(57)【要約】【課題】段違いを発生させることなく容易に被加工物を収容することができる収容カセットを提供すること。【解決手段】収容カセット１は、板状の被加工物Ｗを複数収容可能である。収容カセット１は、対向する一対の側壁２ａ，２ｂ間に被加工物Ｗを収容し、互いに対をなすガイドレール１０，１１が複数対形成されるとともに、ガイドレール１０，１１上に被加工物Ｗを出し入れするための前面出入口５を有している。複数対のガイドレール１０，１１は、上の段から下の段に向かって、前面出入口５側の端部１０ａ，１１ａ一段ずつ階段状に形成されている。【選択図】図２
2017038013.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の被加工物を複数収容可能な収容カセットであって、
対向する一対の側壁に被加工物を収容し、互いに対をなすガイドレールが複数対形成されるとともに、該ガイドレールに被加工物を出し入れするための前面出入口を有し、
該複数対のガイドレールは、
上の段から下の段に向かって、該前面出入口側の端部が一段ずつ階段状に形成されていることを特徴とする収容カセット。
【請求項２】
被加工物は、環状フレームの開口を覆い外周部が該環状フレームに貼着された粘着テープに貼着されてフレームユニットを構成し、該フレームユニットが該ガイドレールに収容されることを特徴とする請求項１に記載の収容カセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被加工物を収容する収容カセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハや樹脂パッケージ基板、セラミックス板、ガラス板等の板状の被加工物を複数のデバイスチップに分割する加工装置として、切削装置やレーザー加工装置が知られている。これらの加工装置において、被加工物は、単体の状態、又は環状フレームの開口に粘着テープ（ダイシングテープ）を介して支持されてフレームユニットを構成した状態で、複数段のガイドレールが形成された収容カセットに収容されて、加工装置に搬入される。
【０００３】
収容カセットは、１０〜２５段程度のガイドレールが形成されているが、ガイドレールの間隔が１０ｍｍ以下と非常に狭く、左右のガイドレールの異なる段にフレームユニットを挿入する所謂段違いが発生しやすい。収容カセットは、段違いを抑制するための対策として、例えば、左右のガイドレールの傍らに段数を表示するなどの対策が取られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−５０４０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に示された収容カセットは、オペレータが目で段数表示を確認しつつ狭いガイドレールの間隔にフレームユニットを平行に挿入するのは非常に手間がかかり、確実に段違いの発生を防止することはできていない。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、段違いを発生させることなく容易に被加工物を収容することができる収容カセットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の収容カセットは、板状の被加工物を複数収容可能な収容カセットであって、対向する一対の側壁に被加工物を収容し、互いに対をなすガイドレールが複数対形成されるとともに、該ガイドレールに被加工物を出し入れするための前面出入口を有し、該複数対のガイドレールは、上の段から下の段に向かって、該前面出入口側の端部が一段ずつ階段状に形成されていることを特徴とする。
【０００８】
また、前記収容カセットにおいて、前記被加工物は、環状フレームの開口を覆い外周部が該環状フレームに貼着された粘着テープに貼着されてフレームユニットを構成し、該フレームユニットが該ガイドレールに収容されるものとすることができる。
【発明の効果】
【０００９】
そこで、本願発明の収容カセットは、前面出入口のガイドレール端部が階段状に形成されているため、段違いを発生させることなく、容易に所望のガイドレールの段に板状の被加工物を挿入できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、実施形態１に係る収容カセットを設置する切削装置の構成例を示す図である。
【図２】図２は、実施形態１に係る収容カセットの概略の構成を示す斜視図である。
【図３】図３は、実施形態１に係る収容カセットの概略の構成を示す平面図である。
【図４】図４は、実施形態１に係る収容カセットに被加工物を収容する状態を説明する斜視図である。
【図５】図５は、図４に示された収容カセットなどの縦断面図である。
【図６】図６は、図５に示された被加工物を互いに対をなすガイドレール上に載置した状態の縦断面図である。
【図７】図７は、実施形態２に係る収容カセットの被加工物を収容する状態の縦断面図である。
【図８】図８は、実施形態３に係る収容カセットの被加工物を収容する状態の縦断面図である。
【図９】図９は、実施形態４に係る収容カセットの縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１２】
〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る収容カセットを図面に基いて説明する。図１は、実施形態１に係る収容カセットを設置する切削装置の構成例を示す図である。図２は、実施形態１に係る収容カセットの概略の構成を示す斜視図である。図３は、実施形態１に係る収容カセットの概略の構成を示す平面図である。
【００１３】
実施形態１に係る収容カセット１（図２に示す）は、板状の被加工物Ｗを複数収容可能な収容カセットであって、複数の被加工物Ｗを半導体製造工程等で用いられる各種の加工装置間で搬送するためのものである。
【００１４】
実施形態１では、被加工物Ｗは、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。被加工物Ｗは、表面に形成された複数のデバイスＤが複数のストリートＳによって格子状に区画されている。被加工物Ｗは、図１及び図２に示すように、環状フレームＦの開口を覆い外周部が環状フレームＦに貼着された粘着テープＴに貼着されてフレームユニットＦＵを構成する。被加工物Ｗは、フレームユニットＦＵに構成された状態で収容カセット１内に収容される。
【００１５】
被加工物Ｗは、収容カセット１内に収容されて、例えば、加工装置としての切削装置１００（図１に示す）のカセットエレベータ１７０上に載置される。なお、本発明では、被加工物Ｗとして、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、ガラス板等でも良い。さらに、本発明の収容カセット１は、被加工物ＷをフレームユニットＦＵに構成することなく、直接収容しても良い。
【００１６】
図１に示された切削装置１００は、被加工物Ｗを切削（加工）して、被加工物Ｗを個々のデバイスＤに分割する加工装置である。切削装置１００は、図１に示すように、被加工物Ｗを保持面１１０ａで吸引保持するチャックテーブル１１０と、チャックテーブル１１０に保持された被加工物Ｗを切削する切削手段１２０と、を備える。
【００１７】
切削装置１００は、図１に示すように、チャックテーブル１１０を水平方向及び装置本体１０２の短手方向と平行なＸ軸方向に加工送りする図示しないＸ軸移動手段と、切削手段１２０を水平方向と平行及び装置本体１０２の長手方向でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りする図示しないＹ軸移動手段と、切削手段１２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りするＺ軸移動手段１５０と、図示しない制御手段とを少なくとも備える。切削装置１００は、図１に示すように、切削手段１２０を２つ備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。
【００１８】
切削手段１２０は、チャックテーブル１１０に保持された被加工物Ｗを切削する切削ブレード１２１を装着する図示しないスピンドルを備えるものである。切削手段１２０は、それぞれ、チャックテーブル１１０に保持された被加工物Ｗに対して、Ｙ軸移動手段によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動手段１５０によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。
【００１９】
一方の切削手段１２０は、図１に示すように、Ｙ軸移動手段、Ｚ軸移動手段１５０などを介して、装置本体１０２から立設した一方の柱部１０３ａに設けられている。他方の切削手段１２０は、図１に示すように、Ｙ軸移動手段、Ｚ軸移動手段１５０などを介して、装置本体１０２から立設した他方の柱部１０３ｂに設けられている。なお、柱部１０３ａ，１０３ｂは、上端が水平梁１０３ｃにより連結されている。
【００２０】
切削手段１２０は、Ｙ軸移動手段及びＺ軸移動手段１５０により、チャックテーブル１１０の保持面１１０ａの任意の位置に切削ブレード１２１を位置付け可能となっている。また、一方の切削手段１２０は、被加工物Ｗの上面Ｗａを撮像する撮像手段１３０が一体的に移動するように固定されている。撮像手段１３０は、チャックテーブル１１０に保持された分割加工前の被加工物Ｗの分割すべき領域を撮像するＣＣＤカメラを備えている。ＣＣＤカメラは、チャックテーブル１１０に保持された被加工物Ｗを撮像して、被加工物Ｗと切削ブレード１２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するための画像を得、得た画像を制御手段に出力する。
【００２１】
切削ブレード１２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。スピンドルは、切削ブレード１２１を回転させることで被加工物Ｗを切削する。スピンドルは、スピンドルハウジング１２３内に収容され、スピンドルハウジング１２３は、Ｚ軸移動手段１５０に支持されている。切削手段１２０のスピンドル及び切削ブレード１２１の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。
【００２２】
Ｘ軸移動手段は、チャックテーブル１１０をＸ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１１０をＸ軸方向に加工送りする加工送り手段である。Ｙ軸移動手段は、切削手段１２０をＹ軸方向に移動させることで、切削手段１２０を割り出し送りする割り出し送り手段である。Ｚ軸移動手段１５０は、切削手段１２０をＺ軸方向に移動させることで、切削手段１２０を切り込み送りするものである。Ｘ軸移動手段、Ｙ軸移動手段及びＺ軸移動手段１５０は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のパルスモータ及びチャックテーブル１１０又は切削手段１２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。
【００２３】
また、切削装置１００は、切削前後の被加工物Ｗを収容する収容カセット１が載置されかつ収容カセット１をＺ軸方向に移動させるカセットエレベータ１７０と、切削後の被加工物Ｗを洗浄する洗浄手段１８０と、収容カセット１とチャックテーブル１１０と洗浄手段１８０との間で被加工物Ｗを搬送する搬送手段１９０を備える。
【００２４】
制御手段は、上述した構成要素をそれぞれ制御して、被加工物Ｗに対する加工動作を切削装置１００に実施させるものである。なお、制御手段は、コンピュータシステムを含む。制御手段は、ＣＰＵ（central  processing  unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read  only  memory）又はＲＡＭ（random  access  memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御手段の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１００を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して切削装置１００の上述した構成要素に出力する。また、制御手段は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される図示しない表示手段や、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力手段と接続されている。入力手段は、表示手段に設けられたタッチパネルと、キーボード等とのうち少なくとも一つにより構成される。
【００２５】
収容カセット１は、切削装置１００のカセットエレベータ１７０上に載置されて、Ｚ軸方向に昇降自在に設けられる。収容カセット１は、切削前後の被加工物Ｗを収容する。収容カセット１は、図２に示すように、対向する一対の側壁２ａ，２ｂと、一対の側壁２ａ，２ｂの下端同士を連結する下端連結壁３と、一対の側壁２ａ，２ｂの上端同士を連結する上端連結壁４と、複数対のガイドレール１０，１１と、前面出入口５と、背面出入口６と、を備える。
【００２６】
一対の側壁２ａ，２ｂは、それぞれ、Ｙ軸方向とＺ軸方向との双方と平行な平板状に形成されている。一対の側壁２ａ，２ｂは、Ｘ軸方向に間隔をあけて、互いに対向している。収容カセット１は、図２中の実線で示すように、一対の側壁２ａ，２ｂ間に被加工物Ｗを収容する。上端連結壁４と下端連結壁３は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方と平行な平板状に形成されている。下端連結壁３のＹ軸方向の長さは、一対の側壁２ａ，２ｂのＹ軸方向の長さと等しい。上端連結壁４のＹ軸方向の長さは、下端連結壁３及び一対の側壁２ａ，２ｂのＹ軸方向の長さよりも短い。上端連結壁４は、収容カセット１がカセットエレベータ１７０に載置されると、一対の側壁２ａ，２ｂのチャックテーブル１１０寄りの端部同士を連結する。
【００２７】
収容カセット１は、互いに対をなすガイドレール１０，１１が複数対形成されている。互いに対をなすガイドレール１０，１１は、一対の側壁２ａ，２ｂの互いに対向する対向面２ｃに形成される。互いに対をなすガイドレール１０，１１は、Ｘ軸方向に間隔をあけて対向し、Ｚ軸方向の高さが同じ高さとなる位置に配置されている。また、互いに対をなすガイドレール１０，１１は、Ｙ軸方向の長さが等しく形成され、Ｙ軸方向の位置が同じ位置に配置されている。互いに対をなすガイドレール１０，１１のＸ軸方向の間隔は、環状フレームＦ即ちフレームユニットＦＵの外径よりも小さく形成されている。
【００２８】
複数対のガイドレール１０，１１は、Ｚ軸方向に間隔をあけて配置されている。複数対のガイドレール１０，１１のＺ軸方向の間隔は、環状フレームＦ及び被加工物Ｗの厚みよりも若干大きい。収容カセット１は、Ｚ軸方向に間隔をあけるガイドレール１０，１１間にフレームユニットＦＵ即ち被加工物Ｗを収容する。即ち、フレームユニットＦＵは、Ｚ軸方向に間隔をあけるガイドレール１０，１１間に収容される。
【００２９】
前面出入口５と、背面出入口６とは、一対の側壁２ａ，２ｂ、下端連結壁３、及び上端連結壁４により囲まれて形成される。前面出入口５と、背面出入口６とは、Ｚ軸方向に間隔をあけるガイドレール１０，１１間に被加工物Ｗを出し入れするためのものである。前面出入口５は、収容カセット１がカセットエレベータ１７０上に載置されると、収容カセット１のチャックテーブル１１０から離れた端部に配置される。前面出入口５は、図２及び図３中の一点鎖線で示すように、切削前の被加工物Ｗを収容カセット１に収容しかつ切削後の被加工物Ｗを搬送手段１９０により収容カセット１外に取り出すものである。
【００３０】
背面出入口６は、収容カセット１がカセットエレベータ１７０上に載置されると、収容カセット１のチャックテーブル１１０寄りの端部に配置される。背面出入口６は、図２及び図３中の二点鎖線で示すように、切削前の被加工物Ｗを収容カセット１外に取り出しかつ切削後の被加工物Ｗを収容カセット１に収容するものである。即ち、切削前の被加工物Ｗは、前面出入口５を通して収容カセット１に収容され、背面出入口６を通してチャックテーブル１１０上に載置されて、切削される。切削後の被加工物Ｗは、背面出入口６を通して収容カセット１に収容され、前面出入口５を通して収容カセット１外に取り出される。
【００３１】
また、複数対のガイドレール１０，１１は、上の段から下の段に向かって、前面出入口５側の端部１０ａ，１１ａが一段ずつ階段状に形成される。具体的には、実施形態１において、複数対のガイドレール１０，１１は、背面出入口６寄りの端部がＺ軸方向に重なる位置に配置され、下端連結壁３に近付くのにしたがってＹ軸方向の長さが徐々に長く形成されている。即ち、実施形態１において、複数対のガイドレール１０，１１のうち最上段のガイドレール１０，１１のＹ軸方向の長さが最も短く形成され、前面出入口５側の端部１０ａ，１１ａが他のガイドレール１０，１１よりも最も前面出入口５から離れている。
【００３２】
複数対のガイドレール１０，１１のうち最も下端連結壁３寄りの互いに対をなすガイドレール１０，１１のＹ軸方向の長さは、一対の側壁２ａ，２ｂ及び下端連結壁３のＹ軸方向の長さと等しい。このために、実施形態１において、複数対のガイドレール１０，１１は、前面出入口５側の端部１０ａ，１１ａが、下端連結壁３に近付くのにしたがって徐々にチャックテーブル１１０から離れる位置に配置されることで一段ずつ階段状に形成される。
【００３３】
フレームユニットＦＵが互いに対をなすガイドレール１０，１１上に載置されて、フレームユニットＦＵが前述した構成の収容カセット１に収容されることとなる。
【００３４】
次に、オペレータが収容カセット１内にフレームユニットＦＵを収容する工程を図面に基いて説明する。図４は、実施形態１に係る収容カセットに被加工物を収容する状態を説明する斜視図である。図５は、図４に示された収容カセットなどの縦断面図である。図６は、図５に示された被加工物を互いに対をなすガイドレール上に載置した状態の縦断面図である。
【００３５】
まず、オペレータは、図４に示すように、複数対のガイドレール１０，１１のうちの端部１０ａ，１１ａが前面出入口５から最も離れた最上段の互いに対をなすガイドレール１０，１１の前面出入口５側の端部１０ａ，１１ａにフレームユニットＦＵの環状フレームＦを当接させる。そして、オペレータは、図５に二点鎖線で示すように、フレームユニットＦＵの前面出入口５側の端部を下方に傾けながら、フレームユニットＦＵを徐々に下側のガイドレール１０，１１の前面出入口５側の端部１０ａ，１１ａに接触させる。そして、オペレータは、図６に示すように、フレームユニットＦＵの環状フレームＦを所望の互いに対をなすガイドレール１０，１１上に載置して、フレームユニットＦＵ、即ち被加工物Ｗを収容カセット１の背面出入口６側に収容する。
【００３６】
以上のように、実施形態１に係る収容カセット１は、前面出入口５側のガイドレール１０，１１の端部１０ａ，１１ａが階段状に形成されているため、板状の被加工物Ｗを端部１０ａ，１１ａが前面出入口５から最も離れたＺ軸方向の最上段のガイドレール１０，１１の端部１０ａ，１１ａに接触させつつ階段状のガイドレール１０，１１に倣って一段ずつ引き落としていくことで、段違いを発生させることなく、容易に所望のガイドレール１０，１１上に板状の被加工物Ｗを挿入できるという効果を奏する。
【００３７】
また、収容カセット１は、最上段のガイドレール１０，１１に板状の被加工物Ｗを上から接触させ、後は斜め下方に引き落とすだけで板状の被加工物Ｗを段違い無く収容できるので、収容カセット１自体を傾けたり、オペレータが前面出入口５から収容カセット１内をのぞき込むという作業を無くす事ができ、効率的に板状の被加工物Ｗを収容できるという効果も奏する。
【００３８】
〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る収容カセットを図面に基いて説明する。図７は、実施形態２に係る収容カセットの被加工物を収容する状態の縦断面図である。なお、図７において、実施形態１と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
【００３９】
実施形態２に係る収容カセット１−２は、図７に示すように、複数対のガイドレール１０，１１のうちＺ軸方向の中央に位置する互いに対をなすガイドレール１０，１１のＹ軸方向の長さが最も短く形成され、前面出入口５側の端部１０ａ，１１ａが他のガイドレール１０，１１の端部１０ａ，１１ａよりも最も前面出入口５から離れている。そして、実施形態２に係る収容カセット１−２は、Ｚ軸方向の中央に位置する互いに対をなすガイドレール１０，１１から上端連結壁４に近付くのにしたがってガイドレール１０，１１のＹ軸方向の長さが徐々に長く形成されているとともに、Ｚ軸方向の中央に位置する互いに対をなすガイドレール１０，１１から下端連結壁３に近付くのにしたがってガイドレール１０，１１のＹ軸方向の長さが徐々に長く形成されている。こうして、実施形態２に係る収容カセット１−２は、複数対のガイドレール１０，１１が上の段から下の段に向かって、前面出入口５側の端部１０ａ，１１ａが一段ずつ階段状に形成される。
【００４０】
実施形態２に係る収容カセット１−２内にオペレータがフレームユニットＦＵを収容する際には、まず、複数対のガイドレール１０，１１のうちの端部１０ａ，１１ａが前面出入口５から最も離れたＺ軸方向の中央の互いに対をなすガイドレール１０，１１の前面出入口５側の端部１０ａ，１１ａにフレームユニットＦＵの環状フレームＦを当接させる。そして、オペレータは、図７に二点鎖線で示すように、フレームユニットＦＵの前面出入口５側の端部を下方に傾けながら、フレームユニットＦＵを徐々に下側のガイドレール１０，１１の前面出入口５側の端部１０ａ，１１ａに接触させる。または、オペレータは、図７に二点鎖線で示すように、フレームユニットＦＵの前面出入口５側の端部を上方に傾けながら、フレームユニットＦＵを徐々に上側のガイドレール１０，１１の前面出入口５側の端部１０ａ，１１ａに接触させる。そして、オペレータは、フレームユニットＦＵの環状フレームＦを所望の互いに対をなすガイドレール１０，１１上に載置して、フレームユニットＦＵ、即ち被加工物Ｗを収容カセット１の背面出入口６側に収容する。
【００４１】
以上のように、実施形態２に係る収容カセット１−２は、前面出入口５側のガイドレール１０，１１の端部１０ａ，１１ａが階段状に形成されているため、板状の被加工物Ｗを端部１０ａ，１１ａが前面出入口５から最も離れたＺ軸方向の中央のガイドレール１０，１１の端部１０ａ，１１ａに接触させつつ階段状のガイドレール１０，１１に倣って一段ずつ引き落とし、又は一段ずつ上昇させていくことで、段違いを発生させることなく、容易に所望のガイドレール１０，１１上に板状の被加工物Ｗを挿入できるという効果を奏する。
【００４２】
また、収容カセット１−２は、Ｚ軸方向の中央のガイドレール１０，１１に板状の被加工物Ｗを上から接触させ、後は斜め下方に引き落とす、又は上昇させるだけで板状の被加工物Ｗを段違い無く収容できるので、収容カセット１−２自体を傾けたり、オペレータが前面出入口５から収容カセット１−２内をのぞき込むという作業を無くす事ができ、効率的に板状の被加工物Ｗを収容できるという効果も奏する。さらに、収容カセット１−２は、Ｚ軸方向の中央に位置するガイドレール１０，１１のＹ軸方向の長さが最も短く形成され、Ｚ軸方向の中央に位置するガイドレール１０，１１から上端連結壁４に近付くのにしたがってガイドレール１０，１１のＹ軸方向の長さが徐々に長く形成されているとともに、Ｚ軸方向の中央に位置するガイドレール１０，１１から下端連結壁３に近付くのにしたがってガイドレール１０，１１のＹ軸方向の長さが徐々に長く形成されている。このために、収容カセット１−２は、実施形態１に係る収容カセット１に比べ、カセットのＹ軸方向の長さを短くすることができる。
【００４３】
〔実施形態３〕
本発明の実施形態３に係る収容カセットを図面に基いて説明する。図８は、実施形態３に係る収容カセットの被加工物を収容する状態の縦断面図である。なお、図８において、実施形態１及び実施形態２と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
【００４４】
実施形態３に係る収容カセット１−３は、図８に示すように、複数対のガイドレール１０，１１のうちＺ軸方向の最上段の互いに対をなすガイドレール１０，１１のＹ軸方向の長さ及び最下段の互いに対をなすガイドレール１０，１１のＹ軸方向の長さが最も短く形成されている。実施形態３に係る収容カセット１−３は、最上段及び最下段のガイドレール１０，１１の前面出入口５側の端部１０ａ，１１ａが他のガイドレール１０，１１の端部１０ａ，１１ａよりも最も前面出入口５から離れている。
【００４５】
そして、実施形態３に係る収容カセット１−３は、Ｚ軸方向の中央に位置する互いに対をなすガイドレール１０，１１のＹ軸方向の長さが最も長く形成されている。実施形態３に係る収容カセット１−３は、最上段の互いに対をなすガイドレール１０，１１から下端連結壁３に近付くのにしたがってガイドレール１０，１１のＹ軸方向の長さが徐々に長く形成され、最下段の互いに対をなすガイドレール１０，１１から上端連結壁４に近付くのにしたがってガイドレール１０，１１のＹ軸方向の長さが徐々に長く形成されている。こうして、実施形態３に係る収容カセット１−３は、複数対のガイドレール１０，１１が上の段から下の段に向かって、前面出入口５側の端部１０ａ，１１ａが一段ずつ階段状に形成される。
【００４６】
実施形態３に係る収容カセット１−３内にオペレータがフレームユニットＦＵを収容する際には、まず、複数対のガイドレール１０，１１のうちの端部１０ａ，１１ａが前面出入口５から最も離れたＺ軸方向の最上段又は最下段の互いに対をなすガイドレール１０，１１の前面出入口５側の端部１０ａ，１１ａにフレームユニットＦＵの環状フレームＦを当接させる。そして、オペレータは、図８に二点鎖線で示すように、フレームユニットＦＵの前面出入口５側の端部を下方に傾けながら、フレームユニットＦＵを徐々に下側のガイドレール１０，１１の前面出入口５側の端部１０ａ，１１ａに接触させる。または、オペレータは、図８に二点鎖線で示すように、フレームユニットＦＵの前面出入口５側の端部を上方に傾けながら、フレームユニットＦＵを徐々に上側のガイドレール１０，１１の前面出入口５側の端部１０ａ，１１ａに接触させる。そして、オペレータは、フレームユニットＦＵの環状フレームＦを所望の互いに対をなすガイドレール１０，１１上に載置して、フレームユニットＦＵ、即ち被加工物Ｗを収容カセット１の背面出入口６側に収容する。
【００４７】
以上のように、実施形態３に係る収容カセット１−３は、前面出入口５側のガイドレール１０，１１の端部１０ａ，１１ａが階段状に形成されているため、例えば、板状の被加工物Ｗを端部１０ａ，１１ａが前面出入口５から最も離れた最上段又は最下段のガイドレール１０，１１の端部１０ａ，１１ａに接触させつつ階段状のガイドレール１０，１１に倣って一段ずつ引き落とし、又は一段ずつ上昇させていくことで、段違いを発生させることなく、容易に所望のガイドレール１０，１１上に板状の被加工物Ｗを挿入できるという効果を奏する。
【００４８】
また、収容カセット１−３は、Ｚ軸方向の中央のガイドレール１０，１１に板状の被加工物Ｗを上から接触させ、後は斜め下方に引き落とす、又は上昇させるだけで板状の被加工物Ｗを段違い無く収容できるので、収容カセット１−３自体を傾けたり、オペレータが前面出入口５から収容カセット１−３内をのぞき込むという作業を無くす事ができ、効率的に板状の被加工物Ｗを収容できるという効果も奏する。さらに、収容カセット１−３は、Ｚ軸方向の中央に位置するガイドレール１０，１１のＹ軸方向の長さが最も長く形成され、最上段のガイドレール１０，１１から下端連結壁３に近付くのにしたがってガイドレール１０，１１のＹ軸方向の長さが徐々に長く形成され、最下段のガイドレール１０，１１から上端連結壁４に近付くのにしたがってガイドレール１０，１１のＹ軸方向の長さが徐々に長く形成されている。このために、収容カセット１−３は、実施形態１に係る収容カセット１に比べ、カセットのＹ軸方向の長さを短くすることができる。
【００４９】
〔実施形態４〕
本発明の実施形態４に係る収容カセットを図面に基いて説明する。図９は、実施形態４に係る収容カセットの縦断面図である。なお、図９において、実施形態１から実施形態３と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
【００５０】
実施形態４に係る収容カセット１−４は、図９に示すように、一旦収容した被加工物Ｗが前面出入口５から抜け出ることを規制する規制突起２０を備える。規制突起２０は、各ガイドレール１０，１１の上面から凸に設けられ、上端連結壁４の前面出入口５寄りの端部１０ａ，１１ａの上方に配置されている。規制突起２０は、背面出入口６から出し入れされる被加工物Ｗの外縁に接触して、被加工物Ｗを収容カセット１の背面出入口６寄りの端部内に位置付ける。
【００５１】
また、実施形態４に係る収容カセット１−４は、実施形態１と同様に最上段の互いに対をなすガイドレール１０，１１が最も短く形成されているが、実施形態２と同様にＺ軸方向の中央のガイドレール１０，１１が最も短く形成されてよく、実施形態３と同様にＺ軸方向の中央のガイドレール１０，１１が最も長く形成されてよい。
【００５２】
実施形態４に係る収容カセット１−４は、実施形態１と同様に、板状の被加工物Ｗを端部１０ａ，１１ａが前面出入口５から最も離れた最上段のガイドレール１０，１１の端部１０ａ，１１ａに接触させつつ階段状のガイドレール１０，１１に倣って一段ずつ引き落とすことによって、段違いを発生させることなく、容易に所望のガイドレール１０，１１上に板状の被加工物Ｗを挿入できる。
【００５３】
また、実施形態４に係る収容カセット１−４は、一旦収容した被加工物Ｗが前面出入口５から抜け出ることを規制する規制突起２０を備えるので、切削装置１００の切削中に被加工物Ｗが前面出入口５から抜け出ることを抑制でき、切削装置１００が被加工物Ｗを確実に切削することができる。
【００５４】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、本発明は、切削装置１００に限らず、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置などの種々の被加工物Ｗに種々の加工を施す加工装置に用いられても良い。また、本発明では、収容カセットは、フレームユニットＦＵを構成する被加工物Ｗではなく、直接種々の被加工物Ｗを収容しても良い。
【００５５】
実施形態１〜実施形態４に係る収容カセット１，１−２，１−３，１−４は、切削装置１００などの各種の加工装置に常設して、数枚の被加工物Ｗをオペレータが適宜収容カセット１，１−２，１−３，１−４に追加したりする使用方法でも良い。その場合、実施形態１〜実施形態４に係る収容カセット１，１−２，１−３，１−４の他に、加工済の被加工物Ｗを収容する収容カセットをカセットエレベータに載置したり、収容カセット１，１−２，１−３，１−４に重ねて配置し、加工後の被加工物Ｗを収容カセット毎、加工装置から搬出するようにしても良い。そうすることで、加工後の被加工物Ｗを誤って落としてしまうなどの危険を回避できる。
【符号の説明】
【００５６】
１，１−２，１−３，１−４  収容カセット
２ａ，２ｂ  側壁
５  前面出入口
１０，１１  ガイドレール
１０ａ，１１ａ  前面出入口側の端部
Ｆ  環状フレーム
Ｔ  粘着テープ
Ｗ  被加工物
ＦＵ  フレームユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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