(57)【要約】【課題】ＳＱＵＩＤ磁気センサを用いた非変調型の磁気センシングシステムにおいて、簡単な構成で直流ドリフトを抑制する。【解決手段】本発明に係るＳＱＵＩＤセンシングシステムは、ＳＱＵＩＤ（Superconducting Quantum Interference Device）磁気センサと、前記ＳＱＵＩＤ磁気センサに接続され、前記ＳＱＵＩＤ磁気センサから出力された信号を増幅する増幅器と、前記ＳＱＵＩＤ磁気センサに電流を印加する定電流回路と、前記ＳＱＵＩＤ磁気センサに電流を印加している状態で前記増幅器から出力される信号と、前記ＳＱＵＩＤ磁気センサに電流を印加していない状態で前記増幅器から出力される信号との差分を出力する直流ドリフトキャンセル回路とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＳＱＵＩＤ（Superconducting Quantum Interference Device）磁気センサと、
前記ＳＱＵＩＤ磁気センサに接続され、前記ＳＱＵＩＤ磁気センサから出力された信号を増幅する増幅器と、
前記ＳＱＵＩＤ磁気センサに電流を印加する定電流回路と、
前記ＳＱＵＩＤ磁気センサに電流を印加している状態で前記増幅器から出力される信号と、前記ＳＱＵＩＤ磁気センサに電流を印加していない状態で前記増幅器から出力される信号との差分を出力する直流ドリフトキャンセル回路とを備えるＳＱＵＩＤセンシングシステム。
【請求項２】
前記直流ドリフトキャンセル回路は、
第１のコンデンサと、
第２のコンデンサと、
前記定電流回路が前記ＳＱＵＩＤ磁気センサに電流を印加していない場合に、前記増幅器の出力側を前記第１のコンデンサに接続し、前記定電流回路が前記ＳＱＵＩＤ磁気センサに電流を印加している場合に、前記増幅器の出力側を前記第２のコンデンサに接続するスイッチング回路と、
前記第１のコンデンサの出力から、前記第２のコンデンサの出力を減算する減算回路とを含む
ことを特徴とする請求項１に記載のＳＱＵＩＤセンシングシステム。
【請求項３】
前記ＳＱＵＩＤセンシングシステムは、さらに、
前記直流ドリフトキャンセル回路からの出力を受ける積分器と、
前記積分器からの出力を前記ＳＱＵＩＤ磁気センサにフィードバックするコイルとを備える
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のＳＱＵＩＤセンシングシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＳＱＵＩＤ磁気センサを用いたセンシングシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来ＳＱＵＩＤ（Superconducting Quantum Interference Device）磁気センサと呼称される磁気を検出するセンサがある。当該センサは非常に微小な磁気を検出することができ、フェムトテスラ単位の磁気を検出することができるセンサとして知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０９−２３００１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、このＳＱＵＩＤ磁気センサを利用したセンシングシステムは、温度変化に非常に敏感であり、その影響を受けやすい。すなわち、温度に応じて、その特性が変化するために、正確な磁束の測定が困難であるという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、そのような温度変化にも対応して正確な磁気量を簡単な構成で測定できるＳＱＵＩＤセンシングシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の一態様に係るＳＱＵＩＤセンシングシステムは、ＳＱＵＩＤ（Superconducting Quantum Interference Device）磁気センサと、ＳＱＵＩＤ磁気センサに接続され、ＳＱＵＩＤ磁気センサから出力された信号を増幅する増幅器と、ＳＱＵＩＤ磁気センサに電流を印加する定電流回路と、ＳＱＵＩＤ磁気センサに電流を印加している状態で増幅器から出力される信号と、ＳＱＵＩＤ磁気センサに電流を印加していない状態で増幅器から出力される信号との差分を出力する直流ドリフトキャンセル回路とを備える。
【０００７】
また、直流ドリフトキャンセル回路は、第１のコンデンサと、第２のコンデンサと、定電流回路がＳＱＵＩＤ磁気センサに電流を印加していない場合に、増幅器の出力側を第１のコンデンサに接続し、定電流回路がＳＱＵＩＤ磁気センサに電流を印加している場合に、増幅器の出力側を第２のコンデンサに接続するスイッチング回路と、第１のコンデンサの出力から、第２のコンデンサの出力を減算する減算回路とを含むこととしてもよい。
【０００８】
また、ＳＱＵＩＤセンシングシステムは、さらに、直流ドリフトキャンセル回路からの出力を受ける積分器と、積分器からの出力をＳＱＵＩＤ磁気センサにフィードバックするコイルとを備えることとしてもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の一態様に係るＳＱＵＩＤセンシングシステムは、ＳＱＵＩＤ磁気センサが出力する微弱電流を増幅する増幅器が出力する温度変化に基づくオフセットドリフト成分を簡単な回路構成で除去できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施の形態に係るＳＱＵＩＤセンシングシステム１００の回路構成を示す回路図である。
【図２】実施の形態に係るＳＱＵＩＤセンシングシステムの入出力特性と、磁束と電圧の関係を示すグラフである。
【図３】実施の形態に係るＳＱＵＩＤセンシングシステムの計測結果と、従来のシステムを利用した計測結果と、温度変化との関係を示すグラフである。
【図４】従来の非変調型のＳＱＵＩＤセンシングシステムの回路構成を示す回路図である。
【図５】従来の非変調型のＳＱＵＩＤセンシングシステムの入出力特性と、磁束と電圧の関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
＜発明者らが得た知見＞
【００１２】
まず、従来のＳＱＵＩＤ磁気センサを用いた非変調型のセンシングシステムについての詳細を説明する。
【００１３】
図４は、従来のＳＱＵＩＤセンシングシステム３００の回路構成を示す回路図である。図４に示すＳＱＵＩＤセンシングシステム３００は、非変調型の磁気センサである。ＳＱＵＩＤ磁気センサ３１は、１０〜１００μＡのバイアス電流の供給を受けて、磁束を検出し、対応する電圧を出力する。出力した電圧は、増幅器３２により増幅され出力される。増幅後のＶｓｅｎｓｅに、動作点を決定するオフセット電圧Ｖｏｆｓが加算器３７により加算され、積分器３９に入力される。積分器３９は、Ｖｓｅｎｓｅ＝Ｖｏｆｓとなるようにフィードバック系を制御する。ＳＱＵＩＤ磁気センサ３１には、測定したい磁束φｉｎと、フィードバックによりコイル４２が発生させる磁束φｆｂとが合成された磁束を検出し、ＳＱＵＩＤ磁気センサ３１の入出力特性に応じた電圧を出力する。
【００１４】
図５は、ＳＱＵＩＤ磁気センサ３１の入出力特性４０の一例を示す図である。図５に示すようにＳＱＵＩＤ磁気センサ３１は、ｓｉｎ波形の入出力特性４０を有し、入力された磁束に応じた電圧値を出力する。ＳＱＵＩＤ磁気センサ３１は、フィードバックにより動作点４１が固定され、電圧値を出力することができる。発明者らは、この動作点４１が、温度変化によりずれることを認識し、オフセットドリフトの要因となることを知見した。そして、従来の磁気センシングシステム３００では、温度変化（特に増幅器が動作し続けることによる温度上昇）により、正確な磁気の検出が行えないという問題があることも知見した。
【００１５】
なお、特許文献１に記載の発明は、複数の１つのＳＱＵＩＤ磁気センサの出力を、更に別のＳＱＵＩＤ磁気センサによって増幅させて検出するＡＰＦ（Additional Positive Feedback）という手法を用いたセンシングシステムにおけるノイズ除去方法を開示するものである。特許文献１に記載のように、ＳＱＵＩＤ磁気センサを直列に接続させることにより、出力電圧（感度）を向上させることができるものの、ＳＱＵＩＤ磁気センサを直接に接続したことにより、インピーダンスが上昇し、それが要因となるノイズ成分が発生する。特許文献１は、当該ノイズ成分を除去するための手法を開示している。
【００１６】
そこで、発明者らは、ＳＱＵＩＤ磁気センサを用いた非変調型の磁気センシングシステムにおいて、簡単な構成で、上述のオフセットドリフトが発生しても磁気の検出を行うことができるＳＱＵＩＤセンシングシステムを開発するに至った。以下、ＳＱＵＩＤセンシングシステムの詳細を説明する。
【００１７】
＜実施の形態＞
以下、図面を用いて、本発明の一態様に係るＳＱＵＩＤセンシングシステム１００について説明する。
【００１８】
本発明の一態様に係るＳＱＵＩＤセンシングシステム１００は、図１に示すように、ＳＱＵＩＤ（Superconducting Quantum Interference Device）磁気センサ１１と、ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１に接続され、ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１から出力された信号を増幅する増幅器１２と、ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１に電流を印加する定電流回路２４と、ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１に電流を印加している状態で増幅器１２から出力される信号と、ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１に電流を印加していない状態で増幅器１２から出力される信号との差分を出力する直流ドリフトキャンセル回路２５と、を備える。
【００１９】
定電流回路は、ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１に対して電流を印加する回路であればどのような形態をとってもよく、図１に示す例では、定電流素子などを用いた直流電流源２４からの電流が第２のスイッチング回路２３を介して、ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１に供給される。
【００２０】
また、直流ドリフトキャンセル回路２５は、定電流回路がＳＱＵＩＤ磁気センサ１１に電流を印加していない場合に、増幅器１２の出力側を第１のコンデンサ１４に接続し、定電流回路がＳＱＵＩＤ磁気センサ１１に電流を印加している場合に、増幅器１２の出力側を第２のコンデンサ１５に接続する第１のスイッチング回路１３と、第１のコンデンサ１４の出力から、第２のコンデンサ１５の出力を減算する減算回路１８と、を含む。
【００２１】
図１に示す例では、減算回路１８は、第２のコンデンサ１５からの出力に、第１のコンデンサ１４の出力のマイナス値を加算することにより実現しているが、当該実現例は一例である。
【００２２】
ＳＱＵＩＤセンシングシステム１００についてより詳細に説明する。再び、図１に示すように、ＳＱＵＩＤセンシングシステム１００は、オシレーター１０と、ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１と、増幅器１２と、第１のスイッチング回路１３と、第１のコンデンサ１４と、第２のコンデンサ１５と、可変電圧源１６と、加算器１７と、加算器１８と、積分器１９と、出力口２０と、抵抗２１と、コイル２２と、第２スイッチング回路２３と、定電流回路２４とから成る。本実施の形態に係るＳＱＵＩＤ磁気センシングシステム１００は、一般に非変調型と呼称されるタイプのセンシングシステムである。ＳＱＵＩＤセンシングシステム１００の各素子は、図１に示されるように接続される。
【００２３】
オシレーター１０は、発振回路であり、１ｋＨｚ〜１ＭＨｚの周波数のパルス信号を出力する。
【００２４】
ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１は、磁気を検出するセンサであり、検出した磁気に相当する電圧値を出力する。ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１は、電流が印加されている場合に、入力されている磁束φｉｎと、動作点の安定化のためにコイル２２が発生させている磁束φｆｂとを合成した磁束を検出して、ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１の入出力特性に応じた電圧値を出力する。
【００２５】
増幅器１２は、ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１から出力された電圧値を増幅して、第１のスイッチング回路１３に出力する。増幅器１２の増幅率は、ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１が計測しようとする磁束の量や周波数帯域に応じた倍率の増幅器を用いることとし、例えば、１００〜２０００倍の範囲とする。なお、増幅率が低すぎると逆に雑音特性が悪化する要因ともなることにも注意されたい。
【００２６】
第１のスイッチング回路１３は、オシレーター１０からパルス信号が出力されていない場合に第１のコンデンサ１４側にスイッチングし、オシレーター１０からパルス信号が出力されている場合に第２のコンデンサ１５側にスイッチングするスイッチング回路である。
【００２７】
第１のコンデンサ１４は、第１のスイッチング回路１３から出力された電圧値Ｖｅｒｒを蓄積する。すなわち、第１のコンデンサ１４は、ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１に電圧が印加されていない、すなわち、磁気センサとして機能していない状態で出力された電圧値Ｖｅｒｒを保持する。
【００２８】
第２のコンデンサ１５は、第１のスイッチング回路１３から出力された電圧値Ｖａｍｐを蓄積する。すなわち、ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１が磁気センサとして機能している状態で出力された電圧値Ｖａｍｐを保持する。
【００２９】
可変電圧源１６は、加算器１７にオフセット電圧Ｖｏｆｓを出力する。ここでは、可変電圧源１６は、一例として１Ｖから−１Ｖの範囲内で電圧Ｖｏｆｓを出力する。
【００３０】
加算器１７は、ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１が磁気センサとして機能している状態で出力された電圧値Ｖａｍｐ（コンデンサ１５に蓄積された電圧値）に、ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１が磁気戦として機能していない状態で出力された電圧値Ｖｅｒｒ（コンデンサ１４に蓄積された電圧値）のマイナス値を加算して得られる電圧値Ｖｓｅｎｓｅを出力する。
【００３１】
加算器１８は、入力された電圧値Ｖｓｅｎｓｅに、オフセット電圧である電圧値Ｖｏｆｓのマイナス値を加算した電圧値Ｖｆｉｎを出力する。
【００３２】
積分器１９は、加算器１８から出力された電圧値Ｖｆｉｎを入力とした積分演算を行う。積分器１９は、Ｖｓｅｎｓｅ（＝Ｖａｍｐ−Ｖｅｒｒ）＝Ｖｏｆｓとなるように、すなわち、Ｖｆｉｎが０になるように、積分演算を行い、フィードバックのための電圧値を決定して出力する。フィードバックループが形成されたときの積分器１９は、応答周波数特性は、ここでは、例えば、１０Ｈｚ〜５００ｋＨｚの範囲とし、ＳＱＵＩＤ磁気センシングシステム１００は、当該範囲内の周波数の磁束信号を検出できる。積分器１９は、コイル２２から発生させる磁束φｆｂが、検出対象の磁束φｆｉｎが常に等しくなるように、フィードバック制御を実行する。
【００３３】
積分器１９から出力された電流は、抵抗２１を介して、コイル２２に伝達され、コイル２２は、ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１の動作点を安定させるための磁束φｆｂを発生させる。ここで、抵抗２１の抵抗値は、例えば、１００〜１ＭΩであり、コイル２２のインダクタンスは、例えば、１０ｐＨ〜１０ｎＨである。
【００３４】
コイル２２のインダクタンスで定まる電流／磁束変換定数と、コイル２２が発生する磁束がＳＱＵＩＤ磁気センサ１１にカップリングする係数Ｍｆｂと、抵抗２１のフィードバック抵抗値（電圧／電流変換定数とも言える）によって、ＳＱＵＩＤ磁気センシングシステム１００の出力信号の感度［Ｔ／Ｖ］が定まる。
【００３５】
出力口２０は、積分器１９から出力された磁気量をＳＱＵＩＤセンシングシステム外部に出力する。
【００３６】
第２のスイッチング回路２３は、オシレーター１０からパルス信号が出力されている場合に、ＯＮされ、オシレーター１０からパルス信号が出力されていない場合に、ＯＦＦされるスイッチング回路である。
【００３７】
定電流回路２４は、交流電源の供給を受けて変圧し、第２のスイッチング回路２３がＯＮされている場合にＳＱＵＩＤ磁気センサ１１に電流を供給する。すなわち、定電流回路２４は、オシレーター１０から第２のスイッチング回路２３にパルス信号が印加されているときに、ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１に電流を供給する。定電流回路２４は、例えば、１０〜１００μＡの電流を供給する。
【００３８】
以上が、ＳＱＵＩＤセンシングシステム１００の構成である。
【００３９】
図２は、ＳＱＵＩＤセンシングシステム１００の入出力特性と、入力された磁束及び各素子により出力される電圧値との関係を示すグラフである。ＳＱＵＩＤセンシングシステム１００の入出力特性２００が図２に示す波形を描くときに、ＳＱＵＩＤセンシングシステムからは、入力された磁束に応じた動作点２０１が決定され、対応する電圧値Ｖａｍｐが出力される。ここで、入力された磁束には、計測したい磁束φｉｎと、動作点２０１を固定するためのフィードバックされた磁束φｆｂが含まれる。そして、電圧値Ｖａｍｐには、オフセットドリフト成分の誤差電圧Ｖｅｒｒが含まれる。すなわち、ＶａｍｐからＶｅｒｒを除いた値が取得したい電圧値Ｖｓｅｎｓｅに相当することになる。
【００４０】
したがって、電流を印加している状態でＳＱＵＩＤ磁気センサ１１から出力された電圧を増幅器１２により増幅された電圧値Ｖａｍｐから、電流を印加していない状態でＳＱＵＩＤ磁気センサ１１から出力された電圧を増幅器１２により増幅された電圧値Ｖｅｒｒを減算することで、温度変化によるオフセットドリフト成分を除去することができる。ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１に電流を印加していない状態で出力され、増幅された電圧値は、温度変化に基づくオフセットドリフトの成分と言える。そして、ＳＱＵＩＤ磁気センサ１１に電流を印加している状態で出力され、増幅された電圧値は、測定したい磁束に基づく電圧値とオフセットドリフト成分とを含むと言える。これを踏まえて、ＳＱＵＩＤセンシングシステム１００は、それぞれの状態の電圧値を、コンデンサに蓄積し、その差分をとるので、本当に測定したい磁束に基づく電圧値を測定することができる。
【００４１】
図３は、本発明に係るＳＱＵＩＤセンシングシステム１００による温度変化に応じた磁束の計測結果と、同じ温度変化における従来の計測結果と、当該温度変化の関係を示すグラフである。図３は、本発明に係るＳＱＵＩＤセンシングシステム１００、及び従来のセンシングシステムには、常時一定の磁束を作用させた場合の計測結果を示している。
【００４２】
図３に示すグラフは、横軸に時間軸を、縦軸に計測結果の場合には出力電圧値を、温度変化の場合には、温度をとるグラフである。実線３０１が、本発明に係るＳＱＵＩＤセンシングシステム１００を用いた場合の磁束の計測結果を示している。また、一点鎖線３０２が、従来のセンシングシステムを用いた場合の磁束の計測結果を示している。そして、破線３０３が、時間の経過に基づく温度変化を示している。図３から理解できるように、従来のセンシングシステムの場合、温度変化に応じて、その測定している磁束の電圧値が追随するように変化していることが理解できる。その一方で、本発明に係るＳＱＵＩＤセンシングシステム１００を用いた場合には、温度変化に応じることなく、常に一定の磁束に応じた電圧を出力していることが理解できる。すなわち、本発明に係るＳＱＵＩＤセンシングシステム１００は、温度変化に左右されることなく、安定して磁束を測定することができる。
【００４３】
＜変形例＞
上記実施の形態に本発明に係る発明の一実施態様を説明したが、本発明に係る思想がこれに限られないことは言うまでもない。以下、本発明に係る思想として含まれる各種変形例について説明する。
【００４４】
（１）上記実施の形態において第１のコンデンサ１４、第２のコンデンサ１５は、それぞれ、電圧値を保持するための素子の一例として用いた。しかし、これは、電圧値を保持して、出力する機能を有するものであれば、コンデンサ以外の素子を用いてもよい。
【００４５】
（２）上記実施の形態においては、加算器１７に対して、第１のコンデンサ１４から出力された値をマイナスの値として入力することで、減算する構成を実現した。しかし、ここは、加算器ではなく、減算器を用いて実現してもよいことは言うまでない。
【００４６】
（３）上記実施の形態においては、実機相当の回路構成を示し、当該回路により温度変化に基づくノイズ成分を除去する手法を示したが、これは、コンピュータが同様の信号処理を実行するソフトウェア処理（デジタル信号処理）により実現することとしてもよい。
【００４７】
（４）上記実施の形態において、フィードバック信号（抵抗２１に与える電圧）を生成するために、ＰＷＭ（Pulse Width Modulation）のような手法を用いて生成してもよい。
【００４８】
（５）上記実施の形態において、電流源（定電流回路２４）は、半導体で構成してもよいし、電圧源と抵抗で構成してもよい。
【００４９】
（６）上記実施の形態においては、特に記載していないが、Ｖｅｒｒの計測とＶａｍｐの計測を１：１の時間比率で行う必要はなく、他の比率であってもよい。当該切り替えは、スイッチング回路１３の切り替え周期によって変動するので、オシレーター１０が出力するパルス信号の信号幅を変更することによって実現できる。
【００５０】
また、その際に、Ｖｅｒｒの変動速度に合わせて計測の時間比率を変えてもよい。例えば、Ｖｅｒｒの変動速度が速い場合には、ＶｅｒｒとＶａｍｐの計測の時間比率をＶｅｒｒ：Ｖａｍｐ＝１：１に近づけ、遅い場合には、Ｖｅｒｒの計測時間がＶａｍｐの計測時間よりも短くなるようにしてもよい。
【００５１】
また、このとき、Ｖｅｒｒの変動速度の代わりに、ＳＱＵＩＤ磁気センシングシステム１００に温度センサを備えて、その温度センサが出力する温度の変動に応じて、計測の時間比率を変動させてもよい。Ｖａｍｐを測定する時間を長くとれば、単位時間当たりのスイッチング回路１３の切り替え回数を抑制することができるので、スイッチング回路１３の摩耗を抑制することができる。
【００５２】
＜補足＞
以下に、本発明に係るＳＱＵＩＤセンシングシステムの一実施態様と、その効果について説明する。
【００５３】
（ａ）本発明の一態様に係るＳＱＵＩＤセンシングシステムは、ＳＱＵＩＤ（Superconducting Quantum Interference Device）磁気センサと、ＳＱＵＩＤ磁気センサに接続され、ＳＱＵＩＤ磁気センサから出力された信号を増幅する増幅器と、ＳＱＵＩＤ磁気センサに電流を印加する定電流回路と、ＳＱＵＩＤ磁気センサに電流を印加している状態で増幅器から出力される信号と、ＳＱＵＩＤ磁気センサに電流を印加していない状態で増幅器から出力される信号との差分を出力する直流ドリフトキャンセル回路とを備える。
【００５４】
これにより、ＳＱＵＩＤセンシングシステムは、ＳＱＵＩＤ磁気センサを用いた非変調型の磁気センサであり、ＳＱＵＩＤ磁気センサが出力する微弱電流を増幅する増幅器が出力する温度変化に基づくオフセットドリフト成分を簡単な回路構成で除去できるという効果を奏する。
【００５５】
（ｂ）上記（ａ）に係るＳＱＵＩＤセンシングシステムにおいて、直流ドリフトキャンセル回路は、第１のコンデンサと、第２のコンデンサと、定電流回路がＳＱＵＩＤ磁気センサに電流を印加していない場合に、増幅器の出力側を第１のコンデンサに接続し、定電流回路がＳＱＵＩＤ磁気センサに電流を印加している場合に、増幅器の出力側を第２のコンデンサに接続するスイッチング回路と、第１のコンデンサの出力から、第２のコンデンサの出力を減算する減算回路とを含むこととしてもよい。
【００５６】
これにより、ＳＱＵＩＤセンシングシステムは、各コンデンサで、ＳＱＵＩＤ磁気センサに電流を印加している場合としていない場合とで出力される電圧値を保持し、電流を印加していない場合で出力される誤差電圧（オフセットドリフト成分）を除去することができる。
【００５７】
（ｃ）上記（ａ）又は（ｂ）に係るＳＱＵＩＤセンシングシステムにおいて、ＳＱＵＩＤセンシングシステムは、さらに、直流ドリフトキャンセル回路からの出力を受ける積分器と、積分器からの出力をＳＱＵＩＤ磁気センサにフィードバックするコイルとを備えることとしてもよい。
【００５８】
これにより、ＳＱＵＩＤセンシングシステムは、磁束を検出する動作点を固定することができる。
【符号の説明】
【００５９】
１０  オシレーター
１１  ＳＱＵＩＤ磁気センサ
１２  増幅器
１３  第１のスイッチング回路
１４  第１のコンデンサ
１５  第２のコンデンサ
１６  可変電圧源
１７  加算器
１８  加算器
１９  積分器
２０  出力口
２１  抵抗
２２  コイル
２３  第２のスイッチング回路
２４  定電流回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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