(57)【要約】【課題】ソレノイド弁が故障しても不具合が生じにくいワーク保持装置を提供する。【解決手段】板状のワークを、パイロット式でダブルソレノイドタイプの第１のソレノイド弁(31)の動作により挟持保持する挟持保持装置(1)及びパイロット式でダブルソレノイドタイプの第２のソレノイド弁(32)の動作により吸着保持する吸着保持装置(2)と、第１のソレノイド弁(31)と第２のソレノイド弁(32)とのパイロットポートにパイロット圧を供給して第１及び第２のソレノイド弁(31,32)の動作を実行させるパイロット圧供給用ソレノイド弁(33)と、を備えた。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状のワークを保持するワーク保持装置であって、
前記ワークを、パイロット式でダブルソレノイドタイプの第１のソレノイド弁の動作により挟持保持する挟持保持装置及びパイロット式でダブルソレノイドタイプの第２のソレノイド弁の動作により吸着保持する吸着保持装置と、
前記第１のソレノイド弁と前記第２のソレノイド弁とのパイロットポートにパイロット圧を供給して前記第１及び第２のソレノイド弁の動作を実行させるパイロット圧供給用ソレノイド弁と、
を備えたことを特徴とするワーク保持装置。
【請求項２】
前記パイロット圧供給用ソレノイド弁として、
前記第１のソレノイド弁のパイロットポートのみにパイロット圧を供給する第１のパイロット圧供給用ソレノイド弁と、
前記第２のソレノイド弁のパイロットポートのみにパイロット圧を供給する第２のパイロット圧供給用ソレノイド弁と、
を備えたことを特徴とする請求項１記載のワーク保持装置。
【請求項３】
前記パイロット圧供給用ソレノイド弁として、
第１のパイロット圧供給用ソレノイド弁と第２のパイロット圧供給用ソレノイド弁と、を備え、
前記第１のパイロット圧供給用ソレノイド弁と前記第２のパイロット圧供給用ソレノイド弁とのいずれか一方からのパイロット圧を、前記第１及び第２のソレノイド弁のパイロットポートに選択的に供給するシャトル弁を備えたことを特徴とする請求項１記載のワーク保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク保持装置に係り、特に、板状のワークを挟持して保持する挟持保持装置と吸着により保持する吸着保持装置とを備えたワーク保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状のワークを吸着して保持する吸着保持装置（バキュームハンド）と、挟持して保持する挟持保持装置（グリッパ）と、を備えたワーク保持装置が特許文献１に記載されている。
吸着保持装置は、例えば特許文献２に記載されるように、ソレノイドバルブ（以下、ソレノイド弁）の動作によって、ワークの吸着と解放とが行われる。
挟持保持装置は、例えば特許文献３に記載されるように、ソレノイド弁の動作によって、ワークのクランプとアンクランプとが行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１４６７９１号公報
【特許文献２】特開平７−３１４３７１号公報
【特許文献３】特開２００１−００１０８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、従来のワーク保持装置は、ソレノイド弁が故障すると、単に動作が停止するにとどまらず、それ以外の不具合が生じ得る。ソレノイド弁の故障としては、例えば、ソレノイドの電気的不良（断線等）或いは電力供給遮断などがある。これらの故障により弁が意図せず切り換わってしまうことが起こり得る。この意図しない弁移動は、ソレノイド弁を制御する制御系の不良でも同様に生じる虞がある。
ソレノイド弁の故障に伴う不具合は、例えば、意図しない弁の切り換わりによって、吸着保持装置では、ワークの吸着が解除され保持していたワークが落下する虞がある、ということである。
また、挟持保持装置では、ワークの挟持（把持）が解除され保持していたワークが落下する虞がある、ということである。
特にワークが重量物の場合には、その落下により下方の部材が破損するなどの二次的な不具合の発生も憂慮される。
そのため、ワーク保持装置に対しては、ソレノイド弁が故障した場合の不具合ができるだけ抑制されることが望まれている。
【０００５】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、ソレノイド弁が故障しても、不具合が生じにくいワーク保持装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明は次の構成を有する。
１）  板状のワークを保持するワーク保持装置であって、
前記ワークを、パイロット式でダブルソレノイドタイプの第１のソレノイド弁の動作により挟持保持する挟持保持装置及びパイロット式でダブルソレノイドタイプの第２のソレノイド弁の動作により吸着保持する吸着保持装置と、
前記第１のソレノイド弁と前記第２のソレノイド弁とのパイロットポートにパイロット圧を供給して前記第１及び第２のソレノイド弁の動作を実行させるパイロット圧供給用ソレノイド弁と、
を備えたことを特徴とするワーク保持装置である。
２）  前記パイロット圧供給用ソレノイド弁として、
前記第１のソレノイド弁のパイロットポートのみにパイロット圧を供給する第１のパイロット圧供給用ソレノイド弁と、
前記第２のソレノイド弁のパイロットポートのみにパイロット圧を供給する第２のパイロット圧供給用ソレノイド弁と、
を備えたことを特徴とする１）に記載のワーク保持装置である。
３）  前記パイロット圧供給用ソレノイド弁として、
第１のパイロット圧供給用ソレノイド弁と第２のパイロット圧供給用ソレノイド弁と、を備え、
前記第１のパイロット圧供給用ソレノイド弁と前記第２のパイロット圧供給用ソレノイド弁とのいずれか一方からのパイロット圧を、前記第１及び第２のソレノイド弁のパイロットポートに選択的に供給するシャトル弁を備えたことを特徴とする１）に記載のワーク保持装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ソレノイド弁が故障しても不具合が生じにくい、という効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、本発明の実施の形態に係るワーク保持装置の実施例であるワーク保持装置５１の概略構成を説明するための図である。
【図２】図２は、ワーク保持装置５１が備える空圧回路３を説明するための図である。
【図３】図３は、ワーク保持装置５１が備えるソレノイド弁の故障状況とワーク保持の維持について説明するための表である。
【図４】図４は、空圧回路３の変形例１である空圧回路３Ａを説明するための図である。
【図５】図５は、変形例１におけるソレノイド弁の故障状況とワーク保持の維持について説明するための表である。
【図６】図６は、空圧回路３の変形例２である空圧回路３Ｂを説明するための図である。
【図７】図７は、変形例２におけるソレノイド弁の故障状況とワーク保持の維持について説明するための表である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の実施の形態に係るワーク保持装置を、実施例のワーク保持装置５１により説明する。
【００１０】
図１は、ワーク保持装置５１の概略構成を説明する図である。
ワーク保持装置５１は、板状のワークを挟持する挟持保持装置であるグリッパ１と、板状のワークを吸着して保持する吸着保持装置２と、グリッパ１及び吸着保持装置２の動作を実行させる空圧回路３と、空圧回路３の動作を制御する制御部４と、を有している。
空圧回路３には、外部の圧力源５２が接続されている。
【００１１】
グリッパ１は、固定された下ジョー１ａと、上ジョー１ｂと、上ジョー１ｂを下ジョー１ａに対し離接させるエアシリンダ１ｃと、を有し、上ジョー１ｂと下ジョー１ａとの間にワークを挟んで保持するようになっている。
吸着保持装置２は、ワークに対し接触吸引する複数の吸盤である吸盤群２ａと、吸盤群２ａに接続されたエジェクタ２ｂと、を有し、エジェクタ２ｂの動作によってワークに接触した吸盤群２ａの内部を負圧にしてワークを吸着保持するようになっている。
【００１２】
図２は、空圧回路３を説明するための図である。
空圧回路３は、主幹回路部３Ｒと、消音器３４，３５と、ソレノイド弁３１〜３３と、を有する。
【００１３】
詳細を説明する。
主幹回路部３Ｒは、第１通路Ｒ１，第２通路Ｒ２，及び第３通路Ｒ３を有する。
主幹回路部３Ｒにおいて、第１通路Ｒ１は、一端側が圧力源５２に接続され、他端側が塞がれている。
第２通路Ｒ２及び第３通路Ｒ３は、一端側が塞がれ、他端側がそれぞれ消音器３４及び消音器３５を介して大気に開放されている。
【００１４】
ソレノイド弁３１は、挟持保持用（グリッパ１用）のパイロット式であり、ソレノイド弁３２は、吸着保持用のパイロット式である。
ソレノイド弁３１，３２は、両方とも３ポート２位置でノーマルオープンのダブルソレノイドタイプである。すなわち、弁は、ソレノイドの通電動作及びそれに伴うパイロット圧の供給によって２位置間で切り換えられ、通電停止した場合その位置で維持される。
【００１５】
ソレノイド弁３１は、Ｐポートが第１通路Ｒ１に接続され、Ａポートがエアシリンダ１ｃの第１気室１ｃ１に、Ｂポートがエアシリンダの第２気室１ｃ２に接続されている。
また、一対のＲポートはそれぞれ第２通路Ｒ２及び第３通路Ｒ３に接続されている。
【００１６】
ソレノイド弁３１は、図１に示されるグリッパ１が閉となる第１の弁位置で、ＰポートはＡポートに接続される。
これにより、通路Ｒ１に接続された第１気室１ｃ１が第２気室１ｃ２よりも高圧になる。
そのため、ピストン１ｃ３が第２気室１ｃ２側に移動し、ピストンロッド１ｃ４に接続された上ジョー１ｂが下ジョー１ａに接近して、グリッパ１は、ワークを挟持する閉状態となる。
すなわち、第１の弁位置で、第１気室１ｃ１には圧力源５２から高圧の空気が常に供給されピストン１ｃ３が第２気室１ｃ２側に移動し、ピストンロッド１ｃ４が引き込まれてグリッパ１はワークを挟持可能な閉状態となっている。
【００１７】
ソレノイド弁３１は、制御部４の制御による通電でソレノイドが動作し、後述するパイロット圧が供給されて、弁は第２の弁位置に切り換えられる。第２の位置において、ＰポートはＢポートに接続される。
これにより、第２気室が第１通路Ｒ１に接続して高圧になる一方、第１気室１ｃ１が第２通路Ｒ２に接続して排気される。そのため、ピストンロッド１ｃ４が第１気室側に移動して突き出され、上ジョー１ｂが下ジョー１ａから離隔し、グリッパ１は、ワークを解放する開状態となる。
【００１８】
ソレノイド弁３２は、Ｐポートが第１通路Ｒ１に接続され、Ｂポートは閉じられている。
また、一対のＲポートはそれぞれ第２通路Ｒ２及び第３通路Ｒ３に接続されている。
【００１９】
ソレノイド弁３２は、図１に示される吸引ＯＮとなる第１の弁位置で、ＰポートはＡポートに接続される。
また、Ａポートは、エジェクタ２ｂの流入口と接続されている。
そのため、圧力源５２からの高圧空気はエジェクタ２ｂに流入し、消音器３６から大気に排出される。
一方、エジェクタ２ｂの吸引口には、吸引通路Ｒ４を介して吸盤群２ａが接続されている。
これにより、ソレノイド弁３２の第１の弁位置で、吸盤群２ａから吸引通路Ｒ４を介してエジェクタ２ｂに向け空気が吸引される。すなわち、第１の弁位置で吸盤群２ａによりワークを吸着保持できる。
【００２０】
ソレノイド弁３２は、制御部４の制御による通電でソレノイドが動作し、後述するパイロット圧が供給されて、弁は第２の弁位置に切り換えられる。第２の弁位置において、ＰポートはＢポートに接続される。
これにより、エジェクタ２ｂの流入口は第２通路Ｒ２に接続され、吸盤群２ａからの吸引が停止し、吸盤群２ａによるワークの吸着保持が解除される。
【００２１】
パイロット圧供給用のソレノイド弁３３は、３ポート２位置でノーマルクローズドのシングルソレノイドタイプである。すなわち、弁は、ソレノイドの通電動作でパイロットＯＦＦの一方の位置（図１に示される第１の弁位置）から、パイロットＯＮの他方の位置（第２の弁位置）へ切り換えられ、通電停止した場合、元の一方の位置（第１の弁位置）に復帰する。
【００２２】
ソレノイド弁３３は、常態において、Ｐポートが第１通路Ｒ１に接続され、Ａポートが、流路Ｒ５を介してソレノイド弁３１，３２のパイロットポートに接続されている。また、Ｂポートは塞がれている。
【００２３】
ソレノイド弁３３の第１の弁位置で、ＰポートはＢポートに接続されているので、パイロット圧は供給されない。
制御部４の制御による通電で、弁が第２の弁位置に一時的に移動する（切り換えられる）と、ＰポートはＡポートに一時的に接続される。
これにより、ソレノイド弁３１，３２のパイロットポートにパイロット圧が供給され、ソレノイド弁３１，３２におけるスプールの弁移動が実行可能となる。
また、ソレノイド弁３３は、通電が停止するとスプリングによって弁が第１の弁位置に復帰する。
これにより、パイロット圧の供給は停止し、ソレノイド弁３１，３２におけるスプールの弁移動は実行不可となる。
【００２４】
この構成によれば、図３にも示されるように、グリッパ１がワークを把持した状態において、仮にソレノイド弁３１のみが故障した場合、具体的には、断線或いは電力供給遮断によってソレノイドが動作不能となった場合（状況パターン３１１２）でも、ソレノイド弁３１のスプール位置は維持されてグリッパ１への高圧空気の供給は継続し、ワーク保持は維持される。
そのため、ワークが落下し異常状態に陥るという不具合は生じない。
【００２５】
また、状況パターン３１１３のように、パイロット圧供給用のソレノイド弁３３のみが故障した場合（ソレノイドが動作不能となった場合）も、ソレノイド弁３１が正常であれば、ソレノイド弁３１のスプール位置は維持されグリッパ１への高圧空気の供給は継続しワーク保持は維持される。
そのため、ワークが落下し異常状態に陥るという不具合は生じない。
【００２６】
すなわち、例えば、ソレノイド弁３１及びソレノイド弁３３のいずれか一方にソレノイド弁の動作不能が発生しても、高圧空気はグリッパ１へ継続供給されグリッパ１の上ジョー１ｂによるワークＷの挟持は継続維持される。
【００２７】
実施例では、パイロット圧供給用のソレノイド弁３３と、ソレノイド弁３１と、の両方が故障した場合、具体的には断線や電力供給遮断によるソレノイド弁の動作不能が生じた場合（状況パターン３１１４）のみ、高圧空気の供給が停止しスプール位置が維持されずに意図せず移動可能となる。
そのため、状況パターン３１１４においてのみ、グリッパ１が解放状態になってワーク保持の維持が不可となる可能性が生じる。
【００２８】
一方、吸着保持装置２がワークを吸着保持した通常状態において、仮にソレノイド弁３２のみが故障した場合、具体的には、断線や電力供給遮断によりソレノイドが動作不能となった場合（状況パターン３２１２）でも、ソレノイド弁３１のスプール位置は維持されて吸盤群２ａへの高圧空気の供給は継続し、ワーク保持は維持される。
そのため、ワークが落下し異常状態に陥るという不具合は生じない。
【００２９】
また、状況パターン３２１３のように、パイロット圧供給用のソレノイド弁３３のみが故障した場合（ソレノイドが動作不能となった場合）も、ソレノイド弁３２が正常であれば、ソレノイド弁３２のスプール位置は維持されて吸着保持装置２への高圧空気の供給は継続しワーク保持は維持される。
そのため、ワークが落下し異常状態に陥るという不具合は生じない。
【００３０】
すなわち、例えば、ソレノイド弁３２及びソレノイド弁３３のいずれか一方にソレノイド弁の動作不能が発生しても、高圧空気は吸着保持装置２へ継続供給され吸盤群２ａによるワークＷの吸着は継続維持される。
【００３１】
実施例では、パイロット圧供給用のソレノイド弁３３と、ソレノイド弁３２と、の両方が故障した場合、具体的には断線や電力供給遮断によるソレノイド弁の動作不能が生じた場合（状況パターン３２１４）のみ、高圧空気の供給が停止しスプール位置が維持されず意図せず移動可能となる。
そのため、吸盤群２ａによる吸着がＯＦＦとなってワーク保持の維持が不可となる可能性が生じる。
【００３２】
上述のように、ワーク保持装置５１では、グリッパ１の挟持動作と吸着保持装置２の吸着動作に直接拘わるソレノイド弁３１，３２をパイロット式のダブルソレノイドタイプとし、その動作を、パイロット圧供給用のソレノイド弁３３の動作を絡ませて制御する、というソレノイド弁の二段構成とした。
すなわち、一段目のソレノイド弁３１，３２の動作を二段目のソレノイド弁３３で制御する二段構成である。
【００３３】
これにより、ワーク保持の維持ができなくなる可能性が生じるのは、一段目と二段目との両方のソレノイド弁が動作不能となる故障が生じたときのみとなり、不具合が生じにくくなっている。  
【００３４】
本発明の実施例は、上述した構成及び手順に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において変形例としてもよい。
【００３５】
空圧回路３は、変形が可能であり、例えば、図４に示される変形例１の空圧回路３Ａ、及び図６に示される変形例２の空圧回路３Ｂとしてもよい。
【００３６】
（変形例１）
変形例１の空圧回路３Ａは、実施例の空圧回路３において、グリッパ１用と吸着保持装置２用との二つのソレノイド弁３１，３２に共用していた一つのパイロット圧供給用のソレノイド弁（ソレノイド弁３３）を、グリッパ１用と吸着保持装置２用とのそれぞれにソレノイド弁３１１，３２２として備えるようにしたものである。
詳しくは、図４に示されるように、空圧回路３Ａは、グリッパ１と吸着保持装置２とに対応した主幹回路部３Ｒ１，３Ｒ２を有している。
【００３７】
主幹回路部３Ｒ１は、第１通路Ｒ１１，第２通路Ｒ２１，及び第３通路Ｒ３１を有する。
第１通路Ｒ１１の一端側は、圧力源５２に接続され、他端側は塞がれている。
第２通路Ｒ２１の一端側は塞がれ、他端側は消音器３４１を介して大気に開放されている。
第３通路Ｒ３１の一端側は塞がれ、他端側は消音器３５１を介して大気に開放されている。
【００３８】
主幹回部３Ｒ２は、第１通路Ｒ１２，第２通路Ｒ２２，及び第３通路Ｒ３２を有する。
第１通路Ｒ１２の一端側は、圧力源５２に接続され、他端側は塞がれている。
第２通路Ｒ２２の一端側は塞がれ、他端側は消音器３４２を介して大気に開放されている。
第３通路Ｒ３２の一端側は塞がれ、他端側は消音器３５２を介して大気に開放されている。
【００３９】
ソレノイド弁３１１，３２２は、パイロット式であって、３ポート２位置でノーマルオープンのダブルソレノイドタイプである。すなわち、弁は、ソレノイドの通電動作及びそれに伴うパイロット圧の供給によって２位置間で切り換えられ、通電停止した場合その位置で維持される。
【００４０】
ソレノイド弁３１１は、実施例の空圧回路３におけるソレノイド弁３１と同様にグリッパ１と接続されている。
ソレノイド弁３２２は、実施例の空圧回路３におけるソレノイド弁３２と同様に吸着保持装置２と接続されている。
【００４１】
主幹回路部３Ｒ１には、パイロット圧供給用のソレノイド弁３３１が接続されている。
主幹回路部３Ｒ２には、パイロット圧供給用のソレノイド弁３３２が接続されている。
ソレノイド弁３３１，３３２は、実施例の空圧回路３におけるソレノイド弁３３と同様に、３ポートでノーマルクローズドのシングルソレノイドタイプである。
【００４２】
ソレノイド弁３３１は、Ｐポートが第１通路Ｒ１１に接続され、Ａポートが、通路Ｒ５１を介してソレノイド弁３１１のパイロットポートに接続されている。
また、Ｂポートは塞がれている。
【００４３】
ソレノイド弁３３２は、Ｐポートが第１通路Ｒ１２に接続され、Ａポートが、通路Ｒ５２を介してソレノイド弁３２２のパイロットポートに接続されている。
また、Ｂポートは塞がれている。
【００４４】
ソレノイド弁３３１，３３２の動作は、制御部４により制御される。いずれも、図４に示される通常の第１の弁位置で、ＰポートがＢポートに接続されるようになっており、パイロット圧は供給されない。
制御部４の制御による通電で、弁が第２の弁位置に一時的に移動する（切り換えられる）と、ＰポートはＡポートに一時的に接続される。
これにより、ソレノイド弁３１１，３２２のパイロットポートにパイロット圧が供給され、ソレノイド弁３１１，３２２におけるスプールの弁移動が実行可能となる。
また、ソレノイド弁３３１，３３２は、通電が停止するとスプリングによって弁が第１の弁位置に復帰する。
これにより、パイロット圧の供給は停止し、ソレノイド弁３１１，３２２におけるスプールの弁移動は実行不可となる。
【００４５】
この変形例１の構成によれば、パイロット圧供給用のソレノイド弁３３１及びソレノイド弁３３２は、共通の圧力源５２からの高圧空気をパイロット圧として、それぞれグリッパ１用のソレノイド弁３１１及び吸着保持用のソレノイド弁３２２とを独立して動作させることができる。
【００４６】
これにより、パイロット圧供給用のソレノイド弁３３１，３３２の一方が故障しても、他方と接続した保持装置の動作を、ワーク保持の維持のみならず、ワークの解放及び保持の動作として、適宜実行させることができる。
【００４７】
変形例１におけるワーク保持の維持の可否は、図５に示される。
図５（ａ）に示されるように、変形例１の構成によれば、グリッパ１がワークを把持した通常使用状態において、仮にソレノイド弁３１１のみが故障した場合（ソレノイドが動作不能となった場合）（状況パターン３１Ａ２）に、グリッパ１によるワーク保持は維持される。
そのため、ワークが落下し異常状態に陥るという不具合は生じない。
また、状況パターン３１Ａ３のように、パイロット圧供給用のソレノイド弁３３１のみが故障した場合も、ソレノイド弁３１１が正常であればワーク保持は維持される。
そのため、ワークが落下し異常状態に陥るという不具合は生じない。
【００４８】
また、図５（ｂ）に示されるように、吸着保持装置２がワークを吸着保持した通常状態において、仮にソレノイド弁３２２のみが故障した場合（ソレノイドが動作不能となった場合）（状況パターン３２Ａ２）に、吸盤群２ａによるワーク保持は維持される。
そのため、ワークが落下し異常状態に陥るという不具合は生じない。
【００４９】
また、状況パターン３２Ａ３のように、パイロット圧供給用のソレノイド弁３３１のみが故障した場合も、ソレノイド弁３２２が正常であればワーク保持は維持される。
そのため、ワークが落下し異常状態に陥るという不具合は生じない。  すなわち、変形例１の空圧回路３Ａを備えたワーク保持装置５１は、ソレノイド弁が故障しても不具合が生じにくい。
【００５０】
変形例１では、パイロット圧供給用のソレノイド弁３３１とソレノイド弁３１１との両方が故障した場合（状況パターン３１Ａ４）、及びパイロット圧供給用のソレノイド弁３３２とソレノイド弁３２２との両方が故障した場合（ソレノイドが動作不能となった場合）（状況パターン３２Ａ４）にのみ、グリッパ１が意図せず解放状態になってワーク保持の維持ができなくなる可能性が生じるので、ソレノイド弁の故障に伴う不具合は生じにくくなっている。
【００５１】
（変形例２）
変形例２の空圧回路３Ｂ（図６参照）は、変形例１の空圧回路３Ａに対し、シャトル弁３７を加えたものである（図６においてソレノイド弁３２２と制御部４との関連付けの線は、描画煩雑化を避けるため省略している）。
詳しくは、シャトル弁３７に、パイロット圧供給用のソレノイド弁３２１，３３２のＡポートからの出力が接続されている。
これにより、ソレノイド弁３２１，３３２からの高圧空気の一方が選択的にソレノイド弁３１１，３２２に対しパイロット圧として供給される。
【００５２】
換言するならば、シャトル弁３７により、制御部４の制御で動作したパイロット圧供給用のソレノイド弁３３１，３３２のいずれか一方からのパイロット圧が選択されて、ソレノイド弁３１１，３２２の両方に供給されるようになっている。
【００５３】
変形例２では、ソレノイド弁３３１、３３２のいずれか一方のみが故障した場合、他方の動作で、グリッパ１の開閉動作と吸着保持装置２の吸着解放動作とを独立的ではなく連動的に実行させることができる。
【００５４】
（変形例３）
変形例３におけるワーク保持の可否は、図７に示される。
図７に示されるように、変形例２の構成によれば、ワーク保持が維持できなくなるケースは、パイロット圧供給用の二つのソレノイド弁３３１，３３２が共に故障した場合に限る。
このケースは、状況パターンにおける全ケース（状況パターン３１Ｂ１〜３１Ｂ８及び３２Ｂ１〜３２Ｂ８）の１／８に該当するが、記述のように、ソレノイド弁の故障はまれであるため、実際の発生確率はきわめて小さい。
そのため、変形例２の空圧回路３Ｂを備えたワーク保持装置５１は、ソレノイド弁が故障しても不具合が生じにくい。
【符号の説明】
【００５５】
１  グリッパ
１ａ  下ジョー、    １ｂ  上ジョー、    １ｃ  エアシリンダ
１ｃ１  第１気室、    １ｃ２  第２気室、    １ｃ３  ピストン
１ｃ４  ピストンロッド
２  吸着保持装置、    ２ａ  吸盤群、    ２ｂ  エジェクタ
３，３Ａ，３Ｂ  空圧回路、      ３Ｒ，３Ｒ１，３Ｒ２  主幹回路部
４  制御部
３１〜３３，３１１，３２２，３３１，３３２  ソレノイド弁
３４〜３６，３４２，３５２  消音器
３７  シャトル弁
５１  ワーク保持装置、    ５２  圧力源
Ｒ１，Ｒ１２  第１通路、    Ｒ２，Ｒ２２  第２通路
Ｒ３，Ｒ３２  第３通路、    Ｒ４  吸引通路、    Ｒ５１，Ｒ５２  通路
【図１】
2017160999.tif 000003
【図２】
2017160999.tif 000004
【図３】
2017160999.tif 000005
【図４】
2017160999.tif 000006
【図５】
2017160999.tif 000007
【図６】
2017160999.tif 000008
【図７】
2017160999.tif 000009