(57)【要約】【課題】作業者の安全を確保することができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。【解決手段】電子部品搬送装置は、電子部品を搬送可能な搬送部と、開閉可能な開閉部と、前記搬送部の作動状態を表示可能な表示部と、前記開閉部が開閉可能か否かを報知する報知部と、を備えることを特徴とする。これにより、作業者に開閉部が開閉可能か否かを認識させることができる。よって、例えば、装置の内側が作業者にとって好ましくない状態であるにも関わらず、作業者が開閉部を開状態とすることを防止することができる。【選択図】図５
2017152605.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を搬送可能な搬送部と、
開閉可能な開閉部と、
前記搬送部の作動状態を表示可能な表示部と、
前記開閉部が開閉可能か否かを報知する報知部と、を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記報知部は、光および音のうちの少なくとも１つを用いて報知する請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記開閉部の閉状態の維持と、前記閉状態の解除とを切り替えるロック部を有している請求項１または２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
前記報知部は、前記ロック部の作動状態を視認可能な窓部を有している請求項３に記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
前記窓部には、前記開閉部を開状態とすることが可能であることを示す第１の表示と、前記第１の表示とは異なる位置に設けられ、前記開閉部を前記開状態とするのを規制していることを示す第２の表示とが付されており、
前記報知部は、前記ロック部の作動状態に連動して、前記窓部を介して前記第１の表示と重なる第１の位置と、前記窓部を介して前記第２の表示と重なる第２の位置との間を移動することにより、前記開閉部が開閉可能か否かを識別させる識別部を有している請求項４に記載の電子部品搬送装置。
【請求項６】
前記報知部は、前記開閉部に設けられている請求項１ないし５のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記報知部は、前記開閉部を開くことが可能になるまでの情報を報知する請求項１ないし６のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項８】
前記報知部は、前記電子部品搬送装置が設置される設置面から６００ｍｍ以上、２０００ｍｍ以下の高さの位置に配置される請求項１ないし７のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項９】
前記表示部は、前記開閉部が開閉可能か否かを表示する請求項１ないし８のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１０】
電子部品を搬送可能な搬送部と、
開閉可能な開閉部と、
前記搬送部の作動状態を表示可能な表示部と、
前記開閉部が開閉可能か否かを報知する報知部と、
電子部品を検査する検査部と、を備えることを特徴とする電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えばＩＣデバイス等の電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置が知られており、この電子部品検査装置には、ＩＣデバイスを搬送するための電子部品搬送装置が組み込まれている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、電子部品検査装置では、複数のＩＣデバイスをトレイに載置し、トレイごと装置内に入れることにより、トレイが、搬送部によって検査が行われる検査部まで搬送される。そして、検査が終わると、ＩＣデバイスは、トレイに載置され、搬送部によってトレイごと搬送され、装置外に排出される。
【０００４】
このような電子部品搬送装置では、最外層のカバーに扉（開閉部）が設けられており、例えば、何らかの原因により、搬送部の作動が停止したときや、メンテナンスを行う際等に、作業者は、扉を開けることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１１１８０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
例えば、電子部品検査装置内に冷却ガスが充満していたり、内部の温度が比較的高くなっていたりする場合、この状態で作業者が扉を開けるのは好ましくない。しかしながら、特許文献１に記載の電子部品検査装置では、作業者は、扉を開けてよいか否かが判断し難い。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
本発明の電子部品搬送装置は、電子部品を搬送可能な搬送部と、
開閉可能な開閉部と、
前記搬送部の作動状態を表示可能な表示部と、
前記開閉部が開閉可能か否かを報知する報知部と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
これにより、作業者に開閉部が開閉可能か否かを認識させることができる。よって、例えば、装置の内側が作業者にとって好ましくない状態であるにも関わらず、作業者が開閉部を開状態とすることを防止することができる。その結果、作業者の安全を確保することができる。
【００１０】
本発明の電子部品搬送装置では、前記報知部は、光および音のうちの少なくとも１つを用いて報知するのが好ましい。
これにより、作業者に、開閉部が開閉可能か否かを高い確度で認識させることができる。
【００１１】
本発明の電子部品搬送装置では、前記開閉部の閉状態の維持と、前記閉状態の解除とを切り替えるロック部を有しているのが好ましい。
【００１２】
これにより、例えば、電子部品の搬送中に作業者が誤って開閉部を開けてしまうのを防止することができる。
【００１３】
本発明の電子部品搬送装置では、前記報知部は、前記ロック部の作動状態を視認可能な窓部を有しているのが好ましい。
【００１４】
これにより、例えば、報知部として表示装置等の機器を設けるのを省略することができ、報知部の構成を簡素にすることができる。
【００１５】
本発明の電子部品搬送装置では、前記窓部には、前記開閉部を開状態とすることが可能であることを示す第１の表示と、前記第１の表示とは異なる位置に設けられ、前記開閉部を前記開状態とするのを規制していることを示す第２の表示とが付されており、
前記報知部は、前記ロック部の作動状態に連動して、前記窓部を介して前記第１の表示と重なる第１の位置と、前記窓部を介して前記第２の表示と重なる第２の位置との間を移動することにより、前記開閉部が開閉可能か否かを識別させる識別部を有しているのが好ましい。
【００１６】
これにより、例えば、報知部として表示装置等の機器を設けるのを省略することができ、報知部の構成を簡素にすることができる。
【００１７】
本発明の電子部品搬送装置では、前記報知部は、前記開閉部に設けられているのが好ましい。
【００１８】
これにより、作業者が開閉部の開閉作業を行う際に、作業者に、開閉部が開閉可能か否かを高い確度で認識させることができる。
【００１９】
本発明の電子部品搬送装置では、前記報知部は、前記開閉部を開くことが可能になるまでの情報を報知するのが好ましい。
【００２０】
これにより、例えば、情報が時間である場合、作業者は、開閉部を開くのが可能になるまでの時間を把握することができる。よって、作業者は、開閉部を開く作業を行うまでに他の作業を行うことができる。
【００２１】
本発明の電子部品搬送装置では、前記報知部は、前記電子部品搬送装置が設置される設置面から６００ｍｍ以上、２０００ｍｍ以下の高さの位置に配置されるのが好ましい。
【００２２】
これにより、報知部が視認により報知する構成とした場合、作業者に高い確度で報知することができる。
【００２３】
本発明の電子部品搬送装置では、前記表示部は、前記開閉部が開閉可能か否かを表示するのが好ましい。
【００２４】
開閉部が開閉可能か否かを、報知部の他、表示部でも表示することにより、作業者により認識させやすくすることができる。
【００２５】
本発明の電子部品検査装置は、電子部品を搬送可能な搬送部と、
開閉可能な開閉部と、
前記搬送部の作動状態を表示可能な表示部と、
前記開閉部が開閉可能か否かを報知する報知部と、
電子部品を検査する検査部と、を備えることを特徴とする。
【００２６】
これにより、作業者に開閉部が開閉可能か否かを認識させることができる。よって、例えば、装置の内側が作業者にとって好ましくない状態であるにも関わらず、作業者が開閉部を開状態とすることを防止することができる。その結果、作業者の安全を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は、本発明の電子部品検査装置（第１実施形態）を正面側から見た概略斜視図である。
【図２】図２は、図１に示す電子部品検査装置の平面図である。
【図３】図３は、図１に示す電子部品検査装置のブロック図である。
【図４】図４は、図１に示す電子部品検査装置が備える開閉部および報知部を示す図である。
【図５】図５は、図１に示す電子部品検査装置が備える開閉部および報知部を示す図である。
【図６】図６は、図１に示す電子部品検査装置が備える開閉部および報知部を示す図である。
【図７】図７は、図１に示す電子部品検査装置が備える開閉部および報知部を示す図である。
【図８】図８は、図１に示す電子部品検査装置の制御動作を示すフローチャートである
【図９】図９は、本発明の電子部品検査装置（第２実施形態）が備える開閉部および報知部を示す図である。
【図１０】図１０は、本発明の電子部品検査装置（第２実施形態）が備える開閉部および報知部を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２９】
＜第１実施形態＞
以下、図１〜図８を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第１実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図１、図２および図４〜図７（図９および図１０についても同様）に示すように、互いに直交する３つの軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。また、Ｘ軸とＹ軸を含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直となっている。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向」とも言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向」とも言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干（例えば５°未満程度）傾いた状態も含む。
【００３０】
図１、図２に示す検査装置１（電子部品検査装置）は、電子部品搬送装置１０を内蔵するものであり、例えば、ＢＧＡ（Ball Grid Array）パッケージであるＩＣデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電気的特性を検査・試験（以下単に「検査」と言う）する装置である。
【００３１】
検査装置１は、電子部品を搬送可能な搬送部６と、開閉可能な開閉部４と、搬送部６の作動状態を表示可能な表示部としてのモニター３００と、開閉部４が開閉可能か否かを報知する報知部５と、電子部品の検査を行う検査部１６と、を備えている。
【００３２】
また、電子部品搬送装置１０は、電子部品を搬送可能な搬送部６と、開閉可能な開閉部４と、搬送部６の作動状態を表示可能な表示部としてのモニター３００と、開閉部４が開閉可能か否かを報知する報知部５と、を備えている。
【００３３】
なお、以下では、説明の便宜上、電子部品としてＩＣデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ＩＣデバイス９０」とする。ＩＣデバイス９０は、トレイ２００である載置部材上に載置される。
【００３４】
検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１と、デバイス供給領域（以下単に「供給領域」と言う）Ａ２と、検査領域Ａ３と、デバイス回収領域Ａ４（以下単に「回収領域」と言う）と、トレイ除去領域Ａ５とに分けられている。そして、ＩＣデバイス９０は、トレイ供給領域Ａ１からトレイ除去領域Ａ５まで各領域を矢印α９０方向に順に経由し、途中の検査領域Ａ３で検査が行われる。このように検査装置１は、各領域でＩＣデバイス９０を搬送する電子部品搬送装置１０（ハンドラー）と、検査領域Ａ３内で検査を行なう検査部１６と、を備えたものとなっている。また、その他、検査装置１は、シグナルランプ４００と、操作パネル７００とを備えている。
【００３５】
なお、検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１、トレイ除去領域Ａ５が配された方、すなわち、図２中の下側が正面側となり、検査領域Ａ３が配された方、すなわち、図２中の上側が背面側として使用される。
【００３６】
トレイ供給領域Ａ１は、未検査状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が供給される給材部である。トレイ供給領域Ａ１では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。
【００３７】
供給領域Ａ２は、トレイ供給領域Ａ１から搬送されたトレイ２００上の複数のＩＣデバイス９０がそれぞれ検査領域Ａ３まで供給される領域である。なお、トレイ供給領域Ａ１と供給領域Ａ２とを跨ぐように、トレイ２００を１枚ずつ水平方向に搬送するトレイ搬送機構１１Ａ、１１Ｂが設けられている。トレイ搬送機構１１Ａは、トレイ２００を、当該トレイ２００に載置されたＩＣデバイス９０ごとＹ方向の正側、すなわち、図２中の矢印α１１Ａに移動させることができる移動部である。これにより、ＩＣデバイス９０を安定して供給領域Ａ２に送り込むことができる。また、トレイ搬送機構１１Ｂは、空のトレイ２００をＹ方向の負側、すなわち、図２中の矢印α１１Ｂに移動させることができる移動部である。これにより、空のトレイ２００を供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に移動させることができる。
【００３８】
供給領域Ａ２には、温度調整部（ソークプレート（英語表記：soak plate、中国語表記（一例）：均温板））１２と、デバイス搬送ヘッド１３と、トレイ搬送機構１５と、濃度センサー８００と、が設けられている。
【００３９】
温度調整部１２は、複数のＩＣデバイス９０を載置して、これらＩＣデバイス９０を一括して加熱または冷却することができるものであり、「ソークプレート」と呼ばれる。このソークプレートにより、検査部１６で検査される前のＩＣデバイス９０を予め加熱または冷却して、当該検査（高温検査または低温検査）に適した温度に調整することができる。図２に示す構成では、温度調整部１２は、Ｙ方向に２つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構１１Ａによってトレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００上のＩＣデバイス９０は、いずれかの温度調整部１２まで搬送される。
【００４０】
デバイス搬送ヘッド１３は、供給領域Ａ２内でＸ方向およびＹ方向、さらにＺ方向にも移動可能に支持されている。これにより、デバイス搬送ヘッド１３は、トレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００と温度調整部１２との間のＩＣデバイス９０の搬送と、温度調整部１２と後述するデバイス供給部１４との間のＩＣデバイス９０の搬送とを担うことができる。なお、図２中では、デバイス搬送ヘッド１３のＸ方向の移動を矢印α１３Ｘで示し、デバイス搬送ヘッド１３のＹ方向の移動を矢印α１３Ｙで示している。
【００４１】
トレイ搬送機構１５は、全てのＩＣデバイス９０が除去された状態の空のトレイ２００を供給領域Ａ２内でＸ方向の正側、すなわち、矢印α１５方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、トレイ搬送機構１１Ｂによって供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に戻される。
【００４２】
濃度センサー８００は、供給領域Ａ２内の窒素の濃度を検出するものである。濃度センサー８００は、制御部８０と電気的に接続されており、濃度センサー８００が検出した濃度の情報は、制御部８０に送信される。なお、濃度センサーは、酸素の濃度を検出するものであってもよい。
【００４３】
検査領域Ａ３は、ＩＣデバイス９０を検査する領域である。この検査領域Ａ３には、検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７とが設けられている。また、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３とを跨ぐように移動するデバイス供給部１４と、検査領域Ａ３と回収領域Ａ４とを跨ぐように移動するデバイス回収部１８も設けられている。
【００４４】
デバイス供給部１４は、温度調整部１２で温度調整されたＩＣデバイス９０が載置され、当該ＩＣデバイス９０を検査部１６近傍まで搬送することができる載置部として構成され、「供給用シャトルプレート」または単に「供給シャトル」と呼ばれる。
【００４５】
また、デバイス供給部１４は、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間をＸ方向、すなわち、矢印α１４方向に沿って往復移動可能に支持されている。図２に示す構成では、デバイス供給部１４は、Ｙ方向に２つ配置されており、温度調整部１２上のＩＣデバイス９０は、いずれかのデバイス供給部１４まで搬送される。また、デバイス供給部１４は、温度調整部１２と同様に、当該デバイス供給部１４に載置されたＩＣデバイス９０を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、温度調整部１２で温度調整されたＩＣデバイス９０に対して、その温度調整状態を維持しつつ、検査領域Ａ３の検査部１６近傍まで搬送することができる。
【００４６】
デバイス搬送ヘッド１７は、温度調整状態が維持されたＩＣデバイス９０が把持され、当該ＩＣデバイス９０を検査領域Ａ３内で搬送する動作部である。このデバイス搬送ヘッド１７は、検査領域Ａ３内でＹ方向およびＺ方向に往復移動可能に支持され、「インデックスアーム」と呼ばれる機構の一部となっている。これにより、デバイス搬送ヘッド１７は、供給領域Ａ２から搬入されたデバイス供給部１４上のＩＣデバイス９０を検査部１６上に搬送し、載置することができる。なお、図２中では、デバイス搬送ヘッド１７のＹ方向の往復移動を矢印α１７Ｙで示している。また、デバイス搬送ヘッド１７は、Ｙ方向およびＺ方向に往復移動可能に支持されているが、これに限定されず、Ｘ方向にも往復移動可能に支持されていてもよい。
【００４７】
また、デバイス搬送ヘッド１７は、温度調整部１２と同様に、把持したＩＣデバイス９０を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、ＩＣデバイス９０における温度調整状態を、デバイス供給部１４から検査部１６まで継続して維持することができる。
【００４８】
検査部１６は、電子部品であるＩＣデバイス９０を載置して、当該ＩＣデバイス９０の電気的特性を検査・試験する（検査する）載置部として構成されている。この検査部１６には、ＩＣデバイス９０の端子部と電気的に接続される複数のプローブピンが設けられている。そして、ＩＣデバイス９０の端子部とプローブピンとが電気的に接続される、すなわち、接触することにより、ＩＣデバイス９０の検査を行なうことができる。ＩＣデバイス９０の検査は、制御部８０の記憶部８３（図３参照）に記憶されているプログラムに基づいて行われる。なお、検査部１６でも、温度調整部１２と同様に、ＩＣデバイス９０を加熱または冷却して、当該ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整することができる。
【００４９】
デバイス回収部１８は、検査部１６での検査が終了したＩＣデバイス９０が載置され、当該ＩＣデバイス９０を回収領域Ａ４まで搬送することができる載置部として構成され、「回収用シャトルプレート」または単に「回収シャトル」と呼ばれる。
【００５０】
また、デバイス回収部１８は、検査領域Ａ３と回収領域Ａ４との間をＸ方向、すなわち、矢印α１８方向に沿って往復移動可能に支持されている。また、図２に示す構成では、デバイス回収部１８は、デバイス供給部１４と同様に、Ｙ方向に２つ配置されており、検査部１６上のＩＣデバイス９０は、いずれかのデバイス回収部１８に搬送され、載置される。この搬送は、デバイス搬送ヘッド１７によって行なわれる。
【００５１】
回収領域Ａ４は、検査が終了した複数のＩＣデバイス９０が回収される領域である。この回収領域Ａ４には、回収用トレイ１９と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構２１とが設けられている。また、回収領域Ａ４には、空のトレイ２００も用意されている。
【００５２】
回収用トレイ１９は、検査部１６で検査されたＩＣデバイス９０が載置される載置部として構成され、回収領域Ａ４内で移動しないよう固定されている。これにより、デバイス搬送ヘッド２０等の各種可動部が比較的多く配置された回収領域Ａ４であっても、回収用トレイ１９上では、検査済みのＩＣデバイス９０が安定して載置されることとなる。なお、図２に示す構成では、回収用トレイ１９は、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。
【００５３】
また、空のトレイ２００も、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。この空のトレイ２００も、検査部１６で検査されたＩＣデバイス９０が載置される載置部となる。そして、回収領域Ａ４に移動してきたデバイス回収部１８上のＩＣデバイス９０は、回収用トレイ１９および空のトレイ２００のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ＩＣデバイス９０は、検査結果ごとに分類されて、回収されることとなる。
【００５４】
デバイス搬送ヘッド２０は、回収領域Ａ４内でＸ方向およびＹ方向、さらにＺ方向にも移動可能に支持されている。これにより、デバイス搬送ヘッド２０は、ＩＣデバイス９０をデバイス回収部１８から回収用トレイ１９や空のトレイ２００に搬送することができる。なお、図２中では、デバイス搬送ヘッド２０のＸ方向の移動を矢印α２０Ｘで示し、デバイス搬送ヘッド１３のＹ方向の移動を矢印α２０Ｙで示している。
【００５５】
トレイ搬送機構２１は、トレイ除去領域Ａ５から搬入された空のトレイ２００を回収領域Ａ４内でＸ方向、すなわち、矢印α２１方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、ＩＣデバイス９０が回収される位置に配されることとなる、すなわち、３つの空のトレイ２００のうちのいずれかとなり得る。
【００５６】
トレイ除去領域Ａ５は、検査済み状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が回収され、除去される除材部である。トレイ除去領域Ａ５では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。
【００５７】
また、回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５とを跨ぐように、トレイ２００を１枚ずつＹ方向に搬送するトレイ搬送機構２２Ａ、２２Ｂが設けられている。トレイ搬送機構２２Ａは、トレイ２００をＹ方向、すなわち、矢印α２２Ａ方向に往復移動させることができる移動部である。これにより、検査済みのＩＣデバイス９０を回収領域Ａ４からトレイ除去領域Ａ５に搬送することができる。また、トレイ搬送機構２２Ｂは、ＩＣデバイス９０を回収するための空のトレイ２００をＹ方向正側、すなわち、矢印α２２Ｂ方向に移動させることができる。これにより、空のトレイ２００をトレイ除去領域Ａ５から回収領域Ａ４に移動させることができる。
【００５８】
検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１と供給領域Ａ２との間が第１隔壁６１によって区切られており、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間が第２隔壁６２によって区切られており、検査領域Ａ３と回収領域Ａ４との間が第３隔壁６３によって区切られており、回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５との間が第４隔壁６４によって区切られている。また、供給領域Ａ２と回収領域Ａ４との間も、第５隔壁６５によって区切られている。
【００５９】
検査装置１は、最外装がカバーで覆われており、当該カバーには、例えばフロントカバー７０、サイドカバー７１、サイドカバー７２、リアカバー７３、トップカバー７４がある。フロントカバー７０、サイドカバー７１、サイドカバー７２、リアカバー７３、トップカバー７４を組立てることにより、筐体７６が構成され、筐体７６に開閉部４が形成されている。そして、筐体７６の内部には搬送部６が配置されている。
【００６０】
図２に示すように、サイドカバー７１には、第１扉７１１と第２扉７１２とが設けられている。第１扉７１１や第２扉７１２を開けることにより、例えば供給領域Ａ２内でのメンテナンスや不具合の解消等を行なうことができる。なお、第１扉７１１と第２扉７１２とは、図２および図５中矢印α７１方向に開閉する構成となっている。
【００６１】
同様に、サイドカバー７２には、第１扉７２１と第２扉７２２とが設けられている。第１扉７２１や第２扉７２２を開けることにより、例えばデバイス回収領域Ａ４内での作業を行なうことができる。なお、第１扉７２１と第２扉７２２は、図２中矢印α７２方向に開閉する構成となっている。
【００６２】
また、リアカバー７３にも、第１扉７３１と第２扉７３２と第３扉７３３とが設けられている。第１扉７３１を開けることにより、例えば供給領域Ａ２内での作業を行なうことができる。第３扉７３３を開けることにより、例えばデバイス回収領域Ａ４内での作業を行なうことができる。さらに、検査部１６を画成する内側隔壁６６には、第４扉７５が設けられている。そして、第２扉７３２および第４扉７５を開けることにより、例えば検査領域Ａ３内での作業を行なうことができる。なお、第１扉７３１は、図２中矢印α７３１方向に開閉し、第２扉７３２は、図２中矢印α７３２方向に開閉し、第３扉７３３は、図２中矢印α７３３方向に開閉し、第４扉７５は、図２中矢印α７５方向に開閉する。
【００６３】
そして、各扉を閉じた状態では、対応する各領域での気密性や断熱性を確保することができる。
【００６４】
これらの第１扉７１１、第２扉７１２、第１扉７２１、第２扉７２２、第１扉７３１、第２扉７３２、第３扉７３３および第４扉７５は、それぞれ、開閉可能な開閉部４で構成されている。
【００６５】
図３に示すように、制御部８０は、駆動制御部８１と、検査制御部８２と、記憶部８３と、を有している。
【００６６】
駆動制御部８１は、例えば、図２に示すトレイ搬送機構１１Ａと、トレイ搬送機構１１Ｂと、温度調整部１２と、デバイス搬送ヘッド１３と、デバイス供給部１４と、トレイ搬送機構１５と、検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７と、デバイス回収部１８と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構２１と、トレイ搬送機構２２Ａと、トレイ搬送機構２２Ｂの各部の作動を制御する。
【００６７】
検査制御部８２は、記憶部８３に記憶されたプログラムに基づいて、検査部１６に配置されたＩＣデバイス９０の電気的特性の検査等を行なう。
【００６８】
記憶部８３は、例えば、ＲＡＭ等の揮発性メモリー、ＲＯＭ等の不揮発性メモリー、ＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュメモリー等の書き換え可能（消去、書き換え可能）な不揮発性メモリー等、各種半導体メモリー（ＩＣメモリー）等で構成される。
【００６９】
また、制御部８０は、表示部としてのモニター３００と電気的に接続されている。モニター３００は、搬送部６の作動状態や、検査装置１のその他の部位の作動状態を表示可能に構成されている。なお、図２に示すように、搬送部６は、トレイ搬送機構１１Ｂ、デバイス搬送ヘッド１３、デバイス供給部１４、トレイ搬送機構１５、デバイス搬送ヘッド１７、デバイス回収部１８、デバイス搬送ヘッド２０、トレイ搬送機構２１、トレイ搬送機構２２Ａおよびトレイ搬送機構２２Ｂを有するものである。
【００７０】
オペレーターは、モニター３００を介して、検査装置１の動作条件等を設定したり、確認したりすることができる。このモニター３００は、例えば液晶画面で構成された表示画面３０１を有し、検査装置１の正面側上部に配置されている。図１に示すように、トレイ除去領域Ａ５の図中の右側には、モニター３００に表示された画面を操作する際に用いられるマウスを載置するマウス台６００が設けられている。
【００７１】
また、モニター３００に対して図１の右下方には、操作パネル７００が配置されている。操作パネル７００は、モニター３００とは別に、検査装置１に所望の動作を命令するものである。
【００７２】
また、制御部８０は、シグナルランプ４００と電気的に接続されている。シグナルランプ４００は、発光する色の組み合わせにより、検査装置１の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ４００は、検査装置１の上部に配置されている。なお、検査装置１には、スピーカー５００が内蔵されており、このスピーカー５００によっても検査装置１の作動状態等を報知することもできる。
【００７３】
次に、サイドカバー７１側の第１扉７１１および第２扉７１２について詳細に説明する。第１扉７１１および第２扉７１２は、同様の構成であるため、以下では、第１扉７１１について代表的に説明する。
【００７４】
図４および図５に示すように、第１扉７１１は、サイドカバー７１に形成された開口部７１３に対して開閉可能な扉である。これにより、開閉部４は、閉状態で開口部７１３の半分（図中の左側の部分）を覆うことができ（図４参照）、開状態で開口部７１３を開放させることができる（図５参照）。
【００７５】
この第１扉７１１は、平面視でほぼ四角形状をなす板部材で構成されている。なお、第１扉７１１の大きさとしては、検査装置１の大きさにもよるが、例えば、縦の長さ（Ｚ方向の長さ）、横の長さ（Ｙ方向の長さ）いずれも、４００ｍｍ以上、６００ｍｍ以下であるのが好ましく、４５０ｍｍ以上、５５０ｍｍ以下であるのがより好ましい。
【００７６】
そして、四角形状をなす第１扉７１１は、４つの辺（縁部）４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄのうちの鉛直方向に延びた辺４１ａが２つの回動支持部４２でサイドカバー７１と連結されている。これら２つの回動支持部４２は、Ｚ方向に離間して配置されている。また、各回動支持部４２は、第１扉７１１を回動可能に支持する蝶番で構成されている。これにより、第１扉７１１を鉛直方向、すなわち、Ｚ方向と平行な軸を回動軸として、図２および図５中の矢印α７１方向に回動可能に支持することができ、その開閉を円滑に行なうことができる。
【００７７】
また、第１扉７１１および第２扉７１２には、それぞれ、突起で構成された取っ手７１４が設けられている。これにより、第１扉７１１および第２扉７１２の開閉を容易に行うことができる。
【００７８】
図６および図７に示すように、サイドカバー７１の開口部７１３の上部近傍（例えば０ｍｍ以上、５０ｍｍ以下）には、シリンダー７４０が、固定されている。シリンダー７４０は、シリンダーロッド７４０ａが出没自在なものである。そして、シリンダーロッド７４０ａが下方に向かって突出したときに、第１扉７１１の図６中紙面奥側の面に設けられたロック部材４３に係合することができる。このようなシリンダー７４０は、制御部８０と電気的に接続されており、制御部８０によってその作動が制御される。
【００７９】
なお、本実施形態では、シリンダー７４０は、第１扉７１１の閉状態を維持するのみならず、第２扉７１２の閉状態を維持することもできる。すなわち、シリンダー７４０は、シリンダーロッド７４０ａが、第１扉７１１のロック部材４３と、第２扉７１２のロック部材４３とに一括して係合することができる。よって、第１扉７１１および第２扉７１２の閉状態を一括して維持することできる。
【００８０】
また、シリンダーロッド７４０ａが上側方に向かって退避したときに、ロック部材４３との係合が解除されて、第１扉７１１を開くことが可能な状態となる（図７参照）。
【００８１】
このように、検査装置１は、第１扉７１１の閉状態の維持と、閉状態の解除とを切り替えるロック部としてのシリンダー７４０およびロック部材４３を有している。これにより、例えばＩＣデバイス９０の搬送中に検査装置１の作業者が誤って第１扉７１１を開けてしまうのを防止することができる。
【００８２】
また、第１扉７１１の表側、すなわち、図４中紙面手前側の面には、開閉部４が開閉可能か否かを報知する報知部５が設けられている。報知部５は、円形のＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）により構成されたモニター５１を有している。また、モニター５１は、制御部８０と電気的に接続されており、制御部８０によって、その作動が制御される。
【００８３】
なお、報知部５は、第１扉７１１、第１扉７２１、第１扉７３１、第２扉７３２および第３扉７３３に設けられているが、以下では、第１扉７１１に設けられた報知部５について代表的に説明する。
【００８４】
図５および図７に示すように、第１扉７１１および第２扉７１２を開くことが可能な状態では、モニター５１には、「ＯＫ」という文字が表示される。一方、図４に示すように、第１扉７１１および第２扉７１２を開くことを規制している状態では、モニター５１には、「ＮＯ」という文字が表示される。
【００８５】
また、モニター５１では、「ＯＫ」を表示しているときの文字の色と、「ＮＯ」を表示しているときの文字の色とが異なっているのが好ましい。また、モニター５１では、「ＯＫ」を表示しているときの文字の背景の色と、「ＮＯ」を表示しているときの文字の背景色とが異なっているのが好ましい。このような構成とすることにより、作業者に識別しやすくすることができる。
【００８６】
検査装置１では、モニター５１が開閉部４、すなわち、第１扉７１１に設けられていることにより、作業者が第１扉７１１、第２扉７１２の開閉作業を行う際に、作業者に、高い確度で視認させることができる。
【００８７】
また、図４に示すように、モニター５１は、検査装置１が設置される設置面Ｍから６００ｍｍ以上、２０００ｍｍ以下の高さＨの位置に配置されるのが好ましく、９００ｍｍ以上、１７００ｍｍ以下の高さＨの位置に配置されるのがより好ましい。これにより、作業者の身長によらず、モニター５１を見やすくすることができるとともに、モニター５１を作業者に高い確度で視認させることができる。
【００８８】
ここで、前述したように、検査装置１は、高温検査または低温検査を行うものである。特に、低温検査を行う場合、検査装置１内は、冷却ガス（例えば、窒素）が封入されているため冷却ガスの濃度が高くなっている。このため、作業者が、この状態で開閉部４の開操作を行うのは好ましくない。そこで、本発明では、不都合を防止するのに有効な構成となっている。
【００８９】
以下、図８に示すフローチャートに基づいて、制御部８０の制御動作について説明する。なお、以下では、低温検査中に検査装置１を一旦停止させて、第１扉７１１および第２扉７１２を開けて、供給領域Ａ２内でのメンテナンスを行う場合について説明する。また、検査装置１の作動中は、図４に示すように、報知部５には、「ＮＯ」という文字が表示されている。
【００９０】
まず、作業者は、操作パネル７００の操作を行い、検査装置１の作動を停止させ、シリンダー７４０およびロック部材４３の係合の解除ボタン（図示せず）を押す。
【００９１】
ステップＳ１０１において、濃度センサー８００により供給領域Ａ２内の冷却ガスの濃度Ｎを検出する。そして、ステップＳ１０２において、濃度Ｎが記憶部８３に予め記憶された所定値Ｎ０よりも小さくなるまでに要する時間、すなわち、第１扉７１１および第２扉７１２を開くことが可能になるまでの情報としての残り時間を算出する。この算出は、時間の経過とともに濃度Ｎが低下するのを実験して測定し、得られた検量線（図示せず）に基づいて行われる。
【００９２】
次いで、ステップＳ１０３において、ステップＳ１０２で算出した時間をモニター５１に表示する（図６参照）。なお、図６中では、モニター５１には、「１５」という数字が表示されており、残り時間が１５秒であることを示している。このモニター５１に表示された残り時間は、時間の経過とともにカウントダウンされ、表示された数字が減少していく。
【００９３】
このように、モニター５１は、第１扉７１１および第２扉７１２を開くことが可能になるまでの情報としての残り時間を表示（報知）する。これにより、例えば、作業者は、第１扉７１１および第２扉７１２を開くのが可能になるまでの時間を把握することができる。よって、作業者は、第１扉７１１および第２扉７１２を開く作業を行うまでに他の作業を行うことができ、作業効率の向上を図ることができる。
【００９４】
そして、ステップＳ１０４において、濃度センサー８００が検出した冷却ガスの濃度Ｎと、記憶部８３に記憶されている所定値Ｎ０とを比較する。なお、所定値Ｎ０は、冷却ガスの濃度を示す値であり、作業者に対して十分に安全な程度に低い値である。
【００９５】
ステップＳ１０５において、濃度Ｎが所定値Ｎ０よりも低いと判断した場合、シリンダー７４０およびロック部材４３の係合を解除する（図７参照）。そして、ステップＳ１０６において、第１扉７１１および第２扉７１２を開くことが可能になった旨を報知する。
【００９６】
本実施形態では、図７に示すように、モニター５１に「ＯＫ」という文字が表示される。これにより、作業者に、第１扉７１１および第２扉７１２を開くことが可能になったことを認識させることができる。よって、冷却ガスの濃度Ｎの低下が不十分であるにも関わらず、作業者が第１扉７１１および第２扉７１２を開状態とするのを防止することができる。よって、作業者の安全を確保することができる。
【００９７】
なお、シリンダー７４０およびロック部材４３が係合した閉状態で作業者が第１扉７１１および第２扉７１２を開こうとすると、その力にもよるが、シリンダー７４０およびロック部材４３が破損する可能性が有る。検査装置１では、シリンダー７４０およびロック部材４３の係合が解除されて、第１扉７１１および第２扉７１２を開くのが可能になってから報知部５がその旨を報知するよう構成されている。これにより、シリンダー７４０およびロック部材４３が破損するのを防止することができる。
【００９８】
また、ステップＳ１０６では、報知部５に、第１扉７１１および第２扉７１２を開くことが可能になった旨を報知するだけでなく、モニター３００にもその旨が表示される。すなわち、モニター３００は、第１扉７１１および第２扉７１２が開閉可能か否かを表示するものである。これにより、作業者が第１扉７１１および第２扉７１２から離れたところに居たとしても、作業者に第１扉７１１および第２扉７１２を開くことが可能になった旨を認識させることができる。
【００９９】
また、検査装置１では、報知部５は、光を用いて報知するものであるため、作業者に、第１扉７１１および第２扉７１２の開閉が可能か否かを高い確度で認識させることができる。
【０１００】
また、第１扉７１１および第２扉７１２は、光透過性を有する材料により構成されている。このため、作業者は、シリンダー７４０およびロック部材４３の作動状態を視認可能になっている。すなわち、報知部５は、シリンダー７４０およびロック部材４３の作動状態を視認可能な窓部を有していると言える。これにより、例えば、モニター５１を省略して報知部５の構成を簡素化したとしても、作業者は、シリンダー７４０およびロック部材４３の作動状態を視認することにより、第１扉７１１および第２扉７１２の開閉が可能か否かを把握することができる。
【０１０１】
このように、電子部品搬送装置１０によれば、作業者に開閉部４が開閉可能か否かを認識させることができる。よって、例えば、電子部品搬送装置１０の内側が作業者にとって好ましくない状態であるにも関わらず、作業者が開閉部４を開状態とすることを防止することができる。よって、作業者の安全を確保することができる。また、電子部品搬送装置１０と検査部１６とを有する検査装置１によっても同様に、よって、作業者の安全を確保することができる。
【０１０２】
＜第２実施形態＞
図９および図１０は、本発明の電子部品検査装置（第２実施形態）が備える開閉部および報知部を示す図である。
【０１０３】
以下、これらの図を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１０４】
検査装置１Ａでは、報知部５Ａは、窓部としての第１扉７１１に設けられた「ＯＫ」という第１の表示Ｈ１と、第１扉７１１に設けられた「ＮＯ」という第２の表示Ｈ２と、シリンダーロッド７４０ａに連結された識別部としての識別板５２と、を有している。
【０１０５】
第１の表示Ｈ１は、第１扉７１１のＺ方向の正側でかつＹ方向の負側の角部付近に設けられている。この第１の表示Ｈ１は、第１扉７１１および第２扉７１２を開状態とすることが可能であることを示す表示である。
【０１０６】
第２の表示Ｈ２は、第１の表示Ｈ１の異なる位置の一例としてＺ方向の負側に位置している。この第２の表示Ｈ２は、第１扉７１１および第２扉７１２を開状態とするのを規制していることを示す表示である。
【０１０７】
これら第１の表示Ｈ１および第２の表示Ｈ２は、例えば、インクによる印字や、貼着物等により構成されている。また、第１の表示Ｈ１および第２の表示Ｈ２は、例えば、白色等、比較的薄い色であるのが好ましい。
【０１０８】
識別板５２は、シリンダーロッド７４０ａのＺ方向の負側の端部に固定された板部材で構成されている。また、識別板５２は、例えば、黒色等、比較的濃い色を有している。
【０１０９】
図９に示すように、識別板５２は、シリンダーロッド７４０ａが退避した状態、開状態とすることが可能である状態では、第１扉７１１を介して第１の表示Ｈ１と重なる第１の位置に位置するよう構成されている。一方、識別板５２は、シリンダーロッド７４０ａが突出した状態、すなわち、開状態とするのを規制している状態では、第１扉７１１を介して第２の表示Ｈ２と重なる第２の位置に位置するよう構成されている。
【０１１０】
第１の表示Ｈ１と識別板５２とが重なった状態では、識別板５２によって、第１の表示Ｈ１を第２の表示Ｈ２よりも目立ちやすくすることができる。これにより、作業者は、開状態とすることが可能であることを容易に認識することができる。一方、第２の表示Ｈ２と識別板５２とが重なった状態では、識別板５２によって、第２の表示Ｈ２を第１の表示Ｈ１よりも目立ちやすくすることができる。これにより、作業者は、開状態とするのを規制していることを容易に認識することができる。
【０１１１】
このように、識別板５２は、シリンダーロッド７４０ａの作動状態に連動して、第１の位置と第２の位置との間を移動することにより、第１扉７１１および第２扉７１２開閉可能か否かを識別させることができる。
【０１１２】
このような本実施形態によれば、第１実施形態でのモニター５１を省略することができる。よって、報知部５Ａの構成を簡素にすることができるとともに、低コスト化を図ることができる。
【０１１３】
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、電子部品搬送装置および電子部品検査装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１１４】
また、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【０１１５】
なお、前記各実施形態では、報知部は、開閉部が開閉可能か否かを報知する、すなわち、開くことが可能な旨と、開くことを禁止する旨との双方を報知するものであったが、本発明ではこれに限定されず、開くことが可能な旨と、開くことを禁止する旨とのうちの少なくとも一方を表示するものであればよい。
【０１１６】
また、前記各実施形態では、検査装置が低温検査を行う場合について説明したが、本発明は、高温検査を行う場合にも適用することができる。この場合、デバイス供給領域に温度センサーを設け、温度センサーが検出した温度が所定値よりも小さくなったら、開くことが可能な旨を報知する構成とすることができる。
【０１１７】
また、前記第１実施形態では、報知部は、光によって報知するものであったが、本発明では、これに限定されず、光および音の少なくとも一方を用いて報知するものであればよい。すなわち、光による報知を省略し、音のみで報知してもよく、光と音の双方を用いて報知してもよい。
【０１１８】
また、前記各実施形態では、報知部は、開閉部に設けられていたが、本発明ではこれに限定されず、例えば、開閉部の近傍等、開閉部から外れた位置に設けられていてもよい。
【０１１９】
また、報知部の表示部は、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）を用いたディスプレイであってもよい。
【０１２０】
また、前記各実施形態では、開閉部は、回動により開閉するものであったが、本発明では、これに限定されず、例えば、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向のいずれかにスライドすることにより開閉操作が行われるものであってもよい。
【０１２１】
また、前記第１実施形態では、報知部は、開閉部を開くことが可能になるまでの情報の一例として残り時間を表示するものであったが、本発明ではこれに限定されず、例えば、残り時間をパーセント表示により報知するものであってもよい。
【符号の説明】
【０１２２】
１…検査装置、１Ａ…検査装置、４…開閉部、４１ａ…辺、４１ｂ…辺、４１ｃ…辺、４１ｄ…辺、４２…回動支持部、４３…ロック部材、５…報知部、５Ａ…報知部、５１…モニター、５２…識別板、６…搬送部、１０…電子部品搬送装置、１１Ａ…トレイ搬送機構、１１Ｂ…トレイ搬送機構、１２…温度調整部、１３…デバイス搬送ヘッド、１４…デバイス供給部、１５…トレイ搬送機構、１６…検査部、１７…デバイス搬送ヘッド、１８…デバイス回収部、１９…回収用トレイ、２０…デバイス搬送ヘッド、２１…トレイ搬送機構、２２Ａ…トレイ搬送機構、２２Ｂ…トレイ搬送機構、６１…第１隔壁、６２…第２隔壁、６３…第３隔壁、６４…第４隔壁、６５…第５隔壁、６６…内側隔壁、７０…フロントカバー、７１…サイドカバー、７１１…第１扉、７１２…第２扉、７１３…開口部、７１４…取っ手、７２…サイドカバー、７２１…第１扉、７２２…第２扉、７３…リアカバー、７３１…第１扉、７３２…第２扉、７３３…第３扉、７４…トップカバー、７４０…シリンダー、７４０ａ…シリンダーロッド、７５…第４扉、７６…筐体、８０…制御部、８１…駆動制御部、８２…検査制御部、８３…記憶部、９０…ＩＣデバイス、２００…トレイ、３００…モニター、３０１…表示画面、４００…シグナルランプ、５００…スピーカー、６００…マウス台、７００…操作パネル、８００…濃度センサー、Ａ１…トレイ供給領域、Ａ２…供給領域、Ａ３…検査領域、Ａ４…デバイス回収領域（回収領域）、Ａ５…トレイ除去領域、Ｈ…高さ、Ｈ１…第１の表示、Ｈ２…第２の表示、Ｍ…設置面、Ｎ…濃度、Ｎ０…所定値、Ｓ１０１…ステップ、Ｓ１０２…ステップ、Ｓ１０３…ステップ、Ｓ１０４…ステップ、Ｓ１０５…ステップ、Ｓ１０６…ステップ、α１１Ａ…矢印、α１１Ｂ…矢印、α１３Ｘ…矢印、α１３Ｙ…矢印、α１４…矢印、α１５…矢印、α１７Ｙ…矢印、α１８…矢印、α２０Ｘ…矢印、α２０Ｙ…矢印、α２１…矢印、α２２Ａ…矢印、α２２Ｂ…矢印、α７１…矢印、α７２…矢印、α７３１…矢印、α７３２…矢印、α７３３…矢印、α７５…矢印、α９０…矢印
【図１】
2017152605.tif 000003
【図２】
2017152605.tif 000004
【図３】
2017152605.tif 000005
【図４】
2017152605.tif 000006
【図５】
2017152605.tif 000007
【図６】
2017152605.tif 000008
【図７】
2017152605.tif 000009
【図８】
2017152605.tif 000010
【図９】
2017152605.tif 000011
【図１０】
2017152605.tif 000012