(57)【要約】      （修正有）【課題】光源からの射出光が、ミラー及び遮光部の間の空間を介して受光部に到達することを抑制することができる測定装置を提供する。【解決手段】測定装置は、光源からの射出光を対象物に向けて反射する第１ミラー面１４２ａと、対象物からの反射光を受光部に向けて反射する第２ミラー面１４２ｂとを有する揺動ミラー体１４１と、第１ミラー面１４２ａに近接した揺動軸である支持部と、第１ミラー面１４２ａ及び第２ミラー面１４２ｂの間に支持部に略垂直な面を有する第１遮光部１５０と、を備え、第１遮光部１５０は、揺動軸の軸線の方向でみたときに、揺動ミラー体１４１の端部よりも支持部の方に近接している。【選択図】図５
2017020917.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの射出光を対象物に向けて反射する第１ミラー面と、前記対象物からの反射光を受光部に向けて反射する第２ミラー面とを有する揺動ミラー体と、
前記第１ミラー面に近接した揺動軸と、
前記第１ミラー面及び前記第２ミラー面の間に前記第１ミラー面に略垂直な面を有する第１遮光部と、を備え、
前記第１遮光部は、前記揺動軸の軸線の方向でみたときに、前記揺動ミラー体の端部よりも前記揺動軸の方に近接している、
測定装置。
【請求項２】
前記測定装置は、さらに、
前記第１ミラー面と前記第２ミラー面との間で前記揺動ミラー体に固定され、前記揺動軸の軸線の方向でみて前記第１遮光部の端面と前記第１ミラー面との間の少なくとも一部を覆う第２遮光部を備える、
請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
前記第１遮光部は、前記揺動ミラー体の少なくとも一部が挿入されている開口を有し、
前記開口の少なくとも一部は、前記揺動軸の軸線の方向でみて前記揺動軸の軸線を中心とする第１円弧形状であり、
前記第２遮光部の少なくとも一部は、前記揺動軸の軸線の方向でみて前記揺動軸の軸線を中心とする第２円弧形状の外形を有する、
請求項２に記載の測定装置。
【請求項４】
前記第２遮光部は、前記揺動軸の軸線の方向に前記第１遮光部と離れて配置され、
前記第２円弧形状の半径は、前記第１円弧形状の半径より大きい、
請求項３に記載の測定装置。
【請求項５】
前記第１遮光部は、前記開口に沿って延びており、かつ、前記第２遮光部に向かって突出する第１突出部を有し、
前記第２遮光部は、前記第２円弧形状の端縁に沿って延びており、かつ、前記第１遮光部に向かって突出する第２突出部を有する、
請求項４に記載の測定装置。
【請求項６】
前記第１遮光部は、前記射出光の前記第１ミラー面への入射光路と前記第１ミラー面との間に前記第１ミラー面の一部を覆うように設けられた第１遮光壁を備える、
請求項１〜５のいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項７】
前記第１遮光部は、前記射出光の前記第１ミラー面からの反射光路と前記第１ミラー面との間に前記第１ミラー面の一部を覆うように設けられた第２遮光壁を備える、
請求項１〜６のいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項８】
前記第１ミラー面の幅は、前記第２ミラー面の幅よりも小さい、
請求項１〜７のいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項９】
前記揺動ミラー体は、前記第２ミラー面を有する第２板部の端面から前記第１ミラー面を有する第１板部が前記揺動軸の方向に突出した形状を有する、
請求項８に記載の測定装置。
【請求項１０】
前記揺動ミラー体は、さらに、光の反射を抑えるための２つのマスク面を有し、
前記第１ミラー面は、前記２つのマスク面の間に配置される、
請求項８に記載の測定装置。
【請求項１１】
前記揺動軸の軸線は、前記揺動ミラー体を貫通している
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物までの距離を測定するための測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、可動ミラーを用いてレーザ光を走査し、対象物で反射したレーザ光を当該可動ミラーを介して受光する測定装置がある。このような測定装置では、光源からの射出光と対象物からの反射光との相互干渉を抑制するために、射出光を走査するための領域と反射光を受光するための領域とを筐体内で仕切るための遮光板が設けられている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２００８／１５２９７９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
遮光板は、可動ミラーとの接触を避けるために、可動ミラーから離れて配置される必要がある。その結果、光源からの射出光の一部が、可動ミラーと遮光板の端面との間、を通って、対象物からの反射光を受光するための受光部に到達し、当該受光部におけるＳＮ（Ｓｉｇｎａｌ−Ｎｏｉｓｅ）比の低下が起こる。
【０００５】
そこで、本発明は、光源からの射出光が、揺動ミラー体のミラー面と遮光部の端面との間を通って受光部に到達することを抑制することができる測定装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る測定装置は、光源からの射出光を対象物に向けて反射する第１ミラー面と、前記対象物からの反射光を受光部に向けて反射する第２ミラー面とを有する揺動ミラー体と、前記第１ミラー面に近接した揺動軸と、前記第１ミラー面及び前記第２ミラー面の間に前記第１ミラー面に略垂直な面を有する第１遮光部と、を備え、前記第１遮光部は、前記揺動軸の軸線の方向でみたときに、前記揺動ミラー体の端部よりも前記揺動軸の方に近接している。
【０００７】
この構成によれば、揺動軸を第１ミラー面に近接して配置することができるので、揺動軸の軸線の方向でみて揺動ミラー体の端部よりも揺動軸の方に第１遮光部を近接させることができる。光源からの射出光が反射する第１ミラー面上の点の近傍では、高い光エネルギーを有する光が観測される。そして、この点は、揺動軸の軸線の近傍に位置する。したがって、揺動ミラー体の端部よりも揺動軸の方に第１遮光部を近接させることで、高い光エネルギーを有する光が受光部へ到達することを第１遮光部で効果的に抑制することができる。その結果、対象物からの反射光を受光する受光部におけるＳＮ比を向上させることができ、測定装置及び対象物の間の距離の測定精度を向上させることができる。
【０００８】
例えば、前記測定装置は、さらに、前記第１ミラー面と前記第２ミラー面との間で前記揺動ミラー体に固定され、前記揺動軸の軸線の方向でみて前記第１遮光部の端面と前記第１ミラー面との間の少なくとも一部を覆う第２遮光部を備えてもよい。
【０００９】
この構成によれば、揺動軸の軸線の方向でみて第１遮光部の端面と第１ミラー面との間の少なくとも一部を第２遮光部で覆うことができる。したがって、光源からの射出光が第１遮光部の端面と第１ミラー面との間を通って受光部に到達することをさらに抑制することができる。
【００１０】
例えば、前記第１遮光部は、前記揺動ミラー体の少なくとも一部が挿入されている開口を有し、前記開口の少なくとも一部は、前記揺動軸の軸線の方向でみて前記揺動軸の軸線を中心とする第１円弧形状であり、前記第２遮光部の少なくとも一部は、前記揺動軸の軸線の方向でみて前記揺動軸の軸線を中心とする第２円弧形状の外形を有してもよい。
【００１１】
この構成によれば、第１遮光部の開口の少なくとも一部、及び、第２遮光部の少なくとも一部を、揺動軸の軸線を中心とする円弧形状に形成することができる。したがって、第２遮光部が揺動ミラーとともに揺動しても、揺動軸の軸線の方向でみたときの第１遮光部の端面及び第２遮光部の端面の間の距離を一定に保つことができる。したがって、第１遮光部の端面と第１ミラー面との間で第２遮光部によって覆われる部分の大きさが、揺動ミラー体の揺動角度によって変動することを防ぐことができる。その結果、光源からの射出光が第１遮光部の端面と第１ミラー面との間を通って受光部に到達することを揺動角度によらず安定して抑制することができる。
【００１２】
例えば、前記第２遮光部は、前記揺動軸の軸線の方向に前記第１遮光部と離れて配置され、前記第２円弧形状の半径は、前記第１円弧形状の半径より大きくてもよい。
【００１３】
この構成によれば、第２遮光部の外形を規定する第２円弧形状の半径を、第１遮光部の開口を規定する第１円弧形状の半径よりも大きくすることができる。したがって、第２遮光部は、揺動軸の軸線の方向でみて、第１遮光部の端面と第１ミラー面との間のすべてを覆うことができる。その結果、光源からの射出光が第１遮光部の端面と第１ミラー面との間を通って受光部に到達することをさらに抑制することができる。
【００１４】
例えば、前記第１遮光部は、前記開口に沿って延びており、かつ、前記第２遮光部に向かって突出する第１突出部を有し、前記第２遮光部は、前記第２円弧形状の端縁に沿って延びており、かつ、前記第１遮光部に向かって突出する第２突出部を有してもよい。
【００１５】
この構成によれば、第１遮光部及び第２遮光部は、それぞれ、第１突出部及び第２突出部を有することができる。したがって、揺動軸の軸線の方向における第１遮光部の主面と第２遮光部の主面と間の隙間を小さくすることができる。その結果、光源からの射出光が当該隙間を介して受光部に到達することを抑制することができる。
【００１６】
例えば、前記第１遮光部は、前記射出光の前記第１ミラー面への入射光路と前記第１ミラー面との間に前記第１ミラー面の一部を覆うように設けられた第１遮光壁を備えてもよい。
【００１７】
この構成によれば、射出光の揺動ミラーへの入射光路と第１ミラー面との間に第１遮光壁を設けることができる。したがって、第１ミラー面に含まれる、射出光の反射に利用されない領域を、第１遮光壁で覆うことができる。その結果、第１ミラー面による不要な光の反射を抑えることができ、射出光が受光部に到達することを抑制することができる。
【００１８】
例えば、前記第１遮光部は、前記射出光の前記第１ミラー面からの反射光路と前記第１ミラー面との間に前記第１ミラー面の一部を覆うように設けられた第２遮光壁を備えてもよい。
【００１９】
この構成によれば、射出光の揺動ミラーからの反射光路と第１ミラー面との間に第２遮光壁を設けることができる。したがって、第１ミラー面に含まれる、射出光の反射に利用されない領域を、第２遮光壁で覆うことができる。その結果、第１ミラー面による不要な光の反射を抑えることができ、射出光が受光部に到達することを抑制することができる。
【００２０】
例えば、前記第１ミラー面の幅は、前記第２ミラー面の幅よりも小さくてもよい。
【００２１】
この構成によれば、第１ミラー面の幅を第２ミラー面の幅よりも小さくすることができる。したがって、第１ミラー面を小さくすることで不要な光の反射を抑えつつ、第２ミラー面を大きくすることで対象物からの反射光の受光量を増加させることができる。
【００２２】
例えば、前記揺動ミラー体は、前記第２ミラー面を有する第２板部の端面から前記第１ミラー面を有する第１板部が前記揺動軸の方向に突出した形状を有してもよい。
【００２３】
この構成によれば、揺動ミラー体を第２板部の端面から第１板部が突出した形状にすることにより、第１ミラー面の幅を第２ミラー面の幅よりも小さくすることができる。
【００２４】
例えば、前記揺動ミラー体は、さらに、光の反射を抑えるための２つのマスク面を有し、前記第１ミラー面は、前記２つのマスク面の間に配置されてもよい。
【００２５】
この構成によれば、２つのマスク面を設けることにより、第１ミラー面の幅を第２ミラー面の幅よりも小さくすることができる。つまり、揺動ミラー体の形状を複雑にすることなく、第２ミラー面よりも小さい第１ミラー面を実現することができる。
【００２６】
例えば、前記揺動軸の軸線は、前記揺動ミラー体を貫通していてもよい。
【００２７】
この構成によれば、揺動軸の軸線が揺動ミラー体を貫通することができる。したがって、第１遮光部を揺動軸の軸線にさらに近接させることができ、高い光エネルギーを有する光が受光部へ到達することをさらに効果的に抑制することができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明の一態様に係る測定装置は、光源からの射出光が、ミラー面及び遮光部の端面の間を通って受光部に到達することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】実施の形態１に係る測定装置の正面図である。
【図２】実施の形態１に係る測定装置の断面図である。
【図３】実施の形態１に係る測定装置の断面図である。
【図４】実施の形態１に係る測定装置のミラー部の正面図である。
【図５】実施の形態１に係る測定装置の揺動ミラー及び第１遮光部の斜視図である。
【図６】実施の形態１に係る測定装置の機能構成を示すブロック図である。
【図７】実施の形態１に係る測定装置の効果を説明するための図である。
【図８】実施の形態２に係る測定装置の揺動ミラー及び第２遮光部の斜視図である。
【図９】実施の形態２に係る測定装置の第１遮光部の斜視図である。
【図１０】実施の形態２に係る測定装置の揺動ミラー、第１遮光部及び第２遮光部の斜視図である。
【図１１】実施の形態２に係る測定装置の揺動ミラー、第１遮光部及び第２遮光部の平面図である。
【図１２】実施の形態２に係る測定装置の揺動ミラー、第１遮光部及び第２遮光部の断面図である。
【図１３】実施の形態３に係る測定装置の揺動ミラー、第１遮光部及び第２遮光部の斜視図である。
【図１４】実施の形態４に係る測定装置の揺動ミラー及び第１遮光部の斜視図である。
【図１５】実施の形態５に係る測定装置の揺動ミラーの斜視図である。
【図１６】実施の形態６に係る測定装置の揺動ミラーの斜視図である。
【図１７】変形例におけるミラー部の正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。
【００３１】
なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的又は具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、請求の範囲を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
【００３２】
また、以下における各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。各図において、実質的に同一の構成に対しては、同一の符号を付し、重複する説明を省略又は簡略化する。
【００３３】
（実施の形態１）
［測定装置の全体構成］
まず、本実施の形態に係る測定装置１００の全体構成について、図１〜図３を用いて説明する。
【００３４】
図１は、実施の形態１に係る測定装置１００の正面図である。図２及び図３は、実施の形態１に係る測定装置１００の断面図である。具体的には、図２は、図１のII−II切断線における測定装置１００の断面図である。また、図３は、図１のIII−III切断線における測定装置１００の断面図である。なお、以降の図では、見えない部分を破線で表す。
【００３５】
測定装置１００は、光を用いて対象物９９９までの距離を測定する。具体的には、測定装置１００は、測定装置１００の外部にある対象物９９９に光を射出し、対象物９９９から反射光を受光することにより、測定装置１００と対象物９９９との間の距離を測定する。
【００３６】
図１〜図３に示すように、測定装置１００は、筐体１１０と、光源１２０と、受光部１３０と、ミラー部１４０と、第１遮光部１５０と、を含む。以下に、測定装置１００が含む各構成要素について詳細に説明する。
【００３７】
筐体１１０は、光源１２０、受光部１３０、ミラー部１４０及び第１遮光部１５０をその内部に収める。筐体１１０には、筐体１１０内から筐体１１０外へ射出光１２１を通過させるための射出窓１１１と、筐体１１０外から筐体１１０内へ反射光１３１を通過させるための受光窓１１２とが形成されている。
【００３８】
また、筐体１１０内の空間の一部は、第１通過領域１１０ａと第２通過領域１１０ｂとに仕切られる。第１通過領域１１０ａは、光源１２０からの射出光１２１を走査するための領域である。つまり、第１通過領域１１０ａは、光源１２０からの射出光１２１が筐体１１０外に射出されるまでに主として通過する筐体１１０内の領域である。また、第２通過領域１１０ｂは、対象物９９９からの反射光１３１を受光するための領域である。つまり、第２通過領域１１０ｂは、対象物９９９からの反射光１３１が受光部１３０に受光されるまでに主として通過する筐体１１０内の領域である。
【００３９】
光源１２０は、光（例えばレーザ光）を出射する。光源１２０は、例えばレーザダイオードを含む。また、光源１２０は、光学素子（例えば、コリメートレンズ）を含んでもよい。図２に示すように、光源１２０からの射出光１２１は、ミラー部１４０で反射し、射出窓１１１を通過して、筐体１１０の外部に射出され、対象物９９９に到達する。
【００４０】
受光部１３０は、ミラー部１４０を介して、対象物９９９からの反射光１３１を受光する。受光部１３０は、例えばフォトダイオード（ＰＤ；Ｐｈｏｔｏｄｉｏｄｅ）、又は、当該フォトダイオードよりも高感度なアバランシェフォトダイオード（ＡＰＤ：Ａｖａｌａｎｃｈｅ  Ｐｈｏｔｏ  Ｄｉｏｄｅ）を含む。さらに、受光部１３０は、光学素子（例えば集光レンズ）を含んでもよい。
【００４１】
図３に示すように、対象物９９９からの反射光１３１は、受光窓１１２を通過し、ミラー部１４０で反射して、受光部１３０に到達する。
【００４２】
ミラー部１４０は、いわゆるスキャンミラーであり、光源１２０からの光を走査する。さらに、ミラー部１４０は、対象物９９９からの反射光を受光部１３０に向けて反射する。例えば、ミラー部１４０は、揺動器（図示せず）によって揺動軸線１４６を中心に揺動するＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）ミラーである。
【００４３】
具体的には、ミラー部１４０は、揺動軸線１４６を中心に揺動可能に支持された揺動ミラー体１４１を含む。揺動ミラー体１４１は、第１面１４２と、第１面１４２の裏面である第２面１４３とを有する。第１面１４２は、光源１２０からの射出光１２１を対象物９９９に向けて反射する第１ミラー面１４２ａと、対象物９９９からの反射光１３１を受光部１３０に向けて反射する第２ミラー面１４２ｂとを含む。第１ミラー面１４２ａと第２ミラー面１４２ｂとは、揺動軸線１４６の方向に並んで配置される。揺動軸線１４６の方向とは、揺動軸線１４６が延びている方向である。ミラー部１４０の詳細については、図４を用いて後述する。
【００４４】
第１遮光部１５０は、第１ミラー面１４２ａ及び第２ミラー面１４２ｂの間に第１ミラー面１４２ａに垂直な面を有する。第１遮光部１５０は、第１通過領域１１０ａと、第２通過領域１１０ｂとを仕切る。第１遮光部１５０は、揺動ミラー体１４１が揺動するときに通過する揺動空間外に配置される。ここでは、第１遮光部１５０は、揺動ミラー体１４１の少なくとも一部が挿入されている開口１５１を有する。本実施の形態では、第１遮光部１５０は、揺動軸線１４６に垂直な平面と平行に配置された板状部材であり、第１通過領域１１０ａ及び第２通過領域１１０ｂの間の光の通過を遮る。第１遮光部１５０の詳細については、図５を用いて後述する。
【００４５】
なお、ここでは、垂直及び平行は、それぞれ、厳密な垂直及び平行に加えて、実質的な垂直及び平行を含む。つまり、垂直及び平行は、それぞれ、略垂直及び略平行を意味する。なお、特に断りがない限り、以下においても、垂直及び平行は、略垂直及び略平行を意味する。
【００４６】
［ミラー部の構成］
次に、ミラー部１４０の構成について、図４を用いて説明する。図４は、実施の形態１に係る測定装置１００のミラー部１４０の正面図である。
【００４７】
ミラー部１４０は、揺動ミラー体１４１と、フレーム１４４と、支持部１４５と、を含む。
【００４８】
揺動ミラー体１４１は、揺動軸線１４６を中心に揺動することにより、光源１２０からの光を対象物９９９に向けて走査し、対象物９９９からの反射光を受光部１３０に導く。上述したように、揺動ミラー体１４１の第１面１４２は、光源１２０からの光を対象物９９９に向けて反射する第１ミラー面１４２ａと、対象物９９９からの反射光を受光部１３０に向けて反射する第２ミラー面１４２ｂとを含む。なお、図４における第１面１４２上の破線は、第１ミラー面１４２ａと第２ミラー面１４２ｂとの境界を表しており、揺動ミラー体１４１の構造を表すものではない。
【００４９】
第１ミラー面１４２ａは、光源１２０に対向して配置された矩形状の面である。射出光１２１は、第１ミラー面１４２ａ内の揺動軸線１４６の近傍の点に入射され反射される。
【００５０】
第２ミラー面１４２ｂは、受光部１３０に対向して配置された矩形状の面である。第２ミラー面１４２ｂは、揺動軸線１４６の方向に第１ミラー面１４２ａと並んで配置される。
【００５１】
揺動軸線１４６は、第１面１４２と平行な面上に延びており、揺動ミラー体１４１を貫通している。なお、揺動ミラー体１４１を貫通するとは、揺動ミラー体１４１内（ここでは、第１面１４２及び第２面１４３の間）を通過することに加えて、揺動ミラー体１４１の表面（ここでは、第１面１４２又は第２面１４３）に接することを含む。
【００５２】
フレーム１４４は、揺動ミラー体１４１を囲む枠体である。例えば、フレーム１４４は、筐体１１０に固定される。フレーム１４４は、筐体１１０と一体に形成されてもよい。
【００５３】
支持部１４５は、フレーム１４４に接続されており、揺動軸線１４６を中心に揺動可能に揺動ミラー体１４１を支持する。本実施の形態では、支持部１４５は、揺動軸線１４６と一致する軸線を有する軸体である。つまり、支持部１４５は、第１ミラー面１４２ａに近接した揺動軸に相当する。
【００５４】
［第１遮光部の構成と揺動ミラー体及び第１遮光部の位置関係］
次に、第１遮光部１５０の構成と揺動ミラー体１４１及び第１遮光部１５０の位置関係とについて、図５を用いて説明する。図５は、実施の形態１に係る測定装置１００の揺動ミラー体１４１及び第１遮光部１５０の斜視図である。なお、図５では、第１遮光部１５０は、図２に示す第１遮光部１５０の一部（破線で切り取られた部分）が表されている。
【００５５】
第１遮光部１５０は、上述したように、第１ミラー面１４２ａに垂直な面を有し、第１通過領域１１０ａと第２通過領域１１０ｂとを仕切る部材である。具体的には、第１遮光部１５０は、例えば、光の乱反射を防止するために艶消しされた黒色の表面を有する板状部材である。
【００５６】
図５に示すように、第１遮光部１５０は、揺動ミラー体１４１が挿入されている開口１５１を有する。第１遮光部１５０は、揺動軸線１４６の方向でみたときに、揺動ミラー体１４１の端部よりも揺動軸線１４６の方に近接している。
【００５７】
開口１５１は、揺動ミラー体１４１が揺動するときに通過する揺動空間に沿うように形成されている。つまり、開口１５１は、揺動ミラー体１４１が揺動しても第１遮光部１５０が揺動ミラー体１４１と接触しないための形状を有する。
【００５８】
本実施の形態では、開口１５１の少なくとも一部は、揺動軸線１４６の方向でみて揺動軸線１４６を中心とする円弧形状（第１円弧形状）である。具体的には、開口１５１は、円弧部１５２ａ及び直線部１５２ｂによって形成される。
【００５９】
円弧部１５２ａは、揺動軸線１４６の方向でみて揺動軸線１４６を中心とする円弧形状に沿うように形成された第１遮光部１５０の端面である。つまり、円弧部１５２ａは、揺動ミラー体１４１の揺動軌跡に沿っている。
【００６０】
直線部１５２ｂは、揺動軸線１４６から放射状に延びる直線に沿うように形成された第１遮光部１５０の端面である。つまり、直線部１５２ｂは、揺動ミラー体１４１の揺動角度範囲の最大角度及び最小角度において揺動ミラー体１４１の第１面１４２に沿っている。
【００６１】
揺動ミラー体１４１は、このように形成された第１遮光部１５０の開口１５１に挿入されている。したがって、揺動ミラー体１４１は、揺動時に第１遮光部１５０と接触しない。言い換えると、第１遮光部１５０は、揺動ミラー体１４１の揺動空間外に配置される。
【００６２】
［測定装置の機能構成］
次に、測定装置１００の機能構成について、図６を用いて説明する。図６は、実施の形態１に係る測定装置１００の機能構成を示すブロック図である。図６に示すように、測定装置１００は、機能的に、光源１２０と、受光部１３０と、揺動ミラー体１４１を含むミラー部１４０と、光源駆動部１６０と、ミラー駆動部１７０と、制御部１８０と、を含む。
【００６３】
光源駆動部１６０は、光源１２０を駆動する。例えば、光源駆動部１６０は、制御部１８０から出力されるレーザ発光制御信号及び変調信号に従って光源１２０にレーザ光を射出させる。
【００６４】
ミラー駆動部１７０は、ミラー部１４０（つまり、揺動ミラー体１４１）を駆動する。例えば、ミラー駆動部１７０は、制御部１８０からの駆動信号に基づいて、ミラー部１４０を駆動するための駆動電流を生成する。ミラー駆動部１７０は、生成した駆動電流を揺動器に出力する。これにより、揺動ミラー体１４１が揺動器によって揺動軸線１４６を中心に揺動する。
【００６５】
制御部１８０は、測定装置１００を制御するコントローラである。制御部１８０は、例えば、システムＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ  Ｓｃａｌｅ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）、ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）又はマイクロコントローラ等で構成される。
【００６６】
具体的には、制御部１８０は、光源駆動部１６０及びミラー駆動部１７０を制御する。例えば、制御部１８０は、光源駆動部１６０に変調信号を出力するとともに、ミラー駆動部１７０に駆動信号を出力する。
【００６７】
さらに、制御部１８０は、光源１２０から射出された光と受光部１３０で受光された光との間の位相差に基づいて、測定装置１００から対象物９９９までの距離を算出する。具体的には、制御部１８０は、例えば、光源駆動部１６０に出力した変調信号及び受光部１３０から入力した受光信号に基づいて上記位相差を算出する。それから、制御部１８０は、算出された位相差を用いて光源１２０から射出された光が受光部１３０に到達するまでの時間を算出する。その後、制御部１８０は、算出された時間の１／２に光速を乗算することにより、測定装置１００から対象物９９９までの距離を算出する。
【００６８】
また、制御部１８０は、揺動ミラー体１４１の揺動角度を検出することにより、測定装置１００に対する対象物９９９の方向を取得する。揺動角度とは、揺動ミラー体１４１の第１面１４２が向いている方向を示す角度である。例えば、制御部１８０は、揺動ミラー体１４１の揺動角度範囲の最大角度又は最小角度において揺動ミラー体１４１で反射した射出光が入射する位置に設置されたフォトダイオード（図示せず）からの信号に基づいて、揺動ミラー体１４１の揺動角度を検出する。
【００６９】
［効果］
次に、以上のように構成された測定装置１００による効果について、図７を用いて説明する。図７は、実施の形態１に係る測定装置１００の効果を説明するための図である。図７において、実線で示される揺動ミラー体１４１及び１１４１は、揺動角度範囲の中心角度における揺動ミラー体１４１及び１１４１を示す。また、破線で示される揺動ミラー体１４１及び１１４１は、揺動角度範囲の最大角度及び最小角度における揺動ミラー体１４１及び１１４１を示す。
【００７０】
具体的には、図７の（ａ）は、実施の形態１に係る測定装置１００の揺動ミラー体１４１及び第１遮光部１５０を揺動軸線１４６の方向でみたときの図である。図７の（ｂ）は、効果を説明するための比較例に係る揺動ミラー体１１４１及び第１遮光部１１５０を揺動軸線１１４６の方向でみたときの図である。
【００７１】
図７の（ａ）に示すように、本実施の形態では、揺動軸線１４６が揺動ミラー体１４１に近接して配置されている。したがって、揺動軸線１４６の方向でみて、揺動ミラー体１４１の端部よりも揺動軸線１４６の方に第１遮光部１５０を近接させることができる。具体的には、揺動ミラー体１４１が揺動角度範囲の中心角度に位置するときに（つまり図７の（ａ）の実線で示す揺動ミラー体１４１）、第１遮光部１５０の端面と揺動軸線１４６との間の距離は、第１遮光部１５０の端面と揺動ミラー体１４１の端部との間の距離よりも小さい。なお、この距離は、第１ミラー面１４２に垂直な方向の距離である。
【００７２】
逆に、図７の（ｂ）では、揺動軸線１１４６が揺動ミラー体１１４１から大きく離れて配置されている。したがって、揺動ミラー体１１４１は大きく動き、揺動軸線１１４６の方向でみて揺動ミラー体１１４１の端部よりも揺動軸線１１４６の方に第１遮光部１１５０を近接させることができない。
【００７３】
光源１２０からの射出光１２１が反射する第１ミラー面１４２ａ上の点の近傍では、高い光エネルギーを有する光が観測される。そして、この点は、揺動軸線１４６の近傍に位置する。したがって、図７の（ａ）に示すように、揺動ミラー体１４１の端部よりも揺動軸線１４６の方に第１遮光部１５０を近接させることで、高い光エネルギーを有する光が受光部１３０へ到達することを第１遮光部１５０で効果的に抑制することができる。
【００７４】
その結果、対象物９９９からの反射光１３１を受光する受光部１３０におけるＳＮ比を向上させることができ、測定装置１００及び対象物９９９の間の距離の測定精度を向上させることができる。また、揺動ミラー体１４１の動きを小さくできるので、測定装置１００の小型化も実現することができる。
【００７５】
（実施の形態２）
次に、実施の形態２について説明する。本実施の形態では、測定装置は、第１遮光部に加えて、揺動ミラー体に固定された第２遮光部を含む。以下に、本実施の形態に係る測定装置について図面を参照しながら説明する。なお、本実施の形態では、説明が冗長となるのを避けるために、実施の形態１と実質的に同一の構成に対する図示及び説明を省略する。
【００７６】
［第２遮光部の構成］
本実施の形態に係る測定装置２００の第２遮光部２５５の構成について、図８を用いて説明する。図８は、実施の形態２に係る測定装置２００の揺動ミラー体１４１及び第２遮光部２５５の斜視図である。
【００７７】
第２遮光部２５５は、第１ミラー面１４２ａと第２ミラー面１４２ｂとの間で揺動ミラー体１４１の第１面１４２に固定されている。したがって、第２遮光部２５５は、揺動ミラー体１４１とともに揺動する。
【００７８】
第２遮光部２５５の少なくとも一部は、揺動軸線１４６の方向でみて揺動軸線１４６を中心とする円弧形状（第２円弧形状）の外形を有する。本実施の形態では、第２遮光部２５５は、略半円形状の板状部材であり、略半円形状の弦に相当する部分が揺動ミラー体１４１に固定されている。
【００７９】
さらに、第２遮光部２５５は、第２遮光部２５５の円弧形状の端縁に沿って延びる第２突出部２５６を有する（拡大図を参照）。なお、拡大図では、形状の理解を容易とするために、揺動ミラー体１４１の第２面１４３側にみえる面にドットパターンを付している。
【００８０】
［第１遮光部の構成］
第１遮光部２５０の構成について、図９を用いて説明する。図９は、実施の形態２に係る測定装置２００の第１遮光部２５０の斜視図である。
【００８１】
第１遮光部２５０は、実施の形態１と同様に開口１５１を有する。さらに、第１遮光部２５０は、開口１５１に沿って延びる第１突出部２５３を有する。具体的には、第１突出部２５３は、円弧部１５２ａ及び直線部１５２ｂに沿って設けられている。
【００８２】
［揺動ミラー体、第１遮光部及び第２遮光部の位置関係］
次に、揺動ミラー体１４１、第１遮光部２５０及び第２遮光部２５５の位置関係について図１０〜図１２を用いて説明する。図１０は、実施の形態２に係る測定装置２００の揺動ミラー体１４１、第１遮光部２５０及び第２遮光部２５５の斜視図である。図１１は、実施の形態２に係る測定装置２００の揺動ミラー体１４１、第１遮光部２５０及び第２遮光部２５５の平面図である。つまり、図１１は、揺動軸線１４６の方向でみたときの揺動ミラー体１４１、第１遮光部２５０及び第２遮光部２５５の位置関係を示す図である。図１２は、実施の形態２に係る測定装置２００の揺動ミラー体１４１、第１遮光部２５０及び第２遮光部２５５の断面図である。具体的には、図１２は、図１１におけるXII−XII切断線における揺動ミラー体１４１、第１遮光部２５０及び第２遮光部２５５の断面図である。
【００８３】
図１０に示すように、第２遮光部２５５は、揺動軸線１４６の方向に第１遮光部２５０と離れて配置される。本実施の形態では、第１遮光部２５０及び第２遮光部２５５の各々は、揺動軸線１４６に垂直な面を有し、その２つの面は、互いに対向して平行に配置されている。
【００８４】
図１１に示すように、第２遮光部２５５は、揺動軸線１４６の方向でみて開口１５１の少なくとも一部を覆っている。つまり、揺動軸線１４６の方向でみて第１遮光部２５０の端面と第１面１４２との間の少なくとも一部を覆っている。本実施の形態では、第２遮光部２５５における円弧形状（第２円弧形状）の半径は、第１遮光部２５０における円弧形状（第１円弧形状）の半径より大きい。これにより、揺動軸線１４６の方向でみて、開口１５１のうち揺動ミラー体１４１の第１面１４２側の領域が、第２遮光部２５５によって覆われる。
【００８５】
図１２に示すように、第１遮光部２５０の第１突出部２５３は、第２遮光部２５５に向かって突出している。また、第２遮光部２５５の第２突出部２５６は、第１遮光部２５０に向かって突出している。つまり、第１突出部２５３及び第２突出部２５６は、揺動軸線１４６の方向における第１遮光部２５０と第２遮光部２５５との隙間を埋めるように設けられている。
【００８６】
［効果］
以上のように、本実施の形態に係る測定装置２００によれば、揺動軸線１４６の方向でみて、第１遮光部２５０の端面と揺動ミラー体１４１の第１面１４２との間の少なくとも一部を第２遮光部２５５で覆うことができる。したがって、光源１２０からの射出光１２１が第１遮光部２５０の端面と第１面１４２との間を通って受光部１３０に到達することをさらに抑制することができる。
【００８７】
また、本実施の形態に係る測定装置２００によれば、第１遮光部２５０の開口１５１の少なくとも一部、及び、第２遮光部２５５の少なくとも一部を、揺動軸線１４６を中心とする円弧形状に形成することができる。したがって、第２遮光部２５５が揺動ミラー体１４１とともに揺動しても、揺動軸線１４６の方向でみたときの第１遮光部２５０の端面と第２遮光部２５５の端面と間の距離を一定に保つことができる。したがって、第１遮光部２５０の端面と揺動ミラー体１４１の第１面１４２との間で第２遮光部２５５によって覆われる部分の大きさが、揺動ミラー体１４１の揺動角度によって変動することを防ぐことができる。その結果、光源１２０からの射出光１２１が第１遮光部２５０の端面と第１面１４２との間を通って受光部１３０に到達することを揺動角度によらず安定して抑制することができる。
【００８８】
また、本実施の形態に係る測定装置２００によれば、第２遮光部２５５の外形を規定する第２円弧形状の半径を、第１遮光部２５０の開口１５１を規定する第１円弧形状の半径よりも大きくすることができる。したがって、第２遮光部２５５は、揺動軸線１４６の方向でみて第１遮光部２５０と揺動ミラー体１４１の第１面１４２との間のすべてを覆うことができる。その結果、光源１２０からの射出光１２１が第１遮光部２５０の端面と第１面１４２との間を通って受光部１３０に到達することをさらに抑制することができる。
【００８９】
また、本実施の形態に係る測定装置２００によれば、第１遮光部２５０及び第２遮光部２５５は、それぞれ、第１突出部２５３及び第２突出部２５６を有することができる。したがって、揺動軸線１４６の方向における第１遮光部２５０の主面と第２遮光部２５５の主面と間の隙間を小さくすることができる。その結果、光源１２０からの射出光１２１が当該隙間を介して受光部１３０に到達することを抑制することができる。
【００９０】
（実施の形態３）
次に、実施の形態３について説明する。本実施の形態では、第１遮光部は、射出光の揺動ミラー体への入射光路と揺動ミラー体の第１面との間に第１ミラー面の一部を覆うように設けられた第１遮光壁を含む。以下に、本実施の形態に係る測定装置について図面を参照しながら説明する。なお、本実施の形態では、説明が冗長となるのを避けるために、実施の形態１及び２と実質的に同一の構成に対する図示及び説明を省略する。
【００９１】
［第１遮光部及び第２遮光部の構成］
本実施の形態に係る測定装置３００の第１遮光部３５０及び第２遮光部３５５の構成について、図１３を用いて説明する。図１３は、実施の形態３に係る測定装置３００の揺動ミラー体１４１、第１遮光部３５０及び第２遮光部３５５の斜視図である。
【００９２】
第１遮光部３５０は、第１遮光壁３５３を有する。第１遮光壁３５３は、射出光１２１の揺動ミラー体１４１への入射光路１２１ａと揺動ミラー体１４１の第１面１４２との間に第１ミラー面１４２ａの一部を覆うように設けられる。
【００９３】
本実施の形態では、第１遮光壁３５３は、開口１５１に沿って設けられている。つまり、第１遮光壁３５３は、円弧部１５２ａ及び直線部１５２ｂに沿って設けられている。第１遮光壁３５３は、実施の形態２における第１突出部２５３の突出量を増加させた部分に相当する。
【００９４】
第２遮光部３５５は、実施の形態２における第２遮光部２５５と同様に、第１ミラー面１４２ａと第２ミラー面１４２ｂとの間で揺動ミラー体１４１の第１面１４２に固定される。ただし、第２遮光部３５５は、第１遮光壁３５３との接触をさけるため、開口１５１のうち、揺動軸線１４６の方向でみて射出光１２１の揺動ミラー体からの反射光路１２１ｂと揺動ミラー体１４１の第１面１４２との間の領域を覆うように設けられる。ここでは、第２遮光部３５５は、略扇形の板状部材である。
【００９５】
［効果］
以上のように、本実施の形態に係る測定装置３００によれば、射出光１２１の揺動ミラー体１４１への入射光路１２１ａと揺動ミラー体１４１の第１面１４２との間に第１遮光壁３５３を設けることができる。したがって、第１ミラー面１４２ａに含まれる、射出光１２１の反射に利用されない領域を、第１遮光壁３５３で覆うことができる。その結果、第１ミラー面１４２ａによる不要な光の反射を抑えることができ、射出光１２１が第１通過領域１１０ａから第２通過領域１１０ｂへ進入して受光部１３０に到達することを抑制することができる。
【００９６】
（実施の形態４）
次に、実施の形態４について説明する。本実施の形態では、第１遮光部は、射出光の揺動ミラー体からの反射光路と揺動ミラー体の第１面との間に第１ミラー面の一部を覆うように設けられた第２遮光壁を含む。以下に、本実施の形態に係る測定装置について図面を参照しながら説明する。なお、本実施の形態では、説明が冗長となるのを避けるために、実施の形態１〜３と実質的に同一の構成に対する図示及び説明を省略する。
【００９７】
［第１遮光部の構成］
本実施の形態に係る測定装置４００の第１遮光部４５０の構成について、図１４を用いて説明する。図１４は、実施の形態４に係る測定装置４００の揺動ミラー体１４１及び第１遮光部４５０の斜視図である。
【００９８】
第１遮光部４５０は、第１遮光壁３５３に加えて、第２遮光壁４５３を有する。第２遮光壁４５３は、射出光１２１の揺動ミラー体１４１からの反射光路１２１ｂと揺動ミラー体１４１の第１面１４２との間に第１ミラー面１４２ａの一部を覆うように設けられる。
【００９９】
本実施の形態では、第２遮光壁４５３は、開口１５１に沿って設けられている。つまり、第２遮光壁４５３は、円弧部１５２ａ及び直線部１５２ｂの一部に沿って設けられている。第１遮光壁３５３及び第２遮光壁４５３は、実施の形態２における第１突出部２５３のうちの射出光１２１が通過する領域を除く部分の突出量を増加させたものに相当する。
【０１００】
［効果］
以上のように、本実施の形態に係る測定装置４００によれば、射出光１２１の揺動ミラー体１４１からの反射光路１２１ｂと揺動ミラー体１４１の第１面１４２との間に第２遮光壁４５３を設けることができる。したがって、第１ミラー面１４２ａに含まれる、射出光１２１の反射に利用されない領域を、第２遮光壁４５３で覆うことができる。その結果、第１ミラー面１４２ａによる不要な光の反射を抑えることができ、射出光１２１が第１通過領域１１０ａから第２通過領域１１０ｂへ進入して受光部１３０に到達することを抑制することができる。
【０１０１】
（実施の形態５）
次に、実施の形態５について説明する。本実施の形態では、第１面上の揺動軸線に垂直な方向において、第１ミラー面の長さは、第２ミラー面の長さよりも小さい。なお、以下では、第１面上の、揺動軸線と垂直な方向における長さを幅ともいう。以下に、本実施の形態に係る測定装置について図面を参照しながら説明する。なお、本実施の形態では、説明が冗長となるのを避けるために、実施の形態１〜４と実質的に同一の構成に対する図示及び説明を省略する。
【０１０２】
［揺動ミラー体の構成］
本実施の形態に係る測定装置５００の揺動ミラー体５４１の構成について、図１５を用いて説明する。図１５は、実施の形態５に係る測定装置５００の揺動ミラー体５４１の斜視図である。
【０１０３】
図１５に示すように、揺動ミラー体５４１は、第１板部５４８ａと第２板部５４８ｂとを含む。具体的には、揺動ミラー体５４１は、第２ミラー面５４２ｂを有する第２板部５４８ｂの端面から第１ミラー面５４２ａを有する第１板部５４８ａが揺動軸線１４６の方向に突出した形状を有する。なお、図１５では、第１板部５４８ａと第２板部５４８ｂとは一体に成形されており、第１板部５４８ａと第２板部５４８ｂとの境界は破線で表されている。
【０１０４】
揺動ミラー体５４１の第１板部５４８ａには、第１ミラー面５４２ａが形成されている。また、揺動ミラー体５４１の第２板部５４８ｂには、第２ミラー面５４２ｂが形成されている。
【０１０５】
ここで、第１ミラー面５４２ａの幅は、第２ミラー面５４２ｂの幅よりも小さい。つまり、第１ミラー面５４２ａの揺動軸線１４６と垂直な方向の長さは、第２ミラー面の揺動軸線１４６と垂直な方向の長さよりも小さい。したがって、揺動ミラー体５４１の第１面５４２は凸形状である。
【０１０６】
［効果］
以上のように、本実施の形態に係る測定装置５００によれば、揺動ミラー体５４１を第２板部５４８ｂの端面から第１板部５４８ａが突出した形状にすることにより、第１ミラー面５４２ａの幅を第２ミラー面５４２ｂの幅よりも小さくすることができる。したがって、第１ミラー面５４２ａを小さくすることで不要な光の反射を抑えつつ、第２ミラー面５４２ｂを大きくすることで対象物９９９からの反射光１３１の受光量を増加させることができる。
【０１０７】
（実施の形態６）
次に、実施の形態６について説明する。本実施の形態では、上記実施の形態５と同様に、第１ミラー面の幅は、第２ミラー面の幅よりも小さい。ただし、本実施の形態では、２つのマスク面を用いて、第２ミラー面よりも幅が小さい第１ミラー面を実現している。以下に、本実施の形態に係る測定装置について図面を参照しながら説明する。なお、本実施の形態では、説明が冗長となるのを避けるために、実施の形態１〜５と実質的に同一の構成に対する図示及び説明を省略する。
【０１０８】
［揺動ミラー体の構成］
本実施の形態に係る測定装置６００の揺動ミラー体６４１の構成について、図１６を用いて説明する。図１６は、実施の形態６に係る測定装置６００の揺動ミラー体６４１の斜視図である。
【０１０９】
図１６に示すように、揺動ミラー体６４１の第１面１４２は、第１ミラー面６４２ａ及び第２ミラー面６４２ｂに加えて、２つのマスク面６４２ｃを含む。マスク面６４２ｃは、光の反射を抑えることができる面であり、例えば艶消しされた黒色の面である。
【０１１０】
第１ミラー面６４２ａは、第１面１４２上の、揺動軸線１４６に垂直な方向において、２つのマスク面６４２ｃの間に配置される。これにより、第１面１４２上に、第２ミラー面６４２ｂよりも幅が狭い第１ミラー面６４２ａが形成される。
【０１１１】
［効果］
以上のように、本実施の形態に係る測定装置６００によれば、２つのマスク面６４２ｃを設けることにより、第１ミラー面６４２ａの幅を第２ミラー面６４２ｂの幅よりも小さくすることができる。したがって、第１ミラー面６４２ａを小さくすることで不要な光の反射を抑えつつ、第２ミラー面６４２ｂを大きくすることで対象物９９９からの反射光１３１の受光量を増加させることができる。また、揺動ミラー体６４１の形状を複雑にすることなく、第２ミラー面６４２ｂよりも小さい第１ミラー面６４２ａを実現することができる。
【０１１２】
（変形例）
次に、変形例について説明する。本変形例では、ミラー部の構造が、上記各実施の形態と異なる。図１７は、変形例におけるミラー部７４０の正面図である。図１７では、ミラー部７４０は、揺動ミラー体１４１と、フレーム１４４と、支持部７４５と、磁性体７４９と、を含む。
【０１１３】
支持部７４５は、実施の形態１の支持部１４５と同様に、フレーム１４４に接続されており、揺動軸線１４６を中心に揺動可能に揺動ミラー体１４１を支持する。ただし、支持部７４５は、少なくとも揺動軸線１４６回りの回動に対して弾性を有する。
【０１１４】
具体的には、支持部７４５は、揺動ミラー体１４１の第１面１４２と略平行な平面において揺動軸線１４６の方向に延びる第１部分と、揺動軸線１４６と垂直な方向に延びる、第１部分よりも長い第２部分とを繰り返すことによって形成される形状を有する。つまり、支持部７４５の少なくとも一部は、第１面１４２と垂直な方向でみたときに矩形波のような形状を有する。
【０１１５】
磁性体７４９は、自発磁化を有する強磁性体（例えば永久磁石など）である。揺動ミラー体１４１は、揺動器（例えば電磁石、図示せず）及び磁性体７４９から生じる磁力によって揺動する。
【０１１６】
本変形例におけるミラー部７４０が上記各実施の形態に適用された場合であっても、上記各実施の形態と同様に、光源からの射出光が第１通過領域から第２通過領域へ進入することを抑制することができる。
【０１１７】
（他の実施の形態）
以上、本発明の１つ又は複数の態様に係る測定装置について、実施の形態及びその変形例に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態及び変形例に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態及びその変形例に施したものや、異なる実施の形態及びその変形例における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本発明の１つ又は複数の態様の範囲内に含まれてもよい。
【０１１８】
例えば、上記各実施の形態において、第１ミラー面及び第２ミラー面は矩形状であったが、第１ミラー面及び第２ミラー面の形状はこれに限定されない。例えば、第１ミラー面及び第２ミラー面は、円形状、楕円形状、及び矩形以外の多角形状であってもよい。
【０１１９】
なお、上記各実施の形態に係る第１遮光部の開口の形状は、一例であり、この形状に限定される必要はない。例えば、開口は、第１遮光部を貫通する円形状の孔であってもよい。この場合、第１遮光部は、開口が形成された２つの板材を組み合わせることにより形成されてもよい。また、開口は、必ずしも円弧形状の部分を有しなくてもよい。
【０１２０】
なお、上記実施の形態２及び３において、第２遮光部は、第１遮光部に対して第１ミラー面側に配置されていたが、逆に配置されてもよい。つまり、第２遮光部は、第１遮光部に対して第２ミラー面側に配置されてもよい。
【０１２１】
なお、上記実施の形態２及び３において、第２遮光部は、揺動軸線の方向でみて揺動軸線を中心とする円弧形状の外形を有していたが、どのような形状であってもよい。つまり、第２遮光部によって少しでも第１遮光部と揺動ミラー体の第１面との間の空間を覆うことができれば、当該空間を介して第１通過領域から第２通過領域へ進入する光を減少させることができる。
【０１２２】
なお、上記実施の形態２において、第１遮光部及び第２遮光部の各々に、突出部（つまり、第１突出部又は第２突出部）が含まれていたが、これに限定されない。例えば、第１遮光部及び第２遮光部の一方にのみ突出部が含まれてもよい。また、第１遮光部及び第２遮光部に突出部が含まれなくてもよい。
【０１２３】
なお、上記各実施の形態において、揺動軸線が揺動ミラー体を貫通していたが、これに限定されない。揺動軸線は、揺動ミラー体の第１面（つまり、第１ミラー面及び第２ミラー面）に近接していればよい。
【産業上の利用可能性】
【０１２４】
本発明の一態様に係る測定装置は、対象物の距離を測定するレーザレンジファインダとして利用可能である。
【符号の説明】
【０１２５】
１００、２００、３００、４００、５００、６００  測定装置
１１０  筐体
１１０ａ  第１通過領域
１１０ｂ  第２通過領域
１１１  射出窓
１１２  受光窓
１２０  光源
１２１  射出光
１２１ａ  入射光路
１２１ｂ  反射光路
１３０  受光部
１３１  反射光
１４０、７４０  ミラー部
１４１、５４１、６４１  揺動ミラー体
１４２、５４２  第１面
１４２ａ、５４２ａ、６４２ａ  第１ミラー面
１４２ｂ、５４２ｂ、６４２ｂ  第２ミラー面
１４３  第２面
１４４  フレーム
１４５、７４５  支持部
１４６  揺動軸線
１５０、２５０、３５０、４５０  第１遮光部
１５１  開口
１５２ａ  円弧部
１５２ｂ  直線部
１６０  光源駆動部
１７０  ミラー駆動部
１８０  制御部
２５３  第１突出部
２５５、３５５  第２遮光部
２５６  第２突出部
３５３  第１遮光壁
４５３  第２遮光壁
５４８ａ  第１板部
５４８ｂ  第２板部
６４２ｃ  マスク面
７４９  磁性体
９９９  対象物
【図１】
2017020917.tif 000003
【図２】
2017020917.tif 000004
【図３】
2017020917.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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