(57)【要約】【課題】  長尺方向の形状精度向上と素子基板のつなぎ部における画像への影響を軽減した高品位な記録が可能な液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供する。【解決手段】  液体を吐出する吐出口と液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子とを夫々備える第１、第２及び第３の記録素子基板と、前記第１の記録素子基板の一端側と前記第２の記録素子基板の一端側とを支持する第１の支持部材と、前記第２の記録素子基板の他端側と前記第３の記録素子基板の一端側とを支持する第２の支持部材と、を有することを特徴とする。【選択図】  図１
2017196858.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する吐出口と液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子とを備える、液体吐出ヘッドの長手方向に沿って順に配される第１、第２及び第３の記録素子基板と、
前記第１の記録素子基板の前記第２の記録素子基板側の端部と、前記第２の記録素子基板の前記第１の記録素子基板側の端部とを支持する第１の支持部材と、
前記第２の記録素子基板の前記第３の記録素子基板側の端部と、前記第３の記録素子基板の前記第２の記録素子基板側の端部とを支持する第２の支持部材と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第１及び第２の支持部材を支持する支持プレートを有する、
請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第１の支持部材には、前記第１の記録素子基板と流体連通する第１の開口と、前記第２の記録素子基板と流体連通する第２の開口と、が設けられており、
前記第２に支持部材には、前記第２の記録素子基板と流体連通する第３の開口と、前記第３の記録素子基板と流体連通する第４の開口と、が設けられている、
請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第１の記録素子基板の前記第２の記録素子基板側の端部とは反対側の端部を支持する第１の端部支持部材と、
前記第３の記録素子基板の前記第２の記録素子基板側の端部とは反対側の端部を支持する第２の端部支持部材と、
を有する、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第１の端部支持部材には、前記第１の記録素子基板と流体連通する第５の開口が設けられており、
前記第２の端部支持部材には、前記第３の記録素子基板と流体連通する第６の開口が設けられている、
請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第１、第２及び第３の記録素子基板は直線状に配されている、
請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記第２の記録素子基板には、前記第２の開口と前記第３の開口とを連通する流路が形成されている、
請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記第２の記録素子基板には、前記流路の壁の一部を形成する蓋部材が設けられている、
請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記蓋部材の厚みは前記第１及び第２の支持部材のいずれの厚みよりも小さい、
請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記蓋部材の厚みは０．１ｍｍ以下である、
請求項８又は９に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記蓋部材はシリコン基板によって形成されている、
請求項８から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記蓋部材は樹脂フィルムによって形成されている、
請求項８から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記第１、第２及び第３の記録素子基板は所定の方向に直線状に配列されており、前記所定方向における前記第２の記録素子基板の長さは、前記所定方向における前記第１の支持部材の長さよりも長い、
請求項１から１２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記第１、第２及び第３の記録素子基板を含む複数の記録素子基板が配列されており、複数の前記記録素子基板が配列される記録媒体の列の長さは記録媒体の幅に対応している、
請求項１から１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】
前記エネルギー発生素子を内部に備える圧力室を備え、前記圧力室内の液体は当該圧力室の外部との間で循環される、請求項１から１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１６】
請求項１から１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エネルギー発生素子を利用して液体を吐出口から吐出可能な液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、インク等の液体を吐出する液体吐出装置は家庭での印刷のみならず、ビジネスやリテールフォト用などの業務用、あるいは電子回路描画やパネルディスプレイ用などの産業用にも用いられ、その用途は広がりつつある。このような業務用及び産業用における液体吐出装置に用いられる液体吐出ヘッドは高速での記録を強く要求される。この要求を実現させるためには、インクを吐出させるエネルギー発生素子をより高い周波数で駆動させたり、あるいは液体吐出ヘッドの幅を記録媒体の幅に対応させた、長尺のラインヘッドとしたりすることが有効である。
【０００３】
液体吐出ヘッドの幅を長尺化する手段として、吐出口及びエネルギー発生素子を有する複数の記録素子基板を長尺方向に並べることが一般に用いられる。その中でも特許文献１では複数の記録素子基板を一体型の支持部材の上に並べる方法が提案されている。また特許文献２では１つの支持部材の上に１つの記録素子基板を配置したヘッドモジュールを、一体型の支持プレート上に複数並べて搭載する方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００８−５２６５５３号公報
【特許文献２】特開２００９−２７９９３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１のような一体型の支持部材の構成では、ラインヘッドの長尺方向の長さが大きくなると、形状精度の良い支持部材を得ることが困難となり、長尺方向に画像のゆがみが生じてしまうことがある。また、特許文献２のようなヘッドモジュール構成では、隣接する記録素子基板のつなぎ部において、隣接する記録素子基板が異なる支持部材上にあるため、つなぎ部において記録素子基板の面の傾きが生じやすい。そのため吐出口から吐出される液体の角度がばらつき、つなぎ部の画像にムラ等の不具合が生じてしまう場合がある。
【０００６】
そこで本発明は上記課題に鑑み、複数の記録素子基板を配列させた長尺の液体吐出ヘッドにおいて、高品位な画像の記録が可能な液体吐出ヘッド及び液体吐出装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
液体を吐出する吐出口と液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子とを備える、液体吐出ヘッドの長手方向に沿って順に配される第１、第２及び第３の記録素子基板と、前記第１の記録素子基板の前記第２の記録素子基板側の端部と、前記第２の記録素子基板の前記第１の記録素子基板側の端部とを支持する第１の支持部材と、前記第２の記録素子基板の前記第３の記録素子基板側の端部と、前記第３の記録素子基板の前記第２の記録素子基板側の端部とを支持する第２の支持部材と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、複数の素子基板を配列させた長尺の液体吐出ヘッドにおいて、長尺方向の画像のゆがみや、素子基板のつなぎ部における画像ムラ等の不具合を低減し、高品位な画像形成が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】（ａ）及び（ｂ）は本発明の第１の実施形態における液体吐出ヘッドの斜視図、（ｃ）は上面図を示す。
【図２】（ａ）は第１の実施形態における液体吐出ヘッドの側面図、（ｂ）は比較例としての液体吐出ヘッドの側面図を示す。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は第２の実施形態における液体吐出ヘッドの斜視図、（ｃ）は上面図を示す。
【図４】第２の実施形態における液体吐出ヘッドの断面図を示す。
【図５】第３の実施形態における液体吐出ヘッドの断面斜視図を示す。
【図６】第２の実施形態の作製工程のフロー図を示す。
【図７】本発明を適用可能な液体吐出装置の外観斜図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッド及び液体吐出装置について説明する。
【００１１】
なお、インク等の液体を吐出する本発明の液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出装置は、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置に適用可能である。さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用可能である。例えば、バイオチップ作製や電子回路印刷や半導体基板作製などの用途としても用いることができる。よって以下に説明する「記録」とは記録媒体に文字や画像を形成する場合だけでなく、上記バイオチップ作製や電子回路作製するために吐出口から液体を吐出する広義の概念を含むものである。
【００１２】
また、以下に述べる各実施形態は、本発明の適切な具体例であるから、技術的に好ましい様々の限定が付けられている。しかし、本発明の思想に沿うものであれば、本実施形態は、本明細書の実施形態やその他の具体的方法に限定されるものではない。
【００１３】
（第１の実施形態）
図１（ａ）〜（ｃ）及び図２（ａ）は、本発明の第１の実施形態における液体吐出ヘッドの概略説明図である。図１（ａ）は液体吐出ヘッドの長尺方向に対して記録素子基板１１を直線状に並べた液体吐出ヘッドの斜視図、図１（ｂ）はそれを分解した状態の分解斜視図、図１（ｃ）はヘッドの上面図である。図２（ａ）は本発明の実施形態における記録素子基板１１のうちの一部のつなぎ部の並びを示した側面図である。本実施形態における液体吐出ヘッドは、記録を行う記録場以外の幅に対応した長さを備えるページワイド（フルライン）タイプの長尺ヘッドである。液体吐出ヘッドの長手方向と交差する方向に記録媒体が搬送され、液体吐出ヘッドから液体を吐出することで記録媒体上に記録を行う。
【００１４】
本実施形態の液体吐出ヘッド１０は図１に示すように、複数の記録素子基板１１と、複数の支持部材１２と支持プレート１３とを有する。記録素子基板１１には、例えばインクのような液体を吐出させるエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が形成されており、それぞれのエネルギー発生素子に対応して、液体を吐出する吐出口２１が形成されている。図示はしないが、記録素子基板１１は、エネルギー発生素子を備えるＳｉ基板と、吐出口２１を備える吐出口形成部材とを有している。記録素子基板１１は支持部材１２上に配置されており、記録素子基板１１を上面に備えた複数の支持部材１２の夫々は、支持プレート１３上に直線状に配置されている。記録素子基板１１の並びは、図１に示すように、隣接する記録素子基板同士が、長尺方向とそれに直交する方向（記録媒体の移動方向）のいずれの方向においても部分的に重なり合うように直線状に配列されている。本実施形において各記録素子基板１１は略平行四辺形の形状となっており、液体吐出ヘッドの長手方向に沿って吐出口が配列されている。吐出口列は、液体吐出ヘッドの長手方向と交差する方向に関して、複数並列して設けられている。互いに隣接する記録素子基板１１において、一方の記録素子基板１１の他方の記録素子基板側の端部の吐出口は、他方の記録素子基板１１の一方の記録素子基板側の端部の吐出口と連続するように配列されている。これに限らず、端部側の吐出口同士が記録媒体の配列方向に関して重なるような配置でもかまわない。本発明の適用範囲は、記録素子基板１１の長尺方向への配置が図１に示すものだけではなく、長方形の記録素子基板１１が直線状に並んでいる形態や、または記録素子基板が千鳥状に配置した場合も含む。
【００１５】
本実施形態では、長尺方向の形状精度の向上と、記録素子基板同士のつなぎ部における記録素子基板面の傾きの低減とを両立するように以下の構成となっている。図１に示すように、複数の記録素子基板１１は、１つの支持部材上に配置されるのではなく、少なくとも２つの支持部材１２上に配置されている。そして、互いに隣接する記録素子基板１１が同一の支持部材１２上に配置されている。つまり、隣接する記録素子基板１１の互いに隣接する側の端部は、共通の支持部材１２上に配置されている。また、本実施形態の液体吐出ヘッドは、図１に示すように液体吐出ヘッドの長手方向に複数の支持部材１２が配置されている。これにより個々の支持部材１２は、長尺方向に一体（１枚）の支持部材よりも体積、面積の点で小さくできる。それにより一枚の長尺タイプの支持部材を成形する場合に比べて、本発明のように複数の支持部材構成とすることで、個々の支持部材の形状精度を高くできる。特に、各記録素子基板１１に液体を供給するための個別の供給路を支持部材に形成する場合には、形状精度の高い複数の支持部材とすることが好ましい。また、支持部材を樹脂材等の成型により形成する場合には、複数の支持部材とすることで形状精度を良くできるので好ましい。一般に、支持部材に微細な供給路を形成する場合、支持部材が長尺形状であると、成形の際の樹脂の硬化収縮の影響等で支持部材が反ってしまい、形状精度が悪化し易い。それにより供給路における供給特性、液体の漏れ等の影響が発生する場合がある。また、支持部材１２よりも線膨張係数が低くて剛性が高い部材を支持プレート１３に用いた場合は、長尺方向に一体となった支持部材の時よりも、長尺方向の熱による歪みを軽減することができる。このように、本発明の複数の支持部材構成とすることで、長尺方向の形状精度を向上することができる。
【００１６】
本実施形態においては、図１（ｃ）、図２（ａ）に示すように、互いに隣接する記録素子基板１１の隣接する側の端部は、共通する支持部材１２上に配されている。これにより隣接する記録素子基板１１の端部での記録素子基板の高さばらつきが抑制できる。これにより記録素子基板１１の表面の吐出口が設けられている面の高さばらつきを抑制できるので、記録素子基板のつなぎ部における吐出される液滴の飛翔方向等のばらつきを抑制でき、つなぎ部における画像への影響を抑制できる。図２（ｂ）に本実施形態における比較例を示す。図２（ｂ）は、共通の支持プレート１３の上に複数の支持部材１２が配列される構成を示す。図２（ａ）と異なる点は、図２（ｂ）において互いに隣接する記録素子基板１１の隣接する側の端部は、共通の支持部材１２上に配されていない点である。図２（ｂ）の構成では、図２（ａ）の場合に比べて隣接する記録素子基板１１の隣接する端部側での吐出口面の高さがばらつき易く、これにより記録素子基板１１のつなぎ部での画質の影響が発生する場合がある。これに対して図（ａ）における本実施形態の構成では、互いに隣接する記録素子基板１１の少なくとも一部は、異なる支持部材１２の上に配されている。しかしながら、隣接する側の記録素子基板１１の端部は共通の支持部材１２の上に配されているため画像への影響が大きい、記録素子基板１１のつなぎ部の画像への影響を抑えることが可能となる。
【００１７】
また本実施形態における液体吐出ヘッドは、隣接する記録素子基板１１の夫々の吐出口のうち、隣接する側の吐出口は、同一の支持部材１２中の供給路からインクが供給される構成となっている。そのため、隣接する記録素子基板１１の、互いに隣接する側の吐出口に供給される液体の温度差を小さくできるので、隣接する記録素子基板のつなぎ部における吐出量のばらつきを抑制できる。図２（ｂ）に示すような液体吐出ヘッドの構成、つまり隣接する記録素子基板１１の互いに隣接する側の吐出口に供給される液体が、夫々異なる支持部材１２から供給される場合には、供給される液体の温度差が大きくなりやすい。それにより隣接する記録素子基板のつなぎ部において吐出される液滴の量がばらつき、画質へ影響する場合がる。
【００１８】
本実施形態では、６個の記録素子基板１１に対して７個の支持部材１２を備える液体吐出ヘッド、つまり夫々の記録素子基板１１は、異なる２つの支持部材１２に支持される構成について説明したが本発明はこれに限定されない。複数、例えば６つの記録素子基板１１に対して少なくとも２つの支持部材を備えており、隣接する記録素子基板１１のうちの少なくとも１か所において、互いに隣接する側の記録素子基板の端部が共通の支持部材に支持される構成であれば良い。尚、配列される複数の記録素子基板１１のうち、両端部に配される記録素子基板は夫々、端部支持部材によって支持されている。
【００１９】
このように、支持部材を複数の構成とすることにより支持部材の成形精度が向上するので、液体吐出ヘッドの長尺方向に関する画像のゆがみを抑制できる。また、複数の支持部材構成とした場合、互いに隣接する記録素子基板の隣接側の端部を共通する支持部材上に配する構成とするとで、記録素子基板のつなぎ部における画像への影響を抑制することができる。さらに、互いに隣接する記録素子基板の、互いに隣接する側の吐出口への液体の供給を、共通する支持部材を介して行うことで液体の温度差の小さい液体の供給が可能となるので吐出量のばらつきを抑制できる。
【００２０】
また、個々の記録素子基板１１の、液体吐出ヘッドの長手方向の長さは、個々の支持部材の長さよりも長いほうが好ましい。つまり、記録素子基板１１の加工精度が支持部材１２の加工精度よりも良い場合に、吐出口の配置位置に直接関係する記録素子基板１１同士のつなぎ間隔をより小さくすることができる。よって、つなぎ部の画像を良くすることができる。
【００２１】
さらに、記録素子基板１１と支持部材１２が液体吐出ヘッド長手方向に対して略同じピッチで配置されていると良い。つまり、同じピッチで配置することにより、複数の記録素子基板１１を互いに同じ形状に、また、複数の支持部材１２の形状を互いに同じにすることが容易となる。そのため、長尺方向に複数の記録素子基板と複数の支持部材から成る液体吐出ヘッドを構成する際にも同一の部材で構成することが可能となり、設計や加工コストを低減することが可能となる。
【００２２】
さらに、支持プレート１３の長尺方向の長さは記録媒体の幅以上になっていると良い。つまり、つなぎ部での画像形成が高品位な状態で記録素子基板１１を記録媒体の幅以上に並べることが可能となり、記録媒体の幅に渡って高品位な画像形成が可能となる。
【００２３】
（第２の実施形態）
図３（ａ）〜（ｃ）及び図４は、本発明の第２の実施形態における液体吐出ヘッドの説明図であり、前述した実施形態と同様の部分については、同一符号を付して説明を省略する。図３（ａ）は液体吐出ヘッドの長尺方向に対して複数の記録素子基板１１を直線状に並べた液体吐出ヘッドの斜視図、図３（ｂ）はそれを分解した状態の分解斜視図、及び図３（ｃ）は液体吐出ヘッドの上面図である。図４は図３（ｃ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【００２４】
本実施形態は図３（ｂ）に示すように、記録素子基板１１の裏面に蓋部材１５が配置されている。そして図４に示すように、吐出口から吐出する液体を供給するための裏面供給路１６が記録素子基板１１の吐出口側とは逆の裏面にあり、蓋部材１５は裏面供給路１６の一部を覆う、蓋としての役割を担っている。さらに、裏面供給路１６に液体を供給するための供給口１８が蓋部材１５に設けられており、例えば、支持部材１２内に設けられた供給路と連通している。
【００２５】
本実施形態における、支持プレート１３から記録素子基板１１への液体の供給形態について説明する。図４に示すように、長尺の支持プレート１３には複数の供給用の開口が長手方向に沿って配置されており、その開口から支持部材１２に液体が供給される。支持プレート１３には液体を供給するための貫通孔が形成されており、その貫通孔および蓋部材の供給口１８を介して記録素子基板１１に液体を供給する。記録素子基板１１に供給された液体は、裏面供給路１６、液体供給口（図５参照）、エネルギー発生素子を備える圧力室（図５参照）を介して吐出口から外部に吐出される。
【００２６】
図４に示すように本実施形態においては、隣接する支持部材１２のつなぎ部に対応する箇所の記録素子基板１１にも裏面供給路１６が配置されていて、蓋部材１５がその部分の裏面供給路１６を蓋をすることで流路が形成されている。ここで、蓋部材１５は記録素子基板１１と同等の加工精度で加工が可能となるように、支持部材１２よりも厚みの小さい部材となっている。本実施形態では蓋部材１５の厚みは１ｍｍ以下のシリコン基板でできている。シリコン基板はリソグラフィによる加工、もしくはウエハ加工用のブレードダイシングによる加工、もしくはレーザー加工による加工が可能であり、記録素子基板１１と同等の加工精度で加工が可能となっている。シリコンに限らずアルミナ等も適用可能である。別の形態として、蓋部材１５の厚みは０．１ｍｍ以下の樹脂フィルムとすることも可能である。樹脂フィルムもリソグラフィによる加工、もしくはウエハ加工用のブレードダイシングによる加工、もしくはレーザー加工による加工が可能であり、記録素子基板１１と同等の加工精度で加工が可能となっている。記録素子基板の裏面供給路１６や蓋部材１５の供給口１８は微細であるため、記録素子基板１１と蓋部材１２は液体の接着剤を介さずに接合されていると良い。それにより記録素子基板１１や蓋部材１２内の供給路への接着剤入り込みを抑制することができる。
【００２７】
このように、支持部材１２同士のつなぎ部の裏面供給路１６を蓋部材１５で蓋をして流路を構成する。これにより、記録素子基板１１の裏面に配置された裏面供給路１６を介して、支持部材１２同士のつなぎ部で記録素子基板１１の裏が空間となっている箇所に位置する吐出口２１にも液体を供給することが可能となる。つまり、長尺方向の形状精度向上と素子基板つなぎ部における基板面の傾きや温度差の低減を両立する第１の実施形態に記載の液体吐出ヘッドにおいて、支持部材１２のつなぎ部にも吐出口２１を配置することができる。また、長尺方向に切れ目なく連続して吐出口を並べることが可能となる。その結果、長尺方向に切れ目なく画像形成が可能となる。
【００２８】
第１の実施形態においても、記録素子基板１１の吐出口形成面に流路を形成して、支持部材１２の端部よりも外側に突き出した箇所の吐出口２１に液体を供給すること可能である。しかしながら、一般的に吐出口形成面に形成できる流路高さは数十ｕｍであるのに対して、裏面に形成できる流路高さは数百ｕｍであり圧力損失も小さくできるので、本実施形態の方が端部の吐出口に十分な液体を供給することが可能となる。よって、本実施形態はつなぎ部におけるさらに高品位な画像形成が可能となる。また、本発明において記録素子基板１１は複数の層を積層させて裏面供給路を形成する形態であってもよい。同様に支持部材１２及び支持プレート１３も積層体で形成しても良い。
【００２９】
（第３の実施形態）
図５に本発明の第３の実施形態である液体吐出ヘッドの断面斜視図を示す。本実施形態ではエネルギー発生素子を備える圧力室内の液体とその外部との間で液体の循環を行う流路構成を備える液体吐出ヘッドに関するものである。図５は本実施形態を説明するための概略斜視図であり、記録素子基板１１を短手方向に沿って切断した断面の斜視図である。説明を容易にするために、記録素子基板１１と蓋部材１５までの構成にとどめているが、本実施形態の液体吐出ヘッドは上述した実施形態同様に、支持部材１２、支持プレート１３を備える液体吐出ヘッドである。
【００３０】
図５に示すように記録素子基板１１は基板２５と吐出口形成部材２６とを含んでいる。基板２５には液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備える圧力室２４を備えている。また、圧力室２４に液体を供給するための貫通孔である液体供給口２３と、圧力室２４内の液体で、吐出されなかった液体を回収するための、貫通孔である液体回収口２２とを備えている。さらに上述した各実施形態では基板２５に裏面供給路１６が形成されていたが、本実施形態では裏面供給路は、液体供給路２８と液体回収路２７とを備える構成となる。つまり、支持部材から蓋部材を介して供給された液体を液体供給口２３に供給するための液体供給路２８と、圧力室２４から液体回収口２２に回収された液体を蓋部材１５を介して支持部材側へ回収するための液体回収路２７とを備える。液体供給路２８と液体回収路２７は、夫々、吐出口の配列方向に沿って並列して延在している。また、記録素子基板１１には、吐出口列の延在方向に沿って複数の端子２９が配置され、不図示のフレキシブル配線基板を介して液体吐出装置と電気的に接続される。
【００３１】
蓋部材１５は、記録素子基板１１を構成する基板２５（Ｓｉ基板）に形成される液体供給路２８及び液体回収路２７の壁の一部を形成する蓋としての機能を有する。蓋部材１５は、液体に対して十分な耐食性を有している物が好ましく、また、混色防止の観点から、供給口１８の開口形状および開口位置には高い精度が求められる。このため蓋部材１５の材質として、感光性樹脂材料やシリコン板を用い、フォトリソプロセスによって供給口１８を設けることが好ましい。このように蓋部材は供給口１８により流路のピッチを変換するものであり、圧力損失を考慮すると厚みは薄いことが望ましく、フィルム状の部材で構成されることが望ましい。
【００３２】
本実施形態の液体吐出ヘッドは、液体吐出ヘッドの複数の吐出口２１から液体を吐出し記録を行っている際に、吐出動作を行っていない吐出口近傍の液体においては下記のように液体が流動（循環）する。つまり、基板２５内に設けられた液体供給路２８内の液体は、液体供給口２３、圧力室２４、液体回収口２２を経由して液体回収路２７へ流れる（図５の矢印Ｃで示した流れ）。この流れによって、記録を休止している吐出口２１や圧力室２４において、吐出口２１からの蒸発によって生じる増粘液体や、泡・異物などを液体回収路２７へ回収することができる。それにより吐出口２１や圧力室２４の液体の増粘を抑制することが出来る。液体回収路２７へ回収された液体は、蓋部材１５の供給口１８及び支持部材１２の連通口（図４参照）を通じて回収されて、最終的には液体吐出装置本体の供給経路へと回収される。
【００３３】
次に本発明に適用される液体吐出ヘッドの製造方法について説明する。図６に、上述した第２の実施形態で説明した液体吐出ヘッドの作製工程の説明図を示す。図６において、工程３１は、既にエネルギー発生素子や必要な回路等が形成された記録素子基板１１を構成する基板（Ｓｉ基板）上に吐出口を形成する吐出口形成工程、工程３２は、記録素子基板１１の裏面に裏面供給路１６を形成する裏面供給路形成工程である。また、工程３３は、裏面供給路が形成された記録素子基板１１の裏面に蓋部材１５を形成する蓋部材形成工程、工程３４は、ダイシング等により、記録素子基板１１をウエハ状態から個別の記録素子基板１１の形態へと外形の加工をする切断工程である。さらに、工程３５は、複数の支持部材１２を長尺の支持プレート１３上に並べていく配置工程、工程３６は、各記録素子基板１１を支持部材１２上に接合する接合工程である。
【００３４】
このように、接合工程３６の前に、蓋部材形成工程３３によって記録素子基板１１の裏面に蓋部材１５を形成することで、実施形態２に記載の構成を作製することができる。この蓋部材形成工程３３を経て、長尺方向の形状精度向上と素子基板つなぎ部における基板面の傾きや温度差の低減を両立することができる液体吐出ヘッドを作製することができる。このような液体吐出ヘッドによって、長尺方向の画像のゆがみや、つなぎ部の画像におけるムラ等の不具合を低減し、高品位な画像形成が可能となる。また、蓋部材１５をシリコン基板で形成すると、ウエハ形態の記録素子基板１１にウエハ形態のシリコン基板からなる蓋部材１５を接合することができるため、工程が簡略化できる点で好ましい。また、蓋部材１５が樹脂フィルムであっても、シリコン基板で構成する場合と同様に、ウエハ形態の記録素子基板１１にフィルム状態の樹脂をラミネートすることで蓋部材１５を接合することができるため好ましい。ここで、本実施形で示した工程順や、工程の内容は一例であり、本発明を制限するものではない。つまり、吐出口の形成工程と裏面供給路の形成工程と蓋部材の形成工程、及び切断工程の順序は本発明を制限するものではなく、接合工程３６の前に蓋部材形成工程３３があればよい。
【００３５】
図７は、上述した各実施形態の液体吐出ヘッドを適用可能な液体吐出装置の概略斜視図である。図７において、４１は第１〜第３の実施形態で説明した液体吐出ヘッドである。４２はシャシーであり、所定の剛性を有する複数の板状金属部材により構成されていて、この液体吐出装置の骨格をなす。シャシー４２には媒体給送部４３、媒体搬送部４４、前述の液体吐出ヘッド４１が組みつけられている。媒体給送部４３は、図示しないシート状の記録媒体を液体吐出装置の内部へと自動的に給送する。媒体搬送部４４は、この媒体給送部４３から１枚ずつ給送される記録媒体を矢印Ａの方向に沿って所望の記録位置へ導く。液体吐出ヘッド４１は図示されない液体タンクから液体が供給される。図では、ヘッドが装置に固定されている形態を説明したが、ヘッド自体が走査する場合もある。このように、本実施形態の液体吐出装置は、前述した液体吐出ヘッドを用いて記録媒体に記録することができる。つまり、液体吐出ヘッドの長尺方向の形状精度向上と素子基板つなぎ部における基板面の傾きや温度差の低減を両立し、高品位な画像形成が可能となる。
【００３６】
以上本発明を適用可能な各実施形態について説明したが、上述したように複数の記録素子基板が直線状に配列される形態のみなら千鳥状に配列される形態も含む。本発明を適用な可能な形態について以下に説明する。説明を容易にするために第１、第２及び第３の３つの記録素子基板の形態について説明する。
【００３７】
所定方向、ここでは支持プレート１３の長手方向に沿って、第１、第２、第３の記録素子基板の順に配列されている。第１の記録素子基板との一端側と第２の記録素子基板の一端側とを支持する第１の支持部材と、第２の記録素子基板の他端側と第３の記録素子基板の一端側とを支持する第２の支持部材とを備えている。つまり第１、第２の記録素子基板の互いに隣接する側の端部は第１の支持部材で支持され、第２、第３の記録素子基板の互いに隣接する側の端部は第２の支持部材で支持される構成である。このように互いに隣接する側の記録素子基板の端部が共通する支持部材上に配置されていることで、記録素子基板同士のつなぎ部における吐出方向のよれを抑制できる。
【００３８】
また、第１の支持部材には、第１の記録素子基板と流体連通する第１の開口と、第２の記録素子基板と流体連通する第２の開口と、が設けられている。また、第２に支持部材には、第２の記録素子基板と流体連通する第３の開口と、第３の記録素子基板と流体連通する第４の開口と、が設けられている。
【符号の説明】
【００３９】
１１  記録素子基板
１２  支持部材
１３  支持プレート
１５  蓋部材
１６  裏面供給路
２１  吐出口
【図１】
2017196858.tif 000003
【図２】
2017196858.tif 000004
【図３】
2017196858.tif 000005
【図４】
2017196858.tif 000006
【図５】
2017196858.tif 000007
【図６】
2017196858.tif 000008
【図７】
2017196858.tif 000009