(57)【要約】【課題】超音波ホーンの取付部にキャピラリを人の手を用いずに挿入できるキャピラリ搬送装置を提供する。【解決手段】本発明の一態様は、キャピラリ１３を搬送する第１の管１７と、前記キャピラリを取り付ける取付部を有する超音波ホーン１１と、前記超音波ホーンと前記第１の管の第１の端部１７ａを相対移動させる第１の移動機構と、前記第１の管の第２の端部１７ｂに気体を吹き込む機構と、を具備するキャピラリ搬送装置である。【選択図】  図３
2017112260.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャピラリを搬送する第１の管と、
前記キャピラリを取り付ける取付部を有する超音波ホーンと、
前記超音波ホーンと前記第１の管の第１の端部を相対移動させる第１の移動機構と、
前記第１の管の第２の端部に気体を吹き込む機構と、
を具備することを特徴とするキャピラリ搬送装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記気体を吹き込む機構は、前記キャピラリを前記第１の管の第２の端部に押し込む第２の管と、前記第２の管を移動させる第２の移動機構を有することを特徴とするキャピラリ搬送装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記第１の管の第１の端部に配置され、前記第１の管より硬い材質からなるブロックを有することを特徴とするキャピラリ搬送装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載のキャピラリ搬送装置と、
前記取付部に前記キャピラリを固定する機構と、
を具備することを特徴とするキャピラリ取り付け装置。
【請求項５】
請求項４に記載のキャピラリ取り付け装置と、
前記取付部に固定された前記キャピラリを取り外す機構と、
前記第１の管の第２の端部から気体を吸引する機構と、
を具備することを特徴とするキャピラリ交換装置。
【請求項６】
第１のキャピラリを搬送する第４の管と、
第２のキャピラリを搬送する第１の管と、
前記第１または第２のキャピラリを取り付ける取付部を有する超音波ホーンと、
前記超音波ホーンと、前記第１の管の第１の端部及び前記第４の管の第１の端部を相対移動させる第１の移動機構と、
前記第１の管の第２の端部に気体を吹き込む機構と、
前記第４の管の第２の端部から気体を吸引する機構と、
前記取付部に固定された前記第１のキャピラリを取り外す機構と、
前記取付部に前記第２のキャピラリを固定する機構と、
を具備することを特徴とするキャピラリ交換装置。
【請求項７】
第１のキャピラリを搬送する第１の経路、第２のキャピラリを搬送する第２の経路及び前記第１の経路と前記第２の経路が合流する第３の経路を有する第１の管と、
前記第１または第２のキャピラリを取り付ける取付部を有する超音波ホーンと、
前記超音波ホーンと前記第１の管の前記第３の経路の端部を相対移動させる第１の移動機構と、
前記第１の管の第２の経路の端部に気体を吹き込む機構と、
前記取付部に固定された前記第１のキャピラリを取り外す機構と、
前記取付部に前記第２のキャピラリを固定する機構と、
を具備することを特徴とするキャピラリ交換装置。
【請求項８】
超音波ホーンと第１の管の第１の端部を相対移動させることで、前記超音波ホーンの取付部と前記第１の管の第１の端部を位置合わせし、
前記第１の管の第２の端部からキャピラリを前記第１の管内に挿入し、
前記第１の管の第２の端部に気体を吹き込むことで、前記キャピラリを前記第１の管の第２の端部から前記第１の端部を通って前記超音波ホーンの取付部に搬送することを特徴とするキャピラリ搬送方法。
【請求項９】
請求項８に記載のキャピラリ搬送方法によって前記キャピラリを前記超音波ホーンの取付部に搬送し、
前記取付部に前記キャピラリを固定することを特徴とするキャピラリ取り付け方法。
【請求項１０】
取付部に固定された第１のキャピラリを有する超音波ホーンと第１の管の第１の端部を相対移動させることで、前記第１のキャピラリを前記第１の管の第１の端部に挿入し、
前記取付部に固定された前記第１のキャピラリを前記超音波ホーンから取り外し、
前記第１の管の第２の端部から気体を吸引することで前記第１のキャピラリを前記第１の管の第１の端部から前記第２の端部に搬送し、前記第１の管から前記第１のキャピラリを排出し、
前記第１の管の第２の端部から第２のキャピラリを前記第１の管内に挿入し、
前記第１の管の第２の端部に気体を吹き込むことで、前記第２のキャピラリを前記第１の管の第２の端部から前記第１の端部を通って前記超音波ホーンの前記取付部に搬送し、
前記取付部に前記第２のキャピラリを固定することを特徴とするキャピラリ交換方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャピラリを搬送するキャピラリ搬送装置、キャピラリ取り付け装置、キャピラリ交換装置、キャピラリ搬送方法、キャピラリ取り付け方法及びキャピラリ交換方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワイヤボンディング装置は、金、アルミニウム、銅などのワイヤを挿通するキャピラリを有し、そのワイヤを用いて電極と電極とを電気的に接続するための装置である（例えば特許文献１参照）。キャピラリを一定回数のボンディングに使用した後に、そのキャピラリを交換する必要がある。
【０００３】
従来のキャピラリ交換方法について説明する。
まず、超音波ホーンのキャピラリ取付穴にキャピラリ締付用ネジによって取り付けられている使用済みのキャピラリを取り外す。詳細には、オペレータがキャピラリをピンセットで掴み、ビットの付いたトルクドライバでキャピラリ締付用ネジの締め付けを緩め、使用済みのキャピラリを超音波ホーンのキャピラリ取付穴から取り外す。
【０００４】
次に、超音波ホーンに新しいキャピラリを取り付ける。詳細には、オペレータがキャピラリをピンセットで掴み、そのキャピラリを超音波ホーンのキャピラリ取付穴に挿入し、キャピラリ締付用ネジをビットの付いたトルクドライバで規定のトルクで締め付ける。このようにしてキャピラリを交換していた。
【０００５】
上記従来のキャピラリ交換方法では、キャピラリ取付穴径がキャピラリ径より僅かに大きい程度であるため、キャピラリを挿入することが難しい。そのため、キャピラリの交換に時間がかかることがあった。
【０００６】
また、キャピラリ取付穴にキャピラリを挿入する方向が少しずれた状態で、そのキャピラリをオペレータが力強く挿入したり、取り外しすることで、キャピラリ取付穴が変形したり、キャピラリ取付穴の入口付近がダレたりすることがある。それにより、キャピラリの把持状態が変わってしまい、精度良くボンディングができなくなることがあった。
【０００７】
また、キャピラリをピンセットで掴んでいることで、オペレータがキャピラリを落としてしまい、キャピラリの先端が欠けてしまうことがあった。また、キャピラリをワイヤボンディング装置内部に落としてしまい、装置内部からキャピラリを除去するのに時間がかかることがあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００９−０２１４９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の一態様は、超音波ホーンの取付部にキャピラリを人の手を用いずに挿入できるキャピラリ搬送装置、キャピラリ取り付け装置、キャピラリ交換装置、キャピラリ搬送方法、キャピラリ取り付け方法及びキャピラリ交換方法のいずれかを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
以下に本発明の種々の態様について説明する。
［１］キャピラリを搬送する第１の管と、前記キャピラリを取り付ける取付部を有する超音波ホーンと、前記超音波ホーンと前記第１の管の第１の端部を相対移動させる第１の移動機構と、前記第１の管の第２の端部に気体を吹き込む機構と、
を具備することを特徴とするキャピラリ搬送装置。
【００１１】
［２］上記［１］において、前記気体を吹き込む機構は、前記キャピラリを前記第１の管の第２の端部に押し込む第２の管と、前記第２の管を移動させる第２の移動機構を有することを特徴とするキャピラリ搬送装置。
【００１２】
［３］上記［２］において、前記第１の管の第１の端部に配置され、前記第１の管より硬い材質からなるブロックを有することを特徴とするキャピラリ搬送装置。
【００１３】
［４］上記［１］乃至［３］のいずれか一項に記載のキャピラリ搬送装置と、前記取付部に前記キャピラリを固定する機構と、を具備することを特徴とするキャピラリ取り付け装置。
【００１４】
［５］上記［４］に記載のキャピラリ取り付け装置と、前記取付部に固定された前記キャピラリを取り外す機構と、前記第１の管の第２の端部から気体を吸引する機構と、を具備することを特徴とするキャピラリ交換装置。
【００１５】
［６］第１のキャピラリを搬送する第４の管と、第２のキャピラリを搬送する第１の管と、前記第１または第２のキャピラリを取り付ける取付部を有する超音波ホーンと、前記超音波ホーンと、前記第１の管の第１の端部及び前記第４の管の第１の端部を相対移動させる第１の移動機構と、前記第１の管の第２の端部に気体を吹き込む機構と、前記第４の管の第２の端部から気体を吸引する機構と、前記取付部に固定された前記第１のキャピラリを取り外す機構と、前記取付部に前記第２のキャピラリを固定する機構と、を具備することを特徴とするキャピラリ交換装置。
【００１６】
［７］第１のキャピラリを搬送する第１の経路、第２のキャピラリを搬送する第２の経路及び前記第１の経路と前記第２の経路が合流する第３の経路を有する第１の管と、前記第１または第２のキャピラリを取り付ける取付部を有する超音波ホーンと、前記超音波ホーンと前記第１の管の前記第３の経路の端部を相対移動させる第１の移動機構と、前記第１の管の第２の経路の端部に気体を吹き込む機構と、前記取付部に固定された前記第１のキャピラリを取り外す機構と、前記取付部に前記第２のキャピラリを固定する機構と、を具備することを特徴とするキャピラリ交換装置。
【００１７】
［８］超音波ホーンと第１の管の第１の端部を相対移動させることで、前記超音波ホーンの取付部と前記第１の管の第１の端部を位置合わせし、前記第１の管の第２の端部からキャピラリを前記第１の管内に挿入し、前記第１の管の第２の端部に気体を吹き込むことで、前記キャピラリを前記第１の管の第２の端部から前記第１の端部を通って前記超音波ホーンの取付部に搬送することを特徴とするキャピラリ搬送方法。
【００１８】
［９］上記［８］に記載のキャピラリ搬送方法によって前記キャピラリを前記超音波ホーンの取付部に搬送し、前記取付部に前記キャピラリを固定することを特徴とするキャピラリ取り付け方法。
【００１９】
［１０］取付部に固定された第１のキャピラリを有する超音波ホーンと第１の管の第１の端部を相対移動させることで、前記第１のキャピラリを前記第１の管の第１の端部に挿入し、前記取付部に固定された前記第１のキャピラリを前記超音波ホーンから取り外し、前記第１の管の第２の端部から気体を吸引することで前記第１のキャピラリを前記第１の管の第１の端部から前記第２の端部に搬送し、前記第１の管から前記第１のキャピラリを排出し、前記第１の管の第２の端部から第２のキャピラリを前記第１の管内に挿入し、前記第１の管の第２の端部に気体を吹き込むことで、前記第２のキャピラリを前記第１の管の第２の端部から前記第１の端部を通って前記超音波ホーンの前記取付部に搬送し、前記取付部に前記第２のキャピラリを固定することを特徴とするキャピラリ交換方法。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の一態様によれば、超音波ホーンの取付部にキャピラリを人の手を用いずに挿入できるキャピラリ搬送装置、キャピラリ取り付け装置、キャピラリ交換装置、キャピラリ搬送方法、キャピラリ取り付け方法及びキャピラリ交換方法のいずれかを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一態様に係るワイヤボンディング装置を示す模式図である。
【図２】図１に示すキャピラリ入れ替えユニット１８を拡大した模式図である。
【図３】本発明の一態様に係るキャピラリ交換装置を示す斜視図である。
【図４】（Ａ）〜（Ｄ）は本発明の一態様に係る超音波ホーンから使用済のキャピラリを取り外す方法を説明する図である。
【図５】（Ａ）〜（Ｄ）は本発明の一態様に係る超音波ホーンに交換用のキャピラリを取り付ける方法を説明する図である。
【図６】（Ａ）〜（Ｃ）は本発明の一態様に係る超音波ホーンから使用済のキャピラリを取り外す方法を説明する図である。
【図７】（Ａ）は図１に示す超音波ホーンの先端側を拡大した斜視図、（Ｂ）は（Ａ）に示す超音波ホーンの変形例である。
【図８】（Ａ）〜（Ｄ）は本発明の一態様に係るキャピラリ入れ替えユニットのキャピラリカートリッジを示す断面図である。
【図９】（Ａ）〜（Ｄ）は本発明の一態様に係るキャピラリ入れ替えユニットのキャピラリカートリッジを示す断面図である。
【図１０】（Ａ）〜（Ｄ）は本発明の一態様に係るキャピラリ入れ替えユニットのキャピラリカートリッジを示す断面図である。
【図１１】（Ａ），（Ｂ）は本発明の一態様に係るキャピラリ交換装置の経路チューブを示す断面図である。
【図１２】（Ａ）〜（Ｄ）は本発明の一態様に係るキャピラリ交換装置の経路チューブ及びネジ締付ユニットを示す模式図である。
【図１３】本発明の一態様に係るキャピラリ交換装置の経路チューブを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下では、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
【００２３】
［第１の実施形態］
図１は、本発明の一態様に係るワイヤボンディング装置を示す模式図である。図７（Ａ）は、図１に示す超音波ホーンの先端側を拡大した斜視図である。
【００２４】
図１及び図７に示すように、ワイヤボンディング装置は超音波ホーン１１を有し、超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴（取付部ともいう。）１２にキャピラリ１３がキャピラリ締付用ネジ１４によって取り付けられている。キャピラリ１３にはワイヤ（図示せず）が挿通され、図示せぬ移動機構（第１の移動機構ともいう）によって超音波ホーン１１とともにキャピラリ１３を動かすことで、そのワイヤを用いて電極と電極とを電気的に接続することができる。超音波ホーン１１の上面には超音波ホーン１１と一体となったストッパー１９が設けられている。
【００２５】
図１に示すように、ワイヤボンディング装置はキャリア１５及びキャリアカバー１６を有し、キャリア１５及びキャリアカバー１６の内部にワイヤボンディング装置に必要な機構（図示せず）が配置されている。経路チューブ１７（第１の管ともいう）は、その第１の端部１７ａに超音波ホーン１１のキャピラリ１３を挿入した状態とされている。経路チューブ１７はキャピラリ１３を搬送するための管であり、経路チューブ１７の内径はキャピラリ１３を搬送しやすい大きさとなっている。経路チューブ１７の内径は例えば２．０ｍｍであり、キャピラリの外径（最も太い部分の径）は例えば１．５８ｍｍである。経路チューブ１７の第２の端部１７ｂはキャピラリ入れ替えユニット１８に接続されている。
【００２６】
図２は、図１に示すキャピラリ入れ替えユニット１８を拡大した模式図である。キャピラリ入れ替えユニット１８は、台２０と、その上に配置された交換用のキャピラリ１３を上下に積み重ねて収容するキャピラリカートリッジ２１（容器ともいう）を有する。台２０とキャピラリカートリッジ２１との間に経路チューブ１７の第２の端部１７ｂが接続されている。
【００２７】
また、キャピラリ入れ替えユニット１８は経路チューブ１７の第２の端部１７ｂに気体（例えばエアー）を吹き込む機構を有する。その吹き込む機構はキャピラリ１３を経路チューブ１７の第２の端部１７ｂに押し込むキャピラリ押し出しパイプ２２（第２の管ともいう）と、キャピラリ押し出しパイプ２２を移動させる第２の移動機構としてのエアシリンダ２３を有する。
【００２８】
また、気体を吹き込む機構は気体噴射・吸引チューブ２４を有し、そのチューブ２４はキャピラリ押し出しパイプ２２の第１の端部２２ａに接続されている。そのため、気体噴射・吸引チューブ２４から噴射された気体はキャピラリ押し出しパイプ２２を通って経路チューブ１７の第２の端部１７ｂに吹き込まれるようになっている。
【００２９】
また、気体を吸引する機構は気体噴射・吸引チューブ２４を有し、そのチューブ２４はキャピラリ押し出しパイプ２２の第１の端部２２ａに接続されている。そのため、キャピラリ押し出しパイプ２２の第２の端部２２ｂを経路チューブ１７の第２の端部１７ｂに接続した状態で、気体噴射・吸引チューブ２４から気体を吸引することで、経路チューブ１７の第２の端部１７ｂからチューブ１７内の気体を吸引できるようになっている。
【００３０】
キャピラリ押し出しパイプ２２の外径は経路チューブ１７の内径より小さい。そのため、エアシリンダ２３によってキャピラリ押し出しパイプ２２を台２０上に位置する交換用のキャピラリ１３とともに経路チューブ１７の第２の端部１７ｂに押し込むことで、経路チューブ１７内にキャピラリ１３を挿入することができる。なお、キャピラリ押し出しパイプ２２の外径は例えば１．５ｍｍである。そのため、キャピラリ押し出しパイプ２２の外径はキャピラリ１３の外径より小さい。
【００３１】
図３は、本発明の一態様に係るキャピラリ交換装置を示す斜視図である。図３に示すキャピラリ交換装置のキャピラリ入れ替えユニット１８及び経路チューブ１７及び超音波ホーン１１は、図１及び図２に示されているものと同様である。
【００３２】
経路チューブ１７の第１の端部１７ａにはホーン押し付けパイプ２５（ブロックともいう）が配置されており、このパイプ２５は経路チューブ１７より硬い材質からなるとよい。これにより、超音波ホーン１１にパイプ２５を押し付けた際に確実に位置合わせすることができ、パイプ２５が位置ずれすることを抑制できる。なお、本実施形態では、管状のホーン押し付けパイプ２５を用いているが、管状のものに限定されず、管状でなくても位置ずれを抑制できるものであればブロックでもよい。
【００３３】
また、キャピラリ交換装置は、経路チューブ１７の第１の端部１７ａを移動させる図示せぬ移動機構（第１の移動機構ともいう）を有している。この移動機構によって経路チューブ１７の第１の端部１７ａを移動させることで、使用済みのキャピラリ１３をホーン押し付けパイプ２５または経路チューブ１７の第１の端部１７ａに挿入することができる。経路チューブ１７より硬い材質からなるホーン押し付けパイプ２５を用いることで、そのパイプ２５を超音波ホーン１１に押し付けた際に経路チューブ１７の第１の端部１７ａを超音波ホーン１１に押し付ける場合に比べてパイプ２５が変形することを抑制できる。なお、移動機構は、例えばエアシリンダであり、制御部（図示せず）によって制御される。
【００３４】
また、経路チューブ１７の第１の端部１７ａを移動させるのではなく、移動機構によって超音波ホーン１１を移動させることで、使用済みのキャピラリ１３をホーン押し付けパイプ２５または経路チューブ１７の第１の端部１７ａに挿入してもよい。
【００３５】
超音波ホーン１１にはキャピラリ１３を取り付けるキャピラリ取付穴が設けられており、そのキャピラリ取付穴にキャピラリ締付用ネジ１４によってキャピラリ１３を取り付けるようになっている。
【００３６】
また、キャピラリ交換装置は、キャピラリ取付穴にキャピラリ１３を固定する機構としてのトルクドライバやモーターの回転で締め付けるネジ締付ユニット２７を有している。このネジ締付ユニット２７は、キャピラリ取付穴に固定されたキャピラリ１３を取り外す機構としても機能する。詳細には、キャピラリ１３を超音波ホーンのキャピラリ取付穴に挿入し、キャピラリ締付用ネジ１４をビット２６の付いたネジ締付ユニット２７により規定のトルクで締め付けることで、キャピラリ１３を超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴に取り付ける。また、超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴にキャピラリ１３を固定しているキャピラリ締付用ネジ１４の締め付けを、ビット２６の付いたネジ締付ユニット２７で緩めることで、超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴からキャピラリ１３を取り外す。なお、トルクドライバやモーターの回転で締め付けるネジ締付ユニット２７は制御部によって制御される。
【００３７】
図４（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明の一態様に係る超音波ホーンから使用済のキャピラリを取り外す方法を説明する図である。
【００３８】
図４（Ａ）に示すように、超音波ホーン１１と経路チューブ１７の第１の端部１７ａを相対移動させることで、超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴と経路チューブ１７の第１の端部１７ａを位置合わせする。詳細には、ビット２６をゆっくり回しながら超音波ホーン１１を移動機構によって矢印のようにホーン押し付けパイプ２５の真上まで移動し、キャピラリ締付用ネジ１４の六角穴にビット２６を嵌める。その後、エアシリンダを使用して経路チューブ１７の第１の端部１７ａとともにホーン押し付けパイプ２５を矢印のように上方に移動させ、図４（Ｂ）に示すように、キャピラリ１３をホーン押し付けパイプ２５または第１の端部１７ａに挿入して完全に包む。
【００３９】
なお、本実施形態では、ホーン押し付けパイプ２５の真上で超音波ホーン１１を固定し、ホーン押し付けパイプ２５を上方に移動させているが、ホーン押し付けパイプ２５を固定して超音波ホーン１１を下方に移動させてもよい。また、経路チューブ１７に柔軟性のあるチューブを用いれば、ホーン押し付けパイプ２５を上下に移動させても経路チューブ１７の曲げ角度が多少変わるだけで、小さな力で上下移動できる。ビット２６及びネジ締付ユニット２７は、ボンディング動作の邪魔にならない位置に固定して設置してもよいし、移動機構により左右に移動できるようにして設置してもよい。
【００４０】
次に、ビット２６を回してキャピラリ締付用ネジ１４を緩める。その後、図４（Ｂ）に示す状態で、気体噴射・吸引チューブ２４から気体（エアー）を吸引すると、キャピラリ１３（第１のキャピラリともいう）が超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴から外れ、経路チューブ１７の第１の端部１７ａから第２の端部１７ｂを通ってキャピラリ押し出しパイプ２２の第２の端部２２ｂに吸い付く（図２参照）。これは、キャピラリ押し出しパイプ２２の内径がキャピラリ１３の外径より小さいためである。
【００４１】
次に、図４（Ｃ）に示すように、キャピラリ１３を吸い付けたままのキャピラリ押し出しパイプ２２と気体噴射・吸引チューブ２４をエアシリンダ２３によって矢印のように移動させることで、キャピラリ１３及びキャピラリ押し出しパイプ２２をキャピラリカートリッジ２１の外側まで移動させる。これにより、キャピラリカートリッジ２１内のキャピラリ１３が下に落ち、交換用のキャピラリ１３が台２０上にセットされ、使用済みのキャピラリ１３がキャピラリカートリッジ２１の外側に排出される。
【００４２】
その後、図４（Ｄ）に示すように、気体噴射・吸引チューブ２４からのエアーの吸引を止めると、キャピラリ押し出しパイプ２２に吸い付いていたキャピラリ１３は落下する。このようにして超音波ホーン１１からキャピラリ１３を取り外す動作が完了する。
【００４３】
図５（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明の一態様に係る超音波ホーンに交換用のキャピラリを取り付ける方法を説明する図である。
【００４４】
図５（Ａ）に示すように、キャピラリ押し出しパイプ２２と気体噴射・吸引チューブ２４をエアシリンダ２３によって矢印のように移動させることで、台２０上のキャピラリ１３をキャピラリ押し出しパイプ２２が押し、経路チューブ１７の第２の端部１７ｂにキャピラリ１３が挿入される。
【００４５】
次に、図５（Ｂ）に示すように、気体噴射・吸引チューブ２４から気体（エアー）を噴射すると、経路チューブ１７の第２の端部１７ｂにエアーが吹き込まれ、キャピラリ１３は経路チューブ１７の第２の端部１７ｂから第１の端部１７ａを通って超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴に搬送される。つまり、噴射されたエアーはホーン押し付けパイプ２５からキャピラリ取付穴の中を通り抜けるので、エアーで押されたキャピラリ１３もエアーに沿ってキャピラリ取付穴に誘導される。エアーの圧力と経路チューブ１７の内径を調整することで、超音波ホーン１１を傷付けずにキャピラリ１３をキャピラリ取付穴に挿入することができる。キャピラリ取付穴にキャピラリ１３が搬送されると、そのキャピラリ１３はストッパー１９により所定の位置に停止する（図７（Ａ）参照）。
【００４６】
なお、本実施形態では、図７（Ａ）に示すように、超音波ホーン１１の上面に超音波ホーン１１と一体となったストッパー１９を設けているが、図７（Ｂ）に示すように、超音波ホーン１１の上面に衝撃感知センサー３７を設けてもよい。これにより、キャピラリ取付穴にキャピラリ１３が搬送されると、そのキャピラリ１３は衝撃感知センサー３７により衝撃が感知されるとともに所定の位置に停止する。従って、キャピラリ１３がキャピラリ取付穴に挿入されたことを確実に検知できる。
【００４７】
次いで、図５（Ｃ）に示すように、ネジ締付ユニット２７でビット２６を矢印のように回し、キャピラリ締付用ネジ１４を規定のトルクで締めることで、キャピラリ１３は安定した把持力で超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴に固定されて取り付けられる。
【００４８】
次いで、図５（Ｄ）に示すように、エアシリンダを使用して経路チューブ１７の第１の端部１７ａとともにホーン押し付けパイプ２５を矢印のように下方に移動させ、超音波ホーン１１を移動機構によって矢印のようにビット２６から離す。このようにして超音波ホーン１１にキャピラリ１３を取り付ける動作が完了する。
【００４９】
本実施形態によれば、超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴にキャピラリ１３を人の手を用いずに挿入することができる。
【００５０】
また、本実施形態では、経路チューブ１７に柔軟な材質を使うことで、ある程度自在に経路を変更でき、設置場所に困らない。また、キャピラリ１３が落下することもなく、キャピラリ交換作業を安定して早く済ませることができる。
【００５１】
また、気体噴射・吸引チューブ２４からエアーを吹き出すことでキャピラリ１３を超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴に挿入するため、超音波ホーン１１にかかる力が小さくて済み、超音波ホーン１１が変形することを防止できる。
【００５２】
また、経路チューブ１７を通ってキャピラリ１３が超音波ホーン１１に到達するので、従来技術のようにキャピラリ１３をピンセットで挟む必要がなく、キャピラリ１３を落とすことがない。また、ネジ締付ユニット２７によりキャピラリ締付用ネジ１４を一定のトルクでビットの角度や回す速度も同じに回すので、締付力のバラツキを減らすことができる。そして、キャピラリ１３を人の手を用いずに自動的に交換できるため、オペレータの作業量が減り、キャピラリ交換作業の時間を短縮することができる。
【００５３】
なお、本実施形態では、超音波ホーン１１にキャピラリ１３を固定する機構として超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴１２にキャピラリ１３を挿入し、キャピラリ締付用ネジ１４によってキャピラリ１３を固定しているが、このような固定方法に限定されるものではなく、他の固定方法を用いてもよく、例えばキャピラリ１３を挟み込んで固定することも可能である。
【００５４】
［第２の実施形態］
図６（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の一態様に係る超音波ホーンから使用済のキャピラリを取り外す方法を説明する図であり、図４と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【００５５】
図６（Ａ）に示すように、ホーン押し付けパイプ２５はボンディング装置に固定して設置される。超音波ホーン１１を移動させることで、超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴と経路チューブ１７の第１の端部１７ａを位置合わせする。詳細には、超音波ホーン１１を移動機構によってホーン押し付けパイプ２５の真上まで移動させる。その後、図６（Ｂ）に示すように、超音波ホーン１１の先端を矢印のように下方に移動させ、キャピラリ１３をホーン押し付けパイプ２５または第１の端部１７ａに挿入する。
【００５６】
次に、図６（Ｃ）に示すように、ネジ締付ユニットを矢印のように（Ｘ方向に）移動させ、ビット２６をキャピラリ締付用ネジの六角穴に差し込み、ビット２６を回してキャピラリ締付用ネジを緩める。これにより、超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴でのキャピラリ１３の把持を解除する。その後のキャピラリ１３を超音波ホーン１１から取り外す動作は第１の実施形態と同様である。
【００５７】
また、超音波ホーン１１に交換用のキャピラリを取り付ける動作は、図６（Ａ）〜（Ｃ）の動作と逆の動作を行えばよく、その動作の他の動作は第１の実施形態と同様である。
【００５８】
本実施形態においても第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００５９】
［第３の実施形態］
図８（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明の一態様に係るキャピラリ入れ替えユニットのキャピラリカートリッジを示す断面図であり、図２と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【００６０】
キャピラリカートリッジ１２１は空間を有し、その空間の一方には図２に示す経路チューブ１７の第２の端部１７ｂが接続されており、その空間の他方には図２に示す気体噴射・吸引チューブ２４が接続されている。キャピラリカートリッジ１２１の空間にはキャピラリ１３が上下に一つずつ積み重ねられており、その空間の底に充填されたキャピラリを保持するスライド板３９がキャピラリカートリッジ１２１に取り付けられており、その空間の底の一つ上に充填されたキャピラリを保持するスライド板３８がキャピラリカートリッジ１２１に取り付けられている。
【００６１】
超音波ホーンに交換用のキャピラリを取り付ける際は、図８（Ａ）に示すように、キャピラリカートリッジ１２１のスライド板３９上にキャピラリ１３を充填する。次いで、図８（Ｂ）に示すように、スライド板３８を矢印のように移動させ、スライド板３９上のキャピラリ１３の一つ上のキャピラリ１３をスライド板３８上に位置させる。次いで、気体噴射・吸引チューブ２４から気体（エアー）を噴射すると、スライド板３９とスライド３８との間のキャピラリ１３は経路チューブ１７の第２の端部１７ｂから第１の端部１７ａを通って超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴に搬送される。その後の動作は、第１の実施形態と同様である。
【００６２】
超音波ホーンから使用済のキャピラリを取り外す際は、第１の実施形態と同様の動作を行い、気体噴射・吸引チューブ２４から気体（エアー）を吸引すると、キャピラリ１３が超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴から外れ、経路チューブ１７の第１の端部１７ａから第２の端部１７ｂを通ってスライド板３９とスライド３８との間に位置する（図８（Ｂ）参照）。次いで、図８（Ｃ）に示すように、スライド板３９を矢印のように移動させることでキャピラリ１３は落下する。このようにして使用済みのキャピラリ１３を排出する。
【００６３】
その後、図８（Ｄ）に示すように、スライド３９及びスライド３８を矢印のように移動させることで、スライド３９上にキャピラリ１３を充填する。
【００６４】
本実施形態においても第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００６５】
［第４の実施形態］
図９（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明の一態様に係るキャピラリ入れ替えユニットのキャピラリカートリッジを示す断面図であり、図２と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【００６６】
キャピラリカートリッジ１２２は空間を有し、その空間の一方には図２に示す経路チューブ１７の第２の端部１７ｂが接続されており、その空間の他方には図２に示す気体噴射・吸引チューブ２４が接続されている。キャピラリカートリッジ１２２の空間にはキャピラリ１３が上下に一つずつ積み重ねられており、その空間の底に充填されたキャピラリを保持する保持部材４０がキャピラリカートリッジ１２２に取り付けられている。
【００６７】
超音波ホーンに交換用のキャピラリを取り付ける際は、図９（Ａ）に示すように、キャピラリカートリッジ１２２の保持部材４０にキャピラリ１３を充填する。次いで、図９（Ｂ）に示すように、保持部材４０を矢印のように回転させ、保持部材４０で保持されたキャピラリ１３とその上のキャピラリ１３を分離する。次いで、気体噴射・吸引チューブ２４から気体（エアー）を噴射すると、スライド板３９とスライド３８との間のキャピラリ１３は経路チューブ１７の第２の端部１７ｂから第１の端部１７ａを通って超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴に搬送される。その後の動作は、第１の実施形態と同様である。
【００６８】
超音波ホーンから使用済のキャピラリを取り外す際は、第１の実施形態と同様の動作を行い、気体噴射・吸引チューブ２４から気体（エアー）を吸引すると、キャピラリ１３が超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴から外れ、経路チューブ１７の第１の端部１７ａから第２の端部１７ｂを通ってキャピラリカートリッジ１２２の保持部材４０に保持される（図９（Ｂ）参照）。次いで、図９（Ｃ）に示すように、保持部材４０を矢印のように回転させることでキャピラリ１３は落下する。このようにして使用済みのキャピラリ１３を排出する。
【００６９】
その後、図９（Ｄ）に示すように、保持部材４０を矢印のように回転させることで、保持部材４０にキャピラリ１３を充填する。
【００７０】
本実施形態においても第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００７１】
［第５の実施形態］
図１０（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明の一態様に係るキャピラリ入れ替えユニットのキャピラリカートリッジを示す断面図であり、図２と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【００７２】
キャピラリカートリッジ１２３は空間を有し、その空間の一方には図２に示す経路チューブ１７の第２の端部１７ｂが接続されており、その空間の他方には図２に示す気体噴射・吸引チューブ２４が接続されている。キャピラリカートリッジ１２３の空間にはキャピラリ１３が上下に一つずつ積み重ねられており、その空間の底に充填されたキャピラリを保持する保持台４１がキャピラリカートリッジ１２３に取り付けられている。保持台４１の上にはスライド板４２がキャピラリカートリッジ１２３に取り付けられている。保持台４１の一端には部材４１ａが保持台４１にスプリング蝶番等の戻り機構４１ｃによって取り付けられている。この戻り機構４１ｃは、部材４１ａに力が加えられていない状態では図１０（Ａ）に示す位置に部材４１ａを固定し、部材４１ａに図１０（Ｃ）に示す矢印の方向の力がスライド板４２によって加えられると部材４１ａが９０°回転し、その力が加えられなくなると図１０（Ｄ）に示す位置に部材４１ａを戻す機構である。
【００７３】
超音波ホーンに交換用のキャピラリを取り付ける際は、図１０（Ａ）に示すように、キャピラリ１３が積み重ねられているキャピラリカートリッジ１２３の空間の下方にスライド板４２を位置させない状態とすることで保持台４１上にキャピラリ１３を充填する。次に、図１０（Ｂ）に示すように、スライド板４２を矢印のように移動させ、充填したキャピラリ１３を所定の位置に配置する。次いで、気体噴射・吸引チューブ２４から気体（エアー）を噴射すると、スライド板４２と部材４１ａとの間のキャピラリ１３は経路チューブ１７の第２の端部１７ｂから第１の端部１７ａを通って超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴に搬送される。その後の動作は、第１の実施形態と同様である。
【００７４】
超音波ホーンから使用済のキャピラリを取り外す際は、第１の実施形態と同様の動作を行い、気体噴射・吸引チューブ２４から気体（エアー）を吸引すると、キャピラリ１３が超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴から外れ、経路チューブ１７の第１の端部１７ａから第２の端部１７ｂを通ってスライド板４２と部材４１ａとの間に位置する（図１０（Ｂ）参照）。次いで、図１０（Ｃ）に示すように、スライド板４２を矢印のように移動させることでキャピラリ１３は落下する。このようにして使用済みのキャピラリ１３を排出する。
【００７５】
その後、図１０（Ｄ）に示すように、スライド板４２を矢印のように移動させることで、保持台４１にキャピラリ１３を充填する。この際、部材４１ａは戻り機構４１ｃのスプリングの力で元の位置に戻る。
【００７６】
本実施形態においても第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００７７】
［第６の実施形態］
図１１（Ａ），（Ｂ）は、本発明の一態様に係るキャピラリ交換装置の経路チューブを示す断面図であり、図３〜図５と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【００７８】
経路チューブ４６は、交換用のキャピラリを搬送する第１の経路を備えた排出用チューブ４６ａと、交換用のキャピラリを搬送する第２の経路を備えた噴射用チューブ４６ｂを有する。経路チューブ４６は、第１の経路と第２の経路が合流する第３の経路４５を有する。
【００７９】
経路チューブ４６の第３の経路４５の端部には図示せぬホーン押し付けパイプ（ブロックともいう）が配置されている。また、キャピラリ交換装置は、経路チューブ４６の第３の経路４５の端部を移動させる図示せぬ移動機構（第１の移動機構ともいう）を有している。この移動機構によって経路チューブ４６の第３の経路４５の端部を移動させることで、使用済みのキャピラリをホーン押し付けパイプまたは経路チューブ４６の第３の経路４５の端部に挿入することができる。経路チューブ４６より硬い材質からなるホーン押し付けパイプを用いることで、ホーン押し付けパイプを超音波ホーン１１に押し付けた際に経路チューブ４６の第３の経路４５の端部を超音波ホーン１１に押し付ける場合に比べてホーン押し付けパイプが変形することを抑制できる。
【００８０】
また、経路チューブ４６の第３の経路４５の端部を移動させるのではなく、移動機構によって超音波ホーン１１を移動させることで、使用済みのキャピラリをホーン押し付けパイプまたは経路チューブ４６の第３の経路４５の端部に挿入してもよい。
【００８１】
排出用チューブ４６ａは第１の実施形態と同様の方法で気体が吹き込まれるようになっている。
【００８２】
超音波ホーンから使用済のキャピラリを取り外す際は、図１１（Ａ）に示すように、キャピラリ締付用ネジを緩めることで、キャピラリ（第１のキャピラリともいう）が超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴から外れ、経路チューブ４６の第３の経路４５及び排出用チューブ４６ａを通ってキャピラリが排出される。このとき、キャピラリが矢印４３のように重力でまっすぐ下方に落ちるように排出用チューブ４６ａを配置しておくとよい。
【００８３】
超音波ホーン１１に交換用のキャピラリを取り付ける際は、図１１（Ｂ）に示すように、気体噴射・吸引チューブから気体（エアー）を噴射すると、経路チューブ４６の噴射用チューブ４６ｂの端部にエアーが吹き込まれ、キャピラリは矢印４４のように経路チューブ４６の噴射用チューブ４６ｂ及び第３の経路４５を通って超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴に搬送される。出入口が異なるので、古いキャピラリと新しいキャピラリを入れ替える機構部動作が不要となる。
【００８４】
本実施形態においても第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００８５】
［第７の実施形態］
図１２（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明の一態様に係るキャピラリ交換装置の経路チューブ及びネジ締付ユニットを示す模式図であり、図３〜図５と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【００８６】
経路チューブは、使用済みのキャピラリ１３を搬送する排出用チューブ４７（第４の管ともいう）と、交換用のキャピラリを搬送する噴射用チューブ４８（第１の管ともいう）を有する。
【００８７】
排出用チューブ４７の第１の端部にはホーン押し付けパイプ４９（ブロックともいう）が配置されている。噴射用チューブ４８の第１の端部にはホーン押し付けパイプ５０（ブロックともいう）が配置されている。また、キャピラリ交換装置は、排出用チューブ４７の第１の端部及び噴射用チューブ４８の第１の端部を移動させる図示せぬ移動機構（第１の移動機構ともいう）を有している。この移動機構によって排出用チューブ４７の第１の端部及び噴射用チューブ４８の第１の端部を移動させることで、使用済みのキャピラリ１３をホーン押し付けパイプ４９または排出用チューブ４７の第１の端部に挿入することができる。排出用チューブ４７及び噴射用チューブ４８より硬い材質からなるホーン押し付けパイプ４９，５０を用いることで、ホーン押し付けパイプ４９，５０を超音波ホーン１１に押し付けた際に排出用チューブ４７及び噴射用チューブ４８それぞれの第１の端部を超音波ホーン１１に押し付ける場合に比べてホーン押し付けパイプ４９，５０が変形することを抑制できる。
【００８８】
また、排出用チューブ４７及び噴射用チューブ４８それぞれの第１の端部を移動させるのではなく、移動機構によって超音波ホーン１１を移動させることで、使用済みのキャピラリ１３をホーン押し付けパイプ４９または排出用チューブ４７の第１の端部に挿入してもよい。
【００８９】
排出用チューブ４７は第１の実施形態と同様の方法で第２の端部から気体を吸引するようになっており、噴射用チューブ４８は第１の実施形態と同様の方法で第２の端部に気体が吹き込まれるようになっている。
【００９０】
超音波ホーン１１から使用済のキャピラリ１３を取り外す際は、図１２（Ａ）に示すように、ホーン押し付けパイプ４９をキャピラリ１３に位置合わせし、キャピラリ締付用ネジを緩めることで、キャピラリ１３が超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴から外れ、気体噴射・吸引チューブにより排出用チューブ４７の第２の端部から気体（エアー）を吸引することで、図１２（Ｂ）に示すように、矢印のように排出用チューブ４７を通ってキャピラリが排出される。
【００９１】
なお、本実施形態では、排出用チューブ４７の第２の端部から気体を吸引してキャピラリ１３を排出しているが、吸引せずにキャピラリ１３を重力による自由落下させてもよい。
【００９２】
超音波ホーン１１に交換用のキャピラリを取り付ける際は、図１１（Ｃ）に示すように、超音波ホーン１１を移動機構により噴射用チューブ４８の第１の端部上またはホーン押し付けパイプ５０上に矢印のように移動させ、気体噴射・吸引チューブから気体（エアー）を噴射すると、噴射用チューブ４８の第２の端部にエアーが吹き込まれ、図１１（Ｄ）に示すように、キャピラリ１３は矢印のように噴射用チューブ４８を通って超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴に搬送される。
【００９３】
本実施形態においても第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００９４】
［第８の実施形態］
図１３は、本発明の一態様に係るキャピラリ交換装置の経路チューブを示す断面図であり、図３〜図５と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【００９５】
経路チューブ５３は、交換用のキャピラリを搬送する第１の経路を備えた第１のチューブ５１と、第１の経路に接続された第２の経路を備えた第２のチューブ５２を有する。第１のチューブ５１の第１の端部にはＬ字形状の第３のチューブ５４の第１の端部が接続されている。なお、本実施形態では、第３のチューブ５４をＬ字形状としているが、経路チューブ５３に接続できる第３のチューブ５４であればＬ字形状でなくてもよい。また、第１のチューブ５１と第２のチューブ５２とはキャピラリが通過できるように接続されていればよい。
【００９６】
経路チューブ５３の第１のチューブ５１の第２の端部には図示せぬホーン押し付けパイプが配置されている。また、キャピラリ交換装置は、経路チューブ５３の第１のチューブ５１の第１の端部を移動させる図示せぬ移動機構を有している。この移動機構によって第１のチューブ５１の第１の端部を移動させることで、超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴に位置合わせすることができる。
【００９７】
また、経路チューブ５３の第１のチューブ５１の第１の端部を移動させるのではなく、移動機構によって超音波ホーン１１を移動させることで、ホーン押し付けパイプまたは第１のチューブ５１の第１の端部を超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴に位置合わせしてもよい。
【００９８】
第２のチューブ５２は第１の実施形態と同様の方法で気体（エアー）が吹き込まれるようになっている。
【００９９】
超音波ホーン１１に交換用のキャピラリを取り付ける際は、図１３に示すように、第２のチューブ５２に交換用のキャピラリを挿入し、気体噴射・吸引チューブから気体（エアー）を噴射すると、第２のチューブ５２の端部にエアーが吹き込まれ、キャピラリ１３は矢印のように第２のチューブ５２の及び第１のチューブ５１を通って超音波ホーン１１のキャピラリ取付穴に搬送される。
【０１００】
本実施形態においても第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【０１０１】
なお、上記の第１〜第８の実施形態は互いに組み合わせて実施することも可能である。
【符号の説明】
【０１０２】
１１…超音波ホーン
１２…キャピラリ取付穴（取付部）
１３…キャピラリ
１４…キャピラリ締付用ネジ
１５…キャリア
１６…キャリアカバー
１７…経路チューブ
１７ａ…第１の端部
１７ｂ…第２の端部
１８…キャピラリ入れ替えユニット
１９…ストッパー
２０…台
２１…キャピラリカートリッジ
２２…キャピラリ押し出しパイプ
２２ａ…第１の端部
２２ｂ…第２の端部
２３…エアシリンダ
２４…気体噴射・吸引チューブ
２５…ホーン押し付けパイプ（ブロック）
２６…ビット
２７…ネジ締付ユニット
３７…衝撃感知センサー
３８，３９，４２…スライド板
４０…保持部材
４１…保持台
４３，４４…矢印
４５…第３の経路
４６…経路チューブ
４６ａ，４７…排出用チューブ
４６ｂ，４８…噴射用チューブ
４９，５０…ホーン押し付けパイプ（ブロック）
５１…第１のチューブ
５２…第２のチューブ
５３…経路チューブ
５４…第３のチューブ
１２１，１２２，１２３…キャピラリカートリッジ
【図１】
2017112260.tif 000003
【図２】
2017112260.tif 000004
【図３】
2017112260.tif 000005
【図４】
2017112260.tif 000006
【図５】
2017112260.tif 000007
【図６】
2017112260.tif 000008
【図７】
2017112260.tif 000009
【図８】
2017112260.tif 000010
【図９】
2017112260.tif 000011
【図１０】
2017112260.tif 000012
【図１１】
2017112260.tif 000013
【図１２】
2017112260.tif 000014
【図１３】
2017112260.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成29年1月26日(2017.1.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャピラリを搬送する第１の管と、
前記キャピラリを取り付ける取付部を有する超音波ホーンと、
前記超音波ホーンと前記第１の管の第１の端部を相対移動させて位置合わせする第１の移動機構と、
前記第１の管の第２の端部に気体を吹き込む機構と、
を具備することを特徴とするキャピラリ搬送装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記気体を吹き込む機構は、前記キャピラリを前記第１の管の第２の端部に押し込む第２の管と、前記第２の管を移動させる第２の移動機構を有することを特徴とするキャピラリ搬送装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記第１の管の第１の端部に配置され、前記第１の管より硬い材質からなるブロックを有することを特徴とするキャピラリ搬送装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載のキャピラリ搬送装置と、
前記取付部に前記キャピラリを固定する機構と、
を具備することを特徴とするキャピラリ取り付け装置。
【請求項５】
請求項４に記載のキャピラリ取り付け装置と、
前記取付部に固定された前記キャピラリを取り外す機構と、
前記第１の管の第２の端部から気体を吸引する機構と、
を具備することを特徴とするキャピラリ交換装置。
【請求項６】
第１のキャピラリを搬送する第４の管と、
第２のキャピラリを搬送する第１の管と、
前記第１または第２のキャピラリを取り付ける取付部を有する超音波ホーンと、
前記超音波ホーンと、前記第１の管の第１の端部及び前記第４の管の第１の端部を相対移動させて位置合わせする第１の移動機構と、
前記第１の管の第２の端部に気体を吹き込む機構と、
前記第４の管の第２の端部から気体を吸引する機構と、
前記取付部に固定された前記第１のキャピラリを取り外す機構と、
前記取付部に前記第２のキャピラリを固定する機構と、
を具備することを特徴とするキャピラリ交換装置。
【請求項７】
第１のキャピラリを搬送する第１の経路、第２のキャピラリを搬送する第２の経路及び前記第１の経路と前記第２の経路が合流する第３の経路を有する第１の管と、
前記第１または第２のキャピラリを取り付ける取付部を有する超音波ホーンと、
前記超音波ホーンと前記第１の管の前記第３の経路の端部を相対移動させて位置合わせする第１の移動機構と、
前記第１の管の第２の経路の端部に気体を吹き込む機構と、
前記取付部に固定された前記第１のキャピラリを取り外す機構と、
前記取付部に前記第２のキャピラリを固定する機構と、
を具備することを特徴とするキャピラリ交換装置。
【請求項８】
超音波ホーンと第１の管の第１の端部を相対移動させることで、前記超音波ホーンの取付部と前記第１の管の第１の端部を位置合わせし、
前記第１の管の第２の端部からキャピラリを前記第１の管内に挿入し、
前記第１の管の第２の端部に気体を吹き込むことで、前記キャピラリを前記第１の管の第２の端部から前記第１の端部を通って前記超音波ホーンの取付部に搬送することを特徴とするキャピラリ搬送方法。
【請求項９】
請求項８に記載のキャピラリ搬送方法によって前記キャピラリを前記超音波ホーンの取付部に搬送し、
前記取付部に前記キャピラリを固定することを特徴とするキャピラリ取り付け方法。
【請求項１０】
取付部に固定された第１のキャピラリを有する超音波ホーンと第１の管の第１の端部を相対移動させることで、前記第１のキャピラリを前記第１の管の第１の端部に挿入し、
前記取付部に固定された前記第１のキャピラリを前記超音波ホーンから取り外し、
前記第１の管の第２の端部から気体を吸引することで前記第１のキャピラリを前記第１の管の第１の端部から前記第２の端部に搬送し、前記第１の管から前記第１のキャピラリを排出し、
前記第１の管の第２の端部から第２のキャピラリを前記第１の管内に挿入し、
前記第１の管の第２の端部に気体を吹き込むことで、前記第２のキャピラリを前記第１の管の第２の端部から前記第１の端部を通って前記超音波ホーンの前記取付部に搬送し、
前記取付部に前記第２のキャピラリを固定することを特徴とするキャピラリ交換方法。