(57)【要約】【課題】現像性と密着性のバランスに優れたポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、以下の成分（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を含む。（Ａ）アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）感光剤（Ｃ）分子内に水酸基と、２個以上４個以下の（メタ）アクリル基を有する多官能（メタ）アクリレート化合物【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下の成分（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を含む、ポジ型感光性樹脂組成物。
（Ａ）アルカリ可溶性樹脂
（Ｂ）感光剤
（Ｃ）分子内に水酸基と、２個以上４個以下の（メタ）アクリル基を有する多官能（メタ）アクリレート化合物
【請求項２】
請求項１に記載のポジ型感光性樹脂組成物であって、
前記（Ａ）アルカリ可溶性樹脂は、その構造中にカルボキシル基を含む、ポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項３】
請求項１または２に記載のポジ型感光性樹脂組成物であって、
前記（Ａ）アルカリ可溶性樹脂は、その構造中にノルボルネン骨格を含む、ポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物であって、
前記（Ａ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、前記（Ｃ）分子内に水酸基と、２個以上４個以下の（メタ）アクリル基を有する多官能（メタ）アクリレート化合物を０．０１質量部以上１０質量部以下含む、ポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物であって、
前記（Ｃ）分子内に水酸基と、２個以上４個以下の（メタ）アクリル基を有する多官能（メタ）アクリレート化合物は、グリセリンジアクリレート、グリセリンジメタクリレート、テトラメチロールトリアクリレート、テトラメチロールトリメタクリレートからなる群から選ばれる１又は２種以上の化合物である、ポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物であって、
さらに（Ｄ）密着助剤が含まれる、ポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項７】
請求項６に記載のポジ型感光性樹脂組成物であって、
前記（Ａ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、前記（Ｄ）密着助剤を０．１質量部以上３０質量部以下含む、ポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項８】
請求項６または７に記載のポジ型感光性樹脂組成物であって、
前記（Ｄ）密着助剤の含有量に対する、前記（Ｃ）分子内に水酸基と、２個以上４個以下の（メタ）アクリル基を有する多官能（メタ）アクリレート化合物の含有量の比が、０．０００１以上１０以下である、ポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物であって、
さらに（Ｅ）グリシジル基を有する化合物またはオキセタニル基を有する化合物が含まれる、ポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物であって、
さらに（Ｆ）重合開始剤が含まれる、ポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれか１項に記載のポジ型感光性樹脂組成物の硬化物で構成される硬化膜。
【請求項１２】
請求項１１に記載の硬化膜を備える電子装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜および電子装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子装置を構成する硬化膜として、感光性樹脂組成物を露光して得られる樹脂膜が利用されることがある。このような感光性樹脂組成物に関連して、たとえば特許文献１に記載の技術が知られている。特許文献１には、特定のアルカリ可溶性樹脂と、１，２−キノンジアジド化合物を含有する感放射線性樹脂組成物が記載されている。また、当該文献によれば、感放射線性を有し、解像度が高く、しかも、絶縁性、平坦性、耐熱性、硬度、透明性の諸性能に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感放射線性樹脂組成物が提供できるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−２６２７０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１によれば、（メタ）アクリレート化合物等の少なくとも１個のエチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物を含有させることで、感放射線性樹脂組成物から得られる薄膜の平坦性、耐熱性、硬度等を向上させることができる旨記載されており、実施例において、解像度や耐熱性等に優れたポジ型の硬化膜を得ている。
ここで、このようなエチレン性不飽和二重結合を樹脂組成物として含ませる場合においては、この不飽和二重結合が重合に寄与することから、現像性の向上を図ることができ、これとあわせて平坦性や耐熱性、硬度等の物性を向上させることが推察される。
【０００５】
しかしながら、本発明者らが検討した結果、特許文献１に記載されているようなエチレン性不飽和二重結合は、必ずしも、樹脂組成物に含まれるアルカリ可溶性樹脂との相溶性が十分なものではなく、結果として、樹脂組成物を硬化させる際に系の不均一化を招き、これにより基板と樹脂膜との十分な密着性を発現できない場合があった。
すなわち、たとえばポジ型の感光性樹脂組成物にエチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物を含ませる場合においては、現像性の向上と密着性の向上とはいわばトレードオフの関係にあり、これらの両立が図られた樹脂組成物について、開拓の余地があった。
【０００６】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、現像性と密着性とのバランスに優れたポジ型感光性樹脂組成物を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らが鋭意検討したところ、感光性樹脂組成物中に含ませる（メタ）アクリル化合物について、特定の官能基を有する化合物とすることにより、上述の課題を解決することのできるポジ型感光性樹脂組成物を提供できることを見出した。
【０００８】
すなわち、本発明によれば、以下の成分（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を含む、ポジ型感光性樹脂組成物が提供される。
（Ａ）アルカリ可溶性樹脂
（Ｂ）感光剤
（Ｃ）分子内に水酸基と、２個以上４個以下の（メタ）アクリル基を有する多官能（メタ）アクリレート化合物
【０００９】
また、本発明によれば、上記ポジ型感光性樹脂組成物の硬化物で構成される硬化膜が提供される。
【００１０】
また、本発明によれば、上記硬化膜を備える電子装置が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のポジ型感光性樹脂組成物に含まれる多官能（メタ）アクリレート化合物は、分子内に水酸基を備え、かつ、特定の数の（メタ）アクリル基を備える。定かなものではないが、多官能（メタ）アクリレート化合物に含まれる（メタ）アクリル基が、現像性を向上させ、これと同時に、多官能（メタ）アクリレート化合物に含まれる水酸基がポジ型感光性樹脂組成物に含まれるアルカリ可溶性樹脂と適度な親和性を発揮し、密着性の向上を図ることができると考えられる。
すなわち、かかる多官能（メタ）アクリレート化合物を採用することにより、現像性と密着性とのバランスに優れたポジ型感光性樹脂組成物を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施形態の電子装置の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
また、本明細書中において、「〜」はとくに断りがなければ以上から以下を表す。
【００１４】
（ポジ型感光性樹脂組成物）
まず、本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物について説明する。
本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物は以下の成分（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を含むものである。
（Ａ）アルカリ可溶性樹脂
（Ｂ）感光剤
（Ｃ）分子内に水酸基と、２個以上４個以下の（メタ）アクリル基を有する多官能（メタ）アクリレート化合物
【００１５】
まず、本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物の用途について説明する。
本実施形態に係るポジ型感光性樹脂組成物は、たとえば永久膜を形成するために用いることができる。上記永久膜は、ポジ型感光性樹脂組成物を硬化させることにより得られる硬化膜により構成される。本実施形態においては、たとえばポジ型感光性樹脂組成物により構成される塗膜を露光および現像により所望の形状にパターニングした後、当該塗膜を熱処理等によって硬化させることにより永久膜が形成される。一方で、ポジ型感光性樹脂組成物は、リソグラフィ処理において用いるフォトレジストを形成するために用いられてもよい。
【００１６】
ポジ型感光性樹脂組成物を用いて形成される永久膜としては、たとえば層間膜、表面保護膜、カラーフィルタ、またはダム材が挙げられる。また、当該永久膜は、たとえば光学レンズ等の光学材料としても用いることができる。なお、永久膜の用途は、これらに限定されるものではない。
また、本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物の永久膜以外の用途としては、エッチングレジスト等のフォトレジスト、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）等の微細加工用途等が挙げられる。
【００１７】
層間膜は、多層構造中に設けられる絶縁膜を指し、その種類はとくに限定されない。層間膜としては、たとえば半導体素子の多層配線構造を構成する層間絶縁膜、回路基板を構成するビルドアップ層もしくはコア層等の半導体装置用途において用いられるものが挙げられる。また、層間膜としては、たとえば表示装置における薄膜トランジスタ（ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ））を覆う平坦化膜、液晶配向膜、ＭＶＡ（Ｍｕｌｔｉ  Ｄｏｍａｉｎ  Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）型液晶表示装置のカラーフィルタ基板上に設けられる突起、もしくは有機ＥＬ素子の陰極を形成するための隔壁等の表示装置用途において用いられるものも挙げられる。表面保護膜は、電子部品や電子装置の表面に形成され、当該表面を保護するための絶縁膜を指し、その種類はとくに限定されない。このような表面保護膜としては、たとえば半導体素子上に設けられるパッシベーション膜、バンプ保護膜もしくはバッファーコート層、またはフレキシブル基板上に設けられるカバーコートが挙げられる。また、ダム材は、基板上に光学素子等を配置するための中空部分を形成するために用いられるスペーサである。
【００１８】
つづいて、本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物を構成する各成分について説明する。
【００１９】
（（Ａ）アルカリ可溶性樹脂）
（Ａ）アルカリ可溶性樹脂としては、たとえばフェノール樹脂、ヒドロキシスチレン樹脂、メタクリル酸樹脂、メタクリル酸エステル樹脂等のアクリル系樹脂、環状オレフィン系樹脂、ポリベンゾオキサゾール前駆体およびポリイミド前駆体等のアミド結合を有する前駆体、ならびに当該前駆体を脱水閉環して得られる樹脂、下記式（１）にて示される共重合体等の構造中にノルボルネン骨格を含む樹脂が挙げられる。本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物の現像性や硬化性、硬化膜の機械的強度を向上させる観点からは、フェノール樹脂、ヒドロキシスチレン樹脂、アミド結合を有する前駆体、または下記式（１）にて示される共重合体を含むことが好ましい。
また、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂としては、後述する（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物との親和性をさらに高めるために、構造中にカルボキシル基を含むものであることが好ましい。
また、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂としては、硬化膜の耐熱性や透明性を向上させる観点から、その構造中にノルボルネン骨格を含むことも好ましい。なお、ここでノルボルネン骨格を含むアルカリ可溶性樹脂とは、たとえば、下記式（１）に示される共重合体のように、脂環内に重合性を備えるモノマーを重合した樹脂や、重合性基とは隔離された位置にノルボルネン骨格を有するモノマーを重合して得られる樹脂（すなわち、ノルボルネン骨格がペンダントとして備えられた樹脂）であっても構わない。
（Ａ）アルカリ可溶性樹脂は、これらのうちの１種または２種以上を含むことができる。
【００２０】
【化１】
2017044860.tif 000002
【００２１】
式（１）中、ｌおよびｍは共重合体中におけるモル含有率（モル比）を示し、ｌ＋ｍ≦１、０．１≦ｌ≦０．９、０．１≦ｍ≦０．９である。ｎは０、１または２である。
Ｒａ、Ｒｂ、ＲｃおよびＲｄはそれぞれ独立して水素または炭素数１〜３０の有機基である。Ｒａ、Ｒｂ、ＲｃおよびＲｄは、互いに同一であってもよく、また互いに異なっていてもよい。
Ａは下記式（２ａ）、（２ｂ）、（２ｃ）、（２ｄ）または（２ｅ）により示される構造単位である。上記式（１）により示される共重合体には、下記式（２ａ）、（２ｂ）、（２ｃ）、（２ｄ）および（２ｅ）から選択される１種または２種以上の構造単位Ａが含まれる。本実施形態においては、少なくとも下記式（２ａ）、（２ｂ）、（２ｃ）および（２ｅ）から選択される１種または２種以上の構造単位Ａが含まれることが好ましい。なお、上記式（１）により表される共重合体は、式（１）中に示すノルボルネン型モノマー由来の構造単位と構造単位Ａ以外の他の構造単位を含んでいてもよく、含んでいなくともよい。
【００２２】
【化２】
2017044860.tif 000003
式（２ａ）および式（２ｂ）中、Ｒｅ、ＲｆおよびＲｇは、それぞれ独立して炭素数１〜１８の有機基である。式（２ｅ）中、Ｒｈは、水素、炭素数１〜１２のアルキル基、または炭素数３〜８のシクロアルキル基である。
【００２３】
本実施形態において、上記式（１）で示される共重合体には、上記式（２ａ）により示される構造単位Ａ、および上記式（２ｃ）により示される構造単位Ａを含むことが好ましく、さらには、（２ｂ）により示される構造単位Ａが含まれることが好ましい。これにより、ポジ型感光性樹脂組成物について、フォトリソグラフィ工程におけるアルカリ現像液への溶解性を調整することが容易となる。
また、とくに硬化膜の耐熱性や強度を向上させる観点からは、上記式（２ｅ）により示される構造単位Ａが、上記式（１）で示される共重合体に含まれることがより好ましい。
【００２４】
本実施形態において、Ｒａ、Ｒｂ、ＲｃおよびＲｄを構成する有機基としては、たとえばアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アルキリデン基、アリール基、アラルキル基、アルカリル基、シクロアルキル基、カルボキシル基を有する有機基、およびヘテロ環を有する有機基が挙げられ、これらのなかから選択できる。アルキル基としては、たとえばメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、およびデシル基が挙げられる。アルケニル基としては、たとえばアリル基、ペンテニル基、およびビニル基が挙げられ、これらのなかから選択できる。アルキニル基としては、エチニル基が挙げられる。アルキリデン基としては、たとえばメチリデン基、およびエチリデン基が挙げられる。アリール基としては、たとえばフェニル基、ナフチル基、およびアントラセニル基が挙げられる。アラルキル基としては、たとえばベンジル基、およびフェネチル基が挙げられる。アルカリル基としては、たとえばトリル基、キシリル基が挙げられる。シクロアルキル基としては、たとえばアダマンチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、およびシクロオクチル基が挙げられる。ヘテロ環を有する有機基としては、たとえばエポキシ基、およびオキセタニル基を有する有機基が挙げられる。
なお、Ｒａ、Ｒｂ、ＲｃまたはＲｄとしてアルキル基を含むことにより、感光性樹脂組成物としての製膜性を向上させることができる。また、Ｒａ、Ｒｂ、ＲｃまたはＲｄとしてアリール基を含むことにより、リソグラフィ工程におけるアルカリ現像液を用いた現像の際の膜減りを抑えることができる。また、Ｒａ、Ｒｂ、ＲｃまたはＲｄとしてカルボキシル基を有する有機基またはヘテロ環を有する有機基を含むことにより、硬化膜の耐熱性や強度を向上させることができる。とくに硬化膜の耐熱性を向上させる観点からは、Ｒａ、Ｒｂ、ＲｃまたはＲｄとしてカルボキシル基を有する有機基を含む構造単位と、Ｒａ、Ｒｂ、ＲｃまたはＲｄとしてヘテロ環を有する有機基を含む構造単位と、をともに上記式（１）に示す共重合体中に含むことがより好ましい。
【００２５】
また、前述したアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アルキリデン基、アリール基、アラルキル基、アルカリル基、シクロアルキル基、カルボキシル基を有する有機基、およびヘテロ環を有する有機基は、１以上の水素原子が、ハロゲン原子により置換されていてもよい。ハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、およびヨウ素が挙げられる。なかでもアルキル基の１以上の水素原子が、ハロゲン原子に置換されたハロアルキル基が好ましい。Ｒａ、Ｒｂ、ＲｃおよびＲｄの少なくともいずれか１つをハロアルキル基とすることで、感光性樹脂組成物を用いて形成される樹脂膜の誘電率を低下させることができる。
なお、感光性樹脂組成物を用いて形成される樹脂膜の光透過性を高める観点からは、Ｒａ、Ｒｂ、ＲｃおよびＲｄのいずれかが水素であることが好ましく、Ｒａ、Ｒｂ、ＲｃおよびＲｄすべてが水素であることがより好ましい。
【００２６】
本実施形態において、Ｒｅ、ＲｆおよびＲｇを構成する有機基としては、たとえばアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アルキリデン基、アリール基、アラルキル基、アルカリル基、シクロアルキル基、およびヘテロ環を有する有機基が挙げられ、これらのなかから選択できる。ここでアルキル基としては、たとえばメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、およびデシル基が挙げられる。アルケニル基としては、たとえばアリル基、ペンテニル基、およびビニル基が挙げられる。アルキニル基としては、エチニル基が挙げられる。アルキリデン基としては、たとえばメチリデン基、およびエチリデン基が挙げられる。アリール基としては、たとえばフェニル基、ナフチル基、およびアントラセニル基が挙げられる。アラルキル基としては、たとえばベンジル基、およびフェネチル基が挙げられる。アルカリル基としては、たとえばトリル基、キシリル基が挙げられる。シクロアルキル基としては、たとえばアダマンチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、およびシクロオクチル基が挙げられる。ヘテロ環を有する有機基としては、たとえばエポキシ基、およびオキセタニル基を有する有機基が挙げられる。
【００２７】
また、前述したアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アルキリデン基、アリール基、アラルキル基、アルカリル基、シクロアルキル基、およびヘテロ環を有する有機基は、１以上の水素原子が、ハロゲン原子により置換されていてもよい。ハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、およびヨウ素が挙げられる。なかでもアルキル基の１以上の水素原子が、ハロゲン原子に置換されたハロアルキル基が好ましい。
【００２８】
本実施形態において、Ｒｈを構成する炭素数１〜１２のアルキル基としては、たとえばメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、およびドデシル基が挙げられる。また、Ｒｈを構成する炭素数３〜８のシクロアルキル基としては、たとえばシクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、およびシクロオクチル基が挙げられる。なお、Ｒｈに含まれる一以上の水素原子が、フッ素、塩素、臭素もしくはヨウ素等のハロゲン原子によって置換されていてもよい。
【００２９】
上記式（１）に示される共重合体は、たとえば下記式（３）で表されるノルボルネン型モノマーに由来した繰り返し単位と、下記式（４）に示す無水マレイン酸に由来した繰り返し単位と、が交互に配列されてなる交互共重合体であることが好ましい。なお、上記式（１）に示される共重合体は、ランダム共重合体やブロック共重合体であってもよい。下記式（４）に示す無水マレイン酸に由来した繰り返し単位とは、上記式（１）中のＡのうちの上記式（２ａ）〜（２ｄ）により表される構造単位である。
また、本実施形態において、上記式（１）に示される共重合体が上記式（２ｅ）により示される構造単位Ａを含む場合には、たとえばＲａ、Ｒｂ、ＲｃおよびＲｄのうちの少なくとも一つがオキセタン環を有する有機基であるノルボルネン型モノマー由来の構造単位を有するものであることがとくに好ましい。
なお、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂には、低分子量成分として下記式（３）、（４）および（９）により示されるモノマーのうちの一種または二種以上が含まれていてもよい。
【００３０】
【化３】
2017044860.tif 000004
2017044860.tif 000005
式（３）中、ｎは０、１または２であり、Ｒａ、Ｒｂ、ＲｃおよびＲｄはそれぞれ独立して水素または炭素数１〜３０の有機基である。式（９）中、Ｒｈは、水素、炭素数１〜１２のアルキル基、または炭素数３〜８のシクロアルキル基である。
【００３１】
（Ａ）アルカリ可溶性樹脂におけるアミド結合を有する前駆体としては、たとえば下記一般式（５）により示される繰り返し単位を有するものを用いることができる。
【００３２】
【化４】
2017044860.tif 000006
【００３３】
式（５）中、ＸおよびＹは、有機基である。Ｒ１は、水酸基、−Ｏ−Ｒ３、アルキル基、アシルオキシ基、またはシクロアルキル基であり、複数有する場合にはそれぞれ同一であっても異なっても良い。Ｒ２は、水酸基、カルボキシル基、−Ｏ−Ｒ３、または−ＣＯＯ−Ｒ３であり、複数有する場合にはそれぞれ同一であっても異なっても良い。Ｒ１およびＲ２におけるＲ３は、炭素数１〜１５の有機基である。Ｒ１として水酸基がない場合、Ｒ２の少なくとも１つはカルボキシル基である。Ｒ２としてカルボキシル基がない場合は、Ｒ１の少なくとも１つは水酸基である。ｍは０〜８の整数であり、ｎは０〜８の整数である。
なお、一般式（５）により示されるアミド樹脂において、Ｘ、Ｙ、Ｒ１〜Ｒ３、ｍおよびｎは、それぞれ繰り返し単位毎に同一であってもよく、互いに異なっていてもよい。
【００３４】
一般式（５）で表される構造を有するアミド結合を有する前駆体において、加熱脱水または触媒を用いた脱水反応を生じさせることにより、ポリイミド樹脂もしくはポリベンゾオキサゾール樹脂、またはイミド結合とオキサゾール環を含む共重合体が生成される。（Ａ）アルカリ可溶性樹脂としてアミド結合を有する前駆体を用いる場合、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂は、ポリイミド樹脂およびポリベンゾオキサゾール樹脂のうちの一方または双方をさらに含んでいてもよい。
【００３５】
一般式（５）により示されるアミド結合を有する前駆体がポリベンゾオキサゾール前駆体である場合、Ｒ１の少なくとも一つは水酸基である。この場合、加熱脱水または触媒を用いた脱水反応により、Ｒ１とアミド構造との間において脱水閉環が起こり、オキサゾール環を有するポリベンゾオキサゾール樹脂が生成される。このとき、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂には、ポリベンゾオキサゾール前駆体またはポリベンゾオキサゾール樹脂の少なくとも一方が含まれることとなる。
また、一般式（５）により示されるアミド結合を有する前駆体がポリイミド前駆体である場合、Ｒ２の少なくとも一つはカルボキシル基である。この場合、加熱脱水または触媒を用いた脱水反応により、Ｒ２とアミド構造との間において脱水閉環（イミド化）が起こり、ポリイミド樹脂が生成される。このとき、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂には、ポリイミド前駆体またはポリイミド樹脂の少なくとも一方が含まれることとなる。
【００３６】
一般式（５）で表される繰り返し単位を有するアミド結合を有する前駆体において、Ｒ１およびＲ２としては、アミド結合を有する前駆体のアルカリ水溶液に対する溶解性を調節する上で、水酸基またはカルボキシル基が保護基Ｒ３で保護された基を含むことができる。このようなＲ１としては−Ｏ−Ｒ３を、Ｒ２としては−Ｏ−Ｒ３または−ＣＯＯ−Ｒ３を、それぞれ用いることができる。Ｒ３としての炭素数１〜１５の有機基としては、たとえばホルミル基、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ターシャリーブチル基、ターシャリーブトキシカルボニル基、フェニル基、ベンジル基、テトラヒドロフラニル基、およびテトラヒドロピラニル基が挙げられる。
【００３７】
一般式（５）で表される構造を有するアミド結合を有する前駆体のＸとしての有機基は、とくに限定されるものではないが、たとえばベンゼン環、ナフタレン環またはビスフェノール構造等の構造からなる芳香族基、ピロール環またはフラン環等の構造からなる複素環式有機基、およびシロキサン基が挙げられる。より具体的には以下に示されるものが好ましい。これらは、１種類単独で、または２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００３８】
【化５】
2017044860.tif 000007
（＊は、一般式（５）におけるＮＨ基に結合することを示す。Ａは、アルキレン基、置換アルキレン基、−Ｏ−Ｃ６Ｈ４−Ｏ−、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＳＯ２−、−Ｃ（＝Ｏ）−、−ＮＨＣ（＝Ｏ）−または単結合である。Ｒ４は、アルキル基、アルキルエステル基およびハロゲン原子からなる群から選ばれた１つを示し、繰り返し単位毎に同一であっても異なっていてもよい。Ｒ５は、水素原子、アルキル基、アルキルエステル基およびハロゲン原子からなる群から選ばれた１つを示す。ｓは０〜４の整数である。Ｒ６〜Ｒ９はそれぞれ有機基である。ここでは、一般式（５）に示すＸの置換基Ｒ１は省略している）
【００３９】
一般式（５）で表される構造を有するアミド結合を有する前駆体におけるＹは有機基であり、このような有機基としてはＸと同様のものが挙げられる。一般式（５）におけるＹとしては、たとえばベンゼン環、ナフタレン環またはビスフェノール構造等の構造からなる芳香族基、ピロール環、ピリジン環またはフラン環等の構造からなる複素環式有機基、およびシロキサン基等が挙げられる。より具体的には以下に示されるものが好ましい。これらは、１種類単独で、または２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００４０】
【化６】
2017044860.tif 000008
（＊は、一般式（５）におけるＣ＝Ｏ基に結合することを示す。Ｊは、−ＣＨ２−、−Ｃ（ＣＨ３）２−、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＳＯ２−、−Ｃ（＝Ｏ）−、−ＮＨＣ（＝Ｏ）−、−Ｃ（ＣＦ３）２−または単結合である。Ｒ１３は、アルキル基、アルキルエステル基、アルキルエーテル基、ベンジルエーテル基およびハロゲン原子からなる群から選ばれた１つを示し、繰り返し単位毎に同じでも異なってもよい。Ｒ１４は、水素原子、アルキル基、アルキルエステル基およびハロゲン原子からなる群から選ばれた１つを示す。ｔは０以上２以下の整数である。Ｒ１５〜Ｒ１８は、有機基である。ここでは、一般式（５）に示すＹの置換基Ｒ２は省略している）
【００４１】
一般式（５）で表されるアミド結合を有する前駆体の場合、低温で硬化した硬化物の機械物性、耐熱性に影響を及ぼさない程度に、当該前駆体の末端のアミノ基を、アルケニル基またはアルキニル基を少なくとも１個有する脂肪族基または環式化合物基を含む酸無水物またはモノカルボン酸を用いて、アミドとして末端封止することもできる。
アルケニル基またはアルキニル基を少なくとも１個有する脂肪族基または環式化合物基を含む酸無水物またはモノカルボン酸としては、たとえばマレイン酸無水物、シトラコン酸無水物、２，３−ジメチルマレイン酸無水物、４−シクロヘキセン−１，２−ジカルボン酸無水物、ｅｘｏ−３，６−エポキシ−１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸無水物、５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸無水物、メチル−５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸無水物、イタコン酸無水物、ヘット酸無水物、５−ノルボルネン−２−カルボン酸、４−エチニルフタル酸無水物、および４−フェニルエチニルフタル酸無水物を挙げることができる。これらは単独で用いてもよいし、２種類以上組み合わせて用いてもよく、末端封止したアミド部分の一部が脱水閉環していてもよい。
【００４２】
また、一般式（５）で表されるアミド結合を有する前駆体の場合、当該前駆体の末端のカルボン酸残基を、アルケニル基またはアルキニル基を少なくとも１個有する脂肪族基または環式化合物基を含むアミン誘導体を用いて、アミドとして末端封止することもできる。
【００４３】
一般式（５）で表されるアミド結合を有する前駆体の場合、低温で硬化した硬化物の機械物性、耐熱性に影響を及ぼさない程度に、末端の少なくとも一方に、窒素含有環状化合物により末端封止した基を有してもよい。これにより、金属配線（特に銅配線）等との密着性を向上することができる。窒素含有環状化合物としては、たとえば１−（５−１Ｈ−トリアゾイル）メチルアミノ基、３−（１Ｈ−ピラゾイル）アミノ基、４−（１Ｈ−ピラゾイル）アミノ基、５−（１Ｈ−ピラゾイル）アミノ基、１−（３−１Ｈ−ピラゾイル）メチルアミノ基、１−（４−１Ｈ−ピラゾイル）メチルアミノ基、１−（５−１Ｈ−ピラゾイル）メチルアミノ基、（１Ｈ−テトラゾル−５−イル）アミノ基、１−（１Ｈ−テトラゾル−５−イル）メチル−アミノ基、および３−（１Ｈ−テトラゾル−５−イル）ベンズ−アミノ基が挙げられる。
【００４４】
一般式（５）で表される構造を有するアミド結合を有する前駆体は、たとえば一般式（５）におけるＸを含むジアミン、ビス（アミノフェノール）または２，４−ジアミノフェノール等から選ばれる化合物と、Ｙを含むテトラカルボン酸二無水物、トリメリット酸無水物、ジカルボン酸、ジカルボン酸ジクロライドまたはジカルボン酸誘導体等から選ばれる化合物と、を反応させて合成することができる。ジカルボン酸を用いる場合には、アミド結合を有する前駆体の反応収率等を高めるため、ジカルボン酸に１−ヒドロキシ−１，２，３−ベンゾトリアゾール等を予め反応させた活性エステル型のジカルボン酸誘導体を用いてもよい。
【００４５】
（Ａ）アルカリ可溶性樹脂におけるフェノール樹脂としては、たとえばノボラック型フェノール樹脂に代表されるフェノール化合物とアルデヒド化合物との反応物を用いることができる。このようなフェノール化合物とアルデヒド化合物を反応させて得られるフェノール樹脂を用いることで、現像工程における膜減りを抑えることができ、また製造コストの低減を図ることができる。
【００４６】
フェノール化合物としては、とくに限定されないが、たとえばフェノール、ｏ−クレゾール、ｍ−クレゾールもしくはｐ−クレゾール等のクレゾール類、２，３−キシレノール、２，４−キシレノール、２，５−キシレノール、２，６−キシレノール、３，４−キシレノールもしくは３，５−キシレノール等のキシレノール類、ｏ−エチルフェノール、ｍ−エチルフェノールもしくはｐ−エチルフェノール等のエチルフェノール類、イソプロピルフェノール、ブチルフェノールもしくはｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール等のアルキルフェノール類、またはレゾルシン、カテコール、ハイドロキノン、ピロガロールもしくはフロログルシン等の多価フェノール類を用いることができる。これらのフェノール化合物は、単独でまたは２種以上組合せて用いることができる。
【００４７】
アルデヒド化合物としては、アルデヒド基を有する有機基であればとくに限定されないが、たとえばホルマリン、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、ベンズアルデヒド、またはサリチルアルデヒドを用いることができる。ベンズアルデヒドとしては、アルキル基、アルコキシ基もしくはヒドロキシ基のうちの少なくとも１種により置換されたもの、または無置換のものを使用することができる。これらのアルデヒド化合物は、単独でまたは２種以上を組合せて用いることができる。
本実施形態においては、たとえば上記フェノール化合物と上記アルデヒド化合物を酸触媒の下で反応させ合成することにより、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂であるフェノール樹脂が得られる。酸触媒としては、とくに限定されないが、たとえばシュウ酸、硝酸、硫酸、硫酸ジエチル、酢酸、ｐ−トルエンスルホン酸、フェノールスルホン酸、またはベンゼンスルホン酸を用いることができる。
【００４８】
（Ａ）アルカリ可溶性樹脂におけるヒドロキシスチレン樹脂としては、ヒドロキシスチレンやスチレンまたはこれらの誘導体を、ラジカル重合、カチオン重合やアニオン重合させることにより得られた重合反応物または共重合反応物を用いることができる。
【００４９】
本実施形態において、ポジ型感光性樹脂組成物中における（Ａ）アルカリ可溶性樹脂の含有量は、ポジ型感光性樹脂組成物の固形分全体１００質量部に対して、５０質量部以上であることが好ましく、６０質量部以上であることがより好ましく、６５質量部以上であることがさらに好ましい。また、ポジ型感光性樹脂組成物中における（Ａ）アルカリ可溶性樹脂の含有量は、ポジ型感光性樹脂組成物の固形分全体１００質量部に対して、９５質量部以下であることが好ましく、９２質量部以下であることがより好ましく、９０質量部以下であることがさらに好ましい。（Ａ）アルカリ可溶性樹脂の含有量を上記下限値以上とすることにより、ポジ型感光性樹脂組成物の硬化性を向上させることができる。これにより、感光性樹脂材料を用いて形成される硬化膜の耐熱性や機械的強度、耐久性を向上させることができる。（Ａ）アルカリ可溶性樹脂の含有量を上記上限値以下とすることにより、リソグラフィにおける解像性の向上を図ることができる。
なお、ポジ型感光性樹脂組成物中における固形分の割合（質量％）は、たとえば次のように測定することができる。まず、重量（ｗ０）を測定したアルミカップ中に、試料としてポジ型感光性樹脂組成物を１．０ｇ量り取る。このとき、試料とアルミカップの全重量をｗ１とする。次いで、アルミカップを、２１０℃に調整した熱風乾燥機中で常圧下、１時間保持した後、熱風乾燥機から取り出して室温まで冷却する。次いで、冷却した試料とアルミカップの全重量（ｗ２）を測定する。そして、以下の式からポジ型感光性樹脂組成物中における固形分の割合（質量％）を算出する。
不揮発分（質量％）＝（ｗ２−ｗ０）／（ｗ１−ｗ０）×１００
【００５０】
（（Ｂ）感光剤）
本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物は、（Ｂ）感光剤を含む。この（Ｂ）感光剤としては、公知のものを採用することができ、特に制限されないが、たとえばジアゾキノン化合物を採用することができる。感光剤として用いられるジアゾキノン化合物は、たとえば以下に例示するものを含む。
【００５１】
【化７】
2017044860.tif 000009
【００５２】
以上の各化合物において、Ｑは、以下に示す構造（ａ）、構造（ｂ）および構造（ｃ）のうちのいずれか、または水素原子である。ただし、各化合物に含まれるＱのうちの少なくとも一つは、以下に示す構造（ａ）、構造（ｂ）および構造（ｃ）のうちのいずれかである。感光性樹脂組成物の透明性および誘電率の観点からは、Ｑが構造（ａ）あるいは構造（ｂ）であるｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸誘導体がより好ましい。
【００５３】
【化８】
2017044860.tif 000010
【００５４】
本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物中における（Ｂ）感光剤の含有量は、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、１．５質量部以上であることが好ましく、２．５質量部以上であることがより好ましく、４質量部以上であることがさらに好ましい。また、ポジ型感光性樹脂組成物中における（Ｂ）感光剤の含有量は、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、２５質量部以下であることが好ましく、１８質量部以下であることがより好ましく、１５質量部以下であることがさらに好ましい。
また、（Ｂ）感光剤の含有量は、ポジ型感光性樹脂組成物の固形分全体１００質量部に対して１質量部以上であることが好ましく、２質量部以上であることがより好ましく、３質量部以上であることがさらに好ましい。また、（Ｂ）感光剤の含有量は、ポジ型感光性樹脂組成物の固形分全体１００質量部に対して２０質量部以下であることが好ましく、１５質量部以下であることがより好ましく、１０質量部以下であることがさらに好ましい。
これにより、ポジ型感光性樹脂組成物における、反応性、経時安定性、および現像性のバランスを効果的に向上させることが可能となる。
【００５５】
（（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物）
本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物は、（Ｃ）分子内に水酸基と、２個以上４個以下の（メタ）アクリル基を有する多官能（メタ）アクリレート化合物（本明細書中においては、単に「（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物」ともいう。）を含む。
本実施形態においては、この特定の構造を有する（メタ）アクリレート化合物を用いることで、ポジ型感光性樹脂組成物としての現像性と密着性とのバランスの向上を図ることができる。
なお、本明細書中において（メタ）アクリレート化合物は、メタクリレート化合物とアクリレート化合物、（メタ）アクリル基はメタクリル基とアクリル基の総称を示す。
【００５６】
具体的に、この（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物としては、特定量の（メタ）アクリル基を有する化合物が用いられ、この（メタ）アクリル基により、適度な現像性の向上を図ることができると考えられる。この（メタ）アクリル基は化合物中に２個以上４個以下備えられるものであるが、反応性を調整する観点から、２個以上３個以下であることがより好ましい。（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物における（メタ）アクリル基の数をこの下限値以上とすることにより、化合物の沸点が高まるためプリベーク後の膜中に残存し密着性改善効果がより向上し、（メタ）アクリル基の数をこの上限値以下とすることにより、現像性の低下を抑制することができる。
【００５７】
また、この（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物としては、分子内に水酸基を有し、これにより（Ａ）アルカリ可溶性樹脂との親和性を発揮することができ、これにより密着性の向上を図ることができる。
すなわち、上記の（メタ）アクリル基と、この水酸基との相乗効果により、本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物は所望の効果を発揮することができる。
ここで、この（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物における水酸基の数は特に制限されないが、たとえば分子内に１個以上５個以下有することが好ましく、分子内に１個以上４個以下有することがより好ましく、分子内に１個以上３個以下有することがさらに好ましく、分子内に１個または２個であることが特に好ましい。（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物における水酸基の数をこの下限値以上とすることにより、アルカリ可溶性樹脂との親和性を発揮することができ、この上限値以下とすることで有機溶剤への溶解性を確保することができる。
【００５８】
この（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物は、上記の（メタ）アクリル基と水酸基を有する化合物の中から適宜選択して用いることができる。
より具体的に、この（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物は、３つ以上の水酸基を有するポリオール化合物について、アクリル酸またはメタクリル酸を作用させ、一部水酸基を残存させながらエステル化して得ることができる。また、全ての水酸基が（メタ）アクリレート化された化合物から、所定量の塩基（水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等）を作用させることで、一部が水酸基となったエステルへと変換し、得ることもできる。
また、市場に流通している市販品も用いることができ、入手容易性の高さや製造時のハンドリングの高さから、グリセリンジアクリレート、グリセリンジメタクリレート、テトラメチロールトリアクリレート、テトラメチロールトリメタクリレートからなる群から選ばれる１又は２種以上の化合物であることが好ましい。
【００５９】
本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物中における（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物の含有量は、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、０．０１質量部以上であることが好ましく、０．０３質量部以上であることがより好ましく、０．１質量部以上であることがさらに好ましく、０．５質量部以上であることがとくに好ましい。また、ポジ型感光性樹脂組成物中における（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物の含有量は、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、１０質量部以下であることが好ましく、８質量部以下であることがより好ましく、６質量部以下であることがさらに好ましい。（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物の含有量をこの下限値以上とすることで密着性向上することができ、この上限値以下とすることで解像性を維持することができる。
また、（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物の含有量は、ポジ型感光性樹脂組成物の固形分全体１００質量部に対して０．００５質量部以上であることが好ましく、０．０２質量部以上であることがより好ましく、０．１質量部以上であることがさらに好ましく、０．３質量部以上であることがとくに好ましい。また、（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物の含有量は、ポジ型感光性樹脂組成物の固形分全体１００質量部に対して８質量部以下であることが好ましく、６質量部以下であることがより好ましく、５質量部以下であることがさらに好ましい。（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物の含有量をこの下限値以上とすることで硬化膜の密着性を向上することができ、この上限値以下とすることで解像性を維持することができる。
【００６０】
（（Ｄ）密着助剤）
本実施形態の感光性樹脂組成物は、（Ｄ）密着助剤を含んでいてもよい。（Ｄ）密着助剤は、とくに限定されないが、たとえばアミノシラン、エポキシシラン、アクリルシラン、メルカプトシラン、ビニルシラン、ウレイドシラン、またはスルフィドシラン等のシランカップリング剤を含むことができる。これらは、一種類を単独で用いてもよく、二種類以上を併用してもよい。これらの中でも、他の部材に対する密着性を効果的に向上させる観点からは、エポキシシランを用いることがより好ましい。
【００６１】
アミノシランとしては、たとえばビス（２―ヒドロキシエチル）−３−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ―アミノプロピルトリエトキシシラン、γ―アミノプロピルトリメトキシシラン、γ―アミノプロピルメチルジエトキシシラン、γ―アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、およびＮ−フェニル−γ−アミノ−プロピルトリメトキシシランが挙げられる。エポキシシランとしては、たとえばγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン）、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、およびβ−（３、４エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシランが挙げられる。アクリルシランとしては、たとえばγ−（メタクリロキシプロピル）トリメトキシシラン、γ−（メタクリロキシプロピル）メチルジメトキシシラン、およびγ−（メタクリロキシプロピル）メチルジエトキシシランが挙げられる。メルカプトシランとしては、たとえばγ−メルカプトプロピルトリメトキシシランが挙げられる。ビニルシランとしては、たとえばビニルトリス（βメトキシエトキシ）シラン、ビニルトリエトキシシラン、およびビニルトリメトキシシランが挙げられる。ウレイドシランとしては、たとえば３−ウレイドプロピルトリエトキシシランが挙げられる。スルフィドシランとしては、たとえばビス（３−（トリエトキシシリル）プロピル）ジスルフィド、およびビス（３−（トリエトキシシリル）プロピル）テトラスルフィドが挙げられる。
【００６２】
本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物中に（Ｄ）密着助剤を含ませる場合、その含有量は、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、０．１質量部以上であることが好ましく、１質量部以上であることがより好ましく、２質量部以上であることがさらに好ましい。また、ポジ型感光性樹脂組成物中における（Ｄ）密着助剤の含有量は、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、３０質量部以下であることが好ましく、２０質量部以下であることがより好ましく、１０質量部以下であることがさらに好ましい。
また、ポジ型感光性樹脂組成物に（Ｄ）密着助剤を含ませる場合、その含有量は、ポジ型感光性樹脂組成物の固形分全体１００質量部に対して０．０５質量部以上であることが好ましく、０．８質量部以上であることがより好ましく、１．５質量部以上であることがさらに好ましい。また、（Ｄ）密着助剤の含有量は、ポジ型感光性樹脂組成物の固形分全体１００質量部に対して２５質量部以下であることが好ましく、１５質量部以下であることがより好ましく、１０質量部以下であることがさらに好ましい。
（Ｄ）密着助剤の含有量をこのような範囲に調整することにより、ポジ型感光性樹脂組成物を用いて形成される硬化膜の他の部材に対する密着性を、より効果的に向上させることができる。
【００６３】
本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物中に（Ｄ）密着助剤を含ませる場合、（Ｄ）密着助剤の含有量に対する、（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物の含有量の比が、０．０００１以上であることが好ましく、０．００１以上であることがより好ましく、０．００２以上であることがさらに好ましい。また、（Ｄ）密着助剤の含有量に対する、（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物の含有量の比が、１０以下であることが好ましく、５以下であることがより好ましく、３以下であることがさらに好ましい。（Ｄ）密着助剤の含有量に対する、（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物の含有量の比をこの下限値以上とすることで硬化膜の密着性を向上することができ、この上限値以下とすることで解像性を維持することができる。
【００６４】
（（Ｅ）グリシジル基を有する化合物またはオキセタニル基を有する化合物）
本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物は、架橋剤として、（Ｅ）グリシジル基を有する化合物またはオキセタニル基を有する化合物を含んでいてもよい。これにより、硬化性のさらなる向上を図り、硬化膜の機械特性の向上に寄与することができる。
【００６５】
架橋剤として用いられるグリシジル基を有する化合物としては、エポキシ化合物があげられる。エポキシ化合物としては、たとえばｎ−ブチルグリシジルエーテル、２−エトキシヘキシルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、ソルビトールポリグリシジルエーテル、ビスフェノールＡ（又はＦ）のグリシジルエーテル、等のグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、ｏ−フタル酸ジグリシジルエステル等のグリシジルエステル、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（３，４−エポキシシクロヘキサン）カルボキシレート、３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシルメチル（３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキサン）カルボキシレート、ビス（３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシルメチル）アジペート、ジシクロペンタンジエンオキサイド、ビス（２，３−エポキシシクロペンチル）エーテルや、（株）ダイセル製のセロキサイド２０２１、セロキサイド２０８１、セロキサイド２０８３、セロキサイド２０８５、セロキサイド８０００、エポリードＧＴ４０１などの脂環式エポキシ、２，２'−（（（（１−（４−（２−（４−（オキシラン−２−イルメトキシ）フェニル）プロパン−２−イル）フェニル）エタン−１，１−ジイル）ビス（４，１−フェニレン））ビス（オキシ））ビス（メチレン））ビス（オキシラン）（たとえば、Ｔｅｃｈｍｏｒｅ  ＶＧ３１０１Ｌ（（株）プリンテック製））、エポライト１００ＭＦ（共栄社化学工業（株）製）、エピオールＴＭＰ（日油（株）製）などの脂肪族ポリグリシジルエーテル、１，１，３，３，５，５−ヘキサメチル−１，５−ビス（３−（オキシラン−２−イル・メトキシ）プロピル）トリ・シロキサン（たとえば、ＤＭＳ−Ｅ０９（ゲレスト社製））等を用いることができる。
【００６６】
また、たとえばＬＸ−０１（ダイソー（株）製）、ｊＥＲ１００１、同１００２、同１００３、同１００４、同１００７、同１００９、同１０１０、同８２８（商品名；三菱化学（株）製）などのビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ｊＥＲ８０７（商品名；三菱化学（株）製）などのビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ｊＥＲ１５２、同１５４（商品名；三菱化学（株）製）、ＥＰＰＮ２０１、同２０２（商品名；日本化薬（株）製）などのフェノールノボラック型エポキシ樹脂、ＥＯＣＮ１０２、同１０３Ｓ、同１０４Ｓ、１０２０、１０２５、１０２７（商品名；日本化薬（株）製）、ｊＥＲ１５７Ｓ７０（商品名；三菱化学（株）製）などのクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、アラルダイトＣＹ１７９、同１８４（商品名；ハンツマンアドバンスドマテリアル社製）、ＥＲＬ−４２０６、４２２１、４２３４、４２９９（商品名；ダウケミカル社製）、エピクロン２００、同４００（商品名；ＤＩＣ（株）製）、ｊＥＲ８７１、同８７２（商品名；三菱化学（株）製）などの環状脂肪族エポキシ樹脂、Ｐｏｌｙ［（２−ｏｘｉｒａｎｙｌ）−１，２−ｃｙｃｌｏｈｅｘａｎｅｄｉｏｌ］２−ｅｔｈｙｌ−２−（ｈｙｄｒｏｘｙｍｅｔｈｙｌ）−１，３−ｐｒｏｐａｎｅｄｉｏｌ  ｅｔｈｅｒ  （３：１）等の多官能脂環式エポキシ樹脂、ＥＨＰＥ−３１５０（（株）ダイセル製）を使用することもできる。
なお、本実施形態におけるポジ型感光性樹脂組成物は、上記において例示したエポキシ化合物を一種または二種以上含むことが可能である。
【００６７】
架橋剤として用いられるオキセタニル基を有する化合物としては、たとえば１，４−ビス｛［（３−エチルー３−オキセタニル）メトキシ］メチル｝ベンゼン、ビス［１−エチル（３−オキセタニル）］メチルエーテル、４，４'−ビス［（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシメチル］ビフェニル、４，４'−ビス（３−エチル−３−オキセタニルメトキシ）ビフェニル、エチレングリコールビス（３−エチル−３−オキセタニルメチル）エーテル、ジエチレングリコールビス（３−エチル−３−オキセタニルメチル）エーテル、ビス（３−エチル−３−オキセタニルメチル）ジフェノエート、トリメチロールプロパントリス（３−エチル−３−オキセタニルメチル）エーテル、ペンタエリスリトールテトラキス（３−エチル−３−オキセタニルメチル）エーテル、ポリ［［３−［（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシ］プロピル］シラセスキオキサン］誘導体、オキセタニルシリケート、フェノールノボラック型オキセタン、１，３−ビス［（３−エチルオキセタン−３−イル）メトキシ］ベンゼン等が挙げられるが、これらに限定されない。これらは単独でも複数組み合わせて用いてもよい。
【００６８】
本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物中に、（Ｅ）グリシジル基を有する化合物またはオキセタニル基を有する化合物を含有させる場合、その含有量は、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、０．１質量部以上であることが好ましく、０．５質量部以上であることがより好ましく、１質量部以上であることがさらに好ましい。また、ポジ型感光性樹脂組成物中における（Ｅ）グリシジル基を有する化合物またはオキセタニル基を有する化合物の含有量は、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、２５質量部以下であることが好ましく、２０質量部以下であることがより好ましく、１５質量部以下であることがさらに好ましい。
また、ポジ型感光性樹脂組成物として、（Ｅ）グリシジル基を有する化合物またはオキセタニル基を有する化合物を含有させる場合、その含有量は、ポジ型感光性樹脂組成物の固形分全体１００質量部に対して０．０５質量部以上であることが好ましく、０．３質量部以上であることがより好ましく、０．５質量部以上であることがさらに好ましい。また、（Ｅ）グリシジル基を有する化合物またはオキセタニル基を有する化合物の含有量は、ポジ型感光性樹脂組成物の固形分全体１００質量部に対して２０質量部以下であることが好ましく、１５質量部以下であることがより好ましく、１２質量部以下であることがさらに好ましい。
（Ｅ）グリシジル基を有する化合物またはオキセタニル基を有する化合物の含有量をこのような範囲に調整することにより、ポジ型感光性樹脂組成物における、反応性と、経時安定性と、のバランスをより効果的に向上させることが可能となる。
【００６９】
（（Ｆ）重合開始剤）
本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物は、（Ｆ）重合開始剤を含ませることができる。これにより、（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物の重合性を高め、より一層現像性を高めることができる。
【００７０】
（Ｆ）重合開始剤としては、アゾ化合物および有機過酸化物のうちのいずれか１種以上を使用できる。いずれの化合物としても重合開始剤として用いられる化合物の中から公知の物を選んで採用することができる。
アゾ化合物としては、たとえばアゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）、２，２−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、ジメチル２，２'−アゾビス（２−メチルプロピオネート）、１，１'−アゾビス（シクロヘキサンカルボニトリル）（ＡＢＣＮ）があげられ、これらのうち、いずれか１種以上を使用できる。
また、有機過酸化物としては、たとえば過酸化水素、ジターシャリブチルパーオキサイド（ＤＴＢＰ）、過酸化ベンゾイル（ベンゾイルパーオキサイド、ＢＰＯ）および、メチルエチルケトンパーオキサイド（ＭＥＫＰ）を挙げることができ、これらのうち、いずれか１種以上を使用できる。
【００７１】
本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物中に、（Ｆ）重合開始剤を含有させる場合、その含有量は、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、０．０１質量部以上であることが好ましく、０．０３質量部以上であることがより好ましく、０．０５質量部以上であることがさらに好ましい。また、ポジ型感光性樹脂組成物中における（Ｆ）重合開始剤の含有量は、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、５質量部以下であることが好ましく、３質量部以下であることがより好ましく、２質量部以下であることがさらに好ましい。
また、ポジ型感光性樹脂組成物として、（Ｆ）重合開始剤を含有させる場合、その含有量は、ポジ型感光性樹脂組成物の固形分全体１００質量部に対して０．００５質量部以上であることが好ましく、０．０１質量部以上であることがより好ましく、０．０２質量部以上であることがさらに好ましい。また、（Ｆ）重合開始剤の含有量は、ポジ型感光性樹脂組成物の固形分全体１００質量部に対して４質量部以下であることが好ましく、２．５質量部以下であることがより好ましく、１．５質量部以下であることがさらに好ましい。
（Ｆ）重合開始剤の含有量をこのような範囲に調整することにより、ポジ型感光性樹脂組成物における、現像性をより効果的に向上させることが可能となる。
【００７２】
（（Ｇ）界面活性剤）
本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物は、（Ｇ）界面活性剤を含んでいてもよい。（Ｇ）界面活性剤は、たとえばフッ素基（たとえば、フッ素化アルキル基）もしくはシラノール基を含む化合物、またはシロキサン結合を主骨格とする化合物を含むものである。
本実施形態においては、界面活性剤として、フッ素系界面活性剤またはシリコーン系界面活性剤を含むものを用いることがより好ましく、フッ素系界面活性剤を用いることがとくに好ましい。界面活性剤としては、たとえばＤＩＣ（株）製のメガファックＦ−５５４、Ｆ−５５６、およびＦ−５５７等が挙げられるが、これに限定されるものではない。
【００７３】
本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物中に、（Ｇ）界面活性剤を含有させる場合、その含有量は、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、０．００５質量部以上であることが好ましく、０．００７質量部以上であることがより好ましく、０．０１質量部以上であることがさらに好ましい。また、ポジ型感光性樹脂組成物中における（Ｇ）界面活性剤の含有量は、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、２質量部以下であることが好ましく、１質量部以下であることがより好ましく、０．５質量部以下であることがさらに好ましい。
また、ポジ型感光性樹脂組成物として、（Ｇ）界面活性剤を含有させる場合、その含有量は、ポジ型感光性樹脂組成物の固形分全体１００質量部に対して０．００３質量部以上であることが好ましく、０．００５質量部以上であることがより好ましく、０．００８質量部以上であることがさらに好ましい。また、（Ｇ）界面活性剤の含有量は、ポジ型感光性樹脂組成物の固形分全体に対して１．５質量部以下であることが好ましく、０．８質量部以下であることがより好ましく、０．４質量部以下であることがさらに好ましい。
（Ｇ）界面活性剤の含有量をこのような範囲に調整することにより、ポジ型感光性樹脂組成物から硬化膜を得る際の平坦性を効果的に向上させることができる。また、回転塗布の際に、塗布膜上に放射線状のストリエーションが発生することを防止することが可能となる。
【００７４】
（その他の成分）
なお、感光性樹脂組成物中には、必要に応じて酸化防止剤、着色剤、フィラー、増感剤等の添加剤を添加してもよい。酸化防止剤は、たとえばフェノール系酸化防止剤、リン系酸化防止剤およびチオエーテル系酸化防止剤の群から選択される一種または二種以上を含むことができる。着色剤としては、とくに限定されないが、たとえばＣ．Ｉ．ＰＲ２５４、Ｃ．Ｉ．ＰＲ１７７およびＣ．Ｉ．ＰＲ２２４等に例示される赤色顔料、Ｃ．Ｉ．ＰＧ７およびＣ．Ｉ．ＰＧ３６等に例示される緑色顔料、Ｃ．Ｉ．ＰＢ１５：６およびＣ．Ｉ．ＰＢ６０等に例示される青色顔料、Ｃ．Ｉ．ＰＹ１３８、Ｃ．Ｉ．ＰＹ１３９、Ｃ．Ｉ．ＰＹ１５０、Ｃ．Ｉ．ＰＹ１２８およびＣ．Ｉ．ＰＹ１８５等に例示される黄色顔料等の有機顔料、カーボン、チタンカーボン、酸化鉄、チタン白、シリカ、タルク、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、マイカ、水酸化アルミニウム、沈降性炭酸バリウム、酸化クロム、酸化マンガン、および酸化チタン等の無機顔料から選択される一種または二種以上を含むことができる。フィラーは、たとえばシリカ等の無機充填材から選択される一種または二種以上を含むことができる。増感剤は、たとえばアントラセン類、キサントン類、アントラキノン類、フェナントレン類、クリセン類、ベンツピレン類、フルオラセン類、ルブレン類、ピレン類、インダンスリーン類およびチオキサンテン−９−オン類の群から選択される一種または二種以上を含むことができる。
【００７５】
（（Ｓ）溶媒）
本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物は、溶媒を含んでいてもよい。この場合、ポジ型感光性樹脂組成物は、ワニス状となる。溶媒は、たとえばプロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、乳酸エチル、メチルイソブチルカルビノール（ＭＩＢＣ）、ガンマブチロラクトン（ＧＢＬ）、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）、メチルｎ−アミルケトン（ＭＡＫ）、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、ジエチレングリコールイソプロピルメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、およびベンジルアルコールのうちの一種または二種以上を含むことができる。
【００７６】
本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物における（Ｓ）溶媒の含有量は、特に限定されるものではないが、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、１００質量部以上であることが好ましく、１５０質量部以上であることがより好ましい。
また、本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物における（Ｓ）溶媒の含有量は、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、１０００質量部以下であることが好ましく、８００質量部以下であることがより好ましい。（Ｓ）溶媒の含有量が上記範囲内であると、適度なハンドリング性をもたらすことができる。
【００７７】
（電子装置）
次に、本実施形態に係る電子装置について説明する。
図１は、電子装置１００の一例を示す断面図である。
図１においては、電子装置１００が液晶表示装置であり、絶縁膜２０が平坦化膜として用いられる場合が例示されている。図１に示す電子装置１００は、たとえば基板１０と、基板１０上に設けられたトランジスタ３０と、トランジスタ３０を覆うように基板１０上に設けられた絶縁膜２０と、絶縁膜２０上に設けられた配線４０と、を備えている。
この絶縁膜２０は、本実施形態のポジ型感光性樹脂組成物の硬化物で構成されている硬化膜により構成することができる。
【００７８】
基板１０は、たとえばガラス基板である。トランジスタ３０は、たとえば液晶表示装置のスイッチング素子を構成する薄膜トランジスタである。基板１０上には、たとえば複数のトランジスタ３０がアレイ状に配列されている。図１に示すトランジスタ３０は、たとえばゲート電極３１と、ソース電極３２と、ドレイン電極３３と、ゲート絶縁膜３４と、半導体層３５と、により構成される。ゲート電極３１は、たとえば基板１０上に設けられている。ゲート絶縁膜３４は、ゲート電極３１を覆うように基板１０上に設けられる。半導体層３５は、ゲート絶縁膜３４上に設けられている。また、半導体層３５は、たとえばシリコン層である。ソース電極３２は、一部が半導体層３５と接触するよう基板１０上に設けられる。ドレイン電極３３は、ソース電極３２と離間し、かつ一部が半導体層３５と接触するよう基板１０上に設けられる。
【００７９】
絶縁膜２０は、トランジスタ３０等に起因する段差をなくし、基板１０上に平坦な表面を形成するための平坦化膜として機能する。また、絶縁膜２０は、上述のポジ型感光性樹脂組成物の硬化物により構成される。絶縁膜２０には、ドレイン電極３３に接続するよう絶縁膜２０を貫通する開口２２が設けられている。
絶縁膜２０上および開口２２内には、ドレイン電極３３と接続する配線４０が形成されている。配線４０は、液晶とともに画素を構成する画素電極として機能する。
また、絶縁膜２０上には、配線４０を覆うように配向膜９０が設けられている。
【００８０】
基板１０のうちトランジスタ３０が設けられている一面の上方には、基板１０と対向するよう対向基板１２が配置される。対向基板１２のうち基板１０と対向する一面には、配線４２が設けられている。配線４２は、配線４０と対向する位置に設けられる。また、対向基板１２の上記一面上には、配線４２を覆うように配向膜９２が設けられている。
基板１０と当該対向基板１２との間には、液晶層１４を構成する液晶が充填される。
【００８１】
図１に示す電子装置１００は、たとえば次のように形成することができる。
まず、基板１０上にトランジスタ３０を形成する。次いで、基板１０のうちトランジスタ３０が設けられた一面上に、印刷法あるいはスピンコート法により上記ポジ型感光性樹脂組成物を塗布し、トランジスタ３０を覆う絶縁膜２０を形成する。次いで、絶縁膜２０に対してリソグラフィ処理を行い、絶縁膜２０をパターニングする。これにより、絶縁膜２０の一部に開口２２を形成する。次いで、絶縁膜２０を加熱硬化させる。これにより、基板１０上に、平坦化膜である絶縁膜２０が形成されることとなる。
次いで、絶縁膜２０の開口２２内に、ドレイン電極３３に接続された配線４０を形成する。その後、絶縁膜２０上に対向基板１２を配置し、対向基板１２と絶縁膜２０との間に液晶を充填し、液晶層１４を形成する。
これにより、図１に示す電子装置１００が形成されることとなる。
【００８２】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
【００８３】
次に、本発明の実施例について説明する。
【００８４】
（モノマー１の合成）
攪拌機および冷却器を備えた反応容器内にジシクロペンタジエン７００．０ｇと流動パラフィン１００．０ｇを加え、これを１６０℃〜１７０℃で加熱することにより得られる分解生成物を、冷却器（冷却水温度５℃）で冷却して、シクロペンタジエンを得た。次いで、他の反応容器内にオキセタンアクリル（ＯＸＥ−１０、大阪有機化学工業（株）製）２８３．２ｇを入れ、これに２０℃の条件下で３時間かけて上記で得られたシクロペンタジエン１００ｇを逐添した後、３０℃〜３５℃の条件下で１６時間撹拌した。次いで、これにより得られる反応生成物を、ビグリューカラムを用いた減圧蒸留装置にて分留精製し、下記式（１３）に示されるモノマー１を得た。
【００８５】
【化９】
2017044860.tif 000011
【００８６】
１Ｈ−ＮＭＲスペクトルおよび１３Ｃ−ＮＭＲスペクトルを解析し、得られたモノマー１が上記式に示される構造を有していることを確認した。また、得られたモノマー１は、ｅｎｄｏ／ｅｘｏ＝７８／２２の構造異性体混合物であった。なお、測定されたＮＭＲスペクトルデータは、以下のとおりであった。
【００８７】
１Ｈ−ＮＭＲ（４００ＭＨｚ，ＣＤＣl３）：０．９１（ｔ，ｅｎｄｏ−３Ｈ），０．９２（ｔ，ｅｘｏ−３Ｈ），１．２９（ｄ，ｅｎｄｏ−１Ｈ），１．３７−１．４７（ｍ，２Ｈ），１．５２（ｄ，ｅｘｏ−１Ｈ），１．７３−１．８０（ｍ，２Ｈ），１．９０−１．９７（ｍ，１Ｈ），２．２６−２．３０（ｍ，ｅｘｏ−１Ｈ），２．９２（ｂｒ  ｓ，１Ｈ），２．９８−３．０３（ｍ，ｅｎｄｏ−１Ｈ），３．０５（ｂｒ  ｓ，ｅｘｏ−１Ｈ），３．２３（ｓ，ｅｎｄｏ−１Ｈ），４．１６（ｄｄ，ｅｎｄｏ−２Ｈ），４．２３（ｄｄ，ｅｘｏ−２Ｈ），４．４０（ｄ，ｅｎｄｏ−２Ｈ），４．４１（ｄ，ｅｘｏ−２Ｈ），４．４６（ｄ，ｅｎｄｏ−２Ｈ），４．４９（ｄｄ，ｅｘｏ−２Ｈ），５．９２（ｄｄ，ｅｎｄｏ−１Ｈ），６．１１−６．１６（ｍ，ｅｘｏ−２Ｈ），６．２１（ｄｄ，ｅｎｄｏ−１Ｈ）．
１３Ｃ−ＮＭＲ（１００ＭＨｚ，ＣＤＣl３）：８．０，２６．９，２９．１，３０．３，４１．６，４２．４，４２．６，４２．６，４３．１，４３．３，４５．７，４６．３，４６．６，４９．６，６５．９，６６．２，７７．８，７７．９，１３２．１，１３５．６，１３７．９，１３８．０，１７４．７，１７６．２ｐｐｍ．
【００８８】
（アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）の合成）
密閉可能な反応容器内に、上記合成例により得られたモノマー１（１０．８ｇ、４５．８ｍｍｏｌ）、ノルボルネンカルボン酸（１１．９２ｇ、９１．７ｍｍｏｌ）、メチルグリシジルエーテルノルボルネン（５７．６ｇ、３２０ｍｍｏｌ）、マレイミド（２８．８８ｇ、２９７．７ｍｍｏｌ）、およびシクロヘキシルマレイミド（１６．３２ｇ、９１．２ｍｍｏｌ）を計量した。さらに、アゾ重合開始剤Ｖ−６０１（８．４ｇ、３６．５ｍｍｏｌ）を溶解させたプロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）５８．４ｇを反応容器に加え、撹拌・溶解させた。次いで、窒素バブリングにより系内の溶存酸素を除去したのち、容器を密閉し、７０℃で１６時間反応させた。次いで、反応混合物を室温まで冷却し、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）２２６ｇを添加し希釈した。希釈後の溶液を大量のメタノールに注ぎ、アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）を析出させた。次いで、ポリマーを濾取しメタノールでさらに洗浄した後、３０℃、１６時間真空乾燥させた。アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）の収得量は６４．６ｇ、収率は５１％であった。アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）は、プロピレングリコールメチルエーテルアセテートに溶解し固形分濃度３０％溶液に調整した。また、アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）は、重量平均分子量Ｍｗが１３，５００であり、分散度（重量平均分子量Ｍｗ／数平均分子量Ｍｎ）が１．７１であった。
得られたアルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）は、下記式（１０）により示される構造を有していた。
【００８９】
【化１０】
2017044860.tif 000012
【００９０】
なお、得られたアルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）、および数平均分子量（Ｍｎ）は、ＧＰＣ測定により得られる標準ポリスチレン（ＰＳ）の検量線から求めた、ポリスチレン換算値を用いた。測定条件は、以下の通りである。
東ソー（株）製ゲルパーミエーションクロマトグラフィー装置ＨＬＣ−８３２０ＧＰＣ
カラム：東ソー（株）製ＴＳＫ−ＧＥＬ  Ｓｕｐｅｒｍｕｌｔｉｐｏｒｅ  ＨＺ−Ｍ
検出器：液体クロマトグラム用ＲＩ検出器
測定温度：４０℃
溶媒：ＴＨＦ
試料濃度：２．０ｍｇ／ミリリットル
なお、重量平均分子量（Ｍｗ）、および数平均分子量（Ｍｎ）の測定条件は、後述するアルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）〜（Ａ−４）の合成においても同様である。
【００９１】
（アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）の合成）
撹拌機及び冷却管を備えた反応容器内に、上記合成例により得られたモノマー１（１．１８ｇ、５ｍｍｏｌ）、マレイミド（２．１８ｇ、２２．５ｍｍｏｌ）、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド（４．９２ｇ、２７．５ｍｍｏｌ）、ノルボルネンカルボン酸（２．６０ｇ、２０．０ｍｍｏｌ）、メチルグリシジルエーテルノルボルネン（３．６ｇ、２０．０ｍｍｏｌ）、ジブチルフマル酸（１．１４ｇ、５ｍｍｏｌ）を計量した。さらに、アゾ重合開始剤Ｖ−６０１（０．９２ｇ、４．０ｍｍｏｌ）を溶解させたプロピレングリコールモノメチエーテルアセテート８．９ｇを反応容器に加え、撹拌・溶解させた。次いで、窒素バブリングにより系内の溶存酸素を除去したのち、窒素雰囲気下にて７０℃に保持し、５時間反応させた。次いで、反応混合物を室温まで冷却し、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）３０ｇを添加し希釈した。希釈後の溶液を大量のヘキサン中に注ぎ、アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）を析出させた。次いで、アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）を濾取しヘキサンにてさらに洗浄した後、３０℃、１６時間真空乾燥させた。
アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）の収得量は１３．４ｇ、収率は８６％であった。アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）は、プロピレングリコールメチルエーテルアセテートに溶解し固形分濃度３０％溶液に調整した。また、ポリマーは、重量平均分子量Ｍｗが８，８００であり、分散度（重量平均分子量Ｍｗ／数平均分子量Ｍｎ）が２．１９であった。
得られたアルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）は、下記式（１１）により示される構造を有していた。
【００９２】
【化１１】
2017044860.tif 000013
【００９３】
（アルカリ可溶性樹脂（Ａ−３）の合成）
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、アゾ重合開始剤Ｖ−６０１（７g、０．０３ｍｏｌ）、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート１５０ｇを仕込んだ。続いてスチレン（８．２３ｇ、０．０８ｍｏｌ）、メタクリル酸（１１．３４ｇ、０．１３ｍｏｌ）、グリシジルメタクリレート（３７．４５ｇ、０．２６ｍｏｌ）、下式（１２）で表されるノルボルナンラクトンメタクリレート（１１．６６ｇ、０．０５ｍｏｌ）およびα−メチルスチレンダイマー１．５ｇを仕込んだのち、窒素置換しながら緩やかに撹拌を始め、溶液の温度を７０℃に上昇させて、この温度を４時間保持して重合することにより、アルカリ可溶性樹脂（Ａ−３）の溶液を得た。この溶液は、プロピレングリコールメチルエーテルアセテートを用いて濃度調整を行い、固形分濃度３０％溶液に調整した。
得られたアルカリ可溶性樹脂（Ａ−３）のＭｗは２５，０００、Ｍｗ／Ｍｎは２．４であった。
【００９４】
【化１２】
2017044860.tif 000014
【００９５】
（アルカリ可溶性樹脂（Ａ−４）の合成）
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、アゾ重合開始剤Ｖ−６０１（７g、０．０３ｍｏｌ）、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート２２０ｇを仕込んだ。続いてスチレン（８．２３ｇ、０．０８ｍｏｌ）、メタクリル酸（１１．３４ｇ、０．１３ｍｏｌ）、グリシジルメタクリレート（３７．４５ｇ、０．２６ｍｏｌ）、（３−エチル−３−オキセタンメチル）メタクリレートを（４．８５ｇ、０．０３ｍｏｌ）、先の式（１２）で示したノルボルナンラクトンメタクリレート（５．８３ｇ、０．０３ｍｏｌ）およびα−メチルスチレンダイマー１．５ｇを仕込んだのち、窒素置換しながら緩やかに撹拌を始め、溶液の温度を７０℃に上昇させて、この温度を４時間保持して重合することにより、アルカリ可溶性樹脂（Ａ−４）の溶液を得た。この溶液は、プロピレングリコールメチルエーテルアセテートを用いて濃度調整を行い、固形分濃度３０％溶液に調整した。
得られたアルカリ可溶性樹脂（Ａ−４）のＭｗは２５，０００、Ｍｗ／Ｍｎは２．４であった。
【００９６】
（感光性樹脂組成物の調製）
上記で得られたアルカリ可溶性樹脂の溶液（固形分３０％溶液）２０ｇを用い、実施例１〜９および比較例１〜３のそれぞれについて、以下のようにしてワニス状の感光性樹脂組成物を調製した。まず、表１に従い配合された各成分を、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート：ジエチレングリコールメチルエチルエーテル＝７０：３０の混合溶媒に固形分２０％となるよう溶解した。次いで、これにより得られた混合溶液を、０．２μｍのＰＴＦＥフィルターで濾過して、感光性樹脂組成物を調製した。表１中における、アルカリ可溶性樹脂以外の各成分の詳細は下記のとおりである。
【００９７】
（Ｂ）感光剤
感光剤（Ｂ−１）：ＰＡ−２８、ダイトーケミックス（株）製
感光剤（Ｂ−２）：ＰＡ−３、ダイトーケミックス（株）製
なお、ＰＡ−２８、ＰＡ−３は、いずれも以下の式で表される４，４'−（１−｛４−［１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル］フェニル｝エチリデン）ビスフェノールと１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホニルクロライドとのエステル化物である。
【００９８】
【化１３】
2017044860.tif 000015
【００９９】
（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート化合物
化合物（Ｃ−１）：グリセリンジメタクリレート
化合物（Ｃ−２）：テトラメチロールトリアクリレート
化合物（Ｃ'−３）：ネオペンチルグリコールジメタクリレート
化合物（Ｃ'−４）：エチレングリコールジメタクリレート
なお、上記化合物はいずれも新中村化学工業（株）製のものを用いた。
【０１００】
（Ｄ）密着助剤
密着助剤（Ｄ−１）：３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（ＫＢＭ−４０３、信越シリコーン（株）製）
【０１０１】
（Ｅ）グリシジル基を有する化合物
化合物（Ｅ−１）：脂環式エポキシ化合物（セロキサイド２０８１、ダイセル（株）製）
【０１０２】
（Ｆ）重合開始剤
重合開始剤（Ｆ−１）：２，２−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）
【０１０３】
（Ｇ）界面活性剤
界面活性剤（Ｇ−１）：フッ素系界面活性剤（Ｆ−５５７、ＤＩＣ（株）製）
【０１０４】
上記のようにして得られた感光性樹脂組成物について、以下の項目に従って評価を行った。
【０１０５】
＜感度＞
各実施例および各比較例について、次のようにして得られた感光性樹脂組成物のパターニング露光感度を測定した。まず、感光性樹脂組成物を、４インチシリコンウエハー基板に回転塗布し（回転数５００〜２５００ｒｐｍ）、ホットプレートを用いて９０℃、１２０秒の条件でプリベークすることにより、約２．５μｍ厚の樹脂膜１を得た。次いで、石英製クロムマスクを用いて、キヤノン（株）社製、ＰＬＡ−５０１Ｆ（超高圧水銀ランプ）により露光を行った。その後、露光された基板を０．７％テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液で、２３℃、４５秒、ディップ法により現像を行った。
その後、基板を純水で６０秒間リンス処理を行い、スピンコータを用いて回転乾燥を実施し、パターニング樹脂膜２を作製した。
この基板を、ニコン社製光学式顕微鏡を用いて１０μｍマスクパターンが１０μｍレジストパターンとなる露光量を求め、この値を露光感度として測定を行った。なお、表１においては、この露光量を「ｍＪ／ｃｍ２」の単位で示している。
【０１０６】
＜現像後残膜率＞
感度測定方法と同様な方法で作製したプリベーク後の樹脂膜１の膜厚１と、パターニング樹脂膜２の膜厚２から下記の式で算出した。
現像後残膜率（％）＝膜厚２  ／  膜厚１  ＊１００
【０１０７】
＜密着性評価＞
感度測定方法と同様な方法で作製したパターニング樹脂膜２を用いて、４μｍのピラーパターンが５＊５＝２５本配置されているパターンを用いて評価を行った。
２５本すべて密着しはがれがないもの   ；  ◎
２４本〜２０本    密着しているもの      ；  ○
１９本〜１０本    密着しているもの      ；  △
１０本以下のもの                        ；  ×
【０１０８】
【表１】
2017044860.tif 000016
【０１０９】
表１に示されるように、各実施例においては、特定の置換基を有した（メタ）アクリレート化合物を樹脂組成物に含ませることにより、感度と密着性との両立を図ることができた。
【産業上の利用可能性】
【０１１０】
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、現像性と密着性のバランスに優れ、表示装置の平坦化膜の形成をはじめ、各種プロセスに適用することができる。
【符号の説明】
【０１１１】
１０  基板
１２  対向基板
１４  液晶層
２０  絶縁膜
２２  開口
３０  トランジスタ
３１  ゲート電極
３２  ソース電極
３３  ドレイン電極
３４  ゲート絶縁膜
３５  半導体層
４０、４２  配線
９０、９２  配向膜
１００  電子装置
【図１】
2017044860.tif 000017