(57)【要約】【課題】結露の発生を簡単な構成によって抑制することができる液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液体が循環する共通供給流路と共通供給流路とは分離して設けられて液体が循環する共通回収流路とが形成された共通流路部材と、吐出口が連通する圧力室と吐出口から液体を吐出させるためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子とを備え、共通供給流路から分岐した液体が圧力室に供給され、圧力室から流出された液体が共通回収流路に合流する吐出モジュールと、吐出モジュールとは別に液体吐出ヘッドの最外面に配置される最外面部材と、最外面部材と共通流路部材との間に配置される中間部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、中間部材の熱抵抗を共通流路部材の熱抵抗よりも大きくする。【選択図】図５
2017209934.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被記録媒体の幅に対応した長さを備えるライン型の液体吐出ヘッドであって、
外部から流入した液体を液体吐出ヘッドの長手方向に沿って供給する共通供給流路と、前記液体吐出ヘッドの長手方向に延在し、外部へ液体を流出するための共通回収流路とが形成された共通流路部材と、
液体を吐出する吐出口と、前記吐出口から液体を吐出させるためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子を内部に備える圧力室とを備え、前記共通供給流路から分岐した液体が前記圧力室に供給され、前記圧力室から流出された液体が前記共通回収流路に合流する吐出モジュールと、
前記吐出モジュールとは別に前記液体吐出ヘッドの最外面に配置される最外面部材と、
前記最外面部材と前記共通流路部材との間に配置される中間部材と、
を有し、
前記中間部材の熱抵抗が前記共通流路部材の熱抵抗よりも大きいことを特徴とする、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
循環する液体に関し前記共通供給流路の方が前記共通回収流路よりも圧力が高くなるように前記共通供給流路での圧力と前記共通回収流路での圧力とを調整する圧力調整機構をさらに有する、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記中間部材は、前記共通流路部材と前記吐出モジュールとの間にあって、前記共通供給流路から液体を分岐して前記吐出モジュールに供給する個別供給流路と、前記吐出モジュールから流出される液体を前記共通回収流路に合流させる個別回収流路とを備える、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記最外面部材は、前記吐出モジュールの前記被記録媒体側に設けられるカバー部材である、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記吐出モジュールへ電気信号を供給する電気配線基板をさらに備え、
前記最外面部材は、前記電気配線基板を保護するために前記液体吐出ヘッドの外面に配置されたシールド部材である、請求項１または２記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記中間部材は、断熱部材と空気層とを交互に配置した構成を有する、請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記吐出モジュールはヒーターと温度センサとを備え、前記圧力室の内部の液体の温度が設定温度に制御される、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記圧力室内の液体は当該圧力室の外部との間で循環される、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、
液体を貯える貯留手段と、
前記貯留手段から液体を前記共通供給流路に循環させる第１の循環系と、
前記貯留手段から液体を前記共通回収流路に循環させる第２の循環系と、
を備えることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１０】
中間転写体と、
前記中間転写体に記録された中間画像を被記録媒体に転写する転写手段と、
をさらに有し、前記液体吐出ヘッドは前記中間画像の記録のために前記中間転写体に液体を吐出する、請求項９に記載の液体吐出装置。
【請求項１１】
前記中間転写体は温度制御手段を備えて温度制御がなされている、請求項９または１０に記載の液体吐出装置。
【請求項１２】
前記最外面部材は前記吐出モジュールの前記被記録媒体側に設けられるカバー部材であって、当該カバー部材は前記中間転写体と前記中間部材との間に配されている、請求項１０または１１に記載の液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドと、液体吐出ヘッドを用いる液体吐出装置とに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を被記録媒体に吐出することにより記録を行う液体吐出装置では、吐出口に連通した圧力室と圧力室内の液体に吐出のためのエネルギーを付与するエネルギー発生素子とを有する液体吐出ヘッドを使用する。中でもいわゆるサーマル方式の液体吐出ヘッドは、エネルギー発生素子で発生した熱によって液体を加熱して沸騰させ、その発泡の力で液体を吐出口から吐出する。近年、記録速度を高めることの要求が大きくなっており、同時の吐出で形成できる記録の長さすなわち記録幅の長い液体吐出ヘッドの実現が望まれている。被記録媒体の幅と同程度の記録幅を有するフルラインタイプの液体吐出ヘッドでは、一般に、被記録媒体の搬送方向での１回の走査だけで記録を完成させる必要がある。そのため、このような液体吐出ヘッドでは、同時に使用する吐出口の数が多く、連続記録により液体吐出ヘッドの温度及び液体の温度が上昇しやすくなる。液体の温度が上昇することで、液体の物性が変化し、吐出口からの液体の吐出量や吐出速度が変化し、フルラインタイプの液体吐出ヘッドでは、被記録媒体上に形成される記録への影響が大きい。サーマル方式の液体吐出ヘッドでは、エネルギー発生素子として発熱素子を用いるので、液体吐出ヘッド内での温度のむらは顕著であるが、圧電素子などの他の種類のエネルギー発生素子を用いる液体吐出ヘッドでも、この温度のむらの問題は生じ得る。このような温度上昇に起因する課題を解決するために、特許文献１には、圧力室に対して液体を循環させる構成を採用して、連続記録を行っているときでも液体吐出ヘッドの昇温を抑制し、液体吐出ヘッド内での温度分布を小さくすることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１７５６５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液体吐出ヘッドは、吐出口から液体の蒸発、特に水分の蒸発と周囲温度とによって、相対湿度が上昇して露点（露点温度ともいう）が高くなる環境となっている。そのため、液体吐出ヘッドの表面やその近傍が結露しやすい。液体を循環させる液体吐出ヘッドの場合、循環流路を介して液体吐出ヘッドに流入する液体の温度は相対的に低く、それにより液体吐出ヘッドの部材も冷却される。流入液体により冷却された液体吐出ヘッドの部材が大気に曝されることにより、その部材に結露が発生し、結露した水滴が被記録媒体上に落下したり、電子部品に付着して誤動作や故障を招いたりするおそれがある。
【０００５】
本発明の目的は、結露の発生を簡単な構成によって抑制することができる液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出する液体吐出ヘッドであって、液体が循環する共通供給流路と共通供給流路とは分離して設けられて液体が循環する共通回収流路とが形成された共通流路部材と、吐出口が連通する圧力室と吐出口から液体を吐出させるためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子とを備え、共通供給流路から分岐した液体が圧力室に供給され、圧力室から流出された液体が共通回収流路に合流する吐出モジュールと、吐出モジュールとは別に液体吐出ヘッドの最外面に配置される最外面部材と、最外面部材と共通流路部材との間に配置される中間部材と、を有し、中間部材の熱抵抗が共通流路部材の熱抵抗よりも大きい。
【０００７】
本発明の液体吐出装置は、本発明の液体吐出ヘッドと、液体を貯える貯留手段と、貯留手段から液体を共通供給流路に循環させる第１の循環系と、貯留手段から液体を共通回収流路に循環させる第２の循環系と、を備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、中間部材の熱抵抗の設定によって最外面部材が冷却されにくくなるので、結露の発生を簡単な構成によって抑制することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】液体吐出装置における液体の循環形態を説明する図である。
【図２】第１の実施形態の液体吐出ヘッドを示す斜視図である。
【図３】第１の実施形態の液体吐出ヘッドの構成を示す分解斜視図である。
【図４】記録素子基板を示す一部破断斜視図である。
【図５】第１の実施形態の液体吐出ヘッドでの液体吐出ユニットの断面図である。
【図６】中間転写方式の液体吐出装置の構成を示す模式図である。
【図７】第２の実施形態の液体吐出ヘッドでの液体吐出ユニットの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態の例を説明する。ただし、以下の記載は本発明の範囲を限定するものではない。一例として、以下の説明では、液体を吐出するエネルギーを発生するエネルギー発生素子として発熱素子を使用し、熱によって圧力室内の液体に気泡を発生させて吐出口から液体を吐出させるいわゆるサーマル方式の液体吐出ヘッドを例に挙げて説明する。しかしながら、本発明が適用可能な液体吐出ヘッドはサーマル方式のものに限られるものではなく、圧電素子を使用するピエゾ方式や、その他の各種の液体吐出方式を採用する液体吐出ヘッドにも本発明を適用することができる。
【００１１】
また以下の説明では、記録液等の液体をタンクと液体吐出ヘッドの間で循環させる液体吐出装置において用いられる液体吐出ヘッドを説明するが、本発明に基づく液体吐出ヘッドが用いられる液体吐出装置はこれに限られるものではない。液体を循環させずに上流側と下流側とにそれぞれタンクを設け、一方のタンクから液体吐出ヘッドを介して他方のタンクへ液体を流すことで液体吐出ヘッドの圧力室内で液体を流動させる形態の液体吐出装置にも本発明を適用することができる。
【００１２】
さらに、以下の説明では、液体吐出ヘッドが、被記録媒体の幅に対応した長さを有するいわゆるライン型のヘッドとして構成されているものとする。しかしながら、主走査方向及び副走査方向への走査によって被記録媒体における記録を完成させるいわゆるシリアル型の液体吐出ヘッドに対しても本発明を適用することができる。シリアル型の液体吐出ヘッドとしては、例えば、黒色の記録液用及びカラーの記録液用の記録素子基板を各１つずつ搭載する構成のものがあるが、これに限られるものではない。シリアル型の液体吐出ヘッドは、数個の記録素子基板を吐出口列方向に吐出口をオーバーラップさせるよう配置した、被記録媒体の幅よりも短い短尺のラインヘッドを作成し、それを被記録媒体に対してスキャンさせる形態のものであってもよい。
【００１３】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態の液体吐出ヘッドを用いて被記録媒体に記録を形成する液体吐出装置における液体の循環経路を示している。本実施形態の液体吐出ヘッド３はライン型のものであって、複数の吐出口が設けられるとともに、吐出口ごとに吐出口に連通する圧力室を備え、各圧力室には記録液などの液体に吐出のためのエネルギーを付与するエネルギー発生素子が設けられている。圧力室は液体が循環するように構成されており、吐出されなかった液体は液体吐出ヘッドから流出されて液体吐出装置内を循環し、再び液体吐出ヘッドに供給されるようになっている。
【００１４】
液体吐出ヘッド３は、大別すると、液体供給ユニット２２０、負圧制御ユニット２３０及び液体吐出ユニット３００によって構成されている。液体吐出ユニット３００には、複数の記録素子基板１０と共通供給流路２１１と共通回収流路２１２とが設けられており、各記録素子基板１０にはそれぞれ複数のエネルギー発生素子が設けられている。液体吐出ヘッド３において、各記録素子基板１０に対して図示矢印で示すように共通供給経路２１１から液体が供給され、この液体は共通回収流路２１２を介して回収されるようになっている。また、液体吐出ヘッド３には、液体吐出ヘッド３へ電力及び吐出制御信号を伝送する電気制御部が電気的に接続される。液体吐出ヘッド３内における液体の経路及び電気信号の経路の詳細については後述する。
【００１５】
液体吐出ヘッド３には、液体を液体吐出ヘッド３へ供給する供給路である液体供給手段、メインタンク１００６、及びバッファタンク１００３が流体的に接続される。バッファダンク１００３は、記録液などの液体を貯留する貯留手段である。この例では、液体吐出ヘッド３が、高圧側の第１循環ポンプ１００１、低圧側の第１循環ポンプ１００２、及びバッファタンク１００３などに流体的に接続している。サブタンクとしてのバッファタンク１００３は、タンク内部と外部とを連通する大気連通口（不図示）を有し、液体吐出装置内を循環する液体中に発生した気泡を外部に流出することが可能である。バッファタンク１００３は、補充ポンプ１００５とも接続されている。補充ポンプ１００５は、液体を吐出しての記録や吸引回復等、液体吐出ヘッドの吐出口から吐出（流出）することによって液体吐出ヘッド３で液体が消費された際に、消費された分に相当する液体をメインタンク１００６からバッファタンク１００３へ移送する。
【００１６】
２つの第１循環ポンプ１００１，１００２は、バッファタンク１００３から液体吐出ヘッド３の液体接続部１１１に液体を給送する役割を有する。第１循環ポンプ１００１，１００２としては、定量的な送液能力を有する容積型ポンプを用いることが好ましい。具体的にはチューブポンプ、ギアポンプ、ダイヤフラムポンプ、シリンジポンプ等が挙げられるが、例えば一般的な定流量弁やリリーフ弁をポンプ出口に配して一定流量を確保する形態のポンプであっても用いることができる。液体吐出ヘッド３００の駆動時には高圧側の第１循環ポンプ１００１及び低圧側の第１循環ポンプ１００２によって、それぞれ、共通供給経路２１１及び共通回収流路２１２内をある一定流量で液体が流れる。この流量としては、液体吐出ヘッド３内の各記録素子基板１０間の温度差が、被記録媒体２上での記録品質に影響しない程度以上に設定することが好ましい。もっとも、過度に大きな流量を設定すると、液体吐出ユニット３００内の流路の圧損の影響により、各記録素子基板１０で負圧差が大きくなり過ぎて記録画像での濃度ムラが生じてしまう。このため、各記録素子基板１０間の温度差と負圧差を考慮しながら、流量を設定することが好ましい。液体が循環する経路のうち、高圧側の第１循環ポンプ１００１を含む方の経路はこの液体吐出装置での第１の循環系を構成し、低圧側の第１循環ポンプ１００２を含む方の経路はこの液体吐出装置での第２の循環系を構成する。
【００１７】
液体吐出ヘッド３からバッファタンク１００３に向けて液体が戻る経路には第２循環ポンプ１００４が設けられており、負圧制御ユニット２３０は、第２循環ポンプ１００４と液体吐出ユニット３００との間の経路に設けられている。負圧制御ユニット２３０は、記録を行う時にデューティの差によって循環系の流量が変動した場合でも、負圧制御ユニット２３０よりも上流側（すなわち液体吐出ユニット３００側）の圧力を予め設定した一定圧力に維持する機能を有する。負圧制御ユニット２３０は、それぞれ異なる制御圧が設定されている２つの圧力調整機構を備えている。これら２つの圧力調整機構としては、それ自身よりも上流の圧力を、所望の設定圧を中心として一定の範囲以下の変動で制御できるものであれば、どのような機構を用いてもよい。一例として、いわゆる背圧レギュレーターと同様の機構のものを採用することができる。圧力調整機構として背圧レギュレーターを用いる場合には、液体供給ユニット２２０を介して負圧制御ユニット２３０の下流側を第２循環ポンプ１００４によって減圧するようにすることが好ましい。このようにするとバッファタンク１００３の液体吐出ヘッド３に対する水頭圧の影響を抑制できるので、液体吐出装置におけるバッファタンク１００３のレイアウトの自由度を広げることができる。第２循環ポンプ１００４としては、液体吐出ヘッド３の駆動時に使用する液体の循環流量の範囲内において、一定圧を有するものであればよく、ターボ型ポンプや容積型ポンプなどを使用できる。具体的には、ダイヤフラムポンプ等が使用可能である。また第２循環ポンプ１００４の代わりに、例えば負圧制御ユニット２３０に対してある一定の水頭差をもって配置された水頭タンクを設けることもできる。
【００１８】
負圧制御ユニット２３０内の２つ圧力調整機構のうち、相対的に高圧が設定されている圧力調整機構（図１においてＨで表示）は、液体供給ユニット２２０内を経由して液体吐出ユニット３００内の共通供給経路２１１に接続されている。同様に相対的に低圧が設定されている圧力調整機構（図１においてＬで表示）は、液体供給ユニット２２０内を経由して液体吐出ユニット３００内の共通回収流路２１２に接続されている。液体吐出ユニット３００には、共通供給経路２１１及び共通回収流路２１２のほかに、各記録素子基板１０とそれぞれ連通する個別供給流路２１３及び個別回収流路２１４が設けられている。記録素子基板ごとに設けられる個別供給流路２１３及び個別回収流路２１４を総称して個別流路と称する。個別流路は、共通供給流路２１１から分岐して共通回収流路２１２に合流するように設けられてこれらと連通している。したがって、記録液など液体の一部が共通供給流路２１１から記録素子基板１０の内部流路を通過して共通回収流路２１２へと流れる流れ（図１の白抜きの矢印）が発生する。これは、共通供給流路２１１には高圧側の圧力調整機構Ｈが、共通回収流路２１２には低圧側の圧力調整機構Ｌがそれぞれ接続されているため、共通供給流路２１１と共通回収流路２１３の間に差圧が生じるからである。
【００１９】
このようにして、液体吐出ユニット３００では、共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２内をそれぞれ通過するように液体を流しつつ、一部の液体が各記録素子基板１０内を通過するような流れが発生する。このため、各記録素子基板１０で発生する熱を共通供給流路２１１および共通回収流路２１２の流れで記録素子基板１０の外部へ流出することができる。そのため、バッファタンク１００３からは、不図示の温度調整器などによって例えば２７℃に温度制御された液体が液体吐出ヘッド３に供給されることになる。また、液体吐出ヘッド３による記録を行っている際に、記録を行っていない吐出口や圧力室においても液体の流れを生じさせることができる。これにより、その部位において液体の溶媒成分の蒸発に起因して液体の粘度が高まることを抑制することができる。また、増粘した液体や液体中の異物を共通回収流路２１２へと流出することができる。このため、上述した液体吐出ヘッド３を用いることにより、高速かつ高品位での記録を行うことが可能となる。
【００２０】
この構成では負圧制御ユニット２３０が液体吐出ヘッド３の下流側に配置されているので、負圧制御ユニット２３０から発生するゴミや異物が液体吐出ヘッド３へ流入する懸念が少なくなる。また、負圧制御ユニット２３０を液体吐出ヘッド３の上流側に配置した場合に比べ、バッファタンク１００３から液体吐出ヘッド３へ供給する必要流量の最大値が少なくて済む。そのため、適用可能な循環ポンプの自由度が高まり、例えば構成の簡便な低コストの循環ポンプを使用したり、本体側経路に設置される冷却器（不図示）の負荷を低減したりすることができ、液体吐出装置本体のコストを低減できる。この利点は、流量が比較的大きくなるライン型ヘッドであるほど大きくなり、ライン型ヘッドの中でも長手方向に長い液体吐出ヘッドほど有益である。
【００２１】
もっとも本実施形態の液体吐出装置では、液体吐出ヘッド３の上流側に負圧制御ユニット２３０を配置することもできる。液体吐出ヘッド３の上流側に負圧制御ユニット２３０を配置した場合、記録デューティの低い画像の記録を行うときに高い負圧が吐出口に印加されることがなくなり、吐出時に負圧によってサテライト滴が発生することを抑制することができる。高い負圧が吐出口に印加されるのは高デューティ画像の記録を行うときであるため、仮にサテライト滴が発生しても記録された画像では視認されにくく、記録品質への影響は小さいという利点が生ずる。負圧制御ユニット２３０を液体吐出ヘッド３の上流側に配置するか下流側に配置するかは、液体吐出ヘッド３及び液体吐出装置本体の仕様（吐出流量、最小循環流量、及び液体吐出ヘッド内の流路抵抗）に照らして、好ましいものを選べばよい。
【００２２】
次に、第１の実施形態の液体吐出ヘッド３の構成について、図２を用いて説明する。図２の（ａ）は、液体吐出ヘッド３において吐出口が形成された面の側から見た斜視図であり、（ｂ）は（ａ）とは反対方向から見た斜視図である。液体吐出ヘッド３は、１６個の記録素子基板１０とフレキシブル配線基板（ＦＰＣ）４０と電気配線基板９０と液体接続部１１１とを備え、吐出液体である単一の色の記録液での記録が可能なインクジェット式のライン型液体吐出ヘッドである。１６個の記録素子基板１０は、液体吐出ヘッド３の長手方向に直線上に配列されている。電気配線基板９０には信号入力端子９１及び電力供給端子９２が設けられており、信号入力端子９１及び電力供給端子９２は、電気配線基板９０及びＦＰＣ４０を介して各記録素子基板１０に電気的に接続されている。信号入力端子９１及び電力供給端子９２は、液体吐出装置の制御部と電気的に接続され、それぞれ、吐出駆動信号などの電気信号と吐出に必要な電力とを電気配線基板９０及びＦＰＣ４０を介して記録素子基板１０に供給する。信号出力端子９１及び電力供給端子９２は液体吐出ヘッド３の両側に配置されているが、これは記録素子基板１０に設けられる配線部で生じる電圧低下や信号伝送遅れを低減するためである。電気配線基板９０内の電気回路によって配線を集約することで、信号出力端子９１及び電力供給端子９２の数を記録素子基板１０の数に比べて少なくできる。これにより、液体吐出装置に対して液体吐出ヘッド３を組み付ける時又は液体吐出ヘッドの交換時に取り外しが必要な電気接続部数が少なくて済むようになる。本実施形態の液体吐出ヘッドでは、記録素子基板１０の周囲の構成が複雑とならないようにするため、電気信号や電力を各記録素子基板１０に供給するための電気配線として、フィルム状であって可撓性を有するＦＰＣ４０を有している。
【００２３】
液体吐出ヘッド３の両端部に設けられた液体接続部１１１は、液体吐出装置の液体供給系（図１参照）と接続される。これにより、記録液などの液体が液体吐出装置の供給系から液体吐出ヘッド３に供給され、また液体吐出ヘッド３内を通った液体が液体吐出装置の供給系へ回収されるようになっている。このように液体は、液体吐出装置の経路と液体吐出ヘッド３の経路を介して循環可能である。
【００２４】
図３は液体吐出ヘッド３の斜視分解図であり、液体吐出ヘッド３を構成する各部品またはユニットがその機能ごとに分割されて表示されている。液体吐出ヘッド３では、液体吐出ユニット３００に含まれる後述の第２流路部材６０によって液体吐出ヘッドの剛性を担保している。第２流路部材６０の両端部に液体吐出ユニット支持部８１が接続されており、これにより液体吐出ユニット３００は液体吐出装置のキャリッジ（不図示）と機械的に結合されて、液体吐出ヘッド３の位置決めを行う。負圧制御ユニット２３０を備える液体供給ユニット２２０と、電気配線基板９０とが、液体吐出ユニット支持部８１に結合されている。図３には示されていないが、液体吐出ユニット支持部８１には液体接続部１１１が設けられている。
【００２５】
ここに示す液体吐出ヘッド３では、負圧制御ユニット２３０を構成する上述した高圧側の圧力調整機構と低圧側の圧力調整機構とが分離して設けられており、それに合わせて液体供給ユニット２２０も２つ設けられている。一方の液体供給ユニット２２０に設けられる負圧制御ユニット２３０は高圧側の圧力調整機構のみを有し、他方の液体供給ユニット２２０に設けられる負圧制御ユニット２３０には低圧側の圧力調整機構のみが設けられる。言い換えれば、これら２つの負圧制御ユニット２３０は、それぞれ異なる相対的に高低の負圧で圧力を制御するように設定されている。２つの液体供給ユニット２２０内にはそれぞれフィルタ２２１が内蔵されている。このように液体吐出ヘッド３の両端部にそ、れぞれ、高圧側と低圧側の負圧制御ユニット２３０を設置した場合、液体吐出ヘッド３の長手方向に延在する共通供給流路２１１と共通回収流路２１２とにおける液体の流れが互いに対向する。このようにすると、共通供給流路２１１と共通回収流路２１２との間で熱交換が促進されて、共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２の内部における温度差が低減されることになる。そのため、共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２に沿って複数設けられる各記録素子基板１０における温度差が付きにくく、温度差による記録ムラが生じにくくなるという利点がある。
【００２６】
液体吐出ユニット３００は、複数個の吐出モジュール２００と流路構成部材２１０とからなり、液体吐出ユニット３００の被記録媒体側の面にはカバー部材１３０が取り付けられる。吐出モジュール２００は、記録素子基板１０と、記録素子基板１０を支持する支持部材３０とによって構成されている（図５参照）。図３に示すようにカバー部材１３０は、長尺の開口１３１が設けられた額縁状の表面を持つ部材であり、開口１３１からは吐出モジュール２００に含まれる記録素子基板１０が露出している。開口１３１の周囲の枠部は、液体吐出ヘッド３の吐出口が形成されている面を記録待機時にキャップするキャップ部材の当接面としての機能を有する。このため、開口１３１の周囲に沿って接着剤、封止材４０１（図５参照）、充填材等を塗布し、液体吐出ユニット３００の吐出口形成面上の凹凸や隙間を埋めることで、キャップ時に閉空間が形成されるようにすることが好ましい。カバー部材１３０は、吐出モジュール２００において特に吐出面、すなわち吐出口が形成されている面を保護する機能を有する。液体供給ユニット２２０と液体吐出ユニット３００の間で液漏れが生じないようにジョイントゴム１００が配置されている。
【００２７】
次に液体吐出ユニット３００の流路構成部材２１０の詳細について説明する。図３に示すように流路構成部材２１０は、第１流路部材５０及び第２流路部材６０を積層したものであり、液体供給ユニット２２０から供給された記録液などの液体を各吐出モジュール２００へと分配する。また流路構成部材２１０は、吐出モジュール２００から還流する液体を液体供給ユニット２２０へと戻すための部材として機能する。吐出モジュール２００には、各吐出口まで液体を供給し、吐出されなかった液体を還流する流路が設けられている。このように本実施形態の液体吐出ヘッドでは、記録液などの液体が圧力室を循環する構成とすることにより、圧力室や吐出口近傍部での液体の増粘を抑制できるので、吐出のヨレや不吐を抑制でき、結果として高品質な記録を行うことができる。
【００２８】
流路構成部材２１０の第２流路部材６０は、内部に共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２が形成された部材であるとともに、液体吐出ヘッド３の剛性を主に担うという機能を有する。したがって第２流路部材６０は、液体が循環する共通供給流路２１１と、共通供給流路２１１とは分離して設けられて液体が循環する共通回収流路２１２とが形成された共通流路部材である。剛性を担うために第２流路部材６０の材質としては、記録液などの液体に対する十分な耐食性と高い機械強度を有するものが好ましく、具体的にはステンレス鋼（ＳＵＳ）やチタン（Ｔｉ）、アルミナなどを好ましく用いることができる。一方、流路構成部材２１０の第１流路部材５０には、記録素子基板１０ごとに対応して設けられる個別供給流路２１３及び個別回収流路２１４が形成されている。共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２での流量は個々の個別供給流路２１３及び個別回収流路２１４での流量よりもはるかに大きいため、共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２の流路断面積の大きくする必要がある。このため、第１流路部材５０に比べて第２流路部材６０はその厚みを大きくする必要があり、このこともあって、第２流路部材６０に液体吐出ヘッド３の剛性を担わせることが可能となる。第２流路部材６０に設けられた連通口６１と第１流路部材５０に形成された個別連通口５３とが流体的に連通し、これにより、共通供給流路２１１と個別供給流路２１３とが連通し、個別回収流路２１４と共通回収流路２１２とが連通する。
【００２９】
次に、記録素子基板１０の構成について、図４を用いて説明する。記録素子基板１０は、複数の吐出口１３が列をなして形成された吐出口形成部材１２を有する。なお、以後、複数の吐出口１３が配列される吐出口列が延びる方向を「吐出口列方向」と呼称する。吐出口形成部材１２は基板１１上に設けられている。基板１１の一方の面において、各吐出口１３に対応した位置には液体を熱エネルギーにより発泡させるための発熱素子であるエネルギー発生素子１５が配置されている。図４では吐出口形成部材１２に隠れて見えないが、隣接する吐出口１３の間を仕切るように隔壁が設けられており、この隔壁により、記録素子１５を内部に備える圧力室２３が区画されている。結局、圧力室２３は、吐出口形成部材１２に形成された凹部に画定される空間であって、吐出口１３に連通するとともに、エネルギー発生素子１５を備えていることになる。エネルギー発生素子１５は記録素子基板１０に設けられる電気配線（不図示）によって、端子１６と電気的に接続されている。エネルギー発生素子１５は、液体吐出装置の制御回路から電気配線基板９０（図２）及びＦＰＣ４０（図２）を介して入力されるパルス信号に基づいて発熱し、圧力室２３の液体を沸騰させ、この沸騰による発泡の力で液体を吐出口１３から吐出する。各吐出口列に沿って、一方の側には液体供給路１８が、他方の側には液体回収路１９が延在している。液体供給路１８及び液体回収路１９は、記録素子基板１０に設けられた吐出口列方向に延びた流路であり、それぞれ、基板１１を貫通する供給口１７ａ及び回収口１７ｂを介して圧力室２３に連通し、それによって吐出口１３と連通している。
【００３０】
記録素子基板１０の、吐出口１３が形成される面の裏面にはシート状の蓋部材２０が積層されており、蓋部材２０には、後述する液体供給路１８及び液体回収路１９に連通する開口が複数設けられている。図４では基板１１に隠されて開口は見えていない。この開口は、複数の連通口５１（図５）と連通している。蓋部材２０は、記録素子基板１０の基板１１に形成される液体供給路１８及び液体回収路１９の壁の一部を形成する蓋としての機能を有する。蓋部材２０は、記録液などの液体に対して十分な耐食性を有している材料から構成されることが好ましく、また、開口２１の開口形状および開口位置には高い精度が求められる。さらに本実施形態の液体吐出ヘッド３では、液体の温度調整のためのヒーター（不図示）と温度センサ（不図示）が記録素子基板１０に設けられている。このヒーターと温度センサとは、圧力室２３内の液体の温度を一定の設定温度（例えば５０℃）に保つためのものである。
【００３１】
次に、記録素子基板１０内での液体の流れについて説明する。基板１１の一方の面側にはエネルギー発生素子１５が形成されており、その裏面側には、吐出口列に沿って延在する液体供給路１８及び液体回収路１９を構成する溝が形成されている。後述するように液体供給路１８及び液体回収路１９は、それぞれ、個別供給流路２１３及び個別回収流路２１４を介して流路構成部材２１０内の共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２と接続されている。このため液体供給路１８と液体回収路１９との間には差圧が生じている。液体吐出ヘッド３の複数の吐出口１３から液体を吐出し記録を行っている際に吐出動作を行っていない吐出口においては、この差圧によって、液体供給路１８内の液体は、供給口１７ａ→圧力室２３→回収口１７ｂを経由して液体回収路１９へ流れる。この流れは図４において矢印Ｃで示されている。この流れによって、記録を休止している吐出口１３や圧力室２３において、吐出口１３からの溶媒の気化によって生じた増粘した液体や、泡・異物などを液体回収路１９へ回収することができる。また吐出口１３や圧力室２３での液体の増粘を抑制することができる。
【００３２】
図５は、液体吐出ユニット３００の断面を示している。図示されるように、共通供給流路２１１は、連通口６１、個別連通口５３、連通口５１を介して、吐出モジュール２００へ接続されている。連通口５１は、第１流路部材５０に設けられるものであって、吐出モジュール２００に形成された液体供給口３１に流体的に連通している。液体供給口３１は、記録素子基板１０の蓋部材２０に形成された開口を介して、記録素子基板１０内の液体供給路１８に連通している。図５では不図示であるが、別の断面においては、共通回収流路２１２が同様の経路で吐出モジュール２００へ接続されている。これまで説明したように、各吐出モジュール２００及び記録素子基板１０には各吐出口に連通する流路が形成されており、供給した液体の一部または全部が、吐出動作を休止している吐出口１３に対応する圧力室２３を通過して環流できるようになっている。共通供給流路２１１は高圧側の負圧制御ユニット２３０と、共通回収流路２１２は低圧側の負圧制御ユニット２３０と、それぞれ液体供給ユニット２２０を介して接続されている。共通供給流路２１１と共通回収流路２１２の間の差圧によって、共通供給流路２１１から記録素子基板１０の圧力室２３を通過して共通回収流路２１２へと流れる流れが発生する。
【００３３】
吐出モジュール２００と電気配線基板９０（図２参照）とを接続するＦＰＣ４０が第１流路部材５０及び第２流路部材６０に沿わせて固定されており、端子１６（図４参照）に電気的に接続されている。この端子１６との電気的接続部の露出部は、上述したように、封止材４０１によって保護されている。記録素子基板１０の吐出面を保護するカバー部材１３０は、ＦＰＣ４０上に接合されている。このカバー部材１３０は、共通供給流路２１１が延びる方向すなわち液体吐出ヘッド３の長手方向とは直交する方向に搬送される被記録媒体と、液体吐出ヘッド３の吐出面との間に位置することになる。ＦＰＣ４０を保護し電気的にシールドするシールド部材４０３が、断熱部材４０２を介してＦＰＣ４０に接合されている。
【００３４】
本実施形態の液体吐出ヘッド３では、第２流路部材６０に対し、例えば２７℃に温度調節された液体が共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２に供給される。また、記録素子基板１０に設けられた温度調整用のヒータにより暖めることにより、供給された２７℃の液体は例えば５０℃に温度制御される。このため液体吐出ヘッド３の吐出面の近傍に存在する空気は、吐出口からの溶媒成分（特に水分）の蒸発や、液体吐出装置内の温湿度により、通常の環境よりも相対湿度が高くなっている。液体吐出ユニット３００の最外面に位置する部材の表面の温度が、この相対湿度から定まる露点を下回ると、その部材の表面に結露が生じることとなる。液体吐出ユニット３００に含まれる部材のうち記録素子基板１０及び支持部材３０も最外面にあるが、記録素子基板１０が高い温度に温度調節されているため、記録素子基板１０及び支持部材３０では結露は起こりにくい。そのため、液体吐出ユニット３００の最外面に位置する部材のうち、カバー部材１３０と及びシールド部材４０３において結露が起こりやすいこととなる。ここで挙げていない部材が液体吐出ユニット３００の最外面に位置することも考えられるが、その場合もそのような部材において結露が起こりやすいことになる。液体吐出ヘッド３の最外面に位置する部材であって吐出モジュール２００以外の部材を最外面部材と呼ぶ。最外面部材には、液体吐出ユニット３００の最外面に位置する部材以外のものも含まれることが考えられる。しかしながらそのような部材については、液体吐出ユニットの最外面に位置する部材よりも第２流路部材６０に対する距離が遠く、したがってそのような部材と第２流路部材６０との間の熱抵抗も大きいので、結露の問題を考慮する必要はない。
【００３５】
本実施形態の液体吐出ヘッド３では、第２流路部材６０に比べて第１流路部材５０の熱抵抗を大きくすることで、カバー部材１３０に対する結露を抑制することができる。このとき第１流路部材５０は、最外面部材であるカバー部材と共通流路部材である第２流路部材６０との間に配置される中間部材として機能する。カバー部材１３０への伝熱には３つの経路がある。第１には温度調節された記録素子基板１０からの伝熱であり、これは支持部材３０を介して伝わるが、記録素子基板１０及び支持部材３０はいずれも環境温度よりも高温であるので、結露をさせにくくする伝熱である。第２には、液体吐出ヘッド３の近傍の気流からの熱伝達であり、これは流速や温度により変化する。第３には、第２流路部材６０及び第１流路部材５０を通る伝熱であり、低い温度（２７℃）に温度調節された液体が共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２から熱を奪ってカバー部材１３０の温度を下げるものである。この第３の伝熱のルートに起因して、カバー部材１３０の表面に結露が起こる可能性がある。特に記録幅が長く、大流量を流す必要がある液体吐出ヘッド３においては、流量が大きいことにより熱伝達率も大きくなって奪い去れる熱量も大きくなるため、結露がより起こりやすくなる。剛性を担う必要上、第２流路部材６０の材質の変更は難しいので、第１流路部材５０の熱抵抗を第２流路部材６０の熱抵抗よりも大きくする。これにより本実施形態では、第３の伝熱ルートを阻害し、カバー部材１３０の温度低下を防いで、結露を抑制することができる。
【００３６】
熱抵抗率は、熱伝導率をλ、部材の厚さをｔとすると、ｔ／λで表すことができ、熱抵抗率を伝熱面積で除算すれば熱抵抗が得られる。ここで第２流路部材６０の材料として例示したステンレス鋼の熱伝導率は２０Ｗ／ｍＫ、アルミナの熱伝導率は２４Ｗ／ｍＫである。そこで第２流路部材６０よりも熱抵抗を大きくする部材では、その厚さを大きくして伝熱距離を長くするか、あるいは、熱伝導率が低い材料、例えば樹脂材料を選択する。流路が形成される部材には、熱抵抗により温度差が生じても液体の漏洩が生じる可能性が小さいように、隣接部材との線膨張率差を小さくする必要がある。したがって、第１流路部材５０など、第２流路部材６０よりも熱抵抗を大きくする部材の材料としては、樹脂材料を母材としてシリカ微粒子などの無機フィラーを添加した複合材料が好適である。そのような樹脂材料として例えばポリフェニルサルファイド（以下、ＰＰＳとする）は、熱伝導率が０．８Ｗ／ｍＫであり、大きな熱抵抗を得ることができる。
【００３７】
カバー部材１３０に対する第２流路部材６０の熱抵抗率は、共通流路（共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２）から第１流路部材５０までの距離を２ｍｍとすると、第２流路部材６０にアルミナを用いた場合、８．３×１０-5ｍ2Ｋ／Ｗとなる。第２流路部材６０にステンレス鋼を用いた場合には、１．０×１０-4ｍ2Ｋ／Ｗとなる。ここで第１流路部材５０の厚さが３ｍｍでその材料にＰＰＳを用いた時の熱抵抗率は３．８×１０-3ｍ2Ｋ／Ｗであって、第２流路部材６０の熱抵抗率より１桁以上大きくなっており、カバー部材１３０の冷却を抑えて、結露を抑制することができる。また、シールド部材４０３に対する第２流路部材６０の熱抵抗率は、共通流路から第２流路部材６０の外側面までの距離を６ｍｍとすると、第２流路部材にアルミナを用いた場合には２．５×１０-4ｍ2Ｋ／Ｗとなる。同様にステンレス鋼を用いた場合には、３．０×１０-4ｍ2Ｋ／Ｗとなる。また、第２流路部材６０とシールド部材４０３との間に断熱部材４０２としてエポキシ樹脂を１ｍｍ充填することで、熱抵抗率が３．３×１０-3ｍ2Ｋ／Ｗと１桁以上大きくなり、シールド部材４０３の冷却を抑えて結露を抑制することができる。第２流路部材６０とシールド部材４０３の関係で言えば、シールド部材４０３は最外面部材に相当し、断熱部材４０２は中間部材に相当する。
【００３８】
以上説明してきたように、第２流路部材６０と液体吐出ヘッド３の最外面に配置される部材との間に第２流路部材６０よりも熱抵抗の大きな部材を配置することにより、液体吐出ヘッド３の最外面に配置される部材の表面における結露を抑制することができる。
【００３９】
（第２の実施形態）
上述の第１の実施形態は、被記録媒体に対して液体吐出ヘッドから液体を直接吐出する形式の液体吐出装置における液体吐出ヘッドに関するものであるが、中間転写方式の液体吐出装置における液体吐出ヘッドにも本発明を適用することができる。液体吐出装置がインクジェット記録装置である場合、高速かつ高速かつ高品位な画像出力を達成するためには、被記録媒体の繊維に沿って記録液が広がるフェザーリング等の画像劣化現象を抑制する必要がある。中間転写体を用いる中間転写方式の液体吐出装置は、そのような画像劣化現象を解決しようとするものである。第２の実施形態では、中間転写方式の液体吐出装置において用いられる液体吐出ヘッドについて説明する。
【００４０】
中間転写方式の液体吐出装置は、中間転写体のほかに、反応液付与手段、記録液付与手段、補助液付与手段、温度調整手段及び転写手段を有する。反応液付与手段は、中間転写体上に反応液を付与するものであり、記録液付与手段は、中間転写体上に付与され反応液上に記録液を付与するものである。補助液付与手段は、中間転写体上に付与された反応液および記録液上に、水溶性樹脂を含有する補助液を付与し、中間転写体上に反応液、記録液及び補助液からなる中間画像を形成する。転写手段は、中間画像を被記録媒体に転写するものである。
【００４１】
図６は、中間転写方式の液体吐出装置の具体的な構成例を示している。この液体吐出装置は、回転可能なドラム状の支持部材５０１と、その外周面に配置された表層部材５０２とからなる中間転写体５００を備えている。支持部材５０１は、軸５０３を中心として図示矢印方向に回転駆動し、その回転と同期して、その周辺に配置された各手段が作動するようになっている。また、中間転写体５００の外周面に反応液を付与する反応液付与手段として、ローラ式塗布装置５０４が配置されている。このローラ式塗布装置５０４では、反応液用の容器に充填された反応液が、２つのローラの回転により、これらのローラの外周面上を移動する。そして、中間転写体５００の外周面に当接したローラの回転により、このローラから中間転写体５００の外周面上に反応液が付与される。
【００４２】
中間転写体５００の回転方向に対してローラ式塗布装置５０４の下流側には、中間転写体５００の外周面に対向するように記録液付与手段である液体吐出ヘッド３が配置されている。液体吐出ヘッド３は、例えば、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）及びブラック（Ｋ）の各色の記録液を中間転写体５００の外周面に吐出するものであって、各色ごとに１つずつ、合計４個設けられている。中間転写体５００の回転方向に対して液体吐出ヘッド３の下流側には、中間転写体５００の外周面に補助液を付与する補助液付与手段としての液体吐出ヘッド４が設けられている。液体吐出ヘッド３，４としては、例えば、エネルギー発生素子として発熱素子を使用し、オンデマンドで吐出口から液体を吐出するタイプの第１の実施形態に示すような液体吐出ヘッドが用いられる。液体吐出ヘッド３，４の各々は、中間転写体５００の軸５０３に略平行となるように直線状に配置したラインヘッド形態となっている。ローラ式塗布装置５０４及び液体吐出ヘッド３，４により、中間転写体５００の外周面上には反応液、記録液及び補助液が順次付与されることとなり、これらの液からなる中間画像が形成される。この中間画像は、被記録媒体上に記録すべき画像を鏡像反転した画像である。さらに、中間転写体５００上の中間画像中の液体成分（特に水分あるいは溶媒）を減少させる目的で送風装置５０５が配置されている。送風装置５０５は、中間転写体５００の回転方向に対して液体吐出ヘッド４の下流側の位置で、中間転写体５００の外周面に対して空気を吹き付ける。送風装置５０５からの送風により中間画像中の液体分を減少させて、転写時の画像の乱れを抑制し被記録媒体上に良好な画像を得ることができる。
【００４３】
中間転写体５００の支持部材５０１には、温度制御手段である加熱用のヒータ５０６が内蔵されている。このヒータ５０６により、後述する中間画像の転写時までに、中間転写体５００を、補助液に含有される水溶性樹脂のガラス転移温度以上まで、例えば６０℃に加熱できるようになっている。中間転写体５００の回転方向で送風装置５０５やヒータ５０６の位置よりもさらに下流側には、中間転写体５００の外周面に対向する外周面を有する加圧ローラ５０７が配置されている。転写手段である加圧ローラ５０７により、中間転写体５００上の中間画像を被記録媒体５０８に接触させてこの中間画像を被記録媒体５０８に転写できるようになっている。加圧ローラ５０７には冷却部５０９が内蔵されている。この冷却部５０９により、転写時の被記録媒体５０８の温度を補助液に含まれる水溶性樹脂のガラス転移点よりも低い温度に冷却できるようになっている。このように図６に示す液体吐出装置では、中間転写体５００と加圧ローラ５０７とによって中間転写体５００上の中間画像と記録媒体５０８とを挟み込むように加圧することで、効率の良い画像転写を実現している。すなわち実際の転写工程では、中間転写体５００上に形成された中間画像は、画像転写部５１０において、搬送ローラ５１１の回転により搬送ガイド５１２に沿って搬送された被記録媒体５０８と接触する。そして、被記録媒体５０８が中間転写体５００から剥離することで、中間転写体５００に形成されていた中間画像が被記録媒体５０８に転写される。
【００４４】
中間転写体５００は例えば６０℃の高温に温度制御されており、各液体吐出ヘッド３，４の共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２に供給される記録液は、排熱を効率よく行うために例えば２７℃の低温に温度制御されている。液体吐出ヘッド３，４内の記録素子基板１０は、良好な吐出特性を得るために、例えば５０℃に温度制御されている。液体吐出ヘッド３，４の液体吐出モジュール２００と中間転写体５００との間に存在する空気は、中間転写体５００の温度（６０℃）により温められ、さらに記録液や補助液を吐出することにより相対湿度が上昇した結露しやすい環境になっている。液体吐出ヘッド３，４としては、吐出する液体が記録液であるか補助液であるかの違いはあるものの、同じ種類の液体吐出ヘッドを用いることができるので、液体吐出ヘッド３により、第２の実施形態の液体吐出ヘッドを説明する。図７は第２の実施形態の液体吐出ヘッドにおける液体吐出ユニット３００の断面を示している。
【００４５】
本実施形態の液体吐出ヘッド３は、断熱部材４０２の形状を除き、上述した第１の実施形態の液体吐出ヘッド３と同じ構成のものである。中間転写方式の液体吐出装置において用いられるものであるので、中間転写体５００の断面の一部も図７に示されている。図７に示すようにカバー部材１３０は、５０℃に温度制御されている記録素子基板１０の外側に位置しており、ＦＰＣ４０を介して第１流路部材５０と接触している。ここで第１流路部材５０は、樹脂材料で形成されており熱抵抗が高いため、低い温度の第２流路部材６０と高い温度の中間転写体５００との間を断熱する機能を有している。このような構成にすることにより、カバー部材１３０は中間転写体５００により温められて露点よりも高い温度を維持することができ、カバー部材１３０における結露を抑制することができる。また部材の熱抵抗は、その熱伝導率をλ、その厚さをｔ、伝熱面積をＳとすると、ｔ／λＳであらわすことができる。そのため、熱抵抗を大きくするためには、部材の厚さｔを大きくする、熱伝導率λを低くする、面積Ｓを狭くする、の３つの方法がある。そこで図７に示すように、ＦＰＣ４０とシールド部材４０３との間隔は一定に保ったまま、ＦＰＣ４０とシールド部材４０３との隙間に部分的に断熱部材４０２が設けられるようにする。ＦＰＣ４０とシールド部材４０３との隙間のうち断熱部材４０２が設けられていない部分４０４は空気層となる。したがって、中間部材は、断熱部材４０２と空気層とが交互に配置した構成を有する。エポキシ樹脂などの断熱部材４０２よりも空気層の方が熱伝導率が小さいから、第２流路部材４０とシールド部材４０３との間の熱抵抗が大きくなる。このように不連続に断熱部材４０２を設けることにより、第２流路部材６０とシールド部材４０３との間の熱抵抗をさらに大きくすることができ、シールド部材４０３の低温化を防止してシールド部材４０３での結露を抑制することができる。
【００４６】
本実施形態において示すように、中間転写体５００により温められた環境においても、熱抵抗の大きな部材を配置することで、カバー部材１３０やシールド部材４０３の温度を環境温度に近づけることができ、これらの部材の表面での結露の発生を防止できる。以上説明してきたように本発明に基づく液体吐出ヘッド３を用いることにより、中間転写方式の液体吐出装置においても、液体吐出ヘッドを構成する部材、例えばカバー部材やシールド部材での結露を防止することができる。
【符号の説明】
【００４７】
３    液体吐出ヘッド
１５    エネルギー発生素子
２３    圧力室
５０    第１流路部材
６０    第２流路部材
１３０    カバー部材
２００    吐出モジュール
２１１    共通供給流路
２１２    共通回収流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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