(57)【要約】      （修正有）【課題】保護板に付着した原料がセル内部に侵入することを抑止して原料蒸発源セルの故障を防止することが可能な、信頼性の高い原料蒸発源セルの提供。【解決手段】上方に開口１ａを有し、内部に原料が充填される坩堝１と、坩堝１の周囲に設けられ、坩堝１を加熱するヒータ２，３と、ヒータ２，３を囲うように設けられた第１熱遮蔽板４と、ヒータ２，３の上方に設けられた第２熱遮蔽板５と、第２熱遮蔽板５を覆うように設けられた保護板６とを含み、保護板６の開口１ａ側の第１上端角部６ａは、原料蒸発源セルの断面構造において、ヒータ２の開口１ａ側の第２上端角部２ａと第２熱遮蔽板５の開口１ａ側の下端角部５ａとを結ぶ仮想直線に対して開口１ａ側に位置する原料蒸発源セル。【選択図】図１
2017160098.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上方に開口を有し、内部に原料が充填される坩堝と、
前記坩堝の周囲に設けられ、前記坩堝を加熱するヒータと、
前記ヒータを囲うように設けられた第１熱遮蔽板と、
前記ヒータの上方に設けられた第２熱遮蔽板と、
前記第２熱遮蔽板を覆うように設けられた保護板と
を含み、
前記保護板の前記開口側の第１上端部は、原料蒸発源セルの断面構造において、前記ヒータの前記開口側の第２上端部と前記第２熱遮蔽板の前記開口側の下端部とを結ぶ仮想直線に対して前記開口側に位置することを特徴とする原料蒸発源セル。
【請求項２】
前記第１上端部と前記坩堝との間に間隙が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の原料蒸発源セル。
【請求項３】
前記保護板にはスリット状の貫通口が形成されており、前記貫通口の前記開口側に前記第１上端部が存することを特徴とする請求項１又は２に記載の原料蒸発源セル。
【請求項４】
前記保護板は、前記坩堝と一体形成されており、
前記保護板にはスリット状の貫通口が形成されており、前記貫通口の前記開口側に前記第１上端部が存することを特徴とする請求項１に記載の原料蒸発源セル。
【請求項５】
前記保護板は、前記第２熱遮蔽板よりも幅広であり、前記第２熱遮蔽板を内包するように設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の原料蒸発源セル。
【請求項６】
前記保護板の外径は、前記第１熱遮蔽板の外径よりも大きいことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の原料蒸発源セル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、原料蒸発源セルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
真空蒸着装置の一つに、分子線エピタキシー（Molecular Beam Epitaxy：ＭＢＥ）装置がある。ＭＢＥ装置では、真空チャンバ内に、原料が充填された原料蒸発源セルが配される。
【０００３】
図１１は、従来の原料蒸発源セルの構造を示す概略断面図である。
原料蒸発源セルは、原料を充填する坩堝１０１、第１ヒータ１０２及び第２ヒータ１０３、第１熱遮蔽１０４及び第２熱遮蔽１０５、並びに保護板１０６を備えて構成されている。
【０００４】
第１ヒータ１０２は坩堝１０１の上方、第２ヒータ１０３は坩堝１０１の下方で坩堝１０１の周囲にそれぞれ配されており、原料を加熱して蒸発させるためのものである。第１熱遮蔽１０４は、第１及び第２ヒータ１０２，１０３による原料の加熱効率を高めるため、坩堝１０１及び第１及び第２ヒータ１０２，１０３の外周を覆うように配されたものである。第２熱遮蔽１０５は、坩堝１０１の径が開口部１０１ａの付近で小さいことから、第１及び第２ヒータ１０２，１０３による原料の加熱効率を高めるためのものである。保護板１０６は、例えば熱分解性窒化ホウ素（Pyrolytic Boron Nitride：ＰＢＮ）を材料として形成されている。保護板１０６は、ＰＢＮを材料として形成されており、飛散した原料が付着して第１及び第２ヒータ１０２，１０３に絶縁不良等の故障が生じることを防止するべく、第２熱遮蔽１０５を原料の付着から保護するためのものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−６７８４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図１２に示すように、原料蒸発源セルでは、原料が蒸発している状態でシャッタを閉じると、蒸着の対象物である基板への原料の供給を遮断することができるが、シャッタに付着した原料が固化しないことがある。例えば、融点が室温程度であるガリウム（Ｇａ）は、シャッタに付着した後に、第１及び第２ヒータ１０２，１０３の輻射熱等により液化した状態でシャッタ上に留まる。Ｇａ原料のシャッタへの付着量が増加すると次第に大きな液滴となるため、シャッタの開閉動作等の振動により、シャッタの周辺に原料の液滴が飛散し、その一部が原料蒸発源セルの上部に付着する。
【０００７】
ＰＢＮからなる保護板１０６は、その下部にある第２熱遮蔽板１０５によりヒータ熱が遮断されているので、保護板１０６に付着した原料１００は蒸発することがない。そのため、次第にその付着量が増加する。付着した原料１００は液化しているため、保護板１０６側面の坩堝１０１との間隙１０７からセル内部に、矢印Ａで示すように入り込む。セル内部に入り込んだ原料は、原料蒸発源セルを構成する第１及び第２ヒータ１０２，１０３や第１及び第２熱遮蔽１０４，１０５等の金属材料を腐食する。その結果、不純物ガスの発生や、第１及び第２ヒータ１０２，１０３の絶縁不良等が生じ、原料蒸発源セルの故障の原因となる。
【０００８】
本発明は、上記の課題を解決すべくなされたものであり、保護板に付着した原料がセル内部に侵入することを抑止して原料蒸発源セルの故障を防止し、信頼性の高い原料蒸発源セルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
原料蒸発源セルの一態様は、上方に開口を有し、内部に原料が充填される坩堝と、前記坩堝の周囲に設けられ、前記坩堝を加熱するヒータと、前記ヒータを囲うように設けられた第１熱遮蔽板と、前記ヒータの上方に設けられた第２熱遮蔽板と、前記第２熱遮蔽板を覆うように設けられた保護板とを含み、前記保護板の前記開口側の第１上端部は、原料蒸発源セルの断面構造において、前記ヒータの前記開口側の第２上端部と前記第２熱遮蔽板の前記開口側の下端部とを結ぶ仮想直線に対して前記開口側に位置する。
【発明の効果】
【００１０】
上述した態様により、保護板に付着した原料がセル内部に侵入することを抑止して原料蒸発源セルの故障を防止し、信頼性の高い原料蒸発源セルが実現する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１の実施形態による原料蒸発源セルの概略構成を示す模式図である。
【図２】第１の実施形態における第１ヒータ、第２熱遮蔽、及び保護板の配置を説明する一部拡大断面図である。
【図３】第１の実施形態による原料蒸発源セルの作用効果を説明するための一部拡大断面図である。
【図４】第２の実施形態による原料蒸発源セルの概略構成を示す模式図である。
【図５】第２の実施形態における第１ヒータ、第２熱遮蔽、及び保護板の配置を説明する一部拡大断面図である。
【図６】第２の実施形態による原料蒸発源セルの作用効果を説明するための一部拡大断面図である。
【図７】第２の実施形態の変形例による原料蒸発源セルの概略構成を示す模式図である。
【図８】第２の実施形態の変形例における第１ヒータ、第２熱遮蔽、及び保護板の配置を説明する一部拡大断面図である。
【図９】第２の実施形態の変形例による原料蒸発源セルの作用効果を説明するための一部拡大断面図である。
【図１０】第１、第２の実施形態、又は第２の実施形態の変形例による原料蒸発源セルを備えたＭＢＥ装置の概略構成を示す模式図である。
【図１１】従来の原料蒸発源セルの構造を示す概略断面図である。
【図１２】従来の原料蒸発源セルの問題点を説明するための一部拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、諸実施形態について図面を参照して詳細に説明する。以下の諸実施形態では、原料蒸発源セルについて、図面を参照して詳細に説明する。
なお、以下の図面において、図示の便宜上、相対的に正確な大きさ及び厚みに示していない構成部材がある。
【００１３】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態による原料蒸発源セルの概略構成を示す模式図であり、（ａ）が縦断面図、（ｂ）が平面図である。
この原料蒸発源セルは、坩堝１、第１ヒータ２及び第２ヒータ３、第１熱遮蔽４及び第２熱遮蔽５、保護板６並びに不図示の熱電対を備えて構成されている。
【００１４】
坩堝１は、例えばＰＢＮを材料として形成されており、原料が充填されるものである。第１ヒータ２は坩堝１の上方、第２ヒータ３は坩堝１の下方で坩堝１の周囲にそれぞれ配されており、原料を加熱して蒸発させるためのものである。第１及び第２ヒータ２，３は、例えばタンタル（Ｔａ）を材料として形成されている。第１熱遮蔽４は、例えばＴａを材料として形成されており、第１及び第２ヒータ２，３による原料の加熱効率を高めるため、坩堝１及び第１及び第２ヒータ２，３の外周を覆うように配されたものである。第２熱遮蔽５は、例えばＴａを材料として形成されており、坩堝１の径が開口部１ａの付近で小さいことから、第１及び第２ヒータ２，３による原料の加熱効率を高めるためのものである。
【００１５】
保護板６は、例えばＰＢＮを材料として形成されており、飛散した原料が付着して第１及び第２ヒータ２，３に絶縁不良等の故障が生じることを防止するべく、第１及び第２熱遮蔽４，５を原料の付着から保護するためのものである。保護板６は、その中心部に坩堝１の開口１ａよりも大きな径の貫通孔を有し、第１上端角部６ａと坩堝１の上端との間に環状の間隙７が形成されているので、セル内部の真空排気を容易に行うことができる。熱電対は、例えばタングステン（Ｗ）／レニウム（Ｒｅ）を材料として形成されており、坩堝１の温度を測定するものである。
【００１６】
本実施形態では、保護板６は、第２熱遮蔽板５の幅よりも幅広であり、第２熱遮蔽板５を内包するように配されている。保護板６は、その外径が第１熱遮蔽板４の外径よりも大きい。
【００１７】
図２は、本実施形態における第１ヒータ２、第２熱遮蔽５、及び保護板６の配置を説明する一部拡大断面図である。
本実施形態では、原料蒸発源セルの縦断面構造において、保護板６の開口１ａ側の第１上端角部６ａは、第１ヒータ２の開口１ａ側の第２上端角部２ａと第２熱遮蔽板５の開口１ａ側の第２下端角部５ａとを結ぶ仮想直線Ｌに対して開口１ａ側に位置している。
【００１８】
図３は、本実施形態による原料蒸発源セルの作用効果を説明するための一部拡大断面図である。
原料蒸発源セルの坩堝１に原料として例えばＧａを充填した場合、第１及び第２ヒータ２，３を加熱すると、坩堝１内のＧａが蒸発する。Ｇａが蒸発しているときにシャッタを閉じると、Ｇａはシャッタに付着する。付着したＧａは融点が室温付近であり、第１及び第２ヒータ２，３の輻射熱等により液化している。シャッタへのＧａの付着が増加すると、液滴が次第に大きくなり、シャッタの開閉動作等の振動により、シャッタの周辺にガリウムの液滴が飛散し、その一部（原料１０）が原料蒸発源セルの上部の保護板６上に付着する。付着したＧａは液滴となり、保護板６上に留まる。ここで、保護板６は、第２熱遮蔽板５を内包するように配されているため、Ｇａの液滴が第２熱遮蔽板５に付着することが抑止され、第２熱遮蔽板５への悪影響が防止される。原料蒸発源セルの縦断面構造において、保護板６の第１上端角部６ａは、仮想直線Ｌに対して開口１ａ側に位置している。仮想直線Ｌに対して開口１ａ側の領域では、第１ヒータ２の放出する赤外線を保護板６が直接吸収することができる。そのため、Ｇａの液滴が大きくなり、間隙７からセル内部へ侵入する前に、第１上端角部６ａの周辺に付着しているＧａを蒸発（再蒸発）させることができる。
【００１９】
一方、原料蒸発源セルの断面構造において、保護板６の外径が第１熱遮蔽板４の外径よりも大きい。そのため、保護板６上において、仮想直線Ｌに対して第１熱遮蔽板４側に付着したＧａがセル内部に侵入することはない。
【００２０】
以上説明したように、本実施形態の原料蒸発源セルにおいては、その上部に付着したＧａ等の原料がセル内部に侵入すること防止することができ、原料蒸発源セルの故障が抑止される。
【００２１】
（第２の実施形態）
次いで、第２の実施形態について説明する。本実施形態では、第１の実施形態と同様に原料蒸発源セルを開示するが、その構成が若干異なる点で第１の実施形態と相違する。
【００２２】
図４は、第２の実施形態による原料蒸発源セルの概略構成を示す模式図であり、（ａ）が縦断面図、（ｂ）が平面図である。図１と同様の構成部材については、同符号を付す。
この原料蒸発源セルは、坩堝１、第１ヒータ２及び第２ヒータ３、第１熱遮蔽４及び第２熱遮蔽５、保護板１１並びに不図示の熱電対を備えて構成されている。
【００２３】
坩堝１は、例えばＰＢＮを材料として形成されており、原料が充填されるものである。第１ヒータ２は坩堝１の上方、第２ヒータ３は坩堝１の下方で坩堝１の周囲にそれぞれ配されており、原料を加熱して蒸発させるためのものである。第１及び第２ヒータ２，３は、例えばタンタル（Ｔａ）を材料として形成されている。第１熱遮蔽４は、例えばＴａを材料として形成されており、第１及び第２ヒータ２，３による原料の加熱効率を高めるため、坩堝１及び第１及び第２ヒータ２，３の外周を覆うように配されたものである。第２熱遮蔽５は、例えばＴａを材料として形成されており、坩堝１の径が開口部１ａの付近で小さいことから、第１及び第２ヒータ２，３による原料の加熱効率を高めるためのものである。
【００２４】
保護板１１は、例えばＰＢＮを材料として形成されており、飛散した原料が付着して第１及び第２ヒータ２，３に絶縁不良等の故障が生じることを防止するべく、第１及び第２熱遮蔽４，５を原料の付着から保護するためのものである。保護板１１は、その中心部に坩堝１の開口１ａよりも大きな径の貫通孔を有し、第１上端角部１１ａと坩堝１の上端との間に環状の間隙７が形成されている。本実施形態では、保護板１１には更に、間隙７を囲むように、真空排気用の複数のスリット状の貫通口１２が形成されている。間隙７と相俟って、貫通口１２により、セル内部の真空排気を容易に行うことができる。熱電対は、例えばタングステン（Ｗ）／レニウム（Ｒｅ）を材料として形成されており、坩堝１の温度を測定するものである。
【００２５】
本実施形態では、保護板１１は、第２熱遮蔽板５の幅よりも幅広であり、第２熱遮蔽板５を内包するように配されている。保護板１１は、その外径が第１熱遮蔽板４の外径よりも大きい。
【００２６】
図５は、本実施形態における第１ヒータ２、第２熱遮蔽５、及び保護板１１の配置を説明する一部拡大断面図である。
保護板１１の貫通口１２の開口１ａ側における上端角部を、第１上端角部１１ａと言う。本実施形態では、原料蒸発源セルの縦断面構造において、第１上端角部１１ａは、第１ヒータ２の開口１ａ側の第２上端角部２ａと第２熱遮蔽板５の開口１ａ側の第２下端角部５ａとを結ぶ仮想直線Ｌに対して開口１ａ側に位置している。
【００２７】
図６は、本実施形態による原料蒸発源セルの作用効果を説明するための一部拡大断面図である。
原料蒸発源セルの坩堝１に原料として例えばＧａを充填した場合、第１及び第２ヒータ２，３を加熱すると、坩堝１内のＧａが蒸発する。Ｇａが蒸発しているときにシャッタを閉じると、Ｇａはシャッタに付着する。付着したＧａは融点が室温付近であり、第１及び第２ヒータ２，３の輻射熱等により液化している。シャッタへのＧａの付着が増加すると、液滴が次第に大きくなり、シャッタの開閉動作等の振動により、シャッタの周辺にガリウムの液滴が飛散し、その一部（原料１０）が原料蒸発源セルの上部の保護板１１上に付着する。付着したＧａは液滴となり、保護板１１上に留まる。ここで、保護板１１は、第２熱遮蔽板５を内包するように配されているため、Ｇａの液滴が第２熱遮蔽板５に付着することが抑止され、第２熱遮蔽板５への悪影響が防止される。原料蒸発源セルの縦断面構造において、保護板１１の第１上端角部１１ａは、仮想直線Ｌに対して開口１ａ側に位置している。仮想直線Ｌに対して開口１ａ側の領域では、第１ヒータ２の放出する赤外線を保護板１１が直接吸収することができる。そのため、Ｇａの液滴が大きくなり、貫通口１２からセル内部へ侵入する前に、第１上端角部１１ａの周辺に付着しているＧａを蒸発（再蒸発）させることができる。
【００２８】
一方、原料蒸発源セルの断面構造において、保護板１１の外径が第１熱遮蔽板４の外径よりも大きい。そのため、保護板１１上において、仮想直線Ｌに対して第１熱遮蔽板４側に付着したＧａがセル内部に侵入することはない。
【００２９】
以上説明したように、本実施形態の原料蒸発源セルにおいては、その上部に付着したＧａ等の原料がセル内部に侵入すること防止することができ、原料蒸発源セルの故障が抑止される。
【００３０】
（変形例）
以下、第２の実施形態の変形例について説明する。本例では、第２の実施形態と同様に原料蒸発源セルを開示するが、その構成が若干異なる点で第２の実施形態と相違する。
【００３１】
図７は、第２の実施形態の変形例による原料蒸発源セルの概略構成を示す模式図であり、（ａ）が縦断面図、（ｂ）が平面図である。図１と同様の構成部材については、同符号を付す。
この原料蒸発源セルは、原料を充填する坩堝１、第１ヒータ２及び第２ヒータ３、第１熱遮蔽４及び第２熱遮蔽５、保護板１１並びに不図示の熱電対を備えて構成されている。
【００３２】
本例の原料蒸発源セルでは、保護板１１が坩堝１と一体形成（共にＰＢＮを材料として形成）されており、保護板１１と坩堝１との間に第２の実施形態の図４のような間隙７が形成されない。保護板１１には、真空排気用の複数のスリット状の貫通口１２が形成されている。貫通口１２の開口面積は、必要に応じて適宜設定されている。貫通口１２により、セル内部の真空排気を容易に行うことができる。本例の原料蒸発源セルは、その他の点では第２の実施形態と同様に構成されている。
【００３３】
図８は、本変形例における第１ヒータ２、第２熱遮蔽５、及び保護板１１の配置を説明する一部拡大断面図である。
保護板１１の貫通口１２の開口１ａ側における上端角部を、第１上端角部１１ａと言う。本変形例では、原料蒸発源セルの縦断面構造において、第１上端角部１１ａは、第１ヒータ２の開口１ａ側の第２上端角部２ａと第２熱遮蔽板５の開口１ａ側の第２下端角部５ａとを結ぶ仮想直線Ｌに対して開口１ａ側に位置している。
【００３４】
図９は、本変形例による原料蒸発源セルの作用効果を説明するための一部拡大断面図である。
原料蒸発源セルの坩堝１に原料として例えばＧａを充填した場合、第１及び第２ヒータ２，３を加熱すると、坩堝１内のＧａが蒸発する。Ｇａが蒸発しているときにシャッタを閉じると、Ｇａはシャッタに付着する。付着したＧａは融点が室温付近であり、第１及び第２ヒータ２，３の輻射熱等により液化している。シャッタへのＧａの付着が増加すると、液滴が次第に大きくなり、シャッタの開閉動作等の振動により、シャッタの周辺にガリウムの液滴が飛散し、その一部（原料１０）が原料蒸発源セルの上部の保護板１１上に付着する。付着したＧａは液滴となり、保護板１１上に留まる。ここで、保護板１１は、第２熱遮蔽板５を内包するように配されているため、Ｇａの液滴が第２熱遮蔽板５に付着することが抑止され、第２熱遮蔽板５への悪影響が防止される。原料蒸発源セルの縦断面構造において、保護板１１の第１上端角部１１ａは、仮想直線Ｌに対して開口１ａ側に位置している。仮想直線Ｌに対して開口１ａ側の領域では、第１ヒータ２の放出する赤外線を保護板１１が直接吸収することができる。そのため、Ｇａの液滴が大きくなり、貫通口１２からセル内部へ侵入する前に、第１上端角部１１ａの周辺に付着しているＧａを蒸発（再蒸発）させることができる。
【００３５】
一方、原料蒸発源セルの断面構造において、保護板１１の外径が第１熱遮蔽板４の外径よりも大きい。そのため、保護板１１上において、仮想直線Ｌに対して第１熱遮蔽板４側に付着したＧａがセル内部に侵入することはない。
【００３６】
更に本変形例では、保護板１１が坩堝１と一体形成されており、坩堝１と保護板１１との間には貫通口１２のみが形成されている。この構成により、上述の作用効果と相俟って、Ｇａの液滴のセル内部へ侵入が可及的に抑止されることになる。
【００３７】
以上説明したように、本変形例の原料蒸発源セルにおいては、その上部に付着したＧａ等の原料がセル内部に侵入すること防止することができ、原料蒸発源セルの故障が抑止される。
【００３８】
なお、第２の実施形態及びその変形例では、保護板１１の貫通口１２をアーチ状のスリット形成する場合を例示したが、種々の形状とすることができる。また、貫通口１２の開口面積を可変に調節する機構（例えば、開口面積調節用の可変シャッタ機構）を設けても良い。
また、第１及び第２の実施形態並びに変形例では、原料蒸発源セルの坩堝１に充填する原料としてＧａを例示したが、Ｇａ以外でも容易に液化する原料であれば当然に適用可能である。
【００３９】
第１、第２の実施形態、又は第２の実施形態の変形例による原料蒸発源セルは、例えばＭＢＥ装置に適用される。
図１０は、第１、第２の実施形態、又は第２の実施形態の変形例による原料蒸発源セルを備えたＭＢＥ装置の概略構成を示す模式図である。
【００４０】
このＭＢＥ装置は、排気ポンプ２２が設置され、複数の原料蒸発源セルが配された真空チャンバ２１と、真空チャンバ２１内に設置された基板ホルダ２３とを備えて構成されている。複数の原料蒸発源セルのうち、少なくとも１つが第１、第２の実施形態、又は第２の実施形態の変形例による原料蒸発源セル２０とされている（図示の例では、全て原料蒸発源セル２０とされている。）。
【００４１】
排気ポンプ２２は、真空チャンバ２１内が所期の真空状態となるように排気する。複数の原料蒸発源セル２０には、それぞれシャッタ２４が取り付けられており、シャッタ２４により原料の供給が制御される。基板ホルダ２３にはヒータ２５が内蔵されており、基板ホルダ２３に所定の基板３１が設置される。原料蒸発源セル２０から蒸発した原料が基板３１の表面に堆積して成膜層３２が形成される。シャッタ２４を適宜開閉することにより、原料蒸発源セル２０の原料の供給状態（供給・供給断）を制御することができ、複雑な構造を成膜することが可能である。
【００４２】
ＭＢＥ装置に原料蒸発源セル２０を適用することにより、保護板に付着した原料が原料蒸発源セル２０の内部に侵入することを抑止して原料蒸発源セル２０の故障が防止され、信頼性の高いＭＢＥ装置が実現する。
【００４３】
なお、第１、第２の実施形態、又は第２の実施形態の変形例による原料蒸発源セルは、その適用がＭＢＥ装置に限定されるものではなく、例えば蒸着装置等に適用することも可能である。
【００４４】
以下、原料蒸発源セルの諸態様を付記としてまとめて記載する。
【００４５】
（付記１）上方に開口を有し、内部に原料が充填される坩堝と、
前記坩堝の周囲に設けられ、前記坩堝を加熱するヒータと、
前記ヒータを囲うように設けられた第１熱遮蔽板と、
前記ヒータの上方に設けられた第２熱遮蔽板と、
前記第２熱遮蔽板を覆うように設けられた保護板と
を含み、
前記保護板の前記開口側の第１上端部は、原料蒸発源セルの断面構造において、前記ヒータの前記開口側の第２上端部と前記第２熱遮蔽板の前記開口側の下端部とを結ぶ仮想直線に対して前記開口側に位置することを特徴とする原料蒸発源セル。
【００４６】
（付記２）前記第１上端部と前記坩堝との間に間隙が形成されていることを特徴とする付記１に記載の原料蒸発源セル。
【００４７】
（付記３）前記保護板にはスリット状の貫通口が形成されており、前記貫通口の前記開口側に前記第１上端部が存することを特徴とする付記１又は２に記載の原料蒸発源セル。
【００４８】
（付記４）前記保護板は、前記坩堝と一体形成されており、
前記保護板にはスリット状の貫通口が形成されており、前記貫通口の前記開口側に前記第１上端部が存することを特徴とする付記１に記載の原料蒸発源セル。
【００４９】
（付記５）前記保護板は、前記第２熱遮蔽板よりも幅広であり、前記第２熱遮蔽板を内包するように設けられていることを特徴とする付記１〜４のいずれか１項に記載の原料蒸発源セル。
【００５０】
（付記６）前記保護板の外径は、前記第１熱遮蔽板の外径よりも大きいことを特徴とする付記１〜５のいずれか１項に記載の原料蒸発源セル。
【００５１】
（付記７）前記保護板は、ＰＢＮを材料として形成されていることを特徴とする付記１〜６のいずれか１項に記載の原料蒸発源セル。
【符号の説明】
【００５２】
１，１０１  坩堝
１ａ，１０１ａ  開口
２，１０２  第１ヒータ
２ａ  第２上端角部
３，１０３  第２ヒータ
４，１０４  第１熱遮蔽
５，１０５  第２熱遮蔽
５ａ  下端角部
６，１１，１０６  保護板
７，１０７  間隙
６ａ，１１ａ  第１上端角部
１０，１００  原料
１２  貫通口
２０  原料蒸発源セル
２１  真空チャンバ
２２  排気ポンプ
２３  基板ホルダ
２４  シャッタ
２５  ヒータ
３１  基板
３２  成膜層
【図１】
2017160098.tif 000003
【図２】
2017160098.tif 000004
【図３】
2017160098.tif 000005
【図４】
2017160098.tif 000006
【図５】
2017160098.tif 000007
【図６】
2017160098.tif 000008
【図７】
2017160098.tif 000009
【図８】
2017160098.tif 000010
【図９】
2017160098.tif 000011
【図１０】
2017160098.tif 000012
【図１１】
2017160098.tif 000013
【図１２】
2017160098.tif 000014