(57)【要約】【課題】好適に圧電ウェハを保持できる圧電素子折り取り装置を提供する。【解決手段】圧電素子折り取り装置は、上面に開口する第一吸着孔１３ｈが形成されたトレイ台１３と、上面に開口する収容凹部２１ｒと、収容凹部２１ｒの周囲にて上下方向へ貫通する第二吸着孔２１ｈとを有し、第二吸着孔２１ｈと第一吸着孔１３ｈとが通じるようにトレイ台１３の上面に載置されるトレイ１５と、第一吸着孔１３ｈを介して第二吸着孔２１ｈを排気して、トレイ１５の上面に圧電ウェハ１２８を吸着させる吸引装置１７と、圧電ウェハ１２８のうち収容凹部２１ｒ上に位置する所定部分に対して、ノズル部３１を傾斜させた状態で下方へ押して、所定部分を圧電ウェハ１２８の他の部分から折り取り、所定部分を圧電素子１２０とし、ノズル部３１を水平にした状態で、圧電素子１２０を吸着し、圧電素子１２０を保持するヘッド装置と、を備えている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に開口する第一吸着孔が形成されたトレイ台と、
上面に開口する収容凹部と、前記収容凹部の周囲にて上下方向へ貫通する第二吸着孔とを有し、前記第二吸着孔と前記第一吸着孔とが通じるように前記トレイ台の上面に載置されるトレイと、
前記第一吸着孔を介して前記第二吸着孔を排気して、前記トレイの上面に圧電ウェハを吸着させる吸引装置と、
前記圧電ウェハのうち前記収容凹部上に位置する所定部分に対して、ノズル部を傾斜させた状態で下方へ押して、前記所定部分を前記圧電ウェハの他の部分から折り取り、所定部分を圧電素子とし、前記ノズル部を水平にした状態で、前記圧電素子を吸着し、前記圧電素子を保持するヘッド装置と、
を有した圧電素子折り取り装置。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電素子折り取り装置であって、
複数の前記第二吸着孔が、平面視において並列に所定方向に延びている圧電素子折り取り装置。
【請求項３】
請求項２に記載の圧電素子折り取り装置であって、
複数の前記第一吸着孔が、平面視において、並列に前記所定方向に直交する方向に延び、前記複数の第二吸着孔に交差している圧電素子折り取り装置。
【請求項４】
請求項３に記載の圧電素子折り取り装置であって、
前記複数の第一吸着孔は、幅が互いに同一であり、且つ、幅方向の間隔が一定であり、
前記複数の第二吸着孔は、幅が互いに同一であり、且つ、幅方向の間隔が一定である圧電素子折り取り装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の圧電素子折り取り装置であって、
前記第二吸着孔の開口面積の合計は、前記第一吸着孔の開口面積の合計よりも小さい圧電素子折り取り装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の圧電素子折り取り装置であって、
前記トレイは、
複数の前記収容凹部及び複数の前記第二吸着孔を有するトレイ本体と、
前記トレイ本体が載置され、複数の前記第二吸着孔と通じる接続孔を有する支持部材と、を有する圧電素子折り取り装置。
【請求項７】
請求項６に記載の圧電素子折り取り装置であって、
前記支持部材上に複数の前記トレイ本体が並列に載置される圧電素子折り取り装置。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の圧電素子折り取り装置であって、
前記トレイ台は、上面に前記第一吸着孔が開口し、前記接続孔に嵌合する凸部を有する圧電素子折り取り装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の圧電素子折り取り装置であって、
前記トレイは、
前記第二吸着孔の下方側部分を構成する第三吸着孔を有する下層部材と、
前記収容凹部を構成する貫通孔、及び、前記第二吸着孔の上方側部分を構成する第四吸着孔を有し、前記下層部材に重ねられた上層部材と、を有している圧電素子折り取り装置。
【請求項１０】
求項１〜９のいずれか１項に記載の圧電素子折り取り装置であって、
前記トレイ台の上面に載置される前記トレイを交換するトレイ交換装置を更に有する圧電素子折り取り装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子を圧電ウェハから折り取る圧電素子折り取り装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
水晶発振器又は水晶振動子として、板状の水晶素板に励振電極を設けて構成された水晶素子を有するものが知られている。水晶素子は、例えば、以下のように製造される。まず、水晶ウェハに対してエッチングを行い、水晶素板となる部分と、水晶素板の一辺と接続され、水晶素板を支持する枠状部分とを形成する。次に、水晶素板に励振電極を形成する。その後、水晶素板と枠状部分との間の部分を折ることで、水晶素板を完全に個片化する。
【０００３】
水晶素板を枠状部分から折り取るための圧電素子折り取り装置は、水晶ウェハが載置されるトレイと、水晶ウェハを上から押さえ付ける押さえ板とを有している。トレイには、水晶素板に対応する位置に凹部が形成されており、押さえ板には、水晶素板に対応する位置に開口が形成されている。そして、折り取り装置は、ノズル部によって押さえ板の開口を介して水晶素板を下方（トレイの凹部）へ押し、水晶素板を水晶ウェハから折り取る（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２５８７９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の圧電素子折り取り装置では、圧電ウェハを上から押さえ板によって押さえ付けることによって圧電ウェハを固定している。従って、例えば、圧電ウェハをトレイに適切に位置決めできたとしても、押さえ板によって圧電ウェハを押さえ付けるときに、押さえ板の位置ずれによって、圧電ウェハの位置ずれが生じる虞がある。また、例えば、押さえ板によって圧電素子乃至は圧電素子上の励振電極に傷をつけてしまう虞がある。さらに、押さえ板を設けるためのコストが必要であり、生産性が低下する虞がある。
【０００６】
従って、好適に圧電ウェハを保持できる圧電素子折り取り装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係る圧電素子折り取り装置は、上面に開口する第一吸着孔が形成されたトレイ台と、上面に開口する収容凹部と、収容凹部の周囲にて上下方向へ貫通する第二吸着孔とを有し、第二吸着孔と第一吸着孔とが通じるようにトレイ台の上面に載置されるトレイと、第一吸着孔を介して第二吸着孔を排気して、トレイの上面に圧電ウェハを吸着させる吸引装置と、圧電ウェハのうち収容凹部上に位置する所定部分に対して、ノズル部を傾斜させた状態で下方へ押して、所定部分を圧電ウェハの他の部分から折り取り、所定部分を圧電素子とし、ノズル部を水平にした状態で、圧電素子を吸着し、圧電素子を保持するヘッド装置と、を有している。
【発明の効果】
【０００８】
上記の構成又は手順によれば、圧電素子の折り取りに際して圧電ウェハを好適に保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】圧電素子が使用された水晶デバイスを示す分解斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】水晶片が多数個取りされる水晶ウェハの一部を示す平面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る圧電素子折り取り装置の要部の構成を示す模式的な斜視図である。
【図５】（ａ）本実施形態に係る圧電素子折り取り装置の水晶ウェハを載置した状態のトレイの中心付近を示す断面図であり、（ｂ）本実施形態に係る圧電素子折り取り装置を構成する水晶ウェハを載置した状態のトレイ端部を示す断面図である。
【図６】図３の折り取り装置のトレイを構成する上層部材を示す平面図。
【図７】図３の折り取り装置のトレイを構成する下層部材の一部を示す平面図である。
【図８】図３の折り取り装置のトレイ台の一部を示す平面図である。
【図９】図３の折り取り装置が実行する処理の手順を示すフローチャートを示すものである。
【図１０】図９のステップ５を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
まず、本発明の実施形態に係る圧電素子折り取り装置の説明に先立って、圧電素子折り取り装置の製造対象である圧電素子の一つである水晶素子が用いられている水晶デバイスについて説明する。
【００１１】
（水晶デバイス）
水晶デバイスは、パッケージ１１０と、パッケージ１１０の上面に接合された水晶素子１２０と、パッケージ１１０の上面に接合された蓋体１３０とを含んでいる。パッケージ１１０には、基板１１０ａの上面と枠体１１０ｂの内側面によって囲まれた凹部Ｋが形成されている。このような水晶デバイスは、電子機器等で使用する基準信号を出力するのに用いられる。
【００１２】
基板１１０ａは、矩形状であり、上面で実装された水晶素子１２０を実装するための実装部材として機能するものである。基板１１０ａの上面には、水晶素子１２０を接合するための一対の電極パッド１１１が設けられている。基板１１０ａは、例えばアルミナセラミックス又はガラス−セラミックス等のセラミック材料である絶縁層からなる。基板１１０ａは、絶縁層を一層用いたものであっても、絶縁層を複数層積層したものであってもよい。基板１１０ａの表面及び内部には、上面に設けられた電極パッド１１１と、基板１１０ａの下面に設けられた外部端子１１２とを電気的に接続するための配線パターン１１３が設けられている。
【００１３】
枠体１１０ｂは、基板１１０ａの上面に配置され、基板１１０ａの上面に凹部Ｋを形成するためのものである。枠体１１０ｂは、例えばアルミナセラミックス又はガラス−セラミックス等のセラミック材料からなり、基板１１０ａと一体的に形成されている。
【００１４】
ここでパッケージ１１０を平面視したときの一辺の寸法が、１．０〜３．０ｍｍであり、パッケージ１１０の上下方向の寸法が、０．２〜１．５ｍｍである場合を例にして、凹部Ｋの大きさを説明する。凹部Ｋの長辺の長さは、０．７〜２．０．ｍｍであり、短辺の長さは、０．５〜１．５ｍｍとなっている。また、凹部Ｋの上下方向の長さは、０．１〜０．５ｍｍとなっている。
【００１５】
ここで、パッケージ１１０の作製方法について説明する。基板１１０ａ及び枠体１１０ｂがアルミナセラミックスから成る場合、まず所定のセラミック材料粉末に適当な有機溶剤等を添加・混合して得た複数のセラミックグリーンシートを準備する。また、セラミックグリーンシートの表面或いはセラミックグリーンシートに打ち抜き等を施して予め穿設しておいた貫通孔内に、従来周知のスクリーン印刷等によって所定の導体ペーストを塗布する。さらに、これらのグリーンシートを積層してプレス成形したものを、高温で焼成する。最後に、導体パターンの所定部位、具体的には、一対の電極パッド１１１又は外部端子１１２となる部位にニッケルメッキ又は金メッキ等を施すことにより作製される。また、導体ペーストは、例えばタングステン、モリブデン、銅、銀又は銀パラジウム等の金属粉末の焼結体等から構成されている。
【００１６】
水晶素子１２０は、導電性接着剤１４０を介して電極パッド１１１上に接合されている。水晶素子１２０は、安定した機械振動と圧電効果により、電子装置等の基準信号を発振する役割を果たしている。
【００１７】
水晶素子１２０は、図２に示すように、水晶素板１２１の上面及び下面のそれぞれに励振電極１２２及び引き出し電極１２３を被着させた構造を有している。励振電極１２２は、水晶素板１２１の上面及び下面のそれぞれに金属を所定のパターンで被着・形成したものである。励振電極１２２は、上面に第一励振電極１２２ａと、下面に第二励振電極１２２ｂを備えている。引き出し電極１２３は、励振電極１２２から水晶素板１２１の一辺に向かってそれぞれ延出されている。引き出し電極１２３は、上面に第一引き出し電極１２３ａと、下面に第二引き出し電極１２３ｂとを備えている。第一引き出し電極１２３ａは、第一励振電極１２２ａから引き出されており、水晶素板１２１の一辺に向かって延出するように設けられている。第二引き出し電極１２３ｂは、第二励振電極１２２ｂから引き出されており、水晶素板１２１の一辺に向かって延出するように設けられている。つまり、引き出し電極１２３は、水晶素板１２１の長辺または短辺に沿った形状で設けられている。また、本実施形態においては、第一電極パッド１１１ａ及び第二電極パッド１１１ｂと接続されている水晶素子１２０の一端を基板１１０ａの上面と接続した固定端とし、他端を基板１１０ａの上面と間を空けた自由端とした片持ち支持構造にて水晶素子１２０が基板１１０ａ上に固定されている。
【００１８】
ここで、水晶素子１２０の動作について説明する。水晶素子１２０は、外部からの交番電圧が引き出し電極１２３から励振電極１２２を介して水晶素板１２１に印加されると、水晶素板１２１が所定の振動モード及び周波数で励振を起こすようになっている。
【００１９】
ここで、水晶素子１２０の製造方法について説明する。まず、水晶素子１２０は、人工水晶体から所定のカットアングルで切断し、水晶素板１２１の外周の厚みを薄くし、水晶素板１２１の外周部と比べて水晶素板１２１の中央部が厚くなるように設けるベベル加工を行う。そして、水晶素子１２０は、水晶素板１２１の両主面にフォトリソグラフィー技術、蒸着技術又はスパッタリング技術によって、金属膜を被着させることにより、励振電極１２２及び引き出し電極１２３を形成することにより製造される。
【００２０】
また、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて、このような水晶素子１２０を形成する製造方法について説明する。まず、互いに直交しているＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有した水晶ウェハを用意する。このとき、水晶ウェハの主面が、Ｘ軸およびＺ軸に平行となっている面を、Ｘ軸を中心に、Ｘ軸の負の方向を見て反時計回りに回転させた面、例えば、約３５°〜４０°回転させた面と平行となっている。次に、水晶ウェハの両主面に金属膜をスパッタリング技術または蒸着技術を用いて形成し、この金属膜上に感光性レジストを塗布し、所定のパターンに露光、現像し、所定の部分のみ水晶ウェハが露出するようにする。このように所定の部分のみ露出している水晶ウェハを所定のエッチング溶液に浸漬させ、水晶ウェハをエッチングする。これにより、複数の水晶素子１２０がその一部が接続された状態で水晶ウェハ内に形成される。
【００２１】
水晶素子１２０の基板１１０ａへの接合方法について説明する。まず、導電性接着剤１４０は、例えばディスペンサによって、電極パッド１１１上に拡がるようにして塗布される。水晶素子１２０は、導電性接着剤１４０上に搬送される。さらに、水晶素子１２０は、水晶素子１２０の固定端側の外周縁にある引き出し電極１２３が、平面視して、導電性接着剤１４０の中心付近と重なるようにして導電性接着剤１４０上に載置される。そして導電性接着剤１４０は、加熱硬化させることによって、硬化収縮される。
【００２２】
蓋体１３０は、矩形状であり、真空状態にある凹部Ｋ、あるいは窒素ガスなどが充填された凹部Ｋを気密的に封止するためのものである。具体的には、蓋体１３０は、所定雰囲気で、枠体１１０ｂ上に設けられた接合部材１３１の上面に載置される。枠体１１０ｂの上面に設けられた接合部材１３１に熱が印加されることで、溶融接合される。また、蓋体１３０は、例えば、鉄、ニッケル又はコバルトの少なくともいずれかを含む合金からなる。
【００２３】
接合部材１３１は、パッケージ１１０の枠体１１０ｂ上面に設けられた封止用導体パターン１１７に相対する蓋体１３０の箇所に設けられている。接合部材１３１は、例えば、銀ロウ又は金錫によって設けられている。銀ロウの場合は、その厚みは、１０〜２０μｍである。例えば、成分比率は、銀が７２〜８５％、銅が１５〜２８％のものが使用されている。金錫の場合は、その厚みは、１０〜４０μｍである。例えば、成分比率が、金が７８〜８２％、錫が１８〜２２％のものが使用されている。
【００２４】
接合部材１３１は、例えば、金錫の場合には、接合部材１３１の層の厚みは、１０〜４０μｍであり、例えば、成分比率が、金が７０〜８０％、錫が２０〜３０％のものを使用しても良い。また、接合部材１３１は、例えば、銀ロウの場合には、接合部材１３１の層の厚みは、１０〜４０μｍであり、例えば、成分比率が、銀が７０〜８０％、銅が２０〜３０％のものを使用しても構わない。
【００２５】
（水晶ウェハ）
まず、水晶素板１２１の厚みと同一の厚みに形成された水晶ウェハ１２８が準備される。なお、水晶ウェハ１２８の外縁は、円形に限定されず、例えば、多角形であってもよい。本実施形態では、外縁が矩形の水晶ウェハ１２８を例示する。
【００２６】
次に、水晶ウェハ１２８に対してエッチングを行い、図３に示されているように、水晶素板１２１となる部分と、水晶素板１２１の一辺と接続され、水晶素板１２１を支持する枠部１２４とを形成する。より具体的には、例えば、水晶素板１２１は、短辺に平行な方向（Ｙ方向）に配列されて列をなし、また、この列が長辺に平行な方向（Ｘ方向）に複数構成されるように、水晶ウェハ１２８に形成される。なお、水晶素板１２１の列間において、水晶素板１２１のＹ方向の位置は、図３に例示するように互いに同一であってもよいし、図３とは異なり互いに異なっていてもよい。
【００２７】
また、例えば、枠部１２４は、概略格子状に形成される。すなわち、枠部１２４は、全ての水晶素板１２１を囲む外枠１２４ａ（本実施形態では矩形の四辺からなる。図３では一辺の一部のみ示す。）と、外枠１２４ａのＹ方向両側の部分（二辺）同士を結ぶようにＹ方向に延びる複数の枝１２４ｂとを有している。枝１２４ｂは、水晶素板１２１の列間において延びている。枝１２４ｂの幅は、例えば、外枠１２４ａの幅よりも狭くされている。
【００２８】
そして、水晶素板１２１は、一対の引き出し電極１２３が配置される側（Ｘ方向正側）の短辺において、枝１２４ｂ（最もＸ方向正側に位置する水晶素板１２１の列については外枠１２４ａの四辺のうちのＸ方向正側の一辺）と接続されている。より具体的には、例えば、短辺の両端において、接続部１２４ｃによって接続されている。
【００２９】
次に、水晶素板１２１に励振電極１２２及び引き出し電極１２３を形成する。例えば、フォトリソグラフィーによって水晶素板１２１の表面にレジストからなるマスクを形成し、そのマスクを介して蒸着等によって水晶素板１２１の表面に金属膜を形成する。なお、二つの接続部１２４ｃ間に形成された開口は、引き出し電極１２３のうちの水晶素板１２１の両主面間を導通する部分の形成に寄与する。
【００３０】
その後、水晶素板１２１と接続部１２４ｃとの境界部分を折ることによって破断する。すなわち、水晶素板１２１を枠部１２４（水晶ウェハ１２８）から折り取って、水晶素板１２１を完全に個片化する。折り取りは、例えば、後述するノズル部３１によって水晶素板１２１の主面を押すことによってなされる。
【００３１】
（圧電素子折り取り装置）
圧電素子折り取り装置は、例えば、水晶素板１２１を折り取る本体部３と、折り取られた水晶素板１２１を収容するための収納部５と、本体部３に水晶素板１２１が折り取られる次の水晶ウェハ１２８を準備する準備部７と、これら各部を制御するための制御装置８とを有している。なお、図４では、準備部７、本体部３及び収納部５が順に直線上に配置され、また、一台の基台を分割した領域に各部が設けられているように図示されているが、実際には、各部は、直線上に配置されずに適宜な位置関係とされたり、適宜に分離又は統合されたりしても構わない。
【００３２】
本体部３は、例えば、図４に示した状態の水晶ウェハ１２８を保持する保持装置９と、保持装置９が保持している水晶ウェハ１２８の水晶素板１２１を押して水晶素板１２１を折り取るヘッド装置１１と、を有している。
【００３３】
保持装置９は、例えば、いわゆる真空吸着によって水晶ウェハ１２８を保持するように構成されており、トレイ台１３と、トレイ台１３上に載置され、水晶ウェハ１２８が載置されるトレイ１５と、トレイ台１３を介してトレイ１５上の雰囲気を吸引する吸引装置１７（真空装置）とを有している。
【００３４】
トレイ台１３は、例えば、適宜な本体用基台１８上に設けられている。なお、トレイ台１３は、本体用基台１８に対して移動不可能に設けられていてもよいし、水平方向（ｘｙ平面）において移動可能に設けられていてもよい。トレイ台１３は、金属又は樹脂等の適宜な材料によって形成されている。
【００３５】
トレイ１５は、トレイ台１３に対して搬入及び搬出が可能（着脱可能、交換可能）となっている。従って、水晶ウェハ１２８は、トレイ１５に載置された状態で、トレイ台１３に対して搬入及び搬送が可能となっている。トレイ１５は、例えば、支持部材１９と、支持部材１９に支持されるトレイ本体２１とを有している。
【００３６】
一台のトレイ台１３上には、例えば、一つの支持部材１９が載置される。一つの支持部材１９上には、例えば、二つのトレイ本体２１が載置される。各トレイ本体２１上には、例えば、一つの水晶ウェハ１２８が載置される。トレイ本体２１は、例えば、支持部材１９よりも薄く形成されている。支持部材１９及びトレイ本体２１は、金属又は樹脂等の適宜な材料によって形成されている。
【００３７】
吸引装置は、トレイ台１３に形成された接続ポート１３ｐに接続されている。なお、接続ポート１３ｐは、例えば、トレイ本体２１（水晶ウェハ１２８）毎に設けられており、本実施形態では合計で二つ設けられている。ただし、全てのトレイ本体２１に共通に一つの接続ポートが設けられてもよい。吸引装置１７は、例えば、ポンプ式の吸引装置によって構成されている。具体的には、例えば、吸引装置１７は、真空ポンプ２３と、真空ポンプ２３を駆動するポンプ用モータ２５と、真空ポンプ２３によって排気される真空タンク２７と、真空タンク２７と接続ポート１３ｐとの間の気体（空気）の流れを許容又は禁止するトレイ用バルブ２９とを有している。トレイ用バルブ２９は、例えば、接続ポート１３ｐ毎に設けられている。
【００３８】
吸引装置１７は、例えば、トレイ用バルブ２９を閉じた状態で、真空ポンプ２３によって予め真空タンク２７の真空引きを行い、真空タンク２７の圧力を大気圧よりも低い所定の圧力にしておく。そして、接続ポート１３ｐから排気を行うときには、トレイ用バルブ２９を開く。また、吸引装置１７は、トレイ用バルブ２９を開いている間等において、真空タンク２７の圧力が所定の圧力に維持されるように真空ポンプ２３を駆動する。
【００３９】
なお、真空ポンプ２３は、ロータリーポンプ、プランジャポンプ、定容量式ポンプ及び可変容量式ポンプであっても構わない。ポンプ用モータ２５は、オープンループで制御されるものや、フィードバック制御がなされるサーボモータであっても構わない。また、トレイ用バルブ２９は、開状態及び閉状態のみを基本的に実現するものであってもよいし、開度を無段階で調整可能なサーボバルブであってもよい。吸引装置１７は、上記の構成の他、真空タンク２７の圧力を検出する圧力センサ、及び／又は、真空タンク２７等の圧力を一定に保つための圧力制御弁等を有していてもよい。
【００４０】
ヘッド装置１１は、例えば、水晶素板１２１を押すためのノズル部３１と、ノズル部３１を水晶ウェハ１２８に対して移動させるためのノズル移動装置３３とを有している。また、ヘッド装置１１は、吸引装置１７の一部（真空ポンプ２３、ポンプ用モータ２５及び真空タンク２７）を保持装置９と共用するとともに、真空タンク２７とノズル３１との間の気体の流れを許容又は禁止するノズル用バルブ３５を有している。
【００４１】
ノズル部３１は、先端に開口が形成されており（図４参照）、真空引きされることにより、先端に水晶素板１２１を吸着することが可能である。従って、例えば、ノズル３１は、水晶素板１２１を吸着した状態で水晶素板１２１を押すことにより、折り取った後の水晶素板１２１を保持可能となっている。
【００４２】
ノズル移動装置３３は、例えば、ロボットにより構成されており、垂直多関節ロボットであってもよいし、スカラロボットであってもよいし、直交ロボットであっても構わない。ノズル移動装置３３は、ノズル部３１を上下方向及び水平方向に駆動する。これにより、ノズル部３１によって水晶ウェハ１２８内の任意の水晶素板１２１を押して折り取る動作、及び、折り取られてノズル３１に保持された水晶素板１２１を搬送する動作が可能とされている。
【００４３】
ノズル移動装置３３は、例えば、水晶素板１２１を折り取る際には、水晶素板１２１が接続部１２４ｃ側を支点として傾斜するため、ロボット（ノズル部３１を保持するためのアタッチメントを含む）も、水晶素板１２１の傾斜に合わせてノズル部３１を傾斜させることができる機能を有している。このように構成することによって、ノズル部３１が傾斜した状態で、水晶素板１２１を折り取りことができるため、励振電極１２２にノズル部３１が接触することを抑えることができる。そして折り取った後、傾いた水晶素子１２０に対して、ノズル部３１を傾斜させて吸引することで、励振電極１２２に接触させずに、安定して水晶素子１２０を保持することができる。
【００４４】
なお、ノズル移動装置３３は、特に図示しないが、アーム等の基本的な構成に加え、水晶素板１２１の位置を特定するための撮像装置及び画像処理装置、及び／又は、ノズル部３１による押圧力若しくは水晶ウェハ１２８の枠部１２４に対する変位を検出するセンサ等を有していてもよい。
【００４５】
吸引装置１７の構成は上述したとおりである。ノズル部３１は、ノズル用バルブ３５が開かれることによって真空引きされる。なお、ノズル用バルブ３５は、トレイ用バルブ２９と同様に、開状態及び閉状態のみを基本的に実現するものであってもよいし、開度を無段階で調整可能なサーボバルブであっても構わない。
【００４６】
収納部５は、例えば、折り取られた水晶素板１２１を収容する収納トレイ３７と、収納トレイ３７を搬送する不図示の搬送装置とを有している。収納トレイ３７は、例えば、上方に開口し、複数の水晶素板１２１を収容可能な複数の凹部を有している。折り取られた水晶素板１２１は、当該水晶素板１２１を吸着しているノズル部３１がヘッド装置１１によって凹部上に搬送され、ノズル部３１による吸着が解除されることによって凹部に収容される。
【００４７】
なお、第一収納トレイ３７が収容可能な水晶素板１２１の数は、水晶ウェハ１２８から折り取られる水晶素板１２１の数に対して少なくてもよいし、同等でもよいし、多くてもよい。好ましくは、トレイ１５の交換の際に収納トレイ３７を交換できるように（折り取りの最中に収納トレイ３７の交換の必要性が生じないように）、収納トレイ３７が収容可能な水晶素板１２１の数は、トレイ１５上の水晶ウェハ１２８から折り取られる水晶素板１２１の数と同等以上であることが好ましい。
【００４８】
収納トレイ３７を搬送する不図示の搬送装置は、例えば、空の収納トレイ３７を収納用基台３９上に搬入し、また、パッケージ１１０を収容した収納トレイ３７を収納用基台３９から搬出する。搬送装置は、例えば、ロボットによって構成されている。収納トレイ３７は、収納用基台３９に単に位置決めされて載置されるだけでもよいし、収納用基台３９に適宜な吸着手段によって保持されても構わない。
【００４９】
準備部７は、図４に示した状態の水晶ウェハ１２８が載置されたトレイ１５を準備し、本体部３に供給する。例えば、準備部７は、トレイ１５を搬送可能なトレイ搬送装置４１と、水晶ウェハ１２８を搬送可能なウェハ搬送装置４３とを有している。
【００５０】
トレイ搬送装置４１は、例えば、複数のトレイ１５を収容する不図示の容器乃至は複数のトレイ１５を搬送するコンベアから一のトレイ１５を取り出し、準備用基台４２上に載置する。ウェハ搬送装置４３は、例えば、複数の水晶ウェハ１２８を収容する不図示の容器乃至は複数の水晶ウェハ１２８を搬送するコンベアから一枚ずつ水晶ウェハ１２８を取り出し、準備用基台４２上のトレイ１５上に載置する。これにより、準備用基台４２上に、水晶ウェハ１２８が載置されたトレイ１５が準備される。また、トレイ搬送装置４１は、例えば、折り取りが完了した水晶ウェハ１２８が載置されたトレイ１５を本体部３から搬出し、準備用基台４２に準備されたトレイ１５を本体部３へ搬入する動作も行う。このようにすることにより、事前にトレイ１５に水晶ウェハ１２８を位置合わせしたものを準備しておくことができるため、折り取りが終了した後のトレイ１５を排出した後、すぐに水晶ウェハ１２８を位置合わせしたトレイ１５を搬入することができるので、サイクルタイムを短縮させることができる。
【００５１】
トレイ搬送装置４１及びウェハ搬送装置４３は、例えば、ロボットによって構成されている。ノズル移動装置３３を構成するロボットは、例えば、垂直多関節ロボットであってもよいし、スカラロボットであってもよいし、直交ロボットであってもよい。トレイ１５又は水晶ウェハ１２８を保持する機構は、例えば、吸着式が用いられている。
【００５２】
制御装置８は、例えば、特に図示しないが、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ及び外部記憶装置等を含んで構成されている。そして、予めＲＯＭ乃至は外部記憶装置に記憶された手順に従って、各部の制御を行っている。
【００５３】
上述のように、トレイ１５は、支持部材１９及びトレイ本体２１を有している。支持部材１９は、例えば、枠状に形成されており、接続孔１９ｈを有している。トレイ本体２１は、接続孔１９ｈを塞ぐように支持部材１９に載置される。トレイ本体２１には、トレイ本体２１を上下方向に貫通する複数の第二吸着孔２１ｈが形成されている。
【００５４】
一方、トレイ台１３の上面には、接続孔１９ｈに嵌合する凸部１３ａが形成されている。凸部１３ａの上面（頂面）には、トレイ台１３内部の流路１３ｒ（図５参照）を介して接続ポート１３ｐと接続された複数の第一吸着孔１３ｈが開口している。
【００５５】
従って、トレイ１５がトレイ台１３に載置されると、凸部１３ａが接続孔１９ｈに嵌合し、これにより、トレイ１５はトレイ台１３に対してＸＹ方向において位置決めされる。また、このとき、第一吸着孔１３ｈと第二吸着孔２１ｈとが通じ、ひいては、第二吸着孔２１ｈは、第一吸着孔１３ｈ及び接続ポート１３ｐを介して吸引装置１７に接続される。従って、吸引装置１７によって接続ポート１３ｐから排気を行うことにより、トレイ１５の上面に水晶ウェハ１２８を吸着させることができる。
【００５６】
なお、接続孔１９ｈ（凸部１３ａ）の平面形状は適宜に設定されてよく、例えば、矩形である。接続孔１９ｈ（凸部１３ａ）は、図４に示すように、複数のトレイ本体２１に対して共通に設けられていてもよいし、トレイ本体２１毎に設けられていてもよい。
【００５７】
支持部材１９及びトレイ本体２１の平面方向における位置決めは適宜になされてよい。例えば、二部材の一方に複数のピンを設け、他方に複数の貫通孔を形成し、両者の嵌合によって位置決めがなされてよい。
【００５８】
図５は、トレイ台１３、トレイ１５、水晶ウェハ１２８及びノズル３１の一部の模式的な断面図である。なお、図中において、符号が付されていない矢印は、空気の流れを示している。また、水晶ウェハ１２８は、図３及び図５（ａ）に示すように、枝１２４ｂ、当該枝１２４ｂから延びる接続部１２４ｃ、接続部１２４ｃに接続された水晶素板１２１、及び、水晶素板１２１の自由端と枝１２４ｂとの間のスリット１２４ｓが設けられている。また、図５（ｂ）は、トレイ台１３の接続ポート１３ｐ側の端部を含む断面に相当し、当該右側部分において、水晶ウェハ１２８は、外枠１２４ａの一辺が図示されている。
【００５９】
上述のように、トレイ１５は、支持部材１９の接続孔１９ｈにトレイ台１３の凸部１３ａが嵌合するようにトレイ台１３に載置されており、トレイ台１３の第一吸着孔１３ｈと、トレイ１５の第二吸着孔２１ｈとは接続されている。より具体的には、例えば、支持部材１９は、トレイ台１３の上面に載置されている。また、凸部１３ａの上面は、トレイ本体２１の下面に当接しており、第一吸着孔１３ｈと第二吸着孔２１ｈとは直接的に重なっている。
【００６０】
トレイ１５は、その上面に開口する凹状の収容凹部２１ｒを有している。第二吸着孔２１ｈは、その周囲に位置している。水晶ウェハ１２８は、水晶素板１２１が収容凹部２１ｒ上に位置し、枠部１２４が第二吸着孔２１ｈ上に位置するように、トレイ１５上に載置される。従って、第二吸着孔２１ｈを排気すると、枠部１２４がトレイ１５の上面に吸着される。
【００６１】
また、水晶素板１２１は、自由端が収容凹部２１ｒに収容されるように枠部１２４に対して傾斜することが可能である。従って、ノズル３１により水晶素板１２１を下方へ押して、水晶素板１２１を枠部１２４から折り取ることが可能となっている。
【００６２】
なお、片持ち梁の曲げモーメント分布は固定端において最も大きくなるから、水晶素板１２１は、接続部１２４ｃにおいて折れる。接続部１２４ｃの上面及び／又は下面に接続部１２４ｃを横断する（Ｙ方向に延びる）不図示の溝を形成し、応力集中が生じやすくすることによって、折れる位置を精度よく制御しても構わない。
【００６３】
トレイ本体２１は、例えば、二枚の板状部材からなる。すなわち、トレイ本体２１は、支持部材１９に載置される下層部材２１ａと、下層部材２１ａ上に重ねられた上層部材２１ｂとを有している。下層部材２１ａ及び上層部材２１ｂは、例えば、接着剤等により互いに接着されている。
【００６４】
第二吸着孔２１ｈは、下層部材２１ａに形成された第三吸着孔２１ａｈと、上層部材２１ｂに形成された第四吸着孔２１ｂｈとが重なることによって構成されている。収容凹部２１ｒは、例えば、上層部材２１ｂに、その下面から上面に貫通する貫通孔２１ｂｒが形成され、下層部材２１ａの上面が、貫通孔２１ｂｒの下方の開口を塞いで凹部の底面となることによって構成されている。
【００６５】
収容凹部２１ｒを構成する貫通孔２１ｂｒは、例えば、平面視において、概略、水晶素板１２１と同等の大きさ及び形状に形成されており、水晶素板１２１と同様に配置されている。すなわち、貫通孔２１ｂｒは、概略矩形に形成されており、短辺の延びる方向（Ｙ方向）に配列され、また、その配列が長辺の延びる方向（Ｘ方向）に複数設けられている。
【００６６】
第二吸着孔２１ｈの上方側部分を構成する第四吸着孔２１ｂｈ（２１ｂｈ−１、２１ｂｈ−２）は、例えば、平面視において、外枠１２４ａ及び複数の枝１２４ｂに重なる位置にて、これらに沿って延びる溝状に形成されている。すなわち、上層部材２１ｂには、全ての貫通孔２１ｂｒを囲む矩形の四辺に沿って延びる第四吸着孔２１ｂｈ−１と、貫通孔２１ｂｒの列の間において、当該列に沿って延びる複数の第四吸着孔２１ｂｈ−２とが形成されている。
【００６７】
外枠１２４ａに対応する第四吸着孔２１ｂｈ−１は、例えば、互いに同一の幅とされている。複数の枝１２４ｂに対応する複数の第四吸着孔２１ｂｈ−２は、例えば、互いに同一の幅及び長さとされ、一定の間隔で配置されている。なお、外枠１２４ａに対応する第四吸着孔２１ｂｈ−１は、図６に示すように、枝１２４ｂに対応する第四吸着孔２１ｂｈ−２よりも幅が広く形成されている。ただし、これらは、互いに同等の幅であっても構わない。
【００６８】
第二吸着孔２１ｈの下方側部分を構成する第三吸着孔２１ａｈ（２１ａｈ−１、２１ａｈ−２）は、例えば、平面視において、第四吸着孔２１ｂｈと同一の形状及び大きさとされている。そして、上層部材２１ｂは、第三吸着孔２１ａｈと第四吸着孔２１ｂｈとが平面視において一致するように、下層部材２１ａに対して重ねられる。なお、本実施形態においては、第三吸着孔２１ａｈ及び第四吸着孔２１ｂｈの形状及び大きさは互いに同一であることから、図６〜図８に示されているように、第三吸着孔２１ａｈ及び第四吸着孔２１ｂｈの平面形状は、第二吸着孔２１ｈの平面形状とみなしてよい。
【００６９】
第一吸着孔１３ｈ（１３ｈ−１、１３ｈ−２）は、例えば、平面視において、溝状に形成されている。より具体的には、例えば、トレイ台１３には、全ての貫通孔２１ｂｒ（図７）を囲む矩形の三辺に沿って延びる第一吸着孔１３ｈ−１と、複数の貫通孔２１ｂｒの配置領域において、複数の第二吸着孔２１ｈ−２に直交する方向に延びる複数の第一吸着孔１３ｈ−２とが形成されている。
【００７０】
複数の第一吸着孔１３ｈ−１は、例えば、平面視において、複数の第二吸着孔２１ｈ−１の大部分に重なり、これにより、第二吸着孔２１ｈ−１と通じる。第一吸着孔１３ｈ−１の開口面積の合計は、例えば、第二吸着孔２１ｈ−１の開口面積の合計よりも大きい。より具体的には、例えば、第一吸着孔１３ｈ−１の幅は、第二吸着孔２１ｈ−１の幅よりも大きく、また、両者の長さの合計は、概略同等である。複数の第一吸着孔１３ｈ−１の幅は、例えば、互いに同一の幅とされている。
【００７１】
複数の第一吸着孔１３ｈ−２は、例えば、平面視において、複数の第二吸着孔２１ｈ−２に交差しており、これにより、その交差部において、複数の第二吸着孔２１ｈ−２と通じている。複数の第一吸着孔１３ｈ−２は、例えば、例えば、互いに同一の幅及び長さとされ、一定の間隔で配置されている。
【００７２】
複数の第一吸着孔１３ｈ−２の幅及び間隔は一定であり、また、複数の第二吸着孔２１ｈ−２の幅及び間隔は一定であるから、複数の交差部のＸ方向の間隔、Ｙ方向の間隔及び面積は一定である。複数の第一吸着孔１３ｈは、例えば、第二吸着孔２１ｈの長さ全体に亘って配列されており、複数の交差部は、全ての貫通孔２１ｂｒの配置領域の概略全体に亘って分布している。
【００７３】
第一吸着孔１３ｈ−２の開口面積の合計は、例えば、第二吸着孔２１ｈ−２の開口面積の合計よりも大きくされている。第一吸着孔１３ｈ−２の幅は、例えば、第二吸着孔２１ｈ−２の幅よりも大きい。
【００７４】
なお、図８に示すように、第一吸着孔１３ｈ−１及び第一吸着孔１３ｈ−２は、互いに同等の幅とされているが、第二吸着孔２１ｈと同様に、第一吸着孔１３ｈ−１の幅が第一吸着孔１３ｈ−２の幅よりも大きくされるなどしてもよい。
【００７５】
上述のように、第一吸着孔１３ｈ−１の開口面積の合計は、例えば、第二吸着孔２１ｈ−１の開口面積の合計よりも大きく、第一吸着孔１３ｈ−２の開口面積の合計は、第二吸着孔２１ｈ−２の開口面積の合計よりも大きいから、第一吸着孔１３ｈの開口面積の合計は、第二吸着孔２１ｈの開口面積の合計よりも大きい。
【００７６】
第一吸着孔１３ｈ及び第二吸着孔２１ｈの各種寸法は適宜に設定されてよい。一例として、第一吸着孔１３ｈの短辺の長さ（幅）は、１．０ｍｍ以上２．０ｍｍ以下であり、第一吸着孔１３ｈの長辺の長さは、１００ｍｍ以上３００ｍｍ以下であり、第二吸着孔２１ｈの短辺の長さ（幅）は、０．１ｍｍ以上０．２ｍｍ以下であり、第二吸着孔２１ｈの長辺の長さは、５０ｍｍ以上７０ｍｍ以下である。
【００７７】
特に図示しないが、接続ポート１３ｐと複数の第一吸着孔１３ｈとを接続する流路１３ｒの平面形状は、適宜な形状とされてよい。例えば、流路１３ｒは、接続ポート１３ｐから適宜な数で分岐して複数の第一吸着孔１３ｈに接続されるような平面形状であってもよいし、複数の第一吸着孔１３ｈ（又は１３ｈ−２）に亘る広さの矩形状部分を有する平面形状であっても構わない
【００７８】
（製造方法）
ステップＳＴ１では、制御装置８は、まだ水晶ウェハ１２８が載置されていないトレイ１５を準備用基台４２上に載置するようにトレイ搬送装置４１を制御する。
【００７９】
ステップＳＴ２では、制御装置８は、準備用基台４２上に載置されたトレイ１５上に水晶ウェハ１２８（水晶素板１２１が枠部１２４に接続され、励振電極１２２及び引き出し電極１２３が形成された状態のもの）を載置するようにウェハ搬送装置４３を制御する。なお、この際の水晶ウェハ１２８とトレイ１５との平面方向における位置合わせには、公知の方法が採用されてよい。例えば、画像認識処理によって両者のアライメントマークを位置合わせする方法、又は、トレイ１５に設けられた位置決め部に水晶ウェハ１２８の縁部を当接させる方法などが採用されてよい。
【００８０】
ステップＳＴ３では、制御装置８は、水晶ウェハ１２８が載置されたトレイ１５を準備用基台４２上から搬出し、トレイ台１３上に載置する。なお、この際、上述のように、トレイ１５は、トレイ台１３の凸部１３ａがトレイ１５の接続孔１９ｈに嵌合されて位置決めされ、また、トレイ台１３の第一吸着孔１３ｈとトレイ１５の第二吸着孔２１ｈとは重ねられる（接続される）。
【００８１】
ステップＳＴ４では、制御装置８は、トレイ用バルブ２９を開き、接続ポート１３ｐ及び第一吸着孔１３ｈを介して第二吸着孔２１ｈの排気を行う。これにより、水晶ウェハ１２８をトレイ１５に吸着させる。
【００８２】
ステップＳＴ５では、制御装置８は、水晶素板１２１を折り取るようにヘッド装置１１を制御する。例えば、まず、ノズル移動装置３３によってノズル部３１が折り取り対象の水晶素板１２１上へ水平移動される。次に、ノズル部３１は、図１０に示すように、傾斜させられ、水晶素板１２１上に形成された励振電極１２２に当接しない位置に水平移動される。次に、ノズル用バルブ３５が開かれ、ノズル部３１による吸引がなされた状態で、ノズル移動装置３３によってノズル部３１が下方へ移動される。水晶素板１２１は、ノズル部３１によって吸着された状態で、ノズル部３１によって下方へ押され、水晶ウェハ１２８から折り取られる。折り取られた水晶素板１２１の傾斜している状態について、ノズル部３１を傾斜させることで、水晶素板１２１が水平になるように調整される。折り取られた水晶素板１２１は、ノズル移動装置３３によるノズル部３１の移動によって、収納トレイ３７内に収容されたパッケージ１１０内の電極パッド１１１に塗布された導電性接着剤１４０上へ搬送される。そして、ノズル用バルブ３５が閉じられることにより、折り取られた水晶素板１２１は、ノズル部３１による吸着が解除され、導電性接着剤１４０上に載置される。
【００８３】
ステップＳＴ６では、制御装置８は、全ての水晶素板１２１の折り取りが終了したか否か判定する。終了していない場合は、制御装置８は、ステップＳＴ５の処理に戻る。これにより、上述した一連の折り取り動作が、複数の水晶素板１２１に対して順次行われる。全ての水晶素板１２１の折り取りが終了すると、制御装置８は、ステップＳＴ７に進む。
【００８４】
ステップＳＴ７では、制御装置８は、トレイ用バルブ２９を閉じ、水晶ウェハ１２８の吸着を解除する。
【００８５】
ステップＳＴ８では、制御装置８は、全ての水晶素板１２１が折り取られた水晶ウェハ１２８が載置されたトレイ１５をトレイ台１３から搬出するようにトレイ搬送装置４１を制御する。トレイ１５は、例えば、トレイ搬送装置４１によって、不図示の後処理装置に搬送され、後処理装置にて塵等の除去処理がなされる。その後、処理されたトレイ１５は、準備部７に搬送されて、再度、水晶ウェハ１２８の保持に利用される。
【００８６】
ステップＳＴ３〜ＳＴ８に並行して、制御装置８は、次に折り取りが行われる水晶ウェハ１２８を準備するための処理を行う。すなわち、ステップＳＴ９及びＳＴ１０において、ステップＳＴ１及びＳＴ２と同様の処理を行う。
【００８７】
このようにすることにより、従来の水晶素子の製造方法のように、押さえ板によって水晶ウェハ１２８を押さえ付けることがないため、水晶ウェハ１２８の位置ずれを低減することができる。また、押さえ板を使用しないため、押さえ板で、水晶素板１２１乃至は水晶素板１２１上の励振電極１２２に傷つけることを防ぐことができるので、水晶片の発振周波数が変動することを低減することができる。
【００８８】
以上のとおり、本実施形態の圧電素子折り取り装置は、トレイ台１３と、トレイ１５と、吸引装置１７と、ヘッド装置１１とを有している。トレイ台１３は、上面に開口する第一吸着孔１３ｈを有している。トレイ１５は、上面に開口する凹状の収容凹部２１ｒ、及び、収容凹部２１ｒの周囲にて上下方向へ貫通する第二吸着孔２１ｈを有し、第二吸着孔２１ｈと第一吸着孔１３ｈとが通じるようにトレイ台１３の上面に載置される。吸引装置１７は、第一吸着孔１３ｈを介して第二吸着孔２１ｈを排気して、トレイ１５の上面に水晶ウェハ１２８を吸着させる。ヘッド装置１１は、水晶ウェハ１２８のうち収容凹部２１ｒ上に位置する所定部分（水晶素板１２１に対応する部分）を下方へ押して、その所定部分を水晶ウェハ１２８の他の部分（枠部１２４）から折り取り、所定部分を水晶素板１２１とする。
【００８９】
また、別の観点では、本実施形態の水晶素板１２１の製造方法は、上面に開口する凹状の収容凹部２１ｒと、収容凹部２１ｒの周囲にて上下方向へ貫通する第二吸着孔２１ｈとを有したトレイ１５の上面に、水晶ウェハ１２８を載置する水晶ウェハ載置ステップ（ステップＳＴ２及び／又はＳＴ１０）と、水晶ウェハ１２８が載置されたトレイ１５を、上面に開口する第一吸着孔１３ｈを有するトレイ台１３の上面に、第二吸着孔２１ｈと第一吸着孔１３ｈとが通じるように載置するトレイ載置ステップ（ステップＳＴ３）と、第一吸着孔１３ｈを介して第二吸着孔２１ｈを排気して、トレイ１５の上面に水晶ウェハ１２８を吸着させる吸着ステップ（ステップＳＴ４）と、水晶ウェハ１２８のうち収容凹部２１ｒ上に位置する所定部分を下方へ押して、前記所定部分を水晶ウェハ１２８の他の部分から折り取り、所定部分を水晶素板１２１とする個片化ステップ（ステップＳＴ５）と、を有している。
【００９０】
従って、例えば、水晶ウェハ１２８を上から押え付ける（水晶ウェハ１２８をトレイ１５と挟む）押さえ板は不要である。その結果、押さえ板によって水晶ウェハ１２８を押さえ付けるときに、押さえ板の位置ずれによって、水晶ウェハ１２８の位置ずれが生じることはない。例えば、押さえ板によって水晶ウェハ１２８乃至は励振電極１２２に傷がつくこともない。さらに、押さえ板を設けるためのコストを低減できる。
【００９１】
また、例えば、折り取りの対象とされる水晶ウェハ１２８の種類が変更され（水晶素板１２１の大きさ、及び、水晶素板１２１の水晶ウェハ１２８における配置等が変更され）、収容凹部及び吸着孔の形状及び大きさ等を変更する必要が生じたときに、トレイ台１３を交換せず、トレイ１５のみを交換して対応することが可能である。その結果、低コストで多様な水晶ウェハ１２８に対応することができる。
【００９２】
また、例えば、水晶ウェハ１２８の搬送をトレイ１５に載置した状態で行うことができ、このトレイ１５に水晶ウェハ１２８を保持するための第二吸着孔２１ｈが形成されていることから、本体部３において水晶ウェハ１２８を第二吸着孔２１ｈに対して位置合わせする必要がなくなる。すなわち、本体部３における水晶素板１２１の折り取りと並行して、準備部７において、次に折り取りが行われる水晶ウェハ１２８を第二吸着孔２１ｈに対して位置合わせすることができる。その結果、折り取りのサイクルが短縮され、生産性が向上することが期待される。
【００９３】
また、例えば、第一吸着孔１３ｈを介して第二吸着孔２１ｈを排気することから、第二吸着孔２１ｈを直接的に排気する場合と異なり、水晶ウェハ１２８は、トレイ台１３に吸着され、その間にトレイ１５が挟まれることになる。別の観点では、水晶ウェハ１２８及びトレイ１５がトレイ台１３に吸着される。従って、水晶ウェハ１２８をトレイ１５に吸着させるための吸引装置１７は、トレイ１５をトレイ台１３に吸着させることに兼用される。従って、構成が簡素である。
【００９４】
また、本実施形態では、複数の第二吸着孔２１ｈ−２が、平面視において並列に所定方向（ｙ方向）に延びている。従って、第二吸着孔２１ｈに水晶ウェハ１２８の枠部１２４（実施形態では枝１２４ｂ）を重ねることによって、枠部１２４に作用する吸着力を大きくしつつ、吸着力が水晶素板１２１に作用してしまうことを抑制することができる。
【００９５】
また、本実施形態では、複数の第一吸着孔１３ｈ−２が、平面視において、並列に所定方向に直交する方向（ｘ方向）に延び、これにより、所定方向（ｙ方向）に並列に延びる複数の第一吸着孔１３ｈ−２に交差している。
【００９６】
従って例えば、トレイ１５を交換して複数の第二吸着孔２１ｈ−２の幅乃至は間隔を変更したとしても、確実に複数の第一吸着孔１３ｈ−２及び複数の第二吸着孔２１ｈ−２を互いに通じさせることができる。例えば、仮に、複数の第一吸着孔１３ｈ−２が、複数の第二吸着孔２１ｈ−２に対して平行であると、複数の第二吸着孔２１ｈ−２の幅及び間隔を水晶ウェハ１２８の枝１２４ｂの幅及び間隔に合わせて設定したときに、複数の第二吸着孔２１ｈ−２と複数の第一吸着孔１３ｈ−２とが重ならなくなるおそれがあるが、そのような不都合は生じない。また、例えば、トレイ台１３及びトレイ１５それぞれは、複数の吸着孔間に複数の梁を有する構成となり、複数の梁の側面視において曲げモーメントに対する剛性が高い部材となる。そして、トレイ台１３及びトレイ１５は、複数の梁が互いに直交するように重ねられるから、全体として、剛性が高くなる。
【００９７】
また、本実施形態では、複数の第一吸着孔１３ｈ−２及び複数の第二吸着孔２１ｈ−２が直交することに加えて、複数の第一吸着孔１３ｈ−２は、幅が互いに同一であり、且つ、間隔（Ｙ方向）が一定であり、複数の第二吸着孔２１ｈ−２は、幅が互いに同一であり、且つ、間隔（Ｘ方向）が一定である。
【００９８】
従って、例えば、両者の連通部分（交差部Ｃｒ）は均等に分布することになる。ひいては、水晶ウェハ１２８をトレイ１５に吸着させる力の分布も均等になりやすい。その結果、例えば、水晶ウェハ１２８を吸着したときに水晶ウェハ１２８のトレイ１５に対する位置ずれが生じるおそれが低減される。
【００９９】
また、本実施形態では、第二吸着孔２１ｈの開口面積の合計は、第一吸着孔１３ｈの開口面積の合計よりも小さい。従って、水晶ウェハ１２８をトレイ台１３に直接載置する場合に比較して、吸着孔の面積を絞り、水晶ウェハ１２８の枠部１２４以外の部分が吸着されるおそれを低減することができる。また、トレイ台１３とトレイ１５との間に負圧が生じることから、トレイ台１３によるトレイ１５の吸着が直接的になされ、両者の位置ずれが抑制することができる。
【０１００】
また、本実施形態では、トレイ１５は、複数の収容凹部２１ｒ及び複数の第二吸着孔２１ｈを有するトレイ本体２１と、トレイ本体２１が載置され、複数の第二吸着孔２１ｈと通じる接続孔１９ｈを有する支持部材１９と、を有している。従って、例えば、トレイ本体２１は、比較的微細な複数の収容凹部２１ｒ及び複数の第二吸着孔２１ｈの形成が容易な薄型の板状部材とし、その一方で、支持部材１９は、トレイ１５の強度を確保が容易なトレイ本体２１よりも厚い枠状部材（接続孔１９ｈが形成された板状部材）とすることができる。すなわち、微細な形状と強度とを両立させることができる。また、例えば、折り取りの対象とされる水晶ウェハ１２８の種類が変更され、収容凹部及び吸着孔の形状及び大きさ等を変更する必要が生じたときに、支持部材１９を交換せず、トレイ本体２１のみを交換して対応することが可能である。その結果、低コストで多様な水晶ウェハ１２８に対応することができる。
【０１０１】
また、本実施形態では、支持部材１９上に複数のトレイ本体２１が並列に載置される。従って、水晶ウェハ１２８とトレイ本体２１との位置合わせ（ステップＳＴ２及び／又はＳＴ１０）等の取り扱いを容易にしつつ、複数のトレイ本体２１のトレイ台１３に対する搬入又は搬出（ステップＳＴ３及びＳＴ８）を同時に行い、サイクルタイムを短縮させることができる。
【０１０２】
また、本実施形態では、トレイ台１３は、上面に第一吸着孔１３ｈが開口し、接続孔１９ｈに嵌合する凸部１３ｂを有する。従って、上述のように強度の向上等に寄与する支持部材１９をトレイ１５のトレイ台１３に対する位置決め部として利用することができ、且つ、第一吸着孔１３ｈとトレイ本体２１の第二吸着孔２１ｈとを近付ける（さらには直接的に重ねる）ことができる。
【０１０３】
また、本実施形態では、トレイ１５は、下層部材２１ａ及び上層部材２１ｂを有している。下層部材２１ａは、第二吸着孔２１ｈの下方側部分を構成する第三吸着孔２１ａｈを有し、トレイ台１３に載置される。上層部材２１ｂは、収容凹部２１ｒを構成する貫通孔２１ｂｒ、及び、第二吸着孔２１ｈの上方側部分を構成する第四吸着孔２１ｂｈを有し、下層部材２１ａに重ねられている。従って、例えば、簡便に収容凹部２１ｒを形成することができる。また、例えば、水晶素板１２１及び／又は枠部１２４の形状及び大きさ等が若干変更されたときに、上層部材２１ｂのみを設計変更して対応することが可能である。
【０１０４】
本発明は、以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。圧電ウェハ及び圧電素子は、水晶ウェハ及び水晶片に限定されず、例えば、セラミックからなるものであってもよい。圧電素子は、発振信号を生成するための振動子を構成するものに限定されず、例えば、ＳＡＷ（Surface Acoustic Wave）フィルタの圧電基板を構成するもの、又は、振動型ジャイロスコープの振動子を構成するものであってもよい。また、発振信号を生成するための圧電デバイスは、振動子に限定されず、例えば、発振回路を含む発振器であってもよい。また、振動子や発振器の構造は、実施形態に例示したものに限定されず、Ｈ型の素子搭載部材を有するものなど、適宜な構造とされてよい。
【０１０５】
圧電ウェハにおける圧電素子の配置及び枠部の形状等は適宜に設定されてよい。例えば、実施形態では、枠部１２４の構成として、外枠１２４ａ、及び、外枠１２４ａのＹ方向両側の二辺を結ぶように延びる互いに同一の幅の複数の枝１２４ｂを示したが、枠部１２４の強度を確保するために、外枠１２４ａのＸ方向両側の二辺を結ぶ枝が適宜な本数で設けられたり、Ｘ方向又はＹ方向に延びる複数の枝のうちいずれかの幅が他の枝の幅に比較して広くされたりしてもよい。例えば、外枠１２４ａの内部を四つの領域に仕切るように、外枠１２４ａと同等の幅で十字の仕切（枝）を設け、四つの領域それぞれにおいて、比較的幅が狭く、Ｙ方向に延びる複数の枝１２４ｂを設けるようにしても構わない。
【０１０６】
実施形態では、接続部１２４ｃについて、水晶素板１２１が折り取られたときに、水晶ウェハ１２８に残る部分（枠部１２４の一部）として説明したが、接続部１２４ｃは、その中途又は枝１２４ｂ側の端部にて折られ、その一部又は全部が水晶素板１２１の一部とされてもよい。
【０１０７】
第一吸着孔及び第二吸着孔の形状及び大きさは、適宜に設定されてよく、実施形態に例示したものに限定されない。例えば、第一吸着孔及び第二吸着孔の形状及び大きさは互いに同一であってもよい。また、例えば、第一吸着孔は、比較的大きな面積を有する（例えば複数の第二吸着孔に重なるような）矩形又は円形であってもよい。また、例えば、第二吸着孔は、比較的小さな矩形又は円形とされ、複数の第二吸着孔が圧電ウェハの枠部に沿って配列されてもよい。また、例えば、第一吸着孔及び第二吸着孔は、貫通方向に直交する断面形状及び断面積が貫通方向において変化するものであっても構わない。
【０１０８】
溝状に延びる第一吸着孔又は第二吸着孔は、トレイの強度を確保することなどを目的として、長さ方向において適宜な本数に分割され、圧電ウェハの外枠又は枝の長さよりも短く（例えば半分〜１／４の長さに）されてもよい。また、例えば、上述のように、圧電ウェハの枠部が、Ｘ方向両側の二辺を結ぶ枝を有したり、他の枝よりも幅が広い枝を有したりする場合は、これに合わせて、複数の収容凹部の間をＸ方向に延びる第二吸着孔が形成されたり、複数の収容凹部の間を延びる第二吸着孔の幅が互いに異なっていたりしてもよい。また、溝状の第一吸着孔及び第二吸着孔が延びる方向は、複数のトレイ本体の配列方向や接続ポートの位置等に対して適宜に設定されてよい。例えば、実施形態において、図とは逆に、第一吸着孔１３ｈがＹ方向に延び、第二吸着孔２１ｈがＸ方向に延びても構わない。
【０１０９】
収容凹部は、圧電素子毎に設けられなくてもよい。例えば、実施形態において、Ｙ方向に配列された複数の収容凹部は、適当な数で互いにつなげられ、Ｙ方向に延びる溝状に形成されていてもよい。
【０１１０】
実施形態では、トレイ本体２１の下面と、トレイ台１３の凸部１３ａの上面とが当接したが、これらは当接せず、隙間を介して対向してもよい。すなわち、第一吸着孔と第二吸着孔とは接続孔の一部又は全部を介して通じてもよい。
【０１１１】
実施形態では、一台のトレイ台１３上に、順に、一つの支持部材１９、二つのトレイ本体２１及び二つの水晶ウェハ１２８が載置された。これらの部材の数の組み合わせは適宜に変更されてよい。例えば、支持部材上には三以上のトレイ本体が載置されてもよい。なお、一つのトレイ本体上に一つの圧電ウェハが載置されるようにし、また、一台のトレイ台及び一つの支持部材上に複数のトレイ本体が載置されるようにすると、実施形態においても述べたように、圧電ウェハ及びトレイ本体の位置合わせ等の取り扱いを容易にしつつ、複数の圧電ウェハをトレイ台に対して同時に搬入又は搬出することができる。
【０１１２】
トレイは、支持部材（別の観点では接続孔）を有さず、トレイ本体のみから構成されてもよい。また、トレイは、接続孔を有する部分と複数の吸着孔を有する部分とが一体的に形成されてもよい。トレイ本体は、上層部材及び下層部材の二層（複数層）から構成されず、一層から構成されても構わない。
【０１１３】
トレイに接続孔が設けられなくてもよいことから理解されるように、トレイ台の凸部は設けられなくてもよい。また、トレイに接続孔が設けられる場合においても、トレイ台の凸部が設けられず、第一吸着孔と第二吸着孔とが接続孔によって連通されてもよい。また、上述のように、圧電ウェハが複数の領域に仕切られているような場合には、トレイ台の凸部は、各領域に対応するように形成されても構わない（一の圧電ウェハに対して複数の接続孔及び凸部が形成されても構わない）。
【０１１４】
吸引装置（真空装置）は、（狭義の）ポンプ式のものに限定されない。例えば、圧縮空気を噴出し、その側方に生じる負圧によって吸引を行うエジェクタ式のものであってもよいし、シリンダ内でピストンを一方向へ摺動させることによって吸引を行うシリンダ式のものであってもよい。また、吸引装置において、真空タンク及びバルブは省略可能である。実施形態では、保持装置９とヘッド装置１１とで吸引装置１７を共用したが、共用されずに、それぞれに吸引装置が設けられてもよい。
【０１１５】
圧電ウェハ及びトレイ等を搬送するための構成は、適宜に変更されてよい。例えば、トレイ搬送装置及びウェハ搬送装置は統合されてもよいし、トレイ搬送装置は、準備用と交換用とで分離されてもよい。
【０１１６】
また、例えば、折り取られた圧電素子は、収納トレイに収納されるのではなく、そのままパッケージ（実施形態では、１１０）に実装されてもよい。すなわち、実施形態の収納部に代えて、圧電素子を実装するための実装部が設けられてもよい。
【０１１７】
実施形態では、ヘッド装置１１は、水晶素板１２１を下方へ押して水晶素板１２１を折り取った。ただし、圧電素子は、上方へ引っ張られることによって折り取られても構わない。例えば、ノズルによって圧電素子を真空吸着し、ノズルを上方へ移動させ、圧電素子を折り取っても構わない。
【符号の説明】
【０１１８】
１３・・・トレイ台
１３ｈ・・・第一吸着孔
１５・・・トレイ
２１ｒ・・・収容凹部
２１ｈ・・・第二吸着孔
９・・・保持装置
１１・・・ヘッド装置
１７・・・吸引装置
３１・・・ノズル部
１２１・・・水晶素板
１２８・・・水晶ウェハ（圧電ウェハ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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