(57)【要約】【課題】  弁部材に発生する振動現象を確実に減衰させるシーケンス弁を提供する。【解決手段】  弁ケース（１）の一次側室（５）に形成された収容孔（１０）に、弁部材（１１）が左右方向へ進退可能に挿入され、その弁部材（１１）が圧力設定バネ（１５）によって弁座（６）に向けて右方へ付勢される。弁部材（１１）が左方へ進出して、前記収容孔（１０）と前記弁部材（１１）とによって区画形成される流体室（１８）の容積が増加すると、流体室（１８）の圧力が低下して逆止弁（３０）が閉弁すると共に、一次側室（５）の圧油が絞り部（２７）を通って流体室（１８）へ流入する。また、弁部材（１１）が右方へ後退して流体室（１８）の容積が減少すると、その流体室（１８）の圧力が上昇して逆止弁（３０）が開弁すると共に、流体室（１８）の圧油が一次側室（５）へ流出する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁ケース（１）の内部に一端側から他端側へ直列状に形成された一次側室（５）と弁座（６）と二次側室（７）とを有するシーケンス弁において、
前記一次側室（５）に形成された収容孔（１０）と、
前記収容孔（１０）に進退可能に挿入されると共に圧力設定バネ（１５）によって前記弁座（６）に向けて一端側へ付勢された弁部材（１１）と、
前記収容孔（１０）と前記弁部材（１１）とによって区画形成される流体室（１８）であって、前記弁部材（１１）の他端側への進出に応じて容積が増加すると共に、前記弁部材（１１）の一端側への後退に応じて容積が減少される流体室（１８）と、
その流体室（１８）と前記一次側室（５）とを連通するように並列に設けられた第１通路（２５）及び第２通路（２６）と、
前記第１通路（２５）に設けられた絞り部（２７）と、
前記第２通路（２６）に設けられた逆止弁（３０）であって、前記一次側室（５）から前記流体室（１８）への流れを遮断すると共にその逆の流れを許容する逆止弁（３０）と、を備える、
ことを特徴とするシーケンス弁。
【請求項２】
請求項１に記載のシーケンス弁において、
前記収容孔（１０）と前記弁部材（１１）との間に形成された環状隙間に前記絞り部（２７）を設ける、
ことを特徴とするシーケンス弁。
【請求項３】
請求項１または２に記載のシーケンス弁において、
前記弁部材（１１）の内部に前記逆止弁（３０）を設ける、ことを特徴とするシーケンス弁。
【請求項４】
請求項１に記載のシーケンス弁において、
前記第１通路（２５）が、前記弁ケース（１）または、前記弁部材（１１）の内部に設けられ、
前記第２通路（２６）が、前記収容孔（１０）と前記弁部材（１１）の外周面との間に形成され、
前記逆止弁（３０）が、前記収容孔（１０）と前記弁部材（１１）との間に装着された弾性シール部材（５０）を備え、
その弾性シール部材（５０）が、前記一次側室（５）から前記流体室（１８）への流れを遮断すると共にその逆の流れを許容する、
ことを特徴とするシーケンス弁。
【請求項５】
請求項１に記載のシーケンス弁において、
前記弁ケース（１）または前記弁部材（１１）の内部に別の逆止弁（４０）が設けられ、その別の逆止弁（４０）が前記一次側室（５）から前記二次側室（７）への流れを遮断すると共にその逆の流れを許容する、
ことを特徴とするシーケンス弁。
【請求項６】
弁ケース（１）の内部に一端側から他端側へ直列状に形成された一次側室（５）と弁座（６）と二次側室（７）とを有するシーケンス弁において、
前記一次側室（５）から前記二次側室（７）に向けて突設された突出部（５２）と、
前記突出部（５２）に進退可能に外嵌めされる挿入孔（５３）を有すると共に、圧力設定バネ（１５）によって前記弁座（６）に向けて一端側へ付勢された弁部材（１１）と、
前記突出部（５２）と前記挿入孔（５３）とによって区画形成される流体室（１８）であって、前記弁部材（１１）の他端側への進出に応じて容積が増加すると共に、前記弁部材（１１）の一端側への後退に応じて容積が減少される流体室（１８）と、
その流体室（１８）と前記一次側室（５）とを連通するように並列に設けられた第１通路（２５）及び第２通路（２６）と、
前記第１通路（２５）に設けられた絞り部（２７）と、
前記第２通路（２６）に設けられた逆止弁（３０）であって、前記一次側室（５）から前記流体室（１８）への流れを遮断すると共にその逆の流れを許容する逆止弁（３０）と、を備える、
ことを特徴とするシーケンス弁。
【請求項７】
請求項６に記載のシーケンス弁において、
前記突出部（５２）と前記挿入孔（５３）との間に形成された環状隙間に前記絞り部（２７）を設ける、
ことを特徴とするシーケンス弁。
【請求項８】
請求項６に記載のシーケンス弁において、
前記弁ケース（１）に別の逆止弁（４０）が設けられ、その別の逆止弁（４０）が前記一次側室（５）から前記二次側室（７）への流れを遮断すると共にその逆の流れを許容する、
ことを特徴とするシーケンス弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  この発明は、シーケンス弁に関し、より詳しくは、弁ケース内に挿入された弁部材に発生するハンチングやチャタリング等の振動現象を抑制する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】  この種のシーケンス弁には、従来では、特許文献１（日本国・実公昭６２−２３７１号公報）に記載されたものがある。その従来技術は、次のように構成されている。
弁ケース内に一次側室と弁座と二次側室とが順に設けられる。その弁ケース内に弁部材が移動可能に挿入され、その弁部材が閉弁バネによって弁座に付勢される。
上記の一次側室に圧力流体が供給されると、一次側室の圧力が上昇されていく。その一次側室の圧力が、閉弁バネの付勢力によって設定された圧力を上回ると、弁部材が弁座から離間されて開弁される。すると、一次側室の圧力流体が開弁隙間を通って二次側室へ供給される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】  実公昭６２−２３７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  上記の従来技術は次の問題がある。
従来のシーケンス弁では、上記の弁部材が弁座から離間されて開弁されると、一次側室の圧力流体が弁隙間を通って二次側室へ供給されるので、一次側室の圧力が急に低下する。すると、圧力設定バネが弁部材を閉弁方向へ速やかに押し戻すので、一次側室の圧力が急上昇する。このように、弁部材の開弁方向への急な移動と閉弁方向への急な移動とを繰り返すと、弁部材がハンチングやチャタリング等の振動現象を発生させることがある。
本発明の目的は、弁部材に発生する振動現象を確実に抑制するシーケンス弁を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  上記の目的を達成するため、第１の発明は、例えば、図１Ａから図２Ｃと図３と図４とに示すように、シーケンス弁を次のように構成した。
弁ケース１の内部に一次側室５と弁座６と二次側室７とが、一端側から他端側へ直列状に形成される。前記一次側室５に収容孔１０が形成される。前記収容孔１０に弁部材１１が進退可能に挿入され、その弁部材１１が圧力設定バネ１５によって前記弁座６に向けて一端側へ付勢される。前記収容孔１０と前記弁部材１１とによって流体室１８が区画形成される。その流体室１８は、前記弁部材１１の他端側への進出に応じて容積が増加すると共に、前記弁部材１１の一端側への後退に応じて容積が減少される。その流体室１８と前記一次側室５とを連通するように、第１通路２５及び第２通路２６が並列に設けられる。前記第１通路２５に絞り部２７が設けられる。前記第２通路２６に逆止弁３０が設けられ、その逆止弁３０が前記一次側室５から前記流体室１８への流れを遮断すると共にその逆の流れを許容する。【０００６】  第１の発明は、次の作用効果を奏する。
前記弁部材が他端側へ進出して流体室の容積が増加するときには、その流体室の圧力が低下して逆止弁が閉弁すると共に、一次側室の圧力流体が第１通路の絞り部を通って流体室へ緩やかに流入する。
また、弁部材が一端側へ後退して流体室の容積が減少するときには、その流体室の圧力が上昇して逆止弁が開弁すると共に、流体室の圧力流体が第２通路を通って一次側室へ流出する。
上記のように流体室の容積が増加した場合には、流体室の圧力が一次側室と比べて低くなり、弁部材には、一次側室の圧力と流体室の圧力との差圧力が一端側へ作用する。これにより、その一端側へ作用する差圧力が、弁部材をバネ付勢力に抗して他端側へ進出させる抵抗力となり、弁部材の他端側への進出速度が緩やかになる。
ここで、従来のシーケンス弁では、上記の弁部材が開弁されると、一次側室の圧力流体が開弁隙間を通って二次側室へ供給されるので、一次側室の圧力が急に低下する。すると、圧力設定バネが弁部材を閉弁方向へ速やかに押し戻すので、一次側室の圧力が急に上昇する。このように、弁部材の開弁方向への急な移動と閉弁方向への急な移動とを繰り返すと、弁部材がハンチングやチャタリング等の振動現象を発生させることがある。
しかしながら、第１の発明によれば、上記の一次側室の圧力と流体室の圧力との差圧力によって生じた抵抗力が、弁部材の他端側への進出速度を緩やかにするので、弁部材が急に開弁して一次側室の圧力が急に低下するのを防止でき、その結果、弁部材の振動が抑制される。【０００７】  第１の発明は、下記（１）から（４）の構成を加えることが好ましい。
（１）  例えば、図１Ａから図２Ｃと図３に示すように、前記収容孔１０と前記弁部材１１との間に形成された環状隙間に前記絞り部２７を設ける。
この場合、シーケンス弁を簡素な構成とすることができる。【０００８】（２）  例えば、図１Ａから図２Ｃに示すように、前記弁部材１１の内部に前記逆止弁３０を設ける。
この場合、弁ケースに逆止弁を設ける場合に比べて、その逆止弁の弁室や弁座を容易に加工できるので、シーケンス弁を能率良く製作できる。【０００９】（３）  例えば、図４に示すように、前記第１通路２５が、前記弁ケース１または前記弁部材１１の内部に設けられる。前記第２通路２６が、前記収容孔１０と前記弁部材１１の外周面との間に形成される。前記逆止弁３０が、前記収容孔１０と前記弁部材１１との間に装着された弾性シール部材５０を備える。その弾性シール部材５０が、前記一次側室５から前記流体室１８への流れを遮断すると共にその逆の流れを許容する。
この場合、シーケンス弁を簡素な構成とすることができる。【００１０】（４）  例えば、図１Ａから図２Ｃと図３と図４に示すように、前記弁ケース１または前記弁部材１１の内部に別の逆止弁４０が設けられる。その別の逆止弁４０が前記一次側室５から前記二次側室７への流れを遮断すると共にその逆の流れを許容する。
この場合、一次側室の圧力が二次側室の圧力よりも所定の圧力だけ低下すると、別の逆止弁が開弁される。これにより、二次側室の圧力流体を一次側室に確実に流出させることができる。【００１１】  上記の目的を達成するため、第２の発明は、例えば、図５に示すように、シーケンス弁を次のように構成した。
弁ケース１の内部に一次側室５と弁座６と二次側室７とが、一端側から他端側へ直列状に形成される。前記一次側室５から突出部５２が前記二次側室７に向けて突設される。圧力設定バネ１５によって弁部材１１が前記弁座６に向けて一端側へ付勢される。その弁部材１１が有する挿入孔５３を、前記突出部５２に進退可能に外嵌める。前記突出部５２と前記挿入孔５３とによって流体室１８が区画形成される。その流体室１８は、前記弁部材１１の他端側への進出に応じて容積が増加すると共に、前記弁部材１１の一端側への後退に応じて容積が減少される。その流体室１８と前記一次側室５とを連通するように、第１通路２５及び第２通路２６が並列に設けられる。前記第１通路２５に絞り部２７が設けられる。前記第２通路２６に逆止弁３０が設けられ、その逆止弁３０が前記一次側室５から前記流体室１８への流れを遮断すると共にその逆の流れを許容する。【００１２】  第２の発明は、次の作用効果を奏する。
前記弁部材が他端側へ進出して流体室の容積が増加するときには、その流体室の圧力が低下して逆止弁が閉弁すると共に、一次側室の圧力流体が第１通路の絞り部を通って流体室へ緩やかに流入する。弁部材が一端側へ後退して流体室の容積が減少するときには、その流体室の圧力が上昇して逆止弁が開弁すると共に、流体室の圧力流体が第２通路を通って一次側室へ流出する。
上記のように流体室の容積が増加した場合には、流体室の圧力が一次側室と比べて低くなり、弁部材には、一次側室の圧力と流体室の圧力との差圧力が一端側へ作用する。これにより、その一端側へ作用する差圧力が、弁部材をバネ付勢力に抗して他端側へ進出させる抵抗力となり、弁部材の他端側への進出速度が緩やかになる。
ここで、従来のシーケンス弁では、上記の弁部材が開弁されると、一次側室の圧力流体が開弁隙間を通って二次側室へ供給されるので、一次側室の圧力が急に低下する。すると、圧力設定バネが弁部材を閉弁方向へ押し戻すので、一次側室の圧力が急に上昇する。このように、弁部材の開弁方向への急な移動と閉弁方向への急な移動とを繰り返すと、弁部材がハンチングやチャタリング等の振動現象を発生させることがある。
しかしながら、第２の発明によれば、上記の一次側室の圧力と流体室の圧力との差圧力によって生じた抵抗力が、弁部材の他端側への進出速度を緩やかにするので、弁部材が急に開弁して一次側室の圧力が急に低下するのを防止でき、その結果、弁部材の振動が抑制される。【００１３】  第２の発明は、下記（１）および（２）の構成を加えることが好ましい。
（１）前記突出部５２と前記挿入孔５３との間に形成された環状隙間に前記絞り部２７を設ける。
この場合、シーケンス弁を簡素な構成とすることができる。【００１４】  （２）前記弁ケース１に別の逆止弁４０が設けられる。その別の逆止弁４０が前記一次側室５から前記二次側室７への流れを遮断すると共にその逆の流れを許容する。
この場合、一次側室の圧力が、二次側室の圧力よりも所定の圧力だけ低下したときに、別の逆止弁が確実に開弁される。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１Ａは、本発明の第１実施形態を示し、シーケンス弁の概略説明図である。図１Ｂは、シーケンス弁の断面図である。
【図２】図２Ａから図２Ｃは、上記シーケンス弁の動作説明図であって、それぞれ、上記図１Ｂに類似する部分図である。図２Ａは、シーケンス弁の開弁状態を示している。図２Ｂは、シーケンス弁に設けられた逆止弁が開弁された状態を示している。図２Ｃは、シーケンス弁に設けられた別の逆止弁が開弁された状態を示している。
【図３】図３は、本発明の第２実施形態を示し、図１Ｂに類似する図である。
【図４】図４は、本発明の第３実施形態を示し、図１Ｂに類似する図である。
【図５】図５は、本発明の第４実施形態を示し、図１Ｂに類似する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】  以下、本発明の実施形態を図１Ａから図５によって説明する。
図１Ａから図２Ｃは、本発明の第１実施形態を示している。まず、図１Ａに基づいてシーケンス弁の概略を説明する。
シーケンス弁１０１の弁ケース１に、一次側ポート２と一次側室５と二次側室７と二次側ポート３とが、順に形成される。一次側室５と二次側室７とを連通可能に遮断する主弁Ｖが設けられる。その主弁Ｖは、圧力設定バネ１５によって閉弁方向へ付勢されると共に、一次側室５から弁座孔２１（図１Ｂを参照）を通って供給された圧油（圧力流体）によって開弁方向へ押圧される。これにより、一次側ポート２を通って一次側室５に供給された圧油の押圧力が、圧力設定バネ１５の付勢力を上回ると、主弁Ｖが開弁される。また、弁座孔２１に供給される圧油の押圧力が、圧力設定バネ１５の付勢力を下回ると、主弁Ｖが閉弁される。さらに、主弁Ｖが閉弁された状態で、一次側室５の圧力が二次側室の圧力より低下したときに、第２逆止弁４０が開弁され、前記二次側室７の圧油が前記一次側室５へ流出される。
【００１７】  上記のシーケンス弁１０１の具体的な構成を図１Ｂに基づいて説明する。
弁ケース１の下部に圧油の一次側ポート２と二次側ポート３とが設けられる。その一次側ポート２に油圧源と第１油圧シリンダとが接続される（いずれも図示せず）。また、二次側ポート３に第２油圧シリンダ（図示せず）が接続される。弁ケース１の内部に、一次側室５と弁座６と二次側室と７が右端壁１ａ側（一端側）から左端壁１ｂ側（他端側）へ直列状に形成される。
【００１８】  上記の一次側室５の右側壁５ａに収容孔１０が形成され、その収容孔１０に弁部材１１の右側部分１２が左右方向へ進退可能に挿入される。また、上記の二次側室７の左側壁７ａに摺動孔１４が形成され、その摺動孔１４に弁部材１１の左側部分１３が左右方向へ進退可能で保密状に挿入される。弁ケース１の左端壁１ｂと弁部材１１の左側部分１３の左端部との間に圧力設定バネ１５がバネ受け部材１６を介して装着され、その圧力設定バネ１５が前記の弁部材１１を弁座６に向けて右方へ付勢される。
なお、前述した主弁Ｖは、前記の弁座６と弁部材１１とによって構成される。
【００１９】  その弁部材１１の右側部分１２の右端部が上記の収容孔１０に挿入され、その収容孔１０と弁部材１１の右側部分１２とによって流体室１８が区画形成される。また、上記の弁部材１１の右側部分１２の外周部には、左方へ向かうにつれて太くなるテーパー部１２ａが形成される。そのテーパー部１２ａに形成された弁面１９が、前記の弁座６に当接されている。また、図２Ａに示すように、弁座６の中央に弁座孔２１が形成される。その弁座孔２１によって一次側室５と二次側室７とが連通される。
【００２０】  一次側室５と流体室１８との間に、第１通路２５と第２通路２６とが並列して設けられる。その第１通路２５は、収容孔１０と弁部材１１の外周部との間に形成された隙間によって構成される。その隙間の全体に絞り路２７が形成される。
【００２１】  前記の第２通路２６が弁部材１１の内部に設けられる。その第２通路２６にポペット式の第１逆止弁（逆止弁）３０が設けられ、その第１逆止弁３０の第１弁室３１が左右に延在するように形成されている。その第１弁室３１の右端壁に第１弁座３２が設けられ、その第１弁座３２に向けて、第１弁体としての第１ボール３３が第１閉弁バネ３４によって右方へ付勢される。第１弁座３２の中央に第１入口路３５が形成され、その第１入口路３５によって流体室１８と第１弁室３１とが連通される。また、弁部材１１の外周部に形成された第１出口路３６が、第１弁室３１と一次側室５とを連通させる。前記の第２通路２６は、第１入口路３５と第１弁室３１と第１出口路３６とよって構成される。
【００２２】  また、弁部材１１の内部に第２逆止弁（別の逆止弁）４０が設けられる。上記の第２逆止弁４０は、第１逆止弁３０の第１弁室３１の左端壁に設けられる第２弁座４２を有する。その第２弁座４２に、第２弁体としての第２ボール４３が、上記第１閉弁バネ３４によって左方へ付勢される。第２弁座４２の中央に第２入口路４５が形成され、その第２入口路４５によって二次側室７と第１弁室３１とが連通される。
【００２３】  上記のシーケンス弁は、図１Ｂから図２Ｃに示すように、次のように作動する。
図１Ｂの初期状態では、一次側ポート２（及び一次側室５）に油圧力を作用させていない。このため、圧力設定バネ１５が弁部材１１を後退位置Ｒへ移動させることにより、弁面１９が弁座６に当接されて閉弁されている。また、流体室１８の容積が最小となっている。
【００２４】  上記図１Ｂの閉弁状態において、一次側ポート２に圧油（圧力流体）が供給されると、一次側室５の圧力が上昇していく。
次いで、一次側室５の圧力が、設定バネ１５によって予め設定された所定圧力を上回ると、弁部材１１が圧力設定バネ１５に抗して図１Ｂの後退位置Ｒから図２Ａの進出位置Ａへ移動される。これにより、弁面１９が弁座６から左方へ離間され、開弁される。また、弁部材１１の左方への進出に応じて流体室１８の容積が増大されると、流体室１８内の圧力が下降して第１逆止弁３０が閉弁されると共に、一次側室５の圧油が第１流路２５を通って流体室１８へ流入する。
引き続いて、一次側室５に圧油が供給されると、弁部材１１が開弁方向への緩やかな移動と閉弁方向への速やかな移動を繰り返すことにより、一次側室５の圧力を上記の所定圧力に保持しながら、一次側室５の圧油が開弁隙間を通って二次側室７へ供給される。これにより、二次側室７の圧力が上昇されていく。
さらに、二次側室７の圧力が上記の所定圧力を上回った後には、一次側室５の圧力と二次側室７の圧力とが上限圧力まで上昇される。このとき、弁部材１１は、二次側室７の左壁７ａに受け止められている。
【００２５】  図２Ａの開弁状態において、一次側室５内の油圧力が低下すると、二次側室７の圧油が弁座孔２１を通って一次側室５に流出される。すると、図２Ｂに示すように、弁部材１１が図１Ｂの後退位置Ｒに向けて後退していくと、流体室１８の圧油の圧力が一次側室５の圧力よりも高くなる。さらに、その圧油が閉弁バネ３４に抗して第１ボール３３を第１弁座３２から左方へ離間させ、第１逆止弁３０を開弁させる。これにより、圧力設定バネ１５によって弁部材１１が右方へ速やかに移動され、その結果、図１Ｂに示すように、弁部材１１の弁面１９が弁座６に受け止められて閉弁される。
【００２６】  図１Ｂの閉弁状態において、一次側室５から圧油を排出するときに、一次側室５の圧力が二次側室７の圧力よりも所定の圧力だけ下回ると、第２逆止弁４０が開弁される。すると、二次側室７の圧油が第２入口路４５を通って一次側室５に流出する。
また、一次側室５の圧力と二次側室７の圧力との差圧が、上記の所定圧力となったときに、第２逆止弁４０が閉弁される。
【００２７】  上述したように、前記の弁部材１１が左方へ進出したときには、それに応じて流体室１８の容積が増加する。このため、その流体室１８の圧力が低下して、一次側室５の圧油が第１通路２５の絞り部２７を通って流体室１８へ緩やかに流入されていく。より詳しくいえば、流体室１８の上記の容積増加速度が、当該流体室１８への上記の圧油流入速度を超えることにより、流体室１８の圧力が一次側室５と比べて低くなり、弁部材１１には、一次側室５の圧力と流体室１８の圧力との差圧力が右方へ作用する。これにより、その右方へ作用する差圧力が、弁部材１１を左方へ進出させる一次側室５の圧油の油圧力に対する抵抗力となり、弁部材１１の左方への進出速度が緩やかになる。
また、上述したように、前記の弁部材５が右方へ後退したときには、それに応じて流体室１８の容積が減少され、流体室１８の圧力が一次側室５に比べて高くなる。その流体室１８の高い圧力が前記の閉弁バネ３４に抗して第１逆止弁３０を開弁させて、流体室１８の圧油が前記の第１弁室３１を通って一次側室５へ速やかに流出する。これにより、弁部材１１は、右方へ速やかに後退し、速やかに閉弁する。
【００２８】  上記の実施形態のシーケンス弁は次の長所を奏する。
従来のシーケンス弁では上記の弁部材が開弁されて、一次側室の圧油が開弁隙間を通って二次側室へ供給されると、一次側室の圧力が急に低下する。すると、圧力設定バネが弁部材を閉弁方向へ速やかに押し戻すので、一次側室の圧力が急に上昇する。このように、弁部材の開弁方向への急な移動および閉弁方向への急な移動を繰り返すと、弁部材がハンチングやチャタリング等の振動現象を発生させることがある。
これに対し、本発明のシーケンス弁では、一次側室５の圧力が急に上昇しても、前述したように、一次側室５の圧力と流体室１８の圧力との差圧力が、弁部材１１を左方へ進出させる力に対する抵抗力となるので、弁部材１１が緩やかに開弁される。これにより、二次側室７の圧力は緩やかに上昇させることができる。その結果、弁部材１１のチャタリングが抑制される。
【００２９】  また、従来のシーケンス弁では、一次側室の圧力が急に上昇して圧力設定バネに抗して弁部材を急に開弁方向へ移動させると、一次側室の圧油が二次側室へ勢いよく流出して、その二次側室の圧力がオーバーシュートしてハンチングするおそれがあった。
これに対し、本実施形態のシーケンス弁では、前記の抵抗力が弁部材１１に作用して、その弁部材１１が緩やかに左方へ進出する。これにより、二次側室７の圧力を緩やかに上昇させることができる。即ち、二次側室７の圧力がオーバーシュートしてハンチングが発生するのを確実に防止できる。
【００３０】  図３から図５は、本発明の第２実施形態から第５実施形態を示している。これらの各実施形態においては、上記の第１実施形態の構成部材と同じ部材（または類似する部材）には原則として同一の参照数字を付けて説明する。
【００３１】  図３に示す第２実施形態が上記の第１実施形態と異なる点は次の通りである。
弁ケース１の右端部１ａに第２通路２６を設け、その第２通路２６に第１逆止弁（逆止弁）３０が設けられている。また、第２逆止弁（別の逆止弁）４０が弁部材１１の内部に設けられる。その弁部材１１に第２逆止弁４０の第２弁室４１が左右に延在するように形成される。第２弁室４１の左部に第２弁座４２が形成され、その第２弁座４２に向けて、弁体としての第２ボール４３が、閉弁バネ４４によって左方へ付勢されている。弁部材１１の右側部分１２の外周部に第２入口路４５と第２出口路４６とが形成される。その第２入口路４５によって二次側室７と第２弁室４１とを連通させる。前記の第２出口路４６によって一次側室５と第２弁室４１とを連通させる。
【００３２】  図４に示す第３実施形態が上記の第１実施形態と異なる点は次の通りである。
弁ケース１に第１通路２５が設けられ、その第１通路２５に絞り部２７が形成される。その絞り路２７は、通路４７によって流体室１８に連通される。また、収容孔１０と弁部材１１との間に形成された環状隙間に第２通路２６が設けられる。その第２通路２６に第１逆止弁（逆止弁）３０が設けられ、その第１逆止弁３０がゴム製のＵパッキン（弾性シール部材）５０を備える。そのＵパッキン５０は、その基部５０ａが流体室１８側となるように収容孔１０の溝１０ａに装着され、Ｕパッキン５０の先端部５０ｂの内周部が弁部材１１の外周部と接触することにより、収容孔１０と弁部材１１の外周部との間を封止している。
この場合、弁部材１１の左方への進出に応じて、流体室１８の容積が増加されると、流体室１８の圧力が低下して第１逆止弁３０が閉弁され、一次側室５の圧油が第１通路２５の絞り部２７を通って流体室１８へ緩やかに流入される。
また、弁部材１１の右方への後退に応じて、流体室１８の容積が減少されると、流体室１８の圧力が上昇して第１逆止弁３０が開弁され、流体室１８の圧油が先端部５０ｂと弁部材１１の外周部との間を通って一次側室５へ流出する。
なお、上記の弾性シール部材は、例示したゴム製のＵパッキン５０に代えて、形状の異なるＯリング等であってもよく、また、材質の異なる樹脂製等であってもよい。
また、上記弁ケース１の弁座６の下方に、第２逆止弁（別の逆止弁）４０が設けられる。その第２逆止弁４０によって前記一次側室５から前記二次側室７への流れが遮断されると共にその逆の流れが許容される。
【００３３】  図５に示す第４実施形態が上記の第１実施形態と異なる点は次の通りである。
一次側室５の右端壁５ａから突出部５２が二次側室７に向けて突設される。前記突出部５２に、弁部材１１に形成された挿入孔５３が進退可能に外嵌めされる。その弁部材１１が圧力設定バネ１５によって右方へ付勢される。前記突出部５２と前記挿入孔５３とによって流体室１８が区画形成される。その流体室１８は、前記弁部材１１の左方への進出に応じて容積が増加すると共に、前記弁部材１１の右方への後退に応じて容積が減少される。その流体室１８と前記一次側室５とを連通するように第１通路２５及び第２通路２６が並列に設けられる。その第１通路２５は、前記挿入孔５３と前記弁部材１１との間に形成された環状隙間によって構成され、その第１通路２５の全体に前記絞り部２７が設けられる。また、前記突出部５２の内部に第２通路２６が設けられ、その第２通路２６に第１逆止弁（逆止弁）３０が形成される。その第１逆止弁３０の第１弁室３１が左右に延在するように形成されている。その第１弁室３１の左端壁に第１弁座３２が設けられ、その第１弁座３２に第１弁体としての第１ボール３３が第１閉弁バネ３４によって左方へ付勢される。第１弁座３２の中央に第１入口路３５が形成され、その第１入口路３５によって流体室１８と第１弁室３１とを連通させる。また、突出部５２の下部に形成された第１出口路３６が、第１弁室３１と一次側室５とを連通させる。前記の第２通路２６は、第１入口路３５と第１弁室３１と第１出口路３６とによって構成される。
また、上記弁ケース１の弁座６の下方に、第２逆止弁（別の逆止弁）４０が設けられる。その第２逆止弁４０によって前記一次側室５から前記二次側室７への流れが遮断されると共にその逆の流れが許容される。
【００３４】  上記の各実施形態は次のように変更可能である。
上記の圧力流体は、例示した圧油に代えて、他の液体または圧縮空気等の気体であってもよい。
上記の逆止弁３０，４０は、例示したポペット式やパッキン式の逆止弁に限定されるものではない。
上記の第１通路２５は、弁ケース１に設けられるのに代えて、弁部材１１内に設けられてもよい。
上記の絞り路２７は、第１通路２５の全体に形成されるのに代えて、第１通路２５の一部に形成されてもよい。
上記の弁部材１１は、右側部分１２と左側部分１３の２つの部材から構成されるのに代えて、右側部分と左側部分とを一体的に形成する構成であってもよい。
その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。
【符号の説明】
【００３５】１：弁ケース，５：一次側室，６：弁座，７：二次側室，１１：弁部材，１０：収容孔，１５：圧力設定バネ，１８：流体室，２５：第１通路，２６：第２通路，２７：絞り部，３０：第１逆止弁（逆止弁），４０：第２逆止弁（別の逆止弁），５０：Ｕパッキン（弾性シール部材），５２：突出部，５３：挿入孔．
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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