(57)【要約】      （修正有）【課題】モールド本体の剛性不足を補うために補強材を埋設してもモールド本体の厚みが厚くなるのを抑制でき、モールド本体に対する補強材の埋設高さを安定化させることができるモールドの作製方法を提供する。【解決手段】台１１の上に凸状パターン２０Ａが形成された原版２８、開口部１６Ａを有する補強材１６、及び支持板２４を準備する準備工程Ｓ１、補強材をモールド本体１４の厚み方向の所望埋設位置に位置決めするスペーサ３０を、支持板の上に配設するスペーサ配設工程Ｓ２、補強材をスペーサを介して支持板の上に設置する補強材設置工程Ｓ３、支持板の上にモールド用液状樹脂を付与してモールド本体を形成するモールド本体形成工程Ｓ４、原版２８と支持板とでモールド本体を挟み込んで、補強材の開口部の位置に凹状パターン１２を転写する転写工程Ｓ６、モールド本体を固化してから原版及び支持板からモールド本体を剥離する剥離工程Ｓ７と、を備えた。【選択図】図１３
2017205224.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に複数の凹状パターンが２次元配列されたモールド本体に、補強材を面方向に埋設してなるモールドの作製方法であって、
台の上に前記凹状パターンの反転パターンである凸状パターンが形成された原版、板状に形成されて前記凹状パターンの対応位置に開口部を有する前記補強材、及び支持板を準備する準備工程と、
前記補強材を前記モールド本体の厚み方向の所望埋設位置に位置決めするスペーサを、前記支持板の上に配設するスペーサ配設工程と、
前記補強材を前記配設したスペーサを介して前記支持板の上に設置する補強材設置工程と、
前記支持板の上に前記モールド本体を形成するモールド用液状樹脂を付与して前記補強材を前記所望埋設位置に埋設可能な厚みのモールド本体を形成するモールド本体形成工程と、
前記原版と前記支持板とで前記モールド本体を挟み込んで、前記モールド本体の表面であって前記補強材の前記開口部の位置に前記凸状パターンの転写パターンである凹状パターンを転写する転写工程と、
前記モールド本体を固化してから前記原版及び前記支持板から前記モールド本体を剥離する剥離工程と、を備えたモールドの作製方法。
【請求項２】
表面に複数の凹状パターンが２次元配列されたモールド本体に、補強材を面方向に埋設してなるモールドの作製方法であって、
台の上に前記凹状パターンの反転パターンである凸状パターンが形成された原版、板状に形成されて前記凹状パターンの対応位置に開口部を有する前記補強材、及び支持板を準備する準備工程と、
前記補強材を前記モールド本体の厚み方向の所望埋設位置に位置決めするスペーサを、前記原版の前記台の前記凸状パターンが形成されている側の面のうち前記凸状パターンが形成されていない部分に配設するスペーサ配設工程と、
前記補強材を前記配設したスペーサを介して前記原版の上に設置する補強材設置工程と、
前記原版の上に前記モールド本体を形成するモールド用液状樹脂を付与して前記補強材を前記所望埋設位置に埋設可能な厚みのモールド本体を形成するモールド本体形成工程と、
前記原版と前記支持板とで前記モールド本体を挟み込んで、前記モールド本体の表面であって前記補強材の前記開口部の位置に前記凸状パターンの転写パターンである凹状パターンを転写する転写工程と、
前記モールド本体を固化してから前記原版及び前記支持板から前記モールド本体を剥離する剥離工程と、を備えたモールドの作製方法。
【請求項３】
表面に複数の凹状パターンが２次元配列されたモールド本体に、補強材を面方向に埋設してなるモールドの作製方法であって、
台の上に前記凹状パターンの反転パターンである凸状パターンが形成された原版、板状に形成されて前記凹状パターンの対応位置に開口部を有する前記補強材、及び支持板を準備する準備工程と、
前記補強材を前記モールド本体の厚み方向の所望埋設位置に位置決めするスペーサを、前記補強材の上に配設するスペーサ配設工程と、
前記補強材を前記配設したスペーサを介して前記支持板の上又は前記原版の前記台の前記凸状パターンが形成されている側の面のうち前記凸状パターンが形成されていない部分の上に設置する補強材設置工程と、
前記支持板又は原版の前記台の前記凸状パターンが形成されている側の面の上に前記モールド本体を形成するモールド用液状樹脂を付与して前記補強材を前記所望埋設位置に埋設可能な厚みのモールド本体を形成するモールド本体形成工程と、
前記原版と前記支持板とで前記モールド本体を挟み込んで、前記モールド本体の表面であって前記補強材の前記開口部の位置に前記凸状パターンの転写パターンである凹状パターンを転写する転写工程と、
前記モールド本体を固化してから前記原版及び前記支持板から前記モールド本体を剥離する剥離工程と、を備えたモールドの作製方法。
【請求項４】
前記スペーサ配設工程は、スペーサ用液状樹脂を付与することで前記スペーサを配設する方法と、予め作製しておいたスペーサを配設する方法との何れかである請求項１から３の何れか１項に記載のモールドの作製方法。
【請求項５】
前記モールド本体形成工程と前記転写工程との間に、前記モールド本体の気泡を脱泡する脱泡工程を更に備えた請求項１から４の何れか１項に記載のモールドの作製方法。
【請求項６】
前記モールド用液状樹脂はシリコーンゴムである請求項１から５の何れか１項に記載のモールドの作製方法。
【請求項７】
前記スペーサ用液状樹脂は前記モールド用液状樹脂と同じ材質である請求項４に記載のモールドの作製方法。
【請求項８】
前記スペーサは、線状又は点状である請求項１から７の何れか１項に記載のモールドの作製方法。
【請求項９】
前記モールドの厚みが０．２〜４ｍｍ、前記補強材の厚みが０．０５〜２ｍｍである請求項１から８の何れか１項に記載のモールドの作製方法。
【請求項１０】
前記準備工程において、前記補強材として前記モールド本体の面方向のサイズよりも大きなサイズを準備し、
前記モールド本体形成工程において、モールド本体の端面から前記補強材の周縁部を露出させ、
前記剥離工程において、前記露出させた補強材の周縁部を把持してモールド本体を湾曲させながら前記モールド本体の一方端から他方端又は対向する両端から中央部にかけて徐々に剥離する請求項１から９の何れか１項に記載のモールドの作製方法。
【請求項１１】
前記モールド本体の前記凹状パターンは、経皮吸収シートを製造するための微細針状パターンである請求項１から１０の何れか１項に記載のモールドの作製方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はモールドの作製方法に係り、特にハンドリング性に優れた剛性を有するモールドの作製方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、痛みを伴わずにインシュリン（Insulin）及びワクチン（Vaccines）及びｈGH（human Growth Hormone）などの薬剤を皮膚内に投与可能な新規剤型として、経皮吸収シートと一般的に呼ばれるマイクロニードルアレイ（Micro-Needle Array）が知られている。
【０００３】
経皮吸収シートは、薬剤を含み、生分解性のある微小針であるマイクロニードルを、シート上にアレイ状に配列した針状アレイを有している。この経皮吸収シートを皮膚に貼付することにより、各マイクロニードルが皮膚に突き刺さり、これらマイクロニードルが皮膚内で吸収され、各マイクロニードル中に含まれた薬剤を皮膚内に投与することができる。
【０００４】
上述のような経皮吸収シートを量産するためには、凸状パターンの転写パターンである凹状パターンが形成されたモールドを、生体適合性があり且つ剥離性の良い樹脂材料で作製する必要がある。このような樹脂としては、例えばシリコーンゴムが良く知られている。また、モールドは使用しているうちに摩耗して使用できなくなるので、原版から複数枚のモールドを作製することが行われている。
【０００５】
そして、経皮吸収シートを効率的に量産したり、モールドを効率的に量産したりするためには、モールドを容易にハンドリングできることが重要になる。しかし、シリコーンゴムは柔らかすぎて剛性が不足しているためハンドリング性に問題がある。
【０００６】
ここで、ハンドリング性とは、モールドを作製する際の原版とモールドとの剥離性、経皮吸収シートを作製する際のモールドと樹脂シートとの剥離性、あるいはモールドを運搬したり、装置に載置したりする等の取り扱い性がある。
【０００７】
特に、モールドの材料コストを抑えるためにモールドの厚みを薄くする場合、経皮吸収シートの生産効率を上げるために成型面積の大きな大型のモールドを作製する場合には、モールドの剛性が不足し、上述したハンドリング性が悪くなる。
【０００８】
更には、経皮吸収シートを作製する際にモールドに供給した樹脂をモールドの裏面から吸引して凹状パターンの先端まで充填し易いように、モールドの膜厚を薄くする傾向がある。この場合にもモールドの厚みが薄くなるので、ハンドリング性が悪くなる。
【０００９】
モールドの剛性を上げるためにモールドの表面又は裏面に補強材を貼り付けて補強する方法がある。しかし、補強材がモールドの表面又は裏面から露出していると、補強材が脱落したり、補強材で他の部材を傷つけたりする問題がある。
【００１０】
このような背景から、補強材をモールドの内部に埋め込むことが提案されている（例えば特許文献１、２及び３）。
【００１１】
特許文献１は、転写パターンが形成されたマスター型に、硬化しても弾性を備える未硬化の第１の被成型材料を供給して、転写パターンを転写させる下側の膜を形成し、その膜の上に貫通孔を有する補強材を設置する。そして、第１の被成型材料に協働して補強材を包み込むように、硬化しても弾性を備える第２の被成型材料を供給して上側の膜を形成し、その後で膜同士を硬化する。これにより、上側の膜と下側の膜とで補強材を挟み、且つ貫通孔を介して上側の膜と下側の膜とが連結するので、繰り返し使用しても微細な転写パターンが変形しにくく、本体部と補強材とが剥離しにくい型（モールド）を製造できるとされている。
【００１２】
また、特許文献２は、基板上に任意のパターンが形成されたマスターモールドの上部に第１液状高分子前駆体を形成して一部硬化させ、一部硬化された高分子の上部にＵＶ透過率の高い支持フィルムを密着させる。そして、支持フィルムとの一部硬化された高分子にカップリングエージェント処理し、支持フィルムを含む一部硬化された高分子の上部に第２液状高分子前駆体を形成し、第２液状高分子前駆体と一部硬化された高分子を完全硬化させてモールドを形成した後、支持フィルムが挿入されたモールドをマスターモールドから取り外してモールドを製造するソフトモールドの製造方法が開示されている。
【００１３】
また、特許文献３には、凹凸形状を有する原版上にシリコーンゴムを流し込んだ後、その上面に透孔を有する硬質の補強材を設置し、補強材をシリコーンゴム内に埋め込んでシリコーンゴムを固化させる高周波用押型の製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２０１３−２４８７４９号公報
【特許文献２】特開２００７−００１２８８号公報
【特許文献３】特開平３−１２６５２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、特許文献１〜３の補強材を埋設したモールドの製造方法は次の問題がある。
【００１６】
（１）モールドの凹状パターンの深さ下端からモールド裏面までのモールド下層部に補強材が埋設されるので、モールドの厚みが厚くなってしまい、モールド材料のコストアップになるという問題がある（以下「コストアップの問題」という）。
【００１７】
（２）モールド下層部が厚くなるので、経皮吸収シートの製造において凹状パターンの先端まで薬液を充填するために、モールド裏面から吸引しても凹状パターンの空気を効果的に除去できないという問題がある（以下「凹状パターンの空気吸引の問題」という）。
【００１８】
（３）補強材をモールドに埋設する場合、特に上記（１）及び（２）の理由等からモールドの厚みが薄い場合、モールドの表面又は裏面から補強材までの埋設高さがモールドの面方向において均等になるように安定して埋設することが難しいという問題がある。埋設高さが安定しないと、補強材がモールド内部で傾斜する恐れがある。補強材がモールド内部で傾斜すると、モールドの剛性バランスが悪くなるだけでなく、補強材の端部がモールドの表面又は裏面から露出するという危険がある（以下「補強材の埋設高さの安定化に関する問題」という）。
【００１９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、モールド本体の剛性不足を補うために補強材を埋設してもモールド本体の厚みが厚くなるのを抑制でき、且つモールド本体に対する補強材の埋設高さを安定化させることができるモールドの作製方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明のモールドの作製方法の一態様は、表面に複数の凹状パターンが２次元配列されたモールド本体に、補強材を面方向に埋設してなるモールドの作製方法であって、台の上に凹状パターンの反転パターンである凸状パターンが形成された原版、板状に形成されて凹状パターンの対応位置に開口部を有する補強材、及び支持板を準備する準備工程と、補強材をモールド本体の厚み方向の所望埋設位置に位置決めするスペーサを、支持板の上に配設するスペーサ配設工程と、補強材を配設したスペーサを介して支持板の上に設置する補強材設置工程と、支持板の上にモールド本体を形成するモールド用液状樹脂を付与して補強材を所望埋設位置に埋設可能な厚みのモールド本体を形成するモールド本体形成工程と、原版と支持板とでモールド本体を挟み込んで、モールド本体の表面であって補強材の開口部の位置に凸状パターンの転写パターンである凹状パターンを転写する転写工程と、モールド本体を固化してから原版及び支持板からモールド本体を剥離する剥離工程と、を備えた。
【００２１】
本発明は、支持板にスペーサを形成する態様である。
【００２２】
本発明のモールドの作製方法の別態様は、表面に複数の凹状パターンが２次元配列されたモールド本体に、補強材を面方向に埋設してなるモールドの作製方法であって、台の上に凹状パターンの反転パターンである凸状パターンが形成された原版、板状に形成されて凹状パターンの対応位置に開口部を有する補強材、及び支持板を準備する準備工程と、補強材をモールド本体の厚み方向の所望埋設位置に位置決めするスペーサを、原版の台の凸状パターンが形成されている側の面のうち凸状パターンが形成されていない部分に配設するスペーサ配設工程と、補強材を配設したスペーサを介して原版の上に設置する補強材設置工程と、原版の上にモールド本体を形成するモールド用液状樹脂を付与して補強材を所望埋設位置に埋設可能な厚みのモールド本体を形成するモールド本体形成工程と、原版と支持板とでモールド本体を挟み込んで、モールド本体の表面であって補強材の開口部の位置に凸状パターンの転写パターンである凹状パターンを転写する転写工程と、モールド本体を固化してから原版及び支持板からモールド本体を剥離する剥離工程と、を備えたモールドの作製方法。
【００２３】
本発明の別態様は、原版にスペーサを形成する態様である。
【００２４】
本発明のモールドの作製方法の更に別態様は、表面に複数の凹状パターンが２次元配列されたモールド本体に、補強材を面方向に埋設してなるモールドの作製方法であって、台の上に凹状パターンの反転パターンである凸状パターンが形成された原版、板状に形成されて凹状パターンの対応位置に開口部を有する補強材、及び支持板を準備する準備工程と、補強材をモールド本体の厚み方向の所望埋設位置に位置決めするスペーサを、補強材の上に配設するスペーサ配設工程と、補強材を配設したスペーサを介して支持板の上又は原版の台の凸状パターンが形成されている側の面のうち凸状パターンが形成されていない部分の上に設置する補強材設置工程と、支持板又は原版の台の凸状パターンが形成されている側の面の上にモールド本体を形成するモールド用液状樹脂を付与して補強材を所望埋設位置に埋設可能な厚みのモールド本体を形成するモールド本体形成工程と、原版と支持板とでモールド本体を挟み込んで、モールド本体の表面であって補強材の開口部の位置に凸状パターンの転写パターンである凹状パターンを転写する転写工程と、モールド本体を固化してから原版及び支持板からモールド本体を剥離する剥離工程と、を備えた。
【００２５】
本発明の更に別態様は、補強材にスペーサを形成する態様である。
【００２６】
上述の３つのモールドの作製方法によれば、モールド本体の面方向に埋設する補強材の所望埋設位置をスペーサで精度良く位置決めすることができる。また、モールド本体を形成するモールド本体の表面に凹状パターンを転写する際に、凹状パターンの位置に開口部を有する補強材をモールド本体に埋設した後、原版の凸状パターンをモールド本体の表面であって補強材の開口部の位置に転写するので、凹状パターン同士の間に補強材が配置することができる。
【００２７】
これにより、モールドの剛性不足を補うために補強材を埋設しても、モールドの厚みが厚くなるのを抑制でき、且つ補強材の埋め込み高さをモールド本体の面方向において一定にすることができる。
【００２８】
所望埋設位置は、モールド本体の厚み方向の中央部位置であることが好ましい。
【００２９】
本発明においては、スペーサ配設工程は、スペーサ用液状樹脂を付与することでスペーサを配設する方法と、予め作製しておいたスペーサを配設する方法との何れかを採用することができる。
【００３０】
本発明は、モールド本体形成工程と転写工程との間に、モールド本体の気泡を脱泡する脱泡工程を更に備えることが好ましい。これにより、モールド本体中の気泡を除去することができる。
【００３１】
本発明において、モールド用液状樹脂はシリコーンゴムであることが好ましい。シリコーンゴムは生体適合性があり且つ剥離性の良い樹脂材料であり、補強材を埋設することでシリコーンゴムの剛性不足も補うことができる。
【００３２】
本発明は、スペーサ用液状樹脂はモールド用液状樹脂と同じ材質であることが好ましい。これにより、スペーサとモールド本体との接着性が良くなるので、スペーサとモールド本体とを一体化することができる。
【００３３】
本発明は、スペーサは、線状又は点状である態様を採用することができる。
【００３４】
本発明は、モールド本体の厚みが０．２〜４ｍｍ、補強材の厚みが０．０５〜２ｍｍであることが好ましい。このように、モールド本体の厚みが薄く、補強材の厚みが厚い場合に、本発明は特に有効だからである。
【００３５】
本発明は、準備工程において、補強材としてモールド本体の面方向のサイズよりも大きなサイズを準備し、モールド本体形成工程において、モールド本体の端面から補強材の周縁部を露出させ、剥離工程において、露出させた補強材の周縁部を把持してモールド本体を湾曲させながらモールド本体の一方端から他方端又は対向する両端から中央部にかけて徐々に剥離することが好ましい。これにより、補強材はモールドの剛性を上げるだけでなく剥離アシストシートとして利用することができ、剥離不良を生じないように剥離精度を向上できる。
【００３６】
本発明は、モールド本体の凹状パターンは、経皮吸収シートを製造するための微細針状パターンであることが好ましい。本発明により作製されるモールドは、微細針状パターンを有する経皮吸収シート用のモールドとして特に有効だからである。
【発明の効果】
【００３７】
本発明のモールドの作製方法によれば、モールド本体の剛性不足を補うために補強材を埋設してもモールド本体の厚みが厚くなるのを抑制でき、且つモールド本体に対する補強材の面方向における埋設高さを安定化させて傾斜しないようにできる。
【００３８】
したがって、従来の「コストアップの問題」、「凹状パターンの空気吸引の問題」、「補強材の埋設高さの安定化に関する問題」の全てを解決することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の実施の形態のモールドの作製方法によって製造されるモールドの一例を示す斜視図
【図２】図１の平面図
【図３】図１の縦断面図
【図４】原版の一例を示す斜視図
【図５】原版の凸状パターンを構成する突起部の一例を示す側面図
【図６】原版の凸状パターンを構成する突起部の一例を示す平面図
【図７】凸状パターンが複数配列された大型の原版を示す平面図
【図８】格子枠形状の補強材を示す平面図
【図９】モールドの作製方法の第１の実施の形態におけるスペーサ配設工程
【図１０】モールドの作製方法の第１の実施の形態における補強材設置工程
【図１１】モールドの作製方法の第１の実施の形態におけるモールド本体形成工程
【図１２】モールドの作製方法の第１の実施の形態における脱泡工程
【図１３】モールドの作製方法の第１の実施の形態における転写工程
【図１４】モールドの作製方法第１の実施の形態における剥離工程
【図１５】押し付け装置の説明図
【図１６】モールドの作製方法の第２の実施の形態におけるスペーサ配設工程
【図１７】モールドの作製方法の第２の実施の形態における補強材設置工程
【図１８】モールドの作製方法の第２の実施の形態におけるモールド本体形成工程
【図１９】モールドの作製方法の第２の実施の形態における脱泡工程
【図２０】モールドの作製方法の第２の実施の形態における転写工程
【図２１】モールドの作製方法の第２の実施の形態におけるにおける剥離工程
【図２２】原版に線状のスペーサを配設する平面図
【図２３】原版に点状のスペーサを配設する平面図
【図２４】モールドの作製方法の第３の実施の形態におけるスペーサ配設工程
【図２５】モールドの作製方法の第３の実施の形態における補強材設置工程
【図２６】モールドの作製方法の第３の実施の形態におけるにおけるモールド本体形成工程
【図２７】モールドの作製方法の第３の実施の形態における脱泡工程
【図２８】モールドの作製方法の第３の実施の形態における転写工程
【図２９】モールドの作製方法の第３の実施の形態における剥離工程
【図３０】補強材に線状のスペーサを配設する平面図
【図３１】モールドの作製方法の変形例によって製造されるモールドの変形例を示す斜視図
【図３２】モールドの変形例の平面図
【図３３】モールドの変形例の縦断面図
【図３４】モールドの作製方法の変形例におけるスペーサ配設工程
【図３５】モールドの作製方法の変形例における補強材設置工程
【図３６】モールドの作製方法の変形例におけるモールド本体形成工程
【図３７】モールドの作製方法の変形例における脱泡工程
【図３８】モールドの作製方法の変形例における転写工程
【図３９】モールドの作製方法の変形例における剥離工程
【発明を実施するための形態】
【００４０】
以下、添付図面にしたがって本発明の好ましい実施の形態について説明する。本発明は以下の好ましい実施の形態により説明される。本発明の範囲を逸脱すること無く、多くの手法により変更を行うことができ、本実施の形態以外の他の実施の形態を利用することができる。したがって、本発明の範囲内における全ての変更が特許請求の範囲に含まれる。
【００４１】
ここで、図中、同一の記号で示される部分は、同様の機能を有する同様の要素である。また、本明細書中で、数値範囲を“  〜  ”を用いて表す場合は、“  〜  ”で示される上限、下限の数値も数値範囲に含むものとする。
【００４２】
［モールド］
図１は、本発明のモールドの作製方法の実施の形態によって製造されるモールドの一例を示す斜視図であり、図２は平面図、図３は縦断面図である。
【００４３】
本実施の形態の作製方法で作製するモールドの一例として、経皮吸収シートを効率的に製造することができる成型面積の大きな大型のモールド１０の例で説明する。しかし、本発明は経皮吸収シートのためのモールドを作製することに限らず、表面に複数の凹状パターンが形成されたモールドであれば、どのようなモールドでもよい。
【００４４】
図１及び図２に示すように、大型のモールド１０は、表面に複数の凹状パターン１２が２次元配列されたモールド本体１４に、板状の補強材１６がモールド本体１４の面方向に埋設されている。ここで、面方向とはモールド本体１４の表裏面と平行な方向を言う。
【００４５】
モールド１０のサイズにもよるが、モールドの厚みが０．３〜４ｍｍの範囲の薄い場合にハンドリング性が悪くなる傾向があり、補強材１６で補強することが好ましい。
【００４６】
モールド本体１４の表面１４Ａには、５行×５列で２次元配列された２５個の凹状パターン１２が形成され、それぞれの凹状パターン１２には、２５個の針状凹部１８が５行×５列で２次元配列されている。なお、符号１４Ｂはモールド本体１４の端面である。
【００４７】
モールド本体１４の材料としては、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、光硬化性樹脂を使用することができる。これらの材料の中でも経皮吸収シートを製造するためのモールド本体１４の材料としては、熱硬化性シリコーンゴムが好適である。熱硬化性シリコーンゴムは、凹状パターン１２を安定して成型でき、硬化前の粘度が十分に低く、硬化後には原版２０（図４及び図７参照）との離型性が良く、さらには生体安全性が高い。
【００４８】
次に、上述のモールド１０を作製する作製方法について、第１の実施の形態から第３の実施の形態の３つの態様を説明する。
【００４９】
［モールドの作製方法の第１の実施の形態］
本発明のモールドの作製方法の第１の実施の形態は、支持板にスペーサを配設する場合である。
【００５０】
（準備工程：Ｓ１）
先ず、台１１の一方の平面２０Ｂの上に凹状パターン１２の反転パターンである凸状パターン２０Ａが形成された原版２０(図４参照)、板状に形成されて凹状パターン１２の対応位置に開口部１６Ａを有する補強材１６(図８参照)、及び支持板２４（図９参照）を準備する。
【００５１】
＜原版＞
図４は１つの凹状パターン１２を有する小型の原版２０の斜視図である。
【００５２】
図４に示すように、小型の原版２０は、台１１の一方の平面２０Ｂの上に凸状パターン２０Ａが形成されており、例えば次の方法で作製することができる。なお、台１１の一方の平面２０Ｂは、完全に平面である必要はなく、見た目上で平面であればよい。
【００５３】
１番目の方法は、Ｓｉ基板上にフォトレジストを塗布した後、露光、現像を行い、ＲＩＥ（リアクティブイオンエッチング）等によるエッチングを行うことにより、原版２０の表面に微小な円錐の突起部２６のアレイを作製する。尚、ＲＩＥ等のエッチングを行う際には、Ｓｉ基板を回転させながら斜め方向からのエッチングを行うことにより、円錐の形状を形成することが可能である（エッチング法という）。
【００５４】
２番目の方法は、Ｎｉ等の金属基板に、ダイヤモンドバイト等の切削工具を用いた加工により、原版２０の表面に四角錘などの突起部２６のアレイを形成する方法がある（切削加工法という）。
【００５５】
原版２０の凸状パターン２０Ａは、作製したいモールド１０の凹状パターン１２が反転した反転パターンと基本的に同一である。凸状パターン２０Ａとは、原版２０の平面２０Ｂから離間する方向に突出する突起部２６が、原版２０の平面２０Ｂの上に配置されている状態をいう。突起部２６の数、突起部２６の配置は、図１の凹状パターン１２に対応しており、５行×５列で２次元配列されている。
【００５６】
突起部２６は、原版２０の平面２０Ｂから離間する方向に先細りとなる針部２６Ａで構成されている。突起部２６は、いわゆる錐体であり、錐体として角錐、円錐等が含まれる。
【００５７】
図５の側面図及び図６の平面図は、図４とは異なる突起部２６の形状を示している。図５及び図６の突起部２６は、原版２０の平面２０Ｂから離間する方向に、錐台部２６Ｂと先細りとなる針部２６Ａとから構成されている。錐台部２６Ｂには角錐台、円錐台等が含まれる。針部２６Ａの高さＨ１と錐台部２６Ｂの高さＨ２との比（針部２６Ａの高さＨ１／錐台部２６Ｂの高さＨ２）は１〜１０であることが好ましい。また、錐台部２６Ｂの底面の幅Ｄ１と針部２６Ａの底面の幅Ｄ２との比（錐台部２６Ｂの底面の幅Ｄ１／針部２６Ａの底面の幅Ｄ２）は１．５〜３であることが好ましい。
【００５８】
図４、図５及び図６に示す突起部２６は、例えば、原版２０の平面２０Ｂから２００〜２０００μｍの高さＨを有し、Φ５０μｍ以下の先端径を有することが好ましい。複数の突起部２６を有する場合、隣り合う突起部２６の間隔Ｐは３００〜２０００μｍであることが好ましい。突起部２６のアスペクト比（突起部の高さＨ／突起部の底面の幅Ｄ１）は、１〜５であることが好ましい。
【００５９】
図１の大型のモールド１０に対応した図７の大型の原版２８を作製するには、図４の小型の原版２０又はその複製品を縦５×横５になるように繋ぎ合わせて大型にする方法がある。あるいは、上述したエッチング法又は切削加工法によって継ぎ目のない一枚ものとして大型の原版２８を製造することもできる。
【００６０】
以下、図７の大型の原版２８で説明する。
【００６１】
＜補強材＞
図８は補強材１６の平面図である。
【００６２】
図８及び上述した図１〜図３から分かるように、補強材１６は、モールド本体１４のサイズと同等又は僅かに小さなサイズ、例えば縦（Ｍ２）、横（Ｎ２）がそれぞれ２〜３ｍｍ小さいサイズの板状に形成され、モールド本体１４の凹状パターン１２の対応位置に開口部１６Ａが形成されている。
【００６３】
補強材１６は、モールド本体１４に埋設することによりモールド１０の剛性を上げるものであり、モールド本体１４よりも剛性の大きな材料が使用される。例えば、モールド本体１４として熱硬化性のシリコーンゴムを使用した場合には、補強材１６としてポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリアセタール（ＰＯＭ）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）、テフロン（登録商標）、バイトン（登録商標）、金属等を好適に使用することができる。
【００６４】
補強材１６は、モールド本体１４の厚み方向における所望埋設位置に埋設することができるが、厚み方向中央部に埋設することが好ましい。この場合、補強材１６がモールド本体１４に形成される凹状パターン１２に接触しないようにモールド本体１４に埋設する必要がある。
【００６５】
したがって、大型のモールド１０のように、凹状パターン１２が５行×５列で２次元配列され、凹状パターン１２を構成する複数の針状凹部１８の配置形状が正方形である場合、図８に示すように、凹状パターン１２を包含する開口面積の開口部１６Ａが５行×５列で２次元配列された格子枠形状の補強材１６を使用することが好ましい。格子枠形状の補強材１６は、縦材１６Ｂと横材１６Ｃとで構成される。
【００６６】
図８の格子枠形状の補強材１６を、図７の大型の原版２８との関係で見た場合には、原版２８の凸状パターン２０Ａの対応位置に補強材１６の開口部１６Ａが形成される。また、凸状パターン２０Ａの縦Ｓ１×横Ｔ１のサイズ（図７参照）は開口部１６Ａの縦Ｓ２×横Ｔ２のサイズ（図８参照）よりも小さい。
【００６７】
補強材１６は、補強材１６の全面に対して開口部１６Ａの開口率が小さい方がモールド本体１４に埋設したときにモールド１０の剛性アップに寄与する。したがって、例えば凹状パターン１２を構成する複数の針状凹部１８の配置形状が図１及び図２のように正方形ではなく、例えば円形の場合には、円形な開口部１６Ａを有する格子枠形状の補強材１６を使用することが好ましい。
【００６８】
補強材１６の形状は、図８で示したように、１つの凹状パターン１２に１つの開口部１６Ａを対応させた格子枠形状に限定するものではなく、２つ以上の凹状パターン１２に１つの大面積の開口部１６Ａを対応させた格子枠形状でもよい。また、凹状パターン１２に接触しないようにモールド本体１４に補強材１６を埋設でき、モールド本体１４の必要な剛性を確保できれば、補強材１６は格子枠形状でなくてもよい。
【００６９】
また、モールド本体１４の材料がシリコーンゴムのように柔軟性を有する場合には、大型の原版２８からモールド本体１４を剥離する際に、モールド本体１４を湾曲させながら剥離することが多い。このため、補強材１６もモールド本体１４と同様に柔軟性を有し且つモールド本体１４の剛性を上げることのできる材料であることが好ましい。また、モールド本体１４が熱硬化性の樹脂の場合には、補強材１６は後記する転写工程での成型温度に耐える耐熱性が必要である。
【００７０】
補強材１６の厚みは、補強材１６の物性にもよるが、例えば経皮吸収シートを作製するモールド１０の場合、経皮吸収シートの針状アレイの高さが０．２〜２ｍｍとしてモールド本体１４の厚みが上述の０．２〜４ｍｍとしたときに、補強材１６の厚みは０．０５〜２ｍｍの範囲が好ましい。ただし、補強材１６の材質が金属の場合には、補強材１６の厚みは０．０５〜０．５ｍｍの範囲が好ましい。
【００７１】
支持板２４は、後記するスペーサ３０(図９参照)の支持、モールド本体１４となる液状樹脂を塗布する際の支持部材、あるいは大型の原版２８との間にモールド本体１４を挟み込んで大型の原版２８の凸状パターン２０Ａを転写することに使用され、上述した補強材１６と同じ材料を使用することができる。
【００７２】
次に、上記の如く大型の原版２８と補強材１６と支持板２４とを準備したら、図９〜図１４にしたがって大型のモールド１０を作製する。
【００７３】
（スペーサ配設工程：Ｓ２）
先ず、図９に示すように、補強材１６をモールド本体１４の厚み方向の所望埋設位置に位置決めするスペーサ３０を、支持板２４の上に配設する。補強材１６の所望埋設位置は、作製されたモールド１０の凹状パターン１２が形成された表面の反対面である裏面からの埋設高さで規定することができ、モールド本体１４の厚み方向の中央部位置であることが好ましい。
【００７４】
スペーサ３０の材料は、モールド本体１４との接着性が良くモールド本体１４から剥離しにくい素材が好ましく、モールド本体１４と同じ熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、光硬化性樹脂を使用することができる。スペーサ３０の材料は、モールド本体１４と同じ素材であることが特に好ましく、例えば、モールド本体１４が熱硬化性シリコーンゴムの場合、スペーサ３０も熱硬化性シリコーンゴムであることが好ましい。
【００７５】
支持板２４の上に配設するスペーサ３０は、補強材１６のサイズ全面に対応するように配設することもできるが、補強材１６の部分（縦材１６Ｂと横材１６Ｃ）にのみ配設することが好ましい。特に、モールド本体１４の膜厚が凹状パターン１２の針状凹部１８の深さに対して十分に厚くない場合には、補強材１６を設置する部分にのみ配設することが好ましい。これにより、モールド１０の厚みが薄い場合であっても、大型の原版２８でモールド１０に凹状パターンを転写するときに、大型の原版２８の凸状パターン２０Ａがスペーサ３０に接触しないようにできる。
【００７６】
支持板２４の上にスペーサ３０を配設する方法は、スペーサ用液状樹脂を付与する方法と、予め作製しておいたスペーサ３０を配設する方法とがある。スペーサ用液状樹脂を付与する方法としては、例えば塗布方法があり、補強材１６のサイズ全面に対応するように塗布する場合には広幅なスリットを有する塗布ヘッドで一度に塗布することができる。また、補強材１６の部分にのみ塗布する場合には、ディスペンサーによって複数の線状の塗膜、又は複数の点状の塗膜を形成することができる。複数の線状又は点状の塗膜を形成する場合、塗膜の厚みは同じにする。
【００７７】
スペーサ３０によってモールド本体１４に対する補強材１６の所望埋設位置を高精度に位置決めするには、支持板２４の上に配設したスペーサ３０の高さが変化しないだけのスペーサ硬度が必要である。このため、支持板２４に塗布したスペーサ用液状樹脂の流動性がなくなるまで塗膜を十分に硬化させることが望ましいが、塗膜を硬化しすぎると、後述するモールド本体形成工程で形成するモールド本体１４とスペーサ３０との接着性が悪くなる。
【００７８】
したがって、スペーサ用液状樹脂を支持板２４の上に塗布した後、流動性が消失した直後の半固化状態（半硬化状態）、即ち最終固化（最終硬化）される前に塗膜の固化（硬化）を終了することが好ましい。これにより、補強材１６を設置するに足る硬度と、モールド本体１４との接着性が悪くならない硬度との両方をスペーサ３０に兼ね備えることができる。特に、モールド本体１４もスペーサ３０も同じ素材の場合には、スペーサ用液状樹脂を支持板２４の上に塗布した後、流動性が消失した直後に硬化を終了することで、スペーサ３０とモールド本体１４とを一体化することができる。
【００７９】
また、スペーサ３０を熱硬化性樹脂、例えば熱硬化性シリコーンゴムで形成する場合、支持板２４の上に塗膜を形成した後も流動性を有する時間が長いと、塗膜がダレ易くなりスペーサ高さが変化し易い。したがって、熱硬化性樹脂をスペーサ用液状樹脂として使用する場合には、熱硬化性の特性を生かして、塗布前にスペーサ用液状樹脂を予め加熱しておくことで、塗布直後に速やかに上述した半硬化状態にすることができる。これにより、スペーサ３０によって、モールド本体１４に対する補強材１６の所望埋設位置を高精度に位置決めすることができる。また、塗布前にスペーサ用液状樹脂を予め加熱しておくことのみに限定されず、支持板２４、原版２８、補強材１６の少なくとも１つを予め加熱しておくことも有効である。
【００８０】
支持板２４に上に配設するスペーサ３０の高さ（厚み）は、モールド本体１４の厚みと補強材１６の厚みとから任意に調整することができる。この場合、補強材１６をモールド本体１４の厚み方向の中央部位置に埋設されるようにスペーサ高さに調整することが好ましい。例えば、厚みが１．２ｍｍのモールド本体１４に、０．５ｍｍの厚みの補強材１６をモールド本体１４の面方向に埋設する場合、０．３５ｍｍの高さのスペーサ３０を形成することで、補強材１６をモールド本体１４の厚み方向の中央部位置に埋設することができる。
【００８１】
また、上述したスペーサ高さが変化しない硬度と、モールド本体１４に対する接着性が悪くならない硬度との両方を兼ね備えたスペーサ３０を予め作製しておくことも、モールド本体１４に対する補強材１６の所望埋設位置を高精度に位置決めするために有効である。
【００８２】
（補強材設置工程：Ｓ３）
次に、図１０に示すように、補強材１６を配設したスペーサ３０を介して支持板２４の上に設置する。即ち、スペーサ３０の上に補強材１６を設置する。このとき、補強材１６とスペーサ３０との間に隙間が形成されないように、補強材１６をスペーサ３０に軽く押し付けて密着させることが好ましい。
【００８３】
（モールド本体形成工程：Ｓ４）
次に、図１１に示すように、スペーサ３０と補強材１６とを有する支持板２４の上に、モールド用液状樹脂を付与して補強材１６を所望埋設位置に埋設可能な厚みのモールド本体１４を形成する。このときのモールド本体１４は、固化前（硬化前）の未固化状態である。形成するモールド本体１４の厚みは、スペーサ３０の高さと補強材１６の厚みとから任意に調整することができるが、補強材１６をモールド本体１４の厚み方向の中央部位置に埋設できるようにモールド本体１４の厚みを調整することが好ましい。
【００８４】
モールド本体１４を形成する方法は、モールド本体１４の厚みを精度良く調整できれば、どのような方法でもよいが、例えば図１１に示すスロットダイ３２を用いた塗布方法を好適に採用することができる。即ち、図１１の表裏方向に長いスリット３２Ａを有するスロットダイ３２を、支持板２４からモールド本体１４の厚み分だけ離間させて、スライド装置３４に吊設する。スライド装置３４は、主として、スロットダイ３２を吊設するスライダ３４Ａと、水平方向に配設されてスライダ３４Ａをスライド自在に支持するレール３４Ｂとで構成される。そして、スリット３２Ａからモールド用液状樹脂を吐出させながらスロットダイ３２を矢印方向に移動させることで、スペーサ３０と補強材１６とを有する支持板２４の上に未固化状態のモールド本体１４を形成する。なお、図１１では、スロットダイ３２にモールド用液状樹脂を供給するラインについては省略している。
【００８５】
このモールド本体１４の形成において、モールド用液状樹脂が補強材１６と支持板２４との間に流れ込むように、モールド用液状樹脂の粘度は十分に低いことが好ましい。補強材１６と支持板２４との間にモールド用液状樹脂が流れ込み難い場合には、次のように行うことが好ましい。即ち、支持板２４の上にスペーサ３０を配設した後、モールド用液状樹脂をスペーサ３０の高さまで予め塗布し、その後で補強材１６をスペーサ３０に押し付けるように設置し、その後でさらに残りのモールド用液状樹脂を塗布する。
【００８６】
（脱泡工程：Ｓ５）
次に、図１２に示すように、支持板２４の上に塗布した未固化状態のモールド本体１４の内部に生じた気泡を脱泡する。なお、モールド本体１４に気泡が含有されていない場合には、脱泡工程を省略することができる。
【００８７】
脱泡方法は、減圧又は加圧が一般的であるが、方法は限定されない。減圧による方法としては、例えば、（１）モールド本体１４を有する支持板２４を１〜１５分間減圧環境下に晒す方法、（２）モールド本体１４を有する支持板２４を超音波振動装置に保持し、支持板２４を５〜１０分間超音波振動させる方法、（３）モールド本体１４を有する支持板２４を減圧環境下に晒しながら超音波を印加する方法を適用することができる。
【００８８】
（転写工程：Ｓ６）
次に、図１３に示すように、大型の原版２８と支持板２４とで未固化状態のモールド本体１４を挟み込み、原版２８の凸状パターン２０Ａでモールド本体１４の表面を押し付けて、モールド本体１４の表面であって補強材１６の開口部１６Ａの位置に凸状パターン２０Ａの転写パターンである凹状パターン１２を転写する。
【００８９】
図１５は、大型の原版２８でモールド本体１４の表面１４Ａを押し付ける押し付け装置３６の一例を示す構成図である。
【００９０】
図１５に示すように、押し付け装置３６は、原版２８を吸着保持する吸着板３８と、吸着板３８に吸引力を付与する真空ポンプ４０、吸着板３８及び真空ポンプ４０を上下方向（Ｚ軸方向）に上下動させるＺ軸駆動部４２と、補強材１６を埋設した未固化状態のモールド本体１４を支持する支持板２４を載置して固定するための吸引台４４と、吸引台４４をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させるＸ−Ｙ軸駆動部４６と、吸着板３８から吸引台４４までの距離を測定するレーザー距離計４７と、装置を支持する架台４８と、架台４８上に立設してＺ軸駆動部４２を支持する支持ブロック５０と、支持ブロック５０内に設けられ、押し付け装置３６の全体を制御する制御部５２と、で構成される。
【００９１】
吸着板３８の吸着面３８Ａは、吸引台４４と平行になるように形成され、ブラケット５４を介してＺ軸駆動部４２に支持される。これにより、吸着板３８がＺ軸駆動部４２により下降してモールド本体１４の表面１４Ａを押し付けたときに、モールド本体１４の表面１４Ａ全体に均等に押し付け力が加わるようになっている。
【００９２】
真空ポンプ４０は、吸着板３８の上方に設けられたブラケット５６に搭載され、ブラケット５６がＺ軸駆動部４２に支持される。真空ポンプ４０と吸着板３８とは吸引配管５８により連結される。これにより、真空ポンプ４０は吸着板３８と一緒に上下動するとともに、真空ポンプ４０を駆動すると吸着板３８の吸着面３８Ａに吸引力が発生する。なお、真空ポンプ４０はＺ軸駆動部４２に支持することに限定されず、フレキシブルパイプ（図示せず）で吸着板３８と連結することで架台４８上に配置してもよい。
【００９３】
Ｘ−Ｙ軸駆動部４６は、吸引台４４に保持された支持板２４をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させることにより、モールド本体１４に埋設された補強材１６の開口部１６Ａの位置が、原版２８の凸状パターン２０Ａの位置に一致するように位置決め制御する。補強材１６の複数の開口部１６Ａの位置座標と、原版２８の複数の凸状パターン２０Ａの位置座標とは、予め制御部５２に入力され、制御部５２はそれぞれの位置座標に基づいてＸ−Ｙ軸駆動部４６を制御する。これにより、大型の原版２８によって、補強材１６に接触しないように、モールド本体１４の表面１４Ａに凹状パターン１２を転写することができる。
【００９４】
レーザー距離計４７は、大型の原版２８の凸状パターン２０Ａがモールド本体１４の表面１４Ａを押し付けたときの大型の原版２８の平面２０Ｂと支持板２４の面との離間距離を測定する。そして、制御部５２は、レーザー距離計４７により測定される離間距離により、モールド本体１４の膜厚を所望の膜厚に調整する。即ち、大型の原版２８がＺ軸駆動部４２により下降したときに、レーザー距離計４７は吸引台４４と支持板２４までの距離を制御部５２に逐次送信する。制御部５２では、送信された距離データから大型の原版２８の平面２０Ｂと支持板２４の面との間の離間距離を演算し、演算した距離が所望のモールド本体１４の膜厚のときにＺ軸駆動部４２の下降を停止する。
【００９５】
これにより、大型の原版２８と支持板２４とはモールド本体１４の膜厚を所望厚み（距離）に維持した状態で、モールド本体１４の表面１４Ａに、大型の原版２８の凸状パターン２０Ａの反転パターンである凹状パターン１２が転写される。
【００９６】
なお、転写工程Ｓ６において、モールド本体１４に気泡が混入してしまった場合には、転写工程Ｓ６の後に脱泡工程Ｓ５を更に設けることができる。
【００９７】
（剥離工程：Ｓ７）
次に、図１４に示すように、未固化状態のモールド本体１４を固化（硬化）してから大型の原版２８及び支持板２４から補強材１６を埋設したモールド本体１４を剥離する。
【００９８】
モールド本体１４から原版２８と支持板２４を剥離する順番はどちらを先に行ってもよい。例えば、支持板２４はモールド本体１４を原版２８から剥離する前に剥離し、次に原版を剥離してもよく、逆の手順で剥離してもよい。原版２８とモールド本体１４との剥離には、上述した押し付け装置３６のＺ軸駆動部４２により原版２８を上昇させる方法を採用することができる。
【００９９】
これにより、表面１４Ａに複数の凹状パターン１２が２次元配列されたモールド本体１４の面方向に補強材１６を埋設してなる大型のモールド１０（図１〜図３参照）を作製することができる。
【０１００】
なお、上述のモールドの作製方法において、モールド本体１４、補強材１６、スペーサ３０の剛性は、補強材＞スペーサ≧モールド本体の関係であることが好ましい。また、モールド本体１４、補強材１６、スペーサ３０の接着性は、モールド本体≧スペーサ＞補強材の関係であることが好ましい。
【０１０１】
作製された大型モールド１０は、モールド本体１４の表面１４Ａであって補強材１６の開口部１６Ａの位置に凹状パターン１２が転写される。これにより、補強材１６を凹状パターン１２同士の間に位置させても、補強材１６が凹状パターン１２に接触することはない。
【０１０２】
したがって、モールド１０の剛性不足を補うために補強材１６を埋設してもモールド１０の厚みが厚くなるのを抑制でき、且つモールド本体１４に対する補強材１６の面方向における埋設高さを安定化させて傾斜しないようにできる。
【０１０３】
この結果、従来の「コストアップの問題」、「凹状パターンの空気吸引の問題」、「補強材の埋設高さの安定化に関する問題」の全てを解決することができる。
【０１０４】
［モールドの作製方法の第２の実施の形態］
本発明のモールドの作製方法の第２の実施の形態は、原版２８にスペーサ３０を配設する場合である。
【０１０５】
（準備工程：Ｓ１）
先ず、大型の原版２８、補強材１６、及び支持板２４を準備する。準備する原版２８、補強材１６、及び支持板２４は第１の実施の形態で説明した内容と同様であり、説明は省略する。
【０１０６】
次に、図１６〜図２１にしたがって大型のモールド１０を作製する。
【０１０７】
（スペーサ配設工程：Ｓ２）
先ず、図１６に示すように、大型の原版２８の台１１の凸状パターン２０Ａが形成されている側の平面２０Ｂのうち凸状パターン２０Ａが形成されていない部分に、補強材１６を所望埋設位置に位置決めするスペーサ３０を配設する。スペーサ３０は第１の実施の形態と同様であり、説明は省略する。
【０１０８】
大型の原版２８の平面２０Ｂにスペーサ３０を配設する方法は、第１の実施の形態と同様に、スペーサ用液状樹脂を付与する方法と、予め作製しておいたスペーサ３０を配設する方法とがある。
【０１０９】
図２２は、大型の原版２８の平面２０Ｂに、ディスペンサーによってスペーサ３０(塗膜)を線状に形成した場合である。図２２では一例として、５列の凸状パターン２０Ａ同士の間及び両端に６本の平行なスペーサ３０(塗膜)を線状に形成した場合で図示している。平行な線状にスペーサ３０を形成することに限らず、個々の凸状パターン２０Ａをそれぞれ囲むように格子枠形状にスペーサ３０を形成することもできる。
【０１１０】
図２３は、大型の原版２８の平面２０Ｂに、ディスペンサーによってスペーサ３０(塗膜)を点状に形成した場合である。図２３では一例として、５行×５列で形成された凸状パターン２０Ａ同士の行間と列間とが交差する交差点のうち、右上、左上、右下、及び左下の合計４箇所に点状のスペーサ３０(塗膜)を形成した。点状のスペーサ３０は４箇所に限らないが、左右対称及び上下対称になるように配置することが好ましい。
【０１１１】
（補強材設置工程：Ｓ３）
次に、図１７に示すように、補強材１６をスペーサ３０を介して大型の原版２８の上に設置する。即ち、大型の原版２８に配設したスペーサ３０の上に補強材１６を設置する。このとき、補強材１６とスペーサ３０との間に隙間が形成されないように、補強材１６をスペーサ３０に軽く押し付けて密着させることが好ましい。
【０１１２】
（モールド本体形成工程：Ｓ４）
次に、図１８に示すように、大型の原版２８の平面２０Ｂにモールド本体１４を形成するモールド用液状樹脂を付与して補強材１６を所望埋設位置に埋設可能な厚みのモールド本体１４を形成する。モールド本体１４の厚み調整は第１の実施の形態と同様である。なお、モールド本体１４を塗布方法で形成する方法は、第１の実施の形態と同様であるが、第２の実施の形態の場合には大型の原版２８に対してスロットダイ３２を移動させる。
【０１１３】
（脱泡工程：Ｓ５）
次に、図１９に示すように、大型の原版２８の上に塗布したモールド本体１４の内部に生じた気泡を脱泡する。なお、モールド本体１４に気泡が含有されていない場合には、脱泡工程Ｓ５を省略することができる。脱泡方法は、第１の実施の形態で説明したと同様である。
【０１１４】
（転写工程：Ｓ６）
次に、図２０に示すように、大型の原版２８と支持板２４とで未固化状態のモールド本体１４を挟み込んで、モールド本体１４の表面１４Ａであって補強材１６の開口部１６Ａの位置に凹状パターン１２を転写する。大型の原版２８にモールド本体１４を塗布形成するので、モールド本体形成工程Ｓ４において、ある程度の転写は行われるが、大型の原版２８と支持板２４とで未固化状態のモールド本体１４を挟み込むことにより転写が完了する。
【０１１５】
図１５で説明した押し付け装置３６を用いて、大型の原版２８と支持板２４とで未固化状態のモールド本体１４を挟み込む場合は、吸着板３８に支持板２４を保持し、吸引台４４に大型の原版２８を支持する。そして、押し付け装置３６により、第１の実施の形態と同様に転写工程を行う。しかし、第２の実施の形態の場合には、スペーサ配設工程Ｓ２からモールド本体形成工程Ｓ４までの過程において、モールド本体１４に埋設された補強材１６の開口部１６Ａの位置が、原版２８の凸状パターン２０Ａの位置に一致しているので、Ｘ−Ｙ軸駆動部４６によって大型の原版２８の凸状パターン２０Ａを補強材１６の開口部１６Ａに位置決めする必要はない。
【０１１６】
なお、転写工程Ｓ６において、モールド本体１４に気泡が混入してしまった場合には、第１の実施の形態と同様に転写工程Ｓ６の後に脱泡工程Ｓ５を設けることができる。
【０１１７】
（剥離工程：Ｓ７）
次に、図２１に示すように、未固化状態のモールド本体１４を固化（硬化）してから大型の原版２８及び支持板２４からモールド本体１４を剥離する。これにより、表面に複数の凹状パターン１２が２次元配列されたモールド本体１４の面方向に補強材１６を埋設してなる大型のモールド１０を作製することができる。
【０１１８】
したがって、第２の実施の形態のモールドの作製方法も第１の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【０１１９】
［モールドの作製方法の第３の実施の形態］
本発明のモールドの作製方法の第３の実施の形態は、補強材１６にスペーサ３０を配設する場合である。
【０１２０】
（準備工程：Ｓ１）
先ず、大型の原版２８、補強材１６、及び支持板２４を準備する。準備する原版２８、補強材１６、及び支持板２４は第１及び第２の実施の形態で説明したと同様であり、説明は省略する。
【０１２１】
次に、図２４〜図２９にしたがって大型のモールド１０を作製する。
【０１２２】
（スペーサ配設工程：Ｓ２）
先ず、図２４に示すように、補強材１６の上に、補強材１６を所望埋設位置に位置決めするスペーサ３０を配設する。スペーサ３０は第１及び第２の実施の形態と同様であり、説明は省略する。
【０１２３】
補強材１６にスペーサ３０を配設する方法は、第１及び第２の実施の形態と同様に、スペーサ用液状樹脂を付与する方法と、予め作製しておいたスペーサ３０を配設する方法とがある。
【０１２４】
図３０は、格子枠形状を形成する補強材１６の縦材１６Ｂと横材１６Ｃのうちの縦材１６Ｂの上にディスペンサーによって線状の塗膜（スペーサ３０）を形成した場合である。縦材１６Ｂの上にのみスペーサ３０を形成することに限定されず、横材１６Ｃの上にも形成して格子枠形状のスペーサ３０としてもよい。また、線状の塗膜（スペーサ３０）の代わりに点状の塗膜（スペーサ３０）を設けることもできる。
【０１２５】
（補強材設置工程：Ｓ３）
次に、図２５に示すように、補強材１６をスペーサ３０を介して支持板２４の上に設置する。このとき、支持板２４とスペーサ３０との間に隙間が形成されないように、スペーサ３０を支持板２４に押し付けて密着させることが好ましい。
【０１２６】
（モールド本体形成工程〜剥離工程：Ｓ４〜Ｓ７）
次に、図２６〜図２９に示すように、第１の実施の形態で説明したと同様に、モールド本体形成工程から剥離工程を行う。したがって、第３の実施の形態のモールドの作製方法も第１の実施の形態及び第２の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【０１２７】
なお、図示しなかったが、補強材設置工程Ｓ３において、補強材１６をスペーサ３０を介して支持板２４の上に設置するのではなく、補強材１６をスペーサ３０を介して原版２８の台１１の凸状パターン２０Ａが形成されている側の平面２０Ｂのうち凸状パターン２０Ａが形成されていない部分の上に設置し、その後、第２の実施の形態に準じてモールド本体形成工程〜剥離工程：Ｓ４〜Ｓ７を行うこともできる。
【０１２８】
［モールドの作製方法の変形例］
モールドの作製方法の変形例は、上述の第１〜第３の実施の形態のモールドの作製方法において、剥離工程Ｓ７において大型の原版２８とモールド本体１４とを剥離する際に補強材１６を剥離アシストシートとして利用するように構成したものである。
【０１２９】
図３１は、モールドの作製方法の変形例によって製造されるモールドの一例を示す斜視図であり、図３２は平面図、図３３は縦断面図である。図３１〜図３３に示すように、変形例で作製されるモールド（以下「変形モールド１００」という」は、モールド本体１４に面方向に埋設された補強材１６の周縁部１６Ｄがモールド本体１４の端面１４Ｂからはみ出して露出している。即ち、変形モールド１００は補強材１６として、モールド本体１４のサイズよりも大きな大型の補強材１６が使用されている。なお、ここでは、縦材１６Ｂと横材１６Ｃとで構成された格子枠形状の大型の補強材１６の例で説明する。
【０１３０】
次に、変形モールド１００を作製する作製方法について説明する。なお、変形モールド１００の作製には、上述した第１〜第３の実施の形態の何れをも選択することができるが、ここでは支持板２４にスペーサ３０を配設する第１の実施の形態の例で説明する。
【０１３１】
（準備工程：Ｓ１）
先ず、大型の原版２８、大型の補強材１６、及び支持板２４を準備する。準備する原版２８、大型の補強材１６、及び支持板２４は、補強材１６が大型になった以外は第１〜第３の実施の形態で説明したと同様であり、説明は省略する。
【０１３２】
次に、図３４〜図３９にしたがって変形モールド１００を作製する。
【０１３３】
(スペーサ配設工程：Ｓ２)
先ず、図３４に示すように、支持板２４の上に大型の補強材１６を所望埋設位置に位置決めするスペーサ３０を配設する。
【０１３４】
(補強材設置工程：Ｓ３)
次に、図３５に示すように、大型の補強材１６を配設したスペーサ３０を介して支持板２４の上に設置する。即ち、支持板２４の上に配設したスペーサ３０の上に大型の補強材１６を設置する。第１の実施の形態では、モールド本体１４のサイズと同等か１〜２ｍｍ小さなサイズの補強材１６を使用したが、ここではモールド本体１４のサイズよりも周縁部１６Ｄが５〜２０ｍｍはみ出した大型の補強材１６を使用する点で相違する。大型の補強材１６は、支持板２４のサイズよりも大きいことが更に好ましい。これにより、後記する剥離工程Ｓ７で補強材１６の周縁部１６Ｄを把持し易くなる。
【０１３５】
（モールド本体形成工程：Ｓ４）
次に、図３６に示すように、スペーサ３０と大型の補強材１６とを有する支持板２４の上にモールド用液状樹脂を付与して未固化状態のモールド本体１４を形成する。この場合、大型の補強材１６の周縁部１６Ｄは、モールド本体１４の端面１４Ｂからはみ出すが、周縁部１６Ｄ以外の部分はモールド本体１４の表裏面から露出しないようにモールド本体１４の厚みを形成する。図３６はスロットダイ３２を用いた塗布方法でモールド本体１４を形成する場合である。
【０１３６】
（脱泡工程：Ｓ５）
次に、図３７に示すように、支持板２４の上に塗布した未固化状態のモールド本体１４の内部に生じた気泡を脱泡する。なお、モールド本体１４に気泡が含有されていない場合には、脱泡工程Ｓ５を省略することができる。
【０１３７】
（転写工程：Ｓ６）
次に、図３８に示すように、大型の原版２８と支持板２４とで未固化状態のモールド本体１４を挟み込んで、大型の原版２８の凸状パターン２０Ａでモールド本体１４の表面１４Ａを押し付けることによって、モールド本体１４の表面であって補強材１６の開口部１６Ａの位置に凹状パターン１２を転写する。
【０１３８】
（剥離工程：Ｓ７）
次に、図３９に示すように、未固化状態のモールド本体１４を固化（硬化）してから大型の原版２８及び支持板２４からモールド本体１４を剥離する。
【０１３９】
図３９は、大型の原版２８から支持板２４に支持されたモールド本体１４を剥離している図である。
【０１４０】
図３９に示すように、モールド本体１４の端面１４Ｂからはみ出した大型の補強材１６の周縁部１６Ｄの一端を把持し、補強材１６を剥離アシストシートとして利用して、モールド本体１４を湾曲させながらモールド本体１４の一方端から他方端に徐々に剥離していく。これにより、モールド本体１４を大型の原版２８から効率的に且つ緻密に剥離することができる。したがって、経皮吸収シートのためのモールド１０のように、複数の微細針状凹部１８による微細針状パターンで凹状パターン１２を構成した場合であっても、微細針状凹部１８を破損することなく大型の原版２８から剥離することができる。
【０１４１】
これにより、第１〜第３の実施の形態と同様の効果を奏し、且つ大型の補強材１６を剥離アシストシートとして利用することで剥離を高精度に行うことができる。
【０１４２】
なお、本実施の形態では、微細針状凹部１８が複数形成された凹状パターン１２を有する経皮吸収シート製造のためのモールド１０、１００の一例で説明したが、これに限定されず、凹状パターン１２を有するモールドであればどのようなモールドにも適用できる。
【実施例】
【０１４３】
表面に複数の凹状パターン１２が２次元配列されたモールド本体１４に、補強材１６を面方向に埋設してなるモールド１０の作製方法の具体例を以下に説明する。
【０１４４】
[実施例１]
実施例１は、本発明のモールドの作製方法の第２の実施の形態に準じてモールドを作製した場合である。
【０１４５】
（準備工程）
台１１の上に凹状パターン１２の反転パターンである凸状パターン２０Ａが形成された原版２８、板状に形成されて凹状パターン１２の対応位置に開口部１６Ａを有する補強材１６、及び支持板２４を準備する。
【０１４６】
〈原版〉
図７に示すように、原版２８は、縦（Ｍ１）１４０ｍｍ×横（Ｎ１）１４０ｍｍの正方形の平滑なＮｉ板（ニッケル板）の表面に、複数の突起物２６で構成される凸状パターン２０Ａを５行×５列で２次元配列した大型の原版２８を使用した。２次元配列された凸状パターン２０Ａ同士のピッチＰ２は２２．５ｍｍとした。
【０１４７】
また、突起物２６は、図５及び図６に示すように、底面の直径Ｄ１が５００μｍ、高さＨ２が１５０μｍ、底面の直径Ｄ２が３００μｍ、高さＨ１が８４０μｍとした。そして、この突起物２６を１０列×１０行で２次元配列して１つの凸状パターン２０Ａを形成した。突起物２６同士のピッチPは１０００μｍである。
【０１４８】
〈補強材〉
厚みが５００μｍのＰＰシート（ポリプロピレンシート）を、図８に示すように、縦（Ｍ２）１１７．５ｍｍ×横（Ｎ２）の正方形シートとして切り出した。切り出した正方形シートに、５行×５列で２次元配列した開口部１６Ａを形成し、格子枠形状の補強材１６とした。格子枠形状の補強材１６を構成する縦材１６Ｂと横材１６Ｃの幅寸法を５ｍｍとすることで、開口部１６Ａ同士のピッチは５ｍｍとなるようにした。また、開口部１６Ａの大きさは縦（Ｓ２）１７．５ｍｍ×横（Ｔ２）１７．５ｍｍの正方形とした。
【０１４９】
〈支持板〉
厚みが３５０μｍのＰＥＴシート（ポリエチレンテレフタレートシート）を、縦２００mm×横２００mmの正方形シートとして切り出して支持板２４とした。
【０１５０】
（スペーサ配設工程）
補強材１６をモールド本体１４の厚み方向の所望埋設位置に位置決めするスペーサ３０を、原版２８の台１１の凸状パターン２０Ａが形成されている平面２０Ｂの凸状パターン２０Ａが形成されていない部分に次のように配設した。
【０１５１】
即ち、熱硬化性シリコーンゴム１（Ｎｕｓｌ社製  ＭＥＤ-６０１５）の主剤と、硬化剤とを１０：１の比率で混合したものをスペーサ用液状樹脂とした。このスペーサ用液状樹脂を、シリンジの先端にニードルノズルを取り付けたディスペンサー（岩下エンジニアリング製  ＩＥＩ  ＡＤ２０００Ｃ）に充填した。
【０１５２】
そして、ディスペンサーにより、図２２に示すように、６０℃に加熱した原版２８の凸状パターン２０Ａ同士の縦方向の隙間及び両端に、長さ１３０mm、幅２ｍｍの線状のスペーサ（線状の熱硬化性シリコーンゴム層）を６本平行に塗設した。この６本のスペーサ３０は、図８に示す補強材１６の６本の縦材１６Ｂに対応した位置に塗設される。
【０１５３】
スペーサ３０を塗設した後、原版２８を冷却してスペーサ３０を硬化した。スペーサ３０を硬化程度は、スペーサ３０の高さが変化しないだけの硬度まで硬化した。硬化後の６本のスペーサ３０の高さを測定すると、４２０μｍ±３０μｍの範囲内であった。
【０１５４】
（補強材設置工程）
補強材１６を配設したスペーサ３０を介して原版２８の上に次のように設置した。即ち、補強材１６をスペーサ３０の上に載せ、補強材１６をスペーサ３０に軽く押し付けて補強材１６とスペーサ３０とが密着するようにした。
【０１５５】
（モールド本体形成工程）
原版２８の台１１の凸状パターン２０Ａが形成されている平面２０Ｂ上にモールド本体１４を形成するモールド用液状樹脂を付与して補強材１６を所望埋設位置に埋設可能な厚みのモールド本体１４を次のように形成した。
【０１５６】
熱硬化性シリコーンゴム２（Ｎｕｓｌ社製  ＭＥＤ-６０１５）の主剤と、硬化剤とを１０：１の比率で混合したものをモールド用液状樹脂とした。このモールド用液状樹脂を、シリンジの先端に幅１２０ｍｍの広幅ノズルを取り付けたディスペンサーに充填した。
【０１５７】
そして、ディスペンサーにより、補強材１６の全体が覆われるように縦１２０ｍｍ×横１２０ｍｍで、厚みが１．２ｍｍの塗膜になるようにモールド用液体樹脂を原版２０の平面２０Ｂ上に塗布して未硬化状態のモールド本体（熱硬化性シリコーンゴム塗膜）を形成した。
【０１５８】
（脱泡工程）
未硬化状態のモールド本体１４を有する原版２８を、減圧容器に入れて容器内を３０Ｐａまで減圧して１０分間維持し、モールド本体１４の気泡を脱泡した。
【０１５９】
（転写工程）
原版２８と支持板２４とで未硬化状態のモールド本体１４を挟み込んで、モールド本体１４の表面１４Ｂであって補強材１６の開口部１６Ａの位置に凸状パターン２０Ａの転写パターンである凹状パターン１２を次のように転写した。
【０１６０】
即ち、減圧容器から取り出した原版２８（補強枠１６を埋設した未硬化状態のモールド本体１４を有する）を、押し付け装置３６の吸着板３８に吸着保持し、モールド本体１４に支持板２４をラミネートした。原版２８と支持板２４とのギャップは、モールド本体１４の厚み分である１．２ｍｍである。そして、支持板２４のラミネート側の反対面を吸引台４４に吸着固定した。
【０１６１】
吸着板３８と吸引台４４とで未硬化状態のモールド本体１４を挟んだ状態で、吸着板３８と吸引台４４とを１２０℃で１分間加熱し、モールド本体１４を硬化した。
【０１６２】
（剥離工程）
モールド本体１４を硬化してから原版２８及び支持板２４からモールド本体１４を次のように剥離した。
【０１６３】
即ち、吸着板３８と吸引台４４との吸着力を解除し、補強材１６を埋設したモールド本体１４を原版２８から支持板２４ごと剥離した。その後で、支持板２４をモールド本体１４から剥離した。
【０１６４】
これにより、表面１４Ａに複数の凹状パターン１２が５行×５列で２次元配列されたモールド本体１４に、補強材１６を面方向に埋設してなる実施例１のモールド１０を作製した。モールド１０のサイズは、縦１２０ｍｍ×横１２０ｍｍの正方形である。
【０１６５】
[実施例２]
実施例２は、本発明のモールドの作製方法の変形例に準じてモールドを作製した場合である。
【０１６６】
即ち、準備工程において、厚みが５００μｍのＰＰシート（ポリプロピレンシート）を、縦２２０ｍｍ×横３００ｍｍの長方形シートとして切り出した。切り出した長方形シートの中央部に、実施例１と同様に、５行×５列で２次元配列した開口部１６Ａを形成し、格子枠形状の補強材１６とした。格子枠形状の補強材１６を構成する縦材１６Ｂと横材１６Ｃの幅寸法を５ｍｍとすることで、開口部１６Ａ同士のピッチは５ｍｍとなるようにした。また、開口部１６Ａの大きさは縦（Ｓ２）１７．５ｍｍ×横（Ｔ２）１７．５ｍｍの正方形とした。即ち、実施例２では、補強材１６としてモールド本体１４の面方向のサイズよりも大きなサイズの大型の補強材１６を使用した。
【０１６７】
また、モールド本体形成工程において、モールド本体１４の端面１４Ｂから補強材１６の周縁部１６Ｄを露出させた。そして、剥離工程において、支持体２４を吸着していた吸引台４４の吸引を解除し、露出させた補強材１６の周縁部１６Ｄの対向する両端を把持してモールド本体１４を原版２８から離間させる方向に湾曲させながら、原版２８からモールド本体１４を徐々に剥離した。その後、モールド本体１４から支持板２４を剥離した。これにより、実施例２のモールドを作製した。上記した以外の工程は実施例１と同様である。
【０１６８】
[実施例３]
実施例３は、本発明のモールドの作製方法の第３の実施の形態に準じてモールドを作製した場合である。
【０１６９】
即ち、スペーサ配設工程において、熱硬化性シリコーンゴム１（Ｎｕｓｌ社製  ＭＥＤ-６０１５）の主剤と、硬化剤とを１０：１の比率で混合したものをスペーサ用液状樹脂とした。このスペーサ用液状樹脂を、シリンジの先端にニードルノズルを取り付けたディスペンサー（岩下エンジニアリング製  ＩＥＩ  ＡＤ２０００Ｃ）に充填した。
【０１７０】
そして、ディスペンサーにより、図３０に示すように、６０℃に加熱した補強材１６の６本の縦材１６Ｂの上にそれぞれ、長さ１１７．５mm、幅２ｍｍの線状のスペーサ（線状の熱硬化性シリコーンゴム層）を６本平行に塗設した。  
【０１７１】
スペーサ３０を塗設した後、補強材１６を冷却してスペーサ３０を硬化した。硬化後の６本のスペーサ３０の高さを測定すると、４２０μｍ±３０μｍの範囲内であった。
【０１７２】
これにより、実施例３のモールドを作製した。上記した以外の工程は実施例１と同様である。
【０１７３】
[比較例１]
比較例１は、スペーサ３０及び補強材１６を使用せずにモールド本体１４を作製した。
【０１７４】
即ち、モールド本体形成工程において、熱硬化性シリコーンゴム２（Ｎｕｓｌ社製  ＭＥＤ-６０１５）の主剤と、硬化剤とを１０：１の比率で混合したものをモールド用液状樹脂とした。このモールド用液状樹脂を、シリンジの先端に幅１２０ｍｍの広幅ノズルを取り付けたディスペンサーに充填した。
【０１７５】
そして、ディスペンサーにより、縦１２０ｍｍ×横１２０ｍｍで、厚みが１．２ｍｍの塗膜になるようにモールド用液体樹脂を原版２０の平面２０Ｂ上に塗布して未硬化状態のモールド本体（熱硬化性シリコーンゴム塗膜）を形成した。
その後、脱泡工程、転写工程、及び剥離工程を実施例１と同様に行った。これにより、比較例１のモールドを作製した。
【０１７６】
[比較例２]
スペーサ３０を使用せずに補強材１６をモールド本体に埋設してモールドを作製した場合である。
【０１７７】
即ち、熱硬化性シリコーンゴム２（Ｎｕｓｌ社製  ＭＥＤ-６０１５）の主剤と、硬化剤とを１０：１の比率で混合したものをモールド用液状樹脂とした。このモールド用液状樹脂を、シリンジの先端に幅１２０ｍｍの広幅ノズルを取り付けたディスペンサーに充填した。
【０１７８】
そして、ディスペンサーにより、縦１２０ｍｍ×横１２０ｍｍで、厚みが０．６ｍｍの塗膜になるようにモールド用液体樹脂を原版２０の平面２０Ｂ上に塗布して未硬化状態のモールド本体（熱硬化性シリコーンゴム塗膜）の下層を形成した。
【０１７９】
次に、下層の上に補強材１６を載せた後、補強材１６の上に縦１２０ｍｍ×横１２０ｍｍで、厚みが０．６ｍｍの塗膜になるようにモールド用液体樹脂を塗布して上層を形成した。その後、脱泡工程、転写工程、及び剥離工程を実施例１と同様に行った。これにより、比較例２のモールドを作製した。
【０１８０】
[試験結果]
上記の如く作製した実施例１〜３のモールド、及び比較例１〜２のモールドについて、「モールドの剛性」とモールドに埋設された「補強材の埋設高さの安定化」との２つについて評価した。
【０１８１】
（「モールドの剛性」の評価方法）
モールド１０の一端をクランプして持ち上げてモールド１０を湾曲下向きに反らせたときの、クランプ位置とその逆端(クランプしていないモールドの端部)との鉛直座標位置での差である反り量を測定した。そして、反り量が０ｍｍ〜５０ｍｍをモールド１０のハンドリング上において問題ない剛性を有するとして合格のＡ評価とし、５０ｍｍを超える場合を不合格のＢ評価とした。
【０１８２】
（「補強材の埋設高さの安定化」の評価方法）
モールド１０の縦断面をマイクロスコープ（キーエンス製  ＶＨＸ-５０００）で観察し、モールド１０の厚みのうち補強枠１６の上側の厚みと下側の厚みを測定した。厚みの測定は、実施例及び比較例ともにモールドの４つのコーナー部を測定点として行った。
【０１８３】
そして、測定した４点位置における上側の厚みと下側の厚みが共に４２０μｍ±５０μｍの範囲内に収まっていれば、モールド１０の表面又は裏面から補強材１６までの埋設高さがモールド１０の面方向において均等であるとして、合格のＡ評価とし、収まっていなければ不合格のＢ評価とした。
【０１８４】
(評価結果)
評価結果を表１に示す。
【０１８５】
【表１】
2017205224.tif 000003
【０１８６】
表１の結果から分かるように、本発明のモールドの作製方法を満足する実施例１〜３は、モールド１０の剛性、及び補強材１６の埋設高さの安定化ともにＡ評価であった。即ち、スペーサ３０を使用して補強材１６をモールド本体１４に埋設することにより、補強材１６の埋設高さが安定化する。これにより、モールド１０の剛性を向上できるだけでなく、モールドの剛性バランスが良くなる。
【０１８７】
これに対して、モールド本体１４に補強材１６を埋設していない比較例１は、モールドの剛性がＢ評価となり、モールド１０のハンドリング上において問題がある。また、モールド本体１４に補強材１６を埋設したがスペーサ３０を使用しない比較例２は、モールド１０の剛性はＡ評価であったが、補強材１６の埋設高さの安定化がＢ評価であった。
【０１８８】
この理由としては、モールド本体形成工程において、スペーサ３０を使用しないで補強材１６を埋設した場合、その後の脱泡工程、転写工程において未硬化状態のモールド本体１４内で補強材１６が沈み込んだり傾いたりすることが考察される。
【符号の説明】
【０１８９】
１０…モールド
１１…台
１２…凹状パターン
１４…モールド本体
１４Ａ…モールド本体の表面
１４Ｂ…モールド本体の端面
１６…補強材
１６Ａ…補強材の開口部
１６Ｂ…補強材の縦材
１６Ｃ…補強材の横材
１６Ｄ…補強材の周縁部
１８…針状凹部
２０、２８…原版
２０Ａ…凸状パターン
２０Ｂ…平面
２４…支持板
２６…突起部
２６Ａ…針部
２６Ｂ…錐台部
３０…スペーサ
３２…スロットダイ
３２Ａ…スリット
３４…スライド装置
３４Ａ…スライダ
３４Ｂ…レール
３６…押し付け装置
３８…吸着板
３８Ａ…吸着面
４０…真空ポンプ
４２…Ｚ軸駆動部
４４…吸引台
４６…Ｘ−Ｙ軸駆動部
４７…レーザー距離計
４８…架台
５０…支持ブロック
５４、５６…ブラケット
５８…吸引配管
５２…制御部
１００…変形モールド
Ｓ１…準備工程
Ｓ２…スペーサ配設工程
Ｓ３…補強材設置工程
Ｓ４…モールド本体形成工程
Ｓ５…脱泡工程
Ｓ６…転写工程
Ｓ７…剥離工程
【図１】
2017205224.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2017205224.tif 000009
【図７】
2017205224.tif 000010
【図８】
2017205224.tif 000011
【図９】
2017205224.tif 000012
【図１０】
2017205224.tif 000013
【図１１】
2017205224.tif 000014
【図１２】
2017205224.tif 000015
【図１３】
2017205224.tif 000016
【図１４】
2017205224.tif 000017
【図１５】
2017205224.tif 000018
【図１６】
2017205224.tif 000019
【図１７】
2017205224.tif 000020
【図１８】
2017205224.tif 000021
【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
2017205224.tif 000031
【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
2017205224.tif 000036
【図３４】
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【図３５】
2017205224.tif 000038
【図３６】
2017205224.tif 000039
【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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