(57)【要約】【課題】ノズル部から噴射される液体の帯電を抑制することが可能な液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体が噴射されるノズル部（４２）が開口したノズル形成面（４３ａ）を有する液体噴射ヘッド（４２）であって、ノズル部は、ノズル形成面と比して当該ノズル部から噴射する液体と接触した際に帯電し難いことを特徴とする。ノズル部における単位面積当たりのフッ素の量は、ノズル形成面における単位面積当たりのフッ素の量よりも少ない。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が噴射されるノズル部が開口したノズル形成面を有する液体噴射ヘッドであって、
前記ノズル部は、前記ノズル形成面と比して当該ノズル部から噴射する液体と接触した際に帯電し難いことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記ノズル部における単位面積当たりのフッ素の量は、前記ノズル形成面における単位面積当たりのフッ素の量よりも少ないことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記ノズル部は、前記液体の噴射方向における上流側の第１領域と下流側の第２領域とを有し、
単位面積当たりのフッ素の量が、前記ノズル形成面、前記第２領域、および前記第１領域の順に少なくなることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記第２領域が前記ノズル形成面に形成され、当該第２領域に前記ノズル部が開口したことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
フッ素を含む撥液膜が、前記ノズル形成面および前記第２領域に形成され、
当該第２領域における前記撥液膜の厚さは、前記ノズル形成面における前記撥液膜の厚さよりも薄いことを特徴とする請求項３または請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記ノズル形成面は、シリコン基板または金属材料から構成され、
前記ノズル形成面には、フッ素を含む撥液膜が下地膜を介して形成され、
前記下地膜は、厚さが他の部分よりも薄い薄膜領域を有し、
前記ノズル部は、前記薄膜領域に開口したことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１から請求項６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項８】
前記液体噴射ヘッドよりも上流側の液体供給経路を加圧する加圧手段を備え、
前記加圧手段による前記液体供給経路の加圧により前記液体噴射ヘッドの前記ノズル部から液体を排出させるクリーニング処理の実行が可能であることを特徴とする請求項７に記載の液体噴射装置。
【請求項９】
前記ノズル部から噴射する液体の導電率が異なる複数の前記液体噴射ヘッドと、
前記液体の着弾対象を搬送する搬送機構と、
を備え、
前記各液体噴射ヘッドは、前記着弾対象の搬送方向における上流側から下流側に向けて前記液体の導電率が高い順に配置されたことを特徴とする請求項７または請求項８に記載の液体噴射装置。
【請求項１０】
前記搬送機構は、前記着弾対象を外周面に支持した状態で回転することにより搬送するドラム状の支持体を有することを特徴とする請求項９に記載の液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばインクジェット記録装置等に搭載される液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置に関し、特に、ノズル部が開口したノズル形成面を有する液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズルから液滴として噴射（吐出）させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置（以下、単にプリンターという）などの画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）、液晶ディスプレイなどのカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）などの電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドなどがある。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
ところで、液体噴射ヘッドを搭載した液体噴射装置では、当該液体噴射ヘッドのノズル部から増粘した液体や気泡を強制的に排出するクリーニング処理が行われることがある（例えば、特許文献１参照）。より具体的には、液体噴射ヘッドのノズル部が開口したノズル形成面にキャップを当接させた状態で、このキャップ内部を吸引手段により負圧化させてノズル部から液体噴射ヘッドの内部の増粘液体や気泡等が排出される。このようなクリーニング処理では、キャップ内に一度に多くの液体が排出されるため、しぶきや跳ね返りにより液体がノズル形成面に付着しやすい。このため、クリーニング処理の後には、払拭部材（ワイピング部材）によりノズル形成面が払拭されるワイピング処理も行われる。そして、上記液体噴射ヘッドでは、ワイピング処理におけるノズル形成面に付着した液体の拭き取り性の向上のため、また、ノズル形成面に付着した液体に起因する飛翔曲がり等の噴射不良を抑制するため、ノズル形成面には撥液膜が形成されており、これによりノズル形成面の撥液性が高められている。この撥液膜としては、ノズル形成面上の水酸基にフッ素系シランカップリング剤を結合させることで形成されたもの等がある（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１１６００１号公報
【特許文献２】特許第４６３５５５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、フッ素は帯電列においてより負極性側の順位にあり、当該フッ素を含む撥液膜は、液体との接触・摩擦により負極性に帯電しやすい。そして、上記クリーニング処理が完了して吸引手段による吸引が停止されると、液体噴射ヘッドの内部流路の負圧状態がある程度維持されるので、ノズル形成面に付着している液体がノズル部から流路内部へと吸い込まれる。このとき、ノズル形成面に付着していた液体は当該ノズル形成面の撥液膜に接触しつつ吸い込まれるため、撥液膜において液体と接触した部位は、液体との摩擦帯電により負極性に帯電する。このような状態でノズル部から液体が噴射される際、当該液体は帯電した部位による静電誘導により、当該部位の帯電極性（負極）とは逆極性である正極性に帯電する。このため、液体の着弾対象が正極性に帯電している場合、当該液体の噴射に伴って発生する微小なミストが液体噴射ヘッドのノズル形成面に付着しやすいという課題があった。特に、液体の着弾対象である記録媒体等が、噴射された液体と同電位に帯電した場合、当該記録媒体と液体とが反発し合い、これによりノズル形成面への液体の付着がより生じやすくなる。このような課題は、噴射される液体の導電率が、水（水道水：１．０×１０−２〔Ｓ／ｍ〕）より低いほど放電し難くなるため、より顕著となる。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ノズル部から噴射される液体の帯電を抑制することが可能な液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、液体が噴射されるノズル部が開口したノズル形成面を有する液体噴射ヘッドであって、
前記ノズル部は、前記ノズル形成面と比して当該ノズル部から噴射する液体と接触した際に帯電し難いことを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、液体を噴射する際に当該液体と特に接触しやすい部位であるノズル部が帯電し難いので、噴射された液体が帯電することが抑制される。これにより、当該液体が帯電することによる不具合、例えば、液体と逆極性に帯電した着弾対象に当該液体が反発してノズル形成面等に付着することが抑制される。
【０００９】
上記構成において、前記ノズル部における単位面積当たりのフッ素の量は、前記ノズル形成面における単位面積当たりのフッ素の量よりも少ない構成を採用することが望ましい。
【００１０】
この構成によれば、液体との接触により帯電しやすいフッ素に関して、ノズル部における単位面積当たりのフッ素の量が、ノズル形成面における単位面積当たりのフッ素の量よりも少ないので、液体の帯電をより低減することができる。
【００１１】
また、上記構成において、前記ノズル部は、前記液体の噴射方向における上流側の第１領域と下流側の第２領域とを有し、
単位面積当たりのフッ素の量が、前記ノズル形成面、前記第２領域、および前記第１領域の順に少なくなる構成を採用することが望ましい。
【００１２】
この構成によれば、液体とより接触しやすい領域ほどフッ素の量がより少ないので、液体の帯電をさらに効果的に低減することができる。
【００１３】
さらに、上記構成において、第２領域が前記ノズル形成面に形成され、当該第２領域に前記ノズル部が開口した構成を採用することが望ましい。
【００１４】
この構成によれば、ノズル形成面においてノズル部が開口した周縁に第２領域が形成されたので、当該部分に付着した液体がノズル部内に引き込まれた場合においても当該第２領域が帯電し難いので、このような場合においても液体の帯電を抑制することが可能となる。
【００１５】
また、上記構成において、フッ素を含む撥液膜が、前記ノズル形成面および前記第２領域に形成され、
当該第２領域における前記撥液膜の厚さは、前記ノズル形成面における前記撥液膜の厚さよりも薄い構成を採用することが望ましい。
【００１６】
この構成によれば、フッ素を含む撥液膜が、ノズル形成面および第２領域に形成され、当該第２領域における撥液膜の厚さが、ノズル形成面における撥液膜の厚さよりも薄いので、ノズル部の第２領域に付着した液体の拭き取り性等の観点から必要な撥液性の確保と液体の帯電の抑制を両立させることが可能となる。
【００１７】
また、上記構成において、前記ノズル形成面は、シリコン基板または金属材料から構成され、
前記ノズル形成面には、フッ素を含む撥液膜が下地膜を介して形成され、
前記下地膜は、厚さが他の部分よりも薄い薄膜領域を有し、
前記ノズル部は、前記薄膜領域に開口した構成を採用するができる。
【００１８】
この構成によれば、薄膜領域の厚さが下地膜の他の部分の厚さよりも薄いことで、撥液膜がシリコン製あるいは金属製のノズル形成面により近づくことになり、撥液膜が帯電したとしても、この薄膜領域に対応する部分からノズル形成面側に電荷が逃げやすくなる。これにより、ノズル部から噴射される液体の帯電を抑制することが可能となる。したがって、液体の帯電を抑制しつつ、払拭部材による液体の拭き取り性等の観点から必要な撥液性を持たせることが可能となる。
【００１９】
本発明の液体噴射装置は、上記何れかの構成の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。
【００２０】
この構成によれば、液体噴射ヘッドのノズル部から噴射される液体が帯電し難いので、液体噴射ヘッドのノズル形成面や他の構成部材に液体が付着することが抑制される。
【００２１】
上記構成において、前記液体噴射ヘッドよりも上流側の液体供給経路を加圧する加圧手段を備え、
前記加圧手段による前記液体供給経路の加圧により前記液体噴射ヘッドの前記ノズル部から液体を排出させるクリーニング処理の実行が可能である構成を採用することが望ましい。
【００２２】
この構成によれば、当該クリーニング処理（加圧式クリーニング処理）では、ノズル部に負圧を直接的に作用させて当該ノズル部から液体を吸引するクリーニング処理（吸引式クリーニング処理）と比較して、ノズル部よりも液体供給経路の上流側に位置する加圧手段による圧力によりノズル部から液体が排出されるので、ノズル部の近傍の液体に作用する圧力が比較的穏やかとなる。このため、吸引式クリーニング処理と比較してノズル部から排出される液体の勢いも穏やかとなり、排出された液体がノズル形成面に付着しにくい。このため、ノズル形成面と液体とによる摩擦帯電が生じにくくなる。その結果、ノズル部から液体を噴射する際に当該液体が帯電することがより効果的に抑制される。
【００２３】
上記構成において、前記ノズル部から噴射する液体の導電率が異なる複数の前記液体噴射ヘッドと、
前記液体の着弾対象を搬送する搬送機構と、
を備え、
前記各液体噴射ヘッドは、前記着弾対象の搬送方向における上流側から下流側に向けて前記液体の導電率が高い順に配置された構成を採用することが望ましい。
【００２４】
この構成によれば、導電率が高い液体に対応する液体噴射ヘッドから順に液体の噴射が行われるので、より上流側に位置する液体噴射ヘッドから噴射された液体により液体の着弾対象が帯電し難くなり、これよりも下流側に位置する液体噴射ヘッドから噴射された液体が着弾対象に反発して当該液体（ミスト）が液体噴射ヘッドのノズル形成面等に付着することが低減される。また、液体噴射ヘッドから噴射された液体が、着弾対象上の目標とする位置により精度よく着弾する。
【００２５】
上記構成において、前記搬送機構は、前記着弾対象を外周面に支持した状態で回転することにより搬送するドラム状の支持体を有する構成を採用することが望ましい。
【００２６】
この構成によれば、液体噴射ヘッドから噴射された帯電液体により着弾対象や媒体支持体が帯電したとしても、当該媒体支持体が周回する間の放電時間を確保することが可能であるため、帯電による不具合を抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】液体噴射装置（プリンター）の構成を説明する平面図である。
【図２】液体噴射ヘッド（記録ヘッド）の断面図である。
【図３】液体噴射ヘッドの下面図である。
【図４】ノズル部周辺の断面図である。
【図５】ノズル部周辺の平面図である。
【図６】加圧式クリーニング処理について説明する模式図である。
【図７】第２の実施形態におけるノズル部の構成を説明する断面図である。
【図８】第２の実施形態におけるノズル部周辺の平面図である。
【図９】第３実施形態におけるノズル部の構成を説明する断面図である。
【図１０】第４実施形態におけるノズル部の構成を説明する断面図である。
【図１１】第５実施形態における液体噴射装置の構成を説明する模式図である。
【図１２】第６実施形態における液体噴射装置の構成を説明する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射装置として、インクジェット式記録装置（以下、プリンター）を例に挙げて説明する。
【００２９】
図１は、本発明の液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッド１０を搭載するプリンター１の構成を示す平面図である。このプリンター１は、フレーム２と、このフレーム２内に配設されたプラテン３とを備えており、紙送りモーターの駆動により回転する紙送りローラー（何れも図示せず）によってプラテン３上に記録用紙、布帛、あるいは、樹脂シート等の記録媒体（液体の着弾対象物の一種）が搬送されるようになっている。また、フレーム２内には、プラテン３と平行にガイドロッド４が架設されており、このガイドロッド４には、記録ヘッド１０を収容したキャリッジ５が摺動可能に支持されている。このキャリッジ５は、キャリッジ移動機構６の駆動により、ガイドロッド４に沿って記録媒体の搬送方向に直交する主走査方向に往復移動するように構成されている。このプリンター１は、プラテン３上に載置される記録媒体に対してキャリッジ５を主走査方向に相対移動させながら記録ヘッド１０の後述するノズル部４２からインク（本発明における液体の一種）を噴射させて、記録媒体上に当該インクを着弾させることにより文字や画像等の着弾パターンを形成（記録・印刷）する。
【００３０】
フレーム２の一側には、インクを貯留したインクカートリッジ７を着脱可能に搭載するカートリッジホルダー８が設けられている。本実施形態では、合計４個のインクカートリッジ７がカートリッジホルダー８に搭載されている。インクとしては、例えば、水系の染料インクもしくは顔料インクや、これらの水系のインクよりも耐候性が高められた有機溶剤系（エコソルベント系）インクや、紫外線の照射による硬化する光硬化型インク等、周知の種々の組成のものを用いることができる。本実施形態におけるインクカートリッジ７は、エアチューブ９を介してエアーポンプ１３（本発明における加圧手段の一種）と接続されており、このエアーポンプ１３からの空気が各インクカートリッジ７内に供給される。そして、この空気によるインクカートリッジ７内の加圧により、インク供給チューブ１１を通じて記録ヘッド１０側にインクが供給（圧送）される。インク供給チューブ１１は、例えば、シリコーン等の合成樹脂で作製された可撓性を有する中空部材であり、このインク供給チューブ１１の内部には、各インクカートリッジ７に対応するインク流路が形成されている。本実施形態においては、インクカートリッジ７からインク供給チューブ１１を通り、記録ヘッド１０の液体流路を通じてノズル部４２に至るまでのインクの流路が、本発明における液体供給経路に相当する。また、プリンター１本体側と記録ヘッド１０側との間には、プリンター本体側の制御部（図示せず）から記録ヘッド１０側に駆動信号等を伝送するためのＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）１２が配線されている。
【００３１】
プリンター１の非記録領域であるホームポジションには、キャリッジ５に搭載された記録ヘッド１０のノズルプレート４３のノズル形成面４３ａ（プラテン３と対向する面。図４等参照。）を払拭するワイピング機構１４が配設されている。このワイピング機構１４は、ワイパーブレード１５（ワイピング部材の一種）を有しており、このワイパーブレード１５としては、ゴムやエラストマー等の弾性部材により構成される。このワイピング機構１４は、ワイパーブレード１５を、その先端部がワイピング時において記録ヘッド１０のノズル形成面４３ａに接触可能な位置に配置する。そして、記録ヘッド１０の通過に伴ってワイパーブレード１５の先端部がノズル形成面４３ａに接触し、両者の相対移動により当該ワイパーブレード１５によってノズル形成面４３ａが払拭される。
【００３２】
このワイピング機構１４に隣接して、上記ホームポジション若しくはその近傍に、キャッピング機構１６が配設されている。キャッピング機構１６は、記録ヘッド１０のノズル形成面４３ａに当接し得るトレイ状のキャップ１７を有する。このキャッピング機構１６では、キャップ１７内の空間が封止空部として機能し、この封止空部内に記録ヘッド１０のノズル部４２を臨ませた状態でノズル形成面４３ａに密着可能に構成されている。また、このキャッピング機構１６には、図示しないポンプユニット（吸引手段の一種）が接続されており、このポンプユニットの作動によって封止空部内を負圧化することができる。そして、ノズル形成面４３ａへの密着状態でポンプユニットが作動され、封止空部（密閉空間）内が負圧化されると、ノズル部４２から記録ヘッド１０内のインクや気泡が吸引されてキャップ１７の封止空部内に排出される。また、本実施形態におけるプリンター１は、記録ヘッド１０よりも上流側（インクカートリッジ７側）のインク供給経路を、例えばエアーポンプ１３により加圧することにより、記録ヘッド１０の流路内を加圧してノズル部４２から増粘したインク等を排出させて、当該ノズル部４２の噴射能力を回復させる加圧式のクリーニング処理を行うことが可能である。この加圧式クリーニング処理については後述する。
【００３３】
図２は、本実施形態における記録ヘッド１０の断面図、図３は、記録ヘッド１０の下面図である。本実施形態における記録ヘッド１０は、インク導入部材１９、中継基板２０、中間流路部材２１、ヘッドユニット２２、およびホルダー２３等を積層して備えている。なお、以下においては、便宜上、各部材の積層方向を上下方向として説明する。
【００３４】
インク導入部材１９の上面にはインク導入針２４が、フィルター２５を介在させた状態で複数立設されている。このインク導入針２４は、インクの種類（色）毎に設けられている。インク導入部材１９およびインク導入針２４は、いずれも合成樹脂により作製されている。また、フィルター２５は、インク導入針２４から導入されたインクを濾過する部材であり、このフィルター２５によってインク内の異物や気泡が捕捉される。本実施形態においては、インク導入部材１９の上面側にインクカートリッジ７が装着され、当該インクカートリッジ７の内部にインク導入針２４が挿入される。そしてインクカートリッジ７内のインクはインク導入針２４の先端部に設けられた図示しない導入孔から内部流路に導入される。インク導入針２４からインクが導入されると、フィルター２５を通過して供給流路２６を通り、インク導入部材１９の下方に配置されている中間流路部材２１に流路接続部２９を介して供給される。なお、本実施形態におけるインク導入部材１９では、針状のインク導入針２４をインクカートリッジ７に挿入してインクを導入する構成が採用されているが、これには限られない。例えば、インク導入部材１９のインク導入部分に不織布やスポンジ等の多孔質材が配設されるとともにインクカートリッジやサブタンク等のインク貯留部材のインク導出部分にも同様な多孔質材が設けられ、両者の多孔質部材同士が接触して毛細管現象によりインクの授受を行う所謂フォーム形式の構成を採用することもできる。
【００３５】
中間流路部材２１は、インク導入針２４から導入されたインクをヘッドユニット２２側に案内する中間流路２８が形成された基板である。この中間流路部材２１の上面において、中間流路の入り口側開口の周縁には、円筒状の流路接続部２９が突設されている。この流路接続部２９の高さ（中間流路部材２１の上面からの突出長）は、インク導入部材１９と中間流路部材２１との間に配置される中継基板２０の厚さ以上に設定されている。そして、流路接続部２９は、インク導入部材１９の供給流路２６と連通して当該インク導入部材１９側からのインクを受けて中間流路２８側に導入する。中間流路２８は、中間流路部材２１の下面に開口して、ホルダー２３の仕切板３０に開設された連通流路３１と連通する。また、中間流路部材２１には、中間流路２８から外れた位置に板厚方向を貫通する配線開口部３２が開設されている。この配線開口部３２は、後述する中継基板２０の配線挿通口３３と連通するとともに、ホルダー２３の仕切板３０に形成された配線貫通口３１と連通し、フレキシブル基板３４が挿通される空部である。
【００３６】
インク導入部材１９と中間流路部材２１との間に配置される中継基板２０は、ＦＦＣ１２を介してプリンター本体側からの駆動信号や噴射データ（ラスターデータ）等を受け、この駆動信号を、フレキシブル基板３４を通じてヘッドユニット２２側の圧電素子３７へ供給するための配線パターン等が形成されたプリント基板である。この中継基板２０の上面（ヘッドユニット２２側の下面とは反対側の面）には、フレキシブル基板３４と接続される基板端子が形成されており、また、プリンター本体側からのＦＦＣ１２が接続されるコネクターやその他の電子部品等が実装されている（何れも図示せず）。
【００３７】
中継基板２０において中間流路部材２１の流路接続部２９に対応する位置には、この流路接続部２９が挿通される逃げ穴３５が開設されている。逃げ穴３５は、流路接続部２９の外径よりも少し大きい貫通穴である。また、中継基板２０において基板端子３４と隣接する位置には、基板厚さ方向を貫通する配線挿通口３３が当該基板端子３４の並設方向に沿って形成されている。この配線挿通口３３は、一端が圧電素子３７の素子端子と接続されたフレキシブル基板３４の他端側が挿通される穴である。本実施形態における配線挿通口３３の長手方向および短手方向の内寸は、フレキシブル基板３４が支障なく挿通可能な程度の大きさに設定されている。
【００３８】
ホルダー２３の内部には、ヘッドユニット２２を収容可能な空間である収容空部３８が複数区画されている。この収容空部３８は、下面側（プリンター１において印刷動作中に記録媒体と相対する側）が開口しており、この開口から固定板３６に接合されたヘッドユニット２２が収容される。固定板３６は、例えば、ステンレス鋼等の金属製の板材から構成されている。図３に示すように、この固定板３６には、各ヘッドユニット２２のノズルプレート４３におけるノズル部４２が形成された領域を露出させるための開口部４０が開設されている。この固定板３６に各ヘッドユニット２２の底面が接合されることにより、これらのヘッドユニット２２の高さ方向（ノズルプレート４３に垂直な方向の位置）が規定され、また、開口部４０にはノズルプレート４３のノズル部４２が露出される。
【００３９】
ホルダー２３において収容空部３８よりも上面側には、中間流路部材２１および中継基板２０が配置される基板載置部３９が設けられている。基板載置部３９と収容空部３８とは仕切板３０によって仕切られており、当該仕切板３０の上面に中間流路部材２１が載置される。この仕切板３０には、連通流路３１および配線貫通口３１が板厚方向を貫通した状態で形成されている。ヘッドユニット２２が収容空部３８に位置決めされた状態で収容されると、ヘッドユニット２２のノズル部４２や圧力室４１を含むインク流路が、連通流路３１と連通する。これにより、インクカートリッジ１３からインク導入針２４を通じて導入されたインクは、フィルター２５で濾過された後、供給流路２６、中間流路２８、および連通流路３１を通じてヘッドユニット２２のノズル部４２に至るまでのインク流路（液体流路の一種）を満たす。
【００４０】
本実施形態におけるヘッドユニット２２は、ノズル部４２が開設されたノズルプレート４３、ノズル部４２に連通する圧力室４１、圧力室４１内のインクに圧力変動を生じさせる駆動素子としての圧電素子３７等を備えている。ノズルプレート４３には、複数のノズル部４２が列状に開設された板材である。本実施形態では、所定のピッチでノズル部４２が複数列設されてノズル列が構成されている。圧力室４１および圧電素子３７は、ノズル部４２毎に設けられている。圧電素子３７の図示しない電極端子には、中継基板２０に他端側が接続されたフレキシブル基板３４の一端側の端子が接続される。中継基板２０およびフレキシブル基板３４を通じて駆動信号（駆動電圧）が圧電素子３７に印加されると、当該圧電素子３７は印加電圧の変化に応じて圧電能動部が撓み変形することにより、圧力室４１の一面を区画する可撓面が、ノズル部４２に近づく側またはノズル部４２から遠ざかる方向に変位する。これにより、圧力室４１内のインクに圧力変動が生じ、この圧力変動を利用してノズル部４２からインクが噴射される。なお、記録ヘッド１０の構成に関し、例示した構成には限られず、例えば、インクを噴射させるためのアクチュエーターとして、発熱素子や静電アクチュエーター等の他のアクチュエーターを採用したもの等、種々の構成の記録ヘッド（液体噴射ヘッド）を採用することができる。
【００４１】
次に、ノズルプレート４３の詳細について説明する。ノズルプレート４３は、所定のピッチで複数のノズル部４２が列状に開設された部材である。このノズルプレート４３の素材としては、シリコン基板あるいはステンレス鋼等の金属板が用いられる。本実施形態においては、記録媒体の搬送方向に対応する方向に並設された複数のノズル部４２からノズル列４４が構成されており、各ヘッドユニット２２のノズルプレート４３には、それぞれ２条のノズル列４４が形成されている。そして、このノズルプレート４３のインクが噴射される側の面であって、プラテン３上の記録媒体と対向する面が、記録ヘッド１０のノズル形成面に相当する。このノズル形成面４３ａにノズル部４２の噴射側（噴射方向における下流側）が開口している。なお、ノズル部４２とは、ノズルプレート４３に開設された貫通孔を意味し、後述するようにノズル形成面に撥液膜４７や下地膜４８を有する構成では、これらの膜を貫通する孔も含めてノズル部４２とする。つまり、撥液膜４７や下地膜４８を有するノズルプレート４３に形成された貫通孔のノズル形成面４３ａ側の開口から反対側（圧力室４１側）の面の開口までの範囲をノズル部４２とする。
【００４２】
図４は、ノズル部４２の中心軸方向（インク噴射方向）に沿った断面図であり、図５は、ノズルプレート４３のノズル形成面４３ａにおけるノズル部４２の開口部分の平面図である。なお、図４において上側がインク噴射方向における上流側（圧力室４１側）であり、下側がインク噴射方向における下流側（プラテン３側）である。また、図５においてハッチングで示す部分は、撥液膜４７を示している。本実施形態におけるノズル部４２は、下流側の第１ノズル部４５と上流側の第２ノズル部４６とにより２段の円筒状を呈し、第１ノズル部４５の流路断面積は、第２ノズル部４６の流路断面積よりも小さくなっている。これらの第１ノズル部４５と第２ノズル部４６とは、平面視においていずれも真円状を呈している。第１ノズル部４５の第２ノズル部４６側とは反対側の開口からインクが噴射される。ここで、真円状とは、完全な真円のみならず、多少不完全な真円をも含む意味である。要するに、目視で概ね真円であると一般的に認識できる程度であれば真円状に含まれる。なお、第２ノズル部４６の内径が、下流側（第１ノズル部４５側）から上流側（圧力室４１側）に向けて拡大するように内壁面が傾斜したテーパー形状のものであってもよい。
【００４３】
ノズルプレート４３のノズル形成面４３ａには、下地膜４８を介して撥液膜４７が形成されている。この下地膜４８は、ノズルプレート４３と撥液膜４７との間に介在して両者を結び付けるために設けられる。また、撥液膜４７は、フッ素を含む撥液剤（シランカップリング剤）が塗布されることで形成されている。この撥液剤としては、フルオロアルキル基を含むシラン化合物、例えば、トリフルオロプロピルトリメトキシシランが用いられる。また、塗布によるものではなく、例えば、蒸着あるいはスピンコート等によって撥液膜４７が形成されてもよい。本実施形態においては、図４に示すように、撥液膜４７がノズル部４２の内周面、より具体的には、第１ノズル部４５の内周面の一部にも形成されている。このノズル部４２において撥液膜４７が形成されていない領域が第１領域４９（第１ノズル部４５の撥液膜が形成されていない領域と第２ノズル部４６の撥液膜が形成されていない領域との両方を含む）であり、撥液膜４７が形成されている領域が、第２領域５０である。第２領域５０における撥液膜４７の厚さは、ノズルプレート４３のノズル形成面４３ａにおける撥液膜４７の厚さよりも薄くなっている。このため、単位面積当たりのフッ素の含有量に関し、第２領域５０においてはノズル形成面４３ａよりも少なくなっている。換言すると、単位面積当たりのフッ素の量が、ノズル形成面４３ａ、第２領域５０および第１領域４９の順に少なくなっている。つまり、インクと接触しやすい領域ほどフッ素の量がより少なくなっている。
【００４４】
ここで、帯電列においてフッ素を含む撥液膜４７はインクよりも負極性側に位置する。また、帯電列における撥液膜４７の順位とインクの順位との差は、下地膜４８の順位とインクの順位との差あるいはノズルプレート４３の素材（シリコンあるいは金属）の順位とインクの順位との差よりも大きい。したがって、撥液膜４７は、他の素材と比較してインクとの接触・摩擦により負極性に帯電しやすい。このため、ノズル形成面４３ａとノズル部４２の第２領域５０とを比較すると、単位面積当たりのフッ素の量がより少ない第２領域５０の方が、インクとの接触・摩擦により帯電し難くなっている。このような構成を採用することにより、本実施形態においては、ノズル形成面４３ａ、第２領域５０、第１領域４９の順に帯電し難くなっている。
【００４５】
本実施形態におけるノズルプレート４３は、以下の手順で作製される。まず、ノズル部４２が形成されたノズルプレート４３の基材表面にシリコーン材料をプラズマ重合することによりプラズマ重合膜が形成され、当該膜を酸化させて下地膜４８が成膜される。この際、下地膜４８は、ノズルプレート４３の基材表面全体およびノズル部４２の内周面に形成される。なお、下地膜４８は単一の層に限られず、多層構造とすることもできる。続いて、例えばフルオロアルキル基を含むシランカップリング剤を溶媒と混合してなる金属アルコキシド溶液にノズルプレート４３の基材全体が浸漬され、これにより下地膜４８上に金属アルコキシドの重合した分子膜が成膜される。その後、乾燥処理、アニール処理等を経て、ノズルプレート４３の基材表面全体およびノズル部４２の内周面に撥液膜４７が形成される。撥液膜４７は、主にノズル形成面４３ａに必要なものであるため、続いて余分な撥液膜４７が除去される。具体的には、例えば、ノズルプレート４３のノズル形成面４３ａとは反対側の面（圧力室４１側となる面）からプラズマ処理が施されて、ノズル形成面４３ａおよび第２領域５０を除く部分の撥液膜４７が除去される。この工程では、第２領域５０における撥液膜４７も部分的に除去されるので、当該第２領域５０における撥液膜４７の厚みは、ノズル形成面４３ａにおける撥液膜４７の厚みよりも薄くなる。これにより、第２領域５０における単位面積当たりのフッ素の量は、ノズル形成面４３ａにおける単位面積当たりのフッ素の量よりも少なくなる。なお、本実施形態においては、ノズル形成面４３ａおよび第２領域５０を除く部分における下地膜４８も除去される構成を例示したが、これには限られず、下地膜４８を残して撥液膜４７のみを除去するようにしてもよい。
【００４６】
このように、インクとの接触により帯電しやすいフッ素に関して、本実施形態におけるノズル部４２は、ノズル形成面４３ａと比してフッ素の含有量が少なくなっているので、インクと接触した際に帯電し難い。このため、当該ノズル部４２からインクを噴射する際に、静電誘導によりインクが正極性に帯電することが抑制される。これにより、例えば、正極性に帯電した記録媒体に対して記録（インクの噴射動作）を行う構成においても当該記録媒体とインクとが反発しあって当該インクのミストがノズル形成面４３ａに付着したり、プリンター１内の他の構成部品に付着したりすることが低減される。特に、導電率が１．０×１０−２〔Ｓ／ｍ〕以下のインク（すなわち、帯電した際に放電し難いインク）を噴射する構成により効果的である。本実施形態においては、インクとより接触しやすい領域ほどフッ素の量がより少ないので、ノズル部４２から噴射されるインクの帯電をさらに効果的に低減することができる。また、ノズル部４２が、撥液膜４７が形成された第２領域５０を有することにより、ノズル部４２の開口周縁部に付着したインクの払拭部材による拭き取り性等の観点から必要な撥液性を持たせることが可能となる。したがって、ノズル部４２の第２領域５０に付着したインクの払拭性の確保等に必要な撥液性の確保とインクの帯電の抑制を両立させることが可能となる。
【００４７】
なお、ノズル部４２からインクが噴射される際、図４に示すように、ノズル部４２におけるインクの表面であるメニスカスＭが、第１ノズル部４５の第１領域４９に位置する状態（第１ノズル部４５の中であって第１ノズル部４５と第２ノズル部４６との境界を超えない程度で第２領域５０よりも圧力室４１側に引き込まれた状態）でインクが噴射されることが望ましい。すなわち、例えば、圧電素子３７を駆動する駆動パルスに関し、当該圧電素子３７を駆動して圧力室４１を膨張させるパルス要素の電圧をより大きくしたり、当該パルス要素の電位変化を急峻にしたり、あるいは、当該パルス要素の後に圧力室４１を収縮させるパルス要素の発生タイミングをより早めたりすることにより、メニスカスＭが第１領域４９に位置する状態でノズル部４２からインクが噴射されるようにすることができる。このようにすることで、ノズル部４２から噴射されるインクが撥液膜４７に触れにくくなるので、当該インクの帯電をより確実に抑制することができる。
【００４８】
図６は、加圧式クリーニング処理について説明する模式図である。上記構成のプリンター１では、記録ヘッド１０のインク流路内の増粘インクや気泡等を除去するためのクリーニング処理として加圧式クリーニング処理が採用されている。当該加圧式クリーニング処理では、図６に示すように、記録ヘッド１０のノズル形成面４３ａに対してキャップ１７を非接触で対向させた状態（離隔させた状態）で行われる。この状態で記録ヘッド１０よりもインク供給経路における上流側のエアーポンプ１３により記録ヘッド１０の液体流路内が加圧されてノズル部４２からキャップ１７に向けてインクが排出される。この加圧式クリーニング処理では、ノズル部４２に負圧を直接的に作用させて当該ノズル部４２からインクを吸引する吸引式クリーニング処理と比較して、ノズル部４２よりも液体供給経路の上流側に位置する加圧手段（エアーポンプ１３）による圧力によりノズル部４２からインクが排出されるので、ノズル部４２の近傍のインクに作用する圧力が比較的穏やかとなる。このため、吸引式クリーニング処理と比較して、加圧式クリーニング処理においてはノズル部４２から排出されるインクの勢いも穏やかとなり、当該インクがノズル形成面４３ａに付着しにくい。また、加圧式クリーニング処理においてはノズル形成面４３ａにキャップ１７を密着させずにノズル部４２からインクが排出されるので、この点においても、吸引式クリーニング処理と比較してノズル部４２から排出されたインクがノズル形成面４３ａに付着しにくい。このため、ノズル形成面４３ａとインクとによる摩擦帯電が生じにくくなる。その結果、ノズル部４２からインクを噴射する際にインクが帯電することがより効果的に抑制される。また、クリーニング処理後において時間を置くことなく印刷処理に移行できるので、プリンター１が行う処理全体のターンアラウンドタイムの削減が可能となる。
【００４９】
同様に、インクカートリッジ７内のインクを記録ヘッド１０の内部流路に充填させる初期充填時においても、エアーポンプ１３による加圧によりインクが記録ヘッド１０に送り込まれる。これにより、ノズル形成面４３ａにキャップ１７を密着させた状態で吸引することによりインクを充填する方法と比較して、充填時にノズル部４２から排出されたインクがノズル形成面に付着しにくいので、ノズル形成面４３ａとインクとによる摩擦帯電を抑制することが可能となる。
【００５０】
次に、本発明の他の実施形態について説明する。
図７および図８は、第２の実施形態におけるノズル部４２の周辺構成を説明する図であり、図７は断面図、図８は平面図である。上記実施形態においては、第２領域５０は、ノズル部４２にのみ形成された構成を例示したが、これには限られない。本実施形態においては、第２領域５０が、ノズル部４２の内部（内周面）からノズル形成面４３ａにおける当該ノズル部４２の開口周縁部に形成されている点で上記第１の実施形態と異なっている。つまり、第２領域５０が、ノズル部４２の内部（内周面）からノズル形成面４３ａにおける当該ノズル部４２の開口周縁部まで連続して形成されている（第２領域５０の一部がノズル部４２の外部にも形成されている）。本実施形態においては、ノズル形成面４３ａにおいて複数のノズル部４２（ノズル列）が形成された領域に対応する部分が開口したマスクを介してプラズマ処理が行われ、当該開口部分に露出した撥液膜４７が除去され、又は、当該撥液膜４７の厚みが薄くされている。これにより、ノズル形成面４３ａにおける他の部分と比較してフッ素の量が少ない第２領域５０が、ノズル形成面４３ａにも形成される。そして、このノズル形成面４３ａにおける第２領域５０にノズル部４２が開口している。なお、図８の例では、ノズル形成面４３ａにおける第２領域５０が複数のノズル部４２に亘って一連となるように共通に形成されているが、ノズル部４２毎にそれぞれ独立した第２領域５０が形成されてもよい。このように、ノズル形成面４３ａにおいてノズル部４２の開口周縁部に第２領域５０が形成されたので、当該部分に付着したインクがノズル部４２内に引き込まれた場合に当該第２領域５０が帯電し難い。このため、この場合においてもインクの帯電を抑制することが可能となる。なお、第２領域５０がノズル部４２の内周面には無く、ノズル形成面４３ａにおけるノズル部４２の開口周縁部にのみ第２領域５０が形成された構成を採用することもできる。
【００５１】
図９は、第３の実施形態におけるノズル部４２の断面図である。上記第１の実施形態および第２の実施形態においては、第２領域５０における撥液膜４７の厚さをノズル形成面４３ａにおける撥液膜４７の厚さよりも薄くすることにより、単位面積当たりのフッ素量を低減する構成を例示したが、これには限られない。例えば、ノズル部４２およびノズル部４２の開口周縁部における第２領域５０に、ノズル形成面４３ａにおける第１撥液膜４７ａとはフッ素の含有量（重量％）が異なる第２撥液膜４７ｂが別途形成される構成とすることもできる。図９に示す第３の実施形態における第２撥液膜４７ｂは、ノズル形成面４３ａにおける第１撥液膜４７ａとは別に形成された撥液膜である。この第２撥液膜４７ｂとしては、第１撥液膜４７ａに使用される撥液剤であってフッ素の含有量が低減されたものを採用してもよいし、あるいは、フッ素を含まない撥液剤を採用することもできる。後者の場合、帯電列においてノズル部４２が噴射するインクの順位とフッ素の順位との差よりも、当該インクの順位との差が小さい順位の材料、例えば、シリコーンを有する有機化合物、特にアルキルシロキサン基を有する有機化合物を採用することができる。また、撥液膜４７自体が絶縁材料ではなく、導電性を示すものを採用することもできる。この場合、撥液膜４７が接地されていることが望ましい。さらには、撥液剤の塗布等によるものには限られず、第２領域５０に対し、表面処理等により撥液性を持たせることもできる。例えば、プラズマ処理やＣＶＤ法により、第２領域５０を粗面化することにより当該第２領域５０に撥液性を持たせることができる。この構成においても第１の実施形態と同様に、ノズル部４２から噴射されるインクの帯電を抑制しつつも必要な撥液性を持たせることが可能となる。
【００５２】
図１０は、第４の実施形態におけるノズル部４２の断面図である。本実施形態においては、ノズル形成面４３ａにおいてノズル部４２の開口周縁部の下地膜４８の厚さが、ノズル形成面４３ａにおける他の部分の下地膜４８の厚さよりも薄くなっている点が、上記各実施形態と異なっている。すなわち、下地膜４８は、厚さが他の部分よりも薄い薄膜領域４８ａを有し、当該薄膜領域４８ａにノズル部４２が開口している。なお、この薄膜領域４８ａにおける撥液膜４７の厚さは、下地膜４８の他の部分における撥液膜４７の厚さと同じとすることができるが、下地膜４８の他の部分における撥液膜４７の厚さよりも薄くすることがより望ましい。この構成においては、薄膜領域４８ａの厚さが下地膜４８の他の部分の厚さよりも薄いことで、撥液膜４７がシリコン製あるいは金属製のノズルプレート４３のノズル形成面４３ａにより近づくことになる。このため、撥液膜４７が帯電したとしても、この薄膜領域４８ａに対応する部分からノズルプレート４３側に電荷が逃げやすくなる。また、帯電した撥液膜４７からの電気力線がシリコン製あるいは金属製のノズルプレート４３により遮蔽されやすくなる。その結果、ノズル部４２から噴射されるインクの帯電を抑制することが可能となる。したがって、この構成においても上記各実施形態と同様に、インクの帯電を抑制しつつ、払拭部材によるインクの拭き取り性等の観点から必要な撥液性を持たせることが可能となる。
【００５３】
図１１は、第５の実施形態におけるプリンター１ａの構成を説明する模式図である。上記第１の実施形態においては、記録媒体の幅方向に対して記録ヘッド１０を相対的に移動させつつインクの噴射を行う所謂シリアル型のプリンター１を例示したが、これには限られない。例えば、ノズル列の全長がプリンターにおいて印刷可能な最大サイズの記録媒体の幅に対応可能な長さに設定され、記録ヘッドの移動（走査）を行わずに記録媒体の搬送を行いつつ記録動作が行われる所謂ライン型のプリンターにも本発明を適用することが可能である。図１１に例示する第５の実施形態におけるプリンター１ａは、ノズル部から噴射されるインクの導電率が異なる合計５つの記録ヘッド５１ａ〜５１ｅを備えている。すなわち、各記録ヘッド５１ａ〜５１ｅは、それぞれ異なる種類のインクを噴射するように構成されている。また、本実施形態において、記録媒体５２がロール紙のような連続紙であり、さらに、この記録媒体５２を搬送する搬送機構５３がドラム状の媒体支持体５４（本発明における支持体の一種）を有し、当該媒体支持体５４の外周面に記録媒体５２を支持させた状態で当該媒体支持体５４を回転させることにより搬送するように構成されている。
【００５４】
そして、各記録ヘッド５１ａ〜５１ｅは、ノズル形成面を媒体支持体５４の外周面に対向させる姿勢で、当該媒体支持体５４の外周方向に沿って記録媒体５２の搬送方向における上流側から下流側に向けてインクの導電率が高い順に配置されている。特に、最も下流側に配置された第５記録ヘッド５１ｅは、導電率が最も低いインクとして例えば溶媒が有機溶剤系（非水系）のソルベントインクを噴射する記録ヘッドである。本実施形態においては、導電率が高いインクに対応する記録ヘッド５１から順にインクの噴射が行われるので、より上流側に位置する記録ヘッド５１から噴射されたインクにより記録媒体５２や媒体支持体５４が帯電し難くなり、これよりも下流側に位置する記録ヘッド５１から噴射されたインクが記録媒体５２や媒体支持体５４に反発して当該インク（ミスト）が記録ヘッド５１のノズル形成面等に付着することが低減される。また、記録媒体５２や媒体支持体５４が帯電し難くなるので、記録ヘッド５１から噴射されたインクが記録媒体５２上の目標とする位置により精度よく着弾する。これにより、記録画像等の画質の低下を抑制することが可能となる。さらに、本実施形態においては、媒体支持体５４がドラム型であるため、平板状の支持体を採用する構成と比較して、記録ヘッド５１から噴射された帯電インクにより記録媒体５２や媒体支持体５４が帯電したとしても、周回する間（第５記録ヘッド５１ｅによりインクが噴射された時点において当該第５記録ヘッド５１ｅのノズル形成面と対向する媒体支持体５４の外周面の部分が、次に第１記録ヘッド５１ａのノズル形成面と対向する位置まで回転するまでの間）の放電時間を確保することが可能であるため、この点においても帯電による不具合を抑制することが可能となる。なお、各記録ヘッド５１ａ〜５１ｅの構成は、上記第１の実施形態から第４の実施形態における何れかの記録ヘッドと同様の構成を採用することにより、帯電による不具合をより効果的に抑制することが可能となる。
【００５５】
図１２は、第６の実施形態におけるプリンター１の構成を説明する模式図である。本実施形態におけるプリンター１ｂは、上記第５の実施形態におけるプリンター１ａと同様に所謂ライン型のプリンターであって、記録媒体６０が連続紙であり、当該記録媒体６０を搬送する搬送機構６１がドラム状の媒体支持体６２を有している。そして、本実施形態におけるプリンター１ｂは、合計４つの記録ヘッド５９ａ〜５９ｄを備えている。各記録ヘッド５９ａ〜５９ｄは、ノズル形成面６３を媒体支持体５４の外周面に対向させる姿勢で、当該媒体支持体５４の外周方向に沿って均等な間隔で（本実施形態においては媒体支持体６２の駆動軸を中心として９０°ずつ角度が異なるように）配置されている。そして、搬送機構６１より媒体支持体６２に向けて搬送されてきた記録媒体６０は、媒体支持体６２の外周面において各記録ヘッド５９のうち最も上流に位置する第１記録ヘッド５９ａよりも少し第４記録ヘッド５９ｄ寄りの位置から当該媒体支持体６２に支持され、当該媒体支持体６２の外周面と各記録ヘッド５９との間を順次通過した後、各記録ヘッド５９のうち最も下流に位置する第４記録ヘッド５９ｄより少し第１記録ヘッド５９ａ側の位置で媒体支持体６２から離れて排出されるように構成されている。このように媒体支持体６２の外周面に沿って複数の記録ヘッド５９を等間隔で配置することで、各記録ヘッド５９の間隔を可及的に広げることができる。これにより、一の（搬送方向における上流側の）記録ヘッド５９によるインクの噴射処理（記録処理）の後、次の（搬送方向における下流側の）記録ヘッド５９によるインクの噴射処理までに放電時間を確保することができるので、導電率が低く帯電しやすいインクを噴射する場合においても記録媒体６０や媒体支持体６２が帯電し難くなり、記録媒体６０や媒体支持体６２とインクとが反発しあって当該インク（ミスト）が記録ヘッド５１のノズル形成面５５に付着することが低減される。この構成では、各記録ヘッド５９が噴射するインクの導電率がいずれも低い構成である場合や、やむを得ず記録媒体６０の搬送方向における上流側から下流側に向けてインクの導電率が高い順に記録ヘッド５９を配置することができない構成においてより効果的である。
【００５６】
そして、上記各実施形態においては、液体噴射ヘッドとしてインクジェット式記録ヘッド１０を例に挙げて説明したが、本発明は、ノズル部から液体を噴射させる他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドでは液体の一種としてＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液体の一種として液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは液体の一種として生体有機物の溶液を噴射する。
【符号の説明】
【００５７】
１...プリンター，２...フレーム，３...プラテン，４...ガイドロッド，５...キャリッジ，６...キャリッジ移動機構，７...インクカートリッジ，８...カートリッジホルダー，９...エアチューブ，１０...エアーポンプ，１１...インク供給チューブ，１２...ＦＦＣ，１４...ワイピング機構，１５...ワイパーブレード，１６...キャッピング機構，１７...キャップ，１９...インク導入部材，２０...中継基板，２１...中間流路部材，２２...ヘッドユニット，２３...ホルダー，２４...インク導入針，２５...フィルター，２６...供給流路，２８...中間流路，２９...流路接続部，３０...仕切版，３１...連通流路，３２...配線開口部，３３...配線挿通口，３４...フレキシブル基板，３５...逃げ穴，３６...固定板，３７...圧電素子，３８...収容空部，３９...基板載置部，４０...開口部，４１...圧力室，４２...ノズル部，４３...ノズルプレート，４４...ノズル列，４５...第１ノズル部，４６...第２ノズル部，４７...撥液膜，４８...下地膜，４９...第１領域，５０...第２領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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