(57)【要約】【課題】本発明の基礎は、設けられるポンプ段の数量を高めることなくインレットの数量が高められるスプリットフロー真空ポンプを提供するという技術的課題にある。【解決手段】課題は、少なくとも三つの半径方向のインレットを有し、及び少なくとも四つのポンプ段を有するスプリットフロー真空ポンプであって、少なくとも一つのポンプ段がターボ分子ポンプ段として形成されており、少なくとも三つのインレットが主インレットとして形成されており、これらが軸方向においてポンプ段の間に設けられているスプリットフロー真空ポンプにおいて、追加的に少なくとも一つの半径方向の副インレット（２７，２８，５２）が設けられており、この副インレットが少なくとも一つのターボ分子ポンプ段（２１，２２，４４，４５，４６）の領域に設けられていることによって解決される。【選択図】図１
2017020502.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも三つの半径方向のインレットを有し、及び少なくとも四つのポンプ段を有するスプリットフロー真空ポンプであって、少なくとも一つのポンプ段がターボ分子ポンプ段として形成されており、少なくとも三つのインレットが主インレットとして形成されており、これらが軸方向においてポンプ段の間に設けられているスプリットフロー真空ポンプにおいて、
追加的に少なくとも一つの半径方向の副インレット（２７，２８，５２）が設けられており、この副インレットが少なくとも一つのターボ分子ポンプ段（２１，２２，４４，４５，４６）の領域に設けられていることを特徴とするスプリットフロー真空ポンプ。
【請求項２】
少なくとも一つの副インレット（２７，２８，５２）が中心軸を有すること、及び中心軸が、少なくともターボ分子ポンプ（２１，２２，４４，４５，４６）の第一および最終のディスク（１４から１９；２０）の間に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
少なくとも一つの副インレット（２７，２８，５２）が二つのステーターディスク（２０）の間、及び／又は二つのローターディスク（１４から１９）の間及び／又はステーターディスク（２０）とローターディスク（１４から１９）の間に設けられていること、及び／又は少なくとも二つの副インレット（１２４，１２５）が半径方向に互いにオフセットされて設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
少なくとも一つの副インレット（２）が、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段（１）の隣接する二つのステーターディスク（２０）の間、及び／又は隣接する二つのローターディスク（１４から１９）の間、及び／又は、ステーターディスク（２０）と隣接するローターディスク（１４から１９）の間に設けられていることを特徴とする請求項３に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
少なくとも一つの服インレット（２７，２８，５２）の吸引性能が、主インレット（２３，２４，２５，２６）の吸引性能よりも低いことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
ｎのディスク（１４から１９，２０）において、ｎ−１の副インレット（２７，２８，５２）が設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項７】
ターボ分子ポンプ段（２１，２２，４４，４５，４６）のステーターディスク（２０）と隣接するローターディスク（１４から１９）が軸方向長さ（Ｌ）を確定すること、及び二つのターボ分子ポンプ段（２１，２２，４４，４５，４６）の間の間隔が、少なくとも長さ（Ｌ）と同じ大きさであることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項８】
少なくとも二つの半径方向のインレットを有するスプリットフロー真空ポンプであって、真空ポンプが複数のステーターディスク及びシャフト上に設けられた複数のローターディスクを有し、シャフト上に少なくとも二つのディスクパケットが設けられており、シャフトが少なくとも二つの異なる外直径を有し、及びディスクパケットがシャフトの外直径に合わせられた内直径を有するスプリットフロー真空ポンプにおいて、
シャフト（１３）が、最も大きい直径を有する領域（２９）に追加的に、軸方向において両側に其々、より小さな直径を有する少なくとも二つの領域（３０，３２；３１，３３）を有することを特徴とするスプリットフロー真空ポンプ。
【請求項９】
より小さな直径を有する領域（３０，３２；３１，３３）が最も大きい直径を有する領域の両側で、其々対として同じ直径を有することを特徴とする請求項８に記載の真空ポンプ。
【請求項１０】
異なる直径を有する領域（２９，３０，３１，３２，３３）の間の移行部（３４，３５，３６，３７）がディスクパケット（１４から１９）の為のストッパーとして形成されていることを特徴とする請求項８または９に記載の真空ポンプ。
【請求項１１】
ハウジング、ハウジング内に回転可能に設けられたシャフト、及びハウジングに設けられたステーターディスクを有するスプリットフロー真空ポンプであって、シャフトの複数のローターディスクが設けられているスプリットフロー真空ポンプにおいて、
ハウジング（４１）が少なくとも二つのハウジング領域を有し、これらが熱的に分離されて形成されており、又はこれらの間の熱的な連結が減少されて形成されていることを特徴とするスプリットフロー真空ポンプ。
【請求項１２】
少なくとも二つのハウジング領域が、二つのハウジング領域の壁厚に対して減少させられた壁厚を有するハウジング部分（４２）によって接続されていること、及び／又はハウジング部分（４２）の領域内に、ハウジングの熱伝導性よりも低い熱伝導性を有する材料からなる補強部が設けられていることを特徴とする請求項１１に記載の真空ポンプ。
【請求項１３】
少なくともも二つのハウジング領域が、二つの分離したハウジング部材から形成されていること、及びハウジング部材の間に少なくとも一つの熱シールが設けられていること、特にシールがガラス及び／又はセラミック及び／又はプラスチックから形成されていることを特徴とする請求項１１に記載の真空ポンプ。
【請求項１４】
ハウジング（４１）内に少なくとも一つの孔部及び／又は少なくとも一つの溝が設けられており、これらの中に、加熱要素及び／又は加熱パトローネ及び／又はハウジング（４１）を加熱するためのコイル及び／又は冷却要素が設けられていることを特徴とする請求項１１から１３のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項１５】
請求項１から１４のいずれか一項に記載の少なくとも一つの真空ポンプと少なくとも一つのレシーバーを有する真空システムであって、真空ポンプとレシーバーの間に解除可能な接続が設けられており、接続のシールの為に大気側に向かって少なくとも一つのエラストマーシール（７６）、そして真空側の方向に少なくとも一つの間隙シール（７７）が設けられている真空システムにおいて、
エラストマーシール（７６）と間隙シール（７７）の間に、少なくとも一つの吸引チャネル及び／又は少なくとも一つの吸引開口部（８０）が設けられていることを特徴とする真空システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スプリットフローポンプの形式の真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
いわゆるスプリットフローポンプは、例えば質量分析システムの複数のチャンバーを同時に真空引きするために実践で使用されている。スプリットフロー真空ポンプによって、複数の個々のポンプからなるポンプシステムを省略することが可能であり、そして複数のチャンバーの真空引きは唯一のポンプで実施することが可能である。
【０００３】
スプリットフロー真空ポンプは、真空システムの為に少ないスペース要求のみを要するというメリットを有している。スプリットフロー真空ポンプは、分析装置内のみでなく、例えばリーク探索装置内で使用される。その分析原理は同様に質量分析計（独語：Ｍａｓｓｅｎｓｐｅｋｔｒｏｍｅｔｒｉｅ）に関する。
【０００４】
特許文献１から複数の吸引コネクターを有し、これが其々、装置、例えば質量分析計の一つの真空チャンバーと接続されるターボ分子ポンプが公知である。吸引コネクターは、ガスを、ローターの軸方向に間隔をあけた異なる箇所に導く。ローター軸に沿って複数のいわゆるローターステーターパケットが設けられている。これらは其々ガスを圧縮する。高真空側のステーターパケットは、そのインレットとそのアウトレットの間の圧力比率を発生させる。インレットは、第一の真空チャンバーと接続されている。アウトレットは次のローターステーターパケットのインレットと接続されている。追加的に、二つのローターステーターパケットの間のこの領域は、第二の真空チャンバーと接続されている。第一のローターステーターパケットにより発生される圧力比率と、真空チャンバーの間の劣悪なコンダクタンス（独語：Ｌｅｉｔｗｅｒｔ）に基づいて、両方の真空チャンバー内の圧力は異なる。ローターステーターパケットの相応の数量によって、複数の真空チャンバーが、異なる圧力に真空引きされることが可能である。その際、各吸引コネクターには、ローターステーターパケットが付設される。直径と比較して、とても長いローターは、取扱いが困難であるということが示されている。と言うのは、ローターは、毎分数１０，０００回転の領域の回転数で運転されるからである。
【０００５】
複数の真空ポンプで装置を真空引きする別のバリエーションは、各真空ポンプに適当なフランジを設けることである。これらには、その後、圧力領域に適当な真空ポンプが接続される。この方法は、複数の真空ポンプの為の高いコストのため、好まれない。更に、コンパクトな装置に対する要求が存在する。しかしこれらは、複数の真空ポンプによっては実現されることが不可能である。
【０００６】
複数の適用例において、複数の真空チャンバーは直列に設けられており、そして孔部（複数）によって低いコンダクタンスで互いに接続されている。列の一方の端部から他方の端部へ、真空チャンバー内部のガス圧は減少する。孔部は、粒子線が、これらを通して、そしてひいては真空チャンバーの列を通して進むことが可能であるように形成されている。最も低い圧力の真空チャンバーは、しばしば分析装置、例えば質量分析計を含んでいる。
【０００７】
実践から、三つ又は四つの半径方向インレットを有し、そして少なくとも四つのポンプ段を有するスプリットフロー真空ポンプが公知である。ポンプ段は、通常ターボ分子ポンプ段である。これらは、しばしば別のポンプ段、例えばホルベックポンプ段又はゲーデポンプ段と組み合わせられている。
【０００８】
この適用例においては、高い吸引性能を有するスプリットフロー真空ポンプにおいて常に複数のタッピングを設ける必要がある。つまり、ローターディスクパケット数量が、高められる必要があり、このことは、ここでもまた、例えばローターディスクが一方の側からのみローターに積層されるとき、製造技術上の困難性へと通じる。
【０００９】
ローターディスク（軸接合直径（独語：Ｗｅｌｌｅｎｆｕｅｇｅｄｕｒｃｈｍｅｓｓｅｒ））の内直径に関するバリエーション形成によって、複数の軸方向ストッパーを有する複数のディスクパケットが、波部状に実現されることが可能である。しかしこれは、ポンプの構造において複数の異なるディスクが存在する必要があるということを意味する。これら複数の異なるディスクは、製造上も高コストである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】ドイツ連邦共和国特許出願公開第４３  ３１  ５８９  Ａ１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の基礎は、設けられるポンプ段の数量を高めることなくインレットの数量が高められるスプリットフロー真空ポンプを提供するという技術的課題にある。その上、多数のローターディスクパケットが高い製造精度で一つのシャフト上に、ローターディスクの予め製造されるバリエーションを減少させつつ実現されるというスプリットフロー真空ポンプが提供されるべきである。
【００１２】
その上、真空ポンプの両方の端部を熱的に分離することが可能であるスプリットフロー真空ポンプが提供されるべきである。これは、例えば真空ポンプの一方の端部が加熱され、そして同時に、例えば支承部を有する反対側の端部が過剰に加熱されるべきでないということを意味する。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この技術的課題は、請求項１に記載の特徴を有する、及び／又は請求項８に記載の特徴を有する、及び／又は請求項１１に記載の特徴を有するスプリットフロー真空ポンプによって解決される。
【００１４】
発明に係るスプリットフロー真空ポンプは、少なくとも三つの半径方向のインレットと、少なくとも四つのポンプ段を有している。その際、少なくとも一つのポンプ段は、ターボ分子ポンプ段として形成されている。その際、少なくとも三つのインレットは主インレットとして形成されており、これらは、軸方向においてポンプ段の間に設けられている。当該スプリットフロー真空ポンプは、追加的に、少なくとも一つの半径方向の服インレットが設けられており、これが少なくとも一つのターボ分子ポンプ段の領域に設けられている点において際立っている。
【００１５】
真空ポンプの発明に係る形成によって、主インレットに追加的に少なくとも一つの副インレットを設けることが可能である。主インレットは、先行技術から公知のように、ポンプ段の間に設けられている。本発明において新しいのは、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段の領域に設けられている少なくとも一つの別のインレットを設けることである。これは、いわゆるタッピング、つまりインレットがターボ分子ポンプ段の間に設けられず、タッピングが半径方向において、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段のディスクパケット内に通じることを意味する。
【００１６】
これによって明らかに多くのタッピング、つまり複数のインレットが、所定の軸方向構造長における唯一のポンプでもって達成される。本発明によって、短い軸方向長で、できる限り多くのチャンバーを真空引きすることが可能である。
【００１７】
ローターは、一部品式又は多部品式に形成されていることが可能である。
【００１８】
本発明の有利な実施形に従い、少なくとも一つの副インレットは中心軸を有し、そして中心軸は、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段の第一および最終ディスクの間に設けられている。
【００１９】
これは、副インレットが、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段のディスクパケットのディスクの間に通じることを意味する。これによって、ポンプ段の間に設けられている先行技術に属するインレットに追加して、追加的な複数のインレットが形成されるので、より多くの数量の真空チャンバーが真空引きされることが可能である。
【００２０】
本発明の別の有利な実施形に従い、少なくとも一つの副インレットが、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段の二つのステーターディスクの間、及び／又は二つのローターディスクの間、及び／又はステーターディスクとローターディスクの間に設けられていること、及び／又は少なくとも二つの副インレットが互いに半径方向のオフセットを有して設けられていることが意図されている。これは、副インレットがステーターパケットのディスクの間に設けられており、一方、主インレットがステーターパケットの間に設けられていることを意味する。
【００２１】
複数の副インレットが設けられているとき、これらは半径方向に互いにオフセットされて、ローターの同じ軸方向高さで設けられていることが可能である。副インレットは、この場合、ディスクパケット内において二つのローターディスクの間に設けられ、そして半径方向で周囲において分割されている。しかしまた、これらは一つの平面内に設けられていることも可能である。
【００２２】
本発明の別の有利な実施形に従い、少なくとも一つの副インレットは、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段の隣接する二つのステーターディスクの間、及び／又は隣接する複数のローターディスクの間、及び／又はステーターディスクと隣接するローターディスクの間に設けられている。これは、副インレットがその直径に関して比較的小さく選択され、そしてディスクの間に設けらていることを意味する。
【００２３】
有利には、少なくとも一つの副インレットの吸引性能が、主インレットの吸引性能よりも低いことが意図されている。
【００２４】
副インレットは、真空引きすべきマルチチャンバーシステムのタッピングの数量を高めることに使用される。
【００２５】
個々のポンプ段の間、つまり個々のディスクパケット又は他のポンプ段例えばゲーデポンプ段、又はホルベックポンプ段の間には、比較的大きなスペースがあるので、主インレットは比較的大きな断面を有することが可能である。副インレットは、ターボ分子ポンプ段のディスクの間に通じており、そしてこの理由から比較的小さな断面のみを有する。
【００２６】
本発明の別の有利な実施形に従い、ｎのディスクにおいてｎ−１の副インレットが設けられていることが意図されている。
【００２７】
これは、副インレットの数量がディスクの数量よりも少ないことを意味する。ターボ分子ポンプのディスクパケットが二つのディスクから形成されるとき、これら両方のディスクの間に一つの副インレットが設けられていることが可能である。
【００２８】
しかしまた、複数の半径方向の副インレットをターボ分子ポンプ段の領域内に設けることも可能である。同様に、複数のターボ分子ポンプ段において、これらいずれのターボ分子ポンプ段にも一または複数の副インレットを設けるうことも可能である。異なるターボ分子ポンプ段は、副インレットを有して、又は有さず形成されていることが可能である。
【００２９】
有利には、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段に追加的に、少なくとも一つのホルベックポンプ段及び／又はジーグバーンポンプ段、及び／又は、ゲーデポンプ段、及び／又はサイドチャネルポンプ段及び／又はネジ溝ポンプ段が設けられていることが意図されている。
【００３０】
スプリットフローポンプは、通常、一または複数のターボ分子ポンプ段と、少なくとも一つの別の上述したポンプ段から成る。
【００３１】
異なるポンプ段の組み合わせによって、真空引きすべき複数のチャンバー内の圧力比率は相応して調整されることが可能である。
【００３２】
複数のポンプ段の間、例えば二つのターボ分子ポンプ段の間に、一つの主インレットを設ける事、及び例えば追加的に一つのホルベックポンプ段を設けることが可能である。発明に従い、追加的に、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段の領域に、少なくとも一つの別の副インレットが設けられる。
【００３３】
本発明の別の有利な実施形に従い、ターボ分子ポンプ段が一または複数のローターディスクから、及び／又は一または複数のステーターディスクから形成されていることが意図されている。
【００３４】
ポンプ段は、通常、少なくとも一つのステーターディスクと少なくとも一つのローターディスクから成る。しばしば、交互に入れ子式に介入している複数のステーターディスク及び複数のローターディスクが設けられている。本発明に従い有利には、ｎのディスクにおいてｎ−１の副インレットが設けられていることが意図されている。例えばターボ分子ポンプ段を形成するステーターディスクとローターディスクが設けられているとき、インレットはこれらディスクの間に設けられている。
【００３５】
本発明の別の有利な実施形は、ターボ分子ポンプのステーターディスクと隣接するローターディスクが軸方向長さＬを決定すること、及び二つのターボ分子ポンプの間の間隔が少なくともこの長さＬと同じ長さであることが意図されている。
【００３６】
これによって、少なくとも一つのステーターディスク及び／又はローターディスクが少なくとも一つのターボ分子ポンプ段を形成することが決定されている（独語：ｆｅｓｔｇｅｌｅｇｔ）。隣接するステーターディスク及び／又は隣接するローターディスクの間の間隔が、長さＬを超えるほど大きいとき、発明に従い新たなターボ分子ポンプ段が始まる。ターボ分子ポンプ段の間のこの領域におけるインレットは主インレットとして考えられる。ターボ分子ポンプ段の領域のインレット自体は、副インレットと考えられる。
【００３７】
本発明の別の実施形に従い、ターボ分子ポンプ段は少なくとも一つのローターディスクから形成されていることが意図されている。
【００３８】
インレットに関する発明に係る実施形は、基本的にターボ分子ポンプにおいても適用可能である。
【００３９】
有利には、ポンプ段は、少なくとも一つのローターディスクと少なくとも一つのステーターディスクから成る。この場合、副インレットはローターディスクとステーターディスクの間に設けられている。
【００４０】
発明に係るスプリットフロー真空ポンプの他の実施形は、少なくとも二つの半径方向のインレットを有し、その際、真空ポンプは複数のステーターディスクと、シャフト上に設けられた複数のローターディスクを有し、その際、シャフト上には、少なくとも二つのディスクパケットが設けられており、その際、シャフトは、少なくとも二つの異なる外直径を有し、そしてディスクパケットは外直径に合わせられた内直径を有する。当該真空ポンプは、シャフトが、最大の直径を有する領域に追加して、軸方向において両側に、より小さな直径を有する少なくとも二つの領域を有する点で際立っている。
【００４１】
発明に係る実施形は、シャフト上に多数の個々のディスクパケットを可能とする。発明に従い、四つ、又はより多くのディスクパケットをローターに設けることが可能である。
【００４２】
シャフトは、最大の直径を有する領域に追加して、軸方向において両側に、其々、より小さな直径を有する二つの領域を有することによって、この領域に其々少なくとも一つのディスクパケットが設けられることが可能である。これによって、最大の直径を有する領域をストッパーとして使用し、そして軸方向でこれに続く、わずかに小さな直径を有する領域、最大の直径を有する領域の両側に其々、少なくとも一つのディスクパケットを設けることが可能である。これに続く、ここでもまたわずかに小さな直径を有する領域には、其々、少なくとも一つの別のディスクパケットが設けられることが可能である。最大の直径を有する領域は、其々、ディスクパケットの為のストッパーとして使用される。これらは、わずかに小さな直径を有する領域に組付けられている。この場合、シャフトには左から及び右から、各二つのパケットがずりあげられる（独語：ａｕｆｇｅｓｃｈｏｂｅｎ）ので、二つのみの直径を有する四つのパケットが設けられ、このことは、ローターディスク及びディスクパケットに関して極めて多くの同部材が使用可能であるというメリットを有する。
【００４３】
スプリットフロー真空ポンプの構造において、組立の際に極めて高い正確性を保持することが必要である。ステーターディスクパケットは、互いに間隔をあけて設けられており、これに伴いローターディスクパケットも互いに間隔をあけて設けられているので、シャフト上にストッパーを作ることは意味がある。多くのストッパーが存在するほど、ディスクにおいてより少ない公差が必要であり、そしてステーターディスクとローターディスクの間の間隙は小さく形成されることが可能である。
【００４４】
ストッパーを省略するとき、ローターディスクは、相応して正確に製造されている必要があり、このことは高い製造コストを意味し、又はローターディスクとステーターディスクの間の間隔が相応して広く選択される必要があり、これによって製造公差は、ステーターディスクとローターディスクの間の衝突へと通じない。
【００４５】
各リングパケットは、有利にはストッパーに対して組付けられている。この措置によって組み込まれるディスクパケットの位置の正確性が明らかに高められる。
【００４６】
本発明の特に好ましい実施形に従い、より小さな直径を有する領域は、最大の直径を有する領域の両側で、其々、対として同じ直径を有している。これによって、第一のより小さな直径に、最大の直径を有する領域の両側に同じディスクパケット、つまり同じ直径を有するディスクパケットを組付けることも可能である。これは、更に減少された直径を有するこの領域に続く領域にも同じことが言える。この措置によって、四つのっディスクパケット（これらは製造に関していうと二つの直径のみを有する必要がある）を組付ける可能性が存在する。これによって多くの同部材が予め組付けられることが可能であり、このことは製造コストを著しく減少させる。
【００４７】
本発明の別の有利な実施形に従い、異なる直径を有する領域の間の移行部がディスクパケットの為のストッパーとして形成されていることが意図されている。このストッパーによって、ローターディスクのディスクパケットが、ステーターディスクの間に正確に位置決めされていること、及び個々のディスクパケットの製造公差が、シャフトの全長にわたって加算されることが無いということが保証されている。
【００４８】
本発明の有利な実施形に従い、シャフトはピラミッド形状の対象な構造を意図している。この場合、シャフトの両側に其々同じディスクパケットが設けられることが可能である。基本的に、シャフトを段差を設け形成することが可能である。シャフトが少なくとも部分的に円すい形に先細に形成することも可能である。
【００４９】
シャフトの異なる形状、つまり段差を設けた形状と円錐形の形状は、互いに組み合わせられることも可能である。
【００５０】
発明に係るスプリットフロー真空ポンプの他の実施形は、ハウジング、ハウジング内に回転可能し支承されたシャフト、及びハウジングに設けられたステーターディスクを有し、シャフトにはローターディスクが設けられている。このスプリットフロー真空ポンプは、ハウジングが少なくとも二つのハウジング領域を有し、これらが熱的に分離されて形成されているか、又はこれらの間に減ぜられた熱的な連結が形成されている点で際立っている。真空ポンプにおいては、しばしば、ポンプの一方の側を加熱し、レシーバーのより良好な真空引きを達成することが望まれる。ポンプの反対の側（これは多くの場合、支承部が設けられている側である）は、場合によっては加熱されず、又はこの側は場合によっては冷却されすらする。障害の無いシャフトの支承を図るためである。
【００５１】
これは、真空ポンプの一部は、極めて高い温度にさらされる一方で、真空ポンプの反対の部分は、比較的低い温度を有する必要があるということを意味する。
【００５２】
この理由から、少なくとも両方のハウジング領域の間で、熱制限を達成することが意図されている。
【００５３】
本発明の有利な実施形に従い、少なくとも二つのハウジング領域が、二つのハウジング領域の壁厚に対して減少させられた壁厚を有するハウジング部分によって接続されていることが意図されている。
【００５４】
これは、両方のハウジング領域の間の壁部領域が、他のハウジングよりも薄い断面を有していることを意味する。このためハウジングは、例えばネック部を有する。
【００５５】
本発明の別の有利な実施形に従い、ハウジング部分の領域内に、ハウジングの熱伝導性よりも低い熱伝導性を有する材料から成る補強部が設けられていることが意図されている。特に、ネック部を有する領域内には、そのような補強部が有利に設けられることが可能である。
【００５６】
本発明の別の有利な実施形は、少なくとも二つのハウジング領域が、二つの分離したハウジング部材から形成されていること、及びハウジング部材の間に少なくとも一つの熱シールが設けられていることを意図している。有利には、シールは、ハウジングよりも悪い熱伝導性を有する。有利には、シールは、ガラス及び／又はセラミック及び／又はプラスチックから形成されていることが可能である。このシールによって、ハウジングの加熱される部分から冷却される部分への熱伝達が起こらない。
【００５７】
有利には、ハウジング内に、少なくとも一つの孔部、及び／又は少なくとも一つの溝が設けられている。この中に加熱要素及び／又はハウジングを加熱するためのコイル及び／又は冷却要素が設けられている。この装置によって、相応して高い温度を有すべきハウジングの領域を加熱することが可能であり、ハウジングの冷却されるべき領域を冷却することが可能である。
【００５８】
最終圧力をできるだけ早く達成するために、ポンプを加熱することは有利である。ポンプ及びローターの最大限の加熱の為に、参照温度へと調整されることが可能である。この参照温度は、ポンプによって提供される温度（この温度は、例えばローター又は支承部などのような危機的温度と関連している）であることが可能である。同様に、例えば温度センサー、高温計などのような外部センサーが使用されることも可能である。高温計によって例えばローター温度の直接の計測が可能である。その上、最大減の加熱温度を最大化するために、更に、追加的な水冷等が使用されることが可能である。
【００５９】
本発明の別の有利な実施形に従い、少なくとも一つの真空ポンプと少なくとも一つのレシーバーを有する真空システムが意図され、この真空システムにおいて、真空ポンプとレシーバーの間に、解除可能な接続部が設けられており、その際、接続部のシールの為に環境側に向かって少なくとも一つのエラストマーシールが設けられており、真空側の方向に少なくとも一つの間隙シールが設けられている。これは、エラストマーシールと間隙シールの間に少なくとも一つの吸引チャネル及び／又は少なくとも一つの吸引開口部が設けられている点で際立っている。
【００６０】
この実施形は、環境側のシール箇所においてエラストマーシールが使用されるというメリットを有する。これは好ましはОリングとして形成されている。エラストマーシールと例えば超高真空コネクターの間には、第二のシール要素として少なくとも一つの間隙シールが使用される。レシーバー（チャンバー）の面とポンプハウジングの面は、互いに押し合わせられる。
【００６１】
発明に係るスプリットフロー真空ポンプの有利な実施形は、少なくとも二つを半径方向のインレットを有し、その際、真空ポンプは、ステーターディスクを有し、そしてシャフトに設けられたローターディスクを有し、その際、シャフトには少なくとも一つのディスクパケットが設けられている。このスプリットフロー真空ポンプは、シャフト内に半径方向において少なくとも二つの溝及び／又は孔部が設けられており、これらがシャフトの軸方向において、シャフトの周囲方向においてよりも長く形成されている点、又はシャフトが軸方向において少なくとも一つのネック部を有する点を意図している。
【００６２】
複数のインレットを有するより長いスプリットフロー真空ポンプにおいては、ローターと特にローター軸の形式上の態様（反応、独語：ｍｏｄａｌｅ  Ｖｅｒｈａｌｔｅｎ）はクリティカルである。よって、強度を特に半径方向において同じままで、シャフトの質量と、これに伴い重量も減少させるよう試みる必要がある。
【００６３】
これは、有利には、シャフトが溝及び／又は孔部を有することによって達成される。溝及び／又は孔部は、好ましくは軸方向の複数の穿孔、例えばシャフト内の複数の旋削スロット（独語：Ｅｉｎｆｒａｅｓｕｎｇｅｎ）である。有利には、溝及び／又は孔部は、ローターディスクが設けられていない領域に設けられている。
【００６４】
本発明の特に有利な実施形に従い、少なくとも二つの溝及び／又は孔部が放射相称に軸内に設けられている。これはシャフトが回転対称のままで、かつアンバランスを有さないことが意図されている。
【００６５】
本発明の別の有利な実施形に従い、少なくとも二つの溝及び／又は孔部が少なくとも一つのリングを形成しシャフト内に設けられていることが意図されている。これは、ローターディスク又はディスクパケットが設けられていない領域内に、溝及び／又は孔部が設けられており、詳しく言うとシャフトの周囲にわたって均等に分配されていることを意味する。
【００６６】
ローターディスク又はディスクパケットが設けられていない領域がシャフト内に複数存在するとき、これら領域は、其々、溝及び／又は孔部を設けられていることが可能である。
【００６７】
有利には、溝及び／又は孔部が長方形の、及び／又は、円すい形に先細りの、及び／又は、円すい形に拡張する、及び／又は、段形状の逃された断面を有していることが意図されている。溝及び／又は孔部の形成のおいては、異なる断面が考え得る。断面の形状の態様は、各適用場面に応ずる。
【００６８】
本発明の別の有利な実施形は、孔部が貫通孔部として形成されていることを意図する。シャフトの中心軸まで設けられていない溝の他に、シャフト内に、貫通孔部として形成されている孔部が設けられていることも可能である。つまりシャフトの表面における異なる孔部が、シャフトのコアの領域において集中している。
【００６９】
本発明の別の有利な実施形に従い、シャフトには少なくとも溝の領域または少なくとも一つのネック部の領域にスリーブが設けられていることが意図されている。
【００７０】
本発明の有利な実施形は、少なくとも二つの半径方向のインレットを有するスプリットフロー真空ポンプを意図する。その際、真空ポンプはステーターディスクと、シャフトに設けられたローターディスクを有する。その際、シャフトには少なくとも一つのディスクパケットが設けられている。これは、シャフトに少なくとも一つのスリーブが設けられていることによって際立っている。
【００７１】
シャフト上のスリーブの配置によって、ローターの固有振動周波数が変更されることが可能であるので、ローターは、固有振動周波数の領域で運転される必要がない。これによって、同じ又はより高い曲げ固有周波数のもとより軽量なローターによって載置力も減少されることが可能である。
【００７２】
その上、高い曲げ強度の外直径を、ローター軸の出発材料を大きくすることなく製造することが可能である。これによって更にコスト削減が可能である。
【００７３】
本発明の実施形は、スリーブが少なくとも一つの端部にリングを有することを意図する。リングによって、スリーブは例えば先細の軸端部に設けられることが可能である。しかしまた、基本的に、スリーブをシャフト上、例えば、シャフトの一定の外直径上にタイトに設けることも可能である。
【００７４】
本発明の有利な実施形に従い、シャフト上に、少なくとも溝及び／又は孔部及び／又は少なくとも一つのネック部の領域にスリーブが設けられている。溝及び／又は孔部及び／又は少なくとも一つのネック部の領域にスリーブを設けることによって、ローター軸の強度が高められる。特にネック部は、シャフトの強度を失うことに通じる。これはスリーブによって保証されることが可能である。
【００７５】
本発明の別の有利な実施形は、少なくとも一つのシャフト端部に、先細の領域において少なくとも一つのスリーブが設けられていることを意図する。
【００７６】
シャフト端部は、通常、支承部、例えばボール支承部又はマグネット支承部内に設けられるように先細となっている。
【００７７】
スリーブはシャフトの強度を上げることに貢献する。
【００７８】
本発明の好ましい実施形に従い、少なくとも一つのスリーブが一方の側でシャフト上に、かつ反対の側で少なくとも一つの担持リング上に支承されていることが意図されている。シャフトが例えば段形状の長手方向断面を有するとき、つまりこれが段形状に先細となっているとき、スリーブは二つの隣接する段の領域に設けられることが可能である。最大の直径を有する段には、スリーブが直接シャフトに載置されていることが可能である。より小さな直径を有する段には、スリーブは少なくとも一つの担持リングに載置されている。
【００７９】
本発明の特に有利な実施形は、スリーブを担持するシャフトの領域と少なくとも一つの担持リングの間に、マグネット支承部の少なくとも一つのマグネットリングが設けられていることを意図する。これによって、シャフトをシャフト端部において補強し、さらにシャフトのより小さな直径に設けられており、ひいてはコストが安価であるマグネットリングを設けることが可能である。
【００８０】
本発明の他の有利な実施形は、少なくとも一つのスリーブがシャフトの領域において中実材料によって設けられていることを意図する。この実施形によって、ローターの固有振動周波数を、ローターが固有振動周波数の領域で運転されないように変更することが可能である。
【００８１】
本発明の変更された有利な実施形は、少なくとも一つのスリーブがローター軸の無い領域内にシャフト要素の間に設けられていることを意図する。この場合、シャフトは分割されたシャフトとして形成されており、そしてスリーブは複数のシャフト要素を接続している。これによってローター軸の重量は明らかに減少され、このことはシャフトの形式上の態様に有利に作用する。
【００８２】
本発明の別の有利な実施形は、スリーブ内に少なくとも一つの孔部が設けられていることを意図する。孔部は有利には、溝及び／又は孔部及び／又はネック部の領域内に設けられている。真空ポンプの領域内には、真空引きの際、ガスで満たされた中間空間が存在しないべきである。というのは、ガスで満たされた中間空間は、真空引き過程の間、脱気され、そしてこれによって本来達成可能なポンプの最終圧力が達成されないからである。
【００８３】
少なくとも一つのスリーブは好ましくは金属から成る。金属としてアルミニウム、チタン、又はステンレスが選択されることが可能である。少なくとも一つのスリーブは、炭素繊維を有する複合材料、例えば炭素繊維強化プラスチックから成ることが可能である。金属からなる材料と炭素繊維を有する複合材料の組み合わせを使用する可能性も存在する。
【００８４】
有利には、スリーブの軸方向の大きさは、その外直径よりも大きい。この実施形に従い、スリーブは、シャフトの強度の改善に最善に貢献する。
【００８５】
ローターのモーター端部には、少なくとも一つのスリーブが、モーター磁石の前後においてローター軸に固定されているように形成されている。これによって、より小さな直径を有するマグネットリングを形成し、ひいてはコスト削減を実施することが可能である。高真空の方向では、少なくとも一つのスリーブがローター軸上に取り付けられていることが可能であり、支承端部の方向では例えばリングによってシャフトと接続されることが可能である。
【００８６】
ローターが、二つのディスクパケットの間において補強されるべきとき、同様に発明に係るスリーブが設けられていることが可能である。このスリーブは中実シャフト上に設けられることが可能である。中実シャフトとスリーブの間の接続は、例えばシュリンク、プレス及び／又は接着または他の固定形式がとられることが可能である。
【００８７】
更に、スリーブを、シャフトの領域において、少なくとも一つのネック部、又は少なくとも一つの収縮部（独語：Ｅｉｎｄｒｅｈｕｎｇ）及び／又は溝及び／又は孔部と共に設けることが可能である。ローターの小さな直径で強度にあまり貢献しない減少された質量によって、ローターの固有周波数がスリーブによって高められる。その際、載置力が、このようにして減少され、そして例えば、永久磁石支承部の使用の際に場合によってはリングマグネット対がコスト削減のため省略されることが可能であることも、ポジティブである。
【００８８】
組立方向において少なくとも一つのスリーブの前にローターディスクが組み立てられているとき、ローターディスクの篏合シートは、スリーブの外直径よりも小さな外直径上に設けられていることが可能である。これは、そうでない場合にローターディスクの結束部（この周りにローター羽根が設けられている）が、大きすぎる篏合直径の場合に弱すぎ、これによってローターディスクは運転中もはや確実にローターに固定されていないであろうというときに有利である。
【００８９】
その上、ローター軸の出発材料を大きくする必要なく、大きな曲げ強度の外直径を製造することが可能であり、これによってコスト削減が可能である。
【００９０】
本発明の有利な実施形によって、スリーブ上に、外側の側面に追加的にポンプ構造が設けられている。ポンプ構造は、例えばターボ構造、クロスチャネル構造、ネジ溝構造、又はホルベック構造、又はこれら構造の組み合わせであることが可能である。
【００９１】
少なくとも一つのリングがスリーブに設けられるとき、少なくとも一つのリングは、一方で又は両方で好ましくはスリーブの端部に設けられていることが可能である。リングはスリーブに固定的に設けられていることが可能である。少なくとも一つのリングをスリーブと一体に形成する可能性も存在する。リングは内部リングとちしてスリーブに形成されている。
【００９２】
スリーブは強度を上げるのに使用される。特に、ネック部の領域、つまりシャフトが、ローターディスク及び／又はローターパケットが設けられている直径よりも小さな直径を有する領域では、強度を上げるためスリーブが設けられていることが可能である。スリーブ内には複数の孔部が設けられていることが可能である。スリーブによってカバーされるシャフト内の中空空間を脱気することができるようにである。
【００９３】
スリーブは有利には、シャフトの弾性モジュール及び密度の歯痛よりも大きい弾性モジュール及び密度を有する材料から成る。
【００９４】
本発明の他の有利な実施形は、少なくとも二つの半径方向のインレットを有するスプリットフロー真空ポンプを意図する。その際、真空ポンプはステーターディスク及びシャフト上に設けられたローターディスクを有する。その際、シャフト上には少なくとも一つのディスクパケットが設けられており、シャフトが、長手軸に沿って設けられた内部穴を有することを意図している。
【００９５】
この措置によって、シャフトの重量は明らかに削減される。しかしながら、強度、特に半径方向の強度は維持される。この措置によってローターの形式上の態様は明らかに改善される。
【００９６】
本発明の別の特に有利な実施形に従い、シャフト端部（この中に内部穴が設けられている）は、断面において内側の支承ピボット（独語：Ｌａｇｅｒｚａｐｆｅｎ）を有さず鍋形状（独語：ｔｏｐｆｆｏｅｒｍｉｇ）に形成されていることが意図されている。内部の支承ピボットを省略することにより、内部穴を上述したシャフト端部内に設けることが可能である。
【００９７】
請求項１から１０に記載の特徴を有するポンプは、請求項１１から２０の特徴を個々に、又は組合せとして有することができる。
【００９８】
請求項１１から１３の特徴を有するポンプは、請求項１から１０及び１４から２０の特徴を個々に又は組合せで有することができる。
【００９９】
請求項１４から１９の特徴を有するポンプは、請求項１から１３の特徴を個々に又は組合せで有することができる。
【０１００】
本発明の更なる特徴及びメリットは、添付の図面に基づき生ずる。図面には、発明に係る真空ポンプの複数の実施例が例示的にのみ表されている。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】発明に係る真空ポンプを有する装置の長手方向断面図
【図２】主インレット及び副インレットを有するディスクパケットを有するローターの簡略図
【図３】スプリットフロー真空ポンプの長手方向断面
【図４】ローターに設けられたローターディスクを有するローターの原理図
【図５】ローターディスクがタイトフィットされたシャフトの長手方向断面
【図６】ローター軸の横断面
【図７】先行技術に従うスプリットフロー真空ポンプのローターの原理図
【図８】変更された実施例
【図９】真空コネクターを有する斜視図での真空ポンプ
【図１０】シャフトの変更された実施例の長手方向断面
【図１１】シャフト端部におけるスリーブを有するローターの長手方向断面
【図１２】図２の詳細
【図１３】ディスクパケット間のスリーブを有するローターの長手方向断面
【図１４】変更された実施例に従うディスクパケットの間のスリーブを有するローターの長手方向断面
【図１５】ネック部を有するローターの長手方向断面
【図１６】ディスクパケット管のスリーブと分割されたローター軸を有するローターの長手方向断面
【図１７】内部穴を有するローターのシャフト端部の長手方向断面
【図１８】ポンプ効果を発する構造を有するスリーブの横断面
【図１９】ポンプ効果を発する構造を有するスリーブの変更された実施例の横断面
【図２０】二つの副インレットを有するローターの変更された実施例
【図２１】二つの副インレットを有するポンプの変更された実施例
【図２２】結束部を有するローターディスクを有する変更された実施例
【発明を実施するための形態】
【０１０２】
図１は、真空ポンプ１を示す。この真空ポンプはいわゆるスプリットフロー真空ポンプとして形成されている。真空ポンプ１は、マルチチャンバー真空装置２と接続されている。マルチ真空装置２は、四つのチャンバー３，４，５，６を有している。これらは真空ポンプ１によって真空引きされるべきである。チャンバー３，４，５，６内のガス圧は、この順番に上昇する。チャンバー３，４，５，６は、分離壁７，８，９によって互いに分離されている。その際、孔部９，１０，１１が接続部を形成している。これら孔部９，１０，１１は、例えば粒子線が全てのチャンバー３，４，５，６を通して進むことが可能であるよう設けられ、そして寸法決めされている。特に、第一の分離壁７は、第一のチャンバー３と第二のチャンバー４を互いに分離し、他方で第二の分離壁８が第二のチャンバー４と第三のチャンバー５を分離し、そして第三の分離壁９が第三のチャンバー５を第四のチャンバー６から分離している。図１内の破線矢印は、ガスフローを表している。
【０１０３】
真空ポンプ１は、シャフト１３を有している。これは、ローターディスク１４から１９を担持している。ローターディスク１４から１８は、ステーターディスク２０と介入状態にある。ローターディスク１４，１５，１６は、第一のディスクパケット２１を、そしてローターディスク１７から１９は第二のディスクパケット２２を形成している。ディスクパケット２２は、ステーター２０と共に高真空側のローターステーターパケットを形成する。ディスクパケット２１は、ステーターディスク２０と共に、中間真空側のローターステーターパケットを形成する。両方のパケット中の翼部は、その際、先行技術において公知であるように、ステーター側においてもローター側においても担持リングに固定され、又はこれと一体に形成されている。高真空側のローターステーターパケットの前に、第一のガスインレット２３が、予真空側のローターステーターパケットの前に、第二のガスインレット２４が存在している。
【０１０４】
マルチチャンバー真空装置から、第一の主インレット２３は真空ポンプ１内へと通じている。第二のチャンバー４から第二の主インレット２４が真空ポンプ１内へと通じている。真空チャンバー５から別の主インレット２５が真空ポンプ１内へと、そして真空チャンバー６から別の主インレット２６が真空ポンプ１内へと通じている。
【０１０５】
主インレット２３，２４，２５，２６は、ターボ分子ポンプ段２１，２２の間に設けられている。
【０１０６】
ターボ分子ポンプ段２２の領域内には、第一の副インレット２７が設けられている。これは、真空チャンバー５から真空ポンプ１内へと通じている。その上、真空チャンバー６から、ターボ分子ポンプ段２１の領域の別の副インレット２８が真空ポンプ１内へ通じている。
【０１０７】
よってインレットの数量は、副インレット２７，２８によって高められる。副インレット２７，２９は、ターボ分子ポンプ段２１，２２の領域に設けられている。
【０１０８】
ローター軸１３は、異なる直径を有する複数の領域を有する。
【０１０９】
第一の領域２９は、最も大きな直径の領域である。シャフト１３の両側には、より小さな直径を有する二つの部材３０，３１が接続している。これに、個々でもまた、シャフト１３の更に小さな直径を有する領域３２，３３が接続している。シャフト１３の最も大きな直径の領域２９内にはローターディスクが設けられていない。領域３０内には、ローターディスク１６が設けられている。このローターディスクは、ストッパー３４（領域２９と領域３０の間の段形状の節によって形成されている）によって局所的に明らかに固定されている。
【０１１０】
同じことは、ストッパー３５によって領域３０，３２の間に固定されるローターディスク１５に対しても言える。
【０１１１】
同様に、これは、ストッパー３６によってシャフト１３に固定されるローターディスク１７、及びストッパー３７によってシャフト１３に固定されるローターディスク１８に対しても言える。ローターディスク１４，１５とローターディスク１８，１９の間には、各一つのスペーサースリーブ３８が設けられいてる。ストッパー３４から３７によってローターディスク１４から１９がシャフト１３上で正確に配置されるので、ローターディスク１４から１９とステーターディスク２０の間に狭い間隙が形成されることが可能である。
【０１１２】
本発明の別のメリットは、ローターディスク１４から１９がシャフト上で正確に配置され、これによって極めて小さな間隙が形成されることが可能である点にある。これによって真空ポンプ１のポンプ性能は高められる。四つの同じ部材の使用によって、ポンプは製造で価格メリットがある。本実施例においては、最も大きい直径を有するシャフト１３の領域２９の両側に、各二つの、其々同じ内直径を有するローターディスクパケットが設けられている。
【０１１３】
本発明の別の有利な実施形は、最も大きな直径２９の領域内に複数の溝３９，４０が設けられ、これらがシャフトの質量を減少させるという実施形である。スプリットフロー真空ポンプは、とても長い構造長を有しているので、ローターと特にローター軸の形式上の態様は重要である。個の理由から、本発明に従い、質量とひいてはシャフトの重量も、同じ強度のまま減少される。
【０１１４】
真空ポンプ１は、ハウジング４１を有する。ハウジング４１の高真空側と予真空側の間の熱伝達を減少させるために、ハウジング４１はネック部４２を有している。このネック部によって熱伝導性が減少される。ネック部４２の領域内には追加的に、図示されていない補強部が設けられている。ハウジングは、ネック部４２の領域内において分割されて形成されていることも可能であり、そしてハウジングの両方の部材の間には、熱シールが設けられていることが可能である。
【０１１５】
シャフト１３は、マグネット支承部４３によって一方の側に支承されている。単に簡略的にのみ表されたホルダー４３ａ内にカウンター支承部４３ｂが設けられている。他方の側には支承部は表されていない。図示されていない側の支承部は、例えばオイル潤滑されたボール支承部であることが可能である。
【０１１６】
図１内には、ターボ分子ポンプ段２１，２２のみが表されている。
【０１１７】
ターボ分子ポンプ段に加えて追加的に、ホルベックポンプ段及び／又はジーグバーンポンプ段及び／又はゲーデポンプ段及び／又はサイドチャネルポンプ段及び／又はネジ溝ポンプ段を設ける可能性も存在する。
【０１１８】
ローターディスク１５とステーターディスク２０は軸方向でみて軸方向長Ｌを有する。ターボ分子ポンプ段２１，２２の間の間隔は長さＬよりも大きい。
【０１１９】
図２は、ローターディスクパケット４４，４５，４６を有するシャフト１３を示す。これらは、図示されていないステーターディスクパケットとターボ分子ポンプ段４４，４５，４６を形成する。ガス流は、矢印４７によって表されている。
【０１２０】
矢印４８は、二つの主インレット２４，２５からターボ分子ポンプ段４５，４６に供給されるガス流を表す。矢印４９は、ターボ分子ポンプ段４４，４５の領域の二つの副インレット２７，２９からポンプシステムに供給されるガス流をあらわす。
【０１２１】
副インレット２７，２９は、ターボ分子ポンプ段４４，４５の領域に設けられる一方で、主インレット２４，２５は、その供給部をターボ分子ポンプ段４４，４５及び４６の間に有している。
【０１２２】
図３は、真空ポンプ１を示す。これによってもう一度、ターボ分子ポンプ段４４，４５，４６，４９を有することが明確にされる。ターボ分子ポンプ段４４，４５，４６，４９はローターディスク及びステーターディスクから成る。これらは互いに介入しあって設けられている。その上、主インレット２３，２４，２５，２６が設けられている。これらは、ポンプ段４４の前、又はポンプ段４４，４５，４６，４９の間に設けられている。
【０１２３】
シャフト１３は、マグネット支承部４３およびボール支承部５０によって支承されている。ボール支承部５０はオイル潤滑されたボール支承部である。シャフト１３はモーター５１によって駆動される。
【０１２４】
ターボ分子ポンプ段４４の領域内には、副インレット２７が設けられている。ターボ分子ポンプ段４５の領域には、副インレット２８が設けられており、そしてターボ分子ポンプ段４６の領域には副インレット５２が設けられている。
【０１２５】
この実施形によってインレットの数量は、四つの主インレット２３，２４，２５，２６から全部で七つのインレットへと、つまり追加的に三つの副インレット２７，２８，５２だけ高められる。
【０１２６】
図４は、シャフト１２の部分図を示す。シャフト１３は、図１に表された最も大きな直径を有する領域２９、これに引き続くより小さな直径を有する領域３０，３１、そして更にこれに続く更に小さくなった直径を有する領域３２，３３を有している。領域３０，３１内にはローターディスク１６，１７が設けられている。領域３２，３３内には、ローターディスク１５，１８，１９が設けられている。ローターディスク１５，１８，１９は、同じ内直径を有している。ローターディスク１６，１７は同じ内直径を有している。これによって、同じ部材の数量が多くなることによって価格メリットのあるポンプを構成することが可能である。
【０１２７】
領域２９，３０の間の直径差は、ストッパー３４を形成する。領域２９，３０の間には、ストッパー３６が設けられている。領域３０，３２の間には、ストッパー３５が設けられており、そして領域３１，３３の間には、ストッパー３７が設けられている。
【０１２８】
ディスク１５，１６の組立方向は矢印Ａによって表されている。ローターディスク１７，１８，１９の組立方向は矢印Ｂによって表されている。Ｍによってシャフト１３の中心軸が表されている。シャフト１３とローターディスク１５，１６，１７，１８，１９は中心軸Ｍを中心に回転対称に構成されている。
【０１２９】
図５はターボ分子ポンプ段２１，２２を有するシャフト１３を示す。ローターディスク１４，１５，１６，１７，１８，１９が設けられていない領域に、シャフト１３は、溝３９，４０を有する
【０１３０】
シャフト１３の周囲方向におけるよりも軸方向においてより大きな広がりを有する溝の形成によって、シャフトの質量が減少されるので、ローターの形式上の態様は明らかに改善される。
【０１３１】
図６は、どのように溝３９，４０が形成されることが可能であるか、異なる可能性を示す。
【０１３２】
図６において、シャフト１３内には溝の様々な実施形が表されている。これら溝は同じ断面を有し、シャフト１３内に回転対称に設けられている。図６内に表された実施形は、単なる例示である。実践では、其々、実施形が選択され、そしてシャフト内に回転対称に配置される。
【０１３３】
図６内には、溝５３が示されている。この溝は、長方形の断面を有している。溝５４は、第二の実施形に従い中心軸Ｍの方向において円すい形に先細に形成されている。
【０１３４】
孔部５５は、これらがシャフト１３内の複数の貫通穴を形成するよう形成されている。孔部５５は点５６に集中している。溝５７は、段形状に逃された断面を有している。溝５８は、中心軸の方向に円すい形に拡張するよう形成されている。この実施形は、シャフト１３が高い強度を保つというメリットを有している。シャフト１３の外半径の材料は、内直径の材料における形式上の強度よりも強い。この理由から、溝５８は、特に有利な実施形である。
【０１３５】
溝に対して追加的に、スリーブ５９が設けられていることも可能である。スリーブ５９は、堅牢な材料から形成されていることが可能である。
【０１３６】
シャフト１３は、その上、ネック部を有している（図示せず）。シャフト１３内にネック部を設ける場合、スリーブ５９を少なくともネック部の領域内に設けることは特に有利である。
【０１３７】
スリーブ５９は、有利には溝の領域内に複数の孔部８３を有する。この孔部は、溝５３，５４，５７，５８及び／又は孔部５５が真空引きされることが可能であり、ひいてはこれらがレシーバーの真空引きの間、脱気されないことに使用される。
【０１３８】
図７は、二つのターボ分子ポンプ段２１，２２を有するシャフト１３を示す。これらは、スプリットフローポンプのハウジング４１内に設けられている。ハウジング４１がインレット２４を有する。
【０１３９】
これは、先行技術に属する実施形に対して、顧客ハウジング６０がインレット６１を有し、このインレットが半径方向においてインレット２４に対してオフセットされて形成されていることを示す。ポンプ及びカスタマーチャンバー６０の軸方向長さは、合致しない。
【０１４０】
図８に従い、それにもかかわらずできる限り高いコンダクタンスがどのように図られることが可能であるかという解決策が表されている。ハウジング４１は、このため、インレット２４の領域にウェブ６２を有する。ステーターディスク（図示せず）が固定されることが可能であるウェブの形成によって、インレット２４の領域により大きな断面と、これに伴いより高いコンダクタンスが得られる。
【０１４１】
図９は、真空コネクター７２，７３，７５を有する真空ポンプ１を有する。真空コネクター７２は、エラストマーシール７６及び間隙シール７７を有する。エラストマーシール７６と間隙シール７７の間には、吸引チャネル７８が設けられいてる。この中に中間吸引部７９が設けられている。真空コネクター７５内には、吸引開口部８０が設けられている。中間吸引部７９は、導通穴８１内へと通じている。これは、中間段７３に向かって案内されている。真空コネクター７５のシール装置の為に接続チャネル８２が設けられているので、真空コネクター７５は、吸引開口部８０を介して同様に導通穴８２を介して真空引きされる。
【０１４２】
図１０は溝３９，４０を有するシャフト１３を示す。溝３９，４０は、軸方向でみてある高さに設けられている。つまりこれらはシャフト１３内で一つのリングを形成する。その上、ローターディスク１４，１５が設けられていない別の領域内には、別の溝６３，６４が設けられている。これらは同様に軸方向に互いに対応して設けられており、そして溝からなる第二のリングを形成する。更に、二つのスリーブ５９が設けられている。これらは溝３９，４０，６３，６４をカバーする。スリーブ５９は、孔部８３を有する。溝３９，４０，６３，６４を真空引きすることができるようにである。
【０１４３】
図１１および図１２は、ローター軸１３を示す。このローター軸上にローターディスク２１，２２，４４が設けられている。ローター軸１３は、段を形成されているので、ローターディスクパケット２１，２２，４４は、各一つの段に当接し、これによって正確に位置決めされている。
【０１４４】
ローター軸１３の端部には、スリーブ５９が設けられている。このスリーブは、一方の端部１０５がシャフト１３に支持されており、そしてその他方の端部１０６が担持リング１０３に支持されている。担持リング１０３は、さらに、ローター軸１３に支持されている。
【０１４５】
スリーブは、よってローター軸１３上で前後でモーター磁石１０１に支承されている。スリーブ５９によって、ローターの強度、特に著しく先細となっている端部１０４における強度が明らかに高められる。同時に、モーター磁石１０１、つまり磁石リングは、通常の比較的小さな直径で製造されることが可能であり、このことはコスト削減に作用する。シャフト１３が、より大きな直径を有するシャフト端部１０４によって、強度に関して改善されると、モーター磁石も同様に大きく構成される必要があろう。このことはコストに不利に働くであろう。
【０１４６】
図１３は他の実施例を示す。図１３に従い、ローター軸１３は、ディスクパケット２１，２２の間のスリーブ５９によって補強される。スリーブ５９は、中実シャフト１３上に設けられている。これは、シュリンク、プレス、又は接着によってシャフト１３に固定されていることが可能である。スリーブ５９は、ディスクパケット２１，２２の間の間隔を完全に、又はほぼ完全に埋める。これは、ディスクパケット２１，２２の間のスペースを完全に埋め、同時に、図１のスリーブ３８のようなスペーサースリーブの機能を担う。
【０１４７】
図１４は、変更された実施例を示す。この実施例においては、スリーブ５９がローター軸１３上においてディスクパケット２１，２２の間に配置されている。スリーブ５９は、ディスクパケット２１に対する間隔を有して設けられている。スリーブ５９は、中実材料からなるシャフト１３上に固定されており、そしてローター軸１３を補強している。
【０１４８】
図１５は、ローター軸１３を示す。このローター軸は、ネック部１０２を有している。ネック部１０２の領域には、スリーブ５９が設けられている。スリーブ５９は、孔部８３を有する。これによってネック部１０２が脱気されることが可能である。真空ポンプによってレシーバーが真空引きされると、同時に、真空ポンプの領域の中間空間（例えばネック部１０２のようなもの）が、合わせて真空引きされる。というのは、さもないと、中間空間１０２の真空引き過程の間、脱気され、ひいては真空ポンプの最終圧力が達成されることが不可能でだからである。
【０１４９】
図１６は、ローター軸１３を示す。このローター軸は、複数のシャフト要素１０７，１０８を有する分割されたローター軸として形成されている。シャフト要素１０７，１０８は、スリーブ５９によって互いに接続されている。この実施形によって、ローターの固有振動周波数が、長期にわたって許容可能な運転が可能であるように変更される。スリーブ５９は、ここでもまた複数の孔部８３を有している。これらを通してシャフト要素１０７，１０８の間の中空空間１０９が真空引きされることが可能である。
【０１５０】
図１１から１６では、同じ部材は参照符号を付されている。
【０１５１】
図１７は、ローター軸１３のシャフト端部１１０を示す。シャフト１３は、マグネット支承部１１１によって担持されている。マグネット支承部１１１のマグネットリング１１２は、シャフト１３に設けられている。マグネット支承部１１１のマグネットリング１１３は、ハウジング１１４に設けられている。
【０１５２】
追加的にボール支承部１１４が設けられている。これは緊急用支承部として形成されている。ボール支承部１１４は、ばね１１５によって予負荷をかけられている。シャフト１３内には、内部穴１１６が設けられている。これによってシャフトの重量は、明らかに減少されるので、ローターの形式上の態様が変更される。
【０１５３】
図１８は、スリーブ５９を示す。このスリーブはキャリア１１７を有している。このキャリアは、基本的にシリンダー側面形状の基礎部分として形成されている。キャリアの半径方向外側には、複数の構造要素１１８を有する構造化部が設けられている。構造要素１１８は、ホルベックポンプ段又はクロスチャネルポンプ段として形成されていることが可能である。構造要素１１８は、他のポンプ段構造を有することも可能である。
【０１５４】
図１９は、シャフト１３を示す。これにスリーブ５９が設けられている。スリーブ５９は、ターボ分子ポンプ構造を担持している。これは複数のディスク１１９，１２０から成っている。スリーブ５９に接してローターディスク１４が設けられている。
【０１５５】
ディスク１１９，１２０によって形成されるスリーブ５９のターボ分子ポンプ構造内には、ステーターディスク１２１，１２２，１２３が介入している。
【０１５６】
ディスク１４，１１９から１２０は、簡略的にのみ表されている。
【０１５７】
図２０は、ローターディスク１４，１５，１６，１７を有する簡略的にのみ表されているローター１２６を締めす。ローターディスク１６，１７の間には、二つの副インレット２７，２８が設けられている。副インレット２７，２８は、半径方向に互いに間隔をあけており、かつ両方がローターディスク１６，１７の間に通じている。
【０１５８】
図２１は、真空コネクター７２，７３を有する真空ポンプのハウジング６０を示す。二つの副インレット２７，２８が設けられており、これらが一つの平面内に配置されている。
【０１５９】
図２２は、ローター軸１２６を示す。この上にローターディスク１４，１５が設けられている。ローターディスク１４，１５の間には簡略的にステーターディスク２０が設けられている。ローターディスク１４，１５は、各一つの結束部１２７を有している。結束部１２７は、図１に表されている間隔スリーブ３８を置き換えるものである。
【符号の説明】
【０１６０】
１    真空ポンプ
２    マルチチャンバー真空装置
３    チャンバー
４    チャンバー
５    チャンバー
６    チャンバー
７    分離壁
８    分離壁
９    分離壁
１０    孔部
１１    孔部
１２    孔部
１３    シャフト
１４    ローターディスク
１５    ローターディスク
１６    ローターディスク
１７    ローターディスク
１８    ローターディスク
１９    ローターディスク
２０    ステーターディスク
２１    ディスクパケットを有するターボ分子ポンプ段
２２    ディスクパケットを有するターボ分子ポンプ段
２３    主インレット
２４    主インレット
２５    主インレット
２６    主インレット
２７    副インレット
２８    副インレット
２９    最も大きな直径を有するシャフト１３の領域
３０    より小さな直径を有するシャフト１３の領域
３１    より小さな直径を有するシャフト１３の領域
３２    最も小さい直径を有するシャフト１３の領域
３３    最も小さい直径を有するシャフト１３の領域
３４    ストッパー
３５    ストッパー
３６    ストッパー
３７    ストッパー
３８    スリーブ
３９    溝
４０    溝
４１    ハウジング
４２    ネック部
４３    マグネット支承部
４３ａ  ホルダー
４３ｂ  カウンター支承部
４４    ローターディスクパケットを有するターボ分子ポンプ段
４５    ローターディスクパケットを有するターボ分子ポンプ段
４６    ローターディスクパケットを有するターボ分子ポンプ段
４７    ガス流の矢印
４８    ガス流の矢印
４９    ターボ分子ポンプ段
５０    ボール支承部
５１    モーター
５２    副インレット
５３    溝
５４    溝
５５    孔部
５６    切断点
５７    溝
５８    溝
５９    スリーブ
６０    ハウジング
６１    インレット
６２    ウェブ
７２    真空コネクター
７３    真空コネクター
７５    真空コネクター
７６    エラストマーシール
７７    間隙シール
７８    吸引チャネル
７９    中間吸引部
８０    吸引開口部
８１    導通穴
８２    接続部
８３    孔部
１０１  モーター磁石
１０２  シャフトのネック部
１０３  リング
１０４  ローター軸１３の端部
１０５  スリーブ５９の端部
１０６  スリーブ５９の端部
１０７  シャフト要素
１０８  シャフト要素
１０９  中空空間
１１０  シャフト端部
１１１  マグネット支承部
１１２  マグネットリング
１１３  マグネットリング
１１４  ボール支承部
１１５  ばね
１１６  内部穴
１１７  キャリア
１１８  構造要素
１１９  ローターディスク
１２０  ローターディスク
１２１  ステーターディスク
１２２  ステーターディスク
１２３  ステーターディスク
１２４  副インレット
１２５  副インレット
１２６  ローター
１２７  結束部
Ａ      矢印
Ｂ      矢印
Ｌ      軸方向の長さ
Ｍ      中心軸
【図１】
2017020502.tif 000003
【図２】
2017020502.tif 000004
【図３】
2017020502.tif 000005
【図４】
2017020502.tif 000006
【図５】
2017020502.tif 000007
【図６】
2017020502.tif 000008
【図７】
2017020502.tif 000009
【図８】
2017020502.tif 000010
【図９】
2017020502.tif 000011
【図１０】
2017020502.tif 000012
【図１１】
2017020502.tif 000013
【図１２】
2017020502.tif 000014
【図１３】
2017020502.tif 000015
【図１４】
2017020502.tif 000016
【図１５】
2017020502.tif 000017
【図１６】
2017020502.tif 000018
【図１７】
2017020502.tif 000019
【図１８】
2017020502.tif 000020
【図１９】
2017020502.tif 000021
【図２０】
2017020502.tif 000022
【図２１】
2017020502.tif 000023
【図２２】
2017020502.tif 000024
【外国語明細書】
2017020502000001.pdf