(57)【要約】【課題】  複数のヘッドモジュールを備える液体吐出ヘッドにおいて、隣接するヘッドモジュール間における液体の圧力差・温度差により、ヘッドモジュールのつなぎ目で印字ムラが発生する。【解決手段】  第１の方向に延在し記録媒体の幅に対応した長さを有する流路を備える流路部材と、前記流路から供給される液体を吐出する吐出口を備え、前記第１の方向に配列される複数の記録素子基板と、を備える記録媒体の幅に対応した長さを有するページワイド型の液体吐出ヘッドにおいて、前記流路部材は、前記流路の前記第１の方向における一端側の端部に当該流路に液体を導入するための導入口を備え、前記導入口から前記流路に導入された液体は前記流路を前記流路の他端側の端部に供給されることを特徴とする。【選択図】  図１
2017209813.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向に延在し記録媒体の幅に対応した長さを有する流路を備える流路部材と、
前記流路から供給される液体を吐出する吐出口を備え、前記第１の方向に配列される複数の記録素子基板と、
を備える記録媒体の幅に対応した長さを有するページワイド型の液体吐出ヘッドにおいて、
前記流路部材は、前記第１の方向における前記流路の一端側の端部に当該流路に液体を導入するための導入口を備え、前記導入口から前記流路に導入された液体は前記流路の一端側の端部から前記流路の他端側の端部に供給されることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
第１の方向に延在し記録媒体の幅に対応した長さを有する流路を備える流路部材と、
前記流路から供給される液体を吐出する吐出口を備え、前記第１の方向に配列される複数の記録素子基板と、
を備える記録媒体の幅に対応した長さを有するページワイド型の液体吐出ヘッドにおいて、
前記流路部材は、前記第１の方向における前記流路の中央部に当該流路に液体を導入するための導入口を備え、前記導入口から前記流路に導入された液体は、前記流路の中央部から前記流路の前記第１の方向における一端側の端部、及び他端側の端部に供給されることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記複数の記録素子基板は、前記第１の方向に関して直線状に配されている、請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記流路部材の流路は前記複数の記録素子基板に液体を供給するための複数の導出口を備え、当該複数の導出口は前記第１の方向に沿って配列されている、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記流路は前記中央部から前記一端側に延伸する第１の流路と前記中央部から前記他端側に延伸する第２の流路とを含む、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記導入口は、前記第１の流路の前記中央部に設けられる第１の導入口と、前記第２の流路の前記中央部に設けられる第２の導入口とを含む、請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記第１の導入口と前記第２の導入口とを連通する共通流路を有する接続部材を備える、請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記流路部材と前記記録素子基板との間には、前記流路部材の流路の内部の液体を前記記録素子基板に供給するための支持部材が設けられている、請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記支持部材は、前記記録素子基板を支持する第１の支持部材と、前記第１の支持部材を支持し、当該第１の支持部材と前記流路部材との間に設けられる第２の支持部材とを含む、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記第１の支持部材は前記複数の記録素子基板の夫々に対応して複数設けられる、請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記流路部材は複数の前記第２の支持部材を支持しており、各々の前記第２の支持部材は複数の前記第１の支持部材を支持している、請求項９又は１０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記流路部材の流路の高さは前記導入口の開口径よりも大きい、請求項１から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記吐出口から液体が吐出される方向からみて、前記導入口と前記導出口はオフセットしている、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記記録素子基板の外形は平行四辺形である、請求項１から１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力発生素子を利用して、圧力室内の液体を吐出口から吐出可能な液体吐出ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェットプリンタは家庭での印刷のみならず、ビジネスやリテールフォト用などの業務用、あるいは電子回路描画やパネルディスプレイ用などの産業用にも用いられ、その用途は広がりつつある。このような業務用印刷等におけるインクジェットプリンタの液体吐出ヘッドは高速での印刷が要求される。このため、液体吐出ヘッドの幅を記録媒体幅よりも長尺なフルラインヘッド（ページワイドヘッド）が適用されている。このようなフルラインヘッドとしては、複数の記録素子基板を配列したヘッドモジュールを支持部材上に搭載する方法が特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】ＵＳ６３５００１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら特許文献１のように、各ヘッドモジュールの中央部の流入口からインクを供給する構成では、各ヘッドモジュールに供給される液体の流れの方向が、ヘッドモジュールの中央部から両端部に向かう方向となる。この場合、隣接するヘッドモジュール間の液体の温度差により吐出される液滴の体積がばらつくため、ヘッドモジュールのつなぎ目で印字ムラ（濃度ムラ）が発生する。
【０００５】
本発明は上記課題に鑑み、複数のヘッドモジュール構成の液体吐出ヘッドにおいて、各ヘッドモジュールのつなぎ部における濃度ムラを軽減した液体吐出ヘッドの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の方向に延在し記録媒体の幅に対応した長さを有する流路を備える流路部材と、前記流路から供給される液体を吐出する吐出口を備え、前記第１の方向に配列される複数の記録素子基板と、を備える記録媒体の幅に対応した長さを有するページワイド型の液体吐出ヘッドにおいて、前記流路部材は、前記第１の方向における前記流路の一端側の端部に当該流路に液体を導入するための導入口を備え、前記導入口から前記流路に導入された液体は前記流路の一端部の端部から前記流路の他端側の端部に供給されることを特徴とする。
【０００７】
また、第１の方向に延在し記録媒体の幅に対応した長さを有する流路を備える流路部材と、前記流路から供給される液体を吐出する吐出口を備え、前記第１の方向に配列される複数の記録素子基板と、を備える記録媒体の幅に対応した長さを有するページワイド型の液体吐出ヘッドにおいて、前記流路部材は、前記第１の方向における前記流路の中央部に当該流路に液体を導入するための導入口を備え、前記導入口から前記流路に導入された液体は、前記流路の中央部から前記流路の前記第１の方向における一端側の端部、及び他端側の端部に供給されることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、複数のヘッドモジュール構成の液体吐出ヘッドにおいて、各ヘッドモジュールのつなぎ部における濃度ムラを軽減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施形態における液体吐出ヘッドの分解斜視図。
【図２】（ａ）は本実施形態における記録素子基板の模式図、（ｂ）は図２（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図。
【図３】（ａ）は第１の実施形態における液体吐出ヘッドの上面図、（ｂ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ’断面図、（ｃ）は本実施形態の液体吐出ヘッドの圧力・温度分布模式図。
【図４】（ａ）（ｂ）は比較例としての液体吐出ヘッドの断面図及び圧力・温度分布模式図。
【図５】第２の実施形態における液体吐出ヘッドの分解斜視図。
【図６】（ａ）は第２の実施形態における液体吐出ヘッドの上面図、（ｂ）は図６（ａ）のＣ−Ｃ’断面図、（ｃ）は本実施形態の液体吐出ヘッドの圧力・温度分布模式図。
【図７】（ａ）は図６（ａ）の一部拡大図、（ｂ）は図６（ｂ）の一部拡大図。
【図８】第３の実施形態における液体吐出ヘッドの分解斜視図。
【図９】（ａ）は第３の実施形態における液体吐出ヘッドの上面図、（ｂ）は図９（ａ）のＤ−Ｄ’断面図、（ｃ）は本実施形態の液体吐出ヘッドの圧力・温度分布模式図。
【図１０】（ａ）は図９（ａ）の一部拡大図、（ｂ）は図９（ｂ）の一部拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドについて説明する。以下の各実施形態では、インクを吐出するインクジェット記録ヘッドについて具体的な構成で説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、エネルギー発生素子として熱によって液体中に気泡を発生させて液体を吐出するサーマルタイプの方式で説明するがこれに限られずピエゾ方式等各種の吐出方式を適用可能である。
【００１１】
本発明の液体吐出ヘッドは、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用可能である。例えば、バイオチップ作製や電子回路印刷などの用途としても用いることができる。また、以下に述べる実施形態は、本発明の適切な具定例であるから、技術的に好ましい様々の限定が付けられている。しかし、本発明の思想に沿うものであれば、本実施形態は本明細書の実施形態やその他の具体的方法に限定されるものではない。
【００１２】
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態における液体吐出ヘッドの構造について説明する。図１は、本実施形態における液体吐出ヘッド１０の分解斜視図であり、図２（ａ）は、図１における記録素子基板２０の模式図を示し、図２（ｂ）は、図１（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図を示す。本実施形態における液体吐出ヘッド１０はインク等の液体を吐出して記録を行う記録媒体の幅に対応した長さを備えるページワイド型の液体吐出ヘッドである。図１に示すように、液体吐出ヘッド１０は、複数の記録素子基板２０と、記録素子基板２０を支持する第１の支持部材３０と、第１の支持部材３０を支持するとともに第１の支持部材３０に液体を供給する供給路を備える第２の支持部材４０を備える。また、液体吐出ヘッド１０は、第２の支持部材４０を支持する流路部材５０を備える。流路部材５０は記録媒体の幅に対応した長さを有し、長手方向の一端から他端に渡って液体を供給する流路５３と、外部から流路５３に液体を導入する導入口５１と、流路５３内の液体を記録素子基板に供給するための導出口５４が形成されている。
【００１３】
第２の支持部材４０には導出口５４からの液体を供給するための貫通孔４２が複数形成されており、流路部材からの液体を第１の支持部材３０へ供給する。記録素子基板２０を支持する第１の支持部材３０は、第２の支持部材４０の上に設けられており、第２の支持部材４０からの液体を記録素子基板２０へ供給するための貫通孔３１を備える。第１の支持部材３０は記録素子基板２０に対応して複数設けられており、夫々の第１の支持部材３０に貫通孔３１が形成されている。本実施形態において、記録素子基板２０、第１の支持部材３０及び第２の支持部材４０を合わせてヘッドモジュール１１と称す。図２（ｂ）に示すように記録素子基板２０は、Ｓｉにより形成され液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する素子２５を備える基板２６と、素子２５を内部に備える圧力室２４、及び吐出口２１を備える吐出口形成部材２３とが積層されてなる。基板２６に形成された供給口２７を介して圧力室２４に供給された液体は、素子２５を駆動することにより吐出口２１から液滴として外部に吐出される。
【００１４】
図３（ａ）は、図１における液体吐出ヘッド１０の上面図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）におけるＢ−Ｂ’によって切断した液体吐出ヘッド１０の断面図である。図３（ｃ）は、第１の実施形態における液体吐出ヘッド１０の圧力・温度分布模式図である。図４（ａ）は比較例としての液体吐出ヘッドの断面図を示し、図４（ｂ）は比較例としての液体吐出ヘッドにおける圧力・温度分布模式図を示す。本実施形態の液体吐出ヘッド１０における液体の流れについて以下に説明する。
【００１５】
液体吐出ヘッド１０が搭載される装置本体（不図示）から供給されるインク等の液体は流路部材５０に設けられる導入口５１を介して液体吐出ヘッド１０に供給される。本実施形態において流路５３は記録媒体の幅に対応した長さを有し、導入口５１は流路部材５０の長手方向における一端側の端部に形成されている。導入口５１から液体吐出ヘッド１０に流入した液体は流路５３内を流れ、流路部材５０に設けられた複数の導出口５４を介して第２の支持部材へと供給される。本実施形態おいて図２（ｂ）に示すように、流路部材５０に形成される流路５３は、流路５３の長手方向の一端側の端部から他端側への延伸しており、流路への導入口５１は一端側の端部に設けられている。流路５３内を液体が供給される際に、上部に設けられた記録素子基板２０からの熱の影響により徐々に液体の温度は上昇する。つまり図３（ｃ）に示すように、流路５３の一端側の導入口５１から流入した液体は他端側の端部への供給される際に徐々に温度が上昇する。流路５３内の液体は第２の支持部材４０に形成された貫通孔４２を介して第１の支持部材３０に供給される。液体は、第１の支持部材３０に形成された貫通孔３１を介して記録素子基板２０の供給口２７へと供給される。
【００１６】
図１に示すように、本実施形態において第２の支持部材４０は３つの部材を含む。このように長尺ヘッドであるページワイド側の液体吐出ヘッドにおいて、その長手方向の一端から他端に渡って延在する流路５３内を流れる液体の温度は連続的（リニア）に変化する。図３（ｃ）に示すように圧力変化も同様に連続的（リニア）に変化する。よって複数の第２の支持部材４０からなる液体吐出ヘッドであっても、供給路部材のつなぎ部における記録ムラ（濃度ムラ）は抑制される。
【００１７】
本実施形態において、流路部材５０は、液体吐出ヘッド１０が撓まないような剛性を備えることが好ましい。また、第１の支持部材３０、第２の支持部材４０及び流路部材５０は、供給される液体に対して十分な耐腐食性を有することが必要であり、また、線膨張係数の低い材質からなることが好ましい。そのため例えば、第１の支持部材３０、第２の支持部材４０及び流路部材５０の材質として、アルミナや樹脂材料が好適に採用される。特には、ＬＣＰ（液晶ポリマー）やＰＰＳ（ポリフェニレンスルファイド）やＰＳＦ（ポリサルフォン）を母材としてシリカ微粒子などの無機フィラーを添加した複合材料を好適に用いることができる。また、各部材の積層方法としては、接着剤による接合、熱板溶着、ねじ止め、その他各種の結合方法を用いることができる。
【００１８】
複数の記録素子基板２０、複数の第１の支持部材３０、及び複数の第２の支持部材４０の夫々は、流路部材５０の長手方向に沿って直列に配列されている。隣接する記録素子基板２０同士及び隣接する第２の支持部材４０同士は、液体吐出ヘッド１０の長手方向と直交する方向に関して、それぞれ互いに重複するように配列されている。このような構成により、いわゆるフルライン型（ページワイド型）の液体吐出ヘッドとすることができる。尚、複数の記録素子基板２０は、流路部材５０の長手方向に対して吐出口列２２が傾斜するように配置しても良い。この場合、各記録素子基板２０それぞれの重心位置が、流路部材５０の長手方向と平行になるように配列させることが好ましい。
【００１９】
尚、導入口５１から流入した液体は、液体吐出ヘッド１０の長手方向の一端側から他端側へと直線状に、また水平方向に供給されるが、本発明はこれに限られない。例えば液体吐出ヘッド１０の長手方向に延在する流路５３が鉛直方向に傾斜がついている場合や、流路５３が液体吐出ヘッド１０の短手方向に傾斜がついている場合でも、本発明の構成を好ましく適用することができる。
【００２０】
また各記録素子基板が図３（ａ）に示すようなインライン状（直線状）に配置される形態でなく、千鳥状に配置される場合にも本発明を適用可能である。また、流路部材５０の内部に、流路５３の長手方向の端部と連通するように液体排出口を形成し、液体吐出ヘッド１０内部で液体を循環させる構成にも本発明の構成を適用可能である。本実施形態においては図２（ａ）に示すように、記録素子基板２０には、４つの吐出口列２２が形成されている。４つの吐出口列は夫々異なるインクを吐出する構成でも良く、また全て同じ色のインクを吐出する構成であっても良い。また記録素子基板２０の外形は図１、２（ａ）に示すように平行四辺形であると小スペースとなり小型の液体吐出ヘッド１０となり好ましいが、その他の各種形状、例えば、長方形、台形等にも適用可能である。
【００２１】
次に比較例としての液体吐出ヘッドについて図４（ａ）（ｂ）を用いて説明する。図４（ａ）に示すように本比較例の液体吐出ヘッドにおいては第２の支持部材４０の導入口５１が流路５３の中央部に形成されている。この場合、各第２の支持部材４０に流入した液体は流路４１の両端側へ供給される。その際に記録素子基板２０からの熱の影響を受けて温度が上昇する。図４（ｂ）に示すように、第２の支持部材４０の各々に流入した液体は端部まで供給される際に温度の上昇具合が異なる。これは各記録素子基板２０における素子の駆動頻度の違い等に影響される。よって複数の第２の支持部材における端部の液体の温度が夫々異なる。つまり隣接する第２の支持部材のつなぎ部における液体の温度が連続的でなく、断続的に変化する。よって記録素子基板２０から吐出される液滴の量が異なるので濃度ムラが発生する。これに対して本実施形態における液体吐出ヘッドの構成では図３（ｃ）に示すように、液体の温度差は発生するものの、供給路部材のつなぎ部においては連続的に温度が変化するため濃度ムラが目立ちにくい。
【００２２】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態における液体吐出ヘッドの構造について説明する。図５は、第２の実施形態における液体吐出ヘッドの分解斜視図である。図６（ａ）は、図５における液体吐出ヘッドの上面図である。図６（ｂ）は、図５（ａ）におけるＣ−Ｃ’によって切断した液体吐出ヘッドの断面図である。図５（ｃ）は、第２の実施形態における液体吐出ヘッドの圧力・温度分布模式図である。図７（ａ）は、図６（ａ）におけるＣ’’部の拡大図である。図７（ｂ）は、図６（ｂ）におけるＣ’’’部の拡大図である。
【００２３】
第２の実施形態における液体吐出ヘッド１０の構成は、第１の実施形態と導入口５１が流路部材５０の長手方向の端部ではなく、流路部材５０の長手方向の中央部に形成されている構成が異なる。流路部材５０の長手方向の中央部に形成された導入口５１から流入した液体は、流路５３を介して、貫通孔４２、貫通孔３１を順に通り、記録素子基板２０へと供給される。このような流れとは別に、導入口５１から流路５３の中央部に流入した液体は、流路５３の長手方向の一端側の端部、及び他端側の端部への夫々供給される。実施形態１と同様に本実施形態においても液体の温度は徐々に上昇するが、その変化は図６（ｃ）に示すように連続的（リニア）であるため濃度ムラを軽減できる。流路５３の中央部から両端側へ流れが分岐するが、導入口５１から導入された直後の液体の温度は実質的に同じであるため、分岐する直前の液体の温度も実質的に同じである。よって流路５３の中央部における濃度ムラも軽減できる。
【００２４】
また、ヘッドモジュール１１の数を増やし、液体吐出ヘッド１０をさらに長尺化させた場合においても、隣接するヘッドモジュール１１間の液体の圧力差・温度差が発生する箇所を低減させることができる。その結果、ヘッドモジュール１１のつなぎ目での印字ムラを低減することができる。さらに、液体吐出ヘッド１０の長手方向の中央部から液体吐出ヘッド１０の長手方向の両端側へ向かって印字ムラが連続的に階調で変化する（印字濃度が連続的に増加する）ので、印字ムラが見えにくくなる。液体吐出ヘッド１０の長手方向の中央部から液体吐出ヘッド１０の長手方向の両端側へ向かって液体を供給することで、液体吐出ヘッド１０の一端から他端へ向かって液体を供給する場合に比べて、共通流路の長さが短くなる。つまり、液体吐出ヘッド１０の長手方向の液体の流れの最上流部から最下流部までの共通流路の長さが短くなるため、液体吐出ヘッド１０の長手方向の両最端部間での圧力差・温度差が小さくなる。そうすることで、より高品位な画像形成が可能となる。
【００２５】
第２の実施形態における液体吐出ヘッド１０では、液体吐出ヘッド１０の長手方向の中央部から液体を供給するため、導入口５１から流入する液体の圧力波が、流路５３を介して記録素子基板２０へと伝搬する可能性がある。この対策として、図７（ｂ）に示すように、流路部材５０内部に形成された流路５３の高さを高くすることで、Ｘ方向及びＸ’方向に向かう液体の流れを強くすることができる。具体的には、下記の式（１）に示すように、流路５３の高さを、導入口５１の等価直径（開口径）ｄよりも大きくすることでその効果が特に顕著となる。それにより、貫通孔３１へ向かう液体の流れを低減することができ、導入口５１から流入する液体の圧力波が記録素子基板２０へと伝搬するのを抑制することができる。ただし、記録素子基板２０が液体吐出ヘッド１０の長手方向に沿って千鳥状に配列されている場合は、記録素子基板２０が無い箇所の直下の流路部材５０内部に導入口５１を形成することが可能である。よって、導入口５１から流入する液体の圧力波が記録素子基板２０へと伝搬するのを防ぐことができる。
ｄ＝４ａ／ｗ・・・式（１）
上記式（１）において、ｄ：等価直径、ａ：流路断面積、ｗ：濡れ縁長さ
【００２６】
（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態における液体吐出ヘッドの構造について説明する。図８は、第３の実施形態における液体吐出ヘッドの分解斜視図である。図９（ａ）は、図８における液体吐出ヘッドの上面図である。図９（ｂ）は、図８（ａ）におけるＤ−Ｄ’によって切断した液体吐出ヘッドの断面図である。図９（ｃ）は、第３の実施形態における液体吐出ヘッドの圧力・温度分布模式図である。図１０（ａ）は、図９（ａ）におけるＤ’’の拡大図である。図１０（ｂ）は、図９（ｂ）におけるＤ’’’の拡大図である。
【００２７】
第３の実施形態における液体吐出ヘッド１０の構成は、第２の実施形態と導入口５１が流路部材５０の長手方向の中央部に２個形成されているところが異なる。これは、ヘッドモジュール１１が流路部材５０の長手方向に偶数個配列されているためである。本実施形態は接続部材７０の開口７２を介して接続部材７０内の共通流路７１に液体が供給される。共通流路７１内に供給された液体は、接続部材の２つの開口７３を介して流路部材５０に設けられる２つの導入口５１に供給される。２つの導入口５１は夫々異なる流路５３に接続される。１つは、流路５３の中央部から一端側へ延在する流路、もう一方は、流路５３の中央部から他端側へ延在する流路である。その他の構成は上述した第２の実施形態と同様である。
【００２８】
ここで、流路部材５０の長手方向の中央部では、２個の導入口５１から実質的に同じ圧力・温度の液体が流入してくるため、流路部材５０の長手方向の中央部において、隣接するヘッドモジュール１１間の圧力差・温度差は非常に小さくできる。その結果、ヘッドモジュール１１のつなぎ目での印字ムラを大幅に低減することができる。加えて、液体吐出ヘッド１０の構成は、液体吐出ヘッド１０の長手方向の中央部から液体吐出ヘッド１０の両端に向かう方向で線対称の構成となっているため、構成部材を共通化でき、液体吐出ヘッド１０の実装工程を簡略化することができる。
【００２９】
第３の実施形態における液体吐出ヘッド１０では、液体吐出ヘッド１０の長手方向の中央部から液体を供給する。そのため、開口７２及び共通流路７１及び開口７３を通り、導入口５１から流路５３の内部に流入する液体の圧力波が、流路５３を介して記録素子基板２０へと伝搬する可能性がある。これにより、液体により吐出口２１に形成されるメニスカスを振動させ、安定的な吐出ができなくなる可能性がある。この対策として、図１０（ｂ）に示すように、吐出口２１から液体が吐出される方向からみて、導入口５１と導出口５４とはオフセットしている。つまり、開口７２から記録素子基板２０へ向かう液体の流れの方向を、流路部材５０内部に形成された導入口５１と、導出口５４の位置を液体吐出ヘッド１０の鉛直方向に重ならないようにずらす。それにより、Ｚ方向及びＺ’方向のように開口７２から記録素子基板２０へ向かって曲線方向の流れにすることで、開口７２から流入する液体の圧力波が記録素子基板２０へと伝搬するのを抑制することができる。ただし、記録素子基板２０が液体吐出ヘッド１０の長手方向に沿って千鳥状に配列されている場合は、記録素子基板２０が無い箇所の直下の接続部材７０内部に開口７２を形成することが可能である。そのため、開口７２から流入する液体の圧力波が記録素子基板２０へと伝搬するのを抑制できる。
【符号の説明】
【００３０】
１０  液体吐出ヘッド
１１  ヘッドモジュール
２０  記録素子基板
２１  吐出口
２２  吐出口列
２４  圧力室
３０  第１の支持部材
４０  第２の支持部材
４２  貫通孔
５０  流路部材
５１  導入口
５４  導出口
７０  接続部材
【図１】
2017209813.tif 000003
【図２】
2017209813.tif 000004
【図３】
2017209813.tif 000005
【図４】
2017209813.tif 000006
【図５】
2017209813.tif 000007
【図６】
2017209813.tif 000008
【図７】
2017209813.tif 000009
【図８】
2017209813.tif 000010
【図９】
2017209813.tif 000011
【図１０】
2017209813.tif 000012