(57)【要約】【課題】効率的な移動経路を作成する。【解決手段】回路基板１００を分割する分割処理と、各分割領域を巡回する巡回順序を決定する決定処理と、各分割領域の各々に設けられている全てのポイントＰを１回ずつ経由する分割領域毎の移動経路を特定する特定処理と、分割領域毎の移動経路を巡回順序で連結する連結処理とを実行して処理対象の全体の移動経路Ｒを作成する処理部を備え、処理部は、４個の分割領域が上下および左右に２個ずつ並ぶマトリクス状に処理対象を分割する第１段階の分割処理を実行すると共に、ポイントＰが複数設けられている分割領域をマトリクス状にさらに分割する第２段階以降の分割処理を予め決められた条件を満たすまで繰り返して実行し、予め規定した第１から第４の巡回順序を用いて各分割領域を巡回する巡回順序Ｓ０を決定し、分割領域毎の移動経路を巡回順序Ｓ０で連結して回路基板１００の全体の移動経路Ｒを作成する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の移動ポイントが設けられた処理対象を複数の分割領域に分割する分割処理と、前記各分割領域を巡回する巡回順序を決定する決定処理と、前記各分割領域の各々に設けられている全ての前記移動ポイントを１回ずつ経由する当該分割領域毎の移動経路を特定する特定処理と、前記分割領域毎の移動経路を前記巡回順序で連結する連結処理とを実行して前記処理対象の全体の前記移動経路を作成する処理部を備えた移動経路作成装置であって、
前記処理部は、４個の前記分割領域が上下および左右に２個ずつ並ぶマトリクス状に前記処理対象を分割する第１段階の前記分割処理を実行すると共に、前記移動ポイントが複数設けられている当該分割領域を当該マトリクス状にさらに分割する第２段階以降の前記分割処理を予め決められた条件を満たすまで繰り返して実行し、
前記巡回順序として、前記分割処理で分割した前記４個の分割領域を左上、左下、右下および右上の順に巡回する第１の巡回順序、当該４個の分割領域を左上、右上、右下および左下の順に巡回する第２の巡回順序、当該４個の分割領域を右下、左下、左上および右上の順に巡回する第３の巡回順序、並びに当該４個の分割領域を右下、右上、左上および左下の順に巡回する第４の巡回順序が規定されると共に、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第１の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第２の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第１の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第１の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第３の巡回順序を適用するように規定され、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第２の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第１の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第２の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第２の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第４の巡回順序を適用するように規定され、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第３の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第４の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第３の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第３の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第１の巡回順序を適用するように規定され、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第４の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第３の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第４の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第４の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第２の巡回順序を適用するように規定され、
前記処理部は、前記決定処理において、前記第１の巡回順序から前記第４の巡回順序までの各巡回順序の中から第１段階の前記分割処理で分割した前記各分割領域について適用する巡回順序を選択すると共に、第２段階以降の前記分割処理を実行したときに、当該分割処理で分割した各分割領域について適用する前記各巡回順序を繋いで前記処理対象の全体の前記巡回順序を決定する移動経路作成装置。
【請求項２】
複数の移動ポイントが設けられた処理対象を複数の分割領域に分割する分割処理と、前記各分割領域を巡回する巡回順序を決定する決定処理と、前記各分割領域の各々に設けられている全ての前記移動ポイントを１回ずつ経由する当該分割領域毎の移動経路を特定する特定処理と、前記分割領域毎の移動経路を前記巡回順序で連結する連結処理とを実行して前記処理対象の全体の前記移動経路を作成する処理部を備えた移動経路作成装置であって、
前記処理部は、４個の前記分割領域が上下および左右に２個ずつ並ぶマトリクス状に前記処理対象を分割する第１段階の前記分割処理を実行すると共に、前記移動ポイントが複数設けられている当該分割領域を当該マトリクス状にさらに分割する第２段階以降の前記分割処理を予め決められた条件を満たすまで繰り返して実行し、
前記巡回順序として、前記分割処理で分割した前記４個の分割領域を右上、右下、左下および左上の順に巡回する第Ａの巡回順序、当該４個の分割領域を右上、左上、左下および右下の順に巡回する第Ｂの巡回順序、当該４個の分割領域を左下、右下、右上および左上の順に巡回する第Ｃの巡回順序、並びに当該４個の分割領域を左下、左上、右上および右下の順に巡回する第Ｄの巡回順序が規定されると共に、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用するように規定され、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用するように規定され、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用するように規定され、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用するように規定され、
前記処理部は、前記決定処理において、前記第Ａの巡回順序から前記第Ｄの巡回順序までの各巡回順序の中から第１段階の前記分割処理で分割した前記各分割領域について適用する巡回順序を選択すると共に、第２段階以降の前記分割処理を実行したときに、当該分割処理で分割した各分割領域について適用する前記各巡回順序を繋いで前記処理対象の全体の前記巡回順序を決定する移動経路作成装置。
【請求項３】
前記処理部は、前記予め決められた条件としての、前記分割領域に設けられている前記移動ポイントが１個以下となるとの条件を満たすまで前記第２段階以降の分割処理を繰り返して実行する請求項１または２記載の移動経路作成装置。
【請求項４】
前記処理部は、前記予め決められた条件としての、予め決められた回数となるとの条件を満たすまで前記第２段階以降の分割処理を繰り返して実行する請求項１または２記載の移動経路作成装置。
【請求項５】
前記処理部は、前記分割処理において、前記処理対象における移動ポイントの密度が高い領域ほど前記分割領域の面積が小さくなるように当該処理対象を分割する請求項１から４のいずれかに記載の移動経路作成装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の移動経路作成装置と、前記処理対象としての基板に設けられた前記移動ポイントにプローブを移動させて当該移動ポイントに対してプロービングを行う移動機構と、当該移動機構を制御する制御部と、前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて前記処理対象を検査する検査部とを備え、
前記制御部は、前記移動経路作成装置によって作成された前記移動経路に沿って前記プローブを移動させる基板検査装置。
【請求項７】
複数の移動ポイントが設けられた処理対象を複数の分割領域に分割する分割処理と、前記各分割領域を巡回する巡回順序を決定する決定処理と、前記各分割領域の各々に設けられている全ての前記移動ポイントを１回ずつ経由する当該分割領域毎の移動経路を特定する特定処理と、前記分割領域毎の移動経路を前記巡回順序で連結する連結処理とを実行して前記処理対象の全体の前記移動経路を作成する移動経路作成方法であって、
４個の前記分割領域が上下および左右に２個ずつ並ぶマトリクス状に前記処理対象を分割する第１段階の前記分割処理を実行すると共に、前記移動ポイントが複数設けられている当該分割領域を当該マトリクス状にさらに分割する第２段階以降の前記分割処理を予め決められた条件を満たすまで繰り返して実行し、
前記巡回順序として、前記分割処理で分割した前記４個の分割領域を左上、左下、右下および右上の順に巡回する第１の巡回順序、当該４個の分割領域を左上、右上、右下および左下の順に巡回する第２の巡回順序、当該４個の分割領域を右下、左下、左上および右上の順に巡回する第３の巡回順序、並びに当該４個の分割領域を右下、右上、左上および左下の順に巡回する第４の巡回順序を規定すると共に、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第１の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第２の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第１の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第１の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第３の巡回順序を適用するように規定し、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第２の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第１の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第２の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第２の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第４の巡回順序を適用するように規定し、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第３の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第４の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第３の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第３の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第１の巡回順序を適用するように規定し、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第４の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第３の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第４の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第４の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第２の巡回順序を適用するように規定し、
前記決定処理において、前記第１の巡回順序から前記第４の巡回順序までの各巡回順序の中から第１段階の前記分割処理で分割した前記各分割領域について適用する巡回順序を選択すると共に、第２段階以降の前記分割処理を実行したときに、当該分割処理で分割した各分割領域について適用する前記各巡回順序を繋いで前記処理対象の全体の前記巡回順序を決定する移動経路作成方法。
【請求項８】
複数の移動ポイントが設けられた処理対象を複数の分割領域に分割する分割処理と、前記各分割領域を巡回する巡回順序を決定する決定処理と、前記各分割領域の各々に設けられている全ての前記移動ポイントを１回ずつ経由する当該分割領域毎の移動経路を特定する特定処理と、前記分割領域毎の移動経路を前記巡回順序で連結する連結処理とを実行して前記処理対象の全体の前記移動経路を作成する移動経路作成方法であって、
４個の前記分割領域が上下および左右に２個ずつ並ぶマトリクス状に前記処理対象を分割する第１段階の前記分割処理を実行すると共に、前記移動ポイントが複数設けられている当該分割領域を当該マトリクス状にさらに分割する第２段階以降の前記分割処理を予め決められた条件を満たすまで繰り返して実行し、
前記巡回順序として、前記分割処理で分割した前記４個の分割領域を右上、右下、左下および左上の順に巡回する第Ａの巡回順序、当該４個の分割領域を右上、左上、左下および右下の順に巡回する第Ｂの巡回順序、当該４個の分割領域を左下、右下、右上および左上の順に巡回する第Ｃの巡回順序、並びに当該４個の分割領域を左下、左上、右上および右下の順に巡回する第Ｄの巡回順序が規定すると共に、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用するように規定し、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用するように規定し、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用するように規定し、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用するように規定し、
前記決定処理において、前記第Ａの巡回順序から前記第Ｄの巡回順序までの各巡回順序の中から第１段階の前記分割処理で分割した前記各分割領域について適用する巡回順序を選択すると共に、第２段階以降の前記分割処理を実行したときに、当該分割処理で分割した各分割領域について適用する前記各巡回順序を繋いで前記処理対象の全体の前記巡回順序を決定する移動経路作成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理対象に設けられた複数の移動ポイントを経由する移動経路を作成する移動経路作成装置、その移動経路作成装置を備えた基板検査装置、および処理対象に設けられた複数の移動ポイントを経由する移動経路を作成する移動経路作成方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の移動経路作成装置として、下記特許文献１に開示されたレーザドリリング加工装置が知られている。このレーザドリリング加工装置では、ＣＰＵが、すべてのドリリング地点のＸ座標およびＹ座標に基づいて、工程処理時間が短縮される穴あけの順序（ドリリング地点の移動経路）を特定する。具体的には、ＣＰＵは、まず、加工領域を複数のバケットに分割し、次いで、各バケットを廻る順序として、「サーペンタイン順」を採用することを決定する。続いて、各バケット内に規定されている各ドリリング地点の中から、始点および終点とするドリリング地点を決定する。次いで、巡回セールスマン問題の解法（ニアリストネイバー法等）を用いて、各バケットにおける始点と終点との間における各ドリリング点を経由する移動経路を決定する。続いて、バケットの移動経路における終点と、次に巡回するバケットの移動経路における始点とを繋ぐことで、加工領域全体の移動経路を決定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１９５１１２号公報（第３−５頁、第３，４図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記したレーザドリリング加工装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、このレーザドリリング加工装置では、加工領域を複数に分割した各バケット内に規定されているドリリング地点を経由する移動経路を、各バケットを廻る順序としてのサーペンタイン順で繋ぐことで加工領域全体の移動経路を決定している。この場合、各バケットのすべてにドリリング点が規定されているときには、各バケットの各移動経路をサーペンタイン順で繋ぐことで、加工領域全体の効率的な移動経路を決定することができる。しかしながら、ドリリング点が規定されていないバケット（以下、「非規定バケット」ともいう）が存在し、非規定バケットが加工領域の一部分（例えば中央部）に集中しているときには、各バケットの各移動経路をサーペンタイン順で繋ぐことで、加工領域全体の移動経路が非効率的な移動経路となることがある。具体的には、図１０に示すように、非規定バケットが加工領域の中央部に集中し、ドリリング点が規定されているバケットが加工領域の端部（同図では、上端部および下端部）に集中しているときには、各移動経路をサーペンタイン順で繋ぐことで、非規定バケット上を通過する無駄な動きが多く含まれることとなり、この結果、加工領域全体の移動経路が非効率的な移動経路となる。このように、このレーザドリリング加工装置には、ドリリング点が規定されていないバケットやドリリング点が規定されている各バケットの集中の仕方、言い換えると、ドリリング点の配置形態によっては、加工領域全体の効率的な移動経路を決定することができないおそれがあり、この点の改善が望まれている。
【０００５】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、効率的な移動経路を作成し得る移動経路作成装置、基板検査装置および移動経路作成方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の移動経路作成装置は、複数の移動ポイントが設けられた処理対象を複数の分割領域に分割する分割処理と、前記各分割領域を巡回する巡回順序を決定する決定処理と、前記各分割領域の各々に設けられている全ての前記移動ポイントを１回ずつ経由する当該分割領域毎の移動経路を特定する特定処理と、前記分割領域毎の移動経路を前記巡回順序で連結する連結処理とを実行して前記処理対象の全体の前記移動経路を作成する処理部を備えた移動経路作成装置であって、前記処理部は、４個の前記分割領域が上下および左右に２個ずつ並ぶマトリクス状に前記処理対象を分割する第１段階の前記分割処理を実行すると共に、前記移動ポイントが複数設けられている当該分割領域を当該マトリクス状にさらに分割する第２段階以降の前記分割処理を予め決められた条件を満たすまで繰り返して実行し、前記巡回順序として、前記分割処理で分割した前記４個の分割領域を左上、左下、右下および右上の順に巡回する第１の巡回順序、当該４個の分割領域を左上、右上、右下および左下の順に巡回する第２の巡回順序、当該４個の分割領域を右下、左下、左上および右上の順に巡回する第３の巡回順序、並びに当該４個の分割領域を右下、右上、左上および左下の順に巡回する第４の巡回順序が規定されると共に、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第１の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第２の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第１の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第１の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第３の巡回順序を適用するように規定され、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第２の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第１の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第２の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第２の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第４の巡回順序を適用するように規定され、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第３の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第４の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第３の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第３の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第１の巡回順序を適用するように規定され、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第４の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第３の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第４の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第４の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第２の巡回順序を適用するように規定され、前記処理部は、前記決定処理において、前記第１の巡回順序から前記第４の巡回順序までの各巡回順序の中から第１段階の前記分割処理で分割した前記各分割領域について適用する巡回順序を選択すると共に、第２段階以降の前記分割処理を実行したときに、当該分割処理で分割した各分割領域について適用する前記各巡回順序を繋いで前記処理対象の全体の前記巡回順序を決定する。
【０００７】
また、請求項２記載の移動経路作成装置は、複数の移動ポイントが設けられた処理対象を複数の分割領域に分割する分割処理と、前記各分割領域を巡回する巡回順序を決定する決定処理と、前記各分割領域の各々に設けられている全ての前記移動ポイントを１回ずつ経由する当該分割領域毎の移動経路を特定する特定処理と、前記分割領域毎の移動経路を前記巡回順序で連結する連結処理とを実行して前記処理対象の全体の前記移動経路を作成する処理部を備えた移動経路作成装置であって、前記処理部は、４個の前記分割領域が上下および左右に２個ずつ並ぶマトリクス状に前記処理対象を分割する第１段階の前記分割処理を実行すると共に、前記移動ポイントが複数設けられている当該分割領域を当該マトリクス状にさらに分割する第２段階以降の前記分割処理を予め決められた条件を満たすまで繰り返して実行し、前記巡回順序として、前記分割処理で分割した前記４個の分割領域を右上、右下、左下および左上の順に巡回する第Ａの巡回順序、当該４個の分割領域を右上、左上、左下および右下の順に巡回する第Ｂの巡回順序、当該４個の分割領域を左下、右下、右上および左上の順に巡回する第Ｃの巡回順序、並びに当該４個の分割領域を左下、左上、右上および右下の順に巡回する第Ｄの巡回順序が規定されると共に、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用するように規定され、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用するように規定され、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用するように規定され、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用するように規定され、前記処理部は、前記決定処理において、前記第Ａの巡回順序から前記第Ｄの巡回順序までの各巡回順序の中から第１段階の前記分割処理で分割した前記各分割領域について適用する巡回順序を選択すると共に、第２段階以降の前記分割処理を実行したときに、当該分割処理で分割した各分割領域について適用する前記各巡回順序を繋いで前記処理対象の全体の前記巡回順序を決定する。
【０００８】
また、請求項３記載の移動経路作成装置は、請求項１または２記載の移動経路作成装置において、前記処理部は、前記予め決められた条件としての、前記分割領域に設けられている前記移動ポイントが１個以下となるとの条件を満たすまで前記第２段階以降の分割処理を繰り返して実行する。
【０００９】
また、請求項４記載の移動経路作成装置は、請求項１または２記載の移動経路作成装置において、前記処理部は、前記予め決められた条件としての、予め決められた回数となるとの条件を満たすまで前記第２段階以降の分割処理を繰り返して実行する。
【００１０】
また、請求項５記載の移動経路作成装置は、請求項１から４のいずれかに記載の移動経路作成装置において、前記処理部は、前記分割処理において、前記処理対象における移動ポイントの密度が高い領域ほど前記分割領域の面積が小さくなるように当該処理対象を分割する。
【００１１】
また、請求項６記載の基板検査装置は、請求項１から５のいずれかに記載の移動経路作成装置と、前記処理対象としての基板に設けられた前記移動ポイントにプローブを移動させて当該移動ポイントに対してプロービングを行う移動機構と、当該移動機構を制御する制御部と、前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて前記処理対象を検査する検査部とを備え、前記制御部は、前記移動経路作成装置によって作成された前記移動経路に沿って前記プローブを移動させる。
【００１２】
また、請求項７記載の移動経路作成方法は、複数の移動ポイントが設けられた処理対象を複数の分割領域に分割する分割処理と、前記各分割領域を巡回する巡回順序を決定する決定処理と、前記各分割領域の各々に設けられている全ての前記移動ポイントを１回ずつ経由する当該分割領域毎の移動経路を特定する特定処理と、前記分割領域毎の移動経路を前記巡回順序で連結する連結処理とを実行して前記処理対象の全体の前記移動経路を作成する移動経路作成方法であって、４個の前記分割領域が上下および左右に２個ずつ並ぶマトリクス状に前記処理対象を分割する第１段階の前記分割処理を実行すると共に、前記移動ポイントが複数設けられている当該分割領域を当該マトリクス状にさらに分割する第２段階以降の前記分割処理を予め決められた条件を満たすまで繰り返して実行し、前記巡回順序として、前記分割処理で分割した前記４個の分割領域を左上、左下、右下および右上の順に巡回する第１の巡回順序、当該４個の分割領域を左上、右上、右下および左下の順に巡回する第２の巡回順序、当該４個の分割領域を右下、左下、左上および右上の順に巡回する第３の巡回順序、並びに当該４個の分割領域を右下、右上、左上および左下の順に巡回する第４の巡回順序を規定すると共に、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第１の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第２の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第１の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第１の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第３の巡回順序を適用するように規定し、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第２の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第１の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第２の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第２の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第４の巡回順序を適用するように規定し、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第３の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第４の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第３の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第３の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第１の巡回順序を適用するように規定し、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第４の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第３の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第４の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第４の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第２の巡回順序を適用するように規定し、前記決定処理において、前記第１の巡回順序から前記第４の巡回順序までの各巡回順序の中から第１段階の前記分割処理で分割した前記各分割領域について適用する巡回順序を選択すると共に、第２段階以降の前記分割処理を実行したときに、当該分割処理で分割した各分割領域について適用する前記各巡回順序を繋いで前記処理対象の全体の前記巡回順序を決定する。
【００１３】
また、請求項８記載の移動経路作成方法は、複数の移動ポイントが設けられた処理対象を複数の分割領域に分割する分割処理と、前記各分割領域を巡回する巡回順序を決定する決定処理と、前記各分割領域の各々に設けられている全ての前記移動ポイントを１回ずつ経由する当該分割領域毎の移動経路を特定する特定処理と、前記分割領域毎の移動経路を前記巡回順序で連結する連結処理とを実行して前記処理対象の全体の前記移動経路を作成する移動経路作成方法であって、４個の前記分割領域が上下および左右に２個ずつ並ぶマトリクス状に前記処理対象を分割する第１段階の前記分割処理を実行すると共に、前記移動ポイントが複数設けられている当該分割領域を当該マトリクス状にさらに分割する第２段階以降の前記分割処理を予め決められた条件を満たすまで繰り返して実行し、前記巡回順序として、前記分割処理で分割した前記４個の分割領域を右上、右下、左下および左上の順に巡回する第Ａの巡回順序、当該４個の分割領域を右上、左上、左下および右下の順に巡回する第Ｂの巡回順序、当該４個の分割領域を左下、右下、右上および左上の順に巡回する第Ｃの巡回順序、並びに当該４個の分割領域を左下、左上、右上および右下の順に巡回する第Ｄの巡回順序が規定すると共に、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用するように規定し、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用するように規定し、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ａの巡回順序を適用するように規定し、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｃの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｄの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Ｂの巡回順序を適用するように規定し、前記決定処理において、前記第Ａの巡回順序から前記第Ｄの巡回順序までの各巡回順序の中から第１段階の前記分割処理で分割した前記各分割領域について適用する巡回順序を選択すると共に、第２段階以降の前記分割処理を実行したときに、当該分割処理で分割した各分割領域について適用する前記各巡回順序を繋いで前記処理対象の全体の前記巡回順序を決定する。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１記載の移動経路作成装置、請求項６記載の基板検査装置、および請求項７記載の移動経路作成方法によれば、処理対象を４個の分割領域に分割すると共に移動ポイントが複数設けられている処理対象をさらに分割し、予め規定した第１の巡回順序から第４の巡回順序を用いて各処理対象を巡回する巡回順序を決定し、処理対象毎の移動経路を決定した巡回順序で連結して処理対象の全体の移動経路を作成することにより、各処理対象をサーペンタイン順に巡回する従来の構成と比較して、移動ポイントが設けられていない領域を通過する無駄な動きを十分に少なく抑えることができる。このため、この移動経路作成装置、基板検査装置および移動経路作成方法によれば、十分に効率的な移動経路を確実に作成することができる。
【００１５】
また、請求項２記載の移動経路作成装置、請求項６記載の基板検査装置、および請求項８記載の移動経路作成方法では、処理対象を４個の分割領域に分割すると共に移動ポイントが複数設けられている処理対象をさらに分割し、予め規定した第Ａの巡回順序から第Ｄの巡回順序を用いて各処理対象を巡回する巡回順序を決定し、処理対象毎の移動経路を決定した巡回順序で連結して処理対象の全体の移動経路を作成することにより、各処理対象をサーペンタイン順に巡回する従来の構成と比較して、移動ポイントが設けられていない領域を通過する無駄な動きを十分に少なく抑えることができる。このため、この移動経路作成装置、基板検査装置および移動経路作成方法によれば、十分に効率的な移動経路を確実に作成することができる。
【００１６】
また、請求項３記載の移動経路作成装置、および請求項６記載の基板検査装置によれば、処理対象に設けられている移動ポイントが１個以下となるとの条件（予め決められた条件）を満たすまで第２段階以降の分割処理を繰り返して実行することにより、処理対象に複数の移動ポイントが設けられているときに必要となる分割領域毎の移動経路を特定する特定処理を簡略化することができるため、処理対象の全体の移動経路を作成する処理の処理効率を十分に高めることができる。
【００１７】
また、請求項４記載の移動経路作成装置、および請求項６記載の基板検査装置によれば、予め決められた回数となるとの条件（予め決められた条件）を満たすまで第２段階以降の分割処理を繰り返して実行することにより、分割領域に設けられている移動ポイントが１個以下となるまで第２段階以降の分割処理を繰り返そうとすると、その分割処理の回数が膨大な回数となるような処理対象についての移動経路を作成する際に、分割処理の回数を予め決められた回数に制限することができるため、このような処理対象についての移動経路を作成する処理の処理効率を十分に高めることができる。
【００１８】
また、請求項５記載の移動経路作成装置、および請求項６記載の基板検査装置によれば、分割処理において、処理対象における移動ポイントの密度が高い領域ほど分割領域の面積が小さくなるように処理対象を分割することにより、このようにして分割領域の面積を調整しつつ分割処理を繰り返すことで、少ない回数の分割処理で各分割領域に設けられる移動ポイントの数の最大数を減少させることができるため、移動経路を作成する処理の処理効率をさらに高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】移動経路作成処理５０のフローチャートである。
【図３】第１段階の分割処理を説明する説明図である。
【図４】第２段階の分割処理を説明する説明図である。
【図５】第３段階の分割処理を説明する説明図である。
【図６】第４段階の分割処理を説明する説明図である。
【図７】フラクタルソートアルゴリズムを説明する第１の説明図である。
【図８】決定処理、特定処理および連結処理を説明する説明図である。
【図９】フラクタルソートアルゴリズムを説明する第２の説明図である。
【図１０】従来の移動経路作成方法を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、移動経路作成装置、基板検査装置および移動経路作成方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２１】
最初に、基板検査装置の一例としての図１に示す基板検査装置１の構成について説明する。基板検査装置１は、同図に示すように、基板保持部２、移動機構３、測定部４、記憶部５および処理部６を備えて、処理対象としての回路基板１００を検査可能に構成されている。この場合、回路基板１００には、検査の際にプローブ３１をプロービングさせるべき移動ポイントとしての複数のプロービングポイント（以下、「ポイントＰ」ともいう：図３参照）が設けられている。なお、記憶部５および処理部６によって移動経路作成装置が構成される。
【００２２】
基板保持部２は、図１に示すように、載置台２ａと、板状の電極２ｂと、載置台２ａに載置された電極２ｂおよび電極２ｂの上に載置された回路基板１００を載置台２ａに固定する固定具２ｃとを備えて、回路基板１００を保持可能に構成されている。
【００２３】
移動機構３は、処理部６の制御に従い、基板保持部２における載置台２ａの上面（載置台２ａに載置された回路基板１００）に平行な平面に沿った方向、および載置台２ａの上面に垂直な方向（上下方向）にプローブ３１を移動させて、基板保持部２によって保持されている回路基板１００の各ポイントＰにプローブ３１をプロービングさせる。
【００２４】
測定部４は、プローブ３１がプロービングさせられている回路基板１００のポイントＰ、および基板保持部２の電極２ｂの間に測定用信号を供給すると共に、その測定用信号の供給によって生じる信号に基づいてポイントＰと基板保持部２の電極２ｂとの間の静電容量を測定する。
【００２５】
記憶部５は、測定部４によって測定された静電容量の測定値、および処理部６によって実行される検査処理において用いられる基準データＤｓを記憶する。また、記憶部５は、処理部６によって作成される後述する移動経路Ｒ（図８参照）を示す移動経路データＤｒを記憶する。また、記憶部５は、移動経路Ｒの作成に用いられる基板データＤｂを記憶する。この場合、基板データＤｂには、一例として、ポイントＰが設けられている回路基板１００の形状を示す情報、および各ポイントＰの位置を示す情報が含まれている。
【００２６】
処理部６は、制御部として機能し、移動機構３および測定部４を制御する。また、処理部６は、測定部４と共に検査部として機能し、測定部４によって測定される静電容量の測定値と基準データＤｓによって示される基準範囲とを比較して、回路基板１００の良否を検査する検査処理を実行する。また、処理部６は、回路基板１００に設けられている全てのポイントＰにプローブ３１を１回ずつ経由させて、各ポイントＰにプローブ３１をプロービングさせる際のプローブ３１の移動経路Ｒを作成する移動経路作成処理５０（図２参照）を実行する。
【００２７】
次に、基板検査装置１を用いた移動経路作成方法および検査方法について、図面を参照して説明する。
【００２８】
この基板検査装置１では、プローブ３１をプロービングさせるべきポイントＰが数多く設けられている回路基板１００の検査を行う際の検査効率を向上させるために、プローブ３１を効率的に移動させる（無駄な動きが少ない）移動経路Ｒを作成する機能を備えている。この機能を用いて基板検査装置１に移動経路Ｒを作成させる際には、図外の操作部を操作して移動経路Ｒの作成を指示する。これに応じて、処理部６が図２に示す移動経路作成処理５０を実行する。
【００２９】
この移動経路作成処理５０では、処理部６は、記憶部５から基板データＤｂ読み出し、次いで、基板データＤｂに基づいて回路基板１００の形状を特定する（ステップ５１）。続いて、処理部６は、図３に示すように、回路基板１００を４個の分割領域Ｔ（同図における分割領域Ｔａ１〜Ｔａ４）が上下および左右に２個ずつ並ぶ状態（以下、この状態を「マトリクス状」ともいう）に回路基板１００を分割する分割処理（第１段階の分割処理）を実行する（ステップ５２）。この場合、処理部６は、分割処理において、一例として、各分割領域Ｔが同じ大きさで同じ形状（この例では、矩形（長方形または正方形））となるように回路基板１００を分割する。
【００３０】
次いで、処理部６は、第１段階の分割処理で分割した分割領域Ｔａ１〜Ｔａ４の中に、ポイントＰが複数（２個以上）設けられている分割領域Ｔが存在するか否かを判別する（ステップ５３）。この場合、図３に示すように、複数のポイントＰが設けられている分割領域Ｔ（同図に示す分割領域Ｔａ１〜Ｔａ４）が存在するときには、処理部６は、その旨を判別し、図４に示すように、それらの各分割領域Ｔをそれぞれ４個の分割領域Ｔ（同図に示す分割領域Ｔｂ１〜Ｔｂ１６）にマトリクス状にさらに分割する分割処理（第２段階の分割処理）を実行する（ステップ５２）。
【００３１】
続いて、処理部６は、第２段階の分割処理で分割した分割領域Ｔｂ１〜Ｔｂ１６の中に、ポイントＰが複数設けられている分割領域Ｔが存在するか否かを判別する（ステップ５３）。この場合、図４に示すように、複数のポイントＰが設けられている分割領域Ｔ（同図に示す分割領域Ｔｂ１，Ｔｂ２，Ｔｂ６，Ｔｂ７，Ｔｂ１０，Ｔｂ１１，Ｔｂ１５，Ｔｂ１６）が存在するときには、処理部６は、その旨を判別し、図５に示すように、それらの各分割領域Ｔをそれぞれ４個の分割領域Ｔ（同図に示す分割領域Ｔｃ１〜Ｔｃ３２）にマトリクス状にさらに分割する分割処理（第３段階の分割処理）を実行する（ステップ５２）。
【００３２】
次いで、処理部６は、第３段階の分割処理で分割した分割領域Ｔｃ１〜Ｔｃ３２の中に、ポイントＰが複数設けられている分割領域Ｔが存在するか否かを判別する（ステップ５３）。この場合、図５に示すように、複数のポイントＰが設けられている分割領域Ｔ（同図に示す分割領域Ｔｃ１，Ｔｃ３，Ｔｃ５，Ｔｃ７，Ｔｃ９，Ｔｃ１１，Ｔｃ１３，Ｔｃ１５，Ｔｃ１７，Ｔｃ１９，Ｔｃ２１，Ｔｃ２３，Ｔｃ２５，Ｔｃ２７，Ｔｃ２９，Ｔｃ３１）が存在するときには、処理部６は、その旨を判別し、図６に示すように、それらの各分割領域Ｔをそれぞれ４個の分割領域Ｔ（同図に示す分割領域Ｔｄ１〜Ｔｄ６４）にマトリクス状にさらに分割する分割処理（第４段階の分割処理）を実行する（ステップ５２）。
【００３３】
続いて、処理部６は、第４段階の分割処理で分割した分割領域Ｔｄ１〜Ｔｄ６４の中に、ポイントＰが複数設けられている分割領域Ｔが存在するか否かを判別する（ステップ５３）。この場合、図６に示すように、複数のポイントＰが設けられている分割領域Ｔが存在しないときには、処理部６は、分割処理を終了する。上記したように、処理部６は、複数のポイントＰが設けられている分割領域Ｔが存在しなくなるまで、つまり分割領域Ｔに設けられているポイントＰが１個以下となるとの条件（予め決められた条件の一例）を満たすまで第２段階以降の分割処理を繰り返して実行する。
【００３４】
次いで、処理部６は、決定処理を実行する（ステップ５４）。この決定処理では、処理部６は、分割処理によって分割した分割領域Ｔを巡回する巡回順序を決定する。ここで、この基板検査装置１では、分割領域Ｔを巡回する巡回順序を決定する際に、次に説明するアルゴリズム（以下「フラクタルソートアルゴリズム」ともいう）を用いる。
【００３５】
このフラクタルソートアルゴリズムでは、マトリクス状に分割した４個の分割領域Ｔの巡回順序として４種類の巡回順序を規定する。具体的には、図７の（７ａ）図に示すように、各分割領域Ｔを左上、左下、右下および右上の順に巡回する巡回順序を第１の巡回順序Ｓ１として規定する。また、図７の（７ｂ）図に示すように、４個の分割領域Ｔを左上、右上、右下および左下の順に巡回する巡回順序を第２の巡回順序Ｓ２として規定する。また、図７の（７ｃ）図に示すように、４個の分割領域Ｔを右下、左下、左上および右上の順に巡回する巡回順序を第３の巡回順序Ｓ３として規定する。さらに、図７の（７ｄ）図に示すように、４個の分割領域Ｔを右下、右上、左上および左下の順に巡回する巡回順序を第４の巡回順序Ｓ４として規定する。
【００３６】
また、このフラクタルソートアルゴリズムでは、図７の（７ａ）図および（７ｅ）図に示すように、直前の段階の分割処理（例えば、第１段階の分割処理）において分割した各分割領域Ｔについて第１の巡回順序Ｓ１を適用している場合において、左上の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理（例えば、第２段階の分割処理）を実行して分割した各分割領域Ｔについて第２の巡回順序Ｓ２を適用し、直前の段階の分割処理で分割した左下の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第１の巡回順序Ｓ１を適用し、直前の段階の分割処理で分割した右下の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第１の巡回順序Ｓ１を適用し、直前の段階の分割処理で分割した右上の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第３の巡回順序Ｓ３を適用するように規定する。
【００３７】
また、図７の（７ｂ）図および（７ｆ）図に示すように、直前の段階の分割処理で分割した各分割領域Ｔについて第２の巡回順序Ｓ２を適用している場合において、直前の段階の分割処理で分割した左上の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第１の巡回順序Ｓ１を適用し、直前の段階の分割処理で分割した右上の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第２の巡回順序Ｓ２を適用し、直前の段階の分割処理で分割した右下の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第２の巡回順序Ｓ２を適用し、直前の段階の分割処理で分割した左下の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第４の巡回順序Ｓ４を適用するように規定する。
【００３８】
また、図７の（７ｃ）図および（７ｇ）図に示すように、直前の段階の分割処理で分割した各分割領域Ｔについて第３の巡回順序Ｓ３を適用している場合において、直前の段階の分割処理で分割した右下の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第４の巡回順序Ｓ４を適用し、直前の段階の分割処理で分割した左下の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第３の巡回順序Ｓ３を適用し、直前の段階の分割処理で分割した左上の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第３の巡回順序Ｓ３を適用し、直前の段階の分割処理で分割した右上の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第１の巡回順序Ｓ１を適用するように規定する。
【００３９】
さらに、図７の（７ｄ）図および（７ｈ）図に示すように、直前の段階の分割処理で分割した各分割領域Ｔについて第４の巡回順序Ｓ４を適用している場合において、直前の段階の分割処理で分割した右下の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第３の巡回順序Ｓ３を適用し、直前の段階の分割処理で分割した右上の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第４の巡回順序Ｓ４を適用し、直前の段階の分割処理で分割した左上の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第４の巡回順序Ｓ４を適用し、直前の段階の分割処理で分割した左下の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第２の巡回順序Ｓ２を適用するように規定する。
【００４０】
一方、処理部６は、決定処理（ステップ５４）において、第１の巡回順序Ｓ１から第４の巡回順序Ｓ４までの各巡回順序の中から第１段階の分割処理で分割した各分割領域Ｔ（図３に示す分割領域Ｔａ１〜Ｔａ４）について適用する巡回順序を選択し、続いて、第２段階以降の分割処理で分割した各分割領域Ｔについての巡回順序を上記したフラクタルソートアルゴリズムに従って決定する。
【００４１】
一例として、図３に示すように、処理部６が、第１段階の分割処理で分割した分割領域Ｔａ１〜Ｔａ４について適用する巡回順序（以下、「第１段階の巡回順序」ともいう）として第１の巡回順序Ｓ１を選択したときには、フラクタルソートアルゴリズムに従い、次のようにして、第２段階の分割処理で分割した分割領域Ｔｂ１〜Ｔｂ１６についての巡回順序（以下、「第２段階の巡回順序」ともいう）を決定する。まず、第１段階（直前の段階）の分割処理において分割した分割領域Ｔａ１（左上の分割領域Ｔ：図３参照）を第２段階（次の段階）の分割処理でさらに分割した分割領域Ｔｂ１〜Ｔｂ４について第２の巡回順序Ｓ２を適用する（図４参照）。また、第１段階の分割処理において分割した分割領域Ｔａ２（左下の分割領域Ｔ：図３参照）を第２段階の分割処理でさらに分割した分割領域Ｔｂ５〜Ｔｂ８について第１の巡回順序Ｓ１を適用する（図４参照）。また、第１段階の分割処理において分割した分割領域Ｔａ３（右下の分割領域Ｔ：図３参照）を第２段階の分割処理でさらに分割した分割領域Ｔｂ９〜Ｔｂ１２について第１の巡回順序Ｓ１を適用する（図４参照）。また、第１段階の分割処理において分割した分割領域Ｔａ４（右上の分割領域Ｔ：図３参照）を第２段階の分割処理でさらに分割した分割領域Ｔｂ１３〜Ｔｂ１６について第１の巡回順序Ｓ３を適用する（図４参照）。これにより、第２段階の巡回順序が決定される。
【００４２】
次いで、処理部６は、フラクタルソートアルゴリズムに従い、次のようにして、第３段階の分割処理で分割した分割領域Ｔｃ１〜Ｔｃ３２（図５参照）についての巡回順序（以下、「第３段階の巡回順序」ともいう）を決定する。まず、処理部６は、分割領域Ｔｃ１〜Ｔｃ４（同図参照）の巡回順序を決定する。この場合、分割領域Ｔｃ１〜Ｔｃ４は、第２段階（直前の段階）の分割処理で分割した分割領域Ｔｂ１〜Ｔｂ４（図４参照）における左上の分割領域Ｔｂ１を第３段階（次の段階）の分割処理でさらに分割した分割領域Ｔであり、分割領域Ｔｂ１〜Ｔｂ４については、第２の巡回順序Ｓ２を適用している（同図参照）。このため、処理部６は、フラクタルソートアルゴリズムに従い、分割領域Ｔｃ１〜Ｔｃ４について第１の巡回順序Ｓ１を適用する（図５参照）。
【００４３】
続いて、処理部６は、分割領域Ｔｃ５〜Ｔｃ８（図５参照）の巡回順序を決定する。この場合、分割領域Ｔｃ５〜Ｔｃ８は、第２段階（直前の段階）の分割処理で分割した分割領域Ｔｂ１〜Ｔｂ４（図４参照）における右上の分割領域Ｔｂ２を第３段階（次の段階）の分割処理でさらに分割した分割領域Ｔであり、分割領域Ｔｂ１〜Ｔｂ４については、第２の巡回順序Ｓ２を適用している（同図参照）。このため、処理部６は、フラクタルソートアルゴリズムに従い、分割領域Ｔｃ５〜Ｔｃ８について第２の巡回順序Ｓ２を適用する（図５参照）。次いで、処理部６は、同様の手順で、フラクタルソートアルゴリズムに従って分割領域Ｔｃ９〜Ｔｃ３２の巡回順序を決定する（図５参照）。これにより、第３段階の巡回順序が決定される。
【００４４】
続いて、処理部６は、フラクタルソートアルゴリズムに従い、次のようにして、第４段階の分割処理で分割した分割領域Ｔｄ１〜Ｔｄ６４（図６参照）についての巡回順序（以下「第４段階の巡回順序」ともいう）を決定する。まず、処理部６は、分割領域Ｔｄ１〜Ｔｄ４（同図参照）の巡回順序を決定する。この場合、分割領域Ｔｄ１〜Ｔｄ４は、第３段階（直前の段階）の分割処理で分割した分割領域Ｔｃ１〜Ｔｃ４（図５参照）における左上の分割領域Ｔｃ１を第４段階（次の段階）の分割処理でさらに分割した分割領域Ｔであり、分割領域Ｔｃ１〜Ｔｃ４については、第１の巡回順序Ｓ１を適用している（同図参照）。このため、処理部６は、フラクタルソートアルゴリズムに従い、分割領域Ｔｄ１〜Ｔｄ４について第２の巡回順序Ｓ２を適用する（図６参照）。
【００４５】
次いで、処理部６は、分割領域Ｔｄ５〜Ｔｄ８（図６参照）の巡回順序を決定する。この場合、分割領域Ｔｄ５〜Ｔｄ８は、第３段階（直前の段階）の分割処理で分割した分割領域Ｔｃ１〜Ｔｃ４（図５参照）における右下の分割領域Ｔｃ３を第４段階（次の段階）の分割処理でさらに分割した分割領域Ｔであり、分割領域Ｔｃ１〜Ｔｃ４については、第１の巡回順序Ｓ１を適用している（同図参照）。このため、処理部６は、フラクタルソートアルゴリズムに従い、分割領域Ｔｄ５〜Ｔｄ８について第１の巡回順序Ｓ１を適用する（図６参照）。続いて、処理部６は、同様の手順で、フラクタルソートアルゴリズムに従って分割領域Ｔｄ９〜Ｔｄ６４の巡回順序を決定する（図６参照）。これにより、第４段階の巡回順序が決定される。
【００４６】
次いで、処理部６は、図８に示すように、下位の段階の巡回順序を上位の巡回順序に従って直線で順次繋ぐことにより、回路基板１００の全体の巡回順序Ｓ０を決定する。以上により、決定処理が終了する。
【００４７】
続いて、処理部６は、特定処理を実行する（ステップ５５）。この特定処理では、処理部６は、巡回順序Ｓ０における直近上位（上流）の分割領域Ｔ側に位置する１つのポイントＰを始点とすると共に巡回順序Ｓ０における直近下位（下流）の分割領域Ｔ側に位置する１つのポイントＰを終点として分割領域Ｔ内の全てのポイントＰを１回ずつ経由する移動経路Ｒを分割領域Ｔ毎に特定する。この場合、ポイントＰが設けられていない分割領域Ｔについては、移動経路Ｒの特定を省略し、ポイントＰが１個だけ設けられている分割領域Ｔについては、その１個のポイントＰを始点および終点とする移動経路Ｒを特定する。
【００４８】
次いで、処理部６は、連結処理を実行する（ステップ５６）。この連結処理では、図８に示すように、処理部６は、分割領域Ｔ毎の移動経路Ｒを巡回順序Ｓ０に従って連結して、回路基板１００の全体の移動経路Ｒを作成する。具体的には、処理部６は、各移動経路Ｒの終点と巡回順序Ｓ０の直近下位の分割領域Ｔにおける移動経路Ｒの始点とを直線で順次繋ぐことにより、各移動経路Ｒを連結する。次いで、処理部６は、移動経路Ｒを示す移動経路データＤｒを生成して（ステップ５７）、記憶部５に記憶させて、移動経路作成処理５０を終了する。
【００４９】
この場合、図８に示すように、この基板検査装置１によって作成した移動経路Ｒでは、上記したフラクタルソートアルゴリズムに従って各分割領域Ｔの巡回順序を決定するため、図１０に示すように各分割領域Ｔ（従来の構成における「バケット」）を巡回する巡回順序としてのサーペンタイン順を採用する従来の構成と比較して、ポイントＰが設けられていない領域（図８，１０における上下方向の中間領域）を通過する無駄な動きが十分に少なく抑えられている。このため、この基板検査装置１では、効率的な移動経路Ｒを作成することが可能となっている。
【００５０】
次に、回路基板１００の検査を行うときには、基板保持部２に回路基板１００を保持させ、続いて、図外の操作部を操作して検査の開始を指示する。これに応じて、処理部６は、検査処理を開始する。
【００５１】
この検査処理では、処理部６は、記憶部５から移動経路データＤｒを読み出す。次いで、処理部６は、移動経路データＤｒに基づいて最初のポイントＰ（最初にプロービングさせるべきポイントＰ）を特定する。続いて、処理部６は、移動機構３を制御して最初のポイントＰにプローブ３１をプロービングさせる。
【００５２】
次いで、処理部６は、測定部４を制御して測定処理を実行させる。この測定処理では、測定部４は、プローブ３１および電極２ｂに供給した電気信号、およびその電気信号の供給によって発生する電気信号を検出して両電気信号に基づいてプローブ３１がプロービングさせられているポイントＰと電極２ｂとの間の静電容量を測定する。続いて、処理部６は、基準データＤｓを記憶部５から読み出し、次いで、測定部４によって測定された静電容量と基準データＤｓによって特定される基準範囲とを比較する。この場合、処理部６は、一例として、測定値が基準範囲内のときには、そのポイントＰにおいて欠陥が無いと判別する。一方、測定値が基準範囲（基準範囲の下限値）よりも小さいときには、ポイントＰが設けられている導体パターンに断線が生じている可能性がある。また、測定値が基準範囲（基準範囲の上限値）よりも大きいときには、ポイントＰが設けられている導体パターンと他の導体パターンとが短絡している可能性がある。このため、これらのとき（測定値が基準範囲外のとき）には処理部６は、そのポイントＰにおいて欠陥があると判別する。
【００５３】
続いて、処理部６は、移動経路データＤｒに基づいて次のポイントＰを特定し、次いで、移動機構３を制御して、そのポイントＰにプローブ３１をプロービングさせる。続いて、処理部６は、測定部４を制御して測定処理を実行させると共に、測定部４によって測定された静電容量の測定値と基準値とを比較してそのポイントＰにおける欠陥の有無を判別する。以下、処理部６は、移動機構３を制御して、移動経路データＤｒによって特定される新たなポイントＰにプローブ３１を順次移動させ（つまり、回路基板１００の全体の移動経路Ｒに沿ってプローブ３１を移動させ）、各ポイントＰにおける欠陥の有無を判別する。次いで、処理部６は、回路基板１００の全てのポイントＰにおける欠陥の有無の判別を終了したときには、その欠陥の有無に基づいて回路基板１００の良否を判定する。具体的には、欠陥が存在しないときには、回路基板１００を良好と判定し、欠陥が存在するときには回路基板１００を不良と判定する。
【００５４】
この場合、この基板検査装置１では、上記した移動経路作成処理によって作成した移動経路Ｒに沿ってプローブ３１を移動させているため、プローブ３１の移動を効率的に行うことが可能となっている。このため、この基板検査装置１によれば、検査効率を十分に向上させることが可能となっている。
【００５５】
このように、この移動経路作成装置、基板検査装置１および移動経路作成方法によれば、回路基板１００を４個の分割領域Ｔに分割すると共にポイントＰが複数設けられている分割領域Ｔを４個の分割領域Ｔにさらに分割し、予め規定した第１の巡回順序Ｓ１から第４の巡回順序Ｓ４を用いて各分割領域Ｔを巡回する巡回順序Ｓ０を決定し、分割領域Ｔ毎の移動経路Ｒを巡回順序Ｓ０で連結して回路基板１００の全体の移動経路Ｒを作成することにより、各分割領域Ｔをサーペンタイン順に巡回する従来の構成と比較して、ポイントＰが設けられていない領域を通過する無駄な動きを十分に少なく抑えることができる。このため、移動経路作成装置、基板検査装置１および移動経路作成方法によれば、十分に効率的な移動経路Ｒを確実に作成することができる。
【００５６】
また、この移動経路作成装置、基板検査装置１および移動経路作成方法によれば、分割領域Ｔに設けられているポイントＰが１個以下となるとの条件（予め決められた条件）を満たすまで第２段階以降の分割処理を繰り返して実行することにより、分割領域Ｔに複数のポイントＰが設けられているときに必要となる分割領域Ｔ毎の移動経路Ｒを特定する特定処理を簡略化することができるため、移動経路Ｒを作成する処理の処理効率を十分に高めることができる。
【００５７】
なお、移動経路作成装置、基板検査装置および移動経路作成方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、上記したフラクタルソートアルゴリズム（以下、「第１のフラクタルソートアルゴリズム」ともいう）に代えて、次に説明する第２のフラクタルソートアルゴリズムを採用することもできる。なお、なお、以下の説明において、上記した第１のフラクタルソートアルゴリズムの説明と同様の構成要素については、同じ符号を付して、重複する説明を省略する。
【００５８】
この第２のフラクタルソートアルゴリズムでは、マトリクス状に分割した４個の分割領域Ｔの巡回順序として４種類の巡回順序を規定する。具体的には、図９の（９ａ）図に示すように、各分割領域Ｔを右上、右下、左下および左上の順に巡回する巡回順序を第Ａの巡回順序ＳＡとして規定する。また、図９の（９ｂ）図に示すように、４個の分割領域Ｔを右上、左上、左下および右下の順に巡回する巡回順序を第Ｂの巡回順序ＳＢとして規定する。また、図９の（９ｃ）図に示すように、４個の分割領域Ｔを左下、右下、右上および左上の順に巡回する巡回順序を第Ｃの巡回順序ＳＣとして規定する。さらに、図９の（９ｄ）図に示すように、４個の分割領域Ｔを左下、左上、右上および右下の順に巡回する巡回順序を第Ｄの巡回順序ＳＤとして規定する。
【００５９】
また、この第２のフラクタルソートアルゴリズムでは、図９の（９ａ）図および（９ｅ）図に示すように、直前の段階の分割処理において分割した各分割領域Ｔについて第Ａの巡回順序ＳＡを適用している場合において、右上の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第Ｂの巡回順序ＳＢを適用し、直前の段階の分割処理で分割した右下の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第Ａの巡回順序ＳＡを適用し、直前の段階の分割処理で分割した左下の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第Ａの巡回順序ＳＡを適用し、直前の段階の分割処理で分割した左上の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第Ｃの巡回順序ＳＣを適用するように規定する。
【００６０】
また、図９の（９ｂ）図および（９ｆ）図に示すように、直前の段階の分割処理で分割した各分割領域Ｔについて第Ｂの巡回順序ＳＢを適用している場合において、直前の段階の分割処理で分割した右上の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第Ａの巡回順序ＳＡを適用し、直前の段階の分割処理で分割した左上の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第Ｂの巡回順序ＳＢを適用し、直前の段階の分割処理で分割した左下の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第Ｂの巡回順序ＳＢを適用し、直前の段階の分割処理で分割した右下の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第Ｄの巡回順序ＳＤを適用するように規定する。
【００６１】
また、図９の（９ｃ）図および（９ｇ）図に示すように、直前の段階の分割処理で分割した各分割領域Ｔについて第Ｃの巡回順序ＳＣを適用している場合において、直前の段階の分割処理で分割した左下の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第Ｄの巡回順序ＳＤを適用し、直前の段階の分割処理で分割した右下の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第Ｃの巡回順序ＳＣを適用し、直前の段階の分割処理で分割した右上の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第Ｃの巡回順序ＳＣを適用し、直前の段階の分割処理で分割した左上の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第Ａの巡回順序ＳＡを適用するように規定する。
【００６２】
さらに、図９の（９ｄ）図および（９ｈ）図に示すように、直前の段階の分割処理で分割した各分割領域Ｔについて第Ｄの巡回順序ＳＤを適用している場合において、直前の段階の分割処理で分割した左下の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第Ｃの巡回順序ＳＣを適用し、直前の段階の分割処理で分割した左上の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第Ｄの巡回順序ＳＤを適用し、直前の段階の分割処理で分割した右上の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第Ｄの巡回順序ＳＤを適用し、直前の段階の分割処理で分割した右下の分割領域Ｔに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Ｔについて第Ｂの巡回順序ＳＢを適用するように規定する。
【００６３】
この第２のフラクタルソートアルゴリズムに従って巡回順序Ｓ０を決定する構成および方法においても、上記した第１のフラクタルソートアルゴリズムに従って巡回順序Ｓ０を決定する構成および方法と同様の効果を実現することができる。
【００６４】
また、予め決められた条件として、分割領域Ｔに設けられているポイントＰが１個以下となるとの条件を満たすまで第２段階以降の分割処理を繰り返して実行する例について上記したが、第１および第２のフラクタルソートアルゴリズムに従って巡回順序Ｓ０を決定する構成および方法において、予め決められた条件として、予め決められた回数となるとの条件を満たすまで第２段階以降の分割処理を繰り返して実行する構成および方法を採用することもできる。この構成および方法によれば、分割領域Ｔに設けられている移動ポイントが１個以下となるまで第２段階以降の分割処理を繰り返そうとすると、その分割処理の回数が膨大な回数となるような回路基板１００についての移動経路Ｒを作成する際に、分割処理の回数を予め決められた回数に制限することができるため、このような回路基板１００についての移動経路Ｒを作成する処理の処理効率を十分に高めることができる。なお、この構成および方法を採用したときには、第２段階以降の分割処理を予め決められた回数だけ実行した時点で分割領域Ｔに２個以上のポイントＰが設けられていることがある。この場合、上記した移動経路作成処理５０の特定処理（ステップ５５）において、数多くのポイントＰが設けられている分割領域Ｔについての移動経路Ｒを特定する際には、巡回セールスマン問題の解法等の公知の方法を用いることで、各分割領域Ｔについての効率的な移動経路Ｒを特定することができる。
【００６５】
また、第１および第２のフラクタルソートアルゴリズムに従って巡回順序Ｓ０を決定する構成および方法での分割処理において、各分割領域Ｔが矩形となるように分割する例について上記したが、分割領域Ｔの形状は、矩形に限定されず、円形、楕円形および矩形以外の多角形等の任意の形状に規定することができる。また、４個の分割領域Ｔを互いに異なる形状に規定することもできる。さらに、分割処理において、４個分割領域Ｔが同じ大きさとなるように分割する例について上記したが、４個分割領域Ｔが互いに異なっていてもよい。この場合、回路基板１００におけるポイントＰの密度が高い領域ほど分割領域Ｔの面積（大きさ）が小さくなるように分割する構成および方法を採用することもできる。この構成および方法によれば、このように分割領域Ｔの面積を調整しつつ分割処理を繰り返すことにより、少ない回数の分割処理で各分割領域Ｔに設けられるポイントＰの数の最大数を減少させることができるため、移動経路Ｒを作成する処理の処理効率を十分に高めることができる。
【００６６】
また、第１および第２のフラクタルソートアルゴリズムに従って巡回順序Ｓ０を決定して１個のプローブ３１を移動させる構成および方法において用いる移動経路Ｒを作成する例について上記したが、複数のプローブ３１を移動させる構成および方法において、プローブ３１毎の移動経路Ｒを作成する際に適用できるのは勿論である。また、プローブ３１を用いて測定した静電容量に基づいて回路基板１００の良否を検査する基板検査装置１に適用した例について上記したが、プローブ３１を用いてポイントＰ間の抵抗値を測定し、その抵抗値に基づいて回路基板１００の検査を行う基板検査装置に適用することもできる。
【００６７】
また、移動経路作成装置および移動経路作成方法を用いて作成された移動経路Ｒに沿って移動させる移動対象は、上記したプローブ３１に限定されず、各種の移動対象を移動経路Ｒで移動させることができ、この場合においても、上記した各効果を実現することができる。つまり、複数の移動ポイントを１回ずつ経由するように各移動ポイントに移動対象を移動させる各種の装置（基板検査装置１以外の装置）にこの移動経路作成装置および移動経路作成方法を適用することができる。
【符号の説明】
【００６８】
１  基板検査装置
３  移動機構
４  測定部
６  処理部
３１  プローブ
１００  回路基板
Ｔ  分割領域
Ｔａ１〜Ｔａ４，Ｔｂ１〜Ｔｂ１６，Ｔｃ１〜Ｔｃ３２，Ｔｄ１〜Ｔｄ６４  分割領域
Ｐ  ポイント
Ｒ  移動経路
Ｓ０  巡回順序
Ｓ１  第１の巡回順序
Ｓ２  第２の巡回順序
Ｓ３  第３の巡回順序
Ｓ４  第４の巡回順序
ＳＡ  第Ａの巡回順序
ＳＢ  第Ｂの巡回順序
ＳＣ  第Ｃの巡回順序
ＳＤ  第Ｄの巡回順序
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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