(57)【要約】【課題】吸着手段の吸引力を落とさず、回路基板用シートから発生する繊維や樹脂粉を集めることができる、回路基板用シート供給装置の提供。【解決手段】積層された回路基板用シートにエアーを吹き付け、前記回路基板用シートの端部を浮上させるエアー吹き付け手段３０と；前記浮上した回路基板用シートを吸着搬送する吸着搬送手段２０と；前記吸着搬送手段の上方に設けられ、前記吸着搬送手段の上方からエアーを吸引する吸引手段４０と；を備える、回路基板用シート供給装置１１０。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
積層された回路基板用シートにエアーを吹き付け、前記回路基板用シートの端部を浮上させるエアー吹き付け手段と、
前記浮上した回路基板用シートを吸着搬送する吸着搬送手段と、
前記吸着搬送手段の上方に設けられ、前記吸着搬送手段の上方からエアーを吸引する吸引手段と、を備える、
回路基板用シート供給装置。
【請求項２】
前記吸着搬送手段の側方に設けられている、側方吸引手段をさらに備える、
請求項１に記載の回路基板用シート供給装置。
【請求項３】
前記吸着搬送手段には、フィルターは設けられていない、
請求項１又は２に記載の回路基板用シート供給装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の回路基板用シート供給装置を備えるシステムであって、
当該システムは、システム全体が１つの筐体で覆われており、
前記吸引手段は、前記システム全体の前記筐体内のエアーを吸引する、
システム。
【請求項５】
当該システムは、前記回路基板用シート供給装置の後段に何等かの機能装置を備え、
前記機能装置には、前記回路基板用シートと下方から接触して該回路基板用シートを搬送する複数の搬送手段が、前記回路基板用シートの搬送方向に並んで設けられており、
前記複数の搬送手段は、取り外し可能である、
請求項４に記載のシステム。
【請求項６】
前記機能装置は、検査装置を含み、
前記検査装置は、回路基板用シートの表面を検査する表面検査部と、回路基板用シートの裏面を検査する裏面検査部と、前記複数の搬送手段を備える、
請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
前記表面検査部は、前記複数の搬送手段の上方に設けられ、前記回路基板用シートの搬送方向に移動可能である、
請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
前記表面検査部及び前記裏面検査部は、
前記搬送される回路基板用シートの検査面を撮影する撮像レンズユニット、
前記回路基板用シートの検査面を照射する照明、
前記照明からの光を反射させるハーフミラー、及び
前記ハーフミラーからの光を透過させる透明ガラスを備え、
前記透明ガラスの透過面は、前記撮像レンズユニットに対して傾斜している、
請求項６又は７に記載のシステム。
【請求項９】
前記裏面検査部は、前記透明ガラスを覆うスリットを備えており、
前記スリットは前記搬送方向に、隣り合う搬送手段の間隙に対向して設けられている、
請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
当該システムは、任意の枚数ごとに、回路基板用シートを区別する合紙ユニットをさらに備え、
前記合紙ユニットは、前記複数の搬送手段の上方に設けられ、前記回路基板用シートの搬送方向に移動可能である、
請求項５乃至９のいずれか一項に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は回路基板用シート供給装置及び該回路基板用シート供給装置を備えるシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プリプレグを分離し搬送することを可能としたプリプレグ装置および方法が知られている。
【０００３】
特許文献１に記載のプリプレグ供給装置では、シリンダ等により反転運動する吸着パッドにより積み重ねられたプリプレグの一枚目の吸着部である端部を吸着し、持ち上げて上方回動している。さらに、もう一つのシリンダにより上下する吸着パッドにより２枚目の端部を吸着、持ち上げて、両方の吸着パッドを同時に水平移動することで必要とする２枚のプリプレグを区分け搬送することが提案されている。
【０００４】
しかし、プリプレグの供給を行うため部に吸引するエアーにはプリプレグシートから飛散した繊維や樹脂粉が混ざっており、ダクト内部や吸引ファン内部に入ってしまうことがあった。
【０００５】
そこで、特許文献２では、プリプレグを加工する工程において、加工時に発生する塵等を吸い込む吸引部を設け、該吸引部内部に異物が入らないようなフィルターを設ける構成が、提案されている（特許文献２）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献２の加工装置を供給装置に適用しようとすると、プリプレグシートから発生する繊維や樹脂粉の量が多い場合や、装置の搬送量によっては、フィルターが目詰まりをおこして十分な吸引力を発生することができなくなってしまうおそれがあった。
【０００７】
そこで、吸着手段の吸引力を落とさず、回路基板用シートから発生する繊維や樹脂粉を集めることができる、回路基板用シート供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明の一態様では、積層された回路基板用シートにエアーを吹き付け、前記回路基板用シートの端部を浮上させるエアー吹き付け手段と；前記浮上した回路基板用シートを吸着搬送する吸着搬送手段と；前記吸着搬送手段の上方に設けられ、前記吸着搬送手段の上方からエアーを吸引する吸引手段と；を備える、回路基板用シート供給装置を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
一態様によれば、回路基板用シート供給装置において、吸着手段の吸引力を落とさず、回路基板用シートから発生する繊維や樹脂粉を集めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態に係る、回路基板用シート供給装置を備える回路基板用シート検査・仕分けシステムの概略構成図。
【図２】本発明の実施形態に係る回路基板用シート供給装置と該回路基板用シート供給装置に接続される集塵機の斜視図。
【図３】上方吸引ダクトの説明図。
【図４】側方吸引ダクトの説明図。
【図５】吸引ダクトに接続される集塵機の説明図。
【図６】本発明の実施形態に係る回路基板用シート供給装置の筐体及び吸引ダクトを取り除いた全体構成であって、回路基板シート周辺の、エアーの流れを示す斜視図。
【図７】本発明の実施形態に係る回路基板用シート供給装置における、吸引ダクトによるエアーの流れを示す側面図。
【図８】（ａ）は上方ユニットの上方吸着手段側の斜視図であって、（ｂ）は、上方ユニットの上方搬送手段側の斜視図。
【図９】（ａ）は中央部のエアー吹き付け手段の斜視図、（ｂ）前端ガイドを取り外した中央部の吹き付け手段の別の角度から見た斜視図。
【図１０】回路基板用シート検査・仕分けシステムをカバーで覆う構成の概略構成図である。
【図１１】図１又は図１０の回路基板用シート検査・仕分けシステムに設けられる、検査装置の筐体、及び表面検査部、並びに、搬送手段の一部を外した斜視図。
【図１２】図１０の回路基板用シート検査・仕分けシステムに設けられる、検査装置の説明図。
【図１３】図１０の回路基板用シート検査・仕分けシステムに設けられる、合紙装置の説明図。
【図１４】図１又は図１０の回路基板用シート検査・仕分けシステムに設けられる、検査装置周辺の斜視図。
【図１５】図１４の検査装置の側面図。
【図１６】図１５の裏面検査部のスリット周辺の拡大図。
【図１７】（ａ）透明ガラスの上面図、（ｂ）斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。各実施形態等に亘り、同一の機能及び形状等を有する構成要素（部材や構成部品）等については、混同の虞がない限り一度説明した後では同一符号を付すことによりその説明を省略する。
【００１２】
＜システム＞
本発明を図面に基づいて説明する。図１は、本発明の実施形態に係る、シート検査・仕分けシステム１００の概略構成図である。図１に示す、システム１００は、回路基板用シート供給装置１１０、検査装置１２０、中継搬送装置１３０、振り分け装置１４０、及び合格品回収装置１５０を有する。
【００１３】
回路基板用シート供給装置１１０のシート分離供給機構は、回路基板用シートＰを１枚ずつ供給する。回路基板用シート供給装置１１０は、供給シートスタック（積載部）１０、上方吸着搬送ユニット（吸着搬送手段）２０、及び吹き付け手段３０を含む。また、上記積載部１０の下方には、昇降駆動モータ６１を備える供給用シート昇降機構６０Ｓが設けられてもよい。
【００１４】
ここで、回路基板用シートＰは、例えば、プリプレグ等の電子回路基板用シートである。回路基板用シートには、公知の全ての回路基板に用いられるシートが含まれる。例えば、炭素繊維やガラスクロスのような繊維状補強材に、硬化剤、着色剤などの添加物を混合した熱硬化性樹脂等を含浸させ、加熱又は乾燥して半硬化状態にしたシート状の強化プラスチック成形材料（プリプレグ）が含まれる。また、プリプレグや樹脂シートなどに銅箔や金箔等の処理を施したものも含まれる。傷がついた回路基板用シートを用いて製作された回路基板は、抵抗値等の特性に不具合が生じてしまうため、回路基板用シートを搬送する際には傷をつけないよう注意が必要となる。
【００１５】
回路基板用シート供給装置１１０では、回路基板用シートＰを吸引により、浮上させて保持することで、回路基板用シートＰを一枚ずつ分離搬送する。
【００１６】
供給された回路基板用シートＰは検査装置１２０で表裏から異物の混入等を検査される。詳しくは、検査装置１２０は、検査対象の回路基板用シートＰを搬送する複数の搬送手段７０、及び異物等の欠点、樹脂の含有量、樹脂の硬化度の検査を行う表面検査部８０、裏面検査部９０等を備える。
【００１７】
本システム１００では、検査結果により、回路基板用シートＰの検査項目が規定通りである合格品の回路基板用シートＰａと、それ以外の、検査で弾かれた品質に傷や汚れがある、リジェクト品（リサイクル可能品）の回路基板用シートＰｂとを判別する。リジェクト品には、作業員が手直し修正を行ったりして、使用可能となる可能性があるものを含み、例えば、表面に付着した異物等を手作業で修正できる場合も含みうる。
【００１８】
回路基板用シートＰは、検査装置１２０を通過後、中継搬送装置１３０を搬送中に合否が判定される。なお、中継搬送装置は設けなくてもよく、検査装置の後に振り分け装置を設けてもよい。
【００１９】
回路基板用シートＰの判定が合格であれば、振り分け装置１４０において、Ａ方向に搬送され、合格品回収装置１５０の合格品スタック（積載トレイ）１５１にスタックされる。
【００２０】
なお、図１の例では、合格品スタック１５１は振り分け装置１４０と同一線上に設けられているが、合格品スタックを、振り分け装置の上方や、振り分け装置の内部に設けてもよい。
【００２１】
回路基板用シートＰが検査装置１２０で不良と判定された場合、振り分け装置１４０において、送方向が斜め下方向（Ｂ方向）になるように回転移動（枢動）され、斜め下方向（矢印Ｂ方向）に回路基板用シートＰが搬送されリジェクト品スタック（積載トレイ）1４１に積載される。
【００２２】
なお、図１の例では、リジェクト品スタック１４１は振り分け装置の下側に設けられているが、リジェクト品スタックを振り分け装置１４０と同一線上に設けて、独立した装置としたり、図１０に示すように、振り分け装置１４０−１の搬送路の上方に設けたりしてもよい。
【００２３】
合格品回収装置１５０の合格品スタック１５１へ積載された回路基板用シートＰは、回路基板用シートとして、回路基板の製造工程に用いられる。
【００２４】
リジェクト品を積載するリジェクト品スタック、又は／及び合格品を積載する合格品スタック１５１（図１）の下方には、昇降駆動モータ６１を備える回収用シート昇降機構６０が設けられていてもよい。
【００２５】
このようなシステムにより回路基板用シートＰを分離・供給して、回路基板用シートＰの表裏から異物等が混入しているかを検査した結果、合格品とリジェクト品とを仕分けして途中から別経路で搬送して、リジェクト品スタック１４２又は合格品スタック１５１へ積載させる。以上がシート検査・仕分けシステム１００の全体動作概略である。
【００２６】
なお、合格品回収装置１５０の直前に、回路基板用シートＰを複数枚積載する途中で、任意の枚数ごとに合紙をする合紙フィーダを備える合紙手段１６０を設けてもよい。なお、合紙手段１６０を配置する段階は、遅くとも合格品回収装置１５０の上流であればよく、より上流側に設けてもよい。
【００２７】
＜回路基板用シート供給装置＞
図２に本発明の実施形態に係る回路基板用シート供給装置１１０と回路基板用シート供給装置１１０に接続される集塵機２００の斜視図を示す。図１及び図２を参照して、本発明の実施形態に係る回路基板用シート供給装置について説明する。
【００２８】
回路基板用シート供給装置１１０は、積載部１０と、上方吸着搬送ユニット２０と、エアー吹き付け手段３０と、上方吸引ダクト（吸引手段）４０と、側方吸引ダクト（側方吸引手段）５０を備える。
【００２９】
収容部１０は、回路基板用シートＰを積み重ねて収容する。上方吸着搬送ユニット２０において、上方吸着手段２１は、回路基板用シートＰを上方から吸引することで、回路基板用シートＰを浮上させ、保持する。上方搬送手段２５（図８参照）は、上方へ吸引されている回路基板用シートＰと上方から接触して該回路基板用シートＰを搬送する。ここで、上方吸着手段２１及び上方搬送手段２５は、一体化した上方吸着搬送ユニット２０を構成している。
【００３０】
エアー吹き付け手段３０は、エアーを、積層された回路基板用シートに吹き付け、回路基板用シートＰの端部を浮上させる。また、所定のタイミングで吸い込み）、浮上中の最上位の回路基板用シートを分離させてもよい。
【００３１】
上方吸引ダクト４０及び側方吸引ダクト５０は、外部の集塵機２００と接続されている。集塵機２００は、上方吸引ダクト４０及び側方吸引ダクト５０を介して、エアーを吸い込むことにより、回路基板用シート供給装置１１０内の、回路基板シートＰの周辺の機構の集塵（繊維や樹脂粉）を集める。
【００３２】
＜上方吸引ダクト＞
図３に、上方吸引ダクト４０の説明図を示す。上方吸引ダクト（上方吸引手段）４０は、上方吸着搬送ユニット（吸着搬送手段）２０の上方に設けられるキャノピー型の集塵ダクトである。
【００３３】
上方吸引ダクト（集塵ダクト）４０は、円筒型吸引口（取付けフランジ）４１と、骨組み４２と、板状部材４３と、吊り下げ支持部４４、ガイド板４５と、接着緩衝部材４６と、を備える。
【００３４】
吸引口（ダクト部）４１は、外部の集塵機２００とホース２１１を介して接続され、上方吸着搬送ユニット２０の上方から、回路基板用シート供給装置内をエアー及び塵を吸引し、塵（繊維や樹脂粉）を集める。
【００３５】
骨組み４２を構成する金属棒及び、板状部材４３を構成するアクリルプレートにより、徐々に、開口部が狭くなる三角錐台形状となることで、効率的に、エアー及び集められた塵をガイドし、上方に集めることができる。
【００３６】
接着緩衝部材４６は、例えば、スポンジテープ等で、板状部材４３と骨組み４２とのつなぎ目を接続している。
【００３７】
図２及び図３を参照して、上方吸引ダクト４０は、回路基板用シート供給装置１１０のフレーム１１２に、吊り下げ支持部４４が引っ掛かることで、吊り下げられている。
【００３８】
接着緩衝部材４６は、例えば、強風や振動、集塵機２００からの強度の吸い込みにより、上方吸引ダクト４０が揺れた場合に、板状部材４３や骨組み４２の部材間のひずみを緩衝する。
【００３９】
本発明の実施形態に係る回路基板用シート供給装置１１０は、上方吸着ユニット２０の上方に設けられる上方吸引ダクト４０が、上方吸着ユニット２０の上方からエアーを吸引することで、浮上した回路基板用シートＰが上方吸着ユニット２０へより吸着しやすくなるという効果を奏する。
【００４０】
＜側方吸引ダクト＞
図４に、側方吸引ダクト５０の説明図を示す。側方吸引ダクト５０は、上方吸着搬送ユニット２０の側方であって、搬送方向の後端に設けられる、吸引集塵ダクトである。
【００４１】
側方吸引ダクト（集塵ダクト）５０は、吸引面５１と中継口５２を備える下部吸引ユニット５３と、２つのブラケット５４と、骨組み５５と、Ｙ字フランジ５６と、２本の中継ホース５７と、取付けフランジ５８と、取っ手５９と、を備える。
【００４２】
側方吸引ダクト５０の下部に下部吸引ユニット５３が設けられ、下部吸引ユニット５３は、ブラケット５４によって、枠形状の骨組み５５に取り付けられている。
骨組み５５には、Ｙ字フランジ５６と、２本の中継ホース５７と、取付けフランジ５８と、取っ手５９が取り付けられている。
【００４３】
側方吸引ダクト５０の下部に下部吸引ユニット５３は、複数の吸引口が形成された吸引面５１で、エアー、塵を吸引し、中継口５２から排出する。
【００４４】
２つの中継口５２と、Ｙ字フランジ５６の二股の穴（円筒部）に、夫々２本の中継ホース５７を介して接続されている。Ｙ字フランジ５６と取付けフランジ４８は内部で筒状に連結されている。取付けフランジ５８には、外部の集塵機２００に連結されるホース２１２が取付けられる。
【００４５】
下部吸引ユニット５３で吸い取ったエアーや塵は、中継口５２、中継ホース５７、Ｙ字フランジ５６、取付けフランジ５６、ホース２１２を介して、集塵機２００へ集められる。
【００４６】
下部吸引ユニット５３は下部に設けられるため、連続使用により、塵がたまることも考えられる。下部吸引ユニット５３内に集まった塵が取り除けるように、側方吸引ダクト５０は回路基板用シート供給装置１１０のフレーム（筐体）１１１に対して、取っ手５９を引くことで、手前方向にスライド可能である。
【００４７】
なお、上記説明では、上方吸引ダクト４０、側方吸引ダクト５０の両方を設ける構成を説明したが、どちらか一方を設けても、筐体内の塵を集めることができる。
【００４８】
＜集塵機＞
図５に、吸引ダクト４０，５０に接続される集塵機２００の説明図を示す。集塵機２００は、固定台２２０の上に載置され、固定されている。集塵機２００の内部には、吸気用のファンが設けられている。集塵機２００の外部に突出する接続フランジ２０１は、ホース２１０と連結されている。
【００４９】
ホース２１０では、集塵機側ホース２１３が途中で、上方吸引ダクト４０用のホース２１１、側方吸引ダクト５０用のホースに２１２に二股に分岐している。
【００５０】
上方吸引ダクト４０からホース２１１を通って集められたエアー及び塵、側方吸引ダクト５０からホース２１２を通って集められたエアー及び塵は、集塵機２００に集められる。
【００５１】
集塵機２００は、排気口２０４が設けられ、適宜固形物以外の気体は排気する。また、ドア２０２が設けられ、集められた溜まった塵等を、適宜、ドア２０２を開けて、廃棄することができる。
【００５２】
図６は、本発明の実施形態に係る回路基板用シート供給装置の筐体及び吸引ダクトを取り除いた全体構成であって、回路基板シート周辺の、エアーの流れを示す斜視図である。
矢印Ａａは上方吸着搬送ユニット２０の上方吸着手段２１による浮上エアー、矢印Ａｂは吹き付け手段（分離浮上手段）３０よる分離浮上エアー、矢印Ａｄは中央部の吹き付け手段分離浮上手段３０Ｂによるリターンエアー、矢印Ａｃは積載部１０のサイドガイドの開口部からの吹き付けられるサイドエアーを示す。
【００５３】
図７は、本発明の実施形態に係る回路基板用シート供給装置における、吸引ダクトによるエアーの流れを示す側面図である。図７のように、吹き付け手段３０によって吹き付けられたエアー、又は上方吸着手段２１によって吸い込まれて上方吸着手段２１を通ったエアーが、上方吸引ダクト４０及び／又は側方吸引ダクト５０を介して、集塵機２００に吸い込まれる。
【００５４】
このように、回路基板用シートＰの分離供給の際に発生する繊維やプリ粉は、吸引ダクト４０、５０により、エアーと共に、集塵機２００へガイドされ、集塵機２００に集めることができる。
【００５５】
よって、上方吸着手段２１内にフィルターを取り付けず、排気後に、吸引ダクト４０，５０を設けて吸い取ることにより、回路基板用シートを構成するプリプレグから発生する繊維やプリ粉のフィルター目詰まりによる吸着ユニットの吸引力の低下を防ぐことができる。
【００５６】
＜収容部＞
回路基板用シート供給装置１１０には、収容部１０を構成するものとして、一対のシート位置規制部材であるサイドフェンス，出口端である前端ガイド、エンドフェンス等が設けられている。サイドフェンスが、下面部（供給台）１４のシート幅方向Ｙ（装置の奥行方向）の両側に配置され、配置された回路基板用シート束Ｐの搬送方向Ｘに交差（直交）するプリプレグ幅方向Ｙの位置決めを行う。前端ガイドは、回路基板用シート束Ｐの搬送方向Ｘに相当する長さ方向前端の位置決めを行う。
【００５７】
サイドフェンスには開口部が形成されている。この開口部がサイドエアーノズルとして、サイドフェンスの外側に接続されたサイド用ブロア等のサバキ用送風手段から送風されて、サバキ用サイドエアーを発生させる。
【００５８】
サイドフェンスの外側には、外側フェンス１６，１６が設けられている。また、外側フェンス１６には、内部の様子が確認できるようなのぞき穴が形成されている。
【００５９】
＜上方吸着搬送ユニット＞
図８（ａ）に、上方吸着搬送ユニット２０の上方吸着手段２１側の斜視図を示し、図４（ｂ）に、上方吸着搬送ユニット２０の上方搬送手段２５側の斜視図を示す。
【００６０】
図８（ａ）を参照して、上方吸着搬送ユニット２０には、上方吸着手段２１として、吸引ブロア２２と負圧エアーチャンバ２３とが設けられている。吸引ブロア２２が負圧を作り出すことで、接続される負圧エアーチャンバ２３が負圧状態となる。吸引ブロア２２には、エアーを吸い込む吸引ノズル２４が設けられている。
【００６１】
図８（ｂ）を参照して、上方吸着搬送ユニット２０には、上方搬送手段２５として、搬送ベルト２６ａ、２６ｂ、２６ｃと、駆動ローラ２７ａ，２７ｂ，２７ｃと、従動ローラ２８ａ，２８ｂ、２８ｃとが設けられている。駆動ローラ２７が回転駆動され、従動ローラ２８が、駆動ローラ２７の駆動で転動するのに搬送ベルト２６に連れ回されて回転する。
【００６２】
ここで配置される３本の搬送ベルト２６ａ、２６ｂ、２６ｃのうち、中央の搬送ベルトを連れ回す、駆動ローラ２７ｂ、従動ローラ２８ｂの半径は、両側の駆動ローラ２７ａ、２７ｃ、従動ローラ２８ａ、２８ｃよりも小さくすると好適である。この構成により、回路基板用シート幅方向Ｙの中央に位置する搬送ベルト２６ｂ、両外側に配置されている搬送ベルト２６ａ，２６ｃの各ベルト保持面には、上下方向Ｚに段差が形成されている。
【００６３】
搬送ベルト２６ａ、２６ｂ，２６ｃは、負圧エアーチャンバ２３に連通する吸着孔が多数形成されたエンドレス状のベルト部材である。負圧エアーチャンバ２３は、吸引ブロア２２から吸引されて負圧状態を保ち、搬送ベルト２６の吸着孔で、供給シートスタック（積載部）１０内の最上位の回路基板用シートを浮上させ、保持するために、吸引する。このように、回路基板用シートＰを浮上させて保持することで、回路基板用シートＰを一枚ずつ分離搬送する。
【００６４】
＜吹き付け手段＞
図９（ａ）は中央部のエアー吹き付け手段３０の斜視図、（ｂ）は前端ガイドを取り外した中央部の吹き付け手段３０Ｂを別の角度から見た斜視図を示す。
【００６５】
エアー吹き付け手段（エアー噴射ノズルユニット）３０は、積載されたプリプレグ束Ｐの前端に対向する位置に、配置されている。エアー吹き付け手段３０には、外部から加圧された気体である空気（以下、エアーともいう）が送られて溜めるエアーチャンバ３３が配置されている。また、図９（ａ）に示すように、エアーチャンバ３３には、浮上ノズル３１及び形状形成ノズル３２が設けられている。そして、エアーチャンバ３３の内部は、浮上ノズル３１用の部分と、形状形成ノズル３２用の部分とに分離されており、浮上ノズル用ブロア３４、形状ノズル用ブロア３５が設けられている。
【００６６】
エアー吹き付け手段３０はエアー（浮上分離エアー）を噴射し、収容部１０の下面１４上に積載・準備されたプリプレグを浮上させる浮上手段として機能する。気体である空気には、除電された空気や、その他のプリプレグを浮上させ、１枚ずつに分離するために用いられる気体なども含まれる。特に炭素繊維を含むプリプレグは、積層状態のプリプレグ同士が静電気の作用で密着していて容易に分離しにくいため、積み重なったプリプレグ束Ｐに除電された空気を吹き付けることは有効である。
【００６７】
さらに、エアー吹き付け手段３０には、浮上ノズル用ブロア３４及びエアーチャンバ３３に接続される、側方吸引ノズル３６が設けられている。エアー吹き付け手段３０は、浮上ノズル３１及び形状形成ノズル３２を介してエアーを吹き付けるタイミングと異なるタイミングで、側方吸引ノズル３６を介して、エアー吸引可能である。エアー吸引により、浮上している回路基板用シートＰのうち最上位以外の回路基板用シートを側方へ吸いつけて落下させることができる。
【００６８】
＜スライド構成＞
図１０は、回路基板用シート検査・仕分けシステムを一体化したカバーで覆う構成の概略構成図である。このシステムは、システム全体が１つの筐体で覆われており、回路基板用シート供給装置１１の設けられた集塵手段は、システム全体の筐体１１２内の塵（回路基板シートを移動させることで発生する繊維や樹脂粉など）を集める。
【００６９】
ここで、集塵装置の性能を向上させるため、集塵機２００を起動させる期間、搬送ユニット７０が取り外し可能であると好適である。
【００７０】
図１１に、図１又は図１０の回路基板用シート検査・仕分けシステム１００に設けられる、検査装置１２０の筐体、及び表面検査部８０、並びに、搬送手段７０の一部を外した斜視図を示す。
【００７１】
図１１に示すように、搬送手段７０において、搬送ベルト７１を記録媒体の幅方向の中央部に配置し、その両側にガイド板ユニット７２，７２を配置している。
【００７２】
ここで、ガイド板は凹凸がない構成が望ましい為、１枚のＳＵＳ板で構成すると好適である。少しでもエッジがあると、そこに接触圧が集中し、粉が発生してしまうためである。ＳＵＳで構成した場合は、ガイド板の表面硬度：Ｈｖ５００以上となる。
【００７３】
なお、ガイド板ユニットは、ガラス板によって、構成されていてもよい。
【００７４】
また、脱着自在に設けられた搬送手段の上方に、何らかの機能を実行する機能ユニットを備えている場合、搬送手段７０を取り外すために上部に設けられる機能ユニットをどける必要がある。そこで、搬送手段の脱着空間を確保するために、機能ユニットがスライド可能であると好ましい。
【００７５】
図１２に、図１０の回路基板用シート検査・仕分けシステムに設けられる、検査装置を示す。例えば、表面検査部８０は、複数の搬送手段７０の上方に設けられ、回路基板用シートＰの搬送方向に移動可能である。移動後、搬送手段７０は取り外すことができる。
【００７６】
図１３に、図１０の回路基板用シート検査・仕分けシステム１００に設けられる、合紙手段１６０を含む装置を示す。
【００７７】
合紙手段（合紙ユニット）１６０は、任意の枚数ごとに、回路基板用シートＰを区別するする（カウントする）。この合紙ユニット（機能ユニット）１６０は、搬送手段７０の上方に設けられ、回路基板用シートＰの搬送方向に移動可能である。移動後、搬送手段７０は取り外すことができる。
【００７８】
＜検査部＞
図１４は、図１又は図１０の回路基板用シート検査・仕分けシステムに設けられる、検査装置周辺の斜視図を示す。
【００７９】
検査装置の光路にごみや粉塵が入り込んだり、そのごみや粉塵が、ハーフミラー等の光学系に付着したりすると、検査による撮像画像に粉塵が映り、誤検査の要因となる。
【００８０】
そこで、ごみや粉塵の入り込みや光学系への付着防止のために、透明ガラス等透過性の材料を用いて光学系をカバーする事が考えられる。
【００８１】
しかし、透明ガラス等の透過性の材料の表面で反射した光が撮像レンズに入射すると、回路基板用シートの表面からの反射光と混ざって撮像レンズに集光されてしまい、正しく検査できないという問題があった。そこで、本発明では検査装置内において、下記のように光学系を構成する。
【００８２】
図１４に示すように、表面検査部８０は搬送ユニット７０の上側、裏面検査部９０は、搬送ユニット７０の下側に設けられている。
【００８３】
図１５は、図１４の検査装置の側面図である。表面検査部８０は、照明８１、ハーフミラー８２、透明ガラスカバー８３、及び図示しない撮像レンズを備える撮像レンズユニット８４を備えている。照明８１は、回路基板用シートＰの表面（検査面）を照射するために用いられる。ハーフミラー８２は、照明からの光を反射させる。透明ガラス８３は、ハーフミラー８２からの光を透過させる。
【００８４】
照明８１から投光し、ハーフミラー８２を介して、回路基板用シートＰの表面に対して光を当て、ハーフミラー８２及び透明ガラス８３を通過した光の回路基板用シートからの正反射光を、撮像レンズユニット８４で受光し検査する。
【００８５】
ここで、図１５に示すように、透明ガラス８３は、回路基板用シートへの照射光や反射光の光路に対して傾いているため、透明ガラス８３表面で反射した光（矢印Ｒ）は、撮像レンズユニット８５へは行かない。
【００８６】
裏面検査部９０は、照明９１、ハーフミラー９２、透明ガラス（カバー）９３、撮像レンズを備える撮像レンズユニット９４、及びスリット９６を備えている。
【００８７】
照明９１は、回路基板用シートＰの裏面（検査面）を照射するために用いられる。ハーフミラー９２は、照明からの光を反射させる。透明ガラス９３は、ハーフミラー９２からの光を透過させる。
【００８８】
ここで、透明ガラス９３の透過面は、回路基板用シートＰへの照射光や反射光の光路に対して傾斜している。
【００８９】
裏面検査部９０が設けられる、回路基板用シートＰの下側には、回路基板シートＰを移動させるために、搬送ベルト７１やガイド板７２等の搬送手段７０が配置されている。
【００９０】
裏面検査部９０の回路基板用シートＰ周辺を説明する。図１６に、図１５の裏面検査部のスリット９６周辺の拡大図を示し、図１７（ａ）に透明ガラス９３の上面図、図１７（ｂ）に透明ガラス９３の斜視図を示す。
【００９１】
裏面検査部９０の回路基板用シート周辺をやや詳しく図示したものが、追加図面である。図１６に示すように、搬送ベルト７１、ベルト駆動ローラ７３，７３があり、またそれらを支える筐体や駆動回路などが多く存在している。なお、搬送ベルト７１を掛け回すローラの一方は従動ローラであってもよい。
【００９２】
これらで反射して、読み取り位置を照明する光を遮断する為に裏面検査部９０では、スリット部９６が透明ガラス９３を覆っている。
【００９３】
このような位置に、スリット９６を設けることで、照明から投光された光が、回路基板用シートＰを搬送している搬送ベルト等に当たって、その乱反射光がハーフミラー９２を介して回路基板用シートの検査面に照射されたり、撮像レンズユニット９４に入ったりしないようにしている。
【００９４】
したがって、透明ガラス９３の透過面によって透過され、プリズム９７を介した光は、搬送ユニット７０を介さずに直接、回路基板用シートＰの裏面に届き、裏面の検査において、搬送ユニット７０からの干渉を受けることを回避できる。
【００９５】
このように、表面検査部、裏面検査部ともに、透明ガラス８３，９３の表面（透過面）で反射した光が撮像レンズに集光されないよう、透明ガラス８３，９３の角度を、回路基板用シート及び撮像レンズに対し傾けた状態で配置している。この構成により、透明ガラスで反射した光は、撮像レンズとは異なる所に集光され、回路基板用シートからの反射光だけが、撮像レンズに集光されるため、正確に検査できるようになる。よって、回路基板用シートの検査速度を向上し、生産効率を高めることができる。
【００９６】
本実施形態では裏面検査部９０の透明ガラスカバーのみをスリット部で覆ったが、乱反射光の影響を考慮して、表面検査部８０の透明ガラスカバーをスリット部で覆っても良い。あるいは、乱反射光の影響を考慮して、裏面検査部９０の透明ガラスカバーをスリット部で覆わなくても良い。
【００９７】
本発明の分離・搬送対象物である回路基板用シートには、公知の全ての回路基板に用いられるシートが含まれる。例えば、炭素繊維やガラスクロスのような繊維状補強材に、硬化剤、着色剤などの添加物を混合した熱硬化性樹脂等を含浸させ、加熱又は乾燥して半硬化状態にしたシート状の強化プラスチック成形材料（プリプレグ）が含まれる。また、プリプレグや樹脂シートなどに銅箔や金箔等の処理を施したものも含まれる。
【００９８】
以上、各実施形態に基づき本発明の説明を行ってきたが、上記実施形態に示した要件に本発明が限定されるものではない。これらの点に関しては、本発明の主旨をそこなわない範囲で変更することができ、その応用形態に応じて適切に定めることができる。
【符号の説明】
【００９９】
１１０  回路基板用シート供給装置
１０  積載部
２０（２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ、２０Ｅ、２０Ｆ）  上方吸着搬送ユニット（吸着搬送手段）
２１  上方吸着手段
２２  吸引ブロア
２３  負圧エアーチャンバ
２４  吸引ノズル
２５  上方搬送手段
２６（２６ａ，２６ｂ，２６ｃ）  上方搬送ベルト（搬送ベルト）
２７  駆動ローラ
２８  従動ローラ
３０  吹き付け手段（エアー噴射ノズルユニット）
３１  浮上ノズル（吹き出し口）
３２  形状形成ノズル（吹き出し口）
３３  エアーチャンバ
３６  周辺ガイド
４０  上方吸引ダクト（吸引手段）
４１  円筒型吸引口（取付けフランジ）
４２  骨組み
４３  板状部材
４４  吊り下げ支持部
４５  ガイド板
４６  接着緩衝部材
５０  側方吸引ダクト（側方吸引手段）
５１  吸引面
５２  中継口
５３  下部吸引ユニット
５４  ブラケット
５５  骨組み
５６  Ｙ字フランジ
５７  中継ホース
５８  取付けフランジ
５９  取っ手
７０  搬送手段（搬送ユニット）
７１  搬送ベルト
７２  ガイド板
７３  ローラ
８０  表面検査部
９０  裏面検査部
８１，９１  照明
８２，９２  ハーフミラー
８３，９３  透明ガラス（ガラスカバー）
８４，９４  撮像レンズユニット
９６  スリット（スリット部）
１００  シート検査・仕分けシステム
１２０  検査装置
１３０  中継搬送装置
１４０，１４０−１  振り分け装置
１５０  合格品回収装置（シート回収装置）
１５１  合格品スタック
１６０  合紙装置
１７０  リジェクト品回収装置（シート回収装置）
１４１，１４２  リジェクト品スタック
２００  集塵機
２１０，２１１，２１２，２１３  ホース
Ｐ  回路基板用シート
【先行技術文献】
【特許文献】
【０１００】
【特許文献１】特開２００３−３１１７６９号公報
【特許文献２】再公表特許２０１１−１１４５９２号
【図１】
2017152664.tif 000003
【図２】
2017152664.tif 000004
【図３】
2017152664.tif 000005
【図４】
2017152664.tif 000006
【図５】
2017152664.tif 000007
【図６】
2017152664.tif 000008
【図７】
2017152664.tif 000009
【図８】
2017152664.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2017152664.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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