品および／またはモジュールを配置する位置を提示する。図示する実施形態では、封止部材１２４は、モジュール収容構造１０９のそれぞれに配置されて、各自のモジュール収容構造１０９の各流体路を封止する。種々の実施形態では、開口１２２と対応する収容構造１０９とが底壁１２０に配置されるため、シッパー１００は標準的な搭載口インタフェースとのインタフェースをとることができる。
【００１５】
１または複数の実施形態では、ドア１０４は通気口部１０５を含む。通気口部１０５は、筐体部１０８の内部と外部間で空気を流通させるフィルタまたはその他の部品を装備することができる。したがって、通気口部１０５は、筐体部１０８内の圧力バランスを取り、ドア１０４の取外しを助けるのに使用することができる。特定の実施形態では、たとえば、開口１２２および収容構造１０９に圧力バランスを取る逃がし口またはその他の部品が装備されると、通気口部１０５に封止部材１２４を取り付けることができる。
【００１６】
図１に示す実施形態では、ウエハシッパー１００は、４５０ｍｍウエハを包含するように設計されるＦＯＳＢである。特定の実施形態では、ウエハシッパー１００は他の大きさのウエハを包含するように設計される。例えば、いくつかの実施形態では、ウエハシッパー１００は、３００ｍｍ以上のウエハを包含することができる。図１にはＦＯＳＢを示しているが、種々の実施形態では、ウエハシッパー１００はＦＯＵＰなどの別の種類の前面開口ウエハ容器とすることができる。いくつかの実施形態では、ウエハシッパー１００は底面開口ウエハ容器である。
【００１７】
ウエハシッパーの構造は、たとえば、Ｂｈａｔｔ  ｅｔ  ａｌ．の米国特許第６，４２８，７２９号（発明の名称：「複合ウエハキャリア」）に記載されており、本願に含まれる明示的な定義および特許請求の範囲を除き、参照により本願に組み込まれる。また、前面開口に掛け金をかけるドアを備えた前面開口を有するウエハ容器は、本願の所有者が所有する米国特許第６，３５４，６０１号、同第５，７８８，０８２号、同第６，０１０，００８号に記載されており、本願に含まれる明示的な定義および特許請求の範囲を除き、参照により本願に組み込まれる。
【００１８】
図２は、図１に示す例示的ウエハシッパー１００の底部１２０を示す。図２に示す実施形態では、底部１２０は、筐体部の底壁に連結される運動力学的な連結板である。特定の実施形態では、底部１２０は、脱着不能かつ開放不能な壁部、前面ドア、底面ドア、またはウエハシッパーの他の部分とすることができる。
【００１９】
図示される底部１２０は、封止部材１２４を備えた開口１２２、１２３、１２５、１２６を含む。開口１２２、１２３、１２５、１２６はそれぞれ、ウエハシッパー部１２０にモジュール収容構造を画定し、対応するウエハシッパーにおいて、流体をウエハシッパーに対して出入りさせる流体路を画定する。図２は部分１２０が４つの開口１２２、１２３、１２５、１２６を備える実施形態を示しているが、部分１２０に配置される４つよりも少ない、あるいは４つよりも大きいアクセス構造を備える実施形態も企図され、本開示の範囲に属する。いくつかの実施形態では、開口１２２、開口１２３、開口１２５、および／または開口１２６は、標準的な搭載口インタフェースの結合特徴と整合するように配置される。
【００２０】
図２に示すように、封止部材１２４は、開口１２２、１２３、１２５、１２６のそれぞれに収容されて、これら開口を効果的に封止して、ウエハシッパーの内部に対する流体の出入りを防止する。後述するように、種々の実施形態では、開口１２２、１２３、１２５、１２６のそれぞれによって画定されるモジュール収容構造１０９は、流体路を画定する。特定の実施形態では、封止部材１２４の本体はそれぞれ、モジュール収容構造に収容されると、封止部材が、モジュール収容構造の内面を気密封止して、開口１２２、１２３、１２５、１２６のそれぞれの流体路を実質上遮断するように、開口１２２、１２３、１２５、１２６の内部特徴と一致する断面形状を有し、締まりばめとしての寸法を有する。当業者であれば、開口１２２、１２３、１２５、１２６の断面形状および寸法は、特定のウエハシッパーの動作圧力、開口の様々な寸法および設計、ウエハシッパーの開口状態に応じて設定できることを理解するであろう。
【００２１】
加えて、１または複数の実施形態では、開口１２２、１２３、１２５、１２６はそれぞれコネクタロック１２７を含む。さらに図６Ａおよび図７に示すように、コネクタロック１２７は、開口１２２、１２３、１２５、１２６のそれぞれに挿入されて、モジュール収容構造と動作可能に連結し、開口１２２、１２３、１２５、１２６に挿入されている部品を適所に固定することができる。例えば、図２に示すように、各コネクタロック１２７は、開口１２２、１２３、１２５、１２６の所定の位置において封止部材１２４を固定する。さらに、コネクタロック１２７は、ウエハシッパーの清掃、交換、再構成のために封止部材１２４への迅速なアクセスを可能にする。例えば、開口１２２、１２３、１２５、１２６のそれぞれが封止部材１２４を備えるように図示しているが、種々の実施形態では、開口１２２、１２３、１２５、１２６のうち１つ以上を、ウエハシッパーにパージガスを導入する、あるいはウエハシッパーからパージガスを排除する入口または出口として構成可能である。例えば、いくつかの実施形態では、半導体プロセスの要件に応じて、ユーザは、封止部材１２４と、エクストラクリーンドライエア（ＸＣＤＡ（登録商標））ガスまたは窒素ガスのパージのために、種々の動作部品、あるいは上述したような、および特許文献６に示すような動作部品と交換することができる。
【００２２】
図３Ａおよび図３Ｂは例示的封止部材１２４を示す。封止部材１２４は、１または複数の実施形態によると、略円筒体１２８を有する。さらに、図３Ａおよび図３Ｂに示すように、円筒体１２８は、径が円筒体１２８の比較的広い下部１２９から比較的狭い上部１３０に向けて小さくなるテーパ状である。ただし、種々の実施形態では、封止部材１２４は、ウエハシッパーの種々の開口の大きさおよび／または形状に略合致する任意の適切な形状を取るように構成される。
【００２３】
いくつかの実施形態では、円筒体１２８は、円筒体１２８の上部１３０の外側に沿って配置される周溝１３６の形状の封止特徴を含み、円環状のＯリング１３１が周溝１３６内に設けられる。封止部材１２４は、円筒体の下部１２９の外側に沿って配置される支持縁部１３２も含む。後述するように、支持縁部１３２は、ウエハシッパーの開口に配置されるモジュール収容構造と相互作用して、開口に挿入される際に封止部材を適所に支持する。封止部材１２４は、中心軸１３４に垂直に配置される平面状の上面１３３をさらに含む。上面１３３は略堅固であり、栓部材として機能して、封止部材１２４がウエハシッパーに挿入される際に開口の上方の領域を封止する。
【００２４】
封止部材１２４は、モジュール収容構造に挿入される際、モジュール収容構造の壁と封止部材の外面との間を気密封止して、開口を効果的に封止するような大きさや寸法に設定することができる。１または複数の実施形態では、封止部材１２４は、約０．３ｃｍ〜約２．５ｃｍの軸長１３５を有する。特定の実施形態では、封止部材１２４は、約１ｃｍ〜約２ｃｍの軸長１３５を有することができる。また、本開示の封止部材の実施形態では、約０．６〜３．８ｃｍの径を有することができるが、他の実施形態では、封止部材は約２ｃｍ〜３０ｃｍの径を有することができる。当業者であれば、封止部材の別の範囲の軸長１３５および径も企図され、本開示の範囲に含まれることを理解するであろう。
【００２５】
本開示の円筒体１２８、支持縁部１３２、Ｏリング１３１、および封止部材１２４のその他の部品は、ポリマーやエラストマーなど、半導体処理用途で使用するのに適した任意の材料で構成することができる。いくつかの実施形態では、円筒体１２８は、ゴム、シリコーン、または所望の封止特性を有するその他のエラストマーまたはポリマーから形成することができる。いくつかの実施形態では、少なくとも円筒体および縁部は、フルオロエラストマーから構成することができる。フルオロエラストマー類はたとえば、Ｃｈｅｍｏｕｒｓ  Ｃｏｍｐａｎｙ  ＦＣ，ＬＬＣが、商標Ｖｉｔｏｎ（登録商標）を付して市販している。また、いくつかの実施形態では、弾性封止部材は、フルオロポリマーまたはその他の不活性ポリマーを表面に被覆して、エラストマー物質をウエハシッパーの内部から隔離することができる。一般に、ポリマーまたはフルオロポリマーコーティングは、弾性封止部材の封止特性を維持するようにいくらかの柔軟性を有するべきである。
【００２６】
図４〜図７は、本開示の１または複数の実施形態に係る、封止部材１２４とウエハシッパーのアセンブリの種々の段階を示す。
図４は、底壁１２０の開口１２２と封止部材１２４の底部斜視図である。前述したように、開口１２２は、モジュール収容構造１４４を画定する。１または複数の実施形態では、モジュール収容構造は、ウエハシッパーから延在して、ウエハシッパーの内側領域１５２への流体路１４８を画定する円筒体１４６を含む。１または複数の実施形態では、円筒体１４６は、外面１４７に突起１４５またはこぶを含む。封止部材１２４は、モジュール収容構造１４４に挿入するため、流体路１４８上に配向され、軸方向に位置合わせされ、上部１３０は開口１２２に向けられる。
【００２７】
図５では、封止部材１２４はモジュール収容構造１４４に挿入されている。種々の実施形態では、封止部材１２４が完全にモジュール収容構造に挿入されると、支持縁部１３２がモジュール収容構造１４４に捕捉され、封止部材１２４は流体路１４８に完全かつ適切に挿入されている。
【００２８】
図６Ａおよび図７では、コネクタロック１２７は開口１２２に挿入されており、封止部材１２４の挿入後、適所で係止される。図６Ｂおよび図６Ｃは、コネクタロック１２７の斜視図である。コネクタロック１２７の機能は、ねじ山を使用せずに、部分的回転によって底壁１２０を容器に固定することである。例えば、いくつかの実施形態では、コネクタロックは、１８０度未満の回転、特定の実施形態では、約９０度の回転によって底壁１２０に固定する。
【００２９】
１または複数の実施形態では、コネクタロック１２７は、縁付き端部２０８および縁なし端部２１２を有する略円筒体２０４を含み、縁付き端部２０８の縁部２１６は、上または外向き面２２０と下または内向き面２２４とを有する。円筒体２０４は、内側貫通孔２２８を画定する。コネクタロック１２７は、円筒体２０４の縁なし端部２１２に近接して形成される弓状アーム２３２も含むことができる。弓状アーム２３２は、縁なし端部２１２からアクセス可能な接線スロット２３６を画定する。一実施形態では、上または外側タブ２４０が円筒体２０４から放射状に延在し、下または内側タブ２４４は弓状アーム２３２から放射状に延在し、両タブは接線スロット２３６の対向側に配置される。コネクタロック１２７は、円筒体２０４上のボス２４８をさらに含むことができる。図示する実施形態では、ボス１９２は、接線スロット１８６に略径方向に対向する。図６Ａに示すように、コネクタロック１２７を開口１２２に挿入し、方向２５０に回転させると、モジュール収容構造１４４の突起１４５がコネクタロック１２７の接線スロット２３６と協働して、差込接続を提供する。
【００３０】
コネクタロック１２７の開口１２２への挿入および固定と、モジュール収容構造１４４との動作可能な連結に関しては、本願の所有者が所有するＡｄａｍｓ  ｅｔ  ａｌ．の米国特許出願公開第２０１５／００４１３５３号に記載されており、本願に含まれる明示的な定義と特許請求の範囲を除き、参照により本願に組み込まれる。
【００３１】
図７に示すように、封止部材１２４は上方へモジュール収容構造１４４に挿入され、いったん完全に挿入されると、支持縁部１３２がモジュール収容構造１４４に捕捉されて封止部材１２４の挿入を停止させる。種々の実施形態では、完全に挿入されると、上面１３３がウエハシッパーの内面１６０と略面一に配置される。さらに、挿入されると、略テーパ状の円筒体１２８は、モジュール収容構造１４４のテーパ形状と、溝１３６内のＯリング１３１とに合致して、モジュール収容構造１４４の内部に対して気密封止を形成する。したがって、封止部材１２４は、流体または微粒子流が、開口１２２の流体路を通ってウエハシッパーに出入りするのを防止する。
【００３２】
コネクタロック１２７は開口１２２に挿入され固定される。その結果、封止部材１２４は、ウエハシッパーの内部とコネクタロック１２７との間に配置される。コネクタロックは、封止部材１２４の下部１２９に、内方に延在する縁部１６４を含む。支持縁部がコネクタロック１２７の縁部とモジュール収容構造１４４間に直接挟まれると、縁部１６４は支持縁部１４４に近接配置され、封止部材を適所に保持する。
【００３３】
図８は、１または複数の実施形態に係る、ウエハシッパーをアップグレードする方法３００を示すフローチャートである。方法３００は、動作３０４で、容器アセンブリのモジュール収容構造に配置される１つ以上の封止部材を含むウエハシッパーを受け取ることを含む。ウエハシッパーは、種々の実施形態では、図１に示すウエハシッパー１００と同一または略同様である。
【００３４】
動作３０８で、方法３００は、ウエハシッパー用の所望の構造を決定することを含む。上述のように、種々の実施形態では、ウエハシッパーは、筐体部の均一な寸法の開口／モジュール収容構造を利用する。したがって、１つ以上のモジュール収容構造を有する種々のウエハシッパーの製造ラインでは、ウエハシッパーは、最初に各モジュール収容構造に封止部材を設けて、容器内の完全封止微環境を可能にしつつも、種々の動作部品を備えたウエハシッパーの構成も可能にすることができる。
【００３５】
１または複数の実施形態では、ウエハシッパーは、容器に挿入するウエハの様々な処理要件から決定される所望の構造に基づき、１または複数の動作部品で構成することができる。例えば、予測される処理、出荷、またはその他の要件に基づき、ウエハシッパーは、このような要件にとって必要なパージ弁、センサ、またはその他の動作部品を装備することができる。
【００３６】
したがって、動作３１２で、封止部材の少なくとも１つがウエハシッパーのモジュール収容構造から脱離され、動作３１６で、所望のウエハシッパーに基づき選択された少なくとも１つの動作部品がモジュール収容構造に挿入されることによって、ウエハシッパーをアップグレードする。封止部材の脱離と動作部品の挿入は上述したとおりであり、米国特許出願公開第２０１５／００４１３５３号に例示されている。
【００３７】
本開示の種々の実施形態は例示のために説明しており、網羅的である、または開示する実施形態に限定することを目的としていない。当業者にとっては、記載する実施形態の範囲と精神から逸脱することなく、多数の変更および変形が自明であろう。本文書で使用する用語は、実施形態の原理、実際的用途、または市場の技術に対する技術的改良を説明する、あるいは当業者に本文書に開示する実施形態を理解させるために選択した。
【図１】
2017188609.tif 000003
【図２】
2017188609.tif 000004
【図３Ａ】
2017188609.tif 000005
【図３Ｂ】
2017188609.tif 000006
【図４】
2017188609.tif 000007
【図５】
2017188609.tif 000008
【図６Ａ】
2017188609.tif 000009
【図６Ｂ】
2017188609.tif 000010
【図６Ｃ】
2017188609.tif 000011
【図７】
2017188609.tif 000012
【図８】
2017188609.tif 000013
【外国語明細書】
2017188609000001.pdf