(57)【要約】【課題】二つの封止部材の間の領域を容易に真空にして腐食性ガスを遮断する。【解決手段】レーザ発振器（３０）の真空容器（１０）は、配管（１１）と被差込部材（１２）との間に配置された第一封止部材（１５）および第二封止部材（１６）を含む。第一封止部材は第二封止部材よりも耐食性の高い材料から形成されており、第一封止部材は第二封止部材よりも真空側に配置されており、第二封止部材は第一封止部材よりも封止性の高い材料から形成されており、第一封止部材はその封止性能を高めるように変形する変形部（１８ａ〜１８ｅ）を少なくとも部分的に含む。【選択図】図１
2017038008.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ発振器（３０）の真空容器（１０）において、
円筒形状または角筒形状の配管（１１）と、
該配管が差込まれる被差込部材（１２）と、
前記配管と前記被差込部材との間に配置された第一封止部材（１５）および第二封止部材（１６）を具備し、
前記第一封止部材は前記第二封止部材よりも耐食性の高い材料から形成されており、
前記第一封止部材は前記第二封止部材よりも真空側に配置されており、
前記第二封止部材は前記第一封止部材よりも封止性の高い材料から形成されており、
前記第一封止部材はその封止性能を高めるように変形する変形部（１８ａ〜１８ｅ）を少なくとも部分的に含むレーザ発振器の真空容器。
【請求項２】
前記変形部（１８ａ〜１８ｅ）は前記第一封止部材をそのシール性能を高めた状態で保持する請求項１に記載のレーザ発振器の真空容器。
【請求項３】
前記変形部（１８ａ）は、前記第一封止部材の周囲の圧力が低下することにより変形する請求項１または２に記載のレーザ発振器の真空容器。
【請求項４】
前記変形部（１８ｂ〜１８ｄ）は、前記第一封止部材に含まれる形状記憶金属または形状記憶樹脂である請求項１または２に記載のレーザ発振器の真空容器。
【請求項５】
前記変形部（１８ｅ）は揮発成分を含んでいて前記第一封止部材の切欠（１９）に配置されており、前記変形部は前記揮発成分が揮発することにより変形する請求項１または２に記載のレーザ発振器の真空容器。
【請求項６】
前記第一封止部材の一部分（１５ａ）が前記第二封止部材と前記被差込部材との間に把持される請求項１から５のいずれか一項に記載のレーザ発振器の真空容器。
【請求項７】
前記第一封止部材の少なくとも一部分がフッ素樹脂からなる請求項１から６のいずれか一項に記載のレーザ発振器の真空容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ発振器の真空容器、特に配管と被差込部材との間に配置された第一封止部材および第二封止部材を含むレーザ発振器の真空容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
高速軸流型の炭酸ガスレーザ発振器の真空容器は、レーザガスを含む共振器、レーザガスを励起する放電部、レーザガスを循環させる送風機、および放電部で発生する熱と送風機の圧縮熱とを冷却する熱交換器を含んでいる。
【０００３】
図１１は従来技術における真空容器の部分断面図である。図１１に示されるように、真空容器は、アルミニウム製の配管１１０と、配管１１０が差込まれるフランジ１３０を備えたステンレス製の被差込部材１２０とを含んでいる。なお、これら配管１１０および被差込部材１２０が他の材料から形成されていてもよい。そして、被差込部材１２０のフランジ１３０の内周面には溝部１４０が形成されている。Ｏリング１６０が溝部１４０に配置され、それにより、配管１１０と被差込部材１２０との間を封止している。
【０００４】
放電部（図１１には示さない）を通過したレーザガスの一部がイオン化して、図１１に矢印で示されるように配管１１０とフランジ１３０との間の隙間を通ってＯリング１６０に到達する場合がある。そのような場合には、Ｏリング１６０が酸化および／または侵蝕されるので、Ｏリング１６０のシール性が低下する。
【０００５】
Ｏリング１６０の酸化および／または侵蝕の進行度合いは、配管１１０とフランジ１３０との間の隙間の長手方向距離と、Ｏリング１６０のレーザガスに対する接触面積（開口度）とに応じて定まる。言い換えれば、前述した長手方向距離が短いほど、および接触面積が大きいほど、Ｏリング１６０は早く酸化および／または侵蝕される。図５に示されるように、配管１１０の周面に配置されるＯリングは比較的接触面積が大きいので、Ｏリング１６０の交換周期は短いという問題がある。
【０００６】
このようにＯリングはその耐食性が低いので、真空系にて腐食性ガスを扱う半導体製造装置やシール装置においては、Ｏリングの代わりに、金属製の封止部材や耐食性を有する樹脂製封止部材などが使用されている。しかしながら、金属製の封止部材や耐食性を有する樹脂製封止部材はその弾力性が小さく、また、一旦変形させると再利用できないという問題があった。
【０００７】
このため、特許文献１、特許文献２および特許文献３においては、真空側に配置された耐食性の高い封止部材と、大気圧側に配置された弾力性の高い封止部材とを併用している。特に、特許文献３では、例えば図１２に示されるように、大気圧側に配置された弾力性の高い封止部材としてＯリング１６０を配置し、真空側に配置された封止部材１５０として断面Ｖ字形状の弾性部材を配置することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−９２８９２号公報
【特許文献２】特開２０００−１０６２９８号公報
【特許文献３】再表２００４／０３８７８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、Ｏリング１６０と封止部材１５０とを配置した後で、Ｏリング１６０と封止部材１５０との間の領域を真空にするのは困難である。レーザ発振器の稼働中において、Ｏリング１６０と封止部材１５０との間の領域の大気ガスが、レーザガス循環系に徐々に混入する場合がある。その結果、予め最適化されていたレーザガスの混合比率が変化して、レーザ発振器の性能が不安定になる問題もある。
【００１０】
また、Ｏリング１６０および／または封止部材１５０を配管１１０およびフランジ１３０に接触させる必要があるので、配管１１０およびフランジ１３０を組付ける自由度が小さく、配管および被差込部材を組付けし難いという問題もあった。
【００１１】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、二つの封止部材の間の領域を容易に真空にしてレーザガス内の腐食性ガスを遮断できるレーザ発振器の真空容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前述した目的を達成するために１番目の発明によれば、レーザ発振器の真空容器において、円筒形状または角筒形状の配管と、該配管が差込まれる被差込部材と、前記配管と前記被差込部材との間に配置された第一封止部材および第二封止部材を具備し、前記第一封止部材は前記第二封止部材よりも耐食性の高い材料から形成されており、前記第一封止部材は前記第二封止部材よりも真空側に配置されており、前記第二封止部材は前記第一封止部材よりも封止性の高い材料から形成されており、前記第一封止部材はその封止性能を高めるように変形する変形部を少なくとも部分的に含むレーザ発振器の真空容器が提供される。
２番目の発明によれば、１番目の発明において、前記変形部は前記第一封止部材をそのシール性能を高めた状態で保持する。
３番目の発明によれば、１番目または２番目の発明において、前記変形部は、前記第一封止部材の周囲の圧力が低下することにより変形する。
４番目の発明によれば、１番目または２番目の発明において、前記変形部は、前記第一封止部材に含まれる形状記憶金属または形状記憶樹脂である。
５番目の発明によれば、１番目または２番目の発明において、前記変形部は揮発成分を含んでいて前記第一封止部材の切欠に配置されており、前記変形部は前記揮発成分が揮発することにより変形する。
６番目の発明によれば、１番目から５番目のいずれかの発明において、前記第一封止部材の一部分が前記第二封止部材と前記被差込部材との間に把持される。
７番目の発明によれば、１番目から６番目のいずれかの発明において、前記第一封止部材の少なくとも一部分がフッ素樹脂からなる。
【発明の効果】
【００１３】
１番目の発明においては、第一封止部材および第二封止部材を配置して真空引きを開始した後でまたは真空引きの開始と同時に第一封止部材の変形部を変形させることにより、第一封止部材と第二封止部材との間の領域を容易に真空にすることができる。このため、第一封止部材と第二封止部材との間の領域の大気ガスを排除することができる。また、耐食性の高い第一封止部材が真空側に配置されるので、レーザガス内の腐食性ガスが第二封止部材に到達するのを防止し、第二封止部材の劣化をさらに抑えることができる。その結果、第一封止部材および第二封止部材の交換周期を長くすることができる。
２番目の発明においては、第一封止部材をそのシール性能を高めた状態で保持できるので、周囲の状態に関わらず、第一封止部材が長期にわたってレーザガス内の腐食性ガスを遮断できる。
３番目の発明においては、第一封止部材および第二封止部材を配置した後で真空引きするときの気圧変化によって変形部が変形し、それにより、第一封止部材自体を変形させられる。
４番目の発明においては、第一封止部材および第二封止部材を配置した後で一定時間が経過することまたは温度が変化することにより、形状記憶金属または形状記憶樹脂形状記憶材料を含む変形部が変形し、それにより、第一封止部材自体を変形させられる。
５番目の発明においては、第一封止部材および第二封止部材を配置した後で真空引きすることによって、第一弾性部材の変形部に含まれる揮発成分が揮発し、それにより、第一封止部材自体を変形させられる。
６番目の発明においては、第一封止部材の一部分、例えばシート状部分を第二封止部材と被差込部材との間に把持することにより、第一封止部材を第二封止部材の近傍に固定することができる。
７番目の発明においては、第一封止部材のフッ素樹脂は、第二封止部材であるフッ素ゴム製Ｏリングに比べ耐食性が高く、加工も比較的容易で、一般的に流通しており材料で入手容易である。
【００１４】
添付図面に示される本発明の典型的な実施形態の詳細な説明から、本発明のこれら目的、特徴および利点ならびに他の目的、特徴および利点がさらに明解になるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に基づく真空容器を含むレーザ発振器の略図である。
【図２】本発明に基づく真空容器の部分斜視図である。
【図３Ａ】本発明の第一の実施形態に基づく真空容器の部分断面図である。
【図３Ｂ】本発明の第一の実施形態に基づく真空容器の他の部分断面図である。
【図４Ａ】一つの例における第一封止部材の正面図である。
【図４Ｂ】図４Ａに示される第一封止部材の断面図である。
【図５Ａ】第一封止部材の第一例を示す部分断面図である。
【図５Ｂ】第一封止部材の第一例を示す他の部分断面図である。
【図６Ａ】第一封止部材の第二例を示す部分断面図である。
【図６Ｂ】第一封止部材の第二例を示す他の部分断面図である。
【図７Ａ】第一封止部材の第三例を示す部分断面図である。
【図７Ｂ】第一封止部材の第三例を示す他の部分断面図である。
【図８Ａ】第一封止部材の第四例を示す部分断面図である。
【図８Ｂ】第一封止部材の第四例を示す他の部分断面図である。
【図９Ａ】第一封止部材の第五例を示す部分断面図である。
【図９Ｂ】第一封止部材の第五例を示す他の部分断面図である。
【図１０Ａ】第一封止部材の第六例を示す部分断面図である。
【図１０Ｂ】図１０Ａに示される第一封止部材が配置された真空容器の部分断面図である。
【図１１】従来技術における真空容器の部分断面図である。
【図１２】従来技術における真空容器の他の部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の図面において同様の部材には同様の参照符号が付けられている。理解を容易にするために、これら図面は縮尺を適宜変更している。
図１は本発明に基づく真空容器を含むレーザ発振器の略図である。図１に示されるレーザ発振器３０は例えば炭酸ガスレーザ発振器である。図１においては、レーザ発振器３０は、直列に配置された放電管３１ａ、３１ｂと、これら放電管３１ａ、３１ｂを互いに連結する中央ブロック３２と、放電管３１ａの一端および放電管３１ｂの他端にそれぞれ連結する端部ブロック３３ａ、３３ｂとを含んでいる。
【００１７】
図示されるように、放電管３１ａおよび放電管３１ｂの間から気体であるレーザ媒質を吸込む吸込管路３８が中央ブロック３２から延びている。また、端部ブロック３３ａ、３３ｂにレーザ媒質を吐出する戻り管路３９ａ、３９ｂが延びている。
【００１８】
図１に示されるように、放電管３１ａの一端および放電管３１ｂの他端には出力鏡３４およびリア鏡３５がそれぞれ配設されている。そして、出力鏡３４とリア鏡３５との間には光共振空間が形成されている。また、図示しないものの、放電管３１ａ、３１ｂをそれぞれ挟むように電極対が配置されているものとする。
【００１９】
さらに、図１に示されるように、中央ブロック３２から延びる吸込管路３８はターボブロワ３６で終端している。ターボブロワ３６は、ターボブロワ３６の左右端から端部ブロック３３ａ、３３ｂまでそれぞれ延びる二つの戻り管路３９ａ、３９ｂにレーザガスを戻してレーザガスを循環させる。
【００２０】
また、吸込管路３８には第一熱交換器３７ａが配置され、戻り管路３９ａ、３９ｂには、第二熱交換器３７ｂおよび第三熱交換器３７ｃがそれぞれ配置されている。これら第一熱交換器３７ａ〜第三熱交換器３７ｃは、放電管で発生した熱とターボブロワ３６の圧縮熱とを冷却する役目を果たす。
【００２１】
放電管３１ａ、３１ｂ、中央ブロック３２、端部ブロック３３ａ、３３ｂ、吸込管路３８および戻り管路３９ａ、３９ｂは互いに連結されて、密閉された真空容器１０を形成している。真空容器１０には、所定のレーザガスが大気から遮断された状態で封入されている。レーザガスとしては、炭酸ガス、窒素ガス、ヘリウムガス等のレーザ媒体を所定の割合で含んだレーザ発振用の媒質ガスが用いられ、腐食性ガスを含みうる。
【００２２】
図２は本発明に基づく真空容器の部分斜視図である。図２には真空容器１０の一部分が示されていて、真空容器１０は管材１１と管材１１が差込まれる被差込部材１２とを含んでいる。ここで、管材１１は例えば放電管３１ａ、３１ｂ、吸込管路３８および戻り管路３９ａ、３９ｂである。また、被差込部材１２は例えば中央ブロック３２、および端部ブロック３３ａ、３３ｂである。なお、管材１１は円筒形状または角筒形状であってよく、被差込部材１２の差込断面はこれに対応した形状であってよい。以下においては、真空容器１０は少なくとも一つの管材１１と少なくとも一つの被差込部材１２とから形成されるものとする。
【００２３】
図３Ａおよび図３Ｂは本発明の第一の実施形態に基づく真空容器の部分断面図である。図２から図３Ｂに示されるように、管材１１の周面にはリング状の第一封止部材１５および第二封止部材１６が順次配置されている。第一封止部材１５は第二封止部材１６よりも管材１１の先端側に配置されている。管材１１および被差込部材１２の内部空間は真空引きされ得るので、第一封止部材１５は第二封止部材１６よりも真空側に配置されているといえる。
【００２４】
第一封止部材１５および第二封止部材１６はいずれも弾性部材でありうる。第一封止部材１５は第二封止部材１６よりも耐食性の高い材料、例えばテフロン（登録商標）などのフッ素系樹脂から少なくとも部分的に形成される。第二封止部材１６は第一封止部材１５よりも封止性の高い材料、例えばフッ素ゴムから形成されるのが好ましい。或る実施形態においては、第二封止部材１６はフッ素ゴム製Ｏリングである。
【００２５】
第一封止部材１５および第二封止部材１６が配置された状態で管材１１を被差込部材１２のフランジ１３に挿入する。これにより、第二封止部材１６はフランジ１３の内周面に形成された溝部１４に配置される。次いで、フランジ１３の端面に蓋部１３ａを配置してボルト締めし、それにより、第二封止部材１６を圧縮して封止する。なお、第一封止部材１５および第二封止部材１６のうちの少なくとも一方が予め配置された被差込部材１２に管材１１を挿入する構成であってもよい。
【００２６】
ここで、図４Ａは一つの例における第一封止部材の正面図であり、図４Ｂは第一封止部材の断面図である。これら図面に示されるように第一封止部材１５はリング状の部材であり、変形部１８ａと変形部１８ａを取囲む外皮部１７とを備えている。外皮部１７は前述したフッ素系樹脂から形成される。図４Ａに示されるように、変形部１８ａは第一封止部材１５の内周面近傍の一部分においてのみ含まれている。さらに、図４Ｂに示されるように、変形部１８ａは第一封止部材１５の軸方向のほぼ全体に亙って延びている。なお、変形部１８ａが第一封止部材１５の内周面近傍において周方向全体にわたって配置されていてもよい。
【００２７】
また、図５Ａは第一封止部材の第一例を示す部分断面図であり、大気圧下における状態を示している。外皮部１７は変形部１８ａに隣接する凹部１７ａをその外周面に部分的に備えている。これら図面に示される変形部１８ａは中空部であり、大気圧よりわずかながら大きい所定の圧力のガスが封入されている。
【００２８】
図３Ａに示されるように、第一封止部材１５および第二封止部材１６を前述したように真空容器１０に配置した後で、真空容器１０を真空引きする。真空引きを開始すると、１０の内部空間および第一封止部材１５と第二封止部材１６との間の領域が次第に減圧される。そして、第一封止部材１５の周囲の圧力が変形部１８ａの圧力よりも低下すると、図５Ｂに示されるように第一封止部材１５の外皮部１７が膨張し始める。特に外皮部１７の凹部１７ａが外側に向かって凸上に膨張する。これに伴って、第一封止部材１５の外皮部１７が膨張して第一封止部材１５自体が変形する。
【００２９】
最終的に、図３Ｂに示されるように、第一封止部材１５は管材１１と被差込部材１２のフランジ１３との間の隙間を充填するようになる。その結果、第一封止部材１５はその封止性能を発揮できるようになる。言い換えれば、変形部１８ａは第一封止部材１５の封止性能を高めるように変形する。
【００３０】
さらに、外皮部１７は変形部１８ａが膨張した後で、その変形状態を維持するのに十分な強度および弾性を有している。従って、レーザ発振器３０が停止して、レーザガスをパージした後であっても、第一封止部材１５の変形状態が維持される。なお、第一封止部材１５の周囲圧力が高くなると、第一封止部材１５は元の形状に戻る。
【００３１】
このように、本発明においては、真空引きの開始の後で第一封止部材１５の変形部１８ａが変形するので、第一封止部材１５と第二封止部材１６との間の領域を容易に真空にすることができる。なお、変形部１８ａ内の圧力を調整することにより、真空引きの開始と同時に変形部１８ａを変形させることも可能である。本発明では、第一封止部材１５と第二封止部材１６との間の領域の大気ガスを排除できるので、第一封止部材１５と第二封止部材１６の領域の大気ガスが、レーザガス循環系に徐々に混入することなく、予め最適化されていたレーザガスの混合比率が変化して、レーザ発振器の性能が不安定になることはない。
【００３２】
さらに、本発明では耐食性の高い第一封止部材１５が真空側に配置されるので、レーザガス内の腐食性ガスが第二封止部材１６に到達するのを防止し、第二封止部材１６の劣化をさらに抑えることができる。その結果、第一封止部材１５および第二封止部材１６の交換周期を長くすることができる。
【００３３】
さらに、本発明では、第一封止部材１５のための溝部を被差込部材１２のフランジ１３に形成する必要がない。このため、被差込部材１２を低コストで作成でき、また第一封止部材１５を容易に組付けることも可能である。従って、既存のレーザ発振器３０の真空容器１０に第一封止部材１５を容易に後付けすることもできる。
【００３４】
さらに、本発明では、第二封止部材１６の耐食性は必ずしも高い必要がないので、第二封止部材１６に対して安価な材料、例えばフッ素ゴムを採用できる。さらに、本発明では腐食性ガスと第二封止部材１６との間の接触面積（開口率）が下がるので、第二封止部材１６のさらに劣化を抑制できる。
【００３５】
さらに、図６Ａは第一封止部材の第二例を示す部分断面図であり、図６Ｂは第一封止部材の第二例を示す他の部分断面図である。図６Ａおよび図６Ｂに示される第一封止部材１５は変形部１８ｂと変形部１８ｂを取囲む外皮部１７とを備えている。そして、変形部１８ｂは形状記憶金属または形状記憶樹脂から形成されている。
【００３６】
さらに、図７Ａは第一封止部材の第三例を示す部分断面図であり、図７Ｂは第一封止部材の第三例を示す他の部分断面図である。図７Ａおよび図７Ｂに示される第一封止部材１５は略Ｕ字形状の変形部１８ｃと変形部１８ｃを取囲む外皮部１７とを備えている。図面から分かるように、外皮部１７は変形部１８ｃを部分的に取囲んでおり、開口部１７ｂを有している。そして、変形部１８ｃは形状記憶金属または形状記憶樹脂から形成されている。
【００３７】
さらに、図８Ａは第一封止部材の第四例を示す部分断面図であり、図８Ｂは第一封止部材の第四例を示す他の部分断面図である。図８Ａおよび図８Ｂに示される第一封止部材１５は変形部１８ｄと変形部１８ｄを取囲む外皮部１７とを備えている。図面から分かるように、変形部１８ｄは波形の断面を有しており、外皮部１７もこれに対応した形状である。そして、変形部１８ｄは形状記憶金属または形状記憶樹脂から形成されている。
【００３８】
また、図６Ａ、図７Ａおよび図８Ａは大気圧下における状態を示しており、図６Ｂ、図７Ｂおよび図８Ｂは第一封止部材１５の周囲圧力が低下したときの状態を示している。これら図面に示される第一封止部材１５の外観および変形部１８ａ〜１８ｄの位置などは図４Ａに示した第一封止部材１５と概ね同様である。
【００３９】
第一封止部材１５および第二封止部材１６を前述したように真空容器１０に配置して、一定時間が経過するかまたは周囲温度を変化させると、例えば変形部１８ｂは図６Ｂに示されるように部分的に上方に折曲がるようになる。同様に、変形部１８ｃは図７Ｂに示されるように略Ｕ字形状から菱形状に変形する。さらに、変形部１８ｄは図８Ｂに示されるように波形の振幅が大きくなるように変形する。
【００４０】
このように変形部１８ｂ〜１８ｄが変形すると、第一封止部材１５自体がそれに伴って変形し、それにより、第一封止部材１５は管材１１と被差込部材１２のフランジ１３との間の隙間を充填するようになる。従って、前述したのと同様な効果を得ることができる。
【００４１】
さらに、図９Ａは第一封止部材の第五例を示す部分断面図であり、図９Ｂは第一封止部材の第五例を示す他の部分断面図である。図９Ａは大気圧下における状態を示しており、図９Ｂは第一封止部材１５の周囲圧力が低下したときの状態を示している。これら図面に示される第一封止部材１５の外観および変形部１８ｅの位置などは図４Ａに示した第一封止部材１５と概ね同じである。
【００４２】
図９Ａに示される第一封止部材１５の上面（外周面）には切欠１９が形成されている。そして、切欠１９には変形部１８ｅが配置されている。変形部１８の上面は第一封止部材１５の上面と同一平面になっている。変形部１８ｅには揮発成分が含まれている。
【００４３】
第一封止部材１５および第二封止部材１６を前述したように真空容器１０に配置した後で、真空容器１０を真空引きする。これにより、揮発成分が次第に揮発して、図９Ｂに示されるように変形部１８ｅが上方に折曲がるよう変形する。これにより、第一封止部材１５自体が変形し、その結果、第一封止部材１５は管材１１と被差込部材１２のフランジ１３との間の隙間を充填するようになる。従って、前述したのと同様な効果を得ることができる。
【００４４】
さらに、図１０Ａは第一封止部材の第六例を示す部分断面図である。図１０Ａに示されるように、第一封止部材１５はその一端から上方（半径方向外側）に延びる延長部１５ａを含んでいる。延長部１５ａはその先端に向かって先細になるのが好ましい。従って、図１０Ａに示される第一封止部材１５は略Ｌ字形状である。また、図１０Ａに示される第一封止部材１５は前述した変形部１８ｂを含んでいるが、他の変形部１８ａ、１８ｃ〜１８ｅのいずれかを含んでいてもよい。
【００４５】
図１０Ｂは図１０Ａに示される第一封止部材が配置された真空容器の部分断面図である。図１０Ｂに示されるように、第一封止部材１５は、延長部１５ａが第二封止部材１６とフランジ１３の溝部１４との間に把持されるように配置される。この場合には、第一封止部材１５を第二封止部材１６の近傍に確実に固定することができる。従って、真空引きするときであっても、第一封止部材１５はその位置を変えることはない。また、第一封止部材１５と第二封止部材１６との間の領域が小さくなるので、この領域にレーザガスが混入する可能性も小さくできる。従って、前述した効果をさらに高められるのが分かるであろう。
【００４６】
典型的な実施形態を用いて本発明を説明したが、当業者であれば、本発明の範囲から逸脱することなしに、前述した変更および種々の他の変更、省略、追加を行うことができるのを理解できるであろう。
【符号の説明】
【００４７】
１０    真空容器
１１    管材
１２    被差込部材
１３    フランジ
１３ａ    蓋部
１４    溝部
１５    第一封止部材
１５ａ    延長部
１６    第二封止部材
１７    外皮部
１７ａ    凹部
１７ｂ    開口部
１８ａ〜１８ｅ    変形部
１９    切欠
３０    レーザ発振器
３１ａ、３１ｂ    放電管
３２    中央ブロック
３３ａ、３３ｂ    端部ブロック
３４    出力鏡
３５    リア鏡
３６    ターボブロワ
３７ａ〜３７ｃ    熱交換器
３８    吸込管路
３９ａ、３９ｂ    戻り管路
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１】
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【図１２】
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