(57)【要約】【課題】電子素子の収容空間の気密性に優れた電子部品、電子部品を備えた電子ユニットおよび電子機器を提供する。【解決手段】本発明の電子部品（光学フィルターデバイス３０）は、筐体６１と、筐体６１と接合部材６６を介して接合されているリッド６２と、を含み、筐体６１は、接合部材６６が配置されている第１面７１と、第１面７１に交差する第２面７２と、第１面７１に交差し波長可変干渉フィルター５が固定部材６４を介して固定されている第３面７３と、を含み、第１面７１と第３面７３との間に第２面７２が配置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体と、
前記筐体と接合部材を介して接合されている第１の蓋部材と、を含み、
前記筐体は、前記接合部材が配置されている第１面と、前記第１面に交差する第２面と、前記第１面に交差し電子素子が固定部材を介して固定されている第３面と、を含み、
前記第１面と前記第３面との間に前記第２面が配置されていることを特徴とする電子部品。
【請求項２】
請求項１に記載の電子部品において、
前記筐体は、前記第２面と前記第３面との間に第４面が配置されていることを特徴とする電子部品。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の電子部品において、
前記筐体は、前記第３面に対向する第５面を有し、前記第５面と前記第３面との間の距離は、前記第５面と前記第２面との間の距離より大きいことを特徴とする電子部品。
【請求項４】
請求項２又は請求項３に記載の電子部品において、
前記筐体は、前記第２面と前記第４面との間に第６面が配置され、前記第６面は曲面を含むことを特徴とする電子部品。
【請求項５】
請求項１に記載の電子部品において、
前記筐体は、前記第２面が前記第１面と前記第３面の間のテーパー面であることを特徴とする電子部品。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の電子部品において、
前記第１の蓋部材は、光を透過することを特徴とする電子部品。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の電子部品において、
前記筐体は、前記第１の蓋部材と対向する第７面に開口部を有し、前記開口部を覆い光を透過する第２の蓋部材が接合部材を介して接合されていることを特徴とする電子部品。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の電子部品において、
前記電子素子は、波長可変干渉フィルターであり、
前記光が前記第１の蓋部材と前記電子素子とを結ぶ方向に通過することを特徴とする電子部品。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の電子部品を備えたことを特徴とする電子ユニット。
【請求項１０】
請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の電子部品を備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品、電子ユニット、および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、光学フィルターデバイスにおいて、固定基板と可動基板を含み、それぞれに反射膜を配置した面を対向させその反射膜間距離を変化させる事により検出波長を制御する方法が知られている。
対向させる反射膜間の隙間はナノメーターレベルの精度が求められており、面精度、傾きには高精度が求められる。そのため、特許文献１では、光学フィルターデバイスとして波長可変干渉フィルターを固定する際の材料、もしくは環境変化による筐体への応力等による外力に対して反射膜への影響を最小限に抑えるために、波長可変干渉フィルターの側面を収容空間を有する筐体の内部側面に固定する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−２５９４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の光学フィルターデバイスは、小型・低背化の要求に対応するために、筐体の厚みを薄くすると、気密封止用のリッドを接合する筐体の接合面と波長可変干渉フィルターの側面固定部との間隔が短くなる。そのため、波長可変干渉フィルターの側面を固定する際に、固定部材が筐体の接合面上に広がり、リッドと接合面との接合ができなくなり筐体の収容空間の気密性が低下してしまうという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例に係る電子部品は、筐体と、前記筐体と接合部材を介して接合されている第１の蓋部材と、を含み、前記筐体は、前記接合部材が配置されている第１面と、前記第１面に交差する第２面と、前記第１面に交差し電子素子が固定部材を介して固定されている第３面と、を含み、前記第１面と前記第３面との間に前記第２面が配置されていることを特徴とする。
【０００７】
本適用例によれば、筐体の第１の蓋部材が接合される第１面と、電子素子が固定されている第３面と、が第２面を介して離れているため、電子素子を固定する固定部材が、第１の蓋部材の接合される第１面まで広がり到達するのを防止することができる。そのため、第１の蓋部材と接合部材との間に電子素子を固定する固定部材がないので、第１の蓋部材を筐体に接合することができ、筐体の収容空間の気密性を維持することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例に記載の電子部品において、前記筐体は、前記第２面と前記第３面との間に第４面が配置されていることが好ましい。
【０００９】
本適用例によれば、第２面と第３面との間に第４面を配置することで、第１の蓋部材が接合される第１面と、電子素子が固定されている第３面と、間隔をさらに離すことができる。そのため、電子素子を固定する固定部材が、第１の蓋部材の接合される第１面まで広がり到達するのを防止することができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例に記載の電子部品において、前記筐体は、前記第３面に対向する第５面を有し、前記第５面と前記第３面との間の距離は、前記第５面と前記第２面との間の距離より大きいことが好ましい。
【００１１】
本適用例によれば、筐体の第５面と第３面と間の距離が第５面と第２面との間の距離より大きいので、第１の蓋部材が接合される第１面と、電子素子が固定されている第３面と、第１の蓋部材が接合される第１面と接している第２面と、を離すことができる。そのため、電子素子を固定する固定部材が、第１の蓋部材の接合される第１面まで広がり到達するのを防止することができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例に記載の電子部品において、前記筐体は、前記第２面と前記第４面との間に第６面が配置され、前記第６面は曲面を含むことが好ましい。
【００１３】
本適用例によれば、第２面と第４面との間に第６面を配置することにより、第２面と第４面との間に溝部を形成することができるため、電子素子を固定する固定部材が、溝部に入り込み、第１の蓋部材の接合される第１面まで広がり到達するのを防止することができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例に記載の電子部品において、前記筐体は、前記第２面が前記第１面と前記第３面の間のテーパー面であることが好ましい。
【００１５】
本適用例によれば、筐体の第１の蓋部材が接合される第１面と、電子素子が固定されている第３面と、の間の第２面がテーパー面であることにより、第１面と第３面とが離れ、電子素子を固定する固定部材が、第１の蓋部材の接合される第１面まで広がり到達するのを防止することができる。
【００１６】
［適用例６］上記適用例に記載の電子部品において、前記第１の蓋部材は、光を透過することが好ましい。
【００１７】
本適用例によれば、第１の蓋部材が光を透過するため、光を筐体の収容空間に固定されている電子素子に照射することができる。
【００１８】
［適用例７］上記適用例に記載の電子部品において、前記筐体は、前記第１の蓋部材と対向する第７面に開口部を有し、前記開口部を覆い光を透過する第２の蓋部材が接合部材を介して接合されていることが好ましい。
【００１９】
本適用例によれば、第１の蓋部材側から入射し、筐体の収容空間に固定された電子素子を照射した光は、電子素子を透過し、第２の蓋部材側から射出することができる。
【００２０】
［適用例８］上記適用例に記載の電子部品において、前記電子素子は、波長可変干渉フィルターであり、前記光が前記第１の蓋部材と前記電子素子とを結ぶ方向に通過することが好ましい。
【００２１】
本適用例によれば、第１の蓋部材側から入射した光は、波長可変干渉フィルターに入射し、波長可変干渉フィルターで波長が変化し、第２の蓋部材側から射出することができる。
【００２２】
［適用例９］本適用例に係る電子ユニットは、上記適用例に記載の電子部品を備えたことを特徴とする。
【００２３】
本適用例によれば、気密特性に優れた電子部品を備える電子ユニットを提供することができる。
【００２４】
［適用例１０］本適用例に係る電子機器は、上記適用例に記載の電子部品を備えたことを特徴とする。
【００２５】
本適用例によれば、気密特性に優れた電子部品を備える電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る電子部品の概略構成を示す断面図。
【図２】図１中のＡ部拡大図。
【図３】本発明の第２実施形態に係る電子部品の概略構成を示す断面図。
【図４】本発明の第３実施形態に係る電子部品の概略構成を示す断面図。
【図５】本発明の第４実施形態に係る電子ユニットの概略構成を示す側面図。
【図６】本発明の第５実施形態に係る電子機器の構成を示す概略図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
＜第１実施形態＞
（光学フィルターデバイス３０の構成）
先ず、本発明の第１実施形態に係る電子部品として光学フィルターデバイスを一例として挙げ、図１を参照して説明する。なお、光学フィルターデバイスには、電子素子として波長可変干渉フィルター５を備えている。
図１は、本発明の第１実施形態に係る光学フィルターデバイス３０の概略構成を示す断面図である。図２は、図１中のＡ部拡大図である。
図１に示すように、光学フィルターデバイス３０は、波長可変干渉フィルター５と、波長可変干渉フィルター５を格納する筐体６１とを備えている。
【００２８】
（波長可変干渉フィルター５の構成）
波長可変干渉フィルター５は、透光性の固定基板５１及び可動基板５２を備え、これらの固定基板５１及び可動基板５２が、例えばシロキサンを主成分とするプラズマ重合膜などにより構成された接合膜５３により接合されることで、一体的に構成されている。このような波長可変干渉フィルター５は、例えば分光素子としてＡＯＴＦ（Ａｃｏｕｓｔｏ  Ｏｐｔｉｃ  Ｔｕｎａｂｌｅ  Ｆｉｌｔｅｒ）やＬＣＴＦ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｔｕｎａｂｌｅ  Ｆｉｌｔｅｒ）を用いる場合等に比べて素子サイズが小さくでき、光学フィルターデバイス３０の小型化を図ることができる。
【００２９】
固定基板５１は、エッチングにより形成された電極配置溝５１１及び反射膜設置部５１２を備えている。そして、電極配置溝５１１には、固定電極５６１が設けられ、反射膜設置部５１２には、固定反射膜５４が設けられている。
固定電極５６１は、電極配置溝５１１において、例えば反射膜設置部５１２を囲う環状に形成されている。
この固定反射膜５４としては、例えばＡｇ等の金属膜や、Ａｇ合金等の合金膜を用いることができる。また、例えば高屈折層をＴｉＯ2、低屈折層をＳｉＯ2とした誘電体多層膜を用いてもよい。さらに、誘電体多層膜上に金属膜（又は合金膜）を積層した反射膜や、金属膜（又は合金膜）上に誘電体多層膜を積層した反射膜、単層の屈折層（ＴｉＯ2やＳｉＯ2等）と金属膜（又は合金膜）とを積層した反射膜などを用いてもよい。
【００３０】
可動基板５２は、図１に示すように、可動部５２１と、可動部５２１の外に設けられ、可動部５２１を保持する保持部５２２とを備えている。
可動部５２１は、保持部５２２よりも厚み寸法が大きく形成され、例えば、本実施形態では、可動基板５２の厚み寸法と同一寸法に形成されている。この可動部５２１は、光学フィルターデバイス３０の平面視において、少なくとも反射膜設置部５１２の外周縁の径寸法よりも大きい径寸法に形成されている。そして、この可動部５２１には、可動電極５６２及び可動反射膜５５が設けられている。
【００３１】
可動電極５６２は、固定電極５６１に対向する位置に設けられている。また、可動反射膜５５は、固定反射膜５４に対向する位置に、ギャップＧ１を介して配置されている。この可動反射膜５５としては、上述した固定反射膜５４と同一の構成の反射膜が用いられる。
【００３２】
保持部５２２は、可動部５２１の周囲を囲うダイアフラムであり、可動部５２１よりも厚み寸法が小さく形成されている。このような保持部５２２は、可動部５２１よりも撓みやすく、僅かな静電引力により、可動部５２１を固定基板５１側に変位させることが可能となる。これにより、固定反射膜５４及び可動反射膜５５の平行度を維持した状態で、ギャップＧ１のギャップ寸法を変更することが可能となる。
なお、本実施形態では、ダイアフラム状の保持部５２２を例示するが、これに限定されず、例えば、平面中心点を中心として、等角度間隔で配置された梁状の保持部が設けられる構成などとしてもよい。
【００３３】
以上のような波長可変干渉フィルター５では、固定電極５６１及び可動電極５６２により静電アクチュエーター５６が構成されており、これらの電極５６１，５６２は、それぞれ、可動基板５２の外周縁まで引き出されて、筐体６１に設けられた内側端子部３２、チップ端子部３１、配線基板２０の端子部２２（図５参照）を介して、配線基板２０に設けられたフィルター駆動回路に接続されている。そして、上記のように、制御装置からフィルター駆動回路に制御信号が出力されると、フィルター駆動回路から静電アクチュエーター５６に電圧が印加され、電圧に応じた静電引力が電極５６１，５６２間に作用し、反射膜間ギャップＧ１のギャップ寸法が変更される。これにより、波長可変干渉フィルター５を透過する光の波長を変化させることが可能となる。
【００３４】
（筐体６１の構成）
次に、光学フィルターデバイス３０を構成する筐体６１について説明する。
図１に示すように、筐体６１には、光を透過する第１の蓋部材としてのリッド６２と、光を透過する第２の蓋部材としてのカバーガラス６３と、が接合されている。そのため、筐体６１、リッド６２、及びカバーガラス６３によって、波長可変干渉フィルター５を収納する収容空間が形成される。
【００３５】
筐体６１は、例えば薄板上のセラミックを積層することで構成され、台座部６１１と、側壁部６１２とを備えている。
台座部６１１は、光学フィルターデバイス３０の平面視において例えば矩形状の外形を有する平板状に構成されており、この台座部６１１の外周部から例えば筒状の側壁部６１２がリッド６２に向かって立ち上がる。
【００３６】
台座部６１１は、第７面７７に厚み方向に貫通する開口部としての光通過孔６１３を備えている。この光通過孔６１３は、筐体６１内に波長可変干渉フィルター５を収容した状態で、台座部６１１を厚み方向から見た平面視において、反射膜５４，５５と重なる領域を含むように設けられている。
【００３７】
また、台座部６１１のリッド６２に対向する内面である第７面７７には、波長可変干渉フィルター５の固定電極５６１及び可動電極５６２に例えばワイヤーボンディング等により接続される内側端子部３２が設けられている。
さらに、台座部６１１には、内側端子部３２が設けられる位置に、導通孔６１４が形成されている。内側端子部３２は、導通孔６１４を介して、台座部６１１の第７面７７と対向する面に設けられたチップ端子部３１に接続されている。
【００３８】
側壁部６１２は、台座部６１１の縁部から立ち上がり、筐体６１内に載置された波長可変干渉フィルター５の周囲を覆っている。側壁部６１２のリッド６２に対向する面は、例えば台座部６１１の第７面７７に平行な平坦面となる。
また、側壁部６１２には、例えば接着剤等の固定部材６４を用いて、波長可変干渉フィルター５が固定される。波長可変干渉フィルター５を側壁部６１２に固定することにより、波長可変干渉フィルター５を台座部６１１の第７面７７上に固定した場合に比べ、環境変化に伴う筐体６１への応力等による外力に対して反射膜５４，５５への影響を最小限に抑えることができる。
【００３９】
リッド６２は、光を透過するガラス平板であり、筐体６１の側壁部６１２の台座部６１１と反対側の端面に接合されている。
また、カバーガラス６３は、光を透過するガラス基板であり、筐体６１の台座部６１１の第７面７７と対向する面に、光通過孔６１３を覆い、接合部材６７を介して接合されている。
【００４０】
筐体６１とリッド６２とは、筐体６１に設けられた接合部材６６を溶融することで接合されている。接合部材６６の材料としては、例えば、ガラス原料を高温で熔解し、急冷したガラスのかけらであるガラスフリット（低融点ガラス）などが収容空間を気密封止するのに好ましい。同様に、筐体６１とカバーガラス６３との接合においても接合部材６７の材料としては、低融点ガラスが好ましい。
【００４１】
以上のような構成とすることで、光をリッド６２と筐体６１の収容空間に固定された波長可変干渉フィルター５とを結ぶ方向に通過させることで、リッド６２側から入射した光を、波長可変干渉フィルター５で波長を変化させ、光通過孔６１３を覆うカバーガラス６３を透過し光学フィルターデバイス３０の外部へ射出させることができる。
【００４２】
ここで、筐体６１における波長可変干渉フィルター５の固定部と、リッド６２の接合部と、の構造について、図２を参照して詳細に説明する。
図２は、図１中のＡ部拡大図である。
筐体６１の側壁部６１２には、リッド６２を接合するための接合部材６６が設けられている第１面７１と、固定部材６４を介して波長可変干渉フィルター５が固定される第３面７３との間に、第１面７１と接し第３面７３と平行する第２面７２と第１面と平行し第３面７３と接する第４面７４が形成されている。また、第３面７３と第３面７３と対向する第５面７５との間の距離は、第２面７２と第５面７５との間の距離より大きい、そのため、側壁部６１２の第１面７１と第３面７３との間に段差部が形成される。
【００４３】
このように側壁部６１２の第１面７１と第３面７３との間に段差部が形成されていることにより、波長可変干渉フィルター５を側壁部６１２の第３面７３に固定する際に、固定部材６４が広がっても、第２面と第４面７４とで形成されている段差部に、余分な固定部材６４が入り込む。そのため、リッド６２を接合する第１面７１上に設けられている接合部材６６の表面に、固定部材６４が到達するのを防止することができ、筐体６１の収容空間の気密性を維持することができる。従って、収容空間の気密性が高くなり、水粒子等の異物の侵入がないため、これらの異物による波長可変干渉フィルター５の光学特性の変化を防止することができる。
【００４４】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る光学フィルターデバイス３０ａについて、図３を参照して説明する。
図３は、本発明の第２実施形態に係る光学フィルターデバイス３０ａの概略構成を示す断面図である。
【００４５】
本実施形態は、光学フィルターデバイス３０ａを構成する筐体６１ａの側壁部６１２ａの形状が異なる以外は、前述した第１実施形態と同様である。
【００４６】
なお、以下の説明では、第２実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図３において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
【００４７】
本実施形態の光学フィルターデバイス３０ａは、図３に示すように、筐体６１ａの側壁部６１２ａの第１面７１と第３面７３との間にテーパー面７２ａを有している。そのため、第１面７１と第３面７３との間隔を離すことができ、波長可変干渉フィルター５を側壁部６１２ａの第３面７３に固定する際に、余分な固定部材６４がテーパー面７２ａ上に広がり、リッド６２を接合する第１面７１上に設けられている接合部材６６の表面に、固定部材６４が到達するのを防止することができる。従って、第１面７１上に設けられている接合部材６６の表面を固定部材６４により汚すことがなくなり、筐体６１ａとリッド６２とを隙間なく接合することができ、収容空間の気密性を維持することができる。
【００４８】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係る光学フィルターデバイス３０ｂについて、図４を参照して説明する。
図４は、本発明の第３実施形態に係る光学フィルターデバイス３０ｂの概略構成を示す断面図である。
【００４９】
本実施形態は、光学フィルターデバイス３０ｂを構成する筐体６１ｂの側壁部６１２ｂの形状が異なる以外は、前述した第１実施形態と同様である。
【００５０】
なお、以下の説明では、第３実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図４において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
【００５１】
本実施形態の光学フィルターデバイス３０ｂは、図４に示すように、筐体６１ｂの側壁部６１２ｂの第２面７２ｂと第４面７４ｂとの間に曲面を含む第６面７６を有している。そのため、第１面７１と第３面７３との間に第６面７６を形成することによる溝部が構成される。そのため、波長可変干渉フィルター５を側壁部６１２ｂの第３面７３に固定する際に、余分な固定部材６４が溝部に流れ込み、リッド６２を接合する第１面７１上に設けられている接合部材６６の表面に、固定部材６４が到達するのを防止することができる。従って、第１面７１上に設けられている接合部材６６の表面をきれいに維持することができ、筐体６１ｂとリッド６２とを接合性を向上させ、収容空間の気密性を維持することができる。
【００５２】
＜第４実施形態＞
［光学ユニットの構成］
次に、本発明の第４実施形態に係る電子ユニットとして光学ユニットを一例に挙げて、図５を参照して説明する。
図５は、本発明の第４実施形態に係る光学ユニット１０の概略構成を示す側面図である。
【００５３】
光学ユニット１０は、図５に示すように、配線基板２０と、配線基板２０に搭載される光学フィルターデバイス３０（電子部品）とを備えている。
光学フィルターデバイス３０は、内部に波長可変干渉フィルター５（図１参照）が格納されて、入射光から所定波長の光を選択して射出させる光学チップである。この光学フィルターデバイス３０は、波長可変干渉フィルター５に接続された複数のチップ端子部３１を有し、これらのチップ端子部３１が配線基板２０に設けられた端子部２２に、例えば半田等の導電性の接合部材４０により接合されている。
【００５４】
配線基板２０は、図示略のフィルター駆動回路を有し、当該フィルター駆動回路は、端子部２２及び図示略の制御装置に接続されている。そして、フィルター駆動回路は、制御装置からの制御信号を受信すると、制御信号に基づいた電圧信号を端子部２２からチップ端子部３１に出力し、これにより、波長可変干渉フィルター５が駆動される。
このような光学ユニット１０は、例えば入射光の分光測定を実施する分光測定装置や、分光画像を撮像する分光カメラ、入射光から所定波長の光を選択して射出させる光源装置等に適用することができる。
【００５５】
配線基板２０は、例えばガラスエポキシ基板により構成される基板本体２１、基板本体２１に設けられた複数の金属製の端子部２２、端子部２２に接続される配線電極（図示略）、及び配線電極により端子部２２と接続されたフィルター駆動回路等の回路（図示略）等を備えて構成されている。
【００５６】
基板本体２１には、少なくとも光学フィルターデバイス３０の光通過孔６１３に対向する位置に貫通孔２３が設けられている。これにより、例えば、光学ユニット１０を分光測定装置や分光カメラに適用する場合に、光学フィルターデバイス３０から射出された光を、配線基板２０の貫通孔２３を通過させ、配線基板２０の光学フィルターデバイス３０とは反対側に設けられた受光素子で受光させることが可能となる。
【００５７】
接合部材４０は、半田等の導電性を有する素材により構成され、例えばピーク温度が２４０〜２５０度となるリフロー炉にて加熱溶融させて、端子部２２及びチップ端子部３１を接合する。
以上の結果、光学ユニット１０が完成する。
【００５８】
本実施形態の光学ユニット１０は、収容空間の気密性が高い光学フィルターデバイス３０を備えているので、水粒子等の異物の侵入による波長可変干渉フィルター５の光学特性の変化を防止することができる。
【００５９】
＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態に係る電子機器として食物分析装置２００を一例として挙げ、図６を参照して説明する。
図６は、本発明の第５実施形態に係る食物分析装置２００の構成を示す概略図である。
【００６０】
この食物分析装置２００は、図６に示すように、検出器２１０と、制御部２２０と、表示部２３０と、を備えている。検出器２１０は、光を射出する光源２１１と、測定対象物からの光が導入される撮像レンズ２１２と、撮像レンズ２１２から導入された光を分光する光学フィルターデバイス３０と、分光された光を検出する撮像部２１３（検出部）と、を備えている。
【００６１】
また、制御部２２０は、光源２１１の点灯・消灯制御、点灯時の明るさ制御を実施する光源制御部２２１と、光学フィルターデバイス３０の波長可変干渉フィルター５を制御する電圧制御部２２２と、撮像部２１３を制御し、撮像部２１３で撮像された分光画像を取得する検出制御部２２３と、信号処理部２２４と、記憶部２２５と、を備えている。
【００６２】
この食物分析装置２００は、システムを駆動させると、光源制御部２２１により光源２１１が制御されて、光源２１１から測定対象物に光が照射される。そして、測定対象物で反射された光は、撮像レンズ２１２を通って光学フィルターデバイス３０に入射する。光学フィルターデバイス３０の波長可変干渉フィルター５は電圧制御部２２２の制御により所望の波長を分光可能な電圧が印加されており、分光された光が、例えばＣＣＤカメラ等により構成される撮像部２１３で撮像される。また、撮像された光は分光画像として、記憶部２２５に蓄積される。また、信号処理部２２４は、電圧制御部２２２を制御して波長可変干渉フィルター５に印加する電圧値を変化させ、各波長に対する分光画像を取得する。
【００６３】
そして、信号処理部２２４は、記憶部２２５に蓄積された各画像における各画素のデータを演算処理し、各画素におけるスペクトルを求める。また、記憶部２２５には、例えばスペクトルに対する食物の成分に関する情報が記憶されており、信号処理部２２４は、求めたスペクトルのデータを、記憶部２２５に記憶された食物に関する情報を基に分析し、検出対象に含まれる食物成分、及びその含有量を求める。また、得られた食物成分及び含有量から、食物カロリーや鮮度等をも算出することができる。さらに、画像内のスペクトル分布を分析することで、検査対象の食物の中で鮮度が低下している部分の抽出等をも実施することができ、さらには、食物内に含まれる異物等の検出をも実施することができる。
そして、信号処理部２２４は、上述のようにして得られた検査対象の食物の成分や含有量、カロリーや鮮度等の情報を表示部２３０に表示させる処理をする。
【００６４】
本実施形態の食物分析装置２００は、収容空間の気密性が高い光学フィルターデバイス３０を備えているので、水粒子等の異物の侵入による波長可変干渉フィルター５の光学特性の変化を防止することができる。
【００６５】
また、図６において、食物分析装置２００の例を示すが、略同様の構成により、上述したようなその他の情報の非侵襲的測定装置としても利用することができる。例えば、血液等の体液成分の測定、分析等、生体成分を分析する生体分析装置として用いることができる。このような生体分析装置としては、例えば血液等の体液成分を測定する装置として、エチルアルコールを検知する装置とすれば、運転者の飲酒状態を検出する酒気帯び運転防止装置として用いることができる。また、このような生体分析装置を備えた電子内視鏡システムとしても用いることができる。
さらには、鉱物の成分分析を実施する鉱物分析装置としても用いることができる。
【００６６】
以上、本発明の各部の構成は、前述した実施形態の同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。また、本発明は、前述した各実施形態の任意の構成同士を組み合わせるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００６７】
５…電子素子としての波長可変干渉フィルター、１０…電子ユニットとしての光学ユニット、２０…配線基板、２１…基板本体、２２…端子部、２３…貫通孔、３０…電子部品としての光学フィルターデバイス、３１…チップ端子部、３２…内側端子部、４０…接合部材、５１…固定基板、５２…可動基板、５３…接合膜、５４…固定反射膜、５５…可動反射膜、５６…静電アクチュエーター、６１，６１ａ，６１ｂ…筐体、６２…リッド、６３…カバーガラス、６４…固定部材、６６…接合部材、７１…第１面、７２，７２ｂ…第２面、７２ａ…テーパー面、７３…第３面、７４，７４ｂ…第４面、７５…第５面、７６…第６面、７７…第７面、２００…電子機器としての食物分析装置、２１０…検出器、２１１…光源、２１２…撮像レンズ、２１３…撮像部、２２０…制御部、２２１…光源制御部、２２２…電圧制御部、２２３…検出制御部、２２４…信号処理部、２２５…記憶部、２３０…表示部、５１１…電極配置溝、５１２…反射膜設置部、５２１…可動部、５２２…保持部、５６１…固定電極、５６２…可動電極、６１１…台座部、６１２，６１２ａ，６１２ｂ…側壁部、６１３…光通過孔、６１４…導通孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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