(57)【要約】【課題】品質管理体制を強化させることを目的とする。【解決手段】製品の品質管理を行う品質管理装置が、前記製品の所定の特性を示す検査値が第１上限値及び第１下限値の範囲内となるか否かを判断し、前記検査値の近似式を生成し、前記近似式に対して、前記第１上限値及び前記第１下限値とは異なる第２上限値及び第２下限値を設定し、前記第１上限値及び前記第１下限値の範囲内となる検査値であって、前記第２上限値及び前記第２下限値の範囲外となるグレー検査値を抽出することで上記課題を解決する。【選択図】図１０
2017227997.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品の品質管理を行う品質管理装置であって、
前記製品の所定の特性を示す検査値が第１上限値及び第１下限値の範囲内となるか否かを判断する判断部と、
前記検査値の近似式を生成する近似式生成部と、
前記近似式に対して、前記第１上限値及び前記第１下限値とは異なる第２上限値及び第２下限値を設定する設定部と、
前記第１上限値及び前記第１下限値の範囲内となる検査値であって、前記第２上限値及び前記第２下限値の範囲外となるグレー検査値を抽出する抽出部と
を含む品質管理装置。
【請求項２】
前記第２上限値及び前記第２下限値は、前記近似式に対して所定の値の幅となる請求項１に記載の品質管理装置。
【請求項３】
前記所定の値は、前記検査値の標準偏差を自然数倍した値である請求項２に記載の品質管理装置。
【請求項４】
前記第２上限値及び前記第２下限値は、前記幅が、垂直又は前記近似式に直交するように設定される請求項２又は３に記載の品質管理装置。
【請求項５】
前記抽出部によって複数の前記グレー検査値が抽出されると、
それぞれの前記グレー検査値の前記近似式に対する距離を計算する請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載の品質管理装置。
【請求項６】
前記距離に基づいて、前記グレー検査値となる製品を順位付けして管理する請求項５に記載の品質管理装置。
【請求項７】
製品の品質管理を行う品質管理装置が行う品質管理方法であって、
前記品質管理装置が、前記製品の所定の特性を示す検査値の近似式を生成する近似式生成手順と、
前記品質管理装置が、第１上限値及び第１下限値と、前記近似式に対して、前記第１上限値及び前記第１下限値とは異なる第２上限値及び第２下限値とを設定する設定手順と、
前記品質管理装置が、前記第１上限値及び前記第１下限値の範囲内となる検査値であって、前記第２上限値及び前記第２下限値の範囲外となるグレー検査値を抽出する抽出手順と
を含む品質管理方法。
【請求項８】
１以上の情報処理装置を有し、製品の品質管理を行う品質管理システムであって、
前記製品の所定の特性を示す検査値が第１上限値及び第１下限値の範囲内となるか否かを判断する判断部と、
前記検査値の近似式を生成する近似式生成部と、
前記近似式に対して、前記第１上限値及び前記第１下限値とは異なる第２上限値及び第２下限値を設定する設定部と、
前記第１上限値及び前記第１下限値の範囲内となる検査値であって、前記第２上限値及び前記第２下限値の範囲外となるグレー検査値を抽出する抽出部と
を含む品質管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、品質管理装置、品質管理方法及び品質管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、製品の品質特性を管理するため、まず、品質管理装置が、品質特性に関する検査データを収集する。そして、収集によって、検査データが蓄積される。次に、品質管理装置が、蓄積された検査データのうち、品質特性が所定の範囲内にある特定検査データの分布に基づいて、品質管理の管理限界を更新する。このようにして、更新によって管理限界が緩和されるのを防ぎ、適正な管理水準を維持する方法が知られている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
他にも、例えば、プラントの監視において、プラント運転状況監視装置が、まず、ある監視タイミングにおけるプロセスデータに対する過去データを検索する。次に、プラント運転状況監視装置が、検索した複数の統計データに基づいて、基準値となる基準曲線データを算出する。そして、運転状況監視装置は、算出された基準値のデータテーブルの情報をグラフ化する。このグラフでは、現在データが同時に表示される。このようにして、プラント運転状況監視装置が、トレンド位置が基準値に対して正常な状態なのか又は異常な状態なのかを判断する方法が知られている（例えば、特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５―１８２６０１号公報
【特許文献２】特開２００３―１８６５３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の方法では、品質管理の効率が悪かったり、検査値があらかじめ設定される上限値及び下限値の範囲内であると、不良の製品が良品と判断されたりする場合等がある。そのため、品質管理体制が十分でない場合がある。
【０００６】
本発明の１つの側面は、このような問題に鑑みてなされたものであり、品質管理体制を強化させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するため、本発明の一実施形態における、製品の品質管理を行う品質管理装置は、
前記製品の所定の特性を示す検査値が第１上限値及び第１下限値の範囲内となるか否かを判断する判断部と、
前記検査値の近似式を生成する近似式生成部と、
前記近似式に対して、前記第１上限値及び前記第１下限値とは異なる第２上限値及び第２下限値を設定する設定部と、
前記第１上限値及び前記第１下限値の範囲内となる検査値であって、前記第２上限値及び前記第２下限値の範囲外となるグレー検査値を抽出する抽出部と
を含む。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、品質管理体制を強化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態における品質管理装置によって管理される工程の一例を示す概念図である。
【図２】本発明の一実施形態における品質管理装置のハードウェア構成の一例を示すブロック図である。
【図３】本発明の一実施形態における品質管理装置による全体処理の一例を示すフローチャートである。
【図４】本発明の一実施形態における検査値、第１上限値及び第１下限値の一例を示す散布図である。
【図５】本発明の一実施形態における近似式の一例を示す散布図である。
【図６】本発明の一実施形態における第２上限値及び第２下限値の設定例を示す散布図である。
【図７】本発明の一実施形態における第２上限値及び第２下限値の別の設定例を示す散布図である。
【図８】本発明の一実施形態における距離の一例を示す散布図である。
【図９】本発明の一実施形態における品質管理装置によってグレー検査値とされた製品の工程の一例を示す概念図である。
【図１０】本発明の一実施形態における品質管理装置の機能構成の一例を示す機能ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
１．品質管理装置の使用例
２．品質管理装置のハードウェア構成例
３．品質管理装置による全体処理例
４．品質管理装置の機能構成例
≪  １．  品質管理装置の使用例  ≫
品質管理装置は、半導体に係る製品の製造工程及び加工組立工程等において、製品の品質を管理するために使用される、例えば、以下のような工程等に対して、品質管理装置は、用いられる。なお、以下の説明では、「製品」は、製品の構成部品を含み、製品全体又は製品の構成要素である部品を「製品」という。
【００１１】
図１は、本発明の一実施形態における品質管理装置によって管理される工程の一例を示す概念図である。例えば、工場等において、図示するように、製品を製造するため、上流工程となる第１工程ＰＲ１から順に工程が行われ、第２工程ＰＲ２及び第３工程ＰＲ３の順に、製品を製造するための工程が下流に向かって行われるとする。
【００１２】
また、この例では、第１工程ＰＲ１が完了すると、第１検査ＣＫ１が行われる。すなわち、第１検査ＣＫ１では、第１工程ＰＲ１によって、製品の所定の特性が、製品の仕様等を満たすように製造されたか否かを検査する。
【００１３】
他の工程でも、それぞれの工程が完了すると、それぞれの工程に対して、それぞれの検査が行われる。具体的には、第２工程ＰＲ２が完了すると、第２検査ＣＫ２が行われる。さらに、第３工程ＰＲ３が完了すると、第３検査ＣＫ３が行われる。
【００１４】
このように、工程等に対して、検査が行われる場合には、例えば、検査では、まず、各工程が完了した製品の所定の特性を示す値が計測される。そして、計測結果の値（以下「検査値」という。）が生成されると、検査値が上限値及び下限値の範囲内であるか否かを判断する検査が行われる。なお、上限値及び下限値は、あらかじめ品質管理装置に設定される値である。以下、このように、上限値及び下限値を用いて検査が行われ、製品の品質管理が行われる例で説明する。
【００１５】
≪  ２．  品質管理装置のハードウェア構成例  ≫
図２は、本発明の一実施形態における品質管理装置のハードウェア構成の一例を示すブロック図である。具体的には、品質管理装置１０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）ＨＷ１と、通信装置ＨＷ２と、記憶装置ＨＷ３と、表示装置ＨＷ４と、入力装置ＨＷ５とを有する。つまり、品質管理装置１０は、ＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）、サーバ又はワークステーション等の情報処理装置、すなわち、コンピュータである。
【００１６】
ＣＰＵＨＷ１は、処理及び各種制御を実現するための演算と各種データの加工とを行う演算装置である。さらに、ＣＰＵＨＷ１は、品質管理装置１０が有するハードウェアを制御する制御装置である。
【００１７】
通信装置ＨＷ２は、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）等のネットワークＮＷを介して接続される装置と各種データ等を送受信する。例えば、通信装置ＨＷ２は、ＮＩＣ（Ｎｅｔｗｏｒｋ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）及びＬＡＮケーブルを接続させるコネクタ等である。なお、通信装置ＨＷ２は、ネットワークを利用するＩ／Ｆ（ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）に限られず、ケーブル、無線又はコネクタ等によって外部装置と送受信するＩ／Ｆであってもよい。
【００１８】
記憶装置ＨＷ３は、品質管理装置１０が使うデータ、プログラム及び設定値等を記憶する。また、記憶装置ＨＷ３は、いわゆるメモリ（ｍｅｍｏｒｙ）等である。なお、記憶装置ＨＷ３は、ハードディスク（ｈａｒｄｄｉｓｋ）等の補助記憶装置等を有してもよい。
【００１９】
表示装置ＨＷ４は、品質管理装置１０を使うユーザとのインタフェースである。具体的には、表示装置ＨＷ４は、品質管理装置１０が行う各種処理の処理結果等をユーザに出力する。例えば、表示装置ＨＷ４は、ディスプレイ等の出力装置及び出力装置を品質管理装置１０に接続させるコネクタ等である。
【００２０】
入力装置ＨＷ５は、品質管理装置１０を使うユーザとのインタフェースである。具体的には、入力装置ＨＷ５は、ユーザが行う各種操作を入力する。例えば、入力装置ＨＷ５は、キーボード等の入力装置及び入力装置を品質管理装置１０に接続させるコネクタ等によって構成される。
【００２１】
なお、品質管理装置１０は、各ハードウェア資源による処理等を補助する補助装置を更に有する構成でもよい。また、品質管理装置１０は、各種処理を並列、冗長又は分散して処理するため、装置を内部又は外部に更に有してもよい。さらに、品質管理装置１０は、複数の情報処理装置で構成される情報処理システムでもよい。
【００２２】
≪  ３．  品質管理装置による全体処理例  ≫
図３は、本発明の一実施形態における品質管理装置による全体処理の一例を示すフローチャートである。
【００２３】
≪検査値の取得例（ステップＳ０１）≫
ステップＳ０１では、品質管理装置は、検査値を取得する。例えば、検査値は、寸法又は抵抗値等の電気的又は機械的な特性を示す値であり、製品の所定の特性を示す値である。また、検査値は、所定の条件値ごとに計測される値である。なお、以下の説明では、検査値が計測される条件を示す値を「条件値」という。
【００２４】
≪第１上限値及び第１下限値の設定例（ステップＳ０２）≫
ステップＳ０２では、品質管理装置は、第１上限値及び第１下限値を設定する。例えば、第１上限値及び第１下限値は、製品の仕様等に基づいて定まり、あらかじめ品質管理装置に入力される値である。
【００２５】
以上のように、検査値が取得され、かつ、第１上限値及び第１下限値が設定されると、例えば、以下のようになる。
【００２６】
図４は、本発明の一実施形態における検査値、第１上限値及び第１下限値の一例を示す散布図である。図示する例では、横軸が条件値を示し、一方で、縦軸が検査値ＣＤを示す。また、この例では、検査値ＣＤは、抵抗値又は膜厚である。一方で、条件値は、ウェハの中心からの距離である。図示するように、条件値は、各検査値ＣＤが計測される条件を示す値であり、図示する例では、検査値ＣＤが計測される地点を示す。
【００２７】
なお、条件値及び検査値ＣＤは、図示する例の種類及び組み合わせに限られない。例えば、検査値ＣＤは、他の種類の寸法等でもよい。さらに、条件値は、例えば、温度等でもよい。
【００２８】
また、第１上限値ＵＬ１及び第１下限値ＤＬ１は、検査値ＣＤの管理基準を示す値である。具体的には、第１上限値ＵＬ１は、対象となる製品を出荷又は次の工程に進めて良い製品（以下「良品」という。）と判断できる値の最大値を示す。すなわち、検査値が第１上限値ＵＬ１より大きい値であると、対象となる製品は、出荷する製品から外されたり、次の工程に進めず、作り直されたり、又は、廃棄されたりする対象となる製品（以下「不良品」という。）と判断される。このように、検査値ＣＤは、第１上限値ＵＬ１より大きい値であるか否かに基づいて、良品であるか否かが判断される。
【００２９】
一方で、第１下限値ＤＬ１は、対象となる製品を良品と判断できる値の最小値を示す。すなわち、検査値が第１下限値ＤＬ１より小さい値であると、対象となる製品は、不良品と判断される。このように、検査値ＣＤは、第１下限値ＤＬ１より小さい値であるか否かに基づいて、良品であるか否かが判断される。
【００３０】
図示するように、第１上限値ＵＬ１以下であり、かつ、第１下限値ＤＬ１以上の値であると、検査値ＣＤは、第１上限値及び第１下限値の範囲内であり、良品と判断される値である。
【００３１】
以下、図示するような検査値ＣＤの集まりに対して、図示するような第１上限値ＵＬ１及び第１下限値ＤＬ１を設定し、品質管理を行う例で説明する。
【００３２】
≪近似式の生成例（ステップＳ０３）≫
図３に戻り、ステップＳ０３では、品質管理装置は、近似式を生成する。例えば、品質管理装置は、最小二乗法等によって、以下のように近似式を生成する。
【００３３】
図５は、本発明の一実施形態における近似式の一例を示す散布図である。図示する例では、近似式ＡＥは、１次式である。図示するように、近似式ＡＥから、検査値の傾向が読み取れる場合がある。この例では、近似式ＡＥが右肩上がりであるため、条件値が大きな値になると、検査値が大きな値となる傾向が読み取れる。
【００３４】
なお、近似式ＡＥは、最小二乗法に限られず、他の方法によって生成されてもよい。また、近似式ＡＥは、１次式、すなわち、直線で示せる式に限られず、２次以上の式、すなわち、曲線で示せる式でもよい。以下、図示するように、近似式ＡＥが１次式である例で説明する。
【００３５】
≪第２上限値及び第２下限値の設定例（ステップＳ０４）≫
図３に戻り、ステップＳ０４では、品質管理装置は、第２上限値及び第２下限値を設定する。例えば、第２上限値及び第２下限値は、以下のように設定される値である。
【００３６】
図６は、本発明の一実施形態における第２上限値及び第２下限値の設定例を示す散布図である。例えば、第２上限値ＵＬ２及び第２下限値ＤＬ２は、あらかじめ生成される近似式ＡＥに対して所定の幅ＲＧ１となるように設定される。具体的には、第２上限値ＵＬ２は、近似式ＡＥに、所定の幅ＲＧ１となる所定の値を加算して設定される。一方で、第２下限値ＤＬ２は、近似式ＡＥに、所定の幅ＲＧ１となる所定の値を減算して設定される。
【００３７】
なお、所定の値は、例えば、あらかじめ設定される定数又は検査値の標準偏差σを自然数倍した値等である。なお、自然数倍する値は、あらかじめ設定され、例えば、自然数倍する値は、「ｎ＝３」等である。したがって、第２上限値ＵＬ２は、例えば、「近似式＋３σ」又は「近似式＋２０」等のように設定される。同様に、第２下限値ＤＬ２は、例えば、「近似式−３σ」又は「近似式−２０」等のように設定される。
【００３８】
このように、第２上限値ＵＬ２及び第２下限値ＤＬ２は、例えば、所定の幅ＲＧ１が垂直になるように設定される。なお、第２上限値ＵＬ２及び第２下限値ＤＬ２は、例えば、以下のように設定されてもよい。
【００３９】
図７は、本発明の一実施形態における第２上限値及び第２下限値の別の設定例を示す散布図である。図示する例は、図６と比較すると、所定の幅ＲＧ２が近似式ＡＥに対して直交するように設定される点が異なる。なお、所定の幅ＲＧ２は、図６に示す所定の幅ＲＧ１と同様に、あらかじめ設定される定数又は検査値の標準偏差σを自然数倍した値等である。
【００４０】
≪グレー検査値の抽出例（ステップＳ０５）≫
図３に戻り、ステップＳ０５では、品質管理装置は、グレー検査値を抽出する。すなわち、品質管理装置は、第１上限値及び第１下限値の範囲内となる検査値であって、第２上限値及び第２下限値の範囲外となる検査値（以下「グレー検査値」という。）を抽出する。
【００４１】
具体的には、図６に示す例では、グレー検査値は、第１グレー検査値ＧＹ１、第２グレー検査値ＧＹ２及び第３グレー検査値ＧＹ３である。以下、図６に示す例で、グレー検査値を抽出する例を説明する。
【００４２】
まず、設定される第１上限値ＵＬ１及び第１下限値ＤＬ１に基づいて、品質管理装置は、検査値のうち、第１上限値ＵＬ１及び第１下限値ＤＬ１の範囲内となる検査値を抽出する。次に、品質管理装置は、第２上限値ＵＬ２及び第２下限値ＤＬ２の範囲外となる検査値を抽出する。このようにすると、品質管理装置は、第１上限値ＵＬ１及び第１下限値ＤＬ１に基づく品質基準上、良品と判断できる検査値であっても、製品を使用していくと問題が発生しやすい製品を示すグレー検査値を抽出できる。
【００４３】
なお、品質管理装置は、この例のように、複数のグレー検査値が抽出される場合には、例えば、以下のように、各グレー検査値の近似式ＡＥに対する距離を計算してもよい。
【００４４】
図８は、本発明の一実施形態における距離の一例を示す散布図である。図８は、図６に示す第１上限値ＵＬ１、第１下限値ＤＬ１、第２上限値ＵＬ２及び第２下限値ＤＬ２に基づいて、第１グレー検査値ＧＹ１、第２グレー検査値ＧＹ２及び第３グレー検査値ＧＹ３が抽出される場合の例である。
【００４５】
図示するように、品質管理装置は、各グレー検査値の距離をそれぞれ計算する。具体的には、この例では、品質管理装置は、第１グレー検査値ＧＹ１について、第１距離ＤＩＳ１を計算する。同様に、品質管理装置は、第２グレー検査値ＧＹ２について、第２距離ＤＩＳ２を計算する。さらに、品質管理装置は、第３グレー検査値ＧＹ３について、第３距離ＤＩＳ３を計算する。
【００４６】
距離が長いほど、グレー検査値は、他の検査値又は平均値等と値のずれが大きい場合が多い。すなわち、距離が長いほど、製品が使用されると、問題となる可能性が高い。
【００４７】
したがって、品質管理装置は、各距離を比較して、順位付けを行ってもよい。具体的には、品質管理装置は、第１距離ＤＩＳ１、第２距離ＤＩＳ２及び第３距離ＤＩＳ３の長さを比較する。そして、品質管理装置は、距離が短い順に、順位付けする。このようにすると、順位は、グレー検査値が問題となりにくい順を示すことができる。このような順位の場合には、順位が先のグレー検査値が、ずれが少なくなる。具体的には、図８に示す例では、第１距離ＤＩＳ１は、第２距離ＤＩＳ２より長い距離であるため、第２距離ＤＩＳ２の方が先の順位となる。
【００４８】
この例では、例えば、管理者等は、第２距離ＤＩＳ２となる第２グレー検査値ＧＹ２に対して、再度、検査したり、又は、別の検査を更に行ったりする。そして、第２グレー検査値ＧＹ２が問題があると判断された場合には、第２距離ＤＩＳ２より距離の長いグレー検査値、すなわち、順位が後となる第１グレー検査値ＧＹ１等のグレー検査値は、同様に問題があると判断できる場合が多い。このようにして、距離に基づいて順位付けがされると、品質管理等が効率良くできる。
【００４９】
また、グレー検査値に対しては、例えば、以下のように、別の検査等が行われる工程としてもよい。
【００５０】
図９は、本発明の一実施形態における品質管理装置によってグレー検査値とされた製品の工程の一例を示す概念図である。例えば、図１に示す工程において、第３検査ＣＫ３で、図３に示す全体処理が行われるとする。
【００５１】
まず、第１上限値ＵＬ１、第１下限値ＤＬ１、第２上限値ＵＬ２及び第２下限値ＤＬ２の範囲内と判断される検査値である場合には、検査値は、第１チェック結果ＰＤＯＫとなる。すなわち、第１チェック結果ＰＤＯＫとなる場合は、製品が良品である場合である。したがって、第１チェック結果ＰＤＯＫと判断された製品は、出荷等の次の工程に進む。
【００５２】
そして、第１上限値ＵＬ１及び第１下限値ＤＬ１の範囲外と判断される検査値である場合には、検査値は、第２チェック結果ＰＤＮＧとなる。すなわち、第２チェック結果ＰＤＮＧとなる場合は、製品が不良品である場合である。したがって、第２チェック結果ＰＤＮＧと判断された製品は、廃棄等とされ、次の工程に進む製品から除かれる。
【００５３】
一方で、第１上限値及び第１下限値の範囲内となる検査値であって、第２上限値及び第２下限値の範囲外と判断される検査値である場合には、検査値は、第３チェック結果ＰＤＧＹとなる。すなわち、第３チェック結果ＰＤＧＹとなる場合は、グレー検査値である場合である。したがって、第３チェック結果ＰＤＧＹと判断された製品は、例えば、第４検査ＣＫ４等の検査を更に行う。グレー検査値である製品は、結果として、良品である場合もあるし、不良品である場合もある製品である。そのため、グレー検査値である製品は、良品と判断された製品よりも、より厳重に検査又は試験等を行い、問題が起きる製品でないかチェックされるのが望ましい。
【００５４】
なお、グレー検査値の抽出（ステップＳ０５）は、第１上限値、第１下限値、第２上限値及び第２下限値を設定し、ＡＮＤ条件等によって行われてもよい。
【００５５】
≪  ４．  品質管理装置の機能構成例  ≫
図１０は、本発明の一実施形態における品質管理装置の機能構成の一例を示す機能ブロック図である。例えば、品質管理装置は、判断部ＦＮ１、近似式生成部ＦＮ２、設定部ＦＮ３及び抽出部ＦＮ４を含む機能構成である。
【００５６】
判断部ＦＮ１は、製品の所定の特性を示す検査値ＣＤが第１上限値ＵＬ１及び第１下限値ＤＬ１の範囲内となるか否かを判断する。例えば、判断部ＦＮ１は、ＣＰＵＨＷ１（図２参照）等によって実現される。
【００５７】
近似式生成部ＦＮ２は、検査値の近似式ＡＥを生成する。例えば、近似式生成部ＦＮ２は、ＣＰＵＨＷ１（図２参照）等によって実現される。
【００５８】
設定部ＦＮ３は、近似式ＡＥに対して、第１上限値ＵＬ１及び第１下限値ＤＬ１とは異なる第２上限値ＵＬ２及び第２下限値ＤＬ２を設定する。例えば、設定部ＦＮ３は、ＣＰＵＨＷ１（図２参照）等によって実現される。
【００５９】
抽出部ＦＮ４は、第１上限値ＵＬ１及び第１下限値ＤＬ１の範囲内となる検査値であって、第２上限値ＵＬ２及び第２下限値ＤＬ２の範囲外となるグレー検査値ＧＹを抽出する。例えば、抽出部ＦＮ４は、ＣＰＵＨＷ１（図２参照）等によって実現される。
【００６０】
まず、近似式ＡＥが近似式生成部ＦＮ２によって生成されると、品質管理装置は、設定部ＦＮ３によって、第２上限値ＵＬ２及び第２下限値ＤＬ２を設定できる。このように、第１上限値ＵＬ１、第１下限値ＤＬ１、第２上限値ＵＬ２及び第２下限値ＤＬ２が設定されると、品質管理装置は、検査値ＣＤのうち、第１上限値ＵＬ１及び第１下限値ＤＬ１の基準をクリアしても、第２上限値ＵＬ２及び第２下限値ＤＬ２の範囲外となるグレー検査値ＧＹを、抽出部ＦＮ４によって、抽出できる。
【００６１】
グレー検査値ＧＹは、良品であっても、問題となる場合が多い検査値である。したがって、品質管理装置は、グレー検査値を抽出すると、良品、不良品及び「グレー」というように、製品の品質を階層的に管理することができる。このようにすると、品質管理装置は、ユーザに問題の起こる可能性の高い製品を重点的に管理させたり、あらかじめ把握させたりすることができる。また、品質管理装置は、グレー検査値ＧＹを抽出することによって、良品率を向上させることができる。
【００６２】
なお、良品率は、出荷されて顧客に納品される製品の数のうち、仕様通りに使用でき、問題なく使用できる製品の数の割合を示す。つまり、工場等で検査上、問題なしと判断されて出荷された全製品のうち、実際に顧客に使用されて問題がない製品が多いと、良品率は、高い値を示す。
【００６３】
以上のように、グレー検査値を用いることができると、良品率を向上させたり、重点的に検査を行う製品が特定できることによって品質管理を効率化させたりする品質管理体制の強化を行うことができる。
【００６４】
なお、本発明の一実施形態に係る各処理の全部又は一部は、機械語、アセンブラ等の低水準言語、Ｃ言語、Ｊａｖａ（登録商標）若しくはオブジェクト指向プログラミング言語等の高水準言語又はこれらを組み合わせて記述されるプログラムによって実現されてもよい。すなわち、プログラムは、情報処理装置等のコンピュータに、品質管理方法の各手順を実行させるためのコンピュータプログラムである。
【００６５】
また、プログラムは、光ディスク、補助記憶装置及びフラッシュメモリ等のコンピュータが読み取り可能な記録媒体に格納して頒布することができる。さらに、プログラムは、電気通信回線を通じて頒布することができる。
【００６６】
さらに、本発明の一実施形態に係る各処理の全部又は一部は、１以上の情報処理装置を含む品質管理システムによって、処理の全部又は一部が並行、分散、冗長又はこれらの組み合わせで処理されてもよい。
【００６７】
また、本発明の一実施形態に係る各処理は、図示した順序に限られない。例えば、各処理の一部又は全部は、異なる順序、並行、分散又は省略されて処理されてもよい。
【００６８】
以上、本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は、上述の実施形態に限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形又は変更が可能である。
【符号の説明】
【００６９】
１０  品質管理装置
ＣＤ  検査値
ＦＮ１  判断部
ＦＮ２  近似式生成部
ＦＮ３  設定部
ＦＮ４  抽出部
ＵＬ１  第１上限値
ＤＬ１  第１下限値
ＵＬ２  第２上限値
ＤＬ２  第２下限値
ＧＹ  グレー検査値
【図１】
2017227997.tif 000003
【図２】
2017227997.tif 000004
【図３】
2017227997.tif 000005
【図４】
2017227997.tif 000006
【図５】
2017227997.tif 000007
【図６】
2017227997.tif 000008
【図７】
2017227997.tif 000009
【図８】
2017227997.tif 000010
【図９】
2017227997.tif 000011
【図１０】
2017227997.tif 000012