(57)【要約】【課題】  本発明は、分離膜モジュールの効率的な洗浄方法を提供し、分離膜モジュールを長期安定的に運転する方法を提供する。【解決手段】  分離膜モジュールの洗浄方法において、ろ過終了後、気体を分離膜モジュールの被処理水供給側に導入すると同時に、被処理水供給側の水を全量、分離膜モジュールの系外に排出し、次いで、気体導入を継続したまま処理水側から液体を導入する逆流洗浄によって、分離膜モジュールの被処理水供給側を液体で満たし、その後、被処理水供給側の液体を全量、分離膜モジュールの系外に排出することを特徴とする分離膜モジュールの洗浄方法。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
分離膜モジュールの洗浄方法において、ろ過終了後、気体を分離膜モジュールの被処理水供給側に導入すると同時に、前記被処理水供給側の水を全量、分離膜モジュールの系外に排出し、次いで、気体導入を継続したまま処理水側から液体を導入する逆流洗浄によって、分離膜モジュールの被処理水供給側を液体で満たし、その後、被処理水供給側の液体を全量、分離膜モジュールの系外に排出することを特徴とする分離膜モジュールの洗浄方法。
【請求項２】
処理水側から液体を導入する逆流洗浄によって、分離膜モジュールの被処理水供給側を液体で満たし、その後、被処理水供給側の液体を全量、分離膜モジュールの系外に排出する時に、分離膜モジュールの被処理水供給側に気体を導入することを特徴とする請求項１に記載の分離膜モジュールの洗浄方法。
【請求項３】
処理水側から導入する液体が膜ろ過水であることを特徴とする請求項１または２に記載の分離膜モジュールの洗浄方法。
【請求項４】
処理水側から導入する液体に酸化剤を添加することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の分離膜モジュールの洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水処理用膜モジュールの洗浄方法に関するものである。さらに詳しくは、上水道における浄水処理分野、工業用水や食品、医療プロセス用水といった産業用水製造分野、下水や工業廃水といった下廃水分野などに使用される水処理用膜モジュールを洗浄する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
膜分離法は、省エネルギー、省スペース、省力化および製品の品質向上等の特徴を有するため、様々な分野での使用が拡大している。例えば、精密ろ過膜や限外ろ過膜は、河川水や地下水、下水処理水から、工業用水や水道水を製造する浄水プロセスへの適用があげられる。水処理で用いられる分離膜は大きくナノろ過膜（ＮＦ膜）／逆浸透膜（ＲＯ膜）、精密ろ過膜（ＭＦ膜）／限外ろ過膜（ＵＦ膜）の２つに分けられ、前者は海水やかん水からの脱塩、イオン除去などに用いられ、一方、後者は河川水や地下水、下水処理水から、工業用水や水道水を製造する浄水プロセスで用いられる。さらに、従来、活性汚泥法で処理されていた下水や産業廃水を、活性汚泥槽に直接浸漬させたＭＦ膜／ＵＦ膜で処理する「膜分離活性汚泥法（Ｍｅｍｂｒａｎｅ  Ｂｉｏｒｅａｃｔｅｒ；ＭＢＲ）」と呼ばれる処理も活発に行なわれてきている。
【０００３】
水不足が叫ばれる昨今の状況から、これら膜を用いた水処理法は更なる技術開発が行なわれ、近年ではＭＦ膜／ＵＦ膜を用いて海水あるいはかん水中の有機物や微粒子を除去、あるいは下水あるいは産業廃水をＭＢＲにて浄化するといった前処理を行なった後に、ＲＯ膜でろ過して効率的に淡水を生産する「統合的膜利用システム（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｍｅｍｂｒａｎｅ  Ｓｙｓｔｅｍ；ＩＭＳ）」と呼ばれる手法を採用する造水施設が、水不足に苦しむ中東地域やアジア地域等にて多数建設されている。
【０００４】
このような水処理用分離膜モジュール（以下、分離膜モジュールと呼称する。）には、大きく分けて、加圧型膜モジュールと浸漬型膜モジュールとが存在する。加圧型膜モジュールは、多数本の分離膜を容器内に収納し、容器の両方の端部あるいは片方の端部を種々の接着剤にて接着した形状となっており、ポンプにて分離膜モジュール内に導入された被処理水が加圧状態となり、膜面によってろ過を行うタイプの分離膜モジュールである。一方、浸漬型膜モジュールは、分離膜が大気中に露出した形状となっており、その分離膜モジュールを大気開放された浸漬槽内に浸漬させ、ろ過水側を吸引等してろ過を行うタイプの分離膜モジュールである。
【０００５】
加圧型膜モジュールは、浸漬型膜モジュールに比べろ過圧力をより大きく設定できることから、膜面積あたりの処理量が増加し、そのため処理に必要な分離膜モジュール本数を減らせる、設置面積を小さくできる等の長所を持つ。一方、浸漬型膜モジュールは、耐圧性の筒状ケースを必要とせず被処理水中に膜を浸漬させて使用されることから、膜間に詰まる濁質の排出性に優れ、高濁質の被処理水でも膜ろ過が行えるという長所がある。また、ろ過方法が単純であり、付帯配管も少ないことから、設備費を低減できる長所もある。
【０００６】
浸漬型膜モジュールは前述したとおり、大気開放された浸漬槽内の被処理水中に分離膜モジュールを浸漬させ、ろ過水側を吸引等してろ過を行う。吸引ろ過の場合、浸漬型膜モジュールのろ過水出口から、分離膜モジュールのろ過水側を吸引する吸引手段（吸引ポンプなど）までの間のろ過水配管内は、ろ過工程中に、吸引されることにより負圧状態、ないしはそれに近い状態となるといった特徴も有している。
【０００７】
これらの分離膜モジュールを用いて被処理水を膜ろ過すると、被処理水中に含まれる濁質や有機物等の除去対象物が膜面に蓄積し、分離膜の閉塞現象が起こるため、分離膜のろ過抵抗が上昇し、やがてろ過を行うことができなくなる。そこで、膜ろ過性能を維持するため、定期的に膜ろ過を停止し、物理洗浄を行うのが一般的である。通常、前述のろ過工程と物理洗浄工程とは、自動的に繰り返しで実施される。
【０００８】
物理洗浄には、分離膜モジュール下部に空気を吹き込んで分離膜を水中で振動させることにより、膜面に付着した懸濁物質を震い落とす空気洗浄（空洗）や、分離膜モジュールのろ過方向とは逆方向、つまり処理水側から被処理水供給側にろ過水などの水（洗浄水）を圧力で押し込み、分離膜などに付着した懸濁物質を排除する逆圧水洗浄（逆洗）などがある。通常の分離膜モジュールの運転では、これらの各工程が１回ずつ行われた後に分離膜から剥離した懸濁物質を分離膜モジュールの系外に排出する排水工程が行われる。
【０００９】
しかしながら、膜ろ過運転が長期におよぶと、前述の物理洗浄によっても除去できない不純物が膜表面や膜間に付着、蓄積するため、薬品を用いてこれらの不純物を溶解除去する薬品洗浄が必要になってくる。薬品洗浄は、分離膜に付着、蓄積した不純物を薬品によって溶解あるいは除去させる薬品洗浄工程と、分離膜モジュール内の薬品を洗い流すリンス工程から構成される。
【００１０】
分離膜モジュールをオンラインにて薬品洗浄する方法については、一般的に、分離膜モジュールを薬品に一定時間浸漬させる方法と、薬品を分離膜モジュール内で一定時間循環させる方法の２種類がある。
【００１１】
加圧型膜モジュールを例にとって分離膜モジュールのオンラインでの薬品洗浄方法を説明すると、薬品に浸漬させる方法では、分離膜モジュールの被処理水供給側または処理水側から薬品を分離膜モジュール内に供給し、分離膜モジュール内の被処理水供給側および処理水側が薬品に満たされた時点で供給を止め、数時間程度浸漬した後に分離膜モジュールから薬品を排出してリンス工程を実施する。一方、薬品を循環させる方法では、分離膜モジュールの被処理水供給側または処理水側から薬品を分離膜モジュール内に供給し、分離膜モジュールから排出された薬品を再度、分離膜モジュールに供給する操作を数時間継続させた後に分離膜モジュールから薬品を排出してリンス工程を実施する。
【００１２】
しかしながら、上記のような方法で薬品洗浄を行うと、いずれの方法においても分離膜モジュール内に薬品が残存した状態でリンス工程に移るため、分離膜モジュール内から薬品を完全に洗い流すためにはリンス工程で大量の洗浄水が必要となるとともに、薬品を含有する廃水が大量に発生し、洗浄廃水ｐＨの中和等でさらに別の薬品を使用することになり、廃水処理にコストがかかるといった課題がある。
【００１３】
そこで、薬品洗浄の実施頻度を低減させる手段として、前述の物理洗浄を強化する技術開発が行われている。
【００１４】
特許文献１では、分離膜モジュールの被処理水供給側に気体を導入する（空洗）と同時に、処理水側に気体または液体を導入して、分離膜モジュールの処理水側から被処理水供給側に気体または液体を透過（逆洗）させる洗浄方法を提案している。本洗浄方法は、分離膜を傷つけることなく、分離膜表面に蓄積した懸濁物質の除去と、分離膜モジュールからの排除を同時に実施できる点では効果があり、薬品洗浄の実施頻度を低減することは可能である。その一方で、分離膜モジュールの被処理水供給側、処理水側ともに液体が満たされた状態で逆洗および空洗を同時に行うと、分離膜モジュール上部から排出される逆洗水（液体）と空洗の気体とが混合した流体が一時的に分離膜モジュール上部で滞留状態になり、分離膜モジュール上部の洗浄効果が阻害されるほか、分離膜モジュールの被処理水供給側に満たされた被処理水によって分離膜周辺に水圧がかかるため、逆洗を施しても分離膜表面に蓄積した懸濁物質の除去効果が十分に得られない可能性もある。
【００１５】
また、特許文献２では、逆洗時に分離膜モジュール下方の弁を開けることで逆洗排水を自然流下によって分離膜モジュールの被処理水供給側から分離膜モジュールの系外に排出する方法を提案している。本洗浄方法は、特許文献１の課題で挙げた分離膜モジュール上部での流体の一時的な滞留が起こらない点では優れている。その一方、膜面への懸濁物質の蓄積が激しい場合には逆洗のみでは洗浄の効果が十分に得られない可能性がある。
【００１６】
特許文献３では、特許文献１および２の課題を解決すべく、膜ろ過終了後に分離膜モジュールの被処理水供給側の水を分離膜モジュールの系外に排出し、逆洗を実施しながら分離膜モジュール内の逆洗排水を排出し、その後、分離膜モジュールの被処理水供給側を水で満たした後、あるいは満たす過程で空洗を実施し、排水を行う洗浄方法を提案している。本洗浄方法では、一旦、分離膜モジュールの被処理水供給側の水を分離膜モジュールの系外に排出しているため、その次の逆洗は、分離膜モジュールの被処理水供給側が気体となった状態で行われる。そのため、逆洗において、分離膜モジュールの被処理水供給側に水圧がかかる液体（被処理水）で満たされる状態よりも分離膜表面に付着した懸濁物質が剥離されやすく、かつ、そのまま分離膜モジュールの系外に排出されやすい特徴を有している。その一方、懸濁物質を大量に含む高濁度被処理水を膜ろ過した際、分離膜の表面のみならず、分離膜の間には多くの懸濁物質が絡みつくが、本洗浄方法では、分離膜の間に絡みついた懸濁物質の分離膜モジュール系外への排出が十分にできない可能性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特許第３９４８５９３号公報
【特許文献２】特開平６−１７０３６４号公報
【特許文献３】特許第４９６８４１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
本発明の目的は、従来の洗浄方法では課題となっている、膜面への懸濁物質の蓄積が激しい場合や分離膜の間に多くの懸濁物質が絡みついている場合における分離膜モジュールの効率的な洗浄方法を提供し、分離膜モジュールを長期安定的に運転するとともに、薬品洗浄頻度を低減させる方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
前記課題を解決するために本発明は次の構成をとる。
（１）分離膜モジュールの洗浄方法において、ろ過終了後、気体を分離膜モジュールの被処理水供給側に導入すると同時に、被処理水供給側の水を全量、分離膜モジュールの系外に排出し、次いで、気体導入を継続したまま処理水側から液体を導入する逆流洗浄によって、分離膜モジュールの被処理水供給側を液体で満たし、その後、被処理水供給側の液体を全量、分離膜モジュールの系外に排出することを特徴とする分離膜モジュールの洗浄方法。
（２）被処理水側から液体を導入する逆流洗浄によって、分離膜モジュールの被処理水供給側を液体で満たし、その後、被処理水供給側の液体を全量、分離膜モジュールの系外に排出する時に、分離膜モジュールの被処理水供給側に気体を導入することを特徴とする（１）に記載の分離膜モジュールの洗浄方法。
（３）処理水側から導入する液体が膜ろ過水であることを特徴とする（１）または（２）に記載の分離膜モジュールの洗浄方法。
（４）処理水側から導入する液体に酸化剤を添加することを特徴とする（１）〜（３）のいずれかに記載の分離膜モジュールの洗浄方法。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によって、特に、膜面への懸濁物質の蓄積が激しい場合や分離膜の間に多くの懸濁物質が絡みついている場合に、分離膜モジュール内および膜面の懸濁物質を効率的に排出および除去することが可能となり、分離膜モジュールを長期安定的に運転するとともに、薬品洗浄頻度を低減させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明が適用される膜ろ過装置で、膜ろ過している状態を示す装置概略フロー図である。
【図２】本発明が適用される膜ろ過装置で、膜ろ過後に気体を分離膜モジュールの被処理水供給側に導入すると同時に、被処理水供給側の水を分離膜モジュールの系外に排出する状態を示す装置概略フロー図である。
【図３】本発明が適用される膜ろ過装置で、気体導入を継続したまま逆流洗浄によって、分離膜モジュールの被処理水供給側を液体で満たす状態を示す装置概略フロー図である。
【図４】本発明が適用される膜ろ過装置で、排水が行われる状態を示す装置概略フロー図である。
【図５】本発明が適用される膜ろ過装置で、薬品を添加した逆流洗浄をしている状態を示す装置概略フロー図である。
【図６】本発明が適用される膜ろ過装置で、薬品を添加した逆流洗浄をしている状態の別の一例を示す装置概略フロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の好ましい実施の形態を、河川水等の浄化装置として適用される加圧型中空糸膜モジュールのろ過装置を例にとって、図面を参照しながら説明する。ただし、本発明の範囲がこれらに限られるものではない。
【００２３】
図１は、本発明が適用される膜ろ過装置で、膜ろ過している状態を示す装置概略フロー図である。
【００２４】
分離膜モジュール１で処理する被処理水は、被処理水配管２からろ過ポンプ３により分離膜モジュール１内の被処理水供給側１ａに供給される。被処理水は、分離膜モジュール内の膜によりろ過され、処理水は分離膜モジュール１の処理水側１ｂから処理水配管５及び処理水弁６を経て処理水タンク７へと移送される。この時、被処理水弁４と処理水弁６は開であり、洗浄水弁１０及び排水弁１２、気体導入弁１３、気体抜き弁１５は閉である。なお、本願の図面内では弁が開の際には斜線、閉の際には白抜きで示している。この膜ろ過によって得られる処理水は、処理水タンク７に一部あるいは全量が貯留される。
【００２５】
本発明では、ろ過工程終了後に、処理水ポンプ３を停止するとともに、被処理水弁４および処理水弁６を閉、気体抜き弁１５を開、排水弁１２を開にし、分離膜モジュール１の被処理水供給側１ａから気体を気体導入弁１３を介して導入して、気体による洗浄を行うと同時に分離膜モジュール１の被処理水供給側１ａ内の被処理水を分離膜モジュール１の系外に排出する（図２）。気体による洗浄を排水と同時に行うことで、分離膜モジュール１の被処理水供給側１ａで徐々に低下する水面が激しく波打ち、それによって膜面に付着、および分離膜の間に絡みついた被処理水由来の懸濁物質等の汚れ成分の少なくとも一部を除去および排出することができるだけのせん断力を得ることができる。なお、被処理水の排出時間は、膜面に付着、および分離膜の間に絡みついた被処理水由来の懸濁物質等の汚れ成分を除去および排出することができれば長さは問わないが、長すぎると造水システム全体の稼働率低下につながるため、４５〜６０秒程度であることが好ましい。また、分離膜モジュール１から被処理水を排出する際の排出量は、造水システムの規模や配管構成によるため一概に決めることはできないが、前記の好ましい排出時間を達成する排出量であればよい。前記排出時間または排出量を制御するため、排水弁１２は開度が調整可能なものであることが好ましい。
【００２６】
分離膜モジュール１の被処理水供給側１ａから被処理水を全て排出した後、気体導入弁１３を介した気体導入を継続したまま、速やかに洗浄水弁１０を開、排水弁１２を閉、気体抜き弁１５を開、洗浄水供給ポンプ９を運転し、洗浄水を洗浄水配管８を介して分離膜モジュール１の処理水側１ｂに送液して分離膜モジュール１内の分離膜の洗浄（逆洗）を行いながら分離膜モジュール１の被処理水供給側１ａを洗浄水で満たす（図３）。逆洗では、通常、洗浄水にろ過水を用い、洗浄水配管８から洗浄水供給ポンプ９によって一定時間、分離膜モジュール１の処理水側１ｂに洗浄水を供給して分離膜表面や内部に蓄積した汚れ物質の除去を行う。なお、一般的に逆洗流束は、膜ろ過流束の１〜２倍程度とされており、分離膜モジュール１への洗浄水の供給量は、洗浄水弁１０の開閉度合いによって調整される。なお、洗浄水には、分離膜表面や内部の汚れ物質を効率良く除去するために、図５や図６に示すように薬品を添加してもよい。また、洗浄水を加温しても同様な効果が期待できる。洗浄水の加温は、処理水タンク７あるいは洗浄水配管８内にヒーターなどの加温設備を設け、３０〜４０℃程度とすることが好ましい。
【００２７】
本発明の逆洗では、分離膜モジュール１の被処理水供給側１ａで洗浄水の水面が徐々に上昇していくが、同時に気体導入弁１３を介した気体導入で水面が激しく波打つため、被処理水排出時に除去しきれなかった膜面に付着した被処理水由来の懸濁物質等の汚れ成分の除去を進めることが可能となる。その後、分離膜モジュール１の被処理水供給側１ａが洗浄水で満たされ、気体抜き配管１４を介して、洗浄水が分離膜モジュール１系外に排出されると同時に、洗浄水弁１０を閉、気体導入弁１３を閉、洗浄水供給ポンプ９を停止する。なお、分離膜モジュール１の被処理水供給側１ａが洗浄水で満たされ、気体抜き配管１４を介して、洗浄水が分離膜モジュール１の系外に一定時間（数十秒程度）排出された状態で気体導入を継続しても構わない。
【００２８】
分離膜モジュール１の被処理水供給側１ａが洗浄水で満たされた後、排水弁１２を開にして排水配管１１を介して分離膜モジュール１の被処理水供給側１ａに満たされた洗浄水を全量、分離膜モジュール１から排出する。なお、分離膜モジュール１の被処理水供給側１ａから洗浄水を排出する際に気体導入弁１３を開にして、気体を導入しながら洗浄水の排出を行うと、分離膜モジュール１の被処理水供給側１ａから被処理水由来の懸濁物質等の汚れ成分がより効率的に排出できるので好ましい形態である。
【００２９】
本発明において、図５や図６に示すように薬品を用いて逆洗する際に使用される薬品は、硫酸、塩酸、硝酸、シュウ酸、クエン酸、アスコルビン酸、水酸化ナトリウム、次亜塩素酸ナトリウム、過酸化水素、および界面活性剤からなる群から選ばれる１種以上を含む薬品であることが好ましい。これらの薬品を用いれば、被処理水中に含まれる無機物や有機物等の汚れ物質を溶解あるいは分解させることが可能となり分離膜モジュール１の安定的な運転を長期間継続することが可能となる。
【００３０】
ここまで、加圧型中空糸膜モジュールのろ過装置を例にとって本発明の説明を行ったが、浸漬型中空糸膜モジュール（以下、浸漬型モジュールと呼称する。）についても簡単に説明する。
【００３１】
浸漬型モジュールは、大気開放された浸漬槽内の被処理水中に浸漬させ、ろ過水側を吸引等してろ過を行うため、ろ過ポンプは処理水配管側に設置される。また、被処理水配管側には被処理水供給ポンプが設置される。
【００３２】
浸漬型モジュールを用いた本発明では、ろ過工程終了後に、処理水ポンプを停止するとともに、被処理水弁および処理水弁を閉、排水弁を開にし、気体を気体導入弁を介して浸漬槽内に導入して、気体による洗浄を行うと同時に浸漬槽内の被処理水を排出する。浸漬槽から被処理水を全て排出した後、気体導入弁を介した気体導入を継続したまま、速やかに洗浄水弁を開、排水弁を閉、洗浄水供給ポンプを運転し、洗浄水を洗浄水配管を介して浸漬型モジュールの処理水側に送液して浸漬型モジュール内の分離膜の洗浄（逆洗）を行いながら浸漬槽を洗浄水で満たす。浸漬槽が洗浄水で満たされた後、排水弁を開にして排水配管を介して浸漬槽に満たされた洗浄水を全量排出する。なお、浸漬槽から洗浄水を排出する際に気体導入弁を開にして、気体を導入しながら洗浄水の排出を行うと、浸漬型モジュールから被処理水由来の懸濁物質等の汚れ成分がより効率的に排出できるので好ましい形態である。
【００３３】
本発明で用いる分離膜モジュール１の形状としては、中空糸膜、チューブラー膜、平膜等がある。ここで、中空糸膜とは直径２ｍｍ未満の円筒状の分離膜、チューブラー膜とは直径２ｍｍ以上の円管状の分離膜をいう。本発明においては、いずれの形状の膜モジュールを用いても構わないが、一般的に高い膜ろ過流束での逆洗ができない構造であることが多い平膜形状の膜モジュールよりも、充分に高い膜ろ過流束での逆洗ができる構造である中空糸膜やチューブラー膜形状の膜モジュールを用いた方が薬品洗浄時に膜表面および膜内の汚れ物質を溶解または分解しやすいので好ましい。
【００３４】
また、分離膜としては、本発明の主旨からどのようなものでも構わないが、一般的には除濁用途として用いられる精密ろ過膜や限外ろ過膜が好ましい。
【００３５】
精密ろ過膜や限外ろ過膜に使用される膜の素材は、特に限定しないが、ポリアクリロニトリル、ポリフェニレンスルフォン、ポリフェニレンスルフィドスルフォン、ポリフッ化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリスルホン、ポリビニルアルコール、酢酸セルロースやセラミック等の無機素材からなる群から選ばれる少なくとも１種を含んでいると好ましい。さらに膜強度、耐薬品性の点から、ポリフッ化ビニリデンを主成分とする樹脂膜であることがより好ましい。
【００３６】
膜表面の細孔径についても特に限定されないが、０．００１μｍ〜１μｍの範囲内で適宜選択することができる。
【００３７】
本発明における被処理水としては、特に限定されるものではなく、河川水、湖沼水、地下水、工業用水、都市下水、工業廃水等のいずれの水でも構わなく、また、これらの水に凝集、沈殿、ろ過、吸着、生物処理等の処理を施した水でも構わない。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は、水処理用膜モジュールの洗浄方法に関するものである。さらに詳しくは、上水道における浄水処理分野、工業用水や食品、医療プロセス用水といった産業用水製造分野、下水や工業廃水といった下廃水分野などに使用される水処理用膜モジュールを洗浄する方法として使用することができる。
【符号の説明】
【００３９】
１： 分離膜モジュール
１ａ：分離膜モジュールの被処理水供給側
１ｂ：分離膜モジュールの処理水側
２：被処理水配管
３：ろ過ポンプ
４：被処理水弁
５：処理水配管
６：処理水弁
７：処理水タンク
８：洗浄水配管
９：洗浄水供給ポンプ
１０：洗浄水弁
１１：排水配管
１２：排水弁
１３：気体導入弁
１４：気体抜き配管
１５：気体抜き弁
１６：薬品タンク
１７：薬品供給配管
１８：薬品ポンプ
１９：逆流防止弁
２０：薬品弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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