(57)【要約】      （修正有）【課題】加工装置の実質的な稼働時間を長く保つことができる加工装置の管理方法を提供する。【解決手段】チャックテーブルと、加工手段と、送信手段と制御手段と、各構成要素の制御に必要な情報を入力する入力手段と、をそれぞれ備える複数の加工装置を管理する加工装置の管理方法であって、加工装置を操作するオペレータに装着され、送信された信号を受信する受信手段と、オペレータに装着された状態で視認可能な表示手段４２ａと、を備えるウェアラブル端末３６ａをオペレータが装着するウェアラブル端末装着ステップと、加工装置と、管理者用端末と、ウェアラブル端末と、をネットワークを介して接続する接続ステップと、加工装置又は管理者用端末から送信される信号をオペレータに装着されたウェアラブル端末が受信し、受信した信号によって通知される情報を表示手段に表示してオペレータに伝達する伝達ステップと、を含む。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、該加工手段の稼働状況を通知するための信号を送信する送信手段と、各構成要素を制御する制御手段と、各構成要素の制御に必要な情報を該制御手段に入力する入力手段と、をそれぞれ備える複数の加工装置を管理する加工装置の管理方法であって、
該加工装置を操作するオペレータに装着され、送信された信号を受信する受信手段と、該オペレータに装着された状態で視認可能な表示手段と、を備えるウェアラブル端末を該オペレータが装着するウェアラブル端末装着ステップと、
複数の該加工装置と、複数の該加工装置を管理する管理者によって操作され該オペレータへの連絡事項を通知するための信号を送信する送信手段を備える管理者用端末と、該ウェアラブル端末と、をネットワークを介して接続する接続ステップと、
該加工装置から送信される該稼働状況を通知するための信号又は該管理者用端末から送信される該連絡事項を通知するための信号を該オペレータに装着された該ウェアラブル端末が受信し、受信した信号によって通知される情報を該表示手段に表示して該オペレータに伝達する伝達ステップと、を含むことを特徴とする加工装置の管理方法。
【請求項２】
該伝達ステップでは、複数の該加工装置から送信される該稼働状況を通知するための信号を該ウェアラブル端末が受信し、複数の該加工装置の稼働状況を該オペレータが比較できる態様で該表示手段に表示することを特徴とする請求項１に記載の加工装置の管理方法。
【請求項３】
該伝達ステップを実施した後、該ウェアラブル端末の該表示手段に該ウェアラブル端末を装着した該オペレータを特定する識別コードを表示する識別コード表示ステップと、
該加工装置が備える識別コード読み取り手段で、該ウェアラブル端末に表示された該識別コードを読み取る識別コード読み取りステップと、
該加工装置の該制御手段が、読み取った該識別コードから該オペレータの属性を判定し、該属性に応じて該入力手段で入力できる項目を規制して、該オペレータの該属性に応じた操作のみを可能にする操作規制ステップと、を更に備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の加工装置の管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被加工物を加工する加工装置の管理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体やセラミック、樹脂等の材料でなる板状の被加工物を加工する際には、切削装置やレーザー加工装置、研削装置等の加工装置が広く使用される。これらの加工装置は、通常、工場内のクリーンルーム等に設置され、その台数に応じた１名又は複数名のオペレータによって運転されている。
【０００３】
上述した加工装置は、被加工物を収容するカセットの交換や、各部のメンテナンスといった一部の作業を除いて人手を必要とせず、自動的に加工を遂行する。そのため、オペレータは、例えば、被加工物が収容されたカセットを加工装置にセットして加工の開始ボタンを押してしまえば、加工装置から離れた位置で別の作業に従事できる。
【０００４】
一方で、人手が必要になると、加工装置は、スピーカーから警告音を発生させたり警告灯を点灯させたりしてオペレータを呼び出す（例えば、特許文献１参照）。オペレータは、警告音の発生や警告灯の点灯（以下、オペレータコール）を合図に加工装置の傍に移動して、カセットの交換や、各部のメンテナンスといった必要な作業を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−５６３８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したオペレータコールによってオペレータを呼び出す方法では、例えば、オペレータと加工装置との距離が遠くなると、作業に取り掛かるまでの時間が長くなり易い。作業に取り掛かるまでの時間が長くなると、作業の完了も遅延するので、加工装置の実質的な稼働時間が短くなってしまう。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、加工装置の実質的な稼働時間を長く保つことができる加工装置の管理方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、該加工手段の稼働状況を通知するための信号を送信する送信手段と、各構成要素を制御する制御手段と、各構成要素の制御に必要な情報を該制御手段に入力する入力手段と、をそれぞれ備える複数の加工装置を管理する加工装置の管理方法であって、該加工装置を操作するオペレータに装着され、送信された信号を受信する受信手段と、該オペレータに装着された状態で視認可能な表示手段と、を備えるウェアラブル端末を該オペレータが装着するウェアラブル端末装着ステップと、複数の該加工装置と、複数の該加工装置を管理する管理者によって操作され該オペレータへの連絡事項を通知するための信号を送信する送信手段を備える管理者用端末と、該ウェアラブル端末と、をネットワークを介して接続する接続ステップと、該加工装置から送信される該稼働状況を通知するための信号又は該管理者用端末から送信される該連絡事項を通知するための信号を該オペレータに装着された該ウェアラブル端末が受信し、受信した信号によって通知される情報を該表示手段に表示して該オペレータに伝達する伝達ステップと、を含むことを特徴とする加工装置の管理方法が提供される。
【０００９】
本発明において、該伝達ステップでは、複数の該加工装置から送信される該稼働状況を通知するための信号を該ウェアラブル端末が受信し、複数の該加工装置の稼働状況を該オペレータが比較できる態様で該表示手段に表示することが好ましい。
【００１０】
また、本発明において、該伝達ステップを実施した後、該ウェアラブル端末の該表示手段に該ウェアラブル端末を装着した該オペレータを特定する識別コードを表示する識別コード表示ステップと、該加工装置が備える識別コード読み取り手段で、該ウェアラブル端末に表示された該識別コードを読み取る識別コード読み取りステップと、該加工装置の該制御手段が、読み取った該識別コードから該オペレータの属性を判定し、該属性に応じて該入力手段で入力できる項目を規制して、該オペレータの該属性に応じた操作のみを可能にする操作規制ステップと、を更に備えても良い。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る加工装置の管理方法では、加工装置から送信される稼働状況を通知するための信号又は管理者用端末から送信される連絡事項を通知するための信号をオペレータに装着されたウェアラブル端末が受信し、受信した信号によって通知される情報を表示手段に表示してオペレータに伝達するので、オペレータは、加工装置の稼働状況や管理者からの連絡事項を適切に把握できる。これにより、稼働状況や連絡事項に合わせた行動が可能になり作業に取り掛かるまでの時間が短くなるので、加工装置の実質的な稼働時間を長く保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施形態に係る加工装置の構成例を模式的に示す図である。
【図２】切削ユニットによって被加工物が切削される様子を模式的に示す斜視図である。
【図３】接続ステップを模式的に示す機能ブロック図である。
【図４】図４（Ａ）は、腕時計型のウェアラブル端末をオペレータが装着した状態を模式的に示す図であり、図４（Ｂ）は、眼鏡型のウェアラブル端末をオペレータが装着した状態を模式的に示す図である。
【図５】図５（Ａ）は、加工装置の稼働状況がオペレータに伝達される様子を模式的に示す図であり、図５（Ｂ）は、管理者からの連絡事項がオペレータに伝達される様子を模式的に示す図である。
【図６】識別コード表示ステップを模式的に示す図である。
【図７】識別コード読み取りステップを模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。本実施形態に係る加工装置の管理方法は、接続ステップ（図３参照）、ウェアラブル端末装着ステップ（図４（Ａ）及び図４（Ｂ）参照）及び伝達ステップ（図５（Ａ）及び図５（Ｂ）参照）を含む。
【００１４】
接続ステップでは、オペレータが操作する複数の加工装置と、管理者が操作する端末装置と、オペレータが身に着ける（装着する）ウェアラブル端末と、をネットワーク経由で接続する。ウェアラブル端末装着ステップでは、ウェアラブル端末をオペレータが身に着ける。なお、接続ステップとウェアラブル端末装着ステップとは、いずれを先に実施しても良い。
【００１５】
伝達ステップでは、加工装置から送信される稼働状況を通知するための信号又は管理者から送信される連絡事項を通知するための信号をウェアラブル端末で受信し、受信した信号によって通知される情報をウェアラブル端末のディスプレイ（表示手段）に表示させてオペレータに伝達する。以下、本実施形態に係る加工装置の管理方法について詳述する。
【００１６】
まず、本実施形態に係る加工装置の管理方法で管理される加工装置の例を説明する。図１は、本実施形態に係る加工装置の構成例を模式的に示す図である。なお、本実施形態では、板状の被加工物を切削する加工装置（切削装置）について説明するが、加工装置は、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置等でも良い。
【００１７】
図１に示すように、本実施の形態に係る加工装置２は、各構造を支持又は収容する筐体４を備えている。筐体４の前方の角部には、カセット載置台６が昇降可能に設置されている。カセット載置台６の上面には、複数の被加工物１１（図２参照）を収容する直方体状のカセット８が載置される。
【００１８】
カセット載置台６の側方には、被加工物１１を保持するチャックテーブル１０が配置されている。チャックテーブル１０は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、鉛直方向に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、このチャックテーブル１０は、加工送り機構（不図示）によって加工送り方向に移動する。
【００１９】
チャックテーブル１０の上面は、被加工物１１を保持する保持面となっている。この保持面には、チャックテーブル１０の内部に形成された流路（不図示）等を通じて吸引源（不図示）の負圧が作用し、被加工物１１を吸引する吸引力が発生する。チャックテーブル１０の近傍には、カセット８とチャックテーブル１０との間で被加工物１１を搬送する搬送ユニット（不図示）が設置されている。
【００２０】
チャックテーブル１０に近接する筐体４の外壁には、筐体４の内部と外部とを繋ぐ開口部４ａが形成されている。この開口部４ａには、メンテナンス等の際にオペレータによって開閉される扉１２ａ，１２ｂが設けられている。扉１２ａ，１２ｂの下方には隙間が形成されており、チャックテーブル１０は、この隙間を通じて筐体４の内外を移動する。
【００２１】
筐体４の内部には、被加工物１１を切削する切削ユニット（加工手段）１４（図２参照）等が収容されている。図２は、切削ユニット１４によって被加工物１１が切削される様子を模式的に示す斜視図である。
【００２２】
図２に示すように、切削ユニット１４は、回転軸を構成するスピンドル１６と、スピンドル１６の一端側に装着された切削ブレード１８とを備えている。スピンドル１６の他端側にはモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されており、切削ブレード１８は、スピンドル１６を介して伝達される回転駆動源の回転力で回転する。また、切削ユニット１４は、割り出し送り機構（不図示）によって割り出し送り方向に移動する。
【００２３】
被加工物１１は、半導体ウェーハ、光デバイスウェーハ、セラミックス基板、樹脂基板等であり、その表面１１ａ側は、中央のデバイス領域と、デバイス領域を囲む外周余剰領域とに分けられている。デバイス領域は、格子状に配列された分割予定ライン（ストリート）１３でさらに複数の領域に区画されており、各領域にはＩＣ、ＬＥＤ等のデバイス１５が形成されている。
【００２４】
被加工物１１の裏面１１ｂ側には、被加工物１１より径の大きいダイシングテープ１７が貼り付けられている。ダイシングテープ１７の外周部分は、環状のフレーム１９に固定されている。すなわち、被加工物１１は、ダイシングテープ１７を介してフレーム１９に支持されている。なお、加工に支障がないようであれば、ダイシングテープ１７及びフレーム１９を省略しても良い。
【００２５】
このように構成された被加工物１１を分割予定ライン１３に沿って切削する際には、まず、被加工物１１を保持したチャックテーブル１０と切削ユニット１４とを相対的に移動させて、切削ブレード１８を加工対象の分割予定ライン１３の延長線上方に合わせる。
【００２６】
次に、回転させた切削ブレード１８を被加工物１１に接触する高さまで下降させて、チャックテーブル１０と切削ユニット１４とを加工対象の分割予定ライン１３に平行な方向に相対的に移動させる。これにより、加工対象の分割予定ライン１３に沿って被加工物１１を切削できる。
【００２７】
筐体４の前部には、カセット載置台６及びチャックテーブル１０を覆う透明又は半透明なカバー２０ａ，２０ｂが取り付けられている。カバー２０ａに隣接する筐体４の外壁には、ユーザーインターフェースとなるタッチパネル式のディスプレイ（入力手段）２２が設けられている。
【００２８】
ディスプレイ２２の下部には、加工装置２を緊急停止させる緊急停止ボタン２４が設けられている。緊急停止ボタン２４が押されると、例えば、スピンドル１６に連結された回転駆動源への電力供給がストップして切削ブレード１８の回転は止まる。筐体４の上部には、被加工物１１の加工が完了した場合や加工装置２に異常が発生した場合等に点灯する表示灯２６が設けられている。
【００２９】
チャックテーブル１０、切削ユニット１４、ディスプレイ２２、表示灯２６、加工送り機構、割り出し送り機構等の各構成要素は、制御ユニット（制御手段）２８に接続されている。制御ユニット２８は、ディスプレイ２２等を介して設定（入力）される加工条件等の情報に基づいて各構成要素の動作を制御する。
【００３０】
また、制御ユニット２８には、加工装置２の管理等に必要な情報を通知するための信号を送受信する送受信ユニット（送信手段）３０が接続されている。この送受信ユニット３０は、例えば、切削ユニット１４の稼働状況等を通知するための信号を外部へと送信できる。
【００３１】
次に、本実施形態に係る加工装置の管理方法について説明する。本実施形態に係る加工装置の管理方法では、まず、上述のような加工装置２を、管理者用の端末とオペレータ用の端末とに接続する接続ステップを実施する。
【００３２】
図３は、接続ステップを模式的に示す機能ブロック図である。本実施形態の接続ステップでは、図３に示すように、ネットワーク３２を介して、複数の加工装置２ａ，２ｂ，２ｃと、管理者用端末３４と、オペレータ用の複数のウェアラブル端末３６ａ，３６ｂとを接続し、管理システム３８を形成する。
【００３３】
管理者用端末３４は、代表的には、パーソナルコンピュータであり、例えば、加工装置２ａ，２ｂ，２ｃを使用した工程全体を管理する管理者（複数の加工装置を管理する管理者）によって操作される。管理者用端末３４には、加工装置２ａ，２ｂ，２ｃの管理等に必要な情報を通知するための信号を送受信する送受信ユニット（送信手段）（不図示）が設けられている。この送受信ユニットは、例えば、加工装置２ａ，２ｂ，２ｃの操作に必要な連絡事項等を通知するための信号をウェアラブル端末３６ａ，３６ｂへと送信する。
【００３４】
ウェアラブル端末３６ａ，３６ｂは、それぞれ、加工装置２ａ，２ｂ，２ｃを実際に操作するオペレータが身に着けられるように構成されており、オペレータが身に着けた状態で視認可能なディスプレイ（表示手段）を備えている。また、ウェアラブル端末３６ａ，３６ｂには、加工装置２ａ，２ｂ，２ｃや管理者用端末３４との間で通信用の信号を送受信する送受信ユニット（受信手段）（不図示）が設けられている。
【００３５】
ネットワーク３２は、例えば、工場等の内部に構築されたＬＡＮ（Local Area Network）や、インターネットに代表されるＷＡＮ（Wide Area Network）等である。加工装置２ａ，２ｂ，２ｃ、管理者用端末３４及びウェアラブル端末３６ａ，３６ｂは、このネットワーク３２に対して有線（有線通信）又は無線（無線通信）で接続される。
【００３６】
特に、ウェアラブル端末３６ａ，３６ｂは、ネットワーク３２に対して無線で接続されることが望ましい。ウェアラブル端末３６ａ，３６ｂをネットワーク３２に対して無線で接続すれば、ウェアラブル端末３６ａ，３６ｂを身に着けるオペレータの移動の自由度が高まる。
【００３７】
なお、図３では、３台の加工装置２ａ，２ｂ，２ｃ及び２台のウェアラブル端末３６ａ，３６ｂを例示しているが、ネットワーク３２を介して接続される加工装置及びウェアラブル端末の数は特に制限されない。
【００３８】
接続ステップの後には、上述したウェアラブル端末３６ａ，３６ｂをオペレータが装着するウェアラブル端末装着ステップを実施する。図４（Ａ）は、腕時計型のウェアラブル端末３６ａをオペレータが装着した状態を模式的に示す図であり、図４（Ｂ）は、眼鏡型のウェアラブル端末３６ｂをオペレータが装着した状態を模式的に示す図である。
【００３９】
図４（Ａ）に示すように、腕時計型のウェアラブル端末３６ａは、オペレータ４０の腕部に装着される。この状態で、ウェアラブル端末３６ａのディスプレイは外部に露出しているので、オペレータ４０は、ディスプレイを視認して表示される情報を適切に把握できる。
【００４０】
一方、図４（Ｂ）に示すように、眼鏡型のウェアラブル端末３６ｂは、オペレータ４０の頭部に装着される。この状態で、ウェアラブル端末３６ｂのディスプレイはオペレータ４０の目の前に位置しているので、オペレータ４０は、ディスプレイを視認して表示される情報を適切に把握できる。
【００４１】
なお、本実施形態では、腕時計型のウェアラブル端末３６ａと眼鏡型のウェアラブル端末３６ｂとを例示しているが、ウェアラブル端末の種類、態様等に制限はない。本実施形態のウェアラブル端末は、少なくとも、オペレータ４０が身に着けた状態で視認可能なディスプレイを備えていれば良い。
【００４２】
また、１人のオペレータ４０が身に着けるウェアラブル端末の数等にも制限はなく、例えば、腕時計型のウェアラブル端末３６ａと眼鏡型のウェアラブル端末３６ｂとを、１人のオペレータ４０が身に着けることができる。さらに、本実施形態では、接続ステップの後にウェアラブル端末装着ステップを実施しているが、ウェアラブル端末装着ステップの後に接続ステップを実施しても良い。
【００４３】
接続ステップ及びウェアラブル端末装着ステップの後には、加工装置２ａ，２ｂ，２ｃの稼働状況、管理者からの連絡事項等をオペレータ４０に伝達する伝達ステップを実施する。図５（Ａ）は、加工装置２ａ，２ｂ，２ｃの稼働状況がオペレータ４０に伝達される様子を模式的に示す図であり、図５（Ｂ）は、管理者からの連絡事項がオペレータ４０に伝達される様子を模式的に示す図である。なお、ここでは、腕時計型のウェアラブル端末３６ａを例に説明する。
【００４４】
図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示すように、腕時計型のウェアラブル端末３６ａは、表面側にディスプレイ（表示手段）４２ａが設けられた本体４２を備える。この本体４２の内部には、上述した送受信ユニット（受信手段）（不図示）が収容されている。また、本体４２の側部には、オペレータ４０の腕部を通すバンド４４が取り付けられている。
【００４５】
例えば、上述した加工装置２ａ，２ｂ，２ｃを用いる加工工程が開始されると、各加工装置２ａ，２ｂ，２ｃは、切削ユニット１４の稼働状況（すなわち、加工の進行状況）を通知するための信号をウェアラブル端末３６ａへと送信する。
【００４６】
加工装置２ａ，２ｂ，２ｃからの信号を受信したウェアラブル端末３６ａは、図５（Ａ）に示すように、受信した信号によって通知される情報（すなわち、切削ユニット１４の稼働状況に関する情報）をディスプレイ４２ａに表示する。これにより、当該情報をオペレータ４０に伝達できる。
【００４７】
なお、この伝達ステップでは、各加工装置２ａ，２ｂ，２ｃの稼働状況をオペレータ４０が比較できる態様でディスプレイ４２ａに表示することが望ましい。例えば、図５（Ａ）では、各加工装置２ａ，２ｂ，２ｃの稼働状況を、それぞれ、棒グラフＡ、Ｂ、Ｃで同時に表している。
【００４８】
これにより、各加工装置２ａ，２ｂ，２ｃの稼働状況を相対的に把握できるので、各加工装置２ａ，２ｂ，２ｃの稼働状況に合わせた作業の準備が可能になり、作業に取り掛かるまでの時間を更に短縮できる。
【００４９】
一方で、例えば、加工装置２ａ，２ｂ，２ｃに発生した問題を管理者が発見した場合等には、管理者は、オペレータ４０への連絡事項を通知するための信号を管理者用端末３４からウェアラブル端末３６ａへと送信する。
【００５０】
管理者用端末３４からの信号を受信したウェアラブル端末３６ａは、図５（Ｂ）に示すように、受信した信号によって通知される情報（すなわち、管理者からの連絡事項に関する情報）をディスプレイ４２ａに表示する。これにより、当該情報をオペレータ４０に伝達できる。なお、図５（Ｂ）では、「工程管理担当者○○さん」からの「装置Ａを確認して下さい！」というメッセージがディスプレイ４２ａに表示されている。
【００５１】
このように、本実施形態に係る加工装置の管理方法では、加工装置２（２ａ，２ｂ，２ｃ）から送信される稼働状況を通知するための信号又は管理者用端末（端末装置）３４から送信される連絡事項を通知するための信号をオペレータ４０に装着されたウェアラブル端末３６ａ，３６ｂが受信し、受信した信号によって通知される情報をディスプレイ（表示手段）４２ａに表示してオペレータ４０に伝達するので、オペレータ４０は、加工装置２の稼働状況や管理者からの連絡事項を適切に把握できる。これにより、稼働状況や連絡事項に合わせた行動が可能になり作業に取り掛かるまでの時間が短くなるので、加工装置２の実質的な稼働時間を長く保つことができる。
【００５２】
なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、管理システム３８は、ウェアラブル端末３６ａ，３６ｂから加工装置２に対して簡単な指示を出せるように構成されても良い。例えば、加工装置２での警告音の発生や表示灯２６の点灯を、ウェアラブル端末３６ａ，３６ｂで停止できるようにしておけば、必要がなくなった段階でこれらを直ちに停止できる。
【００５３】
また、管理システム３８は、ウェアラブル端末３６ａ，３６ｂから管理者用端末３４に対して簡単な通知を行うことができるように構成されても良い。これにより、例えば、管理者からの連絡事項を確認したオペレータ４０から管理者への回答が可能になる。なお、加工装置２に対する指示や管理者に対する通知は、オペレータ４０の手指又は音声によるウェアラブル端末３６ａ，３６ｂの操作で実現できる。
【００５４】
また、上述した加工装置の管理方法には、オペレータ４０による不適切な操作を防止するための操作規制方法が組み込まれても良い。この場合には、オペレータ４０が身に着けるウェアラブル端末３６ａ，３６ｂに、当該オペレータ４０を特定するための識別コードを記憶させておく。この識別コードは、加工装置２や管理者用端末３４からウェアラブル端末３６ａ，３６ｂに送信されても良いし、他の方法でウェアラブル端末３６ａ，３６ｂに記憶されても良い。
【００５５】
例えば、伝達ステップの後にオペレータ４０が加工装置２を操作するタイミングで、識別コードをウェアラブル端末３６ａ，３６ｂのディスプレイに表示する識別コード表示ステップを実施する。図６は、識別コード表示ステップを模式的に示す図である。なお、ここでは、腕時計型のウェアラブル端末３６ａを例に説明する。
【００５６】
図６では、識別コードとして機能する２次元コードがウェアラブル端末３６ａのディスプレイ４２ａに表示されている。なお、識別コードとして、１次元コード（バーコード）等を用いることもできる。
【００５７】
識別コード表示ステップの後には、ウェアラブル端末３６ａに表示された識別コードを加工装置２が読み取る識別コード読み取りステップを実施する。図７は、識別コード読み取りステップを模式的に示す図である。なお、図７の加工装置２には、ディスプレイ２２の下方に識別コードを読み取る読み取りユニット（読み取り手段）４６が設けられている。
【００５８】
識別コード読み取りステップでは、例えば、ウェアラブル端末３６ａのディスプレイ４２ａを加工装置２の読み取りユニット４６にかざして、加工装置２に識別コードを読み取らせる。読み取られた識別コードは、加工装置２の制御ユニット（制御手段）２８（図１参照）へと送られる。
【００５９】
識別コード読み取りステップの後には、識別コードに基づいて加工装置２の操作を規制する操作規制ステップを実施する。制御ユニット２８は、識別コードと各オペレータの属性との関係を示す属性判定情報を保持している。そのため、制御ユニット２８は、読み取った識別コードから、当該オペレータ４０の属性（所属、役職、その他の権限）を判定できる。
【００６０】
次に、制御ユニット２８は、オペレータ４０の属性に応じてディスプレイ２２で入力できる項目を規制する。例えば、当該オペレータ４０がメンテナンスの権限を持たない場合には、加工装置２のメンテナンスに関する項目を入力できないように変更する。これにより、オペレータの属性に応じた操作のみが可能になるので、権限を持たないオペレータ４０による不適切な操作を防止できる。
【００６１】
なお、ここでは、ウェアラブル端末３６ａのディスプレイ４２ａに識別コードを表示して加工装置２で読み取る態様を例示しているが、例えば、ウェアラブル端末３６ａが備えるＩＣチップに識別コード等の情報を格納させて、この情報を加工装置２で読み取るようにしても良い。
【００６２】
その他、上記実施形態に係る構成、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００６３】
２，２ａ，２ｂ，２ｃ  加工装置
４  筐体
６  カセット載置台
８  カセット
１０  チャックテーブル
１２ａ，１２ｂ  扉
１４  切削ユニット（加工手段）
１６  スピンドル
１８  切削ブレード
２０ａ，２０ｂ  カバー
２２  ディスプレイ（入力手段）
２４  緊急停止ボタン
２６  表示灯
２８  制御ユニット（制御手段）
３０  送受信ユニット（送信手段）
３２  ネットワーク
３４  管理者用端末
３６ａ，３６ｂ  ウェアラブル端末
３８  管理システム
４０  オペレータ
４２  本体
４２ａ  ディスプレイ（表示手段）
４４  バンド
４６  読み取りユニット（読み取り手段）
１１  被加工物
１１ａ  表面
１１ｂ  裏面
１３  分割予定ライン（ストリート）
１５  デバイス
１７  ダイシングテープ
１９  フレーム
【図１】
2017045202.tif 000003
【図２】
2017045202.tif 000004
【図３】
2017045202.tif 000005
【図４】
2017045202.tif 000006
【図５】
2017045202.tif 000007
【図７】
2017045202.tif 000008
【図６】
2017045202.tif 000009