(57)【要約】【課題】大きさを容易に調整でき且つ信頼性の高い平膜状の静電型スピーカを実現する。【解決手段】静電型スピーカ１０は、振動極層２０、第１固定極層３０、および、第２固定極層４０を備える。第１固定極層３０、振動極層２０、および、第２固定極層４０は、この順で積層されており、積層膜を構成している。振動極層２０は、絶縁性のベースフィルム２１と導電性の振動極膜２２を備える。振動極膜２２は、導体非形成部によって分離された複数の個別振動極膜を備える。第１固定極層３０は、絶縁性のベースフィルム３１と導電性の固定極膜３２を備える。第２固定極層４０は、絶縁性のベースフィルム４１と導電性の固定極膜４２を備える。静電型スピーカ１０は、振動極膜２２の導体非形成部を通るように積層膜を切断することによって、所望の大きさに成形される。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性の振動極膜、導電性の固定極膜、および、前記振動極膜と前記固定極膜との間に配置された絶縁膜を有する積層膜を備え、
前記振動極膜と前記固定極膜との間に静電力を発生させて放音する静電型スピーカであって、
前記積層膜は、該積層膜を複数の部分に分割可能にする切断可能部を備え、
前記切断可能部では、前記振動極膜と前記固定極膜は、前記積層膜の膜面に直交する方向に視て異なる位置に配置されている、
ことを特徴とする、静電型スピーカ。
【請求項２】
前記振動極膜は互いに離間して配置された複数の個別振動極膜によって構成され、または、前記固定極膜は互いに離間して配置された複数の個別固定極膜によって構成されており、
前記複数の個別振動極膜または前記複数の個別固定極膜は、前記切断可能部と異なる部分に配置されている、
請求項１に記載の静電型スピーカ。
【請求項３】
前記振動極膜は前記複数の個別振動極膜によって構成され、且つ、前記固定極膜は前記複数の個別固定極膜によって構成されている、
請求項２に記載の静電型スピーカ。
【請求項４】
前記複数の個別固定極膜を接続する固定極用の引き回し導体および前記複数の個別振動極膜を接続する振動極用の引き回し導体の少なくとも一方を備える、
請求項２または請求項３に記載の静電型スピーカ。
【請求項５】
前記切断可能部には、
前記複数の個別固定極膜を接続する固定極用の引き回し導体と、
前記複数の個別振動極膜を接続する振動極用の引き回し導体と、を備え、
前記固定極用の引き回し導体と前記振動極用の引き回し導体は、前記切断可能部において前記積層膜の膜面に直交する方向に視て異なる位置に配置されている、
請求項３に記載の静電型スピーカ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の電極間に生じる静電力によって放音を行う平膜状の静電型スピーカに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、特許文献１に記載されているような平面スピーカが各種考案されている。特許文献１に記載の平面スピーカは、薄膜状で導電性を有する振動板を備える。振動板の両面には、ダンピング部材を介して、平面電極が配置されている。
【０００３】
特許文献１に記載の平面スピーカは、平面電極と振動板との間に生じる静電力を変化させることによって振動板を振動させ、放音する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−０５４１５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の平面スピーカの形状は、設置場所の大きさ、使用方法等の状況に応じて予め決まっている。したがって、状況が異なる複数箇所に特許文献１に記載の平面スピーカを用いる場合には、状況に応じて、個別に最初から製造し直さなければならない。
【０００６】
また、予め大きなサイズの平面スピーカを製造しておき、状況に応じて切断し、所望の大きさにすることも可能である。しかしながら、特許文献１に記載の平面スピーカは、平面視した略全面において、振動板と平面電極が対向している。このため、切断時に発生するバリ等によって、振動板と平面電極とが接触して短絡する可能性がある。または、振動板と平面電極との距離が近接して、耐電圧が低下する可能性がある。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、大きさを容易に調整でき且つ信頼性の高い平膜状の静電型スピーカを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明の静電型スピーカは、導電性の振動極膜、導電性の固定極膜、および、振動極膜と固定極膜との間に配置された絶縁膜を有する積層膜を備える。静電型スピーカは、振動極膜と固定極膜との間に静電力を発生させて放音する。積層膜は、該積層膜を複数の部分に分割可能にする切断可能部を備える。切断可能部では、振動極膜と固定極膜は、積層膜の膜面に直交する方向に視て異なる位置に配置されている。
【０００９】
この構成では、切断可能部で積層膜を分割することによって、複数種類の大きさ（平面面積）からなる静電型スピーカが実現される。また、切断可能部では、振動極膜と固定極膜が重なっていないので、切断時の変形によってこれらの膜の距離が短くなることが抑制される。これにより、振動極膜と固定極膜との短絡が抑制される。
【発明の効果】
【００１０】
この発明によれば、大きさを調整でき且つ信頼性の高い平膜状の静電型スピーカを容易に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る静電型スピーカの分解斜視図
【図２】本発明の第１の実施形態に係る静電型スピーカの各構成要素の平面図
【図３】本発明の第１の実施形態に係る切断後の静電型スピーカの平面図および断面図
【図４】本発明の第１の実施形態に係る静電型スピーカの駆動回路の概略構成を示す図
【図５】本発明の第２の実施形態に係る静電型スピーカの平面図および断面図
【図６】本発明の第３の実施形態に係る静電型スピーカの分解斜視図
【図７】本発明の第３の実施形態に係る静電型スピーカの各構成要素の平面図
【図８】本発明の第４の実施形態に係る静電型スピーカの分解斜視図
【図９】本発明の第４の実施形態に係る静電型スピーカの各構成要素の平面図
【図１０】本発明の第４の実施形態に係る切断後の静電型スピーカの平面図および断面図
【図１１】本発明の第４の実施形態に係る静電型スピーカにおける外部接続の構成を示す平面図
【図１２】本発明の第５の実施形態に係る静電型スピーカの各構成要素の平面図
【図１３】本発明の第５の実施形態に係る切断後の静電型スピーカの平面図および断面図
【図１４】本発明の第６の実施形態に係る静電型スピーカの各構成要素の平面図
【図１５】本発明の第６の実施形態に係る切断後の静電型スピーカの平面図および断面図
【図１６】本発明の第７の実施形態に係る静電型スピーカの各構成要素の平面図
【図１７】本発明の第７の実施形態に係る切断後の静電型スピーカの平面図
【図１８】本発明の第８の実施形態に係る静電型スピーカの分解斜視図
【図１９】本発明の第８の実施形態に係る静電型スピーカの各構成要素の平面図
【図２０】本発明の第８の実施形態に係る静電型スピーカの平面図
【図２１】本発明の第８の実施形態に係る静電型スピーカの断面図
【図２２】本発明の第８の実施形態に係る切断後の静電型スピーカの平面図
【図２３】本発明の第９の実施形態に係る静電型スピーカの分解斜視図
【図２４】本発明の第９の実施形態に係る静電型スピーカの各構成要素の平面図
【図２５】本発明の第９の実施形態に係る静電型スピーカの平面図
【図２６】本発明の第９の実施形態に係る切断後の静電型スピーカの平面図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の第１の実施形態に係る静電型スピーカについて、図を参照して説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係る静電型スピーカの分解斜視図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係る静電型スピーカの各構成要素の平面図である。
【００１３】
図１に示すように、静電型スピーカ１０は、振動極層２０、第１固定極層３０、第２固定極層４０を備える。振動極層２０、第１固定極層３０、および、第２固定極層４０は、平膜であり、それぞれの膜面が平行になるように配置されている。振動極層２０は、第１固定極層３０と第２固定極層４０との間に配置されている。振動極層２０の表面は、第１固定極層３０の裏面に当接しており、振動極層２０の裏面は、第２固定極層４０の表面に当接している。すなわち、第１固定極層３０、振動極層２０、および、第２固定極層４０は、この順で積層されている。この積層膜が本発明の「積層膜」に対応する。
【００１４】
振動極層２０は、絶縁性を有するベースフィルム２１と、導電性を有する振動極膜２２とを備える。ベースフィルム２１は、例えばＰＥＴ、ＰＰ等の絶縁性の樹脂フィルムであり、切断が容易な材料からなる。ベースフィルム２１は、本発明の「絶縁膜」に対応する。振動極膜２２は、ベースフィルム２１の表面に形成されている。振動極膜２２は、図２に示すように、複数の個別振動極膜２２（１１）−２２（１６），２２（２１）−２２（２６），２２（３１）−２２（３６），２２（４１）−２２（４６），２２（５１）−２２（５６），２２（６１）−２２（６６），２２（７１）−２２（７６）からなる。以下、複数の個別振動極膜の全体は、個別振動極膜２２（１１）−２２（７６）と称する。
【００１５】
複数の個別振動極膜２２（１１）−２２（７６）は、図２に示すように、互いに直交する第１方向（図２の横方向）と第２方向（図２の縦方向）にそれぞれ６個および７個が配列される二次元配列によって、配置されている。各方向に隣接する個別振動極膜同士は、離間して配置されており、電気的に接続されていない。
【００１６】
より具体的に、第１方向において、第２方向に並ぶ個別振動極膜２２（１１）−２２（７１）と、第２方向に並ぶ個別振動極膜２２（１２）−２２（７２）との間には、導体非形成部２４１が設けられている。同様に、個別振動極膜２２（１２）−２２（７２）と、個別振動極膜２２（１３）−２２（７３）との間には、導体非形成部２４２が設けられ、個別振動極膜２２（１３）−２２（７３）と、個別振動極膜２２（１４）−２２（７４）との間には、導体非形成部２４３が設けられている。個別振動極膜２２（１４）−２２（７４）と、個別振動極膜２２（１５）−２２（７５）との間には、導体非形成部２４４が設けられ、個別振動極膜２２（１５）−２２（７５）と、個別振動極膜２２（１６）−２２（７６）との間には、導体非形成部２４５が設けられている。
【００１７】
第２方向において、第１方向に並ぶ個別振動極膜２２（１１）−２２（１６）と、第２方向に並ぶ個別振動極膜２２（２１）−２２（２６）との間には、導体非形成部２３１が設けられている。同様に、個別振動極膜２２（２１）−２２（２６）と、個別振動極膜２２（３１）−２２（３６）との間には、導体非形成部２３２が設けられ、個別振動極膜２２（３１）−２２（３６）と、個別振動極膜２２（４１）−２２（４６）との間には、導体非形成部２３３が設けられている。個別振動極膜２２（４１）−２２（４６）と、個別振動極膜２２（５１）−２２（５６）との間には、導体非形成部２３４が設けられ、個別振動極膜２２（５１）−２２（５６）と、個別振動極膜２２（６１）−２２（６６）との間には、導体非形成部２３５が設けられ、個別振動極膜２２（６１）−２２（６６）と、個別振動極膜２２（７１）−２２（７６）との間には、導体非形成部２３６が設けられている。
【００１８】
これらの導体非形成部２３１−２３６，２４１−２４５が、振動極層２０における本発明の「切断可能部」に対応する。なお、これら導体非形成部２３１−２３６，２４１−２４５における個別振動極膜との境界を含まず、当該境界から所定長さ離間した中央の範囲を「切断可能部」とした方が好ましい。
【００１９】
複数の個別振動極膜２２（１１）−２２（７６）は、銀（Ａｇ）やアルミニウム（Ａｌ）のような低抵抗の材料によって形成されていることが好ましい。
【００２０】
なお、個別振動極膜の配置個数は、これに限るものではなく、複数の個別振動極膜が導体非形成部を介して配置されていればよい。
【００２１】
第１固定極層３０は、絶縁性を有するベースフィルム３１と、導電性を有する固定極膜３２とを備える。ベースフィルム３１は、例えばＰＥＴ、ＰＰ等の絶縁性の樹脂フィルムであり、切断が容易な材料からなる。ベースフィルム３１は、本発明の「絶縁膜」に対応する。固定極膜３２は、ベースフィルム３１の表面の略全面に形成されている。固定極膜３２は、銀（Ａｇ）やアルミニウム（Ａｌ）のような低抵抗の材料によって形成されていることが好ましい。ベースフィルム３１および固定極膜３２は、音響透過性を有する。
【００２２】
第２固定極層４０は、絶縁性を有するベースフィルム４１と、導電性を有する固定極膜４２とを備える。ベースフィルム４１は、例えばＰＥＴ、ＰＰ等の絶縁性の樹脂フィルムであり、切断が容易な材料からなる。ベースフィルム４１は、本発明の「絶縁膜」に対応する。ベースフィルム４１は、音響透過性を有する。固定極膜４２は、ベースフィルム４１の裏面の略全面に形成されている。固定極膜４２は、銀（Ａｇ）やアルミニウム（Ａｌ）のような低抵抗の材料によって形成されていることが好ましい。ベースフィルム４１および固定極膜４２は、音響透過性を有する。
【００２３】
このような構成を用いることによって、積層膜の切断可能部では、積層膜の膜面に直交する方向（第１方向および第２方向に直交する方向）に視て、振動極膜２２と第１、第２固定極膜３２，４２とは重ならない。この振動極膜２２と第１、第２固定極膜３２，４２とが重ならない状態も、本願発明における振動極膜２２と第１、第２固定極膜３２，４２とが異なる位置に配置されている概念に含まれる。
【００２４】
このような構成の静電型スピーカ１０は、図１に示すように切断していない状態であっても利用が可能であるが、図３に示すように、部分的に切断して利用することも可能である。図３は、本発明の第１の実施形態に係る切断後の静電型スピーカの平面図である。
【００２５】
静電型スピーカ１００は、導体非形成部２３３と導体非形成部２４３とに沿って静電型スピーカ１０を切断したものである。静電型スピーカ１００は、個別振動極膜２２（１１），２２（１２），２２（１３），２２（２１），２２（２２），２２（２３），２２（３１），２２（３２），２２（３３）を備える。これらの個別振動極膜は、第１固定極膜３２と第２固定極膜４２との間に配置されている。各個別振動極膜の平膜面は第１固定極膜３２と第２固定極膜４２の平膜面に対向している。
【００２６】
このような構成において、導体非形成部で静電型スピーカ１０を切断することによって、切断された端面から離間した位置に個別振動極膜が配置されている。これにより、切断された端面に個別振動極膜が配置される態様と比較して、第１、第２固定極膜３２，４２と個別振動極膜との絶縁距離を長くすることができる。したがって、静電型スピーカ１００の信頼性を向上することができる。また、切断の際に第１、第２固定極膜３２，４２にバリが生じても、個別振動極膜に接触することを抑制できる。これにより、切断による第１、第２固定極膜３２，４２と個別振動極膜との短絡を抑制することができる。
【００２７】
以上のように、本実施形態に構成を用いることによって、大きさを調整でき且つ信頼性の高い平膜状の静電型スピーカを容易に実現することができる。
【００２８】
なお、このような構成の静電型スピーカ１０，１００は、次に示す回路構成によって駆動され、放音する。図４は、本発明の第１の実施形態に係る静電型スピーカの駆動回路の概略構成を示す図である。なお、図４では、切断後の静電型スピーカ１００を例に示しているが、切断前の静電型スピーカ１０も同じ回路構成である。
【００２９】
振動極膜２２には、直流バイアス発生部９０の正極が接続されている。第１固定極膜３２には、第１駆動信号発生部９１が接続されている。第２固定極膜４２には、第２駆動信号発生部９２が接続されている。第１駆動信号発生部９１から第１固定極層３２に印加する第１駆動信号と、第２駆動信号発生部９２から第２固定極層４２に印加する第２駆動信号は、逆相である。
【００３０】
このように、本実施形態からなる静電型スピーカ１０，１００は、高電圧のバイアス電圧を印加するため、固定極膜と振動極膜との間の短絡は、信頼性に大きな影響を与える。したがって、本実施形態に係る構成は、このような静電型スピーカに対して、より有効である。
【００３１】
なお、図１、図２、図３に示す構成では、複数の個別振動極膜は電気的に接続されていないが、これらは、使用時に導電テープ等によって接続すればよい。
【００３２】
次に、本発明の第２の実施形態に係る静電型スピーカについて、図を参照して説明する。図５は、本発明の第２の実施形態に係る静電型スピーカの平面図および断面図である。図５は、静電型スピーカの平面図、この平面図におけるＡ−Ａ’断面図およびＢ−Ｂ’断面図を示す。
【００３３】
図５に示すように、本実施形態に係る静電型スピーカ１０Ａは、第１の実施形態に係る静電型スピーカ１０に対して、切断補助線２５２１，２５２２，２５３１，２５３２，２５４１，２５４２を追加した点で異なる。
【００３４】
切断補助線２５２１，２５２２は、振動極層２０Ａにおけるベースフィルム２１に形成されている。切断補助線２５２１，２５２２は、例えば、ベースフィルム２１の厚みを線状且つ断片的に薄くすることよって実現される。
【００３５】
切断補助線２５２１は、ベースフィルム２１における導体非形成部２３１，２３２，２３３，２３４，２３５，２３６にそれぞれ形成されている（図５、図２参照）。切断補助線２５２２は、ベースフィルム２１における導体非形成部２４１，２４２，２４３，２４４，２４５にそれぞれ形成されている（図５、図２参照）。なお、切断補助線２５２１，２５２２は、ベースフィルム２１の全面に形成しなくてもよく、ベースフィルム２１の端面付近だけにあってもよい。
【００３６】
切断補助線２５３１，２５３２は、第１固定極層３０Ａに形成されている。切断補助線２５３１，２５３２は、例えば、第１固定極層３１の厚みを線状且つ断片的に薄くすることによって実現される。
【００３７】
切断補助線２５３１は、第１固定極層３０Ａにおける導体非形成部２３１，２３２，２３３，２３４，２３５，２３６に重なる位置（より好ましくは切断補助線２５２１に重なる位置）にそれぞれ形成されている（図５、図２参照）。切断補助線２５３２は、第１固定極層３０Ａにおける導体非形成部２４１，２４２，２４３，２４４，２４５に重なる位置（より好ましくは切断補助線２５２２に重なる位置）にそれぞれ形成されている（図５、図２参照）。
【００３８】
切断補助線２５４１，２５４２は、第２固定極層４０Ａに形成されている。切断補助線２５４１，２５４２は、例えば、第２固定極層４０Ａの厚みを線状且つ断片的に薄くすることによって実現される。
【００３９】
切断補助線２５４１は、第２固定極層４０Ａにおける導体非形成部２３１，２３２，２３３，２３４，２３５，２３６に重なる位置（より好ましくは切断補助線２５２１に重なる位置）にそれぞれ形成されている（図５、図２参照）。切断補助線２５４２は、第２固定極層４０Ａにおける導体非形成部２４１，２４２，２４３，２４４，２４５に重なる位置（より好ましくは切断補助線２５２２に重なる位置）にそれぞれ形成されている（図５、図２参照）。
【００４０】
このような構成とすることによって切断位置が明確に分かり、静電型スピーカ１０Ａを正確に所望の形状に分割することができる。
【００４１】
なお、上述の説明では、切断補助線２５２１，２５２２，２５３１，２５３２，２５４１，２５４２を、ベースフィルム２１の厚みを部分的に薄くすることで実現しているが、インク等のベースフィルム２１に線を描画することで実現してもよい。
【００４２】
次に、第３の実施形態に係る静電型スピーカについて、図を参照して説明する。図６は、本発明の第３の実施形態に係る静電型スピーカの分解斜視図である。図７は、本発明の第３の実施形態に係る静電型スピーカの各構成要素の平面図である。
【００４３】
図６、図７に示すように、本実施形態に係る静電型スピーカ１０Ｂは、第１の実施形態に係る静電型スピーカ１０に対して、固定極膜と振動極膜との構造が逆になった点で異なる。
【００４４】
静電型スピーカ１０Ｂの振動極層２０Ｂ、第１固定極層３０Ｂ、および、第２固定極層４０Ｂを備える。
【００４５】
振動極層２０Ｂは、ベースフィルム２１と振動極膜２２Ｂを備える。振動極膜２２Ｂは、ベースフィルム２１の表面の全面に形成されており、複数に分割されていない。
【００４６】
第１固定極層３０Ｂは、ベースフィルム３１と複数の個別固定極膜３２Ｂを備える。複数の個別固定極膜３２Ｂは、ベースフィルム３１の表面に二次元配列されている。複数の個別固定極膜３２Ｂは、第２方向（図７の縦方向）に配列された第１方向（図７の横方向）に延びる複数の導体非形成部３３０および第１方向に配列された第２方向に延びる複数の導体非形成部３４０によって、互いに離間されており、電気的に接続されていない。
【００４７】
第２固定極層４０Ｂは、ベースフィルム４１と複数の個別固定極膜４２Ｂを備える。複数の個別固定極膜４２Ｂは、ベースフィルム４１の裏面に二次元配列されている。複数の個別固定極膜４２Ｂは、第２方向（図７の縦方向）に配列された第１方向（図７の横方向）に延びる複数の導体非形成部４３０および第１方向に配列された第２方向に延びる複数の導体非形成部４４０によって、互いに離間されており、電気的に接続されていない。
【００４８】
第１固定極層３０Ｂに設けられた導体非形成部３３０と、第２固定極層４０Ｂに設けられた導体非形成部４３０とは、振動極層２０Ｂ、第１、第２固定極層３０Ｂ，４０Ｂを積層した積層膜において、平膜面に直交する方向から観て重なっている。同様に、導体非形成部３４０と導体非形成部４４０も重なっている。
【００４９】
このような構成の静電型スピーカ１０Ｂにおいて、導体非形成部が切断可能部となる。このような構成であっても、上述の第１の実施形態と同様に、大きさを調整でき且つ信頼性の高い平膜状の静電型スピーカを容易に実現することができる。
【００５０】
また、本実施形態の構成では、複数に分割された個別固定極膜が積層膜の外面に配置されているので、複数の個別固定極膜を接続する導電テープの貼り付けを容易に行うことができる。
【００５１】
次に、第４の実施形態に係る静電型スピーカについて、図を参照して説明する。図８は、本発明の第４の実施形態に係る静電型スピーカの分解斜視図である。図９は、本発明の第４の実施形態に係る静電型スピーカの各構成要素の平面図である。
【００５２】
図８、図９に示すように、本実施形態に係る静電型スピーカ１０Ｃは、第１の実施形態に係る静電型スピーカ１０に対して、振動極膜および固定極膜の形状において異なる。
【００５３】
静電型スピーカ１０Ｃは、振動極層２０Ｃ、第１固定極層３０Ｃ、および、第２固定極層４０Ｃを備える。
【００５４】
振動極層２０Ｃは、ベースフィルム２１、複数の個別振動極膜２２１Ｃ，２２２Ｃ，２２３Ｃ，２２４Ｃ，２２５Ｃ，２２６Ｃ，２２７Ｃ（２２１Ｃ−２２７Ｃ）を備える。個別振動極膜２２１Ｃ−２２７Ｃは、長尺状である。複数の個別振動極膜２２１Ｃ−２２７Ｃは、ベースフィルム２１の第１方向（図９の横方向）と長尺方向とが平行になるように、配置されている。個別振動極膜２２１Ｃ−２２７Ｃは、ベースフィルム２１の第２方向（図９の縦方向）に沿って、それぞれに導体非形成部２３１Ｃ，２３２Ｃ，２３３Ｃ，２３４Ｃ，２３５Ｃ，２３６Ｃを介して配列されている。
【００５５】
第１固定極層３０Ｃは、ベースフィルム３１、複数の個別固定極膜３２１Ｃ，３２２Ｃ，３２３Ｃ，３２４Ｃ，３２５Ｃ，３２６Ｃ（３２１Ｃ−３２６Ｃ）を備える。複数の個別固定極膜３２１Ｃ−３２６Ｃは、長尺状である。複数の個別固定極膜３２１Ｃ−３２６Ｃは、ベースフィルム３１の第２方向（図９の縦方向）と長尺方向とが平行になるように、配置されている。複数の個別固定極膜３２１Ｃ−３２６Ｃは、ベースフィルム３１の第１方向（図９の横方向）に沿って、それぞれに導体非形成部３３１Ｃ，３３２Ｃ，３３３Ｃ，３３４Ｃ，３３５Ｃを介して配列されている。
【００５６】
第２固定極層４０Ｃは、ベースフィルム４１、複数の個別固定極膜４２１Ｃ，４２２Ｃ，４２３Ｃ，４２４Ｃ，４２５Ｃ，４２６Ｃ（４２１Ｃ−４２６Ｃ）を備える。複数の個別固定極膜４２１Ｃ−４２６Ｃは、長尺状である。複数の個別固定極膜４２１Ｃ−４２６Ｃは、ベースフィルム４１の第２方向（図９の縦方向）と長尺方向とが平行になるように、配置されている。複数の個別固定極膜４２１Ｃ−４２６Ｃは、ベースフィルム４１の第１方向（図９の横方向）に沿って、それぞれに導体非形成部４３１Ｃ，４３２Ｃ，４３３Ｃ，４３４Ｃ，４３５Ｃを介して配列されている。
【００５７】
第２固定極層４０Ｃの個別固定極膜４２１Ｃ−４２６Ｃは、それぞれに第１固定極層３０Ｃの個別固定極膜３２１Ｃ−３２６Ｃに対して、振動極層２０Ｃ、第１、第２固定極層３０Ｃ，４０Ｃを積層した積層膜において、平膜面に直交する方向から観て重なっている。
【００５８】
このような構成からなる静電型スピーカ１０Ｃでは、静電型スピーカ１０Ｃを平膜面に直交する方向から観て、導体非形成部２３１Ｃ，２３２Ｃ，２３３Ｃ，２３４Ｃ，２３５Ｃ，２３６Ｃ、および、導体非形成部３３１Ｃ，３３２Ｃ，３３３Ｃ，３３４Ｃ，３３５Ｃ（４３１Ｃ，４３２Ｃ，４３３Ｃ，４３４Ｃ，４３５Ｃ）の部分が切断可能部となる。
【００５９】
このような構成の静電型スピーカ１０Ｃは、上述の実施形態に係る静電型スピーカと同様に、図１０に示すように、部分的に切断して放音することも可能である。図１０は、本発明の第４の実施形態に係る切断後の静電型スピーカの平面図である。
【００６０】
静電型スピーカ１００Ｃは、導体非形成部２３２Ｃと導体非形成部３３３Ｃ，４３３Ｃとに沿って静電型スピーカ１０Ｃを切断したものである。静電型スピーカ１００Ｃは、個別振動極膜２２１Ｃ，２２２Ｃ、個別固定極膜３２１Ｃ，３２２Ｃ，３２３Ｃ，４２１Ｃ，４２２Ｃ，４２３Ｃを備える。
【００６１】
このような構成において、導体非形成部２３２Ｃで静電型スピーカ１０Ｃを切断することによって、切断された端面から離間した位置に個別振動極膜２２２Ｃが配置されている。これにより、切断された端面に個別振動極膜が配置される態様と比較して、個別固定極膜３２１Ｃ，３２２Ｃ，３２３Ｃ，４２１Ｃ，４２２Ｃ，４２３Ｃと個別振動極膜２２２Ｃとの絶縁距離を長くすることができる。
【００６２】
また、導体非形成部３３３Ｃ，４３３Ｃで静電型スピーカ１０Ｃを切断することによって、切断された端面から離間した位置に個別固定極膜３２３Ｃ，４２３Ｃが配置されている。これにより、切断された端面に個別固定極膜が配置される態様と比較して、個別固定極膜３２３Ｃ，４２３Ｃと個別振動極膜２２１Ｃ，２２２Ｃとの絶縁距離を長くすることができる。
【００６３】
したがって、静電型スピーカ１００Ｃの信頼性を向上することができる。また、切断の際に個別固定極膜および個別振動極膜にバリが生じても、個別振動極膜と個別固定極膜との接触することを抑制できる。これにより、切断による個別固定極膜と個別振動極膜との短絡を抑制することができる。
【００６４】
以上のように、本実施形態に構成を用いても、上述の第１の実施形態と同様に、大きさを調整でき且つ信頼性の高い平膜状の静電型スピーカを容易に実現することができる。
【００６５】
なお、図１０に示す静電型スピーカ１００Ｃは、図１１に示す構造によって、駆動信号およびバイアス電圧が印加される。図１１は、本発明の第４の実施形態に係る静電型スピーカにおける外部接続の構成を示す平面図である。
【００６６】
図１１に示すように、静電型スピーカ１００Ｃは、図１０に示す構成に加えて、導電テープ５２１，５３１を備える。導電テープ５２１は、振動極層２０Ｃの表面に配置されている。導電テープ５２１は、個別振動極膜２２１Ｃ，２２２Ｃに導通している。導電テープ５２１は、外部接続ケーブル５２２に接続されている。導電テープ５３１は、第１固定極層３０Ｃの表面に配置されている。導電テープ５３１は、個別固定極膜３２１Ｃ，３２２Ｃ，３２３Ｃに導通している。導電テープ５３１は、外部接続ケーブル５３２に接続されている。なお、詳細は具体的に図示していないが、第２固定極層４０Ｃの裏面には、導電テープが配置されており、個別固定極膜４２１Ｃ，４２２Ｃ，４２３Ｃに導通している。この導電テープは、外部接続ケーブル（図示せず）に接続されている。
【００６７】
本実施形態の静電型スピーカ１００Ｃの振動極層２０Ｃでは、第１方向に延びる振動極膜２２１Ｃ，２２２Ｃを備えるので、導電テープ５２１を第１方向の端部に第２方向に沿って配置すれば、静電型スピーカ１００Ｃの全振動極膜２２１Ｃ，２２２Ｃにバイアス電圧を印加することができる。また、第１固定極層３０Ｃでは、第２方向に延びる固定極膜３２１Ｃ，３２２Ｃ，３２３Ｃを備えるので、導電テープ５３１を第２方向の端部に第１方向に沿って配置すれば、静電型スピーカ１００Ｃの全固定極膜３２１Ｃ，３２２Ｃ，３２３Ｃに駆動信号を印加することができる。また、第２固定極層４０Ｃについても同様に駆動信号を印加することができる。
【００６８】
これにより、簡素な構成によって、静電型スピーカ１００Ｃにバイアス電圧および駆動信号を印加することができる。
【００６９】
次に、本発明の第５の実施形態に係る静電型スピーカについて、図を参照して説明する。図１２は、本発明の第５の実施形態に係る静電型スピーカの各構成要素の平面図である。
【００７０】
本実施形態に係る静電型スピーカ１０Ｄは、第４の実施形態に係る静電型スピーカ１０Ｃに対して、振動極用の引き回し導体２５１Ｄ，２５２Ｄ，２５３Ｄ，２５４Ｄ，２５５Ｄ，２５６Ｄ，２５７Ｄ（２５１Ｄ−２５７Ｄ）を追加した点で異なる。
【００７１】
第１固定極層３０Ｄは、第１固定極層３０Ｃと同じ構成であり、個別固定極膜３２１Ｄ，３２２Ｄ，３２３Ｄ，３２４Ｄ，３２５Ｄ，３２６Ｄは、個別固定極膜３２１Ｃ，３２２Ｃ，３２３Ｃ，３２４Ｃ，３２５Ｃ，３２６Ｃに対応し、導体非形成部３３１Ｄ，３３２Ｄ，３３３Ｄ，３３４Ｄ，３３５Ｄは、導体非形成部３３１Ｃ，３３２Ｃ，３３３Ｃ，３３４Ｃ，３３５Ｃに対応する。
【００７２】
第２固定極層４０Ｄは、第２固定極層４０Ｃと同じ構成であり、個別固定極膜４２１Ｄ，４２２Ｄ，４２３Ｄ，４２４Ｄ，４２５Ｄ，４２６Ｄは、個別固定極膜４２１Ｃ，４２２Ｃ，４２３Ｃ，４２４Ｃ，４２５Ｃ，４２６Ｃに対応し、導体非形成部４３１Ｄ，４３２Ｄ，４３３Ｄ，４３４Ｄ，４３５Ｄは、導体非形成部４３１Ｃ，４３２Ｃ，４３３Ｃ，４３４Ｃ，４３５Ｃに対応する。
【００７３】
振動極層２０Ｄでは、個別振動極膜２２１Ｄ，２２２Ｄ，２２３Ｄ，２２４Ｄ，２２５Ｄ，２２６Ｄ，２２７Ｄは、個別振動極膜２２１Ｃ，２２２Ｃ，２２３Ｃ，２２４Ｃ，２２５Ｃ，２２６Ｃ，２２７Ｃに対応し、導体非形成部２３１Ｄ，２３２Ｄ，２３３Ｄ，２３４Ｄ，２３５Ｄ，２３６Ｄは、導体非形成部２３１Ｃ，２３２Ｃ，２３３Ｃ，２３４Ｃ，２３５Ｃ，２３６Ｃに対応する。
【００７４】
引き回し導体２５１Ｄ−２５７Ｄのそれぞれは、振動極層２０Ｄの第２方向に延びる線状であり、個別振動極膜２２１Ｄ，２２２Ｄ，２２３Ｄ，２２４Ｄ，２２５Ｄ，２２６Ｄ，２２７Ｄを接続している。
【００７５】
引き回し導体２５１Ｄは、振動極層２０Ｄ、第１、第２固定極層３０Ｄ，４０Ｄを積層した積層膜の状態において、個別固定極膜３２１Ｄ，４２１Ｄよりも、積層膜の第１方向の一方端側に配置されている。引き回し導体２５１Ｄの線幅は、この一方端側の導体非形成部の幅よりも小さい。
【００７６】
引き回し導体２５２Ｄは、前記積層膜の状態において、導体非形成部３３１Ｄ，４３１Ｄに重なる位置に配置されている。引き回し導体２５２Ｄの線幅は、導体非形成部３３１Ｄ，４３１Ｄの幅よりも小さい。引き回し導体２５２Ｄは、導体非形成部３３１Ｄ，４３１Ｄの幅方向の略中央位置に配置されている。
【００７７】
引き回し導体２５３Ｄは、前記積層膜の状態において、導体非形成部３３２Ｄ，４３２Ｄに重なる位置に配置されている。引き回し導体２５３Ｄの線幅は、導体非形成部３３２Ｄ，４３２Ｄの幅よりも小さい。引き回し導体２５３Ｄは、導体非形成部３３２Ｄ，４３２Ｄの幅方向の略中央位置に配置されている。
【００７８】
引き回し導体２５４Ｄは、前記積層膜の状態において、導体非形成部３３３Ｄ，４３３Ｄに重なる位置に配置されている。引き回し導体２５４Ｄの線幅は、導体非形成部３３３Ｄ，４３３Ｄの幅よりも小さい。引き回し導体２５４Ｄは、導体非形成部３３３Ｄ，４３３Ｄの幅方向の略中央位置に配置されている。
【００７９】
引き回し導体２５５Ｄは、前記積層膜の状態において、導体非形成部３３４Ｄ，４３４Ｄに重なる位置に配置されている。引き回し導体２５５Ｄの線幅は、導体非形成部３３４Ｄ，４３４Ｄの幅よりも小さい。引き回し導体２５５Ｄは、導体非形成部３３４Ｄ，４３４Ｄの幅方向の略中央位置に配置されている。
【００８０】
引き回し導体２５６Ｄは、前記積層膜の状態において、導体非形成部３３５Ｄ，４３５Ｄに重なる位置に配置されている。引き回し導体２５６Ｄの線幅は、導体非形成部３３５Ｄ，４３５Ｄの幅よりも小さい。引き回し導体２５６Ｄは、導体非形成部３３５Ｄ，４３５Ｄの幅方向の略中央位置に配置されている。
【００８１】
引き回し導体２５７Ｄは、前記積層膜の状態において、個別固定極膜３２６Ｄ，４２６Ｄよりも、積層膜の第１方向の他方端側に配置されている。引き回し導体２５７Ｄの線幅は、この他方端側の導体非形成部の幅よりも小さい。
【００８２】
このような構成の静電型スピーカ１０Ｄは、上述の実施形態に係る静電型スピーカと同様に、図１３に示すように、部分的に切断して放音することも可能である。図１３は、本発明の第５の実施形態に係る切断後の静電型スピーカの平面図である。図１３は、切断後の静電型スピーカ１００Ｄの平面図を示す。
【００８３】
静電型スピーカ１００Ｄは、導体非形成部２３２Ｄと導体非形成部３３３Ｄ，４３３Ｄとに沿って静電型スピーカ１０Ｄを切断したものである。静電型スピーカ１００Ｄは、個別振動極膜２２１Ｄ，２２２Ｄ、個別固定極膜３２１Ｄ，３２２Ｄ，３２３Ｄ，４２１Ｄ，４２２Ｄ，４２３Ｄを備える。
【００８４】
このような構成において、導体非形成部２３２Ｄで静電型スピーカ１０Ｄを切断することによって、切断された端面から離間した位置に個別振動極膜２２２Ｄが配置されている。これにより、切断された端面に個別振動極膜が配置される態様と比較して、個別固定極膜３２１Ｄ，３２２Ｄ，３２３Ｄ，４２１Ｄ，４２２Ｄ，４２３Ｄと個別振動極膜２２２Ｄとの絶縁距離を長くすることができる。
【００８５】
また、この構成では、引き回し導体２５１Ｄ，２５２Ｄ，２５３Ｄ，２５４Ｄは、切断された端面に露出しているが、個別固定極膜３２１Ｄ，３２２Ｄ，３２３Ｄ，４２１Ｄ，４２２Ｄ，４２３Ｄと重なっていない。したがって、これらが重なる態様と比較して、絶縁距離を長くすることができる。
【００８６】
また、導体非形成部３３３Ｄ，４３３Ｄで静電型スピーカ１０Ｄを切断することによって、切断された端面から離間した位置に個別固定極膜３２３Ｄ，４２３Ｄが配置されている。これにより、切断された端面に個別固定極膜が配置される態様と比較して、個別固定極膜３２３Ｄ，４２３Ｄと個別振動極膜２２１Ｄ，２２２Ｄとの絶縁距離を長くすることができる。
【００８７】
また、この構成では、引き回し導体２５４Ｄは、切断された端面に露出しているが、個別固定極膜３２３Ｄ，４２３Ｄは、端面から離間した位置に配置されている。したがって、引き回し導体２５４Ｄと個別固定極膜３２３Ｄ，４２３Ｄとの絶縁距離を長くすることができる。
【００８８】
したがって、静電型スピーカ１００Ｄの信頼性を向上することができる。また、切断の際に個別固定極膜および個別振動極膜にバリが生じても、個別振動極膜と個別固定極膜との接触することを抑制できる。これにより、切断による個別固定極膜と個別振動極膜との短絡を抑制することができる。
【００８９】
以上のように、本実施形態に構成を用いても、上述の第１の実施形態と同様に、大きさを調整でき且つ信頼性の高い平膜状の静電型スピーカを容易に実現することができる。
【００９０】
また、本実施形態の構成では、複数の個別振動極膜が複数の引き回し導体によって接続されているので、例えば、図１３に示すように引き回し導体２５１Ｄの一点に外部接続ケーブル５２２を接続すれば、全ての振動極膜にバイアス電圧を印加することができる。これにより、さらに簡素な構成によって、静電型スピーカ１００Ｄにバイアス電圧を印加することができる。
【００９１】
次に、本発明の第６の実施形態に係る静電型スピーカについて、図を参照して説明する。図１４は、本発明の第６の実施形態に係る静電型スピーカの各構成要素の平面図である。
【００９２】
本実施形態に係る静電型スピーカ１０Ｅは、第４の実施形態に係る静電型スピーカ１０Ｃに対して、振動極用の引き回し導体２５１Ｅ，２５３Ｅ，２５５Ｅ，２５７Ｅ、および、固定極用の引き回し導体３６１Ｅ，３６３Ｅ，３６５Ｅを追加した点で異なる。言い換えれば、本実施形態に係る静電型スピーカ１０Ｅは、第５の実施形態に係る静電型スピーカ１０Ｄの振動極用の引き回し導体２５１Ｄ−２５７Ｄに替えて、振動極用の引き回し導体２５１Ｅ，２５３Ｅ，２５５Ｅ，２５７Ｅ、および、固定極用の引き回し導体３６１Ｅ，３６３Ｅ，３６５Ｅを追加している。
【００９３】
振動極層２０Ｅでは、個別振動極膜２２１Ｅ，２２２Ｅ，２２３Ｅ，２２４Ｅ，２２５Ｅ，２２６Ｅ，２２７Ｅは、個別振動極膜２２１Ｃ，２２２Ｃ，２２３Ｃ，２２４Ｃ，２２５Ｃ，２２６Ｃ，２２７Ｃに対応し、導体非形成部２３１Ｅ，２３２Ｅ，２３３Ｅ，２３４Ｅ，２３５Ｅ，２３６Ｅは、導体非形成部２３１Ｃ，２３２Ｃ，２３３Ｃ，２３４Ｃ，２３５Ｃ，２３６Ｃに対応する。
【００９４】
第１固定極層３０Ｅでは、個別固定極膜３２１Ｅ，３２２Ｅ，３２３Ｅ，３２４Ｅ，３２５Ｅ，３２６Ｅは、個別固定極膜３２１Ｃ，３２２Ｃ，３２３Ｃ，３２４Ｃ，３２５Ｃ，３２６Ｃに対応し、導体非形成部３３１Ｅ，３３２Ｅ，３３３Ｅ，３３４Ｅ，３３５Ｅは、導体非形成部３３１Ｃ，３３２Ｃ，３３３Ｃ，３３４Ｃ，３３５Ｃに対応する。
【００９５】
第２固定極層４０Ｅでは、個別固定極膜４２１Ｅ，４２２Ｅ，４２３Ｅ，４２４Ｅ，４２５Ｅ，４２６Ｅは、個別固定極膜４２１Ｃ，４２２Ｃ，４２３Ｃ，４２４Ｃ，４２５Ｃ，４２６Ｃに対応し、導体非形成部４３１Ｅ，４３２Ｅ，４３３Ｅ，４３４Ｅ，４３５Ｅは、導体非形成部４３１Ｃ，４３２Ｃ，４３３Ｃ，４３４Ｃ，４３５Ｃに対応する。
【００９６】
引き回し導体２５１Ｅ，２５３Ｅ，２５５Ｅ，２５７Ｅのそれぞれは、振動極層２０Ｅの第２方向に延びる線状であり、個別振動極膜２２１Ｅ，２２２Ｅ，２２３Ｅ，２２４Ｅ，２２５Ｅ，２２６Ｅ，２２７Ｅを接続している。
【００９７】
引き回し導体２５１Ｅは、振動極層２０Ｅ、第１、第２固定極層３０Ｅ，４０Ｅを積層した積層膜の状態において、個別固定極膜３２１Ｅ，４２１Ｅよりも、積層膜の第１方向の一方端側に配置されている。引き回し導体２５１Ｅの線幅は、この一方端側の導体非形成部の幅よりも小さい。
【００９８】
引き回し導体２５３Ｅは、前記積層膜の状態において、導体非形成部３３２Ｅ，４３２Ｅに重なる位置に配置されている。引き回し導体２５３Ｅの線幅は、導体非形成部３３２Ｅ，４３２Ｅの幅よりも小さい。引き回し導体２５３Ｅは、導体非形成部３３２Ｅ，４３２Ｅの幅方向の略中央位置に配置されている。
【００９９】
引き回し導体２５５Ｅは、前記積層膜の状態において、導体非形成部３３４Ｅ，４３４Ｅに重なる位置に配置されている。引き回し導体２５５Ｅの線幅は、導体非形成部３３４Ｅ，４３４Ｅの幅よりも小さい。引き回し導体２５５Ｅは、導体非形成部３３４Ｅ，４３４Ｅの幅方向の略中央位置に配置されている。
【０１００】
引き回し導体２５７Ｅは、前記積層膜の状態において、個別固定極膜３２６Ｅ，４２６Ｅよりも、積層膜の第１方向の他方端側に配置されている。引き回し導体２５７Ｅの線幅は、この他方端側の導体非形成部の幅よりも小さい。
【０１０１】
引き回し導体３６１Ｅ，３６３Ｅ，３６５Ｅのそれぞれは、第１固定極層３０Ｅの第１方向に延びる線状であり、個別固定極膜３２１Ｅ，３２２Ｅ，３２３Ｅ，３２４Ｅ，３２５Ｅ，３２６Ｅを接続している。
【０１０２】
引き回し導体３６１Ｅは、前記積層膜の状態において、導体非形成部２３１Ｅに重なる位置に配置されている。引き回し導体３６１Ｅの線幅は、導体非形成部２３１Ｅの幅よりも小さい。引き回し導体３６１Ｅは、導体非形成部２３１Ｅの幅方向の略中央位置に配置されている。
【０１０３】
引き回し導体３６３Ｅは、前記積層膜の状態において、導体非形成部２３３Ｅに重なる位置に配置されている。引き回し導体３６３Ｅの線幅は、導体非形成部２３３Ｅの幅よりも小さい。引き回し導体３６３Ｅは、導体非形成部２３３Ｅの幅方向の略中央位置に配置されている。
【０１０４】
引き回し導体３６５Ｅは、前記積層膜の状態において、導体非形成部２３５Ｅに重なる位置に配置されている。引き回し導体３６５Ｅの線幅は、導体非形成部２３５Ｅの幅よりも小さい。引き回し導体３６５Ｅは、導体非形成部２３５Ｅの幅方向の略中央位置に配置されている。
【０１０５】
このような構成の静電型スピーカ１０Ｅは、上述の実施形態に係る静電型スピーカと同様に、図１５に示すように、部分的に切断して放音することも可能である。図１５は、本発明の第６の実施形態に係る切断後の静電型スピーカの平面図である。図１６は、切断後の静電型スピーカ１００Ｅの平面図を示す。
【０１０６】
静電型スピーカ１００Ｅは、導体非形成部２３２Ｅと導体非形成部３３３Ｅ，４３３Ｅとに沿って静電型スピーカ１０Ｅを切断したものである。静電型スピーカ１００Ｅは、個別振動極膜２２１Ｅ，２２２Ｅ、個別固定極膜３２１Ｅ，３２２Ｅ，３２３Ｅ，４２１Ｅ，４２２Ｅ，４２３Ｅを備える。
【０１０７】
このような構成において、導体非形成部２３２Ｅで静電型スピーカ１０Ｅを切断することによって、切断された端面から離間した位置に個別振動極膜２２２Ｅが配置されている。これにより、切断された端面に個別振動極膜が配置される態様と比較して、個別固定極膜３２１Ｅ，３２２Ｅ，３２３Ｅ，４２１Ｅ，４２２Ｅ，４２３Ｅと個別振動極膜２２２Ｅとの絶縁距離を長くすることができる。
【０１０８】
また、この構成では、引き回し導体２５１Ｅ，２５３Ｅは、切断された端面に露出しているが、個別固定極膜３２１Ｅ，３２２Ｅ，３２３Ｅ，４２１Ｅ，４２２Ｅ，４２３Ｅと重なっていない。したがって、これらが重なる態様と比較して、絶縁距離を長くすることができる。
【０１０９】
また、この構成では、固定極膜を接続する第２方向に延びる引き回し導体が、引き回し導体２５１Ｅ，２５３Ｅが露出する切断された端面（導体非形成部２３２Ｅの端面）に存在しない。したがって、当該第２方向に延びる引き回し導体による信頼性の低下が生じない。
【０１１０】
また、導体非形成部３３３Ｅ，４３３Ｅで静電型スピーカ１０Ｅを切断することによって、切断された端面から離間した位置に個別固定極膜３２３Ｅ，４２３Ｅが配置されている。これにより、切断された端面に個別固定極膜が配置される態様と比較して、個別固定極膜３２３Ｅ，４２３Ｅと個別振動極膜２２１Ｅ，２２２Ｅとの絶縁距離を長くすることができる。
【０１１１】
また、この構成では、引き回し導体３６１Ｅは、切断された端面に露出しているが、個別振動極膜２２１Ｅ，２２２Ｅと重なっていない。したがって、引き回し導体３６１Ｅと個別振動極膜２２１Ｅ，２２２Ｅとの絶縁距離を長くすることができる。
【０１１２】
また、この構成では、個別振動極膜を接続する第１方向に延びる引き回し導体が、引き回し導体３６１Ｅが露出する切断された端面（導体非形成部３３３Ｅ，４３３Ｅの端面）に存在しない。したがって、当該第１方向に延びる引き回し導体による信頼性の低下が生じない。
【０１１３】
したがって、静電型スピーカ１００Ｅの信頼性を向上することができる。また、切断の際に個別固定極膜および個別振動極膜にバリが生じても、個別振動極膜と個別固定極膜との接触を抑制できる。これにより、切断による個別固定極膜と個別振動極膜との短絡を抑制することができる。
【０１１４】
以上のように、本実施形態に構成を用いても、上述の第１の実施形態と同様に、大きさを調整でき且つ信頼性の高い平膜状の静電型スピーカを容易に実現することができる。
【０１１５】
また、本実施形態の構成では、複数の個別振動極膜が引き回し導体によって接続されており、複数の個別固定極膜が別の引き回し導体によって接続されているので、例えば、図１５に示すように引き回し導体２５１Ｅの一点に外部接続ケーブル５２２を接続すれば、全ての振動極膜にバイアス電圧を印加することができる。また、固定極膜３２１Ｅの一点に外部接続ケーブル５３２を接続すれば（図示しないが固定極膜４２１Ｅも同様）、これにより、全ての固定極膜に駆動信号を印加することができる。したがって、さらに簡素な構成によって、静電型スピーカ１００Ｅにバイアス電圧および駆動信号を印加することができる。
【０１１６】
次に、第７の実施形態に係る静電型スピーカについて、図を参照して説明する。図１６は、本発明の第７の実施形態に係る静電型スピーカの各構成要素の平面図である。
【０１１７】
図１６に示すように、本実施形態に係る静電型スピーカ１０Ｆは、第１の実施形態に係る静電型スピーカ１０に対して、振動極膜および固定極膜の形状において異なる。
【０１１８】
静電型スピーカ１０Ｆは、振動極層２０Ｆ、第１固定極層３０Ｆ、および、第２固定極層４０Ｆを備える。
【０１１９】
振動極層２０Ｆは、ベースフィルム２１、複数の個別振動極膜２２１Ｆ，２２２Ｆ，２２３Ｆ，２２４Ｆ，２２５Ｆ，２２６Ｆ，２２７Ｆ（２２１Ｆ−２２７Ｆ）を備える。複数の個別振動極膜２２１Ｆ−２２７Ｆは、長尺状である。複数の個別振動極膜２２１Ｆ−２２７Ｆは、ベースフィルム２１の第１方向（図１６の横方向）と長尺方向とが平行になるように、配置されている。複数の個別振動極膜２２１Ｆ−２２７Ｆは、ベースフィルム２１の第２方向（図１６の縦方向）に沿って、それぞれに導体非形成部２３１Ｆ，２３２Ｆ，２３３Ｆ，２３４Ｆ，２３５Ｆ，２３６Ｆを介して配列されている。
【０１２０】
振動極層２０Ｆは、引き回し導体２５１Ｆ，２５７Ｆを備える。引き回し導体２５１Ｆ，２５７Ｆのそれぞれは、振動極層２０Ｆの第２方向に延びる線状であり、個別振動極膜２２１Ｆ，２２２Ｆ，２２３Ｆ，２２４Ｆ，２２５Ｆ，２２６Ｆ，２２７Ｆを接続している。
【０１２１】
引き回し導体２５１Ｆは、個別振動極膜２２１Ｆ−２２７Ｆにおける第１方向の一方端に接続されている。引き回し導体２５７Ｆは、個別振動極膜２２１Ｆ−２２７Ｆにおける第１方向の他方端に接続されている。引き回し導体２５１Ｆ，２５７Ｆの線幅は、上述の各実施形態の引き回し導体の線幅と同程度であればよい。
【０１２２】
第１固定極層３０Ｆは、ベースフィルム３１、固定極膜３２Ｆを備える。固定極膜３２Ｆは、ベースフィルム３１の表面の略全面に亘って形成されている。この際、固定極膜３２Ｆは、ベースフィルム３１における第１方向の両端には形成されていない。より具体的には、振動極層２０Ｆ、第１，第２固定極層３０Ｆ，４０Ｆが積層された積層膜の状態において、ベースフィルム３１が引き回し導体２５１Ｆ，２５７Ｆに重なる位置には、固定極膜３２Ｆは形成されていない。
【０１２３】
第２固定極層４０Ｆは、ベースフィルム４１、固定極膜４２Ｆを備える。固定極膜４２Ｆは、ベースフィルム４１の裏面の略全面に亘って形成されている。この際、固定極膜４２Ｆは、ベースフィルム４１における第１方向の両端には形成されていない。より具体的には、振動極層２０Ｆ、第１，第２固定極層３０Ｆ，４０Ｆが積層された積層膜の状態において、ベースフィルム４１が引き回し導体２５１Ｆ，２５７Ｆに重なる位置には、固定極膜４２Ｆは形成されていない。
【０１２４】
このような構成からなる静電型スピーカ１０Ｆでは、静電型スピーカ１０Ｆを平膜面に直交する方向から観て、導体非形成部２３１Ｆ，２３２Ｆ，２３３Ｆ，２３４Ｆ，２３５Ｆ，２３６Ｆの部分が切断可能部となる。
【０１２５】
このような構成の静電型スピーカ１０Ｆは、上述の実施形態に係る静電型スピーカと同様に、図１７に示すように、部分的に切断して放音することも可能である。図１７は、本発明の第７の実施形態に係る切断後の静電型スピーカの平面図である。
【０１２６】
静電型スピーカ１００Ｆは、導体非形成部２３３Ｆに沿って静電型スピーカ１０Ｆを切断したものである。静電型スピーカ１００Ｆは、個別振動極膜２２１Ｆ，２２２Ｆ，２２３Ｆ、固定極膜３２Ｆ，４２Ｆを備える。
【０１２７】
このような構成において、導体非形成部２３３Ｆで静電型スピーカ１０Ｆを切断することによって、切断された端面から離間した位置に個別振動極膜２２３Ｆが配置されている。これにより、切断された端面に個別振動極膜が配置される態様と比較して、固定極膜３２Ｆ，４２Ｆと個別振動極膜２２３Ｆとの絶縁距離を長くすることができる。
【０１２８】
また、この構成では、引き回し導体２５１Ｆ，２５７Ｆは、切断された端面に露出しているが、固定極膜３２Ｆ，４２Ｆと重なっていない。したがって、これらが重なる態様と比較して、絶縁距離を長くすることができる。
【０１２９】
したがって、静電型スピーカ１００Ｆの信頼性を向上することができる。また、切断の際に固定極膜および個別振動極膜にバリが生じても、個別振動極膜と固定極膜との接触することを抑制できる。これにより、切断による固定極膜と個別振動極膜との短絡を抑制することができる。
【０１３０】
以上のように、本実施形態に構成を用いても、上述の第１の実施形態と同様に、大きさを調整でき且つ信頼性の高い平膜状の静電型スピーカを容易に実現することができる。
【０１３１】
また、本実施形態の構成では、複数の個別振動極膜が引き回し導体によって接続されており、個別振動極膜を挟む２つの固定極膜がそれぞれ一枚の構成あるので、例えば、図１７に示すように引き回し導体２５１Ｆの一点に外部接続ケーブル５２２を接続すれば、全ての個別振動極膜にバイアス電圧を印加することができる。また、固定極膜３２Ｆの一点に外部接続ケーブル５３２を接続すれば（図示しないが固定極膜４２Ｆも同様）、これにより、全ての固定極膜に駆動信号を印加することができる。したがって、さらに簡素な構成によって、静電型スピーカ１００Ｆにバイアス電圧および駆動信号を印加することができる。
【０１３２】
次に、本発明の第８の実施形態に係る静電型スピーカについて、図を参照して説明する。図１８は、本発明の第８の実施形態に係る静電型スピーカの分解斜視図である。図１９は、本発明の第８の実施形態に係る静電型スピーカの各構成要素の平面図である。図２０は、本発明の第８の実施形態に係る静電型スピーカの平面図である。図２１は、本発明の第８の実施形態に係る静電型スピーカの断面図である。図２１は、図２０に示す平面図におけるＡ−Ａ’断面図、Ｂ−Ｂ’断面図、Ｃ−Ｃ’断面図、および、Ｄ−Ｄ’断面図を示す。
【０１３３】
本実施形態に係る静電型スピーカ１０Ｇの基本構成は、第１の実施形態に係る静電型スピーカ１０の振動極層２０の構成と、第３の実施形態に係る静電型スピーカ１０Ｂの第１固定極層３０Ｂおよび第２固定極層４０Ｂの構成の組み合わせである。すなわち、本実施形態に係る静電型スピーカ１０Ｇでは、二次元配列された個別振動極膜によって振動極膜が構成され、二次元配列された個別固定極膜によって固定極膜が構成されている。そして、本実施形態に係る静電型スピーカ１０Ｇは、振動極層と固定極層の両方に引き回し導体を備えている。
【０１３４】
図１８、図１９、図２０、図２１に示すように、静電型スピーカ１０Ｇは、振動極層２０Ｇ、第１固定極層３０Ｇ、および第２固定極層４０Ｇを備える。
【０１３５】
振動極層２０Ｇは、ベースフィルム２１と振動極膜２２Ｇを備える。振動極膜２２Ｇは、複数の個別振動極膜２２Ｇ（１１）−２２Ｇ（１４），２２Ｇ（２１）−２２Ｇ（２４），２２Ｇ（３１）−２２Ｇ（３４），２２Ｇ（４１）−２２Ｇ（４４），２２Ｇ（５１）−２２Ｇ（５４）からなる。これらの個別振動極膜は、矩形であり、互いに導体非形成部を挟んで配置されている。これらの個別振動極膜は、ベースフィルム２１の第１方向と第２方向を軸とする二次元に配列されている。
【０１３６】
振動極層２０Ｇには、複数の引き回し導体２５１Ｇ，２５２Ｇ，２５３Ｇ，２５４Ｇ，２６１Ｇ，２６２Ｇ，２６３Ｇ，２６４Ｇが形成されている。
【０１３７】
引き回し導体２５１Ｇ，２５２Ｇ，２５３Ｇ，２５４Ｇは、第２方向に延びる線状である。引き回し導体２６１Ｇ，２６２Ｇ，２６３Ｇ，２６４Ｇは、第１方向に延びる線状である。
【０１３８】
引き回し導体２５１Ｇは、第２方向に並ぶ個別振動極膜２２Ｇ（１１），２２Ｇ（２１），２２Ｇ（３１），２２Ｇ（４１），２２Ｇ（５１）を接続している。引き回し導体２５２Ｇは、第２方向に並ぶ個別振動極膜２２Ｇ（１２），２２Ｇ（２２），２２Ｇ（３２），２２Ｇ（４２），２２Ｇ（５２）を接続している。引き回し導体２５３Ｇは、第２方向に並ぶ個別振動極膜２２Ｇ（１３），２２Ｇ（２３），２２Ｇ（３３），２２Ｇ（４３），２２Ｇ（５３）を接続している。引き回し導体２５４Ｇは、第２方向に並ぶ個別振動極膜２２Ｇ（１４），２２Ｇ（２４），２２Ｇ（３４），２２Ｇ（４４），２２Ｇ（５４）を接続している。
【０１３９】
引き回し導体２６１Ｇは、第１方向に並ぶ個別振動極膜２２Ｇ（１１）−２２Ｇ（１４）を接続している。引き回し導体２６２Ｇは、第１方向に並ぶ個別振動極膜２２Ｇ（２１）−２２Ｇ（２４）を接続している。引き回し導体２６３Ｇは、第１方向に並ぶ個別振動極膜２２Ｇ（３１）−２２Ｇ（３４）を接続している。引き回し導体２６４Ｇは、第１方向に並ぶ個別振動極膜２２Ｇ（４１）−２２Ｇ（４４）を接続している。
【０１４０】
第１固定極層３０Ｇは、ベースフィルム３１と固定極膜３２Ｇを備える。固定極膜３２Ｇは、複数の個別固定極膜３２Ｇ（１１）−３２Ｇ（１４），３２Ｇ（２１）−３２Ｇ（２４），３２Ｇ（３１）−３２Ｇ（３４），３２Ｇ（４１）−３２Ｇ（４４），３２Ｇ（５１）−３２（５４）からなる。これらの個別固定極膜は、矩形であり、互いに導体非形成部を挟んで配置されている。これらの個別固定極膜は、ベースフィルム３１の第１方向と第２方向を軸とする二次元に配列されている。
【０１４１】
第１固定極層３０Ｇには、複数の引き回し導体３５１Ｇ，３５２Ｇ，３５３Ｇ，３５４Ｇ，３６１Ｇ，３６２Ｇ，３６３Ｇ，３６４Ｇが形成されている。
【０１４２】
引き回し導体３５１Ｇ，３５２Ｇ，３５３Ｇ，３５４Ｇは、第２方向に延びる線状である。引き回し導体３６１Ｇ，３６２Ｇ，３６３Ｇ，３６４Ｇは、第１方向に延びる線状である。
【０１４３】
引き回し導体３５１Ｇは、第２方向に並ぶ個別固定極膜３２Ｇ（１１），３２Ｇ（２１），３２Ｇ（３１），３２Ｇ（４１），３２Ｇ（５１）を接続している。引き回し導体３５２Ｇは、第２方向に並ぶ個別固定極膜３２Ｇ（１２），３２Ｇ（２２），３２Ｇ（３２），３２Ｇ（４２），３２Ｇ（５２）を接続している。引き回し導体３５３Ｇは、第２方向に並ぶ個別固定極膜３２Ｇ（１３），３２Ｇ（２３），３２Ｇ（３３），３２Ｇ（４３），３２Ｇ（５３）を接続している。引き回し導体３５４Ｇは、第２方向に並ぶ個別固定極膜３２Ｇ（１４），３２Ｇ（２４），３２Ｇ（３４），３２Ｇ（４４），３２Ｇ（５４）を接続している。
【０１４４】
引き回し導体３６１Ｇは、第１方向に並ぶ個別固定極膜３２Ｇ（１１）−３２Ｇ（１４）を接続している。引き回し導体３６２Ｇは、第１方向に並ぶ個別固定極膜３２Ｇ（２１）−３２Ｇ（２４）を接続している。引き回し導体３６３Ｇは、第１方向に並ぶ個別固定極膜３２Ｇ（３１）−３２Ｇ（３４）を接続している。引き回し導体３６４Ｇは、第１方向に並ぶ個別固定極膜３２Ｇ（４１）−３２Ｇ（４４）を接続している。
【０１４５】
第２固定極層４０Ｇは、ベースフィルム４１と固定極膜４２Ｇを備える。固定極膜４２Ｇは、複数の個別固定極膜４２Ｇ（１１）−４２Ｇ（１４），４２Ｇ（２１）−４２Ｇ（２４），４２Ｇ（３１）−４２Ｇ（３４），４２Ｇ（４１）−４２Ｇ（４４），４２Ｇ（５１）−４２（５４）からなる。これらの個別固定極膜は、矩形であり、互いに導体非形成部を挟んで配置されている。これらの個別固定極膜は、ベースフィルム４１の第１方向と第２方向を軸とする二次元に配列されている。
【０１４６】
第２固定極層４０Ｇには、複数の引き回し導体４５１Ｇ，４５２Ｇ，４５３Ｇ，４５４Ｇ，４６１Ｇ，４６２Ｇ，４６３Ｇ，４６４Ｇが形成されている。
【０１４７】
引き回し導体４５１Ｇ，４５２Ｇ，４５３Ｇ，４５４Ｇは、第２方向に延びる線状である。引き回し導体４６１Ｇ，４６２Ｇ，４６３Ｇ，４６４Ｇは、第１方向に延びる線状である。
【０１４８】
引き回し導体４５１Ｇは、第２方向に並ぶ個別固定極膜４２Ｇ（１１），４２Ｇ（２１），４２Ｇ（３１），４２Ｇ（４１），４２Ｇ（５１）を接続している。引き回し導体４５２Ｇは、第２方向に並ぶ個別固定極膜４２Ｇ（１２），４２Ｇ（２２），４２Ｇ（３２），４２Ｇ（４２），４２Ｇ（５２）を接続している。引き回し導体４５３Ｇは、第２方向に並ぶ個別固定極膜４２Ｇ（１３），４２Ｇ（２３），４２Ｇ（３３），４２Ｇ（４３），４２Ｇ（５３）を接続している。引き回し導体４５４Ｇは、第２方向に並ぶ個別固定極膜４２Ｇ（１４），４２Ｇ（２４），４２Ｇ（３４），４２Ｇ（４４），４２Ｇ（５４）を接続している。
【０１４９】
引き回し導体４６１Ｇは、第１方向に並ぶ個別固定極膜４２Ｇ（１１）−４２Ｇ（１４）を接続している。引き回し導体４６２Ｇは、第１方向に並ぶ個別固定極膜４２Ｇ（２１）−４２Ｇ（２４）を接続している。引き回し導体４６３Ｇは、第１方向に並ぶ個別固定極膜４２Ｇ（３１）−４２Ｇ（３４）を接続している。引き回し導体４６４Ｇは、第１方向に並ぶ個別固定極膜４２Ｇ（４１）−４２Ｇ（４４）を接続している。
【０１５０】
図２０、図２１に示すように、振動極層２０Ｇ、第１，第２固定極層３０Ｇ，４０Ｇが積層された積層膜の状態において、個別振動極膜２２Ｇ（１１）−２２Ｇ（１４），２２Ｇ（２１）−２２Ｇ（２４），２２Ｇ（３１）−２２Ｇ（３４），２２Ｇ（４１）−２２Ｇ（４４），２２Ｇ（５１）−２２（５４）のそれぞれと、個別固定極膜３２Ｇ（１１）−３２Ｇ（１４），３２Ｇ（２１）−３２Ｇ（２４），３２Ｇ（３１）−３２Ｇ（３４），３２Ｇ（４１）−３２Ｇ（４４），３２Ｇ（５１）−３２（５４）のそれぞれと、個別固定極膜４２Ｇ（１１）−４２Ｇ（１４），４２Ｇ（２１）−４２Ｇ（２４），４２Ｇ（３１）−４２Ｇ（３４），４２Ｇ（４１）−４２Ｇ（４４），４２Ｇ（５１）−４２（５４）のそれぞれは、膜面に直交する方向に視て重なっている。例えば、個別振動極膜２２Ｇ（１１）と、個別固定極膜３２Ｇ（１１）と、個別固定極膜４２Ｇ（１１）は、重なっている。すなわち、ｍ，ｎを整数とすると、個別振動極膜２２Ｇ（ｍｎ）と、個別固定極膜３２Ｇ（ｍｎ）と、個別固定極膜４２Ｇ（ｍｎ）は、重なっている。
【０１５１】
一方、積層膜の状態において、振動極層２０Ｇに形成された複数の引き回し導体２５１Ｇ，２５２Ｇ，２５３Ｇ，２５４Ｇ，２６１Ｇ，２６２Ｇ，２６３Ｇ，２６４Ｇは、第１固定極層３０Ｇに形成された複数の引き回し導体３５１Ｇ，３５２Ｇ，３５３Ｇ，３５４Ｇ，３６１Ｇ，３６２Ｇ，３６３Ｇ，３６４Ｇ、および、第２固定極層４０Ｇに形成された複数の引き回し導体４５１Ｇ，４５２Ｇ，４５３Ｇ，４５４Ｇ，４６１Ｇ，４６２Ｇ，４６３Ｇ，４６４Ｇとは、膜面に直交する方向に視て、異なる位置に配置されている。なお、積層膜の状態において、第１固定極層３０Ｇに形成された複数の引き回し導体３５１Ｇ，３５２Ｇ，３５３Ｇ，３５４Ｇ，３６１Ｇ，３６２Ｇ，３６３Ｇ，３６４Ｇと、第２固定極層４０Ｇに形成された複数の引き回し導体４５１Ｇ，４５２Ｇ，４５３Ｇ，４５４Ｇ，４６１Ｇ，４６２Ｇ，４６３Ｇ，４６４Ｇとは、膜面に直交する方向に視て、重なっている。
【０１５２】
このような構成からなる静電型スピーカ１０Ｇでは、静電型スピーカ１０Ｇを膜面に直交する方向から観て、複数の個別振動極膜および個別固定極膜が配置されていない導体非形成部の部分が切断可能部となる。
【０１５３】
このような構成の静電型スピーカ１０Ｇは、上述の実施形態に係る静電型スピーカと同様に、図２２に示すように、部分的に切断して放音することも可能である。図２２は、本発明の第８の実施形態に係る切断後の静電型スピーカの平面図である。
【０１５４】
静電型スピーカ１００Ｇは、第１固定極層３０Ｇにおいて、個別固定極膜３２Ｇ（１１），３２Ｇ（１２），３２Ｇ（２１），３２Ｇ（２２）が残るように、導体非形成部を切断したものである。したがって、静電型スピーカ１０Ｇは、個別振動極膜２２Ｇ（１１），２２Ｇ（１２），２２Ｇ（２１），２２Ｇ（２２）、および、個別固定極膜３２Ｇ（１１），３２Ｇ（１２），３２Ｇ（２１），３２Ｇ（２２），４２Ｇ（１１），４２Ｇ（１２），４２Ｇ（２１），４２Ｇ（２２）を備える。
【０１５５】
このような構成では、切断された端面から離間した位置に全ての個別振動極膜、および個別固定極膜が配置されている。これにより、切断された端面に個別振動極膜および個別固定極膜が配置される態様と比較して、個別固定極膜と個別振動極膜との絶縁距離を長くすることができる。
【０１５６】
また、この構成では、振動極用の引き回し導体２５１Ｇ，２５２Ｇ，２６１Ｇ，２６２Ｇは、切断された端面に露出しているが、固定極用の引き回し導体３５１Ｇ，３５２Ｇ，３６１Ｇ，３６２Ｇ，４５１Ｇ，４５２Ｇ，４６１Ｇ，４６２Ｇと重なっていない。したがって、これらが重なる態様と比較して、絶縁距離を長くすることができる。
【０１５７】
したがって、静電型スピーカ１００Ｇの信頼性を向上することができる。また、切断の際に各引き回し導体にバリが生じても、振動極用の引き回し導体と固定極用の引き回し導体との接触を抑制できる。これにより、切断による固定極膜と振動極膜との短絡を抑制することができる。
【０１５８】
以上のように、本実施形態に構成を用いても、上述の第１の実施形態と同様に、大きさを調整でき且つ信頼性の高い平膜状の静電型スピーカを容易に実現することができる。
【０１５９】
また、本実施形態では、切断端面に線状の引き回し導体しか露出しないので、より短絡を抑制しやすく、信頼性の高い静電型スピーカをさらに容易に実現することができる。
【０１６０】
次に、本発明の第９の実施形態に係る静電型スピーカについて、図を参照して説明する。図２３は、本発明の第９の実施形態に係る静電型スピーカの分解斜視図である。図２４は、本発明の第９の実施形態に係る静電型スピーカの各構成要素の平面図である。図２５は、本発明の第９の実施形態に係る静電型スピーカの平面図である。
【０１６１】
本実施形態に係る静電型スピーカ１０Ｈの基本構成は、第８の実施形態に係る静電型スピーカ１０Ｇの振動極層２０の構成と同じである。概略的に言えば、静電型スピーカ１０Ｈは、静電型スピーカ１０Ｇに対して、個別振動極膜および個別固定極膜の形状において異なる。
【０１６２】
図２３、図２４、図２５に示すように、静電型スピーカ１０Ｈは、振動極層２０Ｈ、第１固定極層３０Ｈ、および第２固定極層４０Ｈを備える。
【０１６３】
振動極層２０Ｈは、ベースフィルム２１と振動極膜２２Ｈを備える。振動極膜２２Ｈは、複数の個別振動極膜２２Ｈ（１１）−２２Ｈ（１４），２２Ｈ（２１）−２２Ｈ（２４），２２Ｈ（３１）−２２Ｈ（３４），２２Ｈ（４１）−２２Ｈ（４４），２２Ｈ（５１）−２２Ｈ（５４），２２Ｈ（６１）−２２Ｈ（６４），２２Ｈ（７１）−２２Ｈ（７４），２２Ｈ（８１）−２２Ｈ（８４）からなる。これらの個別振動極膜は、三角形であり、互いに導体非形成部を挟んで配置されている。隣り合う個別振動極膜の対向する辺は平行である。これらの個別振動極膜は、ベースフィルム２１の第１方向と第２方向を軸とする二次元に配列されている。
【０１６４】
振動極層２０Ｈには、複数の引き回し導体２５１Ｈ，２５２Ｈ，２５３Ｈ，２５４Ｈ，２６１Ｈ，２６２Ｈ，２６３Ｈ，２６４Ｈが形成されている。
【０１６５】
引き回し導体２５１Ｈ，２５２Ｈ，２５３Ｈ，２５４Ｈは、第２方向に延びる線状である。引き回し導体２６１Ｈ，２６２Ｈ，２６３Ｈ，２６４Ｈは、第１方向に延びる線状である。
【０１６６】
引き回し導体２５１Ｈは、第２方向に並ぶ個別振動極膜２２Ｈ（１１），２２Ｈ（２１），２２Ｈ（３１），２２Ｈ（４１），２２Ｈ（５１），２２Ｈ（６１），２２Ｈ（７１），２２Ｈ（８１）を接続している。引き回し導体２５２Ｈは、第２方向に並ぶ個別振動極膜２２Ｈ（１２），２２Ｈ（２２），２２Ｈ（３２），２２Ｈ（４２），２２Ｈ（５２），２２Ｈ（６２），２２Ｈ（７２），２２Ｈ（８２）を接続している。引き回し導体２５３Ｈは、第２方向に並ぶ個別振動極膜２２Ｈ（１３），２２Ｈ（２３），２２Ｈ（３３），２２Ｈ（４３），２２Ｈ（５３），２２Ｈ（６３），２２Ｈ（７３），２２Ｈ（８３）を接続している。引き回し導体２５４Ｈは、第２方向に並ぶ個別振動極膜２２Ｈ（１４），２２Ｈ（２４），２２Ｈ（３４），２２Ｈ（４４），２２Ｈ（５４），２２Ｈ（６４），２２Ｈ（７４），２２Ｈ（８４）を接続している。
【０１６７】
引き回し導体２６１Ｈは、第１方向に並ぶ個別振動極膜２２Ｈ（２１），２２Ｈ（１１），２２Ｈ（１２），２２Ｈ（２２），２２Ｈ（２３），２２Ｈ（１３），２２Ｈ（１４），２２Ｈ（２４）を接続している。引き回し導体２６２Ｈは、第１方向に並ぶ個別振動極膜２２Ｈ（４１），２２Ｈ（３１），２２Ｈ（３２），２２Ｈ（４２），２２Ｈ（４３），２２Ｈ（３３），２２Ｈ（３４），２２Ｈ（４４）を接続している。引き回し導体２６３Ｈは、第１方向に並ぶ個別振動極膜２２Ｈ（６１），２２Ｈ（５１），２２Ｈ（５２），２２Ｈ（６２），２２Ｈ（６３），２２Ｈ（５３），２２Ｈ（５４），２２Ｈ（６４）を接続している。引き回し導体２６４Ｈは、第１方向に並ぶ個別振動極膜２２Ｈ（８１），２２Ｈ（７１），２２Ｈ（７２），２２Ｈ（８２），２２Ｈ（８３），２２Ｈ（７３），２２Ｈ（７４），２２Ｈ（８４）を接続している。
【０１６８】
第１固定極層３０Ｈは、ベースフィルム３１と固定極膜３２Ｈを備える。固定極膜３２Ｈは、複数の個別固定極膜３２Ｈ（１１）−３２Ｈ（１４），３２Ｈ（２１）−３２Ｈ（２４），３２Ｈ（３１）−３２Ｈ（３４），３２Ｈ（４１）−３２Ｈ（４４），３２Ｈ（５１）−３２Ｈ（５４），３２Ｈ（６１）−３２Ｈ（６４），３２Ｈ（７１）−３２Ｈ（７４），３２Ｈ（８１）−３２Ｈ（８４）からなる。これらの個別振動極膜は、三角形であり、互いに導体非形成部を挟んで配置されている。隣り合う個別振動極膜の対向する辺は平行である。これらの個別振動極膜は、ベースフィルム３１の第１方向と第２方向を軸とする二次元に配列されている。
【０１６９】
第１固定極層３０Ｈには、複数の引き回し導体３５１Ｈ，３５２Ｈ，３５３Ｈ，３５４Ｈ，３６１Ｈ，３６２Ｈ，３６３Ｈ，３６４Ｈが形成されている。
【０１７０】
引き回し導体３５１Ｈ，３５２Ｈ，３５３Ｈ，３５４Ｈは、第２方向に延びる線状である。引き回し導体３６１Ｈ，３６２Ｈ，３６３Ｈ，３６４Ｈは、第１方向に延びる線状である。
【０１７１】
引き回し導体３５１Ｈは、第２方向に並ぶ個別振動極膜３２Ｈ（１１），３２Ｈ（２１），３２Ｈ（３１），３２Ｈ（４１），３２Ｈ（５１），３２Ｈ（６１），３２Ｈ（７１），３２Ｈ（８１）を接続している。引き回し導体３５２Ｈは、第２方向に並ぶ個別振動極膜３２Ｈ（１２），３２Ｈ（２２），３２Ｈ（３２），３２Ｈ（４２），３２Ｈ（５２），３２Ｈ（６２），３２Ｈ（７２），３２Ｈ（８２）を接続している。引き回し導体３５３Ｈは、第２方向に並ぶ個別振動極膜３２Ｈ（１３），３２Ｈ（２３），３２Ｈ（３３），３２Ｈ（４３），３２Ｈ（５３），３２Ｈ（６３），３２Ｈ（７３），３２Ｈ（８３）を接続している。引き回し導体３５４Ｈは、第２方向に並ぶ個別振動極膜３２Ｈ（１４），３２Ｈ（２４），３２Ｈ（３４），３２Ｈ（４４），３２Ｈ（５４），３２Ｈ（６４），３２Ｈ（７４），３２Ｈ（８４）を接続している。
【０１７２】
引き回し導体３６１Ｈは、第１方向に並ぶ個別振動極膜３２Ｈ（２１），３２Ｈ（１１），３２Ｈ（１２），３２Ｈ（２２），３２Ｈ（２３），３２Ｈ（１３），３２Ｈ（１４），３２Ｈ（２４）を接続している。引き回し導体３６２Ｈは、第１方向に並ぶ個別振動極膜３２Ｈ（４１），３２Ｈ（３１），３２Ｈ（３２），３２Ｈ（４２），３２Ｈ（４３），３２Ｈ（３３），３２Ｈ（３４），３２Ｈ（４４）を接続している。引き回し導体３６３Ｈは、第１方向に並ぶ個別振動極膜３２Ｈ（６１），３２Ｈ（５１），３２Ｈ（５２），３２Ｈ（６２），３２Ｈ（６３），３２Ｈ（５３），３２Ｈ（５４），３２Ｈ（６４）を接続している。引き回し導体３６４Ｈは、第１方向に並ぶ個別振動極膜３２Ｈ（８１），３２Ｈ（７１），３２Ｈ（７２），３２Ｈ（８２），３２Ｈ（８３），３２Ｈ（７３），３２Ｈ（７４），３２Ｈ（８４）を接続している。
【０１７３】
第２固定極層４０Ｈは、ベースフィルム４１と固定極膜４２Ｈを備える。固定極膜４２Ｈは、複数の個別固定極膜４２Ｈ（１１）−４２Ｈ（１４），４２Ｈ（２１）−４２Ｈ（２４），４２Ｈ（３１）−４２Ｈ（３４），４２Ｈ（４１）−４２Ｈ（４４），４２Ｈ（５１）−４２Ｈ（５４），４２Ｈ（６１）−４２Ｈ（６４），４２Ｈ（７１）−４２Ｈ（７４），４２Ｈ（８１）−４２Ｈ（８４）からなる。これらの個別振動極膜は、三角形であり、互いに導体非形成部を挟んで配置されている。隣り合う個別振動極膜の対向する辺は平行である。これらの個別振動極膜は、ベースフィルム４１の第１方向と第２方向を軸とする二次元に配列されている。
【０１７４】
第２固定極層４０Ｈには、複数の引き回し導体４５１Ｈ，４５２Ｈ，４５３Ｈ，４５４Ｈ，４６１Ｈ，４６２Ｈ，４６３Ｈ，４６４Ｈが形成されている。
【０１７５】
引き回し導体４５１Ｈ，４５２Ｈ，４５３Ｈ，４５４Ｈは、第２方向に延びる線状である。引き回し導体４６１Ｈ，４６２Ｈ，４６３Ｈ，４６４Ｈは、第１方向に延びる線状である。
【０１７６】
引き回し導体４５１Ｈは、第２方向に並ぶ個別振動極膜４２Ｈ（１１），４２Ｈ（２１），４２Ｈ（３１），４２Ｈ（４１），４２Ｈ（５１），４２Ｈ（６１），４２Ｈ（７１），４２Ｈ（８１）を接続している。引き回し導体４５２Ｈは、第２方向に並ぶ個別振動極膜４２Ｈ（１２），４２Ｈ（２２），４２Ｈ（３２），４２Ｈ（４２），４２Ｈ（５２），４２Ｈ（６２），４２Ｈ（７２），４２Ｈ（８２）を接続している。引き回し導体４５３Ｈは、第２方向に並ぶ個別振動極膜４２Ｈ（１３），４２Ｈ（２３），４２Ｈ（３３），４２Ｈ（４３），４２Ｈ（５３），４２Ｈ（６３），４２Ｈ（７３），４２Ｈ（８３）を接続している。引き回し導体４５４Ｈは、第２方向に並ぶ個別振動極膜４２Ｈ（１４），４２Ｈ（２４），４２Ｈ（３４），４２Ｈ（４４），４２Ｈ（５４），４２Ｈ（６４），４２Ｈ（７４），４２Ｈ（８４）を接続している。
【０１７７】
引き回し導体４６１Ｈは、第１方向に並ぶ個別振動極膜４２Ｈ（２１），４２Ｈ（１１），４２Ｈ（１２），４２Ｈ（２２），４２Ｈ（２３），４２Ｈ（１３），４２Ｈ（１４），４２Ｈ（２４）を接続している。引き回し導体４６２Ｈは、第１方向に並ぶ個別振動極膜４２Ｈ（４１），４２Ｈ（３１），４２Ｈ（３２），４２Ｈ（４２），４２Ｈ（４３），４２Ｈ（３３），４２Ｈ（３４），４２Ｈ（４４）を接続している。引き回し導体４６３Ｈは、第１方向に並ぶ個別振動極膜４２Ｈ（６１），４２Ｈ（５１），４２Ｈ（５２），４２Ｈ（６２），４２Ｈ（６３），４２Ｈ（５３），４２Ｈ（５４），４２Ｈ（６４）を接続している。引き回し導体４６４Ｈは、第１方向に並ぶ個別振動極膜４２Ｈ（８１），４２Ｈ（７１），４２Ｈ（７２），４２Ｈ（８２），４２Ｈ（８３），４２Ｈ（７３），４２Ｈ（７４），４２Ｈ（８４）を接続している。
【０１７８】
振動極層２０Ｈ、第１，第２固定極層３０Ｈ，４０Ｈが積層された積層膜の状態において、ｍ，ｎを整数とすると、個別振動極膜２２Ｈ（ｍｎ）と、個別固定極膜３２Ｈ（ｍｎ）と、個別固定極膜４２Ｈ（ｍｎ）は、重なっている。
【０１７９】
一方、積層膜の状態において、振動極層２０Ｈに形成された複数の引き回し導体２５１Ｈ，２５２Ｈ，２５３Ｈ，２５４Ｈ，２６１Ｈ，２６２Ｈ，２６３Ｈ，２６４Ｈは、第１固定極層３０Ｈに形成された複数の引き回し導体３５１Ｈ，３５２Ｈ，３５３Ｈ，３５４Ｈ，３６１Ｈ，３６２Ｈ，３６３Ｈ，３６４Ｈ、および、第２固定極層４０Ｈに形成された複数の引き回し導体４５１Ｈ，４５２Ｈ，４５３Ｈ，４５４Ｈ，４６１Ｈ，４６２Ｈ，４６３Ｈ，４６４Ｈとは、膜面に直交する方向に視て、異なる位置に配置されている。なお、積層膜の状態において、第１固定極層３０Ｈに形成された複数の引き回し導体３５１Ｈ，３５２Ｈ，３５３Ｈ，３５４Ｈ，３６１Ｈ，３６２Ｈ，３６３Ｈ，３６４Ｈと、第２固定極層４０Ｇに形成された複数の引き回し導体４５１Ｈ，４５２Ｈ，４５３Ｈ，４５４Ｈ，４６１Ｈ，４６２Ｈ，４６３Ｈ，４６４Ｈとは、膜面に直交する方向に視て、重なっている。
【０１８０】
このような構成からなる静電型スピーカ１０Ｈでは、静電型スピーカ１０Ｈを膜面に直交する方向から観て、複数の個別振動極膜および個別固定極膜が配置されていない導体非形成部の部分が切断可能部となる。
【０１８１】
このような構成の静電型スピーカ１０Ｈは、上述の実施形態に係る静電型スピーカと同様に、図２６に示すように、部分的に切断して放音することも可能である。図２６は、本発明の第９の実施形態に係る切断後の静電型スピーカの平面図である。
【０１８２】
静電型スピーカ１００Ｈは、第１固定極層３０Ｈにおいて、個別固定極膜３２Ｈ（２２），３２Ｈ（２３），３２Ｈ（３２），３２Ｈ（３３），３２Ｈ（４１），３２Ｈ（４２）が残るように、導体非形成部を切断したものである。この際、静電型スピーカ１００Ｈとして残す複数の個別固定極膜のグループの外側の辺に沿うように、静電型スピーカ１０Ｈは切断されている。したがって、静電型スピーカ１００Ｈは、膜面に直交する方向に視て五角形である。
【０１８３】
静電型スピーカ１００Ｈは、個別振動極膜２２Ｈ（２２），２２Ｈ（２３），２２Ｈ（３２），２２Ｈ（３３），２２Ｈ（４１），２２Ｈ（４２）、および、個別固定極膜３２Ｈ（２２），３２Ｈ（２３），３２Ｈ（３２），３２Ｈ（３３），３２Ｈ（４１），３２Ｈ（４２），４２Ｈ（２２），４２Ｈ（２３），４２Ｈ（３２），４２Ｈ（３３），４２Ｈ（４１），４２Ｈ（４２）を備える。
【０１８４】
このような構成では、切断された端面から離間した位置に全ての個別振動極膜、および個別固定極膜が配置されている。これにより、切断された端面に個別振動極膜および個別固定極膜が配置される態様と比較して、個別固定極膜と個別振動極膜との絶縁距離を長くすることができる。
【０１８５】
また、この構成では、振動極用の引き回し導体２５１Ｈ，２５２Ｈ，２５３Ｈ，２６１Ｈ，２６２Ｈは、切断された端面に露出しているが、固定極用の引き回し導体３５１Ｈ，３５２Ｈ，３５３Ｈ，３６１Ｈ，３６２Ｈ，４５１Ｈ，４５２Ｈ，４５３Ｈ，４６１Ｈ，４６２Ｈと重なっていない。したがって、これらが重なる態様と比較して、絶縁距離を長くすることができる。
【０１８６】
したがって、静電型スピーカ１００Ｈの信頼性を向上することができる。また、切断の際に各引き回し導体にバリが生じても、振動極用の引き回し導体と固定極用の引き回し導体との接触することを抑制できる。これにより、切断による固定極膜と振動極膜との短絡を抑制することができる。
【０１８７】
以上のように、本実施形態に構成を用いても、上述の第１の実施形態と同様に、大きさを調整でき且つ信頼性の高い平膜状の静電型スピーカを容易に実現することができる。
【０１８８】
また、本実施形態では、切断端面に線状の引き回し導体しか露出しないので、より短絡を抑制しやすく、信頼性の高い静電型スピーカをさらに容易に実現することができる。
【０１８９】
さらに、本実施形態では、個別振動極膜および個別固定極膜の形状が、上述の各実施形態に示した個別振動極膜および個別固定極膜よりも小さい。したがって、より多様な大きさの静電型スピーカ１００Ｈを実現することができる。また、本実施形態では、個別振動極膜および個別固定極膜の形状が三角形である。したがって、より多様な形状の静電型スピーカ１００Ｈを実現することができる。
【０１９０】
なお、本実施形態では、個別振動極膜および個別固定極膜が三角形の場合を示したが、他の多角形、円形、楕円形等の他の形状であってもよい。
【符号の説明】
【０１９１】
１０，１００，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ，１０Ｅ，１０Ｆ，１０Ｇ，１０Ｈ：静電型スピーカ
２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅ，２０Ｆ，２０Ｇ，２０Ｈ：振動極層
２１：ベースフィルム
２２，２２Ｂ，２２Ｇ，２２Ｈ：振動極膜
３０，３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄ，３０Ｅ，３０Ｆ，３０Ｇ，３０Ｈ：第１固定極層
３１：ベースフィルム
３２：第１固定極膜
３２Ｂ，３２Ｇ，３２Ｈ，４２Ｂ：個別固定極膜
４０，４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ，４０Ｄ，４０Ｅ，４０Ｆ，４０Ｇ，４０Ｈ：第２固定極層
４１：ベースフィルム
４２，４２Ｆ，４２Ｇ，４２Ｈ：固定極膜
９０：直流バイアス発生部
９１：第１駆動信号発生部
９２：第２駆動信号発生部
１００，１００Ａ，１００Ｃ，１００Ｄ，１００Ｅ，１００Ｆ，１００Ｇ，１００Ｈ：静電型スピーカ
２２１Ｃ，２２２Ｃ，２２３Ｃ，２２４Ｃ，２２５Ｃ，２２６Ｃ，２２７Ｃ，２２１Ｄ，２２２Ｄ，２２３Ｄ，２２４Ｄ，２２５Ｄ，２２６Ｄ，２２７Ｄ，２２１Ｅ，２２２Ｅ，２２３Ｅ，２２４Ｅ，２２５Ｅ，２２６Ｅ，２２７Ｅ，２２１Ｆ，２２２Ｆ，２２３Ｆ，２２４Ｆ，２２５Ｆ，２２６Ｆ，２２７Ｆ：個別振動極膜
２３１，２３２，２３３，２３４，２３５，２３６，２３１Ｃ，２３２Ｃ，２３３Ｃ，２３４Ｃ，２３５Ｃ，２３６Ｃ，２３１Ｄ，２３２Ｄ，２３３Ｄ，２３４Ｄ，２３５Ｄ，２３６Ｄ，２３１Ｅ，２３２Ｅ，２３３Ｅ，２３４Ｅ，２３５Ｅ，２３６Ｅ，２３１Ｆ，２３２Ｆ，２３３Ｆ，２３４Ｆ，２３５Ｆ，２３６Ｆ：導体非形成部
２４１，２４２，２４３，２４４，２４５：導体体非形成部
２５１Ｄ，２５２Ｄ，２５３Ｄ，２５４Ｄ，２５５Ｄ，２５６Ｄ，２５７Ｄ，２５１Ｅ，２５３Ｅ，２５５Ｅ，２５７Ｅ，２５１Ｇ，２５２Ｇ，２５３Ｇ，２５４Ｇ，２６１Ｇ，２６２Ｇ，２６３Ｇ，２６４Ｇ，２５１Ｈ，２５２Ｈ，２５３Ｈ，２５４Ｈ，２６１Ｈ，２６２Ｈ，２６３Ｈ，２６４Ｈ：引き回し導体
３２１Ｃ，３２２Ｃ，３２３Ｃ，３２４Ｃ，３２５Ｃ，３２６Ｃ，３２１Ｃ，３２２Ｃ，３２３Ｃ，４２１Ｃ，４２２Ｃ，４２３Ｃ，３２１Ｄ，３２２Ｄ，３２３Ｄ，３２４Ｄ，３２５Ｄ，３２６Ｄ，３２１Ｄ，３２２Ｄ，３２３Ｄ，４２１Ｄ，４２２Ｄ，４２３Ｄ，４２６Ｄ，３２１Ｅ，３２２Ｅ，３２３Ｅ，３２４Ｅ，３２５Ｅ，３２６Ｅ，４２１Ｅ，４２２Ｅ，４２３Ｅ，４２６Ｅ：個別固定極膜
３３０，３３１Ｃ，３３２Ｃ，３３３Ｃ，３３４Ｃ，３３５Ｃ，４３３Ｃ，３３１Ｄ，３３２Ｄ，３３３Ｄ，３３４Ｄ，３３５Ｄ，３４０，４３０，４３１Ｄ，４３２Ｄ，４３３Ｄ，４３４Ｄ，４３５Ｄ，４３２Ｅ，４３３Ｅ，４３４Ｅ：導体非形成部
３５１Ｇ，３５２Ｇ，３５３Ｇ，３５４Ｇ，３６１Ｇ，３６２Ｇ，３６３Ｇ，３６４Ｇ，３５１Ｈ，３５２Ｈ，３５３Ｈ，３５４Ｈ，３６１Ｈ，３６２Ｈ，３６３Ｈ，３６４Ｈ，４５１Ｇ，４５２Ｇ，４６１Ｇ，４６２Ｇ，４５１Ｈ，４５２Ｈ，４５３Ｈ，４６１Ｈ，４６２Ｈ：引き回し導体
５２１，５３１：導電テープ
５２２，５３２：外部接続ケーブル
２５２１，２５２２，２５３１，２５３２，２５４１，２５４２：切断補助線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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