(57)【要約】      （修正有）【課題】複数のヘッドモジュールを備える液体吐出ヘッドにおいて、隣接するヘッドモジュール間における液体の圧力差・温度差により、ヘッドモジュールのつなぎ目で印字むら（濃度ムラ）を軽減する。【解決手段】第１の供給路部材は、第１の供給路部材の供給路に供給された液体を第１の供給路部材の外に流出させるための流出口を備え、第２の供給路部材は、第１の供給路部材の流出口から流出した液体を第２の供給路部材の供給路に流入させるための流入口を備え、流出口は、第１の供給路部材の供給路の、第２の供給路部材が設けられる側の端部に設けられており、流入口は、第２の供給路部材の供給路の、第１の供給路部材が設けられる側の端部に設けられている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向に延在する支持部材と、
前記支持部材に前記第１の方向に沿って隣接して配列され、前記第１の方向に延在する供給路を夫々備える第１及び第２の供給路部材と、
前記第１及び第２の供給路部材の供給路から供給される液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する素子と、液体を吐出する吐出口とを備える記録素子基板と、
を備える液体吐出ヘッドであって、
前記第１の供給路部材は、当該第１の供給路部材の供給路に供給された液体を前記第１の供給路部材の外に流出させるための流出口を備え、
前記第２の供給路部材は、前記第１の供給路部材の流出口から流出した液体を前記第２の供給路部材の供給路に流入させるための流入口を備え、
前記流出口は、前記第１の供給路部材の供給路の、前記第２の供給路部材が設けられる側の端部に設けられており、
前記流入口は、前記第２の供給路部材の供給路の、前記第１の供給路部材が設けられる側の端部に設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第１の供給路部材の供給路に液体を流入させるための流入口は、前記第１の供給路部材の供給路の、前記第２の供給路部材が設けられる側とは反対側の端部に設けられている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第１の供給路部材の供給路に液体を流入させるための流入口は、前記第１の供給路部材の供給路の、前記第１の方向における中央部に設けられている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記支持部材は、前記第１の供給路部材の流出口と連通する第１の貫通孔と、前記第２の供給路部材の流入口と連通する第２の貫通孔とを備える、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第１の貫通孔と前記第２の貫通孔とを連通させるための流路を備える接続部材を備える、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記支持部材の一方の面には前記第１及び第２の供給路部材が配されており、前記一方の面の裏面には前記接続部材が配されている、請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記第２の供給路部材の供給路の高さは、前記第２の貫通孔の開口径よりも大きい、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記第１及び第２の供給路部材の夫々には、複数の前記記録素子基板が前記第１の方向に沿って配列されている、請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記第１の供給路部材の供給路の液体を前記記録素子基板に供給するための流路を備える流路部材が、前記第１の供給路部材と前記記録素子基板との間に設けられている、請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記第１の供給路部材は、当該第１の供給路部材の供給路内の液体を前記記録素子基板への供給するための開口を備える、請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記吐出口から液体が吐出される方向からみて、前記第１の貫通孔と前記開口はオフセットしている、請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記複数の記録素子基板は、前記第１の方向に関して直線状に配されている、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体を吐出する液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェットプリンタは家庭での印刷のみならず、ビジネスやリテールフォト用などの業務用、あるいは電子回路描画やパネルディスプレイ用などの産業用にも用いられ、その用途は広がりつつある。このような業務用印刷等におけるインクジェットプリンタの液体吐出ヘッドは高速での印刷が要求される。このため、液体吐出ヘッドの幅を記録媒体幅よりも長尺なフルラインヘッド（ページワイドヘッド）が適用されている。このようなフルラインヘッドとしては、複数の記録素子基板を配列したヘッドモジュールを支持部材上に搭載する方法が特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】ＵＳ６３５００１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら特許文献１のように、各ヘッドモジュールの中央部の流入口からインクを供給する構成では、各ヘッドモジュールに供給される液体の流れの方向が、ヘッドモジュールの中央部から両端部に向かう方向となる。この場合、隣接するヘッドモジュール間の液体の温度差により吐出される液滴の体積がばらつくため、ヘッドモジュールのつなぎ目で印字ムラ（濃度ムラ）が発生する。
【０００５】
本発明は上記課題に鑑み、複数のヘッドモジュール構成の液体吐出ヘッドにおいて、各ヘッドモジュールのつなぎ部における濃度ムラを軽減した液体吐出ヘッドの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の方向に延在する支持部材と、前記支持部材に前記第１の方向に沿って隣接して配列され、前記第１の方向に延在する供給路を夫々備える第１及び第２の供給路部材と、前記第１及び第２の供給路部材の供給路から供給される液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する素子と、液体を吐出する吐出口とを備える記録素子基板と、を備える液体吐出ヘッドであって、前記第１の供給路部材は、当該第１の供給路部材の供給路に供給された液体を前記第１の供給路部材の外に流出させるための流出口を備え、前記第２の供給路部材は、前記第１の供給路部材の流出口から流出した液体を前記第２の供給路部材の供給路に流入させるための流入口を備え、前記流出口は、前記第１の供給路部材の供給路の、前記第２の供給路部材が設けられる側の端部に設けられており、前記流入口は、前記第２の供給路部材の供給路の、前記第１の供給路部材が設けられる側の端部に設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、複数のヘッドモジュール構成の液体吐出ヘッドにおいて、各ヘッドモジュールのつなぎ部における濃度ムラを軽減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本実施形態における液体吐出ヘッドの分解斜視図。
【図２】（ａ）は本実施形態における記録素子基板の模式図、（ｂ）は図２（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図。
【図３】（ａ）は第１の実施形態における液体吐出ヘッドの上面図、（ｂ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ’断面図、（ｃ）は本実施形態の液体吐出ヘッドの圧力・温度分布模式図。
【図４】（ａ）（ｂ）は比較例としての液体吐出ヘッドの断面図及び圧力・温度分布模式図。
【図５】第２の実施形態における液体吐出ヘッドの分解斜視図。
【図６】（ａ）は第２の実施形態における液体吐出ヘッドの上面図、（ｂ）は図６（ａ）のＣ−Ｃ’断面図、（ｃ）は本実施形態の液体吐出ヘッドの圧力・温度分布模式図。
【図７】（ａ）は図６（ａ）の一部拡大図、（ｂ）は図６（ｂ）の一部拡大図。
【図８】第３の実施形態における液体吐出ヘッドの分解斜視図。
【図９】（ａ）は第３の実施形態における液体吐出ヘッドの上面図、（ｂ）は図９（ａ）のＤ−Ｄ’断面図、（ｃ）は本実施形態の液体吐出ヘッドの圧力・温度分布模式図。
【図１０】（ａ）は図９（ａ）の一部拡大図、（ｂ）は図９（ｂ）の一部拡大図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドについて説明する。以下の各実施形態では、インクを吐出するインクジェット記録ヘッドについて具体的な構成で説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、エネルギー発生素子として熱によって液体中に気泡を発生させて液体を吐出するサーマルタイプの方式で説明するがこれに限られずピエゾ方式等各種の吐出方式を適用可能である。
【００１０】
本発明の液体吐出ヘッドは、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用可能である。例えば、バイオチップ作製や電子回路印刷などの用途としても用いることができる。また、以下に述べる実施形態は、本発明の適切な具定例であるから、技術的に好ましい様々の限定が付けられている。しかし、本発明の思想に沿うものであれば、本実施形態は本明細書の実施形態やその他の具体的方法に限定されるものではない。
【００１１】
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態における液体吐出ヘッドの構造について説明する。図１は、本実施形態における液体吐出ヘッド１０の分解斜視図であり、図２（ａ）は、図１における記録素子基板２０の模式図を示し、図２（ｂ）は、図１（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図を示す。なお、図１では、内部構造を理解し易くするために、記録素子基板２０に形成される電極と電気的に接続されるフレキシブル配線基板（ＦＰＣ）及び記録素子基板２０とＦＰＣとの電気接続部を封止する封止材を省略している。図１に示すように、液体吐出ヘッド１０は、複数の記録素子基板２０と、記録素子基板２０を支持する流路部材である分配流路部材３０と、分配流路部材３０を支持するとともに分配流路部材３０に液体を供給する供給路を備える供給路部材４０を備える。また、液体吐出ヘッド１０は、供給路部材４０を支持する支持部材５０と、接続部材６０とを備える。支持部材５０には、液体を供給するための複数の貫通孔５２が形成されている。供給路部材４０には支持部材５０の長手方向に沿って延在する供給路と、供給路内の液体を流路部材３０に供給するための開口４４が形成されている。支持部材５０の一方の面には供給路部材４０が配されており、支持部材５０の一方の面の裏面には接続部材６０が配されている。本実施形態において、記録素子基板２０、分配流路部材３０及び供給路部材４０を合わせてヘッドモジュール１１と称す。
【００１２】
供給路部材４０と記録素子基板２０との間には流路３１を備える分配流路部材３０が設けられており、記録素子基板２０には複数の吐出口２１が配列された吐出口列２２が複数形成されている。接続部材６０は隣接する２つの供給路部材４０を流体接続するための部材であり、接続部材６０には複数の接続口６１と、接続口６１同士を連通する接続流路６２が形成されている。また図２（ｂ）に示すように記録素子基板２０は、Ｓｉにより形成され液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する素子２５を備える基板２６と、素子２５を内部に備える圧力室２４、及び吐出口２１を備える吐出口形成部材２３とが積層されてなる。基板２６に形成された供給口２７を介して圧力室２４に供給された液体は、素子２５を駆動することにより吐出口２１から液滴として外部に吐出される。
【００１３】
図３（ａ）は、図１における液体吐出ヘッド１０の上面図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）におけるＢ−Ｂ’によって切断した液体吐出ヘッド１０の断面図である。図３（ｃ）は、第１の実施形態における液体吐出ヘッド１０の圧力・温度分布模式図である。図４（ａ）は比較例としての液体吐出ヘッドの断面図を示し、図４（ｂ）は比較例としての液体吐出ヘッドにおける圧力・温度分布模式図を示す。本実施形態の液体吐出ヘッド１０における液体の流れについて以下に説明する。
【００１４】
液体吐出ヘッド１０が搭載される装置本体（不図示）から供給されるインク等の液体は支持部材５０に設けられる液体流入口５１を介して液体吐出ヘッド１０に供給される。本実施形態において液体流入口５１は支持部材５０の一端側の端部に形成されている。液体流入口５１から液体吐出ヘッド１０に流入した液体は支持部材５０の貫通孔５２を介して供給路部材４０に形成される流入口４３を介して供給路部材４０に供給される。供給路部材４０に供給された液体は支持部材５０の長手方向に沿って延在する供給路４１を介して供給路部材４０の流出口４５まで供給される。本実施形態において流入口４３は供給路部材の一端側の端部に、流出口４５は一端側とは反対側の他端側の端部に夫々形成され、流入口４３と流出口４５とは供給路４１によって連通している。供給路４１内を液体が供給される際に、上部に設けられた記録素子基板２０からの熱の影響により徐々に液体の温度は上昇する。つまり図３（ｃ）に示すように、流入口４３から流入した液体は徐々に温度が上昇し流出口４５へと供給される。供給路４１内の液体は供給路部材４０に形成された複数の開口４４を介して流路部材である分配流路部材３０に供給される。液体は、分配流路部材３０に形成された流路３１を介して記録素子基板２０の供給口２７へと供給される。
【００１５】
本実施形態において供給路部材４０は３つの部材（第１の供給路部材４６、第２の供給路部材４７、第３の供給路部材４８）を含む。図３（ｂ）に示すように、第１の供給路部材４６に供給された液体の一部は接続部材６０を介して第２の供給路部材４７へと供給され、さらに接続部材６０を介して第３の供給路部材４８へと供給される。第１の供給路部材４６の一端側から他端側まで供給された液体は貫通孔５２及び接続部材６０を介して第２の供給路部材４７へと接続される。その際に第２の供給路部材４７の流入口４３は、第１の供給路部材４６側の端部に形成されている。つまり第１の供給路部材４６から第２の供給路部材４７へは連続的に液体が供給され、貫通孔５２および接続部材６０を液体が供給される際の温度変化はほとんどない。よって図３（ｃ）に示すように液体吐出ヘッド１０の一端側から他端側まで供給される際の温度変化は連続的（リニア）に変化する。圧力変化も同様に連続的（リニア）に変化する。よって複数の供給路部材４０からなる液体吐出ヘッドであっても、供給路部材のつなぎ部における記録ムラ（濃度ムラ）は抑制される。
【００１６】
本実施形態において、支持部材５０は、液体吐出ヘッド１０が撓まないような剛性を備えることが好ましい。また、分配流路部材３０、供給路部材４０及び支持部材５０は、供給される液体に対して十分な耐腐食性を有することが必要であり、また、線膨張係数の低い材質からなることが好ましい。そのため例えば、分配流路部材３０、供給路部材４０及び支持部材５０の材質として、アルミナや樹脂材料が好適に採用される。特には、ＬＣＰ（液晶ポリマー）やＰＰＳ（ポリフェニレンスルファイド）やＰＳＦ（ポリサルフォン）を母材としてシリカ微粒子などの無機フィラーを添加した複合材料を好適に用いることができる。また、各部材の積層方法としては、接着剤による接合、熱板溶着、ねじ止め、その他各種の結合方法を用いることができる。
【００１７】
複数の記録素子基板２０、複数の分配流路部材３０、及び複数の供給路部材４０の夫々は、支持部材５０の長手方向に沿って直列に配列されている。この時、隣接する記録素子基板２０同士及び隣接する供給路部材４０同士は、液体吐出ヘッド１０の長手方向と直交する方向に関して、それぞれ互いに重複するように配列されている。このように液体吐出ヘッド１０の幅を記録する記録媒体の幅と同等以上とすることで、いわゆるフルライン型（ページワイド型）の液体吐出ヘッドとすることができる。尚、複数の記録素子基板２０は、支持部材５０の長手方向に対して吐出口列２２が傾斜するように配置しても良い。この場合、各記録素子基板２０それぞれの重心位置が、支持部材５０の長手方向と平行になるように配列させることが好ましい。
【００１８】
尚、本実施形態においては、隣接する供給路部材４０の内部に形成された供給路４１は接続部材６０を介して連通しているが、本発明はこれに限られない。例えば、隣接する供給路部材４０の長手方向の夫々の端面に接続口を形成し、供給路４１同士を直接連通させる場合でも、本発明の構成を好ましく適用することができる。また、液体流入口５１から流入した液体は、液体吐出ヘッド１０の長手方向の一端側から他端側へと直線状に、また水平方向に供給されるが、本発明はこれに限られない。例えば液体吐出ヘッド１０の長手方向に延在する供給路４１が鉛直方向に傾斜がついている場合や、供給路４１が液体吐出ヘッド１０の短手方向に傾斜がついている場合でも、本発明の構成を好ましく適用することができる。
【００１９】
また各記録素子基板が図３（ａ）に示すようなインライン状（直線状）に配置される形態でなく、千鳥状に配置される場合にも本発明を適用可能である。この場合、供給路部材４０に設けられる供給路４１は屈曲する流路形状で構成することが好ましい。また、支持部材５０の内部に、供給路４１の長手方向の端部と連通するように液体排出口を形成し、液体吐出ヘッド１０内部で液体を循環させる構成にも本発明の構成を適用可能である。本実施形態においては図２（ａ）に示すように、記録素子基板２０には、４つの吐出口列２２が形成されている。４つの吐出口列は夫々異なるインクを吐出する構成でも良く、また全て同じ色のインクを吐出する構成であっても良い。また記録素子基板２０の外形は図１、２（ａ）に示すように平行四辺形であると小スペースとなり小型の液体吐出ヘッド１０となり好ましいが、その他の各種形状、例えば、長方形、台形等にも適用可能である。
【００２０】
次に比較例としての液体吐出ヘッドについて図４（ａ）（ｂ）を用いて説明する。図４（ａ）に示すように本比較例の液体吐出ヘッドにおいては供給路部材４０の流入口４３が供給路４１の中央部に形成されている。この場合、各供給路部材４０に流入した液体は供給路４１の両端側へ供給される。その際に記録素子基板２０からの熱の影響を受けて温度が上昇する。図４（ｂ）に示すように、各供給路部材４０に流入した液体は端部まで供給される際に温度の上昇具合が異なる。これは各記録素子基板２０における素子の駆動頻度の違い等に影響される。よって第１の供給路部材４６の端部と第２の供給路部材４７の端部とでは液体の温度が異なる。つまり第１と第２の供給路部材のつなぎ部における液体の温度が連続的でなく、断続的に変化する。よって記録素子基板２０から吐出される液滴の量が異なるので濃度ムラが発生する。これに対して本実施形態における液体吐出ヘッドの構成では図３（ｃ）に示すように、液体の温度差は発生するものの、供給路部材のつなぎ部においては連続的に温度が変化するため濃度ムラが目立ちにくい。
【００２１】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態における液体吐出ヘッドの構造について説明する。図５は、第２の実施形態における液体吐出ヘッドの分解斜視図である。図６（ａ）は、図５における液体吐出ヘッドの上面図である。図６（ｂ）は、図５（ａ）におけるＣ−Ｃ’によって切断した液体吐出ヘッドの断面図である。図５（ｃ）は、第２の実施形態における液体吐出ヘッドの圧力・温度分布模式図である。図７（ａ）は、図６（ａ）におけるＣ’’部の拡大図である。図７（ｂ）は、図６（ｂ）におけるＣ’’’部の拡大図である。
【００２２】
第２の実施形態における液体吐出ヘッド１０の構成は、第１の実施形態と液体流入口５１が支持部材５０の長手方向の端部ではなく、支持部材５０の長手方向の中央部に形成されている構成が異なる。支持部材５０の長手方向の中央部に形成された液体流入口５１から流入した液体は、貫通孔５２、流入口４３、供給路４１、開口４４、流路３１を順に通り、記録素子基板２０へと供給される。このような流れとは別に、液体流入口５１から流入した液体は、貫通孔５２、流入口４３、供給路４１、接続口６１、接続流路６２を順に通り、隣接する供給路部材４０へと供給され、液体吐出ヘッド１０の長手方向の両端側へと順次供給される。実施形態１と同様に本実施形態においても、接続部材６０を介して隣接するヘッドモジュール１１を跨ぐように液体を連続的に供給することで、隣接するヘッドモジュール１１間の液体の圧力差・温度差を低減させることができる。
【００２３】
また、ヘッドモジュール１１の数を増やし、液体吐出ヘッド１０をさらに長尺化させた場合においても、隣接するヘッドモジュール１１間の液体の圧力差・温度差が発生する箇所を低減させることができる。その結果、ヘッドモジュール１１のつなぎ目での印字ムラを低減することができる。さらに、液体吐出ヘッド１０の長手方向の中央部から液体吐出ヘッド１０の長手方向の両端側へ向かって印字ムラが連続的に階調で変化する（印字濃度が連続的に増加する）ので、印字ムラが見えにくくなる。液体吐出ヘッド１０の長手方向の中央部から液体吐出ヘッド１０の長手方向の両端側へ向かって液体を供給することで、液体吐出ヘッド１０の一端から他端へ向かって液体を供給する場合に比べて、共通流路の長さが短くなる。つまり、液体吐出ヘッド１０の長手方向の液体の流れの最上流部から最下流部までの共通流路の長さが短くなるため、液体吐出ヘッド１０の長手方向の両最端部間での圧力差・温度差が小さくなる。そうすることで、より高品位な画像形成が可能となる。
【００２４】
第２の実施形態における液体吐出ヘッド１０では、液体吐出ヘッド１０の長手方向の中央部から液体を供給するため、液体流入口５１から流入する液体の圧力波が、供給路４１を介して記録素子基板２０へと伝搬する可能性がある。この対策として、図７（ｂ）に示すように、供給路部材４０内部に形成された供給路４１の高さを高くすることで、Ｖ方向及びＶ’方向に向かう液体の流れを強くすることができる。具体的には、下記の式（１）に示すように、供給路４１の高さを、供給路４１と連通する貫通孔５２の等価直径（開口径）ｄよりも大きくすることでその効果が特に顕著となる。それにより、流路３１へ向かう液体の流れを低減することができ、液体流入口５１から流入する液体の圧力波が記録素子基板２０へと伝搬するのを抑制することができる。ただし、記録素子基板２０が液体吐出ヘッド１０の長手方向に沿って千鳥状に配列されている場合は、記録素子基板２０が無い箇所の直下の支持部材５０内部に液体流入口５１を形成することが可能である。よって、液体流入口５１から流入する液体の圧力波が記録素子基板２０へと伝搬するのを防ぐことができる。
ｄ＝４ａ／ｗ・・・式（１）
上記式（１）において、ｄ：等価直径、ａ：流路断面積、ｗ：濡れ縁長さ
【００２５】
（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態における液体吐出ヘッドの構造について説明する。図８は、第３の実施形態における液体吐出ヘッドの分解斜視図である。図９（ａ）は、図８における液体吐出ヘッドの上面図である。図９（ｂ）は、図８（ａ）におけるＤ−Ｄ’によって切断した液体吐出ヘッドの断面図である。図９（ｃ）は、第３の実施形態における液体吐出ヘッドの圧力・温度分布模式図である。図１０（ａ）は、図９（ａ）におけるＤ’’の拡大図である。図１０（ｂ）は、図９（ｂ）におけるＤ’’’の拡大図である。
【００２６】
第３の実施形態における液体吐出ヘッド１０の構成は、第２の実施形態と液体流入口５１が支持部材５０の長手方向の中央部にのみ２個形成されているところが異なる。これは、ヘッドモジュール１１が支持部材５０の長手方向に偶数個配列されているためである。本実施形態においても、接続部材６０を介して隣接するヘッドモジュール１１を跨ぐように液体を供給することで、隣接するヘッドモジュール１１間の液体の圧力差・温度差を低減させることができる。ここで、支持部材５０の長手方向の中央部では、２個の液体流入口５１から実質的に同じ圧力・温度の液体が流入してくるため、支持部材５０の長手方向の中央部において、隣接するヘッドモジュール１１間の圧力差・温度差は非常に小さくできる。その結果、ヘッドモジュール１１のつなぎ目での印字ムラを大幅に低減することができる。加えて、液体吐出ヘッド１０の構成は、液体吐出ヘッド１０の長手方向の中央部から液体吐出ヘッド１０の両端に向かう方向で線対称の構成となっているため、構成部材を共通化でき、液体吐出ヘッド１０の実装工程を簡略化することができる。
【００２７】
第３の実施形態における液体吐出ヘッド１０では、液体吐出ヘッド１０の長手方向の中央部から液体を供給する。そのため、液体流入口７２及び接続流路７１及び接続口７３を通り、液体流入口５１から流入する液体の圧力波が、供給路４１を介して記録素子基板２０へと伝搬する可能性がある。これにより、液体により吐出口２１に形成されるメニスカスを振動させ、安定的な吐出ができなくなる可能性がある。この対策として、図１０（ｂ）に示すように、吐出口２１から液体が吐出される方向からみて、貫通孔５２と開口４４とはオフセットしている。つまり、液体流入口７２から記録素子基板２０へ向かう液体の流れの方向を、支持部材５０内部に形成された貫通孔５２と、供給路部材４０内部に形成された開口４４の位置を液体吐出ヘッド１０の鉛直方向に重ならないようにずらす。それにより、Ｗ方向及びＷ’方向のように液体流入口７２から記録素子基板２０へ向かって曲線方向の流れにすることで、液体流入口７２から流入する液体の圧力波が記録素子基板２０へと伝搬するのを抑制することができる。ただし、記録素子基板２０が液体吐出ヘッド１０の長手方向に沿って千鳥状に配列されている場合は、記録素子基板２０が無い箇所の直下の接続部材７０内部に液体流入口７２を形成することが可能である。そのため、液体流入口７２から流入する液体の圧力波が記録素子基板２０へと伝搬するのを抑制できる。
【符号の説明】
【００２８】
１０  液体吐出ヘッド
１１  ヘッドモジュール
２０  記録素子基板
２１  吐出口
２２  吐出口列
２４  圧力室
３０  分配流路部材
３１  流路
４０  供給路部材
４１  供給路
４３  流入口
４４  開口
４５  流出口
５０  支持部材
５１  液体流入口
５２  貫通孔
６０  接続部材
６１  接続口
６２  接続流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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