(57)【要約】【課題】精度のよいティーチングを短時間で行うことができる技術を提供する。【解決手段】基板９をハンド４１１上に載置して、基板９に平行な面の面内方向と面外方向に搬送する搬送ロボット４に対して、基板９を搬送するべき位置をティーチングするティーチング装置１０であって、ハンド４１１に設けられた、前記面に平行な断面が所定形状である特徴形状部分５３と、基板搬送先に、前記面外方向に延在するように配置される柱状部材であって、前記面に平行な断面が前記所定形状に対応する形状であるガイドポール６２と、ガイドポール６２の長手方向内の所定の位置に設けられたガイドポイント６３と、を備える。【選択図】図４
2017222014.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板をハンド上に載置して、該基板に平行な面の面内方向と面外方向に該基板を搬送する搬送ロボットに対して、基板を搬送するべき位置をティーチングするティーチング装置であって、
前記ハンドに設けられた、前記面に平行な断面が所定形状である特徴形状部分と、
基板搬送先に、前記面外方向に延在するように配置される柱状部材であって、前記面に平行な断面が前記所定形状に対応する形状であるガイドポールと、
前記ガイドポールの長手方向内の所定の位置に設けられたガイドポイントと、
を備える、ティーチング装置。
【請求項２】
請求項１に記載のティーチング装置であって、
前記特徴形状部分が、円弧状に切り欠かれた凹部であり、
前記ガイドポールが円弧状に膨らんだ凸状断面を有する、
ティーチング装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のティーチング装置であって、
前記特徴形状部分が、円弧状に切り欠かれた凹部であり、
前記ガイドポールが、断面が円形状の棒である、
ティーチング装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載のティーチング装置であって、
前記特徴形状部分が、前記ハンドに脱着自在に取り付けられる治具に設けられている、
ティーチング装置。
【請求項５】
請求項１から３のいずれかに記載のティーチング装置であって、
前記特徴形状部分が、前記ハンドに直接的に設けられている、
ティーチング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を搬送する搬送ロボットに対するティーチングに関する。
【背景技術】
【０００２】
基板を搬送する搬送ロボットにおいては、これに実際に搬送動作を行わせるのに先立って、搬送ロボットに基板の受け渡し位置等をティーチング（教示）する必要がある。搬送ロボットは、ティーチングされた位置情報に基づいて搬送動作を行うことになるため、このティーチングの精度が悪いと基板が所定の位置に精度よく配置されず、処理精度の悪化等につながってしまう。
【０００３】
従来においては、このティーチングは例えば、作業者が、搬送ロボットのハンドの位置を目視や定規等を用いて確認しつつ当該ハンドの位置を微調整して、当該ハンドを目標とする受け渡し位置に配置し、当該位置を搬送ロボットに記憶させることによって行われていた。
しかしながら、目視で搬送ロボットのハンドを目標とする受け渡し位置に精度よく配置するには、作業者の熟練が必要とされる。また、熟練の作業者であってもこの作業には相当な時間がかかってしまう。
【０００４】
そこで、作業者の熟練に頼らずに精度よくティーチングを行うべく、治具を用いたティーチングの手法が各種提案されている（特許文献１〜３）。なかでも特許文献３には、一対の治具を用いて、これらをはめ合わせることでティーチングを行う手法が提案されている。
すなわち、特許文献３では、搬送ロボットのハンド（ウエハハンドリングロボット４のエンドエフェクター１７）にハンド側治具（嵌合部４２）を取り付けるとともに、ウエハカセットの載置位置（ウエハカセットポート６）に第２の治具（基板４１）を配置する。エンドエフェクター１７に取り付けられる嵌合部４２の下面には下向きの凸部４３が形成されており、ウエハカセットポート６に配置される基板４１には、これがウエハカセットポート６に配置されたときに、ウエハカセット内におけるウエハの中心を通過する軸線と一致する軸線をもつような、円筒形の凹部４１”が形成されている。
そして、エンドエフェクター１７を移動させて凸部４３と凹部４１”が嵌合した状態とし、当該状態におけるエンドエフェクター１７の位置（水平面内における位置および高さ位置）を、ウエハカセットに対する受け渡し位置として記憶する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開2009−090406号公報
【特許文献２】特開平05−198656号公報
【特許文献３】特開2002−018753号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献３に記載の態様において、エンドエフェクター１７を移動させて凸部４３と凹部４１”が嵌合した状態とするにあたっては、まず、エンドエフェクター１７を水平面内で移動させて、上方から見て嵌合部４２の凸部４３と基板４１の凹部４１”とが重なるような位置まで移動させる（水平移動工程）。そして、当該位置でエンドエフェクター１７を下降させて、凸部４３と凹部４１”が嵌合する位置まで移動させる（昇降移動工程）。
【０００７】
ところが、凸部４３および凹部４１”はエンドエフェクター１７の裏面側（すなわち、上方から見てエンドエフェクター１７の陰になる位置）に在るため、これらの位置関係を上方からの目視で確認することはできない。したがって、水平移動工程においては、側方からの目視のみを頼りに、凸部４３と凹部４１”とが上方から見て完全に重なるようにエンドエフェクター１７の位置（水平面内における位置）を微調整しなければならない。このような位置調整には、熟練の作業者であっても相当な時間がかかってしまう。
【０００８】
また、昇降移動工程においては、凸部４３と凹部４１”とが完全に嵌合した状態（つまり、凸部４３の頂面と凹部４１”の底面とが当接した状態）となるように、エンドエフェクター１７の位置（高さ位置）を微調整する必要があるが、凸部４３の頂面と凹部４１”の底面とが当接しているか否かを外部から目視で確認することはできない。したがって、高さ位置についてのティーチングの精度の信頼性が低いという問題がある。
【０００９】
このように、特許文献３に記載の態様では、ティーチングに要する時間を十分に短くすることが難しい。また、この態様では、ティーチングの精度が十分に保証されているとも言えない。
【００１０】
本発明が解決しようとする課題は、精度のよいティーチングを短時間で行うことができる技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために成された本発明は、
基板をハンド上に載置して、該基板に平行な面の面内方向と面外方向に該基板を搬送する搬送ロボットに対して、基板を搬送するべき位置をティーチングするティーチング装置であって、
前記ハンドに設けられた、前記面に平行な断面が所定形状である特徴形状部分と、
基板搬送先に、前記面外方向に延在するように配置される柱状部材であって、前記面に平行な断面が前記所定形状に対応する形状であるガイドポールと、
前記ガイドポールの長手方向内の所定の位置に設けられたガイドポイントと、
を備える。
【００１２】
このティーチング装置を用いてティーチングを行うにあたっては、まず、ガイドポールを基板搬送先に配置する。このとき、ガイドポールを、これに設けられたガイドポイントが、ティーチングするべきポイント（ティーチングポイント）と対応する位置（例えば、ティーチングポイントと重なるような位置、あるいは、ティーチングポイントと既知の位置関係にあるような位置）に配置する。
ハンドに設けられた特徴形状部分とガイドポールとは、基板に平行な面の面内において対応し合う断面形状となっているので、当該対応する断面形状部分で両者を接触させることにより、基板に平行な面の面内において、ハンドとガイドポールの位置関係を固定することができる。さらに、ガイドポールは、断面形状が一定の柱状部材であるので、当該接触状態のままでハンドをガイドポールに沿って（すなわち、基板に平行な面の面外方向に沿って）スライドさせることができる。そこで、ティーチングにあたっては、ハンドを、まずは基板に平行な面の面内において移動させて、特徴形状部分とガイドポールとを接触させ、ハンドの、基板に平行な面内における位置を決定する。続いて、当該接触状態のままでハンドをガイドポールに沿ってスライドさせて、ハンドの所定部分をガイドポイントに一致させ、ハンドの、基板に平行な面の面外方向の位置を決定する。これによって、基板に平行な面の面内と面外方向の両方において（すなわち、３次元位置において）、ハンドをティーチングポイントと対応する位置に、短時間で精確に位置合わせすることができる。そして、このときのハンドの位置を記憶することによって、搬送ロボットにティーチングポイントを教示することができる。
【００１３】
好ましくは、前記ティーチング装置において、
前記特徴形状部分が、円弧状に切り欠かれた凹部であり、
前記ガイドポールが円弧状に膨らんだ凸状断面を有する。
【００１４】
この構成によると、特徴形状部分とガイドポールを接触させて、基板に平行な面の面内において、ハンドとガイドポールの位置関係を固定する作業が容易である。また、ハンドをガイドポールに沿ってスムーズにスライドさせることができる。
【００１５】
好ましくは、前記ティーチング装置において、
前記特徴形状部分が、円弧状に切り欠かれた凹部であり、
前記ガイドポールが、断面が円形状の棒である。
【００１６】
この構成によると、特徴形状部分とガイドポールを接触させて、基板に平行な面の面内において、ハンドとガイドポールの位置関係を固定する作業が容易である。また、ハンドをガイドポールに沿ってスムーズにスライドさせることができる。
【００１７】
好ましくは、前記ティーチング装置において、
前記特徴形状部分が、前記ハンドに着脱自在に取り付けられる治具に設けられている。
【００１８】
この構成によると、ハンドに、真空吸着用の吸引部や静電チャック用の電極等といった複雑な構造が設けられるために、ハンド自体に特徴形状部分を直接に設けることが難しい場合であっても、治具を介してハンドに間接的に特徴形状部分を設けることができる。
【００１９】
好ましくは、前記ティーチング装置において、
前記特徴形状部分が、前記ハンドに直接的に設けられている。
【００２０】
この構成によると、ハンドに治具等を取り付ける手間を必要とせず、簡易にティーチングを行うことができる。
【発明の効果】
【００２１】
ハンドに設けられた特徴形状部分をガイドポールと接触させ、その状態で、ハンドをガイドポールに沿ってスライドさせることで、ハンドをティーチングポイントに位置合わせするので、当該位置合わせを、短時間で精確に行うことができる。したがって、精度のよいティーチングを短時間で行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】基板処理装置を模式的に示す平面図。
【図２】基板処理装置を模式的に示す側面図。
【図３】特徴形状部分を説明するための図。
【図４】載置台用治具およびこれを用いたティーチングの態様を説明するための図。
【図５】アライメント部用治具およびこれを用いたティーチングの態様を説明するための図。
【図６】処理部用治具およびこれを用いたティーチングの態様を説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。以下の実施形態は、本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【００２４】
＜１．基板処理装置１００の構成＞
実施形態に係る基板処理装置１００の全体構成について、図１、図２を参照しながら説明する。図１は、基板処理装置１００の構成を模式的に示す平面図である。図２は、基板処理装置１００の構成を模式的に示す側面図である。図２においては、説明の便宜上、基板処理装置１００の一部の図示が省略されている。
【００２５】
基板処理装置１００は、複数枚の基板（例えば、略円形の半導体基板）９を多段に収納した基板収容部（一般に、マガジンラック、カセット等とも呼ばれる）９０が載置される載置台１と、基板９の回転位置を補正するアライメント部２と、基板９に対して定められた処理を施す処理部３と、これら各部９０，２，３の間で基板９を搬送する搬送ロボット４を備える。載置台１、アライメント部２、および、搬送ロボット４は、インデクサ部１０に配置され、インデクサ部１０と処理部３とは、ゲートバルブ２０を介して接続される。基板処理装置１００はさらに、これが備える各部を制御する制御部１０１を備える。
【００２６】
＜載置台１＞
載置台１は、基板収容部９０が載置される台である。基板収容部９０は、複数枚の基板９を多段に収納する部材であり、背面壁および一対の側壁を備える筐体９１と、その内部に等間隔で多段に設けられた複数の棚９２とを備える。当該複数の棚９２のそれぞれに、基板９が１枚ずつ載置される。各棚９２はＵ字状の切り欠きが形成されており、これによって、棚９２に対して搬送ロボット４が基板９を授受する際に棚９２と搬送ロボット４のハンド４１１が干渉しないようになっている。
【００２７】
載置台１の上面には、基板収容部９０の位置を規制するための複数の規制部材１１が設けられている。各規制部材１１は、具体的には例えば、平面視がＬ字状の部材であり、基板収容部９０における背面壁と側壁との角部分に相当する位置、および（または）、当該側壁における正面の壁面と内側の壁面との角部分に相当する位置、に設けられる。この構成において、基板収容部９０が、当該角部分が規制部材１１のＬ字状の部分に沿うように配置されることによって、基板収容部９０が適切な位置に配置されるようになっている。
【００２８】
＜アライメント部２＞
アライメント部２は、基板９を水平姿勢で保持する保持部２１を備える。保持部２１は、具体的には例えば、隙間をあけて対向配置された一対の保持具２１０を備える。各保持具２１０は、基板９の下面（具体的には、当該下面における周縁領域部分）に当接する水平な載置面２１１と、基板９の端面の一部分に当接する壁面２１２とを備える。壁面２１２は、上方から見て弧状に形成されており、その曲率半径は基板９の半径と略同一となっている。基板９は、上方から見て、中心が一対の保持具２１０の中心と一致するような位置において、一対の保持具２１０の各載置面２１１に水平姿勢で載置される。このとき、当該基板９は、一対の保持具２１０の各壁面２１２によって両側から位置規制された状態（すなわち、水平面内において位置ずれを起こさないように位置規制された状態）となる。この保持部２１においては、一対の保持具２１０の間に隙間が存在するので、保持部２１に対して搬送ロボット４が基板９を受け渡しする際に各保持具２１０とハンド４１１が干渉しないようになっている。
アライメント部２は、さらに、保持部２１およびこれに保持された基板９をその中心を通る鉛直な回転軸の周りで回転させる回転駆動部（図示省略）と、当該回転される基板９の特徴部（具体的には例えば、基板９の周縁に形成されたノッチ、オリエンテーションフラット等）を検出する検出部２２と、を備える。
【００２９】
このアライメント部２にて基板９の回転位置を補正する場合、まず、搬送ロボット４が、ハンド４１１に保持された基板９を保持部２１上に載置する。続いて、回転駆動部が、保持部２１およびこれに保持されている基板９を１回転させる。基板９が１回転する間に、検出部２２が、基板９の周縁に形成されている特徴部を検出する。特徴部が検出されると、回転駆動部が、当該特徴部が定められた方向に配置されるように、保持部２１およびこれに保持されている基板９を回転させる。これによって、基板９の回転位置が補正される。
【００３０】
＜処理部３＞
処理部３は、基板９に定められた処理（この実施形態では、例えばプラズマ処理）を行う。処理部３は、処理チャンバー３１と、その内部に配置された載置部３２を備える。載置部３２は、上方から見て円形の平板状の部材であり、その上面に、基板９が水平姿勢で載置される。載置部３２には、その上面に対して出没可能に設けられた一群（図の例では、３個）のリフトピン３２１と、当該一群のリフトピン３２１を同期して出没させるリフトピン駆動機構３２２と、が設けられる。一群のリフトピン３２１は、載置部３２に載置された基板９の下面の周縁領域と上方から見て重なる領域に、好ましくは等間隔で配列される。
処理部３は、さらに、処理チャンバー３１内に各種の処理ガスを供給するガス供給部、処理チャンバー３１内にプラズマを生成するためのプラズマ生成部、処理チャンバー３１内の圧力を調整する排気部、等を備える（いずれも、図示省略）。
【００３１】
この処理部３にて基板９に処理を施す場合、まず、搬送ロボット４が、ハンド４１１に保持された基板９を載置部３２上に載置する。続いて、ゲートバルブ２０が閉鎖されて処理チャンバー３１が気密にされた上で、排気部が処理チャンバー３１内を排気する。そして、ガス供給部が処理チャンバー３１内に定められた処理ガスを供給するとともに、プラズマ生成部が処理チャンバー３１内にプラズマを生成する。これによって、載置部３２に載置された基板９に対するプラズマ処理（例えば、プラズマエッチング、プラズマアッシング、プラズマスパッタリング、プラズマ蒸着、プラズマＣＶＤ、等の処理）が行われる。もっとも、処理部３で行われる処理は必ずしもプラズマ処理である必要はなく、プラズマを用いない各種の処理（例えば、エッチング、アッシング、スパッタリング、蒸着、ＣＶＤ、加熱、冷却、薬液塗布、洗浄等の処理）が行われてもよい。
【００３２】
＜搬送ロボット４＞
搬送ロボット４は、ハンド４１１上に基板９を載置して、ハンド４１１を基板９の主面に平行な面（ここでは、水平面）の面内方向（ここでは、水平方向）と面外方向（ここでは、鉛直方向）に移動させて、基板９を目的とする位置まで搬送する装置であり、搬送アーム４１と、これを駆動する駆動機構４２とを備える。
【００３３】
搬送アーム４１は、１枚の基板９を支持する細長い板状のハンド４１１と、ハンド４１１と連結された多関節機構４１２と、を備える。ハンド４１１の上面であって、その上に基板９が載置されたときに基板９の下面の中央付近と対向する位置には、同心に配置された半径の異なる２個の円の円周に沿う溝から構成される吸引部４１３が形成されている。吸引部４１３は、バルブが介挿された真空ライン（図示省略）と接続されている。ハンド４１１の上に基板９が載置された状態でこのバルブが開放されると、真空ラインとハンド４１１の吸引部４１３が連通され、吸引部４１３が基板９を真空吸引し、基板９がハンド４１１上に固定的に保持（吸引保持）される。
【００３４】
駆動機構４２は、搬送アーム４１における多関節機構４１２の端部（ハンド４１１が接続された側と逆側の端部）と連結された軸部４２１を備える。この軸部４２１は鉛直に延在して、下端においてアームステージ４２２と連結されている。アームステージ４２２には、各種の駆動機構（具体的には、軸部４２１を回転させる回転駆動機構４２３、軸部４２１を伸縮させる昇降駆動機構４２４、および、多関節機構４１２を屈伸させる屈伸駆動機構４２５）が収容されている。回転駆動機構４２３が軸部４２１を回転させることによって、搬送アーム４１が軸部４２１を中心に旋回する。昇降駆動機構４２４が軸部４２１を伸縮させることによって、搬送アーム４１が昇降する。屈伸駆動機構４２５が多関節機構４１２を屈伸させることによって、搬送アーム４１のハンド４１１が水平面内で搬送アーム４１の旋回半径方向（すなわち、軸部４２１に対して近接あるいは離間する方向）に進退移動する。
【００３５】
上記の構成によって、搬送ロボット４は、ハンド４１１を、水平面内で旋回させることができ、当該旋回半径方向に沿った進退移動をさせることができ、さらに、昇降移動させることができる。つまり、ハンド４１１を、基板９の主面に平行な面の面内方向と面外方向に移動させることができる。
【００３６】
搬送ロボット４は、制御部１０１の制御下でハンド４１１を移動させて、これを各載置台１に載置された基板収容部９０、アライメント部２、および、処理部３の各々にアクセスさせて、当該各部９０，２，３の間で基板９を搬送する。
【００３７】
＜２．ティーチング装置１０＞
次に、搬送ロボット４に、基板９を搬送するべき位置のティーチングを行うティーチング装置１０について説明する。ティーチング装置１０は、ハンド４１１に直接的にあるいは間接的に設けられた特徴形状部分５３と、基板９の搬送先に配置される治具６，７，８とを備える。
【００３８】
＜２−１．特徴形状部分５３＞
＜ｉ．特徴形状部分５３をハンド４１１に間接的に設ける態様＞
特徴形状部分５３は、例えば、ハンド４１１に脱着自在に取り付けられる治具（以下、「ハンド側治具」ともいう）５に形成される。この場合、ハンド４１１にハンド側治具５が取り付けられることによって、ハンド４１１に特徴形状部分５３が間接的に設けられることになる。
【００３９】
ハンド側治具５について、図３を参照しながら説明する。図３（ａ）は、ハンド側治具５の上面図および側面図である。図３（ｂ）は、別の形態に係るハンド側治具５の上面図である。図３（ｃ）は、ハンド側治具５がハンド４１１に取り付けられた状態を示す図である。
【００４０】
ハンド側治具５は、ハンド４１１の先端部分に対して着脱自在に構成されており、ティーチングを行う際にはハンド４１１の先端部分に取り付けられて用いられる。具体的には、ハンド側治具５は、上方から見てハンド４１１の先端よりも一回り大きな形状の板状部材５１を備え、ハンド４１１の先端部分に、上側から板状部材５１を被せることによって、ハンド側治具５がハンド４１１に取り付けられる。板状部材５１の裏面には、これがハンド４１１に被せられたときにハンド４１１の先端部分の側面に沿うような周壁部５２が形成されており、この周壁部５２がハンド４１１の先端部分の側面に当接することによって、ハンド側治具５とハンド４１１とが互いに位置ずれを起こさないように位置規制される。
【００４１】
板状部材５１には、図３（ｂ）に示されるように、周壁部５２とハンド４１１とが当接し合う部分に窓部５１０を設けてもよい。この構成によると、窓部５１０から、周壁部５２とハンド４１１との位置関係を確認することができる。すなわち、窓部５１０内を視認して、周壁部５２とハンド４１１とが当接し合っていることが確認できれば、ハンド側治具５が適切にハンド４１１に取り付けられていると判断することができる。
【００４２】
ハンド側治具５の表面には、特徴形状部分５３が形成される。この特徴形状部分５３は、基板９（ハンド４１１に保持された状態の基板９）の主面と平行な断面が円弧状の形状部分であり、具体的には、円弧状に切り欠かれた凹部である。この円弧は、中心角が９０°以上かつ１８０°以下の円弧状であることが好ましく、特に、中心角が１８０°の円弧（つまりは半円）であることが好ましい。また、この特徴形状部分５３は、ハンド側治具５の側面であって、ハンド４１１の最先端部分と対応する位置に形成されることが好ましい。
【００４３】
＜ii．特徴形状部分５３をハンド４１１に直接的に設ける態様＞
特徴形状部分５３は、ハンド４１１に直接に形成されていてもよい。
この場合も、ハンド側治具５に特徴形状部分５３を形成する場合と同様、特徴形状部分５３は、基板９（ハンド４１１に保持された状態の基板９）の主面と平行な断面が円弧状の形状部分であり、具体的には、円弧状に切り欠かれた凹部とすることができる。例えば、図３（ｄ）に示されるように、ハンド４１１の側面であって、ハンド４１１の最先端部分に、円弧状に切り欠かれた凹部を形成することによって、特徴形状部分５３を形成することができる。
【００４４】
＜２−２．治具６，７，８＞
次に、特徴形状部分５３と対にして用いられる治具６，７，８について説明する。当該治具６，７，８は、基板９の搬送先（すなわち、ティーチングするべき位置）に応じたものとなっている。
以下においては、載置部１に載置された収容部９０の各棚９２上に基板９を搬送するときの搬送位置のティーチングに用いられる治具（以下「載置台用治具」ともいう）６、アライメント部２の保持部２１上に基板９を搬送するときの搬送位置のティーチングに用いられる治具（以下「アライメント部用治具」ともいう）７、および、処理部３の載置部３２上に基板９を搬送するときの搬送位置のティーチングに用いられる治具（以下「処理部用治具」ともいう）８、のそれぞれについて、説明する。
【００４５】
＜２−２−１．載置台用治具６＞
載置台用治具６について、図４を参照しながら説明する。図４（ａ）は、載置台用治具６の上面図および側面図である。図４（ｂ）は、載置台用治具６が載置台１上に載置された状態を示す図である。図４（ｃ）は、載置台用治具６を用いたティーチングの態様を説明するための図である。
【００４６】
＜ａ．構成＞
載置台用治具６は、ベース部６１と、これに立設されたガイドポール６２と、ガイドポール６２の長手方向内の所定位置に形成されたガイドポイント６３と、を備える。
【００４７】
ベース部６１は、上方から見て基板収容部９０とほぼ同じサイズの板状部材である。ティーチングの際には、このベース部６１が、載置台１における基板収容部９０が載置される位置に載置される。ベース部６１は、好ましくは、載置台１上に設けられている各規制部材１１のＬ字状部分に沿うような形状部分６１１を備える。これによって、ベース部６１を、載置台１上における基板収容部９０が載置される位置に正確に載置することが可能となる。
【００４８】
ガイドポール６２は、柱状部材であり、ベース部６１の表面の法線方向に延在して、下端がベース部６１に固定される。ガイドポール６２は、ベース部６１が載置台１上に載置されたときに、当該載置台１上に正しく載置された基板収容部９０の各棚９２に正しく載置された基板９の中心を通る鉛直軸と重なるような位置に形成される。
ガイドポール６２は、当該基板９の主面と平行な断面の形状（すなわち、長手方向と直交する方向で切断した断面の形状）が一定であり、当該断面形状は、特徴形状部分５３と対応する形状となっている。上述したとおり、この実施の形態では、特徴形状部分５３は円弧状に切り欠かれた凹部であるところ、ガイドポール６２は断面が円形の棒により形成され、当該円の半径が特徴形状部分５３の円弧の曲率半径と一致するようなものとなっている。
【００４９】
ガイドポイント６３は、ガイドポール６２の長手方向内の所定の位置を示すものであり、具体的には例えば、ガイドポール６２の長手方向と直交する方向に延在するけがき線により形成される。ガイドポイント６３は、ベース部６１が載置台１上に載置されたときに、当該載置台１上に正しく載置された基板収容部９０の各棚９２のうちから選択された１個の棚９２（例えば、上下方向において真ん中の棚９２であり、以下「対象棚９２」ともいう）に正しく載置された基板９の表面を通る水平面と重なるような位置に形成される。
【００５０】
＜ｂ．ティーチングの態様＞
載置台用治具６を用いてティーチングを行う態様について説明する。この場合のティーチングポイントは、載置部１に正しく載置された収容部９０における対象棚９２上に正しく載置された基板９の位置である。当該ティーチングポイントが特定されることによって、対象棚９２に基板９を正しい位置で受け渡すことができるようなハンド４１１の位置が特定される。つまり、対象棚９２に対する基板９の受け渡し位置がティーチングされる。
【００５１】
まず、載置台用治具６のベース部６１を、載置台１上における基板収容部９０が載置される位置に載置する。上述したとおり、このとき、ガイドポール６２が、載置部１に載置された収容部９０の対象棚９２に載置される基板９の中心を通る鉛直軸と重なるような位置に配置され、ガイドポイント６３が、当該基板９の表面を通る水平面と重なるような位置に配置される。つまり、ガイドポイント６３が、ティーチングポイントと重なる位置に配置される。
【００５２】
続いて、ハンド側治具５が取り付けられることによって特徴形状部分５３が間接的に形成されたハンド４１１（図３（ｃ））、あるいは、特徴形状部分５３が直接的に形成されているハンド４１１（図３（ｄ））を、水平面内において移動させて、特徴形状部分５３とガイドポール６２とが接触した状態（具体的には、噛み合った状態）として、水平面内においてハンド４１１とガイドポール６２の位置関係を固定する（図４（ｃ）の上面図）。これにより、ハンド４１１の水平面内における位置が決定される。さらに、当該噛み合った状態のままでハンド４１１を昇降させて（すなわち、ガイドポール６２に沿ってスライドさせて）、ハンド４１１あるいはハンド側治具５の例えば上面がガイドポイント６３に配置された状態とする（図４（ｃ）の側面図）。これにより、ハンド４１１の鉛直方向の位置が決定され、水平面内と鉛直方向の両方において（すなわち、３次元位置において）、ハンド４１１がティーチングポイントに位置合わせされた状態となる。
【００５３】
ハンド４１１がティーチングポイントに位置合わせされると、このときのハンド４１１の位置を制御部１０１の記憶装置に記憶する。これによって、ティーチングポイントが特定され、当該特定されたティーチングポイントに基づいて、対象棚９２に対する基板９の受け渡し位置がティーチングされる。ここではさらに、当該ティーチングされた受け渡し位置に基づいて、他の全ての棚９２に対する基板９の受け渡し位置が計算により算出されて記憶される。
【００５４】
＜２−２−２．アライメント部用治具７＞
アライメント部用治具７について、図５を参照しながら説明する。図５（ａ）は、アライメント部用治具７の上面図および側面図である。図５（ｂ）は、アライメント部用治具７が保持部２１上に載置された状態を示す図である。図５（ｃ）は、アライメント部用治具７を用いたティーチングの態様を説明するための図である。
【００５５】
＜ａ．構成＞
アライメント部用治具７は、ベース部７１と、これに立設されたガイドポール７２と、ガイドポール７２の長手方向内の所定位置に形成されたガイドポイント７３と、を備える。
【００５６】
ベース部７１は、上方から見て基板９とほぼ同じサイズの板状部材である。ティーチングの際には、このベース部７１が、アライメント部２の保持部２１上に載置される。具体的には、ベース部７１は、上方から見て、中心が一対の保持具２１０の中心と一致するような位置において、一対の保持具２１０の各載置面２１１上に水平姿勢で載置される。ベース部７１は上方から見て基板９とほぼ同じサイズであるので、このときに、ベース部７１は、一対の保持具２１０の各壁面２１２によって両側から位置規制された状態（すなわち、水平面内において位置ずれを起こさないように位置規制された状態）となる。
【００５７】
ガイドポール７２は、柱状部材であり、ベース部７１の表面の法線方向に延在して、下端がベース部７１に固定される。ガイドポール７２は、ベース部７１が保持部２１上に載置されたときに、保持部２１に正しく保持された基板９の中心を通る鉛直軸と重なるような位置に、形成される。
ガイドポール７２は、当該基板９の主面と平行な断面の形状（すなわち、長手方向と直交する方向で切断した断面の形状）が一定であり、当該断面形状は、特徴形状部分５３と対応する形状となっている。上述したとおり、この実施の形態では、特徴形状部分５３は円弧状に切り欠かれた凹部であるところ、ガイドポール７２は断面が円形の棒により形成され、当該円の半径が特徴形状部分５３の円弧の曲率半径と一致するようなものとなっている。
【００５８】
ガイドポイント７３は、ガイドポール７２の長手方向内の所定の位置を示すものであり、具体的には例えば、ガイドポール７２の長手方向と直交する方向に延在するけがき線により形成される。ガイドポイント７３は、ベース部７１が保持部２１上に載置されたときに、保持部２１に正しく保持される基板９の表面を通る水平面と平行な面であって、当該水平面との離間距離が既知である面（対象面）と重なるような位置に形成される。
【００５９】
＜ｂ．ティーチングの態様＞
アライメント部用治具７を用いてティーチングを行う態様について説明する。この場合のティーチングポイントは、保持部２１に正しく保持された基板９の位置と既知の関係にある位置である。当該ティーチングポイントが特定されることによって、保持部２１に基板９を正しい位置で受け渡すことができるようなハンド４１１の位置が特定される。つまり、保持部２１に対する基板９の受け渡し位置がティーチングされる。
【００６０】
まず、アライメント部用治具７のベース部７１を、保持部２１上に載置する（図５（ｂ））。上述したとおり、このとき、ガイドポール７２が、保持部２１に保持される基板９の中心を通る鉛直軸と重なるような位置に配置され、ガイドポイント７３が、当該基板９の表面を通る水平面と既知の位置関係にある対象面と重なるような位置に配置される。つまり、ガイドポイント７３が、ティーチングポイントと重なる位置に配置される。
【００６１】
続いて、ハンド側治具５が取り付けられることによって特徴形状部分５３が間接的に形成されたハンド４１１（図３（ｃ））、あるいは、特徴形状部分５３が直接的に形成されているハンド４１１（図３（ｄ））を、水平面内において移動させて、特徴形状部分５３とガイドポール７２とが噛み合った状態として、水平面内においてハンド４１１とガイドポール７２の位置関係を固定する（図５（ｃ）の上面図）。これにより、ハンド４１１の水平面内における位置が決定される。さらに、当該噛み合った状態のままでハンド４１１を昇降させて（すなわち、ガイドポール７２に沿ってスライドさせて）、ハンド４１１あるいはハンド側治具５の例えば上面がガイドポイント７３に配置された状態とする（図５（ｃ）の側面図）。これにより、ハンド４１１の鉛直方向の位置が決定され、水平面内と鉛直方向の両方において（すなわち、３次元位置において）、ハンド４１１がティーチングポイントに位置合わせされた状態となる。
【００６２】
ハンド４１１がティーチングポイントに位置合わせされると、このときのハンド４１１の位置を制御部１０１の記憶装置に記憶する。これによって、ティーチングポイントが特定され、当該特定されたティーチングポイントに基づいて、保持部２１に対する基板９の受け渡し位置がティーチングされる。
【００６３】
＜２−２−３．処理部用治具８＞
処理部用治具８について、図６を参照しながら説明する。図６（ａ）は、処理部用治具８の斜視図である。図６（ｂ）は、処理部用治具８が載置部３２上に載置された状態を示す図である。図６（ｃ）は、処理部用治具８を用いたティーチングの態様を説明するための図である。
【００６４】
＜ａ．構成＞
処理部用治具８は、ベース部８１と、これに立設されたガイドポール８２と、ガイドポール８２の長手方向内の所定位置に形成されたガイドポイント８３と、を備える。
【００６５】
ベース部８１は、複数のリフトピン収容部８１１と、これらを連結して一体的に支持する薄板状の支持部８１２と、を備える。各リフトピン収容部８１１は、上端が支持材８１２と連結された筒状の部材であり、載置部３２が備える一群のリフトピン３２１のそれぞれと対応する位置に配置されている。具体的には、この実施形態においては、各リフトピン３２１は三角形の頂点に相当する位置に配置されており、これに対応して、各リフトピン収容部８１１も三角形の頂点に相当する位置に配置される。すなわち、支持部８１２は、当該三角形の２つの辺に沿うような屈曲した形状部分８１３を備え、その両端点および屈曲部分に、リフトピン収容部８１１が連結される。また、支持部８１２は、当該形状部分８１３の各端点と屈曲部分との中間位置を連結する連結部分８１４を備え、ここに、後述するガイドポール８２が固定される。
ベース部８１が載置部３２上に載置された状態において、各リフトピン収容部８１１が各リフトピン３２１に上側から被さり、各リフトピン３２１の先端部分が各リフトピン収容部８１１の筒内部に収容された状態となる。これによって、ベース部８１は、水平面内において位置ずれを起こさないように位置規制された状態となる。
【００６６】
ガイドポール８２は、柱状部材であり、側面において支持部材８１２の連結部分８１４の側面に固定されて、支持部材８１２の表面の法線方向に延在するように配置される。ガイドポール８２は、ベース部８１が載置部３２上に載置されたときに、載置部３２に正しく載置された基板９の中心を通る鉛直軸と重なるような位置に、形成される。
ガイドポール８２は、当該基板９の主面と平行な断面の形状（すなわち、長手方向と直交する方向で切断した断面の形状）が一定であり、当該断面形状は、特徴形状部分５３と対応する形状となっている。上述したとおり、この実施の形態では、特徴形状部分５３は円弧状に切り欠かれた凹部であるところ、ガイドポール８２は、円弧状に膨らんだ凸状断面を有する棒状部材（具体的には、断面が半長円（すなわち、長円（二つの等しい長さの平行線と二つの半円形からなる図形）を、その平行線と直交する分割線に沿って半分に分割した形状）の棒状部材）により形成され、当該円弧状の部分の曲率半径が、特徴形状部分５３の円弧の曲率半径と一致するようなものとなっている。
【００６７】
ガイドポイント８３は、ガイドポール８２の長手方向内の所定の位置を示すものであり、具体的には例えば、ガイドポール８２の長手方向と直交する方向に延在するけがき線により形成される。ガイドポイント８３は、ベース部８１が載置部３２上に載置されたときに、載置部３２上に正しく載置された基板９の表面を通る水平面（あるいは、当該水平面と平行であって、当該水平面との離間距離が既知である面であってもよい）と重なるような位置に形成される。
【００６８】
＜ｂ．ティーチングの態様＞
アライメント部用治具７を用いてティーチングを行うに態様について説明する。この場合のティーチングポイントは、載置部３２に正しく載置された基板９の位置（あるいは、当該位置と既知の関係にある位置）である。当該ティーチングポイントが特定されることによって、載置部３２に基板９を正しい位置で受け渡すことができるようなハンド４１１の位置が特定される。つまり、載置部３２に対する基板９の受け渡し位置がティーチングされる。
【００６９】
まず、アライメント部用治具７のベース部材８１を載置部３２上に載置して、各リフトピン収容部８１１が各リフトピン３２１に上側から被さって各リフトピン３２１の先端部分が各リフトピン収容部８１１の筒内部に収容された状態とする（図６（ｂ））。上述したとおり、このとき、ガイドポール８２が、載置部３２に載置される基板９の中心を通る鉛直軸に重なるような位置に配置され、ガイドポイント８３が、当該基板９の表面を通る水平面と重なるような位置に配置される。つまり、ガイドポイント８３が、ティーチングポイントと重なる位置に配置される。
【００７０】
続いて、ハンド側治具５が取り付けられることによって特徴形状部分５３が間接的に形成されたハンド４１１（図３（ｃ））、あるいは、特徴形状部分５３が直接的に形成されているハンド４１１（図３（ｄ））を、水平面内において移動させて、特徴形状部分５３とガイドポール８２とが噛み合った状態として、水平面内においてハンド４１１とガイドポール８２の位置関係を固定する（図６（ｃ）の上面図）。これにより、ハンド４１１の水平面内における位置が決定される。さらに、当該噛み合った状態のままでハンド４１１を昇降させて（すなわち、ガイドポール８２に沿ってスライドさせて）、ハンド４１１あるいはハンド側治具５の例えば上面がガイドポイント８３に配置された状態とする（図６（ｃ）の側面図）。これにより、ハンド４１１の鉛直方向の位置が決定され、水平面内と鉛直方向の両方において（すなわち、３次元位置において）、ハンド４１１がティーチングポイントに位置合わせされた状態となる。
【００７１】
ハンド４１１がティーチングポイントに位置合わせされると、このときのハンド４１１の位置を制御部１０１の記憶装置に記憶する。これによって、ティーチングポイントが特定され、当該特定されたティーチングポイントに基づいて、載置部３２に対する基板９の受け渡し位置がティーチングされる。
【００７２】
＜３．変形例＞
上記に例示したティーチング装置１０は、特徴形状部分５３が円弧状に切り欠かれた凹部であり、これと対になって用いられる各治具６，７，８が円弧状に膨らんだ凸状断面を有するものとしたが、各部の形状の組み合わせはこれに限らない。例えば、特徴形状部分５３が、円弧状に膨らんだ凸部であり、これと対になって用いられる各治具６，７，８が当該円弧の曲率半径と一致するような曲率半径の円弧状に凹んだ凹状断面を有するものであってもよい。
【００７３】
上記に例示した各治具６，７，８において、ガイドポイント６３，７３，８３は、ガイドポール部６１，７１，８１の延在途中に形成されたけがき線により構成されていたが、ガイドポイントの構成例はそれに限らない。例えば、ガイドポール部６１，７１，８１の上端位置が、ガイドポイントを構成してもよい。
【００７４】
上記の実施形態では、ガイドポイント６３，７３，８３が、ティーチングポイントと重なる位置に配置されていたが、ガイドポイント６３，７３，８３は必ずしもティーチングポイントと重なる位置に配置される必要はない。例えば、ガイドポイント６３，７３，８３は、ティーチングポイントから離れた位置であってティーチングポイントと既知の位置関係にあるような位置に配置されてもよい。
【００７５】
上記に例示したティーチング装置１０は、上記に例示した位置以外の各種の位置のティーチングに適用することができる。
【００７６】
上記に例示したティーチング装置１０は、上記に例示した構成以外の各種の基板処理装置のティーチングに用いることができる。
【符号の説明】
【００７７】
１  載置台
２  アライメント装置
２１  保持部
３  処理部
３２  載置部
３２２  リフトピン
４  搬送ロボット
４１  搬送アーム
４１１  ハンド
５  ハンド側治具
５３  特徴形状部分
６  載置台用治具
７  アライメント部用治具
８  処理部用治具
６１，７１，８１  ベース部
６２，７２，８２  ガイドポール
６３，７３，８３  ガイドポイント
１０  ティーチング装置
１００  基板処理装置
１０１  制御部
【図１】
2017222014.tif 000003
【図２】
2017222014.tif 000004
【図３】
2017222014.tif 000005
【図４】
2017222014.tif 000006
【図５】
2017222014.tif 000007
【図６】
2017222014.tif 000008