(57)【要約】【課題】テープがフレームの所定の位置に貼り付けられているか否かを判定できるテープ貼着装置を提供する。【解決手段】板状の被加工物（１１）と被加工物が収容される開口部を有するリング状のフレーム（１３）とにテープ（３）を貼着し、被加工物とフレームとを一体化するテープ貼着装置（２）であって、被加工物及びフレームの一方の面に貼着される円形状テープ（３ａ）の上方に配置され、フレームに対して相対的に移動することでフレームと円形状テープとの段差を検出し、段差の位置に基づいて円形状テープがフレームの所定の位置に貼着されたか否かを判定する検出判定手段（３６）を備え、検出判定手段は、基準となる位置（Ｐ１，Ｐ３）と段差の位置（Ｐ２，Ｐ４）との距離（Ｄ１，Ｄ２）から、円形状テープがフレームの所定の位置に貼着されたか否かを判定する。【選択図】図２
2017204615.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の被加工物と該被加工物が収容される開口部を有するリング状のフレームとにテープを貼着し、該被加工物と該フレームとを一体化するテープ貼着装置であって、
帯状の基材シートと該基材シートの一方の面に設けられた粘着材層とを含むテープの該粘着材層側に該粘着材層を保護する保護シートが貼り付られてなるテープ体を繰り出す繰り出し手段と、
該フレームの外周の直径よりも小さく内周の直径よりも大きい円形状の切り込みを該テープに形成し、該被加工物及び該フレームの一方の面に貼着される円形状テープを該テープから切り出す切り込み形成手段と、
該テープ体から該円形状テープを分離する分離手段と、
該円形状テープを該被加工物及び該フレームの一方の面に押圧しながら貼着し、該被加工物と該フレームとを一体化する押圧手段と、
該被加工物及び該フレームの一方の面に貼着される該円形状テープの上方に配置され、該フレームに対して相対的に移動することで該フレームと該円形状テープとの段差を検出し、該段差の位置に基づいて該円形状テープが該フレームの所定の位置に貼着されたか否かを判定する検出判定手段と、を備え、
該検出判定手段は、基準となる位置と該段差の位置との距離から、該円形状テープが該フレームの所定の位置に貼着されたか否かを判定することを特徴とするテープ貼着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被加工物にテープを貼り付けるためのテープ貼着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハのような板状の被加工物を複数のチップへと分割する際には、例えば、被加工物の表面又は裏面に大径のテープ（粘着テープ）を貼り付けるとともに、このテープの外周部分に環状のフレームを固定する。これにより、被加工物をチャックテーブルで確実に保持して分割でき、また、分割後の被加工物も取り扱い易くなる。
【０００３】
近年では、被加工物やフレームに対してテープを貼り付けるためのテープ貼着装置が実用化されている（例えば、特許文献１参照）。このテープ貼着装置は、繰り出しローラーから繰り出されるテープに対して切断刃を備える切断刃ローラーを押し当てることで、貼り付け先となるフレームに相当する大きさの円形状のテープを切り出す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１１６９２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述の方法で切り出された円形状のテープは、例えば、粘着材層を保護する保護シートから剥離された後に、被加工物及びフレームに貼り付けられる。ところが、この貼り付けの工程で円形状のテープを適切に貼り付けられないと、後にフレームからテープが剥がれて被加工物をチャックテーブルで保持できなくなってしまう。
【０００６】
そこで、被加工物及びフレームに対してテープを貼り付けた後には、例えば、被加工物とフレームとの間でテープの有無を確認している。しかしながら、この方法では、被加工物とフレームとの間のテープの有無のみを確認するので、例えば、テープがフレームの適切な位置に貼り付けられているか否かまで判定できなかった。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、テープがフレームの所定の位置に貼り付けられているか否かを判定できるテープ貼着装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様によれば、板状の被加工物と該被加工物が収容される開口部を有するリング状のフレームとにテープを貼着し、該被加工物と該フレームとを一体化するテープ貼着装置であって、帯状の基材シートと該基材シートの一方の面に設けられた粘着材層とを含むテープの該粘着材層側に該粘着材層を保護する保護シートが貼り付られてなるテープ体を繰り出す繰り出し手段と、該フレームの外周の直径よりも小さく内周の直径よりも大きい円形状の切り込みを該テープに形成し、該被加工物及び該フレームの一方の面に貼着される円形状テープを該テープから切り出す切り込み形成手段と、該テープ体から該円形状テープを分離する分離手段と、該円形状テープを該被加工物及び該フレームの一方の面に押圧しながら貼着し、該被加工物と該フレームとを一体化する押圧手段と、該被加工物及び該フレームの一方の面に貼着される該円形状テープの上方に配置され、該フレームに対して相対的に移動することで該フレームと該円形状テープとの段差を検出し、該段差の位置に基づいて該円形状テープが該フレームの所定の位置に貼着されたか否かを判定する検出判定手段と、を備え、該検出判定手段は、基準となる位置と該段差の位置との距離から、該円形状テープが該フレームの所定の位置に貼着されたか否かを判定することを特徴とするテープ貼着装置が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の一態様に係るテープ貼着装置は、フレームに対して相対的に移動することでフレームと円形状テープとの段差を検出し、この段差の位置に基づいて円形状テープがフレームの所定の位置に貼着されたか否かを判定する検出判定手段を備えるので、基準となる位置と段差の位置との距離から、円形状テープがフレームの所定の位置に貼着されたか否かを判定できる。つまり、本発明の一態様に係るテープ貼着装置によれば、テープがフレームの所定の位置に貼り付けられているか否かを判定できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】テープ貼着装置の構成例を模式的に示す一部断面側面図である。
【図２】図２（Ａ）及び図２（Ｂ）は、テープがフレームの所定の位置に貼り付けられているか否かを判定する際に必要な動作を説明するための一部断面側面図である。
【図３】図３（Ａ）及び図３（Ｂ）は、テープがフレームの所定の位置に貼り付けられているか否かの判定例を説明するための平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、テープ貼着装置の構成例を模式的に示す一部断面側面図である。図１に示すように、本実施形態に係るテープ貼着装置２は、円筒状に巻回された状態のテープ体１を支持する円柱状の繰り出しローラー（繰り出し手段）４を備えている。
【００１２】
繰り出しローラー４は、例えば、モーター等の回転駆動源（不図示）に連結されており、この回転駆動源から発生する力によって第１方向（Ｙ軸方向）に伸びる回転軸の周りに回転する。繰り出しローラー４の第１方向の長さは、テープ体１の幅よりも大きくなっている。そのため、巻回された状態のテープ体１は、繰り出しローラー４によって幅方向の全体で支持される。
【００１３】
テープ体１は、テープ３に保護シート５を貼り付けて形成され、例えば、保護シート５側を内側にして円筒状の芯（不図示）に巻回されている。繰り出しローラー４をこの芯の内側の空間に挿入することで、テープ体１は繰り出しローラー４に支持される。テープ３は、例えば、帯状に形成された樹脂製の基材シート（不図示）と、基材シートの一方の面に設けられた粘着材層（不図示）とで構成されており、保護シート５は、テープ３の粘着材層側に貼り付けられる。
【００１４】
保護シート５は、離型フィルム等とも呼ばれ、テープ３の粘着材層を保護する。この保護シート５は、テープ３を板状の被加工物１１等へと貼り付ける際にテープ３から剥離される。被加工物１１は、例えば、円盤状に形成されたウェーハ等である。本実施形態では、被加工物１１を囲むように配置される環状（リング状）のフレーム１３の外径（外周の直径）よりもテープ体１の幅が大きくなっており、このフレーム１３にもテープ３が貼り付けられる。なお、フレーム１３の中央には、被加工物１１を収容できる開口部が設けられている。
【００１５】
繰り出しローラー４の側方には、繰り出しローラー４から繰り出されるテープ体１を下流側へと送る一対の搬送ローラー６，８が配置されている。搬送ローラー６，８の下方には、フレーム１３の外径よりも小さく内径（内周の直径）よりも大きい概ね円形状の切り込みをテープ３に形成するための切り込み形成ユニット（切り込み形成手段）１０が設けられている。
【００１６】
切り込み形成ユニット１０は、テープ３側に配置される切断刃ローラー１２と、テープ体１を挟んで切断刃ローラー１２に対向する支持ローラー１４とを含む。例えば、支持ローラー１４に向けて切断刃ローラー１２を押し付けながら、テープ体１を下方へと送ることで、被加工物１１やフレーム１３の一方の面に貼り付けるための円形状のテープ（円形状テープ）３ａをテープ３から切り出すことができる。
【００１７】
切断刃ローラー１２の近傍には、支持ローラー１４側へと向かう向きの力を切断刃ローラー１２に付与する加圧ユニット（付勢手段）１６が配置されている。なお、この加圧ユニット１６は、切断刃ローラー１２側へと向かう向きの力を支持ローラー１４に付与するものでも良い。
【００１８】
切り込み形成ユニット１０の下方には、テープ体１から不要なテープ３ｂを剥離する際の支点となる支点ローラー（分離手段）１８が配置されている。支点ローラー１８を経てテープ体１から剥離されたテープ３ｂは、支点ローラー１８の斜め上方に配置されたテープ巻き取りローラー（分離手段）２０で巻き取られる。
【００１９】
テープ巻き取りローラー２０は、例えば、モーター等の回転駆動源（不図示）に連結されており、この回転駆動源から発生する力によって第１方向に伸びる回転軸の周りに回転する。テープ巻き取りローラー２０の第１方向の長さは、テープ３ｂの幅よりも大きくなっている。
【００２０】
支点ローラー１８の斜め下方には、テープ３ｂが除去されたテープ体１（すなわち、テープ３ａ及び保護シート５）からテープ３ａを剥離するための剥離板（分離手段）２２が配置されている。剥離板２２は、支点ローラー１８から遠い一端側が斜め下方を向くように水平面（ＸＹ平面）に対して傾斜しており、この一端側へと向かって薄くなっている。また、剥離板２２の第１方向の長さは、テープ体１の幅よりも大きい。
【００２１】
この剥離板２２の一端側で保護シート５を折り返して下流側へと送ることで、テープ３ａをテープ体１（保護シート５）から剥離できる。剥離板２２の一端の近傍には、テープ体１から剥離されたテープ３ａに下向きの力を加えるための加圧ローラー（押圧手段）２４が配置されている。また、剥離板２２及び加圧ローラー２４よりも低い位置には、被加工物１１等を保持するための保持テーブル２６が配置されている。
【００２２】
保持テーブル２６の上面中央は、被加工物１１を保持するための第１保持面２６ａになっている。また、第１保持面２６ａの周囲には、被加工物１１を囲む環状のフレーム１３を保持するための第２保持面２６ｂが形成されている。この第２保持面２６ｂの高さは、第１保持面２６ａの高さよりも低くなっている。
【００２３】
そのため、保護部材１５等を介して第１保持面２６ａに載せられる被加工物１１の上面と、第２保持面２６ｂに載せられるフレーム１３の上面とが概ね同じ高さになる。保持テーブル２６の下方には、ボールねじ式の移動機構２８が設けられている。保持テーブル２６は、この移動機構２８によって水平面に平行かつ第１方向に垂直な第２方向（Ｘ軸方向）に移動する。
【００２４】
剥離板２２及び加圧ローラー２４の側方には、剥離板２２で折り返された保護シート５を下流側へと送る一対の搬送ローラー３０，３２が配置されている。搬送ローラー３０，３２の更に側方には、搬送ローラー３０，３２で搬送された保護シート５を巻き取る保護シート巻き取りローラー３４が配置されている。
【００２５】
保護シート巻き取りローラー３４は、例えば、モーター等の回転駆動源（不図示）に連結されており、この回転駆動源から発生する力によって第１方向に伸びる回転軸の周りに回転する。保護シート巻き取りローラー３４の第１方向の長さは、保護シート５の幅よりも大きくなっている。
【００２６】
例えば、切り込み形成ユニット１０によって切り出された円形状のテープ３ａは、保護シート５を部分的に剥離された後に、加圧ローラー２４で下向きに加圧（押圧）されて、保持テーブル２６上のフレーム１３の一部に貼り付けられる。その後、繰り出しローラー４、テープ巻き取りローラー２０、及び保護シート巻き取りローラー３４を回転させながら、保持テーブル２６を第２方向に移動させる。
【００２７】
すなわち、被加工物１１及びフレーム１３と、加圧ローラー２４と、を第２方向に相対的に移動させる。その結果、加圧ローラー２４によって加圧される被加圧領域が被加工物１１及びフレーム１３に対して第２方向に移動し、テープ３ａは、加圧ローラー２４から作用する下向きの力によって被加工物１１及びフレーム１３の全体に貼り付けられる。そして、テープ３ａを介して被加工物１１とフレーム１３とが一体化される。
【００２８】
図２（Ａ）及び図２（Ｂ）は、テープ３ａがフレーム１３の所定の位置に貼り付けられているか否かを判定する際に必要な動作を説明するための一部断面側面図である。図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示すように、保持テーブル２６（被加工物１１、フレーム１３、テープ３ａ）の上方には、検出判定ユニット（検出判定手段）３６が配置されている。
【００２９】
検出判定ユニット３６は、測定対象までの距離を測定可能なレーザーセンサを含み、フレーム１３とテープ３ａとの段差を検出できるように構成されている。また、検出判定ユニット３６は、検出されたフレーム１３とテープ３ａとの段差に基づいて、テープ３ａがフレーム１３の所定の位置に貼り付けられているか否かを判定する。
【００３０】
この検出判定ユニット３６でフレーム１３とテープ３ａとの段差を検出する際には、まず、保持テーブル２６を第２方向に移動させて、フレーム１３上で基準となる任意の位置に検出判定ユニット３６を合わせる。次に、図２（Ａ）に示すように、段差検出用のレーザービームＬを検出判定ユニット３６からフレーム１３の上面に向けて照射する。
【００３１】
その後、レーザービームＬを照射しながら、図２（Ｂ）に示すように、保持テーブル２６を第２方向に移動させる。具体的には、検出判定ユニット３６がフレーム１３の中央に向かって相対的に移動するように、保持テーブル２６を第２方向に移動させる。このように、レーザービームＬを照射しながら検出判定ユニット３６とフレーム１３とを相対的に移動させることで、フレーム１３及びテープ３ａの上面の高さを測定できる。
【００３２】
よって、この検出判定ユニット３６によって測定される高さの変化に基づいて、フレーム１３とテープ３ａとの段差を検出できる。図３（Ａ）及び図３（Ｂ）は、テープ３ａがフレーム１３の所定の位置に貼り付けられているか否かの判定例を説明するための平面図である。
【００３３】
図３（Ａ）に示すように、基準の位置Ｐ１から段差の位置Ｐ２までの距離Ｄ１が所定の範囲内にある場合、検出判定ユニット３６は、テープ３ａがフレーム１３の所定の位置に貼り付けられていると判定する。なお、判定の基準として用いられる範囲は、基準の位置Ｐ１、テープ３ａの直径、フレーム１３の内径等に基づいて任意に設定される。
【００３４】
一方で、図３（Ｂ）に示すように、基準の位置Ｐ３から段差の位置Ｐ４までの距離Ｄ２が所定の範囲内にない場合、検出判定ユニット３６は、テープ３ａがフレーム１３の所定の位置に貼り付けられていないと判定する。なお、図３（Ｂ）では、距離Ｄ２が所定の範囲の上限を超えている場合を例示している。
【００３５】
以上のように、本実施形態に係るテープ貼着装置２は、フレーム１３に対して相対的に移動することでフレーム１３とテープ（円形状テープ）３ａとの段差を検出し、この段差の位置に基づいてテープ３ａがフレーム１３の所定の位置に貼着されたか否かを判定する検出判定ユニット（検出判定手段）３６を備えるので、基準となる位置（Ｐ１，Ｐ３）と段差の位置（Ｐ２，Ｐ４）との距離（Ｄ１，Ｄ２）から、テープ３ａがフレーム１３の所定の位置に貼着されたか否かを判定できる。
【００３６】
なお、本発明は、上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、フレーム１３とテープ３ａとの段差を検出する際に、保持テーブル２６側を移動させているが、フレーム１３と検出判定ユニット３６との相対的な移動の態様に制限はない。例えば、検出判定ユニット３６を移動させる移動機構を設けることで、保持テーブル２６を移動させずに検出判定ユニット３６を移動させることもできる。
【００３７】
また、上記実施形態では、フレーム１３と検出判定ユニット３６とを第２方向（Ｘ軸方向）に沿って相対的に移動させているが、フレーム１３と検出判定ユニット３６との相対的な移動の方向にも制限はない。例えば、フレーム１３と検出判定ユニット３６とを第１方向（Ｙ軸方向）に沿って相対的に移動できるように構成しても良い。
【００３８】
また、フレーム１３と検出判定ユニット３６とを、２つ以上の方向に相対的に移動できるように構成しても良い。この場合、例えば、第１方向及び第２方向に沿ってフレーム１３とテープ３ａとの段差を検出することで、いずれか一方のみで段差を検出する場合に比べて、判定の精度を高めることができる。
【００３９】
また、同様の観点から、フレーム１３に対する相対的な移動の方向が異なる２組の検出判定ユニット（検出判定手段）を設けても良い。
【００４０】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００４１】
２  テープ貼着装置
４  繰り出しローラー（繰り出し手段）
６，８  搬送ローラー
１０  切り込み形成ユニット（切り込み形成手段）
１２  切断刃ローラー
１４  支持ローラー
１６  加圧ユニット（付勢手段）
１８  支点ローラー（分離手段）
２０  テープ巻き取りローラー（分離手段）
２２  剥離板（分離手段）
２４  加圧ローラー（押圧手段）
２６  保持テーブル
２６ａ  第１保持面
２６ｂ  第２保持面
２８  移動機構
３０，３２  搬送ローラー
３４  保護シート巻き取りローラー
３６  検出判定ユニット（検出判定手段）
１  テープ体
３  テープ
３ａ  テープ（円形状テープ）
３ｂ  テープ
５  保護シート
１１  被加工物
１３  フレーム
１５  保護部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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