(57)【要約】【課題】互いに第１方向に離間されながら前記第１方向と直交する第２方向に延設される、第１搬送ローラと第２搬送ローラとの平行度を高精度に測定する測定装置、ならびに上記２つの搬送ローラの平行度を高精度に調整することができる技術を提供する。【解決手段】一方端部が第１スライド部材に固定されるとともに他方端部が第２スライド部材に対して移動自在に支持された状態で第１スライド部材と第２スライド部材との間で線材が張架される。そして、第１スライド部材および第２スライド部材の間での線材の長さに関する長さ情報を、第１スライド部材および第２スライド部材が第２方向における一方側の第１測定位置に位置する第１測定状態と、他方側の第２測定位置に第１スライド部材および第２スライド部材が位置する第２測定状態とでそれぞれ測定し、第１測定状態での長さ情報と２測定状態での長さ情報とを平行度の指標値として出力する。【選択図】図２
2017044484.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに第１方向に離間されながら前記第１方向と直交する第２方向に延設される、第１搬送ローラと第２搬送ローラとの平行度を測定する測定装置であって、
前記第１搬送ローラに固定される第１固定ブロックと、
前記第１固定ブロックに対して前記第２方向に滑動自在に設けられる第１スライド部材と、
前記第２搬送ローラに固定される第２固定ブロックと、
前記第２固定ブロックに対して前記第２方向に滑動自在に設けられる第２スライド部材と、
一方端部が前記第１スライド部材に固定されるとともに他方端部が前記第２スライド部材に対して移動自在に支持された状態で前記第１スライド部材と前記第２スライド部材との間で張架される線材と、
前記第１スライド部材および前記第２スライド部材の間での前記線材の長さに関する長さ情報を、前記第１スライド部材および前記第２スライド部材が前記第２方向における一方側の第１測定位置に位置する第１測定状態と、他方側の第２測定位置に前記第１スライド部材および前記第２スライド部材が位置する第２測定状態とでそれぞれ測定し、前記第１測定状態での長さ情報と前記２測定状態での長さ情報とを平行度の指標値として出力する測定部と
を備えることを特徴とする測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の測定装置であって、
前記測定部は、互いに平行に配置された前記第１スライド部材および前記第２スライド部材の間での前記線材の長さに関する長さ情報を、前記第１スライド部材および前記第２スライド部材がそれぞれ前記第１測定位置および前記第２測定位置に位置する第３測定状態と、前記第１スライド部材および前記第２スライド部材がそれぞれ前記第２測定位置および前記第１測定位置に位置する第４測定状態とでそれぞれ測定し、前記第３測定状態での長さ情報と前記４測定状態での長さ情報とを前記第１方向に対する前記第１搬送ローラおよび前記第２搬送ローラの傾きの指標値として出力する測定装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の測定装置であって、
前記第１搬送ローラおよび前記第２搬送ローラは水平配置され、
前記測定部は、前記線材の他方端に接続された状態で垂下されて前記第１スライド部材および前記第２スライド部材の間での前記線材の長さに応じて鉛直方向に移動する錘と、前記錘を検出して鉛直方向における前記錘の位置を前記長さ情報として出力する検出器とを有する測定装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の測定装置であって、
前記線材はピアノ線である測定装置。
【請求項５】
互いに第１方向に離間されながら前記第１方向と直交する第２方向に延設される、第１搬送ローラと第２搬送ローラとの平行度を調整する搬送ローラの調整方法であって、
前記第２方向に滑動自在な第１スライド部材が設けられた第１固定ブロックを前記第１搬送ローラに固定する第１固定工程と、
前記第２方向に滑動自在な第２スライド部材が設けられた第２固定ブロックを前記第２搬送ローラに固定する第２固定工程と、
線材の一方端部を前記第１スライド部材に固定するとともに前記線材の他方端部を前記第２スライド部材に対して移動自在に支持させた状態で前記第１スライド部材と前記第２スライド部材との間で前記線材を張架させる張架工程と、
前記第１スライド部材および前記第２スライド部材が前記第２方向における一方側の第１測定位置に位置する第１測定状態で前記第１スライド部材および前記第２スライド部材の間での前記線材の長さに関する長さ情報を取得する第１情報取得工程と、
前記第１スライド部材および前記第２スライド部材が前記第２方向における他方側の第２測定位置に位置する第２測定状態で前記長さ情報を取得する第２情報取得工程と、
前記第１情報取得工程および前記第２情報取得工程により取得された前記長さ情報の差に基づいて前記第１搬送ローラおよび前記第２搬送ローラの少なくとも一方を変位させて平行度を調整する平行度調整工程と
を備えることを特徴とする搬送ローラの調整方法。
【請求項６】
請求項５に記載の搬送ローラの調整方法であって、
前記平行度調整工程後に、前記第１スライド部材および前記第２スライド部材がそれぞれ前記第１測定位置および前記第２測定位置に位置する第３測定状態で前記長さ情報を取得する第３情報取得工程と、
前記平行度調整工程後に、前記第１スライド部材および前記第２スライド部材がそれぞれ前記第２測定位置および前記第１測定位置に位置する第４測定状態とで前記長さ情報を取得する第４情報取得工程と、
前記第３情報取得工程および前記第４情報取得工程により取得された前記長さ情報の差に基づいて前記第１搬送ローラおよび前記第２搬送ローラをともに変位させて前記第１搬送ローラおよび前記第２搬送ローラの前記第１方向に対する傾きを補正する傾き調整工程と
を備える搬送ローラの調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、互いに第１方向に離間されながら第１方向と直交する第２方向に延設される、第１搬送ローラと第２搬送ローラとの平行度を測定する測定装置、並びにそれを用いた搬送ローラの調整方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数の搬送ローラにより被搬送物を搬送しながら被搬送物に対して種々の処理を施す、いわゆるロール・トゥ・ロール方式を採用した装置では、被搬送物の搬送を安定して行うために搬送ローラの平行度が重要となる。そこで、搬送ローラの平行度を測定する測定技術が従来より数多く提案されている。例えば特許文献１では、測定工具によって２つの搬送ローラの軸間距離を測定することで搬送ローラの平行度を確認している。より詳しくは、測定工具は、２つの搬送ローラの一方を基準側搬送ローラとし、当該基準側搬送ローラに対して固定されるクランプ部を有している。また、このクランプ部からセンサ支持部が伸縮可能に突設されるとともに、当該センサ支持部の先端面にレーザ距離センサが固着されている。そして、２つの搬送ローラの間隔に応じてセンサ支持部の長さを調節した上でレーザ距離センサによってもう一方の搬送ローラ（調整側搬送ローラ）までの距離を計測することで搬送ローラの軸間距離を求め、その測定結果に基づいて平行度を測定している。また、計測した軸間距離が軸間距離の設計値に対して予め設定した規定値以内となるように調整側搬送ローラの支持状態を調整している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２２７４２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来装置では、互いに近接して配置された２つの搬送ローラの平行度を測定するには好適であるが、２つの搬送ローラの軸間距離が長くなるにしたがって測定精度は低下する。例えば後述するように電極材料が塗布された帯状の金属箔を搬入ローラ（搬送ローラ）により乾燥処理装置に搬入するとともに搬出ローラ（搬送ローラ）により乾燥処理装置から搬出する塗布膜形成システムにおいては、搬入ローラと搬出ローラとの平行度を測定し、平行度が許容範囲に収まるように調整する必要がある。この塗布膜形成システムでは、乾燥処理装置の長さが１０ｍ以上となることもあり、搬入ローラと搬出ローラとの軸間距離は一般的に長くなる傾向にある。しかしながら、上記従来技術によって、搬入ローラと搬出ローラとの平行度を、所望レベル、例えば１００［μｍ］以下のレベルで測定することは困難であり、比較的離間した２つの搬送ローラを高精度に測定することができる測定装置、ならびに２つの搬送ローラの平行度を高精度に調整することができる技術が要望されている。
【０００５】
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、互いに第１方向に離間されながら前記第１方向と直交する第２方向に延設される、第１搬送ローラと第２搬送ローラとの平行度を高精度に測定する測定装置、ならびに上記２つの搬送ローラの平行度を高精度に調整することができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明の一態様は、互いに第１方向に離間されながら第１方向と直交する第２方向に延設される、第１搬送ローラと第２搬送ローラとの平行度を測定する測定装置であって、第１搬送ローラに固定される第１固定ブロックと、第１固定ブロックに対して第２方向に滑動自在に設けられる第１スライド部材と、第２搬送ローラに固定される第２固定ブロックと、第２固定ブロックに対して第２方向に滑動自在に設けられる第２スライド部材と、一方端部が第１スライド部材に固定されるとともに他方端部が第２スライド部材に対して移動自在に支持された状態で第１スライド部材と第２スライド部材との間で張架される線材と、第１スライド部材および第２スライド部材の間での線材の長さに関する長さ情報を、第１スライド部材および第２スライド部材が第２方向における一方側の第１測定位置に位置する第１測定状態と、他方側の第２測定位置に第１スライド部材および第２スライド部材が位置する第２測定状態とでそれぞれ測定し、第１測定状態での長さ情報と２測定状態での長さ情報とを平行度の指標値として出力する測定部とを備えることを特徴としている。
【０００７】
また、この発明の他の態様は、互いに第１方向に離間されながら第１方向と直交する第２方向に延設される、第１搬送ローラと第２搬送ローラとの平行度を調整する搬送ローラの調整方法であって、第２方向に滑動自在な第１スライド部材が設けられた第１固定ブロックを第１搬送ローラに固定する第１固定工程と、第２方向に滑動自在な第２スライド部材が設けられた第２固定ブロックを第２搬送ローラに固定する第２固定工程と、線材の一方端部を第１スライド部材に固定するとともに線材の他方端部を第２スライド部材に対して移動自在に支持させた状態で第１スライド部材と第２スライド部材との間で線材を張架させる張架工程と、第１スライド部材および第２スライド部材が第２方向における一方側の第１測定位置に位置する第１測定状態で第１スライド部材および第２スライド部材の間での線材の長さに関する長さ情報を取得する第１情報取得工程と、第１スライド部材および第２スライド部材が第２方向における他方側の第２測定位置に位置する第２測定状態で長さ情報を取得する第２情報取得工程と、第１情報取得工程および第２情報取得工程により取得された長さ情報の差に基づいて第１搬送ローラおよび第２搬送ローラの少なくとも一方を変位させて平行度を調整する平行度調整工程とを備えることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００８】
以上のように、本発明によれば、第１スライド部材と第２スライド部材との間に線材が張架されており、スライド部材間の線材の長さ（これは実質的に第１搬送ローラと第２搬送ローラとの離間距離に相当する）に関する長さ情報が２つ取得される。そのうちの一方は、第１スライド部材および第２スライド部材が第１測定位置（第２方向における一方側の位置）に位置するときの長さ情報であり、他方は第２測定位置（第２方向における他方側の位置）に位置するときの長さ情報である。このように第２方向において互いに異なる２つの測定位置で第１搬送ローラと第２搬送ローラとの離間距離に関する長さ情報が出力される。したがって、第１搬送ローラと第２搬送ローラとが比較的離れて配置されたとしても、上記した２つの長さ情報から搬送ローラの平行度を正確に測定することが可能となっている。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明にかかる測定装置の測定対象である搬送ローラを備えた塗布膜形成システムの全体構成を示す図である。
【図２】本発明にかかる測定装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図３】図１に示すシステムに装備されたローラを図２に示す測定装置を用いて調整する方法を示すフローチャートである。
【図４Ａ】第１測定状態での長さ情報の取得動作を模式的に示す図である。
【図４Ｂ】第２測定状態での長さ情報の取得動作を模式的に示す図である。
【図５Ａ】第３測定状態での長さ情報の取得動作を模式的に示す図である。
【図５Ｂ】第４測定状態での長さ情報の取得動作を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
ここでは、まず、本発明にかかる測定装置の測定対象である搬送ローラを備えた装置の一例である塗布膜形成システムの構成および動作を説明した後で、測定装置の一実施形態の構成および当該測定装置を用いた搬送ローラの調整方法について説明する。
【００１１】
図１は本発明にかかる測定装置の測定対象である搬送ローラを備えた塗布膜形成システムの全体構成を示す図である。なお、図１および以降の各図には、方向関係を明確にするために、Ｚ軸方向を鉛直方向とし、ＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ直交座標系が付されている。また、図１および以降の各図において、理解容易のため、必要に応じて、各部の寸法や数が誇張または簡略化して描かれている。
【００１２】
塗布膜形成システム１は、帯状基材を所定の搬送方向に搬送しながら基材の上に活物質の塗布膜を形成するとともに各種の乾燥処理装置によって塗布膜を乾燥させることで、リチウムイオン二次電池の電極を製造するものである。塗布膜形成システム１では、上記塗布膜を形成するために塗布処理部１０が設けられ、上記乾燥処理装置として予熱部６０、乾燥部６５、アニール部７０および冷却部７５が設けられ、基材搬送のために搬送部８０が設けられている。
【００１３】
本実施形態では、基材５として、リチウムイオン二次電池の集電体として機能する帯状の金属箔が用いられている。ここでは、基材５の形状は長尺のシート状とされている。また、基材５の幅および厚さは特に限定されるものではないが、基材５の幅は６００［ｍｍ］〜７００［ｍｍ］とすることができ、基材５の厚さは１０［μｍ］〜２０［μｍ］とすることができる。また、塗布膜形成システム１において、リチウムイオン二次電池の正極が製造される場合、基材５として例えばアルミニウム箔（Ａｌ）が使用できる。一方、負極が製造される場合、基材５として例えば銅箔（Ｃｕ）が使用できる。
【００１４】
このような帯状の基材５を搬送するために、搬送部８０は次のように構成されている。搬送部８０は、図１に示すように、巻き出しローラ８１と巻き取りローラ８２とを有する、いわゆるロール・トゥ・ロール方式を採用している。そして、搬送部８０は、巻き出しローラ８１から基材５を塗布処理部１０に送り出す。また、搬送部８０は、図１中の矢印ＡＲ２で示すように、塗布処理部１０で塗布処理を受けた基材５を水平姿勢のまま搬入ローラ８３ａから予熱部６０、乾燥部６５、アニール部７０、冷却部７５の順序で搬送する。さらに、搬送部８０は、図１中の矢印ＡＲ３で示すように、予熱部６０、乾燥部６５、アニール部７０、冷却部７５の各部で熱処理を受けた基材５を搬出ローラ８３ｂで巻き取りローラ８２に送り出し、当該巻き取りローラ８２で巻き取る。なお、搬入ローラ８３ａおよび搬出ローラ８３ｂ以外に乾燥処理装置（予熱部６０、乾燥部６５、アニール部７０および冷却部７５）に１または複数の搬送ローラを設けてもよい。
【００１５】
塗布処理部１０は、電極材料として用いられる活物質の塗布液をノズル１１からバックアップローラ１２に巻き掛けられた基材５に塗布することによって、基材５上に塗布膜を形成する。より具体的には、ノズル１１は、図１に示すように、バックアップローラ１２と対向する位置に配置されている。ノズル１１の先端には、基材５の幅方向（図１の紙面に対して垂直な方向）に沿ったスリット状の吐出口（図示省略）が設けられている。そして、当該吐出口から塗布液がバックアップローラ１２に押圧支持された基材５に向けて吐出される。これによって基材５に塗布膜が形成される。そして、塗布膜を鉛直上方に向けた水平状態で基材５は搬入ローラ８３ａを介して乾燥処理装置（予熱部６０、乾燥部６５、アニール部７０および冷却部７５）に搬送される。
【００１６】
予熱部６０は、塗布処理部１０での塗布処理によって基材５の上に形成された電極材料の塗布膜を昇温し、一定時間の予熱を行う。また、乾燥部６５は、主たる乾燥処理を行う処理部であり、予熱部６０にて予熱された塗布膜に熱風を吹き付けて加熱して溶剤を蒸発させる。さらに、アニール部７０は、塗布膜をより高温に加熱し、塗布膜に残留している溶剤を除去するとともに、乾燥部６５での乾燥処理で塗布膜中に発生した歪みおよび残留応力を除去する。冷却部７５は、加熱された塗布膜に常温のドライエアを吹き付けることによって塗布膜を冷却する。なお、基材５の上に形成された塗布膜を乾燥させる乾燥処理装置としては、上記の４つの処理部を備えた構成に限定されるものではなく、塗布液の種類に応じて適宜のものとすることができる。例えば、乾燥処理装置は、予熱部６０および乾燥部６５のみによって構成されても良い。
【００１７】
ここで、塗布膜を良好に乾燥させるためには、急激な温度変化を基材５や塗布膜に与えるのは好ましくはなく、ある程度の時間をかけて乾燥処理を行う必要がある。そのため、搬入ローラ８３ａと搬出ローラ８３ｂとの離間距離Ｌを、塗布処理部１０でのローラの離間距離よりも大幅に広く、例えば１０［ｍ］以上に設定することもある。しかも、搬入ローラ８３ａと搬出ローラ８３ｂの平行度は基材５の搬送に大きく影響を与え、１００［μｍ］以下のレベルに調整することが要望されている。そこで、搬入ローラ８３ａと搬出ローラ８３ｂの平行度を正確に測定し、しかも当該測定結果に基づいて搬入ローラ８３ａと搬出ローラ８３ｂを調整する方法を本願発明者は創作した。以下、測定装置の一実施形態および当該測定装置を用いた搬送ローラの調整方法を、図２、図３、図４Ａ、図４Ｂ、図５Ａおよび図５Ｂを参照しつつ説明する。
【００１８】
図２は本発明にかかる測定装置の一実施形態を示す斜視図である。この測定装置２は、搬出ローラ８３ｂに固定される搬出側固定ブロック２１と、搬入ローラ８３ａに固定される搬入側固定ブロック２２とを有している。これらの固定ブロック２１、２２は基本的に同一構成を有している。そこで、ここでは搬出側固定ブロック２１の構成について詳述し、搬入側固定ブロック２２の構成については相当符号を付して説明を省略する。
【００１９】
搬出側固定ブロック２１は、搬出ローラ８３ｂの延設方向Ｙにおいて搬出ローラ８３ｂと同一長さを有するとともに搬出ローラ８３ｂの直径よりも長い幅を有する矩形形状の３枚の金属板２１１〜２１３を有している。これらのうち金属板２１１は搬出ローラ８３ｂの上方に配置されるとともに、残りの２枚の金属板２１２、２１３はそれぞれ搬出ローラ８３ｂに対して搬入ローラ側（図２中の−Ｘ方向側）および反搬入ローラ側（図２中の＋Ｘ方向側）に配置されている。また、金属板２１２の上端部は金属板２１１の−Ｘ側面に固定され、これによってＬ型ブロック構造が形成されている。
【００２０】
一方、金属板２１３は金属板２１１の＋Ｘ側端部の下方側でＸ方向に移動自在で、しかも４本のボルト２１４により金属板２１１の＋Ｘ側端部と連結可能となっている。また、金属板２１３の−Ｘ側面から支持部材２１５が搬出ローラ８３ｂに向けて突設されている。この支持部材２１５は上面で楔部材２１６を摺動自在に支持する。楔部材２１６のＸＺ断面は図２に示すように台形形状を有し、台形の脚のうち金属板２１３側の脚は鉛直方向に延びるとともに搬出ローラ８３ｂ側の脚は鋭角に延びている。また、楔部材２１６は上記したＸＺ断面を有しながらＹ方向に延設された台形柱構造を有している。このように構成された楔部材２１６はＹ方向の両側に振り分けられた２本のボルト２１７によって−Ｘ方向に押圧されることで支持部材２１５の上面を摺動して搬出ローラ８３ｂを金属板２１１、２１２に押し付ける。これによって、搬出ローラ８３ｂが金属板２１１、２１２および楔部材２１６によって三点支持され、搬出ローラ８３ｂに対して搬出側固定ブロック２１が固定される。なお、図２中の符号２１８は金属板２１１に対してボルト２１７を支持する支持部材である。
【００２１】
このように構成された搬出側固定ブロック２１に対し、搬出側スライド部材２３が直動ガイド機構によってＹ方向に滑動可能に設けられている。より詳しくは、図２に示すように、金属板２１２の−Ｘ側面上にガイドレール２４１がＹ方向に延設されている。このガイドレール２４１には、スライダー（図４Ａ、図４Ｂ、図５Ａ、図５Ｂ中の符号２４２）がＹ方向に滑動自在に取り付けられている。また、スライダーに搬出側スライド部材２３の基台２３１が固定されている。このため、ユーザからの外力を受けると、搬出側スライド部材２３は搬出ローラ８３ｂの延設方向（長手方向）Ｙに移動可能となっている。なお、本実施形態では、金属板２１２の−Ｘ側面上には、Ｙ方向の両端部にストッパー２４３が設けられており、スライダーを係止することで搬出側スライド部材２３をＹ方向における−Ｙ側の第１測定位置（図４Ａ、図４Ｂ、図５Ａ、図５Ｂ中の符号Ｐ１）と＋Ｙ側の第２測定位置（図４Ａ、図４Ｂ、図５Ａ、図５Ｂ中の符号Ｐ２）とに位置決め可能となっている。
【００２２】
この搬出側スライド部材２３では、図２に示すように、基台２３１の上面に線材支持台２３２が固定されている。この線材支持台２３２の−Ｘ側端部にはＶ字状の切欠が設けられ、当該切欠に対してピアノ線２５の＋Ｘ側端部が係合されるとともに押さえプレート２３３で線材支持台２３２に押さえ付けられて固定されている。なお、このピアノ線２５は次に説明する搬入側スライド部材２６に張架されている。
【００２３】
搬入側スライド部材２６は、搬出側固定ブロック２１と同様の構成を有する搬入側固定ブロック２２に対して直動ガイド機構によってＹ方向に滑動可能に設けられている。より詳しくは、図２に示すように、金属板２２２の−Ｘ側面上にガイドレール２７１がＹ方向に延設されている。このガイドレール２７１には、スライダー（図４Ａ、図４Ｂ、図５Ａ、図５Ｂ中の符号２７２）がＹ方向に滑動自在に取り付けられている。また、スライダーに搬入側スライド部材２６の基台２６１が固定されている。このため、ユーザからの外力を受けると、搬入側スライド部材２６は搬入ローラ８３ａの延設方向（長手方向）Ｙに移動可能となっている。なお、本実施形態では、金属板２２２の−Ｘ側面上にも、搬出側固定ブロック２１側と同様に、Ｙ方向の両端部にストッパー２７３が設けられており、スライダーを係止することで搬入側スライド部材２６をＹ方向における−Ｙ側の第１測定位置Ｐ１と＋Ｙ側の第２測定位置Ｐ２とに位置決め可能となっている。
【００２４】
この搬入側スライド部材２６では、図２に示すように、基台２６１の上面には線材支持台２６２が固定されている。この線材支持台２６２の上面では、滑車支持部材２６３により滑車２６４が回転自在に軸支されている。そして、滑車２６４に対してピアノ線２５が掛架されるとともにピアノ線２５の−Ｘ側端部が線材支持台２６２に設けられる貫通孔２６５を介して垂下されて錘２８に連結されている。
【００２５】
この錘２８は直動ガイド機構によって鉛直方向Ｚに移動自在となっている。より詳しくは、図２、図４Ａ、図４Ｂ、図５Ａ、図５Ｂに示すように、基台２６１の−Ｘ側面上にガイドレール２８１がＺ方向に延設されている。このガイドレール２８１には、スライダー（図４Ａ、図４Ｂ、図５Ａ、図５Ｂ中の符号２８２）がＺ方向に滑動自在に取り付けられている。そして、このスライダーに錘２８が固定されている。このため、搬入ローラ８３ａと搬出ローラ８３ｂとの離間距離が変動すると、それに伴って両スライド部材２３、２６の間隔が変動するとともにピアノ線２５の−Ｘ側端部が滑車２６４を介して移動して錘２８を鉛直方向Ｚに移動させる。
【００２６】
また、本実施形態では、鉛直方向Ｚにおける錘２８の高さ位置を検出するために、線材支持台２６２にデジマチックインジケータ２９が取り付けられており、錘２８の高さ位置がデジマチックインジケータ２９の表示部（図示省略）にデジタル表示（出力）される。この表示される値は直接的には錘２８の高さ位置であるが、次に説明するように、上記表示値は、搬入ローラ８３ａと搬出ローラ８３ｂとの距離を間接的に示している。すなわち、本実施形態では、上記のように錘２８によってピアノ線２５を搬出側スライド部材２３と搬入側スライド部材２６との間でＸ方向に張架している。このため、搬入ローラ８３ａと搬出ローラ８３ｂとの距離が変化すると、搬出側スライド部材２３および搬入側スライド部材２６の間でのピアノ線２５の長さも変化し、その変化分だけ鉛直方向Ｚにおける錘２８の高さ位置も変化する。このようにデジマチックインジケータ２９により測定される値を、搬出側スライド部材２３および搬入側スライド部材２６を第１測定位置Ｐ１に位置決めした時と、第２測定位置Ｐ２に位置決めした時とで取得し、これらの値を対比することで搬入ローラ８３ａと搬出ローラ８３ｂとの平行度を正確に求めることができる。このようにデジマチックインジケータ２９により測定される値は平行度の指標値として機能し、本発明の「第１スライド部材および第２スライド部材の間での線材の長さに関する長さ情報」の一例に相当している。
【００２７】
なお、平行度の調整によって搬入ローラ８３ａおよび搬出ローラ８３ｂは互いに平行となるものの、搬入ローラ８３ａおよび搬出ローラ８３ｂが基材５の搬送方向Ｘに対して傾斜していることがある。これについても上記測定装置２により測定することができ、測定装置２を用いて傾斜を補正することができる。つまり、測定装置２は平行度のみならず平行状態のローラの傾きについても測定することができる。この点については、上記のように構成された測定装置２を用いて塗布膜形成システム１に装備される搬入ローラ８３ａおよび搬出ローラ８３ｂの調整方法と併せて、詳しく説明する。
【００２８】
図３は図１に示すシステムに装備されたローラを図２に示す測定装置を用いて調整する方法を示すフローチャートである。図４Ａは第１測定状態での長さ情報の取得動作を模式的に示す図である。図４Ｂは第２測定状態での長さ情報の取得動作を模式的に示す図である。図５Ａは第３測定状態での長さ情報の取得動作を模式的に示す図である。図５Ｂは第４測定状態での長さ情報の取得動作を模式的に示す図である。
【００２９】
本実施形態では、ユーザが図２に示す測定装置２を準備し、ユーザ自らが以下の操作や判断を行うことで搬入ローラ８３ａおよび搬出ローラ８３ｂの調整を行う。以下、図３に示すフローチャート、図４Ａ、図４Ｂ、図５Ａおよび図５Ｂに示す模式図を参照しつつ説明する。
【００３０】
まず最初に、搬出側固定ブロック２１を搬出ローラ８３ｂに固定する（ステップＳ１：第１固定工程）とともに搬入側固定ブロック２２を搬入ローラ８３ａに固定する（ステップＳ２：第２固定工程）。なお、この順序を入れ替えてもよいし、あるいは複数人で上記固定操作を同時に行ってもよい。次のステップＳ３では、ピアノ線２５の＋Ｘ側端部を搬出側スライド部材２３の押さえプレート２３３で線材支持台２３２に押さえ付けて固定するとともに、ピアノ線２５を搬入側固定ブロック２２側に引き回し、ピアノ線２５の−Ｘ側端部を滑車２６４に掛架するとともに錘２８に連結する。これにより、錘２８の作用によって搬出側スライド部材２３と搬入側スライド部材２６との間でピアノ線２５が張架される（ステップＳ３：張架工程）。なお、ピアノ線２５の＋Ｘ側端部を搬出側スライド部材２３に固定するとともに−Ｘ側端部を錘２８に連結しておき、その状態で両ブロック２１、２２の固定を行うことも可能である。
【００３１】
次に、図４Ａに示すように、ピアノ線２５を張架したまま両スライド部材２３，２６を−Ｙ方向に移動させて第１測定位置Ｐ１に位置決めする（ステップＳ４）。この位置決め状態を本明細書では「第１測定状態」と称する。このとき、第１測定状態での錘２８の高さ位置がデジマチックインジケータ２９の表示部（図示省略）に表示される。この高さ位置は、上記したように両スライド部材２３、２６の間でのピアノ線２５の長さを間接的に示しており、これにより第１測定位置Ｐ１における搬入ローラ８３ａと搬出ローラ８３ｂとの離間距離が間接的に取得することができる。そこで、ユーザは表示部に表示された値を本発明の「第１測定状態での長さ情報」としてメモしておく（ステップＳ５：第１情報取得工程）。
【００３２】
こうして第１測定状態での長さ情報の取得が完了すると、それと同様にして、第２測定状態での長さ情報を取得する。すなわち、図４Ｂに示すように、ピアノ線２５を張架したまま両スライド部材２３，２６を＋Ｙ方向に移動させて第２測定位置Ｐ２に位置決めする（ステップＳ６）。この位置決め状態を本明細書では「第２測定状態」と称する。このとき、第２測定状態での錘２８の高さ位置がデジマチックインジケータ２９の表示部に表示されているので、ユーザは表示部に表示された値を本発明の「第２測定状態での長さ情報」としてメモしておく（ステップＳ７：第２情報取得工程）。
【００３３】
ここで、第１測定状態での長さ情報と第２測定状態での長さ情報とを比較することで搬入ローラ８３ａと搬出ローラ８３ｂとが平行に配置されているか否かを容易に判定することができる。つまり、第１測定状態での長さ情報と第２測定状態での長さ情報との差、つまり鉛直方向Ｚにおける錘２８の高さ位置の変動量が許容範囲を超えている場合には、十分な平行度が得られていないと判定することができる。そこで、ユーザはメモしておいた長さ情報の差を計算し、それが許容範囲内に収まっているか否かを判定する（ステップＳ８）。そして、その差が許容範囲内であると判定するまで（ステップＳ８で「ＹＥＳ」と判定されるまで）、長さ情報の差に基づいて搬入ローラ８３ａおよび搬出ローラ８３ｂの少なくとも一方のローラの位置を調整した（ステップＳ９：平行度調整工程）上で、ステップＳ４に戻って、第１測定状態への位置決め、第１測定状態での長さ情報の取得、第２測定状態への位置決め、第２測定状態での長さ情報の取得を繰り返す。
【００３４】
一方、第１測定状態での長さ情報と第２測定状態での長さ情報との差（錘２８の高さ位置の変動量）が許容範囲内であり、搬入ローラ８３ａおよび搬出ローラ８３ｂが互いに平行であることが確認される（ステップＳ８で「ＹＥＳ」）と、上記した平行調整作業に続いて傾き調整作業（ステップＳ１０〜Ｓ１６）を行う。ここで、傾き調整作業を行う理由は、上記平行調整作業はあくまで搬入ローラ８３ａおよび搬出ローラ８３ｂの平行度を調整したに過ぎず、搬入ローラ８３ａおよび搬出ローラ８３ｂが基材５の搬送方向Ｘに対して傾斜して配置されている可能性がある。このように傾斜配置された場合には、ローラ８３ａ、８３ｂが平行配置されていたとしても、基材５を安定して搬送することができない。したがって、上記傾斜が発生している場合には、両ローラ８３ａ、８３ｂの傾きを調整して搬送方向Ｘに対して直交配置させる必要がある。
【００３５】
そこで、本実施形態では、各固定ブロック２１，２２に取り付けられた直動ガイド機構のストロークセンターを搬送部８０のセンターラインに一致させる、つまりガイドレール２４１、２７１の中心位置を基材５の搬送中心線上に位置させる（ステップＳ１０）。こうして、傾き調整作業の準備が完了すると、次に、図５Ａに示すように、ピアノ線２５を張架したまま、搬出側スライド部材２３を−Ｙ方向に移動させて第１測定位置Ｐ１に位置決めする一方で、搬入側スライド部材２６を＋Ｙ方向に移動させて第２測定位置Ｐ２に位置決めする（ステップＳ１１）。この位置決め状態を本明細書では「第３測定状態」と称する。このとき、第３測定状態での錘２８の高さ位置がデジマチックインジケータ２９の表示部に表示される。この高さ位置は、搬出側スライド部材２３の−Ｙ側端部と搬入側スライド部材２６の＋Ｙ側端部との長さを間接的に示しているので、ユーザは表示部に表示された値を本発明の「第３測定状態での長さ情報」としてメモしておく（ステップＳ１２：第３情報取得工程）。
【００３６】
こうして第３測定状態での長さ情報の取得が完了すると、それと同様にして、第４測定状態での長さ情報を取得する。すなわち、図５Ｂに示すように、ピアノ線２５を張架したまま両スライド部材２３，２６をそれぞれ＋Ｙ方向、−Ｙ方向に移動させて第２測定位置Ｐ２、第１測定位置Ｐ１に位置決めする（ステップＳ１３）。この位置決め状態を本明細書では「第４測定状態」と称する。このとき、第４測定状態での錘２８の高さ位置がデジマチックインジケータ２９の表示部に表示されているので、ユーザは表示部に表示された値を本発明の「第４測定状態での長さ情報」としてメモしておく（ステップＳ１４：第４情報取得工程）。
【００３７】
ここで、第３測定状態での長さ情報と第４測定状態での長さ情報とを比較することで搬入ローラ８３ａと搬出ローラ８３ｂとが搬送方向Ｘに対して傾斜する、いわゆるローラ傾斜の有無を容易に判定することができる。これは、次の技術背景に基づくものである。
【００３８】
図３に示すステップＳ１〜Ｓ９の実行によって搬入ローラ８３ａおよび搬出ローラ８３ｂの平行配置は確保されるが、搬送方向Ｘに対して搬入ローラ８３ａおよび搬出ローラ８３ｂの延設方向が直交せず、ローラ傾斜が発生していることがある。この場合、ピアノ線２５のうち、図４Ａに示すように第１測定位置Ｐ１に位置決めされたときに搬出側スライド部材２３に固定されている位置を「点Ｐ１Ａ」とするとともに搬入側スライド部材２６に係止されている位置を「点Ｐ１Ｂ」とする一方、図４Ｂに示すように第２測定点Ｐ１に点決めされたときに搬出側スライド部材２３に固定されている位置を「点Ｐ２Ａ」とするとともに搬入側スライド部材２６に係止されている位置を「点Ｐ２Ｂ」とすると、これら４点Ｐ１Ａ、Ｐ１Ｂ、Ｐ２Ａ、Ｐ２Ｂを仮想的につなぎ合わせると、平行四辺形が形成される。そして、点Ｐ１Ａと点Ｐ２Ｂとを結ぶ第１対角線と、点Ｐ２Ａと点Ｐ１Ｂとを結ぶ第２対角線とは互いに異なる長さとなる。そこで、本実施形態では、第３測定状態での長さ情報を上記第１対角線の長さとして求め、第４測定状態での長さ情報を上記第２対角線の長さとして求めるとともに、これらを比較している。具体的には第３測定状態での長さ情報と第４測定状態での長さ情報との差（つまり、鉛直方向Ｚにおける錘２８の高さ位置の変動量）が許容範囲を超えている場合には、ローラ傾斜が発生していると判定することができる。
【００３９】
そこで、本実施形態では、ユーザはメモしておいた長さ情報の差を計算し、それが許容範囲内に収まっているか否かを判定する（ステップＳ１５）。そして、その差が許容範囲内であると判定するまで（ステップＳ１５で「ＹＥＳ」と判定されるまで）、長さ情報の差に基づいて搬入ローラ８３ａおよび搬出ローラ８３ｂの水平面内での傾斜を調整した（ステップＳ１６：傾き調整工程）上で、ステップＳ１１に戻って、第３測定状態への位置決め、第３測定状態での長さ情報の取得、第４測定状態への位置決め、第４測定状態での長さ情報の取得を繰り返す。
【００４０】
一方、第３測定状態での長さ情報と第４測定状態での長さ情報との差（錘２８の高さ位置の変動量）が許容範囲内であり、搬入ローラ８３ａおよび搬出ローラ８３ｂが搬送方向Ｘに対して直交配置されていることが確認される（ステップＳ１５で「ＹＥＳ」）と、搬送ローラの調整作業（＝平行調整作業＋傾き調整作業）を終了する。
【００４１】
以上のように、本実施形態にかかる測定装置２によれば、搬入ローラ８３ａと搬出ローラ８３ｂとが比較的離れて配置されている場合であっても、第１測定状態での長さ情報と第２測定状態での長さ情報とを簡単に取得し、それらをローラ８３ａ、８３ｂの平行度を正確に示す指標値として用いることができる。また、当該測定装置２を用いることで塗布膜形成システム１における搬送ローラの平行度の調整作業を簡単に、しかも高精度に行うことができる。
【００４２】
また、上記測定装置２によれば、単に平行度を測定するのみならず、第３測定状態での長さ情報および第４測定状態での長さ情報を取得し、それらを既に平行に調整された搬送ローラの傾きを正確に示す指標値として用いることができる。また、当該測定装置２を用いることで塗布膜形成システム１における搬送ローラの傾きの調整作業を簡単に、しかも高精度に行うことができる。
【００４３】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態では、搬入ローラ８３ａおよび搬出ローラ８３ｂに対して三点支持方式で固定ブロック２２、２１を固定しているが、固定方式はこれに限定されるものではなく、搬入ローラ８３ａおよび搬出ローラ８３ｂに対して固定ブロック２２、２１を着脱自在であれば、如何なる固定方式を採用してもよい。
【００４４】
また、上記実施形態では、搬入ローラ８３ａおよび搬出ローラ８３ｂを第１測定位置Ｐ１および第２測定位置Ｐ２の２か所で位置決めして長さ情報を取得しているが、さらに複数個所で位置決めし、各測定位置での長さ情報を取得し、それら３つ以上の長さ情報を平行度の指標値として用いてもよい。また、スライド部材２３、２６を同期してＹ方向に移動させながら錘２８の高さ位置（長さ情報）を連続的あるいは断続的に取得してもよい。
【００４５】
また、上記実施形態では、搬出側スライド部材２３でピアノ線２５の一方端部を固定しているが、搬入側スライド部材２６でピアノ線２５の一方端部を固定するように構成してもよい。また、ピアノ線２５を本発明の「線材」として用いているが、伸縮が少ない線材であれば、線材の種類は特に限定されるものではない。
【００４６】
また、上記実施形態では、デジマチックインジケータ２９により錘２８の高さ位置を搬出ローラ８３ｂおよび搬入ローラ８３ａの間でのピアノ線２５の長さに関する長さ情報として取得し、表示部に出力しているが、他の計測機器によって錘２８の高さ位置を取得するように構成してもよい。デジマチックインジケータ２９から計測結果を示す電気信号を出力させ、当該電気信号に基づいて長さ情報の差を自動演算するように構成してもよい。また、搬出ローラ８３ｂおよび搬入ローラ８３ａの間でのピアノ線２５の長さを直接読取り、読取値を上記「長さ情報」として出力するように構成してもよい。
【００４７】
また、上記実施形態では、図３に示す全ステップをユーザにより実行しているが、上記したように一部のステップ、例えばステップＳ８、Ｓ１５をコンピュータなどの演算装置に実行させるように構成してもよい。
【００４８】
また、上記実施形態では、直動ガイド機構を用いてスライド部材２３、２６をローラ８３ｂ、８３ａの延設方向Ｙと平行に移動可能に構成しているが、平行移動のための構成はこれに限定されるものではなく、他の平行移動機構を用いて平行移動させるように構成してもよい。
【００４９】
さらに、上記実施形態では、スライド部材２３が取り付けられた固定ブロック２１を搬出ローラ８３ｂに固定し、スライド部材２６が取り付けられた固定ブロック２２を搬入ローラ８３ａに固定して搬出ローラ８３ｂおよび搬入ローラ８３ａの調整を行っているが、ローラと固定ブロックの組み合わせを入れ替えて調整してもよい。また、塗布膜形成システム１における搬送ローラのうち搬出ローラ８３ｂおよび搬入ローラ８３ａの調整に測定装置２を用いているが、測定装置２の適用範囲はこれに限定されるものではなく、互いに第１方向に離間されながら第１方向と直交する第２方向に延設される、複数の搬送ローラの調整に適用することができる。
【００５０】
以上説明したように、上記実施形態においては、Ｘ方向およびＹ方向がそれぞれ本発明の「第１方向」および「第２方向」に相当している。また、搬出ローラ８３ｂおよび搬入ローラ８３ａがそれぞれ本発明の「第１搬送ローラ」および「第２搬送ローラ」の一例に相当している。搬出側固定ブロック２１および搬入側固定ブロック２２がそれぞれ本発明の「第１固定ブロック」および「第２固定ブロック」の一例に相当している。搬出側スライド部材２３および搬入側スライド部材２６がそれぞれ本発明の「第１スライド部材」および「第２スライド部材」の一例に相当している。デジマチックインジケータ２９が本発明の「検出器」の一例に相当しており、錘２８と協働して本発明の「測定部」として機能している。
【００５１】
以上、具体的な実施形態を例示して説明してきたように、本発明は、例えば測定部が、互いに平行に配置された第１スライド部材および第２スライド部材の間での線材の長さに関する長さ情報を、第１スライド部材および第２スライド部材がそれぞれ第１測定位置および第２測定位置に位置する第３測定状態と、第１スライド部材および第２スライド部材がそれぞれ第２測定位置および第１測定位置に位置する第４測定状態とでそれぞれ測定し、第３測定状態での長さ情報と４測定状態での長さ情報とを第１方向に対する第１搬送ローラおよび第２搬送ローラの傾きの指標値として出力するように構成してもよい。
【００５２】
また、第１搬送ローラおよび第２搬送ローラを水平配置し、測定部が、線材の他方端に接続された状態で垂下されて第１スライド部材および第２スライド部材の間での線材の長さに応じて鉛直方向に移動する錘と、錘を検出して鉛直方向における錘の位置を長さ情報として出力する検出器とを有するように構成してもよい。
【００５３】
さらに、平行度調整工程後に、第１スライド部材および第２スライド部材がそれぞれ第１測定位置および第２測定位置に位置する第３測定状態で長さ情報を取得する第３情報取得工程と、平行度調整工程後に、第１スライド部材および第２スライド部材がそれぞれ第２測定位置および第１測定位置に位置する第４測定状態とで長さ情報を取得する第４情報取得工程と、第３情報取得工程および第４情報取得工程により取得された長さ情報の差に基づいて第１搬送ローラおよび第２搬送ローラをともに変位させて第１搬送ローラおよび第２搬送ローラの第１方向に対する傾きを補正する傾き調整工程とを備えるように構成してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
この発明は、複数の搬送ローラの平行度を測定する測定技術全般、ならびに当該測定技術を用いて搬送ローラの調整を行う調整技術全般に適用可能である。
【符号の説明】
【００５５】
２…測定装置
２１…搬出側固定ブロック（第１固定ブロック）
２２…搬入側固定ブロック（第２固定ブロック）
２３…搬出側スライド部材（第１スライド部材）
２５…ピアノ線（線材）
２６…搬入側スライド部材（第２スライド部材）
２８…錘（測定部）
２９…デジマチックインジケータ（検出器、測定部）
８３ａ…搬入ローラ（第２搬送ローラ）
８３ｂ…搬出ローラ（第１搬送ローラ）
Ｐ１…第１測定位置
Ｐ２…第２測定位置
Ｘ…搬送方向（第１方向）
Ｙ…延設方向（第２方向）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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