(57)【要約】【課題】角部の精密加工を可能にする金属部品の製造方法を提供して、歯車等の歯先の曲率半径を従来よりも小さくする。【解決手段】この金属部品の製造方法は、平面視で第１の辺、第２の辺、及び、第１の辺と第２の辺との間の領域から延伸する延伸部を有するマスク膜を金属膜上に形成する工程（ａ）と、金属膜をエッチングすることにより、平面視で第３の辺及び第４の辺を有する角部を形成する工程（ｂ）とを備える。【選択図】図８
2017222908.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面視で第１の辺、第２の辺、及び、前記第１の辺と前記第２の辺との間の領域から延伸する延伸部を有するマスク膜を金属膜上に形成する工程（ａ）と、
前記金属膜をエッチングすることにより、平面視で第３の辺及び第４の辺を有する角部を形成する工程（ｂ）と、
を備える、金属部品の製造方法。
【請求項２】
工程（ｂ）が、前記マスク膜の前記第１の辺に沿って前記金属膜をエッチングして前記角部の前記第３の辺を形成し、前記マスク膜の前記第２の辺に沿って前記金属膜をエッチングして前記角部の前記第４の辺を形成すると共に、前記マスク膜の前記延伸部の下層において前記金属膜をエッチングして前記角部の先端を形成することを含む、請求項１記載の製造方法。
【請求項３】
前記角部の先端が、０．０３ｍｍよりも小さい曲率半径を有する、請求項１又は２記載の製造方法。
【請求項４】
工程（ｂ）が、複数の角部が円周に沿って配置され、タイバーを介して前記金属膜の他の領域に接続される歯車を形成することを含み、
前記マスク膜の前記延伸部が、前記タイバーの幅よりも小さい幅を有する、請求項１〜３のいずれか１項記載の製造方法。
【請求項５】
前記マスク膜の前記延伸部が、前記第１及び第２の辺の端部から第１の距離において第１の幅を有し、前記第１及び第２の辺の端部から前記第１の距離よりも大きい第２の距離において前記第１の幅よりも小さい第２の幅を有する、請求項１〜４のいずれか１項記載の製造方法。
【請求項６】
工程（ａ）に先立って、前記金属膜と搬送用テープとを張り合わせる工程をさらに備える、請求項１〜５のいずれか１項記載の製造方法。
【請求項７】
金属膜の第１の領域を露出させる第１のマスク膜を前記金属膜上に形成する工程（ａ）と、
前記第１のマスク膜を用いて前記金属膜をエッチングすることにより、前記第１の領域の前記金属膜を薄くする工程（ｂ）と、
前記第１のマスク膜を前記金属膜から剥離する工程（ｃ）と、
前記金属膜の前記第１の領域の一部を覆い且つ前記第１の領域内の第２の領域を露出させる第２のマスク膜であって、前記第１の領域において、平面視で第１の辺、第２の辺、及び、前記第１の辺と前記第２の辺との間の領域から延伸する延伸部を有する前記第２のマスク膜を前記金属膜上に形成する工程（ｄ）と、
前記第２のマスク膜を用いて前記金属膜をエッチングすることにより、少なくとも前記第２の領域の前記金属膜を除去して、平面視で第３の辺及び第４の辺を有する角部を形成する工程（ｅ）と、
を備える、金属部品の製造方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項記載の製造方法によって製造された金属部品を組み込む工程を備える、電子機器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エッチングにより金属部品を製造する方法、及び、そのような金属部品を用いて電子機器を製造する方法等に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、歯車等の金属部品の鋭い歯先を製造する方法として、特許文献１には、２度抜きプレス加工による製造方法が示されている。２度抜きプレス加工の場合には、２つの型により金属薄板を２度に分けて打ち抜くので、歯先を鋭角に加工することができ、曲率半径Ｒを小さくすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−３１２８６６号公報（請求項１、段落００２４、図４（ｂ））
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一方、歯車等の金属部品を、プレス加工ではなく、エッチング加工によって成形することも可能である。金属膜をウェットエッチングして金属部品を製造する場合には、エッチング用のマスクの角部を鋭角にしても、サイドからのエッチング浸食によって歯の先端が丸まってしまうという問題があった。いずれにしても、歯車等の歯先を鋭角化して歯先の曲率半径をさらに小さくするために、角部の精密加工を可能にする金属部品の製造方法が求められている。
【０００５】
また、１回のウェットエッチングで微細な形状の金属部品を製造する場合には、金属膜がウェットエッチングによって等方的にエッチングされるので、金属部品のエッジが底面に対して直角に加工されず、裾が引いたような状態になる。従って、金属部品の形状が微細であると、その微細な部分の厚さが薄くなって強度が低下してしまう。
【０００６】
本発明の幾つかの態様は、角部の精密加工を可能にする金属部品の製造方法に関連している。また、本発明の幾つかの態様は、金属部品の形状が微細であっても強度の低下を抑制できる金属部品の製造方法に関連している。さらに、本発明の他の幾つかの態様は、そのような金属部品を用いる電子機器の製造方法等に関連している。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様に係る金属部品の製造方法は、平面視で第１の辺、第２の辺、及び、第１の辺と第２の辺との間の領域から延伸する延伸部を有するマスク膜を金属膜上に形成する工程（ａ）と、金属膜をエッチングすることにより、平面視で第３の辺及び第４の辺を有する角部を形成する工程（ｂ）とを備える。
【０００８】
本発明の第１の態様によれば、第１の辺と第２の辺との間の領域から延伸する延伸部を有するマスク膜を金属膜上に形成して金属膜をエッチングすることにより、サイドからのエッチング浸食による角部の先端の丸まりがマスク膜の延伸部によって抑制される。その結果、角部の精密加工を可能にして、例えば、歯車等の歯先の曲率半径を従来よりも小さくすることができる。
【０００９】
ここで、工程（ｂ）が、マスク膜の第１の辺に沿って金属膜をエッチングして角部の第３の辺を形成し、マスク膜の第２の辺に沿って金属膜をエッチングして角部の第４の辺を形成すると共に、マスク膜の延伸部の下層において金属膜をエッチングして角部の先端を形成することを含むようにしても良い。それにより、角部の第３及び第４の辺に連続するように、角部の先端形状を規定することができる。
【００１０】
また、角部の先端が、０．０３ｍｍよりも小さい曲率半径を有することが望ましい。それにより、角部の先端に接触する対象物を移動させる歯車等において、角部の先端を対象物に接触させる際に十分な摩擦力を得ることができる。
【００１１】
さらに、工程（ｂ）が、複数の角部が円周に沿って配置され、タイバーを介して金属膜の他の領域に接続される歯車を形成することを含み、マスク膜の延伸部が、タイバーの幅よりも小さい幅を有するようにしても良い。それにより、金属膜のエッチング工程において、歯車の歯先を鋭角化して歯先の曲率半径を小さくする一方、金属膜がサイドからエッチング浸食されてもタイバーを残すことができる。
【００１２】
以上において、マスク膜の延伸部が、第１及び第２の辺の端部から第１の距離において第１の幅を有し、第１及び第２の辺の端部から第１の距離よりも大きい第２の距離において第１の幅よりも小さい第２の幅を有するようにしても良い。それにより、マスク膜の延伸部の形状を角部の先端形状に近付けて、金属膜のエッチングに要する時間を短縮することができる。
【００１３】
本発明の第１の態様に係る金属部品の製造方法は、工程（ａ）に先立って、金属膜と搬送用テープとを張り合わせる工程をさらに備えるようにしても良い。それにより、薄い金属膜であっても破損することなく加工することができる。
【００１４】
本発明の第２の態様に係る金属部品の製造方法は、金属膜の第１の領域を露出させる第１のマスク膜を金属膜上に形成する工程（ａ）と、第１のマスク膜を用いて金属膜をエッチングすることにより、第１の領域の金属膜を薄くする工程（ｂ）と、第１のマスク膜を金属膜から剥離する工程（ｃ）と、金属膜の第１の領域の一部を覆い且つ第１の領域内の第２の領域を露出させる第２のマスク膜であって、第１の領域において、平面視で第１の辺、第２の辺、及び、第１の辺と第２の辺との間の領域から延伸する延伸部を有する第２のマスク膜を金属膜上に形成する工程（ｄ）と、第２のマスク膜を用いて金属膜をエッチングすることにより、少なくとも第２の領域の金属膜を除去して、平面視で第３の辺及び第４の辺を有する角部を形成する工程（ｅ）とを備える。
【００１５】
本発明の第２の態様によれば、第１の態様による効果に加えて、２回のエッチングによって金属部品を製造するので、１回のエッチングによる金属部品の製造に比べて、金属部品の形状が微細であっても、その微細な部分の金属部品の厚さが薄くなる原因である裾引き部分が短くなるので、金属部品の強度の低下を抑制することができる。
【００１６】
本発明の第３の態様に係る電子機器の製造方法は、上記いずれかの製造方法によって製造された金属部品を組み込む工程を備える。本発明の第３の態様によれば、歯先の曲率半径が小さい歯車等の金属部品を用いることにより、歯先に接触する用紙との間で十分な摩擦力が得られるので、用紙送り精度が向上された電子機器を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第１の実施形態に係る製造方法における第１の工程を説明するための図。
【図２】第１の実施形態に係る製造方法における第２の工程を説明するための図。
【図３】第１の実施形態に係る製造方法における第３の工程を説明するための図。
【図４】第１の実施形態に係る製造方法における第４の工程を説明するための図。
【図５】第１の実施形態に係る製造方法における第５の工程を説明するための図。
【図６】第１の実施形態に係る製造方法における第６の工程を説明するための図。
【図７】第１の実施形態に係る製造方法における第７の工程を説明するための図。
【図８】第１の実施形態に係る製造方法におけるマスク膜と金属部品を示す平面図。
【図９】比較例におけるマスク膜と金属部品を示す平面図。
【図１０】第１の実施形態に係る製造方法で製造された歯車を示す平面図。
【図１１】図１０におけるＪ部を拡大して示す平面図。
【図１２】第１の具体例に係るマスク膜の形状を示す平面図。
【図１３】第２の具体例に係るマスク膜の形状を示す平面図。
【図１４】第２の実施形態に係る製造方法における第２の工程を説明するための図。
【図１５】第２の実施形態に係る製造方法における第３の工程を説明するための図。
【図１６】第２の実施形態に係る製造方法における第４の工程を説明するための図。
【図１７】第２の実施形態に係る製造方法における第５の工程を説明するための図。
【図１８】第２の実施形態に係る製造方法における第６の工程を説明するための図。
【図１９】第２の実施形態に係る製造方法における第７の工程を説明するための図。
【図２０】第２の実施形態に係る製造方法における第８の工程を説明するための図。
【図２１】第２の実施形態に係る製造方法における第９の工程を説明するための図。
【図２２】第２の実施形態に係る製造方法における第１０の工程を説明するための図。
【図２３】第２の実施形態に係る製造方法における第１１の工程を説明するための図。
【図２４】第２の実施形態に係る製造方法における第１２の工程を説明するための図。
【図２５】第２の実施形態に係る製造方法におけるマスク膜の形状を示す平面図。
【図２６】第２の実施形態に係る製造方法で製造された歯車を示す平面図。
【図２７】図２６におけるＪ部を拡大して示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。ただし、本発明は、以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は、以下に示す実施形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
【００１９】
＜第１の実施形態＞
図１〜図７は、本発明の第１の実施形態に係る金属部品の製造方法を説明するための図である。図１は、第１の実施形態に係る金属部品の製造方法の第１の工程において使用される設備の概要を示しており、図２〜図７は、第１の実施形態に係る金属部品の製造方法の第２の工程〜第７の工程における各部の断面をそれぞれ示している。
【００２０】
まず、図１に示す第１の工程において、金属膜１０と搬送用テープ２０とが張り合わされる。搬送用テープ２０を裏打ち材として用いることにより、薄い金属膜１０であっても破損することなく加工することができる。金属膜１０としては、例えば、ＳＵＳ（ステンレス鋼）材又は銅箔等が用いられる。また、搬送用テープ２０としては、例えば、合成樹脂のフレキシブルテープ等が用いられる。
【００２１】
図１に示すように、供給リール（図示せず）から供給される金属膜１０が、第１のロール１と第２のロール２との間を通過して、巻取リール３に巻き取られる。一方、供給リール４から供給される搬送用テープ２０が、第１のロール１と第２のロール２との間に供給される。それにより、搬送方向５に搬送される金属膜１０に、搬送用テープ２０が貼り付けられる。その後、金属膜１０及び搬送用テープ２０には、露光位置決め用の複数の穴がプレス加工によって形成される。
【００２２】
次に、図２に示すように、金属膜１０上にレジスト液を塗布し、ベークすることによって、金属膜１０上にフォトレジスト膜３０が形成される。次に、図３に示すように、ガラスマスク６を用いて、ＵＶ光７がフォトレジスト膜３０に照射される。それにより、フォトレジスト膜の部分３１は、ＵＶ光７が照射されて露光される（感光する）。一方、フォトレジスト膜の部分３２は、ＵＶ光７が照射されないので露光されない。
【００２３】
次に、図４に示すように、フォトレジスト膜３０を現像することによって、露光された部分３１が除去され、露光されなかった部分３２が金属膜１０上に残留する。それにより、所定のパターンを有するフォトレジスト膜の部分３２が、金属膜１０の所定の領域を露出させるマスク膜として金属膜１０上に形成される。
【００２４】
次に、図５に示すように、マスク膜３２を用いて金属膜１０をエッチングすることにより、マスク膜３２に覆われていない金属膜１０が除去される。本実施形態において、エッチングとしては、等方性のウェットエッチングが行われる。従って、サイドからのエッチング浸食により、マスク膜３２の下層に位置する金属膜１０の一部も除去される。その結果、エッチングされなかった金属膜１０によって、金属部品の形状が決定される。
【００２５】
次に、図６に示すように、マスク膜３２が金属膜１０から剥離される。次に、図７に示すように、搬送用テープ２０を金属膜１０から剥離することによって、単体の金属膜１０が得られる。このようにして、所望の形状を有する金属部品が製造される。その後、金属部品が仕様を満たしているか否かが検査される。
【００２６】
図８は、本発明の第１の実施形態に係る製造方法におけるマスク膜及び金属部品の形状を示す平面図であり、図９は、比較例におけるマスク膜及び金属部品の形状を示す平面図である。図８及び図９は、一例として、複数の歯（角部）が円周に沿って配置された金属部品である歯車を形成するためのマスク膜の一部と、それを用いたエッチングの初期、中期、及び、完了の段階における１つの角部の上面とを示している。なお、図８に示す二点鎖線ＩＶ−ＩＶは、図４におけるマスク膜３２の断面の位置を表している。
【００２７】
図８に示すように、マスク膜３２は、平面視で、第１の辺（エッジ）Ｅ１、第２の辺Ｅ２、及び、第１の辺Ｅ１と第２の辺Ｅ２との間の領域から延伸する延伸部３２ａを有している。本願において、「平面視」とは、金属膜１０（図４）の底面に垂直な方向から各部を透視することを言う。即ち、マスク膜３２は、歯車の歯先に対応する先端に、棒状のダミーパターンを有している。このようなマスク膜３２を金属膜１０上に形成して、金属膜１０がエッチング（ウェットエッチング）される。
【００２８】
エッチング初期の段階において、マスク膜３２の形状に沿ってエッチングが進行することにより、角部１０ａの形状がマスク膜３２の形状と略等しくなる。エッチング中期の段階において、マスク膜３２の延伸部３２ａの下層の金属膜１０もサイドからエッチング浸食されて、角部１０ａの先端（歯先）の形状が次第に整ってくる。
【００２９】
エッチング完了の段階においては、平面視で第３の辺Ｅ３及び第４の辺Ｅ４を有する角部１０ａが形成される。角部１０ａの先端が尖がった状態でエッチング処理を止めることにより、角部１０ａの先端が鋭角化される。ここで、エッチング処理時間が長すぎると金属膜１０のダミーパターンが残り、エッチング処理時間が短すぎると角部１０ａの先端が丸まってしまうので、エッチング処理時間を適切に設定することが必要である。即ち、歯車の直径を狙いの範囲に納めるためには、マスク膜３２の延伸部３２ａの幅とエッチング処理時間との適切な組合せが重要である。
【００３０】
このようにして、マスク膜３２の第１の辺Ｅ１に沿って金属膜１０をエッチングして角部１０ａの第３の辺Ｅ３が形成され、マスク膜３２の第２の辺Ｅ２に沿って金属膜１０をエッチングして角部１０ａの第４の辺Ｅ４が形成される。それと共に、マスク膜３２の延伸部３２ａの下層において金属膜１０をエッチングして角部１０ａの先端が形成される。それにより、角部１０ａの第３の辺Ｅ３及び第４の辺Ｅ４に連続するように、角部１０ａの先端形状を規定することができる。
【００３１】
第１の実施形態によれば、第１の辺Ｅ１と第２の辺Ｅ２との間の領域から延伸する延伸部３２ａを有するマスク膜３２を金属膜１０上に形成して金属膜１０をエッチングすることにより、サイドからのエッチング浸食による角部１０ａの先端の丸まりがマスク膜３２の延伸部３２ａによって抑制される。その結果、角部１０ａの精密加工を可能にして、歯車の歯先の曲率半径を従来よりも小さくすることができる。
【００３２】
具体的には、角部１０ａの先端の曲率半径を０．０３ｍｍよりも小さくすることが可能である。例えば、角部１０ａの先端は、０．０３ｍｍよりも小さい曲率半径を有しても良いし、０．０２ｍｍ以下、又は、０．０１５ｍｍ以下の曲率半径を有しても良い。それにより、角部１０ａの先端に接触する対象物を移動させる歯車等において、角部１０ａの先端を対象物に接触させる際に十分な摩擦力を得ることができる。
【００３３】
一方、図９には、比較例として、延伸部を有さないマスク膜３３を用いる場合が示されている。エッチング初期の段階において、マスク膜３３の形状に沿ってエッチングが進行することにより、角部１０ｂの形状がマスク膜３３の形状と略等しくなる。その際に、角部１０ｂの先端がサイドからのエッチング浸食によって丸まり、角部１０ｂの先端の曲率半径がマスク膜３３の先端の曲率半径よりも増大する。エッチング中期の段階及びエッチング完了の段階においても、角部１０ｂの先端は、比較的大きい曲率半径を有している。
【００３４】
＜歯車の具体例＞
図１０は、本発明の第１の実施形態に係る金属部品の製造方法によって製造された歯車の具体例を示す平面図であり、図１１は、図１０におけるＪ部を拡大して示す平面図である。
【００３５】
図１０に示すように、歯車１００は、複数の歯（角部）１０ａが円周に沿って配置された形状を有し、タイバー１０１及び１０２を介して金属膜の他の領域１０３に接続されている。図１０においては、一例として、２つのタイバー１０１及び１０２が示されている。それらのタイバー１０１及び１０２を切断することによって、単体の歯車１００が得られる。
【００３６】
＜マスク形状の具体例＞
図１２は、第１の具体例に係るマスク膜の形状を示す平面図であり、図１３は、第２の具体例に係るマスク膜の形状を示す平面図である。図１２又は図１３に示すマスク膜３２は、例えば、図１０に示すような歯車を成形するために用いられる。なお、図１２及び図１３に示す二点鎖線ＩＶ−ＩＶは、図４におけるマスク膜３２の断面の位置を表している。
【００３７】
図１２又は図１３に示すマスク膜３２は、平面視で、第１の辺Ｅ１、第２の辺Ｅ２、及び、第１の辺Ｅ１と第２の辺Ｅ２との間の領域から延伸する延伸部３２ａを有している。延伸部３２ａは、第１の辺Ｅ１及び第２の辺Ｅ２の歯先側の端部から、歯車の中心と反対側に所定の距離だけ延在している。延伸部３２ａの長手方向の中心線（一点鎖線）は、第１の辺Ｅ１及び第２の辺Ｅ２と略等しい角度θをなすことが望ましく（０°＜θ＜９０°）、歯車の中心を通過しても良い。
【００３８】
図１２に示す第１の具体例においては、延伸部３２ａが一定の幅Ｗを有している。延伸部３２ａの幅Ｗは、図１０に示すタイバー１０１及び１０２の幅（最も小さい幅）よりも小さいことが望ましい。それにより、金属膜のエッチング工程において、歯車の歯先を鋭角化して歯先の曲率半径を小さくする一方、金属膜がサイドからエッチング浸食されてもタイバー１０１及び１０２を残すことができる。
【００３９】
図１３に示す第２の具体例においては、延伸部３２ａがテーパー形状を有しており、延伸部３２ａの長手方向の中心線に沿って延伸部３２ａの幅が変化する。その場合に、延伸部３２ａは、第１の辺Ｅ１及び第２の辺Ｅ２の歯先側の端部から第１の距離において第１の幅Ｗ１を有し、第１の辺Ｅ１及び第２の辺Ｅ２の歯先側の端部から第１の距離よりも大きい第２の距離において第１の幅Ｗ１よりも小さい第２の幅Ｗ２を有することが望ましい。それにより、マスク膜３２の延伸部３２ａの形状を歯（角部）の先端形状に近付けて、金属膜のエッチングに要する時間を短縮することができる。第２の具体例においても、延伸部３２ａの第１の幅Ｗ１及び第２の幅Ｗ２は、図１０に示すタイバー１０１及び１０２の幅よりも小さいことが望ましい。
【００４０】
＜第２の実施形態＞
図１４〜図２４は、本発明の第２の実施形態に係る金属部品の製造方法を説明するための図である。図１４〜図２４は、第２の実施形態に係る金属部品の製造方法の第２の工程〜第１２の工程における各部の断面をそれぞれ示している。第２の実施形態においては、金属膜のエッチングが２段階に分けられて行われる。その他の点に関しては、第２の実施形態は第１の実施形態と同様であるので、重複する説明を省略する。
【００４１】
まず、図１に示すのと同様の第１の工程において、金属膜１０と搬送用テープ２０とが張り合わされる。次に、図１４に示すように、金属膜１０上にレジスト液を塗布し、ベークすることによって、金属膜１０上に第１のフォトレジスト膜４０が形成される。
【００４２】
次に、図１５に示すように、ガラスマスク８を用いて、ＵＶ光７が第１のフォトレジスト膜４０に照射される。それにより、第１のフォトレジスト膜の部分４１は、ＵＶ光７が照射されて露光される（感光する）。一方、第１のフォトレジスト膜の部分４２は、ＵＶ光７が照射されないので露光されない。
【００４３】
次に、図１６に示すように、第１のフォトレジスト膜４０を現像することによって、露光された部分４１が除去され、露光されなかった部分４２が金属膜１０上に残留する。それにより、所定のパターンを有する第１のフォトレジスト膜の部分４２が、金属膜１０の第１の領域１１を露出させる第１のマスク膜として金属膜１０上に形成される。
【００４４】
次に、図１７に示すように、第１のマスク膜４２を用いて金属膜１０の第１の領域１１をエッチング（ウェットエッチング）することにより、第１の領域１１の金属膜１０を薄くする処理が行われる。即ち、第１のマスク膜４２を用いて金属膜１０の第１の領域１１がハーフエッチングされる。
【００４５】
次に、図１８に示すように、第１のマスク膜４２が金属膜１０から剥離される。次に、図１９に示すように、第１の領域１１を含む金属膜１０上にレジスト液を塗布し、ベークすることによって、第１の領域１１を含む金属膜１０上に第２のフォトレジスト膜５０が形成される。
【００４６】
ここで、金属膜１０の第１の領域１１がハーフエッチングされることによって金属膜１０に段差が形成されていても、第２のフォトレジスト膜５０の膜厚を厚くすることによって、段差部分を第２のフォトレジスト膜５０で十分に覆うことができる。その結果、後のエッチング工程において段差部分が不必要にエッチングされることがない。
【００４７】
次に、図２０に示すように、ガラスマスク９を用いて、ＵＶ光７が第２のフォトレジスト膜５０に照射される。それにより、第２のフォトレジスト膜の部分５１は、ＵＶ光７が照射されて露光される（感光する）。一方、第２のフォトレジスト膜の部分５２は、ＵＶ光７が照射されないので露光されない。
【００４８】
次に、図２１に示すように、第２のフォトレジスト膜５０を現像することによって、露光された部分５１が除去される。それにより、所定のパターンを有する第２のフォトレジスト膜の部分５２が、金属膜１０の第１の領域１１の一部を覆い且つ第１の領域１１内の第２の領域１２を露出させる第２のマスク膜として金属膜１０上に形成される。
【００４９】
次に、図２２に示すように、第２のマスク膜５２を用いて金属膜１０の第２の領域１２をエッチング（ウェットエッチング）することによって、第２の領域１２の金属膜１０が除去される。その際に、サイドからのエッチング浸食により、第２のマスク膜５２の下層に位置する金属膜１０の一部も除去される。
【００５０】
次に、図２３に示すように、第２のマスク膜５２が金属膜１０から剥離される。次に、図２４に示すように、搬送用テープ２０を金属膜１０から剥離することによって、単体の金属膜１０が得られる。このようにして、ハーフエッチングされて厚さが薄い第１の領域１１と、第２の領域１２がエッチングによって除去された部分とを有する金属部品が製造される。
【００５１】
＜マスク形状の具体例＞
図２５は、本発明の第２の実施形態に係る製造方法における第１及び第２のマスク膜の形状の具体例を示す平面図である。図２５には、一例として、歯車を形成するために用いられる第１のマスク膜４２及び第２のマスク膜５２の一部が、金属膜１０に対する位置を整合させて示されている。
【００５２】
第２のマスク膜５２は、図８等に示す第１の実施形態におけるマスク膜３２に対応している。第１のマスク膜４２を用いるエッチングによって薄くされた金属膜１０の第１の領域１１（図２１）において、第２のマスク膜５２は、平面視で第１の辺Ｅ１、第２の辺Ｅ２、及び、第１の辺Ｅ１と第２の辺Ｅ２との間の領域から延伸する延伸部５２ａを有している。
【００５３】
このような第２のマスク膜５２を用いて金属膜１０をエッチング（ウェットエッチング）することにより、少なくとも第２の領域１２（図２１）の金属膜１０が除去されて、図８に示すように、平面視で第３の辺Ｅ３及び第４の辺Ｅ４を有する角部１０ａが形成される。
【００５４】
第２の実施形態によれば、第１の実施形態による効果に加えて、２回のエッチングによって金属部品を製造するので、１回のエッチングによる金属部品の製造に比べて、金属部品の形状が微細であっても強度の低下を抑制することができる。
【００５５】
即ち、図１７に示すハーフエッチング工程において、第１の領域１１の金属膜１０の厚さを薄くした後に、図２２に示すエッチング工程において、第１の領域１１内の第２の領域１２の金属膜１０が除去される。従って、金属部品のエッジの裾引き部分の長さを１回のエッチングの場合に比べて短くすることができる。その結果、金属部品の形状が微細であっても、その微細な部分の金属部品の厚さが薄くなる原因である裾引き部分が短くなるので、金属部品の強度の低下を抑制することができる。
【００５６】
＜歯車の具体例＞
図２６は、本発明の第２の実施形態に係る金属部品の製造方法によって製造された歯車の具体例を示す平面図であり、図２７は、図２６におけるＪ部を拡大して示す平面図である。本発明の第２の実施形態に係る金属部品の製造方法によって歯車１００ａを製造する場合には、図２７に示すように、ハーフエッチングされて厚さが薄い第１の領域１１を歯（角部）１０ａの先端側に位置させると良い。
【００５７】
以上の実施形態においては、歯車に本発明の一態様を適用することを説明したが、他の金属部品に本発明の一態様を適用することも可能である。
【００５８】
＜電子機器の製造方法＞
本発明の一実施形態に係る電子機器の製造方法は、本発明のいずれかの実施形態に係る製造方法によって製造された金属部品を電子機器の筐体に組み込む工程を備える。電子機器としては、例えば、コンピューター等に接続される情報出力装置であるプリンターや、複写機又はファクシミリ装置に装備されるシート排出装置等が該当する。本発明の一実施形態に係る電子機器の製造方法によれば、歯先の曲率半径が小さい歯車等の金属部品を用いることにより、歯先に接触する用紙との間で十分な摩擦力が得られるので、用紙送り精度が向上された電子機器を製造することができる。
【符号の説明】
【００５９】
１、２…ロール、３…巻取リール、４…供給リール、５…搬送方向、６、８、９…ガラスマスク、７…ＵＶ光、１０…金属膜、１０ａ、１０ｂ…角部、１１…金属膜の第１の領域、１２…金属膜の第２の領域、２０…搬送用テープ、３０…フォトレジスト膜、３２、３３…マスク膜、３２ａ…延伸部、４０…フォトレジスト膜、４２…第１のマスク膜、５０…フォトレジスト膜、５２…第２のマスク膜、５２ａ…延伸部、１００、１００ａ…歯車、１０１、１０２…タイバー、１０３…金属膜の他の領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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