(57)【要約】【課題】窒化物層を効率的に形成することができるタービン部品の窒化物層形成方法を提供する。【解決手段】実施形態のタービン部品の窒化物層形成方法は、タービンの入口温度が４００℃以上となる運転中において、前記タービンの作動流体に窒素または窒素化合物を供給してタービン部品の表面に窒化物層を形成することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
タービンの入口温度が４００℃以上となる運転中において、前記タービンの作動流体に窒素または窒素化合物を供給してタービン部品の表面に窒化物層を形成することを特徴とするタービン部品の窒化物層形成方法。
【請求項２】
前記窒素および前記窒素化合物の割合が、前記作動流体中、０．１〜５．０質量％であることを特徴とする請求項１記載のタービン部品の窒化物層形成方法。
【請求項３】
前記窒素化合物は、アンモニア、ヒドラジン、およびヒドラジン化合物から選ばれる少なくとも１種の化合物であることを特徴とする請求項１または２記載のタービン部品の窒化物層形成方法。
【請求項４】
前記タービン部品はタービン翼であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のタービン部品の窒化物層形成方法。
【請求項５】
前記タービン翼は、基材からなることを特徴とする請求項４記載のタービン部品の窒化物層形成方法。
【請求項６】
前記タービン翼は、基材と、前記基材上に形成された窒化物からなる窒化物層と、を有することを特徴とする請求項４記載のタービン部品の窒化物層形成方法。
【請求項７】
前記窒化物層は、前記基材の窒化により形成されたことを特徴とする請求項６記載のタービン部品の窒化物層形成方法。
【請求項８】
前記窒化物層は、ＣｒＮ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ、ＴｉＡｌＮ、ＴｉＣｒＡｌＮ、およびＺｒＮから選ばれる少なくとも１種の窒化物からなることを特徴とする請求項６記載のタービン部品の窒化物層形成方法。
【請求項９】
前記窒化物層は、前記基材上に設けられ、前記基材の窒化により形成された基材由来層と、前記基材由来層上に設けられ、ＣｒＮ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ、ＴｉＡｌＮ、ＴｉＣｒＡｌＮ、およびＺｒＮから選ばれる少なくとも１種の窒化物からなる非基材由来層と、を有することを特徴とする請求項６記載のタービン部品の窒化物層形成方法。
【請求項１０】
前記タービン翼は、基材と、前記基材上に設けられ、Ｃｒ、Ｔｉ、ＴｉＣ、ＴｉＡｌ、ＴｉＣｒＡｌ、およびＺｒから選ばれる少なくとも１種の非窒化物からなる非窒化物層と、を有することを特徴とする請求項４記載のタービン部品の窒化物層形成方法。
【請求項１１】
前記タービン翼は、基材と、前記基材上に設けられ、Ｃｒ、Ｔｉ、ＴｉＣ、ＴｉＡｌ、ＴｉＣｒＡｌ、およびＺｒから選ばれる少なくとも１種の非窒化物からなる非窒化物層と、前記非窒化物層上に設けられた窒化物からなる窒化物層と、を有することを特徴とする請求項４記載のタービン部品の窒化物層形成方法。
【請求項１２】
前記窒化物層は、ＣｒＮ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ、ＴｉＡｌＮ、ＴｉＣｒＡｌＮ、およびＺｒＮから選ばれる少なくとも１種の窒化物からなることを特徴とする請求項１１記載のタービン部品の窒化物層形成方法。
【請求項１３】
前記タービンが蒸気タービンであることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項記載のタービン部品の窒化物層形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、タービン部品の窒化物層形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
蒸気タービン等のタービンにおいては、高温酸化やエロージョン等によりタービン翼等のタービン部品が損傷して性能が低下することがある。このため、例えば、タービン部品の表面に保護層としての窒化物層を形成して、高温酸化やエロージョン等による性能の低下を抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４９０９３６８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来、タービン部品に窒化物層を形成する場合、タービン部品ごとに窒化物層を形成しており、窒化物層の形成に費用および時間がかかる。また、タービンの運転により窒化物層が損傷した場合、タービンからタービン部品を取り外して窒化物層を再生した後、再びタービン部品をタービンに取り付ける必要がある。特に、タービン翼の場合、その個数が多くなることから上記問題が顕著となる。
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、窒化物層を効率的に形成することができるタービン部品の窒化物層形成方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態のタービン部品の窒化物層形成方法は、タービンの入口温度が４００℃以上となる運転中において、前記タービンの作動流体に窒素または窒素化合物を供給してタービン部品の表面に窒化物層を形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
実施形態によれば、窒化物層を効率的に形成することができるタービン部品の窒化物層形成方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施形態の窒化物層形成方法が適用される蒸気タービン発電システムを示すブロック図である。
【図２】実施形態の窒化物層形成方法が適用されるタービン翼であって、基材のみからなるものを示した断面図である。
【図３】図２に示されるタービン翼の窒化後の状態を示した断面図である。
【図４】実施形態の窒化物層形成方法が適用されるタービン翼であって、基材の表面に窒化物層を有し、かつこの窒化物層が基材に由来するものを示した断面図である。
【図５】図４に示されるタービン翼の窒化後の状態を示した断面図である。
【図６】実施形態の窒化物層形成方法が適用されるタービン翼であって、基材の表面に窒化物層を有し、かつこの窒化物層が基材に由来しないものを示した断面図である。
【図７】図６に示されるタービン翼の窒化後の状態を示した断面図である。
【図８】実施形態の窒化物層形成方法が適用されるタービン翼であって、基材の表面に窒化物層を有し、かつこの窒化物層が基材に由来する基材由来層と基材に由来しない非基材由来層とを有するものを示した断面図である。
【図９】図８に示されるタービン翼の窒化後の状態を示した断面図である。
【図１０】実施形態の窒化物層形成方法が適用されるタービン翼であって、基材の表面に非窒化物層を有するものを示した断面図である。
【図１１】図１０に示されるタービン翼の窒化後の状態を示した断面図である。
【図１２】図１１に示されるタービン翼の窒化後の状態を示した断面図である。
【図１３】図１２に示されるタービン翼の窒化後の状態を示した断面図である。
【図１４】実施形態の窒化物層形成方法が適用されるタービン翼であって、基材の表面に非窒化物層および窒化物層を有するものを示した断面図である。
【図１５】図１４に示されるタービン翼の窒化後の状態を示した断面図である。
【図１６】図１５に示されるタービン翼の窒化後の状態を示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
なお、以下では、実施形態のタービン部品の窒化物層形成方法を単に実施形態の窒化物層形成方法と記して説明する。
【００１０】
図１は、実施形態の窒化物層形成方法が適用される蒸気タービン発電システムを示す図である。
蒸気タービン発電システム１０は、ボイラ１１、タービン１２、復水器１３、給水ポンプ１４、給水加熱器１５、およびこれらを接続する配管１６を有する。
【００１１】
蒸気タービン発電システム１０においては、ボイラ１１からの蒸気がタービン１２に供給されて膨張仕事を行う。これにより、タービン１２が回転駆動され、このタービン１２に接続された図示しない発電機から電力系統に電力が供給される。通常、この種のタービンの入口温度は４００〜７００℃となる。
【００１２】
膨張仕事を終えてタービン１２から排出された蒸気は復水器１３へと導かれる。復水器１３にて蒸気は凝縮されて復水となる。この復水は、給水ポンプ１４により昇圧されて給水加熱器１５に供給される。給水加熱器１５では、タービン１２から抽気された蒸気により給水が加熱される。その後、この給水がボイラ１１に供給される。
【００１３】
実施形態の窒化物層形成方法においては、タービン１２の運転中、その作動流体である蒸気に窒素または窒素化合物が供給される。窒素、窒素化合物は、一方のみが供給されてもよいし両方が供給されてもよい。窒素化合物としては、アンモニアガス（ＮＨ３）、ヒドラジン（Ｈ４Ｎ２）、ヒドラジン化合物等が挙げられ、これらは１種が単独で使用されてもよいし２種以上が混合して使用されてもよい。
【００１４】
通常、運転中のタービン１２の入口温度は４００℃以上になることから、一般的な窒化処理に必要とされる温度を満たしている。このような蒸気に窒素または窒素化合物を新たに供給することにより、タービン部品に接触したときにその表面に窒素または窒素化合物が拡散して窒化物層が形成される。
【００１５】
また、既に窒化物層が形成されている場合には、既に形成された窒化物層に追加するように新たな窒化物層が形成される。また、既に形成された窒化物層に損傷等がある場合には、新たな窒化物層の形成により既に形成された窒化物層が実質的に再生される。
【００１６】
なお、窒素または窒素化合物は、結果としてタービン１２の作動流体である蒸気に含まれるように供給されていればよく、必ずしもタービン１２の作動流体である蒸気に直接供給される必要はない。すなわち、タービン１２の作動流体である蒸気に窒素または窒素化合物を含ませることができれば、蒸気タービン発電システム１０の経路のいずれかの部分において窒素または窒素化合物が新たに供給されてもよい。
【００１７】
窒素または窒素化合物の供給位置としては、ボイラ１１、タービン１２、復水器１３、給水ポンプ１４、給水加熱器１５、またはこれらを繋ぐ配管１６が挙げられる。このうち、復水器１３からボイラ１１までの経路については、比較的低圧であることから窒素または窒素化合物の供給が容易となるために好ましい。一方、上記以外の経路、例えば、タービン１２の入口や内部については、窒素または窒素化合物が供給されてからこれらが消費されるまでの時間が短いことからこれらの分解が抑制されるために好ましい。
【００１８】
窒素または窒素化合物は、供給前後で組成が変化してもよい。例えば、当初は窒素として供給したものが途中で窒素化合物に変化してもよい。このように組成が変化したとしても、タービン１２の作動流体である蒸気に窒素または窒素化合物が含まれていれば、タービン部品に接触したときにその表面に窒化物層が形成される。
【００１９】
窒素または窒素化合物の供給方法としては、圧力を加えて単独で供給する方法、他の媒体に溶解させて供給する方法等が挙げられる。また、窒素または窒素化合物の供給方法としては、連続的に供給する方法でもよいし断続的に供給する方法でもよい。これらの供給方法は、供給位置の温度、圧力、窒化物層に求められる特性等に応じて適宜選択することが好ましい。
【００２０】
窒素および窒素化合物の割合は、窒化物層の形成が容易になることから、作動流体である蒸気中、これらの合計した割合で、０．１質量％以上が好ましい。また、窒素および窒素化合物の割合は、窒化物層の形成が容易でない部分への窒化物層の形成が容易になることから、基本的には高くなるほど好ましい。
【００２１】
例えば、タービン１２における上流側のタービン翼に比べて下流側のタービン翼の温度は低いことから、このような部分への窒化物層の形成は必ずしも容易でない。しかし、窒素および窒素化合物の割合を高めることにより、このような部分への窒化物層の形成も容易になる。
【００２２】
一方、窒素および窒素化合物の割合が過度に高くなると、蒸気タービン発電システム１０の熱効率が低下しやすくなる。このため、窒素および窒素化合物の割合は５．０質量％以下が好ましい。
【００２３】
なお、蒸気タービン発電システム１０においては、供給された窒素または窒素化合物のうち窒化物層の形成に利用されなかったものが経路を循環して再び窒化物層の形成に利用される。このような場合、新規に供給された窒素または窒素化合物と、循環により供給される窒素または窒素化合物との合計が上記割合を満たすことが好ましい。
【００２４】
実施形態の窒化物層形成方法が適用されるタービン部品としては、タービン翼が好ましいものとして挙げられる。また、タービン翼としては、動翼、静翼が好ましいものとして挙げられる。
【００２５】
実施形態の窒化物層形成方法が適用されるタービン翼としては、例えば、（１）基材のみからなるもの、（２）基材の表面に窒化物層を有するもの、（３）基材の表面に非窒化物層を有するもの、（４）基材の表面に非窒化物層および窒化物層をこの順に有するもの、が挙げられる。
【００２６】
タービン翼が基材のみからなる場合、すなわち窒化物層を有しない場合には、新たな窒化物層が形成されるまでの間に損傷が発生するおそれがある。しかし、予め窒化物層を設けることにより、このような損傷の発生を抑制することができる。また、予め窒化物層が設けられたものに新たに窒化物層を形成することにより、耐高温酸化性や耐エロージョン性を向上させることができ、また予め設けられた窒化物層に損傷等があった場合には実質的にこれを再生することができる。
【００２７】
以下、上記（１）〜（４）のタービン翼の窒化物層形成方法について説明する。
【００２８】
＜（１）基材のみからなるタービン翼の窒化物層形成方法＞
図２は、基材のみからなるタービン翼を示したものである。タービン翼２１は、窒化物層等を有しない基材２２からなる。基材２２は、窒素または窒素化合物との反応により窒化物を生成するものである。このようなものとしては、鉄基合金、ニッケル基合金、チタン基合金、クロム基合金等からなるものが挙げられる。
【００２９】
このようなタービン翼２１の場合、窒素または窒素化合物を含む蒸気の接触により、窒素または窒素化合物が基材２２に拡散する。これにより、図３に示すように、基材２２の表面に窒化物層２３が形成される。この場合、窒化物層２３として、基材２２に由来した窒化物からなる基材由来層２４が形成される。
【００３０】
＜（２）基材の表面に窒化物層を有するタービン翼の窒化物層形成方法＞
基材の表面に窒化物層を有するタービン翼としては、例えば、（ａ）窒化物層が基材に由来するもの、（ｂ）窒化物層が基材に由来しないもの、（ｃ）窒化物層が、基材に由来する基材由来層と基材に由来しない非基材由来層とを有するもの、が挙げられる。
【００３１】
［（ａ）基材に由来した窒化物層を有するタービン翼の窒化物層形成方法］
図４は、基材に由来した窒化物層を有するタービン翼を示したものである。タービン翼３１は、基材３２と、この基材３２上に形成された窒化物層３３とを有する。
【００３２】
基材３２は、窒素または窒素化合物との反応により窒化物を生成するものである。このようなものとしては、鉄基合金、ニッケル基合金、チタン基合金、クロム基合金等からなるものが挙げられる。
【００３３】
窒化物層３３は、基材３２の窒化により形成された基材由来層３４からなる。このような基材由来層３４は、例えば、基材３２に対して一般的な窒化処理を行うことにより形成される。
【００３４】
このようなタービン翼３１の場合、窒素または窒素化合物を含む蒸気の接触により、基材由来層３４を通して窒素または窒素化合物が基材３２に拡散する。これにより、図５に示すように、基材３２に由来した窒化物からなる基材由来層３５が形成される。結果として、基材３２の表面には、窒化物層３３として、既設の基材由来層３４と、新設の基材由来層３５とが設けられる。
【００３５】
［（ｂ）基材に由来しない窒化物層を有するタービン翼の窒化物層形成方法］
図６は、基材に由来しない窒化物層を有するタービン翼を示したものである。タービン翼４１は、基材４２と、この基材４２上に形成された窒化物層４３とを有する。
【００３６】
基材４２は、窒素または窒素化合物との反応により窒化物を生成するものである。このようなものとしては、鉄基合金、ニッケル基合金、チタン基合金、クロム基合金等からなるものが挙げられる。
【００３７】
窒化物層４３は、基材４２の窒化によらずに形成された非基材由来層４４からなる。非基材由来層４４は、基材４２を良好に保護するものが好ましく、例えば、ＣｒＮ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ、ＴｉＡｌＮ、ＴｉＣｒＡｌＮ、およびＺｒＮから選ばれる少なくとも１種の窒化物からなるものが好ましい。
【００３８】
このような非基材由来層４４は、例えば、基材４２上に、蒸着、溶射等により、Ｃｒ、Ｔｉ、ＴｉＣ、ＴｉＡｌ、ＴｉＣｒＡｌ、およびＺｒから選ばれる少なくとも１種の非窒化物からなる非窒化物層を形成した後、この非窒化物層に対して一般的な窒化処理を行うことにより形成される。
【００３９】
このようなタービン翼４１の場合、窒素または窒素化合物を含む蒸気の接触により、非基材由来層４４を通して窒素または窒素化合物が基材４２に拡散する。これにより、図７に示すように、基材４２に由来した窒化物からなる基材由来層４５が形成される。結果として、基材４２の表面には、窒化物層４３として、既設の非基材由来層４４と、新設の基材由来層４５とが設けられる。
【００４０】
［（ｃ）基材に由来する基材由来層と基材に由来しない非基材由来層とからなる窒化物層を有するタービン翼の窒化物層形成方法］
図８は、基材に由来する基材由来層と基材に由来しない非基材由来層とからなる窒化物層を有するタービン翼を示したものである。タービン翼５１は、基材５２と、この基材５２上に形成された窒化物層５３とを有する。
【００４１】
基材５２は、窒素または窒素化合物との反応により窒化物を生成するものである。このようなものとしては、鉄基合金、ニッケル基合金、チタン基合金、クロム基合金等からなるものが挙げられる。
【００４２】
窒化物層５３は、基材５２上に設けられ、基材５２の窒化により形成された基材由来層５４と、この基材由来層５４上に設けられ、基材５２の窒化によらずに形成された非基材由来層５５とからなる。非基材由来層５５は、例えば、ＣｒＮ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ、ＴｉＡｌＮ、ＴｉＣｒＡｌＮ、およびＺｒＮから選ばれる少なくとも１種の窒化物からなる。
【００４３】
このような窒化物層５３は、例えば、基材５２上に、蒸着、溶射等により、Ｃｒ、Ｔｉ、ＴｉＣ、ＴｉＡｌ、ＴｉＣｒＡｌ、およびＺｒから選ばれる少なくとも１種の非窒化物からなる非窒化物層を形成した後、一般的な窒化処理を行うことにより、非窒化物層を窒化して非基材由来層５５とするとともに、その下部の基材５２を窒化して基材由来層５４とすることにより形成される。
【００４４】
このようなタービン翼５１の場合、窒素または窒素化合物を含む蒸気の接触により、基材由来層５４および非基材由来層５５を通して窒素または窒素化合物が基材５２に拡散する。これにより、図９に示すように、基材５２に由来した窒化物からなる基材由来層５６が形成される。結果として、基材５２の表面には、窒化物層５３として、既設の基材由来層５４および非基材由来層５５と、これらの下部に設けられた新設の基材由来層５６とが設けられる。
【００４５】
＜（３）基材の表面に非窒化物層を有するタービン翼の窒化物層形成方法＞
図１０は、基材の表面に非窒化物層を有するタービン翼を示したものである。タービン翼６１は、基材６２と、この基材６２上に形成された非窒化物層６３とを有する。
【００４６】
基材６２は、窒素または窒素化合物との反応により窒化物を生成するものである。このようなものとしては、鉄基合金、ニッケル基合金、チタン基合金、クロム基合金等からなるものが挙げられる。
【００４７】
非窒化物層６３は、窒化により基材６２を良好に保護するものが好ましく、例えば、Ｃｒ、Ｔｉ、ＴｉＣ、ＴｉＡｌ、ＴｉＣｒＡｌ、およびＺｒから選ばれる少なくとも１種の非窒化物からなる。非窒化物層６３は、蒸着、溶射等により形成される。
【００４８】
このようなタービン翼６１の場合、窒素または窒素化合物を含む蒸気の接触により、窒素または窒素化合物が非窒化物層６３に拡散する。これにより、図１１に示すように、窒化物層６４として非窒化物層６３に由来した窒化物からなる非基材由来層６５が形成される。このようにして形成された非基材由来層６５は、非窒化物層６３の組成に応じて、例えば、ＣｒＮ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ、ＴｉＡｌＮ、ＴｉＣｒＡｌＮ、およびＺｒＮから選ばれる少なくとも１種の窒化物からなる。
【００４９】
その後、さらに窒素または窒素化合物を含む蒸気が接触すると、非窒化物層６３が全て窒化される。結果として、図１２に示すように、基材５２の表面には、窒化物層６４としての非基材由来層６５のみが設けられる。
【００５０】
さらに窒素または窒素化合物を含む蒸気が接触すると、窒素または窒素化合物が基材６２に拡散する。これにより、図１３に示すように、基材６２に由来した窒化物からなる基材由来層６６が形成される。結果として、基材６２の表面には、窒化物層６４として、非窒化物層６３に由来する非基材由来層６５と、基材６２に由来する基材由来層６６とが設けられる。
【００５１】
＜（４）基材の表面に非窒化物層および窒化物層をこの順に有するタービン翼の窒化物層形成方法＞
図１４は、基材の表面に非窒化物層および窒化物層をこの順に有するタービン翼を示したものである。タービン翼７１は、基材７２と、この基材７２上に形成された非窒化物層７３と、この非窒化物層７３上に形成された窒化物層７４と、を有する。
【００５２】
基材７２は、窒素または窒素化合物との反応により窒化物を生成するものである。このようなものとしては、鉄基合金、ニッケル基合金、チタン基合金、クロム基合金等からなるものが挙げられる。
【００５３】
非窒化物層７３は、例えば、Ｃｒ、Ｔｉ、ＴｉＣ、ＴｉＡｌ、ＴｉＣｒＡｌ、およびＺｒから選ばれる少なくとも１種の非窒化物からなる。非窒化物層７３は、蒸着、溶射等により形成される。
【００５４】
窒化物層７４は、基材７２の窒化によらずに形成された非基材由来層７５からなり、例えば、ＣｒＮ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ、ＴｉＡｌＮ、ＴｉＣｒＡｌＮ、およびＺｒＮから選ばれる少なくとも１種の窒化物からなる。このような非基材由来層７５は、例えば、非窒化物層７３に対して一般的な窒化処理を行うことにより形成される。
【００５５】
このようなタービン翼７１の場合、窒素または窒素化合物を含む蒸気の接触により、非基材由来層７５を通して窒素または窒素化合物が非窒化物層７３に拡散する。これにより、図１５に示すように、非窒化物層７３に由来した窒化物からなる非基材由来層７６が形成される。このような非基材由来層７６は、非窒化物層７３の組成に応じて、例えば、ＣｒＮ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ、ＴｉＡｌＮ、ＴｉＣｒＡｌＮ、およびＺｒＮから選ばれる少なくとも１種の窒化物からなる。結果として、基材７２の表面には、窒化物層７４として、既設の非基材由来層７５と、新設の非基材由来層７６とが設けられる。
【００５６】
その後、さらに窒素または窒素化合物を含む蒸気が接触すると、窒素または窒素化合物が基材７２に拡散する。これにより、図１６に示すように、基材７２に由来した窒化物からなる基材由来層７７が形成される。結果として、基材７２の表面には、窒化物層７４として、既設の非基材由来層７５と、新設の非基材由来層７６および基材由来層７７が設けられる。
【００５７】
実施形態の窒化物層形成方法によれば、タービンの運転中に窒化物層が形成されることから、窒化物層の形成に必要とされる費用や時間が低減される。また、予め設けられた窒化物層が実質的に再生されることから、窒化物層を再成するためのタービン部品の取り外しおよび取り付けが不要となる。特に、タービン翼の場合、その個数が多いことから上記効果が顕著となる。
【００５８】
以上、発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００５９】
１０…蒸気タービン発電システム、１１…ボイラ、１２…タービン、１３…復水器、１４…給水ポンプ、１５…給水加熱器、１６…配管、２１…タービン翼、２２…基材、２３…窒化物層、２４…基材由来層、３１…タービン翼、３２…基材、３３…窒化物層、３４…基材由来層、３５…基材由来層、４１…タービン翼、４２…基材、４３…窒化物層、４４…非基材由来層、４５…基材由来層、５１…タービン翼、５２…基材、５３…窒化物層、５４…基材由来層、５５…非基材由来層、５６…基材由来層、６１…タービン翼、６２…基材、６３…非窒化物層、６４…窒化物層、６５…非基材由来層、６６…基材由来層、７１…タービン翼、７２…基材、７３…非窒化物層、７４…窒化物層、７５…非基材由来層、７６…非基材由来層、７７…基材由来層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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