(57)【要約】【課題】高い位置精度で高反射層及びブラック層を形成でき、且つ、生産性を改善できる視差バリア部材の製造方法を提供する。【解決手段】立体映像表示装置に組み込まれる視差バリア部材１０の製造方法は、基材１１を準備する工程と、前記基材上に高反射層１２用の金属膜１２ａを形成する工程と、前記金属膜上に、所定パターンのブラック層１３を形成する工程と、前記ブラック層をマスクとして、前記金属膜に対してエッチング処理を行い、前記ブラック層の下方に所定パターンの高反射層を形成する工程と、を備える。【選択図】図４
2017045028.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
立体映像表示装置に組み込まれる視差バリア部材の製造方法であって、
基材を準備する工程と、
前記基材上に高反射層用の金属膜を形成する工程と、
前記金属膜上に、所定パターンのブラック層を形成する工程と、
前記ブラック層をマスクとして、前記金属膜に対してエッチング処理を行い、前記ブラック層の下方に所定パターンの高反射層を形成する工程と、
を備える視差バリア部材の製造方法。
【請求項２】
立体映像表示装置に組み込まれる視差バリア部材の製造方法であって、
基材を準備する工程と、
前記基材上に高反射層用の金属膜を形成する工程と、
前記金属膜上に、所定パターンのブラック層を形成する工程と、
前記ブラック層をマスクとして、前記金属膜に対してエッチング処理を行い、前記ブラック層の下方に所定パターンの高反射層を形成する工程と、を備え、
前記ブラック層に対して光を照射した場合の前記ブラック層および前記金属膜からの反射率は１０％以下となる、視差バリア部材の製造方法。
【請求項３】
立体映像表示装置に組み込まれる視差バリア部材の製造方法であって、
基材を準備する工程と、
前記基材上に高反射層用の金属膜を形成する工程と、
前記金属膜上に、所定パターンのブラック層を形成する工程と、
前記ブラック層をマスクとして、前記金属膜に対してエッチング処理を行い、前記ブラック層の下方に所定パターンの高反射層を形成する工程と、を備え、
前記ブラック層の単位膜厚あたり（１μｍ）のＯＤ値は１〜３、前記ブラック層の膜厚は０．５〜２μｍ、前記ブラック層のＴｏｔａｌＯＤ値は１〜３となっている、視差バリア部材の製造方法。
【請求項４】
前記ブラック層の単位膜厚あたり（１μｍ）のＯＤ値は１〜３、前記ブラック層の膜厚は０．５〜２μｍ、前記ブラック層のＴｏｔａｌＯＤ値は１〜３となっている、請求項２記載の視差バリア部材の製造方法。
【請求項５】
前記高反射層の幅が前記ブラック層の幅より狭くなるように、前記金属膜に対して前記エッチング処理を行う、請求項１乃至４のいずれか記載の視差バリア部材の製造方法。
【請求項６】
立体映像表示装置に組み込まれる視差バリア部材であって、
基材と、
前記基材上に所定パターンをもって設けられた、金属を含む高反射層と、
前記高反射層上に設けられた、前記高反射層より反射率が低いブラック層と、を備え、
前記高反射層の幅は、前記ブラック層の幅より狭い、視差バリア部材。
【請求項７】
立体映像表示装置に組み込まれる視差バリア部材であって、
基材と、
前記基材上に所定パターンをもって設けられた、金属を含む高反射層と、
前記高反射層上に設けられた、前記高反射層より反射率が低いブラック層と、を備え、
前記高反射層の幅は、前記ブラック層の幅より狭くなっており、
前記ブラック層に対して光を照射した場合の前記ブラック層および前記金属膜からの反射率は１０％以下となる、視差バリア部材。
【請求項８】
立体映像表示装置に組み込まれる視差バリア部材であって、
基材と、
前記基材上に所定パターンをもって設けられた、金属を含む高反射層と、
前記高反射層上に設けられた、前記高反射層より反射率が低いブラック層と、を備え、
前記高反射層の幅は、前記ブラック層の幅より狭くなっており、
前記ブラック層の単位膜厚あたり（１μｍ）のＯＤ値は１〜３、前記ブラック層の膜厚は０．５〜２μｍ、前記ブラック層のＴｏｔａｌＯＤ値は１〜３となっている、視差バリア部材。
【請求項９】
前記ブラック層の単位膜厚あたり（１μｍ）のＯＤ値は１〜３、前記ブラック層の膜厚は０．５〜２μｍ、前記ブラック層のＴｏｔａｌＯＤ値は１〜３となっている、請求項７記載の視差バリア部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、立体映像表示装置に用いられる視差バリア部材の製造方法及び視差バリア部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、視聴者が特殊なメガネを使用せずに裸眼で立体映像を見ることができる立体映像表示装置（いわゆる裸眼３Ｄディスプレイ）が実用化されている。立体映像の表示方法の１つとして、視差バリア方式が知られている。視差バリア方式では、立体映像表示装置は、視点の異なる複数の画像を表示し、それらの画像の光線は、視差バリア部材によって出力方向を制御され、視聴者の両眼に導かれる。視聴者は、左目と右目とで異なる視差画像を見ることになるため、映像を立体的に認識することができる。
【０００３】
視差バリア部材には、光を透過する透過領域と、光を透過させない遮光領域とが所定パターンで設けられている。遮光領域が存在することにより、立体映像表示装置では、通常の映像表示装置（２Ｄディスプレイ）より輝度が低下する。輝度の低下を抑制するためには、バックライトの輝度を増加させる必要があるため、消費電力が増加する。
【０００４】
消費電力を増加させることなく輝度の低下を抑制するため、遮光領域のバックライト側に高反射層を設けた視差バリア部材を用いることが提案されている（例えば、特許文献１参照）。これにより、バックライトから遮光領域に向かう光を高反射層で反射させ、この反射光を再度バックライトで反射させて透過領域に向かわせることにより、光を効率的に利用することができる。
【０００５】
このような視差バリア部材の製造方法について説明する。  
図１０（ａ）〜（ｃ）及び図１１（ａ）〜（ｃ）は、従来の視差バリア部材１０Ｘの製造方法を示す縦断面図である。図１０（ａ）〜（ｃ）及び図１１（ａ）〜（ｃ）のそれぞれにおいて、左側には透過領域及び遮光領域が形成される領域を示し、右側にはアライメントマークが形成される領域を示す。
【０００６】
最初に、基材１１上の全面に、金属膜１２ａを形成する（図１０（ａ）参照）。
【０００７】
次に、フォトリソグラフィー法により、金属膜１２ａ上にストライプ状のパターンのレジスト層１８及びアライメントマークのパターンのレジスト層１８Ａを形成する（図１０（ｂ）参照）。
【０００８】
次に、レジスト層１８，１８Ａをマスクとして、金属膜１２ａに対してウェットエッチング処理を行い、高反射層１２Ｘ及びアライメントマーク１２Ｙを形成する（図１０（ｃ）参照）。
【０００９】
次に、レジスト層１８，１８Ａを剥離する（図１１（ａ）参照）。
【００１０】
次に、遮光性を有するブラック層用材料１３ａで、基材１１、高反射層１２Ｘ及びアライメントマーク１２Ｙを覆う（図１１（ｂ）参照）。ブラック層用材料１３ａは、感光性樹脂を含んでいる。
【００１１】
次に、ブラック層用材料１３ａの上からカメラ等でアライメントマーク１２Ｙを読み取り、その位置に基づいて、露光マスクの開口パターンと高反射層１２Ｘのパターンとの位置合わせを行う。そして、位置合わせされた露光マスクを介して、ブラック層用材料１３ａに対して露光を行う。その後、現像等の必要な処理を行い、高反射層１２Ｘ上にブラック層１３Ｘを形成する（図１１（ｃ）参照）。
【００１２】
高反射層１２Ｘが設けられた領域が遮光領域となり、高反射層１２Ｘが設けられていない領域が透過領域となる。ブラック層１３Ｘは、外光を遮光すると共に、バックライトからの光をより確実に遮光するために設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】中国特許出願公開第１０４２３８１２５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、露光マスクの位置合わせを行う際、アライメントマーク１２Ｙはブラック層用材料１３ａで覆われている（図１１（ｂ）参照）。アライメントマークの読み取りを反射光源を用いて行う場合、ブラック層用材料１３ａの厚さはアライメントマーク１２Ｙの厚さの数倍〜数十倍程度であるため、アライメントマーク１２Ｙの輪郭は、ブラック層用材料１３ａの表面に凹凸形状としては殆ど現れない。一方、透過光源を用いる場合、ブラック層用材料１３ａは遮光性を有するため、アライメントマーク１２Ｙを透過光の光量の差として読み取ることは困難である。いずれの場合でも、高反射層１２Ｘに対して高い位置精度でブラック層１３Ｘを形成することはできない。
【００１５】
アライメントマーク１２Ｙを正確に読み取るためには、例えば、アライメントマーク１２Ｙ上をブラック層用材料１３ａで覆わない方法、あるいはアライメントマーク１２Ｙの読み取り前にアライメントマーク１２Ｙ上のブラック層用材料１３ａを除去しておく方法が考えられる。しかし、製造工程に制約が生じるため、製造工程が複雑になる。
【００１６】
また、アライメントマーク１２Ｙ上にブラック層用材料１３ａを設けない場合であっても、高反射層１２Ｘ上に高い位置精度でブラック層１３Ｘを形成する必要があるため、高反射層１２Ｘ及びブラック層１３Ｘの幅の公差、並びに、重ね合わせ位置の公差を管理する必要がある。従って、生産性が悪い。
【００１７】
さらに、高反射層１２Ｘとブラック層１３Ｘの２層だけを形成するには製造工程数が多く、生産性が悪い。
【００１８】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、高い位置精度で高反射層及びブラック層を形成でき、且つ、生産性を改善できる視差バリア部材の製造方法及び視差バリア部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明は、立体映像表示装置に組み込まれる視差バリア部材の製造方法であって、基材を準備する工程と、前記基材上に高反射層用の金属膜を形成する工程と、前記金属膜上に、所定パターンのブラック層を形成する工程と、前記ブラック層をマスクとして、前記金属膜に対してエッチング処理を行い、前記ブラック層の下方に所定パターンの高反射層を形成する工程と、を備える視差バリア部材の製造方法である。
【００２０】
本発明は、立体映像表示装置に組み込まれる視差バリア部材の製造方法であって、基材を準備する工程と、前記基材上に高反射層用の金属膜を形成する工程と、前記金属膜上に、所定パターンのブラック層を形成する工程と、前記ブラック層をマスクとして、前記金属膜に対してエッチング処理を行い、前記ブラック層の下方に所定パターンの高反射層を形成する工程と、を備え、前記ブラック層に対して光を照射した場合の前記ブラック層および前記金属膜からの反射率は１０％以下となる,視差バリア部材の製造方法である。
【００２１】
本発明は、立体映像表示装置に組み込まれる視差バリア部材の製造方法であって、基材を準備する工程と、前記基材上に高反射層用の金属膜を形成する工程と、前記金属膜上に、所定パターンのブラック層を形成する工程と、前記ブラック層をマスクとして、前記金属膜に対してエッチング処理を行い、前記ブラック層の下方に所定パターンの高反射層を形成する工程と、を備え、前記ブラック層の単位膜厚あたり（１μｍ）のＯＤ値は１〜３、前記ブラック層の膜厚は０．５〜２μｍ、前記ブラック層のＴｏｔａｌＯＤ値は１〜３となっている, 視差バリア部材の製造方法である。
【００２２】
本発明は、前記ブラック層の単位膜厚あたり（１μｍ）のＯＤ値は１〜３、前記ブラック層の膜厚は０．５〜２μｍ、前記ブラック層のＴｏｔａｌＯＤ値は１〜３となっている、視差バリア部材の製造方法である。
【００２３】
本発明は、前記高反射層の幅が前記ブラック層の幅より狭くなるように、前記金属膜に対して前記エッチング処理を行う、視差バリア部材の製造方法である。
【００２４】
本発明は、立体映像表示装置に組み込まれる視差バリア部材であって、基材と、前記基材上に所定パターンをもって設けられた、金属を含む高反射層と、前記高反射層上に設けられた、前記高反射層より反射率が低いブラック層と、を備え、前記高反射層の幅は、前記ブラック層の幅より狭い、視差バリア部材である。
【００２５】
本発明は、立体映像表示装置に組み込まれる視差バリア部材であって、基材と、前記基材上に所定パターンをもって設けられた、金属を含む高反射層と、前記高反射層上に設けられた、前記高反射層より反射率が低いブラック層と、を備え、前記高反射層の幅は、前記ブラック層の幅より狭くなっており、前記ブラック層に対して光を照射した場合の前記ブラック層および前記金属膜からの反射率は１０％以下となる、視差バリア部材である。
【００２６】
本発明は、立体映像表示装置に組み込まれる視差バリア部材であって、基材と、前記基材上に所定パターンをもって設けられた、金属を含む高反射層と、前記高反射層上に設けられた、前記高反射層より反射率が低いブラック層と、を備え、前記高反射層の幅は、前記ブラック層の幅より狭くなっており、前記ブラック層の単位膜厚あたり（１μｍ）のＯＤ値は１〜３、前記ブラック層の膜厚は０．５〜２μｍ、前記ブラック層のＴｏｔａｌＯＤ値は１〜３となっている、視差バリア部材である。
【００２７】
本発明は、前記ブラック層の単位膜厚あたり（１μｍ）のＯＤ値は１〜３、前記ブラック層の膜厚は０．５〜２μｍ、前記ブラック層のＴｏｔａｌＯＤ値は１〜３となっている、視差バリア部材である。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、高い位置精度で高反射層及びブラック層を形成でき、且つ、生産性を改善できる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】一実施形態に係る立体映像表示装置を概略的に示す縦断面図である。
【図２】視差バリア部材の一部を図１の視聴者側から見た場合を示す平面図である。
【図３】図１の視差バリア部材及びバックライトの一部を拡大して示す縦断面図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は、一実施形態に係る視差バリア部材の製造方法を示す縦断面図である。
【図５】ブラック層および金属膜からの反射率を示す図である。
【図６】ブラック層のパターニング性を示す図である。
【図７】ブラック層の各種特性を示す図である。
【図８】ブラック層のビリつき発生を示す平面図である。
【図９】ブラック層と金属膜の線幅を示す側断面図である。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）は、従来の視差バリア部材の製造方法を示す縦断面図である。
【図１１】（ａ）〜（ｃ）は、図１０に続く、従来の視差バリア部材の製造方法を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
＜第１の実施の形態＞
以下、図面を参照して本発明の第１の実施形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
【００３１】
＜立体映像表示装置＞
図１は、一実施形態に係る立体映像表示装置１００を概略的に示す縦断面図である。図１に示すように、立体映像表示装置１００は、視差バリア部材１０と、バックライト２０と、透過型表示素子３０と、を備えている。即ち、視差バリア部材１０は、立体映像表示装置１００に組み込まれる。
【００３２】
視差バリア部材１０は、光を透過させる透過領域Ｒ１と、光を透過させず遮光する遮光領域Ｒ２とを有している。
【００３３】
バックライト２０は、視差バリア部材１０の視聴者側とは反対側に、視差バリア部材１０と対向するよう配置され、視差バリア部材１０へ向けて光を出射する。
【００３４】
透過型表示素子３０は、例えば、透過型液晶表示素子であり、右目用画素３１と、左目用画素３２とを有する。透過型表示素子３０は、視差バリア部材１０の視聴者側に、視差バリア部材１０と対向するよう配置されている。視差バリア部材１０の透過領域Ｒ１を透過した光は、右目用画素３１を透過して視聴者の右目に向かい、左目用画素３２を透過して視聴者の左目に向かう。このようにして、視聴者は、左目と右目とで異なる視差画像を見ることになるため、映像を立体的に認識することができる。
【００３５】
＜視差バリア部材＞
次に図２，３を参照して、視差バリア部材１０について詳細に説明する。  
図２は、視差バリア部材１０の一部を図１の視聴者側から見た場合を示す平面図である。図２に示すように、透過領域Ｒ１及び遮光領域Ｒ２は、ストライプ状のパターン（所定パターン）を形成している。図２では、透過領域Ｒ１及び遮光領域Ｒ２が立体映像表示装置１００の画面の垂直方向（ｙ方向）に延びている例を示している。透過領域Ｒ１及び遮光領域Ｒ２のパターンは図２の例に限らず、立体映像表示装置１００の画面の水平方向（ｘ方向）に延びるストライプ状のパターンや、市松模様状のパターンなどであってもよい。
【００３６】
図３は、図１の視差バリア部材１０及びバックライト２０の一部を拡大して示す縦断面図である。図３に示すように、視差バリア部材１０は、基材１１と、高反射層１２と、ブラック層１３と、を備える。
【００３７】
基材１１としては、高反射層１２とブラック層１３を適切に支持することができ、かつ透明性を有する様々な材料が用いられ、例えばガラスやポリマーなどが用いられる。
【００３８】
高反射層１２は、基材１１上にストライプ状のパターンをもって設けられている。高反射層１２は、遮光領域Ｒ２に設けられ、透過領域Ｒ１には設けられていない。高反射層１２の厚さは、例えば、１００ｎｍ〜６００ｎｍの範囲であってもよい。
【００３９】
高反射層１２は、バックライト２０からの光を反射する。高反射層１２の反射率は、例えば、９０％以上であってもよい。反射率は、分光測色計（コニカミノルタ（株）製「ＣＭ−２６００ｄ」）を用いて測定波長３６０ｎｍ〜７４０ｎｍの範囲内で分光反射率を測定したときの、各波長における反射率の平均値として特定される反射率である。測定は、ＳＣＩ（正反射光込み）方式で、ＪＩＳ  Ｚ８７２２の幾何条件ｃ（ｄｉ：８°）にて行えばよい。
【００４０】
高反射層１２は金属を含む。金属としては、例えば、金、銀、銅、アルミニウム、及び、クロムの少なくとも何れかを用いてもよく、銀合金、アルミニウム合金又を用いてもよい。銀合金としては、パラジウム及び銅を添加したＡＰＣ合金を用いることができる。
【００４１】
銀を含む材料を用いる場合には、基材１１と高反射層１２との間に、密着層を設けることが好ましい。これにより、基材１１と高反射層１２との密着性を高めることができる。
【００４２】
このような密着層として、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）又はＩＺＯ（Indium Zinc Oxide）などのインジウム系酸化物を用いてもよい。密着層の厚さは、バックライト２０からの光に光学的に影響を与えない程度に設定することができる。例えば、密着層の透過率は、９０％以上であってもよい。透過率は、分光光度計（大塚電子（株）製「ＬＣＦシリーズ」）を用いて測定波長３８０ｎｍ〜７８０ｎｍの範囲内で測定したときの、各波長における透過率の平均値として特定される可視光透過率であり、密着層が無い基材１１のみでの測定値を１００％として、密着層を形成した基材１１を測定する形で相対的な透過率として規定できる。
【００４３】
ブラック層１３は、高反射層１２上に設けられ、平面視で高反射層１２に重なっている。ブラック層１３は、遮光領域Ｒ２に設けられ、透過領域Ｒ１には設けられていない。従って、ブラック層１３もストライプ状のパターンを有している。ブラック層１３の厚さは、例えば、０．５μｍ〜３μｍの範囲であってもよい。
【００４４】
ブラック層１３は、視聴者側からの外光が高反射層１２の表面で反射することによる表示装置のコントラスト低下を抑制する。また、バックライト２０からの光の一部が高反射層１２を透過する場合であっても、ブラック層１３は、この透過光を遮光する。ブラック層１３（ブラック層１３単体）の反射率は、高反射層１２の反射率より低く、例えば、５％以下であってもよい。高反射層１２とブラック層１３とが重なった状態での（ブラック層単体ではない）ＯＤ値（光学濃度）は、４以上であることが好ましい。これにより、バックライト２０からの光をより確実に遮光することができる。
【００４５】
透過型表示素子３０の右目用画素３１と左目用画素３２のサイズは表示装置のサイズや視聴者と表示装置の距離に応じて、例えば、１０μｍ〜５００μｍの範囲とすることができ、ブラック層１３の幅ｗ２はこのサイズに合わせて設定される。
【００４６】
高反射層１２の幅ｗ１は、ブラック層１３の幅ｗ２より狭い。従って、高反射層１２の両側面は、ブラック層１３の下方に入り込んでいる。
【００４７】
ブラック層１３は、後述するように、感光性を有するブラック層用材料を、露光工程および現像工程を含むフォトリソグラフィー法によりパターニングすることによって形成される層である。
【００４８】
ブラック層用材料としては、所望の遮光性を有するものであれば特に限定されず、例えば、カーボンブラック、チタンブラック等の黒色着色材を含有する樹脂組成物等が挙げられる。この樹脂組成物に用いられる樹脂としては、例えば、アクリレート系、メタクリレート系、桂皮酸系、もしくは環化ゴム系等の光反応性二重結合基を有する感光性樹脂が使用される。
【００４９】
基材１１と高反射層１２とブラック層１３は、透明性を有するオーバーコート膜によって覆われていてもよい。これにより、高反射層１２とブラック層１３を外部環境から保護することができる。
【００５０】
このような構成の視差バリア部材１０により、図３に示すように、バックライト２０から遮光領域Ｒ２に向かう光Ｌ１を高反射層１２で反射させ、この反射光Ｌ２を再度バックライト２０の反射板２１等で反射させて透過領域Ｒ１に向かわせることができる。これにより、遮光領域Ｒ２に向かう光Ｌ１も映像の表示に寄与させることができるので、バックライト２０からの光を効率的に利用することができる。従って、消費電力を増加させることなく輝度の低下を抑制できる。
【００５１】
また、遮光領域Ｒ２に向かうバックライト２０からの光Ｌ１は、重なっている高反射層１２及びブラック層１３によってより確実に遮光される。従って、表示品質を向上できる。
【００５２】
また、視聴者側から立体映像表示装置１００に入射する外光は、反射率の低いブラック層１３で反射を抑制される。従って、表示品質を向上できる。
【００５３】
＜視差バリア部材の製造方法＞
次に、図４（ａ）〜（ｃ）を参照して、視差バリア部材１０の製造方法について説明する。  
図４（ａ）〜（ｃ）は、第１の実施形態に係る視差バリア部材１０の製造方法を示す縦断面図である。
【００５４】
〔金属膜形成工程〕
まず、図４（ａ）に示すように、基材１１を準備して、基材１１上の所望の領域の全面に高反射層１２用の金属膜１２ａを形成する。金属膜１２ａを形成する方法が特に限られることはなく、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、ＣＶＤ法等を挙げることができる。なお、基材１１と高反射層１２との間に密着層を設ける場合には、基材１１上にインジウム系合金の膜を形成した後、インジウム系合金の膜上に金属膜１２ａを形成すればよい。
【００５５】
〔ブラック層形成工程〕
次に、図４（ｂ）に示すように、例えばフォトリソグラフィー法を用いて、金属膜１２ａ上にストライプ状のパターンのブラック層１３を形成する。
【００５６】
図示は省略するが、具体的には、次のようにブラック層１３を形成する。まず、上述のブラック層用材料と溶剤とを混合することにより得られる感光性ブラック層用塗工液を、金属膜１２ａ上に塗布する。感光性ブラック層用塗工液を金属膜１２ａ上に塗布する方法が特に限られることはなく、例えば、スピンコート法、ロールコート法、ダイコート法、スプレーコート法、ビードコート法などの公知の塗工法によることができる。
【００５７】
次に、金属膜１２ａ上に塗布された感光性ブラック層用塗工液を加熱（プリベイク）し、これによって、感光性ブラック層用塗工液中の溶剤を除去する。この結果、金属膜１２ａ上にブラック層用材料が得られる。
【００５８】
次に、開口部および遮光部を有する露光マスクを介して、ブラック層用材料に対して露光光を照射して露光する。ここでは、露光マスクの高精度な位置合わせは必要ない。露光の結果、ブラック層用材料のうち露光光が照射された部分が硬化する。
【００５９】
その後、露光されたブラック層用材料を現像液により現像し、これによって、ブラック層用材料のうち露光光が照射されなかった部分を現像液中に溶解させる。
【００６０】
最後に、金属膜１２ａ上に残っているブラック層用材料、即ち現像されたブラック層用材料を焼成する。これによって、図４（ｂ）に示すブラック層１３が形成される。
【００６１】
〔エッチング工程〕
次に、図４（ｃ）に示すように、ブラック層１３をマスクとして、金属膜１２ａに対してエッチング処理を行う。よって、金属膜１２ａのうちブラック層１３に覆われていない部分がエッチングされる。これにより、ブラック層１３の下方にストライプ状のパターンの高反射層１２を形成する。マスクとして用いたブラック層１３を剥離することなく残すことにより、少ない製造工程数によって視差バリア部材１０を得ることができる。
【００６２】
なお、基材１１上にインジウム系合金の膜を形成している場合には、インジウム系合金の膜も同時にエッチングされ、基材１１と高反射層１２との間に密着層を形成することができる。
【００６３】
金属膜１２ａをエッチングする方法は、特に限定されるものではないが、ウェットエッチングを行うことが好ましい。エッチング液は、金属膜１２ａの材料に応じて適宜選択すればよい。
【００６４】
前述のように、高反射層１２の幅ｗ２がブラック層１３の幅ｗ１より狭くなるように、エッチング時間を調節することが好ましい。これにより、透過領域Ｒ１における金属膜１２ａをより確実に除去できるため、視聴者側から入射した外光がブラック層１３からはみ出した高反射層１２で反射されないようにできる。従って、表示品質を向上できる。
【００６５】
幅ｗ１と幅ｗ２との差は、例えば、３μｍ以下であってもよい。これにより、バックライト２０から遮光領域Ｒ２に向かう光Ｌ１を高反射層１２で反射させる反射効率を高く保つことができる。
【００６６】
以上で説明したように、本実施形態によれば、ブラック層１３をマスクとして、金属膜１２ａに対してエッチング処理を行い、ブラック層１３の下方に高反射層１２を形成するので、従来よりも製造工程数を削減できる。従って、生産性を改善できる。
【００６７】
また、ブラック層１３がマスクとなるので、ブラック層１３と高反射層１２との位置合わせを行うことなく、ブラック層１３の下方に高い位置精度で高反射層１２を形成できる。そのため、ブラック層１３と高反射層１２との重ね合わせのマージン設計を行う必要がなく、アライメントマークを設ける必要もない。このことからも、生産性を改善できる。
【００６８】
このように、本実施形態によれば、高い位置精度で高反射層１２及びブラック層１３を形成でき、且つ、生産性を改善できる。
【００６９】
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【００７０】
＜第２の実施の形態＞
次に本発明の第２の実施の形態について図５乃至図９により説明する。  
図５乃至図９に示す第２の実施の形態は、基材１１上に配置された高反射層１２およびブラック層１３の各種特性を最適な値となるよう定めたものであり、他の構成は図１乃至図４に示す第１の実施の形態と略同一である。
【００７１】
図５乃至図９に示す第２の実施の形態において、図１乃至図４に示す第１の実施の形態と同一部分については、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００７２】
図５乃至図９に示す第２の実施の形態において、ブラック層１３に対して視聴者側から光を照射した場合のブラック層１３および高反射層１２からの反射率は１０％以下となっていることが好ましく、またこの反射率は好ましくは、６．５％以上となっている。
【００７３】
ここで、「ブラック層１３および高反射層１２からの反射率」とは、ブラック層１３に対して視聴者側から光を照射した場合における、ブラック層１３および高反射層１２から反射される光の反射率のことをいう。上述のように、視差バリア部材１０は基材１１と、基材１１のうち遮光領域Ｒ２に設けられた高反射層１２と、高反射層１２上に設けられたブラック層１３とを有し、基材１１のうち透過領域Ｒ１には高反射層１２あるいはブラック層１３は設けられていない。
【００７４】
視差バリア部材１０に対して視聴者側から光を照射した場合、この光はブラック層１３および高反射層１２が存在する遮光領域Ｒ２において反射し、透過領域Ｒ１を透過する。
【００７５】
本実施の形態において、「ブラック層１３および高反射層１２からの反射率」は、視差バリア部材１０に対して視聴者側から光を照射した場合における、遮光領域Ｒ２のブラック層１３および高反射層１２からの反射率となる。
具体的にはブラック層１３に対して視聴者側から光を照射した場合、光の一部はブラック層１３の表面および内部で反射して視聴者側へ戻される。光の残部は、ブラック層１３を透過して、高反射層１２で反射して、視聴者側へ戻される。
このように、ブラック層１３に対して光を照射した場合、光の一部はブラック層１３の表面および内部で反射して視聴者側へ戻され、光の残部は、ブラック層１３を透過して、高反射層１２で反射して、視聴者側へ戻されるため、これら両者の反射する光を合算した反射光の反射率を上述の通り、「ブラック層１３および高反射層１２からの反射率」と定義する。
【００７６】
上述のように、視聴者側から光を照射した場合、ブラック層１３および高反射層１２からの反射率は、例えば、６．５％以上１０％以下となっている。この反射率は、分光測色計（コニカミノルタ（株）製「ＣＭ−２６００ｄ」）を用いて測定波長３６０ｎｍ〜７４０ｎｍの範囲内で分光反射率を測定したときの、各波長における反射率の平均値として特定される反射率である。測定は、ＳＣＩ（正反射光込み）方式で、ＪＩＳ  Ｚ８７２２の幾何条件ｃ（ｄｉ：８°）にて行えばよい。
【００７７】
ここで、ブラック層１３の単位膜厚（１μｍ）あたりのＯＤ値（光学濃度）、ブラック層１３の膜厚全体としてのＴｏｔａｌＯＤ値、およびブラック層１３と高反射層１２からの反射率を測定した。その測定結果を図５に示す。
【００７８】
図５に示すように、単位膜厚（１μｍ）あたりのＯＤ値が小さくなると、ブラック層１３の材料屈折率が低下し、空気とブラック層１３との間の界面の反射率が低下する。またブラック層１３の膜厚全体としてのＴｏｔａｌＯＤ値が小さくなると、高反射層１２に入射する光の遮光性が低下するため、ブラック層１３と高反射層１２からの反射率は上昇する。
【００７９】
いずれにしても、ブラック層１３と高反射層１２からの反射率を１０％以下とすることにより、視聴者側からの外光がブラック層１３から過度に反射することはなく、表示品質を向上させることができる。
【００８０】
次に上述したＯＤ値について、説明する。ＯＤ値は以下の式から求めることができる。
ＯＤ値＝−ｌｏｇ１０（Ｉ／Ｉ０）
ここでＩ０は入射光、Ｉは出射光である。  
具体的には、ＯＤ値は顕微分光測定機を使用し、Ｃ光源にてＸＹＺ表色系のＹ値を使用して算出される。
ＯＤ値＝−ｌｏｇ１０Ｙ
この場合、ＯＤ値の測定にあたっては、透過光が用いられる。
【００８１】
またブラック層１３の単位膜厚（１μｍ）あたりのＯＤ値と、後述するブラック層１３の膜厚およびＴｏｔａｌＯＤ値との関係は、以下の式で表される。  
単位膜厚あたりのＯＤ値（ＯＤ値（単位なし）／μｍ）×膜厚（μｍ）
＝ＴｏｔａｌＯＤ値（単位なし）
【００８２】
次にブラック層１３の単位膜厚あたり（１μｍ）のＯＤ値と、ＴｏｔａｌＯＤ値と関係を測定した。またその時のブラック層１３のパターニング特性を観察した。その結果を図６に示す。
【００８３】
単位膜厚あたりのＯＤ値が高く、かつＴｏｔａｌＯＤ値が高い場合、ブラック層１３のパターンエッジのビリつきが生じる。
【００８４】
ここでブラック層１３のパターンエッジのビリつきとは、図８（ａ）に示すように、ブラック層１３のパターンエッジが直線状に形成されることなく、ギザギザ状に形成されることをいう。これに対して図８（ｂ）は、ブラック層１３のパターンエッジが直線状に形成されている状態を示す。
【００８５】
またブラック層１３の単位膜厚あたり（１μｍ）のＯＤ値が大きく、かつＴｏｔａｌＯＤ値が小さい場合、基材１１および高反射層１２に対するブラック層１３の密着性が低下してしまう。
【００８６】
さらに、ブラック層１３の単位膜厚あたり（１μｍ）のＯＤ値が小さく、かつＴｏｔａｌ  ＯＤ値が大きい場合、ブラック層１３を製造する際の現像特性が低下する。
【００８７】
図６に示す結果から明らかなように、ブラック層１３の単位膜厚あたり（１μｍ）のＯＤ値が１〜３、好ましくはこの単位膜厚あたり（１μｍ）のＯＤ値が１〜２、ブラック層１３のＴｏｔａｌＯＤ値が１〜３の場合に、ブラック層１３のパターンエッジにビリつきが生じることはなく、ブラック層１３の基材１１および高反射層１２に対する密着性が良好で、ブラック層１３の現像特性を向上させることができる。
【００８８】
これらブラック層１３のビリつきの有無、密着性および現像特性を総称して、ブラック層１３のパターニング特性という。
【００８９】
図９に示すように、本実施の形態における視差バリア部材１０において、ブラック層１３と高反射層１２の線幅Ｗは２０μｍ〜２００μｍと極めて小さくなっている。本実施の形態において、上述のようにブラック層１３のパターニング特性を向上させることにより、線幅の小さなブラック層１３と高反射層１２を精度よく形成することができ、これによって視差バリア部材１０が組込まれる立体映像表示装置１００の表示品質を向上させることができる。
【００９０】
次に図５に示す測定結果および図６に示す測定結果をまとめたものを図７に示す。ここで図７はブラック層１３の単位膜厚あたりのＯＤ値、膜厚、ＴｏｔａｌＯＤ値、ブラック層側の反射率、および現像特性、密着性、ビリつきからなるパターニング特性を示す。
【００９１】
この図７に示すように、ブラック層１３の単位膜厚あたり（１μｍ）のＯＤ値が１〜３、好ましくは単位膜厚あたり（１μｍ）のＯＤ値が１〜２、ブラック層１３の膜厚が０．５〜２μｍ、ブラック層１３のＴｏｔａｌＯＤ値が１〜３の場合に、ブラック層１３のパターンエッジにビリつきが生じることはなく、ブラック層１３の基材１１および高反射層１２に対する密着性が良好で、ブラック層１３の現像特性を向上させることができる。さらに図７によれば、この場合、ブラック層１３側からの反射率を１０％以下に抑えることができる。
【符号の説明】
【００９２】
１０    視差バリア部材
１１    基材
１２    高反射層
１２ａ  金属膜
１３    ブラック層
Ｒ１    透過領域
Ｒ２    遮光領域
２０    バックライト
２１    バックライト反射板
３０    透過型表示素子
１００    立体映像表示装置
【図１】
2017045028.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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