(57)【要約】【課題】接着シートの供給遅れを防止することができるシート供給装置および供給方法を提供すること。【解決手段】帯状の剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２０と、繰出手段２０で繰り出された原反ＲＳにおける剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離して所定の供給位置ＳＰに供給する剥離手段３０とを備え、繰出手段２０は、接着シートＡＳが剥離された剥離シートＲＬを保持部材２３Ｅで保持し、当該剥離シートＲＬに張力を付与して原反ＲＳを繰り出す繰出力付与手段２３を備え、繰出力付与手段２３は、剥離シートＲＬに対する保持部材２３Ｅの保持位置を一定位置に維持したまま、当該保持部材２３Ｅおよび剥離手段３０を相対移動させて原反ＲＳを繰り出す。【選択図】図１
2017222367.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出された原反における剥離シートから前記接着シートを剥離して所定の供給位置に供給する剥離手段とを備え、
前記繰出手段は、前記接着シートが剥離された剥離シートを保持部材で保持し、当該剥離シートに張力を付与して前記原反を繰り出す繰出力付与手段を備え、
前記繰出力付与手段は、前記剥離シートに対する前記保持部材の保持位置を一定位置に維持したまま、当該保持部材および前記剥離手段を相対移動させて前記原反を繰り出すことを特徴とするシート供給装置。
【請求項２】
前記繰出力付与手段は、前記接着シートが剥離された剥離シートを前記保持部材で回収することを特徴とする請求項１に記載のシート供給装置。
【請求項３】
前記繰出力付与手段は、前記保持部材の起点となる所定の起点位置から、当該起点位置よりも前記剥離手段から離間した離間位置に向かう一方向に当該保持部材を移動させることで、前記原反を繰り出し可能に設けられ、前記一方向のみに前記保持部材を移動させる間で、前記接着シートを複数枚供給可能に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート供給装置。
【請求項４】
少なくとも前記繰出力付与手段の動作を制御する制御手段を備え、当該制御手段は、１枚の前記接着シートを供給するために必要な前記保持部材の移動量を基にして、前記起点位置から前記離間位置までの間で前記保持部材を前記一方向のみに移動させた際、供給できる前記接着シートの枚数を算出可能に設けられていることを特徴とする請求項３に記載のシート供給装置。
【請求項５】
帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記繰出工程で繰り出された原反における剥離シートから前記接着シートを剥離手段で剥離して所定の供給位置に供給する剥離工程とを有し、
前記繰出工程は、前記接着シートが剥離された剥離シートを保持部材で保持し、当該剥離シートに張力を付与して前記原反を繰り出す繰出力付与工程を有し、
前記繰出力付与工程は、前記剥離シートに対する前記保持部材の保持位置を一定位置に維持したまま、当該保持部材および前記剥離手段を相対移動させて前記原反を繰り出すことを特徴とするシート供給方法。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート供給装置および供給方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、帯状の剥離シートに仮着された接着シートを所定の供給位置に供給するシート供給装置が採用されたシート貼付装置において、原反に繰出力を付与する繰出力付与手段と剥離シートとのスリップを防止する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１４３２３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された従来のシート供給装置は、ドライブローラおよびピンチローラからなる保持部材で保持した剥離紙（剥離シート）に対し、当該保持部材を相対移動させることでラベル原反（原反）を繰り出す構成が採用されているため、ドライブローラの回転開始直後やラベル原反の繰出中に、極少量ではあるがドライブローラと剥離紙とがスリップを起こして接着シートの供給遅れが発生し、被着体の所定位置に接着シートを貼付できなくなるという不都合が発生する。このような不都合は、ドライブローラを高速で回転させると顕著化する。
【０００５】
本発明の目的は、接着シートの供給遅れを防止することができるシート供給装置および供給方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート供給装置は、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出された原反における剥離シートから前記接着シートを剥離して所定の供給位置に供給する剥離手段とを備え、前記繰出手段は、前記接着シートが剥離された剥離シートを保持部材で保持し、当該剥離シートに張力を付与して前記原反を繰り出す繰出力付与手段を備え、前記繰出力付与手段は、前記剥離シートに対する前記保持部材の保持位置を一定位置に維持したまま、当該保持部材および前記剥離手段を相対移動させて前記原反を繰り出すことを特徴とする。
【０００７】
この際、本発明のシート供給装置では、前記繰出力付与手段は、前記接着シートが剥離された剥離シートを前記保持部材で回収することが好ましい。
また、本発明のシート供給装置では、前記繰出力付与手段は、前記保持部材の起点となる所定の起点位置から、当該起点位置よりも前記剥離手段から離間した離間位置に向かう一方向に当該保持部材を移動させることで、前記原反を繰り出し可能に設けられ、前記一方向のみに前記保持部材を移動させる間で、前記接着シートを複数枚供給可能に設けられていることが好ましい。
さらに、本発明のシート供給装置では、少なくとも前記繰出力付与手段の動作を制御する制御手段を備え、当該制御手段は、１枚の前記接着シートを供給するために必要な前記保持部材の移動量を基にして、前記起点位置から前記離間位置までの間で前記保持部材を前記一方向のみに移動させた際、供給できる前記接着シートの枚数を算出可能に設けられていることが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート供給方法は、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出工程と、前記繰出工程で繰り出された原反における剥離シートから前記接着シートを剥離手段で剥離して所定の供給位置に供給する剥離工程とを有し、前記繰出工程は、前記接着シートが剥離された剥離シートを保持部材で保持し、当該剥離シートに張力を付与して前記原反を繰り出す繰出力付与工程を有し、前記繰出力付与工程は、前記剥離シートに対する前記保持部材の保持位置を一定位置に維持したまま、当該保持部材および前記剥離手段を相対移動させて前記原反を繰り出すことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１によれば、保持部材で保持した剥離シートに対し、当該保持部材を相対移動させることなく原反を繰り出すので、保持部材と剥離シートとがスリップを起こすことがなくなり、接着シートの供給遅れを防止することができる。
【００１０】
請求項２によれば、剥離シートを回収する部材を別途設ける必要がなくなり、装置の大型化を防止することができる。
請求項３によれば、保持部材を起点位置に復帰させる動作を少なくすることができ、動作の簡略化を図ることができる。
請求項４によれば、効率よく接着シートを供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート供給装置の側面図。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）は、シート供給装置の変形例を示す部分側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１において、シート供給装置１０は、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２０と、繰出手段２０で繰り出された原反ＲＳにおける剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離して所定の供給位置ＳＰに供給する剥離手段としての剥離板３０と、当該シート供給装置１０の全体的な動作を制御するパーソナルコンピュータやシーケンサ等の図示しない制御手段とを備え、剥離板３０で剥離された接着シートＡＳを被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ４０の側方であって、ウエハＷＦを支持して搬送する搬送手段５０の上方に配置されている。
【００１４】
繰出手段２０は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、接着シートＡＳが剥離された剥離シートＲＬを保持部材としての巻取ローラ２３Ｅで保持し、当該剥離シートＲＬに張力を付与して原反ＲＳを繰り出す繰出力付与手段２３とを備えている。
繰出力付与手段２３は、駆動機器としてのリニアモータ２３Ａのスライダ２３Ｂに支持された駆動機器としての回動モータ２３Ｃと、回動モータ２３Ｃの出力軸２３Ｄに支持された巻取ローラ２３Ｅとを備え、剥離シートＲＬに対する巻取ローラ２３Ｅの保持位置を一定位置に維持したまま、当該巻取ローラ２３Ｅおよび剥離板３０を相対移動させて原反ＲＳを繰り出す構成になっている。
本実施形態の場合、繰出力付与手段２３は、巻取ローラ２３Ｅの起点となる所定の起点位置ＡＡから、当該起点位置ＡＡよりも剥離板３０から離間した離間位置ＢＢに向かう一方向ＡＤに当該巻取ローラ２３Ｅを移動させることで、原反ＲＳを繰り出すようになっている。なお、この場合の離間位置ＢＢとは、剥離板３０に対するリニアモータ２３Ａの遠い方のストロークエンドにスライダ２３Ｂが位置したときに、巻取ローラ２３Ｅが配置される位置である。
【００１５】
搬送手段５０は、駆動機器としてのリニアモータ５１のスライダ５１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを支持可能な支持面５２Ａを有する支持テーブル５２を備えている。
【００１６】
以上のシート供給装置１０の動作を説明する。
先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート供給装置１０に対し、作業者が原反ＲＳを同図に示すようにセットし、当該原反ＲＳのリード端部の剥離シートＲＬを巻取ローラ２３Ｅに固定した後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して図示しない制御手段に自動運転開始の信号を入力する。なお、本実施形態の場合、巻取ローラ２３Ｅに剥離シートＲＬを固定した部分が剥離シートＲＬに対する巻取ローラ２３Ｅの保持位置となる。次いで、繰出手段２０が回動モータ２３Ｃを駆動し、巻取ローラ２３Ｅで剥離シートＲＬを巻き取ることで原反ＲＳを繰り出し、図１に示すように、先頭の接着シートＡＳの先端が剥離板３０の先端部で剥離シートＲＬから所定長さ剥離されたことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、回動モータ２３Ｃの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
【００１７】
そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、ウエハＷＦが支持面５２Ａ上に載置されると、搬送手段５０が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを吸着保持した後、リニアモータ５１を駆動し、支持テーブル５２を左方へ移動させる。次いで、ウエハＷＦの左端部が所定の位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２０が回動モータ２３Ｃの駆動を停止させた状態でリニアモータ２３Ａを駆動し、ウエハＷＦの左方への搬送速度と接着シートＡＳの左方への供給速度とが同じ速度となるように巻取ローラ２３Ｅを一方向ＡＤへ移動させる。このとき、剥離シートＲＬに対する巻取ローラ２３Ｅの保持位置が一定位置に維持されたまま、当該巻取ローラ２３Ｅおよび剥離板３０が相互に離間する方向に相対移動されるので、巻取ローラ２３Ｅと剥離シートＲＬとがスリップを起こすことはない。これにより、接着シートＡＳは、図１中二点鎖線で示すように、押圧ローラ４０によってウエハＷＦの上面に押圧されて貼付され、その全体がウエハＷＦに貼付された後、次の接着シートＡＳの先端が剥離板３０の先端部で剥離シートＲＬから所定長さ剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２０がリニアモータ２３Ａの駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。このとき、巻取ローラ２３Ｅは、図１の左側の二点鎖線で示す位置で停止する。そして、図示しない制御手段は、１枚の接着シートＡＳを供給するために必要な巻取ローラ２３Ｅの移動量を基にして、起点位置ＡＡから離間位置ＢＢまでの間で巻取ローラ２３Ｅを一方向ＡＤのみに移動させた際、供給できる接着シートＡＳの枚数を算出する。本実施形態の場合、１枚の接着シートＡＳを供給するのに必要な巻取ローラ２３Ｅの移動量が３１０ｍｍとされ、起点位置ＡＡから離間位置ＢＢまでの距離が７５０ｍｍとされているので、図示しない制御手段は、一方向ＡＤのみに巻取ローラ２３Ｅを移動させた際、接着シートＡＳを２枚供給できると判断する。なお、接着シートＡＳ全体が貼付されたウエハＷＦが押圧ローラ４０の左方所定位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、搬送手段５０がリニアモータ５１および図示しない減圧手段の駆動を停止する。
【００１８】
その後、図示しない搬送手段が、接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦを次の工程に搬送した後、搬送手段５０がリニアモータ５１を駆動し、支持テーブル５２を初期位置に復帰させ、再度、上記と同等の動作を繰り返し、２枚目のウエハＷＦに次の接着シートＡＳを貼付する動作が行われる。このとき、巻取ローラ２３Ｅは、図１の左側の二点鎖線で示す位置から同図の右側の二点鎖線で示す位置まで移動する。これにより、繰出力付与手段２３は、一方向ＡＤのみに巻取ローラ２３Ｅを移動させる間で、接着シートＡＳを複数枚供給することとなる。そして、図示しない搬送手段が、次の接着シートＡＳが貼付された２枚目のウエハＷＦを次の工程に搬送すると、繰出手段２０がリニアモータ２３Ａおよび回動モータ２３Ｃを駆動し、巻取ローラ２３Ｅで剥離シートＲＬを巻回して回収しながら当該巻取ローラ２３Ｅを初期位置に復帰させる。これにより、接着シートＡＳが剥離された剥離シートＲＬを繰出力付与手段２３が巻取ローラ２３Ｅで回収することとなる。このとき、原反ＲＳが支持ローラ２１側から繰り出されるようなことがあれば、図１中二点鎖線で示すように、当該支持ローラ２１の回転を抑制する駆動機器やクラッチ等の回転防止手段２１Ａや、駆動機器としての図示しないチャックシリンダで原反ＲＳを把持して当該原反ＲＳの繰出しを防止する繰出防止手段等の原反繰出防止手段を設けてもよい。その後、搬送手段５０がリニアモータ５１を駆動し、支持テーブル５２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００１９】
以上のような実施形態によれば、巻取ローラ２３Ｅで保持した剥離シートＲＬに対し、当該巻取ローラ２３Ｅを相対移動させることなく原反ＲＳを繰り出すので、巻取ローラ２３Ｅと剥離シートＲＬとがスリップを起こすことがなくなり、接着シートＡＳの供給遅れを防止することができる。
【００２０】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、剥離手段は、繰出手段で繰り出された原反における剥離シートから接着シートを剥離して所定の供給位置に供給可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程も同様でありその説明は省略する）。
【００２１】
繰出力付与手段２３は、図２（Ａ）に示すように、回動モータ２３Ｃをリニアモータ２３Ａのスライダ２３Ｂから独立させ、一対のチャック部材２３Ｆを備えた保持部材である駆動機器としてのチャックシリンダ２３Ｇをスライダ２３Ｂで支持する構成としてもよい。この場合、繰出手段２０がチャックシリンダ２３Ｇおよびリニアモータ２３Ａを駆動し、一対のチャック部材２３Ｆで剥離シートＲＬを把持してチャックシリンダ２３Ｇを一方向ＡＤへ移動させて原反ＲＳを繰り出し、次いで、一対のチャック部材２３Ｆによる剥離シートＲＬの把持を解除した後、リニアモータ２３Ａおよび回動モータ２３Ｃを駆動し、巻取ローラ２３Ｅで剥離シートＲＬを巻回して回収しながらチャックシリンダ２３Ｇを初期位置に復帰させればよい。この場合、チャック部材２３Ｆで剥離シートＲＬを把持した部分が剥離シートＲＬに対するチャックシリンダ２３Ｇの保持位置となる。なお、回動モータ２３Ｃを支持する保持アームを設け、当該保持アームをスライダ２３Ｂで支持するように構成してもよい。
また、繰出力付与手段２３は、図２（Ｂ）に示すように、駆動機器としての回動モータ２３Ｈの出力軸２３Ｊで揺動アーム２３Ｋを支持し、当該揺動アーム２３Ｋの先端で回動モータ２３Ｃを支持してもよい。この場合、繰出手段２０が回動モータ２３Ｃの駆動を停止させた状態で回動モータ２３Ｈを駆動し、起点位置ＡＡから離間位置ＢＢに向かう一方向ＢＤ（反時計回転方向）に巻取ローラ２３Ｅを移動させることで、原反ＲＳを繰り出した後、回動モータ２３Ｃ、２３Ｈを駆動し、巻取ローラ２３Ｅで剥離シートＲＬを巻回して回収しながら当該巻取ローラ２３Ｅを初期位置に復帰させればよい。なお、図２（Ｂ）に示す繰出力付与手段２３の場合、回動モータ２３Ｈの有効移動量（揺動アーム２３Ｋの回転角度）を大きくすることで、一方向ＢＤのみに巻取ローラ２３Ｅを移動させる間で、接着シートＡＳを複数枚供給するようにしてもよい。この場合の離間位置ＢＢとは、回動モータ２３Ｈを駆動し、揺動アーム２３Ｋを回転させたときに、剥離板３０に対して巻取ローラ２３Ｅが最も遠く離れた位置である。
【００２２】
繰出手段２０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に複数の閉ループ状の切込が形成されることで、その内側が接着シートＡＳとされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反が採用された場合、切断手段により、接着シート基材を所定形状に切断してその内側を接着シートＡＳとしてもよいし、接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する際、原反ＲＳに所定の張力が付与されるように回動モータ２３Ｃや回転防止手段２１Ａのトルク制御を行ってもよいし、支持ローラ２１やガイドローラ２２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳや剥離シートＲＬを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、保持部材で剥離シートＲＬを回収しなくてもよい。
繰出力付与手段２３は、一方向ＡＤやＢＤのみに巻取ローラ２３Ｅやチャックシリンダ２３Ｇを移動させる間で、接着シートＡＳを１枚繰り出すように構成してもよいし、その間で接着シートＡＳを３枚以上繰り出すように構成してもよいし、リニアモータ２３Ａのストローク（起点位置ＡＡから離間位置ＢＢまでの距離）は、７５０ｍｍ以下でもよいし、７５０ｍｍ以上でもよく、少なくとも、採用される接着シートＡＳを１枚供給するのに必要な巻取ローラ２３Ｅの移動量以上の長さであればよいし、巻取ローラ２３Ｅやチャックシリンダ２３Ｇを移動させずにまたは移動させつつ、剥離板３０を移動させて原反ＲＳを繰り出す構成でもよいし、図１および図２（Ｂ）に示した巻取ローラ２３Ｅで剥離シートＲＬを巻回して回収しながら、当該巻取ローラ２３Ｅと剥離板３０とを相対移動させることで原反ＲＳを繰り出す構成としてもよいし、巻取ローラ２３Ｅやチャックシリンダ２３Ｇを上下方向や、当該上下方向に対して傾斜した斜め方向を一方向として原反ＲＳを繰り出す構成としてもよいし、巻取ローラ２３Ｅを複数の部材で構成し、それらが駆動機器によって離間接近するようにしておき、それら複数の部材が相互に接近することで剥離シートＲＬを把持するようにしてもよいし、図２（Ａ）に示したチャックシリンダ２３Ｇを駆動機器としての回動モータの出力軸で支持し、当該回動モータをリニアモータ２３Ａのスライダ２３Ｂで支持する構成とし、チャック部材２３Ｆで剥離シートＲＬを巻回して回収するようにしてもよく、この場合、巻取ローラ２３Ｅを省略できる。
保持部材への剥離シートＲＬの固定は、接着剤、粘着剤、接着テープ、粘着テープ、両面接着テープ、両面粘着テープ、クリップ、ステープラ、釘、溶接、溶着、磁着、結束、把持、引掛け等どのような固定の仕方でもよい。
【００２３】
図示しない制御手段は、シート供給装置１０の一部の動作だけを制御するようにしてもよいし、押圧手段や搬送手段等も制御するようにしてもよく、少なくとも繰出力付与手段２３の動作を制御できればよいし、１枚の接着シートＡＳを供給するために必要な巻取ローラ２３Ｅやチャックシリンダ２３Ｇの移動量が予め分かっている場合（移動量が予め分かっていない場合でも）、起点位置ＡＡから離間位置ＢＢまでの間で巻取ローラ２３Ｅやチャックシリンダ２３Ｇを一方向ＡＤやＢＤのみに移動させた際、供給できる接着シートＡＳの枚数を算出しなくてもよい。
【００２４】
押圧手段は、押圧ローラ４０をウエハＷＦに離間接近させる押圧手段接離手段としての駆動機器を備え、ウエハＷＦにストレスがかかったり損傷したりすることを防止するようにしてもよく、このような押圧手段接離手段としては、駆動機器以外に手動で押圧ローラ４０を移動させるものでもよい。
搬送手段５０は、ウエハＷＦを移動させずにまたは移動させつつ、シート供給装置１０や押圧ローラ４０を移動させてウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付してもよいし、他の装置でウエハＷＦを移動させる場合は、なくてもよい。
【００２５】
シート供給装置１０は、天地反転して配置したり横向きに配置したりして、接着シートＡＳを供給してもよいし、前記実施形態のようなシート貼付装置以外に、供給位置ＳＰに供給した接着シートＡＳを一旦シート支持部材で支持し、被着体に押圧して貼付するシート貼付装置や、供給位置ＳＰに供給した接着シートＡＳを人手で保持して貼付する半自動タイプのシート貼付装置や、接着シートを検査する接着シート検査装置や、ラベルプリンタ等に採用してもよい。
１枚の接着シートＡＳを供給するのに必要な巻取ローラ２３Ｅの移動量は、３１０ｍｍ以下でもよいし、３１０ｍｍ以上でもよい。
【００２６】
本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とで構成されたもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、接着剤層の間に中間層を有するもの等、１層または２層以上のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００２７】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。
【符号の説明】
【００２８】
１０…シート供給装置
２０…繰出手段
２３…繰出力付与手段
２３Ｅ…巻取ローラ（保持部材）
２３Ｇ…チャックシリンダ（保持部材）
３０…剥離板（剥離手段）
ＡＡ…起点位置
ＡＤ…一方向
ＡＳ…接着シート
ＢＢ…離間位置
ＢＤ…一方向
ＲＬ…剥離シート
ＲＳ…原反
ＳＰ…供給位置
【図１】
2017222367.tif 000003
【図２】
2017222367.tif 000004