(57)【要約】【課題】基板上に設けられた接触部へ接触する探針部の位置ずれを抑制することを課題とする。【解決手段】プロービング装置は、基板に対して接近及び退避可能に設けられたプローブ本体部を備えるプロービング装置であって、前記プローブ本体部は、先端部に探針部が設けられた電極と、前記探針部の近傍に設けられたプローブ固定部を備え、前記プローブ固定部は、前記プローブ本体部が前記基板に接近し、前記探針部が前記基板上に設けられた接触部に接触するときに前記基板に接触する。【選択図】図４
2017020952.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に対して接近及び退避可能に設けられたプローブ本体部を備えるプロービング装置であって、
前記プローブ本体部は、先端部に探針部が設けられた電極と、前記探針部の近傍に設けられたプローブ固定部を備え、
前記プローブ固定部は、前記プローブ本体部が前記基板に接近し、前記探針部が前記基板上に設けられた接触部に接触するときに前記基板に接触するプロービング装置。
【請求項２】
前記プローブ本体部を前記プローブ本体部の軸心周りに回転させる回転機構を備える請求項１に記載のプロービング装置。
【請求項３】
前記探針部は、長尺辺と短尺辺とを備える請求項１または２に記載のプロービング装置。
【請求項４】
前記探針部の前記長尺辺は、前記プローブ固定部に設定された基準線に対して傾斜させて設けられた請求項３に記載のプロービング装置。
【請求項５】
前記プローブ固定部は、対向配置された第１壁部及び第２壁部を備え、
前記探針部は前記第１壁部と前記第２壁部とに囲まれた空間に出没可能に設けられた請求項１乃至４のいずれか１項に記載のプロービング装置。
【請求項６】
基板に設けられた配線パターン上に形成された接触部にプローブ本体部が備える探針部を接触させるプローブ接触方法であって、
前記接触部が設けられた配線パターンが延びる方向を認識する工程と、
前記配線パターンが延びる方向に対応させてプローブ本体部を回転させる工程と、
前記プローブ本体部を前記基板に向かって降下させ、前記探針部の前記接触部への接触に先行して前記プローブ本体部が備えるプローブ固定部を前記基板に接触させる工程と、
前記プローブ固定部が前記基板に接触した後に前記探針部を前記接触部に接触させるプローブ接触方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プロービング装置及びプローブ接触方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子機器に搭載される基板に、その検査に用いるテストパッドを設け、このテストパッドにプローブを接触させて試験を行うことがある。ところが、昨今の電子機器の小型化、薄型化に伴い、基板の高密度実装が要請され、これに伴いテストパッドを設けるエリアが小さくなってきている。また、従来のテストパッドは、引き出された配線の先に設けられることが多く、高速信号の伝送特性を考慮すると、テストのためだけに設けられる配線は極力排除したい。このような事情を背景に、基板の配線パターン上にはんだを盛って形成した接触部を形成し、この接触部をテストパッドとして利用することが行われている。一方、プロービング装置が備える探針の形状は種々提案されている。例えば、円錐部分及び円柱部分からなる先端の尖った形状の探針材を備えたプロービング装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。また、プランジャの先端に形成された山型形状の複数の尖鋭部を有し、電極部を保持するガイド部を有するコンタクトプローブが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１１４０４０号公報
【特許文献２】特開２０１３−１３０５１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、基板の配線パターン上にはんだを盛って形成した接触部をテストパッドとして利用する場合、探針は、はんだの周囲を覆うフラックスを除去しつつ接触部に接触する。特許文献１のプロービング装置であれば、先端が尖った形状の探針材を備えるため、狭い場所へアクセスし、フラックスを除去して接触部に接触することができると考えられる。しかしながら、配線パターン上に盛られたはんだは、その形状が一定ではなく、探針材の接触位置によっては先端部が滑ってプローブの位置ずれが生じ、はんだと探針材との適切な接触状態が損なわれることが考えられる。また、特許文献２は例えば半田ボールからなるバンプ等へのコンタクトを目的としており、狭い場所へのアクセスは困難であると考えられる。
【０００５】
１つの側面では、本明細書開示のプロービング装置及びプローブ接触方法は、基板上に設けられた接触部へ接触する探針部の位置ずれを抑制することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本明細書開示のプロービング装置は、基板に対して接近及び退避可能に設けられたプローブ本体部を備えるプロービング装置であって、前記プローブ本体部は、先端部に探針部が設けられた電極と、前記探針部の近傍に設けられたプローブ固定部を備え、前記プローブ固定部は、前記プローブ本体部が前記基板に接近し、前記探針部が前記基板上に設けられた接触部に接触するときに前記基板に接触する。
【０００７】
また、本明細書開示のプローブ接触方法は、基板に設けられた配線パターン上に形成された接触部にプローブ本体部が備える探針部を接触させるプローブ接触方法であって、前記接触部が設けられた配線パターンが延びる方向を認識する工程と、前記配線パターンが延びる方向に対応させてプローブ本体部を回転させる工程と、前記プローブ本体部を前記基板に向かって降下させ、前記探針部の前記接触部への接触に先行して前記プローブ本体部が備えるプローブ固定部を前記基板に接触させる工程と、前記プローブ固定部が前記基板に接触した後に前記探針部を前記接触部に接触させる。
【発明の効果】
【０００８】
本明細書開示のプロービング装置及びプローブ接触方法は、基板上に設けられた接触部へ接触する探針部の位置ずれを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は第１実施形態のプロービング装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】図２（Ａ）は第１実施形態のプロービング装置が備えるプローブ本体の左側面図であり、図２（Ｂ）は第１実施形態のプロービング装置が備えるプローブ本体の正面図である。
【図３】図３（Ａ）〜（Ｃ）はいずれも図２（Ｂ）におけるＡ−Ａ線断面図であり、図３（Ａ）は抑え部が基板に接触する前の状態を示す説明図であり、図３（Ｂ）はプローブ保持部を降下させて抑え部が基板に接触した状態を示す説明図であり、図３（Ｃ）はプローブ保持部の降下を継続した状態を示す説明図である。
【図４】図４はプローブ本体部の先端部を拡大して示す説明図である。
【図５】図５はプローブ本体部を下面側から観た説明図である。
【図６】図６はプローブ本体部が基板上に設けられた接触部に接触する様子を模式的に示す説明図である。
【図７】図７は第１実施形態のプロービング装置の制御の一例を示すフローチャートである。
【図８】図８（Ａ）は基板の一例を模式的に示す説明図であり、図８（Ｂ）は設置台上にセットされた基板の一例を模式的に示す説明図である。
【図９】図９（Ａ）〜（Ｅ）はプローブ本体部の動作の一例を時系列的に示す説明図である。
【図１０】図１０は接触部に接触する探針部を模式的に示す説明図である。
【図１１】図１１は第２実施形態のプロービング装置の概略構成を示すブロック図である。
【図１２】図１２は第２実施形態のプロービング装置の制御の一例を示すフローチャートである。
【図１３】図１３は第３実施形態のプロービング装置のプローブ本体部がビードに接触する様子を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。ただし、図面中、各部の寸法、比率等は、実際のものと完全に一致するようには図示されていない場合がある。また、図面によっては、説明の都合上、実際には存在する構成要素が省略されていたり、寸法が実際よりも誇張されて描かれていたりする場合がある。なお、以下の説明では、先端側及び基端側を図１や図３（Ａ）に示すように設定して説明する。
【００１１】
（第１実施形態）
まず、図１乃至図５を参照して、第１実施形態のプロービング装置１の概略構成について説明する。図１は第１実施形態のプロービング装置の概略構成を示すブロック図である。図２（Ａ）は第１実施形態のプロービング装置が備えるプローブ本体の左側面図であり、図２（Ｂ）は第１実施形態のプロービング装置が備えるプローブ本体の正面図である。図３（Ａ）〜（Ｃ）はいずれも図２（Ｂ）におけるＡ−Ａ線断面図であり、図３（Ａ）は抑え部が基板に接触する前の状態を示す説明図であり、図３（Ｂ）はプローブ保持部を降下させて抑え部が基板に接触した状態を示す説明図であり、図３（Ｃ）はプローブ保持部の降下を継続した状態を示す説明図である。図４はプローブ本体部の先端部を拡大して示す説明図である。図５はプローブ本体部を下面側から観た説明図である。
【００１２】
プロービング装置１は、設置台２上に設置された基板３の検査を行う。設置台２には、基板３に対するＸ方向位置決め部２ａ及びＹ方向位置決め部２ｂが設けられている。また、設置台２には、設置台上原点Ｐ０が設定されている。
【００１３】
プロービング装置１は、プローブ本体部１０を備える。プローブ本体部１０は、プローブ保持部３０に取り付けられている。プローブ保持部３０は、板状の部材であり、回転動力部３１による回転をプローブ本体部１０に伝達する回転伝達部３２を備えている。回転動力部３１は、モータである。図２（Ａ）、（Ｂ）を参照すると、回転動力部３１から延びる駆動軸３１ｂの先端部には歯車３１ａが設けられている。また、回転伝達部３２も歯車３１ａと噛み合う歯車である。回転伝達部３２は、後に説明するプローブ本体部１０が備える第１筒状体１１の基端側に装着されている。回転動力部３１、駆動軸３１ｂ及び回転伝達部３２は、プローブ本体部１０をプローブ本体部１０の軸心ＡＸ周りに回転させる回転機構に含まれる。
【００１４】
プロービング装置１は、プローブ保持部３０を昇降駆動する昇降駆動部３３を備える。プローブ本体部１０は、プローブ保持部３０を介して昇降移動することができる。これにより、プローブ本体部１０は基板３に対して接近及び退避可能な状態とされている。プロービング装置１は、プローブ保持部３０をＸ方向及びＹ方向に移動させるＸＹ方向駆動部３４を備える。プロービング装置１はプローブ本体部１０と接続された測定部３５を備える。測定部３５は、基板３の検査を行う。プロービング装置１は、カメラ３６を備える。カメラ３６は、設置台２上にセットされた基板３を撮影する。撮影された画像から、設置台２上にセットされた基板３のＸＹ位置、傾きに関する情報が抽出される。
【００１５】
プロービング装置１は、制御部３７を備える。制御部３７は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、記憶部を備えたコンピュータ（ＰＣ）を用いている。制御部３７には、回転動力部３１、昇降駆動部３３、ＸＹ方向駆動部３４、測定部３５及びカメラ３６が電気的に接続されている。
【００１６】
ここで、プローブ本体部１０について、詳細に説明する。プローブ本体部１０は、先端部に探針部１６ｂが設けられた電極１６と、この探針部１６ｂの近傍に設けられたプローブ固定部１８を備えている。プローブ固定部１８は、プローブ本体部１０が基板３に接近し、探針部１６ｂが基板３上に設けられた接触部６に接触するときに基板３、具体的には、基板３上に設けられたソルダーマスク５に接触した状態となる。
【００１７】
プローブ本体部１０は、第１筒状体１１を備える。第１筒状体１１は、その外周面がプローブ保持部３０に支持されている。そして、その基端縁には回転伝達部３２が装着されている。より具体的に、第１筒状体１１は、プローブ保持部３０に設けられたベアリング保持部３０ａに装着されたベアリング３０ａ１によってプローブ保持部３０に対して回転可能に設けられている。すなわち、第１筒状体１１は、プローブ保持部３０と共に昇降移動すると共に、プローブ保持部３０に対して回転可能な状態とされている。
【００１８】
プローブ本体部１０は、第２筒状体１２を備える。第２筒状体１２は、基端側が第１筒状体１１の内側に嵌め込まれ、第１筒状体１１と一体となるように固定されている。図２（Ａ）を参照すると、第２筒状体１２は、側壁に係合突起１２ａを備えている。係合突起１２ａは、後に説明する第３筒状体１３に設けられたガイド溝１３ａに摺動自在に係合する。
【００１９】
プローブ本体部１０は、第３筒状体１３を備える。第３筒状体１３は、第２筒状体１２の先端側の外側に配置され、第２筒状体１２に対し、摺動自在に装着されている。このとき、側壁に設けられたガイド溝１３ａに、第２筒状体１２が備える係合突起１２ａが係合されている。
【００２０】
第１筒状体１１の先端部と第３筒状体１３の基端部との間には、第１ばね部材１４が挟持されている。第１ばね部材１４は、第３筒状体１３を先端側に付勢している。
【００２１】
プローブ本体部１０は、電極収納筒１５を備える。電極収納筒１５は、第２筒状体１２の先端側内側に嵌め込まれている。すなわち、電極収納筒１５の外周壁面と第２筒状体１２の内周壁面とが接する状態で電極収納筒１５と第２筒状体１２とが一体化されている。電極収納筒１５の内部には、その基端側に鍔部１５ａが形成されている。また、電極収納筒１５の先端部には、貫通孔１５ｂが形成されている。
【００２２】
電極収納筒１５内には電極１６が摺動可能に収納されている。なお、図中、電極１６から延びるケーブルは省略されている。電極１６は、その基端側に摺接部１６ａを備える。摺接部１６ａは、電極収納筒１５の内周壁面と摺接する。摺接部１６ａの基端部は縮径されており、ばね受け１６ａ１が形成されている。このばね受け１６ａ１と鍔部１５ａとの間に第２ばね部材１７が挟持されている。第２ばね部材１７は電極１６を先端側に付勢している。
【００２３】
電極１６は、先端側に探針部１６ｂを備える。探針部１６ｂは、貫通孔１５ｂを通じて電極収納筒１５の先端側へ露出している。探針部１６ｂは、図４や図５を参照すると、長尺辺Ｌと短尺辺Ｓを備える。すなわち、探針部１６ｂは、−（マイナス）ドライバーの先端部のような形状を備えている。これにより、接触部６に接地したときに、滑りが生じにくくなっており、ずれを抑制することができる。また、探針部１６ｂは、基端側と比較して薄く形成されている。
【００２４】
プローブ本体部１０は、プローブ固定部１８を備える。プローブ固定部１８は、第３筒状体１３の先端部に設けられている。プローブ固定部１８は、絶縁体によって形成されている。本実施形態では、絶縁体としてポリイミド（ＰＩ）が採用されている。プローブ固定部１８は、天板部１８ａを備える。天板部１８ａには、貫通孔１８ａ１が設けられている。貫通孔１８ａ１には、電極１６が通過する。プローブ固定部１８は、天板部１８ａに連設された第１壁部１８ｂ及び第２壁部１８ｃを備える。第１壁部１８ｂ及び第２壁部１８ｃは、対向配置されており、天板部１８ａとともに空間１９を形成している。プローブ固定部１８は、いわばトンネルのような形状を有している。探針部１６ｂは、この天板部１８ａ、第１壁部１８ｂ及び第２壁部１８ｃによって囲まれた空間に出没する。
【００２５】
ここで、プローブ固定部１８に設定される基準線ＢＬについて説明する。図５を参照すると、基準線ＢＬは、第１壁部１８ｂが延びる方向に沿って設定されている。すなわち、基準線ＢＬは、空間１９が開放されている方向に沿って設定されている。そして、探針部１６ｂは、その長尺辺Ｌが延びる方向に沿って設定される中心線ＣＬが基準線ＢＬと角度φをなすように設置されている。このように、探針部１６ｂが基準線ＢＬに対して傾斜させて設けられることにより、接触部６に接地したときの探針部１６ｂの滑り、ずれを抑制することができる。
【００２６】
ここで、図４を参照しつつ、プローブ本体部１０が接触する接触部６について説明し、さらに、図６を参照しつつ、プローブ本体部１０が基板３上に設けられた接触部６に接触する様子について説明する。
【００２７】
プロービング装置１は、どのような形状のテストパッドにも対応可能であるが、図４や図６に示すような接触部６に対して有効である。接触部６は、基板３上に形成された配線パターン４上に設けられている。配線パターン４は、銅箔によって形成されている。配線パターン４の周囲は、ソルダーマスク５で被覆されている。そして、配線パターン４上にはんだが盛られることによって接触部６が形成されている。接触部６は、ビードと称されることがあり、テストパッドとして機能する。接触部６は、はんだが盛られることによって形成されることから、その周囲がフラックス７で覆われている。降下する探針部１６ｂは、フラックス７を除去しつつ接触部６に接触する。
【００２８】
以上のようなプロービング装置１の動作の一例につき、図７乃至図１０を参照しつつ説明する。図７は第１実施形態のプロービング装置の制御の一例を示すフローチャートである。図８（Ａ）は基板の一例を模式的に示す説明図であり、図８（Ｂ）は設置台上にセットされた基板の一例を模式的に示す説明図である。図９（Ａ）〜（Ｅ）はプローブ本体部の動作の一例を時系列的に示す説明図である。図１０は接触部に接触する探針部を模式的に示す説明図である。
【００２９】
ステップＳ１では、基板３の情報を抽出する。基板３の情報には、接触部６の位置、すなわち、基板３に設定される基板原点Ｐ１からのＸ座標及びＹ座標の情報が含まれる。また、基板３の情報には、接触部６の傾きに関する情報、具体的には、配線パターン４の方向に関する情報が含まれる。接触部６の傾きに関する情報は、Ｘ軸から反時計回りの角度θとして表現される。これらの基板３の情報は、予め基板３の設計データから抽出される。なお、基板３を撮影することによってこれらの情報を抽出するようにしてもよい。
【００３０】
ステップＳ２では、基板３を設置台２へセットする。この動作は、作業者によって実行されてもよいし、例えばロボットを用いた自動供給としてもよい。そして、ステップＳ３において、プローブ本体部１０の角度を初期値である０°に復帰させておく。この状態からプローブ本体部１０を所定の位置、角度に移行させる。ステップＳ４では、カメラ３６により、設置台２上の基板３を撮影する。そして、ステップＳ５において、基板３の状態を解析する。そして、この解析結果から、対象となる接触部６のＸＹ座標、傾きθに関する値を取得する。制御部３７は、この段階で接触部６が設けられた配線パターン４が延びる方向を認識する。
【００３１】
例えば、ステップＳ１で抽出した基板３の情報が、図８（Ａ）に示すように、（Ｘ１、Ｙ１、θ）であったと仮定する。そして、設置台２にセットされた基板３を撮影した情報により、例えば、図８（Ｂ）に示すように、設置台上原点Ｐ０と基板原点Ｐ１が（Ｘａ、Ｙａ）だけずれていたとする。このような場合、プローブ本体部１０を移動させるＸ方向距離をＸ１＋Ｘａとし、Ｙ方向距離をＹ１＋Ｙａに設定する。また、基板３のＸ軸方向に沿って延びる辺が傾いていた場合には、その傾きを角度θに加算した角度を回転が要求された角度とする。このようにして、プローブ本体部１０は、配線パターン４が延びる方向に対応させて、すなわち、基準線ＢＬを配線パターン４が延びる方向に沿わせるように回転する。
【００３２】
ステップＳ６では、制御部３７は、ステップＳ５における解析結果に基づいて、ＸＹ方向駆動部３４を稼働させてプローブ本体部１０の位置座標を調整する。また、制御部３７は、回転動力部３１を稼働させて図９（Ａ）に示すように、プローブ本体部１０を回転させる。
【００３３】
ステップＳ７では、制御部３７は、昇降駆動部３３を稼働させて、プローブ本体部１０を降下させる。図９（Ｂ）を参照すると、プローブ本体部１０が降下してくると、まず、プローブ固定部１８が基板３、厳密には、ソルダーマスク５に接触する（ステップＳ８）。すなわち、プローブ本体部１０は、探針部１６ｂの接触部６への接触に先行してプローブ固定部１８を基板３に接触させる。プローブ固定部１８が基板３に接触することで、プローブ本体部１０のずれが抑制される。
【００３４】
そして、昇降駆動部３３による降下を継続すると、プローブ固定部１８が接地することで第３筒状体１３の降下が停止しているにも拘らず、第２筒状体１２の降下が継続されるため、図９（Ｃ）に示すように探針部１６ｂが露出し始める（ステップＳ９）。
【００３５】
そして、昇降駆動部３３による降下をさらに継続すると、図９（Ｄ）に示すように探針部１６ｂがフラックス７に接触して、フラックス７を除去する。このとき、探針部１６ｂは、基端側と比較して薄く形成されている。すなわち、−（マイナス）ドライバーの先端部のような形状を備えている。このため、フラックス７を掻き分けやすい。また、軽荷重で接触部６に接触することができる。最終的には、図９（Ｅ）に示すように、探針部１６ｂがフラックス７を掻き分けて接触部６に到達する（ステップＳ１０）。このとき、図１０に示すように、探針部１６ｂは、配線パターン４の延びる方向に対して傾斜した状態で接触部６に接触する。これにより、探針部１６ｂの滑り、ずれが抑制される。なお、接触部６は、配線パターン４が延びる方向に沿って流れやすく、楕円形に近い形をとることが多いが、その長手方向に対して傾斜した状態の探針部１６ｂが接触することで、探針部１６ｂの滑り、ずれが効果的に抑制される。
【００３６】
このように、探針部１６ｂが接触部６に接触した後は、ステップＳ１１において、測定部３５による測定が行われる。測定が完了した後は、ステップＳ１２において昇降駆動部３３を駆動させ、プローブ本体部１０を退避させる。プローブ本体部１０を退避させた後は、ステップＳ１３において基板３を取り外し、一連の工程が終了する（エンド）。
【００３７】
以上のように、本実施形態のプロービング装置１によれば、プローブ固定部１８を備えることで、探針部１６ｂのずれを抑制することができる。また、プローブ本体部１０を回転させるので、様々な方向に延びる配線パターン４にかかわらず、探針部１６ｂを適切な角度で接触部に接触させ、ずれを抑制することができる。さらに、探針部１６ｂの角度をプローブ固定部１８に設定された基準線に対して傾斜させて設けたため、基準線の延びる方向と配線パターン４が延びる方向とを一致させた場合に、探針部１６ｂを接触部６に斜めに接触させることができる。これにより、探針部１６ｂのずれを抑制することができる。探針部１６ｂのずれが抑制されることで、接触部が剥がれることが抑制される。
【００３８】
また、探針部１６ｂが接触部６に接触するときにフラックス７を掻き分けることになるが、探針部１６ｂの近傍にプローブ固定部１８が配置されているので、フラックス７が周囲に飛び散ることを抑制することができる。フラックス７は絶縁物であり、付着する場所によっては、不都合を引き起こす可能性があるが、これを回避することができる。
【００３９】
（第２実施形態）
つぎに、第２実施形態のプロービング装置５０につき、図１１及び図１２を参照しつつ説明する。第２実施形態のプロービング装置５０は、手動で操作される。すなわち、プロービング装置５０は、いずれも手動で操作れる回転調整部５１、昇降駆動部５２、ＸＹ方向調整部５３を備える。回転調整部５１は、第１実施形態の回転動力部３１に代えて装備されている。昇降駆動部５２は、第１実施形態における昇降駆動部３３に代えて装備されている。ＸＹ方向調整部５３は第１実施形態におけるＸＹ方向駆動部３４に代えて装備されている。また、第２実施形態のプロービング装置５０は、格別の制御部を備えていないため、測定部３５に代えて、単独で基板３の検査を行うことができる測定器５４を備え、プローブ本体部１０に接続されている。なお、プローブ本体部１０の態様を含め、他の構成については、第１実施形態と異なるところがないため、共通する構成要素については図面中、同一の参照番号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００４０】
このようなプロービング装置５０の動作の一例につき、図１２を参照しつつ説明する。
【００４１】
ステップＳ２１、ステップＳ２２については、ステップＳ１、ステップＳ２と共通する。ステップＳ２３では、プローブ本体部１０の座標調整及び角度調整が行われる。これらの工程は、いずれも、作業者が目視しながら回転調整部５１、ＸＹ方向調整部５３を手動で操作することによって行われる。また、ステップＳ２４における降下動作も作業者が昇降駆動部５２を手動で操作することによって行われる。
【００４２】
昇降駆動部５２を操作してプローブ本体部１０を降下させる際の各部の動きを示すステップＳ２５からステップＳ２７までの工程は、第１実施形態におけるステップＳ８からステップＳ１０までと同様である。ステップＳ２８における測定工程も、測定器５４を手動で操作する。そして、ステップＳ２９におけるプローブ本体部１０の退避も昇降駆動部５２の手動による操作によって行われる。以後、ステップＳ３０で基板３を取り外せば、一連の工程が終了する。
【００４３】
このように、主として手動による検査を行う場合であっても、プローブ本体部１０を用いることで、探針部１６ｂのずれを抑制することができる。
【００４４】
（第３実施形態）
第１実施形態や第２実施形態では、単独のプローブ本体部１０を所定の位置に移動させて検査を行うことを想定していた。これに対し、図１３に示すように、予め決められた位置にプローブ本体部１０を設置しておき、検査を実行するようにしてもよい。この場合、複数のプローブ本体部１０を予め設けておいてもよい。複数のプローブ本体部１０が装備されている場合であっても、各プローブ本体部１０が担当する接触部６が設けられている配線パターン４の傾きに応じて各プローブ本体部１０を回転させることで、探針部１６ｂのずれを抑制することができる。また、各プローブ本体部１０はプローブ固定部１８を備えているので、この点においても探針部１６ｂのずれを抑制することができる。
【００４５】
以上本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
【符号の説明】
【００４６】
１、５０  プロービング装置
２  設置台
３  基板
４  配線パターン
６  接触部
７  フラックス
１０  プローブ本体部
１６  電極
１６ｂ  探針部
１８  プローブ固定部
１８ｂ  第１壁部
１８ｃ  第２壁部
１９  空間
３０  プローブ保持部
３１  回転動力部
３１ａ  歯車
３１ｂ  駆動軸
３２  回転伝達部
３３  昇降駆動部
３７  制御部
ＢＬ  基準線
５１  回転調整部
５２  昇降駆動部
ＣＬ  探針部の長手方向に沿う中心線
φ  ＢＬとＣＬとの角度
【図１】
2017020952.tif 000003
【図２】
2017020952.tif 000004
【図３】
2017020952.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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